Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月3日(2007.7.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遊技盤が取り付けられる前面枠に透明部材保持枠を開閉可能に取り付け、該透明部材保持枠に、前記遊技盤の遊技領域を視認可能な開口部を形成するとともに、該開口部を塞ぐ状態で透明部材を保持する遊技機において、
前記透明部材保持枠は、
前記前面枠に軸着される透明部材保持枠本体と、
該透明部材保持枠本体の裏側に設けられ、透明部材を保持するための透明部材保持部材と、
前記透明部材保持枠本体の前面のうち前記開口部の周辺に点状に設けられた発光体と、
該発光体を覆う状態で前方に膨出したレンズ部材と、
を備え、
該レンズ部材は、
前記発光体からの光を拡散する内レンズ部材と、
前記内レンズ部材から所定間隔を開けて内レンズ部材を覆う外レンズ部材と、
から構成され、
前記内レンズ部材は、前記発光体に対向する面とは反対側の表面に光拡散レンズを形成し、
前記内レンズ部材または前記外レンズ部材の少なくともいずれか一方を移動レンズ部材とし、
前記移動レンズ部材は、前記透明部材保持枠本体に、所定範囲内を前後方向へ移動可能な状態で取り付けられるとともに、前記開口部の周縁に沿って配置され、当該移動レンズ部材のうち前記開口部側の縁部を後方へ延出して前記透明部材の前面に当接可能な当接部を形成し、
前記移動レンズ部材を付勢部材により常時後方へ付勢し、
前記透明部材を前方から押圧した際に該透明部材が後方移動することに伴って、前記移動レンズ部材が前記所定範囲内にて当接部を前記透明部材の前面に当接した状態で後方移動するように構成したことを特徴とする遊技機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載のものは、遊技盤が取り付けられる前面枠に透明部材保持枠を開閉可能に取り付け、該透明部材保持枠に、前記遊技盤の遊技領域を視認可能な開口部を形成するとともに、該開口部を塞ぐ状態で透明部材を保持する遊技機において、
前記透明部材保持枠は、
前記前面枠に軸着される透明部材保持枠本体と、
該透明部材保持枠本体の裏側に設けられ、透明部材を保持するための透明部材保持部材と、
前記透明部材保持枠本体の前面のうち前記開口部の周辺に点状に設けられた発光体と、
該発光体を覆う状態で前方に膨出したレンズ部材と、
を備え、
該レンズ部材は、
前記発光体からの光を拡散する内レンズ部材と、
前記内レンズ部材から所定間隔を開けて内レンズ部材を覆う外レンズ部材と、
から構成され、
前記内レンズ部材は、前記発光体に対向する面とは反対側の表面に光拡散レンズを形成し、
前記内レンズ部材または前記外レンズ部材の少なくともいずれか一方を移動レンズ部材とし、
前記移動レンズ部材は、前記透明部材保持枠本体に、所定範囲内を前後方向へ移動可能な状態で取り付けられるとともに、前記開口部の周縁に沿って配置され、当該移動レンズ部材のうち前記開口部側の縁部を後方へ延出して前記透明部材の前面に当接可能な当接部を形成し、
前記移動レンズ部材を付勢部材により常時後方へ付勢し、
前記透明部材を前方から押圧した際に該透明部材が後方移動することに伴って、前記移動レンズ部材が前記所定範囲内にて当接部を前記透明部材の前面に当接した状態で後方移動するように構成したことを特徴とする遊技機である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明によれば、以下のような優れた効果を奏する。
請求項１に記載の発明によれば、透明部材保持枠は、前面枠に透明部材保持枠本体を軸着し、該透明部材保持枠本体の前面のうち開口部の周辺に点状の発光体を設けるとともに、該発光体を覆う状態で前方に膨出したレンズ部材を配設し、前面枠に軸着される透明部材保持枠本体と、該透明部材保持枠本体の裏側に設けられ、透明部材を保持するための透明部材保持部材と、透明部材保持枠本体の前面のうち前記開口部の周辺に点状に設けられた発光体と、該発光体を覆う状態で前方に膨出したレンズ部材とを備え、該レンズ部材は、発光体からの光を拡散する内レンズ部材と、内レンズ部材から所定間隔を開けて内レンズ部材を覆う外レンズ部材とから構成され、内レンズ部材は、発光体に対向する面とは反対側の表面に光拡散レンズを形成したので、発光体からの光を内レンズ部材から出射するときに十分に拡散させることができる。したがって、点状の発光体間にも光を拡散させることができ、内レンズ部材の全体に亘って発光するように見せることができる。また、レンズ部材の外表面に凹み部が形成されず、清掃作業が容易である。さらに、開口部の縁部まで光を導出することができ、装飾性の高い演出を行うことができ、遊技の興趣を高めることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、内レンズ部材または外レンズ部材の少なくともいずれか一方を移動レンズ部材とし、移動レンズ部材は、透明部材保持枠本体に、所定範囲内を前後方向へ移動可能な状態で取り付けられるとともに、開口部の周縁に沿って配置され、当該移動レンズ部材のうち開口部側の縁部を後方へ延出して透明部材の前面に当接可能な当接部を形成し、移動レンズ部材を付勢部材により常時後方へ付勢し、透明部材を前方から押圧した際に該透明部材が後方移動することに伴って、移動レンズ部材が前記所定範囲内にて当接部を透明部材の前面に当接した状態で後方移動するように構成したので、透明部材が押されて後方へ移動したとしても、移動レンズ部材も後方へ移動することができ、透明部材との間に隙間ができる不都合をなくすことができる。したがって、移動レンズ部材と透明部材との間からセル板やピアノ線等の不正部材を挿入されて不正行為が行われることを未然に防止することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
また、第２実施形態では、レンズユニット１００は、一重のレンズ部材１０１のみを備えたが、レンズ部材を内レンズ部材と、該内レンズ部材を覆う外レンズ部材とにより構成し、外レンズ部材または内レンズ部材の少なくともいずれか一方を移動レンズ部材とし、該移動レンズ部材の内周側端部をガラス板９に常時付勢してもよい。さらに、レンズ部材１０１は、開口部２１の全周縁に沿って形成されているが、開口部２１の周縁の一部にのみ沿った円弧形状であってもよい。そして、レンズ部材を不透明の材質で形成して、形状による装飾性を備えた部材としてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月25日(2007.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
