【手続補正書】
【提出日】平成19年6月15日(2007.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  可動部と、前記可動部と隙間を介して対向する基準平面と、
前記可動部から前記隙間に気体を供給する気体供給部と、
前記気体供給部の外側に複数設けた気体排気用溝と、
前記可動部と前記基準平面との間に吸引力を作用させる吸引手段と、を有することを特徴とする静圧軸受装置。
【請求項２】  基準平面と、
前記基準平面上に固定され、該基準平面と垂直な一面を基準とする固定ガイドと、
前記基準平面および前記固定ガイドに対し隙間を介して浮上する可動部と、
前記可動部から前記隙間に気体を供給する気体供給部と、
前記気体供給部の外側に複数設けた気体排気用溝と、
前記可動部と前記基準平面との間に吸引力を作用させる吸引手段と、を有することを特徴とする静圧軸受装置。
【請求項３】  前記吸引手段として、磁性材料または電磁石を用いたことを特徴とする請求項１または２に記載の静圧軸受装置。
【請求項４】  前記気体供給部からの気体の供給と前記吸引手段による予圧力とにより、前記隙間を一定に保つようにコントロールする手段を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の静圧軸受装置。
【請求項５】  静圧軸受装置において、
流体を噴出する絞りを持つ軸受面が磁性材料および電磁石のいずれか一方であることを特徴とする静圧軸受装置。
【請求項６】  前記流体を噴出する絞りが多孔質材料またはオリフィスであることを特徴とする請求項５に記載の静圧軸受装置。
【請求項７】  前記静圧軸受装置から排出される前記流体の全部または一部を回収できる回収機構を有することを特徴とする請求項５または６に記載の静圧軸受装置。
【請求項８】  前記回収機構として、前記流体を供給する流体供給部の外周に複数段のラビリンス段部および複数段の流体排出用溝が設けられ、該流体排出用溝を真空ポンプにつないで排出することを特徴とする請求項７に記載の静圧軸受装置。
【請求項９】  前記回収機構として、前記流体を供給する流体供給部の外周に複数段のラビリンス段部および複数段の流体排出用溝が設けられ、該流体供給部に近い該流体排出用溝を大気に導通させて前記流体を大気中に放出する機構と、それより外側の該流体排出用溝を真空ポンプにつないで排出する機構とを１つ以上有することを特徴とする請求項７に記載の静圧軸受装置。
【請求項１０】  前記流体供給部を有する軸受面の実質中心に、前記大気に導通させて該流体供給部からの前記流体を大気中に放出するための通路をさらに備えることを特徴とする請求項９に記載の静圧軸受装置。
【請求項１１】  請求項１〜１０のいずれか１項に記載の静圧軸受装置を用いて移動部の位置決めを行うことを特徴とする位置決め装置。
【請求項１２】  請求項１１に記載の位置決め装置を備えることを特徴とするステージ装置。
【請求項１３】  原版のパターンを基板に焼付けて露光する露光装置において、
請求項１１に記載の位置決め装置、または、請求項１２に記載のステージ装置を備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項１４】  請求項１３に記載の露光装置を用いて基板にパターンを焼付け露光する工程と、露光された基板を現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明の静圧軸受装置は、上面を基準の面とする基準平面と、前記基準平面上に固定され、該基準平面と垂直な一面を基準とする固定ガイドと、前記基準平面および前記固定ガイドと隙間を介して浮上する可動部と、前記可動部から前記隙間に気体を供給する気体供給部と、前記気体供給部の外側に複数設けた気体排気用溝と、前記可動部と前記基準平面との間に吸引力を作用させる吸引手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明においては、前記吸引手段として、磁性材料または電磁石を用いることが好ましい。また、前記静圧軸受装置は、前記気体供給部からの気体の供給と前記吸引手段による予圧力とにより、前記隙間を一定に保つようにコントロールする手段を有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明においては、前記流体を噴出する絞りが多孔質材料またはオリフィスであることが好ましい。また、前記静圧軸受装置から排出される前記流体の全部または一部を回収できる回収機構を有することが好ましい。前記回収機構として、前記流体を供給する流体供給部の外周に複数段のラビリンス段部および複数段の流体排出用溝が設けられ、該流体排出用溝を真空ポンプにつないで排出するとよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の一態様では、前記回収機構として、前記流体を供給する流体供給部の外周に複数段のラビリンス段部および複数段の流体排出用溝が設けられ、該流体供給部に近い該流体排出用溝を大気に導通させて前記流体を大気中に放出する機構と、それより外側の該流体排出用溝を真空ポンプにつないで排出する機構とを１つ以上有する。