【手続補正書】
【提出日】平成20年6月25日(2008.6.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
展開可能な試料走査機構において、
ドア開放時に試料移送または保管状態から取り出すことができる前面側を有して、１個またはそれ以上の試料の試料セットを保管するキャリヤボックスを収容するよう構成した支持体と、
展開機構に動作可能に連結した互いに離間する第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部を有し、前記展開機構は、前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部を、展開位置と後退位置との間で移動させるものとした走査組立体と、
前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部に関連して前記展開位置で動作可能に設けた光エミッタおよび光センサであって、この光エミッタと光センサとの間で前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部を横切る光伝搬路に沿って光ビームを伝搬する該光エミッタおよび光センサと、
前記キャリヤボックスに保管した試料セットと前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部との間で制御した相対移動を付与し、この相対移動は、前記保管した試料が、展開した位置における前記第１光学コンポーネント取付部と第２光学コンポーネント取付部との間の空間における位置をとらせるものとする位置決め機構であって、前記展開した位置にある前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部は、前記キャリヤボックスに保管した前記試料を跨ぎ、これにより、走査によって前記光伝搬路が前記試料セットにおける各試料に交差し、したがって遮断し、前記後退位置にある前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部は、試料を走査しない処理中に前記キャリヤボックスの開放した前面側へのアクセスするためのクリアランスを生ずるものとした該位置決め機構と
を備えたことを特徴とする試料走査機構。
【請求項２】
請求項１記載の試料走査機構において、前記光エミッタおよび光センサの前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部に対する動作可能な関連は、前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部のうちの一方が前記光エミッタを支持し、他方が前記光センサを支持するものとした試料走査機構。
【請求項３】
請求項２記載の試料走査機構において、前記光伝搬路は、遮断されないとき、前記第１光学コンポーネント取付部と第２光学コンポーネント取付部との間で連続した直線経路とした試料走査機構。
【請求項４】
請求項１記載の試料走査機構において、前記走査組立体の前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部を、前部が開放しているインタフェースの機械的基準システムのコンポーネントに動作可能に連結した試料走査機構。
【請求項５】
請求項４記載の試料走査機構において、前記前部が開放しているインタフェースの機械的基準システムのコンポーネントを、可動コンポーネントとした試料走査機構。
【請求項６】
請求項４記載の試料走査機構において、前記前部が開放しているインタフェースの機械的基準システムのコンポーネントは、前側平面を画定する前面を有し、前記展開機構は、前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部の展開位置では、前記光エミッタおよび光センサを前記前面の前方に突出させ、前記後退位置では前記光エミッタおよび光センサを前記前面の後方に位置するものとした試料走査機構。
【請求項７】
請求項４記載の試料走査機構において、前記前部が開放しているインタフェースの機械的基準システムのコンポーネントは、前部が開放しているインタフェースの機械的基準システムにおける移送ボックスロードインタフェースのポートドアを有するものとした試料走査機構。
