【手続補正書】
【提出日】平成19年1月30日(2007.1.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光装置であって、
基板を保持する基板チャックと、
前記基板チャックを支持する支持部材と、
前記基板チャックと前記支持部材とが実質的に接触した状態を保ちながら、前記基板チャックと前記支持部材とを相対的に運動させるクリーニング機構と、を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記基板チャック及び前記支持部材の少なくとも一方が、突出部及び窪み部を有する面を備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記クリーニング機構は、前記相対的な運動の際に前記基板チャックの移動を規制する規制部材を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記クリーニング機構は、前記支持部材を駆動するアクチュエータを含むことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記基板チャックの前記支持部材に面する側及び前記支持部材の前記基板チャックに面する側の少なくとも一方にピン状の突出部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項６】
前記基板チャックの前記支持部材に面する側及び前記支持部材の前記基板チャックに面する側の少なくとも一方に格子状の突出部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項７】
前記相対的な運動の後に前記基板チャックが前記支持部材に固定されることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項８】
前記クリーニング機構は、クリーニング部材と前記基板チャックとを相対的に運動させることによって前記基板チャックの基板保持面をクリーニングする機構を含むことを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項９】
基板保持装置であって、
基板を保持する基板チャックと、
前記基板チャックを支持する支持部材と、
前記基板チャックと前記支持部材とが実質的に接触した状態を保ちながら、前記基板チャックと前記支持部材とを相対的に運動させるクリーニング機構と、を備えることを特徴とする基板保持装置。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の露光装置によって基板を露光する工程と、
前記露光装置において、前記クリーニング機構によって前記基板チャックと前記支持部材とを相対的に運動させる工程と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１１】
露光装置であって、
基板を保持する基板チャックと、
前記基板チャックを支持する支持部材とを備え、
前記基板チャックは、前記支持部材に面する側に格子状の第１突出部を有し、前記支持部材は、前記基板チャックに面する側に格子状の第２突出部を有し、
前記第１突出部を構成する行及び列と前記第２突出部を構成する行及び列は、前記基板チャックと前記支持部材が接触する際に前記第１突出部を構成する行及び列の一部が前記第２突出部を構成する行及び列と接触するように、配置されていることを特徴とする露光装置。
【請求項１２】
前記第１突出部を構成する行及び列が交差する交差部の一部が前記第２突出部を構成する行及び列が交差する交差部と接触することを特徴とする請求項１１に記載の露光装置。
【請求項１３】
請求項１１または１２に記載の露光装置によって基板を露光する工程と、
前記露光装置において前記基板チャックと前記支持部材とを相対的に運動させる工程と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１４】
露光装置であって、
基板を保持する基板チャックと、
前記基板チャックを支持する支持部材とを備え、
前記基板チャックは、前記支持部材に面する側に格子状の第１突出部を有し、前記支持部材は、前記基板チャックに面する側に格子状の第２突出部を有し、
前記第１突出部を構成する行及び列と前記第２突出部を構成する行及び列は、前記基板チャックと前記支持部材が接触する際に前記第１突出部を構成する行及び列の一部が前記第２突出部を構成する行及び列と接触するように、互いに４５度をなして配置されていることを特徴とする露光装置。
【請求項１５】
前記第１突出部を構成する行及び列が交差する交差部の一部が前記第２突出部を構成する行及び列が交差する交差部と接触することを特徴とする請求項１４に記載の露光装置。
【請求項１６】
請求項１４または１５に記載の露光装置によって基板を露光する工程と、
前記露光装置において前記基板チャックと前記支持部材とを相対的に運動させる工程と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１７】
基板保持装置であって、
基板を保持する基板チャックと、
前記基板チャックを支持する支持部材とを備え、
前記基板チャックは、前記支持部材に面する側に格子状の第１突出部を有し、前記支持部材は、前記基板チャックに面する側に格子状の第２突出部を有し、
前記第１突出部を構成する行及び列と前記第２突出部を構成する行及び列は、前記基板チャックと前記支持部材が接触する際に前記第１突出部を構成する行及び列の一部が前記第２突出部を構成する行及び列と接触するように、配置されていることを特徴とする基板保持装置。
【請求項１８】
基板保持装置であって、
基板を保持する基板チャックと、
前記基板チャックを支持する支持部材とを備え、
前記基板チャックは、前記支持部材に面する側に格子状の第１突出部を有し、前記支持部材は、前記基板チャックに面する側に格子状の第２突出部を有し、
前記第１突出部を構成する行及び列と前記第２突出部を構成する行及び列は、前記基板チャックと前記支持部材が接触する際に前記第１突出部を構成する行及び列の一部が前記第２突出部を構成する行及び列と接触するように、互いに４５度をなして配置されていることを特徴とする基板保持装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置及び基板保持装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、上記の課題認識に基づいてなされたものであり、例えば、基板チャックの軽量化が容易でありながら基板を高い平面度で支持することができる露光装置及び基板保持装置を提供することを目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る露光装置は、基板を保持する基板チャックと、前記基板チャックを支持する支持部材と、前記基板チャックと前記支持部材とが実質的に接触した状態を保ちながら前記基板チャックと前記支持部材とを相対的に運動させるクリーニング機構とを備えることを特徴とする。
本発明に係る基板保持装置は、基板を吸着保持する基板チャックと、
前記基板チャックを支持する支持部材と、前記基板チャックと前記支持部材とが実質的に接触した状態で前記基板チャックと前記支持部材とを相対的に運動させるクリーニング機構とを備えることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
この方法を上記のように突出部として支持板２の支持面２ａに突起３を設けた例で説明すると、ウエハチャック１の第２面（裏面）１ｂと支持板２の支持面２ａとを実質的に接触させた状態で、ウエハチャック１と支持板２とを相対的に移動させることにより、ウエハチャック１の第２面（裏面）１ｂ及び支持板２の突起３の表面との間に存在する異物を支持板２に形成された突起３の間（突起３と突起３との間）の窪み部に移動させる。これにより、ウエハチャック１の第２面１ｂ及び支持板２の突起（突出部）３の表面との間に存在しうる異物を除去（クリーニング）し、ウエハチャック１の第２面１ｂと支持板２の突起３の表面とを完全に密着させることができる。なお、上記の「実質的な接触」は、ウエハチャック１の第２面１ｂと支持板２の突起３の表面とが完全に接触する状態の他、ウエハチャック１と支持板２との相対移動によってウエハチャック１の第２面１ｂと支持板２の突起３との間の異物を突起３間の窪み部に移動させることができる程度に小さい隙間がウエハチャック１の第２面１ｂと支持板２の突起３との間に存在する状態をも含む。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
図２に示すように、ウエハチャック１の第２面１ｂには、格子状の突出部５及び窪み部４が形成されている。窪み部４は、突出部５の表面より所定距離（例えば、５ｍｍ）だけ窪んでいる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
【発明の効果】
本発明の露光装置及び基板保持装置によれば、例えば、基板チャックの軽量化が容易でありながら基板を高い平面度で支持することができる。