【手続補正書】
【提出日】平成20年6月19日(2008.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の領域および第２の領域を有する配分システムに操作可能に接続されたフロー調整器を通じてフローを測定する方法であって、前記第１の領域は第１の容積を有し、前記第２の領域は第２の容積を有し、前記第１の領域は操作可能に前記第２の領域に接続され得、前記方法は、
第１の間隔の間に前記第１の領域に関連する第１のデータを集めることと、
第２の間隔の間に前記第１の領域および前記第２の領域に関連する第２のデータを集めることと、
前記第１のデータ、前記第２のデータ、および前記第２の容積に基づいて前記第１の容積を決定することと、
前記第１の容積および前記第１のデータに基づいてフロー速度を計算することと、
を含む、方法。
【請求項２】
前記第１の容積を決定することは、状態の数式に基づいて前記第１の容積を計算することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１のデータは前記第１の間隔にわたる圧力における変化を含み、前記第２のデータは前記第２の間隔にわたる圧力における変化を含む、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記第１の容積を決定することは、前記第２の容積に対応する入力を受信することを含む、請求項１から３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
第３の間隔の間に前記第１の領域に関連する第３のデータを集めることと、
前記第１の容積および前記第３のデータに基づいて前記フロー速度を計算することとをさらに含む、請求項１から４のいずれかに記載の方法。
【請求項６】
第３の間隔の間に前記第１の領域および前記第２の領域に関連する第３のデータを集めることと、
前記第１の容積、前記第２の容積および前記第３のデータに基づいて前記フロー速度を計算することとをさらに含む、請求項１から４のいずれかに記載の方法。
【請求項７】
前記第１の間隔の期間および前記第２の間隔の期間のうち少なくとも１つは、チェックポイントに達する前記第１のデータおよび前記第２のデータの少なくとも１つに基づいて決定される、請求項１から４のいずれかに記載の方法。
【請求項８】
前記第１の間隔および前記第２の間隔のうち少なくとも１つは、時間チェックポイントに達すると終了する、請求項１から４のいずれかに記載の方法。
【請求項９】
フロー調整器の下流で流体配分システムに操作可能に連結され得る前記フロー調整器を通じてフロー速度を測定するための測定システムであって、前記測定システムは、
インレットと、
前記インレットに操作可能に連結される圧力センサと、
前記圧力センサの下流で前記インレットに操作可能に連結されるバルブと、
公知の容積を有し、前記バルブの下流で前記バルブに操作可能に連結されるチャンバとを含み、
前記測定システムの前記インレットは前記流体配分システムに操作可能に連結され、
前記測定システムは、
第１の間隔の間に第１の容積に関連する第１のデータを集めるよう操作可能であって、前記第１の容積は前記流体配分システムの容積および前記フロー調整器の下流かつ前記バルブの上流に配置される前記測定システムの容積に対応し、さらに
第２の間隔の間に第２の容積に関連する第２のデータを集めるよう操作可能であって、前記第２の容積は前記流体配分システムの前記容積および前記フロー調整器の下流かつ前記チャンバを含んで配置される前記測定システムの容積に対応し、さらに
前記第１のデータ、前記第２のデータ、および前記チャンバの前記公知の容積に基づいて前記フロー調整器を通じてフロー速度を決定するよう操作可能である、測定システム。
【請求項１０】
前記第１のデータが前記第１の間隔にわたる圧力における変化を含み、前記第２のデータが前記第２の間隔にわたる圧力における変化を含む、請求項９に記載の測定システム。
【請求項１１】
前記測定システムの前記インレットが前記流体配分システムに操作可能に連結される場合、前記測定システムは前記流体配分システムの前記容積を決定するようさらに操作可能である、請求項９または１０に記載の測定システム。
【請求項１２】
前記測定システムは、状態の数式ならびに前記第１および前記第２のデータに基づいて前記流体配分システムの前記容積を計算することによって前記流体配分システムの前記容積を決定する、請求項１１に記載の測定システム。
【請求項１３】
前記第１の間隔の前記期間および前記第２の間隔の前記期間のうち少なくとも１つは、チェックポイントに達する前記第１のデータおよび前記第２のデータの少なくとも１つに基づいて決定される、請求項９から１２のいずれかに記載の測定システム。
【請求項１４】
前記第１の間隔および前記第２の間隔のうち少なくとも１つは、時間チェックポイントに達すると終了する、請求項９から１２のいずれかに記載の測定システム。
