【手続補正書】
【提出日】平成19年5月17日(2007.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、
前記各層に対応するコイルの発熱量に応じて、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させたことを特徴とするステージ装置。
【請求項２】
前記各層のコイルのうち、発熱量の大きなコイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を、当該コイルよりも発熱量の小さなコイルの前記導体面積に対して大きくしたことを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項３】
複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、
前記各層のコイルと前記磁石との磁気ギャップに応じて、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させたことを特徴とするステージ装置。
【請求項４】
前記各層のコイルのうち、磁気ギャップの大きいコイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を、当該コイルよりも磁気ギャップの小さなコイルの前記導体面積に対して大きくしたことを特徴とする請求項３に記載のステージ装置。
【請求項５】
前記コイルのコイル厚を変えることで、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変えたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項６】
前記コイルを厚さ方向に分割することで、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変えたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項７】
複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、
前記各層のコイルの発熱量に応じて、当該コイルの表面積を変化させることを特徴とするステージ装置。
【請求項８】
前記各層のコイルのうち、発熱量の大きなコイルの表面積を、当該コイルよりも発熱量の小さいコイルの前記表面積に対して大きくしたことを特徴とする請求項７に記載のステージ装置。
【請求項９】
前記コイルを厚さ方向に分割することで、前記コイルの表面積を変化させることを特徴とする請求項７又は８に記載のステージ装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１項に記載のステージ装置を備え、
前記ステージ装置によって、原版と基板とを相対的に走査して当該原版上のパターンを基板上に露光する露光装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の露光装置を用いて半導体デバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１２】
複数の磁石を有する可動子と、前記磁石に対して間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させる平面モータにおいて、
前記各層に対応するコイルの発熱量に応じて、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させたことを特徴とする平面モータ。
【請求項１３】
複数の磁石を有する可動子と、前記磁石に対して間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させる平面モータにおいて、
前記各層のコイルと前記磁石との磁気ギャップに応じて、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させたことを特徴とする平面モータ。
【請求項１４】
複数の磁石を有する可動子と、前記磁石に対して間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させる平面モータにおいて、
前記各層のコイルの発熱量に応じて、当該コイルの表面積を変化させることを特徴とする平面モータ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上述の課題を解決し、目的を達成するために、本発明のステージ装置は、複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、前記各層に対応するコイルの発熱量に応じて、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させた。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記構成において、前記各層のコイルのうち、発熱量の大きなコイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を、当該コイルよりも発熱量の小さなコイルの前記導体面積に対して大きくしている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明のステージ装置は、複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、前記各層のコイルと前記磁石との磁気ギャップに応じて、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させた。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上記構成において、前記各層のコイルのうち、磁気ギャップの大きいコイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を、当該コイルよりも磁気ギャップの小さなコイルの前記導体面積に対して大きくしている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、上記いずれかの構成において、前記コイルのコイル厚を変えることで、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変えている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、上記いずれかの構成において、前記コイルを厚さ方向に分割することで、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変えている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
更に、本発明のステージ装置は、複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、前記各層のコイルの発熱量に応じて、当該コイルの表面積を変化させる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
上記構成において、前記各層のコイルのうち、発熱量の大きなコイルの表面積を、当該コイルよりも発熱量の小さいコイルの前記表面積に対して大きくしている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、上記構成において、前記コイルを厚さ方向に分割することで、前記コイルの表面積を変化させている。