【手続補正書】
【提出日】平成19年10月5日(2007.10.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバ内に配置され、該チャンバ内でワークを搬送する搬送アームと、
前記搬送アームに駆動力を付勢する出力軸を有し、前記チャンバに取り付けられる密閉型のモータと、
前記搬送アームを昇降するために、前記モータを前記出力軸の軸方向に移動させる移動手段と、を備え、
前記モータは、気密性及び伸縮性を有する部材を介して前記チャンバに取り付けられたことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記モータが、前記搬送アームに駆動力を付勢する複数の出力軸であって、それぞれ同芯に配置された複数の出力軸、を有し、かつ、
各々の前記出力軸を回転駆動する構成要素が、前記出力軸の径方向に多重的に配置されたものであることを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記モータを複数備え、
各々の前記モータの前記出力軸は、それぞれ同芯に配置され、
前記モータのうちの一つのモータが、前記部材を介して前記チャンバに取り付けられ、
残りの前記モータは、前記一つのモータに対して、前記出力軸の軸方向に直列的に配置されたことを特徴とする請求項２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記搬送アームが、前記出力軸により、直線的に伸縮し、又は、旋回するアームであることを特徴とする請求項２に記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
前記搬送アームが、第１のアーム部材と、第２のアーム部材と、を備え、
前記第１のアーム部材の一方の端部には、前記出力軸が取り付けられ、他方の端部には、前記第２のアーム部材の一方の端部が回動自在に取り付けられ、
前記第２のアーム部材の他方の端部には、搬送するワークを保持するハンドが設けられたことを特徴とする請求項４に記載のワーク搬送装置。
【請求項６】
前記第１のアーム部材と前記第２のアーム部材とは、ベルト伝動を利用した機構により駆動され、
前記第１のアーム部材の前記一方の端部には、前記ベルト伝動を利用した機構を構成するプーリが設けられ、
前記複数の出力軸は、前記第１のアーム部材を回動するための出力軸と、前記プーリを回転するための出力軸と、を含むことを特徴とする請求項５に記載のワーク搬送装置。
【請求項７】
前記搬送アームが、相互に一方の端部において回動自在に連結された２つの第１のアーム部材と、
前記第１のアーム部材の他方の端部に、その一方の端部が、それぞれ回動自在に連結された２つの第２のアーム部材と、を備え、
前記第１のアーム部材の前記一方の端部には、それぞれ、前記出力軸が取り付けられ、
前記前記第２のアーム部材の他方の端部には、搬送するワークを保持するハンドが取り付けられ、
更に、前記２つの第１のアーム部材と、前記２つの第２のアーム部材とは、略菱形をなしていることを特徴とする請求項４に記載のワーク搬送装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
従って、本発明の目的は、搬送ラインを適宜変更することのできるワーク搬送装置を提供することにある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、チャンバ内に配置され、該チャンバ内でワークを搬送する搬送アームと、
前記搬送アームに駆動力を付勢する出力軸を有し、前記チャンバに取り付けられる密閉型のモータと、
前記搬送アームを昇降するために、前記モータを前記出力軸の軸方向に移動させる移動手段と、を備え、
前記モータは、気密性及び伸縮性を有する部材を介して前記チャンバに取り付けられたことを特徴とするワーク搬送装置が提供される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明の好適な形態を列挙する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、前記モータが、前記搬送アームに駆動力を付勢する複数の出力軸であって、それぞれ同芯に配置された複数の出力軸、を有し、かつ、各々の前記出力軸を回転駆動する構成要素が、前記出力軸の径方向に多重的に配置されたものとすることもできる。
この場合、前記搬送アームを、前記出力軸により、直線的に伸縮し、又は、旋回するアームとすることもできる。そして、前記搬送アームが、第１のアーム部材と、第２のアーム部材と、を備え、前記第１のアーム部材の一方の端部には、前記出力軸が取り付けられ、他方の端部には、前記第２のアーム部材の一方の端部が回動自在に取り付けられ、前記第２のアーム部材の他方の端部には、搬送するワークを保持するハンドを設けることもできる。更に、前記第１のアーム部材と前記第２のアーム部材とは、ベルト伝動を利用した機構により駆動され、前記第１のアーム部材の前記一方の端部には、前記ベルト伝動を利用した機構を構成するプーリが設けられ、前記複数の出力軸は、前記第１のアーム部材を回動するための出力軸と、前記プーリを回転するための出力軸と、を含むこともできる。或いは、前記搬送アームが、相互に一方の端部において回動自在に連結された２つの第１のアーム部材と、前記第１のアーム部材の他方の端部に、その一方の端部が、それぞれ回動自在に連結された２つの第２のアーム部材と、を備え、前記第１のアーム部材の前記一方の端部には、それぞれ、前記出力軸が取り付けられ、前記前記第２のアーム部材の他方の端部には、搬送するワークを保持するハンドが取り付けられ、更に、前記２つの第１のアーム部材と、前記２つの第２のアーム部材とは、略菱形をなしているように構成することもできる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
【発明の効果】
以上述べてきた通り、本発明のワーク搬送装置によれば、搬送ラインを適宜変更することができる。