【手続補正書】
【提出日】平成19年4月9日(2007.4.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
図９に示すように、チャート５５の中心点Ｍ０には、ピンホール加工が施されてい    る。また、中心点Ｍ０を中心とする輪帯上の８点（Ｍ１〜Ｍ８）にも、ピンホール加    工が施されている。この８点は、等間隔で設けられている。
対象レンズ系Ｔは、図８に示すように、レンズ系５６，５９と、玉枠５７と、本体    側の取付部５８と、調整治具６０を有して構成されている。ここで、玉枠５７は、レ    ンズ系５６を固定して保持するとともに、レンズ系５９を移動可能に保持する。取付    部５８は、玉枠５７を差し込むことが可能な構造を有し、玉枠５７を固定させる。調    整治具６０は、本体側の玉枠５７の上部において、調整対象のレンズ系５９に接触す    る。
光源５０から出射した光は、ＮＤフィルタ５２を経由し、コリメータレンズ５３を    介して平行光Ｒにされる。平行光Ｒは、チャート５５に入射する。チャート５５に入    射した平行光Ｒ’は、中心点Ｍ０に形成されたピンホールを通過する。更に、平行光 Ｒ’は、輪帯上に形成された８点（Ｍ１〜Ｍ８）のピンホールを通過する。よって、    チャート５５からは、合計９本の光線が射出される。この９本の光線が対象レンズ系    Ｔを通過して、任意の位置の像面６１に入射するようになっている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
更に、図８に示す光学ユニット光軸調整装置では、像面６１の下方に、顕微鏡レン    ズ６２が設置されている。そして、更に下方にはＣＣＤカメラ６３が配置されている    。このＣＣＤカメラ６３は、その受像面が光軸に垂直になるようにして設置されてい    る。ＣＣＤカメラ６３には、焦点合わせのために、光軸方向に移動可能なフォーカス    軸６４が設けられている。
顕微鏡レンズ６２、ＣＣＤカメラ６３、及びフォーカス軸６４は、Ｘ−Ｙテーブル    に搭載されている。このＸ−Ｙテーブルは、粗調心二軸６５によって動く。そして、    粗調心二軸６５を動かすことによって、ＣＣＤカメラ６３の受像面内に像をとらえる    ことができる。
このように構成された光学ユニット光軸調整装置では、平行光Ｒ’のほとんどは、    チャート５５によって遮断され、９個のピンホールを通過した光線のみが射出される    。よって、９個のピンホール像のみが、ＣＣＤカメラ６３に結像される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の光学ユニット光軸調整装置によれば、偏心量に対する検出感度が高いレン    ズ有効径付近を使った被調整レンズの光軸調整を高精度に簡単に行うことができる。      また、被調整レンズが変わってもチャートを交換する必要がなく、段取り作業も発    生しない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、本実施形態の光学ユニット光軸調整装置では、被調整レンズ系の結像倍率等    を考慮し、照射する連続パターンのうち少なくとも１つの連続パターンの幅を制御し    ている。そのため、複数の被調整レンズ系を、共通のチャートを使って調整できる。    すなわち、チャートを交換する回数を極力少なくすることができる。
また、本実施形態の光学ユニット光軸調整装置では、照射する連続パターンのうち、    少なくとも１つの連続パターンの相対位置を可変にしている。このようにすれば、被    調整レンズ系の有効径の大きさに合わせて、連続パターンの位置調整を行うことがで    きる。そのため、チャートを交換する必要がなくなるので好ましい。
なお、光学ユニットとは、少なくとも一つの例えばレンズなどの光学素子で構成さ    れる光学部材をいう。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、被調整レンズ系１５は、枠１０を介して保持手段６上に保持されている。保    持手段６上には、移動手段５が配置されている。そして、移動手段５を介して、調心    治具８が設けられている。この調心治具８は、被調整レンズ系１５のレンズ系９に接    触している。
調心治具８は、移動手段５と連結されている。よって、移動手段５の動きは、調心    治具８を介して被調整レンズ系９に伝わることになる。すなわち、移動手段５を移動    させることよって、被調整レンズ系９を移動させることができる。
移動手段５は、被調整レンズ系１５の光軸と直交するＸ−Ｙ方向に移動可能になっ    ている。
被調整レンズ系１５の下方には、ＣＣＤカメラ１２が配置されている。また、駆動    手段７は、被調整レンズ系１５の光軸方向に移動可能な可動部を備えている。この可    動部は、ＣＣＤカメラ１２を保持している。よって、ＣＣＤカメラ１２は、光軸方向    に移動可能になっている。
これら光源１、ピンホール板２、コリメータレンズ３、チャート４、枠１０、被調    整レンズ系１５、ＣＣＤカメラ１２は所定の基準軸上に配置されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
次に、図５に示すように、Ｘ−Ｙ方向の直線パターンのエッジとの交点Ｐ１、Ｐ２    を検出する。そして、交点Ｐ１、Ｐ２から仮想の線Ｌ１に垂線を引き、深さ１及び深    さ２を算出する。同様に、Ｘ−Ｙ方向の直線パターンのエッジとの交点Ｐ３、Ｐ４を    検出する。そして、交点Ｐ３、Ｐ４から仮想の線Ｌ２に垂線を引き、深さ３及び深さ    ４を算出する。
算出された深さ１、深さ２、深さ３、深さ４の平均化を行い、平均した値を被調整    レンズ系１５の歪み量とする。
演算処理部１４は、算出された歪み量に基づき、移動手段５の移動量を算出する。    演算処理部１４からの指示により移動手段５を移動させると、調心治具８を介してレ    ンズ系９が移動する。
本実施形態では、高精度に歪み量を算出することができる。したがって、レンズ系    ９の位置調整（移動）は、基本的には一回で済む。なお、移動後の位置において、再    度直線パターンを撮像して、歪み量を測定する。そして、歪み量が予め設定された規    格内に収まっている事を確認するのが好ましい。
なお、より高い精度で、レンズ系９の位置決めを行うには、上記動作を繰り返し行    うのがよい。そこで、演算処理部１４は、検出される歪み量が設定された規格内に収    まるように、歪み量の算出とレンズ系９の移動を繰り返し行う処理を行っても良い。    
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
本実施形態の光学ユニット光軸調整装置によれば、被調整レンズ系の有効径付近を    使った検出感度の高い調整が可能となる。また、直線パターンの線幅を可変としたこ    とで、被調整レンズ系が換わってもチャートを交換する必要がなくなる。
なお、図６に示したような四角形状の直線パターンの場合には、直線パターンの相    対位置を可変とする可変機構を備えるのがよい。そのようにすれば、被調整レンズ系    の有効径の大きさに合わせて、連続パターンの位置調整を行うことができ、チャート    を交換する必要がなくなる。