【手続補正書】
【提出日】平成19年8月10日(2007.8.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  １種類または２種類以上の高分子フィルムが複数層積層され、その最外層に高分子光導波路のクラッド層が積層されるとともに加熱圧着されてなる積層体からなる光導波路用クラッド付き基板。
【請求項２】  前記積層体を構成する高分子フィルムがポリイミドであることを特徴とする請求項１に記載の光導波路用クラッド付き基板。
【請求項３】  前記積層体を構成する１種類または２種類以上の高分子フィルムとして、下記構造式（１）から（４）：
【化１】
2002286957.tif 000001
で表される繰り返し単位のいずれかからなるポリイミドフィルムまたは前記繰り返し単位の２種類以上からなる共重合ポリイミドフィルムを少なくとも１種類以上用いることを特徴とする請求項１に記載の光導波路用クラッド付き基板。
【請求項４】  １種類または２種類以上の高分子フィルムが複数層積層され、その最外層に高分子光導波路のコア層が積層され、さらに最外層の次の内側の層に高分子光導波路のクラッド層が積層されるとともに加熱圧着されてなる積層体からなる光導波路付き基板。
【請求項５】  １種類または２種類以上の高分子フィルムが複数層積層され、その最外層に高分子光導波路の上部クラッド層が積層され、さらに最外層の次の内側の層に高分子光導波路のコア層が積層され、さらに該コア層の次の内側の層に下部クラッドが積層されるとともに加熱圧着されてなる積層体からなる光導波路付き基板。
【請求項６】  前記積層体を構成する高分子フィルムがポリイミドであることを特徴とする請求項４または５に記載の光導波路付き基板。
【請求項７】  前記積層体を構成する１種類または２種類以上の高分子フィルムとして、下記構造式（１）から（４）：
【化２】
2002286957.tif 000002
で表される繰り返し単位のいずれかからなるポリイミドフィルムまたは前記繰り返し単位の２種類以上からなる共重合ポリイミドフィルムを少なくとも１種類以上用いることを特徴と
する請求項４または５に記載の光導波路付き基板。
【請求項８】  下記構造式（１）から（４）：
【化３】
2002286957.tif 000003
で表される繰り返し単位のいずれかからなるポリイミドまたは前記繰り返し単位の２種類以上からなる共重合ポリイミドを用いて、ロール延伸法または溶液塗布法によりポリイミドフィルムまたは共重合ポリイミドフィルムを作製し、このフィルムを少なくとも１種類以上含む、１種類または２種類以上のポリイミドフィルムまたは共重合ポリイミドフィルムを複数層に重ね、前記複数層に重ねたポリイミドフィルム積層体を加熱圧着により一体化して光部品用の基板を得ることを特徴とする光導波路付き基板の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
しかしながら、ポリイミド光導波路においても、幾つかの問題がある。例えば、ポリイミドは耐熱性に優れている反面、化学構造中の芳香族環が配向し易いという面も持っている。これは、光学材料としてみた場合、複屈折を発現し易いということが言える。複屈折自体は、光学材料としてはある場合は好ましい特性であり、ある場合は好ましくない特性となる。また、光導波路用材料としてみた場合も、同じことが言える。例えば、直線偏光の偏波面を保存しながら導波させたい場合は、複屈折があった方が良いが、無偏波の光を導波させたい場合は、複屈折を持たない方が良い。このように、複屈折をいかようにも制御できることが期待されている。そこで、このうち低複屈折ポリイミド膜については、基板の熱膨張係数とポリイミドの熱膨張係数を合わせること、すなわち、基板としてポリイミド基板を用いることにより低複屈折ポリイミド膜が実現できることが報告されている（特開平９−１５６０８号公報（特願平７−１８７６５２号明細書））。このように光部品を作製するに当り、光導波路材料に合わせて、基板の熱膨張係数を制御することは高性能な光部品を作製するために極めて有効かつ重要な手法である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
