【手続補正書】
【提出日】平成19年5月30日(2007.5.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】電子ビーム蒸着用電子銃、蒸着材料保持装置、及び蒸着装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  電子ビームを出射する電子銃本体と、該電子銃本体に隣接配置され上端面に周方向に沿って複数の坩堝収納用凹部を備えた回転する円筒状のハースと、該ハース上端面の複数の坩堝収納用凹部のうちの一つの坩堝収納用凹部だけを露出させる開口部を備えた固定蓋と、前記各坩堝収納用凹部内に個別に着脱される坩堝と、から成る電子銃において、
前記ハースは、中心軸を回転自在に支持されて上端面に回転方向に沿って複数の坩堝収納穴を備えた円筒状のハース本体と、該各坩堝収納穴と夫々連通する連通穴を周方向に沿って有して該ハース本体上端面に対して着脱自在に固定される環状円盤状の分割ハースと、を備え、
前記各坩堝収納穴と前記連通穴とを連通させることにより形成される各坩堝収納用凹部内に前記坩堝を着脱することを特徴とする電子ビーム蒸着用電子銃。
【請求項２】  蒸着材料を収容する坩堝と、上端面に前記坩堝を収納する坩堝収納用凹部を少なくとも１つ備えたハースと、から成る蒸着材料保持装置であって、
前記ハースは、上端面に前記坩堝を収納する坩堝収納穴を少なくとも一つ備えたハース本体と、該坩堝収納穴と連通する連通穴を有して該ハース本体の上端面に対して着脱自在に固定される分割ハースと、を備え、
前記坩堝収納穴と前記連通穴とを連通させることにより形成される前記坩堝収納用凹部内に前記坩堝を着脱することを特徴とする蒸着材料保持装置。
【請求項３】  蒸着材料を収容する坩堝と、上端面に周方向に沿って前記坩堝を収納する坩堝収納用凹部を複数備えたハースと、から成る蒸着材料保持装置であって、
前記ハースは、中心軸を回転自在に支持されて上端面に周方向に沿って前記坩堝を収納する坩堝収納穴を複数備えた円筒状のハース本体と、該各坩堝収納穴と夫々連通する連通穴を周方向に沿って有して該ハース本体の上端面に対して着脱自在に固定される環状円盤状の分割ハースと、を備え、
前記各坩堝収納穴と前記各連通穴とを連通させることにより形成される前記各坩堝収納用凹部内に前記坩堝を着脱することを特徴とする蒸着材料保持装置。
【請求項４】  請求項２又は３に記載の蒸着材料保持装置を備えたことを特徴とする蒸着装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明が解決しようとする課題は、電子ビームを出射する電子銃本体と、電子銃から出射された電子ビームにより加熱される蒸着材料を収容した坩堝を複数保持するハースとを備えた電子銃において、ハース上の全ての坩堝内の蒸着材料を用いた蒸着工程が終了したあとで、真空槽を開放したままでハースの坩堝収納用凹部に付着した蒸着材料のカスを除去する煩雑且つ装置の稼働率を低下させる作業を行うことなく、簡単な作業によって短時間で新たな坩堝に交換して蒸着工程を再開することを可能にした電子ビーム蒸着用電子銃、蒸着材料保持装置、及び蒸着装置を提供することにある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に係る電子ビーム蒸着用電子銃は、電子ビームを出射する電子銃本体と、該電子銃本体に隣接配置され上端面に周方向に沿って複数の坩堝収納用凹部を備えた回転する円筒状のハースと、該ハース上端面の複数の坩堝収納用凹部のうちの一つの坩堝収納用凹部だけを露出させる開口部を備えた固定蓋と、前記各坩堝収納用凹部内に個別に着脱される坩堝と、から成る電子銃において、前記ハースは、中心軸を回転自在に支持されて上端面に回転方向に沿って複数の坩堝収納穴を備えた円筒状のハース本体と、該各坩堝収納穴と夫々連通する連通穴を周方向に沿って有して該ハース本体上端面に対して着脱自在に固定される環状円盤状の分割ハースと、を備え、前記各坩堝収納穴と前記連通穴とを連通させることにより形成される各坩堝収納用凹部内に前記坩堝を着脱することを特徴とする。
