【手続補正書】
【提出日】平成19年10月23日(2007.10.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微細な凹凸を有するスタンパと被転写体を加圧し、前記被転写体表面に前記スタンパの凹凸形状を転写する機構を有するチャンバを備えたインプリント装置において、前記スタンパ又は前記被転写体の少なくとも一方の裏面に配置したステージに設けられた複数の孔から流体を噴出させて、前記スタンパ又は前記被転写体の少なくとも一方の裏面を加圧する加圧機構を有することを特徴とするインプリント装置。
【請求項２】
請求項１のインプリント装置において、前記複数の孔は複数の圧力調整系統に接続されており、前記複数の圧力調整系統はそれぞれの圧力を個別に設定できることを特徴とするインプリント装置。
【請求項３】
請求項１のインプリント装置において、前記チャンバ内に前記スタンパを剥離する機構を有することを特徴とするインプリント装置。
【請求項４】
請求項３のインプリント装置において、前記複数の圧力調整系統は、加圧及び減圧機構を有しており、前記圧力調整系統は前記スタンパと前記被転写体とを加圧する際に流体を噴出させ、前記スタンパを前記被転写体から剥離する際には減圧して前記スタンパ又は前記被転写体をステージに吸着することを特徴とするインプリント装置。
【請求項５】
請求項１のインプリント装置において、前記複数の孔は前記ステージ表面に加工された複数の溝とつながっており、前記複数の溝をステージ中心部から外周に向かって放射状、同心円状又はスパイラル状に配置したことを特徴とするインプリント装置。
【請求項６】
請求項２のインプリント装置において、前記スタンパと前記被転写体との加圧時に中心部から外周に向かって順に加圧する圧力調整系統を有することを特徴としたインプリント装置。
【請求項７】
請求項２のインプリント装置において、前記スタンパの前記被転写体からの剥離時に外周から中心部に向かって順に減圧し、前記スタンパ又は前記被転写体を吸着する圧力調整系統を有することを特徴としたインプリント装置。
【請求項８】
請求項１のインプリント装置において、前記スタンパを前記被転写体から剥離する際、前記スタンパと前記被転写体との界面に流体を噴出して剥離を促進させることを特徴とするインプリント装置。
【請求項９】
請求項１のインプリント装置において、前記スタンパを前記被転写体から剥離する際、前記スタンパ又は前記被転写体のいずれか一方の裏面より冷却した流体を噴出させ、前記スタンパと前記被転写体の線膨張係数差を利用して剥離を促進させることを特徴とするインプリント装置。
【請求項１０】
請求項１のインプリント装置において、前記スタンパ又は前記被転写体のいずれか一方がバックアッププレートに固定されていることを特徴とするインプリント装置。
【請求項１１】
請求項１のインプリント装置において、前記スタンパ又は前記被転写体のいずれか一方が応力緩衝層を介在させてバックアッププレートに固定されていることを特徴とするインプリント装置。
【請求項１２】
請求項１０のインプリント装置において、前記バックアッププレートは、前記スタンパ又は前記被転写体のいずれか一方を真空吸着するための溝を有することを特徴とするインプリント装置。
【請求項１３】
請求項１のインプリント装置において、前記スタンパ又は前記被転写体のいずれか一方がバックアッププレートに固定されており、前記バックアッププレートの厚みは、前記バックアッププレートに密着した前記スタンパ又は前記被転写体の厚みよりも厚いことを特徴とするインプリント装置。
【請求項１４】
請求項１のインプリント装置において、前記ステージの裏側には、前記スタンパと前記被転写体を加圧する前に、前記スタンパと前記被転写体の平行出しを行うために、球面座と球面座受けが設けられていることを特徴とするインプリント装置。
【請求項１５】
請求項１のインプリント装置において、前記スタンパと前記被転写体の相対位置を合せるために、前記ステージを被転写面に対して面内方向へ移動させる移動機構を備えることを特徴とするインプリント装置。
【請求項１６】
請求項１のインプリント装置において、前記ステージを被転写面に対して垂直方向へ移動させるために、前記ステージの裏側に弾性円板ガイドを備えていることを特徴とするインプリント装置。
【請求項１７】
請求項１６のインプリント装置において、前記ステージの裏側に圧力容器室を設け、前記圧力容器室に圧力を加えることで前記ステージを被転写面に対して垂直方向へ移動させることを特徴とするインプリント装置。
【請求項１８】
請求項１７のインプリント装置において、さらに前記ステージの被転写面に対して垂直方向の位置を検出する位置検出器を備え、前記位置検出器の計測結果をもちいて前記圧力容器室内の圧力を制御することを特徴とするインプリント装置。
【請求項１９】
微細な凹凸を有するスタンパと被転写体を加圧し、前記被転写体表面に前記スタンパの凹凸形状を転写するインプリント装置において、前記スタンパ又は前記被転写体の少なくとも一方の裏面側に流体を噴出させ、前記スタンパまたは前記被転写体の少なくとも一方の裏面を他の部材と非接触状態で、かつ、所定の面内圧力分布で加圧する加圧機構を有することを特徴とするインプリント装置。
【請求項２０】
微細な凹凸を有するスタンパと被転写体を加圧し、前記被転写体表面に前記スタンパの凹凸形状を転写する機構を有するチャンバを備えたインプリント装置内における前記スタンパを剥離する微細構造転写方法において、前記スタンパ又は前記被転写体の少なくとも一方の裏面に配置したステージに設けられた複数の孔から流体を噴出させて、前記スタンパと前記被転写体を加圧することを特徴とする微細構造転写方法。
【請求項２１】
請求項２０の微細構造転写方法において、前記複数の孔を複数の圧力調整系統に分割し、それぞれの圧力を個別に設定することを特徴とする微細構造転写方法。
【請求項２２】
請求項２１の微細構造転写方法において、前記複数の圧力調整系統は、加圧及び減圧機構を有しており、前記圧力調整系統は前記スタンパと前記被転写体とを加圧する際に流体を噴出させ、前記スタンパを前記被転写体から剥離する際には減圧して前記スタンパ又は前記被転写体をステージに吸着することを特徴とする微細構造転写方法。
【請求項２３】
請求項２１の微細構造転写方法において、前記スタンパと前記被転写体との加圧時に中心部から外周に向かって順に加圧することを特徴とする微細構造転写方法。
【請求項２４】
請求項２１の微細構造転写方法において、前記スタンパの前記被転写体からの剥離時に外周から中心部に向かって順に減圧し、前記スタンパ又は前記被転写体を吸着することを特徴とする微細構造転写方法。
【請求項２５】
請求項２０の微細構造転写方法において、前記チャンバ内を減圧した後、前記スタンパと前記被転写体を密着することを特徴とする微細構造転写方法。
【請求項２６】
請求項２０の微細構造転写方法において、前記スタンパを前記被転写体から剥離する際、前記スタンパと前記被転写体との界面に流体を噴出して剥離を促進させることを特徴とする微細構造転写方法。
【請求項２７】
請求項２０の微細構造転写方法において、前記スタンパを前記被転写体から剥離する際、前記スタンパ又は前記被転写体のいずれか一方の裏面より冷却した流体を噴出させ、前記スタンパと前記被転写体の線膨張係数差を利用して剥離を促進させることを特徴とする微細構造転写方法。
【請求項２８】
請求項２０の微細構造転写方法において、前記被転写体表面に形成された凹凸形状は、光硬化性樹脂からなることを特徴とする微細構造転写方法。