Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月14日(2006.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
粒子を含む液体試料を保持するチャンバと、
高周波電源と、
電圧が印加されることによりチャンバ内に電気力線密度が高い領域と電気力線密度が低い領域とを生じさせる電極と、
高周波電源から電極への高周波電圧の印加と停止又は変調とにより、誘電泳動を利用して粒子の移動を引き起こすように制御する誘電泳動制御部と、
誘電泳動により生じる粒子希薄領域と粒子集中領域との少なくともいずれかにおける粒子移動に伴う屈折率変化を計測する屈折率検出部とを備え、
屈折率検出部は、粒子移動を計測するために粒子希薄領域または粒子集中領域に接するように配置されてなるセンサ面を有し、
センサ面近傍の屈折率変化から粒子の拡散に関する評価を行うことを特徴とする拡散計測装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記課題を解決するためになされた本発明の拡散計測装置は、粒子を含む液体試料を保持するチャンバと、高周波電源と、電圧が印加されることによりチャンバ内に電気力線密度が高い領域と電気力線密度が低い領域とを生じさせる電極と、高周波電源から電極への高周波電圧の印加と停止又は変調とにより、誘電泳動を利用して粒子の移動を引き起こすように制御する誘電泳動制御部と、誘電泳動により生じる粒子希薄領域と粒子集中領域との少なくともいずれかにおける粒子移動に伴う屈折率変化を計測する屈折率検出部とを備え、屈折率検出部は、粒子移動を計測するために粒子希薄領域または粒子集中領域に接するように配置されてなるセンサ面を有し、センサ面近傍の屈折率変化から粒子の拡散に関する評価を行うようにしている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
この発明によれば、チャンバ内に計測対象となる粒子を含む試料を保持するようにし、高周波電源からチャンバ内に設けた電極に高周波電圧を印加したときに、チャンバ内に電気力線密度の高い領域と低い領域とを生じさせる。
また、電極への高周波電圧の印加と停止又は変調により、誘電泳動を利用して粒子の移動を生じさせる。このとき、チャンバ内の電気力線密度分布に応じて、粒子密度が高い粒子集中領域と粒子密度が低い粒子希薄領域とが発生するが、そのときの粒子移動に伴うチャンバ内の屈折率変化を計測する。屈折率を計測する屈折率検出部は、粒子希薄領域または粒子集中領域に接するように配置されてなるセンサ面を有しており、センサ面近傍における粒子の拡散に伴う屈折率変化を計測する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
この拡散計測装置１０は、粒子（例えば蛋白質Ｔ）を含む液体試料Ｓを保持するチャンバ１１、チャンバ底面となる基板１２、基板１２上に形成され、チャンバ１１内に露出するように形成される一対の電極１３、電極１３と同様にチャンバ１１内に露出するように形成されるセンサ面１４ａ、１４ｂ、このセンサ面１４ａ、１４ｂを利用して屈折率が計測される屈折率検出器１５ａ、１５ｂ、電極１３に高周波電圧を印加する高周波電源１６、高周波電源１６から電極１３に印加する電圧を制御して粒子の誘電泳動を引き起こし、あるいは誘電泳動を停止又は変調する誘電泳動制御部１７により構成される。なお、図１では、屈折率検出器１５ａ、１５ｂについては模式的に示しているが、屈折率検出器１５ａ、１５ｂの具体的な構成例（２光束干渉、エタロン、表面プラズモン、局在プラズモンを利用した屈折率検出部）については後述する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
誘電泳動制御部１７は、誘電泳動によって一旦、粒子集中領域１９を確立した後、電圧印加を停止又は変調することで、拡散により粒子移動が始まるように制御する。粒子移動に伴って液体試料Ｓの屈折率が変化すると、センサ面１４ａ、１４ｂが粒子希薄領域２０、粒子集中領域１９と接するように形成されているので、これらの領域におけるセンサ面近傍の液体試料Ｓの屈折率変化が、センサ面１４ａ、１４ｂに影響を及ぼす。
なお、誘電泳動力により粒子集中領域を確立した後、誘電泳動力を消滅あるいは弱め、拡散による粒子移動を開始するのが誘電泳動制御部１７による本来の測定方法であるが、これとは全く逆のプロセスとして、誘電泳動力がない状態あるいは弱い状態から、誘電泳動力を強めるようにして粒子を捕集するようにしてもよい。逆のプロセスであっても、拡散のしやすさに関する情報を得ることができる。要するに、誘電泳動制御部１７は、高周波電源から電極への高周波電圧の印加と停止又は変調とにより、誘電泳動力の変化を利用して粒子の移動を引き起こすように制御すればよい。
屈折率検出器１５ａ、１５ｂでは、この液体試料Ｓの屈折率変化を、屈折率検出器１５ａ、１５ｂ内の光学系の等価屈折率変化、あるいは光路長変化として検出する。そして、検出した屈折率変化から、粒子の拡散に関する情報、例えば、拡散しやすさ、拡散速度、さらに拡散速度を用いた演算により拡散係数を求めることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月23日(2007.1.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
【数４】
2006029796.tif 000001
ここで、Ｓは検知電極の面積、ｄｉ、εｉ、εｓ、ＬＤは、それぞれ検知電極と半導体基板との間に形成される薄い絶縁膜層の厚さ、薄い絶縁膜層の誘電率、検知電極直下の半導体部の誘電率、デバイ長を、それぞれ表す。デバイ長ＬＤは、半導体の分野では良く知られた数値であり、次式で与えられる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月6日(2007.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
屋外に設けた集熱ダクトから屋内空間へ至る空気路を有する換気システムにおいて、上記集熱ダクト32は、先端部側に有する換気用の口部36を上にして配向させ、又上記空気路10は、暑期には上記集熱ダクト32内空気の膨張により建物の内から外へ、又寒期には送風ファン８によって外から内へ通風するように構成した、集熱ダクトを利用した寒暑期両用の換気システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
第１の手段は、屋外に設けた集熱ダクトから屋内空間へ至る空気路を有する換気システムにおいて、上記集熱ダクト32は、先端部側に有する換気用の口部36を上にして配向させ、又上記空気路10は、暑期には上記集熱ダクト32内空気の膨張により建物の内から外へ、又寒期には送風ファン８によって外から内へ通風するように構成している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
