Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月24日(2007.5.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空間内の異なる位置に設けられた複数のスピーカからマルチチャンネル信号を出力するスピーカシステムにおいて、
前記空間の少なくとも１つの座席に設けられるスピーカと、
前記座席に設けられたスピーカから前記マルチチャンネル信号のうちセンター信号成分のみを出力することを特徴とするスピーカシステム。
【請求項２】
前記空間内には複数の座席が配置されており、各座席に設けられたスピーカから前記マルチチャンネル信号のうちセンター信号成分のみを出力することを特徴とする、請求項１に記載のスピーカシステム。
【請求項３】
前記複数のスピーカは、空間内の前部に設けられたセンタースピーカを含み、
前記センタースピーカから前記センター信号成分を出力することを特徴とする、請求項１に記載のスピーカシステム。
【請求項４】
前記複数のスピーカは、空間内の左右前部に設けられた左右のフロントスピーカを含み、
前記センター信号成分を前記左右のフロントスピーカに振り分けて出力することを特徴とする、請求項１又は２に記載のスピーカシステム。
【請求項５】
前記座席に設けられるスピーカはシートモジュールスピーカであることを特徴とする、請求項１又は２に記載のスピーカシステム。
【請求項６】
前記マルチチャンネル信号が、映画系ソフトであると判断された場合に、前記センター信号成分を前記座席に設けられたスピーカから出力することを特徴とする、請求項１又は２に記載のスピーカシステム。
【請求項７】
前記マルチチャンネル信号が、映画系ソフトでないと判断された場合に、サラウンド信号成分又は主信号成分を前記座席に設けられたスピーカから出力することを特徴とする、請求項１又は２に記載のスピーカシステム。
【請求項８】
前記マルチチャンネル信号は、モノラル信号もしくは２チャンネルのステレオ信号から生成された少なくともセンター信号成分を含むマルチチャンネル信号であることを特徴とする、請求項１又は２に記載のスピーカシステム。
【請求項９】
空間内の異なる位置に設けられた複数のスピーカからマルチチャンネル信号を出力するスピーカシステムにおいて、
前記空間内の少なくとも１つの座席に設けられたスピーカと、
前記座席に設けられたスピーカから前記マルチチャンネル信号のうちセリフを含む信号成分のみを出力することを特徴とするスピーカシステム。
【請求項１０】
前記空間内には複数の座席が配置されており、各座席に設けられたスピーカから前記マルチチャンネル信号のうちセリフを含む信号成分のみを出力することを特徴とする、請求項９に記載のスピーカシステム。
【請求項１１】
空間内の異なる位置に設けられた複数のスピーカにマルチチャンネル信号を出力する音声信号再生装置において、
前記空間内の少なくとも１つの座席に設けられるスピーカに前記マルチチャンネル信号のうちセンター信号成分のみを出力することを特徴とする音声信号再生装置。
【請求項１２】
前記空間内には複数の座席が配置されており、各座席に設けられたスピーカに前記マルチチャンネル信号のうちセンター信号のみを出力することを特徴とする、請求項１１に記載の音声信号再生装置。
【請求項１３】
空間内の異なる位置に設けられた複数のスピーカにマルチチャンネル信号を出力する音声信号再生装置において、
前記空間内の少なくとも１つの座席に設けられたスピーカに、前記マルチチャンネル信号のうちセリフを含む信号成分のみを出力することを特徴とする音声信号再生装置。
【請求項１４】
前記空間内には複数の座席が配置されており、各座席に設けられたスピーカに前記マルチチャンネル信号のうちセリフを含む信号成分のみを出力することを特徴とする、請求項１３に記載の音声信号再生装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】スピーカシステム及び音声信号再生装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、音声信号再生装置に関し、特にスピーカシステムに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記のように、近年、車載用としてのマルチチャンネルシステムが普及しつつあり、車室内において映画館のような臨場感のある音声を楽しむことができるようになってきている。しかし、従来の車載用５．１マルチサラウンドシステムでは、映画等のＤＶＤ再生時に俳優の台詞等の画面のセンターから発する音声が主音声やサラウンド音声に埋もれて聞こえにくくなることが多い。
本発明は、映画等の再生時に俳優の台詞等の画面のセンターから発せられる音声が明確に聞こえるスピーカシステム及び音声信号再生装置を提供するものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明によれば、センター信号成分は座席に設けた左右の補助スピーカからそれぞれ再生出力されるので、車室内のマルチサラウンド再生環境下における映画等の観賞時において、センター信号成分に含まれる登場人物の台詞を明瞭に聞くことができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月3日(2007.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テレビジョン放送信号を受信する受信手段と、受信したテレビジョン放送信号に所定の信号処理を施してテレビジョン信号を復元する信号処理手段と、前記信号処理手段で復元されたテレビジョン信号の映像信号を表示する映像表示手段と、前記信号処理手段で処理されたテレビジョン信号を記録し、かつ再生するＨＤＤと、を備えたテレビジョン放送受信装置において、
前記ＨＤＤに冷却空気を送るように設けられた電動ファンと、
前記ＨＤＤのアクセス状況を監視し、非アクセス時間が所定時間以上となったときに前記電動ファンを停止させる第１の動作態様を実行させるように制御する制御手段と、
を具備したことを特徴とするテレビジョン放送受信装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記ＨＤＤに対して前記テレビジョン信号の記録を開始させると共に、記録開始から所定時間後に当該記録を継続させつつ前記記録したテレビジョン信号をその記録開始位置から順次再生して、再生したテレビジョン信号の映像信号を前記映像表示手段で表示させる第２の動作態様を実行させるように制御し、
