【手続補正書】
【提出日】平成19年1月22日(2007.1.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つの半導体デバイス領域を比較し、前記デバイス領域の差異を決定し、そして前記差異に対応するデータのセットを生成する検査システムと、
前記差異に対応する前記データのセットを記憶する検査システムメモリユニットと、
レビューステーションであって、前記検査システムに通信可能に結合されることにより、前記レビューステーションが前記検査システムのメモリユニットに記憶されたデータのセットに、読み出しおよび書き込みができるレビューステーションと、
を備える半導体検査システム。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体検査システムであって、前記データのセットは、複数の特徴規模およびｘおよびｙ位置を含む、半導体検査システム。
【請求項３】
請求項１または２のいずれかに記載の半導体検査システムであって、前記データのセットは、複数のイメージファイルをさらに含む、半導体検査システム。
【請求項４】
半導体検査装置を最適化する方法であって、
同様に構成された複数のデバイス領域を有する半導体ウェーハを検査装置でスキャンすることと、
前記デバイス領域の間の特徴差異を検出することと、
特徴差異データのセットを生成することと、
前記特徴差異データのセットを前記検査装置において記憶することと、
前記特徴差異データのセットに、前記レビューステーションから直接にアクセスすることと、
前記特徴差異データのセット全体内の前記特徴差異のうちの第１特徴差異に関するデータを前記レビューステーションから直接に読み出すことと、
前記レビューステーションにおいて、前記第１特徴差異を特定し、レビューすることと、
前記第１特徴差異を欠陥またはニュイサンスのいずれかとして分類することと、
を備える方法。
【請求項５】
請求項４に記載の方法であって、
前記特徴差異データのセットに前記レビューステーションから直接にアクセスすることと、
前記検査装置に記憶された前記特徴差異データのセットに前記レビューステーションから書き込むことと、
その後、前記第１特徴差異が欠陥またはニュイサンスのいずれかとして示されるように前記特徴差異データのセットをアップデートし、それにより前記アップデートされた特徴差異データのセットは、前記検査装置がより正確に欠陥およびニュイサンスを区別することを可能にすることと、
をさらに備える方法。
【請求項６】
請求項５に記載の方法であって、
前記特徴差異データのセットに前記レビューステーションから直接にアクセスすることと、
前記特徴差異データのセット内の前記特徴差異のうちの第２特徴差異に関するデータを前記レビューステーションから直接に読み出すことと、
前記レビューステーションにおいて、前記第２特徴差異を特定し、レビューすることと、
前記第２特徴差異を欠陥またはニュイサンスのいずれかとして分類することと、
をさらに備える方法。
【請求項７】
請求項６に記載の方法であって、
前記特徴差異データのセットに前記レビューステーションから直接にアクセスすることと、
前記検査装置に記憶された前記特徴差異データのセットに前記レビューステーションから書き込むことと、
その後、前記第２特徴差異が欠陥またはニュイサンスのいずれかとして示されるように前記特徴差異データのセットをアップデートし、それにより前記アップデートされた特徴差異データのセットは、前記検査装置がより正確に欠陥およびニュイサンスを区別することを可能にすることと、
をさらに備える方法。
【請求項８】
請求項４から７のいずれかに記載の方法であって、
前記検出された特徴差異のそれぞれについての画像を前記検査装置において生成することと、
前記検査装置において前記画像のそれぞれを記憶することと、
前記レビューステーションから前記画像の全てに直接にアクセスすることと、
関連する特徴差異を迅速に特定するために、前記画像のうちの一つを前記レビューステーションから直接にレビューすることと、
をさらに備える方法。
【請求項９】
請求項４から８のいずれかに記載の方法であって、
前記検査装置において前記特徴差異データのセットを利用しながら、前記レビューステーションにおいては分類コードに基づくサンプリングを実行すること
をさらに備える方法。
【請求項１０】
請求項４から９のいずれかに記載の方法であって、
