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【手続補正書】
【提出日】平成19年1月18日(2007.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ装置からのレーザ光でレチクルを照明するステップと、
前記レチクルのパターンの像をウエハ上に投影するステップと、
前記レーザ光のスペクトル幅を計測するステップと、
前記レーザ光の中心波長を揺動することで、前記レーザ光の実効スペクトル幅を変更し、前記パターンの像の寸法を制御するステップとを有することを特徴とする露光方法。
【請求項２】
前記ウエハ上の１点に前記レーザ光が照射される時間は、前記レーザ光の中心波長を揺動する周期の整数倍であることを特徴とする請求項１記載の露光方法。
【請求項３】
前記ウエハ上の１点に前記レーザ光が照射される時間をＴ１、前記レーザ光の中心波長を揺動する周期をＴ２とするとき、（ｎ−０.１）Ｔ２＜Ｔ１＜（ｎ＋０.１）Ｔ２（ｎ：自然数）を満足することを特徴とする請求項１記載の露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の一側面としての露光方法は、レーザ装置からのレーザ光でレチクルを照明するステップと、前記レチクルのパターンの像をウエハ上に投影するステップと、前記レーザ光のスペクトル幅を計測するステップと、前記レーザ光の中心波長を揺動することで、前記レーザ光の実効スペクトル幅を変更し、前記パターンの像の寸法を制御するステップを有することを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月26日(2007.10.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
上記のようにして作製したＬＥＤの第１電極端子４４と第２の電極端子４３に順方向に電流を流したところ、放射された光が金属の反射層１４で反射され、透明なＧａＰ層１３５の表面および側面を介して、主波長を約６２０ｎｍとする赤色の光が出射された。順方向に２０ミリアンペア（ｍＡ）の電流を通流した際の順方向電圧（Ｖf：２０ｍＡ当り）は、各電極１５、１６の良好なオーミック特性を反映し、約２．０ボルト（Ｖ）となった。この時の発光強度は、発光部の発光効率が高く、外部への取りだし効率も工夫されている事を反映し、１８０ｍｃｄの高輝度であった。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
比較例７では、上部のオーミック電極２５を金ワイヤボンディングで接続する。この接続に必要な面積を得るため、第１のオーミック電極２５を直径１３０μｍの円形とした。
また、半導体層２３の表面に第１のオーミック電極２５として、金・ベリリウム合金からなるｐ形オーミック電極を厚さが０．３μｍ、更に、金を１μｍとなるように、それぞれ真空蒸着法により形成した。一般的なフォトリソグラフィー手段を利用して、パターニングを施し、直径を１３０μｍとする円形の第１のオーミック電極２５を形成した。
【手続補正書】
【提出日】平成19年11月7日(2007.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体層を挟んで対向した内部電極を複数積層させた電極積層部を備え、該内部電極の積層方向に形成されたビア電極で前記内部電極を導通するようにしたコンデンサであって、
誘電体層を有する第１誘電体部と、第２誘電体部とを備え、
前記電極積層部は、
前記内部電極としての第１電極層と第２電極層と、該第１、第２電極層間の前記誘電体層としての電極間誘電体層とを積層して有し、
前記第１誘電体部は、コンデンサ表層側で、前記電極積層部に重なり、かつ、前記電極積層部における一層の前記電極間誘電体層の肉厚よりも厚肉で、該一層の前記電極間誘電体層の肉厚の２０倍より薄くされてなり、
前記第２誘電体部は、
コンデンサ表層側で、前記電極積層部間に介在され、
前記電極積層部は、コンデンサ表層側の一部積層体と、コンデンサ裏側よりの残部積層体とからなり、
前記ビア電極は、第１ビア電極と第２ビア電極とからなり
前記第１誘電体部の側から、前記電極積層部における前記内部電極の前記第１電極層と前記第２電極層をそれぞれ貫通するよう形成されている
コンデンサ。
【請求項２】
請求項１に記載のコンデンサであって、
前記第２誘電体部は、
前記電極積層部の全体の肉厚に比して少なくとも５％の肉厚を有する
コンデンサ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のコンデンサであって、
前記第２誘電体部の厚みは、コンデンサ全体の厚みの１／３以下とされている
コンデンサ。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３いずれか記載のコンデンサであって、
前記第２誘電体部の厚みは、前記一部積層体の厚みより大きい
コンデンサ
【請求項５】
請求項１ないし請求項４いずれかに記載のコンデンサであって、
前記第２誘電体部は、内部電極により挟まれた誘電体層が複数積層されている
コンデンサ
【請求項６】
請求項１ないし請求項５いずれか記載のコンデンサの前記ビア電極に導通するように、前記第１誘電体部の側で半導体素子を接続して備える半導体素子付きコンデンサ。
【請求項７】
請求項１ないし請求項５いずれか記載のコンデンサの前記ビア電極に導通するように、前記第１誘電体部の側で電源線およびグランド線を含む配線を備えた配線基板を接続して備える配線基板一体型コンデンサ。
【請求項８】
請求項１ないし請求項５いずれか記載のコンデンサの前記ビア電極に導通するように、前記第１誘電体部と反対側のコンデンサ表面で、電源線およびグランド線を含む配線を備えた基板が接続された基板一体型コンデンサ。
【請求項９】
誘電体層を挟んで対向した内部電極を複数積層させた電極積層部を備え、該内部電極の積層方向のビア電極で前記内部電極を導通するようにしたコンデンサの製造方法であって、
前記電極積層部における前記内部電極間に介在する一層の誘電体層の肉厚よりも厚肉の誘電材料により、第１誘電体部を形成する工程（１）と、
前記内部電極を形成するよう、第１電極層と該電極層に対向する第２電極層となる内部電極形成材料を、前記誘電体層となる誘電材料を挟んで交互に積層しつつ、前記電極層積層部の一部となる一部積層体を形成すると共に、該一部積層体を前記第１誘電体部に重ねる工程（２）と、