前記制御手段に前記第２の動作態様を実行させるか否か、および当該第２の動作態様を実行させる際に、前記第１の動作態様を実行させるか否かの設定を行う設定手段を具備したことを特徴とする請求項１に記載のテレビジョン放送受信装置。
【請求項３】
前記設定手段は、さらに前記所定時間値を設定するものであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のテレビジョン放送受信装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月9日(2007.3.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
導電性金属酸化物の薄膜32はスッパタリング法等により樹脂フィルム30上に形成し得る。スパッタ法による導電性金属酸化物の薄膜は、例えば次のようにして形成し得る。ターゲットとして酸化アンチモンドープ酸化錫、酸化錫ドープ酸化インジウムを用い、酸素量が３％以下の雰囲気下でDCスパッタ法により、樹脂フィルム30の表面に厚さ50ミクロンメートルの導電性金属酸化物の薄膜32を形成する。
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月4日(2007.10.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
時系列データを所定の単位データ毎に順次暗号化を行ない、転送を順次行なう暗号化システムにおいて、
単位データを所定個数毎にまとめた複数のフレームデータの先頭のデータに、それぞれフレームチェックコードを設けるコード設定手段と、
前記フレームチェックコードに続き、前の単位データの暗号化の結果を次の単位データの暗号化に使用する暗号化処理を順次行ない、チェーン暗号化データを作成する暗号化手段と、
作成された前記各チェーン暗号化データを転送する転送手段とを有する暗号化装置と、
前記転送手段により転送される前記チェーン暗号化データを受信する受信手段と、
前記受信手段により受信したチェーン暗号化データについて、復号化処理を順次行ない、復号化データを作成する復号化手段とを備える復号化装置と、
を有することを特徴とする暗号化システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
所定の単位データ毎に暗号化された時系列データの復号を順次行なう復号化装置において、
前記単位データを所定個数毎にまとめた複数のフレームデータの先頭のデータに、それぞれフレームチェックコードが設けられ、前記フレームチェックコードに続き、前の単位データの暗号化の結果を次の単位データの暗号化に使用する暗号化処理が順次行なわれて作成されたチェーン暗号化データを受信する受信手段と、
前記受信手段により受信したチェーン暗号化データについて、復号化処理を順次行ない、復号化データを作成する復号化手段と、
を備えることを特徴とする復号化装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項９】
時系列データを所定の単位データ毎に順次暗号化を行ない、転送を順次行なう暗号化・復号化方法において、
単位データを所定個数毎にまとめた複数のフレームデータの先頭のデータに、それぞれフレームチェックコードを設けるステップと、
前記フレームチェックコードに続き、前の単位データの暗号化の結果を次の単位データの暗号化に使用する暗号化処理を順次行ない、チェーン暗号化データを作成するステップと、
前記チェーン暗号化データについて、復号化処理を順次行ない、復号化データを作成するステップと、
を有することを特徴とする暗号化・復号化方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明では上記問題を解決するために、図１に示すような暗号化システム１が提供される。この暗号化システム１は、時系列データを所定の単位データ毎に順次暗号化を行ない、転送を順次行なう暗号化システムであり、単位データを所定個数毎にまとめた複数のフレームデータの先頭のデータに、それぞれフレームチェックコードを設けるコード設定手段３と、前記フレームチェックコードに続き、前の単位データの暗号化の結果を次の単位データの暗号化に使用する暗号化処理を順次行ない、チェーン暗号化データを作成する暗号化手段４と、作成された前記各チェーン暗号化データを転送するインターフェース５とを有する暗号化装置１０と、インターフェース５により転送される前記チェーン暗号化データを受信するインターフェース６と、インターフェース６により受信したチェーン暗号化データについて、復号化処理を順次行ない、復号化データを作成する復号化手段８とを備える復号化装置２０と、を有することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2006279644.tif 000001
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2006279644.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月22日(2007.1.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スルーホールを有し、絶縁体よりなる基板と、
前記スルーホールの周囲に位置する前記基板の表面に設けられた導体パターンとを備え、
前記導体パターンと前記スルーホールとの間に、前記基板に達する開口を設けた、プリント配線基板。
【請求項２】
前記スルーホールを取り囲むように前記開口を設けた、請求項１に記載のプリント配線基板。
【請求項３】
前記スルーホールの周囲に複数の前記開口を設けた、請求項１に記載のプリント配線基板。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載のプリント配線基板を備えた電波受信用コンバータ。
【請求項５】
請求項４に記載の電波受信用コンバータと、受信電波を反射して前記電波受信用コンバータに導く反射用パラボラ部とを備えたアンテナ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】プリント配線基板、電波受信用コンバータおよびアンテナ装置
