【手続補正書】
【提出日】平成20年10月6日(2008.10.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
深紫外線（ＤＵＶ）レーザエネルギー源と、
第１の断面寸法とは実質的にサイズが異なる、実質的に同様の第２の断面寸法を有する第２の複数の光学構造により囲まれた、実質的に同様の第１の断面寸法を有する第１の複数の実質的に環状に配列された光ファイバにより囲まれたコアを備え、前記第１の複数の光学構造と第２の複数の光学構造は、前記レーザエネルギー源から受け取ったエネルギーの周波数をブロード化し、周波数がブロード化されたＤＵＶ放射線とするのに使用される、光ファイバ配列と、
を備え、
前記周波数がブロード化されたＤＵＶ放射線を、試料を検査するための照明源として使用する、
試料を検査するための装置。
【請求項２】
前記複数の光ファイバは、
中空コアファイバと、
テーパー光子ファイバと、
クモの巣状光結晶ファイバと、
カゴメ型中空コア光結晶ファイバと、
よりなる群から少なくとも１つを含む、請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記中空コアファイバは、時折カゴメ格子と呼ばれる、微細シリカウエブのマトリクスにより囲まれた中空コアを含み、
前記微細シリカウエブは固体構造により囲まれる、請求項２記載の装置。
【請求項４】
前記中空コアファイバには比較的高圧のガスが充填される、請求項２記載の装置。
【請求項５】
前記第１の複数の光ファイバは、前記第２の複数の光ファイバよりも実質的に大きな、環状に分布した実質的に円形の集合を含む、請求項１記載の装置。
【請求項６】
前記第１および第２の複数の光ファイバはさらに、同心円形ファイバの１つまたは複数のストリングから構成される領域を備え、
ここで、各領域は２つの規定されたパラメータΛおよびｄを有し、ここでΛはストリング中の各円の中心〜中心間隔であり、ｄは各ストリング中の穴の直径であり、ここで、少なくとも１つの領域は約０．７を超えるｄ／Λ比を有する、請求項５記載の装置。
【請求項７】
前記光ファイバは、ガラス、低水、ヒドロキシル含有ガラス、およびセラミックを含む群から少なくとも１つを含む、請求項１記載の装置。
【請求項８】
前記ＤＵＶレーザエネルギー源は、
ダイオードポンピング固体レーザ（基本）と、
ダイオードポンピング固体レーザ（調和的にアップコンバートされたもの）と、
周波数がアップコンバートされたアルゴンイオンレーザと、
周波数がアップコンバートされたクリプトンイオンレーザと、
調和的にアップコンバートされたＥｒ：ファイバレーザと、
周波数がアップコンバートされたダイオードポンピング原子法レーザと、
調和的にコンバートされたＴｉ：Ｓレーザと、
エキシマレーザと、
基本波長が１８０と２８０ｎｍとの間にある第１のＤＵＶレーザと、
アップコンバートされた波長が１８０と２８０ｎｍとの間にある第２のＤＵＶレーザと、
を含む群から少なくとも１つを含む、請求項１記載の装置。
【請求項９】
中心コアと、
前記中心コアを概して取り囲む複数の実質的に円形の構造体と、
を備え、
前記複数の実質的に円形の構造体は、実質的に環状に分布したファイバの内側の群と、前記内側のファイバ群とは寸法が実質的に異なるファイバの外側の群と、を備え、
ここで、前記複数のファイバは、
中空コアファイバと、
テーパー光子ファイバと、
クモの巣状光結晶ファイバと、
カゴメ型中空コア光結晶ファイバと、
を含む群から少なくとも１つを含み、
前記複数のファイバは、ＤＵＶ光エネルギーを受け取り、試料を検査するための周波数がブロード化されたＤＵＶ放射線を生成するように構成される、試料を検査するために使用される深紫外線（ＤＵＶ）エネルギーの周波数をブロード化するための装置。
【請求項１０】
前記中空コアファイバは、時折カゴメ格子と呼ばれる、微細シリカウエブのマトリクスにより囲まれた中空コアを含み、
