Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月25日(2008.9.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
オブジェクトの本体（１１）、マイクロチップ（１２）、印刷画像（１３）およびパーソナルポータブルオブジェクトが外部と通信することができるようにする装置を含む前記パーソナルポータブルオブジェクトを保護するプロセスであって、
画像ファイル（２１）および挿入アルゴリズム（２３）を使用して、マイクロチップ（１２）内に記憶される画像特徴ベクトルＶｓｉ（ｎｕｍ）（２４）を生成する段階と、
スキャニング装置（２６）によってスキャンされた印刷画像（２７）を使用して、画像特徴ベクトルＶｓｉ（ｄｉｇ）（２８）を生成する段階と、
リードバックアルゴリズム（２９）を使用して、画像特徴ベクトルＶｓｉ（ｎｕｍ）（２４）とＶｓｉ（ｄｉｇ）（２８）とを一致させる段階とを含む、プロセス。
【請求項２】
画像特徴ベクトルＶｓｉ（ｎｕｍ）が生成される段階が、画像ファイル（２１）、擬似ランダムシーケンス（２２）および挿入アルゴリズム（２３）が、マイクロチップ（１２）内に記憶される画像特徴ベクトルＶｓｉ（ｎｕｍ）（２４）および秘密鍵Ｓ（２５）を生成するために使用される段階であることと、画像特徴ベクトルＶｓｉ（ｄｉｇ）が生成される段階は、スキャニング装置（２６）によってスキャンされた印刷画像（２７）の信号および前記秘密鍵Ｓ（２５）が画像特徴ベクトルＶｓｉ（ｄｉｇ）（２８）を生成するために使用される段階であることとを特徴とする、請求項１に記載のプロセス。
【請求項３】
印刷画像（２７）が画像ファイル（２１）によって生成されることを特徴とする、請求項１または２に記載のプロセス。
【請求項４】
パーソナルポータブルオブジェクトが、印刷画像信号（２７）と、画像ファイル（２１）によって生成されたマイクロチップ（１２）のメモリ内のデータとの間の保護リンクによって保護されることを特徴とする、請求項１から３に記載のプロセス。
【請求項５】
リードバックアルゴリズム（２９）が、マイクロチップ（１２）から分離されることを特徴とする、請求項１から４に記載のプロセス。
【請求項６】
リードバックアルゴリズム（２９）が、マイクロチップ（１２）の中に部分的に組み込まれることを特徴とする、請求項１から５のいずれかに記載のプロセス。
【請求項７】
印刷画像（１３）が、オブジェクトの本体上の可視データおよび前記オブジェクトの所有者の特性で構成されることを特徴とする、請求項１から６に記載のプロセス。
【請求項８】
印刷画像（１３）が、カードの所有者の可視カラー写真またはモノクロ写真によって形成されることを特徴とする、請求項７に記載のプロセス。
【請求項９】
印刷画像（１３）の信号をスキャンする装置が、スキャナ、デジタルカムコーダ、ウェブカムまたはデジタルカメラであることを特徴とする、請求項１から８のいずれかに記載のプロセス。
【請求項１０】
画像特徴ベクトルＶｓｉ（ｎｕｍ）および秘密鍵Ｓが、オブジェクト上のマイクロチップ（１２）または別のチップのメモリ内に保存されることを特徴とする、請求項１から９のいずれかに記載のプロセス。
【請求項１１】
画像特徴ベクトルＶｓｉ（ｎｕｍ）および秘密鍵Ｓが、マイクロチップ（１２）のメモリ内に保存されることを特徴とする、請求項１から１０のいずれかに記載のプロセス。
【請求項１２】
本体（１１）、マイクロチップ（１２）、印刷画像（１３）、およびパーソナルポータブルオブジェクトが外部と通信することができるようにする装置を含むパーソナルポータブルオブジェクトであって、画像ファイル（２１）および挿入アルゴリズム（２３）から生成される画像特徴ベクトルＶｓｉ（ｎｕｍ）（２４）をさらに含むことを特徴とする、パーソナルポータブルオブジェクト。
【請求項１３】
画像ファイル（２１）、擬似ランダムシーケンス（２２）および挿入アルゴリズム（２３）を使用して生成される秘密鍵Ｓ（２５）をさらに含むことを特徴とする、請求項１２に記載のパーソナルポータブルオブジェクト。
【請求項１４】
秘密鍵Ｓ（２５）のビットがサブ画像のブロックの選択を表し、前記鍵の他のビットは特徴を選択するために使用され、他のビットは、レベルｎおよびｎ−１上の選択されたサブ画像の各ブロックからのデータを組み合わせる挿入アルゴリズムから得られた署名を登録するために取っておかれ、ｎは、３と６を含み、３と６との間の値であることを特徴とする、請求項１２または１３に記載のパーソナルポータブルオブジェクト。
【請求項１５】
チップカードであることを特徴とする請求項１２から１４のいずれかに記載のパーソナルポータブルオブジェクト。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月26日(2008.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無線受信機を作動させる方法であって、
第１のアナログ符号語フォーマットに従って配列された第１の複数のウェーブレットを使用して、受信した無線信号に対して第１の動作を実行するステップと、
前記第１の動作を実行した後で、第２のアナログ符号語フォーマットに従って配列された第２の複数のウェーブレットを使用して、前記無線信号に対して第２の動作を実行するステップと、を含み、
前記第１のアナログ符号語フォーマットが前記第２のアナログ符号語フォーマットとは異なる方法。
【請求項２】
前記第２の動作を実行した後で、第３のアナログ符号語フォーマットに従って配列された第３の複数のウェーブレットを使用して、前記無線信号に対して第３の動作を実行するステップをさらに含む請求項１に記載の無線受信機を作動させる方法。
【請求項３】
前記第１の動作が取得および同期のうちの一方であり、
前記第２の動作が信号トレーニングであり、
前記第３の動作が、データの鮮明な送信、データのセキュアな送信、および距離測定のうちの１つである請求項２に記載の無線受信機を作動させる方法。
【請求項４】
無線デバイスであって、
複数の第１のマルチプレクサ入力信号を供給するための複数の格納符号語レジスタと、
第１のマルチプレクサ出力信号として通過させるために、前記複数の第１のマルチプレクサ入力信号のうちの１つを選択するための第１のマルチプレクサと、
前記第１のマルチプレクサから前記第１のマルチプレクサ出力信号を選択的に受信し、複数の第２のマルチプレクサ入力信号を供給するための複数の演算用符号語レジスタと、
第２のマルチプレクサ出力信号として通過させるために、前記複数の第２のマルチプレクサ入力信号のうちの１つを選択するための第２のマルチプレクサとを備え、
前記複数の演算用符号語レジスタの各々が、前記無線受信機の異なる動作中に使用するための符号語を格納する無線デバイス。
【請求項５】
上部符号語信号として供給すべく、前記第２のマルチプレクサ出力信号の第１の部分を格納するための上部符号語レジスタと、
