【手続補正書】
【提出日】平成19年1月11日(2007.1.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＥＤを光源として感光材料を露光する露光装置の製造方法において、
前記ＬＥＤに基準電流値を印加して発光させ、前記ＬＥＤから照射される光の分光特性及び光量を測定する工程と、
前記分光特性及び前記光量に基づいた第１のＬＥＤ特性を求める工程と、
前記第１のＬＥＤ特性を、前記光量を測定するためのセンサの感度特性に基づいて補正して第２のＬＥＤ特性を求める工程と、
前記第２のＬＥＤ特性を、前記感光材料の波長感度特性に基づいて補正して第３のＬＥＤ特性を求める工程と、
前記第３のＬＥＤ特性が、基準特性になるように設定電流値を決定する工程と、
を有することを特徴とする露光装置の製造方法。
【請求項２】
前記第２のＬＥＤ特性を求める工程と前記第３のＬＥＤ特性を求める工程を同時に行う請求項１に記載の露光装置の製造方法。
【請求項３】
前記光量が基準光量となるように、前記基準電流値を補正する工程を、更に有する請求項１又は２に記載の露光装置の製造方法。
【請求項４】
ＬＥＤを光源として感光材料を露光する露光装置の製造方法において、
前記ＬＥＤに第１の電流値を印加して発光させ、前記ＬＥＤから照射される光の分光特性及び光量を測定する工程と、
前記光量が基準光量となるように、前記第１の電流値を補正して第２の電流値を決定する工程と、
前記分光特性及び前記基準光量に基づいた第１のＬＥＤ特性を求める工程と、
前記第１のＬＥＤ特性を、前記光量を測定するためのセンサの感度特性に基づいて補正して第２のＬＥＤ特性を求める工程と、
前記第２のＬＥＤ特性を、前記感光材料の波長感度特性に基づいて補正して第３のＬＥＤ特性を求める工程と、
前記第３のＬＥＤの特性が、基準特性になるように前記第２の電流値を補正して第３の電流値を決定する工程と、
を有することを特徴とする露光装置の製造方法。
【請求項５】
前記第１のＬＥＤ特性は、予め定められたＬＥＤプロファイルデータを前記分光特性及び前記基準光量に基づいて修正することによって求める請求項４に記載の露光装置の製造方法。
【請求項６】
前記分光特性は、ピーク波長である請求項１〜５の何れか一項に記載の露光装置の製造方法。
【請求項７】
前記分光特性は、前記ＬＥＤから照射される光の最大光量を有する波長の１／２の光量を有する短波長側の第１の半値波長と、前記最大光量を有する波長の１／２の光量を有する長波長側の第２の半値波長との平均により求められた仮想のピーク波長である請求項１〜５の何れか一項に記載の露光装置の製造方法。
【請求項８】
前記ＬＥＤはＲ光用ＬＥＤである請求項１〜７の何れか一項に記載の露光装置の製造方法。
【請求項９】
前記ＬＥＤはＲ光用ＬＥＤであり、前記感光材料の波長感度特性は長波長側の波長感度特性である請求項１〜７の何れか一項に記載の露光装置の製造方法。
【請求項１０】
ＬＥＤを光源として感光材料を露光する露光装置であって、
前記ＬＥＤに基準電流値を印加して発光させ、前記ＬＥＤから照射される光の分光特性及び光量を測定する工程と、
前記ＬＥＤに基準電流値を印加して発光させ、前記ＬＥＤから照射される光の分光特性及び光量を測定する工程と、
前記分光特性及び前記光量に基づいた第１のＬＥＤ特性を求める工程と、
前記第１のＬＥＤ特性を、前記光量を測定するためのセンサの感度特性に基づいて補正して第２のＬＥＤ特性を求める工程と、
前記第２のＬＥＤ特性を、前記感光材料の波長感度特性に基づいて補正して第３のＬＥＤ特性を求める工程と、
前記第３のＬＥＤ特性が、基準特性になるように設定電流値を決定する工程と、を有する調整方法によって、前記ＬＥＤが調整されたことを特徴とする露光装置。
【請求項１１】
ＬＥＤを光源として感光材料を露光する露光装置であって、
前記ＬＥＤに第１の電流値を印加して発光させ、前記ＬＥＤから照射される光の分光特性及び光量を測定する工程と、
前記光量が基準光量となるように、前記第１の電流値を補正して第２の電流値を決定する工程と、
前記分光特性及び前記基準光量に基づいた第１のＬＥＤ特性を求める工程と、
前記第１のＬＥＤ特性を、前記光量を測定するためのセンサの感度特性に基づいて補正して第２のＬＥＤ特性を求める工程と、
前記第２のＬＥＤ特性を、前記感光材料の波長感度特性に基づいて補正して第３のＬＥＤ特性を求める工程と、
前記第３のＬＥＤの特性が、基準特性になるように前記第２の電流値を補正して第３の電流値を決定する工程と、を有する調整方法によって、前記ＬＥＤが調整されたことを特徴とする露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置の製造方法及び光源調整された露光装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、ＬＥＤを光源として感光材料を露光する露光装置の製造方法及び調整された露光装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
