【手続補正書】
【提出日】平成19年9月10日(2007.9.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記センサは、センサボードと、互いに平行に並ぶライン状の２つの光検知センサが前記露光ヘッドの並ぶ方向に対して所定の角度で配置された２組のセンサセットとを有し、
光検知センサは、各前記センサセットごとで異なる前記所定の角度を有するように前記センサボード上に配置される請求項１に記載の自動補正方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
図１７は、従来例の直接露光装置の露光ヘッドを例示する図である。図中、ＤＭＤで構成される露光ヘッド２００−Ａ、２００−Ｂおよび２００−ＣのＤＭＤの微小ミラーを丸印（参照符号Ｑ）で示す。なお、図１７に示す露光ヘッド２００−Ａ、２００−Ｂおよび２００−Ｃならびにこれらに２次元配列される微小ミラーＱの数および相対的な大きさはあくまでも例示的に示したものである。通常、１つの露光ヘッドで露光対象基板全体の領域を露光することができないので、複数の露光ヘッド２００−Ａ、２００−Ｂおよび２００−Ｃを露光対象基板の相対移動方向に直交する方向に並べ、これを露光処理に用いている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
このように、直接露光装置においては、露光素子による複数回の光の照射により積算された光エネルギーが露光対象基板上の感光剤の閾値を超えるか否かにより、所望の露光プロセスが完了するか否かが決定される。したがって、露光素子の個数が十分に多ければ、例えばＤＭＤによるパターニング方式におけるＤＭＤの微小ミラーやＬＣＤ素子の駆動トランジスタなどの欠陥によりいくつかの露光素子が正常に発光しないことがあっても、最終的な露光結果には重大な影響を及す可能性は少ない。つまりこのような露光素子の個数の冗長性が、直接露光装置の信頼性の根拠となっている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図３に示すように、隣接する露光ヘッド２００−Ａおよび２００−Ｂに別々に含まれかつ露光対象基板の同一の露光ラインα上を露光すべき２つの露光素子ＱＡおよびＱＢ’のみを点灯させておいて、露光ヘッドの並ぶ方向にセンサボード１１を移動させる。すると、センサボード１１が図４に示す位置に達したとき、センサセット２０Ｂの光検知センサ３０Ｄが露光素子ＱＡの点灯を検知する。露光素子ＱＢ’が、露光素子ＱＡと同一の露光ライン上である設計上の位置ＱＢ（図中、点線の丸印で示す。）にある場合は、センサセット２０Ｂ中の光検知センサ３０Ｄによる露光素子ＱＡの点灯の検知と同時に、センサセット２０Ｂ中にある光検知センサ３０Ｃも位置ＱＢにおいて露光素子の点灯を検知するが、しかしながらここでは当該露光素子は上述のように図中の位置ＱＢ’にずれてしまっていると仮定したので光検知センサ３０Ｃによる点灯の検知はない。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
センサボード１１がさらに移動すると、図５に示すように、センサセット２０Ｂの光検知センサ３０Ｃが、露光素子ＱＢ’の点灯を検知する。すなわち露光素子ＱＢ’の位置ズレにより、同じセンサセット２０Ｂ中にある光検知センサ３０Ｃと光検知センサ３０Ｄとで露光素子の点灯の検知に時間差が生じる。この時間差をｔ１（以下、「検知時間差」と称する。）とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
