【手続補正書】
【提出日】平成19年2月16日(2007.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理液を収容して被処理体を液処理可能に構成した液処理槽と、被処理体を保持する保持手段と、液処理した被処理体を洗浄するための洗浄手段と、洗浄処理した被処理体を乾燥するための乾燥手段と、前記液処理槽の雰囲気を排気するための排気手段と、を備えた液処理装置において、前記液処理槽が、被処理体を環状に取囲む内環構造体と外環構造体を有する２重構造からなり、前記洗浄手段および前記乾燥手段が、前記液処理槽の前記外環構造体もしくは前記内環構造体に少なくとも一つ以上環状に設けたノズルにより、被処理体の下方側から洗浄媒体および乾燥媒体を供給可能に構成されていることを特徴とする液処理装置。
【請求項２】
前記保持手段が、被処理体の被処理位置、洗浄位置および乾燥位置で、被処理体を上下方向に昇降可能に、かつ、所定速度で回転可能に保持し、液処理、洗浄処理および乾燥処理が、前記保持手段により液処理位置、洗浄位置および乾燥位置において、被処理体を回転させながら行われることを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
【請求項３】
前記洗浄手段と前記乾燥手段とを一体に構成し、前記洗浄手段から洗浄媒体を、また、前記乾燥手段から乾燥媒体を、それぞれ交互に供給できるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
【請求項４】
前記洗浄媒体が、純水、酸、アルカリ溶液のいずれか１つであることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の液処理装置。
【請求項５】
前記乾燥媒体が、気体もしくは揮発性液体であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の液処理装置。
【請求項６】
前記揮発性液体が、イソプロピルアルコールであることを特徴とする請求項５に記載の液処理装置。
【請求項７】
前記洗浄手段が、被処理体の処理面に対して、仰角６°から７０°の噴射角度で洗浄液を供給可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
【請求項８】
前記洗浄手段が、被処理体の処理面に対して、分散角３°から３０°の噴射範囲で洗浄液を供給可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
【請求項９】
処理液を収容して被処理体を液処理可能に構成した液処理槽と、被処理体を保持する保持手段と、液処理した被処理体を洗浄するための洗浄手段と、洗浄処理した被処理体を乾燥するための乾燥手段と、前記液処理槽の雰囲気を排気するための排気手段と、を備えた液処理装置において、前記液処理槽が、被処理体を環状に取囲む内環構造体と外環構造体を有する２重構造からなり、前記保持手段が、被処理体の処理面を下向きにして被処理体を保持し、かつ、被処理位置、洗浄位置および乾燥位置で上下方向に昇降可能に構成され、前記洗浄手段および前記乾燥手段が、洗浄位置および乾燥位置において、前記液処理槽の外環構造体もしくは内環構造体に少なくとも一つ以上環状に設けたノズルにより、被処理体の処理面の下方側から洗浄媒体および乾燥媒体を供給可能に構成されていることを特徴とする液処理装置。
【請求項１０】
前記保持手段が、さらに被処理体を所定速度で回転可能にした構成であって、液処理、洗浄処理および乾燥処理が、前記保持手段により液処理位置、洗浄位置および乾燥位置において、それぞれ被処理体を回転させながら行われることを特徴とする請求項９に記載の液処理装置。
【請求項１１】
前記処理槽が、めっき処理槽であることを特徴とする請求項９に記載の液処理装置。
【請求項１２】
処理液を収容して被処理体を液処理可能に構成した液処理槽と、被処理体を保持する保持手段と、液処理した被処理体を洗浄するための洗浄手段と、洗浄処理した被処理体を乾燥するための乾燥手段と、前記液処理槽の雰囲気を排気するための排気手段と、を備えた液処理装置において、前記液処理槽が、被処理体を環状に取囲む内環構造体と外環構造体を有する２重構造からなり、前記保持手段が、被処理体の処理面を上向きにして保持し、かつ、液処理位置、洗浄位置および乾燥位置で上下方向に昇降可能に構成され、前記洗浄手段および前記乾燥手段が、洗浄位置および乾燥位置において、前記液処理槽の外環構造体もしくは内環構造体に少なくとも一つ以上環状に設けたノズルにより、被処理体の処理面の下方側から洗浄媒体および乾燥媒体を供給可能に構成されていることを特徴とする液処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、処理液を収容して被処理体を液処理可能に構成した液処理槽と、被処理体を保持する保持手段と、液処理した被処理体を洗浄するための洗浄手段と、洗浄処理した被処理体を乾燥するための乾燥手段と、前記液処理槽の雰囲気を排気するための排気手段と、を備えた液処理装置において、前記液処理槽が、被処理体を環状に取囲む内環構造体と外環構造体を有する２重構造からなり、前記洗浄手段および前記乾燥手段が、前記液処理槽の前記外環構造体もしくは前記内環構造体に少なくとも一つ以上環状に設けたノズルにより、被処理体の下方側から洗浄媒体および乾燥媒体を供給可能に構成されていることを特徴とする液処理装置に関する。これにより液処理後の被処理体に残る処理液を取り除くことができるため、処理液の拡散を抑制することができる。また、被処理体に衝突した洗浄液は下方へ拡散するため、洗浄液のミストが液処理槽の上方へ拡散することを抑制できる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明では、前記保持手段が、被処理体の被処理位置、洗浄位置および乾燥位置で、被処理体を上下方向に昇降可能に、かつ、所定速度で回転可能に保持し、液処理、洗浄処理および乾燥処理が、前記保持手段により液処理位置、洗浄位置および乾燥位置において、被処理体を回転させながら行われる。これにより被処理体を所望の位置へ素早く移動させることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、処理液を収容して被処理体を液処理可能に構成した液処理槽と、被処理体を保持する保持手段と、液処理した被処理体を洗浄するための洗浄手段と、洗浄処理した被処理体を乾燥するための乾燥手段と、前記液処理槽の雰囲気を排気するための排気手段と、を備えた液処理装置において、前記液処理槽が、被処理体を環状に取囲む内環構造体と外環構造体を有する２重構造からなり、前記保持手段が、被処理体の処理面を下向きにして被処理体を保持し、かつ、被処理位置、洗浄位置および乾燥位置で上下方向に昇降可能に構成され、前記洗浄手段および前記乾燥手段が、洗浄位置および乾燥位置において、前記液処理槽の外環構造体もしくは内環構造体に少なくとも一つ以上環状に設けたノズルにより、被処理体の処理面の下方側から洗浄媒体および乾燥媒体を供給可能に構成されている。これにより処理液および洗浄液のミストを除去できるため、ミストの拡散を抑制することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
さらに本発明は、処理液を収容して被処理体を液処理可能に構成した液処理槽と、被処理体を保持する保持手段と、液処理した被処理体を洗浄するための洗浄手段と、洗浄処理した被処理体を乾燥するための乾燥手段と、前記液処理槽の雰囲気を排気するための排気手段と、を備えた液処理装置において、前記液処理槽が、被処理体を環状に取囲む内環構造体と外環構造体を有する２重構造からなり、前記保持手段が、被処理体の処理面を上向きにして保持し、かつ、液処理位置、洗浄位置および乾燥位置で上下方向に昇降可能に構成され、前記洗浄手段および前記乾燥手段が、洗浄位置および乾燥位置において、前記液処理槽の外環構造体もしくは内環構造体に少なくとも一つ以上環状に設けたノズルにより、被処理体の処理面の下方側から洗浄媒体および乾燥媒体を供給可能に構成されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】