Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月25日(2007.4.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
フッ素含量が64重量％以上の含フッ素エラストマー共重合体およびテトラフルオロエチレンの共重合割合が95モル％以下であり、結晶融解熱量ΔHが10J/g以下である樹脂状テトラフルオロエチレン-パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体をブレンドしてなる含フッ素アロイ化共重合体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
かかる本発明の目的は、フッ素含量が64重量％以上の含フッ素エラストマー共重合体およびテトラフルオロエチレンの共重合割合が95モル％以下であり、結晶融解熱量ΔHが10J/g以下である樹脂状テトラフルオロエチレン-パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体をブレンドしてなる含フッ素アロイ化共重合体によって達成される。
【手続補正書】
【提出日】平成19年8月16日(2007.8.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、たとえば車両の荷台後部に設置され、荷台に対し荷物を積み降ろす際に補助として使用されるエレベーター式の昇降式荷受台に関する。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月10日(2006.1.10)
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【発明の名称】方向の固定された前輪を持ち、丸ハンドルに代わり操縦桿を使用する自動車操縦機構
［発明の詳細な説明］
【０００１】（発明の属する技術分野）
自動車のハンドル機構
【０００２】（従来の技術）
車の走行方向を変えるには、丸ハンドルを操作し、左右の前輪を旋回する方向に向けることによっていた。
【０００３】（発明の解決しようとする課題）
丸ハンドルによる方向の転換は、ハンドル機構が複雑である上に、タイヤに無理な力がかかり、駆動エネルギーの損失があるのみならず、タイヤを早く磨耗させる原因にもなっていた。従って、前輪は車の軸と平行な方向に固定されていることが望ましい。また、丸ハンドルは運転者の自由度を奪い、乗り降りに際しても邪魔になる。更には、丸ハンドルは方向転換以外に用途はなく、運転者はハンドル操作に両手を使わねばならない。これは大きく回るとき、及び後退するとき大きな負担となる。そこで、丸ハンドルに代わり、操縦桿、あるいはジョイスティックを使用し、左に回る時はスティックを左に倒し、右に回る時は右に倒すようにすれば、敏速な旋回ができることになる。
【０００４】（課題解決の問題点）
上記したごときハンドル機構は、前輪が同じ速度で回転していては不可能である。すなわち、左右のタイヤの回転速度を相対的に違えることにより可能となる。
【０００５】（発明実施の形態）
容易に説明が理解できるよう、ここでは左右の車輪がそれぞれ独立した駆動源、それもモーターを備えた実施例を原理の概略を示す図１に基づき説明することとする。
車輪（１）はモーター（２）により直接駆動されるが、この二つのモーター（２）（２’）は、例えばインバーター（３）（３’）により回転速度が制御されており、二台のインバーターのコントロール部（４）は車の床（５）に垂直に取付けられたジョイスティック（６）の下部末端とリンクした状態にある。
【０００６】上記したハンドル機構において、例えばジョイスティックを左に倒すと、左のインバーター（３’）は左のモーター（２’）の回転速度を低め、右のインバーター（３）は右のモーター（２）の回転速度を高めるため、車は自然な状態で左に回ることになる。
【発明の効果】
【０００７】  このハンドル機構は機械的な作動によらないため、構造はきわめて簡単であり、原理的には駆動源とその回転速度制御装置とジョイスティックだけである。無論、ギアーなどを使い、左右の車輪の回転速度を変えることも不可能ではないが、それをジョイスティックで操作するにはやはり複雑な機構が必要となる。したがって、駆動源は左右別にした方が良い。前記したごとく、回転時にタイヤに無理がかからず、理論的には１８０度の旋回が可能である。また、このジョイスティックにアクセル・ペタルとブレーキ・ペタルの役目を担わせ、前に倒したときは加速となり、手元に引いたときはブレーキがかかるようにすれば、両足を床に置いたまま運転ができ、安全で楽な運転が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ジョイスティックを使用したハンドル機構の原理図
【符合の説明】
１．タイヤ  ２．２’モーター  ３．３’速度制御装置  ４．速度制御装置コントロール部  ５．車の床  ６．ジョイスティック  ７．支点  ８．リンク部
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
左右の前輪にそれぞれ独立した駆動源を備えた車において、その駆動源はそれぞれ独立した回転速度制御装置を備えており、その速度制御装置のコントロール部は床に垂直に取付けた一本のジョイスティックと下部末端でリンクした状態にあり、ジョイスティックを例えば左に倒すと、左の速度制御装置は左車輪の回転速度を低くし、右の速度制御装置は右車輪の回転速度を高め、これにより車が無理なく左に旋回できるようになっていることを特徴とする自動車操縦機構。
【請求項２】
駆動源として交流、直流、パルス・モーター、あるいはエンジンを使用する上記項目１に基づく自動車操縦機構。
【請求項３】
上記項目１におけるジョイスティックが、アクセル・ペタルとブレーキ・ベタルの役目も担っており、前に倒すと車は加速され、手元に引くとブレーキがかかるようになっている自動車操縦機構。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】追加
【補正の内容】
【図１】
2007137075.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月1日(2006.12.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
【発明の実施の形態】
