【手続補正書】
【提出日】平成19年3月7日(2007.3.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
図３２Ａは、特開平６−１２００４８号公報に開示されているトランス素子（以下、「従来の技術」欄において第１の相互誘導回路１００と称する。）の構造を模式的に示す上面図である。また、図３２Ｂは、図３２Ａに示す線Ｖ−Ｖに沿う第１の相互誘導回路１００の断面を矢印Ｗの方向から見たときの模式図である。図３２Ａ及び図３２Ｂにおいて、第１の相互誘導回路１００は、１次コイル１０１及び２次コイル１０２を備える。両コイル１０１及び１０２は絶縁層１０３の内部に形成され、１次コイル１０１は２次コイル１０２の直下に形成される。また、１次コイル１０１は大略的には、渦巻き形状を有しており、その一方端及び他方端に第１及び第２の入力端子Ａ１及びＡ２を有する。より具体的には、１次コイル１０１は、渦の略中心に配置される第１の入力端子Ａ１の周りに、大きくなる一続きの円を同一平面上に描くような形状を有する。第２の入力端子Ａ２は、このような渦巻き形状を有する１次コイル１０１の外周側の端に配置される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、第１の平面渦状コイル３０２及び第２の平面渦状コイル３０３の接続部分からは、第１の入力端子３０７を構成するために、信号線が引き出される。さらに、第３の平面渦状コイル３０４における渦中心側の端からは、第２の入力端子３０８を構成するために、信号線が引き出される。また、第１の平面渦状コイル３０２における渦外周側の端は、第１の出力端子３０９を構成し、第３の平面渦状コイル３０４における渦外周側の端は、第２の出力端子３０９ａを構成する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
以上の第３の相互誘導回路３００では、第１の入力端子３０７を接地した状態で、第２の入力端子３０８に電気信号を与えると、第１の出力端子３０９及び第２の出力端子３０９ａの間に、変圧された電気信号が現れる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
より具体的には、第１のスパイラルインダクタは、入力配線６０４ａと、スパイラル形状に巻かれたスパイラル配線６０１ａと、信号を出力する出力配線６０５ａとを含む。第２のスパイラルインダクタも、入力配線６０４ｂと、スパイラル配線６０１ｂと、出力配線６０５ｂとを含む。以上のような第１及び第２のスパイラルインダクタにおいて、スパイラル配線６０１ａ及び６０１ｂは互いに逆方向に巻かれている。また、スパイラル配線６０１ａ及び６０１ｂは、絶縁層を介して上下層に重なり合うように形成される。
また、入力配線６０４ａ及び６０４ｂは、引き出し配線６０２ａ及び６０２ｂを介してスパイラル配線６０１ａ及び６０１ｂに接続される。引き出し配線６０２ａ及び６０２ｂのためには、スパイラル配線６０１ａ及び６０１ｂが形成される配線層よりも下側に位置する配線層が用いられる。互いに異なる配線層間の配線は、層間コンタクト６０３ａ−６０３ｄによって接続される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
また、本発明の第２の局面は、発振回路であって、予め定められた周波数を有する差動信号を生成する発振段と、発振段で生成された差動信号を変圧する相互誘導回路と、相互誘導回路で変圧された差動信号を増幅する増幅段とを備える。ここで、相互誘導回路は、トランス素子であって、半導体基板上において上下方向に平行な第１及び第２の配線層を使って形成され、発振段で生成された差動信号を構成する同相信号及び逆相信号が入力される第１及び第２の入力端子を有しており、入力同相信号及び入力逆相信号により磁束を発生する第１のインダクタンスと、第１のインダクタンスで発生した磁束が鎖交する位置に形成され、第１のインダクタンスとの相互誘導作用により、変圧された同相信号及び逆相信号を第１及び第２の出力端子から出力する第２のインダクタンスと、第１のインダクタンスの仮想中点と、第２の仮想中点とを電気的に接続するコンタクトとを含む。また、第１及び第２のインダクタンスは、鉛直上方向及び鉛直下方向の一方から第１の配線層及び第２の配線層の一方に投影した時に、投影された外形線が予め定められた基準面を基準として対称な形状を有し、かつ投影された外形線が第１の配線層及び第２の配線層の一方上で交差し合う部分については、第１の配線層及び第２の配線層を使って交差しないよう構成される。
また、好ましくは、発振回路は無線通信機器に組み込まれる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
