【手続補正書】
【提出日】平成19年2月22日(2007.2.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１本のビームを第１の方向に（２ｎ＋１）本のビームに分割する第１の分割用光学レンズと、
１本のビームを前記第１の方向と垂直な第２の方向にＮ（ｎ−１）本のビームに分割する第２の分割用光学レンズと、
前記第２の方向に集光して、前記第２の方向に分割された複数のビームを合成する第１の合成用レンズと、
前記第１の方向に集光して、前記第１の方向に分割された複数のビームを合成する第２の合成用レンズと、を含んだビームホモジナイザーであって、
前記第２の合成用レンズは（ｎ’−１）個のシリンドリカルレンズでなり、
前記（ｎ’−１）個のシリンドリカルレンズのそれぞれの主点を前記第２の方向に直交する平面に正射影した像は、同一直線上にｄ／（ｎ’−１）の間隔で並んだ（ｎ’−１）個の点となり、
前記ｄは、前記第２の合成用レンズの１つのシリンドリカルレンズを透過したビームが照射面で形成する干渉縞のピークの間隔であり、
前記Ｎは自然数であり、前記ｎは３以上の整数であり、前記ｎ’は３≦ｎ’≦ｎを満たす整数であることを特徴とするビームホモジナイザー。
【請求項２】
１本のビームを第１の方向に（２ｎ）本のビームに分割する第１の分割用光学レンズと、
１本のビームを前記第１の方向と垂直な第２の方向にＮ（ｎ−１）本のビームに分割する第２の分割用光学レンズと、
前記第２の方向に集光して、前記第２の方向に分割された複数のビームを合成する第１の合成用レンズと、
前記第１の方向に集光して、前記第１の方向に分割された複数のビームを合成する第２の合成用レンズと、を含んだビームホモジナイザーであって、
前記第２の合成用レンズは（ｎ’−１）個のシリンドリカルレンズでなり、
前記（ｎ’−１）個のシリンドリカルレンズのそれぞれの主点を前記第２の方向に直交する平面に正射影した像は、同一直線上にｄ／（ｎ’−１）の間隔で並んだ（ｎ’−１）個の点となり、
前記ｄは、前記第２の合成用レンズの１つのシリンドリカルレンズを透過したビームが照射面で形成する干渉縞のピークの間隔であり、
前記Ｎは自然数であり、前記ｎは３以上の整数であり、前記ｎ’は３≦ｎ’≦ｎを満たす整数であることを特徴とするビームホモジナイザー。
【請求項３】
（２ｎ＋１）個の第１のシリンドリカルレンズでなる第１のシリンドリカルレンズ群と、
Ｎ（ｎ−１）個の第２のシリンドリカルレンズでなる第２のシリンドリカルレンズ群と、
第３のシリンドリカルレンズと、
（ｎ’−１）個の第４のシリンドリカルレンズでなる第３のシリンドリカルレンズ群と、が光路上に順次に配置されたビームホモジナイザーであって、
前記第３のシリンドリカルレンズ群において、
前記（ｎ’−１）個の第４のシリンドリカルレンズの主平面は、同一の平面を形成し、
前記（ｎ’−１）個の第４のシリンドリカルレンズそれぞれの主点を前記平面に垂直な平面に正射影した像は、同一直線上にｄ／（ｎ’−１）の間隔で並ぶ（ｎ’−１）個の点であり、
λを前記エキシマレーザーの波長とし、ｆを第３のシリンドリカルレンズ群を構成する１つのシリンドリカルレンズの焦点距離とし、Ｌを前記第１のシリンドリカルレンズ群を構成する１つのシリンドリカルレンズの幅とした場合、前記ｄはｄ＝λｆ／Ｌで示され、
前記Ｎは自然数であり、前記ｎは３以上の整数であり、前記ｎ’は３≦ｎ’≦ｎを満たす整数であることを特徴とするビームホモジナイザー。
【請求項４】
（２ｎ）個の第１のシリンドリカルレンズでなる第１のシリンドリカルレンズ群と、
Ｎ（ｎ−１）個の第２のシリンドリカルレンズでなる第２のシリンドリカルレンズ群と、
