【手続補正書】
【提出日】令和1年9月4日(2019.9.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を走査して、前記試料のデジタル画像を取得するためのシステムであって、
試料を支持するように構成されたステージと、
前記ステージに直交する単一の光軸を有する対物レンズと、
撮像センサと、
合焦センサと、
前記対物レンズに光学的に結合され、前記対物レンズの前記光軸に対応する視野を受け入れ、前記視野の少なくとも１つの第１の部分を前記撮像センサに、および前記視野の少なくとも１つの第２の部分を前記合焦センサに同時に提供するように構成された少なくとも１つの第１のビームスプリッタと、
を備え、
前記視野の前記第１の部分は、前記視野の第１の領域であり、
前記視野の前記第２の部分は、前記視野の前記第１の領域から偏位される前記視野の第２の領域であり、
前記合焦センサ上の少なくとも１つの点は、前記撮像センサと同焦点である、
システム。
【請求項２】
前記合焦センサは、光路に沿った前記視野の前記第２の部分を受け入れ、前記合焦センサは、前記光路に対して斜めに傾けられ、これにより前記視野の前記第２の部分は、異なる焦点距離を表すピクセルを含む画像として前記合焦センサによって取得される、
請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記合焦センサは、複数の領域を備え、前記合焦センサの各領域が別個の光路に沿った前記視野の前記第２の部分を受け入れ、前記合焦センサは、前記別個のそれぞれ光路に対して斜めに傾けられ、これにより前記視野の前記第２の部分は、前記合焦センサの他の領域におけるものとは異なる焦点距離で、前記合焦センサの各領域によって取得され、
前記複数の領域の１つでの少なくとも１つの点は、前記撮像センサと同焦点である、
請求項１または２に記載のシステム。
【請求項４】
集束光学系をさらに備え、前記集束光学系は、前記少なくとも１つの第１のビームスプリッタに光学的に結合され、ビームを分割し、視界の前記第２の部分を前記別個の光路に伝達する複数の第２のビームスプリッタを備え、
前記複数の第２のビームスプリッタのそれぞれは、前記合焦センサから同距離に配置され、
前記集束光学系は、前記分割されたビームを前記別個の光路の１つに反射する少なくとも１つのミラーをさらに備える、
請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
前記合焦センサのすべての領域は、単一のラインセンサの中にある、
請求項３に記載のシステム。
【請求項６】
前記合焦センサは、複数の領域を備え、前記合焦センサの各領域は、別個の光路に沿った前記視野の前記第２の部分を受け入れ、前記合焦センサは、前記別個の光路のそれぞれに対して直交し、前記別個の光路のそれぞれは、異なる焦点距離を有し、これにより前記視野の前記第２の部分は、前記合焦センサの他の領域におけるものとは異なる焦点距離で、合焦センサの各領域によって取得され、
前記複数の領域の１つでの少なくとも１つの点は、前記撮像センサと同焦点である、
請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記合焦センサは、第１の部分および第２の部分を備え、前記合焦センサの前記第１の部分は、第１の光路に沿った前記視野の前記第２の部分を受け入れ、前記第１の光路に対して第１の角度で傾けられ、前記合焦センサの前記第２の部分は、前記第１の光路とは別個である第２の光路に沿った前記視野の前記第２の部分を受け入れ、前記第２の光路に対して前記第１の角度の逆である第２の角度で傾けられ、
前記合焦センサの前記第１の部分と前記合焦センサの前記第２の部分との両方の上の少なくとも１つの点は、前記撮像センサと同焦点であり、
前記合焦センサの前記第１の部分は、第１の画像を取得し、前記合焦センサの前記第２の部分は、第２の画像を取得し、前記第１の画像は、前記第１の画像の第１の側から前記第１の画像の第２の側への方向で減少する焦点距離で取得されたピクセルを含み、前記第２の画像は、前記第２の画像の前記第１の側から前記第２の画像の前記第２の側への方向で増加する焦点距離で取得されたピクセルを含む、
請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記合焦センサは、第１の領域および第２の領域を備え、前記第１の領域は、第１の光路に沿った前記視野の前記第２の部分を受け入れ、前記第２の領域は、第２の光路に沿った前記視野の鏡像化された第２の部分を受け入れ、前記合焦センサは、前記第１の光路および前記第２の光路のそれぞれに対して斜めに傾けられ、
前記合焦センサの前記第１の領域と前記合焦センサの前記第２の領域との両方の上の少なくとも１つの点は、前記撮像センサと同焦点であり、
