【手続補正書】
【提出日】平成20年5月1日(2008.5.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】フォトリソグラフィックパターン形成による立体コイル構造
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  コイル構造であって、
基板、および
第一アンカ部分、ループ巻線および第二アンカ部分を含む弾性部材を備えるもので、前記第一アンカ部分は前記基板に固定され、前記第二アンカ部分は前記基板に接続され、
前記第二アンカ部分と前記ループ巻線は最初は前記基板に固定されるが、前記基板から解放されて前記基板から分離するようになり、また、
前記弾性部材内の応力プロファイルが前記第二アンカ部分を前記基板から離れて偏らせてループ巻線を形成し、前記第二アンカ部分を前記基板に接触させることを特徴とするコイル構造。
【請求項２】  マルチターンコイル構造であって、
基板、および
複数の弾性部材を備えるもので、各弾性部材は第一アンカ部分、ループ巻線および第二アンカ部分を含み、前記第一アンカ部分は前記基板に固定され、前記第二アンカ部分は前記基板に接続され、ここで、前記第二アンカ部分と前記ループ巻線は最初は前記基板に固定されるが、前記基板から解放されて前記基板から分離するようになり、さらに前記弾性部材内の固有応力プロファイルは前記第二アンカ部分を前記基板から離して偏らせて前記ループ巻線を形成し、前記第二アンカ部分を前記基板に接触させ、
前記弾性部材の前記ループ巻線が互いに軸方向に隣接して配置され、また前記複数の弾性部材の一つの前記第一アンカ部分を前記複数の弾性部材の隣接の一つの前記第二アンカ部分に接続することを特徴とするマルチターンコイル構造。
【請求項３】  立体コイル構造を形成する方法であって、
固有応力プロファイルを有する弾性材料で、前記弾性材料の層を基板上に堆積し、
弾性材料の前記層をフォトリソグラフィ技術により弾性部材にパターン形成し、さらに
前記弾性部材の自由部分を前記基板から解放し、前記弾性部材のアンカ部分が前記基板に固定して残るように前記弾性部材の下で前記基板の一部分をアンダカットエッチングするもので、
前記弾性部材内の固有応力プロファイルがコイル構造の前記自由部分を前記基板から離して偏らせてループ巻線を形成し、自由端を前記基板上の所望点に接触させ、さらに
前記自由端を前記基板に接続することを特徴とする立体コイル構造を形成する方法。
【請求項４】  立体コイル構造であって、
基板、および
前記基板に固定される第一アンカ部分、ループ巻線、および前記基板に接続される第二アンカ部分を含む弾性部材を備えるもので、
前記ループ巻線が前記基板に実質的に平行な軸を持つことを特徴とする立体コイル構造。
【請求項５】  立体マルチターンコイル構造であって、
基板、および
複数の弾性部材を備えるもので、各弾性部材は前記基板に固定される第一アンカ部分、前記基板に実質的に平行な軸を持つループ巻線、および前記基板に接続される第二アンカ部分を含み、
前記弾性部材のループ巻線は互いに隣接して軸方向に配置され、前記複数の弾性部材の一つの前記第一アンカ部分が前記複数の弾性部材の隣接の一つの前記第二アンカ部分に接続されることを特徴とする立体マルチターンコイル構造。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３６】
シリコンＩＣｓ上に集積される新しい種類の高Ｑマイクロバネ可変コンデンサおよび立体インダクタについて記述した。インダクタと組合わせたバリキャップをスーパヘテロダイン回路のＶＣＯｓ全体のオンチップ集積化に対して実施した。本発明は特定の実施例を引用して説明されてきたが、この特定の実施例の記述は実例のみであり、本発明の範囲を限定するものとして構成されるべきではない。本発明の精神や範囲から逸脱しないで各種の他の修正や変更が当業者の心に浮かぶこともある。
＜付記＞
（１）コイル構造であって、基板、および第一アンカ部分、ループ巻線および第二アンカ部分を含む弾性部材を備えるもので、前記第一アンカ部分は前記基板に固定され、前記第二アンカ部分は前記基板に接続され、前記第二アンカ部分と前記ループ巻線は最初は前記基板に固定されるが、前記基板から解放されて前記基板から分離するようになり、また、前記弾性部材内の応力プロファイルが前記第二アンカ部分を前記基板から離れて偏らせてループ巻線を形成し、前記第二アンカ部分を前記基板に接触させることを特徴とするコイル構造。
