【手続補正書】
【提出日】平成20年9月24日(2008.9.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸気口及び排気口を有するスクロールセットであって、このスクロールセットは、固定スクロールブレードを含む固定スクロール要素、及び旋回スクロールブレードを含む旋回スクロール要素を具備し、前記固定スクロールブレードと前記旋回スクロールブレードとがブレード間のポケットを画定するように相互にかみ合わされているスクロールセットと、
モータと、
前記モータと前記旋回スクロール要素との間に動作可能なように連結され、前記モータを作動させたとき、前記固定スクロールブレードに対する前記旋回スクロールブレードの旋回運動を起こすクランク軸であって、このクランク軸は、第１の材料から成る第１構成要素を具備し、この第１構成要素は、第２の材料から成る第２構成要素に堅く接合されており、前記第１構成要素は、第１の熱膨張係数を有しており、前記第２構成要素は、前記第１の熱膨張係数と著しく異なる第２の熱膨張係数を有しており、前記第１および第２構成要素は、真空ポンプ装置の稼働中、軸方向への膨張が制御され、前記旋回スクロール要素と前記固定スクロール要素との間に小さな非接触のギャップが確立されるような相対的長さを有している、クランク軸とを具備する真空ポンプ装置。
【請求項２】
前記第１の材料及び前記第２の材料が金属であることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ装置。
【請求項３】
前記第１の材料は鋼を含み、前記第２の材料は低い熱膨張係数を有する鉄−ニッケル合金を含むことを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ装置。
【請求項４】
前記第１構成要素が前記第２構成要素に摩擦溶接されていることを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ装置。
【請求項５】
前記第１構成要素が前記第２構成要素に機械的に固定されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ装置。
【請求項６】
前記第１構成要素が前記第２構成要素に対してスエージされていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ装置。
【請求項７】
前記第１構成要素が前記第２構成要素に螺合されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ装置。
【請求項８】
ポンプフレームを更に具備し、前記モータ及び前記固定スクロール要素が前記ポンプフレームに固定されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ装置。
【請求項９】
前記クランク軸が、その一端で前記ポンプフレームに回転自在に固定されていることを特徴とする請求項８に記載の真空ポンプ装置。
【請求項１０】
所望の軸方向の熱膨張を提供できるように、前記クランク軸の前記第１構成要素及び前記第２構成要素の寸法及び材料が選択されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ装置。
【請求項１１】
ポンプフレームと、
固定スクロールブレードを含み、前記ポンプフレームに固定された固定スクロール要素と、
前記固定スクロールブレードとかみ合う旋回スクロールブレードを含む旋回スクロール要素と、
前記ポンプフレームに固定されたモータと、
前記モータと前記旋回スクロール要素との間に結合され、前記モータを作動させたとき、前記固定スクロールブレードに対する前記旋回スクロールブレードの旋回運動を起こすクランク軸であって、このクランク軸は、第１の熱膨張係数を有する第１構成要素、及び前記第１の熱膨張係数と著しく異なる第２の熱膨張係数を有する第２構成要素を具備し、前記第１および第２構成要素は、真空ポンプ装置の稼働中、軸方向への膨張が制御され、前記旋回スクロール要素と前記固定スクロール要素との間に小さな非接触のギャップが確立されるような相対的長さを有している、クランク軸と、を具備する真空ポンプ装置。
【請求項１２】
前記第１構成要素が鋼を含み、前記第２構成要素が低い熱膨張係数を有する鉄‐ニッケル合金を含むことを特徴とする請求項１１に記載の真空ポンプ装置。
【請求項１３】
前記第１構成要素及び前記第２構成要素が金属から作られていることを特徴とする請求項１１に記載の真空ポンプ装置。
【請求項１４】
前記第１構成要素が前記第２構成要素に摩擦溶接されていることを特徴とする請求項１１に記載の真空ポンプ装置。