第１の線路２３は、第１のインダクタンス２における最外周の一部を構成する部分環状線路であり、第１の端子２１と、後述する第１のコンタクト２１０とを電気的に接続する。本実施形態では例示的に、下記の１０点Ｐ１〜Ｐ１０（図３参照）で規定される領域内に、第１の線路２３は形成される。点Ｐ１は、Ｘ座標値及びＹ座標値として、（Ｘ１，−Ｙ１）を有する。ここで、Ｘ１及びＹ１は、相互誘導回路１の仕様に応じて定められる正の値である。点Ｐ２は、第１の線路２３の幅をＷ１とすると、Ｙ軸の負方向にＷ１の距離だけ点Ｐ１を平行移動させた点である。点Ｐ３は、Ｗ１よりも大きい距離、点Ｐ１をＸ軸の正方向に平行移動させた点である。点Ｐ４は、Ｘ軸の負方向及びＹ軸の負方向の双方にＷ１の距離だけ点Ｐ３を平行移動させた点である。点Ｐ５及びＰ６は、Ｙ軸の負方向にＷ１以上の距離、点Ｐ３及びＰ４を平行移動させた点である。点Ｐ７は、Ｘ軸の正方向に距離Ｄ２だけ点Ｐ５を平行移動させた点である。Ｄ２は、相互誘導回路１の仕様に従って定められる正の値である。点Ｐ８は、Ｘ軸の正方向及びＹ軸の負方向の双方に、Ｗ１の距離だけ、点Ｐ７を平行移動させた点である。点Ｐ９は、点Ｐ７を、Ｙ軸の正方向に距離Ｄ３だけ平行移動させた点である。Ｄ３は、相互誘導回路１の仕様に従って定められるが、少なくとも点Ｐ７のＹ座標値よりも小さい正の値である。点Ｐ１０は、距離Ｗ１だけＸ軸の正方向に点Ｐ９を平行移動させた点である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
第５の線路３７は、第２のインダクタンス３における最外周の一部を構成する部分環状線路であり、それぞれが後述される第２のコンタクト３１２及び第６の線路３８とを電気的に接続し、ＺＸ平面を基準として第４の線路３６と対称な位置に形成される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
第８の線路３１１は、典型的にはマイクロストリップ線路であって、第１のコンタクト３１０と、後述する第２のコンタクト３１２とを電気的に接続する線路である。本実施形態では例示的に、面Ａ上における８点Ｑ２９〜Ｑ３６（図６参照）で規定される領域内に、第８の線路３１１は形成される。まず、点Ｑ３１及びＱ３２は、ＺＸ平面を基準として点Ｑ５及びＱ６（図５参照）に対称な第１及び第２の点を、鉛直下方向から面Ａに投影した位置にある。また、点Ｑ２９及びＱ３０は、上述の点Ｑ３１及びＱ３２を、Ｙ軸の正方向にＷ２だけ平行移動させた位置にある。点Ｑ３３及びＱ３４は、ＺＸ平面を基準として点Ｑ７及び点Ｑ８（図５参照）に対称な第１及び第２の点を、鉛直下方向から面Ａに投影した位置にある。点Ｑ３５及びＱ３６は、上述の点Ｑ３３及びＱ３４を、Ｙ軸の負方向にＷ２だけ平行移動させた位置にある。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１５】
第５の線路４２８は、典型的にはマイクロストリップ線路で構成され、第１のコンタクト４２７と、後述する第２のコンタクト４２９とを電気的に接続する線路である。本実施形態では例示的に、面Ｂ上における８点Ｓ１９〜Ｓ２６（図１４参照）で規定される領域内に、第５の線路４２８は形成される。４点Ｓ２１〜Ｓ２４は、ＺＸ平面を基準として前述の点Ｓ５〜Ｓ８に対称な各点を、鉛直上方向から面Ｂに投影したものである。次に、点Ｓ１９及びＳ２０は、Ｙ軸の負方向に距離Ｗ３だけ、点Ｓ２１及びＳ２２を平行移動させた点である。また、点Ｓ２５及びＳ２６は、Ｙ軸の正方向に距離Ｗ３だけ、点Ｓ２３及びＳ２４を平行移動させた点である。
第２のコンタクト４２９は、点Ｓ２３〜Ｓ２６で囲まれる領域と、ＺＸ平面を基準として上述の点Ｓ５及びＳ６の対称で第２の線路４２４に含まれる２点近傍とを電気的に接続する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１７】
第１の線路４３３は、第１の端子４３１と後述する第３の線路４３５とを電気的に接続する線路であって、例示的に、以下の６点Ｔ１〜Ｔ６（図１３参照）で囲まれる領域内に形成される。点Ｔ１は、Ｘ座標値及びＹ座標値として、（Ｘ４，−Ｙ４）を有する。ここで、Ｘ４及びＹ４は、相互誘導回路４１の仕様に応じて定められる正の値であるが、本実施形態では、Ｙ４は前述のＹ３に等しいとする。点Ｔ２は、第１の線路４３３の幅をＷ３とすると、Ｙ軸の負方向に距離Ｗ３だけ点Ｔ１を平行移動させた点である。点Ｔ３は、相互誘導回路４１の仕様に応じて定められる任意の距離だけ、Ｘ軸の負方向に点Ｔ１を平行移動させた点である。点Ｔ４は、Ｘ軸及びＹ軸のそれぞれの負方向に距離Ｗ３だけ点Ｔ３を平行移動させた点である。点Ｔ５は、Ｙ軸の正方向に距離Ｇ１だけ点Ｔ３を平行移動させた点である。点Ｔ６は、Ｘ軸の負方向に点Ｔ５を距離Ｗ３だけ平行移動させた点である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５３】
第４の線路５２６は、第１のインダクタンス５２の一周を構成する部分環状線路であって、本実施形態では例示的に、以下の１２点Ｕ７〜Ｕ１８（図１９参照）で規定される領域に形成される。なお、本実施形態では、第４の線路５２６の幅は、第１の線路５２３と同様、Ｗ４とする。点Ｕ７及びＵ８については上述した通りである。点Ｕ９は、Ｙ軸の正方向に、点Ｕ７を距離Ｊ３＋Ｗ４だけ平行移動させた点である。Ｊ３は、Ｊ５＋Ｗ４よりも大きい正の値である。なお、Ｊ５については後述する。点Ｕ１０は、Ｙ軸の正方向に、距離Ｊ３だけ、点Ｕ８を平行移動させた点である。点Ｕ１１は、Ｘ軸の正方向に距離（Ｊ４＋２×Ｗ４）だけ、点Ｕ９を平行移動させた点である。Ｊ４は、Ｊ６＋２×Ｗ４よりも大きく、かつ（点Ｕ４及び点Ｖ４間の距離）−２×Ｗ４よりも小さい正の値である。なお、Ｊ６については後述する。点Ｕ１２は、Ｘ軸の正方向に、距離Ｊ４だけ、点Ｕ１０を平行移動させた点である。また、点Ｕ１３〜Ｕ１８は、ＺＸ平面を基準として、点Ｕ７〜Ｕ１２に対称な点である。
