【手続補正書】
【提出日】平成20年6月6日(2008.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
工作物に向けられた複数の連続レーザ出力パルスの振幅又はエネルギーを調整する方法であって、
ビーム位置で工作物に衝突するビーム経路に沿う複数の連続レーザパルスであって大きく変化するエネルギーの振幅を有する複数の連続レーザパルスを発生すること、
前記複数の連続レーザ出力パルスの各々の一部分を振幅又はエネルギー検出器へ逸らすこと、
前記複数の連続レーザ出力パルスの各々の前記振幅又はエネルギーに関する情報を直接的に又は間接的に音響光学変調器コントローラへ伝送すること、及び
前記複数の連続レーザ出力パルスの所定の１つより前の前記複数の連続レーザ出力パルスの１つ又はそれ以上の前記振幅又はエネルギーに関する前記情報に応答して、前記複数の連続レーザ出力前記振幅又はエネルギーに影響を与えるために前記音響光学変調器に印加される無線周波数信号を変調することを含む、方法。
【請求項２】
さらに、前記複数の連続レーザ出力パルスの各々の一部分を振幅又はエネルギー検出器へ逸らすために前記音響光学変調器の下流の前記ビーム経路に沿って配置されたビーム分割素子を通して前記複数の連続レーザ出力パルスを伝播することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
工作物に向けられた複数の連続レーザ出力パルスの振幅又はエネルギーを調整するレーザシステムであって、
光路に沿う前記複数の連続レーザパルスの発生を容易にするレーザ媒質と、
前記工作物へビーム経路に沿って複数の連続レーザ出力パルスを伝播するように前記光路に沿って位置決めされた音響光学変調器と、
前記音響光学変調器に関連した変換器と、
前記ビーム経路から離れた前記複数の連続レーザ出力パルスの各々の一部分を逸らすビーム分割素子と、
前記複数の連続レーザ出力パルスの部分を受け取りかつ前記複数の連続レーザ出力パルスの各々の前記振幅又はエネルギーに関する情報を伝送する振幅又はエネルギー検出器と、
前記複数の連続レーザ出力パルスの所定の１つの前に前記複数の連続レーザ出力パルスの１つ又はそれ以上の前記振幅又はエネルギーに関する前記情報に応答して、前記複数の連続レーザ出力パルスの１つ又はそれ以上の前記振幅又はエネルギーに影響を与えるために前記変換器に印加される無線周波数信号を変調する音響光学変調器無線周波数ドライバとを含む、レーザシステム。
【請求項４】
連続レーザ出力パルスの前記振幅又はエネルギーは５％未満変化する、請求項１、２又は３に記載の方法又はシステム。
【請求項５】
前記複数の連続レーザ出力パルスは固体ＵＶ高調波レーザによって発生される、請求項３又は４に記載の方法又はシステム。
【請求項６】
連続レーザ出力パルスの前記振幅又はエネルギーは１％未満変化する、請求項１〜６のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項７】
前記複数の連続レーザ出力パルスの前記振幅又はエネルギーは、レーザ不安定性又は熱的ドリフトにより変化する、請求項１〜６のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項８】
前記複数の連続レーザ出力パルスの前記振幅又はエネルギーは、一貫性なく印加される無線周波数エネルギーから前記音響光学変調器の熱的加熱により変化する、請求項１〜７のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項９】
前記複数の連続レーザ出力パルスは固体高調波レーザにより発生される、請求項１〜８のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項１０】
前記ビーム経路は、前記音響光学変調器のビーム入口面に関するブラッグ角にて又はそれに近接する角度にて前記音響光学変調器に衝突し、前記音響光学変調器に印加される前記無線周波数信号は前記工作物へ前記ビーム経路に沿って伝播する前記複数の連続レーザ出力パルスの前記所定の１つの出口角に影響を与えるために周波数変調され、前記無線周波数信号は、前記ブラッグ角からの前記ビーム経路の出口角のシフトから生じるブラッグ効率からの偏差を補償する、請求項１〜９のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項１１】
前記工作物に衝突する前記ビーム経路は前記音響光学変調器から伝播される１次ビーム経路を含む、請求項１〜１０、５４、５８〜７０のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項１２】
前記工作物に衝突する前記ビーム経路は前記音響光学変調器から伝播されるゼロ次ビーム経路を含む、請求項１〜１０、５４又は５９に記載の方法又はシステム。
【請求項１３】
前記音響光学変調器は前記複数のレーザ出力パルスの前記部分を前記振幅又はエネルギー検出器へ向ける、請求項１２に記載の方法又はシステム。
【請求項１４】
前記レーザビームはレーザパルスエネルギーを有し、前記音響光学変調器は１０％より大きい前記レーザパルスエネルギーが前記工作物に衝突する前記ビーム経路に沿って伝播することを防止するために使用される、請求項１２に記載の方法又はシステム。
【請求項１５】
前記音響光学変調器は７５％より大きい前記レーザパルスエネルギーが前記工作物に衝突する前記ビーム経路に沿って伝播するのを防止するために使用される、請求項１４に記載の方法又はシステム。
【請求項１６】
前記音響光学変調器は９０％より大きい前記レーザパルスエネルギーが前記工作物に衝突する前記ビーム経路に沿って伝播するのを防止するために使用される、請求項１５に記載の方法又はシステム。
【請求項１７】
前記音響光学変調器は少なくとも第１及び第２の変換器を使用する、請求項１〜１６、２５、２８〜３４、３７〜４３のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項１８】
前記音響光学変調器は２つのほぼ垂直な軸線を有し、前記第１及び第２の変換器は共通変換器ゾーンを変調する、請求項１７に記載の方法又はシステム。
【請求項１９】
前記音響光学変調器は前記ビーム分割素子を構成し、前記振幅又はエネルギー検出器へ前駆複数の連続レーザ出力パルスの部分を向ける、請求項１〜１８のいずれかに記載の方法又はレーザシステム。
【請求項２０】
前記音響光学変調器は、単一の変調軸線を変調するために前記音響光学変調器無線周波数ドライバに応答する少なくとも２つの変換器を含む、請求項１〜１９のいずれかに記載の方法又はレーザシステム。
【請求項２１】