以下、図１を用いて、本発明の実施の形態について説明する。図１において、 10 はcomputerであり、 12 は演算処理装置 (MPU)、 14 は第１の1394インターフェイス、 16 はキーボードなど第１の操作部、 18 は第１のデコーダ、 20 はCRT ディスプレイなどの表示装置、 22 はハードディスク、 24 は第１のメモリであり本発明に係るcomputer 10 の内部メモリ、 26 はPCI バスなどのコンピュータ内部バス（データバス）である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
computer 10と、VCR 28、及び、プリンタ 60 とは、第１から第３の1394インターフェイス 14, 44, 62 によって1394シリアルバスのノードを構成するとともに、該第１から第３の1394インターフェイス 14, 44, 62 を介して相互に接続されており、データの授受や、コマンドによるコントロール等が可能になっている。したがって、本実施の形態において、これらのcomputer 10と、VCR 28、及び、プリンタ 60 は、情報データを送信する送信機器として機能するとともに、該情報データを受信する受信機器として機能する。このように、複数の機器が1394シリアルバスを介して接続されることにより、上記情報データは、不特定多数の機器に対して送信されることになる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
システムコントローラ 50 は、上記のコマンドデータに対するレスポンスデータを作成して、第１のデータセレクタ 42 、及び、第２の1394インターフェイス 44 を通じ、1394シリアルバスに該データを送出する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
OSR0状態のときに、該ノードがack ＿busy＿A 、ack ＿busy＿B 、ack ＿busy＿X のパケットを受信すると、受信先のノードがbusy状態である（情報データが正常に受信されなかった）と認識する。この場合、リトライ（再送処理）の必要が生じるので、該ノードは、OSR1状態に遷移する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
また、OSR1状態の時には、最少リトライ周期(minimum retry period)が設定されている。OSR1状態の時に、上記最少リトライ周期（所定時間）を経過するまでの期間は、OSR0状態に遷移することはない。すなわち、リトライ（再送処理）を所定時間だけ禁止する。すなわち、リトライ（再送処理）は、所定の時間間隔で行われるようになされている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
OSR1状態の時に、該ノードが上述のリトライリミットを越えておらず、かつ、リトライパケットを上述のリトライキューに入れた場合、該ノードは、OSR1状態からOSR0状態に遷移する。また、OSR1状態の時に、該ノードがack ＿busy＿A 、ack ＿busy＿B 、ack ＿busy＿X のいずれか以外のパケットを受け取ると、該ノードからのパケットは既に送信されており、OSR1状態からOSR0状態に遷移する。これにより、再送処理が実行可能となる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０９】
図６を用いて、ブロードキャスト通信方式を用いたオブジェクトデータの通信手順を説明する。コントローラは、ユーザが選択したソースノードと、デスティネーション（宛先）ノードとの間の接続を行うために、ネゴシエーションを行う。ネゴシエーションには、接続を行うためのパケットを用いる。該パケットは、例えば、asynchronousブロードキャスト（asynchronous転送方式）パケットであり、パケット内のペイロードには、接続の番号を示すコネクションID（コネクション情報）が書き込まれている。上記コネクションIDによって、それぞれのノードは、コネクションを識別する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５１】
次の8 bitsのフィールドは、min ＿retry ＿periodフィールドである。該フィールドには、上述した最少リトライ周期の値が、例えば、１ミリ秒単位で格納される。例えば、該フィールドの値が0116であった時、該アクノリッジパケットを受信したノードは、上述した最少リトライ周期を、１ミリ秒に設定して、該最少リトライ周期の期間はリトライを返さないように動作する。もちろん、上記min＿retry ＿periodフィールドの設定の単位として、１ミリ秒ではない、他の時間単位を用いることができることはいうまでもない（他の時間単位を設定可能である）。
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月27日(2007.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１７】
印刷データ暗号鍵で暗号化された印刷データと、暗号化された前記印刷データ暗号鍵と、第１コードとを外部から受信する受信ステップと、
ユーザが入力する第２コードを受け付けるコード入力ステップと、
前記第２コードに対して所定の変換を施すコード変換ステップと、
前記受信した前記第１コードと、前記コード変換ステップで変換された前記第２コードとが一致するか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップにおける判定結果に基づいて、前記第２コード又は前記第２コードに基づく情報を用いて前記暗号化された印刷データ暗号鍵を復号する第１復号ステップと、
前記復号された印刷データ暗号鍵を用いて前記暗号化された印刷データを復号する第２復号ステップと
を有することを特徴とする印刷制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の情報処理装置は、ユーザが入力するコードを受け付けるコード入力手段と、印刷データを暗号化するための印刷データ暗号鍵を生成するための暗号鍵生成手段と、前記印刷データ暗号鍵を用いて印刷データを暗号化する第１暗号化手段と、前記コード又は前記コードに基づく情報を用いて前記印刷データ暗号鍵を暗号化する第２暗号化手段と、前記コード又は前記コードに基づく情報に対して所定の変換を施すコード変換手段とを有することを特徴とする。
