(57)【要約】  本発明の感光性樹脂組成物は、（Ａ）カルボン酸化合物；（Ｂ）トリアゾール類、テトラゾール類及びイミダゾール類からなる群からなる選択される１種または２種以上のヘテロ環化合物；（Ｃ）熱可塑性有機高分子；（Ｄ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物；及び（Ｅ）光重合開始剤を含有してなることを特徴とする。【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）カルボン酸化合物；（Ｂ）トリアゾール類、テトラゾール類及びイミダゾール類からなる群からなる選択される１種または２種以上のヘテロ環化合物；（Ｃ）熱可塑性有機高分子；（Ｄ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物；及び（Ｅ）光重合開始剤を含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項２】
（Ａ）カルボン酸化合物は、脂肪酸及び芳香族カルボン酸（カルボキシベンゾトリアゾールを除く）からなる群からなる選択される１種または２種以上である、請求項１記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
脂肪酸は、炭素原子数が１〜３０個で、カルボキシル基を１個又は２個以上有し、飽和又は不飽和で、直鎖型であっても、分岐鎖型であってもよく、構造中に環状構造を有するものであってもよく、置換基として炭化水素基、酸素含有基及び／又は窒素含有基を有するものであってもよい化合物である、請求項２記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
芳香族カルボン酸は、ベンゼン、ナフタレン又はアントラセン構造を骨格とし、これらと直接結合する１個又は２個以上のカルボキシル基を有し、置換基として炭素原子数が１〜１２個で、飽和又は不飽和で、直鎖型であっても、分岐鎖型であってもよく、構造中に環状構造を有するものであってもよく、酸素及び／又は窒素を含有する基を有していてもよい化合物である、請求項２記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
（Ｃ）熱可塑性有機高分子；（Ｄ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物；及び（Ｅ）光重合開始剤の合計量１００質量部に対する（Ａ）カルボン酸化合物の配合量が０．０００５〜１質量部の範囲内にあり、且つ（Ｂ）ヘテロ環化合物の配合量が０．０００５〜１質量部の範囲内にある、請求項１ないし４のいずれか１項記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
更に、（Ｆ）アミン類を含有する、請求項１ないし５のいずれか１項記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
（Ｆ）アミン類の配合量は、（Ａ）カルボン酸化合物及び（Ｂ）ヘテロ環化合物に使用される酸１当量に対して５当量以下である、請求項６記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
更に、熱重合禁止剤、可塑剤、染料、酸化防止剤、表面張力改質材、安定剤、連鎖移動剤、消泡剤、難燃剤、剥離促進剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤及び現像性・めっき性向上剤からなる群から選択された１種又は２種以上の添加剤を含有する、請求項１ないし７のいずれか１項記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
（Ｃ）熱可塑性有機高分子；（Ｄ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物；及び（Ｅ）光重合開始剤の合計量１００質量部に対する添加剤の配合量は、各々０．０１〜２０質量部の範囲内である、請求項８記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
更に、アルコール類、ケトン類、酢酸エステル類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルエステル類及び石油系溶剤からなる群から選択される１種又は２種以上の希釈用の有機溶剤を含有する、請求項１ないし９のいずれか１項記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１１】
希釈用の溶剤の配合量は、感光性樹脂組成物に対して５〜５０質量％の範囲内である、請求項１０記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物からなることを特徴とするフォトレジストインク。
【請求項１３】
請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を支持体上に塗布し、乾燥してなる感光性樹脂組成物層を支持体上に形成してなることを特徴とする感光性フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、及び該組成物を用いたフォトレジストインク及び感光性フィルム板に関する。
【背景技術】
【０００２】
感光性樹脂組成物は、溶剤を含有した液体皮膜として印刷配線板用基板（以下、単に基板と言う）に塗布され、加熱乾燥することによって溶剤を除去して乾燥皮膜とされ、その後、活性光に画像的に露光した後、現像することによりフォトレジスト像とされている。しかし、近年、その低作業性、大気汚染、低歩留まりを改善するために、フィルム状支持体、乾燥された感光性樹脂組成物層（以下、単に感光層と言う）、及び必要に応じて用いられる保護フィルム層からなる感光性樹脂組成物積層体（以下、単に感光性フィルムと言う）が用いられるようになってきた。感光性樹脂組成物としては、未露光部がアルカリ水溶液によって現像される、所謂、アルカリ現像型と、有機溶剤によって現像される、所謂、溶剤現像型の両者が知られている。【０００３】
感光性フィルムの使用方法は、感光性フィルムから保護フィルム層がある場合にはこれを取り除いて感光層とフィルム状支持体とからなる積層体にした後、その感光層が基板に接するように加熱圧着（ラミネート）する。次いで、ネガフィルム等を用いて画像的に露光した後、炭酸ソーダ水、１，１，１−トリクロロエタン等の所定の現像液を用いて未露光部を現像して基板上にフォトレジスト像を形成する。この形成されたフォトレジスト像をマスクとして基板の金属表面をエッチングするか、またはめっき処理を施し、次いで、フォトレジスト像を水酸化ナトリウム水溶液、塩化メチレン等の所定の剥離液を用いて剥離することからなり、これによって印刷配線板等を製造することができる。【０００４】
上記の工程中、基板の金属表面のエッチングあるいはめっき処理に対してフォトレジスト像は、マスクとして充分な耐性を有していなければならない。エッチング処理は、塩化第二鉄、塩化第二銅、過硫酸アンモニウムの水溶液を用いて基板の表面層を構成している金属（通常は銅）を除去する工程である。また、めっき処理に用いるめっき液の種類は数多くあり、半田めっき、硫酸銅めっき、金めっき、ニッケルめっき、ピロリン酸めっき等がある。めっき処理は、いずれも高濃度の薬品溶液中で電流を流すのでエッチング処理と比較してかなり厳しい処理といえる。【０００５】
上述のようにして使用される感光性樹脂組成物及び感光性フィルムとして、例えば、特許文献１には、（１）熱可塑性有機高分子結合剤、（２）同一分子内に少なくとも１個の芳香族環を有し、かつ同一芳香族環に少なくとも２個のカルボキシル基が直接結合している化合物、（３）特定のヘキサアリールビイミダゾール、（４）酸化可能なロイコトリアリールメタン染料、（５）常圧で５０℃以上の沸点を有する付加重合性エチレン基をもつ化合物を含有することを特徴とする発色硬化感光組成物が開示されている。【０００６】
また、特許文献２には、無機充填材、エポキシ樹脂、硬化剤よりなる半導体封止用エポキシ樹脂組成物において、１，８−ジアザビシクロ（５，４，０）ウンデセン−７とトリメリット酸又はピロメリット酸との塩を、予めフェノールノボラック樹脂と溶融混合した後に添加して成ることを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物が開示されている。【０００７】
更に、特許文献３には、ノボラック樹脂と、ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルを主成分とする感光剤と、メラミン誘導体および／またはグアナミン誘導体からなる密着増強剤とを含有してなることを特徴とする、ポジ型ホトレジスト組成物が開示されている。【０００８】
また、特許文献４には、主鎖中に、テトラカルボン酸またはその酸無水物とジアミンとの重縮合生成物から形成された特定の繰り返し単位を有し、その両末端に、光重合可能な炭素−炭素二重結合を有する置換基を分子内に有するアミノベンゼン類またはトリメリット酸誘導体により末端変性された構造の化学線官能基を有する感光性ポリイミド前駆体であって、テトラカルボン酸またはその酸無水物が、剛直構造の芳香族テトラカルボン酸またはその酸無水物を７０〜１００モル％の割合で含有するものであり、かつ、ジアミンが、剛直構造の芳香族ジアミンを７０〜１００モル％の割合で含有するものであることを特徴とする感光性ポリイミド前駆体（請求項１）、（Ａ）前記感光性ポリイミド前駆体、（Ｂ）光重合性官能基を有する感光助剤、（Ｃ）光重合開始剤、及び（Ｄ）溶剤を含有する感光性ポリイミド樹脂組成物（請求項１１）、（Ｅ）１Ｈ−テトラゾール類を更に含有する請求項１１記載の感光性ポリイミド樹脂組成物（請求項１２）が開示されている。【０００９】
更に、特許文献５には、（Ａ）カルボキシル基及び／又は水酸基を含有する可溶性ポリイミド、（Ｂ）（メタ）アクリル系化合物、（Ｃ）エポキシ系化合物、及び（Ｄ）潜在性硬化剤を含有する感光性樹脂組成物（請求項１）、上記（Ｄ）成分が、ジシアンジアミド、フェノールノルボラック、エポキシフェノール、アジピン酸ジヒラジド、ジアリルメラミン、ジアミノマレオニトリル、ヘキサメチレンテトラミン、アミン塩、イミダゾールの誘導体、三フッ化ホウ素のアミンコンプレックス、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、アミンイミド化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種以上の化合物であることを特徴とする、請求項１又は２記載の感光性樹脂組成物（請求項３）が開示されている。【００１０】
また、特許文献６には、（Ａ）炭素数９以上の分岐鎖状又は環状の飽和炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステルを共重合成分として含有するバインダポリマと、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物（請求項１）；前記（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物として、多価アルコールにアルファ，ベータ−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物、ノニルフェノキシポリエチレンオキシ（メタ）アクリレート化合物及びフタル酸系化合物からなる群より選ばれる少なくとも１つを含有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物（請求項５）；前記（Ｃ）光重合開始剤として、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体を含有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物（請求項７）が開示されている。【００１１】
