【手続補正書】
【提出日】平成19年10月1日(2007.10.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  第１磁石を有する物体を支持する支持装置において、同じ極を対面配置した第２磁石を有し、対面方向と直角方向の反発力を浮上力に用いて前記物体を支持する支持ユニットを備えることを特徴とする支持装置。
【請求項２】  浮上力と浮上方向変位の関係を表す特性曲線上において、前記物体を浮上方向に第１の高さにした場合での接線の傾きが負であって、かつ前記物体を前記第１の高さよりも低い第２の高さにした場合に浮上力＜物体の自重、の条件が成立することを特徴とする請求項１に記載の支持装置。
【請求項３】  前記物体上に所定の処理がなされる被処理物が搭載可能であり、前記第１の高さは前記物体上にて前記被処理物に所定の処理がなされる位置における設定高さであり、前記第２の高さは前記物体上の前記被処理物が受け渡される位置における設定高さである請求項２に記載の支持装置。
【請求項４】  前記支持ユニットには反発可動子と反発固定子とを備え、前記物体側の前記反発可動子は前記第１磁石のみ、前記反発固定子は前記第２磁石の裏にヨークを設けることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の支持装置。
【請求項５】  支持方向をＺ、同極が対面する面の法線方向をＹ、ＺＹに直角な方向をＸとするとき前記第１磁石のＸ寸法＜前記第２磁石のＸ寸法、の条件が成立することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の支持装置。
【請求項６】  前記支持ユニットを複数備えることを特徴とする請求項１に記載の支持装置。
【請求項７】  上記複数の支持ユニット間で装置に対する着磁方向の配置が異なることを特徴とする請求項６に記載の支持装置。
【請求項８】  前記第１磁石及び第２磁石は、板状材からなり、板厚方向に着磁されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の支持装置。
【請求項９】  第１磁石を有する物体を支持する支持方法において、同じ極の第２磁石を対面配置し、対面方向と直角方向の反発力を浮上力に用いて前記物体を支持することを特徴とする支持方法。
【請求項１０】  位置決めの対象物が載置された天板を駆動系で６軸制御する手段をもち、該天板を支持するべく請求項１〜８のいずれかに記載の支持装置を備えることを特徴とするステージ装置。
【請求項１１】  前記駆動系がリニアモータであることを特徴とする請求項１０に記載のステージ装置。
【請求項１２】  請求項１０または１１に記載のステージ装置を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１３】  請求項１２に記載の露光装置を含む各種プロセス用の製造装置群を半導体製造工場に設置する工程と、該製造装置群を用いて複数のプロセスによって半導体デバイスを製造する工程とを有することを特徴とする半導体デバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、第１磁石を有する物体を支持する支持装置または支持方法において、同じ極を対面配置した第２磁石を有し、対面方向と直角方向の反発力を浮上力に用いて前記物体を支持する支持ユニットを備えることを特徴とする。本発明に係る支持装置または支持方法は、要するに、同じ極の磁石を対面させ、対面方向と直角方向の反発力を浮上力に用いて物体を支持する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明では、浮上力と浮上方向変位の関係を表す特性曲線上において、前記物体を浮上方向に第１の高さにした場合での接線の傾きが負であって、かつ前記物体を前記第１の高さよりも低い第２の高さにした場合に浮上力＜物体の自重の条件が成立することが望ましく、前記物体上に所定の処理がなされる被処理物が搭載可能であり、前記第１の高さは前記物体上にて被処理物に所定の処理がなされる位置における設定高さであり、前記第２の高さは前記物体上の被処理物が受け渡される位置における設定高さであることが望ましく、前記支持ユニットには反発可動子と反発固定子とを備え、前記物体側の前記反発可動子は前記第１磁石のみ、前記反発固定子は前記第２磁石の裏にヨークを設けることが望ましく、支持方向をＺ、同極が対面する面の法線方向をＹ、ＺＹに直角な方向をＸとするとき、前記第１磁石のＸ寸法＜前記第２磁石のＸ寸法の条件が成立することが望ましく、支持ユニットを複数備えてもよく、上記複数の支持ユニット間で装