さらに、第１のインダクタンス５２は、第１のコンタクト５２７と、第５の線路５２８と、第２のコンタクト５２９とを、面Ｂ上又は層間に備えている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５８】
第１の線路５３３は、第１の端子５３１と後述する第１のコンタクト５３９とを電気的に接続し、本実施形態では例示的に、面Ａ上における６点Ｖ１〜Ｖ６（図１９参照）で囲まれる領域内に形成される。点Ｖ１は、Ｘ座標値及びＹ座標値として、（Ｘ６，−Ｙ６）を有する。ここで、Ｘ６及びＹ６は、相互誘導回路５１の仕様に応じて定められる正の値であるが、本実施形態では、Ｙ６は前述のＹ５に等しいとする。点Ｖ２は、第１の線路５３３の幅をＷ４とすると、Ｙ軸の負方向に距離Ｗ４だけ点Ｖ１を平行移動させた点である。点Ｖ３は、相互誘導回路５１の仕様に応じて定められる任意の距離だけ、Ｘ軸の負方向に点Ｖ１を平行移動させた点である。点Ｖ４は、Ｘ軸及びＹ軸のそれぞれの負方向に距離Ｗ４だけ点Ｖ３を平行移動させた点である。点Ｖ５は、Ｙ軸の正方向に距離Ｊ１だけ点Ｖ３を平行移動させた点である。点Ｖ６は、Ｘ軸の負方向に点Ｖ５を距離Ｗ４だけ平行移動させた点である。
第２の線路５３４は、第２の端子５３２と後述する第２のコンタクト５３１０とを電気的に接続し、ＺＸ面を基準にして第１の線路５３３と対称な位置に形成される。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５９】
第３の線路５３５は、後述する第３のコンタクト５３１３と、後述する第５の線路５３７とを電気的に接続し、第２のインダクタンス５３の最外周の一部を構成する部分環状線路である。本実施形態では例示的に、第３の線路５３５は、面Ａ上における８点Ｖ７〜Ｖ１４（図１９参照）で規定される領域内に、第３の線路５３５は形成される。点Ｖ７及びＶ８は、前述のＶ５及びＶ６を、Ｘ軸の負方向に、２×（Ｗ４＋Ｈ２）よりも若干大きい距離だけ平行移動した点である。また、点Ｖ９は、Ｙ軸の負方向に距離Ｊ５＋Ｗ４だけ、点Ｖ７を平行移動させた点である。Ｊ５は、Ｊ３−Ｗ４よりも小さく、Ｊ７＋Ｗ４よりも大きい正の値である。なお、Ｊ７については後述する。点Ｖ１０は、Ｙ軸の負方向に距離Ｊ５だけ点Ｖ８を平行移動した点である。点Ｖ１１は、Ｘ軸の負方向に距離Ｊ６＋２×Ｗ４だけ、点Ｖ９を平行移動した点である。Ｊ６は、前述のＪ４−２×Ｗ４より小さく、Ｊ８＋２×Ｗ４よりも大きい正の値である。なお、Ｊ８については後述する。点Ｖ１２は、Ｘ軸の負方向に距離Ｊ６だけ、点Ｖ１０を平行移動した点である。点Ｖ１３は、Ｙ軸の正方向に距離Ｊ５＋Ｗ４だけ、点Ｖ１１を平行移動した点である。点Ｖ１４は、Ｙ軸の正方向に距離Ｊ５だけ、点Ｖ１２を平行移動した点である。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６１】
第５の線路５３７は、上述の第３の線路５３５と、後述する第６の線路５３８とを接続し、本実施形態では例示的に、４点Ｖ１３〜Ｖ１６（図１９参照）を頂点とする平行四辺形で囲まれる領域内に形成される。点Ｖ１３及びＶ１４については上述した通りである。また、点Ｖ１５及びＶ１６は、ＺＸ平面を基準として点Ｖ１３及びＶ１４に対称な第１及び第２の点を、Ｘ軸の正方向に距離Ｗ４＋Ｈ２だけ平行移動した点である。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６２】
第６の線路５３８は、第２のインダクタンス５３の最外周よりも１つ内側の周（本実施形態では、最内周）を構成する部分環状線路であって、本実施形態では例示的に、１２点Ｖ１５〜Ｖ２６（図１９参照）で規定される領域内に形成される。なお、本実施形態では、第６の線路５３８の幅もまたＷ４とする。点Ｖ１５及びＶ１６については上述した通りである。点Ｖ１７は、Ｊ７＋Ｗ４の距離だけ、Ｙ軸の正方向に点Ｖ１５を平行移動させた点である。また、点Ｖ１８は、Ｊ７の距離だけ、Ｙ軸の正方向に点Ｖ１６を平行移動させた点である。ここで、Ｊ７は、Ｊ５−Ｗ４よりも小さい正の値である。点Ｖ１９は、Ｊ８＋２×Ｗ４の距離だけ、Ｘ軸の正方向に点Ｖ１７を平行移動させた点である。Ｊ８は、Ｊ６−２×Ｗ４よりも小さい正の値である。点Ｖ２０は、Ｊ８の距離だけ、Ｘ軸の正方向に点Ｖ１８を平行移動させた点である。点Ｖ２１〜Ｖ２６は、ＺＸ平面を基準として、上述の点Ｖ１５〜Ｖ２０と対称な点である。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６９】
第９の線路５３１６は、第５のコンタクト５３１５と、後述する第６のコンタクト５３１７とを電気的に接続する線路であって、本実施形態では例示的に、面Ｂ上における８点Ｖ３１〜Ｖ３８（図２０参照）で規定される領域内に形成される。まず、点Ｖ３３〜Ｖ３６は、ＺＸ平面を基準として前述の点Ｖ１３〜Ｖ１６に対称な４点を、鉛直上方向から面Ｂに投影した点である。次に、点Ｖ３１及びＶ３２は、Ｙ軸の正方向に点Ｖ３３及びＶ３４を距離Ｗ４だけ平行移動した点である。また、点Ｖ３７及びＶ３８は、Ｙ軸の負方向に点Ｖ３５及びＶ３６を距離Ｗ４だけ平行移動した点である。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７２】
