【手続補正書】
【提出日】令和1年7月19日(2019.7.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１６】
本開示の実施態様の上述の説明は例示目的で提示されており;これは、包括的であることも、特許請求の範囲を開示された正確な形態に限定することも意図されない。関連分野の当業者は、ルーチンの実験のみを用いて、数多くの等価物、修飾物、及び変形物が上記の開示に照らして可能であることを理解することができる。
本件出願は、以下の構成の発明を提供する。
（構成１）
グリーンテープを焼結する方法であって:
(a)少なくとも1つの源粉末を提供すること;
(b)該少なくとも1つの源粉末を修飾して、修飾された源粉末を調製すること;
(c)該修飾された源粉末のスラリーを提供すること;
(d)該スラリーを流延して、グリーンテープを形成させること;
(e)該グリーンテープを乾燥させること;及び
(f)該グリーンテープを焼結すること
を含む、前記方法。
（構成２）
前記グリーンテープ中の源粉末の量が、少なくとも50重量％、55重量％、60重量％、65重量％、70重量％、75重量％、80重量％、85重量％、又は90％重量である、構成1記載の方法。
（構成３）
前記グリーンテープ中の源粉末の量が少なくとも60重量％又は少なくとも70重量％である、構成2記載の方法。
（構成４）
前記少なくとも1つの源粉末が、リチウム充填ガーネット、リチウム充填ガーネットの化学前駆物質、及び酸化アルミニウムドーパントを含むリチウム充填ガーネットからなる群から選択される、構成1〜3のいずれか一項記載の方法。
（構成５）
前記少なくとも1つの源粉末がリチウム充填ガーネットの粉末である、構成1〜4のいずれか一項記載の方法。
（構成６）
前記少なくとも1つの源粉末がLi7.1Zr2La3O12＋0.5Al2O3である、構成1〜5のいずれか一項記載の方法。
（構成７）
前記少なくとも1つの源粉末がリチウム充填ガーネットである、構成1〜5のいずれか一項記載の方法。
（構成８）
前記少なくとも1つの源粉末を修飾することが、該少なくとも1つの源粉末が粒径分布を有するように修飾することを含む、構成1〜5のいずれか一項記載の方法。
（構成９）
前記粒径分布が、100nm、200nm、300nm、400nm、1μm、2μm、3μm、又は4μmを中心とする、構成8記載の方法。
（構成１０）
前記粒径分布が0.1〜1μmを中心とする、構成8記載の方法。
（構成１１）
前記少なくとも1つの源粉末を修飾することが、該少なくとも1つの源粉末を粉砕することを含む、構成1〜10のいずれか一項記載の方法。
（構成１２）
前記少なくとも1つの源粉末を修飾することが、該少なくとも1つの源粉末の表面積を増大させることを含む、構成1〜11のいずれか一項記載の方法。
（構成１３）
前記粉砕が、乾燥粉砕、摩擦粉砕、超音波処理粉砕、高エネルギー粉砕、湿式粉砕、ジェット粉砕、及び低温粉砕からなる群から選択される、構成11記載の方法。
（構成１４）
前記粉砕が、イソプロパノール又はブタノールから選択される溶媒を使用することを含む、構成11記載の方法。
（構成１５）
前記粉砕が、メチル-エチルケトン(MEK)又はトルエンから選択される溶媒を使用することを含む、構成11記載の方法。
（構成１６）
前記粉砕が、メチル-エチルケトン(MEK)を含む溶媒を使用することを含む、構成11記載の方法。
（構成１７）
前記溶媒がイソプロパノール(IPA)をさらに含む、構成16記載の方法。
（構成１８）
前記溶媒がシクロヘキサノンをさらに含む、構成17記載の方法。
（構成１９）
MEK:IPAの比が、8:2、7:3、6:4、5:5、4:6、3:7、又は2:8 w/wである、構成15〜18のいずれか一項記載の方法。
（構成２０）
シクロヘキサノンの量が約10〜25重量％である、構成17〜18のいずれか一項記載の方法。
（構成２１）
前記溶媒が共沸混合物である、構成15〜20のいずれか一項記載の方法。
（構成２２）
前記少なくとも1つの源粉末の表面積が、該少なくとも1つの源粉末を修飾している間に、少なくとも3m2/gに増大する、構成11〜20のいずれか一項記載の方法。
（構成２３）
前記少なくとも1つの源粉末の表面積が、該少なくとも1つの源粉末を修飾している間に、少なくとも5m2/gに増大する、構成22記載の方法。
