【手続補正書】
【提出日】平成18年11月22日(2006.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に配設された第１電極と、前記光学面の両側に配置されていて少なくとも何れか一方が利用光束を通過させる開口を有している第２および第３電極とを有していて、前記第１及び第２電極間あるいは前記第１及び第３電極間に電圧または電流を加えることにより、電気力によって前記光学面を変形させて、光偏向特性を変化させ得るようにした光学特性可変光学素子。
【請求項２】
前記第１、第２及び第３電極の少なくとも一つが、複数に分割されている請求項１に記載の光学特性可変光学素子。
【請求項３】
前記第２又は第３電極が固定電極である請求項１又は２に記載の光学特性可変光学素子。
【請求項４】
前記光学面が静電気力で変形せしめられる請求項１乃至３の何れかに記載の光学特性可変光学素子。
【請求項５】
前記光学面が反射面であり、形状可変ミラーとして構成された請求項１乃至４の何れかに記載の光学特性可変光学素子。
【請求項６】
前記光学面が透過面であり、かつ、前記第１及び第２電極間あるいは前記第１及び第３電極間に透明媒質が充填されており、可変焦点レンズとして構成された請求項１乃至４の何れかに記載の光学特性可変光学素子。
【請求項７】
変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に配設された複数に分割された第１電極と、前記光学面の片側に配置された複数に分割された第２電極とを有し、前記分割された第１，第２の電極間の少なくとも一組に同符合の電荷を蓄積させることにより、前記分割電極間に電気力を発生させて、前記光学面を変形させるようにした光学特性可変光学素子。
【請求項８】
前記第１電極の一つの分割電極と、該分割電極にほぼ対向する前記第２電極の分割電極の隣あるいは近傍の分割電極との間に、異符号の電圧を加えるようにした請求項７に記載の光学特性可変光学素子。
【請求項９】
前記第１電極または前記第２電極の分割された一つの分割電極と、該分割電極の隣あるいは近傍の分割電極との間に、異符号の電圧を加えるようにした請求項７又は８に記載の光学特性可変光学素子。
【請求項１０】
前記第２電極が固定電極である請求項７乃至９の何れかに記載の光学特性可変光学素子。
【請求項１１】
前記光学面が静電気力で変形せしめられるようになっている請求項７乃至１０の何れかに記載の光学特性可変光学素子。
【請求項１２】
前記光学面が反射面であり、形状可変ミラーとして構成された請求項７乃至１１の何れかに記載の光学特性可変光学素子。
【請求項１３】
前記光学面が透過面であり、かつ、前記第１及び第２電極間に透明媒質が充填されており、可変焦点レンズとして構成された請求項７乃至１１の何れかに記載の光学特性可変光学素子。
【請求項１４】
変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に配設された第１電極と、前記光学面の片側に配置された第２電極とを有し、前記第１または第２電極は複数に分割されており、該分割された電極間に交流電圧または交流電流を加えることにより、前記第１および第２電極間に斥力又は電気力を発生させて、前記光学面を変形させるようにした光学特性可変光学素子。
【請求項１５】
変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に配設された第１電極と、少なくとも前記光学面の片側に配置された第２電極とを有し、前記第１および第２電極に交流電圧または交流電流を加えることにより電気力によって前記光学面を変形させて、光偏向特性を変化させるようにした光学特性可変光学素子において、変形可能な光学面に一体化された前記第１電極と、少なくとも他の基板上に設けられた前記第２電極とが互いに傾斜して配置されていることを特徴とする光学特性可変光学素子。
【請求項１６】
複数に分割された電極を有し、これらの電極が、変形可能な光学面と一体的に形成されているか、又はこの光学面に対向して配置された、光学特性可変素子を備えた光学系を含む光学装置であって、前記複数に分割された電極のパターンが、光学系の対称性とほぼ同じであり、且つ前記電極に光学系の対称性と異なる電圧分布を与えることを特徴とする光学装置。
【請求項１７】
変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に配設された第１電極と、前記光学面の片側に、利用光束を一部遮蔽する形で設けられた第２電極を有していて、前記第１電極と前記第２電極との間に電圧または電流を加えることにより電気力によって前記光学面を変形させて、光偏向特性を変化させ得るようにした光学特性可変光学素子。
【請求項１８】
前記変形可能な光学面に対して前記第２電極と反対側に第３電極を有していて、前記第１電極と前記第２電極との間あるいは前記第１電極と前記第３電極との間に電圧または電流を加えることにより電気力によって前記光学面を変形させて、光偏向特性を変化させ得るようにした請求項１７に記載の光学特性可変光学素子。
【請求項１９】
前記第２電極によって通過光束が遮蔽される面積の、全通過光束に対する割合をｆとしたとき、下記の条件式を満足する請求項１７に記載の光学特性可変光学素子。
０．０１≦ｆ≦０．５
【請求項２０】
変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に配設された複数の電極を有し、前記電極間に生じる電気力によって光学面を変形させ、光偏向特性を変化させ得るようにした光学特性可変光学素子。
【請求項２１】
前記複数の電極に異なる符号の電荷を蓄積させるようにしたことを特徴とする請求項２０に記載の光学特性可変光学素子。
【請求項２２】
