【手続補正書】
【提出日】平成19年2月27日(2007.2.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工対象である材料の上に、ポジ感光性、及び、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、
予め所望のマスクパターンが形成された不透明の硬質材料を前記軟質材料層の上に配置することにより、硬質材料層を形成するステップ（ｂ）と、
前記硬質材料層をフォトマスクとして用いて前記軟質材料層を露光及び現像することにより、前記軟質材料層に前記マスクパターンを形成するステップ（ｃ）と、
を具備するマスクの作製方法。
【請求項２】
加工対象である材料の上に、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、
予め所望のマスクパターンが形成された硬質材料を前記軟質材料層の上に配置することにより、硬質材料層を形成するステップ（ｂ）と、
前記硬質材料層をマスクとして用いて前記軟質材料層をエッチングすることにより、前記軟質材料層に前記マスクパターンを形成するステップ（ｃ）と、
を具備するマスクの作製方法。
【請求項３】
ステップ（ｂ）が、外部刺激又は外部エネルギーによって粘着性が低下する部材の上に、前記硬質材料のマスクパターンを形成し、前記部材を前記軟質材料層に貼り合わせた後に、前記部材に外部刺激又は外部エネルギーを与えて前記硬質材料及び前記軟質材料層から前記部材を剥離することにより、前記部材に形成された前記硬質材料のマスクパターンを前記軟質材料層に転写することを含む、請求項１又は２記載のマスクの作製方法。
【請求項４】
加工対象である材料の上に、ネガ感光性、及び、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、
所望のマスクパターンが形成されたフォトマスクを用いて前記軟質材料層を露光及び現像することにより、前記軟質材料層にマスクパターンを形成するステップ（ｂ）と、
予め前記マスクパターンが形成された硬質材料を、マスクパターンが形成された前記軟質材料層の上にアライメントしながら配置して接着するステップ（ｃ）と、
を具備するマスクの作製方法。
【請求項５】
ステップ（ｃ）が、外部刺激又は外部エネルギーによって粘着性が低下する部材の上に、前記硬質材料のマスクパターンを形成し、前記部材を前記軟質材料層に貼り合わせた後に、前記部材に外部刺激又は外部エネルギーを与えて前記硬質材料及び前記軟質材料層から前記部材を剥離することにより、前記部材に形成された前記硬質材料のマスクパターンを前記軟質材料層に転写することを含む、請求項４記載のマスクの作製方法。
【請求項６】
加工対象である材料の上に、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、第１の軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、
前記第１の軟質材料層の上に硬質材料を配置することにより、硬質材料層を形成するステップ（ｂ）と、
前記硬質材料層の上に感光性、及び、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、第２の軟質材料層を形成するステップ（ｃ）と、
所望のマスクパターンが形成されたフォトマスクを用いて前記第２の軟質材料層を露光及び現像することにより、前記第２の軟質材料層に前記マスクパターンを形成するステップ（ｄ）と、
マスクパターンが形成された前記第２の軟質材料層をマスクとして用いて、前記第１の軟質材料層及び前記硬質材料層にマスクパターンを形成するステップ（ｅ）と、
を具備するマスクの作製方法。
【請求項７】
ステップ（ｅ）が、エッチング法又はサンドブラスト法を含むパターン形成方法を用いることを含む、請求項６記載のマスクの作製方法。
【請求項８】
ステップ（ｂ）が、少なくとも２つの金属板を、それぞれの圧延方向が互いに非平行となるように積層することにより、前記硬質材料層を形成することを含む、請求項１〜７のいずれか１項記載のマスクの作製方法。
【請求項９】
加工対象である材料の上に、液体又はペースト状の弾性材料をマスクパターンとなるように塗布して硬化させることにより、軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、
前記軟質材料層の上に、液体又はペースト状の硬質材料を塗布して硬化させることにより、硬質材料層を形成するステップ（ｂ）と、
を具備するマスクの作製方法。
【請求項１０】
前記マスクパターンが複数の孤立したパターンを含む、請求項１〜９のいずれか１項記載のマスクの作製方法。
【請求項１１】
加工対象である材料の上に軟質材料を用いて形成され、孤立したマスクパターンを有する軟質材料層と、
前記軟質材料層の上に硬質材料を用いて形成された硬質材料層と、
を具備するマスク。
