【手続補正書】
【提出日】平成19年7月10日(2007.7.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の媒体と第２の媒体との間で熱交換を行う熱交換器を用いて前記第１の媒体の温度を制御する方法であって、
前記熱交換器の出口側における前記第１の媒体の温度と、該熱交換器の入口側における前記第１の媒体の温度と前記第２の媒体の温度とを検出する検出工程と、
前記第１の媒体の目標温度と、前記検出工程で検出された、前記熱交換器の出口側における前記第１の媒体の温度と、前記熱交換器の入口側における第１の媒体の温度と前記第２の媒体の温度とに基づいて前記第２の媒体の流量を調整し、前記熱交換器の出口側における前記第１の媒体の温度を制御する制御工程と、
を有することを特徴とする方法。
【請求項２】
前記制御工程は、
前記目標温度と、前記検出工程で検出された前記熱交換器の入口側における前記第１の媒体の温度とに基づき、目標熱量を算出する目標熱量算出工程と、
前記目標熱量算出工程で算出された目標熱量と、前記熱交換器の熱交換ゲインとに基づき、前記熱交換器における平均温度を算出する平均温度算出工程と、
前記平均温度算出工程で算出された平均温度と、前記目標温度と、前記検出工程で検出された前記熱交換器の入口側における前記第１の媒体の温度と前記第２の媒体の温度とに基づき、前記熱交換器における前記目標熱量の熱交換に必要な前記第２の媒体の流量を算出する流量算出工程と、
前記目標温度と前記検出工程で検出された前記熱交換器の出口側における前記第１の媒体の温度とに基づき、前記第１の媒体のための温度制御信号を算出する温度制御信号算出工程と、
を有し、
前記流量算出工程で算出された前記第２の媒体の流量を示す流量信号を前記温度制御信号に加算することで得られた信号に基づいて前記第２の媒体の流量を調整し、前記第１の媒体の温度を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記制御工程は、
前記目標温度と、前記検出工程で検出された前記熱交換器の入口側における前記第１の媒体の温度とに基づき、目標熱量を算出する目標熱量算出工程と、
前記目標温度と、前記検出工程で検出された前記熱交換器の入口側における第２の媒体の温度とに基づき、第１の温度差を算出する第１温度差算出工程と、
前記目標熱量と、設定された前記第２の媒体の流量と、前記検出工程で検出された前記熱交換器の入口側における前記第１の媒体の温度と前記第２の媒体の温度とに基づき、第２の温度差を算出する第２温度差算出工程と、
前記第１の温度差と前記第２の温度差とより、前記熱交換器における対数平均温度差または平均温度を算出する温度算出工程と、
前記対数平均温度差または平均温度と前記熱交換器の熱交換ゲインとにより、前記熱交換器における熱交換量を算出する熱交換量算出工程と、
前記熱交換量が前記目標熱量と等しいかもしくはほぼ等しくなる前記第２の媒体の流量を選定する選定工程と、
前記目標温度と前記検出工程で検出された前記熱交換器の出口側における前記第１の媒体の温度とに基づき、前記第１の媒体のための温度制御信号を算出する温度制御信号算出工程と、
を備え、
前記選定工程で選定された前記第２の媒体の流量を示す流量信号を前記温度制御信号に加算することで得られた信号に基づいて前記第２の媒体の流量を調整し、前記第１の媒体の温度を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記制御工程は、前記得られた信号から、流量センサにより得られた前記第２の媒体の流量を示す信号を減算することで得られた信号に基づいて前記第２の媒体の流量を調整し、前記第１の媒体の温度を制御する、
ことを特徴とする請求項２または３に記載の方法。
【請求項５】
前記第２の媒体の流量に応じて前記熱交換器の熱交換ゲインを補正する、
ことを特徴とする請求項３または４に記載の方法。
【請求項６】
前記対数平均温度差または前記平均温度に基づき、前記温度制御信号算出工程における温度制御ゲインを補正する、
ことを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
第１の媒体と第２の媒体との間で熱交換を行う熱交換器を有し、前記第１の媒体の温度を制御する熱交換装置であって、
前記熱交換器の出口側における前記第１の媒体の温度を検出する第１の温度検出手段と、
前記熱交換器の入口側における前記第１の媒体の温度を検出する第２の温度検出手段と、
前記熱交換器の出口側における前記第１の媒体の目標温度値を生成する目標温度生成手段と、
前記熱交換器の入口側における前記第２の媒体の温度を検出する第３の温度検出手段と、
前記第２の媒体の流量を制御する制御弁と、
前記目標温度生成手段と前記第１の温度検出手段と前記第２の温度検出手段と前記第３の温度検出手段とのそれぞれからの信号に基づいて前記制御弁を制御する流量制御手段と、
を有し、
前記制御弁と前記流量制御手段とによって前記第２の媒体の流量を制御することにより、前記第１の媒体の温度を制御する、
ことを特徴とする熱交換装置。
【請求項８】
第１の媒体と第２の媒体との間で熱交換を行う熱交換器を有し、前記第１の媒体の温度を制御する熱交換装置であって、
前記第１の媒体の目標温度値を生成する目標温度生成手段と、
前記熱交換器の入口側における前記第２の媒体の温度を検出する第１の温度検出手段と、
前記第２の媒体の流量を制御する制御弁と、
前記目標温度生成手段と前記第１の温度検出手段とのそれぞれからの信号に基づき、前記制御弁を制御する流量制御手段と、
を有し、
前記制御弁と前記流量制御手段とによって前記第２の媒体の流量を制御することにより、前記第１の媒体の温度を制御する、
ことを特徴とする熱交換装置。
【請求項９】
第１の媒体と第２の媒体との間で熱交換を行う熱交換器を有し、前記第１の媒体の温度を制御する熱交換装置であって、
前記第１の媒体の目標温度値を生成する目標温度生成手段と、
前記熱交換手段の入口側における前記第１の媒体の温度を検出する第１の温度検出手段と、
前記第２の媒体の流量を制御する制御弁と、
前記目標温度生成手段と前記第１の温度検出手段とのそれぞれからの信号に基づき、前記制御弁を制御する流量制御手段と、
を有し、
前記制御弁と前記流量制御手段とによって前記第２の媒体の流量を制御することにより、前記第１の媒体の温度を制御する、
ことを特徴とする熱交換装置。
【請求項１０】
前記熱交換手段の出口側における前記第１の媒体の温度を検出する第２の温度検出手段を更に有し、
前記流量制御手段は、前記目標温度生成手段と前記第１の温度検出手段と前記第２の温度検出手段とのそれぞれからの信号に基づき、前記制御弁を制御する、
ことを特徴とする請求項８また９に記載の熱交換装置。
【請求項１１】
基板を露光する露光装置であって、
請求項７乃至１０のいずれか１項に記載の熱交換装置、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１２】
デバイスの製造方法であって、
請求項１１に記載の露光装置を用い、感光材が塗布された基板を露光する工程と、
該露光された基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】熱交換器を用いた温度制御方法、熱交換装置、露光装置、デバイスの製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、負荷変動および温度制御用媒体の温度変動の少なくとも一方に対し、温度制御対象媒体の安定な温度制御を可能とすることを目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
以上説明したように、本発明によれば、負荷変動および温度制御用媒体の温度変動の少なくとも一方に対し、温度制御対象媒体の安定な温度制御が可能となる。