下部符号語信号として供給すべく、前記第２のマルチプレクサ出力信号の第２の部分を格納するための下部符号語発生器と、
前記上部および下部符号語信号と、第３のマルチプレクサ出力信号のうちの１つとを順次選択するための第３のマルチプレクサと、をさらに備える請求項４に記載の無線デバイス。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月26日(2008.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アナログ入力信号を受け取り、かつ前記アナログ入力信号に利得値を提供して、最大値と最小値との間の特定の電圧範囲内の利得調整アナログ入力信号を出力するように構成された設定可能な利得ステージと、
前記設定可能な利得ステージから出力された前記利得調整アナログ入力信号を受け取り、かつ前記利得調整アナログ入力信号にアナログデジタル変換を実行して、前記アナログ入力信号を示すデジタル信号を出力するように構成されたアナログデジタル変換器と、
を具備し、
前記設定可能な利得ステージが、
第１演算増幅器を含む正の差動入力信号ステージと、
第２演算増幅器を含む負の差動入力信号ステージと、を有し、
前記正の差動入力信号ステージが、
前記第１演算増幅器の前後に接続され、かつ第１周波数フィルタとして働く、第１抵抗器および第１コンデンサをさらに備え、
前記負の差動入力信号ステージが、
前記第２演算増幅器の前後に接続され、かつ第２周波数フィルタとして働く、第２抵抗器および第２コンデンサを備えたことを特徴とするアナログ入力フロントエンド。
【請求項２】
前記正の差動入力信号ステージが、
前記正の差動利得ステージを減衰モード、単位利得モード、および１を超える利得モードで動作させるように切り替えることのできる第１スイッチおよび第２スイッチ、
をさらに備え、前記負の差動入力信号ステージが、
前記負の差動利得ステージを減衰モード、および単位利得モード、および１を超える利得モードで動作させるように切り替えることのできる第３スイッチおよび第４スイッチ、
をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載のアナログ入力フロントエンド。
【請求項３】
前記正の差動利得ステージの前記第１の演算増幅器の出力と前記府の差動増幅ステージの前記第２の演算増幅器の入力の間に設けられた第５スイッチ、
をさらに備えたことを特徴とする請求項２に記載のアナログ入力フロントエンド。
【請求項４】
第１抵抗値を有する第１抵抗器と、第２抵抗値を有する第２抵抗器と、第１演算増幅器とを含む正の差動入力信号ステージと、
第１抵抗値を有する第３抵抗器と、第２抵抗値を有する第４抵抗器と、第２演算増幅器とを含む負の差動入力信号ステージと、
第１から第６スイッチであって、第１および第２スイッチが前記正の差動入力信号ステージに設けられ、第３および第４スイッチが前記負の差動入力信号ステージに設けられ、第５スイッチが前記正および負の差動入力信号ステージの間に設けられ、第６スイッチが接地電位と前記正および負の差動入力信号ステージの少なくとも１つとの間に設けられて成る、第１から第６スイッチと、
を備えた設定可能な利得ステージであって、
１より大きい利得値を入力差動信号対に提供する第１動作モード、単位利得値を入力差動信号対に提供する第２動作モード、および０より大きいが１未満の利得値を入力差動信号対に提供する第３動作モードで動作することができる設定可能な利得ステージ。
【請求項５】
前記設定可能な利得ステージの出力端に結合された別の装置によって処理される信号用のインピーダンスバッファを提供するための手段を含むことを特徴とする請求項４に記載の設定可能な利得ステージ。
【請求項６】
Ａ／Ｄ変換器によって処理される信号用のインピーダンスバッファおよびダイナミックレンジコントローラの両方として働くようにＡ／Ｄ変換器に結合されたことを特徴とする請求項４に記載の設定可能な利得ステージ。
【請求項７】
前記設定可能な利得ステージの全ての動作状態に対して、前記設定可能な利得ステージの最大利得誤差を所定の値未満にするために、前記設定可能な利得ステージを制御するように構成された較正制御ユニット、
をさらに備えたことを特徴とする請求項４に記載の設定可能な利得ステージ。
【請求項８】
前記較正制御ユニットが、
演算増幅器と、
前記演算増幅器に接続された抵抗ラダーと、
前記演算増幅器および前記抵抗ラダーに接続されたデジタルアナログ変換器と、
スイッチと、
前記スイッチを介して前記抵抗ラダーに接続された電圧基準ユニットであって、前記デジタルアナログ変換器にも接続された電圧基準ユニットと、
を備えたことを特徴とする請求項７に記載の設定可能な利得ステージ。
【請求項９】
利得ステージおよびアナログデジタル変換器ユニット用の較正回路であって、
演算増幅器と、
デジタルアナログ変換器と、
前記演算増幅器と前記デジタルアナログ変換器との間に設けられた抵抗ラダーと、
前記デジタルアナログ変換器に接続された電圧基準ユニットと、
前記利得ステージおよび前記アナログデジタル変換器ユニットへのオン／オフ接続を提供する複数のスイッチと、
を備え、
前記利得ステージおよび前記アナログデジタル変換器の全ての動作モードに対して、前記利得ステージおよび前記アナログデジタル変換器ユニットの総誤差を所定の値未満に維持するように構成された、
較正回路。
【請求項１０】
前記演算増幅器の入力ポートと出力ポートとの間に設けられた抵抗器、
をさらに備えたことを特徴とする請求項９に記載の較正回路。
【請求項１１】
前記抵抗器が、前記抵抗ラダーを構成する複数の抵抗器に関して所定の抵抗値を有することを特徴とする請求項１０に記載の較正回路。
【請求項１２】
前記デジタルアナログ変換器が前記較正回路に対して較正命令としてデジタルデータを受け取るように構成されたことを特徴とする請求項９に記載の較正回路。
【請求項１３】
前記抵抗ラダーの少なくとも１つの抵抗器と前記電圧基準ユニットとの間に設けられたスイッチ、
をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の較正回路。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
したがって、異なる種類の用途のために、異なる型のプラットフォームで利用することのできる統一アナログ入力フロントエンドを持つことが望ましい。
【特許文献１】米国特許第４０１６５５７号  １９７７年４月発行
【特許文献２】日本特開昭５１−１４０６４９号  １９７６年１２月公開
【特許文献３】日本特開平０３−０７２７２１号  １９９１年３月公開
【特許文献４】米国特許第５０８９８２０号  １９９２年２月発行
【特許文献５】米国特許第５１４６１５５号  １９９２年９月発行
【特許文献６】日本特開平０４−２１２０７２号  １９９２年８月公開
