(57)【要約】  キャリアテープ５として、所定のＴＣＰ毎に複数のアライメントマーク５２が付されたものを使用し、試験対象のＴＣＰの位置情報を特定するにあたり、カメラ６ｂによって、当該ＴＣＰに係る第１のアライメントマーク５２１の画像認識をトライし、その第１のアライメントマーク５２１の画像認識ができなかった場合に、いずれかのアライメントマーク５２の画像認識ができるように、当該ＴＣＰに係る他のアライメントマーク５２２〜５２４の画像認識を順次トライするＴＣＰハンドラ２。
2007077621.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に前記キャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部の接触端子に接触させることにより複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
前記キャリアテープ上における所定の形状を有する特定図形を画像認識し、当該特定図形の位置情報を取得することのできる撮像装置を備えており、
試験対象のＴＣＰの位置情報を特定するにあたり、前記ＴＣＰに係る第１の特定図形の画像認識をトライし、前記第１の特定図形の画像認識ができなかった場合に、前記ＴＣＰに係る他の特定図形の画像認識をトライすることを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。
【請求項２】
前記第１の特定図形の画像認識ができなかった場合に、何れかの特定図形の画像認識ができるように、前記ＴＣＰに係る複数の特定図形について順次画像認識をトライすることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項３】
前記特定図形の画像認識によって当該特定図形の位置情報を取得し、当該取得した特定図形の位置情報に基づいて試験対象のＴＣＰの前記コンタクト部に対する位置ずれ情報を特定し、当該特定した位置ずれ情報に基づいて、前記ＴＣＰの前記コンタクト部に対する位置ずれ補正を行うことを特徴とする請求項１または２に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項４】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを微小移動させることのできるテープ移動装置および／または前記コンタクト部を微小移動させることのできるコンタクト部移動装置をさらに備えており、前記テープ移動装置および／またはコンタクト部移動装置によって、前記ＴＣＰの前記コンタクト部に対する位置ずれ補正を行うことを特徴とする請求項３に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項５】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に前記キャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部の接触端子に接触させることにより複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
前記キャリアテープ上における所定の形状を有する特定図形を画像認識し、当該特定図形の位置情報を取得することのできる撮像装置を備えており、
試験対象のＴＣＰの位置情報を特定するにあたり、２以上の特定図形の画像認識ができるように、前記ＴＣＰに係る複数の特定図形について画像認識をトライすることを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。
【請求項６】
前記特定図形の画像認識によって２以上の特定図形の位置情報を取得し、当該取得した２以上の特定図形の位置情報の平均値を算出し、当該算出した特定図形の位置情報の平均値に基づいて試験対象のＴＣＰの前記コンタクト部に対する位置ずれ情報を特定し、当該特定した位置ずれ情報に基づいて、前記ＴＣＰの前記コンタクト部に対する位置ずれ補正を行うことを特徴とする請求項５に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項７】
前記特定図形の画像認識によって２以上の特定図形の位置情報を取得し、当該取得した２以上の特定図形の位置情報に基づいて、試験対象のＴＣＰの前記コンタクト部に対する垂直軸回りの位置ずれ量を特定し、当該特定した垂直軸回りの位置ずれ量に基づいて、前記ＴＣＰの前記コンタクト部に対する位置ずれ補正を行うことを特徴とする請求項５に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項８】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを微小移動させることのできるテープ移動装置および／または前記コンタクト部を微小移動させることのできるコンタクト部移動装置をさらに備えており、前記テープ移動装置および／またはコンタクト部移動装置によって、前記ＴＣＰの前記コンタクト部に対する位置ずれ補正を行うことを特徴とする請求項６または７に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項９】
２以上の特定図形の画像認識ができない場合に、
ＴＣＰの位置補正なしに、前記コンタクト部に前記キャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部の接触端子に接触させ、
コンタクトチェックを実行して、ＴＣＰの全ての外部端子が前記コンタクト部の対応する接触端子に接続したことを確認する
ことを特徴とする請求項５に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣデバイスの１種であるＴＣＰ（Tape Carrier Package）やＣＯＦ（Chip On Film）（以下、ＴＣＰ、ＣＯＦ、その他ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）実装技術によって製造されたデバイスを纏めて「ＴＣＰ」という。）を試験するのに用いられるＴＣＰハンドリング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造されたＩＣデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が必要であり、ＴＣＰの場合には、ＴＣＰ用の試験装置が使用される。【０００３】
ＴＣＰ用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、ＴＣＰハンドリング装置（以下「ＴＣＰハンドラ」という場合がある。）とから構成される。このＴＣＰハンドラは、テープ（フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。）上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブにキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子をプローブにコンタクトさせることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付す機能を備えている。【０００４】
