(57)【要約】  本発明は、基板上の少なくとも一方の面に、光重合開始剤または光重合開始系、モノマー、バインダーを少なくとも含有する感光性樹脂組成物を塗布して、感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程、該基板上に形成した感光性樹脂層をパターン露光する露光工程及び該パターン露光後の感光性樹脂層を現像する現像工程、並びに隔壁パターンを形成する隔壁パターン形成工程を有し、前記感光性樹脂層の残留溶剤量を１００μＬ／ｍ２以下であるインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板及びその製造方法、該インクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板を有するカラーフィルター及びその製造方法、液晶表示装置を提供する。これにより、インクジェットカラーフィルターにおける濃度ムラが改善される。【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の少なくとも一方の面に、光重合開始剤または光重合開始系、モノマー、バインダーを少なくとも含有する感光性樹脂組成物を塗布して、感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、該基板上に形成した感光性樹脂層をパターン露光する露光工程及び該パターン露光後の感光性樹脂層を現像する現像工程を有し、隔壁パターンを形成する隔壁パターン形成工程と、を有するインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板の製造方法であって、
前記感光性樹脂層の残留溶剤量が１００μＬ／ｍ2以下であることを特徴とするインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板の製造方法。
【請求項２】
前記隔壁パターン形成工程の乾燥温度が６０〜１４０℃であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板の製造方法。
【請求項３】
前記インクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板における感光性樹脂層の厚みが１〜１２μｍであることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板の製造方法。
【請求項４】
請求項１に記載の製造方法で製造されたことを特徴とするインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板。
【請求項５】
請求項２に記載の製造方法で製造されたことを特徴とするインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板。
【請求項６】
請求項３に記載の製造方法で製造されたことを特徴とするインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板。
【請求項７】
請求項４に記載のインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板に、着色液体組成物の液滴をインクジェット法で付与することにより、２色以上の色を有する複数の画素を形成する工程を有することを特徴とするインクジェットカラーフィルターの製造方法。
【請求項８】
請求項５に記載のインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板に、着色液体組成物の液滴をインクジェット法で付与することにより、２色以上の色を有する複数の画素を形成する工程を有することを特徴とするインクジェットカラーフィルターの製造方法。
【請求項９】
請求項６に記載のインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板に、着色液体組成物の液滴をインクジェット法で付与することにより、２色以上の色を有する複数の画素を形成する工程を有することを特徴とするインクジェットカラーフィルターの製造方法。
【請求項１０】
請求項７に記載のインクジェットカラーフィルターの製造方法で製造されたことを特徴とするインクジェットカラーフィルター。
【請求項１１】
請求項８に記載のインクジェットカラーフィルターの製造方法で製造されたことを特徴とするインクジェットカラーフィルター。
【請求項１２】
請求項９に記載のインクジェットカラーフィルターの製造方法で製造されたことを特徴とするインクジェットカラーフィルター。
【請求項１３】
請求項１０に記載のインクジェットカラーフィルターを有することを特徴とする液晶表示装置。
【請求項１４】
請求項１１に記載のインクジェットカラーフィルターを有することを特徴とする液晶表示装置。
【請求項１５】
請求項１２に記載のインクジェットカラーフィルターを有することを特徴とする液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置用に特に適したインクジェットカラーフィルターに用いられるインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板及びその製造方法、該インクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板を有するカラーフィルター及びその製造方法、並びに、該カラーフィルターを有する液晶表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示装置用カラーフィルターは、ガラス等の基板上に赤色、緑色、青色のドット状画像をそれぞれマトリックス状に配置し、その境界をブラックマトリックス等の隔壁で区分した構造である。このようなカラーフィルターの製造方法としては、従来、支持体としてガラス等の基板を用い、１）染色法、２）印刷法、３）着色した感光性樹脂液の塗布と露光及び現像の繰り返しによる着色感光性樹脂液法（着色レジスト法）、４）仮支持体上に形成した画像を順次、最終又は仮の支持体上に転写する方法、５）予め着色した感光性樹脂液を仮支持体上に塗布することにより着色層を形成し、順次直接、基板上にこの感光性着色層を転写し、露光して現像することを色の数だけ繰り返す方法等により多色画像を形成する方法（転写方式）が知られている（例えば、特許文献１参照。）。またインクジェット法を用いる方法（特許文献２参照。）も知られている。【０００３】
これらの方法のうち、着色レジスト法は位置精度高くカラーフィルターを作製できるものの、感光層樹脂液の塗布にロスが多くコスト的には有利とは言えない。一方インクジェット法は樹脂液のロスが少なくコスト的に有利ではあるものの、画素の位置精度が悪いという問題がある。【０００４】
これらを克服すべく、ブラックマトリックスを着色レジスト法で形成し、ＲＧＢ画素をインクジェット法で作製するカラーフィルター製造法も提案されているが、作成されたブラックマトリックスの断面形状を観察すると、上端やそのエッジが丸くなっており、後に打滴された各色インクがブラックマトリックスをのり越えやすいために、隣接画素と混色を起こし表示品位を低下させることがあった。【０００５】
これを防ぐ為、ブラックマトリックスとインクとの間に、お互いはじきあう性質を持たせたり、ブラックマトリックス間隙部のインクの濡れ性を高めたりする方法が開示されている（例えば、特許文献３〜６参照。）。【０００６】
更に、インクジェットカラーフィルターに受像層を設け、該受像層の残留溶媒量を規定する方法が開示されている（例えば、特許文献８及び９参照。）。しかしこれらの方法では、基板上に受像層を設ける工程が必要で、工程が煩雑になってしまう。
【特許文献１】特開昭６１−９９１０２号公報
【特許文献２】特開平８−２２７０１２号公報
【特許文献３】特開平６−３４７６３７号公報
【特許文献４】特開平７−３５９１５号公報
【特許文献５】特開平１０−１４２４１８号公報
【特許文献６】特開平８−１６６５０７号公報
【特許文献７】特開２００４−２９４６１７号公報
【特許文献８】特開２００５−１７８１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、濃度ムラが改善されたインクジェットカラーフィルターを製造する為に有用なインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板及びその製造方法、該インクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板を有するカラーフィルター及びその製造方法、並びに、該カラーフィルターを有する液晶表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記実情に鑑み本発明者らは、鋭意研究を行ったところ、下記本発明が上記課題を解決しうることを見出し本発明を完成した。【０００９】
即ち、本発明は下記の手段により達成されるものである。
＜１＞  基板上の少なくとも一方の面に、光重合開始剤または光重合開始系、モノマー、バインダーを少なくとも含有する感光性樹脂組成物を塗布して、感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、該基板上に形成した感光性樹脂層をパターン露光する露光工程及び該パターン露光後の感光性樹脂層を現像する現像工程を有し、隔壁パターンを形成する隔壁パターン形成工程と、を有するインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板の製造方法であって、前記感光性樹脂層の残留溶剤量が１００μＬ／ｍ２以下であることを特徴とするインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板の製造方法。
＜２＞ 前記隔壁パターン形成工程の乾燥温度が６０〜１４０℃であることを特徴とする＜１＞項に記載のインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板の製造方法。
＜３＞ 前記インクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板における感光性樹脂層の厚みが１〜１２μｍであることを特徴とする＜１＞項に記載のインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板の製造方法。
＜4＞  ＜１＞〜＜３＞項に記載の製造方法で製造されたことを特徴とするインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板。
＜５＞  ＜４＞項に記載のインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板に、着色液体組成物の液滴をインクジェット法で付与することにより、２色以上の色を有する複数の画素を形成する工程を有することを特徴とするインクジェットカラーフィルターの製造方法。
＜６＞  ＜５＞項に記載のインクジェットカラーフィルターの製造方法で製造されたことを特徴とするインクジェットカラーフィルター。
＜７＞  ＜６＞項に記載のインクジェットカラーフィルターを有することを特徴とする液晶表示装置。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、濃度ムラが改善されたインクジェットカラーフィルターを製造する為に有用なインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板及びその製造方法、該インクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板を有するカラーフィルター及びその製造方法、並びに、該カラーフィルターを有する液晶表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
先ず、本発明のインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板（以下、「本発明の隔壁付き基板」という場合がある。）の製造方法について説明する。【００１２】
本発明の隔壁付き基板の製造方法は、基板上の少なくとも一方の面に、光重合開始剤または光重合開始系、モノマー、バインダーを少なくとも含有する感光性樹脂組成物を塗布して、感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、該基板上に形成した感光性樹脂層をパターン露光する露光工程、及び該パターン露光後の感光性樹脂層を現像する現像工程を有し、隔壁パターンを形成する隔壁パターン形成工程と、を有するインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板の製造方法であって、前記パターン露光直前の感光性樹脂層の残留溶剤量が１００μＬ／ｍ2以下であることを特徴とする。
（バインダー（樹脂・ポリマー））
