【手続補正書】
【提出日】平成20年7月24日(2008.7.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つのセンサ（１、２）が、センサ（１、２）に対して相対的に移動可能であり多数の等間隔に配置された目盛（５）を備えた実量器（３）を走査して相応の測定信号（ｘ、ｙ）を送出し、
測定信号（ｘ、ｙ）が実量器（３）の等速度の相対移動により周期的であり、実質的に同じ振幅（ａ）を有し、実質的に正弦波であり互いに相対的に実質的に９０°の位相ずれを有し、実量器（３）の相対移動に対応する基本周波数（ｆＧ）を有し、実量器（３）が測定信号（ｘ、ｙ）の１周期中に相対移動を１つの目盛（５）分だけ実施し、
測定信号（ｘ、ｙ）から、補正値（ｘ0、ｙ0、ｍ、Δ、ｃq、ｄq）を利用して補正信号（ｘcc、ｙcc）を決定し、
補正信号（ｘcc、ｙcc）に基づいてセンサ（１、２）に対して相対的な実量器（３）の位置信号（φcc）を決定し、
補助信号（ｒcc、ｒcc2）の基本周波数（ｆＧ）に関係したフーリエ係数（Ｅi、Ｆi）を決定し、
補助信号（ｒcc、ｒcc2）が補正信号（ｘcc、ｙcc）の二乗の和あるいはこの和から導出された値（ｒcc）に等しく、
補正値（ｘ0、ｙ0、ｍ、Δ、ｃq、ｄq）をこのフーリエ係数（Ｅi、Ｆi）に基づいて更新し、
補正値（ｘ0、ｙ0、ｍ、Δ、ｃq、ｄq）が、測定信号（ｘ、ｙ）に対する２つのオフセット補正値（ｘ0、ｙ0）、少なくとも１つの振幅補正値（ｍ）および少なくとも１つの位相補正値（Δ）またはこれらの値の一部、並びに測定信号（ｘ、ｙ）の少なくとも１つの高周波に対する少なくとも１つの補正値（ｃq、ｄq）を含む
位置信号の決定方法。
【請求項２】
測定信号（ｘ、ｙ）の少なくとも１つの高周波に対する補正値（ｃq、ｄq）を、基本周波数（ｆＧ）の奇数倍の周波数を持つ測定信号（ｘ、ｙ）の高周波のみに対して決定する
ことを特徴とする請求項１に記載の決定方法。
【請求項３】
基本周波数（ｆＧ）の３倍もしくは５倍の周波数を持つ測定信号（ｘ、ｙ）の高周波のみに対する補正値（ｃq、ｄq）を決定し、基本周波数（ｆＧ）の５倍の周波数を持つ測定信号（ｘ、ｙ）の高周波に対する補正値（ｃ5、ｄ5）が、基本周波数（ｆＧ）の３倍の周波数を持つ測定信号（ｘ、ｙ）の高周波に対する補正値（ｃ3、ｄ3）に対して前もって定めた比率にある
ことを特徴とする請求項２に記載の決定方法。
【請求項４】
基本周波数（ｆＧ）の３倍の周波数を持つ測定信号（ｘ、ｙ）の高周波のみに対する補正値（ｃ3、ｄ3）を決定する
ことを特徴とする請求項３に記載の決定方法。
【請求項５】
フーリエ係数（Ｅi、Ｆi）を決定するために、補正信号（ｘcc、ｙcc）を複数
のレジスタ（９）のうちの１つのレジスタに記憶させ、
レジスタ（９）にそれぞれ１つの角度範囲（α１〜αｎ）が割り当てられ、
記憶を、レジスタ（９）のうちで、角度範囲（α１〜αｎ）内に補正信号（ｘcc、ｙcc）の逆正接（φcc）が位置するレジスタ内でそれぞれ行ない、
レジスタ（９）に記憶された値に基づいてフーリエ係数（Ｅi、Ｆi）を決定する
ことを特徴とする請求項１乃至４の１つに記載の決定方法。
【請求項６】
フーリエ係数（Ｅi、Ｆi）の決定後にレジスタ（９）に記憶された値を消去しフーリエ係数（Ｅi、Ｆi）の新規の決定をレジスタ（９）が十分に満たされた後に初めて再び行なう
ことを特徴とする請求項５に記載の決定方法。
【請求項７】
レジスタ（９）は、全てのレジスタ（９）に請求項５の方法に従って値が記憶されている場合にのみ十分に満たされている状態にある
ことを特徴とする請求項６に記載の決定方法。
【請求項８】
レジスタ（９）は、レジスタ（９）のうちの第１の部分にのみ請求項５の方法に従って値が記憶され、レジスタ（９）のうちの第２の部分が請求項５の方法に従って記憶された値に基づいて決定される値で満たされる場合に、既に十分に満たされている状態にある
