【誤訳訂正書】
【提出日】平成31年2月4日(2019.2.4)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００６】
本発明により、上述の目的は、当初請求項１に指定している特徴を含む投影光学ユニット、及び当初請求項１０に指定している特徴を含むＥＵＶ投影光学ユニットによって達成される。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１８】
投影光学ユニットは、互いに直接前後して配置された少なくとも１つのＧＩミラー対（ＧＩ  ｍｉｒｒｏｒ  ｐａｉｒ：ＧＩミラーペア）、すなわち、２つのかすめ入射ミラーに加えて、更に単一ＧＩミラーが存在するミラーシーケンスを有することができる。投影光学ユニットは、３つの連続するＧＩミラーを有することができる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２０】
当初請求項２に記載の正確に２つのかすめ入射ミラーは、投影光学ユニットに特に適することが見出されている。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２１】
当初請求項３に記載の物体平面と像平面の間の角度は、結像光ビーム経路又は結像ビーム経路の特に小型の案内を可能にする。この角度は、１°よりも大きいとすることができ、２°よりも大きいとすることができ、３°よりも大きいとすることができ、５°よりも大きいとすることができ、７°よりも大きいとすることができ、１０°よりも大きいとすることができ、２０°よりも大きいとすることができ、３０°よりも大きいとすることができ、かつ３９°に等しいとすることができる。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２２】
当初請求項４に記載の正確に４つのかすめ入射ミラーも、特に適切であることが見出されている。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２３】
当初請求項５に記載のかすめ入射ミラーの対配置は、入射角依存性反射を補償するのに適することが見出されている。かすめ入射ミラー対の間には、少なくとも１つの法線入射ミラーが位置することができる。かすめ入射ミラーの対は、連続して配置された２つのミラーの偏向効果が合算されるように、すなわち、反射角が加算されるように配置することができる。そのような実施形態は、かすめ入射ミラー上での入射角依存性反射の補償を可能にする。これに代えて、かすめ入射ミラーには、投影光学ユニットを通る結像光のビーム経路内の異なる点にある補償かすめ入射ミラーを割り当てることができ、かすめ入射ミラー上に比較的大きい入射角で入射する個々の光線は、相応に補償ミラー上にそれよりも小さい入射角で入射し、その逆も同様である。かすめ入射を受けるミラーとそれに割り当てられた補償ミラーとの間には、更に別のかすめ入射ミラー及び／又は法線入射ミラーを配置することができる。投影光学ユニット内に２つよりも多いかすめ入射ミラーが設けられる限りにおいて、補償ミラーの補償効果は、他のかすめ入射ミラーのうちの１つよりも多いものに付与することができる。従って、例えば、３つのかすめ入射ミラーの場合に、２つの更に別のかすめ入射ミラーに関する反射の入射角依存性を補償する１つの補償かすめ入射ミラーを設けることができる。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２４】
当初請求項６に記載の実施形態は、投影光学ユニットに対して課せられる境界条件を満たすのに特に適することが見出されている。少なくとも２つの法線入射ミラーは、４０°よりも小さく、３５°よりも小さく、３０°よりも小さく、２５°よりも小さく、２０°よりも小さく、かつそれよりも更に小さいとすることができる結像光の入射角による入射を受けることができる。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２５】
当初請求項７に記載の４つの法線入射ミラーは、特に良好な像補正を有する投影光学ユニットのオプションをもたらす。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２７】
当初請求項８に記載の投影光学ユニットの全体反射率は、９．７５％とすることができ、１０％よりも高いとすることができ、１１％よりも高いとすることができ、１１．９７％に等しいとすることができ、１２％よりも高いとすることができ、かつ特に１２．２％に等しいとすることができる。特にミラー上の反射強化コーティングの実施形態に基づいて、より高い全体反射率も可能である。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２８】
