(57)【要約】  被試験デバイスを試験する試験装置は、それぞれが信号出力部および信号入力部を有する複数の信号入出力部を備える。まず、それぞれの信号入出力部について、信号出力部が信号を出力してから信号入力部が当該信号を入力するまでの位相差が他の信号入出力部と略同一となるように調整する。次に、複数の信号入出力部が互いに接続された状態において、第１の信号出力部が出力した信号を第２の信号入力部が入力するために信号入力タイミングをシフトすべきシフト量と、第２の信号出力部が出力した信号を第１の信号入力部が入力するために信号入力タイミングをシフトすべきシフト量とを検出する。そして、これらのシフト量に基づいて、第１および第２の信号入出力部の信号入出力の位相が略同一となるように調整する。
2007072738.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
それぞれが前記被試験デバイスの端子へ信号を出力する信号出力部および前記端子から出力された信号を入力する信号入力部を有する複数の信号入出力部と、
それぞれの前記信号入出力部について、前記信号出力部が信号を出力してから前記信号入力部が当該信号を入力するまでの位相差が他の前記信号入出力部と略同一となるように調整する第１調整部と、
前記複数の信号入出力部が調整用に互いに接続された状態において、第１の前記信号入出力部内の前記信号出力部が出力した信号を第２の前記信号入出力部内の前記信号入力部が入力するために前記信号入力部の信号入力タイミングをシフトすべき第１シフト量と、前記第２の信号入出力部内の前記信号出力部が出力した信号を前記第１の信号入出力部内の前記信号入力部が入力するために前記信号入力部の信号入力タイミングをシフトすべき第２シフト量とを検出するシフト量検出部と、
前記第１シフト量および前記第２シフト量に基づいて、前記第１の信号入出力部および前記第２の信号入出力部の位相のずれ量を算出する算出部と、
前記ずれ量に基づいて、前記第１の信号入出力部および前記第２の信号入出力部の信号出力および信号入力の位相が略同一となるように調整する第２調整部と
を備える試験装置。
【請求項２】
前記算出部は、前記第２シフト量から前記第１シフト量を減じて２で割った値を、前記第１の信号入出力部に対する前記第２の信号入出力部の位相のずれ量とする請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記シフト量検出部は、
前記複数の信号入出力部のそれぞれを順次選択する第１選択部と、
選択された前記信号入出力部内の前記信号出力部から調整用信号を出力させる出力指示部と、
前記調整用信号を２以上の他の前記信号入出力部内の前記信号入力部がそれぞれ入力するためにそれぞれの前記信号入力部の信号入力タイミングをシフトすべきシフト量を並行して検出する検出器と
を有し、
前記算出部は、
前記複数の信号入出力部から前記第１の信号入出力部および前記第２の信号入出力部を順次選択する第２選択部と、
選択された前記第１の信号入出力部内の前記信号出力部が出力した信号を選択された前記第２の信号入出力部内の前記信号入力部が入力するためのシフト量を前記第１シフト量とし、選択された前記第２の信号入出力部内の前記信号出力部が出力した信号を選択された前記第１の信号入出力部内の前記信号入力部が入力するためのシフト量を前記第２シフト量として前記ずれ量を算出するずれ量算出器と
を有し、
前記第２調整部は、前記ずれ量算出器により算出されたそれぞれの前記ずれ量に基づいて、前記複数の信号入出力部の信号出力および信号入力の位相が略同一となるように調整する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項４】
前記第１調整部は、
前記検出器によるシフト量の検出と並行して、前記出力指示部の指示により出力された前記調整用信号を選択された前記信号入出力部内の前記信号入力部が入力するまでの位相差を検出する位相差検出部と、
検出された位相差に基づいて、前記算出部に入力される前記第１シフト量および前記第２シフト量を補正する補正部と
を有する請求項３に記載の試験装置。
【請求項５】
前記第２調整部により前記第１の信号入出力部および前記第２の信号入出力部の信号出力および信号入力の位相が略同一となるように調整された状態において、前記検出部は、調整後の前記第１シフト量および前記第２シフト量を検出し、
前記算出部は、調整後の前記第１シフト量および前記第２シフト量に基づいて、調整後の前記ずれ量を算出する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項６】
被試験デバイスを試験する試験装置を調整する調整方法であって、
前記試験装置は、それぞれが前記被試験デバイスの端子へ信号を出力する信号出力部および前記端子から出力された信号を入力する信号入力部を有する複数の信号入出力部を備え、
それぞれの前記信号入出力部について、前記信号出力部が信号を出力してから前記信号入力部が当該信号を入力するまでの位相差が他の前記信号入出力部と略同一となるように調整する第１調整段階と、
前記複数の信号入出力部が調整用に互いに接続された状態において、第１の前記信号入出力部内の前記信号出力部が出力した信号を第２の前記信号入出力部内の前記信号入力部が入力するために前記信号入力部の信号入力タイミングをシフトすべき第１シフト量と、前記第２の信号入出力部内の前記信号出力部が出力した信号を前記第１の信号入出力部内の前記信号入力部が入力するために前記信号入力部の信号入力タイミングをシフトすべき第２シフト量とを検出するシフト量検出段階と、
前記第１シフト量および前記第２シフト量に基づいて、前記第１の信号入出力部および前記第２の信号入出力部の位相のずれ量を算出する算出段階と、
前記ずれ量に基づいて、前記第１の信号入出力部および前記第２の信号入出力部の信号出力および信号入力の位相が略同一となるように調整する第２調整段階と
を備える調整方法。
【請求項７】
被試験デバイスを試験する試験装置を調整する調整プログラムであって、
当該調整プログラムは、前記試験装置を、
それぞれが前記被試験デバイスの端子へ信号を出力する信号出力部および前記端子から出力された信号を入力する信号入力部を有する複数の信号入出力部と、
それぞれの前記信号入出力部について、前記信号出力部が信号を出力してから前記信号入力部が当該信号を入力するまでの位相差が他の前記信号入出力部と略同一となるように調整する第１調整部と、
前記複数の信号入出力部が調整用に互いに接続された状態において、第１の前記信号入出力部内の前記信号出力部が出力した信号を第２の前記信号入出力部内の前記信号入力部が入力するために前記信号入力部の信号入力タイミングをシフトすべき第１シフト量と、前記第２の信号入出力部内の前記信号出力部が出力した信号を前記第１の信号入出力部内の前記信号入力部が入力するために前記信号入力部の信号入力タイミングをシフトすべき第２シフト量とを検出するシフト量検出部と、
前記第１シフト量および前記第２シフト量に基づいて、前記第１の信号入出力部および前記第２の信号入出力部の位相のずれ量を算出する算出部と、
前記ずれ量に基づいて、前記第１の信号入出力部および前記第２の信号入出力部の信号出力および信号入力の位相が略同一となるように調整する第２調整部と
として機能させる調整プログラム。
【請求項８】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
与えられるタイミング信号に応じて入出力端子から信号を出力し、与えられる前記タイミング信号に応じて前記入出力端子から信号を受け取る信号入出力部を、それぞれ複数有する第１の端子グループ及び第２の端子グループと、
前記第１の端子グループの前記信号入出力部と、前記第２の端子グループの前記信号入出力部とを一対一に接続するキャリブレーションボードと、
前記第１の端子グループが有する前記信号入出力部、及び前記第２の端子グループが有する前記信号入出力部の前記タイミング信号の基準位相を、前記信号入出力部毎に設定するキャリブレーション部と
を備え、
前記キャリブレーション部は、
前記第１の端子グループの第１の前記信号入出力部から出力した信号を、前記第２の端子グループの第２の前記信号入出力部により検出させた場合に、前記第２の信号入出力部に与えられる前記タイミング信号の前記基準位相からの位相シフト量を検出する第１のシフト量検出部と、
前記第２の信号入出力部から出力した信号を、前記第１の前記信号入出力部により検出させた場合に、前記第１の信号入出力部に与えられる前記タイミング信号の前記基準位相からの位相シフト量を検出する第２のシフト量検出部と、
前記第１のシフト量検出部が検出した前記位相シフト量と、前記第２のシフト量検出部が検出した前記位相シフト量との差分に基づいて、前記第１の端子グループにおける前記タイミング信号の基準位相の平均と、前記第２の端子グループにおける前記タイミング信号の基準位相の平均とが略一致するように、それぞれの前記タイミング信号の前記基準位相を設定する位相設定部と
を有する試験装置。
【請求項９】
前記キャリブレーションボードは、前記第１の端子グループの少なくとも２以上の前記信号入出力部と、前記第２の端子グループにおける同数の前記信号入出力部とを一対一に接続し、
前記位相設定部は、接続された前記信号入出力部の組み合わせごとに、前記位相シフト量の差分を算出し、各入出力端子について算出した前記差分の平均値に基づいて、それぞれの前記信号入出力部に与える前記タイミング信号の前記基準位相を設定する
請求項８に記載の試験装置。
【請求項１０】
前記位相設定部は、前記第１の端子グループ又は前記第２の端子グループのいずれかが有する前記信号入出力部のそれぞれの前記タイミング信号の前記基準位相を、前記差分の平均値に基づいて、略同一のシフト量でシフトさせる
請求項９に記載の試験装置。
【請求項１１】
複数の前記信号入出力部に一対一に対応して設けられ、対応する前記信号入出力部に与えられる前記タイミング信号を遅延させる複数の可変遅延回路と、
