(57)【要約】【課題】  環状放電間隙の間隙長を高精度に規定することにより、高濃度のオゾンを高効率に発生でき、さらに組立作業を短時間で行なうことのできるオゾン発生装置を提案する。【解決手段】筒状の第１電極と、この第１電極の内周側に配置された筒状の第２電極とを備え、前記第１電極と前記第２電極を、共通の中心軸線の周りに互いに同心状に配置し、前記第１電極と前記第２電極の間に、前記中心軸線に沿って延びる環状放電間隙を形成したオゾン発生装置であって、さらに、前記環状放電間隙に配置されたスペーサワイヤを備え、このスペーサワイヤは、前記環状放電間隙の中心軸線方向のほぼ全長に亘って延びていて、前記環状放電間隙の径方向における間隙長を規定する。
2007108142.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の第１電極と、筒状の第２電極とを備え、前記第１電極と第２電極を、共通の中心軸線の周りに互いに同心状に配置し、前記第１電極と第２電極の間に、前記中心軸線に沿って延びる環状放電間隙を形成したオゾン発生装置であって、さらに、前記環状放電間隙に配置されたスペーサワイヤを備え、このスペーサワイヤは、前記環状放電間隙の前記中心軸線方向のほぼ全長に亘って延びていて、前記環状放電間隙の径方向における間隙長を規定することを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項２】
請求項１記載のオゾン発生装置であって、前記スペーサワイヤが、白金クラッドタングステン、タングステン、ステンレス、チタン、アルミニウムを含むグループから選ばれた金属で構成されたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項３】
請求項１記載のオゾン発生装置であって、前記スペーサワイヤの断面が円形であることを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項４】
請求項３記載のオゾン発生装置であって、前記環状放電間隙の径方向における間隙長をｄとしたとき、前記スペーサワイヤの外径φが、１．０５φ＜ｄ＜１．２φを満足するように設定されたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項５】
請求項１記載のオゾン発生装置であって、前記第２電極が絶縁筒の周面に導電層を形成して構成され、前記絶縁筒は、外径が５〜３０（ｍｍ）で、厚みが０．２５（ｍｍ）〜５．０（ｍｍ）のガラス管で構成されたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項６】
請求項１記載のオゾン発生装置であって、前記スペーサワイヤが、前記環状放電間隙の周方向に互いに間隔をおいて複数本配置されたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項７】
請求項１記載のオゾン発生装置であって、１本の前記スペーサワイヤが、前記中心軸線の周りに螺旋状に配置されたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項８】
請求項６または７記載のオゾン発生装置であって、前記第２電極が絶縁筒の周面に導電層を形成して構成され、前記絶縁筒の端部外周にスペーサ留め具を配置し、このスペーサ留め具が前記スペーサワイヤを保持することを特徴するオゾン発生装置。
【請求項９】
請求項６または７記載のオゾン発生装置であって、前記第２電極が絶縁筒の周面に導電層を形成して構成され、前記絶縁筒の端部に嵌め込まれた栓部材を備え、この栓部材が前記スペーサワイヤを保持することを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項１０】
請求項１記載のオゾン発生装置であって、さらに、前記第１電極の両端部に配置されたスペーサ固定部材を備え、このスペーサ固定部材により、前記スペーサワイヤを前記第１電極に固定したことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項１１】
筒状の第１電極と、筒状の第２電極とを備え、前記第１電極と前記第２電極は、共通の中心軸線の周りに互いに同心状に配置され、それらの間に環状放電間隙を形成し、この環状放電間隙に無声放電を発生することにより、前記環状放電間隙を通過する原料ガスをオゾン化ガスに変換するオゾン発生装置であって、さらに前記環状放電間隙に配置されたスペーサワイヤを備え、このスペーサワイヤは、前記環状放電間隙の前記中心軸線方向の８０％以上の範囲に亘り延びていて、前記環状放電間隙の径方向における間隙長を規定することを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項１２】
請求項１１記載のオゾン発生装置であって、前記スペーサワイヤが、前記環状放電間隙の周方向に互いに間隔をおいて複数本配置されたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項１３】
請求項１１記載のオゾン発生装置であって、１本の前記スペーサワイヤが、前記中心軸線の周りに螺旋状に配置されたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項１４】
オゾンセル構造体を備えたオゾン発生装置であって、前記オゾンセル構造体は、相対向する一対の端板と、この一対の端板の間に配置された複数のオゾン発生セルを含み、前記各オゾン発生セルは、前記一対の端板の間に配置された筒状の第１電極と、この第１電極の内周側に配置された筒状の第２電極を有し、前記第１電極と前記第２電極は、共通の中心軸線の周りに互いに同心状に配置され、前記それらの間に、前記中心軸線に沿って延びる環状放電間隙を形成しており、また、前記各オゾン発生セルは、前記環状放電間隙に配置されたスペーサワイヤを有し、このスペーサワイヤは、前記環状放電間隙の前記中心軸線方向のほぼ全長に亘って延びていて、前記環状放電間隙の径方向における間隙長を規定することを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項１５】
請求項１４記載のオゾン発生装置であって、２つの前記オゾン発生セルの前記各スペーサワイヤが、共通の線材により構成され、この共通の線材は、２つの前記オゾン発生セルの各スペーサワイヤを連結する連結ワイヤを含んでいることを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項１６】
請求項１５記載のオゾン発生装置であって、前記連結ワイヤは引張りばねに結合され、この引張りばねが、２つの前記オゾン発生セルの各スペーサワイヤに張力を与えることを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項１７】
金属筒で構成された第１電極と、絶縁筒の周面に導電層を形成した第２電極とを備え、前記金属筒の中心軸線を中心として、前記第１電極の金属管の内周側に前記第２電極の絶縁筒を配置し、前記金属筒と絶縁筒の間に、環状放電間隙を形成したオゾン発生装置であって、前記金属筒の内周面と前記絶縁筒の外周面の何れか一方にスペーサ部分を有し、このスペーサ部分は、前記環状放電間隙の前記中心軸線方向のほぼ全長において、前記環状放電間隙の径方向における間隙長を規定することを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項１８】
請求項１７記載のオゾン発生装置であって、前記スペーサ部分が、前記金属筒と一体に、その内周面に形成されたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項１９】
請求項１７記載のオゾン発生装置であって、前記スペーサ部分が、前記金属筒の内周をエッチングして形成されたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項２０】
請求項１７記載のオゾン発生装置であって、前記スペーサ部分が、前記絶縁筒と一体に、その外周面に形成されたことを特徴とするオゾン発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、水処理設備等に利用されるオゾン化ガスを工業的に生成するオゾン発生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
オゾン化ガスは、脱臭、殺菌作用があり、水処理設備等に使用されている。オゾンを工業的に生成する方法としては、酸素または酸素を含む原料ガスを微小間隙に流通し、この微小間隙に電界を加えて無声放電を発生させることによりオゾン化ガスを生成する方法が一般的である。【０００３】