（２）（１）に記載のコイル構造であって、ループ巻線の内側面と外側面の少なくとも一方に荷重部材を固定することを特徴とするコイル構造。
（３）（１）に記載のコイル構造であって、ループ巻線が少なくとも二つの異なる曲率半径を持つことを特徴とするコイル構造。
（４）（１）に記載のコイル構造であって、弾性部材がその中に少なくとも一つの開口孔を含むことを特徴とするコイル構造。
（５）マルチターンコイル構造であって、基板、および複数の弾性部材を備えるもので、各弾性部材は第一アンカ部分、ループ巻線および第二アンカ部分を含み、前記第一アンカ部分は前記基板に固定され、前記第二アンカ部分は前記基板に接続され、ここで、前記第二アンカ部分と前記ループ巻線は最初は前記基板に固定されるが、前記基板から解放されて前記基板から分離するようになり、さらに前記弾性部材内の固有応力プロファイルは前記第二アンカ部分を前記基板から離して偏らせて前記ループ巻線を形成し、前記第二アンカ部分を前記基板に接触させ、前記弾性部材の前記ループ巻線が互いに軸方向に隣接して配置され、また前記複数の弾性部材の一つの前記第一アンカ部分を前記複数の弾性部材の隣接の一つの前記第二アンカ部分に接続することを特徴とするマルチターンコイル構造。
（６）（５）に記載のコイル構造であって、各弾性部材の第一アンカ部分が基板上の導体パッドに固定され、第二アンカパッド分が前記基板上の導体パッドに接続されることを特徴とするコイル構造。
（７）（５）に記載のコイル構造であって、第二アンカ部分を位置決めするために各弾性部材に対して基板にサポートを固定することを特徴とするコイル構造。
（８）（５）に記載のコイル構造であって、複数の弾性部材の一つの第一アンカ部分は前記複数の弾性部材の隣接の一つの第二アンカ部分に導体パッド経由で接続されることを特徴とするコイル構造。
（９）（５）に記載のコイル構造であって、弾性部材の各対の間に配置した第一パッドと第二パッドを有するＵ字形導体パッドを備え、前記複数の弾性部材の一つの第一アンカ部分は隣接Ｕ字形導体パッドの第一パッドに接続され、前記複数の弾性部材の隣接の一つの第二アンカ部分はＵ字形導体パッドの第二パッドに接続されることを特徴とするコイル構造。
（１０）（５）に記載のコイル構造であって、弾性部材が導電性材料で形成され、さらに一つ以上の第一アンカ点に電気コイルタップを接続させることを特徴とするコイル構造。
（１１）（５）に記載のコイル構造であって、複数の弾性部材の一つの第一アンカ部分が前記複数の弾性部材の隣接の一つの第二アンカ部分に導体パッド経由で接続されることを特徴とするコイル構造。
（１２）（５）に記載のコイル構造であって、各弾性部材に対してループ巻線の内側面と外側面の少なくとも一方に荷重部材を固定することを特徴とするコイル構造。
（１３）（５）に記載のコイル構造であって、各弾性部材のループ巻線が少なくとも二つの異なる曲率半径を持つことを特徴とするコイル構造。
（１４）（５）に記載のコイル構造であって、弾性部材の各々がその中に少なくとも一つの開口孔を含むことを特徴とするコイル構造。
（１５）（１４）に記載のコイル構造であって、前記開口孔がループ巻線内の縦のスロットであることを特徴とするコイル構造。
（１６）（５）に記載のコイル構造であって、各弾性部材内の固有応力プロファイルが異方性応力プロファイルであることを特徴とするコイル構造。
（１７）立体コイル構造を形成する方法であって、固有応力プロファイルを有する弾性材料で、前記弾性材料の層を基板上に堆積し、弾性材料の前記層をフォトリソグラフィ技術により弾性部材にパターン形成し、さらに前記弾性部材の自由部分を前記基板から解放し、前記弾性部材のアンカ部分が前記基板に固定して残るように前記弾性部材の下で前記基板の一部分をアンダカットエッチングするもので、前記弾性部材内の固有応力プロファイルがコイル構造の前記自由部分を前記基板から離して偏らせてループ巻線を形成し、自由端を前記基板上の所望点に接触させ、さらに前記自由端を前記基板に接続することを特徴とする立体コイル構造を形成する方法。
（１８）（１７）に記載の方法であって、前記自由端がそのリリース点以外の基板上の点に接触することを特徴とする方法。