レーザ及び工作物の間のビーム経路に沿って位置決めされるよう適合される音響光学変調器を制御するための音響光学変調器制御システムであって、前記音響光学変調器は、ビーム入口面と、ビーム出口面と、前記音響光学変調器の第１の変換器面上に位置決めされかつ第１の変換器変調ゾーン内で変調する第１の変換器とを有し、前記第１の変換器面は前記ビーム入口面を横断する第１の平面にあり、前記音響光学変調器は、また、前記ビーム入口面、第１の変換器変調ゾーン、及び／又は前記ビーム出口面に関してブラッグ角を提供しており、
当該システムは、
第１のデカルト軸線に沿う前記ビーム経路の偏向角に影響を与えるために前記第１の変換器変調ゾーンにて前記ブラッグ角から離れるよう前記ビーム経路をずらすために前記第１の変換器に第１の無線周波数信号の第１の周波数を印加するよう適応される可変周波数コントローラを含む、又は通信する第１の無線周波数ドライバと、
前記ブラッグ角からの前記ビーム経路のシフトから生じるブラッグ効率からの派生を補償するために前記第１の振幅を調節するために前記第１の無線周波数ドライバへブラッグ効率に関する情報を配送するためのコントローラとを含み、
前記第１の無線周波数ドライバも、また、前記第１の変換器に印加される前記第１の無線周波数信号の第１の振幅を調節するようになっている、音響光学変調器制御システム。
【請求項２２】
前記ブラッグ効率補償データはルックアップテーブルを含む、請求項２１に記載の音響光学変調器制御システム。
【請求項２３】
前記ブラッグ効率補償データはsinｃの関数に基づくアルゴリズムを含む、請求項２１に記載の音響光学変調器制御システム。
【請求項２４】
前記レーザビームは最大ピーク電力及び／又はエネルギーを有するパルスを含み、
作用パルスが前記工作物に衝突させるために所望されかつ前記第１の出口角が前記ブラッグ角にあるか又は近接するときはいつでも、減少したピーク電力及び／又はエネルギーが前記音響光学変調器を通してかつ前記ビーム経路に沿って伝播することができるように、レーザ間接電力量が使用され、前記減少したピーク電力及び／又はエネルギーは前記最大ピーク電力及び／又はエネルギーよりも小さく、
作用パルスを前記工作物に衝突させることが望まれ、かつ前記第１の出口角がブラッグ角からシフトする時はいつでも、前記音響光学変調器を通してかつ前記ビーム経路に沿って伝播するように、より高い補償ピーク電力及び／又はエネルギーは許容され、
前記より高い補償ピーク電力及び／又はエネルギーは、前記減少したピーク電力及び／又はエネルギーより大きく、また前記最大ピーク電力及び／又はエネルギーより小さい、請求項２１に記載の音響光学変調器。
【請求項２５】
第１の偏向角範囲限界に対応する第１の周波数限界を有する第１の無線周波数ドライバに応答する、第１の面に位置決めた第１の変換器を有する音響光学変調器のビーム偏向角範囲を強化する方法であって、
第１のビーム位置の工作物に衝突する、ビーム経路に沿うレーザビームを発生すること、
前記ビーム経路に沿って位置決めされた前記音響光学変調器を通して前記レーザビームを伝播すること、
前記音響光学変調器上の前記第１の変換器に印加される第１の無線周波数信号の第１の周波数を制御すること、及び
前記音響光学変調器の第２の面上に配置された第２の変換器に印加される第１の無線周波数信号の第１の周波数を制御することを含み、
前記第２の変換器面は、前記入口面前記ビーム入口面を横断する第２の平面にありかつ前記第１の変換器面にほぼ平行又は同一面上にあり、前記第２の変換器は前記第１の工作物軸線に沿う前記ビーム経路の偏向角に影響を与えるために前記ビーム経路を横断する第２の変換器変調ゾーンにあり、
前記方法は、さらに、前記第１及び第２の無線周波数信号によって与えられる前記ビーム経路の協同偏向角から生じる所望のビーム位置にて前記工作物に衝突させるために前記工作物上の仮のビーム位置からの前記レーザビームを検出するために前記第１及び第２の無線周波数信号を調整することを含む、方法。
【請求項２６】
工作物に衝突するビーム経路に沿うレーザビーム伝播を抑制する方法であって、
レーザビームを発生すること、
第１の変換器を有する第１の音響光学変調器へ光路に沿って前記レーザビームを伝播すること、
前記ビームの大部分が第１のビームダンプへ伝播しかつ前記ビームの僅かな部分が前記ビーム経路に沿って伝播し続け、前記ビーム経路が前記第１の音響光学変調器及び前記工作物間にて第２の音響光学変調器を有し、前記第２の音響光学変調器が第２の変換器を有するように前記工作物に衝突する前記ビーム経路に沿う前記レーザビームの伝播を抑制するために前記第１の変換器を変調すること、及び
前記ビームの前記僅かな部分のほとんどは第２のビームダンプへ伝播し、それにより、前記工作物に衝突する前記ビーム経路に沿う前記レーザビームの伝播を抑制するように、前記工作物に衝突する前記ビーム経路に沿う前記レーザビームの前記僅かな部分の伝播を抑制するために前記第２の変換器を変調することを含む、方法。
【請求項２７】
前記工作物に衝突する前記ビーム経路はゼロ次ビーム経路を含む、請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
工作物に衝突するビーム経路に沿うレーザビーム伝播を抑制するためにレーザシステム内の音響光学変調器を変調する方法であって、
レーザビームを発生すること、
音響光学変調器への光路に沿ってレーザビームを伝播させること、及び
前記工作物に衝突する前記ビーム経路に沿う前記レーザビームの伝播を防止するために前記音響光学変調器に印加される無線周波数信号の周波数を変調することを含む、方法。
【請求項２９】
さらに、前記レーザビームが前記工作物に衝突するための前記ビーム経路に沿って伝播する周波数を選択することを含む、請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
さらに、前記工作物に衝突するレーザビームの強度に影響を与える信号の振幅を変調することを含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項３１】
レーザ放射を漂遊させるのに敏感な工作物を処理するレーザシステムであって、
光路に沿うレーザビームの発生を容易にするレーザ媒質と、
前記光路に沿って位置決めされる音響光学変調器と、
前記音響光学変調器に関連した変換器と、
前記工作物に前記レーザビームを衝突させるのが望ましくないときはいつでも前記レーザビームの主要部分をビームダンプへ伝播させ、そして前記工作物に前記レーザビームを衝突させるのが望ましいときはいつでも前記レーザビームの主要部分を前記工作物へ伝播させるために前記変換器を通して前記音響光学変調器へ印加される周波数を変調する可変周波数コントローラとを含む、レーザシステム。
【請求項３２】
