【手続補正書】
【提出日】平成19年4月5日(2007.4.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被駆動対象を駆動するアクチュエータと、該アクチュエータの駆動により生じる前記被駆動対象の振動を抑制する磁気ダンパとを有することを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記被駆動対象の振動を抑制する磁気ばねを有することを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記アクチュエータは圧電素子を備えることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記被駆動対象に対して固定された第１の磁石と、前記被駆動対象から離れて配置された追加質量と、該追加質量のうち前記第１の磁石に対向する位置に固定され前記第１の磁石とは反対の磁極を持つ第２の磁石と、前記第１の磁石と前記第２の磁石の間に配置された導体板とを有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記導体板は、前記被駆動対象または前記追加質量に対して固定されていることを特徴とする請求項４に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記導体板は、前記被駆動対象および前記追加質量とは異なる固定ブロックに対して固定されていることを特徴とする請求項４に記載の駆動装置。
【請求項７】
前記導体板は、前記被駆動対象を冷却する冷却装置を有することを特徴とする請求項４乃至６のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項８】
前記冷却装置は前記被駆動対象を輻射により冷却することを特徴とする請求項７に記載の駆動装置。
【請求項９】
前記冷却装置は前記被駆動対象と対向する位置に輻射部材を有することを特徴とする請求項８に記載の駆動装置。
【請求項１０】
前記輻射部材を冷却するペルチェ素子を有することを特徴とする請求項９に記載の駆動装置。
【請求項１１】
前記被駆動対象に対して固定された第３の磁石と、前記追加質量のうち前記第３の磁石に対向する位置に固定され、前記第３の磁石に対して反発力が働くように配置された第４の磁石とを有することを特徴とする請求項４乃至１０のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項１２】
前記被駆動対象と前記追加質量を連結する軸受けを有し、前記軸受けが前記被駆動対象と前記追加質量の所定方向における相対位置を一定に保つことを特徴とする請求項４乃至１１のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項１３】
前記被駆動対象と前記追加質量は前記所定方向と直交する２方向に相対的に移動できることを特徴とする請求項１２に記載の駆動装置。
【請求項１４】
前記所定方向は前記第１の磁石と前記第２の磁石の間の磁束の方向であることを特徴とする請求項１２に記載の駆動装置。
【請求項１５】
第１の方向に磁束を発生させる磁束発生手段と、前記第１の方向と垂直な第２の方向に沿った直線部を有するコイルとを有し、前記第１の方向および前記第２の方向に垂直な第３の方向における前記被駆動対象の振動を抑制することを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項１６】
前記コイルは前記被駆動対象に対して固定されており、前記磁束発生手段は前記被駆動対象に対して独立した構造体に固定されていることを特徴とする請求項１５に記載の駆動装置。
【請求項１７】
前記コイルは第１の直線部と前記第１の直線部とは逆向きに電流が流れる第２の直線部とを有し、前記第１の直線部における磁束の方向と前記第２の直線部における磁束の方向が逆であることを特徴とする請求項１５または１６に記載の駆動装置。
【請求項１８】
凹部に制振材料が挿入されていることを特徴とする制振ブロック。
【請求項１９】
前記制振材料は減衰係数が１０〜１０３（Ｎｓ／ｍ）であることを特徴とする請求項１８に記載の制振ブロック。
【請求項２０】
請求項１８または１９に記載の制振ブロックを有することを特徴とする駆動装置。
【請求項２１】
被駆動対象を駆動するアクチュエータと、凹部に制振材料が挿入されている制振ブロックとを有する駆動装置であって、前記制振ブロックは、前記アクチュエータの駆動により生じる前記被駆動対象の振動を抑制することを特徴とする駆動装置。
【請求項２２】
請求項１乃至１７、２０、２１のいずれか１項に記載の駆動装置を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２３】
前記駆動装置が真空環境中に配置されていることを特徴とする請求項２２に記載の露光装置。
【請求項２４】
請求項２２または２３に記載の露光装置を用いて被処理体を露光する工程と、前記露光された被処理体を現像する工程とを有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項１の駆動装置は、被駆動対象を駆動するアクチュエータと、該アクチュエータの駆動により生じる前記被駆動対象の振動を抑制する磁気ダンパとを有することを特徴とする。この駆動装置では、制振機構に磁気ダンパを使用することにより、経年変化の影響が小さく安定した制振効果が得られると共に、例えば露光装置において特に問題となる脱ガスや発塵もほとんど発生しない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項４の駆動装置は、前記被駆動対象に対して固定された第１の磁石と、前記被駆動対象から離れて配置された追加質量と、該追加質量のうち前記第１の磁石に対向する位置に固定され前記第１の磁石とは反対の磁極を持つ第２の磁石と、前記第１の磁石と前記第２の磁石の間に配置された導体板とを有する。