（１９）（１７）に記載の方法であって、前記自由端がそのリリース点と実質的に同じである基板上の点に接触することを特徴とする方法。
（２０）（１７）に記載の方法であって、弾性部材を導電性材料で形成することを特徴とする方法。
（２１）（１７）に記載の方法であって、弾性部材の下の基板の一部分をアンダカットエッチングする前に、自由端の復元部を位置決めするために前記基板上の所望点にメカニカルストップを形成することを特徴とする方法。
（２２）（１７）に記載の方法であって、前記自由端がアンカ部分から軸方向に偏る基板上の点に接続されることを特徴とする方法。
（２３）（１７）に記載の方法であって、前記自由端がアンカ部分から反対側に偏る基板上の点に接続されることを特徴とする方法。
（２４）（１７）に記載の方法であって、弾性部材内の固有応力プロファイルが基板から離れてコイル構造の自由部分を偏らせ、複数のループ巻線を形成し、自由端をアンカ部分から軸方向に偏る基板上の点に接触させることを特徴とする方法。
（２５）（１７）に記載の方法であって、弾性層を堆積するステップがさらに導電材料の層と固有応力プロファイルを有する弾性材料の層の少なくとも一方を堆積し、さらにもう一方の層を堆積することを特徴とする方法。
（２６）（１７）に記載の方法であって、弾性部材が自由端をアンカ部分から軸方向に偏る基板上の点に接触させることのできる固有の異方性応力勾配を持つことを特徴とする方法。
（２７）（１７）に記載の方法であって、弾性部材が自由端をアンカ部分から軸方向に偏る基板上の点に接触させることのできる固有のせん断勾配を持つことを特徴とする方法。
（２８）（１７）に記載の方法であって、弾性部材の下の基板の一部分をアンダカットエッチングする前に、前記弾性部材の表面の一部分に沿って荷重層を堆積することを含み、
自由端のリリース時に、荷重部材により自由端がアンカ部分から軸方向に偏る基板上の点に接触することを特徴とする方法。
（２９）（１７）に記載の方法であって、弾性部材の下の基板の一部分をアンダカットエッチングする前に、弾性部材の表面の一部分に沿って荷重層を堆積することを含み、
自由部分のリリース時に、荷重部材により自由端がアンカ部分から接線方向に偏る基板上の点に接触することを特徴とする方法。
（３０）（１７）に記載の方法であって、弾性部材の下の基板の一部分をアンダカットエッチングする前に、前記弾性部材内に少なくとも一つの孔（perforation）をフォトリソグラフィによりパターン形成することを含むもので、自由端のリリース時に、前記孔により前記自由端がアンカ部分から軸方向に偏らせる基板上の点に接触することを特徴とする方法。
（３１）（１７）に記載の方法であって、弾性部材の下の基板の一部分をアンダカットエッチングする前に、前記弾性部材内に少なくとも一つの孔をフォトリソグラフィによりパターン形成することを含むもので、自由端のリリース時に、前記孔により前記自由端がアンカ部分から接線方向に偏る基板上の点に接触することを特徴とする方法。
（３２）（３１）に記載の方法であって、前記孔が弾性部材内の縦溝であることを特徴とする方法。
（３３）（１７）に記載の方法であって、弾性部材の層に沿う固有応力プロファイルがアンカ点から自由端までの距離により変わるもので、コイル構造の曲率半径が前記アンカ点からの距離の関数として変わることを特徴とする方法。
（３４）（３３）に記載の方法であって、コイル構造の第一部分に沿う固有応力プロファイルが前記コイル構造の第二部分に沿う固有応力プロファイルよりも大きいもので、前記第一部分に沿う前記コイル構造の曲率半径が前記第二部分に沿う曲率半径より小さいことを特徴とする方法。
（３５）（１７）に記載の方法であって、アンダカットエッチングのステップが弾性部材の自由端の周りにリリース窓口をフォトリソグラフィによりパターン形成するステップ、および基板をエッチングするように調合されたエッチャントを弾性部材の自由部分が前記基板から解放される前記弾性部材の下に取入れるステップを含むことを特徴とする方法。
（３６）（３４）に記載の方法であって、弾性部材の層を堆積するステップは金属合金の複数の副層をスパッタ蒸着するステップを備えるもので、複数の副層の各々が種々の選択プラズマガス圧で蒸着され、各種々の選択プラズマガス圧が前記複数の副層の対応の一つ内に対応の種々のレベルの固有応力を作りだすことを特徴とする方法。
