Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月28日(2007.3.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  メッセンジャワイヤと、少なくとも１本の光ファイバが納められた少なくとも１つのスロットを備えたコアとを有する光ファイバケーブルの製造方法であって、
（ａ）メッセンジャワイヤとコアとを、溶融外被材料が入っているメルトキャビティを通して引っ張る工程と、
（ｂ）メッセンジャワイヤとコアとを前記溶融外被材料で被覆することにより、メッセンジャ部分ジャケットとコア部分ジャケットとを形成する工程と、
（ｃ）ウェブ形成モード中、前記溶融外被材料で作られた一連の連結用ウェブを一体的に形成する工程と、
（ｄ）前記ウェブ形成モードと長手方向間隙形成モードを切り替えることにより、長手方向間隙形成モード中に、前記連結用ウェブ相互に長手方向間隙を形成する工程と、
（ｅ）前記溶融外被材料の圧力を調整し、前記間隙形成モード中の圧力の変動を最小限に抑える工程と、を備えている、
ことを特徴とする方法。
【請求項２】  前記圧力調整工程は、溶融外被材料を前記メルトキャビティから放出することにより実施される、
請求項１に記載の方法。
【請求項３】  前記溶融外被材料の放出は、前記長手方向間隙が前記ウェブ相互間に形成されているときに行われる、
請求項２に記載の方法。
【請求項４】  前記連結用ウェブの形成工程は、可動部材を前記メルトキャビティから引っ込めることにより実施される、
請求項１記載の方法。
【請求項５】  前記メッセンジャ部分及びコア部分のうち少なくとも一方を形成する工程は、前記溶融外被材料の加圧押出工程を含む、
請求項１記載の方法。
【請求項６】  前記メッセンジャ部分及びコア部分のうち少なくとも一方を形成する工程は、前記外被材料のチューブオン工程及び真空吸引被着工程を含む、
請求項１に記載の方法。
【請求項７】  メッセンジャワイヤと、少なくとも１本の光ファイバが納められた少なくとも１つのスロットを備えたコアとを有する光ファイバケーブルの製造方法であって、
（ａ）メッセンジャワイヤとコアとを、溶融外被材料が入っているメルトキャビティを通して引っ張る工程と、
（ｂ）メッセンジャワイヤとコアとを前記溶融外被材料で被覆することによりメッセンジャ部分とコア部分とを形成する工程と、
（ｃ）メッセンジャ部分とコア部分との間に前記溶融外被材料で一連の連結用ウェブを断続的に形成する工程と、
（ｄ）前記溶融外被材料の圧力を調整して、前記溶融外被材料が実質的に一様な厚さで前記コアに被着されるようにする工程と、を備えている、
ことを特徴とする方法。
【請求項８】  自立型光ファイバケーブルであって、
メッセンジャ部分と、ジャケットを含むコア部分とを備え、前記ジャケットは、該ジャケットと一体的に形成され長手方向ギャップによって間隔をあけられた一連のウエブによって連結され、
前記ケーブルのコア部分は少なくとも１の光ファイバを内部に備えた少なくとも１のスロットを有するスロット付きコアを含み、
前記ジャケットが、前記長手方向のギャップがあるケーブルの部分で、ほぼ均一の断面厚さを有している、
ことを特徴とする自立型光ファイバケーブル。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月30日(2006.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】熱可塑性樹脂発泡体の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  非晶性熱可塑性樹脂に不活性ガス又はその超臨界流体を高圧、加熱条件下で含浸させた後、圧力を解放することにより微細気泡を有する熱可塑性樹脂発泡体を製造する方法であって、前記加熱条件を、該非晶性熱可塑性樹脂のガラス転移温度よりも低い温度であって、該不活性ガス又はその超臨界流体が含浸された非晶性熱可塑性樹脂のガラス転移温度よりも高い温度とすることを特徴とする熱可塑性樹脂発泡体の製造方法。
【請求項２】  請求項１において、非晶性熱可塑性樹脂に不活性ガス又はその超臨界流体を含浸させることにより、該不活性ガス又はその超臨界流体が含浸された非晶性熱可塑性樹脂のガラス転移温度を、該非晶性熱可塑性樹脂のガラス転移温度よりも１０〜２５０℃低下させ、その後圧力を解放することにより該不活性ガス又はその超臨界流体が含浸された非晶性熱可塑性樹脂のガラス転移温度を圧力解放前のガラス転移温度よりも１０〜２５０℃上昇させることを特徴とする熱可塑性樹脂発泡体の製造方法。
【請求項３】  請求項１又は２において、該非晶性熱可塑性樹脂が、ポリスチレン、シンジオタクチックポリスチレン、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンエーテルとポリスチレンのポリマーアロイ、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、又はノルボルネン系樹脂であることを特徴とする熱可塑性樹脂発泡体の製造方法。
【請求項４】  結晶性熱可塑性樹脂に不活性ガス又はその超臨界流体を高圧、加熱条件下で含浸させた後、圧力を解放することにより微細気泡を有する熱可塑性樹脂発泡体を製造する方法であって、前記加熱条件を、該結晶性熱可塑性樹脂の融点よりも低い温度でかつ該不活性ガス又はその超臨界流体が含浸された結晶性熱可塑性樹脂の融点よりも高い温度とすることを特徴とする熱可塑性樹脂発泡体の製造方法。
【請求項５】  請求項４において、結晶性熱可塑性樹脂に不活性ガス又はその超臨界流体を含浸させることにより、該不活性ガス又はその超臨界流体が含浸された結晶性熱可塑性樹脂の融点を、該結晶性熱可塑性樹脂の融点よりも０〜５０℃低下させ、その後圧力を解放することにより該不活性ガス又はその超臨界流体が含浸された結晶性熱可塑性樹脂の融点を圧力解放前の融点よりも０〜５０℃上昇させることを特徴とする熱可塑性樹脂発泡体の製造方法。
【請求項６】  請求項１又は２において、該結晶性熱可塑性樹脂が、ポリプロピレン又はポリエチレンであることを特徴とする熱可塑性樹脂発泡体の製造方法。
【請求項７】  請求項１ないし６のいずれか１項において、前記不活性ガスが窒素及び／又は二酸化炭素であることを特徴とする熱可塑性樹脂発泡体の製造方法。
