(57)【要約】  少なくともその表面が絶縁性を有する基板上に高分子と結合した金属ナノ微粒子を含む溶液を滴下してパターンを作成し、前記基板上を乾燥させた後に、前記パターンにプラズマを照射する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともその表面が絶縁性を有する基板上に高分子と結合した金属ナノ微粒子を付着させ、
前記基板上を乾燥させた後に、前記パターンにプラズマを照射することを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【請求項２】
請求項１に記載の金属ナノ微粒子の固定化方法において、前記高分子は、水溶性の有機化合物を含むことを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の金属ナノ微粒子の固定化方法において、前記高分子は、ＤＮＡを含むことを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の金属ナノ微粒子の固定化方法において、前記プラズマは、酸素プラズマであることを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の金属ナノ微粒子の固定化方法において、前記金属ナノ微粒子は、金ナノ微粒子であることを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の金属ナノ微粒子の固定化方法において、前記プラズマの照射後に、前記基板の表面を洗浄し、ＤＮＡ鎖の一端末を前記金属ナノ微粒子に結合させると共に、前記ＤＮＡ鎖を一方向に整列させることを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【請求項７】
請求項６に記載の金属ナノ微粒子の固定化方法において、前記ＤＮＡ鎖はチオール化されたＤＮＡであることを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の金属ナノ微粒子の固定化方法において、前記付着させる工程は、金属ナノ微粒子を含む溶液を滴下し、侵せきし、又はＬＢ法を用いて付着させる工程を含むことを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の金属ナノ微粒子の固定化方法において、前記プラズマ照射のプラズマの出力は、５０Ｗ以下であることを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の金属ナノ微粒子の固定化方法において、前記プラズマ照射のプラズマの照射時間は３０秒から２分の間であることを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属ナノ微粒子の固定化方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、微細加工技術・分子合成技術の発達により、単体もしくは数個の分子の機能を用いたデバイスの作製が求められている。ＤＮＡは情報を含んだ１次元ワイヤーであり、合成プロセスも良く確立しており、商業的な供給体制も整っているなど、材料として優れた特質や条件を有している。ナノスケール分子デバイスへの応用を念頭に、ＤＮＡを用いた金ナノ微粒子配列の研究が盛んに行なわれている。これまでの自己組織的構造体形成の研究には、溶液中に構造体の構成要素を投入し、溶液中あるいは、キャステイングの過程で一挙に自己組織化を行うもの（one pot process）が多い。しかし、極めて異質な複数の物質（材料）で構成される分子デバイスを形成するには、段階的で逐次反応的な自己組織化が必要である。逐次反応的な自己組織化は生体内では極めて巧みに行われていて、しかもごくありふれたものである。しかし、逐次反応的な自己組織化を人工的な系で実現していくための設計指針は未だ確立していない。しかし、分子は、その構造により基板上で自己組織化構造と呼ばれる特徴的な自己集合構造をとることが知られている。また、基板上への展開条件により、ナノスケールを有する分子構造を配向・配列制御ができるなど、基板上の分子構造に関して表面科学は大きなバックグラウンドを持っており、分子デバイスへの技術応用が有望である。なお、上記のような逐次的な自己組織化を、本明細書では、「シーケンシャル自己組織化」と称する。【０００３】
