【手続補正書】
【提出日】平成18年11月6日(2006.11.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】プラズマ処理容器内部材及びプラズマ処理装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  プラズマを用いて被処理物にプロセスを施すプラズマ処理容器に配設されるプラズマ処理容器内部材において、
プラズマ放電を用いた陽極酸化処理により前記プラズマ処理容器内部材の基材の表面に形成される酸化処理被膜と、
前記酸化処理被膜上に形成される溶射被膜とを有し、
前記陽極酸化処理は、アルカリ系有機溶剤に基材を浸漬する工程と、当該アルカリ系有機溶剤中でプラズマ放電を起こす工程と、を含むことを特徴とするプラズマ処理容器内部材。
【請求項２】  前記溶射被膜はＡｌ２Ｏ３から成ることを特徴とする請求項１記載のプラズマ処理容器内部材。
【請求項３】  前記溶射被膜は３Ａ族元素の化合物から成ることを特徴とする請求項１記載のプラズマ処理容器内部材。
【請求項４】  前記３Ａ族元素の化合物はＹ２Ｏ３であることを特徴とする請求項３記載のプラズマ処理容器内部材。
【請求項５】 前記溶射被膜はブラスト処理を施すことなく形成されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプラズマ処理容器内部材。
【請求項６】 前記酸化処理被膜の厚さは少なくとも１０μｍであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のプラズマ処理容器内部材。
【請求項７】 請求項１乃至６のいずれか１項に記載のプラズマ処理容器内部材を含むことを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項８】 プラズマを用いて被処理物にプロセスを施すプラズマ処理容器に配設されるプラズマ処理容器内部材において、
前記プラズマ処理容器内部材の基材はその表面に溶射被膜を有し、
前記基材と前記溶射被膜の間にバリヤー層とセラミック層が順に積層され、前記セラミック層は少孔質層と多孔質層を備えることを特徴とするプラズマ処理容器内部材。
【請求項９】 前記溶射被膜はブラスト処理を施すことなく形成されることを特徴とする請求項８記載のプラズマ処理容器内部材。
【請求項１０】 前記バリヤー層とセラミック層の全体の厚さは少なくとも１０μｍであることを特徴とする請求項８又は９記載のプラズマ処理容器内部材。
【請求項１１】 前記溶射被膜はＡｌ２Ｏ３から成ることを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか１項に記載のプラズマ処理容器内部材。
【請求項１２】 前記溶射被膜は３Ａ族元素の化合物から成ることを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか１項に記載のプラズマ処理容器内部材。
【請求項１３】 前記３Ａ族元素の化合物はＹ２Ｏ３であることを特徴とする請求項１２記載のプラズマ処理容器内部材。
【請求項１４】 請求項８乃至１３のいずれか１項に記載のプラズマ処理容器内部材を含むことを特徴とするプラズマ処理装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマ処理容器内部材及びプラズマ処理装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の目的は、プラズマ処理容器内部材の基材の表面に対する溶射被膜の密着性を向上させることができるプラズマ処理容器内部材及びプラズマ処理装置を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
上記目的を達成するために、請求項１記載のプラズマ処理容器内部材は、プラズマを用いて被処理物にプロセスを施すプラズマ処理容器に配設されるプラズマ処理容器内部材において、プラズマ放電を用いた陽極酸化処理により前記プラズマ処理容器内部材の基材の表面に形成される酸化処理被膜と、前記酸化処理被膜上に形成される溶射被膜とを有し、前記陽極酸化処理は、アルカリ系有機溶剤に基材を浸漬する工程と、当該アルカリ系有機溶剤中でプラズマ放電を起こす工程と、を含むことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項１記載のプラズマ処理容器内部材によれば、プラズマ放電を用いた陽極酸化処理によりプラズマ処理容器内部材の基材の表面に酸化処理被膜が形成され、当該酸化処理被膜上に溶射被膜が形成される。陽極酸化処理は、アルカリ系有機溶剤に基材を浸漬する工程と、当該アルカリ系有機溶剤中でプラズマ放電を起こす工程とを含むので、基材の形状に依存することなく陽極酸化処理を均等に施すことができ、以て基材の表面に対する溶射被膜の密着性を向上させることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項２記載のプラズマ処理容器内部材は、請求項１記載のプラズマ処理容器内部材において、前記溶射被膜はＡｌ２Ｏ３から成ることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項２記載のプラズマ処理容器内部材によれば、溶射被膜はＡｌ２Ｏ３から成るので、プラズマ処理容器内部材の耐プラズマ性を高めることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項３記載のプラズマ処理容器内部材は、請求項１記載のプラズマ処理容器内部材において、前記溶射被膜は３Ａ族元素の化合物から成ることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