これによれば、互いに吸引しあうように配置された磁石の復元力による磁気ばねと、この磁石間の空隙に導体板をはさみ、磁界の移動速度に比例した渦電流を利用した磁気ダンパとの組み合わせにより動吸振器が構成される。これによれば、永久磁石と導体版からなる単純で、コンパクトな制振機構が実現できる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項７の駆動装置は、導体板が被駆動対象を冷却する冷却装置を有する。これにより、光学素子等の熱変形を低減することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項８の駆動装置は、冷却装置が被駆動対象を輻射により冷却する。これによれば、光学素子等を非接触で冷却することにより、冷却装置から光学素子へ歪みを印加することがない。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項９の駆動装置では、被駆動対象と対向する位置に輻射部材が配置されている。輻射部材を被駆動対象と対向させることにより、被駆動対象を効果的に冷却することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項１０の駆動装置は、輻射部材を冷却するためのペルチェ素子を有する。冷却装置にペルチェ素子を用いることにより、応答が早く、高精度な温度制御が可能となる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項１１の駆動装置は、被駆動対象に対して固定された第３の磁石と、追加質量のうち第３の磁石に対向する位置に固定され、第３の磁石に対して反発力が働くように配置された第４の磁石とを有する。これによれば、軸受けの座屈変形を防止し、中間ブロックと導体板との間隔を一定に保つことができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項１２の駆動装置は、被駆動対象と追加質量を連結する軸受けを有し、軸受けが被駆動対象と追加質量の所定方向における相対位置を一定に保つことを特徴とする。これによれば、磁石間の距離を一定にすることで、安定した制振効果を得ることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項１３の駆動装置は、被駆動対象と追加質量は所定方向と直交する２方向に相対的に移動できることを特徴とする。これによれば、ミラー等の被駆動対象の振動により、対向する磁石の相対位置が変化するため、磁気ばね・磁気ダンパからなる動吸振器の作用が得られる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
請求項１５の駆動装置は、第１の方向に磁束を発生させる磁束発生手段と、第１の方向と垂直な第２の方向に沿った直線部を有するコイルとを有し、第１の方向および第２の方向に垂直な第３の方向における被駆動対象の振動を抑制することを特徴とする。これによれば、コイルが磁束を横切る際に発生する逆起電力によって、コイルに誘導電流が流れ、それに伴うローレンツ力により制振効果を得ることができる。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
請求項１６の駆動装置は、コイルは被駆動対象に対して固定されており、磁束発生手段は被駆動対象に対して独立した構造体に固定されていることを特徴とする。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
請求項１７の駆動装置では、コイルは第１の直線部と第１の直線部とは逆向きに電流が流れる第２の直線部とを有し、第１の直線部における磁束の方向と第２の直線部における磁束の方向が逆であることを特徴とする。これによれば、２つの直線部に発生するローレンツ力の向きがそろうため、制振機能が効果的に得られる。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
請求項１８の制振ブロックは、凹部に制振材料が挿入されていることを特徴とする。この制振ブロックを、例えば弾性ヒンジに適用することにより、ばね要素だけでなく、減衰要素の機能も兼ね備えることができるようになる。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
請求項２０の駆動装置は制振ブロックを有することを特徴とする。これによれば、駆動にともなって発生する振動を、簡易かつ省スペースな構成により低減することができる。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
請求項２１の駆動装置は、被駆動対象を駆動するアクチュエータと、凹部に制振材料が挿入されている制振ブロックとを有する駆動装置であって、前記制振ブロックは、前記アクチュエータの駆動により生じる前記被駆動対象の振動を抑制することを特徴とする。これによれば、駆動にともなって被駆動対象に発生する振動を、簡易かつ省スペースな構成により低減することができる。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
請求項２２の発明によれば、光学素子等の位置精度に非常に高い精度が要求される露光装置に、上記駆動装置を適用することにより、所望の解像度を得ることができる。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
請求項２３の発明によれば、発塵や脱ガスの影響が小さな駆動装置を露光装置の真空環境中に配置することにより、露光光の減衰やパターンの劣化を起こすことなく、光学素子等の振動を低減することができる。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】