ここで、キャリアテープには、各ＴＣＰ毎に位置決め用のマーク（アライメントマーク）が１個または複数個設けられており、このアライメントマークを基準にしてＴＣＰの位置を特定し、ＴＣＰのプローブカードに対する位置決めを行っている。具体的には、カメラによって試験対象のＴＣＰに係る所定のアライメントマークを画像認識してアライメントマークの位置情報を取得し、そのアライメントマークの位置情報に基づいてＴＣＰの位置ずれ情報を特定し、その位置ずれ情報に基づいて、必要に応じてＴＣＰのプローブカードに対する位置ずれ補正を行っている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、キャリアテープの種類やキャリアテープ面の反射条件によっては、あるいはキャリアテープの汚れ等に起因して、カメラがアライメントマークを画像認識することができない場合がある。【０００６】
このようにカメラがアライメントマークを画像認識することができなかった場合には、オペレータは試験装置を一時停止させて、キャリアテープを照らしている光の明るさを変更したり、カメラの設定を変えたり、キャリアテープの汚れを除去したりする必要があった。このような試験装置の一時停止、そしてオペレータによる作業により、試験のスループットが低下しているという問題があった。【０００７】
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、試験装置の停止頻度を少なくして、試験のスループットを向上させることのできるＴＣＰハンドリング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、第１に本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に前記キャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部の接触端子に接触させることにより複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、前記キャリアテープ上における所定の形状を有する特定図形を画像認識し、当該特定図形の位置情報を取得することのできる撮像装置を備えており、試験対象のＴＣＰの位置情報を特定するにあたり、前記ＴＣＰに係る第１の特定図形の画像認識をトライし、前記第１の特定図形の画像認識ができなかった場合に、前記ＴＣＰに係る他の特定図形の画像認識をトライすることを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（発明１）。【０００９】
なお、「所定の形状を有する特定図形」としては、例えば、アライメントマークの他、ＴＣＰの特定の外部端子（テストパッド）やパッケージの角部等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。特定図形としてアライメントマークのみを採用する場合には、キャリアテープ上に、所定のＴＣＰ毎（１個毎でもよいし、複数個毎であってもよい。）に複数のアライメントマークが付されている必要がある。【００１０】
上記発明（発明１）によれば、第１の特定図形の画像認識ができない場合であっても、他の特定図形の画像認識ができる場合があるため、１個だけの特定図形を画像認識する場合と比較して、試験装置の停止頻度を少なくして、試験のスループットを向上させることができる。【００１１】
上記発明（発明１）においては、前記第１の特定図形の画像認識ができなかった場合に、何れかの特定図形の画像認識ができるように、前記ＴＣＰに係る複数の特定図形について順次画像認識をトライするようにしてもよい（発明２）。【００１２】
上記発明（発明１，２）においては、前記特定図形の画像認識によって当該特定図形の位置情報を取得し、当該取得した特定図形の位置情報に基づいて試験対象のＴＣＰの前記コンタクト部に対する位置ずれ情報を特定し、当該特定した位置ずれ情報に基づいて、前記ＴＣＰの前記コンタクト部に対する位置ずれ補正を行うことが好ましい（発明３）。【００１３】
上記発明（発明３）において、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを微小移動させることのできるテープ移動装置および／または前記コンタクト部を微小移動させることのできるコンタクト部移動装置をさらに備えており、前記テープ移動装置および／またはコンタクト部移動装置によって、前記ＴＣＰの前記コンタクト部に対する位置ずれ補正を行うことが好ましい（発明４）。【００１４】
第２に本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に前記キャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部の接触端子に接触させることにより複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、前記キャリアテープ上における所定の形状を有する特定図形を画像認識し、当該特定図形の位置情報を取得することのできる撮像装置を備えており、試験対象のＴＣＰの位置情報を特定するにあたり、２以上の特定図形の画像認識ができるように、前記ＴＣＰに係る複数の特定図形について画像認識をトライすることを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（発明５）。【００１５】
上記発明（発明５）によれば、ある特定図形の画像認識ができない場合であっても、他の特定図形の画像認識ができる場合があるため、特定の２個の特定図形を画像認識する場合と比較して、試験装置の停止頻度を少なくして、試験のスループットを向上させることができる。また、上記発明（発明５）によれば、複数の特定図形の中から、可能な限り２以上の特定図形の位置情報を取得することができるため、それら位置情報の平均値を用いることにより、ＴＣＰのコンタクト部に対する位置決めをより的確なものにすることができる。さらに、２以上の特定図形の位置情報を取得することにより、θ回転方向の位置ずれ量を算出することも可能である。【００１６】
上記発明（発明５）においては、前記特定図形の画像認識によって２以上の特定図形の位置情報を取得し、当該取得した２以上の特定図形の位置情報の平均値を算出し、当該算出した特定図形の位置情報の平均値に基づいて試験対象のＴＣＰの前記コンタクト部に対する位置ずれ情報を特定し、当該特定した位置ずれ情報に基づいて、前記ＴＣＰの前記コンタクト部に対する位置ずれ補正を行うことが好ましい（発明６）。【００１７】
上記発明（発明５）においては、前記特定図形の画像認識によって２以上の特定図形の位置情報を取得し、当該取得した２以上の特定図形の位置情報に基づいて、試験対象のＴＣＰの前記コンタクト部に対する垂直軸回りの位置ずれ量を特定し、当該特定した垂直軸回りの位置ずれ量に基づいて、前記ＴＣＰの前記コンタクト部に対する位置ずれ補正を行うことが好ましい（発明７）。【００１８】
