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【手続補正書】
【提出日】平成20年3月25日(2008.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
(i)温度及び圧力が制御された粒子形成容器に、超臨界流体を装入すること；
(ii)インペラー表面及びインペラー直径を有するインペラーを含む回転撹拌器を用いて、該粒子形成容器の内容物を撹拌して、該回転撹拌器の該インペラーの表面から1インペラー直径分の距離以内に配置された相対的に強く撹拌される高撹拌ゾーンと、該インペラーの表面から1インペラー直径を超える距離に配置されたバルク混合ゾーンとを形成すること；
(iii)少なくとも、第1フィード流導入ポートを通る少なくとも溶媒と該溶媒中に溶解された所望の物質とを含む第1フィード流、及び第2フィード流導入ポートを通る該超臨界流体を含む第2フィード流を、該撹拌された粒子形成容器内に導入すること、
ここで該所望の物質とは、該溶媒中の溶解度に比べて該臨界流体中において相対的に不溶性であり、そして該溶媒は該超臨界流体中に可溶性であり、そして
該第1及び第2のフィード流が該粒子形成容器の高撹拌ゾーン内に導入され、そして該第1フィード流が該回転撹拌器の作用によって該超臨界流体中に分散され、該超臨界流体中への該溶媒の抽出を可能にするように、該第1及び第2のフィード流導入ポートは、該回転撹拌器の該インペラーの表面から1インペラー直径分の距離以内に配置されている、及び
(iv)100ナノメートル未満の容積加重平均直径を伴って、該所望の物質の粒子を該粒子形成容器内で析出させること、
を含んで成る、所望の物質の粒子状材料を形成する方法。
【請求項２】
(v)本質的に定常状態の連続条件下で粒子状材料形成が生じるように、所望の一定レベルに該容器内の温度及び圧力を維持しながら、該粒子形成容器から超臨界流体、溶媒及び該所望の物質を、工程(iii)で該成分を該容器へ添加する速度とほぼ等しい速度で排出することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
【請求項３】
該超臨界流体、溶媒及び所望の物質が、膨張室に移動することにより、該粒子形成容器から排出される、請求項2に記載の方法。
【請求項４】
該膨張室内で該所望の物質の粒子を捕集することをさらに含む、請求項3に記載の方法。
【請求項５】
該超臨界流体、溶媒及び所望の物質を、該粒子形成容器から直接的に溶液中に排出することにより、該所望の物質の形成された粒子の分散体を形成する、請求項1に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成20年4月18日(2008.4.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
眼の特定を測定するための手術装置であって、
第１の視野を提供する手術用顕微鏡と、
手術用顕微鏡と光学的に整列して、第２の視野を提供する波面センサであって、第１の視野は第２の視野と少なくとも部分的に重なり合うようにした波面センサと、
波面センサにあり、第１の視野および第２の視野の重なり部分で位置決めされた眼から反射した波面についての測定可能な像を生成するための少なくとも１つの回折光学部品とを備える装置。
【請求項２】
眼の手術を行うための手術システムであって、
眼の組織に対して接触で侵入するように構成された手術ツールと、
手術ツールから物理的に分離している手術装置とを備え、
該手術装置は、手術用顕微鏡と、該手術用顕微鏡と一体化した波面センサとを含み、
波面センサおよび手術用顕微鏡は、手術ツールとは共有していない共通の光学経路と整列している手術システム。
【請求項３】
手術用顕微鏡および波面センサは、手術用屈折矯正装置に対して取り付け又は一体化していない一体化手術装置を形成している請求項１記載の装置。
【請求項４】
第１の視野および第２の視野の重なり部分は測定される眼よりも大きく、眼全体は第１の視野および第２の視野の重なり部分の範囲で位置決め可能であり、眼は、手術用顕微鏡を通じて観測可能であると同時に、波面センサを通じて測定可能である請求項１または３記載の装置。
【請求項５】
手術用顕微鏡の焦点は、波面センサの焦点と実質的に同じ光学面で生じている請求項１〜４のいずれかに記載の装置。
【請求項６】
手術用顕微鏡および波面センサは、光学面への独占的な光学経路を共有している請求項５記載の装置。
【請求項７】
波面センサおよび手術用顕微鏡は、分離した構成部品をそれぞれ備え、波面センサは、手術用顕微鏡に対して着脱可能に取り付けられている請求項１〜６のいずれかに記載の装置。
【請求項８】
波面センサは、顕微鏡および波面センサでのねじ山によって、手術用顕微鏡に対して着脱可能に取り付けられている請求項７記載の装置。
【請求項９】
レンズが、顕微鏡でのねじ山によって、顕微鏡に対して着脱可能に取り付けられている請求項８記載の装置。
【請求項１０】
眼の注視角を調整することなく、眼が同時に観測および測定できるように、第１の視野および第２の視野が整列している請求項１，３〜９のいずれかに記載の装置。
【請求項１１】
少なくとも１つの回折光学部品は、少なくとも１つの格子を備える請求項１，３〜１０のいずれかに記載の装置。
【請求項１２】
少なくとも１つの回折光学部品は、直列に位置決めされ、互いに回転した２つの格子を備える請求項１，３〜１１のいずれかに記載の装置。
【請求項１３】
波面センサおよび手術用顕微鏡の光学経路に位置決めされたアパーチャ共有の要素をさらに備える請求項１〜１２のいずれかに記載の装置。
【請求項１４】
アパーチャ共有の要素は、結合ミラーまたはビームスプリッタを備える請求項１３記載の装置。
【請求項１５】
手術用顕微鏡および波面センサは、アパーチャ共有の要素と整列した光学要素を含む手術装置の構成部品だけである請求項１３または１４記載の装置。
【請求項１６】
測定可能な像をコンピュータ読み取り可能なデータに変換するためのカメラをさらに備える請求項１，３〜１５のいずれかに記載の装置。
【請求項１７】
手術用顕微鏡および波面センサは、レンズを共有していない請求項１〜１６のいずれかに記載の装置。
【請求項１８】
手術用顕微鏡は、両眼式光学系を含む請求項１〜１７のいずれかに記載の装置。
【請求項１９】
波面センサおよび手術用顕微鏡の両方にある光学部品と整列した、アパーチャ共有の要素を波面センサにさらに備える請求項１〜１８のいずれかに記載の装置。
【請求項２０】
手術用観察装置と、
一体化した手術ツールを形成するように手術用観察装置に取り付けられた波面測定装置と、
一体化した手術ツールを測定対象物の上方に吊るすためのバランス機構とを備える手術装置。
【請求項２１】
波面測定装置の設置面積は、９インチ長より小さく、５インチ幅より小さい請求項２０記載の装置。
【請求項２２】
手術用観察装置の視野は、波面測定装置の視野と少なくとも部分的に重なり合っており、対象物は、手術用観察装置を通じて観測可能であると同時に、波面測定装置を通じて測定可能である請求項２０または２１記載の装置。
