【手続補正書】
【提出日】平成19年1月12日(2007.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を透過する透過パターンと光を遮光する遮光パターンとが設けられている試料の欠陥を検出して検査を行う検査装置であって、
透過照明光源と、
前記透過照明光源からの光を集光して前記試料に出射する透過照明光学系と、
透過像を撮像するため、前記透過照明光学系から前記試料に出射された光のうち前記試料を透過した透過光を検出する透過側検出器と、
落射照明光源と、
前記落射照明光源からの光を集光して前記試料に出射する落射照明光学系と、
反射像を撮像するため、前記落射照明光学系から前記試料に出射された光のうち前記試料で反射した反射光を検出する反射側検出器と、
欠陥のない箇所において、前記透過像と反射像との間の位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出部と、
前記透過像又は前記反射像の一方の像において、前記試料に設けられたパターンの輪郭を抽出する輪郭抽出部と、
前記輪郭を抽出した像の前記輪郭における輝度の傾斜方向を算出する傾斜方向算出部と、
前記位置ずれ量と前記輝度の傾斜方向とに基づいて前記輪郭をずらした位置を求め、前記輪郭をずらした位置における前記輪郭を抽出した像の他方の像の輝度に基づいて欠陥判定を行う欠陥判定部とを備える検査装置。
【請求項２】
欠陥のない箇所において、前記透過像又は前記反射像の一方の像におけるパターンエッジ近傍での輝度の傾斜量を算出する傾斜量算出部をさらに備え、
前記輪郭抽出部が前記傾斜量を算出した像の輪郭を抽出し、
前記欠陥判定部が前記輪郭をずらした位置を前記輝度の傾斜量に基づいて求める請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記欠陥判定部が、前記輪郭をずらした位置における画素の周辺画素の輝度で前記輪郭をずらした位置における輝度を補完して欠陥判定を行う請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記落射照明光学系が、前記落射照明光源からの光を集光して試料に出射する第１のレンズを備え、
前記第１のレンズを介して、前記落射照明光源からの光が前記反射側検出器に検出され、
前記透過照明光学系が前記透過照明光源からの光を集光して試料に出射する第２のレンズを備え、
前記第１のレンズを介して前記透過照明光源からの光が前記透過側検出器に検出され、
前記落射照明光源からの光が前記第１のレンズの視野の一部である第１の領域に入射して前記反射側検出器で検出され、前記透過照明光源からの光が前記第１のレンズの視野の一部であり前記第１の領域からずれた第２の領域に入射して前記透過側検出器で検出される請求項１、２又は３に記載の検査装置。
【請求項５】
落射照明光源と、
前記落射照明光源からの光を集光して試料に出射する第１のレンズと、
前記第１のレンズから前記試料に出射した光のうち、前記試料で反射した反射光を前記第１のレンズを介して検出する反射側検出器と、
透過照明光源と、
前記透過照明光源からの光を集光して前記試料に出射する第２のレンズと、
前記第２のレンズから前記試料に出射した光のうち、前記試料を透過した透過光を前記第１のレンズを介して検出する透過側検出器とを備え、
前記落射照明光源からの光が前記第１のレンズの視野の一部である第１の領域に入射して前記反射側検出器で検出され、前記透過照明光源からの光が前記第１のレンズの視野の一部であり前記第１の領域からずれた第２の領域に入射し、前記反射光と異なる方向に前記反射光から分岐された前記透過光を前記透過側検出器で検出される検査装置。
【請求項６】
反射部材をさらに有し、
反射光又は／及び透過光を前記第１のレンズを介して反射部材に入射させて、前記透過光と前記反射光とを分岐させる請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記透過照明光源と前記落射照明光源とが同じ波長の光を出射する光源である請求項４、５又は６に記載の検査装置。
【請求項８】
前記落射照明光源と前記第１のレンズとの間に配置され、前記落射照明光源からの光が前記第１の領域に入射するよう前記落射照明光源からの光を遮る第１の絞りと、
