【手続補正書】
【提出日】平成20年3月13日(2008.3.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
投影対物レンズの物表面（１０３、２０３、３０３）に配置されたパターンを、投影対物レンズの像表面（１０４、２０４、３０４）に配置された像視野に、縮小結像スケールで結像するための屈折投影対物レンズ（１２０、２２０、３２０）であって、
投影対物レンズの光学軸心に沿って配置された多数の光学素子を有し、結像ビームパスの単一のくびれが、物表面と像表面の間に設けられるようになっていて、
投影対物レンズが像側開口数ＮＡ＞０．８５及び縮小結像スケール｜β｜＜０．０５となるように、複数の光学素子が構成されて配置されていて、
像視野が１ｍｍより大きい最小像視野直径を有する、投影対物レンズ。
【請求項２】
像表面（１０４）が平面状であり、投影対物レンズの物表面（１０３）が曲率を有していて投影対物レンズに関して凹形であり、好ましくは物表面が、曲率を有していて投影対物レンズ（１２０）に関して凹形であり、投影対物レンズの構造長Ｌよりも小さい曲率半径ＲＯを有する、請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項３】
最大物視野直径がＤｍａｘであり、構造長がＬであり、物表面（１０３）が曲率を有していて投影対物レンズに関して凹形であり、このために以下の複数の条件：
（１）  ０．５２５・Ｄｍａｘ＜ＲＯ＜１００・Ｄｍａｘ
（２）  ０．５２５・Ｄｍａｘ＜ＲＯ＜１０・Ｌ
の少なくとも１つが当てはまる曲率半径ＲＯを有する、請求項１又は２に記載の投影対物レンズ。
【請求項４】
投影対物レンズが、投影対物レンズの少なくとも１つの光学素子を備えた物側素子群（１２５）と、投影対物レンズの少なくとも１つの光学素子を備えた像側素子群（１２６）を有し、結像ビームパスの投影放射に対して透過性であって照明放射を投影対物レンズにカップリングさせるのに役立つカップリングイン機器（１６０、２６０）が、物側素子群と像側素子群の間に配置されており、好ましくはカップリングイン機器が、ビームスプリッタとして構成されていて、投影対物レンズの光学軸心に関して傾斜して配向されたビームスプリッタ表面（１６１、２６１）を有し、好ましくはカップリングイン機器が、偏光ビームスプリッタとして構成されていて、投影対物レンズの光学軸心に関して傾斜して配向された偏光選択的ビームスプリッタ表面を有する、請求項１〜３のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項５】
カップリングイン機器（１６０、２６０）が、くびれの領域に配置されている、請求項４に記載の投影対物レンズ。
【請求項６】
投影対物レンズ（３２０）が、投影対物レンズの少なくとも１つの光学素子を備えた物側素子群と、投影対物レンズの少なくとも１つの光学素子を備えた像側素子群を含んでいて、物側及び像側素子群の間で照明放射を傾斜してカップリングインするためのカップリングイン機器（３６０）が、投影対物レンズに割り当てられている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項７】
像表面に直接続いていて正の屈折力を有する第１レンズ群と、
第１レンズ群に直接続いていて負の屈折力を有する第２レンズ群と、
第２レンズ群に直接続いていて正の屈折力を有する第３レンズ群と、
第３レンズ群に直接続いていて正の屈折力を有する第４レンズ群と、
第３レンズ群から第４レンズ群への移行領域に配置された系絞りと、
負の屈折力を有する第２レンズ群の領域に形成されていて最小ビーム束直径を有するくびれ領域と、
を有する、請求項１〜６のいずれか１項に記載の投影対物レンズ（２２０、３２０）。
【請求項８】
投影対物レンズが、物空間で本質的にテレセントリックのビームパスを有し、好ましくはテレセントリックエラーが、５０ｍｒａｄ未満、好ましくは１０ｍｒａｄ未満、とくに１ｍｒａｄ未満である、請求項７に記載の投影対物レンズ。
【請求項９】
像表面に直接続いていて負の屈折力を有する第１レンズ群と、
第１レンズ群に直接続いていて正の屈折力を有する第２レンズ群と、
第２レンズ群に直接続いていて正の屈折力を有する第３レンズ群と、
第２レンズ群から第３レンズ群への移行領域に配置された系絞りと、
