【手続補正書】
【提出日】平成20年7月10日(2008.7.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶融させた半導体材料を保持するためのルツボであって、
底部壁部、該底部壁部から上方に延びる側壁部および開いた頂部を有する石英ガラスの本体部であって、底部壁部および側壁部は半導体材料を保持するためのキャビティを規定し、側壁部は内側表面および外側表面を有している本体部と；
前記側壁部の内側表面および外側表面の少なくとも１つの第１の領域に施されている失透化促進剤コーティングとを有してなり、
前記側壁部の内側表面および外側表面の少なくとも１つの第２の領域は、加熱時に側壁部における応力を該第２の領域が調節するように、底部壁部に隣る側壁部の下側部分において失透化促進剤コーティングを実質的に有しておらず、前記側壁部の内側表面および外側表面の少なくとも１つは前記第１の領域および第２の領域の少なくとも一部を有しているルツボ。
【請求項２】
前記側壁部の内側表面および外側表面の少なくとも１つの第３の領域に失透化促進剤コーティングを更に有しており、前記第３の領域の少なくとも一部は前記内側表面および外側表面の一方に存在し、前記第１の領域の少なくとも一部は前記内側表面および外側表面の他方に存在する請求項１に記載のルツボ。
【請求項３】
第１の領域と第３の領域とは互いに位置合わせされている請求項２に記載のルツボ。
【請求項４】
側壁部の第１の領域は、側壁部の頂部に隣接して本体部のまわりで周方向に延びる領域を有する請求項１に記載のルツボ。
【請求項５】
側壁部の第１の領域は、側壁部の内側表面および外側表面の両方の頂部に隣接して本体部のまわりで周方向に延びる領域を有する請求項４に記載のルツボ。
【請求項６】
第２の領域は、第１の領域の下側の側壁部において、本体部のまわりで周方向に延びる領域を有する請求項５に記載のルツボ。
【請求項７】
第２の領域は、第１の領域の下側の側壁部において、本体部のまわりで周方向に延びる領域を有し、ルツボの外側表面の第３の領域は、加熱時に側壁部における応力を該第３の領域が調節するように、失透化促進剤コーティングを実質的に有しておらず、該第３の領域は側壁部の外側表面において、本体部のまわりで周方向に延びる領域を有する請求項６に記載のルツボ。
【請求項８】
第２の領域は、側壁部において本体部のまわりで周方向に延びており、側壁部の底部から上方に延びる領域を有する請求項４に記載のルツボ。
【請求項９】
側壁部の外側表面においてバンド（または帯）状の領域を有する第１の領域と、側壁部の内側表面の頂部に隣接して本体部のまわりで周方向に延びるバンド（または帯）状の領域として延び、失透化促進剤コーティングを有する領域としての第３の領域とを有する請求項４に記載のルツボ。
【請求項１０】
側壁部の少なくとも１つの追加的領域は、加熱時に側壁部における応力を失透化促進剤コーティングを実質的に有さない領域が調節するように、失透化コーティングを更に有しており、失透化促進剤コーティングを実質的に有さない側壁部の少なくとも１つの領域によって、第１の領域と１つの追加的領域とは互いに離れている請求項１に記載のルツボ。
【請求項１１】
側壁部の複数の追加的領域に失透化コーティングを更に有しており、失透化コーティングを実質的に有さない側壁部の１またはそれ以上の領域によって、第１の領域と複数の追加的領域とは互いに離れている請求項１０に記載のルツボ。
【請求項１２】
高温環境においてルツボを支持し、および複数のスプリットを有しているサセプタと組み合わせられるルツボであって、スプリットの１つに隣接する側壁部の一部に前記第１の領域が位置する請求項１１に記載のルツボ。
【請求項１３】
前記追加的領域の少なくとも１つは、他のスプリットの１つに隣接する側壁部の一部に位置する請求項１２に記載のサセプタと組み合わせられるルツボ。
【請求項１４】
高温環境においてルツボを支持し、および複数のスプリットを有しているサセプタと組み合わせられるルツボであって、本体部の外周部において、２つのスプリットの間の中間点に隣接する側壁部の一部に、前記第１の領域が位置する請求項１１に記載のルツボ。
【請求項１５】
前記追加的領域の少なくとも１つは、本体部の外周部において、複数のスプリットどうしの間のそれぞれの中間点に隣接する側壁部の一部に位置する請求項１４に記載のサセプタと組み合わせられるルツボ。
【請求項１６】
第１の領域と追加的領域とは、本体部の周方向について互いに離されている請求項１０に記載のルツボ。
【請求項１７】
側壁部の第３の領域は、加熱時に側壁部における応力を第３の領域が調節するように、失透化促進剤コーティングを実質的に有しておらず、前記第３の領域の少なくとも一部が内側表面および外側表面の一方に存在し、前記第２の領域の少なくとも一部が内側表面および外側表面の他方に存在する請求項１に記載のルツボ。
【請求項１８】
