【手続補正書】
【提出日】平成18年12月8日(2006.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を処理する被処理体処理装置において、
連通自在且つ隣接して連結された、前記被処理体を処理する第１及び第２の処理室と、
前記第２の処理室と連通自在且つ隣接して連結され、前記被処理体を前記第１及び第２の処理室のそれぞれの間で搬出入する搬送アーム並びに前記被処理体を保持する被処理体保持部を備えた１つのロードロック室とを備え、
前記第２の処理室は真空処理室であり、前記１つのロードロック室は前記第１及び第２の処理室と縦列をなす位置に配置されることを特徴とする被処理体処理装置。
【請求項２】
被処理体を処理する被処理体処理装置において、
連通自在且つ隣接して連結された、前記被処理体にＣＯＲ処理を施すＣＯＲ処理室及び前記被処理体に他の処理を施す真空処理室と、
前記真空処理室と連通自在且つ隣接して連結され、前記被処理体を前記ＣＯＲ処理室及び前記真空処理室のそれぞれの間で搬出入する搬送アーム並びに前記被処理体を保持する被処理体保持部を備えた１つのロードロック室とを備えることを特徴とする被処理体処理装置。
【請求項３】
前記真空処理室は、前記ＣＯＲ処理が施された被処理体に熱処理を施すための熱処理であることを特徴とする請求項２記載の被処理体処理装置。
【請求項４】
前記ＣＯＲ処理室及び前記熱処理室は、常時に真空状態にあることを特徴とする請求項３記載の被処理体処理装置。
【請求項５】
前記１つのロードロック室は、前記ＣＯＲ処理室及び前記真空処理室と縦列をなす位置に配置されたことを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の被処理体処理装置。
【請求項６】
ロードロック室と、被処理体にＣＯＲ処理を施すＣＯＲ処理室と、前記ＣＯＲ処理を受けた被処理体に熱処理を施す熱処理室とを少なくとも有する被処理体処理装置の被処理体処理方法であって、
第１の被処理体を前記ロードロック室に搬入する第１のロードロック室搬入ステップと、
前記第１の搬入ステップの後に前記ロードロック室を真空引きする第１の真空引きステップと、
前記真空引きが終了した後に、前記第１の被処理体を前記ＣＯＲ処理室に搬入する第１のＣＯＲ処理室搬入ステップと、
前記ＣＯＲ処理を開始するＣＯＲ処理開始ステップと、
前記ＣＯＲ処理の間に第２の被処理体を前記ロードロック室に搬入する第２のロードロック室搬入ステップと、
前記第２の搬入ステップの後に前記ロードロック室を真空引きする第２の真空引きステップと、
前記真空引きが終了した後に、前記ＣＯＲ処理が終了してから前記第１の被処理体を前記ＣＯＲ処理室から前記熱処理室に移動させる第１の移動ステップと、
前記第２の被処理体を前記ロードロック室から前記ＣＯＲ処理室に移動させる第２の移動ステップと、
前記ＣＯＲ処理室で前記ＣＯＲ処理を開始し、前記熱処理室で前記熱処理を開始する同時処理開始ステップと、
前記熱処理が終了した後に前記熱処理室の前記第１の被処理体を前記ロードロック室に移す第３の移動ステップと、
大気搬送モジュール側のゲートを開き、前記ロードロック室内の前記第１の被処理体と前記大気搬送モジュールで待機している第３の被処理体とを入れ換える入換ステップとを
有することを特徴とする被処理体処理方法。
【請求項７】
ロードロック室と、被処理体にＣＯＲ処理するＣＯＲ処理室と、前記ＣＯＲ処理を受けた被処理体に熱処理を施す熱処理室と、前記被処理体を前記ロードロック室との間で搬出し搬入する大気搬送モジュールとを少なくとも有する被処理体処理装置の圧力制御方法であって、
前記熱処理室を真空引き中に、前記ロードロック室を大気状態にして前記ＣＯＲ処理前の前記被処理体を前記大気搬送モジュールから前記ロードロック室に搬入する搬入ステップと、
前記熱処理室の真空引きを終了して前記ロードロック室を設定圧力まで真空引きするロードロック室真空引きステップと、