【請求項１５】
前記第１構成要素が前記第２構成要素に機械的に固定されていることを特徴とする請求項１１に記載の真空ポンプ装置。
【請求項１６】
第１のスクロール要素及び第２のスクロール要素を具備するタイプの真空ポンプ装置の動作方法であって、
モータ及び偏心クランク軸により、前記第１のスクロール要素に対する前記第２のスクロール要素の旋回運動を起こすことを含み、前記偏心クランク軸は、第１の熱膨張係数を有する第１の材料の第１構成要素を具備し、この第１構成要素は、前記第１の熱膨張係数と著しく異なる第２の熱膨張係数を有する第２の材料の第２構成要素に堅く接合されており、前記第１および第２構成要素は、真空ポンプ装置の稼働中、軸方向への膨張が制御され、前記旋回スクロール要素と前記固定スクロール要素との間に小さな非接触のギャップが確立されるような相対的長さを有している、ことを特徴とする真空ポンプ装置の動作方法。
【請求項１７】
前記第１構成要素が鋼を含み、前記第２構成要素が低い熱膨張係数を有する鉄‐ニッケル合金を含むことを特徴とする請求項１６に記載の真空ポンプ装置の動作方法。
【請求項１８】
所望の軸方向の熱膨張を提供できるように、前記クランク軸の前記第１構成要素及び前記第２構成要素の寸法及び材料を選択することを更に含むことを特徴とする請求項１６に記載の真空ポンプ装置の動作方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の第１の局面によると、真空ポンプ装置が提供される。この真空ポンプ装置は、吸気口及び排気口を有するスクロールセットと、モータと、クランク軸とを具備する。スクロールセットは、固定スクロールブレードを含む固定スクロール要素、及び旋回スクロールブレードを含む旋回スクロール要素を具備する。固定スクロールブレードと旋回スクロールブレードとは、ブレード間のポケットを画定するように相互にかみ合わされている。クランク軸は、モータを作動させた際、固定スクロールブレードに対する旋回スクロールブレードの旋回運動を起こすように、モータと旋回スクロール要素との間に動作可能なように結合されている。クランク軸は、第１の材料から成る第１構成要素を具備し、第１構成要素は、第２の材料から成る第２構成要素に堅く接合されている。第１構成要素は、第１の熱膨張係数を有しており、第２構成要素は、第１の熱膨張係数と著しく異なる第２の熱膨張係数を有しており、第１および第２構成要素は、真空ポンプ装置の稼働中、軸方向への膨張が制御され、旋回スクロール要素と固定スクロール要素との間に小さな非接触のギャップが確立されるような相対的長さを有している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
第１の材料及び第２の材料は、金属であってもよい。幾つかの実施形態において、第１の材料は鋼を含み、第２の材料は低い熱膨張係数を有する鉄‐ニッケル合金を含む。クランク軸の第１構成要素及び第２構成要素の寸法及び材料は、所望の熱膨張が提供できるように選択され得る。
本発明の第２の局面によると、真空ポンプ装置が提供される。この真空ポンプ装置は、ポンプフレームと、固定スクロールブレードを含み、ポンプフレームに固定された固定スクロール要素と、固定スクロールブレードとかみ合う旋回スクロールブレードを含む旋回スクロール要素と、ポンプフレームに固定されたモータと、モータを作動させたとき、固定スクロールブレードに対する旋回スクロールブレードの旋回運動を起こすようにモータと旋回スクロール要素との間に結合されたクランク軸と、を具備する。クランク軸は、第１の熱膨張係数を有する第１構成要素、及び第１の熱膨張係数と著しく異なる第２の熱膨張係数を有する第２構成要素を具備し、第１および第２構成要素は、真空ポンプ装置の稼働中、軸方向への膨張が制御され、旋回スクロール要素と固定スクロール要素との間に小さな非接触のギャップが確立されるような相対的長さを有している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の第３の局面によると、第１のスクロール要素及び第２のスクロール要素を具備するタイプの真空ポンプ装置の動作方法が提供される。本方法は、モータ及び偏心クランク軸により、第１のスクロール要素に対する第２のスクロール要素の旋回運動を起こすことを含む。偏心クランク軸は、第１の熱膨張係数を有する第１の材料の第１構成要素を具備し、第１構成要素は、第１の熱膨張係数と著しく異なる第２の熱膨張係数を有する第２の材料の第２構成要素に堅く接合されている。第１および第２構成要素は、真空ポンプ装置の稼働中、軸方向への膨張が制御され、旋回スクロール要素と固定スクロール要素との間に小さな非接触のギャップが確立されるような相対的長さを有している。