【手続補正書】
【提出日】平成19年3月13日(2007.3.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光によって原版に形成されたパターンを基板に投影露光する露光装置であって、
冷媒を流すための冷却管および前記冷媒の温度を調整する温度調整部を有する冷却手段と、
前記冷却管の一部を収容するための切り欠きを有し、前記光を受ける光学部材とを備え、
前記切り欠きは前記光学部材の受光面の背面に形成されており、
前記冷却管の前記一部は、前記切り欠きと非接触であることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記切り欠きは、
前記背面にのみ形成された切り欠きと、
前記背面および前記光学部材の前記受光面と前記背面に接続された側面に形成された切り欠き、のうちいずれか１つであることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記切り欠き及び前記冷却管は、前記光を受ける領域を避けるように配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記切り欠きは、非貫通孔、凹凸溝、溝状の切り欠き及び部分的に溝状の切り欠きのうちいずれか１つであることを特徴とする請求項１乃至３に記載の露光装置。
【請求項５】
前記光学部材はミラー及びレンズのうちいずれか１つを有することを特徴とする請求項１乃至４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記光学部材は、真空雰囲気中に配置されることを特徴とする請求項１乃至５に記載の露光装置。
【請求項７】
前記光は、ＥＵＶ光であることを特徴とする請求項１乃至６に記載の露光装置。
【請求項８】
前記光学部材は、前記光を前記原版に向けて導く照明光学系、又は前記原版を介した前記光を前記基板に向けて導く投影光学系のうち少なくともいずれか１つに使用されることを特徴とする請求項１乃至７に記載の露光装置。
【請求項９】
前記光学部材の温度を検出する第１の温度検出部と、
前記冷媒の温度を検出する第２の温度検出部とをさらに備え、
前記温度調整部は、前記第１及び第２の温度検出部の検出結果に基づいて、前記冷媒の温度を調整することを特徴とする請求項１乃至８に記載の露光装置。
【請求項１０】
光によって原版に形成されたパターンを基板に投影露光する露光装置であって、
冷媒に接触した輻射板および前記冷媒の温度を調整する温度調整部を有する冷却手段と、
前記輻射板の一部を収容するための貫通孔および切り欠きのうちいずれか１つを有し、前記光を受ける光学部材とを備え、
前記輻射板は、前記いずれか１つの外部で前記冷媒と接触しており、
前記輻射板の前記一部は、前記いずれか１つと非接触であることを特徴とする露光装置。
【請求項１１】
光によって原版に形成されたパターンを基板に投影露光する露光装置であって、
冷媒に接触した輻射板および前記冷媒の温度を調整する温度調整部を有する冷却手段と、
前記輻射板の少なくとも一部を収容するための貫通孔および切り欠きのうちいずれか１つを有し、前記光を受ける光学部材とを備え、
前記輻射板は、前記冷媒と共に前記いずれか１つの内部を通るように配置されており、
前記輻射板の前記少なくとも一部および前記冷媒は、前記いずれか１つと非接触であることを特徴とする露光装置。
【請求項１２】
光によって原版に形成されたパターンを基板に投影露光する露光装置であって、
冷媒を流すための冷却管および前記冷媒の温度を調整する温度調整部を有する冷却手段と、
前記冷却管の一部を収容するための貫通孔を有し、前記光を受ける光学部材とを備え、
前記貫通孔は、前記光学部材の受光面から前記受光面の背面にかけて前記光学部材を貫通するように形成されており、
前記冷却管の前記一部は、前記貫通孔と非接触であることを特徴とする露光装置。
【請求項１３】
複数の前記貫通孔を備え、
前記複数の前記貫通孔は、前記光学部材の前記光を受ける領域を避けて前記領域を囲むように配置されることを特徴とする請求項１２に記載の露光装置。
【請求項１４】
請求項１乃至１３いずれかに記載の露光装置によって基板を投影露光する工程と、投影露光された前記基板を現像する工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の一側面としての露光装置は、光によって原版に形成されたパターンを基板に投影露光する露光装置であって、冷媒を流すための冷却管および前記冷媒の温度を調整する温度調整部を有する冷却手段と、前記冷却管の一部を収容するための切り欠きを有し、前記光を受ける光学部材とを備え、前記切り欠きは前記光学部材の受光面の背面に形成されており、前記冷却管の前記一部は、前記切り欠きと非接触であることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の他の側面としての露光装置は、光によって原版に形成されたパターンを基板に投影露光する露光装置であって、冷媒に接触した輻射板および前記冷媒の温度を調整する温度調整部を有する冷却手段と、前記輻射板の一部を収容するための貫通孔および切り欠きのうちいずれか１つを有し、前記光を受ける光学部材とを備え、前記輻射板は、前記いずれか１つの外部で前記冷媒と接触しており、前記輻射板の前記一部は、前記いずれか１つと非接触であることを特徴とする。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明の他の側面としての露光装置は、光によって原版に形成されたパターンを基板に投影露光する露光装置であって、冷媒に接触した輻射板および前記冷媒の温度を調整する温度調整部を有する冷却手段と、前記輻射板の少なくとも一部を収容するための貫通孔および切り欠きのうちいずれか１つを有し、前記光を受ける光学部材とを備え、前記輻射板は、前記冷媒と共に前記いずれか１つの内部を通るように配置されており、前記輻射板の前記少なくとも一部および前記冷媒は、前記いずれか１つと非接触であることを特徴とする。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明の他の側面としての露光装置は、光によって原版に形成されたパターンを基板に投影露光する露光装置であって、冷媒を流すための冷却管および前記冷媒の温度を調整する温度調整部を有する冷却手段と、前記冷却管の一部を収容するための貫通孔を有し、前記光を受ける光学部材とを備え、前記貫通孔は、前記光学部材の受光面から前記受光面の背面にかけて前記光学部材を貫通するように形成されており、前記冷却管の前記一部は、前記貫通孔と非接触であることを特徴とする。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明の他の側面としてのデバイス製造方法は、上記いずれかの露光装置によって基板を投影露光する工程と、投影露光された前記基板を現像する工程とを有することを特徴とする。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
以上のレチクルステージ支持体９、投影系本体１０、ウエハステージ支持体１１により各々分離独立して支持されたレチクルステージ６、投影光学系７、ウエハステージ８では、図示しない位置計測手段によってそれぞれの位置計測が行われ、レチクルステージ６と投影光学系７との相対位置及び投影光学系７とウエハステージ８との相対位置が位置計測結果に基づいて図示しない制御手段により制御されるようになっている。また、レチクルステージ支持体９と投影系本体１０とウエハステージ支持体１１とには、露光装置１００設置床からの振動を絶縁するマウント（不図示）が設けられている。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
ウエハプリアライメント温調機１８では、ウエハ８Ａの回転方向の送り込み粗調整が行われるとともにウエハ８Ａの温度が露光装置１００内部の温調温度に合わせ込まれる。チャンバー３内部は隔壁３ａによって仕切られ、照明光学系５や投影光学系７、ウエハ送り込みハンド１９が設置される露光空間３Ａとウエハストッカー１６、ウエハプリアライメント温調機１８が設置されるウエハ用空間３Ｂとに分離されている。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2005175187.tif 000001