【手続補正書】
【提出日】平成19年6月29日(2007.6.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  光ビームを出射する光源と、
該光源の光ビーム出射強度を変調する変調手段と、
該変調手段に変調信号を出力する変調信号発生手段と、
該光源から出射した光ビームを偏向する光偏向器と、
該偏向された光ビームを往復走査すべく該光偏向器を駆動する駆動手段と、
該駆動手段に所定周期の駆動信号を出力する駆動信号発生手段と、
往復走査された光ビームの走査線上の特定位置を往路において通過する第１の時刻と復路において通過する第２の時刻とをそれぞれ計測する計測手段とを有する光偏向装置であって、
該光偏向装置が、さらに、
前記第１及び第２の時刻から、前記光偏向器の駆動信号の駆動波形に対する前記光偏向器の変位波形の遅延時間データを算出する遅延時間データ算出手段と、
前記第１及び第２の時刻と前記遅延時間データとから、光ビームの変調開始時刻または変調終了時刻に対応するタイミングデータを算出するタイミングデータ算出手段とを有し、
算出されたタイミングデータに基づいて、前記変調信号発生手段が前記変調手段に変調信号を出力することを特徴とする光偏向装置。
【請求項２】  光ビームを出射する光源と、
該光源の光ビーム出射強度を変調する変調手段と、
該変調手段に変調信号を出力する変調信号発生手段と、
該光源から出射した光ビームを偏向する光偏向器と、
偏向された光ビームを往復走査すべく該光偏向器を駆動する駆動手段と、
該駆動手段に所定周期の駆動信号を出力する駆動信号発生手段と、
往復走査された光ビームの走査線上の第１の特定位置を往路において通過する第１の時刻と復路において通過する第２の時刻と、
前記光ビームの走査線上の第２の特定位置を前記往路又は復路において通過する第３の時刻と、を計測する計測手段とを有する光偏向装置であって、
該光偏向装置が、さらに、
前記第１及び第２の時刻から、前記光偏向器の駆動信号の駆動波形に対する前記光偏向器の変位波形の遅延時間データを算出する遅延時間データ算出手段と、
前記第１乃至第３の時刻と前記遅延時間データとから、光ビームの変調開始時刻または変調終了時刻に対応するタイミングデータを算出するタイミングデータ算出手段とを有し、
算出されたタイミングデータに基づいて、前記変調信号発生手段が前記変調手段に変調信号を出力することを特徴とする光偏向装置。
【請求項３】  前記遅延時間データ算出手段が、前記第１及び第２の時刻と走査周期との線形計算により遅延時間データを算出する請求項１又は２に記載の光偏向装置。
【請求項４】  前記光偏向器の往復走査が対称振動であり、遅延時間データが、前記第１及び第２の時刻の平均値と走査周期との線形計算により算出される請求項３に記載の光偏向装置。
【請求項５】  前記光偏向器の往復走査がのこぎり波振動であり、遅延時間データが、前記第１及び第２の時刻の、往復それぞれの走査速度による加重平均値と、走査周期との線形計算により算出される請求項１又は２に記載の光偏向装置。
【請求項６】  前記駆動信号発生手段が、算出された遅延時間データに基づき、駆動手段に駆動信号を出力する請求項１又は２に記載の光偏向装置。
【請求項７】  前記第１及び第２の時刻から、走査周期を算出する走査周期算出手段をさらに有する請求項１又は２に記載の光偏向装置。
【請求項８】  前記計測手段が、光偏向器によって偏向された光ビームをビームスプリッタによって分離した一方の光ビームの走査線上の特定位置の通過時刻を計測することで、他方の光ビームの走査線上の特定位置の通過時刻を間接に計測する請求項１又は２に記載の光偏向装置。
【請求項９】  前記計測手段が、前記光ビームの走査線上の特定位置の通過時刻を、前記光偏向器に前記光ビームとは異なる角度で入射する別の光ビームの走査線上の特定位置の通過時刻を計測することにより、間接に計測する請求項１又は２に記載の光偏向装置。
【請求項１０】  前記タイミングデータ算出手段が、タイミングデータの算出において、前記往路における特定位置と前記復路における特定位置と、光ビームの変調開始位置または変調終了位置とをパラメータとして用いる請求項１に記載の光偏向装置。
【請求項１１】  前記光偏向装置が、さらに、
前記第１及び第２の時刻と、前記算出された遅延時間データとから、光偏向器の最大偏向角に対応する振幅データを算出する振幅データ算出手段を有し、
前記駆動信号発生手段が、前記算出された遅延時間データと前記振幅データとに基づいて駆動信号の周期を増加もしくは減少させて、前記駆動手段に駆動信号を出力する請求項１又は２に記載の光偏向装置。
【請求項１２】  前記タイミングデータ算出手段が、タイミングデータの算出において、通過時間を計測する第１と第２の特定位置の相対位置と、光ビームの走査線上の変調開始位置または変調終了位置の投影面上の基準位置に対する相対位置をパラメータとして用いる請求項２に記載の光偏向装置。
【請求項１３】 前記タイミングデータ算出手段が、ｄ１を第１の時刻、ｔｄ２を第２の時刻、Ｔを走査周期、遅延時間をＤｃ＝（１／４）（２ｔｄ１＋２ｔｄ２−Ｔ）、最大変位角をθｃ＝φ／ｓｉｎ｛（π／Ｔ）（ｔｄ１−ｔｄ２＋Ｔ／２）｝、とした場合、
変調開始時刻ｔＡ、及び変調終了時刻ｔＢをそれぞれ、
ｔＡ＝（Ｔ／２π）（ａｒｃｓｉｎ（φＡ／θｃ）＋Ｄｃ）、