医用断層画像撮影装置により撮影された医用断層画像を表示する表示手段と、
前記表示された医用断層画像を参照して、観察対象となる管腔臓器領域を抽出するための前記管腔臓器領域の開始点及び抽出アルゴリズムを設定する設定手段と、
前記設定された抽出アルゴリズムにより前記管腔臓器領域の開始点から前記管腔臓器領域を抽出する領域抽出手段と、
前記抽出された管腔臓器領域の分岐部を算出する分岐部算出手段と、
前記算出された分岐部の分岐方向のうちの一方向を選択する分岐方向選択手段と、
前記選択された方向に沿って前記設定された抽出アルゴリズムにより前記管腔臓器領域の選択された分岐部について再抽出する再抽出手段と、
前記再抽出された分岐部と前記医用断層画像を前記表示手段に表示制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする医用画像表示装置。
【請求項２】
前記制御手段は、複数の分岐部について前記管腔臓器領域を一連して表示する際に、前記領域抽出手段、前記分岐部算出手段、前記分岐方向選択手段、前記再抽出手段を、前記分岐部の数だけ繰り返すことを特徴とする請求項１に記載の医用画像表示装置。
【請求項３】
前記設定手段は、前記管腔臓器領域の抽出のために指定する指定点が１点か、２点かを設定することを特徴とする請求項１に記載の医用画像表示装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記管腔臓器領域の抽出のために指定する指定点が１点で抽出エラーが生じれば、前記指定点が２点へ切り替わる設定をすることを特徴とする請求項１に記載の医用画像表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
上記目的は、医用断層画像撮影装置により撮影された医用断層画像を表示する表示手段と、前記表示された医用断層画像を参照して、観察対象となる管腔臓器領域を抽出するための前記管腔臓器領域の開始点及び抽出アルゴリズムを設定する設定手段と、前記設定された抽出アルゴリズムにより前記管腔臓器領域の開始点から前記管腔臓器領域を抽出する領域抽出手段と、前記抽出された管腔臓器領域の分岐部を算出する分岐部算出手段と、前記算出された分岐部の分岐方向のうちの一方向を選択する分岐方向選択手段と、前記選択された方向に沿って前記設定された抽出アルゴリズムにより前記管腔臓器領域の選択された分岐部について再抽出する再抽出手段と、前記再抽出された分岐部と前記医用断層画像を前記表示手段に表示制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする医用画像表示装置によって達成される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
また、前記制御手段は、複数の分岐部について前記管腔臓器領域を一連して表示する際に、前記領域抽出手段、前記分岐部算出手段、前記分岐方向選択手段、前記再抽出手段を、前記分岐部の数だけ繰り返すことを特徴とする。
また、前記設定手段は、前記管腔臓器領域の抽出のために指定する指定点が１点か、２点かを設定することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
さらにまた、前記制御手段は、前記管腔臓器領域の抽出のために指定する指定点が１点で抽出エラーが生じれば、前記指定点が２点へ切り替わる設定をすることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月18日(2007.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
鈎部材２は、さらに、凹部１８の一部を画成する下壁２０を有する。閉止部材４は、下壁２０よりも下方における閉止部材４の内面に突起２２を有する。なす環１は、さらに、鍔部２３が形成された保持ピン２４と、圧縮コイルばね２５とを有する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
図３に示すように、鈎部材２の凹部１８には、閉止部材４の連結部１６が凹部１８の横方向側部の開口から縦方向へ移動可能に嵌入されている。この状態で突起２２とこれが対向する鈎部材２の内面部位２１との間には、圧縮コイルばね２５が圧縮介在されている。鈎部材２の透孔９には、鍔部８の頂面から保持ピン２４が縦方向に垂下して貫通し、保持ピン２４の鍔部２３が鍔部８の頂面に係合されている。保持ピン２４は、さらに閉止部材４の連結部１６の透孔１５をも貫通しており、その貫通は、閉止部材４の連結部１６の旋回を許容する程度に遊嵌状態にされていて、閉止部材４の横方向外側への抜脱を阻止している。鈎部材２の鍔部８及び軸部７には、取付環部材３の円筒部１４が回動可能に嵌合されているとともに、鍔部８の外周縁の一部が円筒部１４の開口１３に係合され、この係合によって取付環部材３の鈎部材２からの抜脱が阻止されている。なお、この係合は、例えば、取付環部材３の前記嵌合状態で、円筒部１４の下側部をその径方向へかしめることによってなされる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2006042912.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月18日(2007.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察画像を表示する画像表示部と、
前記画像表示部を、観察者の周囲に回動自在に支持する軸回りを含む略直交する三軸方向に移動調整自在に支持する支持手段と、
を具備することを特徴とする画像観察装置。
【請求項２】
観察画像を表示する画像表示部と、
前記画像表示部を、観察者の略頚椎上に位置する回動軸回りを含む略直交する三軸方向に移動調整自在に支持する支持手段と、
を具備することを特徴とする画像観察装置。
【請求項３】
観察画像を表示する画像表示部と、
