【手続補正書】
【提出日】平成19年8月28日(2007.8.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子デバイスが搭載される複数のトレーと、前記トレーを収納する収納庫を具備する検査装置であって、
前記トレーは前記電子デバイスの検査条件又はエージング条件のパラメータが設定されるパラメータ部と、前記パラメータに従って前記電子デバイスを動作させる駆動制御部を有することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記複数のトレーの前記パラメータ部に検査パラメータまたはエージングパラメータを設定するパラメータ設定部をさらに具備することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記トレーに搭載される前記電子デバイスの品名または種類と検査パラメータまたはエージングパラメータとの対応関係を記憶する対応関係記憶部と、
外部から前記トレーのＩＤと前記ＩＤを有する前記トレーに搭載される前記電子デバイスの品名又は種類との対応関係の情報を取得する情報取得部と、
を更に備え、
前記情報取得部は、外部から取得した情報に基づき、前記対応関係記憶部を参照することにより、前記トレーに搭載される前記電子デバイスと対応する検査パラメータまたはエージングパラメータを抽出し、
前記パラメータ設定部は、前記情報取得部により抽出された検査パラメータまたはエージングパラメータを前記ＩＤを有する前記エージングトレーの前記パラメータ部に設定することを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記トレーの有するＩＤを読み取るＩＤ読み取り部をさらに具備することを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記検査パラメータは前記電子デバイスを検査するときの前記電子デバイスの駆動パラメータと良否判定基準であり、前記エージングパラメータは前記電子デバイスをエージングするときの駆動パラメータであることを特徴とする請求項２乃至４の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記パラメータ部に前記検査パラメータ及びエージングパラメータを設定することにより、前記電子デバイスのエージングと、前記エージングの前の検査と、前記エージングの後の検査と、のうち少なくとも何れか１つを実行することを特徴とする請求項２乃至４の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項７】
前記電子デバイスは表示デバイスであることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記表示デバイスはプラズマディスプレイパネルであることを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
【請求項９】
請求項１乃至８の何れか一項に記載の検査装置を用いて前記電子デバイスの検査またはエージングを行う工程を備えることを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【請求項１０】
プラズマディスプレイパネルの端子群より該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加し、該プラズマディスプレイパネルに電流を流すときの前記電圧の変化量に対する前記電流の変化量の割合を検出することによって、あるいは該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加したときの該プラズマディスプレイパネルの表示状態を画像処理することによって該プラズマディスプレイパネルの良否を判断する検査処理回路、または該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加することにより該プラズマディスプレイパネルの放電セルを点灯させてエージングを行うエージング処理回路を具備する検査装置であって、
前記プラズマディスプレイパネルをトレーに搭載し、前記トレーに前記検査処理に関する検査パラメータまたは前記エージング処理に関するエージングパラメータを設定することにより、前記検査処理回路または前記エージング処理回路は前記検査パラメータまたは前記エージングパラメータに応じて動作することを特徴とする検査装置。
【請求項１１】
前記プラズマディスプレイパネルの品名または種類を判定する判定部と、前記品名または種類に応じて前記トレーに前記検査処理に関する検査パラメータまたは前記エージング処理に関するエージングパラメータを設定するパラメータ設定部と、を具備することを特徴とする請求項１０に記載の検査装置。
【請求項１２】
前記品名又は種類と前記検査処理に関する検査パラメータまたは前記エージング処理に関するエージングパラメータとの対応関係を設定できる情報取得部をさらに具備することを特徴とする請求項１１に記載の検査装置。
【請求項１３】
前記検査処理回路は前記プラズマディスプレイパネルの良否判定を行い、前記エージング処理回路は前記良否判定により良品と判定された前記プラズマディスプレイパネルのエージング処理を行うことを特徴とする請求項１０乃至１２の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項１４】
前記エージング後、前記検査処理回路は前記プラズマディスプレイパネルの良否判定を行うことを特徴とする請求項１３に記載の検査装置。
【請求項１５】
請求項１０乃至１４の何れか一項に記載の検査装置を用いて前記プラズマディスプレイパネルの検査処理及びエージング処理を行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１６】
