【手続補正書】
【提出日】平成19年2月6日(2007.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体の一部が触れるように放電を発生させる複数の電極の対と、該電極の対に電圧を印加することでどの前記電極の対で放電を発生させるかを制御する放電制御機構とを備え、前記電極の対が複数のグループに分けられており、異なる前記吸着体の部分が順番に放電に触れるように、前記放電制御機構が前記電極の対のグループごとに電圧を印加することを特徴とする揮発性有機化合物処理装置。
【請求項２】
複数の前記電極の対で兼用される前記電極を有することを特徴とする請求項１に記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項３】
処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体の一部が触れるように放電を発生させる一対の電極と、異なる前記吸着体の部分が順番に放電に触れるように、少なくとも片側の前記電極または前記吸着体の何れか少なくとも一を移動させ、前記電極の対に電圧を印加する放電制御機構とを備えた揮発性有機化合物処理装置。
【請求項４】
処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体に触れるように放電を発生させる電極の対と、前記吸着体と前記電極の対を中に収容する密閉可能な隔室とを有する複数のグループに分けられた複数のガス処理ユニットと、該ガス処理ユニットのグループに順番に放電を発生させるように前記電極の対に電圧を印加する放電制御機構とを備えた揮発性有機化合物処理装置。
【請求項５】
接地される前記電極で囲まれる部分を前記隔室内に有し、この部分に前記ガス処理ユニットを構造的に強くする補強部材を配置することを特徴とする請求項４に記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項６】
前記補強部材を前記処理対象ガスの流れと平行な向きに配置することを特徴とする請求項５に記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項７】
前記電極の対において接地する側の接地電極が処理対象ガスを通すことができる構造とし、外側に誘電体を配置した電圧を印加する側の高圧電極を複数備え、前記高圧電極を囲むように前記接地電極を配置し、前記接地電極と交差する向きに処理対象ガスを流すことを特徴とする請求項４に記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項８】
隣接する前記高圧電極と前記接地電極のすべての組で、前記高圧電極と前記接地電極の間の最小距離を同じ所定値とすることを特徴とする請求項７に記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項９】
処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体を間に挟んで配置された放電を発生させる電極の対と、処理対象ガス中での揮発性有機化合物の濃度を計測するＶＯＣ濃度センサと、該ＶＯＣ濃度センサで計測された揮発性有機化合物の濃度から前記吸着体が吸着した揮発性有機化合物の量を求め、この吸着した揮発性有機化合物の量が所定値以上になった後に前記電極の対に電圧を印加して放電を発生させる放電制御機構を備えた揮発性有機化合物処理装置。
【請求項１０】
処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体を間に挟んで配置された放電を発生させる電極の対と、処理対象ガス中での揮発性有機化合物の濃度を計測するＶＯＣ濃度センサと、該ＶＯＣ濃度センサで計測された揮発性有機化合物の濃度から前記吸着体が吸着した揮発性有機化合物の量を求め、放電開始時点における前記吸着体が吸着した揮発性有機化合物の量に応じて印加電圧、放電電流、放電継続時間の何れか少なくとも一を変化させる放電制御機構を備えた揮発性有機化合物処理装置。
【請求項１１】
処理対象ガス中での揮発性有機化合物の濃度を計測するＶＯＣ濃度センサを備え、該ＶＯＣ濃度センサで計測された揮発性有機化合物の濃度から前記吸着体が吸着した揮発性有機化合物の量を求め、この吸着した揮発性有機化合物の量が所定値以上になった後に前記放電制御機構が前記電極の対に電圧を印加して放電を発生させることを特徴とする請求項１、請求項３及び請求項４の何れかに記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項１２】
処理対象ガス中での揮発性有機化合物の濃度を計測するＶＯＣ濃度センサを備え、該ＶＯＣ濃度センサで計測された揮発性有機化合物の濃度から前記吸着体が吸着した揮発性有機化合物の量を求め、放電開始時点における前記吸着体が吸着した揮発性有機化合物の量に応じて印加電圧、放電電流、放電継続時間の何れか少なくとも一を前記放電制御機構が変化させることを特徴とする請求項１、請求項３及び請求項４の何れかに記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項１３】
処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体を間に挟んで配置された放電を発生させる電極の対と、放電発生時に前記吸着体へ流す処理対象ガスの流量を放電が発生してない時の流量よりも少なくする流量調整機構とを備えた揮発性有機化合物処理装置。
【請求項１４】
処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体を間に挟んで配置された放電を発生させる電極の対と、処理対象ガスの流れとは逆方向に放電発生時及びその後の所定期間に前記吸着体にガスを流すガス返送機構とを備えた揮発性有機化合物処理装置。
