【手続補正書】
【提出日】平成20年5月16日(2008.5.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
分析システムにおけるイオン源アセンブリであって、前記イオン源アセンブリは以下のものよりなる：
電子流を形成する手段；
前記形成された電子流が注入される内部領域をもつ陽極であって、前記電子流が前記陽極領域内で終了し、かつそこでイオンが形成される；及び
取外し可能な陽極ライナーであって、前記陽極ライナーは、前記イオン源の前記形成された電子流に関連して軸方向において前記内部陽極領域内に適合する大きさの端開口のスリーブ部材であり、前記陽極ライナーは、前記内部陽極領域に挿入が可能であり、かつ前記電子流をそこで受けるように形状が構築されている。
【請求項２】
請求項１のイオン源アセンブリにおいて、前記取外し可能な陽極ライナーは、前記陽極領域に入る電子がたたいてエネルギーを堆積する内部表面を含み、該内部表面上には堆積物が、少なくとも表面吸収されたスピーシーズ及びガス相スピーシーズのうちの少なくとも１つから付着することができる。
【請求項３】
請求項１のイオン源アセンブリにおいて、さらに前記取外し可能な陽極ライナーは、該ライナーが前記陽極領域に挿入された時、前記作られた電子流の少なくとも一部が、該内部陽極領域に入ることを許す電子入力手段を含む。
【請求項４】
請求項１のイオン源アセンブリにおいて、前記電子入力手段は、前記取外し可能な陽極ライナー上に設けられた、少なくとも１つの水平スロットを含む。
【請求項５】
請求項１のイオン源アセンブリにおいて、前記取外し可能な前記陽極ライナーが、前記内部陽極領域から選択的に挿入される、及び除去されることを可能とする挿入及び取出しツールを含む。
【請求項６】
請求項５のイオン源アセンブリにおいて、前記ライナーは、一端に設けられた少なくとも１つの取付け及び除去スロットを含み、前記挿入及び取出しツールは、前記陽極の分解なしに挿入及び除去を許すための、前記少なくとも１つの取付け及び除去スロットと係合する少なくとも１つのピンを持つ。
【請求項７】
請求項６のイオン源アセンブリであって、前記ライナーが前記陽極領域内に挿入された時、前記取外し可能な陽極ライナーの前記電子入力手段を前記電子流形成手段に揃える手段を含む。
【請求項８】
請求項７のイオン源アセンブリにおいて、前記揃える手段は、前記陽極構造内に設けられた参照特徴を含み、該参照特徴は、前記ライナーがそこに組み立てられた時、該ライナーの前記電子流形成手段に関しての、位置決めを与えるようライナーが最初そこに組み立てられた後に、前記挿入及び取出しツールの一部に揃えられる。
【請求項９】
請求項１のイオン源アセンブリにおいて、前記陽極ライナーは、導電材料よりなる。
【請求項１０】
請求項１のイオン源アセンブリにおいて、
前記イオン源は、少なくとも１つのフィラメント、分析のために処理ガスが入ることを可能にするガスポート、及び複数の置き換え可能な陽極ライナーを含み、各ライナーは、前記陽極構造の内部内に選択的にかつ取外し可能に挿入可能であり、各々のライナーは導電材料から作られ、かつ少なくとも前記電子流の一部をして、前記陽極構造の内部内に入ることを許す手段をもつ。
【請求項１１】
請求項１０のイオン源アセンブリにおいて、前記イオン源は、閉じたイオン源である。
【請求項１２】
請求項１０のイオン源アセンブリにおいて、前記置き換え可能な陽極ライナーの内の少なくとも１つは、前記電子ビームの少なくとも一部をして、前記内部陽極領域に入ることを許す大きさの開口を含む。
【請求項１３】
請求項１０のイオン源アセンブリにおいて、前記置き換え可能な陽極ライナーの内の少なくとも１つは、ガス流出ポートを含む。
【請求項１４】
請求項１２のイオン源アセンブリにおいて、前記開口は、水平のスロットである。
【請求項１５】
請求項１０のイオン源アセンブリにおいて、前記陽極ライナーの各々は、前記陽極領域に入る電子を制御し、前記イオン源は、ＰＶＤ及びＣＶＤ処理の各々をモニタするよう用いられる。
【請求項１６】
請求項１２のイオン源アセンブリは、前記ライナーが前記陽極構造内に挿入された時、前記開口を前記電子流製造手段に関連して自動的に位置決めする手段を含む。
