【手続補正書】
【提出日】平成19年10月1日(2007.10.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレ−ム（６）上に左右方向に往復移動可能に設けられたワ−クテ−ブル（４）を案内する油静圧直動案内装置（５０）、前記ワ−クテ−ブル（４）に直交して設けられた前後方向に往復移動可能なサドル（７）を案内する油静圧直動案内装置（５０）、該サドル（７）上に起立して固定されたコラム（９）、該コラムに砥石車（３）を軸承する砥石軸を備える砥石頭（１０）を固定した滑走体（２）を上下方向に昇降させる油静圧直動案内装置（５０）、および、砥石車回転駆動機構を備える平面研削装置（１００）において、
前記三個の油静圧直動案内装置（５０）は、一対の凹部レ−ル（１３ａ，１３ｃ）を上面に形成するガイド本体（１）と、このガイド本体（１）上を非接触に滑走する、滑走面に油ポケットを有するスライド本体（２）とから構成され、
前記ガイド本体（１）は、フレ−ム（６）の上面に左右対称に四条の突起体（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ）を設けて３条の凹部（１３ａ，１３ｂ，１３ｃ）を形成し、外側の突起体（１２ａ，１２ｄ）の上面に当て板（１４ａ，１４ｂ）を内方に向けて前記第一凹部レ−ル（１３ａ）と第三凹部レ−ル（１３ｃ）の上方一部を塞ぐように敷設して第一凹部レ−ル（１３ａ）と第三凹部レ−ル（１３ｃ）を形成したガイド本体（１）であり、
スライド本体（２）は、そのスライドテ−ブル（２１）下面に前記ガイド本体（１）に設けられた内側の突起体（１２ｂ，１２ｃ）の頭頂部に当接するとともに、ガイド本体（１）に設けられた当て板（１４ａ，１４ｂ）の内側面に外側面が対向する突起体（２２ａ，２２ｂ）を左右対称に設け、更にその突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面途中より外側に向けてガイド本体（１）の第一凹部（１３ａ）と第三凹部（１３ｃ）の両側面に側面が対向する当て板（２３ａ，２３ｂ）を敷設した段部脚構造のスライド本体（２）であり、
前記ガイド本体（１）の第二突起体（１２ｂ）、第三突起体（１２ｃ）の頭頂部と、スライド本体（２）の突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面が当接する面で第一摺動面（３１，３１）を、
前記ガイド本体（１）の当て板（１４ａ，１４ｂ）の下面と、スライド本体（２）の当て板（２３ａ，２３ｂ）の上面が当接する面で第二摺動面（３２，３２）を、
前記ガイド本体（１）の当て（板１４ａ，１４ｂ）の内側面と、スライド本体（２）の突起体（２２ａ，２２ｂ）の外側面が対向する面で第三摺動面（３３，３３）を、
前記ガイド本体（１）の第一凹部（１３ａ）を形成する第二突起体（１２ｂ）の右側面とスライド本体（２）の当て板（２３ａ）の左側面が対向する面で第四摺動面（３４ａ）を、および前記ガイド本体（１）の第三凹部（１３ｃ）を形成する第三突起体（１２ｃ）の左側面とスライド本体（２）の当て板（２３ｂ）の右側面が対向する面で第四摺動面（３４ｂ）を、
前記ガイド本体（１）の第一凹部（１３ａ）を形成する第一突起体（１２ａ）の左側面とスライド本体（２）の当て板（２３ａ）の右側面が対向する面で第五摺動面（３５ａ）を、および前記ガイド本体（１）の第三凹部（１３ｃ）を形成する第四突起体（１２ｄ）の右側面とスライド本体（２）の当て板（２３ｂ）の左側面が対向する面で第五摺動面（３５ｂ）を設け、
前記スライド本体（２）の第一摺動面（３１）を形成する突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面に油ポケット（４１，４１）を、第二摺動内面（３２）を形成する当て板（２３ａ，２３ｂ）の上面に油ポケット（４２，４２）を、第三摺動面（３３）を形成する第一および第二突起体（２２ａ，２２ｂ）の外側面に油ポケット（４３，４３）を、第四摺動面（３４）を形成する当て板（２３ａ，２３ｂ）の外側面に油ポケット（４４，４４）を適宜な位置に設けて成る、
静圧直動案内装置（５０）であることを特徴とする、平面研削装置（１００）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項１の発明は、フレ−ム（６）上に左右方向に往復移動可能に設けられたワ−クテ−ブル（４）を案内する油静圧直動案内装置（５０）、前記ワ−クテ−ブル（４）に直交して設けられた前後方向に往復移動可能なサドル（７）を案内する油静圧直動案内装置（５０）、該サドル（７）上に起立して固定されたコラム（９）、該コラムに砥石車（３）を軸承する砥石軸を備える砥石頭（１０）を固定した滑走体（２）を上下方向に昇降させる油静圧直動案内装置（５０）、および、砥石車回転駆動機構を備える平面研削装置（１００）において、
