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【手続補正書】
【提出日】平成19年2月1日(2007.2.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上に絶縁層を介して形成されたパッド電極を被覆するように前記半導体基板の表面側に接着された支持体と、前記半導体基板の裏面から前記パッド電極の表面に到達するように形成されたビアホ−ルとを有する半導体装置において、前記半導体基板の裏面に近い部分のビアホ−ルの開口径よりも前記パッド電極の表面に近い部分のビアホ−ルの開口径が広いことを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記ビアホ−ルの側壁に絶縁層もしくは金属層が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記ビアホール内に中空部分を有して金属層が形成されていることを特徴とする請求項１、２のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記金属層は前記パッド電極の表面に接触し、前記半導体基板の裏面に延在していることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記半導体基板の裏面に延在した金属層上に導電端子が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記金属層は開口部が広いビアホール部分の側壁に接触していることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記ビアホール内の金属層の部分と前記半導体基板の裏面の金属層の部分が同一の製造工程で形成されたことを特徴とする請求項４に記載の半導体装置。
【請求項８】
表面と裏面を有し、表面と裏面を接続するビアホールを備えた半導体基板と、
前記ビアホールを被覆して前記半導体基板の表面に形成されたパッド電極と、
前記パッド電極を被覆して配置された支持体と、
前記ビアホールの側壁に形成された絶縁膜と、
前記ビアホール内の絶縁膜上に形成された金属層と、を備え、
前記ビアホールは前記半導体基板の表面から延びた第１の部分と前記半導体基板の裏面から延びた第２の部分を備え、第１の部分は第２の部分の側壁面より曲がって後退していることを特徴とする半導体装置。
【請求項９】
前記絶縁膜は前記ビアホールの第１の部分の側壁に沿って曲がっていることを特徴とする請求項８に記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記金属層は前記絶縁膜に沿って曲がっていることを特徴とする請求項９に記載の半導体装置。
【請求項１１】
前記第１の部分の側壁は、前記ビアホール内の金属層と前記半導体基板との接合性を向上させるために曲がっていることを特徴とする請求項８に記載の半導体装置。
【請求項１２】
前記第１の部分の側壁は、前記金属層の応力を緩和するために曲がっていることを特徴とする請求項８に記載の半導体装置。
【請求項１３】
半導体基板上に絶縁層を介して形成されたパッド電極と、前記半導体基板の裏面から前記パッド電極の表面に到達するように形成されたビアホ−ルとを有する半導体装置において、前記半導体基板の裏面に近い部分のビアホ−ルの開口径よりも前記パッド電極の表面に近い部分のビアホ−ルの開口径が広いことを特徴とする半導体装置。
【請求項１４】
表面と裏面を有し、表面と裏面を接続するビアホールを備えた半導体基板と、
前記ビアホールを被覆して前記半導体基板の表面に形成されたパッド電極と、
前記ビアホールの側壁に形成された絶縁膜と、
前記ビアホール内の絶縁膜上に形成された金属層と、を備え、
前記ビアホールは前記半導体基板の表面から延びた第１の部分と前記半導体基板の裏面から延びた第２の部分を備え、第１の部分は第２の部分の側壁面より曲がって後退していることを特徴とする半導体装置。
【請求項１５】
第１の面と第の２面を有し、第１の面と第２の面を接続するビアホールを備えたシリコン基板と、
前記ビアホールを被覆して前記半導体基板の表面に形成されたパッド電極と、
前記第１の面上に形成され、シリコンではない材料からなる層と、を備え、
前記ビアホールは第２の面よりも第１の面に近接して、後退部分を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項１６】
前記ビアホール内に配置された絶縁層または金属層を備えることを特徴とする請求項１５に記載の半導体装置。
【請求項１７】
前記ビアホール内に中空部分を有して金属層が形成されていることを特徴とする請求項１３、１４、１５、１６のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項１８】
半導体基板の表面に絶縁層を介して形成されたパッド電極を被覆するように前記半導体基板の表面側に支持体を接着する工程と、前記半導体基板の裏面から前記パッド電極の表面に到達するようにビアホ−ルを形成する工程とを有する半導体装置の製造方法において、
前記ビアホ−ルを形成する工程は、前記半導体基板に対して前記絶縁層が露出しない位置まで第１の開口を形成する工程と、前記半導体基板に対して前記第１の開口の開口径よりも広い開口径を有する第２の開口を前記絶縁層が露出する位置まで形成する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１９】
前記ビアホ−ルを形成する工程は、前記第２の開口から露出した前記絶縁層をエッチングして前記パッド電極を露出させる工程を含むことを特徴とする請求項１８に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項２０】
前記ビアホ−ルの側壁に絶縁層を形成する工程と、前記絶縁層上に金属層を形成する工程とを具備することを特徴とする請求項１８または１９に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項２１】
前記ビアホ−ルの側壁に絶縁層を形成する工程は、ビアホ−ルを含む半導体基板上に絶縁層を形成した後に、前記半導体基板上に形成したレジスト層をマスクにして前記パッド電極上の絶縁層を除去する工程であることを特徴とする請求項２０に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項２２】
前記パッド電極上の絶縁層を除去する工程は、前記レジスト層をマスクとして用いないエッチング工程であることを特徴とする請求項２１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項２３】
前記金属層に接続される導電端子を形成する工程を具備することを特徴とする請求項２０に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項２４】
