【手続補正書】
【提出日】令和1年11月5日(2019.11.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
特に高圧用途のための、極性表面を有するマイクロ構造コンポーネントの表面を改質、特に疎水化する方法において、
シリコンを含むマイクロ構造コンポーネントを改質試薬と接触させて、特には改質試薬で処理して、前記コンポーネント表面と前記改質試薬との間の化学的及び／又は物理的相互作用によって前記コンポーネントの表面特性を改変し、
前記改質試薬は、少なくとも1種の改質剤を含み、
前記改質試薬は、該改質試薬に基づいて0.001〜2モル/lの濃度で前記改質剤を含有し、
前記改質剤として、下記一般式I
R14-(n+m)SiR2mXn      (I)
（式中、
R1=C8-C18アルキル；
R2=C1-C3アルキル；
X=ハライド、アルコキシ；及び
n=1〜3、及び
m=0〜2
である）
のシランが使用されることを特徴とする、前記方法。
【請求項２】
前記改質剤として、下記一般式I
R14-(n+m)SiR2mXn      (I)
（式中、
R1=C10-C16アルキル；
R2=C1-C3アルキル、好ましくはメチル；
X=ハライド、特にクロリド及び／又はブロミド、好ましくはクロリド；
アルコキシ、特にC1-C6アルコキシ、特に好ましくはC1-C4アルコキシ、最も好ましくはC1及び／又はC2アルコキシ；及び
n=1〜3、特に3、及び
m=0〜2、特に0又は2、好ましくは0
である）
のシランが使用されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項３】
前記シランが3つの反応性化学官能基及び／又は化学基、特に3つの加水分解性化学官能基及び／又は化学基を含み、好ましくはトリアルコキシシランであり、
特には、前記シランが、アルキルトリアルコキシシラン、特にC12アルキルトリアルコキシシラン、C14アルキルトリアルコキシシラン及びC16アルキルトリアルコキシシラン並びにその混合物から成る群より選択されるアルキルトリアルコキシシランであることを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。
【請求項４】
前記コンポーネントが少なくとも2つの異なる材料、特にシリコン及びガラス、特にケイ酸塩ガラス、好ましくは石英ガラス及び／又はホウケイ酸ガラス、好ましくはホウケイ酸ガラスを含み、前記材料が、特に極性表面を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
【請求項５】
前記コンポーネントの前記材料の表面を一緒に改質することを特徴とする請求項4に記載の方法。
【請求項６】
前記コンポーネントの表面全体を改質することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。
【請求項７】
前記改質試薬を前記コンポーネントの表面と接触させることによって、層、特に疎水性層が、前記コンポーネントの表面に適用され、特には前記層が前記コンポーネントに化学結合、特に共有結合によって結合されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。
【請求項８】
前記改質剤として、下記一般式VII
R4-nSiXn      (VII)
（式中、
R=C8-C18アルキル、好ましくはC10-C16アルキル；
X=アルコキシ、好ましくはC1-C4アルコキシ、最も好ましくはC1及び／又はC2アルコキシ；及び
n=3
である）
のシランが使用されることを特徴とする請求項1〜7に記載の方法。
【請求項９】
少なくとも1つの入口開口部と、少なくとも1つの出口開口部と、マイクロ構造によって形成された内側表面とを含む、好ましくはマイクロ流体システムにおいて使用するための、マイクロ構造コンポーネント、特にノズルシステムであって、
前記内側表面が、少なくとも部分的に、下記一般式I
R14-(n+m)SiR2mXn      (I)
（式中、
R1=C8-C18アルキル；
R2=C1-C3アルキル；
X=ハライド、アルコキシ；及び
n=1〜3、及び
m=0〜2
である）
のシランの形態の改質剤で改質されている、特にはコーティングされていることを特徴とする前記マイクロ構造コンポーネント。
【請求項１０】
前記コンポーネントが、好ましくは前記入口開口部と前記出口開口部との間に、さらにフィルター領域を含むことを特徴とする請求項9に記載のマイクロ構造コンポーネント。
