【手続補正書】
【提出日】平成19年3月22日(2007.3.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  機器を搭載する除振台を基礎上で支持する除振装置において、
前記除振台の振動を能動的に低減するための変位発生形アクチュエータを有する防振支持手段と、
前記防振支持手段と除振台または基礎との間に配置され、それらの間の相対変位を調整する変位調整機構とを具備し、
前記変位調整機構は前記防振支持手段よりも高剛性であり、前記防振支持手段と力学的に直列に配置されることを特徴とする除振装置。
【請求項２】  前記変位調整機構は、駆動手段を備えたものであり、前記除振台と基礎との相対変位を検出する検出手段と、この検出信号に補償を施して出力する補償手段と、この出力信号に基づいて前記変位調整機構を駆動する駆動回路とを備え、これにより前記除振台の位置または姿勢を所定の状態に維持するものであることを特徴とする請求項１に記載の除振装置。
【請求項３】  前記防振支持手段は、前記変位発生形アクチュエータと、前記変位発生形アクチュエータの前記除振台側に中間プレートを介して接続された弾性体と、前記除振台またはそれに剛に締結された部材もしくは前記機器の振動を検出する第１振動センサと、前記中間プレートの振動を検出する第２振動センサと、第１および第２振動センサからの検出信号に補償を施す補償手段と、この補償手段の出力信号に基づいて前記変位発生形アクチュエータを駆動する駆動回路とを備え、これにより前記除振台の振動を低減するものであることを特徴とする請求項１に記載の除振装置。
【請求項４】  前記防振支持手段の前記基礎側の取り付け位置または前記基礎の振動を検出する第３振動センサと、その検出信号に補償を施して前記変位発生形アクチュエータへの信号を出力する補償手段とを備え、これにより前記基礎から前記除振台への振動伝達を低減させるように前記防振支持手段を制御することを特徴とする請求項３に記載の除振装置。
【請求項５】  前記変位発生形アクチュエータは、圧電アクチュエータ、磁歪アクチュエータ、または超磁歪アクチュエータのいずれかであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の除振装置。
【請求項６】  前記変位調整機構は、相互に異なる方向に移動可能に支持され、そのいずれの移動方向に対しても傾いた面を介して接触している第１および第２の楔形部材と、前記第１楔形部材を第１方向に送る送りネジと、この送りネジを駆動するモータとを備え、前記モータにより前記送りネジおよび第１楔形部材を介して前記第２楔形部材を第２方向に移動させることにより前記防振支持手段と除振台または基礎との間の相対変位の調整を行うものであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の除振装置。
【請求項７】  前記変位調整機構は、所定の方向に移動可能に支持された移動部材と、この移動部材を送る送りネジと、この送りネジを駆動するモータとを備え、このモータにより前記送りネジを介して前記移動部材を移動させることにより前記防振支持手段と除振台または基礎との間の相対変位の調整を行うものであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の除振装置。
【請求項８】  前記除振装置と除振台との間に作用する力を検出する力センサと、その検出信号に補償を施して出力する補償手段とを備え、この出力信号に基づいて前記変位調整機構を制御することにより、前記除振装置と除振台との間に作用する力が予め定めた範囲を逸脱しないように制御する機能を有することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の除振装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前述の課題を解決するため、本発明の第１の除振装置は、機器を搭載する除振台を基礎上で支持する除振装置において、前記除振台の振動を能動的に低減するための変位発生形アクチュエータを有する防振支持手段と、前記防振支持手段と除振台または基礎との間に配置され、それらの間の相対変位を調整する変位調整機構とを具備し、前記変位調整機構は前記防振支持手段よりも高剛性であり、前記防振支持手段と力学的に直列に配置されることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
第２の除振装置は、第１の除振装置において、前記変位調整機構は、駆動手段を備えたものであり、前記除振台と基礎との相対変位を検出する検出手段と、この検出信号に補償を施して出力する補償手段と、この出力信号に基づいて前記変位調整機構を駆動する駆動回路とを備え、これにより前記除振台の位置または姿勢を所定の状態に維持するものであることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
