【手続補正書】
【提出日】平成19年9月13日(2007.9.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カンチレバーによって試料の表面情報を測定する走査型プローブ顕微鏡において、
前記試料をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動するＸＹ駆動手段と、
前記カンチレバーの交換指示を行うレバー交換指示手段と、
前記レバー交換指示手段からの前記カンチレバーの交換指示に基づいて、前記ＸＹ駆動手段を駆動させ、前記カンチレバーを前記試料から退避させる動作を行うレバー交換制御手段と、
を有することを特徴とする走査型ブローブ顕微鏡。
【請求項２】
カンチレバーによって試料の表面情報を測定する走査型プローブ顕微鏡において、
前記カンチレバーと前記試料との相対的な位置をＺ軸方向に移動させるＺ駆動手段と、
前記カンチレバーの交換指示を行うレバー交換指示手段と、
前記レバー交換指示手段からの前記カンチレバーの交換指示に基づいて、前記Ｚ駆動手段を駆動させ、前記カンチレバーを前記試料から退避させる動作を行うレバー交換制御手段と、
を有することを特徴とする走査型ブローブ顕微鏡。
【請求項３】
カンチレバーによって試料の表面情報を測定する走査型プローブ顕微鏡において、
前記カンチレバーと前記試料を観察する対物レンズとを保持し、前記カンチレバーと前記対物レンズとの切替えを行う電動レボルバと、
前記カンチレバーの交換指示を行うレバー交換指示手段と、
前記レバー交換指示手段からの前記カンチレバーの交換指示に基づいて、前記電動レボルバを駆動させ、前記カンチレバーを前記試料から退避させる動作を行うレバー交換制御手段と、
を有することを特徴とする走査型ブローブ顕微鏡。
【請求項４】
前記ＸＹ駆動手段は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に前記試料を移動させるモーターを有し、
前記レバー交換制御手段は、前記レバー交換指示手段からの前記カンチレバーの交換指示に基づいて、前記モーターを予め設定された順序、回転方向及び回転量で駆動させ、前記カンチレバーを前記試料から退避させる動作を行うことを特徴とする請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項５】
前記カンチレバーと前記試料との相対的な位置をＺ軸方向に移動させるＺ駆動手段と、を更に有し、
前記レバー交換制御手段は、前記レバー交換指示手段からの前記カンチレバーの交換指示に基づいて、前記ＸＹ駆動手段及び前記Ｚ駆動手段を駆動させ、前記カンチレバーを前記試料から退避させる動作を行うことを特徴とする請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項６】
前記カンチレバーと前記試料を観察する対物レンズとを保持し、前記カンチレバーと前記対物レンズとの切替えを行う電動レボルバと、を更に有し、
前記レバー交換制御手段は、前記レバー交換指示手段からの前記カンチレバーの交換指示に基づいて、前記ＸＹ駆動手段、前記Ｚ駆動手段及び前記電動レボルバを駆動させ、前記カンチレバーを前記試料から退避させる動作を行うことを特徴とする請求項５記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項７】
前記レバー交換制御手段は、前記カンチレバーを前記試料から退避させる動作の終了後、再び前記レバー交換指示手段によって前記カンチレバーの交換指示が行われた場合、前記カンチレバーを前記試料から退避させる動作前の状態に復帰することを特徴とする請求項１から３のいずれか記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項８】
前記Ｚ駆動手段は、Ｚ軸方向への粗動動作が可能なＺ粗動駆動手段としたことを特徴とする請求項２記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項９】
前記Ｚ駆動部手段は、Ｚ軸方向への微動動作が可能なＺ微動駆動手段としたことを特徴とする請求項２記載の走査型プローブ顕微鏡。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明に係る第１の走査型プローブ顕微鏡は、カンチレバーによって試料の表面情報を測定する走査型プローブ顕微鏡において、前記試料をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動するＸＹ駆動手段と、前記カンチレバーの交換指示を行うレバー交換指示手段と、前記レバー交換指示手段からの前記カンチレバーの交換指示に基づいて、前記ＸＹ駆動手段を駆動させ、前記カンチレバーを前記試料から退避させる動作を行うレバー交換制御手段と、を有する構成としてある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明に係る第２の走査型プローブ顕微鏡は、カンチレバーによって試料の表面情報を測定する走査型プローブ顕微鏡において、前記カンチレバーと前記試料との相対的な位置をＺ軸方向に移動させるＺ駆動手段と、前記カンチレバーの交換指示を行うレバー交換指示手段と、前記レバー交換指示手段からの前記カンチレバーの交換指示に基づいて、前記Ｚ駆動手段を駆動させ、前記カンチレバーを前記試料から退避させる動作を行うレバー交換制御手段と、を有する構成としてある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
上記目的を達成するために、本発明に係る第３の走査型プローブ顕微鏡は、カンチレバーによって試料の表面情報を測定する走査型プローブ顕微鏡において、前記カンチレバーと前記試料を観察する対物レンズとを保持し、前記カンチレバーと前記対物レンズとの切替えを行う電動レボルバと、前記カンチレバーの交換指示を行うレバー交換指示手段と、前記レバー交換指示手段からの前記カンチレバーの交換指示に基づいて、前記電動レボルバを駆動させ、前記カンチレバーを前記試料から退避させる動作を行うレバー交換制御手段と、を有する構成としてある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
好ましくは、前記ＸＹ駆動手段は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に前記試料を移動させるモーターを有し、前記レバー交換制御手段は、前記レバー交換指示手段からの前記カンチレバーの交換指示に基づいて、前記モーターを予め設定された順序、回転方向及び回転量で駆動させ、前記カンチレバーを前記試料から退避させる動作を行う構成、又は、前記カンチレバーと前記試料との相対的な位置をＺ軸方向に移動させるＺ駆動手段と、を更に有し、前記レバー交換制御手段は、前記レバー交換指示手段からの前記カンチレバーの交換指示に基づいて、前記ＸＹ駆動手段及び前記Ｚ駆動手段を駆動させ、前記カンチレバーを前記試料から退避させる動作を行う構成、又は、前記カンチレバーと前記試料を観察する対物レンズとを保持し、前記カンチレバーと前記対物レンズとの切替えを行う電動レボルバと、を更に有し、前記レバー交換制御手段は、前記レバー交換指示手段からの前記カンチレバーの交換指示に基づいて、前記ＸＹ駆動手段、前記Ｚ駆動手段及び前記電動レボルバを駆動させ、前記カンチレバーを前記試料から退避させる動作を行う構成とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
より好ましくは、前記レバー交換制御手段は、前記カンチレバーを前記試料から退避させる動作の終了後、再び前記レバー交換指示手段によって前記カンチレバーの交換指示が行われた場合、前記カンチレバーを前記試料から退避させる動作前の状態に復帰する構成とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
より好ましくは、前記Ｚ駆動手段は、Ｚ軸方向への粗動動作が可能なＺ粗動駆動手段とした構成、又は、前記Ｚ駆動部手段は、Ｚ軸方向への微動動作が可能なＺ微動駆動手段とした構成とする。