【手続補正書】
【提出日】平成19年9月7日(2007.9.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の光学像の情報を測定する光学顕微鏡と、前記試料の物性情報を測定する走査型プローブ顕微鏡とを有する複合顕微鏡において、
前記光学顕微鏡により測定された前記光学像情報と前記走査型プローブ顕微鏡により測定された前記物性情報とを記憶する記憶部と、
前記光学顕微鏡の測定中に前記記憶部に記憶されている前記走査型プローブ顕微鏡により測定された前記物性情報を解析し、又は前記走査型プローブ顕微鏡の測定中に前記記憶部に記憶されている前記光学顕微鏡により測定された前記光学像情報を解析する解析部と、
前記光学顕微鏡の測定中に、前記解析部による前記物性情報の解析結果を表示し、又は前記走査型プローブ顕微鏡の測定中に、前記解析部による前記光学像情報の解析結果を表示する表示部と、
を具備したことを特徴とする複合顕微鏡。
【請求項２】
試料の光学像を含む少なくとも二次元の形状情報を測定する光学顕微鏡と、前記試料の形状情報を含む物性情報を測定する走査型プローブ顕微鏡とを有する複合顕微鏡において、
前記光学顕微鏡により測定された前記形状情報と前記走査型プローブ顕微鏡により測定された前記物性情報とを記憶する記憶部と、
前記光学顕微鏡による前記形状情報の測定中に前記記憶部に記憶されている前記走査型プローブ顕微鏡により測定された前記物性情報を解析し、又は前記走査型プローブ顕微鏡による前記物性情報の測定中に前記記憶部に記憶されている前記光学顕微鏡により測定された前記形状情報を解析する解析部と、
前記光学顕微鏡による前記形状情報の測定中に前記解析部による前記物性情報の解析結果を表示し、又は前記走査型プローブ顕微鏡による前記物性情報の測定中に前記解析部による前記形状情報の解析結果を表示する表示部と、
を具備したことを特徴とする複合顕微鏡。
【請求項３】
前記解析部は、前記光学像情報又は前記物性情報を解析して少なくとも前記試料の断面の情報、粗さの情報、長さ測定結果の情報、フィルタ処理結果の情報、傾き調整処理結果の情報のうち１つの解析結果を取得することを特徴とする請求項１記載の複合顕微鏡。
【請求項４】
前記表示部は、前記光学顕微鏡により測定される前記光学像情報、前記走査型プローブ顕微鏡により測定される前記物性情報、前記解析部による前記解析結果の情報を選択して１つの前記情報又は複数の前記情報を同一画面上に表示することを特徴とする請求項１記載の複合顕微鏡。
【請求項５】
前記表示部は、前記光学顕微鏡により測定される前記形状情報、前記走査型プローブ顕微鏡により測定される前記物性情報、前記解析部による前記解析結果の情報を選択して１つの前記情報又は複数の前記情報を同一画面上に表示することを特徴とする請求項２記載の複合顕微鏡。
【請求項６】
前記解析部による前記走査型プローブ顕微鏡により測定された前記物性情報の解析中に、前記光学顕微鏡による前記形状情報の測定が終了すると、
前記表示部は、前記光学顕微鏡により測定が終了した前記形状情報を表示する、
ことを特徴とする請求項２記載の複合顕微鏡。
【請求項７】
前記解析部による前記光学顕微鏡により測定された前記形状情報の解析中に、前記走査型プローブ顕微鏡による前記物性情報の測定が終了すると、
前記表示部は、前記走査型プローブ顕微鏡により測定が終了した前記物性情報を表示する、
ことを特徴とする請求項２記載の複合顕微鏡。
【請求項８】
前記光学顕微鏡と前記走査型プローブ顕微鏡との各測定条件の情報をそれぞれ設定変更する測定条件設定部を更に備え、
前記表示部は、前記光学顕微鏡又は前記走査型プローブ顕微鏡の前記測定条件設定部で設定される前記測定条件情報の設定を変更するための測定制御画面を表示することを特徴とする請求項１または２記載の複合顕微鏡。
【請求項９】
