【手続補正書】
【提出日】平成19年8月6日(2007.8.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）光学素子、
（Ｂ）光学素子固定手段、
（Ｃ）光学素子抑え部材、並びに、
（Ｄ）発光若しくは受光を行う発光／受光部、
を備えた光学装置であって、
（ａ）光学素子固定手段は、第１面、及び、該第１面に対向した第２面を有し、
（ｂ）光学素子固定手段の内部には、第１面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
（ｃ）光学素子載置領域には、少なくとも２つの載置部材が設けられており、
（ｄ）少なくとも１つの載置部材は、変位部を有しており、
（ｅ）第１面には、光学素子載置領域を覆うように、光学素子抑え部材が固定されており、
（ｆ）第２面には、発光／受光部が配されており、
（ｇ）光学素子抑え部材と載置部材との間に光学素子が配置されることによって、変位部を有する載置部材の変位部が変位し、以て、発光／受光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置する、
ことを特徴とする光学装置。
【請求項２】
変位部を有する載置部材は、その一端が光学素子固定手段に固定された片持梁構造を有することを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項３】
光学素子載置領域には、Ｍ個（但し、Ｍ≧３）の載置部材が設けられており、
Ｍ個の載置部材は、片持梁構造を有し、
Ｍ個の載置部材は、光学素子の軸に関して対称性を有するように配置されていることを特徴とする請求項２に記載の光学装置。
【請求項４】
Ｍ個の載置部材は、光学素子の軸に対してＭ回の回転対称となるように配置されていることを特徴とする請求項３に記載の光学装置。
【請求項５】
Ｍ個の載置部材は、光学素子の軸を含む仮想平面に対して鏡面対称となるように配置されていることを特徴とする請求項３に記載の光学装置。
【請求項６】
変位部を有する載置部材は、その両端が光学素子固定手段に固定された梁構造を有することを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項７】
光学素子載置領域には、Ｎ個の（但し、Ｎ≧２）の載置部材が設けられており、
Ｎ個の載置部材は、梁構造を有し、
Ｎ個の載置部材は、光学素子の軸に関して対称性を有するように配置されていることを特徴とする請求項６に記載の光学装置。
【請求項８】
光学素子固定手段は、内部にＳｉＯ2層が形成されたシリコン半導体基板から作製されていることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項９】
光学素子は、球状のレンズから成ることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項１０】
発光／受光部は、光学素子固定手段の第２面に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項１１】
光学素子固定手段の第２面から光学素子載置領域まで、光学素子固定手段には貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の光学装置。
【請求項１２】
発光／受光部は、１又は複数の発光ダイオードから成ることを特徴とする請求項１０に記載の光学装置。
【請求項１３】
発光／受光部は、光学素子固定手段の第２面に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項１４】
発光／受光部は、１又は複数のフォトダイオードから成ることを特徴とする請求項１３に記載の光学装置。
【請求項１５】
第１の光学装置、第２の光学装置、及び、第１の光学装置と第２の光学装置との間に配置された位置測定手段から成る光学装置組立体であって、
第１の光学装置は、
（Ａ−１）光学素子、
（Ｂ−１）光学素子固定手段、
（Ｃ−１）光学素子抑え部材、並びに、
（Ｄ−１）発光を行う発光部、
を備え、
（ａ−１）光学素子固定手段は、第１面、及び、該第１面に対向した第２面を有し、
（ｂ−１）光学素子固定手段の内部には、第１面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
（ｃ−１）光学素子載置領域には、少なくとも２つの載置部材が設けられており、
