【手続補正書】
【提出日】平成19年2月15日(2007.2.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電解メッキ浴槽内のメッキ液に被処理体を浸漬して被処理体にメッキ処理を施す際に、上記電解メッキ浴槽内に配置されたアノードと対をなすカソード部を有し且つ上記被処理体に導通可能で着脱自在に構成されたカソード用シートであって、少なくとも上記被処理体の外周縁部を被覆するフレキシブルシートと、このフレキシブルシート上に全周に渡って薄膜状に形成され且つ上記被処理体を保持する保持体と導通可能なカソード部と、このカソード部の内周側及び外周側それぞれに全周に渡って形成されたシール機構を兼ねる接着部と、を有する
ことを特徴とするカソード用シート。
【請求項２】
上記フレキシブルシートの外周に上記保持体と電気的に接続する接続端子を有し、上記接続端子と上記カソード部と電気的に接続したことを特徴とする請求項１に記載のカソード用シート。
【請求項３】
保持体に被処理面を下方に向けて水平保持された被処理体を電解メッキ浴槽内のメッキ液に浸漬した状態で回転させながら、上記電解メッキ浴槽内に配置されたアノードと上記被処理体との間での電気的導通により上記被処理面にメッキ処理を施す電解メッキ装置において、
上記保持体は、上記被処理体の被処理面と反対面の中央を真空吸着保持し昇降可能に構成された真空チャックを有し、
上記被処理面の外周縁部全周に渡ってカソード用シートを着脱自在に取り付けたことを特徴とする電解メッキ装置。
【請求項４】
上記カソード用シートは、少なくとも上記被処理体の外周縁部を被覆するフレキシブルシートと、このフレキシブルシート上に全周に渡って薄膜状に形成され且つ上記被処理体を保持する保持体と導通可能なカソード部と、このカソード部の内周側及び外周側それぞれに全周に渡って形成されたシール機構を兼ねる接着部と、を有することを特徴とする請求項３に記載の電解メッキ装置。
【請求項５】
上記フレキシブルシートの外周に上記保持体と電気的に接続する接続端子を有し、上記接続端子と上記カソード部と電気的に接続したことを特徴とする請求項４に記載の電解メッキ装置。
【請求項６】
保持体に被処理面を下方に向けて水平保持された被処理体を電解メッキ浴槽内のメッキ液に浸漬した状態で回転させながら、上記電解メッキ浴槽内に配置されたアノードと上記被処理体との間での電気的導通により上記被処理面にメッキ処理を施す電解メッキ方法において、
上記被処理体の被処理面の外周縁部にカソード部を有するカソード用シートを着脱自在に取り付ける工程と、
上記保持体によって上記被処理体を保持し、上記カソード用シートのカソード部と上記保持体とを電気的に接続する工程と、を有する
ことを特徴とする電解メッキ方法。
【請求項７】
上記カソード用シートは、少なくとも上記被処理体の外周縁部を被覆するフレキシブルシートと、このフレキシブルシート上に全周に渡って薄膜状に形成され且つ上記被処理体を保持する保持体と導通可能なカソード部と、このカソード部の内周側及び外周側それぞれに全周に渡って形成されたシール機構を兼ねる接着部と、を有することを特徴とする請求項６に記載の電解メッキ方法。
【請求項８】
上記フレキシブルシートの外周に上記保持体と電気的に接続する接続端子を有し、上記接続端子と上記カソード部と電気的に接続したことを特徴とする請求項７に記載の電解メッキ方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の請求項２に記載のカソード用シートは、請求項１に記載の発明において、上記フレキシブルシートの外周に上記保持体と電気的に接続する接続端子を有し、上記接続端子と上記カソード部と電気的に接続したことを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明の請求項３に記載の電解メッキ装置は、保持体に被処理面を下方に向けて水平保持された被処理体を電解メッキ浴槽内のメッキ液に浸漬した状態で回転させながら、上記電解メッキ浴槽内に配置されたアノードと上記被処理体との間での電気的導通により上記被処理面にメッキ処理を施す電解メッキ装置において、上記保持体は、上記被処理体の被処理面と反対面の中央を真空吸着保持し昇降可能に構成された真空チャックを有し、上記被処理面の外周縁部全周に渡ってカソード用シートを着脱自在に取り付けたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項４に記載の電解メッキ装置は、請求項３に記載の発明において、上記カソード用シートは、少なくとも上記被処理体の外周縁部を被覆するフレキシブルシートと、このフレキシブルシート上に全周に渡って薄膜状に形成され且つ上記被処理体を保持する保持体と導通可能なカソード部と、このカソード部の内周側及び外周側それぞれに全周に渡って形成されたシール機構を兼ねる接着部と、を