【特許文献７】米国特許第５８４１３８５号  １９９８年１１月発行
【特許文献８】米国特許第６６０３４１６号  ２００３年８月発行
【手続補正書】
【提出日】平成20年6月10日(2008.6.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
ポータブルデジタル装置に格納可能なデータ量の急速な増加に伴い、データ転送速度は増し続けており、セキュアでないＰＣまたは端末から無断且つ不正にダウンロードするために敷地を訪れる訪問者が大幅に増えている。さらに、例えば２．５Ｇおよび３Ｇ（および次世代の）技術などコミュニケーションの継続的開発により、現在の「ブロードバンド」技術に匹敵する極めて高速のデータ転送速度（通常１４４ｂ／秒〜２Ｍｂ／秒）をモバイルユーザーも使えるようになるものである。これにより、多くの新しいアプリケーションの可能性が開かれることになり、携帯（セルラー）電話の機能性と、静止画または動画に対応するカメラの機能性とを組み合わせた統合装置が使われるようになると予測される。これは、数多くの機会を創出すると同時にある程度のリスクをもたらす。例えば、優良な静止画または動画および／または音声記録のキャプチャおよび伝送能力があり、且つ広く入手可能な装置を製造するためには、多くのアプリケーションにおいてはセキュリティをある程度犠牲にしなくてはならない。例えば、商業用敷地を合法に訪れた訪問者は、例えば文書、建築物フロアプラン、工業プロセスの画像など慎重に扱うべき静止画または動画を不正に録画して伝送することがあり得る。また、美術館、劇場、コンサートホールなど公共の敷地を訪れた訪問者が、そのような場所が担う契約義務や著作権法に違反した方法で静止画または動画または音楽演奏などを不正にキャプチャして伝送することがあり得る。また、ロッカー室などで子供または大人を隠し撮りした画像の可能性もすでに懸念されており、人の映像を無断で撮ることに宗教上の理由で反対する人もいる。前記技術による問題を回避するために、そのサービスプロバイダおよびメーカーはこのような懸念に対処する必要がある。
この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、以下のものがある（国際出願日以降、国際段階で引用された文献及び他国に国内移行した際に引用された文献を含む）。
【特許文献１】欧州特許出願公開第１４４５９２３号明細書
【特許文献１】欧州特許出願公開第１１３９６８４号明細書
【特許文献６】米国特許出願公開第２００４／１４７２５５号明細書
【特許文献１】欧州特許出願公開第１４９９１４８号明細書
【特許文献７】国際公開第２００４／０８９０２１号パンフレット
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月2日(2008.9.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号入力回路であって、
該信号入力回路は第１スイッチング手段を有し、
該第１スイッチング手段は、第１制御信号によって制御されかつ当該回路の第１入力側と第１出力側との間の信号路に配置されており、また第１スイッチング手段によって第１出力側に至る当該信号路が開閉され、
前記第１出力側は第１信号処理回路に接続されている形式の信号入力回路において、
前記の信号路には第１スイッチング手段の上流にフィルタが配置されており、
該フィルタは、第２制御信号に応じて２つのフィルタ特性間で切り換え可能であることを特徴とする信号入力回路。
【請求項２】
前記の回路は第２入力側を有しており、
前記の第１スイッチング手段は、第１制御信号によって制御される選択手段であり、
該選択手段により、前記の第１入力側または第２入力側が第１出力側に選択的に結合される、
請求項１に記載の回路。
【請求項３】
前記のフィルタをバイパスするため、第２制御信号によって制御される第２スイッチング手段が設けられている、
請求項１または２に記載の回路。
【請求項４】
前記の第１制御信号は、第１および第２スイッチング手段に供給される、
請求項３に記載の回路。
【請求項５】
前記のフィルタは、当該フィルタに付随する増幅器を有する、
請求項１から４までのいずれか１項に記載の回路。
【請求項６】
前記の増幅器の最大動作周波数は選択可能である、
請求項５に記載の回路。
【請求項７】
前記の増幅器には最大動作周波数を選択するための第３制御信号が供給される、
請求項６に記載の回路。
【請求項８】
前記の第１入力側に加えられる信号は、フィルタの下流で取り出すことかでき、また回路の第２出力側に供給される、
請求項１から７までのいずれか１項に記載の回路。
【請求項９】
変調されたＲＦ信号に対する受信器において、
請求項１から８までのいずれか１項に記載の回路を有することを特徴とする、
受信器。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月16日(2008.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受信器において用いる方法であって、
低密度パリティ検査（ＬＤＰＣ）符号化データを受信する工程と、
検査ノード・メッセージ及びビット・ノード・メッセージを用いて前記受信ＬＤＰＣ符号化データを処理して復号化データを供給する工程とを備え、
前記受信ＬＤＰＣ符号化データは、サイズＭ×Ｎのパリティ行列を有する（Ｎ，Ｋ）ＬＤＰＣ符号を表し、
前記処理する工程は、ビット・ノードの群がＹ個あり、検査ノードの群がｑ個あるようにパリティ検査行列を再編成し、ｑは、前記受信ＬＤＰＣ符号化データに関連した符号化率の関数として変動し、
前記処理する工程は、
各検査ノード・メッセージ群をＪ個のプロセッサによって処理する工程と、
各ビット・ノード・メッセージ群をＪ個のプロセッサによって処理する工程とを含み、
J=N/Yであり、
前記処理する工程は、
前記検査ノード・メッセージ及び前記ビット・ノード・メッセージをともにエッジ・メモリに記憶する工程を更に含む方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法であって、前記受信ＬＤＰＣ符号化データが、受信ディジタル・ビデオ放送システム−２信号から導き出される方法。
【請求項３】
請求項１記載の方法であって、前記受信ＬＤＰＣ符号化データは（Ｎ，Ｋ）ＬＤＰＣ符号を表し、Ｍ＝Ｎ−Ｋであり、ｑ＝Ｙ（Ｎ−Ｋ）／Ｎである方法。
【請求項４】
請求項３記載の方法であって、Ｙ＝Ｎ／３６０である方法。
【請求項５】
請求項1記載の方法であって、前記検査ノード・メッセージを処理する工程は、
各検査ノード・メッセージ群を巡回的にシフトさせる工程と、
巡回的にシフトさせた検査ノード・メッセージ群それぞれをＪ個のプロセッサによって処理して新たなメッセージ群を供給する工程と、
新たなメッセージ群それぞれを巡回的にシフトさせてビット・ノード・メッセージ群を構成する工程とを含む方法。
