【手続補正書】
【提出日】平成20年5月30日(2008.5.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸素濃度が２ｐｐｍ未満であり、波長１９３ｎｍでの吸光度が１ｃｍ-1またはそれ未満である１，１'−ビシクロヘキシル、デカヒドロナフタレンまたはｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエンより本質的になる組成物。
【請求項２】
波長が１９３ｎｍから２４８ｎｍのＵＶ光線を放出するレーザを提供し、フォトレジストポリマーを含んでなるターゲット表面を提供し、ターゲット表面の少なくとも一部をレーザからの経路に沿って誘導されるＵＶ光線で像様照光し、経路の少なくとも一部に液体アルカンより本質的になる組成物を配置することを含んでなる方法であって、前記液体アルカンが、非環式アルカン、環状アルカン、分岐アルカン、非分岐アルカンおよびこれらの混合物よりなる群から選択され、ターゲット表面が前記組成物に浸漬される、上記方法。
【請求項３】
アルカンが、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン、デカン、デカヒドロナフタレンラセミ酸塩、ｃｉｓ−デカヒドロナフタレン、ｔｒａｎｓ−デカヒドロナフタレン、ｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエン、１，１'−ビシクロヘキシル、２−エチルノルボルナン、ｎ−オクチル−シクロヘキサン、ドデカン、テトラデカン、ヘキサデカン、２−メチル−ペンタン、３−メチルペンタン、２，２−ジメチルブタン、２，３−ジメチルブタン、オクタヒドロインデンおよびこれらの混合物よりなる群から選択される請求項２に記載の方法。
【請求項４】
液体アルカンの屈折率が波長範囲内で１．６〜１．７の範囲である請求項２に記載の方法。
【請求項５】
光源が１９３ｎｍまたは２４８ｎｍの光を放出するレーザであり、表面がフォトレジストポリマーを含んでなり、表面が液体に浸漬され、表面を照光している光が表面の像様露光を発生させるものである請求項２または４に記載の方法。
【請求項６】
１つもしくはそれ以上の吸着剤床と酸素を最小限におさえた雰囲気とを含んでなる閉ループ液体再利用精製系にて再利用させることで、光への曝露後に液体を再生することをさらに含んでなる請求項２に記載の方法。
【請求項７】
波長１９３ｎｍまたは２４８ｎｍの光を放出するレーザと、フォトレジストポリマーを含んでなる表面であって、レーザの起動時に当該表面の少なくとも一部が、レーザから放出される光で照らされるように配置された表面と、表面を照らしている放出光の少なくとも一部が液体アルカンより本質的になる組成物を介して伝達されるようにレーザと表面との間に配置された液体アルカンより本質的になる組成物とを含んでなり、当該表面が前記組成物に浸漬される装置。
【請求項８】
表面がトップコートポリマーをさらに含んでなる請求項７に記載の装置。
【請求項９】
トップコートが、フッ素化溶媒に可溶な非晶質フッ素化ポリマーより本質的になる請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
非晶質フッ素化ポリマーが、ヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレン、パーフルオロジメチルジオキソール、パーフルオロメチルビニルエーテル、パーフルオロブテニルビニルエーテルおよびパーフルオロプロピルビニルエーテルから選択される２つまたはそれ以上のモノマーから調製されるコポリマーを含んでなるか、ポリマーが、パーフルオロブテニルビニルエーテルのホモポリマーである請求項９に記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１５】