【請求項８】  請求項１ないし７のいずれか１項において、平均気泡直径が０．０１〜１０μｍの範囲にあり、気泡数密度が１０９〜１０１５個／ｃｍ３の熱可塑性樹脂発泡体を製造することを特徴とする熱可塑性樹脂発泡体の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微細気泡が形成された熱可塑性樹脂発泡体の製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、上記従来の問題点を解決し、熱可塑性樹脂に不活性ガス又はその超臨界流体を含浸させることにより微細気泡が形成された熱可塑性樹脂発泡体を製造する方法であって、不活性ガス又はその超臨界流体の含浸に要する時間が短く、工業的な生産性を十分に確保し得る熱可塑性樹脂発泡体の製造方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の熱可塑性樹脂発泡体の製造方法により製造された熱可塑性樹脂発泡体は、微細気泡を有するため、発泡倍率が高くても、十分な強度を有する高機能性熱可塑性樹脂発泡体である。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月22日(2006.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】  前記搬送ガイドは、第３の案内面を備え、前記第１の案内面を前記第２の案内面の下方に位置させ、前記第１の案内面の下方に前記第３の案内面を位置させ、前記第３の案内面を、前記下方のローラ対のニップ面に平行に配置し、前記第３の案内面と第１の案内面との相対角度をＡ、第１の案内面と第２の案内面との相対角度をＢとすると、Ａ、Ｂは、
１０°≦Ａ＜Ｂ≦３０°
の関係に設定したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のシート搬送装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明は、前記搬送ガイドは、第３の案内面を備え、前記第１の案内面を前記第２の案内面の下方に位置させ、前記第１の案内面の下方に前記第３の案内面を位置させ、前記第３の案内面を、前記下方のローラ対のニップ面に平行に配置し、前記第３の案内面と第１の案内面との相対角度をＡ、第１の案内面と第２の案内面との相対角度をＢとすると、Ａ、Ｂは、
１０°≦Ａ＜Ｂ≦３０°
の関係に設定したことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月29日(2006.11.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネットワーク接続点を含むネットワークと、
前記ネットワーク接続点を介して前記ネットワークと通信を行う端末とを有し、
前記ネットワーク接続点は、前記端末に関するセキュリティポリシーを有しており、前記ネットワークと前記端末との間の通信を前記セキュリティポリシーに従って制御する
ことを特徴とするネットワークシステム。
【請求項２】
端末が接続することのできるネットワーク接続点を有するネットワークにおける通信のセキュリティを保護する方法であって、
サービスポリシーサーバから前記ネットワーク接続点へサービスフィルタを送信するステップと、
ドメインポリシーサーバから前記ネットワーク接続点へドメインフィルタを送信するステップと、
前記端末から前記ネットワーク接続点へ個人フィルタを送信するステップと、
前記サービスフィルタ、前記ドメインフィルタ、および前記個人フィルタを統合して統合フィルタテーブルを生成するステップと、
前記ネットワーク接続点において、前記統合フィルタテーブルに従って、前記ネットワークと前記端末との間における通信トラフィックに対しフィルタ処理を行うステップと
を有することを特徴とする通信セキュリティ保護方法。
【請求項３】
第１のネットワーク接続点および第２のネットワーク接続点を有するネットワークにおける通信のセキュリティを保護する方法であって、
端末から前記第１のネットワーク接続点へ個人フィルタを送信するステップと、
前記第１のネットワーク接続点から前記第２のネットワーク接続点へ前記個人フィルタを転送するステップと、
前記第２のネットワーク接続点において、前記個人フィルタに従って、前記ネットワークと前記端末との間における通信トラフィックに対しフィルタ処理を行うステップと
を有することを特徴とする通信セキュリティ保護方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月21日(2006.11.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プログラメーション・ソースからプログラムされるべきヒューズのアレイのために、希望するデータを読み込むステップと、
希望するデータの対応するビットが第１デジタル状態を有するヒューズへ、一つのプログラメーション・パルスを加え、希望するデータにおける対応するビットが第２デジタル状態を有するヒューズに対しては、プログラメーション・パルスを加えないことにより、前記ヒューズのアレイをプログラムするステップと、
前記ヒューズのプログラメーションを読み取ることと、
前記希望するデータの対応するビットが第１デジタル状態を有し、ヒューズの読み取り状態が前記希望する状態の対応するビットに一致しないヒューズに一つのプログラメーション・パルスを加え、また、前記希望するデータ内の対応するビットが、第２デジタル状態を有するヒューズにはプログラメーション・パルスを与えず、そして、前記希望するデータの対応するビットが第１デジタル状態を有し、ヒューズの読み取り状態が前記希望する状態の対応するビットに一致するヒューズにはプログラメーション・パルスを与えないことにより、前記ヒューズのアレイをプログラミングすることのシーケンスを、全てのヒューズが、前記希望する状態の対応するビットに一致するまで繰り返すステップ
とを含む電気ヒューズをプログラミングする方法。
【請求項２】
全ての電気ヒューズが最初は低い抵抗を有し、また、いくつかのヒューズがプログラメーションの後で高い抵抗の希望する状態を有する請求項１記載の方法。
【請求項３】
全ての電気ヒューズが最初は高い抵抗を有し、また、いくつかのヒューズがプログラメーションの後で低い抵抗の希望する状態を有する請求項１記載の方法。
