(57)【要約】  被測定信号の論理値が変化する変化点のタイミングを検出する変化点検出回路であって、被測定信号の論理値を、それぞれ位相の異なる複数のストローブに応じて検出した論理値データ列を生成するマルチストローブ回路と、論理値データ列に基づいて、いずれのストローブにおいて論理値が変化するかを検出する変化点検出部と、被測定信号の立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれのエッジ種の変化点を検出するべきかを予め格納するエッジ指定格納部と、変化点検出部が検出した変化点のうち、エッジ指定格納部が格納したエッジ種に応じた変化点を選択する選択部と、選択部が選択した変化点が、いずれのストローブに対応するかを格納するストローブ位置格納部とを備える変化点検出回路を提供する。
2007091413.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定信号の論理値が変化する変化点のタイミングを検出する変化点検出回路であって、
前記被測定信号の論理値を、それぞれ位相の異なる複数のストローブに応じて検出した論理値データ列を生成するマルチストローブ回路と、
前記論理値データ列に基づいて、いずれの前記ストローブにおいて論理値が変化するかを検出する変化点検出部と、
前記被測定信号の立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれのエッジ種の前記変化点を検出するべきかを予め格納するエッジ指定格納部と、
前記変化点検出部が検出した前記変化点のうち、前記エッジ指定格納部が格納した前記エッジ種に応じた前記変化点を選択する選択部と、
前記選択部が選択した前記変化点が、いずれの前記ストローブに対応するかを格納するストローブ位置格納部と
を備える変化点検出回路。
【請求項２】
前記変化点検出部は、前記論理値データ列のそれぞれのデータ毎に、当該データの直後に配置されたデータとの排他的論理和を算出した変化点データ列を生成し、
前記選択部は、前記変化点データ列において論理値１を示すデータのうち、対応する前記論理値データ列のデータが、選択すべき前記エッジ種に応じた論理値を示すデータを選択し、
前記ストローブ位置格納部は、前記選択部が選択したデータが、いずれの前記ストローブに対応するかを格納する
請求項１に記載の変化点検出回路。
【請求項３】
前記変化点検出部は、前記マルチストローブ回路における複数の前記ストローブに対応した複数の排他的論理和回路を有し、
それぞれの前記排他的論理和回路は、対応する前記ストローブが検出した前記被測定信号の論理値と、当該ストローブの直後の前記ストローブが検出した前記論理値との排他的論理和を出力し、
前記選択部は、前記複数の排他的論理和回路に対応した複数の選択結果出力回路を有し、
それぞれの前記選択結果出力回路は、対応する前記排他的論理和回路が論理値１を出力し、且つ対応する前記論理値データ列のデータが、選択すべき前記エッジ種に応じた論理値を示す場合に、論理値１を出力する
請求項２に記載の変化点検出回路。
【請求項４】
前記マルチストローブ回路は、前記被測定信号が複数回入力され、それぞれの前記被測定信号に応じて前記論理値データ列を複数回生成し、
前記ストローブ位置格納部は、前記複数の選択結果出力回路に対応した複数のカウンタを有し、
それぞれの前記カウンタは、対応する前記選択結果出力回路が論理値１を出力する回数を計数する
請求項３に記載の変化点検出回路。
【請求項５】
それぞれの前記選択結果出力回路は、それぞれ論理値が与えられる４つの入力ポートを有し、対応する前記排他的論理和回路が出力する論理値と、対応する前記論理値データ列のデータの論理値の組み合わせに応じて、いずれかの前記入力ポートに与えられる論理値を出力し、
前記変化点検出部は、前記排他的論理和回路が論理値１を出力し、且つ前記論理値データ列のデータが、選択すべきエッジに応じた論理値を示した場合に選択される前記入力ポートに論理値１を入力し、他の前記入力ポートに論理値０を入力するエッジ指定格納部４０を更に有する
請求項４に記載の変化点検出回路。
【請求項６】
前記エッジ指定格納部は、前記複数の選択結果出力回路に対して共通に設けられる請求項５に記載の変化点検出回路。
【請求項７】
前記選択部は、前記論理値データ列の初期データ値と、前記エッジ指定格納部が格納したエッジ種とに基づいて、前記変化点を選択する