前記金属層を形成する工程は、前記金属層をビアホール内に中空部分を有して形成する工程であることを特徴とする請求項２０に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項２５】
前記半導体基板を複数の半導体チツプに分割する工程を具備することを特徴とする請求項１８、１９、２０、２１、２２、２３、２４のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月15日(2007.2.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水素イオン伝導性高分子電解質膜と、前記高分子電解質膜を挟み、多孔質基材からなるガス拡散層および触媒層を有する一対の電極とを具備する膜・電極接合体であって、
前記多孔質基材における細孔分布が、少なくとも２つの分布中心を有し、
バブルポイント・ハーフドライ法により測定された前記細孔分布において、細孔径２００μｍ以下の細孔に対する細孔径４０μｍ以下の細孔が占める割合が３０％以上であり、かつ細孔径８０〜１００μｍの細孔が占める割合が４０％以上であり、
前記多孔質基材が織布からなり、前記織布を構成する糸の太さが１００〜２００μｍであり、かつ前記織布の目付量が６０〜９０ｇ／ｍ2であることを特徴とする膜・電極接合体。
【請求項２】
水素イオン伝導性高分子電解質膜と、前記高分子電解質膜を挟み、多孔質基材からなるガス拡散層および触媒層を有する一対の電極とを具備する膜・電極接合体であって、
前記多孔質基材における細孔分布が、少なくとも２つの分布中心を有し、
バブルポイント・ハーフドライ法により測定された前記細孔分布において、細孔径２００μｍ以下の細孔に対する細孔径４０μｍ以下の細孔が占める割合が３０％以上であり、かつ細孔径８０〜１００μｍの細孔が占める割合が４０％以上であり、
前記多孔質基材が不織布からなり、前記不織布の目付量が５０〜８０ｇ／ｍ2であり、かつ前記不織布の厚さが１００〜３００μｍであることを特徴とする膜・電極接合体。
【請求項３】
前記多孔質基材がフッ素樹脂を５〜３０重量％含有する請求項１または２記載の膜・電極接合体。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の膜・電極接合体、および前記膜・電極接合体を挟み、反応ガスを供給するガス流路を有する一対の導電性セパレータからなる単電池を複数個積層した電池積層体を具備する高分子電解質型燃料電池。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の膜・電極接合体は、水素イオン伝導性高分子電解質膜と、多孔質基材からなるガス拡散層および触媒層を有する一対の電極とを具備する膜・電極接合体であって、
前記多孔質基材における細孔分布が、少なくとも２つの分布中心を有し、
バブルポイント法（ＡＳＴＭ  Ｆ３１６−８６、ＪＩＳ Ｋ３８３２）を利用したバブルポイント・ハーフドライ法により測定された前記多孔質基材の細孔分布において、細孔径２００μｍ以下の細孔に対する細孔径４０μｍ以下の細孔が占める割合が３０％以上であり、かつ細孔径８０〜１００μｍの細孔が占める割合が４０％以上であり、
前記多孔質基材が織布からなり、前記織布を構成する糸の太さが１００〜２００μｍであり、かつ前記織布の目付量が６０〜９０ｇ／ｍ2であることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明の膜・電極接合体は、水素イオン伝導性高分子電解質膜と、多孔質基材からなるガス拡散層および触媒層を有する一対の電極とを具備する膜・電極接合体であって、
前記多孔質基材における細孔分布が、少なくとも２つの分布中心を有し、
バブルポイント法（ＡＳＴＭ  Ｆ３１６−８６、ＪＩＳ Ｋ３８３２）を利用したバブルポイント・ハーフドライ法により測定された前記多孔質基材の細孔分布において、細孔径２００μｍ以下の細孔に対する細孔径４０μｍ以下の細孔が占める割合が３０％以上であり、かつ細孔径８０〜１００μｍの細孔が占める割合が４０％以上であり、
前記多孔質基材が不織布からなり、前記不織布の目付量が５０〜８０ｇ／ｍ2であり、
かつ前記不織布の厚さが１００〜３００μｍであることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月16日(2007.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内面に蛍光体，ブラックマトリクス及び陽極を有する前面基板と、
複数の電子源を内面に有し、且つ前記前面基板と所定の間隔を有して対向配置された背面基板と、
前記前面基板と前記背面基板との間で表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持する枠体とを備え、
前記陽極に１３±３ｋＶの電圧が印加され、
前記陽極の背面上に、前記陽極に電子ビームが射突した際に発生する二次電子の再突入を低減させる二次電子抑制膜を設けたことを特徴とする画像表示装置。
【請求項２】
内面に蛍光体，ブラックマトリクス及び陽極を有する前面基板と、
複数の電子源を内面に有し、且つ前記前面基板と所定の間隔を有して対向配置された背面基板と、
前記前面基板と前記背面基板との間に表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持する枠体と、
前記前面基板と前記背面基板との間に植立挟持されて当該前面基板と背面基板とを所定の間隔に保持する間隔保持部材とを備え、
前記陽極に１３±３ｋＶの電圧が印加され、
前記陽極の背面上で前記間隔保持部材を避ける位置に前記陽極に電子ビームが射突した際に発生する二次電子の再突入を低減させる二次電子抑制膜を設けたことを特徴とする画像表示装置。
【請求項３】
前記二次電子抑制膜は、不連続膜で形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の画像表示装置。
【請求項４】
前記二次電子抑制膜は、少なくとも一層のカーボン膜で形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の画像表示装置。
【請求項５】
前記二次電子抑制膜は、カーボン膜と黒鉛膜との積層膜で形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の画像表示装置。
【請求項６】
前記二次電子抑制膜は、少なくとも一層のボロン膜で形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の画像表示装置。
【請求項７】
前記二次電子抑制膜は、ボロン膜と黒鉛膜との積層膜で形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の画像表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
