【手続補正書】
【提出日】平成19年4月11日(2007.4.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】位置決め装置および露光装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  真空雰囲気内で、配管が接続された可動部を移動させて該可動部に搭載された対象物を位置決めする位置決め装置であって、
前記配管は樹脂製の内部配管と、該内部配管の外周を覆う樹脂製の外側配管とで構成された２重配管からなり、
該内側配管と該外側配管との間の空間の気体を排気する排気機構を備えることを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】  前記配管は、前記空間が真空に保たれることを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】  前記配管は真空チャンバ内に配置されており、前記空間内の圧力は前記真空チャンバ内よりも高い圧力に保たれることを特徴とする請求項２に記載の位置決め装置。
【請求項４】  前記真空チャンバ内と前記空間内との圧力差は、前記内部配管内と前記空間内との圧力差よりも小さいことを特徴とする請求項３に記載の位置決め装置。
【請求項５】  前記内側配管は、ポリウレタン系またはポリオレフィン系の樹脂で構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項６】  前記内部配管は、前記外側配管よりも柔軟性が高い材料であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項７】  前記外部配管は、フッ素系樹脂で構成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項８】  前記外側配管は、前記内部配管よりも肉厚が薄いことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項９】  前記外側配管は、その肉厚が１０μｍ以上、１００μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項１０】  前記内部配管は、前記可動部に気体または液体を供給および回収するために用いられることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項１１】  前記内部配管は複数の配管を有し、前記可動部が移動したときに該内部配管が曲がる曲げ方向における剛性が小さくなるように一列に並べて配置されることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項１２】  前記可動部に接続された電気配線を備え、該電気配線は前記外側配管の内部に配置されることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項１３】  前記内部配管および前記電気配線は、前記可動部が移動したときに該内部配管および前記電気配線が曲がる曲げ方向における剛性が小さくなるように一列に並べて配置されることを特徴とする請求項１２に記載の位置決め装置。
【請求項１４】  真空雰囲気内で、単数または複数の電気配線が接続された可動部を移動させて該可動部に搭載された対象物を位置決めする位置決め装置であって、
該電気配線の外周を覆う樹脂製の外側配管と、該電気配線と該外側配管との間の空間の気体を排気する排気機構とを有することを特徴とする位置決め装置。
【請求項１５】  前記電気配線は、前記可動部が移動したときに該電気配線が曲がる曲げ方向における剛性が小さくなるように一列に並べて配置されることを特徴とする請求項１４に記載の位置決め装置。
【請求項１６】  請求項１〜１５のいずれか１項に記載の位置決め装置を有することを特徴とする電子ビーム描画装置。
【請求項１７】  請求項１〜１５のいずれか１項に記載の位置決め装置を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１８】  請求項１６に記載の電子ビーム描画装置または請求項１７に記載の露光装置を含む各種プロセス用の製造装置群を半導体製造工場に設置する工程と、該製造装置群を用いて複数のプロセスによって半導体デバイスを製造する工程とを有することを特徴とする半導体デバイス製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空雰囲気内で、配管が接続された可動部を移動させて該可動部に搭載された対象物を位置決めする位置決め装置に関する。特に、可動部に接続される配管の脱ガス・透過ガス等から真空チャンバ内の真空度への悪影響を防ぐようにした、中高真空雰囲気での高精度な位置決め装置に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、真空雰囲気内で、配管が接続された可動部を移動させて該可動部に搭載された対象物を位置決めする位置決め装置において、可動部に接続する配管として、従来の金属配管よりも柔軟で、かつ耐久性に優れた配管を提供することを目的としている。さらに電気配線の脱ガスの影響をも防ぐ配管を提供することも目的としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段および作用】
上記目的を達成するため、本発明に係る第１の位置決め装置は、真空雰囲気内で、配管が接続された可動部を移動させて該可動部に搭載された対象物を位置決めする位置決め装置であって、前記配管は樹脂製の内部配管と、該内部配管の外周を覆う樹脂製の外側配管とで構成された２重配管からなり、該内側配管と該外側配管との間の空間の気体を排気する排気機構を備えることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明において、前記配管は、前記空間が真空に保たれることが好ましい。
また、前記配管は真空チャンバ内に配置されており、前記空間内の圧力は前記真空チャンバ内よりも高い圧力に保たれることが好ましい。
また、前記真空チャンバ内と前記空間内との圧力差は、前記内部配管内と前記空間内との圧力差よりも小さいことが好ましい。
また、前記内側配管は、ポリウレタン系またはポリオレフィン系の樹脂で構成されていることが好ましい。
また、前記内部配管は、前記外側配管よりも柔軟性が高い材料であることが好ましい。
また、前記外側配管は、フッ素系樹脂で構成されていることが好ましい。
そして、前記外側配管は、前記内部配管よりも肉厚が薄いことが好ましい。
さらに、前記外側配管は、その肉厚が１０μｍ以上、１００μｍ以下であることが好ましい。
また、前記内部配管は、前記可動部に気体または液体を供給および回収するために用いられることが好ましい。
また、前記内部配管は複数の配管を有し、前記可動部が移動したときに該内部配管が曲がる曲げ方向における剛性が小さくなるように一列に並べて配置されることが好ましい。
そして、前記可動部に接続された電気配線を備える場合、該電気配線は前記外側配管の内部に配置されることが好ましい。
さらに、前記内部配管および前記電気配線は、前記可動部が移動したときに該内部配管および前記電気配線が曲がる曲げ方向における剛性が小さくなるように一列に並べて配置されることが好ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明に係る第２の位置決め装置は、真空雰囲気内で、単数または複数の電気配線が接続された可動部を移動させて該可動部に搭載された対象物を位置決めする位置決め装置であって、該電気配線の外周を覆う樹脂製の外側配管と、該電気配線と該外側配管との間の空間の気体を排気する排気機構とを有することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
さらに、前記電気配線は、前記可動部が移動したときに該電気配線が曲がる曲げ方向における剛性が小さくなるように一列に並べて配置されることが好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の電子ビーム描画装置は、前記位置決め装置を有することができる。
本発明の露光装置は、前記位置決め装置を有することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の露光装置による半導体デバイス製造方法は、前記電子ビーム描画装置または露光装置を含む各種プロセス用の製造装置群を半導体製造工場に設置する工程と、該製造装置群を用いて複数のプロセスによって半導体デバイスを製造する工程とを有することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
【発明の効果】
本発明によれば、配管自体からの脱ガス・透過ガスの影響を抑えながらも柔軟性に富み、繰り返し変形に対する耐久性が高く、位置決め装置における可動部への接続に適した配管を提供できる。