【請求項４】
希望する状態にあるヒューズを表現するデータ・ビットが第２デジタル状態を有し、また、希望する状態にないヒューズを表現するデータ・ビットが第１デジタル状態を有する入力プログラメーション・データを配置することと、前記第１デジタル状態のデータを有するヒューズに対してのみ一つのプログラミング・パルスを加え、また、前記第２デジタル状態を有するヒューズに対して何のプログラミング・パルスも加えないことを、前記ヒューズのアレイをプログラミングする前記ステップが含む請求項１記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月5日(2007.2.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  筐体と；
上記筐体の開口部を塞ぐ扉と；
上記開口部を塞いだ扉とほぼ平行に設けられ、しかも、上記筐体内に設けられている第１の基板と；
上記第１の基板とほぼ平行に設けられ、しかも、上記第１の基板と間隔を空けて、上記筐体内に設けられている第２の基板と；
を有し、上記第１の基板の少なくとも一部と上記第２の基板の少なくとも一部とが、上記第１の基板の方向と直交する方向で、互いに重なっていることを特徴とする火災受信機。
【請求項２】  請求項１において、
上記第１の基板または第２の基板のうち、上記扉側の一方が蝶番によって回動可能とされていることを特徴とする火災受信機。
【請求項３】  請求項１または請求項２において、
上記第１の基板の１つの端面に対向する上記筐体内壁から所定の距離を隔てて、上記第１の基板が設けられていることを特徴とする火災受信機。
【請求項４】  請求項１において、
上記扉を閉めたときに、上記扉と、上記開口部周縁とに挟まれるパッキンと；
上記扉を閉めたときに、上記パッキンを押しつぶすように、上記扉に対して、上記開口部の周縁を付勢する付勢手段と；
を有することを特徴とする火災受信機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
【発明の効果】
本発明によれば、火災受信機の筐体内に複数の基板を設けた場合、火災受信機の設置面積を、上記複数の基板を同一平面上に並べて設けたときよりもコンパクトにすることができるという効果を奏し、さらに、作業性がよいという効果を奏する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
また、請求項４に記載されている発明によれば、船舶に設置され、筐体とこの筐体の開口部を塞ぐ扉とを有する火災受信機において、上記開口部を上記扉によって塞いだ場合、上記扉と上記筐体の開口部の周縁との隙間から、上記火災受信機内に水が入ることを確実に阻止することができるという効果を奏する。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月18日(2006.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピックアセンブリと、トランスミッションと、前記ピックアセンブリと前記トランスミッションとの間に配置されたクラッチアセンブリと、前記クラッチアセンブリに設けた戻しばねとを備えた媒体取り扱い装置が媒体をスタックから取り出す方法であって、
前記トランスミッションを回転させることと、
前記トランスミッションを前記ピックアセンブリに係合させて前記ピックアセンブリを駆動させるため、前記クラッチアセンブリを作動させることと、
前記トランスミッションの前記回転によって、前記戻しばねにエネルギーを蓄積することと、
前記トランスミッションの前記回転を停止させることと、
前記停止させた後に、前記ピックアセンブリを前記スタックと接触しない方向に動かすのに、前記戻しばねの前記エネルギーを用いることとを有することを特徴とする方法。
【請求項２】
前記クラッチアセンブリは、直径がある巻ばねを備え、
前記クラッチアセンブリを作動させることは、前記巻ばねの直径を縮小させることを有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記クラッチアセンブリを作動させることの後に、前記スタックと接触するように前記ピックアセンブリを動かすことをさらに有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
図２を参照すると、プリンタ１００は、ピックアセンブリ５００をさらに備える。ピックアセンブリ５００は、ハウジング５０４を備える。ハウジング５０４は、第１の端部５０６および反対側に位置する第２の端部５０８を画定する。ピックアセンブリ５００は、ハウジング５０４内に収納されたハウジングトランスミッション５１０を備える。ハウジングトランスミッション５１０は、入力歯車５１２、複数の遊び歯車５１４、および出力歯車５１６を備える。ハウジングトランスミッションの入力歯車５１２は、概ねハウジングの第２の端部５０８付近にあるピックトランスミッション１７０のシャフト１８２に取り付けることができる。複数の遊び歯車５１４は、入力歯車５１２と駆動可能に連動することができる。ハウジングトランスミッションの出力歯車５１６は、遊び歯車５１４と駆動可能に連動することができる。ピックアセンブリ５００は、ピックタイヤ５２０をさらに備える。ピックタイヤ５２０は、概ねピックアセンブリの第１の端部５０６付近にあるハウジングトランスミッション出力歯車５１６に取り付けることができる。本明細書中で後述するように、ピックトランスミッションシャフト１８２が回転することにより、ハウジングトランスミッション５１０を介してピックタイヤ５２０が回転する。ピックアセンブリ５００は、キー４８０を用いてピックアーム管４２０と固定状態で連動することができることに留意するべきである。
【手続補正書】
【提出日】平成19年11月2日(2007.11.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
