【手続補正書】
【提出日】平成18年12月15日(2006.12.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）一般式（１）で表される構造単位を主成分とするポリマー、（Ｂ）チオエーテル基、フルオレン基、スルホニル基から選ばれる基を１種以上有し、かつフェノール性水酸基および／またはチオフェノール基を含有する化合物、（Ｃ）エステル化したキノンジアジド化合物、（Ｄ）アルミニウム化合物、ケイ素化合物、スズ化合物、チタン化合物、ジルコニウム化合物から少なくとも１種選ばれる粒子径１ｎｍから３０ｎｍの無機粒子を含有するポジ型感光性樹脂組成物。
【化１】
2005208465.tif 000001
（式中Ｒ１は２個以上の炭素原子を有する２価から８価の有機基、Ｒ２は２個以上の炭素原子を有する２価から６価の有機基、Ｒ３は水素、または炭素数１から２０までの有機基を示す。ｎは１０から１０００００までの範囲、ｍは０から２までの整数、ｐ、ｑは０から４までの整数を示す。）
【請求項２】
一般式（１）のＲ１（ＣＯＯＲ３）ｍ（ＯＨ）ｐが、一般式（２）で表される請求項１記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化２】
2005208465.tif 000002
（Ｒ４、Ｒ６は炭素数２〜２０より選ばれる２価〜４価の有機基を示し、Ｒ５は、炭素数３
〜２０より選ばれる３価〜６価の有機基を示し、Ｒ７、Ｒ８は水素、あるいは炭素数１〜２０までの有機基を示す。ｏ、ｓは０から２までの整数、ｒは１〜４までの整数を示す。）
【請求項３】
一般式（１）のＲ２（ＯＨ）ｑが、一般式（３）〜（５）に表される少なくとも１種である請求項１記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化３】
2005208465.tif 000003
（Ｒ９、Ｒ１１は炭素数２〜２０より選ばれる３価〜４価の有機基を示し、Ｒ１０は炭素数２〜３０より選ばれる２価の有機基を示す。ｔ、ｕは１あるいは２の整数を示す。Ｒ１２、Ｒ１４は炭素数２〜２０までの２価の有機基を示し、Ｒ１３は、炭素数３〜２０より選ばれる３価〜６価の有機基を示す。ｖは１〜４までの整数を示す。Ｒ１５は炭素数２〜２０より選ばれる２価の有機基を示し、Ｒ１６は、炭素数３〜２０より選ばれる３価〜６価の有機基を示す。ｗは１〜４までの整数を示す。）
【請求項４】
請求項１記載のポジ型感光性樹脂組成物に紫外線を照射した後、加熱して形成された耐熱性樹脂のレリーフパターン。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
すなわち本発明は、（Ａ）一般式（１）で表される構造単位を主成分とするポリマーと、（Ｂ）チオエーテル基、フルオレン基、スルホニル基から選ばれる基を１種以上有し、かつフェノール性水酸基および／またはチオフェノール基を含有する化合物と、（Ｃ）エステル化したキノンジアジド化合物と、（Ｄ）アルミニウム化合物、ケイ素化合物、スズ化合物、チタン化合物、ジルコニウム化合物から少なくとも１種選ばれる粒子径１ｎｍから３０ｎｍの無機粒子を含有するポジ型感光性樹脂組成物である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記一般式（１）のＲ１は酸二無水物の構造成分を表しており、このＲ１は芳香族環を含有し、２個以上の炭素原子を有する２価〜８価の有機基であることが好ましく、炭素数６〜３０の３価または４価の有機基がさらに好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
具体的には、Ｒ１（ＣＯＯＲ３）ｍ（ＯＨ）ｐが一般式（２）に示されるような構造のものが好ましく、この場合、Ｒ４、Ｒ６は炭素数２〜２０より選ばれる２価〜４価の有機基を示しているが、得られるポリマーの耐熱性より芳香族環を含んだものが好ましく、その中でも特に好ましい構造としてトリメリット酸、トリメシン酸、ナフタレントリカルボン酸残基のようなものを挙げることができる。またＲ５は炭素数３〜２０より選ばれる３価〜６価の有機基が好ましい。さらに、水酸基はアミド結合と隣り合った位置にあることが好ましい。このような例として、フッ素原子を含んだ、ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン、ビス（３−ヒドロキシ−４−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、フッ素原子を含まない、ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン、ビス（３−ヒドロキシ−４−アミノフェニル）プロパン、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシビフェニル、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシビフェニル、２，４−ジアミノ−フェノール、２，５−ジアミノフェノール、１，４−ジアミノ−２，５−ジヒドロキシベンゼンのアミノ基が結合したものなどを挙げることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
上記一般式（１）のＲ２は、ジアミンの構造成分を表している。この中で、Ｒ２（ＯＨ）ｑの好ましい例としては、得られるポリマーの耐熱性より芳香族を有し、かつ水酸基を有するものが好ましく、具体的な例としてはフッ素原子を有した、ビス（アミノ−ヒドロキシ−フェニル）ヘキサフルオロプロパン、フッ素原子を有さない、ジアミノジヒドロキシピリミジン、ジアミノジヒドロキシピリジン、ヒドロキシ−ジアミノ−ピリミジン、ジアミノフェノール、ジヒドロキシベンチジンなどの化合物や一般式（３）、（４）、（５）に示す構造のものをあげることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