プラズマディスプレイパネルの端子群より該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加することによって、該プラズマディスプレイパネルの良否を判定する検査装置において、
前記プラズマディスプレイパネルに電圧を印加する電圧印加手段と、
前記電圧印加手段により印加される電圧値に応じた前記プラズマディスプレイパネルへの印加電流値を検出する電流検出手段と、
前記電圧印加手段により印加される電圧値の変化量と、前記電流検出手段により検出される電流値の変化量と、の関係を検出する変化特性検出手段と、
を備え、
前記変化特性検出手段により検出された変化特性に基づいて前記プラズマディスプレイパネルの良否を判定することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの検査装置。
【請求項１７】
プラズマディスプレイパネルの縁辺部に沿って設けられた端子群に接触される電極バーを備え、該電極バーを介して前記端子群に電圧を印加することにより前記プラズマディスプレイパネルの放電セルを点灯させエージングを行うためのエージング装置において、
寸法が相互に異なるプラズマディスプレイパネルに対するエージングの際に前記電極バーを共用可能とするために、前記電極バーの位置を可変とさせる移動機構を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルのエージング装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】電子デバイスの検査装置及びプラズマディスプレイパネルの検査装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、電子デバイスの検査装置、電子デバイスの製造方法、プラズマディスプレイパネルの検査装置、プラズマディスプレイパネルの製造方法及びプラズマディスプレイパネルのエージング装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、ＰＤＰ或いはその他の電子デバイスに対する検査条件又はエージングの条件を、電子デバイスの種類に応じた最適な条件に設定することが可能な検査装置、及び、この検査装置を用いた電子デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の検査装置は、電子デバイスが搭載される複数のトレーと、前記トレーを収納する収納庫を具備する検査装置であって、前記トレーは前記電子デバイスの検査条件又はエージング条件のパラメータが設定されるパラメータ部と、前記パラメータに従って前記電子デバイスを動作させる駆動制御部を有することを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明の検査装置においては、前記複数のトレーの前記パラメータ部に検査パラメータまたはエージングパラメータを設定するパラメータ設定部をさらに具備することが好ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明の検査装置においては、前記トレーに搭載される前記電子デバイスの品名または種類と検査パラメータまたはエージングパラメータとの対応関係を記憶する対応関係記憶部と、外部から前記トレーのＩＤと前記ＩＤを有する前記トレーに搭載される前記電子デバイスの品名又は種類との対応関係の情報を取得する情報取得部と、を更に備え、前記情報取得部は、外部から取得した情報に基づき、前記対応関係記憶部を参照することにより、前記トレーに搭載される前記電子デバイスと対応する検査パラメータまたはエージングパラメータを抽出し、前記パラメータ設定部は、前記情報取得部により抽出された検査パラメータまたはエージングパラメータを前記ＩＤを有する前記エージングトレーの前記パラメータ部に設定することが好ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明の検査装置においては、前記トレーの有するＩＤを読み取るＩＤ読み取り部をさらに具備することが好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明の検査装置においては、前記検査パラメータは前記電子デバイスを検査するときの前記電子デバイスの駆動パラメータと良否判定基準であり、前記エージングパラメータは前記電子デバイスをエージングするときの駆動パラメータであることが好ましい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
本発明の検査装置においては、前記パラメータ部に前記検査パラメータ及びエージングパラメータを設定することにより、前記電子デバイスのエージングと、前記エージングの前の検査と、前記エージングの後の検査と、のうち少なくとも何れか１つを実行することが好ましい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
本発明の検査装置においては、前記電子デバイスは表示デバイスであることが好ましい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
本発明の検査装置においては、前記表示デバイスはプラズマディスプレイパネルであることが好ましい。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
本発明の電子デバイスの製造方法は、本発明の検査装置を用いて前記電子デバイスの検査またはエージングを行う工程を備えることを特徴としている。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