前記感光性樹脂組成物に用いるバインダーとしては、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーが好ましい。その例としては、特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５９−５３８３６号公報、及び特開昭５９−７１０４８号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができる。この他に水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく使用することができる。また、特に好ましい例として、米国特許第４１３９３９１号明細書に記載のベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸との共重合体や、ベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。これらの極性基を有するバインダーポリマーは、単独で用いてもよく、或いは通常の膜形成性のポリマーと併用する組成物の状態で使用してもよい。
（光重合開始剤、光重合開始系）
本発明では、前記感光性樹脂組成物を硬化させる方法として、光重合開始剤または光重合開始系を用いる。ここで用いる光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、Ｘ線等の放射線の照射（露光ともいう）により、後述の多官能性モノマーの重合を開始する活性種を発生し得る化合物であり、公知の光重合開始剤若しくは光重合開始系の中から適宜選択することができる。【００１３】
前記光重合開始剤としては、例えば、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビスイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物、等を挙げることができる。【００１４】
具体的には、特開２００１−１１７２３０号公報に記載の、トリハロメチル基が置換したトリハロメチルオキサゾール誘導体又はｓ−トリアジン誘導体、米国特許第４２３９８５０号明細書に記載のトリハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、米国特許第４２１２９７６号明細書に記載のトリハロメチルオキサジアゾール化合物などのトリハロメチル基含有化合物；
９−フェニルアクリジン、９−ピリジルアクリジン、９−ピラジニルアクリジン、１，２−ビス（９−アクリジニル）エタン、１，３−ビス（９−アクリジニル）プロパン、１，４−ビス（９−アクリジニル）ブタン、１，５−ビス（９−アクリジニル）ペンタン、１，６−ビス（９−アクリジニル）ヘキサン、１，７−ビス（９−アクリジニル）ヘプタン、１，８−ビス（９−アクリジニル）オクタン、１，９−ビス（９−アクリジニル）ノナン、１，１０−ビス（９−アクリジニル）デカン、１，１１−ビス（９−アクリジニル）ウンデカン、１，１２−ビス（９−アクリジニル）ドデカン等のビス（９−アクリジニル）アルカン、などのアクリジン系化合物；
６−（ｐ−メトキシフェニル）−２，４−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、６−〔ｐ−（Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミノ）フェニル〕−２，４−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンなどのトリアジン系化合物；その他、９，１０−ジメチルベンズフェナジン、ミヒラーズケトン、ベンゾフェノン／ミヒラーズケトン、ヘキサアリールビスイミダゾール／メルカプトベンズイミダゾール、ベンジルジメチルケタール、チオキサントン／アミン、２，２'−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４'，５，５'−テトラフェニル−１，２'−ビスイミダゾールなどが挙げられる。【００１５】
上記のうち、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビスイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物から選択される少なくとも一種が好ましく、特に、トリハロメチル基含有化合物及びアクリジン系化合物から選択される少なくとも一種を含有することが好ましい。トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物は、汎用性でかつ安価である点でも有用である。【００１６】
特に好ましいのは、トリハロメチル基含有化合物としては、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スチリルスチリル）−１，３，４−オキサジアゾールであり、アクリジン系化合物としては、９−フェニルアクリジンであり、更に、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔４'−（Ｎ，Ｎ−ビスエトキシカルボニルメチルアミノ）−３'−ブロモフェニル〕−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−ブトキシスチリル）−５−トリクロロメチル−１，３，４−オキサジアゾールなどのトリハロメチル基含有化合物、及びミヒラーズケトン、２，２'−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４'，５，５'−テトラフェニル−１，２'−ビスイミダゾールである。【００１７】
前記光重合開始剤は、単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。前記光重合開始剤の感光性樹脂組成物における総量としては、感光性樹脂組成物の全固形分（質量）の０．１〜２０質量％が好ましく、０．５〜１０質量％が特に好ましい。前記総量が、０．１質量％未満であると、組成物の光硬化の効率が低く露光に長時間を要することがあり、２０質量％を超えると、現像する際に、形成された画像パターンが欠落したり、パターン表面に荒れが生じやすくなることがある。【００１８】
前記光重合開始剤は、水素供与体を併用して構成されてもよい。該水素供与体としては、感度をより良化することができる点で、以下で定義するメルカプタン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。ここでの「水素供与体」とは、露光により前記光重合開始剤から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物をいう。【００１９】
前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環或いは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を１個以上、好ましくは１〜３個、更に好ましくは１〜２個有する化合物（以下、「メルカプタン系水素供与体」という）である。また、前記アミン系化合物は、ベンゼン環或いは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を１個以上、好ましくは１〜３個、更に好ましくは１〜２個有する化合物（以下、「アミン系水素供与体」という）である。尚、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有していてもよい。【００２０】
上記のメルカプタン系水素供与体の具体例としては、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２，５−ジメルカプト−１，３，４−チアジアゾール、２−メルカプト−２，５−ジメチルアミノピリジン、等が挙げられる。これらのうち、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、特に２−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。【００２１】
上記のアミン系水素供与体の具体例としては、４、４'−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４、４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４−ジエチルアミノアセトフェノン、４−ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、４−ジメチルアミノ安息香酸、４−ジメチルアミノベンゾニトリル等が挙げられる。これらのうち、４，４'−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましく、特に４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。
前記水素供与体は、単独で又は２種以上を混合して使用することができ、形成された画像が現像時に永久支持体上から脱落し難く、かつ強度及び感度も向上させ得る点で、１種以上のメルカプタン系水素供与体と１種以上のアミン系水素供与体とを組合せて使用することが好ましい。【００２２】
前記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組合せの具体例としては、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４'−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４'−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等が挙げられる。より好ましい組合せは、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンであり、特に好ましい組合せは、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンである。【００２３】
前記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体とを組合せた場合の、メルカプタン系水素供与体（Ｍ）とアミン系水素供与体（Ａ）との質量比（Ｍ：Ａ）は、通常１：１〜１：４が好ましく、１：１〜１：３がより好ましい。前記水素供与体の感光性樹脂組成物における総量としては、感光性樹脂組成物の全固形分（質量）の０．１〜２０質量％が好ましく、０．５〜１０質量％が特に好ましい。【００２４】
前記光重合開始系としては、露光時の光を吸収する増感色素と重合開始剤とを組み合わせた系が好ましく、このような例としては、特開２０００−３９７１２号公報等に示されている。
（モノマー）
感光性樹脂組成物に用いる多官能性モノマーとしては、下記化合物を単独で又は他のモノマーとを組み合わせて使用することができる。具体的には、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、２−エチル−２−ブチル−プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリス（２−（メタ）アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、１，４−ジイソプロペニルベンゼン、１，４−ジヒドロキシベンゼンジ（メタ）アクリレート、デカメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、スチレン、ジアリルフマレート、トリメリット酸トリアリル、ラウリル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、キシリレンビス（メタ）アクリルアミド、等が挙げられる。【００２５】
また、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート等のヒドロキシル基を有する化合物とヘキサメチレンジイソシアネート、トルエンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート等のジイソシアネートとの反応物も使用できる。【００２６】
これらのうち、特に好ましいのは、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、トリス（２−アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレートである。【００２７】
モノマーの感光性樹脂組成物における含有量としては、感光性樹脂組成物の全固形分（質量）に対して、５〜８０質量％が好ましく、１０〜７０質量％が特に好ましい。前記含有量が、５質量〜８０質量であると、組成物の露光部でのアルカリ現像液への耐性が劣ることがなく、また、感光性樹脂組成物とした時のタッキネスが増加することがなく、取扱い性に劣ることがないので好ましい。
