【手続補正書】
【提出日】平成19年3月30日(2007.3.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
露光光学系により光ビームを被露光体に対して相対的に走査し、該被露光体上に機能パターンを直接露光する露光装置であって、
前記被露光体に対して前記露光光学系と同じ側に配設され、前記被露光体の搬送方向にて前記光ビームの走査位置の手前側を撮像位置として、前記被露光体に予め形成された露光位置の基準となる機能パターンを撮像する撮像手段と、
前記被露光体に対して上下方向の少なくとも一方に配設され、前記基準となる機能パターンを照明して前記撮像手段による撮像を可能にする照明手段と、
前記撮像手段で撮像された前記基準となる機能パターンに予め設定された基準位置を検出し、該基準位置を基準にして前記光ビームの照射開始又は照射停止の制御を行う光学系制御手段と、
を備えたことを特徴とする露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
露光光学系により光ビームを透明な被露光体に対して相対的に走査し、該被露光体上に機能パターンを直接露光する露光装置であって、
前記被露光体に対して前記露光光学系と反対側に配設され、前記被露光体の搬送方向にて前記光ビームの走査位置の手前側を撮像位置として、前記被露光体に予め形成された露光位置の基準となる機能パターンを撮像する撮像手段と、
前記被露光体に対して上下方向の少なくとも一方に配設され、前記基準となる機能パターンを照明して前記撮像手段による撮像を可能にする照明手段と、
前記撮像手段で撮像された前記基準となる機能パターンに予め設定された基準位置を検出し、該基準位置を基準にして前記光ビームの照射開始又は照射停止の制御を行う光学系制御手段と、
を備えたことを特徴とする露光装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、第１の発明は、露光光学系により光ビームを被露光体に対して相対的に走査し、該被露光体上に機能パターンを直接露光する露光装置であって、前記被露光体に対して前記露光光学系と同じ側に配設され、前記被露光体の搬送方向にて前記光ビームの走査位置の手前側を撮像位置として、前記被露光体に予め形成された露光位置の基準となる機能パターンを撮像する撮像手段と、前記被露光体に対して上下方向の少なくとも一方に配設され、前記基準となる機能パターンを照明して前記撮像手段による撮像を可能にする照明手段と、前記撮像手段で撮像された前記基準となる機能パターンに予め設定された基準位置を検出し、該基準位置を基準にして前記光ビームの照射開始又は照射停止の制御を行う光学系制御手段とを備えたものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
このような構成により、被露光体に対して上下方向の少なくとも一方に配設された照明手段で被露光体に予め形成された露光位置の基準となる機能パターンを照明し、被露光体に対して露光光学系と同じ側に配設され、被露光体の搬送方向にて光ビームの走査位置の手前側を撮像位置とする撮像手段で上記基準となる機能パターンを撮像し、光学系制御手段により撮像手段で撮像された上記基準となる機能パターンに予め設定された基準位置を検出し、該基準位置を基準にして往復走査する光ビームの照射開始又は照射停止を制御する。これにより、被露光体に予め形成された基準となる機能パターンに対する所定の機能パターンの重ね合せ精度を向上する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、前記照明手段は、前記被露光体に対して前記撮像手段と同じ側に配設したものである。これにより、撮像手段と同じ側から照明手段で被露光体に予め形成された基準となる機能パターンを照明し、撮像手段により反射照明で上記基準となる機能パターンを撮像する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
