(57)【要約】  露光装置は、入射された露光光（Ｌ１）を第１露光光（Ｌ１１）と第２露光光（Ｌ１２）とに分離し、第１露光光（Ｌ１１）を第１方向に射出するとともに第２露光光（Ｌ１２）を第１方向と異なる第２方向に射出する光学素子（２０）を有する第１光学システム（ＰＬ）と、光学素子（２０）から第２方向に射出された第２露光光（Ｌ１２）を、第１方向に射出された第１露光光（Ｌ１１）とともに基板（Ｐ）上に照射する第２光学システム（ＨＬ）とを備えている。
2007108415.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を露光する露光装置において、
入射された露光光を第１露光光と第２露光光とに分離し、前記第１露光光を第１方向に射出するとともに前記第２露光光を前記第１方向と異なる第２方向に射出する光学素子を有する第１光学システムと、
前記光学素子から前記第２方向に射出された前記第２露光光を、前記第１方向に射出された前記第１露光光とともに前記基板上に照射する第２光学システムとを備えた露光装置。
【請求項２】
前記光学素子は、前記入射された露光光の一部を通過させて前記第１方向に射出し、残りの一部を反射して前記第２方向に射出する所定面を有する請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記光学素子は、前記所定面が前記入射された露光光を第１偏光状態の第１露光光と第２偏光状態の第２露光光とに分離する偏光分離面である偏光分離光学素子であって、前記第１偏光状態の第１露光光を前記第１方向に射出し、前記第２偏光状態の第２露光光を前記第２方向に射出する請求項２記載の露光装置。
【請求項４】
前記第２光学システムは、前記光学素子から前記第２方向に射出された前記第２偏光状態の第２露光光の偏光状態を前記第１偏光状態に変換して、前記偏光分離面に入射させる第１光学ユニットを含む請求項３記載の露光装置。
【請求項５】
前記第２光学システムは、さらに、前記第１偏光状態に変換された後に前記偏光分離面に入射されて前記偏光分離面を通過した前記第２露光光の偏光状態を第２偏光状態に変換して前記偏光分離面に入射させる第２光学ユニットを含み、
前記偏光分離光学素子は、前記第２光学ユニットによって前記第２偏光状態に変換されて入射される前記第２露光光を前記第１方向に射出する請求項４記載の露光装置。
【請求項６】
前記第２光学ユニットから前記偏光分離面に前記第２露光光が入射する位置は、前記露光光が前記偏光分離面に入射する位置と光学的に共役な位置又はその近傍である請求項５記載の露光装置。
【請求項７】
前記第２光学システムは、前記第２露光光の前記所定面に対する通過／反射特性を反転する第１光学ユニットを含む請求項２記載の露光装置。
【請求項８】
前記第２光学システムは、前記第１光学システムに対して着脱可能であって、
前記第２光学システムが取り付けられていない状態において、前記第１光学システムの前記光学素子は、前記所定面を通過する第１パターンからの露光光と前記所定面で反射する第２パターンからの露光光とを合成して射出し、前記合成された露光光で前記基板上の所定領域を多重露光する請求項２〜７のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項９】
基板を露光する露光装置において、
複数の露光光が入射可能な位置に配置された光学素子を有し、前記光学素子からの露光光で前記基板が照射される第１光学システムを備え、
第１パターン及び前記光学素子を介して第１露光領域に露光光を照射することによって前記第１露光領域に形成される前記第１パターンの像で前記基板上の所定領域を単露光する第１モードと、
第１パターン及び前記光学素子を介して第１露光領域に露光光を照射することによって前記第１露光領域に形成される第１パターンの像と第２パターン及び前記光学素子を介して第２露光領域に露光光を照射することによって前記第２露光領域に形成される第２パターンの像とで前記基板上の所定領域を多重露光する第２モードとを選択可能である露光装置。
【請求項１０】
前記光学素子は、入射される前記複数の露光光のそれぞれを分離可能であるとともに、入射される複数の露光光を合成可能な合成光学素子を含み、
前記第１モードは、前記第１パターンから前記合成光学素子に入射され、該合成光学素子で分離された露光光のそれぞれが前記基板上に照射されるように、前記分離した露光光の少なくとも一部を処理する第２光学システムを前記第１光学システムに対して所定位置に配置し、
前記第２モードは、前記第２光学システムを前記第１光学システムより外して、前記第１パターンからの露光光と前記第２パターンからの露光光とを前記合成光学素子に入射させて、前記第１パターンからの露光光と前記第２パターンからの露光光とを前記合成光学素子で合成して、前記第１露光領域と前記第２露光領域とのそれぞれに照射する請求項９記載の露光装置。
【請求項１１】
前記合成光学素子は、入射された前記露光光の一部を通過させ、残りの一部を反射する所定面を有し、
前記第２光学システムは、前記合成光学素子より前記基板に向かわない方向に射出された前記露光光を処理して前記基板に向かわせる光学ユニットを含む請求項１０記載の露光装置。
【請求項１２】
前記第２光学システムの前記光学ユニットは、前記合成光学素子より前記基板に向かわない方向に射出された前記露光光の前記所定面に対する通過／反射特性を調整した後、前記所定面に再入射させる請求項１１記載の露光装置。
【請求項１３】
前記合成光学素子は、第１偏光状態の露光光を通過させ、第２偏光状態の露光光を反射する偏光分離光学素子を含み、入射された露光光を第１偏光状態の露光光と第２偏光状態の露光光とに分離する偏光分離面を有する請求項１０記載の露光装置。
【請求項１４】
前記第２光学システムは、前記偏光分離面で分離されて前記基板に向かわない方向に射出された露光光の偏光状態を変換した後、前記露光光を前記偏光分離面に再入射させる請求項１３記載の露光装置。
【請求項１５】
前記第１モードは、前記第２光学システムを前記第１光学システムに対して所定位置に配置し、前記第１パターンからの少なくとも第１偏光成分と前記第２偏光成分とを含む露光光を前記偏光分離光学素子に入射させ、
前記第２モードは、前記第２光学システムを前記第１光学システムより外して、前記第１パターンからの第１偏光成分及び第２偏光成分の一方を主成分とする露光光を前記偏光分離光学素子に入射させ、前記第２パターンからの前記第１偏光成分及び前記第２偏光成分の他方を主成分とする露光光を前記偏光分離光学素子に入射させる請求項１３記載の露光装置。
【請求項１６】
前記第１モードは、複数の露光光が入射可能な位置に、無屈折力の光学素子を配置し、
前記第２モードは、複数の露光光が入射可能な位置に、入射される前記複数の露光光のそれぞれを分離可能であるとともに、入射される複数の露光光を合成可能な合成光学素子を配置して、前記第１パターンからの露光光と前記第２パターンからの露光光とを前記合成光学素子に入射させて、前記第１パターンからの露光光と前記第２パターンからの露光光とを前記合成光学素子で合成して、前記第１露光領域と前記第２露光領域とのそれぞれに照射する請求項９記載の露光装置。
【請求項１７】
前記第１モードは、前記第１露光領域に対して前記基板の所定領域を所定の走査方向に移動しつつ前記基板上の所定領域を単露光し、
前記第２モードは、前記第１露光領域及び前記第２露光領域に対して前記基板の所定領域を所定の走査方向に移動しつつ前記基板上の所定領域を多重露光する請求項９〜１６のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項１８】
前記第２モードは、前記第１パターンと前記第２パターンとを所定の各走査方向に移動しつつ、前記基板上の所定領域を多重露光する請求項９〜１７記載の露光装置。
【請求項１９】
請求項１〜請求項１８のいずれか一項記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を露光する露光装置、及びデバイス製造方法に関する。
本願は、２００６年３月１７日に出願された特願２００６−０７４２４５号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス等のマイクロデバイスの製造工程の１つであるフォトリソグラフィ工程では、基板上に露光光を照射して基板を露光する露光装置が用いられる。下記特許文献には、複数の露光光をビームスプリッタに入射させ、そのビームスプリッタを介した露光光で基板を多重露光する露光装置に関する技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００１−２９７９７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
露光装置に望まれる性能の１つとして、基板上に種々のパターンを良好に形成できること、すなわちパターンの多様化に良好に対応できることが挙げられる。ところが、パターンに応じて照明条件等を変更しようとする場合、露光光の光路上に例えば偏光ビームスプリッタが配置されていると、その偏光ビームスプリッタによって照明条件等が制約を受け、その結果、パターンの多様化に良好に対応できなくなる可能性がある。【０００４】
本発明は、パターンの多様化に良好に対応でき、基板上に種々のパターンを良好に形成できる露光装置、及びデバイス製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は実施の形態に示す各図に対応付けした以下の構成を採用している。但し、各要素に付した括弧付き符号はその要素の例示に過ぎず、各要素を限定するものではない。【０００６】
本発明の第１の態様に従えば、基板（Ｐ）を露光する露光装置において、入射された露光光（Ｌ１）を第１露光光（Ｌ１１）と第２露光光（Ｌ１２）とに分離し、第１露光光（Ｌ１１）を第１方向に射出するとともに第２露光光（Ｌ１２）を第１方向と異なる第２方向に射出する光学素子（２０）を有する第１光学システム（ＰＬ）と、光学素子（２０）から第２方向に射出された第２露光光（Ｌ１２）を、第１方向に射出された第１露光光（Ｌ１１）とともに基板（Ｐ）上に照射する第２光学システム（ＨＬ）とを備えた露光装置（ＥＸ）が提供される。【０００７】
本発明の第１の態様によれば、基板上にパターンを良好に形成することができる。【０００８】
本発明の第２の態様に従えば、基板（Ｐ）を露光する露光装置において、複数の露光光（Ｌ１、Ｌ２）が入射可能な位置に配置された光学素子（２０）を有し、光学素子（２０）からの露光光で基板（Ｐ）が照射される第１光学システム（ＰＬ）を備え、第１パターン（ＰＡ１）及び光学素子（２０）を介して第１露光領域（ＡＲ１）に露光光（Ｌ１１、Ｌ１２）を照射することによって第１露光領域（ＡＲ１）に形成される第１パターン（ＰＡ１）の像で基板（Ｐ）上の所定領域（ＳＨ）を単露光する第１モードと、第１パターン（ＰＡ１）及び光学素子（２０）を介して第１露光領域（ＡＲ１）に露光光（Ｌ１）を照射することによって第１露光領域（ＡＲ１）に形成される第１パターン（ＰＡ１）の像と第２パターン（ＰＡ２）及び光学素子（２０）を介して第２露光領域（ＡＲ２）に露光光（Ｌ２）を照射することによって第２露光領域（ＡＲ２）に形成される第２パターン（ＰＡ２）の像とで基板（Ｐ）上の所定領域（ＳＨ）を多重露光する第２モードとを選択可能である露光装置（ＥＸ）が提供される。【０００９】
本発明の第２の態様によれば、基板上にパターンを良好に形成することができる。【００１０】
本発明の第３の態様に従えば、上記態様の露光装置（ＥＸ）を用いるデバイス製造方法が提供される。【００１１】
本発明の第３の態様によれば、基板上にパターンを良好に形成できる露光装置を用いてデバイスを製造することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、基板上にパターンを良好に形成することができ、所望の性能を有するデバイスを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施形態に係る第１モード状態の露光装置を示す概略構成図である。
【図２】照明系の一例を示す図である。
【図３】照明系の偏光変換素子の一例を説明するための図である。
【図４】照明系の二次光源の一例を説明するための図である。