（溶媒）
本発明における感光性樹脂組成物においては、上記成分の他に、更に有機溶媒を用いてもよい。有機溶媒の例としては、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム等を挙げることができるが、後述するようにパターン露光直前の感光性樹脂層の残留溶剤量を１００μＬ／ｍ2以下にするという観点から、前記有機溶媒としては、沸点が５０〜１８０℃の有機溶媒が好ましく、７０〜１６０℃の有機溶媒がより好ましい。具体的にはアセトン（５６℃）、メチルエチルケトン（８０℃）、メチルイソブチルケトン（１１８℃）、シクロヘキサノン（１５６℃）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（１２０℃）、シクロヘキサノール（１６１℃）、ｎ−プロパノール（９７℃）、酢酸エチル（７７℃）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（１４６℃）、乳酸エチル（１５５℃）、３−エトキシプロピオン酸エチル（１６５℃）等が好ましく、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ｎ−プロパノール、酢酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチルが特に好ましい。【００２８】
また、沸点の異なる２種以上の有機溶媒を併用して用いてもよく、この場合上記の組み合わせが好ましい。【００２９】
更に、沸点が１８０℃以上の有機溶媒を用いる際には、沸点が５０〜１２５℃の有機溶媒と組み合わせて用いるのが好ましい。このような沸点が１８０℃以上の有機溶媒を用いる際の組み合わせとしては、γ−ブチロラクトン（２０４℃）とメチルエチルケトンとの組み合わせ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（２０４℃）とプロピレングリコールモノメチルエーテルとの組み合わせ、エチレングリコール（１９８℃）と乳酸エチルとメチルエチルケトンとの組合わせ等が挙げられる。【００３０】
本発明における隔壁の色調としては漆黒であることが好ましい。従って、本発明における隔壁の着色剤としては、例えばカーボンブラック、チタンブラック、黒鉛、金属化合物（例えば、酸化鉄、酸化チタン）などの黒色の着色剤を用いることが好ましい。しかしながら、一般に黒色着色剤（黒色顔料や黒色染料）と呼ばれているものでも厳密には完全な黒色（可視光の吸光度が、全波長域にわたり等しい）というわけではない。例えば代表的な黒色顔料であるカーボンブラックの場合でも色調は作成方法、粒径、ストラクチャー等により変化するが、特に粒径がこの色調に大きく寄与する。粒径については、１０〜７５ｎｍが好ましく、より好ましくは１２〜５０ｎｍ、更に１５〜４０ｎｍの範囲が好ましい。尚、ここで言う「粒径」とは粒子の電子顕微鏡写真画像を同面積の円とした時の直径を言い、また「数平均粒径」とは多数の粒子について上記の粒径を求め、この１００個平均値をいう。【００３１】
前記感光性樹脂組成物は着色剤を含有することが好ましい。前記感光性樹脂組成物としては、５５５ｎｍにおいて高い光学濃度を有する組成物が好ましく、その値は２．５以上が好ましく、２．５〜１０．０がより好ましく、２．５〜６．０が更に好ましく、３．０〜５．０が特に好ましい。また、この感光性樹脂組成物は、後述するように光開始系で硬化させる為、露光波長（一般には紫外域）に対する光学濃度も重要である。すなわち、その値は２．０〜１０．０であり、好ましくは２．５〜６．０、最も好ましいのは３．０〜５．０である。２．０〜１０．０であると、所望の隔壁形状が形成でき、さらに、良好に重合を開始することができ、隔壁を形成できるので好ましい。
（着色剤）
本発明に用いる着色剤としては、具体的には、下記染料、顔料に記載のカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号が付されているものを挙げることができる。【００３２】
本発明における感光性樹脂組成物には、公知の有機顔料、無機顔料、染料等を好適に用いることができ、感光性樹脂層に遮光性が要求される際には、カーボンブラック、酸化チタン、４酸化鉄等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉といった遮光剤の他に、赤、青、緑色等の顔料の混合物等を用いることができる。公知の着色剤（染料、顔料）を使用することができる。該公知の着色剤のうち顔料を用いる場合には、感光性樹脂組成物中に均一に分散されていることが好ましい。【００３３】
前記感光性樹脂組成物の固形分中の着色剤の比率は、十分に現像時間を短縮する観点から、３０〜７０質量％であることが好ましく、４０〜６０質量％であることがより好ましく、５０〜５５質量％であることが更に好ましい。【００３４】
前記公知の染料ないし顔料としては、具体的には、特開２００５−１７７１６号公報［００３８］〜［００４０］に記載の色材や、特開２００５−３６１４４７号公報［００６８］〜［００７２］に記載の顔料や、特開２００５−１７５２１号公報［００８０］〜［００８８］に記載の着色剤を好適に用いることができる。【００３５】
前記顔料は分散液として使用することが望ましい。この分散液は、前記顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、後述する有機溶媒（又はビヒクル）に添加して分散させることによって調製することができる。前記ビビクルとは、塗料が液体状態にある時に顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって前記顔料と結合して塗膜を固める部分（バインダー）と、これを溶解希釈する成分（有機溶媒）とを含む。前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、２０００年、４３８頁に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に該文献３１０頁記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。【００３６】
本発明における感光性樹脂組成物は前記バインダー（樹脂、ポリマー）、開始剤、モノマー、着色剤以外に、必要に応じて更に公知の添加剤、例えば、可塑剤、充填剤、安定化剤、重合禁止剤、界面活性剤、溶剤、密着促進剤等を含有させることができる。さらに感光性樹脂組成物は少なくとも１５０℃以下の温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱可塑性であることが好ましい。かかる観点からは、相溶性の可塑剤を添加することで改質することができる。
（界面活性剤）
本発明における隔壁においては、後述するスリット状ノズル等を用いることにより、感光性樹脂組成物を基板に塗布することができるが、該感光性樹脂組成物中に適切な界面活性剤を含有させることにより、均一な膜厚に制御でき、塗布ムラを効果的に防止することができる。【００３７】
上記界面活性剤としては、特開２００３−３３７４２４号公報、特開平１１−１３３６００号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。【００３８】
尚、感光性樹脂組成物の全固形分に対する界面活性剤の含有量は、０．００１〜１質量％が一般的であり、０．０１〜０．５質量％が好ましく、０．０３〜０．３質量％が特に好ましい。
（紫外線吸収剤）
本発明における感光性樹脂組成物には、必要に応じて紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、特開平５−７２７２４号公報記載の化合物の他、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが挙げられる。【００３９】
具体的には、フェニルサリシレート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェニル−３'，５'−ジ−ｔ−４'−ヒドロキシベンゾエート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、２，４−ジヒドロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−ｎ−オクトキシベンゾフェノン、２−（２'−ヒドロキシ−５'−メチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２'−ヒドロキシ−３'−ｔ−ブチル−５'−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、エチル−２−シアノ−３，３−ジ−フェニルアクリレート、２，２'−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、ニッケルジブチルジチオカーバメート、ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピリジン）−セバケート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、サルチル酸フェニル、４−ヒドロキシ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン縮合物、コハク酸−ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリデニル）−エステル、２−［２−ヒドロキシ−３，５−ビス（α，α−ジメチルベンジル）フェニル］−２Ｈ−ベンゾトリアゾール、７−｛［４−クロロ−６−（ジエチルアミノ）−５−トリアジン−２−イル］アミノ｝−３−フェニルクマリン等が挙げられる。【００４０】
尚、感光性樹脂組成物の全固形分に対する紫外線吸収剤の含有量は、０．５〜１５質量％が一般的であり、１〜１２質量％が好ましく、１．２〜１０質量％が特に好ましい。
（その他）
−熱重合防止剤−
また、本発明における感光性樹脂組成物は、熱重合防止剤を含むことが好ましい。該熱重合防止剤の例としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４'−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２'−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。【００４１】
尚、感光性樹脂組成物の全固形分に対する熱重合防止剤の含有量は、０．０１〜１質量％が一般的であり、０．０２〜０．７質量％が好ましく、０．０５〜０．５質量％が特に好ましい。【００４２】
また、本発明における感光性樹脂組成物においては、上記添加剤の他に、特開平１１−１３３６００号公報に記載の「接着助剤」や、その他の添加剤等を含有させることができる。
［基板］
本発明に用いられる基板としては、金属性支持体、金属張り合わせ支持体、ガラス、セラミック、合成樹脂フィルム等を使用することができる。特に好ましくは、透明性で寸度安定性の良好なガラスや透明合成樹脂フィルムが挙げられる。
（隔壁パターンの形成）
本発明の隔壁付き基板における感光性樹脂層形成工程では、基板を洗浄した後、該基板を熱処理して表面状態を安定化させる。該基板を温調後、前記感光性樹脂組成物を塗布する。引き続き、溶媒の一部を乾燥して塗布した感光性樹脂組成物の流動性をなくした後、ＥＢＲ（エッジ・ビード・リムーバー）等にて基板周囲の不要な塗布液を除去し、プリベークして感光性樹脂層を得る。【００４３】
前記塗布としては、特に限定されず、公知のスリット状ノズルを有するガラス基板用コーター（例えば、エフ・エー・エス・アジア社製、商品名：ＭＨ−１６００）やガラス基板用コーター（平田機工株式会社製）等を用いて行うことができる。【００４４】
続いて、前記隔壁パターン形成工程における露光工程では、基板と画像パターンを有するマスク（例えば、石英露光マスク）を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂層の間の距離を適宜（例えば、２００μｍ）に設定し、窒素パージして酸素分圧を制御して窒素雰囲気下（貧酸素雰囲気下）で露光する（パターン露光）。該露光としては、例えば、超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機（例えば、日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製）等で行い、露光量としては適宜（例えば、３００ｍＪ／ｃｍ2）選択することができる。また、このときの酸素分圧は酸素計（Ｇ−１０２型、飯島電子工業製等）を用いて測定することができる。【００４５】
ここで、前記貧酸素雰囲気下とは、本発明におけるパターン露光する際の酸素の分圧が０．１５気圧以下、又は、酸素を遮断しうる酸素遮断層下のことを指しており、これらは詳しくは以下の通りである。【００４６】
