【手続補正書】
【提出日】平成20年6月13日(2008.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ）複数の研磨粒子を備える固定研磨要素と、
ｂ）弾性要素と、
ｃ）前記固定研磨要素と前記弾性要素との間に配置される複数の剛性セグメントと、
を備える研磨物品。
【請求項２】
前記固定研磨要素が更に、
ｉ）バッキングと、
ｉｉ）前記バッキングの第１主表面上に配置され、バインダと複数の研磨粒子とを備える構成物と、
を備え、剛性要素が前記バッキングの第２主表面に結合され、かつ前記複数の剛性セグメントを備える、請求項１に記載の研磨物品。
【請求項３】
前記固定研磨要素と前記弾性要素との間に配置され、それぞれ少なくとも一部の剛性セグメントを備える複数の剛性要素を更に備え、半導体ウエハの面の曲率に順応することができ、半導体ウエハの面上のダイと比較して剛性である、請求項１に記載の研磨物品。
【請求項４】
前記剛性セグメントが、互いに取り付けられる、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項５】
前記剛性セグメントが、共通の基板から延在し、かつ前記基板の複数の交差溝によって少なくとも部分的に画定される、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項６】
前記剛性セグメントが、互いから取り外される、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項７】
前記固定研磨要素が、不連続層を備える、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項８】
前記固定研磨要素が、複数の固定研磨セグメントを備え、各固定研磨セグメントが、前記剛性セグメントの１つと同一の広がりを持つ、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項９】
前記固定研磨要素が、複数の前記剛性セグメントを横断して連続的に延在する、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項１０】
前記固定研磨要素が、テキスチャ加工された３次元固定研磨要素を備える、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項１１】
前記固定研磨要素が、複数の３次元固定研磨構成物を備える、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項１２】
前記固定研磨要素が、前記剛性セグメントに結合される、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項１３】
前記剛性セグメントが、前記弾性要素に結合される、請求項１２に記載の物品。
【請求項１４】
前記剛性セグメントが、前記弾性要素に結合される、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項１５】
前記弾性要素が、複数の弾性セグメントを備える、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項１６】
前記弾性セグメントが、前記剛性セグメントに結合される、請求項１５に記載の物品。
【請求項１７】
前記剛性セグメントが、上面と、側壁と、上面と側壁との間に配置されるユニオンとを備え、前記ユニオンに斜角がつけられている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項１８】
前記剛性セグメントが、上面と、側壁と、上面と側壁との間に配置されるユニオンとを備え、前記ユニオンが湾曲している、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項１９】
前記剛性セグメントが、交互嵌合している、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項２０】
前記剛性セグメントが、円、楕円、三角形、正方形、長方形、五角形、六角形、七角形、および八角形からなる群から選択される形状を画定する、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項２１】
前記剛性セグメントが、角錐、円錐、円筒、円錐台、角錐台、切頭半球、および他の錐台からなる群から選択される、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項２２】
前記剛性セグメントが、研磨面と平行なセグメントの面において取った、４００ｍｍ２以下の断面積を有する、請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品。
【請求項２３】
半導体ウエハの面を修正する装置であって、請求項１〜３のいずれか１項に記載の固定研磨物品を備える装置。
【請求項２４】
前記固定研磨物品が
ａ．前記固定研磨要素を備える第１ウエッブと、
ｂ．前記複数の剛性セグメントを備える第２ウエッブと、
ｃ．前記弾性要素を備える第３ウエッブと、
から組み立てられる、請求項２３に記載の装置。
【請求項２５】