上記発明（発明６，７）において、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを微小移動させることのできるテープ移動装置および／または前記コンタクト部を微小移動させることのできるコンタクト部移動装置をさらに備えており、前記テープ移動装置および／またはコンタクト部移動装置によって、前記ＴＣＰの前記コンタクト部に対する位置ずれ補正を行うことが好ましい（発明８）。【００１９】
上記発明（発明５）において、２以上の特定図形の画像認識ができない場合に、ＴＣＰの位置補正なしに、前記コンタクト部に前記キャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部の接触端子に接触させ、コンタクトチェックを実行して、ＴＣＰの全ての外部端子が前記コンタクト部の対応する接触端子に接続したことを確認するようにしてもよい（発明９）。かかる発明（発明９）によれば、２以上の特定図形の画像認識ができない場合であっても、ＴＣＰの位置補正なしに、ＴＣＰの外部端子をコンタクト部の接触端子に接触させることができる場合がある。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のＴＣＰハンドリング装置によれば、試験装置の停止頻度を少なくして、試験のスループットを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを含むＴＣＰ用の試験装置の全体正面図である。
【図２】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットの側面図である。
【図３】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャステージの平面図である。
【図４】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードステージの平面図である。
【図５】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードステージの正面図である。
【図６】同実施形態に係るＴＣＰハンドラの主動作を説明するフローチャートである。
【図７】同実施形態に係るＴＣＰハンドラの主動作を説明するフローチャートである。
【図８】同実施形態に係るＴＣＰハンドラの主動作を説明するフローチャートである。
【図９】同実施形態に係るＴＣＰハンドラの主動作を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００２２】
１…ＴＣＰ用の試験装置
１０…テストヘッド
２…ＴＣＰハンドラ
２１…巻出リール
２２…巻取リール
３…プッシャユニット
５…キャリアテープ
５０…ＴＣＰ
５２，５２１，５２２，５２３，５２４…アライメントマーク
６ａ，６ｂ，６ｃ…カメラ
７…プローブカードステージ
８…プローブカード
８１…プローブ（接触端子）
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを含むＴＣＰ用の試験装置の全体正面図であり、図２は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットの側面図であり、図３は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャステージの平面図であり、図４は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードステージの平面図であり、図５は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードステージの正面図であり、図６〜９は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラの主動作を説明するフローチャートである。【００２４】
まず、本発明の実施形態に係るハンドラを備えたＴＣＰ用の試験装置の全体構成について説明する。【００２５】
図１に示すように、ＴＣＰ用の試験装置１は、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド１０と、テストヘッド１０の上側に設けられたＴＣＰハンドラ２とから構成される。【００２６】
ＴＣＰハンドラ２は、キャリアテープ５を搬送することにより、キャリアテープ５上にその長手方向に沿って一列に並んで形成されている各ＴＣＰを順次試験に付するものである。なお、キャリアテープは、その長手方向に沿って２列又は複数列の配列でＴＣＰが形成されているものであってもよい。【００２７】
本実施形態では、図４に示すように、キャリアテープ５における各ＴＣＰ毎に、矩形のＴＣＰの各角部近傍に、アライメントマーク５２が１個ずつ、合計４個設けられている。４個のアライメントマーク５２をそれぞれ第１のアライメントマーク５２１、第２のアライメントマーク５２２、第３のアライメントマーク５２３、第４のアライメントマーク５２４という。【００２８】
なお、本実施形態のＴＣＰハンドラ２は、ＴＣＰを１個ずつ試験に付するものであるが、ＴＣＰを２個以上ずつ同時に試験に付するものであってもよく、その場合、同時に試験に付す複数のＴＣＰについて、複数のアライメントマーク５２が設けられていればよい。【００２９】
ＴＣＰハンドラ２は、巻出リール２１と巻取リール２２とを備えている。巻出リール２１には試験前のキャリアテープ５が巻き取られており、キャリアテープ５は、巻出リール２１から巻き出され、試験に付された後に巻取リール２２に巻き取られるように搬送される。【００３０】
巻出リール２１と巻取リール２２との間には、キャリアテープ５から剥離した保護テープ５１を、巻出リール２１から巻取リール２２に架け渡す３個のスペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃが設けられている。各スペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃは、保護テープ５１の張力を調整することができるように、それぞれ上下動できるようになっている。【００３１】
巻出リール２１の下側には、テープガイド２４ａ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃが設けられており、巻出リール２１から巻き出されたキャリアテープ５は、テープガイド２４ａによってガイドされつつ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃを経てプッシャユニット３に搬送される。【００３２】
巻取リール２２の下側には、テープガイド２４ｂ、巻取リミットローラ２５ｆ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよびアウト側ガイドローラ２５ｄが設けられており、プッシャユニット３において試験に付された後のキャリアテープ５は、アウト側ガイドローラ２５ｄ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよび巻取リミットローラ２５ｆを経て、テープガイド２４ｂによってガイドされつつ、巻取リール２２に巻き取られる。【００３３】