（構成２４）
前記少なくとも1つの源粉末の表面積が、該少なくとも1つの源粉末を修飾している間に、少なくとも8m2/gかつ15m2/g未満に増大する、構成22記載の方法。
（構成２５）
前記少なくとも1つの源粉末を修飾することが、該少なくとも1つの源粉末の粒子の平均粒径を減少させることを含む、構成1〜24のいずれか一項記載の方法。
（構成２６）
前記粉砕が、湿式粉砕又は高エネルギー粉砕である、構成13記載の方法。
（構成２７）
前記粉砕が、非プロトン性溶媒、有機溶媒、リチウム充填ガーネット中でLiをプロトン交換しない溶媒、及びこれらの組合せからなる群から選択される溶媒を使用することを含む、構成13記載の方法。
（構成２８）
前記粉砕が、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、イソブタノール、t-ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、シクロヘキサノン、酢酸メチル、酢酸エチル、メチル-エチルケトン(MEK)、アセトン、トルエン、ヘキサン、酢酸、及びこれらの組合せからなる群から選択される溶媒を使用することを含む、構成13記載の方法。
（構成２９）
前記修飾された源粉末が、100nm〜200nm、200nm〜300nm、300nm〜400nm、400nm〜500nm、500nm〜600nm、600nm〜700nm、700nm〜800nm、800nm〜900nm、900nm〜1000nm、1000nm〜1100nm、2000nm〜2200nm、3000nm〜3300nm、又は4000nm〜4400nmのd50粒径を有する粒径分布を有する、構成1〜28のいずれか一項記載の方法。
（構成３０）
前記修飾された源粉末が、100nm〜200nm、200nm〜300nm、300nm〜400nm、400nm〜500nm、500nm〜600nm、600nm〜700nm、700nm〜800nm、800nm〜900nm、又は900nm〜1000nmのd50粒径を有する粒径分布を有する、構成1〜28のいずれか一項記載の方法。
（構成３１）
前記d50が、100nm〜200nm、200nm〜300nm、又は300nm〜400nmである、構成30記載の方法。
（構成３２）
前記焼結することの前に、前記グリーンテープの応力を緩和することをさらに含む、構成1〜31のいずれか一項記載の方法。
（構成３３）
複数のグリーンテープを一緒に積層することをさらに含む、構成1〜32のいずれか一項記載の方法。
（構成３４）
1つのグリーンテープを第二のグリーンテープの上に積層することをさらに含む、構成1〜32のいずれか一項記載の方法。
（構成３５）
工程(d)の前に、前記修飾された源粉末のスラリーと、ポリプロピレン(PP)、アタクチックポリプロピレン(aPP)、イソタクチックポリプロピレン(iPP)、ポリビニルブチラール(PVB)、アクリル、ポリエチルメタクリレート(PMMA)、ポリエチルメタクリレート(PEMA)、ポリビニルピロリドン(PVP)、アタクチックポリプロピレン(aPP)、イソタクティブポリプロピレンエチレンプロピレンゴム(EPR)、エチレンペンテンコポリマー(EPC)、ポリイソブチレン(PIB)、スチレンブタジエンゴム(SBR)、ポリオレフィン、ポリエチレン-コポリ-1-オクテン(PE-コ-PO); PE-コ-ポリ(メチレンシクロペンタン)(PE-コ-PMCP);ステレオブロックポリプロピレン、ポリプロピレンポリメチルペンテンコポリマー、ポリプロピレンカーボネート、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、シリコーン、及びこれらの組合せからなる群から選択されるバインダーを混合することをさらに含む、構成1〜32のいずれか一項記載の方法。
（構成３６）