通常、大気（１気圧）下では酸素の分圧は０．２１気圧であるので、酸素の分圧を０．１５気圧以下に下げるためには、（ａ）露光時の大気を減圧して０．７１気圧以下にするか、（ｂ）空気と酸素以外の気体（例えば、窒素やアルゴン等の不活性ガス）を空気に対して４０ｖｏｌ％以上混合することにより達成できる。【００４７】
本発明における貧酸素雰囲気については、特に限定されず前記いずれの方法も用いることが出来る。【００４８】
前記酸素分圧は０．１５気圧以下とする方法を用いる場合、０．１０気圧以下が好ましく、０．０８気圧以下がより好ましく、０．０５気圧以下が特に好ましい。【００４９】
酸素分圧の下限には特に制限はない。真空又は雰囲気を空気以外の気体（例えば窒素）で置換することにより酸素分圧を事実上０にすることができるが、これも好ましい方法である。酸素分圧は酸素計を用いて測定することができる。【００５０】
前記不活性ガスとは、Ｎ2、Ｈ2、ＣＯ2、などの一般的な気体や、Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒなどの希ガス類をいう。この中でも、安全性や入手の容易さ、コストの問題から、Ｎ2が好適に利用される。【００５１】
前記減圧下とは、５００ｈＰａ以下、好ましくは１００ｈＰａ以下の状態を指す。【００５２】
本発明の隔壁付き基板の製造方法は、前記感光性樹脂層の残留溶剤量が１００μＬ／ｍ2以下であることを特徴とする。尚、本発明における感光性樹脂層の残留溶剤量は、パターン露光直前に測定した残留溶剤量のことをいう。【００５３】
前記感光性樹脂層の残留溶剤量は、少なければ少ないほど好ましく、具体的には８０μＬ／ｍ2以下が好ましく、６０μＬ／ｍ2以下がより好ましい。前記感光性樹脂層の残留溶剤量が１００μＬ／ｍ2以下であると、濃度ムラを良好に改善することができる。前記感光性樹脂層の残留溶剤量は、ガスクロマトグラフ−マススペクトル分析することによって、定量することができる。【００５４】
前記感光性樹脂層の残留溶剤量を１００μＬ／ｍ2以下にするには、感光性樹脂層を形成した後、感光性樹脂層の性能を損なわない範囲で、乾燥温度を上げる、乾燥時間を長くする、或いは減圧下で乾燥する等により、乾燥を十分に行ってもよく、また、感光性樹脂組成物中の溶剤として沸点が低い溶剤を用いてもよい。【００５５】
前記乾燥温度は、溶媒の種類にもよるが、６０〜１４０℃であることが好ましく、７０〜１２０℃であることがより好ましい。前記乾燥温度が６０〜１４０℃であると、残留溶剤量を１００μＬ／ｍ2以下にすることができ、また、熱カブリが発生することがないので好ましい。また、同様に乾燥時間は、０．５〜６０分であることが好ましく、１〜１０分であることがより好ましい。【００５６】
次の現像工程では、現像液で現像してパターニング画像を得、引き続き必要に応じて、水洗処理して隔壁付き基板を得る。【００５７】
前記現像の前には、純水をシャワーノズル等にて噴霧して、前記感光性樹脂層の表面を均一に湿らせることが好ましい。前記現像処理に用いる現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液が用いられるが、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加したものでもよい。現像処理における光照射に用いる光源としては、中圧〜超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。【００５８】
前記アルカリ性物質としては、アルカリ金属水酸化物類（例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム）、アルカリ金属炭酸塩類（例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム）、アルカリ金属重炭酸塩類（例えば、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム）、アルカリ金属ケイ酸塩類（例えば、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム）、アルカリ金属メタケイ酸塩類（例えば、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム）、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類（例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド）、燐酸三ナトリウム、等が挙げられる。アルカリ性物質の濃度は、０．０１〜３０質量％が好ましく、ｐＨは８〜１４が好ましい。【００５９】
前記「水と混和性の有機溶剤」としては、例えば、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドン等が好適に挙げられる。水と混和性の有機溶剤の濃度は０．１〜３０質量％が好ましい。更に、公知の界面活性剤を添加することもでき、該界面活性剤の濃度としては０．０１〜１０質量％が好ましい。【００６０】
前記現像液は、浴液としても、あるいは噴霧液としても用いることができる。感光性樹脂層の未硬化部分を除去する場合、現像液中で回転ブラシや湿潤スポンジで擦るなどの方法を組み合わせることができる。現像液の液温度は、通常室温付近から４０℃が好ましい。現像時間は、感光性樹脂層の組成、現像液のアルカリ性や温度、有機溶剤を添加する場合にはその種類と濃度、等に依るが、通常１０秒〜２分程度である。短すぎると非露光部の現像が不充分となると同時に紫外線の吸光度も不充分となることがあり、長すぎると露光部もエッチングされることがある。いずれの場合にも、隔壁形状を好適なものとすることが困難となることがある。この現像工程にて、隔壁形状は前述のごとく形成される。【００６１】
以上の本発明の隔壁付き基板の製造方法により、本発明の隔壁付き基板を得ることができる。本発明の隔壁付き基板は、後述するインクジェットカラーフィルターに用いることにより、濃度ムラを改善することができる。これは前記感光性樹脂層の残留溶剤量を１００μＬ／ｍ2以下とすることにより、隔壁形成時の膜減り、変形を抑制し、矩形の壁が形成できるためと考えられる。【００６２】
本発明の隔壁付き基板における感光性樹脂層の厚みとしては、感光性樹脂組成物の固形分含有量及び形成される隔壁の厚さに依存し、特に限定されるものではないが、一般的に、１〜１２μｍが好ましく、１．５〜１２μｍがより好ましく、１．８〜８μｍが更に好ましく、２．０〜６．０μｍが特に好ましい。【００６３】
また、本発明における隔壁は、隣接画素と混色を防ぐために撥水処理を行うことが好ましい。該撥水処理として、隔壁上面に撥水材料を塗布する方法や、撥水層を新たに設ける方法、プラズマ処理により撥水性を付与する方法、撥水性物質を隔壁に練りこむ方法などが挙げられる。以下に、撥水処理の詳細な説明をする。
（１）＜撥水性物質を隔壁に練りこむ方法＞
「混色」を防ぐ手段として、含フッ素樹脂（Ａ）を含有する感光性樹脂組成物より得られるフォトレジストを用いて隔壁を作製することが好ましい。【００６４】
前記含フッ素樹脂（Ａ）は、下記式１で表されるポリフルオロエーテル構造からなるＲｆ基（ａ）と、酸性基（ｂ）とを有し、酸価が１〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇである。
−（Ｘ−Ｏ）n−Ｙ  ・・・式１
式１中、Ｘは、炭素数１〜１０の２価飽和炭化水素基又は炭素数１〜１０のフルオロ化された２価飽和炭化水素基であって、ｎで括られた単位毎に同一の基又は異なる基を示し、Ｙは、水素原子（Ｙに隣接する酸素原子に隣接する炭素原子にフッ素原子が結合していない場合に限る）、炭素数１〜２０の１価飽和炭化水素基又は炭素数１〜２０のフルオロ化された１価飽和炭化水素基を示し、ｎは２〜５０の整数を示す。ただし、式１におけるフッ素原子の総数は２以上である。【００６５】
式１におけるＸ、Ｙの態様として、好ましくは、Ｘは、炭素数１〜１０の水素原子１個を除いてフルオロ化されたアルキレン基又は炭素数１〜１０のパーフルオロ化されたアルキレン基であって、ｎで括られた単位毎に同一の基又は異なる基を示し、Ｙは、炭素数１〜２０の水素原子１個を除いてフルオロ化されたアルキル基又は炭素数１〜２０のパーフルオロ化されたアルキル基を示すものが挙げられる。【００６６】
式１におけるＸ、Ｙの態様として、より好ましくは、Ｘは、炭素数１〜１０のパーフルオロ化されたアルキレン基であって、ｎで括られた単位毎に同一の基又は異なる基を示し、Ｙは、炭素数１〜２０のパーフルオロ化されたアルキル基を示すものが挙げられる。【００６７】
Ｘ、Ｙの態様が上記のものであることにより、含フッ素樹脂は良好な撥インク性を奏する。【００６８】
式１においてｎは２〜５０の整数を示す。ｎは２〜３０が好ましく、２〜１５がより好ましい。ｎが２以上であると、インク転落性が良好である。ｎが５０以下であると、含フッ素樹脂をＲｆ基（ａ）を有する単量体と、酸性基（ｂ）を有する単量体やその他の単量体との共重合によって合成する場合に、単量体の相溶性が良好となる。【００６９】
また、式１で表されるポリフルオロエーテル構造からなるＲｆ基（ａ）における炭素原子の総数は２〜５０が好ましく、２〜３０がより好ましい。当該範囲では、含フッ素樹脂は良好な撥インク性、特に撥有機溶剤性を奏する。また含フッ素樹脂をＲｆ基（ａ）を有する単量体、酸性基（ｂ）を有する単量体及びその他の単量体との共重合によって合成する場合に、単量体の相溶性が良好となる。【００７０】
Ｘの具体例としては、−ＣＦ2−、−ＣＦ2ＣＦ2−、−ＣＦ2ＣＦ2ＣＦ2−、−ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）−、−ＣＦ2ＣＦ2ＣＦ2ＣＦ2−、−ＣＦ2ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）−、及びＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2−が挙げられる。【００７１】
Ｙの具体例としては、−ＣＦ3、−ＣＦ2ＣＦ3、−ＣＦ2ＣＨＦ2、−（ＣＦ2）2ＣＦ3、−（ＣＦ2）3ＣＦ3、−（ＣＦ2）4ＣＦ3、−（ＣＦ2）5ＣＦ3、−（ＣＦ2）6ＣＦ3、−（ＣＦ2）7ＣＦ3、−（ＣＦ2）8ＣＦ3、−（ＣＦ2）9ＣＦ3、及び（ＣＦ2）11ＣＦ3、−（ＣＦ2）15ＣＦ3が挙げられる。【００７２】
式１で表されるポリフルオロエーテル構造からなるＲｆ基（ａ）の好ましい態様としては、式２で表されるＲｆ基（ａ）が挙げられる。
−Ｃp-1Ｆ2(p-1)−Ｏ−（ＣpＦ2p−Ｏ）n-1−ＣqＦ2q+1・・・式２
式２中、ｐは２又は３の整数を示し、ｎで括られた単位毎に同一の基であり、ｑは１〜２０の整数、ｎは２〜５０の整数を示す。また、Ｃp-1Ｆ2(p-1)、ＣpＦ2p、及びＣqＦ2q+1は、ＣとＦの数が上記規定を満たせば、直鎖状でもよいし、分岐していてもよい。【００７３】
式２で表されるＲｆ基（ａ）として、具体的には、−ＣＦ2Ｏ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）n-1ＣＦ3（ｎは２〜９）、−ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ（ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ）n-1Ｃ6Ｆ13（ｎは２〜６）、−ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ（ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ）n-1Ｃ3Ｆ7（ｎは２〜６）
が合成の容易さの点から好ましく挙げられる。【００７４】
前記含フッ素樹脂（Ａ）内のＲｆ基（ａ）は、全て同一でもよいし、異なっていてもよい。【００７５】
前記含フッ素樹脂（Ａ）におけるフッ素原子の含有量は１〜６０モル％が好ましく、５〜４０モル％がより好ましい。前記フッ素原子の含有量は１〜６０モル％の範囲内であると含フッ素樹脂は良好な撥インク性を奏し、本発明の感光性樹脂組成物の現像性が良好となる。【００７６】
前記含フッ素樹脂（Ａ）は、酸性基（ｂ）を有する。酸性基（ｂ）としては、カルボキシル基、フェノール性水酸基、及びスルホン酸基からなる群から選ばれる少なくとも１つの酸性基又はその塩が好ましい。【００７７】
前記含フッ素樹脂（Ａ）の酸価は、１〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、５〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、１０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇが特に好ましい。この範囲であると本発明の感光性樹脂組成物の現像性が良好となる。なお、酸価は樹脂１ｇを中和するのに必要な水酸化カリウムの質量（単位ｍｇ）であり、本明細書においては単位をｍｇＫＯＨ／ｇと記載する。【００７８】