前記周波数の振幅は、前記工作物に衝突する前記レーザビームの強度に影響を与えるために調節される、請求項３１に記載のレーザシステム。 
【請求項３３】
前記音響光学変調器は、前記工作物に衝突するビーム経路に沿ってレーザビームを伝播させるために前記音響光学変調器内に音波を確立する波動設定時間を含み、前記印加した無線周波数信号の周波数は、前記ビーム経路に沿うレーザビーム伝播が防止されるときはいつでも、前記波動設定時間より短い時間間隔内で継続的に変化される、請求項１、３、２５、２８〜３２のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項３４】
前記印加無線周波数信号の前記周波数は前記時間間隔内で２つの選択周波数間において交互に変化される、請求項３３に記載の方法又はシステム。
【請求項３５】
前記印加無線周波数信号の前記周波数は２つの選択周波数間において交互に変化される、請求項１、３、２５、２６、２８〜３４のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項３６】
前記印加無線周波数信号の前記周波数は多数の周波数間において交互に変化される、請求項１、３、２５、２６、２８〜３４のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項３７】
前記印加無線周波数信号の前記周波数は前記時間間隔内で多数の周波数間において変化される、請求項１、３、２５、２６、３１〜３３のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項３８】
前記周波数は白雑音を創出するために変調される、請求項１、３、２５、２６、２８〜３３、３７のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項３９】
前記無線周波数信号の前記振幅は、ビーム伝播が防止されるときはいつでも減少される、請求項１、３、２５、２６、２８〜３３、３７、３８のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項４０】
前記音響光学変調器は第１の音響光学変調器であり、第２の音響光学変調器は、ビーム経路が防止されるときはいつでも、ビーム消滅能力を強化するために前記ビーム経路に沿って使用される、請求項１、３、２５、２６、２８〜３３、３７〜３９のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項４１】
異なる周波数が、前記第１及び第２の音響光学変調器において使用される請求項４０に記載の方法又はシステム。
【請求項４２】
前記音響光学変調器へ印加される前記無線周波数信号の変調を直接的に又は間接的に調節するレーザコントローラへ直接的に又は間接的に情報を伝送する検出器に、前記レーザビームの一部分を逸らすためにビーム分割素子が音響光学変調器のビーム経路の下流に配置される、請求項１、３、２５、２６、２８〜３３、３７〜４１のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項４３】
前記変調の調節は前記レーザビームのパルス対パルス出力振幅安定性を強化する、請求項４２に記載の方法又はシステム。
【請求項４４】
前記少なくとも２つの変換器は、共通デカルト軸線に沿うビーム経路の偏向角に影響を与えるために前記ビーム経路を横断する共通変換器変調を変調する、請求項１７に記載の方法又はシステム。
【請求項４５】
前記少なくとも２つの変換器は、各々異なる共通デカルト軸線に沿うビーム経路の偏向角に影響を与えるために前記ビーム経路を横断する各々の第１及び第２の変換器変調ゾーンを変調する、請求項１７に記載の方法又はシステム。
【請求項４６】
前記少なくとも２つの変換器は、異なる周波数で変調する、請求項１７に記載の方法又はシステム。
【請求項４７】
前記音響光学変調器はＱスイッチとして使用される、請求項１、３、２５、２６、２８〜３３、３７〜４６のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項４８】
前記音響光学変調器はビーム入口面を有し、前記無線周波数信号は前記音響光学変調器内の変換器変調ゾーンを創出するために変換器に印加され、前記ビーム経路は、前記ビーム入口面又は前記第１の変換器変調ゾーンに関してブラッグ角で又はそれに近接する入口角で前記音響光学変調器に衝突する、請求項１、３、２５、２６、２８〜３３、３７〜４７のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項４９】
前記無線周波数信号は実質的にゼロのブラッグ効率を有する１又はそれ以上の周波数にて印加される、請求項１、３、２５、２６、２８〜３３、３７〜４８のいずれかに記載の方法又はシステム。
【請求項５０】
第１の変換器は、前記音響光学変調器に接続され、かつ前記ビーム経路に沿うレーザビーム伝播が防止されるときはいつでも使用され、前記音響光学変調器は、前記工作物に衝突する前記ビーム経路に沿うレーザビーム伝播が選択されるときはいつでも選択周波数にて使用される第２の変換器を有する、請求項１、３、２５、２６、２８〜３３、３７〜４９のいずれかに記載の方法又はレーザシステム。
【請求項５１】
前記音響光学変調器は外部空洞パルス収集器として使用される、請求項１、３、２５、２６、２８〜３３、３７〜５０のいずれかに記載の方法又はレーザシステム。
【請求項５２】
さらに、偏向伝播方向を達成するために前記第２の無線周波数信号の印加を防止しつつ、前記第１の周波数を印加すること、又は、偏向伝播方向を達成するために前記第１の無線周波数信号の印加を防止しつつ、前記第２の周波数を印加することを含む、請求項２８に記載の方法。
【請求項５３】
前記ビーム経路は、前記ビーム入口面又は前記第１の変換器変調ゾーンに対してブラッグ角である又はそれに近接する入口角にて前記音響光学変調器に衝突し、前記第１及び第２の変換器変調ゾーンは共通の０次ビーム経路を共有し、前記第１の周波数は、前記第１の変換器変調ゾーンからの１次ビーム経路に又はそれに近接するよう前記第１の偏向角を制御し、前記第２の周波数は、前記第２の変換器変調ゾーンからの１次ビーム経路に又はそれに近接するよう前記第２の偏向角を制御する、請求項５２に記載の方法。
【請求項５４】
レーザと第１及び２の横面軸線を有する工作物との間のビーム経路に沿って位置決めするのに適した音響光学変調器であってビーム入口面と、ビーム出口面と、前記音響光学変調器の第１の変換器面上に位置決めされる第１の変換器とを有し、また前記第１の変換器面が前記ビーム入口面を横断する第１の平面にある音響光学変調器の性能を強化する方法であって、
工作物に衝突させるビーム経路に沿うレーザビームを発生すること、
