【手続補正書】
【提出日】平成19年5月31日(2007.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】マイクロ波プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  マイクロ波を用いて生成したプラズマによって試料に処理を行うマイクロ波プラズマ処理装置において、前記マイクロ波を発振するマイクロ波発振器と、該マイクロ波発振器にて発振されたマイクロ波を伝播させる略円形板状の誘電体部材と、該誘電体部材の中央にその厚さ方向に貫通する態様で設けられた導体部材と、前記誘電体部材の一主面に対向して配設されており、前記試料を載置する試料台を内部に有する反応容器とを備えることを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。
【請求項２】  マイクロ波を用いて生成したプラズマによって試料に処理を行うマイクロ波プラズマ処理装置において、前記マイクロ波を発振するマイクロ波発振器と、該マイクロ波発振器にて発振されたマイクロ波を伝播させる導波管と、該導波管がその外周部の一部に接続されており、その接続部分を除く外周部及び上部が導体板で覆われている略円形板状の誘電体部材と、該誘電体部材の中央にその厚さ方向に貫通する態様で設けられた導体部材と、前記誘電体部材の下表面に対向して配設されており、前記試料を載置する試料台と、該試料台を内部に有する反応容器と、前記誘電体部材と前記試料台との間に設けられており、前記反応容器を真空に封止する誘電体からなる封止板とを備えることを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。
【請求項３】  前記導体部材の直径ｄは、以下の条件（Ａ）を満たす請求項１または２記載のマイクロ波プラズマ処理装置。
１０≦ｄ＜Ｄ−１．３λg （単位：ｍｍ） …（Ａ）
但し、Ｄ：前記誘電体部材の直径
λg ：マイクロ波の管内波長
【請求項４】  前記試料台の中心は前記導体部材の中心の鉛直下方に存在する
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一つに記載のマイクロ波プラズマ処理装置。
【請求項５】  前記導体部材の前記試料台に対向する下表面と前記誘電体部材の前記試料台に対向する下表面とが同一平面上に存在する
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一つに記載のマイクロ波プラズマ処理装置。
【請求項６】  マイクロ波を発振するマイクロ波発振器と、該マイクロ波発振器にて発振されたマイクロ波を伝播させる略円形板状の誘電体部材と、該誘電体部材の中央にその厚さ方向に貫通する態様で設けられた導体部材と、前記誘電体部材の一主面に対向して配設されており、前記試料を載置する試料台を内部に有する反応容器と、前記誘電体部材と前記試料台との間に設けられており、前記反応容器を真空に封止する誘電体からなる封止板とを備えるマイクロ波プラズマ処理装置を用いたプラズマ処理方法において、
前記マイクロ波発振器によりマイクロ波を発振させるステップと、
該発振させたマイクロ波を前記誘電体部材に導入するステップと、
該誘電体部材に定在波を形成させることによって所定分布の漏れ電界を発生させるステップと、
該発生した漏れ電界を、前記封止板を透過させて前記反応容器内へ導入し、該反応容器内にプラズマを生成するステップと
を備えることを特徴とするプラズマ処理方法。
【請求項７】  前記導体部材の直径ｄは、以下の条件（Ａ）を満たす請求項６に記載のプラズマ処理方法。
１０≦ｄ＜Ｄ−１．３λg （単位：ｍｍ） …（Ａ）
但し、Ｄ：前記誘電体部材の直径
λg ：マイクロ波の管内波長
【請求項８】  導体部材の直径が相互に相違する複数の誘電体部材の中から、一の誘電体部材を選択し、中央部のイオン電流密度を平坦化させるステップ