また、本発明の印刷制御装置は、印刷データ暗号鍵で暗号化された印刷データと、暗号化された前記印刷データ暗号鍵と、第１コードとを外部から受信する受信手段と、ユーザが入力する第２コードを受け付けるコード入力手段と、前記第２コードに対して所定の変換を施すコード変換手段と、前記受信手段が受信した前記第１コードと、前記コード変換手段により変換処理された前記第２コードとが一致するか否かを判定する判定手段と、前記判定手段の判定結果に基づいて、前記第２コード又は前記第２コードに基づく情報を用いて前記暗号化された印刷データ暗号鍵を復号する第１復号手段と、前記第１復号手段により復号された印刷データ暗号鍵を用いて前記暗号化された印刷データを復号する第２復号手段とを有することを特徴とする。
また、本発明の情報処理方法は、ユーザが入力するコードを受け付けるコード入力ステップと、印刷データを暗号化するための印刷データ暗号鍵を生成するための暗号鍵生成ステップと、前記印刷データ暗号鍵を用いて印刷データを暗号化する第１暗号化ステップと、前記コード又は前記コードに基づく情報を用いて前記印刷データ暗号鍵を暗号化する第２暗号化ステップと、前記コード又は前記コードに基づく情報に対して所定の変換を施すコード変換ステップとを有することを特徴とする。
また、本発明の印刷制御方法は、印刷データ暗号鍵で暗号化された印刷データと、暗号化された前記印刷データ暗号鍵と、第１コードとを外部から受信する受信ステップと、ユーザが入力する第２コードを受け付けるコード入力ステップと、前記第２コードに対して所定の変換を施すコード変換ステップと、前記受信した前記第１コードと、前記コード変換ステップで変換された前記第２コードとが一致するか否かを判定する判定ステップと、前記判定ステップにおける判定結果に基づいて、前記第２コード又は前記第２コードに基づく情報を用いて前記暗号化された印刷データ暗号鍵を復号する第１復号ステップと、前記復号された印刷データ暗号鍵を用いて前記暗号化された印刷データを復号する第２復号ステップとを有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月25日(2007.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の第１の音響共鳴器と、
前記第１の音響共鳴器の上方にある第２の音響共鳴器が含まれている装置であって、
前記第２の音響共鳴器が、前記第１の音響共鳴器から垂直方向に離隔されていて、前記第１の音響共鳴器と前記第２の音響共鳴器との間で、音響エネルギがほとんどまたは全く結合されることのないようになっていることを特徴とする装置。
【請求項２】
前記第１の音響共鳴器及び前記第２の音響共鳴器が薄膜バルク音響共鳴器（ＦＢＡＲ）であることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第２の音響共鳴器がスタンドオフによって支持されていることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
さらに、前記第１の音響共鳴器と前記第２の音響共鳴器の間に少なくとも１つのセパレータを備えることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記第１の音響共鳴器が、圧電層を挟む下部電極と上部電極を備え、
前記第２の音響共鳴器が、圧電層を挟む下部電極と上部電極を備えることを特徴とする、
請求項１に記載の装置。
【請求項６】
さらに、前記第２の音響共鳴器の下部電極に接続され、前記第１音響共鳴器上に製作されるスタンドオフを備えることを特徴とする、請求項２に記載の装置。
【請求項７】
さらに、前記第１の音響共鳴器の上部電極と前記第２の音響共鳴器の下部電極との間にスタンドオフを備えることを特徴とする、請求項５に記載の装置。
【請求項８】
さらに、前記第１の音響共鳴器の上部電極及び前記第２の音響共鳴器の下部電極が前記スタンドオフによって電気的に接続されていることを特徴とする、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記第１の音響共鳴器の上部電極と前記第２の音響共鳴器の下部電極が、互いに異なる電位にあり、そのため、前記第１の音響共鳴器の上部電極と前記第２の音響共鳴器の下部電極との間に容量性電位差が生じることを特徴とする、請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
さらに、前記第１の音響共鳴器を前記第２の音響共鳴器から離隔するスタンドオフを備えることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
前記スタンドオフがタングステンからなることを特徴とする、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
少なくとも１つのスタンドオフによって、前記第１の音響共鳴器と前記第２の音響共鳴器が電気的に接続されることを特徴とする、請求項１０に記載の装置。
【請求項１３】
前記第１の音響共鳴器が、前記第２の音響共鳴器から空気によって隔絶されていることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項１４】
前記第１の音響共鳴器と前記第２の音響共鳴器との間隔が、０．１ミクロン〜２０ミクロンの範囲内であることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項１５】
さらに、前記第２の音響共鳴器の上方へ垂直方向に離隔された第３の音響共鳴器を備えることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項１６】
基板上に製作された複数の共鳴器を具備する装置であって、
第１の音響共鳴器と、前記第１の音響共鳴器の上方で垂直方向に離隔された第２の音響共鳴器が含まれることと、
前記第２の音響共鳴器が、前記第１の音響共鳴器から音響的に分離されていることと
を特徴とする装置。
【請求項１７】
前記第２の音響共鳴器がスタンドオフによって支持されていることを特徴とする、請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