誘電体層となる誘電材料を、第２誘電体部として前記一部積層体に積層する工程（３）と、
前記内部電極を形成するよう、第１電極層と該電極層に対向する第２電極層となる内部電極形成材料を、前記誘電体層となる誘電材料を挟んで交互に積層しつつ、前記電極層積層部の残部となる積層体を形成すると共に、該残部積層体を前記第２誘電体部に重ねる工程（４）と、
前記積層した前記第１誘電体部と前記一部積層体と前記第２誘電体部と前記残部積層体において、前記一部積層体と前記残部積層体における積層状の前記第１電極層同士と前記第２電極層同士をそれぞれ貫通するまでの貫通孔を形成し、各貫通孔に導電性ペーストを充填する工程（５）とを有する
コンデンサの製造方法。
【請求項１０】
誘電体層を挟んで対向した内部電極を複数積層させた電極積層部を備え、該内部電極の積層方向のビア電極で前記内部電極を導通するようにしたコンデンサでの製造方法であって、
前記電極積層部における前記内部電極間に介在する一層の誘電体層の肉厚よりも厚肉の誘電材料により、第１誘電体部を形成する工程（１）と、
前記内部電極を形成するよう、第１電極層と該電極層に対向する第２電極層となる内部電極形成材料を、前記誘電体層となる誘電材料を挟んで交互に積層しつつ、前記電極層積層部の全部となる積層体を形成すると共に、該積層体を前記第１誘電体部に重ねる工程（２）と、
誘電体層となる誘電材料を、第２誘電体部として前記積層体に積層する工程（３）と、
前記積層した前記第１誘電体部と前記積層体と前記第２誘電体部において、前記第１誘電体部から、前記積層体における積層状の前記第１電極層同士と前記第２電極層同士をそれぞれ貫通するまでの貫通孔を形成し、各貫通孔に導電性ペーストを充填する工程（４）とを有する
コンデンサの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月25日(2006.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面と、前記第１主面と対向する第１裏面と、前記第１主面に設けられたチップ搭載領域と、前記チップ搭載領域の周囲に設けられ、かつ電源電位または接地電位が供給される複数の第１ボンディング電極と、前記第１ボンディング電極よりも前記チップ搭載領域から遠い位置に設けられ、かつ信号が入力または出力される複数の第２ボンディング電極とを含む配線基板と、
第２主面と、前記第２主面と対向する第２裏面と、前記第２主面に設けられ、かつ前記第２主面の外周に沿って設けられた複数の第１電極と、前記第２主面に設けられ、かつ前記複数の第１電極よりも内側に設けられた複数の第２電極とを含み、前記第２裏面が前記チップ搭載領域と対向するように前記配線基板に搭載された半導体チップと、
前記複数の第１ボンディング電極と前記複数の第１電極をそれぞれ電気的に接続する複数の第１ワイヤと、前記複数の第２ボンディング電極と前記複数の第２電極をそれぞれ電気的に接続する複数の第２ワイヤとを有し、
前記第１電極と前記第２電極は、前記半導体チップの外周に沿った方向で互い違いに配置され、
前記第１電極の外形サイズは、前記第２電極の外形サイズよりも大きいことを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
請求項１記載の半導体装置において、
前記第１ワイヤの径は、前記第２ワイヤの径よりも太いことを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項１記載の半導体装置において、
前記第１電極に電気的に接続される第１ワイヤの数は、前記第２電極に電気的に接続される第２ワイヤの数よりも多いことを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
請求項１記載の半導体装置において、
前記半導体チップの前記第２主面に設けられ、かつ前記複数の第２電極よりも内側の領域には複数の電源回路セルおよび複数の入出力回路セルが設けられ、
前記電源回路セルと前記第１電極を電気的に接続する第１配線の幅は、前記入出力回路セルと前記第２電極を電気的に接続する第２配線の幅よりも太いことを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
請求項４記載の半導体装置において、
前記電源回路セルおよび前記入出力回路セルのそれぞれは、バッファ回路、静電破壊保護回路、プリバッファ回路、レベルシフト回路、および論理回路から形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項６】
請求項４記載の半導体装置において、
前記電源回路セルは、前記接地電位が供給される第１電源回路セルと、外部電源電位が供給される第２電源回路セルを有することを特徴とする半導体装置。
【請求項７】
請求項６記載の半導体装置において、
前記電源回路セルは、更に、内部電源電位が供給される第３電源回路セルを有することを特徴とする半導体装置。
【請求項８】
請求項７記載の半導体装置において、
前記第３電源回路セル上には、第３電極が形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項９】
請求項８記載の半導体装置において、
前記複数の第１ボンディング電極は、前記接地電位が供給され、かつ前記チップ搭載領域の周囲にリング状に形成された第３ボンディング電極と、外部電源電位が供給され、かつ前記第３ボンディング電極よりも前記チップ搭載領域から遠い位置にリング状に形成された第４ボンディング電極を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項１０】
請求項９記載の半導体装置において、
前記複数の第１ボンディング電極は、更に、前記内部電源電位が供給され、かつ前記第３ボンディング電極と前記第４ボンディング電極との間にリング状に形成された第５ボンディング電極を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項１１】
請求項１０記載の半導体装置において、
前記第３電極は、前記第５ボンディング電極とそれぞれ電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項１２】
請求項１記載の半導体装置において、