イン側ガイドローラ２５ｃと、アウト側ガイドローラ２５ｄとの間には、プッシャユニット３が設けられている。そして、プッシャユニット３の前段側（図１中左側）には第１カメラ６ａが、プッシャユニット３の下側（後述するプローブカードステージ７の内側）には第２カメラ６ｂが、プッシャユニット３の後段側（図１中右側）には第３カメラ６ｃが設けられている。また、プッシャユニット３と第３カメラ６ｃとの間には、マークパンチ２６ａおよびリジェクトパンチ２６ｂが設けられている。【００３４】
マークパンチ２６ａは、試験の結果に基づいて、該当するＴＣＰにつき所定の位置に１個または複数個の孔を開けるものであり、リジェクトパンチ２６ｂは、試験の結果不良品であると判断されたＴＣＰを打ち抜くものである。なお、マークパンチ２６ａやリジェクトパンチ２６ｂは、動作させないように個別に制御することもできる。【００３５】
各カメラ６ａ，６ｂ，６ｃは、図示しない画像処理装置に接続されている。第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃは、キャリアテープ５上におけるＴＣＰの有無やマークパンチ２６ａによる孔の位置や数を判断するためのものである。また、第２カメラ６ｂは、キャリアテープ５上のアライメントマーク５２、ＴＣＰの外部端子（以下「テストパッド」ということがある。）およびプローブ８１の先端部を画像認識した上で撮影し、それらの位置情報を取得したり、撮影した画像をモニタ（図示せず）に表示してオペレータがコンタクト状況を把握できるようにするものである。なお、上記画像処理装置は、第２カメラ６ｂが取得した各部の位置情報に基づいて、ＴＣＰのプローブ８１に対する位置ずれ量を演算することができるものである。【００３６】
第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１上に搭載されており、カメラステージ６１が有するアクチュエータによって平面視縦横方向（Ｘ軸−Ｙ軸方向）および上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能となっている。これにより、第２カメラ６ｂは、キャリアテープ５上の第１〜第４のアライメントマーク５２１，５２２，５２３，５２４の全てを撮影することができる。【００３７】
図１および図２に示すように、プッシャユニット３のフレーム（プッシャフレーム）３６には、ボールねじ３２を回転させることのできるサーボモータ３１がブラケット３６１を介して取り付けられている。そして、ボールねじ３２が螺合するプッシャ本体部３３がＺ軸方向に延びる２本のリニアモーションガイド（以下「ＬＭガイド」という。）３７を介して取り付けられている。このプッシャ本体部３３は、サーボモータ３１を駆動させると、ＬＭガイド３７にガイドされながら上下方向（Ｚ軸方向）に移動する。【００３８】
このプッシャ本体部３３の下端部には、負圧源（図示省略）に接続されてＴＣＰを吸引することによりキャリアテープ５を吸着保持して固定状態とすることのできる吸着プレート３４が設けられている。【００３９】
プッシャ本体部３３の前段側（図１中左側）には、テンションスプロケット３５ａが設けられており、プッシャ本体部３３の後段側（図１中右側）には、メインスプロケット３５ｂが設けられている。【００４０】
図２および図３に示すように、プッシャフレーム３６におけるプッシャ本体部３３の背面側には、基台３８に載せられるようにしてプッシャステージ４が設置されており、プッシャステージ４の回転台であるトップテーブル４８はプッシャフレーム３６に固定されている。【００４１】
プッシャステージ４のベース４０上には、Ｘ軸方向に軸を有するボールねじ４２ａを回転させるサーボモータ４１ａと、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ４２ｂを回転させるサーボモータ４１ｂと、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ４２ｃを回転させるサーボモータ４１ｃとが設けられており、サーボモータ４１ｂおよびサーボモータ４１ｃは、それぞれベース４０上の両端部に位置している。【００４２】
ボールねじ４２ａには、Ｘ軸方向のＬＭガイド４３ａ，４３ａにガイドされてＸ軸方向に摺動可能な摺動ブロック４４ａが螺合している。摺動ブロック４４ａには、Ｙ軸方向のＬＭガイド４５ａを介して摺動板４６ａがＹ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板４６ａの上側には、内部にローラリングを有する回転部材４７ａが固定されており、回転部材４７ａは、トップテーブル４８に回転自在に取り付けられている。【００４３】
ボールねじ４２ｂには、Ｙ軸方向のＬＭガイド４３ｂ，４３ｂにガイドされてＹ軸方向に摺動可能な摺動ブロック４４ｂが螺合している。摺動ブロック４４ｂには、Ｘ軸方向のＬＭガイド４５ｂを介して摺動板４６ｂがＸ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板４６ｂの上側には、内部にローラリングを有する回転部材４７ｂが固定されており、回転部材４７ｂは、トップテーブル４８に回転自在に取り付けられている。【００４４】
ボールねじ４２ｃには、Ｙ軸方向のＬＭガイド４３ｃ，４３ｃにガイドされてＹ軸方向に摺動可能な摺動ブロック４４ｃが螺合している。摺動ブロック４４ｃには、Ｘ軸方向のＬＭガイド４５ｃを介して摺動板４６ｃがＸ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板４６ｃの上側には、内部にローラリングを有する回転部材４７ｃが固定されており、回転部材４７ｃは、トップテーブル４８に回転自在に取り付けられている。【００４５】
このような構成を有するプッシャステージ４においては、サーボモータ４１ａを駆動して、摺動ブロック４４ａ、摺動板４６ｂおよび摺動板４６ｃをＸ軸方向に摺動させることにより、トップテーブル４８をＸ軸方向に移動させることができる。また、サーボモータ４１ｂおよびサーボモータ４１ｃを駆動して、摺動ブロック４４ｂ、摺動ブロック４４ｃおよび摺動板４６ａをＹ軸同方向に摺動させることにより、トップテーブル４８をＹ軸方向に移動させることができる。さらには、サーボモータ４１ａを駆動して、摺動ブロック４４ａをＸ軸方向に摺動させるとともに、サーボモータ４１ｂおよびサーボモータ４１ｃを駆動して、摺動ブロック４４ｂおよび摺動ブロック４４ｃを互いにＹ軸反対方向に摺動させ、そして各回転部材４７ａ，４５ｂ，４５ｃを回転させることにより、トップテーブル４８をその垂直軸回りに回転させることができる。このプッシャステージ４によれば、プッシャユニット３をＸ軸−Ｙ軸方向に移動させること、および垂直軸回りに回転移動させることができる。【００４６】
