【手続補正書】
【提出日】平成19年6月20日(2007.6.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、下記一般式（１）で示される構造を有するポリアクリレート樹脂と、縮合性の架橋剤と、を含むポジ型の感光性樹脂組成物。
【化１】
2006011182.tif 000001
（式中、Xは水酸基、炭素数２〜４アルキロール基またはメチロールアミノ基を示す。R1及びR2はそれぞれ独立して水素原子、または炭素数1〜3のアルキル基を示す。R3は炭素数1〜3のアルキル基、炭素数1〜3のアルコキシル基、アリール基またはアルキル基の炭素数が１〜２のアラルキル基を示す。nは正の整数、mは0または正の整数である。）
【請求項２】
前記縮合性の架橋剤が、下記一般式（２）で示されるメラミン化合物およびその縮合物の少なくとも１種であることを特徴とする請求項１に記載のポジ型の感光性樹脂組成物。
【化２】
2006011182.tif 000002
（式中、Ｒ1〜Ｒ6はそれぞれ独立して水素原子、メチロール基または炭素数１〜４のアルコキシ基が結合したアルコキシメチル基を示す。ただし、Ｒ1〜Ｒ6のうち少なくとも２つはメチロール基または炭素数１〜４のアルコキシ基が結合したアルコキシメチル基を示す。）
【請求項３】
前記感光性樹脂組成物は、加熱により前記縮合性の架橋剤を介した分子間架橋反応が進行し、光の照射により主鎖分解型分子崩壊反応が進行するものであることを特徴とする請求項１または２に記載のポジ型の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記感光性樹脂組成物が光酸発生剤を更に含み、光の照射による主鎖分解型分子崩壊反応と、光の照射によって発生した酸による架橋部位の分解反応が同時に進行するものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のポジ型の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記光酸発生剤が、芳香族スルフォニウム塩および芳香族ヨードニウム塩およびトリアジン化合物から選択された少なくとも１種であることを特徴とする請求項４に記載のポジ型の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するインク流路と、インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、を備えるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記エネルギー発生素子を備える基板を用意する工程と、
前記基板上に前記エネルギー発生素子を被覆するように、溶解除去が可能な感光性樹脂層を形成する工程と、
前記感光性樹脂層をパターニングすることでインク流路パターンを形成する工程と、
前記インク流路パターン上にインク流路壁を形成するための被覆樹脂層を形成する工程と、
前記被覆樹脂層に吐出口を形成する工程と、
前記インク流路パターンを溶解除去して前記吐出口に連通するインク流路を形成する工程と、
を有し、
前記溶解除去が可能な感光性樹脂層として、少なくとも、下記一般式（１）で示される構造を有するポリアクリレート樹脂と、下記一般式（２）で示されるメラミン化合物およびその縮合物の少なくとも１種である縮合性の架橋剤と、を含む、ポジ型の感光性樹脂組成物を用いることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【化３】
2006011182.tif 000003
（式中、Xは水酸基、炭素数２〜４アルキロール基またはメチロールアミノ基を示す。R1及びR2はそれぞれ独立して水素原子、または炭素数1〜3のアルキル基を示す。R3は炭素数1〜3のアルキル基、炭素数1〜3のアルコキシル基、アリール基またはアルキル基の炭素数が１〜２のアラルキル基を示す。nは正の整数、mは0または正の整数である。）
【化４】
2006011182.tif 000004
（式中、Ｒ1〜Ｒ6はそれぞれ独立して水素原子、メチロール基または炭素数１〜４のアルコキシ基が結合したアルコキシメチル基を示す。ただし、Ｒ1〜Ｒ6のうち少なくとも２つはメチロール基または炭素数１〜４のアルコキシ基が結合したアルコキシメチル基を示す。）
【請求項７】
前記ポジ型の感光性樹脂組成物が、光酸発生剤を更に含むことを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記光酸発生剤が、芳香族スルフォニウム塩および芳香族ヨードニウム塩およびトリアジン化合物から選択された少なくとも１種であることを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記インク流路パターンを形成する工程において用いる、前記ポジ型の感光性樹脂組成物の現像液として、少なくとも
（１）水と任意の割合で混合可能な炭素数６以上のグリコールエーテルと、
（２）含窒素塩基性有機溶剤と、
（３）水と、
を含有する現像液を用いることを特徴とする請求項６〜８のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記グリコールエーテルが、エチレングリコールモノブチルエーテルおよびジエチレングリコールモノブチルエーテルの少なくとも１種であることを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記含窒素塩基性有機溶剤が、エタノールアミンおよびモルホリンの少なくとも１種であることを特徴とする請求項９または１０に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記被覆樹脂層が、硬化可能なエポキシ化合物を少なくとも含有することを特徴とする請求項６〜１１のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記被覆樹脂層が、光カチオン重合開始剤を含むことを特徴とする請求項６〜１２のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記エネルギー発生素子が、電気熱変換素子であることを特徴とする請求項６〜１３のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１５】
請求項６〜１４のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法により製造されたインクジェットヘッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明にかかるポジ型の感光性樹脂組成物は、少なくとも、下記一般式（１）で示される構造を有するポリアクリレート樹脂と、縮合性の架橋剤と、を含むポジ型の感光性樹脂組成物である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
（式中、Xは水酸基、炭素数２〜４アルキロール基またはメチロールアミノ基を示す。R1及びR2はそれぞれ独立して水素原子、または炭素数1〜3のアルキル基を示す。R3は炭素数1〜3のアルキル基、炭素数1〜3のアルコキシル基、アリール基またはアルキル基の炭素数が１〜２のアラルキル基を示す。nは正の整数、mは0または正の整数である。）
本発明にかかるインクジェットヘッドの製造方法は、インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するインク流路と、インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、を備えるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記エネルギー発生素子を備える基板を用意する工程と、
前記基板上に前記エネルギー発生素子を被覆するように、溶解除去が可能な感光性樹脂層を形成する工程と、
前記感光性樹脂層をパターニングすることでインク流路パターンを形成する工程と、
前記インク流路パターン上にインク流路壁を形成するための被覆樹脂層を形成する工程と、
前記被覆樹脂層に吐出口を形成する工程と、
前記インク流路パターンを溶解除去して前記吐出口に連通するインク流路を形成する工程と、
を有し、
前記溶解除去が可能な感光性樹脂層として、少なくとも、下記一般式（１）で示される構造を有するポリアクリレート樹脂と、下記一般式（２）で示されるメラミン化合物およびその縮合物の少なくとも１種である縮合性の架橋剤と、を含む、ポジ型の感光性樹脂組成物を用いることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
（式中、Xは水酸基、炭素数２〜４アルキロール基またはメチロールアミノ基を示す。R1及びR2はそれぞれ独立して水素原子、または炭素数1〜3のアルキル基を示す。R3は炭素数1〜3のアルキル基、炭素数1〜3のアルコキシル基、アリール基またはアルキル基の炭素数が１〜２のアラルキル基を示す。nは正の整数、mは0または正の整数である。）
なお、上記式（１）におけるＲ1〜Ｒ3は各単位において独立して上記の意味を示す。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
（式中、Ｒ1〜Ｒ6はそれぞれ独立して水素原子、メチロール基または炭素数１〜４のアルコキシ基が結合したアルコキシメチル基を示す。ただし、Ｒ1〜Ｒ6のうち少なくとも２つはメチロール基または炭素数１〜４のアルコキシ基が結合したアルコキシメチル基を示す。）
なお、上記式（２）におけるＲ1〜Ｒ6は各単位において独立して上記の意味を示す。