【手続補正書】
【提出日】平成20年4月10日(2008.4.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ）シャフトと、
ｂ）ハウジングと、
ｃ）前記シャフトに向かい半径方向に偏倚されると共に、前記ハウジングに対して装着される複数のシール部材であって、該シール部材のうちの少なくとも１つは、前記シャフトと接触しない第１の位置と、前記シャフトに封止接触する第２の位置とをとるように配置されている複数のシール部材とを備えるシールアセンブリにおいて、
ｄ）前記少なくとも１つのシール部材の前記第１の位置は、前記シャフトと接触しない先行装着状態であり、前記第２の位置は前記シャフトに封止接触する装着状態であり、
ｅ）前記シャフトと軸方向に整列すると共に、前記シャフトと先行装着状態にある前記少なくとも１つのシール部材との間に介在する隙間スペースを画成するバリヤ部材であって、前記シャフトに対して移動可能に装着されたバリヤ部材が設けられ、
前記シャフトに対する前記バリヤ部材の移動に応じて、前記少なくとも１つのシール部材を前記先行装着状態から前記装着状態に配備して、前記少なくとも１つのシール部材と前記シャフトとの間の封止接触が行われるようになっていることを特徴とする、シールアセンブリ。
【請求項２】
前記シャフトは、これに固着された同心のスリーブを含んでいることをさらに特徴とする、請求項１に記載のシールアセンブリ。
【請求項３】
前記バリヤ部材は、前記シャフトを囲んで同心に装着されたバリヤスリーブを備えていることをさらに特徴とする、請求項１又は２に記載のシールアセンブリ。
【請求項４】
前記複数のシール部材は弾性があることをさらに特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載のシールアセンブリ。
【請求項５】
前記複数の弾性シール部材がリップシールであることをさらに特徴とする、請求項１に記載のシールアセンブリ。
【請求項６】
前記複数のシール部材は、ガータスプリングによって前記シャフトに向かい半径方向に偏倚されるパッキングリングであることをさらに特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載のシールアセンブリ。
【請求項７】
前記パッキンリングは、鋳鉄、炭素又は炭素とテフロンとの化合物から作製されていることをさらに特徴とする、請求項６に記載のシールアセンブリ。
【請求項８】
前記シャフトは回転可能であり、前記バリヤ部材は、その移動を前記シャフトの回転を中断することなく行うことができるように前記シャフトに対して装着されていることをさらに特徴とする、請求項１から７のいずれかに記載のシールアセンブリ。
【請求項９】
前記バリヤ部材は、前記シャフトに対して軸方向の移動が可能に装着されていることをさらに特徴とする、請求項１から８のいずれかに記載のシールアセンブリ。
【請求項１０】
前記複数のシール部材は、先行装着状態及び装着状態をとるように構成された第１及び第２のシール部材を含み、該第１及び第２のシール部材は、前記シャフトに対する前記バリヤ部材の軸方向移動に応じて前記先行装着状態から前記装着状態に順繰りに配備可能であることをさらに特徴とする、請求項９に記載のシールアセンブリ。
【請求項１１】
前記第２のシール部材は、前記シャフトとの封止接触を維持するように、前記第１のシール部材の破損に応答して前記シャフトとの封止接触の配備が可能となっていることをさらに特徴とする、請求項１０に記載のシールアセンブリ。
【請求項１２】
少なくとも１つの追加のシール部材が、前記第１及び第２のシール部材の後に前記シャフトに対する前記バリヤ部材の軸方向移動に応じて先行装着状態から装着状態へ配備可能となるように構成されていることをさらに特徴とする、請求項１０又は１１に記載のシールアセンブリ。
【請求項１３】
前記シャフトに対する前記バリヤ部材の移動を行うための機構を設けることをさらに特徴とする、請求項１から１２のいずれかに記載のシールアセンブリ。
【請求項１４】