「給気口」及び「排気口」は、それぞれ少なくとも一つ設ければ足りるが、排気口として、排気ファンを付設した強制排気用の排気口と、そのような排気ファンを付設していない自然排気用の排気口との２種類を、それぞれ適当数設け、強制排気モードでは前者を、又自然排気モードでは後者を介して排気をすることが望ましい。又、この2つのモードの切替は、屋内空間の二酸化炭素などの汚染物質の濃度に応じて該濃度が基準値以上のときには強制排気モードを、又基準値以下のときには自然排気モードをとるように行なうことができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2006029733.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月6日(2007.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
上記第２空気流路部分24ｂと断熱部18との間に蓄熱層20を形成したことを特徴とする、請求項１又は請求項２記載の集熱ダクト。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
図９の図示例では、外筒６そのものを、平板形の透光部22と、断面凹字形の樋部材として形成した断熱部18とで構成している。上記透光部22は断熱部18の上面に着脱自在に設けることができる。透光部22は、第1実施形態と同様に透明アクリル樹脂又はガラスで形成することができ、又、断熱部18は、ガルバニウム鋼板などで形成することができる。又、図示例では、外筒６を長手方向に複数の外筒部分で分割している。上記断熱部18の底壁部分上面には、蓄熱層20を敷設している。該蓄熱層は必ずしも保形性を有するものでなくても良い。
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月6日(2007.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
「外気導入口」及び「通風流出口」とあるのは、当該外気導入口に対向する方向から風が吹いた場合の気流の入口及び出口を示すものであり、例えば通風流出口に対向する方向から風が吹いた場合に通風流出口から外気導入口へ通風を生ずるようにした構成を排除する意味ではない。更に後述の図示例で外気導入口として開示した開口部を、例えば建物外周壁内面に沿って間欠的に配置し、風向きによって建物一半部側の開口部から他半部側の開口部へ通風が得られるようにした構成としても良い。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
【図１】本発明に係る空調兼通風システムの平面図である。
【図２】図１システムの自然通風モードでの要部作用説明図である。
【図３】図１システムの一般冷房モードでの要部作用説明図である。
【図４】図１システムの外気冷房モードでの要部作用説明図である。
【図５】図１システムの自然通風及び外気冷房併用モードでの要部作用説明図である。
【図６】図１システムの要部の変形例である。
【図７】図１のシステムの外気導入口と通風流出口とのレイアウトの変形例を示す説明図である。
【図８】図１システムの外気導入口及び通風流出口とのレイアウトの他の変形例を示す概念図である。
【図９】図７の変形例の実施例である。
【図１０】図８の変形例の実施例である。
【図１１】本発明に係る通風路付き空調機の正面図である。
【図１２】図１１のXII−XII線方向に見た縦断面図である。
【図１３】同空調機の変形例の正面図である。
【図１４】図１３のXIV−XIV線方向に見た縦断面図である。
【図１５】同空調機の変形例の正面図である。
【図１６】図１５のXVI−XVI線方向に見た縦断面図である。
【図１７】本発明の裏付けとした、ある観測地点での時刻別の平均風速の分布図である。
【図１８】同観測点での月別平均風速分布図である。
【図１９】同観測点での風速出現率の分布図である。
【図２０】従来の自然通風機能付き空調システムの構成図である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2006029748.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月24日(2007.5.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
建造物の外部と室内とを連絡し、且つ前記外部から前記室内に流入する外気を抑制するための風除室を有する出入り口に対して隣接する室内空間に、前記出入り口から流入する外気の影響を抑制する空気調整方法であって、
前記風除室に空気流によるエアカーテンを形成するとともに、
前記出入り口と隣接する前記室内空間の上方の空気を下方へと送り、前記出入り口と隣接する前記室内空間の下部の空気と混合させることを特徴とする建造物の出入り口と隣接する室内空間における空気調整方法。
【請求項２】
前記出入り口と隣接する室内空間における上方の空気を前記エアカーテン用空気として送り、前記室内空間の下部における外部からの流入空気と混合させることを特徴とする請求項１に記載の建造物の出入り口と隣接する室内空間における空気調整方法。
【請求項３】
前記出入り口と隣接する室内空間内における一部分の空気温度がその周囲の空気温度より低い場合には、前記出入り口と隣接する室内空間内に設けられた輻射熱放射手段によって、前記一部分に輻射熱を放射することを特徴とする請求項１又は２に記載の建造物の出入り口と隣接する室内空間における空気調整方法。
【請求項４】
前記出入り口から前記出入り口と隣接する室内空間内に流入した外気を、前記出入り口と隣接する室内空間内の上方の空気と混合させる際には、前記出入り口の上縁より高く、且つ高さの異なる複数の場所から下方に向けて空気を送出することを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の建造物の出入り口と隣接する室内空間における空気調整方法。
【請求項５】
建造物の外部と室内とを連絡し、且つ前記外部から前記室内に流入する外気を抑制するための風除室を有する出入り口に対して隣接する室内空間に、前記出入り口から流入する外気の影響を抑制する空気調整装置であって、
前記風除室に空気流によるエアカーテンを形成するエアカーテン装置と、
前記出入り口の上縁より上方の前記出入り口と隣接する室内空間に設けられ、下方に向けて空気を送る送風手段とを有することを特徴とする建造物の出入り口と隣接する室内空間における空気調整装置。
【請求項６】
前記エアカーテン装置は、前記風除室の出入り方向に沿って該風除室を仕切る仕切壁を
有すると共に、この仕切壁下部であって、かつ、前記風除室の進行方向に沿って開口した空気吹き出し口をこの仕切壁に有し、
かつ、前記風除室の上方の空気を誘引して、前記仕切壁内側の送風路に送り、前記空気吹き出し口から排出させ、前記風除室の側方から出入り方向に対し、直交する方向に空気流によるエアカーテンを形成することを特徴とする請求項５に記載の建造物の出入り口と隣接する室内空間における空気調整装置。
