【手続補正書】
【提出日】平成19年5月7日(2007.5.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ミラーをミラー保持機構で保持するミラー保持方法であって、前記ミラーの光軸に直交する平面に投影された前記ミラーにおける光照射領域の中心が前記平面における前記ミラーの重心とずれていて、前記平面に投影された前記光照射領域の対称軸に関し、前記平面に投影された前記ミラー保持機構のミラー保持点が対称に配されるようにしたことを特徴とするミラー保持方法。
【請求項２】
前記ミラー保持点は、３点からなり、前記平面に投影された前記光照射領域の中心と前記平面に投影された前記３点とを結ぶ方向は、互いにほぼ１２０度ずれていることを特徴とする請求項１に記載のミラー保持方法。
【請求項３】
前記ミラー保持点は、３点からなり、前記平面における前記光照射領域の重心と前記平面に投影された前記３点とを結ぶ方向は、互いにほぼ１２０度ずれていることを特徴とする請求項１に記載のミラー保持方法。
【請求項４】
前記ミラーは極紫外線を反射するミラーであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のミラー保持方法。
【請求項５】
ミラーと、ミラー保持機構とを有し、前記ミラーの光軸に直交する平面に投影された前記ミラーにおける光照射領域の中心が前記平面における前記ミラーの重心とずれている光学装置であって、前記平面に投影された前記光照射領域の対称軸に関し、前記平面に投影された前記ミラー保持機構のミラー保持点が対称に配されていることを特徴とする光学装置。
【請求項６】
前記ミラー保持点は、３点からなり、前記平面に投影された前記光照射領域の中心と前記平面に投影された前記３点とを結ぶ方向は、互いにほぼ１２０度ずれていることを特徴とする請求項５に記載の光学装置。
【請求項７】
前記ミラー保持点は、３点からなり、前記平面における前記光照射領域の重心と前記平面に投影された前記３点とを結ぶ方向は、互いにほぼ１２０度ずれていることを特徴とする請求項５に記載の光学装置。
【請求項８】
前記ミラーは極紫外線を反射するミラーであることを特徴とする請求項５乃至７のいずれか一項に記載の光学装置。
【請求項９】
請求項５乃至８のいずれか一項に記載の光学装置を有し、前記光学装置を介して基板を露光することを特徴とする露光装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の露光装置により基板を露光する段階と、該露光された基板を現像する段階とを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ミラー保持方法、光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、ミラー保持方法、光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法に関する。当該露光装置は、例えば、半導体集積回路等の製造に好適なものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、ミラー面の非対称な変形を軽減させることを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、第１のミラー保持方法は、ミラーにおける光照射領域の中心がミラーの重心とずれている光学系において、光照射領域の対称軸をミラー保持機構の対称軸と実質的に一致させている。これによれば、ミラーにおける光照射領域の中心がミラーの重心とずれている光学系であっても、光照射領域の対称軸とミラー保持機構の対称軸が一致（実質的に一致）しているので、光の熱により発生するミラー内の応力分布が対称軸を中心とする両側で対称となる。そのため、ミラーの面形状の変形を対称とすることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
第２のミラー保持方法は、さらに光照射領域の中心をミラー保持機構の中心と一致（実質的に一致）させている。これによれば、ミラー保持機構の中心に光が照射されるので、ミラー上の光照射領域の中心位置がミラーの熱膨張によりずれることを防ぐことができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
第３のミラー保持方法は、さらに光照射領域の重心を上記ミラー保持機構の中心と一致（実質的に一致）させている。これによれば、ミラー保持機構の中心に光が照射されるので、ミラー上の光照射領域の重心位置がミラーの熱膨張によりずれることを防ぐことができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
さらに、上記第１乃至第３のいずれかのミラー保持方法において、ミラーはＥＵＶ光（極紫外線）を反射するミラーとしている。これによれば、ＥＵＶ光がミラーに照射されるとき、ミラーがＥＵＶ光を吸収する割合が大きいとしても、そのミラーの面形状の変形を対称とすることができ、光学特性を大きく劣化させる変形を抑制することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
ミラーにおける光照射領域の中心がミラーの重心とずれている光学系を有する第１の光学装置は、光照射領域の対称軸をミラー保持機構の対称軸と一致させている。これによれば、ミラーにおける光照射領域の中心がミラーの重心とずれている光学系であっても、光照射領域の対称軸とミラー保持機構の対称軸が一致（実質的に一致）しているので、光の熱により発生するミラー内の応力分布が対称軸を中心とする両側で対称となる。そのため、ミラーの面形状の変形を対称とすることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
第２の光学装置は、さらに光照射領域の中心をミラー保持機構の中心と一致させている。これによれば、ミラー保持機構の中心に光が照射されるので、ミラー上の光照射領域の中心位置がミラーの熱膨張によりずれることを防ぐことができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
第３の光学装置は、さらに光照射領域の重心をミラー保持機構の中心と一致させている。これによれば、ミラー保持機構の中心に光が照射されるので、ミラー上の光照射領域の重心位置がミラーの熱膨張によりずれることを防ぐことができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
さらに、第４の光学装置は、上記第１乃至第３のいずれかの光学装置において、ミラーはＥＵＶ光を反射するミラーとしている。これによれば、ＥＵＶ光がミラーに照射されるとき、ミラーがＥＵＶ光を吸収する割合が大きいとしても、そのミラーの面形状の変形を対称とすることができ、光学特性を大きく劣化させる変形を抑制することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、露光装置は、上記第１乃至第４のいずれかの光学装置を有するものとしている。これによれば、露光装置にこのミラー保持方法を用いることで、高精度な露光を行うことができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、デバイス製造方法は、上記露光装置により基板を露光する段階と、該露光した基板を現像する段階とを含むこととしている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明によれば、ミラー面の非対称な変形を軽減させることができる。