前記複数の第２ボンディング電極は、前記複数の第１ボンディング電極よりも前記チップ搭載領域から遠い位置に設けられた複数の第６ボンディング電極と、前記複数の第６ボンディング電極よりも前記チップ搭載領域から遠い位置に設けられた複数の第７ボンディング電極を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項１３】
請求項１２記載の半導体装置において、
前記複数の第１電極は、クロック信号を入力または出力する複数の第４電極を有し、
前記複数の第４電極は、前記複数の第６ボンディング電極と前記複数の第２ワイヤ介してそれぞれ電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項１４】
請求項１記載の半導体装置において、
前記配線基板の前記第１裏面には、複数のはんだボールが設けられ、
前記複数のはんだボールは、前記複数の第１ボンディング電極および前記複数の第２ボンディング電極と複数の配線層を介してそれぞれ電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
前述したように、本実施の形態１では、ボンディングパッド９とボンディングパッド１０とは、チップ２の主面の外周に沿った方向で互い違いに配置されており、隣り合うボンディングパッド９間には配線が配置されていないことから、図６に示すように、電源系のボンディングパッド９の幅Ｘ４は、ボンディングパッド１０の幅Ｘ３より大きく確保することができ、たとえば約１００μｍとすることができる。その結果、図６〜図８に示すように、本実施の形態１においては電源系のボンディングパッド９と接続するワイヤ１１、１２の径を他のワイヤ１３、１４の径より大きくすることができる。本実施の形態１では、ワイヤ１３、１４の径が２０μｍであるのに対して、ワイヤ１１、１２の径を３０μｍにできることを例示できる。その結果、ワイヤ１１、１２におけるインピーダンスを低減できるので、上記配線１６で増加したインピーダンスをワイヤ１１、１２の低抵抗化により相殺することが可能となる。すなわち、電源回路セル１８、１９と電気的に接続する配線１６、ボンディングパッド９およびワイヤ１１、１２の総合的なインピーダンスを低減できるので、チップ２内に形成されたロジックＩＣの動作の高速化またはＡＳＩＣの多機能化を実現することが可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2005191447.tif 000001
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2005191447.tif 000002
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2005191447.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月11日(2006.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を露光する露光装置であって、
基準温度に設定され、前記基板に光を導く光学系と、
前記光学系を真空雰囲気下に格納する露光チャンバーと、
前記露光チャンバーに隣接して設けられ、前記基板を囲む空間の雰囲気を真空雰囲気に変換するロードロックチャンバーと、
前記ロードロックチャンバーが前記基板を囲む空間の雰囲気を真空雰囲気に変換するとき、前記ロードロックチャンバーの温度が前記基準温度より高いことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記ロードロックチャンバーの温度と前記基準温度との差が、５度以上３０度以下であることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記ロードロックチャンバーに熱を加える加熱機構が、前記ロードロックチャンバー内の前記基板を囲む空間と接しない空間に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記ロードロックチャンバーの温度は、前記ロードロックチャンバー内の前記基板を囲む空間内の水蒸気が前記基板を囲む空間内のガスを排気する最中に凝結しない温度であることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の露光装置。
【請求項５】
前記ロードロックチャンバーに設けられたガス温度計測手段による計測結果あるいは、前記ロードロックチャンバー内のガスが前記ロードロックチャンバー壁から熱供給を受けた時間に基いて、前記ロードロックチャンバー内の前記基板を囲む空間の雰囲気を真空雰囲気に変換し始めることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の露光装置。
【請求項６】
前記ロードロックチャンバーと前記露光チャンバーとの間に断熱材及び／又は断熱構造を設けていることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の露光装置。
【請求項７】
前記ロードロックチャンバー内にガスを供給するガス供給手段と、前記ガス供給手段により供給されるガスを昇温する事が可能なガス温調手段とを有することを特徴とする請求項１乃至６いずれかに記載の露光装置。
【請求項８】
前記ロードロックチャンバーの温度を計測することが可能な温度計測手段と、
計測された前記ロードロックチャンバーの温度に基づいて前記ロードロックチャンバーの温度を制御することが可能な制御手段とを有することを特徴とする請求項１乃至７いずれかに記載の露光装置。
【請求項９】
基板を露光する露光装置であって、
基準温度に設定され、前記基板に光を導く光学系と、
前記光学系を真空雰囲気下に格納する露光チャンバーと、
前記露光チャンバーに隣接して設けられ、前記基板を囲む空間の雰囲気を真空雰囲気に変換するロードロックチャンバーと、
前記ロードロックチャンバーと前記露光チャンバーとの間に断熱材及び／又は断熱構造を設けていることを特徴とする露光装置。
【請求項１０】
前記ロードロックチャンバーに熱を加える加熱手段を有していることを特徴とする請求項１乃至９いずれかに記載の露光装置。
【請求項１１】
前記基板を前記ロードロックチャンバーに搬入する時間と、前記加熱手段がロードロックチャンバーに熱を加えている時間とは、少なくとも一部がお互いに重なっていることを特徴とする請求項１０記載の露光装置。