【請求項７】
前記出入り口と隣接する室内空間内における一部分の空気温度がその周囲の空気温度より低い場合、前記一部分に輻射熱を放射する輻射熱放射手段を有することを特徴とする請求項５に記載の建造物の出入り口と隣接する室内空間における空気調整装置。
【請求項８】
前記送風手段は、前記出入り口の上縁より高く且つ高さの異なる複数の場所に設けられていることを特徴とする請求項５から７の何れかに記載の建造物の出入り口と隣接する室内空間における空気調整装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月14日(2007.5.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、潤滑剤が過剰に存在する場合には、ラジアル荷重負荷側、反負荷側のいずれにおいても、ローラのすべりがさらに起こりやすくなると共に、過剰な潤滑剤に起因したドラッグ抵抗が発生する。特に、使用開始からしばらくの間は、グリースが馴染まずに過剰に存在するため、この傾向が強く、噛み込み性の低下や発熱、摩耗が発生しやすくなる可能性がある。即ち、図６に示されるように、ローラ１０３のラジアル面を平滑面とした場合には、軸方向長さに対応した大きな接触抵抗がローラ１０３と軌道輪１０１，１０２間で生じる。このローラ１０３の平滑なラジアル面で塞がれた潤滑剤Ｌはドラッグ抵抗を生じており、特に、使用開始時等潤滑剤が過剰にある場合、ドラッグ抵抗は大きくなって障害が発生しやすい。
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月4日(2007.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エンジンの出力を第１電動機および伝達部材へ分配する差動機構と、駆動輪に動力伝達可能とされた第２電動機とを有して電気的な無段変速機として作動可能な無段変速部と、前記動力伝達経路の一部を構成し自動変速機として機能する自動変速部とを備えた車両用駆動装置の制御装置であって、
前記差動機構に備えられ、前記無段変速部を電気的な無段変速作動可能な無段変速状態と該電気的な無段変速作動不能な有段変速状態とに選択的に切り換えるための差動状態切換装置と、
前記車両用駆動装置の走行状態として、前進走行を行うための前進走行状態と後進走行を行うための後進走行状態とを手動操作により切り換えられる前後進切換操作装置と、
所定車速以上で走行している際に、前記前後進切換操作装置が前記車両用駆動装置の走行状態を車両進行方向とは反対方向となる走行状態に切り換えられたときには、前記無段変速部を動力伝達が遮断された中立状態とする走行状態切換制限手段と
を、含むことを特徴とする車両用駆動装置の制御装置。
【請求項２】
エンジンの出力を第１電動機および伝達部材へ分配する差動機構と、駆動輪に動力伝達可能とされた第２電動機とを有して電気的な差動装置として作動可能な動力伝達装置とを備えた車両用駆動装置の制御装置であって、
前記差動機構に備えられ、該差動機構を差動作用が働く差動状態と該差動作用を不能とするロック状態とに選択的に切り換えるための差動状態切換装置と、
前記車両用駆動装置の走行状態として、前進走行を行うための前進走行状態と後進走行を行うための後進走行状態とを手動操作により切り換えられる前後進切換操作装置と、
所定車速以上で走行している際に、前記前後進切換操作装置が前記車両用駆動装置の走行状態を車両進行方向とは反対方向となる走行状態に切り換えられたときには、前記差動機構を動力伝達が遮断された中立状態とする走行状態切換制限手段と
を、含むことを特徴とする車両用駆動装置の制御装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
すなわち、請求項１にかかる発明の要旨とするところは、エンジンの出力を第１電動機および伝達部材へ分配する差動機構と、駆動輪に動力伝達可能とされた第２電動機とを有して電気的な無段変速機として作動可能な無段変速部と、前記動力伝達経路の一部を構成し自動変速機として機能する自動変速部とを備えた車両用駆動装置の制御装置であって、(a) 前記差動機構に備えられ、前記無段変速部を電気的な無段変速作動可能な無段変速状態とその電気的な無段変速作動不能な有段変速状態とに選択的に切り換えるための差動状態切換装置と、(b) 前記車両用駆動装置の走行状態として、前進走行を行うための前進走行状態と後進走行を行うための後進走行状態とを手動操作により切り換えられる前後進切換操作装置と、(c) 所定車速以上で走行している際に、前記前後進切換操作装置が前記車両用駆動装置の走行状態を車両進行方向とは反対方向となる走行状態に切り換えられたときには、前記無段変速部を動力伝達が遮断された中立状態とする走行状態切換制限手段とを、含むことにある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、請求項２にかかる発明の要旨とするところは、エンジンの出力を第１電動機および伝達部材へ分配する差動機構と、駆動輪に動力伝達可能とされた第２電動機とを有して電気的な差動装置として作動可能な動力伝達装置とを備えた車両用駆動装置の制御装置であって、(a) 前記差動機構に備えられ、その差動機構を差動作用が働く差動状態とその差動作用を不能とするロック状態とに選択的に切り換えるための差動状態切換装置と、(b) 前記車両用駆動装置の走行状態として、前進走行を行うための前進走行状態と後進走行を行うための後進走行状態とを手動操作により切り換えられる前後進切換操作装置と、(c) 所定車速以上で走行している際に、前記前後進切換操作装置が前記車両用駆動装置の走行状態を車両進行方向とは反対方向となる走行状態に切り換えられたときには、前記差動機構を動力伝達が遮断された中立状態とする走行状態切換制限手段とを、含むことにある。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月12日(2007.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  受信装置にデータの送信を行う送信方法において、
データを格納する記録媒体から、送信すべきデータを上記受信装置での再生速度よりも速い速度で繰り返し読み出し、
上記読み出したデータを、データ全体の概要が把握可能な概要データと、上記概要データと合成することで元のデータに復元可能な補完データとに分離し、
上記分離した上記概要データと上記補完データとを時分割で且つ上記受信装置での再生速度よりも速い速度で繰り返し送信する
ことを特徴とする送信方法。
【請求項２】  受信装置にデータの送信を行う送信装置において、
データを格納する記録媒体と、
送信すべきデータを上記受信装置での再生速度よりも速い速度で上記記録媒体から繰り返し読み出す記録媒体制御手段と、
上記記録媒体制御手段にて読み出したデータを、データ全体の概要が把握可能な概要データと、上記概要データと合成することで元のデータに復元可能な補完データとに分離する分離手段と、
