【手続補正書】
【提出日】平成20年7月10日(2008.7.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも第１のチャンバと第２のチャンバと第３のチャンバとを画定する主要ハウジングであって、前記第１のチャンバは、高圧供給ポートに結合されるように構成され、前記第２のチャンバは、前記第１のチャンバと前記第３のチャンバから分離して出力ポートに結合されるように構成され、前記第３のチャンバは、低圧排気ポートに結合されるように構成される、主要ハウジングと、
第１の電気信号に応答して、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの間の流通を許容または実質的に阻止する、前記第１および第２のチャンバ間にある第１の静電駆動式弁と、
第２の電気信号に応答して、前記第２のチャンバと前記第３のチャンバとの間の流通を許容または実質的に阻止する、前記第２および第３のチャンバ間にある第２の静電駆動式弁とを備える弁アセンブリ。
【請求項２】
前記主要ハウジングが、第２の出力ポートに結合されるように構成された第４のチャンバと、低圧排気ポートに結合されるように構成された第５のチャンバとをさらに画定し、
第３の電気信号に応答して、前記第１のチャンバと前記第４のチャンバとの間の流通を許容または実質的に阻止する、前記第１および第４のチャンバ間にある第３の静電駆動式弁と、
第４の電気信号に応答して、前記第４のチャンバと前記第５のチャンバとの間に流通を許容または実質的に阻止する、前記第４および第５のチャンバ間にある第４の静電駆動式弁とを備える、請求項１に記載の弁アセンブリ。
【請求項３】
前記第１、第２、第３、および第４の静電駆動式弁が、同じ基板上に設けられる、請求項２に記載の弁アセンブリ。
【請求項４】
前記第３および第５のチャンバが、同じ低圧排気ポートに結合される、請求項２に記載の弁アセンブリ。
【請求項５】
前記第３および第５のチャンバが、異なる低圧排気ポートに結合される、請求項２に記載の弁アセンブリ。
【請求項６】
前記第１および第２の静電駆動式弁が、第１および第２の弁チップをそれぞれ備え、各弁チップが、前記弁チップ上に少なくとも１つの静電駆動式弁フラップをそれぞれ備える、請求項１に記載の弁アセンブリ。
【請求項７】
前記第１の弁チップが、前記第２の弁チップから間隔を置いて設けられる、請求項６に記載の弁アセンブリ。
【請求項８】
前記第１の弁チップが、前記第２のチップに対して平行ではない、請求項６に記載の弁アセンブリ。
【請求項９】
前記第１の弁チップが、第１および第２の対向する面を有する基板と、
前記第１および第２の面の間で前記基板を貫通する少なくとも１つの孔と、その上にある一対の入力パッドと、前記基板にある前記少なくとも１つの孔に関連付けられた、少なくとも１つの弁フラップと共に前記基板上の少なくとも１つの静電駆動式弁フラップとを備え、前記少なくとも１つの可撓性弁フラップが、前記入力パッド対に印加された前記第１の電気信号に応答して、前記少なくとも１つの孔を開口または実質的に阻止するように構成され、前記基板が、前記基板の前記第１および第２の面の中央部分が前記第１および第２のチャンバにそれぞれ露出され、前記ハウジングと前記基板の縁部との間に流体シールが設けられるように前記基板の縁部で前記ハウジングに支持される、請求項６に記載の弁アセンブリ。
【請求項１０】
前記主要ハウジングが、第２の出力ポートに結合されるように構成された第４のチャンバと、低圧排気ポートに結合されるように構成された第５のチャンバとをさらに画定し、
第３の電気信号に応答して、前記第１のチャンバと前記第４のチャンバとの間の流通を許容または実質的に阻止する、前記第１および第４のチャンバ間にある第３の静電駆動式弁と、
第４の電気信号に応答して、前記第４のチャンバと前記第５のチャンバとの間に流通を許容または実質的に阻止する、前記第４および第５のチャンバ間にある第４の静電駆動式弁と、
前記静電駆動式弁のそれぞれに対して、前記第１、第２、第３、および第４の電気信号を発生するように構成されたコントローラとを備える、請求項１に記載の弁アセンブリ。
【請求項１１】
前記静電駆動式弁のそれぞれに対して、前記第１および第２の電気信号を発生するように構成されたコントローラをさらに備える、請求項１に記載の弁アセンブリ。
【請求項１２】