前記画像表示部が回動自在に支持される第１の回動軸、及び該第１の回動軸に対して観察者を挟んで回動自在に配される第２の回動軸を有し、前記画像表示部を第２の回動軸回りを含む略直交する三軸方向に移動調整自在に支持する支持手段と、
前記支持手段の前記第１の回動軸を前記第２の回動軸の回動角に連動する連動手段と、
を具備することを特徴とする画像観察装置。
【請求項４】
前記支持手段は、支柱と、この支柱に前記画像表示部を移動調整自在に連結するアーム部とを備えることを特徴とする請求項２又は３記載の画像観察装置。
【請求項５】
前記支柱及びアーム部は、少なくとも一方が複数部材を伸縮自在に連結して形成されることを特徴とする請求項３記載の画像観察装置。
【請求項６】
観察画像を表示する画像表示部と、
前記画像表示部を、観察者の略頚椎上に位置する回動軸回りに移動調整自在に支持する支持手段と、
を具備することを特徴とする画像観察装置。
【請求項７】
前記支持手段は、前記観察者が座る椅子に取付けられることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか記載の画像観察装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年8月29日(2007.8.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】      
【請求項１】  静油圧式無段変速機（６）の出力側のポンプ軸（６ａ）とモータ軸（６ｂ）により原動機動力を作業系と走行系との２系統に分ける動力分割部と、この動力分割部による各動力を伝動する伝動部（７，１０）と、この伝動部（７，１０）による走行系の動力の回転比を切り換える副変速機構による切換部（１２）と、これらを動力入力側から順に収容する略筒状のケース（３）とを備えるトラクタ用伝動機（１）において、    
上記ケース（３）内には、同ケース（３）に取付けた別体構成の前後の支持メタル（１８ａ，１９ａ）を備え、これら前後の支持メタル（１８ａ，１９ａ）によって上記伝動部（７，１０）を支持することを特徴とするトラクタ用伝動機。    
【請求項２】  前記伝動部（７，１０）には、静油圧式無段変速機（６）による走行系のモータ軸（６ｂ）から走行入力ギヤ軸（４２）を介して動力を受ける走行伝動軸（１０）を備えるとともに、前側の支持メタル（４４ａ）を前側の支持壁（４４）の前側に取付け、これら前側の支持壁（４４）と前側の支持メタル（４４ａ）とによって上記モータ軸（６ｂ）および走行入力ギヤ軸（４２）の一端を支持し、かつ、前後の支持メタル（４４ａ，４５ａ）とによって上記走行伝動軸（１０）を支持することを特徴とする請求項１記載のトラクタ用伝動機。    
【請求項３】  前記伝動部（７，１０）には、静油圧式無段変速機（６）による走行系のモータ軸（６ｂ）から動力を受ける走行伝動軸（１０ｂ）を備え、かつ、前記切換部（１２）には、上記走行伝動軸（１０ｂ）から動力を受けるとともに、複数の伝動系から選択して回転比を切換えるためのカウンタ軸（１３ａ）を備え、このカウンタ軸（１３ａ）と上記走行伝動軸（１０ｂ）との間に両者を直結して同速伝動するカプリング手段（４３）を備えることを特徴とする請求項１記載のトラクタ用伝動機。    
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】      
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、静油圧式無段変速機（６）の出力側のポンプ軸（６ａ）とモータ軸（６ｂ）により原動機動力を作業系と走行系との２系統に分ける動力分割部と、この動力分割部による各動力を伝動する伝動部（７，１０）と、この伝動部（７，１０）による走行系の動力の回転比を切り換える副変速機構による切換部（１２）と、これらを動力入力側から順に収容する略筒状のケース（３）とを備えるトラクタ用伝動機（１）において、    
上記ケース（３）内には、同ケース（３）に取付けた別体構成の前後の支持メタル（１８ａ，１９ａ）を備え、これら前後の支持メタル（１８ａ，１９ａ）によって上記伝動部（７，１０）を支持することを特徴とする。    
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記伝動部の前後の支持メタルは、ケースと別体の構成であることから、伝動部は前後の支持メタルによって組み付け支持され、前側の支持メタルの前側に静油圧式無段変速機を配置することにより、支持壁を間に挟んで動力分割部と伝動部とを単一構成のケース内に構成することができる。    
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】      
【発明の効果】
本発明のトラクタ用伝動機は以下の効果を奏する。    
上記トラクタ用伝動機は、動力分割部と伝動部とを単一構成のケース内に構成され、動力分割部と伝動部についてケースの分割を要しないことから構成の簡易化とともに剛性の向上が容易となる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月8日(2006.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定用パターンを備えた光源と、ラインセンサを備え前記光源に対向して配置された検出手段とを備え、ロッドレンズアレイを前記光源と検出手段の間の測定領域を通過させて、前記光源からの検査光を前記ロッドレンズアレイに入射させ該ロッドレンズアレイの光学性能を検査するロッドレンズアレイ検査装置であって、
光学性能が測定されるロッドレンズアレイを載置して前記光源と検出手段との間の領域を往復動することによって、前記ロッドレンズアレイを、前記測定領域を２度、通過させる搬送手段と、
前記光源と検出手段とを前記検査光の光軸を中心に９０度、回転させる回転機構とを備えている、
ことを特徴とするロッドレンズアレイ検査装置。
【請求項２】
前記搬送手段が、前記ロッドレンズアレイが載置される載置台を備え、該載置台に真空吸引手段に連結された吸引孔が形成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載のロッドレンズアレイ検査装置。
【請求項３】