前記第１の音響共鳴器及び前記第２の音響共鳴器が薄膜バルク音響共鳴器（ＦＢＡＲ）であることを特徴とする、請求項１６に記載の装置。
【請求項１９】
前記第１の音響共鳴器が、圧電層を挟む下部電極と上部電極を備え、
前記第２の音響共鳴器が、圧電層を挟む下部電極と上部電極を備えることを特徴とする、請求項１６に記載の装置。
【請求項２０】
さらに、前記第２の音響共鳴器の下部電極に接続され、前記第１の音響共鳴器の上部電極上に製作されるスタンドオフを備えることを特徴とする、請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
さらに、前記第１の音響共鳴器の上部電極と前記第２の音響共鳴器の下部電極との間にスタンドオフを備えることを特徴とする、請求項１９に記載の装置。
【請求項２２】
さらに、前記第１の音響共鳴器を前記第２の音響共鳴器から離隔するスタンドオフを備えることを特徴とする、請求項１９に記載の装置。
【請求項２３】
前記スタンドオフがタングステンからなることを特徴とする、請求項２２に記載の装置。
【請求項２４】
装置の製作方法であって、
基板上に第１の共鳴器を製作することと、
前記第１の共鳴器のまわりに犠牲層を製作することと、
スタンドオフを製作することと、
前記スタンドオフ上方において、前記犠牲層上に第２の共鳴器を製作することと、
前記犠牲層を除去することと
を有することを特徴とする方法。
【請求項２５】
さらに、前記第２の共鳴器を製作する前に、前記犠牲層を平坦化することを有することを特徴とする、請求項２４に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月26日(2007.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光を用いてマスクに形成されたパターンを被露光体に露光する露光装置であって、
前記マスクを照明するための照明光学系と、
前記マスクと前記被露光体との位置合わせを行うためのアライメント光学系と、
前記パターンを前記被露光体に投影する投影光学系と、
前記光を利用して前記投影光学系の光学性能を干渉縞として検出する測定装置とを有し、
前記照明光学系又は前記アライメント光学系は、前記測定装置の一部を兼ねており、
前記測定装置は、既知の反射波面形状を有する反射手段を有し、前記照明光学系又は前記アライメント光学系からの光を前記投影光学系の代わりに前記反射手段へ導き、前記反射手段からの反射波面を検出することで、前記反射波面における波面収差を測定することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記測定装置は、シアリング干渉を利用するシアリング干渉計であることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記露光装置は、前記被露光体を支持及び駆動するステージを更に有し、
前記測定装置は、
理想波面を生成する第１の開口部と、前記投影光学系の前記光学性能を反映する被検波面を生成する第２の開口部とを含むパターン部材と、
当該パターン部材を経た前記理想波面と前記被検波面との干渉縞を検出する検出部とを有し、
前記パターン部材と前記検出部は前記ステージに設けられていることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項４】
前記測定装置は、
理想波面を生成する第１の開口部と、前記投影光学系の前記光学性能を反映する被検波面を生成する第２の開口部とを含むパターン部材と、
当該パターン部材を経た前記理想波面と前記被検波面との干渉縞を検出する検出部とを有し、
前記パターン部材と前記検出部は前記アライメント光学系に設けられていることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項５】
前記検出部は、前記位置合わせに使用されることを特徴とする請求項４記載の露光装置。
【請求項６】
前記露光装置は、前記マスクを支持及び駆動するステージを更に有し、
前記反射手段は、前記ステージに支持されていることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項７】
前記反射手段は、前記投影光学系に支持されていることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項８】
前記露光装置は、前記マスクを支持及び駆動するステージを更に有し、
前記測定装置は、
理想波面を生成する第１の開口部と、前記投影光学系の前記光学性能を反映する被検波面を生成する第２の開口部とを含むパターン部材と、
当該マスクを経た前記理想波面と前記被検波面との干渉縞を検出する検出部と、
前記第１及び第２の開口部に異なる次数の前記光を供給する機構を有し、
当該機構の全部又は一部は、前記照明光学系、前記アライメント光学系、前記ステージ及び前記投影光学系の少なくとも一に設けられることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項９】
前記第１の開口部の幅Δｒは、前記投影光学系の像面側の開口数をＮＡｉ、前記光の波長をλとすると、Δｒ＜０．５・λ／ＮＡｉを満足することを特徴とする請求項３、４及び８のうちいずれか一項記載の露光装置。
【請求項１０】
前記パターン部材、及び、前記機構の少なくとも一部は、前記アライメント光学系内に、当該アライメント光学系の光路から退避可能に設けられていることを特徴とする請求項８記載の露光装置。
【請求項１１】
前記機構は、光線分割部を含むことを特徴とする請求項８乃至１０のうちいずれか一項記載の露光装置。
【請求項１２】
前記機構は、理想波面を生成する第３の開口部を有する別のパターン部材を含むことを特徴とする請求項８乃至１１のうちいずれか一項記載の露光装置。
【請求項１３】
前記別のパターン部材は、アイソプラナティック領域よりも小さい幅を有する第４の開口部を有することを特徴とする請求項１２記載の露光装置。
【請求項１４】
前記第３の開口部の幅Δｒ’は、前記投影光学系の物体面側の開口数をＮＡｏ、前記光の波長をλとすると、Δｒ’＜０．５・λ／ＮＡｏを満足することを特徴とする請求項１２記載の露光装置。
【請求項１５】
前記第３の開口部及び前記第４の開口部との間隔は、前記干渉縞を形成可能な程度の空間コヒーレンシーが存在するように設定されている請求項１２記載の露光装置。
【請求項１６】
前記アライメント光学系は位置合わせ用の対物レンズを有し、