従来のオゾン発生装置として、例えば特開平４ー２１４００３号公報に開示されたものが知られている。この従来のオゾン発生装置のオゾン発生セルを図１７Ａ、図１７Ｂに示す。図１７Ａは、この従来のオゾン発生セルの横断面図、図１７Ｂは図１７ＡのＡ−Ａ線による縦断面図である。この従来のオゾン発生セルは、接地電極１と、分割された２つの高圧電極２Ａ、２Ｂを有する。【０００４】
接地電極１は、金属筒で構成される。２つの高圧電極２Ａ、２Ｂは、両端を封止された金属筒で構成され、それぞれ接地電極１の内周側に同心状に配置され、各高圧電極２Ａ、２Ｂの外周面と接地電極１の内周面との間に、環状放電間隙３が形成される。この環状放電間隙３は、同心状に配置された接地電極１と高圧電極２Ａ、２Ａとの間に、それらに共通な中心軸線を取り囲むように形成される。２つの高圧電極２Ａ、２Ｂは中心軸線の延長方向に、互いに間隔をおいて並べて配置され、各高圧電極２Ａ、２Ｂの外表面には、誘電体層の絶縁皮膜２ａが被着される。【０００５】
各高圧電極２Ａ、２Ｂは、複数のばね部材４を用いて接地電極１の内周側の中心部に保持される。複数のばね部材４は、各高圧電極２Ａ、２Ｂの両端部外周の３箇所に等間隔で配置され、放電間隙３の径方向における間隙長を規定する役割を果たしている。各高圧電極２A、２Ｂは、スリーブ５内に挿入されたコンタクトピン６により、互いに電気的に接続される。【０００６】
この従来のオゾン発生セルは、絶縁皮膜２ａが被着された各高圧電極２Ａ、２Ｂの端部外周の三箇所に、３つのばね部材４を等間隔に配置して、各高圧電極２Ａ、２Ｂを接地電極１の内周側に挿入し、各高圧電極２Ａ、２Ｂの絶縁皮膜２ａと接地電極１の内周面との間に、環状放電間隙３を形成する状態に組み立てられる。環状放電間隙３の一端から乾燥された酸素または酸素を含む原料ガスを放電間隙３に所定の流量で貫流させ、各高圧電極２Ａ、２Ｂと接地電極１の間に所定の交流電圧を印加して無声放電させることにより、連続的にオゾン化ガスを生成することができる。【０００７】
無声放電によりオゾン化ガスを生成するオゾン発生セルでは、ガスを流通させる放電間隙を均等な狭い間隙長にすることが放電効率を高める重要なポイントである。従来のオゾン発生セルでは、図１７Ａ、図１７Ｂに示すように、各高圧電極２Ａ、２Ｂに被着された絶縁皮膜２ａの両端部において、その外周面に沿って、薄い金属板を二つ折りにした３個のばね部材４が等間隔に配置される。この構成では、各高圧電極２Ａ、２Ｂの絶縁皮膜２ａの表面に、その接線方向に配置したばね部材４は、単純な板ばねであり、厚さ、巾を一定にすることにより正確なばね力が与えられ、放電間隙３の間隙長を一定に維持しようとしている。また、分割管タイプの２つの高圧電極２Ａ、２Ｂの合計の長さにほぼ等しい長さを有する単管タイプの高圧電極を用いると、放電間隙３の間隙長を均一に保持することが困難となるため、分割管タイプの２つの高圧電極２Ａ、２Ｂを用い、放電間隙３の間隙長の精度を保持する工夫をしている。【０００８】
ばね部材４は絶縁皮膜２ａが被着された各高圧電極２Ａ、２Ｂの表面の所定位置に固定され、接地電極１の内周に挿入して組み立てられるが、ばね部材４を各高圧電極２Ａ、２Ｂに固定するのに、両面接着テープまたは接着剤にて固定する方法が用いられ、接地電極１の端部の内周は、高圧電極２Ａ、２Ｂの挿入が容易になるように面取りした形状に加工され、ばね部材４が装着された各高圧電極２Ａ、２Ｂを接地電極１の内周に挿入して組み立てられる。【０００９】
【特許文献１】特開平４−２１４００３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従来のオゾン発生セルのように分割管タイプの２つの高圧電極２Ａ、２Ｂを使用すれば、放電間隙３の間隙長の精度は、ある程度確保できるが、コスト高となる問題がある。図１８Ａ、図１８Ｂに示すように、コスト低減のため、分割管タイプの２つの高圧電極２Ａ、２Ｂに代わって、２つの高圧電極２Ａ、２Ｂの合計長さにほぼ等しい長さを有する単管タイプの高圧電極２を使用するオゾン発生セルでは、接地電極１または高圧電極２に、その取り付けに伴なう曲がりが存在し、また自重によって曲がりが生じるため、図１８Ａ、図１８Ｂに示すように放電間隙３の間隙長が、各電極１、２の中心線の延長方向に変化する。図１８Ａは、単管タイプの長い高圧電極２を用いたオゾン発生セルの横断面図、図１８Ｂはその縦断面図である。高圧電極２の両端部の外周には、スペーサ４Ａ、４Ｂが配置される。【００１１】
この図１８Ａ、図１８Ｂに示されたオゾン発生セルのオゾン発生特性を図１９に示す。図１９において、横軸は放電電力[W]をガス流量[L/min]で除した、いわゆる特性エネルギー密度（Specific  Energy  Density）を示し、縦軸はオゾン濃度（g/Nm3）である。なお、Ｎｍ3は標準状態での体積を表わす。図中実線は理論設計値を表わす曲線、記号■は実験値を示す。図１９から明らかなように理論設計値に対して、得られるオゾン発生効率が低く、特に高濃度領域において性能の低下が顕著であることが解る。【００１２】
図２０Ａは、接地電極１と高圧電極２とが偏芯している場合を例示している。偏芯とは、中心がずれていることを意味する。図２０Ａでは、接地電極１に対して、高圧電極２が下方向に偏芯量ｓだけ偏芯し、高圧電極２の上側における放電間隙３の間隙長が（ｄ＋ｓ）、高圧電極２の下側における放電間隙３の間隙長が（ｄ−ｓ）となった場合を例示している。接地電極１と、高圧電極２とが偏芯している場合のオゾン発生特性を解析した結果を図２０Ｂに示す。図２０Bにおいて、横軸は偏芯量ｓを示し、縦軸はオゾン濃度を示す。図２０Ｂは、放電間隙３の径方向における間隙長ｄが、それぞれ０．２（mm）、０．３（mm）、０．４（mm）である場合の特性を示している。【００１３】
図２０Ｂを参照すると、理想状態（偏芯量ｓ＝０）では放電間隙３の間隙長ｄが短くなるほどオゾン濃度は高くなることが解る。一方、放電間隙３の間隙長ｄが短くなるほど、オゾン発生特性に与える偏芯量ｓの影響も大きくなり、例えばδ＞０．０５（mm）の領域では、放電間隙３の間隙長ｄが０．２（mm）の場合よりも、間隙長ｄが０．３（mm）の場合の方が、オゾン発生特性が良くなることが解る。したがって放電間隙３の間隙長ｄが小さくなればなる程、放電間隙３の間隙長ｄの精度を高く保持する必要があると言える。図１８Ａに示すように、放電間隙３の間隙長が各電極１、２の中心軸線の延長方向に変化している場合には、放電間隙３の偏芯量ｓが、その中心軸線に沿って変化しているので、図２０Ｂの特性を考慮する必要がある。【００１４】
偏芯量ｓが存在する場合のオゾン発生特性については、既に、２００５年の電気学会論文誌Ａの１２５巻１２号の１０１１〜１０１６ページに掲載された「オゾン発生特性に与える放電ギャップ長ばらつきの影響」と題する論文で紹介され、発明者らによって定量化されている。偏芯量ｓが存在する場合、放電間隙３の間隙長ｄに変化が生じ、間隙長ｄが小さい部分のガス流量が低下することにより、局所的にその部分のオゾン濃度が高くなり、効率の低下を招く。以下、もう少し詳しく説明する。【００１５】
放電間隙３を流れるガス流量Ｑは、次の式（１）で与えられる。
Ｑ＝（π×Ｄ×ｄ3）／(１２×μ×Ｌ)ΔＰ・・・（１）
ここで、Ｄは接地電極１の内周の直径、ｄは放電間隙３の間隙長、μは粘性係数、Ｌは管長さ、ΔＰは出入り口間の圧力差を示す。また、流路の断面積Ｓは次の式（２）となる。
Ｓ=π｛(Ｄ+２ｄ)2−Ｄ2｝・・・（２）
式（２）において、Ｄ>>dとすれば、次の式（３）が得られる。
Ｓ=４πＤ×ｄ・・・（３）
したがって、Ｄが一定の場合、Ｓ∝dであるため、
Ｑ∝（π×Ｄ×ｄ3）∝Ｓ3・・・（４）
となる。すなわち放電間隙３の間隙長ｄが小さい部分では、ガスの流れが悪くなる。その影響は、ｄ3もしくはＳ3に比例して現われる。したがって僅かな放電間隙３の間隙長ｄの分布が、ガスの流れに大きな影響を与えることになる。このため、特に図１８Ａに示したような、各電極１、２の中心軸線の延長方向における放電間隙３の間隙長の変化を解消することが、オゾン発生効率を維持するために重要であると言える。【００１６】
以上のように、図１７Ａ、図１７Ｂに示す従来のオゾン発生セルは、各高圧電極２Ａ、２Ｂと接地電極１の間の放電間隙３に、３つのばね部材４を周方向に配置することにより、高圧電極２Ａ、２Ｂと接地電極１との同心性を確保する構成であるが、高圧電極２Ａ、２Ｂの中心軸線の延長方向には、ばね部材４は数箇所にしか挿入できないため、高圧電極２Ａ、２Ｂの自重を補償して均一な間隙長の放電間隙３を確保することは困難であった。また、ばね部材４は平板状であり、両面接着テープ等で高圧電極２Ａ、２Ｂの外周に接着されるので、組み立てには煩雑な作業が必要となり、長時間の作業となる。さらに、高圧電極２Ａ、２Ｂの外周の接線方向に装着された３個のばね部材４は、その端部の外接円が接地電極１の内径よりも大きく、接地電極１の内径部に円滑に挿入するための対策も必要であり、煩雑な作業となり、作業時間も長くなるという問題点があった。【００１７】