【請求項１１】
前記コンポーネントが、少なくとも2つの異なる材料、特にガラス及びシリコンから成り、特には前記異なる材料が、強固に相互接続、特に結合されていることを特徴とする請求項9に記載のマイクロ構造コンポーネント。
【請求項１２】
流体、特に医療用液体、好ましくは液体医薬品用の放出装置、特に噴霧器であって、請求項9〜11のいずれか1項に記載の少なくとも1つのマイクロ構造コンポーネントを含む前記放出装置。
【請求項１３】
少なくとも1つの液体医薬品を含み、特には前記医薬品が、少なくとも1つの医薬活性成分の分散系又は溶液である、請求項12に記載の放出装置。
【請求項１４】
前記医薬活性成分が、テルブタリン、サルブタモール、トロスピウム、特にトロスピウムクロリド、フルトロピウム、特にフルトロピウムブロミド、チオトロピウム、特にチオトロピウムブロミド、オキシトロピウム、特にオキシトロピウムブロミド、イプラトロピウム、特にイプラトロピウムブロミド、フェノテロール、ブデソニド、フルチカソン、特にフルチカソンプロピオナート、グリコピロニウム、特にグリコピロニウムブロミド、シクレソニド及びベクロメタゾン、特にベクロメタゾンプロピオナート、並びにその生理学的に適合性の塩及び誘導体から成る群より選択されることを特徴とする請求項13に記載の放出装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
所要の1日用量及び意図した適用期間に応じて、噴霧器9が、10〜200、特に20〜150、好ましくは60〜130噴霧を分配するようにデザインすることができる。メーター24上のスライドが、どれくらいのストロークが消費されたか又はどれくらい残っているかを指し示す。特定のストローク数に到達した後、放出装置自体が自動的にロックされ、さらに使用しないようにするのが好ましい。従って、圧縮空気を使用する定量エアロゾルで認めらられる「漸減」を防止する。
用途に合わせて噴霧器9を調製するためには、特にカートリッジの形態の容器16を最初に挿入しなければならない。この目的では、下側ハウジング部分15を除去しなければならない。容器を挿入した後、除去した下側ハウジング部分15を適所に戻して、数回駆動させることによってデバイスの事前準備をする(＝システムから空気を放出する)。この時間後にだけ、操作する準備が整った状態の噴霧器9であり、用量の一定の分配を保証することができる。
事前準備する目的は、完全に計量チャンバー又は圧力チャンバー12を満たすことである。マウスピースを垂直上方に向けながらデバイスを駆動すると、かちっと音がするか又は掛け金の音がするまで下側ハウジング部分15が上側ハウジング部分18の方へ180°回転する。このプロセスでは、メインスプリング17は張力がかかっており、掛け金締め付けが完了すると、ボタン20が前方に飛び出して側面と同一平面に位置することによって、噴霧器9が張力がかかった状態であることを指し示す。ボタン20を押すと、エアロゾルが発生し；噴霧器9の位置を自由に選択することができる。
〔１〕
特に高圧用途のための、極性表面を有するマイクロ構造コンポーネントの表面を改質、特に疎水化する方法において、
シリコンを含むマイクロ構造コンポーネントを改質試薬と接触させ、特に改質試薬で処理し、前記コンポーネント表面と前記改質試薬との間の化学的及び／又は物理的相互作用によって基板の表面特性を改変し、前記改質試薬は、少なくとも1種の改質剤を含み、この改質剤は、シラン、シロキサン、ポリシロキサン及び／又はシリコナート並びにその混合物から成る群より選択され、前記改質試薬は、該改質試薬に基づいて0.001〜2モル/lの濃度で前記改質剤を含有することを特徴とする前記方法。
〔２〕
前記改質剤が、アルキルシロキサン、アルキルアルコキシシロキサン、アリールシロキサン及びアリールアルコキシシロキサン並びにその混合物、特にアルキルシロキサン及びアルキルアルコキシシロキサン並びにその混合物から成る群より選択されるシロキサン、好ましくはアルキルアルコキシシロキサンであることを特徴とする項1に記載の方法。
〔３〕
有機C1-C20基、特にC8-C18基、好ましくはC10-C16基を有するシランを前記改質剤として使用することを特徴とする項1又は2に記載の方法。
〔４〕
前記改質剤のために、下記一般式I
R14-(n+m)SiR2mXn      (I)
のシランを使用し、式中、
R1=アルキル、特にC1-C20アルキル、好ましくはC8-C18アルキル、好ましくはC10-C16アルキル；
