【手続補正書】
【提出日】平成19年4月23日(2007.4.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系であって、
前記光源から前記被照明面までの光路中に前記光の偏光比を調整するための偏光素子を有し、前記偏光素子から前記被照明面までの光路中に配置された光学素子が以下の式を満たすことを特徴とする照明光学系。
ｍ＋２σ＜１．０ｎｍ／ｃｍ
ここで、ｍ：光学素子の硝材の複屈折量の平均
σ：光学素子の硝材の複屈折量の標準偏差
【請求項２】
光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系であって、
前記光源から前記被照明面までの光路中に前記光の偏光比を調整するための偏光素子を有し、前記偏光素子から前記被照明面までの光路中にパワーを有する光学素子が配置されていないことを特徴とする照明光学系。
【請求項３】
前記偏光素子から前記被照明面までの光路中に光学素子が配置されていないことを特徴とする請求項２に記載の照明光学系。
【請求項４】
前記偏光素子から前記被照明面までの光路中に前記光の偏光状態をランダムにするための光学素子が配置されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学系。
【請求項５】
前記偏光素子から前記被照明面までの光路に対して位相板と平行平板とが交換可能に挿脱されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学系。
【請求項６】
前記偏光素子を通過した直後の光の偏光比と前記被照明面上での光の偏光比とが異なることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学系。
【請求項７】
前記偏光素子が、前記照明光学系の瞳位置近傍に配置されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学系。
【請求項８】
前記偏光素子は誘電体多層膜が形成された少なくとも１つの面を有し、前記面は、前記照明光学系の光軸に対して１５°以上６５°以下に傾斜して配置された偏光分離板で形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学系。
【請求項９】
前記偏光素子は、λ／４位相板又はλ／２位相板であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学系。
【請求項１０】
前記光源から前記偏光素子までの光路中に配置された光学素子が、以下の式を満たすことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学系。
ｍ＋２σ＜１．０ｎｍ／ｃｍ
ここで、ｍ：光学素子の硝材の複屈折量の平均
σ：光学素子の硝材の複屈折量の標準偏差
【請求項１１】
前記偏光素子より前記光源側に、表面に誘電体多層膜が形成された少なくとも１つの偏光分離板を有し、前記誘電体多層膜が形成された面は前記照明光学系の光軸に対して１５°以上６５°以下に傾斜していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学系。
【請求項１２】
前記光源から前記偏光素子までの光路中に配置された光学素子が、以下の式を満たすことを特徴とする請求項１１に記載の照明光学系。
ｍ＋２σ＜５．０ｎｍ／ｃｍ
ここで、ｍ：光学素子の硝材の複屈折量の平均
σ：光学素子の硝材の複屈折量の標準偏差
【請求項１３】
前記偏光素子に入射する光の光線群の光量重心が前記照明光学系の光軸と実質的に平行であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学系。
【請求項１４】
前記偏光素子が前記光路中に対して挿脱可能であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学系。
【請求項１５】
前記光の偏光比の調整量が互いに異なる複数の前記偏光素子が交換可能に挿脱されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学系。
【請求項１６】
請求項１又は請求項２に記載の照明光学系と、
前記被照明面を通過した光を基板に導くための投影光学系と、を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１７】
前記露光装置が走査式露光装置であり、誘電体多層膜が形成された前記偏光素子の少なくとも１つの面が前記走査式露光装置の走査方向に沿って傾斜して配置されていることを特徴とする請求項１６に記載の露光装置。
【請求項１８】
請求項１６又は請求項１７に記載の露光装置を用いて基板にパターンを投影露光する工程と、投影露光された前記基板を現像する工程とを有するデバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の一側面としての照明光学系は、光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系であって、前記光源から前記被照明面までの光路中に前記光の偏光比を調整するための偏光素子を有し、前記偏光素子から前記被照明面までの光路中に配置された光学素子が以下の式を満たすことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
ｍ＋２σ＜１．０ｎｍ／ｃｍ
ここで、ｍ：光学素子の硝材の複屈折量の平均
σ：光学素子の硝材の複屈折量の標準偏差
本発明の他の側面としての照明光学系は、光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系であって、前記光源から前記被照明面までの光路中に前記光の偏光比を調整するための偏光素子を有し、前記偏光素子から前記被照明面までの光路中にパワーを有する光学素子が配置されないことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
［実施の形態５］
以下、図１０を用いて本発明の実施の形態５に係る照明光学系について説明する。図１０は、この実施の形態に係る照明光学系を含む露光装置Ｓの概略構成図である。この実施の形態５の構成は、図１に示す実施の形態１の構成では、偏光素子３が誘電体多層膜からなる偏光分離板で所望の偏光以外を捨てており光のロスが発生していた問題点を改良する為、光源の偏光状態が所定の状態（例えば直線偏光）である場合に、光源の偏光状態を位相板１６で変換することによって、ロスを少なくして所定の偏光状態にする物である。実施の形態５に係る照明光学系の場合には、光源の偏光状態を偏光素子である位相板１６まで保存する必要があるため、光源から偏光素子までの光路上の光学部材の複屈折もｍ＋２σで１ｎｍ／ｃｍ以下にしたものである。これにより、図９に示すように、偏光比の変化を１０％以下にすることができ、十分な結像性能を得ることができ、しかも光量のロスが少ない為、高照度で照明することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
［実施の形態６］
以下、図１１を用いて本発明の実施の形態６に係る照明光学系について説明する。図１１は、この実施の形態に係る照明光学系を含む露光装置Ｓの概略構成図である。この実施の形態６の構成は、図１０に示す実施の形態５の構成に、さらに偏光分離板３を加えたものである。実施の形態５に係る照明光学系の場合には、光源の偏光状態を偏光素子である位相板１６まで厳密に保存する必要があるため、光源から偏光素子までの光路上の光学部材の複屈折もｍ＋２σで１ｎｍ／ｃｍ以下にする必要があった。実施の形態６においては、光源の偏光状態を略保存し、崩れた偏光状態を、偏光分離板３により必要な偏光光を取り出すようにしたものである。これにより、光源から偏光素子までの光路上の光学部材の複屈折をｍ＋２σで５ｎｍ／ｃｍ以下まで許容したとしても、位相板１６に入射する光の偏光状態を所望の状態となる。また、実施の形態１に比べ、偏光分離板３に入射する光の偏光状態が略保存されているため、反射して被照明面に到達しない光量が少なくなるため、光量ロスが少なくなる。これにより、図９に示すように、偏光比の変化を１０％以下にすることができ、十分な結像性能を得ることができ、しかも、光量のロスが少ない為、高照度で照明することができる。