【手続補正書】
【提出日】平成20年7月3日(2008.7.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＩＣ装置のリンクを処理するレーザシステムであって、
第１の光路に沿って伝搬する、ほぼ５１０〜５７５ｎｍの波長の範囲を持つ緑のレーザ光を生成するレーザ源と、
前記第１の光路に沿って置かれ、前記緑のレーザ光の一部をＵＶ光に変換する非線形結晶と、
前記第１の光路に沿って置かれ、標的に位置合わせするのに適した低いレーザシステム出力を提供する高減衰状態と、リンク処理に適した高いレーザシステム出力を提供する低減衰状態との間で切り替える能力を持つビーム変調器と、
前記第１の光路に沿ってあり、かつ前記ビーム変調器の下流に置かれ、前記標的から反射されたＵＶ光を検出するのに適合させたＵＶ光検出モジュールと、
を含むレーザシステム。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザシステムにおいて、
さらに、前記第１の光路に沿って置かれ、前記緑のレーザ光を受けるビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタが受けた前記緑のレーザ光の一部を伝搬する第２の光路と、
前記第２の光路に沿ってあり、かつ前記ビームスプリッタの下流に置かれ、標的から反射した緑の光を検出するのに適合させた緑光検出モジュールと、
前記第１の光路からのＵＶレーザ光および前記第２の光路からの緑のレーザ光を受け、緑のレーザ光およびＵＶレーザ光を前記標的に向けて伝送するために置かれたビームコンバイナと、
を含むことを特徴とするレーザシステム。
【請求項３】
請求項１に記載のレーザシステムにおいて、
前記レーザ源は調波(harmonic)ＩＲレーザ光も生成し、前記緑の光は第２の調波を含み、前記非線形結晶は、前記緑のレーザ光および前記調波ＩＲレーザ光の一部を第３の調波ＵＶレーザ光に変換し、前記ＵＶ光検出モジュールは、前記標的から反射した第３の調波ＵＶ光を検出するのに適合させた、
ことを特徴とするレーザシステム。
【請求項４】
請求項１又は３に記載のレーザシステムにおいて、
前記レーザ源は、ＩＲレーザ光も生成し、
前記レーザシステムは、さらに、
前記第１の光路に沿って置かれ、前記ＩＲ光を受けるビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタが受けた前記ＩＲレーザ光の一部を伝搬する第２の光路と、
前記第２の光路に沿ってあり、かつ前記ビームスプリッタの下流に置かれ、標的から反射したＩＲ光を検出するのに適合させたＩＲ光検出モジュールと、
前記第１の光路からのＵＶレーザ光および前記第２の光路からのＩＲレーザ光を受け、ＩＲレーザ光およびＵＶレーザ光を前記標的に向けて伝送するために置かれたビームコンバイナと、を含む、
ことを特徴とするレーザシステム。
【請求項５】
請求項１に記載のレーザシステムにおいて、
前記レーザ源は第１の調波ＩＲレーザ光も生成し、前記緑の光は前記第２の調波を含み、前記非線形結晶は前記緑のレーザ光の一部を第４の調波ＵＶレーザ光に変換し、前記ＵＶ光検出モジュールは、前記標的から反射した第４のＵＶ光を検出するのに適合させてある、
ことを特徴とするレーザシステム。
【請求項６】
請求項１に記載のレーザシステムにおいて、
前記第１の光路に沿ってあり、前記ビーム変調器と前記ＵＶ光検出モジュールとの間に置かれ、前記ＵＶレーザ光をフォーカスするフォーカシング光学素子と、
前記フォーカシング光学素子と前記ＵＶ光検出モジュールとの間にあって前記第１の光路に沿って置かれ、前記ＵＶレーザ光の周辺部を切り取るアパーチャーマスクと、
