【手続補正書】
【提出日】平成19年10月16日(2007.10.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】製造ラインの自動品質制御方法及びその装置並びに記憶媒体、自動品質制御プログラム
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  製造ラインにおける製造条件データ及び製品の出来映えデータをモニタリングして製造履歴データベースに蓄積し、このうち前記出来映えデータを監視して前記製造ラインでの品質阻害事象を検出すると、前記製造条件データも加味して品質阻害要因を抽出し、この抽出結果と予め記憶された品質改善履歴データとを照合してその妥当性を確認し、さらに前記品質阻害要因について前記製造ラインに関する現象のシミュレーションを実行して正当性を検証し、これら妥当性及び正当性があった場合には前記品質阻害要因を改善するように製造条件を変更して前記製造ラインにフィードバックすることを特徴とする製造ラインの自動品質制御方法。
【請求項２】  前記妥当性及び前記正当性が前記品質改善履歴データとの照合及び前記シミュレーションによって確認できなかった場合、その警告及び前記品質阻害要因候補を提示してその品質阻害要因を改善するために前記製造条件を変更するか否かを仰ぐことを特徴とする請求項１記載の製造ラインの自動品質制御方法。
【請求項３】  前記品質阻害要因の改善がなされた場合、この改善事例を前記品質改善履歴データに追加することを特徴とする請求項１記載の製造ラインの自動品質制御方法。
【請求項４】  製造ラインにおける製造条件データ及び製品の出来映えデータをモニタリングして製造履歴データベースに蓄積するモニタリング・データ化手段と、前記製造履歴データベースに蓄積された前記出来映えデータを監視して前記製造ラインでの品質阻害事象を検出すると、前記製造条件データも加味して品質阻害要因を抽出する解析手段と、この抽出結果と予め記憶された品質改善履歴データとを照合してその妥当性を確認する妥当性確認手段と、前記品質阻害要因について前記製造ラインに関する現象のシミュレーションを実行して正当性を検証する正当性検証手段と、前記妥当性及び前記正当性があった場合には前記品質阻害要因を改善するように製造条件を変更して前記製造ラインにフィードバックするフィードバック手段と、を具備したことを特徴とする製造ラインの自動品質制御装置。
【請求項５】  前記妥当性及び正当性が前記品質改善履歴データとの照合及び前記シミュレーションによって確認できなかった場合、その警告及び前記品質阻害要因候補を提示してその品質阻害要因を改善するために前記製造条件を変更するか否かを仰ぐ警告判断手段を備えたことを特徴とする請求項４記載の製造ラインの自動品質制御装置。
【請求項６】  前記品質阻害要因の改善がなされた場合、この改善事例を前記品質改善履歴データに追加する学習手段を備えたことを特徴とする請求項４記載の製造ラインの自動品質制御装置。
【請求項７】  製造ラインにおける製造条件データ及び製品の出来映えデータをモニタリングさせて製造履歴データベースに蓄積させ、このうち前記出来映えデータを監視させて前記製造ラインでの品質阻害事象を検出すると、前記製造条件データも加味して品質阻害要因を抽出させ、この抽出結果と予め記憶された品質改善履歴データとを照合させてその妥当性を確認させ、さらに前記品質阻害要因について前記製造ラインに関する現象のシミュレーションを実行させて正当性を検証させ、これら妥当性及び正当性があった場合には前記品質阻害要因を改善させるように製造条件を変更させて前記製造ラインにフィードバックさせるプログラムを記憶したことを特徴とする記憶媒体。
【請求項８】  前記妥当性及び正当性が前記品質改善履歴データとの照合及び前記シミュレーションによって確認できなかった場合、その警告及び前記品質阻害要因候補を提示させてその品質阻害要因を改善させるために前記製造条件を変更するか否かを仰がせることを特徴とする請求項７記載の記憶媒体。
【請求項９】  前記品質阻害要因の改善がなされた場合、この改善事例を前記品質改善履歴データに追加させることを特徴とする請求項７記載の記憶媒体。
【請求項１０】  製造ラインにおける製造条件データ及び製品の出来映えデータをモニタリングさせて製造履歴データベースに蓄積させ、このうち前記出来映えデータを監視させて前記製造ラインでの品質阻害事象を検出すると、前記製造条件データも加味して品質阻害要因を抽出させ、この抽出結果と予め記憶された品質改善履歴データとを照合させてその妥当性を確認させ、さらに前記品質阻害要因について前記製造ラインに関する現象のシミュレーションを実行させて正当性を検証させ、これら妥当性及び正当性があった場合には前記品質阻害要因を改善させるように製造条件を変更させて前記製造ラインにフィードバックさせることを特徴とする自動品質制御プログラム。
【請求項１１】  前記妥当性及び正当性が前記品質改善履歴データとの照合及び前記シミュレーションによって確認できなかった場合、その警告及び前記品質阻害要因候補を提示させてその品質阻害要因を改善させるために前記製造条件を変更するか否かを仰がせることを特徴とする請求項１０記載の自動品質制御プログラム。
【請求項１２】  前記品質阻害要因の改善がなされた場合、この改善事例を前記品質改善履歴データに追加させることを特徴とする請求項１０記載の自動品質制御プログラム。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体製造ラインなどの各種製品の製造ラインの品質制御を自動的に行う製造ラインの品質制御方法及びその装置並びに記憶媒体、自動品質制御プログラムに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
そこで本発明は、人間系のデータ処理能力及び経験則、勘に頼るあいまい性を克服し、大量データを有効に活用できる製造ラインの自動品質制御方法及びその装置並びに記憶媒体、自動品質制御プログラムを提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項９記載による本発明は、請求項７記載の記憶媒体において、前記品質阻害要因の改善がなされた場合、この改善事例を前記品質改善履歴データに追加させることを特徴とする。
請求項１０記載による本発明は、製造ラインにおける製造条件データ及び製品の出来映えデータをモニタリングさせて製造履歴データベースに蓄積させ、このうち前記出来映えデータを監視させて前記製造ラインでの品質阻害事象を検出すると、前記製造条件データも加味して品質阻害要因を抽出させ、この抽出結果と予め記憶された品質改善履歴データとを照合させてその妥当性を確認させ、さらに前記品質阻害要因について前記製造ラインに関する現象のシミュレーションを実行させて正当性を検証させ、これら妥当性及び正当性があった場合には前記品質阻害要因を改善させるように製造条件を変更させて前記製造ラインにフィードバックさせることを特徴とする自動品質制御プログラムである。
請求項１１記載による本発明は、請求項１０記載の自動品質制御プログラムにおいて、前記妥当性及び正当性が前記品質改善履歴データとの照合及び前記シミュレーションによって確認できなかった場合、その警告及び前記品質阻害要因候補を提示させてその品質阻害要因を改善させるために前記製造条件を変更するか否かを仰がせることを特徴とする。
請求項１２記載による本発明は、請求項１０記載の自動品質制御プログラムにおいて、前記品質阻害要因の改善がなされた場合、この改善事例を前記品質改善履歴データに追加させることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、人間系のデータ処理能力及び経験則、勘に頼るあいまいな性を克服し、大量データを有効に活用できる製造ラインの自動品質制御方法及びその装置並びに記憶媒体、自動品質制御プログラムを提供できる。