【手続補正書】
【提出日】平成19年8月2日(2007.8.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームグラウンド端子をもつフレームと、
被試験対象を載せるためのチャックステージと、
前記チャックステージを駆動するサーボモータであって、該サーボモータはグラウンド端子を備えたものであるサーボモータと、
前記サーボモータに接続されたサーボアンプであって、該サーボアンプはグラウンド端子を備えたものであるサーボアンプと、
前記サーボアンプが設けられた、前記フレームから電気的に絶縁されている第１のフローティング台であって、前記サーボアンプの前記グラウンド端子が該第１のフローティング台の第１のグラウンド端子に接続されているものである第１のフローティング台と、
前記サーボモータが設けられた、前記フレームから電気的に絶縁されている第２のフローティング台であって、前記サーボモータの前記グラウンド端子が該第２のフローティング台の第２のグラウンド端子に接続されているものである第２のフローティング台と、
前記サーボアンプと前記サーボモータとを接続するシールド付きケーブルと、
前記第１のグラウンド端子と前記フレームグラウンド端子とを接続し、前記第１のグラウンド端子と前記第２のフローティング台とを接続する第１配線と、
前記シールド付きケーブルと前記フレームグラウンド端子とを接続する第２配線と
を含んでなるプローバ。
【請求項２】
フレームグラウンド端子をもつフレームと、
被試験対象を載せるためのチャックステージと、
前記チャックステージを駆動するサーボモータであって、該サーボモータはグラウンド端子と第１の絶縁材を備えたシャフトとを有するものであるサーボモータと、
前記サーボモータに接続されたサーボアンプであって、該サーボアンプはグラウンド端子を備えたものであるサーボアンプと、
前記サーボアンプが設けられた、前記フレームから電気的に絶縁されている第１のフローティング台であって、前記サーボアンプの前記グラウンド端子が該第１のフローティング台の第１のグラウンド端子に接続されているものである第１のフローティング台と、
前記サーボモータが設けられた、前記フレームから電気的に絶縁されている第２のフローティング台であって、前記サーボモータの前記グラウンド端子が該第２のフローティング台の第２のグラウンド端子に接続されているものである第２のフローティング台と、
前記サーボアンプと前記サーボモータとを接続するシールド付きケーブルと、
前記第１のグラウンド端子と前記フレームグラウンド端子とを接続し、前記第２のフローティング台と前記フレームグラウンド端子とを接続する第１配線と、
前記シールド付きケーブルと前記フレームグラウンド端子とを接続する第２配線と
を含んでなるプローバ。
【請求項３】
前記サーボアンプと前記サーボモータとの間に前記サーボアンプ用の出力フィルタが設けられており、該出力フィルタと前記サーボモータとの間のシールド付きケーブルによる接続のためにメタルコネクタが用いられ、該シールド付きケーブルのシールドが該メタルコネクタのシェルに接続されていて電気的導通が確保されることを特徴とする請求項１または２に記載のプローバ。
【請求項４】
前記メタルコネクタは、前記シールド付きケーブルのシールド金属部または編組線がその周方向にわたって３６０゜シールドするよう覆うものであることを特徴とする請求項３に記載のプローバ。
【請求項５】
前記サーボアンプと前記サーボアンプの入力フィルタとを接続する第２のシールド付きケーブルと、
該第２のシールド付きケーブルと前記フレームグラウンド端子とを接続する第３配線と
をさらに含んでなる請求項１から４のいずれかに記載のプローバ。
【請求項６】
前記サーボアンプに設けられた力率補正回路用のダイオードに、シリコンカーバイド製ダイオードを使用することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のプローバ。
【請求項７】
前記フレームグラウンド端子と、テストヘッドの筐体のグラウンド端子とを接続する第４配線をさらに含む請求項１から６のいずれかに記載のプローバ。
【請求項８】
前記サーボモータにより駆動され被試験対象を載せるためのチャックステージの表面と、該チャックステージの表面に近接する前記プローバのノイズが還流している部分との間の距離が、５ｃｍ以上であることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のプローバ。
【請求項９】
前記プローバのノイズが還流している部分は、前記シールド付きケーブル、前記サーボモータの筐体、前記第１の絶縁部材までの前記サーボモータのシャフト、前記サーボアンプのいずれか、またはその組み合わせである請求項８に記載のプローバ。
【請求項１０】
前記サーボモータのうち、いずれかのモータのシャフトに第２の絶縁部材が設けられており、該絶縁部材を介して別の延長シャフトが装着されており、該シャフトにつながる金属部分と支持台と支持部材とが前記フレームグランド端子にそれぞれ接続されていることを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載のプローバ。
【請求項１１】
前記サーボモータは、最も大きな負荷がかかるモータであることを特徴とする請求項１０に記載のプローバ。
【請求項１２】
前記サーボアンプ内のスイッチング素子のフライホイールダイオードにＳｉＣダイオードを並列に接続して構成したことを特徴とする請求項１から１１のいずれかに記載のプローバ。
