【手続補正書】
【提出日】平成19年5月21日(2007.5.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央支持部と、前記中央支持部から両側へ延出しかつその表面に第１及び第２検出電極を有する１対の検出用振動腕と、前記中央支持部から前記検出用振動腕と直交して両側へ延出する１対の連結腕と、前記各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出しかつその表面に第１及び第２駆動電極をそれぞれ有する各１対の駆動用振動腕とを備え、前記各検出電極及び各駆動電極にそれぞれ接続された複数の接続用電極パッドを前記中央支持部の表面に形成した圧電振動ジャイロ素子の振動特性を検査するために、
圧電ウエハに前記圧電振動ジャイロ素子の外形を、前記圧電ウエハのフレーム部分との連結部を残して加工し、
前記圧電振動ジャイロ素子の外形表面に前記検出電極、駆動電極、電極パッド及びそれらを接続する配線を形成し、前記各接続用電極パッドに対応する複数の検査用電極パッドを前記フレーム部分表面に形成し、かつ前記連結部を通して前記検査用電極パッドと前記接続用電極パッドとをそれぞれ接続する配線を前記圧電ウエハ表面に形成し、
前記フレーム部分の各検査用電極パッドに検査用プローブを接触させ、前記検査用プローブを介して前記検出用振動腕又は駆動用振動腕の振動特性を測定することを特徴とする圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法。
【請求項２】
前記連結部と前記中央支持部とが前記圧電ウエハの平面内で撓曲可能なブリッジ部を介して結合されるように、前記圧電振動ジャイロ素子の外形を加工することを特徴とする請求項１に記載の圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法。
【請求項３】
前記フレーム部分と前記中央支持部との間で前記連結部を前記圧電ウエハの平面内で蛇行するように形成することを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法。
【請求項４】
前記検出用振動腕の前記第１検出電極が信号検出用でありかつ前記第２検出電極が接地側であり、一方の前記検出用振動腕の前記第１検出電極に接続された前記接続用電極パッドと他方の前記検出用振動腕の前記第２検出電極に接続された前記接続用電極パッドとを１つの共通の前記検査用電極パッドに接続し、かつ、前記他方の検出用振動腕の前記第１検出電極に接続された前記接続用電極パッドと前記一方の検出用振動腕の前記第２検出電極に接続された前記接続用電極パッドとを別の１つの共通の前記検査用電極パッドに接続することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法。
【請求項５】
前記一方の検出用振動腕の前記第１検出電極に接続された前記接続用電極パッド又は前記他方の検出用振動腕の前記第２検出電極に接続された前記接続用電極パッドと前記１つの共通の検査用電極パッドとを前記フレーム部分に形成した配線を介して接続し、かつ、前記他方の検出用振動腕の前記第１検出電極に接続された前記接続用電極パッド又は前記一方の検出用振動腕の前記第２検出電極に接続された前記接続用電極パッドと前記別の１つの共通の検査用電極パッドとを前記フレーム部分に形成した配線を介して接続することを特徴とする請求項４に記載の圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法。
【請求項６】
前記圧電ウエハに複数の前記圧電振動ジャイロ素子を形成することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載の方法により前記圧電ウエハに前記圧電振動ジャイロ素子を形成しかつその振動特性を検査した後、前記連結部を切断して前記圧電振動ジャイロ素子を個片化することを特徴とする圧電振動ジャイロ素子の製造方法。
【請求項８】
中央支持部と、前記中央支持部から両側へ延出しかつ第１及び第２検出電極を有する１対の検出用振動腕と、前記中央支持部から前記検出用振動腕と直交して両側へ延出する１対の連結腕と、前記各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出しかつ第１及び第２駆動電極をそれぞれ有する各１対の駆動用振動腕と、前記中央支持部の表面に形成した複数の接続用電極パッドと、前記各検出電極及び各駆動電極と対応する前記接続用電極パッドとをそれぞれ接続する配線とを有する１つ又は複数の圧電振動ジャイロ素子と、
フレーム部分と、
前記圧電振動ジャイロ素子と前記フレーム部分との連結部とを備え、
前記接続用電極パッドに対応する複数の検査用電極パッドが前記フレーム部分の表面に形成され、かつ、
前記検査用電極パッドと対応する前記接続用電極パッドとをそれぞれ接続する配線が前記連結部に形成されていることを特徴とする圧電ウエハ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明によれば、上記目的を達成するために、中央支持部と、該中央支持部から両側へ延出しかつその表面に第１及び第２検出電極を有する１対の検出用振動腕と、中央支持部から検出用振動腕と直交して両側へ延出する１対の連結腕と、各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出しかつその表面に第１及び第２駆動電極をそれぞれ有する各１対の駆動用振動腕とを備え、各検出電極及び各駆動電極にそれぞれ接続された複数の接続用電極パッドを中央支持部の表面に形成した圧電振動ジャイロ素子の振動特性を検査するために、圧電ウエハに圧電振動ジャイロ素子の外形を、圧電ウエハのフレーム部分との連結部を残して加工し、その圧電振動ジャイロ素子の外形表面に検出電極、駆動電極、電極パッド及びそれらを接続する配線を形成し、各接続用電極パッドに対応する複数の検査用電極パッドをフレーム部分表面に形成し、かつ連結部を通して検査用電極パッドと接続用電極パッドとをそれぞれ接続する配線を圧電ウエハ表面に形成し、フレーム部分の各検査用電極パッドに検査用プローブを接触させ、該検査用プローブを介して検出用振動腕又は駆動用振動腕の振動特性を測定する圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、或る実施例では、圧電ウエハに複数の圧電振動ジャイロ素子を形成することにより、多数の圧電振動ジャイロ素子をウエハ状態で効率良く検査することができる。各圧電振動ジャイロ素子は、それぞれ振動特性の検査により良否を判定した後に圧電ウエハから切り離して個片化できるので、不良品を個片化して実装する作業を省略でき、生産性が向上する。
従って、本発明の別の側面によれば、中央支持部と、該中央支持部から両側へ延出しかつ第１及び第２検出電極を有する１対の検出用振動腕と、中央支持部から検出用振動腕と直交して両側へ延出する１対の連結腕と、各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出しかつ第１及び第２駆動電極をそれぞれ有する各１対の駆動用振動腕と、中央支持部の表面に形成した複数の接続用電極パッドと、各検出電極及び各駆動電極と対応する接続用電極パッドとをそれぞれ接続する配線とを有する１つ又は複数の圧電振動ジャイロ素子、フレーム部分、及び、圧電振動ジャイロ素子とフレーム部分との連結部とを備え、圧電振動ジャイロ素子の接続用電極パッドに対応する複数の検査用電極パッドをフレーム部分の表面に形成し、かつ、フレーム部分の検査用電極パッドと対応する圧電振動ジャイロ素子の接続用電極パッドとをそれぞれ接続する配線を連結部に形成した圧電ウエハが提供される。