【手続補正書】
【提出日】平成19年8月7日(2007.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気式駆動部（１１）と流量制御部（５）とからなる電動制御弁と、超音波を流体中に発信する超音波振動子（１８）と該超音波振動子（１８）から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部（９）に出力する超音波振動子（１９）を有する流量計センサ部（４）と、流量計センサ部（４）の信号によって流量を演算する流量計アンプ部（９）と、流量計アンプ部（９）で演算された流量値に基づいて電動制御弁の開度を調整しフィードバック制御するための制御部（１０）とを具備し、少なくとも流量計アンプ部（９）と制御部（１０）と電気式駆動部（１１）とを具備する電装モジュール（７）が１つの第一のケーシング（８）内に設置された、
ことを特徴とする流体制御装置。
【請求項２】
少なくとも前記流量計センサ部（４）と前記流量制御部（５）とを具備するバルブモジュール（１）が、流体流入口（３）と流体流出口（６）を有する１つの第二のケーシング（２）内に配置された、
ことを特徴とする請求項１に記載の流体制御装置。
【請求項３】
前記バルブモジュール（１）の第二のケーシング（２）の流体流入口（３）の内部または外部に圧力調整弁（１１２）が設けられた、
ことを特徴とする請求項２に記載の流体制御装置。
【請求項４】
前記圧力調整弁（１１２）は、
下部中央に底部まで開放して設けられた第二の空隙（１２２）と、第二の空隙（１２２）に連通する入口流路（１２４）と、上部に上面が開放して設けられ第二の空隙（１２２）の径よりも大きい径を有する第一の空隙（１２３）と、第一の空隙（１２３）に連通する出口流路（１２５）と、第一の空隙（１２３）と第二の空隙（１２２）とを連通し第一の空隙（１２３）の径よりも小さい径を有する連通孔（１２６）とを有し、第二の空隙（１２２）の上面が弁座（１２７）とされた本体（１１４）と、
側面あるいは上面に設けられた給気孔（１３０）と排出孔（１３１）とに連通した円筒状の空隙（１２８）を内部に有し、下端内周面に段差部（１２９）が設けられたボンネット（１１５）と、
ボンネット（１１５）の段差部（１２９）に嵌挿され中央部に貫通孔（１３２）を有するバネ受け（１１６）と、
下端部にバネ受け（１１６）の貫通孔（１３２）よりも小径の第一接合部（１３７）を有し、上部に鍔部（１３５）が設けられボンネット（１１５）の空隙（１２８）内部に上下動可能に嵌挿されたピストン（１１７）と、
ピストン（１１７）の鍔部（１３５）の下端面とバネ受け（１１６）の上端面で挟持支承されているバネ（１１８）と、
周縁部が本体（１１４）とバネ受け（１１６）との間で挟持固定され、本体（１１４）の第一の空隙（１２３）に蓋する形で第一の弁室（１４４）を形成する中央部が肉厚とされた第一ダイヤフラム（１４０）と、上面中央にピストン（１１７）の第一接合部（１３７）にバネ受け（１１６）の貫通孔（１３２）を貫通して接合固定される第二接合部（１４２）と、下面中央に本体（１１４）の連通孔（１２６）と貫通して設けられた第三接合部（１４３）とを有する第一弁機構体（１１９）と、
本体（１１４）の第二の空隙（１２２）内部に位置し本体（１１４）の連通孔（１２６）よりも大径に設けられた弁体（１４５）と、弁体（１４５）上端面に突出して設けられ第一弁機構体（１１９）の第三接合部（１４３）と接合固定される第四接合部（１４７）と、弁体（１４５）下端面より突出して設けられたロッド（１４８）と、ロッド（１４８）下端面より径方向に延出して設けられた第二ダイヤフラム（１５０）とを有する第二弁機構体（１２０）と、
本体（１１４）の下方に位置し、第二弁機構体（１２０）の第二ダイヤフラム（１５０）周縁部を本体（１１４）との間で挟持固定する環状突出部（１５２）を上部中央に有し、環状突出部（１５２）の上端部に切欠凹部（１５３）が設けられると共に切欠凹部（１５３）に連通する呼吸孔（１５４）が設けられているベースプレート（１２１）とを具備し、
ピストン（１１７）の上下動に伴って第二弁機構体（１２０）の弁体（１４５）と本体（１１４）の弁座（１２７）とによって形成される流体制御部（１５５）の開口面積が変化するように配置された、
