【手続補正書】
【提出日】平成19年1月23日(2007.1.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源手段からの光束を分光手段に入射させ、該分光手段で分光した光のうち、所定の波長の光を出射スリットから出射させる構成を含む分光器において、
該出射スリットの遮光部に配置され、該出射スリットから射出される一部の光以外の光のスペクトルを取得し、取得したスペクトルの形状に基づいて該出射スリットから射出する光の波長を決定可能な空間分解能を持つ強度センサを有していることを特徴とする分光器。
【請求項２】
前記分光段で分光されて生じるスペクトルの少なくとも一部の形状を基準スペクトル分布として記憶する記憶装置を有し、該記憶装置に記憶された基準スペクトル分布と前記取得されたスペクトルとの比較を行うことにより、前記取得されたスペクトルに基づいて該出射スリットから射出する光の波長を決定可能であることを特徴とする請求項１に記載の分光器。
【請求項３】
前記強度センサは前記出射スリットから射出した光が投影される位置に配置され、該出射スリットから射出される光のスペクトルを取得し、該取得されたスペクトルに基づいて前記分光手段を校正することにより該出射スリットから射出する光の波長を決定可能であることを特徴とする請求項１に記載の分光器。
【請求項４】
前記分光手段で分光されて生じるスペクトルの少なくとも一部の形状を基準スペクトル分布として記憶する記憶装置を有し、該記憶装置に記憶された基準スペクトル分布と前記取得されたスペクトルとの比較を行うことにより、前記取得されたスペクトルに基づいて前記分光手段を校正することにより該出射スリットから射出する光の波長を決定可能であることを特徴とする請求項３に記載の分光器。
【請求項５】
前記光源手段は、所定の輝線スペクトルを含む光束を発することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の分光器。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の分光器を用いて、被測定物の反射率又は透過率を測定することを特徴とする測定装置。
【請求項７】
反射率又は透過率の測定に用いるセンサは、前記空間分解能を持つ強度センサであることを特徴とする請求項６に記載の測定装置。
【請求項８】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の分光器を用いて所定の波長の光を射出することを特徴とする分光方法。
【請求項９】
請求項６又は７に記載の測定装置を用いて、被測定物の反射率又は透過率を測定することを特徴とする測定方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項１の発明の分光器は、光源手段からの光束を分光手段に入射させ、該分光手段で分光した光のうち、所定の波長の光を出射スリットから出射させる構成を含む分光器において、
該出射スリットの遮光部に配置され、該出射スリットから射出される一部の光以外の光のスペクトルを取得し、取得したスペクトルの形状に基づいて該出射スリットから射出する光の波長を決定可能な空間分解能を持つ強度センサを有していることを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
請求項２は請求項１の発明において、前記分光段で分光されて生じるスペクトルの少なくとも一部の形状を基準スペクトル分布として記憶する記憶装置を有し、該記憶装置に記憶された基準スペクトル分布と前記取得されたスペクトルとの比較を行うことにより、前記取得されたスペクトルに基づいて該出射スリットから射出する光の波長を決定可能であることを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
請求項３の発明は請求項１の発明において、前記強度センサは前記出射スリットから射出した光が投影される位置に配置され、該出射スリットから射出される光のスペクトルを取得し、該取得されたスペクトルに基づいて前記分光手段を校正することにより該出射スリットから射出する光の波長を決定可能であることを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
請求項４の発明は請求項３の発明において、前記分光手段で分光されて生じるスペクトルの少なくとも一部の形状を基準スペクトル分布として記憶する記憶装置を有し、該記憶装置に記憶された基準スペクトル分布と前記取得されたスペクトルとの比較を行うことにより、前記取得されたスペクトルに基づいて前記分光手段を校正することにより該出射スリットから射出する光の波長を決定可能であることを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項５の発明は請求項１乃至４のいずれか１項の発明において、前記光源手段は、所定の輝線スペクトルを含む光束を発することを特徴としている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
請求項６の発明の測定装置は、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の分光器を用いて、被測定物の反射率又は透過率を測定することを特徴としている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
請求項７の発明は請求項６の発明において、反射率又は透過率の測定に用いるセンサは、前記空間分解能を持つ強度センサであることを特徴としている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
請求項８の発明の分光方法は、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の分光器を用いて所定の波長の光を射出することを特徴としている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
請求項９の発明の測定方法は、請求項６又は７に記載の測定装置を用いて、被測定物の反射率又は透過率を測定することを特徴としている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
出射スリット１４の光入射側の面には、回折格子８からの光束１０の分光方向に所定の長さを有すると共に、所定の分解能（空間分解能）を有する１次元または２次元の光センサ（強度センサ）１３ａが配置されている。光センサ１３ａは一般のＣＣＤ素子等により構成される。この光センサ１３ａには、回折格子８で分光された光束１０のうちで出射スリット１４を通過しない光束が照射され、当該光センサ１３ａの各位置における強度が測定することで、全体として光束１０のスペクトル分布の一部を得ることが出来る。光センサ１３ａを構成する画素が分布する領域の端部は、出射スリット１４の開口の端部と一致、又はなるべく近くする配置することが測定精度の点で好ましい。このように分光された光束１０のうちで出射スリット１４を通過しない部分のスペクトルを測定することで、当該出射スリット１４から射出する光束の波長を知ることが可能となる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
図１２は、本発明の実施例２の測定装置の要部概略図である。図１２においては、図１で示した部材と同一部材には同符号を示している。この実施例においては図１に示した校正に対して、出射スリット１４上にセンサ１３ｂが追加されている。