【請求項２３】
一体化した手術ツールは、手術用屈折矯正装置に対して取り付け又は一体化していない請求項２０〜２２のいずれかに記載の装置。
【請求項２４】
波面測定装置は、測定対象物から反射した波面の測定可能な像を生成するための少なくとも１つの回折光学部品を含む請求項２０〜２３のいずれかに記載の装置。
【請求項２５】
眼の特性を測定するための方法であって、
光ビームを発生することと、
手術位置に位置決めされた眼に向けて光ビームを方向付けることと、
波面センサによって、眼から反射した波面を受光することと、
波面センサでの少なくとも１つの光学部品によって、該波面を回折させて、波面の測定可能な像を作成することと、
眼が手術場所に留まったままで、手術用顕微鏡を通して眼を観察することとを含む方法。
【請求項２６】
測定可能な像をコンピュータ読み取り可能なフォーマットに変換することをさらに含む請求項２５記載の方法。
【請求項２７】
観察ステップは、方向付けステップ、受光ステップおよび回折ステップのうちの少なくとも１つと同時に生ずる請求項２５または２６記載の方法。
【請求項２８】
眼の特性を測定するための方法であって、
眼がある注視角に配向した状態で、少なくとも１つの回折光学部品によって、眼から反射した波面の測定可能な像を作成することと、
眼は該注視角に配向したままで、顕微鏡を通して眼を観察することとを含む方法。
【請求項２９】
作成ステップおよび観察ステップは、同時に行う請求項２８記載の方法。
【請求項３０】
観察ステップは、両眼式顕微鏡を通して眼を観察することを含む請求項２８または２９記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
結合ミラー１２０は、経路１５０に沿って患者の眼１２５に向けて光ビームを反射する。赤外光は、患者の眼１２５に入って、そして後方波面として光経路１５０に沿って結合ミラー１２０に向けて反射し、結合ミラー１２０は、その波面を光経路１４５に沿って波面センサ１１４の中へ反射する。そして、波面センサ１１４は、上述したプロセスを用いて、あるいは同様なプロセスを用いて、この波面を測定する。波面センサ１１４は、図２に示した波面センサ１１４と同じ構成および構成部品を有してもよく、あるいは代替の構成を有してもよく、代替の構成部品を有してもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成20年4月18日(2008.4.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
胸骨の部分を固定するための胸骨修復システムであって、
第一端部および第二端部を有するフレキシブルケーブルと、
第一部分および第二部分を有するクリンプフィッティング部材とを備え、前記第一部分は、前記フレキシブルケーブルの第一端部に取り付けられ、前記第二部分は、前記第二部分を貫通するボアを有し、前記ボアは、前記フレキシブルケーブルの第二端部を摺動可能に受け入れるようになっており、
前記胸骨修復システムは、さらに、
少なくとも１つのカニューレ型ねじを備え、前記カニューレ型ねじは、カニューレを有し、前記カニューレは、前記クリンプフィッティング部材の第一部分を摺動可能に受け入れるようになっており、
前記胸骨修復システムは、さらに、
少なくとも１つの修復プレートとを有し、前記修復プレートは、少なくとも１つのプレート孔を有し、前記少なくとも１つのプレート孔は、前記少なくとも１つのカニューレ型ねじ、又は、前記クリンプフィッティング部材の第一部分を摺動可能に受け入れるようになっている、
ことを特徴とする胸骨修復システム。
【請求項２】
前記クリンプフィッティング部材の第一部分は、予め装着された平ディスク状クリンプヘッドを有し、前記クリンプヘッドは、直径が約２ｍｍから約１０ｍｍであり、厚さが約０．１ｍｍから約４ｍｍであることを特徴とする、請求項１に記載のフレキシブルケーブル。
【請求項３】
前記クリンプヘッドは、上面および下面を有し、前記クリンプヘッドの下面は、前記カニューレ型ねじ、または、前記修復プレートの頂面と係合するように設計されていることを特徴とする、請求項２に記載の胸骨修復システム。
【請求項４】
前記クリンプフィッティング部材の第一部分は、クリンプシャフトを有し、前記クリンプシャフトは、前記クリンプフィッティング部材の下面に対して垂直に延びていることを特徴とする、請求項２に記載の胸骨修復システム。
【請求項５】
前記クリンプシャフトは、非円形断面を有することを特徴とする、請求項４に記載の胸骨修復システム。
【請求項６】
前記クリンプシャフトの非円形断面は、前記少なくとも１つのカニューレ型ねじに形成された非円形凹部と係合し、かつ、前記少なくとも１つのカニューレ型ねじのカニューレ内での前記クリンプフィッティングの回転を防止することを特徴とする、請求項４に記載の胸骨修復システム。
【請求項７】
前記フレキシブルケーブルは、多ワイヤストランドケーブルであることを特徴とする、請求項１に記載の胸骨修復システム。
【請求項８】
胸骨修復用のフレキシブルケーブルであって、前記ケーブルは、第一端部および第二端部を有しており、前記ケーブルの第一端部は、クリンプフィッティング部材を備え、前記クリンプフィッティング部材は、第一部分および第二部分を有しており、前記第一部分は、前記フレキシブルケーブルの第一端部に取り付けられ、前記第二部分は、前記第二部分を貫通するボアを有し、前記ボアは、前記フレキシブルケーブルの第二端部を摺動可能に受け入れるようになっており、前記クリンプフィッティング部材の第二部分は、平らなヘッドを備えることを特徴とするフレキシブルケーブル。
【請求項９】
前記クリンプフィッティング部材の第二部分は、平らなディスク状のクリンプヘッドを備え、前記クリンプヘッドは、直径が約２ｍｍから約１０ｍｍであり、厚さが約０．１ｍｍから約４ｍｍであることを特徴とする、請求項８に記載のフレキシブルケーブル。
【請求項１０】
前記クリンプフィッティング部材の第一部分は、更にクリンプシャフトを有し、前記クリンプシャフトは、前記クリンプフィッティングの下面に対して垂直に延びていることを特徴とする、請求項８に記載のフレキシブルケーブル。
【請求項１１】
前記クリンプシャフトは、非円形断面を有することを特徴とする、請求項１０に記載のフレキシブルケーブル。
【請求項１２】
前記クリンプシャフトは、カニューレ型ねじ、または、骨修復プレート内に嵌合できるサイズおよび形状を有することを特徴とする、請求項１１に記載のフレキシブルケーブル。
【請求項１３】
胸骨修復キットであって、
少なくとも１つのフレキシブルケーブルを備え、前記フレキシブルケーブルは、第一端部および第二端部を有しており、前記フレキシブルケーブルは、クリンプフィッティング部材を備え、前記クリンプフィッティング部材は、第一部分および第二部分を有しており、前記第一部分は、前記フレキシブルケーブルの第一端部に取り付けられ、前記第二部分は、前記第二部分を貫通するボアを有し、前記ボアは、前記フレキシブルケーブルの第二端部を摺動可能に受け入れるようになっており、