請求項１に記載の変化点検出回路。
【請求項８】
被測定信号のジッタを測定するジッタ測定装置であって、
複数回入力されるそれぞれの前記被測定信号に対して、論理値が変化する変化点のタイミングを検出する変化点検出回路と、
前記変化点検出回路が検出した前記変化点のタイミングの分布に基づいて、前記被測定信号のジッタを算出するジッタ算出部と
を備え、
前記変化点検出回路は、
それぞれの前記被測定信号の論理値を、それぞれ位相の異なる複数のストローブに応じて検出した論理値データ列を生成するマルチストローブ回路と、
前記論理値データ列に基づいて、いずれの前記ストローブにおいて論理値が変化するかを検出する変化点検出部と、
前記被測定信号の立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれの前記変化点を検出するべきかを予め格納するエッジ指定格納部と、
前記変化点検出部が検出した前記変化点のうち、前記エッジ指定格納部が格納した前記変化点を選択する選択部と、
前記選択部が選択した前記変化点が、いずれの前記ストローブに対応するかを格納するストローブ位置格納部と
を有するジッタ測定装置。
【請求項９】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに試験信号を入力する入力部と、
前記被試験デバイスが前記試験信号に応じて出力する被測定信号のジッタを測定するジッタ測定装置と、
前記ジッタ測定装置が測定したジッタに基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備え、
前記ジッタ測定装置は、
複数回入力されるそれぞれの前記被測定信号に対して、論理値が変化する変化点のタイミングを検出する変化点検出回路と、
前記変化点検出回路が検出した前記変化点のタイミングの分布に基づいて、前記被測定信号のジッタを算出するジッタ算出部と
を有し、
前記変化点検出回路は、
それぞれの前記被測定信号の論理値を、それぞれ位相の異なる複数のストローブに応じて検出した論理値データ列を生成するマルチストローブ回路と、
前記論理値データ列に基づいて、いずれの前記ストローブにおいて論理値が変化するかを検出する変化点検出部と、
前記被測定信号の立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれの前記変化点を検出するべきかを予め格納するエッジ指定格納部と、
前記変化点検出部が検出した前記変化点のうち、前記エッジ指定格納部が格納した前記変化点を選択する選択部と、
前記選択部が選択した前記変化点が、いずれの前記ストローブに対応するかを格納するストローブ位置格納部と
を含む試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定信号の変化点を検出する変化点検出回路、変化点検出回路を備えるジッタ測定装置、及び試験装置に関する。特に本発明は、立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジの所望の変化点を検出する変化点検出回路に関する。本出願は、下記の日本出願に関連する。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。
特願２００６−０３４５２１    出願日  ２００６年２月１０日
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体回路等の被試験デバイスの試験として、被試験デバイスが出力する被測定信号に基づいて被試験デバイスの良否を判定する試験が知られている。例えば、被測定信号のジッタを算出し、当該ジッタが所定の範囲内であるか否かに基づいて被試験デバイスの良否を判定する試験が知られている。【０００３】
この場合、試験装置は、被測定信号のエッジ（変化点）を検出し、当該エッジのタイミングに基づいて、ジッタを算出する。例えば試験装置は、被測定信号の周期毎に、エッジ近傍においてそれぞれ位相の異なる複数のストローブを生成する。そして、それぞれのストローブのタイミングにおける被測定信号の信号レベルを検出する。そして、それぞれの信号レベルが、所定の閾値より大きいか否かを判定する。また、判定結果が遷移する点を変化点として検出する。このような動作により、被測定信号の変化点を検出することができる。また、被測定信号の各周期における変化点の位相に基づいて、被測定信号のジッタを算出する。なお、現時点で先行技術文献の存在を認識していないので、先行技術文献に関する記載を省略する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来の測定方法では、検出した変化点が、立ち上がりエッジであるか、又は立ち下がりエッジであるかを判定していない。このため、例えば被測定信号の立ち上がりエッジを検出し、当該エッジのジッタ量を算出する試験において、被測定信号の立ち下がりエッジを立ち上がりエッジとして誤検出してしまう場合がある。【０００５】
