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【手続補正書】
【提出日】平成19年4月13日(2007.4.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相手側の無線通信装置と指向性を有する無線通信を行う指向性無線通信部と、
近距離通信用の通信用識別情報を用いて前記相手側無線通信装置と近距離無線通信を行う近距離無線通信部と、
前記指向性無線通信部と前記近距離無線通信部とを制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記相手側無線通信装置と指向性無線通信路を確立するための手段と、
前記指向性無線通信路を介して前記相手側無線通信装置へ前記通信用識別情報を送信するための手段と、
前記相手側無線通信装置から前記指向性無線通信路を介して相手側通信用識別情報を受信した場合に、前記相手側通信用識別情報を記憶する手段と、
前記近距離無線通信の接続要求を受けた場合に、前記近距離無線通信接続要求を行った無線通信装置の通信用識別情報と前記記憶された通信用識別情報とを比較して、近距離無線通信接続要求の許可を判断する手段と、
を有する無線通信装置。
【請求項２】
相手側の無線通信装置と指向性を有する無線通信を行う指向性無線通信部と、
近距離通信用の通信用識別情報を用いて前記相手側無線通信装置と近距離無線通信を行う近距離無線通信部と、
前記指向性無線通信部と前記近距離無線通信部とを制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記相手側無線通信装置と指向性無線通信路を確立するための手段と、
前記指向性無線通信路を介して前記相手側無線通信装置へ前記通信用識別情報を送信するための手段と、
前記相手側無線通信装置から前記指向性無線通信路を介して相手側通信用識別情報を受信した場合に、前記相手側通信用識別情報を記憶する手段と、
前記近距離無線通信の接続要求をする場合に、前記相手側無線通信装置から前記指向性無線通信路を介して受けた相手側通信用識別情報を用いて、近距離無線通信接続要求を行う手段と、
を有する無線通信装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の無線通信装置であって、
前記制御部は、
前記指向性無線通信路を介して前記相手側無線通信装置から近距離無線通信用の認証情報を受信した場合に、前記認証情報を記憶する手段と、
前記認証情報を用いて近距離無線通信の認証を行う手段と、
をさらに有する無線通信装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項記載の無線通信装置であって、
前記制御部は、
前記相手側無線通信装置と近距離無線通信を行うための認証情報を生成する手段と、
前記指向性無線通信路を介して前記相手側無線通信装置へ近距離無線通信用の認証情報を送信するための手段と、
前記認証情報を用いて近距離無線通信の認証を行う手段と、
をさらに有する無線通信装置。
【請求項５】
請求項３または４記載の無線通信装置であって、
前記認証情報は、認証を行うときに、認証を行う無線通信装置それぞれに同一のものが要求される情報である無線通信装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項記載の無線通信装置であって、
前記通信用識別情報は、前記近距離無線通信部に固有に割当てられた情報である無線通信装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか一項記載の無線通信装置であって、前記近距離無線通信は、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）または無線ＬＡＮであり、所定の範囲内で通信可能である無線通信装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか一項記載の無線通信装置であって、前記指向性無線通信は、赤外線通信、可視光線通信および非接触通信のうち、いずれか一つを利用して１対１の通信を行うものである無線通信装置。
【請求項９】
相手側の無線通信装置と指向性を有する通信を行うための指向性無線通信路を確立するステップと、
前記指向性無線通信路を介して前記相手側無線通信装置へ近距離無線通信用の通信用識別情報を送信するステップと、
前記相手側無線通信装置から前記指向性無線通信路を介して相手側通信用識別情報を受信するステップと、
前記受信した相手側通信用識別情報を記憶するステップと、
前記近距離無線通信の接続要求を受けた場合に、前記近距離無線通信接続要求を行った無線通信装置の通信用識別情報と前記記憶した通信用識別情報とを比較して、近距離無線通信接続要求の許可を判断するステップと、
を備える無線通信方法。
【請求項１０】
相手側の無線通信装置と指向性を有する通信を行うための指向性無線通信路を確立するステップと、
前記指向性無線通信路を介して前記相手側無線通信装置へ近距離無線通信用の通信用識別情報を送信するステップと、
前記相手側無線通信装置から前記指向性無線通信路を介して相手側通信用識別情報を受信するステップと、
前記受信した相手側通信用識別情報を記憶するステップと、
前記近距離無線通信の接続要求をする場合に、前記相手側無線通信装置から前記指向性無線通信路を介して受けた相手側通信用識別情報を用いて、近距離無線通信接続要求を行うステップと、
を備える無線通信方法。
【請求項１１】
請求項９または１０記載の無線通信方法であって、
前記指向性無線通信路を介して前記相手側無線通信装置から近距離無線通信用の認証情報を受信するステップと、
前記認証情報を記憶するステップと、
前記近距離無線通信接続要求を許可する判断がなされた場合に、前記相手側無線通信装置との近距離無線通信の通信路を確立するステップと、
前記認証情報を用いて、前記近距離無線通信路を介して近距離無線通信の認証を行うステップと、
をさらに備える無線通信方法。
【請求項１２】
請求項９ないし１１のいずれか一項記載の無線通信方法であって、
前記相手側無線通信装置と近距離無線通信を行うための認証情報を生成するステップと、
前記指向性無線通信路を介して前記相手側無線通信装置へ近距離無線通信用の認証情報を送信するステップと、
前記認証情報を用いて近距離無線通信の認証を行うステップと、
をさらに備える無線通信方法。
【請求項１３】
請求項１１または１２記載の無線通信方法であって、前記認証情報は、認証を行うときに、認証を行う無線通信装置それぞれに要求される同一の情報である無線通信方法。
【請求項１４】
請求項９ないし１３のいずれか一項記載の無線通信方法であって、前記通信用識別情報は、前記近距離無線通信部に固有に割当てられた情報である無線通信方法。
【請求項１５】
請求項９ないし１４のいずれか一項記載の無線通信方法であって、前記認証情報は、認証を行うときに、認証を行う無線通信装置それぞれに要求される同一の情報である無線通信方法。
