【手続補正書】
【提出日】平成20年6月27日(2008.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ワークピースチャック用の熱制御装置であって、
加熱平面に配設された加熱要素と、
前記加熱要素全体に加熱媒体を供給するように前記加熱要素に接続された一つの加熱ポートと、
冷却平面に配設された冷却要素と、
前記冷却要素全体に冷却媒体を供給するように前記冷却要素に接続された一つの冷却ポートと、を備え、
前記加熱平面と前記冷却平面が同一平面であって、
前記ワークピースチャックの表面全体の温度が前記一つの加熱ポートと前記一つの冷却ポートからのみそれぞれ供給される前記加熱媒体および前記冷却媒体によって制御できるように、前記加熱要素と前記冷却要素は前記加熱平面と前記冷却平面上にそれぞれ配設されることを特徴とする熱制御装置。
【請求項２】  前記加熱要素が前記加熱平面内にコイル状の抵抗加熱要素を備えることを特徴とする請求項１記載の熱制御装置。
【請求項３】  前記冷却要素が冷却流体を循環する少なくとも一つのチューブを備え、前記チューブが前記冷却平面内にコイル状に形作られることを特徴とする請求項１記載の熱制御装置。
【請求項４】  前記加熱要素が前記加熱平面内にコイル状の抵抗加熱要素を備えることを特徴とする請求項３記載の熱制御装置。
【請求項５】  前記加熱要素が前記熱制御装置から電気的に絶縁されていることを特徴とする請求項４記載の熱制御装置。
【請求項６】  絶縁インピーダンスが１００ギガオーム以上であることを特徴とする請求項５記載の熱制御装置。
【請求項７】  前記抵抗加熱要素と前記チューブが平面内で互いに交互配置されたコイル形状に配設されることを特徴とする請求項４記載の熱制御装置。
【請求項８】  前記抵抗加熱要素と前記チューブが配設される前記平面が前記熱制御装置の上面と前記熱制御装置の下面の中間にある前記熱制御装置の中心平面であることを特徴とする請求項４記載の熱制御装置。
【請求項９】  前記加熱平面と前記冷却平面が前記熱制御装置の上面と前記熱制御装置の下面の中間にある前記熱制御装置の中心平面にあることを特徴とする請求項１記載の熱制御装置。
【請求項１０】  さらに前記加熱要素と前記冷却要素を入れたハウジングを備え、前記ハウジングが鋳物金属でできていることを特徴とする請求項１記載の熱制御装置。
【請求項１１】  前記金属がアルミニウムを含むことを特徴とする請求項１０記載の熱制御装置。
【請求項１２】  前記金属が純アルミニウムであることを特徴とする請求項１０記載の熱制御装置。
【請求項１３】  前記金属が低温歪みを伴う合金であることを特徴とする請求項１０記載の熱制御装置。
【請求項１４】  前記熱制御装置がワークピースチャックの１つの層であることを特徴とする請求項１記載の熱制御装置。
【請求項１５】  前記加熱要素が前記加熱平面内にコイル状の抵抗加熱要素を備えることを特徴とする請求項１４記載の熱制御装置。
【請求項１６】  前記冷却要素が冷却流体を循環する少なくとも一つのチューブを備え、前記チューブが冷却平面内にコイル状に形作られることを特徴とする請求項１４記載の熱制御装置。
【請求項１７】  前記加熱要素が前記加熱平面内にコイル状の抵抗加熱要素を備えることを特徴とする請求項１６記載の熱制御装置。
【請求項１８】  前記抵抗加熱要素と前記チューブが平面内で互いに交互配置されたコイル形状に配設されることを特徴とする請求項１７記載の熱制御装置。
【請求項１９】  前記抵抗加熱要素と前記チューブが配設される前記平面が前記熱制御装置の上面と前記熱制御装置の下面の中間にある前記熱制御装置の中心平面であることを特徴とする請求項１７記載の熱制御装置。
【請求項２０】  前記加熱平面と前記冷却平面が前記熱制御装置の上面と前記熱制御装置の下面の中間にある前記熱制御装置の中心平面にあることを特徴とする請求項１４記載の熱制御装置。
【請求項２１】  前記加熱要素と前記冷却要素を入れたハウジングをさらに備え、前記ハウジングが鋳物金属でできていることを特徴とする請求項１４記載の熱制御装置。