また、シート供給装置１０１の装置本体３３にはストッパ１４１（図２参照）をシート収納庫１５０に向けて突設してある。シート収納庫１５０は、ストッパ１４１に突き当たった位置以上に装置本体３３から突出しないようになっている。すなわち、ストッパ１４１は、シート収納庫１５０の突出距離を規制するようになっている。この結果、シート収納庫１５０に連結機構１３０を介して連結されている前ドア１１０は、シート収納庫１５０の移動が規制されたときよりも回動しないようになっている。このストッパ１４１によって、シートトレイ１０３の突出し過ぎを阻止して、プリンタ１がバランスを崩して傾くのを防止し、シートトレイ１０３にシートを容易に補給することができる。また、前ドア１１０の開き過ぎを防止して、前ドア１１０がシート収納装置３２の周辺の物に干渉するのを防止することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月12日(2007.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
フッ化物結晶を製造する方法であって、
溶融区域および冷却区域を有する成長炉の溶融区域内にあるフッ化物の出発材料をその溶融温度以上の温度まで加熱して、溶融物を形成し、
前記溶融物を、前記溶融区域から前記冷却区域中に降下させ、該２つの区域の間の温度差が結晶形成中に最小となるように該２つの区域の温度を調節することによって、前記溶融物を溶融温度から該溶融温度より低い第１の温度まで冷却することにより、フッ化物の溶融物からフッ化物結晶を成長させ、
前記結晶を前記第１の温度から最終温度まで実質的に一定の冷却速度で冷却することにより、前記冷却区域中で前記結晶をアニーリングする、
各工程を有してなり、
前記フッ化物の出発材料が、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、フッ化マグネシウムおよびフッ化ストロンチウム、並びにそれらの混合物からなる群より選択されることを特徴とする方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月19日(2007.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
‐任意の方向の軸に沿って伸びた密閉容器、
‐酸素及び場合により水蒸気を含む予熱ガスを供給する予熱ガス供給手段（１２）、
‐炭化水素供給原料供給手段（９）、
‐水素リッチ流出物の排出手段（１１）、
‐炭化水素供給原料供給手段（９）及び予熱ガス供給手段（１２）に接続される、ほぼ等温の部分酸化反応が内部で行われる、第１内部チャンバ（５）、
‐完全に撹拌されるタイプの流れを生み出すことに適合したガスを乱流状態にする手段、
‐ピストン流れを作るために適した容積の第２チャンバ（７）への第１チャンバ（５）の連通手段（８）を含む部分酸化反応器であって、連通手段（８）は、少なくとも１つのオリフィスを含み、かつ第２チャンバ（７）は、前記予熱ガス供給手段（１２）からの予熱ガスと、その長さの少なくとも一部において間接的に熱交換し、第２チャンバは、水素リッチ流出物の前記排出手段（１１）に接続し、
かつ予熱ガス供給手段（１２）は、反応器の密閉容器とほぼ同軸の環状容器を含み、かつ第２チャンバ（７）は、前記密閉容器とほぼ同軸である反応器。
【請求項２】
第２チャンバ（７）は、連通手段（８）と連通するほぼ断熱の第１領域、及び酸素を含むガスの供給手段（１２）により熱を交換する第２領域を含む請求項１に記載の反応器。
【請求項３】
第２チャンバ（７）の第１領域は、水蒸気改質触媒を含む請求項２に記載の反応器。
【請求項４】
第２チャンバは、セラミックタイプの材料中に作られるか、又は多孔質又は非多孔質のセラミック材料によって熱流体の側に場合により被覆される金属材料中に作られる請求項１から３のいずれかに記載の反応器。
【請求項５】
第１チャンバ（５）内部でガスを乱流状態にする手段は、ガスの内部再循環円環壁、邪魔板、及び一方で供給原料をかつ他方で酸素を含むガスを別個にかつほぼ向流で噴射する装置からなる群から選択される請求項１から４のいずれかに記載の反応器。
【請求項６】
第１チャンバ（５）及び第２チャンバ（７）は、反応器の密閉容器とほぼ同軸であり、かつガス供給手段の環状容器は、第１チャンバ（５）及び第２チャンバ（７）を取り囲む請求項２から５のいずれかに記載の反応器。
【請求項７】
炭化水素、アルコール又は生物量からの油を含み供給原料からの、かつ請求項１から６のいずれかに記載の反応器を使用する、水素リッチ流出物の生成方法。
【請求項８】
酸素を含むガスは、理論酸素量に対する質量比０．１〜０．６にあり、かつ第１チャンバ内の再利用率は、２５％以上であり、かつ好ましくは５０％を超える請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記ガスは、第２チャンバ内を循環する流出物との間接的熱交換によって８００℃〜１４００℃の温度で予熱される請求項７又は８のいずれかに記載の方法。
【請求項１０】
第１チャンバの温度、及び場合により第２チャンバの第１領域の温度は、１１００℃〜１８００℃、かつ好ましくは１４００℃〜１６５０℃である請求項７から９のいずれかに記載の方法。
【請求項１１】
モル比Ｈ２Ｏ／Ｃ（式中、Ｃは、炭化水素供給原料中に含まれる炭素の量を示す）は、０〜２、かつ好ましくは０．２〜０．８である請求項７から１０のいずれかに記載の方法。
【請求項１２】
酸素を含むガス供給においてガス状炭化水素を噴射し、かつ第１チャンバの上流で得られる混合物の発火を行って低温点火を行う請求項７から１１のいずれかに記載の方法。
【請求項１３】
第１及び第２チャンバ内の滞留時間は、５０ｍ秒〜１秒である請求項７から１２のいずれかに記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
本発明は、任意の方向の軸に沿って伸びた密閉容器、（一般に空気の）酸素及び場合により水蒸気を含む予熱ガス供給手段（１２）、炭化水素供給原料供給手段（９）及び水素リッチ流出物の排出手段（１１）を含む部分酸化反応器であって、炭化水素供給原料供給手段（９）及び予熱ガス供給手段（１２）に接続される、ほぼ等温の部分酸化反応が内部で行われる、第１内部チャンバ（５）を組み合わせて含み、前記反応器は、チャンバ（５）内で完全に撹拌されるタイプの流れを生み出すようにするガスを乱流状態にする手段、ピストン流れを作るために適した容積の第２チャンバ（７）への第１チャンバ（５）の連通手段（８）を含み、連通手段（８）は、少なくとも１つのオリフィスを含み、かつ第２チャンバ（７）は、前記予熱ガス供給手段（１２）からの予熱ガスと、その長さの少なくとも一部において間接的に熱を交換し、第２チャンバ（７）は、水素リッチ流出物の前記排出手段（１１）に接続することを特徴とする反応器に関する。