【請求項１６】
請求項９ないし１５のいずれか一項記載の無線通信方法であって、前記近距離無線通信は、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）または無線ＬＡＮであり、所定の範囲内で通信可能である無線通信方法。
【請求項１７】
請求項９ないし１６のいずれか一項記載の無線通信方法であって、前記指向性無線通信は、赤外線通信、可視光線通信および非接触通信のうち、いずれか一つを利用して１対１の通信を行うものである無線通信方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月6日(2007.4.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
１０６はドライブユニット１０２に搭載された機能スイッチＡである。機能スイッチＡ１０６には、レンズを用いた撮影に関わる様々な機能の中からひとつをこの機能スイッチＡ１０６に割り当てることが可能である。例えば、プリセット機能をこのスイッチに割り当てると、カメラマンは後述するメモリースイッチ１０８と同時に機能スイッチＡ１０６を押すことで現在のズーム位置が記憶できる。その後ズームがいかなる位置にある場合でも、この機能スイッチＡ１０６を押すことで、ズームを記憶した位置に戻すことができる。また、１０７はドライブユニット１０２に搭載された機能スイッチＢである。機能スイッチＢ１０７には、レンズの撮影に関わる様々な機能の中から一つをこの機能スイッチＢ１０７にも割り当てることが可能である。例えば、スイッチを押すことでズームが往復動作する機能をこのスイッチに割り当てると、カメラマンは機能スイッチＢを押し続けるとレンズは望遠端までズーミングし、深度の浅い望遠端でフォーカス合わせをした後で機能スイッチＢから手を離すと元のズーム位置に戻すことができ、ピントの合わせのアシスト機能として利用することができる。これらの機能スイッチは、カメラマンがレンズをマニュアル操作する際に、スイッチを誤操作して突然ズームが動き出すことのないように、機能スイッチＡあるいは機能スイッチＢを押しても、機能することにないように設定することも可能である。１０８は現在のズーム位置、速度、方向などを記憶する際に使用するメモリースイッチである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
図４において、３０１は焦点調整を行うフォーカスレンズ光学系、３０２はフォーカスレンズ光学系３０１を駆動するフォーカスモータである。３０３はフォーカスレンズ光学系３０１の位置に応じた位置信号を出力するフォーカス位置検出手段、３０４はフォーカスレンズ光学系３０１を制御するフォーカス制御手段である。３０５は変倍調節を行う光学素子としてのズームレンズ光学系、３０６はズームレンズ光学系３０５を駆動するズームモータである。３０７はズームレンズ光学系３０５の位置に応じた位置信号を出力するズーム位置検出手段、３０８はズームレンズ光学系３０５を制御するズーム制御手段である。３０９は絞り調節を行うアイリス羽根、３１０はアイリス羽根３０９を駆動するアイリスモータ、３１１はアイリス羽根３０９の位置に応じた位置信号を出力するアイリス位置検出手段、３１２はアイリス羽根３０９を制御するアイリス制御手段である。３１３は焦点距離を１．５倍や２．０倍などに変更するエクステンダー光学系、３１４はエクステンダー光学系３１３を駆動するエクステンダーモータである。３１５はエクステンダー光学系３１３の位置に応じた位置信号を出力するエクステンダー位置検出手段、３１６はエクステンダー光学系３１３を制御するエクステンダー制御手段である。３１７は本実施例の制御部分を司るＣＰＵ、１０９はドライブユニット１０２の背面に設けた液晶による表示パネルである。１１１はレンズの撮影に関わる様々な機能を設定するための機能設定スイッチ、３１８はレンズの撮影に関わる様々な機能及び特性を記憶させる記憶手段である。３１９はドライブユニット１０２に取付けられた各種スイッチ通信手段、３２０はレンズ外部とのデータ通信手段、３２１は各種デマンドとの通信手段、３２２はテレビカメラとの通信手段である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
図５に記憶手段３１８の内部構造を示す。記憶手段３１８を図５のように４００、４０１、４０２，４０３から４０９と複数のユーザー領域に分割し、それぞれのユーザー領域に６つの機能設定領域を割り当てている。４１０はドライブユニット１０２に取付けられた各種スイッチの機能割り当て情報記憶領域、４１１はプリセット動作特性情報記憶領域、４１２はアイリス動作特性情報記憶領域、４１３はズーム特性情報記憶領域、４１４はフォーカス特性情報記憶領域、４１５は各機能の設定を変更不可とする設定変更不可モード時に使用するパスワードを記憶するパスワード記憶領域である。４１０から４１５の６つの機能設定領域は表示パネル１０９と機能設定スイッチ１１０を使用して４０１から４０９のユーザー領域毎に個別に設定可能となっている。ここで４００のユーザー領域のみデフォルト設定情報として書換え不可能なユーザー領域としているため、４００のユーザー領域のみ、パスワード記憶領域が存在しない。つまり、ユーザー領域４００は初期設定値が蓄積（記憶）された初期設定データであり、ユーザー領域４０１から４０９は初期設定データであるユーザー領域４００のデータを引き出して、これを基に書き換えたユーザー設定値が蓄積（記憶）されたユーザー設定データである。このようにユーザー設定データはユーザ領域４０１から４０９に複数有している（記憶されている）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本実施例１では、ＴＶレンズの撮影に関わる各機能の設定情報を、パスワードを入力しなければ変更できないようにしたが、例えば、機能スイッチＡおよび機能スイッチＢを同時に３秒以上長押しするなど、通常の撮影行為では行わないような特別な操作を行うことにより、設定変更不可モードを切換える構成としても良い。
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月5日(2007.4.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基地局に端末毎の属性情報を記憶する管理テーブルを備えて、
上記基地局は、上記端末との上記属性情報を更新すると、上記管理テーブルに新しい属性情報として記憶するステップと、
上記基地局は、アドホックネットワークを形成する状況になると、上記管理テーブルに記憶した上記属性情報を参照して端末を指定して関門端末に移行を指示するステップと、
上記基地局が、上記指定した端末から肯定受信をすると、上記管理テーブルを参照して他の指定端末に上記アドホックネットワークに移行指示するステップ、とを備えて、