【請求項６】
請求項1記載の方法であって、前記ビット・ノード・メッセージを処理する工程は、
各ビット・ノード・メッセージ群を巡回的にシフトさせる工程と、
巡回的にシフトさせたビット・ノード・メッセージ群それぞれをＪ個のプロセッサによって処理して新たなメッセージ群を供給する工程と、
新たなメッセージ群それぞれを巡回的にシフトさせて検査ノード・メッセージ群を構成する工程とを含む方法。
【請求項７】
受信器において用いる装置であって、
低密度パリティ検査（ＬＤＰＣ）符号化データを供給する復調器と、
前記ＬＤＰＣ符号化データを復号化して復号化データを供給するＬＤＰＣ復号器とを備え、
前記ＬＤＰＣ符号化データは、サイズＭ×Ｎのパリティ行列を有する（Ｎ，Ｋ）ＬＤＰＣ符号を表し、
前記ＬＤＰＣ復号器は、ビット・ノード・メッセージをＹ個の群に分割し、検査ノード・メッセージをｑ個の群に分割することにより、前記ＬＤＰＣ符号化データを処理し、ｑは、前記ＬＤＰＣ符号化データに関連した符号化率の関数として変動し、各ビット・ノード・メッセージ群を処理するＪ個のプロセッサと、各検査ノード・メッセージ群を処理するＪ個のプロセッサとを備え、J=N/Yであり、前記検査ノード・メッセージ及び前記ビット・ノード・メッセージをともに記憶するエッジ・メモリと、受信LDPC符号化を別々の符号化率で処理するために前記LDPC復号器の構成において使用する構成メモリとを更に備える装置。
【請求項８】
請求項７記載の装置であって、前記ＬＤＰＣ符号化データが、受信ディジタル・ビデオ放送システム−２信号から導き出される装置。
【請求項９】
請求項７記載の装置であって、前記ＬＤＰＣ符号化データは（Ｎ，Ｋ）ＬＤＰＣ符号を表し、Ｍ＝Ｎ−Ｋであり、ｑ＝Ｙ（Ｎ−Ｋ）／Ｎである装置。
【請求項１０】
請求項９記載の装置であって、Ｙ＝Ｎ／３６０である装置。
【請求項１１】
請求項７記載の装置であって、前記ＬＤＰＣ復号器は、
前記検査ノード・メッセージをシフトさせる巡回シフタと、
前記巡回的にシフトさせた検査ノード・メッセージを処理して新たなメッセージを供給するビット・ノード・プロセッサ群と、
前記新たなメッセージをシフトさせて新たなビット・ノード・メッセージを構成する巡回シフタと、
前記ビット・ノード・メッセージを処理して、前記エッジ・メモリに記憶するために新たな検査ノード・メッセージを供給する検査ノード・プロセッサ群とを備えており、
新たなビット・ノード・メッセージが連続して記憶されるように前記エッジ・メモリが構成される装置。
【請求項１２】
請求項７記載の装置であって、前記ＬＤＰＣ復号器は、
前記検査ノード・メッセージを処理して、前記エッジ・メモリ内に記憶するために新たなビット・ノード・メッセージを供給するビット・ノード・プロセッサ群と、
前記ビット・ノード・メッセージをシフトさせる巡回シフタと、
前記巡回的にシフトさせたビット・ノード・メッセージを処理して新たなメッセージを供給する検査ノード・プロセッサ群と、
前記新たなメッセージをシフトさせて新たな検査ノード・メッセージを構成する巡回シフタとを備えており、
新たな検査ノード・メッセージが連続して記憶されるように前記エッジ・メモリが構成される装置。
【請求項１３】
請求項７記載の装置であって、ビット・ノード・メッセージ群が連続して記憶されるように前記エッジ・メモリが編成された装置。
【請求項１４】
請求項７記載の装置であって、検査ノード・メッセージ群が連続して記憶されるように前記エッジ・メモリが編成された装置。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月22日(2008.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フェーズロックループ・デバイスであって、
基準信号とフィードバック信号とを受信し、前記フェーズロックループ・デバイスのロック状態で、前記基準信号と前記フィードバック信号との比較に基づく第１と第２の信号を出力する位相周波数検出器と、
前記位相周波数検出器からの前記出力信号に基づくチャージを出力するチャージポンプと、
前記チャージポンプからの受け取った前記チャージに基づくクロック信号を出力する電圧制御発振器と
を備え、
前記チャージポンプは、
前記チャージポンプに結合され、前記クロック信号の周波数を増大させる少なくとも１つの第１の電流源と、
前記チャージポンプに結合され、前記クロック信号の周波数を減少させる少なくとも１つの第２の電流源と
を備え、
前記少なくとも１つの第１の電流源は固定量の電流を供給し、前記少なくとも１つの第２の電流源は可変量の電流を供給するか、あるいは、前記少なくとも１つの第１の電流源は可変量の電流を供給し、前記少なくとも１つの第２の電流源は固定量の電流を供給する
ことを特徴とするフェーズロックループ・デバイス。
【請求項２】
前記可変量の電流は、前記位相周波数検出器での前記基準信号と前記フィードバック信号との位相誤差に基づくことを特徴とする請求項１に記載のフェーズロックループ・デバイス。
【請求項３】
さらに、前記電圧制御発振器から出力された前記クロック信号を受信し、および前記位相周波数検出器に前記フィードバック信号を出力する分周器回路、
前記分周器回路に結合されたシグマデルタ変調器、および
前記チャージポンプから出力される前記チャージを受け取るループフィルタであって、前記チャージポンプと前記電圧制御発振器との間に提供されるループフィルタ
を備え、
前記チャージポンプによって出力される前記チャージの量は、前記位相周波数検出器での前記基準信号と前記フィードバック信号との位相差に線形に比例する
ことを特徴とする請求項１に記載のフェーズロックループ・デバイス。
【請求項４】
前記第１の電流源は、前記チャージポンプのＵＰ電流を供給し、前記第２の電流源は、前記チャージポンプのＤＯＷＮ電流を供給し、
前記第１の電流源の電流値は、前記第２の電流源の電流値よりも大きく、
前記異なる電流値は、前記フェーズロックループ・デバイスのロック状態で位相オフセットを提供する
ことを特徴とする請求項１に記載のフェーズロックループ・デバイス。
【請求項５】
基準信号とフィードバック信号とを受信する位相周波数検出器であって、前記基準信号と前記フィードバック信号との比較に基づく第１と第２の信号を出力する位相周波数検出器と、
前記位相周波数検出器からの前記第１と第２の信号を受信するチャージポンプであって、前記第１の信号に基づいて、クロック信号の周波数を増大させる電流を提供する第１の電流源と、前記第２の信号に基づいて、前記クロック信号の前記周波数を減少させる電流を提供する第２の電流源とを有し、前記第１の電流源の大きさは、前記第２の電流源の大きさと異なり、前記チャージポンプによって出力されるチャージの量が、前記位相周波数検出器での前記基準信号と前記フィードバック信号との位相差に線形に比例するチャージポンプと、
前記チャージポンプからの受け取った前記チャージに基づくクロック信号を出力する電圧制御発振器と