また、本発明に係る蒸着材料保持装置は、蒸着材料を収容する坩堝と、上端面に前記坩堝を収納する坩堝収納用凹部を少なくとも１つ備えたハースと、から成る蒸着材料保持装置であって、前記ハースは、上端面に前記坩堝を収納する坩堝収納穴を少なくとも一つ備えたハース本体と、該坩堝収納穴と連通する連通穴を有して該ハース本体の上端面に対して着脱自在に固定される分割ハースと、を備え、前記坩堝収納穴と前記連通穴とを連通させることにより形成される前記坩堝収納用凹部内に前記坩堝を着脱することを特徴とする。
また、本発明に係る蒸着材料保持装置は、蒸着材料を収容する坩堝と、上端面に周方向に沿って前記坩堝を収納する坩堝収納用凹部を複数備えたハースと、から成る蒸着材料保持装置であって、前記ハースは、中心軸を回転自在に支持されて上端面に周方向に沿って前記坩堝を収納する坩堝収納穴を複数備えた円筒状のハース本体と、該各坩堝収納穴と夫々連通する連通穴を周方向に沿って有して該ハース本体の上端面に対して着脱自在に固定される環状円盤状の分割ハースと、を備え、前記各坩堝収納穴と前記各連通穴とを連通させることにより形成される各坩堝収納用凹部内に前記坩堝を着脱することを特徴とする。
また、本発明に係る蒸着装置は、上記蒸着材料保持装置を備えたことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態に係る電子ビーム蒸着用電子銃、蒸着材料保持装置、及び蒸着装置について詳細に説明する。
図１は本発明の一実施形態に係る電子ビーム蒸着用電子銃の外観構成を示す斜視図であり、図２は分解斜視図である。この電子銃は図３(a)に示した如き真空槽１の下部に配置され、ドーム２の下面に配置された蒸着対象物に対して蒸着材料を蒸着させる手段である。
本発明の電子銃２１は、電子ビームを出射する電子銃本体２５と、該電子銃本体２５に隣接配置され上端面２６ａに周方向に沿って複数の坩堝収納用凹部２７を備えた回転する円筒状のハース２６と、該ハース上端面２６ａの複数の坩堝収納用凹部２７のうちの一つの坩堝収納用凹部だけを露出させる開口部２８ａを備えた固定蓋２８と、前記各坩堝収納用凹部２７内に個別に着脱される坩堝２９と、を有する。
電子銃本体２５は、電磁石３１と、フィラメント３２等を備え、電磁石３１が励磁されることによってフィラメント３２から電子ビームが出力される。電子ビームは図示しない磁極からの磁力線によって進路を曲げられ、固定蓋２８の開口２８ａから露出した坩堝収納用凹部２７内の坩堝２９内の蒸着材料３０に向けて照射される。電子ビームの照射を受けた蒸着材料３０は高温加熱されて分子、或は原子状の蒸着材料が蒸発する。
ハース２６は、中心軸を回転自在に支持されて上端面２６ａに回転方向に沿って複数の坩堝収納穴３６を備えた円筒状のハース本体３５と、各坩堝収納穴３６と夫々連通する連通穴３８を周方向に沿って有して該ハース本体上端面２６ａに対して着脱自在に固定される環状円盤状の分割ハース３７と、ハース本体３５を回転駆動する図示しないモータと、を備えている。坩堝収納穴３６に対して連通穴３８が連通して整合固定されることにより、坩堝収納用凹部２７が形成される。
なお、蒸着材料を収容する坩堝２９と、上端面に坩堝を収納する坩堝収納用凹部２７を少なくとも１つ、或いは複数個備えたハース２６とは、蒸着材料保持装置を構成している。