この陰極配線ＣＬは、例えば銀などを含む導電性ペーストを印刷などによりパターニングし、焼成して形成される。また、これら陰極配線ＣＬの制御電極Ｇとの交差部分の上面（前面基板ＳＵＢ２側）に配置される陰極Ｋは、例えばＣＮＴ（カーボンナノチューブ）が用いられており、一例としてＡｇ−Ｂ−ＣＮＴペーストを印刷などによりパターニングさせ、焼成して形成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
さらに、背面パネルＰＮ１と前面パネルＰＮ２との間は、前面基板ＳＵＢ２と背面基板ＳＵＢ１との間に両基板間を所定間隔に保持する間隔保持部材ＳＰが植立挟持され、両者の内周縁に図示しない封止枠を介挿して貼り合わせて真空容器を形成し、その内部を真空状態にして構成される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
図６は、本発明による画像表示装置の他の実施例によるＦＥＤの構成を示す要部拡大断面図であり、前述の図と同一部分には同一符号を付しその説明は省略する。図６において、図５と異なる点は、前面基板ＳＵＢ２の内面に形成された陽極ＡＤＥの制御電極Ｇと対向する背面上の全面にはハレーション防止膜として二次電子を放出し難く、且つこの二次電子が陽極ＡＤＥに透過し難い程度の膜厚を有するアルミニウム膜ＡＬＰが例えばスパッタリング法などによりコーティングされている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
また、前述した実施例においては、ＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）パネルに適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）パネルを用いたディスプレイや受像機などに応用しても前述と全く同様の効果が得られることは勿論である。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月6日(2007.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
上記ＳＥＤにおいて、画像を表示する場合、蛍光体層にアノード電圧が印加され、電子放出素子から放出された電子ビームをアノード電圧により加速して蛍光体層へ衝突させることにより、蛍光体が発光して画像を表示する。実用的な表示特性を得るためには、通常の陰極線管と同様の蛍光体を用い、アノード電圧を数ｋＶ以上望ましくは５ｋＶ以上に設定することが必要となる。
【特許文献１】特開２００１−２７２９２７号公報
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
以下図面を参照しながら、この発明を、平面型画像表示装置としてのＳＥＤに適用した実施の形態について詳細に説明する。  
図１ないし図３に示すように、ＳＥＤは、それぞれ矩形状のガラス板からなる第１基板１０および第２基板１２を備え、これらの基板は約１．０〜２．０ｍｍの隙間をおいて対向配置されている。第１基板１０および第２基板１２は、ガラスからなる矩形枠状の側壁１４を介して周縁部同士が接合され、内部が真空に維持された扁平な真空外囲器１５を構成している。第１基板１０および第２基板１２の長辺と平行な方向を第１方向Ｘ、短辺と平行な方向を第２方向Ｙとした場合、ＳＥＤの有効表示領域は、第１方向Ｘが８００ｍｍ、第２方向Ｙが５００ｍｍの矩形状に形成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
第１基板１０の内面には蛍光面として機能する蛍光体スクリーン１６が形成されている。この蛍光体スクリーン１６は、赤、緑、青に発光する蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ（蛍光体層Ｇのみ図示する）、および遮光層１１を並べて構成され、これらの蛍光体層はストライプ状、ドット状あるいは矩形状に形成されている。蛍光体スクリーン１６上には、アルミニウム等からなるメタルバック１７およびゲッタ膜１９が順に形成されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
コート層２８は、二次電子放出係数が０．４〜２．０と低い材料、例えば、酸化クロムを含有している。このような低二次電子放出係数の材料は種々見出されているが、一般に自由電子を有する良導体に多く存在する。しかし、後述するように、ＳＥＤでは第１基板および第２基板間に１０ｋＶ程度の比較的高電圧が印加されるため、コート層として絶縁材料もしくは半導体などの比較的高抵抗材料を選択する必要がある。酸化クロムの体積抵抗値はおよそ１０５Ωcmと比較的高抵抗であり、かつ低二次電子放出係数の材料である。そして、スペーサ構体２２を構成している支持基板２４において、表面抵抗は１０７Ω以上であることが望ましい。そこで、本実施形態では、ガラスペーストと酸化クロムの粉末とを混合した複合材料によってコート層２８を形成することで、支持基板２４の表面抵抗値をマクロ的に上げ放電抑制効果を得ている。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月14日(2007.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１６】
ネットワーク網と、このネットワーク網に接続されたサーバコンピュータと、このネットワーク網に接続可能な複数のクライアントコンピュータと、を備えるコンピュータシステムについて、個々のユーザがクライアントコンピュータを利用してサーバコンピュータへアクセスする際のアクセス権を設定する方法であって、
個々のユーザに対して、クライアントコンピュータに接続して用いるための携帯可能情報処理装置を発行し、この携帯可能情報処理装置に、特定のクライアントコンピュータに記録されている識別コードであって当該特定のクライアントコンピュータを他のクライアントコンピュータと識別することが可能な固有の識別コードに対応する識別コードと、クライアントコンピュータを前記ネットワーク網の特定箇所に接続した場合に得られる特定のネットワーク環境を示す環境情報と、を記録しておく準備段階と、
ユーザが、自分に対して発行された所定の携帯可能情報処理装置を所定のクライアントコンピュータに接続し、前記所定のクライアントコンピュータに対する利用開始手続を行ったときに、前記所定のクライアントコンピュータもしくは前記所定の携帯可能情報処理装置によって、前記所定のクライアントコンピュータに記録されている識別コードと前記所定の携帯可能情報処理装置に記録されている識別コードとを照合させるとともに、前記所定のクライアントコンピュータの現在のネットワーク環境と前記所定の携帯可能情報処理装置に記録されている環境情報によって示されるネットワーク環境とを照合させ、これらの照合結果に基づいて所定のアクセス権を設定させるアクセス権設定段階と、