【請求項１２】
前記硬質材料層の上に軟質材料によって形成された第２の軟質材料層をさらに具備する請求項１１記載のマスク。
【請求項１３】
前記硬質材料層が、少なくとも２つの金属板を、それぞれの圧延方向が互いに非平行となるように積層することにより形成されている、請求項１１又は１２記載のマスク。
【請求項１４】
交互に積層された複数の軟質材料層と複数の硬質材料層とをさらに具備する請求項１１〜１３のいずれか１項記載のマスク。
【請求項１５】
最上層の軟質材料層が、ポジ感光性又はネガ感光性を有する請求項１１〜１４のいずれか１項記載のマスク。
【請求項１６】
加工対象である材料の上に、ポジ感光性、及び、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、
予め所望のマスクパターンが形成された不透明の硬質材料を前記軟質材料層の上に配置することにより、硬質材料層を形成するステップ（ｂ）と、
前記硬質材料層をフォトマスクとして用いて前記軟質材料層を露光及び現像することにより、前記軟質材料層に前記マスクパターンを形成するステップ（ｃ）と、
加工対象である材料において、前記マスクパターンが形成されていない領域を、サンドブラスト法又はエッチング法を用いて除去するステップ（ｄ）と、
を具備する材料の加工方法。
【請求項１７】
加工対象である材料の上に、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、
予め所望のマスクパターンが形成された硬質材料を前記軟質材料層の上に配置することにより、硬質材料層を形成するステップ（ｂ）と、
前記硬質材料層をマスクとして用いて前記軟質材料層をエッチングすることにより、前記軟質材料層に前記マスクパターンを形成するステップ（ｃ）と、
加工対象である材料層において、前記マスクパターンが形成されていない領域を、サンドブラスト法又はエッチング法を用いて除去するステップ（ｄ）と、
を具備する材料の加工方法。
【請求項１８】
加工対象である材料の上に、ネガ感光性、及び、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、
所望のマスクパターンが形成されたフォトマスクを用いて前記軟質材料層を露光及び現像することにより、前記軟質材料層にマスクパターンを形成するステップ（ｂ）と、
予め前記マスクパターンが形成された硬質材料を、マスクパターンが形成された前記軟質材料層の上にアライメントしながら配置して接着するステップ（ｃ）と、
加工対象である材料において、前記マスクパターンが形成されていない領域を、サンドブラスト法又はエッチング法を用いて除去するステップ（ｄ）と、
を具備する材料の加工方法。
【請求項１９】
加工対象である材料の上に、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、第１の軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、
前記第１の軟質材料層の上に硬質材料を配置することにより、硬質材料層を形成するステップ（ｂ）と、
前記硬質材料層の上に感光性、及び、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、第２の軟質材料層を形成するステップ（ｃ）と、
所望のマスクパターンが形成されたフォトマスクを用いて前記第２の軟質材料層を露光及び現像することにより、前記第２の軟質材料層に前記マスクパターンを形成するステップ（ｄ）と、
マスクパターンが形成された前記第２の軟質材料層をマスクとして用いて、前記第１の軟質材料層及び前記硬質材料層にマスクパターンを形成するステップ（ｅ）と、
加工対象である材料において、前記マスクパターンが形成されていない領域を、サンドブラスト法又はエッチング法を用いて除去するステップ（ｆ）と、
を具備する材料の加工方法。
【請求項２０】
ステップ（ｂ）が、少なくとも２つの金属板を、それぞれの圧延方向が互いに非平行となるように積層することにより、前記硬質材料層を形成することを含む、請求項１６〜１９のいずれか１項記載の材料の加工方法。
【請求項２１】
加工対象である材料の上に、液体又はペースト状の弾性材料をマスクパターンとなるように塗布して硬化させることにより、軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、
前記軟質材料の上に、液体又はペースト状の硬質材料を塗布して硬化させることにより、硬質材料層を形成するステップ（ｂ）と、
前記軟質材料層及び前記硬質材料層をマスクとして用い、加工対象である材料において前記マスクパターンが形成されていない領域を、サンドブラスト法又はエッチング法を用いて除去するステップ（ｃ）と、
を具備する材料の加工方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
