【手続補正書】
【提出日】令和1年5月24日(2019.5.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マルチプルパターニングプロセスのためにフィーチャに色を割り当てる方法であって、
部分的着色セルを形成するために、標準セルの少なくとも１つのフィーチャに色を割り当てることと、
フィーチャのセットと、フィーチャの前記セットのうちのフィーチャの第１のサブセットの各フィーチャについての複数の色のうちの割り当てられた色とを備える集積回路レイアウト情報を受信することと、
前記集積回路レイアウト情報および前記色割当てに基づいて、グラフィカル集積回路レイアウトを生成することと、前記グラフィカル集積回路レイアウトを生成することが、前記部分的着色セルの少なくとも２つのインスタンスにおいて前記標準セルの前記少なくとも１つのフィーチャを統合することを含み、
フィーチャの第２のサブセット中のフィーチャに色を割り当てるために、フィーチャの前記第２のサブセットに対して色分解を実行することと、フィーチャの前記第２のサブセットが、前記割り当てられた色をもつフィーチャの前記第１のサブセット中に含まれないフィーチャの前記セット中のフィーチャを含む、
を備える、方法。
【請求項２】
前記マルチプルパターンプロセスが、ｎ個の色をもつｎパターニングプロセスであり、フィーチャの前記セットがｐ個のフィーチャを備え、フィーチャの前記第１のサブセットがｑ個のフィーチャを備え、フィーチャの前記第２のサブセットがｐ−ｑ個のフィーチャを含み、ここにおいて、前記色分解が、前記ｎ個の色のサブセットを用いて前記ｐ−ｑ個のフィーチャの前記第２のサブセットに対して実行される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ｎ個の色のサブセットが、ｎ個の色である、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
フィーチャの前記第１のサブセットがｍ個の異なる色を有し、前記色分解が、ｘ個の色を用いてフィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して実行され、ここで、ｎ−ｍ≦ｘ≦ｎである、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
ｘがｎ−ｍに等しい、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
マルチプルパターニングプロセスのためにフィーチャに色を割り当てるための装置であって、
部分的着色セルを形成するために、標準セルの少なくとも１つのフィーチャに色を割り当てるための手段と、
フィーチャのセットと、フィーチャの前記セットのうちのフィーチャの第１のサブセットの各フィーチャについての複数の色のうちの割り当てられた色とを備える集積回路レイアウト情報を受信するための手段と、
前記部分的着色セルの少なくとも２つのインスタンスにおいて前記標準セルの前記少なくとも１つのフィーチャを統合するための手段を含む、前記集積回路レイアウト情報を生成するための手段と、
フィーチャの第２のサブセット中のフィーチャに色を割り当てるために、フィーチャの前記第２のサブセットに対して色分解を実行するための手段と、フィーチャの前記第２のサブセットが、前記割り当てられた色をもつフィーチャの前記第１のサブセット中に含まれないフィーチャの前記セット中のフィーチャを含む、
を備える、装置。
【請求項７】
前記マルチプルパターンプロセスが、ｎ個の色をもつｎパターニングプロセスであり、フィーチャの前記セットがｐ個のフィーチャを備え、フィーチャの前記第１のサブセットがｑ個のフィーチャを備え、フィーチャの前記第２のサブセットがｐ−ｑ個のフィーチャを含み、ここにおいて、色分解を実行するための前記手段が、前記ｎ個の色のサブセットを用いて前記ｐ−ｑ個のフィーチャの前記第２のサブセットに対して色分解を実行するように構成された、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記ｎ個の色の前記サブセットが、ｎ個の色である、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
フィーチャの前記第１のサブセットがｍ個の異なる色を有し、色分解を実行するための前記手段が、ｘ個の色を用いてフィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して色分解を実行するように構成され、ここで、ｎ−ｍ≦ｘ≦ｎである、請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
ｘがｎ−ｍに等しい、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記フィーチャが、金属相互接続、金属カット、パワーレール、ポリゲート相互接続、ポリカット、ビア、金属ポリ（ＭＰ）相互接続、金属ポリカット、金属拡散（ＭＤ）相互接続、金属拡散接触Ａ（ＣＡ）相互接続、又は金属拡散接触Ｂ（ＣＢ）相互接続のうちの少なくとも１つを備える、請求項１に記載の方法、または請求項６に記載の装置。
【請求項１２】
フィーチャの前記第１のサブセットの各フィーチャの前記割り当てられた色がユーザによって割り当てられる、請求項１に記載の方法、または請求項６に記載の装置。
【請求項１３】
