【手続補正書】
【提出日】平成19年4月20日(2007.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の振動体と、該振動体の両側に前記振動体の外周部に対し空隙を介してそれぞれ対向配置される一対の加振電極と、該一対の加振電極に同相の交流電力を印加するための給電手段と、前記振動体と前記加振電極との間の静電容量の変化に対応した出力を得るための検出手段とを有するマイクロメカニカル静電振動子において、前記振動体の平面形状を、くびれを備えた曲線状の輪郭を有する形状とし、
前記振動体の平面形状の輪郭は、円弧部と、該円弧部に両端が滑らかに連結されたくびれ部とからなることを特徴とするマイクロメカニカル静電振動子。
【請求項２】
前記振動体は、基板上に形成された支持部により支持され、前記支持部の周囲に広がる形状に構成されていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロメカニカル静電振動子。
【請求項３】
前記振動体は、前記基板であるシリコン基板上に構成されたシリコン層若しくはシリコン化合物層で構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のマイクロメカニカル静電振動子。
【請求項４】
前記振動体又は前記加振電極に導電接続された配線層を有し、該配線層と前記基板の距離が前記振動体又は前記加振電極と前記基板の距離よりも大きいことを特徴とする請求項２又は３に記載のマイクロメカニカル静電振動子。
【請求項５】
前記配線層は、前記振動体又は前記加振電極の形成表面よりも前記基板から離れた表面を備えた絶縁層上に形成されていることを特徴とする請求項４に記載のマイクロメカニカル静電振動子。
【請求項６】
前記振動体又は前記加振電極は前記基板上に形成された絶縁体の表面上に構成され、前記絶縁層は前記絶縁体よりも低い誘電率を有することを特徴とする請求項５に記載のマイクロメカニカル静電振動子。
【請求項７】
前記絶縁層は多孔質膜であることを特徴とする請求項５又は６に記載のマイクロメカニカル静電振動子。
【請求項８】
前記配線層と前記基板との間には空間が設けられていることを特徴とする請求項４及至７に記載のマイクロメカニカル静電振動子。
【請求項９】
前記基板は絶縁体からなる基板であることを特徴とする請求項２又は３に記載のマイクロメカニカル静電振動子。
【請求項１０】
前記基板は、ガラスからなることを特徴とする請求項９に記載のマイクロメカニカル静電振動子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明のマイクロメカニカル静電振動子は、板状の振動体と、該振動体の両側に前記振動体の外周部に対し空隙を介してそれぞれ対向配置される一対の加振電極と、該一対の加振電極に同相の交流電力を印加するための給電手段と、前記振動体と前記電極との間の静電容量の変化に対応した出力を得るための検出手段とを有するマイクロメカニカル静電振動子において、前記振動体の平面形状を、くびれを備えた曲線状の輪郭を有する形状とし、前記振動体の平面形状の輪郭は、円弧部と、該円弧部に両端が滑らかに連結されたくびれ部とからなることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明においては、前記振動体の平面形状の輪郭は、円弧部と、該円弧部に対し両端が滑らかに連結されたくびれ部とからなる。これによれば、振動体の輪郭に角部が存在しないので、上記のように高周波化を容易に実現しつつ、安定した固有振動を得ることができるとともに、損失を低減することができる。この場合、円弧部は、厳密に円弧となっている必要はなく、全体として弧状に構成されているのであれば、楕円弧であっても、曲率が徐々に変化するものであっても構わない。ただし、この振動体の平面形状は、一対の電極に対して対称な形状（例えば、一対の電極の中心部を結ぶ線分の垂直二等分線を対称軸とする線対称）であることが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
本各発明において、前記振動体又は前記加振電極に導電接続された配線層を有し、前記配線層と前記基板の距離が前記振動体又は前記加振電極と前記基板の距離よりも大きいことが好ましい。この発明によれば、配線層と基板との距離が振動体又は加振電極と基板との距離よりも大きいことにより、配線層と基板との間に発生する静電容量を低減することができるので、静電容量の定常成分が小さくなり、その分、振動に起因する静電容量の変動成分の割合を高めることが可能になるため、静電振動子の出力特性を向上させることができ、駆動電圧の低減を図ることが可能になる。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】削除
【補正の内容】