【誤訳訂正書】
【提出日】平成20年5月21日(2008.5.21)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨パッドであって、以下：
ａ．下層；
ｂ．中間層；および
ｃ．パッドの研磨表面としての上層；
を備え、ここで、該上層は、少なくとも部分的に中間層に接続し、該中間層は少なくとも部分的に該下層に接続しており、該上層は、該上層の重量の合計を基準にして少なくとも２重量パーセントの研磨スラリーを吸収し、該下層が、該上層より大きい体積パーセント圧縮率を有し、１３７．９ｋＰａの荷重を付与した場合に、該下層の体積圧縮率パーセントが２０％未満であり、該中間層が、非体積圧縮性であり、少なくとも０．０８７ｍｍ−１ｋｇ−１の可撓性を有する、
研磨パッド。
【請求項２】
前記上層が、該上層の重量の合計を基準にして５０重量％以下の研磨スラリーを吸収する、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項３】
前記上層が、粒子状ポリマーおよび架橋ポリマーバインダー；粒子状ポリマーおよび有機ポリマーバインダー；熱可塑性樹脂の焼結粒子；熱可塑性ポリマーの圧力焼結粉末圧縮物；複数のポリマー微量要素を含浸させたポリマーマトリクスであって、各ポリマー微量要素がその中に空隙空間を有し得るポリマーマトリクス、またはそれらの組み合わせから選択される、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項４】
前記上層が、少なくとも０．５１ｍｍの厚さを有する、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項５】
前記上層が、３．８１ｍｍ以下の厚さを有する、請求項４に記載の研磨パッド。
【請求項６】
前記上層が、研磨表面上に溝をさらに備える、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項７】
前記上層が、研磨表面上にパターンをさらに備える、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項８】
前記中間層が、非体積圧縮性のポリマーならびに金属フィルムおよび金属箔から選択される、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項９】
前記中間層が、ポリオレフィン；セルロースベースのポリマー；アクリル；ポリエステルおよびコポリエステル；ポリカーボネート；ポリアミド；高性能プラスチック；またはそれらの混合物から選択される、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項１０】
前記中間層が、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超高分子量ポリエチレンまたはポリプロピレン；酢酸セルロースまたは酪酸セルロース；ＰＥＴまたはＰＥＴＧ；ナイロン６／６またはナイロン６／１２；ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンオキシド、ポリスルホン、ポリイミドまたはポリエーテルイミド；あるいはそれらの混合物から選択される、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項１１】
前記中間層が、少なくとも０．０１２７ｍｍの厚さを有する、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項１２】
前記中間層が、０．０７６２ｍｍ以下の厚さを有する、請求項１１に記載の研磨パッド。
【請求項１３】
前記下層が、天然ゴム、合成ゴム、熱可塑性エラストマー、発泡体シートおよびそれらの組合せから選択される、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項１４】
前記下層が、少なくとも０．５１ｍｍの厚さを有する、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項１５】