前記載置台の所定位置に前記ロッドレンズアレイを位置決めする位置決め手段を備え、該位置決め手段は、前記載置台に隣接して配置され次に検査されるロッドレンズアレイが配置されるステージと、該ステージ上に配置されたロッドレンズアレイを前記載置台上に押し出して所定位置に位置決めする押出手段とを備えている、
ことを特徴とする請求項２に記載のロッドレンズアレイ検査装置。
【請求項４】
測定用パターンを備えた光源と、ラインセンサを備えた検出手段との間の測定領域内でロッドレンズアレイを移動させて、該ロッドレンズアレイの光学性能を検査するロッドレンズアレイ検査方法であって、
光学性能を測定するロッドレンズアレイを、吸引手段に連結された吸引孔を有する載置台の所定位置に配置する工程と、
前記載置台を第１方向に移動させて前記ロッドレンズアレイを前記測定領域を通過させながら、前記載置台上のロッドレンズアレイの一端面に前記光源からの検査光を入射させ該ロッドレンズアレイの他端面から出射した光を前記検出手段で検出して、前記ロッドレンズアレイの光学性能を検査する工程と、
前記測定用パターンとラインセンサとを前記検査光の光軸を中心に９０度回転駆動させる工程と、
前記載置台を前記第１方向と反対向きの第２方向に移動させて前記ロッドレンズアレイを、前記測定領域を通過させながら、前記載置台上のロッドレンズアレイの一端面に前記光源からの光を入射させ該ロッドレンズアレイの他端面から出射した光を前記検出手段で検出して、前記ロッドレンズアレイの光学性能を検査する工程と、を備えている、
ことを特徴とするロッドレンズアレイ検査方法。
【請求項５】
棒状部材を整列させながら搬送する搬送装置であって、
前記棒状部材を収容可能な凹部が一定間隔で形成され該凹部が上方に向けられた傾斜状態で前記棒状部材の長さより短い間隔で互いに平行に配置されている一対の固定搬送部材と、
前記棒状部材を収容可能な凹部が前記一定間隔で形成され該凹部が上方に向けられ前記固定搬送部材と並列して前記棒状部材の長さより短い間隔で互いに平行に配置され前記固定搬送部材に対して回転運動を行う一対の可動搬送部材と、
前記可動搬送部材の一つの凹部が前記固定搬送部材の一つの凹部と整列する第１位置と、
前記可動搬送部材の前記一つの凹部が前記固定搬送部材の前記一つの凹部の上方の凹部と整列する第２位置とを通る軌道に沿って、前記可動搬送部材を前記固定搬送部材に対して、前記第１位置から前記第２位置に回転駆動させる駆動機構と、を備えている、
ことを特徴とする搬送装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
固定搬送部材６２は、図９に示されているように、凹部６２ａを上方に向けて傾斜状態で互いに平行な状態で搬送装置６０の図示しない架台に取付けられている。また、一対の固定搬送部材６２、６２の間隔は、ロッドレンズアレイ１の長さより短く設定されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
可動搬送部材６４は、可動搬送部材６４が延びる平面内で円運動等の回転運動をするように構成されている。従って、円運動を行う場合には、可動搬送部材６４は、図９に矢印Ｆで示されるように、固定搬送部材６２に対して、円軌道に沿った回転運動をする。この軌道は、可動搬送部材６４の一つの凹部６４ａ−１が固定搬送部材６２の一つの凹部６２ａ−１と整列する第１の並列位置と、可動搬送部材６４の前記一つの凹部６４ａ−１が固定搬送部材の凹部６２ａ−１の上方側の２番面の凹部６２ａ−２と整列する第２の整列位置を通る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2004251890.tif 000001
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2004251890.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月12日(2007.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板上に配置された、放射線を電気信号に変換する第１の半導体変換素子と、前記第１の半導体変換素子に接続されたスイッチ素子と、を含む複数の変換部と、
複数のプリント配線基板と、を有し、
前記複数の変換部は、複数の画素領域に区分けされ、前記画素領域毎に対応する前記プリント配線基板に接続され、
一部の前記画素領域内に、放射線の照射量を検出するために前記基板上に配置された第２の半導体変換素子を有し、前記第２の半導体変換素子が前記一部の前記画素領域に対応する前記プリント配線基板に接続されていることを特徴とする放射線撮像装置。
【請求項２】
前記変換部には、前記スイッチ素子の動作を制御する制御配線と、前記スイッチ素子を介して前記第１の半導体変換素子から出力された信号を伝達する信号線と、が配置され、
前記第２の半導体変換素子が接続されたプリント配線基板には、前記信号線が接続されていることを特徴とする請求項１に記載の放射線撮像装置。
【請求項３】
前記第１の半導体変換素子は、第１の面積の半導体変換素子と、前記第１の面積よりも小さい第２の面積の半導体変換素子と、を含み、
前記第２の面積の半導体変換素子は、前記第２の半導体変換素子に隣接して配置されていることを特徴とする請求項１に記載の放射線撮像装置。
【請求項４】
前記第２の半導体変換素子は、前記第１の半導体変換素子を前記基板の互いに対向する２辺に平行な境界線によって同数ずつからなる２群に区分けしたときに、前記境界線を対称の軸として線対称に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の放射線撮像装置。
【請求項５】
前記プリント配線基板には、半導体チップが実装されており、
前記変換部は、前記半導体チップに接続され、
前記第２の半導体変換素子は、前記半導体チップに接続されていないことを特徴とする請求項１に記載の放射線撮像装置。
【請求項６】
前記プリント配線基板は、前記半導体チップに接続されていない予備配線を更に有し、前記第２の半導体変換素子は前記予備配線に接続されていることを特徴とする請求項５に記載の放射線撮像装置。
【請求項７】
前記半導体チップに接続された読み出し回路と、前記読み出し回路とは別途設けられ、前記予備配線に接続された、前記放射線の照射量を検出するための回路と、を更に有することを特徴とする請求項５に記載の放射線撮像装置。
