【手続補正書】
【提出日】平成19年8月10日(2007.8.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
図１０は、図９のｙ方向で切断した概略側面図であって隔壁の植立状態と電子源から放出される電子の振る舞いを説明する図である。なお、図１０には背面パネルＰＮＬ１と共に前面パネルＰＮＬ２も示している。背面パネルＰＮＬ１の内面には、画像信号配線ｄ（ｄ１，ｄ２，・・・ｄｎ）が形成され、その上に絶縁膜（図示しない）を介して走査信号配線ｓ（ｓ１，ｓ２，ｓ３，・・・ｓｍ）が交差して形成されている。図１０では、走査信号配線ｓ２の上に隔壁ＳＰＣを有し、この隔壁ＳＰＣに対し垂直走査方向ＶＳの上流側に電子源ＥＬＳ（ＥＬＳ２）が設けられ、接続電極ＥＬＣ（ＥＬＣ２）で走査信号配線ｓ２から給電される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
前面パネルＰＮＬ２の内面には陽極電極ＡＤが設けられており、電子源ＥＬＳ（ＥＬＳ１，ＥＬＳ２，ＥＬＳ３，・・・）から放射される電子ｅ- を加速して対応する副画素を構成する蛍光体層ＰＨ（ＰＨ１，ＰＨ２，ＰＨ３，・・・）に射突させる。これにより、該蛍光体層ＰＨ（ＰＨ１，ＰＨ２，ＰＨ３，・・・）が所定の色光で発光し、他の副画素の蛍光体の発光色と混合されて所定の色のカラー画素を構成する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
図１０において、電子源ＥＬＳ２は走査信号配線ｓ２と電気的に接続される為、走査信号配線ｓ１側（図１０で電子源ＥＬＳ２の左側）よりも走査信号配線ｓ２側（図１０で電子源ＥＬＳ２の右側）に接近して配置されている。
この様な隔壁の配置において、垂直走査方向ＶＳから見て、隔壁ＳＰＣの直前に配置された電子源ＥＬＳ２から放射された電子ｅ-の一部は該隔壁ＳＰＣに帯電する。この帯電は、隔壁ＳＰＣに対し垂直走査方向ＶＳの下流に位置する電子源ＥＬＳ３から放射する電子の軌道を歪ませ、該蛍光体層に十分な電子を射突させることができず、励起不十分となる場合がある。その結果、輝度不足が生じ、色再現性が劣化する。図１０には隔壁が負に帯電した場合を記してあるが、正に帯電した場合も同様であることは言うまでもない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
隔壁が設置された走査信号配線は、当該隔壁に対し直ぐ上流に位置する電子源側よりも当該隔壁に対し直ぐ下流に位置する電子源側に接近して配置されているので、当該下流に位置する電子源から放射される電子が隔壁に帯電し易くなる。
隔壁に対し直ぐ下流に位置する電子源からの電子が当該隔壁に帯電した場合、この帯電で電子軌道が影響を受ける電子源は１垂直走査期間（１フレーム期間）後となる。この帯電は１フレームの間に徐々に放電するため、隔壁に対し最も近い上流の電子源から放射される電子の軌道への影響は極めて小さくなり、輝度不足を軽減し色再現性が向上した画像表示装置を実現できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
図１は、実施例１の画像表示装置の構成を説明する模式平面図である。背面パネルを構成する背面基板ＳＵＢ１の内面上には画像信号配線ｄ（ｄ１，ｄ２，ｄ３，・・・ｄｎ）が形成され、その上に絶縁膜（図示しない）を介して走査信号配線ｓ（ｓ１，ｓ２，・・・ｓｍ）が交差して形成されている。図１では、走査信号配線ｓ１の上に隔壁ＳＰＣを有し、この隔壁ＳＰＣに対し垂直走査方向ＶＳの下流側に電子源ＥＬＳが設けられ、接続電極ＥＬＣで走査信号配線ｓ（ｓ１，ｓ２，・・・ｓｍ）から給電される
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
図４は、図２のｙ方向で切断した概略側面図であって隔壁の植立状態と電子源から放出される電子の振る舞いを説明する図である。なお、図４には背面パネルＰＮＬ１と共に前面パネルＰＮＬ２も示している。背面パネルＰＮＬ１の内面には、画像信号配線ｄ（ｄ１，ｄ２，・・・ｄｎ）が形成され、その上に絶縁膜（図示しない）を介して走査信号配線ｓ（ｓ１，ｓ２，ｓ３，・・・ｓｍ）が交差して形成されている。図４では、走査信号配線ｓ２の上に隔壁ＳＰＣを有し、この隔壁ＳＰＣに対し垂直走査方向ＶＳの下流側に電子源ＥＬＳ２が設けられ、接続電極ＥＬＣ２で走査信号配線ｓ２から給電される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