をさらに備えることを特徴とする請求項７に記載のプラズマ処理方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロ波を用いて生成したプラズマによって、半導体基板，液晶ディスプレイ用ガラス基板等の試料にエッチング，アッシング等の処理を施すマイクロ波プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、マイクロ波が伝播される略円形板状の誘電体部材の中央に導体部材を設けておくことにより、広い範囲の条件において、均一なプラズマを生成できて、プラズマ処理の均一性を向上させることができるマイクロ波プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の他の目的は、プラズマの着火性を向上できるマイクロ波プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法を提供することにある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るマイクロ波プラズマ処理装置は、マイクロ波を用いて生成したプラズマによって試料に処理を行うマイクロ波プラズマ処理装置において、前記マイクロ波を発振するマイクロ波発振器と、該マイクロ波発振器にて発振されたマイクロ波を伝播させる略円形板状の誘電体部材と、該誘電体部材の中央にその厚さ方向に貫通する態様で設けられた導体部材と、前記誘電体部材の一主面に対向して配設されており、前記試料を載置する試料台を内部に有する反応容器とを備えることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係るマイクロ波プラズマ処理装置は、マイクロ波を用いて生成したプラズマによって試料に処理を行うマイクロ波プラズマ処理装置において、前記マイクロ波を発振するマイクロ波発振器と、該マイクロ波発振器にて発振されたマイクロ波を伝播させる導波管と、該導波管がその外周部の一部に接続されており、その接続部分を除く外周部及び上部が導体板で覆われている略円形板状の誘電体部材と、該誘電体部材の中央にその厚さ方向に貫通する態様で設けられた導体部材と、前記誘電体部材の下表面に対向して配設されており、前記試料を載置する試料台と、該試料台を内部に有する反応容器と、前記誘電体部材と前記試料台との間に設けられており、前記反応容器を真空に封止する誘電体からなる封止板とを備えることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明に係るマイクロ波プラズマ処理装置は、前記導体部材の直径ｄは、以下の条件（Ａ）を満たすことを特徴とする。
１０≦ｄ＜Ｄ−１．３λg  （単位：ｍｍ） …（Ａ）
但し、Ｄ：前記誘電体部材の直径
λg ：マイクロ波の管内波長
本発明に係るマイクロ波プラズマ処理装置は、前記試料台の中心は前記導体部材の中心の鉛直下方に存在することを特徴とする。
本発明に係るマイクロ波プラズマ処理装置は、前記導体部材の前記試料台に対向する下表面と前記誘電体部材の前記試料台に対向する下表面とが同一平面上に存在することを特徴とする。
本発明に係るプラズマ処理方法は、マイクロ波を発振するマイクロ波発振器と、該マイクロ波発振器にて発振されたマイクロ波を伝播させる略円形板状の誘電体部材と、該誘電体部材の中央にその厚さ方向に貫通する態様で設けられた導体部材と、前記誘電体部材の一主面に対向して配設されており、前記試料を載置する試料台を内部に有する反応容器と、前記誘電体部材と前記試料台との間に設けられており、前記反応容器を真空に封止する誘電体からなる封止板とを備えるマイクロ波プラズマ処理装置を用いたプラズマ処理方法において、前記マイクロ波発振器によりマイクロ波を発振させるステップと、該発振させたマイクロ波を前記誘電体部材に導入するステップと、該誘電体部材に定在波を形成させることによって所定分布の漏れ電界を発生させるステップと、該発生した漏れ電界を、前記封止板を透過させて前記反応容器内へ導入し、該反応容器内にプラズマを生成するステップとを備えることを特徴とする。
本発明に係るプラズマ処理方法は、前記導体部材の直径ｄは、以下の条件（Ａ）を満たすことを特徴とする。
１０≦ｄ＜Ｄ−１．３λg （単位：ｍｍ） …（Ａ）
但し、Ｄ：前記誘電体部材の直径
λg ：マイクロ波の管内波長
本発明に係るプラズマ処理方法は、導体部材の直径が相互に相違する複数の誘電体部材の中から、一の誘電体部材を選択し、中央部のイオン電流密度を平坦化させるステップをさらに備えることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
以上詳述した如く、本発明に係るマイクロ波プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法では、誘電体部材の中央部にその厚さ方向に貫通する態様で導体部材を設けるようにしたので、誘電体部材を伝播するマイクロ波の定在波による電界の強度が相対的に強い複数の領域が、複数の径方向について存在し、それらが直径上の軸に対して略軸対称に分布するため、これに応じて生成されるプラズマの密度を均一化でき、均一な密度になったプラズマによって試料を処理でき、プラズマ処理の均一性を向上することが可能である。