さらに、オゾン発生セルの組み立てに長時間を要するので、このオゾン発生セルを複数組み立てたオゾン発生装置を定期的に点検するメンテナンス作業時にも、分解、点検、再組み立てに時間を要し、このときの作業時間も長くなり、点検コストも高くなる。もちろん高圧電極２Ａ、２Ｂの中心軸線の延長方向に均一な放電間隙長を形成することは困難であり、高いオゾン発生効率を維持することができなかった。さらにコスト削減のために、単管タイプの長い高圧電極２を使用する場合には、この高圧電極２の中心軸線の延長方向において放電間隙３の間隙長を一定に維持することが困難で、オゾン発生効率が低下するという極めて深刻な課題があった。【００１８】
この発明は、上記問題点を改善するためになされたものであり、この発明の目的は、環状放電間隙の間隙長をほぼ均一にでき、オゾン発生効率の高いオゾン発生装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
この発明の第１の観点によるオゾン発生装置は、筒状の第１電極と、筒状の第２電極とを備え、前記第１電極と前記第２電極を、共通の中心軸線の周りに互いに同心状に配置し、前記第１電極と前記第２電極の間に、前記中心軸線に沿って延びる環状放電間隙を形成したオゾン発生装置であって、さらに、前記環状放電間隙に配置されたスペーサワイヤを備え、このスペーサワイヤは、前記環状放電間隙の前記中心軸線方向のほぼ全長に亘って延びていて、前記環状放電間隙の径方向における間隙長を規定することを特徴とする。【００２０】
この発明の第２の観点によるオゾン発生装置は、筒状の第１電極と、筒状の第２電極とを備え、前記第１電極と前記第２電極は、共通の中心軸線の周りに互いに同心状に配置され、それらの間に環状放電間隙を形成し、この環状放電間隙に無声放電を発生することにより、前記環状放電間隙を通過する原料ガスをオゾン化ガスに変換するオゾン発生装置であって、さらに前記環状放電間隙に配置されたスペーサワイヤを備え、このスペーサワイヤは、前記環状放電間隙の前記中心軸線方向の８０％以上の範囲に亘りに延びていて、前記環状放電間隙の径方向における間隙長を規定することを特徴とする。【００２１】
この発明の第３の観点によるオゾン発生装置は、オゾンセル構造体を備えたオゾン発生装置であって、前記オゾンセル構造体は、相対向する一対の端板と、この一対の端板の間に配置された複数のオゾン発生セルを含み、前記各オゾン発生セルは、前記一対の端板の間に配置された筒状の第１電極と、この第１電極の内周側に配置された筒状の第２電極とを有し、前記第１電極と前記第２電極は、共通の中心軸線の周りに互いに同心状に配置され、それらの間に、前記中心軸線に沿って延びる環状放電間隙を形成しており、また、前記各オゾン発生セルは、前記環状放電間隙に配置されたスペーサワイヤを有し、このスペーサワイヤは、前記環状放電間隙の前記中心軸線方向のほぼ全長に亘って延びていて、前記環状放電間隙の径方向における間隙長を規定することを特徴とする。【００２２】
この発明の第４の観点によるオゾン発生装置は、金属筒で構成された第１電極と、絶縁筒の周面に導電層を形成した第２電極とを備え、前記第１電極の金属筒の中心軸線を中心として、前記金属筒の内周側に前記第２電極の絶縁筒を配置し、前記金属筒と絶縁筒の間に、環状放電間隙を形成したオゾン発生装置であって、前記金属筒の内周面と前記絶縁筒の外周面の何れか一方にスペーサ部分を有し、このスペーサ部分は、前記環状放電間隙の前記中心軸線方向のほぼ全範囲において、前記環状放電間隙の径方向における間隙長を規定することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
この発明の第１の観点によるオゾン発生装置は、環状放電間隙に配置されたスペーサワイヤを備え、このスペーサワイヤは、環状放電間隙の中心軸線方向のほぼ全長に亘って延びていて、環状放電間隙の径方向における間隙長を規定するので、環状放電間隙の間隙長をその延長長さの全域でほぼ均一にでき、オゾン発生効率の高いオゾン発生装置を得ることができる。【００２４】
また、この発明の第２の観点によるオゾン発生装置は、環状放電間隙に配置されたスペーサワイヤを備え、このスペーサワイヤは、環状放電間隙の中心軸線方向の８０％以上の範囲に亘りに延びていて、環状放電間隙の径方向における間隙長を規定するので、環状放電間隙の間隙長をその延長長さの全域でほぼ均一にでき、オゾン発生効率の高いオゾン発生装置を得ることができる。【００２５】
また、この発明の第３の観点によるオゾン発生装置では、各オゾン発生セルは、環状放電間隙に配置されたスペーサワイヤを有し、このスペーサワイヤは、環状放電間隙の中心軸線方向のほぼ全長に亘って延びていて、環状放電間隙の径方向における間隙長を規定するので、各オゾン発生セルの環状放電間隙の間隙長をその延長長さの全域でほぼ均一にでき、オゾン発生効率の高いオゾン発生装置を得ることができる。【００２６】
また、この発明の第４の観点によるオゾン発生装置は、第１電極の金属筒の内周面と、第２電極の絶縁筒の外周面の何れか一方にスペーサ部分を有し、このスペーサ部分は、環状放電間隙の中心軸線方向のほぼ全範囲において、環状放電間隙の径方向における間隙長を規定するので、環状放電間隙の間隙長をその延長長さの全域でほぼ均一にでき、オゾン発生効率の高いオゾン発生装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下この発明のいくつかの実施の形態について、図面を参照して説明する。【００２８】
実施の形態１．
図１は、この発明によるオゾン発生装置の実施の形態１の全体の構成を示す断面図である。この実施の形態１のオゾン発生装置１００は、外部タンク１０１を有し、この外部タンク１０１の内部に、オゾンセル構造体１１０を有する。このオゾンセル構造体１１０は、外部タンク１０１の内部の中央部に配置される。このオゾンセル構造体１１０の左側には原料ガス室１０２が、またその右側にはオゾン化ガス室１０３がそれぞれ形成される。【００２９】
外部タンク１０１の外部には、原料ガス供給部１０４と、オゾン化ガス取出部１０５と、高圧電圧供給部１０６と、冷却水ヘッダ１０７とが設けられる。原料ガス供給部１０４は、外部タンク１０１の内部の原料ガス室１０２に連通しており、この原料ガス供給部１０４から、原料ガス、例えば酸素ガスまたは酸素を含む酸素含有ガスが供給される。オゾン化ガス取出部１０５は、外部タンク１０１の内部のオゾン化ガス室１０３に連通しており、このオゾン化ガス取出部１０５から、生成したオゾン化ガスを取出す。高圧電圧供給部１０６は、外部タンク１０１の外部に設置される交流高圧電源１０８に接続され、この交流高圧電源１０８からの交流高圧電圧をオゾンセル構造体１１０に供給する。冷却水ヘッダ１０７は、オゾンセル構造体１１０に冷却水を供給し、オゾンセル構造体１１０を冷却する。【００３０】
オゾンセル構造体１１０は、一対の金属端板１１１、１１２と、複数のオゾン発生セル１２０を含む。オゾン構造体１１０と原料ガス室１０２とを区分する金属端板１１１と、オゾン構造体１１０とオゾン化ガス室１０２とを区分する金属端板１１２とが相対向して配置される。これらの金属端板１１１、１１２は、互いに平行に配置され、それらの間に複数のオゾン発生セル１２０が配置される。各オゾン発生セル１２０は、それぞれ原料ガス室１０２から原料ガスの供給を受け、この原料ガスをオゾン化してオゾン化ガスを生成し、オゾン化ガス室１０３に供給する。【００３１】
図２Ａは、１つのオゾン発生セル１２０を示す横断面図であり、図２Ｂは、その縦断面図である。複数のオゾン発生セル１２０のそれぞれが、図２Ａ、図２Ｂに示すように構成される。【００３２】
実施の形態１におけるオゾン発生セル１２０は、接地電極１０と、高圧電極２０と、それらの間の環状放電間隙３０を規定するスペーサ組立４０を有する。接地電極１０は、金属筒１１で構成され、この金属筒１１は、第１電極を構成する。この金属筒１１の周りには、冷却水溜め１３が形成される。金属筒１１は、例えば金属により円筒形に構成され、一対の金属端板１１１、１１２を、それらに直交する方向に貫通するようにして、その両端が金属端板１１１、１１２に溶接などで固定される。冷却水溜め１３は、金属筒１１の外周に、金属筒１１を取り囲むようにして、金属端板１１１、１１２の間に形成される。この冷却水溜め１３は、冷却水用ヘッダ１０７に連通し、この冷却水用ヘッダ１０７から冷却水１４の供給を受ける。この冷却水１４は、金属端板１１１、１１２および金属筒１１を冷却する。【００３３】
