【手続補正書】
【提出日】平成20年3月14日(2008.3.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１種類のＳＣＦと、少なくとも１種類の共溶媒と、少なくとも１種類のエッチング液と、少なくとも１種類の界面活性剤とを含む裏面反射防止膜（ＢＡＲＣ）除去組成物。
【請求項２】
前記ＳＣＦが、二酸化炭素と、酸素と、アルゴンと、クリプトンと、キセノンと、アンモニアとからなる群から選択される流体を含む、請求項１に記載のＢＡＲＣ除去組成物。
【請求項３】
前記共溶媒が、Ｃ１〜Ｃ６のアルカノールと、アミンと、これらの組み合わせとからなる群から選択される少なくとも１種を含む、請求項１に記載のＢＡＲＣ除去組成物。
【請求項４】
前記共溶媒が、Ｃ１〜Ｃ６のアルカノールと、モノエタノールアミンと、トリエタノールアミンと、トリエチレンジアミンと、メチルジエタノールアミンと、ペンタメチルジエチレントリアミンと、ジグリコールアミンと、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）と、Ｎ−オクチルピロリドンと、Ｎ−フェニルピロリドンと、ビニルピロリドンと、これらの組み合わせとからなる群から選択される種を含む、請求項３に記載のＢＡＲＣ除去組成物。
【請求項５】
前記エッチング液が、過酸化水素、酸、フッ化物イオン源化合物、またはこれらの組み合わせのうちの少なくとも１つを含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項６】
前記エッチング液が、フッ化水素酸と、フッ化アンモニウムと、トリエチルアミントリヒドロフルオリドと、過酸化水素と、酢酸と、硝酸と、硫酸のうちの少なくとも１つを含む、請求項１に記載のＢＡＲＣ除去組成物。
【請求項７】
前記界面活性剤が、少なくとも１種類の非イオン性界面活性剤または少なくとも１種類のアニオン性界面活性剤を含む、請求項１に記載のＢＡＲＣ除去組成物。
【請求項８】
前記非イオン性界面活性剤が、フルオロアルキル界面活性剤と、エトキシル化フッ素系界面活性剤と、ポリエチレングリコールと、ポリプロピレングリコールと、ポリエチレンエーテルと、ポリプロピレングリコールエーテルと、カルボン酸塩と、ドデシルベンゼンスルホン酸と、ドデシルベンゼンスルホン塩と、ポリアクリレートポリマーと、ジノニルフェニルポリオキシエチレンと、シリコーンポリマーと、変性シリコーンポリマーと、アセチレンジオールと、変性アセチレンジオールと、アルキルアンモニウム塩と、変性アルキルアンモニウム塩とからなる群から選択される少なくとも１種を含み、前記アニオン性界面活性剤が、フッ素系界面活性剤と、アルキル硫酸ナトリウムと、アルキル硫酸アンモニウムと、Ｃ１０〜Ｃ１８のアルキルカルボン酸アンモニウム塩と、スルホコハク酸ナトリウムおよびそのエステルと、Ｃ１０〜Ｃ１８のアルキルスルホン酸ナトリウム塩とからなる群から選択される少なくとも１種を含む、請求項７に記載のＢＡＲＣ除去組成物。
【請求項９】
前記界面活性剤が、エトキシル化フッ素系界面活性剤を含む、請求項７に記載のＢＡＲＣ除去組成物。
【請求項１０】
超臨界流体と、トリエチルアミントリヒドロフルオリドと、フッ素系界面活性剤と、イソプロピルアルコールとを含む、請求項１に記載のＢＡＲＣ除去組成物。
【請求項１１】
前記ＳＣＦをベースとする除去組成物は、ＢＡＲＣ材料残留物と、フォトレジスト材料残留物と、少なくとも１種類のイオン注入されたイオンとからなる群から選択される種をさらに含み、前記ＢＡＲＣ材料は、ポリスルホンと、ポリ尿素と、ポリ尿素系スルホンと、ポリアクリレートと、ポリ（ビニルピリジン）とからなる群から選択される種を含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項１２】
前記ＳＣＦをベースとする除去組成物は、前記組成物の総重量を基準にして、約６０.０重量％〜約９０.０重量％のＳＣＦと、約１０.０重量％〜約３０.０重量％の共溶媒と、約０.０１重量％〜約５.０重量％のエッチング液と、約０.０１重量％〜約５.０重量％の界面活性剤とを含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項１３】
裏面反射防止膜（ＢＡＲＣ）層を上に有する基板から前記ＢＡＲＣ層を除去する方法であって、前記ＢＡＲＣ層を上に有する前記基板を、少なくとも１種類のＳＣＦと、少なくとも１種類の共溶媒と、少なくとも１種類のエッチング液と、少なくとも１種類の界面活性剤とを含むＳＣＦをベースとする除去組成物に十分な時間および十分な接触条件下で接触させることで、少なくとも部分的に前記ＢＡＲＣ層を前記基板から除去することを含み、前記ＳＣＦをベースとする除去組成物は、前記組成物の総重量を基準にして、約６０.０重量％〜約９０.０重量％のＳＣＦと、約１０.０重量％〜約３０.０重量％の共溶媒と、約０.０１重量％〜約５.０重量％のエッチング液と、約０.０１重量％〜約５.０重量％の界面活性剤とを含む、方法。
【請求項１４】