【請求項８】
前記放射線を発生させる放射線源と、
前記放射線源から入射された放射線を電気信号に変換する請求項１に記載の放射線撮像装置と、
前記放射線撮像装置から出力された電気信号を画像処理する画像処理手段と、
前記画像処理手段により画像処理された電気信号を表示する表示手段と、
を有することを特徴とする放射線撮像システム。
【請求項９】
前記画像処理手段から出力された電気信号を伝送する伝送処理手段を更に備え、前記画像処理手段は、前記伝送処理手段を介して前記表示手段に前記電気信号を出力することを特徴とする請求項８に記載の放射線撮像システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係る放射線撮像装置は、基板と、前記基板上に配置された、放射線を電気信号に変換する第１の半導体変換素子と、前記第１の半導体変換素子に接続されたスイッチ素子と、を含む複数の変換部と、複数のプリント配線基板と、を有し、前記複数の変換部は、複数の画素領域に区分けされ、前記画素領域毎に対応する前記プリント配線基板に接続され、一部の前記画素領域内に、放射線の照射量を検出するために前記基板上に配置された第２の半導体変換素子を有し、前記第２の半導体変換素子が前記一部の前記画素領域に対応する前記プリント配線基板に接続されていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明においては、第２の半導体変換素子を介して検出された放射線量に基づいてＡＥＣ制御を行うことが可能である。このとき、第２の半導体変換素子が第１の半導体変換素子と同一の基板上に配置されているので、第２の半導体変換素子による放射線の減衰は生じない。また、第２の半導体変換素子は一部の画素領域内に設けられ、プリント配線基板単位で配置されているので、第２の半導体変換素子は第１の半導体変換素子の動作の妨げにならない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明によれば、画素領域内に第２の半導体変換素子が配置されているため、第２の半導体素子による放射線の減衰を抑制することができ、また、第２の半導体変換素子は第１の半導体変換素子の動作の妨げにならない。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月26日(2007.1.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マルチポート・ベクトル・ネットワークアナライザを校正するために用いられる校正標準の組のパラメータ値を決定する方法であって、
前記マルチポート・ベクトル・ネットワークアナライザで非対称相反デバイスを測定し、前記校正標準の組に関する定義パラメータのパラメータ値を最適化するステップ、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記非対称相反デバイスが、前記マルチポート・ベクトル・ネットワークアナライザのテストポート数以上の数のポートを有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記最適化されたパラメータ値が、補正された順方向伝送Ｓパラメータの組と対応する補正された逆方向伝送Ｓパラメータの組との差を最小化し、
前記差が前記非対称相反デバイスの測定値から計算される、
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記補正された順方向伝送Ｓパラメータの組および前記補正された逆方向伝送Ｓパラメータの組が、
前記最適化されたパラメータ値と、
前記校正標準の組の測定値と、
前記マルチポート・ベクトル・ネットワークアナライザの誤差モデルと、
を用いて計算されることを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記非対称相反デバイスの測定が、
前記校正標準の組のＳパラメータを測定するステップと、
前記非対称相反デバイスのそのままのＳパラメータを測定するステップと、
前記パラメータ値を調整し、前記非対称相反デバイスの補正された順方向伝送Ｓパラメータの組と対応する前記非対称相反デバイスの補正された逆方向伝送Ｓパラメータの組との差を最小化するステップと、
を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記補正された順方向伝送Ｓパラメータの組および前記補正された逆方向伝送Ｓパラメータの組が誤差補正を用いて計算され、
前記誤差補正の係数が、前記校正標準の組の測定されたＳパラメータと前記調整されたパラメータ値とから計算され、
前記最適化されたパラメータ値が、前記差が最小であるときの前記調整されたパラメータ値である、
ことを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
複数の定義パラメータのパラメータ値が最適化され、
前記Ｓパラメータが複数の周波数において測定される、
ことを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項８】
前記校正標準の組の少なくとも１つの標準の定義パラメータが既知であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記校正標準の組のうち１つのスルー標準の定義パラメータが既知であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
選択（ステップ１３２）が行われると、校正標準１５０、１６０、１７０および１８０のモデルは、典型的な３ポートＶＮＡに関するＳＯＬＴ校正の誤差係数の集合を計算する（ステップ１３４）ために使用される。誤差係数の集合は、上記で図２Ａおよび図２Ｂに示した２ポートＶＮＡの従来の１２ターム誤差モデルと一致する６つの順方向タームおよび６つの逆方向タームの３ポート拡張版に基づく。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
１００  パラメータ値の決定
１１０  Ｓパラメータの測定
１２０  Ｓパラメータの測定
１３２  調整されるパラメータ値の選択
１３６  誤差補正の適用
１３８  差の決定
１４０  最適化されたパラメータ値の報告