を有し、前記アクセス権設定段階において、識別コードの照合結果とネットワーク環境の照合結果との双方が一致した場合には第１のアクセス権を設定し、識別コードの照合結果は一致したがネットワーク環境の照合結果は一致しない場合には前記第１のアクセス権よりも制限事項の多い第２のアクセス権を設定し、いずれの照合結果も一致しなかった場合には前記第２のアクセス権よりも更に制限事項の多い第３のアクセス権を設定することを特徴とするコンピュータシステムにおけるアクセス権設定方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
(16)  本発明の第１６の態様は、ネットワーク網と、このネットワーク網に接続されたサーバコンピュータと、このネットワーク網に接続可能な複数のクライアントコンピュータと、を備えるコンピュータシステムについて、個々のユーザがクライアントコンピュータを利用してサーバコンピュータへアクセスする際のアクセス権を設定する方法において、
個々のユーザに対して、クライアントコンピュータに接続して用いるための携帯可能情報処理装置を発行し、この携帯可能情報処理装置に、特定のクライアントコンピュータに記録されている識別コードであって当該特定のクライアントコンピュータを他のクライアントコンピュータと識別することが可能な固有の識別コードに対応する識別コードと、クライアントコンピュータをネットワーク網の特定箇所に接続した場合に得られる特定のネットワーク環境を示す環境情報と、を記録しておく準備段階と、
ユーザが、自分に対して発行された所定の携帯可能情報処理装置を所定のクライアントコンピュータに接続し、当該所定のクライアントコンピュータに対する利用開始手続を行ったときに、当該所定のクライアントコンピュータもしくは当該所定の携帯可能情報処理装置によって、当該所定のクライアントコンピュータに記録されている識別コードと当該所定の携帯可能情報処理装置に記録されている識別コードとを照合させるとともに、当該所定のクライアントコンピュータの現在のネットワーク環境と当該所定の携帯可能情報処理装置に記録されている環境情報によって示されるネットワーク環境とを照合させ、これらの照合結果に基づいて所定のアクセス権を設定させるアクセス権設定段階と、
を行い、アクセス権設定段階において、識別コードの照合結果とネットワーク環境の照合結果との双方が一致した場合には第１のアクセス権を設定し、識別コードの照合結果は一致したがネットワーク環境の照合結果は一致しない場合には第１のアクセス権よりも制限事項の多い第２のアクセス権を設定し、いずれの照合結果も一致しなかった場合には第２のアクセス権よりも更に制限事項の多い第３のアクセス権を設定するようにしたものである。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月14日(2007.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
このような復元処理が実行されれば、データファイルＦ１，Ｆ２，Ｆ３は、再びデータ格納部１１０内に格納された状態となるので、ユーザ甲は、必要に応じて、これらのデータファイルをメモリ１３０上に展開させた上で、プログラム実行部１５０による更新処理を実行することができる。もちろん、ユーザ甲が再びログオフ手続を行えば、データファイルＦ１，Ｆ２，Ｆ３は、再び外部の記憶装置３００へと退避させられ、データ格納部１１０内からは削除されることになる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月1日(2007.2.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
まず、ステップＳ１８０１では、Ｗｅｂサーバへ接続中の通信端末から画像撮影コマンドを受信したか否かが判別される。図１７に示す画像表示例の場合、撮影ボタン１７０３がオンになると画像撮影コマンドが撮像装置へ送られる。画像撮影コマンドを受信した場合はステップＳ１８０２へ進み、処理が続けられ、画像撮影コマンドを受信しなかった場合は処理を終了する。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月15日(2007.2.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
標的部材にレーザーを照射してプラズマを生成し、前記プラズマから放射される光を取り出す光発生装置であって、
前記レーザーを前記標的部材に導光する第１の光学系と、
前記光を導光する第２の光学系と、
前記プラズマを生成するための前記レーザーの集光条件を変化させると共に、当該レーザーを前記第１の光学系及び／又は前記第２の光学系に付着したデブリに照射する手段とを有することを特徴とする光発生装置。
【請求項２】
真空中に置かれた標的部材に励起用レーザーを照射してプラズマを生成し、前記プラズマから放射される光を取り出す光発生装置であって、
前記励起用レーザーを前記標的部材に導光する光学系と、
前記励起用レーザーとは異なるレーザーを前記光学系に付着したデブリに照射する照射機構とを有することを特徴とする光発生装置。
【請求項３】
前記照射機構が照射する前記レーザーの集光条件を変化させる手段を更に有することを特徴とする請求項２記載の光発生装置。
【請求項４】
前記集光条件は、前記レーザーのエネルギー密度、前記レーザーの波長、前記レーザーのパルス幅、前記レーザーの照射時間及びそれらの組み合わせの一であることを特徴とする請求項１又は３記載の光発生装置。
【請求項５】
前記手段は、前記第１の光学系を構成する光学部材の位置及び／又は角度を変更する駆動機構を有することを特徴とする請求項１記載の光発生装置。
【請求項６】
前記手段は、前記照射機構が照射する前記レーザーを前記デブリに導光する光学部材の位置及び角度を変更する駆動機構を有することを特徴とする請求項３記載の光発生装置。
【請求項７】
前記手段は、前記レーザーの出力を変更することを特徴とする請求項１又は３記載の光発生装置。
【請求項８】
前記手段は、前記レーザーの位置及び／又は角度を変更する駆動機構を有することを特徴とする請求項１又は３記載の光発生装置。
【請求項９】
前記手段は、前記レーザーの光路内に光学部材を挿入することを特徴とする請求項１又は３記載の光発生装置。
【請求項１０】
前記第１の光学系の前記デブリが付着した位置と前記第２の光学系との間に配置され、前記第１の光学系から除去される前記デブリが前記第２の光学系に付着することを防止する保護部材を有することを特徴とする請求項１記載の光発生装置。
【請求項１１】
前記保護部材は、駆動可能であることを特徴とする請求項１０記載の光発生装置。
【請求項１２】
標的部材にレーザーを照射してプラズマを生成し、前記プラズマから放射される２０ｎｍ以下の波長を有する光と共に生成されるデブリを除去する除去方法であって、