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月9日(2007.4.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】インクを吐出する吐出口が配列された吐出口部材を有するインクジェットヘッドにおいて、
前記吐出口部材が、第１の感光性樹脂層と該第１の感光性樹脂層に積層された撥水性を有する第２の感光性樹脂層とによって形成され、
前記吐出口部材は、第１および第２の感光性樹脂層にパターン露光、現像処理を施して、前記第１の感光性樹脂層と前記第２の感光性樹脂層との双方が除去された部分と、前記第２の感光性樹脂層が除去された部分と、を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】前記第１の感光性樹脂層および前記第２の感光性樹脂層が、ネガ型感光性樹脂層であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】前記第１の感光性樹脂層および前記第２の感光性樹脂層を除去した部分と、前記第２の感光性樹脂層を除去した部分とが、同一工程で形成されてなる前記吐出口部材を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】前記第１の感光性樹脂層の厚さが、前記第２の感光性樹脂層より厚いことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】前記吐出口部材に、異方性導電シートを用いて電気接続手段が施されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】インクを吐出する吐出口が配列された吐出口部材を有するインクジェットヘッドの製造方法において、
インク吐出圧力発生素子が形成された基体上に、溶解可能な樹脂によってインク流路パターンを形成する工程と、
前記インク流路パターン上に、前記吐出口部材を形成するために第１の感光性樹脂層を施す工程と、
前記第１の感光性樹脂層上に、前記吐出口部材を形成するために撥水性を有する第２の感光性樹脂層を施す工程と、
前記第１の感光性樹脂層および第２の感光性樹脂層を、パターン露光、現像処理によって除去して前記吐出口を形成すると同時に、前記第２の感光性樹脂層のみを部分的に除去する工程と、
前記溶解可能な樹脂によって形成されたインク流路パターンを除去する工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】前記第１の感光性樹脂層および前記第２の感光性樹脂層が、ネガ型感光性樹脂層であることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】前記第１の感光性樹脂層の厚さが、第２の感光性樹脂層より厚いことを特徴とする請求項６または請求項７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項９】前記吐出口部材を形成した後に、異方性導電シートを用いて電気接続を施す工程を有することを特徴とする請求項６〜８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】前記異方性導電シートを用いて電気接続を施すに際して、前記第２の感光性樹脂層が部分的に除去された基板の領域と前記異方性導電シートとの間に、スペーサーを配置する工程を有することを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、つぎの（１）〜（１０）のように構成したインクジェットヘッド及びその製造方法を提供するものである。
（１）インクを吐出する吐出口が配列された吐出口部材を有するインクジェットヘッドにおいて、
前記吐出口部材が、第１の感光性樹脂層と該第１の感光性樹脂層に積層された撥水性を有する第２の感光性樹脂層とによって形成され、
前記吐出口部材は、第１および第２の感光性樹脂層にパターン露光、現像処理を施して、前記第１の感光性樹脂層と前記第２の感光性樹脂層との双方が除去された部分と、前記第２の感光性樹脂層が除去された部分と、を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
（２）前記第１の感光性樹脂層および前記第２の感光性樹脂層が、ネガ型感光性樹脂層であることを特徴とする上記（１）に記載のインクジェットヘッド。
（３）前記第１の感光性樹脂層および前記第２の感光性樹脂層を除去した部分と、前記第２の感光性樹脂層を除去した部分とが、同一工程で形成されてなる前記吐出口部材を有することを特徴とする上記（１）または上記（２）に記載のインクジェットヘッド。
（４）前記第１の感光性樹脂層の厚さが、前記第２の感光性樹脂層より厚いことを特徴とする上記（１）〜（３）のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
（５）前記吐出口部材に、異方性導電シートを用いて電気接続手段が施されていることを特徴とする上記（１）〜（４）のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
（６）インクを吐出する吐出口が配列された吐出口部材を有するインクジェットヘッドの製造方法において、
インク吐出圧力発生素子が形成された基体上に、溶解可能な樹脂によってインク流路パターンを形成する工程と、
前記インク流路パターン上に、前記吐出口部材を形成するために第１の感光性樹脂層を施す工程と、
前記第１の感光性樹脂層上に、前記吐出口部材を形成するために撥水性を有する第２の感光性樹脂層を施す工程と、
前記第１の感光性樹脂層および第２の感光性樹脂層を、パターン露光、現像処理によって除去して前記吐出口を形成すると同時に、前記第２の感光性樹脂層のみを部分的に除去する工程と、
前記溶解可能な樹脂によって形成されたインク流路パターンを除去する工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
（７）前記第１の感光性樹脂層および前記第２の感光性樹脂層が、ネガ型感光性樹脂層であることを特徴とする上記（６）に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
