【手続補正書】
【提出日】平成19年5月25日(2007.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】加速度センサ
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の半導体基板、該第１の半導体基板上に形成される第１の層、及び該第１の層上に形成される第２の半導体基板を有する積層基板に形成される加速度センサであって、
前記第２の半導体基板に形成され、矩形状の上面を有する錘固定部と、
前記第２の半導体基板に形成され、前記錘固定部を離間して囲む周辺固定部と、
前記第２の半導体基板に形成され、前記錘固定部と前記周辺固定部とを可撓的に接続する梁部と、
前記第１の層に形成され、該錘固定部に接続される第１の接続部と、
前記第１の層に形成され、前記第１の接続部を離間して囲み、前記周辺固定部に接続される第２の接続部と、
前記第１の半導体基板に形成される錘部であって、前記錘固定部と同形状の上面を有し、前記第１の接続部を介して該錘固定部に接続される中心質量部と、該中心質量部からそれぞれ延在する複数の周辺質量部とにより構成される該錘部と、
前記第１の半導体基板に形成され、前記第２の接続部を介して前記周辺固定部に接続され、前記錘部を離間して囲う台座部と、
前記第３の半導体基板に形成され、前記錘部の変位を制限するために前記周辺質量部を一定の間隔をおいて覆うように配置したストッパと、
を備えたことを特徴とする加速度センサ。
【請求項２】
第１の半導体基板、該第１の半導体基板上に形成される第１の層、及び該第１の層上に形成される第２の半導体基板を有する積層基板に形成される加速度センサであって、
前記第２の半導体基板に形成され、矩形状の水平方向の断面を有する錘固定部と、
前記第２の半導体基板に形成され、前記錘固定部を離間して囲む周辺固定部と、
前記第２の半導体基板に形成され、前記錘固定部と前記周辺固定部とを可撓的に接続する梁部と、
前記第１の層に形成され、前記錘固定部に接続される第１の接続部と、
前記第１の層に形成され、前記第１の接続部を離間して囲み、前記周辺固定部に接続される第２の接続部と、
前記第１の半導体基板に形成され、前記錘固定部と同形状の水平方向の断面を有する中心質量部と、該中心質量部からそれぞれ延在する複数の周辺質量部とにより構成される錘部であって、前記中心質量部においてのみ前記第１の接続部を介して前記錘固定部に接続される該錘部と、
前記第１の半導体基板に形成され、前記第２の接続部を介して前記周辺固定部に接続され、前記錘部を離間して囲う台座部と、
前記第２の半導体基板に形成され、前記錘部の変位を制限するために前記周辺質量部を一定の間隔をおいて覆うように配置したストッパと、
を備えたことを特徴とする加速度センサ。
【請求項３】
方形状の錘固定部、該錘固定部の周辺に配置された周辺固定部、該錘固定部を該周辺固定部に可撓的に接続する梁部、及び錘部の変位を制限するストッパを一体に形成した基板と、
前記錘固定部と同形状であって第１の接続部を介して該錘固定部に接続される中央質量部、及び該中央質量部からそれぞれ延在される複数の周辺質量部からなる錘部と、
前記錘部の周辺に所定の間隙を介して配置され、前記第１の接続部と同じ層により形成された第２の接続部を介して前記周辺固定部に接続される台座部と、を有し、
前記ストッパは、前記周辺錘部を離間して覆う位置に形成されたことを特徴とする加速度センサ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載の加速度センサにおいて、前記錘部の厚さは前記台座部の厚さよりも薄く形成されたことを特徴とする加速度センサ。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載の加速度センサにおいて、前記ストッパの表面、または該ストッパから前記周辺固定部の表面にわたって補強材を設けたことを特徴とする加速度センサ。
【請求項６】
請求項５に記載の加速度センサにおいて、前記補強材は、前記歪検出素子の電気的出力の取り出しに用いる金属配線と同一の材料で構成したことを特徴とする加速度センサ。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか１つに記載の加速度センサにおいて、前記第１の接続部及び前記第２の接続部の厚さは前記錘部の許容変位量に設定されることを特徴とする加速度センサ。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか１つに記載の加速度センサにおいて、前記錘部の厚さは前記台座部の厚さより許容変位量だけ薄く形成されることを特徴とする加速度センサ。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか１つに記載の加速度センサにおいて、前記周辺質量部は前記中心質量部の四隅より延在し、