そこで本発明者らはこれまでに熱膨張係数の大きなポリイミドフィルムを複数枚、重ねて加熱圧着し、積層することで、基板の熱膨張係数を導波路に適合させ、かつ表面の平滑な光導波路用基板を作製できることを明らかにしてきた（特開２００１−４８５０号公報（特願平１１−１７１４１４号明細書））。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、高分子光導波路用の高分子基板の作製、及び高分子光導波路の作製方法を鋭意検討した結果、高分子基板の積層体を形成する過程で、その最外層及びその内側の層に光導波路のコアとクラッドとなるフィルムを準備し、基板ようの積層フィルムと一緒に一括して加熱圧着することで、光導波路用基板と光導波路のクラッド層やコア層を一括して作製できることを明らかにした。
すなわち、本発明を概説すれば、本発明の第１の態様の光導波路用クラッド付き基板は、１種類または２種類以上の高分子フィルムが複数層積層され、その最外層に高分子光導波路のクラッド層が積層されるとともに加熱圧着されてなる積層体からなることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の第２の態様の光導波路付き基板は、１種類または２種類以上の高分子フィルムが複数層積層され、その最外層に高分子光導波路のコア層が積層され、さらに最外層の次の内側の層に高分子光導波路のクラッド層が積層されるとともに加熱圧着されてなる積層体からなることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明の第３の態様の光導波路付き基板は、１種類または２種類以上の高分子フィルムが複数層積層され、その最外層に高分子光導波路の上部クラッド層が積層され、さらに最外層の次の内側の層に高分子光導波路のコア層が積層され、さらに該コア層の次の内側の層に下部クラッドが積層されるとともに加熱圧着されてなる積層体からなることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の第１〜第３の態様において、前記積層体を構成する高分子フィルムがポリイミドであってもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
さらに、本発明の第１〜第３の態様において、前記積層体を構成する１種類または２種類以上の高分子フィルムとして、下記構造式（１）から（４）：
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【化４】
2002286957.tif 000004
で表される繰り返し単位のいずれかからなるポリイミドフィルムまたは前記繰り返し単位の２種類以上からなる共重合ポリイミドフィルムを少なくとも１種類以上用いてもよい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明の第４の態様は、光導波路付き基板の製造方法に関する発明であって、下記構造式（１）から（４）：
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
【化５】
2002286957.tif 000005
で表される繰り返し単位のいずれかからなるポリイミドまたは前記繰り返し単位の２種類以上からなる共重合ポリイミドを用いて、ロール延伸法または溶液塗布法によりポリイミドフィルムまたは共重合ポリイミドフィルムを作製し、このフィルムを少なくとも１種類以上含む、１種類または２種類以上のポリイミドフィルムまたは共重合ポリイミドフィルムを複数層に重ね、前記複数層に重ねたポリイミドフィルム積層体を加熱圧縮により一体化して光導波路付き基板を得ることを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
（実施例３）
ポリイミド層Ａと層Ｂ’とを用い、順に、層Ａ×３，層Ｂ’×１、層Ａ×１，層Ｂ’×１，層Ａ×１，層Ｂ’×１，層Ａ×３というように、合計１１層重ね、この上に予め光学ろ過した前記構造式（１）で表される繰り返し単位からなる厚さ３０μｍの光導波路の下部クラッド層を重ね、さらにこの上に予め光学ろ過した前記構造式（１）と（３）が３：１のポリイミド共重合体で表される繰り返し単位からなる厚さ８μｍの光導波路のコア層を重ね、さらにこの上の最上層に予め光学ろ過した前記構造式（１）で表される繰り返し単位からなる厚さ３０μｍの光導波路の上部クラッド層を重ねた。これを加熱プレス機にはさみ、４０ｋｇ／ｃｍ2の圧力下、１５０℃で５時間加熱後、さらに最大３９０℃まで昇温し、１時間保持した後、室温まで徐冷した。これを直径４インチに切り出して、ポリイミド積層体上にクラッド層が形成された円板状の光導波路のコア、及びクラッド付き基板を得た。この光導波路のコア層に波長１．３μｍのシングルモードファイバからのレーザ光を入射したところ、出射端から光の出力を確認できた。