ことを特徴とする請求項６に記載の決定方法。
【請求項９】
各フーリエ係数（Ｅi、Ｆi）にも特定のレジスタ（９）が割り当てられ、それぞれのフーリエ係数（Ｅi、Ｆi）に割り当てられたレジスタ（９）に記憶されている値のみに基づいてそれぞれのフーリエ係数（Ｅi、Ｆi）を決定する
ことを特徴とする請求項５乃至８の１つに記載の決定方法。
【請求項１０】
フーリエ係数（Ｅi、Ｆiq）を、割り当てられたレジスタ（９）に記憶された値の加算および減算によって決定する
ことを特徴とする請求項９に記載の決定方法。
【請求項１１】
補正信号（ｘcc、ｙcc）を決定するために予備補正された信号（ｘc、ｙc）を先ず決定し、
この予備補正された信号（ｘc、ｙc）を測定信号（ｘ、ｙ）からオフセット補正値（ｘ0、ｙ0）、少なくとも１つの振幅補正値（ｍ）および／または少なくとも１つの位相補正値（Δ）を利用して決定し、
その後、予備補正された信号（ｘc、ｙc）と測定信号（ｘ、ｙ）の少なくとも１つの高周波に対する少なくとも１つの補正値（ｃq、ｄq）とに基づいて補正信号（ｘcc、ｙcc）を決定する
ことを特徴とする請求項１乃至１０の１つに記載の決定方法。
【請求項１２】
予備補正された信号（ｘc、ｙc）に基づいて先ず一時的な逆正接（φc）を決定し、その後この一時的な逆正接（φc）を引数としてフーリエ級数展開に用いることによって補正信号（ｘcc、ｙcc）を決定する
ことを特徴とする請求項１１に記載の決定方法。
【請求項１３】
補正信号（ｘcc、ｙcc）を、予備補正された信号（ｘc、ｙc）に基づいて
【数１】
2008509414.tif 000001
【数２】
2008509414.tif 000002
の形の関数を形成することによって決定する（但し、ｘcc、ｙccは補正信号であり、ｘc、ｙcは予備補正された信号であり、ａは信号振幅であり、ｃq、ｄqはフーリエ係数（Ｅi、Ｆi）に基づいて決定された重み係数であり、φcは一時
的な逆正接である）
ことを特徴とする請求項１２に記載の決定方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の第２の式において、ｃｏｓ（ｑφc−ｑπ／２）を、
ｑ＝０、４、８、…についてはｃｏｓ（ｑφc）で、
ｑ＝１、５、９、…についてはｓｉｎ（ｑφc）で、
ｑ＝２、６、１０、…については−ｃｏｓ（ｑφc）で、
ｑ＝３、７、１１、…については−ｓｉｎ（ｑφc）で、
さらにｓｉｎ（ｑφc−ｑπ／２）を、
ｑ＝０、４、８、…についてはｓｉｎ（ｑφc）で、
ｑ＝１、５、９、…については−ｃｏｓ（ｑφc）で、
ｑ＝２、６、１０、…については−ｓｉｎ（ｑφc）で、
ｑ＝３、７、１１、…についてはｃｏｓ（ｑφc）で
置換する
ことを特徴とする請求項１３に記載の決定方法。
【請求項１５】
請求項１３の第１の式ならびに請求項１４により変更した請求項１３の第２の式において、ｃｏｓ（ｑφc）を
【数３】
2008509414.tif 000003
で、ｓｉｎ（ｑφc）を
【数４】
2008509414.tif 000004
で置換する
ことを特徴とする請求項１４に記載の決定方法。
【請求項１６】
請求項１５の式においてｃｏｓ（φc）をｘc／ａで、ｓｉｎ（φc）をｙc／ａで置換する
ことを特徴とする請求項１５に記載の決定方法。
【請求項１７】
補正信号（ｘcc、ｙcc）を、予備補正された信号（ｘc、ｙc）に基づいて
【数５】
2008509414.tif 000005
【数６】
2008509414.tif 000006
の形の関数を形成することによって決定する（但し、ｘcc、ｙccは補正信号であり、ｘc、ｙcは予備補正された信号であり、ｂqは重み係数である）
ことを特徴とする請求項１１に記載の決定方法。
【請求項１８】
請求項１乃至１７の１つに記載の決定方法の実施に適していることを特徴とする決定回路。