を備えることを特徴とするシグマデルタベースのフェーズロックループ・デバイス。
【請求項６】
前記第１の電流源は、固定量の電流を流すだけであり、前記第２の電流源は、可変量の電流を流すことを特徴とする請求項５に記載のシグマデルタベースのフェーズロックループ・デバイス。
【請求項７】
前記可変量の電流は、前記位相周波数検出器での前記基準信号と前記フィードバック信号との前記位相差に基づき、さらに、
前記電圧制御発振器から出力された前記クロック信号を受信し、および前記位相周波数検出器に前記フィードバック信号を出力する分周器回路、および
前記分周器回路に結合されたシグマデルタ変調器
を備えることを特徴とする請求項６に記載のシグマデルタフェーズロックループデバイス。
【請求項８】
前記第１の電流源の電流値は、前記フェーズロックループ・デバイスのロック状態で、前記第２の電流源の電流値よりも大きく、前記異なる電流値は、前記フェーズロックループ・デバイスのロック状態で位相オフセットを提供する
ことを特徴とする請求項６に記載のシグマデルタフェーズロックループ・デバイス。
【請求項９】
シグマデルタベースのフェーズロックループ・デバイスを有する半導体であって、前記フェーズロックループ・デバイスは、
基準信号とフィードバック信号とを受信する位相周波数検出器であって、前記基準信号と前記フィードバック信号との比較に基づくＵＰおよびＤＯＷＮ信号を出力する位相周波数検出器と、
前記位相周波数検出器からの前記ＵＰおよびＤＯＷＮ信号を受信するチャージポンプであって、前記ＵＰ信号または前記ＤＯＷＮ信号のうちの１つに基づく電流を提供する少なくとも１つの第１の電流源と、前記ＵＰ信号または前記ＤＯＷＮ信号のうちの他方に基づく電流を提供する少なくとも１つの第２の電流源とを有し、前記少なくとも１つの第１の電流源の電流値は、前記少なくとも１つの第２の電流源の電流値よりも大きいチャージポンプと、
前記チャージポンプからの受け取った前記チャージに基づくクロック信号を出力する電圧制御発振器と
を備え、
前記ＤＯＷＮ信号によって動作する前記電流源は前記クロック信号の周波数を減少させ、前記ＵＰ信号によって動作する前記電流源は前記クロック信号の周波数を増大させる
ことを特徴とする半導体。
【請求項１０】
前記第１の電流源は、固定量の電流を流し、前記第２の電流源は、可変量の電流を流し、
前記可変量の電流は、前記位相周波数検出器での前記基準信号と前記フィードバック信号との位相誤差に基づく
ことを特徴とする請求項９に記載の半導体。
【請求項１１】
前記チャージポンプによって提供されるチャージの量は、前記位相周波数検出器での前記基準信号と前記フィードバック信号との位相差に線形に比例し、
前記異なる電流値は、前記フェーズロックループ・デバイスのロック状態で位相オフセットを提供することを特徴とする請求項９に記載の半導体。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月24日(2008.9.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ラウドスピーカ、板状ボディ及び音響部材
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明に従ったラウドスピーカにおいて、リップの構造は、高出力の用途に対する非常に大きなエクスカージョンが求められる際でも、音響部材の安定した運動を獲得及び保持するよう前述の２つのサスペンションの間に各々所望の軸方向距離を作る役割を果たす。板状ボディ及びリップの構造は、製造が容易である一個構成の構成部品を形成する。板状ボディは、アルミニウム又はマグネシウムのシート等の金属シートであり得、リップは、シートから出て湾曲される部分である。あるいは、板状ボディは、特にはプラスチック製品である射出成形製品であり得、故に一体化されるリップを備えられる。適切なプラスチックは、例えば、アクリロニトリルブタジエンスチレン（ＡＢＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、及びポリプロピレン（ＰＰ）である。プラスチックの代わりに、射出成形によって板状ボディを製造するよう、適切な他の材料が使用され得る。本発明に従ったラウドスピーカにおいて適用される板状ボディの全ての可能な変形は、既知の機械によって低い製造コストで大量生産され得る。更には、板状ボディ、特にはそのリップの構造及びサスペンションの組立ては、単純に自動化されて行われ得る。ラウドスピーカの製造に関する上述された利点の他に、本発明に従ったラウドスピーカは、適用される構造がその技術的特徴を制限することなく自由な設計の選択を与える、という更なる利点を有する。特には、ラウドスピーカの奥行きは、音響部材に大きなエクスカージョンが所望されるにもかかわらず、大変小さくなり得る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
図１乃至図３中に示される板状ボディ１は、原理上、リップ３の構造及びリブ５の構造を備えられるシートである。この実施例では、シートは、アルミニウムを有して作られ、更には中央開口７を備えられる。リップ３、リブ５、及び開口７は、穿孔、切断、及び／又は湾曲等の既知である機械的方法又は工程によって形成される。板状ボディ１が射出成形製品である際、リップの構造及びリブの構造、また場合によっては中央開口は、成形工程中に形成され得る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
図５及び図６中に示されるラウドスピーカ２０は、音響部材１０と、移動軸ｘに沿って音響部材１０を駆動する駆動ユニット２１と、音響部材１０をサスペンドし且つ駆動ユニット２１を支持するフレーム２３と、を有する。駆動ユニット２１は、フレーム２３に対して固定される固定駆動部分２１ａ、及び音響部材１０の板状ボディ１に対して固定される移動可能駆動部分２１ｂを有する。固定駆動部分２１ａは、永久磁石及び空隙を形成する磁石ヨークを有する磁石系を有する。移動可能駆動部分２１ｂは、コイル支持及び前出の空隙において延在する音声コイルを有する、コイル系を有する。かかる駆動ユニットは一般的に既知であるため、本願では更には説明されない。あるいは、固定駆動部分はコイル系を有し得、移動可能駆動部分は磁石系を有し得る。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月24日(2008.9.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ラウドスピーカであって、
ピストンモードにおける動作に対して意図され、ピストン共振周波数を有し、また板状ボディを有する、音響部材と、
前記板状ボディのメイン面に対して実質的に垂直に向きを定められる移動軸に沿って前記音響部材を移動させる、駆動ユニットと、
