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【手続補正書】
【提出日】平成19年1月26日(2007.1.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
周波信号が印加された電気−機械エネルギー変換素子により振動が励起される振動体とこの振動体に接触する接触体とを前記振動により相対駆動する振動型駆動装置を複数有するとともに、これら複数の振動型駆動装置から回転伝達系を介して回転が伝達される出力軸を有し、
前記複数の振動型駆動装置は個体差を有し、前記複数の振動型駆動装置のそれぞれに同じ周波数を有する周波信号を印加し、前記周波数を変更することにより前記出力軸の回転数制御を行う駆動制御手段を設けたことを特徴とする振動型駆動装置を用いた出力装置。
【請求項２】
前記回転伝達系がギヤ、ローラ、あるいは、ベルトを用いて構成されていることを特徴とする請求項１に記載の振動型駆動装置を用いた出力装置。
【請求項３】
出力軸方向視において、前記回転伝達系のうち前記出力軸側の構成部材の外側に前記複数の振動型駆動装置を配置したことを特徴とする請求項１または２に記載の振動型駆動装置を用いた出力装置。
【請求項４】
出力軸方向視において、前記回転伝達系のうち前記出力軸側の構成部材の内側に前記複数の振動型駆動装置を配置したことを特徴とする請求項１または２に記載の振動型駆動装置を用いた出力装置。
【請求項５】
前記出力軸の回転数を検出する回転検出手段を有し、
前記駆動制御手段は、前記回転検出手段により検出された回転数に応じて前記周波信号の周波数を制御することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の振動型駆動装置を用いた出力装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の出力装置を駆動源として備えたことを特徴とする装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明では、周波信号が印加された電気−機械エネルギー変換素子により振動が励起される振動体とこの振動体に接触する接触体とを上記振動により相対駆動する振動型駆動装置を複数設けるとともに、これら複数の振動型駆動装置から回転伝達系を介して回転が伝達される出力軸を設け、個体差を有する上記複数の振動型駆動装置のそれぞれに同じ周波数を有する周波信号を印加し、周波数を変更することにより出力軸の回転数制御を行う駆動制御手段を設けて出力装置を構成している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
両振動型モータ１，２に周波数ｆ１の周波信号を印加した場合において、これらモータ１，２の回転数がそれぞれＮ１，Ｎ２であり、個体差によってＮ１＞Ｎ２の関係が生じたとすると、モータ１のギヤは出力ギヤ３における増速側の歯面に当たり、モータ２のギヤは出力ギヤ３における減速側の歯面に当たる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
なお、上記各実施形態では、図３、４に示すように、出力軸の方向から見たときに（言い換えれば、出力軸方向視において）、出力ギヤ１３の外側に、２つの振動型モータ１１，１６を配置した場合について説明したが、出力ギヤの内側に各振動型モータを配置するようにしてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、振動型駆動装置は高精度の位置決め性能や高い位置保持性能を有するが、複数の振動型駆動装置を１つの出力軸に連結していることで、個々の振動型駆動装置と出力軸との間の回転伝達系にガタがあっても上記性能を損なうことがない。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
さらに、単体の振動型駆動装置によって大きな出力を得ようとすると、その出力軸を太くして剛性を確保する必要が生ずるが、本発明のように複数の振動型駆動装置の出力を合わせて大きな出力を得るようにすれば、個々の振動型駆動装置の出力軸径を太くする必要がなくなる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2001205190.tif 000001
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2001205190.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月20日(2006.12.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ポリエチレンナフタレートフィルムと、その少なくとも片側面に形成された離形層とからなる保護フィルムであって、ポリエチレンナフタレートフィルムの溶融粘度が少なくとも５６０Ｐａ・ｓで、且つ、中心線平均表面粗さ（Ｒａ）が高々２〜５０ｎｍの範囲にあることを特徴とするプリプレグ用保護フィルム。
【請求項２】  プリプレグ用保護フィルムの１．５７ＭＰａ応力下での１５０℃における寸法変化率の絶対値が、該フィルムの長手方向および幅方向ともに、高々０．２％である請求項１記載のプリプレグ用保護フィルム。
【請求項３】  ポリエチレンナフタレートフィルムを構成するポリマーの全ジカルボン酸残基の少なくとも９０モル％が、ナフタレンジカルボン酸残基である請求項１記載のプリプレグ用保護フィルム。
【請求項４】  ポリエチレンナフタレートフィルムが、不活性粒子を０．００５〜５重量％含有する請求項１記載のプリプレグ用保護フィルム。
【請求項５】  離形層が、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、アルキッド樹脂、アクリル樹脂、ニトロセルロースおよびセルロース系樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種である請求項１記載のプリプレグ用保護フィルム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
このような表面粗さのポリエチレンナフタレートは、従来公知の方法で製造できるが、不活性粒子を、その重量を基準として、０．００５〜５重量％、特に０．０５〜２重量％の範囲で含んでいることが好ましい。不活性粒子の割合が０．００５重量％未満では、前記の表面粗さ（Ｒａ）を２ｎｍ以上にし難く、他方、５重量％を越えると、前記の表面粗さ（Ｒａ）を５０ｎｍ以下にし難い。なお、本発明でいう不活性粒子は、シリカ、アルミナ、カオリン、炭酸カルシウム、酸化チタン、硫酸バリウムもしくはカーボンブラックなどの無機粒子、または、架橋アクリル樹脂、架橋ポリスチレン樹脂、メラミン樹脂もしくは架橋シリコーン樹脂などの有機微粒子が挙げられ、特に球状もしくは多孔質のシリカ粒子が好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成19年11月5日(2007.11.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ジッパー閉止部材とスライダ装置とを備える再閉止可能な包装材の製造方法であって：