なお、相互誘導回路５１は、上述の本質的な構成以外にも、好ましい構成として接続線路５４を備えている。接続線路５４は典型的にはマイクロストリップ線路からなり、少なくとも、第１のインダクタンス５２の仮想中点ＮＰ６及びその周辺と、第２のインダクタンス５３の仮想中点ＮＰ７及びその周辺とを接続する。仮想中点ＮＰ６は点Ｕ１２及びＵ１８の中点であり、仮想中点ＮＰ７は点Ｖ１９及びＶ２５の中点である。以上のような仮想中点ＮＰ６及びＮＰ７については、第１の実施形態における仮想中点ＮＰ１及びＮＰ２の場合と同様の理由から接続されても構わない。
また、第２のインダクタンス５３に差動信号を与え、変圧された差動信号を第１のインダクタンス５２から得るようにしても構わない。
また、第１のインダクタンス５２及び第２のインダクタンス５３それぞれの巻き数はどのような数でも構わない。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９０】
第１のインダクタンス７２は、図２３〜図２５に示すように、大部分の構成を面Ａ上に有するが、残りの構成を面Ｂ上に又は層間に有する。具体的には、第１のインダクタンス７２は、第１の端子７２１と、第１の線路７２２と、第１の接続線路７２３と、第２の線路７２４と、第２の接続線路７２５と、第３の線路７２６と、第３の接続線路７２７と、第４の線路７２８と、第１のコンタクト７２９と、第４の接続線路７３０と、第２のコンタクト７３１と、第５の線路７３２と、第３のコンタクト７３３と、第５の接続線路７３４と、第４のコンタクト７３５と、第６の線路７３６と、第５のコンタクト７３７と、第６の接続線路７３８と、第６のコンタクト７３９と、第７の線路７４０と、第２の端子７４１とを含む。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９１】
以上の構成のうち大部分は、上層つまり面Ａに配置される。具体的には、図２４に示すように、面Ａに配置されるのは、第１の端子７２１と、第１の線路７２２と、第１の接続線路７２３と、第２の線路７２４と、第２の接続線路７２５と、第３の線路７２６と、第３の接続線路７２７，第４の線路７２８と、第５の線路７３２と、第６の線路７３６と、第７の線路７４０と、第２の端子７４１とである。
また、残りの構成のうち、第４の接続線路７３０と、第５の接続線路７３４と、第６の接続線路７３８とは、図２５に示すように、下層つまり面Ｂに配置される。
また、図２３に示すように、第１のコンタクト７２９と、第２のコンタクト７３１と、第３のコンタクト７３３と、第４のコンタクト７３５と、第５のコンタクト７３７と、第６のコンタクト７３９とは層間に形成される。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９３】
第１の接続線路７２３は、典型的にはマイクロストリップラインであり、上述の第１の線路７２２と後述の第２の線路７２４とを電気的に接続する。本実施形態では例示的に、点Ｍ３〜点Ｍ６（図２４を参照）で規定される領域内に、第１の接続線路７２３は形成される。点Ｍ３及び点Ｍ４については前述の通りである。点Ｍ５は、Ｘ軸の正方向にＬ２だけ、さらにＹ軸の正方向にＬ３だけ、点Ｍ３を移動させた点である。点Ｍ６は、Ｘ軸の正方向にＬ２だけ、さらにＹ軸の正方向にＬ３だけ、点Ｍ４を移動させた点である。ここで、図２４において、Ｌ２及びＬ３は、相互誘導回路７１の仕様に応じて定められる任意の数であるが、Ｌ３は、Ｗ３よりも大きい値に選ばれる。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９４】
第２の線路７２４は、典型的にはマイクロストリップラインであって、第１の接続線路７２３と、後述する第２の接続線路７２５とを電気的に接続する。本実施形態では例示的に、第２の線路７２４は、以下の６点Ｍ５〜Ｍ１０（図２４を参照）で囲まれる領域内に形成される。点Ｍ５及び点Ｍ６は上述の通りである。点Ｍ７は、Ｘ軸の正方向に点Ｍ５をＬ４の距離だけ平行移動させた点である。また、点Ｍ８は、Ｘ軸の正方向に点Ｍ６を（Ｌ４−Ｗ３）の距離だけ平行移動させた点である。ここで、Ｌ４は、本相互誘導回路７１の仕様に応じて定められるが、Ｌ１よりも小さい値である。また、点Ｍ９は、Ｙ軸の正方向に点Ｍ７をＬ５の距離だけ移動させた点であり、点Ｍ１０は、Ｙ軸の正方向に点Ｍ８を（Ｌ５−Ｗ３）の距離だけ平行移動させた点である。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９５】
第２の接続線路７２５は、典型的にはマイクロストリップラインであって、第２の線路７２４と後述の第３の線路７２６とを電気的に接続する。本実施形態では例示的に、第２の接続線路７２５は、以下の４点Ｍ９〜Ｍ１２（図２４を参照）で囲まれる平行四辺形の領域内に形成される。点Ｍ９及びＭ１０は上述した通りである。点Ｍ１１及びＭ１２は、Ｙ軸の正方向にＬ２、Ｘ軸の負方向にＬ３だけ、点Ｍ９及びＭ１０を平行移動させた点である。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９６】
第３の線路７２６は、典型的にはマイクロストリップラインであって、第２の接続線路７２５及び第３の接続線路７２７を電気的に接続する。本実施形態では例示的に、第３の線路７２６は、以下の６点Ｍ１１〜Ｍ１６（図２４を参照）で囲まれる領域内に形成される。点Ｍ１１及び点Ｍ１２は上述した通りである。点Ｍ１３は、Ｙ軸の正方向にＬ６の距離だけ点Ｍ１１を平行移動させた点である。また、点Ｍ１４は、Ｙ軸の正方向に（Ｌ６−Ｗ３）だけ、点Ｍ１２を平行移動させた点である。ここで、Ｌ６は、本相互誘導回路７１の仕様に応じて定められる値であるが、（Ｌ５−Ｗ３）よりも小さい値である。また、点Ｍ１５は、Ｘ軸の負方向にＬ７の距離だけ点Ｍ１３を平行移動させた点であり、点Ｍ１６は、Ｘ軸の負方向に（Ｌ７−Ｗ３）の距離だけ点Ｍ１４を平行移動させた点である。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９７】
第３の接続線路７２７は、典型的にはマイクロストリップラインであって、第３の線路７２６と後述の第４の線路７２８とを電気的に接続する。本実施形態では例示的に、第３の接続線路７２７は、以下の４点Ｍ１５〜Ｍ１８（図２４を参照）で囲まれる平行四辺形の領域内に形成される。点Ｍ１５及びＭ１６は上述した通りである。点Ｍ１７及びＭ１８は、Ｙ軸の負方向にＬ３、Ｘ軸の負方向にＬ２だけ、点Ｍ１５及びＭ１６を平行移動させた点である。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９８】
第４の線路７２８は、典型的にはマイクロストリップラインであって、第３の接続線路７２７及び第１のコンタクト７２９を電気的に接続する。本実施形態では例示的に、第４の線路７２８は、以下の８点Ｍ１７〜Ｍ２４（図２４を参照）で囲まれる領域内に形成される。点Ｍ１７及び点Ｍ１８は上述した通りである。点Ｍ１９は、Ｘ軸の負方向にＬ８の距離だけ点Ｍ１７を平行移動させた点である。また、点Ｍ２０は、Ｘ軸の負方向に（Ｌ８−Ｗ３）だけ、点Ｍ１８を平行移動させた点である。ここで、Ｌ８は、本相互誘導回路７１の仕様に応じて定められる値であるが、（Ｌ７−Ｗ３）よりも小さい値である。また、点Ｍ２１及び点Ｍ２２は、面Ｃを基準として、点Ｍ１９及び点Ｍ２０と対称な位置にある。点Ｍ２３及び点Ｍ２４は、面Ｃを基準として、点Ｍ１７及び点Ｍ１８と対称な位置にある。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９９】
第１のコンタクト７２９は、第４の線路７２８の点Ｍ２３及びＭ２４と、後述する第４の接続線路７３０における点Ｍ２５及びＭ２６とを電気的に接続する。
第４の接続線路７３０は、典型的にはマイクロストリップラインであって、第１のコンタクト７２９と、後述する第２のコンタクト７３１とを電気的に接続する。本実施形態では例示的に、第４の接続線路７３０は、以下の４点Ｍ２５〜Ｍ２８（図２５を参照）で囲まれる平行四辺形の領域内に形成される。点Ｍ２５及び点Ｍ２６は、点Ｍ２３及び点Ｍ２４を、Ｚ軸の負方向に距離Ｄ１（図２３を参照）だけ平行移動させた点である。また、点Ｍ２７及び点Ｍ２８は、点Ｍ２５及び点Ｍ２６を、Ｘ軸の正方向にＬ２、さらにＹ軸の負方向にＬ３だけ平行移動させた点である。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２００】
第２のコンタクト７３１は、第４の接続線路７３０の点Ｍ２７及び点Ｍ２８と、後述する第５の線路７３２とを電気的に接続する。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２０１】
第５の線路７３２は、典型的にはマイクロストリップラインであって、第２のコンタクト７３１と第３のコンタクト７３３とを電気的に接続する。このような第５の線路７３２は、面Ｃを基準として、第３の線路７２６と対称な位置に形成される。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２０２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２０２】
第３のコンタクト７３３は、第５の線路７３２と後述の第５の接続線路７３４とを電気的に接続する。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２０３】
第５の接続線路７３４は、典型的にはマイクロストリップラインであって、第３のコンタクト７３３と、後述する第４のコンタクト７３５とを電気的に接続する。本実施形態では例示的に、第５の接続線路７３４は、面Ｃを基準として前述の第２の接続線路７２５と対称で、Ｚ軸の負方向に距離Ｄ１だけ平行移動させた平行四辺形の領域内（つまり、点Ｍ２９〜Ｍ３２で囲まれる領域内）に形成される。
第４のコンタクト７３５は、第５の接続線路７３４と後述の第６の線路７３６とを電気的に接続する。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２０４】