ことを特徴とする請求項３に記載の流体制御装置。
【請求項５】
前記流量計センサ部（４）は、前記流体流入口（３）に連通する入口流路（１３）と、入口流路（１３）から垂設された第一立上り流路（１４）と、第一立上り流路（１４）に連通し入口流路（１３）の軸線に略平行に設けられた直線流路（１５）と、直線流路（１５）から垂設された第二立上り流路（１６）と、第二立上り流路（１６）に連通し入口流路（１３）の軸線に略平行に設けられ流量制御部（５）の入口流路（２４）に連通する出口流路（１７）とが連続して設けられ、第一、第二立上り流路（１４、１６）の側壁の直線流路（１５）の軸線と交わる位置に、超音波振動子（１８、１９）が互いに対向して配置された流量計センサ部（４）であり、
前記流量計アンプ部（９）は、超音波振動子（１８、１９）がケーブルを介して接続される流量計アンプ部（９）であり、
前記流量計センサ部（４）と前記流量計アンプ部（９）とが、超音波振動子（１８、１９）の送受信を交互に切り替えて超音波振動子（１８、１９）間の超音波伝搬時間差を測定することにより直線流路（１５）を流れる流体の流量を演算する超音波流量計を構成する、
ことを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【請求項６】
前記流量計センサ部（１５６）は、前記流体流入口（３）に連通する入口流路（１５９）と、入口流路（１５９）内に垂設されたカルマン渦を発生させる渦発生体（１６０）と、出口流路（１６１）とを備える直線流路（１６２）とが連続して設けられ、直線流路（１６２）の渦発生体（１６０）の下流側の側壁に、超音波振動子（１６３、１６４）が流路軸線方向に直交する位置に互いに対向して配置された流量計センサ部（１５６）であり、  前記流量計アンプ（１６５）は、超音波振動子（１６３、１６４）がケーブルを介して接続される流量計アンプ部（１６５）であり、
前記流量計センサ部（１５６）と前記流量計アンプ部（１６５）とが、渦発生体の下流に発生するカルマン渦の発生周波数を超音波振動子（１６３）が送信した信号と超音波振動子（１６４）が受信した信号との位相差によって流量を演算する超音波式渦流量計を構成する、
ことを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【請求項７】
前記電装モジュール（７）とバルブモジュール（１）とが連結された、
ことを特徴とする請求項２から請求項６のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【請求項８】
前記電装モジュール（７）とバルブモジュール（１）とが空間層（１２）を介して連結された、
ことを特徴とする請求項７に記載の流体制御装置。
【請求項９】
前記電装モジュール（５６）の第一のケーシング（５７）は、該第一のケーシング（５７）内に充填された気体を排出するために設けられた排出口（６１）を有することを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【請求項１０】
前記空間層（１２）内に充填された気体を排出するために設けられた排出口（４９）を有する、
ことを特徴とする請求項８に記載の流体制御装置。
【請求項１１】
前記電気式駆動部（１１）は、上部ボンネット（３７）と下部ボンネット（３６）に内包されたモータ部（３８）とを具備し、前記流量制御部（５）は、モータ部（３８）の軸に連結されたステム（４７）により上下動される弁体（２２）を有するダイヤフラム（２１）ならびに、ダイヤフラム（２１）によって電気式駆動部（１１）から隔離された弁室（２３）に各々連通する入口流路（２４）及び出口流路（２５）を有する弁本体（２０）とを具備し、ダイヤフラム（２１）の非接液側空間（４１）と連通する排気孔（４３）が下部ボンネット（３６）に設けられた、
ことを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【請求項１２】
前記電動制御弁が、電動式ピンチバルブである、
ことを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【請求項１３】