（a）第１の閉止プロフィルと第２の閉止プロフィルとを有する閉止構造を提供するステップと；
（b）前記閉止構造上に取付けられるとともに、前記スライダ装置を第１の方向に移動させるとき前記第１の閉止プロフィルを前記第２の閉止プロフィルに係合させ、前記スライダ装置を第２の逆方向に移動させるとき前記第１の閉止プロフィルを前記第２の閉止プロフィルから離脱させるように構成され、編成されるスライダ装置を提供するステップと；
（c）前記スライダ装置を前記閉止構造へ取付けるステップと；
（d）前記スライダ装置が取付けられている前記閉止構造を第１のフィルムパネルと第２のフィルムパネルとの間で直線的に移動させるステップと；
（e）前記スライダ装置が取付けられている前記閉止構造を再シール可能な包装材に組み込むステップと；
を有する方法。
【請求項２】
ジッパー閉止部材とスライダ装置とを備える再閉止可能な包装材の製造および充填方法であって：
（a）第１の閉止プロフィルと第２の閉止プロフィルとを有する閉止構造を提供するステップと；
（b）前記閉止構造上に取付けられるとともに、前記スライダ装置を第１の方向に移動させるとき前記第１の閉止プロフィルを前記第２の閉止プロフィルに係合させ、前記スライダ装置を第２の逆方向に移動させるとき前記第１の閉止プロフィルを前記第２の閉止プロフィルから離脱させるように構成され、編成されるスライダ装置を提供するステップと；
（c）前記スライダ装置を前記閉止構造へ取付けるとともに、前記スライダ装置が取付けられている前記閉止構造を直線的に移動させることによって、前記スライダ装置が取付けられている前記閉止構造を第１のフィルムパネルと第２のフィルムパネルとを有する再シール可能な包装材に組み込み、前記再シール可能な包装材は少なくとも一つの未シールシームを有するステップと；そして、
（d）前記再シール可能な包装材に内容物を充填するステップと；
を有する方法。
【請求項３】
ジッパー閉止部材とスライダ装置とを備える再閉止可能な包装材の製造方法であって：
（a）第１の閉止プロフィルと第２の閉止プロフィルとを有する閉止構造を提供するステップと；
（b）前記閉止構造上に取付けられるとともに、前記スライダ装置を第１の方向に移動させるとき前記第１の閉止プロフィルを前記第２の閉止プロフィルに係合させ、前記スライダ装置を第２の逆方向に移動させるとき前記第１の閉止プロフィルを前記第２の閉止プロフィルから離脱させるように構成され、編成されるスライダ装置を提供するステップと；
（c）前記スライダ装置を前記閉止構造へ取付けるステップと；
（d）フィルムウェブをＶボードにかぶせるように通過させるステップと；
（e）前記フィルムウェブを切り裂いて、第１のフィルムパネルと第２のフィルムパネルとを提供するステップと；
（f）前記スライダ装置が取付けられている前記閉止構造を第１のフィルムパネルと第２のフィルムパネルとの間で直線的に移動させるステップと；および、
（g）前記スライダ装置が取付けられている前記閉止構造を再シール可能な包装材に組み込むステップと；
を有する方法。
【請求項４】
ジッパー閉止部材とスライダ装置とを備える再閉止可能な包装材の製造方法であって：
（a）第１の閉止プロフィルと第２の閉止プロフィルとを有する閉止構造を提供するステップと；
（b）前記閉止構造上に取付けられるとともに、前記スライダ装置を第１の方向に移動させるとき前記第１の閉止プロフィルを前記第２の閉止プロフィルに係合させ、前記スライダ装置を第２の逆方向に移動させるとき前記第１の閉止プロフィルを前記第２の閉止プロフィルから離脱させるように構成され、編成されるスライダ装置を提供するステップと；
（c）前記スライダ装置を前記閉止構造へ取付けるステップと；
（d）前記スライダ装置が取付けられている前記閉止構造を第１のフィルムパネルと第２のフィルムパネルとの間で直線的に移動させるステップと；
（e）前記スライダ装置が取付けられている前記閉止構造を再シール可能な包装材に組み込むステップと；
（f）前記スライダ装置の上方に不正行為証拠構造を形成するステップと；
を有する方法。
【請求項５】
前記請求項１ないし３のいずれかによる方法であって、更に：
（a）前記スライダ装置がアクセスされたか否かを表示する不正行為証拠構造を前記スライダ装置の上方に用意するステップと；
を有する方法。
【請求項６】
前記請求項１ないし５のいずれかによる方法であって、前記スライダ装置が取付けられている前記閉止構造を再シール可能な包装材に組み込むステップが：
（a）前記スライダ装置が取付けられている前記閉止構造をＶボードのスロットに通すステップと；
（b）前記スライダ装置が取付けられている前記閉止構造を、第１と第２のフィルムパネルの間に位置決めされるスライダーガイドに通し、前記第１の閉止プロフィルの一部を前記スライダーガイドの分離フィンの第１の側の上に通し、前記第２の閉止プロフィルの一部を前記分離フィンの第２の側の上に通すステップと；
を有する方法。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかの方法によって作成される再閉止可能包装材。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
留められたスライダ装置３０を持つジッパー閉止部材２０は、フィルム２１０の両半分２５１、２５２の間へ供給される。一対のガイドまたはフィンガ（不図示）を用いて、フィルムの両半分２５１、２５２を分け広げて、組み合わされたジッパー閉止部材２０とスライダ装置３０とが、その間を通りやすくしてもよい。このようにすれば、組み合わされたジッパー閉止部材２０とスライダ装置３０とが、フィルムの両半分２５１、２５２の間を曲がったりローラの周りを通ったりして進む必要がない。すなわち、組み合わされたジッパー閉止部材２０とスライダ装置３０とは、スライダ装置３０がジッパー閉止部材２０に取付けられる点から、組み合わされたジッパとスライダとがフィルムの両半分２５１、２５２に取付けられる点まで、直線形状に移動することができる。一旦フィルムの両半分２５１、２５２に取付けられたら、直線形状（すなわち曲がりや転向がない状態）を維持することが望ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月24日(2006.11.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】制振装置およびこれを用いた露光装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  慣性マスの駆動反力によって構造部材の振動を抑制する制振装置にお
いて、前記慣性マスは磁気軸受によって駆動案内されることを特徴とする制振装置。