上記分離手段にて分離した上記概要データと上記補完データとを時分割で且つ上記受信装置での再生速度よりも速い速度で繰り返し送信する送信手段とを有する
ことを特徴とする送信装置。
【請求項３】  送信装置から送信されるデータを受信する受信方法において、
上記送信装置から再生速度よりも速い速度で繰り返し送信される概要データと補完データとを時分割で受信し、
上記受信した上記概要データと上記補完データとを合成し、
上記合成したデータを記録し、
上記記録されたデータを上記再生速度で再生する
ことを特徴とする受信方法。
【請求項４】  送信装置から送信されるデータを受信する受信装置において、
上記送信装置から再生速度よりも速い速度で繰り返し送信される概要データと補完データとを時分割で受信する受信手段と、
上記受信手段にて受信した上記概要データと上記補完データとを合成する合成手段と、
上記合成手段にて合成したデータを記録媒体に記録する記録媒体制御手段と、
上記記録媒体に記録されたデータを上記再生速度で再生する再生手段とを有する
ことを特徴とする受信装置。
【請求項５】  離間して配置された送信装置と受信装置間でデータの配信を行う配信方法において、
データを格納する記録媒体から、送信すべきデータを上記受信装置での再生速度よりも速い速度で繰り返し読み出し、
上記読み出したデータを、データ全体の概要が把握可能な概要データと、上記概要データと合成することで元のデータに復元可能な補完データとに分離し、
上記分離した上記概要データと上記補完データとを時分割で且つ上記受信装置での再生速度よりも速い速度で繰り返し上記受信装置に送信し、
上記送信装置から再生速度よりも速い速度で繰り返し送信される概要データと補完データとを時分割で受信し、
上記受信した上記概要データと上記補完データとを合成し、
上記合成したデータを記録媒体に記録し、
少なくとも上記概要データを上記再生速度で再生する
ことを特徴とする配信方法。
【請求項６】  離間して配置された送信装置と受信装置間でデータの配信を行う配信システムにおいて、
上記送信装置は、データを格納する記録媒体と、送信すべきデータを上記受信装置での再生速度よりも速い速度で上記記録媒体から繰り返し読み出す第１の記録媒体制御手段と、上記第１の記録媒体制御手段にて読み出したデータを、データ全体の概要が把握可能な概要データと当該概要データと合成することで元のデータに復元可能な補完データとに分離する分離手段と、上記分離手段にて分離した上記概要データと上記補完データとを時分割で且つ上記受信装置での再生速度よりも速い速度で繰り返し送信する送信手段とを有し、
上記受信装置は、上記送信装置から再生速度よりも速い速度で繰り返し送信される概要データと補完データとを時分割で受信する受信手段と、上記受信手段にて受信した上記概要データと上記補完データとを合成する合成手段と、上記合成手段にて合成したデータを記録媒体に記録する第２の記録媒体制御手段と、少なくとも上記概要データを上記再生速度で再生する再生手段とを有する
ことを特徴とする配信システム。
【請求項７】  記録媒体に記録されたデータを再生する再生方法において、データを上記記録媒体から読み出し、
データ全体の概要が把握可能な概要データのみを再生、又は、当該概要データ及び当該概要データから元のデータを復元するための補完データを再生する
ことを特徴とする再生方法。
【請求項８】  記録媒体に記録されたデータを再生する再生装置において、
データを上記記録媒体から読み出す記録媒体制御手段と、
データ全体の概要が把握可能な概要データのみを再生、又は、当該概要データ及び当該概要データから元のデータを復元するための補完データで再生する再生手段とを有する
ことを特徴とする再生装置。
【請求項９】  データを格納する記録媒体において、
データ全体の概要が把握可能な概要データと、当該概要データと合成することで元のデータに復元可能な補完データとに分離してデータを記録している
ことを特徴とする記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
更に、本発明によれば、情報再生速度よりも速い速度で繰り返し送信される情報を受信し、この繰り返し送信されて受信した情報から、受信すべき情報を記録することで、必要な情報を短時間に得ることができ、また、この記録した情報を再生すれば何回でも必要な情報を得ることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月5日(2007.1.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
図３に符号Ａで示すのは、屋根の上に約１．５ｍの高さに配置した平板状アンテナ１０の受信レベルを示したもので、符号Ｂは、平板状アンテナ１０を図１に示すように煉瓦２の上部に配置した状態における受信レベルを示したものである。両者の比較から、煉瓦２内部の上部に配置した場合、障害物が全くない状態と比較すると、若干の受信レベルの低下（５ｄＢに満たない低下）しか生じず、受信になんら影響はない。符号Ｃは、図１に点線で示すような煉瓦２の下部に平板状アンテナ１０を配置した場合の受信レベルを示したもので、屋根４や鉄骨製の支柱９の影響を受けて、受信レベルが大幅に低下しており、実用的な受信を行うことができない。このように可撓性を有する基板１２を使用することによって、煉瓦２内部の上部に平板状アンテナ１０を配置することが可能であり、屋根の上に約１．５ｍの高さに配置したものと殆ど変わらず、良好にＵＨＦ帯のテレビジョン放送信号を受信することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
上記の実施形態では、放射器と反射器とを備えた八木形アンテナを使用したが、これに限ったものではなく、これらに加えて導波器を具えた八木形アンテナとすることもできる。また、八木形アンテナに限ったものではなく、例えばダイポールアンテナや、ループアンテナを使用することもできる。また、基板１２は矩形のものを使用したが、これに限ったものではなく、アンテナ素子を一方の面上に形成することがきるものであれば種々の形式とすることができ、例えば円形や多角形状とすることもできる。また、１つの基板に２つのアンテナ素子を設けたが、１つの基板に１つのアンテナ素子のみを設けることもできるし、３つ以上のアンテナ素子を設けてもよい。また、上記の実施形態では、基板１２の一方の面にアンテナ素子１４ａ、１４ｂを配置し、アンテナ素子１４ａ、１４ｂを露出させていたが、このアンテナ素子１４ａ、１４ｂを、基板１２と共にサンドイッチ状に挟むように、別の層を基板１２上に形成してもよい。即ち、この層とアンテナ素子１４ａ、１４ｂと基板１２によってラミネート構造が形成されている。この別の層としては、基板１２の厚さ以下のものが望ましく、かつ電波を透過する材質製とすることが望ましい。このように別の層を設けると、アンテナ素子１４ａ、１４ｂを直接に手で触れることがなく、電気的特性の劣化を防止できる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2001203522.tif 000001
