【手続補正書】
【提出日】平成18年12月25日(2006.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  基板上に形成された電磁石部と、
該電磁石部と対向し、通電に応じて前記電磁石部が発生する磁力の作用に伴って少なくとも一部が変位可能に支持された変位部と、
を具え、当該変位に起因して生じる圧力の作用に応じてインクを吐出するようにしたインクジェットヘッドであって、
前記電磁石部は、
前記基板上に設けられたコアと、
該コアを囲繞するように前記基板上に設けられた薄膜コイルと、
を具え、該薄膜コイルは、平面内で少なくとも１回ターンさせたコイルパタンを複数、絶縁層を介して積層してなる多層構造を有するとともに、前記コイルパタン間がビアホールコンタクトを介して接続された巻き線構造を有し、
一方の外部配線と接続を行うための一方の電極配線が前記基板に面する最下層のコイルパタンに連続して前記基板上に設けられるとともに、前記基板から最も離れた最上層のコイルパタンと他方の外部配線とを接続するための他方の電極配線が、電極層を前記基板上に複数、絶縁層を介して積層してなる多層構造を有するとともに、前記電極層間がビアホールコンタクトを介して電気的に接続され、前記基板に面する最下層の電極層を介して前記他方の外部配線に連続している、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】  前記電磁石部をインクから隔離する膜が、前記電磁石上に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】  前記変位部は、前記磁力の作用に伴って前記変位が可能な材料でなる平板状の本体と、前記インクから保護するべく前記本体を挟み込む保護膜とを有し、前記電磁石部に対する変位が許容される空隙をおいて設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】  前記電磁石部への電流の通電／遮断による磁力の発生／解消に伴って生じる前記変位部の変位／復原により前記インクを吐出するための圧力を作用するようにしたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】  前記変位部は、前記変位の方向と実質的に等しい方向にインクを吐出するための吐出口に連通する液路内に設けられていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】  前記変位部は、前記変位の方向と実質的に直交する方向にインクを吐出するための吐出口に連通する液路内に設けられていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】  前記電磁石部、前記変位部および前記吐出口を同一基板上に複数設けてなることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】  インクを供給するためのインクタンクを一体に具備したことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】  請求項１ないし８のいずれかに記載のインクジェットヘッドを用いてプリント媒体に対しプリントを行うインクジェットプリント装置であって、前記インクジェットヘッドと前記プリント媒体とを相対的に走査する手段を具えたことを特徴とするインクジェットプリント装置。
【請求項１０】  請求項１ないし８のいずれかに記載のインクジェットヘッドを製造するための製造方法であって、
基板上に前記コアを形成する工程と、
該コアを囲繞するよう平面内で少なくとも１回ターンさせたコイルパタンを複数、絶縁層を介して前記基板上で積層するとともに、前記コイルパタン間をビアホールコンタクトを介して接続することにより、前記基板上に薄膜コイルを形成する工程と、
一方の外部配線と接続を行うための一方の電極配線を前記基板に面する最下層のコイルパタンに連続して前記基板上に形成する工程と、
前記薄膜コイルの形成と同時に、他方の外部配線と前記薄膜コイルとを接続するための他方の電極配線を形成する工程であって、前記基板に面する最下層が前記他方の外部配線と連続し、かつ最上層が前記コイルパタンの最上層と連続する複数の電極層を、絶縁層を介して前記基板上に積層するとともに、前記電極層間をビアホールコンタクトを介して接続することにより、前記基板上に前記他方の電極配線を形成する工程と、
磁力の作用に伴って少なくとも一部が変位可能な変位部を前記コアに対向するよう設ける工程と、
を具えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】  平面内で少なくとも１回ターンさせたコイルパタンを複数、絶縁層を介して基板上に積層してなる多層構造を有するとともに、前記コイルパタン間がビアホールコンタクトを介して接続された巻き線構造を有する薄膜コイルであって、
一方の外部配線と接続を行うための一方の電極配線が前記基板に面する最下層のコイルパタンに連続して前記基板上に設けられるとともに、
前記基板から最も離れた最上層のコイルパタンと他方の外部配線とを接続するための他方の電極配線が、電極層を前記基板上に複数、絶縁層を介して積層してなる多層構造を有するとともに、前記電極層間がビアホールコンタクトを介して電気的に接続され、前記基板に面する最下層の電極層を介して前記他方の外部配線に連続していることを特徴とする薄膜コイル。
【請求項１２】  平面内で少なくとも１回ターンさせたコイルパタンを複数、絶縁層を介して基板上で積層するとともに、前記コイルパタン間をビアホールコンタクトを介して接続することにより、前記基板上に薄膜コイルの本体を形成する工程と、
一方の外部配線と接続を行うための一方の電極配線を前記基板に面する最下層のコイルパタンに連続して前記基板上に形成する工程と、
前記薄膜コイルの本体の形成と同時に、他方の外部配線と前記薄膜コイルの本体とを接続するための他方の電極配線を形成する工程であって、前記基板に面する最下層が前記他方の外部配線と連続し、かつ最上層が前記コイルパタンの最上層と連続する複数の電極層を、絶縁層を介して前記基板上に積層するとともに、前記電極層間をビアホールコンタクトを介して接続することにより、前記基板上に前記他方の電極配線を形成する工程と、