前記音響部材が可撓的にサスペンドされるフレームとを有し、
前記板状ボディは、ポリカーボネート又はポリメチルメタクリラートを有するシートであり、前記シートは、前記ピストン共振周波数の二倍又は二倍より高い一次ブレークアップ周波数を有するラウドスピーカ。
【請求項２】
前記板状ボディの前記メイン面は、中央長手方向軸と、前記中央長手方向軸より短い中央横方向軸とを有する請求項得１記載のラウドスピーカ。
【請求項３】
前記板状ボディの前記メイン面は、円形の輪郭を有する請求項１又は２記載のラウドスピーカ。
【請求項４】
前記板状ボディは、実質的に平らである請求項１乃至３のうちいずれか一項記載のラウドスピーカ。
【請求項５】
前記フレームは、前記移動軸に沿う前記音響部材の移動運動を制限するリミッタを備えられる請求項１乃至４のうちいずれか一項記載のラウドスピーカ。
【請求項６】
前記駆動ユニットは、前記フレームに対して固定される固定駆動部分と、前記音響部材に対して固定される移動可能駆動部分とを有する請求項１乃至５のうちいずれか一項記載のラウドスピーカ。
【請求項７】
前記駆動ユニットは、前記フレームに対して固定される固定駆動部分と、前記音響部材に対して固定される移動可能駆動部分とを有し、
前記固定駆動部分は、前記移動可能駆動部分の移動可能サブ部分と協働する２つの固定サブ部分を有し、
固定及び移動可能サブ部分の一方の組は、前記中央長手方向軸の半分の中心の周囲の領域において、前記中央横方向軸の一側に位置決めされ、固定及び移動可能サブ部分の他方の組は、前記中央長手方向軸の他方の半分の中心の周囲の領域において、前記中央横方向軸の他側に位置決めされる請求項２に記載のラウドスピーカ。
【請求項８】
前記板状ボディは、補強手段を備える請求項１乃至７のうちいずれか一項記載のラウドスピーカ。
【請求項９】
請求項１乃至８のうちいずれか一項記載の板状ボディであって、
前記ラウドスピーカにおける使用に対して構成される板状ボディ。
【請求項１０】
請求項９記載の板状ボディを備える音響部材。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ラウドスピーカ、板状ボディ及び音響部材
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
ポリカーボネート及びポリメチルメタクリラートのシートを利用する更なる利点は、かかるシートが異なる厚さにおいて容易に製造され得る、ことであり、かかるシートからの音響部材の板状ボディの製造は、多少安価である。更には、前述のプラスチック材料は、多種の色及び透明度において入手可能である。要約すると、ポリカーボネート及びポリメチルメタクリラートのシートが板状音響ピストンボディを形成するのに適切であるという見識は、エクスカージョンラウドスピーカ（ｅｘｃｕｒｓｉｏｎ ｌｏｕｄｓｐｅａｋｅｒｓ）の設計においてかなりの自由を与える。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図１中に示されるラウドスピーカ１は、フレーム２、音響部材４、及び電磁駆動ユニット６を有する。音響部材４は、ポリカーボネートシート８'によって形成される、原理上は平らな板状ボディ８を有する。板状ボディ８は、夫々矩形の輪郭１０ａ及び１０ｂを有する２つの平行なメイン面８ａ、８ｂを備えられる。駆動ユニット６は、メイン面８ａ、８ｂに対して垂直に向きを定められる移動軸ｘに沿って音響部材４を移動させるよう意図され、フレーム２に対して固定される固定駆動部分６ａ及び音響部材４に対して固定される移動可能駆動部分６ｂを有する。固定駆動部分６ａは、空隙９を形成する磁気ヨーク７ｂ及び永久磁石７ａを有する磁石系を有する。移動可能駆動部分６ｂは、空隙９において延在する音声コイル１１ｂ及びコイル支持１１ａを有するコイル系を有する。かかる駆動ユニットは、既知であり、このため個々では更には説明されない。あるいは、固定駆動部分はコイル系を有し得、移動可能駆動部分が磁石系を有し得る。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月26日(2008.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）（i）配列番号２のアミノ酸１〜411、及び/又は
（ii）配列番号２の成熟ポリペプチドと、少なくとも98.6％の同一性を有するアミノ酸配列を含んで成るポリペプチド；
（ｂ）１又は複数のアミノ酸の欠失、挿入及び/又は保存性置換を含んで成る、（ａ）（i）〜（ａ）（ii）のいずれか１つのポリペプチドの変異体；及び
（ｃ）上記（ａ）（i）〜（ａ）（ii）のいずれか１つのポリペプチドのフラグメント；
から成る群から選択された、フィターゼ活性を有する単離されたポリペプチド。
【請求項２】
（ａ）（i）配列番号４のアミノ酸１〜411、及び/又は
（ii）配列番号４の成熟ポリペプチドと、少なくとも99.1％の同一性を有するアミノ酸配列を含んで成るポリペプチド；
（ｂ）１又は複数のアミノ酸の欠失、挿入及び/又は保存性置換を含んで成る、（ａ）（i）〜（ａ）（ii）のいずれか１つのポリペプチドの変異体；及び
（ｃ）上記（ａ）（i）〜（ａ）（ii）のいずれか１つのポリペプチドのフラグメント；
から成る群から選択される請求項１記載のポリペプチド。
【請求項３】
請求項１又は２記載のポリペプチドをコードするヌクレオチド配列を含んで成る単離されたポリヌクレオチド。
【請求項４】
（ａ）配列番号１のヌクレオチド67〜1299と、少なくとも98.3％の同一性を有するポリヌクレオチド；及び
（ｂ）配列番号３のヌクレオチド67〜1299と、少なくとも98.9％の同一性を有するポリヌクレオチド；
から成る群から選択される請求項３記載のポリヌクレオチド。
【請求項５】
発現宿主においてポリペプチドの生成を指図する１又は複数の制御配列に作用可能に連結される請求項４に記載のポリヌクレオチドを含んで成る核酸構造体。
【請求項６】
請求項５記載の核酸構造体を含んで成る組換え発現ベクター。
【請求項７】
請求項５に記載の核酸構造体を含んで成る組換え宿主細胞。
【請求項８】
請求項１又は２記載のポリペプチドの生成方法であって、（ａ）その野生型において、前記ポリペプチドの生成の助けと成る条件下でポリペプチドを生成することができる細胞、又は前記ポリペプチドの生成の助けと成る条件下で、前記ポリペプチドをコードするヌクレオチド配列を含んで成る核酸構造体を含んで成る組換え宿主細胞を培養し；そして（ｂ）前記ポリペプチドを回収することを含んで成る方法。
【請求項９】
請求項１又は２記載のポリペプチドをコードするポリヌクレオチドにより形質転換されており、そして請求項１又は２記載のポリペプチドをコードするポリヌクレオチドにより形質転換された、植物、植物部分若しくは植物細胞、又はトランスジェニック非ヒト動物、或いは生成物又はその要素。
【請求項１０】