【請求項１２】
前記露光チャンバーと前記ロードロックチャンバーとの間には、相対的な変位が可能なように変形部材が配置されていることを特徴とする請求項１乃至１１いずれかに記載の露光装置。
【請求項１３】
請求項１乃至１２いずれかに記載の露光装置を用いて前記基板を露光する工程と、前記露光された基板を現像する工程とを有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月18日(2006.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光で被照明面を照明し、前記被照明面と共役な位置の近傍に配置された開口幅が可変な開口可変機構を有する照明光学系において、
該開口可変機構が、遮光板と、該遮光板の複数箇所に対して前記照明光学系の光軸に垂直な方向に沿った力を加える複数の駆動機構とを有しており、
該複数の駆動機構のうちの少なくとも１つの駆動機構が１つの回動案内機構と２軸方向に関する平面案内機構とを有していることを特徴とする照明光学系。
【請求項２】
前記複数の駆動機構のうちの少なくとも１つの駆動機構が有する２軸方向に関する平面案内機構が、前記照明光学系の光軸に垂直な方向に対して垂直な２軸方向に関する平面案内機構であることを特徴とする請求項１記載の照明光学系。
【請求項３】
前記複数の駆動機構のうちの１つを除くすべての駆動機構が、前記所定方向に対して垂直で、互いに垂直な２軸方向に関する平面案内機構と、前記照明光学系の光軸に対して垂直な平面内における回転方向に関する回動案内機構とを有していることを特徴とする請求項１又は２記載の照明光学系。
【請求項４】
前記２軸方向に関する平面案内機構は、互いに垂直な方向に案内する２つの案内機構を有することを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の照明光学系。
【請求項５】
前記遮光板が、前記照明光学系の光軸に対して傾いていることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の照明光学系。
【請求項６】
光源からの光で被照明面を照明し、前記被照明面と共役な位置の近傍に配置された開口幅が可変な開口可変機構を有する照明光学系において、
該開口可変機構が、
前記照明光学系の光軸に対して傾けた配置された遮光板と、
該遮光板の複数箇所に対して、前記照明光学系の光軸に対して垂直な方向の力を加える複数の駆動機構とを有しており、
前記複数の駆動機構は、１つの回動案内機構と、前記照明光学系の光軸に垂直な方向に対して垂直な第１方向に関する第１案内機構と、前記照明光学系の光軸に垂直な方向及び前記第１方向に対して垂直な第２方向に関する第２案内機構とを有していることを特徴とする照明光学系。
【請求項７】
前記照明光学系が、前記被照明面上に形成する照明領域が円弧状であることを特徴とする請求項１乃至６いずれかに記載の照明光学系。
【請求項８】
光源からの光で前記被照明面の位置に配置されたレチクルを照明する、請求項１乃至７いずれかに記載の照明光学系と、前記レチクルからの光を被露光体に導く投影光学系とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項９】
前記露光装置が、前記レチクルを載置したレチクルステージと、前記被露光体を載置した走査型露光装置であることを特徴とする請求項８記載の露光装置。
【請求項１０】
前記開口可変機構の開口を調整することにより、前記被露光体上における光量ムラを補正することを特徴とする請求項８又は９記載の露光装置。
【請求項１１】
レチクルと被露光体とを同期して第１の方向へ走査して、前記レチクル上のパターンを前記被露光体上に露光する露光装置において、照明光学系内の前記レチクルと共役な位置の近傍に、前記第１の方向に関する露光領域の開口幅を、前記第１の方向と直交する第２の方向に関して局所的に変更する露光領域整形手段を具備し、前記露光領域整形手段によって、前記露光領域を任意の形状に整形して、前記被露光体上に照射される露光光量の部分的なムラを無くすための調整機能を有しており、前記露光領域整形手段の前記第１の方向に関する最大開口幅は、投影レンズの前記第１の方向に関する最大画角に相当して、前記開口形状が、前記第１の方向と前記第２の方向がなす平面内で平行あるいは円弧状であることを特徴とする露光装置。
【請求項１２】
前記露光領域整形手段の可変スリットが、可撓性のある薄肉金属板で形成されており、該薄肉金属板のエッジ中央において前記第２の方向を回転軸として回転傾斜した位置に配置されていることを特徴とする請求項１１に記載の露光装置。
【請求項１３】
前記可変スリットを押し引きする機構の動作方向を前記第１方向とし、該可変スリットの変形方向が該可変スリットを形成している前記薄肉金属板の厚さ方向に平行になることを特徴とする請求項１２に記載の露光装置。
【請求項１４】
前記可変スリットを押し引きする機構の動作方向を該可変スリットの変形方向へ変換するために、前記薄肉金属板の複数箇所で取り付けられた部材に、前記第２の方向と該可変スリットの変形方向に直交する方向を回転軸とする回動案内機構を設け、さらに中央の押し引き機構には該回動案内機構だけを設け、その他の押し引き機構には該回動機構に加えて前記第２の方向と前記照明光学系の光軸方向へスライドする平面案内機構を設けていることを特徴とする請求項１３に記載の露光装置。
【請求項１５】
請求項１乃至１４いずれかに記載の露光装置を用いて前記被露光体を露光する工程と、前記露光された被露光体を現像する工程とを有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
上記課題を解決するために本発明の照明光学系は、光源からの光で被照明面を照明し、前記被照明面と共役な位置の近傍に配置された開口幅が可変な開口可変機構を有する照明光学系において、該開口可変機構が、遮光板と、該遮光板の複数箇所に対して前記照明光学系の光軸に垂直な方向に沿った力を加える複数の駆動機構とを有しており、該複数の駆動機構のうちの少なくとも１つの駆動機構が１つの回動案内機構と２軸方向に関する平面案内機構とを有していることを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月6日(2006.12.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マトリックス状に配置された複数の接続端子を有する電子部品が実装される多層プリント配線板において、
