【手続補正書】
【提出日】平成19年2月15日(2007.2.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】針荷重測定方法、検査方法及び検査装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置台上の被検査体と複数のプローブを接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行う際に発生する針荷重を測定する方法であって、
上記載置台に付与される針荷重とこの針荷重による上記載置台の沈み量との関係を予め求める工程と、
上記載置台を上記複数のプローブに対してオーバードライブさせ、上記複数のプローブから付与される針荷重によって引き起こされる上記載置台の沈み量を求める工程と、
上記針荷重と上記沈み量との関係に基づいて、上記測定された沈み量に相当する上記複数のプローブの上記針荷重を求める工程と、を有する
ことを特徴とする針荷重測定方法。
【請求項２】
上記沈み量を求める工程は、
上記複数のプローブから上記載置台に針荷重が付与されない場合のオーバードライブにより昇降する上記載置台の昇降量を擬似オーバードライブ量として検出する工程と、
上記複数のプローブから上記載置台に針荷重が付与される場合の実際のオーバードライブにより昇降する上記載置台の昇降量を検出する工程と、
上記擬似オーバードライブ量と実際のオーバードライブ量との差に基づいて上記沈み量を求める工程と、を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の針荷重測定方法。
【請求項３】
載置台上の被検査体と複数のプローブを電気的に接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行う検査方法であって、
上記載置台に付与される針荷重と、この針荷重によって引き起こされる上記載置台の沈み量との関係を示す、予め求められたデータを保存する工程と、
上記載置台のオーバードライブにより上記被検査体に付与される針荷重を予め設定する工程と、
上記被検査体が載置された載置台を上記複数のプローブに対してオーバードライブした場合に、上記複数のプローブから付与される針荷重により引き起こされる上記載置台の沈み量を測定する工程と、
上記針荷重と上記沈み量との関係を示すデータに基づいて、上記測定された沈み量に相当する上記複数のプローブの上記針荷重を求める工程と、
上記被検査体の電気的特性を検査する時に求められる上記針荷重を、予め設定された上記針荷重の範囲内になるようにオーバードライブ量を調節する工程と、を有する
ことを特徴とする検査方法。
【請求項４】
上記沈み量を求める工程は、
上記載置台に上記複数のプローブから針荷重が付与されない場合のオーバードライブにより昇降する上記載置台の昇降量を擬似オーバードライブ量として検出する工程と、
上記複数のプローブから上記載置台に針荷重が付与される場合の実際のオーバードライブにより昇降する上記載置台の昇降量を検出する工程と、
上記擬似オーバードライブ量と実際のオーバードライブ量との差に基づいて上記沈み量を求める工程と、を有する
ことを特徴とする請求項３に記載の検査方法。
【請求項５】
被検査体を載置する載置台と、この載置台を昇降させる昇降機構と、この昇降駆動機構を介して上記載置台上の被検査体と電気的に接触する複数のプローブと、を備えた検査装置において、
上記載置台に付与される針荷重と、この針荷重による上記載置台の沈み量との関係を示す、予め求められたデータ予を保存する記憶部と、
上記載置台が上記昇降機構を介して上記複数のプローブに対してオーバードライブし、上記複数のプローブから付与される針荷重によって引き起こされる上記載置台の沈み量を測定する測定機構と、
上記針荷重と上記沈み量との関係を示すデータに基づいて、上記測定された沈み量に相当する上記複数のプローブの上記針荷重を求める演算処理部と、を有する
ことを特徴とする検査装置。
【請求項６】
上記測定機構は、
上記載置台に上記複数のプローブから針荷重が付与されない場合のオーバードライブにより昇降する上記載置台の昇降量を擬似オーバードライブ量として検出する第１検出機構と、
上記複数のプローブから上記載置台に針荷重が付与される場合の実際のオーバードライブにより昇降する上記載置台の昇降量を検出する第２検出機構と、
上記擬似オーバードライブ量と実際のオーバードライブ量との差に基づいて上記沈み量を求める演算処理部と、を有する
ことを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
上記測定機構は、上記載置台の複数箇所において沈み量を測定することを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
【請求項８】
上記第１検出機構は、上記昇降機構のオーバードライブ量により上記擬似オーバードライブ量を検出することを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
【請求項９】
上記第２検出機構は、上記載置台の垂直方向の位置を検出することを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、針荷重測定方法、検査方法及び検査装置に関し、更に詳しくは検査時のプローブによる針荷重をリアルタイムで監視することができ、また、適正な針荷重を設定することができる針荷重測定方法、検査方法及び検査装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、被検査体とプローブの接触状況（針荷重）をリアルタイムで監視することができ、ひいてはプローブカード等の損傷を防止することができる針荷重測定方法及び検査装置を提供することを目的としている。また、被検査体の検査に先立ち適正な針荷重を設定することができる検査方法を併せて提供するものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は上記知見に基づいてなされたもので、請求項１に記載の針荷重測定方法は、載置台上の被検査体と複数のプローブを接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行う際に発生する針荷重を測定する方法であって、上記載置台に付与される針荷重とこの針荷重による上記載置台の沈み量との関係を予め求める工程と、上記載置台を上記複数のプローブに対してオーバードライブさせ、上記複数のプローブから付与される針荷重によって引き起こされる上記載置台の沈み量を求める工程と、上記針荷重と上記沈み量との関係に基づいて、上記測定された沈み量に相当する上記複数のプローブの上記針荷重を求める工程と、を有することを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明の請求項２に記