第２の領域および第３の領域が互いに位置合わせされている請求項１７に記載のルツボ。
【請求項１９】
側壁部の外側表面は、側壁部における本体部のまわりで周方向に延びる領域であって、側壁部の底部から上方に延びる領域に、失透化促進剤コーティングを実質的に有していない請求項１に記載のルツボ。
【請求項２０】
側壁部の内側表面は、側壁部における本体部のまわりで周方向に延びる領域であって、側壁部の底部から上方に延びる領域に、失透化促進剤コーティングを実質的に有していない請求項１に記載のルツボ。
【請求項２１】
側壁部の外側表面は、側壁部における本体部のまわりで周方向に延びる領域であって、側壁部の底部から上方に延びる領域に、失透化促進剤コーティングを実質的に有していない請求項２０に記載のルツボ。
【請求項２２】
溶融させた半導体材料を保持するためのルツボであって、
底部壁部、該底部壁部から上方に延びる側壁部および開いた頂部を有する石英ガラスの本体部であって、底部壁部および側壁部は半導体材料を保持するためのキャビティを規定する本体部を有し、
側壁部は内側表面および外側表面を有し、
側壁部は、少なくとも１つの剛性向上側壁部分および少なくとも１つの応力調節側壁部分を更に有しており、
剛性向上側壁部分はそれぞれ少なくとも部分的に失透化されており、および応力調節側壁部分はそれぞれ実質的に失透化されておらず、
側壁部の内側表面および外側表面の少なくとも１つは、剛性向上側壁部分および応力調節側壁部分の両者を少なくとも部分的に有しており、前記剛性向上側壁部分の少なくとも一部は、前記応力調節側壁部分の少なくとも一部よりも、前記本体部の開いた頂部に近いことを特徴とするルツボ。
【請求項２３】
前記ルツボの本体部が、ルツボ内に保持される溶融させた半導体材料の最大レベルに対応する面の下側に、剛性向上側壁部分を実質的に有していない請求項２２に記載のルツボ。
【請求項２４】
前記剛性向上側壁部分が、応力調節側壁部分の上方の外側表面のすべての部分を実質的に含んでいる請求項２３に記載のルツボ。
【請求項２５】
前記剛性向上側壁部分が、応力調節側壁部分の上方の内側表面のすべての部分を実質的に含んでいる請求項２４に記載のルツボ。
【請求項２６】
前記剛性向上側壁部分が、応力調節側壁部分の上方の内側表面のすべての部分を実質的に含んでいる請求項２３に記載のルツボ。
【請求項２７】
ルツボの本体部が、ルツボ内に保持される溶融した半導体材料の最大レベルに対応する面の上方約５０ｍｍまたはそれ以上の領域について、側壁部の内側表面および外側表面の少なくとも１つに応力調節側壁部分を実質的に有していない請求項２２に記載のルツボ。
【請求項２８】
ルツボの本体部が、ルツボ内に保持される溶融した半導体材料の最大レベルに対応する面の上方約１０ｍｍまたはそれ以上の領域について、側壁部の内側表面および外側表面の両方に応力調節側壁部分を実質的に有していない請求項２７に記載のルツボ。
【請求項２９】
ルツボの本体部が、ルツボ内に保持される溶融した半導体材料の最大レベルに対応する面の上方約１ｍｍまたはそれ以上の領域について、側壁部の内側表面および外側表面の両方に応力調節側壁部分を実質的に有していない請求項２８に記載のルツボ。
【請求項３０】
側壁部の内側表面および外側表面の一方に少なくとも部分的に剛性向上側壁部分が存在しており、本体部は、側壁部の内側表面および外側表面の他方の少なくとも一部であるもう１つの剛性向上側壁部分を更に有する請求項２２に記載のルツボ。
【請求項３１】
前記剛性向上側壁部分が、内側表面の部分と外側表面の部分とで互いに位置合わせされている請求項３０に記載のルツボ。
【請求項３２】
前記剛性向上側壁部分が、開いた頂部に隣接する側壁部の周囲全体のまわりに実質的に連続して延びる請求項３１に記載のルツボ。
【請求項３３】
少なくとも１つの応力調節側壁部分が、ルツボ内に保持される溶融した半導体材料の最大レベルに対応する面の下側において、側壁部のすべての部分を有する請求項３２に記載のルツボ。
【請求項３４】
少なくとも１つの応力調節側壁部分によって隔てられた複数の剛性向上側壁部分を更に有する請求項２２に記載のルツボ。
【請求項３５】
高温環境においてルツボを支持し、および複数のスプリットを有しているサセプタと組み合わせられるルツボであって、少なくとも１つの剛性向上側壁部分がスプリットの１つに隣接して位置する請求項３４に記載のルツボ。
【請求項３６】
高温環境においてルツボを支持し、および複数のスプリットを有しているサセプタと組み合わせられるルツボであって、少なくとも１つの剛性向上側壁部分は、本体部の外周部において、複数のスプリットどうしの間のそれぞれの中間部分に隣接して位置する請求項３４に記載のルツボ。
【請求項３７】
複数の剛性向上側壁部分は、側壁部の周方向について隔てられている請求項３４に記載のルツボ。
【請求項３８】
複数の剛性向上側壁部分は、本体部の開いた頂部に隣接して位置する請求項３７に記載のルツボ。