更に、特許文献７には、（ａ）液状エポキシ樹脂、（ｂ）硬化剤、（ｃ）硬化促進剤、（ｄ）無機質充填剤を必須成分とする液状エポキシ樹脂組成物において、上記硬化剤として３，４−ジメチル−６−（２−メチル−１−プロペニル）−１，２，３，６−テトラハイドロフタル酸と１−イソプロピル−４−メチル−ビシクロ［２，２，２］オクト−５−エン−２，３−ジカルボン酸との混合物を硬化剤全体１００重量部（質量部）に対して５〜７５重量部（質量部）含有することを特徴とする液状エポキシ樹脂組成物；（ｃ）成分の硬化促進剤が、イミダゾール化合物及び／又は有機リン化合物である請求項１又は２記載の組成物（請求項３）が開示されている。【００１２】
また、特許文献８には、１種または複数の芳香族二酸無水物と１種または複数の脂肪族ジアミンから誘導され、熱に曝すと２ＧＰａ未満のモデュラスを有する硬化したポリイミドを形成するポリアミック酸と、アミン（メタ）アクリレート、アミンメタアクリルアミド、およびその組合せからなる群から選択される化合物とアミン非含有（メタ）アクリレート化合物とを含むエチレン性不飽和モノマー混合物と、光開始剤と、増感剤とを含み、水性炭酸塩中で現像可能であることを特徴とする低温硬化型感光性組成物（請求項１）；粘着促進剤をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の組成物（請求項１２）；前記粘着促進剤が、３−メルカプト−１Ｈ−１，２，４−トリアゾール、５−アミノ−１，３，４−チアジアゾール−２−チオール、２−メルカプトベンズイミダゾール２−（２’−ヒドロキシ−５−メタクリリロキシ−エチルフェニル）−２Ｈ−ベンゾトリアゾール、ポリベンズイミダゾール、およびその組合せからなる群から選択されることを特徴とする請求項１２に記載の組成物（請求項１３）が開示されている。【００１３】
【特許文献１】特開昭６２−１０６４５０号公報
【特許文献２】特開２００３−４０９７８号公報
【特許文献３】特開平７−１２０９１４号公報
【特許文献４】特開２００４−２８５１２９号公報
【特許文献５】特開２００４−３３３６７２号公報
【特許文献６】特開平７−１２０９１４号公報
【特許文献７】特開２００２−９７２５７号公報
【特許文献８】特開２００６−１４６２４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
上述の特許文献１に記載されている発色硬化感光組成物は、熱可塑性有機高分子結合剤、芳香族カルボン酸化合物及びイミダゾール二量体を含有してなるものであるが、イミダゾール二量体は、反応開始剤として配合されている成分であり、感光組成物の密着性を向上させることはできない。また、特許文献２に記載されている半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、エポシキ樹脂にトリメリット酸のようなカルボン酸を添加することにより、密着性を向上させようとするものであるが、カルボン酸の添加のみでは密着性を充分に向上させることはできない。更に、特許文献３に記載されているポシ型ホトレジスト組成物は、ノボラック樹脂に、密着増強剤としてヘテロ環化合物とカルボン酸化合物を併用することが開示されているが、該組成物は、ベースとなるポリマーがノボラック樹脂であり、感光性樹脂組成物として使用することはできない。また、特許文献５に記載された感光性ポリイミド樹脂組成物では、ポリイミド樹脂に、添加剤として１Ｈ−テトラゾール類のようなヘテロ環化合物を配合することが開示されているが、ポリイミド樹脂にヘテロ環化合物のみを添加しても充分な密着性向上効果は得られない。更に、特許文献６に記載の感光性樹脂組成物は、バインダポリマとして、（メタ）アクリル酸エステルの共重合体、エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物として、カルボン酸化合物、光重合開始剤として、ヘテロ環化合物がそれぞれ用いられているが、これらは反応させて感光性樹脂を形成するための樹脂の構成成分として配合されているものであり、密着性を向上させるための樹脂添加剤として配合されるものではない。なお、密着性を向上させる目的で配合される樹脂添加剤は、ベースとなる樹脂との反応に寄与することはないと考えられる。また、特許文献７に記載の液状エポキシ樹脂組成物には、硬化促進剤としてヘテロ環化合物が用いられているが、ヘテロ環化合物のみを添加しても充分な密着性向上効果は得られない。更に、特許文献８に記載の感光性組成物には、粘着促進剤としてヘテロ環化合物が用いられているが、ヘテロ環化合物のみを添加しても充分な密着性向上効果は得られない。【００１５】
また、近年の半導体素子の高集積化により、ＬＳＩ等の小型化と高性能化し、また、部品のリード数が急速に増加し、これらを接続するため、プリント配線板の配線数が飛躍的に増加し、更に、プリント配線板自体を小型化することも求められている。そのため、プリント配線板の配線をファインピッチ化する必要があり、これには、フォトレジスト像と銅箔の密着性を向上させる必要があるが、従来の感光性樹脂組成物では、最近のファインピッチ化に対応できる充分な密着性が得られていないのが現状である。【００１６】
従って、本発明の目的は、銅表面との密着性が優れ、しかも塗装または積層後の経時変化に影響されない極めて安定なレジスト膜を形成しうる感光性樹脂組成物、及びこれを用いた感光性フィルム、フォトレジスト及びプリント配線板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
即ち、本発明の感光性樹脂組成物は、（Ａ）カルボン酸化合物；（Ｂ）トリアゾール類、テトラゾール類及びイミダゾール類からなる群からなる選択される１種または２種以上のヘテロ環化合物；（Ｃ）熱可塑性有機高分子；（Ｄ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物；及び（Ｅ）光重合開始剤を含有してなることを特徴とする。【００１８】
また、本発明の感光性樹脂組成物は、更に、（Ｆ）アミン類を含有することを特徴とする。【００１９】
また、本発明の感光性樹脂組成物は、更に、熱重合禁止剤、可塑剤、染料（色素、光発色剤）、酸化防止剤、表面張力改質材、安定剤、連鎖移動剤、消泡剤、難燃剤、剥離促進剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤及び現像性・めっき性向上剤からなる群から選択された１種又は２種以上の添加剤を含有することを特徴とする。【００２０】
また、本発明の感光性樹脂組成物は、更に、アルコール類、ケトン類、酢酸エステル類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルエステル類及び石油系溶剤からなる群から選択される１種又は２種以上の希釈用の有機溶剤を含有することを特徴とする。【００２１】
更に、本発明のフォトレジストは、上記感光性樹脂組成物からなることを特徴とする。【００２２】
また、本発明の感光性フィルムは、上記感光性樹脂組成物を支持体上に塗布し、乾燥してなる感光性樹脂組成物層を支持体上に形成してなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の感光性樹脂組成物は、銅表面に溶液として直接塗布し、あるいはレジスト皮膜として積層した場合に、そのレジスト皮膜と銅表面の密着性が優れ、しかも積層後の銅表面の変色防止性も極めて高く、安定しており、更に、使用する原料のコストも安価である。よって、次工程のエッチングやめっき処理などにおいて、レジスト皮膜の銅表面からの浮き上がりや、それによるレジスト端部の欠損、めっきもぐりなどが発生せず、本発明の感光性樹脂組成物を使用すれば良好なプリント配線基板を効率よく製造することができるという効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の感光性樹脂組成物に使用される（Ａ）カルボン酸化合物としては、脂肪族カルボン酸、芳香族カルボン酸（カルボキシベンゾトリアゾールを除く）を挙げることができる。なお、これらは１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。【００２５】
ここで、脂肪族カルボン酸としては、炭素原子数１〜３０個で、１個または２個以上のカルボキシル基をもつ化合物群であり、構造的に飽和でも、不飽和でも良く、直鎖型でも分岐型でも良く、構造中に環状構造（脂環、芳香環）を含んでいても良く、置換基として、酸素（ヒドロキシル基、カルボニル基、カルボキシル基、エーテル、エステルなど）、窒素（アミノ基、アミド基、ニトロ基、シアノ基など）を含有することができる化合物が好ましい。例えば、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、カプロン酸（ヘキサン酸）、ヘプタン酸、カプリル酸（オクタン酸）、ペラルゴン酸、カプリン酸、ウンデカン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、アラキン酸、ベヘン酸、リグノセリン酸、セロチン酸、モンタン酸、メリシン酸、アクリル酸、クロトン酸、ケイ皮酸、オブツシル酸、カプロレイン酸、ウンデシレン酸、リンデン酸、ツズ酸、フィゼテリン酸、ミリストレイン酸、パルミトレイン酸、エライジン酸、ペトロセリン酸、オレイン酸、アスクレピン酸、バクセン酸、ガドレイン酸、ゴンドイン酸、セトレイン酸、エルカ酸、ブラシジン酸、セラコレイン酸、ネルゴン酸、キシメン酸、ルメクエン酸、ソルビン酸、リノール酸、ヒラゴ酸、アルファ−リノレン酸、ガンマー−リノレン酸、プニカ酸、アルファ−エレオステアリン酸、ベータ−エレオステアリン酸、モロクチ酸、ステアリドン酸、アラキドン酸、エイコサペンタン酸、イワシ酸、ドコサヘキサエン酸、ニシン酸、タリリン酸、ステアロール酸、クレペニン酸、キシメニン酸、２−メチルプロパン酸、２−メチルブタン酸、イソ吉草酸、ネオペンタン酸、２，３−ジメチルペンタン酸、４，４−ジメチルペンタン酸、２−エチル酪酸、２，２−ジメチルヘキサン酸、２−エチルへキサン酸、オクタン酸、イソオクタン酸、イソノナン酸、イソデカン酸、ネオデカン酸、イソトリデカン酸、イソパルミチン酸、イソステアリン酸、メタクリル酸、セネシオ酸、シトロネル酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ウンデカン二酸、ドデカン二酸、トリデカン二酸、テトラデカン二酸、ペンタデカン二酸、ヘキサデカン二酸、オクタデカン二酸、マレイン酸、フマル酸、オクテニルコハク酸、ドデセニルコハク酸、オクタデセン二酸、ペンタデセニルコハク酸、トリカルバリル酸、グルタミン酸、２，５−ジベンズアミドペンタン酸、グリコール酸、乳酸、アルファ−オキシ酪酸、リンゴ酸、酒石酸、クエン酸、グルコン酸、エチレンジアミン四酢酸、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸、ニトリロ三酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸、ジカルボキシメチルグルタミン酸、ヒドロキシエチルイミノ二酢酸、ジヒドロキシエチルグリシン、１，３−プロパンジアミン四酢酸、１，３−ジアミノ−２−ヒドロキシプロパン四酢酸、ジヒドロキシエチルエチレンジアミン二酢酸、メチルグリシン二酢酸等が挙げられる。なお、これらの化合物の中でも、オクタン酸、イソステアリン酸、オクタデカン二酸、オクテニルコハク酸、エチレンジアミン四酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸、酒石酸等が特に好ましい。【００２６】