なお、プッシャステージ４は、プローブカードステージ７よりも短時間で移動可能である。但し、プッシャステージ４は、キャリアテープ５を吸着保持した状態でＴＣＰを移動させるため、Ｘ軸−Ｙ軸方向の移動及び回転移動の移動量は微少となるものの、実用的に使用可能である。【００４７】
一方、プッシャユニット３の下側であって、テストヘッド１０の上部には、図４に示されるように、ＴＣＰのテストパッドとコンタクトし得る多数本のプローブ（接触端子）８１を備えたプローブカード８が搭載されたプローブカードステージ７が設置されている。ここで、プローブカードステージ７は、モーター駆動機構で移動制御できるものと、手動調整機能のみを有するものとがあるが、本実施形態では、モーター駆動機構を有するものとする。【００４８】
図４および図５に示すように、プローブカードステージ７の基台７１上には、Ｘ軸方向に軸を有するボールねじ７１２を回転させるサーボモータ７１１と、４つのＸ軸方向のＬＭガイド７１３とが設けられている。それら４つのＬＭガイド７１３上には、各ＬＭガイド７１３によりＸ軸方向に摺動可能にガイドされる矩形のＸベース７２が設けられている。このＸベース７２の一側部には、ボールねじ７１２が螺合している螺合部７２１が形成されている。【００４９】
Ｘベース７２上には、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ７２３を回転させるサーボモータ７２２と、２本のＹ軸方向のＬＭガイド７２４とが設けられている。それら２本のＬＭガイド７２４上には、各ＬＭガイド７２４によりＹ軸方向に摺動可能にガイドされる矩形のＹベース７３が設けられている。このＹベース７３の一側部には、ボールねじ７２３が螺合している螺合部７３１が形成されている。【００５０】
Ｙベース７３上には、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ７３３を回転させるサーボモータ７３２と、カードリング７３５を回転自在に支持する接続リング７３４とが設けられている。カードリング７３５の一部には、ボールねじ７３３が螺合している螺合部７３６が形成されている。複数のプローブ８１を備えたプローブカード８は、４本のピン８２によってカードリング７３５に着脱自在に取り付けられている。【００５１】
なお、プローブカード８の各プローブ８１は、テストヘッド１０を介してテスタ本体に電気的に接続されており、プローブカード８の下側であって、プローブカードステージ７の内側には第２カメラ６ｂが位置している。【００５２】
このような構成を有するプローブカードステージ７においては、サーボモータ７１１を駆動することにより、Ｘベース７２、ひいてはプローブカード８をＸ軸方向に移動させることができ、サーボモータ７２２を駆動することにより、Ｙベース７３、ひいてはプローブカード８をＹ軸方向に移動させることができる。また、サーボモータ７３２を駆動してボールねじ７３３を回転させ、螺合部７３６を移動させることにより、カードリング７３５およびプローブカード８をその垂直軸回りに回転させることができる。【００５３】
以上説明した試験装置では、プッシャユニット３は、プローブカードステージ７まで搬送されてきたキャリアテープ５を、吸着・支持しながらテストヘッド１０上のプローブカード８に押圧する。すると、キャリアテープ５上のＴＣＰが、プローブカード８のプローブ８１にコンタクトする状態になる。この状態でまず、微少な直流電流を各ＩＣ端子へ印加して、ＴＣＰの内部回路（例えば保護用のダイオード）に流れる電流の有無や電圧値の測定からコンタクトチェックを行い、全てのテストパッドが電気的にプローブ８１に接触していることや隣接ピン間のショートの有無を確認する。その後に、テスタ本体からのテスト信号をＴＣＰに印加し、ＴＣＰから読み出した応答信号をテストヘッド１０を通じてテスタ本体に送る。この応答信号に基づいてＴＣＰの性能や試験等を試験し、ＴＣＰについてパス判定（良品判定）またはフェイル判定（不良判定）を行う。【００５４】
次に、ＴＣＰハンドラ２の使用方法および動作について説明する。
ＴＣＰハンドラを使用する場合には、ＴＣＰハンドラ２を実稼動させる前に、あらかじめ初期設定を行う必要がある。すなわち、ＴＣＰの品種や、それに伴ってプローブカード８を変更した場合には、ＴＣＰのテストパッドと対応するプローブカード８のプローブ８１とがコンタクトするように、プッシャステージ４およびプローブカードステージ７の基準位置を決定し、登録する必要がある（この位置を「登録位置」という）。【００５５】
例えば、マニュアル操作にて作業者が、複数箇所（例えば３箇所）のプローブ８１とそれに対応するテストパッドとを選択して粗位置を定め、次いで、第２カメラ６ｂおよび画像処理装置を利用して、それぞれのプローブ８１ができる限り各テストパッドの中央に位置するように、プッシャステージ４および／またはプローブカードステージ７を手動制御又は自動制御で移動させることにより、基準位置を決定し登録する。なお、所望により、上記粗位置の決定についても、マニュアル操作ではなく自動制御により行ってもよい。【００５６】
このとき、第２カメラ６ｂの視野内における所定の対象の位置座標を併せて登録する。本実施形態では、キャリアテープ５における第１〜第４のアライメントマーク５２１，５２２，５２３，５２４の位置座標を登録する。なお、このとき、第１〜第２のアライメントマーク５２１，５２２の位置座標、または第１〜第３のアライメントマーク５２１，５２２，５２３の位置座標を登録するようにしてもよい。【００５７】
次に、ＴＣＰハンドラ２の実稼動時の動作を図６〜９のフローチャートを参照しながら説明する。なお、本実施形態では、プローブカードステージ７は、上記初期設定で登録した登録位置にプローブカード８を移動して固定状態にするものとし、順次移送されるＴＣＰの各試験前に行う位置ずれ補正の微調整は、微調整用のプッシャステージ４により行うものとする。ただし、この微調整は、プッシャステージ４の代わりにプローブカードステージ７を微動させる方法でも可能である。【００５８】
〔位置ずれ量演算まで−アライメントマーク２つ利用〕
最初に、第１〜第４のアライメントマーク５２１，５２２，５２３，５２４のうち２つのアライメントマーク５２を利用して位置ずれ補正を行う場合について説明する。【００５９】
ここで、位置ずれ補正のために、第１〜第４のアライメントマーク５２１，５２２，５２３，５２４のうち２つのアライメントマーク５２を利用するか、後述するように１つのアライメントマーク５２を利用するかは、ＴＣＰハンドラ２の設定により任意に選択できるようにしてもよい。【００６０】
ＴＣＰハンドラ２が主動作を開始すると、プッシャステージ４およびプローブカードステージ７は、上記初期設定で登録した登録位置に移動する（ステップＳ１０１）。これ以降においては、各ＴＣＰ毎の移送系やその他に起因する微小な位置ずれを補正する必要がある。次いで、メインスプロケット３５ｂとテンションスプロケット３５ａが所定角度回転することによりキャリアテープ５を移動させ、１個目のＴＣＰを吸着プレート３４の下側の所定位置まで搬送する（ステップＳ１０２）。【００６１】