動物飼料への少なくとも１つの請求項１又は２記載のポリペプチドの使用。
【請求項１１】
動物飼料への使用のための組成物の調製における少なくとも１つの請求項１又は２記載のポリペプチドの使用。
【請求項１２】
少なくとも１つの請求項１又は２記載のポリペプチドが飼料に添加される、動物飼料の栄養価値を改良するための方法。
【請求項１３】
（ａ）少なくとも１つの請求項１又は２記載のポリペプチド；
（ｂ）少なくとも１つの脂溶性ビタミン；
（ｃ）少なくとも１つの水溶性ビタミン；及び/又は
（ｄ）少なくとも１つの微量金属；
を含んで成る動物飼料添加剤。
【請求項１４】
少なくとも１つのアミラーゼ、少なくとも１つの追加のフィターゼ、少なくとも１つのキシラナーゼ、少なくとも１つのガラクターゼ、少なくとも１つのα−ガラクトシダーゼ、少なくとも１つのプロテアーゼ、少なくとも１つのホスホリパーゼ、及び/又は少なくとも１つのβ−グルカナーゼをさらに含んで成る請求項13記載の動物飼料添加剤。
【請求項１５】
50〜800g/kgの粗タンパク質含有率を有し、そして少なくとも１つの請求項１又は２記載のポリペプチドを含んで成る動物飼料組成物。
【手続補正書】
【提出日】平成20年7月25日(2008.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示装置のデバイス依存色空間におけるデバイス依存色値をデバイス独立色空間のデバイス独立色値に変換する色処理方法であって、
階調曲線補正と三刺激行列を前記デバイス依存色値に適用する行列モデルを、前記デバイス依存色値に適用することにより、知覚線形色空間における第一の色値を決定し、
前記表示装置の実際の測定値からの前記行列モデルのずれをモデル化する差分モデルを前記デバイス依存色値に適用することにより、前記知覚線形色空間における差分値を決定し、
前記差分値と前記第一の色値を加算し、その和をデバイス独立色値に変換することを特徴とする色処理方法。
【請求項２】
前記差分モデルはルックアップテーブルを含み、前記差分値は前記ルックアップテーブルの値の線形補間に基づき決定されることを特徴とする請求項1に記載された色処理方法。
【請求項３】
前記ルックアップテーブルの値は、前記表示装置の不均等に離間された実際の測定値に対応して、不均等に離間されていることを特徴とする請求項2に記載された色処理方法。
【請求項４】
デバイス独立色値をデバイス依存色値に変換する色処理装置であって、
請求項1に記載された行列モデルと差分モデルを利用して、デバイス独立色値を、表示装置が利用可能なデバイス依存色値に変換する変換手段を有することを特徴とする色処理装置。
【請求項５】
表示装置のデバイス依存色空間におけるデバイス依存色値をデバイス独立色空間のデバイス独立色値に変換する色処理装置であって、
階調曲線補正と三刺激行列を前記デバイス依存色値に適用する行列モデルを、前記デバイス依存色値に適用することにより、知覚線形色空間における第一の色値を決定する第一の決定手段と、
前記表示装置の実際の測定値からの前記行列モデルのずれをモデル化する差分モデルを前記デバイス依存色値に適用することにより、前記知覚線形色空間における差分値を決定する第二の決定手段と、
前記差分値と前記第一の色値を加算し、その和をデバイス独立色値に変換する変換手段とを有することを特徴とする色処理装置。
【請求項６】
コンピュータ装置を制御して、請求項4または請求項5に記載された色処理装置の各手段として機能させることを特徴とするプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】色処理方法およびその装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、表示装置のデバイス依存色値をデバイス独立色値に高精度に変換することを目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明にかかる色処理方法は、表示装置のデバイス依存色空間におけるデバイス依存色値をデバイス独立色空間のデバイス独立色値に変換する色処理方法であって、階調曲線補正と三刺激行列を前記デバイス依存色値に適用する行列モデルを、前記デバイス依存色値に適用することにより、知覚線形色空間における第一の色値を決定し、前記表示装置の実際の測定値からの前記行列モデルのずれをモデル化する差分モデルを前記デバイス依存色値に適用することにより、前記知覚線形色空間における差分値を決定し、前記差分値と前記第一の色値を加算し、その和をデバイス独立色値に変換することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
好ましくは、前記差分モデルはルックアップテーブルを含み、前記差分値は前記ルックアップテーブルの値の線形補間に基づき決定されることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明にかかる色処理装置は、デバイス独立色値をデバイス依存色値に変換する色処理装置であって、上記の行列モデルと差分モデルを利用して、デバイス独立色値を、表示装置が利用可能なデバイス依存色値に変換する変換手段を有することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、表示装置のデバイス依存色空間におけるデバイス依存色値をデバイス独立色空間のデバイス独立色値に変換する色処理装置であって、階調曲線補正と三刺激行列を前記デバイス依存色値に適用する行列モデルを、前記デバイス依存色値に適用することにより、知覚線形色空間における第一の色値を決定する第一の決定手段と、前記表示装置の実際の測定値からの前記行列モデルのずれをモデル化する差分モデルを前記デバイス依存色値に適用することにより、前記知覚線形色空間における差分値を決定する第二の決定手段と、前記差分値と前記第一の色値を加算し、その和をデバイス独立色値に変換する変換手段とを有することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明によれば、表示装置のデバイス依存色空間におけるデバイス依存色値をデバイス独立色空間のデバイス独立色値に高精度に変換することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月22日(2008.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマ加工チャンバを有したプラズマ加工システムで基板の属性を現場でモニターするためのモニター方法であって、
前記プラズマ加工チャンバ内に基板を配置するステップと、
前記基板が前記プラズマ加工チャンバ内に配置されているときに該プラズマ加工チャンバ内でプラズマを放射するステップと、
前記基板と前記プラズマとの間の自己バイアス電圧を測定するステップと、