金属端板１１１、１１２および金属筒１１は、冷却水１４により、腐食しないように、例えばステンレスで作られる。金属端板１１１、１１２は、外部タンク１０１に取り付けられ、この外部タンク１０１を通じて電気的に接地電位となる。金属筒１１も、その両端が金属端板１１１、１１２に固定されるので、電気的に接地電位となる。【００３４】
高圧電極２０は、絶縁筒２１と、導電層２２と、高圧供給回路２３を有する。絶縁筒２１は、例えば円筒状のガラス管であり、このガラス管の左端部は開放され、その右端部は半球状の閉鎖端部２１ａとされている。閉鎖端部２１ａは、絶縁筒２１の内部でガスが流通するのを阻止する。導電層２２は、絶縁筒２１の内周面の前記閉鎖端部２１ａを除く全面に被着される。これらの絶縁筒２１と導電層２２は、第２電極を構成する。高圧供給回路２３は、高圧ヒューズ２４と、高圧給電線２５を有する。高圧ヒューズ２４は、高圧電圧供給部１０６に接続され、この高圧電圧供給部１０６から交流高圧電圧の供給を受ける。高圧給電線２５は、この高圧ヒューズ２４と導電層２２とを接続し、高圧ヒューズ２４を通過した交流高圧電圧を導電層２２に供給する。【００３５】
高圧電極２０の絶縁筒２１は、接地電極１０の金属筒１１の内周側の中心部に、この金属筒１１と同心状に配置される。図２Ａにおける中心軸線Ｃ−Ｃは、金属筒１１と絶縁筒２１に共通な中心軸線である。高圧電極２０は、単管タイプの高圧電極であり、高圧電極２０の絶縁筒２１は、金属端板１１１、１１２の間隔よりも長い。具体的には、絶縁筒２１の開放された左端部は、金属端板１１１を貫通して、原料ガス室１０２へ突出している。絶縁筒２１の閉鎖端部２１ａは、金属端板１１２とほぼ一致する位置まで延びている。【００３６】
接地電極１０の金属筒１１と、高圧電極２０の絶縁筒２１との間に、環状放電間隙３０が形成される。この環状放電間隙３０は、金属筒１１の内周面と絶縁筒２１の外周面との間に、中心軸線Ｃ−Ｃの周りに形成される。この環状放電間隙３０の径方向、すなわち中心軸線Ｃ−Ｃを中心とする径方向における間隙長をｄとする。この間隙長ｄは、中心軸線Ｃ−Ｃに垂直な平面における金属筒１１の内周面と、絶縁筒２１の外周面との間隔である。この間隙長ｄは、例えば１．０（ｍｍ）以下の微小間隙とされる。この放電間隙３０は、また、中心軸線Ｃ−Ｃに沿って延びており、この中心軸線Ｃ−Ｃ方向における環状放電間隙３０の長さをＬｇとする。環状放電間隙３０は、中心軸線Ｃ−Ｃ方向の両端に、開口部３１、３２を有する。長さＬｇは、開口部３１と開口部３２との間の寸法であり、これは金属端板１１１、１１２の間隔とほぼ等しい。【００３７】
環状放電間隙３０の一方の開口部３１は、金属端板１１１の内周に位置している。この開口部３１は原料ガス室１０２に連通しており、原料ガス室１０２からの原料ガスが、この開口部３１から環状放電間隙３０に供給される。他方の開口部３２は、金属端板１１２の内周に位置している。この開口部３２は、オゾン化ガス室１０３に連通しており、環状放電間隙３０において、オゾン化されたオゾン化ガスがオゾン化室１０３に供給される。高圧電極２０の導電層２２と、接地電極１０の金属筒１１との間に、交流高圧電圧が印加され、環状放電間隙３０において無声放電が発生する。原料ガスに含まれる酸素ガスは、この無声放電によりオゾン化される。【００３８】
スペーサ組立４０は、複数のスペーサワイヤ４１と、１つのスペーサ留め具４３を有する。図２Ｃは、このスペーサ組立４０の説明図である。複数のスペーサワイヤ４１は、それぞれ環状放電間隙３０に配置され、放電間隙３の間隙長ｄを規定する。複数のスペーサワイヤ４１は、互いに同一の外径φを有する断面が円形の線材で構成される。このスペーサワイヤ４１の外径φは、放電間隙３０の間隙長ｄよりも僅かに小さい寸法とし、各スペーサワイヤ４１は、金属筒１１の内周面と、絶縁筒２１の外周面との両方に接触する。言い換えれば、金属筒１１の内周面と絶縁筒２１の外周面との間に、各スペーサワイヤ４１が挟み込まれる結果、環状放電間隙３０の間隙長ｄが、このスペーサワイヤ４１により規定される。【００３９】
各スペーサワイヤ４１の外径φは、設定する間隙長ｄに応じて、この間隙長ｄよりも僅かに小さい寸法とするが、具体的には、次の式（５）を満足する範囲に設定するのが実用的である。
１．０５φ＜(φee-φhe)／２=ｄ＜１．２φ・・・（５）
ここで、φeeは接地電極１０の金属筒１１の内周面の直径、φheは高圧電極２０の絶縁筒２１の外周面の直径を表わす。各スペーサワイヤ４１の外径φが、式（５）の範囲よりも大きいと、高圧電極２０を接地電極１０に挿入できない結果になり、またその外径φが、式（５）の範囲よりも小さいと、環状放電間隙３０の間隙長ｄの誤差が大きくなり過ぎるため、式（５）式に示すように、外径φの最適値が存在する。【００４０】
環状放電間隙３０の間隙長ｄは、１．０（ｍｍ）以下であり、具体的には、例えば０．２（ｍｍ）、０．３（ｍｍ）、または０．４（ｍｍ）に設定されるが、０．１（ｍｍ）以下の他の値にすることもできる。実施の形態１では、間隙長ｄが、例えば０．２（ｍｍ）に設定され、各スペーサワイヤ４１の外径φは、式（５）に従って、ｄ／１．０５からｄ／１．２の範囲とされる。【００４１】
複数のスペーサワイヤ４１は、中心軸線Ｃ−Ｃの周りに、互いに等しい角度間隔で、中心軸線Ｃ−Ｃとほぼ平行に連続して延びるように、環状放電間隙３０に配置される。具体的には、例えば４本のスペーサワイヤ４１が、中心軸線Ｃ−Ｃの周りに、互いに９０度の角度間隔で、中心軸線Ｃ−Ｃとほぼ平行に延びるように配置される。各スペーサワイヤ４１の中心軸線Ｃ−Ｃに沿った長さをＬｓとすると、この長さＬｓは、環状放電間隙３０の中心軸線Ｃ−Ｃ方向の長さＬｇよりも少し長く、Ｌｓ＞Ｌｇとされる。この結果、各スペーサワイヤ４１は、環状放電間隙３０の中心軸線Ｃ−Ｃ方向の長さＬｇの全長に亘って延び、環状放電間隙３０の一端の開口部３１から他端の開口部３２まで連続して延びる。各スペーサワイヤ４１が環状放電間隙３０の中心軸線Ｃ−Ｃ方向の長さＬｇの全長に亘って延びる結果、環状放電間隙３０の間隙長ｄは、その中心軸線Ｃ−Ｃ方向の長さＬｇの全長に亘り、各スペーサワイヤ４１により、ほぼ均一に規定される。【００４２】
なお、各スペーサワイヤ４１の長さＬｓが、環状放電間隙３０の長さＬｇよりも、少し短くても、環状放電間隙３０の間隙長ｄは、環状放電間隙３０の長さＬｇの全長に亘り、ほぼ均一に規定することができる。具体的には、各スペーサワイヤ４１が、環状放電間隙３０の中心軸線Ｃ−Ｃ方向の長さＬｇの８０％以上の範囲に亘り連続して配置されると、環状放電間隙３０の間隙長ｄは、環状放電間隙３０の長さＬｇの全長に亘り、ほぼ均一に規定することができる。【００４３】
環状放電間隙３０に複数の、例えば４本のスペーサワイヤ４１が、中心軸線Ｃ−Ｃ線とほぼ平行に配置される結果、原料ガス室１０２からの原料ガスは、各スペーサワイヤ４１の間において放電間隙３０を、中心軸線Ｃ−Ｃに沿って通過する。高圧電極２０の導電層２２と、接地電極１０の金属筒１１との間には、高圧供給回路２３から高圧交流電圧が印加され、放電間隙３０では、この高圧交流電圧に基づいて、無声放電が発生する。各スペーサワイヤ４１の間の放電間隙３０を通過する原料ガスは、放電間隙３０に発生する無声放電に基づいてオゾン化され、オゾン化ガスとなる。このオゾン化ガスは、オゾン化ガス室１０３に集められ、オゾン化ガス取出部１０５から取出され、使用される。放電間隙３０の温度が上昇すると、オゾン発生効率が低下するため、接地電極１０は冷却水１４により水冷されている。絶縁筒２１が電気的に破壊すると、高圧電極２０と接地電極１０の間に過度の電流が集中的に流れる事故が発生するため、高圧ヒューズ２４を挿入して事故を未然に防ぐ構造が取られている。【００４４】
スペーサ留め具４３は、環状板、具体的には、円形の環状板により構成される。このスペーサ留め具４３の外径は、金属筒１１の内径とほぼ等しく、またその内径は、絶縁筒２１の半球状の閉鎖端部２１ａに嵌り込む寸法とされる。このスペーサ留め具４３は、絶縁筒２１の半球状の閉鎖端部２１ａに嵌り込み、絶縁筒２１により支持される。スペーサ留め具４３は、複数のスペーサワイヤ４１と同数のスペーサ設置穴４４を有する。例えば、４本のスペーサワイヤ４１が使用されるときには、４つのスペーサ設置穴４４が、互いに等しい角度間隔、具体的には、９０度の角度間隔で、スペーサ留め具４３に形成される。【００４５】