【請求項２２】  前記金属がアルミニウムを含むことを特徴とする請求項２１記載の熱制御装置。
【請求項２３】  ワークピースを支持するワークピースチャックであって、
下側支持と、
ワークピースチャック内の温度を制御する前記下側支持上の熱プレートアセンブリと、
上側支持アセンブリを前記熱プレートアセンブリの上面に取り付けられる前記熱プレートアセンブリ上の取り付け装置と、を備え、
前記支持アセンブリは前記ワークピースを保持し、
前記取り付け装置は、前記支持アセンブリが前記熱プレートアセンブリ上で交換可能なように複数のタイプの支持アセンブリを保持するようになっていることを特徴とするワークピースチャック。
【請求項２４】  ワークピースチャック用の熱制御装置であって、
前記熱制御装置に配設された加熱要素と、
前記加熱要素に加熱媒体を供給するように前記加熱要素に接続された第１ポートと、
前記熱制御装置に配設された冷却要素と、
前記冷却要素に冷却媒体を供給するように前記冷却要素に接続された第２ポートと、を備え、
前記加熱平面と前記冷却平面は前記熱制御装置の表面の縁と前記熱制御装置の前記表面の中央との間に実質的にコイル状に配設され、前記加熱要素と前記冷却要素とは前記熱制御装置の前記表面に実質的に平行であって前記加熱要素と前記冷却要素とを通る少なくとも一つの面を形成し、前記冷却要素は流入経路と流出経路を有し、前記流入経路と前記流出経路の少なくとも一部は相互に隣接することを特徴とする熱制御装置。
【請求項２５】  前記加熱要素が抵抗加熱要素を備えることを特徴とする請求項２４記載の熱制御装置。
【請求項２６】  前記冷却要素が前記熱制御装置に冷却流体を循環する少なくとも一つのチューブを備えることを特徴とする請求項２４記載の熱制御装置。
【請求項２７】  前記加熱要素が抵抗加熱要素を備えることを特徴とする請求項２６記載の熱制御装置。
【請求項２８】  前記加熱要素が前記熱制御装置から電気的に絶縁されていることを特徴とする請求項２７記載の熱制御装置。
【請求項２９】  絶縁インピーダンスが１００ギガオーム以上であることを特徴とする請求項２８記載の熱制御装置。
【請求項３０】  前記平面が前記熱制御装置の上面と前記熱制御装置の下面の中間にある前記熱制御装置の中心平面であることを特徴とする請求項２７記載の熱制御装置。
【請求項３１】  前記平面が前記熱制御装置の上面と前記熱制御装置の下面の中間にある前記熱制御装置の中心平面であることを特徴とする請求項２４記載の熱制御装置。
【請求項３２】  さらに前記加熱要素と前記冷却要素を入れたハウジングを備え、前記ハウジングが鋳物金属でできていることを特徴とする請求項２４記載の熱制御装置。
【請求項３３】  前記金属がアルミニウムを含むことを特徴とする請求項３２記載の熱制御装置。
【請求項３４】  前記金属が純アルミニウムであることを特徴とする請求項３２記載の熱制御装置。
【請求項３５】  前記金属が低温歪みを伴う合金であることを特徴とする請求項３２記載の熱制御装置。
【請求項３６】  前記熱制御装置がワークピースチャックの１つの層であることを特徴とする請求項２４記載の熱制御装置。
【請求項３７】  前記加熱要素が抵抗加熱要素を備えることを特徴とする請求項３６記載の熱制御装置。
【請求項３８】  前記冷却要素が冷却流体を循環する少なくとも一つのチューブを備えることを特徴とする請求項３６記載の熱制御装置。
【請求項３９】  前記加熱要素が抵抗加熱要素を備えることを特徴とする請求項３８記載の熱制御装置。
【請求項４０】  前記平面が前記熱制御装置の上面と前記熱制御装置の下面の中間にある前記熱制御装置の中心平面であることを特徴とする請求項３９記載の熱制御装置。
【請求項４１】  前記平面が前記熱制御装置の上面と前記熱制御装置の下面の中間にある前記熱制御装置の中心平面であることを特徴とする請求項３６記載の熱制御装置。
【請求項４２】  さらに前記加熱要素と前記冷却要素を入れたハウジングを備え、前記ハウジングが鋳物金属でできていることを特徴とする請求項３６記載の熱制御装置。
【請求項４３】  前記金属がアルミニウムを含むことを特徴とする請求項４２記載の熱制御装置。