【請求項２】  前記構造部材の振動を計測する振動センサが設けられ、前記振動センサの出力に応動した前記慣性マスの揺動によって、前記構造部材の振動が抑制されることを特徴とする請求項１に記載の制振装置。
【請求項３】  前記慣性マスを支持するための電磁石と、前記慣性マスの変位を計測する変位センサが設けられ、前記変位センサの出力に応動した電磁石の磁気吸引によって、前記慣性マスが空間に支持されることを特徴とする請求項１または２に記載の制振装置。
【請求項４】  前記慣性マスを空間に支持するアクチュエータとして、前記電磁石とともに永久磁石を併用することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の制振装置。
【請求項５】  前記慣性マスが３軸方向に変位するものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の制振装置。
【請求項６】  請求項１〜５のいずれかに記載の制振装置を備え、該制振装置を用いて位置決めステージ装置に伝達する振動を抑制することを特徴とする露光装置。
【請求項７】  請求項６記載の露光装置を用いてウェハを露光する工程と、
前記ウェハを現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するための本発明の制振装置は、慣性マスの駆動反力によって構造部材の振動を抑制する制振装置において、前記慣性マスは磁気軸受によって駆動案内されることを特徴とする。
本装置では、構造部材の振動を計測する振動センサが設けられることが好ましく、振動センサの出力に応動した慣性マスの揺動によって、構造部材の振動が抑制される。
また、前記慣性マスを支持するための電磁石と、慣性マスの変位を計測する変位センサが設けられることが好ましく、前記変位センサの出力に応動した電磁石の磁気吸引によって、前記慣性マスが空間に支持される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
さらに、本発明の露光装置は、上述の制振装置を備え、該制振装置を用いて位置決めステージ装置に伝達する振動を抑制することを特徴とする。
さらに、本発明のデバイス製造方法は、前記露光装置を用いてウェハを露光する工程と、
前記ウェハを現像する工程とを備えることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月11日(2006.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光部からの検出光を受光部で受けて信号を出力するフォトセンサにおいて、
前記発光部と前記受光部との間に、径方向に貫通して、前記検出光を通過させるための開口部を形成した軸部材を配置し、
前記軸部材を回転させて前記開口部を通して前記受光部にて受光される光量を変化させることにより信号出力レベルを変化させることを特徴とするフォトセンサ。
【請求項２】
請求項１に記載のフォトセンサを用いるとともに、
前記軸部材を検出対象物の動きに連動させて回転させ、該軸部材の回転に伴って変化する信号出力レベルに基づいて前記検出対象物の移動位置又は移動方向を検出することを特徴とする移動検出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の移動検出装置を備えたことを特徴とする機器。
【請求項４】
請求項２に記載の移動検出装置を備えたことを特徴とするカメラ。
【請求項５】
前記検出対象物が、開閉動作して撮影光路面積を変化させる遮光部材であることを特徴とする請求項４に記載のカメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明では、発光部からの検出光を受光部で受けて信号を出力するフォトセンサ（フォトインタラプタ等）において、発光部と受光部との間に、径方向に貫通して、前記検出光を通過させるための開口部を形成した軸部材を配置し、この軸部材を回転させて開口部を通して受光部にて受光される光量を変化させることにより信号出力レベルを変化させるようにしている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
すなわち、発光部と受光部との間の光路上に、上記開口部を有する軸部材を配置し、検出対象物に連動させて軸部材を上記光路上で回転させることで検出対象物の移動位置又は移動方向を検出できるようにしている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、発光部と受光部との間の光路上に、径方向に貫通して、検出光を通過させるための開口部を有する軸部材を配置し、検出対象物に連動させて軸部材を上記光路上で回転させることで、受光部への受光量を変化させてフォトセンサ出力レベルを変化させ、検出対象物の移動位置や移動方向を検出できるようにしているので、フォトセンサ、さらにはこれを用いた移動検出装置や機器のコンパクト化を図ることができる。しかも、発光部および受光部に対する軸部材の配置位置のずれがフォトセンサ出力に与える影響が小さいため、従来のセンサほど高い部品寸法精度や組立精度が要求されることをなくすることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2001153606.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成19年9月25日(2007.9.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  コンポーネントの位置を検出する装置であって、この装置は、
ａ）ミキサ（１２７）を介して基準ブランチ（１０５）及び計測ブランチ（１０３）内に注入可能であるビームを生成するための光源（１２３）を具備した前記基準ブランチは、互いに対向すると共にそれらの相対的な配列を維持しつつ回転シャフトを中心として回転できるように構成された２つの反射表面（７、１０７）の形態における回転ミラー構成（１０２）とした干渉計構成（１、１０１）と、
ｂ）計測放射を伝送するべく前記コンポーネントに対して堅固に接続され、前記計測放射は、前記計測ブランチ（１０３）を介して球面波（１３７）の形態においてレシーバ（１３４）に伝達され、前記レシーバ（１３４）は、前記受信した放射を前記計測ブランチ（１０３）を介して前記ミキサ（１２７）に再度伝達するよう構成したトランスミッタ（１３３）と、
ｃ）前記計測ブランチ（１０３）及び前記基準ブランチ（１０５）からの前記ミキサ（１２７）内において重畳された前記戻ってきた放射の干渉を検出するための検出器と、
から成ることを特徴とする装置。
【請求項２】  前記トランスミッタ（１３３）から前記レシーバ（１３４）上に放出された前記球面波（１３７）の入射部分を反射するべく、反射器球面（１３５）が提供されることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項３】  スーパールミネッセンスダイオード（１２５）が前記光源（１２３）として提供されることを特徴とする請求項１又は２記載の装置。
