【手続補正書】
【提出日】平成19年9月26日(2007.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  固定保持部材とシール部材を取付けた可動保持部材との間に基板を介在させ、前記可動保持部材を前記固定保持部材に向けて押圧し基板の外周端部を包囲する領域を前記シール部材でシールして基板を着脱自在に保持するようにした基板ホルダにおいて、
前記固定保持部材に導電体を、前記可動保持部材に該可動保持部材と前記固定保持部材で基板を保持した時に前記シール部材でシールされた領域内で前記導電体と電気的に接続して基板に通電する板ばね形状の電気接点をそれぞれ設けたことを特徴とする基板ホルダ。
【請求項２】  前記電気接点は、前記固定保持部材と前記可動保持部材で基板を保持した時に該基板の表面に弾性的に接触するように構成されていることを特徴とする請求項１記載の基板ホルダ。
【請求項３】  前記電気接点は、前記固定保持部材と前記可動保持部材で基板を保持した時に該基板の外周端面に弾性的に接触するように構成されていることを特徴とする請求項１記載の基板ホルダ。
【請求項４】  前記電気接点は、その基板に接触する先端部が、少なくとも２つ以上に分岐するか、または互いに隣接した位置に並設されていることを特徴とする請求項２または３記載の基板ホルダ。
【請求項５】  前記２つ以上に分岐した電気接点の先端部または互いに隣接した位置に並設された電気接点の基板への接触部分が、基板の半径方向にずれていることを特徴とする請求項４記載の基板ホルダ。
【請求項６】  固定保持部材と可動保持部材との間に基板を介在させ、前記可動保持部材を前記固定保持部材に向けて押圧して基板を着脱自在に保持するようにした基板ホルダにおいて、
前記固定保持部材と前記可動保持部材には、基板を保持した時に互いに係合して両者の中心に対する位置決めを行うテーパ部がそれぞれ設けられていることを特徴とする基板ホルダ。
【請求項７】  前記可動保持部材に設けられたテーパ部は、前記固定保持部材と前記可動保持部材で基板を保持する時に該基板の外周端面を案内して基板の位置決めを行うように構成されていることを特徴とする請求項６記載の基板ホルダ。
【請求項８】  固定保持部材とシール部材を取付けた可動保持部材との間に基板を介在させ、前記可動保持部材を前記固定保持部材に向けて押圧し基板の外周端部を包囲する領域を前記シール部材でシールして基板を着脱自在に保持するようにした基板ホルダにおいて、
前記固定保持部材に、該固定保持部材と前記可動保持部材で基板を保持した時に自由端部が該基板の外周よりも内側に位置し、前記固定保持部材と前記可動保持部材での基板の保持を解いた時に自由端部が基板の外周よりも外側に位置するばね性を有する板ばね部材を設けたことを特徴とする基板ホルダ。
【請求項９】  前記板ばね部材は、前記固定保持部材と前記可動保持部材で基板を保持した時に自由端部が該基板の表面に弾性的に接触するように構成されていることを特徴とする請求項８記載の基板ホルダ。
【請求項１０】  前記板ばね部材は、前記固定保持部材と前記可動保持部材で基板を保持した時に自由端部が該基板の外周端面に弾性的に接触するように構成されていることを特徴とする請求項８記載の基板ホルダ。
【請求項１１】  前記板ばね部材は、前記固定保持部材と前記可動保持部材で基板を保持した時に該基板に給電する電気接点を兼用していることを特徴とする請求項９または１０記載の基板ホルダ。
【請求項１２】  固定保持部材とシール部材を取付けた可動保持部材との間に基板を介在させ、前記可動保持部材を前記固定保持部材に向けて押圧し基板の外周端部を包囲する領域を前記シール部材でシールして基板を着脱自在に保持するようにした基板ホルダにおいて、
前記可動保持部材に、該可動保持部材と前記固定保持部材で基板を保持した時に前記シール部材でシールされた領域内で基板の外周端面と弾性的に接触して該基板の位置決めを行うばね性を有する板ばね部材を設けたことを特徴とする基板ホルダ。
【請求項１３】  前記可動保持部材は、該可動保持部材と前記固定保持部材で基板を保持した時に該基板に弾性的に接触して給電する電気接点を更に有することを特徴とする請求項１２記載の基板ホルダ。
【請求項１４】  固定保持部材とシール部材を取付けた可動保持部材との間に基板を介在させ、前記可動保持部材を前記固定保持部材に向けて押圧し基板の外周端部を包囲する領域を前記シール部材でシールして基板を着脱自在に保持するようにした基板ホルダにおいて、