【請求項１５】
処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体に触れるように放電を発生させる電極の対と、前記吸着体と前記電極の対を中に収容する密閉可能な隔室とを有するガス処理ユニットと、放電発生時に密閉された前記隔室に放電をさせた後の所定の期間に処理対象ガスの流れとは逆方向にガスを流すガス返送機構を備えた揮発性有機化合物処理装置。
【請求項１６】
放電に触れていない時に前記吸着体へ所定の流量で処理対象ガスを供給し、放電に触れている時には前記吸着体へ供給する処理対象ガスの流量を、放電に触れていない時の流量よりも少なくする流量調整機構を備えたことを特徴とする請求項１、請求項３及び請求項４の何れかに記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項１７】
処理対象ガスの流れとは逆方向に放電発生時及びその後の所定期間に前記吸着体にガスを流すガス返送機構を備えたことを特徴とする請求項１、請求項３及び請求項４の何れかに記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項１８】
放電発生時に密閉された前記隔室に放電を発生させた後の所定の期間に他の前記ガス処理ユニットで処理された処理済ガスを処理対象ガスの流れとは逆方向に流すガス返送機構を備えた請求項４に記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項１９】
大気中よりも酸素が多いガスまたは酸素を含み大気中よりも窒素が少ないガスの何れかを放電に触れている前記吸着体に供給するガス供給機構を備えたことを特徴とする請求項１３〜請求項１５の何れかに記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項２０】
処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着し、処理対象ガスが流れる所定の径の孔が所定の気孔率で形成されて成る誘電体である吸着体と、該吸着体を間に挟んで配置された交流の電圧が印加される電極の対とを備えた揮発性有機化合物処理装置。
【請求項２１】
処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着し、処理対象ガスが通るガス通路を有し、このガス通路の壁面を誘電体として成る吸着体と、該吸着体を間に挟んでガス通路の壁面と交差する方向に放電を発生させるように配置された、交流の電圧が印加される電極の対とを備えた揮発性有機化合物処理装置。
【請求項２２】
前記吸着体が処理対象ガスが流れる所定の径の孔が所定の気孔率で形成されて成る誘電体であり、前記電極の対に交流の電圧を印加することを特徴とする請求項１、請求項３、請求項４、請求項９、請求項１０、請求項１３、請求項１４、請求項１５の何れかに記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項２３】
処理対象ガスが通るガス通路を前記吸着体が有し、このガス通路の壁面を誘電体とし、ガス通路の壁面と交差する方向に放電を発生させるように前記電極の対を配置し、前記電極の対に交流の電圧を印加することを特徴とする請求項１、請求項３、請求項４、請求項９、請求項１０、請求項１３、請求項１４、請求項１５の何れかに記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項２４】
前記電極の対の間に誘電体を配置し、前記電極の対に交流の電圧を印加することを特徴とする請求項１、請求項３、請求項４、請求項９、請求項１０、請求項１３、請求項１４、請求項１５の何れかに記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項２５】
前記誘電体を固体とし、前記誘電体と前記電極とを熱的及び電気的に結合する給電層を前記誘電体と前記電極の間に設けることを特徴とする請求項２４に記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項２６】
前記誘電体に隣接する前記電極を冷却する電極冷却機構を備えることを特徴とする請求項２４に記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項２７】
処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体を間に挟んで配置された放電を発生させる交流の電圧が印加される電極の対と、前記電極の対の内で何れかの前記電極に隣接させて配置された固体の誘電体と、該誘電体と前記電極とを熱的及び電気的に結合するために前記誘電体と前記電極の間に設けた給電層とを備えた揮発性有機化合物処理装置。
【請求項２８】
前記電極の対の内で少なくとも一方の前記電極がその内部に密閉した空間を有するものであり、前記電極内の空間に封入した冷媒と、該冷媒の蒸気から熱を奪う放熱板とを有する電極冷却機構を備えることを特徴とする請求項１、請求項３、請求項４、請求項９、請求項１０、請求項１３、請求項１４、請求項１５、請求項２０、請求項２１、請求項２７の何れかに記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項２９】
前記放熱板とこの前記放熱板が冷却する前記電極とを絶縁することを特徴とする請求項２８に記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項３０】
前記吸着体により揮発性有機化合物を吸着された後の処理済ガスにより前記放熱板を冷却することを特徴とする請求項２８に記載の揮発性有機化合物処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
