【誤訳訂正書】
【提出日】平成19年3月26日(2007.3.26)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】請求項１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項１】
放射の投影ビームを供給するための放射システムと、
所望のパターンに従って前記投影ビームをパターン形成する働きをするパターン形成手段を支持するための支持構造と、
基板を保持するための基板テーブルと、
前記パターン形成されたビームを前記基板の目標部分に投影するための投影システムと、
前記支持構造および前記基板テーブルのうちの少なくとも１つを位置決めするための位置決め装置とを備えたリソグラフ投影装置において、
前記位置決め装置が、固定子と並進器を有する平面モータを備え、前記固定子と前記並進器のうちの一方が周期的な磁気構造を備え、さらに前記固定子と前記並進器のうちの他方が電流を伝えることができる複数のコイルを備え、前記コイルが導電性板材のストリップを備えることを特徴とするリソグラフ投影装置。
前記信号が超音波圧力波である請求項１に記載されたレベルセンサ。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】請求項２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項２】
前記導電性板材のストリップが、前記電流を伝えるためのコイルを形成するように巻線軸の周りに巻かれている、請求項１に記載のリソグラフ投影装置。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】請求項６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項６】
前記導電性板材のストリップが、前記巻線軸に対して実質的に平行な幅方向に比べて、前記巻線軸に対して実質的に垂直な厚さ方向において著しく狭い、請求項２から５までのいずれか一項に記載のリソグラフ投影装置。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】請求項９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項９】
前記巻線軸に対して実質的に平行な方向で前記導電性板材のストリップの幅が、約３ｍｍから約２０ｍｍである、請求項２から８までのいずれか一項に記載のリソグラフ投影装置。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】請求項１２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項１２】
放射の投影ビームを供給するための放射システムと、
所望のパターンに従って前記投影ビームをパターン形成する働きをするパターン形成手段を支持するための支持構造と、
基板を保持するための基板テーブルと、
前記パターン形成されたビームを前記基板の目標部分に投影するための投影システムと、
アクチュエータのコイルに電流を流すときに、前記装置内の２つの部品の間に力を生成するアクチュエータとを備えたリソグラフ投影装置において、
前記コイルが巻線軸の周りに巻かれた線コイルであり、
導電性板材のストリップが、前記コイルの巻線軸に対して実質的に平行であるように、前記線コイル中に埋め込まれていることを特徴とするリソグラフ投影装置。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】請求項１３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項１３】
放射の投影ビームを供給するための放射システムと、
所望のパターンに従って前記投影ビームをパターン形成する働きをするパターン形成手段を支持するための支持構造と、
基板を保持するための基板テーブルと、
前記パターン形成されたビームを前記基板の目標部分に投影するための投影システムと、
アクチュエータのコイルに電流を流すときに、前記装置内の２つの部品の間に力を生成するアクチュエータとを備えたリソグラフ投影装置において、
前記コイルが巻線軸の周りに巻かれた線コイルであり、
アルミニウム板材のストリップが前記線コイル中に埋め込まれていることを特徴とするリソグラフ投影装置。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】請求項１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項１９】
前記巻線軸に対して実質的に平行な方向で前記導電性板材のストリップの幅が、約３ｍｍから２０ｍｍである、請求項１２から１８までのいずれか一項に記載のリソグラフ投影装置。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】請求項２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項２０】
放射感応材料の層で少なくとも部分的に覆われた基板を供給するステップと、
放射システムを使用して放射の投影ビームを供給するステップと、
前記投影ビームの断面にパターンを与えるパターン形成手段を使用するステップと、
前記パターン形成された放射のビームを前記放射感応材料の層の目標部分に投影するステップとを含むデバイス製造方法において、