置に対する着磁方向の配置が異なっていてもよく、前記支持ユニットの磁石は、板状材からなり、板厚方向に着磁されていることが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、本発明は、位置決めの対象物が載置された天板を駆動系で６軸制御する手段をもち、前記いずれかの支持装置を備えるステージ装置であってもよく、前記駆動系はリニアモータでよく、前記ステージ装置を有する露光装置にも適用可能である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図２（ａ）は支持機構の詳細を示す斜視図、図２（ｂ）及び（ｃ）は支持ユニットの詳細を示す斜視図である。反発可動子３１は反発可動磁石３３と反発可動磁石ホルダ３４からなる。第１磁石である反発可動磁石３３は、板状の単極永久磁石であって、板厚方向に着磁されている。図では着磁方向は、Ｙ軸に平行な小矢印で示す方向であり、図において手前がＮ極、奥がＳ極である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
反発固定子３２は、前側ヨーク３６、後側ヨーク３７、２個の横ヨーク３８、及び２枚の第２磁石である反発固定磁石３９からなる。前側ヨーク３６と後側ヨーク３７には、１枚ずつ反発固定磁石３９が接着されている。これらの反発固定磁石３９も板状の単極永久磁石であって、板厚方向、即ちこの図では、Ｙ軸に平行な小矢印で示す方向に着磁されている。ただし、２枚とも極の方向は反発可動磁石３３と逆になっている。つまり図の手前側がＳ極、奥側がＮ極となっている。前側ヨーク３６、後側ヨーク３７、及び横ヨーク３８は、反発固定磁石３９の磁束を循環させるためのものであって、鉄等の軟磁性体が用いられる。前側ヨーク３６の裏面についている反発固定磁石３９の奥側つまりＮ極から出た磁束は、後側ヨーク３７の表面についている反発固定磁石３９の手前側つまりＳ極に入り、その反発固定磁石３９の奥側つまりＮ極から出た磁束は、後側ヨーク３７に入り、左右（この場合Ｘ軸のプラス方向とマイナス方向）に分かれて２枚の横ヨーク３８に入り、２枚の横ヨーク３８中をＹ軸のプラス方向に流れて前側ヨーク３６に入り、前側ヨーク３６中でヨーク中央に向かうように流れて前側ヨーク３６の裏面の反発固定磁石３９のＮ極に達する。つまり、この支持ユニットＳＵは、支持方向を法線とする面内で循環するような磁路を形成している。このような磁路を形成して反発固定子３２単体で存在するときの磁束を増やすようにすることで、ヨーク部材を非磁性で構成した場合に比べて反発可動磁石３３が対面したときの反発力を増やすことが出来る。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
このためには、受け渡し位置において、浮上力＜天板１１（物体）の自重、となるようにする必要がある。図４の例では、受け渡し位置において浮上力＝２０．５ｋｇｆであり天板１１の自重より１．５ｋｇｆ小さい。この分の浮上力は微動リニアモータが発生させている。ここで、微動リニアモータが故障すると、１．５ｋｇｆだけ下方向に力がかかるので、天板１１は下方に移動する。この差の１．５ｋｇｆは小さいほど微動リニアモータの発生させる力、ひいては発熱が減る。ゼロになるのがいいのだが、浮上力と天板１１の自重の大小関係だけは保証しておく必要があるので、これも微動天板１１の質量や反発特性の設計値からのずれを見込んで、浮上力と天板１１の自重の大小関係が保証される限りにおいて、できるだけその差を小さくする設計にするのがよい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
以上述べたような各実施形態によれば、Ｚチルトθ微動ステージのθ方向の外乱が減少し、θ方向の位置精度が向上する。また、浮上力と浮上方向変位の関係を表す特性曲線上において、位置決めの対象物に処理がなされる所定位置での接線の傾きが負であって、かつ前記対象物の受け渡し位置における、浮上力＜天板（物体）自重、の条件が成立することにより、微動リニアモータが故障したときに、天板が必ず下に移動するようになって安全な動作をし、反発固定子は磁石の裏にヨークを設けることにより、または天板側の磁石のＸ寸法＜固定側の磁石のＸ寸法、の条件が成立することにより、反発可動子と反発固定子間のＸ方向の負荷変位特性を改善することができ、支持ユニットを複数備えることにより、微動リニアモータが故障したときの姿勢の安定性が向上し倒れ量が小さくて済むようにすることができ、複数の支持ユニット間で装置に対する着磁方向の配置が異なることにより、ＸＹ方向の負荷変位特性を改善し、振動を伝えにくい系にすることができる。