【手続補正書】
【提出日】平成19年4月27日(2007.4.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  試料表面に光を入射する入射手段と、
先端が該試料に近接されて設置され、該先端で該入射光に由来する散乱光を発生させる探針と、
該散乱光を検出する光検出手段と、
を具備する近接場光学顕微鏡装置において、
該入射光の波長を所定の周波数で変調させる入射光変調手段と、
上記光検出手段の出力より、上記所定の周波数の成分を抽出する抽出手段と、
をさらに具備することを特徴とする近接場光学顕微鏡装置。
【請求項２】  試料表面に光を入射する入射手段と、
先端が該試料に近接されて設置され、該先端で該入射光に由来する散乱光を発生させる探針と、
該散乱光を検出する光検出手段と、
を具備する近接場光学顕微鏡装置において、
該入射光の波長を第１の周波数で変調させる入射光変調手段と、
該探針を第２の周波数で振動させる探針加振手段と、
上記光検出手段の出力より、上記第１の周波数と第２の周波数のビート周波数成分を抽出する抽出手段と、
をさらに具備することを特徴とする近接場光学顕微鏡装置。
【請求項３】  試料表面に光を入射する入射手段と、
先端が該試料に近接されて設置され、該先端で該入射光に由来する散乱光を発生させる探針と、
該散乱光を検出する光検出手段と、
を具備する近接場光学顕微鏡装置において、
該入射光の波長を第１の周波数で変調させる入射光変調手段と、
該散乱光と周波数δだけ異なる周波数の参照光を、該散乱光と干渉させる干渉手段と、
上記光検出手段の出力より、上記第１の周波数と上記周波数δのビート周波数成分を抽出する抽出手段と、
をさらに具備することを特徴とする近接場光学顕微鏡装置。
【請求項４】  試料表面に光を入射する入射手段と、
先端が該試料に近接されて設置され、該先端で該入射光に由来する散乱光を発生させる探針と、
該散乱光を検出する光検出手段と、
を具備する近接場顕微鏡装置において、
該入射光の波長を第１の周波数で変調させる入射光変調手段と、
該探針を第２の周波数で振動させる探針加振手段と、
該散乱光と周波数δだけ異なる周波数の参照光を、該散乱光と平渉させる干渉手段と、
上記光検出手段の出力より、上記第１の周波数と上記周波数δのビート周波数成分を抽出する抽出手段と、
をさらに具備することを特徴とする近接場光学顕微鏡装置。
【請求項５】  試料表面に光を入射する入射手段と、
該入射光の波長以下のサイズの先端を持ち、該先端が該試料に近接して設置され、該入射光を該先端で散乱させる探針と、
該散乱光を検出する光検出手段と、
該探針または探針の支持部材の変位を検出する変位検出手段と、
該試料と探針を相対的に走査する走査手段と、
該変位検出手段からの信号をもとに探針と試料間の距離または探針圧を制御するための制御手段と、該光検出手段からの信号を取り込んで画像化処理する手段とを有し、該探針先端からの散乱光もしくは発生する光が入射光の波長によって変化するような近接場光学顕微鏡において、該入射光の周波数または波長を周期的に変調させることによって発生する信号に周期的な変調を加え、散乱信号の変調周波数成分だけを抽出する信号検出手段を備えてなることを特徴とする近接場光学顕微鏡装置。
【請求項６】  試料表面に光を入射する入射手段と、
該入射光の波長以下のサイズの先端を持ち、該先端が該試料に近接して設置され、該入射光を該先端で散乱させる探針と、
該散乱光を検出する光検出手段と、
該探針または探針の支持部材の変位を検出する変位検出手段と、
該試料と探針を相対的に走査する走査手段と、
該変位検出手段からの信号をもとに探針と試料間の距離または探針圧を制御するための制御手段と、
該光検出手段からの信号を取り込んで画像化処理する手段とを有し、
該探針先端からの散乱光もしくは発生する光が入射光の波長によって変化するような近接場光学顕微鏡において、