芳香族カルボン酸（カルボキシベンゾトリアゾールを除く）としては、ベンゼン、ナフタレン、アントラセン構造を骨格とし、これらと直接結合する１個又は２個以上のカルボキシル基を持ち、置換基として、Ｃ１〜Ｃ１２の構造的に飽和でも不飽和でも良く、直鎖型でも分岐型でも良く、構造中に環状構造（脂環、芳香環）を含んでも良く、酸素（ヒドロキシル基、カルボニル基、カルボキシル基、エーテル、エステルなど）、窒素（アミノ基、アミド基、ニトロ基、シアノ基など）、硫黄（チオルール基、スルフィドなど）、ハロゲン（フッ素、塩素、臭素、ヨウ素など）を含有することができる化合物が好ましい。例えば、安息香酸、ナフトエ酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トルイル酸、キシリル酸、ヘミメリット酸、トリメリット酸、トリメシン酸、ヘメリット酸、メシチレン酸、ウトビ酸、プレーニチル酸、ガンマー−イソジュリル酸、アルファ−イソジュリル酸、ジュリル酸、メロファン酸、プレーニト酸、ピロメリット酸、メリット酸、ジフェン酸、サリチル酸、ｏ−ピロカテク酸、ベータ−レソルシル酸、ゲンチジン酸、ガンマー−レソルシル酸、プロトカテク酸、チオサリチル酸、アルファ−レソルシル酸、オルセリン酸、没食子酸、ｐ−クロロ安息香酸、アニス酸、クレオソート酸、ｏ−ホモサリチル酸、ｍ−ホモサリチル酸、ｐ−ホモサリチル酸、バニリン酸、イソバニリン酸、シリング酸、ベラトルム酸、ｏ−ベラトルム酸、アサロン酸、クミン酸、メシト酸、ｍ−ヘミピン酸、ホモフタル酸、ホモイソフタル酸、ホモテレフタル酸、フタロン酸、イソフタロン酸、テレフタロン酸等が挙げられる。なお、これらの化合物の中でも、安息香酸、ナフトエ酸、イソフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、トルイル酸、サリチル酸、没食子酸、フタロン酸等が特に好ましい。【００２７】
（Ｂ）ヘテロ環化合物としては、トリアゾール類、テトラゾール類、イミダゾール類を使用することができる。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。【００２８】
トリアゾール類としては、トリアゾール（１Ｈ−１，２，３−トリアゾール、２Ｈ−１，２，３−トリアゾール、１Ｈ−１，２，４−トリアゾール、４Ｈ−１，２，４−トリアゾール）又はこれらとベンゼン環あるいはナフタレン環の環縮合構造を有する化合物群；トリアゾール環及び／又は芳香環に、置換基として、Ｃ１〜Ｃ１２の構造的に飽和でも不飽和でも良く、直鎖型でも分岐型でも良く、構造中に環状構造（脂環、芳香環）を含んでも良く、酸素（ヒドロキシル基、カルボニル基、カルボキシル基、エーテル、エステルなど）、窒素（アミノ基、アミド基、ニトロ基、シアノ基など）、硫黄（チオール基、スルフィドなど）、ハロゲン（フッ素、塩素、臭素、ヨウ素など）を含有することができる化合物が好ましい。例えば２−（２’−ヒドロキシ−５’−メチルフェニル）ベンゾトリアゾール、１Ｈ−１，２，３−トリアゾール、２Ｈ−１，２，３−トリアゾール、１Ｈ−１，２，４−トリアゾール、４Ｈ−１，２，４−トリアゾール、ベンゾトリアゾール、トリルトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、３−アミノ−１，２，４−トリアゾール、４−アミノ−１，２，４−トリアゾール、５−アミノ−１，２，４−トリアゾール、３−メルカプト−１，２，４−トリアゾール、クロロベンゾトリアゾール、ニトロベンゾトリアゾール、アミノベンゾトリアゾール、シクロヘキサノ［１，２−ｄ］トリアゾール、４，５，６，７−テトラヒドロキシトリルトリアゾール、１−ヒドロキシベンゾトリアゾール、エチルベンゾトリアゾール、ナフトトリアゾール、１−［Ｎ，Ｎ−ビス（２−エチルヘキシル）アミノメチル］ベンゾトリアゾール、１−［Ｎ，Ｎ−ビス（２−エチルヘキシル）アミノメチル］トリルトリアゾール、１−［Ｎ，Ｎ−ビス（２−エチルヘキシル）アミノメチル］カルボキシベンゾトリアゾール、１−［Ｎ，Ｎ−ビス（２−ヒドロキシエチル）−アミノメチル］ベンゾトリアゾール、１−［Ｎ，Ｎ−ビス（２−ヒドロキシエチル）−アミノメチル］トリルトリアゾール、１−［Ｎ，Ｎ−ビス（２−ヒドロキシエチル）−アミノメチル］カルボキシベンゾトリアゾール、１−［Ｎ，Ｎ−ビス（２−ヒドロキシプロピル）アミノメチル］カルボキシベンゾトリアゾール、１−［Ｎ，Ｎ−ビス（１−ブチル）アミノメチル］カルボキシベンゾトリアゾール、１−［Ｎ，Ｎ−ビス（１−オクチル）アミノメチル］カルボキシベンゾトリアゾール、１−（２’，３’−ジ−ヒドロキシプロピル）ベンゾトリアゾール、１−（２’，３’−ジ−カルボキシエチル）ベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−３’，５’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−３’，５’−アミルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−４’−オクトキシフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−５’−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ベンゾトリアゾール、１−ヒドロキシベンゾトリアゾール−６−カルボン酸、１−オレオイルベンゾトリアゾール、１，２，４−トリアゾール−３−オール、５−アミノ−３−メルカプト−１，２，４−トリアゾール、５−アミノ−１，２，４−トリアゾール−３−カルボン酸、１，２，４−トリアゾール−３−カルボキシアミド、４−アミノウラゾール、１，２，４−トリアゾール−５−オン等が挙げられる。なお、これらの化合物の中でも、ベンゾトリアゾール、トリルトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、１−ヒドロキシベンゾトリアゾール、１−［Ｎ，Ｎ−ビス（２−エチルヘキシル）アミノメチル］トリルトリアゾール、１−［Ｎ，Ｎ−ビス（２−エチルヘキシル）アミノメチル］カルボキシベンゾトリアゾール、３−アミノ−１，２，４−トリアゾール、４−アミノ−１，２，４−トリアゾール、５−アミノ−１，２，４−トリアゾール、３−メルカプト−１，２，４−トリアゾール、シクロヘキサノ［１，２−ｄ］トリアゾール、１，２，４−トリアゾール−３−オール、５−アミノ−３−メルカプト−１，２，４−トリアゾール、５−アミノ−１，２，４−トリアゾール−３−カルボン酸、１，２，４−トリアゾール−３−カルボキシアミド、４−アミノウラゾール、１，２，４−トリアゾール−５−オン等が特に好ましい。【００２９】
テトラゾール類としては、テトラゾール（１Ｈ−テトラゾール、２Ｈ−テトラゾール）の１，５位が、水素又は置換基としてＣ１〜Ｃ１２の構造的に飽和でも不飽和でも良く、直鎖型でも分岐型でも良く、構造中に環状構造（脂環、芳香環）を含んでも良く、酸素（ヒドロキシル基、カルボニル基、カルボキシル基、エーテル、エステルなど）、窒素（アミノ基、アミド基、ニトロ基、シアノ基など）、硫黄（チオール基、スルフィドなど）、ハロゲン（フッ素、塩素、臭素、ヨウ素など）を含有する化合物が好ましい。例えば、１Ｈ−テトラゾール、５−アミノ−１Ｈ−テトラゾール、５−メチル−１Ｈ−テトラゾール、１−メチル−５−エチル−１Ｈ−テトラゾール、１−メチル−５−メルカプト−１Ｈ−テトラゾール、１−フェニル−５−メルカプト−１Ｈ−テトラゾール、１−（ジメチルアミノエチル）−５−メルカプト−１Ｈ−テトラゾール、５−フェニル−１Ｈ−テトラゾール、５，５’−ビス−１Ｈ−テトラゾール２アンモニウム塩、５，５’−アゾビス−１Ｈ−テトラゾール等が挙げられる。なお、これらの化合物の中でも、１Ｈ−テトラゾール、５−アミノ−１Ｈ−テトラゾール、５，５’−アゾビス−１Ｈ−テトラゾール、１−メチル−５−メルカプト−１Ｈ−テトラゾール等が特に好ましい。【００３０】
イミダゾール類としては、１Ｈ−イミダゾール又はこれらと１〜２個のベンゼン環の環縮合構造を骨格とする化合物類；イミダゾール環及び／又はベンゼン環に、置換基として、Ｃ１〜Ｃ１２の構造的に飽和でも不飽和でも良く、酸素（ヒドロキシル基、カルボニル基、カルボキシル基、エーテル、エステルなど）、窒素（アミノ基、アミド基、ニトロ基、シアノ基など）、硫黄（チオール基、スルフィドなど）、ハロゲン（フッ素、塩素、臭素、ヨウ素など）を含有することができる化合物が好ましい。例えば、１Ｈ−イミダゾール、１−メチルイミダゾール、２−メチルイミダゾール、４−メチルイミダゾール、５−メチルイミダゾール、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾール、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾール、２，３−ジヒドロ−１Ｈ−ピロロ［１，２−ａ］ベンズイミダゾール、２−ウンデシルイミダゾール、２−ヘプタデシルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、２−フェニルイミダゾール、２−フェニル−４−メチルイミダゾール、１−ベンジル−２−メチルイミダゾール、１−ベンジル−２−フェニルイミダゾール、１−シアノエチル−２−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−ウンデシルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、２−アミノ−４，５−ジシアノイミダゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプトメチルベンズイミダゾール、４−フォルミルイミダゾール、１−（２−ヒドロキシエチル）イミダゾール、１−ビニルイミダゾール、１−ベンジル−２−フォルミルイミダゾール、１−アリルイミダゾール、２−エチルイミダゾール、２−ブチルイミダゾール、２−ブチルイミダゾール、２−ブチル−５−フォルミルイミダゾール、２−ブチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾール、２−フォルミルイミダゾール、４，５−ジヒドロ−１Ｈ−イミダゾール、２，５−ジヒドロ−１Ｈ−イミダゾール、２，３−ジヒドロ−１Ｈ−イミダゾール、テトラヒドロ−１Ｈ−イミダゾール、２−メチル−４，５−ジヒドロ−１Ｈ−イミダゾール、２−アミノ−３−（１Ｈ−イミダゾール−４−イル）プロパノイル、２−（３−アミノプロパンアミド）−３−（１Ｈ−イミダゾール−４−イル）プロパノイル、イミダゾール−４−エタンアミン等が挙げられる。なお、これらの化合物の中でも、１Ｈ−イミダゾール、２−メチルイミダゾール、２−ウンデシルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、２−フェニルイミダゾールが特に好ましい。【００３１】