また、近年のデバイスの高速化に伴い、被測定信号のパルス幅は小さくなっている。このため、立ち上がりエッジを検出するべく、立ち上がりエッジの近傍に複数のストローブを生成した場合であっても、当該複数のストローブにより、立ち下がりエッジをも検出してしまう場合がある。この場合、被測定信号の同一周期において二つの変化点が検出されてしまう。【０００６】
このように、従来の測定方法では、立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれか所望のエッジを検出することが困難であった。このため、例えばジッタの計測値に誤差が生じ、被試験デバイスを精度よく試験することができなかった。【０００７】
そこで本発明の一つの側面においては、上記の課題を解決することのできる変化点検出回路、ジッタ測定装置、及び試験装置を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、被測定信号の論理値が変化する変化点のタイミングを検出する変化点検出回路であって、被測定信号の論理値を、それぞれ位相の異なる複数のストローブに応じて検出した論理値データ列を生成するマルチストローブ回路と、論理値データ列に基づいて、いずれのストローブにおいて論理値が変化するかを検出する変化点検出部と、被測定信号の立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれのエッジ種の変化点を検出するべきかを予め格納するエッジ指定格納部と、変化点検出部が検出した変化点のうち、エッジ指定格納部が格納したエッジ種に応じた変化点を選択する選択部と、選択部が選択した変化点が、いずれのストローブに対応するかを格納するストローブ位置格納部とを備える変化点検出回路を提供する。【０００９】
変化点検出部は、論理値データ列のそれぞれのデータ毎に、当該データの直後に配置されたデータとの排他的論理和を算出した変化点データ列を生成し、選択部は、変化点データ列において論理値１を示すデータのうち、対応する論理値データ列のデータが、選択すべきエッジ種に応じた論理値を示すデータを選択し、ストローブ位置格納部は、選択部が選択したデータが、いずれのストローブに対応するかを格納してよい。【００１０】
変化点検出部は、マルチストローブ回路における複数のストローブに対応した複数の排他的論理和回路を有し、それぞれの排他的論理和回路は、対応するストローブが検出した被測定信号の論理値と、当該ストローブの直後のストローブが検出した論理値との排他的論理和を出力し、選択部は、複数の排他的論理和回路に対応した複数の選択結果出力回路を有し、それぞれの選択結果出力回路は、対応する排他的論理和回路が論理値１を出力し、且つ対応する論理値データ列のデータが、選択すべきエッジ種に応じた論理値を示す場合に、論理値１を出力してよい。【００１１】
マルチストローブ回路は、被測定信号が複数回入力され、それぞれの被測定信号に応じて論理値データ列を複数回生成し、ストローブ位置格納部は、複数の選択結果出力回路に対応した複数のカウンタを有し、それぞれのカウンタは、対応する選択結果出力回路が論理値１を出力する回数を計数してよい。【００１２】
それぞれの選択結果出力回路は、それぞれ論理値が与えられる４つの入力ポートを有し、対応する排他的論理和回路が出力する論理値と、対応する論理値データ列のデータの論理値の組み合わせに応じて、いずれかの入力ポートに与えられる論理値を出力し、変化点検出部は、排他的論理和回路が論理値１を出力し、且つ論理値データ列のデータが、選択すべきエッジに応じた論理値を示した場合に選択される入力ポートに論理値１を入力し、他の入力ポートに論理値０を入力するエッジ指定格納部４０を更に有してよい。【００１３】
エッジ指定格納部は、複数の選択結果出力回路に対して共通に設けられてよい。選択部は、論理値データ列の初期データ値と、エッジ指定格納部が格納したエッジ種とに基づいて、変化点を選択してよい。【００１４】