そこで、本発明は、ＬＥＤから照射される光の分光特性を測定することによって、ＬＥＤの個体差に拘わらず、一定濃度の画像を得ることができる露光装置の製造方法及び調整された露光装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明は、ＬＥＤから照射される光の分光特性及び光量、及び感光材料の分光感度特性に応じた調整を行い、ＬＥＤの個体差に拘わらず、一定濃度の画像を得ることができる露光装置の製造方法及び調整された露光装置を提供することを目的とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
さらに、本発明は、ＬＥＤから照射される光の光量を測定するためのセンサが有する分光感度特性に拘わらず、一定濃度の画像を得ることができる露光装置の製造方法及び調整された露光装置を提供することを目的とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記の目的を達成するために、本発明に係る露光装置の製造方法では、ＬＥＤに基準電流値を印加して発光させＬＥＤから照射される光の分光特性及び光量を測定する工程と、分光特性及び光量に基づいたＬＥＤ特性を感光材料の波長感度特性に基づいて補正する工程と、補正されたＬＥＤの特性が基準特性になるように設定電流値を決定する工程とを有することを特徴とする。ＬＥＤから照射される光の分光特性、ＬＥＤから照射される光の光量、及び感光材料の分光感度特性に応じた調整を行い、ＬＥＤの個体差に拘わらず、一定濃度の画像を得ることができるように露光装置を調整する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
さらに、本発明に係る露光装置の製造方法では、補正工程は、分光特性及び光量に基づいた第１のＬＥＤ特性を求める工程と、第１のＬＥＤ特性を光量を測定するためのセンサの感度特性に基づいて補正して第２のＬＥＤ特性を求める工程と、第２のＬＥＤ特性を感光材料の波長感度特性に基づいて補正する工程とを有することが好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
さらに、本発明に係る露光装置の製造方法では、第２のＬＥＤ特性を求める工程と感光材料の波長感度特性に基づいて補正する工程とを同時に行うことが好ましい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
さらに、本発明に係る露光装置の製造方法では、光量が基準光量となるように基準電流値を補正する工程を有することが好ましい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
さらに、本発明に係る露光装置の製造方法では、分光特性は、ＬＥＤから照射される光のピーク波長であることが好ましい。また、ピーク波長は、ＬＥＤから照射される光の最大光量を有する波長の１／２の光量を有する長波長側の第１の半値波長と、前記最大光量を有する波長の１／２の光量を有する短波長側の第２の半値波長との平均により求められる仮想のピーク波長を用いることが好ましい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
さらに、本発明に係る露光装置の製造方法では、ＬＥＤはＲ光用ＬＥＤであり、感光材料の波長感度特性は長波長側の波長感度特性であることが好ましい。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、上記の目的を達成するために、本発明に係る露光装置の製造方法では、ＬＥＤに第１の電流値を印加して発光させＬＥＤから照射される光の分光特性及び光量を測定する工程と、光量が基準光量となるように第１の電流値を補正して第２の電流値を決定する工程と、分光特性及び基準光量に基づいた第１のＬＥＤ特性を求める工程と、第１のＬＥＤ特性を光量を測定するためのセンサの感度特性に基づいて補正して第２のＬＥＤ特性を求める工程と、第２のＬＥＤ特性を感光材料の波長感度特性に基づいて補正して第３のＬＥＤ特性を求める工程と、第３のＬＥＤの特性が基準特性になるように第２の電流値を補正して第３の電流値を決定する工程とを有することを特徴とする。ＬＥＤから照射される光の分光特性、ＬＥＤから照射される光の光量、感光材料の分光感度特性、及びセンサ感度に応じた調整を行い、ＬＥＤの個体差に拘わらず、一定濃度の画像を得ることができるように露光装置を調整する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
さらに、本発明に係る露光装置の製造方法では、第１のＬＥＤ特性は、予め定められたＬＥＤプロファイルデータを分光特性及び基準光量に基づいて修正することによって求めることが好ましい。