【請求項４】  前記放射は、好ましくはモノモードファイバから構成された光ファイバである光ファイバ（１０７）を使用することにより、前記基準ブランチ（１０５）及び前記計測ブランチ（１０３）内において導波されることを特徴とする前項までの請求項１乃至３のいずれか一項記載の装置。
【請求項５】  前記反射器球面（１３５）は、前記入射放射を合焦するべく設計されていることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか一項記載の装置。
【請求項６】  前記回転ミラー構成（２，１０２）の反射面（７，１１３）に回転駆動部（１１１）が付設されていることを特徴とする請求項１乃至５いずれか一項記載の干渉計。
【請求項７】  前記回転ミラー構成（２，１０２）の反射面（７，１１３）が少なくとも９０％の反射率を有していることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項記載の干渉計。
【請求項８】  反射面が互いに対向しあって一定の間隔で配置され、且つ互いに平行に配置され、回転ミラー構成（２，１０２）を有する干渉計において、反射面（７，１１３）によって光線誘導体（１３）が形成され、光線誘導体（１３）は前部開口部（３１）と後部開口部（３３）とを有し、回転軸（９）が前部開口部（３１）の領域に配置されていることを特徴とする前記請求項１乃至７のいずれか一項に記載の干渉計。
【請求項９】  前記回転ミラー構成（２，１０２）の光線誘導体（１３）が回転軸（９）と固定結合されていることを特徴とする前記請求項１乃至８のいずれか一項に記載の干渉計。
【請求項１０】  前記回転ミラー構成（２，１０２）の反射面（７，１１３）にエンドミラー（１５，１１５）が付設され、エンドミラー（１５，１１５）は、光線誘導体（１３）にカップリングされる参照分岐路（５，１０５）またはミラー（１１３）の間で反射させられる参照分岐路（５，１０５）の光線に対し垂直に配置されていることを特徴とする前記請求項１乃至５のいずれか一項に記載の干渉計。
【請求項１１】  前記回転ミラー構成（２，１０２）のエンドミラー（１５，１１５）を並進運動させることができることを特徴とする前記請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の干渉計。
【請求項１２】  前記回転ミラー構成（２，１０２）のエンドミラー（１５，１１５）が、少なくとも調整距離（１７，１１７）２＊Ｄだけ、カップリングされるべき光線に対し垂直に走行可能であり、ここでＤは反射面（７，１１３）の間の最大間隔であることを特徴とする前記請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の干渉計。
【請求項１３】  前記回転ミラー構成（２，１０２）のエンドミラー（１５，１１５）が無段階に走行可能であることを特徴とする前記請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の干渉計。
【請求項１４】  前記端部ミラーは、特に平行移動プラットフォームを含む検流計によって移動可能であることを特徴とする前記請求項１乃至１３のいずれか一項記載の装置。
【請求項１５】  前記ビーム（４）の前記ビーム導体（１３）内への前記入射角度範囲（１９）は、１２°〜３０°であることを特徴とする前記請求項１乃至１４のいずれか一項記載の装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年6月21日(2007.6.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  吸光分光測定セル中の光学部品への付着を防止する方法であり、
前記セルに導入されたサンプルガスに対して吸光分光測定を実行し、
前記光学部品の重要表面上を横切るように、重要表面に隣接して配置された浄化ガス取り入れパイプの取り入れ口から前記重要表面への付着を防止する効果的な速度で浄化ガスの流れを導入すること、
を含み、前記浄化ガスは、約５〜１００ｓｃｃｍの流量で浄化ガス取り入れパイプから導入される、方法。
【請求項２】  前記重要表面上を横切るように導入される前記浄化ガスの流れは、パルス化されている、請求項１に記載の方法。
【請求項３】  前記光学部品は、ミラーである、請求項１もしくは２に記載の方法。
【請求項４】  前記セルは、エリオットタイプのセルである、請求項１ないし３のいずれか１に記載の方法。
【請求項５】  前記浄化ガスは、前記光学部品の中心軸から前記光学部品の外部周辺部に向かう方向で前記重要表面上を横切るように流れる、請求項１ないし４のいずれか１に記載の方法。
【請求項６】  前記浄化ガス取り入れ口は、前記浄化ガスが流れる際に通過する複数の浄化ガス注入オリフィスを備える、請求項１ないし５のいずれか１に記載の方法。
【請求項７】  前記複数の浄化ガス注入オリフィスは、前記重要表面の上部に配置されていて、前記浄化ガスを、前記重要表面に対して実質的に平行な方向に射出する、請求項６に記載の方法。
【請求項８】  前記ガス取り入れ口が円形の断面形状であり、また、前記複数の浄化ガス注入オリフィスは、前記浄化ガス取り入れ口の周辺に沿って実質的に等間隔に分布されている、請求項６もしくは７に記載の方法。
【請求項９】  前記浄化ガスは、窒素、アルゴン、ネオン、ヘリウム及びこれらの組合せから成る群から選択された不活性ガスである、請求項１ないし８のいずれか１に記載の方法。
【請求項１０】  前記浄化ガスが、反応性ガス又は、反応性ガスと不活性ガスの組合せである、請求項１ないし８のいずれか１に記載の方法。
【請求項１１】  前記反応性ガスが、酸素又は水素である、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】  前記光学部品の前記重要表面を約５０〜１５０℃の温度に加熱することをさらに含む、請求項１ないし１１のいずれか１に記載の方法。
【請求項１３】  前記サンプルガスは、前記セルにサンプルガス取り入れ口から導入され、前記セルからサンプルガス取り出し口を介して除去され、これによって、前記セル内での前記サンプルガスの流路を設定し、また、前記光学部品の前記重要表面は、前記流路から後退している、請求項１ないし１２のいずれか１に記載の方法。
【請求項１４】  前記サンプルガスは、半導体処理チャンバからサンプルガス取り入れ口を介して前記セルに導入される、請求項１ないし１２のいずれか１に記載の方法。
【請求項１５】  吸光分光測定セルにおいて役立つ光学部品への付着を防止する装置であって、浄化ガスの流れを前記光学部品の重要表面上を横切るように、前記重要表面への付着を防止するのに効果的な速度で導入する浄化ガス取り入れパイプを備え、この浄化ガス取り入れパイプのガス取り入れ口が前記重要表面に隣接して配置され、前記浄化ガス取り入れパイプが、前記浄化ガスが流れる際に通過する複数の浄化ガス注入オリフィスを含んでいる、装置。