前記機構は、前記アライメント光学系内において前記対物レンズよりも前記光源側に配置され、理想波面を生成する第１の開口部を有する別のパターン部材を含むことを特徴とする請求項８記載の露光装置。
【請求項１７】
前記機構は、前記照明光学系内の前記投影光学系の瞳と共役な位置に配置された光線分割部を含むことを特徴とする請求項８記載の露光装置。
【請求項１８】
請求項１乃至１７のいずれか一項に記載の露光装置を利用して被露光体を露光するステップと、
前記露光された前記被露光体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の一側面としての露光装置は、光源からの光を用いてマスクに形成されたパターンを被露光体に露光する露光装置であって、前記マスクを照明するための照明光学系と、前記マスクと前記被露光体との位置合わせを行うためのアライメント光学系と、前記パターンを前記被露光体に投影する投影光学系と、前記光を利用して前記投影光学系の光学性能を干渉縞として検出する測定装置とを有し、前記照明光学系又は前記アライメント光学系は、前記測定装置の一部を兼ねており、前記測定装置は、既知の反射波面形状を有する反射手段を有し、前記照明光学系又は前記アライメント光学系からの光を前記投影光学系の代わりに前記反射手段へ導くことで、前記アライメント光学系で発生する波面収差を測定することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月21日(2007.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の元素Ａとしてガリウムを含む半導体層が表面に位置する半導体積層構造を備える半導体発光素子であって、
前記半導体層の表面に、少なくとも亜鉛、インジウム、スズ及びマグネシウムよりなる群から選択された少なくとも一種の元素Ｃを含む酸化物よりなる導電性酸化物膜と、第２の元素Ｂを含む酸化物膜とを有し、
前記導電性酸化物膜は、第２の元素Ｂを含む酸化物膜との界面近傍における膜中酸素濃度が、前記導電性酸化物膜の他の部分の膜中酸素濃度よりも高くしてなることを特徴とする半導体発光素子。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体発光素子であって、前記第２の元素Ｂは、電気陰性度を示すPauling値がガリウムよりも大きいことを特徴とする半導体発光素子。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の半導体発光素子であって、前記第２の元素Ｂは、電気陰性度を示すPauling値が前記元素Ｃよりも大きいことを特徴とする半導体発光素子。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の半導体発光素子であって、前記第２の元素Ｂを含む酸化物膜は、絶縁性酸化物膜の保護膜であることを特徴とする半導体発光素子。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の半導体発光素子であって、前記半導体層は、窒化物半導体層であることを特徴とする半導体発光素子。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の半導体発光素子であって、前記導電性酸化物膜は透光性電極であることを特徴とする半導体発光素子。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の半導体発光素子であって、前記第２の元素Ｂを含む酸化物膜は、前記第２の元素Ｂがケイ素であり、前記導電性酸化物膜の表面に設けられた保護膜であることを特徴とする半導体発光素子。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかに記載の半導体発光素子であって、前記導電性酸化物膜の膜中酸素濃度が、第２の元素Ｂを含む酸化物膜との界面から前記半導体層との界面に向かって徐々に低下することを特徴とする半導体発光素子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
以上の目的を達成するために本発明の半導体発光素子は、第１の元素Ａとしてガリウムを含む半導体層が表面に位置する半導体積層構造を備える。この半導体発光素子は、半導体層の表面に、少なくとも亜鉛、インジウム、スズ及びマグネシウムよりなる群から選択された少なくとも一種の元素Ｃを含む酸化物よりなる導電性酸化物膜と、第２の元素Ｂを含む酸化物膜とを有する。導電性酸化物膜は、第２の元素Ｂを含む酸化物膜との界面近傍における膜中酸素濃度が、導電性酸化物膜の他の部分の膜中酸素濃度よりも高くしている。
また、本発明の他の形態を以下に述べる。本発明の他の形態の半導体発光素子は、第１の元素Ａを含む半導体層が表面に位置する半導体積層構造を備える。この半導体発光素子は、半導体層の表面に、少なくとも亜鉛、インジウム、スズ及びマグネシウムよりなる群から選択された少なくとも一種の元素Ｃを含む酸化物よりなる導電性酸化物膜と、第２の元素Ｂを含む酸化物膜とを有する。導電性酸化物膜は、第２の元素Ｂを含む酸化物膜との界面近傍における膜中酸素濃度を、導電性酸化物膜の他の部分の膜中酸素濃度よりも高くしている。
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月15日(2007.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平均粒径が１０〜５００μｍであり、下記式で求められる樹脂微粒子の粒径のＣＶ値が、２％以下である樹脂微粒子を含有することを特徴とする半導体チップ接合用接着性樹脂シート。
粒径のＣＶ値＝（σ2／Ｄｎ2）ラ１００％
（σ2は粒径の標準偏差を表し、Ｄｎ2は数平均粒径を表す）
【請求項２】
複数の半導体チップが請求項１記載の半導体チップ接合用接着性樹脂シートにより多段に積層されてなることを特徴とする半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月22日(2007.2.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
動画像を所定単位で符号化する動画像符号化において、量子化処理における重み付けパラメータを用いて、入力画像を所定の目標符号量に符号化する動画像符号化装置であって
前記入力画像の分散を算出する分散算出手段と、