前記レーザーを前記標的部材に導光する光学系に付着する前記デブリの量を検出するステップと、
前記検出ステップで検出された前記デブリの量が所定の量よりも大きい場合に、前記レーザーの集光条件を変更するステップと、
前記変更ステップで前記集光条件が変更された前記レーザーを前記デブリが付着した位置に照射するステップとを有することを特徴とする除去方法。
【請求項１３】
標的部材にレーザーを照射してプラズマを生成し、前記プラズマから放射される２０ｎｍ以下の波長を有する光と共に生成されるデブリを除去する除去方法であって、
前記レーザーの発光回数と前記レーザーを前記標的部材に導光する光学系に付着する前記デブリの量との関係を求めるステップと、
前記関係に基づいて、前記光学系に付着した前記デブリを除去するか判断するステップと、
前記判断ステップで前記光学系に付着した前記デブリを除去すると判断した場合に、前記レーザーの集光条件を変更するステップと、
前記変更ステップで変更した前記レーザーを前記光学系に付着した前記デブリに照射するステップとを有することを特徴とする除去方法。
【請求項１４】
レチクルに形成されたパターンを被処理体に露光する露光装置であって、
請求項１乃至１１のうちいずれか一項記載の光発生装置と、
前記光発生装置から取り出された光を用いて前記レチクルを照明する光学系とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項１５】
請求項１４記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体に所定のプロセスを行うステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
検出手段３００は、図１３に示すように、レーザー導入窓２４に付着したデブリＤＢの量を検出するための検出用レーザーを射出する検出用レーザー光源部３１０と、デブリＤＢを透過した検出用レーザーを検出する検出部３１２から構成してもよい。デブリＤＢが付着するとレーザー導入窓２４の透過率が低下するため、デブリＤＢが透過した検出用レーザーを検出することで付着したデブリＤＢの量を検出することができる。これにより、レーザー導入窓２４を透過する検出用レーザーが予め定めた透過率に達したらデブリＤＢの除去を行うことができる。ここで、図１３は、レーザー導入窓２４に付着したデブリＤＢを透過した透過光を検出する検出手段３００を有する光発生装置１の構成を示す概略ブロック図である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また、検出手段３００は、図１４に示すように、レーザー導入窓２４に付着したデブリＤＢの量を検出するための検出用レーザーを射出する検出用レーザー光源部３１０と、デブリＤＢで反射した検出用レーザーを検出する検出部３１４から構成してもよい。デブリＤＢが付着するとレーザー導入窓２４での反射光が増えるため、デブリＤＢで反射した検出用レーザーを検出することで付着したデブリＤＢの量を検出することができる。これにより、レーザー導入窓２４で反射する検出用レーザーが予め定めた量に達したらデブリＤＢの除去を行うことができる。ここで、図１４は、レーザー導入窓２４に付着したデブリＤＢで反射した反射光を検出する検出手段３００を有する光発生装置１の構成を示す概略ブロック図である。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月19日(2007.2.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの直交する方向で長さが異なる被照明面を照明する照明装置であって、
前記２つの直交する方向で長さが異なる発光部を形成する光源と、
前記発光部からの光束を前記２つの直交する方向に関し同じ角度で取り込む第１の光学系と、
前記第１の光学系からの光束で複数の二次光源を形成する反射型インテグレーターと、
前記複数の二次光源からの光束を前記被照明面に導く第２の光学系とを有し、
前記発光部の長手方向が前記被照明面の長手方向に対応し、前記発光部の短手方向が前記被照明面の短手方向に対応するように前記発光部を形成すると共に、前記反射型インテグレーターに入射する前記２つの直交する方向のヘルムホルツラグランジェの不変量を異ならせることを特徴とする照明装置。
【請求項２】
前記光源は前記発光部の長手方向に並んだ複数の位置でプラズマを生成することを特徴とする請求項１に記載の照明装置。
【請求項３】
２つの直交する方向で長さが異なる被照明面を照明する照明装置であって、
光束を射出する光源と、
前記光源からの光束を複数の離間した光束に分割する第１のミラーユニットと、
前記第１の光学系で分割された複数の光束を２つの直交する方向で長さが異なる断面形状の１つの光束となるように結合する第２のミラーユニットと、
前記第２のミラーからの光束で複数の二次光源を形成する反射型インテグレーターと、
前記第２のミラーで結合された光束の断面形状の長手方向が前記被照明面の長手方向に対応し、前記第２のミラーで結合された光束の断面形状の短手方向が前記被照明面の短手方向に対応するように前記第１のミラーと第２のミラーとを配置すると共に、前記反射型インテグレーターに入射する前記２つの直交する方向のヘルムホルツラグランジェの不変量を異ならせることを特徴とする照明装置。
【請求項４】
前記光束は、５ｎｍ乃至４０ｎｍの波長を有することを特徴とする請求項１記載の照明装置。
【請求項５】
レチクルのパターンで被処理体を露光する露光装置であって、
前記レチクルを照明する請求項１乃至４のうちいずれか一項記載の照明装置と、
前記レチクルのパターンを前記被処理体に投影する投影光学系とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項６】
請求項５記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
当該露光された被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の一側面としての照明装置は、２つの直交する方向で長さが異なる被照明面を照明する照明装置であって、前記２つの直交する方向で長さが異なる発光部を形成する光源と、前記発光部からの光束を前記２つの直交する方向に関し同じ角度で取り込む第１の光学系と、前記第１の光学系からの光束で複数の二次光源を形成する反射型インテグレーターと、前記複数の二次光源からの光束を前記被照明面に導く第２の光学系とを有し、前記発光部の長手方向が前記被照明面の長手方向に対応し、前記発光部の短手方向が前記被照明面の短手方向に対応するように前記発光部を形成すると共に、前記反射型インテグレーターに入射する前記２つの直交する方向のヘルムホルツラグランジェの不変量を異ならせることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月12日(2007.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の基板と、該両基板に固定され、両基板間に所定の空間を形成する枠部とを有する気密容器の製造方法であって、