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項５に記載の電解メッキ装置は、請求項４に記載の発明において、上記フレキシブルシートの外周に上記保持体と電気的に接続する接続端子を有し、上記接続端子と上記カソード部と電気的に接続したことを特徴とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の請求項６に記載の電解メッキ方法は、保持体に被処理面を下方に向けて水平保持された被処理体を電解メッキ浴槽内のメッキ液に浸漬した状態で回転させながら、上記電解メッキ浴槽内に配置されたアノードと上記被処理体との間での電気的導通により上記被処理面にメッキ処理を施す電解メッキ方法において、上記被処理体の被処理面の外周縁部にカソード部を有するカソード用シートを着脱自在に取り付ける工程と、上記保持体によって上記被処理体を保持し、上記カソード用シートのカソード部と上記保持体とを電気的に接続する工程と、を有することを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明の請求項７に記載の電解メッキ方法は、請求項６に記載の発明において、上記カソード用シートは、少なくとも上記被処理体の外周縁部を被覆するフレキシブルシートと、このフレキシブルシート上に全周に渡って薄膜状に形成され且つ上記被処理体を保持する保持体と導通可能なカソード部と、このカソード部の内周側及び外周側それぞれに全周に渡って形成されたシール機構を兼ねる接着部と、を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項８に記載の電解メッキ方法は、請求項７に記載の発明において、上記フレキシブルシートの外周に上記保持体と電気的に接続する接続端子を有し、上記接続端子と上記カソード部と電気的に接続したことを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、上記フレキシブルシート１７Ａ内には配線１７Ｄが形成され、この配線１７Ｄの一端はカソード部１７Ｂに接続され、他端はフレキシブルシート１７Ａの外周に形成された接続端子１７Ｅに接続されている。この配線１７Ｄは例えばフレキシブルシート１７Ａの周方向等間隔を明けてカソード部１７Ｂから放射状に延びてそれぞれの接続端子１７Ｅに接続されている。これらの接続端子１７Ｅはいずれも保持体１８に形成された接続端子（図示せず）と電気的に接触し、ひいてはアノード１６と導通可能になっている。このカソード用シート１７は半導体ウエハＷの外周縁部に接着部１７Ｃを介して取り付けられると、カソード部１７Ｂが半導体ウエハＷの被処理面に形成されたシード層Ｓと電気的に接触し、導通するようになっている。尚、図示してないが、半導体ウエハＷにはシード層Ｓのバリア層が形成されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
メッキ液１１が循環している時、図３の（ｅ）に示すように保持体１８を介して半導体ウエハＷが水平状態で下降しメッキ液１１に浸漬する。この際、従来の保持体であれば半導体ウエハＷの被処理面と載置部で形成する空間に空気Ａが滞留するが、本実施形態の場合には被処理面に数１０μｍのカソード用シート１７が張り付けられているに過ぎないため、従来のように空気Ａが滞留することがない。また、カソード部１７Ｂは接着部１７Ｃでシールされているため、メッキ液１１によって汚染されることはない。従って、そのまま保持体１８を所定の速度で回転させ、定電流電源２７から電圧を印加すると、半導体ウエハＷの被処理面に銅メッキが施される。しかも、被処理面に接するメッキ液１１は上昇流で流れていると共に回転しているため、被処理面全面で均一な銅イオン濃度を維持し、被処理面全面に均一な銅メッキ層を形成することができる。銅メッキが終了すると、保持体１８を介して半導体ウエハＷがメッキ液１１から引き上げられ、搬入時とは逆の順序を辿って半導体ウエハＷが保持体１８から搬出される。使用後のカソード用シート１７は半導体ウエハＷから剥した後廃棄する。つまり、カソード用シート１７は半導体ウエハＷ毎に使い捨てにする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
【発明に効果】
本発明によれば、被処理体の被処理面から気泡を確実に抜き均一なメッキ層を形成することができると共にカソード部の機構、特に保持体の機構を簡素化してコストを低減することができ、しかもシール部及びカソードとして常に清浄なものを使用することができるカソード用シート、電解メッキ装置及び電解メッキ方法を提供することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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