【手続補正書】
【提出日】平成20年10月8日(2008.10.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの物品を格納する容器を処理ツールに差出すためのシステムであって、
（あ）載せポート部を備え、前記載せポート部は、
開口を有するフレームと、
容器を受取るように構成された支持構造体と、
第１の高さと第２の高さの間で実質的に垂直方向に前記支持構造体を移動させるための駆動機構とを有しており、
（い）更に、実質的に容器輸送平面に沿って前記容器を移動可能に支持するためのコンベヤを備え、
前記支持構造体が前記第２の高さに位置するときに、前記コンベヤ上を移動する容器は、前記支持構造体の上方を障害なしに移動し、
前記容器が前記第２の高さに配置された前記支持構造体の上を移動する間、障害なしに移動する容器は、前記支持構造体に接触せず、
前記支持構造体が前記第２の高さに配置されているときに、前記支持構造体は、前記容器輸送平面よりも下方に配置され、
前記支持構造体が前記第１の高さに配置されているときに、前記支持構造体は、前記容器輸送平面よりも上方に配置される、
ことを特徴とするシステム。
【請求項２】
前記載せポート部は、更に、ポート扉を有し、前記ポート扉は、物品が前記開口を通過することを阻止する閉位置と、物品が前記開口を通過することを許す開位置との間を移動することを特徴とする、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記支持構造体は、実質的に水平方向に前記容器を移動させるように構成された容器前進組立体を有することを特徴とする、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記支持構造体は、直径が１５０ｍｍから５００ｍｍの半導体ウェーハを輸送するための容器を受取ることができることを特徴とする、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記支持構造体は、フラットパネルディスプレイを輸送するための容器を受取るように構成されることを特徴とする、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記駆動機構は、
前記支持構造体に固定されたアームと、
前記アームを垂直方向に移動させるための駆動組立体と、
を有することを特徴とする、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記コンベヤは、
前記コンベヤ内の容器の移動方向と平行な第１のレールと、
前記第１のレールから離間し、且つ、前記第１のレールと平行な第２のレールとを有し、
前記第１のレールのうちの前記載せポート部を通過する部分は、前記アームが前記第１のレールの少なくとも一部を障害なしに通過することを可能にする、
ことを特徴とする、請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
前記コンベヤは、
上面を有する第１のレールと、
前記第１のレールから離間した第２のレールと、
を有することを特徴とする、請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
前記駆動機構は、垂直方向に調節可能なアームを有し、前記アームは、前記支持構造体に固定された遠位端を有することを特徴とする、請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記コンベヤは、ベルトコンベヤを有することを特徴とする、請求項１に記載のシステム。
【請求項１１】
前記コンベヤは、レールと、複数のローラとを有し、前記複数のローラのうちの各々のローラは、前記レールに回転可能に固着され、互いに離間し、且つ、前記レールから外向きに延びることを特徴とする、請求項１に記載のシステム。
【請求項１２】
前記支持構造体は、少なくとも２つのフィンガーを有し、前記少なくとも２つのフィンガーは、前記支持構造体が前記第２の高さに位置するときに、各々のフィンガーが隣接したローラの間に嵌まり込むように互いに離間することを特徴とする、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
容器を処理ツール間の第１のレール及び第２のレールに沿って移動可能に支持するコンベヤを有する半導体製造装置において、
載せポート部を備え、前記載せポート部は、
開口を有するフレームと、
容器を受取るように構成された支持構造体と、
前記支持構造体に連結され、且つ、前記支持構造体を前記フレームに対して実質的に垂直方向に移動させるための機構とを有しており、
前記機構は、前記支持構造体を前記コンベヤの第１のレールと第２のレールとの間の所定の位置まで下降させ、前記コンベヤに沿って移動する容器が、支持体の上を障害なしに通るように構成され、
