【手続補正書】
【提出日】平成20年9月18日(2008.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察物体の観察領域を観察するための共焦点用光学走査装置であって、
照射光線束を複数副照射光線束に分割するための手段と、
前記副照射光線束を前記観察物体における複数照射点に集束させるための光学手段と、
前記照射点から戻る複数副光線束を、第一像面における複数光点に集束させるための光学手段と、
前記第一像面に配置されると共に、前記複数光点に到達する光を選択し、観察すべき複数副光線束を得るよう調整された複数微小選択領域を有する空間濾光系と、
観察すべき前記複数副光線束を、第二像面における観察すべき複数点に集束させるための光学手段と、
ｉ）前記観察物体の方に向けられた前記複数副照射光線束を、前記複数照射点が前記観察物体を走査することを可能にするように反射させ、
ｉｉ）前記複数副光線束を、前記複数光点が前記第一像面において固定されることを可能にするように反射させ、
ｉｉｉ）観察すべき前記複数副光線束を、観察すべき複数点が前記第二像面を走査することを可能にするように反射させる、
回転可能に装着された少なくとも一枚の可動ミラーと、を具備し、
照射光線束を複数副照射光線束に分割するための前記手段は、前記複数照射点が周期性のある２次元網を形成するよう適合され、
前記回転可能に装着された可動ミラーは、それぞれの照射点をほぼ直線に沿って移動させるよう適合され、
前記直線は、前記周期性のある網の方向ベクトル（ｕ，ｖ）のいずれとも平行でない
ことを特徴とする共焦点用光学走査装置。
【請求項２】
それぞれの照射点は、前記観察物体の走査の際に、観察領域を横断することを特徴とする請求項１に記載の共焦点用光学走査装置。
【請求項３】
前記照射光線束を副光線束に分割するための手段の上で前記照射光線束によって照射された区域を走査するための手段を有し、前記区域の走査移動は、前記照射点による前記観察物体の走査と同期させられることを特徴とする請求項１または２に記載の共焦点用光学走査装置。
【請求項４】
前記照射光線束を副光線束に分割するための手段の上で前記照射光線束によって照射された区域を走査するための手段は、前記観察物体における照射区域が、前記照射点が前記観察物体を走査する時に固定状態に維持できるよう適合され、前記観察物体における前記照射区域は複数照射点を有することを特徴とする請求項３に記載の共焦点用光学走査装置。
【請求項５】
前記観察物体に到達する前に前記照射光線束を遮断するための手段を具備すると共に、これらの手段は、前記第一像面の固定幾何学点に対応する観察物体内の幾何学像の移動速度がその最小値に達する時、前記照射光線束を遮断するよう調整されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の共焦点用光学走査装置。
【請求項６】
前記照射光線束を遮断するための手段は、照射光線束の届く位置に置かれた制限装置で構成されると共に、前記第一像面の固定幾何学点に対応する前記観察物体内の幾何学像の移動速度がその最小値に達する時、前記制限装置上で、照射光線束により照射される区域が前記制限装置のアパーチャの外になるよう、前記制限装置、前記光学系、及び前記回転可能に装着された可動ミラーの動きが調整されていることを特徴とする請求項５に記載の共焦点用光学走査装置。
【請求項７】
さらに、前記微小選択領域のサイズを変更するための手段を有することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の共焦点用光学走査装置。
【請求項８】
前記分割するための手段が空間濾光系から成り、前記照射光線束が非干渉性（ノンコヒーレント）光線であり、前記空間濾光系を変更するための手段が第一空間濾光系を第二空間濾光系と交換する手段であることを特徴とする請求項７に記載の共焦点用光学走査装置。
【請求項９】
前記空間濾光系は、複数のピンホールの付いた第一プレートと、吸光部および／または反射部及び透明部を含む第二プレートとから成ると共に、前記第二プレートの吸光部および／または反射部が前記第一プレート上の一部ピンホールを塞ぐことができ、また二枚のプレートの相対移動により開いたままになるピンホールを変更できるように、これら二枚のプレートが重なり合い、相対移動できるように配置されていることを特徴とする請求項７に記載の共焦点用光学走査装置。
【請求項１０】
・前記照射光線束が非干渉性（ノンコヒーレント）光線であり、
・前記分割するための手段および前記空間濾光系が微小ミラー網である
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の共焦点用光学走査装置。
【請求項１１】
・前記照射光線束がレーザービームであり、
・前記分割するための手段がマイクロレンズ網であり、
・前記空間濾光系がピンホールの網である