アリール、特にC6-C20アリール、好ましくはC6-C10アリール；
オレフィン、特に末端オレフィン、好ましくはC2-C20オレフィン、好ましくはC8-C18オレフィン、特に好ましくはC10-C16オレフィン；
特に1〜40個のフッ素原子、好ましくは5〜35個のフッ素原子、好ましくは10〜30個のフッ素原子を含む、フルオロアルキル、特にC1-C20フルオロアルキル、好ましくはC8-C18フルオロアルキル、好ましくはC10-C16フルオロアルキル；
特に3〜20個のフッ素原子、好ましくは5〜20個のフッ素原子を含む、フルオロアリール、特にC6-C20フルオロアリール、好ましくはC6-C10フルオロアリール；
特に1〜30個のフッ素原子、好ましくは3〜25個のフッ素原子、好ましくは5〜25個のフッ素原子を含む、フルオロオレフィン、特に末端フルオロオレフィン、好ましくはC2-C20フルオロオレフィン、好ましくはC8-C18フルオロオレフィン、特に好ましくはC10-C16フルオロオレフィン；
R2=アルキル、特にC1-C3アルキル、好ましくはメチル；
X=ハライド、特にクロリド及び／又はブロミド、好ましくはクロリド；
アルコキシ、特にC1-C6アルコキシ、特に好ましくはC1-C4アルコキシ、最も好ましくはC1及び／又はC2アルコキシ；及び
n=1〜3、特に3、及び
m=0〜2、特に0又は2、好ましくは0
であることを特徴とする項3に記載の方法。
〔５〕
前記シランが3つの反応性化学官能基及び／又は化学基、特に3つの加水分解性化学官能基及び／又は化学基、好ましくはトリアルコキシシランを含むことを特徴とする項3又は4に記載の方法。
〔６〕
前記シランがフルオロアルキルトリアルコキシシランから選択され、前記シランが特に1H,1H,2H,2H-トリデカフルオロオクチルトリエトキシシランであることを特徴とする項3〜5のいずれか1項に記載の方法。
〔７〕
前記シランが、特にC12アルキルトリアルコキシシラン、C14アルキルトリアルコキシシラン及びC16アルキルトリアルコキシシラン並びにその混合物から成る群より選択されるアルキルトリアルコキシシランであることを特徴とする項3〜5のいずれか1項に記載の方法。
〔８〕
前記改質剤を、前記コンポーネントに接触させた後、特に適用した後に乾燥及び／又は硬化させることを特徴とする項1〜7のいずれか1項に記載の方法。
〔９〕
前記改質剤を、20〜250℃、特に30〜220℃、好ましくは50〜200℃、好ましくは80〜180℃、特に好ましくは100〜150℃、最も好ましくは110〜140℃の範囲内の温度で乾燥及び／又は硬化させることを特徴とする項8に記載の方法。
〔１０〕
前記改質剤を、0.1〜10時間、特に0.2〜8時間、好ましくは0.5〜5時間、好ましくは0.75〜3時間、特に好ましくは1〜2時間の間、乾燥及び／又は硬化させることを特徴とする項8又は9に記載の方法。
〔１１〕
前記コンポーネントを前記改質試薬と接触させる前に前記コンポーネントの表面を活性化することを特徴とする項1〜10のいずれか1項に記載の方法。
〔１２〕
前記乾燥及び／又は硬化の方法工程の前又は後、特に前記乾燥及び／又は硬化の方法工程の後に、スピンリンスドライヤー内で前記コンポーネントを処理することによって、過剰の改質試薬を除去することを特徴とする項1〜11のいずれか1項に記載の方法。
〔１３〕
最終方法工程において、前記表面改質、特に疎水化の質を、特に各コンポーネントについて判定することを特徴とする項1〜12のいずれか1項に記載の方法。
〔１４〕
前記表面改質の質を、光学的方法を用いて、特に画像データに基づいて、特に空間分解様式で測定パラメーターを目標値と比較することによって判定することを特徴とする項13に記載の方法。
〔１５〕
前記表面改質の質の判定に基づいて前記コンポーネントを分類し、特に欠陥コンポーネントを処分することを特徴とする項13又は14に記載の方法。
〔１６〕
前記コンポーネントがガラス、特にケイ酸塩ガラス、好ましくは石英ガラス及び／又はホウケイ酸ガラス、好ましくはホウケイ酸ガラスを含むことを特徴とする項1〜15のいずれか1項に記載の方法。
〔１７〕
前記コンポーネントが元素シリコンを含むことを特徴とする項1〜16のいずれか1項に記載の方法。
〔１８〕
前記コンポーネントが少なくとも2つの異なる材料、特にシリコン及びガラスを含み、前記材料が、特に極性表面を含むことを特徴とする項1〜17のいずれか1項に記載の方法。
〔１９〕