フィーチャの前記第１のサブセットが少なくとも１つのパワーレールを備える、請求項１に記載の方法、または請求項６に記載の装置。
【請求項１４】
マルチプルパターニングプロセスのためにフィーチャに色を割り当てるための装置であって、
メモリと、
前記メモリに結合され、請求項１乃至５、または請求項１１乃至１３に記載の方法を実行するように構成された少なくとも１つのプロセッサと
を備える、装置。
【請求項１５】
請求項１乃至５、または請求項１１乃至１３に記載の方法を実行するようにコンピュータによって実行可能なコードを備える、マルチプルパターニングプロセスのためにフィーチャに色を割り当てるための非一時的コンピュータ可読媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
[0055]以上の説明は、当業者が本明細書で説明された様々な態様を実施することができるようにするために提供されたものである。これらの態様に対する様々な変更は当業者には容易に明らかであり、本明細書で定義された一般原理は他の態様に適用され得る。従って、特許請求の範囲は、本明細書で示された態様に限定されるものではなく、特許請求の範囲の言い回しに矛盾しない全範囲を与えられるべきであり、ここにおいて、単数形の要素への言及は、そのように明記されていない限り、「唯一無二の」を意味するものではなく、「１つ又は複数の」を意味するものである。別段に明記されていない限り、「幾つか」という語は１つ又は複数を表す。項目のリスト「のうちの少なくとも１つ」を指す句は、単一のメンバーを含む、それらの項目の任意の組合せを指す。一例として、「ａ、ｂ、又はｃのうちの少なくとも１つ」は、ａ、ｂ、ｃ、ａ及びｂ、ａ及びｃ、ｂ及びｃ、並びにａ、ｂ及びｃを包含するものとする。当業者に知られている、又は後に知られることになる、本開示全体にわたって説明された様々な態様の要素の全ての構造的及び機能的均等物は、参照により本明細書に明白に組み込まれ、特許請求の範囲に包含されるものである。その上、本明細書で開示されるいかなることも、そのような開示が特許請求の範囲に明示的に具陳されているかどうかにかかわらず、公に供するものではない。いかなるクレーム要素も、その要素が「ための手段」という句を使用して明確に具陳されていない限り、又は方法クレームの場合には、その要素が「ためのステップ」という句を使用して具陳されていない限り、米国特許法第１１２条第６項の規定の下で解釈されるべきではない。
以下に本願の出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
［Ｃ１］
マルチプルパターニングプロセスのためにフィーチャに色を割り当てる方法であって、
フィーチャのセットと、フィーチャの前記セットのうちのフィーチャの第１のサブセットの各フィーチャについての複数の色のうちの割り当てられた色とを備える集積回路レイアウト情報を受信することと、
フィーチャの第２のサブセット中のフィーチャに色を割り当てるために、フィーチャの前記第２のサブセットに対して色分解を実行することと、フィーチャの前記第２のサブセットが、前記割り当てられた色をもつフィーチャの前記第１のサブセット中に含まれないフィーチャの前記セット中のフィーチャを含む、
を備える、方法。
［Ｃ２］
前記マルチプルパターンプロセスが、ｎ個の色をもつｎパターニングプロセスであり、フィーチャの前記セットがｐ個のフィーチャを備え、フィーチャの前記第１のサブセットがｑ個のフィーチャを備え、フィーチャの前記第２のサブセットがｐ−ｑ個のフィーチャを含み、ここにおいて、前記色分解が、フィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して、及び前記ｎ個の色のサブセットを用いて実行される、Ｃ１に記載の方法。
［Ｃ３］
前記色分解が、ｎ個の色を用いてフィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して実行される、Ｃ２に記載の方法。
［Ｃ４］
フィーチャの前記第１のサブセットがｍ個の異なる色を有し、前記色分解が、ｘ個の色を用いてフィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して実行され、ここで、ｎ−ｍ≦ｘ≦ｎである、Ｃ２に記載の方法。
［Ｃ５］
ｘがｎ−ｍに等しい、Ｃ４に記載の方法。
［Ｃ６］
前記フィーチャが、金属相互接続、金属カット、パワーレール、ポリゲート相互接続、ポリカット、ビア、金属ポリ（ＭＰ）相互接続、金属ポリカット、金属拡散（ＭＤ）相互接続、金属拡散接触Ａ（ＣＡ）相互接続、又は金属拡散接触Ｂ（ＣＢ）相互接続のうちの少なくとも１つを備える、Ｃ１に記載の方法。
［Ｃ７］
フィーチャの前記第１のサブセットの各フィーチャの前記割り当てられた色がユーザによって割り当てられる、Ｃ１に記載の方法。
［Ｃ８］
フィーチャの前記第１のサブセットが少なくとも１つのパワーレールを備える、Ｃ１に記載の方法。
［Ｃ９］
マルチプルパターニングプロセスのためにフィーチャに色を割り当てるための装置であって、
フィーチャのセットと、フィーチャの前記セットのうちのフィーチャの第１のサブセットの各フィーチャについての複数の色のうちの割り当てられた色とを備える集積回路レイアウト情報を受信するための手段と、
フィーチャの第２のサブセット中のフィーチャに色を割り当てるために、フィーチャの前記第２のサブセットに対して色分解を実行するための手段と、フィーチャの前記第２のサブセットが、前記割り当てられた色をもつフィーチャの前記第１のサブセット中に含まれないフィーチャの前記セット中のフィーチャを含む、