当初請求項９に記載のＥＵＶ投影光学ユニットは、ＥＵＶ結像光に対して高い構造分解能と高いスループットとを同時に有する。すなわち、投影中に使用光は殆ど失われず、それによって露光所要時間が短縮され、従って、そのようなＥＵＶ投影光学ユニットが装備された投影露光装置のウェーハスループットが高まる。全体反射率は、８％よりも高いとすることができ、９％よりも高いとすることができ、１０％よりも高いとすることができ、又は更に高いとすることができる。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２９】
当初請求項１０に記載の歪像光学ユニットとして具現化された投影光学ユニットは、特に有利であることが見出されている。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３６】
当初請求項１１、当初請求項１２、及び当初請求項１６の利点は、上記に既に解説したものに対応する。小さい結像スケールは、小さい縮小効果に対応する。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３７】
当初請求項１３及び当初請求項１４に記載の結像スケールは、特に適切であることが見出されている。一例として、２つの異なる結像スケールのうちの小さい方は、５．４とすることができ、５よりも小さいとすることができ、４に等しいとすることができ、又は更に小さいとすることができる。２つの異なる結像スケールのうちの大きい方は、７に等しいとすることができ、８に等しいとすることができ、又は更に大きいとすることができる。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３８】
自由曲面として具現化される当初請求項１５に記載のミラー反射面は、投影光学ユニットに関する設計自由度の拡張を可能にする。特に歪像効果を複数のミラー面上に分散させることができる。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３９】
当初請求項１７から当初請求項１９に記載の開口数及び像視野寸法は、投影露光装置において使用中の結像品質及びウェーハ露光に関する要件に非常に適合されたものである。
【誤訳訂正１６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４２】
当初請求項２０に記載の広がり比を有する絞りは、投影光学ユニットの歪像効果に適合されたものである。絞りは、投影光学ユニットの入射瞳平面に配置することができる。短い物体視野寸法に沿った広がりと長い物体視野寸法に沿った広がりとの比は、長い物体視野寸法における縮小結像スケールと短い物体視野寸法における縮小結像スケールとの比に対応することができる。
【誤訳訂正１７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４４】
当初請求項２０に記載の光学系の利点は、投影光学ユニットに関して上述したものに対応する。歪像投影光学ユニットが使用される場合に、照明光学ユニットは、投影光学ユニットの非回転対称入射瞳に適応させることができる。
【誤訳訂正１８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４５】
投影光学ユニットの利点は、当初請求項２１に記載の光学系において特に有意である。ＥＵＶ光源に対して可能な作動波長は、１３．５ｎｍとすることができる。これに代えて、ＤＵＶ光源、すなわち、例えば、１９３ｎｍの波長を有する光源を使用することができる。
【誤訳訂正１９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４６】
当初請求項２２に記載の投影露光装置の利点は、投影光学ユニットに関して上述したものに対応する。
【誤訳訂正２０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４７】
当初請求項２３に記載の投影露光装置は、歪像投影光学ユニットの利点を使用する。
【誤訳訂正２１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４８】
当初請求項２４に記載のレチクルは、歪像投影光学ユニットに適合されたものである。
【誤訳訂正２２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４９】
当初請求項２５に記載の生成方法、当初請求項２６に記載の微細構造化及びナノ構造化構成要素の利点は、投影光学ユニット、光学系、及び投影露光装置に関して上述したものに対応する。
［当初請求項１］
物体視野（４）を像視野（８）内に結像するための投影光学ユニット（７；２０；２１；２２；２３；２４；２５；２６；２７；２８；２９；３０）であって、
前記物体視野（４）から前記像視野（８）に結像光（３）を案内するための複数のミラー（Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ７；Ｍ１からＭ９，Ｍ１からＭ１１）を含み、
