【手続補正書】
【提出日】平成20年9月22日(2008.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマ加工システムに関わるシステム関連構成要素の予測故障状態セットを表すコンピュータ用データ表示方法であって、
システム関連構成要素の第１システム関連構成要素に関わる表示セットを受領するステップと、
第１副方法に従い、前記第１表示セットの受領に対応して第１予測故障状態値を計算するステップと、
第１ウェイトに従って第１規格化予測故障状態値を計算するステップと、
前記規格化予測故障状態値を第１色に相関させるステップと、
前記第１色をｎ（２以上）次元マトリックスの要素に表示するステップと、
を含んで構成され、前記ｎ次元マトリックスは縦列次元ｘと、横列次元ｙと、平面次元ｚとを含んでおり、ｘは１以上の整数であり、ｙは１以上の整数であり、ｚは１以上の整数であり、前記ｎ次元マトリックスは第２規格化予測故障状態値に相関する第２色と、第３規格化予測故障状態値に相関する第３色とを含んでおり、前記第３規格化予測故障状態値は前記第１規格化予測故障状態値と前記第２規格化予測故障状態値から導かれることを特徴とする方法。
【請求項２】
第１色は色調値、輝度値及び彩度値のうちの少なくとも２値を含む連続領域に基づいて計算されることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
システム関連構成要素の第１システム関連構成要素はプラズマ加工システムの第１副コンポーネントに関係することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項４】
第１副コンポーネントは静電チャックであることを特徴とする請求項３記載の方法。
【請求項５】
第１副コンポーネントは整合回路であることを特徴とする請求項３記載の方法。
【請求項６】
第１副コンポーネントはガス配分システムであることを特徴とする請求項３記載の方法。
【請求項７】
第１副コンポーネントはＲＦ発生器であることを特徴とする請求項３記載の方法。
【請求項８】
表示セットは副コンポーネントの測定値であることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項９】
測定値はインピーダンス測定値であることを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項１０】
測定値は温度測定値であることを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項１１】
測定値は電圧測定値であることを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項１２】
測定値は圧力測定値であることを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項１３】
表示セットはプラズマ加工システムの運用コストを含んでいることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１４】
表示セットは少なくとも第２規格化予測故障状態値と副コンポーネントの測定値を含んでいることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１５】
表示セットは少なくとも第２規格化予測故障状態値と第３規格化予測故障状態値を含んでいることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１６】
ｎ次元マトリックスの各縦列は時間を表していることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１７】
ｎ次元マトリックスの各縦列は定期的計算時間を表していることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１８】
ｎ次元マトリックスの各縦列は設定された出来事を表していることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１９】
設定された出来事は開始出来事、停止出来事、局部最大出来事及び局部最小出来事いずれかであることを特徴とする請求項１８記載の方法。
【請求項２０】
横列次元ｙは３であり、第１色は第１横列に表示され、第２色は第２横列に表示され、第３色は第３横列に表示されることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項２１】
第４規格化予測故障状態に相関する第４色をさらに含んでおり、第３規格化予測故障状態値は第１規格化予測故障状態値、第２規格化予測故障状態値及び第４規格化予測故障状態値から導かれることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項２２】