前記スラリーが、ポリプロピレン(PP)、アタクチックポリプロピレン(aPP)、イソタクチックポリプロピレン(iPP)、ポリビニルブチラール(PVB)、アクリル、ポリエチルメタクリレート(PMMA)、ポリエチルメタクリレート(PEMA)、ポリビニルピロリドン(PVP)、アタクチックポリプロピレン(aPP)、イソタクティブポリプロピレンエチレンプロピレンゴム(EPR)、エチレンペンテンコポリマー(EPC)、ポリイソブチレン(PIB)、スチレンブタジエンゴム(SBR)、ポリオレフィン、ポリエチレン-コポリ-1-オクテン(PE-コ-PO); PE-コ-ポリ(メチレンシクロペンタン)(PE-コ-PMCP);ステレオブロックポリプロピレン、ポリプロピレンポリメチルペンテンコポリマー、ポリプロピレンカーボネート、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、シリコーン、及びこれらの組合せからなる群から選択されるバインダーを含む、構成1〜35のいずれか一項記載の方法。
（構成３７）
前記少なくとも1つの源粉末が、式LixLayZrzOt・qAl2O3(式中、4＜x＜10、1＜y＜4、1＜z＜3、6＜t＜14、0≦q≦1である)によって特徴付けられるLi充填ガーネット化合物である、構成1〜36のいずれか一項記載の方法。
（構成３８）
前記少なくとも1つの源粉末が、式Li7-xLa3Zr2O12・qAl2O3(式中、qは、0、0.3、0.35、0.5、0.75、又は1.0であり、かつ0≦x≦1である)によって特徴付けられるLi充填ガーネット化合物である、構成1〜37のいずれか一項記載の方法。
（構成３９）
前記少なくとも1つの源粉末を修飾することが、該少なくとも1つの源粉末を粉砕し、ニトリル、ニトリルブタジエンゴム、カルボキシメチルセルロース(CMC)、スチレンブタジエンゴム(SBR)、PVDF-HFP、PAN、水性適合性ポリマー、アタクチックポリプロピレン(aPP)、シリコーン、ポリイソブチレン(PIB)、エチレンプロピレンゴム(EPR)、PMX-200 PDMS(ポリジメチルシロキサン/ポリシロキサン、すなわち、PDMS、又はシリコーン)、ポリアクリロニトリル(PAN)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリ塩化ビニル(PVC)、ポリビニルブチラール(PVB)、ポリフッ化(ビニリデン)-ヘキサフルオロプロピレンPVDF-HFP、及びこれらの組合せからなる群から選択される分散剤又はポリマーを組み込むことを含む、構成1〜38のいずれか一項記載の方法。
（構成４０）
前記スラリーを提供することが、以下のもの:
メタノール、MEK、エタノール、プロパノール、イソプロパノール(IPA)、アセトン、シクロヘキサノール、トルエン、酢酸、ベンゼン、及びこれらの組合せからなる群から選択される溶媒;
魚油、PVB、KD1、アクリル酸、triton、リン酸エステル、その誘導体、及びこれらの組合せからなる群から選択されるバインダー;
ベンジルブチルフタレート又はジ-ブチルフタレートからなる群から選択される可塑剤;
pH修飾剤;
選択される焼結助剤;並びに
リチウム充填ガーネットから選択される源粉末
のうちの少なくとも2つ以上を混合することにより、該スラリーを配合することを含む、構成1〜39のいずれか一項記載の方法。
（構成４１）
前記ベンジルブチルフタレートがベンジルブチルフタレート9S-160(商標)である、構成40記載の方法。
（構成４２）
前記修飾することが、前記少なくとも1つの源粉末を粒径に基づいて分級することを含む、構成1〜41のいずれか一項記載の方法。
（構成４３）
分級することが、篩別、遠心分離、及び異なるサイズの粒子を分離することからなる群から選択される技法である、構成42記載の方法。
（構成４４）
分級することが、篩別、遠心分離、及び異なる質量の粒子を分離することからなる群から選択される技法である、構成42記載の方法。
（構成４５）
前記スラリーが1％〜99wt％の固体負荷を有し、ここで、該固体負荷が源粉末の量を指す、構成1〜42のいずれか一項記載の方法。
（構成４６）
前記スラリーが、乾燥したとき、約80％w/wの源粉末を有する、構成1〜42のいずれか一項記載の方法。
（構成４７）
前記スラリーが、乾燥したとき、約10〜25％w/wの有機含有量を有し、ここで、該有機含有量が前記源粉末以外のスラリー成分を指す、構成1〜42のいずれか一項記載の方法。
（構成４８）
前記スラリーが、乾燥したとき、約10〜25％w/wの有機含有物を有し、ここで、該有機含有物が前記源粉末以外のスラリー成分を指し、該源粉末がリチウム充填ガーネットである、構成1〜42のいずれか一項記載の方法。
（構成４９）
