【手続補正書】
【提出日】平成20年3月13日(2008.3.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
式：
【化１】
2008502680.tif 000001
の銅前駆体化合物であって、
（ｉ）Ｒ１およびＲ２は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のヒドロカルビル誘導体からなる群から選択され、
Ｒ３は、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、シリル基のヒドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってもよく、独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のヒドロカルビル誘導体からなる群から選択される）からなる群から選択される、
（ｉｉ）Ｒ１およびＲ２は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキルおよびシリル基のヒドルカルビル誘導体からなる群から選択され、
Ｒ３は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のヒドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってもよく、独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のヒドロカルビル誘導体から選択される）からなる群から選択される、
（ｉｉｉ）Ｒ１およびＲ２は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、ＨおよびＣ１〜Ｃ６アルキルからなる群から選択され、
Ｒ３は、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のヒドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってもよく、独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のヒドロカルビル誘導体からなる群から選択される）からなる群から選択される、
（ｉｖ）Ｒ１およびＲ２は共にＨであり、
Ｒ３はＣ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のヒドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってもよく、独立して、Ｈ，Ｃ１〜Ｃ５アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のヒドロカルビル誘導体からなる群から選択される）からなる群から選択される、
（ｖ）Ｒ１およびＲ２は互いに異なり、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のヒドロカルビル誘導体からなる群から選択され、
Ｒ３はＨ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のヒドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってもよく、独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のヒドロカルビル誘導体からなる群から選択される）からなる群から選択される、および
（ｖｉ）Ｒ１、Ｒ２、およびＲ３はすべてイソプロピルである、
上記（ｉ）〜（ｖｉ）の構成成分Ｒ１、Ｒ２、およびＲ３の構成のうちの１つを特徴とする、銅前駆体化合物。
【請求項２】
銅（Ｉ）２−イソプロピル−１、３−ジイソプロピルアミジナートの構成（ｖｉ）、または銅（Ｉ）２−ジメチルアミン−１、３−ジイソプロピルアミジナートの構成（ｉ）を含む、請求項１に記載の化合物。
【請求項３】
Ｒ１およびＲ２がイソプロピル基である構成（ｉ）、（ｉｉｉ）、または（ｖ）を含む、請求項１に記載の化合物。
【請求項４】
請求項１の化合物と、前記前駆体化合物用の溶媒組成物とを含む銅前駆体調合物。
【請求項５】
前記溶媒組成物は、アルカン、アリール、アミン、およびアミド溶媒から選択された有機溶媒を含む、請求項４に記載の銅前駆体調合物。
【請求項６】
前記溶媒組成物は、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ペンタン、ベンゼン、トルエン、ジメチルホルムアミドからなる群から選択されたからなる群から選択された溶媒を含む、請求項４に記載の銅前駆体調合物。
【請求項７】
銅を基板上に堆積する方法であって、請求項１に記載の銅前駆体化合物を蒸発させる工程と、前駆体蒸気を高温蒸気分解条件下で前記基板と接触させて、銅を前記基板上に堆積させる工程と、を含む方法。
【請求項８】
請求項７に記載の方法であって、
（ｉ）前記基板がバリア素材である、
（ｉｉ）前記基板が、窒素チタン、ケイ化チタン、窒化タンタル、ケイ化タンタル、タンタルケイ素窒化物、ニオブ窒化物、ニオブケイ素窒化物、窒化タングステン、およびケイ化タングステンからなる群から選択された化合物を含む、
（ｉｉｉ）該方法が集積回路の製造を含む、
（ｉｖ）前記銅前駆体化合物は、液体送達システムの使用によりプロセスツールに送達される、
（ｖ）前記銅前駆体化合物は、固体送達システムの使用によりプロセスツールに送達される、
（ｖｉ）前記基板の温度が１５０℃〜４００℃の範囲内である、
（ｖｉｉ）前記銅は化学蒸着条件下で堆積される、および
（ｖｉｉｉ）前記銅は原子層堆積条件下で堆積される、
上記の特性のうち少なくとも１つを含む、方法。
【請求項９】
請求項１に記載の銅前駆体化合物であって、
Ｒ１およびＲ２は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のヒドロカルビル誘導体からなる群から選択され、
Ｒ３はＨ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のヒドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってもよく、独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のヒドロカルビル誘導体からなる群から選択される）からなる群から選択され、