前記含フッ素樹脂（Ａ）の数平均分子量は、５００以上２００００未満が好ましく、２０００以上１５０００未満がより好ましい。当該範囲であると本発明の感光性樹脂組成物の現像性が良好である。数平均分子量はゲルパーミエーションクロマトグラフィー法によりポリスチレンを標準物質として測定される。【００７９】
前記含フッ素樹脂（Ａ）は、エチレン性二重結合とＲｆ基（ａ）とを有する単量体に基づく単量体単位と、エチレン性二重結合と酸性基（ｂ）とを有する単量体に基づく単量体単位とを含む共重合体であって、酸価が１〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであるのが好ましい。【００８０】
エチレン性二重結合としては、（メタ）アクリロイル基、ビニル基、アリル基が挙げられる。エチレン性二重結合とＲｆ基（ａ）とを有する単量体としては、
ＣＨ2＝ＣＲ1ＣＯＯＱ2Ｒｆ、ＣＨ2＝ＣＲ1ＯＣＯＱ1Ｒｆ、ＣＨ2＝ＣＲ1ＯＱ1Ｒｆ、
ＣＨ2＝ＣＲ1ＣＨ2ＯＱ1Ｒｆ、ＣＨ2＝ＣＲ1ＣＯＯＱ2ＮＲ1ＳＯ2Ｒｆ、ＣＨ2＝ＣＲ1ＣＯＯＱ2ＮＲ1ＣＯＲｆ、ＣＨ2＝ＣＲ1ＣＯＯＱ2ＮＲ1ＣＯＯＱ2Ｒｆ、ＣＨ2＝ＣＲ1ＣＯＯＱ2ＯＱ1Ｒｆ等が挙げられる。ただし、Ｒ1は水素原子又はメチル基を、Ｑ1は単結合又は炭素数１〜６の２価有機基を、Ｑ2は炭素数１〜６の２価有機基をそれぞれ示す。Ｑ1、Ｑ2は環状構造を有していてもよい。【００８１】
Ｑ1、Ｑ2の具体例としては、−ＣＨ2−、−ＣＨ2ＣＨ2−、−ＣＨ（ＣＨ3）−、−ＣＨ2ＣＨ2ＣＨ2−、−Ｃ（ＣＨ3）2−、−ＣＨ（ＣＨ2ＣＨ3）−、−ＣＨ2ＣＨ2ＣＨ2ＣＨ2−、−ＣＨ（ＣＨ2ＣＨ2ＣＨ3）−、−ＣＨ2（ＣＨ2）3ＣＨ2−、−ＣＨ（ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）2）−、−ＣＨ2ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ2−、−ＣＨ2ＣＨ2ＮＨＣＯＯＣＨ2−、−ＣＨ2ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ2ＯＣＨ2−等が挙げられる。Ｑ1は単結合であってもよい。
合成の容易さの観点から、−ＣＨ2−、−ＣＨ2ＣＨ2−、−ＣＨ2ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ2−が好ましい。【００８２】
エチレン性二重結合とＲｆ基（ａ）とを有する単量体として具体的には以下のものが挙げられる。ＣＨ2＝ＣＨＣＯＯＣＨ2ＣＦ2Ｏ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）n-1ＣＦ3（ｎは３〜９）、ＣＨ2＝ＣＨＣＯＯＣＨ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ（ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ）n-1Ｃ6Ｆ13（ｎは２〜６）、ＣＨ2＝ＣＨＣＯＯＣＨ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ（ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ）n-1Ｃ3Ｆ7（ｎは２〜６）。ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＯＣＨ2ＣＨ2ＮＨＣＯＯＣＨ2ＣＦ2Ｏ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）n-1ＣＦ3（ｎは３〜９）、ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＯＣＨ2ＣＨ2ＮＨＣＯＯＣＨ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ（ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ）n-1Ｃ3Ｆ7（ｎは２〜６）、ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＯＣＨ2ＣＨ2ＮＨＣＯＯＣＨ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ（ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ）n-1Ｃ6Ｆ13（ｎは２〜６）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＯＣＨ2ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ2ＯＣＨ2ＣＦ2Ｏ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）n-1ＣＦ3（ｎは３〜９）、ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＯＣＨ2ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ2ＯＣＨ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ（ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ）n-1Ｃ6Ｆ13（ｎは２〜６）、ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＯＣＨ2ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ2ＯＣＨ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ（ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ）n-1Ｃ3Ｆ7（ｎは２〜６）。【００８３】
前記含フッ素樹脂（Ａ）におけるエチレン性二重結合とＲｆ基（ａ）とを有する単量体に基づく単量体単位の含有量は、１〜９５モル％が好ましく、５〜８０モル％がより好ましく、２０〜６０モル％がさらに好ましい。当該範囲であると含フッ素樹脂は良好な撥インク性を奏し、本発明の感光性樹脂組成物の現像性が良好となる。【００８４】
酸性基（ｂ）を有する単量体として、カルボキシル基を有する単量体、フェノール性水酸基を有する単量体、スルホン酸基を有する単量体が挙げられる。【００８５】
カルボキシル基を有する単量体としては、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ケイ皮酸、もしくはそれらの塩が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。【００８６】
フェノール性水酸基を有する単量体としては、ｏ−ヒドロキシスチレン、ｍ−ヒドロキシスチレン、ｐ−ヒドロキシスチレン等が挙げられる。またこれらのベンゼン環の１個以上の水素原子が、メチル基、エチル基、ｎ−ブチル基等のアルキル基、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−ブトキシ基等のアルコキシ基、ハロゲン原子、アルキル基の１個以上の水素原子がハロゲン原子に置換されたハロアルキル基、ニトロ基、シアノ基、アミド基に置換された化合物等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。【００８７】
スルホン酸基を有する単量体としては、ビニルスルホン酸、スチレンスルホン酸、（メタ）アリルスルホン酸、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アリルオキシプロパンスルホン酸、（メタ）アクリル酸−２−スルホエチル、（メタ）アクリル酸−２−スルホプロピル、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アクリロキシプロパンスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、もしくはそれらの塩等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。【００８８】
前記含フッ素樹脂（Ａ）における酸性基（ｂ）を有する単量体に基づく単量体単位の含有量は、０．１〜４０モル％が好ましく、０．５〜３０モル％がより好ましく、１〜２０モル％がさらに好ましい。当該範囲であると含フッ素樹脂は良好な撥インク性を奏し、感光性樹脂組成物の現像性が良好となる。【００８９】
前記含フッ素樹脂（Ａ）がエチレン性二重結合とＲｆ基（ａ）とを有する単量体に基づく単量体単位と、エチレン性二重結合と酸性基（ｂ）とを有する単量体に基づく単量体単位とを有する共重合体である場合、Ｒｆ基（ａ）及び酸性基（ｂ）を有しない単量体（以下、「その他の単量体」という。）に基づく単量体単位を有していてもよい。【００９０】
その他の単量体としては、炭化水素系オレフィン類、ビニルエーテル類、イソプロペニルエーテル類、アリルエーテル類、ビニルエステル類、アリルエステル類、（メタ）アクリル酸エステル類、（メタ）アクリルアミド類、芳香族ビニル化合物、クロロオレフィン類、フルオロオレフィン類、共役ジエン類が挙げられる。これらの化合物には、官能基が含まれていてもよく、例えば水酸基、カルボニル基、アルコキシ基、アミド基等が挙げられる。またポリシロキサン構造を有する基を有していてもよい。ただし、これらのその他の単量体に基づく単量体単位は、Ｒｆ基（ａ）及び酸性基（ｂ）を有しない。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。特に（メタ）アクリル酸エステル類、（メタ）アクリルアミド類が、本発明の感光性樹脂組成物から形成される塗膜の耐熱性に優れるので好ましい。【００９１】
含フッ素樹脂（Ａ）において、その他の単量体に基づく単量体単位の割合は８０モル％以下が好ましく、７０モル％以下がより好ましい。当該範囲であると本発明の感光性樹脂組成物の現像性が良好となる。【００９２】
本発明における含フッ素樹脂（Ａ）は、上記のエチレン性二重結合とＲｆ基（ａ）とを有する単量体に基づく単量体単位と、エチレン性二重結合と酸性基（ｂ）とを有する単量体に基づく単量体単位とを含む共重合体を合成することによって得られるほか、反応部位を有する重合体にＲｆ基（ａ）を有する化合物及び／又は酸性基（ｂ）を有する化合物を反応させる各種変性方法によっても得られる。【００９３】
反応部位を有する重合体にＲｆ基（ａ）を有する化合物を反応させる各種変性方法としては、例えば、エポキシ基を有する単量体をあらかじめ共重合させ、後にＲｆ基（ａ）とカルボキシル基を有する化合物を反応させる方法、エポキシ基を有する単量体をあらかじめ共重合させ、後にＲｆ基（ａ）とヒドロキシル基を有する化合物を反応させる方法が挙げられる。【００９４】
エポキシ基を有する単量体の具体例としては、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレートが挙げられる。【００９５】
Ｒｆ基（ａ）とカルボキシル基を有する化合物としては、下記式３で表される化合物が挙げられる。
ＨＯＯＣ−Ｃp-1Ｆ2(p-1)−Ｏ−（ＣpＦ2p−Ｏ）n-1−ＣqＦ2q+1・・・式３
式３中、ｐは２又は３の整数、ｑは１〜２０の整数、ｎは２〜５０の整数を示す。【００９６】
Ｒｆ基（ａ）とヒドロキシル基を有する化合物としては、下記式４で表される化合物が挙げられる。
ＨＯＣＨ2−Ｃp-1Ｆ2(p-1)−Ｏ−（ＣpＦ2p−Ｏ）n-1−ＣqＦ2q+1  ・・・式４
式４中、ｐは２又は３の整数、ｑは１〜２０の整数、ｎは２〜５０の整数を示す。【００９７】
反応部位を有する重合体に酸性基（ｂ）を有する化合物を反応させる各種変性方法としては、例えば、水酸基を有する単量体をあらかじめ共重合させ、後に酸無水物を反応させる方法が挙げられる。また、エチレン性二重結合を有する酸無水物をあらかじめ共重合させ、後に水酸基を有する化合物を反応させる方法が挙げられる。【００９８】
水酸基を有する単量体の具体例としては、ビニルフェノール、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、５−ヒドロキシペンチル（メタ）アクリレート、６−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシシクロヘキシル（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールモノ（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセリンモノ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、４−ヒドロキシブチルビニルエーテル、シクロヘキサンジオールモノビニルエーテル、２−ヒドロキシエチルアリルエーテル、Ｎ−ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ビス（ヒドロキシメチル）等が挙げられる。【００９９】
