【手続補正書】
【提出日】平成19年10月9日(2007.10.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御対象を支持する可動軸と、前記可動軸を揺動自在に支持する支持機構と、前記可動軸をその軸線と直交する第１の軸を中心として揺動させる第１の磁気駆動機構と、前記可動軸をその軸線と第１の軸の双方に直交する第２の軸を中心として揺動させる第２の磁気駆動機構とを有する２軸型アクチュエータにおいて、
前記第１の磁気駆動機構と前記第２の磁気駆動機構は、コイルに流れる電流と磁石から発せられる磁界とで、前記コイルと前記磁石との間に電磁力を作用させて、前記可動軸を揺動させるものであり、
前記可動軸の傾き角度を規制するストッパが設けられていることを特徴とする２軸型アクチュエータ。
【請求項２】
可動部には、前記可動軸の軸線に沿って形成された穴が設けられ、固定部に設けられた前記ストッパが、前記穴内に挿入されて、前記可動軸の傾きが規制されている請求項１記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項３】
前記ストッパによって、前記コイルと前記磁石が当たらないように、前記可動軸が規制される請求項１または２記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項４】
固定部には円筒状のコイルが、可動部には前記コイルの内部に入る磁石が設けられている請求項２記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項５】
前記支持機構は、前記可動軸を前記第１の軸回りに揺動自在に支持する可動リングと、前記可動リングを前記第２の軸回りに揺動自在支持する固定ベースと、を有する請求項１ないし４のいずれかに記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項６】
前記支持機構は、前記可動軸と前記可動リングとの間、および前記可動リングと固定ベースとの間に、回転を許容する小球を有する請求項５記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項７】
少なくとも所定のレーザ光を射出する光源と、前記レーザ光を平行光に変換するコリメータレンズと、前記請求項１ないし６のいずれかに記載の２軸型アクチュエータと、前記２軸型アクチュエータの可動軸に設けられて前記平行光を参照光として光記録媒体に向けて反射する反射ミラーと、前記光記録媒体から出力される回折光を検知する光検知器と、が設けられていることを特徴とするホログラフィー装置。
【請求項８】
前記反射ミラーは、前記基準軸に対するミラー面のなす角度θが０度＜θ＜９０度の範囲で予め傾斜させられている請求項７記載のホログラフィー装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、制御対象を支持する可動軸と、前記可動軸を揺動自在に支持する支持機構と、前記可動軸をその軸線と直交する第１の軸を中心として揺動させる第１の磁気駆動機構と、前記可動軸をその軸線と第１の軸の双方に直交する第２の軸を中心として揺動させる第２の磁気駆動機構とを有する２軸型アクチュエータにおいて、
前記第１の磁気駆動機構と前記第２の磁気駆動機構は、コイルに流れる電流と磁石から発せられる磁界とで、前記コイルと前記磁石との間に電磁力を作用させて、前記可動軸を揺動させるものであり、
前記可動軸の傾き角度を規制するストッパが設けられていることを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
支持機構３０は、固定ベース３１、可動リング３２および複数の小球３３，３４を有している。固定ベース３１は、中央部に大きく貫通する円形状の開口部３１ａが形成された板状の部材であり、そのＸ方向の両端には凸状に形成された固定部３１ｂ，３１ｂが設けられている。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
磁気駆動機構４０は主として固定部材４１と外ヨーク４６とを有している。
図４に示すように、固定部材４１は、略コの字形状からなる金属板などで形成されている。固定部材４１の図示Ｚ２方向の底面４１Ａには円形状の薄肉部４１ａ，４１ａ，４１ａ，４１ａが形成されており、これら４つの薄肉部４１ａの配列中心にはＺ方向に貫通する貫通孔４１ｂが穿設されている。前記貫通孔４１ｂには図示Ｚ２側からＺ１方向に延びる棒状のストッパピン４３が挿通されている。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
図５に示すように前記外ヨーク４６は、フェライトなどのＦｅ系の金属磁性材料で形成されており、図示Ｚ１方向に開口して凹設（凹状に陥没形成）された穴部４７（個別に４７Ａ，４７Ｂ，４７Ｃ，４７Ｄで示す。）がそれぞれ設けられている。そして、個々の穴部４７の底面中央には略円柱形状の磁石Ｍと内ヨーク４８の端面どうしがＺ方向に連結された状態でそれぞれ固定されている（図６参照）。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
図６に示すように、前記外ヨーク４６の底面（Ｚ１側の面）で、且つ前記貫通孔４６ａの周囲には図示Ｚ１方向に突出する嵌合凸部４６ｂが一体に形成されている。そして、この嵌合凸部４６ｂと前記ミラー支持部２２に形成された可動軸２２ｂとは、これらの間に支持機構３０を介在させて嵌合されている。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
図２に示すように、前記固定部材４１に形成された長穴４１ｃ，４１ｃには、前記固定ベース３１の両側である固定部３１ｂ，３１ｂが嵌合固定される。また前記ミラー支持部２２と外ヨーク４６とは前記可動軸２２ｂと嵌合凸部４６ｂとを介して連結されており、前記可動軸２２ｂの周囲は前記固定ベース３１内に揺動自在に設けられた可動リング３２に対し揺動自在に保持されている。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
