【手続補正書】
【提出日】平成19年4月19日(2007.4.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レジスト内で、第１側壁と第２側壁を有するトレンチを形成するステップと、
前記トレンチの第１側壁と第２側壁内で所定傾斜を形成するために所定時間ある温度で前記レジストを加熱するステップと、
前記トレンチ内での磁性材の溶着によりプローブを形成するステップと、を含むことを特徴とする垂直記録用の切頭形状書き込みヘッド・プローブを形成する方法。
【請求項２】
前記レジスト内トレンチ形成は、写真平板工程を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記レジスト内トレンチ形成は、さらに切頭形状プローブを形成するステップを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記切頭形状プローブの形成は、さらに、
空気軸受面から所定距離だけ凹ませて極層を形成するステップと、
前記極層上の切頭形状プローブを、前記空気軸受面から凹ませて前記極層が設けられる際の所定距離に前記切頭形状プローブ長が略等しくなるように形成するステップと、を含むことを特徴とする請求項３記載の方法。
【請求項５】
前記レジスト内でプローブを形成するステップは、イオン・エッチングによって前記レジストを除去するステップを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項６】
前記トレンチの第１側壁と第２側壁の傾斜を形成するステップは、さらに、後焼付処理温度の変化によって前記第１側壁と第２側壁の傾斜角を変化させるステップを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項７】
前記トレンチの第１側壁と第２側壁の傾斜を形成するステップは、さらに、後焼付処理加熱時間間隔の変化によって前記第１側壁と第２側壁の傾斜角を変化させるステップを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項８】
前記トレンチの第１側壁と第２の側壁の傾斜を形成するステップは、さらに、前記プローブが記録媒体の内側と外側間を移動する際に、記録媒体上の広いトラック幅の書き込みを防ぐために略台形状のトレンチ形状を形成するステップを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項９】
前記プローブを形成するステップは、さらに、前記トレンチ内に溶着される硬質マスクの厚さを変更することにより前記プローブによって形成されるトラック幅を変化させるステップを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１０】
さらに、前記硬質マスク上に磁気シード層を溶着するステップを含むことを特徴とする請求項９記載の方法。
【請求項１１】
さらに、前記硬質マスク上に非磁性シード層を溶着するステップを含むことを特徴とする請求項９記載の方法。
【請求項１２】
前記プローブを形成するステップは、さらに、化学的な機械研磨の利用による前記プローブの上部面からの前記磁性材の除去によって前記プローブの先端でプローブ幅を形成するステップを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１３】
空気軸受面に近接して、磁束を発生するコイル層を形成するステップと、
前記コイル層上で、空気軸受面から所定距離だけ凹んだ極層を形成するステップと、
切頭形状プローブ長が前記空気軸受面から凹んだ前記極層の所定距離に略等しくなるように前記極層上に切頭形状プローブを形成するステップと、を含み、
前記空気軸受面に近接して前記コイル層を確立することが前記切頭形状プローブの先端で磁束密度を高めることを特徴とする垂直記録書き込みヘッドの効率を高める方法。
【請求項１４】
前記切頭形状プローブの形成ステップは、さらに、
レジスト内で、第１側壁と第２側壁を有するトレンチを形成するステップと、
前記トレンチの第１側壁と第２側壁で所定傾斜を形成するために、所定時間ある温度でレジストを加熱するステップと、
前記切頭形状プローブを形成するために前記トレンチ内に磁性材を溶着するステップと、を含むことを特徴とする請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
前記切頭形状プローブを形成するステップは、前記切頭形状プローブ先端での磁束密度を高めるために、前記空気軸受面での前記切頭形状プローブ先端から前記切頭形状プローブのヨークに略近い点までの長さを有するように形成するステップを含むことを特徴とする請求項１３記載の方法。
