【手続補正書】
【提出日】平成19年9月4日(2007.9.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  測定尺（１０；１００）と、測定尺（１０；１００）に対して相対的に測定方向（ｘ）に移動可能な走査ユニット（２０；２００）とから成る位置測定装置であって、その際
測定尺（１０；１００）上に２つの相異なる目盛周期（ＴＰ1 、ＴＰ2 ）を有するインクリメンタル目盛を有する、測定方向（ｘ）に延びるインクリメンタルトラック（１３；１３０）が配設されており、
走査ユニット（２０；２００）は、インクリメンタル信号検出器配列（２４．１，２４．２；２４０．１）を有し、その際インクリメンタル信号検出器配列（２４．１，２４．２；２４０．１）は、第１の粗い信号周期（ＳＰ1）を備えたインクリメンタル信号（ＮＣ１）の発生のために並びに第２の微細な信号周期（ＳＰ2 ）を有するインクリメンタル信号（ＩＮＣ２）の発生のために好適であることを特徴とする、前記位置測定装置。
【請求項２】  測定尺（１０；１００）上に更にインクリメンタルトラック（１３；１３０）に対して平行にアブソリュートトラック（１２；１２０）が配設されておりかつアブソリュートトラック（１２；１２０）は、アブソリュート符合を有し、走査ユニット（２０；２００）は、さらにアブソリュート位置信号（ＡＢＳ）の発生のためのアブソリュート位置信号ー検出器配列（２４．３，２４０．３）を有することを特徴とする、請求項１に記載の位置測定装置。
【請求項３】  その際インクリメンタルトラック（１３；１３０）が、測定尺（１０；１００）上に粗い目盛周期（ＴＰ1 ）を備えた第１インクリメンタル目盛と、微細な目盛周期（ＴＰ2 ）を備えた第２インクリメンタル目盛とを有しかつ目盛周期（ＴＰ1 ，ＴＰ2 ）は、互いに偶数比をなすことを特徴とする、請求項１に記載の位置測定装置。
【請求項４】  その際インクリメンタルトラック（１３；１３０）が、測定尺（１０；１００）上で測定方向（ｘ）に周期的に続き、粗い目盛周期（ＴＰ1 ）のラスタに配設されている第１及び第２ブロック（Ｂ１，Ｂ２）を有し、そして第２ブロック（Ｂ２）が、微細な目盛周期（ＴＰ2 ）のラスタに配設されている相異なる光学的特性を有することを特徴とする、それぞれ測定方向（Ｘ）に周期的に続く目盛領域（１２．１，１２．２）を有することを特徴とする、請求項３に記載の位置測定装置。
【請求項５】  その際アブソリュートトラック（１２；１２０）が、測定尺（１０；１００）上に連続符合構造として形成されており、アブソリュートトラックは第１インクリメンタル目盛の粗い目盛周期（ＴＰ1 ）に相応するビット幅を有することを特徴とする、請求項３に記載の位置測定装置。
【請求項６】  その際アブソリュート位置信号トラック（２４．３；２４０．３）が、測定方向（ｘ）に隣接し、それぞれ等しく形成された多数の検出器配列（２４．３Ａ，２４．３Ｎ）を有しかつビット幅に付設された隣接する２つ又は複数の検出器配列（２４．３Ａ，２４．３Ｎ）毎にそれぞれ１つの検出器配列（２４．３Ａ，２４．３Ｎ）の選択的読み取りを可能にする切り換え要素（ＳＡ，ＳＮ）が付設されていることを特徴とする、請求項２に記載の位置測定装置。
【請求項７】  その際走査ユニット（２０；２００）が、更に１つの光源（２１；２１０）と並びに１つ又は複数の走査目盛（２３．１，２３．２；２３０．２）及び透明な窓領域（２３．３；２３０．３）を有する走査板（２３；２３０）とを有することを特徴とする、請求項２に記載の位置測定装置。
【請求項８】  その際走査板（２０）は、両インクリメンタル目盛の粗い及び微細な目盛周期（ＴＰ1 ，ＴＰ2 ）と一致する相異なる走査目盛周期（ＡＴＰ1 ，ＡＴＰ2 ）を有することを特徴とする、請求項３又は７に記載の位置測定装置。