前記第１の端子グループが有する前記信号入出力部に対応して設けられた前記可変遅延回路に設定すべき遅延量を予め格納し、前記第１の端子グループが有する前記信号入出力部に与えられる前記タイミング信号の基準位相を略同一の位相に調整する第１の遅延量レジスタと、
前記第２の端子グループが有する前記信号入出力部に対応して設けられた前記可変遅延回路に設定すべき遅延量を予め格納し、前記第２の端子グループが有する前記信号入出力部に与えられる前記タイミング信号の基準位相を略同一の位相に調整する第２の遅延量レジスタと
を更に備える請求項１０に記載の試験装置。
【請求項１２】
前記第１の端子グループの前記複数の信号入出力部及び前記第１の遅延量レジスタは、第１の基板に設けられ、
前記第２の端子グループの前記複数の信号入出力部及び前記第２の遅延量レジスタは、前記第１の端子グループとは異なる第２の基板に設けられる
請求項１１に記載の試験装置。
【請求項１３】
与えられるタイミング信号に応じて入出力端子信号を出力し、与えられる前記タイミング信号に応じて前記入出力端子から信号を受け取る信号入出力部を、それぞれ複数有する第１の端子グループ及び第２の端子グループを備え、被試験デバイスを試験する試験装置を調整する調整装置であって、
前記第１の端子グループの前記信号入出力部と、前記第２の端子グループの前記信号入出力部とを一対一に接続するキャリブレーションボードと、
前記第１の端子グループが有する前記信号入出力部、及び前記第２の端子グループが有する前記信号入出力部の前記タイミング信号の基準位相を、前記信号入出力部毎に設定するキャリブレーション部と
を備え、
前記キャリブレーション部は、
前記第１の端子グループの第１の前記信号入出力部から出力した信号を、前記第２の端子グループの第２の前記信号入出力部により検出させた場合に、前記第２の信号入出力部に与えられる前記タイミング信号の前記基準位相からの位相シフト量を検出する第１のシフト量検出部と、
前記第２の信号入出力部から出力した信号を、前記第１の前記信号入出力部により検出させた場合に、前記第１の信号入出力部に与えられる前記タイミング信号の前記基準位相からの位相シフト量を検出する基準位相第２のシフト量検出部と、
前記第１のシフト量検出部が検出した前記位相シフト量と、前記第２のシフト量検出部が検出した前記位相シフト量との差分に基づいて、前記第１の端子グループにおける前記タイミング信号の基準位相の平均と、前記第２の端子グループにおける前記タイミング信号の基準位相の平均とが略一致するように、それぞれの前記タイミング信号の前記基準位相を設定する位相設定部と
を有する調整装置。
【請求項１４】
与えられるタイミング信号に応じて入出力端子から信号を出力し、与えられる前記タイミング信号に応じて前記入出力端子から信号を受け取る信号入出力部を、それぞれ複数有する第１の端子グループ及び第２の端子グループを備え、被試験デバイスを試験する試験装置を調整する調整方法であって、
前記第１の端子グループの前記信号入出力部と、前記第２の端子グループの前記信号入出力部とを一対一に接続する接続段階と、
前記第１の端子グループが有する前記信号入出力部、及び前記第２の端子グループが有する前記信号入出力部の前記タイミング信号の基準位相を、前記信号入出力部毎に設定するキャリブレーション段階と
を備え、
前記キャリブレーション段階は、
前記第１の端子グループの第１の前記信号入出力部から出力した信号を、前記第２の端子グループの第２の前記信号入出力部により検出させた場合に、前記第２の信号入出力部に与えられる前記タイミング信号の前記基準位相からの位相シフト量を検出する第１のシフト量検出部と、
前記第２の信号入出力部から出力した信号を、前記第１の前記信号入出力部により検出させた場合に、前記第１の信号入出力部に与えられる前記タイミング信号の前記基準位相からの位相シフト量を検出する基準位相第２のシフト量検出部と、
前記第１のシフト量検出段階において検出した前記位相シフト量と、前記第２のシフト量検出段階において検出した前記位相シフト量との差分に基づいて、前記第１の端子グループにおける前記タイミング信号の基準位相の平均と、前記第２の端子グループにおける前記タイミング信号の基準位相の平均とが略一致するように、それぞれの前記タイミング信号の前記基準位相を設定する位相設定段階と
を有する調整方法。
【請求項１５】
与えられるタイミング信号に応じて入出力端子から信号を出力し、与えられる前記タイミング信号に応じて前記入出力端子から信号を受け取る信号入出力部を、それぞれ複数有する第１の端子グループ及び第２の端子グループを備え、被試験デバイスを試験する試験装置を調整する調整装置を機能させる調整プログラムであって、
調整装置を、
前記第１の端子グループの第１の前記信号入出力部に信号を出力させ、且つ前記第２の端子グループの第２の前記信号入出力部に与える前記タイミング信号の位相を基準位相からシフトさせ、前記第２の信号入出力部が当該信号を検出した場合の前記タイミング信号の位相シフト量を検出する第１のシフト量検出部と、
前記第２の信号入出力部に信号を出力させ、且つ前記第１の信号入出力部に与える前記タイミング信号の位相を基準位相からシフトさせ、前記第１の信号入出力部が当該信号を検出した場合の前記タイミング信号の位相シフト量を検出する第２のシフト量検出部と、
前記第１のシフト量検出部が検出した前記位相シフト量と、前記第２のシフト量検出部が検出した前記位相シフト量との差分に基づいて、前記第１の端子グループにおける前記タイミング信号の基準位相の平均と、前記第２の端子グループにおける前記タイミング信号の基準位相の平均とが略一致するように、それぞれの前記タイミング信号の前記基準位相を設定する位相設定部と
して機能させる調整プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置、調整装置、調整方法、および、調整プログラムに関する。特に本発明は、試験工程に先立って信号入出力のタイミングを調整する試験装置、調整装置、調整方法、および、調整プログラムに関する。本出願は、下記の日本出願に関連する。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。
１．特願２００５−３６５２６１    出願日  ２００５年１２月１９日
２．特願２００６−２８４５６９    出願日  ２００６年１０月１９日
【背景技術】
【０００２】
電子デバイスの試験装置は、被試験デバイスに対する入力信号を遅延素子によって遅延させ、被試験デバイスに供給する信号に遅延が生じた場合であっても、予め定められた規格の範囲内で正常動作するか否かを試験する（例えば、特許文献１参照。）。ここで、被試験デバイスに対する入力信号を遅延させる場合には、被試験デバイスの複数の入力端子のそれぞれについて同様に信号を遅延させ、これらの入力端子に対して同一のタイミングで信号を入力しなければならない。同様に、試験装置は、被試験デバイスから出力された出力信号を試験する場合には、被試験デバイスから試験モジュールに出力信号を取り込むタイミングを出力端子毎に同一としなければならない。【０００３】
しかしながら、遅延素子の特性または配線遅延などは端子毎に異なっている。このため、遅延素子に対して設定する遅延量を各端子について同一としたのでは、同時に入力すべき複数の入力信号のタイミングが相違する恐れがある。このため、被試験デバイスの試験工程に先立って、キャリブレーションと呼ばれる調整工程を設け、複数の端子に対して同時に信号が入力されるように調整している。キャリブレーションにおいて、試験装置は、各端子において入出力される信号の位相差（スキュー）を検出する。そして、試験装置は、検出されたその位相差を略０とするように、各端子における信号の遅延量を調整する。【０００４】
図１は、試験装置においてキャリブレーションを行うための配線の一例を示す。試験装置は、被試験デバイスの端子（Ｐ１〜Ｐ３）毎に、ピンリソース１０５を有する。それぞれのピンリソース１０５は、ドライバ１１０と、コンパレータ１２０とを有する。ドライバ１１０は、所定の試験信号を被試験デバイスに供給する。コンパレータ１２０は、被試験デバイスから出力信号を取り込む。また、キャリブレーションのために、信号入出力部１５０の各端子Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３間の配線長Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３を等長でショート配線するショート専用治具Ｕ１を接続する。ショート専用治具Ｕ１は、一例として、被試験デバイス２０の端子に類似した端子形状を有するものであってＩＣソケット（又はコンタクトソケット）に装着可能な形態であってもよいし、ＩＣソケットを外した状態のソケットボードの電極に対して対面接触するボード状の形態であってもよいし、ソケットボードをショート配線する形態であってもよい。【０００５】
各ドライバ１１０は、他チャンネルのコンパレータ１２０に接続される。それぞれの端子Ｐ１〜Ｐ３を接続する接続点Ｐから、端子Ｐ１、端子Ｐ２、及び、端子Ｐ３のそれぞれまでの配線は、等距離であるものとする。ここで、各コンパレータ１２０は、スイッチ付きの終端抵抗（例えば５０Ωを）を有してよい。この場合、調整用信号を出力するドライバ１１０側のコンパレータ１２０は、終端抵抗のスイッチをオフ状態とし、調整用信号を受信する２つのコンパレータ１２０は、終端抵抗のスイッチをオン状態にして終端抵抗で終端した状態としてよい。【０００６】
図２は、試験装置において各端子の信号の位相差を検出する処理の流れを示す。キャリブレーションを実現するためには、各端子の信号の位相差を精度良く検出する必要がある。図２ではその処理の概要を説明する。試験装置は、端子Ｐ２のドライバ１１０から端子Ｐ１のコンパレータ１２０に対して、タイミング調整用の信号（以下、調整用信号）を出力する（Ｓ２００）。そして、試験装置は、端子Ｐ１のコンパレータ１２０において調整用信号の位相を検出させる（Ｓ２１０）。位相の検出には、ストローブなどの技術が用いられてもよい。【０００７】