【図５】第１実施形態に係る第１モード状態の露光装置を示す模式図である。
【図６】第１実施形態に係る第２モード状態の露光装置を示す概略構成図である。
【図７】第１照明系の開口絞りの一例を説明するための図である。
【図８】第２照明系の開口絞りの一例を説明するための図である。
【図９】第１マスクステージ上の第１マスクを説明するための図である。
【図１０】第２マスクステージ上の第２マスクを説明するための図である。
【図１１】第１マスクに第１照明系からの露光光が入射する様子を示す模式図である。
【図１２】第２マスクに第２照明系からの露光光が入射する様子を示す模式図である。
【図１３】第１実施形態に係る第２モード状態の露光装置を示す模式図である。
【図１４】基板上のショット領域と露光領域との関係を説明するための模式図である。
【図１５】第２実施形態に係る第１モード状態の露光装置を示す模式図である。
【図１６】マイクロデバイスの製造工程の一例を示すフローチャート図である。
【符号の説明】
【００１４】
１…第１マスクステージ、２…第２マスクステージ、４…基板ステージ、５…制御装置、２０…光学素子、２５…所定面、４１…第１光学系、４２…第２光学系、４３…第３光学系、４４…第４光学系、ＡＲ１…第１露光領域、ＡＲ２…第２露光領域、ＥＸ…露光装置、ＨＬ…第２光学システム、ＩＬ１…第１照明系、ＩＬ２…第２照明系、Ｌ１…露光光、Ｌ１１…第１露光光、Ｌ１２…第２露光光、Ｌ２…露光光、ＬＵ１…第１光学ユニット、ＬＵ２…第２光学ユニット、Ｍ１…第１マスク、Ｍ２…第２マスク、Ｐ…基板、ＰＡ１…第１パターン、ＰＡ２…第２パターン、ＰＬ…第１光学システム、ＳＨ…ショット領域
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。なお、以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。そして、水平面内における所定方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。【００１６】
＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、第１実施形態に係る露光装置ＥＸを示す概略構成図である。図１において、露光装置ＥＸは、入射された露光光Ｌ１を第１露光光Ｌ１１と第２露光光Ｌ１２とに分離し、第１露光光Ｌ１１を第１方向に射出するとともに第２露光光Ｌ１２を第１方向と異なる第２方向に射出する光学素子２０を有する第１光学システムＰＬと、光学素子２０から第２方向に射出された第２露光光Ｌ１２を、第１方向に射出された第１露光光Ｌ１１とともに基板Ｐ上に照射する第２光学システムＨＬとを備えている。本実施形態においては、光学素子２０は、入射された露光光Ｌ１を第１露光光Ｌ１１と第２露光光Ｌ１２とに分離し、第１露光光Ｌ１１を基板Ｐに向かう−Ｚ方向に射出するとともに、第２露光光Ｌ１２を基板Ｐに向かわない＋Ｙ方向、すなわち、基板Ｐに向かう方向とは異なる方向に射出する。【００１７】
また、図１に示す露光装置ＥＸは、第１パターンＰＡ１を有する第１マスクＭ１を保持して移動可能な第１マスクステージ１と、基板Ｐを保持して移動可能な基板ステージ４と、各ステージの位置情報を計測可能な計測システム３と、露光光Ｌ１で第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１を照明する第１照明系ＩＬ１と、露光装置ＥＸ全体の動作を制御する制御装置５とを備えている。【００１８】
第１光学システムＰＬは、露光光Ｌ１で照明された第１パターンＰＡ１の像を基板Ｐ上に投影する。光学素子２０には、第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１が入射する。また、第１光学システムＰＬは、その第１光学システムＰＬの光射出側、すなわち第１光学システムＰＬの像面側に、第１露光領域ＡＲ１を設定する。第１光学システムＰＬは、光学素子２０からの露光光Ｌ１１、Ｌ１２を第１露光領域ＡＲ１に照射して、その第１露光領域ＡＲ１に第１パターンＰＡ１の像を形成可能である。また、基板Ｐは、第１光学システムＰＬの光射出側（像面側）に配置される。第１光学システムＰＬは、基板Ｐ上に露光光Ｌ１１、Ｌ１２を照射可能である。露光装置ＥＸは、第１照明系ＩＬ１より射出され、第１パターンＰＡ１及び第１光学システムＰＬを介して第１露光領域ＡＲ１に照射される露光光Ｌ１（Ｌ１１、Ｌ１２）によって、第１露光領域ＡＲ１に第１パターンＰＡ１の像を形成（投影）し、その第１パターンＰＡ１の像で基板Ｐ上のショット領域ＳＨを露光する。【００１９】
なお、ここでいう基板は、例えばシリコンウエハのような半導体ウエハ等の基材上に感光材（フォトレジスト）を塗布したものを含み、感光膜とは別に保護膜（トップコート膜）などの各種の膜を塗布したものも含む。マスクは基板上に縮小投影されるデバイスパターンが形成されたレチクルを含み、例えばガラス板等の透明板部材上にクロム等の遮光膜を用いて所定のパターンが形成されたものである。この透過型マスクは、遮光膜でパターンが形成されるバイナリーマスクに限られず、例えばハーフトーン型、あるいは空間周波数変調型などの位相シフトマスクも含む。また、本実施形態においては、マスクとして透過型のマスクを用いるが、反射型のマスクを用いてもよい。【００２０】
また、後述するように、第２光学システムＨＬは、第１光学システムＰＬに対して着脱可能である。本実施形態の露光装置ＥＸは、第１モードと第２モードとを選択可能である。第１モードでは、第２光学システムＨＬを第１光学システムＰＬに対して所定位置に配置して、第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１を光学素子２０に入射させて、第１パターンＰＡ１の像で基板Ｐ上のショット領域ＳＨを単露光（通常露光）する。第２モードでは、第２光学システムＨＬを第１光学システムＰＬより外して、第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１と第２パターンＰＡ２からの露光光Ｌ２とのそれぞれを光学素子２０に入射させて、第１パターンＰＡ１の像と第２パターンＰＡ２の像とで基板Ｐ上のショット領域ＳＨを多重露光（二重露光）する。図１には、第１モード状態の露光装置ＥＸが示されている。図６には、第２モード状態の露光装置ＥＸが示されている。【００２１】
以下、図１〜図５を参照して、第１モードに選択された状態の露光装置ＥＸについて説明する。【００２２】
まず、第１照明系ＩＬ１について説明する。第１照明系ＩＬ１は、第１マスクステージ１に保持された第１マスクＭ１上の第１照明領域ＩＡ１を均一な照度分布の露光光Ｌ１で照明するものである。また、露光装置ＥＸは、第１照明系ＩＬ１に対応する第１光源装置１１を有している。第１照明系ＩＬ１から射出される露光光Ｌ１としては、例えば水銀ランプから射出される輝線（ｇ線、ｈ線、ｉ線）及びＫｒＦエキシマレーザ光（波長２４８ｎｍ）等の遠紫外光（ＤＵＶ光）や、ＡｒＦエキシマレーザ光（波長１９３ｎｍ）及びＦ２レーザ光（波長１５７ｎｍ）等の真空紫外光（ＶＵＶ光）などが用いられる。本実施形態においては、第１光源装置１１として、ＡｒＦエキシマレーザ装置が用いられ、露光光Ｌ１には、ＡｒＦエキシマレーザ光が用いられる。【００２３】
図２は、本実施形態に係る第１照明系ＩＬ１の一例を示す模式図である。本実施形態の第１照明系ＩＬ１は、例えば、国際公開第２００５／０７６０４５号パンフレットに開示されているような、ビームエキスパンダ、偏光状態切換光学系１３、回折光学素子１４、アフォーカル光学系（無焦点光学系）、ズーム光学系、偏光変換素子１５、及びオプティカルインテグレータ１６等を含む。また、必要に応じて、オプティカルインテグレータ１６の光射出面近傍には開口絞り１８が配置される。また、不図示ではあるが、第１照明系ＩＬ１は、第１マスクＭ１上での露光光Ｌ１による第１照明領域ＩＡ１を規定するブラインド装置、及びコンデンサ光学系等も備えている。【００２４】
偏光状態切換光学系１３は、回折光学素子１４へ入射する露光光Ｌ１を、偏光状態と非偏光状態とに切り換えることができる。また、偏光状態切換光学系１３は、偏光状態の場合には、直線偏光状態と円偏光状態とに切り換えることができる。また、偏光状態切換光学系１３は、直線偏光状態の場合には、互いに直交する偏光状態間（Ｓ偏光とＰ偏光との間）で切り換えることができる。【００２５】
回折光学素子１４は、入射された露光光Ｌ１を所望の角度に回折する機能を有する。回折光学素子１４は、第１光源装置１１からの露光光Ｌ１により回折光を生成し、その回折光で所定面を所定の照明領域で照明可能である。回折光学素子１４は、所定の基材上に形成された露光光Ｌ１の波長程度のピッチを有する段差（凹凸構造）を有している。ピッチ、凹凸構造の凹部の深さ（凸部の高さ）、及び凹部の内側面（凸部の外側面）が向く方向等を含む構造条件を適宜調整することにより、この回折光学素子１４による照明領域の大きさ及び形状を設定することができる。例えば、回折光学素子１４は、第１光源装置１１からの露光光Ｌ１により回折光を生成する。その生成した回折光で、アフォーカル光学系、ズーム光学系、及び偏光変換素子１５等を介して、マイクロフライアイレンズ等を含むオプティカルインテグレータ１６の光入射面を、所定の大きさ及び形状を有する照明領域で照明可能である。本実施形態においては、オプティカルインテグレータ１６の光入射面上には、第１照明系ＩＬ１の光軸を中心とした輪帯状の照明領域が形成される。オプティカルインテグレータ１６の光射出面（後側焦点面）には、第１照明系ＩＬ１の光軸を中心とした輪帯状の二次光源１７が形成される。また、制御装置５は、ズーム光学系の焦点距離を調整することにより、オプティカルインテグレータ１６の光入射面上における照明領域の大きさ及び形状、ひいては二次光源１７の大きさ及び形状を調整可能である。【００２６】
偏光変換素子１５は、露光光Ｌ１の偏光状態を変換するものである。本実施形態においては、偏光変換素子１５は、オプティカルインテグレータ１６の直前（光入射面近傍）に配置されている。偏光変換素子１５は、オプティカルインテグレータ１６の光入射面に入射する露光光Ｌ１の偏光状態（ひいては第１マスクＭ１及び基板Ｐに照射される露光光Ｌ１の偏光状態）を調整可能である。【００２７】
図３は、偏光変換素子１５の一例を示す図である。偏光変換素子１５は、第１照明系ＩＬ１の光軸ＡＸを中心とした輪帯状の有効領域を有している。輪帯状の有効領域は、例えば水晶等、旋光性を有する光学材料によって形成されている。輪帯状に形成された有効領域の光学材料は、その周方向に関して変化する厚みの分布を有している。ここで、光学材料の厚みとは、光学材料の光透過方向（Ｙ軸方向）に関する長さである。【００２８】
本実施形態においては、偏光変換素子１５は、輪帯状の有効領域に配置され、旋光性を有する光学材料からなる複数の基本素子１５Ａ〜１５Ｄを有している。本実施形態においては、偏光変換素子１５は、互いに異なる特性を有する第１〜第４基本素子１５Ａ〜１５Ｄを２つずつ備えており、全部で８つの基本素子１５Ａ〜１５Ｄを備えている。第１〜第４基本素子１５Ａ〜１５Ｄのそれぞれは、図３中、ＸＹ方向に関して扇状に形成され、輪帯状の有効領域をほぼ等分割するように配置されている。また、同じ特性を有する２つの基本素子１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄどうしが、光軸ＡＸを挟んで対向するように配置されている。また、第１〜第４基本素子１５Ａ〜１５Ｄは、その結晶光学軸と光軸ＡＸとがほぼ平行となるように、すなわち結晶光学軸と入射光の進行方向とがほぼ一致するように配置されている。【００２９】
上述のように、本実施形態においては、オプティカルインテグレータ１６の光入射面には、光軸ＡＸを中心とした露光光Ｌ１による輪帯状の照明領域が形成される。すなわち、オプティカルインテグレータ１６の光入射面には、光軸ＡＸを中心としたほぼ輪帯状の断面を有する露光光Ｌ１が入射するように設定されている。したがって、オプティカルインテグレータ１６の直前に配置された偏光変換素子１５の輪帯状の有効領域には、光軸ＡＸを中心としたほぼ輪帯状の断面を有する露光光Ｌ１が入射する。【００３０】