第６の線路７３６は、典型的にはマイクロストリップラインであって、第４のコンタクト７３５と後述の第５のコンタクト７３７とを電気的に接続する。また、第６の線路７３６は、面Ｃを基準として前述の第２の線路７２４と対称な位置に形成される。
第５のコンタクト７３７は、第６の線路７３６と後述の第６の接続線路７３８とを電気的に接続する。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２０６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２０６】
第６のコンタクト７３９は、第６の接続線路７３８と後述の第７の線路７４０とを電気的に接続する。
第７の線路７４０は、典型的にはマイクロストリップラインであって、本実施形態では、面Ｃを基準として前述の第１の線路７２２と対称な領域内に形成される。
第２の端子７４１は、面Ｃを基準として、前述の第１の端子７２１と対称な位置に形成される。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１０】
また、相互誘導回路７１は、より好ましい構成として、図７Ａ及びＢを参照して説明したパターンシールド７を備えていても構わない。他にも、相互誘導回路７１は、図８Ａ及び図８Ｂを参照して説明したトレンチ８が形成されたシリコン基板上に形成されても構わない。相互誘導回路７１は、半導体基板４以外にも、図１０に示すような誘電体多層基板９に形成されても構わないし、図１１に示すような単層の両面基板１１に形成されても構わない。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１１】
（第６の実施形態）
ところで、図２１の無線通信機器６１では、アンテナ６２に単相信号が入力されるのに対し、ミキサ６８は集積回路に集積されるため、差動回路がよく用いられる。そこで、第６の実施形態では、単相入力で差動出力の増幅回路８３ａについて説明する。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１２】
図２６は、増幅回路８３ａの全体構成を示すブロック図である。図２６において、増幅回路８３ａは典型的には、ローノイズアンプ（例えば、図２１に示すＬＮＡ６４）として用いられ、前置アンプ８４と、バラン８５と、差動アンプ８６とを備えている。
前置アンプ８４は、例えばアンテナにより受信された単相信号を増幅する。
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１４】
以上のような構成により、バラン８５において、前置アンプ８４から出力された単相信号が第１の端子２１入力されると、第２のインダクタンス３の第１の端子３１及び第２の端子３２からは、差動信号を構成する同相信号及び逆相信号が出力される。
差動アンプ８６は、バラン８５から出力された差動信号を増幅する。
以上のような構成の増幅回路８３ａは、上述のようなバラン８５が組み込まれるので、単相信号から、同相信号及び逆相信号の位相差が極めて小さい差動信号を生成することができるバラン８５を実現することが可能となる。
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１６】
（第７の実施形態）
図２８は、本発明の第７の実施形態に係る相互誘導回路８１の一例としてのコモンモードチョークの構造を示す斜視図である。なお、図２８には説明の便宜のため、他の実施形態と同様の３次元座標系が示される。図２８において、相互誘導回路８１は、相互誘導回路１と同様に、半導体基板４上の層間絶縁膜５内であってかつ上下２つの配線層に形成される。ここで、以下の説明では、上側の配線層を上層と、下側の配線層を下層と、さらに両層の間を層間と称する。具体的には、相互誘導回路８１は、導電性材料からなり、第１のインダクタンス８２と、第２のインダクタンス８３とを、本質的に備える。
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２２１】
第１の線路８２２は、典型的にはマイクロストリップラインであり、第１の入力端子８２１と後述する第１の接続線路８２３とを電気的に接続する。本実施形態では例示的に、以下の８点Ｎ１〜Ｎ８（図２９参照）で規定される領域内に、第１の線路８２２は形成される。点Ｎ１は、Ｘ座標値及びＹ座標値として、（Ｘ１，−Ｙ１）を有する。ここで、Ｘ１及びＹ１は、相互誘導回路８１の仕様に応じて定められる正の値である。点Ｎ２は、第１の線路８２２の幅をＷ３とすると、Ｙ軸の正方向にＷ３の距離だけ点Ｎ１を平行移動させた点である。点Ｎ３は、距離Ｌ１だけ、点Ｎ１をＸ軸の正方向に平行移動させた点である。点Ｎ４は、Ｘ軸の正方向に（Ｌ１＋Ｗ３）の距離だけ、点Ｎ２を平行移動させた点である。また、点Ｎ５及びＮ６は、Ｙ軸の負方向に、Ｌ２の距離だけ、点Ｎ３及びＮ４を平行移動させた点である。点Ｎ７は、Ｘ軸の正方向にＬ３の距離だけ、点Ｎ５を平行移動させた点であり、点Ｎ８は、Ｘ軸の正方向に（Ｌ３−Ｗ３）の距離だけ、点Ｎ６を平行移動させた点である。ここで、Ｌ１〜Ｌ３は、相互誘導回路８１の仕様に応じて定められる値であるが、Ｌ２及びＬ３は、第１のインダクタンス８２の巻き数に関連して定められる。本実施形態では、巻き数は１と仮定され、さらに、相互誘導回路８１の対称性を確保するために、Ｌ２及びＬ３は、（２×Ｗ３）及び（３×Ｗ３）よりも大きな値に選ばれる。