前記胸骨修復キットは、さらに、
少なくとも１つのカニューレ型ねじと、
少なくとも１つの修復プレートと、
を備えることを特徴とする胸骨修復キット。
【請求項１４】
少なくとも１つのフェルールを更に有することを特徴とする、請求項１３に記載の胸骨修復キット。
【手続補正書】
【提出日】平成19年6月7日(2007.6.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
前記接合される構成部品（１、２）が、１．５〜２．５ｍｍの範囲内の半径方向の重ね代（５）を有していることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の接合部位構造。
【手続補正書】
【提出日】平成19年6月1日(2007.6.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
ワークロール（２，３）の軸線（８）の方向における、ワークロールチョック（４，５）の突出するアーム（９，１０）の延在部分が、軸線（８）の方向で有する、突出するアーム（９，１０）と連結して起立している部分における圧力伝達部材（１２）の延在部分と比べて小さく、好ましくは最大でも半分くらいの大きさであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の圧延装置。
【手続補正書】
【提出日】平成20年4月14日(2008.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶存成分及び／または懸濁成分を有する供給液体を処理し、透過流及び濃縮流を作り出す装置であって、該装置は、
対向する末端開口部の間に延在する軸方向の通路（１５）を有する管状ハウジング（１３）を含む管状圧力容器（１１）、
概ね円筒形の交差流ろ過カートリッジ（２５）の挿入及び取り出しを許容するように前記容器の２つの前記末端開口部をシールする末端閉鎖体（３７、３９）、
前記圧力容器の概略長手方向中央に配置される、一対の正反対に配置された中央側面ポート（２１）、
中央側面ポートと前記末端閉鎖体各々との間の位置にある前記軸方向の通路に配置される少なくとも１つの概ね円筒形の交差流ろ過カートリッジ（２５）、及び
前記カートリッジ各々の周囲と前記軸方向の通路を画定する内面との間で液体流に対してシールする環状シール（３１）、
を備え、
前記中央側面ポートは、前記管状容器の軸に直角に前記圧力容器を横切って延在し、前記容器の側壁を貫通する管状構造（６３）により提供され、該管状構造は、前記正反対の中央側面ポートを提供し、前記圧力容器の軸方向の通路内の液体を側面ポートに接続する働きをする正反対に配置される端部を有し、
中央側面ポートを画定する前記管状構造の端部は、隣接する圧力容器の中央側面ポートを画定する管状構造の端部に相互に接続可能であり、安定した構造配列を作り出すことを特徴とする装置。
【請求項２】
一対の追加側面ポートが前記圧力容器の側壁に設けられており、１つの追加側面ポートは、前記環状シールの１つにより前記中央側面ポートから分離された位置にある各軸方向末端部の近傍に位置しており、それにより、前記中央側面ポートと前記追加側面ポートの一方とのあいだの前記容器を通って流れる液体は、少なくとも１つの前記カートリッジを通過し、前記末端閉鎖体の少なくとも１つは、そこに形成されている透過流出口ポート（５３）を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
複数の前記交差流ろ過カートリッジは、前記中央側面ポートとそれぞれの各末端部との間の前記圧力容器内に配置され、前記管状構造は、前記管状構造の側壁に設けられ、前記中央側面ポートの少なくとも１つから前記容器の各軸方向端部に向けて液体の流入を許容する、対向している２つの開口（６５）を有する開放した管状構造であることを特徴とする請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
二次元的構成で整列された少なくとも３つの圧力容器を有する概ね平行な管状圧力容器（１１）の配列を含み、前記二次元的構成の少なくとも中央の圧力容器は、そこに形成される前記正反対に配置された一対の中央側面ポートを有し、側面ポートは、一直線方向に隣接する平行な圧力容器の前記中央側面ポートにそれぞれ相互接続されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の装置。
【請求項５】
隣接する圧力容器の前記中央側面ポートを互いに流体連通状態に連結する相互接続具が設けられ、該相互接続具は、前記中央側面ポートの隣接する末端部を取り囲む管状締め付け具であり、末端部を連結し、それらの間に液体シールを提供することを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記配列は、それぞれ水平にも整列される前記容器を有する垂直に配置された少なくとも３つの圧力容器の複数のそのような二次元的構成を含み、前記配列内のそれぞれの垂直な構成各々の前記容器の隣接する中央側面ポートは、互いに流体連通状態に接属され、追加側面ポート（２３’）が、前記圧力容器各々の各それぞれの末端部にある側壁に設けられ、前記中央側面ポートに対して９０度の角度で整列され、前記配列の圧力容器の隣接する追加側面ポートは、それと水平に整列された少なくとも１つの圧力容器の別の側面と流体連通状態に相互接続されていることを特徴とする請求項４または５に記載の装置。
【請求項７】
前記垂直な構成各々の前記中央側面ポートの一方は、処理される供給液体を供給する手段に接続され、前記カートリッジは、らせん状に巻かれている膜を含み、前記カートリッジを通る供給液体の通過に起因する濃縮流は、前記容器のそれぞれの末端部にある前記相互接続された追加側面ポートを通って出ることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
管状構造（６３）は、圧力容器ハウジングの拡張された厚さの側壁部分（１９ｂ）を直径方向に貫通して形成されている円形通路に嵌め込まれ、中央管状スペーサ（４９）が圧力容器内の中央領域に配置されるとともに、管状構造（６３）は、スペーサを貫通して形成される穴に嵌め込まれ、２つの真ん中のカートリッジがスペーサに対して着座することを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の装置。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の装置を用い、交差流ろ過を使用して溶存成分及び／または懸濁成分を有する供給液体を処理し、透過流及び濃縮流を作り出す方法であって、
ａ．そのような液体の流れを、中央側面ポート入口を通り、対向する末端開口部を持つそこを通る軸方向の通路を有する管状圧力容器内に供給するステップ、
ｂ．前記入口の流入流を、通路の軸方向反対側に流れる２つの副次流に分割するステップ、