では、所望の酸素レベルを＜２３００ｐｐｍに設定するのは何故であろうか。長い間にシクロヘキサンＯ2などの炭化水素が酸化して、本願発明者らの吸光度の仕様を維持するには＜１ｐｐｍで存在しなければならない強力な１９３ｎｍ発色団が生成される．本願発明者らは、自らのパッケージングで流体を無制限に保護したいのである。本願発明者らのパッキング方法は、グローブボックスまたはシリンダー窒素の酸素レベルの特徴すなわち、シクロヘキサンよりも上の窒素相中に酸素が約２〜５ｐｐｍである状態を達成して維持するように設計されている。ヘンリーの法則によれば、５ｐｐｍの酸素を含有する窒素がシクロヘキサンよりも上にあると、シクロヘキサンの溶存酸素濃度が約０．２ｐｐｂ（十億分の一）になる。シクロヘキサンで０．２ｐｐｂまたはそれ未満の溶存酸素量を維持することで、溶解しているＯ2がシクロヘキサンと反応し手、時間がたつうちには１９３ｎｍで測定可能な度合いでＡ／ｃｍに影響してくる危険性を効果的に排除することができる（窒素の容量がシクロヘキサンの容量を大幅に超えることがない容器であると仮定する）。
本発明の主たる特徴または態様は次のとおりである。
態様１：酸素濃度が２ｐｐｍ未満であり、波長１９３ｎｍでの吸光度が１ｃｍ-1またはそれ未満である１，１'−ビシクロヘキシルより本質的になる組成物。
態様２：酸素濃度が２ｐｐｍ未満であり、波長１９３ｎｍでの吸光度が１ｃｍ-1またはそれ未満であるデカヒドロナフタレンより本質的になる組成物。
態様３：酸素濃度が２ｐｐｍ未満であり、波長１９３ｎｍでの吸光度が１ｃｍ-1またはそれ未満であるｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエンより本質的になる組成物。
態様４：吸光度が０．０１から１ｃｍ-1の範囲にある態様１または２に記載の組成物。
態様５：吸光度が０．０１から０．５ｃｍ-1の範囲にある態様４に記載の組成物。
態様６：波長が１９３ｎｍから２４８ｎｍのＵＶ光線を放出するレーザを提供し、フォトレジストポリマーを含んでなるターゲット表面を提供し、ターゲット表面の少なくとも一部を、レーザから経路に沿って誘導されるＵＶ光線で像様照光し、経路の少なくとも一部に、液体アルカンより本質的になる組成物を配置することを含んでなる方法であって、液体アルカンが、非環式アルカン、環状アルカン、分岐アルカン、非分岐アルカンおよびこれらの混合物よりなる群から選択され、ターゲット表面が前記組成物に浸漬される上記方法。
態様７：アルカンが、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン、デカン、デカヒドロナフタレンラセミ酸塩、ｃｉｓ−デカヒドロナフタレン、ｔｒａｎｓ−デカヒドロナフタレン、ｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエン、１，１'−ビシクロヘキシル、２−エチルノルボルナン、ｎ−オクチル−シクロヘキサン、ドデカン、テトラデカン、ヘキサデカン、２−メチル−ペンタン、３−メチルペンタン、２，２−ジメチルブタン、２，３−ジメチルブタン、オクタヒドロインデンおよびこれらの混合物よりなる群から選択される態様６に記載の方法。
態様８：アルカンが、２，３−ジメチルブタンラセミ酸塩である態様７に記載の方法。
態様９：１９３ｎｍでの液体の吸光度が１ｃｍ-1未満である態様６に記載の方法。
態様１０：吸光度が０．０１〜１ｃｍ-1の範囲である態様９に記載の方法。
態様１１：吸光度が０．０１〜０．５ｃｍ-1の範囲である態様９に記載の方法。
態様１２：液体アルカンの屈折率が波長範囲内で１．６〜１．７の範囲である態様６に記載の方法。
態様１３：光源が１９３ｎｍの光を放出するレーザである態様６に記載の方法。
態様１４：光源が２４８ｎｍの光を放出するレーザである態様６に記載の方法。
態様１５：ターゲット表面が、トップコートポリマーをさらに含んでなる態様６に記載の方法。
態様１６：光源が１９３ｎｍの光を放出するレーザであり、表面がフォトレジストポリマーを含んでなり、表面が液体に浸漬され、表面を照光している光が表面の像様露光を発生させるものである態様６または１２に記載の方法。