前記透過照明光源と前記第２のレンズとの間に配置され、前記透過照明光源からの光が前記第２の領域に入射するよう前記透過照明光源からの光を遮る第２の絞りとをさらに備える請求項４乃至７のいずれかに記載の検査装置。
【請求項９】
光を透過する透過パターンと光を遮光する遮光パターンとが設けられている試料の欠陥を検出して検査を行う欠陥検査方法であって、
前記試料を透過した透過光を検出して透過像を撮像する透過像撮像ステップと、
前記試料で反射した反射光を検出して反射像を撮像する反射像撮像ステップと、
欠陥のない箇所において、前記透過像と前記反射像との間の位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出ステップと、
前記透過像又は前記反射像の一方の像において、前記試料に設けられたパターンの輪郭を抽出する輪郭抽出ステップと、
前記輪郭を抽出した像の前記輪郭における輝度の傾斜方向を算出する傾斜方向算出ステップと、
前記位置ずれ量と前記輝度の傾斜方向とに基づいて前記輪郭をずらした位置を算出するステップと、
前記輪郭をずらした位置における前記輪郭を抽出した像の他方の像の輝度に基づいて欠陥判定を行う欠陥判定ステップとを有する検査方法。
【請求項１０】
欠陥のない箇所において、前記透過像又は前記反射像の一方の像においてパターンエッジ近傍での輝度の傾斜量を算出するステップをさらに備え、
前記輪郭抽出ステップでは、前記傾斜量を求めた像の輪郭を抽出し、
前記欠陥判定ステップでは、前記輪郭をずらした位置を前記輝度の傾斜量に基づいて求める請求項９に記載の検査方法。
【請求項１１】
前記欠陥判定ステップでは、前記輪郭をずらした位置における画素の周辺画素の輝度で前記輪郭をずらした位置における輝度を補完して欠陥判定を行う請求項９又は１０に記載の検査方法。
【請求項１２】
落射照明光源からの光を第１のレンズに入射させるステップと、
前記第１のレンズに入射した前記落射照明光源からの光を前記第１のレンズの視野の一部である第１の領域に集光して試料に入射させるステップと、
前記落射照明光源から前記試料に入射した光のうち、前記試料で反射した反射光を前記第１のレンズに入射させるステップと、
透過照明光源からの光を第２のレンズに入射させるステップと、
前記第２のレンズに入射した前記透過照明光源からの光を前記第１のレンズの視野の一部であり前記第１の領域からずれた第２の領域に集光して前記試料に入射させるステップと、
前記透過照明光源から前記試料に入射した光のうち、前記試料を透過した透過光を前記第１のレンズに入射させるステップと、
前記第１のレンズから出射された前記透過光と前記反射光とを分岐させるステップと、
前記反射光から分岐された前記透過光を透過側検出器で検出するステップと、
前記透過光から分岐された前記反射光を反射側検出器で検出するステップとを有する検査方法。
【請求項１３】
前記透過光と前記反射光とを分岐させるステップでは、反射光又は／及び透過光を前記第１のレンズを介して反射部材に入射させて、反射光と透過光とを分岐させる請求項１２に記載の検査方法。
【請求項１４】
前記透過光と前記反射光とが略同時に検出される請求項１２又は１３に記載の検査方法。
【請求項１５】
請求項９乃至請求項１４のいずれか一項に記載の検査方法により、フォトマスクを検査する検査ステップと、
前記検査ステップによって検査されたフォトマスクの欠陥を修正する欠陥修正ステップと、
前記欠陥修正ステップで修正されたフォトマスクを介して基板を露光する露光ステップと、
前記露光された基板を現像する現像ステップを有するパターン基板の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の第４の態様にかかる検査装置は、上述の検査装置において、前記落射照明光学系が、前記落射照明光源からの光を集光して試料に出射する第１のレンズ（例えば、本発明の実施の形態におけるレンズ３２）を備え、前記第１のレンズを介して、前記落射照明光源からの光が前記反射側検出器に検出され、前記透過照明光学系が前記透過照明光源からの光を集光して試料に出射する第２のレンズ（例えば、本発明の実施の形態におけるレンズ１６）を備え、前記第１のレンズを介して、前記透過照明光源からの光が前記透過側検出器に検出され、前記落射照明光源からの光が前記第１のレンズの視野の一部である第１の領域に入射して前記反射側検出器で検出され、前記透過照明光源からの光が前記第１のレンズの視野の一部であり前記第１の領域からずれた第２の領域に入射して前記透過側検出器で検出されるものである。