ｃ．前記副次流を、軸方向の通路に配置される少なくとも１つの概ね円筒形の分離カートリッジの近くの末端部に導くステップ、
ｄ．前記容器の各末端部に隣接する位置でカートリッジから出る分離した濃縮流を取り出すステップ、
を備えていることを特徴とする方法。
【請求項１０】
前記供給流は、二次元的な構成に整列され、前記流れが１つの容器に入り、別の容器の相互接続された中央側面ポートを通って流れ、二次元的構成の別の２つの容器にも供給するように相互接続された、少なくとも３つの平行な圧力容器を有するそのような管状圧力容器の配列に加圧下で供給され、前記容器それぞれの副次流は、圧力容器の連続した配列に配置された複数の概ね円筒形のカートリッジを通って導かれ、各圧力容器それぞれの各末端部における前記濃縮流は、水平方向に出、同じ水平レベルで少なくとも１つの隣接する容器からの濃縮流と結合された流れを形成することを特徴とする請求項４ないし７のいずれかに記載の装置を用いる請求項９に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月26日(2007.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反応管中に相互に重なり合って配置された少なくとも３つの触媒層を有し、活性材料が鋭錐石変態の二酸化チタン７０〜９９質量％を有する、無水フタル酸を製造するための触媒系において、
（ｉ）最上層中で担持材料上の触媒が、Ｖ2Ｏ5 ６〜１１質量％、Ｓｂ2Ｏ3 ０〜３質量％、アルカリ０．１〜１質量％（アルカリ金属として計算）及び残余として５〜３０ｍ2／ｇのＢＥＴ表面積を有する鋭錐石型のＴｉＯ2を含有する活性材料７〜１０質量％を全触媒に対して有し、
（ｉｉ）一又は複数の中心層中で担持材料上の触媒が、Ｖ2Ｏ5 ５〜１３質量％、Ｓｂ2Ｏ3 ０〜３質量％、Ｐ ０〜０．４質量％、アルカリ０〜０．４質量％（アルカリ金属として計算）及び残余として１０〜４０ｍ2／ｇのＢＥＴ表面積を有する鋭錐石型のＴｉＯ2を含有する活性材料７〜１２質量％を全触媒に対して有し、
（ｉｉｉ）最下層中で担持材料上の触媒が、Ｖ2Ｏ5 ５〜３０質量％、Ｓｂ2Ｏ3 ０〜３質量％、Ｐ ０．０５〜０．４質量％、アルカリ０〜０．３質量％（アルカリ金属として計算）及び残余として１５〜５０ｍ2／ｇのＢＥＴ表面積を有する鋭錐石型のＴｉＯ2を含有する活性材料８〜１２質量％を全触媒に対して有し、
但し、最上層（ｉ）中の二酸化チタンのＢＥＴ表面積が、一又は複数の中心層（ｉｉ）中の二酸化チタンのＢＥＴ表面積よりも小さく、かつ最下層（ｉｉｉ）中の二酸化チタンのＢＥＴ表面積が、一又は複数の中心層中の二酸化チタンのＢＥＴ表面積よりも大きいことを特徴とする、無水フタル酸を製造するための触媒系。
【請求項２】
触媒層中の触媒活性が層から層へ増大する、請求項１記載の触媒系。
【請求項３】
最も活性ではない触媒が最上層中に、一又は複数の次により活性な触媒が一又は複数の中心層中に及び最も活性な触媒が最下層中に存在する、請求項１記載の触媒系。
【請求項４】
２つの中心層（ｉｉ）が存在し、上方の中心層中の二酸化チタンが１０〜３５ｍ2／ｇのＢＥＴ表面積及び下方の中心層中の二酸化チタンが１５〜４０ｍ2／ｇのＢＥＴ表面積を有し、但し、上方の中心層中の二酸化チタンのＢＥＴ表面積が下方の中心層のＢＥＴ表面積よりも小さいか又は同じである、請求項１記載の触媒系。
【請求項５】
少なくとも１つの触媒層中の二酸化チタンが、異なるＢＥＴ表面積の二酸化チタンの混合物からなる、請求項１又は２記載の触媒系。
【請求項６】
混合物が、５〜１５ｍ2／ｇのＢＥＴ表面積を有する二酸化チタン及び１５〜５０ｍ2／ｇのＢＥＴ表面積を有する二酸化チタンからなり、
（ｉ）最上層中で１：１．５〜１：３、
（ｉｉａ）上方の中心層中で１：２〜１：４、
（ｉｉｂ）下方の中心層中で１：２．５〜１：４及び
（ｉｉｉ）最下層中で１：３〜１：５
の比である、請求項５記載の触媒系。
【請求項７】
（ｉ）最上の触媒層の積重ね物長さが８０〜１６０ｃｍ、
（ｉｉａ）上方の中心の触媒層の積重ね物長さが２０〜６０ｃｍ、
（ｉｉｂ）下方の中心の触媒層の積重ね物長さが３０〜１００ｃｍ及び
（ｉｉｉ）最下の触媒層の積重ね物長さが４０〜９０ｃｍ
である、請求項１から６までのいずれか１項記載の触媒系。
【請求項８】
相互に重なり合って配置された４つの層を有し、その場合に
（ｉ）最上層中で担持材料上の触媒が、Ｖ2Ｏ5 ６〜１１質量％、Ｓｂ2Ｏ3 ０〜３質量％、アルカリ０．１〜１質量％（アルカリ金属として計算）及び残余として５〜３０ｍ2／ｇのＢＥＴ表面積を有する鋭錐石型のＴｉＯ2を含有する活性材料７〜１０質量％を全触媒に対して有し、
（ｉｉａ）上方の中心層中で担持材料上の触媒が、Ｖ2Ｏ5 ４〜１５質量％、Ｓｂ2Ｏ3 ０〜３質量％、アルカリ０．１〜１質量％（アルカリ金属として計算）、Ｐ ０〜０．４質量％及び残余として１０〜３５ｍ2／ｇのＢＥＴ表面積を有する鋭錐石型のＴｉＯ2を含有する活性材料７〜１２質量％を全触媒に対して有し、
（ｉｉｂ）下方の中心層中で担持材料上の触媒が、Ｖ2Ｏ5 ５〜１５質量％、Ｓｂ2Ｏ3 ０〜３質量％、アルカリ０〜０．４質量％（アルカリ金属として計算）、Ｐ ０〜０．４質量％及び残余として１５〜４０ｍ2／ｇのＢＥＴ表面積を有する鋭錐石型のＴｉＯ2を含有する活性材料７〜１２質量％を全触媒に対して有し、
（ｉｉｉ）最下層中で担持材料上の触媒が、Ｖ2Ｏ5 ５〜３０質量％、Ｓｂ2Ｏ3 ０〜３質量％、Ｐ ０．０５〜０．４質量％及び残余として１５〜５０ｍ2／ｇのＢＥＴ表面積を有する鋭錐石型のＴｉＯ2を含有する活性材料８〜１２質量％を全触媒に対して有する、
請求項１から７までのいずれか１項記載の触媒系。
【請求項９】
管束反応器中でのキシレン、ナフタレン又はそれらの混合物の気相酸化による無水フタル酸の製造方法において、
出発物質を請求項１から８までのいずれか１項記載の触媒系に導くことを特徴とする、管束反応器中でのキシレン、ナフタレン又はそれらの混合物の気相酸化による無水フタル酸の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年8月17日(2007.8.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状、ガス状またはディスパージョンである少なくとも１種の反応媒体において光化学反応を実施し、反応の実施に必要な光を、リアクターの外側に配置されている照射源（９）によって供給するマイクロフォトリアクターであって、反応媒体が反応ゾーン（２）の少なくとも１つの反応チャンネル（４）を通って流れ、該反応ゾーンの少なくとも一領域は光透過性であって、流れ方向は、反応媒体が少なくとも１つの反応チャンネル（４）において圧力差によって重力に逆らって運ばれるように、水平方向に対して１０°〜９０°の角度で傾斜していることを特徴とする、マイクロフォトリアクター。
【請求項２】
反応ゾーンは、反応ゾーンパネル（２）の形態に設計されていることを特徴とする、請求項１に記載のマイクロフォトリアクター。
