【手続補正書】
【提出日】平成18年10月6日(2006.10.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録ステージ上に載置された記録媒体へ記録ヘッドから光ビームを結像し、前記記録ステージと前記記録ヘッドとを相対的に移動させて、前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光装置であって、
前記記録ステージの移動に伴って発生するピッチング振動による位置ずれを検出する位置ずれ検出手段と、
前記位置ずれ検出手段により検出された位置ずれ量データを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッドから前記光ビームを照射するタイミングを補正する補正手段と、
前記補正手段により補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
記録ステージ上に載置された記録媒体へ直線状に配列された複数の記録ヘッドから光ビームを結像し、前記記録ステージを前記記録ヘッドが配列された直線方向と交差する方向へ相対的に移動させて、前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光装置であって、
前記記録ステージの移動に伴って発生するピッチング振動による位置ずれを検出する位置ずれ検出手段と、
前記位置ずれ検出手段により検出された位置ずれ量データを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッド毎に前記光ビームを照射するタイミングをそれぞれ補正する補正手段と、
前記補正手段により補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項３】
前記記録ステージ上に、前記記録ステージと前記記録ヘッドとが相対的に移動する方向に沿って一定の間隔のマーキングが１列あるいは複数列なされ、
前記位置ずれ検出手段が、前記記録ステージ上の前記マーキングの列を所定のタイミング毎に撮像する少なくとも一個の撮像手段と、
前記撮像手段を前記相対移動方向と交差する方向へ移動させて前記マーキングの各列をそれぞれ撮像可能とさせる第１の移動手段と、
前記撮像手段により撮像された画像内での前記マーキングの位置に基づき前記記録ステージのピッチング振動による前記位置ずれを検出する第１の検出手段と、
で構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の露光装置。
【請求項４】
前記位置ずれ検出手段が、前記記録ステージに対して前記相対的に移動する方向に配置され、前記記録ステージとの距離を所定のタイミング毎に測長するレーザ測長器と、
前記レーザ測長器を前記相対移動方向と交差する方向へ前記距離が測長可能な範囲内で移動させる第２の移動手段と、
前記レーザ測長器により測長された前記記録ステージとの前記距離が前記所定のタイミング毎に変化する間隔に基づき前記記録ステージのピッチング振動による前記位置ずれを検出する第２の検出手段と、
で構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の露光装置。
【請求項５】
前記位置ずれ検出手段が、前記記録媒体へ所定の位置データ取得用パターンを露光する位置パターン露光手段と、
前記位置パターン露光手段により露光された前記位置データ取得用パターンより求まる前記位置ずれ量データを前記記憶手段へ登録する登録手段と、
で構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の露光装置。
【請求項６】
マーキングされたチャートを前記記録ステージ上へ載置することにより前記記録ステージ上に前記マーキングがされることを特徴とする請求項３記載の露光装置。
【請求項７】
前記位置ずれ検出手段が、全ての記録ヘッドそれぞれに対応する位置での前記位置ずれを検出することを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れか１項記載の露光装置。
【請求項８】
記録ステージ上に載置された記録媒体へ記録ヘッドから光ビームを照射し、前記記録ステージと前記記録ヘッドとを相対的に移動させて、前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光方法であって、
前記記録ステージの移動に伴って発生するピッチング振動による位置ずれ量を検出し、
前記位置ずれ量データを記憶し、
記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッドから前記光ビームを照射するタイミングを補正し、
補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御する、
ことを特徴とする露光方法。
【請求項９】
記録ステージ上に載置された記録媒体へ直線状に配列された複数の記録ヘッドから光ビームを照射し、前記記録ステージを前記記録ヘッドが配列された直線方向と交差する方向へ相対的に移動させて、前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光方法であって、
前記記録ステージの移動に伴って発生するピッチング振動による位置ずれを検出し、
検出された位置ずれ量データを記憶し、
記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッド毎に前記光ビームを照射するタイミングをそれぞれ補正し、
補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御する、
ことを特徴とする露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置及び露光方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、露光処理において記録ステージの移動によって発生するピッチング振動による画像の歪みを補正する露光装置及び露光方法に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は上記事実を考慮し、記録ヘッドの位置毎に記録ステージの移動によって発生するピッチング振動による位置ずれを補正し、記録媒体に描画される画像の歪みを低減させることができる露光装置及び露光方法を得ることが目的である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、記録ステージ上に載置された記録媒体へ記録ヘッドから光ビームを結像し、前記記録ステージと前記記録ヘッドとを相対的に移動させて、前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光装置であって、前記記録ステージの移動に伴って発生するピッチング振動による位置ずれを検出する位置ずれ検出手段と、前記位置ずれ検出手段により検出された位置ずれ量データを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッドから前記光ビームを照射するタイミングを補正する補正手段と、前記補正手段により補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御する制御手段と、を有することを特徴とする。
また、請求項８に記載の発明は、記録ステージ上に載置された記録媒体へ記録ヘッドから光ビームを照射し、前記記録ステージと前記記録ヘッドとを相対的に移動させて、前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光方法であって、前記記録ステージの移動に伴って発生するピッチング振動による位置ずれ量を検出し、前記位置ずれ量データを記憶し、記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッドから前記光ビームを照射するタイミングを補正し、補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項１及び請求項８に記載の発明によれば、記録媒体が記録ステージ上に載置され、記録ステージが記録ヘッドと相対的に移動する際に、前記記録ヘッドから記録媒体上に光ビームが照射され、記録媒体に所定の画像が露光される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項２に記載の発明は、記録ステージ上に載置された記録媒体へ直線状に配列された複数の記録ヘッドから光ビームを結像し、前記記録ステージを前記記録ヘッドが配列された直線方向と交差する方向へ相対的に移動させて、前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光装置であって、前記記録ステージの移動に伴って発生するピッチング振動による位置ずれを検出する位置ずれ検出手段と、前記位置ずれ検出手段により検出された位置ずれ量データを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッド毎に前記光ビームを照射するタイミングをそれぞれ補正する補正手段と、前記補正手段により補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御する制御手段と、を有することを特徴とする。
また、請求項９に記載の発明は、記録ステージ上に載置された記録媒体へ直線状に配列された複数の記録ヘッドから光ビームを照射し、前記記録ステージを前記記録ヘッドが配列された直線方向と交差する方向へ相対的に移動させて、前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光方法であって、前記記録ステージの移動に伴って発生するピッチング振動による位置ずれを検出し、検出された位置ずれ量データを記憶し、記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッド毎に前記光ビームを照射するタイミングをそれぞれ補正し、補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項２及び請求項９に記載の発明によれば、記録ヘッドは直線状に複数配列されており、記録ステージは記録ヘッドが配列された直線方向と交差する方向へ相対的に移動して複数の記録ヘッドによる露光が行われる。この移動により記録ステージにはピッチング振動が発生して記録ステージの移動方向への位置ずれが発生する。そこで、位置ずれ検出手段はピッチング振動による位置ずれを検出して位置ずれ量データを記憶手段へ記憶させる。補正手段は記憶手段に記憶されている位置ずれ量データに基づき記録ヘッド毎に光ビームを照射するタイミングを補正し、記録ヘッドから画像が露光される位置を変化させる。このため、制御手段により露光された画像は記録ヘッドの位置毎にピッチング振動による位置ずれが補正され、記録媒体に描画される画像の歪みを低減させることができる。