上記基地局は、上記アドホックネットワークを形成する状況を満足するまで、上記関門端末に移行を指示するステップから他の指定端末に上記アドホックネットワークに移行指示するステップ、を繰返すようにしたことを特徴とするアドホックネットワーク形成指示方法。
【請求項２】
属性情報として通信品質、位置情報、要求帯域のうちの少なくともいずれかの所定情報を用い、基地局が行う他の指定端末に対するアドホックネットワークに移行指示するステップは、上記所定情報に基づいて移行指示するステップとしたことを特徴とする請求項１記載のアドホックネットワーク形成指示方法。
【請求項３】
基地局が、上記アドホックネットワークを形成する状況が満足されたとするのは、
所望の数の端末が上記アドホックネットワークに接続されるか、または基地局が管理するエリアの総干渉電力が所定値以下になった場合であることを特徴とする請求項１記載のアドホックネットワーク形成指示方法。
【請求項４】
基地局からアドホックネットワークへ移行指示を受けた他の指定端末は、所望のスループットを満足するか、所望の通信品質を満足するか、所望の消費電力以下であるかの、いずれかである場合に上記アドホックネットワークへ移行するようにしたことを特徴とする請求項１記載のアドホックネットワーク形成指示方法。
【請求項５】
基地局は、関門端末に指定した以外の指定端末に上記アドホックネットワークに移行指示する方法として、放送形式の報知情報を用いて上記関門端末に指定した以外の端末の参加を待つようにしたことを特徴とする請求項１記載のアドホックネットワーク形成指示方法。
【請求項６】
端末毎に通信のための属性情報を記憶する管理テーブルを備えて、
アドホックネットワークを形成する関門端末を設定して、上記いずれかの端末の上記管理テーブルに記憶する属性情報が所定の制限値を超えると、該制限値以下になるよう上記管理テーブルを参照して、指定した端末が上記関門端末となるよう移行指示し、
他の指定の端末に対して上記関門端末に接続するアドホックネットワークを形成するよう指示する機能を持つアドホックネットワーク形成指示基地局。
【請求項７】
基地局は、いずれかの端末の管理テーブルに記憶する属性情報が所定の制限値を超える条件に代えて、通信状態がシステムとして所望の値以下になることを条件として、上記管理テーブルを参照して指定した端末が関門端末に移行するよう指示する機能を持つことを特徴とする請求項６記載のアドホックネットワーク形成指示基地局。
【請求項８】
管理テーブルは、属性情報として通信品質、位置情報、要求帯域の少なくともいずれかを用い、
基地局は、上記通信品質、位置情報、要求帯域のうちの少なくとも１つの属性情報に基づいて関門端末以外の端末を選択してアドホックネットワークを形成するよう指示することを特徴とする請求項６記載のアドホックネットワーク形成指示基地局。
【請求項９】
基地局は、関門端末に指定した以外の指定端末にアドホックネットワークに移行指示する際に、放送形式の報知情報を用いて上記関門端末に指定した以外の端末の参加を待つようにしたことを特徴とする請求項６記載のアドホックネットワーク形成指示基地局。
【請求項１０】
端末毎に通信のための属性情報を記憶する管理テーブルを備えて、上記いずれかの端末の上記管理テーブルに記憶する属性情報が所定の制限値を超えると、該制限値以下になるよう、または通信状態がシステムとして所望の値以下になるよう、上記管理テーブルを参照して指定した端末が関門端末に移行するよう指示し、他の指定の端末に対して上記関門端末に接続するアドホックネットワークを形成するよう指示する機能を持つ基地局と、
上記基地局からの指示を受けて、通信が可能な状態であると、関門端末に移行する指定端末と、
上記基地局からの指示を受けて、所望のスループットを満足するか、または所望の通信品質を満足するか、または所望の消費電力以下であるかの、いずれかである場合に上記アドホックネットワークへ移行参加する参加端末、とで構成されることを特徴とするアドホックネットワーク形成指示システム。
【請求項１１】
端末は、基地局が記憶する管理テーブルの属性情報として、通信品質、位置情報、要求帯域のいずれかを測定して基地局に通知するステップ、を備えたことを特徴とする請求項１記載のアドホックネットワーク形成指示方法。
【請求項１２】
請求項６のアドホックネットワーク形成指示基地局に対して、上記アドホックネットワーク形成指示基地局が記憶する管理テーブルの属性情報の一つとして通信品質、位置情報、要求帯域のいずれかを測定して、上記アドホックネットワーク形成指示基地局に通知することを特徴とする移動通信端末。
【請求項１３】
アドホックネットワーク形成指示基地局からの関門端末への移行指示に対して該移行を受ける場合は、肯定（ＡＣＫ）応答を行うことを特徴とする請求項１２記載の移動通信端末。
【請求項１４】
請求項６のアドホックネットワーク形成指示基地局に対して、自身が所望のスループットを満足するか、所望の通信品質を満足するか、所望の消費電力以下であるか、のいずれかの場合に、該いずれかの自身の情報を通知することを特徴とする移動通信端末。
【請求項１５】
アドホックネットワーク形成指示基地局からのアドホックネットワークへの移行指示に対して該移行を受ける場合は、肯定（ＡＣＫ）応答を行うことを特徴とする請求項１４記載の移動通信端末。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】アドホックネットワーク形成指示方法、アドホックネットワーク形成指示基地局、アドホックネットワーク形成指示システム及び移動通信端末
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月25日(2007.1.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像データから輝度信号と色差信号とを生成する画像処理手段と、
前記色差信号に基づいて、前記画像データが所定の色にどの程度近いかを示す度合を検出する色検出手段と、
前記画像データから生成された輝度信号に、前記色検出手段で検出した度合に応じて定められる補正信号を加算する輝度調整手段と、
を備える色補正装置。
【請求項２】
画像データから輝度信号と色差信号とを生成する画像処理手段と、
前記色差信号に基づいて、前記画像データが第１の色にどの程度近いかを示す第１の度合を検出する第１の色検出手段と、
前記色差信号に基づいて、前記画像データが第２の色にどの程度近いかを示す第２の度合を検出する第２の色検出手段と、
前記画像データから生成された輝度信号に、前記第１の度合および前記第２の度合に応じて定められる補正信号を加算する輝度調整手段と、
を備える色補正装置。
【請求項３】
画像データから輝度信号と色差信号とを生成する画像処理手段と、
前記色差信号に基づいて、前記画像データが第１の色にどの程度近いかを示す第１の度合を検出するとともに、前記画像データが第２の色にどの程度近いかを示す第２の度合を検出する色検出手段と、
