【手続補正書】
【提出日】平成19年5月8日(2007.5.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部圧力が外部圧力と異なるチャンバ内のマークの位置を測定する位置測定方法であって、
前記チャンバの外部に配置された検出手段を用いて、前記チャンバに設けられた窓を介して前記チャンバの内部で固定配置された指標マークの位置を検出する第１検出ステップと、
前記検出手段を用いて、前記窓を介して前記チャンバの内部で前記指標マークに対して移動可能に配置された前記マークの位置を検出する第２検出ステップと、
前記チャンバの内部と外部の圧力差による、前記チャンバおよび前記窓のうちの少なくとも１つの変形に伴う検出誤差を抑制するように、前記第１検出ステップでの検出結果および前記第２検出ステップでの検出結果に基づいて、前記指標マークに対する前記マークの位置を算出する算出ステップとを備えることを特徴とする位置測定方法。
【請求項２】
内部圧力が外部圧力と異なるチャンバ内のマークの位置を測定する位置測定方法であって、
前記チャンバの内部に配置された第１の照明手段を用いて、前記チャンバの内部で固定配置された指標マークを照明し、前記チャンバの外部に配置された検出手段を用いて、前記指標マークの位置を検出する第１検出ステップと、
前記チャンバの内部に配置された第２の照明手段を用いて、前記チャンバの内部で前記指標マークに対して移動可能に配置された前記マークを照明し、前記検出手段を用いて前記マークの位置を検出する第２検出ステップと、
前記第１検出ステップでの検出結果および前記第２検出ステップでの検出結果に基づいて、前記指標マークに対する前記マークの位置を算出する算出ステップとを備えることを特徴とする位置測定方法。
【請求項３】
内部圧力が外部圧力と異なるチャンバ内のマークの位置を測定する位置測定方法であって、
前記チャンバの内部に配置された照明手段を用いて、前記チャンバの内部で固定配置された指標マークを照明し、前記チャンバの外部に配置された検出手段を用いて、前記指標マークの位置を検出する第１検出ステップと、
前記照明手段を用いて、前記チャンバの内部で前記指標マークに対して移動可能に配置された前記マークを照明し、前記検出手段を用いて前記マークの位置を検出する第２検出ステップと、
前記第１検出ステップでの検出結果および前記第２検出ステップでの検出結果に基づいて、前記指標マークに対する前記マークの位置を算出する算出ステップとを備えることを特徴とする位置測定方法。
【請求項４】
チャンバ内のマークの位置を測定する位置測定方法であって、
前記チャンバの内部圧力が前記チャンバの外部圧力と等しいときに、前記チャンバの外部に配置された検出手段を用いて、前記チャンバの内部で固定配置された指標マークの位置を検出する第１検出ステップと、
前記チャンバの内部圧力が前記チャンバの外部圧力と異なるときに、前記検出手段を用いて、前記指標マークの位置を検出する第２検出ステップと、
前記チャンバの内部圧力が前記チャンバの外部圧力と異なるときに、前記検出手段を用いて、前記チャンバの内部で前記指標マークに対して移動可能に配置された前記マークの位置を検出する第３検出ステップと、
前記第１検出ステップでの検出結果および前記第２検出ステップでの検出結果を用いて、前記第３検出ステップでの検出結果を補正する補正ステップとを備えることを特徴とする位置測定方法。
【請求項５】
原版のパターンを基板上に露光する露光装置であって、
窓を有し、前記原版および前記基板を収容するチャンバと、ここで前記チャンバの内部圧力は前記チャンバの外部圧力と異なっており、
前記チャンバの内部で固定配置された指標マークと、
前記原版、前記原版を保持する原版ステージ、前記基板及び前記基板を保持する基板ステージのいずれかに配置され、前記指標マークに対して移動可能なマークと、
前記チャンバの外部に配置され、前記窓を介して前記指標マークおよび前記マークの位置を検出する検出手段と、
前記チャンバの内部と外部の圧力差による、前記チャンバおよび前記窓のうち少なくとも１つの変形に伴う検出誤差を抑制するように、前記指標マークの検出結果および前記マークの検出結果に基づいて、前記指標マークに対する前記マークの位置を算出する算出手段とを備える。
【請求項６】
前記露光に用いられる光はＥＵＶ光であることを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】