前記コントローラが、第１の動作シーケンスを画定する第１の動作命令と、第２の動作シーケンスを画定する第２の動作命令とでプログラミングされたメモリを備え、前記第１および第２の動作命令の１つが、所与の時間の動作に対して選択される、請求項１１に記載の弁アセンブリ。
【請求項１３】
前記第１の動作命令が、第１の期間中に使用するために選択され、前記第２の動作命令が、第２の期間中に使用するために選択される、請求項１２に記載の弁アセンブリ。
【請求項１４】
前記コントローラが、バッテリー、コンデンサ、燃料電池、放射性同位元素の少なくとも１つから電気エネルギーを使用して、電気信号を発生する、請求項１１に記載の弁アセンブリ。
【請求項１５】
前記コントローラが、再充電可能な電源を備え、前記コントローラが、前記再充電可能な電源から電気エネルギーを使用して前記電気信号を発生する、請求項１１に記載の弁アセンブリ。
【請求項１６】
前記コントローラが、外部電源を使用して前記電気信号を発生する、請求項１１に記載の弁アセンブリ。
【請求項１７】
前記外部電源が、約３ボルトＤＣ〜約４８ボルトＤＣの範囲のＤＣ電源および／または約２４ボルトＡＣ〜約２４０ボルトＡＣの範囲のＡＣ電源を備える、請求項１６に記載の弁アセンブリ。
【請求項１８】
前記コントローラが、電源に直列に結合されたトランジスタと、コイルとを備え、前記トランジスタおよび前記コイルが、前記電源より高い電圧を有する電気信号に電力を発生するように構成される、請求項１１に記載の弁アセンブリ。
【請求項１９】
前記コントローラが、前記電源より高い電圧を有する電気信号に電力を発生するように構成された容量性チャージポンプを備える、請求項１１に記載の弁アセンブリ。
【請求項２０】
前記コントローラが、電源と直列に結合されたトランジスタと、変圧器とを備え、前記トランジスタおよび前記変圧器が、前記電源より高い電圧を有する電気信号に電力を発生するように構成される、請求項１１に記載の弁アセンブリ。
【請求項２１】
前記コントローラが、電源に直列に結合されたトランジスタと、単巻変圧器とを備え、前記トランジスタおよび単巻変圧器が、前記電源より高い電圧を有する電気信号に電力を発生するように構成される、請求項１１に記載の弁アセンブリ。
【請求項２２】
前記コントローラが、光、熱、および／または機械的振動の少なくとも１つを使用して発生した電気エネルギーを使用して、電気信号を発生する、請求項１１に記載の弁アセンブリ。
【請求項２３】
前記コントローラが、前記コントローラに近接した周囲のエネルギー源を使用して発生した電気エネルギーを使用して、電気信号を発生する、請求項１１に記載の弁アセンブリ。
【請求項２４】
前記コントローラが、光、熱、および／または機械的振動の少なくとも１つを使用して電気エネルギーを発生し、前記電気エネルギーが、バッテリー、コンデンサ、および／またはインダクタの少なくとも１つを使用して貯蔵される、請求項２２に記載の弁アセンブリ。
【請求項２５】
前記静電駆動式弁のそれぞれに電気信号を発生するように構成されたコントローラをさらに備え、前記コントローラが、第１の動作シーケンスを画定する第１の動作命令でプログラミングされるように構成され、第２の動作シーケンスを画定する第２の動作命令で再プログラミングされるように構成されたメモリを備える、請求項１に記載の弁アセンブリ。
【請求項２６】
前記静電駆動式弁のそれぞれに電気信号を発生するように構成されたコントローラをさらに備え、前記コントローラが、前記第１の静電駆動式弁を作動させるように前記第１の電気信号として第１の電位を印加することによって、前記第１のチャンバおよび前記第２のチャンバ間の流通を実質的に阻止し、前記第１の電気信号として前記第１の電位を除去し、前記第１の電位を除去した後、前記第１の静電駆動式弁を作動させるように前記第１の電気信号として第２の電位を印加することによって、逆の極性を有する第１のチャンバと第２のチャンバとの間の流通を実質的に阻止するように構成される、請求項１に記載の弁アセンブリ。
【請求項２７】
前記第１の静電駆動式弁が、静電駆動式弁部材をその上に有する基板を備え、
前記静電駆動式弁のそれぞれに電気信号を発生するように構成されたコントローラをさらに備え、前記コントローラが、前記基板により密接に隣接した位置に前記弁部材を作動するために、前記弁部材が前記基板から間隔を置いて設けられる場合、前記第１の電気信号として第１の大きさを有する第１の電位を印加し、前記基板により密接に隣接した位置に前記弁部材を作動した後、前記基板により密接に隣接した位置に前記弁部材を維持するために、前記第１の電気信号として第２の大きさを有する第２の電位を印加するように構成され、前記第１の大きさが、前記第２の大きさより大きい、請求項１に記載の弁アセンブリ。