負の屈折力を有する第１レンズ群の領域に形成されていて最小ビーム束直径を有するくびれ領域と、
を有する、請求項１〜６のいずれか１項に記載の投影対物レンズ（１２０）。
【請求項１０】
投影対物レンズ（１２０）が、物空間で非テレセントリックのビームパスを有し、好ましくは物空間のテレセントリックエラーが、５０ｍｒａｄよりも大きい、請求項９に記載の投影対物レンズ。
【請求項１１】
照明光のためのカップリングイン機器（１６０）が、各々負の屈折力を有する２つのレンズの間のくびれ領域に配置されている、請求項９又は１０に記載の投影対物レンズ。
【請求項１２】
照明光のための傾斜したカップリングインが、各々負の屈折力を有する２つのレンズの間のくびれ領域で提供されている、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の投影対物レンズ（３２０）。
【請求項１３】
像表面に直接続いていて負の屈折力を有する第１レンズ群が、物視野の縮小された中間虚像を生成し、
第１レンズ群に直接続いていて正の屈折力を有する第２レンズ群が、像表面に中間虚像を縮小結像し、好ましくは正の屈折力を有する追加のレンズ群が、負の屈折力を有する第１レンズ群の上流に挿入されている、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１４】
主放射源（１０１）からの放射で投影対物レンズ（１２０）の物表面（１０３）に配置されたパターンを照明するための照明系（１１０）を有するマイクロリソグラフィ用の投影露光装置であって、請求項１に記載の投影対物レンズを有する、投影露光装置（１００）。
【請求項１５】
照明系（１１０）が、放射源に続いていて照明系の少なくとも１つの光学素子を有する入力側素子群（１３５）と、照明系の少なくとも１つの光学素子を有する出力側素子群（１２５）を含み、出力側素子群が投影対物レンズの一部として構成されている、請求項１４に記載の投影露光装置。
【請求項１６】
照明系が、カップリングイン機器（１６０）と投影対物レンズの物表面（１０３）の間で、投影対物レンズの光学軸心と一致する光学軸心を有する、請求項１４又は１５に記載の投影露光装置。
【請求項１７】
照明系（３１０）が、カップリングイン機器（３６０）と投影対物レンズの物表面（３０３）の間で、投影対物レンズ（３２０）の光学軸心と有限角度を形成する光学軸心を有し、照明系の出力側素子群の複数の光学素子が、照明系の光学軸心に関して偏心して配置されていて、好ましくは照明系の出射面が、照明系の光学軸心に関して傾斜されている、請求項１４又は１５に記載の投影露光装置。
【請求項１８】
少なくとも１つの非球面を有する少なくとも１つの光学素子が、照明系の入力側素子群に配置されている、請求項１５〜１７のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項１９】
照明放射が、投影対物レンズの物表面に対して本質的に垂直に、本質的に全照明領域にわたって当たるように、照明系の出力側素子群が構成されていて、これが同時に照明系の出射面である、請求項１５〜１８のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２０】
投影対物レンズ（２２０）が平面状の物表面を有し、照明系（２１０）がその出射面でテレセントリックのビームパスのために構成されている、請求項１４〜１９のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２１】
投影対物レンズ（１２０）が、曲率を有する湾曲した物表面（１０３）を有していて投影対物レンズに関して凹形であり、照明系（１１０）がその出射面で非テレセントリックのビームパスのために構成されている、請求項１４〜１９のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２２】
照明系の開口絞り（Ａ’）が、照明系の入力側素子群（１３５）に配置されている、請求項１５〜２１のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２３】
照明系の像側開口数が、投影対物レンズ（１２０）の物側開口数よりも大きいか又はこれと等しいように、照明系（１１０）が構成されている、請求項１４〜２２のいずれか１項に記載の投影露光装置。