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2001203522.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月6日(2006.12.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  デバイスの非線形歪を補償するためにデバイスの前段に設ける歪補償装置において、
上記デバイスに供給されるべき入力信号の包絡線成分を検出する包絡線検出手段と、
上記包絡線検出手段で検出された包絡線成分に基づいて上記入力信号の利得を制御する利得制御手段と
を備えることを特徴とする歪補償装置。
【請求項２】  上記利得制御手段は、上記包絡線成分から得られた制御電圧に従って利得が変化することを特徴とする請求項１記載の歪補償装置。
【請求項３】  上記入力信号と上記デバイスの出力信号との位相差を検出する位相差検出手段と、この位相差検出手段で検出した位相差に基づいて上記利得制御手段で利得が制御された信号の通過位相を調整して上記デバイスに供給する位相調整手段とを備えることを特徴とする請求項１記載の歪補償装置。
【請求項４】  上記包絡線検出手段で検出された包絡線成分に含まれる直流成分と上記デバイスの出力信号に含まれる直流成分との差信号を加算した上記包絡線成分に基づいて、上記利得制御手段が上記入力信号の利得を制御することを特徴とする請求項１記載の歪補償装置。
【請求項５】  上記入力信号と上記デバイスの出力信号との位相差を検出する位相差検出手段と、この位相差検出手段で検出した位相差に基づいて上記利得制御手段で利得が制御された信号の通過位相を調整して上記デバイスに供給する位相調整手段とを備えることを特徴とする請求項４記載の歪補償装置。
【請求項６】  上記利得制御手段の前段に、上記包絡線成分から得られた制御電圧信号に生じる時間遅れを補正する遅延手段を設けることを特徴とする請求項１記載の歪補償装置。
【請求項７】  デバイスの非線形歪を補償するための歪補償方法において、上記デバイスへ供給されるべき入力信号の基になる直交ベースバンド信号のＩ成分及びＱ成分から上記入力信号の包絡線成分を演算する演算工程と、
上記演算工程で得られた包絡線成分に基づいて上記デバイスへ供給されるべき入力信号の利得を制御する利得制御工程とを備えることを特徴とする歪補償方法。
【請求項８】  入力信号を増幅して出力信号とする増幅装置において、
上記入力信号の包絡線成分を検出する包絡線検出手段と、
上記包絡線検出段で検出された包絡線成分に基づいて上記入力信号の利得を制御する利得制御手段と、
上記利得制御手段で利得が制御された信号を増幅する増幅手段とを備えることを特徴とする増幅装置。
【請求項９】  直交ベースバンド信号から生成した搬送波を変調して得た高周波信号を増幅して送信信号とする無線送信装置において、
上記直交ベースバンド信号のＩ成分及びＱ成分から上記高周波信号の包絡線成分を演算する演算手段と、
上記演算手段で得られた包絡線成分に基づいて上記高周波信号の利得を制御する利得制御手段と、
上記利得制御手段で利得が制御された信号を増幅する増幅手段と、
上記増幅手段で増幅された高周波信号を無線送信する無線送信手段とを備えることを特徴とする無線送信装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月19日(2007.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】複合装置及びその制御方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の排紙トレイを有する排紙装置を接続可能とし、複数の機能に対する動作モードを有する複合装置であって、
操作者による操作無し状態が所定時間に達したか否かを判断する判断手段と、
該判断手段によって前記所定時間が経過したと判断した場合、前記複数の機能のうちの１つに動作モードを移行する動作モード変更手段と、
該動作モード変更手段によって動作モードを移行する際、移行後の動作モードに対応する排紙トレイを機能するように制御する排紙トレイ制御手段と
を備えることを特徴とする複合装置。
【請求項２】
前記複数の機能には、原稿画像を読み取り、記録媒体に読み取った画像を複写印刷する複写モード、ファクシミリ通信を行うファクシミリモード、外部の装置からの印刷データを受信し、記録媒体上に画像を記録するプリントモードが含まれることを特徴とする請求項第１項に記載の複合装置。
【請求項３】
更に、各モードに共通に使用する表示装置を含むユーザインタフェースを備え、
前記動作モード変更手段は、動作モードを移行する際に、移行後の動作モードに対応する表示画面を前記表示装置に表示する手段を含むことを特徴とする請求項第１項に記載の複合装置。
【請求項４】
複数の排紙トレイを有する排紙装置を接続可能とし、複数の機能に対する動作モードを有する複合装置の制御方法であって、
操作者による操作無し状態が所定時間に達したか否かを判断する判断工程と、
該判断工程によって前記所定時間が経過したと判断した場合、前記複数の機能のうちの１つに動作モードを移行する動作モード変更工程と、
該動作モード変更工程によって動作モードを移行する際、移行後の動作モードに対応する排紙トレイを機能するように制御する排紙トレイ制御工程と
を備えることを特徴とする複合装置の制御方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は複合装置及びその制御方法に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みなされたものであり、所定時間放置状態にある場合に特定の動作モードを移行する場合であっても、それに応じてその動作モードに適合する排紙トレイが機能するようし、次の動作がスムースに行う環境を提供することを可能ならしめる複合装置及びその制御方法を提供しようとするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月22日(2006.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】光通信によりデータを送受する光通信装置であって、
何れかの子機から送信された回線確保要求信号に応じて回線確保許可信号を発信し、データ通信が終了した後に全ての前記子機に対して回線開放信号を送信する親機と、
回線確保要求信号を送信した後に回線確保許可信号を受信した場合は前記親機に対してデータ通信を行う一方で回線確保要求信号を送信していない状態で回線確保許可信号を受信した場合は送信禁止状態となるとともに、前記親機から回線開放信号を受信したならば所定時間経過後に通信可能状態に遷移する複数台の子機とから構成されたことを特徴とする光通信装置。
【請求項２】光通信によりデータを送受する光通信装置であって、