前記支持構造体が前記所定の位置に配置されるときに、前記支持構造体は、前記容器輸送平面よりも下方に位置し、
前記機構は、前記支持構造体を上方の位置まで上昇させ、前記支持構造体が前記上方の位置に配置されるときに、前記コンベヤに沿って移動する別の容器が、前記支持構造体の下方を障害なしに通るように構成される、
ことを特徴とするシステム。
【請求項１４】
前記支持構造体は、容器前進組立体を備え、前記容器前進組立体は、前記容器前進組立体の上に着座した前記容器を前記フレームに対して実質的に水平方向に移動させるようになっていることを特徴とする、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
前記支持構造体は、直径が１５０ｍｍから６００ｍｍの半導体ウェーハを収容するための容器を受取ることができることを特徴とする、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１６】
前記支持構造体は、フラットパネルディスプレイを輸送するための容器を受取るように構成されることを特徴とする、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１７】
前記機構は、
前記支持構造体に固定された遠位端部を有するアームと、
前記アームを前記フレームに対して垂直方向に移動させるための駆動組立体と、
を有することを特徴とする、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１８】
前記載せポート部を通る前記第１のレールの部分は、前記アームが、前記第１のレールの少なくとも一部分を障害なしに通り抜けることを可能にすることを特徴とする、請求項１７に記載のシステム。
【請求項１９】
少なくとも１つの半導体ウェーハを収容する容器を処理ツールの間に移動可能に支持するためのコンベヤを有する半導体製造装置であって、
前記コンベヤは、実質的に容器輸送平面に沿って前記容器を移動させるように構成され、
載せポート部を備え、前記載せポート部は、
開口を有するフレームと、
前記容器を受取るために水平方向に調節可能な支持構造体と、
前記水平方向に調節可能な支持構造体に固定されたアームと、
前記支持構造体を前記フレームに対して実質的に垂直方向に移動させるために前記アームに連結された駆動機構とを有しており、
前記機構は、水平方向に調整可能な支持構造体を、容器輸送平面よりも低い高さを所定の位置まで下降させるように構成され、前記コンベヤに沿って移動する容器が、前記水平方向に調整可能な支持構造体の上を障害なしに通り、且つ、前記支持構造体に接触することなく障害なしに通ることを可能にし、
前記機構は、前記水平方向に調整可能な支持構造体を、前記容器輸送平面よりも高い高さを有する上方の位置まで上昇させるように構成される、
ことを特徴とする半導体製造装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
図１６及び図１７は、高さを低くした取付けプレート２１６を有する載せポート部２００を示す。高さを低くした取付けプレート２１６は、上述した取付けプレート１１６と同様、処理ツール１０１にＢＯＬＴＳインタフェースを介して固着されている。しかしながら、図１７に示すように、取付けプレート２１６が処理ツールに固着されているとき、取付けプレート２１６は、設備用床４まで下方に延びていない。その代わりに、取付けプレート２１６の底面と設備用床４との間に、隙間が残る。この隙間は、載せポート部２００全体を処理ツールから取外す必要なしに処理ツールを保守するアクセスポートを構成する。アクセスポートは、通常、作動中に粒子がアクセスポートを通って処理ツールに入らないように、処理ツールに固着されたブランクプレート（図示せず）によってカバーされている。処理ツールへのアクセスが必要な時はいつでも、ブランクプレートを取外すことができる。高さを低くした取付けプレート２１６はまた、作業者が載せポート部を処理ツールから取外して、載せポート部を床ベース型輸送システムよりも上に持上げることを可能にする。例えば、ブランクプレートを処理ツールに固着させたまま、取付けプレート２１６を処理ツールから取外してもよく、それにより、載せポート部を取扱うのに載せポート部をより軽くする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
図１８は、容器がトンネル１９０内において設備の中を輸送されてもよいことを示している。トンネル１９０は、アクセスポートを有し、ＦＯＵＰを得るために、ＦＯＵＰ前進プレート組立体１２２をアクセスポートを通してトンネル１９０内に下降させることを可能にすることが好ましい。トンネル１９０が、ＦＯＵＰ前進プレート組立体１２２の垂直方向移動経路を包囲する垂直方向セクションを含むことも、本発明の範囲内にある。これらの垂直方向セクションは、開放した容器又はカセットを設備の中で輸送する輸送システムに対して有用である。この実施形態では、容器の移動経路全体は、設備の残部から隔離される。開放した容器を輸送する垂直方向トンネルセクションも、物品マッピング機能を有するのがよい。例えば、垂直方向トンネルセクションは、容器が垂直方向に移動可能な支持プレートによって開口に向かって持上げられるとき、容器内の各ウェーハの位置を決定する光学走査組立体を含むのがよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