前記ロードロック室が前記設定圧力に到達した後、当該ロードロック室の真空引きを終了し、
ロードロック室内圧力＞熱処理室内圧力
の条件を満たすように前記熱処理室を真空引きする熱処理室真空引きステップと、
前記条件が満たされた後に、前記ロードロック室と前記熱処理室とを連通する第１の連通ステップとを有することを特徴とする圧力制御方法。
【請求項８】
被処理体にＣＯＲ処理するＣＯＲ処理室と、前記ＣＯＲ処理を受けた被処理体に熱処理を施す熱処理室とを少なくとも有する被処理体処理装置の圧力制御方法であって、
前記熱処理室を排気しながら当該熱処理室内の圧力をモニタする圧力モニタステップと、
熱処理室内圧力＜ＣＯＲ処理室内圧力
の条件を満たすように前記ＣＯＲ処理室内を排気するＣＯＲ処理室排気ステップと、
前記条件が満たされた時点で、前記ＣＯＲ処理室の排気を終了して、前記熱処理室と前記ＣＯＲ処理室とを連通する連通ステップとを有することを特徴とする圧力制御方法。  
【請求項９】
前記第１の連通ステップに続いて、前記熱処理室を排気しながら当該熱処理室内の圧力をモニタする第１の圧力モニタステップと、
熱処理室内圧力＜ＣＯＲ処理室内圧力
の条件を満たすようにＣＯＲ処理室内を排気するＣＯＲ処理室排気ステップと、
前記条件が満たされた時点で、前記ＣＯＲ処理室の排気を終了して、前記熱処理室と前記ＣＯＲ処理室とを連通する第２の連通ステップとを有することを特徴とする請求項７記載の圧力制御方法。
【請求項１０】
前記第２の連通ステップの後に、前記ロードロック室及び前記ＣＯＲ処理室に流体を流入させる流入ステップを有することを特徴とする請求項９記載の圧力制御方法。
【請求項１１】
前記ロードロック室から前記熱処理室への流体の流量及び前記ＣＯＲ処理室から前記熱処理室への流体の流量が等しいことを特徴とする請求項１０記載の圧力制御方法。
【請求項１２】
前記ＣＯＲ処理を施した被処理体を前記ＣＯＲ処理室から搬出した後に、前記熱処理室及び前記ＣＯＲ処理室を排気して前記ＣＯＲ処理室の圧力をＥＳＣ残留電荷除去のための除電圧力にする排気ステップを有することを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか１項に記載の圧力制御方法。
【請求項１３】
被処理体を処理する被処理体処理装置において、
前記被処理体に第１の処理を施す第１の処理室と、
該第１の処理室と連通自在に連結され且つ前記被処理体に第２の処理を施す第２の処理室と、
前記複数の処理室の間に介在して前記複数の処理室のそれぞれと連通自在に連結されると共に、前記被処理体を前記複数処理室のそれぞれとの間で搬出入する搬送機構を有するロードロック室とを備えることを特徴とする被処理体処理装置。
【請求項１４】
前記第２の処理室は、前記第１の処理が施された被処理体に冷却処理を施すための冷却処理室であることを特徴とする請求項１３記載の被処理体処理装置。
【請求項１５】
前記第１の処理室は常時に真空状態にあり、且つ前記第２の処理室は常時に大気圧状態にあることを特徴とする請求項１４記載の被処理体処理装置。
【請求項１６】
前記ロードロック室は前記第１の処理室及び前記第２の処理室と列をなす位置に配置されたことを特徴とする請求項１５記載の被処理体処理装置。
【請求項１７】
ロードロック室と、被処理体に真空処理を施す真空処理室と、前記真空処理が施された被処理体に冷却処理を施す大気処理室とを少なくとも有する被処理体処理装置の被処理体処理方法であって、
大気搬送モジュールから被処理体を前記ロードロック室に搬入するロードロック室搬入ステップと、
前記ロードロック室搬入ステップの後に前記ロードロック室を真空引きする第１の真空／大気の切換ステップと、
前記第１の真空／大気の切換ステップの後に、前記被処理体を前記真空処理室に搬入する真空処理室搬入ステップと、
前記真空処理室に搬入された被処理体に前記真空処理を施す真空処理ステップと、
