【誤訳訂正書】
【提出日】平成19年12月25日(2007.12.25)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スラリーを基板に塗布するための装置であって、
スラリーの層を支持するために配置される分配表面と、
該分配表面に近接して配置され、分配表面から基板にスラリーをスパッタリングするように移動可能に構成されたスパッタリング手段と、
前記分配表面の上流でスラリーを断続的に流動させる循環手段と、
前記分配表面の上流で、スラリーの流れを中断せずに、分配表面から基板へのスラリーの流れを選択的に変更するか、または中断する調節手段と
を含んでいる装置であって、
前記調節手段が、可変可能な断面流動面積の中間隙間スペースを形成するために、選択的に移動自在の一対のバリア要素を含んでおり、これにより各バリア要素間のスラリーの流量の調節を前記分配表面に対して選択的に許容することを特徴とする装置。
【請求項２】
前記調節手段の上流にスラリーを収納するための容器をさらに含んでなる請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記容器が、供給源からスラリーを通す入口と前記調節手段と関連する出口を含んでいる請求項２記載の装置。
【請求項４】
前記バリア要素が、近接した形態において、前記容器と分配表面とのあいだの流れを遮断するよう構成されてなる請求項３記載の装置。
【請求項５】
前記１つのバリア要素が、第１軸の回りに回転自在な第１の円筒形ローラからなる請求項３または４記載の装置。
【請求項６】
前記もう１つのバリア要素が、第１軸に平行な第２軸の回りに回転自在な第２の円筒形ローラである請求項５記載の装置。
【請求項７】
前記第１および第２ローラがそれぞれ反対方向へ回転するように構成されてなる請求項６記載の装置。
【請求項８】
前記第１ローラが分配ドラムの形であり、その表面は前記分配表面を構成しており、前記第２ローラが該分配表面に向かってまたは離れるように選択的に移動自在であり、中間隙間スペースを調節する計測ローラの形である請求項７記載の装置。
【請求項９】
前記計測ローラは、スラリーの流量割合を調節するために、前記中間隙間スペースを通るスラリーの流れを塞ぐように分配ドラムに向かって移動し、中間隙間スペースを調節するように分配ドラムから離れるように移動することを特徴とする請求項８記載の装置。
【請求項１０】
さらに前記分配ドラムを支持するフレーム本体と前記計測ローラを取り付ける第１サブフレームを含んでおり、該第１サブフレームが第２軸に平行で、かつ離れたところの第３軸の回りに回転自在にされており、それらの平行な方向を維持しながら前記分配ドラムに向かったりまたは離れるように前記計測ローラを調節自在に移動する請求項９記載の装置。
【請求項１１】
互いに向かうまたは離れるように前記計測ローラと分配ドラムを調節して移動させるために、前記フレーム本体と第１サブフレームとのあいだに延設する第１アクチュエータ手段をさらに含む請求項１０記載の装置。
【請求項１２】
前記第１アクチュエータ手段が圧縮空気または油圧シリンダーを含んでなる請求項１１記載の装置。
【請求項１３】
前記スパッタリング手段が、第４軸の回りに回転自在な円筒体から半径方向外側に伸びるブリストル形状の弾性で柔軟な複数の細長いスパッタリング要素を含んでなる請求項１〜１２のいずれかに記載の装置。
【請求項１４】
前記スパッタリング手段が、ブリストルが分配表面に接触するように位置決め可能であることを特徴とする請求項１３記載の装置。
【請求項１５】
請求項１０に従属する場合において、前記第４軸が前記第１、第２および第３軸に一般的に平行である請求項１３または１４記載の装置。
【請求項１６】
前記円筒体とスパッタリング要素とが一緒にスパッタリングローラを構成する請求項１３〜１５のいずれかに記載の装置。
【請求項１７】
前記スパッタリングローラが、分配ドラムに向かうまたは離れるように移動可能であることを特徴とする請求項１６記載の装置。
【請求項１８】
前記スパッタリングローラが取り付けられる第２サブフレームをさらに含んでおり、該第２サブフレームが実質的に前記第４軸に平行で、かつ該第４軸から隔てたところに位置する第５軸の回りに回転自在にされている請求項１６または１７記載の装置。
【請求項１９】
前記第２アクチュエータ手段が、調節手段の一部として前記スパッタリングプロセスの変更や中断を選択できるように、前記分配ドラムに向かってまたは離れるように前記スパッタリングローラの調節可能な移動を単独で達成させるために、前記フレーム本体と第２サブフレームとのあいだに延設されている請求項１８記載の装置。