本発明の感光性樹脂組成物に使用される（Ｃ）熱可塑性有機高分子化合物としては、例えば、（メタ）アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂等を挙げることができる。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの樹脂の中でも、アルカリ現像性に優れる点から、（メタ）アクリル系樹脂を用いることが好ましい。なお、本発明における（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸及びそれに対応するメタクリル酸を意味し、（メタ）アクリレートとは、アクリレート及びそれに対応するメタクリレートを意味し、（メタ）アクリロイル基とはアクリロイル基及びそれに対応するメタクリロイル基を意味する。  【００３２】
上記（Ｃ）熱可塑性有機高分子化合物は、例えば重合性モノマーをラジカル重合させることにより製造することができる。【００３３】
上記重合性モノマーとしては、例えばメチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、ｉ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｉ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ヘプチル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、ノニル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、ウンデシル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、テトラデシル（メタ）アクリレート、ペンタデシル（メタ）アクリレート、ヘキサデシル（メタ）アクリレート、オクタデシル（メタ）アクリレート、カプリル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、３−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、メトキシエチル（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、メトキシベンジル（メタ）アクリレート、クロロベンジル（メタ）アクリレート、フルフリル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、クレジル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポプロピレンモノ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、エチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノ（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、１，３−プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジクリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、スチレン、アルファ−メチルスチレン、ベータ−メチルスチレン、ｏ−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ｏ−エチルスチレン、ｍ−エチルスチレン、ｐ−エチルスチレン、ｏ−メトキシスチレン、ｍ−メトキシスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｏ−エトキシスチレン、ｍ−エトキシスチレン、ｐ−エトキシスチレン、ｏ−クロロスチレン、ｍ−クロロスチレン、ｐ−クロロスチレン、ｐ−ブロモスチレン等のスチレン誘導体、またはベンゼン環がニトロ基、ニトリル基、アルコキシル基、アシル基、スルホン基、ヒドロキシル基、ハロゲン原子等の官能基で置換されていてもよいスチレン誘導体、（メタ）アクリル酸、アルファ−ブロモ（メタ）アクリル酸、アルファ−クロロ（メタ）アクリル酸、ベータ−フリル（メタ）アクリル酸、ベータ−スチリル（メタ）アクリル酸、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メトキシメチルアクリルアミド、Ｎ−エトキシメチルアクリルアミド、Ｎ−ブトキシメチルアクリルアミド、メチレンビスアクリルアミド、エチレンビスアクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビスアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、２−アクリロイロキシエチルフタレート、２−アクリロイロキシエチル−２−ヒドロキシエチルフタレート、２−メタクリロイロキシエチル−２−ヒドロキシプロピルフタレート、ジビニルフタレート、ジビニルテレフタレート、セルロース、ヒドロキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、カルボキシメチルセルロース、カルボキシエチルセルロース、カルボキシエチルメチルセルロース、セルロースフタレート、セルロースアセテートフタレート、ヒドロキシプロピルメチルセルロースフタレート、ヒドロキシプロピルメチルセルロースアセテートフタレートポリビニルアルコールとブチルアルデヒドとの反応生成物であるポリブチラール樹脂などのポリビニルアルコール類、デルタ−バレロラクトン、イプシロン−カプロラクトン、ベータ−プロピオラクトン、アルファ−メチル−ベータ−プロピオラクトン、ベータ−メチル−ベータ−プロピオラクトン、アルファ−メチル−ベータ−プロピオラクトン、ベータ−メチル−ベータ−プロピオラクトン、アルファ，アルファ−ジメチル−ベータ−プロピオラクトン、ベータ，ベータ−ジメチル−ベータ−プロピオラクトンなどのラクトン類が開環重合したポリエステル類、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ジプロピレングリコール、ネオペンチルグリコール等のアルキレングレコール単独又は２種以上のジオール類と、マレイン酸、フマル酸、グルタル酸、アジピン酸などのジカルボン酸類との縮合反応で得られたポリエステル類、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、ポリペンタメチレングリコール、ビスフェノールＡ、ヒドロキノン、ジヒドロキシシクロヘキサン等のジオール類と、ジフェニルカーボネート、ホスゲン、無水コハク酸等のカルボニル化合物との反応生成物であるポリカーボネート類、（メタ）アクリロニトリル、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエン、ｐ−ビニルトルエン、酢酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル、プロピオン酸ビニル、２，２’−ビス（４−アクリロキシジエトキシフェニル）プロパン、ジビニルサクシネート、ジビニルアジペート、ジビニルベンゼン−１，３−ジスルホネート、イソプレン、クロロプレン、３−ブタジエン、ビニル−ｎ−ブチルエーテルフマル酸、ケイ皮酸、アルファ−シアノケイ皮酸、イタコン酸、イタコン酸無水物、シトラコン酸、シトラコン酸無水物、クロトン酸、プロピオール酸等が挙げられる。上記熱可塑性有機高分子（Ｃ）成分は、単独で用いてもよいし、複数組み合わせて用いてもよい。【００３４】
本発明の感光性樹脂組成物に使用される（Ｄ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物としては、例えば、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物、多価アルコールに、アルファ，ベータ−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物等のウレタンモノマー等を挙げることができる。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。【００３５】
上記ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシジエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−［｛（メタ）アクリロキシトリエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシテトラエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシペンタエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシヘキサエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシヘプタエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシオクタエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシノナエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシデカエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシウンデカエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシドデカエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシトリデカエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシテトラデカエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシペンタデカエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシヘキサデカエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシジプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシトリプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシテトラプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシペンタプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシヘキサプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシヘプタプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシオクタプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシノナプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシデカプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシウンデカプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシドデカプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシトリデカプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシテトラデカプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシペンタデカプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシヘキサデカプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス（４−メタクリロキシペンタデカエトキシ）フェニルプロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシジエトキシオクタプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシテトラエトキシテトラプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシヘキサエトキシヘキサプロポキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシジエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシトリエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシペンタエトキシ｝フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−｛（メタ）アクリロキシデカエトキシ｝フェニル］プロパン、ビスフェノールＡジグリジジルエーテルジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。【００３６】
これらの中で、２，２−ビス｛４−メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル｝プロパンは、ＢＰＥ−５００［製品名：新中村化学工業（株）製］として商業的に入手可能であり、２，２−ビス｛４−メタクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル｝プロパンは、ＢＰＥ−１３００［製品名：新中村化学工業（株）製］として商業的に入手可能である。【００３７】
なお、上記ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物としては、その誘導体も使用でき、かかる誘導体としては、ビスフェノールＡ−ジエポキシにアクリル酸を付加させた化合物等が挙げられる。例えば、ビスコート＃５４０［製品名：大阪有機化学工業（株）製］として商業的に入手可能である。【００３８】
上記多価アルコールに、アルファ，ベータ−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、フェノキシテトラエチレングリコール（メタ）アクリレート、１，４−テトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−シクロヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、２−ジ（ｐ−ヒドロキシフェニル）プロパンジ（メタ）アクリレート、ヘプタプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、グリセロールトリ（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ポリオキシエチルトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ（メタ）アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリアルキレングリコール（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、４−ノルマルオクチルフェノキシペンタプロピレングリコール（メタ）アクリレート、４−ビス｛トリエチレングリコール（メタ）アクリレート｝ノナプロピレングリコール、ビス｛テトラエチレングリコール（メタ）アクリレート｝ポリプロピレングリコール、ビス｛トリエチレングリコール（メタ）アクリレート｝ポリプロピレングリコール、ビス（ジエチレングリコールアクリレート）ポリプロピレングリコール、４−ノルマルノニルフェノキシオクタンエチレングリコール（メタ）アクリレート、４−ノルマルノニルフェノキシヘプタンエチレングリコールジプロピレングリコール（メタ）アクリレート、フェノキシテトラプロピレングリコールテトラエチレングリコール（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンテトラエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンペンタエトキシトリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレンポリトリメチロールプロパン（メタ）アクリレート、テトラメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、グリセリンモノ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。【００３９】
上記ウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物等のウレタンモノマーとしては、例えば、一分子中にヒドロキシル基と（メタ）アクリル基を有する化合物［２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２−フェノキシ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、オリゴエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、オリゴプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート］と、イソホロンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、又は２，２，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス［（メタ）アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート］ヘキサメチレンイソシアヌレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、ＥＯ、ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。【００４０】
なお、ＥＯは、エチレンオキサイドを示し、ＥＯ変性された化合物は、エチレンオキシ基のブロック構造を有する。また、ＰＯは、プロピレンオキサイドを示し、ＰＯ変性された化合物は、プロピレンオキシ基のブロック構造を有する。ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業（株）製、製品名ＵＡ−１１等が挙げられる。また、ＥＯ、ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業（株）製、製品名ＵＡ−１３等が挙げられる。【００４１】
その他の化合物としては、（メタ）アクリル酸、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２−フェノキシ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ジアリルフタレート、ベータ−ヒドロキシプロピル−ベータ’−｛（メタ）アクリロイルキシ｝プロピルフタレート、２−（メタ）アクロイルオキシ−２−ヒドロキシプロピルフタレート、２−（メタ）アクロイルオキシエチル−２−ヒドロキシエチルフタレート、ノニルフェニルジオキシレン（メタ）アクリレート、ガンマー−クロロ−ベータ−ヒドロキシプロピル−ベータ’−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、ベータ−ヒドロキシエチル−ベータ’−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、ベータ−ヒドロキシプロピル−ベータ’−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、ＥＯ変性ノニルフェニル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド等の（メタ）アクリルアミド類、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート等のアミノアルキル（メタ）アクリレート類等が挙げられる。【００４２】
また、（Ｃ）熱可塑性有機高分子の成分中に配合し得るとして例示したモノマーを含有させることもできる。【００４３】
本発明の感光性樹脂組成物に使用される（Ｅ）光重合開始剤としては、例えば、芳香族ケトン類、ｐ−アミノフェニルケトン類、キノン類、ベンゾインエーテル化合物、ベンゾイン化合物、ベンジル誘導体、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体、アクリジン誘導体、クマリン系化合物、オキシムエステル類、Ｎ−アリール−アルファ−アミノ酸化合物、脂肪族多官能チオール化合物、アシルホスフィンオキサイド類、チオキサントン類、３級アミン化合物類等を挙げることができる。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。【００４４】
上記芳香族ケトン類としては、例えば、アセトフェノン、ベンゾフェノン、メチルベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ’−テトラエチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４’−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−プロパン−１、４，４−ジクロロベンゾフェノン等を挙げることができる。【００４５】
上記ｐ−アミノフェニルケトン類としては、例えば、アミノベンゾフェノン、ブチルアミノアセトフェノン、ジメチルアミノアセトフェノン、アルファ，アルファ−ジメトキシ−アルファ−モルホリノ−メチルチオフェニルアセトフェノン、ジメチルアミノベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジブチルアミノ）ベンゾフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、４，４’−ジアミノベンゾフェノン、２，２−ジエトキシ−２−フェニルアセトフェノン等が挙げられる。【００４６】
