【手続補正書】
【提出日】平成19年6月20日(2007.6.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のスクライブヘッドを用いてワークにスクライブラインを形成するマルチスクライブヘッドによるスクライブ法であって、
前記ワークの所定方向のサイズに基づいて各スクライブヘッドが受け持つ座標値の範囲を各スクライブヘッドのスクライブ領域として設定するステップと、
前記ワークに形成する各スクライブラインの所定方向における座標値を示すスクライブ対象と前記スクライブ領域とに基づいて各スクライブ領域に含まれるスクライブ対象を求めるステップと、
第１のスクライブヘッドに対応する第１のスクライブ領域にスクライブ対象が含まれるときは第１のスクライブ領域に含まれるスクライブ対象の中から第１のスクライブヘッド側の基板端部の座標値に最も近いスクライブ対象を第１のスクライブヘッドのスクライブ候補に選び、第１のスクライブ領域にスクライブ対象が存在しないときは所定の座標値を第１のスクライブヘッドの待機位置として選び、第１のスクライブヘッド以外の第ｎのスクライブヘッドに対応する第ｎのスクライブ領域にスクライブ対象が含まれるときは第ｎのスクライブ領域に含まれるスクライブ対象の中から第１のスクライブヘッド側の基板端部の座標値に最も近いスクライブ対象を第ｎのスクライブヘッドのスクライブ候補に選び、第ｎのスクライブ領域にスクライブ対象が存在しない時は、第(ｎ−１)のスクライブヘッドから所定長だけ隔たった座標値を第ｎのスクライブヘッドの待機位置として選ぶスクライブデータ処理ステップと、
前記スクライブデータ処理ステップで各スクライブヘッドについてそれぞれ選んだスクライブ候補または待機位置に各スクライブヘッドを移動させてスクライブを実行するスクライブ実行ステップとを含むマルチスクライブヘッドによるスクライブ法。
【請求項２】
前記スクライブデータ処理ステップは、各スクライブヘッドについてそれぞれ選んだスクライブ候補または待機位置を第Ｑ回目のスクライブ実行位置として記憶し、スクライブ候補として選ばれたスクライブ対象を全スクライブ対象から除いて、全スクライブ対象がスクライブ候補として選ばれるまでスクライブデータ処理ステップを繰り返し、
前記スクライブ実行ステップは、記憶された第Ｑ回目のスクライブ実行位置に基づいて第Ｑ回目のスクライブ動作を実行する請求項１記載のマルチスクライブヘッドによるスクライブ法。
【請求項３】
前記第１のスクライブヘッドの待機位置である前記所定の座標値は、ワーク端面より外部の位置である請求項１記載のマルチスクライブヘッドによるスクライブ法。
【請求項４】
前記所定長が、隣接するスクライブヘッドが相互に衝突しないで形成できるスクライブライン間の最小間隔である請求項１記載のマルチスクライブヘッドによるスクライブ法。
【請求項５】
前記スクライブデータ処理ステップは、前記第ｎのスクライブ領域に含まれるスクライブ対象のうち、第(ｎ−１)のスクライブヘッドのスクライブ候補から前記所定長以上隔たった位置にあるスクライブ対象の中からスクライブ候補を選ぶ請求項１記載のマルチスクライブヘッドによるスクライブ法。
【請求項６】
複数のスクライブヘッドを用いてワークにスクライブラインを形成するマルチスクライブヘッドによるスクライバーであって、
前記ワークの所定方向のサイズに基づいて各スクライブヘッドが受け持つ座標値の範囲を各スクライブヘッドのスクライブ領域として設定する手段と、
前記ワークに形成する各スクライブラインの所定方向における座標値を示すスクライブ対象と前記スクライブ領域とに基づいて各スクライブ領域に含まれるスクライブ対象を求める手段と、