【請求項１６】  前記重要表面上を横切るように導入される前記浄化ガスの流れをパルス化する手段をさらに備える、請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】  前記ガス取り入れ口は、光学部品の中心軸に沿って配置され、このため、前記浄化ガスが前記中心軸から前記光学部品の外部周辺部に向かう方向に前記重要表面上を横切るように流れる、請求項１５もしくは１６に記載の装置。
【請求項１８】  前記複数の浄化ガス注入オリフィスは、前記重要表面の上部に配置されていて、前記浄化ガスを、前記重要表面に対して実質的に平行な方向に射出する、請求項１５ないし１７のいずれか１に記載の装置。
【請求項１９】  前記ガス取り入れ口は、円形の断面形状であり、また、前記複数の浄化ガス注入オリフィスが、前記ガス注入器の周辺に沿って実質的に等間隔に分布している、請求項１５ないし１８のいずれか１に記載の装置。
【請求項２０】  前記浄化ガスの流れを前記ガス取り入れ口から前記重要表面上に方向付けする流れ方向付け装置をさらに備える、請求項１５ないし１９のいずれか１記載の装置。
【請求項２１】  前記流れ方向付け装置が、前記重要表面と前記ガス注入オリフィスの上部に配置される、請求項１５ないし２０のいずれか１に記載の装置。
【請求項２２】  前記光学部品がミラーである、請求項１５ないし２１のいずれか１に記載の装置。
【請求項２３】  前記光学部品の前記重要表面を加熱するヒーターをさらに備える、請求項１５ないし２２のいずれか１に記載の装置。
【請求項２４】  前記光学部品を置くための段をさらに備え、また、前記ヒーターが前記段に接続されている、請求項２３に記載の装置。
【請求項２５】  サンプルガス取り入れ口と、サンプルガス取り出し口と、サンプル領域と、を備え、入光ポートと出光ポートが同じであるか又は別々のポートであり、また、前記ポートの各々が前記サンプル領域と光学的に連通していて、光透過性ウインドウを含み、
請求項１５ないし２４のいずれか１に記載の、光学部品への付着防止用の前記装置を備える、吸光分光測定で役立つ測定セル。
【請求項２６】  前記取り入れ口と前記取り出し口が、前記サンプルガスが前記セルを通過するための流路を設定し、また、前記光学部品の前記重要表面が前記流路から後退している、請求項２５に記載の測定セル。
【請求項２７】  請求項２５に記載の測定セルと、前記入光ポートから前記セルに入射する光線を発生する光源と、前記出光ポートから前記セルを出る前記光線を測定する検出器とを備える吸光分光測定装置。
【請求項２８】  前記吸光分光測定装置がチューニング式ダイオードレーザ吸光分光測定装置、空洞内分光測定装置又は空洞リングダウン分光測定装置である、請求項２７に記載の装置。
【請求項２９】  基板処理チャンバ及び前記基板処理チャンバに接続された排出ラインを含む半導体処理装置と、
前記請求項２７もしくは２８に記載の吸光分光測定用の装置と、
を備える半導体処理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年8月17日(2007.8.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下の要件（１）〜（５）を同時に満たすことを特徴とするオレフィン系重合体粒子。（１）ＧＰＣで測定した分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）が４．０以下であること、
（２）重合体粒子の最小粒径が３μｍ以上であり、平均粒径が２０μｍ以上であること、（３）重合体粒子の灰分が２０００重量ｐｐｍ以下であること、
（４）重合体粒子のＳｉ含量が１０重量ｐｐｍ以下であること、
（５）重合体粒子が、アルミノキサンと下記一般式〔Ｉ〕で表わされるジオール化合物との接触物を含むこと。
Ｈ−Ｏ−Ｒ1−Ｏ−Ｈ …〔Ｉ〕
（上記一般式〔Ｉ〕において、Ｒ1は炭素数１〜２０のアルキレン基であり、炭素と結合
する一つ以上の水素原子が、アリール基、ハロゲン原子、ハロゲン含有炭化水素基またはアシル基で置換されていてもよい。）
【請求項２】
プロピレンから得られる重合体粒子であって、室温でのｎ−デカン可溶成分が２ｗｔ％以下であることを特徴とする請求項１に記載のオレフィン系重合体粒子。
【請求項３】
以下の工程１を含み、請求項１または２に記載のオレフィン系重合体粒子を製造することを特徴とするオレフィン系重合体粒子の製造方法；
〔工程１〕：遷移金属化合物（Ａ）および、
アルミノキサン（Ｂ）と下記一般式〔Ｉ〕で表わされるジオール化合物（Ｃ）との接触物、
を含むオレフィン重合触媒の存在下で、エチレンと炭素数３以上のα−オレフィンから選ばれる一種以上のオレフィンを重合する工程。
Ｈ−Ｏ−Ｒ1−Ｏ−Ｈ …〔Ｉ〕
（上記一般式〔Ｉ〕において、Ｒ1は炭素数１〜２０のアルキレン基であり、炭素と結合
する一つ以上の水素原子が、アリール基、ハロゲン原子、ハロゲン含有炭化水素基またはアシル基で置換されていてもよい。）
【請求項４】
前記工程１に次いで、以下の工程２および工程３を順次実施することを特徴とする請求
項３に記載のオレフィン系重合体粒子の製造方法；
〔工程２〕：下記一般式〔II〕で表される、分子内に1個のアルコール性水酸基を持つポ
リオキシアルキレン系化合物を接触させる工程、
Ｈ−Ｏ−[ＣＨ2−ＣＨ(Ｒ1)−Ｏ]m−Ｒ2 …〔II〕
（上記一般式〔II〕において、Ｒ1およびＲ2は、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基および炭素数１〜２０のアシル基から選ばれ、相互に同一でも異なっていてもよい。ｍは平均繰り返し単位数を表わし、１〜１００の範囲である。）
〔工程３〕：炭素数５〜１０の脂肪族炭化水素を接触させた後、液相部を除去してオレフィン系重合体粒子部を回収する工程。
【請求項５】
前記工程１に次いで、以下の工程２’および工程３’を順次実施することを特徴とする請求項３に記載のオレフィン系重合体粒子の製造方法；
〔工程２'〕：炭素数５〜１０の脂肪族炭化水素に溶解させる工程、
〔工程３'〕：酸性アルコールと接触させてポリマーを析出させ、オレフィン系重合体粒
子部を回収する工程。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月13日(2007.2.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワクシニアウイルスを接種したウサギの炎症皮膚抽出液に糖アルコール及び／又はアスコルビン酸を加えて混合し、これを濃縮乾燥する該抽出液のカリクレイン様物質産生阻害活性を有する乾燥物の製造方法。
【請求項２】
ワクシニアウイルスを接種したウサギの炎症皮膚抽出液を濃縮し、該抽出液が乾固する前に糖アルコール及び／又はアスコルビン酸を加えて混合し、これを乾燥する該抽出液のカリクレイン様物質産生阻害活性を有する乾燥物の製造方法。