ＴＣＰが吸着プレート３４の下側まで搬送されてきたら、プッシャユニット３のサーボモータ３１が駆動し、プッシャ本体部３３を介して吸着プレート３４をＺ軸下方向に移動させる。ここで、テンションスプロケット３５ａは、キャリアテープ５の走行方向と逆方向のトルクが付与されることにより、キャリアテープ５に所定のテンションをかけているので、キャリアテープ５はたるみが無い状態となり、キャリアテープ５の位置精度が向上する。吸着プレート３４は、キャリアテープ５を吸着してＴＣＰを保持固定状態にし、その後、撮影位置まで下降する（ステップＳ１０３）。【００６２】
次に第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１によってキャリアテープ５上の１個目のＴＣＰに係る第１のアライメントマーク５２１に対応する位置に移動し、第１のアライメントマーク５２１の画像認識をトライする（ステップＳ１０４）。第１のアライメントマーク５２１の画像を認識できた場合には（ステップＳ１０５−Ｙｅｓ）、第２カメラ６ｂは、第１のアライメントマーク５２１を撮影し（ステップＳ１０６）、得られた画像データを画像処理装置に送信する。【００６３】
続いて、第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１によって第２のアライメントマーク５２２に対応する位置に移動し、第２のアライメントマーク５２２の画像認識をトライする（ステップＳ１０７）。第２のアライメントマーク５２２の画像を認識できた場合には（ステップＳ１０８−Ｙｅｓ）、第２カメラ６ｂは、第２のアライメントマーク５２２を撮影し（ステップＳ１０９）、得られた画像データを画像処理装置に送信する。【００６４】
画像処理装置は、得られた２つのアライメントマーク５２の位置情報に基づいて、それらの平均値を算出し、ＴＣＰのプローブ８１に対する位置ずれ情報（位置ずれの方向（Ｘ軸方向・Ｙ軸方向・θ回転方向）および位置ずれの量ΔＤ）を演算により求める（ステップＳ１１０）。【００６５】
ステップＳ１０５にて第１のアライメントマーク５２１の画像を認識できなかった場合には（ステップＳ１０５−Ｎｏ）、第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１によって第２のアライメントマーク５２２に対応する位置に移動し、第２のアライメントマーク５２２の画像認識をトライする（ステップＳ１１１）。第２のアライメントマーク５２２の画像を認識できた場合には（ステップＳ１１２−Ｙｅｓ）、第２カメラ６ｂは、第２のアライメントマーク５２２を撮影し（ステップＳ１１３）、得られた画像データを画像処理装置に送信する。【００６６】
続いて、第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１によって第３のアライメントマーク５２３に対応する位置に移動し、第３のアライメントマーク５２３の画像認識をトライする（ステップＳ１１４）。第３のアライメントマーク５２３の画像を認識できた場合には（ステップＳ１１５−Ｙｅｓ）、上記ステップＳ１０９に移行する。【００６７】
ステップＳ１１５にて第３のアライメントマーク５２３の画像を認識できなかった場合には（ステップＳ１１５−Ｎｏ）、第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１によって第４のアライメントマーク５２４に対応する位置に移動し、第４のアライメントマーク５２４の画像認識をトライする（ステップＳ１１６）。第４のアライメントマーク５２４の画像を認識できた場合には（ステップＳ１１７−Ｙｅｓ）、上記ステップＳ１０９に移行する。【００６８】
ステップＳ１１７にて第４のアライメントマーク５２４の画像を認識できなかった場合には（ステップＳ１１７−Ｎｏ）、ＴＣＰハンドラ２は動作を一時停止する（ステップＳ１１８）。そしてオペレータは、アライメントマーク５２の確認、アライメントマーク５２の汚れ等の除去、キャリアテープ５を照らしている光の明るさの変更、第２のカメラ６ｂの設定変更等、所定の作業を行う。【００６９】
ステップＳ１０８にて第２のアライメントマーク５２２の画像を認識できなかった場合には（ステップＳ１０８−Ｎｏ）、第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１によって第３のアライメントマーク５２３に対応する位置に移動し、第３のアライメントマーク５２３の画像認識をトライする（ステップＳ１１９）。第３のアライメントマーク５２３の画像を認識できた場合には（ステップＳ１２０−Ｙｅｓ）、第２カメラ６ｂは、第３のアライメントマーク５２３を撮影し（ステップＳ１２１）、得られた画像データを画像処理装置に送信する。【００７０】
画像処理装置は、得られた２つのアライメントマーク５２の位置情報に基づいて、それらの平均値を算出し、ＴＣＰのプローブ８１に対する位置ずれ情報（位置ずれの方向（Ｘ軸方向・Ｙ軸方向・θ回転方向）および位置ずれの量ΔＤ）を演算により求める（ステップＳ１２２）。【００７１】
ステップＳ１２０にて第３のアライメントマーク５２３の画像を認識できなかった場合には（ステップＳ１２０−Ｎｏ）、第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１によって第４のアライメントマーク５２４に対応する位置に移動し、第４のアライメントマーク５２４の画像認識をトライする（ステップＳ１２３）。第４のアライメントマーク５２４の画像を認識できた場合には（ステップＳ１２４−Ｙｅｓ）、上記ステップＳ１２１に移行する。【００７２】
ステップＳ１２４にて第４のアライメントマーク５２４の画像を認識できなかった場合には（ステップＳ１２４−Ｎｏ）、ＴＣＰハンドラ２は動作を一時停止する（ステップＳ１２５）。【００７３】
ステップＳ１１２にて第２のアライメントマーク５２２の画像を認識できなかった場合には（ステップＳ１１２−Ｎｏ）、第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１によって第３のアライメントマーク５２３に対応する位置に移動し、第３のアライメントマーク５２３の画像認識をトライする（ステップＳ１２６）。第３のアライメントマーク５２３の画像を認識できた場合には（ステップＳ１２７−Ｙｅｓ）、第２カメラ６ｂは、第３のアライメントマーク５２３を撮影し（ステップＳ１２８）、得られた画像データを画像処理装置に送信する。【００７４】
続いて、第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１によって第４のアライメントマーク５２４に対応する位置に移動し、第４のアライメントマーク５２４の画像認識をトライする（ステップＳ１２９）。第４のアライメントマーク５２４の画像を認識できた場合には（ステップＳ１３０−Ｙｅｓ）、第２カメラ６ｂは、第４のアライメントマーク５２４を撮影し（ステップＳ１３１）、得られた画像データを画像処理装置に送信する。【００７５】
画像処理装置は、得られた２つのアライメントマーク５２の位置情報に基づいて、それらの平均値を算出し、ＴＣＰのプローブ８１に対する位置ずれ情報（位置ずれの方向（Ｘ軸方向・Ｙ軸方向・θ回転方向）および位置ずれの量ΔＤ）を演算により求める（ステップＳ１３２）。【００７６】