【請求項１５】
第２のバルブに操作可能に連結されるインレットをさらに含み、前記第２のバルブは前記チャンバの下流に配置される、請求項９から１４のいずれかに記載の測定システム。
【請求項１６】
フロー調整器の下流で流体配分システムに操作可能に連結され得る前記フロー調整器を通じてフロー速度を測定するための測定システムであって、前記測定システムは、
インレットと、
前記インレットに操作可能に連結される圧力センサと、
前記圧力センサの下流で前記インレットに操作可能に連結されるバルブと、
公知の容積を有し、前記バルブの下流で前記バルブに操作可能に連結されるチャンバと、
前記圧力センサおよび前記バルブの上流で前記インレットに操作可能に連結されるチョークオリフィスとを含み、前記チョークオリフィスはチョーク位置を有し、
前記測定システムの前記インレットが前記流体配分システムに操作可能に連結される場合、前記測定システムは、
前記チョークオリフィスが前記チョーク位置にあり、前記フロー速度が十分なので前記チョークオリフィスの上流の前記圧力が前記チョークオリフィスの下流の前記圧力のおよそ２倍であるるような第１の間隔の間に前記チャンバに関連する第１のデータを集めるよう、
前記第１のデータおよび前記チャンバの前記公知の容積に基づいて前記フロー調整器を通じて第１のフロー速度を計算するよう、かつ
前記計算された第１のフロー速度に基づいて前記フロー調整器を通じて前記測定されたフロー速度を決定するよう、操作可能である、測定システム。
【請求項１７】
前記チョークオリフィスはさらに開いた位置を有し、前記測定システムの前記インレットは前記流体配分システムに操作可能に連結され、前記測定システムはさらに、
前記チョークオリフィスが前記開いた位置にあり、前記フロー速度が第１の範囲内にあるような第２の間隔の間に、前記流体測定システムの容積および前記チャンバを含む前記測定システムの容積に関連する第２のデータを集めるよう、
前記第２のデータに基づいて第２のフロー速度を計算するよう、
前記計算された第１のフロー速度および前記計算された第２のフロー速度に基づいて誤差修正を計算するよう、
前記チョークオリフィスが前記開いた位置にあるような第３の間隔の間に、前記測定システムの前記容積および前記チャンバを含む前記測定システムの前記容積に関連する第３のデータを集めるよう、さらに
前記第３のデータおよび前記計算された誤差修正に基づいて前記フロー調整器を通じて前記測定されたフロー速度を決定するよう、操作可能である、請求項１６に記載の測定システム。
【請求項１８】
前記チョークオリフィスは、開いた位置、閉じた位置、およびチョーク位置を有する３方向バルブであり、前記チョーク位置は、前記フロー調整器を通じた前記フロー速度が５００ｓｃｃｍを上回る場合に前記３方向バルブの上流の圧力が前記３方向バルブの下流の圧力のおよそ２倍となるようにする、請求項１６または１７に記載の測定システム。
【請求項１９】
前記チョークオリフィスは、多位置バルブの上流の圧力が前記フロー調整器を通じた前記フロー速度に依存する前記多位置バルブの下流の圧力のおよそ２倍となるようにするために位置づけられることができる前記多位置バルブである、請求項１６または１７に記載の測定システム。
【請求項２０】
前記第１の間隔の前記期間は、チェックポイントに達する前記第１のデータおよび第２のデータの少なくとも１つに基づいて決定される、請求項１６から１９のいずれかに記載の測定システム。
【請求項２１】
前記第１の間隔は時間チェックポイントに達すると終了する、請求項１６から１９のいずれかに記載の測定システム。
【請求項２２】
前記フロー調整器の下流の流体配分システムに操作可能に連結され得るフロー調整器を
通じてフロー速度を測定する方法であって、前記流体配分システムは第１の領域および第２の領域を有し、前記第１の領域は公知の第１の容積を有し、前記第２の領域は第２の容積を有し、前記第１の領域はチョーク位置を有するチョークオリフィスを介して前記第２の領域に操作可能に連結され、前記方法は、
前記チョーク位置に前記チョークオリフィスを置くことと、
前記チョークオリフィスが前記チョーク位置にあり、前記フロー速度が前記チョークオリフィスの上流の前記圧力を前記チョークオリフィスの下流の前記圧力のおよそ２倍にする第１の範囲内にあるような第１の間隔の間に前記第１の領域に関連する第１のデータを集めることと、
前記第１のデータおよび前記公知の第１の容積に基づいて前記フロー調整器を通じて第１のフロー速度を計算することと、
前記計算された第１のフロー速度に基づいて前記フロー調整器を通じて前記測定されたフロー速度を決定するよう、操作可能である、方法。
【請求項２３】
前記チョークオリフィスはさらに開いた位置を有し、前記フロー調整器を通じて前記測定されたフロー速度を前記決定することは、
前記開いた位置に前記オリフィスを置くことと、
前記チョークオリフィスが前記開いた位置にあり、前記フロー速度が前記第１の範囲内にあるような第２の間隔の間に、前記第１の領域および前記第２の領域に関連する第２のデータを集めることと、