第１層に形成され、前記複数の接続端子と電気的に接続される複数の半田ランドのそれぞれが、スルーホールにより前記第１層より下層の配線パターンに電気的に接続され、
前記第１層において、前記各半田ランドの周囲を取り囲むように面状の信号パターンが形成されていることを特徴とする多層プリント配線板。
【請求項２】
請求項１に記載の多層プリント配線板において、前記スルーホールを前記半田ランドの中央部分に設けたことを特徴とする多層プリント配線板。
【請求項３】
マトリックス状に配置された複数の接続端子を有する電子部品が実装される多層プリント配線板において、
第１層に形成され、前記複数の接続端子と電気的に接続される複数の半田ランドのそれぞれが、スルーホールにより前記第１層より下層の配線パターンに電気的に接続され、
第２層において、前記スルーホールの周囲を取り囲むように面状の信号パターンが形成されていることを特徴とする多層プリント配線板。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の多層プリント配線板において、前記面状の信号パターンがＧＮＤパターンであることを特徴とする多層プリント配線板。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の多層プリント配線板に、マトリックス状に配置された複数の接続端子を有する電子部品を実装したことを特徴とする電子部品が実装された多層プリント配線板。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本願第１の発明は、マトリックス状に配置された複数の接続端子を有する電子部品が実装される多層プリント配線板において、第１層に形成され、複数の接続端子と電気的に接続される複数の半田ランドのそれぞれが、スルーホールにより第１層より下層の配線パターンに電気的に接続され、第１層において、各半田ランドの周囲を取り囲むように面状の信号パターンが形成されていることを特徴としている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本願第１の発明において、スルーホールを半田ランドの中央部分に設けたことを特徴としている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本願第２の発明は、マトリックス状に配置された複数の接続端子を有する電子部品が実装される多層プリント配線板において、第１層に形成され、複数の接続端子と電気的に接続される複数の半田ランドのそれぞれが、スルーホールにより第１層より下層の配線パターンに電気的に接続され、第２層において、スルーホールの周囲を取り囲むように面状の信号パターンが形成されていることを特徴としている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明は、本願第１及び第２の発明である多層プリント配線板に、マトリックス状に配置された複数の接続端子を有する電子部品を実装したことを特徴としている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
以上のようにＧＮＤパターンを形成することにより高周波信号あるいはスイッチングノイズによる他の信号への誘導ノイズを軽減することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
【発明の効果】
以上説明したように、本願第１及び第２の発明によれば半田ランドの周囲あるいはスルーホールの周囲に、半田ランド又はスルーホールを取り囲むように面状の信号パターンを形成することにより高周波信号からの誘導による高周波ノイズ影響を軽減できる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月2日(2007.10.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
成分Ｂとしては以下のものが特に好ましい： 
b1)  N,N’-テレフタロイルビスラウロラクタム、 N,N’-イソフタロイルビス-2-カプロラクタム、N,N’-カルボニルビスカプロラクタム
b2)  ２,２’-ビス(２−オキサゾリン)類、 ２，２’-ｐ-フェニレンビス(２-オキサゾリン)、 ２，２’-m-フェニレンビス(2-オキサゾリン)、および相応するオキサジン類
および／または
b3)  グリシジルアルコール類、ジグリシジルエーテル、エポキシド化大豆油、エポキシ基を持つコポリマーおよびターポリマー。これらの例にはエチレン−グリシジルメタクリレートコポリマー、スチレン−グリシジルメタクリレートコポリマーおよびエチレン−アクリレート−グリシジルメタクリレート−ターポリマーがある。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
比粘度（ＳＶ）はポリエステル中での本発明の組合せ物の加工性を評価するために使用する。合成樹脂成形材料のペレットを、十分に乾燥した後に、ジクロロ酢酸に１．０％の濃度で溶解した溶液を製造するために使用し、そしてＳＶ値を測定した。ＳＶ値が高ければ高い程、難燃剤を混入する間のポリマー分解の程度が少ない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
本発明の実施例は、ホスフィン酸の金属塩（成分Ａ）および場合によっては窒素化合物（成分Ｃ）と組合せた本発明の添加物（成分Ｂ）が、難燃性にマイナスの影響を及ぼすことなく難燃性成形材料を著しく安定化することを示している。少量の成分Ｂを使用して得られるＳＶ数は非難燃性合成樹脂成形材料のそれと同じ程度である。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月31日(2007.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項９】
