【手続補正書】
【提出日】平成19年6月27日(2007.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
更に、結合装置が、パージフード１１を基板Ｗ、基板テーブルＷＴ、またはその両方に結合するためにガスベアリングおよび任意に、少なくとも部分真空の形の実現方式で設けてある。以下に更に詳しく議論するように、図２に示す実施例では、このガスベアリングを参照数字１２でおよび真空を参照数字１４で示す。しかし、特定の実施例に依っては、ガスベアリングおよび真空のそれぞれの位置を交換してもよい。例えば、代替実施例では、パージフード１１のパージ容積２０側に真空をおよびパージフード１１の周囲環境２５側にガスベアリングを配置することによって、パージガスが減りまたは周囲環境２５へ放出するのを防ぐことができる。これは、リソグラフィ装置のこの環境に放出したパージガスは測定システム、例えば、図１に示す、干渉形式測定システムＩＦに影響するかも知れないことが分っているので、有利である。或る実施例では、真空リングを設けてパージフードの容積２０に最も近い内側縁をシールする。この様にして、ガスがガスベアリングからパージ容積２０に入るのを防ぎまたは減らしながら、パージガスを除去することができる。更に、外真空リングを設けてパージフードの外側縁を周囲環境２５からシールしてもよい。この様にして、パージガスまたはガスベアリングからのガスを、干渉形式測定システムＩＦのような敏感な部品がある周囲環境２５へ殆どまたは全く放出しないかも知れない。それで、或る実施例では、パージフードの内側縁をシールするように構成した真空結合装置およびパージフードの外側縁をシールするように構成した真空結合装置を真空リングとして配置し構築する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
ガスは、ガス供給管５２によってガスベアリング１２および真空１４へ供給し、排気管５３によって排除する。ガスベアリング１２および真空１４は、制御要素２６、典型的には調整器によって制御する。この制御要素２６は、パージシステム１０へおよび、任意に、パージシステムからのガス流の流量および／または圧力を制御するために配置してある。典型的には、この制御要素は、パージシステムと基板テーブル、基板、支持構造体、パターニング装置、またはその任意の組合せとの間の結合を制御する。或る実施例で、この制御要素は、このパージ容積を周囲環境から孤立させるように、基板テーブルＷＴ、基板Ｗ、支持構造体ＭＴ、パターニング装置ＭＡ、またはその任意の組合せとパージシステム１０の間に最小ガス隙間を提供するように整えてある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
或る実施例で、ガスベアリング１２および真空１４は、パージフード１１と基板Ｗ、基板テーブルＷＴ、またはその両方の間でＺ、ＲｘおよびＲｙ方向の少なくとも一つに柔軟な結合をもたらす。そのような柔軟な結合を設けることによって、基板Ｗまたは基板テーブルＷＴのＺ方向のどんな運動もパージフード１１が追従することができる。言換えれば、パージフード１１は、基板テーブルＷＴの表面上をＺ方向に十分な剛性で浮動し、多分基板テーブルＷＴおよび、特に、基板Ｗとのあらゆる有害な衝突を避ける。以下に詳しく説明するように、ガス、例えば、パージガスを基板Ｗとパージフード１１の間のガスベアリングとして使うことによって安定な隙間２２を提供する。柔軟な結合の剛性を増すために、少なくとも部分真空１４も設けてもよい。この様にして、結合の安定性を増し、パージフードと基板Ｗ、基板テーブルＷＴ、またはその両方の間に高い設計許容値なしに安定な隙間２２を達成できる。この少なくとも部分真空１４は、パージガスを環境に放出できないとき、例えば、リソグラフィ装置の測定システム、例えば、図１に示す、干渉形式測定システムＩＦに影響するかも知れないので、それを排出するために付加的に使ってもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
