【誤訳訂正書】
【提出日】平成20年6月24日(2008.6.24)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバ内で基板を搬送する直線運動アセンブリであって、
前記真空チャンバ内に設けられたリニアベアリングと、
前記リニアベアリング上に直線運動のために設けられて、搬送のための基板に係合しこれを支持する少なくとも１つのエンドエフェクタと、
前記直線運動アセンブリ上に設けられて、前記真空チャンバから隔離された第１の圧力チャンバを囲むハウジングと、
前記ハウジング内に設けられ、少なくとも１つの前記エンドエフェクタと適切に接続されて前記エンドエフェクタの動きを引き起こし、運動用シールを介して前記エンドエフェクタに接続されて前記第１の圧力チャンバを前記真空チャンバから隔離された状態に維持する駆動システムと、
からなり、
前記第１の圧力チャンバは、第２の圧力チャンバに接続されて前記第１の圧力チャンバの大気圧を維持することを特徴とする直線運動アセンブリ。
【請求項２】
請求項１記載の真空チャンバ内で基板を搬送する直線運動アセンブリであって、
前記リニアベアリングが、更に、
前記直線運動アセンブリに固定された少なくとも１つのベアリングレールと、
少なくとも１つの前記エンドエフェクタに取り付けられかつ前記ベアリングレールに直線運動のために設けられた少なくとも１つのベアリングブロックと、
前記リニアベアリングによって発生する粒子汚染物質を閉じ込めるために構成されたラビリンスシールと、
からなることを特徴とする、直線運動アセンブリ。
【請求項３】
真空チャンバ内で基板を搬送する請求項１記載の直線運動アセンブリであって、前記第１の圧力チャンバが実質的に大気圧で維持されることを特徴とする、直線運動アセンブリ。
【請求項４】
真空チャンバ内で基板を搬送する請求項１記載の直線運動アセンブリであって、
前記駆動システムが、更に、
前記アセンブリ上に回転するシャフトに設けられたキャプスタンと、
らせん状に前記キャプスタンに巻かれ少なくとも１つの前記エンドエフェクタに両端で接続され、該キャプスタンが回転するとき前記ケーブルの一端が前記キャプスタンの周りに巻かれ他端がほどかれて、前記リニアベアリング上の少なくとも１つの前記エンドエフェクタの動きを引き起こすケーブルと、
からなり、前記駆動システムが前記シャフトと適切に接続されて前記キャプスタンの回転を引き起こし、前記ハウジングを介して伸長するとき運動用シールによって前記シャフトが囲まれて前記真空チャンバから前記ハウジングの前記第１の圧力チャンバを封止することを特徴とする、直線運動アセンブリ。
【請求項５】
真空チャンバ内で基板を搬送する請求項４記載の直線運動アセンブリであって、
前記ケーブルがスプリングによって少なくとも１つの前記エンドエフェクタに接続され、更に、前記ケーブルが前記スプリングに対して張力を与えることを特徴とする、直線運動アセンブリ。
【請求項６】
真空チャンバ内で基板を搬送する請求項１記載の直線運動アセンブリであって、
前記駆動システムが、更に、前記圧力チャンバ内に設けられたコントローラ及びエンコーダを含むことを特徴とする、直線運動アセンブリ。
【請求項７】
真空チャンバ内で基板を搬送するロボットアセンブリであって、
中央軸を有し、前記真空チャンバ内に固定されており、前記真空チャンバから隔離されている第１の圧力チャンバを囲むロボット体と、
前記第１の圧力チャンバ内に設けられて前記の軸回りの回転運動と前記軸に沿う並進運動との両方を備える第１の駆動システムと、
前記真空チャンバ内で前記ロボットアセンブリ上に設けられその動きのために前記第１の駆動システムに適切に接続された直線運動アセンブリと、からなり、
前記直線運動アセンブリは、
前記真空チャンバ内に設けられたリニアベアリングと、
前記リニアベアリングに直線運動のために設けられた、搬送する基板を係合しかつ支持する少なくとも１つのエンドエフェクタと、
直線運動アセンブリに設けられ、前記真空チャンバから隔離されている第２の圧力チャンバを囲むハウジングと、
前記ハウジング内に設けられ、少なくとも１つの前記エンドエフェクタに適切に接続されて前記エンドエフェクタの動きを引き起こし、運動用シールを介して前記エンドエフェクタに接続されて前記真空チャンバから前記第２の圧力チャンバを隔離する第２の駆動システムと、
からなり、
前記第２の圧力チャンバは、前記第１の圧力チャンバに接続されて前記第２の圧力チャンバの大気圧を維持することを特徴とするロボットアセンブリ。
【請求項８】
真空チャンバ内で基板を搬送する請求項７記載のロボットアセンブリであって、
前記リニアベアリングが、更に、
前記直線運動アセンブリに固定された少なくとも１つのベアリングレールと、
少なくとも１つの前記エンドエフェクタに取り付けられ前記ベアリングレール上の直線運動のために設けられた少なくとも１つのベアリングブロックと、
前記リニアベアリングによって発生する粒子汚染物質を閉じ込めるために構成されたラビリンスシールと、
からなることを特徴とする、ロボットアセンブリ。
【請求項９】
真空チャンバ内で基板を搬送する請求項７記載のロボットアセンブリであって、前記圧力チャンバが実質的に大気圧で維持されることを特徴とする、ロボットアセンブリ。
【請求項１０】
真空中で基板を搬送する請求項７記載のロボットアセンブリであって、
前記駆動システムが、更に、
前記アセンブリで回転するシャフトに設けられたキャプスタンと、
