【誤訳訂正書】
【提出日】平成31年3月1日(2019.3.1)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つのステータ素子（６、１）と、前記ステータ素子（６、１）に対して第１の方向と平行に運動するために懸架された少なくとも１つのロータ素子（８、３）とを備えるコンデンサ素子を含む微小電気機械構造体であって、
前記ステータ素子（６、１）および前記ロータ素子（８、３）は、少なくとも１つのコンデンサ素子を形成し、前記コンデンサ素子の複数の電極は、前記第１の方向に垂直である第２の方向に一定間隔離れており、前記コンデンサ素子の静電容量は、前記第１の方向における初期位置からの前記ロータ素子（８、３）の変位に従って変動するように構成され、
前記ステータ素子は、ステータビーム（６）を含み、前記ロータ素子は、ロータビーム（８）を含み、
前記ステータ素子は、前記ステータビーム（６）からロータビーム（８）に向かって延在する複数のステータ凸部（１）を含み、各ステータ凸部（１）は、
前記ステータ凸部の反対側に、前記第２の方向にそれぞれ延在するステータ側面（７２ａ、７２ｂ）と、
前記ステータ凸部の端に、前記第１の方向に延在するステータ端面（７０ａ）とを含み、
前記ロータ素子は、前記ロータビームから前記ステータビーム（６）に向かって延在する複数のロータ凸部（３）を含み、各ロータ凸部は、
前記ロータ凸部の反対側に、前記第２の方向にそれぞれ延在するロータ側面（６８ａ、６８ｂ）と、
前記ロータ凸部の端に、前記第１の方向に延在するロータ端面（６６ａ）とを含み、
初期位置において、前記複数のステータ凸部（１ａ）および前記複数のロータ凸部（３ａ）は、複数の凸部対に構成され、凸部対の複数の凸部の複数の端面（６６ａ、７０ａ）が互いに対面することによって少なくとも部分的に重複し、凸部対の前記複数の凸部の少なくとも１つの対の側面（６８ａ、７２ａ）は前記第２の方向の直線上に位置合わせされ、
各凸部対について、前記第１の方向における前記ステータ端面（７０ａ）の長さは、前記第１の方向における前記ロータ端面（６６ａ）の長さとは異なり、
各凸部対は、前記凸部対の前記ステータ端面（７０ａ）および前記ロータ端面（６６ａ）の間の重複部分に比例し、前記第１の方向に平行な前記ロータ素子の前記運動に従って変動するように構成される静電容量を有するコンデンサを形成し、
前記ステータ素子（６、１）および前記ロータ素子（８、３）は、前記第１の方向に平行な初期位置からの前記ロータ素子（８、３）の変位の少なくとも１つの範囲において、前記変位に対する前記静電容量の二次導関数が負の値を有するように、相互に配向されることを特徴とする（００２２）
微小電気機械構造体。
【請求項２】
各凸部対について、前記ステータ凸部（１ａ）の高さは、前記凸部対の前記ロータ凸部（３ａ）の高さと等しいことを特徴とする
請求項１に記載の微小電気機械構造体。
【請求項３】
前記複数のステータ凸部および前記複数のロータ凸部の高さ（Ｂ１）は、前記対面するステータ端面およびロータ端面間の距離（Ａ１）の１〜４倍であり、２〜３倍であることを特徴とする
請求項２に記載の微小電気機械構造体。
【請求項４】
前記第１の方向における前記ステータ端面または前記ロータ端面の前記長さ（Ｃ１、Ｃ１＋Ｄ１；Ｃ２、Ｃ２＋Ｄ２）は、前記対面するステータ端面およびロータ端面間の前記距離（Ａ１；Ａ２）の１〜３倍であり、１．５〜２．５倍であることを特徴とする
請求項１〜３のいずれか１項に記載の微小電気機械構造体。
【請求項５】
前記第１の方向における前記ロータ端面および前記ステータ端面の前記長さの前記差分（Ｄ１；Ｄ２）は、前記対面するステータ凸部およびロータ凸部の側面間の距離（Ａ１；Ａ２）の０．５〜３．５倍であり、１．５〜２．５倍であることを特徴とする
請求項１〜４のいずれか１項に記載の微小電気機械構造体。
【請求項６】
２つの隣接したロータ側面間または２つの隣接したステータ側面間の距離（Ｅ１；Ｅ２）は、前記対面するステータ端面およびロータ端面間の前記距離（Ａ１；Ａ２）の１〜４倍であり、２〜３倍であることを特徴とする
請求項５に記載の微小電気機械構造体。
【請求項７】
少なくとも２つの検出素子を含み、各検出素子は、１以上のコンデンサ素子を含み、前記１以上のコンデンサ素子の複数のステータ素子は、同じ電位に結合されていることを特徴とする
請求項１〜６のいずれか１項に記載の微小電気機械構造体。
【請求項８】
前記少なくとも２つの検出素子のうちの一方は、前記第１の方向と平行な正の方向への前記ロータの変位を検出するように位置し、前記少なくとも２つの検出素子のうちの他方は、前記第１の方向と平行であって、前記正の方向と反対方向である負の方向への前記ロータ素子の変位を検出するように位置し、
各検出素子は、１以上のコンデンサ素子を含み、前記検出素子に含まれる各コンデンサ素子の複数のステータ素子は、差動検出のための信号を提供するために電気的に結合されていることを特徴とする
請求項７に記載の微小電気機械構造体。