さらに、水酸基を有する単量体としては、末端が水酸基であるポリオキシアルキレン鎖を有する単量体であってもよい。例えば、ＣＨ2＝ＣＨＯＣＨ2Ｃ6Ｈ10ＣＨ2Ｏ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）gＨ（ここで、ｇは１〜１００の整数、以下同じ。）、ＣＨ2＝ＣＨＯＣ4Ｈ8Ｏ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）gＨ、ＣＨ2＝ＣＨＣＯＯＣ2Ｈ4Ｏ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）gＨ、ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＯＣ2Ｈ4Ｏ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）gＨ、ＣＨ2＝ＣＨＣＯＯＣ2Ｈ4Ｏ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）h（Ｃ3Ｈ6Ｏ）kＨ（ここで、ｈは０又は１〜１００の整数であり、ｋは１〜１００の整数であり、ｈ＋ｋは１〜１００である。以下同じ。）、ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＯＣ2Ｈ4Ｏ（Ｃ2Ｈ4Ｏ）h（Ｃ3Ｈ6Ｏ）kＨ等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。【０１００】
酸無水物の具体例としては、無水フタル酸、無水３−メチルフタル酸、無水トリメリット酸等が挙げられる。【０１０１】
エチレン性二重結合を有する酸無水物の具体例としては、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、無水メチル−５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸、無水３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸、無水ｃｉｓ−１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸、２−ブテン−１−イルスシニックアンハイドライド等が挙げられる。【０１０２】
水酸基を有する化合物としては、１つ以上の水酸基を有している化合物であればよく、前記に示した水酸基を有する単量体の具体例や、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、１−ブタノール、エチレングリコール等のアルコール類、２−メトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−ブトキシエタノール等のセルソルブ類、２−（２−メトキシエトキシ）エタノール、２−（２−エトキシエトキシ）エタノール、２−（２−ブトキシエトキシ）エタノール等のカルビトール類等が挙げられる。分子内に１個の水酸基を有する化合物が好ましい。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。【０１０３】
含フッ素樹脂あるいは含フッ素樹脂の前駆体となる前記反応部位を有する重合体は、単量体を必要に応じて連鎖移動剤と共に、溶媒に溶解して加熱し、重合開始剤を加えて反応させる方法によって合成できる。【０１０４】
前記含フッ素樹脂（Ａ）の配合量は、感光性樹脂組成物中の固形分に対し、０．０１〜５０モル％が好ましく、０．１〜３０モル％がより好ましく、０．２〜１０モル％が特に好ましい。当該範囲であると感光性樹脂組成物は良好な撥インク性、インク転落性を奏し、現像性が良好となる。
（２）＜撥水層を新たに設ける方法＞
前述の方法により隔壁を形成した基板には、「混色」を防ぐ手段として、ガラス基板上の隔壁に合致した位置にインキ反発性を有する仕切り壁を作製することが好ましい。【０１０５】
インキ反発性を有する仕切り壁として、シリコ−ンゴム層を用いることが好ましい。表層に塗設されるシリコ−ンゴム層は、着色に用いる溶液およびインキに対して反発効果を有することが必須であり、これに限定されるものではないが、次の様な繰り返し単位を有する分子量数千〜数十万の線状有機ポリシロキサンを主成分とするものが好ましい。【０１０６】
【化１】
2007052748.tif 000002
【０１０７】
ここで、ｎは２以上の整数、Ｒは炭素数１〜１０のアルキル基、アルケニル基あるいはフェニル基である。この様な線状有機ポリシロキサンをまばらに架橋することによりシリコ−ンゴムが得られる。架橋剤は、いわゆる室温（低温）硬化型のシリコ−ンゴムに使われるアセトキシシラン、ケトオキシムシラン、アルコキシシラン、アミノシラン、アミドシラン、アルケニオキシシランなどであり、通常線状の有機ポリシロキサンとして末端が水酸基であるものと組み合わせて、それぞれ脱酢酸型、脱オキシム型、脱アルコ−ル型、脱アミン型、脱アミド型、脱ケトン型のシリコ−ンゴムとなる。【０１０８】
また、シリコ−ンゴムには、触媒として少量の有機スズ化合物などが添加される。感光性樹脂層とシリコ−ンゴム層の接着のために層間に接着層として種々のものを用いることがあり、特にアミノシラン化合物や有機チタネ−ト化合物が好ましい。感光性樹脂層とシリコ−ンゴム層間に接着層を設ける代わりにシリコ−ンゴム層に接着成分を添加しておくこともできる。この添加接着成分としてもアミノシラン化合物や有機チタネ−ト化合物が使用できる。【０１０９】
仕切り壁を作製するための露光は隔壁をマスクとし、基板の裏側から行い、さらに照射ＵＶ光を散乱させて入射光を透過部位の大きさより拡大して感光性樹脂に作用させて、光反応して可溶化する樹脂の部分をシリコ−ンゴム表層側の方が大きくなる様にする。この様に露光した後、ｎ−ヘプタン／エタノ−ル混合液で現像してシリコ−ンゴム表層を有する仕切り壁を作製できる。
（３）＜プラズマ処理により撥水性を付与する方法＞
前述の方法により隔壁を形成した基板には、「混色」を防ぐ手段として、プラズマによる撥水化処理をすることが好ましい。【０１１０】
本工程において導入する、少なくともフッ素原子を含有するガスとしては、ＣＦ4、ＣＨＦ3、Ｃ2Ｆ6、ＳＦ6、Ｃ3Ｆ8、Ｃ5Ｆ8から選択されるハロゲンガスを１種以上用いることが好ましい。特に、Ｃ5Ｆ8（オクタフルオロシクロペンテン）は、オゾン破壊能が０であると同時に、大気寿命が従来のガスに比べて（ＣＦ4：５万年、Ｃ4Ｆ8：３２００年）０．９８年と非常に短い。従って、地球温暖化係数が９０（ＣＯ2＝２とした１００年積算値）と、従来のガスに比べて（ＣＦ4：６５００、Ｃ4Ｆ8：８７００）非常に小さく、オゾン層や地球環境保護に極めて有効であり、本発明で使用する上で望ましい。【０１１１】
さらに、導入ガスとしては、必要に応じて酸素、アルゴン、ヘリウム等のガスを併用してもよい。本工程においては、上記ＣＦ4、ＣＨＦ3、Ｃ2Ｆ6、ＳＦ6、Ｃ3Ｆ8、Ｃ5Ｆ8から選択されるハロゲンガスを１種以上とＯ2との混合ガスを用いると、本工程において処理される隔壁表面の撥インク性の程度を制御することが可能になる。但し、当該混合ガスにおいて、Ｏ2の混合比率が３０％を超えるとＯ2による酸化反応が支配的になる場合があり、撥インク性向上効果が妨げられる場合や、樹脂に対してダメージを与える場合があるため、当該混合ガスを用いる場合にはＯ2の混合比率が３０％以下の範囲で使用することが好ましい。【０１１２】
また、プラズマの発生方法としては、低周波放電、高周波放電、マイクロ波放電等の方式を用いることができ、プラズマ処理の際の圧力、ガス流量、放電周波数、処理時間等の条件は任意に設定することができる。【０１１３】
尚、本工程に先立って、ドライエッチング処理を施すことが望ましい。即ち、酸素、アルゴン、ヘリウムのうちから選択される少なくとも一種を含むガスを導入し、減圧雰囲気下或いは大気圧雰囲気下で支持基板１にプラズマ照射を行う減圧プラズマ処理や大気圧プラズマ処理を行うことで、隔壁の形成工程において支持基板表面に付着した汚染物を除去し、開口部内でインクを良好に拡散させることができるようになる。
（４）＜隔壁上面に撥水材料を塗布する方法＞
前述の方法により隔壁を形成した基板には、「混色」を防ぐ手段として、撥水性を有する材料を全面に塗布することが好ましい。【０１１４】
撥水性を有する材料としてはポリテトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂、シリコーンゴム、パーフルオロアルキルアクリレート、ハイドロカーボンアクリレート、メチルシロキサン等、一般に撥水材料と考えられるもので着色剤に対する接触角が６０°以上のものであれば特に限定されるものではない。【０１１５】
撥水材料の塗布の方法としては基板、隔壁、感光性樹脂に影響を及ぼさない方法であれば、スリットコート、スピンコート、ディップコート、ロールコート等各材料に最適の方法を選択することが可能である。【０１１６】
次に、ガラス基板裏面側から隔壁を介してＵＶＯ3処理を行い、感光性樹脂層以外の部分の撥水膜を選択的に除去または親水化処理（着色剤に対する接触角が処理前後で３０°以上の開きがある）する。【０１１７】
撥水材料を除去または親水化処理することが可能ならば、パターニングの方法はレーザーアブレーション、プラズマアッシング、コロナ放電処理等のドライ処理およびアルカリを用いたウェット処理等材料に応じて最適の方法を選択することが可能である。また、感光性樹脂層上に撥水材料をパターン形成することが可能であればリフトオフ法等も有効である。【０１１８】
上記（１）〜（４）の撥水処理方法の中でも、「薄膜」という観点から（３）プラズマによる撥水処理方法が好ましく、隔壁の上面をより撥水化できる「異方性」という観点から（４）塗布による撥水処理方法が好ましい。
［カラーフィルター、カラーフィルターの製造方法］
本発明のインクジェットカラーフィルターの製造方法は、既述のインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板に、着色液体組成物の液滴をインクジェット法で付与することにより、２色以上の色を有する複数の画素を形成する工程を有することを特徴とする。【０１１９】
即ち、前記現像工程にて基板上に形成された隔壁間の空隙に対し、２色以上の画素（例えば、ＲＧＢ各画素）を形成する為の着色液体組成物を液滴付与することにより隔壁の空隙に侵入させて２色以上の色を有する複数の画素を形成する。【０１２０】
本発明は、この着色液体組成物を隔壁空隙に侵入させる方法として、インクジェット法を用いる。【０１２１】
また、このように各画素を形成する前に、隔壁の形状を固定化してもよく、その手段は特に限定されないが以下のようなものが挙げられる。【０１２２】
すなわち、１）現像後、再露光を行う（ポスト露光と呼ぶことがある）、２）現像後、比較的低い温度で加熱処理を行う等である。ここで言う加熱処理とは隔壁付き基板を電気炉、乾燥器等の中で加熱する、あるいは赤外線ランプを照射するということをさす。【０１２３】
ここで、上記１）を行う場合の露光量は、大気下であれば５００〜３０００ｍＪ／ｃｍ2、好ましくは１０００〜２０００ｍＪ／ｃｍ2であり、貧酸素雰囲気下である場合にはそれより低い露光量で露光することも可能である。また、同じく２）を行う場合の加熱温度は５０〜１２０℃、好ましくは７０〜１００℃程度であり、その加熱時間は、１０〜４０分程度である。温度が５０℃より低い場合には隔壁の硬化が進まない懸念があり、１２０℃より大きい場合には隔壁の形状が崩れてしまう場合がある。【０１２４】
各画素形成のために用いるインクジェット法に関しては、インクを熱硬化させる方法、光硬化させる方法、あらかじめ基板上に透明な受像層を形成しておいてから打滴する方法など、公知の方法を用いることができる。【０１２５】
好ましくは、各画素を形成した後、加熱処理（いわゆるベーク処理）する加熱工程を設ける。即ち、光照射により光重合した層を有する基板を電気炉、乾燥器等の中で加熱する、あるいは赤外線ランプを照射する。加熱の温度及び時間は、感光性樹脂組成物の組成や形成された層の厚みに依存するが、一般に充分な耐溶剤性、耐アルカリ性、及び紫外線吸光度を獲得する観点から、１２０℃〜２５０℃で１０分〜１２０分間加熱することが好ましい。【０１２６】
このようにして形成されたカラーフィルターのパターン形状は特に限定されるものではなく、一般的なブラックマトリックス形状であるストライプ状であっても、格子状であっても、さらにはデルタ配列状であってもよい。
（インクジェット方式）
本発明に用いるインクジェット方式（インクジェット法）としては、帯電したインクを連続的に噴射し電場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等、各種の方法を採用できる。【０１２７】