ガス出口３４は、パージガス３５をパージ容積２０の中へ供給する。少なくとも部分真空３６がパージ容積２０からパージガス３７を排出する。図２ではガスベアリング１２、１４は、単一ガス出口１２’および単一ガス入口１４’を含むが、図３に示す更なる実施例では、複数のガス出口１２’および複数のガス入口１４’を備える。この様にして、ガスベアリングの安定性および柔軟性を更に制御できる。更に、パージフード１１付近に位置する、測定システムの外乱を最小化でき、およびパージ容積２０に使うガスの清浄度の制御をより良く維持するかも知れない。図示する例では、ガス出口１２’が隙間２２に加圧ガス流１３をもたらし、一方隣接するガス入口１４’がこのガス流の少なくとも一部を１５で排出する。同様に、後続のガス出口１２’が更なるガス流をもたらし、および後続の隣接するガス入口１４’がこのガス流の少なくとも一部を１５で排出する。図示する例では、二つのガス出口１２’および二つのガス入口１４’があるが、ガスベアリング１２および真空１４は、一つ以上のガス出口および／またはガス入口を含んでもよい。入口／出口の位置は、周囲ガス１７がパージ容積２０に入るようになり且つ測定システムに影響するかも知れない環境に放出するのを防ぐように最適化してもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
或る実施例では、それぞれ、過圧力および真空を供給する一つまたは二つのガスベアリング１２および真空１４を使う代りに、ガスベアリング、シールおよびパージガスの添加／除去の機能を与えるために、圧力および真空を伴う室の任意のアレイを使ってもよい。或る実施例では、流れの方向を反転するようにこのアレイを配置してもよい。特に、流れをパージ容積２０の内側から環境２５の方へ向けるようにする。或る実施例では、流れの方向の組合せを用意してもよい。この様にして、選択した流れ方向に依って、例えば、それぞれ、パージガスおよびガスベアリングガスの性質並びに環境によって決るかも知れないユーザの意向に依って、環境からパージ環境へ行くガスまたはパージ環境から環境へ行くガスのシールを効果的に制御してもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
加圧ガスを供給するための領域４２は、上記でガスベアリング１２とも呼ぶが、加圧ガスを供給する複数のガス出口１２’を含む。少なくとも部分真空を供給するための領域４０は、上記で真空室１４とも呼ぶが、ガスを隙間２２から排出する複数のガス入口１４’を含む。同様に、領域４１は、パージガス排気管に相当し、上記で真空室とも呼ぶが、ガスをパージ容積２０から排出する複数の入口３６を含む。上述のように、領域４０、４２もまたはその代りに多孔質材料の領域を含んでもよい。多孔性の程度は、所望するガスベアリングに依る。例えば、加圧ガス供給領域４２の多孔性は、真空領域４０の多孔性より高いかも知れない。図示する実施例では、ガス出口１２’が典型的にガス入口１４’より断面積が小さい。この様にして、供給ガスの圧力を正確に制御できる。同様に、ガス入口１４’に関するガス出口１２’の分布も変動するかも知れない。例えば、ベアリングによって供給するガスの圧力を調整するために、ガス入口１４’に関して高い密度のガス出口１２’を設けてもよい。図示する実施例では、ガス出口１２’の分布がガス入口１４’の分布とほぼ同じである。基板Ｗ、基板テーブルＷＴ、またはその両方に隣接するパージフード１１の表面１９は、図示する実施例ではほぼ円形である。しかし、表面１９の形状は、特定のパージフード１１の設計に従って変動してもよい。表面１９の中央に設けてあるのは、投影ビームＰＢが基板Ｗに入射するようになる前に通過する孔４５である。図示する実施例では、この孔４５がほぼ円形である。しかし、この孔４５は、例えば、投影システムＰＬが送出する投影ビームおよびパージフード１１の設計に従って別の形でもよい。図４に、二つの室の間の領域４９を示す。この領域４９に、パージフード１１および基板／基板テーブルがそれらを分離する隙間２２が小さく、互いに接近して配置してある。この様にして、この領域４９に高流速が起る。この高流速領域４９は、パージフード１１と環境２５の間のシール効果を更に改善するかも知れない。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
１０ 流体供給システム、液体供給システム、ガスパージシステム
１１ パージフード
１２ ガスベアリング
１４ 真空（室）
２０ 容積、パージ容積
２２ 隙間
２５ 周囲環境、外部環境
２６ 制御要素
４４ シール
４６ シール
５０ 窪み
６０ アクチュエータ
Ｃ 目標部分
ＩＬ 照明システム
ＭＡ パターニング装置
ＭＴ 支持構造体
ＰＬ 投影システム
Ｗ 基板
ＷＴ 基板テーブル
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2006013502.tif 000001
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2006013502.tif 000002