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月10日(2007.5.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光透過性材料からなる１本の発光管の内部にフィラメントが配設されてなるヒータにおいて、
前記フィラメントは、軸方向で複数に分割され、各分割されたフィラメントが、それぞれ独立に給電され、
前記各フィラメントに電気的に接続された給電線は、それぞれ前記発光管の端部に導出され、
前記給電線は、前記フィラメントに対向する箇所が絶縁管で被覆されてなることを特徴とするヒータ。
【請求項２】
前記複数のフィラメントの各々は、前記発光管の内壁と前記絶縁管の間に挟持されたアンカーによって支持されていることを特徴とする請求項１に記載のヒータ。
【請求項３】
前記各フィラメント間に、絶縁体が配設されたことを特徴とする請求項１に記載のヒータ。
【請求項４】
前記各フィラメントに電気的に接続された給電線は、それぞれ前記発光管の反対端部に導出されていることを特徴とする請求項１に記載のヒータ。
【請求項５】
前記各フィラメントに電気的に接続された給電線は、それぞれ前記発光管の同一端部に導出されていることを特徴とする請求項１に記載のヒータ。
【請求項６】
前記発光管は、その断面が長円形状を有することを特徴とする請求項１に記載のヒータ。
【請求項７】
請求項１に記載されているヒータを複数本並列配置してなることを特徴とする加熱装置。
【請求項８】
請求項１に記載されているヒータからなるランプユニットを有し、当該ランプユニットから放出される光を被処理物に照射して被処理物を加熱する加熱装置であって、
上記ランプユニットは上記ヒータが複数本並列配置してなることを特徴とする加熱装置。
【請求項９】
請求項１に記載されているヒータが複数本並列配置してなる第１のランプユニットと、請求項１に記載されているヒータが複数本並列配置してなる第２のランプユニットとを有し、当該第１のランプユニットおよび第２のランプユニットから放出される光を被処理物に照射して被処理物を加熱する加熱装置であって、
上記第１のランプユニットと上記第２のランプユニットとは互いに対向する位置に配置されていて、
上記第１のランプユニットを構成する各ヒータの軸方向と上記第２のランプユニットを構成する各ヒータの軸方向とは互いに交差していることを特徴とする加熱装置。
【請求項１０】
被処理物が上記第１のランプユニットと上記第２のランプユニットとの間の空間に配置されることを特徴とする請求項９に記載の加熱装置。
【請求項１１】
上記ランプユニットを構成するヒータの本数をｎ、各ヒータが有する分割されたフィラメントの個数をｍとするとき、上記ランプユニットが備えるｎ×ｍ個のフィラメントの少なくとも２つが共通の給電手段により給電されていることを特徴とする請求項８に記載の加熱装置。
【請求項１２】
上記第１のランプユニットを構成するヒータの本数をｎ１、上記ヒータが有する分割されたフィラメントの個数をｍ１とし、上記第２のランプユニットを構成するヒータの本数をｎ２、上記ヒータが有する分割されたフィラメントの個数をｍ２とするとき、上記第１のランプユニットおよび第２のランプユニットが備えるｎ１×ｍ１＋ｎ２×ｍ２個のフィラメントの少なくとも２つが共通の給電手段により給電されていることを特徴とする請求項９に記載の加熱装置。
【請求項１３】
各ヒータ毎にフィラメントの全長を被処理物に適合するよう変えたことを特徴とする請求項８に記載の加熱装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月16日(2006.11.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
層間接続用の導体ポストと、該導体ポストと接続するためのパッドを有する配線パターンと、該導体ポストと該パッドとを接合するための接合用金属材料層と、層間に存在する絶縁層を具備した多層配線板であって、該絶縁層の少なくとも一部が、１つ以上のフェノール性水酸基を有する樹脂（Ａ）と、その硬化剤として作用する樹脂（Ｂ）とを含む金属接合接着剤からなり、層間接続が金属接合であることを特徴とする多層配線板。
【請求項２】
接合用金属材料層が、半田からなることを特徴とする請求項１記載の多層配線板。
【請求項３】
導体ポストが、銅からなることを特徴とする請求項１または請求項２記載の多層配線板。
【請求項４】
フェノール性水酸基を有する樹脂（Ａ）が、フェノールノボラック樹脂、アルキルフェノールノボラック樹脂、レゾール樹脂、クレゾールノボラック樹脂及び、ポリビニルフェノール樹脂から選ばれる、少なくとも１種であることを特徴とする、請求項１ないし３のいずれかに記載の多層配線板。
【請求項５】
フェノール性水酸基を有する樹脂（Ａ）が、金属接合接着剤中に、２０ｗｔ％以上８０ｗｔ％以下で含むことを特徴とする、請求項１ないし４のいずれかに記載の多層配線板。
【請求項６】
金属接合接着剤が、エポキシ樹脂（Ｃ）と、イミダゾール環を有し且つエポキシ樹脂（Ｃ）の硬化剤として作用する化合物（Ｄ）とを、必須成分とすることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の多層配線板。
【請求項７】
硬化剤として作用する化合物（Ｄ）が、金属接合接着剤中に、１ｗｔ％以上１０ｗｔ％以下で含むことを特徴とする、請求項６記載の多層配線板。
【請求項８】
導体ポストを形成する工程と、前記導体ポストと接続するためのパッドを有する配線パターンを形成する工程と、前記導体ポストと前記パッドの少なくとも一方に接合用金属材料層を形成する工程と、絶縁層を形成する工程と、前記導体ポストが、前記絶縁層の少なくとも金属接合接着剤層部分を介して、前記接合用金属材料層により前記パッドと接合する工程、加熱により前記金属接合接着剤層を硬化させる工程、とを含んでなることを特徴とする多層配線板の製造方法。
【請求項９】