前記ビーム経路に沿って位置決めされた前記音響光学変調器を通して前記レーザビームを伝播すること、
前記第１の面軸線に沿う前記ビーム経路の第１の出口角に影響を与えるために前記ビーム経路を横断する第１の変換器変調ゾーン内で変調する前記第１の変換器に印加される第１の無線周波数信号の周波数を制御すること、及び
前記音響光学変調器の第２の変換器面上に位置決めされる第２の変換器に印加される第２の無線周波数信号の第２の周波数を制御することを含み、
前記第２の変換器面は、前記ビーム入口面及び前記第１の面を横断する第２の平面にあり、前記第２の変換器は、前記第２の面軸線に沿う前記ビーム経路の第２の出口角に影響を与えるために、前記第１の変換器変調ゾーンに横断しかつ前記ビーム経路を横断する第２の変換器変調ゾーン内で変調しており、
当該方法は、さらに、
前記第１及び第２の無線周波数信号の前記第１及び第２の周波数に応答して、前記第１及び第２の変換器によって与えられる前記第１及び第２の出口角から生じる協同偏向角の所望のビーム位置にて前記工作物に衝突させるために前記第１及び第２の面軸線に沿う前記ビーム経路を偏向するために前記第１及び第２の周波数を調整することを含む、方法。
【請求項５５】
さらに、位置決め信号プロセッサから低速運動制御信号及び高速運動制御信号を提供すること、
前記低速運動制御信号に応答して、変換軸線にほぼ沿う、変換段階の広い範囲の相対的ビーム指向運動を低速位置決めドライバを使用して制御すること、
前記高速運動制御信号に応答して、前記音響光学変調器の前記狭い範囲の相対的ビーム指向運動を前記第１及び／又は第２の変換器で制御すること、
前記変換段階で前記ビーム経路及び前記工作物間の前記広い範囲の相対的ビーム指向運動を行うこと、及び
所望のビーム位置にて前記工作物に衝突させるために、前記ビーム経路と前記工作物との間の前記狭い範囲の相対的ビーム指向運動を前記音響光学変調器で行うことを含む、請求項５４に記載の方法。
【請求項５６】
さらに、前記ビーム経路及び前記所望のビーム位置間の相違に関するエラー情報を獲得すること、及び
前記ビーム経路及び前記所望のビーム位置間の相違を補償するために前記エラー情報を前記第１及び／又は第２の変換器に搬送することを含む、請求項５５に記載の方法。
【請求項５７】
さらに、走査ラインに沿う前記ビーム経路と軸線外であるが前記走査ラインに平行な所望のビーム位置との間の相違に関するエラー情報を獲得すること、及び
前記工作物の上方の前記走査ラインに平行な前記所望のビーム位置に衝突させるための前記レーザビームを偏向するために前記エラー情報を前記第１及び／又は第２の変換器に搬送することを含む、請求項５５に記載の方法。
【請求項５８】
レーザ及び工作物の間のビーム経路に沿って配置されるように適合される音響光学変調器を制御するための音響光学変調器制御システムであって、前記音響光学変調器はビーム入口面と、ビーム出口面と、前記音響光学変調器の第１の変換器面上に位置決めされかつ第１の変換器変調ゾーン内で変調する第１の変換器とを有し、前記第１の変換器面は前記ビーム入口面を横断する第１の平面にあり、前記第１の変換器は前記ビーム経路を横断する第１の変換器変調ゾーン内で変調するように適合されており、
当該システムは、
前記ビーム経路を横断する第２の変換器変調ゾーン内で変調するようになっている第２の変換器であって、前記ビーム入口面を横断する第２の面にある第２の変換器面に取り付けられた第２の変換器と、
第１のデカルト軸線に沿う前記ビーム経路の偏向角に影響を与えるために前記第１の変換器変調ゾーン内にて変調するために前記第１の変換器に第１の周波数の第１の無線周波数信号を印加するようになっている第１の無線周波数ドライバであって、可変周波数コントローラを含む又はそれと通信する第１の無線周波数ドライバと、
前記偏向角が前記第１及び第２の無線周波数信号を同時期に印加することから生じるように、前記第１のデカルト軸線に沿う前記ビーム経路の前記偏向角に影響を与えるために前記第２の変換器に第２の周波数の第２の無線周波数信号を印加するための、可変周波数コントローラを含む又はそれと通信する第２の無線周波数ドライバとを含む、音響光学変調器制御システム。
【請求項５９】
レーザと工作物との間のビーム経路に沿って位置決めされるのに適した音響光学変調器を制御する音響光学変調器制御システムであって、前記音響光学変調器はビーム入口面と、ビーム出口面と、前記音響光学変調器の第１の変換器面上に位置決めされる第１の変換器とを有し、前記第１の変換器面は前記ビーム入口面を横断する第１の平面にあり、前記第１の変換器は前記ビーム経路を横断する第１の変換器変調ゾーン内にて変調を行うように適合されており、
当該システムは、
前記ビーム入口面を横断する第２の面にある第２の変換器面に取り付けた第２の変換器であって前記ビーム経路を横断する第２の変換器変調面内で変調するように適合される第２の変換器と、
第１のデカルト軸線に沿う前記ビーム経路の第１の出口角に影響を与えるために、前記第１の変換器変調ゾーン内で変調する前記第１の変換器に第１の周波数の第１の無線周波数信号を印加するように適合される、第１の可変周波数コントローラを含む又はそれと通信する第１の無線周波数ドライバと、
協同偏向角が前記第１及び第２の無線周波数信号を同時に印加することから生じるように、前記第１のデカルト軸線を横断する第２のデカルト軸線に沿う前記ビーム経路の第２の出口角に影響を与えるために、前記第１の変換器変調ゾーンを横断する第２の変換器変調ゾーンを変調する前記第２の変換器に第２の周波数の第２の無線周波数信号を印加するように適合される、第２の可変周波数コントローラを含む又はそれと通信する第２の無線周波数ドライバとを含む、音響光学変調器制御システム。
【請求項６０】
さらに、前記偏向角から生じる所望のビーム位置にて前記工作物に衝突させるために前記音響光学変調器で前記ビーム経路を偏向させるための前記第１及び第２の周波数を調整するためのビーム位置コントローラを含む、請求項５８又は５９に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項６１】
前記第１及び第２の無線周波数ドライバは単一の無線周波数ドライバを構成する、請求項５８又は６０に記載の音響光学変調器制御システム。
【請求項６２】
前記第１及び第２の無線周波数ドライバは別個の無線周波数ドライバを構成する、請求項５８、６０又は１０３に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項６３】
前記第１及び第２の無線周波数ドライバは異なる周波数範囲を含む、請求項５８、６０〜６２のいずれかに記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項６４】