【請求項１７】
請求項１０のイオン源アセンブリにおいて、前記置き換え可能な陽極ライナーの各々は、前記イオン源の内部陽極領域内に挿入された時の、前記陽極の内部上の表面蓄積物の蓄積を防ぐ。
【請求項１８】
イオン源のための取外し可能な陽極ライナーにおいて、前記イオン源は、陽極支持構造の内部に関連して配置された電子流を作製する手段を持ち、前記ライナーは、前記陽極支持構造と前記ライナーが前記陽極支持構造内に適合するように構築可能であるよう、取外し可能に係合可能なものである。
【請求項１９】
請求項１８の陽極ライナーであって、前記ライナーが前記陽極構造内に挿入された時、前記取外し可能な陽極ライナーを前記イオン源の電子流製造手段に関連して自動的に位置決めする手段を含む。
【請求項２０】
請求項１９の陽極ライナーにおいて、前記ライナーは、前記陽極構造の内部内に適合する大きさの直径をもつ円筒型のスリーブ部材である。
【請求項２１】
請求項２０の陽極ライナーにおいて、前記ライナーは導電材料よりなる。
【請求項２２】
請求項２１の陽極ライナーであって、前記電子流形成手段からの電子をして、中に入る試薬ガスからの絶縁堆積物が前記陽極ライナーの内部に付着するよう、前記陽極の内部、及び前記ライナーの内部に流れることを許す大きさの第１のスロットを含む。
【請求項２３】
請求項２２の陽極ライナーであって、前記ライナーをイオン源に対して選択的に取外し、及び挿入するためのツールに係合する大きさの、第２のスロットを含む。
【請求項２４】
請求項２３の陽極ライナーにおいて、前記第２のスロットは、前記ツールのピンと係合するために、実質的にＴ字型をしており、かつ前記第二のスロットの前記ピンとの係合は、前記ライナーの前記イオン源に対しての挿入及び除去のいずれをも可能とする。
【請求項２５】
汚染されたイオン源の感度を改善する方法において、前記イオン源は、内部領域を定義する陽極構造を含み、前記内部陽極領域は電子流を受け取り、イオンは該領域内で形成され、前記方法は以下のステップよりなる：
置き換え可能な陽極ライナーを、陽極構造内に、前記ライナーが前記内部陽極領域内に配置され、かつ前記電子流を受け取るよう挿入する、前記ライナーは、前記陽極構造の分解を要することなく挿入される端開口のスリーブ部材であり、該ライナーは、前記電子流からの絶縁堆積物が、前記陽極構造の内部の代わりに、それの内部表面上に、形成されることを許容するよう導電材料より作られる。
【請求項２６】
請求項２５の方法において、前記挿入ステップは以下のステップを含む：
前記置き換え可能な陽極ライナーの一端を、挿入ツールの一端上に置く；及び
前記陽極構造の内部に前記ライナーを挿入する。
【請求項２７】
請求項２６の方法であって、前記挿入ステップの間に、前記置き換え可能な陽極ライナーの電子入力手段を、前記イオン源の電子流形成手段に対して揃えるステップを含む。
【請求項２８】
請求項２７の方法において、前記揃えるステップは、以下のステップを含む：
前記置き換え可能な陽極ライナーの一端を挿入ツールの端にマウントする、前記マウントステップは以下の付加的なステップを含む：
前記挿入ツールのピンを前記ライナーのアセンブリスロットに揃える；及び、
前記アセンブリピンが前記アセンブリスロット内に配置されるよう前記ライナーを前記挿入ツール上で滑らせる；及び
前記アセンブリピンを前記陽極構造上に設けられた参照特徴に揃える、ここで、前記ライナーの挿入は、前記ライナーの電子入力手段を自動的に前記電子流形成手段に揃える。
【請求項２９】
請求項２８の方法であって、前記ライナーを、その置き換えのための所定の時間後に、選択的に取り除くステップを含み、前記取り除くステップは、前記陽極構造の分解を要することなく実行される。
【請求項３０】
請求項２９の方法において、前記取り除くステップは、以下のステップよりなる：
取り除きツールを前記ライナーに、前記ライナーのＴ字型スロットが前記取り除きツールのピンに揃えられるように揃える；
前記ツールを、前記ピンが前記スロットと係合することを許すよう、中心軸の回りに回転させる；及び
前記取外し可能な陽極ライナーを、前記陽極構造から、軸方向に取り外す。