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の共焦点用光学走査装置。
【請求項１２】
・前記照射光線束が非干渉性（ノンコヒーレント）光線であり、
・前記分割するための手段がピンホールの網であり、
・前記空間濾光系がピンホールの網である
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の共焦点用光学走査装置。
【請求項１３】
観察物体の観察領域を観察するための共焦点用光学走査装置であって、
照射光線束を複数副照射光線束に分割するための手段と、
前記副照射光線束を前記観察物体における複数照射点に集束させるための光学手段と、
前記照射点から戻る複数副光線束を、第一像面における複数光点に集束させるための光学手段と、
前記第一像面に配置されると共に、前記複数光点に到達する光を選択し、観察すべき複数副光線束を得るよう調整された複数微小選択領域を有する空間濾光系と、
観察すべき前記複数副光線束を、第二像面における観察すべき複数点に集束させるための光学手段と、
前記照射光線束を複数副照射光線束に分割するための手段の上で前記照射光線束によって照射された区域を走査するための手段と、
ｉ）前記観察物体の方に向けられた前記複数副照射光線束を、前記複数照射点が前記観察物体を走査することを可能にするように反射させ、
ｉｉ）前記複数副光線束を、前記複数光点が前記第一像面において固定されることを可能にするように反射させ、
ｉｉｉ）観察すべき前記複数光線束を、観察すべき複数点が前記第二像面を走査することを可能にするように反射させる、
回転可能に装着された可動ミラーと、を具備する
ことを特徴とする共焦点用光学走査装置。
【請求項１４】
前記分割するための手段の上で前記区域を走査するための手段は、前記照射点による前記観察物体の走査と同期させられることを特徴とする請求項１３に記載の共焦点用光学走査装置。
【請求項１５】
前記照射光線束を副光線束に分割するための手段の上で前記照射光線束によって照射された区域を走査するための手段は、前記観察物体における照射区域が、前記照射点が前記観察物体を走査する時に固定状態に維持できるよう調整され、前記観察物体における前記照射区域は複数照射点を有することを特徴とする請求項１４に記載の共焦点用光学走査装置。
【請求項１６】
観察物体の観察領域を観察するための共焦点用光学走査装置であって、
照射光線束を複数副照射光線束に分割するための手段と、
前記副照射光線束を前記観察物体における複数照射点に集束させ、前記観察物体における照射点の２次元網を形成するための光学手段と、
前記照射点から戻る複数副光線束を、第一像面における複数光点に集束させるための光学手段と、
前記第一像面に配置されると共に、前記複数光点に到達する光を選択し、観察すべき複数副光線束を得るよう調整された複数微小選択領域を有する空間濾光系と、
前記微小選択領域のサイズを変更するための手段と、
観察すべき前記複数副光線束を、第二像面における観察すべき複数点に集束させるための光学手段と、
ｉ）前記観察物体の方に向けられた前記複数副照射光線束を、前記複数照射点が前記観察物体を走査することを可能にするように反射させ、
ｉｉ）前記複数副光線束を、前記複数光点が前記第一像面において固定されることを可能にするように反射させ、
ｉｉｉ）観察すべき前記複数副光線束を、観察すべき複数点が前記第二像面を走査することを可能にするように反射させる、
回転可能に装着された少なくとも一枚の可動ミラーと、を具備する
ことを特徴とする共焦点用光学走査装置。
【請求項１７】
前記分割するための手段が空間濾光系から成り、前記照射光線束が非干渉性（ノンコヒーレント）光線であり、前記微小選択領域のサイズを変更するための手段が第一空間濾光系を第二空間濾光系と交換する手段であることを特徴とする請求項１６に記載の共焦点用光学走査装置。
【請求項１８】
前記空間濾光系は、複数のピンホールの付いた第一プレートと、吸光部および／または反射部及び透明部を含む第二プレートとから成ると共に、前記第二プレートの吸光部および／または反射部が前記第一プレート上の一部ピンホールを塞ぐことができ、また二枚のプレートの相対移動により開いたままになるピンホールを変更できるように、これら二枚のプレートが重なり合い、相対移動できるように配置されていることを特徴とする請求項１６に記載の共焦点用光学走査装置。
【請求項１９】
観察物体の観察のための共焦点用走査顕微鏡の操作において、
・分割領域上の照射区域に照射光線束を向けるステップと、
・前記分割領域上で照射区域を走査するステップと、
・前記分割領域に到達した照射光線束を複数副照射光線束に分割するステップと、
・前記複数副照射光線束を、回転可能に装着された可動ミラーに反射させるステップと、
・前記副照射光線束を前記観察物体における複数照射点に集束させるステップと、
・前記回転可能に装着された可動ミラーの回転を使って、前記分割領域の上での照射区域の走査移動と同期して、前記観察物体上で前記複数照射点を走査するステップと、