前記スラリー中のバインダー及び可塑剤の量が約10〜25％w/wの有機含有物であり、ここで、該有機含有物が前記源粉末以外のスラリー成分を指し、該源粉末がリチウム充填ガーネットである、構成1〜42のいずれか一項記載の方法。
（構成５０）
源粉末が50nm〜5μmのd50を有する粒径分布を有する、構成1〜49のいずれか一項記載の方法。
（構成５１）
前記源粉末がリチウム充填ガーネットである、構成1〜50のいずれか一項記載の方法。
（構成５２）
前記源粉末が式Li7.1Zr2La3O12＋0.5Al2O3によって特徴付けられる、構成1〜50のいずれか一項記載の方法。
（構成５３）
前記源粉末が、バッチ配合された、式Li7.1Zr2La3O12＋0.5Al2O3によって特徴付けられる、構成1〜50のいずれか一項記載の方法。
（構成５４）
流延グリーン膜を調製するためのスラリーであって:
メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、イソブタノール、t-ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、酢酸メチル、酢酸エチル、メチル-エチルケトン(MEK)、アセトン、トルエン、ヘキサン、酢酸、及びこれらの組合せからなる群から選択される溶媒;
魚油、ポリビニルブチレン(PVB)、KD1、アクリル酸、triton、リン酸エステル、及びその誘導体からなる群から選択されるバインダー;
ベンジルブチルフタレート又はジ-ブチルフタレートからなる群から選択される可塑剤;
任意に、pH修飾剤;
任意に、焼結助剤;並びに
リチウム充填ガーネットから選択される源粉末
のうちの少なくとも2つ以上を含む、前記スラリー。
（構成５５）
源粉末の量が、少なくとも50重量％、55重量％、60重量％、65重量％、70重量％、75重量％、80重量％、85重量％、又は90％重量である、構成54記載のスラリー。
（構成５６）
源粉末の量が、少なくとも60重量％、65重量％、70重量％、又は75重量である、構成54記載のスラリー。
（構成５７）
前記源粉末が、リチウム充填ガーネット、リチウム充填ガーネットの化学前駆物質、及び酸化アルミニウムドーパントを含むリチウム充填ガーネットからなる群から選択される、構成54〜56のいずれか一項記載のスラリー。
（構成５８）
可塑剤、pH修飾剤、及び焼結助剤を含む、構成54〜57のいずれか一項記載のスラリー。
（構成５９）
前記源粉末が約3μmのd50に粉砕されたガーネット粉末を含み、前記バインダーがMEK中のポリメチルメタクリレートを含む、構成54〜58のいずれか一項記載のスラリー。
（構成６０）
MEK、リン酸エステル、及びシクロヘキサノンを含む、構成54〜59のいずれか一項記載のスラリー。
（構成６１）
前記溶媒がメチル-エチルケトン(MEK)又はトルエンから選択される、構成54〜60のいずれか一項記載のスラリー。
（構成６２）
前記溶媒がメチル-エチルケトン(MEK)を含む、構成54〜61のいずれか一項記載のスラリー。
（構成６３）
前記溶媒がイソプロパノール(IPA)をさらに含む、構成54〜62のいずれか一項記載のスラリー。
（構成６４）
前記溶媒がシクロヘキサノンをさらに含む、構成54〜63のいずれか一項記載のスラリー。
（構成６５）
MEK:IPAの比が、8:2、7:3、6:4、5:5、4:6、3:7、又は2:8 w/wである、構成54〜64のいずれか一項記載のスラリー。
（構成６６）
シクロヘキサノンの量が約10〜25重量％である、構成54〜65のいずれか一項記載のスラリー。
（構成６７）
前記溶媒が共沸混合物である、構成54〜66のいずれか一項記載のスラリー。
（構成６８）
前記源粉末がリチウム充填ガーネットである、構成54〜67のいずれか一項記載のスラリー。
（構成６９）
前記スラリー中のリチウム充填ガーネットの量が少なくとも70％w/wである、構成68記載のスラリー。
（構成７０）
前記スラリー中の源粉末の濃度が約50wt％であり、該スラリー中のバインダーの濃度が約50wt％である、構成54〜69のいずれか一項記載のスラリー。
（構成７１）
前記スラリー中の源粉末の濃度が約2〜80％w/wである、構成54〜70のいずれか一項記載のスラリー。
（構成７２）
