【手続補正書】
【提出日】平成19年10月16日(2007.10.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】偏光のパタンを供給するための装置および方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
偏光パタンアセンブリであって、
瞳を有する照明装置にて使用するための形式のものにおいて、
（ａ）フレームと、
（ｂ）前記フレームに結合された少なくとも１つの偏光ペインとを有し、
各偏光ペインは、該偏光ペインを透過する光の偏光の方向を変化させることにより、少なくとも１つの偏光パタンが該照明装置の瞳にわたって得られるように構成されていることを特徴とする偏光パタンアセンブリ。
【請求項２】
前記少なくとも１つの偏光ペインは、光の偏光の方向をほぼ９０°回転する、請求項１記載の偏光パタンアセンブリ。
【請求項３】
前記少なくとも１つの偏光ペインは、複屈折性の材料から成る第１の偏光ペインおよび第２の偏光ペインを有しており、
前記第１の偏光ペインおよび第２の偏光ペインは、それぞれスタックの第１の層および第２の層に配置されている、請求項１記載の偏光パタンアセンブリ。
【請求項４】
非複屈折性の材料から成る非偏光ペインの第１の対および第２の対を有しており、
前記第１の対は前記第１の層に、第１の偏光ペインの対向する側に設けられており、
前記第２の対は前記第２の層に、第２の偏光ペインの対向する側に設けられている、請求項３記載の偏光パタンアセンブリ。
【請求項５】
前記フレームはスペーサを有しており、
前記スペーサは、第１の層にあるペインを第２の層にあるペインから分離するギャップを形成する、請求項４記載の偏光パタンアセンブリ。
【請求項６】
前記少なくとも１つの偏光ペインは、前記フレーム内の第１の外側領域と第２の外側領域との間の中央領域で該フレームに結合されており、
該少なくとも１つの偏光ペインは、該偏光ペインを透過する光の偏光の方向をほぼ９０°回転することにより、該照明装置の瞳にわたって偏光パタンが得られ、
該偏光パタンは、３ゾーンハイブリッド偏光パタンと、低シグマ線形パタンと、放射状の２極パタンと、接線状の２極パタンと、接線状の４極パタンと、放射状の４極パタンとを含むグループから選択されたパタンを有する、請求項１記載の偏光パタンアセンブリ。
【請求項７】
リソグラフィシステム用の照明装置の瞳に少なくとも１つの偏光パタンを供給するための装置において、
（ａ）ビームシェイパと、
（ｂ）フレームおよび少なくとも１つの偏光ペインを有する偏光パタンアセンブリとが設けられており、
前記ビームシェイパおよび偏光パタンアセンブリは、該照明装置の光路に沿って配置され、
前記フレームは、該フレーム内の第１の外側領域と第２の外側領域との間に中央領域を有しており、
前記少なくとも１つの偏光ペインは、前記中央領域にわたってフレームによって支持されていることを特徴とする装置。
【請求項８】
前記ビームシェイパは、少なくとも１つの回折性の光学系およびマスクを有する、請求項７記載の装置。
【請求項９】
前記ビームシェイパは、入力された直線偏光光ビームを複数の別個の偏光光ビームに分割し、
前記別個の偏光光ビームが前記偏光パタンアセンブリを、該瞳の極領域に関連する領域で照明する、請求項７記載の装置。
【請求項１０】
前記複数の別個の偏光光ビームは、２つの偏光光ビームを有し、
前記２つの偏光光ビームは、前記偏光パタンアセンブリを該瞳の２極の領域に関連する領域で照明し、放射状の２極パタンまたは接線状の２極パタンを含む偏光パタンが該瞳で供給される、請求項９記載の装置。
【請求項１１】
前記複数の別個の偏光光ビームは、４つの偏光光ビームを有し、
前記４つの偏光光ビームは、前記偏光パタンアセンブリを該瞳の４極の領域に関連する領域で照明し、該瞳において、放射状の４極パタンまたは接線状の４極パタンを含む偏光パタンが供給される、請求項９記載の装置。
【請求項１２】
前記ビームシェイパは、入力された直線偏光光ビームを該瞳の中央領域にある偏光ペインに制限し、低シグマ線形偏光パタンを含む偏光パタンが該瞳において供給される、請求項９記載の装置。
【請求項１３】
前記ビームシェイパは、入力された直線偏光光ビームを前記フレーム内の中央領域および外側領域にわたって透過させ、３ゾーンハイブリッド偏光パタンを含む偏光パタンが該瞳において供給される、請求項９記載の装置。