前記入力画像に対して、与えられたフィルタ特性によりフィルタ処理を行うフィルタ手段と、
前記フィルタ手段でフィルタ処理された入力画像に対して、量子化処理を行い、符号化する符号化手段と、
前記符号化手段が出力する符号化データに対して復号化処理を行う復号化手段と、
前記符号化手段への入力画像と前記復号化手段の出力である再構成画像からブロック歪みを検出する検出手段と、
前記符号化手段における符号量と符号化歪み量との関係を規定する規定式を決定する規定式決定手段と、
前記分散算出手段で算出された分散及び少なくとも前記検出手段の検出結果を含む、視覚感度を評価するための評価式を決定する評価式決定手段と、
前記入力画像の目標符号量、前記規定式及び前記評価式に基づいて、前記フィルタ手段における前記フィルタ特性及び量子化処理における重み付けパラメータを算出するパラメータ算出手段と
を備えることを特徴とする動画像符号化装置。
【請求項２】
前記規定式決定手段は、前記規定式を、前記フィルタ手段でフィルタ処理された入力画像の分散及び前記符号化手段の符号化歪み量を用いて決定する
ことを特徴とする請求項１に記載の動画像符号化装置。
【請求項３】
前記評価式は、前記検出手段の検出結果と、前記フィルタ手段でフィルタ処理された入力画像の分散及び前記符号化手段における符号化歪み量を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の動画像符号化装置。
【請求項４】
前記パラメータ算出手段は、前記入力画像の目標符号量を拘束条件として、前記規定式と前記評価式の二つの式を最適にする前記フィルタ手段でフィルタ処理された入力画像の分散と、前記符号化手段における符号化歪み量を算出する
ことを特徴する請求項１に記載の動画像符号化装置。
【請求項５】
前記パラメータ算出手段は、前記符号化手段における符号化歪み量から前記入力画像の目標符号量を算出することで、前記量子化処理の重み付けパラメータを算出する
ことを特徴とする請求項４に記載の動画像符号化装置。
【請求項６】
前記パラメータ算出手段は、前記フィルタ手段でフィルタ処理された入力画像の分散及び前記符号化手段における符号化歪み量を、前記入力画像の目標符号量が、前記規定式から得られる前記符号化手段の符号量と等しいことを拘束条件として、前記評価式が最大あるいは最小となるラグランジュ未定乗数法を用いて算出する
ことを特徴とする請求項１に記載の動画像符号化装置。
【請求項７】
動画像を所定単位で符号化する動画像符号化において、量子化処理における重み付けパラメータを用いて、入力画像を所定の目標符号量に符号化する動画像符号化方法であって
前記入力画像の分散を算出する分散算出工程と、
前記入力画像に対して、与えられたフィルタ特性によりフィルタ処理を行うフィルタ工程と、
前記フィルタ工程でフィルタ処理された入力画像に対して、量子化処理を行い、符号化する符号化工程と、
前記符号化工程が出力する符号化データに対して復号化処理を行う復号化工程と、
前記符号化工程への入力画像と前記復号化工程の出力である再構成画像からブロック歪みを検出する検出工程と、
前記符号化工程における符号量と符号化歪み量との関係を規定する規定式を決定する規定式決定工程と、
前記分散算出工程で算出された分散及び少なくとも前記検出工程の検出結果を含む、視覚感度を評価するための評価式を決定する評価式決定工程と、
前記入力画像の目標符号量、前記規定式及び前記評価式に基づいて、前記フィルタ工程における前記フィルタ特性及び量子化処理における重み付けパラメータを算出するパラメータ算出工程と
を備えることを特徴とする動画像符号化方法。
【請求項８】
動画像を所定単位で符号化する動画像符号化において、量子化処理における重み付けパラメータを用いて、入力画像を所定の目標符号量に符号化する動画像符号化装置の制御をコンピュータに実行させるためのプログラムであって
前記入力画像の分散を算出する分散算出工程と、
前記入力画像に対して、与えられたフィルタ特性によりフィルタ処理を行うフィルタ工程と、
前記フィルタ工程でフィルタ処理された入力画像に対して、量子化処理を行い、符号化する符号化工程と、
前記符号化工程が出力する符号化データに対して復号化処理を行う復号化工程と、
前記符号化工程への入力画像と前記復号化工程の出力である再構成画像からブロック歪みを検出する検出工程と、
前記符号化工程における符号量と符号化歪み量との関係を規定する規定式を決定する規定式決定工程と、
前記分散算出工程で算出された分散及び少なくとも前記検出工程の検出結果を含む、視覚感度を評価するための評価式を決定する評価式決定工程と、
前記入力画像の目標符号量、前記規定式及び前記評価式に基づいて、前記フィルタ工程における前記フィルタ特性及び量子化処理における重み付けパラメータを算出するパラメータ算出工程と
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項９】
動画像を所定単位で符号化する動画像符号化において、量子化処理における重み付けパラメータを用いて、入力画像を所定の目標符号量に符号化する動画像符号化装置であって
前記入力画像の分散を算出する分散算出手段と、
前記入力画像に対して、与えられたフィルタ特性によりフィルタ処理を行うフィルタ手段と、
前記フィルタ手段でフィルタ処理された入力画像に対して、量子化処理を行い、符号化する符号化手段と、
前記符号化手段が出力する符号化データに対して復号化処理を行う復号化手段と、
前記符号化手段の入力画像と前記復号化手段の出力である再構成画像からブロック歪みを検出する検出手段と、
前記入力画像の目標符号量、前記分散算出手段の出力及び前記検出手段の出力に応じて、前記フィルタ手段における前記フィルタ特性及び量子化処理における重み付けパラメータを算出するパラメータ算出手段と
を備えることを特徴とする動画像符号化装置。
【請求項１０】
動画像を所定単位で符号化する動画像符号化において、量子化処理における重み付けパラメータを用いて、入力画像を所定の目標符号量に符号化する動画像符号化方法であって
前記入力画像の分散を算出する分散算出工程と、
前記入力画像に対して、与えられたフィルタ特性によりフィルタ処理を行うフィルタ工程と、
前記フィルタ工程でフィルタ処理された入力画像に対して、量子化処理を行い、符号化する符号化工程と、
前記符号化工程が出力する符号化データに対して復号化処理を行う復号化工程と、
前記符号化工程の入力画像と前記復号化工程の出力である再構成画像からブロック歪みを検出する検出工程と、