前記真空処理が施された被処理体を前記ロードロック室に搬出するロードロック室搬出ステップと、
前記ロードロック室搬出ステップの後に前記ロードロック室を大気開放する第２の真空／大気の切換ステップと、
前記ロードロック室から前記被処理体を前記大気処理室に搬出する大気処理室搬出ステップと、
前記大気処理室に搬出された被処理体に前記冷却処理を施す大気処理ステップと、
前記冷却処理が施された被処理体を前記大気搬送モジュールに搬出する大気搬送モジュール搬出ステップとを有することを特徴とする被処理体処理方法。
【請求項１８】
被処理体を搬送する搬送手段を有するロードロック室と、前記被処理体に真空処理を施す真空処理室と、前記真空処理を受けた被処理体に熱処理を施す熱処理室とを少なくとも有する被処理体処理装置における前記搬送手段の被処理体搬送方法であって、
前記被処理体を前記ロードロック室に搬入するロードロック室搬入ステップと、
前記ロードロック室搬入ステップの後に前記ロードロック室を真空引きする真空引きステップと、
前記真空引きが終了した後に、前記被処理体を前記真空処理室に搬入する真空処理室搬入ステップと、
前記真空処理室搬入ステップの後に、前記真空処理を開始する真空処理開始ステップと、
前記真空処理が終了してから前記被処理体を前記真空処理室から前記熱処理室に移動させる第１の移動ステップと、
前記熱処理室で前記熱処理を開始する熱処理開始ステップと、
前記熱処理が終了した後に前記熱処理室の前記被処理体を前記ロードロック室に移す第２の移動ステップと、
大気搬送モジュール側のゲートを開き、前記被処理体を前記大気搬送モジュールに搬出する大気搬送モジュール搬出ステップとを有することを特徴とする被処理体搬送方法。
【請求項１９】
第１の載置台を有し、該第１の載置台に載置された被処理体に熱処理を施す熱処理室と、第２の載置台を有し、該第２の載置台に載置された前記被処理体に真空処理を施す真空処理室と、前記複数の処理室と連通するように配設され且つ前記被処理体を搬送する搬送手段を有するロードロック室と、前記搬送手段を制御する制御装置とを備え、前記搬送手段が前記被処理体を保持すると共に前記複数の処理室内を自在に移動する被処理体保持部を有し、前記被処理体保持部が前記被処理体の有無に関する情報を検知する第１の検知手段を有し、前記第１及び第２の載置台のうち少なくとも１つが、前記被処理体の有無に関する情報を検知する第２の検知手段を有し、前記制御装置が前記検知された情報に基づいて前記被処理体の位置を検出する被処理体処理装置における前記搬送手段の被処理体搬送方法であって、
初期位置における前記被処理体の中心及び前記載置台の中心の第１の相対的な位置関係を検出する第１の位置関係検出ステップと、
前記検出された第１の相対的な位置関係に基づいて前記被処理体の搬送経路を決定し且つ該決定された搬送経路に沿って前記被処理体を搬送する搬送ステップと、
前記載置台へ搬送された前記被処理体の中心及び前記初期位置における前記被処理体の中心の第２の相対的な位置関係を検出する第２の位置関係検出ステップと、
前記第１及び第２の相対的な位置関係の差に基づいて前記被処理体の位置を補正する位置補正ステップとを有することを特徴とする被処理体搬送方法。
【請求項２０】
前記位置を補正された被処理体の基準面の位置を所定の位置に合わせるべく前記被処理体保持部が前記被処理体を保持したまま回転する被処理体保持部回転ステップを有することを特徴とする請求項１９記載の被処理体搬送方法。
【請求項２１】
前記初期位置における前記被処理体の中心は、搬送前の前記ロードロック室における前記被処理体の中心であることを特徴とする請求項１９又は２０記載の被処理体搬送方法。
【請求項２２】