前記シール部材は、前記固定保持部材と前記可動保持部材で基板を保持した時に該基板の周縁部と前記固定保持部材の表面にそれぞれ接触するリップ部を有し、該リップ部の間に装着した支持体に一体的に保持されていることを特徴とする基板ホルダ。
【請求項１５】  固定保持部材とシール部材を取付けた可動保持部材との間に基板を介在させ、前記可動保持部材を前記固定保持部材に向けて押圧し基板の外周端部を包囲する領域を前記シール部材でシールして基板を着脱自在に保持するようにした基板ホルダであって、
前記固定保持部材に導電体を、前記可動保持部材に該可動保持部材と前記固定保持部材で基板を保持した時に前記シール部材でシールされた領域内で前記導電体と電気的に接続して基板に通電する板ばね形状の電気接点をそれぞれ設けた基板ホルダを用いることを特徴とするめっき装置。
【請求項１６】  固定保持部材と可動保持部材との間に基板を介在させ、前記可動保持部材を前記固定保持部材に向けて押圧して基板を着脱自在に保持するようにした基板ホルダであって、
前記固定保持部材と前記可動保持部材には、基板を保持した時に互いに係合して両者の中心に対する位置決めを行うテーパ部がそれぞれ設けられている基板ホルダを用いることを特徴とするめっき装置。
【請求項１７】  固定保持部材とシール部材を取付けた可動保持部材との間に基板を介在させ、前記可動保持部材を前記固定保持部材に向けて押圧し基板の外周端部を包囲する領域を前記シール部材でシールして基板を着脱自在に保持するようにした基板ホルダであって、
前記固定保持部材に、該固定保持部材と前記可動保持部材で基板を保持した時に自由端部が該基板の外周よりも内側に位置し、前記固定保持部材と前記可動保持部材での基板の保持を解いた時に自由端部が基板の外周よりも外側に位置するばね性を有する板ばね部材を設けた基板ホルダを用いることを特徴とするめっき装置。
【請求項１８】  固定保持部材とシール部材を取付けた可動保持部材との間に基板を介在させ、前記可動保持部材を前記固定保持部材に向けて押圧し基板の外周端部を包囲する領域を前記シール部材でシールして基板を着脱自在に保持するようにした基板ホルダであって、
前記可動保持部材に、該可動保持部材と前記固定保持部材で基板を保持した時に前記シール部材でシールされた領域内で基板の外周端面と弾性的に接触して該基板の位置決めを行うばね性を有する板ばね部材を設けた基板ホルダを用いることを特徴とするめっき装置。
【請求項１９】  固定保持部材とシール部材を取付けた可動保持部材との間に基板を介在させ、前記可動保持部材を前記固定保持部材に向けて押圧し基板の外周端部を包囲する領域を前記シール部材でシールして基板を着脱自在に保持するようにした基板ホルダであって、
前記シール部材は、前記固定保持部材と前記可動保持部材で基板を保持した時に該基板の周縁部と前記固定保持部材の表面にそれぞれ接触するリップ部を有し、該リップ部の間に装着した支持体に一体的に保持されている基板ホルダを用いることを特徴とするめっき装置。
【請求項２０】  固定保持部材と可動保持部材で基板を保持する基板ホルダに備えられる電気接点であって、
前記固定保持部材に固定され外部接点に通じる第１電気接点と前記可動保持部材に固定された第２電気接点とを有し、
前記固定保持部材と前記可動保持部材で基板を挟持した時に、前記第１電気接点と前記第２電気接点、前記第２電気接点と基板とが弾性力を介して弾性的に接触することを特徴とする電気接点。
【請求項２１】  前記第２電気接点は、その基板に接触する先端部が少なくとも２つ以上に分岐するか、または互いに隣接した位置に併設されていることを特徴とする請求項２０記載の電気接点。
【請求項２２】  基板を保持してめっき液中に垂直に浸漬させて基板にめっきを行うめっき方法であって、
外部接点につながれた第１電気接点が基板の周囲を取り囲むように固定された固定保持部材と、第２電気接点およびシール部材が基板の周囲を取り囲むように固定された可動保持部材からなる基板ホルダを用意する工程と、
前記シール部材により基板の外周端部および裏面にめっき液が接触しないようにシールし、前記第２電気接点が前記シール部材によりシールされた領域内で基板と弾性力を介して弾性的に接触し、また前記第１電気接点と前記第２電気接点が弾性力を介して弾性的に接触するように前記固定保持部材と前記可動保持部材で基板を挟持する工程と、
基板ホルダによって保持された基板をめっき液中に浸漬する工程と、
めっき液中に保持されたアノードと基板の間を通電してめっきする工程からなるめっき処理方法。