上記のようなナノ分子構造を直接利用したデバイスを作製するためには、このナノ分子構造のサイズを下回るような間隙幅を持つ電極（本明細書において、このような微小な電極を総称して「微小電極」と称する）が必要である。  
上記のような微少電極を作製するために、電気化学的にＤＮＡ鎖上に金属を析出させて、ナノサイズの導線として利用しようとする試みがある（非特許文献１「Kinneret Keren, Michael Krueger, Rachel Gilad, Gdalyahu Ben-Yoseph, Uri Sivan, and Erez Braun. Science. 279, (2002)72-75」及び非特許文献２「K. Keren, Y. Soen, G. Ben Yoseph, R, Gilad, E. Braun, U. Sivan, and Y. Talmon. Phy. Rev. lett., 89, (2002) 088103-1-088103-4」参照）。この方法で、確かにナノスケールの「導線」をつくることは可能である。しかし、図９Ａと図９Ｂに示すＡＦＭ像からも分かる通り、その直径はかなり太く、ごろごろとした微粒子が不均一な凝集体を形成して連なっている。このような細線では、単一分子レベルの素子形成に使えないのは明らかである。【０００４】
一方、均一な粒径を有する金ナノ微粒子をＤＮＡ鎖に沿って配列する試みも広く行われている。金ナノ微粒子とＤＮＡの混合水溶液を基板上にキャストすれば、図９Ｃに示すように、金ナノ微粒子がＤＮＡ上にのみ付着することが知られている（非特許文献３「Hidenobu Nakao, Hiroshi Shiigi, Yojiro Yamamoto, Shiho Tokonami, Tsutomu Nagaoka, Shigeru Sugiyama and Toshio Ohtani, Nano Lett.; 3 (2003) 1391-1394.」参照）。さらに、図９Ｄに示すように、塩基配列を工夫してＤＮＡによる構造体を作成し、この構造体をテンプレートとして金ナノ微粒子を配列して、金ナノ微粒子間の距離と配置に成功した例もある（非特許文献４「John D. Le, Yariv Pinto, Nadrian C. Seeman, Karin Musier-Forsyth, T. Andrew Taton, and Richard A. Kiehl. Nano Lett., 4 (2004) 2343-2347.」参照）
これらの従来技術はいずれもＤＮＡと金ナノ微粒子を使った自己組織化の成功例として高い評価を受けている。しかし、これらの結果に基づいて個々の分子機能が現れるような分子スケールデバイスを形成するのは、極めて困難である。この理由は以下の通りである。【０００５】
１）金ナノ微粒子表面が有機分子層や抗体に覆われているため、電気的接触が難しい。  
２）金ナノ微粒子／ＤＮＡの構造が水溶性であるため、微粒子間に親水性分子を導入するのが難しい。【０００６】
上記のように、従来では、ボトムアップの手法によってナノスケールの微粒子（以下、「ナノ微粒子」と称する）や分子など複数の構成要素を組み上げて構造体を作る場合に、これらの構成要素の多くは溶液中で合成される。このため、溶液の混合によって溶液中で構造体を作製することが多い。しかし、固体基板上に構造体を形成する場合には、構成要素の数が多いほど逐次的に溶液を滴下し基板上で構成要素を結合させて付加する方がより現実的である。そのためには構造体が次の操作によって破壊されないことが必要である。水溶性の金ナノ微粒子をマイカ上に分散した場合において、このナノ微粒子に他の水溶性の構成要素を結合させるためにその水溶液を滴下すると、ナノ粒子が水溶性であるために水溶液中へ脱離し流失してしまう。このため、基板上に構造体を形成することはできない。
【発明の開示】
【０００７】
本発明は、シーケンシャル自己組織化を可能とする金属ナノ微粒子の固定化方法を提供することを目的とする。
【０００８】
シーケンシャル自己組織化に必要な条件として、  
（ａ）前段階の構造を破壊しないで（必要なものだけ残して）、次のステップの構造形成が行われること。  