【請求項２８】
前記第１および第２の静電駆動式弁が、同じ基板上に設けられる、請求項１に記載の弁アセンブリ。
【請求項２９】
前記第１および第２の静電駆動式弁が、第１および第２の基板上のそれぞれに設けられる、請求項１に記載の弁アセンブリ。
【請求項３０】
前記第１の基板と前記第２の基板とが間隔を置いて設けられる、請求項２９に記載の弁アセンブリ。
【請求項３１】
前記第１の基板と前記第２の基板とが異なる面に配置される、請求項３０に記載の弁アセンブリ。
【請求項３２】
前記第１および第２の基板が、平行ではない配置に設けられる、請求項２９に記載の弁アセンブリ。
【請求項３３】
前記第２のチャンバの圧力を測定するように構成された圧力センサと、
前記圧力センサと前記第１および第２の静電駆動式弁とに結合されたコントローラとをさらに備え、前記コントローラが、前記第２のチャンバにおいて測定された圧力に応答して、前記第２のチャンバの圧力を維持するために、前記静電駆動式弁のそれぞれに対して前記第１および第２の電気信号を発生するように構成される、請求項１に記載の弁アセンブリ。
【請求項３４】
中央キャビティと、前記中央キャビティに結合された供給およびアクチュエータポートとを画定し、前記中央キャビティにスプールを備える本体を備えるスプールタイプ弁をさらに備え、前記スプールの第１の位置において、前記供給およびアクチュエータポート間に流通が与えられ、前記スプールの第２の位置において、前記供給およびアクチュエータポート間の流通が実質的に阻止されるように、前記中央キャビティにおいて第１および第２の位置の間で前記スプールが移動可能であり、前記キャビティの一端部が、前記第２のチャンバと流通状態にあり、
前記第１および第２の静電駆動式弁に結合されたコントローラをさらに備え、前記コントローラが、前記第１および第２の位置の間でスプールの移動を制御するために、前記静電駆動式弁のそれぞれに対して前記第１および第２の電気信号を発生するように構成される、請求項１に記載の弁アセンブリ。
【請求項３５】
アクチュエータハウジングと該アクチュエータハウジング内の可動ピストンとを備える空気圧式アクチュエータであって、前記可動ピストンは前記アクチュエータハウジングの第１のアクチュエータチャンバと第２のアクチュエータチャンバとを隔て、前記出力ポートは、前記主要なハウジングの前記第２のチャンバと前記第１のアクチュエータチャンバとの間に流体結合を与える、空気圧式アクチュエータと、
前記第１および第２の静電駆動式弁に結合され、前記ピストンの移動を制御するために、前記静電駆動式弁のそれぞれに対して前記第１および第２の電気信号を発生するように構成されるコントローラと
をさらに備える、請求項１に記載の弁アセンブリ。
【請求項３６】
高圧供給チャンバおよび低圧出力チャンバを備える本体と、
前記高圧供給チャンバと前記低圧出力チャンバとを分離し、前記高圧供給チャンバと対面する第１の側と、前記低圧出力チャンバと対面する第２の側と、第１の側と第２の側間の孔と、前記孔に関連付けられ、印加された電気信号に応答して前記孔を開口または実質的に閉じるように構成された静電駆動式弁部材とを備える弁チップと、
前記弁チップを通る質量流量を維持するために、前記弁部材の開閉を制御するように構成されたコントローラとを備える、質量流量コントローラ。
【請求項３７】
前記弁部材が、可撓性弁フラップを備える、請求項３６に記載の質量流量コントローラ。
【請求項３８】
前記コントローラが、第１の区間中に少なくとも１つの弁部材の開閉の０％より大きく１００％より小さい第１のデューティーサイクルを与え、第２の区間中に少なくとも１つの弁部材の開閉の０％より大きく１００％より小さい第２のデューティーサイクルを与えるように構成され、前記第１および第２のデューティーサイクルが異なる、請求項３６に記載の質量流量コントローラ。
【請求項３９】
前記弁チップが、前記第１の区間中により低い流れ抵抗を与えるように、前記第１のデューティーサイクルが、前記第２のデューティーサイクルより大きい、請求項３８に記載の質量流量コントローラ。
【請求項４０】
前記弁チップが、複数の孔およびそれぞれの弁部材を備え、前記コントローラが、第１の区間中に第１の数の弁部材を与え、第２の区間中に第２の数の弁部材を与えるように構成され、前記第１および第２の数の弁部材が異なるものである、請求項３６に記載の質量流量コントローラ。