図１８、図１９、図２３、図２４は、Ｉ／Ｏポート３１５とコンベヤ１６０（又は他のＦＯＵＰ輸送装置）との間を垂直方向に移動するＦＯＵＰ前進プレート組立体を有する載せポート部の更に別の実施形態を示す。この実施形態では、載せポート部３００は、ＦＯＵＰ前進プレート組立体３２２と、運動プレート３１２と、ポート扉３１４と、Ｉ／Ｏポート３１５を有する取付けプレート３１６とを含む。この実施形態では、取付けプレート３１６は、処理ツール１０１にＢＯＬＴＳ−Ｌｉｇｈｔインタフェースを介して固着されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
図２０から図２２は、２つのＦＯＵＰを支持すると同時に軌道４２０に沿って輸送するためのシャトル４００の一実施形態を示す。シャトル４００が２つよりも多い又は少ないＦＯＵＰを保持することは、本発明の範囲内にある。この実施形態では、シャトル４００は、２組の支持体４０２を含み、支持体の各組は、単一のＦＯＵＰ２を支持する。各支持体４０２は、好ましくは、垂直部材４０８によって上支持体４０６から分離した下支持体４０４を含む。上支持体及び下支持体は、最下位置に配置されたＦＯＵＰ前進プレート組立体１２２と共に載せポート部を通るシャトル４００が邪妨害されることなしに載せポート部を通るように分離される。上支持体４０６は、ＦＯＵＰの底面を最小の接触状態で支持するように構成される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
シャトル４００は、任意の種類のレールに沿って移動するのがよい。単なる例示として、レール４２０は、１次駆動レール４２２と、２次支持レール４２４とを有する。図２０から図２２に示すシャトル４００は、２つの３００ｍｍＦＯＵＰ２Ａ、２Ｂを同時に輸送することができる。シャトルが２つ又はそれよりも多くのＦＯＵＰを運ぶことは、本発明の精神内及び範囲内にある。ＦＯＵＰ２Ａ及び２Ｂを１つのシャトル４００で同時に輸送することにより、より柔軟性のある配送シーケンスを可能にし、バッファ機能の利点をもたらす。例えば、２つのポッドシャトル４００は、「高速スワップ(fast swaps)」を行う機能を有する。言い換えれば、シャトル４００は、第１のＦＯＵＰ２Ａを載せポート部１００Ａから空の支持体４０２の上に回収し、次に、第２のＦＯＵＰ２Ｂをシャトル４００から同じ載せポート部１００Ａに載せる。これにより、最終ＦＯＵＰを未処理ウェーハを有する新しいＦＯＵＰと交換するのに必要な時間（例えば、ＦＯＯＵＰ内のウェーハが処理段階を終える）が非常に短いと考えられるので、各処理ツール１０１に必要な載せポート部１００の数を低減させる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
【図１】本発明の実施形態の斜視図である。
【図２Ａ】垂直方向に移動可能なＦＯＵＰ前進プレート組立体を有する載せポート部を更に示す、図１に示した実施形態の斜視図である。
【図２Ｂ】垂直方向に移動可能なＦＯＵＰ前進プレート組立体を有する載せポート部を更に示す、図１に示した実施形態の斜視図である。
【図２Ｃ】垂直方向に移動可能なＦＯＵＰ前進プレート組立体を有する載せポート部を更に示す、図１に示した実施形態の斜視図である。
【図２Ｄ】垂直方向に移動可能なＦＯＵＰ前進プレート組立体を有する載せポート部を更に示す、図１に示した実施形態の斜視図である。
【図２Ｅ】垂直方向に移動可能なＦＯＵＰ前進プレート組立体を有する載せポート部を更に示す、図１に示した実施形態の斜視図である。
【図２Ｆ】垂直方向に移動可能なＦＯＵＰ前進プレート組立体を有する載せポート部を更に示す、図１に示した実施形態の斜視図である。
【図３】最下位置に位置するＦＯＵＰ前進プレート組立体をどのようにコンベヤが収容するかを更に示す、図２Ａ〜図２Ｆに示した本発明の実施形態の平面図である。
【図４】従来技術の処理ツールに取付けられた従来の載せポート部の平面図である。
【図５】従来技術の従来の載せポート部の輪郭を示す平面図である。
【図６】本発明による載せポート部の輪郭を示す、本発明の実施形態の平面図である。
【図７】容器輸送システムのためにＦＯＵＰ前進プレート組立体の下に割当てられた空間を示す、図６に示した実施形態の平面図である。
【図８】コンベヤシステムの実施形態を示す、本発明の別の実施形態の平面図である。
【図９】床取付け型コンベヤシステムを有するシステムを示す、本発明の更に別の実施形態の平面図である。