本発明の第２の形態においては、被測定信号のジッタを測定するジッタ測定装置であって、複数回入力されるそれぞれの前記被測定信号に対して、論理値が変化する変化点のタイミングを検出する変化点検出回路と、変化点検出回路が検出した変化点のタイミングの分布に基づいて、被測定信号のジッタを算出するジッタ算出部とを備え、変化点検出回路は、それぞれの被測定信号の論理値を、それぞれ位相の異なる複数のストローブに応じて検出した論理値データ列を生成するマルチストローブ回路と、論理値データ列に基づいて、いずれのストローブにおいて論理値が変化するかを検出する変化点検出部と、被測定信号の立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれの変化点を検出するべきかを予め格納するエッジ指定格納部と、変化点検出部が検出した変化点のうち、エッジ指定格納部が格納した変化点を選択する選択部と、選択部が選択した変化点が、いずれのストローブに対応するかを格納するストローブ位置格納部とを有するジッタ測定装置を提供する。【００１５】
本発明の第３の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに試験信号を入力する入力部と、被試験デバイスが試験信号に応じて出力する被測定信号のジッタを測定するジッタ測定装置と、ジッタ測定装置が測定したジッタに基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備え、ジッタ測定装置は、複数回入力されるそれぞれの被測定信号に対して、論理値が変化する変化点のタイミングを検出する変化点検出回路と、変化点検出回路が検出した変化点のタイミングの分布に基づいて、被測定信号のジッタを算出するジッタ算出部とを有し、変化点検出回路は、それぞれの被測定信号の論理値を、それぞれ位相の異なる複数のストローブに応じて検出した論理値データ列を生成するマルチストローブ回路と、論理値データ列に基づいて、いずれのストローブにおいて論理値が変化するかを検出する変化点検出部と、被測定信号の立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれの変化点を検出するべきかを予め格納するエッジ指定格納部と、変化点検出部が検出した変化点のうち、エッジ指定格納部が格納した変化点を選択する選択部と、選択部が選択した変化点が、いずれのストローブに対応するかを格納するストローブ位置格納部とを含む試験装置を提供する。【００１６】
なお、上記の発明の概要は、本発明に必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明の効果】
【００１７】
被測定信号の所望のエッジの変化点位置分布を取得することができる。このため、被測定信号のジッタを精度よく測定できる。また被測定デバイスを精度よく試験することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す図である。
【図２】変化点検出回路２２の構成の一例を示す図である。
【図３】変化点検出部３６、選択部３８、及びストローブ位置格納部４２の構成の一例を示す図である。
【図４】変化点検出回路２２の動作の一例を説明する図である。
【図５】ストローブ位置格納部４２が取得する変化点の位置分布の一例を示す図である。
【図６】変化点検出回路２２の構成の他の例を示す図である。
【図７】変化点検出回路２２の動作の一例を説明する図である。
【符号の説明】
【００１９】
１０・・・入力部、１２・・・パターン発生部、１４・・・波形成形部、１６・・・タイミング発生部、１８・・・判定部、２０・・・ジッタ測定装置、２２・・・変化点検出回路、２４・・・ジッタ算出部、２５・・・レベル比較回路、２６・・・マルチストローブ回路、２８・・・フリップフロップ、３０・・・遅延回路、３２・・・記憶装置、３４・・・Ｈ−Ｌ選択回路、３６・・・変化点検出部、３８・・・選択部、４０・・・エッジ指定格納部、４２・・・ストローブ位置格納部、４４・・・排他的論理和回路、４６・・・選択結果出力回路、４８・・・試験モード選択部、５０・・・選択器、５２・・・カウンタ、１００・・・試験装置、２００・・・被試験デバイス
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。【００２１】