上記枠部を形成するための枠材の少なくとも一部に張力を印加することで上記枠材を所定の形状に保持する工程と、
上記所定の形状を保持した状態で上記枠材を少なくとも一方の基板に接着する工程とを有することを特徴とする気密容器の製造方法。
【請求項２】
上記張力は、上記枠材の少なくとも一辺の長さ方向に印加される請求項１に記載の気密容器の製造方法。
【請求項３】
上記張力は、上記枠材の各辺の長さ方向に印加される請求項１に記載の気密容器の製造方法。
【請求項４】
上記張力は、上記枠材の一部の所定箇所の位置を規制する枠材位置規制部材によって印加される請求項１乃至３のいずれかに記載の気密容器の製造方法。
【請求項５】
２枚の基板と、該両基板に固定され、両基板間に所定の空間を形成する枠部とを有する気密容器の製造方法であって、
上記枠部を形成するための枠材の辺の両端部を、該枠材の位置を規制する枠材位置規制部材によって支持することにより所定の形状に保持する工程と、
上記所定の形状を保持した状態で、上記枠材を少なくとも一方の基板に接着する工程と、を有する気密容器の製造方法。
【請求項６】
上記接着する工程では、上記枠材と上記基板とを気密に接着する請求項１乃至５のいずれかに記載の気密容器の製造方法。
【請求項７】
上記枠材位置規制部材が、少なくとも一方の基板上に固定された、位置決め部材である請求項４もしくは５に記載の気密容器の製造方法。
【請求項８】
上記枠材位置規制部材が、上記枠材を一方の基板に固定する治具である請求項４もしくは５に記載の気密容器の製造方法。
【請求項９】
上記枠材が方形であり、四隅を枠材位置規制部材で支持する請求項４もしくは５に記載の気密容器の製造方法。
【請求項１０】
上記枠材が方形であり、一対の相対する２辺が他の２辺よりも高剛性を有する請求項１乃至８のいずれかに記載の気密容器の製造方法。
【請求項１１】
２枚の基板と、該両基板に固定され、両基板間に所定の空間を形成する枠部と、前記空間内に配置される表示素子と、を有する画像表示装置の製造方法であって、
上記枠部を形成するための枠材の少なくとも一部に張力を印加することで上記枠材を所定の形状に保持する工程と、
上記所定の形状を保持した状態で上記枠材を少なくとも一方の基板に接着する工程とを有する画像表示装置の製造方法。
【請求項１２】
２枚の基板と、該両基板に固定され、両基板間に所定の空間を形成する枠部と、前記空間内に配置される表示素子と、を有する画像表示装置の製造方法であって、
上記枠部を形成するための枠材の辺の両端部を、該枠材の位置を規制する枠材位置規制部材によって支持することにより所定の形状に保持する工程と、
上記所定の形状を保持した状態で、上記枠材を少なくとも一方の基板に接着する工程と、を有する画像表示装置の製造方法。
【請求項１３】
テレビジョン装置の製造方法であって、
請求項１１もしくは１２に記載の方法によって製造した画像表示装置に、テレビジョン放送信号を受信するチューナーを接続する工程を有するテレビジョン装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月19日(2006.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
前記一対の磁石のうちの一方の磁石は、前記板ばねのコの字形状部を通して配置されていることを特徴とする請求項３に記載のレンズ用のアクチュエータ。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月19日(2006.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
ところで、ＡＰＣを精度良く行うためには、フロントモニタ用の光検出器に入射する光量と実際に情報の記録再生に用いられる光量とが常に一定の割合であることが望ましい。通常、記録再生に用いられるレーザ光は、半導体レーザの活性層の界面に平行なＴＥ波の方向の直線偏光（以下ＴＥ偏光と称する。）である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
一方、フロントモニタ用の光検出器１３について、光検出器１３の受光部の開口効率を、ＦＦＰを考慮して、レーザ光について４．０％、自然発光成分について３．０％とする。ビームスプリッタ４ａの反射率はＰ偏光（＝ＴＥ偏光）で１０％、Ｓ偏光（＝ＴＭ偏光）で１００％であるから、記録時に光検出器１３で検出される光強度は、
（レーザ光（ＴＥ偏光））＋（自然発光成分（ＴＥ偏光））＋（自然発光成分（ＴＭ偏光））
＝（３３×４．０％×１０％）＋（０．９２×３．０％×１０％）＋（０．９２×３．０％×１００％）
＝０．１６［ｍＷ］となる。
また、再生時に光検出器１３で検出される光強度は同様に、
＝（３．３×４．０％×１０％）＋（０．７７×３．０％×１０％）＋（０．７７×３．０％×１００％）
＝０．０４［ｍＷ］となる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
このため、光情報記録媒体８に到達して実際に情報の記録再生に用いられる光量に対する光検出器１３で検出される光量の割合は、
記録時で、０．１７／４．５＝３．７％となり、
再生時で、０．０３／０．４５＝６．７％となり、
記録時と再生時とで割合が大きく異なってしまう。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2005235276.tif 000001
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2005235276.tif 000002
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2005235276.tif 000003
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2005235276.tif 000004
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2005235276.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月8日(2006.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数のトラックが形成されたテープ状記録媒体を走行しながら、互いに異なる記録フォーマットで記録された複数種類の情報データを再生する再生手段と、
前記複数種類の情報データの記録フォーマットにそれぞれ対応した処理システムにより、前記再生手段により再生された情報データを処理するデータ処理手段と、