前記第１及び第２の周波数は異なる、請求項５４、５８〜６３又は１０３に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項６５】
前記第１及び第２の周波数は高調波的に関係する、請求項５４、５８〜６４、８０又は１０３に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項６６】
前記第１及び第２の周波数はほぼ一致する、請求項５４、５８、６０〜６５、８０又は８９に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項６７】
前記第１及び第２の周波数はほぼ一致しない、請求項５４、５８、６０〜６６、８０又は８９に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項６８】
前記第１及び第２の変換器面は同一面上にあり、前記第１及び第２の変換器変調ゾーンは重なり合わない、請求項５４、５８、６０〜６７、８０又は８９に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項６９】
前記第１及び第２の変換器面は平行にあり、前記第１及び第２の変換器変調ゾーンは重なり合わない、請求項５４、５８、６０〜６８、８０又は８９に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項７０】
前記偏向角は、前記第１の変換器変調ゾーンの面に対して、少なくとも１００ミリラジアンまでを含む範囲を有する、請求項５４、５８、６０〜６９、８０又は８９に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項７１】
前記音響光学変調器は、前記ビーム入口面又は前記第１の変換器変調ゾーンに対するブラッグ角で又はそれに近接する入口角のビーム経路による衝突に適する、請求項１１、５４、５８〜７０、８８又は１０１に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項７２】
前記偏向角は前記ブラッグ角に対して少なくとも５０ミリラジアンまでを含む範囲を有する、請求項１１、５４、５８〜７１、８８又は１０１に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項７３】
前記第１の変換器はより大きいブラッグ角範囲用の高周波数ドライバに応答し、前記第２の変換器はより小さいブラッグ角範囲用の低周波数ドライバに応答する、請求項１１、５４、５８〜７２、８８又は１０１に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項７４】
前記音響光学変調器制御システムはレーザシステムの一部を形成する、請求項１１、５４、５８〜７２、８８又は１０１に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項７５】
前記音響光学変調器は前記ビーム経路及び前記工作物の間の狭い範囲の相対ビーム方向運動を行うために適応され、前記第１及び第２の変換器は、高速運動制御信号に応答して前記音響光学変調器の前記狭い範囲の相対ビーム方向運動を制御しており、
当該システムは、さらに、
変換軸線にほぼ沿う運動可能な変換段を含む、前記ビーム経路及び前記工作物の間の広い範囲の相対的な運動を行う低速位置決め器と、
前記位置決めコマンドから低速運動制御信号及び高速運動制御信号を派生する位置決め信号プロセッサと、
前記音響光学変調器を前記低速位置決め器で調整することが、所望のビーム位置にて前記工作物に衝突させるために前記ビーム経路を検出するように、前記低速運動制御信号に応答して前記変換段の広い範囲の相対的なビーム方向運動を制御する低速位置決め器ドライバとを含む、請求項７４又は１０３に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項７６】
前記レーザビームは少なくとも異なる第１及び第２の波長を含み、前記音響光学変調器は前記第１の周波数が前記第１の波長を変調しかつ前記第２の周波数が前記第２の波長を変調するよう適合される、請求項７４又は１０３に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項７７】
前記第１及び第２の無線周波数ドライバは、共通のビーム経路にほぼ沿って伝播する前記第１及び第２の波長を偏向させるために前記第１及び第２の周波数を調整するために適合される、請求項７６に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項７８】
前記第１及び第２の波長は、ブラッグ条件を満たす角度にて又はそれに近接して回折される、請求項７７に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項７９】
前記ビーム経路は、前記第１の変換器変調ゾーンに対してブラッグ角である又はそれに近接する角度にて前記音響光学変調器に衝突しており、前記音響光学変調器に印加される前記無線周波数信号は、前記工作物へ前記ビーム経路に沿って伝播する前記複数の連続するレーザ出力パルスのうちの前記所定の１つの出口角に影響を与えるために変調される周波数であり、前記無線周波数信号は前記ブラッグ角から前記ビーム経路の出口角をシフトすることから生じるブラッグ効率からの偏差を補償するために前記複数の連続するレーザ出力パルスのうちの前記所定の１つの前記振幅又はエネルギーに影響を与えるために変調される、請求項１１、５４、５８〜７２、８８又は１０１に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項８０】
前記第１の変換器は、第１の偏向角範囲制限に対応する第１の周波数制限を有する第１の無線周波数ドライバに応答し、第２の偏向角範囲制限に対応する第２の周波数制限を有する第２の無線周波数ドライバに応答し、前記第２の周波数は前記第１の周波数と異なり、前記偏向角は前記第１及び第２の偏向角範囲より大きい、請求項１１、５４、５８〜７２、８８又は１０１に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項８１】
前記第１の変換器は、第１の無線周波数ドライバに応答し、かつ前記第１の変換器に前記第１の無線周波数信号を印加することによって発生される第１の偏向角に対応する第１の周波数応答制限を有しており、前記第２の変換器は、第２の無線周波数ドライバに応答し、かつ前記第２の変換器に前記第２の無線周波数信号を印加することによって発生される第２の偏向角に対応する第２の周波数応答制限を有しており、前記第１及び第２の周波数は異なりかつ異なる位相を持ち、前記偏向角は前記第１又は第２の解像度のいずれかより正確な協同解像度を提供する、請求項１１、５４、５８〜７２、８８又は１０１に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項８２】