第１のスクライブヘッドに対応する第１のスクライブ領域にスクライブ対象が含まれるときは第１のスクライブ領域に含まれるスクライブ対象の中から第１のスクライブヘッド側の基板端部の座標値に最も近いスクライブ対象を第１のスクライブヘッドのスクライブ候補に選び、第１のスクライブ領域にスクライブ対象が存在しないときは所定の座標値を第１のスクライブヘッドの待機位置として選び、第１のスクライブヘッド以外の第ｎのスクライブヘッドに対応する第ｎのスクライブ領域にスクライブ対象が含まれるときは第ｎのスクライブ領域に含まれるスクライブ対象の中から第１のスクライブヘッド側の基板端部の座標値に最も近いスクライブ対象を第ｎのスクライブヘッドのスクライブ候補に選び、第ｎのスクライブ領域にスクライブ対象が存在しない時は、第(ｎ−１)のスクライブヘッドから所定長だけ隔たった座標値を第ｎのスクライブヘッドの待機位置として選ぶスクライブデータ処理手段と、
前記スクライブデータ処理手段で各スクライブヘッドについてそれぞれ選んだスクライブ候補または待機位置に各スクライブヘッドを移動させてスクライブを実行するスクライブ実行手段とを含むマルチスクライブヘッドによるスクライバー。
【請求項７】
前記スクライブデータ処理手段は、各スクライブヘッドについてそれぞれ選んだスクライブ候補または待機位置を第Ｑ回目のスクライブ実行位置として記憶し、スクライブ候補として選ばれたスクライブ対象を全スクライブ対象から除いて、全スクライブ対象がスクライブ候補として選ばれるまでスクライブデータ処理を繰り返し、
前記スクライブ実行手段は、記憶された第Ｑ回目のスクライブ実行位置に基づいて第Ｑ回目のスクライブ動作を実行する請求項６記載のマルチスクライブヘッドによるスクライバー。
【請求項８】
前記第１のスクライブヘッドの待機位置である前記所定の座標値は、ワーク端面より外部の位置である請求項６記載のマルチスクライブヘッドによるスクライバー。
【請求項９】
前記所定長が、隣接するスクライブヘッドが相互に衝突しないで形成できるスクライブライン間の最小間隔である請求項６記載のマルチスクライブヘッドによるスクライバー。
【請求項１０】
前記スクライブデータ処理手段は、前記第ｎのスクライブ領域に含まれるスクライブ対象のうち、第(ｎ−１)のスクライブヘッドのスクライブ候補から前記所定長以上隔たった位置にあるスクライブ対象の中からスクライブ候補を選ぶ請求項６記載のマルチスクライブヘッドによるスクライバー。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
複数のスクライブヘッドを用いてワークにスクライブラインを形成するマルチスクライブヘッドによるスクライブ法は、
前記ワークの所定方向のサイズに基づいて各スクライブヘッドが受け持つ座標値の範囲を各スクライブヘッドのスクライブ領域として設定するステップと、
前記ワークに形成する各スクライブラインの所定方向における座標値を示すスクライブ対象と前記スクライブ領域とに基づいて各スクライブ領域に含まれるスクライブ対象を求めるステップと、
第１のスクライブヘッドに対応する第１のスクライブ領域にスクライブ対象が含まれるときは第１のスクライブ領域に含まれるスクライブ対象の中から第１のスクライブヘッド側の基板端部の座標値に最も近いスクライブ対象を第１のスクライブヘッドのスクライブ候補に選び、第１のスクライブ領域にスクライブ対象が存在しないときは所定の座標値を第１のスクライブヘッドの待機位置として選び、第１のスクライブヘッド以外の第ｎのスクライブヘッドに対応する第ｎのスクライブ領域にスクライブ対象が含まれるときは第ｎのスクライブ領域に含まれるスクライブ対象の中から第１のスクライブヘッド側の基板端部の座標値に最も近いスクライブ対象を第ｎのスクライブヘッドのスクライブ候補に選び、第ｎのスクライブ領域にスクライブ対象が存在しない時は、第(ｎ−１)のスクライブヘッドから所定長だけ隔たった座標値を第ｎのスクライブヘッドの待機位置として選ぶスクライブデータ処理ステップと、
前記スクライブデータ処理ステップで各スクライブヘッドについてそれぞれ選んだスクライブ候補または待機位置に各スクライブヘッドを移動させてスクライブを実行するスクライブ実行ステップとを含む。