用いるインクは油性、水性であっても使用できる。また、そのインクに含まれる着色材は染料、顔料ともに使用でき、耐久性の面からは顔料の使用がより好ましい。また、公知のカラーフィルター作製に用いる、塗布方式の着色インク（着色樹脂組成物、例えば、特開２００５−３８６１号公報［００３４］〜［００６３］記載）や、特開平１０−１９５３５８号公報［０００９］〜［００２６］に記載のインクジェット用組成物を使用することもできる。【０１２８】
本発明におけるインクには、着色後の工程を考慮し、加熱によって硬化する、又は紫外線などのエネルギー線によって硬化する成分を添加することもできる。加熱によって硬化する成分としては各種の熱硬化性樹脂が広く用いられ、またエネルギー線によって硬化する成分としては例えばアクリレート誘導体又はメタクリレート誘導体に光反応開始剤を添加したものを例示できる。特に耐熱性を考慮してアクリロイル基、メタクリロイル基を分子内に複数有するものがより好ましい。これらのアクリレート誘導体、メタクリレート誘導体は水溶性のものが好ましく使用でき、水に難溶性のものでもエマルション化するなどして使用できる。【０１２９】
この場合、既述の＜感光性樹脂組成物＞の項で挙げた、顔料などの着色剤を含有させた感光性樹脂組成物を、好適なものとして用いることができる。【０１３０】
また、本発明において用いることができるインクとしては、少なくともバインダー、及び、２官能乃至３官能のエポキシ基含有モノマーを含有するカラーフィルター用熱硬化性インクも好適なものとして用いることができる。【０１３１】
以上の本発明のカラーフィルターの製造方法により製造された本発明のカラーフィルターは、インクジェット方式で画素形成されたカラーフィルターであり、ＲＧＢ３色のインクを吹き付けて３色のカラーフィルターを形成することが好ましい。【０１３２】
このカラーフィルターは、液晶表示素子、電気泳動表示素子、エレクトロクロミック表示素子、ＰＬＺＴ等と組合せて表示素子として用いられる。カラーカメラやその他のカラーフィルターを用いる用途にも使用できる。
［表示装置］
本発明のカラーフィルターは、液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、ＥＬ表示装置、ＣＲＴ表示装置などの表示装置に用いることができる。表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木  昭夫著、（株）工業調査会  １９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹  順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。【０１３３】
本発明のカラーフィルターは、液晶表示装置に用いることが特に好ましい(本発明の液晶表示装置)。液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田  龍男編集、（株）工業調査会  １９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。本発明はこれらのなかで特にカラーＴＦＴ方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置については例えば「カラーＴＦＴ液晶ディスプレイ（共立出版（株）１９９６年発行）」に記載されている。さらに本発明はもちろんＩＰＳなどの横電界駆動方式、ＭＶＡなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。これらの方式については例えば「ＥＬ、ＰＤＰ、ＬＣＤディスプレイ−技術と市場の最新動向−（東レリサーチセンター調査研究部門  ２００１年発行）」の４３ページに記載されている。【０１３４】
本発明の液晶表示装置は、カラーフィルター以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角補償フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明のブラックマトリックスはこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については例えば「'９４液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場（島  健太郎  （株）シーエムシー  １９９４年発行）」、「２００３液晶関連市場の現状と将来展望（下巻）（表  良吉  （株）富士キメラ総研  ２００３年発行）」に記載されている。
［対象用途］
本発明の液晶表示装置は、テレビ、パーソナルコンピュータ、液晶プロジェクター、ゲーム機、携帯電話などの携帯端末、デジタルカメラ、カーナビなどの用途に特に制限なく適用できる。
実施例【０１３５】
以下に、実施例を用いて本発明を詳細に説明する。本発明はこれらに限定されるものではない。なお、特に断りのない限り「％」および「部」は、「質量％」および「質量部」を表し、「分子量」とは「重量平均分子量」のことを示す。
感光性樹脂組成物（１）〜（３）の調製
（感光性樹脂組成物（１）の調製）
感光性樹脂組成物（１）は、まず下記感光性樹脂組成物（１）の処方に記載の量の後記カーボンブラック分散液、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶剤１）をはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ＲＰＭ１０分間攪拌し、次いで、メチルエチルケトン（溶剤２）、後記バインダーＰ−１、後記ＤＰＨＡ液、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４'−（Ｎ，Ｎ−ビスエトキシカルボニルメチルアミノ）−３'−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン、フェノチアジン、後記界面活性剤１をはかり取り、温度２５℃（±２℃）でこの順に添加して、温度４０℃（±２℃）で１５０ＲＰＭ３０分間攪拌することによって得られる。
（感光性樹脂組成物（１）の処方）
・カーボンブラック分散液（カーボンブラックの粒径２０ｎｍ）：２６部
・溶剤１：７．０部
・溶剤２：５３部
・バインダーＰ−１：９．５部
・ＤＰＨＡ液：４．２部
・２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４'−（Ｎ，Ｎ−ビスエトキシカルボニルメチルアミノ）−３'−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン：０．２２部
・フェノチアジン：０．００３部
・界面活性剤１：０．０４３部
［カーボンブラック分散液の組成］
・カーボンブラック（デグッサ社製  Ｎｉｐｅｘ３５）：１３．１％
・下記分散剤：０．６５％【０１３６】
【化２】
2007052748.tif 000003
【０１３７】
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７２／２８モル比のランダム共重合物、分子量３．７万）：６．７２％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート：７９．５３％
［バインダーＰ−１の組成］
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７８／２２モル比のランダム共重合物、分子量３．８万）：２７％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート：７３％
［ＤＰＨＡ液の組成］
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（重合禁止剤ＭＥＨＱ  ５００ｐｐｍ含有、日本化薬（株）製、商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ）：７６％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート：２４％
［界面活性剤１の組成］
・下記構造物１：３０％
・メチルエチルケトン：７０％【０１３８】
【化３】
2007052748.tif 000004
【０１３９】
（感光性樹脂組成物（２）の調製）
感光性樹脂組成物（２）は、まず下記感光性樹脂組成物（２）の処方に記載の量の前記カーボンブラック分散液、前記溶剤１をはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ＲＰＭ１０分間攪拌し、次いで、前記溶剤２、前記バインダーＰ−１、前記ＤＰＨＡ液、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４'−（Ｎ，Ｎ−ビスエトキシカルボニルメチルアミノ）−３'−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン、フェノチアジン、前記界面活性剤１をはかり取り、温度２５℃（±２℃）でこの順に添加して、温度４０℃（±２℃）で１５０ＲＰＭ３０分間攪拌することによって得られる。
（感光性樹脂組成物（２）の処方）
・カーボンブラック分散液（カーボンブラックの粒径２０ｎｍ）：２６部
・溶剤１：２５部
・溶剤２：３６部
・バインダーＰ−１：９．５部
・ＤＰＨＡ液：４．２部
・２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４'−（Ｎ，Ｎ−ビスエトキシカルボニルメチルアミノ）−３'−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン：０．２２部
・フェノチアジン：０．００３部
・界面活性剤１：０．０４３部
（感光性樹脂組成物（３）の調製）
感光性樹脂組成物（３）は、まず下記感光性樹脂組成物（３）の処方に記載の量の前記カーボンブラック分散液、前記溶剤１をはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ＲＰＭ１０分間攪拌し、次いで、前記溶剤２、シクロヘキサノン（溶剤３）、前記バインダーＰ−１、前記ＤＰＨＡ液、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４'−（Ｎ，Ｎ−ビスエトキシカルボニルメチルアミノ）−３'−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン、フェノチアジン、前記界面活性剤１をはかり取り、温度２５℃（±２℃）でこの順に添加して、温度４０℃（±２℃）で１５０ＲＰＭ３０分間攪拌することによって得られる。
（感光性樹脂組成物（３）の処方）
・カーボンブラック分散液（カーボンブラックの粒径２０ｎｍ）：２６部
・溶剤１：２５部
・溶剤２：１８部
・溶剤３：１８部
・バインダーＰ−１：９．５部
・ＤＰＨＡ液：４．２部
・２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４'−（Ｎ，Ｎ−ビスエトキシカルボニルメチルアミノ）−３'−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン：０．２２部
・フェノチアジン：０．００３部
・界面活性剤１：０．０４３部
【実施例１】
【０１４０】
（隔壁付き基板の作製）
無アルカリガラス基板を、ＵＶ洗浄装置で洗浄後、洗浄剤を用いてブラシ洗浄し、更に超純水で超音波洗浄した。該基板を１２０℃で３分熱処理して表面状態を安定化させた。【０１４１】
該基板を冷却し２３℃に温調後、スリット状ノズルを有すガラス基板用コーター（エフ・エー・エス・アジア社製、商品名：ＭＨ−１６００）にて、前記感光性樹脂組成物（１）を塗布した。引き続き１００℃で２分間乾燥して、膜厚２．２μｍの感光性樹脂層を形成した。また、このときの感光性樹脂層の残留溶媒量をガスクロマトグラフ−マススペクトル（装置名：ＧＣＭＳ−ＱＰ２０１０、株式会社島津製作所製）分析することによって測定した。その結果５０μＬ／ｍ2であった。【０１４２】
超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製）で、基板とマスク（画像パターンを有す石英露光マスク）を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂層との間の距離を２００μｍに設定し、露光量６００ｍＪ／ｃｍ2でパターン露光した。なお露光は、窒素パージして窒素雰囲気下で行った。このときの酸素分圧（飯島電子工業製酸素計  Ｇ−１０２型を用いて測定）は０．０１気圧であった。【０１４３】
次に、純水をシャワーノズルにて噴霧して、前記感光性樹脂層の表面を均一に湿らせた後、ＫＯＨ系現像液（ＫＯＨ、ノニオン性界面活性剤含有、商品名：ＣＤＫ−１、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製を純水で１００倍希釈した液）にて２３℃８０秒、フラットノズル圧力０．０４ＭＰａでシャワー現像しパターニング画像を得た。引き続き、超純水を、超高圧洗浄ノズルにて９．８ＭＰａの圧力で噴射して残渣除去を行い、引き続き２２０℃で３０分間熱処理して隔壁付き基板を得た。
