【手続補正書】
【提出日】平成18年11月24日(2006.11.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに波長の異なる複数のレーザビームを発振するレーザ発振器と、
被照射物の照射面において、前記互いに波長の異なる複数のレーザビームのそれぞれの断面形状を正方形、長方形、または線状に加工し、かつ、エネルギー分布を均一化する光学系と、
前記被照射物を配置するステージと、を有することを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項２】
互いに波長の異なる複数のレーザビームを発振するレーザ発振器と、
前記互いに波長の異なる複数のレーザビームの波長を分離するビームスプリッタと、
被照射物の照射面において、前記分離される複数のレーザビームのそれぞれの断面形状を正方形、長方形、または線状に加工し、かつ、エネルギー分布を均一化する光学系と、
前記被照射物を配置するステージと、を有することを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、前記レーザ発振器は、ＹＡＧレーザであることを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２において、前記レーザ発振器は、ジグザグスラブ式のＹＡＧレーザであることを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項において、前記被照射物は非単結晶珪素膜であることを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか１項において、前記互いに波長の異なる複数のレーザビームは、ＹＡＧレーザの第２高調波と第３高調波であることを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項５のいずれか１項において、前記互いに波長の異なる複数のレーザビームは、ＹＡＧレーザの第２高調波と第４高調波であることを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項５のいずれか１項において、前記互いに波長の異なる複数のレーザビームは、ＹＡＧレーザの第３高調波と第４高調波であることを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項９】
請求項１乃至請求項５のいずれか１項において、前記互いに波長の異なる複数のレーザビームの波長はそれぞれ６００ｎｍ以下であることを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれか１項において、ロードアンロード室と、トランスファ室と、ロボットアームと、レーザ照射室と、を有することを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項１１】
互いに波長の異なる複数のレーザビームのそれぞれを、被照射物の同一領域に同時に照射させ、
前記複数のレーザビームの形状はそれぞれ、前記同一領域において正方形、長方形、または線状であることを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１２】
互いに波長の異なる複数のレーザビームの波長を分離させ、
前記分離させた複数のレーザビームのそれぞれを、被照射物の同一領域に同時に照射させ、
前記複数のレーザビームの形状はそれぞれ、前記同一領域において正方形、長方形、または線状であることを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１３】
請求項１１または請求項１２において、前記レーザビームを前記被照射物に対して相対的に走査させながら照射させることを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１４】
請求項１１乃至請求項１３のいずれか１項において、前記レーザビームはＹＡＧレーザであることを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１５】
請求項１１乃至請求項１４のいずれか１項において、前記互いに波長の異なる複数のレーザビームは、ＹＡＧレーザの第２高調波と第３高調波であることを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１６】
請求項１１乃至請求項１４のいずれか１項において、前記互いに波長の異なる複数のレーザビームは、ＹＡＧレーザの第２高調波と第４高調波であることを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１７】
請求項１１乃至請求項１４のいずれか１項において、前記互いに波長の異なる複数のレーザビームは、ＹＡＧレーザの第３高調波と第４高調波であることを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１８】
請求項１１乃至請求項１４のいずれか１項において、前記互いに波長の異なる複数のレーザビームの波長はそれぞれ６００ｎｍ以下であることを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１９】
基板上に非単結晶半導体膜を形成し、
前記非単結晶半導体膜の同一領域に互いに波長の異なる複数のレーザビームを同時に照射することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項２０】
基板上に非晶質半導体膜を形成し、
前記非晶質半導体膜の同一領域に互いに波長の異なる複数のレーザビームを同時に照射し、前記非晶質半導体膜を結晶化させることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項２１】
請求項１９または請求項２０において、前記互いに波長の異なる複数のレーザビームの波長はそれぞれ６００ｎｍ以下であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項２２】
請求項１９または請求項２０において、前記互いに波長の異なる複数のレーザビームは、ＹＡＧレーザの第２高調波と第３高調波であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項２３】
請求項１９または請求項２０において、前記互いに波長の異なる複数のレーザビームは、ＹＡＧレーザの第２高調波と第４高調波であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項２４】
請求項１９または請求項２０において、前記互いに波長の異なる複数のレーザビームは、ＹＡＧレーザの第３高調波と第４高調波であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