変形可能な光学面が導電性を有し、前記光学面と一体的に形成された複数の電極を有し、前記複数の電極に対応して、前記導電性を有する光学面が分割されていることを特徴とする光偏向特性を変化させるようにした光学特性可変光学素子。
【請求項２３】
前記変形可能な光学面が導電性を有し、前記第１電極に対応して前記導電性を有する光学面が分割されていることを特徴とする請求項７、１４、１５及び２０の何れかに記載の光偏向特性を変化させ得るようにした光学特性可変光学素子。
【請求項２４】
変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に形成された第１電極と、前記光学面の片側に配置された第２電極とを有していて、前記第１電極と前記第２電極に同符合の電荷を加えることにより電気力あるいは斥力を発生させて、光偏向特性を変化させ得るようにした光学特性可変光学素子。
【請求項２５】
変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に形成された第１電極と、前記光学面の片側に配置された第２電極とを有していて、前記第１電極と前記第２電極との間に電流または電圧を加えることにより電気力あるいは斥力を発生させて、光偏向特性を変化させ得るようにした光学特性可変光学素子。
【請求項２６】
変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に配設された複数に分割された第１電極と、前記光学面の片側に配置された複数に分割された第２電極とを有し、ほぼ対向する前記分割された第１，第２電極間に同符合の電荷を蓄積させることにより、前記分割電極間に斥力を発生させて、前記光学面を変形させるようにした光学特性可変光学素子。
【請求項２７】
反射面と基板とを含む変形可能部分と、該基板に対向配置された電極とを有していて、前記反射面は、複数に分割されており、電気力によって駆動されるようにした可変ミラー。
【請求項２８】
変形可能な光学面を有していて、該光学面は凸にも凹にも変形可能であり、且つ該光学面を変形させる為に流体、静電気力、電磁力、圧電効果、磁歪、温度変化、電磁波等のうちの１つ又は２つ以上を用いる可変焦点レンズ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
しかしながら、従来、光学面の形を凸にできる構造の光学特性可変光学素子は、あまり多く知られていない。そのようなものとして、電磁力駆動のものが知られているが、この光学特性可変光学素子は、消費電力が大きいという欠点があった。
また、圧電素子を用いたものがあるが、これは、小さな光学特性可変光学素子を作り難いという欠点があった。
また、特許文献２に記載のものは、構造が複雑になるという欠点があった。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
上記の目的を達成するために、本発明による光学特性可変光学素子は、変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に配設された第１電極と、前記光学面の両側に配置されていて少なくとも何れか一方が利用光束を通過させる開口を有している第２および第３電極とを有していて、前記第１及び第２電極間あるいは前記第１及び第３電極間に電圧または電流を加えることにより、電気力によって前記光学面を変形させて、光偏向特性を変化させ得るようになっている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、前記第１、第２及び第３電極の少なくとも一つが、複数に分割されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、前記第２又は第３電極が固定電極として構成されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、前記光学面が透過面であり、かつ、前記第１及び第２電極間あるいは前記第１及び第３電極間に透明媒質が充填されており、可変焦点レンズとして構成されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に配設された複数に分割された第１電極と、前記光学面の片側に配置された複数に分割された第２電極とを有し、前記分割された第１，第２の電極間の少なくとも一組に同符合の電荷を蓄積させることにより、前記分割電極間に電気力を発生させて、前記光学面を変形させるようになっている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、前記第１電極の一つの分割電極と、該分割電極にほぼ対向する前記第２電極の分割電極の隣あるいは近傍の分割電極との間に、異符号の電圧を加えるように構成されている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、前記第１電極または前記第２電極の分割された一つの分割電極と、該分割電極の隣あるいは近傍の分割電極との間に、異符号の電圧を加えるように構成されている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、前記第２電極が固定電極として構成されている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、前記光学面が静電気力で変形せしめられるようになっている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、前記光学面が反射面であり、形状可変ミラーとして構成されている。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、前記光学面が透過面であり、かつ、前記第１及び第２電極間に透明媒質が充填されており、可変焦点レンズとして構成されている。