前面パネルＰＮＬ２の内面には陽極電極ＡＤが設けられており、電子源ＥＬＳ（ＥＬＳ１，ＥＬＳ２，ＥＬＳ３，・・・）から放射される電子ｅ- を加速して対応する副画素を構成する蛍光体層ＰＨ（ＰＨ１，ＰＨ２，ＰＨ３，・・・）に射突させる。これにより、該蛍光体層ＰＨ（ＰＨ１，ＰＨ２，ＰＨ３，・・・）が所定の色光で発光し、他の副画素の蛍光体の発光色と混合されて所定の色のカラー画素を構成する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
図４において、電子源ＥＬＳ２は垂直走査方向ＶＳから見て隔壁ＳＰＣに対し下流側（図４で隔壁ＳＰＣの右側）で走査信号配線ｓ２と電気的に接続されている。そして、隔壁ＳＰＣが設置された走査信号配線ｓ２は、当該隔壁ＳＰＣに対し直ぐ上流に位置する電子源ＥＬＳ１側よりも当該隔壁ＳＰＣに対し直ぐ下流に位置する電子源ＥＬＳ２側に接近して配置されている。このような電子源、走査配線及び隔壁の位置関係により、当該下流に位置する電子源ＥＬＳ２から放射される電子が隔壁ＳＰＣに帯電し易くなる。
この様な隔壁の配置において、垂直走査方向ＶＳから見て、隔壁ＳＰＣの直後に配置された電子源ＥＬＳ２から放射された電子ｅ-の一部が該隔壁ＳＰＣに帯電したとする。この帯電は、隔壁ＳＰＣに対し垂直走査方向ＶＳの上流に位置する電子源ＥＬＳ１から放射する電子の軌道に影響を及ぼす可能性がある。しかし、この上流に位置する電子源ＥＬＳ１は走査信号配線ｓ２側（図４で電子源ＥＬＳ１の右側）よりも走査信号配線ｓ１側（図４で電子源ＥＬＳ１の左側）に接近して配置されているので、当該電子源ＥＬＳ１と走査信号配線ｓ２の間隔に少し余裕がある。また、電子源ＥＬＳ１は１フレーム期間後に選択されるため、隔壁ＳＰＣに帯電した電荷は１フレームの間に徐々に放電し、隔壁ＳＰＣに対し最も近い上流に位置する電子源ＥＬＳ１から放射される電子の軌道への影響は極めて小さくなり、輝度不足を軽減し色再現性が向上した画像表示装置を実現できる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
この電子源の構造を、その製造工程で説明する。先ず、背面基板ＳＵＢ１上に下部電極ＤＥＤ、保護絶縁層ＩＮＳ１、絶縁層ＩＮＳ２を形成する。次に、層間膜ＩＮＳ３と、上部電極ＡＥＤへの給電線となる上部バス電極とスペーサを配置するためのスペーサ電極となる金属膜を、例えばスパッタリング法等で成膜する。層間膜ＩＮＳ３としては、例えばシリコン酸化物やシリコン窒化物、シリコンなどを用いることができる。ここでは、シリコン窒化物を用い膜厚は１００ｎｍとした。この層間膜ＩＮＳ３は、陽極酸化で形成する保護絶縁層ＩＮＳ１にピンホールがあった場合、その欠陥を埋め、下部電極ＤＥＤと走査信号配線となる上部バス電極（金属膜下層ＭＤＬと金属膜上層ＭＡＬの間に金属膜中間層ＭＭＬとして銅（Ｃｕ）を挟んだ３層の積層膜）間の絶縁を保つ役割を果たす。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
なお、走査信号配線となる上部バス電極は、上記の３層積層膜とは限らず、それ以上やそれ以下の層数とすることもできる。例えば、金属膜下層ＭＤＬ、金属膜上層ＭＡＬとしてアルミニウム（Ａｌ）やクロム（Ｃｒ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）などの耐酸化性の高い金属材料、またはそれらを含む合金やそれらの積層膜を用いることができる。なお、ここでは金属膜下層ＭＤＬ、金属膜上層ＭＡＬとしてアルミニウムとネオジム（Ａｌ−Ｎｄ）の合金を用いた。この他に、金属膜下層ＭＤＬとしてＡｌ合金とＣｒ、Ｗ、Ｍｏなどの積層膜を用い、金属膜上層ＭＡＬとしてＣｒ、Ｗ、ＭｏなどとＡｌ合金の積層膜を用いて、金属膜中間層ＭＭＬのＣｕに接する膜を高融点金属とした５層膜を用いることで、画像表示装置の製造プロセスにおける加熱工程の際に、高融点金属がバリア膜となってＡｌとＣｕの合金化を抑制できるので、配線の低抵抗化に特に有効である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
上部バス電極としてＡｌ−Ｎｄ合金を用いる場合の、当該Ａｌ−Ｎｄ合金の膜厚は、金属膜下層ＭＤＬより金属膜上層ＭＡＬを厚くし、金属膜中間層ＭＭＬのＣｕは配線抵抗を低減するため、できるだけ厚くしておく。ここでは金属膜下層ＭＤＬを３００ｎｍ、金属膜中間層ＭＭＬを４μｍ、金属膜上層ＭＡＬを４５０ｎｍの膜厚とした。なお、金属膜中間層ＭＭＬのＣｕはスパッタ以外に電気めっきなどにより形成することも可能である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