レーザ装置は、ラムダ社製のＸｅＣｌエキシマレーザ（波長３０８ｎｍ、パルス幅３０ｎｓ）Ｌ３３０８を使用した。このレーザ装置はパルス発振レーザを発し、５００ｍＪ／パルスのエネルギーを出す能力を持っている。レーザビームのサイズは、レーザ発振器の出口で、１０×３０ｍｍ（共に半値幅）である。レーザ発振器の出口は本明細書中では、レーザ発振器からレーザビームが出た直後における、レーザビームの進行方向に垂直な平面で定義する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
第２高調波は、まずシリンドリカルレンズアレイ１００７１により縦方向に４分割される。次に、シリンドリカルレンズアレイ１００８１により横方向に２分割される。これらの分割されたレーザビームは、シリンドリカルレンズ１００９１、１０１０１により照射面１０１１に１つにまとめられる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
一方、第３高調波は、まずシリンドリカルレンズアレイ１００７２により縦方向に４分割される。次に、シリンドリカルレンズアレイ１００８２により横方向に２分割される。これらの分割されたレーザビームは、シリンドリカルレンズ１００９２、１０１０２により照射面１０１１に１つにまとめられる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
レーザビームＡは第２高調波、レーザービームＣは第３高調波、であり両者は互いに反対方向に等速度で進んでいるから照射面１０１１において干渉縞を目立たなくする効果が得られる。レーザビームＢは第２高調波、レーザービームＤは第３高調波、であり両者は互いに反対方向に等速度で進んでいるから照射面１０１１において干渉縞を目立たなくする効果が得られる。すなわち、レーザビームＡとＣとが互いに干渉効果をうち消し合う。また、レーザビームＢとＤとが互いに干渉効果をうち消し合う。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
パルス発振式のＹＡＧレーザ発振器１３０１は、基本波（波長１０６５ｎｍ）、第２高調波（波長５３３ｎｍ）、第３高調波（波長３５５ｎｍ）のレーザビームを発振する。前記ＹＡＧレーザは、ジグザグスラブ式のものである。前記レーザビームのサイズは、それぞれレーザ発振器の出口で６×１２ｍｍの長方形状である。レーザビームの最大出力は、第２高調波で８００ｍＪ／パルス、第３高調波で４００ｍＪ／パルスである。最大繰り返し周波数は３０Ｈｚである。パルス幅は１０ｎｓである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
第２、第３高調波は、第２、第３高調波の進行方向に対し４５度に配置されたビームスプリッタ１３０５により分離される。ビームスプリッタ１３０５から反射するレーザビームが第２高調波であり、透過するレーザビームが第３高調波である。第３高調波は、ミラー１３０６により、光路を９０度上方に曲げられ、さらにミラー１３０７により、光路を９０度水平方向に曲げられる。これにより、第３高調波の進行方向は、第２高調波の進行方向と同じ向きに方向転換される。このとき、レーザ発振器の出口では、基本波、第２高調波、第３高調波がそれぞれ同時に出力されることになる。第２、第３高調波のレーザビームの位置関係は、長方形状のレーザビームの対角線が同一直線上に乗るようにする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
ビームスプリッタ１３０５により分離された第３高調波は、シリンドリカルレンズアレイ１３０８２によりいったん２分割された後、シリンドリカルレンズ１３１０２とシリンドリカルレンズ１３１２１とにより、照射面１３１３にて１つに合成される。シリンドリカルレンズ１３１０２とシリンドリカルレンズ１３１２１は、通常のシリンドリカルレンズの母線と呼ばれる直線を含む平面にて、前記シリンドリカルレンズを互いに合同な２つの立体に分離した後の形状をしている。このようなレンズのことを本明細書中で、半シリンドリカルレンズと呼ぶことにする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
また、シリンドリカルレンズアレイ１３０９２により、４分割された第３高調波はシリンドリカルレンズ１３１１１により、照射面１３１３にて１つに合成される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
シリンドリカルレンズアレイ１３０８２、シリンドリカルレンズアレイ１３０９２、シリンドリカルレンズ１３１０２、シリンドリカルレンズ１３１１１、シリンドリカルレンズ１３１２１には、それぞれ第３高調波の波長３５５ｎｍの透過率を９９％以上にするためのコーティングがされている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
一方、ミラー１３０５により反射された第２高調波は、シリンドリカルレンズアレイ１３０８１によりいったん２分割された後、シリンドリカルレンズ１３１０１とシリンドリカルレンズ１３１２２とにより、照射面１３１３にて１つに合成される。シリンドリカルレンズ１３１０１とシリンドリカルレンズ１３１２２は、半シリンドリカルレンズである。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
また、シリンドリカルレンズアレイ１３０９１により、４分割された第２高調波はシリンドリカルレンズ１３１１２により、照射面１３１３にて１つに合成される。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
シリンドリカルレンズアレイ１３０８１、シリンドリカルレンズアレイ１３０９１、シリンドリカルレンズ１３１０１、シリンドリカルレンズ１３１１２、シリンドリカルレンズ１３１２２には、それぞれ第２高調波の波長５３３ｎｍの透過率を９９％以上にするためのコーティングがされている。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２４８】
図３１（Ｅ）はプログラムを記録した記録媒体（以下、記録媒体と呼ぶ）を用いるプレーヤーであり、本体２４０１、表示部２４０２、スピーカ部２４０３、記録媒体２４０４、操作スイッチ２４０５等を含む。なお、このプレーヤーは記録媒体としてＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）、ＣＤ等を用い、音楽鑑賞や映画鑑賞やゲームやインターネットを行うことができる。本発明は表示部２４０２やその他の信号制御回路に適用することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
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