【誤訳訂正書】
【提出日】平成20年1月17日(2008.1.17)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１２】
課題を解決するための手段
本発明は、クランプリスト（wrist)を提供すると共に、ロボットアームに取り付けられたウェーハブレード上にウェーハを選択的に受容するための動作方法を提供する。クランプリストは、ロボットアームの遠位端部に取り付けられた並進部材を備える。クランプリストのリストハウジングは、ロボットアームの遠位端部に枢動可能に結合される。リストハウジングに移動可能に取り付けられた一以上のクランプフィンガは、前方付勢部材により付勢され、ウェーハハンドリングブレード上に載置されたワークピースに当接する。第二の付勢部材は、前記一以上のクランプフィンガをリストハウジングに移動可能に接続された接触パッドに接続する。並進部材は、ロボットアームが所与の延伸度に達すると接触パッドと係合し該接触パッドをワークピースから離間する方向に引っ張るように位置決め構成されている。同様にクランプフィンガに接続される接触パッドは、ロボットアームが所与の延伸度に達するとクランプフィンガをワークピースから離間する方向に引っ張る。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１４】
本発明の更に別の態様によれば、クランプリストを遠位端部に取り付けた一対のフロッグレッグ型ロボットアームを含むロボットアーム組立体が提供される。クランプリストは、各ロボットアームの遠位端部に取り付けられた並進部材を備える。リストハウジングは、ロボットアームに枢動可能に結合され、接触パッドはリストハウジングに接続される。クランプフィンガに結合された前方付勢部材は、クランプフィンガを付勢してワークピースに当接させる。第二の付勢部材は、クランプフィンガに接続されると共に、接触パッドに接続される。並進部材は、ロボットアームが所与の延伸度に達すると接触パッドと係合して接触パッドをワークピースから離間させる方向に引っ張ることにより、ロボットアームが所与の延伸度に達すると接触パッドと第二の付勢部材がクランプフィンガをワークピースから離間する方向に引っ張るように、位置決め構成されている。この組立体は、単一ウェーハ用のロボット搬送組立体としても多重ウェーハ用のロボット搬送組立体としても構成することができる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１５】
本発明の別の態様は、軸線を中心に回転可能でエンクロージャの壁を介してモータにより磁気的に駆動される一対のハブ部材を備えたロボットを提供する。ロボットアーム組立体は、ハブ部材のそれぞれに取り付けられる。ロボットアーム組立体は、それぞれ、ハブ部材に結合された第一のストラットを有し、ハブ部材の回転が各ロボットアーム組立体のストラットを回転させるようにしている。ロボットアーム組立体は、また、それぞれ、第一のストラットの端部に結合された第二のストラットを有する。二つのアーム組立体は、協働して、回転対称軸線廻りのロボットの回転と該回転対称軸線からのロボットアームの直線状の半径方向延伸とを含むロボットの二つの独立した動作を生じさせる。第二のストラットのそれぞれの遠位端部には、クランプ機構を作動させるように構成された並進部材が取り付けられている。ロボットは二つのワークピースハンドリング部材を有する。ワークピースハンドリング部材の一方がそれぞれのアーム組立体に枢動可能に取り付けられることにより、並進部材の一方とアーム組立体の一方とがワークピースハンドリング部材のそれぞれに対応するようになっている。ワークピースハンドリング組立体は、クランプフィンガを付勢してワークピースハンドリング部材のブレード上に載置されたワークピースに当接させるために少なくとも一のクランプフィンガに結合された前方付勢部材を備える。第二の付勢部材は、クランプフィンガを接触パッドに接続する。ワークピースを解放するために、並進部材は、取り付けられたアーム組立体が所与の延伸度に達すると接触パッドに係合して接触パッドをワークピースから離間する方向に引っ張るように位置決め構成されている。接触パッド及び第二の付勢部材は、取り付けられたアーム組立体が所与の延伸度に達するとクランプフィンガをワークピースから離間する方向に引っ張るように構成されている。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３１】