を含むことを特徴とするレーザシステム。
【請求項７】
請求項１に記載のレーザシステムにおいて、
前記ビーム変調器とＵＶ光検出モジュールとの間にあって前記第１の光路に沿って置かれ、前記ＵＶ光を整形する回折光学素子と、
前記回折光学素子と前記ＵＶ光検出モジュールとの間にあって前記第１の光路に沿って置かれ、前記ＵＶ光の周辺部を切り取るアパーチャーマスクと、
を含むことを特徴とするレーザシステム。
【請求項８】
請求項２に記載のレーザシステムにおいて、
前記ビーム変調器と前記緑光検出モジュールとの間にあって前記第２の光路に沿って置かれ、前記緑のレーザ光をフォーカスさせるフォーカシング光学素子と、
前記フォーカシング光学素子と前記緑光検出モジュールとの間にあって前記第２の光路に沿って置かれ、前記緑のレーザ光の周辺部を切り取るアパーチャーマスクと、
を含むことを特徴とするレーザシステム。
【請求項９】
請求項４に記載のレーザシステムにおいて、
前記ビーム変調器と前記ＩＲ光検出モジュールとの間にあって前記第２の光路に沿って置かれ、前記ＩＲレーザ光をフォーカスさせるフォーカシング光学素子と、
前記フォーカシング光学素子と前記ＩＲ光検出モジュールとの間にあって前記第２の光路に沿って置かれ、前記ＩＲレーザ光の周辺部と切り取るアパーチャーマスクと、
を含むことを特徴とするレーザシステム。
【請求項１０】
請求項１に記載のレーザシステムにおいて、
前記第１の光路は、ほぼ１ｍｍ以上であってほぼ２０ｍｍ未満の非線形結晶を通過する、
ことを特徴とするレーザシステム。
【請求項１１】
請求項１，又は５〜８のいずれか一項に記載のレーザシステムにおいて、
前記第１の光路は、ほぼ３ｍｍ以上であってほぼ１２ｍｍ未満の非線形結晶を通過する、
ことを特徴とするレーザシステム。
【請求項１２】
請求項１に記載のレーザシステムにおいて、
前記第１の光路は、ほぼ７ｍｍ未満の非線形結晶を通過する、
ことを特徴とするレーザシステム。
【請求項１３】
請求項１，３，６，７，１０，１１，１２のいずれか一項に記載のレーザシステムにおいて、
前記非線形結晶は、ＢＢＯ、ＬＢＯ或いはＣＬＢＯを含む、
ことを特徴とするレーザシステム。
【請求項１４】
請求項４に記載のレーザシステムにおいて、
前記非線形結晶は、ＬＢＯを含む、
ことを特徴とするレーザシステム。
【請求項１５】
請求項５に記載のレーザシステムにおいて、
前記非線形結晶は、ＣＬＢＯを含む、
ことを特徴とするレーザシステム。
【請求項１６】
請求項１に記載のレーザシステムにおいて、
前記非線形結晶と前記ＵＶ光検出モジュールとの間にあって前記第１の光路に沿って置かれ、緑の光が前記フィルタの下流に伝搬することを遮る波長選択フィルタ、
を含むことを特徴とするレーザシステム。
【請求項１７】
請求項６〜８のいずれか一項に記載のレーザシステムにおいて、
前記アパーチャーマスクは、非円形アパーチャーを持つ、
ことを特徴とするレーザシステム。
【請求項１８】
請求項１，２，又は５〜７のいずれか一項に記載のレーザシステムにおいて、
前記ビーム変調器は、完全減衰状態に切替え、自動パルスモードでレーザシステム出力の伝送を遮る能力をも持つ、
ことを特徴とするレーザシステム。
【請求項１９】
ＩＣ装置のリンクを処理する方法であって、
第１の光路に沿って伝搬するためにほぼ５１０〜５７５ｎｍの波長の範囲を持つ緑のレーザ光を発生するステップと、
前記第１の光路に置かれる非線形結晶によって、前記第１の光路に沿って伝搬する緑のレーザ光をＵＶ光に変換するステップと、
ビーム変調器によって高減衰状態を前記ＵＶレーザ光に与えて低いパワーのレーザ出力を供給するステップと、
低いパワーのレーザ出力を標的のほうに向けるステップと、
前記標的から反射したＵＶ光を検出するステップと、