前記視野の前記第２の部分は、焦点距離で前記合焦センサの前記第１の領域によって受け入れられ、前記視野の前記鏡像化された第２の部分は、同じ焦点距離で前記合焦センサの前記第２の領域によって受け入れられ、
前記合焦センサの前記第１の領域は、前記視野の前記第２の部分の第１の画像を取得し、前記合焦センサの前記第２の領域は、前記視野の前記鏡像化された第２の部分の第２の画像を取得し、前記第１の画像は、前記第１の画像の第１の側から前記第１の画像の第２の側への方向で減少する焦点距離で取得されたピクセルを含み、前記第２の画像は、前記第１の画像と同じ方向で減少する焦点距離で取得されたピクセルを含む、
請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
集束光学系をさらに備え、前記集束光学系は、前記少なくとも１つの第１のビームスプリッタに光学的に結合され、ビームを分割し、前記視野の前記第２の部分を前記第１の光路および前記第２の光路に伝達する少なくとも１つの第２のビームスプリッタを備え、
前記集束光学系は、前記分割されたビームを前記第１の光路および前記第２の光路の１つに反射する少なくとも１つのミラーをさらに備え、
前記集束光学系は、前記少なくとも１つの第１のビームスプリッタと前記合焦センサの前記第２の領域との間の前記第２の光路に、前記視野の前記第２の部分を反転させて、前記視野の前記鏡像化された第２の部分を形成するダブプリズムをさらに備え、
前記少なくとも１つのミラーは、第１のミラーおよび第２のミラーを備え、前記第２の光路は、前記第１のミラーから前記第２のミラーへの反射、前記第２のミラーから前記少なくとも１つの第２のビームスプリッタに戻る反射、および、前記少なくとも１つの第２のビームスプリッタから前記合焦センサの前記第２の領域への経路を含み、これにより前記視野の前記第２の部分は、反転されて、前記視野の前記鏡像化された第２の部分を形成する、
請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記１つの同焦点の点は、前記合焦センサの中心にある、
請求項１に記載のシステム。
【請求項１１】
走査される前記試料のそれぞれの部分について、
前記合焦センサから前記試料の前記部分の合焦画像を取得し、
前記撮像センサから前記試料の前記部分のメイン画像を取得し、
前記合焦センサの複数の位置のそれぞれについて、前記合焦センサ上のその位置に対応する前記合焦画像の領域のコントラスト測度を計算し、
前記撮像センサの複数の位置のそれぞれについて、前記撮像センサ上のその位置に対応する前記メイン画像の領域のコントラスト測度を計算し、
前記合焦画像と前記メイン画像の関係を決定し、
前記関係のピークを決定し、
前記ピークに対応する前記合焦センサ上の場所と、前記合焦センサと前記撮像センサと、の間の同焦点の点と、の間の距離に基づいて目標表面を更新し、
次の目標表面に移動する前記対物レンズの位置を決定する、
ように構成されたプロセッサをさらに備える、
請求項１に記載のシステム。
【請求項１２】
前記プロセッサは、
前記対物レンズを前記決定された位置に移動し、
走査される前記試料の次の位置のために新しい合焦画像およびメイン画像を取得し、
走査される前記試料のそれぞれの部分について、前記合焦画像と前記メイン画像の関係を決定する、
ようにさらに構成され、
前記合焦画像と前記メイン画像との関係が、前記合焦画像のコントラスト測度と前記メイン画像のコントラスト測度との比率を含む、または、前記合焦画像のコントラスト測度と前記メイン画像のコントラスト測度との差異を含む、
請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記関係のピークを決定することは、
前記関係の最良適合曲線を計算することと、
前記最良適合曲線のピークを決定することと、
を含む、
請求項１１または１２に記載のシステム。
【請求項１４】
前記合焦センサの前記複数の位置のそれぞれは、前記対物レンズの位置にマッピングされ、前記対物レンズの位置を決定することは、前記決定されたピークに対応する前記合焦センサの位置にマッピングされる前記対物レンズの位置を決定することを含む、
請求項１１から１３のいずれかに記載のシステム。
【請求項１５】
前記関係の前記ピークを提供する前記対物レンズの位置を決定することは、前記ピークが前記更新された目標表面上になるまで前記対物レンズを移動するためにフィードバックループを使用することを含み、
前記フィードバックループを使用する前記対物レンズの移動の方向は、前記合焦画像と前記合焦画像の鏡像との関係に基づいており、前記合焦画像は、前記第１の画像の第１の側から前記第１の画像の第２の側への方向で減少する焦点距離で取得されたピクセルを含み、前記合焦画像の前記鏡像は、前記合焦画像と同じ方向で減少する焦点距離で取得されたピクセルを含む、
請求項１１から１３のいずれかに記載のシステム。