ステップＳ１２７にて第３のアライメントマーク５２３の画像を認識できなかった場合（ステップＳ１２７−Ｎｏ）、およびステップＳ１３０にて第４のアライメントマーク５２４の画像を認識できなかった場合（ステップＳ１３０−Ｎｏ）には、ＴＣＰハンドラ２は動作を一時停止する（ステップＳ１３３）。【００７７】
なお、上記の例では、少なくとも２つのアライメントマーク５２の画像を認識できなかった場合には、ＴＣＰハンドラ２の動作を一時停止するようにしたが、これに限定されるものではなく、少なくとも２つのアライメントマーク５２の画像を認識できなくても、１つのアライメントマーク５２の画像だけが認識できた場合には、その１つのアライメントマーク５２の位置情報に基づいて、ＴＣＰのプローブ８１に対する位置ずれ情報を求めるようにしてもよい。この動作は、ＴＣＰハンドラ２の設定により任意に選択できるようにしてもよい。【００７８】
〔位置ずれ量演算まで−アライメントマーク１つ利用〕
次に、第１〜第４のアライメントマーク５２１，５２２，５２３，５２４のうち１つのアライメントマーク５２を利用して位置ずれ補正を行う場合について説明する。【００７９】
ステップＳ２０１〜ステップＳ２０３は、上記ステップＳ１０１〜Ｓ１０３と同じである。ステップＳ２０３の動作の後、第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１によってキャリアテープ５上の１個目のＴＣＰに係る第１のアライメントマーク５２１に対応する位置に移動し、第１のアライメントマーク５２１の画像認識をトライする（ステップＳ２０４）。第１のアライメントマーク５２１の画像を認識できた場合には（ステップＳ２０５−Ｙｅｓ）、第２カメラ６ｂは、第１のアライメントマーク５２１を撮影し（ステップＳ２０６）、得られた画像データを画像処理装置に送信する。【００８０】
画像処理装置は、得られた１つのアライメントマーク５２の位置情報に基づいて、ＴＣＰのプローブ８１に対する位置ずれ情報（位置ずれの方向（Ｘ軸方向・Ｙ軸方向）および位置ずれの量ΔＤ）を演算により求める（ステップＳ２０７）。【００８１】
ステップＳ２０５にて第１のアライメントマーク５２１の画像を認識できなかった場合には（ステップＳ２０５−Ｎｏ）、第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１によって第２のアライメントマーク５２２に対応する位置に移動し、第２のアライメントマーク５２２の画像認識をトライする（ステップＳ２０８）。第２のアライメントマーク５２２の画像を認識できた場合には（ステップＳ２０９−Ｙｅｓ）、第２カメラ６ｂは、第２のアライメントマーク５２２を撮影し（ステップＳ２１０）、得られた画像データを画像処理装置に送信する。そして、画像処理装置は、ステップＳ２０７を実行する。【００８２】
ステップＳ２０９にて第２のアライメントマーク５２２の画像を認識できなかった場合には（ステップＳ２０９−Ｎｏ）、第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１によって第３のアライメントマーク５２３に対応する位置に移動し、第３のアライメントマーク５２３の画像認識をトライする（ステップＳ２１１）。第３のアライメントマーク５２３の画像を認識できた場合には（ステップＳ２１２−Ｙｅｓ）、第２カメラ６ｂは、第３のアライメントマーク５２３を撮影し（ステップＳ２１３）、得られた画像データを画像処理装置に送信する。そして、画像処理装置は、ステップＳ２０７を実行する。【００８３】
ステップＳ２１２にて第３のアライメントマーク５２３の画像を認識できなかった場合には（ステップＳ２１２−Ｎｏ）、第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１によって第４のアライメントマーク５２４に対応する位置に移動し、第４のアライメントマーク５２４の画像認識をトライする（ステップＳ２１４）。第４のアライメントマーク５２４の画像を認識できた場合には（ステップＳ２１５−Ｙｅｓ）、第２カメラ６ｂは、第４のアライメントマーク５２４を撮影し（ステップＳ２１６）、得られた画像データを画像処理装置に送信する。そして、画像処理装置は、ステップＳ２０７を実行する。【００８４】
ステップＳ２１５にて第４のアライメントマーク５２４の画像を認識できなかった場合には（ステップＳ２１５−Ｎｏ）、ＴＣＰハンドラ２は動作を一時停止する（ステップＳ２１７）。【００８５】
なお、上記の例は、第１〜第４のアライメントマーク５２１，５２２，５２３，５２４の位置座標を登録した場合について説明したものであるが、第１〜第２のアライメントマーク５２１，５２２の位置座標だけを登録した場合には、ステップＳ２０９にて第２のアライメントマーク５２２の画像を認識できなかった段階でＴＣＰハンドラ２の動作を一時停止し、第１〜第３のアライメントマーク５２１，５２２，５２３の位置座標だけを登録した場合には、ステップＳ２１２にて第３のアライメントマーク５２３の画像を認識できなかった段階でＴＣＰハンドラ２の動作を一時停止することとなる。【００８６】
〔位置ずれ量演算後〕
上記ステップＳ１１０、ステップＳ１２２、ステップＳ１３２またはステップＳ２０７で得られた位置ずれ量ΔＤにおいて、第１に、位置ずれ補正の必要がないと判断した場合（ステップＳ３０１−Ｎｏ）は、後述するステップＳ３０３にスキップする。このスキップにより、試験のスループットが改善できる。第２に、位置ずれ補正の必要があると判断した場合（ステップＳ３０１−Ｙｅｓ）には、プッシャステージ４を駆動して、位置ずれ補正を実行する（ステップＳ３０２）。【００８７】
位置ずれを補正して位置合わせをするには、プッシャステージ４のサーボモータ４１ａ，４１ｂ，４１ｃを駆動させてトップテーブル４８、ひいてはプッシャユニット３を動かし、吸着プレート３４で吸着しているキャリアテープ５をＸ軸−Ｙ軸方向に移動および／または垂直軸回りに回転移動させる方法を用いる。なお、プローブカードステージ７のサーボモータ７１１，７２２，７３２を駆動させてＸベース７２、Ｙベース７３またはカードリング７３５を動かし、プローブカード８をＸ軸−Ｙ軸方向に移動および／または垂直軸回り（θ回転方向）に回転移動させる方法を用いることもできるが、プッシャステージ４は、プローブカードステージ７よりも短時間に移動制御ができるので、プッシャステージ４を移動させる方がスループットの観点で有利である。【００８８】
次いで、プッシャユニット３のサーボモータ３１が駆動し、プッシャ本体部３３を介して吸着プレート３４をさらにＺ軸下方向に移動させる。キャリアテープ５を吸着した吸着プレート３４は、コンタクト位置まで下降し、ＴＣＰをプローブカード８のプローブ８１に対して押圧する（ステップＳ３０３）。【００８９】
押圧後において、所望により、コンタクト状態のまま、吸着プレート３４を前後左右へ微少に揺動（スクライブ）させたり、吸着プレート３４に超音波振動を与えたりしてもよい。また、この段階で、所望により、コンタクト状態におけるプローブ８１／テストパッドの位置関係を撮影して非コンタクト時の位置ずれ補正量に対して、コンタクト時における微少なコンタクトずれ量を求める処理を追加してもよい。この追加処理は、試験実施と並行して実施できるため、スループットには影響しない。そして、得られた微少なコンタクトずれ量を、次回以降の位置ずれ補正量に加えることで、より一層安定したコンタクトを実現することができる。【００９０】