前記再生手段により再生された情報データの記録フォーマットを検出するフォーマット検出手段と、
前記フォーマット検出手段の出力に基づいて前記再生手段により再生された情報データの記録フォーマットの切り替わりを検出し、前記記録フォーマットの切り替わりに応じて前記テープ状記録媒体の走行を停止すると共に、前記データ処理手段を前記切り替わり後の情報データの記録フォーマットに応じた処理システムに切り替える制御手段とを備える再生装置。
【請求項２】
前記制御手段は更に、前記記録フォーマットの切り替わり部分のトラック位置を検出し、前記制御手段は前記記録フォーマットの切り替わりに応じて前記テープ状記録媒体を停止した後、前記検出した切り替わり部分のトラック位置まで前記テープ状記録媒体を巻き戻すよう前記再生手段による前記テープ状記録媒体の走行を制御することを特徴とする請求項１記載の再生装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記処理システムの切り替えの完了に応じて、再び前記テープ状記録媒体の走行を開始して前記情報データの再生を開始するよう前記再生手段を制御することを特徴とする請求項１または２に記載の再生装置。
【請求項４】
前記処理システムは前記情報データを記憶するメモリを有し、前記制御手段は前記情報データの記録フォーマットに応じて前記メモリの記憶領域の割り当てを変更することを特徴とする請求項１記載の再生装置。
【請求項５】
前記処理システムは前記情報データに対してエラー訂正復号処理を施すエラー訂正処理手段を含み、前記制御手段は前記情報データの記録フォーマットに応じて前記エラー訂正処理手段によるエラー訂正復号処理を変更することを特徴とする請求項１記載の再生装置。
【請求項６】
前記エラー訂正処理手段は、１トラックから再生された前記情報データ毎にエラー訂正復号処理を行う第１の訂正処理と、所定数のトラックから再生された前記情報データ毎にエラー訂正復号処理を行う第２の訂正処理を選択的に行うことを特徴とする請求項５記載の再生装置。
【請求項７】
前記情報データは、それぞれ前記記録フォーマット毎に決められた所定量のデータと同期データ及びＩＤデータからなる複数の同期ブロックからなり、前記処理システムは前記再生された情報データから前記同期ブロックを検出する同期検出手段を含み、前記制御手段は前記情報データの記録フォーマットに応じて前記同期検出手段による検出処理を変更することを特徴とする請求項１記載の再生装置。
【請求項８】
前記情報データは画面内符号化のみを用いて符号化された第１のフォーマットの画像データと、画面間予測符号化を用いて符号化された第２のフォーマットの画像データとを含み、前記処理システムは前記第１のフォーマットの画像データと前記第２のフォーマットの画像データをそれぞれ復号する復号手段を含み、前記制御手段は前記画像データのフォーマットに応じて前記復号手段による復号処理を変更することを特徴とする請求項１記載の再生装置。
【請求項９】
前記制御手段は更に、前記情報データの記録フォーマットの切り替わりに応じて、前記処理システムの変更中を示す情報を表示装置に表示することを特徴とする請求項１記載の再生装置。
【請求項１０】
多数のトラックが形成されたテープ状記録媒体を走行しながら、互いに異なる記録フォーマットで記録された複数種類の情報データを再生する再生手段と、
前記再生手段により再生された情報データに対し、それぞれ前記記録フォーマットに対応した処理を施す処理手段と、
前記再生手段により再生された情報データの記録フォーマットの切り替わりに応じて前記テープ状記録媒体の走行を停止する制御手段とを備える再生装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月17日(2006.11.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学的情報記録媒体にスポット光を照射すると共に、前記記録媒体からの反射光を受光して、情報を記録し或いは記録情報の再生を行う光学的情報記録再生装置において、
前記記録媒体による反射光に基づいてサーボエラーを生成する手段と、前記サーボエラーに基づいてスポット光のサーボ制御を行う手段と、前記記録媒体からの再生信号の品位を示す再生指標を検出する手段と、前記サーボ制御又は情報の記録／再生に関するパラメータを変化させた時の再生指標に基づいて、前記サーボ制御又は情報の記録／再生に関するパラメータを調整する手段と、前記パラメータ調整中に振動或いは前記記録媒体の傷を検出する手段と、前記振動或いは記録媒体の傷が検出された場合の再生指標を無効にする手段とを備え、前記調整手段は前記無効とされた再生指標を除いた再生指標で前記パラメータの調整を行うことを特徴とする光学的情報記録再生装置。
【請求項２】
前記調整手段は、前記サーボ制御又は記録／再生に関するパラメータを段階的に変化させて、各段階における再生指標を検出し、前記無効手段は前記検出手段により振動或いは記録媒体の傷が検出された時の各段階における再生指標を無効にすることを特徴とする請求項１に記載の光学的情報記録再生装置。
【請求項３】
前記振動或いは記録媒体の傷を検出する手段は、前記サーボエラーの信号レベルに基づいて信号レベルが所定値以上または所定値以下の時に振動或いは記録媒体の傷を検出することを特徴とする請求項１に記載の光学的情報記録再生装置。
【請求項４】
前記サーボエラー信号は、フォーカスエラー信号、トラッキングエラー信号、又は対物レンズのレンズポジション信号であることを特徴とする請求項３に記載の光学的情報記録再生装置。
【請求項５】
前記調整手段は、各段階において再生指標を所定回数検出し、前記再生指標を無効にする手段は、振動や記録媒体の傷が検出された場合、前記各段階において検出された複数の再生指標のうち振動や記録媒体の傷が検出されている間に検出された再生指標のみを無効とすることを特徴とする請求項２に記載の光学的情報記録再生装置。
【請求項６】
前記サーボ制御のパラメータは、フォーカスサーボ制御に印加されるオフセットであることを特徴とする請求項１に記載の光学的情報記録再生装置。
【請求項７】
前記情報の記録／再生に関するパラメータは、記録時のレーザパワー、再生時のレーザパワー、球面収差補正量の少なくとも一つであることを特徴とする請求項１に記載の光学的情報記録再生装置。
【請求項８】
