【手続補正書】
【提出日】平成19年10月19日(2007.10.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理容器内にて被処理体を載置部により回転させながら、加熱手段により加熱しかつ処理容器内に所定のガスを供給して被処理体に対して熱処理を行う熱処理装置において、
前記処理容器の外側に設けられ、周方向に沿って磁極が多数配列された外輪部と、
前記処理容器の内側に設けられ、前記磁極の夫々の間で磁力が作用するように周方向に沿って多数の磁極が配列されると共に前記磁力により外輪部に追従して回転する内輪部と、
前記内輪部と処理容器との間に介設された軸受部と、
前記処理容器内にて前記内輪部と共に回転し、被処理体を載置するための載置部と、を備え、
前記内輪部及び外輪部の磁極数は、要求される載置部に対する被処理体の向きの許容範囲に応じた、外輪部及び内輪部の対応する磁極同士の角度差において、前記外輪部を回転させたときの外輪部から内輪部に伝達されるトルクの値が前記軸受部の摩擦トルクの値を越えるように決定されることを特徴とする熱処理装置。
【請求項２】
処理容器内の載置部に対して被処理体を所定の向きで載置し、当該載置部を回転させながら、加熱手段により加熱しかつ処理容器内に所定のガスを供給して被処理体に対して熱処理を行う熱処理部と、この熱処理部の処理容器にゲ−トバルブを介して気密に接続された搬送室と、この搬送室にゲ−トバルブを介して気密に接続された処理容器を備えた他の熱処理部と、を備え、一の熱処理部にて被処理体に対して熱処理を行い、次いでその被処理体を前記搬送室を介して他の熱処理部に搬送して熱処理を行う熱処理装置において、
前記一の熱処理部は、
前記処理容器の外側に設けられ、周方向に沿って磁極が多数配列された外輪部と、
前記処理容器の内側に設けられ、前記磁極の夫々の間で磁力が作用するように周方向に沿って多数の磁極が配列されると共に前記磁力により外輪部に追従して回転する内輪部と、
前記内輪部と処理容器との間に介設された軸受部と、
前記処理容器内にて前記内輪部と共に回転し、被処理体を載置するための載置部と、を備え、
前記内輪部及び外輪部の磁極数は、要求される載置部に対する被処理体の向きの許容範囲に応じた、外輪部及び内輪部の対応する磁極同士の角度差において、前記外輪部を回転させたときの外輪部から内輪部に伝達されるトルクの値が前記軸受部の摩擦トルクの値を越えるように決定されることを特徴とする熱処理装置。
【請求項３】
他の熱処理部の載置部の位置決め部に被処理体が嵌合することにより被処理体の向きが位置決めされることを特徴とする請求項２記載の熱処理装置。
【請求項４】
前記軸受け部は、セラミックスよりなる転動体と自己潤滑性がある保持器とを備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の熱処理装置。
【請求項５】
内輪部及び外輪部の極数ごとに得られる各トルク曲線の最大トルクの中で最大値を持つ極数Ｌよりも多い極数であり、かつトルク曲線の上昇部分の傾きが前記極数Ｌにおけるトルク曲線の上昇部分よりも大きい極数であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに記載の熱処理装置。
【請求項６】
被処理体の向きの許容範囲に対応する角度差が０．３度であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載の熱処理装置。
【請求項７】
外輪部側の磁極及び内輪部側の磁極の一方がネオジム系磁石であり、他方がマルテンサイト系ステンレス鋼であることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一つに記載の熱処理装置。
【請求項８】
加熱手段は被処理体を輻射熱により加熱するものであることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一つに記載の熱処理装置。
【請求項９】
処理容器の外側に設けられ、周方向に沿って磁極が多数配列された外輪部と、前記処理容器の内側に設けられ、前記磁極の夫々の間で磁力が作用するように周方向に沿って多数の磁極が配列されると共に前記磁力により外輪部に追従して回転する内輪部と、前記内輪部と処理容器との間に介設された軸受部と、前記処理容器内にて前記内輪部と共に回転し、被処理体を載置するための載置部と、を有し、前記内輪部及び外輪部の磁極数は、要求される載置部に対する被処理体の向きの許容範囲に応じた、外輪部及び内輪部の対応する磁極同士の角度差において、前記外輪部を回転させたときの外輪部から内輪部に伝達されるトルクの値が前記軸受部の摩擦トルクの値を越えるように決定された熱処理部を用い、
