【手続補正書】
【提出日】平成19年5月31日(2007.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  少なくともインクを吐出するためのインク吐出口と該インク吐出口に連通するインク流路と、を有するノズル部と、
前記インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子と、
を有する記録素子基板と、
前記記録素子基板と電気的に接続する配線基板と、
を備えるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
基体上に、前記配線基板と電気的に接続する電極及び前記素子を形成する工程と、
前記素子及び電極を有する基体上に、溶解可能な樹脂にてインク流路パターンを形成する工程と、
前記インク流路パターン上に、インク流路壁となる感光性被覆樹脂層を２度以上塗布することにより複数層の感光性被覆樹脂層を形成するとともに、中間層塗布後と最終層塗布後に露光し、任意の高さのスペーサを形成する工程と、
前記素子と相対する位置の前記感光性被覆樹脂層に、インク吐出口を形成する工程と、
前記溶解可能な樹脂を除去する工程と、
を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】  前記感光性被覆樹脂層を２度以上塗布することにより形成される複数層の感光性被覆樹脂層の上に、さらに撥水性の感光性被覆樹脂材料を塗布し、第２の感光性被覆樹脂層を形成する工程を有することを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】  前記感光性被覆樹脂層を２度以上塗布することにより形成される複数層の感光性被覆樹脂層は、常温にて固体状のエポキシ樹脂を含む樹脂を溶媒に溶解した溶液にて形成されることを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】  前記感光性被覆樹脂層を２度以上塗布することにより形成される複数層の感光性被覆樹脂層は、スピン式塗布方法により形成されることを特徴とする請求項１乃至３記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】  前記第２の感光性被覆樹脂層は、フッ素含有エポキシ樹脂を含む樹脂を溶媒に溶解した溶液にて形成されることを特徴とする請求項２乃至４に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】  前記第２の感光性被覆樹脂層は、予めドライフィルムとして形成され、これを前記感光性被覆樹脂層を２度以上塗布することにより形成される複数層の感光性被覆樹脂層にラミネートすることを特徴とする請求項２乃至５記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】  前記スペーサは、インク吐出口の高さより低いことを特徴とする請求項１乃至６記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項８】  前記配線基板と前記電極とは異方性導電シートにより電気的に接続されることを特徴とする請求項１乃至７記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
これを達成するために、特開平４−１０９４０〜１０９４２号公報においては、インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子として電気熱変換素子を採用し、これに記録情報に対応して駆動信号を印加し、電気変換素子にインクの核沸騰を越える急激な温度上昇を与える熱エネルギを発生させ、インク内に気泡を形成させて、この気泡を外気と連通させてインク液滴を吐出させてなる記録方法及び記録装置が開示されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、少なくともインクを吐出するためのインク吐出口と該インク吐出口に連通するインク流路とを有するノズル部と、前記インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子とを有する記録素子基板と、前記記録素子基板と電気的に接続する配線基板とを備えるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、基体上に、前記配線基板と電気的に接続する電極及び前記素子を形成する工程と、前記素子及び電極を有する基体上に、溶解可能な樹脂にてインク流路パターンを形成する工程と、前記インク流路パターン上に、インク流路壁となる感光性被覆樹脂層を２度以上塗布することにより複数層の感光性被覆樹脂層を形成するとともに、中間層塗布後と最終層塗布後に露光し、任意の高さのスペーサを形成する工程と、前記素子と相対する位置の前記感光性被覆樹脂層に、インク吐出口を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂を溶出する工程とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することにある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
【発明の実施の形態】
先ず、図５〜９を参照して本発明に係るインクジェット記録ヘッドを備える記録装置の構造について簡単に説明する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、上ケースＭ１００２の後部上面には、電源キーＥ００１８及びレジュームキーＥ００１９が押下可能に設けられると共に、ＬＥＤ  Ｅ００２０が設けられており、電源キーＥ００１８を押下すると、ＬＥＤ  Ｅ００２０が点灯し記録可能であることをオペレータに知らせるものとなっている。また、ＬＥＤ  Ｅ００２０は点滅の仕方や色の変化をさせたり、プリンタのトラブル等をオペレータに知らせる等種々の表示機能を有する。さらに、ブザー（不図示）をならすこともできる。なお、トラブル等が解決した場合には、レジュームキーＥ００１９を押下することによって記録が再開されるようになっている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
（記録ヘッドカートリッジ）
まず、記録部に用いられる記録ヘッドカートリッジについて図７〜９に基づき説明する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
この実施形態における記録ヘッドカートリッジＨ１０００は、図７に示すようにインクを貯留するインクタンクＨ１９００と、このインクタンクＨ１９００から供給されるインクを記録情報に応じてノズルから吐出させる記録ヘッドＨ１００１とを有する。記録ヘッドＨ１００１は、後述するキャリッジＭ４００１に対して着脱可能に搭載される、いわゆるカートリッジ方式を採るものとなっている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