図２Ｃに示すスペーサ組立４０では、同じ外径φを持った断面が円形の２本の線材４２Ａ、４２Ｂが使用され、この２本の線材４２Ａ、４２Ｂにより、４本のスペーサワイヤ４１が形成される。線材４２Ａは、２本のスペーサワイヤ４１と、それらを繋ぐ連結部分４１ａを持つように、折り曲げられる。線材４２Ａは、連結部分４１ａの両端部で、２本のスペーサワイヤ４１が互いに平行するように、ほぼ直角に折り曲げられ、これらの２本のスペーサワイヤ４１が、隣接する２つのスペーサ設置穴４４に挿入され、保持される。連結部分４１ａの長さは、隣接するスペーサ設置穴４４の間隔に等しい。他の線材４２Ｂも同様に、連結部分４１ｂの両端部で、２本のスペーサワイヤ４１が互いに平行するように直角に折り曲げられ、これらの２本のスペーサワイヤ４１が、残る２つのスペーサ設置穴４４に挿入され、保持される。このように複数のスペーサワイヤ４１を、１つのスペーサ留め具４３によって高圧電極２０の絶縁筒２１の閉鎖端部２１ａに嵌め込み、保持した状態で、高圧電極２０をこのスペーサ留め具４３を嵌め込んだ端部から、接地電極１０の金属筒１１の内周側に挿入することで、簡単に高圧電極２０を接地電極１０と同心状に設置することができる。【００４６】
実施の形態１では、各スペーサワイヤ４１として、金属線、例えばタングステンの表面を白金でコーティングした、いわゆる白金クラッドタングステン線を用いた。白金クラッドタングステンを選定した理由は、比較的安価に入手することができること、白金が高い耐スパッタ性を有すること、タングステンの機械的強度が大きいことによる。ただし、この白金クラッドタングステンに限らず、タングステン、ステンレス、チタン、アルミニウムなどの機械的強度の大きい金属線を用いても良いし、また非金属線を用いることもできる。非金属線としては、例えばテフロン（登録商標）、ＥＰＤＭゴム、カプトンからなる線材を使用することができる。【００４７】
特にタングステンまたはチタンを用いた場合、使用している間に、金属の表面が酸化され、酸化タングステンまたは酸化チタンが形成され、それらの触媒効果によりオゾン発生効率が向上することが認められた。また、ステンレスまたはアルミニウムは材料費が極めて安価である特徴がある。使用する材料には一長一短があるが、実施の形態１では、放電間隙３０に、放電間隙３０の長さＬｇのほぼ全長に亘り、複数のスペーサワイヤ４１を配置し、放電間隙３０の間隙長ｄをほぼ均一に規定することが重要なポイントである。【００４８】
実施の形態２．
図３は、この実施の形態２によるオゾン発生装置で使用されるスペーサ組立４０Ａの説明図である。この実施の形態２のオゾン発生装置は、実施の形態１で使用したスペーサ組立４０に代わり、図３に示すスペーサ組立４０Ａを使用するが、その他は、実施の形態１と同じに構成される。【００４９】
スペーサ組立４０Ａでは、４本のスペーサワイヤ４１のそれぞれの一端に保持部分４１ｃが形成される。スペーサ留め具４３は、図２Ｃに示すスペーサ組立４０におけるスペーサ留め具４３と同じに構成され、４つのスペーサ設置穴４４を有する。４本のスペーサワイヤ４１は、接地電極１０と高圧電極２０の中心軸線Ｃ−Ｃとほぼ平行に延びるようにして、スペーサ設置穴４４に挿入され、保持部分４１ｃにより、スペーサ留め具４３に保持される。保持部分４１ｃでは、各スペーサワイヤ４１が径の大きな大径部とされ、スペーサ留め具４３を半球状の閉鎖端部２１ａに嵌め込んだ高圧電極２０が、スペーサ留め具４３を嵌め込んだ閉鎖端部２１ａから、接地電極１０の金属筒１１の内周に挿入されるときに、保持部分４１ｃにより各スペーサワイヤ４１が抜け止めされ、オゾン発生セル１２０の組立作業が簡単化される。また、保持部分４１ｃにおいて、各スペーサワイヤ４１をスペーサ留め具４３に溶接することもでき、この場合にも、同様にオゾン発生セル１２０の組立作業が簡単化される。【００５０】
実施の形態１、２のオゾン発生装置で使用したオゾン発生セル１２０のオゾン発生特性を図４に示す。図４の横軸は特性エネルギー密度（Specific  Energy  Density）、縦軸はオゾン濃度（Ozone  Concentration）である。この図４のおいて、◆―◆の曲線は、実施の形態１、２で使用したオゾン発生セル１２０のオゾン発生特性を示し、記号■は、比較のために従来の図１９に示す実験値を再び示している。図４の◆―◆の曲線から明らかなように、実施の形態１、２で使用したオゾン発生セルによれば、従来のオゾン発生セルに比較して、特に高濃度領域でオゾン発生特性が改善され、図１９に示した理論設計値をほぼ満足する性能が得られることが明らかになった。【００５１】
実施の形態１、２のオゾン発生セル１２０でオゾン発生特性が大幅に改善された理由を知るため、接地電極１０の金属筒１１内に、高圧電極２０の絶縁筒２１と、スペーサ組立４０、４０Ａを設置した後に各部の寸法を測定した。その結果を図５Ａ、図５Ｂに示す。図５Ａは横断面図、図５Ｂは縦断面図である。分析の結果、接地電極１０の金属筒１１は金属端板１１１、１１２への取り付け時の溶接歪みの影響などを受けて図５Ａに示すように、中心軸線Ｃ−Ｃの延長方向に曲がりを含んでいることが判明した。【００５２】
しかし、実施の形態１、２では、環状放電間隙３０の中心軸線Ｃ−Ｃ方向のほぼ全長に亘り、スペーサワイヤ４１が配置されるため、高圧電極２０の絶縁筒２１（ガラス管）が、接地電極１０を構成する金属筒１１の曲がりに沿って変形することにより、環状放電間隙３０の全域において高精度な間隙長ｄを形成していることが明らかになった。また、実施の形態１、２のスペーサ組立４０、４０Ａを使用しても、高圧電極２０を構成する絶縁筒２１（ガラス管）の幾何的強度が大き過ぎると、例えば絶縁筒２１の直径が大き過ぎる場合、またはその絶縁筒２１の径方向の厚みが大き過ぎる場合には、接地電極１０を構成する金属筒１１の曲がりに沿って絶縁筒２１が変形しないため、充分な効果が出ないことも判明した。【００５３】
ここでは、充分な効果を得るための絶縁筒２１（ガラス管）の条件について考察する。絶縁筒２１（ガラス管）について、例えば、両端支持、等分布荷重を想定する。長さＬの絶縁筒２１（ガラス管）の端から距離ｘに位置におけるたわみδは、次の式（６）で表わすことができる。
δ＝（ｗＬ4／２４ＥＩ）×｛（ｘ／Ｌ）−（２ｘ3／Ｌ3）＋（ｘ4／Ｌ4）｝・・・（６）
ただし、ｗ：等分布荷重（両端支持の反力をＲとするとｗ=２Ｒ／Ｌ）、Ｅ：縦弾性係数(ヤング率)、Ｉ：断面二次モーメント、Ｌ：絶縁筒２１（ガラス管）の全長、ｘ：位置を表わす。【００５４】
最大たわみ量δmaxは、式（６）において、ｘ＝Ｌ／２とし、次の式（７）で表わすことができる。
δmax＝５ｗＬ4／３８４ＥＩ・・・（７）
この式（７）から明らかなように、同一の曲げモーメントに対して、最大たわみ量δmaxは、縦弾性係数（ヤング率）Ｅと断面二次モーメントＩとの積ＥＩに反比例する。【００５５】
また、絶縁筒２１（ガラス管）の外径をｄ２、内径をｄ１とすると、絶縁膜２１（ガラス管）における断面二次モーメントＩは、次の式（８）となる。
Ｉ＝（６４／π）×｛（ｄ２）4−（ｄ１）4｝・・・（８）
各種試験を実施した結果、実施の形態１、２で、充分な効果を得るには、積ＥＩが次の式（９）の関係を満たす範囲にあることが必要と考察される。
ＥＩ＜２．５×１０8（Ｎ・mm2）・・・（９）
絶縁筒２１をガラス管とした場合、ガラスのヤング率Ｅは約６５×１０3(Ｎ/mm2)程度であるから、式（９）は、次の式（１０）に変形できる。
Ｉ＜３．８×１０3（mm4  ）・・・(１０)【００５６】
式（８）（１０）から絶縁筒２１を構成するガラス管の外径ｄ２と、径方向の管の厚みｔ（＝（ｄ２-ｄ１）／２）との関係を図６に示す。図６の横軸は、絶縁筒２１を構成するガラス管の外径ｄ２を、またその縦軸は、その厚さｔをそれぞれ示す。図６から明らかなように、絶縁筒２１を構成するガラス管の外径ｄ２が大きくなると、厚みｔを小さくする必要があることが解る。一方、環状放電間隙３０では無声放電が発生されるので、絶縁筒２１を構成するガラス管には、５（ｋＶ）程度の耐電圧機能が要求されるため、２０（ｋＶ／mm）程度の性能を持つガラス管の場合、厚みを０．２５（ｍｍ）以下にすることは実用的でない。したがって、図６から、実施の形態１、２において、絶縁筒２１をガラス管で構成し、充分な効果を得るためには、絶縁筒２１を構成するガラス管の外径ｄ２は３０（ｍｍ）以下、厚みｔが０．２５（ｍｍ）以上であることが必要であると言える。これは重要な設計条件である。絶縁筒２１を構成するガラス管は実用上、その外径ｄ２は５（ｍｍ）以上、またその厚みｔは５．０（ｍｍ）以下とされるので、外径ｄ２は、５〜３０（ｍｍ）、厚みｔは０．２５〜５．０（ｍｍ）とされる。【００５７】
実施の形態３．
図７Ａは、この発明によるオゾン発生装置の実施の形態３において使用されるオゾン発生セル１２０Ａを示す横断面図、図７Ｂはその側面図である。実施の形態３では、実施の形態１における全てのオゾン発生セル１２０が、図７Ａ、図７Ｂに示すオゾン発生セル１２０Ａに置換えられる。このオゾン発生セル１２０Ａは、接地電極１０と、高圧電極２０と、スペーサ組立４０Ｂを有する。高圧電極２０には、絶縁筒２１Ａが使用される。この絶縁筒２１Ａは、両端部が開放されたガラス管で構成される。スペーサ組立４０Ｂは、複数のスペーサワイヤ４１と、スペーサ留め具４３Ａと、栓部材４５を有する。その他は、実施の形態１と同じに構成される。【００５８】