前記ミラー（Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ７；Ｍ１からＭ９，Ｍ１からＭ１１）のうちの少なくとも２つが、６０°よりも大きい前記結像光（３）の入射角を有するかすめ入射のために該結像光（３）のビーム経路に互いに直接に前後して配置されるミラー（Ｍ２，Ｍ３；Ｍ５，Ｍ６；Ｍ１，Ｍ２；Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３；Ｍ３，Ｍ４；Ｍ６，Ｍ７；Ｍ４，Ｍ５；Ｍ２からＭ６；Ｍ１からＭ４，Ｍ６からＭ９）として具現化される、
ことを特徴とする投影光学ユニット（７；２０；２１；２２；２３；２４；２５；２６；２７；２８；２９；３０）。
［当初請求項２］
正確に２つのかすめ入射のためのミラー（Ｍ１，Ｍ２）を特徴とする当初請求項１に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項３］
前記像視野（８）が配置された像平面（９）との０°とは異なる角度を含み、前記物体視野（４）が配置された物体平面（５）を特徴とする当初請求項１又は当初請求項２に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項４］
正確に４つのかすめ入射のためのミラー（Ｍ２，Ｍ３，Ｍ５，Ｍ６）を特徴とする当初請求項１又は当初請求項３に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項５］
前記４つのかすめ入射のためのミラー（Ｍ２，Ｍ３，Ｍ５，Ｍ６）は、それぞれ、前記結像光（３）の前記ビーム経路に互いに直接に前後して対方式（ｐａｉｒｗｉｓｅ  ｍａｎｎｅｒ）（Ｍ２，Ｍ３；Ｍ５，Ｍ６）で配置されることを特徴とする当初請求項４に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項６］
４５°よりも小さい前記結像光（３）の入射角を有する法線入射のための少なくとも２つのミラー（Ｍ１，Ｍ４，Ｍ７，Ｍ８；Ｍ３からＭ６；Ｍ４からＭ７；Ｍ２，Ｍ５，Ｍ８，Ｍ９；Ｍ１，Ｍ３，Ｍ６，Ｍ７；Ｍ１，Ｍ７，Ｍ８；Ｍ５，Ｍ１０，Ｍ１１）を特徴とする当初請求項１から当初請求項５のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項７］
４５°よりも小さい前記結像光（３）の入射角を有する法線入射のための４つのミラー（Ｍ１，Ｍ４，Ｍ７，Ｍ８；Ｍ３からＭ６；Ｍ４からＭ７）を特徴とする当初請求項６に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項８］
９％よりも高い投影光学ユニット（７；２０；２１；２２；２３；２４；２５；２６；２７；２８；２９；３０）の全てのミラー（Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ７；Ｍ１からＭ９，Ｍ１からＭ１１）の反射率の積として出現する投影光学ユニット（７；２０；２１）の全体反射率を特徴とする当初請求項１から当初請求項７のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項９］
物体視野（４）を像視野（８）に結像するためのＥＵＶ投影光学ユニット（７；２０；２１；２２；２３；２４；２５；２６；２７；２８；２９；３０）であって、
前記物体視野（４）から前記像視野（８）まで結像光（３）を案内するための複数のミラー（Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ７；Ｍ１からＭ９，Ｍ１からＭ１１）を含み、
少なくとも０．４の像側開口数を有し、
７％よりも高い投影光学ユニット（７；２０；２１；２２；２３；２４；２５；２６；２７；２８；２９；３０）の全てのミラー（Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ７；Ｍ１からＭ９，Ｍ１からＭ１１）の反射率の積として出現する投影光学ユニット（７；２０；２１）の全体反射率を有する、
ことを特徴とするＥＵＶ投影光学ユニット（７；２０；２１；２２；２３；２４；２５；２６；２７；２８；２９；３０）。
［当初請求項１０］
物体視野（４）を像視野（８）に結像するための投影光学ユニット（３４；３５；３６；３７）であって、
前記物体視野（４）から前記像視野（８）まで結像光（３）を案内するための複数のミラー（Ｍ１からＭ８）を含み、
少なくとも１つのミラー（Ｍ２，Ｍ３，Ｍ５，Ｍ６）が、６０°よりも大きい前記結像光（３）の入射角を有するかすめ入射のためのミラーとして具現化され、
投影光学ユニット（３４；３５；３６；３７）が、前記像視野（８）を張る（ｓｐａｎ）２つの異なる方向に２つの異なる結像スケール（βx，βy）を有する、
ことを特徴とする投影光学ユニット（３４；３５；３６；３７）。
［当初請求項１１］
前記物体視野（４）は、１よりも大きいｘｙアスペクト比を有し、投影光学ユニットの前記異なる結像スケールは、このアスペクト比のこれらの２つの物体視野寸法の方向（ｘ，ｙ）に存在することを特徴とする当初請求項１０に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項１２］