すなわち、図６にて矢印Ａ１方向から見たときに、前記コイル４２Ａに対して時計回り方向の電流Ｉを流し、且つコイル４２Ｃに対しても時計回り方向の電流Ｉを流すと、前記コイル４２Ａに作用する電磁力Ｆ１’は図示Ｚ２方向となり、前記コイル４２Ｃに作用する電磁力Ｆ２’は図示Ｚ１方向となる。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
上記のように、前記コイル４２Ａ、穴部４７Ａ、磁石Ｍ１および内ヨーク４８が１つの磁気回路を形成し、前記コイル４２Ｃ、穴部４７Ｃ、磁石Ｍ２および内ヨーク４８が他の１つの磁気回路を形成している。そして、このような一対の磁気回路が、前記外ヨーク４６をβ１およびβ２方向に回転させる第１の磁気駆動部を形成している。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
次に、本願発明の参考例について説明する。
図７は参考例としての２軸型アクチュエータの動作を説明するための図６同様の断面図である。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
参考例と第１の実施の形態とは、主として磁気駆動機構４０が相違している。すなわち、上記第１の実施の形態はＭＭ型（Moving Magnet type）であるのに対し、参考例に示す２軸型アクチュエータはいわゆるＭＣ型（Moving Coil type）である点で相違している。ただし、前記制御対象２０と支持機構３０の構成は、第１および第２の実施の形態ともに共通である。なお、図７では支持機構３０を図６同様に省略している。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
図７に示すように、参考例に示す２軸型アクチュエータ１０Ｂでは、可動軸２２ｂの先端に平板状の可動ベース５１が連結されている。前記可動ベース５１のＺ２側の面には上記第１の実施の形態と同様の構成からなる４つの空心型のコイル４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃおよび４２Ｄがそれぞれ開口端をＺ方向に向けた状態で固定されている。なお、図７ではコイル４２Ａ，４２Ｃのみ図示し、コイル４２Ｂ，４２Ｄは省略している。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
このため、参考例の２軸型アクチュエータ１０Ｂにおいても、制御対象２０を２軸方向に自在に傾倒させることができる。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
図８は他の参考例としての２軸型アクチュエータの動作を説明するための図６同様の断面図である。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
他の参考例の２軸型アクチュエータ１０Ｃは、上記第１の実施の形態と同様のＭＭ型（Moving Magnet type）のアクチュエータである。ただし、第３の実施の形態では、主として外ヨーク５６および４つのコイル５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃおよび５２Ｄの配置関係が上記第１の実施の形態と異なっている。なお、前記制御対象２０及び支持機構３０の構成は第１および第２の実施の形態の場合と同様である。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
外ヨーク５６のＺ１側の面には嵌合凸部５６ｂが突出形成されており、この嵌合凸部５６ｂの外周に前記可動軸２２ｂの端部が連結嵌合されている。また可動軸２２ｂは、上記同様の固定部材４１に固定された支持機構３０によって揺動自在に支持されている。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
一方、上記実施の形態および参考例では、これとは逆に接線方向の成分Ｆ１ａ，Ｆ２ａの大きさは、半径方向の成分Ｆ１ｂ，Ｆ２ｂの大きさよりも小さな関係にある（｜Ｆ１ａ｜＜｜Ｆ１ｂ｜，｜Ｆ２ａ｜＜｜Ｆ２ｂ｜）。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
よって、他の参考例では、上記実施の形態および参考例に比較して第１及び第２の磁気駆動部で発生する電磁力Ｆ１，Ｆ２を、可動軸２２ｂを揺動させるための駆動力Ｆ１ａ，Ｆ２ａとして効率良く利用することが可能である。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
上記実施の形態およびそれぞれの参考例の２軸型アクチュエータにおいては、互いに直交するように配置された第１の磁気駆動部と第２の磁気駆動部を有しているため、駆動軸２２ｂを２軸方向に自在に傾けることができる。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０９】
図１１は、他の軸型アクチュエータを示す側面図である。
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１５】
【図１】本発明は実施の形態として反射ミラーを備えた２軸型アクチュエータを示す斜視図、
【図２】図１の分解斜視図、
【図３】支持機構の構成を示す分解斜視図、
【図４】磁気駆動部を構成する固定部材側の一例を示す分解斜視図、
【図５】磁気駆動部を構成する外ヨークを示す分解斜視図、
【図６】本発明の実施の形態としての２軸型アクチュエータの動作を説明するための磁気駆動部の断面図、
【図７】本発明の参考例の２軸型アクチュエータの動作を説明するための図６同様の断面図、
【図８】本発明の他の参考例の２軸型アクチュエータの動作を説明するための図６同様の断面図、
【図９】ホログラフィー装置を構成する各部材の配置関係の概略を示す斜視図、
【図１０】図９の矢印方向から見た場合に相当する正面図、
【図１１】本発明の他の２軸型アクチュエータを示す側面図、