実施の形態１、２では、半球状の閉鎖端部２１ａを有する絶縁筒２１、例えばガラス管を用いたが、閉鎖端部２１ａを有するガラス管は高価であるので、この実施の形態３では、より安価な両端が開放されたガラス管により絶縁筒２１Ａを構成した。この絶縁筒２１Ａの内周面の全面に導電膜２２が形成される。スペーサ組立４０Ｂの栓部材４５は、この絶縁筒２１Aの開放された右端部の内周に嵌め込まれて固定される。この栓部材４５は、耐オゾン性の材料、例えばフッ素系樹脂、シリコン、バイトンなどで構成され、絶縁筒２１Ａの右端部を閉鎖する。この栓部材４５は、絶縁筒２１Ａの内部にガスが流通するのを阻止する。【００５９】
スペーサ組立４０Ｂでは、栓部材４５を用いて、複数のスペーサワイヤ４１が保持される。複数のスペーサワイヤ４１は、接地電極１０の金属筒１１と、高圧電極２０の絶縁筒２１Ａとの間に形成された環状放電間隙３０に配置される。この複数のスペーサワイヤ４１は、実施の形態１と同様に、環状放電間隙３０の周方向に互いに間隔をおいて配置され、環状放電間隙３０の中心軸線Ｃ−Ｃ方向の８０％以上の範囲に亘り連続して延長される。この複数のスペーサワイヤ４１を保持するスペーサ留め具４３Aが、ねじ４６を用いて栓部材４６に固定される。スペーサ留め具４３Ａを栓部材４５に固定することにより、外周にスペーサワイヤ４１を保持した絶縁筒２１Ａを、接地電極１０の金属筒１１の内周に挿入する作業が容易になる。【００６０】
実施の形態４．
図８Ａは、この発明によるオゾン発生装置の実施の形態４において使用されるオゾン発生セル１２０Ｂを示す正面図、図８Ｂはその側面図である。実施の形態４では、実施の形態１における全てのオゾン発生セル１２０が、図８Ａ、図８Ｂに示すオゾン発生セル１２０Bに置換えられる。この実施の形態４のオゾン発生セル１２０Ｂは、接地電極１０と、高圧電極２０と、スペーサ組立４０Ｃを有する。高圧電極２０には、実施の形態３と同様に、絶縁筒２１Ａが使用され、この絶縁筒２１Ａは、両端部が開放されたガラス管で構成される。スペーサ組立４０Ｃは、１本のスペーサワイヤ４１と、スペーサ留め具４３Ａと、栓部材４５を有する。その他は、実施の形態１と同じに構成される。なお、図８Ａは正面図であるが、接地電極１０の金属筒１１だけは断面で示している。【００６１】
この実施の形態４では、実施の形態３と同様に、より安価な両端が開放されたガラス管により絶縁筒２１Ａを構成した。この絶縁筒２１Ａの内周面の全面に導電層２２が形成される。スペーサ組立４０Ｃの栓部材４５は、この絶縁筒２１の開放された右端部に嵌め込まれて固定される。この栓部材４５は、耐オゾン性の材料、例えばフッ素系樹脂、シリコン、バイトンなどで構成され、絶縁筒２１Ａの右端部を閉鎖する。この栓部材４５は、絶縁筒２１Ａの内部にガスが流通するのを阻止する。【００６２】
スペーサ組立４０Ｃでは、栓部材４５を用いて、単に１本のスペーサワイヤ４１が保持される。この１本のスペーサワイヤ４１は、接地電極１０の金属筒１１と高圧電極２０の絶縁筒２１Ａとの間に形成された環状放電間隙３０に螺旋状に配置される。この１本のスペーサワイヤ４１は、絶縁筒２１Ａの中心軸線Ｃ−Ｃの周りに、コイルと同様な形状で螺旋状に巻かれる。この螺旋状の１本のスペーサワイヤ４１は、実施の形態１と同様に、環状放電間隙３０の中心軸線Ｃ−Ｃ方向の長さＬｇの全長に亘り連続して巻かれるが、長さＬｇの８０％以上の範囲に連続して巻いても、環状放電間隙３０の長さＬｇの全長に亘り、間隙長をほぼ均一に規定できる。【００６３】
螺旋状のスペーサワイヤ４１の一端が、スペーサ留め具４３に保持され、栓部材４６に固定される。この螺旋状のスペーサワイヤ４１は、その一端がスペーサ留め具４３に保持された状態で、絶縁筒２１Ａとともに、金属筒１１の内周に嵌め込まれる。螺旋状のスペーサワイヤ４１は、最初には、小さなピッチで絶縁筒２１Ａの外周に巻かれているが、金属筒１１の内周に嵌め込まれるのに伴ない、金属筒１１と絶縁筒２１Ａとの間に挟み込まれ、そのピッチが増大し、最終的に、環状放電間隙３０の中心軸線Ｃ−Ｃ方向の長さＬｓの８０％以上の範囲に連続して巻かれる。【００６４】
この実施の形態４のスペーサ組立４０Ｃでは、単に１本のスペーサワイヤ４１を使用するので、スペーサ組立４０Ｃの構造が簡単になり、オゾン発生セル１２０Ｂの組立作業も簡単化される。【００６５】
なお、１本のスペーサワイヤ４１を環状放電間隙３０に螺旋状に配置する構成は、実施の形態１でも採用することができる。この場合、実施の形態１におけるスペーサ組立４０のスペーサ留め具４３に１本のスペーサワイヤ４１が保持され、この１本のスペーサワイヤ４１が環状放電間隙３０に螺旋状に配置される。【００６６】
実施の形態５．
図９Ａは、この発明によるオゾン発生装置の実施の形態５で使用されるオゾン発生セル１２０Ｃの横断面図、図９Ｂはその側面図である。実施の形態５では、実施の形態１における全てのオゾン発生セル１２０が、図９Ａ、図９Ｂに示すオゾン発生セル１２０Ｃに置換えられる。この実施の形態５のオゾン発生セル１２０Ｃでは、複数のスペーサ組立４０Ｄが使用される。このスペーサ組立４０Ｃでは、複数のスペーサワイヤ４１のそれぞれが、スペーサ組立４０Ｃにより金属筒１１に固定される。その他は実施の形態１と同じに構成される。【００６７】
各スペーサ組立４０Ｄは、スペーサワイヤ４１と、２つのスペーサ固定具４７を有する。これらのスペーサ固定具４７は、スペーサワイヤ４１の両端部に固定され、各スペーサ固定具４７は、ねじ４８により、それぞれ金属端板１１１、１１２の外面に固定され、金属筒１１に固定される。この実施の形態４では、スペーサワイヤ４１が金属筒１１に固定されるので、高圧電極２０の絶縁筒２１Ａを、金属筒１１の内周へ挿入する作業が、より簡単化される。【００６８】
なお、図９Ａでは、絶縁筒２１は、閉鎖端部２１ａを有するガラス管で構成されている。しかし、実施の形態３、４と同様に、両端部を開放したガラス管からなる絶縁筒２１Ａを使用し、その右端部を栓部材４５により封止することもできる。【００６９】
実施の形態６．
図１０Ａは、この発明によるオゾン発生装置の実施の形態６で使用されるオゾンセル構造体１１０Ａの一部分を示す側面図、図１０Ｂはその一部分の縦断面図である。この実施の形態６では、実施の形態１におけるオゾンセル構造体１１０が、図１０Ａ、図１０Ｂに示すオゾンセル構造体１１０Ａに置換えられる。このオゾンセル構造体１１０Ａは、一対の相対向する金属端板１１１、１１２の間に配置された複数のオゾン発生セル１２０と、スペーサ組立５０を有する。実施の形態６で使用されるスペーサ組立５０では、複数のオゾン発生セル１２０の中の隣接する２つのオゾン発生セル１２０について、それぞれの環状放電間隙３０に配置されたスペーサワイヤ４１を、共通の線材５１で構成して、オゾンセル構造体１１０Ａに保持する。共通の線材５１は、隣接する２つのオゾン発生セル１２０におけるスペーサワイヤ４１と、それを連結する連結ワイヤ５１ａ、５１ｂを含む。その他は、実施の形態１と同じに構成される。【００７０】
連結ワイヤ５１ａは金属端板１１１の外側に配置され、連結ワイヤ５１ｂは金属端板１１２の外側に配置される。連結ワイヤ５１ａ、５１ｂは、共通の線材５１により、隣接する２つのオゾン発生セル１２０の各スペーサワイヤ４１の延長部分として構成される。これらの連結ワイヤ５１ａ、５１ｂは、隣接する２つのオゾン発生セル１２０の環状放電間隙３０に配置されたスペーサワイヤ４１を連結し、それらのオゾン発生セル１２０の各スペーサワイヤ４１をオゾンセル構造体１１０Ａに保持する。この実施の形態６では、各オゾン発生セル１２０の各スペーサワイヤ４１が、オゾン構造体１１０に保持されるので、各オゾン発生セル１２０の接地電極１０の金属筒１１のそれぞれの内周に、高圧電極２０を挿入する作業を容易に行なうことができる。【００７１】
図１０Ａ、図１０Ｂにおいて、例えば縦方向に隣接する２つののオゾン発生セル１２０ａ、１２０ｂに注目する。１つの共通の線材５１は、オゾン発生セル１２０ａの１つのスペーサワイヤ４１となり、金属端板１１１の外側から、そのオゾン発生セル１２０ａの環状放電間隙３０をその中心軸線の延長方向に貫通して金属端板１１２の外側に至り、この金属端板１１２の外側で連結ワイヤ５１ｂとなって、隣接するオゾン発生セル１２０ｂの金属端板１１２の外側に至る。さらに共通の線材５１は、この金属端板１１２の外側から、オゾン発生セル１２０ｂのスペーサワイヤ４１となって、このオゾン発生セル１２０ｂの環状放電間隙３０をその中心軸線Ｃ−Ｃ方向に貫通し、金属端板１１１の外側に至り、この金属端板１１１の外側で連結ワイヤ５１ａとなって、オゾン発生セル１２０ａの金属端板１１１の外側にリターンする。このように、隣接する２つのオゾン発生セル１２０ａ、１２０ｂのスペーサワイヤ４１と、連結ワイヤ５１ａ、５１ｂとが、共通の線材５１により構成され、オゾンセル構造体１１０Ａに保持される。他の隣接する２つのオゾン発生セル１２０についても、同様に、それらのスペーサワイヤ４１と連結ワイヤ５１ａ、５１ｂを共通の線材５１で構成して、オゾンセル構造体１１０Ａに保持する。【００７２】