（ｂ）次段階の物質導入が適切に行える反応性を有すること。  
があげられる。
【０００９】
金ナノ微粒子が水溶性であるのは、水に水和できる置換基を有する分子で表面を覆われているためである。従って、これを除去すれば、水溶性が失われる。また、同時にチオール分子との反応性を高くなる。本発明では、酸素プラズマを照射して、微粒子を覆う有機分子を取り除いている。これにより、基板上における金ナノ微粒子は水に対して不溶になり、金ナノ微粒子の表面は活性化する。
【００１０】
本発明の局面に係る発明は、少なくともその表面が絶縁性を有する基板上に高分子と結合した金属ナノ微粒子を付着させ、前記基板上を乾燥させた後に、前記パターンにプラズマを照射することを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法である。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る金属ナノ微粒子の固定化法の流れを示す図である。
【図２Ａ】酸素プラズマ照射前後の基板表面の状態を示す図であって、（ａ）酸素プラズマ照射前の基板上に形成されたＤＮＡネットワーク構造を示す図と、（ｂ）酸素プラズマ照射後の基板表面の状態を示す図である。
【図２Ｂ】酸素プラズマ照射前後の基板表面の状態を示す図であって、図２Ａは酸素プラズマ照射前の基板上に形成されたＤＮＡネットワーク構造を示す図と、図２Ｂは酸素プラズマ照射後の基板表面の状態を示す図である。
【図３Ａ】本発明の一実施形態に係る金ナノ微粒子の固定化法によって金ナノ微粒子を固定化した基板をリンスした場合における金ナノ微粒子の基板からの離脱状況を示す図である。
【図３Ｂ】本発明の一実施形態に係る金ナノ微粒子の固定化法によって金ナノ微粒子を固定化した基板をリンスした場合における金ナノ微粒子の基板からの離脱状況を示す図である。
【図３Ｃ】本発明の一実施形態に係る金ナノ微粒子の固定化法によって金ナノ微粒子を固定化した基板をリンスした場合における金ナノ微粒子の基板からの離脱状況を示す図である。
【図４Ａ】従来の方法によって金ナノ微粒子を固定化した基板をリンスした場合における金ナノ微粒子の基板からの離脱状況を示す図である。
【図４Ｂ】従来の方法によって金ナノ微粒子を固定化した基板をリンスした場合における金ナノ微粒子の基板からの離脱状況を示す図である。
【図４Ｃ】従来の方法によって金ナノ微粒子を固定化した基板をリンスした場合における金ナノ微粒子の基板からの離脱状況を示す図である。
【図５】リンスの前における観察された金ナノ微粒子の数を１００とした場合のリンスによる金ナノ微粒子の離脱率を示すグラフである。
【図６】酸素プラズマ照射により、ＮＤＡネットワークや有機物などが除去される様子を示す図である。
【図７】一末端がＳＨ−ｄｓＤＮＡを基板上に滴下して乾燥させた場合のＤＮＡの様子を示す図である。
【図８Ａ】本発明の実施形態による固定化法で基板に固定された金ナノ微粒子に結合したＤＮＡが一方向に伸張する様子を示す図である。
【図８Ｂ】本発明の実施形態による固定化法で基板に固定された金ナノ微粒子に結合したＤＮＡが一方向に伸張する様子を示す図である。
【図９Ａ】従来の技術を説明するための図である。
【図９Ｂ】従来の技術を説明するための図である。
【図９Ｃ】従来の技術を説明するための図である。
【図９Ｄ】従来の技術を説明するための図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る金属ナノ微粒子（なお、以下の説明では、金属として、「金」を使用するので、「金ナノ微粒子」と称する）の固定化法の流れを示す図である。図１において、図１（ａ）〜図１（ｃ）は、従来の固定化法の概略の流れを示す図であり、図１（ｄ）〜図１（ｈ）が、本発明に係る固定化法の概略の流れを示す図である。なお、以下の実施形態では、基板に固定化させる金属の微粒子を金ナノ微粒子とし、非特許文献３「Hidenobu Nakao, Hiroshi Shiigi, Yojiro Yamamoto, Shiho Tokonami, Tsutomu Nagaoka, Shigeru Sugiyama and Toshio Ohtani, Nano Lett.; 3 (2003) 1391-1394.」と同様に金ナノ微粒子とＤＮＡの混合水溶液を基板上にキャストしたものとする。【００１３】