前記画像データから生成された輝度信号に、前記色検出手段で検出した第１の度合および第２の度合に応じて定められる補正信号を加算する輝度調整手段と、
を備える色補正装置。
【請求項４】
前記色検出手段は、第１の度合または第２の度合を検出すると、制御信号を生成し、
前記輝度調整手段は、前記制御信号に基づいて前記補正信号を加算し、
前記制御信号は、相互に重複しない第１レベルの信号と第２レベルの信号とを含み、前記第１レベルの信号は前記第１の度合に応じて定められる信号であり、前記第２レベルの信号は前記第２の度合に応じて定められる信号であることを特徴とする請求項３に記載の色補正装置。
【請求項５】
前記所定の色、前記第１の色または前記第２の色は、肌色または空色であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の色補正装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の色補正装置を有するデジタルカメラ。
【請求項７】
画像データから輝度信号と色差信号とを生成する第１のステップと、
前記色差信号に基づいて、前記画像データが所定の色にどの程度近いかを示す度合を検出する第２のステップと、
前記画像データから生成された輝度信号に、前記色検出手段で検出した度合に応じて定められる補正信号を加算する第３のステップと、
を備える画像データの色補正方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月3日(2007.4.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ルビジウム原子発振器であって，
周波数制御電圧を入力するＯＣＸＯによって構成されるスレーブ発振器と，
前記スレーブ発振器の出力信号を入力し，ルビジウム原子の原子共鳴周波数の１／Ｎ（Ｎは２以上の整数）の周波数の信号を生成して出力するＤＤＳと，
前記ＤＤＳの出力信号を逓倍してルビジウム原子の原子共鳴周波数の信号を生成するとともに，入力した低周波信号で変調を加えるＰＬＬと，
前記ＰＬＬに前記変調を行わせるための低周波信号を生成して前記ＰＬＬに出力する低周波発振器と，
前記ＰＬＬの出力信号を入力してルビジウム原子の共鳴周波数との誤差信号を検出し出力する原子共鳴器と，
前記原子共鳴器の出力信号を前記低周波発振器により生成された低周波信号に基づいて同期検波し，前記スレーブ発振器の出力周波数を制御する制御信号を生成する制御信号生成回路とを備える
ことを特徴とするルビジウム原子発振器。
【請求項２】
ルビジウム原子発振器であって，
周波数制御電圧を入力するＯＣＸＯによって構成されるスレーブ発振器と，
前記スレーブ発振器の出力信号を入力し，ルビジウム原子の原子共鳴周波数の１／Ｎ（Ｎは２以上の整数）の周波数に低周波の変調を加えた信号を生成して出力するＤＤＳと，
前記ＤＤＳの出力信号を逓倍して原子共鳴器に入力する信号を生成するＰＬＬと，
前記ＰＬＬの出力信号を入力してルビジウム原子の共鳴周波数との誤差信号を検出し出力する原子共鳴器と，
前記原子共鳴器の出力信号を低周波変調された信号に基づいて同期検波し，前記スレーブ発振器の出力周波数を制御する制御信号を生成する制御信号生成回路とを備える
ことを特徴とするルビジウム原子発振器。
【請求項３】
請求項２に記載のルビジウム原子発振器において，
前記ＤＤＳは，前記スレーブ発振器から入力された信号の周期で，低周波の変調周波数に応じて変化する制御値を加算する加算手段と，
前記加算手段の加算結果を予めメモリ蓄積された変調用ルークアップテーブルを用いてデジタルの振幅値に変換し，その振幅値をもとに前記ルビジウム原子の原子共鳴周波数の１／Ｎの周波数に低周波の変調を加えた信号を生成する信号生成手段とを備える
ことを特徴とするルビジウム原子発振器。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載のルビジウム原子発振器において，
前記制御信号生成回路は，前記原子共鳴器の出力信号を，前記スレーブ発振器の出力をそれ自身の周期でサンプリングすることにより抽出した変調周波数の信号によって同期検波し，前記スレーブ発振器の出力周波数を制御する制御信号を生成する
ことを特徴とするルビジウム原子発振器。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のルビジウム原子発振器において，
前記ＤＤＳと，少なくとも前記ＰＬＬおよび前記制御信号生成回路の一部または全部を１つのＬＳＩで構成した
ことを特徴とするルビジウム原子発振器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
すなわち，本発明のルビジウム原子発振器は，スレーブ発振器として周波数制御電圧を入力するＯＣＸＯ（Oven Controlled X'tal Oscillator）を用い，この周波数を入力としたＤＤＳ（Direct Digital Synthesizer）で原子共鳴器の入力周波数の端数を合成し，これをＰＬＬ（Phase Locked Loop ）にて原子共鳴周波数まで逓倍する回路を持つ。また，位相変調のための低周波発振器，及び原子共鳴器とこれより出力された信号から原子共鳴周波数との誤差信号を検出する同期検波器を備える。
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月23日(2007.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置の作製方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁表面を有する基板上に半導体層を形成する工程と、
前記半導体層を覆う絶縁膜を形成する工程と、
成膜室に第１ガスを供給し、高融点金属からなるターゲットで反応性スパッタリングを行って、前記絶縁膜上に高融点金属窒化物膜を形成する工程と、
成膜室に第２ガスを供給し、高融点金属からなるターゲットでスパッタリングを行って、前記高融点金属窒化物膜上に高融点金属膜を積層形成する工程と、
エッチングマスク材を選択的に形成する工程と、
エッチング液で一度にエッチングして上層の高融点金属膜パターン幅を下層の高融点金属窒化物膜パターン幅より狭くする工程と、
前記高融点金属膜パターンをマスクとして前記半導体層にｎ型またはｐ型を付与する不純物元素のドーピング処理を行う工程と、を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項２】
請求項１において、前記ドーピング処理は、前記高融点金属窒化物膜を通過させて前記前記半導体層にｎ型またはｐ型を付与する不純物元素のドーピングが行われることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項３】
絶縁表面を有する基板上に半導体層を形成する工程と、
前記半導体層を覆う絶縁膜を形成する工程と、