ただし、
Ｒ３＝Ｈの場合、Ｒ１＝Ｒ２≠ブチルフェニルであり、
Ｒ２＝アルキルまたはシクロヘキシル、かつＲ３＝Ｈの場合、Ｒ１≠ｐ−トリルであり、
Ｒ１およびＲ２がイソプロピル基またはｓ−ブチル基の場合、Ｒ３はメチル基ではなく、
Ｒ１およびＲ２がｐ−トリル基または水素の場合、Ｒ３は水素、メチル、またはフェニルではなく、
Ｒ１およびＲ２がフェニル基の場合、Ｒ３は水素、メチル、またはフェニルではなく、
Ｒ１およびＲ２がトリメチルシリル基の場合、Ｒ３はフェニルではなく、
Ｒ１およびＲ２がｔ―ブチル基またはイソプロピル基の場合、Ｒ３は水素ではない、銅前駆体化合物。
【請求項１０】
請求項９の銅前駆体化合物を製造する方法であって、
反応（１）Ｒ１−Ｎ＝Ｃ＝Ｎ−Ｒ２＋Ｒ３Ｌｉ→（Ｒ１−Ｎ＝Ｃ（Ｒ３）−Ｎ−Ｒ２）−Ｌｉ＋、および
反応（２）２（Ｒ１―Ｎ＝Ｃ（Ｒ３）―Ｎ―Ｒ２）―Ｌｉ＋＋２ＣｕＣｌ→
【化２】
2008502680.tif 000002
+ 2LiCl 
を含む化学合成を含む、方法。
【請求項１１】
タンタルまたはタンタル含有層の上に銅を堆積させる工程を含む、請求項７に記載の方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の方法であって、
Ｒ１およびＲ２は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のヒドロカルビル誘導体からなる群から選択され、
Ｒ３は、Ｈ、Ｃ１〜６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のヒドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってよく、独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のヒドロカルビル誘導体からなる群から選択される）からなる群から選択される、方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の方法であって、
（ｉ）前記前駆体蒸気は５０℃〜１２０℃の範囲内の温度である、
（ｉｉ）前記タンタルまたはタンタル含有層は１５０℃〜４００℃の範囲内の温度である、
（ｉｉｉ）前記前駆体蒸気は０．０５〜５トルの範囲内の圧力である、
（ｉｖ）前記前駆体蒸気は、前記接触させる工程のためのキャリアガス中で、２５〜７５０立方センチメートル毎分の流速にて前記タンタルまたはタンタル含有層へ送られ、前記キャリアガスはヘリウム、水素、窒素、アルゴンからなる群から選択される少なくとも１種類のガスを含む、
（ｖ）前記前駆体蒸気は、前記銅前駆体の液体送達フラッシュ蒸発により形成される、
（ｖｉ）前記前駆体は、銅（Ｉ）２−イソプロピル−１、３−ジイソプロピルアミジナート、および銅（Ｉ）２−ジメチルアミン−１、３−ジイソプロピルアミジナートからなる群から選択される、
（ｖｉｉ）前記接触させる工程は、化学蒸着または原子層蒸着を含む、および
（ｖｉｉｉ）前記接触させる工程は、十分な充填銅メタライゼーションを含む、
上記の特性のうち少なくとも１つを特徴とする、方法。
【請求項１４】
請求項１２に記載の方法であって、前記銅前駆体蒸気は５０℃〜１２０℃の範囲内の温度であり、前記タンタルまたはタンタル含有層は１５０℃〜４００℃の範囲内の温度であり、前記銅前駆体は、銅（Ｉ）２―イソプロピル−１、３−ジイソプロピルアミジナート、および銅（Ｉ）２−ジメチルアミン−１、３−ジイソプロピルアミジナートからなる群から選択され、前記銅前駆体蒸気は０．０５〜５トルの範囲内の圧力であり、前記銅前駆体蒸気は銅前駆体の液体送達フラッシュ蒸着によって形成され、かつ、前記液体送達フレッシュ蒸着における液体は、アルカン、アリール、アミン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ペンタン、ベンゼン、トルエン、およびジメチルフォルムアミドからなる群から選択された溶媒を含む、方法。
【請求項１５】
（ｉ）Ｒ１およびＲ２は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択され、
Ｒ３は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のハイドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってもよく、独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択される）からなる群から選択される、請求項１の銅前駆体の蒸気、および
（ｉｉ）水蒸気または水生成化合物の蒸気
を含む、前駆体蒸気。
【請求項１６】
前記銅前駆体は、銅（Ｉ）２−イソプロピル−１、３−ジイソプロピルアミジナート、および銅（Ｉ）２−ジメチルアミン−１、３−ジイソプロピルアミジナートからなる群から選択される、請求項１５に記載の前駆体蒸気。
【請求項１７】
請求項１に記載の銅前駆体化合物を収容し、かつ、前記容器内の固体銅前駆体に由来する銅前駆体蒸気の前記容器からの送達に適する容器を備え、銅の蒸気堆積のために銅前駆体蒸気を供給する固体送達および蒸発器システム。
【請求項１８】
請求項１７に記載の固体送達および蒸発器システムであって、
Ｒ１およびＲ２は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択され、
Ｒ３は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のハイドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってもよく、独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択される）からなる群から選択される、システム。
【請求項１９】
前記銅前駆体は、銅（Ｉ）２−イソプロピル−１、３−ジイソプロピルアミジナート、および銅（Ｉ）２−ジメチルアミン−１、３−ジイソプロピルアミジナートからなる群から選択される、請求項１８に記載の固体送達および蒸発器システム。
【請求項２０】