【請求項８】
請求項７記載の試料走査機構において、前記ポートドアは、ポートドアの前面平面を画定する前面を有し、前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部は、前記ポートドアに対して動作可能に片持支持するよう連結し、前記展開機構は、前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部を片持ち経路に沿って展開位置に移動させ、前記展開位置は、前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部を前記ポートドアの前記前面の外方に突出させ、また前記後退位置では、前記ポートドアの前記前面の後方に格納するものとした試料走査機構。
【請求項９】
請求項７記載の試料走査機構において、前記キャリヤボックスの前面側は、前側のデータ平面を画定する前側周縁を有するものとし、該試料走査機構は、さらに、前記ポートドアに動作可能に連結した昇降組立体を備え、この昇降組立体は、前記ポートドアを移動させることにより前記位置決め機構と連携動作し、これにより、前記光伝搬路は、前記前面のデータ平面にほぼ平行な移動経路部分に沿って移動するものとした試料走査機構。
【請求項１０】
請求項７記載の試料走査機構において、前記キャリヤボックスの前面側は、前側のデータ平面を画定する前側周縁を有するものとし、該試料走査機構は、さらに、前記ポートドアに動作可能に連結した昇降組立体を備え、この昇降組立体は、前記ポートドアを移動させることにより前記位置決め機構と連携動作し、これにより、前記光伝搬路は、前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部によって走査される前記試料セットにおける各試料に交差する移動経路部分に沿って移動するものとした試料走査機構。
【請求項１１】
請求項１記載の試料走査機構において、前記キャリヤボックスの前面側は、前側のデータ平面を画定する前側周縁を有するものとし、前記光エミッタ、光センサ、光ビームおよび光伝搬路は、それぞれ第１光エミッタ、第１出力信号を発生する第１光センサ、第１光ビームおよび第１光伝搬路を構成し、前記第１光伝搬路は、前記前面側のデータ平面に交差する基準データ面に対して既知の回転方向に第１角度で傾斜するものとし、前記走査機構は、さらに、
前記第１光コンポーネント取付部および第２光コンポーネント取付部に動作可能に関連する第２光エミッタおよび第２光センサであって、展開位置これら第２光エミッタと第２光センサとの間における第２光伝搬路に沿って伝搬しかつ前記第１光コンポーネント取付部および第２光コンポーネント取付部に交差する第２光ビームを形成し、前記第２光センサは、第２出力信号を発生し、また前記第２光伝搬路は、前記基準データ面に対して既知の回転方向に第２角度をなすものとした該第２光エミッタおよび第２光センサと、
前記相対移動に応答して前記前記第１光コンポーネント取付部および第２光コンポーネント取付部により走査される前記試料セットにおける各試料の位置を導き出すことができる情報を与える位置監視装置と、
前記試料セットにおける各試料が前記相対移動に応答して前記第１光伝搬路および第２光伝搬路を遮断するとき、前記第１光センサおよび第２光センサによって生ずる第１出力信号および第２出力信号を受け取ってこれら第１および第２の出力信号の差を取る信号プロセッサであって、前記位置監視装置と連係動作し、前記前記第１光コンポーネント取付部および第２光コンポーネント取付部により走査される前記試料セットにおける各試料に関する位置情報を供給する信号プロセッサと
を有するものとした試料走査機構。
【請求項１２】
請求項１１記載の試料走査機構において、さらに、前部が開放しているインタフェースの機械的基準システムにおける移送ボックスロードインタフェースのポートドアを備え、前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部を前記ポートドアに動作可能に連結した試料走査機構。
【請求項１３】
