【手続補正書】
【提出日】平成18年11月10日(2006.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】    【請求項１】可干渉光源と、前記可干渉光源からの光ビームを反射または回折、透過する第１のスケールパターンおよび第２のスケールパターンとが形成されて可動可能に支持されたスケールと、 前記可干渉光源と前記スケールとの間に設けられ、前記可干渉光源から出射された光ビームを複数のビームに分岐するビーム分岐光学素子と、 前記ビーム分岐光学素子によって分岐された光ビームを検出する第１および第２の光検出器とを有し、前記第１の光検出器は、前記ビーム分岐光学素子により分岐された第１の光ビームが前記第１のスケールパターンで反射または回折、透過することにより受光面上に形成された回折干渉パターンの空間周期方向に、 前記可干渉光源の光ビーム出射面から前記第１のスケールパターンが形成された面までの第１の光ビームの主軸に沿った光学的距離をｚ１１、前記第１のスケールパターンが形成された面から前記第１の光検出器までの第１の光ビームの主軸に沿った光学的距離をｚ２１、前記第１のスケールパターンの空間周期をｐ１１、ｎを自然数としたときに、  略ｎｐ１１（ｚ１１＋ｚ２１）／ｚ１１となる間隔ｐ２１で形成された各々が複数の受光エリアからなる複数の受光エリア群を有し、前記ビーム分岐光学素子により分岐された複数の光ビームのうち第２の光ビームは前記第２のスケールパターンにより反射または回折、透過し前記第２の光検出器によって受光されることを特徴とする光学式エンコーダ。    【請求項２】前記第1のスケールと前記第１の光検出器との間に設けられた第１の光ビーム屈曲素子と、前記第２のスケールと前記第２の光検出器との間に設けられた第２の光ビーム屈曲素子とを有し、前記第１および第２の光ビーム屈曲素子は、前記第１および第２の光ビーム屈曲素子を通過後の前記第１および第２のスケールパターンで反射または回折、透過した前記第１および第２の光ビームの主軸と、前記可干渉光源から出射した直後の光ビームの主軸とが平行になるとともに、前記第１および第２のスケールパターンを透過または反射、回折した前記第１および第２の光ビームが、前記第１および第２の光ビーム屈曲素子を通過後に、各々、前記第１および第２の光検出器により受光されるように配置されており、かつ、前記可干渉光源と前記第１および第２の光検出器は前記スケールに対して同じ側に空間的に配置されることを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。    【請求項３】前記複数の受光エリア群は、互いにｐ２１／４だけずらして配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の光学式エンコーダ。    【請求項４】前記ビーム分岐光学素子は、前記可干渉光源から出射した直後の光ビームの主軸を含み、かつ、前記第１のスケールパターンのピッチ方向に垂直な面内でのみ光ビームの主軸を複数の方向に分岐するように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。    【請求項５】前記第２のスケールパターンは第１のスケールパターンと異なる所定周期ｐ１２を有し、前記可干渉光源の光ビーム出射面から前記第２のスケールパターンが形成された面に至る第２の光ビームの主軸に沿って測った光学的距離をｚ１２、前記第２の光ビームの主軸上に沿って測った前記第２のス���ールパターンが形成された面から前記第２の光検出器の受光面に至る光学的距離をｚ２２としたとき、前記第２の光検出器は前記回折干渉パターンの空間周期方向に略ｎｐ１２（ｚ１２＋ｚ２２）／ｚ１２の間隔ｐ２２で形成された各々が複数の受光エリアからなる複数の受光エリア群を有して前記回折干渉パターンの所定部分を受光するように構成された請求項１に記載の光学式エンコーダ。    【請求項６】前記第２のスケールパターンは所定の基準位置に形成された単独または複数のスケールパターンであることを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。    【請求項７】前記可干渉光源の光ビーム出射面から前記第１のスケールパターンが形成された面までの第１の光ビームの主軸に沿った光学的距離ｚ１１と、前記第１のスケールパターンが形成された面から前記第１の光検出器までの第１の光ビームの主軸に沿った光学的距離ｚ２１とが等しいことを特徴とする請求項２に記載の光学式エンコーダ。    【請求項８】前記第２のスケールパターンは所定の基準位置に形成された単独または複数のスケールパターンであることを特徴とする請求項２に記載の光学式エンコーダ。    