（ｄ−１）少なくとも１つの載置部材は、変位部を有しており、
（ｅ−１）第１面には、光学素子載置領域を覆うように、光学素子抑え部材が固定されており、
（ｆ−１）第２面には、発光部が配されており、
（ｇ−１）光学素子抑え部材と載置部材との間に光学素子が配置されることによって、変位部を有する載置部材の変位部が変位し、以て、発光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置し、
第２の光学装置は、
（Ａ−２）光学素子、
（Ｂ−２）光学素子固定手段、
（Ｃ−２）光学素子抑え部材、並びに、
（Ｄ−２）受光を行う受光部、
を備え、
（ａ−２）光学素子固定手段は、第１面、及び、該第１面に対向した第２面を有し、
（ｂ−２）光学素子固定手段の内部には、第１面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
（ｃ−２）光学素子載置領域には、少なくとも２つの載置部材が設けられており、
（ｄ−２）少なくとも１つの載置部材は、変位部を有しており、
（ｅ−２）第１面には、光学素子載置領域を覆うように、光学素子抑え部材が固定されており、
（ｆ−２）第２面には、受光部が配されており、
（ｇ−２）光学素子抑え部材と載置部材との間に光学素子が配置されることによって、変位部を有する載置部材の変位部が変位し、以て、受光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置し、
光学装置組立体において、
第１の光学装置を構成する発光部の軸線と光学素子の軸、及び、第２の光学装置を構成する受光部の軸線と光学素子の軸は同軸に位置し、
第１の光学装置における光学素子抑え部材と、第２の光学装置における光学素子抑え部材との間に位置測定手段が配置されている、
ことを特徴とする光学装置組立体。
【請求項１６】
第１の光学装置及び／又は第２の光学装置において、変位部を有する載置部材は、その一端が光学素子固定手段に固定された片持梁構造を有することを特徴とする請求項１５に記載の光学装置組立体。
【請求項１７】
第１の光学装置及び／又は第２の光学装置において、変位部を有する載置部材は、その両端が光学素子固定手段に固定された梁構造を有することを特徴とする請求項１５に記載の光学装置組立体。
【請求項１８】
第１の光学装置の光学素子固定手段は、内部にＳｉＯ2層が形成されたシリコン半導体基板から作製されており、
第２の光学装置の光学素子固定手段も、内部にＳｉＯ2層が形成されたシリコン半導体基板から作製されていることを特徴とする請求項１５に記載の光学装置組立体。
【請求項１９】
第１の光学装置及び／又は第２の光学装置における光学素子は、球状のレンズから成ることを特徴とする請求項１５に記載の光学装置組立体。
【請求項２０】
発光部は、光学素子固定手段の第２面に取り付けられていることを特徴とする請求項１５に記載の光学装置組立体。
【請求項２１】
受光部は、光学素子固定手段の第２面に形成されていることを特徴とする請求項１５に記載の光学装置組立体。
【請求項２２】
（Ａ）光学素子、
（Ｂ）光学素子固定手段、並びに、
（Ｃ）光学素子抑え部材、
を備えた光学装置が、複数、アレイ状に配列されて成る光学装置集合体であって、
光学装置を構成する光学素子固定手段は、第１面、及び、該第１面に対向する第２面を有するウエハに形成されており、
各光学装置において、
（ａ）光学素子固定手段の内部には、ウエハの第１面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
（ｂ）光学素子載置領域には、少なくとも２つの載置部材が設けられており、
（ｃ）少なくとも１つの載置部材は、変位部を有しており、
（ｄ）ウエハの第１面には、光学素子載置領域を覆うように、光学素子抑え部材が固定されており、
（ｅ）変位部を有する載置部材の変位部が変位することによって第２面に配される発光／受光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置されるように、光学素子が載置部材に載置される、
ことを特徴とする光学装置集合体。
【請求項２３】
光学素子を保持し、発光若しくは受光を行う発光／受光部が配される光学素子固定手段であって、
（ａ）第１面、及び、該第１面に対向した第２面を有し、
（ｂ）その内部には、第１面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