偏光変換素子１５の輪帯状の有効領域に配置された第１〜第４基本素子１５Ａ〜１５Ｄに入射した露光光Ｌ１は、各基本素子１５Ａ〜１５Ｄの旋光性により、その偏光状態を変換され、各基本素子１５Ａ〜１５Ｄより射出する。例えば所定方向の直線偏光を主成分とする露光光Ｌ１が各基本素子１５Ａ〜１５Ｄに入射した場合、偏光変換素子１５の各基本素子１５Ａ〜１５Ｄは、入射された露光光Ｌ１の偏光方向を、光軸ＡＸ周り（図中、θＺ方向）に所定の回転角度だけ回転するように露光光Ｌ１の偏光状態を変換し、その偏光状態が変換された露光光Ｌ１を射出する。偏光方向の回転角度は、各基本素子１５Ａ〜１５Ｄの旋光能及び厚み等に応じて定められる。各基本素子１５Ａ〜１５Ｄの旋光能及び厚み等を設定することにより、偏光変換素子１５は、入射される直線偏光状態の露光光Ｌ１の偏光方向を所定の回転角度だけ回転し、その偏光方向が変換された偏光状態の露光光Ｌ１を射出する。【００３１】
本実施形態においては、第１〜第４基本素子１５Ａ〜１５Ｄの光透過方向（Ｚ軸方向）に関するそれぞれの厚みは互いに異なっている。各基本素子１５Ａ〜１５Ｄは、入射された露光光Ｌ１の偏光方向を互いに異なる回転角度で回転させる。各基本素子１５Ａ〜１５Ｄにより偏光状態（偏光方向）を変換された露光光Ｌ１は、オプティカルインテグレータ１６の光入射面よりオプティカルインテグレータ１６に入射し、オプティカルインテグレータ１６の光射出面に、光軸ＡＸを中心とした輪帯状の二次光源１７を形成する。【００３２】
図４は、偏光変換素子１５及びオプティカルインテグレータ１６を通過した露光光Ｌ１によってオプティカルインテグレータ１６の光射出面に形成された二次光源１７を模式的に示す図である。本実施形態においては、第１〜第４基本素子１５Ａ〜１５Ｄのそれぞれに、図３及び図４中、Ｘ軸方向の直線偏光を主成分とする露光光Ｌ１が入射する。【００３３】
図３及び図４において、第１基本素子１５Ａは、入射した露光光Ｌ１の偏光方向をＸ軸に対してθＺ方向に＋９０度回転させるように設けられている。したがって、第１基本素子１５Ａからは、Ｘ軸に対してθＺ方向に＋９０度回転させた方向を偏光方向とする直線偏光状態の露光光Ｌ１が射出される。また、二次光源１７のうち、第１基本素子１５Ａの旋光作用を受けた露光光Ｌ１によって形成される第１円弧状領域１７Ａからは、Ｘ軸に対してθＺ方向に＋９０度回転させた方向を偏光方向とする直線偏光状態の露光光Ｌ１が射出される。【００３４】
第２基本素子１５Ｂは、入射した露光光Ｌ１の偏光方向をＸ軸に対してθＺ方向に＋１３５度回転させるように設けられている。したがって、第２基本素子１５Ｂからは、Ｘ軸に対してθＺ方向に＋１３５度回転させた方向を偏光方向とする直線偏光状態の露光光Ｌ１が射出される。また、二次光源１７のうち、第２基本素子１５Ｂの旋光作用を受けた露光光Ｌ１によって形成される第２円弧状領域１７Ｂからは、Ｘ軸に対してθＺ方向に＋１３５度回転させた方向を偏光方向とする直線偏光状態の露光光Ｌ１が射出される。【００３５】
第３基本素子１５Ｃは、入射した露光光Ｌ１の偏光方向をＸ軸に対してθＺ方向に＋１８０度回転させるように設けられている。したがって、第３基本素子１５Ｃからは、Ｘ軸と平行な方向を偏光方向とする直線偏光状態の露光光Ｌ１が射出される。また、二次光源１７のうち、第３基本素子１５Ｃの旋光作用を受けた露光光Ｌ１によって形成される第３円弧状領域１７Ｃからは、Ｘ軸と平行な方向を偏光方向とする直線偏光状態の露光光Ｌ１が射出される。【００３６】
第４基本素子１５Ｄは、入射した露光光Ｌ１の偏光方向をＸ軸に対してθＺ方向に＋４５度回転させるように設けられている。したがって、第４基本素子１５Ｄからは、Ｘ軸に対してθＺ方向に＋４５度回転させた方向を偏光方向とする直線偏光状態の露光光Ｌ１が射出される。また、二次光源１７のうち、第４基本素子１５Ｄの旋光作用を受けた露光光Ｌ１によって形成される第４円弧状領域１７Ｄにおいては、Ｘ軸に対してθＺ方向に＋４５度回転させた方向を偏光方向とする直線偏光状態の露光光Ｌ１が射出される。【００３７】
このように、本実施形態においては、偏光変換素子１５は、ほぼ単一方向を偏光方向とする直線偏光状態の露光光Ｌ１を、その偏光変換素子１５の周方向を偏光方向とする直線偏光状態の露光光Ｌ１に変換する。以下の説明においては、偏光変換素子１５の周方向を偏光方向とする直線偏光状態を適宜、周方向偏光状態、と称する。【００３８】
これにより、オプティカルインテグレータ１６の光射出面に形成された輪帯状の二次光源１７から射出される露光光Ｌ１は、周方向偏光状態となる。【００３９】
オプティカルインテグレータ１６の光射出面に形成された二次光源１７からの露光光Ｌ１は、不図示のコンデンサー光学系に入射される。二次光源１７は、コンデンサー光学系等を介して、ブラインド装置を重畳的に照明する。ブラインド装置の光通過領域を通過した露光光Ｌ１は、第１マスクＭ１上に照射される。【００４０】
第１モード状態においては、オプティカルインテグレータ１６の光射出面近傍、すなわち二次光源１７の直後には、開口絞り１８は配置されない。したがって、第１マスクＭ１は、周方向偏光状態の露光光Ｌ１で照明される。周方向偏光状態の露光光Ｌ１は、少なくとも、Ｘ軸と平行な方向を偏光方向とする直線偏光成分（Ｐ偏光成分）と、Ｙ軸と平行な方向を偏光方向とする直線偏光成分（Ｓ偏光成分）とを含む。【００４１】
ここで、Ｓ偏光（ＴＥ偏光）とは、入射面に対して垂直な方向に偏光方向を有する直線偏光（入射面に垂直な方向に電気ベクトルが振動している偏光）である。ただし、入射面とは、光が媒質の境界面（被照射面：マスクの表面及び基板の表面の少なくとも一方）に達したときに、その点での境界面の法線と光の入射方向とを含む面として定義される。Ｐ偏光（ＴＭ偏光）とは、上述のように定義される入射面に対して平行な方向に偏光方向を有する直線偏光（入射面に平行な方向に電気ベクトルが振動している偏光）である。【００４２】
次に、図１を参照しながら第１マスクステージ１について説明する。第１マスクステージ１は、リニアモータ等のアクチュエータを含む第１マスクステージ駆動装置１Ｄの駆動により、第１マスクＭ１を保持した状態で、Ｘ軸、Ｙ軸、及びθＺ方向に移動可能である。第１マスクステージ１は、第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１が形成された第１パターン形成面とＸＹ平面とがほぼ平行となるように、第１マスクＭ１を保持する。第１マスクステージ１（ひいては第１マスクＭ１）の位置情報は、計測システム３のレーザ干渉計３１によって計測される。レーザ干渉計３１は、第１マスクステージ１上に設けられた移動鏡の反射面３１Ｋを用いて第１マスクステージ１の位置情報を計測する。制御装置５は、レーザ干渉計３１の計測結果に基づいて第１マスクステージ駆動装置１Ｄを駆動し、第１マスクステージ１に保持されている第１マスクＭ１の位置制御を行う。【００４３】
第１マスクステージ１は、第１パターンＰＡ１を有する第１マスクＭ１を露光光Ｌ１に対してＹ軸方向に移動可能である。制御装置５は、基板Ｐ上のショット領域ＳＨを露光するとき、第１マスクＭ１のうち、少なくとも第１パターンＰＡ１が形成された第１パターン形成領域が露光光Ｌ１による第１照明領域ＩＡ１を通過するように、第１マスクステージ１を制御して第１マスクＭ１をＹ軸方向に移動する。【００４４】
次に、図５を参照しながら第１光学システムＰＬ及び第２光学システムＨＬについて説明する。第１光学システムＰＬは、露光光Ｌ１で照明された第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１の像を所定の投影倍率で基板Ｐ上に投影するものである。本実施形態の第１光学システムＰＬは、その投影倍率が例えば１／４、１／５、１／８等の縮小系である。【００４５】
上述のように、第１光学システムＰＬは、入射された露光光Ｌ１を第１露光光Ｌ１１と第２露光光Ｌ１２とに分離し、第１露光光Ｌ１１を基板Ｐに向かう−Ｚ方向に射出するとともに、第２露光光Ｌ１２を基板Ｐに向かわない＋Ｙ方向に射出する光学素子２０を有している。光学素子２０には、第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１が入射する。また、第２光学システムＨＬは、光学素子２０から＋Ｙ方向に射出された第２露光光Ｌ１２が、光学素子２０を介して−Ｚ方向に射出されるように、光学素子２０から＋Ｙ方向に射出された第２露光光Ｌ１２を処理した後、光学素子２０に入射させる。第１光学システムＰＬは、光学素子２０からの第１、第２露光光Ｌ１１、Ｌ１２を基板Ｐ上の第１露光領域ＡＲ１に照射する。第１光学システムＰＬは、第１パターンＰＡ１及び光学素子２０を介して第１露光領域ＡＲ１に照射した第１、第２露光光Ｌ１１、Ｌ１２に基づいて、その第１露光領域ＡＲ１に第１パターンＰＡ１の像を形成（投影）する。【００４６】
第１光学システムＰＬは、第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１を光学素子２０へ導く第１光学系４１と、光学素子２０に対して所定位置に配置された第２光学系４２と、光学素子２０からの第１、第２露光光Ｌ１１、Ｌ１２を第１露光領域ＡＲ１へ導く第３光学系４３とを備えている。【００４７】
光学素子２０は、図中、＋Ｚ側を向く第１面２１と、−Ｙ側を向く第２面２２と、＋Ｙ側を向く第３面２３と、−Ｚ側を向く第４面２４とを有している。第１面２１は、第１光学系４１と対向しており、第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１は、第１光学系４１を介して第１面２１に入射する。第２面２２は、第２光学系４２と対向している。第４面２４は、第３光学系４３と対向していう。第４面２４から射出された露光光は、第３光学系４３を介して基板Ｐ上に照射される。【００４８】
光学素子２０は、入射された露光光Ｌ１の一部を通過させて−Ｚ方向に射出し、残りの一部を反射して＋Ｙ方向に射出する所定面２５を有している。本実施形態の光学素子２０は、その所定面２５が、入射された露光光Ｌ１を第１偏光状態の第１露光光Ｌ１１と第２偏光状態の第２露光光Ｌ１２とに分離する偏光分離面である偏光分離光学素子（偏光ビームスプリッタ）である。すなわち、本実施形態の光学素子２０は、入射された露光光Ｌ１を、第１偏光成分を主成分とする第１露光光Ｌ１１と第２偏光成分を主成分とする第２露光光Ｌ１２とに分離する。本実施形態においては、光学素子２０の所定面（偏光分離面）２５は、入射された露光光Ｌ１の一部である第１偏光状態の第１露光光Ｌ１１を通過させ、残りの一部である第２偏光状態の第２露光光Ｌ１２を反射する。第１偏光状態の第１露光光Ｌ１１は、所定面２５を通過した後、光学素子２０より第４面２４を介して−Ｚ方向に射出され、第２偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、所定面２５で反射した後、光学素子２０より第３面２３を介して＋Ｙ方向に射出される。【００４９】
本実施形態の光学素子２０の所定面（偏光分離面）２５は、入射された露光光Ｌ１のうち、Ｐ偏光成分を主成分とする露光光を通過させ、Ｓ偏光成分を主成分とする露光光を反射する。すなわち、本実施形態においては、第１露光光Ｌ１１は、Ｐ偏光成分を主成分とする露光光であり、第２露光光Ｌ１２は、Ｓ偏光成分を主成分とする露光光である。本実施形態においては、光学素子２０に入射する第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１は、周方向偏光状態の露光光であって、少なくともＰ偏光成分とＳ偏光成分とを含む。光学素子２０は、入射された露光光Ｌ１を、Ｐ偏光成分と主成分とする第１露光光Ｌ１１と、Ｓ偏光成分を主成分とする第２露光光Ｌ１２とに分離可能である。【００５０】
本実施形態においては、第１面２１を介して光学素子２０に入射した第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１のうち、Ｐ偏光成分を主成分とする第１露光光ＥＬ１は、所定面（偏光分離面）２５を通過して、光学素子２０の第４面２４より−Ｚ方向に射出される。Ｓ偏光成分を主成分とする第２露光光Ｌ１２は、所定面（偏光分離面）２５で反射して、光学素子２０の第３面２３より＋Ｙ方向に射出される。【００５１】