Ｒ１およびＲ２は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれが独立して、ＨおよびＣ３〜Ｃ７シクロアルキルからなる群から選択され、各Ｒ３は、互いに同じでも異なってもよく、独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のハイドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってもよく、独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択される）からなる群から選択される、請求項１に記載の銅前駆体化合物。
【請求項２１】
各Ｒ１およびＲ２は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、およびシリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択され、
各Ｒ３は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、シリル基のハイドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、シリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択される）からなる群から選択され、
ただし、Ｒ１およびＲ２がイソプロピル基である場合、Ｒ３はメチル基ではなく、かつ、
Ｒ３がＨの場合、Ｒ１およびＲ２≠プロピルまたはブチルである、請求項１に記載の銅前駆体化合物。
【請求項２２】
請求項１７に記載の固体送達および蒸発器システムであって、前記銅前駆体化合物は、
（ａ）式
【化３】
2008502680.tif 000003
の化合物であって、
各Ｒ１およびＲ２は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、およびシリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択され、
各Ｒ３は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のハイドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってもよく、独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択される）からなる群から選択される、化合物、
（ｂ）式
【化４】
2008502680.tif 000004
の化合物であって、
各Ｒ１およびＲ２は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、ＨおよびＣ３〜Ｃ７シクロアルキルからなる群から選択され、各Ｒ３は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のハイドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってもよく、独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択される）からなる群から選択される、化合物、および
（ｃ）式
【化５】
2008502680.tif 000005
の化合物であって、
各Ｒ１およびＲ２は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択され、
各Ｒ３は、互いに同じでも異なってもよく、独立して、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のハイドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択される）からなる群から選択され、
ただし、Ｒ１およびＲ２がイソプロピル基の場合、Ｒ３はメチル基ではない、化合物
からなる群から選択される、システム。
【請求項２３】
銅を堆積する固体送達プロセスを含む請求項７の方法であって、前記プロセスは、銅を前記基板上に堆積させるための前記前駆体蒸気を生成するように固体物質源を蒸発させる工程を含み、前記銅前駆体化合物は、
（ａ）式
【化６】
2008502680.tif 000006
の化合物であり、
各Ｒ１およびＲ２は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択され、
各Ｒ３は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のハイドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択される）からなる群から選択される、化合物、
（ｂ）式
【化７】
2008502680.tif 000007
の化合物であって、
各Ｒ１およびＲ２は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、ＨおよびＣ３〜Ｃ７シクロアルキルからなる群から選択され、各Ｒ３は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のハイドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択される）からなる群から選択される、化合物、および
（ｃ）式
【化８】
2008502680.tif 000008
の化合物であって、
各Ｒ１およびＲ２は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、およびシリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択され、
各Ｒ３は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、シリル基のハイドロカルビル誘導体、およびＮＲ４Ｒ５（式中、Ｒ４およびＲ５は、互いに同じでも異なってもよく、それぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ３〜Ｃ７シクロアルキル、アリール、シリル基のハイドロカルビル誘導体からなる群から選択される）からなる群から選択され、
ただし、Ｒ１およびＲ２がイソプロピル基の場合、Ｒ３はメチル基ではない、化合物
からなる群から選択される、方法。
【請求項２４】
（ｉ）銅（Ｉ）２―イソプロピル−１、３−ジイソプロピルアミジナート、または銅（Ｉ）２−ジメチルアミン−１、３−ジイソプロピルアミジナート、および（ｉｉ）トルエンを含む有機溶剤を含む、請求項４の銅前駆体調合体。