【手続補正書】
【提出日】平成19年2月7日(2007.2.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも微細流路が形成されている第１の基板と該第１の基板の微細流路形成面に貼り合わされる対面基板とからなるマイクロチップにおいて、
前記対面基板の貼り合わせ面及び第１の基板の上面にポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）の薄膜が接着されており、前記第１の基板の上面のＰＤＭＳ薄膜上に第２の基板が更に接着されており、
前記微細流路内において、前記２枚の薄膜間に、逆止弁と、加圧部と、マイクロバルブが、流体の流れる方向に沿ってこの順に形成されており、
前記加圧部は前記微細流路よりも大きな容積を有する空間であり、
前記マイクロバルブは、前記微細流路の幅及び高さと同じ幅及び高さを有する弁座と該弁座の上面及び下面にそれぞれ離着する各ＰＤＭＳ薄膜からなり、
前記弁座の配設位置に対応する第２の基板及び対面基板の箇所が所定の大きさで切除されていることを特徴とするマイクロチップ。
【請求項２】
前記逆止弁は前記微細流路に対して横方向に互いに擦れ違うように対向する２枚の流路幅よりも短い堰板から構成されていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロチップ。
【請求項３】
前記逆止弁は前記微細流路に対して上下方向に互いに擦れ違うように対向する２枚の流路高さよりも短い堰板から構成されていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロチップ。
【請求項４】
前記逆止弁は、弁室内に収納された複数個のビーズからなり、前記弁室は前記微細流路の上流側において該微細流路の流路幅よりも狭く、かつ、ビーズの外径よりも小さい１本以上の第１の接続流路により連通されており、また、前記弁室は前記微細流路の下流側において前記第１の接続流路よりも細い複数本の第２の接続流路により連通されていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロチップ。
【請求項５】
上部基板と該上部基板に貼り合わされる対面基板とからなるマイクロチップにおいて、
前記上部基板は、第１の基板と第２の基板とが貼り合わされた構造を有し、前記第１の基板が前記対面基板に接着されており、
前記第１の基板と第２の基板との貼り合わせ面間内に微細流路が形成され、かつ、該微細流路内に上流側の第１の逆止弁と下流側の第２の逆止弁と、該第１の逆止弁と第２の逆止弁との間に加圧部とを有し、
前記逆止弁は、前記第１の基板の微細流路形成面側に上向きに形成された微細流路の高さよりも短い不動堰板と、前記第２の基板の微細流路形成面側に下向きに形成された微細流路の高さよりも短い可動堰板とが互いに擦れ違うように、かつ、前記可動堰板が微細流路の下流側に位置するように対向して配設することにより構成されていることを特徴とするマイクロチップ。
【請求項６】
ＰＤＭＳからなるマイクロポンプであって、
入口孔と出口孔とを有するガラス板を中間に挟んで、ＰＤＭＳ下側半型とＰＤＭＳ上側半型とを接着させることにより密閉されたポンプ室を画成し、
ＰＤＭＳ下側半型には送入穴と吐出穴とが配設されており、
ＰＤＭＳ上側半型には、スペーサを介してＰＤＭＳ弁片が配設されており、前記ＰＤＭＳ弁片は前記ガラス板の入口孔を遮蔽するのに必要十分な大きさを有することを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項７】
前記ＰＤＭＳ下側半型に配設された送入穴には送入管が連結されており、前記ＰＤＭＳ下側半型に配設された吐出穴には吐出管が連結されていることを特徴とする請求項６に記載のマイクロポンプ。
【請求項８】
ＰＤＭＳからなるマイクロポンプであって、
入口孔と出口孔とを有するガラス板を中間に挟んで、ＰＤＭＳ下側半型とＰＤＭＳ上側半型とを接着させることにより密閉されたポンプ室を画成し、
