【手続補正書】
【提出日】平成19年5月31日(2007.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コイルと、
前記コイルに固定された受電部と、
前記コイルを支持する支持体と、
前記支持体に固定された給電部とを備え、
前記受電部は、前記コイルに電気的に接続された受電端子を有し、前記給電部は、給電端子を有し、前記受電端子は、前記給電端子に対して摺動可能な状態で接触することを特徴とするコイルユニット。
【請求項２】
前記受電端子は前記給電端子に対して前記コイルの所定方向への熱膨張を許すように摺動可能な状態で接触し、
前記支持体は前記コイルの前記所定方向への熱膨張を許すように前記コイルを支持することを特徴とする請求項１に記載のコイルユニット。
【請求項３】
前記コイルは、略長円形であり、
前記所定方向とは前記コイルの長手方向であることを特徴とする請求項２に記載のコイルユニット。
【請求項４】
前記支持体は、前記コイルがその長手方向に熱膨張することを許す一方で、前記コイルがその短手方向に移動することを規制するように前記コイルを支持することを特徴とする請求項３に記載のコイルユニット。
【請求項５】
前記コイル、前記受電部、前記給電部を複数組備え、
前記複数のコイルは、それらの各長手方向が第１方向に沿うように配置されるとともに、前記第１方向に直交する第２方向に並べて配列されていることを特徴とする請求項４に記載のコイルユニット。
【請求項６】
前記受電端子と前記給電端子とを圧接させるための弾性部材を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のコイルユニット。
【請求項７】
第１要素と、
第２要素とを備え、
前記第１要素が請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のコイルユニットを有し、
前記第２要素は、前記第１要素の前記コイルユニットが発生する磁界との電磁的相互作用によって前記第１要素に対して相対的に移動する、
ことを特徴とする電磁アクチュエータ。
【請求項８】
基板ステージと、
原版ステージと、
前記原版ステージに保持された原版のパターンを前記基板ステージに保持された基板に投影する投影系とを備え、
前記基板ステージ及び前記原版ステージの少なくとも一方を請求項７に記載の電磁アクチュエータによって駆動することを特徴とする露光装置。
【請求項９】
基板ステージと投影系とを有し、
前記基板ステージに保持された基板に前記投影系を介して露光エネルギーを照射して潜像パターンを形成する露光装置であって、
前記基板ステージを請求項７に記載の電磁アクチュエータによって駆動することを特徴とする露光装置。
【請求項１０】
デバイス製造方法であって、
基板に感光剤を塗布する工程と、
前記基板上の感光剤に請求項８又は請求項９に記載の露光装置によって潜像パターンを形成する工程と、
前記潜像パターンを現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
また、端子ピンをソケットに挿入する構成においては、コイルの位置が端子ピンとソケットとによって拘束されるために、支持部材に対してコイルの寸法精度や取り付け精度の要求が厳しい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明のコイルユニットは、コイルと、前記コイルに固定された受電部と、前記コイルを支持する支持体と、前記支持体に固定された給電部とを備え、前記受電部が、前記コイルに電気的に接続された受電端子を有し、前記給電部が、給電端子を有し、前記受電端子が、前記給電端子に対して摺動可能な状態で接触する構造を有する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の好適な実施形態によれば、前記受電端子は前記給電端子に対して前記コイルの所定方向への熱膨張を許すように摺動可能な状態で接触し、前記支持体は前記コイルの前記所定方向への熱膨張を許すように前記コイルを支持することが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の好適な実施形態によれば、前記コイルは、略長円形であり、前記所定方向とは前記コイルの長手方向でありうる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の好適な実施形態によれば、前記受電端子と前記給電端子とを圧接させるための弾性部材を備えることが好ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の露光装置は、基板ステージと、原版ステージと、前記原版ステージに保持された原版のパターンを前記基板ステージに保持された基板に投影する投影系とを備え、前記基板ステージ及び前記原版ステージの少なくとも一方が上記の電磁アクチュエータによって駆動される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明のデバイス製造方法は、基板に感光剤を塗布する工程と、前記基板上の感光剤に上記のの露光装置によって潜像パターンを形成する工程と、前記潜像パターンを現像する工程とを含む。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明によれば、例えば、コイルを含む装置において、熱膨張によって構成部材に加わる応力を緩和すること、支持部材に対するコイルの寸法精度や取り付け精度を緩和することのいずれか又は全てを達成することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
図４に示す露光装置５００は、例えば、半導体デバイス、液晶表示デバイス、マイクロマシン、薄膜磁気ヘッド等の、微細なパターンを含むデバイスの製造に利用される。露光装置５００は、レチクル等の原版を介してウエハ等の基板に照明系ユニット５０１から露光エネルギー（例えば、可視光、紫外光、ＥＵＶ光、Ｘ線、電子線、荷電粒子線等）を投影系（例えば、屈折レンズ、反射レンズ、反射屈折レンズシステム、荷電粒子レンズ等）を介して照射することによって、ウエハステージ等の基板ステージ５０４に搭載された基板上の感光剤に潜像パターンを形成する。ここで、電子線等の荷電粒子線を利用する方式においては、原版が不要な場合もある。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
基板ステージ５０４に搭載されたチャック上に基板（対象物）を保持し、照明系ユニット５０１によって、原版ステージ５０２に搭載された原版のパターンを基板上の各領域にステップアンドリピート又はステップアンドスキャン等の各種方式で転写する。第１実施形態の電磁アクチュエータは、基板ステージ５０４及び原版ステージ５０２の少なくも一方の部品として好適である。