より長い物体視野寸法（ｘ）における縮小結像スケール（βx）が、それと垂直なより短い物体視野寸法（ｙ）におけるものよりも小さいことを特徴とする当初請求項１１に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項１３］
前記２つの異なる結像スケールのうちの前記より小さいもの（βx）は、６よりも小さいことを特徴とする当初請求項１０から当初請求項１２のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項１４］
前記２つの結像スケールのうちの前記より大きいもの（βy）は、少なくとも６であることを特徴とする当初請求項１０から当初請求項１３のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項１５］
前記ミラーのうちの少なくとも１つが、自由曲面の形態の反射面を有することを特徴とする当初請求項１から当初請求項１４のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項１６］
方向依存性物体側開口数を特徴とする当初請求項１０から当初請求項１５のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項１７］
少なくとも０．４の像側開口数と、
７°よりも小さい視野中心点に対する物体側主光線角度（ＣＲＡＯ）と、
を特徴とし、
前記像視野（８）は、視野寸法（ｘ）に沿って１３ｍｍよりも大きい広がりを有する、 ことを特徴とする当初請求項１から当初請求項１６のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項１８］
少なくとも０．５の開口数を特徴とする当初請求項１７に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項１９］
一方の視野寸法（ｘ）において２０ｍｍよりも大きい前記像視野（８）の広がりを特徴とする当初請求項１７又は当初請求項１８に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項２０］
より短い物体視野寸法（ｙ）に沿ったその広がりがより長い物体視野寸法（ｘ）に沿ったものよりも小さい絞り縁部を有する絞り（１８）を特徴とする当初請求項１１から当初請求項１８のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項２１］
当初請求項１から当初請求項２０のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
［当初請求項２２］
当初請求項１から当初請求項２１のいずれか１項に記載の投影光学ユニットと、
照明及び結像光（３）で物体視野（４）を照明するための照明光学ユニット（６）と、 を含むことを特徴とする光学系。
［当初請求項２３］
ＥＵＶ光源（２）を特徴とする当初請求項２２に記載の光学系。
［当初請求項２４］
投影リソグラフィのための投影露光装置であって、
当初請求項２２又は当初請求項２３に記載の光学系、
を含むことを特徴とする投影露光装置。
［当初請求項２５］
走査方向（ｙ）に変位させることができてレチクル（１０）を保持するためのレチクルホルダ（１０ａ）を含み、
前記走査方向における投影光学ユニットの結像スケールが、それと垂直な方向におけるものよりも大きい、
ことを特徴とする当初請求項２４に記載の投影露光装置。
［当初請求項２６］
当初請求項２４又は当初請求項２５に記載の投影露光装置のためのレチクル（１０）であって、
少なくとも１０４ｍｍｘ１３２ｍｍの広がりを有する、
ことを特徴とするレチクル（１０）。
［当初請求項２７］
構造化構成要素を生成する方法であって、
レチクル（１０）及びウェーハ（１１）を与える段階と、
当初請求項２４又は当初請求項２５に記載の投影露光装置を用いて前記レチクル（１０）上の構造を前記ウェーハ（１１）の感光層の上に投影する段階と、
前記ウェーハ（１１）上に微細構造又はナノ構造を生成する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
［当初請求項２８］
当初請求項２７に記載の方法に従って生成された構造化構成要素。
【誤訳訂正２３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７１】
かすめ入射ミラーＭ２、Ｍ３、Ｍ５、及びＭ６は、各々半径に関して非常に大きい絶対値を有し、すなわち、平面からの比較的小さいずれ（ｄｅｖｉａｔｉｏｎ）を有する。従って、これらのかすめ入射ミラーＭ２、Ｍ３、Ｍ５、及びＭ６は、光学屈折力（光学パワー：ｏｐｔｉｃａｌ  ｐｏｗｅｒ）を事実上持たず、すなわち、凹ミラー又は凸ミラーのように全体的なビーム形成効果を有することは事実上ないが、特定の収差補正、特に局所収差補正に寄与する。
