【手続補正書】
【提出日】平成19年4月18日(2007.4.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体材料または金属材料を溶融した溶湯に浸漬し、溶湯を凝固成長させて結晶シートを生成するための下地基板を着脱可能に保持する下地基板保持装置において、
下地基板を保持する一方の保持部材である保持固定部と、
下地基板を保持する他方の保持部材であって、保持固定部に対して相対変位可能に設けられ、保持固定部とともに下地基板を保持する保持可動部と、
弾性変形することによって保持可動部と保持固定部との相対位置を変化させるように設けられる弾性部材とを含むことを特徴とする下地基板保持装置。
【請求項２】
保持固定部は、底板部と、底板部の両端部からそれぞれ立上がり対向するように設けられる２つの側板部と、側板部の遊端部から互いに向かい合う方向であって、かつ底板部に対して略平行な方向に張出す張出部とを含み、
保持可動部は、保持固定部の底板部と側板部と張出部とで形成される内方空間に位置して相対変位可能に設けられ、
弾性部材は、保持固定部の底板部と保持可動部との間に設けられ、弾性変形することによって、保持可動部と保持固定部の張出部との相対位置を変化させることを特徴とする請求項１記載の下地基板保持装置。
【請求項３】
保持固定部の張出部には、
保持固定部の底板部と側板部と張出部とで形成される内方空間に臨み、下地基板が当接する基板当接面であって、保持固定部と保持可動部とで保持されている状態にある下地基板の溶湯への浸漬面に対して平行な基板当接面が形成されることを特徴とする請求項２記載の下地基板保持装置。
【請求項４】
保持固定部と保持可動部とで保持されている状態にある下地基板に当接して下地基板を押圧する保持可動部の押圧面には、下地基板が溶湯に浸漬される浸漬軌道に対して略平行方向に延びる係合凸部が形成され、
保持可動部によって押圧される下地基板の被押圧面には、係合凸部と係合する係合溝部が形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の下地基板保持装置。
【請求項５】
弾性部材が、ばね部材であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の下地基板保持装置。
【請求項６】
半導体材料または金属材料を溶融した溶湯に下地基板を浸漬し、溶湯を凝固成長させて結晶シートを生成する結晶シート生成装置において、
請求項１〜５のいずれか１つに記載の下地基板保持装置で保持された下地基板を溶湯に対して浸漬して、溶湯を凝固成長させるための浸漬手段を含むことを特徴とする結晶シート生成装置。
【請求項７】
浸漬手段が搬送部材を備え、
下地基板保持装置の保持可動部が、搬送部材に連結されて搬送部材の動作に連動し、
下地基板保持装置の弾性部材が、保持可動部の動作に応じて弾性変形し、伸張変形することによって下地基板を保持し、圧縮変形することによって下地基板を保持解除することを特徴とする請求項６に記載の結晶シート生成装置。
【請求項８】
半導体材料または金属材料を溶融した溶湯に下地基板を浸漬し、溶湯を凝固成長させて結晶シートを生成する結晶シート生成方法において、
請求項１〜５のいずれか１つに記載の下地基板保持装置により下地基板を保持し、下地基板を溶湯に対して浸漬し引き上げた後、下地基板保持装置から下地基板を保持解除することを特徴とする結晶シート生成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】下地基板保持装置、結晶シート生成装置および結晶シート生成方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、半導体材料または金属材料の溶湯に下地基板を浸漬させ、溶湯を凝固成長させて結晶シートを得る際に用いられる下地基板保持装置、およびその下地基板保持装置を備える結晶シート生成装置ならびにその結晶シート生成方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明は以上の問題を鑑みてなされたものであり、その目的は、少ない部品点数で、溶湯に対する浸漬時においても下地基板を落下することなく、かつ下地基板の着脱が容易な下地基板保持装置、およびその下地基板保持装置を備える結晶シート生成装置ならびにその結晶シート生成方法を提供することである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は、半導体材料または金属材料を溶融した溶湯に浸漬し、溶湯を凝固成長させて結晶シートを生成するための下地基板を着脱可能に保持する下地基板保持装置において、
下地基板を保持する一方の保持部材である保持固定部と、