【請求項２０】
前記第２アクチュエータ手段が圧縮空気または油圧シリンダーを含んでなる請求項１９記載の装置。
【請求項２１】
前記スラリーの供給を収納するタンクと該タンクから前記容器に入口を通してスラリーを配送する配送導管とをさらに含んでなる請求項８〜２０のいずれかに記載の装置。
【請求項２２】
前記容器が前記分配ドラムと計測ローラの真上に配置されるタンクにより形成されてなる請求項２１記載の装置。
【請求項２３】
前記循環手段が、タンクから中間隙間スペースを通り、タンクに戻る循環流路を含む請求項２２記載の装置。
【請求項２４】
前記循環流路が断続的にスラリーを循環させることを特徴とする請求項２３記載の装置。
【請求項２５】
前記循環手段が、あふれたスラリーを捕捉し、該あふれたスラリーを前記タンクに戻すように構成されたオーバーフロー溜りを含む請求項２３または２４記載の装置。
【請求項２６】
前記容器が調節ローラ間に形成される封じ込め領域からなる請求項２１記載の装置。
【請求項２７】
前記封じ込め領域が前記分配ローラ上に配置される計測ローラとともに、前記分配ドラムと接近するアイドラーローラとのあいだに形成されてなる請求項２６記載の装置。
【請求項２８】
シリカ、セメント、水および随意的に他の添加物の混合から形成されるセメント質のスラリーと共に使用するために適応される請求項１〜２７のいずれかに記載の装置。
【請求項２９】
前記セメント質のスラリーが５０％と約９０％のあいだの固形分を有する自己均一性の脱水可能なスラリーである請求項２８記載の装置。
【請求項３０】
前記スラリーが、下にある基板を介してスラリーの脱水を可能にするために、充分な量の脱水補助剤を含む請求項２９記載の装置。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００９】
したがって、一般に、これらの知られている形状の装置は、詰まりによる故障発生度、相互に調和しない塗布、速度における制約、コーティングが塗布されることが可能なシート材料の幅における制約、塗布可能な液体またはスラリーの粘度における制約、これらの欠点の１つ以上のいくつかの組み合わせを含む様々な制約を受けやすい。それらは、さらに、かなりの厚さの中間層とは異なり、一般に、積層シートの一部として比較的薄い外側表面コーティングを塗布するように構成されている。これらの制約は、従来の装置を、シート物質、とくにＦＲＣシートの実質的なサイズで、比較的高速での製造に使用するのに一般に不適切にしている。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１１】
とくに、知られているスパッタリングコーティング装置は、精密に制御されたコーティングまたは積層を可能とするために、断続的に、塗布プロセスを精密に停止および再開始することができない。これは、スラリーの供給が停止されるかまたはスパッタリングローラが一時的に停止されるとしても、“自己均一化”を確実とするのに必要とされる比較的やわらかくて液状化した粘度と、その結果として過剰のスラリーが基板上に滴下する傾向とのために、とくに、ＦＲＣシートの製造に一般に使用されるスラリータイプの場合にあてはまる。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１３】
新たな問題が、セメント質のスラリーを使用してＦＲＣシートまたは他製品の製造において、これが、装置においてまたはプロセスの上流側部分において、スラリーの停滞もしくは集積を結果として生ずるので、装置自体へのスラリーの供給を停止しないことが望ましいという事実により起こる。これは、オーバーフロー、スラリーの粘度または濃度の変化、沈殿もしくは堆積、または好ましくない変化をもたらす結果となりうる。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４７】
しかしながら、このプロセスのあいだに、供給タンク本体１０からから容器３へのスラリーの分配割合を停止または減少させることは、望ましくない。というのは、これが、オーバーフロー、スラリーの粘度もしくは濃度の変化、沈殿もしくは堆積、他のプロセスパラメータの混乱、および／またはパイプの詰まりを含む不利な結果を上流側においてもたらすことがあるからである。したがって、スパッタリングプロセスが中止されるとき、容器からのスラリーの流動割合が減少されるか、または停止されるという結果を生じ、容器内のスラリーのレベルが上がり始める。それが、オーバーフローパイプ１４のレベルに達すると、スラリーは、メインタンクに戻って再循環され始め、そこから、スラリーは、分配が再開するまで容器を行ったり来たり循環し続ける。