さらに、前記被露光体は透明な基板であり、前記照明手段は前記被露光体に対して前記撮像手段と反対側に配設したものである。これにより、撮像手段と反対側から照明手段で透明な被露光体に予め形成された基準となる機能パターンを照明し、撮像手段により透過照明で上記基準となる機能パターンを撮像する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、第２の発明は、露光光学系により光ビームを透明な被露光体に対して相対的に走査し、該被露光体上に機能パターンを直接露光する露光装置であって、前記被露光体に対して前記露光光学系と反対側に配設され、前記被露光体の搬送方向にて前記光ビームの走査位置の手前側を撮像位置として、前記被露光体に予め形成された露光位置の基準となる機能パターンを撮像する撮像手段と、前記被露光体に対して上下方向の少なくとも一方に配設され、前記基準となる機能パターンを照明して前記撮像手段による撮像を可能にする照明手段と、前記撮像手段で撮像された前記基準となる機能パターンに予め設定された基準位置を検出し、該基準位置を基準にして前記光ビームの照射開始又は照射停止の制御を行う光学系制御手段とを備えたものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
このような構成により、透明な被露光体に対して上下方向の少なくとも一方に配設された照明手段で被露光体に予め形成された露光位置の基準となる機能パターンを照明し、被露光体に対して露光光学系と反対側に配設され、被露光体の搬送方向にて光ビームの走査位置の手前側を撮像位置とする撮像手段で透明な露光基板を下から透過して上記基準となる機能パターンを撮像し、光学系制御手段により撮像手段で撮像された上記基準となる機能パターンに予め設定された基準位置を検出し、該基準位置を基準にして往復走査する光ビームの照射開始又は照射停止を制御する。これにより、被露光体に予め形成された基準となる機能パターンに対する所定の機能パターンの重ね合せ精度を向上する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
上記搬送手段４の上方にて矢印Ａで示す搬送方向の上記レーザビームの走査位置手前側には、撮像手段５が設けられている。この撮像手段５は、ガラス基板８に予め形成された露光位置の基準となる機能パターンとしてのブラックマトリクスのピクセルを撮像するものであり、受光素子が一列状に配列された例えばラインＣＣＤである。ここで、図３に示すように、上記撮像手段５の撮像位置Ｅと上記レーザビームの走査位置Ｆとの距離Ｄは、ブラックマトリクス２１のピクセル２２の搬送方向配列ピッチＰの整数倍（ｎ倍）となるように設定される。これにより、ガラス基板８が搬送されて上記ピクセル２２の中心とレーザビームの走査位置とが一致したときにレーザビームが走査を開始するように走査タイミングを合わせることができる。また、上記距離Ｄは、小さい程よい。これにより、ガラス基板８の移動誤差を少なくすることができ、レーザビームの走査位置を上記ピクセル２２に対してより正確に位置決めすることができる。なお、図１には、撮像手段５を三台設置した例を示しているが、レーザビームの走査範囲が一台の撮像手段５の画像処理領域より狭いときには、撮像手段５は一台でよく、上記走査範囲が一台の撮像手段５の画像処理領域より広いときには、それに応じて複数台の撮像手段５を設置するとよい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
ステップＳ３では、ガラス基板８の移動方向における露光位置が検出される。ここで、図３に示すように、レーザビームの走査位置Ｆと撮像手段５の撮像位置Ｅ間の距離Ｄは、上記ピクセル２２の移動方向への配列ピッチＰの整数倍（ｎ倍）に設定されているため、レーザビームの走査周期をカウントすることによって上記露光位置を割り出すことができる。例えば、図１２に示すように、レーザビームの走査位置と撮像手段５の撮像位置との間の距離Ｄがピクセル２２の配列ピッチＰの例えば３倍に設定されている場合に、ステップＳ２においてピクセル２２の端部に第１及び第２の基準位置を検出した後（同図（ａ）参照）、ガラス基板８が移動してピクセル列中心線が撮像手段５の撮像位置に達したとき（同図（ｂ）参照）、レーザビームの走査開始タイミングと一致する。ここで、レーザビームが周期Ｔで走査している場合、ガラス基板８の搬送速度は、レーザビームの周期Ｔに同期してピクセル２２の１ピッチ分だけ移動するように制御される。したがって、次の１Ｔ間にピクセル２２は同図（ｃ）に示す位置に移動する。さらに、２Ｔ後には、ピクセル２２は同図（ｄ）に示す位置まで移動する。そして、３Ｔ後には、同図（ｅ）に示すように、ピクセル２２の列中心線がレーザビームの走査位置に達することになる。こうして、露光位置が検出される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
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【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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