【手続補正書】
【提出日】平成19年8月30日(2007.8.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象領域に所定幅でほぼ棒状に形成され両端近傍が列状に形成された導電性の複数のパターンのうち１つの検査対象パターンに交流の検査信号を供給し、前記検査対象パターンより信号を検出して前記検査対象パターンを検査する回路パターン検査装置であって、
前記検査対象パターンの一端に前記検査信号を供給する供給電極を有する供給手段と、
前記検査信号が供給される前記検査対象パターンと、前記検査信号が供給される前記検査対象パターンに隣接するパターンに、それぞれ個々に容量結合する少なくとも２つの検出電極を有する検出手段と、
前記供給電極と前記検出電極とを、それぞれの移動支持部材に搭載し、前記検査対象パターンから離間させつつ、順次、対向する前記検査対象パターンとを容量結合させる状態で前記検査対象パターンの前記両端を横切り移動させる第１の移動手段とを備え、
前記第１の移動手段は、前記供給電極と前記検出電極が同一検査対象パターンの一端及び他端の上方を通過するように同期させて移動し、且つ前記検出手段が前記検査対象パターン及び前記隣接するパターンにおける前記容量結合の変化により得た前記検査信号から前記検査対象パターンの断線又は短絡による不良を検出することを特徴とする回路パターン検査装置。
【請求項２】
更に、前記検出手段による検出結果が所定範囲にある場合には、前記検査対象パターンの正常と、前記検出結果が所定の範囲より外れる場合には、前記検査対象パターンの前記不良と判断する判断手段を備えることを特徴とする請求項１記載の回路パターン検査装置。
【請求項３】
更に、前記判断手段が不良と判断した検査対象パターンの前記両端に対して、前記第１の移動手段により前記供給電極と前記検出電極とが対向された際に、前記供給電極と前記検出電極のいずれか一方を固定し、他方を前記検査対象パターンに沿って移動させる第２の移動手段と、
前記検出手段の検出結果に基づき、前記検査対象パターンにおける検出変化位置を検出する位置検出手段と、
を備え、前記不良の所在位置を検出することを特徴とする請求項２記載の回路パターン検査装置。
【請求項４】
前記移動支持部材に搭載される撮像手段を備えることを特徴とする請求項３記載の回路パターン検査装置。
【請求項５】
前記第２の移動手段により移動される前記供給電極及び前記検出電極の少なくとも一方と、検査対象パターンとの距離がほぼ一定になるように位置決め制御する離間制御手段を備えることを特徴とする請求項３記載の回路パターン検査装置。
【請求項６】
前記第１の移動手段により移動される前記供給電極及び前記検出電極の少なくとも一方と検査対象パターンとの離間距離がほぼ一定になるように位置決め制御する離間距離制御手段を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項５いずれかに記載の回路パターン検査装置。
【請求項７】
前記離間処理制御手段は、前記検出電極あるいは供給電極近傍位置に前記検出電極あるいは前記供給電極と共に移動する変位計を備え、前記変位計の検出結果に従って前記検出電極あるいは供給電極と検査対象との離間距離がほぼ一定になるように前記検査対象に直交する方向に位置決め制御することを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の回路パターン検査装置。
【請求項８】
前記離間処理制御手段は、前記検査対象パターンの複数ピッチ間の前記変位計の検出結果の平均変位を前記検出電極あるいは前記供給電極と検査対象との離間距離として前記検査対象に直交する方向に位置決め制御することを特徴とする請求項７に記載の回路パターン検査装置。
【請求項９】
検査対象領域に所定幅でほぼ棒状に形成され両端近傍が列状に形成された導電性の複数のパターンのうち１つの検査対象パターンに交流の検査信号を供給する供給電極を有する供給手段と、前記検査対象パターン及び該検査対象パターンに隣接するパターンから同時に且つ個別にそれぞれの信号を検出する検出電極を有する検出手段と、
を備え、前記検査対象パターンの良否を検査する回路パターン検査装置におけるパターン検査方法であって、
前記供給電極から離間する前記検査対象パターンに前記検査信号が供給され、前記検出手段が前記検査対象パターンと該検査対象パターンに隣接するパターンとの少なくとも２列のパターンと離間して個別に容量結合し、