（８）前記第１の感光性樹脂層の厚さが、第２の感光性樹脂層より厚いことを特徴とする上記（６）または上記（７）に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
（９）前記吐出口部材を形成した後に、異方性導電シートを用いて電気接続を施す工程を有することを特徴とする上記（６）〜（８）のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
（１０）前記異方性導電シートを用いて電気接続を施すに際して、前記第２の感光性樹脂層が部分的に除去された基板の領域と前記異方性導電シートとの間に、スペーサーを配置する工程を有することを特徴とする上記（９）に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月30日(2007.1.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データ領域の一端からボリューム・ファイル構造を用いて管理されるファイルが記録再生されるとともに同一領域に対する記録回数が制限される情報記録媒体であって、
記録管理領域およびリードイン領域に続いてボリューム・ファイル構造が記録されるボリューム空間が割付けられ、
前記記録管理領域は、記録ゾーンの次回記録開始アドレスをもち、
ファイルで構成される一記録ゾーンと、ファイル構造およびＶＡＴ構造で構成される他記録ゾーンをもつ情報記録媒体。
【請求項２】
データ領域の一端からボリューム・ファイル構造を用いて管理されるファイルが記録再生されるとともに同一領域に対する記録回数が制限され、記録管理領域およびリードイン領域に続いてボリューム・ファイル構造が記録されるボリューム空間が割付けられた情報記録媒体に対してデータ記録動作を実行する情報記録方法であって、
割付けられたファイルデータを一記録ゾーンに記録するステップと、
更新されたファイル構造およびＶＡＴ構造を他記録ゾーンに記録するステップと
を備えた情報記録方法。
【請求項３】
前記更新されたファイル構造およびＶＡＴ構造を記録するステップにおいて前記割付けられたファイルが全て記録済みでない場合は他記録ゾーンを割付け、新たな次回記録開始アドレスを取得することを特徴とする請求項２記載の情報記録方法。
【請求項４】
前記更新されたファイル構造およびＶＡＴ構造を記録するステップは、前記ファイル構造およびＶＡＴ構造の更新をキャッシュ上で行い、更新されたファイル構造およびＶＡＴ構造を前記次回記録開始アドレスから前記他記録ゾーンに記録することを特徴とする請求項３記載の情報記録方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】情報記録媒体および情報記録方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の情報記録媒体は、データ領域の一端からボリューム・ファイル構造を用いて管理されるファイルが記録再生されるとともに同一領域に対する記録回数が制限される情報記録媒体であって、記録管理領域およびリードイン領域に続いてボリューム・ファイル構造が記録されるボリューム空間が割付けられ、前記記録管理領域は、記録ゾーンの次回記録開始アドレスをもち、ファイルで構成される一記録ゾーンと、ファイル構造およびＶＡＴ構造で構成される他記録ゾーンをもつことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また本発明の情報記録方法は、データ領域の一端からボリューム・ファイル構造を用いて管理されるファイルが記録再生されるとともに同一領域に対する記録回数が制限され、記録管理領域およびリードイン領域に続いてボリューム・ファイル構造が記録されるボリューム空間が割付けられた情報記録媒体に対してデータ記録動作を実行する情報記録方法であって、割付けられたファイルデータを一記録ゾーンに記録するステップと、更新されたファイル構造およびＶＡＴ構造を他記録ゾーンに記録するステップとを備えたことを特徴とする。
また本発明の情報記録方法は、前記更新されたファイル構造およびＶＡＴ構造を記録するステップにおいて前記割付けられたファイルが全て記録済みでない場合は他記録ゾーンを割付け、新たな次回記録開始アドレスを取得することを特徴とする。
さらに本発明の情報記録方法は、前記更新されたファイル構造およびＶＡＴ構造を記録するステップは、前記ファイル構造およびＶＡＴ構造の更新をキャッシュ上で行い、更新されたファイル構造およびＶＡＴ構造を前記次回記録開始アドレスから前記他記録ゾーンに記録することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明の情報記録媒体および本発明の情報記録方法は、ファイル記録処理と、ファイル構造／ＶＡＴ構造の記録を分離することにより、アプリケーションから複数のファイル記録処理を受け付けることが可能となる。
また本発明の情報記録方法は、ファイル記録のみを媒体上に行いファイル構造をキャッシュに保持し必要に応じて媒体に記録するため、ファイルの変更に伴うファイル管理情報の更新がキャッシュ上で行われる。これにより大多数の小さなファイルに対する記録または削除、変更処理が行われた場合でも、何度もファイル構造の記録が行われることなく、領域の有効利用が可能となる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月15日(2007.2.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カーボンナノチューブと、
該カーボンナノチューブに内包されたフラーレン又は金属内包フラーレンと、を有するピーポッド構造であって、
異なる種類の前記フラーレン又は金属内包フラーレンが、前記カーボンナノチューブの延在する方向にある順番で配置されていることを特徴とする量子構造。
【請求項２】
前記異なる種類のフラーレン又は金属内包フラーレンは、前記カーボンナノチューブとの間にそれぞれ異なる混成軌道を形成することを特徴とする請求項１に記載の量子構造。
【請求項３】
前記異なる種類のフラーレン又は金属内包フラーレンは、前記カーボンナノチューブを変形させる程度の径を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載の量子構造。