前記ＳＣＦが、二酸化炭素と、酸素と、アルゴンと、クリプトンと、キセノンと、アンモニアとからなる群から選択される流体を含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記接触が、約１５００ｐｓｉ〜約４５００ｐｓｉの範囲の圧力と；約５０℃〜約９０℃の範囲の温度と；約１分〜約２０分の範囲の時間と、および上記の組み合わせからなる群から選択される条件で行われる、請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
前記共溶媒が、Ｃ１〜Ｃ６のアルカノールと、アミンと、これらの組み合わせとからなる群から選択される少なくとも１種を含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１７】
前記共溶媒が、Ｃ１〜Ｃ６のアルカノールと、モノエタノールアミンと、トリエタノールアミンと、トリエチレンジアミンと、メチルジエタノールアミンと、ペンタメチルジエチレントリアミンと、ジグリコールアミンと、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）と、Ｎ−オクチルピロリドンと、Ｎ−フェニルピロリドンと、ビニルピロリドンと、これらの組み合わせとからなる群から選択される種を含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１８】
前記エッチング液が、過酸化水素、酸、フッ化物イオン源化合物、またはこれらの組み合わせのうちの少なくとも１つを含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１９】
前記エッチング液が、フッ化水素酸と、フッ化アンモニウムと、トリエチルアミントリヒドロフルオリドと、過酸化水素と、酢酸と、硝酸と、硫酸のうちの少なくとも１つを含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項２０】
前記界面活性剤が、少なくとも１種類の非イオン性界面活性剤または少なくとも１種類のアニオン性界面活性剤を含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項２１】
前記非イオン性界面活性剤が、フルオロアルキル界面活性剤と、エトキシル化フッ素系界面活性剤と、ポリエチレングリコールと、ポリプロピレングリコールと、ポリエチレンエーテルと、ポリプロピレングリコールエーテルと、カルボン酸塩と、ドデシルベンゼンスルホン酸と、ドデシルベンゼンスルホン塩と、ポリアクリレートポリマーと、ジノニルフェニルポリオキシエチレンと、シリコーンポリマーと、変性シリコーンポリマーと、アセチレンジオールと、変性アセチレンジオールと、アルキルアンモニウム塩と、変性アルキルアンモニウム塩と、上記の少なくとも１つを含む組み合わせとからなる群から選択される少なくとも１種を含み、前記アニオン性界面活性剤が、フッ素系界面活性剤と、アルキル硫酸ナトリウムと、アルキル硫酸アンモニウムと、Ｃ１０〜Ｃ１８のアルキルカルボン酸アンモニウム塩と、スルホコハク酸ナトリウムおよびそのエステルと、Ｃ１０〜Ｃ１８のアルキルスルホン酸ナトリウム塩とからなる群から選択される少なくとも１種を含む、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
前記ＳＣＦをベースとする除去組成物は、ＢＡＲＣ材料残留物と、少なくとも１種類のイオン注入されたイオンと、フォトレジスト材料残留物とからなる群から選択される種をさらに含み、前記ＢＡＲＣ材料は、ポリスルホンと、ポリ尿素と、ポリ尿素系スルホンと、ポリアクリレートと、ポリ（ビニルピリジン）とからなる群から選択される種を含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項２３】
前記接触ステップが、（ｉ）前記ＳＣＦをベースとする除去組成物と前記ＢＡＲＣ層を上に有する前記基板との動的フロー接触と、（ｉｉ）前記ＳＣＦをベースとする除去組成物と前記ＢＡＲＣ層を上に有する前記基板との静的ソーク接触とを含むサイクルを含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項２４】
前記サイクルが、前記ＢＡＲＣ層を上に有する前記基板の動的フロー接触（ｉ）と、静的ソーク接触（ｉｉ）とを交互かつ反復的に実施することを含む、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
前記基板を、前記ＢＡＲＣ層が除去されている領域で、ＳＣＦと、メタノールと、脱イオン水とを含む第１の洗浄組成物で洗浄することで、残留する沈殿化学添加物を除去する工程をさらに含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項２６】
前記ＳＣＦをベースとする除去組成物は、前記組成物の総重量を基準にして、約６０.０重量％〜約９０.０重量％のＳＣＦと、約１０.０重量％〜約３０.０重量％の共溶媒と、約０.０１重量％〜約５.０重量％のエッチング液と、約０.０１重量％〜約５.０重量％の界面活性剤とを含む、請求項１３に記載の方法。