【手続補正書】
【提出日】平成20年6月23日(2008.6.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つのメトロロジーオペレーションに対する基準メトロロジーサンプリングレートを決定するように構成されたメトロロジー制御ユニットを提供するステップと、
利用可能なメトロロジーキャパシティを決定するステップと、
前記決定された利用可能なメトロロジーキャパシティを前記メトロロジー制御ユニットに提供するステップと、を含み、
前記メトロロジー制御ユニットは、前記決定された利用可能なメトロロジーキャパシティに基づいて新たなメトロロジーサンプリングレートを決定する、方法。
【請求項２】
前記メトロロジー制御ユニットは、複数のメトロロジーツールを制御するように構成されている、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記メトロロジーツールの各々は、同じタイプである、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記少なくとも１つのメトロロジーオペレーションは、限界寸法の測定、層厚の測定、表面の平坦性の測定、電気的特徴の測定、膜の抵抗率の測定、膜の光学特性の測定、欠陥の測定、および、オーバーレイアライメントの測定のうちの少なくとも１つを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記新たなメトロロジーサンプリングレートに従い、追加のメトロロジーオペレーションを実行するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記方法はさらに、前記新たなメトロロジーサンプリングレートに従う前記追加のメトロロジーオペレーションが一定の期間実行されたあと、前記基準メトロロジーサンプリングレートに従い追加のメトロロジーオペレーションを実行するステップを含む、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記利用可能なメトロロジーキャパシティを決定するステップは、通常時に利用可能なメトロロジーツールの合計数と比較して現在利用可能なメトロロジーツールの数を決定するステップを含み、前記全てのメトロロジーツールは完全に互換性があるとみなされる、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記利用可能なメトロロジーキャパシティを決定するステップは、通常時に特定のメトロロジーオペレーションを実行することのできるメトロロジーツールの合計数と比較して前記特定のメトロロジーオペレーションを現在実行することができるメトロロジーツールの数を決定するステップを含み、前記全てのメトロロジーツールは、少なくとも前記メトロロジーオペレーションを実行するように構成されている、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記利用可能なメトロロジーキャパシティを決定するステップは、
前記少なくとも１つのメトロロジーオペレーションと、前記少なくとも１つのメトロロジーオペレーションとは異なる少なくとも第２メトロロジーオペレーションとを実行することができるメトロロジーツールを決定するステップと、
前記新たなメトロロジーサンプリングレートを決定するステップにおいて、前記第２のメトロロジーオペレーションに対するサンプリングレートを下げ、それによって前記少なくとも１つのメトロロジーオペレーションを実行するために追加のメトロロジーキャパシティを得る、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記新たなメトロロジーサンプリングレートは、以下の計算：
【数１】
2008516447.tif 000001
ただし、Ｒａｔｅi,newは、オペレーションｉにおける新たなメトロロジーサンプリングレートを表し、Ｒａｔｅi,baseは、オペレーションｉにおける基準メトロロジーサンプリングレートを表し、ＮAvailableは、現在利用可能なメトロロジーツールの数を表し、ＮTotalは、通常利用可能なメトロロジーツールの合計数を表す
を行うことで決定される、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記新たなメトロロジーサンプリングレートは、以下の計算：
【数２】
2008516447.tif 000002
ただし、Ｒａｔｅi,newはオペレーションｉにおける新たなメトロロジーサンプリングレートを表し、Ｒａｔｅi,baseは、オペレーションｉにおける基準メトロロジーサンプリングレートを表し、Ｎi,Availableは、オペレーションｉに対して現在利用可能なメトロロジーツール数を表し、Ｎi,Totalは、オペレーションｉに対して通常利用可能なメトロロジーツールの合計数を表す
を行うことで決定される、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記新たなメトロロジーサンプリングレートは、
以下の式
【数３】
2008516447.tif 000003
ただし、ＲａｔｅTotalは、全てのメトロロジーオペレーションに対する総メトロロジーサンプリングレートであり、Ｎは所与のタイプのメトロロジーツールに許容されるメトロロジーオペレーションの合計数であり、Ｒａｔｅiは、所与のオペレーションにおける基準メトロロジーサンプリングレートである
を使用することで全てのメトロロジーオペレーションに対する総メトロロジーサンプリングレートを決定するステップと、
以下の計算
【数４】
2008516447.tif 000004
ただし、この式において、ＲａｔｅTotalは、全てのメトロロジーオペレーションに対する総メトロロジーサンプリングレートであり、ＲａｔｅAvailableは現在利用可能なメトロロジーツールの数であり、ＮTotalは、通常利用可能なメトロロジーツールの合計数である
を行うことで利用可能なメトロロジーキャパシティに従い、ＲａｔｅTotal値をスケーリングするステップと、
以下の計算
【数５】
2008516447.tif 000005
ただし、
【数６】
2008516447.tif 000006
を行うステップと、を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
少なくとも１つのメトロロジーオペレーションに対する基準メトロロジーサンプリングレートを決定するように構成されたメトロロジー制御ユニットを提供するステップと、
利用可能なメトロロジーキャパシティを決定するステップと、を含み、前記利用可能なメトロロジーキャパシティを決定するステップは、通常時に利用可能なメトロロジーツールの合計数と比較して、現在利用可能なメトロロジーツールの数を決定するステップを含み、前記全てのメトロロジーツールは完全に互換性があるとみなされるものであり、
前記決定された利用可能なメトロロジーキャパシティを前記メトロロジー制御ユニットに提供するステップを含み、前記メトロロジー制御ユニットは、前記決定された利用可能なメトロロジーキャパシティに基づいて新たなメトロロジーサンプリングレートを決定し、かつ、
前記新たなサンプリングレートに従い追加のメトロロジーオペレーションを実行する、方法。
【請求項１４】
前記メトロロジー制御ユニットは、複数のメトロロジーツールを制御するように構成される、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記メトロロジーツールの各々は同じタイプである、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記方法はさらに、前記新たなメトロロジーサンプリングレートに従い前記追加のメトロロジーオペレーションが一定の期間実行されたあと、前記基準メトロロジーサンプリングレートに従い追加のメトロロジーオペレーションを実行するステップを含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１７】
少なくとも１つのメトロロジーオペレーションに対する基準メトロロジーサンプリングレートを決定するように構成されたメトロロジー制御ユニットを提供するステップを有し、
利用可能なメトロロジーキャパシティを決定するステップを有し、この利用可能なメトロロジーキャパシティを決定するステップは、通常時に特定のメトロロジー動作を行うために利用可能なメトロロジーツールの合計数と比較して現在において前記特定のメトロロジー動作を行うために利用可能なメトロロジーツールの数を決定するステップを含み、前記全てのメトロロジーツールは前記特定のメトロロジー動作を実行できるように適応されているものであり、
前記決定された利用可能なメトロロジーキャパシティを前記メトロロジー制御ユニットに提供するステップを有し、
前記メトロロジー制御ユニットは、前記決定された利用可能なメトロロジーキャパシティに基づいて新たなメトロロジーサンプリングレートを決定し、前記新たなメトロロジーサンプリングレートに従って更なるメトロロジー動作を実行するものである、方法。
【請求項１８】
少なくとも１つのメトロロジーオペレーションに対する基準メトロロジーサンプリングレートを決定するように構成されたメトロロジー制御ユニットを提供するステップを有し、
利用可能なメトロロジーキャパシティを決定するステップを有し、この利用可能なメトロロジーキャパシティを決定するステップには、前記少なくとも１つのメトロロジーオペレーションと、前記少なくとも１つのメトロロジーオペレーションとは異なる少なくとも第２メトロロジーオペレーションとを実行することができるメトロロジーツールを決定するステップが含まれ、
前記決定された利用可能なメトロロジーキャパシティを前記メトロロジー制御ユニットに提供するステップを有し、前記メトロロジー制御ユニットは、前記決定された利用可能なメトロロジーキャパシティに基づいて新たなメトロロジーサンプリングレートを決定するものであり、かつ、前記新たなメトロロジーサンプリングレートの決定において、前記第２のメトロロジーオペレーションに対するサンプリングレートを下げることで、前記少なくとも１つのメトロロジーオペレーションを実行するために追加のメトロロジーキャパシティを得られ、
前記新たなサンプリングレートに従い追加のメトロロジーオペレーションを実行するステップを有する、方法。