【請求項３】
反応ゾーンパネル（２）は、少なくとも１つの下部パネル部（２８）、および下部パネル部上に同一面に存していて、下部パネル部に形状拘束的または力拘束的に取り付けられている、透明な上部パネル部（６)を含んで成ることを特徴とする、請求項２に記載のマイクロフォトリアクター。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
反応チャンネル４は、透明な上部パネル部６によって、好ましくはシールされている。この目的のために、透明な上部パネル部６は、下部パネル部２８に、形状拘束的に、または力拘束的に好ましくは取り付けられている。図５．１の態様と対比して、図５．２の反応チャンネル４は、透明な上部パネル部６にも形成されている。下部パネル部２８および透明な上部パネル部６に形成されている反応チャンネル４が、互いに一致して（または適合して）重なっているという事実によって、円形断面の反応チャンネル４を形成することができる。反応チャンネル４にコーナーが生じるのを防ぐことにより、反応媒体からの物質のチャンネル壁３０、３１への堆積を好都合にも回避する。
尚、本発明は以下の態様を包含する：
（態様１）
液状、ガス状またはディスパージョンである少なくとも１種の反応媒体において光化学反応を実施し、反応の実施に必要な光を、リアクターの外側に配置されている照射源（９）によって供給するマイクロフォトリアクターであって、反応媒体が反応ゾーン（２）の少なくとも１つの反応チャンネル（４）を通って流れ、該反応ゾーンの少なくとも一領域は光透過性であって、流れ方向は、反応媒体が少なくとも１つの反応チャンネル（４）において圧力差によって重力に逆らって運ばれるように、水平方向に対して１０°〜９０°の角度で傾斜していることを特徴とする、マイクロフォトリアクター。
（態様２）
反応ゾーンは、反応ゾーンパネル（２）の形態に設計されていることを特徴とする、態様１のマイクロフォトリアクター。
（態様３）
反応ゾーンパネル（２）は、取り外しできるように熱伝達モジュール（２１）に取り付けられていることを特徴とする、態様２のマイクロフォトリアクター。
（態様４）
反応ゾーンパネル（２）は、フラット形状、湾曲形状または円筒形状に設計されていることを特徴とする、態様２または３のマイクロフォトリアクター。
（態様５）
反応ゾーンパネル（２）は、少なくとも１つの下部パネル部（２８）、および下部パネル部上に同一面に存していて、下部パネル部に形状拘束的または力拘束的に取り付けられている、透明な上部パネル部（６)を含んで成ることを特徴とする、態様２〜４のいずれかのマイクロフォトリアクター。
（態様６）
少なくとも１つの反応チャンネル（４）は、下部パネル部（２８）に収容されていることを特徴とする、態様５のマイクロフォトリアクター。
（態様７）
少なくとも１つの反応チャンネル（４）は、透明な上部パネル部（６）に収容されていることを特徴とする、態様５または６のマイクロフォトリアクター。
（態様８）
下部パネル部（２８）は、用いられる放射線のスペクトル範囲において高い反射率を有する材料から製造されていることを特徴とする、態様５〜７のいずれかのマイクロフォトリアクター。
（態様９）
下部パネル部（２８）は、触媒活性を有する材料から製造されていることを特徴とする、態様５〜７のいずれかのマイクロフォトリアクター。
（態様１０）
少なくとも１つの反応チャンネル（４）は、スペクトル範囲において高い反射率を有する材料、または触媒活性を有する材料でコーティングされていることを特徴とする、態様１〜７のいずれかのマイクロフォトリアクター。
（態様１１）
透明な上部パネル部（６）は、断熱材から製造されていることを特徴とする、態様５〜１０のいずれかのマイクロフォトリアクター。
（態様１２）
透明な上部パネル部（６）は、スペクトルフィルタとして機能することを特徴とする、態様５〜１１のいずれかのマイクロフォトリアクター。
（態様１３）
熱伝達モジュール（２１）は、反応ゾーンパネル（２）の温度を調整する電気加熱要素もしくはペルティエ素子を含んで成るか、または、熱交換器として設計されていることを特徴とする、態様３のマイクロフォトリアクター。
（態様１４）
熱伝達モジュール（２１）は、反応ゾーンパネル（２）に沿って流れ方向に温度勾配を調整できるように設計されていることを特徴とする、態様３〜１３のいずれかのマイクロフォトリアクター。
（態様１５）
反応媒体をモニターし、反応パラメータを調整するセンサー（２７）が、下部パネル部（２８）または熱伝達モジュール（２１）に収容されていることを特徴とする、態様１〜１４のいずれかのマイクロフォトリアクター。
（態様１６）
混合ゾーン（２０）が、少なくとも１つの反応チャンネル（４）に収容されていて、少なくとも２種の反応媒体を混合することを特徴とする、態様１〜１５のいずれかのマイクロフォトリアクター。
（態様１７）
混合ゾーン（２０）を照射できることを特徴とする、態様１６のマイクロフォトリアクター。
（態様１８）
光照射を、混合ゾーン（２０）に続いて直接実施することを特徴とする、態様１６のマイクロフォトリアクター。
（態様１９）
少なくとも１つの反応チャンネル（４）は、反応媒体の表面張力に有利な影響を及ぼす材料でコーティングされていることを特徴とする、態様１〜１８のいずれかのマイクロフォトリアクター。
【手続補正書】
【提出日】平成19年11月19日(2007.11.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車輪上を移動するパレットが走行路の一部を形成し、該パレットは少なくとも１つのパレット本体および該本体に設けられた少なくとも１つの表面部材を含む動く歩道等のパレット構造において、前記表面部材は、少なくとも該表面部材に設けられた少なくとも１つの連結部材、前記本体に設けられた形状固定用溝および固定用部材によって前記パレットの本体に固定されて、固定操作では固定動作が、および解放操作では解放動作が、前記形状固定用溝における前記連結部材すべてに実質的に同時に作用することを特徴とするパレット構造。
【請求項２】
請求項１に記載のパレット構造において、前記固定用部材は、前記パレット本体の実質的に長手方向に延びる長尺状の部品であり、該部品は、該本体の長さと実質的に同じ長さであることを特徴とするパレット構造。
【請求項３】
請求項１または２に記載のパレット構造において、前記固定用部材は前記本体の実質的に内側に配置されて、該固定用部材の端部が該本体の端部の外側へ延びることを特徴とするパレット構造。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載のパレット構造において、前記本体の外側に延びる前記固定用部材の端部は、該固定用部材を容易に動かして固定動作および解放動作を実施可能にする形状を含むことを特徴とするパレット構造。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載のパレット構造において、前記固定用部材は長手方向の軸を中心に回転可能な偏心棒を含み、該偏心棒は前記連結部材を前記形状固定用溝における固定位置へ押し付ける偏心カムを含むことを特徴とするパレット構造。