第３のシリンドリカルレンズと、
（ｎ’−１）個の第４のシリンドリカルレンズでなる第３のシリンドリカルレンズ群と、が光路上に順次に配置されたビームホモジナイザーであって、
前記第２のシリンドリカルレンズと第３のシリンドリカルレンズの光軸は平行であり、
前記第３のシリンドリカルレンズ群において、
前記（ｎ’−１）個の第４のシリンドリカルレンズの主平面は、同一の平面を形成し、
前記（ｎ’−１）個の第４のシリンドリカルレンズそれぞれの主点を前記平面に垂直な平面に正射影した像は、同一直線上にｄ／（ｎ’−１）の間隔で並ぶ（ｎ’−１）個の点であり、
λを前記エキシマレーザーの波長とし、ｆを第３のシリンドリカルレンズ群を構成する１つのシリンドリカルレンズの焦点距離とし、Ｌを前記第１のシリンドリカルレンズ群を構成する１つのシリンドリカルレンズの幅とした場合、前記ｄはｄ＝λｆ／Ｌで示され、
前記Ｎは自然数であり、前記ｎは３以上の整数であり、前記ｎ’は３≦ｎ’≦ｎを満たす整数であることを特徴とするビームホモジナイザー。
【請求項５】
請求項３または４において、
前記第１のシリンドリカルレンズの母線に対して、第４のシリンドリカルレンズの母線は平行であり、第２、第３のシリンドリカルレンズの母線は垂直であり、
前記第２のシリンドリカルレンズの母線と第３のシリンドリカルレンズの母線は平行であることを特徴とするビームホモジナイザー。
【請求項６】
レーザービームを発生するレーザー発生装置と、
ビームホモジナイザーと、
一方向に移動可能なステージと、を有するレーザー照射装置であって、
前記ビームホモジナイザーは、
１本のビームを第１の方向に（２ｎ＋１）本のビームに分割する第１の分割用光学レンズと、
１本のビームを前記第１の方向と垂直な第２の方向にＮ（ｎ−１）本のビームに分割する第２の分割用光学レンズと、
前記第２の方向に集光して、前記第２の方向に分割された複数のビームを合成する第１の合成用レンズと、
前記第１の方向に集光して、前記第１の方向に分割された複数のビームを合成する第２の合成用レンズと、を含み、
前記第２の合成用レンズは（ｎ’−１）個のシリンドリカルレンズでなり、
前記（ｎ’−１）個のシリンドリカルレンズのそれぞれの主点を前記第２の方向に直交する平面に正射影した像は、同一直線上にｄ／（ｎ’−１）の間隔で並んだ（ｎ’−１）個の点となり、
前記ｄは、前記第２の合成用レンズの１つのシリンドリカルレンズを透過したビームが照射面で形成する干渉縞のピークの間隔であり、
前記Ｎは自然数であり、前記ｎは３以上の整数であり、前記ｎ’は３≦ｎ’≦ｎを満たす整数であることを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項７】
レーザービームを発生するレーザー発生装置と、
ビームホモジナイザーと、
一方向に移動可能なステージと、を有するレーザー照射装置であって、
前記ビームホモジナイザーは、
１本のビームを第１の方向に（２ｎ）本のビームに分割する第１の分割用レンズと、
１本のビームを前記第１の方向と垂直な第２の方向にＮ（ｎ−１）本のビームに分割する第２の分割用レンズと、
前記第２の方向に集光して、前記第２の方向に分割された複数のビームを合成する第１の合成用レンズと、
前記第１の方向に集光して、前記第１の方向に複数のビームを合成する第２の合成用レンズと、を含み、
前記第２の合成用レンズは（ｎ’−１）個のシリンドリカルレンズでなり、
前記（ｎ’−１）個のシリンドリカルレンズのそれぞれの主点を前記第２の方向に直交する平面に正射影した像は、同一直線上にｄ／（ｎ’−１）の間隔で並んだ（ｎ’−１）個の点となり、