該レーザ光を前記標的に位置合わせするステップと、
前記ビーム変調器によって、低減衰状態を前記ＵＶレーザ光に与えて高いパワーのレーザ出力を供給するステップと、
高いパワーのレーザ出力を前記標的のほうに向けて、該標的を切断するステップとを含むことを特徴とする方法。
【請求項２０】
請求項１９に記載の方法において、
前記ＵＶレーザ光を、前記ビーム変調器の下流であって前記第１の光路に沿って置かれ、前記ＵＶレーザ光の周辺部を切り取るアパーチャーマスクを通過させることによって、前記ＵＶレーザ光の特性を変化させるステップ、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２１】
請求項２０に記載の方法において、
前記ＵＶレーザ光を、前記ビーム変調器の下流であって前記第１の光路に沿って置かれ、前記ＵＶレーザ光を整形するビーム整形素子を通過させることによって、前記ＵＶレーザ光の特性を変化させるステップ、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２２】
請求項２０又は２１に記載の方法において、
前記ＵＶレーザ光を、前記ビーム変調器と前記アパーチャーマスクとの間であって、前記第１の光路に沿って置かれ、前記ＵＶレーザ光を整形する回折光学素子を通過させることによって、前記ＵＶレーザ光の特性を変化させるステップ、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２３】
請求項１９〜２１のいずれか一項に記載の方法において、
前記第１の光路に沿って置かれた非線形結晶の長さは、ほぼ３ｍｍ以上であってほぼ１２ｍｍ以下である、
ことを特徴とする方法。
【請求項２４】
請求項２３に記載の方法において、
前記第１の光路に沿って置かれた非線形結晶の長さは、ほぼ４ｍｍ以上であってほぼ８ｍｍ以下である、
ことを特徴とする方法。
【請求項２５】
請求項１９，２０，２３，又は２４に記載の方法において、
前記ＵＶレーザ光は、第４或いは第５の調波を含む、
ことを特徴とする方法。
【請求項２６】
ＩＣ装置のリンクにレーザ加工ビームを位置合わせする方法であって、
第１の光路に沿って伝搬する緑のレーザ光を生成するステップと、
前記緑のレーザ光を大部分と少数の部分とに分割し、前記緑のレーザ光の大部分は前記第１の光路に沿って伝搬し、前記緑のレーザ光の少数の部分は第２の光路に沿って伝搬するステップと、
前記第１の光路に沿って置かれた非線形結晶を使用して、前記第１の光路に沿って移動する緑のレーザ光をＵＶレーザ光に変換するステップと、
前記ビーム変調器に高減衰状態を前記ＵＶレーザ光に与えるようにさせて低いＵＶレーザ出力を提供するステップと、
低いＵＶレーザ出力を、前記第１の光路に沿ってありかつビームコンバイナを通過させて標的に方向付けるステップと、
前記標的から反射したＵＶ光を検出するステップと、
ビーム変調器に、完全減衰状態を前記ＵＶレーザ光に与えるようにさせて、ＵＶレーザ光が前記標的に向けて伝送するのを遮るステップと、
前記緑のレーザ光を、前記第２の光路に沿ってありかつ前記第１の光路の前記ビームコンバイナを通過させて前記標的へ方向付けるステップと、
前記標的から反射した緑の光を検出するステップと、
前記緑のレーザ光と前記低いＵＶレーザ出力との相対位置をキャリブレーションするステップとを含むことを特徴とする方法。
【請求項２７】
請求項２６に記載の方法において、
前記緑のレーザ光或いは前記低いＵＶレーザ出力がイメージド光学素子を通過するステップ、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２８】
請求項２７に記載の方法において、