何れかの子機から送信された回線確保要求信号を受信して回線確保許可信号を発信し、データ通信が終了した後に全ての前記子機に対して回線開放信号を送信する親機と、
前記回線確保要求信号を受信した場合は送信禁止状態とされる一方で回線確保要求信号を発信して回線確保許可信号を受信した場合は前記親機に対してデータ通信を行うとともに、前記親機から回線開放信号を受信したならば所定時間経過後に通信可能状態に遷移する複数台の子機とから構成されたことを特徴とする光通信装置。
【請求項３】１台の親機と複数台の子機との間で光通信によりデータを送受する光通信方法であって、
何れかの前記子機から送信された回線確保要求信号に応じて前記親機が回線確保許可信号を発信し、
回線確保要求信号を送信した後に回線確保許可信号を受信した前記子機は前記親機に対してデータ通信を行うとともに、回線確保要求信号を送信していない状態で回線確保許可信号を受信した前記子機は送信禁止状態とされ、
データ通信が終了した後に前記親機は全ての前記子機に対して回線開放信号を送信し、
回線開放信号を受信した全ての前記子機は所定時間経過後に通信可能状態に遷移することを特徴とする光通信方法。
【請求項４】１台の親機と複数台の子機との間で光通信によりデータを送受する光通信方法であって、
何れかの前記子機から送信された回線確保要求信号を受信した前記親機は回線確保許可信号を発信するとともに、当該回線確保要求信号を受信した他の前記子機は送信禁止状態とされ、
回線確保許可信号を受信した前記子機は前記親機に対してデータ通信を行い、
データ通信が終了した後に前記親機は全ての前記子機に対して回線開放信号を送信し、
回線開放信号を受信した全ての前記子機は所定時間経過後に通信可能状態に遷移することを特徴とする光通信方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月17日(2007.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線基板上に半田によって実装するシールドケースの半田接続部分に、前記半田の熱が集中しやすくするための形状部を具備する
ことを特徴とするシールドケースの実装構造。
【請求項２】
前記形状部を、丸みを有する窪み形状にする
ことを特徴とする請求項１に記載のシールドケースの実装構造。
【請求項３】
前記形状部を、突起形状にする
ことを特徴とする請求項１に記載のシールドケースの実装構造。
【請求項４】
前記形状部を、小さい窪みが並ぶ形状にする
ことを特徴とする請求項１に記載のシールドケースの実装構造。
【請求項５】
前記形状部に、半田メッキ加工を施す
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載のシールドケースの実装構造。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、上記問題点を除去し、プリント配線基板上に半田によって実装する
シールドケースの半田接続を良好に行えるようにすることを目的とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年11月6日(2007.11.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】発光装置の作製方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁体の上の複数箇所に一部開口部を有し、かつ少なくとも発光素子を囲むように第１のシール材を形成し、
前記第１のシール材を介して前記絶縁体にカバー材を接着し、
前記開口部が露呈するように、前記絶縁体の一部、前記カバー材の一部および前記シール材の一部を分断し、
前記絶縁体、前記カバー材および前記第１のシール材で囲まれた部分に充填材を注入し、
前記絶縁体に比べて前記カバー材の面積が小さくなるように、前記絶縁体の一部および前記カバー材の一部を分断することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項２】
絶縁体の上の複数箇所に一部開口部を有し、かつ少なくとも発光素子を囲むように第１のシール材を形成し、
前記第１のシール材を介して前記絶縁体にカバー材を接着し、
前記開口部が露呈するように、前記絶縁体の一部、前記カバー材の一部および前記シール材の一部を分断し、
前記絶縁体、前記カバー材および前記第１のシール材で囲まれた部分に充填材を注入し、
前記絶縁体に比べて前記カバー材の面積が小さくなるように、前記絶縁体の一部および前記カバー材の一部を分断し、
前記絶縁体の上に接続端子を取り付け、
前記第１のシール材の露呈部および前記接続端子の一部に接して第２のシール材を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、
前記絶縁体、前記カバー材および前記第１のシール材で囲まれた部分に充填材を注入する際に、真空注入法を用いることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項４】
絶縁体の上の複数箇所に少なくとも発光素子を囲むように第１のシール材を形成し、
前記発光素子の上に充填材を滴下し、
前記第１のシール材を介して前記絶縁体にカバー材を接着し、
前記絶縁体に比べて前記カバー材の面積が小さくなるように、前記絶縁体の一部および前記カバー材の一部を分断することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項５】
絶縁体の表面の複数箇所に少なくとも発光素子を囲むように第１のシール材を形成し、
前記発光素子の上に充填材を滴下し、
前記第１のシール材を介して前記絶縁体にカバー材を接着し、
前記絶縁体に比べて前記カバー材の面積が小さくなるように、前記絶縁体の一部および前記カバー材の一部を分断し、
前記絶縁体の上に接続端子を取り付け、
前記第１のシール材の露呈部および前記接続端子の一部に接して第２のシール材を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一において、
前記第１のシール材を形成する前または後に前記絶縁体の上にスペーサを撒布することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一において、
前記充填材として樹脂を用いることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一において、
前記充填材に吸湿性物質を添加することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか一において、
前記発光素子としてＥＬ素子を用いることを特徴とする発光装置の作製方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月22日(2007.1.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