成膜室に第１ガスを供給し、高融点金属からなるターゲットで反応性スパッタリングを行って、前記絶縁膜上に高融点金属窒化物膜を形成する工程と、
成膜室に第２ガスを供給し、高融点金属からなるターゲットでスパッタリングを行って、前記高融点金属窒化物膜上に高融点金属膜を積層形成する工程と、
エッチングマスク材を選択的に形成する工程と、
エッチング液で一度にエッチングして上層の高融点金属膜パターン幅を下層の高融点金属窒化物膜パターン幅より狭くする工程と、
前記高融点金属膜パターン及び前記高融点金属窒化物膜パターンをマスクとして前記半導体層にｎ型またはｐ型を付与する不純物元素のドーピング処理を行う工程と、を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一において、前記高融点金属膜は、前記高融点金属窒化物膜よりも膜厚が厚いことを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一において、前記第１ガスは窒素を含むガス、或いは希ガスと窒素を含むガスの混合ガスであり、前記第２ガスは希ガスであることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一において、前記高融点金属からなるターゲットは共通であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一において、前記高融点金属はモリブデン、或いはモリブデンを含む合金であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月31日(2007.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱可塑性バッキング・フィルムと、
前記熱可塑性バッキング・フィルムに結合した感圧接着剤を備え、
前記感圧接着剤は、化学機械研磨パッドを研磨盤に結合し、少なくとも４日間ｐＨが４以上の研磨スラリ媒体に曝露しても、前記化学機械研磨パッドが前記研磨盤から剥離することを実質的に防止できる界面を形成するように構成された、
半導体ウェハを研磨するための化学機械研磨パッド。
【請求項２】
前記感圧接着剤は両面感圧接着剤であり、第１の面には前記研磨盤に結合可能なシリコーン系接着剤を有し、第２の面には前記熱可塑性バッキング・フィルムに結合可能なアクリル系接着剤を有する、請求項１に記載の化学機械研磨パッド。
【請求項３】
前記シリコーン系接着剤の抽出物が、前記シリコーン系接着剤の抽出物１ｇ当たり、８０４ｃｍ−１における吸収単位が１００未満に相当するモノマー性シリコーンを有する、請求項２に記載の化学機械研磨パッド。
【請求項４】
前記感圧接着剤がさらに、ポリエステルを含み、前記シリコーン系接着剤と、前記アクリル系接着剤との間に位置するキャリヤー・フィルムを含む、請求項２に記載の化学機械研磨パッド。
【請求項５】
前記熱可塑性バッキング・フィルムが、高密度ポリエチレンである、請求項１に記載の化学機械研磨パッド。
【請求項６】
前記熱可塑性バッキング・フィルムに結合された発泡熱可塑性研磨体をさらに含み、前記発泡熱可塑性研磨体は、架橋エチレン酢酸ビニル共重合体と、低密度または中密度ポリエチレン共重合体との混合物からなる独立気泡発泡体であり、エチレン酢酸ビニルとポリエチレンとの比が、１：９〜９：１である、請求項１に記載の化学機械研磨パッド。
【請求項７】
前記混合物のエチレン酢酸ビニルとポリエチレンとの比が、０．６：９．４〜１．８：８．２である、請求項６に記載の化学機械研磨パッド。
【請求項８】
前記発泡熱可塑性研磨体が、凹面気泡と、前記凹面気泡の内面を被覆する研磨剤からなる表面を有する、請求項７に記載の化学機械研磨パッド。
【請求項９】
前記研磨剤が、非晶質シリカまたは酸化チタンである、請求項８に記載の化学機械研磨パッド。
【請求項１０】
発泡熱可塑性研磨体を用意し、
前記発泡熱可塑性研磨体に熱可塑性バッキング・フィルムを積層し、
感圧接着剤を前記熱可塑性バッキング・フィルムに結合する工程により製造され、
前記感圧接着剤は、化学機械研磨パッドを研磨盤に結合し、少なくとも４日間ｐＨが４以上の研磨スラリ媒体に曝露しても、前記化学機械研磨パッドが前記研磨盤から剥離することを実質的に防止できる界面を形成するように構成された、
半導体ウェハを研磨するための化学機械研磨パッド。
【請求項１１】
発泡熱可塑性研磨体、及び
前記発泡熱可塑性研磨体へ熱可塑性バッキング・フィルムの熱溶接によるラミネートにより前記発泡熱可塑性研磨体へ結合された熱可塑性バッキング・フィルムを含む
半導体ウェハを研磨するための化学機械研磨パッド。
【請求項１２】
発泡熱可塑性研磨体、及び
前記発泡熱可塑性研磨体へ熱可塑性バッキング・フィルムの押出コーティングによるラミネートにより前記発泡熱可塑性研磨体へ結合された熱可塑性バッキング・フィルムを含む
半導体ウェハを研磨するための化学機械研磨パッド。
【請求項１３】
発泡熱可塑性研磨体を用意し、及び
前記発泡熱可塑性研磨体へ熱可塑性バッキング・フィルムを熱溶接することを含む
半導体ウェハを研磨するための化学機械研磨パッドの製造方法。
【請求項１４】
発泡熱可塑性研磨体を用意し、及び
前記発泡熱可塑性研磨体へ融解した熱可塑性バッキング・フィルムを押出コーティングすることを含む
半導体ウェハを研磨するための化学機械研磨パッドの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月6日(2007.4.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面を有し、銅を含む配線を形成する工程と、
前記表面を覆うように拡散防止膜を形成する工程と、
フロロカーボン系ガスを含むエッチャントを用いて前記拡散防止膜の一部をエッチング処理し、前記表面に達する孔を前記拡散防止膜に形成する工程と、
前記孔を形成する工程の後、窒素、アルゴンおよび水素からなる群より選ばれた少なくとも一種を含むガスを用いて、前記孔から露出する前記配線をプラズマ処理する工程とを備える、半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記拡散防止膜は、ＳｉＣ、ＳｉＣＮおよびＳｉＮからなる群より選ばれた少なくとも一種を含み、前記エッチャントは、ＣＦ４、ＣＨＦ３、ＣＨ２Ｆ２およびＣＨ３Ｆからなる群より選ばれた少なくとも一種を含む、請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記孔を形成する工程と前記プラズマ処理する工程との間において、エッチング処理された前記配線を大気雰囲気から遮断した状態に保持する、請求項１または２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記孔を形成する工程は、所定の処理室内でエッチング処理する工程を含み、