ＰＤＭＳ下側半型には、それぞれ分離された吸込空気室と吐出空気室とが形成されており、前記吸込空気室には送入穴が配設されており、前記吐出空気室には吐出穴が配設されており、かつ、ＰＤＭＳ弁片が前記吐出空気室内に配設されており、前記ＰＤＭＳ弁片は前記ガラス板の出口孔を下側から遮蔽するのに必要十分な大きさを有し、
ＰＤＭＳ上側半型にはＰＤＭＳ弁片が前記ポンプ室内に配設されており、前記ＰＤＭＳ弁片は前記ガラス板の入口孔を上側から遮蔽するのに必要十分な大きさを有することを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項９】
前記吸込空気室に配設された送入穴には送入管が連結されており、前記吐出空気室に配設された吐出穴には吐出管が連結されていることを特徴とする請求項８に記載のマイクロポンプ。
【請求項１０】
前記ポンプ室の上部に、前記ポンプ室を密閉するＰＤＭＳ製ダイヤフラム片が配設され、該ＰＤＭＳ製ダイヤフラム片の上部に圧電素子が配設されていることを特徴とする請求項８に記載のマイクロポンプ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前記課題を解決するための手段は第１に、少なくとも微細流路が形成されている第１の基板と該第１の基板の微細流路形成面に貼り合わされる対面基板とからなるマイクロチップにおいて、
前記対面基板の貼り合わせ面及び第１の基板の上面にポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）の薄膜が接着されており、前記第１の基板の上面のＰＤＭＳ薄膜上に第２の基板が更に接着されており、
前記微細流路内において、前記２枚の薄膜間に、逆止弁と、加圧部と、マイクロバルブが、流体の流れる方向に沿ってこの順に形成されており、
前記加圧部は前記微細流路よりも大きな容積を有する空間であり、
前記マイクロバルブは、前記微細流路の幅及び高さと同じ幅及び高さを有する弁座と該弁座の上面及び下面にそれぞれ離着する各ＰＤＭＳ薄膜からなり、
前記弁座の配設位置に対応する第２の基板及び対面基板の箇所が所定の大きさで切除されていることを特徴とするマイクロチップである。
前記課題を解決するための手段は第２に、前記逆止弁は前記微細流路に対して横方向に互いに擦れ違うように対向する２枚の流路幅よりも短い堰板から構成されていることを特徴とする前記第１のマイクロチップである。
前記課題を解決するための手段は第３に、前記逆止弁は前記微細流路に対して上下方向に互いに擦れ違うように対向する２枚の流路高さよりも短い堰板から構成されていることを特徴とする前記第１のマイクロチップである。
前記課題を解決するための手段は第４に、前記逆止弁は、弁室内に収納された複数個のビーズからなり、前記弁室は前記微細流路の上流側において該微細流路の流路幅よりも狭く、かつ、ビーズの外径よりも小さい１本以上の第１の接続流路により連通されており、また、前記弁室は前記微細流路の下流側において前記第１の接続流路よりも細い複数本の第２の接続流路により連通されていることを特徴とする前記第１のマイクロチップである。
前記課題を解決するための手段は第５に、上部基板と該上部基板に貼り合わされる対面基板とからなるマイクロチップにおいて、
前記上部基板は、第１の基板と第２の基板とが貼り合わされた構造を有し、前記第１の基板が前記対面基板に接着されており、
前記第１の基板と第２の基板との貼り合わせ面間内に微細流路が形成され、かつ、該微細流路内に上流側の第１の逆止弁と下流側の第２の逆止弁と、該第１の逆止弁と第２の逆止弁との間に加圧部とを有し、
前記逆止弁は、前記第１の基板の微細流路形成面側に上向きに形成された微細流路の高さよりも短い不動堰板と、前記第２の基板の微細流路形成面側に下向きに形成された微細流路の高さよりも短い可動堰板とが互いに擦れ違うように、かつ、前記可動堰板が微細流路の下流側に位置するように対向して配設することにより構成されていることを特徴とするマイクロチップである。
