【手続補正書】
【提出日】平成20年10月20日(2008.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のチャンバを差圧的にポンプ排気するポンプ装置であって、
複合ポンプを有し、前記複合ポンプは、第１のチャンバからの流体を受入れるための第１の入口と、第２のチャンバからの流体を受入れるための第２の入口と、第１のポンプセクションと、前記第１のポンプセクションの下流側に位置した第２のポンプセクションとを有し、前記第１及び第２のポンプセクションは、前記第１の入口から前記複合ポンプに入った流体が前記第１及び前記第２のポンプセクションを通り、前記第２の入口から前記複合ポンプに入った流体が前記第１及び第２のセクションのうちの第２のセクションだけを通るように配置され、
更に、第３のチャンバからの流体を受入れるための入口を備えたブースタポンプと、
前記ブースタポンプから排出された流体を受入れるための入口を備えたバッキングポンプと、  前記複合ポンプの前記第１及び第２のポンプセクションからの流体を前記ブースタポンプ及び前記バッキングポンプのうちの一方に移動させるための手段と、有するポンプ装置。
【請求項２】
前記複合ポンプは、少なくとも３つのポンプセクションを有し、各ポンプセクションは、少なくとも１つのポンプ段を有する、請求項１に記載のポンプ装置。
【請求項３】
前記複合ポンプは、第１のポンプセクションと、前記第１のポンプセクションの下流側に位置した第２のポンプセクションと、前記第２のポンプセクションの下流側に位置した第３のポンプセクションとを有し、前記第１、第２及び第３のポンプセクションは、前記第１の入口を通って前記ポンプに入った流体が前記第１、第２及び第３のポンプセクションを通り且つ前記第２の入口を通って前記ポンプに入った流体が前記第１、第２及び第３のポンプセクションのうちの第２及び第３のポンプセクションだけを通るように、前記第１及び第２の入口に対して位置決めされる、請求項２に記載のポンプ装置。
【請求項４】
前記複合ポンプは、第４のチャンバからの流体を受入れるための第３の入口を有する、請求項３に記載のポンプ装置。
【請求項５】
前記第３の入口は、それを通って前記複合ポンプに入った流体が前記第１、第２及び第３のポンプセクションのうちの第３のポンプセクションだけを通るように配置される、請求項４に記載のポンプ装置。
【請求項６】
前記複合ポンプは、流体を前記第３のチャンバから前記ブースタポンプと並列に受入れるための第３の入口を有する、請求項３に記載のポンプ装置。
【請求項７】
前記第３の入口は、それを通って前記複合ポンプに入った流体が前記第１、第２及び第３のポンプセクションのうちの第３のポンプセクションだけを通るように配置されている、請求項６記載のポンプ装置。
【請求項８】
前記第３のポンプセクションは、前記第３のポンプ入口から前記複合ポンプの中に流れる流体が前記第２のポンプ入口から前記複合ポンプの中に流れる流体と別の経路を辿るように、前記第２及び第３のポンプ入口に対して位置決めされる、請求項７記載のポンプ装置。
【請求項９】
前記複合ポンプは、第４のチャンバからの流体を受入れるための第４の入口を有する、請求項６〜８のいずれか１項に記載のポンプ装置。
【請求項１０】
前記第４の入口は、それを通って前記複合ポンプに入った流体が前記第１、第２及び第３のポンプセクションのうちの第３のポンプセクションだけを通るように配置される、請求項９記載のポンプ装置。
【請求項１１】
前記ブースタポンプは、流体を前記第４のチャンバから前記複合ポンプの第４の入口と並列に受入れるための第２の入口を有する、請求項９又は１０に記載のポンプ装置。
【請求項１２】
前記ブースタポンプは、複数のポンプ段を有し、前記複数のポンプ段は、前記ブースタポンプの入口のうちの一方を通って前記ブースタポンプに入った流体が前記ブースタポンプ入口のうちの他方を通って前記ブースタポンプに入った流体と異なる数のポンプ段を通るように、前記ブースタポンプの入口に対して配置される、請求項１１記載のポンプ装置。
【請求項１３】
前記ブースタポンプは、周波数独立性又はインバータ駆動式ポンプである、請求項１〜１１のいずれか１項に記載のポンプ装置。
【請求項１４】
前記ブースタポンプは、前記第３のチャンバからの流体を受入れるための第１の入口と、前記複合ポンプからの排出流体を受入れるための第２の入口と、を有する請求項１〜１３のいずれか１項に記載のポンプ装置。
【請求項１５】
前記ブースタポンプは、複数のポンプ段と、前記第３のチャンバからの流体を受入れるための第１の入口と、前記複合ポンプからの排出流体を受入れるための第２の入口とを有し、
前記ブースタポンプの複数のポンプ段は、前記ブースタポンプ入口のうちの一方を通って前記ブースタポンプに入った流体が前記ブースタポンプ入口のうちの他方を通って前記ブースタポンプに入った流体と同じ数のポンプ段を通るように、前記ブースタポンプの入口に対して配置される、請求項１〜３のいずれか１項に記載のポンプ装置。
【請求項１６】
前記ブースタポンプは、前記第３のチャンバからの流体を受入れるための第１の入口と、第４のチャンバからの流体を受入れるための第２の入口と、を有する請求項１〜１３のいずれか１項に記載のポンプ装置。
【請求項１７】
前記ブースタポンプは、複数のポンプ段と、前記第３のチャンバからの流体を受入れるための第１の入口と、第４のチャンバからの流体を受入れるための第２の入口とを有し、
前記ブースタポンプの複数のポンプ段は、前記ブースタポンプ入口のうちの一方を通って前記ブースタポンプに入った流体が前記ブースタポンプ入口のうちの他方を通って前記ブースタポンプに入った流体と異なる数のポンプ段を通るように、前記ブースタポンプの入口に対して配置される、請求項１〜３のいずれか１項に記載のポンプ装置。
【請求項１８】
前記ブースタポンプは、複数のポンプ段を有し、前記複合ポンプのポンプ段は、前記ブースタポンプのポンプ段と同軸である、請求項１〜３のいずれか１項に記載のポンプ装置。
【請求項１９】
複数個の圧力チャンバを差圧的にポンプ排気する方法であって、
ポンプ装置を用意するステップを有し、
前記ポンプ装置は、複合ポンプを有し、前記複合ポンプが、第１の入口と、第２の入口と、出口と、第１のポンプセクションと、前記第１のポンプセクションの下流側に位置する第２のポンプセクションと、を有し、前記第１及び第２のポンプセクションは、前記第１の入口から前記複合ポンプに入った流体が前記第１及び第２のポンプセクションを通り且つ前記第２の入口から前記複合ポンプに入った流体が前記第１及び第２のポンプセクションのうちの第２のポンプセクションだけを通るように配置され、
前記ポンプ装置は、更に、少なくとも１つのブースタポンプ入口及びブースタポンプ出口を備えたブースタポンプと、バッキングポンプ入口備えたバッキングポンプと、を有し、
更に、前記ポンプ装置を前記圧力チャンバに連結して、前記第１の複合ポンプ入口を前記第１のチャンバの出口に連結し、前記第２の複合ポンプ入口を前記第２のチャンバの出口に連結し、ブースタポンプ入口を、前記第３のチャンバの出口に連結するステップと、
前記バッキングポンプ入口を前記ブースタポンプ出口に連結するステップと、
前記複合ポンプの出口を前記バッキングポンプ及び前記ブースタポンプのうちの一方に連結するステップと、を有する方法。