前記コンポーネントの前記材料の表面を一緒に改質することを特徴とする項18に記載の方法。
〔２０〕
前記コンポーネントがチャネル形態のマイクロ構造を含み、前記チャネルが、特に0.1〜50μm、特に0.5〜40μm、好ましくは1〜20μm、好ましくは2〜15μm、特に好ましくは2.5〜10μm、最も好ましくは3〜8μmの範囲内の直径を有することを特徴とする項1〜19のいずれか1項に記載の方法。
〔２１〕
前記マイクロ構造が、前記コンポーネント材料の少なくとも1つ、特に元素シリコンに、特にドリリング、フライス加工、レーザー切断又はエッチングによって、好ましくはエッチングによって作られることを特徴とする項1〜20のいずれか1項に記載の方法。
〔２２〕
前記コンポーネントがマイクロ流体システムであることを特徴とする項1〜21のいずれか1項に記載の方法。
〔２３〕
前記コンポーネントが、流体、特に液体用の、少なくとも1つの入口開口部及び少なくとも1つの出口開口部、好ましくは2つの出口開口部を含むことを特徴とする項1〜22のいずれか1項に記載の方法。
〔２４〕
前記出口開口部が、液体を放出するためのノズルを形成していることを特徴とする項23に記載の方法。
〔２５〕
前記コンポーネントが、前記入口開口部と出口開口部との間にフィルター領域を含むことを特徴とする項23又は項24に記載の方法。
〔２６〕
前記コンポーネントの内側表面を、特に少なくとも実質的に改質し、前記内側表面が、特にチャネルによって形成されていることを特徴とする項1〜25のいずれか1項に記載の方法。
〔２７〕
前記コンポーネントの外側表面を、特に前記出口開口部の領域内で改質することを特徴とする項23又は項24に記載の方法。
〔２８〕
前記コンポーネントの表面全体を改質することを特徴とする項1〜27のいずれか1項に記載の方法。
〔２９〕
前記表面改質、特に疎水化によって、標的様式で前記コンポーネント表面の特性を調整できることを特徴とする項1〜28のいずれか1項に記載の方法。
〔３０〕
前記改質試薬を前記コンポーネントの表面と接触させることによって、前記コンポーネントの表面に層、特に疎水性層を適用することを特徴とする項1〜29のいずれか1項に記載の方法。
〔３１〕
前記層を単層の形態で前記コンポーネントに適用することを特徴とする項30に記載の方法。
〔３２〕
0.1〜200nm、特に0.2〜100nm、好ましくは0.3〜50nm、好ましくは0.4〜10nm、特に好ましくは0.5〜3nmの層厚で前記層を前記コンポーネントに適用することを特徴とする項30又は項31に記載の方法。
〔３３〕
前記層が、前記コンポーネントに化学結合、特に共有結合によって結合することを特徴とする項1〜32のいずれか1項に記載の方法。
〔３４〕
前記シロキサンが、C1-C20アルキルシロキサン、特にC8-C18アルコキシシロキサン、好ましくはC10-C16アルコキシシランから選択されること、及び／又は
前記シロキサンが、C1-C20アルキルアルコキシシロキサン、特にC8-C18アルキルアルコキシシラン、好ましくはC10-C16アルキルアルコキシシロキサンから選択されること、及び／又は
前記シロキサンが、C6-C20アリールシロキサン、特にC6-C18アリールシロキサン、好ましくはC6-C15アリールシロキサンから選択されること、及び／又は
前記シロキサンが、C6-C20アリールアルコキシシロキサン、特にC6-C18アリールアルコキシシロキサン、好ましくはC6-C15アリールアルコキシシロキサンから選択されること
を特徴とする項3〜33のいずれか1項に記載の方法。
〔３５〕
前記改質剤が、アルキルポリシロキサン、アルキルアルコキシポリシロキサン、アリールポリシロキサン及びアリールアルコキシポリシロキサン並びにその混合物、特にアルキルポリシロキサン及びアルキルアルコキシポリシロキサン並びにその混合物から選択されるポリシロキサン、好ましくはアルキルアルコキシポリシロキサンであることを特徴とする項1〜34のいずれか1項に記載の方法。
〔３６〕
前記改質剤のために、下記一般式II
R14-(n+m)SiR2mXn      (II)
のシランを使用し、式中、
R1=アルキル、特にC1-C20アルキル、好ましくはC8-C18アルキル、好ましくはC10-C16アルキル；
特に1〜40個のフッ素原子、好ましくは5〜35個のフッ素原子、好ましくは10〜30個のフッ素原子を含む、フルオロアルキル、特にC1-C20フルオロアルキル、好ましくはC8-C18フルオロアルキル、好ましくはC10-C16フルオロアルキル；
