【手続補正書】
【提出日】平成19年2月20日(2007.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の表面の検査領域に対する法線方向または法線方向に近い方向から前記検査領域を照明する第１の照明光学系と、
前記試料表面の検査領域に対して第１の仰角方向から前記検査領域を照明する第２の照明光学系と、
前記試料の表面の前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記検査領域に対して第２の仰角方向に検出器を複数配置して前記第１の照明光学系または第２の照明光学系により照明された前記検査領域からの反射光を集光して検出する第１の検出光学系と、
前記試料の表面の前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記検査領域に対して第３の仰角方向に検出器を複数配置して前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記検査領域からの反射光を集光して検出する第２の検出光学系と、
前記第１の検出光学系で前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記試料からの反射光を集光して検出して得た信号及び／又は前記第２の検出光学系で前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記試料からの反射光を集光して検出して得た信号を処理して前記試料上の欠陥を検出する信号処理系とを備え、
前記第１の検出光学系の複数の検出器と前記第２の検出光学系の複数の検出器とはそれぞれフォトマルで構成されており、前記信号処理系が処理する信号は前記複数のフォトマルから出力された信号であり、それぞれの感度バランスが調整された信号であることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２】
前記第１の照明光学系による照明と前記第２の照明光学系による照明との切換を制御する制御系を更に備え、前記第１の照明光学系と前記第２の照明光学系とは光源を共有することを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項３】
前記光源は、ＵＶレーザ光を発射することを特徴とする請求項２記載の欠陥検査装置。
【請求項４】
前記信号処理系で処理する信号は、前記それぞれのフォトマルに印加する電圧を制御することによりそれぞれ感度のバランスが調整されていることを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項５】
前記それぞれのフォトマルの感度のバランスは、それぞれのフォトマルに接続された増幅器のゲインを補正して調整されていることを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項６】
前記信号処理系は、前記第１の検出光学系の複数の検出器のうちの選択した検出器からの検出信号と前記第２の検出光学系の複数の検出器のうちの選択した検出器からの検出信号とを用いて前記試料上の欠陥を検出することを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項７】
試料の表面の検査領域に対する法線方向または法線方向に近い方向から前記検査領域を照明する第１の照明光学系と、
前記試料表面の検査領域に対して第１の仰角方向から前記検査領域を照明する第２の照明光学系と、
前記試料の表面の前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記検査領域に対して第２の仰角方向に検出器を複数配置して前記第１の照明光学系または第２の照明光学系により照明された前記検査領域からの反射光を集光して検出する第１の検出光学系と、
前記試料の表面の前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記検査領域に対して第３の仰角方向に検出器を複数配置して前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記検査領域からの反射光を集光して検出する第２の検出光学系と、
前記第１の検出光学系で前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記試料からの反射光を集光して検出して得た信号及び／又は前記第２の検出光学系で前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記試料からの反射光を集光して検出して得た信号を処理して前記試料上の欠陥を検出する信号処理系と、
前記第１の照明光学系による照明と前記第２の照明光学系による照明との切換を制御する制御系とを備え、
前記信号処理系は、前記第１の検出光学系の複数配置した検出器のうちから選択した検出器の信号及び／又は前記第２の検出光学系の複数配置した検出器のうちから選択した検出器の信号を処理して前記欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項８】
前記信号処理系は、検出したい欠陥の種類に応じて前記第１の検出光学系の複数の検出器のうちから選択する検出器と前記第２の検出光学系の複数の検出器のうちから選択する検出器との組合せを変えることを特徴とする請求項７記載の欠陥検査装置。
【請求項９】
前記第１の照明光学系による照明と前記第２の照明光学系による照明との切換を制御する制御系を更に備え、前記第１の照明光学系と前記第２の照明光学系は、共通のＵＶレーザ光源を有することを特徴とする請求項７記載の欠陥検査装置。
【請求項１０】
前記第１の検出光学系の複数配置した検出器と前記第２の検出光学系の複数配置した検出器とはそれぞれフォトマルで構成されており、該それぞれのフォトマルに印加する電圧またはフォトマルに接続された増幅器のゲインを調整することにより感度のバランスが調整されていることを特徴とする請求項７記載の欠陥検査装置。
【請求項１１】
試料の表面の検査領域に対する法線方向または法線方向に近い方向から前記検査領域を第１の照明光学系で照明し、
前記試料表面の検査領域に対して第１の仰角方向から前記検査領域を第２の照明光学系で照明し、