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２２３】
第２の線路８２４は、典型的にはマイクロストリップラインであって、第１の接続線路８２３と、後述する第２の接続線路８２５とを電気的に接続する。本実施形態では例示的に、第２の線路８２４は、以下の６点Ｎ９〜Ｎ１４（図２９を参照）で囲まれる領域内に形成される。点Ｎ９及び点Ｎ１０は上述の通りである。点Ｎ１１は、Ｘ軸の正方向に点Ｎ９をＬ６の距離だけ平行移動させた点である。また、点Ｎ１２は、Ｘ軸の正方向に点Ｎ１０を（Ｌ６−Ｗ３）の距離だけ平行移動させた点である。ここで、Ｌ６は、本相互誘導回路８１の仕様に応じて定められるが、（２×Ｗ３）よりも大きな値に選ばれる。また、点Ｎ１３は、Ｙ軸の正方向に点Ｎ１１をＬ７の距離だけ移動させた点であり、点Ｎ１４は、Ｙ軸の正方向に点Ｎ１２を（Ｌ７−Ｗ３）の距離だけ平行移動させた点である。ここで、Ｌ７は、本相互誘導回路８１の仕様に応じて定められるが、（２×Ｗ２）よりも大きな値に選ばれる。
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２２６】
第１のコンタクト８２７は、第３の線路８２６の点Ｎ２１及びＮ２２と、後述する第３の接続線路８２８の点Ｎ２３及び点Ｎ２４とを電気的に接続する。
第３の接続線路８２８は、典型的にはマイクロストリップラインであって、面Ｄを基準として前述の第２の接続線路８２５と対称であって、Ｚ軸の負方向にＤ１の距離だけ平行移動させた平行四辺形（つまり、４点Ｎ２３〜Ｎ２６（図３０を参照））で囲まれる領域に形成される。
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２２９】
第４の接続線路８３２は、典型的にはマイクロストリップラインであって、面Ｄを基準として前述の第１の接続線路８２３と対称であって、Ｚ軸の負方向にＤ１の距離だけ平行移動させた平行四辺形（つまり、４点Ｎ３３〜Ｎ３６（図３０を参照））で囲まれる領域に形成される。
第４のコンタクト８３３は、前述の第３のコンタクト８３１を、Ｙ軸の負方向にＬ５、Ｘ軸の正方向にＬ４だけ、平行移動させた位置に形成され、少なくとも、第４の接続線路８３２の点Ｎ３５及び点Ｎ３６と、後述の第５の線路８３４の点Ｎ３７及び点Ｎ３８とを電気的に接続する。
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２３６】
差動入力端子９２には、差動信号が入力される。
各相互誘導回路９３は、前述の相互誘導回路８１であって、それぞれは互いに直列に接続され、入力差動信号に重畳されうるコモンモードノイズを反射する。
入力側差動終端回路９４は、差動終端抵抗を含んでおり、前段の相互誘導回路９３から出力される差動信号を終端する。
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２３７】
また、各増幅段９５において、差動入力側は、いずれかの相互誘導回路９３の出力側と接続されており、差動出力側は、いずれか１個の相互誘導回路９６の入力側と接続される。このような各増幅段９５は入力差動信号を増幅して出力する。
各相互誘導回路９６は、前述の相互誘導回路８１であって、出力側差動終端回路９７及び差動出力端子９８の間に直列に接続され、入力差動信号に重畳されうるコモンモードノイズを反射する。
出力側差動終端回路９７は、差動終端抵抗を含んでおり、前段の相互誘導回路９６から出力される差動信号を終端する。
また、差動出力端子９８は、各増幅段９５により増幅された差動信号を出力する。
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２４０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る相互誘導回路１の構造を示す斜視図
【図２】ＺＸ平面に平行な面Ｃ（図１参照）で、図１の相互誘導回路１を切断した時の断面図
【図３】ＸＹ平面に平行な面Ａ（図１参照）で、図１の相互誘導回路１を切断した時の断面図であって、図１に示す第１のインダクタンス２の構成要素を示す模式図
【図４】図１に示す面Ａ（図１参照）をＺ軸の負方向に距離Ｄ１だけ平行移動させかつ下層に含まれる面Ｂ（図１参照）で、図１の相互誘導回路１を切断した時の断面図であって、図１に示す第１のインダクタンス２の構成要素を示す模式図
【図５】ＸＹ平面に平行な面Ｂ（図１参照）で、図１の相互誘導回路１を切断した時の断面図であって、図１に示す第２のインダクタンス３の構成要素を示す模式図
【図６】面Ａ（図１参照）で、図１の相互誘導回路１を切断した時の断面図であって、図１に示す第２のインダクタンス３の構成要素を示す模式図
【図７Ａ】図１の相互誘導回路１に好ましい構成としてトランス素子１に備わるパターンシールド７の斜視図
【図７Ｂ】図１の相互誘導回路１に好ましい構成として相互誘導回路１に備わるパターンシールド７の上面図