R2=アルキル、特にC1-C3アルキル、好ましくはメチル；
X=ハライド、特にクロリド；
アルコキシ、特にC1-C6アルコキシ、特に好ましくはC1-C4アルコキシ、最も好ましくはC1及び／又はC2アルコキシ；及び
n=1〜3、特に3、及び
m=0〜2、特に0又は2、好ましくは0である
ことを特徴とする項5〜35のいずれか1項に記載の方法。
〔３７〕
前記改質剤のために、下記一般式III
R4-nSiXn      (III)
のシランを使用し、式中、
R=アルキル、特にC1-C20アルキル、好ましくはC8-C18アルキル、好ましくはC10-C16アルキル；
特に1〜40個のフッ素原子、好ましくは5〜35個のフッ素原子、好ましくは10〜30個のフッ素原子を含む、フルオロアルキル、特にC1-C20フルオロアルキル、好ましくはC8-C18フルオロアルキル、好ましくはC10-C16フルオロアルキル；
X=アルコキシ、好ましくはC1-C4アルコキシ、最も好ましくはC1及び／又はC2アルコキシ；及び
n=1〜4、特に3である
ことを特徴とする項5〜36のいずれか1項に記載の方法。
〔３８〕
前記改質剤のために、下記一般式IV
R14-(n+m)SiR2mXn      (IV)
のシランを使用し、式中、
R1=特に1〜40個のフッ素原子、好ましくは5〜35個のフッ素原子、好ましくは10〜30個のフッ素原子を含む、フルオロアルキル、特にC1-C20フルオロアルキル、好ましくはC8-C18フルオロアルキル、好ましくはC10-C16フルオロアルキル；
特に3〜20個のフッ素原子、好ましくは5〜20個のフッ素原子を含む、フルオロアリール、特にC6-C20フルオロアリール、好ましくはC6-C10フルオロアリール；
特に1〜30個のフッ素原子、好ましくは3〜25個のフッ素原子、好ましくは5〜25個のフッ素原子を含む、フルオロオレフィン、特に末端フルオロオレフィン、好ましくはC2-C20フルオロオレフィン、好ましくはC8-C18フルオロオレフィン、特に好ましくはC10-C16フルオロオレフィン；
R2=アルキル、特にC1-C3アルキル、好ましくはメチル；
X=ハライド、特にクロリド及び／又はブロミド、好ましくはクロリド；
アルコキシ、特にC1-C6アルコキシ、特に好ましくはC1-C4アルコキシ、最も好ましくはC1及び／又はC2アルコキシ；及び
n=1〜3、特に3、及び
m=0〜2、特に0又は2、好ましくは0である
ことを特徴とする項5〜37のいずれか1項に記載の方法。
〔３９〕
前記改質剤のために、下記一般式V
R4-nSiXn      (V)
のシランを使用し、式中、
R=特に1〜40個のフッ素原子、好ましくは5〜35個のフッ素原子、好ましくは10〜30個のフッ素原子を含む、フルオロアルキル、特にC1-C20フルオロアルキル、好ましくはC8-C18フルオロアルキル、好ましくはC10-C16フルオロアルキル；
X=アルコキシ、好ましくはC1-C4アルコキシ、最も好ましくはC1及び／又はC2アルコキシ；及び
n=1〜4、特に3である
ことを特徴とする項38に記載の方法。
〔４０〕
前記改質剤のために、下記一般式VI
R14-(n+m)SiR2mXn      (VI)
のシランを使用し、式中、
R1=アルキル、特にC1-C20アルキル、好ましくはC8-C18アルキル、好ましくはC10-C16アルキル；
アリール、特にC6-C20アリール、好ましくはC6-C10アリール；
オレフィン、特に末端オレフィン、好ましくはC2-C20オレフィン、好ましくはC8-C18オレフィン、特に好ましくはC10-C16オレフィン；
R2=アルキル、特にC1-C3アルキル、好ましくはメチル；
X=ハライド、特にクロリド及び／又はブロミド、好ましくはクロリド；
アルコキシ、特にC1-C6アルコキシ、特に好ましくはC1-C4アルコキシ、最も好ましくはC1及び／又はC2アルコキシ；及び
n=1〜3、特に3、及び
m=0〜2、特に0又は2、好ましくは0である
ことを特徴とする項5〜39のいずれか1項に記載の方法。
〔４１〕
前記改質剤のために、下記一般式VII
R4-nSiXn      (VII)
のシランを使用し、式中、
R=アルキル、特にC1-C20アルキル、好ましくはC8-C18アルキル、好ましくはC10-C16アルキル；
X=アルコキシ、好ましくはC1-C4アルコキシ、最も好ましくはC1及び／又はC2アルコキシ；及び
n=1〜4、特に3である
ことを特徴とする項40に記載の方法。
〔４２〕