Ｒ９、Ｒ１１は炭素数２〜２０より選ばれる３価〜４価の有機基を示し、Ｒ１０は炭素数２〜３０より選ばれる２価の有機基を示す。ｔ、ｕは１あるいは２の整数を示す。Ｒ１２、Ｒ１４は炭素数２〜２０までの２価の有機基を示し、Ｒ１３は、炭素数３〜２０より選ばれる３価〜６価の有機基を示す。ｖは１〜４までの整数を示す。Ｒ１５は炭素数２〜２０より選ばれる２価の有機基を示し、Ｒ１６は、炭素数３〜２０より選ばれる３価〜６価の有機基を示す。ｗは１〜４までの整数を示す。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
この中で、一般式（３）内のＲ９、Ｒ１１、一般式（４）内のＲ１３、一般式（５）内のＲ１６は、得られるポリマーの耐熱性より芳香族環を有した有機基が好ましい。一般式（３）内のＲ１０、一般式（４）内のＲ１２、Ｒ１４、一般式（５）内のＲ１５は、得られるポリマーの耐熱性より芳香族環を有した有機基が好ましい。また一般式（３）のｔ、ｕは１あるいは２の整数を示し、一般式（４）のｖ、一般式（５）のｗは１〜４までの整数を示す。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
一般式（３）において、Ｒ９、Ｒ１１は炭素数２〜２０より選ばれる３価〜４価の有機基を示しており、得られるポリマーの耐熱性より芳香族環を有したものが好ましい。Ｒ９（ＯＨ）ｔ、Ｒ１１（ＯＨ）ｕは具体的にはヒドロキシフェニル基、ジヒドロキシフェニル基、ヒドロキシナフチル基、ジヒドロキシナフチル基、ヒドロキシビフェニル基、ジヒドロキシビフェニル基、ビス（ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン基、ビス（ヒドロキシフェニル）プロパン基、ビス（ヒドロキシフェニル）スルホン基、ヒドロキシジフェニルエーテル基、ジヒドロキシジフェニルエーテル基などを表す。また、ヒドロキシシクロヘキシル基、ジヒドロキシシクロヘキシル基などの脂肪族の基も使用することができる。Ｒ１０は炭素数２〜３０までの２価の有機基を表している。得られるポリマーの耐熱性よりは芳香族を有した２価の基がよく、このような例としてはフェニル基、ビフェニル基、ジフェニルエーテル基、ジフェニルヘキサフルオロプロパン基、ジフェニルプロパン基、ジフェニルスルホン基などをあげることができるが、これ以外にも脂肪族のシクロヘキシル基なども使用することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
一般式（４）において、Ｒ１２、Ｒ１４は炭素数２〜２０までの２価の有機基を表している。得られるポリマーの耐熱性よりは芳香族を有した２価の基がよく、このような例としてはフェニル基、ビフェニル基、ジフェニルエーテル基、ジフェニルヘキサフルオロプロパン基、ジフェニルプロパン基、ジフェニルスルホン基などをあげることができるが、これ以外にも脂肪族のシクロヘキシル基なども使用することができる。Ｒ１３は、炭素数３〜２０より選ばれる３価〜６価の有機基を示しており、得られるポリマーの耐熱性より芳香族環を有したものが好ましい。Ｒ１３（ＯＨ）ｖは具体的にはヒロドキシフェニル基、ジヒドロキシフェニル基、ヒドロキシナフチル基、ジヒドロキシナフチル基、ヒドロキシビフェニル基、ジヒドロキシビフェニル基、ビス（ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン基、ビス（ヒドロキシフェニル）プロパン基、ビス（ヒドロキシフェニル）スルホン基、ヒドロキシジフェニルエーテル基、ジヒドロキシジフェニルエーテル基などを表す。また、ヒドロキシシクロヘキシル基、ジヒドロキシシクロヘキシル基などの脂肪族の基も使用することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
一般式（５）においてＲ１５は炭素数２〜２０より選ばれる２価の有機基を表している。得られるポリマーの耐熱性から芳香族を有した２価の基がよく、このような例としてはフェニル基、ビフェニル基、ジフェニルエーテル基、ジフェニルヘキサフルオロプロパン基、ジフェニルプロパン基、ジフェニルスルホン基などをあげることができるが、これ以外にも脂肪族のシクロヘキシル基なども使用することができる。Ｒ１６は炭素数３〜２０より選ばれる３価〜６価の有機基を示しており、得られるポリマーの耐熱性より芳香族環を有したものが好ましい。Ｒ１６（ＯＨ）ｗは具体的にはヒドロキシフェニル基、ジヒドロキシフェニル基、ヒドロキシナフチル基、ジヒドロキシナフチル基、ヒドロキシビフェニル基、ジヒドロキシビフェニル基、ビス（ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン基、ビス（ヒドロキシフェニル）プロパン基、ビス（ヒドロキシフェニル）スルホン基、ヒドロキシジフェニルエーテル基、ジヒドロキシジフェニルエーテル基などを表す。また、ヒドロキシシクロヘキシル基、ジヒドロキシシクロヘキシル基などの脂肪族の基も使用することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
本発明で使用される（Ｂ）のチオエーテル基、フルオレン基、スルホニル基から選ばれる基を１種以上有し、かつフェノール性水酸基および／またはチオフェノール基を含有する化合物は、化合物の骨格に高屈折率を発現する基であるチオエーテル基、フルオレン基、スルホニル基等を有することから、該樹脂組成物の屈折率向上に際だった効果を示す。また高屈折率粒子を、ポリマー１００重量部に対して、３０重量部を越える量を導入した場合に発生すると考えられる粒子間の空隙を埋める作用をする。さらに、（Ｂ）の化合物は、アルカリ可溶性基であるフェノール性水酸基やチオフェノール基を有することから、露光部をアルカリ現像した場合の残差低減にも効果を示す。