前記下層が、２．５４ｍｍ以下の厚さを有する、請求項１４に記載の研磨パッド。
【請求項１６】
前記下層、中間層および上層が、接着物質によって少なくとも部分的に接続されている、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項１７】
前記接着物質が、コンタクト接着剤、感圧性接着剤、構造用接着剤、ホットメルト接着剤、熱可塑性接着剤、硬化性接着剤および熱硬化性接着剤；ならびにそれらの組合せから選択される、請求項１６に記載の研磨パッド。
【請求項１８】
１３７．９ｋＰａの荷重を付加した場合に、前記上層の前記体積圧縮率パーセントが３％以下である、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項１９】
前記中間層が、接着アセンブリを備える、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項２０】
研磨パッドであって、以下：
ａ．下層；
ｂ．中間層；および
ｃ．パッドの研磨表面としての上層；
を備え、ここで、該上層は、少なくとも部分的に中間層に接続し、該中間層は少なくとも部分的に該下層に接続しており、該上層は、該上層の体積の合計を基準にして少なくとも２体積パーセントの間隙率を有し、該下層が、該上層より大きい体積パーセント圧縮率を有し、１３７．９ｋＰａの荷重を付与した場合に、該下層の体積圧縮率パーセントが２０％未満であり、該中間層が、非体積圧縮性であり、少なくとも０．０８７ｍｍ−１ｋｇ−１の可撓性を有する、
研磨パッド。
【請求項２１】
前記上層が、該上層の体積の合計を基準にして５０体積％以下の間隙率を有する、請求項２０に記載の研磨パッド。
【請求項２２】
前記上層が、粒子状ポリマーおよび架橋ポリマーバインダー；粒子状ポリマーおよび有機ポリマーバインダー；熱可塑性樹脂の焼結粒子；熱可塑性ポリマーの圧力焼結粉末圧縮物；複数のポリマー微量要素を含浸させたポリマーマトリクスであって、各ポリマー微量要素がその中に空隙空間を有し得るポリマーマトリクス、またはそれらの組み合わせから選択される、請求項２０に記載の研磨パッド。
【請求項２３】
前記上層が、少なくとも０．５１ｍｍの厚さを有する、請求項２０に記載の研磨パッド。
【請求項２４】
前記上層が、３．８１ｍｍ以下の厚さを有する、請求項２３に記載の研磨パッド。
【請求項２５】
前記上層が、研磨表面上に溝をさらに備える、請求項２０に記載の研磨パッド。
【請求項２６】
前記上層が、研磨表面上にパターンをさらに備える、請求項２０に記載の研磨パッド。
【請求項２７】
前記中間層が、非体積圧縮性のポリマーならびに金属フィルムおよび金属箔から選択される、請求項２０に記載の研磨パッド。
【請求項２８】
前記中間層が、ポリオレフィン；セルロースベースのポリマー；アクリル；ポリエステルおよびコポリエステル；ポリカーボネート；ポリアミド；高性能プラスチック；またはそれらの混合物から選択される、請求項２０に記載の研磨パッド。
【請求項２９】
前記中間層が、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超高分子量ポリエチレンまたはポリプロピレン；酢酸セルロースまたは酪酸セルロース；ＰＥＴまたはＰＥＴＧ；ナイロン６／６またはナイロン６／１２；ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンオキシド、ポリスルホン、ポリイミドまたはポリエーテルイミド；あるいはそれらの混合物から選択される、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項３０】
前記中間層が、少なくとも０．０１２７ｍｍインチの厚さを有する、請求項２０に記載の研磨パッド。
【請求項３１】
前記中間層が、０．０７６２ｍｍ以下の厚さを有する、請求項３０に記載の研磨パッド。
【請求項３２】
前記下層が、天然ゴム、合成ゴム、熱可塑性エラストマー、発泡体シートおよびそれらの組合せから選択される、請求項２０に記載の研磨パッド。
【請求項３３】
前記下層が、少なくとも０．５１ｍｍの厚さを有する、請求項２０に記載の研磨パッド。
【請求項３４】