【誤訳訂正２４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７６】
投影光学ユニット７の全体反射率を計算するために、系伝達率が計算され、この計算は、案内光線、すなわち、中心物体視野点の主光線の入射角に依存する各ミラー面上のミラー反射率を決定し、これらを乗算によって組み合わせて系伝達率を形成するという手順で行われる。
【誤訳訂正２５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８１】
投影光学ユニット７の全てのミラーＭ１からＭ８の反射率の積として導出される投影光学ユニット７の全体反射率又は系伝達率は、Ｒ＝１０．４３％である。
【誤訳訂正２６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１２４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１２４】
最も大きい直径を有するミラーは、１０００ｍｍの直径値を有するミラーＭ６である。
物体視野４と像視野８との間のｙ距離、すなわち、値ｄOISは、物体視野４のところにある２８５ｍｍである。投影光学ユニット７と全く同様に、物体視野側主光線角度ＣＲＡＯは、投影光学ユニット２０では５．５°である。波面収差についての走査ＲＭＳ値は、投影光学ユニット２０では１０．５ｍλよりも小さい。投影光学ユニット２０における歪曲値は０．１ｎｍよりも小さい。投影光学ユニット２０のｘ方向のテレセントリック度値は、像視野側で５ｍｒａｄよりも小さい。投影光学ユニット２０のｙ方向のテレセントリック度値は、像視野側で０．４５ｍｒａｄよりも小さい。
【誤訳訂正２７】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体視野（４）を像視野（８）内に結像するための投影光学ユニット（７；２０；２１；２２；２３；２４；２５；２６；２７；２８；２９；３０）であって、
前記物体視野（４）から前記像視野（８）に結像光（３）を案内するための複数のミラー（Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ７；Ｍ１からＭ９，Ｍ１からＭ１１）を含み、
前記ミラー（Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ７；Ｍ１からＭ９，Ｍ１からＭ１１）のうちの少なくとも２つが、６０°よりも大きい前記結像光（３）の入射角を有するかすめ入射のために該結像光（３）のビーム経路に互いに直接に前後して配置されるミラー（Ｍ２，Ｍ３；Ｍ５，Ｍ６；Ｍ１，Ｍ２；Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３；Ｍ３，Ｍ４；Ｍ６，Ｍ７；Ｍ４，Ｍ５；Ｍ２からＭ６；Ｍ１からＭ４，Ｍ６からＭ９）として具現化され、
前記像視野（８）は、視野寸法（ｘ）に沿って１３ｍｍよりも大きい広がりを有する、  ことを特徴とする投影光学ユニット（７；２０；２１；２２；２３；２４；２５；２６；２７；２８；２９；３０）。
【請求項２】
正確に２つのかすめ入射のためのミラー（Ｍ１，Ｍ２）を含むことを特徴とする請求項１に記載の投影光学ユニット。
【請求項３】
前記像視野（８）が配置された像平面（９）との０°とは異なる角度を含み、前記物体視野（４）が配置された物体平面（５）を含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の投影光学ユニット。
【請求項４】
正確に４つのかすめ入射のためのミラー（Ｍ２，Ｍ３，Ｍ５，Ｍ６）を含むことを特徴とする請求項１又は請求項３に記載の投影光学ユニット。
【請求項５】
前記４つのかすめ入射のためのミラー（Ｍ２，Ｍ３，Ｍ５，Ｍ６）は、それぞれ、前記結像光（３）の前記ビーム経路に互いに直接に前後して対（ペア）をなす方式（Ｍ２，Ｍ３；Ｍ５，Ｍ６）で配置されることを特徴とする請求項４に記載の投影光学ユニット。
【請求項６】
４５°よりも小さい前記結像光（３）の入射角を有する法線入射のための少なくとも２つのミラー（Ｍ１，Ｍ４，Ｍ７，Ｍ８；Ｍ３からＭ６；Ｍ４からＭ７；Ｍ２，Ｍ５，Ｍ８，Ｍ９；Ｍ１，Ｍ３，Ｍ６，Ｍ７；Ｍ１，Ｍ７，Ｍ８；Ｍ５，Ｍ１０，Ｍ１１）を含むことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項７】
４５°よりも小さい前記結像光（３）の入射角を有する法線入射のための４つのミラー（Ｍ１，Ｍ４，Ｍ７，Ｍ８；Ｍ３からＭ６；Ｍ４からＭ７）を含むことを特徴とする請求項６に記載の投影光学ユニット。
【請求項８】
９％よりも高い投影光学ユニット（７；２０；２１；２２；２３；２４；２５；２６；２７；２８；２９；３０）の全てのミラー（Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ７；Ｍ１からＭ９，Ｍ１からＭ１１）の反射率の積として得られる投影光学ユニット（７；２０；２１）の全体反射率を有することを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の投影光学ユニットであって、