前記改質試薬を溶液及び／又は分散系の形態で使用し、特に溶媒及び／又は分散媒として水及び／又は有機溶媒を使用することを特徴とする項1〜41のいずれか1項に記載の方法。
〔４３〕
前記溶媒及び／又は分散媒として、水並びに／又は特に一級及び二級アルコール、ケトン、エーテル、アミン、アミド、エステル、スルホキシド及びその混合物、特にメタノール、エタノール、イソプロパノール、ジメチルエーテル、ジエチルエーテル、酢酸エチルエーテル、THF、DMF、DMSO及びその混合物、好ましくはエタノール及びイソプロパノール並びにその混合物から成る群より選択される極性有機溶媒を使用することを特徴とする項42に記載の方法。
〔４４〕
前記溶媒及び／又は分散媒として、無極性有機溶媒、特にトルエン、テトラクロロメタン、クロロホルム、アルカン及びその混合物、特にトルエン、テトラクロロメタン、C5-C9アルカン、特にペンタン、ヘキサン、ヘプタン及び／又はオクタン、並びにその混合物を使用することを特徴とする項42に記載の方法。
〔４５〕
前記改質試薬が、該改質試薬に基づいて、0.005〜0.5モル/l、好ましくは0.01〜0.1モル/l、好ましくは0.02〜0.05モル/lの濃度で前記改質剤を含有することを特徴とする項1〜44のいずれか1項に記載の方法。
〔４６〕
前記コンポーネントを、5分〜20時間、特に30分〜15時間、好ましくは1〜10時間、好ましくは2〜8時間、特に好ましくは4〜7時間の間、前記改質試薬と接触させることを特徴とする項1〜45のいずれか1項に記載の方法。
〔４７〕
前記コンポーネントを、10〜50℃、特に15〜40℃、好ましくは20〜30℃の範囲内の温度で前記改質試薬と接触させることを特徴とする項1〜46のいずれか1項に記載の方法。
〔４８〕
前記改質剤と接触させながら、少なくとも間欠的に、特に固定間隔で、前記コンポーネントを超音波で処理することを特徴とする項1〜47のいずれか1項に記載の方法。
〔４９〕
特に高圧用途のためのマイクロ構造コンポーネントの表面を改質、特に疎水化する方法において、
(a)第1の方法工程で、マイクロ構造コンポーネントの表面を活性化し、
(b)後続方法工程で、前記マイクロ構造コンポーネントを、少なくとも1種の改質剤を含有する改質試薬と接触させ、特に該試薬で処理し、
(c)後続工程で、前記改質剤を乾燥及び／又は硬化させ、及び
(d)最終方法工程で、前記表面改質の質を判定する
ことを特徴とする項1〜48のいずれか1項に記載の方法。
〔５０〕
前記コンポーネントを物理的及び／又は化学的に、好ましくは化学的に活性化することを特徴とする項11〜49のいずれか1項に記載の方法。
〔５１〕
前記コンポーネントを、活性化試薬、特に活性化溶液の作用で活性化することを特徴とする項11〜50のいずれか1項に記載の方法。
〔５２〕
前記コンポーネントを酸性及び／又は塩基性条件下で活性化することを特徴とする項11〜51のいずれか1項に記載の方法。
〔５３〕
前記コンポーネントを酸化条件下、特に酸性及び／又は塩基性酸化条件下で活性化することを特徴とする項11〜52のいずれか1項に記載の方法。
〔５４〕
前記活性化試薬が、酸及び塩基、特にアルカリ性溶液及び／又はテトラメチルアンモニウムヒドロキシド溶液、鉱酸、ハロゲン化有機酸、ピラニア溶液、SC-1溶液、並びにその混合物、特にSC-1溶液から成る群より選択されることを特徴とする項51〜53のいずれか1項に記載の方法。
〔５５〕
前記活性化試薬が、水、アンモニア水溶液及び過酸化水素水溶液を、10:1:1〜5:2:2、好ましくは8:1:1〜5:2:1、特に好ましくは5:1:1の体積対体積比で含み、前記アンモニア水溶液は、該アンモニア溶液に基づいて、特に5〜30wt.%のNH3、特に好ましくは25wt.%のNH3を含み、及び／又は前記過酸化水素水溶液は、該過酸化水素水溶液に基づいて、特に10〜40wt.%のH2O2、好ましくは30wt.%のH2O2を含むことを特徴とする項51〜54のいずれか1項に記載の方法。
〔５６〕
前記活性化試薬が、硫酸及び過酸化水素水溶液を、20:1〜1:1、特に10:1〜1:1、好ましくは5:1〜1:1、好ましくは3:1〜1:1、特に好ましくは7:3の体積対体積比で含み、前記硫酸は、特に濃縮されており、好ましくは99.0〜99.99wt.%のH2SO4含量を有し、及び／又は前記過酸化水素水溶液は、該過酸化水素水溶液に基づいて、特に10〜40wt.%のH2O2、好ましくは30wt.%のH2O2を含むことを特徴とする項51〜55のいずれか1項に記載の方法。
〔５７〕