第１の載置台を有し、該第１の載置台に載置された被処理体に熱処理を施す熱処理室に連通するように連結されると共に、第２の載置台を有し、該第２の載置台に載置された前記被処理体に真空処理を施す真空処理室に前記熱処理室を介して連通するように連結され、前記被処理体を搬送する搬送手段を有するロードロック室を備え、前記搬送手段は、少なくとも２つの腕状部材からなり、該２つの腕状部材は互いに一端同士が回転自在に接続される搬送アームと、前記２つの腕状部材のうち一方の腕状部材における他端に接続され且つ前記被処理体を保持する被処理体保持部とを有する被処理体処理装置における前記搬送手段の被処理体搬送方法であって、
前記被処理体保持部が前記一方の腕状部材における前記他端を中心として前記被処理体の表面と平行に回転すると共に、前記一方の腕状部材が前記一端を中心として前記表面と平行に回転し且つ他の腕状部材が他端を中心として前記表面と平行に回転する被処理体移動ステップを有することを特徴とする被処理体搬送方法。
【請求項２３】
前記被処理体移動ステップでは、前記第１及び第２の載置台の配列方向に沿って前記被処理体を移動させるべく前記２つの腕状部材及び前記被処理体保持部が協動して回転することを特徴とする請求項２２記載の被処理体搬送方法。
【請求項２４】
第１の載置台を有し、該第１の載置台に載置された被処理体に熱処理を施す熱処理室に連通するように連結されると共に、第２の載置台を有し、該第２の載置台に載置された前記被処理体に真空処理を施す真空処理室に前記熱処理室を介して連通するように連結されるロードロック室に配設される搬送装置において、
少なくとも２つの腕状部材からなり、該２つの腕状部材は互いに一端同士が回転自在に接続される搬送アームと、前記２つの腕状部材のうち一方の腕状部材における他端に接続
され且つ前記被処理体を保持する被処理体保持部とを備え、
前記被処理体保持部が前記一方の腕状部材における前記他端を中心として前記被処理体の表面と平行に回転すると共に、前記一方の腕状部材が前記一端を中心として前記表面と平行に回転し且つ他の腕状部材が他端を中心として前記表面と平行に回転することを特徴とする搬送装置。
【請求項２５】
前記第１及び第２の載置台の配列方向に沿って前記被処理体を移動させるべく前記２つの腕状部材及び前記被処理体保持部が協動して回転することを特徴とする請求項２４記載の搬送装置。
【請求項２６】
前記搬送アームは、前記第２の処理室が前記被処理体を収容している間に、他の被処理体を前記第１の処理室へ搬入することを特徴とする請求項１記載の被処理体処理装置。
【請求項２７】
前記搬送アームは、前記１つのロードロック室が前記被処理体を収容している間に、他の被処理体を前記第１の処理室から前記第２の処理室へ搬送することを特徴とする請求項１記載の被処理体処理装置。
【請求項２８】
前記搬送アームは、前記真空処理室が前記被処理体を収容している間に、他の被処理体を前記ＣＯＲ処理室へ搬入することを特徴とする請求項２記載の被処理体処理装置。
【請求項２９】
前記搬送アームは、前記１つのロードロック室が前記被処理体を収容している間に、他の被処理体を前記ＣＯＲ処理室から前記真空処理室へ搬送することを特徴とする請求項２記載の被処理体処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
上記目的を達成するために、請求項１記載の被処理体処理装置は、被処理体を処理する被処理体処理装置において、連通自在且つ隣接して連結された、前記被処理体を処理する第１及び第２の処理室と、前記第２の処理室と連通自在且つ隣接して連結され、前記被処理体を前記第１及び第２の処理室のそれぞれの間で搬出入する搬送アーム並びに前記被処理体を保持する被処理体保持部を備えた１つのロードロック室とを備え、前記第２の処理室は真空処理室であり、前記１つのロードロック室は前記第１及び第２の処理室と縦列をなす位置に配置されることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