さらに、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体を間に挟んで配置された放電を発生させる電極の対と、処理対象ガス中での揮発性有機化合物の濃度を計測するＶＯＣ濃度センサと、該ＶＯＣ濃度センサで計測された揮発性有機化合物の濃度から前記吸着体が吸着した揮発性有機化合物の量を求め、この吸着した揮発性有機化合物の量が所定値以上になった後に前記電極の対に電圧を印加して放電を発生させる放電制御機構を備えたものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
さらにまた、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体を間に挟んで配置された放電を発生させる電極の対と、処理対象ガス中での揮発性有機化合物の濃度を計測するＶＯＣ濃度センサと、該ＶＯＣ濃度センサで計測された揮発性有機化合物の濃度から前記吸着体が吸着した揮発性有機化合物の量を求め、放電開始時点における前記吸着体が吸着した揮発性有機化合物の量に応じて印加電圧、放電電流、放電継続時間の何れか少なくとも一を変化させる放電制御機構を備えたものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
さらに、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体を間に挟んで配置された放電を発生させる電極の対と、放電発生時に前記吸着体へ流す処理対象ガスの流量を放電が発生してない時の流量よりも少なくする流量調整機構とを備えたものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
さらにまた、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着し、処理対象ガスが通るガス通路を有し、このガス通路の壁面を誘電体として成る吸着体と、該吸着体を間に挟んでガス通路の壁面と交差する方向に放電を発生させるように配置された、交流の電圧が印加される電極の対とを備えたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
さらに、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体に触れるように放電を発生させる電極の対と、前記吸着体と前記電極の対を中に収容する密閉可能な隔室とを有する複数のグループに分けられた複数のガス処理ユニットと、該ガス処理ユニットのグループに順番に放電を発生させるように前記電極の対に電圧を印加する放電制御機構とを備えたものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
さらにまた、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体を間に挟んで配置された放電を発生させる電極の対と、放電が発生してない時の処理対象ガスの流れとは逆方向に放電発生時及びその後の所定期間に前記吸着体にガスを流すガス返送機構を備えたものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
さらに、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体に触れるように放電を発生させる電極の対と、前記吸着体と前記電極の対を中に収容する密閉可能な隔室とを有するガス処理ユニットと、放電発生時に密閉された前記隔室に放電をさせた後の所定の期間にＶＯＣ吸着時の処理対象ガスの流れとは逆方向にガスを流すガス返送機構とを備えたものものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
さらにまた、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着し、処理対象ガスが流れる所定の径の孔が所定の気孔率で形成されて成る誘電体である吸着体と、該吸着体を間に挟んで配置された交流の電圧が印加される電極の対とを備えたものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
さらに、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体を間に挟んで配置された放電を発生させる電極の対と、処理対象ガス中での揮発性有機化合物の濃度を計測するＶＯＣ濃度センサと、該ＶＯＣ濃度センサで計測された揮発性有機化合物の濃度から前記吸着体が吸着した揮発性有機化合物の量を求め、この吸着した揮発性有機化合物の量が所定値以上になった後に前記電極の対に電圧を印加して放電を発生させる放電制御機構を備えたものなので、少ない消費電力で揮発性有機化合物を処理できるという効果が有る。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
さらにまた、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体を間に挟んで配置された放電を発生させる電極の対と、処理対象ガス中での揮発性有機化合物の濃度を計測するＶＯＣ濃度センサと、該ＶＯＣ濃度センサで計測された揮発性有機化合物の濃度から前記吸着体が吸着した揮発性有機化合物の量を求め、放電開始時点における前記吸着体が吸着した揮発性有機化合物の量に応じて印加電圧、放電電流、放電継続時間の何れか少なくとも一を変化させる放電制御機構を備えたものなので、少ない消費電力で揮発性有機化合物を処理できるという効果が有る。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