前記微細シリカウエブは固体構造により囲まれる、請求項９記載の装置。
【請求項１１】
前記中空コアファイバには比較的高圧のガスが充填される、請求項９記載の装置。
【請求項１２】
前記、実質的に環状に分布したファイバの内側の群は、予め決められた個々の実質的に円形なファイバ直径を含む予め決められた集合的直径の環状に分布した円形の集合を含む、請求項９記載の装置。
【請求項１３】
前記外側のファイバ群は第１の領域を規定し、実質的に環状に分布したファイバの内側の群の周りに配列された第２の領域を形成する同心円のストリングを含み、
ここで、各領域は２つの規定されたパラメータΛおよびｄを有し、ここでΛはストリング中の各円の中心〜中心間隔であり、ｄは各ストリング中の穴の直径であり、ここで、少なくとも１つの領域は約０．７を超えるｄ／Λ比を有する、請求項１２記載の装置。
【請求項１４】
前記複数のファイバは、ガラス、低水、ヒドロキシル含有ガラス、およびセラミックを含む群から少なくとも１つを含む、請求項９記載の装置。
【請求項１５】
前記比較的高圧のガスは活性高周波数ラマンモードを有する少なくとも１つのガスを含む、請求項１１記載の装置。
【請求項１６】
活性高周波数ラマンモードは、振動ラマンモードと回転ラマンモードを含む群から少なくとも１つを含む、請求項１５記載の装置。
【請求項１７】
深紫外線（ＤＵＶ）光エネルギー源と、
複数の光ファイバにより囲まれたコアを含む光ファイバ配列と、
を備え、
前記複数の光ファイバの構造は、実質的に環状に分布したファイバの内側群と前記内側ファイバ群とは寸法が実質的に異なるファイバの外側群と、を含み、
前記複数の光ファイバは、ＤＵＶ光エネルギー源から受け取ったＤＵＶエネルギーの周波数をブロード化し、周波数がブロード化されたＤＵＶ放射線とするのに使用され、
前記周波数がブロード化された放射線を、半導体ウエハを検査するための照明源として使用する、ブロードバンド検査装置。
【請求項１８】
複数の高圧容器をさらに備え、
前記高圧容器は、前記光ファイバ配列の第１の端に１つの容器を、前記光ファイバ配列の第２の端に別の容器を備える、請求項１７記載のブロードバンド検査装置。
【請求項１９】
各高圧容器は、光エネルギーが、雰囲気空間環境から光ファイバ配列の端に光エネルギーを通過させるための窓を備える、請求項１８記載のブロードバンド検査装置。
【請求項２０】
前記複数の光ファイバは、
中空コアファイバと、
テーパー光子ファイバと、
クモの巣状光結晶ファイバと、
カゴメ型中空光結晶ファイバと、
を含む群から少なくとも１つを含む、請求項１７記載のブロードバンド検査装置。
【請求項２１】
前記中空コアファイバは、時折カゴメ格子と呼ばれる、微細シリカウエブのマトリクスにより囲まれた中空コアから構成され、
前記微細シリカウエブは固体構造により囲まれる、請求項２０記載のブロードバンド検査装置。
【請求項２２】
前記中空コアファイバには比較的高圧のガスが充填される、請求項２０記載のブロードバンド検査装置。
【請求項２３】
前記複数のファイバの断面は、予め決められた個々の実質的に円形なファイバ直径を含む予め決められた集合的直径の環状に分布した円形の集合を含む、請求項１７記載のブロードバンド検査装置。
【請求項２４】
前記ＤＵＶ光エネルギー源は、
ダイオードポンピング固体レーザ（基本）と、
ダイオードポンピング固体レーザ（調和的にアップコンバートされたもの）と、
周波数がアップコンバートされたアルゴンイオンレーザと、
周波数がアップコンバートされたクリプトンイオンレーザと、
調和的にアップコンバートされたＥｒ：ファイバレーザと、
周波数がアップコンバートされたダイオードポンピング原子法レーザと、
調和的にコンバートされたＴｉ：Ｓレーザと、
エキシマレーザと、
基本波長が１８０と２８０ｎｍとの間にある第１のＤＵＶレーザと、
アップコンバートされた波長が１８０と２８０ｎｍとの間にある第２のＤＵＶレーザと、
を含む群から少なくとも１つを含む、請求項１７記載のブロードバンド検査装置。