前記試料の表面の前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記検査領域に対して第２の仰角方向に検出器を複数配置して前記第１の照明光学系または第２の照明光学系により照明された前記検査領域からの反射光を第１の検出光学系で集光して検出し、
前記試料の表面の前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記検査領域に対して第３の仰角方向に検出器を複数配置して前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記検査領域からの反射光を第２の検出光学系で集光して検出し、
前記第１の検出光学系で前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記試料からの反射光を集光して検出して得た信号及び／又は前記第２の検出光学系で前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記試料からの反射光を集光して検出して得た信号を処理して前記試料上の欠陥を検出し、
前記第１の照明光学系による照明と前記第２の照明光学系による照明とを制御する欠陥検査方法であって、
前記検査領域からの反射光を第１の検出光学系で集光して検出するステップで検出する前記第１の検出光学系の複数の検出器と、前記検査領域からの反射光を第２の検出光学系で集光して検出するステップで検出する前記第２の検出光学系の複数の検出器とは、それぞれフォトマルで構成されており、前記欠陥検出ステップで処理する信号は前記複数のフォトマルから出力された信号であり、それぞれの感度バランスが調整された信号であることを特徴とする欠陥検査方法。
【請求項１２】
前記第１の照明するステップで照明する前記第１の照明と前記第２の照明するステップで照明する前記第２の照明とは同じ光源から発射された光であることを特徴とする請求項１１記載の欠陥検査方法。
【請求項１３】
前記同じ光源から発射された光は、ＵＶレーザであることを特徴とする請求項１２記載の欠陥検査方法。
【請求項１４】
前記第１の検出するステップで検出する前記第１の検出光学系の複数のフォトマルと前記第２の検出するステップで検出する前記第２の検出光学系の複数のフォトマルとの感度のバランスは、前記それぞれのフォトマルに印加する電圧を変えて調整されていることを特徴とする請求項１１記載の欠陥検査方法。
【請求項１５】
前記第１の検出するステップで検出する前記第１の検出光学系の複数のフォトマルと前記第２の検出するステップで検出する前記第２の検出光学系の複数のフォトマルとの感度のバランスは、前記それぞれのフォトマルに接続された増幅器のゲインを補正して調整されていることを特徴とする請求項１１記載の欠陥検査方法。
【請求項１６】
前記欠陥を検出するステップにおいて、
前記第１の検出光学系の複数の検出器のうちの選択した検出器からの検出信号及び／又は前記第２の検出光学系の複数の検出器のうちの選択した検出器からの検出信号を用いて前記試料上の欠陥を検出することを特徴とする請求項１１記載の欠陥検査方法。
【請求項１７】
試料の表面の検査領域に対する法線方向または法線方向に近い方向から第１の照明光学系により前記検査領域を照明し、
前記試料表面の検査領域に対して第１の仰角方向から第２の照明光学系により前記検査領域を照明し、
前記試料の表面の前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記検査領域に対して第２の仰角方向に検出器を複数配置して前記第１の照明光学系または第２の照明光学系により照明された前記検査領域からの反射光を第１の検出光学系で集光して検出し、
前記試料の表面の前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記検査領域に対して第３の仰角方向に検出器を複数配置して前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記検査領域からの反射光を第２の検出光学系で集光して検出し、
前記第１の検出光学系で前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記試料からの反射光を集光して検出して得た信号及び／又は前記第２の検出光学系で前記第１の照明光学系または前記第２の照明光学系により照明された前記試料からの反射光を集光して検出して得た信号を処理して前記試料上の欠陥を検出し、
前記第１の照明光学系による照明と前記第２の照明光学系による照明を制御する、
欠陥検査方法であって、
前記欠陥を検出するステップにおいて、前記第１の検出光学系の複数配置した検出器のうちから選択した検出器の信号及び／又は前記第２の検出光学系の複数配置した検出器のうちから選択した検出器の信号を処理して前記欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査方法。
【請求項１８】
前記欠陥を検出するステップにおいて、検出したい欠陥の種類に応じて前記第１の検出光学系の複数の検出器のうちから選択する検出器と前記第２の検出光学系の複数の検出器のうちから選択する検出器との組合せを変えることを特徴とする請求項１７記載の欠陥検査方法。
【請求項１９】
前記第１の照明するステップで照明する前記第１の照明光学系と前記第２の照明するステップで照明する前記第２の照明光学系とは同じ光源から発射されたＵＶレーザで前記試料の表面の検査領域を照明することを特徴とする請求項１７記載の欠陥検査方法。
【請求項２０】
前記第１の反射光を検出するステップにおいて前記検査領域からの反射光を第１の検出光学系で集光して検出する複数の検出器と前記第２の反射光を検出するステップにおいて前記検査領域からの反射光を第２の検出光学系で集光して検出する複数の検出器とはそれぞれフォトマルで構成されており、該それぞれのフォトマルに印加する電圧またはフォトマルに接続された増幅器のゲインを調整することにより感度のバランスが調整されていることを特徴とする請求項１７記載の欠陥検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】欠陥検査装置およびその方法