【請求項６】
請求項１ないし４のいずれかに記載のパレット構造において、前記固定用部材は前記本体の長手方向に直線的に移動可能な平らな棒からなり、該棒には切り欠きが設けられ、前記平らな棒の内縁部は前記固定用部材を前記形状固定用溝における固定位置へ押し付けることを特徴とするパレット構造。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載のパレット構造において、前記本体の上面における前記固定用溝および前記形状固定用溝は、該パレット本体の長さと実質的に同じ長さであり、それらの全長にわたって断面が実質的に変化しないことを特徴とするパレット構造。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載のパレット構造において、前記パレット本体の第１端部には断面が実質的にＬ字形の固定用溝が設けられ、該溝には前記表面部材の下面に設けられて断面が実質的にＬ字形の連結部材を取り付け可能であり、該本体の第２端部には形状固定用溝が設けられ、該形状固定用溝には前記表面部材の下面に設けられた連結部材を前記固定用部材によって固定可能であることを特徴とするパレット構造。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明のパレット構造1はパレット本体2を有し、これは好ましくはアルミニウム、他の適した金属または合金から適切な異形材を押し出し成型することによって作られる。この異形材の加工では、ある種の異形材が押し出し成形されて、製造、輸送、または他の目的によく適する長さの棒状が形成される。後段のパレット製造工程では、これらの形状の棒から、ちょうど適する長さの部品が切り出される。したがって同じ異形材を、さまざまな長さのパレットに容易に用いることが可能になるので、動く歩道における走行路の幅を容易に変更することが可能になる。パレット本体2には、車輪3がパレットのそれぞれの端部に固定され、同様に少なくとも一方の端部には、パレット1をエンドレスチェーン、コグドベルト、ロープ、またはパレットを移動させる同等の手段に結合させる固定部材4が固定されている。またプラスチックもしくは同様の材料から押し出し成形された１つ以上の表面部材5が、パレットの摩耗面を形成する。この表面部材には走行路におけるパレットの移動方向に所定のひだが存在し、表面部材はパレット本体2に固定される。また表面部材5の下面とパレット本体2の上面との間にはバッフル6が配置され、これは表面部材5と本体との間のむらを平滑にし、さらにガタガタ音、きしみ音、または同様の騒音を防止する。バッフル6は、薄い金属シート、または好ましくはプラスチックやゴム等の、金属よりも柔らかい材料のシートにしてよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
パレットの端部から見ると、パレット本体2上面の第２端部には形状固定用溝10が設けられ、この形状固定用溝は第２端部の付近に配されてパレット本体2全長にわたって延在している。この溝10の内縁には、パレット本体2の中央部に向かって水平に延びる窪み11が設けられている。同様に表面部材5の第２端部付近にある１つ以上の連結部材8の内面には、窪み11に対応する突起部12が設けられている。また形状固定用溝10内には、パレット本体2の全長と実質的に同じ長さの固定用部材13が配されている。この固定用部材は例えば図２〜５に示すように偏心棒であり、一方の端部が本体2の端部の外側へ延びている。さらにこの偏心棒の端部はナット19もしくは同等の形状物を有して、工具によって偏心軸をその長手方向の軸を中心に回転させることが可能である。連結部材8の大きさと形状は形状固定用溝10の大きさと形状に適合しているため、１つ以上の連結部材8を形状固定用溝10へ押し込み、固定用部材13を用いて１つまたはすべての連結部材8を形状固定用溝10内の所定の位置に一回の操作でかつ一回の固定動作で固定することによって、第２端部近傍で表面部材5をパレット本体に固定することが可能になる。図２から図５に示す方式において、この固定は、固定用部材13の偏心軸を適切な工具を用いて偏心軸端部から離すことによってなされ、それによってすべての連結部材8を同時に固定することが可能になる。図５に、連結部材8が固定用部材13の偏心軸によって形状固定用溝10内に固定されている状態を示す。この状態では、連結部材8の突起部12は形状固定用溝10の窪み11内に固定されている。
【手続補正書】
【提出日】平成20年3月27日(2008.3.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）一緒に本質的に化学的に結合されたセラミック粒子を含む多孔質セラミック物体を、ホウ素源に露出する工程及び
（ｂ）この多孔質物体を、酸素含有雰囲気中で、増大した強度を有する多孔質セラミック物体を形成するために十分な温度に加熱する工程
を含んでなる、多孔質セラミック物体の強度の増大方法。
【請求項２】
その中に溶解したホウ素源を有する液体を含浸させ、そしてこの液体を除去して、ホウ素源が、多孔質セラミック物体のセラミック粒子の少なくとも一部の上に堆積するようにすることによって、多孔質セラミック物体をホウ素源に露出する請求項１に記載の方法。
【請求項３】
ホウ素源を、液体から沈殿させ、そして続いてこの液体を除去する請求項２に記載の方法。
【請求項４】
ｐＨ、温度又はこれらの組合せを変えることによって、ホウ素源を沈殿させる請求項３に記載の方法。
【請求項５】
ホウ素源が酸化ホウ素、ホウ酸、有機ホウ酸エステル、炭化ホウ素、窒化ホウ素、ｏ−カルボラン、五ホウ酸アンモニウム、ホウ酸テトラフェニルアンモニウム、金属ホウ化物、金属ホウ酸塩又はこれらの組合せである請求項１に記載の方法。
【請求項６】
ホウ素源が炭化ホウ素、酸化ホウ素、ホウ酸、有機ホウ酸エステル又はこれらの組合せである請求項５に記載の方法。
【請求項７】
別個に与えられたホウ素源を多孔質セラミック物体と共に同時に加熱することによって、多孔質セラミック物体をホウ素源に露出する請求項１に記載の方法。
【請求項８】
加熱を空気中で行う請求項１に記載の方法。
【請求項９】
加熱を少なくとも１０００℃で最高１４５０℃までの温度で行う請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
多孔質セラミック物体が窒化ケイ素、チタン酸アルミニウム、炭化ケイ素、コーディエライト及びムライト又はこれらの組合せである請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
多孔質セラミック物体が炭化ケイ素、コーディエライト及びムライト又はこれらの組合せである請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
