【手続補正書】
【提出日】平成19年10月9日(2007.10.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御対象を仮想軸である基準軸に対して傾けるように支持する支持機構と、前記制御対象を、前記基準軸と直交する第１の軸を中心として揺動させ且つ基準軸と第１の軸の双方に直交する第２の軸を中心として揺動させる磁気駆動機構とを備えている２軸型アクチュエータにおいて、
前記磁気駆動機構には、磁性材料で形成された第１のヨークと、磁石、および磁性材料で形成された第２のヨークが、前記基準軸の軸方向に向けて重ねられて設けられており、
前記第２のヨークには、互いに直交する方向で且つ前記基準軸と交叉する方向に延びる腕部が設けられ、それぞれの腕部が前記第１のヨークと対向しており、前記腕部と前記第１のヨークとの対向部内にコイルが設けられていることを特徴とする２軸型アクチュエータ。
【請求項２】
前記腕部は、その基部よりもその先部が、前記第１のヨークに接近する形状であり、前記腕部の前記先部と前記第１のヨークとの間に、前記コイルが配置されている請求項１記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項３】
前記第２のヨークには、互いに直交する方向に延び且つ前記基準軸の軸芯と交叉する方向に延びる４つの腕部が設けられており、４つの腕部のそれぞれに対向する４つのコイルは、その巻き中心が、前記基準軸の軸芯と直交する向きに配置されている請求項１または２記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項４】
空洞の中心部とこの中心部から延びる複数の連通部が形成された非磁性材料製のボビンが設けられており、前記第２のヨークが前記中心部に配置され、前記腕部が前記連通部に挿入されて、前記連通部の回りに前記コイルが巻かれている請求項１ないし３のいずれかに記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項５】
制御対象を仮想軸である基準軸に対して傾けるように支持する支持機構と、前記制御対象を、前記基準軸と直交する第１の軸を中心として揺動させ且つ基準軸と第１の軸の双方に直交する第２の軸を中心として揺動させる磁気駆動機構とを備えている２軸型アクチュエータにおいて、
前記磁気駆動機構には、磁性材料で形成された第１のヨークと、磁石、および磁性材料で形成された第２のヨークが、前記基準軸の軸方向に向けて重ねられて設けられており、
前記第２のヨークには、前記基準軸の中心から互いに直交する方向に離れた位置で前記基準軸と平行に延びる腕部が設けられ、それぞれの腕部が前記第１のヨークと対向しており、前記腕部と前記第１のヨークとの対向部内にコイルが設けられていることを特徴とする２軸型アクチュエータ。
【請求項６】
前記第２のヨークには、前記基準軸の軸芯と平行に延びる４つの腕部が設けられており、４つの腕部のそれぞれに対向する４つのコイルは、巻き中心が、前記基準軸の軸芯と平行に配置されている請求項５記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項７】
前記第１のヨークと前記第２のヨークとが、磁性材料の金属板から切断し折り曲げた板金加工により形成されている請求項１ないし５のいずれかに記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項８】
前記第１のヨークと前記磁石および前記第２のヨークが可動側に設けられ、前記コイルが前記支持機構を支持する固定側に設けられている請求項１ないし７のいずれかに記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項９】
前記コイルが可動側に設けられ、前記第１のヨークと前記磁石および前記第２のヨークが固定側に設けられている請求項１ないし７のいずれかに記載の２軸型アクチュエータ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、制御対象を仮想軸である基準軸に対して傾けるように支持する支持機構と、前記制御対象を、前記基準軸と直交する第１の軸を中心として揺動させ且つ基準軸と第１の軸の双方に直交する第２の軸を中心として揺動させる磁気駆動機構とを備えている２軸型アクチュエータにおいて、
前記磁気駆動機構には、磁性材料で形成された第１のヨークと、磁石、および磁性材料で形成された第２のヨークが、前記基準軸の軸方向に向けて重ねられて設けられており、
前記第２のヨークには、互いに直交する方向で且つ前記基準軸と交叉する方向に延びる腕部が設けられ、それぞれの腕部が前記第１のヨークと対向しており、前記腕部と前記第１のヨークとの対向部内にコイルが設けられていることを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前記腕部は、その基部よりもその先部が、前記第１のヨークに接近する形状であり、前記腕部の前記先部と前記第１のヨークとの間に、前記コイルが配置されていることが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また本発明は、制御対象を仮想軸である基準軸に対して傾けるように支持する支持機構と、前記制御対象を、前記基準軸と直交する第１の軸を中心として揺動させ且つ基準軸と第１の軸の双方に直交する第２の軸を中心として揺動させる磁気駆動機構とを備えている２軸型アクチュエータにおいて、
前記磁気駆動機構には、磁性材料で形成された第１のヨークと、磁石、および磁性材料で形成された第２のヨークが、前記基準軸の軸方向に向けて重ねられて設けられており、
前記第２のヨークには、前記基準軸の中心から互いに直交する方向に離れた位置で前記基準軸と平行に延びる腕部が設けられ、それぞれの腕部が前記第１のヨークと対向しており、前記腕部と前記第１のヨークとの対向部内にコイルが設けられていることを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
前記第１の磁気駆動部を形成するＰ１側のコイルＣ１に、図５に矢印Ａ１で示す外方向から見て時計回り方向の電流が流れるとすると、前記コイルＣ１にはフレミングの左手の法則に従う電磁力Ｆ１が発生する。同時に、前記第１の磁気駆動部を形成するＰ２側のコイルＣ２に、図５に矢印Ａ２で示す外方向から見て反時計回り方向の電流が流れると、前記コイルＣ２に電磁力Ｆ２が発生する。前記電磁力Ｆ１と電磁力Ｆ２とは大きさ及び向きが等しく、ともに支持中心点Ｏから等しい位置に発生する。前記電磁力Ｆ１と電磁力Ｆ２は、それぞれ支持中心点Ｏを回転中心とする所定の円の半径方向の成分と接線方向の成分Ｆ１ｔ，Ｆ２ｔとに分けることができるが、このうち接線方向の成分Ｆ１ｔ，Ｆ２ｔの反力が、図５において反時計回り方向の回転を生じさせる力として寄与する。よって、前記磁気発生部４５Ａを図５にて反時計回り方向（β２方向）に揺動させることができる。このため、前記磁気発生部４５Ａを形成する下ヨーク４６の下面に垂直に設けられた可動軸２２ｂをＺ軸（第３の軸））に一致する状態から前記仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）線に沿うＰ１方向に傾倒させることができる。よって、可動軸２２ｂの先端に設けられた制御対象２０を構成する反射ミラー２１の鏡面２１ａをＰ１方向に傾けることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
またコイルＣ１及びコイルＣ２に流す電流の向きをそれぞれ変えると、前記磁気発生部４５Ａは反時計回り方向（β１方向）に揺動させられため、可動軸２２ｂをＺ軸に一致する状態から前記仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）線に沿うＰ２方向に傾倒させることができる。よって、制御対象２０を構成する反射ミラー２１の鏡面２１ａを前記仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）線に沿ってＰ２方向に傾けることができる。