前記スラリー中の源粉末の濃度が約50wt％であり、該スラリー中のバインダーの濃度が約30wt％である、構成54〜70のいずれか一項記載のスラリー。
（構成７３）
約47.5wt％の溶媒及び0.5wt％の可塑剤を含む、構成54〜68記載のスラリー。
（構成７４）
前記グリーン膜が100/mm2未満の密度のフロックを含み、ここで、フロックが、グリーン膜のFIB横断面SEMによって測定したとき、直径＞5umのバインダー凝集体である、構成54〜73のいずれか一項記載のスラリー。
（構成７５）
源粉末;
溶媒;
バインダー;及び
分散剤;
を含むグリーンテープであって、該グリーンテープが3.9g.cm3超かつ5.0g.cm3未満のピクノメトリー密度を有する、前記グリーンテープ。
（構成７６）
可塑剤、pH修飾剤、及び焼結助剤から選択される部材をさらに含む、構成75記載のグリーンテープ。
（構成７７）
前記分散剤が、KD-1、魚油、及びRhodline 4160から選択される、構成75記載のグリーンテープ。
（構成７８）
前記可塑剤が、DBP、BBP、及びPEGから選択される、構成75記載のグリーンテープ。
（構成７９）
クエン酸又は水酸化アンモニアから選択されるpH修飾剤を含む、構成75記載のグリーンテープ。
（構成８０）
MgO、Al2O3、及びこれらの組合せから選択される焼結助剤を含む、構成75記載のグリーンテープ。
（構成８１）
溶媒が共沸混合物である、構成75〜80のいずれか一項記載のグリーンテープ。
（構成８２）
溶媒が極性非プロトン性共沸混合物である、構成75〜81のいずれか一項記載のグリーンテープ。
（構成８３）
溶媒が、メチルエチルケトン(MEK)、テトラヒドロフラン、トルエン、アセトン、1-ブタノール、2-ブタノール、シクロヘキサン、シクロヘキサノール、エタノール、イソプロパノール、メタノール、1-プロパノール、プロピレンカーボネート、ヘキサン、1-プロパノール、m-キシレン、及びペンタンから選択される、構成75〜82のいずれか一項記載のグリーンテープ。
（構成８４）
前記溶媒が、メチル-エチルケトン(MEK)又はトルエンから選択される、構成75〜83のいずれか一項記載のグリーンテープ。
（構成８５）
前記溶媒がメチル-エチルケトン(MEK)を含む、構成75〜84のいずれか一項記載のグリーンテープ。
（構成８６）
前記溶媒がイソプロパノール(IPA)をさらに含む、構成75〜85のいずれか一項記載のグリーンテープ。
（構成８７）
前記溶媒がシクロヘキサノンをさらに含む、構成75〜86のいずれか一項記載のグリーンテープ。
（構成８８）
MEK:IPAの比が、8:2、7:3、6:4、5:5、4:6、3:7、又は2:8 w/wである、構成75〜87のいずれか一項記載のグリーンテープ。
（構成８９）
シクロヘキサノールの量が約10〜25重量％である、構成87〜88のいずれか一項記載のグリーンテープ。
（構成９０）
3よりも大きい極性指数を有する、構成75〜89のいずれか一項記載のグリーンテープ。
（構成９１）
4g/cm3の密度を有するリチウム充填ガーネットの源粉末;並びにMEK及びIPAを含む溶媒を含む、構成75〜90のいずれか一項記載のグリーンテープ。
（構成９２）
4g/cm3の密度を有するリチウム充填ガーネットの源粉末;並びにMEK、IPA、及びシクロヘキサノンを含む溶媒を含む、構成75〜91のいずれか一項記載のグリーンテープ。
（構成９３）
グリーンテープを作製する方法であって、
(a)スラリーを提供すること;
(b)バインダー混合物を提供すること;
(c)該スラリーを該バインダー混合物と混合して、混合スラリーを形成させること;及び
(d)該混合スラリーを流延して、グリーンテープを提供すること
を含む、前記方法。
（構成９４）
前記スラリーが、
メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、イソブタノール、t-ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、酢酸メチル、酢酸エチル、メチル-エチルケトン(MEK)、アセトン、トルエン、ヘキサン、酢酸、及びこれらの組合せからなる群から選択される溶媒;
魚油、ポリビニルブチレン(PVB)、KD1、アクリル酸、triton、リン酸エステル、及びその誘導体からなる群から選択されるバインダー;