さらに、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体を間に挟んで配置された放電を発生させる電極の対と、放電発生時に前記吸着体へ流す処理対象ガスの流量を放電が発生してない時の流量よりも少なくする流量調整機構とを備えたものなので、窒素酸化物の発生を低減できるという効果が有る。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
さらにまた、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着し、処理対象ガスが通るガス通路を有し、このガス通路の壁面を誘電体として成る吸着体と、該吸着体を間に挟んでガス通路の壁面と交差する方向に放電を発生させるように配置された、交流の電圧が印加される電極の対とを備えたものなので、放電を安定化できるという効果が有る。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
さらに、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体に触れるように放電を発生させる電極の対と、前記吸着体と前記電極の対を中に収容する密閉可能な隔室とを有する複数のグループに分けられた複数のガス処理ユニットと、該ガス処理ユニットのグループに順番に放電を発生させるように前記電極の対に電圧を印加する放電制御機構とを備えたものなので、少ない消費電力で揮発性有機化合物を処理できるという効果が有る。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
さらにまた、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体を間に挟んで配置された放電を発生させる電極の対と、放電が発生してない時の処理対象ガスの流れとは逆方向に放電発生時及びその後の所定期間に前記吸着体にガスを流すガス返送機構を備えたものなので、窒素酸化物の排出量を低減できるという効果が有る。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
さらに、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体と、該吸着体に触れるように放電を発生させる電極の対と、前記吸着体と前記電極の対を中に収容する密閉可能な隔室とを有するガス処理ユニットと、放電発生時に密閉された前記隔室に放電をさせた後の所定の期間にＶＯＣ吸着時の処理対象ガスの流れとは逆方向にガスを流すガス返送機構とを備えたものなので、窒素酸化物の発生及び排出量を低減できるという効果が有る。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
さらにまた、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着し、処理対象ガスが流れる所定の径の孔が所定の気孔率で形成されて成る誘電体である吸着体と、該吸着体を間に挟んで配置された交流の電圧が印加される電極の対とを備えたものなので、放電を安定化できるという効果が有る。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
この実施の形態１では、疎水性ゼオライトを吸着剤として使用したが、疎水性とすることにより処理対象ガス中に水分が多い場合でも、ＶＯＣを吸着できるという効果が有る。事前に処理対象ガスを乾燥させるなどの前処理を行う場合であれば、疎水性の吸着剤でなくてもよい。疎水性ゼオライトを球状としたが、処理対象ガスを通すことができ、電極の間に配置できるものであれば、吸着剤はどのような形状であってもよい。吸着剤としては、ゼオライト以外でも、メソポーラスシリケート、脱アルミニウムフォージャサイト、高シリカペンタシルゼオライト、シリカゲルなどの高シリカ吸着剤であってもよいし、他の種類の吸着剤でもよい。ＶＯＣを吸着できかつ脱着できるものであれば、吸着剤はどのようなものでもよい。
以上のことは、他の実施の形態でもあてはまる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１４】
実施の形態１８．
この実施の形態１８は、接地電極１Ａと吸着剤１Ｃを複数のガス処理ユニット１で兼用するように、実施の形態１３を変更した場合である。この実施の形態１８でのＶＯＣ処理装置の構造を説明する図を、図３５に示す。図３５(a)に横断面図を、図３５(b)に縦断面図をそれぞれ示す。なお、図３５(b)におけるＡＡ断面が図３５(a)に対応し、図３５(a)におけるＢＢ断面が図３５(b)に対応する。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２２】
次に動作を説明する。ＶＯＣ処理装置が動作中は常に、高圧電極１Ｄに直流の正の高電圧を印加しておく。接地電極１Ａは、数分程度の所定の時間ごとに角度αだけ移動させる。こうすると、接地電極１Ａと対向する高圧電極１Ｄの部分との間で放電が発生し、放電に触れている部分の吸着剤１Ｃでは、ＶＯＣが脱着され、脱着されたＶＯＣが放電により水と二酸化炭素に分解される。放電に触れていない部分の吸着剤１Ｃは、ＶＯＣを吸着する。これは、吸着剤１Ｃの一部が順番に放電に触れている状態になることを意味する。なお、接地電極１Ａを移動させる時間間隔は、放電に触れている部分の吸着剤１ＣでＶＯＣを分解脱着するのに十分な時間であり、放電に触れるまでの時間間隔が破過する時間よりも長くなるような吸着剤１Ｃが発生しないように決める。
この実施の形態１９でも、小さい電源容量で効率よくＶＯＣを処理できる。さらには、ガスを流すための配管やバルブなどが不要であるという特徴も有る。