請求項１２記載の試料走査機構において、前記ポートドアは、このポンプドアの前面表面を画定する前面を有し、前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部は、前記ポートドアに対して動作可能に片持支持するよう連結し、前記展開機構は、前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部を片持ち経路に沿って展開位置に移動させ、前記展開位置は、前記第１光学コンポーネント取付部および第２光学コンポーネント取付部を前記ポートドアの前記前面の外方に突出させ、また前記後退位置では、前記ポートドアの前記前面の後方に格納するものとした試料走査機構。
【請求項１４】  
ステーション固定部、および整合手段を有する取り外し可能な移送ボックスを有し、また前部が開放しているボックスカバーと、この前部開放部を開閉する取り外し可能なボックスドアと、前記移送ボックスの整合手段内に挿入した外部掛止めキーの回転に応動して、前記移送ボックスの整合手段を前記ステーション固定部に釈放可能に取り付ける掛止め機構とを具えた、前部が開放しているインタフェースの機械的基準（ＦＩＭＳ）システムにおいて、
前記ステーション固定部に対して前記移送ボックスの整合手段選択的に掛合または離脱させるよう掛止めキーによって前記ステーション固定部に対して前記移送ボックスの整合手段を結合する掛止めキー組立体であって、前記掛止めキーを、回転軸線の周りに回転可能にし、かつ前記移送ボックスの整合手段と、前記ステーション固定部を互いに整合させて結合するとき、前記移送ボックスの整合手段を前記ステーション固定部に確実に整列保持するよう長手方向軸線に沿う方向に移動可能にした該掛止めキー組立体と、
前記掛止めキーに動作可能に連結した掛止め機構であって、前記掛止めキーを回転軸線の周りに第１角度位置と第２角度位置との間で選択的に回転させ、前記第１角度位置は、前記掛止めキーを前記移送ボックスの整合手段に整列させ、結合または分離し得る位置とした、該掛止め機構と、
前記掛止めキーに動作可能に連結し、この掛止めキーを前記長手方向軸線に沿って移動させる掛止めキープルバック機構と、
を具えたことを特徴とするインタフェースの機械的基準システム。
【請求項１５】
請求項１４記載のシステムにおいて、前記掛止めキーは、掛止めキーハウジング内に回転不能に保持した掛止めキー本体の一部とし、この掛止めキー本体を前記掛止めキーハウジング内で僅かな角度的にわたり移動可能とし、前記移送ボックスの整合手段の公差範囲を許容し、前記ステーション固定部と前記移送ボックスの整合手段との適正な整列が確実に得られるようにしたシステム。
【請求項１６】
請求項１５記載のシステムにおいて、前記掛止めキーハウジングは、前記掛止めキー本体を収容する孔を有し、前記掛止めキー本体は、前記孔の対応部分に整合する形状部分を有し、前記掛止めキー本体のこの形状部分は、前記孔の対応部分よりも小さい寸法とし、前記掛止めキーハウジング内で回転不能ではあるが、角度的に移動可能に保持したシステム。
【請求項１７】
請求項１６記載のシステムにおいて、前記掛止めキー本体の前記孔の対応部分に整合する部分を、６角形形状としたシステム。
【請求項１８】
請求項１５記載のシステムにおいて、前記掛止めキープルバック機構を、前記掛止めキー本体に動作可能に連結し、かつ前記掛止めキーを前記長手方向軸線に沿って往復移動するよう、前記掛止めキーハウジング内で摺動可能なアクチュエータとしたシステム。
【請求項１９】
請求項１８記載のシステムにおいて、前記アクチュエータを流体圧制御装置としたシステム。
【請求項２０】
請求項１８記載のシステムにおいて、前記アクチュエータは、前記長手方向軸線に沿って往復移動するよう取り付けた流体圧作動ピストンを有するものとしたシステム。
【請求項２１】
請求項１４記載のシステムにおいて、前記掛止め機構は、前記回転軸線の周りに回転するよう前記掛止めキーハウジングに連結した部材を有し、この部材を流体圧駆動装置によって位置決めして前記前記掛止めキーハウジングの回転軸線の周りに回転し、これにより、前記掛止めキーを前記第１角度位置と第２角度位置との間で回転させるようにしたシステム。
【請求項２２】
請求項２１記載のシステムにおいて、前記部材は、前記流体圧駆動装置に動作可能に連結する部分と、センサと連係動作して前記掛止めキーの角度位置を表示するよう前記ステーション固定部に取り付けた他の部分とを有するものとしたシステム。
【請求項２３】
