【手続補正書】
【提出日】平成19年1月10日(2007.1.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  光を変調する光変調素子と、
該光変調素子を光で照明する照明光学系と、
光透過部と該光透過部を挟むように配置された２つの光反射部を含み、前記光変調素子からの光を走査する走査光学系とを有し、
前記走査光学系が、前記光変調素子からの光のうち前記光反射部に入射する光束を複数の方向に順次偏向する光偏向器を有することを特徴とする光走査装置。
【請求項２】  前記光変調素子は、回折又は偏向又は散乱により光を変調する素子であり、入力信号に応じて、回折又は偏向又は散乱した光を形成したり、回折又は偏向又は散乱しない光を形成したりする機能を有する電気機械素子または液晶素子より成り、ON信号に応じて回折又は偏向又は散乱した光を形成し、OFF信号に応じて回折又は偏向又は散乱しない光を形成することを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
【請求項３】  請求項１又は２に記載の光走査装置と、前記走査光学系からの前記光束を投影する投影光学系を有することを特徴とする投影装置。
【請求項４】  回折又は偏向又は散乱によって光を変調する光変調素子と、
該光変調素子を光で照明する照明光学系と、
該光変調素子からの光を走査する走査光学系とを有し、
前記走査光学系が、前記光変調素子からの光のうち前記変調を受けた光束を選択して該光束を複数の方向に順次偏向する偏向ミラーと、該偏向ミラーからの前記光束を投影する投影光学系とを有することを特徴とする投影装置。
【請求項５】  前記偏向ミラーは光通過領域と光反射領域とを有し、該光反射領域により実質的に前記変調を受けた光束だけが反射され、前記光通過領域を実質的に前記変調を受けなかった光束だけが通過することを特徴とする請求項４に記載の投影装置。
【請求項６】  前記光変調素子は前記光を反射する素子であり、前記照明光学系の前記光は前記偏向ミラーの前記光通過領域を通って前記反射型の光変調素子に入射することを特徴とする請求項５に記載の投影装置。
【請求項７】  前記照明光学系は前記光変調素子に対向する前記光変調素子側がテレセントリックなレンズ系を有し、前記反射型の光変調素子からの光は前記テレセントリックなレンズ系を介して前記偏向ミラーの位置へ伝播することを特徴とする請求項６に記載の投影装置。
【請求項８】  前記光変調素子はある方向にそれぞれが画素に相当する複数個の光変調部を配列した細長い光変調領域を有し、前記照明光学系は前記複数個の光変調部の配列方向に細長い光で前記光変調素子を照明するためのアナモフィック光学素子を一つ又は複数個有することを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載の投影装置。
【請求項９】  前記走査光学系は前記光変調素子からの光束を前記光変調領域の長手方向に直交する方向だけに走査することを特徴とする請求項８に記載の投影装置。
【請求項１０】  前記光変調素子は予め決めた方向と直交する方向にも数個の光変調部が並ぶ光変調領域を有することを特徴とする請求項９に記載の投影装置。
【請求項１１】  前記走査光学系は前記光変調素子からの光束を前記光変調領域の長手方向と該長手方向に直交する方向に走査することを特徴とする請求項８に記載の投影装置。
【請求項１２】  前記光変調素子は、入力信号に応じて、回折又は偏向又は散乱した光を形成したり、回折又は偏向又は散乱しない光を形成したりする機能を有し、電気機械素子または液晶素子より成り、 ON信号に応じて回折又は偏向又は散乱した光を形成し、OFF信号に応じて回折又は偏向又は散乱しない光を形成することを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明の光走査装置は、光を変調する光変調素子と、
該光変調素子を光で照明する照明光学系と、
光透過部と該光透過部を挟むように配置された２つの光反射部を含み、前記光変調素子からの光を走査する走査光学系とを有し、
前記走査光学系が、前記光変調素子からの光のうち前記光反射部に入射する光束を複数の方向に順次偏向する光偏向器を有することを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項２の発明は請求項１の発明において、前記光変調素子は、回折又は偏向又は散乱により光を変調する素子であり、入力信号に応じて、回折又は偏向又は散乱した光を形成したり、回折又は偏向又は散乱しない光を形成したりする機能を有する電気機械素子または液晶素子より成り、ON信号に応じて回折又は偏向又は散乱した光を形成し、OFF信号に応じて回折又は偏向又は散乱しない光を形成することを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