【請求項９】複数の光ビームを出射可能な可干渉光源と、前記可干渉光源から出射する光ビームを横切るように変位し、かつ、前記可干渉光源から出射する第１の光ビームにより回折干渉パターンを生成する所定周期の第１のスケールパターンを形成したスケールと、前記回折干渉パターンを受光する第１の光検出器とを有し、前記可干渉光源の光ビーム出射面から前記第１のスケールパターンが形成された面に至る第１の光ビームの主軸に沿って測った光学的距離をｚ１１、前記第１の光ビームの主軸上に沿って測った前記第１のスケールパターンが形成された面から前記第１の光検出器の受光面に至る光学的距離をｚ２１、前記第１のスケールパターンの空間周期をｐ１１、ｎを自然数としたとき、前記第１の光検出器は前記回折干渉パターンの空間周期方向に略ｎｐ１１（ｚ１１＋ｚ２１）／ｚ１１の間隔ｐ２１で形成された各々が複数の受光エリアからなる複数の受光エリア群を有して前記回折干渉パターンの所定部分を受光するように構成された光学式エンコーダにおいて、 前記可干渉光源と前記光検出器は前記スケールから略等しい光学的距離、かつ、同じ側に配置されるとともに、前記可干渉光源から出射される光ビームの主軸は、前記スケール面に対して傾斜するように配置され、前記複数の光ビームのうち第２の光ビームは前記スケールと一体で形成された前記第２のスケールパターンに照射され、前記第の光ビームが前記第２のスケールパターンにより反射または回折、透過された光ビームを受光する第２の光検出器を有することを特徴とする光学式エンコーダ。    【請求項１０】前記複数の受光エリア群は、互いにｐ２１／４だけずらして配置されていることを特徴とする請求項９に記載の光学式エンコーダ。【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】【課題を解決するための手段】 本発明によると、上記課題を解決するために、（１） 可干渉光源と、前記可干渉光源からの光ビームを反射または回折、透過する第１のスケールパターンおよび第２のスケールパターンとが形成されて可動可能に支持されたスケールと、前記可干渉光源と前記スケールとの間に設けられ、前記可干渉光源から出射された光ビームを複数のビームに分岐するビーム分岐光学素子と、前記ビーム分岐光学素子によって分岐された光ビームを検出する第１および第２の光検出器とを有し、前記第１の光検出器は、前記ビーム分岐光学素子により分岐された第１の光ビームが前記第１のスケールパターンで反射または回折、透過することにより受光面上に形成された回折干渉パターンの空間周期方向に、前記可干渉光源の光ビーム出射面から前記第１のスケールパターンが形成された面までの第１の光ビームの主軸に沿った光学的距離をｚ１１、前記第１のスケールパターンが形成された面から前記第１の光検出器までの第１の光ビームの主軸に沿った光学的距離をｚ２１、前記第１のスケールパターンの空間周期をｐ１１、ｎを自然数としたときに、略ｎｐ１１（ｚ１１＋ｚ２１）／ｚ１１となる間隔ｐ２１で形成された各々が複数の受光エリアからなる複数の受光エリア群を有し、前記ビーム分岐光学素子により分岐された複数の光ビームのうち第２の光ビームは前記第２のスケールパターンにより反射または回折、透過し前記第２の光検出器によつて受光されることを特徴とする光学式エンコーダが提供される。【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】また、「光検出器は前記回折干渉パターンの空間周期方向に略ｎｐ１１（ｚ１１＋ｚ２１）／ｚ１１の間隔ｐ２１で形成された各々が複数の受光エリアからなる複数の受光エリア群を有して前記回折干渉パターンの所定部分を受光する」とは、受光面上における前記回折干渉パターンのピッチ方向に略ｎｐ１１（ｚ１１＋ｚ２１）／ｚ１１の間隔で形成された複数の受光エリアの出力を加算して出力するように構成されている受光素子群を意味するとともに、この受光素子群が複数形成されている場合も含まれる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】また、「前記回折干渉パターンのピッチ方向にｎｐ１１（ｚ１１＋ｚ２１）／ｚ１１の間隔ｐ２１で形成された各々が複数の受光エリアからなる複数の受光エリア群」における数値条件ｎｐ１１（ｚ１１＋ｚ２１）／ｚ１１については、多少これからずれてもセンサとしては機能するため、本発明を実施するにおいて、数値条件ｎｐ１１（ｚ１１＋ｚ２１）／ｚ１１から±３０％程度のずれがあっても本発明の実施範囲に含まれるものとみなすことにする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】また、本発明によると、前述の課題を解決するために、（２）前記第1のスケールと前記第１の光検出器との間に設けられた第１の光ビーム屈曲素子と、前記第２のスケールと前記第２の光検出器との間に設けられた第２の光ビーム屈曲素子とを有し、前記第１および第２の光ビーム屈曲素子は、前記第１および第２の光ビーム屈曲素子を通過後の前記第１および第２のスケールパターンで反射または回折、透過した前記第１および第２の光ビームの主軸と、前記可干渉光源から出射した直後の光ビームの主軸とが平行になるとともに、前記第１および第２のスケールパターンを透過または反射、回折した前記第１および第２の光ビームが、前記第１および第２の光ビーム屈曲素子を通過後に、各々、前記第１および第２の光検出器により受光されるように配置されており、かつ、前記可干渉光源と前記第１および第２の光検出器は前記スケールに対して同じ側に空間的に配置されることを特徴とする（１）に記載の光学式エンコーダが提供される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】削除
【補正の内容】