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に配設された第１電極と、前記光学面の片側に配置された第２電極とを有し、前記第１または第２電極は複数に分割されており、該分割された電極間に交流電圧または交流電流を加えることにより、前記第１および第２電極間に斥力又は電気力を発生させて、前記光学面を変形させるようになっている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に配設された第１電極と、少なくとも前記光学面の片側に配置された第２電極とを有し、前記第１および第２電極に交流電圧または交流電流を加えることにより電気力によって前記光学面を変形させて、光偏向特性を変化させるようにした光学特性可変光学素子において、変形可能な光学面に一体化された前記第１電極と、少なくとも他の基板上に設けられた前記第２電極とが互いに傾斜して配置されていることを特徴とする。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明による光学装置は、複数に分割された電極を有し、これらの電極が、変形可能な光学面と一体的に形成されているか、又はこの光学面に対向して配置された、光学特性可変素子を備えた光学系を含む光学装置であって、前記複数に分割された電極のパターンが、光学系の対称性とほぼ同じであり、且つ前記電極に光学系の対称性と異なる電圧分布を与えることを特徴とする。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に配設された第１電極と、前記光学面の片側に、利用光束を一部遮蔽する形で設けられた第２電極を有していて、前記第１電極と前記第２電極との間に電圧または電流を加えることにより電気力によって前記光学面を変形させて、光偏向特性を変化させ得るようにしたことを特徴としている。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、前記変形可能な光学面に対して前記第２電極と反対側に第３電極を有していて、前記第１電極と前記第２電極との間あるいは前記第１電極と前記第３電極との間に電圧または電流を加えることにより電気力によって前記光学面を変形させて、光偏向特性を変化させ得るようにしたことを特徴としている。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、前記第２電極によって通過光束が遮蔽される面積の、全通過光束に対する割合をｆとしたとき、下記の条件式を満足することを特徴としている。
０．０１≦ｆ≦０．５
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に配設された複数の電極を有し、前記電極間に生じる電気力によって光学面を変形させ、光偏向特性を変化させ得るようにしたことを特徴としている。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、前記複数の電極に異なる符号の電荷を蓄積させるようにしたことを特徴とする。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、変形可能な光学面が導電性を有し、前記光学面と一体的に形成された複数の電極を有し、前記複数の電極に対応して、前記導電性を有する光学面が分割されていることを特徴とする光偏向特性を変化させるようにしたことを特徴とする。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、前記変形可能な光学面が導電性を有し、前記第１電極に対応して前記導電性を有する光学面が分割されていることを特徴とする。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に形成された第１電極と、前記光学面の片側に配置された第２電極とを有していて、前記第１電極と前記第２電極に同符合の電荷を加えることにより電気力あるいは斥力を発生させて、光偏向特性を変化させ得るようにしたことを特徴とする。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に形成された第１電極と、前記光学面の片側に配置された第２電極とを有していて、前記第１電極と前記第２電極との間に電流または電圧を加えることにより電気力あるいは斥力を発生させて、光偏向特性を変化させ得るようにしたことを特徴とする。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、本発明による光学特性可変光学素子は、変形可能な光学面と、前記光学面に一体的に配設された複数に分割された第１電極と、前記光学面の片側に配置された複数に分割された第２電極とを有し、ほぼ対向する前記分割された第１，第２電極間に同符合の電荷を蓄積させることにより、前記分割電極間に斥力を発生させて、前記光学面を変形させるようにしたことを特徴とする。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
また、本発明による可変ミラーは、反射面と基板とを含む変形可能部分と、該基板に対向配置された電極とを有していて、前記反射面は、複数に分割されており、電気力によって駆動されるようになっている。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、本発明による可変焦点レンズは、変形可能な光学面を有していて、該光学面は凸にも凹にも変形可能であり、且つ該光学面を変形させる為に流体、静電気力、電磁力、圧電効果、磁歪、温度変化、電磁波等のうちの１つ又は２つ以上を用いるようになっている。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】削除
【補正の内容】