前記活性化試薬がアルカリ性灰汁、特に苛性ソーダであり、この活性化試薬は、特に少なくとも1種のアルカリ金属水酸化物、特に水酸化ナトリウム及び／又は水酸化カリウム、好ましくは水酸化ナトリウムを、該活性化試薬に基づいて、5〜25wt.%、好ましくは20wt.%の量で含むことを特徴とする項51〜56のいずれか1項に記載の方法。
〔５８〕
前記コンポーネントを、0.1〜10時間、特に0.5〜8時間、好ましくは1〜5時間の間、前記活性化試薬で処理することを特徴とする項51〜57のいずれか1項に記載の方法。
〔５９〕
前記コンポーネントを、20〜100℃、特に30〜90℃、好ましくは40〜85℃、好ましくは50〜80℃、特に好ましくは60〜75℃の範囲内の温度にて前記活性化試薬で処理することを特徴とする項51〜58のいずれか1項に記載の方法。
〔６０〕
活性化及び／又は表面改質前に前記コンポーネントを洗浄、特に脱脂することを特徴とする項1〜59のいずれか1項に記載の方法。
〔６１〕
特に揮発性有機溶媒、特にアルコール、好ましくはエタノール若しくはイソプロパノール、又は無極性非プロトン溶媒で処理することによって前記コンポーネントを洗浄することを特徴とする項1〜60のいずれか1項に記載の方法。
〔６２〕
項1〜62のいずれか1項に従って得られる表面改質、特にコーティングを含む、マイクロ構造コンポーネント。
〔６３〕
マイクロ構造によって形成された少なくとも1つの入口開口部と、少なくとも1つの出口開口部と、内側表面とを含む、好ましくはマイクロ流体システムにおいて使用するための、マイクロ構造コンポーネント、特にノズルシステムであって、前記内側表面が、少なくとも部分的に改質、特にコーティングされていることを特徴とする前記マイクロ構造コンポーネント。
〔６４〕
前記コンポーネントが、出口開口部を前記入口開口部に直接又は間接的に接続するチャネルを含むことを特徴とする項63に記載のマイクロ構造コンポーネント。
〔６５〕
前記コンポーネントの外側表面が、特に前記出口開口部の領域内で改質、特にコーティングされていることを特徴とする項63又は項64に記載のマイクロ構造コンポーネント。
〔６６〕
前記コンポーネントの表面が、疎水性になるように改質、特に疎水化されていることを特徴とする項63〜65のいずれか1項に記載のマイクロ構造コンポーネント。
〔６７〕
前記コンポーネントの表面が、改質試薬を用いる変換によって改質されていることを特徴とする項63〜66のいずれか1項に記載のマイクロ構造コンポーネント。
〔６８〕
前記改質試薬が、少なくともシラン、シロキサン、ポリシロキサン及び／又はシリコナートを含有することを特徴とする項67に記載のマイクロ構造コンポーネント。
〔６９〕
前記コンポーネントが2つの出口開口部を含むことを特徴とする項63〜68のいずれか1項に記載のマイクロ構造コンポーネント。
〔７０〕
前記出口開口部の前記チャネルが、互いに50〜130°、特に60〜120°、好ましくは70〜110°、好ましくは80〜100°、特に好ましくは85〜95°、最も好ましくは90°の角度で方向づけられていることを特徴とする項69に記載のマイクロ構造コンポーネント。
〔７１〕
前記コンポーネントが、好ましくは前記入口開口部と前記出口開口部との間に、さらにフィルター領域を含むことを特徴とする項63〜70のいずれか1項に記載のマイクロ構造コンポーネント。
〔７２〕
前記マイクロ構造、特に前記出口開口部のチャネルが、0.1〜50μm、特に0.5〜40μm、好ましくは1〜20μm、好ましくは2〜15μm、特に好ましくは2.5〜10μm、最も好ましくは3〜8μmの範囲内の深さ及び／又は直径を有することを特徴とする項63〜71のいずれか1項に記載のマイクロ構造コンポーネント。
〔７３〕
前記コンポーネントが、少なくとも2つの異なる材料、特にガラス及びシリコンから成ることを特徴とする項63〜72のいずれか1項に記載のマイクロ構造コンポーネント。
〔７４〕
前記異なる材料が、特に少なくとも実質的に四角形、特にプレート様であることを特徴とする項73に記載のマイクロ構造コンポーネント。
〔７５〕
前記異なる材料が、強固に相互接続、特に結合されていることを特徴とする項73又は項74に記載のマイクロ構造コンポーネント。
〔７６〕
前記材料の少なくとも1つが、該材料が第2の材料に接続される面上でマイクロ構造化され、それゆえに前記異なる材料間の接続の結果として前記コンポーネント内にマイクロ構造が存在することを特徴とする項75に記載のマイクロ構造コンポーネント。