前記再生指標は、再生信号振幅、再生信号のジッター、再生信号のエラーレート、又はトラッキングエラー信号のいずれか一つであることを特徴とする請求項１に記載の光学的情報記録再生装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明は、上記目的を達成するため、光学的情報記録媒体にスポット光を照射すると共に、前記記録媒体からの反射光を受光して、情報を記録し或いは記録情報の再生を行う光学的情報記録再生装置において、前記記録媒体による反射光に基づいてサーボエラーを生成する手段と、前記サーボエラーに基づいてスポット光のサーボ制御を行う手段と、前記記録媒体からの再生信号の品位を示す再生指標を検出する手段と、前記サーボ制御又は情報の記録／再生に関するパラメータを変化させた時の再生指標に基づいて、前記サーボ制御又は情報の記録／再生に関するパラメータを調整する手段と、前記パラメータ調整中に振動或いは前記記録媒体の傷を検出する手段と、前記振動或いは記録媒体の傷が検出された場合の再生指標を無効にする手段とを備え、前記調整手段は前記無効とされた再生指標を除いた再生指標で前記パラメータの調整を行うことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月22日(2007.3.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の表示装置によって全体映像を表示する際に用いるマルチ画面映像再生装置であって、
前記複数の表示装置のうちの少なくとも一つの表示装置の状態に関する情報を取得する機能と、前記取得した表示装置の状態に関する情報を出力する機能と、を有する複数の描画ユニットと、
前記描画ユニットから出力された前記表示装置の状態に関する情報を取得する機能と、前記取得した表示装置の状態に関する情報に基づく表示を行う機能と、を有する制御端末と、
を有することを特徴とするマルチ画面映像再生装置。
【請求項２】
請求項１記載のマルチ画面映像再生装置において、
前記表示装置の状態に関する情報は、当該表示装置の電源のオン又はオフの状態、当該表示装置によって表示される画像の表示位置の状態、前記画像のコントラストの状態、前記画像の色合いの状態、当該表示装置の光学系の状態、のうちの少なくともいずれか一つの状態に関する情報であることを特徴とするマルチ画面映像再生装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のマルチ画面映像再生装置において、
前記制御端末は、
前記表示装置の状態の制御を指示する表示端末制御指示を受け付ける機能と、当該受け付けた表示端末制御指示に対応した表示装置制御情報を生成する機能と、当該生成した表示装置制御情報を前記複数の描画ユニットのすべてまたは指定した描画ユニットに対し配信する機能と、を有し、
前記複数の描画ユニットは、
前記配信された表示装置制御情報に基づいて、前記表示装置の状態の制御を行うコマンドを生成する機能と、当該生成したコマンドを前記表示装置に出力する機能と、
を有することを特徴とするマルチ画面映像再生装置。
【請求項４】
請求項３に記載のマルチ画面映像再生装置において、
前記複数の描画ユニットは、前記表示装置の状態に関する情報を記憶する記憶手段を有し、
前記表示端末制御情報に基づいて、前記記憶手段に前記表示装置の状態に関する情報を記憶する機能と、
を有することを特徴とするマルチ画面映像再生装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載のマルチ画面映像再生装置において、
前記制御端末と、前記複数の描画ユニットとは、双方向通信が可能なネットワークによって接続されていることを特徴とするマルチ画面映像再生装置。
【請求項６】
複数の表示装置によって全体映像を表示する際に用いるマルチ画面映像再生装置であって、
前記複数の表示装置うちの第１の表示装置に対してなされた操作に基づいて制御情報を生成する機能と、当該生成した制御情報を出力する機能と、を有する第１の描画ユニットと、
前記第１の描画ユニットから出力された制御情報を受信する機能と、当該受信した制御情報に基づいて、前記複数の表示装置のうちの前記第１の表示装置とは異なる第２の表示装置に対して前記操作と同じ操作を実行させる制御情報を出力する機能と、を有する第２の描画ユニットと、
を有することを特徴とするマルチ画面映像再生装置。
【請求項７】
請求項６記載のマルチ画面映像再生装置において、
前記第１の描画ユニットは、一斉同報通信によって前記制御情報を出力することを特徴とするマルチ画面映像再生装置。
【請求項８】
請求項６または７記載のマルチ画面映像再生装置において、
前記第１の描画ユニットと、前記第２の描画ユニットとは、双方向通信可能なネットワークによって接続されることを特徴とするマルチ画面映像再生装置。
【請求項９】
請求項１から５のいずれかに記載のマルチ画面映像再生装置において、
前記制御端末は、前記複数の表示装置で映像データの同期を取って当該映像データを表示可能とする表示タイミング情報の生成および配信が可能な機能を有することを特徴とするマルチ画面映像再生装置。
【請求項１０】
請求項９記載のマルチ画面映像再生装置において、
前記表示タイミング情報は、前記表示装置制御情報が伝送されるネットワークを用いて一斉同報通信により配信することを特徴とするマルチ画面映像再生装置。
【請求項１１】
請求項３に記載のマルチ画面映像再生装置において、
前記制御端末は、前記表示装置で表示すべき映像データの生成および配信が可能な機能を有することを特徴とするマルチ画面映像再生装置。
【請求項１２】
請求項１１記載のマルチ画面映像再生装置において、
前記表示装置制御情報が伝送されるネットワークとは別のネットワークを用いて、前記映像データを配信することを特徴とするマルチ画面映像再生装置。
【請求項１３】
請求項１１または１２記載のマルチ画面映像再生装置において、
前記表示装置制御情報は、表示すべき映像データの内容に応じた前記表示装置の状態を設定可能とする制御情報を含むことを特徴とするマルチ画面映像再生装置。
【請求項１４】
複数の描画ユニットと制御端末とを有するマルチ画面映像再生装置の表示装置制御方法であって、
前記複数の描画ユニットのうちの各描画ユニットが、全体映像を表示する際に用いられる複数の表示装置うちの少なくともいずれか一つの表示装置の状態に関する情報を取得するステップと、
前記各描画ユニットが、前記取得した表示装置の状態に関する情報を出力するステップと、
前記制御端末が、前記描画ユニットから出力された前記表示装置の状態に関する情報を取得するステップと、
前記制御端末が、前記取得した表示装置の状態を表示するステップと、
を有することを特徴とするマルチ画面映像再生装置の表示装置制御方法。
【請求項１５】
第１および第２の描画ユニットを有するマルチ画面映像再生装置の表示装置制御方法であって、
前記第１の描画ユニットが、複数の表示装置によって全体映像を表示する際に用いられる複数の表示装置のうちの前記第１の表示装置に対してなされた操作に基づいて制御情報を生成するステップと、
前記第１の描画ユニットが、前記生成した制御情報を出力するステップと、
前記第２の描画ユニットが、前記第１の描画ユニットから出力された制御情報を受信するステップと、
前記第２の描画ユニットが、受信した前記制御情報に基づいて、前記複数の表示装置のうちの前記第１の表示装置とは異なる前記第２の表示装置に対し、前記操作と同じ操作を実行させる制御情報を出力するステップと、
を有することを特徴とするマルチ画面映像再生装置の表示装置制御方法。