【手続補正書】
【提出日】平成19年2月15日(2007.2.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｆ２レーザ光を用いて、マスクのパターンを投影光学系を介して基板上に露光する露光装置であって、
Ｆ２レーザ光源と、
前記投影光学系の少なくとも１部を密閉して収容するチャンバーと、
前記チャンバー内に不活性ガスを送る送風手段、および、前記不活性ガスを温度調整する温度調整手段を有し、前記チャンバーに対して前記不活性ガスを循環させる循環系と、
前記温度調整手段の下流で前記不活性ガスの温度を検出する温度センサーと、
前記チャンバー内の目標温度および前記温度センサーの検出結果に基づいて、前記温度調整手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、温度変動に伴う圧力変動が許容範囲に収まるように決定された温度勾配に対応して、前記温度調整手段を制御することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記許容範囲は、前記投影光学系の耐圧範囲に基づくことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記温度勾配は、単位時間あたりの温度変動を表すことを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記温度勾配は、前記チャンバーの体積、および、循環する前記不活性ガスの流量のうち少なくとも１つに基づいて決定されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載の露光装置。
【請求項５】
前記温度調整手段は、冷却器および加熱器を含み、
前記循環系は、前記冷却器と前記加熱器の間に配置されたフィルターを有することを特徴とする請求項１から４のいずれか１つに記載の露光装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１つに記載の露光装置を用いて、基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップと、を備えることを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
不活性ガス循環システム運転開始時において、循環送風機運転後に、温調ヒーターを運転した際、パージチャンバー内圧が大きく変動することが確認された。同様に運転停止時にも内圧変動は確認された。この内圧変動は、循環ガスの昇温をヒーターにより急激に行った場合や、温調ヒーターを落とした際に循環ガスが冷却器により急冷されると、生じることが明らかとなった。さらに投影レンズには耐圧があり、上限圧と下限圧が定められている。すなわち、この圧力変動によってレンズ等、圧力に敏感な機器を劣化させるおそれがある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記課題を達成するため、本発明の露光装置は、Ｆ２レーザ光を用いて、マスクのパターンを投影光学系を介して基板上に露光する露光装置であって、
Ｆ２レーザ光源と、
前記投影光学系の少なくとも１部を密閉して収容するチャンバーと、
前記チャンバー内に不活性ガスを送る送風手段、および、前記不活性ガスを温度調整する温度調整手段を有し、前記チャンバーに対して前記不活性ガスを循環させる循環系と、
前記温度調整手段の下流で前記不活性ガスの温度を検出する温度センサーと、
前記チャンバー内の目標温度および前記温度センサーの検出結果に基づいて、前記温度調整手段を制御するコントローラーと、を備え、
前記制御手段は、温度変動に伴う圧力変動が許容範囲に収まるように決定された温度勾配に対応して、前記温度調整手段を制御することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
前記露光装置において、前記許容範囲は、前記投影光学系の耐圧範囲に基づく。
ここで、前記温度勾配は、単位時間あたりの温度変動を表す。
また、前記温度勾配は、前記チャンバーの体積、および、循環する前記不活性ガスの流量のうち少なくとも１つに基づいて決定される。
前記露光装置において、前記温度調整手段は、冷却器および加熱器を含み、前記循環系は、前記冷却器と前記加熱器の間に配置されたフィルターを有する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明によれば、チャンバー内の温度を変化させる際の温度勾配を制御する温度勾配制御手段を備えることにより、特に、空調システムの運転開始時や運転停止時にチャンバー内の急激な温度変化を防止することができる。また、これにより、チャンバー内の急激な圧力変化を防止でき、例えばレンズの劣化を防止することができ、露光装置の信頼性を向上させることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の好ましい第１の実施の形態に係る露光装置は、気密チャンバーと、該気密チャンバーに不活性ガスを循環させる送風機と不活性ガスを冷却する冷却器と不活性ガスを加熱する加熱器と不活性ガスのコンタミ除去を行うフィルターと前記気密チャンバー、送風機、冷却器、加熱器、フィルターからなる不活性ガス循環系の所定位置に設置されたセンサーとにより前記気密チャンバー内部の温調並びに清浄化を行う空調手段を有する露光装置において、気密チャンバー内圧変動によるレンズの劣化防止のために、加熱器による目標設定温度までの昇温速度を制御することが可能な勾配制御機構を備えたことを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
前記制御機構は循環系において加熱器上流部に温度センサーを有し、循環温度と目標設定温度との差を検知でき、気密チャンバー内圧変動によるレンズの劣化防止のために、前記温度勾配は、前記チャンバーの体積、および、循環する前記不活性ガスの流量のうち少なくとも１つに基づいて決定される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の好ましい第２の実施の形態に係る露光装置は、気密チャンバーと、該気密チャンバーに不活性ガスを循環させる送風機と不活性ガスを冷却する冷却器と不活性ガスを加熱する加熱器と不活性ガスのコンタミ除去を行うフィルターと前記気密チャンバー、送風機、冷却器、加熱器、フィルターからなる不活性ガス循環系の所定位置に設置されたセンサーとにより前記気密チャンバー内部の温調並びに清浄化を行う空調手段を有する露光装置において、チラーに冷媒用ヒーターと温調器を備え、気密チャンバー内圧変動によるレンズの劣化防止のために、冷却器の目標設定温度までの冷却速度を制御することが可能な勾配制御機構を備えたことを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
この第２の実施の形態において、前記制御機構は、循環系において冷却器上流側と下流側に温度センサーを有し、循環温度と目標設定温度との差を検知でき、気密チャンバー内圧変動によるレンズの劣化防止のために、冷却速度勾配を決定できることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、冷却速度の制御機構として、チラー内のポンプ回転数制御機構を設けたことにより、気密チャンバー内圧変動によるレンズの劣化防止のために、冷媒の流量制御を行い冷却器の冷却速度勾配を制御することを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
この第３の実施の形態において、前記勾配制御機構は、ガス循環系においてヒーター上流側に温度センサーを備えた。さらに冷却器の冷却速度を制御できる機構として、チラー内部に冷媒用ヒーターと温調器、勾配制御機構を備え、冷却器上流側と下流側に温度センサーとを設けたことにより、循環内温度と設定温度との差を検知し勾配制御を行い循環運転起動、停止時に生じるパージチャンバー内圧変動をレンズ耐圧範囲内に抑制可能とした。
また、冷却速度の制御機構としては、チラー内のポンプ回転数制御機構を設け、気密チャンバー内圧変動によるレンズの劣化防止のために、冷媒の流量制御を行い冷却器の冷却速度勾配を制御するようにした。