前記自己バイアス電圧の測定された自己バイアス電圧値が設定自己バイアス電圧値の範囲を外れていれば、前記基板の前記属性のエクスカーションが発生したと推定するステップと、
を含んでいることを特徴とする方法。
【請求項２】
プラズマは特定ＲＦ周波数で発生することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
特定ＲＦ周波数は略２ＭＨｚであることを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項４】
特定ＲＦ周波数は略２７ＭＨｚであることを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項５】
特定ＲＦ周波数は略１３．５６ＭＨｚであることを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項６】
プラズマ加工システムはＶ／Ｉプローブを含んでおり、測定された自己バイアス電圧値は前記Ｖ／Ｉプローブを利用して測定されることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項７】
測定された自己バイアス電圧値は位相角測定値を表していることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項８】
測定された自己バイアス電圧値は強度測定値を表していることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項９】
設定自己バイアス電圧値範囲は自己バイアス電圧制御下限を含んでいることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１０】
自己バイアス電圧制御下限は設定自己バイアス電圧ターゲット値の３σ内であることを特徴とする請求項９記載の方法。
【請求項１１】
設定自己バイアス電圧値範囲は自己バイアス電圧制御上限を含んでいることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１２】
自己バイアス電圧制御上限は設定自己バイアス電圧ターゲット値の３σ内であることを特徴とする請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
設定自己バイアス電圧値範囲は自己バイアス電圧制御下限と自己バイアス電圧制御上限を含んでいることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１４】
基板は半導体ウェハーであることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１５】
基板はガラスパネルであることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１６】
基板属性は基板エッチング中のエッチング速度を表していることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１７】
基板属性は基板エッチング中の選択度を表していることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１８】
基板属性は基板エッチング中のエッチング均一性測定を表していることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１９】
プラズマ加工システムは容量結合プラズマ加工システムであることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項２０】
プラズマ加工システムは誘導結合プラズマ加工システムであることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項２１】
プラズマ加工システムは大気プラズマ加工システムであることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項２２】
プラズマ加工システムは周波数調整結合プラズマ加工システムであることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項２３】
基板の属性のエクスカーションは前記基板のエッチング速度の減少を表していることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項２４】
プラズマ加工システムで基板の属性のエクスカーションインディケータとしての利用にプラズマパラメータが適しているか否かを決定するための方法であって、
前記プラズマ加工チャンバ内で一定時間基板を加工するステップであって、該基板の属性は該基板加工に関係するステップと、
前記一定時間前記基板の属性を測定するステップと、
前記一定時間前記プラズマパラメータを測定するステップと、
１以上の測定された基板の属性値が設定属性値範囲外であるとき前記プラズマパラメータの１以上の測定されたプラズマパラメータ値が設定プラズマパラメータ値範囲内に残るなら、前記プラズマパラメータは前記基板の属性の前記エクスカーションインディケータとしての利用に適していないと決定するステップと、
を含んでいることを特徴とする方法。
【請求項２５】
プラズマパラメータはインピーダンス、位相角、プラズマ周波数、自己バイアス電圧およびガス流量のうち少なくとも１つを表すことを特徴とする請求項２４記載の方法。
【請求項２６】
プラズマパラメータは基板と加工ステップのプラズマとの間の自己バイアス電圧を表すことを特徴とする請求項２４記載の方法。
【請求項２７】
プラズマパラメータは加工ステップに関するガス流量を表すことを特徴とする請求項２４記載の方法。
【請求項２８】
基板の属性は該基板のエッチング速度を表すことを特徴とする請求項２４記載の方法。
【請求項２９】
エクスカーションインディケータは基板のエッチング速度の低下を示すことを特徴とする請求項２４記載の方法。
【請求項３０】
１以上の測定されたプラズマパラメータ値は１プラズマパラメータ値を表し、１以上の測定された基板の属性値は１測定基板属性値を表すことを特徴とする請求項２４記載の方法。
【請求項３１】
１以上の測定されたプラズマパラメータ値は複数のプラズマパラメータ値を表し、１以上の測定された基板の属性値は複数の測定基板属性値を表すことを特徴とする請求項２４記載の方法。
【請求項３２】
一定時間は複数の週を含んでいることを特徴とする請求項２４記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成20年7月25日(2008.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３１】
前記第２蛍光体を励起する前記放射エネルギーは、前記拡散反射面上に衝突する前記第１波長の前記光の第２の部分を備えた、請求項３０に記載の方法。