【手続補正書】
【提出日】令和1年10月2日(2019.10.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
オブジェクトを受け、第１の流体温度の流体を通す少なくとも１つのチャネルを画定するクランプと、
前記クランプに結合され、前記クランプから熱的に絶縁する少なくとも１つの空隙を画定するチャックと、を備えるリソグラフィ装置。
【請求項２】
前記少なくとも１つの空隙は真空である、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項３】
前記少なくとも１つの空隙に流体が充填される、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項４】
前記少なくとも１つの空隙は複数の空隙を含む、請求項１から３のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項５】
前記チャックは、前記少なくとも１つの空隙を画定する複数のバールを備える、請求項１から４のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項６】
前記チャックは、前記クランプに結合された第１の層、及び前記少なくとも１つの空隙を画定する前記複数のバールを画定する第２の層を備える、請求項５に記載のリソグラフィ装置。
【請求項７】
前記第１の流体の温度を変化させる流体調節デバイスを更に備える、請求項１から６のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項８】
前記流体調節デバイスは、前記第１の流体の温度を第２の流体温度から前記第１の流体温度に変化させる、請求項７に記載のリソグラフィ装置。
【請求項９】
前記流体調節デバイスは、前記オブジェクトが放射で露光されるとき、前記第１の流体の温度を、前記第１の流体温度より高い前記第２の流体温度から前記第１の流体温度に変化させる、請求項８に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１０】
前記第１の流体温度は、約−１５℃から約１５℃の範囲にあり、前記第２の流体温度は、約１７℃から約２７℃の範囲にある、請求項８又は９に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１１】
前記第１の流体温度は、前記オブジェクトが放射で露光されるときの前記オブジェクトのターゲット平均温度より低い、請求項１から１０のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１２】
前記オブジェクトは温度の関数として変化する熱膨張係数を有する材料を含み、
前記オブジェクトの前記材料の前記熱膨張係数は、前記オブジェクトのゼロ交差温度においてほぼゼロであり、
前記第１の流体温度は、前記オブジェクトが放射で露光されるときの前記オブジェクトの平均温度が前記オブジェクトの前記ゼロ交差温度とほぼ等しくなるような温度である、請求項１から１１のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１３】
前記第１の流体温度は、前記オブジェクトが放射で露光されるときの前記オブジェクトの内力が、前記オブジェクトを保持する前記クランプの表面と垂直な方向に実質的に対称となるような温度である、請求項１から１２のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１４】
前記第１の流体温度は、前記オブジェクトが放射で露光されるときの前記オブジェクトの前記内力の合計が、ほぼゼロに等しくなるような温度である、請求項１から１３のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１５】
前記少なくとも１つのチャネルは複数のチャネルを含み、前記オブジェクトはパターニングデバイスである、請求項１から１４のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１６】
リソグラフィ装置のクランプによって保持されるオブジェクトの温度を制御する方法であって、前記方法は、
オブジェクトを放射で露光することと、
第１の流体温度の流体を、前記クランプによって画定される少なくとも１つのチャネルに通して前記クランプの温度を調節することと、を含み、
前記クランプは、前記クランプから熱的に絶縁する少なくとも１つの空隙を画定するチャックと結合される、方法。
【請求項１７】
前記第１の流体温度の前記流体を、前記クランプによって画定される前記少なくとも１つのチャネルに通す前に、第２の流体温度の前記流体を、前記クランプによって画定される前記少なくとも１つのチャネルに通して前記クランプの温度を調節することと、
前記第２の流体温度の前記流体を、前記クランプによって画定される前記少なくとも１つのチャネルに通した後に、前記第１の流体温度より高い前記流体の前記第２の流体温度を前記流体の前記第１の流体温度に変化させることと、を更に含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記第１の流体温度は、約−１５℃から約１５℃の範囲に調節され、
前記第２の流体温度は、約１７℃から約２７℃の範囲に調節される、請求項１６又は１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記第１の流体温度は、約−８℃に調節され、
前記第２の流体温度は、約２２℃に調節される、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記第１の流体温度は、前記オブジェクトを放射で露光するときの前記オブジェクトの平均温度未満に調節される、請求項１６から１９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２１】