以上の課題を解決するため、本発明の第１の観点に係るマスクの作製方法は、加工対象である材料の上に、ポジ感光性、及び、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、予め所望のマスクパターンが形成された不透明の硬質材料を上記軟質材料層の上に配置することにより、硬質材料層を形成するステップ（ｂ）と、硬質材料層をフォトマスクとして用いて上記軟質材料層を露光及び現像することにより、軟質材料層にマスクパターンを形成するステップ（ｃ）とを具備する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の第２の観点に係るマスクの作製方法は、加工対象である材料の上に、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、予め所望のマスクパターンが形成された硬質材料を上記軟質材料層の上に配置することにより、硬質材料層を形成するステップ（ｂ）と、硬質材料層をマスクとして用いて上記軟質材料層をエッチングすることにより、軟質材料層にマスクパターンを形成するステップ（ｃ）とを具備する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の第３の観点に係るマスクの作製方法は、加工対象である材料の上に、ネガ感光性、及び、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、所望のマスクパターンが形成されたフォトマスクを用いて上記軟質材料層を露光及び現像することにより、上記軟質材料層にマスクパターンを形成するステップ（ｂ）と、予めマスクパターンが形成された硬質材料を、マスクパターンが形成された上記軟質材料層の上にアライメントしながら配置して接着するステップ（ｃ）とを具備する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の第４の観点に係るマスクの作製方法は、加工対象である材料の上に、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、第１の軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、第１の軟質材料層の上に硬質材料を配置することにより、硬質材料層を形成するステップ（ｂ）と、硬質材料層の上に感光性、及び、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、第２の軟質材料層を形成するステップ（ｃ）と、所望のマスクパターンが形成されたフォトマスクを用いて上記第２の軟質材料層を露光及び現像することにより、第２の軟質材料層にマスクパターンを形成するステップ（ｄ）と、マスクパターンが形成された第２の軟質材料層をマスクとして用いて、軟質材料層及び硬質材料層にマスクパターンを形成するステップ（ｅ）とを具備する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の第５の観点に係るマスクの作製方法は、加工対象である材料の上に、液体又はペースト状の弾性材料をマスクパターンとなるように塗布して硬化させることにより、軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、軟質材料層の上に、液体又はペースト状の硬質材料を塗布して硬化させることにより、硬質材料層を形成するステップ（ｂ）とを具備する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の第１の観点に係る材料の加工方法は、加工対象である材料の上に、ポジ感光性、及び、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、予め所望のマスクパターンが形成された不透明の硬質材料を軟質材料層の上に配置することにより、硬質材料層を形成するステップ（ｂ）と、該硬質材料層をフォトマスクとして用いて軟質材料層を露光及び現像することにより、該軟質材料層にマスクパターンを形成するステップ（ｃ）と、加工対象である材料において、マスクパターンが形成されていない領域を、サンドブラスト法又はエッチング法を用いて除去するステップ（ｄ）とを具備する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の第２の観点に係る材料の加工方法は、加工対象である材料の上に、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、予め所望のマスクパターンが形成された硬質材料を軟質材料層の上に配置することにより、硬質材料層を形成するステップ（ｂ）と、該硬質材料層をマスクとして用いて軟質材料層をエッチングすることにより、該軟質材料層にマスクパターンを形成するステップ（ｃ）と、加工対象である材料層において、マスクパターンが形成されていない領域を、サンドブラスト法又はエッチング法を用いて除去するステップ（ｄ）とを具備する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の第３の観点に係る材料の加工方法は、加工対象である材料の上に、ネガ感光性、及び、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、所望のマスクパターンが形成されたフォトマスクを用いて軟質材料層を露光及び現像することにより、該軟質材料層にマスクパターンを形成するステップ（ｂ）と、予めマスクパターンが形成された硬質材料を、マスクパターンが形成された軟質材料層の上にアライメントしながら配置して接着するステップ（ｃ）と、加工対象である材料において、マスクパターンが形成されていない領域を、サンドブラスト法又はエッチング法を用いて除去するステップ（ｄ）とを具備する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の第４の観点に係る材料の加工方法は、加工対象である材料の上に、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、第１の軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、該第１の軟質材料層の上に硬質材料を配置することにより、硬質材料層を形成するステップ（ｂ）と、該硬質材料層の上に感光性、及び、粘着性又は接着性を有する軟質材料を配置することにより、第２の軟質材料層を形成するステップ（ｃ）と、所望のマスクパターンが形成されたフォトマスクを用いて第２の軟質材料層を露光及び現像することにより、該第２の軟質材料層にマスクパターンを形成するステップ（ｄ）と、マスクパターンが形成された第２の軟質材料層をマスクとして用いて、第１の軟質材料層及び硬質材料層にマスクパターンを形成するステップ（ｅ）と、加工対象である材料において、マスクパターンが形成されていない領域を、サンドブラスト法又はエッチング法を用いて除去するステップ（ｆ）とを具備する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の第５の観点に係る材料の加工方法は、加工対象である材料の上に、液体又はペースト状の弾性材料をマスクパターンとなるように塗布して硬化させることにより、軟質材料層を形成するステップ（ａ）と、軟質材料層の上に、液体又はペースト状の硬質材料を塗布して硬化させることにより、硬質材料層を形成するステップ（ｂ）と、軟質材料層及び硬質材料層をマスクとして用い、加工対象である材料においてマスクパターンが形成されていない領域を、サンドブラスト法又はエッチング法を用いて除去するステップ（ｃ）とを具備する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
次に、本発明の第５の実施形態に係るマスクの変形例について、図１６を参照しながら説明する。
図１６の（ａ）は、本実施形態に係るマスクの第１の変形例を示す一部断面斜視図である。このマスクは、軟材層５１と、補強層５５と、金属層５６とを含んでいる。補強層５５には、金属やセラミックスによって形成されたハニカム（蜂の巣形状）構造体が用いられる。この変形例においては、ハニカム構造を有する陽極酸化ポーラスアルミナが用いられている。このように、金属層５６を補強層５５によって補強することにより、金属層５６の圧延方向に対する湾曲を抑制して、マスクの変形を防ぐことができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
具体的には、軟材層７１に用いられる材料としては、米国のエポキシ・テクノロジー（ＥＰＯＸＹ  ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ）社の製品であるエポテック（ＥＰＯ−ＴＥＫ）３３０（ガラス転移点９０℃以上、ショア（Ｓｈｏｒｅ）Ｄ硬度８０程度）や、エポテック３１０（分解温度３２６℃程度、ショアＤ硬度２２程度（フレキシブル））等のエポキシ樹脂が挙げられる。ここで、ショアＤ硬度とは、ショア（ＳＨＯＲＥ）社のＤタイプ（高硬度用）のデュロメータによって測定された硬さを表しており、数値が大きいほど材料が硬いことを示す。また、一般的には、エポキシ樹脂のヤング率は、１０−９Ｐａ〜１０−７Ｐａ程度と見込まれる。一方、硬材層７２に用いられる材料としては、エポキシ・テクノロジー社製の銀ペーストであるエポテックＨ３５−１７５ＭＰ（硬化条件１６５℃、１．５時間〜１８０℃、１時間）や、ニホンハンダ株式会社製のはんだペーストである２０７シリーズ（ヤング率２×１０１０Ｐａ〜４×１０１０Ｐａ程度）等が挙げられる。従って、例えば、軟材層７１として、エポテック３１０と、硬材層７２として、はんだペーストとを組み合わせることにより、ヤング率の比の高い、良好な性能を有するマスク７３を作製することができる。