第２光学システムＨＬは、光学素子２０から基板Ｐに向かわない＋Ｙ方向に射出された第２露光光Ｌ１２を、−Ｚ方向に射出された第１露光光Ｌ１１とともに基板Ｐ上に照射するものであって、光学素子２０の所定面（偏光分離面）２５で第１露光光Ｌ１１と分離された第２露光光Ｌ１２が基板Ｐ上に照射されるように、その第２露光光Ｌ１２を処理する。【００５２】
本実施形態においては、第２光学システムＨＬは、光学素子２０から＋Ｙ方向に射出された第２露光光Ｌ１２が光学素子２０を介して−Ｚ方向に射出されるように、光学素子２０から＋Ｙ方向に射出された第２露光光Ｌ１２を処理した後、光学素子２０に入射させる。【００５３】
第２光学システムＨＬは、光学素子２０より基板Ｐに向かわない＋Ｙ方向に射出された第２露光光Ｌ１２を処理して基板Ｐに向かわせるための第１光学ユニットＬＵ１と第２光学ユニットＬＵ２とを含む。本実施形態においては、第１光学ユニットＬＵ１は、光学素子２０の＋Ｙ側に配置され、第２光学ユニットＬＵ２は、光学素子２０の−Ｙ側に配置されている。【００５４】
第１光学ユニットＬＵ１及び第２光学ユニットＬＵ２を含む第２光学システムＨＬは、光学素子２０より基板Ｐに向かわない＋Ｙ方向に射出された第２露光光Ｌ１２の所定面２５に対する通過／反射特性を調整した後、所定面２５に再入射させることによって、第２露光光Ｌ１２を基板Ｐに向かわせる。本実施形態においては、第２光学システムＨＬは、所定面２５で分離されて基板Ｐに向かわない＋Ｙ方向に射出された第２露光光Ｌ１２の偏光状態を変換した後、その第２露光光Ｌ１２を所定面２５に再入射させることによって、第２露光光Ｌ１２を基板Ｐに向かわせる。【００５５】
第１パターンＰＡ１から第１面２１を介して光学素子２０に入射し、所定面２５で反射した第２露光光Ｌ１２は、第３面２３より＋Ｙ方向に射出され、第１光学ユニットＬＵ１に入射する。【００５６】
第１光学ユニットＬＵ１は、第２露光光Ｌ１２の所定面２５に対する通過／反射特性を反転させる処理を行う。本実施形態においては、第１光学ユニットＬＵ１は、光学素子２０の所定面２５で反射して光学素子２０より＋Ｙ方向に射出された第２露光光Ｌ１２を、所定面２５を通過するように処理した後、所定面２５に入射させる。【００５７】
具体的には、第１光学ユニットＬＵ１は、光学素子２０から＋Ｙ方向に射出されたＳ偏光状態の第２露光光Ｌ１２の偏光状態をＰ偏光状態に変換して、所定面２５に入射させる。【００５８】
第１光学ユニットＬＵ１は、光学素子２０の外側に配置され、光学素子２０の第３面２３と対向する位置に配置された第４光学系４４と、光学素子２０より第３面２３を介して＋Ｙ方向に射出された第２露光光Ｌ１２を光学素子２０に再入射させるように導く第１反射面４６を有する反射部材（反射ミラー）と、第２露光光Ｌ１２の偏光状態を変換する偏光変換素子４５とを有する。偏光変換素子４５は、λ／４板を含む。第１反射面４６は、光学素子２０側（−Ｙ側）を向いており、偏光変換素子４５は、光学素子２０と第１反射面４６との間、具体的には、光学素子２０の＋Ｙ側に配置された第４光学系４４と第１反射面４６との間に配置されている。【００５９】
光学素子２０の所定面２５で反射し、光学素子２０より第３面２３を介して＋Ｙ方向に射出されたＳ偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、第４光学系４４に入射する。第４光学系４４に入射し、第４光学系４４を通過したＳ偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、偏光変換素子４５に入射する。上述のように、偏光変換素子４５は、λ／４板を含み、Ｓ偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、偏光変換素子４５を通過することによって、円偏光状態に変換される。【００６０】
なお、図５中、Ｓ偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、Ｌ１２（Ｓ）、と示されており、Ｐ偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、Ｌ１２（Ｐ）、と示されており、円偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、Ｌ１２（Ｃ）、と示されている。また、Ｐ偏光状態の第１露光光Ｌ１１は、Ｌ１１（Ｐ）と示されている。【００６１】
偏光変換素子４５を通過することによって円偏光状態となった第２露光光Ｌ１２は、第１反射面４６に入射し、その第１反射面４６で反射する。第１反射面４６で反射した円偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、再び偏光変換素子４５に入射する。上述のように、偏光変換素子４５は、λ／４板を含み、円偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、偏光変換素子４５を通過することによって、Ｐ偏光状態に変換される。偏光変換素子４５を通過することによってＰ偏光状態となった第２露光光Ｌ１２は、第４光学系４４に入射し、その第４光学系４４を通過した後、第３面２３を介して光学素子２０に入射する。第３面２３を介して光学素子２０に入射した第２露光光Ｌ１２はＰ偏光状態の露光光であるため、光学素子２０の所定面２５を通過可能である。したがって、第３面２３を介して光学素子２０に入射したＰ偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、光学素子２０の所定面２５を通過した後、第２面２２を介して、−Ｙ方向に射出される。【００６２】
このように、第１光学ユニットＬＵ１は、第２露光光Ｌ１２の偏光状態を変換する偏光変換素子４５を含み、所定面２５で反射して光学素子２０より＋Ｙ方向に射出された第２露光光Ｌ１２を、所定面２５を通過するように、その第２露光光Ｌ１２の偏光状態を変換した後、所定面２５に入射させる。【００６３】
第１光学ユニットＬＵ１から第３面２３を介して光学素子２０に入射し、所定面２５を通過した第２露光光Ｌ１２は、第２面２２より−Ｙ方向に射出され、第２光学ユニットＬＵ２に入射する。【００６４】
第２光学ユニットＬＵ２は、第２露光光Ｌ１２の所定面２５に対する通過／反射特性を反転させる処理を行う。本実施形態においては、第２光学ユニットＬＵ２は、第１光学ユニットＬＵ１より光学素子２０の所定面２５に入射され、所定面２５を通過した第２露光光Ｌ１２を、所定面２５で反射するように処理した後、所定面２５に入射させる。【００６５】
具体的には、第２光学ユニットＬＵ２は、第１光学ユニットＬＵ１によってＰ偏光状態に変換された後に所定面２５に入射されて所定面２５を通過し、光学素子２０から−Ｙ方向に射出されたＰ偏光状態の第２露光光Ｌ１２の偏光状態をＳ偏光状態に変換して、所定面２５に入射させる。【００６６】
ここで、第２光学ユニットＬＵ２から所定面（偏光分離面）２５に第２露光光Ｌ１２が入射する位置Ｋ１は、第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１が所定面（偏光分離面）２５に入射する位置Ｋ２と光学的に共役な位置又はその近傍である。なお、図５においては、見やすくするために、位置Ｋ１と位置Ｋ２とは所定面２５に対してずれて示されている。【００６７】
第２光学ユニットＬＵ２は、光学素子２０より第２面２２を介して−Ｙ方向に射出され、第２光学系４２を通過した第２露光光Ｌ１２を光学素子２０に再入射させるように導く第２反射面４８を有する反射部材（反射ミラー）と、第２露光光Ｌ１２の偏光状態を変換する偏光変換素子４７とを有する。偏光変換素子４７は、λ／４板を含む。第２反射面４８は、光学素子２０側（＋Ｙ側）を向いており、偏光変換素子４７は、光学素子２０と第２反射面４８との間、具体的には、光学素子２０の−Ｙ側に配置された第２光学系４２と第２反射面４８との間に配置されている。【００６８】
第１光学ユニットＬＵ１より射出され、光学素子２０の所定面２５を通過し、光学素子２０より第２面２２を介して−Ｙ方向に射出されたＰ偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、第２光学系４２に入射する。第２光学系４２に入射し、第２光学系４２を通過したＰ偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、偏光変換素子４７に入射する。上述のように、偏光変換素子４７は、λ／４板を含み、Ｐ偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、偏光変換素子４７を通過することによって、円偏光状態に変換される。【００６９】
偏光変換素子４７を通過することによって円偏光状態となった第２露光光Ｌ１２は、第２反射面４８に入射し、その第２反射面４８で反射する。第２反射面４８で反射した円偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、再び偏光変換素子４７に入射する。上述のように、偏光変換素子４７は、λ／４板を含み、円偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、偏光変換素子４７を通過することによって、Ｓ偏光状態に変換される。偏光変換素子４７を通過することによってＳ偏光状態となった第２露光光Ｌ１２は、第２光学系４２に入射し、その第２光学系４２を通過した後、光学素子２０に第２面２２を介して入射する。第２面２２を介して光学素子２０に入射した第２露光光Ｌ１２はＳ偏光状態の露光光であるため、光学素子２０の所定面２５で反射可能である。したがって、第２光学ユニットＬＵ２より第２面２２を介して光学素子２０に入射したＳ偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、光学素子２０の所定面２５で反射した後、第４面２４を介して、基板Ｐに向かう−Ｚ方向に射出される。光学素子２０は、第２光学ユニットＬＵ２によってＳ偏光状態に変換されて入射される第２露光光Ｌ１２を第４面２４を介して−Ｚ方向に射出する。【００７０】
このように、第２光学ユニットＬＵ２は、第２露光光Ｌ１２の偏光状態を変換する偏光変換素子４７を含み、第１光学ユニットＬＵ１より所定面２５に入射され、その所定面２５を通過して光学素子２０より−Ｙ方向に射出された第２露光光Ｌ１２を、所定面２５で反射するように、その第２露光光Ｌ１２の偏光状態を変換した後、所定面２５に入射させる。【００７１】
第１光学ユニットＬＵ１及び第２光学ユニットＬＵ２を含む第２光学システムＨＬは、光学素子２０より基板Ｐに向かわない＋Ｙ方向に射出された第２露光光Ｌ１２の所定面２５に対する通過／反射特性を調整した後、所定面２５に再入射させることによって、第２露光光Ｌ１２を第１露光光Ｌ１１とともに基板Ｐに向けて照射することができる。光学素子２０の第４面２４より射出されたＰ偏光状態の第１露光光Ｌ１１とＳ偏光状態の第２露光光Ｌ１２とは、第１光学システムＰＬの第３光学系４３を介して、基板Ｐ上に設定された第１露光領域ＡＲ１に照射される。【００７２】
なお、第１、第２反射面４６、４８は平面であってもよいし、曲面であってもよい。第１、第２反射面４６、４８を有する反射部材が凹面鏡である場合、すなわち第１、第２反射面４６、４８が凹面である場合、位置Ｋ２から位置Ｋ１までの光学系のペッツバール和を小さくすることができ、像面彎曲を抑えることができる。また、第２光学システムＨＬの小型化を図ることもできる。【００７３】
次に、図１を参照しながら基板ステージ４について説明する。基板ステージ４は、第１光学システムＰＬの光射出側、すなわち第１光学システムＰＬの像面側で、ベース部材ＢＰ上で移動可能である。基板ステージ４は、第１、第２露光光Ｌ１１、Ｌ１２が照射される第１露光領域ＡＲ１を含む所定領域内で基板Ｐを保持して移動可能である。図１に示すように、基板ステージ４は、基板Ｐを保持する基板ホルダ４Ｈを有している。基板ホルダ４Ｈは、基板Ｐの表面とＸＹ平面とがほぼ平行となるように、基板Ｐを保持する。基板ステージ４は、リニアモータ等のアクチュエータを含む基板ステージ駆動装置４Ｄの駆動により、基板ホルダ４Ｈに基板Ｐを保持した状態で、ベース部材ＢＰ上で、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、及びθＺ方向の６自由度の方向に移動可能である。【００７４】