図１は、本発明の実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す図である。試験装置１００は、被試験デバイス２００を試験する装置であって、入力部１０、ジッタ測定装置２０、及び判定部１８を備える。【００２２】
入力部１０は、被試験デバイス２００に試験信号を入力する。ここで、試験信号は、例えば被試験デバイス２００に所定の出力信号を出力させる信号である。入力部１０は、パターン発生部１２、波形成形部１４、及びタイミング発生部１６を有する。【００２３】
パターン発生部１２は、試験信号の波形パターンを示す試験パターンを生成する。波形成形部１４は、試験パターンに基づいて試験信号を成形する。例えば波形成形部１４は、与えられるタイミングクロックに応じて、試験パターンに示される電圧レベルを順次示す試験信号を生成する。タイミング発生部１６は、波形成形部１４に与えるタイミングクロックを生成する。【００２４】
ジッタ測定装置２０は、被試験デバイス２００が試験信号に応じて出力する被測定信号のジッタを測定する。ジッタ測定装置２０は、変化点検出回路２２及びジッタ算出部２４を有する。【００２５】
変化点検出回路２２は、被測定信号の論理値が変化する変化点のタイミングを検出する。このとき、入力部１０は、所定の試験周期で、被試験デバイス２００に被測定信号を繰り返し出力させる。また、変化点検出回路２２は、それぞれの被測定信号に対して、当該変化点のそれぞれの試験周期におけるタイミングを検出する。【００２６】
ジッタ算出部２４は、変化点検出回路２２が検出した当該変化点のタイミングの分布に基づいて、被測定信号のジッタを算出する。例えばジッタ算出部２４は、試験周期において変化点を検出する頻度が所定の値以上となる期間を算出し、当該期間を被測定信号のジッタ量として算出してよい。【００２７】
判定部１８は、ジッタ測定装置２０が測定したジッタに基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定する。例えば判定部１８は、ジッタ測定装置２０が算出したジッタ量が予め定められた基準値以上であるか否かに基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定してよい。【００２８】
図２は、変化点検出回路２２の構成の一例を示す図である。変化点検出回路２２は、二つのレベル比較回路（２５−１及び２５−２、以下２５と総称する）、二つのマルチストローブ回路（２６−１及び２６−２、以下２６と総称する）、記憶装置３２、Ｈ−Ｌ選択回路３４、変化点検出部３６、選択部３８、エッジ指定格納部４０、及びストローブ位置格納部４２を備える。【００２９】
それぞれのレベル比較回路２５は、被試験デバイス２００が出力する被測定信号を受け取り、被測定信号の電圧レベルと、予め定められた基準電圧とを比較し、比較結果を出力する。例えばレベル比較回路２５−１は、被測定信号の電圧レベルが所定の基準電圧ＶＨより大きい場合に論理値１を出力し、被測定信号の電圧レベルが当該基準電圧ＶＨ以下である場合に論理値０を出力する。即ち、レベル比較回路２５−１は、Ｈレベルの電圧レベルを期待値として、被測定信号を２値の信号に変換する。またレベル比較回路２５−２は、被測定信号の電圧レベルが所定の基準電圧ＶＬより大きい場合に論理値０を出力し、被測定信号の電圧レベルが当該基準電圧ＶＬ以下である場合に論理値１を出力する。即ち、レベル比較回路２５−２は、Ｌレベルの電圧レベルを期待値として、被測定信号を２値の信号に変換する。【００３０】
マルチストローブ回路２６は、レベル比較回路２５に対応して設けられる。それぞれのマルチストローブ回路２６は、対応するレベル比較回路２５が出力する被測定信号の論理値を、それぞれ位相の異なる複数のストローブに応じて検出した論理値データ列を生成する。【００３１】
それぞれのマルチストローブ回路２６は、複数のフリップフロップ（２８−１〜２８−３２、以下２８と総称する）、及び複数の遅延回路（３０−１〜３０−３１、以下３０と総称する）を有する。それぞれのフリップフロップ２８は、被測定信号の論理値を、与えられるストローブに応じて取り込み、出力する。複数のフロップフロップ２８は、出力する論理値を、それぞれのストローブのタイミングに応じて整列させた論理値データ列を生成する。【００３２】