〔撥水処理〕
隔壁を形成した上記ガラス基板（隔壁付き基板）に、カソードカップリング方式平行平板型プラズマ処理装置を用いて、以下の条件にてドライエッチング処理を施した。
使用ガス：Ｏ2ガス流量：８０ｓｃｃｍ
圧力：８Ｐａ
ＲＦパワー：１５０Ｗ
処理時間：３０ｓｅｃ
さらに、上記ドライエッチング処理終了後、同じ装置内で、隔壁付き基板に対して、以下の条件にてプラズマ処理を施した。
使用ガス：ＣＦ4ガス流量：８０ｓｃｃｍ
圧力：４０Ｐａ
ＲＦパワー：５０Ｗ
処理時間：３０ｓｅｃ
（画素形成）
次いで、インクジェット装置を用いＲ、Ｇ、Ｂそれぞれのインクをブラックマトリックスパターン様隔壁の間隙に付与して着色した。【０１４４】
このインクは、下記の成分のうち、先ず、顔料、高分子分散剤及び溶剤を混合し、３本ロールとビーズミルを用いて顔料分散液を得、その顔料分散液をディソルバー等で十分攪
拌しながら、その他の材料を少量ずつ添加し、Ｒ（赤色）インクを調製した。
〈Ｒインクの組成〉
・顔料（Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４）：５部
・高分子分散剤（ＡＶＥＣＩＡ社製ソルスパース２４０００）：１部
・バインダー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７２／２８モル比のランダム共重合物、分子量３．７万）：３部
・第一エポキシ樹脂（ノボラック型エポキシ樹脂、油化シェル社製エピコート１５４）：２部
・第二エポキシ樹脂（ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル）：５部
・硬化剤（トリメリット酸）：４部
・溶剤：３−エトキシプロピオン酸エチル：８０部
さらに、上記組成中のＣ．Ｉ．ピグメントレッド２５４に代えてＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６を同量用いるほかはＲインクの場合と同様にしてＧ（緑色）インキを調製した。さらに、下記組成中のＣ．Ｉ．ピグメントレッド２５４に代えてＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６を同量用いるほかはＲインクの場合と同様にしてＢ（青色）インクを調製した。【０１４５】
画素着色後のカラーフィルターを２３０℃オーブン中で３０分ベークすることで、隔壁（ブラックマトリックス）、各画素共に完全に硬化させて、インクジェットカラーフィルターを得た。【０１４６】
こうして得られたインクジェットカラーフィルターの、各画素を構成するインクは隔壁間隙にぴったり収まり、隣接画素との混色などの欠陥となる不良は見つからなかった。また、インクジェットカラーフィルターのＩＴＯ抵抗を測定した（三菱油化「ロレスタ」；四探針法でシート抵抗を測定）ところ、１２Ω／□という非常に低い値を示した。これは、本発明を用いることで予期せずブラックマトリックス表面の平坦性が高まったためと考えられる。
（画素間の混色評価）
得られたインクジェットカラーフィルターを２００倍の光学顕微鏡で目視観察して画素間の混色の有無を調べた。１０００画素観察して下記のランクに分けた。その結果を表１に示す。許容されるのはＡランクとＢランクのものである。【０１４７】
Ａランク：混色が全くないもの
Ｂランク：混色が１〜２箇所のもの
Ｃランク：混色が３〜１０箇所のもの
Ｄランク：混色が１１箇所以上のもの
【実施例２】
【０１４８】
実施例１において、感光性樹脂組成物（１）の塗布量を変更して、膜厚３．４μｍの感光性樹脂層を形成し、パターン露光時の露光量を９００ｍＪ／ｃｍ2に変更したこと以外実施例１と同様にして、隔壁付き基板を作製した。尚、感光性樹脂組成物（１）を塗布し、乾燥した後の感光性樹脂層の残留溶媒量を実施例１と同様にして測定した。その結果６０μＬ／ｍ2であった。【０１４９】
更に、ドライエッチング処理を施さず撥水処理をした以外は、実施例１と同様にして画素を形成してインクジェットカラーフィルターを作製し、実施例１と同様にして画素間の混色評価を実施した。その結果を表１に示す。
【実施例３】
【０１５０】
実施例１において、前記感光性樹脂組成物（１）を前記感光性樹脂組成物（２）に代え、前記感光性樹脂組成物（２）を塗布した後の乾燥の温度を１００℃から１２０℃に変更したこと以外実施例１と同様にして、隔壁付き基板を作製した。尚、感光性樹脂組成物（２）を塗布し、乾燥した後の感光性樹脂層の残留溶媒量を実施例１と同様にして測定した。その結果６０μＬ／ｍ2であった。【０１５１】
更に、実施例１と同様にして画素を形成してインクジェットカラーフィルターを作製し、実施例１と同様にして画素間の混色評価を実施した。その結果を表１に示す。
【実施例４】
【０１５２】
実施例３において、前記感光性樹脂組成物（２）を塗布した後の乾燥の温度を１２０℃から８０℃に、乾燥時間を２分から１０分に変更したこと以外実施例３と同様にして、隔壁付き基板を作製した。尚、感光性樹脂組成物（２）を塗布し、乾燥した後の感光性樹脂層の残留溶媒量を実施例３と同様にして測定した。その結果９０μＬ／ｍ2であった。【０１５３】
更に、実施例３と同様にして画素を形成してインクジェットカラーフィルターを作製し、実施例３と同様にして画素間の混色評価を実施した。その結果を表１に示す。
【実施例５】
【０１５４】
実施例３において、前記感光性樹脂組成物（２）を塗布した後の乾燥の温度を１２０℃から８０℃に変更し、該乾燥を真空乾燥機（ヤマト科学株式会社製  ＤＰ−４３）で１．３ｋＰａの条件下で行ったこと以外実施例３と同様にして、隔壁付き基板を作製した。尚、感光性樹脂組成物（２）を塗布し、乾燥した後の感光性樹脂層の残留溶媒量を実施例３と同様にして測定した。その結果３０μＬ／ｍ2であった。【０１５５】
更に、実施例３と同様にして画素を形成してインクジェットカラーフィルターを作製し、実施例３と同様にして画素間の混色評価を実施した。その結果を表１に示す。
【実施例６】
【０１５６】
実施例５において、前記感光性樹脂組成物（２）を前記感光性樹脂組成物（３）に代えたこと以外実施例５と同様にして、隔壁付き基板を作製した。尚、感光性樹脂組成物（３）を塗布し、乾燥した後の感光性樹脂層の残留溶媒量を実施例５と同様にして測定した。その結果４０μＬ／ｍ2であった。【０１５７】
更に、実施例５と同様にして画素を形成してインクジェットカラーフィルターを作製し、実施例５と同様にして画素間の混色評価を実施した。その結果を表１に示す。【０１５８】
尚、撥水処理は、プラズマ撥水処理の代わりに、以下の撥水処理に変更して行った。隔壁の形成されたガラス基板上に、あらかじめフッ素系界面活性剤（住友３Ｍ社製、フロラードＦＣ−４３０）が０．５質量％（感光性樹脂の固形分に対して）内添してあるアルカリ可溶の感光性樹脂（ヘキストシャパン社製、ポジ型フォトレジストＡＺＰ４２１０）を膜厚２μｍとなるようにスピンコートし、温風循環乾燥機中で９０℃、３０分間のプレベークを行った。【０１５９】
次いで、１１０ｍＪ／ｃｍ2（３８ｍＷ／ｃｍ2×２．９秒）の露光量でガラス基板裏面から隔壁を介して露光し、無機アルカリ現像液（ヘキストジャパン社製、ＡＺ４００Ｋデベロッパー、１：４）中に８０秒間浸漬揺動した後、純水中で３０〜６０秒間リンス処理を行い、隔壁上に撥水性樹脂層を形成することにより画素内外に表面エネルギー差を設けた。撥水性樹脂層形成後の画素内外の表面エネルギーは、画素外（樹脂層上）が１０〜１５ｄｙｎｅ／ｃｍ、画素内（ガラス基板上）は５５ｄｙｎｅ／ｃｍ前後であった。
【比較例１】
【０１６０】
実施例１において、前記感光性樹脂組成物（１）を前記感光性樹脂組成物（２）に代えたこと以外実施例１と同様にして、隔壁付き基板を作製した。尚、感光性樹脂組成物（１）を塗布し、乾燥した後の感光性樹脂層の残留溶媒量を実施例１と同様の乾燥条件にして測定した。その結果１３０μＬ／ｍ2であった。
【０１６１】
更に、実施例１と同様にして画素を形成してインクジェットカラーフィルターを作製し、実施例１と同様にして画素間の混色評価を実施した。その結果を表１に示す。
【比較例２】
【０１６２】
実施例１において、前記感光性樹脂組成物（１）を前記感光性樹脂組成物（３）に代えたこと以外実施例１と同様にして、隔壁付き基板を作製した。尚、感光性樹脂組成物（３）を塗布し、乾燥した後の感光性樹脂層の残留溶媒量を実施例１と同様の乾燥条件にして測定した。その結果１９０μＬ／ｍ2であった。
【０１６３】
更に、実施例１と同様にして画素を形成してインクジェットカラーフィルターを作製し、実施例１と同様にして画素間の混色評価を実施した。その結果を表１に示す。
【０１６４】
【表１】
2007052748.tif 000005
【０１６５】
表１から明らかな通り、乾燥した後の感光性樹脂層の残留溶媒量を実施例５と同様にして測定した。その結果残留溶媒量が１００μＬ／ｍ2以下である実施例１〜６は、混色評価の結果が良好であった。
（実施例７〜１２、比較例３〜４）
実施例１〜６、比較例１〜２で得られたカラーフィルターを用い、下記のようにして液晶表示装置を作製した。
（オーバーコート層形成）
得られたカラーフィルターを低圧水銀灯（有効波長２５４ｎｍ）ＵＶ洗浄装置で洗浄し残渣及び異物を除去してから、下記透明オーバーコート剤を塗布・ベークする。膜の厚さが１．５μｍになるように前面塗布後、２３０℃で４０分間ベークした。この時、透明オーバーコート層を形成する塗布液は、下記の化学式５のポリアミック酸と化学式６のエポキシ化合物を３：１の質量比で混合して使用した。
【０１６６】
【化４】
2007052748.tif 000006
【０１６７】
（ＩＴＯの形成）
前記オーバーコート層が形成されたカラーフィルター上に、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）をスパッタリングにより形成して、ＩＴＯ透明電極基板を得た。
（スペーサの形成）
特開２００４−２４０３３５号公報の［実施例１］に記載のスペーサ形成方法と同様の方法で、上記で作製したＩＴＯ透明電極上にスペーサを形成した。
（液晶配向制御用突起の形成）
下記のポジ型感光性樹脂層用塗布液を用いて、前記スペーサを形成したＩＴＯ透明電極上に液晶配向制御用突起を形成した。
【０１６８】
但し、露光、現像、及び、ベーク工程は、以下の方法を用いた。
【０１６９】
所定のフォトマスクが感光性樹脂層の表面から１００μｍの距離となるようにプロキシミティ露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製）を配置し、該フォトマスクを介して超高圧水銀灯により照射エネルギー１５０ｍＪ／ｃｍ2でプロキシミティ露光した。
【０１７０】
続いて、２．３８％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を、シャワー式現像装置にて３３℃で３０秒間基板に噴霧しながら現像した。こうして、感光性樹脂層の不要部（露光部）を現像除去することにより、カラーフィルター側基板上に、所望の形状にパターニングされた感光性樹脂層よりなる液晶配向制御用突起が形成された液晶表示装置用基板を得た。
【０１７１】
次いで、該液晶配向制御用突起が形成された液晶表示装置用基板を２３０℃下で３０分ベークすることにより、液晶表示装置用基板上に硬化された液晶配向制御用突起を形成した。
＜ポジ型感光性樹脂層用塗布液処方＞
・ポジ型レジスト液（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製ＦＨ−２４１３Ｆ）：５３．３部
・メチルエチルケトン：４６．７部
・メガファックＦ−７８０Ｆ（大日本インキ化学工業（株）製）：０．０４部
（液晶表示装置の作製）
上記で得られた液晶表示装置用基板を用いて、特開平１１−２４２２４３号公報の第一実施例［００７９］〜［００８２］に記載の方法を用いて、液晶表示装置１〜８を作製した。
（評価）
得られた液晶表示装置１〜８を白表示した場合、及び、黒表示した場合の表示品位を目視で観察した。その結果を表２にす。
【０１７２】
【表２】
2007052748.tif 000007
【０１７３】
表２から明らかな通り、実施例１〜６で作製したカラーフィルターを備えた液晶表示装置１〜６の画面は、いずれも混色が無く良好な画面であった。比較例１及び２で作製したカラーフィルターを備えた液晶表示装置７及び８は、白表示、黒表示状態共に、やや赤味かかった表示であり、表示品位が劣るものであった。
【産業上の利用の可能性】
【０１７４】
濃度ムラが改善されたインクジェットカラーフィルターを製造する為に有用なインクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板及びその製造方法、該インクジェットカラーフィルター用隔壁付き基板を有するカラーフィルター及びその製造方法、並びに、該カラーフィルターを有する液晶表示装置を提供することができる。
日本出願２００５−３２００６１の開示はその全体が参照により本明細書に取り込まれる。
【国際調査報告】
2007052748.tif 000008
2007052748.tif 000009