前記チャンバの内部は真空に保たれることを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項８】
前記検出手段による前記指標マークの検出と前記検出手段による前記マークの検出は、異なるタイミングで行なわれることを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項９】
前記検出手段による前記指標マークの検出と前記検出手段による前記マークの検出は、実質的に同じタイミングで行なわれることを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記チャンバの内部に配置され、前記指標マークを照明する第１の照明手段と、
前記チャンバの内部に配置され、前記マークを照明する第２の照明手段とをさらに備えることを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項１１】
原版のパターンを基板上に露光する露光装置であって、
窓を有し、前記原版および前記基板を収容するチャンバと、ここで前記チャンバの内部圧力は前記チャンバの外部圧力と異なり、
前記チャンバの内部で固定配置された指標マークと、
前記原版上もしくは前記原版を保持する原版ステージ上に配置され、前記指標マークに対して移動可能な原版マークと、
前記基板上もしくは前記基板を保持する基板ステージ上に配置され、前記指標マークに対して移動可能な基板マークと、
前記チャンバの外部に配置され、前記窓を介して前記指標マーク、前記原版マークおよび前記基板マークの位置を検出する検出手段と、
前記チャンバの内部と外部の圧力差による、前記チャンバおよび前記窓のうち少なくとも１つの変形に伴う検出誤差を抑制するように、前記指標マークの検出結果、前記原版マークおよび前記基板マークの検出結果に基づいて、前記指標マークに対する前記原版マークおよび前記基板マークの位置を算出する算出手段とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１２】
前記検出手段によって前記原版マークの位置を検出する際、前記基板ステージは、前記基板ステージ上に配置された基板反射部材が検出光路上に来るように移動し、
前記検出手段によって前記基板マークの位置を検出する際、前記原版ステージは、前記原版ステージ上に配置された原版反射部材が検出光路上に来るように移動することを特徴とする請求項１１に記載の露光装置。
【請求項１３】
原版のパターンを基板上に露光する露光装置であって、
窓を有し、前記原版および前記基板を収容するチャンバと、ここで前記チャンバの内部圧力は外部圧力と異なり、
前記チャンバの内部で固定配置された指標マークと、
前記原版、前記原版を保持する原版ステージ、前記基板及び前記基板を保持する基板ステージのいずれかに配置され、前記チャンバの内部で前記指標マークに対して移動可能なマークと、
前記チャンバの内部に配置され、前記指標マークを照明する第１の照明手段と、
前記チャンバの内部に配置され、前記マークを照明する第２の照明手段と、
前記チャンバの外部に配置され、前記窓を介して前記指標マーク及び前記マークの位置を検出する検出手段と、
前記検出手段による前記指標マーク及び前記マークの検出結果に基づいて、前記指標マークに対する前記マークの位置を算出する算出手段とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１４】
原版のパターンを基板上に露光する露光装置であって、
窓を有し、前記原版および前記基板を収容するチャンバと、ここで前記チャンバの内部圧力は外部圧力と異なり、
前記チャンバの内部で固定配置された指標マークと、
前記原版、前記原版を保持する原版ステージ、前記基板及び前記基板を保持する基板ステージのいずれかに配置され、前記チャンバの内部で前記指標マークに対して移動可能なマークと、
前記チャンバの内部に配置され、前記指標マーク及び前記マークを照明する照明手段と、
前記チャンバの外部に配置され、前記窓を介して前記指標マーク及び前記マークの位置を検出する検出手段と、
前記検出手段による前記指標マーク及び前記マークの検出結果に基づいて、前記指標マークに対する前記マークの位置を算出する算出手段とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１５】
原版のパターンを基板上に露光する露光装置であって、
窓を有し、前記原版および前記基板を収容するチャンバと、