前記電動式ピンチバルブの管体の材質がＥＰＤＭ、フッ素ゴム、シリコンゴム、またはこれらの複合体からなる、ことを特徴とする請求項１２に記載の流体制御装置。
【請求項１４】
前記電動式ピンチバルブの管体がポリテトラフルオロエチレンとシリコンゴムとの複合体からなる、ことを特徴とする請求項１２に記載の流体制御装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明の流体制御装置の構成を図１、図２に基づいて説明すると、電気式駆動部１１と流量制御部５からなる電動制御弁と、超音波を流体中に発信する超音波振動子１８と該超音波振動子１８から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部９に出力する超音波振動子１９を有する流量計センサ部４と、流量計センサ部４の信号によって流量を演算する流量計アンプ部９と、流量計アンプ部９で演算された流量値に基づいて電動制御弁の開度を調整しフィードバック制御するための制御部１０とを具備し、少なくとも流量計アンプ部９と制御部１０と電気式駆動部１１とを具備する電装モジュール７が１つの第一のケーシング８内に設置されたことを第１の特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、少なくとも流量計センサ部４と流量制御部５とを具備するバルブモジュール１が、流体流入口３と流体流出口６とを有する１つの第二のケーシング２内に配置されたことを第２の特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、バルブモジュール１の第二のケーシング２の流体流入口３の内部または外部に圧力調整弁１１２が設けられたことを第３の特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、圧力調整弁１１２が、
下部中央に底部まで開放して設けられた第二の空隙１２２と、第二の空隙１２２に連通する入口流路１２４と、上部に上面が開放して設けられ第二の空隙１２２の径よりも大きい径を有する第一の空隙１２３と、第一の空隙１２３に連通する出口流路１２５と、第一の空隙１２３と第二の空隙１２２とを連通し第一の空隙１２３の径よりも小さい径を有する連通孔１２６とを有し、第二の空隙１２２の上面が弁座１２７とされた本体１１４と、
側面あるいは上面に設けられた給気孔１３０と排出孔１３１とに連通した円筒状の空隙１２８を内部に有し、下端内周面に段差部１２９が設けられたボンネット１１５と、
ボンネット１１５の段差部１２９に嵌挿され中央部に貫通孔１３２を有するバネ受け１１６と、
下端部にバネ受け１１６の貫通孔１３２よりも小径の第一接合部１３７を有し、上部に鍔部１３５が設けられボンネット１１５の空隙１２８内部に上下動可能に嵌挿されたピストン１１７と、
ピストン１１７の鍔部１３５下端面とバネ受け１１６の上端面で挟持支承されているバネ１１８と、
周縁部が本体１１４とバネ受け１１６との間で挟持固定され、本体１１４の第一の空隙１２３に蓋する形で第一の弁室１４４を形成する中央部が肉厚とされた第一ダイヤフラム１４０と、上面中央にピストン１１７の第一接合部１３７にバネ受け１１６の貫通孔１３２を貫通して接合固定される第二接合部１４２と、下面中央に本体１１４の連通孔１２６と貫通して設けられた第三接合部１４３とを有する第一弁機構体１１９と、
本体１１４の第二の空隙１２２内部に位置し本体１１４の連通孔１２６よりも大径に設けられた弁体１４５と、弁体１４５上端面に突出して設けられ第一弁機構体１１９の第三接合部１４３と接合固定される第四接合部１４７と、弁体１４５下端面より突出して設けられたロッド１４８と、ロッド１４８下端面より径方向に延出して設けられた第二ダイヤフラム１５０とを有する第二弁機構体１２０と、
本体１１４の下方に位置し第二弁機構体１２０の第二ダイヤフラム１５０周縁部を本体１１４との間で挟持固定する環状突出部１５２を上部中央に有し、環状突出部１５２の上端部に切欠凹部１５３が設けられると共に切欠凹部１５３に連通する呼吸孔１５４が設けられているベースプレート１２１とを具備し、