ロボットアーム４２の第二のストラット４５に取り付けられた並進部材８２は、第一のレバー１２０の可動接触パッド１２２と係合して該パッドを所与のロボットアーム延伸度で後方に引っ張ってウェーハ３０２から離間させるように構成されている。並進部材８２は、第二のストラット４５をワークピースハンドリング部材６０に接続するピボット５０の近傍で第二のストラット４５に取り付け固定された細長い固定部材である。並進部材８２は、第二のストラット４５から外側にリストハウジング１９９内に延びる。並進部材８２の遠位端部には、粒子を実質的に生成することなく別の表面に当接するように構成されたローラ８４が、枢動可能に取り付けられている。ローラは、好ましくは、並進部材８２と接触パッド１２２との摩擦をできるだけ小さくするために硬い耐磨耗性の材料から形成される。並進部材８２は、並進部材８２の遠位端部がウェーハ３０２及びハンドリングブレード６４から離間する方向に後方に回転移動したときにその遠位端部が第一のレバー１２０の接触パッド１２２に当接するように、構成されて位置決めされる。ロボットアーム４２が延伸すると、並進部材８２が後方に回転する。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３２】
図６及び図７は、下側カバープレート２０２を除去したクランプリスト８０の底面図であって、ロボットアーム４２がそれぞれ引っ込み及び延伸位置にあるときのクランプリスト８０の作用を示す。図の比較は、クランプ機構が完全延伸位置でどのようにしてウェーハを解放するかを示すのに有益である。図６は、リスト組立体が回転位置にある場合等、ロボットのハブ上の完全引っ込み位置におけ
るリスト組立体６０を示す。クランプフィンガ９０がクランプ位置にあるウェーハ３０２の外周と係合していることに留意されたい。クランプフィンガ９０の係合は、ウェーハ３０２をクランプするのみならず、該ウェーハをブレード６４上に安定して且つ正確に位置決めする。ウェーハ３０２が正確に位置決めされるので、ハンドリングエラーは減少し、精巧なウェーハセンタ検出装置を使用する必要はないが、かかる装置の使用を妨げるものではない。また、リスト８０が完全に引っ込んだときは、並進部材８２と係合する接触パッド１２２との間の近接距離が最大になることにも留意されたい。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３３】
図７は、チャンバ４０４の壁４１２のウェーハ搬送スロット４１０を通ってクランプ解放位置まで延伸したブレード６４及びリスト８０を示す。チャンバ（図示せず）のリフトピン等の別の装置によりウェーハをブレード６４の上面から持ち上げることができるようにクランプフィンガ９０とウェーハ３０２の縁部との間に間隙が形成されていることに留意されたい。また、並進部材８２、レバー１２０及び１３０、止め部材１５０及び第二の付勢部材１１０の相対位置に留意することも有益である。この解放位置では、板ばね１０２は撓んでいる。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４３】
ロボットアーム４２がチャンバ４０４内に延伸してロボット１０とチャンバ４０４との間の搬送を完了する際には、ストラット４４及び４５はワークピースハンドリング部材６０に対して回転する。この第二のストラット４５が回転すると、該ストラットに固着された並進部材８２が回転する。並進部材８２は、第二のストラット４５がロボットアーム４２の所与の延伸となる所定の回転度に達すると並進部材８２の遠位端部に取り付けられたローラ１２２が第一のレバー１２０の接触パッドに接触し、ロボットアーム４２の引き続く延伸に対して第一のレバー１２０を後方へ枢動させるように、位置決め構成される。従って、並進部材８２は、ロボットアーム４２の延伸移動及びストラット４４及び４５の回転移動を第一のレバー１２０の後方への回転に並進する。次に、第一のレバー１２０は該レバーに取り付けられた一対の伸張ばねを後方に引っ張ることにより、第二のレバー１３０を後方に付勢して第二のレバー１２０の後方への回転を生じさせる。レバー１３０が後方に回転すると、レバー１３０は、撓み部材１６０に取り付けられたヨーク１６２の接触面１６４に接触し、撓み部材１６０とそれに取り付けられた接触フィンガ９０をウェーハ３０２及びハンドリングブレード６４から離間させる方向に引っ張る。次に、ウェーハ３０２をウェーハハンドリングブレード６４から取り外してもよい。続いてロボットアーム４２が引っ込むと、並進部材８２が第一のレバー１２０から離脱して第二の付勢部材１１０の力を解放し、撓み部材１６０がクランプフィンガ９０をクランプ位置に復帰させる。クランプフィンガ９０は、ウェーハハンドリングブレード６４上に載置されたウェーハ３０２の縁部と係合してウェーハ３０２を保持部材７０に対して押圧する。板ばね１０２は、撓み部材１６０をクランプ位置に付勢する。ハンドリングブレード６４に固定された保持部材７０に対してウェーハ３０２を付勢することにより、クランプフィンガ９０は、ウェーハ３０２がハンドリング部材６４上に載置される度にウェーハ３０２を同じ位置に整列させるので、システムの反復可能性を高める。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４６】