前記梁部は錘固定部の四辺の中央にそれぞれ接続されることを特徴とする加速度センサ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＸＹＺの３軸方向の加速度を検出するための加速度センサ、特に過大な加速度による破壊防止技術に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の加速度センサは、第１の半導体基板、該第１の半導体基板上に形成される第１の層、及び該第１の層上に形成される第２の半導体基板を有する積層基板に形成される加速度センサであって、前記第２の半導体基板に形成され、矩形状の上面を有する錘固定部と、前記第２の半導体基板に形成され、前記錘固定部を離間して囲む周辺固定部と、前記第２の半導体基板に形成され、前記錘固定部と前記周辺固定部とを可撓的に接続する梁部と、前記第１の層に形成され、該錘固定部に接続される第１の接続部と、前記第１の層に形成され、前記第１の接続部を離間して囲み、前記周辺固定部に接続される第２の接続部と、前記第１の半導体基板に形成される錘部であって、前記錘固定部と同形状の上面を有し、前記第１の接続部を介して該錘固定部に接続される中心質量部と、該中心質量部からそれぞれ延在する複数の周辺質量部とにより構成される該錘部と、前記第１の半導体基板に形成され、前記第２の接続部を介して前記周辺固定部に接続され、前記錘部を離間して囲う台座部と、前記第３の半導体基板に形成され、前記錘部の変位を制限するために前記周辺質量部を一定の間隔をおいて覆うように配置したストッパと、を備えている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の他の加速度センサは、第１の半導体基板、該第１の半導体基板上に形成される第１の層、及び該第１の層上に形成される第２の半導体基板を有する積層基板に形成される加速度センサであって、前記第２の半導体基板に形成され、矩形状の水平方向の断面を有する錘固定部と、前記第２の半導体基板に形成され、前記錘固定部を離間して囲む周辺固定部と、前記第２の半導体基板に形成され、前記錘固定部と前記周辺固定部とを可撓的に接続する梁部と、前記第１の層に形成され、前記錘固定部に接続される第１の接続部と、前記第１の層に形成され、前記第１の接続部を離間して囲み、前記周辺固定部に接続される第２の接続部と、錘部と、台座部と、ストッパとを備えている。
ここで、前記錘部は、前記第１の半導体基板に形成され、前記錘固定部と同形状の水平方向の断面を有する中心質量部と、該中心質量部からそれぞれ延在する複数の周辺質量部とにより構成され、前記中心質量部においてのみ前記第１の接続部を介して前記錘固定部に接続されるものである。前記台座部は、前記第１の半導体基板に形成され、前記第２の接続部を介して前記周辺固定部に接続され、前記錘部を離間して囲うものである。更に、前記ストッパは、前記第２の半導体基板に形成され、前記錘部の変位を制限するために前記周辺質量部を一定の間隔をおいて覆うように配置したものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の更に他の加速度センサは、方形状の錘固定部、該錘固定部の周辺に配置された周辺固定部、該錘固定部を該周辺固定部に可撓的に接続する梁部、及び錘部の変位を制限するストッパを一体に形成した基板と、前記錘固定部と同形状であって第１の接続部を介して該錘固定部に接続される中央質量部、及び該中央質量部からそれぞれ延在される複数の周辺質量部からなる錘部と、前記錘部の周辺に所定の間隙を介して配置され、前記第１の接続部と同じ層により形成された第２の接続部を介して前記周辺固定部に接続される台座部と、を有している。そして、前記ストッパは、前記周辺錘部を離間して覆う位置に形成されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明によれば、錘部の変位を制限するストッパを有しているので、容器側への変位のみならず、この容器とは反対側への変位量を制限することが可能になり、過大な加速度による破壊を防止することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
また、ストッパを補強するための補強材を設けた場合には、そのストッパの損傷も防止することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】削除
【補正の内容】