基板ステージ４（ひいては基板Ｐ）の位置情報は、計測システム３のレーザ干渉計３４によって計測される。レーザ干渉計３４は、基板ステージ４に設けられた反射面３４Ｋを用いて基板ステージ４のＸ軸、Ｙ軸、及びθＺ方向に関する位置情報を計測する。また、基板ステージ４に保持されている基板Ｐの表面の面位置情報（Ｚ軸、θＸ、及びθＹ方向に関する位置情報）は、不図示のフォーカス・レベリング検出系によって検出される。制御装置５は、レーザ干渉計３４の計測結果及びフォーカス・レベリング検出系の検出結果に基づいて基板ステージ駆動装置４Ｄを駆動し、基板ステージ４に保持されている基板Ｐの位置制御を行う。【００７５】
フォーカス・レベリング検出系は、例えば米国特許第６,６０８,６８１号などに開示されるように、その複数の計測点でそれぞれ基板のＺ軸方向の位置情報を計測することで、基板の面位置情報を検出するものである。複数の計測点はその少なくとも一部が露光領域内に設定されてもよく、全ての計測点が露光領域の外側に設定されてもよい。また、レーザ干渉計は基板ステージのＺ軸、θＸ及びθＹ方向の位置情報をも計測可能としてよく、その詳細は、例えば特表２００１−５１０５７７号公報（対応国際公開第１９９９／２８７９０号パンフレット）に開示されている。この場合、基板の露光動作中にそのＺ軸方向の位置情報が計測可能となるようにフォーカス・レベリング検出系を設けなくてもよく、少なくとも露光動作中はレーザ干渉計の計測結果を用いてＺ軸、θＸ及びθＹ方向に関する基板の位置制御を行うようにしてもよい。【００７６】
次に、第１モードに選択された状態の露光装置ＥＸを用いて基板Ｐを露光する方法について説明する。【００７７】
第１マスクＭ１が第１マスクステージ１にロードされ、基板Ｐが基板ステージ４にロードされた後、制御装置５は、例えば第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１と基板Ｐ上のショット領域ＳＨとの位置関係の調整等、所定の処理を実行する。その所定の処理が完了した後、制御装置５は、基板Ｐのショット領域ＳＨに対する露光を開始する。【００７８】
第１照明系ＩＬ１より射出された露光光Ｌ１は、第１マスクステージ１上の第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１を照明する。第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１は、第１光学系４１を介して光学素子２０に入射する。上述のように、本実施形態においては、第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１は、少なくともＰ偏光成分とＳ偏光成分とを含む周方向偏光状態の露光光であり、光学素子２０は、露光光Ｌ１を、Ｐ偏光成分を主成分とする第１露光光Ｌ１１と、Ｓ偏光成分を主成分とする第２露光光Ｌ１２とに分離する。第１露光光Ｌ１１は、光学素子２０の所定面２５を通過して、第３光学系４３を介して、第１露光領域ＡＲ１に照射される。【００７９】
一方、第２露光光Ｌ１２は、光学素子２０の所定面２５で反射して、第１光学ユニットＬＵ１に入射する。第１光学ユニットＬＵ１は、Ｓ偏光状態の第２露光光Ｌ１２の偏光状態をＰ偏光状態に変換して、光学素子２０の所定面２５に入射させる。光学素子２０の所定面２５に入射したＰ偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、所定面２５を通過して、第２光学ユニットＬＵ２に入射する。第２光学ユニットＬＵ２は、Ｐ偏光状態の第２露光光Ｌ１２の偏光状態をＳ偏光状態に変換して、光学素子２０の所定面２５に入射させる。第２光学ユニットＬＵ２より光学素子２０の所定面２５に入射したＳ偏光状態の第２露光光Ｌ１２は、所定面２５で反射して、第３光学系４３を介して、第１露光領域ＡＲ１に照射される。【００８０】
このように、第１露光領域ＡＲ１には、光学素子２０の第４面２４から射出されるＰ偏光成分を主成分とする第１露光光Ｌ１１と、Ｓ偏光成分を主成分とする第２露光光Ｌ１２とが照射される。基板Ｐ上のショット領域ＳＨは、光学素子２０から射出されたＰ偏光成分を主成分とする第１露光光Ｌ１１とＳ偏光成分を主成分とする第２露光光Ｌ１２とで露光される。【００８１】
上述のように、第１光学システムＰＬは、第１パターンＰＡ１及び光学素子２０を介して第１露光領域ＡＲ１に照射した第１、第２露光光Ｌ１１、Ｌ１２に基づいて、その第１露光領域ＡＲ１に第１パターンＰＡ１の像を形成する。露光装置ＥＸは、第１露光領域ＡＲ１に形成される第１パターンＰＡ１の像で基板Ｐ上のショット領域ＳＨを露光する。【００８２】
また、本実施形態においては、露光装置ＥＸは、第１マスクＭ１と基板Ｐとを所定の走査方向に同期移動しつつ、第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１の像を基板Ｐ上に投影する。すなわち、本実施形態の露光装置ＥＸは、走査型露光装置（所謂スキャニングステッパ）である。本実施形態においては、基板Ｐの走査方向（同期移動方向）をＹ軸方向とし、第１マスクＭ１の走査方向（同期移動方向）もＹ軸方向とする。露光装置ＥＸは、第１露光領域ＡＲ１に対して基板Ｐのショット領域ＳＨをＹ軸方向に移動するとともに、その基板ＰのＹ軸方向への移動と同期して、第１マスクＭ１をＹ軸方向に移動しつつ、第１露光領域ＡＲ１に第１光学システムＰＬの光学素子２０からの第１、第２露光光Ｌ１１、Ｌ１２を照射することによって、その第１露光領域ＡＲ１に形成される第１パターンＰＡ１の像で基板Ｐ上のショット領域ＳＨを露光（単露光）する。【００８３】
以上、第１モードに選択された状態の露光装置ＥＸについて説明した。上述のように、第１モードは、第１パターンＰＡ１及び光学素子２０を介して第１露光領域ＡＲ１に露光光Ｌ１１、Ｌ１２を照射することによって、第１露光領域ＡＲ１に形成される第１パターンＰＡ１の像で基板Ｐ上のショット領域ＳＨを単露光するモードである。第１モードでは、第１パターンＰＡ１から光学素子２０に入射され、光学素子２０で分離された第１露光光Ｌ１１と第２露光光Ｌ１２とのそれぞれが基板Ｐ上に照射されるように、分離した第１、第２露光光Ｌ１１、Ｌ１２のうち、第２露光光Ｌ１２を処理する第２光学システムＨＬを第１光学システムＰＬに対して所定位置に配置している。【００８４】
上述のように、第２光学システムＨＬは、第１光学システムＰＬに対して着脱可能である。本実施形態の露光装置ＥＸは、第２光学システムＨＬが取り付けられていない状態において、第１光学システムＰＬの光学素子２０が、所定面２５を通過する第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１と所定面２０で反射する第２パターンＰＡ２からの露光光Ｌ２とを合成して射出し、その合成された露光光Ｌ１、Ｌ２で基板Ｐ上のショット領域ＳＨを多重露光する第２モードを選択することができる。【００８５】
以下、図６〜図１４を参照して、第２モードに選択された状態の露光装置ＥＸについて説明する。【００８６】
第２モードに選択された状態の露光装置ＥＸは、第１パターンＰＡ１及び光学素子２０を介して第１露光領域ＡＲ１に露光光Ｌ１を照射することによってその第１露光領域ＡＲ１に形成される第１パターンＰＡ１の像と、第２パターンＰＡ２及び光学素子２０を介して第２露光領域ＡＲ２に露光光Ｌ２を照射することによってその第２露光領域ＡＲ２に形成される第２パターンＰＡ２の像とで基板Ｐ上のショット領域ＳＨを多重露光する。本実施形態においては、第１パターンＰＡ１と第２パターンＰＡ２とは異なるパターンである。【００８７】
第２モードに選択された状態の露光装置ＥＸは、第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１と第２パターンＰＡ２からの露光光Ｌ２とのそれぞれを光学素子２０に入射させて、第１パターンＰＡ１の像と第２パターンＰＡ２の像とで基板Ｐ上のショット領域ＳＨを多重露光する。第１光学システムＰＬの光学素子２０は、複数の露光光Ｌ１、Ｌ２が入射可能な位置に配置され、第１光学システムＰＬは、光学素子２０からの複数の露光光Ｌ１、Ｌ２を基板Ｐ上に照射する。【００８８】
第２モードが選択された場合、第２光学システムＨＬは、第１光学システムＰＬより外される。そして、図６に示すように、第１光学システムＰＬに対して所定位置に、第２パターンＰＡ２を有する第２マスクＭ２を保持して移動可能な第２マスクステージ２と、露光光Ｌ２で第２マスクＭ２の第２パターンＰＡ２を照明する第２照明系ＩＬ２とが設けられる。【００８９】
第２照明系ＩＬ２は、第１照明系ＩＬ１とほぼ同等の構成を有しており、第２マスクステージ２に保持された第２マスクＭ２上の第２照明領域ＩＡ２を均一な照度分布の露光光Ｌ２で照明する。また、第２モードにおいては、第２照明系ＩＬ２に対応する第２光源装置１２が設けられる。第２照明系ＩＬ２から射出される露光光Ｌ２としては、例えば水銀ランプから射出される輝線（ｇ線、ｈ線、ｉ線）及びＫｒＦエキシマレーザ光（波長２４８ｎｍ）等の遠紫外光（ＤＵＶ光）や、ＡｒＦエキシマレーザ光（波長１９３ｎｍ）及びＦ２レーザ光（波長１５７ｎｍ）等の真空紫外光（ＶＵＶ光）などが用いられる。本実施形態においては、第２光源装置１２として、ＡｒＦエキシマレーザ装置が用いられ、第２照明系ＩＬ２から射出される露光光Ｌ２には、第１照明系ＩＬ１から射出される露光光Ｌ１と同様、ＡｒＦエキシマレーザ光が用いられる。【００９０】
第２マスクステージ２は、リニアモータ等のアクチュエータを含む第２マスクステージ駆動装置２Ｄの駆動により、第２マスクＭ２を保持した状態で、Ｚ軸、Ｘ軸、及びθＹ方向に移動可能である。第２マスクステージ２は、第２マスクＭ２の第２パターンＰＡ２が形成された第２パターン形成面とＸＺ平面とがほぼ平行となるように、第２マスクＭ２を保持する。第２マスクステージ２（ひいては第２マスクＭ２）の位置情報は、計測システム３のレーザ干渉計３２によって計測される。レーザ干渉計３２は、第２マスクステージ２上に設けられた移動鏡の反射面３２Ｋを用いて第２マスクステージ２の位置情報を計測する。制御装置５は、レーザ干渉計３２の計測結果に基づいて第２マスクステージ駆動装置２Ｄを駆動し、第２マスクステージ２に保持されている第２マスクＭ２の位置制御を行う。【００９１】
第２モードにおいては、第１照明系ＩＬ１のオプティカルインテグレータ１６の光射出面近傍（二次光源１７の直後）に、所定の開口を有する開口絞り１８が配置される。第２照明系ＩＬ２のオプティカルインテグレータ１６の光射出面近傍（二次光源１７の直後）にも、所定の開口を有する開口絞り１８’が配置される。【００９２】
図７は、第１照明系ＩＬ１に配置された開口絞り１８の一例を示す図である。図７において、開口絞り１８は、露光光Ｌ１を通過可能な開口１８Ｃ、１８Ｃを有している。開口絞り１８の開口１８Ｃ、１８Ｃは、第１照明系ＩＬ１の二次光源１７のうち、第１基本素子１５Ｃの旋光作用を受けた露光光Ｌ１によって形成される第１円弧状領域１７Ｃから射出される露光光Ｌ１を通過させるように形成されている。開口１８Ｃ、１８Ｃは、第１照明系ＩＬ１の光軸ＡＸを挟んで対向する位置に設けられている。本実施形態においては、開口１８Ｃ、１８Ｃは、図７中、光軸ＡＸに対して＋Ｙ側及び−Ｙ側のそれぞれに設けられている。【００９３】
開口絞り１８は、開口１８Ｃ、１８Ｃを介して、Ｘ軸と平行な方向を偏光方向とする直線偏光状態の露光光Ｌ１を通過させる。本実施形態においては、開口１８Ｃ、１８Ｃは、直線偏光であるＰ偏光状態の露光光Ｌ１を通過させる。したがって、開口絞り１８Ｃ、１８Ｃを通過する露光光Ｌ１は、Ｐ偏光成分を主に含み、第１マスクステージ１上の第１マスクＭ１は、Ｐ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ１で照明される。【００９４】
図８は、第２照明系ＩＬ２に配置された開口絞り１８’の一例を示す図である。図８において、開口絞り１８’は、露光光Ｌ２を通過可能な開口１８Ａ、１８Ａを有している。開口１８Ａ、１８Ａは、第２照明系ＩＬ２の光軸ＡＸを挟んで対向する位置に設けられている。本実施形態においては、開口１８Ａ、１８Ａは、図８中、光軸ＡＸに対して＋Ｘ側及び−Ｘ側のそれぞれに設けられている。【００９５】
