【手続補正書】
【提出日】平成20年7月17日(2008.7.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のポートおよび第２のポートを有し、第１の軸線が前記第１のポートに垂直であり、かつ第２の軸線が前記第２のポートに垂直であり、また前記第１の軸線と前記第２の軸線とが鈍角を形成する、第１のロードロックチャンバと、
第３のポートおよび第４のポートを有し、第３の軸線が前記第３のポートに垂直であり、かつ第４の軸線が前記第４のポートに垂直であり、前記第３の軸線と前記第４の軸線とが鈍角を形成する第２のロードロックチャンバと、
前記第１のポートから前記第２のポートへの第１のウエハ通路であって、前記第１のポートと第２のポートの少なくとも１つのポートを通る前記第１のウエハ通路の中心が、前記第１のポートと第２のポートの少なくとも１つのポートの側壁に対してずらされている第１のウエハ通路と、
前記第３のポートから前記第４のポートへの第２のウエハ通路であって、前記第３のポートと第４のポートの少なくとも１つのポートを通る前記第２のウエハ通路の中心が、前記第３のポートおよび第４のポートの少なくとも１つのポートの側壁に対してずらされている第２のウエハ通路と、
を備えるロードロックシステム。
【請求項２】
前記第１のロードロックチャンバは、前記第２のロードロックチャンバに隣接する請求項１に記載のロードロックシステム。
【請求項３】
前記第１のロードロックチャンバおよび第２のロードロックチャンバに結合され、前記第１のロードロックチャンバおよび第２のロードロックチャンバ内において基板にアクセスし得るロボットを有する、ウエハハンドリングチャンバをさらに備える請求項２に記載のロードロックシステム。
【請求項４】
前記ウエハハンドリングチャンバは、前記第１のロードロックチャンバおよび第２のロードロックチャンバに隣接する請求項３に記載のロードロックシステム。
【請求項５】
前記第１のロードロックチャンバおよび第２のロードロックチャンバから前記ウエハハンドリングチャンバを選択的に密閉するように、前記ウエハハンドリングチャンバの壁に装着される、ゲートバルブをさらに備える請求項３に記載のロードロックシステム。
【請求項６】
前記各ゲートバルブは、
前記ウエハハンドリングチャンバの壁内に装着された少なくとも１つのインサートと、
前記ウエハハンドリングチャンバ内に配置され、選択的に密閉可能な開口部を有し、前記少なくとも１つのインサートに装着されるバルブライナーと、
を備える請求項５に記載のロードロックシステム。
【請求項７】
相互に角度がつけられた入口ゲートバルブおよび出口ゲートバルブを有する第１のロードロックチャンバと、
相互に角度がつけられた入口ゲートバルブおよび出口ゲートバルブを有する第２のロードロックチャンバであって、当該第２のロードロックチャンバの前記ゲートバルブのすぐ隣に前記第１のロードロックチャンバのゲートバルブがある第２のロードロックチャンバと、
を備える請求項１に記載のロードロックシステム。
【請求項８】
前記第１のロードロックチャンバおよび第２のロードロックチャンバの出口ゲートバルブを通って基板にアクセスし得るロボットを有するウエハハンドリングチャンバをさらに備える請求項７に記載のロードロックシステム。
【請求項９】
両方のロードロックチャンバの幅を約３２インチと３８インチとの間に定める請求項７に記載のロードロックシステム。
【請求項１０】
第１、第２、第３、及び、第４のポートは、前記第１及び第２のロードロックチャンバを隔てるように選択的に密閉可能である請求項１に記載のロードロックシステム。
【請求項１１】
第１、第２、第３、及び、第４のポートは、それぞれ、ゲートバルブを備える請求項１に記載のロードロックシステム。
【請求項１２】
前記第１及び第２のウエハ通路は、前記右側の壁および左側の壁の一方の壁に対して０．１５インチと０．３５インチとの間の隙間を伴って、かつ前記右側の壁および左側の壁の他方の壁に対して０．８インチと１．２インチとの間の隙間を伴って、前記基板を通過させるように配置される請求項９に記載のロードロックシステム。
【請求項１３】
半導体基板搬送方法であって、
前記基板を、カセットローディングドックから、第１のゲートバルブを通ってロードロックチャンバに搬送するステップと、