続いて、スクリーン印刷によるレジストのパターニングとエッチング加工により金属膜下層ＭＤＬを、下部電極ＤＥＤと交差するストライプ形状に加工する。このエッチング加工は燐酸、酢酸の混合水溶液でのウェットエッチングで行う。その際、印刷するレジスト膜を金属膜上層ＭＡＬのストライプ電極の位置からずらすことにより、金属膜下層ＭＤＬの一方の片側端部ＥＧ１を金属膜上層ＭＡＬより張り出させて、後の工程で上部電極ＡＥＤとの接続を確保するコンタクト部とする。また、金属膜下層ＭＤＬの上記一方の片側端部ＥＧ１とは反対側の他方の片側端部ＥＧ２では、金属膜上層ＭＡＬと金属膜中間層ＭＭＬをマスクとしてオーバーエッチング加工がなされ、金属膜中間層ＭＭＬに庇を形成する如く後退した部分が形成される。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
最後に、上部電極ＡＥＤの成膜を行う。この成膜にはスパッタ法を用いる。上部電極ＡＥＤとしては、例えばイリジウム（Ｉｒ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）の積層膜を用い、その膜厚は例えば６ｎｍとした。この時、上部電極ＡＥＤは、上部バス電極（金属膜下層ＭＤＬ、金属膜中間層ＭＭＬ、金属膜上層ＭＡＬの積層膜）の一方の端部（図５（ｃ）の右側）では、金属膜中間層ＭＭＬと金属膜上層ＭＡＬの庇構造による金属膜下層ＭＤＬの後退部（ＥＧ２）により切断される。そして、上部バス電極の他方の端部（図５（ｃ）の左側）では、上部電極ＡＥＤは、上部バス電極（金属膜下層ＭＤＬ、金属膜中間層ＭＭＬ、金属膜上層ＭＡＬの積層膜）とは金属膜下層ＭＤＬのコンタクト部（ＥＧ１）により断線を起こさずに成膜接続されて、電子放出部へ給電される構造となる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
図６は、本発明の構成を適用した画像表示装置の等価回路例の説明図である。図６中に破線で示した領域は表示領域ＡＲであり、この表示領域ＡＲに画像信号配線ｄ（ｄ１，ｄ２，ｄ３，ｄ４，ｄ５，ｄ６，ｄ７，・・・ｄｎ）と走査信号配線ｓ（ｓ１，ｓ２，ｓ３，ｓ４，・・・ｓｍ）が互いに交差して配置されて、ｎ×ｍのマトリクスに配列された画素が形成されている。マトリクスの各交差部は副画素を構成し、図中の“Ｒ”，“Ｇ”，“Ｂ”の１グループでカラー１画素を構成する。なお、電子源の構成は図示を省いた。画像信号配線ｄは画像信号線駆動回路ＤＤＲに接続され、走査信号配線ｓは走査信号線駆動回路ＳＤＲに接続されている。画像信号線駆動回路ＤＤＲには外部信号源から画像信号ＤＳが入力され、走査信号線駆動回路ＳＤＲには同様に走査信号ＳＳが入力される。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
この前面パネルＰＮＬ２と背面パネルＰＮＬ１とを対向させ、対向間を所定の間隔に保つために幅約８０μｍ，高さ約２．５ｍｍのリブ状の隔壁ＳＰＣを走査信号配線の上、かつ走査信号配線の延在方向に沿ってフリットガラスを介在させて固定した。この際、両パネルの周辺部にはガラスからなる封止枠ＭＦＬを設置し、両パネルに挟まれた内部空間が外部と隔絶された構造となるように図示しないフリットガラスを用いて両パネルと封止枠を固定した。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
フリットガラスを用いた隔壁の固着の際には、約４００℃での加熱を行なった。その後、装置内部を約１μＰａまで排気管ＥＸＣを通して排気した後に排気管ＥＸＣを封じ切った。動作の際には、前面パネルＰＮＬ２上の陽極ＡＤに約１０ｋＶの電圧を印加した。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
【図１】実施例１の画像表示装置の構成を説明する模式平面図である。
【図２】実施例１における自発光型ＦＰＤの背面パネルの構成を示す模式図である。
【図３】走査信号配線に供給される垂直走査信号のタイミングを説明する図である。
【図４】図２のｙ方向で切断して隔壁の植立状態と電子源から放出される電子の振る舞いを説明する図である。
【図５】実施例１における１カラー画素を構成する電子源の一例を説明する図である。
【図６】本発明の構成を適用した画像表示装置の等価回路例の説明図である。
【図７】平板型画像表示装置を構成する表示パネルの全体の構造を示す斜視図である。
【図８】図７の断面図である。
【図９】自発光型ＦＰＤの背面パネルの構成を示す模式図である。
【図１０】図９のｙ方向で切断して隔壁の植立状態と電子源から放出される電子の振る舞いを説明する図である。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2006059591.tif 000001