複数の遅延回路３０は、複数のフリップフロップ２８に対応して設けられる。また、複数の遅延回路３０は縦続接続され、タイミング発生部１６から与えられるクロックを順次遅延させ、それぞれストローブを生成する。つまり、複数の遅延回路３０は、それぞれ位相の異なる複数のストローブを生成する。それぞれの遅延回路３０は、それぞれ生成したストローブを、対応するフリップフロップ２８に供給する。【００３３】
このような構成により、マルチストローブ回路２６は、被測定信号の論理値を、それぞれ位相の異なるストローブに応じて検出した論理値データ列を生成する。また、本例におけるマルチストローブ回路２６のストローブの相数は３２であるが、マルチストローブ回路２６のストローブの相数は上記に限定されない。マルチストローブ回路２６は、所望の相数のストローブに基づいて、被測定信号をサンプリングしてよい。また、それぞれの遅延回路３０における遅延量は略同一であってよい。【００３４】
記憶装置３２は、それぞれのマルチストローブ回路２６が出力する論理値データ列を格納する。記憶装置３２は、例えばＭＲＡＭであってよい。Ｈ−Ｌ選択回路３４は、二つのマルチストローブ回路２６がそれぞれ出力する論理値データ列のいずれかを選択する。Ｈ−Ｌ選択回路３４がいずれの論理値データ列を選択するかは、予め設定されるＨ−Ｌ選択制御信号ＥＸＰにより制御されてよい。これにより、Ｈレベル又はＬレベルのいずれの電圧レベルを期待値とした被測定信号について、変化点を検出するかを所望に選択することができる。【００３５】
変化点検出部３６は、Ｈ−Ｌ選択回路３４が選択した論理値データ列に基づいて、いずれのストローブに対応する論理値データにおいて被測定信号の論理値が変化するかを検出する。例えば、変化点検出部３６は、論理値データ列において前後するそれぞれのデータの排他的論理和を算出することにより、当該変化点を検出してよい。【００３６】
エッジ指定格納部４０は、被測定信号の立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれのエッジ種の変化点を検出するべきかを予め格納する。選択部３８は、変化点検出部３６が検出した変化点のうち、エッジ指定格納部４０が格納したエッジ種に応じた変化点を選択する。選択部３８の動作例は、図３において後述する。【００３７】
ストローブ位置格納部４２は、選択部３８が選択した変化点が、いずれのストローブに対応するかを格納する。また、変化点検出回路２２は、以上の動作を、それぞれの試験周期におけるそれぞれの被測定信号に対して行う。そして、ストローブ位置格納部４２は、それぞれの被測定信号に対して、変化点がいずれのストローブに対応するかを示す情報を蓄積する。これにより、ストローブ位置格納部４２は、それぞれの被測定信号に対して検出される変化点の位相の分布を格納する。【００３８】
図３は、変化点検出部３６、選択部３８、及びストローブ位置格納部４２の構成の一例を示す図である。変化点検出部３６は、論理値データ列のそれぞれのデータ毎に、当該データの直後に配置されたデータとの排他的論理和を算出した変化点データ列を生成する。本例において変化点検出部３６は、マルチストローブ回路２６のストローブ相数に応じた数の排他的論理和回路４４を有する。【００３９】
それぞれの排他的論理和回路４４は、対応するストローブが検出した被測定信号の論理値データと、当該ストローブの直後のストローブが検出した論理値データとの排他的論理和を出力する。複数の排他的論理和回路４４は、それぞれの排他的論理和回路４４が出力する排他的論理和を、対応するストローブの位相に応じて整列させた変化点データ列を出力する。当該変化点データ列は、変化点に応じたデータが論理値１を示し、他のデータが論理値０を示す。【００４０】
選択部３８は、複数の排他的論理和回路４４に対応した複数の選択結果出力回路４６を有する。それぞれの選択結果出力回路４６は、対応する排他的論理和回路が論理値１を出力し、且つ対応する論理値データ列のデータが、選択すべきエッジ種に応じた論理値を示す場合に、論理値１を出力する。例えば、選択すべきエッジ種が立ち上がりエッジである場合、選択結果出力回路４６は、対応する排他的論理和回路が論理値１を出力し、且つ対応する論理値データ列のデータが論理値０を示す場合に、論理値１を出力する。また、選択すべきエッジ種が立ち下がりエッジである場合、選択結果出力回路４６は、対応する排他的論理和回路が論理値１を出力し、且つ対応する論理値データ列のデータが論理値１を示す場合に、論理値１を出力する。【００４１】