ピストン１１７の上下動に伴って第二弁機構体１２０の弁体１４５と本体１１４の弁座１２７とによって形成される流体制御部１５５の開口面積が変化するように配置されたことを第４の特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、流量計センサ部４は、流体流入口３に連通する入口流路１３と、入口流路１３から垂設された第一立上り流路１４と、第一立上り流路１４に連通し入口流路１３の軸線に略平行に設けられた直線流路１５と、直線流路１５から垂設された第二立上り流路１６と、第二立上り流路１６に連通し入口流路１３の軸線に略平行に設けられ流量制御部５の入口流路２４に連通する出口流路１７とが連続して設けられ、第一、第二立上り流路１４、１６の側壁の直線流路１５の軸線と交わる位置に、超音波振動子１８、１９が互いに対向して配置された流量計センサ部４であり、
流量計アンプ部９は、超音波振動子１８、１９がケーブルを介して接続される流量計アンプ部９であり、
前記流量センサ部４と前記流量計アンプ部９とが流量計測器を構成し、
前記流量計測器が、超音波振動子１８、１９の送受信を交互に切り替えて超音波振動子１８、１９間の超音波伝搬時間差を測定することにより直線流路１５を流れる流体の流量を演算するように構成された超音波流量計であることを第５の特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、流量計センサ部１５６は、流体流入口３に連通する入口流路１５９と、入口流路１５９内に垂設されたカルマン渦を発生させる渦発生体１６０と、出口流路１６１とを備える直線流路１６２とが連続して設けられ、直線流路１６２の渦発生体１６０の下流側の側壁に、超音波振動子１６３、１６４が流路軸線方向に直交する位置に互いに対向して配置された流量計センサ部１５６であり、
流量計アンプ部１６５が、超音波振動子１６３、１６４がケーブルを介して接続される流量計アンプ部１６５であり、
前記流量計センサ部１５６と前記流量計アンプ部１６５とが流量計測器を構成し、
前記流量計測器が、渦発生体の下流に発生するカルマン渦の発生周波数を超音波振動子１６３が送信した信号と超音波振動子１６４が受信した信号との位相差によって流量を演算するように構成された超音波式渦流量計であることを第６の特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、電装モジュール７とバルブモジュール１が連結されたことを第７の特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、電装モジュール７とバルブモジュール１とが空間層１２を介して連結されたことを第８の特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、電装モジュール５６の第一のケーシング５７は、該第一のケーシング５７内に充填された気体を排出するために設けられた排出口６１を有することを第９の特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、空間層１２内に充填された気体を排出するために設けられた排出口４９を有することを第１０の特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、電気式駆動部１１は、上部ボンネット３７と下部ボンネット３６に内包されたモータ部３８とを具備し、流量制御部５は、モータ部３８の軸に連結されたステム４７により上下動される弁体２２を有するダイヤフラム２１ならびに、ダイヤフラム２１によって電気式駆動部１１から隔離された弁室２３に各々連通する入口流路２４及び出口流路２５を有する弁本体２０とを具備し、ダイヤフラム２１の非接液側空間４１と連通する排気孔４３が下部ボンネット３６に設けられたことを第１１の特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
さらに、電動制御弁が、電動式ピンチバルブであることを第１２の特徴とする。また、電動式ピンチバルブの管体の材質がＥＰＤＭ、フッ素ゴム、シリコンゴム、またはこれらの複合体からなることを第１３の特徴とし、電動式ピンチバルブの管体がポリテトラフルオロエチレンとシリコンゴムとの複合体からなることを第１４の特徴とする。