【手続補正書】
【提出日】平成18年11月22日(2006.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡の照明光学系の瞳位置に部分開口を配置し、前記部分開口を通過した光により照明された観察物体を、結像光学系の瞳位置にその瞳の径に応じて大きさが変化する波面を導入して、前記結像光学系の結像面に結像される像を観察することを特徴とする顕微鏡観察方法。
【請求項２】
照明光源として発散光を出す略点光源を用い、顕微鏡の照明光学系の瞳位置に前記略点光源の像を結像させ、前記略点光源の像からの発散光により照明された観察物体を、結像光学系の瞳位置にその瞳の径に応じて大きさが変化する波面を導入して、前記結像光学系の結像面に結像される像を観察することを特徴とする顕微鏡観察方法。
【請求項３】
前記結像光学系の瞳位置に導入する波面が、前記結像光学系の合焦位置からずれに基づくものであることを特徴とする請求項１又は２記載の顕微鏡観察方法。
【請求項４】
前記結像光学系の瞳位置に導入する波面が、前記結像光学系の瞳又はそれと共役な位置近傍に配置された反射面形状を変更調節可能な可変形状ミラーによることを特徴とする請求項１又は２記載の顕微鏡観察方法。
【請求項５】
前記部分開口が円形開口又は輪帯開口からなり、その前記結像光学系の瞳位置での像の開口幅をＤ1 、前記結像光学系の瞳の直径をＤ0 とするとき、
Ｄ0 ／１０≦Ｄ1 ≦Ｄ0 ／３                                  ・・・（１０）
を満足することを特徴とする請求項１、3 、４の何れか１項記載の顕微鏡観察方法。
【請求項６】
前記結像光学系の瞳位置での前記部分開口の像、又は、前記略点光源の像の形状に対応する形状であって、その形状より若干大きな形状の吸収膜を、前記結像光学系の瞳又はそれと共役な位置近傍に配置し、前記結像光学系の瞳位置での前記部分開口又は前記略点光源の像に対する前記吸収膜の内外周辺での余裕幅をΔとし、前記結像光学系の瞳の直径をＤ0 とするとき、
Δ≦Ｄ0 ／１０                                              ・・・（１１）
を満足することを特徴とする請求項１から５の何れか１項記載の顕微鏡観察方法。
【請求項７】
前記結像光学系の瞳位置に導入する波面を略対称に変化させてコントラストが反転した同一観察物体の２枚の画像を撮像し、その２枚の画像間の差演算を行うことによりコントラストを強調することを特徴とする請求項１から６の何れか１項記載の顕微鏡観察方法。
【請求項８】
結像光学系の結像倍率が４倍以下であることを特徴とする請求項１から７の何れか１項記載の顕微鏡観察方法。
【請求項９】
光源と、この光源からの光を観察物体に導く照明光学系と、この照明光学系の略瞳位置に配置される部分開口と、この部分開口を通過した光により照明された前記観察物体の像を結像面に結像する結像光学系とを備え、前記結像面に結像される像を観察するための接眼光学系又は撮像光学系を備えた顕微鏡において、
前記部分開口の前記結像光学系の瞳位置での像の径は、前記結像光学系の瞳の径より小さく設定されており、かつ、前記結像光学系の瞳位置にその瞳の径に応じて大きさが変化する波面を導入する波面導入手段を備えていることを特徴とする顕微鏡。
【請求項１０】
発散光を出す略点光源と、この略点光源の像を瞳位置に一旦結像しながらその略点光源からの光を観察物体に導く照明光学系と、その略点光源からの光により照明された前記観察物体の像を結像面に結像する結像光学系とを備え、前記結像面に結像される像を観察するための接眼光学系又は撮像光学系を備えた顕微鏡において、
前記略点光源の前記結像光学系の瞳位置での像の径は、前記結像光学系の瞳の径より小さく設定されており、かつ、前記結像光学系の瞳位置にその瞳の径に応じて大きさが変化する波面を導入する波面導入手段を備えていることを特徴とする顕微鏡。
【請求項１１】
前記波面導入手段が、前記結像光学系を光軸方向に移動調節する手段からなることを特徴とする請求項９又は１０記載の顕微鏡。
【請求項１２】
前記波面導入手段が、前記結像光学系の瞳又はそれと共役な位置近傍に配置された反射面形状を変更調節可能な可変形状ミラーからなることを特徴とする請求項９又は１０記載の顕微鏡。
【請求項１３】
前記部分開口が円形開口又は輪帯開口からなり、その前記結像光学系の瞳位置での像の開口幅をＤ1 、前記結像光学系の瞳の直径をＤ0 とするとき、
Ｄ0 ／１０≦Ｄ1 ≦Ｄ0 ／３                                  ・・・（１０）
を満足することを特徴とする請求項９、１１、１２の何れか１項記載の顕微鏡。
【請求項１４】
前記結像光学系の瞳位置での前記部分開口の像、又は、前記略点光源の像の形状に対応する形状であって、その形状より若干大きな形状の吸収膜が、前記結像光学系の瞳又はそれと共役な位置近傍に配置されており、前記結像光学系の瞳位置での前記部分開口又は前記略点光源の像に対する前記吸収膜の内外周辺での余裕幅をΔとし、前記結像光学系の瞳の直径をＤ0 とするとき、
Δ≦Ｄ0 ／１０                                              ・・・（１１）
を満足することを特徴とする請求項９から１３の何れか１項記載の顕微鏡。
【請求項１５】
前記結像面に結像される像を撮像するための撮像光学系と、その撮像面に配置された撮像素子と、前記撮像素子により撮像された画像を記憶及び演算する演算記憶手段を備えていることを特徴とする請求項９から１４の何れか１項記載の顕微鏡。
【請求項１６】
前記結像光学系の結像倍率が４倍以下であることを特徴とする請求項９から１５の何れか１項記載の顕微鏡。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記何れの方法においても、結像光学系の瞳位置に導入する波面は、結像光学系の合焦位置からずれに基づくものであっても、結像光学系の瞳又はそれと共役な位置近傍に配置された反射面形状を変更調節可能な可変形状ミラーによるものであってもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
以上において、結像光学系の瞳位置に導入する波面を略対称に変化させてコントラストが反転した同一観察物体の２枚の画像を撮像し、その２枚の画像間の差演算を行うことによりコントラストを強調することができる。
また、結像光学系の結像倍率が４倍以下であることが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
上記何れの顕微鏡においても、波面導入手段は、結像光学系を光軸方向に移動調節する手段であっても、結像光学系の瞳又はそれと共役な位置近傍に配置された反射面形状を変更調節可能な可変形状ミラーであってもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、以上において、結像面に結像される像を撮像するための撮像光学系と、その撮像面に配置された撮像素子と、撮像素子により撮像された画像を記憶及び演算する演算記憶手段を備えていることが望ましい。
また、結像光学系の結像倍率が４倍以下のものであることが好ましい。