【手続補正書】
【提出日】平成19年2月14日(2007.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
今、アノード電極２４とゲート電極１４との間で放電が生じ始めると、ゲート電極１４の電位は時間と共に上昇し、最終的には、アノード電極２４の電圧に近い電圧Ｖ”Gまで上昇する。ゲート電極１４の電位はゲート電極駆動回路３１に直ちに伝わり、ゲート電極駆動回路３１が損傷する可能性が生じる。また、ゲート電極１４の電位が時間と共に上昇する結果、カソード電極１２とゲート電極１４との間の電位差も増大し、電子放出電極１６Ａから過剰な電子放出電流が流れ、電子放出電極１６Ａとゲート電極１４との間、あるいは、電子放出電極１６Ａとアノード電極２４との間でも放電が生じ、ゲート電極１４や電子放出電極１６Ａの永久的な損傷の原因となる。更には、電位の上昇したゲート電極１４と電子放出電極１６Ａとの間の放電によって、カソード電極１２の電位も上昇し、かかる電位Ｖ”Cがカソード電極駆動回路３４に直ちに伝わり、カソード電極駆動回路３４が損傷する可能性が生じる。このような状態を、図８４の（Ｂ）に模式的に示す。更には、このような状態における選択ゲート電極と選択カソード電極の電位を図８５の（Ｂ）に模式的に示し、選択ゲート電極における電位の変化を模式的に図８６に示す。尚、図８５の（Ｂ）及び図８６において、ｔ0は放電開始からゲート電極の電位が上昇を開始するまでの経過時間（約２マイクロ秒）を示し、ｔ1はゲート電極の電位が約１７０ボルトとなったときの放電開始からの経過時間（約３マイクロ秒）を示し、ｔ2はゲート電極の電位が約２ｋＶとなったときの放電開始からの経過時間（約５マイクロ秒）を示す。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
電子放出部を駆動するための電子放出部駆動回路、第１の駆動回路、第２の駆動回路は、周知の構成の回路とすればよい。また、アノード電極駆動回路、シールド部材印加手段も、周知の構成の回路とすればよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
電子放出部遮断回路、第１の遮断回路、第２の遮断回路、シールド部材遮断回路を、例えば、第１パネル内に組み込んでもよいし、電子放出部駆動回路、第１の駆動回路、第２の駆動回路、シールド部材印加手段内に組み込んでもよい。電子放出部遮断回路、第１の遮断回路、第２の遮断回路、シールド部材遮断回路を第１パネル内に組み込む場合、電子放出部遮断回路、第１の遮断回路、第２の遮断回路、シールド部材遮断回路を、無効領域（実際の表示画面として機能する有効領域の外側の領域であって、真空空間内の領域）内に配設してもよいし、枠体の外側に配設してもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
クラウン型冷陰極電界電子放出素子から成る第１の構造を有する冷陰極電界電子放出素子にあっては、電子放出電極を構成する材料として、導電性粒子、あるいは、導電性粒子とバインダの組合せを挙げることができる。導電性粒子として、黒鉛等のカーボン系材料；タングステン（Ｗ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）、チタン（Ｔｉ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）等の高融点金属；あるいはＩＴＯ（インジウム錫酸化物）等の透明導電材料を挙げることができる。バインダとして、例えば水ガラスといったガラスや汎用樹脂を使用することができる。汎用樹脂として、塩化ビニル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、セルロースエステル系樹脂、フッ素系樹脂等の熱可塑性樹脂や、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂等の熱硬化性樹脂を例示することができる。電子放出効率の向上のためには、導電性粒子の粒径が電子放出電極の寸法に比べて十分に小さいことが好ましい。導電性粒子の形状は、球形、多面体、板状、針状、柱状、不定形等、特に限定されないが、導電性粒子の露出部が鋭い突起となり得るような形状であることが好ましい。寸法や形状の異なる導電性粒子を混合して使用してもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