クランク軸を車幅方向に向けて車体に搭載される直列４気筒エンジンの各排気ポートから延出してエンジンのクランクケース下部に設けられたオイルパンの下方に延びる４本の前部排気管と、これら４本の前部排気管の下流端を２本に集合させる２つの第一集合部と、これら２つの第一集合部の下流端を１本に集合させる第二集合部と、この第二集合部から後方に延びる後部排気管と、この後部排気管の下流部に接続される排気マフラーとを備え、上記２つの第一集合部の直下流部に上記第二集合部を前後に分割する分割部を左右それぞれに設け、これら２つの分割部の下流側の上記第二集合部を上記オイルパンの下方で車幅方向に並べて配置し、２つの分割部の直下流部にそれぞれ排気ガスセンサーを備えるとともに、これらの排気ガスセンサーの直下流部にそれぞれ触媒を設置したことを特徴とする自動二輪車の排気装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
さらに、請求項９に記載したように、クランク軸を車幅方向に向けて車体に搭載される直列４気筒エンジンの各排気ポートから延出してエンジンのクランクケース下部に設けられたオイルパンの下方に延びる４本の前部排気管と、これら４本の前部排気管の下流端を２本に集合させる２つの第一集合部と、これら２つの第一集合部の下流端を１本に集合させる第二集合部と、この第二集合部から後方に延びる後部排気管と、この後部排気管の下流部に接続される排気マフラーとを備え、上記２つの第一集合部の直下流部に上記第二集合部を前後に分割する分割部を左右それぞれに設け、これら２つの分割部の下流側の上記第二集合部を上記オイルパンの下方で車幅方向に並べて配置し、２つの分割部の直下流部にそれぞれ排気ガスセンサーを備えるとともに、これらの排気ガスセンサーの直下流部にそれぞれ触媒を設置したことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月1日(2007.2.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
そこで、上述の様な不都合を解消できる構造として、特許文献１には、図８に示す様な密封型転がり軸受が記載されている。この従来構造の第２例の密封型転がり軸受の場合には、密封板４ａの径方向外端部に設けた係止部１１の円周方向一部で、外輪１の端部内周面に形成した係止溝１２の内面と対向する部分に、凹溝１５を形成している。これにより、これら係止溝１２の内面と凹溝１５の内面との間に、転動体設置空間１４と外部空間とを連通する通路１６を形成している。この様に構成する従来構造の第２例の場合には、この通路１６を通じて、上記転動体設置空間１４と上記外部空間との間で通気を行なえる。この為、使用時等に於いて温度変化が生じた場合でも、上記転動体設置空間１４と上記外部空間との間で圧力差が生じる事を防止できると共に、この転動体設置空間１４内の温度が上昇し易くなる事を防止できる。従って、上述した様な不都合が発生する事を防止できる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月28日(2007.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機関のクランクシャフトによって回転駆動するハウジングを有する回転体と、
該回転体と相対回動可能なカムシャフトの端部に固定されて、前記回転体のハウジング内を摺動回転する４つの羽根部を有するベーンと、
前記それぞれの羽根部の外周面に軸方向に切欠された保持溝と、
該保持溝内に保持されて、前記ハウジングの内周面に摺接するシール部材と、
前記ハウジングの内周面に内方へ突設された４つの隔壁部と、
該隔壁部と前記羽根部の各両側面との間に画成され、油圧が給排されて前記ベーンを正逆回転させる遅角側油圧室及び進角側油圧室と、
前記一つの羽根部内に摺動自在に設けられたロックピンにより、前記回転体とベーンとの相対回転をロックあるいはロックを解除するロック機構と、を備え、
前記ロックピンの摺動用孔が形成された第１の羽根部と該第１の羽根部と対向する第２の羽根部を、他の２つの羽根部に対して円周方向の肉厚が大きくなるように形成すると共に、
前記第１の羽根部と第２羽根部の前記各保持溝を、前記ベーンの回転方向中央の位置よりも回転方向側へ偏倚した位置にそれぞれ形成し、他の２つの羽根部の各保持溝を、ベーン回転方向のほぼ中央の位置に形成したことを特徴とする内燃機関のバルブタイミング制御装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
図５及び図６に基づいて概略を説明すれば、このバルブタイミング制御装置は、外周に歯部５０ａを有するタイミングスプロケット５０と、該タイミングスプロケット５０の本体にボルト６３によって固定された筒状ハウジング５１と、カムシャフト５２の端部にボルト６４によって固定されて、前記筒状ハウジング５１の内部に回転自在に収納されたベーン５４とを備えている。また、前記ハウジング５１の内周面には、径方向から互いに内方へ突出した断面ほぼ台形状の４つの突状部５１ａ〜５１ｄが一体に設けられている一方、前記ベーン５４の外周面には、各突状部５１ａ〜５１ｄ間に配置された４つの羽根部５４ａ，５４ｂ，５４ｃ，５４ｄが一体に設けられている。さらに、各突状部５１ａ〜５１ｄと各羽根部５４ａ〜５４ｄとの間には、それぞれ４つの進角側油圧室５５と遅角側油圧室５６が隔成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
このロック機構５７は、一つの羽根部５４ａ内に摺動用孔５８がカムシャフト軸方向に沿って形成され、この摺動用孔５８内にロックピン５９が摺動自在に設けられていると共に、前記タイミングスプロケット５０の内端面に摺動用孔５８と連続した係止穴６０が形成されている。また、前記ロックピン５９は、外端側に弾装されたコイルスプリング６１のばね力で係止穴６０側へ付勢されていると共に、前記摺動用孔５８の後端部に有する受圧室６２に供給される油圧によって係止穴６０から抜け出して、係合を解除するようになっている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