を具えたことを特徴とする薄膜コイルの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
そのために、本発明は、基板上に形成された電磁石部と、
該電磁石部と対向し、通電に応じて前記電磁石部が発生する磁力の作用に伴って少なくとも一部が変位可能に支持された変位部と、
を具え、当該変位に起因して生じる圧力の作用に応じてインクを吐出するようにしたインクジェットヘッドであって、
前記電磁石部は、
前記基板上に設けられたコアと、
該コアを囲繞するように前記基板上に設けられた薄膜コイルと、
を具え、該薄膜コイルは、平面内で少なくとも１回ターンさせたコイルパタンを複数、絶縁層を介して積層してなる多層構造を有するとともに、前記コイルパタン間がビアホールコンタクトを介して接続された巻き線構造を有し、
一方の外部配線と接続を行うための一方の電極配線が前記基板に面する最下層のコイルパタンに連続して前記基板上に設けられるとともに、前記基板から最も離れた最上層のコイルパタンと他方の外部配線とを接続するための他方の電極配線が、電極層を前記基板上に複数、絶縁層を介して積層してなる多層構造を有するとともに、前記電極層間がビアホールコンタクトを介して電気的に接続され、前記基板に面する最下層の電極層を介して前記他方の外部配線に連続している、
ことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、前記電磁石部をインクから隔離する膜が、前記電磁石上に設けられているものとすることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、前記変位部は、前記磁力の作用に伴って前記変位が可能な材料でなる平板状の本体と、前記インクから保護するべく前記本体を挟み込む保護膜とを有し、前記電磁石部に対する変位が許容される空隙をおいて設けられているものとすることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
加えて、本発明は、上記のいずれかのインクジェットヘッドを製造するための製造方法であって、
基板上に前記コアを形成する工程と、
該コアを囲繞するよう平面内で少なくとも１回ターンさせたコイルパタンを複数、絶縁層を介して前記基板上で積層するとともに、前記コイルパタン間をビアホールコンタクトを介して接続することにより、前記基板上に薄膜コイルを形成する工程と、
一方の外部配線と接続を行うための一方の電極配線を前記基板に面する最下層のコイルパタンに連続して前記基板上に形成する工程と、
前記薄膜コイルの形成と同時に、他方の外部配線と前記薄膜コイルとを接続するための他方の電極配線を形成する工程であって、前記基板に面する最下層が前記他方の外部配線と連続し、かつ最上層が前記コイルパタンの最上層と連続する複数の電極層を、絶縁層を介して前記基板上に積層するとともに、前記電極層間をビアホールコンタクトを介して接続することにより、前記基板上に前記他方の電極配線を形成する工程と、
磁力の作用に伴って少なくとも一部が変位可能な変位部を前記コアに対向するよう設ける工程と、
を具えたことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、本発明は、平面内で少なくとも１回ターンさせたコイルパタンを複数、絶縁層を介して基板上に積層してなる多層構造を有するとともに、前記コイルパタン間がビアホールコンタクトを介して接続された巻き線構造を有する薄膜コイルであって、
一方の外部配線と接続を行うための一方の電極配線が前記基板に面する最下層のコイルパタンに連続して前記基板上に設けられるとともに、
前記基板から最も離れた最上層のコイルパタンと他方の外部配線とを接続するための他方の電極配線が、電極層を前記基板上に複数、絶縁層を介して積層してなる多層構造を有するとともに、前記電極層間がビアホールコンタクトを介して電気的に接続され、前記基板に面する最下層の電極層を介して前記他方の外部配線に連続していることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
さらに、本発明薄膜コイルの製造方法は、
平面内で少なくとも１回ターンさせたコイルパタンを複数、絶縁層を介して基板上で積層するとともに、前記コイルパタン間をビアホールコンタクトを介して接続することにより、前記基板上に薄膜コイルの本体を形成する工程と、
一方の外部配線と接続を行うための一方の電極配線を前記基板に面する最下層のコイルパタンに連続して前記基板上に形成する工程と、
前記薄膜コイルの本体の形成と同時に、他方の外部配線と前記薄膜コイルの本体とを接続するための他方の電極配線を形成する工程であって、前記基板に面する最下層が前記他方の外部配線と連続し、かつ最上層が前記コイルパタンの最上層と連続する複数の電極層を、絶縁層を介して前記基板上に積層するとともに、前記電極層間をビアホールコンタクトを介して接続することにより、前記基板上に前記他方の電極配線を形成する工程と、
を具えたことを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
本例のアクチュエータ１１２０は、図１と同様の基板１００上に形成した絶縁膜１０１、コイルの軸方向長さに対応した寸法の電磁石コア１１０２、これを囲繞する多層の巻き線構造の立体的渦巻き状の薄膜コイル１１０３および電極配線１１０４からなる電磁石部と、その電磁石部をインクから隔離する膜１１０５ａと、その膜１１０５ａに適切な深さに設けられた凹部１１０５ｂ内で変位ないし変形が可能な磁性材料からなる変位板１１０６（すなわち磁力の作用に応じて少なくとも一部（部分１１０６ａ）が変位可能に形成された変位部である変位板１１０６）とから構成されている。そして、そのアクチュエータ１１２０上に、図１の構成と同様、液路壁形成部材１０７、および吐出口１０８を形成したオリフィスプレート１０９を配置することで、本実施形態のインクジェットヘッドの主要部が構成される。