センサボード１１がさらに移動すると、図６に示すように、センサセット２０Ａの光検知センサ３０Ｂが、露光素子ＱＡの点灯を検知する。そしてセンサボード１１がさらに移動すると、図７に示すように、センサセット２０Ａの光検知センサ３０Ａが、露光素子ＱＢ’の点灯を検知する。上述のセンサセット２０Ｂの場合と同様に、露光素子ＱＢ’が、露光素子ＱＡと同一の露光ライン上である設計上の位置ＱＢにある場合は、センサセット２０Ａ中の光検知センサ３０Ｂによる露光素子ＱＡの点灯の検知と、センサセット２０Ａ中の光検知センサ３０Ａによる露光素子ＱＢ’の点灯の検知とが同時となるはずであるが、しかしながら露光素子ＱＢ’の位置ズレにより、同じセンサセット２０Ａ中にある光検知センサ３０Ａと光検知センサ３０Ｂとで露光素子の点灯の検知に時間差が生じる。この検知時間差をｔ２とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
光検知センサ３０Ｃおよび３０Ｄが図４に示された状態にあるとき、すなわち光検知センサ３０Ｄが露光素子ＱＡを検知したときを、光検知センサ３０Ｃおよび３０Ｄの位置を２次元平面上の１次関数として表すと、図８に示すように、光検知センサ３０Ｃについてはｙ＝ｘ、光検知センサ３０Ｄについてはｙ＝ｘ−Ｄとなる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
センサボード１１は移動速度ｓで移動している下で、図４の状態から上記検知時間差ｔ１だけ時間が経過すると、図５に示すように光検知センサ３０Ｃが露光素子ＱＢ’を検知することになる。すなわち、光検知センサ３０Ｃおよび３０Ｄは、露光ヘッドの並ぶ方向に、すなわち図８に示す２次元平面上で言えばｘ軸正の方向に、図４の状態から距離ｄ１（＝ｓ×ｔ１）だけ平行移動したことになる。したがって、光検知センサ３０Ｃおよび３０Ｄが図５に示された状態にあるときは、光検知センサ３０Ｃおよび３０Ｄの位置を２次元平面上の１次関数として表すと、図８に示すように光検知センサ３０Ｃについてはｙ＝ｘ−ｄ１、光検知センサ３０Ｄについてはｙ＝ｘ−（ｄ１＋Ｄ）となる。ここで、ｄ１＞０である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
センサボード１１がさらに移動すると、図６に示すように、センサセット２０Ａの光検知センサ３０Ｂが、露光素子ＱＡの点灯を検知する。このとき、光検知センサ３０Ａおよび３０Ｂの位置を２次元平面上の１次関数として表すと、図９に示すように、光検知センサ３０Ａについてはｙ＝−（ｘ＋Ｄ）、光検知センサ３０Ｂについてはｙ＝−ｘとなる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図６の状態から上記検知時間差ｔ２だけ時間が経過すると、図７に示すように光検知センサ３０Ａが露光素子ＱＢ’を検知することになる。すなわち、光検知センサ３０Ａおよび３０Ｂは、露光ヘッドの並ぶ方向に、すなわち図９に示す２次元平面上で言えばｘ軸正の方向に、図６の状態から距離ｄ２（＝ｓ×ｔ２）だけ平行移動したことになる。したがって、光検知センサ３０Ａおよび３０Ｂが図７に示された状態にあるときは、光検知センサ３０Ａおよび３０Ｂの位置を２次元平面上の１次関数として表すと、図９に示すように、光検知センサ３０Ａについてはｙ＝−（ｘ−ｄ２）、光検知センサ３０Ｂについてはｙ＝−｛ｘ−（ｄ２−Ｄ）｝となる。ここで、ｄ２＞０である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
なお、上述の本実施例では、光検知センサ３０Ａ〜３０Ｄは、センサセット２０Ａでは１３５度、センサセット２０Ｂでは４５度といったように、各センサセットごとで異なる所定の角度を有するようにセンサボード１１上に配置されるが、これらの角度はあくまでも一例であり、その他の角度であってもよい。図１３は、本発明の実施例におけるセンサボードの第１の変形例を示す正面図である。この図では一例として、露光ヘッドの並ぶ方向に対し、センサセット２０Ａについては６０度、センサセット２０Ｂについては４５度となるように各光検知センサ３０Ａ〜３０Ｄを配置したものを示している。この場合、センサセット２０Ａ中の光検知センサ３０Ａおよび３０Ｂを２次元平面上の１次関数として表すならば、その傾きは２（＝ｔａｎ（６０°））となる。