載の針荷重測定方法は、請求項１に記載の発明において、上記沈み量を求める工程は、上記複数のプローブから上記載置台に針荷重が付与されない場合のオーバードライブにより昇降する上記載置台の昇降量を擬似オーバードライブ量として検出する工程と、上記複数のプローブから上記載置台に針荷重が付与される場合の実際のオーバードライブにより昇降する上記載置台の昇降量を検出する工程と、上記擬似オーバードライブ量と実際のオーバードライブ量との差に基づいて上記沈み量を求める工程と、を有することを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明の請求項３に記載の検査方法は、載置台上の被検査体と複数のプローブを電気的に接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行う検査方法であって、上記載置台に付与される針荷重と、この針荷重によって引き起こされる上記載置台の沈み量との関係を示す、予め求められたデータを保存する工程と、上記載置台のオーバードライブにより上記被検査体に付与される針荷重を予め設定する工程と、上記被検査体が載置された載置台を上記複数のプローブに対してオーバードライブした場合に、上記複数のプローブから付与される針荷重により引き起こされる上記載置台の沈み量を測定する工程と、上記針荷重と上記沈み量との関係を示すデータに基づいて、上記測定された沈み量に相当する上記複数のプローブの上記針荷重を求める工程と、上記被検査体の電気的特性を検査する時に求められる上記針荷重を、予め設定された上記針荷重の範囲内になるようにオーバードライブ量を調節する工程と、を有することを特徴とするものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の請求項４に記載の検査方法は、請求項３に記載の発明において、上記沈み量を求める工程は、上記載置台に上記複数のプローブから針荷重が付与されない場合のオーバードライブにより昇降する上記載置台の昇降量を擬似オーバードライブ量として検出する工程と、上記複数のプローブから上記載置台に針荷重が付与される場合の実際のオーバードライブにより昇降する上記載置台の昇降量を検出する工程と、上記擬似オーバードライブ量と実際のオーバードライブ量との差に基づいて上記沈み量を求める工程と、を有することを特徴とするものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の請求項５に記載の検査装置は、被検査体を載置する載置台と、この載置台を昇降させる昇降機構と、この昇降駆動機構を介して上記載置台上の被検査体と電気的に接触する複数のプローブと、を備えた検査装置において、上記載置台に付与される針荷重と、この針荷重による上記載置台の沈み量との関係を示す、予め求められたデータ予を保存する記憶部と、上記載置台が上記昇降機構を介して上記複数のプローブに対してオーバードライブし、上記複数のプローブから付与される針荷重によって引き起こされる上記載置台の沈み量を測定する測定機構と、上記針荷重と上記沈み量との関係を示すデータに基づいて、上記測定された沈み量に相当する上記複数のプローブの上記針荷重を求める演算処理部と、を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項６に記載の検査装置は、請求項５に記載の発明において、上記測定機構は、上記載置台に上記複数のプローブから針荷重が付与されない場合のオーバードライブにより昇降する上記載置台の昇降量を擬似オーバードライブ量として検出する第１検出機構と、上記複数のプローブから上記載置台に針荷重が付与される場合の実際のオーバードライブにより昇降する上記載置台の昇降量を検出する第２検出機構と、上記擬似オーバードライブ量と実際のオーバードライブ量との差に基づいて上記沈み量を求める演算処理部と、を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項７に記載の検査装置は、請求項６に記載の発明において、上記測定機構は、上記載置台の複数箇所において沈み量を測定することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項８に記載の検査装置は、請求項６に記載の発明において、上記第１検出機構は、上記昇降機構のオーバードライブ量により上記擬似オーバードライブ量を検出することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項９に記載の検査装置は、請求項６に記載の発明において、上記第２検出機構は、上記載置台の垂直方向の位置を検出することを特徴とするものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、図１に示すようにモータ１４にはロータリーエンコーダ２０が第１検出機構として取り付けられている。ロータリーエンコーダ２０はモータ１４の回転数に基づいてウエハチャック１１の昇降量（昇降距離）を検出する。また、Ｘステージ１５上にはリニアスケール２１が第２検出機構として設けられていると共にウエハチャック１１にはリニアセンサ２２が設けられ、リニアセンサ２２によってリニアスケール２１の目盛り２１Ａを読み取り、ウエハチャック１１の実際の垂直方向の昇降距離を検出する。尚、以下ではリニアスケールとリニアセンサ２２を含めてリニアエンコーダ２４として説明する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
【発明の効果】
本発明によれば、被検査体とプローブの接触状況（針荷重）をリアルタイムで監視することができ、ひいてはプローブカード等の損傷を防止したり、接触不良をなくすことができる針荷重測定方法及び検査装置を提供することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、本発明によれば、被検査体の検査に先立ち適正な針荷重を設定することができる検査方法及び検査装置を提供することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明の検査装置の一実施形態の要部を示す断面図である。
【図２】
図１に示す検査装置の動作を説明するための説明図である。
【図３】
図１に示す検査装置における針荷重とボールネジの沈み量との関係を示すグラフである。
【図４】
従来の検査装置の要部を示す斜視図である。
【符号の説明】
Ｗ    ウエハ（被検査体）
１０    検査装置
１１    ウエハチャック（載置台）
１２    ボールネジ
１３    ナット部材
１４    モータ（回転駆動機構）
１６    制御装置
１６Ａ  記憶部
１６Ｂ  演算処理部
１９    プローブカード
１９Ａ  プローブ
２０    ロータリーエンコーダ（第１検出機構）
２４    リニアエンコーダ（第２検出機構）
２３    表示装置