上記キノン類としては、例えば、２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ベンズアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２−クロロアントラキノン、３−クロロ−２−メチルアントラキノン、９，１０−フェナンタラキノン、１，２−ナフトキノン、１，４−ナフトキノン、２−メチル−１，４−ナフトキノン、１，４−ジメチルアントラキノン、２，３−ジメチルアントラキノン、２−アミルアントラキノン、２−アミノアントラキノン等を挙げることができる。【００４７】
上記ベンゾインエーテル化合物としては、例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等を挙げることができる。【００４８】
上記ベンゾイン化合物としては、例えば、ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等を挙げることができる。【００４９】
上記ベンジル誘導体としては、例えば、ベンジルジメチルケタール、ベンジルジエチルケタール、ベンジルジプロピンケタール、ベンジルジフェニルケタール等を挙げることができる。【００５０】
上記２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体としては、例えば、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，５，４’，５’−テトラフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−ブロモフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｐ−クロロフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−テトラ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｐ−フルオロフェニル）イミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｐ−クロロ−ｐ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）イミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｏ，ｐ−ジブロモフェニル）イミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｐ−クロロナフチル）イミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ，ｍ−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルイミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルイミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｐ−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルイミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）イミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｐ−ヨードフェニル）イミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｍ−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルイミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｍ，ｐ−ジブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルイミダゾール二量体、２，２’−ビス（２，６−ジクロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｐ−フルオロフェニル）イミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｐ−ヨードフェニル）イミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｐ−クロロナフチル）イミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｐ−クロロフェニル）イミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｐ−クロロ−ｐ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）イミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｏ，ｐ−ジブロモフェニル）イミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）イミダゾール二量体、２，２’−ビス（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）イミダゾール二量体等が挙げられる。【００５１】
上記アクリジン誘導体としては、例えば、９−フェニルアクリジン、９−（ｐ−メチルフェニル）アクリジン、９−（ｐ−エチルフェニル）アクリジン、９−（ｐ−ｎ−プロピルフェニル）アクリジン、９−（ｐ−ｉｓｏ−プロピルフェニル）アクリジン、９−（ｐ−ｎ−ブチルフェニル）アクリジン、９−（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）アクリジン、９−（ｐ−メトキシフェニル）アクリジン、９−（ｐ−エトキシフェニル）アクリジン、９−（ｐ−アセチルフェニル）アクリジン、９−（ｐ−ジメチルアミノフェニル）アクリジン、９−（ｐ−シアノフェニル）アクリジン、９−（ｐ−クロロフェニル）アクリジン、９−（ｐ−ブロモフェニル）アクリジン、９−（ｍ−メチルフェニル）アクリジン、９−（ｍ−ｎ−プロピルフェニル）アクリジン、９−（ｍ−ｉｓｏ−プロピルフェニル）アクリジン、９−（ｍ−ｎ−ブチルフェニル）アクリジン、９−（ｍ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）アクリジン、９−（ｍ−メトキシフェニル）アクリジン、９−（ｍ−エトキシフェニル）アクリジン、９−（ｍ−アセチルフェニル）アクリジン、９−（ｍ−ジメチルアミノフェニル）アクリジン、９−（ｍ−ジエチルアミノフェニル）アクリジン、９−（ｍ−シアノフェニル）アクリジン、９−（ｍ−クロロフェニル）アクリジン、９−（ｍ−ブロモフェニル）アクリジン、９−シアノエチルアクリジン、９−ヒドロキシエチルアクリジン、９−クロロエチルアクリジン、９−ｎ−プロポキシアクリジン、９−ｉｓｏ−プロポキシアクリジン、９−クロロエトキシアクリジン、１，７−ビス（９，９’−アクリジニル）ヘプタン等を挙げることができる。【００５２】
上記クマリン系化合物としては、例えば、７−アミノ−４−メチルクマリン、７−ジメチルアミノ−４−メチルクマリン、７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリン、７−メチルアミノ−４−メチルクマリン、７−エチルアミノ−４−メチルクマリン、７−ジメチルアミノシクロペンタ［ｃ］クマリン、７−アミノシクロペンタ［ｃ］クマリン、７−ジエチルアミノシクロペンタ［ｃ］クマリン、４，６−ジメチル−７−エチルアミノクマリン、４，６−ジエチル−７−エチルアミノクマリン、４，６−ジメチル−７−ジエチルアミノクマリン、４，６−ジメチル−７−ジメチルアミノクマリン、４，６−ジエチル−７−ジエチルアミノクマリン、４，６−ジエチル−７−ジメチルアミノクマリン、４，６−ジメチル−７−エチルアミノクマリン、２，３，６，７，１０，１１−ヘキサンヒドロ−１Ｈ，５Ｈ−シクロペンタ［３，４］［１］ベンゾピラノ［６，７，８−ｉｊ］キノリジン１２（９Ｈ）−オン、７−ジエチルアミノ−５’，７’−ジメトキシ−３，３’−カルボニルビスクマリン、３，３’−カルボニルビス［７−（ジエチルアミノ）クマリン］、７−ジエチルアミノ−３−チエノキシルクマリン等が挙げられる。【００５３】
上記オキシムエステル類としては、例えば、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−ｏ−ベンゾイルオキシム、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム等が挙げられる。【００５４】
上記Ｎ−アリール−アルファ−アミノ酸化合物としては、例えば、Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−メチル−Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−エチル−Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−（ｎ−プロピル）−Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−（ｎ−ブチル）−Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−（２−メトキシエチル）−Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−メチル−Ｎ−フェニルアラニン、Ｎ−エチル−Ｎ−フェニルアラニン、Ｎ−（ｎ−プロピル）−Ｎ−フェニルアラニン、Ｎ−（ｎ−ブチル）−Ｎ−フェニルアラニン、Ｎ−メチル−Ｎ−フェニルバリン、Ｎ−メチル−Ｎ−フェニルロイシン、Ｎ−メチル−Ｎ−（ｐ−トリル）グリシン、Ｎ−エチル−Ｎ−（ｐ−トリル）グリシン、Ｎ−（ｎ−プロピル）−Ｎ−（ｐ−トリル）グリシン、Ｎ−（ｎ−ブチル）−Ｎ−（ｐ−トリル）グリシン、Ｎ−メチル−Ｎ−（ｐ−クロロフェニル）グリシン、Ｎ−エチル−Ｎ−（ｐ−クロロフェニル）グリシン、Ｎ−（ｎ−プロピル）−Ｎ−（ｐ−クロロフェニル）グリシン、Ｎ−メチル−Ｎ−（ｐ−ブロモフェニル）グリシン、Ｎ−エチル−Ｎ−（ｐ−ブロモフェニル）グリシン、Ｎ−（ｎ−ブチル）−Ｎ−（ｐ−ブロモフェニル）グリシン、Ｎ，Ｎ’−ジフェニルグリシン、Ｎ−メチル−Ｎ−（ｐ−ヨードフェニル）グリシン、Ｎ−（ｐ−ブロモフェニル）グリシン、Ｎ−（ｐ−クロロフェニル）グリシン、Ｎ−（ｏ−クロロフェニル）グリシン等が挙げられる。【００５５】
上記脂肪族多官能チオール化合物としては、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４−ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、及びその他の多価ヒドロキシ化合物のチオグリコレート、チオプロピオネート等が挙げられる。【００５６】