【請求項４】
前記異なる種類の金属内包フラーレンは、電荷移動数の異なる金属内包フラーレンであることを特徴とする請求項１又は２に記載の量子構造。
【請求項５】
前記異なる種類の金属内包フラーレンは、内包金属イオンによる前記カーボンナノチューブのエネルギーバンド構造を変調させることを特徴とする請求項１から５までのいずれか１項に記載の量子構造。
【請求項６】
前記カーボンナノチューブは、ＳＷＮＴであることを特徴とする請求項１から５までのいずれか１項に記載の量子構造。
【請求項７】
管状の第１化合物と、
該第１化合物内に配置され該第１化合物との間で伝導キャリアの混成軌道を形成する第２化合物と、を有するピーポッド構造であって、
前記第１化合物の延在方向に関して前記第１化合物に異なるエネルギーバンド構造を形成するように異なる種類の第２化合物が、ある順番で配置されていることを特徴とする量子構造。
【請求項８】
請求項１から７までのいずれか１項に記載のピーポッド構造に、さらに、前記カーボンナノチューブ又は前記第１化合物の延在方向に対して離れた位置又は、それと交差する方向のいずれかに少なくとも一対の電極を形成したことを特徴とする量子効果素子。
【請求項９】
カーボンナノチューブを準備する工程と、
該カーボンナノチューブの少なくとも一端を開口する工程と、
異なる種類のフラーレン又は金属内包フラーレンを前記開口から前記カーボンナノチューブに順番に内包させる工程と
を有することを特徴とする量子構造の製造方法。
【請求項１０】
基板を準備する工程と、
該基板に触媒を配置し、該触媒を基点としてカーボンナノチューブを成長する工程と、
前記基板を酸化雰囲気下に曝すことにより、前記カーボンナノチューブの前記基点と反対側の一端を開口する工程と、
前記基板を第１フラーレンの雰囲気下に曝すことにより、前記開口から前記第１フラーレンを前記カーボンナノチューブに内包させる工程と、
前記基板を前記第１フラーレンとは異なる第２フラーレンの雰囲気下に曝すことにより、前記開口から前記第２フラーレンを前記カーボンナノチューブに内包させる工程と
を有することを特徴とする量子構造の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】量子構造およびそれを用いた量子効果素子およびその製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
次に、本発明の第２の実施の形態によるピーポッドヘテロ接合構造について、図面を参照しつつ説明を行う。図８は、ＳＷＮＴ内に配置された内包フラーレンの化学式と、Ｇｄ２＠Ｃ９２と、Ｃ６０と、Ｇｄ２＠Ｃ９２と、の異種内包フラーレンが配置されたピーポッドにおけるＳＷＮＴのエネルギーバンド図とを示す図である。図８に示すように、本実施の形態によるピーポッドヘテロ接合構造５２は、Ｇｄ２＠Ｃ９２と、Ｃ６０と、Ｇｄ２＠Ｃ９２と、の異種内包フラーレンが配置されたピーポッドにおけるＳＷＮＴのエネルギーバンド図である。エネルギーバンド図にも示されるように、金属的バンド構造と、半導体的バンド構造と、金属的バンド構造と、がＳＷＮＴの延在方向に順番に形成され、いわゆるキャリア（この場合は電子）に対するトンネル障壁構造を形成している。本実施の形態によるヘテロ接合構造形成技術を用いると、ＳＷＮＴにおいてトンネル障壁という量子構造を形成することができる。尚、内包するフラーレンの種類を選ぶことによりトンネル障壁の高さを調整することでトンネル障壁の設計を行うことができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2005235887.tif 000001
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2005235887.tif 000002
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2005235887.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月15日(2007.2.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空又は減圧環境に置かれた標的部材にレーザー光を照射してプラズマを生成し、前記プラズマから放射される光を取り出す光発生装置であって、
前記真空又は減圧環境を隔離すると共に、前記レーザー光を透過するレーザー導入窓と、
前記導入窓と前記標的部材との間に配置され、前記標的部材から発生するデブリが前記レーザー導入窓に付着することを防止する防止手段とを有し、
前記防止手段は、前記デブリを吸着すると共に、前記レーザー光を透過又は反射する吸着機構と、
前記レーザー光の発光時は前記レーザー光を通過させ、前記レーザー光の発光時以外は前記レーザー光の光路を遮断する遮断機構と、
電荷を帯びた前記デブリの運動方向を変更する偏向手段とを有することを特徴とする光発生装置。
【請求項２】
前記防止手段は、前記デブリを減速及び／又は減速させるガス流を形成するガスを供給するガス供給機構を更に有することを特徴とする請求項１記載の光発生装置。
【請求項３】
前記防止手段は、前記ガスを回収する回収機構を更に有することを特徴とする請求項２記載の光発生装置。
【請求項４】
前記防止手段は、前記ガス供給機構と前記標的部材との間に差動排気機構を更に有することを特徴とする請求項２記載の光発生装置。
【請求項５】
前記標的部材から前記レーザー光の入射側に向かって順番に、前記偏向手段、前記ガス供給機構、前記遮断機構、前記吸着機構が配置されていることを特徴とする請求項２記載の光発生装置。
【請求項６】
前記遮断機構は、前記レーザー光が通過する開口部と、前記レーザー光の光路を遮断する遮断部とを有する回転可能な回転体と、
前記レーザー光が前記開口部を通過するように、前記レーザー光の発光に同期して前記回転体の回転を制御する制御部とを有することを特徴とする請求項１記載の光発生装置。
【請求項７】
レチクルに形成されたパターンを被処理体に露光する露光装置であって、
請求項１乃至６のうちいずれか一項記載の光発生装置と、
前記光発生装置から取り出された光を用いて前記レチクルを照明する光学系とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項８】
