【手続補正書】
【提出日】平成19年2月26日(2007.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置決め対象物を保持し且つ駆動される第一の保持部と、前記位置決め対象物を基準位置に位置決めする第二の保持部と、前記第二の保持部から前記第一の保持部へ前記位置決め対象物を搬送する搬送手段とを有し、前記第一の保持部に設けられた基準マークに対する前記第一の保持部に保持された前記位置決め対象物に設けられたマークの位置ずれ量を計測し、該計測された位置ずれ量に基づいて前記第一の保持部を駆動する位置決め機構において、
前記位置ずれ量に基づき前記基準位置を変更するための手段を有することを特徴とする位置決め機構。
【請求項２】
第一の撮像機構と第一の画像処理部とを有し、前記第一撮像機構と前記第一画像処理部とにより前記位置ずれ量を計測することを特徴とする請求項１に記載の位置決め機構。
【請求項３】
前記基準位置を変更するための補正量が位置決め対象物ごとの固有の補正量として管理されることを特徴とする請求項１又は２に記載の位置決め機構。
【請求項４】
前記マークの描画誤差にさらに基づき、前記基準位置を変更することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の位置決め機構。
【請求項５】
第二の撮像機構と第二の画像処理部とを有し、前記第二撮像機構と前記第二画像処理部とにより、前記第二の保持部により保持された前記位置決め対象物に設けられたマークの前記基準位置からの位置ずれ量を求め、該求められた位置ずれ量に基づいて前記第二の保持部により前記位置決め対象物を位置決めすることを特徴とする請求項２に記載の位置決め機構。
【請求項６】
第二の撮像機構と第二の画像処理部とを有し、前記第二撮像機構と前記第二画像処理部とにより、前記第二の保持部により保持された前記位置決め対象物に設けられたマークの前記基準位置からの位置ずれ量を求め、該求められた位置ずれ量に基づいて前記第二の保持部により前記位置決め対象物を位置決めし、前記第一の撮像機構により撮像されるマークと前記第二の撮像機構により撮像されるマークとは、互いに同一であることを特徴とする請求項２に記載の位置決め機構。
【請求項７】
第二の撮像機構と第二の画像処理部とを有し、前記第二撮像機構と前記第二画像処理部とにより、前記第二の保持部により保持された前記位置決め対象物に設けられたマークの前記基準位置からの位置ずれ量を求め、該求められた位置ずれ量に基づいて前記第二の保持部により前記位置決め対象物を位置決めし、前記第一の撮像機構により撮像されるマークと前記第二の撮像機構により撮像されるマークとは、互いに異なることを特徴とする請求項２に記載の位置決め機構。
【請求項８】
該予め計測された前記位置ずれ量の履歴から算出された該位置ずれ量の平均値に基づき、前記基準位置を変更することを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の位置決め機構。
【請求項９】
前記第二の保持部により保持された前記位置決め対象物が突き当てられる突き当てピンを有し、前記突き当てピンの駆動により前記基準位置を変更することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の位置決め機構。
【請求項１０】
位置決め対象物をレチクルおよびウエハのいずれかとした請求項１乃至９のいずれかに記載の位置決め機構を有することを特徴とする半導体露光装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の露光装置を用いてウエハを露光するステップと、該露光されたウエハを現像するステップとを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、位置決め対象物の位置決めを行う位置決め機構及び該機構を有する半導体露光装置に関するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の目的は、位置決め対象物の位置決め時間を短縮することである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成するため本発明では、位置決め対象物を保持し且つ駆動される第一の保持部と、前記位置決め対象物を基準位置に位置決めする第二の保持部と、前記第二の保持部から前記第一の保持部へ前記位置決め対象物を搬送する搬送手段とを有し、前記第一の保持部に設けられた基準マークに対する前記第一の保持部に保持された前記位置決め対象物に設けられたマークの位置ずれ量を計測し、該計測された位置ずれ量に基づいて前記第一の保持部を駆動する位置決め機構において、前記位置ずれ量に基づき前記基準位置を変更するための手段を有することを特徴とする。この前記第二の保持部における補正の目的は、次の位置決めステップで用いられる対象物マーク位置例えばレチクルマーク位置の追い込み精度の向上である。これによって、第一の保持部における計測機構の狭視野、位置決め精度の高精度化を実現する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の好ましい実施の形態においては、第一の撮像機構と第一の画像処理部とを有し、前記第一撮像機構と前記第一画像処理部とにより前記位置ずれ量を計測する。
また、前記基準位置を変更するための補正量が位置決め対象物ごとの固有の補正量として管理される。前記第二の保持部における補正量を、基板によって異なる値とすることによって、前記第一の保持部での位置決め対象物の位置ずれ量が位置決め対象物によってばらつくことをなくし、第一の保持部における計測機構の狭視野、位置決め精度の高精度化を安定化することを実現する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、前記マークの描画誤差にさらに基づき、前記基準位置を変更する。前記描画誤差は、位置決め対象物作成時に既知となっているため、例えば、位置決め対象物である基板上に識別子を設け、識別子と誤差量のテーブルを装置内に持ち、第二の保持部における補正値を基板個別に管理することを実現する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、第二の撮像機構と第二の画像処理部とを有し、前記第二撮像機構と前記第二画像処理部とにより、前記第二の保持部により保持された前記位置決め対象物に設けられたマークの前記基準位置からの位置ずれ量を求め、該求められた位置ずれ量に基づいて前記第二の保持部により前記位置決め対象物を位置決めする。この場合、前記第一の撮像機構により撮像されるマークと前記第二の撮像機構により撮像されるマークとは、互いに同一であっても、異なるものであってもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、該予め計測された前記位置ずれ量の履歴から算出された該位置ずれ量の平均値に基づき、前記基準位置を変更する。これによって、搬送時の位置決め対象物の位置ずれ量のばらつきをさらに精度よく補正することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、前記第二の保持部により保持された前記位置決め対象物が突き当てられる突き当てピンを有し、前記突き当てピンの駆動により前記基準位置を変更することが好ましい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明に係る露光装置は、位置決め対象物である基板をレチクルまたはウエハとした上記位置決め機構を有することを特徴とする。この露光装置は、基板の位置決めにおける基板位置の追い込みの駆動量を小さくすることによる駆動時間の短縮、撮像手段の計測視野縮小による基板の位置決め精度の高精度化を実現することができ、高い重ね合わせ精度、かつ高スループットな露光装置を提供することができる。また、本発明に係るデバイス製造方法は、上記いずれかに記載の位置決め機構を有する露光装置を用いてウエハを露光するステップと、該露光されたウエハを現像するステップとを含むことを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
以上説明したように、本発明によれば、位置決め対象物の位置決め時間を短縮することができる。