前記三個の油静圧直動案内装置（５０）は、一対の凹部レ−ル（１３ａ，１３ｃ）を上面に形成するガイド本体（１）と、このガイド本体（１）上を非接触に滑走する、滑走面に油ポケットを有するスライド本体（２）とから構成され、
前記ガイド本体（１）は、フレ−ム（６）の上面に左右対称に四条の突起体（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ）を設けて３条の凹部（１３ａ，１３ｂ，１３ｃ）を形成し、外側の突起体（１２ａ，１２ｄ）の上面に当て板（１４ａ，１４ｂ）を内方に向けて前記第一凹部レ−ル（１３ａ）と第三凹部レ−ル（１３ｃ）の上方一部を塞ぐように敷設して第一凹部レ−ル（１３ａ）と第三凹部レ−ル（１３ｃ）を形成したガイド本体（１）であり、
スライド本体（２）は、そのスライドテ−ブル（２１）下面に前記ガイド本体（１）に設けられた内側の突起体（１２ｂ，１２ｃ）の頭頂部に当接するとともに、ガイド本体（１）に設けられた当て板（１４ａ，１４ｂ）の内側面に外側面が対向する突起体（２２ａ，２２ｂ）を左右対称に設け、更にその突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面途中より外側に向けてガイド本体（１）の第一凹部（１３ａ）と第三凹部（１３ｃ）の両側面に側面が対向する当て板（２３ａ，２３ｂ）を敷設した段部脚構造のスライド本体（２）であり、
前記ガイド本体（１）の第二突起体（１２ｂ）、第三突起体（１２ｃ）の頭頂部と、スライド本体（２）の突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面が当接する面で第一摺動面（３１，３１）を、
前記ガイド本体（１）の当て板（１４ａ，１４ｂ）の下面と、スライド本体（２）の当て板（２３ａ，２３ｂ）の上面が当接する面で第二摺動面（３２，３２）を、
前記ガイド本体（１）の当て（板１４ａ，１４ｂ）の内側面と、スライド本体（２）の突起体（２２ａ，２２ｂ）の外側面が対向する面で第三摺動面（３３，３３）を、
前記ガイド本体（１）の第一凹部（１３ａ）を形成する第二突起体（１２ｂ）の右側面とスライド本体（２）の当て板（２３ａ）の左側面が対向する面で第四摺動面（３４ａ）を、および前記ガイド本体（１）の第三凹部（１３ｃ）を形成する第三突起体（１２ｃ）の左側面とスライド本体（２）の当て板（２３ｂ）の右側面が対向する面で第四摺動面（３４ｂ）を、
前記ガイド本体（１）の第一凹部（１３ａ）を形成する第一突起体（１２ａ）の左側面とスライド本体（２）の当て板（２３ａ）の右側面が対向する面で第五摺動面（３５ａ）を、および前記ガイド本体（１）の第三凹部（１３ｃ）を形成する第四突起体（１２ｄ）の右側面とスライド本体（２）の当て板（２３ｂ）の左側面が対向する面で第五摺動面（３５ｂ）を設け、
前記スライド本体（２）の第一摺動面（３１）を形成する突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面に油ポケット（４１，４１）を、第二摺動内面（３２）を形成する当て板（２３ａ，２３ｂ）の上面に油ポケット（４２，４２）を、第三摺動面（３３）を形成する第一および第二突起体（２２ａ，２２ｂ）の外側面に油ポケット（４３，４３）を、第四摺動面（３４）を形成する当て板（２３ａ，２３ｂ）の外側面に油ポケット（４４，４４）を適宜な位置に設けて成る、
静圧直動案内装置（５０）であることを特徴とする、平面研削装置（１００）を提供するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
前記ガイド本体１の第二突起体１２ｂ、第三突起体１２ｃの頭頂部と、スライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂの下面が当接する面で第一摺動面３１，３１を、前記ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの下面と、スライド本体２の当て板２３ａ，２３ｂの上面が当接する面で第二摺動面３２，３２を、前記ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの内側面と、スライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂの外側面が対向する面で第三摺動面３３，３３を、前記ガイド本体１の第一凹部１３ａを形成する第二突起体１２ｂの右側面とスライド本体２の当て板２３ａの左側面が対向する面で第四摺動面３４ａを、および前記ガイド本体１の第三凹部１３ｃを形成する第三突起体１２ｃの左側面とスライド本体２の当て板２３ｂの右側面が対向する面で第四摺動面３４ｂを、前記ガイド本体１の第一凹部１３ａを形成する第一突起体１２ａの左側面とスライド本体２の当て板２３ａの左側面が対向する面で第五摺動面３５ａを、および前記ガイド本体１の第三凹部１３ｃを形成する第四突起体１２ｄの右側面とスライド本体２の当て板２３ｂの左側面が対向する面で第五摺動面３５ｂを設ける。