請求項７記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
防止手段１００は、偏向手段１１０、遮断機構１２０及び吸着機構１３０によって、発生したデブリＤＢのレーザー導入窓２２への付着を防ぎ、レーザー光学系２０の光学性能の劣化を防止する機能を有する。以下、偏向手段１１０、遮断機構１２０及び吸着機構１３０について説明する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
回転体１２２の法線とレーザー光の光路ＬＲが平行になるように配置すると、レーザー光の発光のタイミングと回転体１２２の開口部１２４との位相がずれた際、回転体１２２の遮断部１２６からのレーザー光の正反射光によってレーザー光学系２０及びその他の光学素子が損傷を受ける場合がある。従って、回転体１２２（の遮断部１２６）の表面は、粗面に加工し、また、回転体１２２をレーザー光の光路ＬＲに対して適当な角度で配置することが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
但し、回転体１２２の表面を粗面に加工してもレーザー光のエネルギーの大部分は反射位置に集中するため、反射位置には反射したレーザー光を吸収する吸収体１２９を配置することが更に好ましい。レーザー光が回転体１２２の遮断部１２６にあたった場合には、散乱光を検出部１２８が検出し、直ちにレーザー光の発光を停止することで、レーザー光による回転体１２２の損傷を防止する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
光発生装置１によれば、防止手段１００によってレーザー導入窓２２に付着するデブリＤＢを良好に除去することができるので、レーザー光学系２０の性能の低下を抑え、安定してＥＵＶ光を発生させることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
なお、発生するデブリＤＢのうち、電気的に中性のデブリや１０００ｍ／ｓ以下の速度のデブリが支配的である場合には、必ずしも磁場発生装置１１０Ａ（即ち、磁石１１２Ａ）又は電場発生装置１１０Ｂ（即ち、電極１１２Ｂ）は必要ではなく、防止手段１００は、遮断機構１２０と吸着機構１３０との組み合わせでもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
また、発生するデブリＤＢのうち、電荷を帯びたデブリＤＢが支配的である場合には、必ずしも遮断機構１２０は必要ではなく、防止手段１００は、偏向手段１１０と吸着機構１３０との組み合わせでもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月19日(2007.2.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原版面に描かれたパターンを、投影光学系を介して基板に投影転写する露光装置において、
該原版を保持する保持面を有し、該保持面に垂直な方向において前記原版を位置決めする第１の原版保持手段と、
該第１の原版保持手段の原版保持面に対して独立して移動及び変形の少なくともいずれかが可能な状態にて支持された第２の原版保持手段とを設けたことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記第２の原版保持手段が弾性を有する部材を含んで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記第１の原版保持手段及び前記第２の原版保持手段の少なくともいずれか一方に、該原版に対して吸引保持する吸引保持手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】
前記第１の原版保持手段と前記第２の原版保持手段は、該原版を保持する際に、該第１及び第２の原版保持手段の該原版保持面が該原版に当接することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項５】
前記第１の原版保持手段と前記第２の原版保持手段間に、吸引時に相互に当接する当接シール部位を設けたことを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
【請求項６】
前記第２の原版保持手段は、前記保持面に垂直な方向において移動及び変形の少なくともいずれかが可能に支持されることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項７】
前記当接シール部位はテーパ構造の一部であることを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の露光装置を用いてデバイスを製造する工程を有するデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は、原版面に描かれたパターンを、投影光学系を介して基板に投影転写する露光装置において、該原版を保持する保持面を有し、該保持面に垂直な方向において前記原版を位置決めする第１の原版保持手段と、該第１の原版保持手段の原版保持面に対して独立して移動及び変形の少なくともいずれかが可能な状態にて支持された第２の原版保持手段とを設けたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明は、前記第２の原版保持手段が弾性を有する部材を含んで構成されていてもよく、前記第１の原版保持手段及び前記第２の原版保持手段の少なくともいずれか一方に、該原版に対して吸引保持する吸引保持手段を備えることができ、吸引保持手段としては真空吸引あるいは静電吸引のいずれを用いてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、前記第１の原版保持手段と前記第２の原版保持手段は、該原版を保持する際に、該第１及び第２の原版保持手段の該原版保持面が該原版に当接することが好ましく、前記第１の原版保持手段と前記第２の原版保持手段間に、吸引時に相互に当接する接合シール部位を設けることが好ましく、前記第２の原版保持手段は、前記保持面に垂直な方向において移動及び変形の少なくともいずれかが可能に支持されることが好ましく、前記当接シール部位はテーパ構造の一部であることが好ましい。