アクチュエータのコイルに電流を流して前記デバイス製造装置の部品間に力を発生させ、前記コイルが導電性板材のストリップを備えることを特徴とするデバイス製造方法。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１０】
この目的および他の目的は、冒頭のパラグラフで明示したようなリソグラフ装置であって、前記の位置決め装置が固定子および並進器を有する平面モータを備え、前記固定子および前記並進器のうちの一方が周期的な磁気構造を備え、さらに前記固定子および前記並進器のうちの他方が電流を伝えることができる複数のコイルを備え、かつ前記コイルが導電性板材のストリップを含むことを特徴とするリソグラフ装置で、本発明に従って達成される。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１１】
これによって、導電性板材のストリップの幅を横切って熱が伝達されるので、熱伝達特性の改良されたコイルが実現される。導電性材料は従来のコイルデザインで使用された絶縁材料よりも高い熱伝導率を有するために、このことは有利である。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１５】
板材のストリップは、巻線軸に対して実質的に平行な幅方向よりも巻線軸に対して実質的に垂直な厚さ方向で著しく狭くされ得る。これによって、コイルは、コイルの幅を横切る方向で優れた熱伝導率を同時に実現しながら、大きくならないで、多数の巻き数の板材で形成されるようになる。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１６】
他の配置では、電流を伝えるコイルは線で形成され、その線コイルの中に導電性板材のストリップが埋め込まれている。板材は、コイルの空間充填率をあまり低下させることなしに、コイルから熱を効率よく伝導する。板材は、巻線軸に対して垂直に、または巻線軸に対して平行に配置されることができる。以前のように、アルミニウムが導電性板材として適用される場合には、板材の表面のＡｌ2Ｏ3層で、一体化電気絶縁層を形成してコイル短絡を防ぐ。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２０】
本発明のさらに他の態様に従って提供されるデバイス製造方法は、
−  放射感応材料の層で少なくとも部分的に覆われた基板を供給するステップと、
−  放射システムを使用して放射の投影ビームを供給するステップと、
−  投影ビームの断面にパターンを与えるパターン形成手段を使用するステップと、
−  パターン形成された放射のビームを放射感応材料の層の目標部分に投影するステップとを含むデバイス製造方法において、
アクチュエータのコイルに電流を流し、デバイス製造装置の２つの部品間に力を発生させ、前記コイルは導電性板材のストリップを備えることを特徴とする。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３４】
図５は、図４に表示した断面ＡＡを示す。冷却要素３０（図３および図４に示さない）をコイル２０の上側面に取り付ける。冷媒の流れは、入口３１に供給し、出口３２から引き出して、冷却要素３０で吸収した熱を取り去る。冷却要素３０は、コイル材料を形成する板材のストリップ２１の上端部２１と熱的に直接接触している。したがって、コイル２０を流れる電流によってコイル２０に発生する熱は、絶縁材料のかなりの部分を横切って伝達されることなく（コイルのそれぞれの巻き間の短絡を防ぐために、板材のストリップの上端部２１ａと冷却要素３０との間に絶縁材料の薄い層が必要であるかもしれない）、板材のストリップから冷却要素３０に直接伝達されるようになる。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３５】
板材のストリップ２１の下端部２１ｂにステンレス鋼の板３５を取り付けて、衝撃によるコイルの損傷を防ぐことができる。コイルは平面モータの一部として使用される可能性があり、平面モータの場合には、例えば平面モータの固定子との衝突による損傷からコイルを保護しなければならないので、このことは特に有効である。好ましくは、アクチュエータまたはモータが複数のコイルを備える場合、コイルごとに別個の板を持たないで、１つの板３５で全てのコイルをまかなうべきである。例として、平面モータは、磁極板と、それぞれ複数のコイルを含む異なるコイル・ユニットを備える可動部分とで構成されるかもしれない。図６は、そのような平面モータの可能な配置を模式図化して示す。モータ（４０）の磁極板は、平方形のパターンを形成する斜めの線で模式的に表す。平面モータの可動部分すなわち並進器は、４個のコイル・ユニット（５０、６０、７０、８０）に配列された１２個のコイルで模式的に示し、各コイル・ユニットが３個のコイル（５０．１、５０．２、５０．３）を備える。そのような平面モータの配置は、モータが加速および減速用の水平力を発生させることができ、一方で、可動部分が水平面内で摩擦なしに移動することができるように磁極板から可動部分を浮上させる垂直力も発生させることができるので、真空の用途で使用するのに申し分なく適している。したがって、別個のベアリングは必要でない。モータが磁極板の表面の上に浮上するために垂直力を生成する場合には、この垂直力は動作中１００％デューティ・サイクルで供給されなければならないので、可動部分の重さはできるだけ小さくすべきである。軽量のアルミニウム箔コイルを使用することが、そのような用途に有利であることが分かる。そのような平面モータについてのさらなる情報は、ＷＯ０１／１８９４４Ａに見出すことができる。このＷＯ０１／１８９４４Ａは、参照によって本明細書に援用する。或いは、磁極板３５は他の材料で形成されてもよい。