下地基板を保持する他方の保持部材であって、保持固定部に対して相対変位可能に設けられ、保持固定部とともに下地基板を保持する保持可動部と、
弾性変形することによって保持可動部と保持固定部との相対位置を変化させるように設けられる弾性部材とを含むことを特徴とする下地基板保持装置である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また本発明は、保持固定部と保持可動部とで保持されている状態にある下地基板に当接して下地基板を押圧する保持可動部の押圧面には、下地基板が溶湯に浸漬される浸漬軌道に対して略平行方向に延びる係合凸部が形成され、
保持可動部によって押圧される下地基板の被押圧面には、係合凸部と係合する係合溝部が形成されることを特徴とする。
また本発明は、弾性部材が、ばね部材であることを特徴とする。
また本発明は、半導体材料または金属材料を溶融した溶湯に下地基板を浸漬し、溶湯を凝固成長させて結晶シートを生成する結晶シート生成装置において、
前記下地基板保持装置で保持された下地基板を溶湯に対して浸漬して、溶湯を凝固成長させるための浸漬手段を含むことを特徴とする。
また本発明は、浸漬手段が搬送部材を備え、
下地基板保持装置の保持可動部が、搬送部材に連結されて搬送部材の動作に連動し、
下地基板保持装置の弾性部材が、保持可動部の動作に応じて弾性変形し、伸張変形することによって下地基板を保持し、圧縮変形することによって下地基板を保持解除することを特徴とする。
また本発明は、半導体材料または金属材料を溶融した溶湯に下地基板を浸漬し、溶湯を凝固成長させて結晶シートを生成する結晶シート生成方法において、
前記下地基板保持装置により下地基板を保持し、下地基板を溶湯に対して浸漬し引き上げた後、下地基板保持装置から下地基板を保持解除することを特徴とする結晶シート生成方法である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明によれば、下地基板保持装置は、溶湯に浸漬される下地基板を、保持固定部と、保持固定部に対して相対変位可能に設けられる保持可動部とで保持し、保持可動部と保持固定部との相対位置を変化させるために弾性部材が用いられる構成である。このことによって、少ない部品点数で、溶湯に対する浸漬時においても下地基板を落下することなく、かつ下地基板の着脱が容易な下地基板保持装置が実現される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また本発明によれば、弾性部材がばね部材で構成されるので、耐熱性を有し、高温環境においても弾性を維持することのできる弾性部材を容易に実現することができる。
また本発明によれば、結晶シート生成装置は、下地基板保持装置で保持された下地基板を溶湯に対して浸漬して、溶湯を凝固成長させるための浸漬手段を含むことにより、少ない部品点数で、溶湯に対する浸漬時においても下地基板を落下することなく、かつ下地基板の着脱を容易に行うことができるため、下地基板を交換する際に費やす作業量および作業時間を低減し、結晶シートの生産性を向上させることができる。
また本発明によれば、浸漬手段が搬送部材を備え、下地基板保持装置の保持可動部が搬送部材に連結されて搬送部材の動作に連動し、下地基板保持装置の弾性部材が保持可動部の動作に応じて弾性変形し、伸張変形することによって下地基板を保持し、圧縮変形することによって下地基板を保持解除する。これにより、搬送部材の動作を弾性部材の弾性変位に利用することが可能になり、装置構成を簡略化することができる。また搬送部材の動作によって保持可動部を動作させ、該動作に応じて弾性部材を伸長させて下地基板を保持するので、下地基板を確実に保持することができる。
また本発明によれば、結晶シート生成方法は、下地基板保持装置により下地基板を保持し、下地基板を溶湯に対して浸漬し引き上げた後、下地基板保持装置から下地基板を保持解除する。これにより、少ない部品点数で、溶湯に対する浸漬時においても下地基板を落下することなく、かつ下地基板の着脱を容易に行うことができるため、下地基板を交換する際に費やす作業量および作業時間を低減し、結晶シートの生産性を向上させることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
下地基板保持装置３０は、大略、下地基板３１を保持する一方の保持部材である保持固定部３２と、下地基板３１を保持する他方の保持部材であって、保持固定部３２に対して相対変位可能に設けられ、保持固定部３２とともに下地基板３１を保持する保持可動部３３と、弾性変形することによって保持可動部３３と保持固定部３２との相対位置を変化させるように設けられる弾性部材３４とを含む。