【手続補正書】
【提出日】平成20年4月11日(2008.4.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
ハウジング１内には、バルブ部材すなわちピストンがある。バルブ部材は、バルブステム７の端部に装着されるプランジャ８を含む。プランジャ８は、ハウジング１の開口端側にある。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
磁気要素の間隔は、ハウジング１の外側に沿うコイル１１の間隔に対応するため、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）、（ｇ）あるいは（ｈ）の何れかの例で示すように、磁気要素セグメントの１つが完全にコイル内にあるとき、隣接するセグメントの一方はコイル間の略中間にある。本実施の形態で配列されるように、磁気要素の全体ではなく一部がコイル内にある場合、コイルの励磁によって磁気要素をコイルの中心に向かって引っ張る大きな引力が発生する。直線的移動が軸方向のコイル間隔と等しい駆動モータに関しては、磁気要素の間隔は式１で求められる。
Lspacing = 1 / Nsets &times; LMagElements / (NCoils - 1)・・・式１ 
ここで、Lspacingは磁気要素間の間隔であり、LMagElementsは磁気要素の軸方向長さであり、NCoilsはコイル数であり、Nsetsは同時に励磁されるコイル数である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
プランジャ８を更にハウジング１上方へ移動することにより、流量が増大する。この移動を以下の方法で達成する。コイル１１Ｃを作動させ、同時にコイル１１Ｂへの電源をオフにする。コイル１１Ｃの作動によって、磁気要素９Ｂを完全にコイル１１Ｃ内に引っ張り、バルブステム７を更にハウジング１上方へ引っ張る。コイル１１Ｂの作動が停止しているので、コイル１１Ｂを通過して抜け出る磁気要素９Ａの移動に対する抵抗を生じない。コイルの作動および作動停止は、瞬間的であるか、いくらか通電の重なりを伴う。      
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
通常、上記スイッチングシーケンスを逆に行い、徐々にバルブを閉じる。しかし、すべてのコイル１１への電源を停止すると、バネ１３が自動的にバルブステム７を中立位置すなわち閉位置まで戻す。これは、停電が発生した場合、バルブを通過する流れを断つという利点をもたらす。バルブを非水平に設置する場合、出口６をピストンハウジング３の他のどの部分よりも低い部分に設けると、バルブステム７、プランジャ８、磁気要素９、およびスペーサ１０等の可動部品の自重によって閉止力を提供できる。加えて、プランジャ８裏側の流体圧によっても、バルブステム７は出口方向に付勢され得る。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
図４で示す代替の実施の形態では、主入口５がハウジング１の上端に位置する。従って気体または他の流体はハウジング１の上端から流入し、バネ１３の周辺を流れる。本実施の形態では、磁気要素９Ａ，９Ｂおよび９Ｃの断面形状は、ハウジング１内部の断面形状よりも実質的に小さいため、気体または他の流体が、ハウジング１の長手に沿ってその内面と磁気要素９Ａ，９Ｂ，９Ｃとの間を流れることができる。流れを矢印１４で示す。気体または流体がバルブの下側部に到達すると、ハウジング１から流出して、１つまたはそれ以上の入口４Ｅ，４Ｄ，４Ｃ，４Ｂおよび４Ａを経由してキャビティ２に流入する。全閉位置では、これら入口すべてがこの用途に利用可能である。第１の実施の形態で既に述べたように同一または類似の作動シーケンスを用いて、バルブシャフト７をハウジング１上方に移動させると、プランジャ８のハウジング１上方への移動によって入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃ等が順次開き、これら入口と出口６との間に流路が形成される。こうして流路が形成され、気体または流体が入口５を介して流入し、ハウジング１を流下して少なくとも入口４Ｅを介してチャンバ２に流入し、その後、少なくとも入口４Ａから出て、出口６から流出する。本実施の形態では、第１の実施の形態よりも有利な点が少なくとも２つある。１つは、バネ１３が完全非圧縮位置にあり、プランジャ８が出口６を閉止している状態で、弁閉位置を形成できることである。２つ目は、バネ１３が完全圧縮位置にあり、プランジャ８がハウジング１下方への気体または他の流体の流れ１４をブロックし、そして気体または流体が入口４Ａ〜４Ｅの何れかを通ってチャンバ２に流入するのを阻止している状態で、第２弁閉位置を形成できることである。本実施の形態にあっては、２つに相補的に下位分類された開口を通過する流れによって、同一の作動シーケンスを用いながらも全く異なった流量特性が得られる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
図１１〜図１３は、可変流量バルブの実動プロトタイプを示す。これまでに図示していないアイテムは以下の通りである。
ピストンハウジング２１をシールするキャップ３０；管路内側の接続をシールし、大気への漏れを防ぐシーリングＯリング３１；コイル巻を電源に接続するコイル端末３２；ピストンハウジング３を迂回してチャンバ２から出口あるいは大気への流体漏れを防ぐシール３３。シール材料は、バルブで調整する流体の種類に依存。実動プロトタイプは、シリコンゴムを使用。；バルブステム７をプランジャ８に取り付けるネジ３５；バルブステム７をネジ３５でプランジャ８に締め付けるバルブステム７についてのクリンプ３６。これによって磁気要素９およびスペーサ１０の位置が動くのを防止。；本体１の空洞部１９とピストンハウジング２１との間のあらゆる流体漏れを防ぐのに用いられるシーリングＯリング３７；機器内で装置の取付手段をネジが提供するようにする開口３８。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
このプロトタイプの実施の形態は、バルブステム７の長手に沿って取り付けられる１２個の磁気要素９を有する。更に追加した磁気要素によって、図１〜図１０に示す実施の形態に比べ、より細かいモータステップ分解能を許容する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
バルブ壁に示される一連の孔４がある。これら孔が各々開かれると、気体あるいは流体に与えられる流路の合計断面積が増大する。本実施の形態では、バルブステム７がモータで上昇させられるにつれ、各孔が順次開かれる。流路断面積の変化率は、シーケンスにおいて各入口孔４の直径を予め定めることで調整できる。このような方法で、特定機器または用途に応じて流量特性を設計できる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
各磁気要素９は、式１で計算される離隔距離をとってバルブステム７上に固定される。磁気要素９の直径はピストンハウジング２１の直径と略等しい。磁気要素の側面とシリンダ壁との間には小さな隙間がある。これによって幾らかの気体あるいは流体は主流体流量の僅かな割合で表面間を流れることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
リニアステッピングモータにおける最初の２つのステップで、入口孔４を開かずにプランジャ８と出口６の間に形成されたシールが外れるよう、プランジャ８を上昇させる。モータのこのような最初の２つのステップでは、プランジャ８とピストンハウジング２１との間の気体あるいは流体に与えられる減少した流路の断面積を生じせしめる。これは「漏流（leakage flow）」として周知である。この漏流は、最初の入口孔の開きによって得られる流体流量に先行して起こる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
バネはバルブステムの頂部とシリンダハウジングの頂部との間を接続する。バネはピストンシャフトをハウジングの底部の方向に付勢する。電磁石への電源供給がなければ、バネはピストンシャフトを押し下げてバルブを閉じる。この特徴は、停電、または突然の停止を要するような別のセンサからの警告が起きた場合、優位である。バネ力は、電磁石の電磁力より小さく、プランジャの自重による重力より大きい。  
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
図８および図１３は動的シールを持たないプランジャ８を示す。ここで、プランジャ８は金属ハウジング２１内部で動作するため、これら２つの部品を自由に動かすには隙間が不可欠である。この隙間が原因で漏れ２０（図５）が発生する。この漏れを第１段階の流れとして用いる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
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