前記チャンバの内部で固定配置された指標マークと、
前記チャンバの内部で前記指標マークに対して移動可能なマークと、
前記チャンバの外部に配置され、前記窓を介して前記指標マーク及び前記マークの位置を検出する検出手段と、ここで、前記検出手段は、前記チャンバの内部圧力が前記チャンバの外部圧力と等しくなっている間に前記指標マークを検出し、前記チャンバの内部圧力が前記チャンバの外部圧力と異なっている間に前記マークを検出し、
前記指標マークの検出結果に基づいて前記マークの検出結果を補正する補正手段とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１６】
請求項５乃至１５の何れか１項に記載の露光装置を用いて原版のパターンを基板上に露光するステップを備えたことを特徴とするデバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】位置測定方法、露光装置、及びデバイスの製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
上記の目的を達成するための本発明の一態様による位置計測方法は、
内部圧力が外部圧力と異なるチャンバ内のマークの位置を測定する位置測定方法であって、
前記チャンバの外部に配置された検出手段を用いて、前記チャンバに設けられた窓を介して前記チャンバの内部で固定配置された指標マークの位置を検出する第１検出ステップと、
前記検出手段を用いて、前記窓を介して前記チャンバの内部で前記指標マークに対して移動可能に配置された前記マークの位置を検出する第２検出ステップと、
前記チャンバおよび前記窓のうちの少なくとも１つの、前記チャンバの内部と外部の圧力差による変形に伴う検出誤差を抑制するように、前記第１検出ステップでの検出結果および前記第２検出ステップでの検出結果に基づいて、前記指標マークに対する前記マークの位置を算出する算出ステップとを備える。
また、上記の目的を達成するための本発明の他の態様による位置計測方法は、
内部圧力が外部圧力と異なるチャンバ内のマークの位置を測定する位置測定方法であって、
前記チャンバの内部に配置された第１の照明手段を用いて、前記チャンバの内部で固定配置された指標マークを照明し、前記チャンバの外部に配置された検出手段を用いて、前記指標マークの位置を検出する第１検出ステップと、
前記チャンバの内部に配置された第２の照明手段を用いて、前記チャンバの内部で前記指標マークに対して移動可能に配置された前記マークを照明し、前記検出手段を用いて前記マークの位置を検出する第２検出ステップと、
前記第１検出ステップでの検出結果および前記第２検出ステップでの検出結果に基づいて、前記指標マークに対する前記マークの位置を算出する算出ステップとを備える。
また、上記の目的を達成するための本発明の他の態様による位置計測方法は、
内部圧力が外部圧力と異なるチャンバ内のマークの位置を測定する位置測定方法であって、
前記チャンバの内部に配置された照明手段を用いて、前記チャンバの内部で固定配置された指標マークを照明し、前記チャンバの外部に配置された検出手段を用いて、前記指標マークの位置を検出する第１検出ステップと、
前記照明手段を用いて、前記チャンバの内部で前記指標マークに対して移動可能に配置された前記マークを照明し、前記検出手段を用いて前記マークの位置を検出する第２検出ステップと、
前記第１検出ステップでの検出結果および前記第２検出ステップでの検出結果に基づいて、前記指標マークに対する前記マークの位置を算出する算出ステップとを備える。
更に、上記の目的を達成するための本発明の他の態様による位置計測方法は、
チャンバ内のマークの位置を測定する位置測定方法であって、
前記チャンバの内部圧力が前記チャンバの外部圧力と等しいときに、前記チャンバの外部に配置された検出手段を用いて、前記チャンバの内部で固定配置された指標マークの位置を検出する第１検出ステップと、
前記チャンバの内部圧力が前記チャンバの外部圧力と異なるときに、前記検出手段を用いて、前記指標マークの位置を検出する第２検出ステップと、
前記チャンバの内部圧力が前記チャンバの外部圧力と異なるときに、前記検出手段を用いて、前記チャンバの内部で前記指標マークに対して移動可能に配置された前記マークの位置を検出する第３検出ステップと、
前記第１検出ステップでの検出結果および前記第２検出ステップでの検出結果を用いて、前記第３検出ステップでの検出結果を補正する補正ステップとを備える。