また、本発明の検査装置は、プラズマディスプレイパネルの端子群より該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加し、該プラズマディスプレイパネルに電流を流すときの前記電圧の変化量に対する前記電流の変化量の割合を検出することによって、あるいは該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加したときの該プラズマディスプレイパネルの表示状態を画像処理することによって該プラズマディスプレイパネルの良否を判断する検査処理回路、または該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加することにより該プラズマディスプレイパネルの放電セルを点灯させてエージングを行うエージング処理回路を具備する検査装置であって、前記プラズマディスプレイパネルをトレーに搭載し、前記トレーに前記検査処理に関する検査パラメータまたは前記エージング処理に関するエージングパラメータを設定することにより、前記検査処理回路または前記エージング処理回路は前記検査パラメータまたは前記エージングパラメータに応じて動作することを特徴としている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
本発明の検査装置においては、前記プラズマディスプレイパネルの品名または種類を判定する判定部と、前記品名または種類に応じて前記トレーに前記検査処理に関する検査パラメータまたは前記エージング処理に関するエージングパラメータを設定するパラメータ設定部と、を具備することが好ましい。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
本発明の検査装置においては、前記品名又は種類と前記検査処理に関する検査パラメータまたは前記エージング処理に関するエージングパラメータとの対応関係を設定できる情報取得部をさらに具備することが好ましい。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
本発明の検査装置においては、前記検査処理回路は前記プラズマディスプレイパネルの良否判定を行い、前記エージング処理回路は前記良否判定により良品と判定された前記プラズマディスプレイパネルのエージング処理を行うことが好ましい。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
本発明の検査装置においては、前記エージング後、前記検査処理回路は前記プラズマディスプレイパネルの良否判定を行うことが好ましい。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、本発明の検査装置を用いて前記プラズマディスプレイパネルの検査処理及びエージング処理を行うことを特徴としている。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
また、本発明の検査装置は、プラズマディスプレイパネルの端子群より該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加することによって、該プラズマディスプレイパネルの良否を判定する検査装置において、前記プラズマディスプレイパネルに電圧を印加する電圧印加手段と、前記電圧印加手段により印加される電圧値に応じた前記プラズマディスプレイパネルへの印加電流値を検出する電流検出手段と、前記電圧印加手段により印加される電圧値の変化量と、前記電流検出手段により検出される電流値の変化量と、の関係を検出する変化特性検出手段と、を備え、前記変化特性検出手段により検出された変化特性に基づいて前記プラズマディスプレイパネルの良否を判定することを特徴としている。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また、本発明のエージング装置は、プラズマディスプレイパネルの縁辺部に沿って設けられた端子群に接触される電極バーを備え、該電極バーを介して前記端子群に電圧を印加することにより前記プラズマディスプレイパネルの放電セルを点灯させエージングを行うためのエージング装置において、寸法が相互に異なるプラズマディスプレイパネルに対するエージングの際に前記電極バーを共用可能とするために、前記電極バーの位置を可変とさせる移動機構を備えることを特徴としている。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
本発明の検査装置によれば、電子デバイスが搭載される複数のトレーと、前記トレーを収納する収納庫を具備する検査装置であって、前記トレーは検査条件又はエージング条件のパラメータが設定されるパラメータ部と、前記パラメータに従って前記電子デバイスを動作させる駆動制御部を有するので、電子デバイスに対する検査条件又はエージングの条件を、電子デバイスの種類に応じた最適な条件に設定し、設定したパラメータに従って電子デバイスを動作させることにより、電子デバイスの種類に応じて最適な検査又はエージングを実施することができる。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
また、本発明のエージング装置によれば、寸法が相互に異なるプラズマディスプレイパネルに対するエージングの際に電極バーを共用可能とするために、電極バーの位置を可変とさせる移動機構を備えるので、寸法が相互に異なるプラズマディスプレイパネルに対するエージングの際に電極バーを共用することができる。よって、ＰＤＰの寸法毎に複数種類のエージング装置（エージングトレー）を準備する必要がない。また、寸法が相互に異なるプラズマディスプレイパネルに対するエージングの際に電極バーを共用できるため、特許文献２の技術とは異なり、複数種類の寸法のＰＤＰに対してエージング装置を共用するに際して、電極バーの交換作業を行う必要がない。よって、特許文献２の技術よりも設備の稼働率及び生産性を向上させることができる。