【手続補正書】
【提出日】平成19年5月21日(2007.5.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  原版を保持して移動する原版ステージと、基板を保持して移動する基板ステージと、該原版からの光を投影する投影光学系と、該基板に関してフォーカス計測を行う計測手段と、を有し、前記原版ステージと前記基板ステージとを走査し、該走査されている基板ステージに保持された基板のショット領域に関して前記計測手段によりフォーカス計測値を得、かつ該フォーカス計測値に対応した目標値にしたがって前記基板ステージを移動させながら、該走査されている原版ステージに保持された原版と前記投影光学系とを介して該ショット領域を露光する露光装置であって、
該フォーカス計測値と許容値とに基づき、フォーカスに関する規格精度が達成されるか否かを判断し、
該規格精度が達成されないと判断された場合には、該ショット領域の露光を継続し、かつ該ショット領域がエラーショット領域であることを表示する、
ことを特徴とする露光装置。
【請求項２】  原版を保持して移動する原版ステージと、基板を保持して移動する基板ステージと、該原版からの光を投影する投影光学系と、を有し、前記原版ステージを走査し、かつ前記基板ステージに保持された基板のショット領域のＸＹ方向の位置を同期制御しながら、該走査されている原版ステージに保持された原版と前記投影光学系とを介して該ショット領域を露光する露光装置であって、
該同期制御に関する規格精度が達成されるか否かを判断し、
該規格精度が達成されないと判断された場合には、該ショット領域の露光を継続し、かつ該ショット領域がエラーショット領域であることを表示する、
ことを特徴とする露光装置。
【請求項３】  原版を保持して移動する原版ステージと、基板を保持して移動する基板ステージと、該原版からの光を投影する投影光学系と、を有し、前記原版ステージと前記基板ステージとを走査し、かつ該走査された基板ステージに保持された基板のショット領域の露光量の制御を行いながら、該走査されている原版ステージに保持された原版と前記投影光学系とを介して該ショット領域を露光する露光装置であって、
該露光量制御に関する規格精度が達成されるか否かを判断し、
該規格精度が達成されないと判断された場合には、該ショット領域の露光を継続し、かつ該ショット領域がエラーショット領域であることを表示する、
ことを特徴とする露光装置。
【請求項４】  該ショット領域を露光した後、該基板の露光処理を中断し、オペレータに該中断後の処理を選択させるための表示を行う、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の露光装置。
【請求項５】  該中断は、該規格精度が達成されないと判断されたショット領域の数に基づいて行う、ことを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】  該規格精度が達成されないと判断された場合であっても、該ショット領域の露光が開始されていないときには、該ショット領域の露光を開始させないようにする、ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の露光装置。
【請求項７】  該ショット領域の露光を開始させないようにした後、該ショット領域の露光を再度試みる、ことを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】  該ショット領域の露光を再度試み、該ショット領域の露光が開始される前に該規格精度が達成されないと判断された場合には、該ショット領域を露光し、かつ該ショット領域がエラーショット領域であることを表示する、ことを特徴とする請求項７に記載の露光装置。
【請求項９】  該規格精度が達成されるか否かは、該ショット領域内の複数の計測点に関する該フォーカス計測値から算出される、該フォーカス計測値の平均値、該フォーカス計測値のばらつき、および該ショット領域の傾斜量の少なくとも１つに基づいて判断する、ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項１０】  原版を保持して移動する原版ステージと、基板を保持して移動する基板ステージと、該原版からの光を投影する投影光学系と、該基板に関してフォーカス計測を行う計測手段と、を有し、前記原版ステージと前記基板ステージとを走査し、該走査されている基板ステージに保持された基板のショット領域に関して前記計測手段によりフォーカス計測値を得、かつ該フォーカス計測値に対応した目標値にしたがって前記基板ステージを移動させながら、該走査されている原版ステージに保持された原版と前記投影光学系とを介して該ショット領域を露光する露光装置であって、
該フォーカス計測値に基づき、該ショット領域を規定のフォーカス位置決め精度内に追い込めるか否かを判断し、
該ショット領域を規定のフォーカス位置決め精度内に追い込めないと判断された場合には、該ショット領域の露光を継続し、かつ該ショット領域がエラーショット領域であることを表示する、
ことを特徴とする露光装置。
【請求項１１】  該目標値を固定して該ショット領域の露光を継続する、ことを特徴とする請求項１、９または１０に記載の露光装置。
【請求項１２】  請求項１乃至１１のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、該露光された基板を現像するステップと、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、エラーショットの、その周辺ショットに対する影響を最小限に抑えることを課題とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明に係る第１の露光装置は、原版を保持して移動する原版ステージと、基板を保持して移動する基板ステージと、該原版からの光を投影する投影光学系と、該基板に関してフォーカス計測を行う計測手段と、を有し、前記原版ステージと前記基板ステージとを走査し、該走査されている基板ステージに保持された基板のショット領域に関して前記計測手段によりフォーカス計測値を得、かつ該フォーカス計測値に対応した目標値にしたがって前記基板ステージを移動させながら、該走査されている原版ステージに保持された原版と前記投影光学系とを介して該ショット領域を露光する露光装置であって、該フォーカス計測値と許容値とに基づき、フォーカスに関する規格精度が達成されるか否かを判断し、該規格精度が達成されないと判断された場合には、該ショット領域の露光を継続し、かつ該ショット領域がエラーショット領域であることを表示する、ことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明に係る第２の