【請求項９】
交差結合された構成において、少なくとも４つの検出素子を含むことを特徴とする
請求項８に記載の微小電気機械構造体。
【請求項１０】
前記微小電気機械構造体は、平面の支持構造体との位置合わせのために平面形状を有し、
前記ロータ素子（８、３）は、前記微小電気機械構造体の前記平面形状の面と平行な面内方向に動くように懸架されることを特徴とする
請求項１〜９のいずれか１項に記載の微小電気機械構造体。
【請求項１１】
前記微小電気機械構造体は、平面の支持構造体との位置合わせのために平面形状を有し、
前記ロータ素子（８、３）は、前記微小電気機械構造体の前記平面形状の面と垂直な面外方向に動くように懸架されることを特徴とする
請求項１〜９のいずれか１項に記載の微小電気機械構造体。
【請求項１２】
前記第２の方向は、前記微小電気機械構造体の前記平面形状の前記面と平行であり、
前記ステータビーム（６）は、前記第１の方向に高さ寸法を有し、前記複数のステータ凸部（１）は、前記ステータビーム（６）の前記高さ寸法に沿って配置されていることを特徴とする
請求項１１に記載の微小電気機械構造体。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の前記微小電気機械構造体を含む
微小電気機械デバイス。
【請求項１４】
前記微小電気機械デバイスは、加速度計または共振器であることを特徴とする
請求項１３に記載の微小電気機械デバイス。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３３】
ロータ素子６２は、ここではロータビーム８および複数（２以上）のロータ凸部３ａ、３ｂを含むロータの一部を指す。ロータ凸部３ａ、３ｂは、ロータビームから離れるように延在する、すなわち、ロータビームの長手方向寸法に対して垂直な方向に延在する。ロータ凸部は、これらの端がロータ運動の方向、すなわち第１の方向と平行な平面のロータ端面６６ａ、６６ｂを提供するように設計されている次元要素である。ロータ端面は凸部の側壁によってロータビームから一定間隔離れて提供される。ロータ凸部の反対側に延在する（第１の方向に沿って見て反対）２つの側壁面は、ロータ側面６８ａ、６８ｂを形成する。ロータ側面６８ａ、６８ｂが第１の方向（図５においてＸ方向）における直線に直交し、かつロータ端面６６ａ、６６ｂが第２の方向（図５においてＹ方向）における直線に直交するように、図５における構成は直角である。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３４】
ステータ素子６４は、ここではステータビーム６および複数（２以上）のステータ凸部１ａ、１ｂを含むステータの一部を指す。ステータ凸部１ａ、１ｂは、ステータビーム６から離れるように延在する、すなわち、第２の方向に延在する。ステータ凸部は対応する次元要素であり、これらの端は、ロータ運動の方向、すなわち第１の方向と平行な平面のステータ端面７０ａ、７０ｂを提供するように設計されている。ステータ端面は、凸部の側壁によってステータビームから一定間隔離れている。ステータ凸部の反対側に延在する（第１の方向に沿って見て反対）２つの側壁面が、ステータ側面７２ａ、７２ｂを形成する。ステータ側面７２ａ、７２ｂが第１の方向における直線に直交し、かつステータ端面７０ａ、７０ｂが第２の方向における直線に直交するように、図５における構成は直角である。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３５】
図５の例示的な構成において、ロータ凸部３ａ、３ｂは、ロータビーム８からＹ方向に垂直に外側へ延在し、この方向は、ロータ素子のＸ方向の動きに対して垂直であり、ＸＹ平面に延在する支持構造体と平行である。ロータ凸部３ａ、３ｂは、各ロータ凸部の反対側にロータ側面を含む。そのため、各ロータ側面は、ロータ素子のＸ方向の動き方向に垂直であり、かつ支持構造体のＸＹ平面に垂直なＹＺ平面にある。各ロータ凸部３ａ、３ｂは、ロータ凸部の端にロータ端面６６ａ、６６ｂを含む。各ロータ端面は、ロータのＸ方向の動き方向に平行であり、かつ支持構造体のＸＹ平面に垂直なＸＺ平面にある。ロータ側端７４は、各ロータ側面およびロータ端面の間で形成される。図５の直角の構成において、ロータ側端に沿う線は、Ｚ方向に位置合わせされる、すなわち、Ｘ方向の第１の方向およびＹ方向の第２の方向の両方に対して直交する。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３６】