クランプ機構がウェーハ３０２を解放する正確な位置は、種々の要素の相対寸法及び位置に応じて決定することができる。例えば、並進部材８２が第二のストラット４５に取り付けられる角度及び接触パッド１２２の相対位置は、並進部材と接触パッドが互いに接触する相対位置を決定する。ストラット４４及び４５の相対長さは、ワークピースハンドリング部材６０に対する第二のストラット４５の相対回転を決定する。クランプフィンガ９０は第二のストラット４５とワークピースハンドリング部材６０との間が所与の相対角度になると引っ込むので、ストラット４４及び４５の長さは、ロボットアーム４２が延伸したときのみ当該角度が達成されるようになっている。クランプフィンガ９０が引っ込む位置に影響し得る他の要因は、ばね１１４の張力、及び第一のレバー１２０と第二のレバー１３０と接触面１６４との相対位置である。好適な実施形態において、これらの要素は、ウェーハハンドリングブレード６４が搬送位置（即ち完全延伸位置）から１〜３インチ（２．５４ｃｍ〜７．６２ｃｍ）以内にあるときクランプフィンガ９０が引っ込むように、構成されている。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】発明の名称
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【発明の名称】装置、クランプ機構、アーム組立体及び方法
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】特許請求の範囲
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ）一つ以上のアクチュエータが取り付けられたロボットアームを少なくとも一つ有するロボットと、
ｂ）前記ロボットアームに枢動可能に結合された第一のリストハウジングと、
ｃ）前記第一のリストハウジング内に移動可能に設けられた少なくとも一つのクランプフィンガと、
ｄ）前記クランプフィンガに結合されており、前記クランプフィンガの先端部を、前記第一のリストハウジングから外方に向けて直線的に付勢する第一の付勢部材と、
ｅ）前記第一のリストハウジング内に設けられると共に前記クランプフィンガに連結されており、作動したときに、前記クランプフィンガの先端部を、前記第一のリストハウジングの内方に向けて直線的に付勢するレバー組立体と、
ｆ）前記ロボットアームに設けられ、前記ロボットアームが所与の延伸度になったときに前記レバー組立体を作動させる並進部材と
を備える装置。
【請求項２】
前記レバー組立体が、前記第一のリストハウジングに移動可能に接続された接触パッドを備え、
前記ロボットアームが前記所与の延伸度に達したときに、前記並進部材が、前記レバー組立体の前記接触パッドに係合して、前記レバー組立体を作動させるように位置決めされている、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記レバー組立体が、前記クランプフィンガを前記接触パッドに接続する第二の付勢部材を有する、請求項２記載の装置。
【請求項４】
前記第一の付勢部材が板バネを含む、請求項１記載の装置。
【請求項５】
前記第二の付勢部材が、少なくとも一つの伸張ばねである、請求項３記載の装置。
【請求項６】
前記クランプフィンガに結合されたヨークを更に備え、
前記レバー組立体が、前記第二の付勢部材によって互いに連結された
ｇ）前記第一のリストハウジングに枢動可能に取り付けられ、その一端に前記接触パッドが結合された第一のレバーと、
ｈ）前記第一のレバーに対して離間して前記第一のリストハウジングに枢動可能に取り付けられ、前記ロボットアームが前記所与の延伸度に達したときに前記ヨークを作動するように位置決めされた第二のレバーと
を有する、請求項３記載の装置。
【請求項７】
ｉ）前記第一のリストハウジングに設けられ、前記レバー組立体の移動を規制するように構成され位置決めされた止め部材を更に備えた請求項６記載の装置。
【請求項８】