さらに、前記一つの羽根部５４ａは、カムシャフト６２の軸心回りにおける長さＬ１を、他の羽根部５４ｂ〜５４ｄの長さＬ２よりも長く設定して肉厚に形成されている。これによって、摺動用孔５８の形成分の重量を確保でき、各羽根部５４ａ〜５８ｄの慣性モーメントを全て等しくし、この結果、カムシャフトの径の増加を抑制できるようになっている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、  機関のクランクシャフトによって回転駆動するハウジングを有する回転体と、該回転体と相対回動可能なカムシャフトの端部に固定されて、前記回転体のハウジング内を摺動回転する４つの羽根部を有するベーンと、前記それぞれの羽根部の外周面に軸方向に切欠された保持溝と、該保持溝内に保持されて、前記ハウジングの内周面に摺接するシール部材と、前記ハウジングの内周面に内方へ突設された４つの隔壁部と、該隔壁部と前記羽根部の各両側面との間に画成され、油圧が給排されて前記ベーンを正逆回転させる遅角側油圧室及び進角側油圧室と、前記一つの羽根部内に摺動自在に設けられたロックピンにより、前記回転体とベーンとの相対回転をロックあるいはロックを解除するロック機構と、を備え、前記ロックピンの摺動用孔が形成された第１の羽根部と該第１の羽根部と対向する第２の羽根部を、他の２つの羽根部に対して円周方向の肉厚が大きくなるように形成すると共に、前記第１の羽根部と第２羽根部の前記各保持溝を、前記ベーンの回転方向中央の位置よりも回転方向側へ偏倚した位置にそれぞれ形成し、他の２つの羽根部の各保持溝を、ベーン回転方向のほぼ中央の位置に形成したことを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、この両者３４ｂ，２１の係合時には、４枚の羽根部２８ａ〜２８ｄのうちの第２の羽根部２８ｂを、これに対向する隔壁部１３に当接させ、他の羽根部２８ａ，２８ｃ，２８ｄとこれに対向するそれぞれの隔壁部１３との間を微小隙間ｓをもって離間状態となるように、ロックピン３４とその係合穴２１との相対的な位置関係が設定されている。ここで、微小隙間ｓは、平均トルクや摺動フリクション及びベーン３の大きさによって決定されるようになっている。したがって、他のベーン３と隔壁部１３との張り付きが防止されて、回転時の応答性を向上させることができる。尚、４枚の羽根部２８ａ〜２８ｄの全てを離間状態に設定することも可能である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
したがって、ベーン３は、図３に示すように、第２羽根部２８ｂが進角側油圧室３２側の各隔壁部１３の一側面に当接すると共に、他の羽根部２８ａ、２８ｃ、２８ｄは各隔壁部１３の一側面に微小隙間ｓを介して近接した状態になる。したがって、タイミングプーリ１とカムシャフト２との相対回動位置が一方側（遅角側）に保持されて、吸気弁の開閉時期を遅角側に制御する。これによって、慣性吸気の利用による燃焼効率が向上して機関回転の安定化と燃費の向上が図れる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2005220924.tif 000001
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2005220924.tif 000002
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2005220924.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月7日(2007.2.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
他方、最近に至り、層状化合物ＨxＴｉ2-x/4Ｏ4・ｎＨ2Ｏをアミン又はアンモニウム化合物の水溶液と混合し、撹拌させることにより、層間で剥離させ酸化チタン（ＴｉＯ2）の微小結晶薄片が分散したゾル溶液を調製する方法（特許文献７参照）、同様にしてＨ4Ｍｎ14Ｏ27・９Ｈ2Ｏから酸化マンガン（ＭｎＯ2）のナノシート分散ゾルを調製する方法（特許文献８参照）、α−Ｚｒ（ＨＯＰＯ3）2・Ｈ2Ｏから酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2）ナノシート分散ゾルを調製する方法（非特許文献１参照）、ＶＯＰＯ4・Ｈ2ＯからＶ−Ｐ酸化物のナノシート分散ゾルを調製する方法（非特許文献２参照）、ＨＴｉＮｂＯ5から酸化チタン−ニオブのナノシート分散液を調製する方法（非特許文献３参照）、ＨＣａ2Ｎｂ3Ｏ10から酸化カルシウム−ニオブのナノシート分散液を調製する方法（非特許文献４参照）などが提案され、かつこのようにして得たナノシート分散液を基板にコーティングして、金属酸化物薄膜を形成することも知られている（特許文献９参照）。
【手続補正書】
【提出日】平成19年9月20日(2007.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
湿式法シリカを水中で二次粒子径が１μｍ未満になるように粉砕処理して作製されたシリカ分散液に於いて、該シリカ分散液が硫酸イオンと反応して水不溶性もしくは水難溶性の塩を形成する物質を含有することを特徴とするシリカ分散液。
【請求項２】
前記硫酸イオンの塩を形成する物質が、水に可溶性のバリウム塩である請求項１記載のシリカ分散液。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】シリカ分散液
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月15日(2006.12.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
タワ−状構造物をＰＣプレファブ化する。
【請求項２】
タワ−状構造物の外部足場を不要にする技術。
【請求項３】
タワ−状構造物をメンテナンスフリ−にする。
【請求項４】
タワ−状構造物をコンテナサイズのパ−ツにする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【発明の名称】風力発電タワ−のプレファブ化
【技術分野】
【０００１】  風力発電タワ−をＰＣプレファブ化することで、タワ−の剛性強度を上げ、十分な安全性を確保する。また輸送及び保守費用も削減する。
【背景技術】
【０００２】  鋼製の風力発電タワ−工法は、品質管理や施工性に優れる反面、剛性強度や耐久性に弱点があり、強風で倒壊する事例もある。
また、発電性能維持の為の保守費用が膨大になる等の問題が発生している。
特に、剛性不足はブレ−ドとの共振を招きやすく、重大事故の誘因になりうる。
現場打ちＲＣ工法は自然相手であるため、品質管理が難しく工期も長くなる。
既存ＲＣプレファブ工法も現場工事が多く、パ−ツの再利用も出来ないから、いずれの工法も一長一短があり決定的工法とは言えない。