上記目的を達成するために、請求項２記載の被処理体処理装置は、被処理体を処理する被処理体処理装置において、連通自在且つ隣接して連結された、前記被処理体にＣＯＲ処理を施すＣＯＲ処理室及び前記被処理体に他の処理を施す真空処理室と、前記真空処理室と連通自在且つ隣接して連結され、前記被処理体を前記ＣＯＲ処理室及び前記真空処理室のそれぞれの間で搬出入する搬送アーム並びに前記被処理体を保持する被処理体保持部を備えた１つのロードロック室とを備えることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項３記載の被処理体処理装置は、請求項２記載の被処理体処理装置において、前記真空処理室は、前記ＣＯＲ処理が施された被処理体に熱処理を施すための熱処理室であることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項５記載の被処理体処理装置は、請求項２乃至４のいずれか１項に記載の被処理体処理装置において、前記１つのロードロック室は、前記ＣＯＲ処理室及び前記真空処理室と縦列をなす位置に配置されたことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
上記目的を達成するために、請求項１７記載の被処理体処理装置の被処理体処理方法は、ロードロック室と、被処理体に真空処理を施す真空処理室と、前記真空処理が施された被処理体に冷却処理を施す大気処理室とを少なくとも有する被処理体処理装置の被処理体処理方法であって、大気搬送モジュールから被処理体を前記ロードロック室に搬入するロードロック室搬入ステップと、前記ロードロック室搬入ステップの後に前記ロードロック室を真空引きする第１の真空／大気の切換ステップと、前記第１の真空／大気の切換ステップの後に、前記被処理体を前記真空処理室に搬入する真空処理室搬入ステップと、前記真空処理室に搬入された被処理体に前記真空処理を施す真空処理ステップと、前記真空処理が施された被処理体を前記ロードロック室に搬出するロードロック室搬出ステップと、前記ロードロック室搬出ステップの後に前記ロードロック室を大気開放する第２の真空／大気の切換ステップと、前記ロードロック室から前記被処理体を前記大気処理室に搬出する大気処理室搬出ステップと、前記大気処理室に搬出された被処理体に前記冷却処理を施す大気処理ステップと、前記冷却処理が施された被処理体を前記大気搬送モジュールに搬出する大気搬送モジュール搬出ステップとを有することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
請求項２５記載の搬送装置は、請求項２４記載の搬送装置において、前記第１及び第２の載置台の配列方向に沿って前記被処理体を移動させるべく前記２つの腕状部材及び前記被処理体保持部が協動して回転することを特徴とする。
請求項２６記載の被処理体処理装置は、請求項１記載の被処理体処理装置において、前記搬送アームは、前記第２の処理室が前記被処理体を収容している間に、他の被処理体を前記第１の処理室へ搬入することを特徴とする。
請求項２７記載の被処理体処理装置は、請求項１記載の被処理体処理装置において、前記搬送アームは、前記１つのロードロック室が前記被処理体を収容している間に、他の被処理体を前記第１の処理室から前記第２の処理室へ搬送することを特徴とする。
請求項２８記載の被処理体処理装置は、請求項２記載の被処理体処理装置において、前記搬送アームは、前記真空処理室が前記被処理体を収容している間に、他の被処理体を前記ＣＯＲ処理室へ搬入することを特徴とする。
請求項２９記載の被処理体処理装置は、請求項２記載の被処理体処理装置において、前記搬送アームは、前記１つのロードロック室が前記被処理体を収容している間に、他の被処理体を前記ＣＯＲ処理室から前記真空処理室へ搬送することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