前記第一の付勢部材が、前記第一のリストハウジング内に摺動可能に設けられた撓み部材を構成要素として含み、且つ、二つの前記クランプフィンガが所定距離だけ離間された状態で前記撓み部材に取り付けられている、請求項１記載の装置。
【請求項９】
前記第一のリストハウジングと、前記第一のリストハウジングとは別の第二のリストハウジングとを有し、
前記第一及び第二のリストハウジングを結合する接続部材を更に備えた請求項１記載の装置。
【請求項１０】
ワークピースを固定するためのクランプ機構であって、
ａ）ロボットアームと、
ｂ）前記ロボットアームの先端部に取り付けられ、ワークピース受容面及びその先端部に保持部材を有するワークピースハンドリングブレードを備えるワークピースハンドリング部材と、
ｃ）前記ワークピースハンドリング部材に設けられ、前記ワークピースが前記ワークピース受容面にあるときに、前記ワークピースの縁部が選択的に接触する少なくとも一つのクランプフィンガと、
ｄ）前記クランプフィンガに結合されており、前記ワークピースが前記ワークピース受容面にあるときに、前記クランプフィンガを、前記ワークピースに向けて前記ワークピースハンドリング部材の外方に直線的に付勢する第一の付勢部材と、
ｅ）前記ワークピースハンドリング部材に設けられると共に前記クランプフィンガに連結されており、作動したときに、前記クランプフィンガが前記ワークピースから離れるように直線的に付勢するレバー組立体と、
ｆ）前記ロボットアームに設けられており、前記ロボットアームが所与の延伸度となったときに前記レバー組立体を作動させる並進部材と
を備えたクランプ機構。
【請求項１１】
前記第一の付勢部材が一つ以上の板バネを含む、請求項１０記載のクランプ機構。
【請求項１２】
前記ワークピースハンドリング部材に摺動可能に取り付けられ、前記第一の付勢部材を含み、且つ、前記クランプフィンガに連結された撓み部材と、
前記撓み部材と前記レバー組立体とに結合されたヨークと
を更に備えた、請求項１０記載のクランプ機構。
【請求項１３】
前記レバー組立体が、
ｇ）前記ワークピースハンドリング部材に枢動可能に設けられ、遠位端部を有する第一のレバーと、
ｈ）前記第一のレバーの前記遠位端部に取り付けられ、前記ロボットアームが所与の延伸度に達した際に、前記並進部材が係合する接触パッドと、
ｉ）前記第一のレバーから離間して前記ワークピースハンドリング部材に枢動可能に設けられ、前記第一のレバーと第二の付勢部材によって連結された第二のレバーとを備え、
前記第二のレバーは、その一部が前記ヨーク上に配置されると共に、前記ロボットアームが前記所与の延伸度に達した際に、前記ヨークが前記ワークピースから離間するように作動するように位置決めされている、請求項１２記載のクランプ機構。
【請求項１４】
前記ワークピースハンドリング部材に設けられ、前記第二のレバーの移動を規制するように位置決めされた止め部材を更に備えた請求項１３に記載のクランプ機構。
【請求項１５】
二つの前記クランプフィンガを備え、それらが一定距離だけ互いに離間した状態で前記撓み部材に取り付けられている、請求項１２に記載のクランプ機構。
【請求項１６】
ａ）並進部材及びワークピースハンドリング部材がそれぞれの先端部に設けられた一対のフロッグレッグ型ロボットアームを備え、
前記各ワークピースハンドリング部材が、
ｉ）前記ロボットアームに枢動可能に取り付けられたリストハウジングと、
ii）前記リストハウジングに取り付けられると共に、ワークピースを支持するように構成され、先端部に保持部材を有するワークピースハンドリングブレードと、
iii）前記リストハウジング内に設けられ、直線的に移動可能である少なくとも一つのクランプフィンガと、
iv）前記クランプフィンガに結合され、前記クランプフィンガを前記ワークピースハンドリングブレードの前記保持部材に向けて付勢する第一の付勢部材と、
v）前記リストハウジングに設けられた第一のレバーと、
vi）前記クランプフィンガを前記第一のレバーに接続する第二の付勢部材と
を有し、
前記ロボットアームが所与の延伸度となったときに、前記並進部材が前記第一のレバーに係合して、前記クランプフィンガが前記保持部材から離間する向きに付勢される、ロボットアーム組立体。
【請求項１７】
前記クランプフィンガの先端部に枢動可能に取り付けられたローラを更に備えた請求項１６記載のロボットアーム組立体。
【請求項１８】
前記ワークピースハンドリング部材が、
vii）前記第一のレバーから離間して前記リストハウジングに枢動可能に設けられ、前記第一のレバーと前記第二の付勢部材によって連結された第二のレバーと、
viii）前記クランプフィンガに結合されたヨークと
を有し、
