【手続補正書】
【提出日】平成19年3月8日(2007.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板にＸ線を照射するＸ線照射手段と、
前記基板を透過したＸ線を検出するＸ線検出手段と、
前記Ｘ線照射手段と前記Ｘ線検出手段との間において前記基板を揺動させる揺動手段と、
前記揺動手段を所定角度内で揺動駆動させる制御手段と、
前記Ｘ線検出手段の検出結果に基づいて前記基板の検査を行う検査手段と、
を具備することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
揺動手段が基板を取付ける取付面を有し、直交する２軸を中心にそれぞれ位相の異なる所定回転角度内で前記取付面を揺動させることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
基板にＸ線を照射するＸ線照射手段と、
前記基板を透過したＸ線を検出するＸ線検出手段と、
前記Ｘ線照射手段と前記Ｘ線検出手段との間において前記基板を揺動させる揺動手段と、
前記Ｘ線検出手段の駆動と前記揺動手段の駆動とを同期させるＸ線検出用揺動手段と、
前記揺動手段の直交２軸をそれぞれ位相の異なる所定角度内で揺動させる制御手段と、
前記Ｘ線検出手段の検出結果に基づいて前記基板の検査を行う検査手段と、を具備することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項４】
Ｘ線検出手段のＸ線画像データから基板の任意の断層面データを表示する表示手段を更に具備することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
制御手段が、予め保存された基板の内部情報データとＸ線画像データを比較して基板の内部状態を検査する検査機能を更に備えたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
Ｘ線焦点を頂点とする円錐状にＸ線を照射するＸ線照射手段と、
Ｘ線の照射範囲内で基板をＸ線照射軸の直交方向に移動させる基板用移動手段と、
前記基板を透過したＸ線を検出する検出面を有するＸ線検出手段と、
前記Ｘ線検出手段を前記Ｘ線照射軸の直交方向に移動させるＸ線検出用移動手段と、
前記基板用移動手段と前記Ｘ線検出用移動手段とを同期駆動制御するモータ制御手段と、
前記Ｘ線検出手段により形成されたＸ線画像から前記基板の任意断層面のＸ線画像を抽出する画像処理手段と、
前記Ｘ線画像に基づいて前記基板の任意断層面を検査する検査手段と、を具備し、
前記基板用移動手段は、前記Ｘ線検出用移動手段と同期して前記検出面の中心点を前記Ｘ線焦点と前記基板の中心点とを結ぶ直線上に配置させる構成であることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項７】
Ｘ線焦点を頂点とする円錐状にＸ線を照射するＸ線照射手段と、
Ｘ線の照射範囲内で基板をＸ線照射軸の直交方向に移動させる基板用移動手段と、
前記基板を透過したＸ線を検出する検出面を有するＸ線検出手段と、
前記Ｘ線検出手段を前記Ｘ線照射軸の直交方向に移動させるＸ線検出用移動手段と、
前記基板用移動手段と前記Ｘ線検出用移動手段とを同期駆動制御する制御手段と、
前記Ｘ線検出手段により形成されたＸ線画像から前記基板の任意断層面のＸ線画像を抽出する画像処理手段と、
前記Ｘ線画像に基づいて前記基板の任意断層面の検査を行う検査手段と、を具備し、
前記Ｘ線検出手段は、前記基板用移動手段と前記Ｘ線検出用移動手段とのそれぞれでの水平面での同期回転動作における１回転の期間にＸ線撮影を行う構成であることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項８】
Ｘ線焦点を頂点とする円錐状にＸ線を照射するＸ線照射手段と、
Ｘ線の照射範囲内で基板をＸ線照射軸の直交方向に移動させる基板用移動手段と、
前記基板を透過したＸ線を検出する検出面を有するＸ線検出手段と、
前記Ｘ線検出手段を前記Ｘ線照射軸の直交方向に移動させるＸ線検出用移動手段と、
前記基板用移動手段と前記Ｘ線検出用移動手段とを同期駆動制御する制御手段と、
前記Ｘ線検出手段により形成されたＸ線画像から前記基板の任意断層面のＸ線画像を抽出する画像処理手段と、
前記Ｘ線画像から前記基板の任意断層面を検査する検査手段と、を具備し、
前記Ｘ線検出手段は、前記基板用移動手段と前記Ｘ線検出用移動手段との同期回転動作中の回転停止時にＸ線撮影を行う構成であることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項９】