前記第１及び第２の変換器面は平行であり、前記第１及び第２の変換器変調ゾーンは実質的に重なり合い、前記第１及び第２の無線周波数信号の位相は前記偏向角を微調整するために調整される、請求項８１に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項８３】
前記第１及び第２の変換器面は同一面上にあり、前記第１及び第２の変換器変調ゾーンは重なり合わず、前記第１及び第２の周波数は前記協同偏向角を微調整するために調整される、請求項８１に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項８４】
前記第１及び第２の変換器面は平行であり、前記第１及び第２の変換器変調ゾーンは実質的に重なり合い、前記第１及び第２の周波数は同じ周波数でありかつ回折効率を増加させるために位相捕捉される、請求項８１に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項８５】
前記第１及び第２の変換器変調ゾーンはほぼ直交する、請求項５４又は５９に記載の方法又はシステム。
【請求項８６】
前記第１及び第２の変換器変調ゾーンは交差する、請求項５４又は５９に記載の方法又はシステム。
【請求項８７】
前記第１及び第２の無線周波数信号は各々、第１及び第２の振幅を有し、前記第１及び／又は第２の振幅は、前記ブラッグ角から前記ビーム経路の前記第１及び／又は第２の出口角におけるシフトから生じるブラッグ効率からの偏差を補償するために調整される、請求項７１に記載の方法又はシステム。
【請求項８８】
第３の無線周波数信号の第３の周波数は前記音響光学変調器の第３の変換器面に位置決めされる第３の変換器に印加され、前記第３の変換器面は前記ビーム入口面をほぼ横切り、前記第３の変換器は前記ビーム経路を横断する第３の変換器変調ゾーンにおいて前記第１の出口角を変調しかつ前記第１及び第３の無線周波数信号が前記出口角を制御するために協同するように影響を与える、請求項５４に記載の方法。
【請求項８９】
前記第第１及び第３の変換器変調ゾーンはほぼ平行である、請求項８８又は１０１に記載の方法又はシステム。
【請求項９０】
前記第１及び第３の変換器変調面は同一面上にある、請求項８８又は１０１に記載の方法又はシステム。
【請求項９１】
前記第３の変換器は、前記第１及び第３の変換器変調ゾーンが非平行でありかつ重なり合わないように前記第１の変換器に対して離隔しかつ小さい角度で方向付けられる、請求項８８又は１０１に記載の方法又はシステム。
【請求項９２】
前記第１及び第３の周波数は異なる、請求項８８又は１０１に記載の方法又はシステム。
【請求項９３】
前記第１及び第３の周波数は同じである、請求項８８又は１０１に記載の方法又はシステム。
【請求項９４】
前記第１及び第３の周波数は高調波に関してほぼ関係する、請求項８９に記載の方法又はシステム。
【請求項９５】
前記第１及び第３の周波数は異なる位相を有する、請求項８８又は１０１に記載の方法又はシステム。
【請求項９６】
前記第１及び第３の無線周波数信号は、前記第１又は第３の変換器のいずれかが単独で提供できる解像度を超える解像度にて前記第１の出口角を制御するために協同する、請求項８８又は１０１に記載の方法又はシステム。
【請求項９７】
前記第１及び第３の無線周波数信号は、前記第１又は第３の変換器のいずれかが単独で提供できる偏向角範囲を超える協同偏向角範囲を含むように前記第１の出口角を制御するために協同する、請求項８８又は１０１に記載の方法又はシステム。
【請求項９８】
前記第１及び第２の無線周波数ドライバは独自の第１及び第２の周波数を提供するように適合される、請求項５９に記載の音響光学変調器制御システム。
【請求項９９】
前記音響光学変調器は、前記ビーム経路を前記ビーム入口面にほぼ直角である角度にて前記音響光学変調器に衝突させるべく位置付けされるように適合される、請求項５４又は５９に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項１００】
前記第１及び第２の無線周波数ドライバは、前記ブラッグ角からの前記ビーム経路の前記第１及び／又は第２の出口角におけるシフトから生じるブラッグ効率からの偏差を補償するために前記第の無線周波数信号の第１の振幅及び前記第２の無線周波数信号の第２の振幅を調整するために適合される、請求項７１に方法又は記載の音響光学変調器制御システム。
【請求項１０１】
さらに、前記ビーム入口面をほぼ横断する第３の面にある第３の変換器面に配置された、第３の変換器変調ゾーン内で変調する第３の変換器と、
前記ビーム経路を横切りかつ前記第１及び第３の無線周波数信号が前記第１の出口角を制御するために協同するように前記第１の出口角に影響を与える前記第３の変換器変調ゾーン内で変調する前記第３の変換器に印加される第３の無線周波数信号の第３の周波数を変調する第３の無線周波数ドライバとを含む、請求項５９に記載の音響光学変調器制御システム。
【請求項１０２】
前記第１及び第３の無線周波数ドライバはほぼ一致する第１及び第２の周波数を提供するように適用される、請求項８９に記載の方法又は音響光学変調器制御システム。
【請求項１０３】
レーザ及び工作物間のビーム経路に沿って位置決めされるのに適した第１の音響光学変調器であって第１のビーム入口面と、第１のビーム出口面と、前記ビーム経路を横断するように適合された第１の変換器変調面を有する第１の変換器とを有する第１の音響光学変調器と、
前記第１のビーム入口面を横断する第１の変換器面に取り付けられた第１の変換器と、
前記第１の変換器変調ゾーン内で変調するために前記第１の変換器に第１の周波数の第１の無線周波数信号を印加する第１の無線周波数ドライバであって、第１の可変周波数コントローラを含む又はそれと通信し、前記第１の周波数が前記第１のビーム出口面から出現する前記ビーム経路の第１の偏向角に影響を与える第１の無線周波数ドライバと、
前記第１の音響光学変調器及び前記工作物間の前記ビーム経路に沿って位置決めされるのに適合された第２の音響光学変調器であって第２のビーム入口面と第２のビーム出口面と前記ビーム経路を横断するよう適合された第２の変換器変調ゾーンとを有する第２の音響光学変調器と、
前記第２のビーム入口面を横断する第２の変換器面に取り付けた第２の変換器と、
前記第２の変換器変調ゾーン内で変調するために前記第２の変換器に第２の周波数の第２の無線周波数信号を印加する第２の無線周波数ドライバであって、第２の可変周波数コントローラを含む又はそれと通信する第２の無線周波数ドライバであって第２の無線周波数ドライバとを含み、