しかし、コンクリ−トによる規格製作が解決策に最も近いように見えます。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】（ａ）鋼製タワ−は、剛性強度や耐久性に問題があり、倒壊危険度が高く保守費用も膨大である。
特に、剛性不足はブレ−ドとの共振を招きやすいから重大事故の誘因となる。
（ｂ）既存ＲＣタワ−は、現場での施工精度や品質の確保が難しく、工期も長くなり天候にも大きく左右されやすい。
（ｃ）既存ＲＣプレファブタワ−は、現場工事が多くて省力化が限定的であり、部材リサイクルも出来ない。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  鋼製風力発電タワ−では解決できない弱点を、ＰＣプレファブ化でコンテナ搭載可能サイズに製作することにより解決する。
そこで、施工は高張力ボルトと埋め込みプラグ接合による組立工法を採用すれば外部足場も不要になり、天候にも左右されず大幅な工期短縮も可能になります。
特に本発明では据え付け工事や解体撤去工事が容易になるばかりでなく、パ−ツ再利用の道筋もできます。
【発明の効果】
【０００５】  本発明は、速やかなエネルギ−施設の建設を可能にするばかりでなく、大型の排気塔や煙突及び通信鉄塔や送電鉄塔など他分野への応用も可能です。
特に、台風及び酸性雨や塩害の多い地域においては最適な建設工法となります。
更に、海外へシステム輸出すれば温暖化ガス排出権取引にも活用できます。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】  本発明工法により輸送や施工も容易になり需要にも速やかに対応できます。
また、近年は発電効率で大型化の傾向にあるが、本発明なら狭小地域における施設建設も可能にします。
また、規格コンテナ輸送によりコスト削減も見込めるが、鉱物資源にも乏しい発展途上国において無尽蔵な風力エネルギ−を活用できるメリットは大きい。
【実施例】
【０００７】（１）台風通過地域への設置
強風により鋼製発電タワ−が根元から倒壊する例もみられるが、剛性強度や耐久性に優れるＰＣプレファブタワ−ならその懸念も解消します。
（２）海上及び沿岸地域への設置
海上や沿岸地域における風力発電タワ−も本発明によりメンテナンスフリ−化すれば、発電コストの長期的な削減も可能になります。
（３）小規模及び離島地域への設置
離島等の小規模発電施設は建設費用も割高ですが、特に海洋の離島では発生しやすい風力を活用する発電が最適であり、規格コンテナ輸送により廉価な施設建設が可能になります。
（４）発展途上国への設置
社会基盤整備に欠け、鉱物資源もないる発展途上国では、環境破壊を最小限に抑えた風力エネルギ−利用で社会基盤整備を促進できます。
更に、風力発電システムは温暖化ガス排出権取引としてのメリットもあります。
【産業上の利用可能性】
【０００８】埋め込みプラグ工法は外部足場を不要にして、すべてのパ−ツをコンテナ搭載サイズに収めるＰＣプレファブ工法は他のタワ−状構造物に活用できます。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】  ６０Ｍ級風力発電タワ−の概要がわかる図面である。
【図２】  発電タワ−躯体の継手がわかる図面である。
【図３】  発電タワ−基礎と躯体の接続要領がわかる図面である。
【符号の説明】
【００１０】    １．  風力発電機                    １１．  ベ−スプレ−ト
２．  回転ブレ−ド                  １２．  リブプレ−ト
３．  ナセル                        １３．  高張力ボルト
４．  タワ−ＰＣ躯体                １４．  埋め込みプラグ
５．  操作ステ−ジ                  １５．  継手プレ−ト
６．  風力発電タワ−基礎            １６．  埋め込みプレ−ト
７．  高強度コンクリ−ト            １７．  スタッドボルト
８．  ＰＣ棒鋼
９．  スパイラル鉄筋
１０．  基礎ボルト
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2005220715.tif 000001
【図２】
2005220715.tif 000002
【図３】
2005220715.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月2日(2007.2.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉱物油、油脂及びエステルから選ばれる１種又は２種以上の基油に、含酸素化合物を含有せしめたことを特徴とする水溶性金属塑性加工油組成物
【請求項２】
含酸素化合物が、アルキルアルコール、アルキレンオキサイド付加物、ポリアルキレングリコール、及びこれらのアルキルエーテル化合物の少なくとも１種であって、組成物全体１００質量％に対し、０．１〜３０質量％である請求項１に記載の水溶性金属塑性加工油組成物。
【請求項３】
含酸素化合物が、アルキルアルコール、アルキレンオキサイド付加物、ポリアルキレングリコール、またはこれらのアルキルエーテル化合物の少なくとも１種であって、組成物全体１００質量％に対し、０．１〜３０質量％である請求項１に記載の水溶性銅用圧延油組成物。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月30日(2006.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明に係るアミン成分（ｃ）の組成比において、任意成分であるジアミン化合物の含有量は、５モル％より小さいと充分な塗膜強度が得られない場合があり、９９モル％を超えると、ポリウレタンの分子量が大きくなり、水に対する分散安定性が悪くなる場合があるので、５〜９９モル％が好ましく、５〜５０モル％がより好ましい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
これらの乳化剤を使用する場合の使用量は、特に制限を受けず任意の量を使用することができるが、ポリウレタン化合物１に対する質量比で０．０１より小さいと充分な分散性が得られない場合があり、０．３を超えると水分散性ポリウレタン組成物から得られる塗膜等の耐水性、強度、延び等の物性が低下するおそれがあるので０．０１〜０．３が好ましく、０．０５〜０．２がより好ましい。