前記課題を解決するための手段は第６に、ＰＤＭＳからなるマイクロポンプであって、
入口孔と出口孔とを有するガラス板を中間に挟んで、ＰＤＭＳ下側半型とＰＤＭＳ上側半型とを接着させることにより密閉されたポンプ室を画成し、
ＰＤＭＳ下側半型には送入穴と吐出穴とが配設されており、
ＰＤＭＳ上側半型には、スペーサを介してＰＤＭＳ弁片が配設されており、前記ＰＤＭＳ弁片は前記ガラス板の入口孔を遮蔽するのに必要十分な大きさを有することを特徴とするマイクロポンプである。
前記課題を解決するための手段は第７に、前記ＰＤＭＳ下側半型に配設された送入穴には送入管が連結されており、前記ＰＤＭＳ下側半型に配設された吐出穴には吐出管が連結されていることを特徴とする前記第６のマイクロポンプである。
前記課題を解決するための手段は第８に、ＰＤＭＳからなるマイクロポンプであって、
入口孔と出口孔とを有するガラス板を中間に挟んで、ＰＤＭＳ下側半型とＰＤＭＳ上側半型とを接着させることにより密閉されたポンプ室を画成し、
ＰＤＭＳ下側半型には、それぞれ分離された吸込空気室と吐出空気室とが形成されており、前記吸込空気室には送入穴が配設されており、前記吐出空気室には吐出穴が配設されており、かつ、ＰＤＭＳ弁片が前記吐出空気室内に配設されており、前記ＰＤＭＳ弁片は前記ガラス板の出口孔を下側から遮蔽するのに必要十分な大きさを有し、
ＰＤＭＳ上側半型にはＰＤＭＳ弁片が前記ポンプ室内に配設されており、前記ＰＤＭＳ弁片は前記ガラス板の入口孔を上側から遮蔽するのに必要十分な大きさを有することを特徴とするマイクロポンプである。
前記課題を解決するための手段は第９に、前記吸込空気室に配設された送入穴には送入管が連結されており、前記吐出空気室に配設された吐出穴には吐出管が連結されていることを特徴とする前記第８のマイクロポンプである。
前記課題を解決するための手段は第１０に、前記ポンプ室の上部に、前記ポンプ室を密閉するＰＤＭＳ製ダイヤフラム片が配設され、該ＰＤＭＳ製ダイヤフラム片の上部に圧電素子が配設されていることを特徴とする前記第８のマイクロポンプである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
図８は本発明によるマイクロポンプの更に別の実施態様の部分概要断面図である。図８のマイクロポンプは、弁座となるガラス板５９の下部のＰＤＭＳ半型６１と上部のＰＤＭＳ半型６３とを重ね合わせることにより密閉されたポンプ室６５を画成する。上部のＰＤＭＳ半型６３には圧力により撓み変形することができるＰＤＭＳ弁片６７がスペーサ６９を介して配設されている。スペーサ６９はＰＤＭＳから形成されていることが好ましい。スペーサ６９の存在により、ＰＤＭＳ弁片６７はガラス板５９から離されている。送入管７１はＰＤＭＳ半型６１に設けられた送入穴に連結されており、同様に吐出管７３もＰＤＭＳ半型６１に設けられた吐出穴に連結されている。送入管７１から弁室６５内に液体を圧力注入するか又は吸込注入する。吐出管７３は細いので弁室６５内に貯留された液体はそのままではポンプ外には排出されない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
１  本発明のマイクロチップ
７  微細流路
９  逆止弁
１１  加圧部
１３  マイクロバルブ
１５  入力ポート  
１７  出力ポート
１９  対面基板
２１，２５  ＰＤＭＳ薄膜
２３，２７  ＰＤＭＳ基板
２９，２９ａ，３１，３１ａ  ＰＤＭＳ堰板
３３  弁座
３５，３７  空所
３９  弁室
４１  ビーズ
４３，４５  接続流路
４７，４９  逆止弁
５１ａ，５１ｂ，５３ａ，５３ｂ  堰板
５５，５７  ＰＤＭＳ基板
５９  ガラス板
６１  ＰＤＭＳ下側半型
６３  ＰＤＭＳ上側半型
６５  ポンプ室
６７  ＰＤＭＳ弁片
６９  スペーサ
７１  送入管
７３  吐出管
７５  入口孔
７７  出口孔
７９  吸込空気室
８１  吐出空気室
８３  ＰＤＭＳダイヤフラム弁
８５  圧電素子