前記検査装置において前記特徴差異データのセットを利用しながら、前記レビューステーションにおいてはインライン自動欠陥分類を実行し、それにより前記インライン自動欠陥分類が前記半導体検査装置のパフォーマンスを最適化すること
をさらに備える方法。
【請求項１１】
請求項４から１０のいずれかに記載の方法であって、
前記検査装置において前記特徴差異データのセットを利用しながら、前記レビューステーションにおいては教師なしのグループ分けを実行すること
をさらに備える方法。
【請求項１２】
請求項４から１１のいずれかに記載の方法であって、前記読み出し操作は、極性、ＳＡＴセグメント、および規模からなるグループから選択されたタイプのデータを読み出すことを含む方法。
【請求項１３】
半導体検査装置を最適化する方法であって、
同様に構成された複数のデバイス領域を有する半導体ウェーハを検査装置でスキャンすることと、
前記デバイス領域のそれぞれの間の特徴差異を検出することと、
前記検出された特徴差異のそれぞれについての少なくとも一つの画像を生成することと、
前記画像のそれぞれを前記検査装置において記憶することと、
前記画像に、前記レビューステーションから直接にアクセスすることと、
前記特徴差異のうちの第１特徴差異に関する画像を前記レビューステーションから直接に見ることと、
前記レビューステーションにおいて、前記第１特徴差異を特定し、レビューすることと、
前記第１特徴差異を欠陥またはニュイサンスのいずれかとして分類することと、
を備える方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の方法であって、
特徴差異のうち第１タイプに関する前記画像の選択されたセットを見ることと、
前記レビューステーションにおいて、前記第１タイプの前記特徴差異のそれぞれを特定し、レビューすることと、
前記第１タイプの前記特徴差異のそれぞれを欠陥またはニュイサンスのいずれかとして分類することと、
をさらに備える方法。
【請求項１５】
レビューステーションに位置し、ユーザがレビューステーションを操作できるようにするレビューステーショングラフィカルユーザインタフェースと、
前記レビューステーションに位置し、前記レビューステーションに位置するユーザが、前記レビューステーションに通信可能に結合された検査装置とコマンドを送受信することを可能にする第１検査装置グラフィカルユーザインタフェースと、
前記検査装置からのデータを利用することによって、前記第１検査装置グラフィカルユーザインタフェースを生成するグラフィカルユーザインタフェース生成モジュールと、
を備える半導体レビューステーション。
【請求項１６】
請求項１５に記載の半導体レビューステーションであって、前記レビューステーションは走査電子顕微鏡であり、前記検査装置は光学検査システムである半導体レビューステーション。
【請求項１７】
請求項１５または１６に記載の半導体レビューステーションであって、
前記レビューステーションに位置する前記第１検査装置グラフィカルユーザインタフェースは前記検査装置上のグラフィカルユーザインターフェースと実質的に同じである半導体レビューステーション。
【請求項１８】
請求項１に記載の半導体検査システムであって、
前記レビューステーションと前記検査システムとの間に通信リンクを提供するローカルエリアネットワークまたはワイドエリアネットワークをさらに備える半導体検査システム。
【請求項１９】
請求項１８に記載の半導体検査システムであって、
前記通信リンクは異なる半導体製造プラントと接続されており、
前記レビューステーションは、各前記半導体製造プラントにおける、一致するレシピを操作可能である半導体検査システム。
【請求項２０】
請求項１に記載の半導体検査システムであって、
前記検査システムおよび前記レビューステーションは、前記検査システムと前記レビューステーションとの間のインターフェースが実質的にユーザにはシームレスになるように、互換性のある、または同じオペレーティングシステム上で動作する、半導体検査システム。
【請求項２１】
請求項２に記載の半導体検査であって、
前記データのセットは、複数の特徴規模、特徴極性、および特徴分類コードをさらに含む、半導体検査システム。
【請求項２２】
請求項６に記載の方法であって、
前記記憶された特徴差異データのセットは、複数の特徴規模、特徴極性、および特徴分類コードをさらに含む、方法。