ここに示す記録ヘッドカートリッジＨ１０００では、写真調の高画質なカラー記録を可能とするため、インクタンクとして、例えば、ブラック、ライトシアン、ライトマゼンタ、シアン、マゼンタ及びイエローの各色独立のインクタンクＨ１９００が用意されており、図８に示すように、それぞれが記録ヘッドＨ１００１に対して着脱自在となっている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また、キャリッジＭ４００１の記録ヘッドＨ１００１との別の係合部にはコンタクトフレキシブルプリントケーブル（不図示、以下、コンタクトＦＰＣと称す）が設けられ、コンタクトＦＰＣ上のコンタクト部と記録ヘッドＨ１００１に設けられたコンタクト部（外部信号入力端子）Ｈ１３０１とが電気的に接触し、記録のための各種情報の授受や記録ヘッドＨ１００１への電力の供給などを行い得るようになっている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
ここでコンタクトＦＰＣのコンタクト部とキャリッジＭ４００１との間には不図示のゴムなどの弾性部材が設けられ、この弾性部材の弾性力とヘッドセットレバーばねによる押圧力とによってコンタクト部とキャリッジＭ４００１との確実な接触を可能とするようになっている。さらに前記コンタクトＦＰＣは、キャリッジＭ４００１の背面に搭載されたキャリッジ基板（不図示）に接続されている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
次に、表２に示す樹脂組成物ＢをＰＥＴフィルム上に塗布乾燥することでドライフィルムを作成し（ＰＥＴフィルムは、除去される。）、樹脂組成物Ａ上に熱圧力を加えラミネートし、撥水性を有する第２感光性被覆樹脂層５を形成する（図１（ｆ）、膜厚０．５μｍ）。
【手続補正６２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
次いで、基体１のＳｉウェハに対して裏面より異方性エッチングによりインク供給口８を形成し（図１（ｈ））、続いて型レジスト層３を除去し、インク流路を形成する。このようにして、それぞれがインク吐出口６やインク供給口８を含むインク流路などを有する複数のノズル部１４、電気配線基板Ｈ１３００との電気接続用電極９、及びスペーサ１３を備える記録素子基板Ｈ１１００が形成される。なお、この後、第１及び第２感光性被覆樹脂層を完全に硬化させる目的で２００℃１時間の加熱処理を行う（図１（ｉ））。最後に導電シートとしてのＡＣＦ１１と電極９との電気的接続を行い（図１（ｊ））、インク供給部材などとともにインクジェット記録ヘッドとして完成される。
【手続補正６３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明におけるインクジェット記録ヘッドの製造工程を示す概略図であり、（ａ）は、その上に電極等を含む所定の配線が配置されている基体の断面図、（ｂ）は、基体上に型レジストが塗布された状態、（ｃ）は、型レジスト上に第１感光性被覆樹脂材料を一度塗布した状態、（ｄ）は、マスクを介してスペーサ部を露光した状態、（ｅ）は、第１感光性被覆樹脂材料をさらに塗布した状態、（ｆ）は、第２感光性被覆樹脂材料を塗布した状態、（ｇ）は、露光、現像処理してインク吐出口、スペーサ等が形成された状態、（ｈ）インク供給口が形成された状態、（ｉ）型レジストが除去された状態、（ｊ）は、導電シートと電極が接続された状態をそれぞれ占めす。
【図２】
従来のインクジェット記録ヘッド特にそのノズル部の製造工程を示す概略図であり、（ａ）は、インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子が配置された基体の斜視図、（ｂ）は、（ａ）図Ａ−Ａ断面図、（ｃ）は、基体上に型レジストが塗布された状態、（ｄ）は、第１感光性被覆樹脂材料を塗布した状態、（ｅ）は、第２感光性被覆樹脂材料を塗布した状態、（ｆ）は、露光、現像処理して、インク吐出口、親水部が形成された状態、（ｇ）は、インク供給口が形成された状態、（ｈ）は、型レジストが除去された状態をそれぞれ示す。
【図３】
従来の記録素子基板と周囲との導電子とを介しての電気的接続を示す図であり、（ａ）は、図２において製造された記録素子基板の断面図、（ｂ）は、電極上にバンプが形成された状態、（ｃ）は、導電シートが、バンプ上に位置決めされた状態、（ｄ）は、導電シートが熱圧力をかけられてバンプに接続された状態、（ｅ）は、接続部に封止材が適用された状態をそれぞれ示す。
【図４】
図３の従来の記録素子基板と周囲との導電子とを介しての電気的接続において、さらにスペーサを設けた図である。
【図５】
本発明のインクジェット記録ヘッドが適用されるインクジェットプリンタ例の外観構成を示す斜視図である。
【図６】
図５に示すプリンタの外装部材を取り外した状態を示す斜視図である。
【図７】
本発明のインクジェット記録ヘッドが適用されるプリンタに用いる記録ヘッドカートリッジを組み立てた状態を示す斜視図である。
【図８】
図７に示す記録ヘッドカートリッジを示す分解斜視図である。
【図９】
図８に示した記録ヘッドを斜め下方から見た分解斜視図である。
【符号の説明】
１          基体
２          インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子（ヒータ）
３            型レジスタ        
４          第１感光性被覆樹脂層
５          第２感光性被覆樹脂層    
６          インク吐出口
８          インク供給口
９          電極
１１        導電シート
１３        スペーサ
１４        ノズル部
Ｈ１０００  記録ヘッドカートリッジ
Ｈ１００１  記録ヘッド
Ｈ１１００  記録素子基板
Ｈ１１００Ｔ  吐出口
Ｈ１２００  第１のプレート
Ｈ１２０１  インク供給口
Ｈ１３００  電気配線基板
Ｈ１３０１  外部信号入力端子
Ｈ１４００  第２のプレート
Ｈ１５００  タンクホルダー
Ｈ１５０１  インク流路
Ｈ１６００  流路形成部材
Ｈ１７００  フィルター
Ｈ１８００  シールゴム
Ｈ１９００  インクタンク
【手続補正６４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2002019121.tif 000001
【手続補正６５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４
【補正方法】削除
【補正の内容】