【手続補正書】
【提出日】平成19年8月16日(2007.8.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】表示装置およびプロジェクター
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁表面上に走査線と、
前記走査線上に第１絶縁膜と、
前記第１絶縁膜上に半導体膜と、
前記半導体膜上に第２絶縁膜と、
前記第２絶縁膜上に、前記走査線と電気的に接続するゲート電極と、
前記ゲート電極上に第３絶縁膜と、
前記第３絶縁膜上に、前記半導体膜と電気的に接続する信号線と、が設けられた画素部を有することを特徴とする表示装置。
【請求項２】
絶縁表面上に走査線と、
前記走査線上に第１絶縁膜と、
前記第１絶縁膜上に半導体膜と、
前記半導体膜上に第２絶縁膜と、
前記第２絶縁膜上に、前記走査線と電気的に接続するゲート電極と、
前記ゲート電極上に第３絶縁膜と、
前記第３絶縁膜上に、前記半導体膜と電気的に接続する信号線と、
前記信号線上に第４絶縁膜と、
前記第４絶縁膜上に遮光膜と、が設けられた画素部を有することを特徴とする表示装置。
【請求項３】
絶縁表面上に走査線と、
前記走査線上に第１絶縁膜と、
前記第１絶縁膜上に半導体膜と、
前記半導体膜上に第２絶縁膜と、
前記第２絶縁膜上に、前記走査線と電気的に接続するゲート電極と、
前記ゲート電極上に第３絶縁膜と、
前記第３絶縁膜上に、前記半導体膜と電気的に接続する信号線と、
前記信号線上に第４絶縁膜と、
前記第４絶縁膜上に画素電極と、が設けられた画素部を有することを特徴とする表示装置。
【請求項４】
請求項２又は請求項３において、
前記信号線と平行に設けられた容量配線を有することを特徴とする表示装置。
【請求項５】
絶縁表面上に走査線と、
前記走査線上に第１絶縁膜と、
前記第１絶縁膜上に半導体膜と、
前記半導体膜上に第２絶縁膜と、
前記第２絶縁膜上に、前記走査線と電気的に接続するゲート電極と、
前記第２絶縁膜上に配線と、
前記ゲート電極上に第３絶縁膜と、
前記第３絶縁膜上に、前記配線と平行であって、前記半導体膜と電気的に接続する信号線と、が設けられた画素部を有することを特徴とする表示装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記配線は容量配線であることを特徴とする表示装置。
【請求項７】
請求項４又は請求項６において、
前記第２絶縁膜を介して前記半導体膜と前記容量配線が重なることを特徴とする表示装置。
【請求項８】
請求項７において、
前記第２絶縁膜の前記容量配線と重なる領域は、前記第２絶縁膜の前記容量配線と重ならない領域よりも膜が薄いことを特徴とする表示装置。
【請求項９】
請求項４及び請求項６乃至請求項８のいずれか一項において、
前記走査線は、前記容量配線と直交することを特徴とする表示装置。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれか一項において、
前記走査線は、前記信号線と直交することを特徴とする表示装置。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれか一項において、
前記ゲート電極は、導電型を付与する不純物元素がドープされたｐｏｌｙ−Ｓｉ、Ｗ、ＷＳｉＸ（Ｘ＝２．０〜２．８）、Ａｌ、Ｔａ、Ｃｒ、もしくはＭｏでなる導電膜、又はこれらの導電膜から選ばれた膜を積層した膜であることを特徴とする表示装置。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項１１のいずれか一項において、
前記走査線は、導電型を付与する不純物元素がドープされたｐｏｌｙ−Ｓｉ、Ｗ、ＷＳｉＸ（Ｘ＝２．０〜２．８）、Ａｌ、Ｔａ、Ｃｒ、もしくはＭｏでなる導電膜、又はこれらの導電膜から選ばれた膜を積層した膜であることを特徴とする表示装置。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項１２のいずれか一項において、
前記信号線は、Ａｌ、Ｗ、ＴｉもしくはＴｉＮを主成分とする膜、又はこれらの導電膜から選ばれた膜を積層した膜であることを特徴とする表示装置。
【請求項１４】
請求項１乃至請求項１３のいずれか一項に記載の表示装置を用いたことを特徴とする液晶表示装置。
【請求項１５】
請求項１乃至請求項１３のいずれか一項に記載の表示装置で表示部を構成したことを特徴とするパーソナルコンピュータ、ビデオカメラ、モバイルコンピュータ、ゴーグル型ディスプレイ、又は記憶媒体を用いるプレーヤー。
【請求項１６】
複数のミラーと、
光源と、
画素部を有する表示装置と、で構成される投射装置を有するプロジェクターであって、
前記画素部には、
絶縁表面上に走査線と、
前記走査線上に第１絶縁膜と、
前記第１絶縁膜上に半導体膜と、
前記半導体膜上に第２絶縁膜と、
前記第２絶縁膜上に、前記走査線と電気的に接続するゲート電極と、