露光装置は、原版を保持して移動する原版ステージと、基板を保持して移動する基板ステージと、該原版からの光を投影する投影光学系と、を有し、前記原版ステージを走査し、かつ前記基板ステージに保持された基板のショット領域のＸＹ方向の位置を同期制御しながら、該走査されている原版ステージに保持された原版と前記投影光学系とを介して該ショット領域を露光する露光装置であって、該同期制御に関する規格精度が達成されるか否かを判断し、該規格精度が達成されないと判断された場合には、該ショット領域の露光を継続し、かつ該ショット領域がエラーショット領域であることを表示する、ことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明に係る第３の露光装置は、原版を保持して移動する原版ステージと、基板を保持して移動する基板ステージと、該原版からの光を投影する投影光学系と、を有し、前記原版ステージと前記基板ステージとを走査し、かつ該走査された基板ステージに保持された基板のショット領域の露光量の制御を行いながら、該走査されている原版ステージに保持された原版と前記投影光学系とを介して該ショット領域を露光する露光装置であって、該露光量制御に関する規格精度が達成されるか否かを判断し、該規格精度が達成されないと判断された場合には、該ショット領域の露光を継続し、かつ該ショット領域がエラーショット領域であることを表示する、ことを特徴とする。
本発明に係る第４の露光装置は、原版を保持して移動する原版ステージと、基板を保持して移動する基板ステージと、該原版からの光を投影する投影光学系と、該基板に関してフォーカス計測を行う計測手段と、を有し、前記原版ステージと前記基板ステージとを走査し、該走査されている基板ステージに保持された基板のショット領域に関して前記計測手段によりフォーカス計測値を得、かつ該フォーカス計測値に対応した目標値にしたがって前記基板ステージを移動させながら、該走査されている原版ステージに保持された原版と前記投影光学系とを介して該ショット領域を露光する露光装置であって、該フォーカス計測値に基づき、該ショット領域を規定のフォーカス位置決め精度内に追い込めるか否かを判断し、該ショット領域を規定のフォーカス位置決め精度内に追い込めないと判断された場合には、該ショット領域の露光を継続し、かつ該ショット領域がエラーショット領域であることを表示する、ことを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
【発明の効果】
本発明により、エラーショットの、その周辺ショットに対する影響を最小限にすることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
【発明の好ましい実施の形態】
本発明の好ましい実施の形態において、本発明は走査型の露光装置に適用される。本実施形態に係る露光装置は、原版を保持して移動する原版ステージと、基板を保持して移動する基板ステージと、該原版からの光を投影する投影光学系と、を有する。そして、前記原版ステージと前記基板ステージとを走査し、該走査されている原版ステージに保持された原版と前記投影光学系とを介して該ショット領域を露光する。この露光装置は、また、該基板に関してフォーカス計測を行う計測手段を有し、該フォーカス計測値と許容値とに基づき、フォーカスに関する規格精度が達成されるか否かを判断する。または、前記原版ステージを走査し、かつ基板ステージに保持された基板のショット領域のＸＹ方向の位置を同期制御し、該同期制御に関する規格精度が達成されるか否かを判断する。あるいは、前記原版ステージと前記基板ステージとを走査し、かつ該走査された基板ステージに保持された基板のショット領域の露光量の制御を行い、該露光量制御に関する規格精度が達成されるか否かを判断する。そして、いずれかの該規格精度が達成されないと判断された場合には、該ショット領域の露光を継続し、かつ該ショット領域がエラーショット領域であることを表示する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明においては、該ショット領域を露光した後、該基板の露光処理を中断し、オペレータに該中断後の処理を選択させるための表示を行う、ことが好ましい。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、該中断は、該規格精度が達成されないと判断されたショット領域の数に基づいて行う、ことが好ましい。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、該規格精度が達成されないと判断された場合であっても、該ショット領域の露光が開始されていないときには、該ショット領域の露光を開始させないようにする、ことが好ましい。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、該ショット領域の露光を開始させないようにした後、該ショット領域の露光を再度試みることができる、ことが好ましい。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
また、該ショット領域の露光を再度試み、該ショット領域の露光が開始される前に該規格精度が達成されないと判断された場合には、例えば、該ショット領域を露光し、かつ該ショット領域がエラーショット領域であることを表示する、ことができる。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
また、フォーカスに関する規格精度が達成されるか否かは、例えば、該ショット領域内の複数の計測点に関する該フォーカス計測値から算出される、該フォーカス計測値の平均値、該フォーカス計測値のばらつき、および該ショット領域の傾斜量の少なくとも１つに基づいて判断する、ことができる。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
また、フォーカスに関する規格精度が達成されないと判断され該ショット領域の露光を継続する場合には、前記目標値を固定して該ショット領域の露光を継続する、ことが好ましい。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
本発明のデバイス製造方法は、前記露光装置を用いて基板を露光するステップと、該露光された基板を現像するステップと、を有することを特徴とする。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
本発明を適用した上述の実施例によれば、プロセス要因でウエハ平面度の欠陥があった場合には、強制露光が可能であることから、エッチング時に、周辺に正常に露光されたショットに及ぼす影響を最小限にすることができる。そのため、ウエハの歩留まりが向上する。