Ｘ線検出用移動手段は、Ｘ線検出手段をＸ線照射軸と平行方向に移動させるＸ線検出用Ｚ軸駆動機能を更に具備することを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載のＸ線検査装置。
【請求項１０】
Ｘ線検出用Ｚ駆動機構は、Ｘ線検出用移動機構と同期して基板の検査対象箇所の中心点とＸ線焦点とを結ぶ直線上にＸ線検出手段の中心点が配置される構成であることを特徴とする請求項９に記載のＸ線検査装置。
【請求項１１】
基板にＸ線を照射する照射工程と、
前記基板を透過したＸ線を検出する検出工程と、
検出した前記Ｘ線のＸ線画像データから前記基板の任意断層面のデータを抽出する抽出工程と、
前記基板を揺動させる揺動工程と、
前記抽出工程の抽出結果に基づいて前記基板を検査する検査工程と、を有することを特徴とするＸ線検査方法。
【請求項１２】
揺動工程が、基板をそれぞれ位相の異なる直交２軸で揺動させる工程であることを特徴とする請求項１１記載のＸ線検査方法。
【請求項１３】
Ｘ線焦点を頂点とする円錐状にＸ線を照射する照射工程と、
基板を透過した前記Ｘ線をＸ線検出手段の検出面で検出する検出工程と、
検出された前記Ｘ線により形成されたＸ線画像から前記基板の任意断層面のＸ線画像を抽出する抽出工程と、
前記基板をＸ線の照射範囲内でＸ線照射軸と垂直方向に移動させる移動工程と、
前記移動工程の移動に同期して前記基板と同一平面上においてＸ線画像中心に目標点を配置する第１配置工程と、
前記Ｘ線焦点と前記基板の検査箇所の中心点とを結ぶ直線上に前記検出面の中心点を配置する第２配置工程と、
前記抽出工程の抽出結果に基づいて前記基板の検査を行う検査工程と、を有することを特徴とするＸ線検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明のＸ線検査装置は、上記目的を達成するために、
基板にＸ線を照射するＸ線照射手段と、
前記基板を透過したＸ線を検出するＸ線検出手段と、
前記Ｘ線照射手段と前記Ｘ線検出手段との間において前記基板を揺動させる揺動手段と、
前記揺動手段を所定角度内で揺動駆動させる制御手段と、
前記Ｘ線検出手段の検出結果に基づいて前記基板の検査を行う検査手段と、
を具備する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
このように構成された本発明においては、検査対象物である基板における部品間隔が狭くなり、実装が高密度になっても、所望の断層における情報を正確に取得することが可能となる。また、本発明においては、小型で安価な構成により検査対象物である基板を任意の傾き方向、任意の傾き角度の状態で高精度なＸ線画像を取得することが可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の他の観点のＸ線検査装置は、基板にＸ線を照射するＸ線照射手段と、
前記基板を透過したＸ線を検出するＸ線検出手段と、
前記Ｘ線照射手段と前記Ｘ線検出手段との間において前記基板を揺動させる揺動手段と、
前記Ｘ線検出手段の駆動と前記揺動手段の駆動とを同期させるＸ線検出用揺動手段と、
前記揺動手段の直交２軸をそれぞれ位相の異なる所定角度内で揺動させる制御手段と、
前記Ｘ線検出手段の検出結果に基づいて前記基板の検査を行う検査手段と、を具備する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
このように構成された本発明においては、小型で安価な構成により、検査対象物である基板を任意の傾き方向、任意の傾き角度の状態で高精度なＸ線画像を取得することが可能となり、制御手段での複数の傾き画像から断層画像を演算により求めることによってボケや虚像の少ない断層画像を取得することができる。また、実装密度の高いプリント回路基板や薄い基板での断層情報を確実に取得することができるため、高分解能で鮮明な断層画像を用いた検査が可能となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の他の観点のＸ線検査装置は、Ｘ線焦点を頂点とする円錐状にＸ線を照射するＸ線照射手段と、
Ｘ線の照射範囲内で基板をＸ線照射軸の直交方向に移動させる基板用移動手段と、
前記基板を透過したＸ線を検出する検出面を有するＸ線検出手段と、
前記Ｘ線検出手段を前記Ｘ線照射軸の直交方向に移動させるＸ線検出用移動手段と、
前記基板用移動手段と前記Ｘ線検出用移動手段とを同期駆動制御するモータ制御手段と、