請求項１記載の被処理体処理装置によれば、被処理体を処理する第１及び第２の処理室が連通自在且つ隣接して連結され、第２の処理室は真空処理室であり、第１及び第２の処理室のそれぞれの間で搬出入する搬送アーム並びに被処理体を保持する被処理体保持部を備えたロードロック室が、第２の処理室と連通自在且つ隣接して連結されているので、第１及び第２の処理室間での被処理体の搬出入の動作を簡易化でき、もって真空処理を含む複数の処理を効率良く行うことができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
請求項２記載の被処理体処理装置によれば、被処理体にＣＯＲ処理を施すＣＯＲ処理室及び被処理体に他の処理を施す真空処理室が連通自在且つ隣接して連結され、ＣＯＲ処理室及び真空処理室のそれぞれの間で搬出入する搬送アーム並びに被処理体を保持する被処理体保持部を備えたロードロック室が、真空処理室と連通自在且つ隣接して連結されているので、ＣＯＲ処理室及び真空処理室間での被処理体の搬出入の動作を簡易化でき、もって複数の処理を効率良く行うことができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
請求項３記載の被処理体処理装置によれば、真空処理室はＣＯＲ処理が施された被処理体に熱処理を施すための熱処理室であり、該熱処理室はＣＯＲ処理室と連通自在且つ隣接して連結されているので、ＣＯＲ処理後の熱処理を効率良く行うことができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
請求項５記載の被処理体処理装置によれば、１つのロードロック室はＣＯＲ処理室及び真空処理室と縦列をなす位置に配置されているので、被処理体の搬出入の動作をより簡易化でき、もって、ＣＯＲ処理及び熱処理を含む複数の処理をなおより効率良く行うことができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
請求項２５記載の搬送装置によれば、第１及び第２の載置台の配列方向に沿って被処理体を移動させるべく２つの腕状部材及び被処理体保持部が協動して回転するので、被処理体の搬送経路を短くすることができ、搬送作業の効率をより向上することができる。
請求項２６記載の被処理体処理装置によれば、搬送アームは、第２の処理室が被処理体を収容している間に、他の被処理体を第１の処理室へ搬入するので、一連の処理間に無駄な時間が生じることなく、複数の処理を効率良く行うことができる。
請求項２７記載の被処理体処理装置によれば、搬送アームは、１つのロードロック室が被処理体を収容している間に、他の被処理体を第１の処理室から第２の処理室へ搬送するので、一連の処理間に無駄な時間が生じることなく、複数の処理を効率良く行うことができる。
請求項２８記載の被処理体処理装置によれば、搬送アームは、真空処理室が被処理体を収容している間に、他の被処理体をＣＯＲ処理室へ搬入するので、一連の処理間に無駄な時間が生じることなく、複数の処理を効率良く行うことができる。
請求項２９記載の被処理体処理装置によれば、搬送アームは、１つのロードロック室が被処理体を収容している間に、他の被処理体をＣＯＲ処理室から真空処理室へ搬送するので、一連の処理間に無駄な時間が生じることなく、複数の処理を効率良く行うことができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
図１において、真空処理装置１００は、半導体ウエハ等の被処理体を処理する第１の真空処理室１０（第１の処理室）、この第１の真空処理室１０と連通自在且つ隣接して連結された、被処理体を処理する第２の真空処理室３０（第２の処理室）、これらと縦列をなす位置で第２の真空処理室３０に連通自在に連結されたロードロック室５０、及びロードロック室５０に連通自在に連結された大気搬送モジュール（ＬｏａｄｅｒＭｏｄｕｌｅ）７０を備えている。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