態様１７：光源が２４８ｎｍの光を放出するレーザであり、表面がフォトレジストポリマーを含んでなり、表面が液体に浸漬され、表面を照光している光が表面の像様露光を発生させるものである態様６または１２に記載の方法。
態様１８：アルカン液体から汚染物を抽出することをさらに含んでなる態様６に記載の方法。
態様１９：抽出することが、液体を吸着剤と接触させることを含んでなる態様１８に記載の方法。
態様２０：吸着剤が、シリカゲル、炭素、モレキュラーシーブ、アルミナおよびこれらの混合物よりなる群から選択される態様１９に記載の方法。
態様２１：抽出後の液体を酸素を最小限におさえた雰囲気中にて取り扱い、維持することをさらに含んでなる態様１８に記載の方法。
態様２２：液体を吸着剤と接触させる前に、グリースのない蒸留装置で分留することをさらに含んでなる態様１９に記載の方法。
態様２３：１つもしくはそれ以上の吸着剤床と酸素を最小限におさえた雰囲気とを含んでなる閉ループ液体再利用精製系にて再利用させることで、光への曝露後に液体を再生することをさらに含んでなる態様６に記載の方法。
態様２４：波長１９３ｎｍまたは２４８ｎｍの光を放出するレーザと、フォトレジストポリマーを含んでなる表面であって、レーザの起動時に当該表面の少なくとも一部が、レーザから放出される光で照光されるように配置された表面と、表面を照光している放出光の少なくとも一部が液体アルカンより本質的になる組成物を介して伝達されるようにレーザと表面との間に配置された液体アルカンより本質的になる組成物とを含んでなり、当該表面が前記組成物に浸漬される装置。
態様２５：液体アルカンの１９３ｎｍでの吸光度が１ｃｍ-1未満である態様２４に記載の装置。
態様２６：吸光度が０．０１から１ｃｍ-1の範囲にある態様２４に記載の装置。
態様２７：吸光度が０．０１から０．５ｃｍ-1の範囲にある態様２６に記載の装置。
態様２８：液体の屈折率が波長範囲１７０から２６０ｎｍで１．６〜１．７の範囲にある態様２４に記載の装置。
態様２９：光源が、１９３ｎｍの光を放出するレーザである態様２４に記載の装置。
態様３０：光源が２４８ｎｍの光を放出するレーザである態様２４に記載の装置。
態様３１：表面がトップコートポリマーをさらに含んでなる態様２４に記載の装置。
態様３２：光源が１９３ｎｍの光を放出するレーザであり、表面がフォトレジストポリマーを含んでなり、表面が液体に浸漬され、装置が表面の像様露光を達成するための手段を有する請求項２７または態様２８に記載の装置。
態様３３：光源が２４８ｎｍの光を放出するレーザであり、表面がフォトレジストポリマーを含んでなり、表面が液体に浸漬され、装置が表面の像様露光を達成するための手段を有する態様２４または２８に記載の装置。
態様３４：トップコートが、フッ素化溶媒に可溶な非晶質フッ素化ポリマーより本質的になる態様３１に記載の装置。
態様３５：非晶質フッ素化ポリマーが、ヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレン、パーフルオロジメチルジオキソール、パーフルオロメチルビニルエーテル、パーフルオロブテニルビニルエーテルおよびパーフルオロプロピルビニルエーテルから選択される２つまたはそれ以上のモノマーから調製されるコポリマーを含んでなるか、ポリマーが、パーフルオロブテニルビニルエーテルのホモポリマーである態様３４に記載の装置。
態様３６：コポリマーが、テトラフルオロエチレン由来のモノマー単位と、パーフルオロジメチルジオキソール由来のモノマー単位３０から９０モル％とを含んでなる態様３５に記載の装置。
態様３７：酸素を最小限におさえた雰囲気をさらに含んでなる態様２４に記載の装置。
態様３８：１つもしくはそれ以上の吸着剤床と不活性ガス雰囲気とを含んでなる閉ループ液体再利用精製系をさらに含んでなる態様２４に記載の装置。
態様３９：アルカンが、非環式アルカン、環状アルカン、分岐アルカン、非分岐アルカンおよびこれらの混合物から選択される１つもしくはそれ以上のアルカンより本質的になる態様２４に記載の装置。