【請求項４１】
前記コントローラが、前記第１の区間中に前記弁部材の全てに第１の電圧を与え、前記第２の区間中に前記弁部材の全ての第２の電圧を与えるように構成され、前記第１および第２の電圧が異なるものである、請求項４０に記載の質量流量コントローラ。
【請求項４２】
前記弁チップが、前記第１の区間中により低い流れ抵抗を与えるように、前記第１の数の開いた弁部材が、前記第２の数の開いた弁部材より多い、請求項４０に記載の質量流量コントローラ。
【請求項４３】
前記コントローラが、前記部材を閉じるために第１の電圧を与え、第１の位置へ前記弁部材を開くために第２の電圧を与え、第２の位置へ前記弁部材を開くために第３の電圧を与えるように構成されることで、第２の位置にある前記弁部材が、第１の位置にある前記弁部材より低い流れ抵抗を与え、前記第１の電圧が、前記第２の電圧より大きく、前記第２の電圧が、前記第３の電圧より大きい、請求項３６に記載の質量流量コントローラ。
【請求項４４】
前記高圧供給チャンバの状態を測定するように構成された第１のセンサと、前記低圧出力チャンバの状態を測定するように構成された第２のセンサとをさらに備え、前記コントローラが、前記第１および第２のセンサからの測定値に応答して、前記弁部材のそれぞれの開閉を制御するように構成される、請求項３６に記載の質量流量コントローラ。
【請求項４５】
前記第１および第２のセンサの各々が、それぞれの温度および／または圧力の少なくとも１つを測定するように構成される、請求項４４に記載の質量流量コントローラ。
【請求項４６】
孔を有する基板と、前記基板の孔に関連付けられ、印加される電気信号に応答して、前記孔を開き、または実質的に閉じるように構成された静電駆動式弁部材とを備える静電弁の制御方法であって、
前記弁が、第１の区間中に第１の流れ抵抗を与え、第２の区間中に第２の流れ抵抗を与え、第３の区間中に第３の流れ抵抗を与えるように、前記静電駆動式弁部材を開閉するステップを含み、前記第１、第２、および第３の抵抗が異なる、方法。
【請求項４７】
前記弁部材が、可撓性弁フラップを備える、請求項４６に記載の方法。
【請求項４８】
前記静電駆動式弁部材の開閉ステップが、
前記第１の区間中に前記弁部材の開閉の０％より大きく１００％より小さい第１のデューティーサイクルを与えるステップと、
前記第２の区間中に前記弁部材の開閉の０％より大きく１００％より小さい第２のデューティーサイクルを与えるステップとを含み、前記第１および第２のデューティーサイクルが異なる、請求項４６に記載の方法。
【請求項４９】
前記弁チップが、前記第１の区間中により低い流れ抵抗を与えるように、前記第１のデューティーサイクルが、前記第２のデューティーサイクルより大きい、請求項４８に記載の方法。
【請求項５０】
前記第１の流れ抵抗を与えるステップが、前記弁部材に第１の電圧を与えるステップを含み、前記第２の流れ抵抗を与えるステップが、前記弁部材に第２の電圧を与えるステップを含み、前記第３の流れ抵抗を与えるステップが、前記弁部材に第３の電圧を与えるステップを含み、前記第１、第２、第３の電圧が異なるものである、請求項４３に記載の方法。
【請求項５１】
前記基板が、複数の孔と、それぞれの複数の弁部材とを有し、前記複数の静電駆動式弁部材の開閉を変調するステップが、
前記第１の区間中に第１の数の開いた弁部材を与えるステップと、
前記第２の区間中に第２の数の開いた弁部材を与えるステップとを含み、前記第１および第２の数の弁部材が異なるものである、請求項４６に記載の方法。
【請求項５２】
前記第１の数の開いた弁部材を与えるステップが、前記第１の区間中に前記複数の弁部材の第１の電圧を与えるステップを含み、前記第２の数の開いた弁部材を与えるステップが、前記第２の区間中に前記複数の弁部材に第２の電圧を与えるステップを含み、前記第１および第２の電圧が異なるものである、請求項５１に記載の方法。
【請求項５３】
前記弁チップが、前記第１の区間中により低い流れ抵抗を与えるように、前記第１の数の開いた弁部材が、前記第２の数の開いた弁部材より多い、請求項５１に記載の方法。
【請求項５４】
前記基板の少なくとも１つの側の状態を測定するステップをさらに含み、前記静電駆動式弁部材の開閉を変調するステップが、前記測定状態に応答して、前記静電駆動式弁部材の開閉を変調するステップを含む、請求項４６に記載の方法。
【請求項５５】