【請求項３】
ワクシニアウイルスを接種したウサギの炎症皮膚抽出液を、糖アルコール及び／又はアスコルビン酸の存在下に濃縮乾燥する該抽出液のカリクレイン様物質産生阻害活性を有する乾燥物の製造方法。
【請求項４】
糖アルコールとして、マンニトール、マルチトール、ラクチトール、パラチニット及びソルビトールのいずれか１種又は２種以上を用いる請求項１乃至３のいずれか１項に記載の乾燥物の製造方法。
【請求項５】
該抽出液の濃縮乾燥を10以下のｐＨにて行うことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の乾燥物の製造方法。
【請求項６】
該抽出液の濃縮乾燥をｐＨ8.5乃至9.7にて行うことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の乾燥物の製造方法。
【請求項７】
ワクシニアウイルスを接種したウサギの炎症皮膚抽出液に糖アルコール及び／又はアスコルビン酸を加えて混合し、これを濃縮乾燥して得られる該抽出液のカリクレイン様物質産生阻害活性を有する乾燥物。
【請求項８】
ワクシニアウイルスを接種したウサギの炎症皮膚抽出液を濃縮し、該抽出液が乾固する前に糖アルコール及び／又はアスコルビン酸を加えて混合し、これを乾燥して得られる該抽出液のカリクレイン様物質産生阻害活性を有する乾燥物。
【請求項９】
ワクシニアウイルスを接種したウサギの炎症皮膚抽出液を、糖アルコール及び／又はアスコルビン酸の存在下に濃縮乾燥して得られる該抽出液のカリクレイン様物質産生阻害活性を有する乾燥物。
【請求項１０】
糖アルコールとして、マンニトール、マルチトール、ラクチトール、パラチニット及びソルビトールのいずれか１種又は２種以上を用いる請求項７乃至９のいずれか１項に記載の乾燥物。
【請求項１１】
該抽出液の濃縮乾燥を10以下のｐＨにて行うことを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか１項に記載の乾燥物。
【請求項１２】
該抽出液の濃縮乾燥をｐＨ8.5乃至9.7にて行うことを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか１項に記載の乾燥物。
【請求項１３】
ワクシニアウイルスを接種したウサギの炎症皮膚抽出液を濃縮し、該抽出液が乾固する前に少なくとも１種の糖アルコール又はアスコルビン酸を含む賦形剤を加えて練合し、これを造粒乾燥して得られる該抽出液のカリクレイン様物質産生阻害活性を有する乾燥顆粒。
【請求項１４】
ワクシニアウイルスを接種したウサギの炎症皮膚抽出液を濃縮し、該抽出液が乾固する前に少なくとも１種の糖アルコール又はアスコルビン酸を含む賦形剤を加えて練合し、これを造粒乾燥して得られる乾燥顆粒を用いて製造した、該抽出液を有効成分として含有するカリクレイン様物質産生阻害活性を有する経口用固形製剤。
【請求項１５】
錠剤である請求項１４記載の経口用固形製剤。
【請求項１６】
ワクシニアウイルスを接種した家兎の炎症皮膚抽出液を濃縮し、該抽出液が乾固する前に少なくとも１種の糖アルコール又はアスコルビン酸を含む賦形剤を加えて練合し、これを造粒乾燥して得られる乾燥顆粒を用いて製造することによる、該抽出液を有効成分として含有するカリクレイン様物質産生阻害活性を有する経口用固形製剤の製造方法。
【請求項１７】
ワクシニアウイルスを接種した家兎の炎症皮膚抽出液を濃縮し、該抽出液が乾固する前に少なくとも１種の糖アルコール又はアスコルビン酸を含む賦形剤を加えて練合し、これを造粒乾燥して得られるカリクレイン様物質産生阻害活性を有する乾燥物。
【請求項１８】
ワクシニアウイルスを接種した家兎の炎症皮膚抽出液を濃縮し、該抽出液が乾固する前に少なくとも１種の糖アルコール又はアスコルビン酸を含む賦形剤を加えて練合し、これを造粒乾燥して得られるカリクレイン様物質産生阻害活性を有する乾燥顆粒。
【請求項１９】
ワクシニアウイルスを接種した家兎の炎症皮膚抽出液を濃縮し、該抽出液が乾固する前に少なくとも１種の糖アルコール又はアスコルビン酸を含む賦形剤を加えて練合し、これを造粒乾燥して得られる乾燥顆粒を用いて製造することによる、該抽出液を有効成分として含有するカリクレイン様物質産生阻害活性を有する経口用固形製剤。
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月4日(2007.4.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
内燃機関の燃焼室に設けられ、該燃焼室に燃料を噴射する燃料噴射手段と、前記機関の排気を吸気系に還流する排気還流機構とを備える内燃機関の制御装置において、
前記機関の運転状態を検出する機関運転状態検出手段と、検出した機関運転状態に応じて燃料噴射時期を決定し、前記燃料噴射手段による燃料噴射を実行する燃料噴射制御手段と、前記機関の筒内圧を検出する筒内圧検出手段と、前記機関の運転状態に応じて設定された、前記筒内圧の最大変化率の目標値である目標最大筒内圧変化率を格納した目標筒内圧変化率記憶手段と、前記筒内圧検出手段により検出される筒内圧の最大変化率を算出し、該算出される最大変化率と、前記目標最大筒内圧変化率との偏差を減少させるように燃料噴射時期の補正量を算出する燃料噴射時期補正量算出手段と、前記機関の運転状態に応じて、前記排気還流機構による排気還流量の制御値を算出し、該制御値を用いて排気還流量の制御を行う排気還流制御手段と、前記燃料噴射時期の補正量が所定量を超えるとき、前記排気還流量の補正量を算出する排気還流補正量算出手段とを備え、
前記燃料噴射制御手段は、前記燃料噴射時期補正量により前記燃料噴射時期を補正し、補正された燃料噴射時期に応じて燃料噴射を実行し、
前記排気還流制御手段は、前記排気還流量の補正量により前記制御値を補正し、補正された制御値を用いて前記排気還流量の制御を行うことを特徴とする内燃機関の制御装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するため請求項１に記載の発明は、内燃機関（１）の燃焼室に設けられ、該燃焼室に燃料を噴射する燃料噴射手段（６）と、前記機関の排気を吸気系に還流する排気還流機構（９，２０）とを備える内燃機関の制御装置において、前記機関の運転状態を検出する機関運転状態検出手段（３，２１）と、検出した機関運転状態に応じて燃料噴射時期（ＣＡＩＭＭ）を決定し、前記燃料噴射手段（６）による燃料噴射を実行する燃料噴射制御手段と、前記機関の筒内圧を検出する筒内圧検出手段（２）と、前記機関の運転状態に応じて設定された、前記筒内圧の最大変化率の目標値である目標最大筒内圧変化率（ＤＰＭＡＸＣＭＤ）を格納した目標筒内圧変化率記憶手段と、前記筒内圧検出手段（２）により検出される筒内圧の最大変化率（ＤＰＭＡＸ）を算出し、該算出される最大変化率（ＤＰＭＡＸ）と、前記目標最大筒内圧変化率（ＤＰＭＡＸＣＭＤ）との偏差（ΔＤＰ）を減少させるように燃料噴射時期の補正量（ＣＡＤ）を算出する燃料噴射時期補正量算出手段と、前記機関の運転状態に応じて、前記排気還流機構による排気還流量の制御値（ＧＡＭ）を算出し、該制御値（ＧＡＭ）を用いて排気還流量の制御を行う排気還流制御手段と、前記燃料噴射時期の補正量（ＣＡＤＦ）が所定量を超えるとき、前記排気還流量の補正量（ＧＥＣＬＲＮ）を算出する排気還流補正量算出手段とを備え、前記燃料噴射制御手段は、前記燃料噴射時期補正量（ＣＡＤ）により前記燃料噴射時期（ＣＡＩＭＭ）を補正し、補正された燃料噴射時期（ＣＡＩＭ）に応じて燃料噴射を実行し、前記排気還流制御手段は、前記排気還流量の補正量（ＧＥＣＬＲＮ）により前記制御値（ＧＡＭ）を補正し、補正された制御値（ＧＡＣＭＤ）を用いて前記排気還流量の制御を行うことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月11日(2007.7.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