ベンジルブチルフタレート又はジ-ブチルフタレートからなる群から選択される可塑剤;
任意に、pH修飾剤;
任意に、焼結助剤;並びに
リチウム充填ガーネットから選択される源粉末
のうちの少なくとも2つ以上を含む、構成93記載の方法。
（構成９５）
前記グリーンテープを焼結することをさらに含む、構成92〜93のいずれか一項記載の方法。
（構成９６）
工程(a)の前に、前記スラリーを粉砕することを含む、構成92〜93のいずれか一項記載の方法。
（構成９７）
前記スラリーを粉砕することが、該スラリー中の粒子の粒径が、100nm〜200nm、200nm〜300nm、300nm〜400nm、400nm〜500nm、500nm〜600nm、600nm〜700nm、700nm〜800nm、800nm〜900nm、900nm〜1000nm、1000nm〜1100nm、2000nm〜2200nm、3000nm〜3300nm、又は4000nm〜4400nmのd50粒径を有するまで粉砕することを含む、構成96のいずれか一項記載の方法。
（構成９８）
前記スラリーが以下のものを含む、構成92〜97のいずれか一項記載の方法:
（表１）
2018528916.tif 000001
。
（構成９９）
前記スラリーが以下のものを含む、構成92〜97のいずれか一項記載の方法:
（表２）
2018528916.tif 000002
。
（構成１００）
前記スラリーが以下のものを含む、構成92〜97のいずれか一項記載の方法:
（表３）
2018528916.tif 000003
。
（構成１０１）
前記スラリーが以下のものを含む、構成92〜97のいずれか一項記載の方法:
（表４）
2018528916.tif 000004
。
（構成１０２）
前記バインダー混合物が以下のものを含む、構成92〜97のいずれか一項記載の方法:
（表５）
2018528916.tif 000005
。
（構成１０３）
前記グリーンテープが50％w/wよりも大きい固体負荷を有する、構成92〜102のいずれか一項記載の方法。
（構成１０４）
前記グリーンテープが60％w/wよりも大きい固体負荷を有する、構成92〜103のいずれか一項記載の方法。
（構成１０５）
前記グリーンテープが70％w/wよりも大きい固体負荷を有する、構成92〜104のいずれか一項記載の方法。
（構成１０６）
前記グリーンテープが80％w/wよりも大きい固体負荷を有する、構成92〜105のいずれか一項記載の方法。
（構成１０７）
前記グリーンテープが90％w/wよりも大きい固体負荷を有する、構成92〜106のいずれか一項記載の方法。
（構成１０８）
前記グリーンテープが、200μm未満かつ1nm超の膜厚さを有する薄膜である、構成92〜107のいずれか一項記載の方法。
（構成１０９）
前記グリーンテープが100μm未満かつ1nm超の膜厚さを有する薄膜である、構成92〜108のいずれか一項記載の方法。
（構成１１０）
前記グリーンテープが75μm未満かつ1nm超の膜厚さを有する薄膜である、構成92〜109のいずれか一項記載の方法。
（構成１１１）
前記グリーンテープが50μm未満かつ1nm超の膜厚さを有する薄膜である、構成92〜110のいずれか一項記載の方法。
（構成１１２）
前記グリーンテープが25μm未満かつ1nm超の膜厚さを有する薄膜である、構成92〜111のいずれか一項記載の方法。
（構成１１３）
前記グリーンテープが10μm未満かつ1nm超の膜厚さを有する薄膜である、構成92〜112のいずれか一項記載の方法。
（構成１１４）
(e)前記グリーンテープを乾燥させることをさらに含む、構成92〜113のいずれか一項記載の方法。
（構成１１５）
(e)前記グリーンテープが約10〜25％w/wの有機含有物量を有するまで、それを乾燥させることをさらに含み、ここで、該有機含有物が前記源粉末以外の含有物である、構成92〜113のいずれか一項記載の方法。
（構成１１６）
(f)第二のグリーンテープを構成92記載のグリーンテープに積層して、グリーンテープの積層体を作製することをさらに含む、構成92〜113のいずれか一項記載の方法。
（構成１１７）
前記グリーンテープを焼結することをさらに含む、構成92〜115のいずれか一項記載の方法。
（構成１１８）
前記グリーンテープの積層体を焼結することをさらに含む、構成92〜116のいずれか一項記載の方法。