請求項３記載のプラズマ処理容器内部材によれば、溶射被膜は３Ａ族元素の化合物から成るので、プラズマ処理容器内部材の耐プラズマ性を高めることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項４記載のプラズマ処理容器内部材は、請求項３記載のプラズマ処理容器内部材において、前記３Ａ族元素の化合物はＹ２Ｏ３であることを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
請求項４記載のプラズマ処理容器内部材によれば、３Ａ族元素の化合物はＹ２Ｏ３であるので、プラズマ処理容器内部材の耐プラズマ性を確実に高めることができる。
請求項５記載のプラズマ処理容器内部材は、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプラズマ処理容器内部材において、前記溶射被膜はブラスト処理を施すことなく形成されることを特徴とする。
請求項５記載のプラズマ処理容器内部材によれば、溶射被膜はブラスト処理を施すことなく形成される。具体的には、溶射被膜は前処理としてブラスト処理の代わりにケプラコート処理が施されてから形成される。ケプラコート処理は薬液による処理であるので、ブラスト処理より溶射被膜の密着性を高めるための前処理効果を大きくすることができる。
請求項６記載のプラズマ処理容器内部材は、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のプラズマ処理容器内部材において、前記酸化処理被膜の厚さは少なくとも１０μｍであることを特徴とする。
請求項６記載のプラズマ処理容器内部材によれば、酸化処理被膜の厚さは少なくとも１０μｍであるので、溶射被膜が剥がれて基材が露出するのを確実に防止することができる。
上記目的を達成するために、請求項７記載のプラズマ処理装置は、請求項１乃至６のいずれか１項に記載のプラズマ処理容器内部材を含むことを特徴とする。
請求項７記載のプラズマ処理装置によれば、プラズマ処理容器内部材の基材の表面に対する溶射被膜の密着性を向上させることができる。
上記目的を達成するために、請求項８記載のプラズマ処理容器内部材は、プラズマを用いて被処理物にプロセスを施すプラズマ処理容器に配設されるプラズマ処理容器内部材において、前記プラズマ処理容器内部材の基材はその表面に溶射被膜を有し、前記基材と前記溶射被膜の間にバリヤー層とセラミック層が順に積層され、前記セラミック層は少孔質層と多孔質層を備えることを特徴とする。
請求項８記載のプラズマ処理容器内部材によれば、基材の表面に溶射被膜を有し、基材と溶射被膜の間にバリヤー層とセラミック層が順に積層される。セラミック層は少孔質層と多孔質層を備える。したがって、基材の表面に対する溶射被膜の密着性を向上させることができる。
請求項９記載のプラズマ処理容器内部材は、請求項８記載のプラズマ処理容器内部材において、前記溶射被膜はブラスト処理を施すことなく形成されることを特徴とする。
請求項９記載のプラズマ処理容器内部材によれば、溶射被膜はブラスト処理を施すことなく形成される。具体的には、溶射被膜は前処理としてブラスト処理の代わりにケプラコート処理が施されてから形成される。ケプラコート処理は薬液による処理であるので、ブラスト処理より溶射被膜の密着性を高めるための前処理効果を大きくすることができる。
請求項１０記載のプラズマ処理容器内部材は、請求項８又は９記載のプラズマ処理容器内部材において、前記バリヤー層とセラミック層の全体の厚さは少なくとも１０μｍであることを特徴とする。
請求項１０記載のプラズマ処理容器内部材によれば、バリヤー層とセラミック層の全体の厚さは少なくとも１０μｍであるので、溶射被膜が剥がれて基材が露出するのを確実に防止することができる。
請求項１１記載のプラズマ処理容器内部材は、請求項８乃至１０のいずれか１項に記載のプラズマ処理容器内部材において、前記溶射被膜はＡｌ２Ｏ３から成ることを特徴とする。
請求項１１記載のプラズマ処理容器内部材によれば、溶射被膜はＡｌ２Ｏ３から成るので、プラズマ処理容器内部材の耐プラズマ性を高めることができる。
請求項１２記載のプラズマ処理容器内部材は、請求項８乃至１０のいずれか１項に記載のプラズマ処理容器内部材において、前記溶射被膜は３Ａ族元素の化合物から成ることを特徴とする。
請求項１２記載のプラズマ処理容器内部材によれば、溶射被膜は３Ａ族元素の化合物から成るので、プラズマ処理容器内部材の耐プラズマ性を高めることができる。
