【手続補正書】
【提出日】平成20年1月9日(2008.1.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ波放射を透過させるためのマイクロ波窓であって、
固形体であって、第１の方向でお互いに離間される第１面と第２面とを含み、これによ
り前記第１の方向における前記固形体の厚さが規定される固形体と、
前記第１の方向と直交する第２の方向でフランジ内に前記固形体の周辺部位が長さを延
伸させるように前記固形体の周囲に配設された前記フランジと
を備え、
前記マイクロ波窓によるマイクロ波放射の反射率が最小値での反射率の約１０倍以下に
なるように前記厚さおよび前記長さが選択されることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項２】
請求項１に記載のマイクロ波窓であって、前記厚さがｎλ／２に等しく、ここでｎは整
数であり、λはマイクロ波放射の波長であることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項３】
請求項１に記載のマイクロ波窓であって、前記長さがｍλ／２に等しく、ここでｍは整
数であり、λはマイクロ波放射の波長であることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項４】
請求項１に記載のマイクロ波窓であって、前記フランジが、前記固形体を構造体に設け
るように適応されていることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項５】
請求項４に記載のマイクロ波窓であって、前記構造体がマイクロ波導波管の壁であるこ
とを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項６】
請求項４に記載のマイクロ波窓であって、前記構造体がプロセスチャンバの壁であるこ
とを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項７】
請求項１に記載のマイクロ波窓であって、前記固形体が誘電体材料を含むことを特徴と
するマイクロ波窓。
【請求項８】
請求項７に記載のマイクロ波窓であって、前記誘電体材料が、アルミナおよび窒化アル
ミニウムからなる群のうちの１つあるいはその両方から選択されることを特徴とするマイ
クロ波窓。
【請求項９】
請求項１に記載のマイクロ波窓であって、前記固形体が水晶を含むことを特徴とするマ
イクロ波窓。
【請求項１０】
請求項１に記載のマイクロ波窓であって、前記固形体が窒化珪素を含むことを特徴とす
るマイクロ波窓。
【請求項１１】
請求項１に記載のマイクロ波窓であって、前記固形体がフッ素ポリマーを含むことを特
徴とするマイクロ波窓。
【請求項１２】
請求項１に記載のマイクロ波窓であって、前記固形体が、前記マイクロ波窓の複数部分
を隔て、各部分は異なる圧力で保持されることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項１３】
請求項１に記載のマイクロ波窓であって、前記固形体が前記マイクロ波放射の波長λで
実質的に透明であることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項１４】
請求項１に記載のマイクロ波窓であって、前記第１の方向が前記マイクロ波放射の伝播
方向であることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項１５】
請求項１に記載のマイクロ波窓であって、前記フランジ内に延伸する前記固形体の前記
周辺部位が、前記フランジで少なくとも部分的に規定されるキャビティで囲まれることを
特徴とするマイクロ波窓。
【請求項１６】
請求項１５に記載のマイクロ波窓であって、前記キャビティが前記第１の方向で第１の
寸法をもち、前記第２の方向で第２の寸法をもつことを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項１７】
請求項１６に記載のマイクロ波窓であって、前記固形体を横断するマイクロ波放射の反
射が実質的に最小限に抑えられるように前記第１の寸法および前記第２の寸法が選択され
ることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項１８】
請求項１７に記載のマイクロ波窓であって、前記第１の寸法がｎλ／２に等しく、前記
第２の寸法がｍλ／２に等しく、ここでｎおよびｍが整数であり、λが前記マイクロ波放
射の波長であることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項１９】
請求項１に記載のマイクロ波窓であって、前記フランジが流体キャビティを含むことを
特徴とするマイクロ波窓。
【請求項２０】
請求項１９に記載のマイクロ波窓であって、前記流体キャビティが入口と出口とを含む
ことを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項２１】
請求項２０に記載のマイクロ波窓であって、流体が前記入口から入り、前記出口から出
ることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項２２】
請求項２１に記載のマイクロ波窓であって、前記流体が前記固形体を所望の温度範囲に
維持することを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項２３】
請求項４に記載のマイクロ波窓であって、前記フランジにより前記構造体にマイクロ波
導波管を取り付けることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項２４】
請求項２３に記載のマイクロ波窓であって、前記導波管が前記フランジと一体的に形成
されることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項２５】
請求項４に記載のマイクロ波窓であって、前記フランジを前記構造体に固着するための
１つ以上の取付装置をさらに備えるマイクロ波窓。
【請求項２６】
請求項２５に記載のマイクロ波窓であって、前記取付装置がボルトまたはねじであるこ
とを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項２７】
請求項２５に記載のマイクロ波窓であって、前記取付装置が締付環であることを特徴と
するマイクロ波窓。
【請求項２８】
請求項４に記載のマイクロ波窓であって、前記フランジが、前記構造体に前記固形体を
シールするように構成された第１のシール部材と、前記フランジに前記固形体をシールす
るように構成された第２のシール部材とを備えることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項２９】
請求項２８に記載のマイクロ波窓であって、前記第１のシール部材と前記第２のシール
部材とのうちの少なくとも１つがＯリングであることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項３０】
請求項２８に記載のマイクロ波窓であって、前記第１のシール部材と前記第２のシール
部材とのうちの少なくとも１つが平形ガスケットであることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項３１】
請求項１に記載のマイクロ波窓であって、前記固形体が円形断面を有することを特徴と
するマイクロ波窓。
【請求項３２】
請求項１に記載のマイクロ波窓であって、前記固形体が多角形断面を有することを特徴
とするマイクロ波窓。
【請求項３３】
請求項１に記載のマイクロ波窓であって、前記マイクロ波窓によるマイクロ波放射の反
射率が最小値での反射率の約５倍以下であることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項３４】
請求項１に記載のマイクロ波窓であって、前記マイクロ波窓によるマイクロ波放射の反
射率が最小値での反射率の約２倍以下であることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項３５】
マイクロ波放射を透過させるためのマイクロ波窓であって、
固形体であって、第１の方向でお互いに離間される第１面と第２面とを含み、これによ
り前記第１の方向における前記固形体の厚さが規定される固形体と、
固形体の周辺部位が第１の方向でフランジ内に第１の長さを延伸させ、前記第１の方向
と直交する第２の方向で第２の長さを延伸させるように前記固形体の周囲に配設された前
記フランジと
を備え、
前記マイクロ波窓によるマイクロ波放射の反射率が最小値での反射率の約１０倍以下に
なるように前記第１の長さ、前記第２の長さおよび前記厚さが選択されることを特徴とす
るマイクロ波窓。
【請求項３６】
請求項３５に記載のマイクロ波窓であって、前記フランジが、前記固形体をプロセスチ
ャンバの壁に取り付けるように適応されていることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項３７】
請求項３６に記載のマイクロ波窓であって、前記プロセスチャンバがプラズマを収納す
るように構成されることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項３８】
請求項３７に記載のマイクロ波窓であって、前記第１の長さおよび前記第２の長さが前
記マイクロ波放射の波長の半分の整数倍に等しく、前記窓からのマイクロ波反射が前記プ
ラズマの存在下で最小限に抑えられるように前記厚さが選択されることを特徴とするマイ
クロ波窓。
【請求項３９】
請求項３５に記載のマイクロ波窓であって、前記マイクロ波窓によるマイクロ波放射の
反射率が最小値での反射率の約５倍以下であることを特徴とするマイクロ波窓。
【請求項４０】
請求項３５に記載のマイクロ波窓であって、前記マイクロ波窓によるマイクロ波放射の
反射率が最小値での反射率の約２倍以下であることを特徴とするマイクロ波窓。