上記アシルホスフィンオキサイド類としては、例えば、（２，６−ジメトキシベンゾイル）２，４，４−ペンチルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等が挙げられる。【００５７】
上記チオキサントン類としては、例えば、チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン、２−フルオロチオキサントン、４−フルオロチオキサントン、２−クロロチオキサントン、４−クロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン等が挙げられる。【００５８】
その他の光重合開始剤としては、例えば、エチル−２，４，６−トリメチルベンゾイルフィニルホスフィネイト、２，３−ジオキソ−３−フェニルプロピオンジ酸エチル−２−（ｏ−ベンゾイルカルボニル）−オキシム、ｐ−ニトロジフェニル、ｍ−ニトロアニリン、ｐ−ニトロアニリン、２，６−ジニトロアニリン等が挙げられる。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸の組み合わせのように、チオキサントン系化合物と３級アミン化合物とを組み合わせてもよい。【００５９】
上記３級アミン化合物としては、例えば、ジメチルアミノ安息香酸、ジエチルアミノ安息香酸、ジイソプロピルアミノ安息香酸等が挙げられる。【００６０】
ここで、上記（Ａ）カルボン酸化合物、（Ｂ）ヘテロ環化合物、（Ｃ）熱可塑性有機高分子、（Ｄ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、及び（Ｅ）光重合開始剤の配合割合は下記の通りである。即ち、（Ｃ）熱可塑性有機高分子２０〜９０質量％、好ましくは４０〜８０質量％、（Ｄ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物５〜７０質量％、好ましくは２０〜６０質量％、（Ｅ）光重合開始剤０．５〜１０質量％、好ましくは１．０〜５．０質量％からなる配合物１００質量部に対して（Ａ）カルボン酸化合物を０．０００５〜１質量部、好ましくは０．００１〜０．５質量部の範囲内であり、（Ｂ）ヘテロ環化合物を０．０００５〜１質量部、好ましくは０．００１〜０．５質量部の範囲内である。なお、（Ｃ）熱可塑性有機高分子の配合量が２０質量％未満であると、コールドフローを起こし、感光性樹脂組成物がフィルム端面から染み出す等の傾向があり、また、９０質量％を超えると、感度が不足する傾向にあるために好ましくない。次に、（Ｄ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物の配合量が１０質量％未満であると、感度が不足する傾向があり、また、７０質量％を超えると、コールドフローを起こし、樹脂がフィルム端面から染み出す等の傾向にあるために好ましくない。また、（Ｅ）光重合開始剤の配合量が０．５質量％未満の場合には、感光層に活性光線を照射して硬化させる際に、硬化が充分に進行しない傾向にあり、また、１０質量％を超えると、感光層の活性光線に対する感度が高くなり過ぎるために、解像度が低下したり、安定性が低下したりする傾向にあるために好ましくない。更に、（Ａ）カルボン酸化合物及び（Ｂ）ヘテロ環化合物の配合量が（Ｃ）成分、（Ｄ）成分及び（Ｅ）成分の合計１００質量部に対して０．０００５質量部未満であると、密着力の向上効果が不充分となる傾向にあり、また、１質量部を超えると、感光性樹脂組成物としての他の諸特性、例えば剥離性、感度等が低下する傾向にあるために好ましくない。【００６１】
また、本発明の感光性樹脂組成物には、上述の（Ａ）カルボン酸化合物並びに（Ｂ）ヘテロ環化合物の樹脂への溶解性を高める目的で、（Ｆ）アミン類を更に配合することができる。（Ｆ）アミン類としては、例えばアンモニア、エチレンジアミン、トリエチレンテトラミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、ジエチレントリアミン、ジエチルアミン、ジブチルアミン、ヘキサヒドロアニリン、テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン、アリルアミン、２−アミノプロパノール、３−アミノプロパノール、４−アミノブタノール、４−メチルアミノブタノール、エチルアミノエチルアミン、２−エチルヘキシルアミン、ジ−２−エチルヘキシルアミン、オレイルアミン、ドデシルアミン、ジシクロヘキシルアミン、オクチルアミン、オクタデシルアミン、ヘキシルアミン等が挙げることができる。これらの化合物は１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。なお、これらの化合物の中でも、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、ジ−２−エチルヘキシルアミン等が特に好ましい。【００６２】
なお、（Ｆ）アミン類の配合量は、上記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分に使用される酸１当量に対して５当量以下、好ましくは０．５〜２当量の範囲内とすることが好ましい。ここで、（Ｆ）アミン類の配合量が上記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分に使用される酸１当量に対して５当量を超えると、密着性の向上効果を阻害する傾向にあるために好ましくない。【００６３】
また、本発明の感光性樹脂組成物は、上記（Ａ）〜（Ｅ）成分を必須成分とするものであるが、必要に応じて、熱重合禁止剤、可塑剤、染料（色素、光発色剤）、酸化防止剤、表面張力改質材、安定剤、連鎖移動剤、消泡剤、難燃剤、剥離促進剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤、現像性・めっき性向上剤等の添加剤を適宜添加することができる。これらの添加剤は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。【００６４】
上記熱重合禁止剤としては、例えば、ｐ−メトキシフェノール、ヒドロキノン、ｔ−ブチルカテコール、ピロガロール、２−ヒドロキシベンゾフェノン、４−メトキシ−２−ヒドロキシベンゾフェノン、塩化第一銅、フェノチアジン、クロラニル、ナフチルアミン、ベータ−ナフトール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ニトロベンゼン、ジニトロベンゼン、ピクリン酸、ｐ−トルイジン等が挙げられる。【００６５】
上記可塑剤としては、例えば、ジブチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジオクチルフタレート、ジアリルフタレート等のフタル酸エステル類；トリエチレングリコールジアセテート、テトラエチレングリコールジアセテート等のグリコールエステル類；トリクレジルホスフェート、トリフェニルホスフェート等のリン酸エステル類；ｐ−トルエンスルホンアミド、ベンゼンスルホンアミド、Ｎ−ｎ−ブチルアセトアミド等のアミド類；ジイソブチルアジペート、ジオクチルアジペート、ジメチルセバケート、ジオクチルアゼレート、ジブチルマレート等の脂肪族二塩基酸エステル類；クエン酸トリエチル、クエン酸トリブチル、グリセリントリアセチルエステル、ラウリン酸ブチル、４，５−ジエポキシシクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸ジオクチル等の脂肪酸エステル類；ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のグリコール類等か挙げられる。【００６６】
上記色素としては、例えば、ブリリアントグリーン、エオシン、エチルバイオレット、エリスロシンＢ、メチルグリーン、クリスタルバイオレット、ベイシックフクシン、フェノールフタレイン、１，３−ジフェニルトリアジン、アリザリンレッドＳ、チモールフタレイン、メチルバイオレット２Ｂ、キナルジンレッド、ローズベンガル、メタニルイエロー、チモールスルホフタレイン、キシレノールブルー、メチルオレンジ、オレンジＩＶ、ジフェニルチオカルバゾン、２，７−ジクロロフルオレセイン、パラメチルレッド、コンゴーレッド、ベンゾプルプリン４Ｂ、アルファ−ナフチルレッド、ナイルブルーＡ、フェナセタリン、メチルバイオレット、マラカイトグリーン、パラフクシン、オイルブルー＃６０３［オリエント化学工業（株）製］、ビクトリアピュアブルーＢＯＨ、スピロンブルーＧＮ［保土ケ谷化学工業（株）製］、ローダミン６Ｇ等が挙げられる。【００６７】
上記光発色剤としては、例えば、前記色素の他に、ジフェニルアミン、ジベンジルアニリン、トリフェニルアミン、ジエチルアニリン、ジフェニル−ｐ−フェニレンジアミン、ｐ−トルイジン、４，４’−ビフェニルジアミン、ｏ−クロロアニリン、ロイコクリスタルバイオレット、ロイコマラカイトグリーン、ロイコアニリン、ロイコメチルバイオレット等が挙げられる。【００６８】
上記現像性・めっき性向上剤としては、例えば、四塩化炭素、クロロホルム、ブロモホルム、１，１，１−トリクロロエタン、臭化メチレン、ヨウ化メチレン、塩化メチレン、四臭化炭素、ヨードホルム、１，１，２，２−テトラブロモエタン、ペンタブロモエタン、トリブロモアセトフェノン、ビス−（トリブロモメチル）スルホン、トリブロモメチルフェニルスルホン、塩化ビニル、塩素化オレフィン等が挙げられる。【００６９】
なお、上記添加剤の配合量は、（Ｃ）熱可塑性有機高分子；（Ｄ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物；及び（Ｅ）光重合開始剤の合計量１００質量部に対して各々０．０１〜２０質量部、好ましくは０．０５〜１０質量部程度である。【００７０】
また、本発明の感光性樹脂組成物には、上記成分の他に、粘度調整などの目的のために、必要に応じて、アルコール類、ケトン類、酢酸エステル類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルエステル類、石油系溶剤などの希釈用の有機溶剤を適宜加えることができる。【００７１】
上記希釈用の有機溶剤としては、例えば、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ベンゼン、トルエン、キシレン、ベンジルアルコール、メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、イソブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセリン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、２−メトキシブチルアセテート、３−メトキシブチルアセテート、４−メトキシブチルアセテート、２−メチル−３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、３−エチル−３−メトキシブチルアセテート、２−エトキシブチルアセテート、４−エトキシブチルアセテート、４−プロポキシブチルアセテート、２−メトキシペンチルアセテート、３−メトキシペンチルアセテート、４−メトキシペンチルアセテート、２−メチル−３−メトキシペンチルアセテート、３−メチル−３−メトキシペンチルアセテート、３−メチル−４−メトキシペンチルアセテート、４−メチル−４−メトキシペンチルアセテート、メチルラクテート、エチルラクテート、メチルアセテート、エチルアセテート、プロピルアセテート、ブチルアセテート、アミルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、メチルプロピオネート、エチルプロピオネート、安息香酸メチル、安息香酸エチル、安息香酸プロピル、安息香酸ブチル、メチルブチレート、エチルブチレート、プロピルブチレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドガンマー−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−ピロリドン、テトラメチルスルホン、クロロホルム、塩化メチレン、１，１，１−トリクロロエタン等を挙げることができる。これらの溶剤は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。【００７２】