（ｃ）光学素子載置領域には、少なくとも２つの載置部材が設けられており、
（ｄ）少なくとも１つの載置部材は、変位部を有しており、
（ｅ）変位部を有する載置部材の変位部が変位することによって第２面に配される発光／受光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置されるように、光学素子が載置部材に載置される、
ことを特徴とする光学素子固定手段。
【請求項２４】
（Ａ）光学素子を固定する光学素子固定手段、及び、
（Ｂ）発光若しくは受光を行う発光／受光部、
を備えた光学装置部品であって、
（ａ）光学素子固定手段は、第１面、及び、該第１面に対向した第２面を有し、
（ｂ）光学素子固定手段の内部には、第１面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
（ｃ）光学素子載置領域には、少なくとも２つの載置部材が設けられており、
（ｄ）少なくとも１つの載置部材は、変位部を有しており、
（ｅ）第２面には、発光／受光部が配されており、
（ｆ）変位部を有する載置部材の変位部が変位することによって第２面に配された発光／受光部の軸線と光学素子の軸が同軸に位置されるように、光学素子が載置部材に載置される、
ことを特徴とする光学装置部品。
【請求項２５】
（Ａ）光学素子、
（Ｂ）光学素子固定手段、
（Ｃ）光学素子抑え部材、並びに、
（Ｄ）発光若しくは受光を行う発光／受光部、
を備えた光学装置の製造方法であって、
（ａ）第１面、及び、該第１面に対向する第２面を有し、内部にＳｉＯ2層が形成されたシリコン半導体基板の第１面にエッチング用マスクを形成した後、該エッチング用マスクを使用してシリコン半導体基板を第１面側からエッチングし、以て、
（１）内部に、第１面に開口した光学素子載置領域が形成され、
（２）光学素子載置領域には、少なくとも２つの載置部材が設けられ、
（３）少なくとも１つの載置部材は、変位部を有する、
光学素子固定手段を形成し、次いで、
（ｂ）載置部材に光学素子を載置した後、光学素子載置領域を覆うように第１面に光学素子抑え部材を固定することで、変位部を有する載置部材の変位部を変位させ、以て、発光／受光部の軸線と光学素子の軸を同軸に位置させる、
ことを特徴とする光学装置の製造方法。
【請求項２６】
（Ａ）光学素子、
（Ｂ）光学素子固定手段、
（Ｃ）光学素子抑え部材、並びに、
（Ｄ）発光若しくは受光を行う発光／受光部、
を備え、
（ａ）光学素子固定手段は、第１面、及び、該第１面に対向した第２面を有し、
（ｂ）光学素子固定手段の内部には、第１面に開口した光学素子載置領域が形成されており、
（ｃ）光学素子載置領域には、少なくとも２つの載置部材が設けられており、
（ｄ）少なくとも１つの載置部材は、変位部を有しており、
（ｅ）第２面には、発光／受光部が配されている、
光学装置の組立方法であって、
載置部材に光学素子を載置した後、光学素子載置領域を覆うように第１面に光学素子抑え部材を固定することで、変位部を有する載置部材の変位部を変位させ、以て、発光／受光部の軸線と光学素子の軸を同軸に位置させる、
ことを特徴とする光学装置の組立方法。
【請求項２７】
光学素子を固定するための光学素子固定手段の製造方法であって、
第１面、及び、該第１面に対向する第２面を有し、内部にＳｉＯ2層が形成されたシリコン半導体基板の第１面にエッチング用マスクを形成した後、該エッチング用マスクを使用してシリコン半導体基板を第１面側からエッチングし、以て、
（１）内部に、第１面に開口した光学素子載置領域が形成され、
（２）光学素子載置領域には、少なくとも２つの載置部材が設けられ、
（３）少なくとも１つの載置部材は、変位部を有する、
光学素子固定手段を形成することを特徴とする光学素子固定手段の製造方法。
【請求項２８】
（Ａ）光学素子を固定する光学素子固定手段、及び、
（Ｂ）受光を行う受光部、
を備えた光学装置部品の製造方法であって、
第１面、及び、該第１面に対向する第２面を有し、内部にＳｉＯ2層が形成されたシリコン半導体基板の第１面にエッチング用マスクを形成した後、該エッチング用マスクを使用してシリコン半導体基板を第１面側からエッチングし、以て、
（１）内部に、第１面に開口した光学素子載置領域が形成され、
（２）光学素子載置領域には、少なくとも２つの載置部材が設けられ、
（３）少なくとも１つの載置部材は、変位部を有する、
光学素子固定手段を形成し、併せて、シリコン半導体基板の第２面に受光部を形成することを特徴とする光学装置部品の製造方法。