多孔質セラミック物体がムライトである請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
多孔質セラミック物体が針状ムライトである請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
多孔質セラミック物体がディーゼル粒子フィルターである請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
一緒に融合されているセラミック粒子からなる多孔質セラミック物体であって、セラミック粒子の少なくとも一部の上に、ホウ素を含有する酸化物ガラス相が存在する多孔質セラミック物体。
【請求項１６】
多孔質セラミック物体がムライト、炭化ケイ素、コーディエライト、チタン酸アルミニウム又はこれらの組合せである請求項１５に記載の多孔質セラミック物体。
【請求項１７】
セラミック物体がムライト又は炭化ケイ素である請求項１６に記載の多孔質セラミック物体。
【請求項１８】
多孔質セラミック物体がムライトである請求項１７に記載の多孔質セラミック物体。
【請求項１９】
セラミック物体が針状ムライトである請求項１８に記載の多孔質セラミック物体。
【請求項２０】
ホウ素を含有する酸化物ガラス相が希土類金属、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｎ、Ｃ、Ａｌ又はこれらの組合せからなる請求項１５に記載の多孔質セラミック物体。
【請求項２１】
ホウ素を含有する酸化物ガラス相がＮｄ、Ｃｅ、Ｚｒ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｎ、Ｃ、Ａｌ又はこれらの組合せからなる請求項２０に記載の多孔質セラミック物体。
【請求項２２】
多孔質セラミック物体がホウ素を含有する酸化物ガラス相を欠いている類似の多孔質セラミック物体よりも少なくとも１０％大きい強度を有する請求項１５に記載の多孔質セラミック物体。
【請求項２３】
多孔質セラミック物体がホウ素を含有する酸化物ガラス相を欠いている類似の多孔質セラミック物体よりも少なくとも２０％大きい熱衝撃係数を有する請求項２２に記載の多孔質セラミック物体。
【請求項２４】
多孔質セラミック物体が多孔質セラミック物体の少なくとも０．０１重量％のホウ素の量を有する請求項１５に記載の多孔質セラミック物体。
【請求項２５】
多孔質セラミック物体がムライトである請求項２４に記載の多孔質セラミック物体。
【請求項２６】
請求項１５に記載の多孔質セラミック物体を含んでなるフィルター。
【請求項２７】
フィルターがディーゼル粒子フィルターである請求項２６に記載のフィルター。
【請求項２８】
フィルターがその上に触媒を有する請求項２７に記載のフィルター。
【請求項２９】
多孔質セラミック物体がホウ素を含有する酸化物ガラス相を欠いている類似の多孔質セラミック物体よりも少なくとも１０％大きい熱衝撃係数を有する請求項２２に記載の多孔質セラミック物体。
【手続補正書】
【提出日】平成19年8月3日(2007.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
縦材（１ａ）及び横材（１ｂ）を備えているルーフフレーム（１）と、
車両フロアのレベルで両側に配置されている中空異形化エレメント製の縦材（２ａ，２ｂ）と、
フロア側縦材（２ａ，２ｂ）をルーフフレーム（１）の縦材（１ａ，１ｂ）に連結する、中空異形化エレメントの形態の支柱（３，４，５）と
を有する、スペースフレームスタイルの自動車の支持体構造であって、
支持体構造の向かい合っている支柱（３，４，５）、特にＢ、Ｃ、又はＤ支柱の少なくとも２つを、高い内部圧力により形成される異形化されたエレメントから形成し、そして、フロア側縦材（２ａ，２ｂ）とルーフフレーム（１）の縦材（１ａ）との連結用に、フロア側縦材（２ａ，２ｂ）及びルーフフレーム（１）の縦材（１ａ）の形状に適合させた連結領域（３１，５１，３２，５２）として、支柱（３，４，５）のそれぞれの末端部を具体化する、前記支持体構造であって、
前記Ｂ、Ｃ、又はＤ支柱を、その周辺端縁部で溶接され、そして、高い内部圧力により中空形材へ膨らませたダブルプレートから形成し、それら支柱の周辺端縁部が、ドアシール及び／又はウインドウシール用のフランジ（３ｃ，５ｃ）を形成することを特徴とする、前記支持体構造。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図５は、支持体構造のＤ支柱５を示す。これは、同様に、支柱５の長さ方向にわたって変化する断面を有し、そして、前記Ｂ支柱３と同じように、連結領域５１を形成するために、その上側末端部で長さ方向に斜めに広げられ切断されている。図６に詳しく示されるように、Ｄ支柱５は、その上側連結領域５１において、外側シェル５ｂ上に上向きに突出しているフランジ５１ａを有し、そして、内側シェル５ａ上にフランジ５１ｂを有しており、前記フランジ５１ｂは９０度に曲げられ、車両の内側方向を指している。断面形態で示されるように、フランジ５１ａ，５１ｂの両方はルーフフレーム１の縦材１ａをＬ字形で取り囲み、そして、溶接シーム５１ｃによってそこへ連結している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
図５及び図７に示すように、Ｄ支柱５の下側末端部は斜めに広げられており、そして、部分的に長さ方向に切断され、下側連結領域５２の形成している。具体的には、Ｄ支柱５の内側シェル５ａは外側シェル５ｂに対して短く切断されているので、Ｄ支柱５は下側連結領域５２とともにフロアシル２ｂをＬ字形に囲んでいる。剛性連結ノードを形成するために、Ｄ支柱５を、溶接シーム５２ａによってしっかりと縦材２ｂへ連結させる。
【手続補正書】
【提出日】平成20年2月8日(2008.2.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板から伸長する複数のフィンと、
前記フィンを覆うゲート誘電体とを備え、
前記ゲート誘電体が異なる厚さを有する、フィン型電界効果トランジスタ（ＦｉｎＦＥＴ）構造。
【請求項２】
基板と、
前記基板から伸長し、中央チャネル領域、ならびに前記チャネル領域の両側にソース領域およびドレイン領域を備える複数のフィンと、
前記フィンのチャネル領域を覆うゲート誘電体とを備え、
前記ゲート誘電体および前記フィンが異なる厚さを有する、フィン型電界効果トランジスタ（ＦｉｎＦＥＴ）構造。
【請求項３】
基板と、
前記基板から伸長する複数のフィンと、
前記フィンを覆うゲート誘電体とを備え、
前記フィンが、前記基板で異なるタイプのトランジスタにおいて利用され、第１のタイプのトランジスタが、第１の厚さを有するゲート誘電体を含み、第２のタイプのトランジスタが、前記第１の厚さとは異なる第２の厚さを有するゲート誘電体を含む、フィン型電界効果トランジスタ（ＦｉｎＦＥＴ）構造。
【請求項４】
前記フィンが、複数フィンのトランジスタにおいて利用される、請求項１、２、または３のいずれかに記載のＦｉｎＦＥＴ構造。
【請求項５】
