【手続補正書】
【提出日】平成19年5月28日(2007.5.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、及び前記液体吐出ヘッドの駆動方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  液体に吐出エネルギーを与えることにより液体を吐出させる液体吐出ヘッドに用いられ、電気エネルギーを前記吐出エネルギーに変換するためのエネルギー変換素子が形成された半導体基板を有する液体吐出ヘッド用基板において、
前記半導体基板に強誘電体材料よりなる機能素子が形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。
【請求項２】  前記機能素子は、前記半導体基板上に少なくとも第１のバリア層、強誘電体材料膜、第２のバリア層が積層されてなる請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項３】  前記第１あるいは第２のバリア層が、前記液体吐出ヘッドを構成する基板を保護するために設けられる耐キャビテーション膜材料を含む膜で構成されている請求項２に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項４】  前記耐キャビテーション膜の材料がＴａである請求項３に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項５】  前記耐キャビテーション膜の材料を含む膜が、少なくとも酸素、窒素を含有している請求項３または４に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項６】  前記耐キャビテーション膜の材料を含む酸化物が、Ｔａ2Ｏ5である請求項５に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項７】  前記第１あるいは第２のバリア層が、前記液体吐出ヘッドを構成する基板を保護するために設けられる発熱抵抗材料を含む膜で構成されている請求項２から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項８】  前記発熱抵抗層の材料がＴａＮ、ＴａＳｉＮ、ＨｆＢ2、ＴａＳｉＯである請求項７に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項９】  前記発熱抵抗材料を含む膜が、少なくとも酸素、窒素を含有している請求項７に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１０】  前記第１あるいは第２のバリア層が、前記液体吐出ヘッドを構成する吐出エネルギー発生素子を駆動するための信号を伝達する配線層を保護するヒロック防止層材料を含む膜で構成されている請求項２から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１１】  前記第１あるいは第２のバリア層が、熱による作用によって液体に気泡を形成して液体と吐出させる形式の記録ヘッドにおける熱作用部保護のための保護膜の密着性を向上させる密着層材料を含む膜で構成されている請求項２から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１２】  前記機能素子が、コンデンサである請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１３】  前記コンデンサは、前記半導体基板上に形成される電源ラインとグランドラインとの間を接続するように形成されている請求項１２に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１４】  前記電源ラインが、前記エネルギー変換素子の電源ラインである請求項１３に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１５】  前記電源ラインが、前記半導体基板上に形成されたエネルギー変換素子を駆動制御するロジック回路の電源ラインである請求項１３に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１６】  前記電源ラインを形成する電源層と前記グランドラインを形成するグランド層とが積層されており、これらの層が重なる部分において前記コンデンサが形成されている請求項１３から１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１７】  前記機能素子が、不揮発性メモリである請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１８】  前記不揮発性メモリがＦｅＲＡＭである請求項１７に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１９】  前記不揮発性メモリに、前記エネルギー変換素子の駆動条件を制御するためのヘッド情報が記憶される請求項１７または１８に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項２０】  前記機能素子が、圧電素子である請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項２１】  前記圧電素子が、前記液体吐出ヘッド内の液体に作用する圧力を検出するように構成されている請求項２０に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項２２】  前記液体吐出ヘッド用基板には、前記エネルギー発生素子に対面する位置に、前記基板との間に間隙をおいて、前記吐出口側を自由端として前記基板に支持固定された可動部材が配されており、前記可動部材が、強誘電体材料からなる薄膜と、該薄膜の両面に設けられた電極とを有し、該両電極間に電圧が印加されると自由端が前記素子基板側あるいは前記素子基板に対して反対の方向へ変位するように構成されている請求項１から２１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項２３】  前記薄膜は、Ｐｂ-Ｚｒｘ-Ｔｉ1-ｘＯ3、（Ｐｂ，Ｌａ）-（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3、Ｓｒ-Ｂｉ2-Ｔａ2Ｏ5、ＳｒＴｉＯ3、ＢａＴｉＯ3、あるいは（Ｂａ-Ｓｒ）ＴｉＯ3からなる請求項２２に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項２４】  前記両電極のいずれか一方の表面に、電界中に置かれても歪みを生じない材料で形成された変位補助層が設けられている請求項２２または２３に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項２５】  互いに接合されることで、液体を吐出するための複数の吐出口とそれぞれ連通する複数の液流路を構成する第１および第２の基板を有し、該第１および第２の基板の一方または両方に強誘電体材料よりなる機能素子が形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２６】  液滴を吐出するための吐出口と、
該吐出口に液体を供給するために前記吐出口に連通された液流路と、
該液流路に充填された前記液体に気泡を発生させるための気泡発生素子が備えられた基板と、
前記基板の前記気泡発生素子に対面する位置に、前記基板との間に間隙を有し、前記吐出口側を自由端として前記基板に支持固定された可動部材とを有し、
前記可動部材が、強誘電体材料からなる薄膜と、該薄膜の両面に設けられた電極とを有し、該両電極間に電圧が印加されると自由端が前記素子基板側あるいは前記素子基板に対して反対の方向へ変位するように構成されており、
前記気泡を発生させることにより生じる圧力によって、前記可動部材の自由端を前記基板とは反対の方向に変位させて、前記圧力を前記吐出口側に導くことにより前記吐出口から前記液体の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドの駆動方法であって、
前記発熱体の駆動と前記可動部材の駆動とを互いに独立して行うことを特徴とする液体吐出ヘッドの駆動方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱エネルギーを液体に作用させることで起こる気泡の発生によって、所望の液体を吐出する液体吐出ヘッド、それに用いられる液体吐出ヘッド用基板、及び液体吐出ヘッドの駆動方法に関する。特に、本発明は、強誘電体材料から構成される機能素子を備えた液体吐出ヘッド、それに用いられる液体吐出ヘッド用基板、及び液体吐出ヘッドの駆動方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
本発明は以上に鑑みてなされたものであり、その目的は、電流ノイズを十分に除去することができるとともに低コスト化を図ることができる液体吐出ヘッド、それに用いられる液体吐出ヘッド用基板、及び液体吐出ヘッドの駆動方法を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
本発明のさらなる目的は、ヘッドの高速化および低コスト化に対応することのできるメモリ構造を持つ液体吐出ヘッド、それに用いられる液体吐出ヘッド用基板、及び液体吐出ヘッドの駆動方法を提供することにある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
本発明のさらなる目的は、吐出する液体の状態を精度よく検出することによって、安定した吐出を可能とする液体吐出ヘッド、それに用いられる液体吐出ヘッド用基板、及び液体吐出ヘッドの駆動方法を提供することにある。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
本発明のさらに別の目的は、記録ヘッド内に配された可動部材の応答性の向上を図ることができ、さらに記録速度の高速化を図ることができる液体吐出ヘッド、及び液体吐出ヘッドの駆動方法を提供することにある。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２６５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２６６
【補正方法】削除
【補正の内容】