前記入力画像の目標符号量、前記分散算出工程の算出結果及び前記検出工程の検出結果に応じて、前記フィルタ特性及び量子化処理における重み付けパラメータを算出するパラメータ算出工程と
を備えることを特徴とする動画像符号化方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月26日(2007.7.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バイアス電圧を発生させるバイアス部と、
第１の出力ノードと第１の電源電位の間に接続され、制御電圧によって導通状態が制御される第１のトランジスタと、
第２の出力ノードと前記第１の電源電位の間に接続され、前記制御電圧によって導通状態が制御される第２のトランジスタと、
前記第１及び第２の出力ノードの間を接続する複数の抵抗と、
正相入力端子が前記複数の抵抗の間の点に接続され、逆相入力端子に基準電圧が与えられて前記制御電圧を出力する演算増幅器と、
内部ノードと前記第１の出力ノードの間に接続され、制御電極に第１の入力信号が与えられる第３のトランジスタと、
前記内部ノードと前記第２の出力ノードの間に接続され、制御電極に第２の入力信号が与えられる第４のトランジスタと、
第２の電源電位と前記内部ノードの間に接続され、前記バイアス電圧に対応した一定の電流を流す第５のトランジスタとを、
備えたことを特徴とする差動増幅回路。
【請求項２】
バイアス電圧を発生させるバイアス部と、
第１の出力ノードと第１の電源電位の間に接続され、制御電圧によって導通状態が制御される第１のトランジスタと、
第２の出力ノードと前記第１の電源電位の間に接続され、前記制御電圧によって導通状態が制御される第２のトランジスタと、
前記第１及び第２の出力ノードの間を接続する複数抵抗と、
正相入力端子が前記複数の抵抗の間の点に接続され、逆相入力端子に基準電圧が与えられて前記制御電圧を出力する演算増幅器と、
第１の内部ノードと前記第１の出力ノードの間に接続され、制御電極に第１の入力信号が与えられる第３のトランジスタと、
第２の内部ノードと前記第２の出力ノードの間に接続され、制御電極に第２の入力信号が与えられる第４のトランジスタと、
前記第１及び第２の内部ノードの間を接続する抵抗と、
第２の電源電位と前記第１の内部ノードの間に接続され、前記バイアス電圧に対応した一定の電流を流す第５のトランジスタと、
前記第２の電源電位と前記第２の内部ノードの間に接続され、前記バイアス電圧に対応した一定の電流を流す第６のトランジスタとを、
備えたことを特徴とする差動増幅回路。
【請求項３】
バイアス電圧を発生させるバイアス部と、
第１の出力ノードと第１の電源電位の間に接続され、制御電圧によって導通状態が制御される第１のトランジスタと、
第２の出力ノードと前記第１の電源電位の間に接続され、前記制御電圧によって導通状態が制御される第２のトランジスタと、
前記第１及び第２の出力ノードの間を接続する抵抗と、
第１の内部ノードと前記第１の出力ノードの間に接続され、制御電極に第１の入力信号が与えられる第３のトランジスタと、
第２の内部ノードと前記第２の出力ノードの間に接続され、制御電極に第２の入力信号が与えられる第４のトランジスタと、
前記第１及び第２の内部ノードの間を接続する抵抗と、
第２の電源電位と前記第１の内部ノードの間に接続され、前記バイアス電圧に対応した一定の電流を流す第５のトランジスタと、
前記第２の電源電位と前記第２の内部ノードの間に接続され、前記バイアス電圧に対応した一定の電流を流す第６のトランジスタと、
前記第１及び第２の出力ノードに接続され、基準電圧と該第１及び第２の出力ノードの平均電圧の差に応じた電圧を前記制御電圧として出力する増幅部とを、
備えたことを特徴とする差動増幅回路。
【請求項４】
バイアス電圧を発生させるバイアス部と、
第１の出力ノードと第１の電源電位の間に接続され、制御電極を有する第１のトランジスタと、
第２の出力ノードと前記第１の電源電位の間に接続され、制御電極を有する第２のトランジスタと、
前記第１及び第２の出力ノードの間に直列に接続された複数の抵抗と、
前記第１の抵抗と第２の抵抗との間に接続された正相入力端子と、基準電圧が与えられる逆相入力端子と、前記第１の及び第２のトランジスタの前記制御電極に接続された出力端子とを有する演算増幅器と、
第１の内部ノードと前記第１の出力ノードの間に接続され、第１の入力信号が与えられる制御電極を有する第３のトランジスタと、
第２の内部ノードと前記第２の出力ノードの間に接続され、第２の入力信号が与えられる制御電極を有する第４のトランジスタと、
前記第１及び第２の内部ノードの間に接続された抵抗と、
前記第１及び第２の内部ノードと前記第１の電源電位よりも低い第２の電源電位との間に接続され、前記バイアス電圧によって制御される定電流回路とを、
備えたことを特徴とする差動増幅回路。
【請求項５】
前記バイアス部は、一定電流を流す抵抗素子を有しており、
前記バイアス電圧は、前記抵抗素子に流れる前記一定電流に基づいて生成されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載された差動増幅回路。
【請求項６】
前記複数の抵抗は、それぞれ実質的に等しい抵抗値を有することを特徴とする請求項１、２又は４記載の差動増幅回路。
【請求項７】
前記第１及び第２の内部ノードの間に接続された前記抵抗は、直列に接続された複数の抵抗素子から成ることを特徴とする請求項２又は４記載の差動増幅回路。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の差動増幅回路は、バイアス電圧を発生させるバイアス部と、第１の出力ノードと第１の電源電位の間に接続され、制御電圧によって導通状態が制御される第１のトランジスタと、第２の出力ノードと前記第１の電源電位の間に接続され、前記制御電圧によって導通状態が制御される第２のトランジスタと、前記第１及び第２の出力ノードの間を接続する複数の抵抗と、正相入力端子が前記複数の抵抗の間の点に接続され、逆相入力端子に基準電圧が与えられて前記制御電圧を出力する演算増幅器と、内部ノードと前記第１の出力ノードの間に接続され、制御電極に第１の入力信号が与えられる第３のトランジスタと、前記内部ノードと前記第２の出力ノードの間に接続され、制御電極に第２の入力信号が与えられる第４のトランジスタと、第２の電源電位と前記内部ノードの間に接続され、前記バイアス電圧に対応した一定の電流を流す第５のトランジスタとを備えたことを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明では、第１及び第２の出力ノードを接続する複数の抵抗の間の点の電圧と基準電圧に応じて制御電圧を出力する演算増幅器を設け、この制御電圧を第１の電源電位と第１及び第２の出力ノードに接続された第１及び第２のトランジスタの制御電極にフィードバックさせるようにしている。