次に、試験装置は、調整用信号を、端子Ｐ３のドライバ１１０から端子Ｐ１のコンパレータ１２０に対して出力する（Ｓ２２０）。そして、試験装置は、端子Ｐ１のコンパレータ１２０において調整用信号の位相を検出させる（Ｓ２３０）。試験装置は、Ｓ２１０において検出された位相と、Ｓ２３０において検出された位相の位相差を算出する（Ｓ２４０）。試験装置は、この位相差を略０とするように、端子Ｐ２のドライバ１１０および／または端子Ｐ３のドライバ１１０を調整できる。また、以上の処理を、他の端子の組み合わせに応用すれば、図示の全てのドライバ１１０およびコンパレータ１２０について、位相差を略０とする調整が可能となる。
【特許文献１】特開２０００−１９９７８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
以上の位相差検出の技術においては、接続点Ｐから、端子Ｐ１、端子Ｐ２、および、端子Ｐ３のそれぞれまでの配線長は等しくなければならない。そうでなければ、ドライバ１１０からコンパレータ１２０までの信号遅延量が端子毎に異なってしまい、位相差が正しく算出できない場合がある。即ち、各配線の信号遅延量に誤差があれば、キャリブレーションの精度が低下してしまう場合があった。【０００９】
また、試験装置は、例えばボード毎にグループ化された複数のドライバ１１０及び複数のコンパレータ１２０を備えてよい。このような試験装置においては、グループ内におけるドライバ１１０からコンパレータ１２０までの信号遅延量がある程度の範囲に調整されていても、グループとグループとの間での物理的な条件（温度条件等）に違いがあることから、グループ間におけるドライバ１１０からコンパレータ１２０までの信号遅延量が、大きくなる場合がある。このような場合も、試験装置は、位相差の正確な算出が困難となる。【００１０】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置、調整装置、調整方法、および、調整プログラムを提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の第１の形態によると、被試験デバイスを試験する試験装置であって、それぞれが被試験デバイスの端子へ信号を出力する信号出力部および端子から出力された信号を入力する信号入力部を有する複数の信号入出力部と、それぞれの信号入出力部について、信号出力部が信号を出力してから信号入力部が当該信号を入力するまでの位相差が他の信号入出力部と略同一となるように調整する第１調整部と、複数の信号入出力部が調整用に互いに接続された状態において、第１の信号入出力部内の信号出力部が出力した信号を第２の信号入出力部内の信号入力部が入力するために信号入力部の信号入力タイミングをシフトすべき第１シフト量と、第２の信号入出力部内の信号出力部が出力した信号を第１の信号入出力部内の信号入力部が入力するために信号入力部の信号入力タイミングをシフトすべき第２シフト量とを検出するシフト量検出部と、第１シフト量および第２シフト量に基づいて、第１の信号入出力部および第２の信号入出力部の位相のずれ量を算出する算出部と、ずれ量に基づいて、第１の信号入出力部および第２の信号入出力部の信号出力および信号入力の位相が略同一となるように調整する第２調整部とを備える試験装置を提供する。【００１２】
また、算出部は、第２シフト量から第１シフト量を減じて２で割った値を、第１の信号入出力部に対する第２の信号入出力部の位相のずれ量としてもよい。
また、シフト量検出部は、複数の信号入出力部のそれぞれを順次選択する第１選択部と、選択された信号入出力部内の信号出力部から調整用信号を出力させる出力指示部と、調整用信号を２以上の他の信号入出力部内の信号入力部がそれぞれ入力するためにそれぞれの信号入力部の信号入力タイミングをシフトすべきシフト量を並行して検出する検出器とを有し、算出部は、複数の信号入出力部から第１の信号入出力部および第２の信号入出力部を順次選択する第２選択部と、選択された第１の信号入出力部内の信号出力部が出力した信号を選択された第２の信号入出力部内の信号入力部が入力するためのシフト量を第１シフト量とし、選択された第２の信号入出力部内の信号出力部が出力した信号を選択された第１の信号入出力部内の信号入力部が入力するためのシフト量を第２シフト量としてずれ量を算出するずれ量算出器とを有し、第２調整部は、ずれ量算出器により算出されたそれぞれのずれ量に基づいて、複数の信号入出力部の信号出力および信号入力の位相が略同一となるように調整してもよい。【００１３】
また、第１調整部は、検出器によるシフト量の検出と並行して、出力指示部の指示により出力された調整用信号を選択された信号入出力部内の信号入力部が入力するまでの位相差を検出する位相差検出部と、検出された位相差に基づいて、算出部に入力される第１シフト量および第２シフト量を補正する補正部とを有してもよい。
また、第２調整部により第１の信号入出力部および第２の信号入出力部の信号出力および信号入力の位相が略同一となるように調整された状態において、検出部は、調整後の第１シフト量および第２シフト量を検出し、算出部は、調整後の第１シフト量および第２シフト量に基づいて、調整後のずれ量を算出してもよい。【００１４】
本発明の第２の形態によると、被試験デバイスを試験する試験装置を調整する調整方法であって、試験装置は、それぞれが被試験デバイスの端子へ信号を出力する信号出力部および端子から出力された信号を入力する信号入力部を有する複数の信号入出力部を備え、それぞれの信号入出力部について、信号出力部が信号を出力してから信号入力部が当該信号を入力するまでの位相差が他の信号入出力部と略同一となるように調整する第１調整段階と、複数の信号入出力部が調整用に互いに接続された状態において、第１の信号入出力部内の信号出力部が出力した信号を第２の信号入出力部内の信号入力部が入力するために信号入力部の信号入力タイミングをシフトすべき第１シフト量と、第２の信号入出力部内の信号出力部が出力した信号を第１の信号入出力部内の信号入力部が入力するために信号入力部の信号入力タイミングをシフトすべき第２シフト量とを検出するシフト量検出段階と、第１シフト量および第２シフト量に基づいて、第１の信号入出力部および第２の信号入出力部の位相のずれ量を算出する算出段階と、ずれ量に基づいて、第１の信号入出力部および第２の信号入出力部の信号出力および信号入力の位相が略同一となるように調整する第２調整段階とを備える調整方法を提供する。【００１５】
本発明の第３の形態によると、被試験デバイスを試験する試験装置を調整する調整プログラムであって、当該調整プログラムは、試験装置を、それぞれが被試験デバイスの端子へ信号を出力する信号出力部および端子から出力された信号を入力する信号入力部を有する複数の信号入出力部と、それぞれの信号入出力部について、信号出力部が信号を出力してから信号入力部が当該信号を入力するまでの位相差が他の信号入出力部と略同一となるように調整する第１調整部と、複数の信号入出力部が調整用に互いに接続された状態において、第１の信号入出力部内の信号出力部が出力した信号を第２の信号入出力部内の信号入力部が入力するために信号入力部の信号入力タイミングをシフトすべき第１シフト量と、第２の信号入出力部内の信号出力部が出力した信号を第１の信号入出力部内の信号入力部が入力するために信号入力部の信号入力タイミングをシフトすべき第２シフト量とを検出するシフト量検出部と、第１シフト量および第２シフト量に基づいて、第１の信号入出力部および第２の信号入出力部の位相のずれ量を算出する算出部と、ずれ量に基づいて、第１の信号入出力部および第２の信号入出力部の信号出力および信号入力の位相が略同一となるように調整する第２調整部として機能させる調整プログラムを提供する。【００１６】
本発明の第４の形態によると、被試験デバイスを試験する試験装置であって、与えられるタイミング信号に応じて入出力端子から信号を出力し、与えられるタイミング信号に応じて入出力端子から信号を受け取る信号入出力部を、それぞれ複数有する第１の端子グループ及び第２の端子グループと、第１の端子グループの信号入出力部と、第２の端子グループの信号入出力部とを一対一に接続するキャリブレーションボードと、第１の端子グループが有する信号入出力部、及び第２の端子グループが有する信号入出力部のタイミング信号の基準位相を、信号入出力部毎に設定するキャリブレーション部とを備え、キャリブレーション部は、第１の端子グループの第１の信号入出力部から出力した信号を、第２の端子グループの第２の信号入出力部により検出させた場合に、第２の信号入出力部に与えられるタイミング信号の基準位相からの位相シフト量を検出する第１のシフト量検出部と、第２の信号入出力部から出力した信号を、第１の信号入出力部により検出させた場合に、第１の信号入出力部に与えられるタイミング信号の基準位相からの位相シフト量を検出する第２のシフト量検出部と、第１のシフト量検出部が検出した位相シフト量と、第２のシフト量検出部が検出した位相シフト量との差分に基づいて、第１の端子グループにおけるタイミング信号の基準位相の平均と、第２の端子グループにおけるタイミング信号の基準位相の平均とが略一致するように、それぞれのタイミング信号の基準位相を設定する位相設定部とを有する試験装置を提供する。【００１７】
位相設定部は、第１の端子グループ又は第２の端子グループのいずれかが有する信号入出力部のそれぞれのタイミング信号の基準位相を、差分の平均値に基づいて、略同一のシフト量でシフトさせてよい。【００１８】
試験装置は、複数の信号入出力部に一対一に対応して設けられ、対応する信号入出力部に与えられるタイミング信号を遅延させる複数の可変遅延回路と、第１の端子グループが有する信号入出力部に対応して設けられた可変遅延回路に設定すべき遅延量を予め格納し、第１の端子グループが有する信号入出力部に与えられるタイミング信号の基準位相を略同一の位相に調整する第１の遅延量レジスタと、第２の端子グループが有する信号入出力部に対応して設けられた可変遅延回路に設定すべき遅延量を予め格納し、第２の端子グループが有する信号入出力部に与えられるタイミング信号の基準位相を略同一の位相に調整する第２の遅延量レジスタとを更に備えてよい。【００１９】