前記機構の移動は、モータ、流体駆動のピストン、ポンプ、弁、レギュレータ、及びコンプレッサの任意の組合せによって行われていることをさらに特徴とする、請求項１３に記載のシールアセンブリ。
【請求項１５】
漏洩検出器を設け、前記機構は、破損を検知する前記漏洩検出器に応答して前記バリヤ部材を自動的に移動させるようにしていることをさらに特徴とする、請求項１３又は１４に記載のシールアセンブリ。
【請求項１６】
前記機構は、前記シャフトに対する前記バリヤ部材の軸方向移動を制限していることをさらに特徴とする、請求項９から１５のいずれかに記載のシールアセンブリ。
【請求項１７】
前記機構は、前記バリヤ部材の軸方向移動について少なくとも１つの所定増分を規定していることをさらに特徴とする、請求項９から１６のいずれかに記載のシールアセンブリ。
【請求項１８】
前記少なくとも１つの所定増分は、前記先行装着状態から前記装着状態への前記少なくとも１つのシール部材の配備に対応している、請求項１７に記載のシールアセンブリ。
【請求項１９】
前記少なくとも１つの所定増分は、移動止め機構により規定されている、請求項１７又は１８に記載のシールアセンブリ。
【請求項２０】
前記バリヤ部材は、その軸に沿って少なくとも１つの破壊帯を含むことをさらに特徴とする、請求項３から１９のいずれかに記載のシールアセンブリ。
【請求項２１】
前記複数のシール部材及び前記バリヤ部材はハウジング内に位置し、前記シャフトは少なくとも部分的に前記ハウジング内に装着されていることをさらに特徴とする、請求項９から２０のいずれかに記載のシールアセンブリ。
【請求項２２】
前記第１及び第２のシール部材間に、少なくとも部分的に位置する流体チャネルを設けていることをさらに特徴とする、請求項１０から２１のいずれかに記載のシールアセンブリ。
【請求項２３】
前記流体チャネルは、洗浄流体、冷却流体、潤滑流体、バリヤ流体及びそれらの組合せからなるグ群から選択される流体を供給するように構成されて寸法決めされていることをさらに特徴とする、請求項２２に記載のシールアセンブリ。
【請求項２４】
ハウジング内に装着されたシャフトを相手にして封止を行う方法であって、
ａ）前記ハウジングに対して装着された複数のシール部材を含むシールアセンブリを設けるステップと、
ｂ）前記シャフトに向かい前記シール部材を半径方向に偏倚するステップとを含む方法において、
ｃ）前記シャフトに軸方向に整列し、前記シャフトに対して軸方向に移動可能に装着されるバリヤ部材であって、前記シャフトと前記シール部材の少なくとも１つとの間に介在しているバリヤ部材を設けて、前記少なくとも１つのシール部材を前記シャフトと接触しない先行装着状態に配置するステップと、
ｄ）前記シール部材の前記少なくとも１つを解放するのに十分な距離だけ前記バリヤ部材を前記シャフトに対して軸方向に移動させるステップとを含み、
それにより前記シール部材の前記少なくとも１つを、前記シャフトとの封止係合状態にある装着状態に移動させることを特徴とする、方法。
【請求項２５】
ａ）前記バリヤ部材は、前記シャフトと第１及び第２のシール部材との間に介在しており、
ｂ）前記第１及び第２のシール部材を順繰りに解放するのに十分な距離だけ前記バリヤ部材を前記シャフトに対して軸方向に移動させ、
それにより前記第１及び第２のシール部材を、前記シャフトとの封止係合状態に順繰りに移動させることをさらに特徴とする、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記バリヤ部材は、チャンバに加圧流体を導入することによって、前記シャフトに対して軸方向に移動することをさらに特徴とする、請求項２４又は２５に記載の方法。
【請求項２７】
漏洩検出器と、破損を検知する前記漏洩検出器に応答して前記バリヤ部材の前記軸方向移動を自動的に行うようにしている機構を設けることをさらに特徴とする、請求項２４から２６のいずれかに記載の方法。
【請求項２８】
前記シャフトは、前記定ハウジングに対して移動可能であり、前記シャフトに対する前記バリヤ部材の前記移動は、シャフトの回転を中断することなく行われることをさらに特徴とする、請求項２４から２７のいずれかに記載の方法。