また、本発明の別の態様では、前記流体供給部を有する軸受面の実質中心に、前記大気に導通させて該流体供給部からの前記流体を大気中に放出するための通路をさらに備える。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の位置決め装置は、前記静圧軸受装置を用いて移動部の位置決めを行うことを特徴とする。本発明のステージ装置は、前記位置決め装置を備えることを特徴とする。本発明の露光装置は、原版のパターンを基板に焼き付けて露光する露光装置において、前記位置決め装置、または、前記ステージ装置を備えたことを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
（第３の実施例）
図６は、本発明の第３の実施例に係る静圧軸受装置を説明する図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は可動部の底面図をそれぞれ示す。
図６の静圧軸受装置は、磁性体からなる静圧軸受６２と、その周りに一段目の溝６６と、二段目の溝６８とが設けられ、溝６６には大気に導通する排気口６７が設けられている。また、溝６８には、真空ポンプにつながる排気口６９が設けられている。静圧軸受６２の背後には、不図示の高圧気体源からの圧縮気体が給気されており、この圧縮気体は静圧軸受６２の中に設けた不図示の絞りを通り、静圧軸受６２と対面する面６３との間に形成されている数μｍから十数μｍの微小隙間ｈ内に流入し、この隙間内に周囲圧力より高い圧力を維持し、非接触で負荷を支える。静圧軸受６２から周囲の真空環境６１に流入する流体の量を減らすためには、静圧軸受６２の面と同じ面にあるラビリンス段部６４、６５を設け、流体の流れの抵抗を維持する。ここで、ラビリンス段部６４、６５の面は、静圧軸受６２の面より数μｍ下がってもよい。また、ラビリンス段部６４、６５の幅は、数ｍｍから数十ｍｍとする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
静圧軸受６２から軸受隙間ｈ内に流入した流体は、一段目の溝６６の排気口６７から大気中に放出される。これによって、溝６６の圧力は、ほぼ大気圧と同じになる。そこから流体は、ラビリンス段部６４と対向する面６３との隙間を通って二段目の溝６８に流入し、流入した流体は溝６８の排気口６９につながっている不図示の真空ポンプより強制的に排気され、溝６８内には低真空もしくは高真空が保たれる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
なお、本発明は、本実施例であげた二段溝の形式に限定するものではなく、必要に応じて二段以上の溝およびラビリンス段部を設けることもできる。また、静圧軸受６２は磁性材料以外に、電磁石で構成することもできる。さらに、静圧軸受６２の形状は、図６に示す矩形に限定するものではなく、円板形や、他の任意形状のものでもよい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
（第４の実施例）
図７は、本発明の第４の実施例に係る静圧軸受装置を説明する図である。図７では、静圧軸受パッド７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、７２ｄから周囲の真空環境６１に流入する流体の量を減らすため、磁性材料もしくは電磁石で作られた静圧軸受パッド７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、７２ｄの外周にラビリンス段部７３ａ、７３ｂ、７３ｃを設けている。また、本装置では、一段目の溝７４ａ、二段目の溝７４ｂをさらに設けている。４個の静圧軸受パッド７２ａ〜７２ｄからなる中心部と一段目の溝７４ａには大気に導通する通路７５ａ、７５ｂを設け、二段目の溝７４ｂには不図示の真空ポンプにつながる通路７５ｃを設けている。本実施例における非接触浮上の原理と真空雰囲気への流体流入の低減については、上記した第３の実施例と同様である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
以上説明したように、上記した第３および第４の実施例によれば、案内用軸受を直接磁性材料もしくは電磁石で構成することにより、従来の軸受周りに配置する予圧磁石が不要となり、省スペースと軽量化に貢献できる。また、軸受の周りに複数段の溝およびラビリンス段部を設け、一段目を大気中に開放する排気口を設けることで、真空ポンプの負荷を低減し、真空ポンプの寿命を長くできるといった利点がある。さらに、上記した効果を有する静圧軸受装置を位置決め装置、ステージ装置、および露光装置に備えることが可能である。