前記イメージド光学素子は、光学素子およびアパーチャーマスクを含む
ことを特徴とする方法。
【請求項２９】
請求項２８に記載の方法において、
前記イメージド光学素子は回折光学素子を含む、
ことを特徴とする方法。
【請求項３０】
請求項２６又は２７に記載の方法において、
前記第１の光路に沿って置かれた非線形結晶の長さは、ほぼ３ｍｍ以上であってほぼ１２ｍｍ以下である、
ことを特徴とする方法。
【請求項３１】
請求項３０に記載の方法において、
前記第１の光路に沿って置かれた非線形結晶の長さは、ほぼ４ｍｍ以上であってほぼ８ｍｍ以下である、
ことを特徴とする方法。
【請求項３２】
請求項３０又は３１に記載の方法において、
前記ＵＶレーザ光は、第４或いは第５の調波を含む、
ことを特徴とする方法。
【請求項３３】
請求項２６又は２８に記載の方法において、
低パワーＵＶレーザ出力及び／又は第１の波長成分のレーザ光を素材又は位置合わせする標的のほうに向けるステップと、
素材又は位置合わせする標的から反射したＵＶ及び／又は第１の波長成分のレーザ光を検出するステップと、
前記ＵＶレーザ光の出力位置を前記リンクに位置合わせするステップと、
ビーム変調器によって、低減衰状態を前記ＵＶレーザ光に与えて高いパワーのレーザ出力を供給するステップと、
高いパワーのレーザ出力を前記標的のほうに向けて、該標的を切断するステップと、を含むことを特徴とする方法。
【請求項３４】
請求項３３に記載の方法において、
シングルビーム変調器によって、減衰状態の変化を前記ＵＶレーザ光に生じさせることを含む、方法。
【請求項３５】
請求項２６に記載の方法において、
音響光学変調器によって、減衰状態の変化を前記ＵＶレーザ光に生じさせることを含む、方法。
【請求項３６】
請求項２６に記載の方法において、
少なくとも、低いパワーのＵＶレーザ出力が素材、位置合わせする標的、又はリンクに向けられる際には、ビーム変調によって、完全減衰状態を前記第１の波長のレーザ光のレーザ部分に与えて、第１の波長のレーザ光が前記標的に向けて伝送するのを遮るステップを更に含む、方法。
【請求項３７】
請求項２６又は３３に記載の方法において、
可変減衰器によって、減衰状態の変化を前記第１の波長のレーザ光のレーザ部分に生じさせるステップを更に含む、方法。
【請求項３８】
請求項３３に記載の方法において、
可変減衰器によって、減衰状態の変化を前記第１の波長のレーザ光のレーザ部分に生じさせるステップを更に含む、方法。
【請求項３９】
請求項３４に記載の方法において、
前記ＵＶレーザ光の出力部分を第２のリンクに位置合わせするとともに、低いパワーのＵＶレーザ出力及び／又は第１の波長のレーザ光を第２の素材又は位置合わせする標的のほうに向ける前に、高いパワーのＵＶレーザ出力を前記第２のリンクのほうに向けて該第２のリンクを切断するステップを更に含む、方法。
【請求項４０】
請求項２６〜３７，又は３９のいずれか一項に記載の方法において、
前記第１の波長は、第２の調波の緑のレーザ光からなり、前記ＵＶレーザ光は、第３の調波のＵＶレーザ光からなる、方法。
【請求項４１】
請求項２６〜３７，又は３９のいずれか一項に記載の方法において、
前記第１の波長は、第１の調波のＩＲのレーザ光からなり、前記ＵＶレーザ光は、第３の調波のＵＶレーザ光からなる、方法。
【請求項４２】
請求項２６〜３７，又は３９のいずれか一項に記載の方法において、
前記第１の波長は、第１の調波のＩＲのレーザ光からなり、前記ＵＶレーザ光は、第４の調波のＵＶレーザ光からなる、方法。
【請求項４３】
請求項２６〜３７，又は３９のいずれか一項に記載の方法において、
前記第１の波長は、第２の調波の緑のレーザ光からなり、前記ＵＶレーザ光は、第４の調波のＵＶレーザ光からなる、方法。