第３の除振装置は、第１の除振装置において、前記防振支持手段は、前記変位発生形アクチュエータと、前記変位発生形アクチュエータの前記除振台側に中間プレートを介して接続された弾性体と、前記除振台またはそれに剛に締結された部材もしくは前記機器の振動を検出する第１振動センサと、前記中間プレートの振動を検出する第２振動センサと、第１および第２振動センサからの検出信号に補償を施す補償手段と、この補償手段の出力信号に基づいて前記変位発生形アクチュエータを駆動する駆動回路とを備え、これにより前記除振台の振動を低減するものであることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
第４の除振装置は、第３の除振装置において、前記防振支持手段の前記基礎側の取り付け位置または前記基礎の振動を検出する第３振動センサと、その検出信号に補償を施して前記変位発生形アクチュエータへの信号を出力する補償手段とを備え、これにより前記基礎から前記除振台への振動伝達を低減させるように前記防振支持手段を制御することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
第５の除振装置は、第１〜第４のいずれかの除振装置において、前記変位発生形アクチュエータは、圧電アクチュエータ、磁歪アクチュエータ、または超磁歪アクチュエータのいずれかであることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
第６の除振装置は、第１〜第５のいずれかの除振装置において、前記変位調整機構は、相互に異なる方向に移動可能に支持され、そのいずれの移動方向に対しても傾いた面を介して接触している第１および第２の楔形部材と、前記第１楔形部材を第１方向に送る送りネジと、この送りネジを駆動するモータとを備え、前記モータにより前記送りネジおよび第１楔形部材を介して前記第２楔形部材を第２方向に移動させることにより前記防振支持手段と防振台または基礎との間の相対変位の調整を行うものであることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
第７の除振装置は、第１〜第５のいずれかの除振装置において、前記変位調整機構は、所定の方向に移動可能に支持された移動部材と、この移動部材を送る送りネジと、この送りネジを駆動するモータとを備え、このモータにより前記送りネジを介して前記移動部材を移動させることにより前記防振支持手段と防振台または基礎との間の相対変位の調整を行うものであることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
第８の除振装置は、第１〜第７のいずれかの除振装置において、前記除振装置と除振台との間に作用する力を検出する力センサと、その検出信号に補償を施して出力する補償手段とを備え、この出力信号に基づいて前記変位調整機構を制御することにより、前記除振装置と除振台との間に作用する力が予め定めた範囲を逸脱しないように制御する機能を有することを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
これら本発明の構成において、変位調整機構は、防振支持手段と除振台または基礎との間の相対変位を調整することにより、除振台の位置や姿勢を所定の状態に保持する。したがって、防振支持手段が、変位発生形アクチュエータを用いており、それ自身は十分な位置や姿勢の制御能力を持たないにもかかわらず、変位調整機構によって、除振台の位置や姿勢が所定の状態に維持されることになる。またその際、変位調整機構は、ゴムやばねなどの一般的な防振機構よりも十分に高い剛性を有する等により、外部からの作用力によっては有意な変位を生じないため、防振支持手段が有する優れた除振性能、高剛性などといったメリットを損なうこともない。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、防振支持手段が変位発生形アクチュエータを用いており、それ自身は十分な位置・姿勢制御能力を有しないにもかかわらず、防振支持手段が有する優れた除振性能や高剛性などのメリットを損なうことなく、除振台の位置や姿勢を安定かつ再現性よく維持することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
すなわち本発明によれば、除振台上に搭載された機器の駆動反力による振動を良好に制振するとともに、基礎から除振台への振動伝達を非常に小さく抑えながら、その能動的な防振支持手段と力学的に直列に配置された高剛性の変位調整機構により、除振装置の支持機構としての剛性を低化させることなく、除振台を所定の位置および姿勢に精度よく維持することができる。