前記第２のデータに基づいて第２のフロー速度を計算することと、
前記計算された第１のフロー速度および前記計算された第２のフロー速度に基づいて誤差修正を計算することと、
前記チョークオリフィスが前記開いた位置にあるような第３の間隔の間に、前記第１の領域および前記第２の領域に関連する第３のデータを集めることと、
前記第３のデータおよび前記計算された誤差修正に基づいて前記フロー調整器を通じて前記測定されたフロー速度を決定することとを含む、
請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記チョークオリフィスは、開いた位置、閉じた位置、およびチョーク位置を有する３方向バルブであって、前記方法はさらに、
前記チョークオリフィスとして用いるために、前記フロー調整器を通じた前記フロー速度が５００ｓｃｃｍを上回る場合に前記３方向バルブの上流の前記圧力が前記３方向バルブの下流の前記圧力のおよそ２倍であるようにするチョーク位置を有するよう調整された３方向バルブを選択することをさらに含む、請求項２２または２３に記載の方法。
【請求項２５】
前記チョークオリフィスは多位置バルブであって、前記チョークオリフィスをチョーク位置に置くことは、前記多位置バルブの上流の圧力を前記フロー調整器を通じた前記フロー速度に依存する前記多位置バルブの下流の圧力のおよそ２倍にするような位置に前記多位置バルブを置くことを含む、請求項２２または２３に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
ここで図３を参照すると、処理チャンバと並列にガスのフローに組み込まれ、本発明のシステムおよび方法を実施する、ハードウェア配置の例示的な実施形態が描かれる。上昇率システム（ＲＯＲ）３００が用いられて、設定点に対するマスフロー調整器１２０の正確さを測定されるであろう。上昇率システム３００は、ガススティック３０２を介して、
処理チャンバ１３０へのガスフローに組み込まれるであろう。特定の１実施形態において、バルブ３５０、３７０はマスフロー調整器１２０の下流で、処理チャンバ１３０の上流にある。ＲＯＲ３００はバルブ３３０と３１０の間にチャンバ３０５を、バルブ３１０の上流に圧力センサ３２０を含むであろう。圧力センサは、当技術分野において既知のタイプであり、０．１トールから１０００トールの圧力を測定できるであろう。処理チャンバ１３０についての１０リットルから６０リットルの一般的な容積と比較して、チャンバ３０５は一般的に１０ｃｃから１リットルまでのうちの任意の容積を有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
いくつかの実施形態において、ＲＯＲ３００を用いたフロー測定を可能とするために、バルブ３７０は処理チャンバ１３０に対して閉じられ、バルブ３５０はマスフロー調整器１２０に対して開かれ、ＲＯＲ３００内のバルブ３１０は閉じられる。マスフロー調整器１２０は特定のフローに対して命令され、ＲＯＲシステム３００はフロー測定を始める。ガスは、バルブ３５０、３７０、およびＲＯＲシステム３００内のバルブ３１０の間の容積３６０に蓄積される（このバルブ２４０，３７０および３１０の間の領域が「第１の領域」に対応する）。ＲＯＲ３００内の圧力センサ３２０はバルブ３１０の上流にあり、この配置が容積３６０内の圧力の測定を可能にする。時間の関数としての圧力変化は、後にフロー測定の適格性のために用いられるために測定されることができる。Δｔ１の時バルブ３３０は閉じられ、バルブ３１０は開かれて、ガスが既知の容積であるＲＯＲ３００のチャンバ３０５へ流れることを可能にする（このバルブ３１０が開かれているときにガスが流れ込む領域が「第２の領域」に対応する）。圧力は時間の関数として、ＲＯＲ３００の圧力センサ３２０を用いて監視され続けられる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
チョークオリフィス３２２は、「流体短絡」と呼ばれる技術の使用を通じて、容積３６０の配置に対するＲＯＲ３００の感度を減少させるであろう。この技術は流体経路を狭めるので、容積３６０内の圧力はチョークオリフィス３２２の下流における圧力よりも大きい。多くの圧力勾配が、容積３６０の配置の影響を縮小することに役立つであろうが、理想的な有効性のため、チョークオリフィス３２２は、容積３６０内の圧力が少なくともチョークオリフィス３２２の上流の圧力の２倍であるような圧力勾配を作成するべきである。このことは、チョークオリフィス３２２の下流の圧力が、一定のフロー速度の間、実質的に一定にとどまることを引き起こすであろう。１実施形態において、チョークオリフィス３２２は、マスフロー調整器１２０のフロー速度によって位置づけられることができる多位置バルブであり、容積３６０とＲＯＲ３００との間の適切な圧力勾配を作成するであろう。