【請求項９】  第１の走査目盛（２３．１）が粗いインクリメンタル目盛上に適合しておりかつ純粋な振幅構造として形成されておりそして第２の走査目盛（２３．２）が微細なインクリメンタル目盛上に設けられかつ組み合わされた位相ー振幅構造として形成されていることを特徴とする、請求項８に記載の位置測定装置。
【請求項１０】  その際第１の走査目盛（２３．１）が、その上不所望の信号割合、特にそのような信号部分のフィルタリングが微細な信号周期（ＳＰ２）の信号割合について行われるように、形成されていることを特徴とする、請求項９に記載の位置測定装置。
【請求項１１】  その際インクリメンタル信号検出器配列（２４．１，２４．２）が、第１及び第２のインクリメンタル信号検出器配列（２４．１，２４．２を有し、これらは空間的に互いに分離して配設されており、かつ両インクリメンタル信号検出器配列（２４．１，２４．２）はそれぞれ空間的に形成された検出器配列として形成されており、インクリメンタル信号検出器配列要素は多数の検出器要素（２４．１Ａ，・・・２４．１Ｄ，２４．２Ａ・・・２４．２Ｄ）から成り、検出器要素は測定方向において互いに隣接して配設されており、そして各インクリメンタル信号検出器配列（２４．１，２４．２）において、位相の等しい出力信号を供給する同一の検出器要素（２４．１Ａ，・・・・２４．２Ｄ，２４．２Ａ・・・・２４．２Ｄ）が互いに接続されていることを特徴とする、請求項８に記載の位置測定装置。
【請求項１２】  その際各第５の検出器要素（２４．１Ａ，・・・２４．１Ｄ，２４．２Ａ，・・・２４．２Ｄ）が互いに接続されており、その結果インクリメンタル信号−検出器配列（２４．１，２４．２）当たり４つの部分インクリメンタル信号（ＩＮＣ１Ａ，・・・ＩＮＣ１Ｄ，ＩＮＣ２Ａ，・・・ＩＮＣ２Ｄ）が生じ、これらはそれぞれ互いに９０°の位相ずれを有し、
その際、測定方向（Ｘ）における検出器要素（２４．２Ａ，２４．２Ｄ）の幅ｂDET が、
ｂDET ＝ｎ×ＴＰ1 
により選択され、ｎ＝１，２，３，・・・・及びＴＰ1 ＝インクリメンタルトラックの粗い目盛周期であることを特徴とする、請求項１１に記載の位置測定装置。
【請求項１３】  その際走査板（２３０）が、両インクリメンタル目盛の微細目盛周期（ＴＰ2 ）に同調する単一走査目盛（２３０．２）を有し、その結果検出平面に副尺周期Δ′を備えた副尺縞模様（ＶＳ′）が生じることを特徴とする、請求項３又は７に記載の位置測定装置。
【請求項１４】  その際単一走査目盛（２３０．２）が組み合わされた位相−振幅構造として形成されていることを特徴とする、請求項１３に記載の位置測定装置。
【請求項１５】  その際インクリメンタル信号−検出器配列（２４０．１）が、単一のインクリメンタル信号−検出器配列（２４０．１）を有し、これは測定方向（ｘ）に互いに隣接して配設されている多数の個々の検出器要素（２４０．１Ａ，・・・・２４０．１Ｄ）から成る空間的な検出器配列として形成されていることを特徴とする、請求項１３に記載の位置測定装置。
【請求項１６】  その際各検出器要素（２４０．１Ａ，・・・２４０．１Ｄ）が、内部構造を有しかつその幾何学的形状が、特定されたフィルタ作用を生じるように、選択された複数の部分−検出器要素（２４０．１Ａ１，２４０．１Ａ２，２４０．１Ａ３）から成ることを特徴とする、請求項１５に記載の位置測定装置。
【請求項１７】  その際測定方向（ｘ）における検出器要素（２４１．２Ａ，・・・２４１．２Ｄ）の幅ｂが、
ｂDET ＝ｎ×ＴＰ1 
により選択され、ｎ＝１，２，３，・・・及びＴＰ1 ＝インクリメンタルトラックの粗い目盛周期であることを特徴とする、請求項１３に記載の位置測定装置。