ＴＣＰのテストパッドがプローブ８１にコンタクトしたら、先ず、微少な直流電流を各テストパッドに印加して、ＴＣＰの内部回路（例えば保護用のダイオード）に流れる電流の有無や電圧値を測定し、全てのテストパッドが電気的に接触しているか否か、および隣接ピン間のショートの有無を確認（コンタクトチェック）する（ステップＳ３０４）。そのコンタクトチェックでコンタクト不良が発生した場合には、コンタクト状態のまま、吸着プレート３４を前後左右へ微少に揺動（スクライブ）させたり、吸着プレート３４に超音波振動を与えたり、プッシャ本体部３３を上下させて再コンタクト動作を行ったりする。それによっても再度コンタクト不良となる場合には、そのＴＣＰは不良品であると判断する。ここでは、コンタクト時の接触抵抗値が正常に試験可能な許容抵抗値より大きいか否かは、確認困難であるものと仮定する。【００９１】
その後、試験実行として、テスタ本体からテストヘッド１０を通じてＴＣＰにテスト信号を印加し、ＴＣＰから読み出した応答信号を、テストヘッド１０を通じてテスタ本体に送る（ステップＳ３０５）。これによりＴＣＰの性能や機能等が試験され、ＴＣＰについて良品、不良品、ランク分け等の判定がなされる。そして、良品と判定されたＴＣＰは、マークパンチ２６ａの位置まで搬送されたときに、マークパンチ２６ａによって良品であるマークが付与され、不良品と判定されたＴＣＰは、リジェクトパンチ２６ｂの位置まで搬送されたときに、リジェクトパンチ２６ｂによって打ち抜かれることとなる。なお、マークパンチ２６ａやリジェクトパンチ２６ｂは、運用形態により、動作させないようにする場合もある。【００９２】
試験実行にてコンタクト不良が生じていると判断された場合には（ステップＳ３０６−Ｙｅｓ）、第１に、オペレータが、マニュアル操作により、モニタを見ながらプローブ８１の位置調整を行うようにすることができる（ステップＳ３０７ａ）。【００９３】
第２に、自動的に再試験を行うようにすることができる（ステップＳ３０７ｂ）。この場合には、テスタ本体から不良品の判定に関係するテストパッドの番号情報を受け、その情報に対応するテストパッドおよびその周辺のテストパッドについて位置ずれ量を求め、求めた位置ずれ量が正常なコンタクト領域から外れている場合には、一旦非コンタクト状態にして、プッシャステージ４を位置ずれ補正する方向へ移動させた後、コンタクト状態にして、再度試験を実行する。この再試験により、ＴＣＰが良品と判断される場合がある。なお、コンタクト不良となっている可能性のあるテストパッドの抽出は、上記の試験結果やコンタクトチェックの結果に基づいて得られる。【００９４】
上記のようにしてＴＣＰの試験が終了すると、プッシャユニット３のサーボモータ３１が駆動し、プッシャ本体部３３を介して吸着プレート３４をＺ軸上方向に移動させ、初期状態にする（ステップＳ３０８）。プローブカードステージ７を位置ずれ補正に適用した場合は、登録位置へ戻しておく。そして、吸着プレート３４は、キャリアテープ５の吸着を停止してキャリアテープ５を解放するとともに、さらにＺ軸上方向に移動する（ステップＳ３０９）。【００９５】
その後、ＴＣＰハンドラ２は、試験を行ったＴＣＰが最後のデバイスであるか否かを判断し（ステップＳ３１０）、最後のデバイスであると判断した場合には（ステップＳ３１０−Ｙｅｓ）、主動作を終了する。一方、最後のデバイスでないと判断した場合には（ステップＳ３１０−Ｎｏ）、ステップＳ１０２に戻る。【００９６】
以上のように動作するＴＣＰハンドラ２によれば、キャリアテープ５における一部のアライメントマーク５２の画像認識ができない場合であっても、他のアライメントマーク５２の画像認識ができる場合があるため、１個だけのアライメントマーク５２を画像認識する場合と比較して、試験装置の停止頻度を少なくして、試験のスループットを向上させることができる。【００９７】
また、第１〜第４のアライメントマーク５２１，５２２，５２３，５２４の中から２つのアライメントマーク５２を画像認識する場合には、それら２つのアライメントマーク５２の位置情報の平均値を用いることにより、ＴＣＰのプローブ８１に対する位置決めをより的確なものにすることができるとともに、２個のアライメントマーク５２の位置情報を取得することにより、θ回転方向の位置ずれ補正を行うことが可能となる。【００９８】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。【００９９】
例えば、ＴＣＰを複数同時に試験に付すようにして、それら複数のＴＣＰについて、第１〜第４のアライメントマーク５２１，５２２，５２３，５２４を設け、上記と同様にして第１〜第４のアライメントマーク５２１，５２２，５２３，５２４の画像認識を行うようにしてもよい。【０１００】
また、アライメントマーク５２の替わりに、利用可能な他の図形、例えば他のマーク、ＴＣＰの特定のテストパッド、パッケージの角部等を画像認識するようにしてもよい。【０１０１】
また、キャリアテープ５用の照明に使用する光源の設定条件（光量、発光色）およびカメラの設定条件（受光感度等）の中で、少なくとも１つの設定条件の変更手段を備える装置構成の場合には、設定条件を変更してリトライする処理を追加してもよい。すなわち、第２カメラ６ｂがアライメントマーク５２の画像認識をトライする各ステップで、アライメントマーク５２の画像を認識できなかった場合に、上記設定条件を変更して再度画像認識をトライする処理を追加してもよい。【０１０２】
また、上述のステップＳ１３３およびＳ２１７では、ＴＣＰハンドラ２は動作を一時停止するが、所望により、次の処理を追加してもよい。すなわち、位置ずれ情報が得られない場合であっても、位置ずれの補正なしの現在状態でＴＣＰをプローブ８１へ押圧した後に、コンタクトチェックを実行する。これにより、コンタクト正常、コンタクト不良の結果情報が得られる。コンタクト正常の場合には、試験動作をそのまま続行することができ、一時停止の頻度を低減させることができるため、試験のスループットを向上させることができる。一方、コンタクト不良が検出された場合には、ＴＣＰ又はプローブカード８をＸ軸／Ｙ軸方向へ所望量移動させて又はバイナリサーチ形態で微少移動させてコンタクトチェックを順次実行して、最良の移動位置を探すことにより、コンタクト正常となる位置が求まる。それにより、試験を続行することができ、一時停止の頻度を低減させることができるため、試験のスループットを向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【０１０３】
本発明に係るＴＣＰハンドリング装置は、試験のスループットを向上させ、効率良くＴＣＰ試験を行うのに有効である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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