第１の端子グループの複数の信号入出力部及び第１の遅延量レジスタは、第１の基板に設けられ、第２の端子グループの複数の信号入出力部及び第２の遅延量レジスタは、第１の端子グループとは異なる第２の基板に設けられてよい。【００２０】
本発明の第５の形態によると、与えられるタイミング信号に応じて入出力端子信号を出力し、与えられるタイミング信号に応じて入出力端子から信号を受け取る信号入出力部を、それぞれ複数有する第１の端子グループ及び第２の端子グループを備え、被試験デバイスを試験する試験装置を調整する調整装置であって、第１の端子グループの信号入出力部と、第２の端子グループの信号入出力部とを一対一に接続するキャリブレーションボードと、第１の端子グループが有する信号入出力部、及び第２の端子グループが有する信号入出力部のタイミング信号の基準位相を、信号入出力部毎に設定するキャリブレーション部とを備え、キャリブレーション部は、第１の端子グループの第１の信号入出力部から出力した信号を、第２の端子グループの第２の信号入出力部により検出させた場合に、第２の信号入出力部に与えられるタイミング信号の基準位相からの位相シフト量を検出する第１のシフト量検出部と、第２の信号入出力部から出力した信号を、第１の信号入出力部により検出させた場合に、第１の信号入出力部に与えられるタイミング信号の基準位相からの位相シフト量を検出する基準位相第２のシフト量検出部と、第１のシフト量検出部が検出した位相シフト量と、第２のシフト量検出部が検出した位相シフト量との差分に基づいて、第１の端子グループにおけるタイミング信号の基準位相の平均と、第２の端子グループにおけるタイミング信号の基準位相の平均とが略一致するように、それぞれのタイミング信号の基準位相を設定する位相設定部とを有する調整装置を提供する。【００２１】
本発明の第６の形態によると、与えられるタイミング信号に応じて入出力端子から信号を出力し、与えられるタイミング信号に応じて入出力端子から信号を受け取る信号入出力部を、それぞれ複数有する第１の端子グループ及び第２の端子グループを備え、被試験デバイスを試験する試験装置を調整する調整方法であって、第１の端子グループの信号入出力部と、第２の端子グループの信号入出力部とを一対一に接続する接続段階と、第１の端子グループが有する信号入出力部、及び第２の端子グループが有する信号入出力部のタイミング信号の基準位相を、信号入出力部毎に設定するキャリブレーション段階とを備え、キャリブレーション段階は、第１の端子グループの第１の信号入出力部から出力した信号を、第２の端子グループの第２の信号入出力部により検出させた場合に、第２の信号入出力部に与えられるタイミング信号の基準位相からの位相シフト量を検出する第１のシフト量検出部と、第２の信号入出力部から出力した信号を、第１の信号入出力部により検出させた場合に、第１の信号入出力部に与えられるタイミング信号の基準位相からの位相シフト量を検出する基準位相第２のシフト量検出部と、第１のシフト量検出段階において検出した位相シフト量と、第２のシフト量検出段階において検出した位相シフト量との差分に基づいて、第１の端子グループにおけるタイミング信号の基準位相の平均と、第２の端子グループにおけるタイミング信号の基準位相の平均とが略一致するように、それぞれのタイミング信号の基準位相を設定する位相設定段階とを有する調整方法を提供する。【００２２】
本発明の第７の形態によると、与えられるタイミング信号に応じて入出力端子から信号を出力し、与えられるタイミング信号に応じて入出力端子から信号を受け取る信号入出力部を、それぞれ複数有する第１の端子グループ及び第２の端子グループを備え、被試験デバイスを試験する試験装置を調整する調整装置を機能させる調整プログラムであって、調整装置を、第１の端子グループの第１の信号入出力部に信号を出力させ、且つ第２の端子グループの第２の信号入出力部に与えるタイミング信号の位相を基準位相からシフトさせ、第２の信号入出力部が当該信号を検出した場合のタイミング信号の位相シフト量を検出する第１のシフト量検出部と、第２の信号入出力部に信号を出力させ、且つ第１の信号入出力部に与えるタイミング信号の位相を基準位相からシフトさせ、第１の信号入出力部が当該信号を検出した場合のタイミング信号の位相シフト量を検出する第２のシフト量検出部と、第１のシフト量検出部が検出した位相シフト量と、第２のシフト量検出部が検出した位相シフト量との差分に基づいて、第１の端子グループにおけるタイミング信号の基準位相の平均と、第２の端子グループにおけるタイミング信号の基準位相の平均とが略一致するように、それぞれのタイミング信号の基準位相を設定する位相設定部として機能させる調整プログラムを提供する。【００２３】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、試験装置においてキャリブレーションを行うための配線の一例を示す。
【図２】図２は、試験装置において各端子の信号の位相差を検出する処理の流れを示す。
【図３】図３は、本発明の実施形態に係る試験装置１００の全体構成を示す。
【図４】図４は、本発明の実施形態に係る制御装置２００の機能構成を示す。
【図５】図５は、それぞれの信号入出力部１５０から入出力される信号のタイミングチャートを示す。
【図６】図６は、本発明の実施形態に係る試験装置１００による調整処理のフローチャートを示す。
【図７】図７は、本発明の実施形態の第１変形例に係る制御装置２００の機能構成を示す。
【図８】図８は、本発明の実施形態の第２変形例に係る試験装置１００の全体構成を示す。
【図９】図９は、第２変形例に係るピンリソース３００の構成の一例を、第１の遅延量レジスタ７６０（第２の遅延量レジスタ７７０）、信号入出力部１５０および入出力端子７００とともに示す。
【図１０】図１０は、第１の端子グループ７１０が有する信号入出力部１５０に与えられる各タイミング信号の基準位相の分布および第２の端子グループ７２０が有する信号入出力部１５０に与えられる各タイミング信号の基準位相の分布を示す。
【図１１】図１１は、第２変形例に係る試験装置１００による調整処理のフローチャートを示す。
【図１２】図１２は、本発明の実施形態の第３変形例に係る構成の一例を示す。
【図１３】図１３は、以上の実施形態またはその変形例において制御装置２００として機能する情報処理装置５００のハードウェア構成の一例を示す。
【符号の説明】
【００２５】
２０  被試験デバイス
１００  試験装置
１５０  信号入出力部
１５２  ドライバ
１５４  コンパレータ
２００  制御装置
３００  ピンリソース
３１０  パターン発生器
３２０  波形制御部
３３０  タイミング発生器
３４０  判定部
３５０  位相比較部
４００  第１調整部
４０２  位相差検出部
４０５  補正部
４１０  シフト量検出部
４２０  第１選択部
４３０  出力指示部
４４０  検出器
４５０  算出部
４６０  第２選択部
４７０  ずれ量算出部
４８０  第２調整部
５００  情報処理装置
７００  入出力端子
７１０  第１の端子グループ
７２０  第２の端子グループ
７５０  キャリブレーションボード
７５５  配線
７６０  第１の遅延量レジスタ
７７０  第２の遅延量レジスタ
８００  キャリブレーション部
８１０  第１のシフト量検出部
８２０  第２のシフト量検出部
８３０  位相設定部
３２２  第１の可変遅延回路
３４２  第２の可変遅延回路
３４４  タイミングコンパレータ
３４６  良否検出部
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。【００２７】
図３は、本発明の実施形態に係る試験装置１００の全体構成を示す。試験装置１００は、制御装置２００と、入出力端子毎に設けられたピンリソース３００および信号入出力部１５０とを有する。信号入出力部１５０は、入出力端子毎に複数設けられており、被試験デバイス２０との間で信号の授受を行う。具体的には、信号入出力部１５０は、被試験デバイス２０の端子へ信号を出力するドライバＤＲ１〜ＤＲｎと、その端子から出力された信号を入力するコンパレータＣＰ１〜ＣＰｎとを有する。ピンリソース３００は、パターン発生器３１０と、波形制御部３２０と、タイミング発生器３３０と、判定部３４０と、位相比較部３５０とを有する。パターン発生器３１０は、例えば使用者が設定するプログラムに応じて、被試験デバイス２０を試験する試験パターンを生成する。当該試験パターンに基づいて、被試験デバイス２０に入力する信号等が生成される。【００２８】
波形制御部３２０は、パターン発生器３１０から与えられる試験パターンに基づいて、被試験デバイス２０に入力する試験信号を生成する。例えば、波形制御部３２０は、与えられるタイミング信号に基づき、所定タイミングの波形データをドライバＤＲ１へ供給する。タイミング発生器３３０は、任意のタイミングに遅延可能な遅延回路と遅延設定用のレジスタとを備え、波形制御部３２０に供給する所望タイミングのタイミング信号を生成する。また、タイミング発生器３３０は、判定部３４０に供給する所望タイミングのタイミング信号（ストローブ信号）を生成する。なお、遅延回路と遅延設定用のレジスタは、波形制御部３２０に含まれてよい。【００２９】
コンパレータ（例えば、アナログコンパレータ）ＣＰ１は、一例として、被試験デバイス２０の出力信号を受けて、予め設定されるハイ／ローの参照電圧レベルに基づいて２本の論理信号に変換してよい。判定部３４０は、２本の論理信号を受け、タイミング発生器３３０から受けるタイミング信号（ストローブ信号）に基づくタイミングでタイミングを判定した判定信号に変換する。判定部３４０は、判定信号とパターン発生器３１０から受ける期待値信号との比較に基づき良否判定を行う。【００３０】
位相比較部３５０は、主に位相差を測定する。そして、位相比較部３５０は、予め調整された信号入力の位相に対する、判定部３４０に入力される出力信号の位相差を検出して制御装置２００に出力する。ここで、試験装置１００は、図１と同様に、接続点Ｐと複数の信号入出力部１５０の出力の端子Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３間をショートして接続するショート専用治具Ｕ１を接続してよい。ショート専用治具Ｕ１は、所望の測定精度で位相差が測定可能な範囲の複数本数の出力端子と接続点Ｐとを、ショートして接続してよい。ショート専用治具Ｕ１は、一例として、３本以上１０本程度までの出力端子と接続点Ｐとを接続してよい。【００３１】