本発明の骨子は、プラズマ照射（本実施態様では、酸素プラズマを使用しているので、以下「酸素プラズマ照射」と称する）によって、水溶性の金ナノ微粒子を基板の表面に固定化することである。また、このプラズマ処理により、金微ナノ粒子表面の有機物層を除去できるため、表面に固定化された金ナノ微粒子をアンカーとして、チオール基を有する分子を接続することが可能である。【００１４】
従来では、まず、水溶性金ナノ微粒子（ＡｕＮＰ）を絶縁性の基板上に固定化する（図１（ａ））。次に、基板を水でリンス（洗浄）して、基板に付着したゴミなどを取り除く（図１（ｂ））。すると、金ナノ微粒子が水溶性であるため、リンスにより必要な金ナノ微粒子までも基板から取り除かれてしまう（図１（ｃ））。【００１５】
一方、本実施形態では、金ナノ微粒子とＤＮＡの混合水溶液（ＡｕＮＰ−ＤＮＡ）を基板上に固定化した後に（図１（ｄ））、酸素プラズマを照射して、アッシングを行っている（図１（ｅ））。すると、ＤＮＡ分子が分解されて、金ナノ微粒子のみが基板上に残る。この場合において、基板上に残った金ナノ微粒子は水溶性ではなくなるので、リンスをしても（図１（ｆ））、基板上に残る（図１（ｇ））。この基板上に残った金ナノ微粒子の表面の活性度は高いので、例えばチオール分子との反応性が高くなる。これにより、金ナノ微粒子と水溶性の末端二重鎖ＤＮＡ（（ｄｓＤＮＡ−ＳＨ）ａｑ）とを合成することができる（図１（ｈ））。【００１６】
以下、具体的に、実際の製造手順とその製造によって作製された電極について説明する。なお、本実施態様に係る装置は、基板上にＤＮＡを滴下するための分注装置や、乾燥機、及び洗浄装置などの従来の装置と同様であるので、図示及び説明を省略する。【００１７】
まず、平均の粒径が５ｎｍの水溶性金ナノ微粒子を、水溶液に、５×１０１３個／ｍｌの濃度で溶解する。そして、２５Ｕ（１２５０ｎｇ／ｌ）のＤＮＡと３×１０１４個／ｍｌの濃度の金ナノ微粒子を混合して、遠心分離する。そして、金ナノ微粒子（とＤＮＡ）を、絶縁性基板の表面にキャストして、１〜３分後にブローして乾燥させる。これによりネットワーク状の構造が作製される（図２Ａ参照）。図２Ａに示すように、水溶性の金ナノ微粒子とそれらをつなぐように形成されたＤＮＡのネットワーク構造が形成されている。そして、酸素プラズマを基板に照射すると、ＤＮＡのネットワーク構造が観察されなくなった（図２Ｂ参照）。なお、この場合において、酸素プラズマの照射前（図２Ａ）と照射後（図２Ｂ）におけるＡｕＮＰの数は、それぞれ、９μｍ２（３μｍ×３μｍ）当り、４７４±２４個と５１８±３５個である。なお、酸素プラズマは、１Ｔｏｒｒの圧力で１分間、４０Ｗの出力で照射した。プラズマの出力条件は、４０Ｗとしたが、出力が低すぎるとプラズマ放電そのものが起こらなくなるため、所定以上の出力は必要であるが、本実施形態では、５０Ｗ以下であることが好ましい。また、照射時間は、１分間としたが、３０秒から２分の間であることが好ましい。このような条件により、金微粒子動かさないようにして表面だけを改質することができる。この酸素プラズマ処理は、半導体プ口セスで広く用いられている、ドライエッチングの方法のひとつであり、酸素プラズマによって誘起された活性酸素（酸素ラジカル）が有機物をＣＯ２とＨ２Ｏに分解、気化することで、有機物を除去することができる。なお、酸素プラズマは、溶液を使うウェット方式に比べて、有害な廃液等が出ないため、環境負荷の小さな技術である。【００１８】
次に、酸素プラズマ照射後における基板のリンスを行った。リンスは、無極性溶媒としてクロロホルム、極性溶媒として水を用いた。酸素プラズマ照射後において、９μｍ２当り、５１８±３５個のＡｕＮＰが基板上に残っていたが（図３Ａ参照）、クロロホルムによるリンス後では、４５２±２３個であり（図３Ｂ参照）、水によるリンス後では、５０７±３４個である（図３Ｃ参照）。従って、酸素プラズマ照射後では、金ナノ微粒子は、無極性溶媒及び極性溶媒のいずれのリンスでもほとんど脱離しないことが確認された。【００１９】