ｔＢ＝（Ｔ／２π）（ａｒｃｓｉｎ（φＢ／θｃ）＋Ｄｃ）、
によりを算出する請求項１に記載の光偏向装置。
【請求項１４】 光源からの光ビームを往復走査する光偏向器の駆動方法であって、
往復走査された光ビームの走査線上の特定位置を往路において通過する第１の時刻と復路において通過する第２の時刻とをそれぞれ計測する工程と、
前記第１及び第２の時刻から、前記光偏向器の駆動信号の駆動波形に対する前記光偏向器の変位波形の遅延時間を算出する工程と、
前記第１及び第２の時刻と前記遅延時間とから、光ビームの変調開始時刻または変調終了時刻に対応するタイミングデータを算出する工程と、
前記タイミングデータに基づいて前記光源からの光ビームを変調する工程と、を有することを特徴とする光偏向器の駆動方法。
【請求項１５】 光源からの光ビームを往復走査する光偏向器の駆動方法であって、
往復走査された光ビームの走査線上の第１の特定位置を往路において通過する第１の時刻と復路において通過する第２の時刻と、前記光ビームの走査線上の第２の特定位置を前記往路又は復路において通過する第３の時刻と、を計測する工程と、
前記第１及び第２の時刻から、前記光偏向器の駆動信号の駆動波形に対する前記光偏向器の変位波形の遅延時間を算出する工程と、
前記第１乃至第３の時刻と前記遅延時間とから、光ビームの変調開始時刻または変調終了時刻に対応するタイミングデータを算出する工程と、
前記タイミングデータに基づいて前記光源からの光ビームを変調する工程と、を有することを特徴とする光偏向器の駆動方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成する本発明は、光ビームを出射する光源と、該光源の光ビーム出射強度を変調する変調手段と、該変調手段に変調信号を出力する変調信号発生手段と、該光源から出射した光ビームを偏向する光偏向器と、該偏向された光ビームを往復走査すべく該光偏向器を駆動する駆動手段と、該駆動手段に所定周期の駆動信号を出力する駆動信号発生手段と、往復走査された光ビームの走査線上の特定位置を往路において通過する第１の時刻と復路において通過する第２の時刻とをそれぞれ計測する計測手段とを有する光偏向装置であって、該光偏向装置が、さらに、前記第１及び第２の時刻から、前記光偏向器の駆動信号の駆動波形に対する前記光偏向器の変位波形の遅延時間データを算出する遅延時間データ算出手段と、前記第１及び第２の時刻と前記遅延時間データとから、光ビームの変調開始時刻または変調終了時刻に対応するタイミングデータを算出するタイミングデータ算出手段とを有し、算出されたタイミングデータに基づいて、前記変調信号発生手段が前記変調手段に変調信号を出力することを特徴とする光偏向装置を提供する。
また、上記の目的を達成する本発明は、光ビームを出射する光源と、該光源の光ビーム出射強度を変調する変調手段と、該変調手段に変調信号を出力する変調信号発生手段と、該光源から出射した光ビームを偏向する光偏向器と、偏向された光ビームを往復走査すべく該光偏向器を駆動する駆動手段と、該駆動手段に所定周期の駆動信号を出力する駆動信号発生手段と、往復走査された光ビームの走査線上の第１の特定位置を往路において通過する第１の時刻と復路において通過する第２の時刻と、前記光ビームの走査線上の第２の特定位置を前記往路又は復路において通過する第３の時刻と、を計測する計測手段とを有する光偏向装置であって、該光偏向装置が、さらに、前記第１及び第２の時刻から、前記光偏向器の駆動信号の駆動波形に対する前記光偏向器の変位波形の遅延時間データを算出する遅延時間データ算出手段と、前記第１乃至第３の時刻と前記遅延時間データとから、光ビームの変調開始時刻または変調終了時刻に対応するタイミングデータを算出するタイミングデータ算出手段とを有し、算出されたタイミングデータに基づいて、前記変調信号発生手段が前記変調手段に変調信号を出力することを特徴とする光偏向装置を提供する。
また、上記の目的を達成する本発明は、光源からの光ビームを往復走査する光偏向器の駆動方法であって、往復走査された光ビームの走査線上の特定位置を往路において通過する第１の時刻と復路において通過する第２の時刻とをそれぞれ計測する工程と、前記第１及び第２の時刻から、前記光偏向器の駆動信号の駆動波形に対する前記光偏向器の変位波形の遅延時間を算出する工程と、前記第１及び第２の時刻と前記遅延時間とから、光ビームの変調開始時刻または変調終了時刻に対応するタイミングデータを算出する工程と、前記タイミングデータに基づいて前記光源からの光ビームを変調する工程と、を有することを特徴とする光偏向器の駆動方法を提供する。
また、上記の目的を達成する本発明は、光源からの光ビームを往復走査する光偏向器の駆動方法であって、往復走査された光ビームの走査線上の第１の特定位置を往路において通過する第１の時刻と復路において通過する第２の時刻と、前記光ビームの走査線上の第２の特定位置を前記往路又は復路において通過する第３の時刻と、を計測する工程と、前記第１及び第２の時刻から、前記光偏向器の駆動信号の駆動波形に対する前記光偏向器の変位波形の遅延時間を算出する工程と、前記第１乃至第３の時刻と前記遅延時間とから、光ビームの変調開始時刻または変調終了時刻に対応するタイミングデータを算出する工程と、
前記タイミングデータに基づいて前記光源からの光ビームを変調する工程と、を有することを特徴とする光偏向器の駆動方法を提供する。