開口絞り１８’は、開口１８Ａ、１８Ａを介して、Ｚ軸と平行な方向を偏光方向とする直線偏光状態の露光光Ｌ２を通過させる。本実施形態においては、開口１８Ａ、１８Ａは、直線偏光であるＳ偏光状態の露光光Ｌ２を通過させる。したがって、開口絞り１８Ａ、１８Ａを通過する露光光Ｌ２は、Ｓ偏光成分を主に含み、第２マスクステージ２上の第２マスクＭ２は、Ｓ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ２で照明される。【００９６】
図９は、第１マスクステージ１に保持された第１マスクＭ１を示す平面図、図１０は、第２マスクステージ２に保持された第２マスクＭ２を示す平面図である。図９及び図１０に示すように、第１マスクステージ１は、第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１が形成された第１パターン形成面とＸＹ平面とがほぼ平行となるように、第１マスクＭ１を保持し、第２マスクステージ２は、第２マスクＭ２の第２パターンＰＡ２が形成された第２パターン形成面とＸＺ平面とがほぼ平行となるように、第２マスクＭ２を保持する。また、第１マスクＭ１上での露光光Ｌ１による第１照明領域ＩＡ１は、Ｘ軸方向を長手方向とする矩形状（スリット状）に設定されており、第２マスクＭ２上での露光光Ｌ２による第２照明領域ＩＡ２も、Ｘ軸方向を長手方向とする矩形状（スリット状）に設定されている。【００９７】
図９及び図１０に示すように、第２モードにおいては、第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１は、Ｘ軸方向を長手方向とする複数のライン・アンド・スペースパターンを主成分とし、第２マスクＭ２の第２パターンＰＡ２は、Ｚ軸方向を長手方向とする複数のライン・アンド・スペースパターンを主成分とする。すなわち、第１パターンＰＡ１は、Ｘ軸方向を長手方向とするラインパターンをＹ軸方向に周期的に並べたパターンを多く含み、第２パターンＰＡ２は、Ｚ軸方向を長手方向とするラインパターンをＸ軸方向に周期的に並べたパターンを多く含む。【００９８】
上述のように、第１マスクＭ１上に照射される露光光Ｌ１は、所定方向の直線偏光（Ｐ偏光）を主成分とする。本実施形態では、第１マスクＭ１上における露光光Ｌ１の偏光方向とＸ軸とがほぼ平行となるように設定されている。また、第２マスクＭ２上に照射される露光光Ｌ２は、所定方向に直交する方向の直線偏光（Ｓ偏光）を主成分とする。本実施形態では、第２マスクＭ２上における露光光Ｌ２の偏光方向とＺ軸とがほぼ平行となるように設定されている。【００９９】
すなわち、第２モードにおいては、第１パターンＰＡ１に含まれるライン・アンド・スペースパターンのラインパターンの長手方向とＰ偏光を主成分とする露光光Ｌ１の偏光方向とはほぼ平行である。第２パターンＰＡ２に含まれるライン・アンド・スペースパターンのラインパターンの長手方向とＳ偏光を主成分とする露光光Ｌ２の偏光方向とはほぼ平行である。【０１００】
このように、第２モードにおいては、第１、第２照明系ＩＬ１、ＩＬ２は、第１、第２マスクＭ１、Ｍ２のライン・アンド・スペースパターンのラインパターンの長手方向に合わせた直線偏光照明を行う。第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１からは、Ｐ偏光成分、すなわち第１パターンＰＡ１のラインパターンの長手方向に沿った偏光方向成分の回折光が多く射出される。第２マスクＭ２の第２パターンＰＡ２からは、Ｓ偏光成分、すなわち第２パターンＰＡ２のラインパターンの長手方向に沿った偏光方向成分の回折光が多く射出される。【０１０１】
また、第１マスクＭ１上には、開口絞り１８のうち、第１照明系ＩＬ１の光軸ＡＸに対して互いに対向する位置に配置された開口１８Ｃ、１８Ｃのそれぞれを通過した露光光Ｌ１が照射される。第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１は、Ｐ偏光状態の露光光Ｌ１によってダイポール照明（二極照明）された状態となる。同様に、第２マスクＭ２上には、開口絞り１８’のうち、第２照明系ＩＬ２の光軸ＡＸに対して互いに対向する位置に配置された開口１８Ａ、１８Ａのそれぞれを通過した露光光Ｌ２が照射され、第２マスクＭ２の第２パターンＰＡ２は、Ｓ偏光状態の露光光Ｌ２によってダイポール照明（二極照明）された状態となる。【０１０２】
すなわち、本実施形態においては、図１１の模式図に示すように、第１照明系ＩＬ１は、直線偏光状態（Ｐ偏光状態）の二つの光束（露光光Ｌ１）を用いて、第１マスクＭ１のライン・アンド・スペースパターンのラインパターンの長手方向に合わせた斜入射照明（ダイポール照明）を行うとともに、図１２の模式図に示すように、直線偏光状態（Ｓ偏光状態）の二つの光束（露光光Ｌ２）を用いて、第２マスクＭ２のライン・アンド・スペースパターンのラインパターンの長手方向に合わせた斜入射照明（ダイポール照明）を行う。図１１に示すように、第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１には、第１マスクＭ１の表面に対してθＸ方向に傾斜する二つの方向から、ラインパターンの長手方向に沿う方向（Ｘ軸方向）を偏光方向とする露光光Ｌ１が入射する。また、図１２に示すように、第２マスクＭ２の第２パターンＰＡ２には、第２マスクＭ２の表面に対してθＺ方向に傾斜する二つの方向から、ラインパターンの長手方向に沿う方向（Ｚ軸方向）を偏光方向とする露光光Ｌ２が入射する。【０１０３】
図１３は、第２モードに選択された状態の露光装置ＥＸを示す模式図である。第２モードにおいては、第１光学システムＰＬは、露光光Ｌ１で照明された第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１の像及び露光光Ｌ２で照明された第２マスクＭ２の第２パターンＰＡ２の像を所定の投影倍率で基板Ｐ上に投影する。【０１０４】
第１光学システムＰＬの光学素子２０は、第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１及び第２パターンＰＡ２からの露光光Ｌ２のそれぞれが照射可能な位置に配置されており、入射される複数の露光光Ｌ１、Ｌ２のそれぞれを分離可能であるとともに、入射される複数の露光光Ｌ１、Ｌ２を合成可能である。【０１０５】
また、第２モードにおいては、第１光学システムＰＬは、その第１光学システムＰＬの光射出側、すなわち第１光学システムＰＬの像面側に、第１露光領域ＡＲ１と第２露光領域ＡＲ２とを所定位置関係で設定するとともに、光学素子２０からの露光光Ｌ１と露光光Ｌ２とを第１露光領域ＡＲ１と第２露光領域ＡＲ２とに向けて照射可能である。また、第１光学システムＰＬは、第１パターンＰＡ１の像を第１露光領域ＡＲ１に形成可能であり、第２パターンＰＡ２の像を第２露光領域ＡＲ２に形成可能である。【０１０６】
そして、第２モードにおいては、露光装置ＥＸは、第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１と第２パターンＰＡ２からの露光光Ｌ２とを光学素子２０に入射させて、第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１と第２パターンＰＡ２からの露光光Ｌ２とを光学素子２０で合成して、第１露光領域ＡＲ１と第２露光領域ＡＲ２とのそれぞれに照射する。【０１０７】
上述のように、第１光学システムＰＬは、第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１を光学素子２０へ導く第１光学系４１と、光学素子２０に対して所定位置に配置された第２光学系４２とを有している。第２マスクステージ２は、第２光学系４２の−Ｙ側に配置され、第２光学系４２は、第２パターンＰＡ２からの第２露光光Ｌ２を光学素子２０へ導く。また、第３光学系４３は、光学素子２０からの露光光Ｌ１、Ｌ２のそれぞれを第１、第２露光領域ＡＲ１、ＡＲ２のそれぞれに導く。【０１０８】
第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１は、第１光学系４１を介して光学素子２０の第１面２１に入射し、第２マスクＭ２の第２パターンＰＡ２からの露光光Ｌ２は、第２光学系４２を介して光学素子２０の第２面２２に入射する。上述のように、第１パターンＰＡ１に照射される露光光Ｌ１は、Ｐ偏光成分を主成分とする露光光であり、第２パターンＰＡ２に照射される露光光Ｌ２は、Ｓ偏光成分を主成分とする露光光である。したがって、光学素子２０には、第１パターンＰＡ１からのＰ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ１が入射されるとともに、第２パターンＰＡ２からのＳ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ２が入射される。このように、第２モードにおいては、露光装置ＥＸは、第１パターンＰＡ１からのＰ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ１を光学素子２０に入射させ、第２パターンＰＡ２からのＳ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ２を光学素子２０に入射させる。【０１０９】
上述のように、光学素子２０は、偏光分離光学素子（偏光ビームスプリッタ）を含み、その光学素子２０の所定面（偏光分離面）２５は、Ｐ偏光状態の露光光を通過させ、Ｓ偏光状態の露光光を反射する。したがって、第１パターンＰＡ１からのＰ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ１は、光学素子２０の所定面２５を通過して、第３光学系４３により第１露光領域ＡＲ１に導かれる。また、第２パターンＰＡ２からのＳ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ２は、光学素子２０の所定面２５で反射して、第３光学系４３により第２露光領域ＡＲ２に導かれる。【０１１０】
次に、第２モードに選択された状態の露光装置ＥＸを用いて基板Ｐを露光する方法について説明する。【０１１１】
第１マスクＭ１が第１マスクステージ１にロードされ、第２マスクＭ２が第２マスクステージ２にロードされる。基板Ｐが基板ステージ４にロードされた後、制御装置５は、例えば第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１と第２マスクＭ２の第２パターンＰＡ２と基板Ｐ上のショット領域ＳＨとの位置関係の調整等、所定の処理を実行する。その所定の処理が完了した後、制御装置５は、基板Ｐのショット領域ＳＨに対する露光を開始する。【０１１２】
第１照明系ＩＬ１より射出された露光光Ｌ１は、第１マスクステージ１上の第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１を照明する。第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１は、第１光学系４１を介して光学素子２０に入射する。第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１は、Ｐ偏光成分を主成分とする露光光である。光学素子２０の所定面２５は、Ｐ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ１を通過させる。光学素子２０の所定面２５を通過した露光光Ｌ１は、第４面２４より射出され、第３光学系４３を介して、第１露光領域ＡＲ１に照射される。【０１１３】
また、第２照明系ＩＬ２より射出された露光光Ｌ２は、第２マスクステージ２上の第２マスクＭ２の第２パターンＰＡ２を照明する。第２マスクＭ２の第２パターンＰＡ２からの露光光Ｌ２は、第２光学系４２を介して光学素子２０に入射する。第２パターンＰＡ２からの露光光Ｌ２は、Ｓ偏光成分を主成分とする露光光である。光学素子２０の所定面２５は、Ｓ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ２を反射する。光学素子２０の所定面２５で反射した露光光Ｌ２は、第４面２４より射出され、第３光学系４３を介して、第２露光領域ＡＲ２に照射される。【０１１４】