【請求項１３】
前記サーボアンプ内のスイッチング素子のフライホイールダイオードをＳｉＣダイオードに置換して構成したことを特徴とする請求項１から１１のいずれかに記載のプローバ。
【請求項１４】
前記請求項１から１３のいずれかのプローバを含む試験装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明のプローバは、プローバのフレームと各電装品とを互いに絶縁して、各電装品のＤＣ成分のグラウンド電位をフレームグラウンド端子に１点アースとして設けることにより、安定したグラウンド構成を含むプローバを提供するものである。
具体的には、フレームグラウンド端子をもつフレームと、被試験対象を載せるためのチャックステージと、前記チャックステージを駆動するサーボモータであって、該サーボモータはグラウンド端子を備えたものであるサーボモータと、前記サーボモータに接続されたサーボアンプであって、該サーボアンプはグラウンド端子を備えたものであるサーボアンプと、前記サーボアンプが設けられた、前記フレームから電気的に絶縁されている第１のフローティング台であって、前記サーボアンプの前記グラウンド端子が該第１のフローティング台の第１のグラウンド端子に接続されているものである第１のフローティング台と、前記サーボモータが設けられた、前記フレームから電気的に絶縁されている第２のフローティング台であって、前記サーボモータの前記グラウンド端子が該第２のフローティング台の第２のグラウンド端子に接続されているものである第２のフローティング台と、前記サーボアンプと前記サーボモータとを接続するシールド付きケーブルと、前記第１のグラウンド端子と前記フレームグラウンド端子とを接続し、前記第１のグラウンド端子と前記第２のフローティング台とを接続する第１配線と、前記シールド付きケーブルと前記フレームグラウンド端子とを接続する第２配線とを含んでなるプローバを提供する。
また、フレームグラウンド端子をもつフレームと、被試験対象を載せるためのチャックステージと、前記チャックステージを駆動するサーボモータであって、該サーボモータはグラウンド端子と第１の絶縁材を備えたシャフトとを有するものであるサーボモータと、前記サーボモータに接続されたサーボアンプであって、該サーボアンプはグラウンド端子を備えたものであるサーボアンプと、前記サーボアンプが設けられた、前記フレームから電気的に絶縁されている第１のフローティング台であって、前記サーボアンプの前記グラウンド端子が該第１のフローティング台の第１のグラウンド端子に接続されているものである第１のフローティング台と、前記サーボモータが設けられた、前記フレームから電気的に絶縁されている第２のフローティング台であって、前記サーボモータのグラウンド端子が該第２のフローティング台の第２のグラウンド端子に接続されているものである第２のフローティング台と、前記サーボアンプと前記サーボモータとを接続するシールド付きケーブルと、前記第１のグラウンド端子と前記フレームグラウンド端子とを接続し、前記第２のフローティング台と前記フレームグラウンド端子とを接続する第１配線と、前記シールド付きケーブルと前記フレームグラウンド端子とを接続する第２配線とを含んでなるプローバを提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
ここで、前記サーボアンプと前記サーボモータとの間に前記サーボアンプ用の出力フィルタが設けられており、該出力フィルタと前記サーボモータとの間のシールド付きケーブルによる接続のためにメタルコネクタが用いられ、該シールド付きケーブルのシールドが該メタルコネクタのシェルに接続されていて電気的導通が確保される態様や、前記メタルコネクタは、前記シールド付きケーブルのシールド金属部または編組線がその周方向にわたって３６０゜シールドするよう覆うものである態様や、前記サーボアンプと前記サーボアンプの入力フィルタとを接続する第２のシールド付きケーブルと、該第２のシールド付きケーブルと前記フレームグラウンド端子とを接続する第３配線とをさらに含んでなる態様や、前記サーボアンプに設けられた力率補正回路用のダイオードに、シリコンカーバイド製ダイオードを使用する態様や、前記フレームグラウンド端子と、テストヘッドの筐体のグラウンド端子とを接続する第４配線をさらに含む態様や、前記サーボモータにより駆動され被試験対象を載せるためのチャックステージの表面と、該チャックステージの表面に近接する前記プローバのノイズが還流している部分との間の距離が、５ｃｍ以上である態様であることが好ましい。ここで、前記プローバのノイズが還流している部分は、前記シールド付きケーブル、前記サーボモータの筐体、前記第１の絶縁部材までの前記サーボモータのシャフト、前記サーボアンプのいずれか、またはその組み合わせでありうる。また、前記サーボモータのうち、いずれかのモータのシャフトに第２の絶縁部材が設けられており、該絶縁部材を介して別の延長シャフトが装着されており、該シャフトにつながる金属部分と支持台と支持部材とが前記フレームグランド端子にそれぞれ接続されている態様であることがより好ましい。ここで、前記サーボモータは、最も大きな負荷がかかるモータであることが好ましい。さらに、前記サーボアンプ内のスイッチング素子のフライホイールダイオードにＳｉＣダイオードを並列に接続して構成した態様や、前記サーボアンプ内のスイッチング素子のフライホイールダイオードをＳｉＣダイオードに置換して構成した態様であることが好ましい。
また、前記のいずれかのプローバを含む試験装置を提供する。