前記測定状態が、温度および／または圧力の少なくとも１つを含む、請求項５４に記載の方法。
【請求項５６】
前記静電駆動式弁部材の開閉ステップが、前記弁を通る質量流量を維持するステップを含む、請求項５４に記載の方法。
【請求項５７】
基板上にある固定電極と、可撓性電極を有する可撓性部材とを備える静電駆動式デバイスの動作方法であって、
前記可撓性部材を作動させるために、前記固定および可撓性電極間に第１の電位を印加するステップと、
前記第１の電位を印加した後、前記固定および可撓性電極間の電位を除去するステップと、
電位を除去した後、前記固定および可撓性電極間に第２の電位を印加するステップとを含み、前記第１および第２の電位が、逆の極性を有する、方法。
【請求項５８】
基板上にある固定電極と、可撓性電極を有する可撓性部材とを備える静電駆動式デバイスの動作方法であって、
前記基板により密接に隣接した位置に前記可撓性部材を作動させるために、前記可撓性部材が前記基板から間隔を置いて設けられるとき、前記固定および可撓性電極間に第１の大きさを有する第１の電位を印加するステップと、
前記基板により密接に隣接した位置に前記可撓性部材を作動した後、前記基板により密接して隣接した位置に前記可撓性部材を維持するために、前記固定および可撓性電極間に第２の大きさを有する第２の電位を印加するステップとを含み、前記第１の大きさが、前記第２の大きさより大きい、方法。
【請求項５９】
少なくとも３つのチャンバ、すなわち、高圧供給ポートに結合されるように構成された第１のチャンバと、出力ポートに結合されるように構成された第２のチャンバと、低圧排気ポートに結合されるように構成された第３のチャンバとを画定する主要ハウジングと、
前記第１および第２のチャンバ間にあり、第１の電気信号に応答して、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの間の流通を許容または実質的に阻止する第１のフォトリソグラフィ作製弁と、
前記第２および第３のチャンバ間にあり、第２の電気信号に応答して、前記第２のチャンバと前記第３のチャンバとの間の流通を許容または実質的に阻止する第２のフォトリソグラフィ作製弁とを備える、弁アセンブリ。
【請求項６０】
前記第１のフォトリソグラフィ作製弁が、前記基板を貫通する少なくとも１つの孔を有する、ガラス、シリコン、および／または石英の少なくとも１つの基板を備える、請求項５９に記載の弁アセンブリ。
【請求項６１】
前記第１のフォトリソグラフィ作製弁が、前記基板を貫通する少なくとも１つの孔に隣接した少なくとも１つの静電駆動式弁部材を備える、請求項６０に記載の弁アセンブリ。
【請求項６２】
前記弁部材が、可撓性弁フラップを備える、請求項６１に記載の弁アセンブリ。
【請求項６３】
少なくとも３つのチャンバ、すなわち、高圧供給ポートに結合されるように構成された第１のチャンバと、出力ポートに結合されるように構成された第２のチャンバと、低圧排気ポートに結合されるように構成された第３のチャンバとを画定する主要ハウジングを形成するステップと、
第１の弁が第１の電気信号に応答して、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの間の流通を許容または実質的に阻止するように、該第１の弁を、前記第１および第２のチャンバ間に設置するステップと、
第２の電気信号に応答して、前記第２のチャンバと前記第３のチャンバとの間の流通を許容または実質的に阻止する第２の弁を、前記第２および第３のチャンバ間に設置するステップとを含む、方法。
【請求項６４】
前記第１の弁が、前記第１の基板上にフォトリソグラフィ形成され、前記第２の弁が、前記第２の基板上にフォトリソグラフィ形成される、請求項６３に記載の方法。
【請求項６５】
前記第１の基板が、ガラス、シリコン、および／または石英の少なくとも１つを含み、前記第１の基板が、前記基板を貫通する少なくとも１つの孔を備える、請求項６３に記載の方法。
【請求項６６】
前記第１の弁のフォトリソグラフィ形成ステップが、前記基板を貫通する少なくとも１つの孔に隣接して少なくとも１つの静電駆動式弁部材を形成するステップを含む、請求項６５に記載の方法。
【請求項６７】
前記少なくとも１つの静電駆動式弁部材が、少なくとも１つの可撓性弁フラップを含む、請求項６６に記載の方法。
【請求項６８】
前記主要ハウジングの形成ステップが、前記主要ハウジングを成形するステップを含む、請求項６３に記載の方法。