実施の形態７．
図１１Ａは、この発明によるオゾン発生装置の実施の形態７で使用されるオゾンセル構造体１１０Ｂの一部分を示す側面図、図１１Ｂはその一部分の縦断面図である。この実施の形態７では、実施の形態１におけるオゾンセル構造体１１０が、図１１Ａ、図１１Ｂに示すオゾンセル構造体１１０Ｂに置換えられる。このオゾンセル構造体１１０Ｂは、一対の相対向する金属端板１１１、１１２の間に配置された複数のオゾン発生セル１２０と、スペーサ組立５０Ａを有する。この実施の形態７では、実施の形態６のスペ―サ組立５０に代わってスペーサ組立５０Ａが使用される。スペーサ組立５０Ａは、実施の形態６で使用されたスペーサ組立５０に、複数の引張りばね５２を追加したものである。その他は、実施の形態６と同じに構成される。【００７３】
複数の各引張りばね５２は、連結ワイヤ５１ｂのほぼ中央に配置され、金属端板１１２の側面に配置される。この引張りばね５２は、隣接する２つのオゾン発生セル１２０のスペーさワイヤ４１に張力を与える。その結果、共通の線材５１で構成された隣接する２つのオゾン発生セル１２０のそれぞれスペーサワイヤ４１は、中心軸線Ｃ−Ｃの延長方向に引張られた状態で、オゾンセル構造体１１０に保持される。このように、引張りばね５２により、隣接する２つのオゾン発生セル１２０のスペーサワイヤ４１に張力を与えると、高圧電極２０を金属筒１１の内周に挿入する作業をさらに容易に行なうことができる。【００７４】
実施の形態８．
図１２は、この発明によるオゾン発生装置の実施の形態８で使用されるオゾンセル構造体１１０Ｃを示す側面図である。この実施の形態８では、実施の形態１におけるオゾンセル構造体１１０が、図１２に示すオゾンセル構造体１１０Ｃに置換えられる。このオゾンセル構造体１１０Ｃは、一対の相対向する金属端板１１１、１１２の間に配置された複数のオゾン発生セル１２０と、スペーサ組立５０Ｂを有する。この実施の形態８で使用されるスペーサ組立５０Ｂは、実施の形態７のスペーサ組立５０Ａにおける引張りばね５２に代わって、ワイヤ固定部材５３を用いたものである。その他は、実施の形態７と同じで構成される。【００７５】
ワイヤ固定部材５３は、隣接する４つのオゾン発生セル１２０のほぼ中央に、それぞれ配置される。このワイヤ固定部材５３は、例えばねじで構成され、金属端板１１２にねじ込まれて固定される。このワイヤ固定部材５３は、隣接する４つのオゾン発生セル１２０の間の連結ワイヤ５１ｂを金属端板１１２に固定する。例えば、隣接する４つのオゾン発生セル１２０ａ〜１２０ｄに注目すると、オゾン発生セル１２０ａ、１２０ｂの間では、連結ワイヤ５１ｂ１が、それらのオゾン発生セル１２０ａ、１２０ｂのスペーサワイヤ４１を連結しており、また、オゾン発生セル１２０ｃ、１２０ｄの間では、連結ワイヤ５１ｂ２が、それらのオゾン発生セル１２０ｃ、１２０ｄのスペーサワイヤ４１を連結している。ワイヤ固定部材５３は、連結ワイヤ５１ｂ１、５２ｂ２が互いに交差する交差部分に配置され、連結ワイヤ５１ｂ１、５１ｂ２を金属端板１１２に固定する。他の隣接する４つのオゾン発生セルについても、同様にそれらのほぼ中央にワイヤ固定部材５が２つの連結ワイヤの交差部分を金属端板１１２に固定する。【００７６】
この実施の形態８では、ワイヤ固定部材５３により連結ワイヤ５１ｂを金属端板１１２に固定するので、連結ワイヤ５１ｂを接地電極１０と一体化するための作業が容易になる。【００７７】
実施の形態９．
図１３は、この発明によるオゾン発生装置の実施の形態９で使用されるオゾン発生セル１２０Ｄを示す縦断面図である。実施の形態９では、実施の形態１における全てのオゾン発生セル１２０が、図１３に示すオゾン発生セル１２０Ｄに置換えられる。このオゾン発生セル１２０Ｄは、実施の形態１で使用したスペーサ組立４０を使用せずに、接地電極１０を構成する金属筒１１の内周面に、複数のスペーサ部分１５が形成される。その他は、実施の形態１と同じに構成される。【００７８】
複数のスペーサ部分１５は、実施の形態１におけるスペーサワイヤ４１と同様に、環状放電間隙３０の周方向に互いに間隔をおいて形成される。各スペーサ部分１５は、環状放電間隙３０の中心軸線Ｃ−Ｃ方向の長さＬｓの全長に亘り、連続して形成され、または、その長さＬｓの８０％以上の範囲に連続して形成され、環状放電間隙３０の中心軸線Ｃ−Ｃ方向に長さＬｓのほぼ全長に亘り、径方向の間隙長ｄを規制する。スペーサ部分１５は、例えば、実施の形態１におけるスペーサワイヤ４１を金属筒１１の内周面に溶接して構成されるか、または金属筒１１の内周面を削り、金属筒１１と一体に形成される。金属筒１１の内周面を削って、金属筒１１と一体にスペーサ部分１５を構成する場合には、酸溶液を用いて金属筒１１の内周面をエッチングするのが有効である。スペーサ部分１５は、実施の形態１におけるスペーサワイヤ４１と同様に、断面を円形に構成することもでき、また方形の断面を持つように構成することもできる。金属筒１１の内周面をエッチングなどで削る場合には、スペーサ部分１５の突出面１５ａは、円周面の一部を形成する円弧面となる。【００７９】
複数のスペーサ部分１５は、高圧電極２０を構成する絶縁筒２１、２１Ａの外周面に形成することもできる。この場合にも、この複数のスペーサ部分１５は、環状放電間隙３０の周方向に互いに間隔をおいて形成され、それぞれのスペーサ部分１５は、環状放電間隙３０の中心軸線Ｃ−Ｃ方向の長さＬｓの８０％以上の範囲に亘り、連続して形成される。スペーサ部分１５は、例えば、実施の形態１におけるスペーサワイヤ４１を絶縁筒２１、２１Ａの外周面に溶接して構成されるか、または絶縁筒２１、２１Ａの外周面を削り、絶縁筒２１、２１Ａと一体に形成される。絶縁筒２１、２１Ａの外周面を削って、絶縁筒２１、２１Ａと一体にスペーサ部分１５を構成する場合には、絶縁筒２１、２１Ａの外周面をエッチングして構成するのが有効である。【００８０】
実施の形態９では、スペーサ部分１５が、接地電極１０を構成する金属筒１１または高圧電極２０を構成する絶縁筒２１、２１Ａに形成されるので、オゾン発生セル１２０Ｄの組立作業を容易に行なうことができる。【００８１】
実施の形態１０．
図１４Ａは、この発明によるオゾン発生装置の実施の形態１０で使用される接地電極１０Ａを示す横断面図、図１４Bはその縦断面図である。この実施の形態１０では、実施の形態１の全てのオゾン発生セル１２０の接地電極１０が、図１４Ａ、図１４Ｂに示す接地電極１０Ａに置換えられ、各オゾン発生セル１２０のスペーサ組立４０が除去される。この実施の形態１０の接地電極１０Ａを構成する金属筒１１は、その内周面に複数の点状のスペーサ部分１５Ｂを有する。その他は、実施の形態１と同じに構成される。【００８２】
複数の点状スペーサ部分１５Ｂは、金属筒１１の外周部から圧力を加え、金属筒１１を部分的にその内周面に突出するように変形して形成される。複数の点状スペーサ部分１５Ｂは、金属筒１１の中心軸線Ｃ−Ｃと平行な４本の平行線上に、間隔をおいて、形成される。４本の平行線は、中心軸線Ｃ−Ｃの周りに、互いに９０度の間隔で設定される。複数の点状スペーサ部分１５Ｂが点在するエリアは、環状放電間隙３０の中心軸線Ｃ−Ｃ方向の長さＬｓの全長に亘っており、環状放電間隙３０の中心軸線Ｃ−Ｃ方向の長さＬｇの全長において、間隙長ｄを規定する。【００８３】
実施の形態１０でも、スペーサ部分１５Ｂが、接地電極１０Ａを構成する金属筒１１に形成されるので、オゾン発生セル１２０Ｄの組立作業を容易に行なうことができる。【００８４】
実施の形態１１．
図１５Ａは、この発明によるオゾン発生装置の実施の形態１１で使用される接地電極１０Ｂを示す横断面図、図１５Bはその縦断面図である。この実施の形態１１では、実施の形態１の全てのオゾン発生セル１２０の接地電極１０が、図１５Ａ、図１５Ｂに示す接地電極１０Ｂに置換えられ、各オゾン発生セル１２０のスペーサ組立４０が除去される。この実施の形態１１の接地電極１０Bを構成する金属筒１１は、実施の形態１０の金属筒１１と同様に、その内周面に複数の点状のスペーサ部分１５Ｂを有し、複数の点状スペーサ部分１５Ｂを中心軸線Ｃ−Ｃと平行な８本の平行線上に間隔をおいて形成したものである。【００８５】