厚い方のゲート誘電体が複数層の誘電体を含み、薄い方のゲート誘電体がそれよりも少ない層の誘電体を含む、請求項１、２、または３のいずれかに記載のＦｉｎＦＥＴ構造。
【請求項６】
前記フィンを覆うキャップをさらに備える、請求項１、２、または３に記載のＦｉｎＦＥＴ構造。
【請求項７】
前記キャップが、前記ゲート誘電体とは異なる材料を含む、請求項６に記載のＦｉｎＦＥＴ構造。
【請求項８】
複数のフィンを基板にパターン化すること、
前記フィンに第１のゲート誘電体を形成すること、
マスクを使用して第１のフィンを保護すること、
保護されていない第２のフィンから前記第１のゲート誘電体を取り除くこと、
前記第１のフィンから前記マスクを取り除くこと、および
前記第２のフィンと比較した場合に厚さの異なるゲート誘電体を前記第１のフィンに形成するために、前記第２のフィンと、前記第１のフィンを覆う前記第１のゲート誘電体とに追加のゲート誘電体を形成することを含む、フィン型電界効果トランジスタ（ＦｉｎＦＥＴ）構造の形成方法。
【請求項９】
複数のフィンを基板にパターン化すること、
前記フィンに第１のゲート誘電体を形成すること、
マスクを使用して第１のフィンを保護すること、
保護されていない第２のフィンから前記第１のゲート誘電体を取り除くこと、
前記第１のフィンから前記マスクを取り除くこと、
前記第２のフィンと比較した場合に厚さの異なるゲート誘電体を前記第１のフィンに形成し、異なるフィン厚を形成するために、前記第２のフィンと、前記第１のフィンを覆う前記第１のゲート誘電体とに追加のゲート誘電体を形成すること、
前記フィンの中央チャネル領域によって分離されるソース領域およびドレイン領域を形成するために前記フィンの端部をドーピングすること、ならびに
前記チャネル領域を覆うゲート導電体を形成することを含み、前記ゲート誘電体が、前記ゲート導電体から前記チャネル領域を絶縁する、フィン型電界効果トランジスタ（ＦｉｎＦＥＴ）構造の形成方法。
【請求項１０】
複数のフィンを基板にパターン化すること、
前記フィンに第１のゲート誘電体を形成すること、
マスクを使用して第１のフィンを保護すること、
保護されていない第２のフィンから前記第１のゲート誘電体を取り除くこと、
前記第１のフィンから前記マスクを取り除くこと、
前記第２のフィンと比較した場合に厚さの異なるゲート誘電体を前記第１のフィンに形成するために、前記第２のフィンと、前記第１のフィンを覆う前記第１のゲート誘電体とに追加のゲート誘電体を形成すること、および
前記基板で異なるタイプのトランジスタにおいて前記フィンを利用することを含み、あるタイプのトランジスタが、第１の厚さを有するゲート誘電体を含み、第２のタイプのトランジスタが、前記第１の厚さとは異なる第２の厚さを有するゲート誘電体を含む、フィン型電界効果トランジスタ（ＦｉｎＦＥＴ）構造の形成方法。
【請求項１１】
前記基板で異なるタイプのトランジスタにおいて前記フィンを利用することをさらに含み、あるタイプのトランジスタが、第１の厚さを有するゲート誘電体を含み、第２のタイプのトランジスタが、前記第１の厚さとは異なる第２の厚さを有するゲート誘電体を含む、請求項８または９のいずれかに記載の方法。
【請求項１２】
複数フィンのトランジスタにおいて前記フィンを利用することをさらに含む、請求項８、９、または１０のいずれかに記載の方法。
【請求項１３】
追加のゲート誘電体を形成する前記工程が、前記第１のフィンには複数層の誘電体を形成し、前記第２のフィンには前記追加のゲート誘電体のみを形成する、請求項８、９、または１０のいずれかに記載の方法。
【請求項１４】
前記複数のフィンをパターン化する前記工程が、前記フィンを覆うキャップを形成する、請求項８、９、または１０のいずれかに記載の方法。
【請求項１５】
前記キャップが、前記ゲート誘電体とは異なる材料を含む、請求項１４に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成20年2月20日(2008.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
柔軟性のないまたは柔軟性のある支持体の上に配置された予備構造化された酸化亜鉛層を有する基板を処理する装置において、該基板をエッチング液で処理するための第一の手段、該基板を洗浄液で処理するための第二の手段および第一の手段から第二の手段に基板を運搬するための別の手段を備えることを特徴とする、上記装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１７】
基板を、装置を通ってＴＣＯ−層を上向きにして水平に搬送しそしてエッチング媒体および洗浄液での処理を該表面に上方から噴霧ノズルによって行う、請求項１１〜１６のいずれか一つに記載の方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】 この上述の手動エッチング法は特に以下の欠点を有する：−  手動で実施することが、不可避的に、即ち例えば作業によって、再現性がなく且つ手違いをもたらす。−  従来の方法は、手動での浸漬が大きな面積に不均一なエッチング結果を実質的に必ずもたらすので、１０×１０ｃｍ２の大きな基板表面積に簡単にスケールアップすることができない。−  この従来の方法は僅かな生産量しか可能とせず、自動化が困難である。このことは工業生産においては不利にも高いコストをもたらす。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】  本発明の方法を実施するのに適する本発明に従う装置は、ＺｎＯで被覆された大きな表面積の基板が入口域からエッチング、洗浄および乾燥室を通って出口域に搬送されるコンベアー型エッチング装置である。この場合、エッチングあるいは洗浄溶液は好ましくは噴霧ノズルによって適用される。コンベアーは耐酸性および耐アルカリ性コンベアーローラーのシステムによって有利に行うことができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】  この場合、装置中で基板が水平な状態であることが必須の前提条件ではない。それどころか垂直な配置は、噴霧されるエッチング剤が例えばＺｎＯ／ガラス基板に直接的に当たらないので有利であり得る。他方、垂直の状態は、エッチング剤および洗浄剤が重力だけで基板上を下方に流れそしてそれ故にエッチング工程の均一性に悪影響を及ぼし得るという欠点を有している。水平状態の場合には、エッチング剤が一般に均一に分配されそして均一に洗去されもする。
【手続補正書】
【提出日】平成20年3月28日(2008.3.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
−前記規定空間内の所定の位置において複数の初期信号強度を測定する手段、
−前記規定空間における所定の位置に関して前記初期信号強度をマッピングする手段、及び
−前記規定空間における前記アクセスポイントの位置及び走査周波数を識別する手段
をさらに含む請求項１に記載のシステム。