〔７７〕
流体、特に医療用液体、好ましくは液体医薬品用の放出装置、特に噴霧器であって、項62〜76のいずれか1項に記載の少なくとも1つのマイクロ構造コンポーネントを含む前記放出装置。
〔７８〕
少なくとも1つの液体医薬品を含む、項77に記載の放出装置。
〔７９〕
前記医薬品が、少なくとも1つの医薬活性成分の分散系又は溶液であることを特徴とする項77又は項78に記載の放出装置。
〔８０〕
前記医薬活性成分が、テルブタリン、サルブタモール、トロスピウム、特にトロスピウムクロリド、フルトロピウム、特にフルトロピウムブロミド、チオトロピウム、特にチオトロピウムブロミド、オキシトロピウム、特にオキシトロピウムブロミド、イプラトロピウム、特にイプラトロピウムブロミド、フェノテロール、ブデソニド、フルチカソン、特にフルチカソンプロピオナート、グリコピロニウム、特にグリコピロニウムブロミド、シクレソニド及びベクロメタゾン、特にベクロメタゾンプロピオナート、並びにその生理学的に適合性の塩及び誘導体から成る群より選択されることを特徴とする項79に記載の放出装置。
〔８１〕
前記溶液又は分散系が、前記活性成分を、該溶液又は分散系に基づいて、0.01〜100ミリモル/l、特に0.05〜80ミリモル/l、好ましくは0.1〜50ミリモル/l、好ましくは0.5〜20ミリモル/l、特に好ましくは0.6〜10ミリモル/l、最も好ましくは0.8〜5ミリモル/lの量で含有することを特徴とする項79又は項80に記載の放出装置。
〔８２〕
前記溶媒又は分散媒が、有機溶媒、特にアルコール、好ましくはエタノール又はイソプロパノール、好ましくはエタノール、及び水、並びにその混合物から成る群より選択されることを特徴とする項79〜81のいずれか1項に記載の放出装置。
〔８３〕
前記溶媒又は分散媒が、エタノール及び水並びにその混合物、好ましくはその混合物から選択され、前記混合物中の水対エタノールの体積対体積比が、特に10:1〜1:50、特に5:1〜1:30、好ましくは2:1〜1:20、好ましくは1:1〜1:15、特に好ましくは1:2〜1:10の範囲内で変動することを特徴とする項82に記載の放出装置。
〔８４〕
前記溶液又は分散系が、2〜8、特に2.2〜7、好ましくは2.5〜6.5、好ましくは2.8〜6の範囲内のpHを有することを特徴とする項79〜83のいずれか1項に記載の放出装置。
〔８５〕
マイクロ構造コンポーネントの表面改質の評価方法において、特に高圧で、前記マイクロ構造コンポーネントを通して誘発溶液を繰り返し導き、前記誘発溶液が前記マイクロ構造コンポーネントを出るときの該誘発溶液の流動挙動を観察することを特徴とする、前記方法。
〔８６〕
前記表面改質の質、特に改質試薬の適合性を、経時的な前記流動挙動によって、特に前記誘発溶液が前記マイクロ構造コンポーネントを出るときの該誘発溶液の経時的な流動挙動の変化によって判定することを特徴とする項85に記載の方法。
〔８７〕
前記誘発溶液が前記マイクロ構造コンポーネントを出るときの該誘発溶液の流動挙動を光学的、特に写真方法によって観察することを特徴とする項85又は項86に記載の方法。
〔８８〕
前記マイクロ構造コンポーネントがノズル体、特にDJIノズルであることを特徴とする項85〜87のいずれか1項に記載の方法。
〔８９〕
前記誘発溶液が、水溶液及び／又はアルコール溶液、特に水-エタノール混合物であり、前記誘発溶液が特に1:1〜20:1、特に3:1〜15:1、好ましくは6:1〜12:1、好ましくは9:1の範囲内のアルコール対水の体積対体積比を有することを特徴とする項85〜88のいずれか1項に記載の方法。
〔９０〕
前記誘発溶液が、最大で4、特に最大で3、好ましくは最大で2のpHを有し、及び／又は前記誘発溶液が、0〜4、特に0.1〜3、好ましくは1〜2の範囲内のpHを有することを特徴とする項85〜89のいずれか1項に記載の方法。
〔９１〕
前記誘発溶液が、ケイ酸及び有機化学化合物、特に活性成分から選択される少なくとも1つの追加物質を含むことを特徴とする項89又は項90に記載の方法。
〔９２〕
前記誘発溶液が、該誘発溶液に基づいて、0.01〜5ミリモル/l、特に0.1〜3ミリモル/l、好ましくは0.5〜2ミリモル/l、好ましくは1ミリモル/lの量で前記有機化学化合物、特に前記活性成分を含み、及び／又は前記誘発溶液が、該誘発溶液に基づいて、0.001〜2wt.%、特に0.01〜1wt.%、好ましくは0.05〜0.5wt.%、好ましくは0.1wt.%の量でケイ酸を含むことを特徴とする項91に記載の方法。