前記第２の周波数は前記第２のビーム出口面から出現する前記ビーム経路の第２の偏向角に影響を与えており、前記第１及び第２の音響光学変調器は、前記第１及び第２の偏向角が前記ビーム経路に対する協同偏向角を提供するために協働するように前記第１及び第２の変換器変調軸線が前記工作物の面に対して共通の工作物軸線に沿う前記ビーム経路の偏向に影響を与えるように、前記ビーム経路に沿って位置決められている、音響光学変調器制御システム。
【請求項１０４】
さらに、前記第１及び第２の無線周波数信号を、前記協同偏向角を創出するために同時に印加するコントローラを含む、請求項１０３に記載の音響光学変調器制御システム。
【請求項１０５】
前記第１の音響光学変調器は、前記第２の偏向角のシフトから生じるブラッグ効率の損失を軽減するために前記第２の音響光学変調器の前記第２のビーム入口面の前記ビーム経路の第２の入口角をシフトするのに適する、請求項１０３に記載の音響光学変調器制御システム。
【請求項１０６】
前記ビーム経路の前記第１及び第２の入口角は、前記音響光学変調器の前記ビーム入口面及び前記ビーム出口面に対してブラッグ角に又はそれに近接するように修正されており、前記ブラッグ角から前記ビーム経路を逸らすことは、前記ブラッグ角から前記各出口角のシフトの程度の関数として、ブラッグ効率をより低いブラッグ効率へ減少させており、より大きい角度シフトは望ましくない低いブラッグ角を生じ、
当該制御システムは、前記望ましくない低いブラッグ効率よりも大きい全体的なブラッグ効率を有する前記第１及び第２の音響光学変調器によって与えられる協同偏向角から生じる所望のビーム位置にて前記工作物に衝突させるために、前記工作物上の名目上のビーム位置から前記ビーム経路を逸らすために前記第２の入口角及び前記第２の無線周波数信号の前記第２の周波数を調整するのに適合される、請求項１０５に記載の音響光学変調器制御システム。
【請求項１０７】
前記協同偏向角は１００ミリラジアンより広い範囲を有する、請求項１０３に記載の音響光学変調器制御システム。
【請求項１０８】
前記音響光学変調器制御システムはレーザシステムの一部を形成する、請求項１０３に記載の音響光学変調器制御システム。
【請求項１０９】
前記工作物に衝突する前記ビーム経路は前記第１及び第２の音響光学変調器から伝播される１次ビーム経路を含む、請求項１０８に記載の音響光学変調器制御システム。
【請求項１１０】
レーザ及び工作物の間のビーム経路に沿って位置決めするのに適した音響光学変調器の性能を強化する方法であって、前記音響光学変調器はビーム入口面と、ビーム出口面と、前記音響光学変調器の第１の変換器面上に位置決めされかつ第１の変換器変調ゾーン内で変調する第１の変換器とを有し、前記第１の変換器面は前記ビーム入口面を横断する第１の平面にあり、
当該方法は、
名目上のビーム位置の工作物に衝突させる、ビーム経路に沿うレーザビームを発生すること、
前記ビーム経路に沿って位置決めされた前記音響光学変調器を通して前記レーザビームを伝播すること、及び
前記工作物の面に対して第１の加工材材料軸線に沿う前記ビーム経路の第１の偏向角に影響を与えるために前記ビーム経路を横断する第１の変換器変調ゾーン内で変調する前記第１の変換器に印加される第１の無線周波数信号の第１の周波数の印加を制御することを含み、前記第２の変換器面は、前記ビーム入口面を横断する第２の平面にあり、前記第２の変換器は前記第１の工作物軸線に沿う前記ビーム経路の第２の偏向角に影響を与えるために前記ビーム経路を横断する第２の変換器変調ゾーン内で変調しており、前記第２の変換器は、前記第１及び第２の変換器変調ゾーンが平行にならないように、前記第１の変換器に対して離隔しかつ小さい角度で後行付けられており、
当該方法は、さらに、
前記第１及び／又は第２の無線周波数信号の印加から生じる偏向伝播方向を提供するために、前記第１及び第２の周波数の一方又は両方の印加から生じる所望のビーム位置にて前記工作物に衝突させるために前記レーザビームを逸らすために前記第１及び／又は第２の無線周波数信号の前記印加を調整することを含む、方法。
【請求項１１１】
レーザ及び工作物間のビーム経路に沿って位置決めするために適合された音響光学変調器であって、当該音響光学変調器はビーム入口面、ビーム出口面、及び前記音響光学変調器の第１の変換器面上に位置決めされる第１の変換器を含み、前記第１の変換器面は前記ビーム入口面を横断する第１の面にあり、前記第１の変換器は、第１のデカルト軸線に沿う前記ビーム経路の第１の偏向角に影響を与えるために前記ビーム経路を横断する第１の変換器変調ゾーン内で変調するよう適合されており、
当該音響光学変調器は、これの第２の変換器面に配置された第２の変換器を含み、前記第２の変換器面は前記ビーム入口面を横断する第２の面にあり、前記第２の変換器は、前記第１のデカルト軸線に沿う前記ビーム経路の第２の偏向角に影響を与えるために前記ビーム経路を横断する第２の変換器変調ゾーン内で変調を行うよう適合されており、前記第２の変換器は、前記第１及び第２の変換器変調ゾーンが平行でないように、離間されており、また前記第１の変換器に対して小さい角度にて方向付けられている、音響光学変調器。
【請求項１１２】
レーザ及び工作物の間のビーム経路に沿って位置決めするのに適した音響光学変調器の性能を強化する方法であって、前記音響光学変調器はビーム入口面と、ビーム出口面と、前記音響光学変調器の第１の変換器面上に位置決めされる第１の変換器とを有し、前記第１の変換器面は前記ビーム入口面を横断する第１の平面にあり、
当該方法は、
工作物に衝突させる、ビーム経路に沿うレーザビームを発生すること、
前記ビーム経路に沿って位置決めされた前記音響光学変調器を通して前記レーザビームを伝播すること、
前記工作物の面に対して第１の加工材材料軸線に沿う前記ビーム経路の第１の偏向角に影響を与えるために前記ビーム経路を横断する第１の変換器変調ゾーン内で変調する前記第１の変換器に印加される第１の無線周波数信号の第１の周波数を制御すること、及び
前記音響光学変調器の第２の変換器面上に位置決めされる第２の変換器に印加される第２の無線周波数信号の第２の周波数を制御することを含み、前記第２の変換器面は前記入口面前記ビーム入口面を横断する第２の平面にあり、前記第２の変換器は前記第１の工作物軸線に沿う前記ビーム経路の第２の偏向角に影響を与えるために前記ビーム経路を横断する第２の変換器変調ゾーン内で変調しており、前記第２の変換器は、前記第１及び第２の変換器変調ゾーンが平行でないよう、前記第１の変換器に対して離隔しかつ小さい角度にて方向付けられており、
前記方法は、さらに、