横列次元ｙは４であり、第１色は第１横列に表示され、第２色は第２横列に表示され、第３色は第３横列に表示され、第４色は第４横列に表示されることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項２３】
プラズマ加工システムに関わるシステム関連構成要素の予測故障状態セットを表すコンピュータ用データ表示方法であって、
システム関連構成要素の第１システム関連構成要素に関わる表示セットを受領するステップと、
第１副方法に従い、前記第１表示セットの受領に対応して第１予測故障状態値を計算するステップと、
第１ウェイトに従って第１規格化予測故障状態値を計算するステップと、
前記規格化予測故障状態値を第１色に相関させるステップと、
前記第１色をｎ（２以上）次元マトリックスの要素に表示するステップと、
を含んで構成され、前記ｎ次元マトリックスは縦列次元ｘと、横列次元ｙと、平面次元ｚとを含んでおり、ｘは１以上の整数であり、ｙは１以上の整数であり、ｚは１以上の整数であり、前記ｎ次元マトリックスは第２規格化予測故障状態値に相関する第２色と、第３規格化予測故障状態値に相関する第３色とを含んでおり、前記第３規格化予測故障状態値は前記第１規格化予測故障状態値と前記第２規格化予測故障状態値から導かれ、
前記第１色は第１色は色調値、輝度値及び彩度値のうちの少なくとも１値を含む連続領域に基づいて計算され、前記システム関連構成要素の前記第１システム関連構成要素はプラズマ加工システムの第１副コンポーネントに関係することを特徴とする方法。
【請求項２４】
ｎ次元マトリックスは第４規格化予測故障状態値をさらに含んでおり、第３規格化予測故障状態値は第１規格化予測故障状態値と第２規格化予測故障状態値に加えて第４規格予測故障状態値を使用して導かれることを特徴とする請求項２３記載の方法。
【請求項２５】
表示セットは副コンポーネントの測定値を含んでいることを特徴とする請求項２６記載の方法。
【請求項２６】
表示セットは少なくとも第２規格化予測故障状態値と副コンポーネントの測定値を含んでいることを特徴とする請求項２３記載の方法。
【請求項２７】
横列次元ｙは３であり、第１色は第１横列に表示され、第２色は第２横列に表示され、第３色は第３横列に表示されることを特徴とする請求項２３記載の方法。
【請求項２８】
プラズマ加工システムに関わるシステム関連構成要素の予測故障状態セットを表すコンピュータ用データ表示方法であって、
システム関連構成要素の第１システム関連構成要素に関わる表示セットを受領するステップと、
第１副方法に従い、前記第１表示セットの受領に対応して第１予測故障状態値を計算するステップと、
第１ウェイトに従って第１規格化予測故障状態値を計算するステップと、
前記第１規格化予測故障状態値を第１色に相関させるステップと、
前記第１色をｎ（２以上）次元マトリックスの要素に表示するステップと、
を含んで構成され、前記ｎ次元マトリックスは縦列次元ｘと、横列次元ｙと、平面次元ｚとを含んでおり、ｘは１以上の整数であり、ｙは１以上の整数であり、ｚは１以上の整数であり、前記ｎ次元マトリックスの前記表示セットは少なくとも第２規格化予測故障状態値を含んでおり、前記平面次元ｚが２以上であれば、前記第１色は前記ｎ次元マトリックスの第１横列と第１平面に表示され、前記第２規格化予測故障状態値に相関する第２色は前記ｎ次元マトリックスの前記第１横列と第２平面に表示できることを特徴とする方法。
【請求項２９】
表示セットは副コンポーネントの測定値を含んでいることを特徴とする請求項２８記載の方法。
【請求項３０】
表示セットは少なくとも第２規格化予測故障状態値と副コンポーネントの測定値を含んでいることを特徴とする請求項２８記載の方法。
【請求項３１】
横列次元ｙは３であり、第１色は第１横列に表示され、第２色は第２横列に表示され、第３色は第３横列に表示されることを特徴とする請求項２８記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明はプラズマ加工チャンバを含んだプラズマ加工システムの１実施例において、プラズマ加工システムに付随するシステム関連構成要素の予測故障状態セットを表示するコンピュータ用データ表示技術に関する。この技術はシステム関連構成要素の第１システム関連構成要素に付随する表示セットの受領を含む。この技術は第１副方法に従い、表示の第１セットの表示である第１予測故障状態値の受領に対応する計算も含む。この技術は第１ウェイトに従う第１規格化予測故障状態値の計算、その第１規格化予測故障状態値の第１色への相関、並びにｎ次元（ｎは２以上）マトリックス（行列）の構成要素における第１色の表示をさらに含む。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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