２００  パラメータ値の決定
２１０  Ｓパラメータの測定
２２０  Ｓパラメータの測定
２４０  誤差係数の記憶
３００  マルチポートベクトルネットワークアナライザ
３２０  メモリ
３１０  コンピュータ
３３０  テストセット
３４０  コンピュータプログラム
４００  校正補償システム
４１０  コンピュータ
４２０  マルチポートベクトルネットワークアナライザ
４３０  コンピュータプログラム
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月9日(2007.2.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を通るバイアを作製するためのプロセス。
【請求項２】
基板を通るバイアを作製するためのプロセスであって、以下の工程：
（ａ）実質的にボイドを含まないフィルムを提供する工程；
（ｂ）レジストを該フィルムに適用する工程；
（ｃ）該レジストを所定位置において画像化する工程；
（ｄ）該レジストを現像して、該フィルムの所定領域を露出させる工程；および
（ｅ）該フィルムの露出領域を除去して、該フィルムを通るホールを形成する工程；
を包含する、プロセス。
【請求項３】
以下の工程：
（ｇ）残りのレジストを剥がす工程；および
（ｈ）必要に応じて、金属層を全表面に適用する工程
をさらに包含する、請求項２に記載のプロセス。
【請求項４】
工程（ｈ）において適用された金属が、銅を含む、請求項３に記載のプロセス。
【請求項５】
前記レジストが、酸性溶液を適用することにより工程（ｄ）において現像され、そして前記フィルムのうちの露出した領域が、塩基性溶液を適用することにより工程（ｅ）において除去される、請求項２に記載のプロセス。
【請求項６】
前記レジストが、塩基性溶液を適用することにより工程（ｄ）において現像され、そして前記フィルムのうちの露出した領域が、酸性溶液を適用することにより工程（ｅ）において除去される、請求項２に記載のプロセス。
【請求項７】
前記フィルムのうちの露出した領域が、有機溶媒を適用することにより工程（ｅ）において除去される、請求項２に記載のプロセス。
【請求項８】
前記フィルムが、誘電材料を含む、請求項２に記載のプロセス。
【請求項９】
以下に続く工程：
（ｉ）工程（ｈ）において適用された金属層の全表面に第２レジストを適用する工程；
（ｊ）該第２レジストを画像化および現像して、被覆されていない下にある金属の所定のパターンを明らかにする工程；
（ｋ）該下にある金属層の被覆されていない部分をエッチングする工程；ならびに
（ｌ）残りの第２レジストを剥がして、電気回路パターンを形成する工程
をさらに包含する、請求項３に記載のプロセス。
【請求項１０】
前記レジストが、工程（ｊ）において、工程（ｉ）の基板の両方の主表面で画像化される、請求項９に記載のプロセス。
【請求項１１】
以下に続く工程：
（ｍ）誘電性組成物を全表面に適用する工程；
（ｎ）該誘電性組成物中の所定位置にホールを提供する工程；
（ｏ）第２金属層を全表面に適用する工程；
（ｐ）第３レジストを該第２金属層の全表面に適用する工程；
（ｑ）該第３レジストを画像化および現像して、該第２金属層の所定のパターンを露出させる工程；ならびに
（ｒ）該第２金属層の該露出した部分をエッチングして、電気回路パターンを形成する工程
をさらに包含する、請求項９に記載のプロセス。
【請求項１２】
以下の工程：
（ｓ）残りの第３レジストを剥がす工程
をさらに包含する、請求項１１に記載のプロセス。
【請求項１３】
工程（ｓ）の完了の際に、工程（ｍ）〜工程（ｓ）が１回以上繰り返されて、所望の数の相互接続された電気回路パターン層が得られる、請求項１２に記載のプロセス。
【請求項１４】
請求項２に記載のプロセスによって形成された、基板。
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月17日(2006.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クラスタツールシステムのためのＡＬＤ処理ステーションであって、
第１の断面積を有する下縁を備えた処理チャンバ部分と、
処理チャンバ部分の下に位置される実質的に円形のベースチャンバ部分と備え、前記ベースチャンバ部分が、上部処理領域の下縁を画定する一定の外径および異なる内径とを有する複数の交換可能なリングの１つによって形成される第１の内径と、真空排気ポートと、第１の内径の下の基板搬送ポートと、第１の内径より実質的に大きい第１の内径の下の第２の内径とを有し、
前記ＡＬＤ処理ステーションはさらに、
第１の内径よりも小さい外径をもつ実質的に円形の上側基板支持表面を備え、垂直方向の並進移動を可能にするダイナミック真空シールにより、基板搬送ポートの下でベースチャンバ部分に適用された基板支持ペデスタルと、
第１の内径と実質的に同一平面の処理位置か、または第２の内径を有し基板搬送ポートの下方であるベースチャンバの領域の下側搬送位置に、上側支持表面を位置させるように、基板支持ペデスタルを並進移動するように構成された垂直並進移動ドライブシステムと、
処理チャンバに取り付けられ、原子層成長（ＡＬＤ）プロトコルによりガスを供給する取り外し可能なガス供給リッドとを具備し、
基板支持ペデスタルが処理位置にあるときに、基板支持ペデスタルの外径と、第１の内径とが、処理チャンバ部分から真空排気ポートを介した第１の制限された排気速度を決定する第１の全有効面積を有する第１の排気通路を形成し、また、基板支持ペデスタルが下方搬送位置にあるときに、基板支持ペデスタルの外径と、第２の内径とが、第１の有効面積よりも大きな第２の有効面積をもつ第２の環状排気通路を形成して、処理チャンバからの第２の排気速度を第１の制限された排気速度よりも速くすることが可能であり、第１の排気速度が、交換可能なリングを交換することによって増分して変更される、クラスタツールシステムのためのＡＬＤ処理ステーション。
【請求項２】
上側支持表面から始まり上側支持表面の下方に延伸する基板ペデスタルの一部を取り囲む環状側板をさらに具備し、上側支持表面の高さにある環状側板の排気面積は、第１の内径と実質的に等しい、請求項１に記載の処理ステーション。
【請求項３】