同様に、ステータ凸部１ａ、１ｂは、ステータビーム６からＹ方向に垂直に外側へ延在してもよい。この方向は、ロータ素子のＸ方向の動きに対して垂直であり、ＸＹ平面に延在する支持構造体と平行である。ステータ凸部１ａ、１ｂは、各ステータ凸部の反対側にステータ側面７２ａ、７２ｂを含んでもよい。そのため、各ステータ側面は、ロータ素子のＸ方向の動き方向に垂直であり、かつ支持構造体のＸＹ平面に垂直なＹＺ平面にある。各ステータ凸部１ａ、１ｂは、ロータ凸部の端にステータ端面７０ａ、７０ｂを含む。各ステータ端面は、ロータのＸ方向の動き方向に平行であり、かつ支持構造体のＸＹ平面に垂直なＸＺ平面にある。ステータ側端７６は、各ステータ側面およびステータ端面の間で形成される。図５の直角の構成において、ステータ側端に沿う線は、Ｚ方向に位置合わせされる、すなわち、Ｘ方向の第１の方向およびＹ方向の第２の方向の両方に対して直交する。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７３】
図１１に示されるように、ロータは、剛性のロータ支持構造体４１を介して、かつ懸架ばね４ａ、４ｂによってロータ固定素子４０から懸架される。ロータは、トーションばね４ａ、４ｂを通る軸周りの回転運動を誘起してもよいロータフレーム１５を含む。複数のロータビーム８は、ロータフレーム１５の端からＹ方向に内側に延在し、さらにＺ方向に高さ寸法も有する。ロータビーム８は、各ロータビーム８の高さ寸法に沿って配置された複数のロータ凸部３を含む。ロータ凸部３は、ロータビーム８から外側にＸ方向に向かって、すなわち、ロータ素子のＺ方向の動き方向に対して垂直方向にステータビーム８から延在する。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７４】
図１２は、図１１において示す構成のＭＥＭＳ構造体の部品の部分的に詳細な断面図であり、ＭＥＭＳ構成体は、図１１より少ない数のビームだけを備える。図１２について説明したように、各ステータ凸部１は、ステータ凸部１の反対側にステータ側面７２ａ、７２ｂを含んでもよい。各ステータ側面は、ＸＹ平面と平行である。各ステータ凸部１は、さらにステータ凸部１の端にステータ端面７０を含み、ステータ端面はＹＺ平面と平行である。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７５】
また図１２に示されるように、各ロータ凸部３は、ロータ凸部３の反対側にロータ側面６８ａ、６８ｂを含み、各ロータ側面６８ａ、６８ｂは、ＸＹ平面と平行である。各ロータ凸部３は、さらにロータ凸部の端にロータ端面を含み、ロータ端面はＹＺ平面と平行である。ロータ凸部３は、ロータビーム８の１つの側または両側から延在してもよい。ステータ凸部１およびロータ凸部３は凸部対になるように構成され、凸部対は、隣接したステータビームおよびロータビームのステータ凸部およびロータ凸部から成るようになる。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７６】
この例示的な実施の形態において、ロータフレームは、２つの側部ビームおよび１つの端部ビームを有するＵ字型の構造体である。図１１に示されるように、ロータフレーム１５の側部ビームのうちの１つは、ロータ支持構造体４１に第１のばね４ａによって１つの端部に連結される。素子フレーム１５の反対側部ビームは、第２のばね４ｂによって１つの端部において同じロータ支持構造体４１に連結される。素子フレームの反対側部ビームは、素子構造体の中心軸と平行である。ロータ支持構造体４１は、ロータ固定素子４０に基板に強固に固定されてもよい。基板のＸＹ平面に垂直なロータ素子のＺ方向の動き方向を可能にするために、ばね４ａ、４ｂは、ねじれに柔軟であるため、ロータが回転面外運動を行うことが可能である。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８１】
図１２は、図１１で示されたステータ素子およびロータ素子の寸法もより詳細に示す。図１１において、Ａ２は、ステータ凸部１およびロータ凸部３の対面する端面間の距離を示し、Ｂ２は、ロータビーム８からのロータ凸部３のＸ方向の長さ、すなわち、ロータ凸部３の端からロータビーム８までの距離を示す。Ｃ２は、ロータ凸部１のＺ方向の高さを示し、Ｄ２は、ロータ凸部３およびステータ凸部１間の高さの差分を示し、Ｅ２は、２つのロータ凸部３間の距離を示す。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９２】
図１５は、図１３〜１４のＭＥＭＳ構造体において適用可能な、ステータビームおよびロータビームのＺ方向の寸法に沿ったロータ凸部およびステータ凸部の寸法も示す。図１３〜１４のように、参照番号３はロータ凸部を示し、参照番号１はステータ凸部を示す。Ａ２は、ステータ凸部１およびロータ凸部３の対面する端面間の距離を示し、Ｂ２は、ロータビーム８からのロータ凸部３のＸ方向の長さ、すなわち、ロータ凸部３の端からロータビーム８までの距離を示す。Ｃ２は、ロータ凸部３のＺ方向の高さおよびステータ凸部１のＺ方向の高さも示し、Ｅ２は、２つのロータ凸部３間の距離および２つのステータ凸部１間の距離も示す。なお、図１５は実際の縮尺ではなく、単に、例示的な構成における距離Ａ２、Ｂ２、Ｃ２、およびＥ２の意味を示すためのものである。