これにより、簡易な光学系で正確に欠陥を検出することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の第５の態様にかかる検査装置は、落射照明光源と、前記落射照明光源からの光を集光して試料に出射する第１のレンズと、前記第１のレンズから前記試料に出射した光のうち、前記試料で反射した反射光を前記第１のレンズを介して検出する反射側検出器と、透過照明光源と、前記透過照明光源からの光を集光して前記試料に出射する第２のレンズと、前記第２のレンズから前記試料に出射した光のうち、前記試料を透過した透過光を前記第１のレンズを介して検出する透過側検出器とを備え、前記落射照明光源からの光が前記第１のレンズの視野の一部である第１の領域に入射して前記反射側検出器で検出され、前記透過照明光源からの光が前記第１のレンズの視野の一部であり前記第１の領域からずれた第２の領域に入射し、前記反射光と異なる方向に前記反射光から分岐された前記透過光を前記透過側検出器で検出されるものである。これにより、簡易な光学系で正確に欠陥を検出することができる。
また、上述の検査装置において、反射部材（例えば、本発明の実施の形態における反射部材４２）をさらに有し、反射光又は／及び透過光を前記第１のレンズを介して反射部材に入射させて、前記透過光と前記反射光とを分岐させてもよい。これにより、透過側検出器と反射側検出器とを干渉しないように配置することが可能である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の第７の態様にかかる検査装置は、上述の検査装置において、前記落射照明光源と前記第１のレンズとの間に配置され、前記落射照明光源からの光が前記第１の領域を通過するよう前記落射照明光源からの光を遮る第１の絞りと、前記透過照明光源と前記第２のレンズとの間に配置され、前記透過照明光源からの光が前記第２の領域を通過するよう前記透過照明光源からの光を遮る第２の絞りとをさらに備えるものである。これにより、透過照明と反射照明とのＮＡを任意に変えることができるので、より正確に欠陥を検出することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明の第１１の態様にかかる検査方法は、落射照明光源からの光を第１のレンズに入射させるステップと、前記第１のレンズに入射した前記落射照明光源からの光を前記第１のレンズの視野の一部である第１の領域に集光して試料に入射させるステップと、前記落射照明光源から前記試料に入射した光のうち、前記試料で反射した反射光を前記第１のレンズに入射させるステップと、透過照明光源からの光を第２のレンズに入射させるステップと、前記第２のレンズに入射した前記透過照明光源からの光を前記第１のレンズの視野の一部であり前記第１の領域からずれた第２の領域に集光して前記試料に入射させるステップと、前記透過照明光源から前記試料に入射した光のうち、前記試料を透過した透過光を前記第１のレンズに入射させるステップと、前記第１のレンズから出射された前記透過光と前記反射光とを分岐させるステップと、前記反射光から分岐された前記透過光を透過側検出器で検出するステップと、前記透過光から分岐された前記反射光を反射側検出器で検出するステップとを有するものである。これにより、簡易な光学系で正確に異物検査を行うことができる。
また、上述の検査方法において、前記透過光と前記反射光とを分岐させるステップでは、反射光又は／及び透過光を前記第１のレンズを介して反射部材に入射させて、反射光と透過光とを分岐させる方法でもよい。これにより、透過側検出器と反射側検出器とを干渉しないように配置することが可能である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明の第１２の態様にかかる検査方法は、上述の検査方法において、前記透過光と前記反射光とが略同時に検出されるものである。これにより、検査時間を短くすることができる。