これにより、出力信号の中心電圧が常に基準電圧と同じ電位に制御され、電源電位の変動に影響されない差動増幅回路が得られる。更に、この差動増幅回路を用いれば、直流遮断用のキャパシタを介さずに、後段の回路の入力部に接続することができるという効果がある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、この複数の抵抗とバイアス部の抵抗を同じ製造工程で形成すれば、出力信号の最大振幅値や電圧利得の製造条件による変動をなくすことができるという効果がある。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月29日(2007.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
Ｎ番目で信号のサンプリングとＮ−１番目の差分演算をした後は、再びリセットスイッチ９をＯＮして帰還容量８をリセットする。そして、Ｎ＋１番目では、今度は第３の容量回路５でフィードスルーレベルをサンプリングし、Ｑ１(N+1) なる電荷を保持し、第４の容量回路６でデータレベルをサンプリングし、Ｑ２(N+1) なる電荷を保持する。そして、第３，第４の容量回路５，６でサンプリングしている間、今度はＮ番目にサンプリングした電荷を差分演算することになり、このときの出力はＮ番目のときと同様に、
Ｖout (N+1) ＝（Ｑ２(N) −Ｑ１(N) ）／Ｃf ＋Ｖref1    ・・・・・・・（３）
となる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、第２の減算ブロック２の第３の容量回路５は、第３の蓄積容量（Ｃr2）30の一端を第10のスイッチ（ＳＷ10）22を経由して前記撮像素子からの入力端子に接続すると共に、第14のスイッチ（ＳＷ14）26を経由して前記第１の参照電圧20に接続し、第３の蓄積容量30の他端を第12のスイッチ（ＳＷ12）24を経由して前記差動増幅器７の負入力端子に接続すると共に、第15のスイッチ（ＳＷ15）27を経由して第１の参照電圧20に接続されるように構成している。前記第２の減算ブロック２の第４の容量回路６は、第４の蓄積容量（Ｃd2）31の一端を第11のスイッチ（ＳＷ11）23を経由して前記撮像素子からの入力端子に接続すると共に、第13のスイッチ（ＳＷ13）25を経由して前記差動増幅器７の負入力端子に接続し、第４の蓄積容量31の他端を前記第１の参照電圧20に接続するように構成している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
次に、データレベルＶd (N) は、ＣＬＫ３がＨとなり、第２のスイッチ11がＯＮして、第２の蓄積容量（Ｃd1）19にサンプリングされる。このとき、保持している電荷Ｑ２(N) は、
Ｑ２(N) ＝（Ｖd (N) −Ｖref1）Ｃd1    ・・・・・・・・・・・（５）
となる。また、フィードスルーレベル及びデータレベルに対応する電荷Ｑ１(N) ，Ｑ２(N) をサンプリングしている間、ＣＬＫ７がＨとなり、第12，第13及び第14のスイッチ24，25，26がＯＮする。Ａ点（差動増幅器７の負入力端子）の電位は、差動増幅器７の仮想接地によりＶref1であるので、第３及び第４の蓄積容量（Ｃr2，Ｃd2）30，31の両端の電位が等しくなり、保持していた電荷は全てＡ点を経由して帰還容量８に流れ込むことになる。このとき、Ａ点には第３の蓄積容量（Ｃr2）30の他端と第４の蓄積容量（Ｃd2）31の一端が接続されているので、第３の蓄積容量（Ｃr2）30が保持していたＱ１(N-1) のみ極性が反転されて出力されることになる。よって、帰還容量（Ｃf ）８には、Ｑ２(N-1) −Ｑ１(N-1) なる電荷が流れ込むことになる。Ｑ１(N-1) ，Ｑ２(N-1) は式（４），（５）と同様に、
Ｑ１(N-1) ＝（Ｖr (N-1) −Ｖref1）Ｃr2    ・・・・・・・・・・・・・（６）
Ｑ２(N-1) ＝（Ｖd (N-1) −Ｖref1）Ｃd2    ・・・・・・・・・・・・・（７）
となる。ここで、Ｃr2＝Ｃd2＝Ｃs として、式（６），（７）を式（２）に代入すると、    Ｖout (N) ＝（Ｑ２(N-1) −Ｑ１(N-1) ）／Ｃf ＋Ｖref1
＝Ｃs ／Ｃf ・（Ｖd (N-1) −Ｖr (N-1) ）＋Ｖref1  ・・・・（８）
となり、データレベルとフィードスルーレベルの差分を増幅した値が出力される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
次に、データレベルＶd (N+1) は、ＣＬＫ６がＨとなり、第11及び第17のスイッチ23，29がＯＮして、第４の蓄積容量（Ｃd2）31にサンプリングされる。このとき、保持している電荷Ｑ２(N+1) は、
Ｑ２(N+1) ＝（Ｖｄ(N+1) −Ｖref2）Ｃd2    ・・・・・・・・・（20）
となる。また、フィードスルーレベル及びデータレベルに対応する電荷Ｑ１(N+1) ，Ｑ２(N+1) をサンプリングしている間、ＣＬＫ４がＨとなり、第３，第４，第５及び第７のスイッチ12，13，14，16がＯＮする。Ｎ番目のときと同様に、Ａ点の電位は差動増幅器７の仮想接地によりＶref1であるので、第１及び第２の蓄積容量18，19の両端の電位が等しくなり、保持していた電荷は全てＡ点を経由して帰還容量（Ｃf ）８に流れ込むことになる。このとき、Ａ点には第１の蓄積容量18の他端と第２の蓄積容量19の一端が接続されているので、第１の蓄積容量18に保持されていた電荷Ｑ１(N) のみ極性が反転されて出力されることになる。よって、帰還容量８には、Ｑ２(N) −Ｑ１(N) なる電荷が流れ込むことになる。ここで、Ｃr1＝Ｃd1＝Ｃs として、式（14），（15）を式（３）に代入すると
Ｖout (N+1) ＝Ｃs ／Ｃf ・（Ｖd (N) −Ｖr (N) ）＋Ｖref1  ・・・・・（21）
となり、データレベルとフィードスルーレベルの差分を増幅した値が出力される。