ここで、溶剤の配合量は、感光性樹脂組成物に対して５〜５０質量％、好ましくは１０〜４０質量％の範囲内である。【００７３】
本発明の感光性樹脂組成物を上述のようなフォトレジストインクとしてフィルム状支持体上に塗布し、乾燥して感光性フィルムとすることができる。フィルム状支持体としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等が用いられる。必要に応じてフィルム状支持体の上に積層された感光性樹脂組成物層の上に保護フィルムを積層してもよい。保護フィルムとしては、上記のフィルム状支持体として用いられる材料の他にポリエチレンフィルム、ポリビニルアルコールフィルム等が用いられる。
【実施例】
【００７４】
以下に実施例を挙げて本発明の感光性樹脂組成物を更に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではないことを理解されたい。
実施例１
以下の基本配合（１）〜（３）に、以下の表１に示す（Ａ）カルボン酸化合物及び（Ｂ）ヘテロ環化合物を添加して本発明品の感光性樹脂組成物を調製した。
基本配合（１）                                                                   配合量（ｇ）
（Ｃ）メタクリル酸／メチルメタクリレート／ブチルアクリレート
（質量比＝２０／７０／１０）の共重合体（質量平均分子量
８００００）                                                                       ６４
（Ｄ）２，２−ビス（４−メタクリロキシペンタデカエトキシ
フェニル）プロパン                                                           ２３
（Ｄ）ポリプロピレングリコールジアクリレート                                   １０
（Ｅ）２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニル
イミダゾール二量体                                                            ２．８
（Ｅ）４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン                               ０．２
（Ｆ）ジイソプロパノールアミン                                       （Ａ）及び／または（Ｂ）の
合計酸１当量に対し１．５当量
ロイコクリスタルバイオレット（光発色剤）                                   ０．２
メチルエチルケトン（溶剤）                                                 ６０【００７５】
基本配合（２）                                                                   配合量（ｇ）
（Ｃ）メタクリル酸／メチルメタクリレート／スチレン
（質量比＝２５／５０／２５）の共重合体（質量平均分子量
８００００）                                                                       ６４
（Ｄ）２，２−ビス（４−メタクリロキシペンタデカエトキシ
フェニル）プロパン                                                           ３３
（Ｅ）ベンゾフェノン                                                                   ２．８
（Ｅ）４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン                               ０．１
（Ｅ）Ｎ−フェニルグリシン                                                           ０．１
（Ｆ）ジイソプロパノールアミン                                       （Ａ）及び／または（Ｂ）の
合計酸１当量に対し１．５当量
ロイコクリスタルバイオレット（光発色剤）                                   ０．２
メチルエチルケトン（溶剤）                                                 ６０【００７６】
基本配合（３）                                                                   配合量（ｇ）
（Ｃ）メタクリル酸／ベンジルメタクリレート（質量比＝２０／８０）
の共重合体（質量平均分子量６００００）                                  ６４
（Ｄ）２，２−ビス（４−メタクリロキシジエトキシ
フェニル）プロパン                                                           ２３
（Ｄ）トリメチロールプロパントリアクリレート                                     １０
（Ｅ）２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニル
イミダゾール二量体                                                           ２．８
（Ｅ）ジメチルアミノベンゾフェノン                                                 ０．１
（Ｅ）７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリン                                    ０．１
（Ｆ）ジイソプロパノールアミン                                       （Ａ）及び／または（Ｂ）の
合計酸１当量に対し１．５当量
ロイコクリスタルバイオレット（光発色剤）                                   ０．２
メチルエチルケトン（溶剤）                                                 ６０【００７７】
また、比較のため、上記基本配合（１）、（２）または（３）のみの組成物［比較品（１）−１、（２）−１、（３）−１］、上記基本配合（１）、（２）または（３）に、添加剤として（Ａ）カルボン酸化合物のみを添加した組成物［比較品（１）−２〜２０、比較品（２）−２〜２０、比較品（３）−２〜２０］、（Ｂ）ヘテロ環化合物のみを添加した組成物［比較品（１）−２１〜４１、比較品（２）−２１〜４１、比較品（３）−２１〜４１］、（Ｆ）アミン類のみを添加した組成物［比較品（１）−４２、比較品（２）−４２、比較品（３）−４２］、及び（Ａ）カルボン酸化合物並びに（Ｂ）ヘテロ環化合物を本発明の範囲外の添加量で添加した組成物［比較品（１）−４３〜５０、比較品（２）−４３〜５０、比較品（３）−４３〜５０］を調製した。【００７８】
更に、得られた本発明品及び比較品の組成物を支持フィルム（材質＝ポリエチレンテレフタレート）上に載せ、アプリケーターで伸ばし、８０℃で１０分間乾燥させて膜厚４０μｍのレジスト皮膜を得た。次に、得られたレジスト皮膜を清浄されたプリント基板用銅張積層板にラミネーターを用いて温度８０℃の条件で積層し、評価用基板（２５×５０ｍｍ）を得た。【００７９】
＜密着性試験＞
評価用基板に、ライン幅／スペース幅が３０／４００〜２００／４００（単位：μｍ）のパターンを有するネガを用いてＵＶ（３６５ｎｍ）を２５ｍＪ／ｃｍ2の露光量で照射した。支持フィルムを除去した後、１質量％濃度の炭酸ソーダ水溶液を用いて６０〜７０秒間現像し、水洗してレジストの剥離の程度を観察した。得られた基板をプラスチック消しゴムで軽くこすり、レジストの剥離の程度をテストした。全く剥離のないライン幅の値で密着性を評価した。密着性は数値が小さい程良好な値である：
［密着性／目視］
Ａ：４０μｍ未満
Ｂ：４０μｍ以上５０μｍ未満
Ｃ：５０μｍ以上６０μｍ未満
Ｄ：６０μｍ以上７０μｍ未満
Ｅ：７０μｍ以上【００８０】
＜変色防止性試験＞
評価用基板に、透明から黒色に４１段階に明度が変化しているステップタブレットを用いて、ＵＶ（３６５ｎｍ）を２５ｍＪ／ｃｍ2の露光量で照射した。支持フィルムを除去した後、１質量％濃度の炭酸ソーダ水溶液で６０〜７０秒間現像し、水洗した。得られた基板を温度５０℃、湿度９５％ＲＨ一定で４８時間保持した後、３質量％濃度の苛性ソーダに７０秒間浸漬し、水洗してレジストを剥離した。剥離後の銅表面の状態を観察し、下記に示す評価基準で評価した：
［変色防止性］
ａ：１０％未満
ｂ：１０％以上３０％未満
ｃ：３０％以上５０％未満
ｄ：５０％以上８０％未満
ｅ：８０％以上【００８１】
【表１】
2008015754.tif 000002
【００８２】
表中、ＢＴ−ＬＸは、１−［Ｎ，Ｎ−ビス（２−エチルヘキシル）アミノメチル］ベンゾトリアゾールを、ＴＴ−ＬＸは、１−［Ｎ，Ｎ−ビス（２−エチルヘキシル）アミノメチル］トリルトリアゾールを、ＣＢＴ−ＬＸは、１−［Ｎ，Ｎ−ビス（２−エチルヘキシル）アミノメチル］カルボキシベンゾトリアゾールをそれぞれ示す。【００８３】
【表２】
2008015754.tif 000003
【００８４】
【表３】
2008015754.tif 000004
【００８５】
【表４】
2008015754.tif 000005
【００８６】
【表５】
2008015754.tif 000006
【００８７】
【表６】
2008015754.tif 000007
【００８８】
【表７】
2008015754.tif 000008
【００８９】
【表８】
2008015754.tif 000009
【００９０】
【表９】
2008015754.tif 000010
【国際調査報告】
2008015754.tif 000011
2008015754.tif 000012
2008015754.tif 000013
2008015754.tif 000014
2008015754.tif 000015