前記ゲート電極上に第３絶縁膜と、
前記第３絶縁膜上に、前記半導体膜と電気的に接続する信号線と、が設けられていることを特徴とするプロジェクター。
【請求項１７】
複数のミラーと、
光源と、
画素部を有する表示装置と、で構成される投射装置を有するプロジェクターであって、
前記画素部には、
絶縁表面上に走査線と、
前記走査線上に第１絶縁膜と、
前記第１絶縁膜上に半導体膜と、
前記半導体膜上に第２絶縁膜と、
前記第２絶縁膜上に、前記走査線と電気的に接続するゲート電極と、
前記ゲート電極上に第３絶縁膜と、
前記第３絶縁膜上に、前記半導体膜と電気的に接続する信号線と、
前記信号線上に第４絶縁膜と、
前記第４絶縁膜上に遮光膜と、が設けられていることを特徴とするプロジェクター。
【請求項１８】
複数のミラーと、
光源と、
画素部を有する表示装置と、で構成される投射装置を有するプロジェクターであって、
前記画素部には、
絶縁表面上に走査線と、
前記走査線上に第１絶縁膜と、
前記第１絶縁膜上に半導体膜と、
前記半導体膜上に第２絶縁膜と、
前記第２絶縁膜上に、前記走査線と電気的に接続するゲート電極と、
前記ゲート電極上に第３絶縁膜と、
前記第３絶縁膜上に、前記半導体膜と電気的に接続する信号線と、
前記信号線上に第４絶縁膜と、
前記第４絶縁膜上に画素電極と、が設けられていることを特徴とするプロジェクター。
【請求項１９】
請求項１７又は請求項１８において、
前記信号線と平行に設けられた容量配線を有することを特徴とするプロジェクター。
【請求項２０】
複数のミラーと、
光源と、
画素部を有する表示装置と、で構成される投射装置を有するプロジェクターであって、
前記画素部には、
絶縁表面上に走査線と、
前記走査線上に第１絶縁膜と、
前記第１絶縁膜上に半導体膜と、
前記半導体膜上に第２絶縁膜と、
前記第２絶縁膜上に、前記走査線と電気的に接続するゲート電極と、
前記第２絶縁膜上に配線と、
前記ゲート電極上に第３絶縁膜と、
前記第３絶縁膜上に、前記配線と平行であって、前記半導体膜と電気的に接続する信号線と、が設けられていることを特徴とするプロジェクター。
【請求項２１】
請求項２０において、
前記配線は容量配線であることを特徴とするプロジェクター。
【請求項２２】
請求項１９又は請求項２１において、
前記第２絶縁膜を介して前記半導体膜と前記容量配線が重なることを特徴とするプロジェクター。
【請求項２３】
請求項２２において、
前記第２絶縁膜の前記容量配線と重なる領域は、前記第２絶縁膜の前記容量配線と重ならない領域よりも膜が薄いことを特徴とするプロジェクター。
【請求項２４】
請求項１９及び請求項２１乃至請求項２３のいずれか一項において、
前記走査線は、前記容量配線と直交することを特徴とするプロジェクター。
【請求項２５】
請求項１６乃至請求項２４のいずれか一項において、
前記走査線は、前記信号線と直交することを特徴とするプロジェクター。
【請求項２６】
請求項１６乃至請求項２５のいずれか一項において、
前記ゲート電極は、導電型を付与する不純物元素がドープされたｐｏｌｙ−Ｓｉ、Ｗ、ＷＳｉＸ（Ｘ＝２．０〜２．８）、Ａｌ、Ｔａ、Ｃｒ、もしくはＭｏでなる導電膜、又はこれらの導電膜から選ばれた膜を積層した膜であることを特徴とするプロジェクター。
【請求項２７】
請求項１６乃至請求項２６のいずれか一項において、
前記走査線は、導電型を付与する不純物元素がドープされたｐｏｌｙ−Ｓｉ、Ｗ、ＷＳｉＸ（Ｘ＝２．０〜２．８）、Ａｌ、Ｔａ、Ｃｒ、もしくはＭｏでなる導電膜、又はこれらの導電膜から選ばれた膜を積層した膜であることを特徴とするプロジェクター。
【請求項２８】
請求項１６乃至請求項２７のいずれか一項において、
前記信号線は、Ａｌ、Ｗ、ＴｉもしくはＴｉＮを主成分とする膜、又はこれらの導電膜から選ばれた膜を積層した膜であることを特徴とするプロジェクター。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
次いで、第３絶縁膜１０８上にＡｌ、Ｗ、Ｔｉ、ＴｉＮを主成分とする膜、またはそれらの積層構造を有する導電膜（膜厚：５００μｍ）を形成し、パターニングを施すことにより信号線１０９、１１１と、後に形成される画素電極と接続するための島状の電極１１０を形成する。この信号線１０９、１１１は、半導体膜に達する第２コンタクトホール１００ａ、１００ｂを通じてソース領域あるいはドレイン領域と接続する。同様に島状の電極１１０は、半導体膜に達する第２コンタクトホール１００ａを通じてソース領域あるいはドレイン領域と接続する。また、信号線１０９、１１１は容量配線１０７と平行な方向に配置する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
図６（Ｃ）はモバイルコンピュータ（モービルコンピュータ）であり、本体２２０１、カメラ部２２０２、受像部２２０３、操作スイッチ２２０４、表示部２２０５で構成される。本願発明は表示部２２０５に適用できる。