前記測定制御画面は、前記測定条件情報を表示する第１の測定画面領域と、
前記光学顕微鏡により測定される前記形状情報又は前記走査型プローブ顕微鏡により測定される前記物性情報を表示する第２の測定画像領域と、
を有することを特徴とする請求項８記載の複合顕微鏡。
【請求項１０】
前記表示部は、前記解析部による前記解析結果情報を含む解析画面を表示することを特徴とする請求項１または２記載の複合顕微鏡。
【請求項１１】
前記解析画面は、前記解析部による解析条件を設定変更する第１の解析画面領域と、
前記解析部による前記解析結果情報を表示する第２の解析画面領域と、
を有することを特徴とする請求項１０記載の複合顕微鏡。
【請求項１２】
前記測定条件設定部は、前記解析部の解析条件を設定することを特徴とする請求項８記載の複合顕微鏡。
【請求項１３】
前記光学顕微鏡は、少なくとも１つの対物レンズを有し、
前記走査型プローブ顕微鏡は、前記試料の形状情報を含む物性情報を取得するための走査型プローブ顕微鏡ユニットを有し、
前記試料と前記対物レンズ及び前記走査型プローブ顕微鏡ユニットとを互いに移動して、前記対物レンズ又は前記走査型プローブ顕微鏡ユニットと前記試料とを対峙させる移動機構と、
を有することを特徴とする請求項１または２記載の複合顕微鏡。
【請求項１４】
前記走査型プローブ顕微鏡ユニットは、前記試料の少なくとも二次元の形状情報を取得するための光学レンズを内蔵することを特徴とする請求項１３記載の複合顕微鏡。
【請求項１５】
前記光学顕微鏡は、前記試料の三次元画像情報を取得可能な走査型レーザ顕微鏡であることを特徴とする請求項１または２記載の複合顕微鏡。
【請求項１６】
前記光学顕微鏡により測定する前記試料上の部位と前記走査型プローブ顕微鏡により測定する前記試料上の部位とは、ほぼ同じ位置であることを特徴とする請求項１または２記載の複合顕微鏡。
【請求項１７】
試料の光学像の情報を測定する光学顕微鏡と、前記試料の物性情報を測定する走査型プローブ顕微鏡とを有する複合顕微鏡の測定方法において、
前記光学顕微鏡による前記試料の測定中に前記光学像情報を記憶部に記憶し、
前記走査型プローブ顕微鏡による前記試料の測定中に前記物性情報を前記記憶部に記憶し、
前記光学顕微鏡の測定中の測定中に、前記記憶部に記憶されている前記物性情報の解析を行うと共に、前記物性情報の解析結果を表示部に表示し、
前記走査型プローブ顕微鏡の測定中に、前記記憶部に記憶されている前記光学像情報の解析を行うと共に、前記光学像情報の解析結果を前記表示部に表示する、
ことを特徴とする複合顕微鏡の測定方法。
【請求項１８】
前記走査型プローブ顕微鏡ユニットは、前記試料の少なくとも二次元の形状情報を取得するための光学レンズを内蔵し、
前記光学顕微鏡の測定中から前記走査型プローブ顕微鏡の測定に切り換えると、  前記走査型プローブ顕微鏡に内蔵されている前記対物レンズを通して前記光学顕微鏡により前記試料の前記光学像情報を測定する、
ことを特徴とする請求項１７記載の複合顕微鏡の測定方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、試料の光学像の情報を測定する光学顕微鏡と、試料の物性情報を測定する走査型プローブ顕微鏡とを有する複合顕微鏡において、光学顕微鏡により測定された光学像情報と走査型プローブ顕微鏡により測定された前記物性情報とを記憶する記憶部と、光学顕微鏡の測定中に記憶部に記憶されている走査型プローブ顕微鏡により測定された物性情報を解析し、又は走査型プローブ顕微鏡の測定中に記憶部に記憶されている光学顕微鏡により測定された光学像情報を解析する解析部と、光学顕微鏡の測定中に、解析部による物性情報の解析結果を表示し、又は走査型プローブ顕微鏡の測定中に、解析部による光学像情報の解析結果を表示する表示部とを具備した複合顕微鏡である。