前記Ｘ線検出手段により形成されたＸ線画像から前記基板の任意断層面のＸ線画像を抽出する画像処理手段と、
前記Ｘ線画像に基づいて前記基板の任意断層面を検査する検査手段と、を具備し、
前記基板用移動手段は、前記Ｘ線検出用移動手段と同期して前記検出面の中心点を前記Ｘ線焦点と前記基板の中心点とを結ぶ直線上に配置させる構成である。
また、本発明の他の観点のＸ線検査装置は、Ｘ線焦点を頂点とする円錐状にＸ線を照射するＸ線照射手段と、
Ｘ線の照射範囲内で基板をＸ線照射軸の直交方向に移動させる基板用移動手段と、
前記基板を透過したＸ線を検出する検出面を有するＸ線検出手段と、
前記Ｘ線検出手段を前記Ｘ線照射軸の直交方向に移動させるＸ線検出用移動手段と、
前記基板用移動手段と前記Ｘ線検出用移動手段とを同期駆動制御する制御手段と、
前記Ｘ線検出手段により形成されたＸ線画像から前記基板の任意断層面のＸ線画像を抽出する画像処理手段と、
前記Ｘ線画像に基づいて前記基板の任意断層面の検査を行う検査手段と、を具備し、
前記Ｘ線検出手段は、前記基板用移動手段と前記Ｘ線検出用移動手段とのそれぞれでの水平面での同期回転動作における１回転の期間にＸ線撮影を行う構成である。
さらに、本発明の他の観点のＸ線検査装置は、Ｘ線焦点を頂点とする円錐状にＸ線を照射するＸ線照射手段と、
Ｘ線の照射範囲内で基板をＸ線照射軸の直交方向に移動させる基板用移動手段と、
前記基板を透過したＸ線を検出する検出面を有するＸ線検出手段と、
前記Ｘ線検出手段を前記Ｘ線照射軸の直交方向に移動させるＸ線検出用移動手段と、
前記基板用移動手段と前記Ｘ線検出用移動手段とを同期駆動制御する制御手段と、
前記Ｘ線検出手段により形成されたＸ線画像から前記基板の任意断層面のＸ線画像を抽出する画像処理手段と、
前記Ｘ線画像から前記基板の任意断層面を検査する検査手段と、を具備し、
前記Ｘ線検出手段は、前記基板用移動手段と前記Ｘ線検出用移動手段との同期回転動作中の回転停止時にＸ線撮影を行う構成である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
このように構成された本発明においては、検査箇所がモニタ画面の中心から移動することなく撮影方向及び撮影倍率を変更して観察することができ、さらに検査箇所の断層面のＸ線画像から、検査対象である基板、例えばプリント回路基板の接合部のオープン不良を含む様々な接合不良の検査を行うことができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明のＸ線検査方法は、基板にＸ線を照射する照射工程と、
前記基板を透過したＸ線を検出する検出工程と、
検出した前記Ｘ線のＸ線画像データから前記基板の任意断層面のデータを抽出する抽出工程と、
前記基板を揺動させる揺動工程と、
前記抽出工程の抽出結果に基づいて前記基板を検査する検査工程と、を有する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
このような工程を有する本発明のＸ線検出方法においては、検査対象物である基板における部品間隔が狭くなり、実装が高密度になっても、所望の断層における情報を正確に取得することが可能となる。また、本発明においては、検査対象物である基板を任意の傾き方向、任意の傾き角度の状態で高精度なＸ線画像を取得することが可能となる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明の他の観点のＸ線検査方法は、Ｘ線焦点を頂点とする円錐状にＸ線を照射する照射工程と、
基板を透過した前記Ｘ線をＸ線検出手段の検出面で検出する検出工程と、
検出された前記Ｘ線により形成されたＸ線画像から前記基板の任意断層面のＸ線画像を抽出する抽出工程と、
前記基板をＸ線の照射範囲内でＸ線照射軸と垂直方向に移動させる移動工程と、
前記移動工程の移動に同期して前記基板と同一平面上においてＸ線画像中心に目標点を配置する第１配置工程と、
前記Ｘ線焦点と前記基板の検査箇所の中心点とを結ぶ直線上に前記検出面の中心点を配置する第２配置工程と、
前記抽出工程の抽出結果に基づいて前記基板の検査を行う検査工程と、を有する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
このような工程を有する本発明のＸ線検出方法においては、検査箇所がモニタ画面の中心から移動することなく撮影方向及び撮影倍率を変更して観察することができ、さらに検査箇所の断層面のＸ線画像から、検査対象物である基板、例えばプリント回路基板の接合部のオープン不良を含む様々な接合不良の検査を行うことができる。