このように、第１露光領域ＡＲ１には、光学素子２０の第４面２４から射出されるＰ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ１が照射され、第２露光領域ＡＲ２には、光学素子２０の第４面２４から射出されるＳ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ２が照射される。基板Ｐ上のショット領域ＳＨは、光学素子２０から射出されたＰ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ１とＳ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ２とで多重露光される。【０１１５】
第１光学システムＰＬは、第１パターンＰＡ１及び光学素子２０を介して第１露光領域ＡＲ１に照射した露光光Ｌ１に基づいて、その第１露光領域ＡＲ１に第１パターンＰＡ１の像を形成し、第２パターンＰＡ２及び光学素子２０を介して第２露光領域ＡＲ２に照射した露光光Ｌ２に基づいて、その第２露光領域ＡＲ２に第２パターンＰＡ２の像を形成する。露光装置ＥＸは、第１露光領域ＡＲ１に形成される第１パターンＰＡ１の像と、第２露光領域ＡＲ２に形成される第２パターンＰＡ２の像とで基板Ｐ上のショット領域ＳＨを多重露光する。【０１１６】
第２モードに選択された状態の露光装置ＥＸは、第１マスクＭ１と第２マスクＭ２と基板Ｐとを所定の各走査方向に同期移動しつつ、第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１の像及び第２マスクＭ２の第２パターンＰＡ２の像を基板Ｐ上に投影する。本実施形態においては、基板Ｐの走査方向（同期移動方向）をＹ軸方向とする。露光装置ＥＸは、第１露光領域ＡＲ１及び第２露光領域ＡＲ２に対して基板Ｐのショット領域ＳＨをＹ軸方向に移動しつつ、第１光学システムＰＬを介して第１露光領域ＡＲ１及び第２露光領域ＡＲ２のそれぞれに露光光Ｌ１及び露光光Ｌ２のそれぞれを照射する。これにより、第１露光領域ＡＲ１に形成される第１パターンＰＡ１の像と第２露光領域ＡＲ２に形成される第２パターンＰＡ２の像とで基板Ｐ上のショット領域ＳＨを多重露光する。また、露光装置ＥＸは、基板ＰのＹ軸方向への移動と同期して、第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１と第２マスクＭ２の第２パターンＰＡ２とを所定の各走査方向に移動しつつ、基板Ｐ上のショット領域ＳＨを多重露光する。本実施形態においては、第１マスクＭ１の走査方向（同期移動方向）をＹ軸方向とし、第２マスクＭ２の走査方向（同期移動方向）をＺ軸方向とする。【０１１７】
第１マスクステージ１は、第１パターンＰＡ１を有する第１マスクＭ１を露光光Ｌ１に対してＹ軸方向に移動可能である。また、第２マスクステージ２は、第２パターンＰＡ２を有する第２マスクＭ２を露光光Ｌ２に対してＺ軸方向に移動可能である。また、基板ステージ４は、露光光Ｌ１及び露光光Ｌ２が照射される第１露光領域ＡＲ１及び第２露光領域ＡＲ２を含む所定領域内で基板Ｐを移動可能である。【０１１８】
制御装置５は、基板Ｐ上のショット領域ＳＨを露光するとき、第１マスクＭ１のうち、少なくとも第１パターンＰＡ１が形成された第１パターン形成領域が露光光Ｌ１による第１照明領域ＩＡ１を通過するように、第１マスクステージ１を制御して第１マスクＭ１をＹ軸方向に移動する。また、制御装置５は、基板Ｐ上のショット領域ＳＨを露光するとき、第２マスクＭ２のうち、少なくとも第２パターンＰＡ２が形成された第２パターン形成領域が、露光光Ｌ２による第２照明領域ＩＡ２を通過するように、第２マスクステージ２を制御して、第２マスクＭ２をＺ軸方向に移動する。また、制御装置５は、基板Ｐ上のショット領域ＳＨを露光するとき、基板Ｐ上のショット領域ＳＨが、第１、第２露光領域ＡＲ１、ＡＲ２を通過するように、基板ステージ４を制御して、基板ＰをＹ軸方向に移動する。【０１１９】
なお、図１４に示すように、本実施形態においては、第１露光領域ＡＲ１及び第２露光領域ＡＲ２のそれぞれは、Ｘ軸方向を長手方向とする矩形状（スリット状）に設定されている。また、第１露光領域ＡＲ１と第２露光領域ＡＲ２とは重複している。【０１２０】
制御装置５の制御の下で、計測システム３によって、第１マスクステージ１、第２マスクステージ２、及び基板ステージ４の位置情報をモニタしながら、第１、第２露光領域ＡＲ１、ＡＲ２に対する基板ＰのＹ軸方向への移動と、第１照明領域ＩＡ１に対する第１マスクＭ１のＹ軸方向への移動と、第２照明領域ＩＡ２に対する第２マスクＭ２のＹ軸方向への移動とが同期して行われる。第１、第２パターンＰＡ１、ＰＡ２からの露光光Ｌ１、Ｌ２のそれぞれが、第１、第２露光領域ＡＲ１、ＡＲ２のそれぞれに照射され、基板Ｐ上のショット領域ＳＨが多重露光される。【０１２１】
第２モードに選択された状態の露光装置ＥＸは、１回のスキャン動作で、基板Ｐ上の１つのショット領域ＳＨを第１パターンＰＡ１の像と第２パターンＰＡ２の像とで多重露光することができる。基板Ｐ上のショット領域ＳＨの感光材層は、現像工程等を介さずに、第１露光領域ＡＲ１に照射された露光光Ｌ１と、第２露光領域ＡＲ２に照射された露光光Ｌ２とで多重露光される。【０１２２】
以上説明したように、本実施形態の露光装置ＥＸは、第１パターンＰＡ１及び光学素子２０を介して第１露光領域ＡＲ１に露光光Ｌ１１、Ｌ１２を照射することによって第１露光領域ＡＲ１に形成される第１パターンＰＡ１の像で基板Ｐ上のショット領域ＳＨを単露光（通常露光）する第１モードと、第１パターンＰＡ１及び光学素子２０を介して第１露光領域ＡＲ１に露光光Ｌ１を照射することによってその第１露光領域ＡＲ１に形成される第１パターンＰＡ１の像と第２パターンＰＡ２及び光学素子２０を介して第２露光領域ＡＲ２に露光光Ｌ２を照射することによってその第２露光領域ＡＲ２に形成される第２パターンＰＡ２の像とで基板Ｐ上のショット領域ＳＨを多重露光（二重露光）する第２モードとを選択することができる。【０１２３】
第２モードにおいては、第１照明系ＩＬ１は、第１マスクＭ１の第１パターン（ラインパターン）ＰＡ１に適した直線偏光照明（Ｐ偏光照明）を行うことができる。第２照明系ＩＬ２は、第２マスクＭ２の第２パターン（ラインパターン）ＰＡ２に適した直線偏光照明（Ｓ偏光照明）を行うことができ、これにより、基板Ｐ上に第１、第２パターンＰＡ１、ＰＡ２を良好に形成される。すなわち、ラインパターンの長手方向とほぼ平行な偏光方向を有する露光光は、そのラインパターンの像のコントラストの向上に寄与するので、第１光学システムＰＬの光学性能（焦点深度など）の向上を図り、基板Ｐ上において高いコントラストの第１、第２パターンＰＡ１、ＰＡ２の像を得ることができる。第１光学システムＰＬの開口数ＮＡが、例えば０．９以上と大きい場合、ランダム偏光光では偏光効果によって結像特性が劣化する可能性がある。本実施形態においては、偏光照明を用いているので、良好なパターンの像を得ることができる。第１パターンＰＡ１からのＰ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ１と、第２パターンＰＡ２からのＳ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ２とのそれぞれを光学素子（偏光分離光学素子）２０に入射させることによって、その光学素子２０で露光光Ｌ１と露光光Ｌ２とを合成することができる。その光学素子２０から射出された２つの露光光Ｌ１、Ｌ２で基板Ｐ上のショット領域ＳＨを効率良く多重露光することができる。【０１２４】
また、第１モードにおいては、光学素子２０を有する第１光学システムＰＬに対して第２光学システムＨＬを所定位置に配置することにより、少なくともＰ偏光成分とＳ偏光成分とを含む周方向偏光状態の露光光Ｌ１で第１マスクＭ１の第１パターンＰＡ１を照明した場合でも、その露光光Ｌ１を光学素子２０を介して基板Ｐ上まで到達させることができる。例えば第１パターンＰＡ１が、ロジックパターン等のように様々な形状を含むパターン（所定方向を長手方向とするラインパターンとその所定方向と交差する方向を長手方向とするラインパターンとが混在するパターン）である場合には、例えば周方向偏光状態のように、少なくともＰ偏光成分とＳ偏光成分とを含む露光光Ｌ１で照明することが望ましい場合もある。第１光学システムＰＬが光学素子（偏光分離光学素子）２０を有している場合において、第１パターンＰＡ１を、少なくともＰ偏光成分とＳ偏光成分とを含む露光光Ｌ１で照明した場合、光学素子２０に入射した露光光Ｌ１のうち、例えばＳ偏光成分の露光光は基板Ｐ上に到達できない可能性がある。本実施形態においては、基板Ｐ上のショット領域ＳＨを、１つのパターン（第１パターン）ＰＡ１で単露光する場合に、第１光学システムＰＬに対して第２光学システムＨＬを所定位置に配置し、第１パターンＰＡ１からの少なくともＰ偏光成分をＳ偏光成分とを含む露光光Ｌ１を光学素子（偏光分離光学素子）２０に入射させることで、第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１の大部分を基板Ｐ上に到達させることができる。したがって、第１パターンＰＡ１が様々な形状を含むパターンである場合にも、そのパターンを基板Ｐ上に良好に形成することができる。【０１２５】
このように、本実施形態においては、第２モードが選択されたときには、露光光の光路上に配置された光学素子（偏光分離光学素子）２０を用いて、基板Ｐ上のショット領域ＳＨを効率良く良好に多重露光（二重露光）することができる。また、第１モードが選択されたときには、露光光の光路上に偏光分離光学素子が配置されている場合でも、パターンを露光光で照明するときの照明条件（露光光の偏光方向）が制約を受けることを抑制することができる。パターンに応じた最適な照明条件でそのパターンを照明し、そのパターンを照明した露光光を基板Ｐ上まで到達させることができる。したがって、パターンの多様化に良好に対応し、基板Ｐ上に種々のパターンを良好に形成することができる。【０１２６】
なお、本実施形態の第１モードにおいては、光学素子２０の所定面２５を通過した第１露光光Ｌ１１が、第２光学システムＨＬを介することなく基板Ｐに照射され、所定面２５で反射した第２露光光Ｌ１２が第２光学システムＨＬに入射され、その第２光学システムＨＬを介して基板Ｐに照射されている。しかしながら、光学素子２０の所定面２５で反射した露光光が第２光学システムＨＬを介することなく基板Ｐに照射され、所定面２５を通過した露光光が第２光学システムＨＬに入射され、その第２光学システムＨＬを介して基板Ｐに照射されてもよい。また、本実施形態においては、第１光学ユニットＬＵ１は、入射されたＳ偏光状態の露光光をＰ偏光状態の露光光に変換した後、光学素子２０に入射させているが、第１光学ユニットＬＵ１にＰ偏光状態の露光光が入射され、その入射されたＰ偏光状態の露光光を第１光学ユニットＬＵ１によりＳ偏光状態の露光光に変換した後、光学素子２０に入射させてもよい。また、第２光学ユニットＬＵ２は、入射されたＰ偏光状態の露光光をＳ偏光状態の露光光に変換した後、光学素子２０に入射させているが、第２光学ユニットＬＵ２にＳ偏光状態の露光光が入射され、その入射されたＳ偏光状態の露光光を第２光学ユニットＬＵ２によりＰ偏光状態の露光光に変換した後、光学素子２０に入射させてもよい。【０１２７】
なお、第１モードにおいて、第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１のうち、光学素子２０の所定面２５を通過して、第２光学システムＨＬを介することなく基板Ｐ上に照射される第１露光光Ｌ１１が進行する第１光路と、光学素子２０の所定面２５で反射して、第２光学システムＨＬを介して基板Ｐ上に照射される第２露光光Ｌ１２が進行する第２光路との違いによって、例えば基板Ｐ上に到達する第１露光光Ｌ１１と第２露光光Ｌ１２とに光量の差が生じる場合には、その光量の差を補正するような補正光学部材を配置することができる。【０１２８】
なお、本実施形態においては、光学素子２０が偏光ビームスプリッタである場合を例にして説明したが、光学素子２０が例えばハーフミラー（分光鏡）であってもよい。光学素子２０としてハーフミラーを用いた場合、第２光学システムＨＬの偏光変換素子を省くことができる。【０１２９】