処理チャンバの上縁を閉じる取り外し可能なリッドが、リッドとダイナミック真空シールを取り外し可能であるように取り外し可能なシールで取り付けられることにより、基板支持ペデスタルをベースチャンバ領域内から処理チャンバ領域を介して上方に引き出すことができる、請求項１に記載の処理ステーション。
【請求項４】
取り外し可能なリッドが、基板支持ペデスタルが処理位置にあるとき、基板支持ペデスタル上に支持されている露出された基板表面にわたって均等に処理ガスを供給するためのガス分配システムを備える、請求項３に記載の処理ステーション。
【請求項５】
基板支持ペデスタルが、上側支持表面と平行であり処理チャンバのための真空境界を形成する閉塞プレートと、閉塞プレートとは断熱された処理チャンバ側にあるヒータプレートと、ヒータプレートの上方に、ヒータプレートとは離間して配置され、上側支持表面を形成する電気的に絶縁されたサセプタとを備える、請求項１に記載の処理ステーション。
【請求項６】
ヒータプレートが、少なくとも２つの別々に電力が供給される加熱領域をもつ複合ヒータプレートであり、別々に電力が供給される領域への電力を管理することにより、プレート全体にわたっての温度プロファイルを管理することができる、請求項５に記載の処理ステーション。
【請求項７】
内側加熱領域が、ヒータプレートを実質的に介して少なくとも１つの溝により外側加熱領域から分離される、請求項６に記載の処理ステーション。
【請求項８】
内側加熱領域が、ヒータプレートにより加熱される基板の直径と実質的に等しい直径をもつ、請求項７に記載の処理ステーション。
【請求項９】
ダイナミック真空シールが、ステンレス鋼製のベローズである、請求項１に記載の処理ステーション。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月18日(2007.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１５】
前記電源端子および第１の電極間に抵抗が接続されたことを特徴とする請求項１０に記載のスイッチ回路を有する高周波装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
図１４は、スイッチＭＭＩＣ１０２を構成する例えばＧａＡｓによる接合ゲート型電界効果トランジスタＪ−ＦＥＴの要部の概略断面図で、この場合ＧａＡｓバルクによるＧａＡｓ基板１０６上にチャネル形成領域１０７を構成する低不純物濃度の半導体層が形成され、この半導体層のチャネル形成領域を挟んで例えばｎ型の高不純物濃度のソース領域１０８Ｓおよびドレイン領域１０８Ｄが形成される。Ｄ，ＳおよびＧはそれぞれドレイン、ソースおよびゲート領域上にオーミックに被着形成されたドレイン、ソースおよびゲート電極である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
上述した各例では、スイッチ回路１１とロジック回路１２とを共通の化合物半導体１に形成した場合であるが、例えば図８に模式的平面図を示すように、例えばＧａＡｓ化合物半導体基板１にスイッチ回路１１のみを形成し、化合物半導体基板１とは、異なる例えばＩＶ族元素半導体のＳｉ基板を設け、これにロジック回路を形成し、これらを所要の関係にリードワイヤ等によって接続することによって、高周波装置を構成することもできる。図８において、図１と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2007027563.tif 000001
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2007027563.tif 000002
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2007027563.tif 000003
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2007027563.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成19年9月18日(2007.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光ダイオード素子を搭載する素子搭載基板と、
前記素子搭載基板上で前記発光ダイオード素子を封止し、側面が素子搭載基板の側面と連続的に形成されたガラスからなる封止部材と、
前記封止部材の光出射面側に設けられた蛍光体層と、
前記封止部材の前記蛍光体層が設けられていない領域から前記発光ダイオード素子の放射光が出射するのを防ぐために、前記素子搭載基板の側面から連続的に前記封止部材の側面の少なくとも一部を覆う白色の反射枠を有することを特徴とする蛍光体層付き発光装置。
【請求項２】
前記反射枠には、前記蛍光体層から外部放射された光を光学制御する反射面が形成されている請求項１に記載の発光装置。
【請求項３】
前記発光ダイオード素子は、前記封止部材において複数個配置されている請求項１または２に記載の蛍光体層付き発光装置。
【請求項４】
前記発光ダイオード素子のｐ側電極が透明導電性酸化物である請求項１に記載の蛍光体層付き発光装置。
【請求項５】
光取出側に蛍光体層を有する発光ダイオード素子を備えた蛍光体層付き発光装置の製造方法であって、
素子搭載部上に搭載された発光ダイオード素子をガラスからなる封止部材によって封止する工程と、
前記封止部材の光出射面側に蛍光体層を形成する工程と、
前記封止部材の前記蛍光体層が設けられていない領域から前記発光ダイオード素子の放射光が出射するのを防ぐために前記封止部材上にカバーを形成する工程とを備えることを特徴とする蛍光体層付き発光装置の製造方法。
【請求項６】
前記封止する工程は、共通の素子搭載部上に搭載された複数の前記発光ダイオード素子を共通のガラス封止部材で封止する工程を有し、
前記蛍光体層を形成する工程は、前記共通のガラス封止部材上に共通の蛍光体層を形成する工程を有する請求項５に記載の蛍光体層付き発光装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