なお、ショート専用治具Ｕ１によりショート接続されない他チャンネルの信号入出力部１５０は、異なる接続条件の他のショート専用治具Ｕ２により接続されてよい。異なる接続条件の複数のショート専用治具が順次に接続されることで、試験装置１００は、被試験デバイス２０の全ての端子Ｐｎに対する位相差を順次に測定することができる。【００３２】
制御装置２００は、位相比較部３５０によって検出された位相差に基づいてタイミング発生器３３０の遅延量を変更して、波形制御部３２０による信号出力の位相を調整する。また、制御装置２００は、検出された位相差に基づいて、判定部３４０による信号入力の位相を調整する。例えば、制御装置２００は、タイミング発生器３３０に含まれる遅延設定用のレジスタに対して書込みを行う。【００３３】
本実施形態に係る試験装置１００は、それぞれの信号入出力部１５０の各端子Ｐ１〜Ｐｎから接続点Ｐまでの配線長にばらつきが存在する場合であっても、それぞれの信号入出力部１５０の各端子Ｐ１〜Ｐｎにおける信号入出力の位相差（スキュー）を同一に調整することを目的とする。【００３４】
図４は、本発明の実施形態に係る制御装置２００の機能構成を示す。制御装置２００は、第１調整部４００と、シフト量検出部４１０と、算出部４５０と、第２調整部４８０とを有する。第１調整部４００は、それぞれの信号入出力部１５０について、本発明に係る信号出力部の一例としてのドライバ１５２が信号を出力してから、本発明に係る信号入力部の一例としてのコンパレータ１５４がその信号を入力するまでの位相差が他の信号入出力部１５０と略同一となるように調整する。一例として、第１調整部４００は、それぞれの信号入出力部１５０について、ドライバ１５２による信号出力の位相と、コンパレータ１５４による信号入力の位相とを略同一に調整する。【００３５】
シフト量検出部４１０は、複数の信号入出力部１５０が調整用に互いに接続された状態において、第１の信号入出力部１５０のドライバ１５２（ＤＲ１）が出力した信号を第２の信号入出力部１５０のコンパレータ１５４（ＣＰ２）が入力するためにコンパレータ１５４の信号入力タイミングをシフトすべき第１シフト量Ｔ１を検出する。この第１シフト量をＴ１と記す。また、シフト量検出部４１０は、第２の信号入出力部１５０内のドライバ１５２（ＤＲ２）が出力した信号を第１の信号入出力部１５０内のコンパレータ１５４（ＣＰ１）が入力するためにコンパレータ１５４の信号入力タイミングをシフトすべき第２シフト量Ｔ２を検出する。この第２シフト量をＴ２と記す。【００３６】
詳細には、シフト量検出部４１０は、第１選択部４２０と、出力指示部４３０と、検出器４４０とを有してもよい。第１選択部４２０は、複数の信号入出力部１５０のそれぞれを順次選択する。出力指示部４３０は、第１選択部４２０によって選択された信号入出力部１５０内のドライバ１５２から調整用信号を出力させる。そして、検出器４４０は、調整用信号を２以上の他の信号入出力部１５０内のコンパレータ１５４がそれぞれ入力するためにそれぞれのコンパレータ１５４の信号入力タイミングをシフトすべきシフト量を並行して検出する。一例として、ＤＲ１によってＣＰ２からＣＰｎのそれぞれに対して調整用信号を出力させ、次に、ＤＲ２によってＣＰ３からＣＰｎのそれぞれに対して調整用信号を出力させ、順次この繰り返しによってＤＲ１からＤＲ（ｎ−１）のそれぞれに調整用信号を出力させてもよい。【００３７】
算出部４５０は、第１シフト量および第２シフト量に基づいて、第１の信号入出力部１５０および第２の信号入出力部１５０の位相のずれ量を算出する。詳細には、算出部４５０は、第２選択部４６０およびずれ量算出部４７０を有してもよい。第２選択部４６０は、複数の信号入出力部１５０から第１の信号入出力部１５０および第２の信号入出力部１５０を順次選択する。そして、ずれ量算出部４７０は、選択された第１の信号入出力部１５０内のドライバ１５２が出力した信号を選択された第２の信号入出力部１５０内のコンパレータ１５４が入力するためのシフト量を第１シフト量として算出する。また、ずれ量算出部４７０は、選択された第２の信号入出力部１５０内のドライバ１５２が出力した信号を選択された第１の信号入出力部１５０内のコンパレータ１５４が入力するためのシフト量を第２シフト量として算出する。そして、ずれ量算出部４７０は、これら第１シフト量および第２シフト量に基づいて、第１の信号入出力部１５０および第２の信号入出力部１５０の位相のずれ量を算出する。第２調整部４８０は、ずれ量算出部４７０により算出されたそれぞれのずれ量に基づいて、複数の信号入出力部１５０の信号出力および信号入力の位相が略同一となるように調整する。【００３８】
また、検出器４４０は、第２調整部４８０により第１の信号入出力部１５０および第２の信号入出力部１５０の信号出力および信号入力の位相が略同一となるように調整された状態において、調整後の第１シフト量および第２シフト量を検出してもよい。そしてこの場合、算出部４５０は、調整後の第１シフト量および第２のシフト量に基づいて、調整後のずれ量を算出する。調整後のずれ量が略ゼロでない場合には、第２調整部４８０は、それぞれの信号入出力部１５０の信号入出力の位相を再度調整してもよい。これに代えて、試験装置１００は、調整の工程に何らかの障害が発生したものとして、エラーが発生した旨を外部に通知してもよい。【００３９】
図５は、それぞれの信号入出力部１５０から入出力される信号のタイミングチャートを示す。図５において、ＤＲ１の信号出力およびＣＰ１の信号入力の位相は、第１調整部４００によって略同一に調整されている。同様に、ＤＲ２の信号出力およびＣＰ２の信号入力の位相は、第１調整部４００によって略同一に調整されている。図５では、この状態において、ＤＲ１の信号出力の位相に対するＣＰ２の信号入力の位相のずれ量（ΔＴ）を算出する処理を説明する。なお、第１調整部４００による調整によって、このずれ量（ΔＴ）は、ＣＰ１の信号入力の位相に対するＤＲ２の信号出力の位相のずれ量と同一となる。即ち、このずれ量は、ＤＲ１およびＣＰ１を有する第１の信号入出力部１５０に対する、ＤＲ２およびＣＰ２を有する第２の信号入出力部１５０の位相のずれ量となる。【００４０】
シフト量検出部４１０は、ＤＲ１が出力した信号をＣＰ２が入力するためにＣＰ２の信号入力タイミングをシフトすべき第１シフト量を検出する。このシフト量は、時間の進行方向を正の数とする整数とする。即ち例えば、図５の例において第１シフト量によるシフト方向は、時間の進行方向とは逆方向であるから、この第１シフト量を負の値となる。また、ＤＲ１からＣＰ２までの間には配線による信号遅延が生じる。この信号遅延による遅延量をＴＬとする。図５からも明らかなように、第１シフト量（Ｔ１）、配線による信号遅延（ＴＬ）、および、位相のずれ量（ΔＴ）の間には、以下の関係が成り立つ。
ΔＴ＝ＴＬ−Ｔ１    …式（１）【００４１】
また、シフト量検出部４１０は、ＤＲ２が出力した信号をＣＰ１が入力するためにＣＰ１の信号入力タイミングをシフトすべき第２シフト量を検出する。図５の例において第２シフト量によるシフト方向は、時間の進行方向と同一方向であるから、この第２シフト量を正の値とする。また、既に述べたように信号遅延による遅延量をＴＬとする。図５からも明らかなように、第２シフト量（Ｔ２）、配線による信号遅延（ＴＬ）、および、位相のずれ量（ΔＴ）の間には、以下の関係が成り立つ。
ΔＴ＝Ｔ２−ＴＬ    …式（２）【００４２】
以上の式（１）および式（２）をΔＴについての方程式として解くと、以下のような解が導かれる（式（３））。
ΔＴ＝（Ｔ２−Ｔ１）／２    …式（３）
即ち、算出部４５０は、第２シフト量から第１シフト量を減じて２で割った値を、第１の信号入出力部１５０に対する第２の信号入出力部１５０の位相のずれ量として算出することができる。【００４３】
図６は、本発明の実施形態に係る試験装置１００による調整処理のフローチャートを示す。第１調整部４００は、それぞれの信号入出力部１５０について、ドライバ１５２が信号を出力してからコンパレータ１５４がその信号を入力するまでの位相差が他の信号入出力部１５０と略同一となるように調整する（Ｓ６００）。この調整を第１の位相調整と呼ぶ。第１選択部４２０は、複数の信号入出力部１５０のそれぞれを順次選択する（Ｓ６１０）。出力指示部４３０は、第１選択部４２０によって選択された信号入出力部１５０内のドライバ１５２から調整用信号を出力させる（Ｓ６２０）。そして、検出器４４０は、調整用信号を２以上の他の信号入出力部１５０内のコンパレータ１５４がそれぞれ入力するためにそれぞれのコンパレータ１５４の信号入力タイミングをシフトすべきシフト量を並行して検出する（Ｓ６３０）。Ｓ６１０において未だ選択されていない信号入出力部１５０があれば（Ｓ６４０：ＮＯ）、試験装置１００はＳ６１０に処理を戻す。既に全ての信号入出力部１５０が選択されていれば（Ｓ６４０：ＹＥＳ）、試験装置１００はＳ６５０に処理を移す。【００４４】
第２選択部４６０は、複数の信号入出力部１５０から第１の信号入出力部１５０および第２の信号入出力部１５０を順次選択する（Ｓ６５０）。そして、ずれ量算出部４７０は、選択された第１の信号入出力部１５０内のドライバ１５２が出力した信号を選択された第２の信号入出力部１５０内のコンパレータ１５４が入力するためのシフト量を第１シフト量として算出する（Ｓ６６０）。また、ずれ量算出部４７０は、選択された第２の信号入出力部１５０内のドライバ１５２が出力した信号を選択された第１の信号入出力部１５０内のコンパレータ１５４が入力するためのシフト量を第２シフト量として算出する。そして、ずれ量算出部４７０は、これら第１シフト量および第２シフト量に基づいて、第１の信号入出力部１５０および第２の信号入出力部１５０の位相のずれ量を算出する。Ｓ６５０において未だ選択されていない信号入出力部１５０があれば（Ｓ６７０：ＮＯ）、試験装置１００はＳ６５０に処理を戻す。【００４５】