比較例として、酸素プラズマを照射しない場合について、図４Ａから図４Ｃを参照して説明する。金ナノ微粒子を含む溶液を滴下した直後にブローした場合には、９μｍ２当り、５２．８５±９．３５個のＡｕＮＰが基板上に残っていたが、（図４Ａ参照）、クロロホルムによるリンス後では、５１．０５±７．８９個であり（図４Ｂ参照）、水によるリンス後では、１４．５５±３．９９個である（図４Ｃ参照）。従って、酸素プラズマを照射しない場合には、金ナノ微粒子は、無極性溶媒であるクロロホルムによるリンスでは、ほとんど離脱しないものの、極性溶媒である水によるリンスではかなりの数の金ナノ微粒子が離脱していることがわかる。【００２０】
図５は、リンスの前における観察された金ナノ微粒子の数を１００とした場合のリンスによる金ナノ微粒子の離脱率を示すグラフである。図５に示すように、無極性溶媒であるクロロホルムによるリンスの場合には、酸素プラズマの照射如何に関わらず金ナノ微粒子の離脱率に変化はないが、極性溶媒である水によるリンスの場合には、離脱率に約４倍以上の差がみられる。このことは、図６に示すように、金ナノ微粒子を含む溶液を滴下すると、ＤＮＡのネットワーク構造が形成される（図６（ａ）参照）。このとき、金ナノ微粒子の周囲が有機物で覆われている。この状態の基板に対して酸素プラズマを照射することにより、ＤＮＡと有機物が分解されて基板の表面に金ナノ微粒子の活性表面が露出することになる（図６（ｂ）参照）。【００２１】
このようにして得られた金ナノ微粒子に対して、一末端がＳＨ−ｄｓＤＮＡを結合させた例について説明する。  
一末端がＳＨ−ｄｓＤＮＡを基板上に滴下して乾燥させた場合、図７に示すように、方向及び形状共に、方向性がみられず、かつ、金ナノ微粒子と結合していないものが多いことがわかる。しかし、図８Ａ及び図８Ｂに示すように、水を一方向（矢印で示す方向）にフローしたり（図８Ａ）、一方向にブローすることで（図８Ｂ）、金ナノ微粒子に一末端が結合し（すなわち、一末端に固定され）、一方向に伸張したＤＮＡが観察された。なお、金ナノ微粒子に結合していないＤＮＡのほとんどは流失して観察されていない。このことから、金ナノ微粒子は水溶液中でも基板上に安定に存在すること、金ナノ微粒子とチオールが強く結合していること、更に、ＤＮＡが金ナノ微粒子を介して基板に固定されていることがわかる。【００２２】
上記のように、本発明の実施形態では、マイカ上に形成したＤＮＡの網状構造上に金ナノ微粒子が吸着した複合体に酸素プラズマを照射することにより、ＤＮＡを消失させて金ナノ微粒子を残存させている。この金ナノ粒子は水によっても脱離が起きずマイカ上に固定できる。また、片方の末端をチオール修飾したＤＮＡの水溶液を一方向に流し乾燥させることで、固定化されたナノ粒子を始点として金−チオール結合によって固定されフロー方向にＤＮＡが伸びた構造が形成されることができ、この手法がナノ構造体の逐次的形成に有効である。【００２３】
なお、上記の実施形態のように、本発明では、酸素プラズマにより、ＤＮＡや有機物をアッシングして、取り除くことにより、金ナノ微粒子を基板に固定しているので、基板は酸素プラズマ照射により劣化しないものであることが好ましく、例えば、Ｓｉ基板の表面を酸化してＳｉＯ２層を形成したものであっても良く、その他、マイカ（雲母）、サファイア、ＭｇＯ、ガラス、チタン酸化物などの基板表面が酸化物或いは酸化物で覆うことが可能なものであればどのような基板を採用しても良い。また、試料自体が、酸素プラズマ照射でエッチングされるような材料（レジストなど）を含まないことが好ましいのはもちろんである。【００２４】
酸素プラズマ照射装置は、通常使用されている装置を使用すればよいが、清浄であり、プラズマ照射による表面汚染が生じないことが好ましい。更に、プラズマ照射は、有機物を取り除くのに必要充分な最小のパワーと照射時間でおこなわれることが好ましい。【００２５】
本発明は、上記各実施の形態に限ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。  
上記の実施形態では、金属微粒子として、金ナノ微粒子を例に挙げて説明したが、金に限らず、例えば、銀、白金、コバルト、鉄、Ｃｄ−Ｓｅなどであっても良い。また、試料に照射するプラズマについても、酸素プラズマがＤＮＡや有機物の分解に最もふさわしいが、酸素プラズマに限らず、有機物を分解できるようなものであれば、どのようなものを照射してＤＮＡその他の有機物を分解しても良い。  