・前記照射点から戻る複数副光線束を、前記回転可能に装着された可動ミラー上で反射させるステップと、
・前記複数副光線束を、第一像面における複数光点に集束させるステップと、
・前記回転可能に装着された可動ミラーの回転を使って、前記複数光点を再走査するステップと、
・光点に到達する光を選択して、観察すべき複数副光線束を得るステップと、
・前記回転可能に装着された可動ミラー上で、観察すべき複数副光線束を反射させるステップと、
・観察すべき前記複数副光線束を、第二像面における観察すべき複数点に集束させるステップと、
・前記回転可能に装着された可動ミラーの回転を使って、前記第二像面上で観察すべき前記複数点を再走査するステップと、
を有することを特徴とする方法。
【請求項２０】
前記照射区域の走査移動は、前記観察物体における照射区域が、前記照射点が前記観察物体を走査する時に固定状態に維持できるよう適合され、前記観察物体における前記照射区域は複数照射点を有することを特徴とする請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
観察物体の観察領域の観察のための共焦点用走査顕微鏡の操作において、
・分割領域上の照射区域に照射光線束を向けるステップと、
・前記分割領域に到達した照射光線束を複数副照射光線束に分割するステップと、
・前記複数副照射光線束を、回転可能に装着された可動ミラーに反射させるステップと、
・前記副照射光線束を前記観察物体における照射点の２次元の周期性のある網に集束させるステップと、
・前記回転可能に装着された可動ミラーの回転を使って、前記周期性のある網の方向ベクトルに平行でない方向に沿って、前記観察物体上で照射点の前記２次元の周期性のある網を走査するステップと、
・前記照射点から戻る複数副光線束を、前記回転可能に装着された可動ミラー上で反射させるステップと、
・前記複数副光線束を、第一像面における複数光点に集束させるステップと、
・前記回転可能に装着された可動ミラーの回転を使って、前記複数光点を再走査するステップと、
・光点に到達する光を選択して、観察すべき複数副光線束を得るステップと、
・前記回転可能に装着された可動ミラー上で、観察すべき複数副光線束を反射させるステップと、
・観察すべき前記複数副光線束を、第二像面における観察すべき複数点に集束させるステップと、
・前記回転可能に装着された可動ミラーの回転を使って、前記第二像面上で観察すべき前記複数点を再走査するステップと、
を有することを特徴とする方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２３】
例えば、空間濾光系が図６の１３０や図２９の１５１９等のピンホール網から成る場合、空間濾光系を互いに摺動する二枚のプレート１７００，１７１０で構成すれば、これらプレートの相対位置によってピンホールの大きさをコントロールできるようになる。一枚目のプレート１７００を図３１に示す。これにはピンホール１７０３乃至１７０７が付いている。二枚目のプレート１７１０は図３２に示されており、ピンホール１７１１が付いている。二枚のプレート１７００、１７１０を重ね、ピンホール１７０６がピンホール１７１１と向き合うようにすると、二枚のプレート全体で出来上がるフィルターは、プレート１７１０だけを使用した場合に形成されるフィルターと同一になる。即ち、プレート１７１０の各々のピンホールはプレート１７００の同口径のピンホールと向き合っている。プレート１７００を図３２に示された矢印の方向に移動させると、ピンホール１７０７をピンホール１７１１と向き合わせにすることができる。ピンホール１７０７の口径がピンホール１７１１のそれよりも小さいため、二枚のプレート１７００，１７１０全体で出来上がるフィルターにおいて、１７１１のピンホールの口径がピンホール１７０７のために小さくなる。この場合、二枚のプレート１７００，１７１０から成るフィルター全体がピンホール網を構成するが、このピンホール網における各ピンホールの口径は、ピンホール１７０７の口径となる。ピンホール１７０３、１７０４、１７０５を次々にピンホール１７１１に向かい合わせると、重ね合わされた二枚のプレート１７００，１７１０で出来上がるピンホール網の各ピンホールを異なった口径とすることができる。これら二枚のプレートは夫々ガラス板に金属層を形成し、次にピンホールを付けるための光学リソグラフィーを行う方法で作成できる。二枚のプレートを重ね合わせる際、二枚のガラス板に形成された金属層を直接接触させるのが望ましい。場合によって光学オイルを使用すれば、これらの相対移動を容易にすることができる。二枚のプレートの相対移動は例えばステップ・バイ・ステップ・モーターを使用する位置決め器によって制御できる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３１】
2004509370.tif 000001