前記容量結合の状態を維持しつつ、前記供給電極と前記検出電極が同一検査対象パターンの一端及び他端の上方を通過するように同期させて移動し、
前記検査対象パターン及び前記隣接するパターンにおける前記容量結合の変化により得た前記検査信号から前記検査対象パターンの断線又は短絡による不良を検出することを特徴とする回路パターン検査方法。
【請求項１０】
更に、前記検出手段による検出結果が所定範囲にある場合には、前記検査対象パターンの正常と、前記検出結果が所定の範囲より外れる場合には、前記検査対象パターンの前記不良と、を判断することを特徴とする請求項９に記載の回路パターン検査方法。
【請求項１１】
前記パターン検査方法によって、不良と判断された検査対象パターンの両端に、前記供給電極と前記検出電極とが対向した際に、前記供給手段と前記検出手段のいずれか一方を固定し、他方を前記検査対象パターンに沿って移動させて、前記検出手段から検出された結果に基づき、前記検査対象パターンにおける不良の所在位置を検出することを特徴とする請求項９に記載の回路パターン検査方法。
【請求項１２】
前記供給電極及び前記検出電極をそれぞれに搭載して移動させる移動支持部材のいずれか一方に備えられた撮像手段を他方に向かってパターンに沿って移動させ、検査対象パターンの不良位置の不良状態を撮像することを特徴とする請求項１１記載の回路パターン検査方法。
【請求項１３】
前記検出手段又は前記供給手段が移動する際に、前記検出電極又は前記供給電極と検査対象パターンとの離間距離の変位が検出され、検出された前記離間距離がほぼ一定になるように位置決め制御して前記検出電極の結果を一定化することを特徴とする請求項９乃至請求項１２のいずれかに記載の回路パターン検査方法。
【請求項１４】
前記検査対象パターン複数ピッチ間の前記変位の平均変位を前記検出電極あるいは前記供給電極と検査対象との離間距離として前記検査対象との位置決め制御をすることを特徴とする請求項１１に記載の回路パターン検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
例えば、回路パターン検査装置は、検査対象領域に所定幅でほぼ棒状に形成され両端近傍が列状に形成された導電性の複数のパターンのうち１つの検査対象パターンに交流の検査信号を供給し、前記検査対象パターンより信号を検出して前記検査対象パターンを検査する回路パターン検査装置であって、前記検査対象パターンの一端に前記検査信号を供給する供給電極を有する供給手段と、前記検査信号が供給される前記検査対象パターン及び該検査対象パターンに隣接するパターンとに、それぞれ個々に容量結合する少なくとも２つの検出電極を有する検出手段と、前記供給電極と前記検出電極とを、それぞれの移動支持部材に搭載し、前記検査対象パターンから離間させつつ、順次、対向する前記検査対象パターンとを容量結合させる状態で前記検査対象パターンの前記両端を横切り移動させる第１の移動手段とを備え、前記第１の移動手段は、前記供給電極と前記検出電極が同一検査対象パターンの一端及び他端の上方を通過するように同期させて移動し、且つ前記検出手段が前記検査対象パターン及び前記隣接するパターンにおける前記容量結合の変化により得た前記検査信号から前記検査対象パターンの断線又は短絡による不良を検出する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
さらに、回路パターン検査方法は、検査対象領域に所定幅でほぼ棒状に形成され両端近傍が列状に形成された導電性の複数のパターンのうち１つの検査対象パターンに交流の検査信号を供給する供給電極を有する供給手段と、前記検査対象パターン及び該検査対象パターンに隣接するパターンから同時に且つ個別にそれぞれの信号を検出する検出電極を有する検出手段と、を備え、前記検査対象パターンの良否を検査する回路パターン検査装置におけるパターン検査方法であって、前記供給電極から離間する前記検査対象パターンに前記検査信号が供給され、前記検出手段が前記検査対象パターンと該検査対象パターンに隣接するパターンとの少なくとも２列のパターンと離間して個別に容量結合し、前記容量結合の状態を維持しつつ、前記供給電極と前記検出電極が同一検査対象パターンの一端及び他端の上方を通過するように同期させて移動し、前記検査対象パターン及び前記隣接するパターンにおける前記容量結合の変化により得た前記検査信号から前記検査対象パターンの断線又は短絡による不良を検出する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１０
【補正方法】削除
【補正の内容】