本発明の第１の態様に係る平面型表示装置においては、電子放出部と電子照射面との間の放電を防止するために、電子放出部と電子放出部駆動回路との間に電子放出部遮断回路が設けられているので、放電が生じた場合であっても、電子放出部と電子放出部駆動回路との電気的な接続は電子放出部遮断回路によって直ちに遮断される。また、本発明の第２の態様に係る平面型表示装置においては、電子放出部と電子照射面との間の放電を防止するために、アノード電極とアノード電極駆動回路との間にアノード電極遮断回路が設けられているので、放電が生じた場合であっても、アノード電極とアノード電極駆動回路との電気的な接続はアノード電極遮断回路によって直ちに遮断される。更には、本発明の第３の態様に係る平面型表示装置においては、シールド部材と電子照射面との間の放電を防止するために、シールド部材とシールド部材印加手段との間にシールド部材遮断回路が設けられているので、放電が生じた場合であっても、シールド部材とシールド部材印加手段との電気的な接続はシールド部材遮断回路によって直ちに遮断され、シールド部材印加手段、更には、電子放出部や電子放出部駆動回路に悪影響が生じることがない。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
電子放出部遮断回路３５Ｂは、電子放出部１６と電子照射面（具体的には、アノード電極２４）との間に放電が生じていない場合には不動作状態にあり、電子放出部１６と電子照射面との間に放電が生じたとき、動作する。具体的には、電子放出部遮断回路３５Ｂは、放電管ＤＣ（ＤＣ1，ＤＣ2，ＤＣ3・・・）から構成されている。各電子放出部遮断回路３５Ｂを構成する放電管ＤＣ（ＤＣ1，ＤＣ2，ＤＣ3・・・）の一端は、第２の駆動回路３４とカソード電極１２との間に接続されており、他端は、共通線３６を介して第１の所定の電位ＶPD1を有する電源に接続されている。放電管ＤＣ（ＤＣ1，ＤＣ2，ＤＣ3・・・）の一端と第２の駆動回路３４との間には、ダイオード（Ｄ12，Ｄ22，Ｄ32・・・）が配設されている。また、ゲート電極１４は第１の駆動回路（ゲート電極駆動回路）３１に接続されており、ゲート電極１４と第１の駆動回路３１との間には、ダイオード（Ｄ11，Ｄ21，Ｄ31・・・）が配設されている。そして、電子放出部遮断回路３５Ｂに接続された電子放出部の部分（カソード電極１２）の電位が電子放出部と電子照射面との間に放電によって第２の所定の電位（ＶPD2）となったとき、第１の所定の電位と第２の所定の電位の電位差（ＶPD2−ＶPD1）に応じて電子放出部遮断回路３５Ｂを構成する放電管ＤＣが動作する。具体的には、共通線３６には第１の所定の電位（ＶPD1＝４０ボルト）が印加されている。また、作動電圧が８０ボルトの放電管ＤＣを使用した。従って、電子放出部遮断回路３５Ｂに接続された電子放出部の部分（カソード電極１２）の電位が電子放出部と電子照射面との間に放電によって第２の所定の電位（ＶPD2，１２０ボルトを越え、例えば１３０ボルト）となったとき、電子放出部遮断回路３５Ｂを構成する放電管ＤＣが動作する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
図２０に、実施の形態６の平面型表示装置の概念図を示す。この平面型表示装置は、図９に示した実施の形態３の平面型表示装置の変形である。尚、模式的な一部端面図は図１１に示したと同様である。実施の形態６においては、電子放出部遮断回路は、第１の遮断回路３２Ｃと第２の遮断回路３５Ｃから構成されている。第１の遮断回路３２Ｃ、第２の遮断回路３５Ｃのそれぞれは、実施例４の電子放出部遮断回路３２Ｂ、電子放出部遮断回路３５Ｂのそれぞれと同様とすることができるので、詳細な説明は省略する。ここで、第１の遮断回路３２Ｃを構成する放電管ＤＣには第１の所定の電位が印加されており、第２の遮断回路３５Ｃを構成する放電管ＤＣには第１の所定の電位が印加されており、これらの第１の所定の電位は異なるので、第１の遮断回路３２Ｃを構成する放電管ＤＣに印加されている第１の所定の電位をＶPD1で表し、第２の遮断回路３５Ｃを構成する放電管ＤＣに印加されている第１の所定の電位をＶ’PD1で表した。尚、放電が生じているときのアノード電流、カソード電流の変化を模式的に図２１に示す。また、図２２には、放電管の代わりにツェナーダイオードＴＤ（ＴＤ11，ＴＤ21，ＴＤ31・・・、ＴＤ12，ＴＤ22，ＴＤ32・・・）からそれぞれの遮断回路３２Ｃ，３５Ｃが構成された例を示す。更には、図１２に示した実施の形態３の平面型表示装置の変形例と同様に、第１の遮断回路３２Ｃを構成する放電管ＤＣ（ＤＣ11，ＤＣ21，ＤＣ31・・・）の他端とゲート電極１４との間にダイオード（Ｄ13，Ｄ23，Ｄ33・・・）を配設してもよい（図２３参照）。このように、ダイオード（Ｄ13，Ｄ23，Ｄ33・・・）を配設することによって、放電が生じていないゲート電極１４の電位もＶPD1となり、隣接するゲート電極１４の間の電位差によってゲート電極１４間に放電が発生することを防ぐことができる。尚、図２３において、放電管ＤＣをツェナーダイオードＴＤに置き換えてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３４】