本例においてそれぞれの選択結果出力回路４６は、４つの入力ポート０〜３を有し、それぞれの入力ポートにはエッジ指定格納部４０に予め設定されたデータが入力される。エッジ指定格納部４０は、複数の選択結果出力回路４６に対して共通に設けられ、同一のデータをそれぞれの選択結果出力回路４６に入力する。選択結果出力回路４６は、対応する排他的論理和回路４４が出力する論理値と、対応する論理値データ列のデータの論理値の組み合わせに応じて、いずれかの入力ポートに与えられる論理値を出力する。【００４２】
例えば、立ち上がりエッジ種を選択すべき場合、入力ポート０には論理値１が入力され、他の入力ポートには論理値０が入力されてよい。選択結果出力回路４６は、対応する排他的論理和回路４４から論理値１が入力され、且つ対応する論理値データ列のデータが論理値０である場合に、入力ポート０に入力された論理値１を出力し、他の場合には、他の入力ポート１〜３に入力された論理値０を出力する。これにより、それぞれの選択結果出力回路４６は、対応する排他的論理和回路４４が立ち上がりエッジを検出した場合に論理値１を出力する。【００４３】
ストローブ位置格納部４２は、複数の選択結果出力回路４６に対応した複数のカウンタ（５２−１〜５２−３２、以下５２と総称する）を有する。それぞれのカウンタ５２は、対応する選択結果出力回路が論理値１を出力する回数を計数する。これにより、試験周期毎に被測定信号が繰り返し入力された場合に、被測定信号の所望のエッジの位置分布を取得することができる。【００４４】
また、変化点検出回路２２は、図３に示すように、試験モード選択部４８を更に備えてよい。試験モード選択部４８は、被測定信号の所望のエッジ種に注目して変化点を検出するか、又は全てのエッジに注目して変化点を検出するかを切り替える。試験モード選択部４８は、複数の選択結果出力回路４６に対応して複数の選択器５０を有する。それぞれの選択器５０は、対応する選択結果出力回路４６が出力するデータと、対応する排他的論理和回路４４が出力するデータとのいずれかを選択してストローブ位置格納部４２に出力する。【００４５】
つまり、被測定信号の所望のエッジ種に注目して変化点を検出する場合、それぞれの選択器５０は、対応する選択結果出力回路４６が出力するデータを選択する。また、被測定信号の全てエッジに注目して変化点を検出する場合、それぞれの選択器５０は、対応する排他的論理和回路４４が出力するデータを選択する。それぞれのカウンタ５２は、対応する選択器５０が論理値１を出力する回数を計数する。【００４６】
このような構成により、所望のエッジ種に注目して被測定信号の変化点を検出することができる。つまり、ストローブの範囲内に複数の変化点が検出された場合であっても、所望のエッジ種の変化点を抽出することができる。このため、被測定信号のジッタを精度よく算出することができ、被試験デバイス２００を精度よく試験することができる。【００４７】
図４は、変化点検出回路２２の動作の一例を説明する図である。前述したように、マルチストローブ回路２６は、被測定信号の波形に対して、それぞれ位相の異なる複数のストローブを出力する。そして、マルチストローブ回路２６は、それぞれのストローブに応じて被測定信号の論理値を検出した論理値データ列Ｐ／Ｆを出力する。図４においては、論理値０を「Ｐ」で示し、論理値１を「Ｆ」で示す。【００４８】
変化点検出部３６は、論理値データ列のそれぞれのデータに対して、直後のデータとの排他的論理和を算出した変化点データ列を出力する。また、他の例においては、変化点検出部３６は、論理値データ列のそれぞれのデータに対して、直前のデータとの排他的論理和を算出してもよい。いずれの場合であっても、同様の変化点データ列を取得することができる。【００４９】
選択部３８は、変化点データ列において論理値１を示すデータのうち、対応する論理値データ列のデータが所望のエッジ種に応じた論理値を示すデータを選択する。例えば、立ち上がりエッジを検出する場合、対応する論理値データ列のデータが「Ｐ」（論理値０）を示す変化点データ列のデータを抽出し、他のデータを論理値０に変換する。当該処理は、図３において説明した選択結果出力回路４６により容易に実現できる。【００５０】
カウンタ５２は、選択部３８が出力するデータ列のうち、それぞれ対応するデータが論理値１を示す回数を計数する。これにより、所望のエッジ種の変化点位置分布を取得することができる。【００５１】