この熱処理部の載置部に被処理体を載置する工程と、
次いで外輪部を回転させることにより載置部を回転させながら、加熱手段により加熱しかつ処理容器内に所定のガスを供給して被処理体に対して熱処理を行う工程と、を含むことを特徴とする熱処理方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、いわゆる磁気カップリングを用いて被処理体の載置部を回転させながら加熱処理を行うにあたり、被処理体を高精度で所定の向きに停止させることができ、例えば複数の熱処理部を用いて連続処理を行う場合に、被処理体を後続の熱処理部内に所定の向きで搬入することができる技術を提供することにある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の熱処理装置は、処理容器内にて被処理体を載置部により回転させながら、加熱手段により加熱しかつ処理容器内に所定のガスを供給して被処理体に対して熱処理を行う熱処理装置において、
前記処理容器の外側に設けられ、周方向に沿って磁極が多数配列された外輪部と、
前記処理容器の内側に設けられ、前記磁極の夫々の間で磁力が作用するように周方向に沿って多数の磁極が配列されると共に前記磁力により外輪部に追従して回転する内輪部と、
前記内輪部と処理容器との間に介設された軸受部と、
前記処理容器内にて前記内輪部と共に回転し、被処理体を載置するための載置部と、を備え、
前記内輪部及び外輪部の磁極数は、要求される載置部に対する被処理体の向きの許容範囲に応じた、外輪部及び内輪部の対応する磁極同士の角度差において、前記外輪部を回転させたときの外輪部から内輪部に伝達されるトルクの値が前記軸受部の摩擦トルクの値を越えるように決定されることを特徴とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
この発明によれば、内輪部の軸受部にグリ−スを用いていないので被処理体に対する汚染を防止できる。そしてその軸受部である例えばセラミックス軸受部は摩擦トルクが大きいが、被処理体を高精度で所定の向きに停止させることができる。この発明では、内輪部及び外輪部の極数ごとに得られる各トルク曲線の最大トルクの中で最大値を持つ極数Ｌよりも多い極数であり、かつトルク曲線の上昇部分の傾きが前記極数Ｌにおけるトルク曲線の上昇部分よりも大きい極数であることが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また本発明の熱処理方法は、上述の熱処理装置（熱処理部）を用い、熱処理部の載置部に被処理体を載置する工程と、
次いで外輪部を回転させることにより載置部を回転させながら、加熱手段により加熱しかつ処理容器内に所定のガスを供給して被処理体に対して熱処理を行う工程と、を含むことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
次に上述実施の形態の作用について述べる。先ず処理容器１の図示しない搬送口から搬入された図示しない搬送ア−ムから載置部１２にウエハＷを受け渡す。続いてステッピングモ−タ４４を駆動して外輪部４を回転させる。このとき外輪部４の磁極４１と内輪部２の磁極２１との間に磁力が働いているので、磁極２１が磁極４１に吸引されようとするが、内輪部２の軸受部３１に摩擦があるため、内輪部２に働くトルクが軸受部３１における摩擦トルクを越えるまでは外輪部４側の磁極４１のみが回転し、内輪部２に働くトルク（伝達トルク）が前記摩擦トルクを越えたときに内輪部２側の磁極２１が遅れて回転するする。図６は外輪部４を例えば反時計方向に回転させたときに上述の理由から外輪部４に遅れて内輪部２が回転する様子を模式的に示した図であり、外輪部４が内輪部２に対して角度θだけ進んだときに内輪部２が回転し始める。なおこの角度θは磁極２１の中心軸に対する磁極４１の中心軸のずれ分つまり内輪部２側の摩擦トルクがゼロのときの磁極４１の停止位置からのずれ分である。このようにしてウエハＷが回転する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、被処理体を高精度で所定の向きに停止させることができ、例えば複数の熱処理部を用いて連続処理を行う場合に、被処理体を後続の熱処理部内に所定の向きで搬入することができる。そして内輪部の軸受部としてセラミックス軸受部を用いているので載置部の軸受部による被処理体の汚染を防止することができる。