前記プラズマ処理する工程は、前記所定の処理室内でプラズマ処理する工程を含む、請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記プラズマ処理する工程は、５０ｅＶから５００ｅＶのイオンエネルギーで窒素ガスを用いてプラズマ処理する工程を含む、請求項１から４のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月6日(2007.3.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
図１０は先行技術１のＦｉｇ．１６に示されたＰＬＬ回路のブロック図、図１１はそのＦｉｇ．１５に示された電圧制御発振器回路の内部容量部（キャパシタ）の構成を示す。この先行技術１のＰＬＬ回路は、初期動作時にディジタル周波数検波器(Digital Frequency Detector)、状態モニタ回路(State Machine)、カウンタ・デコーダ(Counter & Decorder)を含むディジタル制御回路によるディジタル制御信号(Digital Control)の各ビットＢｉｔ０、Ｂｉｔ１、Ｂｉｔ２、・・・にて電圧制御発振器ＶＣＯの周波数補正の粗調整を行ない、その後に、位相周波数検出器ＰＦＤ、チャージポンプＣＰ、ループフィルタ(Loop Filter)を含むアナログ制御回路によるアナログ制御電圧(Vcntrl)にて電圧制御発振器ＶＣＯの周波数補正の微調整を行なう。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
アナログ制御回路ＡＣＣのアナログ制御電圧(Ｖcntrl)に基づくトータル容量(Ｃtotal)はバラクタＶＡの最大容量Ｃeffectにおいて最大の調整単位となり、ディジタル制御容量部ＣＤにおける調整単位１Ｃよりも大きく設定される。すなわち、次の（式２）を満足するように、トータル容量値(Ｃtotal)が設定される。
Ｃtotal ＞ １Ｃ （式２）
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
アナログ制御回路ＡＣＣは、位相周波数検出器ＰＦＤと、チャージポンプＣＰと、ループフィルタ(Loop Filter)とを含む。位相周波数検出器ＰＦＤには、基準クロックＲＥＦＣＬＫと、フィードバッククロックＦＢＣＬＫが供給され、位相周波数検出器ＰＦＤは、これらの基準クロックＲＥＦＣＬＫとフィードバッククロックＦＢＣＬＫとの位相差に応じた検出出力を発生し、それをチャージポンプＣＰに供給する。このチャージポンプＣＰは、ループフィルタ(Loop Filter)を介して電圧制御発振器ＶＣＯにアナログ制御電圧(Ｖcntrl)を供給する。フィードバッククロックＦＢＣＬＫは、電圧制御発振器ＶＣＯの発振出力を、１／Ｎ分周器により分周することによって作られる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
実施の形態１では、アナログ制御回路ＡＣＣのアナログ制御電圧(Ｖcntrl)に基づくトータル容量(Ｃtotal)の最大の調整単位は、（式２）のように、ディジタル制御容量部ＣＤにおける調整単位１Ｃよりも大きく設定されており、電圧制御発振器ＶＣＯのオフセット周波数の調整は、最初にアナログ制御回路ＡＣＣにより行なわれる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
ステート（ｂ）：ステップＳ３ｂに示すように、ディジタルコード(H-limit)がハイ(High)、ディジタルコード(L-limit)がロウ(Low)。この状態は、アナログ制御電圧(Vcntrl)が上限値、すなわちハイ(High)側閾値ＶＨ１を超え、また下限値、すなわちロウ側閾値ＶＬ１を超えた状態を意味し、この状態は次の（式３）で表わされる。
Vcntrl ＞ ＶＨ１ 、 Vcntrl ＞ ＶＬ１ （式３）
この状態は、オフセット周波数の上昇が必要な状態を意味する。この状態では、状態モニタ回路(State Machine)は、ステップＳ４でアップ信号(Up signal)をハイ(High)とし、このアップ信号(Up signal)により、カウンタ・デコーダ(Counter & Decoder)のディジタル制御信号(Digital Control)が電圧制御発振器ＶＣＯのオフセット周波数を上昇させる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
ステート（ｄ）：ステップＳ３ｄに示すように、ディジタルコード(H-limit)がロウ(Low)、ディジタルコード(L-limit)もロウ(Low)。この状態は、アナログ制御電圧(Vcntrl)が上限値と下限値の間に納まっている状態を意味し、次の（式５）で表わされる。
ＶＨ１ ≧ Vcntrl ＞ ＶＬ１ （式５）
この状態は、オフセット調整完了を意味する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
ステート（ａ）では、カウンタスタートアップ信号(Counter start-up)により、またステップ（ｂ）（ｃ）では、アップ信号(Up signal)、ダウン信号(down signal)がハイ(High)となった後に、カウンタスタートアップ信号をハイにすることにより、それぞれステップＳ２に返り、改めてステップＳ３によるディジタルコードのモニタを行なう。この動作は、ディジタルコードがステート（ｄ）になるまで繰り返され、すべてステート（ｄ）の状態に制御される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
ステート（ｂ）では、ステップＳ５によりダウン信号(down signal)がハイ(High)となった後に、カウンタスタートアップ信号をハイにすることにより、ステップＳ２に返り、改めてステップＳ３によるディジタルコード(L-limit)のモニタを行なう。この動作は、ディジタルコード(L-limit)がステート（ｂ）になるまで繰り返され、電圧制御発振器ＶＣＯはステート（ｂ）の状態に制御される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
実施の形態２は、ハイ側コンパレータＨＣにハイ側固定閾値ＶＨ２を与え、ロウ側コンパレータＬＣに、ロウ側閾値切替え回路ＳＷＬを設け、ロウ側閾値ＶＬ１、ＶＬ２を選択的に与えるものであるが、ハイ側コンパレータＨＣに対し、ハイ側閾値切替え回路ＳＷＨを設け、ハイ側閾値ＶＨ１、ＶＨ２を選択的に与えるようにし、ロウ側コンパレータＬＣに対し、ロウ側閾値ＶＬ２を固定的に与えるようにしても、同様の効果を得ることができる。この場合、ステップＳ１１のリセット動作で、電圧制御発振器ＶＣＯのオフセット周波数を最小値Minに設定し、状態モニタ回路(State Machine)は、ハイ側コンパレータＨＣからのディジタルコード(H-limt)だけをモニタし、ダウン信号(Down signal)に代えて、アップ信号(Up signal)だけをカウンタ・デコーダ(Counter & Decorder)に与えるように構成される。