圧縮途中の圧縮ガスを導入し、この圧力を前記揺動スクロール又は前記固定スクロールの軸方向の移動に利用して、前記両スクロールの板状渦巻歯の歯先と相手側の台板部との軸方向の押圧力調整又は軸方向の隙間調整を行う機構を有するスクロール圧縮機であって、
前記バイパス路または前記リリーフポートが連通している前記圧縮室から前記圧縮ガスを導入することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかの請求項に記載のスクロール圧縮機。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月27日(2006.12.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
耐熱性繊維糸と意匠撚糸を含む編物又は織物であって、一方の面に前記耐熱性繊維糸が多く存在し、他方の面に前記意匠撚糸が多く存在することを特徴とする耐熱性布帛。
【請求項２】
前記耐熱性繊維糸は、アラミド繊維、ポリベンズイミダゾール繊維、ポリベンズオキサゾール繊維、ポリベンズチアゾール繊維、ポリアミドイミド繊維、メラミン繊維、ポリイミド繊維、ポリアリレート繊維及び炭素繊維から選ばれる少なくとも一つの糸である請求項１に記載の耐熱性布帛。
【請求項３】
前記意匠撚糸は、芯糸とループヤーンと押さえ糸で構成され、前記ループヤーンは木綿、レーヨン、麻、羊毛及びアクリル繊維から選ばれる少なくとも一つである請求項１に記載の耐熱性布帛。
【請求項４】
前記耐熱性布帛は、ダブルニット、ダブルジャージ、両面編地、ダブルラッシェル、二重編物、二重織物、シングルニット及びスムース編物から選ばれる少なくとも一つの組織である請求項１に記載の耐熱性布帛。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の耐熱性布帛を一部又は全部に含む衣類。
【請求項６】
衣類の目付けは３００〜７００ｇ／ｍ2の範囲である請求項５に記載の衣類。
【請求項７】
耐熱性繊維糸と意匠撚糸と含む編物で構成され、前記編物はニットであり、外面に耐熱性繊維糸が多く存在し、内面に意匠撚糸が多く存在することを特徴とする耐熱性手袋。
【請求項８】
耐熱性繊維糸と意匠撚糸と含む編物で構成され、前記編物はニットであり、外面に耐熱性繊維糸が多く存在し、内面に意匠撚糸が多く存在する耐熱性手袋を内面に配置し、外側に耐熱性繊維糸で構成される手袋を配置し、両手袋を指先で固定した複層構造の耐熱性手袋。
【請求項９】
前記外側の耐熱性繊維糸が、アラミド繊維糸又はアラミド繊維糸と炭素繊維の撚糸である請求項７又は８に記載の耐熱性手袋。
【請求項１０】
前記耐熱性手袋の単位面積あたりの重量が０．０９ｇ／ｃｍ2以上である請求項７〜９のいずれかに記載の耐熱手袋。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の耐熱性布帛は、耐熱性繊維糸と意匠撚糸を含む編物又は織物であって、一方の面に前記耐熱性繊維糸が多く存在し、他方の面に前記意匠撚糸が多く存在することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の耐熱性手袋は、耐熱性繊維糸と意匠撚糸と含む編物で構成され、前記編物はニットであり、外面に耐熱性繊維糸が多く存在し、内面に意匠撚糸が多く存在することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の別の耐熱性手袋は、耐熱性繊維糸と意匠撚糸と含む編物で構成され、前記編物はニットであり、外面に耐熱性繊維糸が多く存在し、内面に意匠撚糸が多く存在する耐熱性手袋を内面に配置し、外側に耐熱性繊維糸で構成される手袋を配置し、両手袋を指先で固定した複層構造であることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月29日(2007.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、該光源からの光を伝達する光伝達部材と、該光伝達部材により伝達された光を被検体に照射する装置本体と、被検体から装置本体および光伝達部材を介して戻る戻り光を検出する光検出器とを備え、  前記装置本体に、  該光伝達部材によって伝達された光を平行光にするコリメート光学系と、  コリメート光学系から発せられた平行光を９０°より小さい偏向角度で偏向し、かつ、被検体において走査させる走査ミラーと、  該走査ミラーによって走査された光を被検体に集光させる集光光学系と、  該集光光学系と前記走査ミラーとの間に配置される瞳投影光学系とが備えられている光走査型顕微鏡装置。
【請求項２】
前記コリメート光学系、走査ミラーおよび瞳投影光学系を取り付ける基準部材を備える請求項１に記載の光走査型顕微鏡装置。
【請求項３】
基準部材に、前記走査ミラーを、その原点位置において９０°より小さい偏向角度となるように取り付ける取付面が設けられている請求項２に記載の光走査型顕微鏡装置。
【請求項４】
前記走査ミラーによる走査方向を示す走査方向表示を備える請求項１から請求項３のいずれかに記載の光走査型顕微鏡装置。
【請求項５】
前記コリメート光学系を光軸方向に沿って変位させるステッピングモータを備える請求項１に記載の光走査型顕微鏡装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