請求項８記載の製造方法により得られたことを特徴とする多層配線板。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、層間接続用の導体ポストと、該導体ポストと接続するためのパッドを有する配線パターンと、該導体ポストと該パッドとを接合するための接合用金属材料層と、層間に存在する絶縁層を具備した多層配線板であって、該絶縁層の少なくとも一部が、１つ以上のフェノール性水酸基を有する樹脂（Ａ）と、その硬化剤として作用する樹脂（Ｂ）とを含む金属接合接着剤からなり、層間接続が金属接合であることを特徴とする多層配線板である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の多層配線板の金属接合接着剤は、好ましくは、前記フェノール性水酸基を有する樹脂（Ａ）が、フェノールノボラック樹脂、アルキルフェノールノボラック樹脂、レゾール樹脂、クレゾールノボラック樹脂及び、ポリビニルフェノール樹脂から選ばれた、少なくとも１種であることが好ましく、また、前記フェノール性水酸基を有する樹脂（Ａ）が、金属接合接着剤中に、２０ｗｔ％以上８０ｗｔ％以下で含まれることが好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月16日(2007.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体に関連して設けられ上記被写体に関連する状況を表示する状況識別子を送信する状況識別子送信装置と、
上記状況識別子に関連付けて上記状況を記述する状況情報を管理する状況情報管理サーバ装置と、
上記被写体を撮影するとともに、撮影に関連して、上記状況識別子送信装置から送信される状況識別子を受信して記録する撮影装置と、
上記撮影装置により記録された状況識別子を用いて上記状況情報管理サーバ装置から上記状況情報を取得し上記撮影装置により撮影した撮影画像とともに管理する情報端末とを有することを特徴とする状況情報管理システム。
【請求項２】
上記撮影装置は音声やテキストの補助的な情報を入力する手段を有する請求項１記載の状況情報管理システム。
【請求項３】
上記撮影装置は上記情報端末をかねる請求項１または２記載の状況情報管理システム。
【請求項４】
上記状況は会議、展示会等のイベント内容である請求項１、２または３記載の状況情報管理システム。
【請求項５】
上記状況は、商品の展示である請求項１、２または３記載の状況情報管理システム。
【請求項６】
上記状況識別子送信装置は、上記状況識別子に加えて状況情報の少なくとも一部を送信し、上記撮影装置は上記状況識別子に加えて状況情報の少なくとも一部を記録する請求項１、２、３、４または５記載の状況情報管理システム。
【請求項７】
状況識別子に関連付けて状況を記述する状況情報を管理する状況情報管理サーバ装置とともに用いられ、被写体に関連して設けられ上記被写体に関連する状況を表示する状況識別子を送信する状況識別子送信装置。
【請求項８】
状況識別子に関連付けて状況を記述する状況情報を管理する状況情報管理サーバ装置と、被写体に関連して設けられ上記被写体に関連する状況を表示する状況識別子を送信する状況識別子送信装置とともに用いられる撮影装置において、
上記被写体を撮影する手段と、
撮影に関連して、上記状況識別子送信装置から送信される状況識別子を受信して記録する状況識別子記録手段とを有することを特徴とする撮影装置。
【請求項９】
状況識別子に関連付けて状況を記述する状況情報を管理する状況情報管理サーバ装置と、被写体に関連して設けられ上記被写体に関連する状況を表示する状況識別子を送信する状況識別子送信装置とともに用いられる撮影装置において、
上記被写体を撮影する手段と、
撮影に関連して、上記状況識別子送信装置から送信される状況識別子を受信して記録する状況識別子記録手段と、
上記状況識別子記録手段により記録された状況識別子を用いて上記状況情報管理サーバ装置から上記状況情報を取得し上記撮影手段により撮影した撮影画像とともに表示する表示手段とを有することを特徴とする撮影装置。
【請求項１０】
状況識別子に関連付けて状況を記述する状況情報を管理する状況情報管理サーバ装置と、被写体に関連して設けられ上記被写体に関連する状況を表示する状況識別子を送信する状況識別子送信装置とともに用いられるコンピュータを、
上記被写体を撮影する手段と、
撮影に関連して、上記状況識別子送信装置から送信される状況識別子を受信して記録する状況識別子記録手段と、
上記状況識別子記録手段により記録された状況識別子を用いて上記状況情報管理サーバ装置から上記状況情報を取得し上記撮影手段により撮影した撮影画像とともに表示する表示手段とのそれぞれとして機能させるための状況情報管理用コンピュータプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】状況情報管理装置および状況情報管理用コンピュータプログラム
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月14日(2007.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
耳の穴に適合する大きさに形成された開口付き挿入部を有する中空状の本体を具え、該本体内に挿入部の開口を経て空気振動として伝わってくる音声信号を取り込む１個のマイクロホンと、１つの放音孔以外は密閉状に形成されて外部送受信機から受信する音声信号を拡声する１個のスピーカとを有し、前記挿入部を耳の穴に挿入することにより着脱可能に耳に装着されて、外部送受信機と双方向通信を可能とするシステムであって、
前記スピーカは、放音孔が挿入部の開口を向いて設けられているとともに、該放音孔から開口に向けて同じ長さで同じ内径の放音道が２個以上の偶数倍で設けられており、
前記マイクロホンは、挿入部の開口に対して前記スピーカの放音孔より離れた位置に設けられているとともに、開口から集音する集音道がスピーカの放音道から開口を経て集音される音以外は集音不可能な材質で形成されて設けられていることを特徴とする発振・エコーキャンセラーシステム。
【請求項２】
前記スピーカの放音道及びマイクロホンの集音道は、それぞれ挿入部の開口の内径内に収まって、直線状に設けられている請求項１記載の発振・エコーキャンセラーシステム。
【請求項３】
前記マイクロホンの集音道は、その周囲に設けたゴムなど弾性体によって形成されている請求項１又は２記載の発振・エコーキャンセラーシステム。
【請求項４】
前記スピーカの放音道は、その周囲に設けた合成樹脂によって形成されている請求項１ないし３のいずれかに記載の発振・エコーキャンセラーシステム。