前記第１及び第２の無線周波数信号によって与えられる前記第１及び第２の偏向角から生じる協同偏向角から生じる所望のビーム位置にて前記工作物に衝突させるために前記レーザビームを逸らすために前記第１及び第２の無線周波数信号の周波数を調整することを含む、方法。
【請求項１１３】
工作物に向けられた複数の連続レーザ出力パルスの振幅又はエネルギーを調整するために音響光学変調器を使用する方法であって、前記音響光学変調器はレーザと工作物との間のビーム経路に沿って配置するのに適しており、前記音響光学変調器はビーム入口面、ビーム出口面、及び前記音響光学変調器の第１の変換器面に配置されかつ第１の変換器変調ゾーン内で変調する第１の変換器を有しており、前記第１の変換器面は前記ビーム入口面を横断する第１面にあり、
当該方法は、
工作物に衝突するビーム経路に沿うレーザビームを発生すること、
前記ビーム入口面又は前記第１の変換器変調ゾーンに対してブラッグ角にて又はそれに近接している入口角にて前記音響光学変調器に衝突する前記ビーム経路に沿って位置決めされる前記音響光学変調器を通して前記レーザビームを伝播すること、
前記工作物の面に対して第１の工作物軸線に沿う前記ビーム経路の前記第１の出口角に影響を与えるために前記ビーム経路を横断する前記第１の変換器変調面内で変調する前記第１の変換器に印加される第１の無線周波数信号の第１の周波数を制御すること、及び
前記ブラッグ角から前記ビーム経路の前記第１の出口角の第１のシフトから生じるブラッグ効率からの偏差を補償するために前記第１の変換器に印加される前記第１の無線周波数信号の第１の振幅を制御することを含む、方法。
【請求項１１４】
レーザ及び工作物の間のビーム経路に沿って位置決めするのに適した音響光学変調器の性能を強化する方法であって、前記音響光学変調器はビーム入口面と、ビーム出口面と、前記音響光学変調器の第１の変換器面に配置されかつ第１の変換器変調ゾーン内で変調する第１の変換器とを有し、前記第１の変換器面は前記ビーム入口面を横断する第１の平面にあり、
当該方法は、
名目上のビーム位置の工作物に衝突させる、ビーム経路に沿うレーザビームを発生すること、
前記ビーム経路に沿って位置決めされた前記音響光学変調器を通して前記レーザビームを伝播すること、
前記工作物の面に対して第１の加工材材料軸線に沿う前記ビーム経路の偏向角に影響を与えるために前記ビーム経路を横断する第１の変換器変調ゾーン内で変調する前記第１の変換器に印加される第１の無線周波数信号の第１の周波数を制御すること、及び
前記第１及び第２の無線周波数信号によって与えられる前記ビーム経路の協同偏向角から生じる所望のビーム位置にて前記工作物に衝突させるために前記工作物の仮のビーム位置からの前記レーザビームを検出するために前記第１及び第２の無線周波数信号を調整することを含み、
前記第２の変換器面は、前記ビーム入口面を横断する第２の平面にあって前記第１の変換器面にほぼ平行又は同一面にあり、前記第２の変換器は前記第１の工作物軸線に沿う前記ビーム経路の偏向角に影響を与えるために前記ビーム経路を横断する第２の変換器変調ゾーンにある、方法。
【請求項１１５】
第１の変換器面に配置された音響光学変調器であって第１の無線周波数ドライバに応答しかつ第１の偏向角制御制限に対応する第１の周波数制限を有する第１の変換器を有する音響光学変調器においてビーム偏向角方向制御を強化する方法であって、
第１のビーム位置の工作物に衝突するビーム経路に沿うレーザビームを発生すること、
前記ビーム経路に沿って位置決めされた前記音響光学変調器を通して前記レーザビームを伝播すること、
前記第１の変換器に印加される第１の無線周波数信号の第１の周波数を制御すること、
前記音響光学変調器の第２の変換器面に配置された第２の変換器に印加される第２の無線周波数信号の第２の周波数を制御すること、及び
前記第１又は第２の変換器の単独では利用可能でない協同偏向角から生じる所望のビーム位置にて前記工作物に衝突させるために前記ビーム経路及び前記工作物上の前記第１のビーム位置を前記音響光学変調器で逸らすために前記第１及び第２の周波数を調整することを含み、
前記第２の変換器面は、前記第１の面にほぼ平行又は同一面上にあり前記第２の変換器は第２の無線周波数ドライバに応答しており、
前記第２の変換器は、第２の偏向角制御制限に対応する第２の周波数制限を有しており、
前記第１及び第２の周波数は異なり又は異なる位相を有している、方法。
【請求項１１６】
工作物に衝突するビーム経路に沿うレーザビームの伝播を抑制するためにレーザシステム内の音響光学変調器を変調する方法であって、
ビームを発生すること、
音響光学変調器内へ光路に沿って前記レーザビームを伝播させること、及び
前記工作物に衝突前記ビーム経路に沿う前記レーザビームの伝播を防止するために実質的にゼロのブラッグ効率を有する周波数にて前記音響光学変調器の変換器に無線周波数信号を印加することを含む、方法。
【請求項１１７】
レーザ及び工作物間のビーム経路に沿って位置決めするために適する音響光学変調器からのビーム位置決め制御を強化する方法であって、前記音響光学変調器はビーム入口面と、ビーム出口面と、前記ビーム経路を横断しかつ前記工作物の面に対して第１の工作物軸線に沿う前記ビーム経路の偏向に影響を与える第１の変換器変調ゾーンとを有しており、
当該方法は、
名目上のビーム位置にて工作物に衝突させる、ビーム経路に沿うレーザビームを発生させること、及び
前記ビーム経路に沿って位置決めされた前記音響光学変調器の前記入口面を通して前記レーザビームを伝播することを含み、前記ビーム経路は前記音響光学変調器を前記音響光学変調器の前記ビーム入口面に対してブラッグ角である又はそれに近接する入口角にて衝突させており、前記ブラッグ角から前記ビーム経路を逸らすことは前記ブラッグ角から、前記出口角をシフトする程度の関数としてブラッグ効率をより低いブラッグ効率へ減少させており、
当該方法は、さらに、
前記音響光学変調器の第１の変換器面上に配置された第１の変換器に印加される第１の無線周波数信号の第１の周波数を制御することを含み、前記第１の変換器面は前記ビーム入口面を横断しており、前記第１の変換器は前記ブラッグ角から前記ビーム経路を前記音響光学変調器でシフトするために前記第１の変換器変調ゾーン内で変調しており、
当該方法は、さらに、
前記出口角の前記シフトから生じるブラッグ角の損失を軽減するために前記音響光学変調器の前記ビーム入口面にて前記入口角をシフトするために前記音響光学変調器の上流のブラッグ調整装置を制御すること、及び
前記ブラッグ調整装置と前記望ましくない低いブラッグ効率より大きい全体的なブラッグ効率を有する前記音響光学変調器とによって与えられる協同偏向角から生じる所望のビーム位置にて前記工作物に衝突させるために前記工作物上の名目上のビーム位置からの前記ビーム経路を逸らすために前記入口角の前記シフト及び前記第１の無線周波数信号の前記第１の周波数を調整することを含む、方法。