一方で、Ｓ６５０において既に全ての信号入出力部１５０が選択されていれば（Ｓ６７０：ＹＥＳ）、第２調整部４８０は、ずれ量算出部４７０により算出されたそれぞれのずれ量に基づいて、複数の信号入出力部１５０の信号出力および信号入力の位相が略同一となるように調整する（Ｓ６８０）。この調整を第２の位相調整と呼ぶ。例えば、第２調整部４８０は、全ての信号入出力部１５０の信号入出力の位相を、予め定められた信号入出力の位相と略同一としてもよい。当該予め定められた信号入出力の位相は、全ての信号入出力部１５０の位相の平均であってもよいし、複数の信号入出力部１５０の中から選択したある１つの信号入出力部１５０の位相であってもよい。【００４６】
図７は、本発明の実施形態の第１変形例に係る制御装置２００の機能構成を示す。本変形例は、第１の位相調整および第２の位相調整を並列に処理することで、調整処理に要する時間を短縮することを目的とする。本変形例における制御装置２００は、図４に示す制御装置２００と同様に、第１調整部４００と、シフト量検出部４１０と、算出部４５０と、第２調整部４８０とを有する。但し、図４に示す第１調整部４００とは異なり、本変形例の第１調整部４００は、位相差検出部４０２と、補正部４０５とを有する。【００４７】
位相差検出部４０２は、検出器４４０によるシフト量の検出と並行して、出力指示部４３０の指示により出力された調整用信号を、第１選択部４２０によって選択された信号入出力部１５０内のコンパレータ１５４が入力するまでの位相差を検出する。即ち例えば、ＤＲ１から出力された調整用信号はＣＰ２に入力されて、検出器４４０によって第１シフト量が検出される。これと並行して、ＤＲ１から出力されたこの調整用信号はＣＰ１にも入力されて、ＤＲ１およびＣＰ１の信号入出力の位相差が位相差検出部４０２によって検出される。【００４８】
補正部４０５は、位相差検出部４０２によって検出された位相差に基づいて、算出部４５０に入力される第１シフト量および第２シフト量を補正する。例えば、補正部４０５は、ＣＰ２の信号入力の位相がＤＲ２の信号出力の位相よりも遅れていれば、その位相差を第１シフト量に加えてもよい。これにより、それぞれの信号入出力部１５０内で信号出力および信号入力の位相が略等しいことを前提とした第１シフト量および第２シフト量を、算出部４５０に入力することができる。【００４９】
その他の構成については、図４と略同一であるから説明を省略する。
以上、本変形例においては、第１の位相調整および第２の位相調整を並列に処理することで、調整処理に要する時間を短縮することができる。また、図１から図６に示す実施形態と同様に、配線の信号遅延量が不明な場合であっても、各端子の信号入出力の位相を略同一に調整することができる。【００５０】
図８は、本実施形態の第２変形例に係る試験装置１００の全体構成を示す。本変形例に係る試験装置１００は、図１に示した試験装置１００と略同一の構成および機能を採るので、図１に示した部材と略同一の構成および機能を採る部材については、同一符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。【００５１】
本変形例に係る試験装置１００は、第１の基板に設けられた第１の端子グループ７１０と、第１の基板とは異なる第２の基板に設けられた第２の端子グループ７２０と、キャリブレーションボード７５０と、第１の遅延量レジスタ７６０と、第２の遅延量レジスタ７７０と、制御装置２００とを備える。【００５２】
ここで、第１の端子グループ７１０と第２の端子グループ７２０との間における信号入出力部１５０の位相差（スキュー）は、グループ間に物理的な条件（温度条件、伝送経路、中継コネクタの嵌合条件、電源電圧条件、その他）の違いがあることから、同一基板内の場合よりも大きくなり易い。グループ間の位相差を求める別の方法としては、外部の基準タイミングの信号源と測定器を準備し、順次シリアルに接続して位相差を求めてキャリブレーションする方法がある。しかし、数千チャンネルもの信号入出力部１５０が存在するので、当該方法では時間がかかる難点があり、特に量産ラインの現場では問題となる。本件の第２変形例は、このような場合であっても、短時間にグループ間の位相差を求めることができる。【００５３】
第１の端子グループ７１０および第２の端子グループ７２０は、所定の単位でグループ化された複数の信号入出力部１５０および複数のピンリソース３００を有する。信号入出力部１５０およびピンリソース３００は、複数の入出力端子７００のそれぞれに対応して設けられる。複数の信号入出力部１５０およびピンリソース３００のそれぞれは、与えられるタイミング信号に応じて調整用信号を生成して、入出力端子７００から生成した調整用信号を出力し、また、与えられるタイミング信号に応じてストローブ信号を生成して、生成したストローブ信号のタイミングで入出力端子７００受け取った論理信号を論理判定する。【００５４】
また、本変形例において、複数のピンリソース３００のそれぞれは、信号入出力部１５０に対して与えられるタイミング信号を遅延させた調整用信号およびストローブ信号を出力する可変遅延回路を有する。即ち、本変形例において、可変遅延回路は、複数の信号入出力部１５０に一対一に対応して設けられる。【００５５】
第１の端子グループ７１０および第２の端子グループ７２０のそれぞれは、一例として、当該試験装置１００に装着される試験モジュールが搭載された基板単位でグループ化されてよい。すなわち、第１の端子グループ７１０が有する複数の信号入出力部１５０およびピンリソース３００は、第１の基板に設けられ、第２の端子グループ７２０が有する複数の信号入出力部１５０およびピンリソース３００は、第１の基板とは異なる第２の基板に設けられてよい。また、第１の端子グループ７１０および第２の端子グループ７２０のそれぞれは、一例として、接続される被試験デバイス２０単位でグループ化されてよい。すなわち、第１の端子グループ７１０が有する複数の信号入出力部１５０およびピンリソース３００は、第１の被試験デバイス２０に接続され、第２の端子グループ７２０が有する複数の信号入出力部１５０およびピンリソース３００は、第１の被試験デバイス２０とは異なる第２の被試験デバイス２０に接続されてよい。【００５６】
キャリブレーションボード７５０は、第１の端子グループ７１０の信号入出力部１５０と、第２の端子グループ７２０の信号入出力部１５０とを一対一に接続する。ここで、第１の端子グループ７１０が設けられた第１の基板と、第２の端子グループ７２０が設けられた第１の基板とは、同一の回路内容であってよい。キャリブレーションボード７５０は、一例として、第１の端子グループ７１０の少なくとも２以上の信号入出力部１５０と、第２の端子グループ７２０における同数の信号入出力部１５０とを一対一に接続してよい。また、キャリブレーションボード７５０は、第１の端子グループ７１０が有する複数の信号入出力部１５０と、第２の端子グループ７２０が有する対応する信号入出力部１５０とを接続する複数の配線７５５を有してよい。信号入出力部１５０間を接続する複数の配線７５５の長さは、互いに異なっていてもよい。キャリブレーションボード７５０は、一例として、被試験デバイス２０の端子に類似した端子形状を有するものであってＩＣソケット（又はコンタクトソケット）に装着可能な形態であってもよいし、ＩＣソケットを外した状態のソケットボードの電極に対して対面接触するボード状の形態であってもよいし、ソケットボードをショート配線する形態であってもよい。【００５７】
第１の遅延量レジスタ７６０は、第１の端子グループ７１０の複数のピンリソース３００に対して、所望のオフセット遅延を付与する。第１の遅延量レジスタ７６０は、第１の端子グループ７１０が有する信号入出力部１５０に対応して設けられた可変遅延回路に設定すべき基準遅延量を予め格納し、第１の端子グループ７１０が有する信号入出力部１５０に与えられるタイミング信号を遅延して生成される調整用信号およびストローブ信号の基準位相を略同一の位相に調整する。ここで、基準位相とは、パターン発生器により指定された指定遅延量が基準値（例えば０）の場合における、ピンリソース３０から出力される調整用信号およびストローブ信号の位相をいう。【００５８】
第２の遅延量レジスタ７７０は、第２の端子グループ７２０の複数のピンリソース３００に対して、所望のオフセット遅延を付与する。第２の遅延量レジスタ７７０は、第２の端子グループ７２０が有する信号入出力部１５０に対応して設けられた可変遅延回路に設定すべき基準遅延量を予め格納し、第２の端子グループ７２０が有する信号入出力部１５０およびピンリソース３００に与えられるタイミング信号を遅延して生成される調整用信号およびストローブ信号の基準位相を略同一の位相に調整する。【００５９】
なお、試験モジュール単位で複数の信号入出力部１５０およびピンリソース３００がグループ化されている場合、第１の端子グループ７１０の複数の信号入出力部１５０、複数のピンリソース３００及び第１の遅延量レジスタ７６０は、一例として、第１の基板に設けられ、第２の端子グループ７２０の複数の信号入出力部１５０、複数のピンリソース３００及び第２の遅延量レジスタ７７０は、第１の端子グループ７１０とは異なる第２の基板に設けられてよい。【００６０】
制御装置２００は、キャリブレーション部８００を有する。キャリブレーション部８００は、第１の端子グループ７１０が有するピンリソース３００および信号入出力部１５０に与えられるタイミング信号を遅延して生成される調整用信号及びストローブ信号の基準位相、及び第２の端子グループ７２０が有するピンリソース３００および信号入出力部１５０に与えられるタイミング信号を遅延して生成される調整用信号及びストローブ信号の基準位相を、信号入出力部１５０毎に設定する。キャリブレーション部８００は、第１のシフト量検出部８１０と、第２のシフト量検出部８２０と、位相設定部８３０とを含む。【００６１】
第１のシフト量検出部８１０は、第１の端子グループ７１０の第１の信号入出力部１５０から出力した調整用信号を、第２の端子グループ７２０の第２の信号入出力部１５０のストローブ信号により検出させた場合における、第２の信号入出力部１５０に与えられるタイミング信号を遅延して生成されるストローブ信号の基準位相からの位相シフト量を検出する。ここで、位相シフト量とは、遅延量を調整制御することによって調整用信号またはストローブ信号の位相を変化させた場合における、当該調整用信号またはストローブ信号の位相変化量をいう。【００６２】