さらに、上記発明においては、前記走査ミラーによる走査方向を示す走査方向表示を備えることとしてもよい。  走査ミラーにおいて９０°偏向する場合には、装置本体の幅方向および長さ方向と、走査ミラーによる走査方向とを一致させることができるが、９０°より小さい角度で偏向する場合には、装置本体の幅方向および長さ方向と走査ミラーによる走査方向とを一致させることが困難である。そこで、走査方向表示を設けることにより、光検出器により検出された被検体の画像がどの方向を向いているのかを表示することができる。  また、上記発明においては、前記コリメート光学系を光軸方向に沿って変位させるステッピングモータを備えることとしてもよい。  このようにすることで、ステッピングモータの作動によりコリメート光学系を光軸方向に沿って変位させ、集光光学系の焦点位置を光軸方向に移動させることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月3日(2007.7.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画素アレイ部と、データ線駆動回路と、走査線駆動回路と、システム回路とを含み、
前記画素アレイ部は、行状の走査線と、列状のデータ線と、両者が交差する部分に配された行列状の画素とを備え、
前記データ線駆動回路は、該システム回路から供給されたデータ信号を各データ線に分配し、
前記走査線駆動回路は、該システム回路から供給される制御信号に応じて動作し、各走査線に順次駆動パルスを出力して画素を線順次で選択し、
以って該分配されたデータ信号に基き該駆動パルスの時間幅だけ画素を駆動して該画素アレイ部に画像を表示する画像表示装置において、
前記走査線駆動回路は、各走査線に順次出力する駆動パルスの時間幅を各走査線ごと独立に可変制御可能であり、以って走査線単位で各画素の駆動時間を制御することを特徴とする画像表示装置。
【請求項２】
前記システム回路はスタートパルス、クロック信号及び補正データを含む制御信号を該走査線駆動回路に供給し、
前記走査線駆動回路は、シフトレジスタ回路と出力時間設定回路とバッファ回路とを含んでおり、
前記シフトレジスタ回路は、該クロック信号に応じて該スタートパルスを順次転送し、以って該シフトレジスタ回路の各段から順次駆動パルスを出力し、
前記出力時間設定回路は、該補正データに応じて各駆動パルスの時間幅を個々に設定し、
前記バッファ回路は、時間幅の設定された各駆動パルスを各走査線に出力することを特徴とする請求項１記載の画像表示装置。
【請求項３】
前記画素アレイ部は画素毎に発光素子を含んで発光面を構成し、各発光素子はデータ信号に応じた輝度で発光し且つ駆動パルスの時間幅に応じた時間分発光を持続して該発光面に画像を表示することを特徴とする請求項１記載の画像表示装置。
【請求項４】
前記発光面は、該発光素子の発光によって熱を発生し更に発生した熱の放散により、発光面の走査線と直交する上下方向に温度分布のムラが生じ、
前記走査線駆動回路は、該温度分布のムラを緩和するように各駆動パルスの時間幅を制御することを特徴とする請求項３記載の画像表示装置。
【請求項５】
前記発光面は、その温度分布が上部に比べて下部が低く、前記走査線駆動回路は上部の走査線に出力する駆動パルスに比べて下部の走査線に出力する駆動パルスの時間幅を長くし、以って下部の発熱量を増やして温度分布のムラを緩和することを特徴とする請求項４記載の画像表示装置。
【請求項６】
前記システム回路は、外部から入力された多階調の画像をフレーム単位で表すデータ信号からフレーム階調平均値を検出する情報検出手段と、
前記情報検出手段から得られたフレーム階調平均値に応じて、該補正データのレベルを制御する補正レベル制御回路とを有することを特徴とする請求項２記載の画像表示装置。
【請求項７】
外部から入力されたオブジェクトを含む画像を表すデータ信号から、該画素アレイ部における該オブジェクトの位置を抽出する情報検出手段と、
前記情報検出手段から得られたオブジェクトの位置に応じて、該補正データのレベルを制御する補正レベル制御回路とを有することを特徴とする請求項２記載の画像表示装置。
【請求項８】
画像を表示する画像表示装置の走査線を駆動するために用いる走査線駆動回路であって、
外部から供給される制御信号に応じて動作し、各走査線に順次駆動パルスを出力して画素を線順次で選択し、
各走査線に順次出力する駆動パルスの時間幅を各走査線ごと独立に可変制御可能であり、以って走査線単位で各画素の駆動時間を制御することを特徴とする走査線駆動回路。
【請求項９】
行状の走査線と、列状のデータ線と、両者が交差する部分に配された行列状の画素とを備えた画像表示装置の駆動方法であって、
外部から供給されたデータ信号を各データ線に分配するデータ線駆動手順と、
外部から供給される制御信号に応じ、各走査線に順次駆動パルスを出力して画素を線順次で選択する走査線駆動手順とを行い、
以って該分配されたデータ信号に基き該駆動パルスの時間幅だけ画素を駆動して画像を表示する際、
前記走査線駆動手順は、各走査線に順次出力する駆動パルスの時間幅を各走査線ごと独立に可変制御可能であり、以って走査線単位で各画素の駆動時間を制御することを特徴とする画像表示装置の駆動方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明は又、画像を表示する画像表示装置の走査線を駆動するために用いる走査線駆動回路であって、外部から供給される制御信号に応じて動作し、各走査線に順次駆動パルスを出力して画素を線順次で選択し、各走査線に順次出力する駆動パルスの時間幅を各走査線ごと独立に可変制御可能であり、以って走査線単位で各画素の駆動時間を制御することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年6月7日(2007.6.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１３】
請求項１から請求項１２のいずれかに記載の非球面眼鏡レンズの設計方法において、前記非球面眼鏡レンズは、使用目的に対応してレンズの部位による非球面量が異なる非球面眼鏡レンズの設計方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
しかし、上記最適化プログラムにおいては、少なくとも（パラメータの数）×（評価対象となる収差の数）の大きさのマトリックス演算が必要となるため、パラメータの数の増加は、それだけプログラムサイズと処理時間の大幅な増加に繋がる。なお、評価対象となる収差とは、自動設計時において所定の目標値が設定され、評価結果が該目標値に向かって補正される収差のことをいう。また、該最適化プログラムは、設計対象のパラメータ数が多ければ多いほど、最適化過程において、ローカルミニマムに陥り易く、真の最適値に到達できないおそれがある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
次いで補間処理では、断面形状設計処理によって求められた第一断面形状のサグ量Ｚａ (ｈ)、第二断面形状のサグ量Ｚｂ(ｈ)を式（３）を用いてθ方向に補間して、非球面全面の形状を求める。実施例２で式（３）におけるμは、−０．００１に設定している。なお、本出願人は各種設計を試した結果、μの値を以下の式（５）を満たすように設定することにより、良好な結果が得られることがわかった。
ＣＹＬ×３×１０-4 ＜ μ ＜ ＣＹＬ×１０-4・・・（５）
但し、ＣＹＬはマイナスシリンダーフォーマットで表された乱視屈折力であるとする。