該入射光の周波数または波長を所定の変調周波数（ω2）をもって周期的に変調させることによって発生する信号に周期的な変調を加え、該探針を入射光の波長の変調周波数と異なる周波数（ω1 ）で振動させ、散乱信号に入射光の波長変調および探針の振動による変調を同時に加えて、両者のビート周波数成分（｜ω2 −ω1｜または（ω2 ＋ω1 ））だけを抽出する信号検出手段を備えてなることを特徴とする近接場光学顕微鏡装置。
【請求項７】  試料表面に光を入射する入射手段と、
該入射光の波長以下のサイズの先端を持ち、該先端が該試料に近接して設置され、該入射光を該先端で散乱させる探針と、
該散乱光を検出する光検出手段と、
該探針または探針の支持部材の変位を検出する変位検出手段と、
該試料と探針を相対的に走査する走査手段と、
該変位検出手段からの信号をもとに探針と試料間の距離または探針圧を制御するための制御手段と、
該光検出手段からの信号を取り込んで画像化処理する手段とを有し、
該探針先端からの散乱光もしくは発生する光が入射光の波長によって変化するような近接場光学顕微鏡において、
該入射光の周波数または波長を所定の変調周波数（ω2）をもって周期的に変調させることによって周期的な変調を加え、該散乱光の周波数（ω0 ）と異なった周波数（ω0 ＋δ）を有する参照光と発生した信号とを干渉させて、両者のビート周波数成分（｜ω2 −δ｜または（ω2 ＋δ））だけを抽出する信号検出手段を備えてなることを特徴とする近接場光学顕微鏡装置。
【請求項８】  試料表面に光を入射する入射手段と、
該入射光の波長以下のサイズの先端を持ち、該先端が該試料に近接して設置され、該入射光を該先端で散乱させる探針と、
該散乱光を検出する光検出手段と、
該探針または探針の支持部材の変位を検出する変位検出手段と、
該試料と探針を相対的に走査する走査手段と、
該変位検出手段からの信号をもとに探針と試料間の距離または探針圧を制御するための制御手段と、
該光検出手段からの信号を取り込んで画像化処理する手段とを有し、
該探針先端からの散乱光もしくは発生する光が入射光の波長によって変化するような近接場光学顕微鏡において、
該入射光の周波数または波長を所定の変調周波数（ω2）をもって周期的に変調させることによって発生する信号に周期的な変調を加え、該探針を入射光の波長の変調周波数と異なる周波数（ω1 ）で振動させ、散乱信号に入射光の波長変調および探針の振動による変調を同時に加え、さらに散乱光の周波数（ω0 ）と異なった周波数（ω0 ＋δ）を有する参照光と発生した信号とを干渉させて、参照光と信号のビート周波数成分（｜ω2 −δ｜）だけを抽出する信号検出手段を備えてなることを特徴とする近接場光学顕微鏡装置。
【請求項９】  該探針は特定の波長を照射されるとプラズモン共鳴を起こすことを特徴とする請求項５乃至８のいずれか１つに記載の近接場光学顕微鏡装置。
【請求項１０】  該探針はレーザトラップされた金属微粒子であることを特徴とする請求項９記載の近接場光学顕微鏡装置。
【請求項１１】  該探針は特定の波長を照射されるとルミネッセンスを発生することを特徴とする請求項５乃至８のいずれか１つに記載の近接場光学顕微鏡装置。
【請求項１２】  試料表面に光を入射する入射手段と、
該入射光の波長以下のサイズの先端を持ち、該先端が該試料に近接して設置され、該入射光を該先端で散乱させる探針と、
該散乱光を検出する光検出手段と、
該探針または探針の支持部材の変位を検出する変位検出手段と、
該試料と探針を相対的に走査する走査手段と、
該変位検出手段からの信号をもとに探針と試料間の距離または探針圧を制御するための制御手段と、
該光検出手段からの信号を取り込んで画像化処理する手段とを有し、
該試料表面の特性が該入射光の波長によって変化するような近接場光学顕微鏡において、
該入射光の周波数または波長を周期的に変調させることによって発生する信号に周期的な変調を加え、散乱信号の変調周波数成分だけを抽出する信号検出手段を備えてなることを特徴とする近接場光学顕微鏡装置。
【請求項１３】  該試料表面の散乱体が特定の波長に対してプラズモン共鳴を起こすことを特徴とする請求項１２記載の近接場光学顕微鏡装置。
【請求項１４】  該試料表面のルミネッセンス発生が空間的に分布をもつことを特徴とする請求項１２記載の近接場光学顕微鏡装置。