【手続補正書】
【提出日】平成19年6月14日(2007.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜が形成され、測定対象面を少なくとも２つ有している試料に対して対物レンズを介したスポット光を照射させると共に、前記試料と対物レンズとを光軸上で相対的に移動させつつ、前記試料からの反射光を光検出手段で検出し、
前記光検出手段の検出出力の変化から測定対象面を検出することで、前記試料上に形成された薄膜の厚さを測定する膜厚測定装置において、
前記試料と対物レンズの相対的移動位置と前記検出出力との関係に対して、測定条件より導き出せる位置と出力との理想の関係を用いてフィッティング処理を実行するフィッティング処理手段と、
このフィッティング処理手段によりフィッティング処理された前記試料と対物レンズの相対的移動位置と前記検出出力との関係から該検出出力のピーク位置を特定するピーク位置特定手段と
を具備したことを特徴とする膜厚測定装置。
【請求項２】
前記フィッティング処理手段は、
測定条件として前記対物レンズの倍率に応じた試料と対物レンズの相対的移動位置と検出出力により導き出した理想曲線に基づいてフィッティング処理を実行することを特徴とする請求項１記載の膜厚測定装置。
【請求項３】
前記フィッティング処理手段は、前記試料と対物レンズの相対的移動位置と前記検出出力との関係を表すＩ−Ｚカーブが区分けされた各測定データ間で、フィッティング処理を実行することを特徴とする請求項１記載の膜厚測定装置。
【請求項４】
薄膜が形成され、測定対象面を少なくとも２つ有している試料に対して対物レンズを介したスポット光を照射させると共に、前記試料と対物レンズとを光軸上で相対的に移動させつつ、前記試料からの反射光を光検出手段で検出し、
前記光検出手段の検出出力の変化から測定対象面を検出することで、前記試料上に形成された薄膜の厚さを測定する膜厚測定方法において、
前記試料と対物レンズの相対的移動位置と前記検出出力との関係に対して、測定条件より導き出せる位置と出力との理想の関係を用いてフィッティング処理を実行し、
このフィッティング処理された前記試料と対物レンズの相対的移動位置と前記検出出力との関係から該検出出力のピーク位置を特定することを特徴とする膜厚測定方法。
【請求項５】
前記フィッティング処理は、
測定条件として前記対物レンズの倍率に応じた試料と対物レンズの相対的移動位置と検出出力により導き出した理想曲線に基づいて実行することを特徴とする請求項４記載の膜厚測定方法。
【請求項６】
前記フィッティング処理は、前記試料と対物レンズの相対的移動位置と前記検出出力との関係を表すＩ−Ｚカーブが区分けされた各測定データ間で実行することを特徴とする請求項４記載の膜厚測定装置。
【請求項７】
薄膜が形成され、測定対象面を少なくとも２つ有している試料に対して対物レンズを介したスポット光を照射させると共に、前記試料と対物レンズとを光軸上で相対的に移動させつつ、前記試料からの反射光を光検出手段で検出し、
前記光検出手段の検出出力の変化から測定対象面を検出することで、前記試料上に形成された薄膜の厚さを測定するようにした膜厚測定のためのプログラムを記録した膜厚測定方法において、
前記試料と対物レンズの相対的移動位置と前記検出出力との関係に対して、測定条件より導き出せる位置と出力との理想の関係を用いてフィッティング処理を実行し、
このフィッティング処理された前記試料と対物レンズの相対的移動位置と前記検出出力との関係から該検出出力のピーク位置を特定することを特徴とする膜厚測定のためのプログラムを記録した記録媒体。
【請求項８】
前記フィッティング処理は、
測定条件として前記対物レンズの倍率に応じた試料と対物レンズの相対的移動位置と検出出力により導き出した理想曲線に基づいて実行することを特徴とする請求項７記載の膜厚測定のためのプログラムを記録した記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記フィッティング処理手段は、測定条件として前記対物レンズの倍率に応じた試料と対物レンズの相対的移動位置と検出出力により導き出した理想曲線に基づいてフィッティング処理を実行することを特徴としている。
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記フィッティング処理手段は、前記試料と対物レンズの相対的移動位置と前記検出出力との関係を表すＩ−Ｚカーブが区分けされた各測定データ間で、フィッティング処理を実行することを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項４記載の発明は、薄膜が形成され、測定対象面を少なくとも２つ有している試料に対して対物レンズを介したスポット光を照射させると共に、前記試料と対物レンズとを光軸上で相対的に移動させつつ、前記試料からの反射光を光検出手段で検出し、前記光検出手段の検出出力の変化から測定対象面を検出することで、前記試料上に形成された薄膜の厚さを測定する膜厚測定方法において、前記試料と対物レンズの相対的移動位置と前記検出出力との関係に対して、測定条件より導き出せる位置と出力との理想の関係を用いてフィッティング処理を実行し、このフィッティング処理された前記試料と対物レンズの相対的移動位置と前記検出出力との関係から該検出出力のピーク位置を特定することを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の発明において、前記フィッティング処理は、測定条件として前記対物レンズの倍率に応じた試料と対物レンズの相対的移動位置と検出出力により導き出した理想曲線に基づいて実行することを特徴としている。
請求項６記載の発明は、請求項４記載の発明において、前記フィッティング処理は、前記試料と対物レンズの相対的移動位置と前記検出出力との関係を表すＩ−Ｚカーブが区分けされた各測定データ間で実行することを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項７記載の発明は、薄膜が形成され、測定対象面を少なくとも２つ有している試料に対して対物レンズを介したスポット光を照射させると共に、前記試料と対物レンズとを光軸上で相対的に移動させつつ、前記試料からの反射光を光検出手段で検出し、前記光検出手段の検出出力の変化から測定対象面を検出することで、前記試料上に形成された薄膜の厚さを測定するようにした膜厚測定のためのプログラムを記録した膜厚測定方法において、前記試料と対物レンズの相対的移動位置と前記検出出力との関係に対して、測定条件より導き出せる位置と出力との理想の関係を用いてフィッティング処理を実行し、このフィッティング処理された前記試料と対物レンズの相対的移動位置と前記検出出力との関係から該検出出力のピーク位置を特定することを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項８記載の発明は、請求項７記載の発明において、前記フィッティング処理は、測定条件として前記対物レンズの倍率に応じた試料と対物レンズの相対的移動位置と検出出力により導き出した理想曲線に基づいて実行することを特徴としている。