前記回転加熱部材は抵抗体からなり、前記加熱手段は励磁コイルであって、該励磁コイルに交番電流を供給することによって交番磁束を生成させ、この交番磁束により前記回転加熱部材に渦電流を誘起させて加熱することを特徴とする請求項１乃至４の何れか１つに記載の加熱装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１２】
前記回転加熱部材は抵抗体からなり、前記加熱手段は励磁コイルであって、該励磁コイルに交番電流を供給することによって交番磁束を生成させ、この交番磁束により前記回転加熱部材に渦電流を誘起させて加熱することを特徴とする請求項８乃至１１の何れか１つに記載の像加熱装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１９】
前記回転加熱部材は抵抗体からなり、前記加熱手段は励磁コイルであって、該励磁コイルに交番電流を供給することによって交番磁束を生成させ、この交番磁束により前記回転加熱部材に渦電流を誘起させて加熱することを特徴とする請求項１５乃至１８の何れか１つに記載の画像形成装置。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
（５）前記回転加熱部材は抵抗体からなり、前記加熱部材は励磁コイルであって、該励磁コイルに交番電流を供給することによって交番磁束を生成させ、この交番磁束により前記回転加熱部材に渦電流を誘起させて加熱することを特徴とする（１）乃至（４）の何れか１つに記載の加熱装置。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
（１２）前記回転加熱部材は抵抗体からなり、前記加熱手段は励磁コイルであって、該励磁コイルに交番電流を供給することによって交番磁束を生成させ、この交番磁束により前記回転加熱部材に渦電流を誘起させて加熱することを特徴とする（８）乃至（１１）の何れか１つに記載の像加熱装置。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
（１９）前記回転加熱部材は抵抗体からなり、前記加熱手段は励磁コイルであって、該励磁コイルに交番電流を供給することによって交番磁束を生成させ、この交番磁束により前記回転加熱部材に渦電流を誘起させて加熱することを特徴とする（１５）乃至（１８）の何れか１つに記載の画像形成装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年9月3日(2007.9.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】基板を支持するように構成され、第１熱膨張係数を有する第１材料を含み、そこから延びる複数のピンを有する基板支持と、
第１熱膨張係数とは異なる第２熱膨張係数を有する第２材料を含み、そこに形成された複数の中空領域を有する端部リングと
を備え、前記それぞれの中空領域は、前記複数のピンの対応するものと少なくとも同じ広さであり、熱サイクルの間に基板支持が膨張及び収縮する方向に延びており、さらに、
各々が断熱材料を有すると共に、各々が前記複数のピンの異なる１つを取囲むことにより、前記基板支持と前記端部リングを分離する、複数のパッドと
を備え、
前記複数のピンが前記複数の中空領域内に挿入され、前記複数の中空領域のそれぞれは、
装置が晒される処理温度の範囲に渡り、前記第１熱膨張係数と前記第２熱膨張係数との差により生じた前記基板支持と前記端部リングの異なる膨張を補償するのに十分な長さ、延びており、また、
前記複数のピンの対応するものの長さ以上の深さを有し、断熱パッドの使用で、前記端部リングが前記基板支持から断熱されるようになっている
ことを特徴とする装置。
【請求項２】前記基板支持は前記複数のピンが延びるディフューザーリングをさらに備え、前記端部リングはパージリングを備えている請求項１に記載の装置。
【請求項３】前記第１材料は金属を備え、前記第２金属はセラミックを備えている請求項１に記載の装置。
【請求項４】前記基板支持は基板支持表面を有し、前記複数のピンは前記基板支持表面の回りで均等に間隔を空けられており、前記複数の中空領域のそれぞれは前記基板支持表面に対して外側放射状に延びている請求項１に記載の装置。
【請求項５】前記基板支持はパージガス経路を備え、前記端部リングはパージリングを備えている請求項１に記載の装置。
【請求項６】前記端部リングはシャドウリングを備えている請求項１に記載の装置。
【請求項７】第１熱膨張係数を有する第１材料を含み、そこから延びる複数のピンを有する端部リングと、
第１熱膨張係数とは異なる第２熱膨張係数を有する第２材料と、
パージガス放出経路と、
各々が前記複数のピンの対応するものと少なくとも同じ広さであり、熱サイクルの間に前記基板支持が膨張すると共に収縮する方向に延びる、複数の中空領域と
を有する基板支持と、
前記基板支持と前記端部リングとの間に形成され、前記パージガス放出経路からのガスを受けて、該ガスを少なくとも前記基板支持によって支持された基板の端部へ分配するように構成されている、パージガス分配経路と
を備え、
前記複数のピンは前記複数の中空領域内に挿入され、
前記複数の中空領域のそれぞれは、前記装置が晒される処理温度の範囲に渡り、前記第１熱膨張係数と前記第２熱膨張係数の差を補償するのに十分な長さ、延びており、さらに、
前記複数のピンは、前記パージガス分配経路の近傍に配置され、該パージガス分配経路を通るガスの流れをブロックしないようにされている
ことを特徴とする装置。
【請求項８】パージガス放出経路を有する基板支持と、
前記基板支持に結合されたパージリングと、
前記基板支持と前記パージリングの間に形成され、前記パージガス放出経路から前記パージガス分配経路を通って前記基板支持により支持された基板の端部に流れるパージガスの量を制限するように適合されたリストリクターの間隙を有するパージガス分配経路と
を備えていることを特徴とする装置。
【請求項９】パージリングと、
出口を含み、該出口の方向で上方に向かっているパージガス放出経路と、
前記パージリングに取り外し可能に結合するために構成された表面と
を有する基板支持と
を備え、
前記パージリング及び前記基板支持は、結合されるとパージガス分配経路を形成し、該パージガス分配経路は、
パージガス放出経路からのガスを受け、
前記ガスを前記基板支持によって支持された基板の端部へ分配する
ように構成されていることを特徴とする装置。
【請求項１０】第１熱膨張係数を有する第１材料を含み、そこから延びる複数のピンを有する端部リングと、
基板を支持するように構成され、第１熱膨張係数とは異なる第２熱膨張係数を有する第２材料を含む、基板支持であって、該基板支持は、そこに形成された複数の中空領域を有し、前記それぞれの中空領域は、前記複数のピンの対応するものと少なくとも同じ広さであり、熱サイクルの間に基板支持が膨張及び収縮する方向に延びている、前記基板支持と、
各々が断熱材料を有すると共に、各々が前記複数のピンの異なる１つを取囲むことにより、前記基板支持と前記端部リングを分離する、複数のパッドと