図５は、ストローブ位置格納部４２が取得する変化点の位置分布の一例を示す図である。本例においては、被測定信号の立ち上がりエッジの変化点を検出した例を示す。図５に示すように、ストローブ範囲に被測定信号の立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッジが含まれた場合、両方のエッジを検出してしまい、所望のエッジに注目した測定を行うことができない。【００５２】
これに対し、本例における変化点検出回路２２は、所望のエッジを検出し、他のエッジの測定結果を排除することができる。このため、図５の実線で示すように、所望のエッジに注目した変化点の位置分布を取得することができる。【００５３】
図６は、変化点検出回路２２の構成の他の例を示す図である。本例において、レベル比較回路２５からＨ−Ｌ選択回路３４までの構成は、図２において説明した変化点検出回路２２と同一であるのでその記載を省略する。本例における変化点検出回路２２は、変化点検出部３６、選択部３８、エッジ指定格納部４０、及び試験モード選択部４８を備える。【００５４】
変化点検出部３６、試験モード選択部４８、及びエッジ指定格納部４０は、図２において説明した変化点検出部３６、試験モード選択部４８、及びエッジ指定格納部４０と同一の機能を有するである。選択部３８は、Ｈ−Ｌ選択回路３４が出力する論理値データ列の初期データ値と、エッジ指定格納部が格納したエッジ種とに基づいて、検出すべき変化点を選択する。ここで、初期データ値とは、例えば論理値データ列の一番目のデータの論理値である。【００５５】
例えば、立ち上がりエッジの変化点を測定する場合において、論理値データ列の初期データの論理値が０である場合、選択部３８は、変化点検出部３６が出力する変化点データ列のうち、最初の論理値１に対しては論理値１を出力し、以降の論理値１に対しては論理値０を出力する。また、初期データの論理値が１である場合、選択部３８は、変化点検出部３６が出力する変化点データ列のうち、２番目の論理値１に対しては論理値０を出力し、他の論理値１に対しては論理値０を出力する。【００５６】
また、立ち下がりエッジの変化点を測定する場合において、論理値データ列の初期データの論理値が０である場合、選択部３８は、変化点検出部３６が出力する変化点データ列のうち、２番目の論理値１に対しては論理値０を出力し、他の論理値１に対しては論理値０を出力する。また、論理値データ列の初期データの論理値が１である場合、選択部３８は、変化点検出部３６が出力する変化点データ列のうち、最初の論理値１に対しては論理値１を出力し、以降の論理値１に対しては論理値０を出力する。【００５７】
図７は、変化点検出回路２２の動作の一例を説明する図である。前述したように、マルチストローブ回路２６は、被測定信号の波形に対して、それぞれ位相の異なる複数のストローブを出力する。そして、マルチストローブ回路２６は、それぞれのストローブに応じて被測定信号の論理値を検出した論理値データ列Ｐ／Ｆを出力する。図７においては、論理値０を「Ｐ」で示し、論理値１を「Ｆ」で示す。【００５８】
変化点検出部３６は、論理値データ列のそれぞれのデータに対して、直後のデータとの排他的論理和を算出した変化点データ列を出力する。また、他の例においては、変化点検出部３６は、論理値データ列のそれぞれのデータに対して、直前のデータとの排他的論理和を算出してもよい。いずれの場合であっても、同様の変化点データ列を取得することができる。【００５９】
上述したように、選択部３８は、論理値データ列の初期データの論理値に基づいて、所望のエッジ種に対応する変化点を抽出する。例えば、立ち上がりエッジを検出する場合において、図７に示すように初期データの論理値が「Ｐ」である場合、選択部３８は、変化点データ列の最初の変化点を抽出する。このような動作によっても、所望のエッジの変化点位置分布を取得することができる。【００６０】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
以上から明らかなように、本発明の実施形態によれば、被測定信号の所望のエッジの変化点位置分布を取得することができる。このため、被測定信号のジッタを精度よく測定できる。また被測定デバイスを精度よく試験することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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