【手続補正書】
【提出日】平成19年6月28日(2007.6.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板を保持する基板ステージと、
前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板ステージに保持された前記基板の被露光面と実質的に同じ高さの面を有する平面板と、
前記平面板に設けられた液体注入口から、前記液体を注入する液体注入手段と、を備え、
前記液体注入手段は、前記最終面に対向させた前記平面板の前記液体注入口から前記液体を注入することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板を保持する基板ステージと、
前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板ステージに保持された前記基板の上面と実質的に同じ高さの上面を有する平面板と、
前記平面板に設けられた液体吸引口から、前記液体を吸引する液体吸引手段と、を備え、
前記液体吸引手段は、前記最終面に対向させた前記平面板の前記液体吸引口から前記液体を吸引することを特徴とする露光装置。
【請求項３】
前記最終面を取り囲むように配置された供給口から、前記間隙に前記液体を供給する供給手段をさらに備え、
前記供給手段により前記供給口から前記平面板に対し前記液体を供給しながら、前記液体吸引手段を用いて前記液体吸引口から気体を吸引すること、前記間隙に前記液体を満たすことを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記最終面を取り囲むように配置された供給口から、前記間隙に前記液体を供給する供給手段をさらに備え、
前記供給手段により前記供給口から前記平面板に対し前記液体を供給することなく、前記液体吸引手段を用いて前記液体吸引口から前記液体を吸引することにより、前記最終面と前記平面板との間隙から前記液体を回収することを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項５】
前記最終面と前記平面板との間隙からの前記液体の回収は、前記基板ステージの移動と並行して行うことを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板を保持する基板ステージと、
前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板ステージに保持された前記基板の上面と実質的に同じ高さの上面を有する平面板と、
前記平面板に設けられた液体注入口から、前記液体を注入する液体注入手段と、
前記平面板に設けられた液体吸引口から、前記液体を吸引する液体吸引手段と、を備え、
前記液体注入手段は、前記最終面に対向させた前記平面板の前記液体注入口から前記液体を注入し、前記液体吸引手段は、前記最終面に対向させた前記平面板の前記液体吸引口から前記液体を吸引することを特徴とする露光装置。
【請求項７】
原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板を保持する基板ステージと、
前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板ステージに保持された前記基板の上面と実質的に同じ高さの上面を有する平面板と、
前記平面板に設けられた開口から、前記液体の注入と前記液体の吸引とを選択的に行う液体注入吸引手段と、を備え、
前記液体注入吸引手段は、前記最終面に対向させた前記平面板の前記開口から前記液体の注入と前記液体の吸引とを選択的に行うことを特徴とする露光装置。
【請求項８】
前記液体注入吸引手段は、前記液体の注入および前記液体の吸引を切替えるバルブを有することを特徴とする請求項７に記載の露光装置。
【請求項９】
前記平面板は、前記基板ステージ上に配されていることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記平面板は、前記基板ステージとは独立して移動することを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記平面板を前記最終面に対向させている間に、前記基板ステージに対する前記基板の供給または回収を行うことを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１２】
前記平面板を前記最終面に対向させている間に、前記基板ステージに保持された前記基板の位置合わせ計測を行うことを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１３】
前記平面板を前記最終面に対向させている間に、前記露光装置の維持または管理のための作業を行うことを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１４】
前記平面板は、ステンレス鋼およびフッ素樹脂のいずれかを含むことを特徴とする請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１５】
原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板を保持する基板ステージと、
前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板ステージに保持された前記基板の上面と実質的に同じ高さの上面を有する複数の平面板と、
前記複数の平面板に設けられた複数の液体吸引口から、前記液体を吸引する液体吸引手段と、を備え、
前記液体吸引手段は、前記複数の平面板のうち前記最終面に対向させた平面板の前記液体吸引口から前記液体を吸引することを特徴とする露光装置。
【請求項１６】
前記投影光学系に対して移動可能で、前記原版を保持する原版ステージをさらに備え、
前記原版および前記基板を前記投影光学系に対してスキャン移動させながら、前記原版のパターンを介し前記基板を露光することを特徴とする請求項１乃至請求項１５のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１７】
請求項１乃至請求項１６のいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
前記ステップにおいて露光された前記基板を現像するステップと、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置及びデバイス製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の第１の側面は、原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板を保持する基板ステージと、前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板ステージに保持された前記基板の被露光面と実質的に同じ高さの面を有する平面板と、前記平面板に設けられた液体注入口から、前記液体を注入する液体注入手段と、を備え、前記液体注入手段は、前記最終面に対向させた前記平面板の前記液体注入口から前記液体を注入することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の第２の側面は、原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板を保持する基板ステージと、前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板ステージに保持された前記基板の上面と実質的に同じ高さの上面を有する平面板と、前記平面板に設けられた液体吸引口から、前記液体を吸引する液体吸引手段と、を備え、前記液体吸引手段は、前記最終面に対向させた前記平面板の前記液体吸引口から前記液体を吸引することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第３の側面は、原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板を保持する基板ステージと、前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板ステージに保持された前記基板の上面と実質的に同じ高さの上面を有する平面板と、前記平面板に設けられた液体注入口から、前記液体を注入する液体注入手段と、前記平面板に設けられた液体吸引口から、前記液体を吸引する液体吸引手段と、を備え、前記液体注入手段は、前記最終面に対向させた前記平面板の前記液体注入口から前記液体を注入し、前記液体吸引手段は、前記最終面に対向させた前記平面板の前記液体吸引口から前記液体を吸引することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の第４の側面は、原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板を保持する基板ステージと、前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板ステージに保持された前記基板の上面と実質的に同じ高さの上面を有する平面板と、前記平面板に設けられた開口から、前記液体の注入と前記液体の吸引とを選択的に行う液体注入吸引手段と、を備え、前記液体注入吸引手段は、前記最終面に対向させた前記平面板の前記開口から前記液体の注入と前記液体の吸引とを選択的に行うことを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の第５の側面は、原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板を保持する基板ステージと、前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板ステージに保持された前記基板の上面と実質的に同じ高さの上面を有する複数の平面板と、前記複数の平面板に設けられた複数の液体吸引口から、前記液体を吸引する液体吸引手段と、を備え、前記液体吸引手段は、前記複数の平面板のうち前記最終面に対向させた平面板の前記液体吸引口から前記液体を吸引することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】削除
【補正の内容】