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月4日(2007.4.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＩＰ網を介して音声通話に必要な通信制御を行うＩＰ電話制御部と、前記ＩＰ電話制御部による通信制御中における新たな着信を検出する着信検出部と、前記新たな着信の検出に応じてその旨をオペレータに通知する着信通知部と、を具備することを特徴とするＩＰ電話装置。
【請求項２】
前記着信検出部は、前記ＩＰ電話制御部による通信制御中におけるＰＳＴＮ網からの新たな着信を検出し、前記着信通知部は、このＰＳＴＮ網からの新たな着信に応じてその旨をオペレータに通知することを特徴とする請求項１記載のＩＰ電話装置。
【請求項３】
前記着信検出部は、前記ＩＰ電話制御部による通信制御中における前記ＩＰ網からの新たな着信を検出し、前記着信通知部は、このＩＰ網からの新たな着信に応じてその旨をオペレータに通知することを特徴とする請求項１又は請求項２記載のＩＰ電話装置。
【請求項４】
前記着信通知部は、音声通話中の音声に新たな着信があった旨を示す着信音を付加することでその旨をオペレータに通知することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のＩＰ電話装置。
【請求項５】
ＩＰ電話装置としての機能を有しない電話装置に接続され当該電話装置をＩＰ電話装置として機能させる制御装置であって、前記電話装置からダイヤル発呼を受けるとＩＰ網を介して音声通話に必要な通信制御を行うＩＰ電話制御部と、前記ＩＰ電話制御部による通信制御中における新たな着信を検出する着信検出部と、前記新たな着信の検出に応じてその旨をオペレータに通知する着信通知部と、を具備することを特徴とする制御装置。
【請求項６】
前記着信検出部は、前記ＩＰ電話制御部による通信制御中におけるＰＳＴＮ網からの新たな着信を検出し、前記着信通知部は、このＰＳＴＮ網からの新たな着信に応じてその旨をオペレータに通知することを特徴とする請求項５記載の制御装置。
【請求項７】
前記着信検出部は、前記ＩＰ電話制御部による通信制御中における前記ＩＰ網からの新たな着信を検出し、前記着信通知部は、このＩＰ網からの新たな着信に応じてその旨をオペレータに通知することを特徴とする請求項５又は請求項６記載の制御装置。
【請求項８】
前記着信通知部は、音声通話中の音声に新たな着信があった旨を示す着信音を付加することでその旨をオペレータに通知することを特徴とする請求項５から請求項７のいずれかに記載の制御装置。
【請求項９】
ＩＰ網を介して音声通話に必要な通信制御を行う工程と、前記通信制御中における新たな着信を検出する工程と、前記新たな着信の検出に応じてその旨をオペレータに通知する工程と、を具備することを特徴とする着信通知方法。
【請求項１０】
ＩＰ網を介して音声通話に必要な通信制御を行うＩＰ電話制御部と、ＩＰ網と接続するＬＡＮインターフェース部と、ＰＳＴＮ網と接続するＰＳＴＮインターフェース部と、前記ＩＰ電話制御部による通信制御中に前記ＰＳＴＮインターフェース部を介してＰＳＴＮ網からの新たな着信を検出する着信検出部と、前記新たな着信の検出に応じてその旨をオペレータに通知する着信通知部と、オペレータが現在の通信を切断すると前記新たな着信との通信を開始する発着信制御部と、を具備することを特徴とする通信装置。
【請求項１１】
ＩＰ網を介して音声通話に必要な通信制御を行うＩＰ電話制御部と、ＩＰ網と接続するＬＡＮインターフェース部と、前記ＩＰ電話制御部による通信制御中に前記ＬＡＮインターフェース部を介してＩＰ網からの新たな着信を検出する着信検出部と、前記新たな着信の検出に応じてその旨をオペレータに通知する着信通知部とを具備し、前記ＩＰ電話制御部は、前記通知を受けたオペレータが現在の通信を切断すると前記新たな着信との通信を開始することを特徴とする通信装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
本発明の第１０の態様に係る通信装置は、ＩＰ網を介して音声通話に必要な通信制御を行うＩＰ電話制御部と、ＩＰ網と接続するＬＡＮインターフェース部と、ＰＳＴＮ網と接続するＰＳＴＮインターフェース部と、前記ＩＰ電話制御部による通信制御中に前記ＰＳＴＮインターフェース部を介してＰＳＴＮ網からの新たな着信を検出する着信検出部と、前記新たな着信の検出に応じてその旨をオペレータに通知する着信通知部と、オペレータが現在の通信を切断すると前記新たな着信との通信を開始する発着信制御部と、を具備する構成を採る。
この構成によれば、通話中にＰＳＴＮ網からの新たな着信が検出されると、このＰＳＴＮ網からの新たな着信の検出に応じてその旨がオペレータに通知され、オペレータが、必要に応じて現在の音声通話を切断すれば自動的に新たな着信に対応することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
本発明の第１１の態様に係る通信装置は、ＩＰ網を介して音声通話に必要な通信制御を行うＩＰ電話制御部と、ＩＰ網と接続するＬＡＮインターフェース部と、前記ＩＰ電話制御部による通信制御中に前記ＬＡＮインターフェース部を介してＩＰ網からの新たな着信を検出する着信検出部と、前記新たな着信の検出に応じてその旨をオペレータに通知する着信通知部とを具備し、前記ＩＰ電話制御部は、前記通知を受けたオペレータが現在の通信を切断すると前記新たな着信との通信を開始する構成を採る。
この構成によれば、通話中にＩＰ網からの新たな着信が検出されると、このＩＰ網からの新たな着信の検出に応じてその旨がオペレータに通知され、オペレータが、必要に応じて現在の音声通話を切断すれば自動的に新たな着信に対応することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月12日(2007.3.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像面を有する固体撮像素子と、開口部および接続導体を有する絶縁基体とを、前記撮像面が前記絶縁基体に対してフェイスダウンするように接続した固体撮像装置において、前記絶縁基体は、前記開口部の周縁に前記撮像面より広い面積の窪みを有することを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