また、各コンパレータ１５４は、一例として、スイッチ付きの終端抵抗（例えば５０Ωを）を有してよい。この場合、調整用信号を出力するドライバ１５２側のコンパレータ１５４は、終端抵抗のスイッチをオフ状態とし、調整用信号を受信する２つのコンパレータ１５４は、終端抵抗のスイッチをオン状態にして終端抵抗で終端した状態としてよい。【００６３】
第２のシフト量検出部８２０は、第２の端子グループ７２０の第２の信号入出力部１５０から出力した調整用信号を、第１の端子グループ７１０の第１の信号入出力部１５０のストローブ信号により検出させた場合における、第１の信号入出力部１５０に与えられるタイミング信号を遅延して生成されるストローブ信号の基準位相からの位相シフト量を検出する。【００６４】
位相設定部８３０は、第１のシフト量検出部８１０が検出した位相シフト量と、第２のシフト量検出部８２０が検出した位相シフト量との差分に基づいて、第１の端子グループ７１０におけるタイミング信号に応じて生成される調整用信号およびストローブ信号の基準位相の平均と、第２の端子グループ７２０におけるタイミング信号に応じて生成される調整用信号およびストローブ信号の基準位相の平均とが略一致するように、それぞれの基準位相を設定する。本変形例において、位相設定部８３０は、接続されたコンパレータ１５０の組み合わせごとに、位相シフト量の差分を算出し、各入出力端子７００について算出した差分の平均値に基づいて、それぞれの信号入出力部１５０に与える調整用信号の基準位相および信号入出力部１５０から出力された論理信号を受け取るストローブ信号の基準位相を設定する。また、位相設定部８３０は、一例として、第１の端子グループ７１０又は第２の端子グループ７２０のいずれかが有する信号入出力部１５０のそれぞれの調整用信号およびストローブ信号の基準位相を、差分の平均値に基づいて、略同一のシフト量でシフトさせてもよい。【００６５】
以上のような構成の本変形例に係る試験装置１００によれば、複数の信号入出力部１５０およびピンリソース３００を有する端子グループ毎に被試験デバイス２０との間で信号を授受する場合であっても、被試験デバイス２０との間で授受する信号の位相を精度よく調整することができる。【００６６】
図９は、第２変形例に係るピンリソース３００の構成の一例を、第１の遅延量レジスタ７６０（又は第２の遅延量レジスタ７７０）、信号入出力部１５０および入出力端子７００とともに示す。【００６７】
波形制御部３２０は、一例として、第１の可変遅延回路３２２を含んでよい。第１の可変遅延回路３２２は、タイミング発生器３３０から出力されたタイミング信号を遅延した調整用信号を出力する。この場合において、第１の可変遅延回路３２２は、パターン発生器３１０により指定された指定遅延量に、第１の遅延量レジスタ７６０（または第２の遅延量レジスタ７７０）に格納された基準遅延量を加えた遅延量分、タイミング発生器３３０から出力されたタイミング信号を遅延した調整用信号を生成する。ここで、第１の可変遅延回路３２２は、パターン発生器３１０から指定遅延量として基準値（例えば０）が指定された場合、調整用信号が基準位相となるような基準遅延量を格納する。【００６８】
そして、波形制御部３２０は、第１の可変遅延回路３２２により遅延された調整用信号を、ドライバ１５２および入出力端子７００を介して外部に供給する。これにより、波形制御部３２０によれば、基準位相から、パターン発生器３１０により指定された位相分シフトした位相の調整用信号を、外部に出力することができる。【００６９】
判定部３４０は、一例として、第２の可変遅延回路３４２と、タイミングコンパレータ３４４と、良否検出部３４６とを含んでよい。第２の可変遅延回路３４２は、タイミング発生器３３０から出力されたタイミング信号を、第１の遅延量レジスタ７６０（または第２の遅延量レジスタ７７０）に格納された基準遅延量分遅延したストローブ信号を出力する。ここで、第２の可変遅延回路３４２は、第１の可変遅延回路３２２に供給される基準遅延量と共通の値が供給される。【００７０】
タイミングコンパレータ３４４は、入出力端子７００およびコンパレータ１５４を介して受け取った論理信号を、第２の可変遅延回路３４２から出力されたストローブ信号のタイミングで論理判定する。そして、タイミングコンパレータ３４４は、論理判定した結果を表すタイミグ判定信号を出力する。良否検出部３４６は、タイミング判定信号とパターン発生器３１０により発生された期待値と比較して良否判定する。この判定部３４０によれば、タイミング発生器３３０により指定された位相から、予め指定された基準位相分シフトさせた位相のタイミングで、外部から受けた調整用信号を取り込むことができる。【００７１】
また、試験装置１００は、第１の端子グループ７１０が有する複数のピンリソース３００に共通した第１の基準遅延量を第１の遅延量レジスタ７６０から与える。従って、試験装置１００は、第１の端子グループ７１０が有する複数の信号入出力部１５０のそれぞれに与えられるタイミング信号を略同一のシフト量で全体的にシフトすることができる。同様に、試験装置１００は、第２の端子グループ７２０が有する複数のピンリソース３００に共通した第２の基準遅延量を第２の遅延量レジスタ７７０から与える。従って、試験装置１００は、第２の端子グループ７２０が有する複数の信号入出力部１５０のそれぞれに与えられるタイミング信号を略同一のシフト量で全体的にシフトすることができる。【００７２】
図１０は、第１の端子グループ７１０が有する信号入出力部１５０に与えられる各調整用信号（および各ストローブ信号）の基準位相の分布Ａおよび第２の端子グループ７２０が有する信号入出力部１５０に与えられる各調整用信号（および各ストローブ信号）の基準位相の分布Ｂを示す。【００７３】
同一端子のドライバ１５２からコンパレータ１５４までの遅延時間が試験モジュール単位で予め調整されているとする。この場合、第１の基板の複数の信号入出力部１５０およびピンリソース３００（第１の端子グループ７１０）に与えられる調整用信号（および各ストローブ信号）の基準位相（ＴＡ１、ＴＡ２、ＴＡ３、…）の分布は、図１０のＡに示すように、一例として、第１の平均位相（ＭＡ）をピークとした分布（例えばガウス分布）となる。また、第２の基板の複数の信号入出力部１５０およびピンリソース３００（第２の端子グループ７２０）に与えられる調整用信号（および各ストローブ信号）の基準位相（ＴＢ１、ＴＢ２、ＴＢ３、…）の分布は、図１０のＢに示すように、一例として、第２の平均位相（ＭＢ）をピークとした分布（例えばガウス分布）となる。【００７４】
このような場合において、調整用信号および各ストローブ信号の位相を試験モジュール間で略一致させるには、位相設定部８３０は、第１の平均位相（ＭＡ）と第２の平均位相（ＭＢ）とが一致するように、第１の端子グループ７１０に与えられる各タイミング信号を遅延して各調整用信号（および各ストローブ信号）を生成するための基準遅延量、および第２の端子グループ７２０に与えられる各タイミング信号を遅延して各調整用信号および各ストローブ信号を生成するための基準遅延量を調整すればよい。すなわち、位相設定部８３０は、第１の平均位相（ＭＡ）と第２の平均位相（ＭＢ）との差（ＭＢ−ＭＡ）が略０となるように、第１の端子グループ７１０における各タイミング信号および第２の端子グループ７２０におけるタイミング信号の少なくとも一方の遅延量をシフトして、調整用信号および各ストローブ信号を生成すればよい。【００７５】
ここで、第１の端子グループ７１０および第２の端子グループ７２０が有する複数の信号入出力部１５０の個数をそれぞれｎとした場合、第１の平均位相（ＭＡ）および第２の平均位相（ＭＢ）は、式（１）および式（２）により表される。【００７６】
【数１】
2007072738.tif 000003
【００７７】
式（１）および式（２）から、平均の位相ずれ量（ＭＢ−ＭＡ）は、式（３）により表される。【００７８】
【数２】
2007072738.tif 000004
【００７９】
式（３）の右辺を書き換えると、式（４）により表される。【００８０】
【数３】
2007072738.tif 000005
【００８１】
式（４）を参照すると、第１の平均位相（ＭＡ）と第２の平均位相（ＭＢ）との差（ＭＢ−ＭＡ）は、キャリブレーションボード７５０によって接続された信号入出力部１５０間の調整用信号およびストローブ信号の位相のずれ量の平均であることがわかる。従って、調整用信号およびストローブ信号の位相を第１の端子グループ７１０と第２の端子グループ７２０との間で略一致するように調整するには、位相設定部８３０は、キャリブレーションボード７５０によって一対一の関係で接続された信号入出力部１５０の組み合わせごとに位相のずれ量を算出し、算出した位相のずれ量の平均値を算出する。そして、位相設定部８３０は、算出した平均値に応じた遅延時間分、第１の端子グループ７１０における各調整用信号およびストローブ信号、並びに第２の端子グループ７２０における各調整用信号およびストローブ信号の時間差が小さくなるように、少なくとも一方の各タイミング信号の遅延量をシフトすればよい。【００８２】
図１１は、第２変形例に係る試験装置１００による調整処理のフローチャートを示す。まず、試験装置１００は、被試験デバイス２０に代えて、キャリブレーションボード７５０を当該試験装置１００に配置する（Ｓ９００）。これにより、試験装置１００は、第１の端子グループ７１０が有する複数の信号入出力部１５０のそれぞれと、第２の端子グループ７２０が有する複数の信号入出力部１５０のそれぞれとを一対一の関係で接続することができる。【００８３】
次に、位相設定部８３０は、一対一で接続された信号入出力部１５０の組み合わせ毎に、Ｓ９２０からＳ９４０までの処理を繰り返す（Ｓ９１０、Ｓ９５０）。【００８４】