を備え、
前記複数のピンが前記複数の中空領域内に挿入され、前記複数の中空領域のそれぞれは、
装置が晒される処理温度の範囲に渡り、前記第１熱膨張係数と前記第２熱膨張係数との差により生じた前記基板支持と前記端部リングの異なる膨張を補償するのに十分な長さ、延びており、また、
前記複数のピンの対応するものの長さ以上の深さを有し、断熱パッドの使用で、前記端部リングが前記基板支持から断熱されるようになっている
ことを特徴とする装置。
【請求項１１】第１熱膨張係数を有する第１材料と、
パージガス放出経路と、
そこから延びる複数の中空領域と
を有する基板支持と、
第１熱膨張係数とは異なる第２熱膨張係数を有する第２材料を含む、端部リングであって、該端部リングは、そこに形成された複数のピンを有し、前記それぞれの中空領域は、前記複数のピンの対応するものと少なくとも同じ広さであり、熱サイクルの間に基板支持が膨張及び収縮する方向に延びている、前記端部リングと、
前記基板支持と前記端部リングとの間に形成され、前記パージガス放出経路からのガスを受けて、該ガスを少なくとも前記基板支持によって支持された基板の端部へ分配するように構成されている、パージガス分配経路と
を備え、
前記複数のピンは前記複数の中空領域内に挿入され、
前記複数の中空領域のそれぞれは、前記装置が晒される処理温度の範囲に渡り、前記第１熱膨張係数と前記第２熱膨張係数の差を補償するのに十分な長さ、延びており、さらに、
前記複数のピンは、前記パージガス分配経路の近傍に配置され、該パージガス分配経路を通るガスの流れをブロックしないようにされている
ことを特徴とする装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年8月30日(2007.8.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  半導体ワークピース上の低κ誘電体内の少なくとも１つの開口内に露出している金属導体の領域を清浄化する方法であって、
上記金属導体の領域を露出させている少なくとも１つの開口を有し、３．０よりも小さいかまたはそれに等しい誘電定数を有する誘電体を含んでいる半導体ワークピースを準備するステップと、
上記ワークピースを、ヘリウム及び少なくとも１つの水素含有ガス種を含むガス混合体をプラズマ分解して発生させた雰囲気に曝露させるステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２】  半導体ワークピース上の炭素含有誘電体内の少なくとも１つの開口内に露出している金属導体の領域を清浄化する方法であって、
上記金属導体の上側に位置していて上記金属導体の領域を露出させる少なくとも１つの開口を含む炭素含有誘電体を含んでいる半導体ワークピースを準備するステップと、
上記ワークピースを、ヘリウム及び少なくとも１つの水素含有ガス種を含むガス混合体をプラズマ分解して発生させた雰囲気に曝露させるステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項３】  上記曝露ステップに続いて、上記ワークピースを焼なますステップを更に含み、
上記焼なましステップは、上記誘電体の誘電定数を、上記準備ステップの後の且つ上記焼なましステップの前の誘電定数の値より低下させるのに十分な温度及び持続時間で遂行されることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】  上記露出ステップに続いて、上記ワークピースを少なくとも３００℃の温度で焼なますステップを更に含むことを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項５】  半導体ワークピース上の炭素含有誘電体の表面からレジストを剥離させるためのプラズマプロセスによって上記誘電体に生じた損傷を修復する方法であって、
炭素含有誘電体、及び上記誘電体の部分の上側に位置する有機レジスト材料を含む半導体ワークピースを準備するステップと、
上記ワークピースを、酸素を含む少なくとも１つのガスをプラズマ分解して発生させた第１の雰囲気に曝露させることによって上記レジスト材料を除去するステップと、
それに続いて、上記ワークピースを、ヘリウム及び少なくとも１つの水素含有ガス種を含むガス混合体をプラズマ分解して発生させた第２の雰囲気に曝露させるステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項６】  上記ワークピースは、上記誘電体の下側に位置する金属導体を更に含み、
上記誘電体は、上記金属導体の領域を露出させる少なくとも１つの開口を含み、
上記ワークピースを上記第２の雰囲気に曝露させるステップは、上記金属導体の上記露出された領域から実質的に全ての自生酸化物を除去するのに十分な長さの時間にわたって遂行されることを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】  半導体ワークピース上の金属導体の露出した表面を清浄化する方法であって、
露出した表面を有する金属導体を含む半導体ワークピースを真空チャンバ内に位置決めするステップと、
上記ワークピースを上記真空チャンバ内に位置決めしたまま、ヘリウム及び少なくとも１つの水素含有ガス種を含むガス混合体をプラズマ分解して発生させた雰囲気を上記真空チャンバ内へ供給するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項８】  上記供給ステップは、
上記ガス混合体を上記真空チャンバ内へ供給するステップと、
ＲＦ電力を、上記真空チャンバ内の上記ガス混合体に誘導結合させてプラズマを形成させるステップと、
を更に含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】  上記供給ステップは、
上記ガス混合体を遠隔プラズマチャンバ内へ供給するステップと、
電磁パワーを上記ガス混合体に結合し、上記ガス混合体をプラズマ分解して発生させた反応性種を含むプラズマを形成させるステップと、
上記反応性種を上記遠隔プラズマチャンバから上記真空チャンバへ供給するステップと、
を更に含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項１０】  半導体ワークピース上の誘電体内の少なくとも１つの開口内に露出している金属導体の領域を清浄化する方法であって、
上記金属導体の領域を露出させている少なくとも１つの開口を有する誘電体を含む半導体ワークピースを準備するステップと、
上記ワークピースを、ヘリウム及び少なくとも１つの水素含有ガス種を含むガス混合体をプラズマ分解して発生させた雰囲気に曝露させるステップと、
上記曝露ステップに続いて、上記ワークピースを焼なますステップと、
を含み、
上記焼なましステップは、上記誘電体の誘電定数を、上記準備ステップの後の且つ上記焼なましステップの前の誘電定数の値より低下させるのに十分な温度及び持続時間で遂行されることを特徴とする方法。