請求項３の発明の投影装置は、請求項１又は２に記載の光走査装置と、前記走査光学系からの前記光束を投影する投影光学系を有することを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
請求項４の発明の投影装置は、回折又は偏向又は散乱によって光を変調する光変調素子と、
該光変調素子を光で照明する照明光学系と、
該光変調素子からの光を走査する走査光学系とを有し、
前記走査光学系が、前記光変調素子からの光のうち前記変調を受けた光束を選択して該光束を複数の方向に順次偏向する偏向ミラーと、該偏向ミラーからの前記光束を投影する投影光学系とを有することを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
請求項５の発明は請求項４の発明において、前記偏向ミラーは光通過領域と光反射領域とを有し、該光反射領域により実質的に前記変調を受けた光束だけが反射され、前記光通過領域を実質的に前記変調を受けなかった光束だけが通過することを特徴としている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
請求項６の発明は請求項５の発明において、前記光変調素子は前記光を反射する素子であり、前記照明光学系の前記光は前記偏向ミラーの前記光通過領域を通って前記反射型の光変調素子に入射することを特徴としている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
請求項７の発明は請求項６の発明において、前記照明光学系は前記光変調素子に対向する前記光変調素子側がテレセントリックなレンズ系を有し、前記反射型の光変調素子からの光は前記テレセントリックなレンズ系を介して前記偏向ミラーの位置へ伝播することを特徴としている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
請求項８の発明は請求項５乃至７のいずれか１項の発明において、前記光変調素子はある方向にそれぞれが画素に相当する複数個の光変調部を配列した細長い光変調領域を有し、前記照明光学系は前記複数個の光変調部の配列方向に細長い光で前記光変調素子を照明するためのアナモフィック光学素子を一つ又は複数個有することを特徴としている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
請求項９の発明は請求項８の発明において、前記走査光学系は前記光変調素子からの光束を前記光変調領域の長手方向に直交する方向だけに走査することを特徴としている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
請求項１０の発明は請求項９の発明において、前記光変調素子は予め決めた方向と直交する方向にも数個の光変調部が並ぶ光変調領域を有することを特徴としている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
請求項１１の発明は請求項１０の発明において、前記走査光学系は前記光変調素子からの光束を前記光変調領域の長手方向と該長手方向に直交する方向に走査することを特徴としている。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
請求項１２の発明は請求項１の発明において、前記光変調素子は、入力信号に応じて、回折又は偏向又は散乱した光を形成したり、回折又は偏向又は散乱しない光を形成したりする機能を有し、電気機械素子または液晶素子より成り、 ON信号に応じて回折又は偏向又は散乱した光を形成し、OFF信号に応じて回折又は偏向又は散乱しない光を形成することを特徴としている。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
そして光走査手段５は図１においてＺ方向に回転軸５ｃを有し、該回転軸５ｃを中心に振動又は回転している。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
ＧＬＶ４がｏｎ状態の場合の反射回折光束は、光走査手段５の反射領域５ａで反射し、投射光学系６を介してスクリーン７に達する。光走査手段５が、図１においては紙面垂直方向（図２、図３においては紙面上下方向）の回転軸５ｃを中心に一方向に回転あるいは往復回動（揺動）することにより、１次元のＧＬＶ４からの反射光束を副走査方向に走査し、スクリーン７面上に２次元画像を投射している。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2001201710.tif 000001