前記下層が、２．５４ｍｍ以下の厚さを有する、請求項３３に記載の研磨パッド。
【請求項３５】
前記下層、中間層および上層が、接着物質によって少なくとも部分的に接続されている、請求項３０に記載の研磨パッド。
【請求項３６】
前記接着物質が、コンタクト接着剤、感圧性接着剤、構造用接着剤、ホットメルト接着剤、熱可塑性接着剤、硬化性接着剤、熱硬化性接着剤およびそれらの組合せから選択される、請求項３５に記載の研磨パッド。
【請求項３７】
研磨パッドであって、以下：
ａ．下層；
ｂ．中間層；および
ｃ．パッドの研磨表面としての上層；
を備え、ここで、該下層は、少なくとも部分的に該中間層に接続し、該中間層は少なくとも部分的に該上層に接続しており、該上層は、該中間層よりも大きな体積圧縮率パーセントを有し、１３７．９ｋＰａの荷重を付与した場合に、該下層の体積圧縮率パーセントが２０％未満であり、該中間層が、非体積圧縮性であり、少なくとも０．０８７ｍｍ−１ｋｇ−１の可撓性を有する、研磨パッド。
【請求項３８】
１３７．９ｋＰａの荷重を付与した場合に、前記上層が少なくとも０．３％の体積圧縮率パーセントを有する、請求項３７に記載の研磨パッド。
【請求項３９】
１３７．９ｋＰａの荷重を付加した場合に、前記上層が３％以下の体積圧縮率パーセントを有する、請求項３８に記載の研磨パッド。
【請求項４０】
１３７．９ｋＰａの荷重を付与した場合に、前記中間層が少なくとも１％の体積圧縮率パーセントを有する、請求項３７に記載の研磨パッド。
【請求項４１】
１３７．９ｋＰａの荷重を付与した場合に、前記中間層が３％以下の体積圧縮率パーセントを有する、請求項３７に記載の研磨パッド。
【請求項４２】
前記上層が、粒子状ポリマーおよび架橋ポリマーバインダー；粒子状ポリマーおよび有機ポリマーバインダー；熱可塑性樹脂の焼結粒子；熱可塑性ポリマーの圧力焼結粉末圧縮物；複数のポリマー微量要素を含浸させたポリマーマトリクスであって、各ポリマー微量要素がその中に空隙空間を有し得るポリマーマトリクス、またはそれらの組み合わせから選択される、請求項３７に記載の研磨パッド。
【請求項４３】
前記上層が、少なくとも０．５１ｍｍの厚さを有する、請求項３７に記載の研磨パッド。
【請求項４４】
前記上層が、３．８１ｍｍ以下の厚さを有する、請求項４３に記載の研磨パッド。
【請求項４５】
前記上層が、研磨表面上に溝をさらに備える、請求項３７に記載の研磨パッド。
【請求項４６】
前記上層が、研磨表面上にパターンをさらに備える、請求項３７に記載の研磨パッド。
【請求項４７】
前記中間層が、非体積圧縮性のポリマーならびに金属フィルムおよび金属箔から選択される、請求項３７に記載の研磨パッド。
【請求項４８】
前記中間層が、ポリオレフィン；セルロースベースのポリマー；アクリル；ポリエステルおよびコポリエステル；ポリカーボネート；ポリアミド；高性能プラスチック；またはそれらの混合物から選択される、請求項３７に記載の研磨パッド。
【請求項４９】
前記中間層が、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超高分子量ポリエチレンまたはポリプロピレン；酢酸セルロースまたは酪酸セルロース；ＰＥＴまたはＰＥＴＧ；ナイロン６／６またはナイロン６／１２；ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンオキシド、ポリスルホン、ポリイミドまたはポリエーテルイミド；あるいはそれらの混合物から選択される、請求項３７に記載の研磨パッド。
【請求項５０】
前記中間層が、接着アセンブリを備える、請求項３７に記載の研磨パッド。
【請求項５１】
前記中間層が、少なくとも０．０１２７ｍｍの厚さを有する、請求項３７に記載の研磨パッド。
【請求項５２】
前記中間層が、０．０７６２ｍｍ以下の厚さを有する、請求項５１に記載の研磨パッド。
【請求項５３】
前記下層が、天然ゴム、合成ゴム、熱可塑性エラストマー、発泡体シートおよびそれらの組合せから選択される、請求項３７に記載の研磨パッド。
【請求項５４】
前記下層が、少なくとも０．５１ｍｍの厚さを有する、請求項３７に記載の研磨パッド。
【請求項５５】