前記オブジェクトは温度の関数として変化する熱膨張係数を有する材料を含み、
前記オブジェクトの前記材料の前記熱膨張係数は、ゼロ交差温度においてほぼゼロであり、
前記第１の流体温度の前記流体を前記少なくとも１つのチャネルに通すことによって、前記オブジェクトを放射で露光するときの、前記オブジェクトの前記材料の前記ゼロ交差温度とほぼ等しい平均温度が生じる、請求項１６から２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２２】
オブジェクトを受け、第１の流体温度の流体を通す少なくとも１つのチャネルを画定するクランプと、
前記クランプに結合され、前記クランプから熱的に絶縁する少なくとも１つの空隙を画定するチャックと、を備える装置。
【請求項２３】
前記少なくとも１つの空隙は真空である、請求項２２に記載の装置。
【請求項２４】
前記少なくとも１つの空隙に流体が充填される、請求項２２に記載の装置。
【請求項２５】
前記少なくとも１つの空隙は複数の空隙を含む、請求項２２から２４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２６】
前記チャックは、前記少なくとも１つの空隙を画定する複数のバールを備える、請求項２２から２５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２７】
前記チャックは、前記クランプに結合された第１の層、及び前記少なくとも１つの空隙を画定する前記複数のバールを画定する第２の層を備える、請求項２６に記載の装置。
【請求項２８】
前記第１の流体の温度を変化させる流体調節デバイスを更に備える、請求項２２から２７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２９】
前記流体調節デバイスは、前記第１の流体の温度を第２の流体温度から前記第１の流体温度に変化させる、請求項２８に記載の装置。
【請求項３０】
前記流体調節デバイスは、前記オブジェクトが放射で露光されるとき、前記第１の流体の温度を、前記第１の流体温度より高い前記第２の流体温度から前記第１の流体温度に変化させる、請求項２９に記載の装置。
【請求項３１】
前記第１の流体温度は、約−１５℃から約１５℃の範囲にあり、前記第２の流体温度は、約１７℃から約２７℃の範囲にある、請求項２９又は３０に記載の装置。
【請求項３２】
前記第１の流体温度は、前記オブジェクトが放射で露光されるときの前記オブジェクトのターゲット平均温度より低い、請求項２２から３１のいずれか一項に記載の装置。
【請求項３３】
前記オブジェクトは温度の関数として変化する熱膨張係数を有する材料を含み、
前記オブジェクトの前記材料の前記熱膨張係数は、前記オブジェクトのゼロ交差温度においてほぼゼロであり、
前記第１の流体温度は、前記オブジェクトが放射で露光されるときの前記オブジェクトの平均温度が前記オブジェクトの前記ゼロ交差温度とほぼ等しくなるような温度である、請求項２２から３２のいずれか一項に記載の装置。
【請求項３４】
前記第１の流体温度は、前記オブジェクトが放射で露光されるときの前記オブジェクトの内力が、前記オブジェクトを保持する前記クランプの表面と垂直な方向に実質的に対称となるような温度である、請求項２２から３３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項３５】
前記第１の流体温度は、前記オブジェクトが放射で露光されるときの前記オブジェクトの前記内力の合計が、ほぼゼロに等しくなるような温度である、請求項２２から３４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項３６】
前記少なくとも１つのチャネルは複数のチャネルを含み、前記オブジェクトはパターニングデバイスである、請求項２２から３５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項３７】
クランプによって保持されるオブジェクトの温度を制御する方法であって、前記方法は、
オブジェクトを放射で露光することと、
第１の流体温度の流体を、前記クランプによって画定される少なくとも１つのチャネルに通して前記クランプの温度を調節することと、を含み、
前記クランプは、前記クランプから熱的に絶縁する少なくとも１つの空隙を画定するチャックと結合される、方法。
【請求項３８】
前記第１の流体温度の前記流体を、前記クランプによって画定される前記少なくとも１つのチャネルに通す前に、第２の流体温度の前記流体を、前記クランプによって画定される前記少なくとも１つのチャネルに通して前記クランプの温度を調節することと、
前記第２の流体温度の前記流体を、前記クランプによって画定される前記少なくとも１つのチャネルに通した後に、前記第１の流体温度より高い前記流体の前記第２の流体温度を前記流体の前記第１の流体温度に変化させることと、を更に含む、請求項３７に記載の方法。
【請求項３９】
前記第１の流体温度は、約−１５℃から約１５℃の範囲に調節され、
前記第２の流体温度は、約１７℃から約２７℃の範囲に調節される、請求項３７又は３８に記載の方法。
【請求項４０】
前記第１の流体温度は、約−８℃に調節され、
前記第２の流体温度は、約２２℃に調節される、請求項３９に記載の方法。
【請求項４１】
前記第１の流体温度は、前記オブジェクトを放射で露光するときの前記オブジェクトの平均温度未満に調節される、請求項３７から４０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４２】
前記オブジェクトは温度の関数として変化する熱膨張係数を有する材料を含み、
前記オブジェクトの前記材料の前記熱膨張係数は、ゼロ交差温度においてほぼゼロであり、
前記第１の流体温度の前記流体を前記少なくとも１つのチャネルに通すことによって、前記オブジェクトを放射で露光するときの、前記オブジェクトの前記材料の前記ゼロ交差温度とほぼ等しい平均温度が生じる、請求項３７から４１のいずれか一項に記載の方法。