（３７）（３６）に記載の方法であって、最下部副層が固有圧縮応力を持ち、最下部副層の上の副層が最下部副層に対して漸増固有引張応力を持つことを特徴とする方法。
（３８）（１７）に記載の方法であって、自由端を半田付けにより基板に接続することを特徴とする方法。
（３９）（１７）に記載の方法であって、自由端をメッキにより基板に接続することを特徴とする方法。
（４０）立体コイル構造であって、基板、および前記基板に固定される第一アンカ部分、ループ巻線、および前記基板に接続される第二アンカ部分を含む弾性部材を備えるもので、前記ループ巻線が前記基板に実質的に平行な軸を持つことを特徴とする立体コイル構造。
（４１）（４０）に記載のコイル構造であって、第一アンカ部分が基板上の導体パッドに固定され、第二アンカパッドが前記基板上の導体パッドに接続されることを特徴とするコイル構造。
（４２）（２）又は（４０）に記載のコイル構造であって、第二アンカ部分が基板に半田付けされることを特徴とするコイル構造。
（４３）（３）又は（４０）記載のコイル構造であって、第二アンカ部分が基板にメッキされることを特徴とするコイル構造。
（４４）（４）又は（４０）に記載のコイル構造であって、弾性部材を導電性材料で形成することを特徴とするコイル構造。
（４５）（５）又は（４０）に記載のコイル構造であって、ループ巻線の内側面と外側面の少なくとも一方の一部分上に導電層を形成することを特徴とするコイル構造。
（４６）（６）又は（４０）に記載のコイル構造であって、第二アンカ部分を位置決めするためにサポートを基板に固定することを特徴とするコイル構造。
（４７）（４０）に記載のコイル構造であって、第二アンカ部分が第一アンカ部分から軸方向に偏ることを特徴とするコイル構造。
（４８）（４０）に記載のコイル構造であって、第二アンカ部分が第一アンカ部分から接線方向に偏ることを特徴とするコイル構造。
（４９）（４０）に記載のコイル構造であって、ループ巻線が複数の巻線を含み、且つ、第二アンカ部分が第一アンカ部分から軸方向に偏ることを特徴とするコイル構造。
（５０）（１），（１３），（４０）のいずれか１に記載のコイル構造であって、ループ巻線内に強磁性コアを軸方向に配置することを特徴とするコイル構造。
（５１）（５０）に記載のコイル構造であって、強磁性コアがエポキシ内に配置したフェライト微粒子を含むことを特徴とするコイル構造。
（５２）（１），（５），（５０）のいずれか１に記載のコイル構造であって、強磁性コアが電気メッキによるニッケル鉄パーマロイコアであることを特徴とするコイル構造。
（５３）立体マルチターンコイル構造であって、基板、および複数の弾性部材を備えるもので、各弾性部材は前記基板に固定される第一アンカ部分、前記基板に実質的に平行な軸を持つループ巻線、および前記基板に接続される第二アンカ部分を含み、前記弾性部材のループ巻線は互いに隣接して軸方向に配置され、前記複数の弾性部材の一つの前記第一アンカ部分が前記複数の弾性部材の隣接の一つの前記第二アンカ部分に接続されることを特徴とする立体マルチターンコイル構造。
（５４）（５）又は（５３）に記載のコイル構造であって、各弾性部材の第二アンカ部分を基板に半田付けすることを特徴とするコイル構造。
（５５）（５）又は（５３）に記載のコイル構造であって、各弾性部材の第二アンカ部分を基板にメッキすることを特徴とするコイル構造。
（５６）（５）又は（５３）に記載のコイル構造であって、弾性部材を導電性材料で形成することを特徴とするコイル構造。
（５７）（５）又は（５３）に記載のコイル構造であって、ループ巻線の各々の内側面と外側面の少なくとも一方の一部分上に導電層を形成することを特徴とするコイル構造。
（５８）（５）又は（５３）に記載のコイル構造であって、各弾性部材の第二アンカ部分が第一アンカ部分から軸方向に偏ることを特徴とするコイル構造。
（５９）（５）又は（５３）に記載のコイル構造であって、各弾性部材の第二アンカ部分が第一アンカ部分から接線方向に偏ることを特徴とするコイル構造。
（６０）（５）又は（５３）に記載のコイル構造であって、複数の弾性部材が基板に実質的に平行な軸に並ぶことを特徴とするコイル構造。
（６１）（５）又は（６０）に記載のコイル構造であって、前記軸が直線であることを特徴とするコイル構造。
（６２）（５）又は（６０）に記載のコイル構造であって、前記軸がループ形状であり、トロイダル形コイル構造を形成することを特徴とするコイル構造。