前記ｄは、前記第２の合成用レンズの１つのシリンドリカルレンズを透過したビームが照射面で形成する干渉縞のピークの間隔であり、
前記Ｎは自然数であり、前記ｎは３以上の整数であり、前記ｎ’は３≦ｎ’≦ｎを満たす整数であることを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項８】
レーザービームを発生するレーザー発生装置と、
ビームホモジナイザーと、
一方向に移動可能なステージと、を有するレーザー照射装置であって、
前記ビームホモジナイザーは、
（２ｎ＋１）個の第１のシリンドリカルレンズでなる第１のシリンドリカルレンズ群と、
Ｎ（ｎ−１）個の第２のシリンドリカルレンズでなる第２のシリンドリカルレンズ群と、
第３のシリンドリカルレンズと、
（ｎ’−１）個の第４のシリンドリカルレンズでなる第３のシリンドリカルレンズ群と、光路上に前記レーザー装置の出射側から順次に配置され、
前記第３のシリンドリカルレンズ群において、
前記（ｎ’−１）個の第４のシリンドリカルレンズの主平面は、同一の平面を形成し、
前記（ｎ’−１）個の第４のシリンドリカルレンズそれぞれの主点を前記平面に垂直な平面に正射影した像は、同一直線上にｄ／（ｎ’−１）の間隔で並ぶ（ｎ’−１）個の点であり、
λを前記エキシマレーザーの波長とし、ｆを第３のシリンドリカルレンズ群を構成する１つのシリンドリカルレンズの焦点距離とし、Ｌを前記第１のシリンドリカルレンズ群を構成する１つのシリンドリカルレンズの幅とした場合、前記ｄはｄ＝λｆ／Ｌで示され、
前記Ｎは自然数であり、前記ｎは３以上の整数であり、前記ｎ’は３≦ｎ’≦ｎを満たす整数であることを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項９】
レーザービームを発生するレーザー発生装置と、
ビームホモジナイザーと、
一方向に移動可能なステージと、を有するレーザー照射装置であって、
前記ビームホモジナイザーは、
（２ｎ）個の第１のシリンドリカルレンズでなる第１のシリンドリカルレンズ群と、
Ｎ（ｎ−１）個の第２のシリンドリカルレンズでなる第２のシリンドリカルレンズ群と、
第３のシリンドリカルレンズと、
（ｎ’−１）個の第４のシリンドリカルレンズでなる第３のシリンドリカルレンズ群と、
が光路上に前記レーザー装置の出射側から順次に配置され、
前記第３のシリンドリカルレンズ群において、
前記（ｎ’−１）個の第４のシリンドリカルレンズの主平面は、同一の平面を形成し、
前記（ｎ’−１）個の第４のシリンドリカルレンズそれぞれの主点を前記平面に垂直な平面に正射影した像は、同一直線上にｄ／（ｎ’−１）の間隔で並ぶ（ｎ’−１）個の点であり、
λを前記エキシマレーザーの波長とし、ｆを第３のシリンドリカルレンズ群を構成する１つのシリンドリカルレンズの焦点距離とし、Ｌを前記第１のシリンドリカルレンズ群を構成する１つのシリンドリカルレンズの幅とした場合、前記ｄはｄ＝λｆ／Ｌで示され、
前記Ｎは自然数であり、前記ｎは３以上の整数であり、前記ｎ’は３≦ｎ’≦ｎを満たす整数であることを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項１０】
請求項８または９において、
前記第１のシリンドリカルレンズの母線に対して、第４のシリンドリカルレンズの母線は平行であり、第２、第３のシリンドリカルレンズの母線は垂直であることを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項１１】
請求項６乃至１０のいずれか１項において、
前記レーザー発生装置は連続発光エキシマレーザービームを発生することを特徴とするレーザー照射装置。