【請求項１４】
前記ビームシェイパおよび偏光パタンアセンブリが可動であり、異なる種類の偏光パタンが生成されるように構成されている、請求項９記載の装置。
【請求項１５】
リソグラフィシステム用の照明装置の瞳に異なる偏光パタンを供給するための方法であって、
入力光の偏光の方向を変化させることにより、第１の方向に沿って偏光する第１の出力光をもたらす偏光ペインを設けること、および
該偏光ペインを支持するアセンブリを第１の出力光で照明して、照明装置の瞳に偏光パタンを有する露光ビームを供給することを含む方法。
【請求項１６】
アセンブリを照明することが、瞳にわたって偏光の方向を制御して、露光ビームの異なる部分が偏光の異なる方向を有するように偏光パタンを供給することをさらに含む、請求項１５記載の方法。
【請求項１７】
アセンブリを照明することが、瞳にわたって偏光の方向を制御して、偏光の異なる方向を使ってカスタム偏光を供給することをさらに含む、請求項１５記載の方法。
【請求項１８】
偏光パタンが放射状偏光パタンを含む、請求項１５記載の方法。
【請求項１９】
偏光パタンが接線状偏光パタンを含む、請求項１５記載の方法。
【請求項２０】
偏光パタンは、３ゾーンハイブリッド偏光パタンと、低シグマ線形パタンと、放射状２極パタンと、接線状２極パタンと、接線状４極パタンと、放射状４極パタンとを含むグループからのものである、請求項１５記載の方法。
【請求項２１】
偏光ペインを支持するアセンブリにフレームを結合させることをさらに含む、請求項１５記載の方法。
【請求項２２】
偏光ペインをフレームに対して中央位置に位置するように支持することをさらに含む、請求項２１記載の方法。
【請求項２３】
少なくとも２つの非偏光部分を偏光ペインの対向する側に支持して、該少なくとも２つの非偏光部分が光軸に垂直な縦方向に沿って設けられることをさらに含む、請求項２２記載の方法。
【請求項２４】
フレームを結合することが、フレーム内に構造を設けて、スタック配置中のギャップによって分離されたペインの第１の層および第２の層を支持することをさらに含む、請求項２２記載の方法。
【請求項２５】
ペインの第１の層に偏光ペインを設けること、
ペインの第２の層に第２の偏光ペインを設けること、
第１および第２の非偏光部分を、ペインの第１の層に沿って第１の偏光ペインの対向する側に設けること、および
第３および第４の非偏光部分を、ペインの第２の層に沿って第２の偏光ペインの対向する側に設けることをさらに含む、請求項２４記載の方法。
【請求項２６】
入力光の偏光の方向を約９０度回転させることが可能な、第１の偏光ペインおよび第２の偏光ペインを含む１／２波長板を形成することをさらに含む、請求項２５記載の方法。
【請求項２７】
第１の偏光ペインおよび第２の偏光ペインを含む擬似０次波長板を形成することをさらに含む、請求項２５記載の方法。
【請求項２８】
アセンブリを瞳面に又は瞳面の近傍に設けることをさらに含む、請求項１５記載の方法。
【請求項２９】
アセンブリを照明装置内の所望の瞳空間に設けることをさらに含む、請求項１５記載の方法。
【請求項３０】
少なくとも１つの回折光学素子またはマスクを含む１つまたは複数のビームシェイパを、アセンブリが位置されている通常の光路に沿って設けることをさらに含む、請求項１５記載の方法。
【請求項３１】
１つまたは複数のビームシェイパをアセンブリの前方に設けることをさらに含む、請求項３０記載の方法。
【請求項３２】
１つまたは複数のビームシェイパをアセンブリの後方に設けることをさらに含む、請求項３０記載の方法。
【請求項３３】
アセンブリを入射ビームに対して回転させることにより所望の偏光パタンを得ることをさらに含む、請求項１５記載の方法。
【請求項３４】
入射ビームの偏光の方向を回転することにより所望の偏光パタンを得ることをさらに含む、請求項１５記載の方法。
【請求項３５】
ビームシェイパを光路に付加することにより所望の偏光パタンを得ることをさらに含む、請求項１５記載の方法。
【請求項３６】
ビームシェイパを偏光することにより所望の偏光パタンを得ることをさらに含む、請求項３５記載の方法。
【請求項３７】
２層スタック配置で偏光ペインを支持するフレームをアセンブリに設けることをさらに含む、請求項１５記載の方法。