（１）本発明は、上記目的を達成するために、発光ダイオード素子を搭載する素子搭載基板と、前記素子搭載基板上で前記発光ダイオード素子を封止し、側面が素子搭載基板の側面と連続的に形成されたガラスからなる封止部材と、前記封止部材の光出射面側に設けられた蛍光体層と、前記封止部材の前記蛍光体層が設けられていない領域から前記発光ダイオード素子の放射光が出射するのを防ぐために、前記素子搭載基板の側面から連続的に前記封止部材の側面の少なくとも一部を覆う白色の反射枠を有することを特徴とする蛍光体層付き発光装置を提供する。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月29日(2007.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、制御回路２１は、電圧制御発振器１５の制御電圧を位相比較器１３から得られる位相差に応じた位相補償誤差信号Ｓｃｐｅとするか、後述するホールド信号Ｓａｓｈとするかを、第１スイッチ１７を制御して切り替え、さらに、ホールド信号Ｓａｓｈを得るために第２スイッチ１９を切り替える機能も有している。すなわち、本実施形態においては、制御回路２１の制御に係る構成部は、制御手段の一例として機能する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
図２の（Ａ）のブロック図で示す待機モードにおいては、制御回路２１のみが動作しており、他の各部、すなわち、発信手段（基準発振器１１、第１分周器１２）、位相比較手段（位相比較器１３）、電圧制御発信手段（電圧制御発振器１５）、サンプル・ホールド手段（Ｄ／Ａ変換器２０、第２スイッチ１９、コンデンサ２２）、デジタル値保存手段（Ａ／Ｄ変換器１８、制御回路２１のメモリ）の動作は停止している。したがって、待機モードにおいては、発振装置１０は、出力発振信号Ｓｆｏを出力することはない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
図２の（Ｂ）のブロック図で示す定電圧制御発振モードにおいては、制御回路２１は、第１スイッチ１７と電圧制御発振器１５とに対して動作の指令を出しており、他の各部、すなわち、発信手段（基準発振器１１、第１分周器１２）、位相比較手段（位相比較器１３）、サンプル・ホールド手段（Ｄ／Ａ変換器２０、第２スイッチ１９、コンデンサ２２）およびデジタル値保存手段（Ａ／Ｄ変換器１８、制御回路２１のメモリ）の動作は停止している。また、制御回路２１は、第１スイッチ１７の接点１７ｂと接点１７ｃとを接続するように制御を行う。この結果、コンデンサ２２にホールドされたホールド信号Ｓａｓｈを制御電圧として電圧制御発振器１５は、発振して、発振装置１０からの略一定周波数の出力発振信号Ｓｆｏは、外部に対して出力される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
図２の（Ｃ）のブロック図で示す誤差信号サンプルモードにおいては、制御回路２１は、第１スイッチ１７と電圧制御発振器１５と第２スイッチ１９とＤ／Ａ変換器２０とに対して動作の指令を出しており、他の各部、すなわち、発信手段（基準発振器１１、第１分周器１２）、位相比較手段（位相比較器１３）およびデジタル値保存手段（Ａ／Ｄ変換器１８、制御回路２１のメモリ）の動作は停止している。また、制御回路２１は、第１スイッチ１７の接点１７ｂと接点１７ｃとを接続するように制御を行い、第２スイッチ１９をＯＮとし、Ｄ／Ａ変換器２０に制御回路２１が保持しているデジタルサンプル信号Ｓｄｓを出力する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2007027981.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月20日(2006.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面（３２）を顕微鏡検査するために使用する集光装置（４０）であって
光軸（２２）を画定し、前記表面に近接する第１の端（５２）および撮像器（１０）側の第２の端（４２）を備えている細長い本体（４４）を備え、
前記本体は、前記第１の端に光学開口（５４）を画定する局面を成した反射面（４６）を画定しており、
前記集光装置は前記光軸上において、関連した第１および第２の焦点（５０、６２）を画定しており、
前記表面を前記第１の焦点に位置決めすると前記表面の像が前記第２の焦点に作られるように、前記第１の焦点（５０）が前記本体の第１の端から離間していることを特徴とする集光装置。
【請求項２】
前記反射面が、前記光軸を中心軸とした回転体表面である、請求項１に記載の集光装置。
【請求項３】
前記反射面が、放物面である、請求項１または２に記載の集光装置。
【請求項４】
前記反射面に隣接した集光レンズ（５６）を備え、該集光レンズが前記反射面により発生した平行光線を前記第２の焦点に集束させる、請求項１から３のいずれか１項に記載の集光装置。
【請求項５】
前記本体が反射内面を有する管になっている、請求項１に記載の集光装置。
【請求項６】
前記光学開口が、前記第１の焦点に対して第１の角（６６）を画定し、前記本体が前記第２の端に第２の光学開口を備え、該第２の光学開口が前記第２の焦点に対して前記第１の角より小さい第２の角（７２）を画定する、請求項１から５のいずれか１項に記載の集光装置。
【請求項７】
前記本体の第２の端を顕微鏡の対物レンズハウジング（２１）に結合する結合手段を備えている、請求項１から６のいずれか１項に記載の集光装置。
【請求項８】
デバイスの表面（３２）を顕微鏡検査する方法であって、前記デバイスを、光軸（２２）を画定する対物レンズ（６０）を有する顕微鏡（１０）のステージ（１４）に設置するステップと、
検査すべき限定部分を有する表面を光軸上に位置決めするステップと、
前記限定部分の像を、前記表面から離れかつ前記表面と対物レンズとの間にある焦点（６２）に形成するステップと、
前記対物レンズを前記像に焦点合わせするステップと
を含む方法。
【請求項９】
前記形成するステップが、細長い反射管（４０）を前記限定部分の上方に位置決めするステップを含んでいる、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記像を形成するステップが、光軸から偏った第１の範囲の角度（６６）にわたり限定部分から放射された光線を捕らえ、該光線を、より狭い第２の範囲の角度（７２）以内で対物レンズに伝え、これにより、横方向に放射された光を比較的狭い受光角を有する対物レンズにより受光されるようにするステップを含む、請求項８または９に記載の方法。