【請求項５】
前記スピーカ及びマイクロホンから延びる電気配線は、外部送受信機のイヤホーンジャック穴に挿入するイヤホーンジャックに接続されている請求項１ないし４のいずれかに記載の発振・エコーキャンセラーシステム。
【請求項６】
前記スピーカの出力が７０％以下に、マイクロホンの出力が１０分の１以下になるように出力を低減させる手段を有する請求項１ないし５のいずれかに記載の発振・エコーキャンセラーシステム。
【請求項７】
前記出力低減手段は、電気配線又は本体内に設けられている出力低減回路である請求項６記載の発振・エコーキャンセラーシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
前記目的を達成するため、請求項１の発明は、耳の穴に適合する大きさに形成された開口付き挿入部を有する中空状の本体を具え、該本体内に挿入部の開口を経て空気振動として伝わってくる音声信号を取り込む１個のマイクロホンと、１つの放音孔以外は密閉状に形成されて外部送受信機から受信する音声信号を拡声する１個のスピーカとを有し、前記挿入部を耳の穴に挿入することにより着脱可能に耳に装着されて、外部送受信機と双方向通信を可能とする発振・エコーキャンセラーシステムであって、前記スピーカは、放音孔が挿入部の開口を向いて設けられているとともに、該放音孔から開口に向けて同じ長さで同じ内径の放音道が２個以上の偶数倍で設けられており、前記マイクロホンは、挿入部の開口に対して前記スピーカの放音孔より離れた位置に設けられているとともに、開口から集音する集音道がスピーカの放音道から開口を経て集音される音以外は集音不可能な材質で形成されて設けられていることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月28日(2006.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮影時に第一の距離から第二の距離までの被写体撮影画像を複数枚記憶する画像データ記憶手段と、該画像データ記憶手段に記憶された撮影画像を表示する画像表示部と、該画像表示部上で少なくとも一つの任意の領域を指示する指示手段と、画像データ記憶手段の画像の中から指示した各々の領域において合焦位置と判断できる画像を抽出する抽出手段を有することを特徴とする電子撮像装置。
【請求項２】
上記抽出手段により抽出した画像を画像データ記憶手段に記録することを特徴とする請求項１記載の電子撮像装置。
【請求項３】
画像表示部上で指示した複数の領域において、前記抽出手段により夫々抽出した画像を一つの画像に合成する合成手段を有する請求項１記載の電子撮像装置。
【請求項４】
上記合成手段により合成した画像を画像データ記憶手段に記録することを特徴とする請求項３記載の電子撮像装置。
【請求項５】
指示した任意の領域を分割して記憶し、該領域を示す目印を画像と共に画像表示部上に表示することを特徴とする請求項１、３記載の電子撮像装置。
【請求項６】
指示した領域の画像を画像表示部上に拡大表示することを特徴とする請求項１記載の電子撮像装置。
【請求項７】
撮影時に第一の距離から第二の距離までの被写体撮影画像を複数枚記憶させる画像データ記憶手段と、該画像データ記憶手段に記憶された撮影画像を複数領域に分割する分割手段と、分割された全領域に対して合焦位置と判断できる画像を抽出し、自動で一つの画像に合成する機能を有する電子撮像装置。
【請求項８】
請求項１、７において第一の距離とは最短合焦位置であることを特徴とする電子撮像装置。
【請求項９】
請求項１、７において第二の距離とは無限遠合焦位置であることを特徴とする電子撮像装置。
【請求項１０】
請求項１、７において、合焦位置と判断できる画像とは指示された領域のコントラストが最も高い画像であることを特徴とする電子撮像装置。
【請求項１１】
請求項１、７において、合焦位置と判断できる画像とは指示された領域のデータサイズが圧縮されたデータの中で最も大きい画像であることを特徴とする電子撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
撮影時に第一の距離から第二の距離までの被写体撮影画像を複数枚記憶する画像データ記憶手段と、該画像データ記憶手段に記憶された撮影画像を表示する画像表示部と、該画像表示部上で少なくとも一つの任意の領域を指示する指示手段と、画像データ記憶手段の画像の中から指示した各々の領域において合焦位置と判断できる画像を抽出する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
撮影時に第一の距離から第二の距離までの被写体撮影画像を複数枚記憶させる画像データ記憶手段と、該画像データ記憶手段に記憶された撮影画像を複数領域に分割する分割手段と、分割された全領域に対して合焦位置と判断できる画像を抽出し、自動で一つの画像に合成する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月22日(2007.3.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】薄膜トランジスタ及び表示装置の作製方法、並びに薄膜トランジスタ、表示装置、テレビジョン装置及び電子機器
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹部を有する第１の導電層を形成し、
前記第１の導電層上に凹部を有する第１の絶縁層を形成し、
前記第１の絶縁層上に凹部を有する半導体層を形成し、
前記半導体層上に凹部を有する第２の絶縁層を形成し、
前記第２の絶縁層が有する前記凹部に導電性材料を含む組成物を吐出して第２の導電層を形成することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項２】
電気的に接続する第１の導電層及び第２の導電層を隣接して形成し、
前記第１の導電層及び前記第２の導電層上に、凹部を有する第１の絶縁層を形成し、
前記第１の絶縁層上に凹部を有する半導体層を形成し、
前記半導体層上に凹部を有する第２の絶縁層を形成し、
前記第２の絶縁層が有する前記凹部に導電性材料を含む組成物を吐出して第３の導電層を形成することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項３】
凹部を有する第１のゲート電極層を形成し、