【図８Ａ】図１に示す相互誘導回路１に付随的な半導体基板４の好ましい構成例を示す上面図
【図８Ｂ】図８Ａに示す面Ｄで同図に示す半導体基板４を切断した時の断面図
【図９】図１に示す第２のインダクタンス３の変型例に係る第２のインダクタンス３ａの構造を示す模式図
【図１０】図１に示す半導体基板４の代替例である誘電体多層基板９を示す模式図
【図１１】図１に示す半導体基板４の代替例である両面基板１１を示す模式図
【図１２】本発明の第２の実施形態に係る相互誘導回路４１の構造を示す斜視図
【図１３】ＸＹ平面に平行な面Ａ（図１２参照）で、図１２に示す相互誘導回路４１を切断した時の断面図
【図１４】面Ａ（図１２参照）をＺ軸の負方向に距離Ｄ１だけ平行移動させかつ下層に含まれる面Ｂ（図１２参照）で、相互誘導回路４１を切断した時の断面図
【図１５】図１２に示す相互誘導回路４１の変型例に係る相互誘導回路４１ａの構造を示す斜視図
【図１６】ＸＹ平面に平行な面Ａ（図１５参照）で、図１５に示す相互誘導回路４１ａを切断した時の断面図
【図１７】面Ａ（図１５参照）をＺ軸の負方向に距離Ｄ１だけ平行移動させた面Ｂ（図１５参照）で、図１５に示す相互誘導回路４１ａを切断した時の断面図
【図１８】本発明の第２の実施形態に係る相互誘導回路５１の構造を示す斜視図
【図１９】図１８に示す相互誘導回路５１をＸＹ平面に平行な面Ａ（図１８参照）で切断した時の断面図
【図２０】面Ａ（図１８参照）をＺ軸の負方向に距離Ｄ１だけ平行移動させた、下層における面Ｂ（図１８参照）で、相互誘導回路５１を切断した時の断面図
【図２１】本発明の第４の実施形態に係る無線通信機器６１の全体構成を示すブロック図
【図２２】図２１に示す発振回路６６の詳細な構成を示すブロック図
【図２３】本発明の第５の実施形態に係る相互誘導回路７１の構造を示す斜視図
【図２４】図２３に示す相互誘導回路７１をＸＹ平面に平行な面Ａ（図２３参照）で切断した時の断面図
【図２５】面Ａ（図２３参照）をＺ軸の負方向に距離Ｄ１だけ平行移動させた、下層における面Ｂ（図２３参照）で、相互誘導回路７１を切断した時の断面図
【図２６】本発明の第６の実施形態に係る増幅回路８３ａの全体構成を示すブロック図
【図２７】図２６に示すバラン８５の構成例を示す斜視図
【図２８】本発明の第７の実施形態に係る相互誘導回路８１の構造を示す斜視図
【図２９】図２８に示す相互誘導回路８１をＸＹ平面に平行な面Ａ（図２８参照）で切断した時の断面図
【図３０】面Ａ（図２８参照）をＺ軸の負方向に距離Ｄ１だけ平行移動させた、下層における面Ｂ（図２８参照）で、相互誘導回路７１を切断した時の断面図
【図３１】本発明の第８の実施形態に係る増幅回路９１の全体構成を示す回路図
【図３２Ａ】特開平６−１２００４８号公報に開示されているトランス素子の構造を模式的に示す上面図
【図３２Ｂ】特開平６−１２００４８号公報に開示されているトランス素子の構造を模式的に示す断面図
【図３３】特開平１１−１７６６３９号公報に開示されているトランス素子の構造を模式的に示す縦断面図
【図３４Ａ】特開平１１−３０７７２３号公報に開示されているトランス素子の構造を模式的に示す上面図
【図３４Ｂ】特開平１１−３０７７２３号公報に開示されているトランス素子の構造を模式的に示す縦断面図
【図３５】特開２００２−１６４７０４号公報に開示されている差動スイッチ回路を示す模式図
【図３６】特許第３１８８２７６号公報に開示されている差動分布型増幅回路を示す模式図
【図３７Ａ】図３６に示す差動インダクタ素子の構造の一例を示す斜視図
【図３７Ｂ】図３６に示す差動インダクタ素子の構造の他の例を示す斜視図
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２４１】
１，４１，４１ａ，５１，７１，８１…相互誘導回路
２，４２，５２，７２，８２…第１のインダクタンス
３，３ａ，４３，５３，７３，８３…第２のインダクタンス
４２ａ…第３のインダクタンス
４３ａ…第４のインダクタンス
６１…無線通信機器
６２…アンテナ
６３…デュプレクサ
６４…ローノイズアンプ
６５…フィルタ
６６…発振回路
６９…発振段
６１０…増幅段
６７…ローカルアンプ
６８…ミキサ
８３ａ…増幅回路
８４…前置アンプ
８５…バラン
８６…差動アンプ
９１…増幅回路
９２…差動入力端子
９３，９６…相互誘導回路
９４，９７…終端回路
９５…増幅段
９８…差動出力端子
【手続補正４６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
2005005685.tif 000001
【手続補正４７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１９】
2005005685.tif 000002
【手続補正４８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２６】
2005005685.tif 000003
【手続補正４９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３４Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３４Ａ】
2005005685.tif 000004