繰り返し処理内において、第１のシフト量検出部８１０は、第１の端子グループ７１０の第１の信号入出力部１５０に調整用信号を出力させ、且つ第２の端子グループ７２０の第２の信号入出力部１５０のストローブ信号の位相を所定位相からシフトさせて、第２の信号入出力部１５０が当該信号を検出できた場合におけるストローブ信号の第１の位相シフト量を検出する（Ｓ９２０）。【００８５】
ステップＳ９２０において、第１のシフト量検出部８１０は、一例として、第１の端子グループ７１０側のピンリソース３００からパルス波形の調整用信号を出力させ、第２の端子グループ７２０側のピンリソース３００により当該パルス波形を取り込ませて第１の位相シフト量を検出させてよい。この場合において、第１のシフト量検出部８１０は、パルス波形の調整用信号を試験サイクル毎に繰り返し出力させるとともに、第２の端子グループ７２０側のストローブ信号の位相を試験サイクル毎に所定位相から順次に変化させながらパルス波形を取り込ませることより、当該パルス波形を取り込むことができたストローブ信号の位相を検出する。そして、第１のシフト量検出部８１０は、取り込み開始時におけるストローブ信号の位相と、パルス波形を取り込むことができた時のストローブ信号の位相との差を、第１の位相シフト量として検出してよい。【００８６】
次に、第２のシフト量検出部８２０は、第２の端子グループ７２０の第２の信号入出力部１５０に調整用信号を出力させ、且つ第１の端子グループ７１０の第１の信号入出力部１５０のストローブ信号の位相を所定位相からシフトさせて、第１の信号入出力部１５０が当該信号を検出できた場合におけるストローブ信号の第２の位相シフト量を検出する（Ｓ９３０）。【００８７】
ステップＳ９３０において、第２のシフト量検出部８２０は、一例として、第２の端子グループ７２０側のピンリソース３００からパルス波形の調整用信号を出力させ、第１の端子グループ７１０側のピンリソース３００によりパルス波形を取り込ませて第２の位相シフト量を検出させてよい。この場合において、第２のシフト量検出部８２０は、パルス波形の調整用信号を試験サイクル毎に繰り返し出力させるとともに、第１の端子グループ７１０側のストローブ信号の位相を試験サイクル毎に所定位相から順次に変化させながらパルス波形を取り込ませることにより、当該パルス波形を取り込むことができたストローブ信号の位相を検出する。そして、第２のシフト量検出部８２０は、取り込み開始時におけるストローブ信号の位相と、パルス波形を取り込むことができた時のストローブ信号の位相との差を、第２の位相シフト量として検出してよい。【００８８】
次に、位相設定部８３０は、第１の位相シフト量と第２の位相シフト量との差分の１／２の値を算出する（Ｓ９４０）。そして、位相設定部８３０は、算出した値を、当該信号入出力部１５０の組み合わせにおける調整用信号およびストローブ信号の位相のずれ量として、例えばメモリに記憶する。【００８９】
Ｓ９２０からＳ９４０までの処理を全ての信号入出力部１５０の組み合わせについて終了した後（Ｓ９５０）、次に、位相設定部８３０は、信号入出力部１５０の組み合わせ毎に算出された位相のずれ量の平均を算出する（Ｓ９６０）。そして、位相設定部８３０は、ステップＳ９６０により算出された位相のずれ量の平均値に基づいて、第１の端子グループ７１０および第２の端子グループ７２０に与える基準位相を設定する（Ｓ９７０）。【００９０】
以上のような本変形例に係る試験装置１００によれば、複数の信号入出力部１５０を有する端子グループ毎に被試験デバイス２０と信号を授受する場合であっても、被試験デバイス２０との間で授受する信号の位相を精度よく調整することができる。【００９１】
図１２は、本実施形態の第３変形例に係る試験装置１００の構成の一例を示す。本変形例に係る試験装置１００は、図８に示した第２変形例に係る試験装置１００と略同一の構成および機能を採るので、図８に示した部材と略同一の構成および機能を採る部材については、同一符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。【００９２】
本変形例に係る試験装置１００は、１つの第２の端子グループ７２０に代えて、複数の第２の端子グループ７２０を備える。すなわち、本変形例に係る試験装置１００は、複数の信号入出力部１５０を有する３以上の端子グループを備える。【００９３】
本変形例において、キャリブレーションボード７５０は、第１の端子グループ７１０のそれぞれの信号入出力部１５０と、複数の第２の端子グループ７２０のそれぞれにおける対応する信号入出力部１５０とを接続する。このような本変形例に係るキャリブレーション部８００は、まず、第１の端子グループ７１０と１番目の第２の端子グループ７２０との間で、調整用信号およびストローブ信号の位相を略一致させる。次に、キャリブレーション部８００は、第１の端子グループ７１０と２番目の第２の端子グループ７２０との間で調整用信号およびストローブ信号の位相を略一致させる。この場合において、キャリブレーション部８００は、第１の端子グループ７１０の調整用信号およびストローブ信号の位相を変化させずに、２番目の第２の端子グループ７２０の調整用信号およびストローブ信号の位相を調整する。【００９４】
そして、キャリブレーション部８００は、３番目以降の第２の端子グループ７２０についても、２番目の第２の端子グループ７２０と同様に調整用信号およびストローブ信号の位相を調整する。以上により、本変形例に係る試験装置１００によれば、３以上の端子グループのタイミング信号の位相を精度よく調整することができる。【００９５】
図１３は、以上の実施形態またはその変形例において制御装置２００として機能する情報処理装置５００のハードウェア構成の一例を示す。情報処理装置５００は、ホストコントローラ１０８２により相互に接続されるＣＰＵ１０００、ＲＡＭ１０２０、及びグラフィックコントローラ１０７５を有するＣＰＵ周辺部と、入出力コントローラ１０８４によりホストコントローラ１０８２に接続される通信インターフェイス１０３０、ハードディスクドライブ１０４０、及びＣＤ−ＲＯＭドライブ１０６０を有する入出力部と、入出力コントローラ１０８４に接続されるＢＩＯＳ１０１０、フレキシブルディスクドライブ１０５０、及び入出力チップ１０７０を有するレガシー入出力部とを備える。【００９６】
ホストコントローラ１０８２は、ＲＡＭ１０２０と、高い転送レートでＲＡＭ１０２０をアクセスするＣＰＵ１０００及びグラフィックコントローラ１０７５とを接続する。ＣＰＵ１０００は、ＢＩＯＳ１０１０及びＲＡＭ１０２０に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。グラフィックコントローラ１０７５は、ＣＰＵ１０００等がＲＡＭ１０２０内に設けたフレームバッファ上に生成する画像データを取得し、表示装置１０８０上に表示させる。これに代えて、グラフィックコントローラ１０７５は、ＣＰＵ１０００等が生成する画像データを格納するフレームバッファを、内部に含んでもよい。【００９７】
入出力コントローラ１０８４は、ホストコントローラ１０８２と、比較的高速な入出力装置である通信インターフェイス１０３０、ハードディスクドライブ１０４０、及びＣＤ−ＲＯＭドライブ１０６０を接続する。通信インターフェイス１０３０は、ネットワークを介して外部の装置と通信する。ハードディスクドライブ１０４０は、情報処理装置５００が使用するプログラム及びデータを格納する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ１０６０は、ＣＤ−ＲＯＭ１０９５からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ１０２０又はハードディスクドライブ１０４０に提供する。【００９８】
また、入出力コントローラ１０８４には、ＢＩＯＳ１０１０と、フレキシブルディスクドライブ１０５０や入出力チップ１０７０等の比較的低速な入出力装置とが接続される。ＢＩＯＳ１０１０は、情報処理装置５００の起動時にＣＰＵ１０００が実行するブートプログラムや、情報処理装置５００のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。フレキシブルディスクドライブ１０５０は、フレキシブルディスク１０９０からプログラム又はデータを読み取り、入出力チップ１０７０を介してＲＡＭ１０２０またはハードディスクドライブ１０４０に提供する。入出力チップ１０７０は、フレキシブルディスク１０９０や、例えばパラレルポート、シリアルポート、キーボードポート、マウスポート等を介して各種の入出力装置を接続する。【００９９】
情報処理装置５００に提供されるプログラムは、フレキシブルディスク１０９０、ＣＤ−ＲＯＭ１０９５、又はＩＣカード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。プログラムは、入出力チップ１０７０及び/又は入出力コントローラ１０８４を介して、記録媒体から読み出され情報処理装置５００にインストールされて実行される。実行されるプログラムは、例えば、本発明の係る調整プログラムである。この調整プログラムが情報処理装置５００等に働きかけて行わせる動作は、図１から図１２において説明した制御装置２００における動作と同一であるから、説明を省略する。【０１００】
以上に示したプログラムは、外部の記憶媒体に格納されてもよい。記憶媒体としては、フレキシブルディスク１０９０、ＣＤ−ＲＯＭ１０９５の他に、ＤＶＤやＰＤ等の光学記録媒体、ＭＤ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ＩＣカード等の半導体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワークやインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はＲＡＭ等の記憶装置を記録媒体として使用し、ネットワークを介してプログラムを情報処理装置５００に提供してもよい。【０１０１】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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