【図１０】設備用床に組み込まれたコンベヤを有するシステムを示す、本発明の更に別の実施形態の平面図である。
【図１１】床下コンベヤシステムを示す、本発明の更に別の実施形態の平面図である。
【図１２】載せポート部の移動範囲を示す、本発明の実施形態の平面図である。
【図１３】本発明の別の実施形態の斜視図である。
【図１４】図１３に示したシステムにおける、本発明の実施形態の平面図である。
【図１５】図１３に示したシステムにおける、本発明の実施形態の正面図である。
【図１６】設備から隔離された容器輸送システムを示す、本発明の別の実施形態の斜視図である。
【図１７】高さを低くした２段の垂直方向駆動装置を示す、本発明の別の実施形態の斜視図である。
【図１８】載せポート部の更に別の実施形態を示す、本発明の別の実施形態の斜視図である。
【図１９】図１８に示す載せポート部の斜視図である。
【図２０】２つのツール間でＦＯＵＰを移動させるためのウェーハシャトルの実施形態を示す、本発明の別の実施形態の斜視図である。
【図２１】図２０に示した実施形態の平面図である。
【図２２】ウェーハシャトルの別の実施形態の斜視図である。
【図２３】図１８に関連した実施形態の斜視図である。
【図２４】図１９と同様に、床の下に延びた載せポート部を示す斜視図である。
【図２５】容器を移動可能に支持するためのベルトを有するコンベヤを示す、本発明の別の実施形態の斜視図である。
【図２６Ａ】容器を移動可能に支持するための片持ちホイールを有するコンベヤを示す、本発明の別の実施形態の図である。
【図２６Ｂ】容器を移動可能に支持するための片持ちホイールを有するコンベヤを示す、本発明の別の実施形態の図である。
【図２７】容器を移動可能に支持するための片持ちホイールを有するコンベヤを示す、本発明の別の実施形態の斜視図である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2008532288.tif 000001
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２Ｂ】
2008532288.tif 000002
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２Ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２Ｃ】
2008532288.tif 000003
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2008532288.tif 000004
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2008532288.tif 000005
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
2008532288.tif 000006
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
2008532288.tif 000007
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６】
2008532288.tif 000008
【手続補正１６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１７】
2008532288.tif 000009
【手続補正１７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１８】
2008532288.tif 000010
【手続補正１８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１９】
2008532288.tif 000011
【手続補正１９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２０】
2008532288.tif 000012
【手続補正２０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２１】
2008532288.tif 000013
【手続補正２１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２２】
2008532288.tif 000014
【手続補正２２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２３】
2008532288.tif 000015
【手続補正２３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２４】
2008532288.tif 000016