を備える、装置。
［Ｃ１０］
前記マルチプルパターンプロセスが、ｎ個の色をもつｎパターニングプロセスであり、フィーチャの前記セットがｐ個のフィーチャを備え、フィーチャの前記第１のサブセットがｑ個のフィーチャを備え、フィーチャの前記第２のサブセットがｐ−ｑ個のフィーチャを含み、ここにおいて、色分解を実行するための前記手段が、フィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して、及び前記ｎ個の色のサブセットを用いて色分解を実行するように構成された、Ｃ９に記載の装置。
［Ｃ１１］
色分解を実行するための前記手段が、ｎ個の色を用いてフィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して色分解を実行するように構成された、Ｃ１０に記載の装置。
［Ｃ１２］
フィーチャの前記第１のサブセットがｍ個の異なる色を有し、色分解を実行するための前記手段が、ｘ個の色を用いてフィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して色分解を実行するように構成され、ここで、ｎ−ｍ≦ｘ≦ｎである、Ｃ１０に記載の装置。
［Ｃ１３］
ｘがｎ−ｍに等しい、Ｃ１２に記載の装置。
［Ｃ１４］
前記フィーチャが、金属相互接続、金属カット、パワーレール、ポリゲート相互接続、ポリカット、ビア、金属ポリ（ＭＰ）相互接続、金属ポリカット、金属拡散（ＭＤ）相互接続、金属拡散接触Ａ（ＣＡ）相互接続、又は金属拡散接触Ｂ（ＣＢ）相互接続のうちの少なくとも１つを備える、Ｃ９に記載の装置。
［Ｃ１５］
フィーチャの前記第１のサブセットの各フィーチャの前記割り当てられた色がユーザによって割り当てられる、Ｃ９に記載の装置。
［Ｃ１６］
フィーチャの前記第１のサブセットが少なくとも１つのパワーレールを備える、Ｃ９に記載の装置。
［Ｃ１７］
マルチプルパターニングプロセスのためにフィーチャに色を割り当てるための装置であって、
メモリと、
前記メモリに結合された少なくとも１つのプロセッサと
を備え、前記少なくとも１つのプロセッサは、
フィーチャのセットと、フィーチャの前記セットのうちのフィーチャの第１のサブセットの各フィーチャについての複数の色のうちの割り当てられた色とを備える集積回路レイアウト情報を受信することと、
フィーチャの第２のサブセット中のフィーチャに色を割り当てるために、フィーチャの前記第２のサブセットに対して色分解を実行することと、フィーチャの前記第２のサブセットが、前記割り当てられた色をもつフィーチャの前記第１のサブセット中に含まれないフィーチャの前記セット中のフィーチャを含む、
を行うように構成された、装置。
［Ｃ１８］
前記マルチプルパターンプロセスが、ｎ個の色をもつｎパターニングプロセスであり、フィーチャの前記セットがｐ個のフィーチャを備え、フィーチャの前記第１のサブセットがｑ個のフィーチャを備え、フィーチャの前記第２のサブセットがｐ−ｑ個のフィーチャを含み、ここにおいて、前記少なくとも１つのプロセッサが、フィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して、及び前記ｎ個の色のサブセットを用いて色分解を実行するように構成された、Ｃ１７に記載の装置。
［Ｃ１９］
前記少なくとも１つのプロセッサが、ｎ個の色を用いてフィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して色分解を実行するように構成された、Ｃ１８に記載の装置。
［Ｃ２０］
フィーチャの前記第１のサブセットがｍ個の異なる色を有し、前記少なくとも１つのプロセッサが、ｘ個の色を用いてフィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して色分解を実行するように構成され、ここで、ｎ−ｍ≦ｘ≦ｎである、Ｃ１８に記載の装置。
［Ｃ２１］
ｘがｎ−ｍに等しい、Ｃ２０に記載の装置。
［Ｃ２２］
前記フィーチャが、金属相互接続、金属カット、パワーレール、ポリゲート相互接続、ポリカット、ビア、金属ポリ（ＭＰ）相互接続、金属ポリカット、金属拡散（ＭＤ）相互接続、金属拡散接触Ａ（ＣＡ）相互接続、又は金属拡散接触Ｂ（ＣＢ）相互接続のうちの少なくとも１つを備える、Ｃ１７に記載の装置。
［Ｃ２３］
フィーチャの前記第１のサブセットの各フィーチャの前記割り当てられた色がユーザによって割り当てられる、Ｃ１７に記載の装置。
［Ｃ２４］
フィーチャの前記第１のサブセットが少なくとも１つのパワーレールを備える、Ｃ１７に記載の装置。
［Ｃ２５］
マルチプルパターニングプロセスのためにフィーチャに色を割り当てるための非一時的コンピュータ可読媒体であって、
フィーチャのセットと、フィーチャの前記セットのうちのフィーチャの第１のサブセットの各フィーチャについての複数の色のうちの割り当てられた色とを備える集積回路レイアウト情報を受信することと、
フィーチャの第２のサブセット中のフィーチャに色を割り当てるために、フィーチャの前記第２のサブセットに対して色分解を実行することと、フィーチャの前記第２のサブセットが、前記割り当てられた色をもつフィーチャの前記第１のサブセット中に含まれないフィーチャの前記セット中のフィーチャを含む、
を行うためにコンピュータによって実行可能なコードを備える、非一時的コンピュータ可読媒体。