また、上記の実施形態では、金属ナノ微粒子を含む溶液を液滴により基板上に付着させたが、これに限らず、侵せきや、ＬＢ法（ラングミュア−ブロシェット法）等で付着させるようにしても良い。  
さらに、上記各実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合せにより種々の発明が抽出され得る。【００２６】
また、例えば各実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明によれば、シーケンシャル自己組織化を可能とする金属ナノ微粒子の固定化方法を提供できる。更に、本発明により、バイオチップの基板やナノセンサの製造に応用することができる。
【図１】
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【図５】
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【図６】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図９Ｄ】
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【手続補正書】
【提出日】平成19年10月19日(2007.10.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともその表面が絶縁性を有する基板上にＤＮＡと結合した金属ナノ微粒子を付着させ、
前記基板上をブロー乾燥させることによってネットワーク状の構造を作製し、
前記金属ナノ微粒子に対し、５０Ｗ以下の出力で３０秒から２分の間にわたってプラズマを照射し、前記ＤＮＡを分解および除去し、前記金属ナノ微粒子を凝集させずに前記基板上に固定化することを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【請求項２】
少なくともその表面が絶縁性を有する基板上にＤＮＡと結合した金属ナノ微粒子を付着させ、
前記基板上をブロー乾燥させることによってネットワーク状の構造を作製し、
前記金属ナノ微粒子に対し、５０Ｗ以下の出力で３０秒から２分の間にわたってプラズマを照射し、前記ＤＮＡを分解および除去し、前記金属ナノ微粒子を動かさないようにして前記基板上に固定化することを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【請求項３】
（削除）
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の金属ナノ微粒子の固定化方法において、前記プラズマは、酸素プラズマであることを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【請求項５】
請求項１、２または４のいずれか１項に記載の金属ナノ微粒子の固定化方法において、前記金属ナノ微粒子は、金ナノ微粒子であることを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【請求項６】
請求項１、２、４または５のいずれか１項に記載の金属ナノ微粒子の固定化方法において、前記プラズマの照射後に、前記基板の表面を洗浄し、ＤＮＡ鎖の一端末を前記金属ナノ微粒子に結合させると共に、前記ＤＮＡ鎖を一方向に整列させることを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【請求項７】
請求項６に記載の金属ナノ微粒子の固定化方法において、前記ＤＮＡ鎖はチオール化されたＤＮＡであることを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【請求項８】
請求項１、２または４〜７のいずれか１項に記載の金属ナノ微粒子の固定化方法において、前記付着させる工程は、金属ナノ微粒子を含む溶液を滴下し、侵せきし、又はＬＢ法を用いて付着させる工程を含むことを特徴とする金属ナノ微粒子の固定化方法。
【国際調査報告】
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2007108480.tif 000026
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