８本の平行線は、金属筒１１の中心軸線Ｃ−Ｃの周りに、４５度の角度間隔で設定される。この８本の平行線上に、それぞれ点状スペーサ部分１５Ｂが点在するが、各隣接する平行線では、複数の点状スペーサ部分１５Ｂが互いに他の平行線上の点状スペーサ部分１５Ｂの間に位置するよう配置される。複数の点状スペーサ部分１５Ｂが点在するエリアは、環状放電間隙３０の中心軸線Ｃ−Ｃ方向の長さＬｓの全長に亘っており、環状放電間隙３０の中心軸線Ｃ−Ｃ方向の長さＬｇの全長において間隙長ｄを規定する。平行線は、８本に限らず、３本以上中心軸線Ｃ−Ｃの周りに、互いに等しい角度間隔で設定することができる。【００８６】
実施の形態１２．
図１６は、この発明によるオゾン発生装置の実施の形態１２で使用されるオゾン発生セル１２０Ｅを示す縦断面図である。実施の形態１２では、実施の形態１における全てのオゾン発生セル１２０が、図１６に示すオゾン発生セル１２０Ｅに置換えられる。このオゾン発生セル１２０Ｅは、複数の点状スペーサ１５Ｃを環状放電間隙３０に配置し、この複数の点状スペーサ１５Ｃを、接地電極１０を構成する金属筒１１の内周面または高圧電極２０を構成する絶縁筒２１、２１Ａの外周面に接着材を用いて貼り付けたものである。実施の形態１おけるスペーサ留め具４３は使用されない。その他は、実施の形態１と同じに構成される。【００８７】
この実施の形態１２でも、複数の点状スペーサ１５Ｃが金属筒１１または絶縁筒２１、２１Ａに貼り付けられるので、オゾン発生セル１２０Ｅの組立作業を容易に行なうことができる。【００８８】
その他の実施の形態．
実施の形態１〜１２ではいずれも、各オゾン発生セル１２０において、金属筒（第１電極）１１により接地電極１０を構成し、絶縁筒２１と導電層２２（第２電極）により高圧電極２０を構成しているが、これらを入れ替え、金属筒（第１電極）１１により高圧電極２０を構成し、絶縁筒２１と導電層２２（第２電極）により接地電極１０を構成することもできる。この場合にも、金属筒１１は一対の金属端板１１１、１１２に両端を固定され、この金属筒１１の内周に絶縁筒２１が配置され、この絶縁筒２１には、導電層２２が形成される。この場合、図１の交流高圧電源１０８の高圧電圧が金属端板１１１、１１２を経由して各オゾン発生セル１２０の金属筒１１に供給され、導電層２２が接地される。【００８９】
また、各実施の形態１〜１２では、絶縁筒２１の内周に導電層２２を形成したが、絶縁筒２１の外周面の全面に導電層２２を形成するように変更することもできる。この変更は、絶縁筒２１と導電層２２が、高圧電極２０を構成する場合に限らず、絶縁筒２１と導電層２２が接地電極１０を構成する場合にも採用できる。
【産業上の利用可能性】
【００９０】
この発明によるオゾン発生装置は、水処理設備等に利用されるオゾン化ガスを工業的に生成する。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】この発明によるオゾン発生装置の実施の形態１の全体構成図である。
【図２Ａ】実施の形態１におけるオゾン発生セルの横断面図である。
【図２Ｂ】実施の形態１におけるオゾン発生セルの縦断面図である。
【図２Ｃ】実施の形態１におけるスペーサ組立の説明図である。
【図３】この発明によるオゾン発生装置の実施の形態２におけるスペーサ組立の説明図である。
【図４】実施の形態１、２の効果を示すオゾン発生特性図である。
【図５Ａ】実施の形態１、２の効果の原因を示すオゾン発生セルの横断面図である。
【図５Ｂ】図５Ａの縦断面図である。
【図６】実施の形態１、２の高圧電極の絶縁筒の外径と厚みの関係を示すグラフである。
【図７Ａ】この発明によるオゾン発生装置の実施の形態３におけるオゾン発生セルの横断面図である。
【図７Ｂ】実施の形態３におけるオゾン発生セルの側面図である。
【図８Ａ】この発明によるオゾン発生装置の実施の形態４におけるオゾン発生セルの正面図である。
【図８Ｂ】実施の形態４におけるオゾン発生セルの側面図である。
【図９Ａ】この発明によるオゾン発生装置の実施の形態５におけるオゾン発生セルの横断面図である。
【図９Ｂ】実施の形態５におけるオゾン発生セルの側面図である。
【図１０Ａ】この発明によるオゾン発生装置の実施の形態６におけるオゾンセル構造体の一部分の側面図である。
【図１０Ｂ】実施の形態６におけるオゾンセル構造体の一部分の縦断面図である。
【図１１Ａ】この発明によるオゾン発生装置の実施の形態７におけるオゾンセル構造体の一部分の側面図である。
【図１１Ｂ】実施の形態７におけるオゾンセル構造体の一部分の縦断面図である。
【図１２】この発明によるオゾン発生装置の実施の形態８におけるオゾンセル構造体の一部分の側面図である。
【図１３】この発明によるオゾン発生装置の実施の形態９におけるオゾン発生セルの縦断面図である。
【図１４Ａ】この発明によるオゾン発生装置の実施の形態１０における接地電極の横断面図である。
【図１４Ｂ】実施の形態１０における接地電極の縦断面図である。
【図１５Ａ】この発明によるオゾン発生装置の実施の形態１１における接地電極の横断面図である。
【図１５Ｂ】実施の形態１１における接地電極の縦断面図である。
【図１６】この発明によるオゾン発生装置の実施の形態１２におけるオゾン発生セルの縦断面図である。
【図１７Ａ】従来のオゾン発生セルの横断面図である。
【図１７Ｂ】図１７ＡのＡ−Ａ線による断面図である。
【図１８Ａ】従来のオゾン発生セルの電極の曲がりを示す横断面図である。
【図１８Ｂ】図１８Ａのオゾン発生セルの縦断面図である。
【図１９】従来のオゾン発生特性を表わすグラフである。
【図２０Ａ】従来のオゾン発生セルの偏芯がある場合の縦断面図である。
【図２０Ｂ】偏芯量とオゾン濃度との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００９２】
１００：オゾン発生装置、
１１０、１１０Ａ、１１０Ｂ、１１０Ｃ：オゾンセル構造体、
１１１、１１２：金属端板、１０、１０Ａ、１０Ｂ：接地電極、１１：第１電極、
２０：高圧電極、２１、２１Ａ、２２：第２電極、
４０、４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ、４０D：スペーサ組立、
４１  スペーサワイヤ、４３、４３Ａ：スペーサ留め具、４５：栓部材、
４７：スペーサ固定部材、５０：スペーサ組立、１５、１５Ｂ；スペーサ部分。
１５Ｃ：スペーサ。  
【図１】
2007108142.tif 000003
【図２Ａ】
2007108142.tif 000004
【図２Ｂ】
2007108142.tif 000005
【図２Ｃ】
2007108142.tif 000006
【図３】
2007108142.tif 000007
【図４】
2007108142.tif 000008
【図５Ａ】
2007108142.tif 000009
【図５Ｂ】
2007108142.tif 000010
【図６】
2007108142.tif 000011
【図７Ａ】
2007108142.tif 000012
【図７Ｂ】
2007108142.tif 000013
【図８Ａ】
2007108142.tif 000014
【図８Ｂ】
2007108142.tif 000015
【図９Ａ】
2007108142.tif 000016
【図９Ｂ】
2007108142.tif 000017
【図１０Ａ】
2007108142.tif 000018
【図１０Ｂ】
2007108142.tif 000019
【図１１Ａ】
2007108142.tif 000020
【図１１Ｂ】
2007108142.tif 000021
【図１２】
2007108142.tif 000022
【図１３】
2007108142.tif 000023
【図１４Ａ】
2007108142.tif 000024
【図１４Ｂ】
2007108142.tif 000025
【図１５Ａ】
2007108142.tif 000026
【図１５Ｂ】
2007108142.tif 000027
【図１６】
2007108142.tif 000028
【図１７Ａ】
2007108142.tif 000029
【図１７Ｂ】
2007108142.tif 000030
【図１８Ａ】
2007108142.tif 000031
【図１８Ｂ】
2007108142.tif 000032
【図１９】
2007108142.tif 000033
【図２０Ａ】
2007108142.tif 000034
【図２０Ｂ】
2007108142.tif 000035
【国際調査報告】
2007108142.tif 000036
2007108142.tif 000037
2007108142.tif 000038
2007108142.tif 000039
2007108142.tif 000040
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