前記基板を、前記ロードロックチャンバから、第２のゲートバルブを通って搬送チャンバに搬送するステップと、
を含み、
前記ロードロックチャンバは、前記第１のゲートバルブから前記第２のゲートバルブに前記基板が移動する基板通路を有し、前記ゲートバルブの少なくとも１つを通る前記基板通路は、前記ゲートバルブの開口部の幅に対して中心がずらされている、半導体基板搬送方法。
【請求項１４】
前記基板が、前記大気圧のフロントエンドチャンバから弓形の通路に沿って前記ロードロックチャンバに搬送される請求項２１に記載の方法。
【請求項１５】
前記基板が、前記ロードロックチャンバから一直線の通路に沿って前記搬送チャンバに搬送される請求項２１に記載の方法。
【請求項１６】
請求項１に記載のロードロックシステム、大気圧のフロントエンド（ＡＦＥ）チャンバ、ウエハハンドリングチャンバ（ＷＨＣ）、及び、処理チャンバと備える半導体処理ツール。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
ウエハコーム６０は、図４に示すように、ロードロックチャンバ４０内の、ウエハ通路５８に角度がつけられた場所に配置されることが、好ましい。ウエハ通路５８につけられた角度は、ウエハ２０が、前方ゲートバルブ軸線５５に沿ってＡＦＥチャンバ２２からロードロックチャンバ４０に入り、ロードロックチャンバ４０から後方ゲートバルブ軸線５０に沿ってＷＨＣチャンバ４４内に出て行くような角度である。２本の軸線は、図４に示すように、交わった場所に適切な鈍角θを形成して、半導体処理ツール５の全幅が、所望の全幅ｗ１になり得る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
ウエハ２０をカセットラック１６からＡＦＥチャンバ２２に搬送した後、ＡＦＥチャンバ２２と、ロードロックチャンバ４０の１つとの間のゲートバルブ４２が、開放され、ロボットアーム２４が、ウエハ２０をロードロックラック４６に配置し、ロードロックラック４６は、不活性環境に維持されている。処理済みのウエハは、ロボットアームの復路においてカセットラック１６に輸送されることが好ましいが、処理を要するウエハ２０は、ロボットアーム２４によりロードロックラック４６に搬出されることが好ましい。一実施形態では、未処理のウエハをロードロックチャンバ４０内に保管するが、処理済みのウエハは、別のロードロックチャンバ４０内に保管する。ロボットアーム２４は、ロードロックチャンバ４０が一杯になるまで、カセットラック１６とロードロックラック４６との間を周期的に動き続けるようにプログラムされることが好ましい。入口のガスバルブ４２が、閉鎖され、ロードロックチャンバ４０は、パージされかつ／または減圧される。ロードロックチャンバ４０は、排気口から、ＷＨＣ４４の排気レベルと実質的に同じ排気レベルに排気されることが好ましい。排気されたロードロックチャンバ４０とＷＨＣ４４との間のアクセスは、ロードロックチャンバ４０とＡＦＥチャンバ２２との間のゲートバルブ４２を閉鎖したまま、２つのチャンバの間のゲートバルブ４２を開放することにより、行われる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
好ましい実施形態では、ベルヌーイワンドの幅は、搬送するウエハ２０の幅と実質的に等しい。一実施形態では、ベルヌーイワンドの幅ｗｂは、１２インチであり、１２インチは、およそ３００．２２８ｍｍであって、または３００ｍｍウエハの大きさより若干大きい。ベルヌーイワンドの構成は、ベルヌーイワンドが、ロードロックラック４６のコーム６０により画定されたスロット内をウエハの上方において移動して、上方からウエハ２０をピックアップするような構成にし得る。ベルヌーイワンドは、石英からなることが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
本発明を、ある好ましい実施形態および例に関して開示してきたが、本発明が、特に開示した実施形態を超えて、他の代替実施形態、および／または本発明の使用およびその明らかな変更に及ぶことを、当業者は理解するだろう。よって、本明細書に開示の本発明の範囲は、ここに開示した特定の上記実施形態により限定されないが、以下の特許請求の範囲を公平に読むことによってのみ限定されるものと解釈される。