前記投影光学ユニットはＥＵＶ投影光学ユニットであり、
前記投影光学ユニットは少なくとも０．４の像側開口数を有する、
ことを特徴とする投影光学ユニット。
【請求項１０】
物体視野（４）を像視野（８）に結像するための投影光学ユニット（３４；３５；３６；３７）であって、
前記物体視野（４）から前記像視野（８）まで結像光（３）を案内するための複数のミラー（Ｍ１からＭ８）を含み、
少なくとも１つのミラー（Ｍ２，Ｍ３，Ｍ５，Ｍ６）が、６０°よりも大きい前記結像光（３）の入射角を有するかすめ入射のためのミラーとして具現化され、
投影光学ユニット（３４；３５；３６；３７）が、前記像視野（８）を規定する２つの異なる方向に２つの異なる結像スケール（βx，βy）を有する、
ことを特徴とする投影光学ユニット（３４；３５；３６；３７）。
【請求項１１】
前記物体視野（４）は、１よりも大きいｘｙアスペクト比を有し、投影光学ユニットの前記異なる結像スケールは、このアスペクト比のこれらの２つの物体視野寸法の方向（ｘ，ｙ）に存在することを特徴とする請求項１０に記載の投影光学ユニット。
【請求項１２】
より長い物体視野寸法（ｘ）における縮小結像スケール（βx）が、それと垂直なより短い物体視野寸法（ｙ）におけるものよりも小さいことを特徴とする請求項１１に記載の投影光学ユニット。
【請求項１３】
前記２つの異なる結像スケールのうちの前記より小さいもの（βx）は、６よりも小さいことを特徴とする請求項１０から請求項１２のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項１４】
前記２つの結像スケールのうちの前記より大きいもの（βy）は、少なくとも６であることを特徴とする請求項１０から請求項１３のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項１５】
前記ミラーのうちの少なくとも１つが、自由曲面の形態の反射面を有することを特徴とする請求項１から請求項１４のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項１６】
方向依存性物体側開口数を有することを特徴とする請求項１０から請求項１５のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項１７】
少なくとも０．４の像側開口数と、
７°よりも小さい視野中心点に対する物体側主光線角度（ＣＲＡＯ）と、
を有することを特徴とする請求項１から請求項１６のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項１８】
少なくとも０．５の開口数を有することを特徴とする請求項１７に記載の投影光学ユニット。
【請求項１９】
一方の視野寸法（ｘ）において２０ｍｍよりも大きい前記像視野（８）の広がりを有することを特徴とする請求項１７又は請求項１８に記載の投影光学ユニット。
【請求項２０】
より短い物体視野寸法（ｙ）に沿ったその広がりがより長い物体視野寸法（ｘ）に沿ったものよりも小さい絞り縁部を有する絞り（１８）を含むことを特徴とする請求項１１から請求項１８のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項２１】
請求項１から請求項２０のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項２２】
請求項１から請求項２１のいずれか１項に記載の投影光学ユニットと、
照明及び結像光（３）で物体視野（４）を照明するための照明光学ユニット（６）と、  を含むことを特徴とする光学系。
【請求項２３】
ＥＵＶ光源（２）を含むことを特徴とする請求項２２に記載の光学系。
【請求項２４】
投影リソグラフィのための投影露光装置であって、
請求項２２又は請求項２３に記載の光学系、
を含むことを特徴とする投影露光装置。
【請求項２５】
走査方向（ｙ）に変位させることができてレチクル（１０）を保持するためのレチクルホルダ（１０ａ）を含み、
前記走査方向における投影光学ユニットの結像スケールが、それと垂直な方向におけるものよりも大きい、
ことを特徴とする請求項２４に記載の投影露光装置。
【請求項２６】
請求項２４又は請求項２５に記載の投影露光装置のためのレチクル（１０）であって、  少なくとも１０４ｍｍｘ１３２ｍｍの広がりを有する、
ことを特徴とするレチクル（１０）。
【請求項２７】
構造化構成要素を生成する方法であって、
レチクル（１０）及びウェーハ（１１）を与える段階と、
請求項２４又は請求項２５に記載の投影露光装置を用いて前記レチクル（１０）上の構造を前記ウェーハ（１１）の感光層の上に投影する段階と、
前記ウェーハ（１１）上に微細構造又はナノ構造を生成する段階と、
を含むことを特徴とする方法。