前記下層が、２．５４ｍｍ以下の厚さを有する、請求項５４に記載の研磨パッド。
【請求項５６】
前記下層、中間層および上層が、接着物質によって少なくとも部分的に接続されている、請求項３７に記載の研磨パッド。
【請求項５７】
前記接着物質が、コンタクト接着剤、感圧性接着剤、構造用接着剤、ホットメルト接着剤、熱可塑性接着剤、硬化性接着剤、熱硬化性接着剤およびそれらの組合せから選択される、請求項５６に記載の研磨パッド。
【請求項５８】
研磨パッドであって、以下：
ａ．下層；
ｂ．中間層；および
ｃ．パッドの研磨表面としての上層；
を備え、ここで、該下層は、少なくとも部分的に該中間層に接続し、該中間層は少なくとも部分的に該上層に接続しており、該下層は、該上層よりも柔らかく、１３７．９ｋＰａの荷重を付与した場合に、該下層の体積圧縮率パーセントが２０％未満であり、該中間層が、非体積圧縮性であり、少なくとも０．０８７ｍｍ−１ｋｇ−１の可撓性を有する、
研磨パッド。
【請求項５９】
研磨パッドを調製する方法であって、上層を中間層に少なくとも部分的に接続する工程；および該中間層を下層に少なくとも部分的に接続する工程を包含し、ここで、該上層は、パッドの研磨表面として機能し、該上層の重量の合計を基準にして少なくとも２重量パーセントの研磨スラリーを吸収し、該下層が、該上層より大きい体積パーセント圧縮率を有し、１３７．９ｋＰａの荷重を付与した場合に、該下層の体積圧縮率パーセントが２０％未満であり、該中間層が、非体積圧縮性であり、少なくとも０．０８７ｍｍ−１ｋｇ−１の可撓性を有する、方法。
【請求項６０】
前記上層、中間層および下層が、接着物質によって少なくとも部分的に接続されている、請求項５９に記載の方法。
【請求項６１】
研磨パッドを調製する方法であって、上層を中間層に少なくとも部分的に接続する工程；および該中間層を下層に少なくとも部分的に接続する工程を包含し、ここで、該上層は、パッドの研磨表面として機能し、該上層の体積の合計を基準にして少なくとも２体積パーセントの間隙率を有し、該下層が、該上層より大きい体積パーセント圧縮率を有し、１３７．９ｋＰａの荷重を付与した場合に、該下層の体積圧縮率パーセントが２０％未満であり、該中間層が、非体積圧縮性であり、少なくとも０．０８７ｍｍ−１ｋｇ−１の可撓性を有する、方法。
【請求項６２】
前記上層、中間層および下層が、接着物質によって少なくとも部分的に接続されている、請求項６１に記載の方法。
【請求項６３】
研磨パッドを調製する方法であって、上層を中間層に少なくとも部分的に接続する工程；および該中間層を下層に少なくとも部分的に接続する工程を包含し、ここで、該上層は、パッドの研磨表面として機能し、該中間層よりも大きな体積圧縮率パーセントを有し、１３７．９ｋＰａの荷重を付与した場合に、該下層の体積圧縮率パーセントが２０％未満であり、該中間層が、非体積圧縮性であり、少なくとも０．０８７ｍｍ−１ｋｇ−１の可撓性を有する、方法。
【請求項６４】
前記上層、中間層および下層が、接着物質によって少なくとも部分的に接続されている、請求項６３に記載の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１０
【訂正方法】削除
【訂正の内容】
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１１
【訂正方法】削除
【訂正の内容】
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３９】
本発明における使用に適切な接着物質は、当該分野で公知の広範な種類から選択され得る。適切な接着剤は、十分な剥離耐性を提供し得、それによって、このパッド層は、使用の間基本的に変わらない位置にある。さらに、この接着剤は、研磨もしくは平坦化プロセス中に生じるずり応力に十分に耐えるように選択され得る。さらに、適切な接着剤は、使用中の化学薬品および吸湿による劣化に十分に耐え得る。適切な接着物質の非限定的な例としては（これらに限定されないが）、コンタクト接着剤、感圧性接着剤、構造用接着剤、ホットメルト接着、熱可塑性接着剤、硬化性接着剤、（例えば、これに限定されないが、熱硬化性接着剤）、およびそれらの組み合わせが挙げられ得る。