今、アノード電極２４とシールド部材４０との間で放電が生じ始め、０．１０ｍＡの電流（リーク電流）がアノード電極２４とシールド部材４０との間を流れたとすると、シールド部材４０の電位が第２の所定の電位ＶPD2［ここで、ＶPD2は、（ＶPD2−ＶPD1）≧第１の放電管ＤＣDの動作電圧を満足する値であり、この例においては、（２００−１００）＝１００ボルト］となる。その結果、第１の放電管ＤＣDの両端の電位差が２００ボルトとなり、シールド部材４０に接続されているシールド部材遮断回路４２Ｃを構成する第１の放電管ＤＣDが導通状態となり、シールド部材４０には第１の所定の電位（ＶPD1＝−１００ボルト）が印加される。同時に、第２の放電管ＤＣEの両端の電位差は７．１キロボルトとなり、第２の放電管ＤＣEも導通状態となる結果、シールド部材印加手段４１が損傷することを確実に回避することができる。また、ゲート電極１４や電子放出部１６の永久的な損傷が発生することもない。その後、抵抗Ｒ5によって電圧降下が生じ、第２の放電管ＤＣEの両端の電位差が７．１キロボルト未満となると、シールド部材遮断回路４２Ｃを構成する第２の放電管ＤＣEが完全に非導通状態となり、更には、第１の放電管ＤＣDも完全に非導通状態となる。アノード電極２４とシールド部材４０との間での放電が無くなるまで、以上の動作が繰り返される。尚、シールド部材遮断回路４２Ｃを構成する第２の放電管ＤＣEにタイマーを接続しておけば、一定の時間が経過するまで、シールド部材遮断回路４２Ｃを構成する第２の放電管ＤＣEが完全に非導通状態となることを阻止することができ、一層確実にアノード電極２４とシールド部材４０との間での放電を無くすることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２６９】
［工程−１３３０］
次に、開口部１５の中央部に位置する導電材料層８１の領域（具体的には凹部８１Ａ）を遮蔽するようにマスク材料層８２を形成する。具体的には、先ず、スピンコート法により厚さ０．３５μｍのレジスト層をマスク材料層８２として導電材料層８１の上に形成する（図６０の（Ｂ）参照）。マスク材料層８２は、導電材料層８１の凹部８１Ａを吸収し、ほぼ平坦な表面となる。次に、マスク材料層８２を酸素系ガスを用いたＲＩＥ法によりエッチングする。このエッチングを、導電材料層８１の平坦面が露出した時点で終了する。これにより、導電材料層８１の凹部８１Ａを平坦に埋め込むようにマスク材料層８２が残る（図６１の（Ａ）参照）。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２７９】
［工程−１４００］
先ず、支持体１１上にカソード電極１２を形成する。カソード電極用導電材料層は、例えばＤＣスパッタリング法により、ＴｉＮ層（厚さ０．１μｍ）、Ｔｉ層（厚さ５ｎｍ）、Ａｌ−Ｃｕ層（厚さ０．４μｍ）、Ｔｉ層（厚さ５ｎｍ）、ＴｉＮ層（厚さ０．０２μｍ）及びＴｉ層（０．０２μｍ）をこの順に積層して積層膜を形成し、続いてこの積層膜をストライプ状にパターニングして形成する。尚、図ではカソード電極１２を単層で表した。次に、全面に、具体的には、支持体１１とカソード電極１２の上に、厚さ０．７μｍの絶縁層１３を、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）を原料ガスとするプラズマＣＶＤ法に基づき形成する。次いで、絶縁層１３の上にストライプ状のゲート電極１４を形成する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３３１】
【発明の効果】
以上の説明からも明らかなように、本発明においては、電子放出部駆動回路と電子放出部との間に電子放出部遮断回路を設けることによって、あるいは又、アノード電極駆動回路とアノード電極との間にアノード電極遮断回路を設けることによって、あるいは又、シールド部材印加手段とシールド部材との間にシールド部材遮断回路を設けることによって、大規模な放電のトリガーとなる放電現象そのものを防止するのではなく、小規模な放電が発生しても大規模な放電へと成長することを効果的に防止することができる。その結果、カソード電極やアノード電極、ゲート電極、電子放出部の損傷発生、あるいは又、電子放出部駆動回路やアノード電極駆動回路、シールド部材印加手段の損傷発生を効果的に抑制することが可能となり、平面型表示装置の長寿命化を達成することができる。しかも、平面型表示装置の初期動作段階で多発する放電による損傷発生を抑制することができる結果、平面型表示装置のエージング処理を行い易くなる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２２】
2002169504.tif 000001
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２３】
2002169504.tif 000002
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４３】
2002169504.tif 000003
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６９】
2002169504.tif 000004