ロードロック室５０の内部には、被処理体の受け渡しをするために搬送中の被処理体を保持する被処理体保持部５１並びに当該被処理体保持部５１を第１の真空処理室１０、第２の真空処理室３０及び大気搬送モジュール７０に搬送する搬送機構５２（搬送アーム）が配設されている。被処理体を保持している被処理体保持部５１を搬送機構５２が搬送することにより、被処理体を第１の真空処理室１０、第２の真空処理室３０及び大気搬送モジュール７０の間で搬送し、受け渡しをすることができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
さらに、第１の真空処理室１０、第２の真空処理室３０及びロードロック室５０には、被処理体の搬送経路に沿って各ゲートバルブ２１，４１及びドアーバルブ６１を挟んだ位置の各々に、位置センサユニット９０，９１，９２，９３，９４及び９５が配設される。各位置センサユニットは、被処理体の外縁に指向する３つの位置センサ、例えばレーザセンサからなり、各レーザセンサは上記外縁に向かって放射状に配置されるか、若しくは被処理体の外縁に対応した位置に配置され、被処理体の位置を検出するだけでなく、被処理体の中心位置をも検出する。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
図３の（１）に示すように、始めに、被処理体Ｗ１が大気搬送モジュール７０にあり、連結ユニット２０，４０のそれぞれのゲートバルブ２１，４１が閉じられており、ＣＯＲ処理室１０とＰＨＴ処理室３０とが隔離されている。一方、連結ユニット６０のドアーバルブ６１は開かれている。なお、被処理体Ｗ１は既に従来から有る処理によって表面に所定のパターンが形成されている。（２）に示すように、１枚目の被処理体Ｗ１を大気搬送モジュール７０からロードロック室５０に搬入し、連結ユニット６０のドアーバルブ６１を閉じる。次に、排気系圧力制御バルブ３４を閉じてロードロック室５０を真空引きする。ロードロック室５０の真空引きが終了した後に、（３）に示すように排気系圧力制御バルブ３４を開き、連結ユニット４０のゲートバルブ４１を開く。その後、連結ユニット２０のゲートバルブ２１を開く。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１４】
ロードロック室５０が設定圧力に到達した後、ロードロック室５０の排気バルブ（図示せず。ＬＬＭ排気バルブ）を閉じて、ＰＨＴ排気バルブ３４を開き、
ロードロック室５０内圧力＞ＰＨＴ処理室３０内圧力
となるように制御し、制御完了を確認後、ロードロック室５０‐ＰＨＴ処理室３０間のゲートバルブ４１（以下、ＰＨＴ側ゲートバルブ４１）を開いて、ロードロック室５０とＰＨＴ処理室３０とを連通させる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１７】
ＰＨＴ処理室３０内圧力＜ＣＯＲ処理室１０内圧力
となった時点で、ＣＯＲ処理室１０に取り付けられた排気系圧力制御バルブ１４（以下、
ＣＯＲ排気バルブ１４）を閉じ、ＰＨＴ処理室３０‐ＣＯＲ処理室１０間のゲートバルブ２１（以下、ＣＯＲ側ゲートバルブ２１）を開く。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１９】
３）１）に記述のシーケンスでＰＨＴ側ゲートバルブ４１を開き、ロードロック室５０とＰＨＴ処理室３０とを１モジュールと想定して、（２）に記述のシーケンスでＣＯＲ側ゲートバルブ２１を開く。ＰＨＴ側ゲートバルブ４１、ＣＯＲ側ゲートバルブ２１が開いた後も継続してＰＨＴ排気バルブ３４を開いておき、排気することにより、ＰＨＴ処理室３０内の雰囲気がロードロック室５０の内部、ＣＯＲ処理室１０の内部に回り込むことを防ぐことができる。