請求項１３記載のプラズマ処理容器内部材は、請求項１２記載のプラズマ処理容器内部材において、前記３Ａ族元素の化合物はＹ２Ｏ３であることを特徴とする。
請求項１３記載のプラズマ処理容器内部材によれば、３Ａ族元素の化合物はＹ２Ｏ３であるので、プラズマ処理容器内部材の耐プラズマ性を確実に高めることができる。
上記目的を達成するために、請求項１４記載のプラズマ処理装置は、請求項８乃至１３のいずれか１項に記載のプラズマ処理容器内部材を含むことを特徴とする。
請求項１４記載のプラズマ処理装置によれば、プラズマ処理容器内部材の基材の表面に対する溶射被膜の密着性を向上させることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、本発明者は、溶射被膜の材料は、Ａｌ２Ｏ３や、Ｙ２Ｏ３等の３Ａ族化合物から成るとき、プラズマ処理容器内部材の耐プラズマ性を高めることができることができることを見い出した。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
上述の溶射被膜形成装置１００内に配せられる溶射粉末投入部１０５から供給される溶射粉末１０４は、Ｙ２Ｏ３等の３Ａ族化合物やＡｌ２Ｏ３から成るのが望ましい。これにより、基材１０１の耐プラズマ性を高めることができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、請求項１記載のプラズマ処理容器内部材によれば、プラズマ放電を用いた陽極酸化処理によりプラズマ処理容器内部材の基材の表面に酸化処理被膜が形成され、当該酸化処理被膜上に溶射被膜が形成される。陽極酸化処理は、アルカリ系有機溶剤に基材を浸漬する工程と、当該アルカリ系有機溶剤中でプラズマ放電を起こす工程とを含むので、基材の形状に依存することなく陽極酸化処理を均等に施すことができ、以て基材の表面に対する溶射被膜の密着性を向上させることができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
請求項２記載のプラズマ処理容器内部材によれば、溶射被膜はＡｌ２Ｏ３から成るので、プラズマ処理容器内部材の耐プラズマ性を高めることができる。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
請求項３記載のプラズマ処理容器内部材によれば、溶射被膜は３Ａ族元素の化合物から成るので、プラズマ処理容器内部材の耐プラズマ性を高めることができる。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
請求項４記載のプラズマ処理容器内部材によれば、３Ａ族元素の化合物はＹ２Ｏ３であるので、プラズマ処理容器内部材の耐プラズマ性を確実に高めることができる。
請求項５記載のプラズマ処理容器内部材によれば、溶射被膜はブラスト処理を施すことなく形成される。具体的には、溶射被膜は前処理としてブラスト処理の代わりにケプラコート処理が施されてから形成される。ケプラコート処理は薬液による処理であるので、ブラスト処理より溶射被膜の密着性を高めるための前処理効果を大きくすることができる。
請求項６記載のプラズマ処理容器内部材によれば、酸化処理被膜の厚さは少なくとも１０μｍであるので、溶射被膜が剥がれて基材が露出するのを確実に防止することができる。
請求項７記載のプラズマ処理装置によれば、プラズマ処理容器内部材の基材の表面に対する溶射被膜の密着性を向上させることができる。
請求項８記載のプラズマ処理容器内部材によれば、基材の表面に溶射被膜を有し、基材と溶射被膜の間にバリヤー層とセラミック層が順に積層される。セラミック層は少孔質層と多孔質層を備える。したがって、基材の表面に対する溶射被膜の密着性を向上させることができる。
請求項９記載のプラズマ処理容器内部材によれば、溶射被膜はブラスト処理を施すことなく形成される。具体的には、溶射被膜は前処理としてブラスト処理の代わりにケプラコート処理が施されてから形成される。ケプラコート処理は薬液による処理であるので、ブラスト処理より溶射被膜の密着性を高めるための前処理効果を大きくすることができる。
請求項１０記載のプラズマ処理容器内部材によれば、バリヤー層とセラミック層の全体の厚さは少なくとも１０μｍであるので、溶射被膜が剥がれて基材が露出するのを確実に防止することができる。
請求項１１記載のプラズマ処理容器内部材によれば、溶射被膜はＡｌ２Ｏ３から成るので、プラズマ処理容器内部材の耐プラズマ性を高めることができる。
請求項１２記載のプラズマ処理容器内部材によれば、溶射被膜は３Ａ族元素の化合物から成るので、プラズマ処理容器内部材の耐プラズマ性を高めることができる。
請求項１３記載のプラズマ処理容器内部材によれば、３Ａ族元素の化合物はＹ２Ｏ３であるので、プラズマ処理容器内部材の耐プラズマ性を確実に高めることができる。
請求項１４記載のプラズマ処理装置によれば、プラズマ処理容器内部材の基材の表面に対する溶射被膜の密着性を向上させることができる。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】削除
【補正の内容】