前記第１のゲート電極層上に凹部を有する第１の絶縁層を形成し、
前記第１の絶縁層上に凹部を有する半導体層を形成し、
前記半導体層上に凹部を有する第２の絶縁層を形成し、
前記第２の絶縁層が有する前記凹部に導電性材料を含む組成物を吐出して第２のゲート電極層を形成し、
前記半導体層に電気的に接続してソース電極層及びドレイン電極層を形成することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項４】
電気的に接続する第１の導電層及び第２の導電層を隣接して形成することにより、第１のゲート電極層を形成し、
前記第１のゲート電極層上に、凹部を有する第１の絶縁層を形成し、
前記第１の絶縁層上に凹部を有する半導体層を形成し、
前記半導体層上に凹部を有する第２の絶縁層を形成し、
前記第２の絶縁層が有する前記凹部に導電性材料を含む組成物を吐出して第２のゲート電極層を形成し、
前記半導体層に電気的に接続してソース電極層及びドレイン電極層を形成することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一において、
前記凹部を溝状又は孔状に形成することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一に記載の薄膜トランジスタの作製方法を用いた表示装置の作製方法。
【請求項７】
凹部を有する第１の導電層と、
前記第１の導電層上の凹部を有する第１の絶縁層と、
前記第１の絶縁層上の凹部を有する半導体層と、
前記半導体層上の凹部を有する第２の絶縁層と、を有し、
前記第２の絶縁層が有する前記凹部上の第２の導電層と、
を有することを特徴とする薄膜トランジスタ。
【請求項８】
電気的に接続され、且つ隣接する第１の導電層及び第２の導電層と、
前記第１の導電層及び前記第２の導電層上の凹部を有する第１の絶縁層と、
前記第１の絶縁層上の凹部を有する半導体層と、
前記半導体層上の凹部を有する第２の絶縁層と、を有し、
前記第２の絶縁層が有する前記凹部上の第３の導電層と、
を有することを特徴とする薄膜トランジスタ。
【請求項９】
凹部を有する第１のゲート電極層と、
前記第１のゲート電極層上の凹部を有する第１の絶縁層と、
前記第１の絶縁層上の凹部を有する半導体層と、
前記半導体層上の凹部を有する第２の絶縁層と、
前記第２の絶縁層が有する前記凹部上の第２のゲート電極層と、
前記半導体層に接するソース電極層及びドレイン電極層と、
を有することを特徴とする薄膜トランジスタ。
【請求項１０】
電気的に接続する第１の導電層及び第２の導電層を隣接して含む第１のゲート電極層と、
前記第１のゲート電極層上の凹部を有する第１の絶縁層と、
前記第１の絶縁層上の凹部を有する半導体層と、
前記半導体層上の凹部を有する第２の絶縁層と、
前記第２の絶縁層が有する前記凹部上の第２のゲート電極層と、
前記半導体層に接するソース電極層及びドレイン電極層と、
を有することを特徴とする薄膜トランジスタ。
【請求項１１】
請求項７乃至１０のいずれか一において、
前記凹部は溝状又は孔状であることを特徴とする薄膜トランジスタ。
【請求項１２】
請求項７乃至１１のいずれか一に記載の薄膜トランジスタを用いた表示装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の表示装置を有するテレビジョン装置。
【請求項１４】
請求項１２に記載の表示装置を有する電子機器。
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月23日(2007.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップと、前記半導体チップと一端が電気的に接続される金属材料から成る複数のリードと、前記半導体チップおよび前記リードの一端を封止し、他端を外部に導出する封止材とを有する半導体装置に於いて、
前記半導体チップは、表から裏に渡り貫通するビアホールが設けられ、半導体チップの表側に位置する表面電極と前記半導体チップの裏面に位置する裏面電極が、前記ビアホールの側壁に設けられた電極を介して電気的に接続され、
前記裏面電極の位置まで延在された前記リードの一端が前記裏面電極と電気的に接続されて固着されることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
半導体チップと、前記半導体チップと一端が電気的に接続される金属材料から成る複数のリードと、前記半導体チップおよび前記リードの一端を封止し、他端を外部に露出する封止材とを有する半導体装置に於いて、
前記半導体チップは、表に設けられた表面電極と、前記表面電極が位置する領域に設けられ前記半導体チップの裏面から開口されたビアホールと、前記表面電極の裏面が前記ビアホール内で露出する様に、前記ビアホールおよび前記半導体チップの裏面に設けられた絶縁膜と、前記ビアホールに露出する表面電極と電気的に接続され、前記ビアホールの側壁から前記半導体チップの裏面へ延在する裏面電極とを有し、
前記裏面電極の位置まで延在された前記リードの一端が前記裏面電極と電気的に接続されて固着されることを特徴とした半導体装置。
【請求項３】
前記複数のリードの内、第１のリードの一端は、前記裏面電極の下方に位置し、前記裏面電極と電気的に接続され、
前記複数のリードの内、第２のリードの一端は、前記半導体チップのパッド電極と金属細線を介して接続される請求項１または請求項２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記半導体装置のビアホールに設けられる裏面電極は、ＣＶＤ法またはＭＯＣＶＤ法で形成される請求項１または請求項２に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記半導体装置から発生する熱は、前記リードをヒートシンクとし、前記リードを介して