前記第１ウエッブと前記第２ウエッブが、互いに関して可動である、請求項２４に記載の装置。
【請求項２６】
前記第２ウエッブと前記第３ウエッブとが、互いに関して可動である、請求項２４に記載の装置。
【請求項２７】
前記第１ウエッブと前記第３ウエッブとが、互いに関して可動である、請求項２４に記載の装置。
【請求項２８】
前記第１ウエッブと、前記第２ウエッブと、前記第３ウエッブとが、互いに関して可動である、請求項２４に記載の装置。
【請求項２９】
第１断面積を有する第１の複数の剛性セグメントを備える第１領域と、
第２断面積を有する第２の複数の剛性セグメントを備える第２領域と、
を備えるウエッブをさらに備え、
前記第１断面積が、前記第２断面積とは異なる、請求項２３に記載の装置。
【請求項３０】
前記剛性層が、金属とプラスチックからなる群から選択される材料を備える、請求項２３に記載の装置。
【請求項３１】
半導体ウエハの面を修正する方法であって、
ａ）請求項１〜３のいずれか１項に記載の研磨物品を半導体ウエハと接触させる工程と、
ｂ）前記半導体ウエハと前記研磨物品を互いに関して動かす工程と、
を備える方法。
【請求項３２】
ａ）研磨物品の第１領域を半導体ウエハと接触させる工程であって、前記第１領域が、第１断面積を有する第１の複数の剛性セグメントを備える工程と、
ｂ）前記半導体ウエハと前記研磨物品を互いに関して動かす工程と、
ｃ）研磨物品の第２領域を半導体ウエハと接触させる工程であって、前記第２領域が、第２断面寸法を有する第２の複数の前記剛性セグメントを備える工程と、
ｄ）前記半導体ウエハと前記固定研磨物品とを互いに関して動かす工程と、
をさらに備える、請求項３１に記載の方法。
【請求項３３】
前記研磨物品が、前記複数の剛性セグメントを備えるウエッブをさらに備え、前記ウエッブを第１位置から第２位置まで指標付けする工程をさらに備える、請求項３２に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
一実施形態では、固定研磨要素は、剛性セグメントに対して動かすことができる。他の実施形態では、固定研磨要素と剛性セグメントとは、弾性要素に対して動かすことができる。他の実施形態では、該装置は、固定研磨要素を含んでいる第１ウエッブと、複数の剛性セグメントを含んでいる第２ウエッブと、弾性要素を含んでいる第３ウエッブとをさらに含む。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
剛性セグメント２２は、剛性要素３４の深さの中へ、かつ剛性要素３４の面を横断して延在する溝３２によって互いに間隔をおいて配置される。溝３２により、剛性要素３４は、溝のない剛性セグメントより相対的に柔軟になり、それにより、剛性要素３４は全体として、個々のセグメント２２が依然として剛性な状態で、半導体ウエハの面に順応することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
溝３２が剛性要素３４の中へ延在する深さは、変更することができる。剛性要素は溝３２を含むことができ、この溝３２は、たとえば、剛性要素３４の中へ延在する、剛性要素３４を通過して延在する、剛性要素３４を通過して下にある相対的により弾性的な要素２６の中へ延在する、剛性要素３４を通過しかつ下にある相対的により弾性的な要素２６を通過して延在する、およびその組合わせなどである。溝３２が、サブパッドの深さの中へさらに延在すると、研磨物品の構造は、より柔軟になる。好適には、溝は、剛性セグメント２２を提供するように剛性要素３４を貫通して延在して、弾性要素２６の上にあり、かつ他の剛性セグメントとはほぼ関係なく動く剛性セグメント２２を提供し、それにより、局所的な平坦化を維持しながら、剛性要素が半導体ウエハの面に順応することを可能にする。１つの剛性セグメントの運動が、近傍のセグメントのいずれにも分与または伝達されないことがより好適である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
図１は、剛性要素３４の中に延在する溝３２を含む研磨物品１０を示す。図３は、剛性セグメント２２ａが弾性要素２６の上に独立して懸垂されるように、剛性要素３４を通過する溝３２ａを示す。図５は、剛性要素３４を通過し、かつ弾性要素２６の中に延在する溝３２ｂと、剛性要素３４を通過し、かつ弾性要素２６を通過する溝３２ｃとを示す。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
図４ａは、剛性セグメント２２ａの側壁７２ａと上壁７４ａとのユニオン７６ａ、すなわち研磨要素に至近の剛性セグメントの面が９０度を形成する剛性セグメント２２ａを示す。側壁７２と上壁７４のユニオン７６は、斜角がつけられた、または湾曲したユニオンなどを含めて、９０°以外とすることもできる。図４ｂは、側壁７２ｂと上壁７４ｂとの間のユニオン７６ｂが先細りになっている、すなわち傾斜している剛性セグメント２２ｂを示す。図４ｃは、側壁７２ｃと上壁７４ｃとの間のユニオン７６ｃが丸みを帯びている剛性セグメントを示す。剛性セグメントの上端において、剛性セグメントのコーナの１つまたは複数を先細りにするまたは丸くすることは、半導体ウエハがそのように構築された研磨物品の面を横断して相対的により滑らかに移行することに備える。