前記絶縁基体が、配線基板からなることを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記絶縁基体が、樹脂成形パッケージからなることを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記絶縁基体の窪み部は、前記開口部より広い面積であることを特徴とする請求項２ないし３記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記絶縁基体の窪み部は、前記絶縁基体の開口部に照射される紫外線が、前記固体撮像素子を前記絶縁基体に接続するための紫外線硬化封止剤に照射されるような窪み部であることを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記紫外線硬化封止剤は、紫外線・熱両用硬化型である請求項５記載の固体撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
上記の課題を解決するために、本発明の請求項１に記載の固体撮像装置は、撮像面を有する固体撮像素子と、開口部および接続導体を有する絶縁基体とを、前記撮像面が前記絶縁基体に対してフェイスダウンするように接続した固体撮像装置において、前記絶縁基体は、前記開口部の周縁に前記撮像面より広い面積の窪みを有することを特徴とする。
また、本発明の請求項２に記載の固体撮像装置は、請求項１記載の固体撮像装置であって、前記絶縁基体が、配線基板からなることを特徴とする。
また、本発明の請求項３に記載の固体撮像装置は、請求項１記載の固体撮像装置であって、前記絶縁基体が、樹脂成形パッケージからなることを特徴とする。
また、本発明の請求項４に記載の固体撮像装置は、請求項２ないし３記載の固体撮像装置であって、前記絶縁基体の窪み部は、前記開口部より広い面積であることを特徴とする。
また、本発明の請求項５に記載の固体撮像装置は、請求項１記載の固体撮像装置であって、前記絶縁基体の窪み部は、前記絶縁基体の開口部に照射される紫外線が、前記固体撮像素子を前記絶縁基体に接続するための紫外線硬化封止剤に照射されるような窪み部であることを特徴とする。
また、本発明の請求項６に記載の固体撮像装置は、請求項５記載の固体撮像装置であって、前記紫外線硬化封止剤は、紫外線・熱両用硬化型であることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成19年9月18日(2007.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマエッチング装置における被処理体のエッチング処理方法であって、
前記プラズマエッチング装置は、真空処理室内に配置された試料台と該試料台に対向し前記真空処理室の上部に配置された平面状の電極とで構成される平行平板型電極と、該平面状の電極の前記真空処理室側に設けられたガスシャワープレートと、高周波電源から前記平行平板型電極の中央付近に高周波の電磁波を印加する手段と、該真空処理室内を排気する排気手段とを備え、
前記平面状の電極と前記ガスシャワープレートとの間に、前記被処理体の中心を中心として中央側空間及び外側空間が同心円状に形成されており、前記平面状の電極は、前記中央側空間及び前記外側空間に各々連通し混合ガスを導入するガス導入口を備えており、
前記試料台に被処理体を載置し、
前記平行平板型電極間に前記高周波の電磁波を印加すると共に、
前記ガスシャワープレートの、前記被処理体の中心部上方に相当する位置に配置された第１のガス噴出領域と、該第１のガス噴出領域の外周側に配置された第２のガス噴出領域から、各々、均一性を改善させたい加工特性に対応した流量比の異なる混合ガスを導入し、
生成されるプラズマにより前記被処理体のエッチング処理を行なう
ことを特徴とするプラズマエッチング方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記第２のガス噴出領域から前記真空処理室内へ導入される前記混合ガスに含まれる酸素ガスの流量を、前記第１のガス噴出領域から前記真空処理室内へ導入される前記混合ガスに含まれる前記酸素ガスの流量よりも少なくする
ことを特徴とするプラズマエッチング処理方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】プラズマエッチング処理方法
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月27日(2007.3.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に配設した一対の反射器と、
前記一対の反射器の間に並列して設けられる櫛歯状電極から成る一対のＩＤＴと、
を有することを特徴とするＳＡＷ共振子。
【請求項２】
前記一対のＩＤＴは、前記櫛歯状電極の交差幅を同一に構成することを特徴とする請求項１に記載のＳＡＷ共振子。
【請求項３】
圧電基板と、
前記圧電基板上に配設された一対の反射器と、
前記一対の反射器の間に配設された第１のＩＤＴおよび第２のＩＤＴと、を有し、
前記第１のＩＤＴおよび前記第２のＩＤＴは、弾性表面波の伝搬方向に直交するように配置された電極部を有する櫛歯状電極を一対備え、
前記第１のＩＤＴおよび前記第２のＩＤＴは、前記弾性表面波の前記伝搬方向と直交する方向に並列に配置されていることを特徴とするＳＡＷ共振子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、上記構成のＳＡＷ共振子においては、前記一対のＩＤＴは、前記櫛歯状電極の交差幅を同一に構成すると良い。
上記構成により、相互のＩＤＴによる発振を同期させることができるとともに、周波数精度、周波数偏移精度を向上させることができる。これは、ＳＡＷ共振子におけるＩＤＴは、その交差幅を変えることによって出力する周波数に僅かな変化を起こさせることによる。このため、ＩＤＴを構成する櫛歯状電極の交差幅を調整（制御）することにより、所望の周波数制度を実現させることができる。
また、上記目的を達成するための本発明に係るＳＡＷ共振子は、圧電基板と、前記圧電基板上に配設された一対の反射器と、前記一対の反射器の間に配設された第１のＩＤＴおよび第２のＩＤＴと、を有し、前記第１のＩＤＴおよび前記第２のＩＤＴは、弾性表面波の伝搬方向に直交するように配置された電極部を有する櫛歯状電極を一対備え、前記第１のＩＤＴおよび前記第２のＩＤＴは、前記弾性表面波の前記伝搬方向と直交する方向に並列に配置されていることを特徴とするものであっても良い。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
一方、ＩＤＴ１６ｂにおいては、切替手段２２の制御により入出力経路のα・βを切り替えることによって、入力側となる櫛歯状電極と、出力側となる櫛歯状電極とが逆転する。この場合、発振する弾性表面波の位相は１８０°ズレることとなる。このため、切替手段２２がαに設定されている場合は、櫛歯状電極１８ａと櫛歯状電極１８ｃとが信号入力側の電極となり、ＩＤＴ１６ａとＩＤＴ１６ｂとで発振する弾性表面波が同位相となり、発振回路としてＳ０モードの発振を奏する。一方、切替手段２２がβに設定されている場合は、櫛歯状電極１８ａと櫛歯状電極１８ｄとが信号入力側の電極となり、ＩＤＴ１６ａとＩＤＴ１６ｂとで発振する弾性表面波は逆位相となり発振回路としてＡ０モードの発振を奏する。