放出される請求項１または請求項２に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記裏面電極は、ビアホールから前記半導体チップの裏面に延在する配線層と一体でなり、前記配線層の上に、前記リードと電気的に接続される突起電極が設けられる請求項１または請求項２に記載の半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月23日(2007.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上に形成されたパッド電極にコンタクトするように基板裏面から開口が形成され、この開口を介して前記パッド電極に配線層が形成されて成る半導体装置において、前記開口を完全に埋め込まない程度に配線層が形成され、前記開口を含まない前記基板裏面上に保護層が形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記保護層に形成された開口部を介して露出した前記配線層上に導電電極が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記半導体基板上に支持体が接着されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の半導体装置。
【請求項４】
半導体基板上に形成されたパッド電極にコンタクトするように基板裏面からエッチングして開口を形成し、この開口を介して前記パッド電極に接続された配線層を形成する半導体装置の製造方法において、前記開口を完全に埋め込まない程度に配線層を形成する工程と、前記開口を含まない前記基板裏面上に保護層を形成する工程とを具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記保護層に開口部を形成して露出させた配線層上に導電電極を形成する工程を具備することを特徴とする請求項４に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記半導体基板上に支持体を接着する工程を具備することを特徴とする請求項４または請求項５に記載の半導体装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、前記保護層に形成された開口部を介して露出させた配線層上に導電電極が形成されていることを特徴とするものである。
更に、前記半導体基板上に支持体が接着されていることを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、前記保護層に開口部を形成して露出させた配線層上に導電電極を形成する工程を具備することを特徴とするものである。
更に、前記半導体基板上に支持体を接着する工程を具備することを特徴とするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月23日(2007.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板をほぼ水平に保持する基板保持機構と、
処理液吐出口を有し、前記基板保持機構に保持された基板上に前記処理液吐出口から処理液を吐出する処理液吐出部と、
この処理液吐出部を保持する吐出部保持機構と、
この吐出部保持機構に保持された前記処理液吐出部に処理液を供給する処理液供給機構と、
前記処理液吐出部に設けられ、前記処理液供給機構から供給された処理液を一旦上方に導いた後に下方に導くアップ・ダウン流路を形成するアップ・ダウン流路形成部材とを含み、
前記処理液吐出部は、前記アップ・ダウン流路の出口に結合され、前記処理液吐出口を有するノズルヘッドを備えており、
このノズルヘッドは、前記アップ・ダウン流路の内壁から落下する液滴を受ける液滴受け部を有していることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記アップ・ダウン流路形成部材は、環状ループ形状の流路によって前記アップ・ダウン流路を形成しているものであることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記吐出部保持機構は、前記基板保持機構に保持された基板の上方でほぼ水平に揺動される揺動アームを備え、この揺動アームの先端部に前記処理液吐出部を保持するものであることを特徴とする請求項１または２記載の基板処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板（Ｗ）をほぼ水平に保持する基板保持機構（１１）と、処理液吐出口（４２ａ）を有し、前記基板保持機構に保持された基板上に前記処理液吐出口から処理液を吐出する処理液吐出部（１５）と、この処理液吐出部を保持する吐出部保持機構（１６）と、この吐出部保持機構に保持された前記処理液吐出部に処理液を供給する処理液供給機構と（１７）、前記処理液吐出部に設けられ、前記処理液供給機構から供給された処理液を一旦上方に導いた後に下方に導くアップ・ダウン流路（４５，７０，８０，９０）を形成するアップ・ダウン流路形成部材（２５，９６）とを含み、前記処理液吐出部は、前記アップ・ダウン流路の出口（たとえば、アップ・ダウン流路を処理液配管の先端部で形成する場合には当該処理液配管の先端）に結合され、前記処理液吐出口を有するノズルヘッド（４２，４２Ａ）を備えており、このノズルヘッドは、前記アップ・ダウン流路の内壁から落下する液滴を受ける液滴受け部（６２）を有していることを特徴とする基板処理装置である。なお、括弧内の英数字は後述の実施形態における対応構成要素等を表す。以下、この項において同じ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、処理液の分離は、常に、アップ流路とダウン流路との境界部において生じるから、処理液供給停止後に処理液吐出口から吐出される処理液の量が既知であり、これを見越して処理液の供給停止タイミングを定めることが可能である。このようにして、正確なタイミングで処理液の供給を停止できる。
さらに、ノズルヘッド内の液滴受け部において、アップ・ダウン流路の内壁の液滴を受けることができるので、この液滴がぼた落ちすることを防止できる。これにより、処理液のぼた落ちをより確実に抑制または防止できる。
たとえば、処理液として薬液を基板に供給する場合に、基板に対する薬液の供給を停止した後、処理液流路の内壁に付着した微量の薬液液滴が基板上に落下しても大きな問題はない。なぜなら、薬液処理後には純水等のリンス液によるリンス処理が行われるのが通常だからである。これに対して、基板に対する薬液処理の開始直前に処理液のプリディスペンスを行い、その後に、基板に対して処理液を供給するときは、処理液流路の内壁に付着した薬液の液滴が基板上に落下することは、基板面内における処理の均一性を損なうので、回避することが好ましい。このような場合に、この発明の構成を採用することによって、処理液による基板処理の開始直前における処理液の落下を確実に抑制または防止でき、基板の処理品質を向上できる。
