【手続補正書】
【提出日】平成19年6月28日(2007.6.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
前記最終面を全周にわたって取り囲むように配置された供給口から、前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、
前記供給口の外側に配置された回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段と、を備え、
前記供給口には、多孔板または多孔質体が設けられていることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記供給口は、前記最終面を全周にわたって取り囲むように配置された複数の供給口を含むことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
前記最終面を全周にわたって取り囲むように配置された複数の供給口から、前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、
前記複数の供給口の外側に配置された複数の回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段と、を備え、
前記複数の供給口のそれぞれには、多孔板または多孔質体が設けられていることを特徴とする露光装置。
【請求項４】
前記基板の被露光面に対向する対向面を有する対向部材をさらに備え、
前記供給口および前記回収口は、前記対向面に設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記対向部材は、前記投影光学系を支持する鏡筒の一部であることを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
供給口から前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、
前記供給口の外側に配置された回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段と、を備え、
前記回収口には、多孔板または多孔質体が設けられていることを特徴とする露光装置。
【請求項７】
原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
供給口から前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、
前記供給口の外側に配置された回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段と、を備え、
前記供給口および前記回収口のそれぞれには、多孔板または多孔質体が設けられていることを特徴とする露光装置。
【請求項８】
前記多孔板または前記多孔質体は、金属材料および無機材料のいずれかを含むことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか1項に記載の露光装置。
【請求項９】
前記多孔板または前記多孔質体は、ステンレス、ニッケル、アルミナおよび石英ガラスのいずれかを含むことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１つに記載の露光装置。
【請求項１０】
前記多孔質体は、繊維状の金属材料、粒状の金属材料および粉状の金属材料のいずれかを焼結したものを含むことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか1項に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記多孔質体は、繊維状の無機材料、粒状の無機材料および粉状の無機材料のいずれかを焼結したものを含むことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか1項に記載の露光装置。
【請求項１２】
原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
前記基板の被露光面に対向する第１面に設けられた供給口から、前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、
前記第１面に設けられ、前記供給口の外側に配置された回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段と、
前記第１面の外側に配置され、前記基板の被露光面に対向する第２面を有する段差部と、を備え、
前記基板の被露光面に対する前記第２面の距離は、前記基板の被露光面に対する前記第１面の距離より小さいことを特徴とする露光装置。
【請求項１３】
原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
前記基板の被露光面に対向する第１面に設けられた供給口から、前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、
前記供給口の外側に配置され、前記基板の被露光面に対向する第２面に設けられ、前記最終面を全周にわたって取り囲むように配置された回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段と、を備え、
前記基板の被露光面に対する前記第２面の距離は、前記基板の被露光面に対する前記第１面の距離より小さいことを特徴とする露光装置。
【請求項１４】
原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
前記基板の被露光面に対向する第１面に設けられた複数の供給口から、前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、
前記第１面に設けられ、前記複数の供給口の外側に配置された複数の回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段と、
前記第１面の外側に配置され、前記基板の被露光面に対向する第２面を有する段差部と、を備え、
前記基板の被露光面に対する前記第２面の距離は、前記基板の被露光面に対する前記第１面の距離より小さいことを特徴とする露光装置。
【請求項１５】
原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
前記基板の被露光面に対向する第１面に設けられた複数の供給口から、前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、
前記第１面の外側に配置され、前記基板の被露光面に対向する第２面に設けられた複数の回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段と、を備え、
前記基板の被露光面に対する前記第２面の距離は、前記基板の被露光面に対する前記第１面の距離より小さいことを特徴とする露光装置。
【請求項１６】
前記第２面は、前記最終面を取り囲むように配置されていることを特徴とする請求項１２、請求項１４および請求項１５のいずれか1項に記載の露光装置。
【請求項１７】
前記原版を保持して移動する原版ステージと、
前記基板を保持して移動する基板ステージと、をさらに備え、
前記原版および前記基板を前記投影光学系に対してスキャン移動させながら、前記原版のパターンを介して前記基板を露光することを特徴とする請求項１乃至請求項１６のいずれか1項に記載の露光装置。
【請求項１８】
請求項１乃至請求項１７のいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
前記ステップにおいて露光された前記基板を現像するステップと、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置及びデバイス製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の第１の側面は、原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、前記最終面を全周にわたって取り囲むように配置された供給口から、前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、前記供給口の外側に配置された回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段と、を備え、前記供給口には、多孔板または多孔質体が設けられていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の第２の側面は、原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、前記最終面を全周にわたって取り囲むように配置された複数の供給口から、前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、前記複数の供給口の外側に配置された複数の回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段と、を備え、
前記複数の供給口のそれぞれには、多孔板または多孔質体が設けられていることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第３の側面は、原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、供給口から前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、前記供給口の外側に配置された回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段と、を備え、前記回収口には、多孔板または多孔質体が設けられていることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の第４の側面は、原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、供給口から前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、前記供給口の外側に配置された回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段と、を備え、前記供給口および前記回収口のそれぞれには、多孔板または多孔質体が設けられていることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の第５の側面は、原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、前記基板の被露光面に対向する第１面に設けられた供給口から、前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、前記第１面に設けられ、前記供給口の外側に配置された回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段と、前記第１面の外側に配置され、前記基板の被露光面に対向する第２面を有する段差部と、を備え、前記基板の被露光面に対する前記第２面の距離は、前記基板の被露光面に対する前記第１面の距離より小さいことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の第６の側面は、原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、前記基板の被露光面に対向する第１面に設けられた供給口から、前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、前記供給口の外側に配置され、前記基板の被露光面に対向する第２面に設けられ、前記最終面を全周にわたって取り囲むように配置された回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段と、を備え、前記基板の被露光面に対する前記第２面の距離は、前記基板の被露光面に対する前記第１面の距離より小さいことを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の第７の側面は、原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、前記基板の被露光面に対向する第１面に設けられた複数の供給口から、前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、前記第１面に設けられ、前記複数の供給口の外側に配置された複数の回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段と、前記第１面の外側に配置され、前記基板の被露光面に対向する第２面を有する段差部と、を備え、前記基板の被露光面に対する前記第２面の距離は、前記基板の被露光面に対する前記第１面の距離より小さいことを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の第８の側面は、原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、前記基板の被露光面に対向する第１面に設けられた複数の供給口から、前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、前記第１面の外側に配置され、前記基板の被露光面に対向する第２面に設けられた複数の回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段と、を備え、前記基板の被露光面に対する前記第２面の距離は、前記基板の被露光面に対する前記第１面の距離より小さいことを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】削除
【補正の内容】