【請求項１６】
さらに、前記コイル層の末終端に略近接して置かれ、記録信号の立ち上がり時間を速くするために、少なくとも前記極層を前記空気軸受面より凹ませる所定距離だけ、前記空気軸受面に近づいて位置するような背面間隙を形成するステップを含むことを特徴とする請求項１３記載の方法。
【請求項１７】
前記トレンチの第１側壁と第２側壁の所定傾斜を形成するステップは、さらに、後焼付処理温度の変化によって前記第１側壁と第２の側壁の前記傾斜の角度を変化させるステップを含むことを特徴とする請求項１４記載の方法。
【請求項１８】
前記トレンチの第１側壁と第２側壁の所定傾斜を形成するステップは、さらに、後焼付処理加熱時間間隔の変化によって前記第１側壁と第２側壁の前記傾斜の角度を変化させるステップを含むことを特徴とする請求項１４記載の方法。
【請求項１９】
前記トレンチの第１側壁と第２側壁の所定傾斜を形成するステップは、さらに、切頭形状プローブが記録媒体の内側と外側間を移動する際に、記録媒体上で広いトラック幅の書き込みを防ぐために略台形状のトレンチ形状を形成するステップを含むことを特徴とする請求項１４記載の方法。
【請求項２０】
前記切頭形状プローブを形成するステップは、さらに、前記トレンチ内に溶着する硬質マスクの厚さが変化することで前記切頭形状プローブによって形成されるトラック幅を変更するステップを含むことを特徴とする請求項１３記載の方法。
【請求項２１】
前記切頭形状プローブにより形成されるトラック幅を変更するステップは、さらに、前記硬質マスクへの前記レジスト吸着を向上させるために、前記硬質マスク上に溶着する磁気シード層を提供するステップを含むことを特徴とする請求項２０記載の方法。
【請求項２２】
前記切頭形状プローブにより形成されるトラック幅を変更するステップは、さらに、前記硬質マスクへの前記レジスト吸着を向上させるために、前記硬質マスク上に溶着する非磁性シード層を提供するステップを含むことを特徴とする請求項２０記載の方法。
【請求項２３】
前記切頭形状プローブを形成するステップは、さらに、化学的な機械研磨を利用して前記切頭形状プローブの上部面から前記磁性材を除去することで所定トラック幅を形成するステップを含むことを特徴とする請求項１３記載の方法。
【請求項２４】
空気軸受面に近接し、背面間隙に達するように配置され、磁束を生成するコイル層と、
前記空気軸受面から所定距離だけ凹み、前記磁束を伝送する前記コイル層上に形成され、かつ、前記背面間隙に接する極層と、
磁気記録媒体上のデータ記録用に前記極層上に形成されるプローブと、を有し、
前記プローブは、前記極層と前記コイル層上の空気軸受面から少なくとも前記背面間隙の一部に達することを特徴とする垂直記録書き込みヘッド。
【請求項２５】
前記プローブ先端は、第１面と第２面を持ち、前記プローブが磁気記録媒体の内外トラック間を移動する際にトラック幅を維持するために、前記第１面が前記第２面より広くなっている略台形形状を含むことを特徴とする請求項２４記載の書き込みヘッド。
【請求項２６】
前記コイル層の位置が、記録密度を高めるために前記切頭形状プローブ先端で磁束密度を高めることを特徴とする請求項２４記載の書き込みヘッド。
【請求項２７】
データを記憶する磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体上にデータを記録する書き込みヘッドと、
前記磁気記録媒体上で前記書き込みヘッドを位置決めするアクチュエータと、を有し、
前記書き込みヘッドは、さらに、
空気軸受面に近接し、背面間隙に達するように設けられ、磁束を生成するコイル層と、
前記空気軸受面から所定距離だけ凹んで設けられ、前記磁束を伝送するために前記コイル層上に形成され、かつ、前記背面間隙に接する極層と、
前記極層上、かつトレンチ内に形成され、前記空気軸受面から凹ませて前記極層が設けられる際の所定距離に略等しい長さを有し、前記空気軸受面から前記極層の背面まで達し、磁気記録媒体上にデータを記録するために前記極層上に形成されるプローブと、を有し、
前記プローブは、前記極層と前記コイル層上の空気軸受面から少なくとも前記背面間隙の一部に達することを特徴とする垂直記録ヘッドの効率を高めるシステム。
【請求項２８】
前記プローブ先端は、第１面と第２面を持ち、前記プローブが磁気記録媒体の内外トラック間を移動する際にトラック幅を維持するために、前記第１面が前記第２面より広くなっている略台形形状を含むことを特徴とする請求項２７記載のシステム。
【請求項２９】
前記コイル層の位置が、記録密度を高めるために前記切頭形状プローブ先端で磁束密度を高めることを特徴とする請求項２７記載のシステム。