前記アップ・ダウン流路形成部材は、処理液を供給する処理液配管の先端部分（４１）で構成してもよい。つまり、処理液配管の先端部分を整形することによって、アップ・ダウン流路を形成するようにしてもよい。また、アップ・ダウン流路形成部材は、内部にアップ・ダウン流路を形成した加工品（たとえばブロック状の部品）で構成してもよい。さらに、前記アップ・ダウン流路は、処理液配管の先端に結合されるノズルヘッド内に形成されてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項２記載の発明は、前記アップ・ダウン流路形成部材は、環状ループ形状の流路によって前記アップ・ダウン流路を形成しているものであることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置である。
アップ・ダウン流路は、環状ループ形状の流路で構成できるほか、上方に凸の略半円弧形状のループ形状の流路で構成してもよく、また、上下に波打ったジグザグ形状の流路（たとえば、上に凸の略半円弧形状の第１ループ部と、下に凸の略半円弧形状の第２ループ部とを有するもの。）によって構成することもできる。環状のループ形状の流路には、少ないスペースでアップ・ダウン流路を形成することができるという利点がある。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項３記載の発明は、前記吐出部保持機構は、前記基板保持機構に保持された基板の上方でほぼ水平に揺動される揺動アーム（１９）を備え、この揺動アームの先端部に前記処理液吐出部を保持するものであることを特徴とする請求項１または２記載の基板処理装置である。
この構成では、スキャン型ノズルに、この発明が適用され、揺動アームの先端部に保持された処理液吐出部からの処理液のぼた落ちを防止できる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月23日(2007.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子源とマスクとレンズを有し、複数本に分割された面積ビームを試料上に露光する荷電粒子線露光装置において、
前記面積ビームの最大ビーム面積を変更する手段と、
前記面積ビームの最大ビーム面積を変更することに伴い前記レンズの強度を変更する手段と、を有することを特徴とする荷電粒子線露光装置。
【請求項２】
前記面積ビームの最大ビーム面積を変更する手段は機械的シャッタであることを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項３】
前記面積ビームの最大ビーム面積を変更する手段は絞り及び偏向器から構成されることを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項４】
前記レンズの強度を変更する手段は、露光するパターンの解像度に応じて、前記レンズの強度を変更することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項５】
荷電粒子線を用いて、レンズにより縮小されたパターンを試料上に露光する露光装置であって、
露光するパターンの解像度に応じて、露光領域を変更する手段と、
前記解像度に応じて、前記レンズの光学特性を変更する手段と、を有することを特徴とする露光装置。
【請求項６】
複数の荷電粒子線を用いて、レンズにより縮小されたパターンを試料上に露光する露光装置であって、
露光するパターンの解像度に応じて、前記試料に照射される前記荷電粒子線の数を変更する手段と、
前記解像度に応じて、前記レンズの光学特性を変更する手段と、を有することを特徴とする露光装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１つに記載の露光装置を用いて、試料に露光を行なう工程と、露光された前記試料を現像する工程と、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
上記の課題を解決するための本発明の荷電粒子線露光装置は、荷電粒子源とマスクとレンズを有し、複数本に分割された面積ビームを試料上に露光する荷電粒子線露光装置において、前記面積ビームの最大ビーム面積を変更する手段と、前記面積ビームの最大ビーム面積を変更することに伴い前記レンズの強度を変更する手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
ここで、レンズの強度（光学特性）とは、光学レンズにおける屈折率に相当し、具体的には、静電レンズでは印加電圧の大きさに、磁気レンズでは励磁電流の大きさに対応する。
前記面積ビームの最大ビーム面積の変更手段は、例えば機械的シャッタ等の機械的手段、または２枚の固定絞りビームとビーム偏向器で構成される電気的若しくは磁気的手段である。
前記レンズの強度を変更する手段は、例えば露光するパターンの解像度に応じて、前記レンズの強度を変更する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
さらに、本発明の露光装置は、荷電粒子線を用いて、レンズにより縮小されたパターンを試料上に露光する露光装置であって、露光するパターンの解像度に応じて、露光領域を変更する手段と、前記解像度に応じて、前記レンズの光学特性を変更する手段と、を有することを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置は、複数の荷電粒子線を用いて、レンズにより縮小されたパターンを試料上に露光する露光装置であって、露光するパターンの解像度に応じて、前記試料に照射される前記荷電粒子線の数を変更する手段と、
前記解像度に応じて、前記レンズの光学特性を変更する手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
これらの露光装置において、前記レンズは、静電レンズを有し、前記光学特性を変更する手段は、前記静電レンズの印加電圧を調整する。あるいは、前記レンズは、磁気レンズを有し、前記光学特性を変更する手段は、前記磁気レンズの励磁電流を調整する。