前記第二のレバーが、前記ロボットアームが所与の延伸度に達した際に、前記ヨーク及び前記クランプフィンガを前記ワークピースから離間するように作動させる遠位端部を有する、請求項１６記載のロボットアーム組立体。
【請求項１９】
前記リストハウジングに取り付けられ、前記ワークピースから離間する方向への前記第二のレバーの移動を規制するように位置決めされた止め部材を更に備えた請求項１８記載のロボットアーム組立体。
【請求項２０】
複数の前記リストハウジングを備え、
前記リストハウジングの間に延在して前記リストハウジング同士を結合する接続部材を更に備えた請求項１６記載のロボットアーム組立体。
【請求項２１】
ａ）一対の磁気駆動装置と、
ｂ）互いに結合された第一及び第二のストラットをそれぞれに有し、前記第一のストラットが前記磁気駆動装置に取り付けられた一対のロボットアームと、
ｃ）前記第二のストラットのそれぞれに設けられた並進部材と、
ｄ）前記一対のロボットアームに枢動可能に取り付けられたワークピースハンドリング部材と
を備え、
前記ワークピースハンドリング部材が、
i）リストハウジングと、
ii）前記リストハウジング内に少なくとも一部分が収容されている少なくとも一つのクランプフィンガと、
iii）前記リストハウジングに移動可能に設けられた接触パッドと、
iv）前記クランプフィンガに結合され、前記クランプフィンガをワークピースに向けて付勢する第一の付勢部材と、
v）前記クランプフィンガを前記接触パッドに連結する第二の付勢部材と
を有し、
前記ロボットアームが所与の延伸度に達した際に、前記並進部材が前記接触パッドを前記ワークピースから離間するように作動させ、且つ、前記接触パッド及び前記第二の付勢部材が、前記クランプフィンガを前記ワークピースから離間する方向に引っ張る、ロボット。
【請求項２２】
前記第二の付勢部材が、少なくとも一つのばねである請求項２１記載のロボット。
【請求項２３】
前記ワークピースハンドリング部材が、
ｅ）前記リストハウジングに枢動可能に設けられ、前記接触パッドが取り付けられた第一のレバーと、
ｆ）前記第一のレバーから離間して前記リストハウジングに枢動可能に設けられ、前記第一のレバーと前記第二の付勢部材によって連結された第二のレバーと、
ｇ）前記クランプフィンガに結合されたヨークと
を有し、
前記第二のレバーが、前記ロボットアームが前記所与の延伸度に達した際に、前記ヨークを前記ワークピースから離間させるように作動するように位置決めされている、請求項２１記載のロボット。
【請求項２４】
前記リストハウジングに取り付けられ、前記ワークピースから離間する方向への前記第二のレバーの移動を規制するように位置決めされた止め部材を更に備えた請求項２３記載のロボット。
【請求項２５】
前記第一の付勢部材が、前記リストハウジング内に摺動可能に設けられた撓み部材の構成要素であって、
二つの前記クランプフィンガが一定距離だけ互いに離間された状態で前記撓み部材に取り付けられている、請求項２１記載のロボット。
【請求項２６】
ワークピースを搬送するワークピースハンドリングブレードを各々有すると共に、接続部材で結合された二つ以上のロボットアームの先端部にそれぞれ取り付けられ、且つ、一つ以上のクランプフィンガ及びレバー組立体を含むクランプリストをそれぞれ備える二つ以上のワークピースハンドリング部材を操作する方法であって、
ａ）前記各ロボットアームを第一の方向に延伸させて、前記ロボットアームのそれぞれの先端部に設けられた並進部材を作動させるステップと、
ｂ）前記各ワークピースハンドリング部材に設けられると共に、前記クランプリストに結合された前記レバー組立体を前記並進部材により付勢するステップと、
ｃ）前記各レバー組立体が付勢されたときに、前記クランプフィンガを第一の直線方向に作動させるステップと、
ｄ）前記ロボットアームを前記第一の方向とは逆方向の第二の方向に引き戻して前記各並進部材を作動させ、前記各並進部材によってもたらされた前記各レバー組立体の付勢を解放するステップと、
ｅ）前記クランプリストの付勢部材によって付勢されている前記クランプフィンガを、前記第一の直線方向とは逆方向の第二の直線方向に作動させるステップと
を備えた方法。
【請求項２７】
前記クランプフィンガを第二の直線方向に作動させるステップのときに、前記クランプフィンガを前記ワークピースハンドリングブレード上の前記ワークピースの縁部に当接させて前記ワークピースをクランプする、請求項２６記載の方法。
【請求項２８】
前記ワークピースを前記クランプフィンガでクランプした状態で、前記ロボットアームを回転させる、請求項２７記載の方法。
【請求項２９】
前記ロボットアームを延伸させるステップの際には、一対の前記ロボットアームを反対方向に回転させる、請求項２６記載の方法。