らせん状に前記キャプスタンに巻かれ少なくとも１つの前記エンドエフェクタに両端で接続され、該キャプスタンが回転するとき前記ケーブルの一端が前記キャプスタンの周りに巻かれ他端がほどかれて、前記リニアベアリング上の少なくとも１つの前記エンドエフェクタの動きを引き起こすケーブルと、
からなり、前記駆動システムが前記シャフトと適切に接続されて前記キャプスタンの回転を引き起こし、前記ハウジングを介して伸長するとき運動用シールによって前記シャフトが囲まれて前記真空チャンバから前記ハウジングの前記圧力チャンバを封止することを特徴とするロボットアセンブリ。
【請求項１１】
真空チャンバ内で基板を搬送する請求項１０記載のロボットアセンブリであって、
前記ケーブルが少なくとも１つの前記エンドエフェクタにスプリングによって接続され、更に、前記ケーブルが前記スプリングに対して張力を与えることを特徴とする、ロボットアセンブリ。
【請求項１２】
真空チャンバ内で基板を搬送する請求項７記載のロボットアセンブリであって、
前記駆動システムが、更に、前記圧力チャンバ内に設けられたコントローラ及びエンコーダを含むことを特徴とする、ロボットアセンブリ。
【請求項１３】
真空チャンバ内で基板を搬送する直線運動アセンブリであって、
１対の脚部及びブリッジ部を有し、前記真空チャンバ内に設けられた、前記真空チャンバから隔離された圧力チャンバを囲むＵ字型ハウジングと、
前記脚部の一方に設けられた第１のリニアベアリング及び前記脚部の他方に別個に設けられた第２のリニアベアリングと、
前記リニアベアリングに直線運動のために別個に設けられた、搬送する基板に係合しかつこれを支持する第１及び第２のエンドエフェクタと、
前記ハウジング内に別個に設けられ、前記第１及び第２のエンドエフェクタにそれぞれ適切に接続されて前記エンドエフェクタの動きを引き起こし、運動用シールを介してそれぞれの前記エンドエフェクタに接続されて前記真空チャンバから隔離された前記圧力チャンバを維持する第１及び第２の駆動システムと、
からなることを特徴とする、直線運動アセンブリ。
【請求項１４】
真空チャンバ内の基板を搬送する請求項１３記載の直線運動アセンブリであって、
中心軸を有し前記真空チャンバに固定されて、前記真空チャンバから隔離された第２の圧力チャンバを囲む前記ロボット体と、
前記軸についての回転運動と前記軸に沿う並進運動との両方を備える第３の駆動システムであって、前記第２の圧力チャンバ内に設けられた前記第３の駆動システムと、
からなり、前記直線運動アセンブリがその動きのための前記第２の駆動システムに適切に接続されて前記ロボット体に設けられることを特徴とする、直線運動アセンブリ。
【請求項１５】
真空チャンバ内の基板を搬送する請求項１３記載の直線運動アセンブリであって、前記Ｕ字型ハウジングが一方の脚が他方の上であるように配向されて、一方の前記エンドエフェクタが他方の前記エンドエフェクタの上に運動平面を有することを特徴とする直線運動アセンブリ。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１５】
Ｕ字型コンポーネントは、直線運動アセンブリの直線駆動のための駆動モータ、制御コンポーネント、ワイヤー及び通路を収容する。２つの脚部は、一方が他方の上にあるリニアベアリングをそれらを横切る方向において支持する。直線駆動モータは、脚部の各々に収容され、リニアベアリング上のエンドエフェクタを駆動するために接続されたプーリ・ケーブルシステムに運動用シール即ちdynamic sealを介して機械的に接続される。汚染物質を最少にするために、ラビリンスシールはリニアベアリングの底に構成される。これらのシールは、プーリ・ケーブル駆動システムとリニアベアリングからの粒子が真空チャンバに入り基板が汚染するのを防止するように作用する。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２２】
直線運動アセンブリ２００は、マウンティングブラケット３に取り付けられ、Ｕ字型駆動コンポーネントハウジング４を含む。ハウジング４は、ブリッジ部５によって相互に連結された上部脚部６及び下部脚部７を有して構成される。かかるハウジング４は、直線運動アセンブリ２００の搬送コンポーネントのための堅い支持構造を形成し、また、空洞で直線駆動システムのための内部エンクロージャ５２を備える。かかるＵ字型ハウジング４によって形成されるかかる内部エンクロージャ５２は、運動用シール３５によって搬送チャンバ２６の真空から隔離された密閉圧力ベッセルとして構成され、ロボット体１と接続することによって大気圧に維持される。このような隔離は、駆動システムの駆動モータ及び制御コンポーネントの信頼できる動作を得るために必要とされる。かかるＵ字型コンポーネントハウジング４は、マウンティングブラケット３に支持されるので、直線運動アセンブリ２００全体は、矢印２７及び２８による回転方向及び軸方向の運動のためにマウントされる。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２８】
キャプスタン及びケーブルアセンブリは搬送チャンバ２６の真空内であり、駆動要素が、ハウジング４の圧力ベッセル内であるので、運動用シール３５が、ハウジング４の壁７１を通過するシャフト６２のために設けられる。運動用シール３５は、搬送チャンバ２６からハウジング４を隔離する。これは、駆動コンポーネントの適切な動作のために必要とされる。