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。【０１３０】
本実施形態の特徴的な部分は、第１モードが選択された場合、複数の露光光が入射可能な位置に、無屈折力の光学素子２０’を配置し、第２モードが選択された場合、複数の露光光が入射可能な位置に、入射される複数の露光光のそれぞれを分離可能であるとともに、入射される複数の露光光を合成可能な光学素子２０を配置して、第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１と第２パターンＰＡ２からの露光光Ｌ２とを光学素子２０に入射させて、第１パターンＰＡ１からの露光光Ｌ１と第２パターンＰＡ２からの露光光Ｌ２とを光学素子２０で合成して、第１露光領域ＡＲ１と第２露光領域ＡＲ２とのそれぞれに照射する点にある。【０１３１】
図１５は、第２実施形態に係る第１モードが選択された状態の露光装置ＥＸを示す模式図である。図１５に示すように、第１モードが選択された場合には、複数の露光光Ｌ１、Ｌ２が入射可能な位置に、無屈折力の光学素子２０’が配置される。光学素子２０’は、例えば石英などからなる平行平面板を含む。無屈折力の光学素子２０’を配置することにより、第１パターンＰＡ１からの少なくともＰ偏光成分とＳ偏光成分とを含む露光光Ｌ１は、光学素子２０’を通過して、基板Ｐ上に到達することができる。【０１３２】
また、第２実施形態に係る露光装置ＥＸにおいて、第２モードが選択された場合には、無屈折力の光学素子２０’と、上述の第１実施形態で説明したような光学素子２０との交換が行われる。これにより、上述の第１実施形態と同様、第１パターンＰＡ１からのＰ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ１と第２パターンＰＡ２からのＳ偏光成分を主成分とする露光光Ｌ２とで、基板Ｐ上のショット領域ＳＨを多重露光することができる。なお、交換を容易にするため、光学素子２０あるいは光学素子２０’の前後を、光学素子２０、２０’と屈折率が近い液体で満たしてもよい。【０１３３】
なお、第２実施形態において、第１モードが選択された場合、複数の露光光が入射可能な位置に配置された光学素子２０を退かすだけでもよい。すなわち、第１モードが選択された場合には、第２モードにおいて光学素子２０が配置されていた位置に、何も配置しないようにしてもよい。この場合、第１光学系４１あるいは第３光学系４３に、光路長の変化についての補正機構を持たせてもよい。【０１３４】
なお、上述の第１、第２実施形態において、第１光学システムＰＬとしては、上述のものに限られず、例えば等倍系及び拡大系のいずれであってもよい。また、第１光学システムＰＬとして、反射光学素子を含まない屈折系、屈折光学素子を含まない反射系、反射光学素子及び屈折光学素子の両方を含む反射屈折系等であってもよい。【０１３５】
また、上述の各実施形態において、第２モードが選択された場合、第１、第２露光領域ＡＲ１、ＡＲ２の大きさ及び形状の少なくとも一方が互いに異なっていてもよい。例えば、第１露光領域ＡＲ１と第２露光領域ＡＲ２とでＸ軸方向の幅及び／又はＹ軸方向の幅が異なっていてもよい。【０１３６】
また、上述の各実施形態においては、ショット領域ＳＨが第１、第２露光領域ＡＲ１、ＡＲ２を通過する間、第１、第２露光領域ＡＲ１、ＡＲ２のそれぞれに露光光Ｌ１、Ｌ２の照射が続けられるが、第１露光領域ＡＲ１及び第２露光領域ＡＲ２の少なくとも一方において、ショット領域ＳＨが通過する間の一部の期間だけで露光光が照射されるようにしてもよい。すなわち、ショット領域ＳＨ内の一部だけ多重露光するようにしてもよい。【０１３７】
なお、上述の各実施形態において、例えば国際公開第９９／４９５０４号パンフレット等に開示されているような液浸法を適用してもよい。すなわち、露光領域を覆うように、液体の液浸領域を基板Ｐ上に形成し、その液体を介して露光光を基板Ｐ上に照射するようにしてもよい。なお、液体としては、水（純水）を用いてもよいし、水以外のもの、例えば過フッ化ポリエーテル（ＰＦＰＥ）やフッ素系オイル等のフッ素系流体、あるいはセダー油などを用いてもよい。また、液体としては、水よりも露光光に対する屈折率が高い液体、例えば屈折率が１．６〜１．８程度のものを使用してもよい。更に、石英や蛍石よりも屈折率が高い（例えば１．６以上）材料で、第１、第２光学システムＰＬ、ＨＬを構成する光学素子を形成してもよい。ここで、純水よりも屈折率が高い（例えば１．５以上）の液体ＬＱとしては、例えば、屈折率が約１．５０のイソプロパノール、屈折率が約１．６１のグリセロール（グリセリン）といったＣ−Ｈ結合あるいはＯ−Ｈ結合を持つ所定液体、ヘキサン、ヘプタン、デカン等の所定液体（有機溶剤）、あるいは屈折率が約１．６０のデカリン(Decalin: Decahydronaphthalene)などが挙げられる。また、液体ＬＱは、これら液体のうち任意の２種類以上の液体を混合したものでもよいし、純水にこれら液体の少なくとも１つを添加（混合）したものでもよい。さらに、液体ＬＱは、純水にＨ＋、Ｃｓ＋、Ｋ＋、Ｃｌ−、ＳＯ４２−、ＰＯ４２−等の塩基又は酸を添加（混合）したものでもよいし、純水にＡｌ酸化物等の微粒子を添加（混合）したものでもよい。なお、液体としては、光の吸収係数が小さく、温度依存性が少なく、投影光学系、及び／又は基板の表面に塗布されている感光材（又はトップコート膜あるいは反射防止膜など）に対して安定なものであることが好ましい。液体として、超臨界流体を用いることも可能である。また、基板には、液体から感光材や基材を保護するトップコート膜などを設けることができる。また、終端光学素子を、例えば石英（シリカ）、あるいは、フッ化カルシウム（蛍石）、フッ化バリウム、フッ化ストロンチウム、フッ化リチウム、及びフッ化ナトリウム等のフッ化化合物の単結晶材料で形成してもよいし、石英や蛍石よりも屈折率が高い（例えば１．６以上）材料で形成してもよい。屈折率が１．６以上の材料としては、例えば、国際公開第２００５／０５９６１７号パンフレットに開示されるサファイア、二酸化ゲルマニウム等、あるいは、国際公開第２００５／０５９６１８号パンフレットに開示される塩化カリウム（屈折率は約１．７５）等を用いることができる。【０１３８】
液浸法を用いる場合、例えば、国際公開第２００４／０１９１２８号パンフレット（対応米国特許公開第２００５／０２４８８５６号）に開示されているように、終端光学素子の像面側の光路に加えて、終端光学素子の物体面側の光路も液体で満たすようにしてもよい。さらに、終端光学素子の表面の一部（少なくとも液体との接触面を含む）又は全部に、親液性及び／又は溶解防止機能を有する薄膜を形成してもよい。なお、石英は液体との親和性が高く、かつ溶解防止膜も不要であるが、蛍石は少なくとも溶解防止膜を形成することが好ましい。【０１３９】
上記各実施形態では、計測システム３として干渉計システムを用いて、マスクステージ及び基板ステージの位置情報を計測するものとしたが、これに限らず、例えば基板ステージの上面に設けられるスケール（回折格子）を検出するエンコーダシステムを用いてもよい。この場合、干渉計システムとエンコーダシステムの両方を備えるハイブリッドシステムとし、干渉計システムの計測結果を用いてエンコーダシステムの計測結果の較正（キャリブレーション）を行うことが好ましい。また、干渉計システムとエンコーダシステムとを切り替えて用いる、あるいはその両方を用いて、基板ステージの位置制御を行うようにしてもよい。【０１４０】
なお、上記各実施形態の基板Ｐとしては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版（合成石英、シリコンウエハ）、またはフィルム部材等が適用される。また、基板はその形状が円形に限られるものでなく、矩形など他の形状でもよい。【０１４１】
また、上記各実施形態の露光装置ＥＸは、例えば特開平１１−１３５４００号公報（対応国際公開１９９９／２３６９２）、及び特開２０００−１６４５０４号公報（対応米国特許第６,８９７,９６３号）などに開示されているように、基板を保持する基板ステージとは独立に移動可能であるとともに、計測部材（例えば、基準マークが形成された基準部材及び／又は各種の光電センサ）を搭載した計測ステージを備えていてもよい。【０１４２】
上記各実施形態では、パターンを形成するためにマスクを用いたが、これに代えて、可変のパターンを生成する電子マスク（可変成形マスク、アクティブマスク、あるいはパターンジェネレータとも呼ばれる）を用いることができる。電子マスクとして、例えば非発光型画像表示素子（空間光変調器：Spatial Light Modulator (ＳＬＭ)とも呼ばれる）の一種であるＤＭＤ（Deformable Micro-mirror Device又はDigital Micro-mirror Device）を用い得る。ＤＭＤは、所定の電子データに基づいて駆動する複数の反射素子（微小ミラー）を有し、複数の反射素子は、ＤＭＤの表面に２次元マトリックス状に配列され、かつ素子単位で駆動されて露光光を反射、偏向する。各反射素子はその反射面の角度が調整される。ＤＭＤの動作は、制御装置により制御され得る。制御装置は、基板上に形成すべきパターンに応じた電子データ（パターン情報）に基づいてＤＭＤの反射素子を駆動し、照明系により照射される露光光を反射素子でパターン化する。ＤＭＤを使用することにより、パターンが形成されたマスク（レチクル）を用いて露光する場合に比べて、パターンが変更されたときに、マスクの交換作業及びマスクステージにおけるマスクの位置合わせ操作が不要になる。なお、電子マスクを用いる露光装置では、マスクステージを設けず、基板ステージによって基板をＸ軸及びＹ軸方向に移動するだけでもよい。なお、ＤＭＤを用いた露光装置は、例えば特開平８−３１３８４２号公報、特開２００４−３０４１３５号公報、米国特許第６,７７８,２５７号公報に開示されている。【０１４３】
また、本発明は、特開平１０−１６３０９９号公報、特開平１０−２１４７８３号公報（対応米国特許第６,３４１,００７号、第６,４００,４４１号、第６,５４９,２６９号及び第６,５９０,６３４号）、特表２０００−５０５９５８号公報（対応米国特許第５,９６９,４４１号）などに開示されているような複数の基板ステージを備えたマルチステージ型の露光装置にも適用できる。【０１４４】
露光装置ＥＸの種類としては、基板Ｐに半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子（ＣＣＤ）、マイクロマシン、ＭＥＭＳ、ＤＮＡチップ、あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。【０１４５】
なお、法令で許容される限りにおいて、上記各実施形態及び変形例で引用した露光装置などに関する全ての公開公報及び米国特許などの開示を援用して本文の記載の一部とする。【０１４６】
以上のように、上記実施形態の露光装置ＥＸは、各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度及びクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。【０１４７】
半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図１６に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ２０１、この設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作するステップ２０２、デバイスの基材である基板を製造するステップ２０３、前述した実施形態の露光装置ＥＸによりマスクのパターンを基板に露光する工程、露光した基板を現像する工程、現像した基板の加熱（キュア）及びエッチング工程などの基板処理プロセスを含むステップ２０４、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程などの加工プロセスを含む）２０５、検査ステップ２０６等を経て製造される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【国際調査報告】
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