請求項１４記載のシステムにおいて、前記ステーション固定部はポートドアを有するものとし、前記移送ボックスの整合手段は、前記取り外し可能なボックスドアの一部を構成し、前記掛止めキー組立体を前記ポートドアによって支持し、前記移送ボックスの整合手段は、前記取り外し可能なボックスドアにおける溝孔を有するものとし、この溝孔内に第１角度位置をとる前記前記掛止めキーが嵌合するものとしたシステム。
【請求項２４】
請求項２３記載のシステムにおいて、前記掛止めキーは、前記掛止めキーハウジング内で回転不能に保持した前記掛止めキー本体の一部とし、前記溝孔は溝孔開口寸法を有し、前記掛止めキー本体は、前記溝孔開口寸法の公差範囲を許容し、前記掛止めキーハウジング内で角度的には移動可能とし、前記掛止めキーと前記取り外し可能なボックスドアにおける溝孔とが適正に整列することが確実に行われるようにしたシステム。
【請求項２５】
請求項１４記載のシステムにおいて、前記ステーション固定部は、前記取り外し可能な移送ボックスが休止する支持部材を有するものとし、前記移送ボックスの整合手段は、前記前部が開放するボックスカバーの一部を構成し、前記掛止めキー組立体を、前記支持部材に支持し、前記移送ボックスの整合手段は、前記前部が開放したボックスカバーにおける中心保持手段を有するものとし、前記掛止めキーが前記第１角度位置にあるときこの掛止めキーが前記中心保持手段に嵌合するものとしたシステム。
【請求項２６】
請求項２５記載のシステムにおいて、前記掛止めキーは、前記掛止めキーハウジング内で回転不能に保持した前記掛止めキー本体の一部とし、前記中心保持手段は溝孔開口寸法を有し、前記掛止めキー本体は、前記溝孔開口寸法の公差範囲を許容し、前記掛止めキーハウジング内で角度的には移動可能とし、前記掛止めキーと前記前記前部が開放するボックスカバーの前記中心保持手段とが適正に整列することが確実に行われるようにしたシステム。
【請求項２７】
請求項２３記載のシステムにおいて、前記移送ボックスの整合手段は、第１溝孔を有する第１移送ボックス整合手段を構成し、前記掛止めキー組立体は、第１掛止めキーを有する第１掛止めキー組立体を構成し、前記回転軸線は、第１回転軸線を構成し、前記掛止め機構は、第１前記掛止め機構を構成し、前記掛止めキープルバック機構は、第１掛止めキープルバック機構を構成し、前記長手方向軸線は、第１長手方向軸線を構成するものとし、前記システムは、さらに、
第２溝孔を有する第２移送ボックス整合手段と、
第２回転軸線の周りに回転可能な第２掛止めキーを有する第２掛止めキー組立体と、
前記第２掛止めキーに動作可能に連結し、前記第２掛止めキーを第２回転軸線の周りに第１角度位置と第２角度位置との間で選択的に回転させる第２掛止め機構と、
前記第２掛止めキーに動作可能に連結し、前記第２掛止めキーを第２長手方向軸線に沿って移動させる第２掛止めプルバック機構と、
を具え、
前記第１および第２の掛止め機構および前記第１および第２の掛止めプルバック機構が連係動作して、前記第１および第２の掛止めキーが対応の第１および第２の溝孔に整合して結合するとき前記第１および第２の掛止めキーを選択的に前記第１角度位置から前記第２角度位置に回転させ、ついで前記第１および第２の掛止めキーを前記第１および第２の長手方向軸線に沿って移動させ、前記第１および第２の掛止めキーを前記取り外し可能なボックスドアに固定するようにした
システム。
【請求項２８】
請求項２７記載のシステムにおいて、前記第１掛止めキーを、第１掛止めハウジング内で回転不能に保持する第１掛止めキー本体の一部とし、前記第２掛止めキーは、第２掛止めキーハウジング内で回転不能に保持する第２掛止めキー本体を有し、前記第１掛止めキー本体を前記第１掛止めキーハウジング内で角度的には移動可能とし、また第２掛止めキー本体を前記第２掛止めキーハウジング内で角度的には移動可能とし、前記移送ボックスの整合手段の公差範囲を許容し、前記第１および第２の掛止めキーと前記取り外し可能なドアにおける前記第１および第２の溝孔とが適正に整列することが確実に行われるようにしたシステム。
【請求項２９】
請求項１４記載のシステムにおいて、前記掛止めキーが前記第２角度位置にあるとき、前記掛止めキープルバック機構は、前記掛止めキーを前記長手方向軸線に沿って移動させ、前記掛止めキーの前記移送ボックスの整合手段に対する固定および釈放を確実に行うようにしたシステム。