【手続補正書】
【提出日】平成20年3月27日(2008.3.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ウェーハキャリヤヘッドであって、
調節可能な保持リングを備え、前記保持リングが前記プライマリハウジングから下方に突出しているプライマリハウジングと、
前記プライマリハウジングに固定され、前記保持リングの周囲を包囲する領域内に位置決めされたウェーハ保持機構を備えるセカンダリハウジングとを備え、
前記保持リングは、前記プライマリハウジングに対して動くことができ且つ前記ウェーハ保持機構とは独立して動くことができ、前記ウェーハを研磨面に下降させたとき前記ウェーハの縁部を研磨面に保持する、
ことを特徴とするウェーハキャリヤヘッド。
【請求項２】  前記保持リングは、圧力を加えることにより上下に可動であって調節可能である、
請求項１に記載のウェーハキャリヤヘッド。
【請求項３】  前記保持リングの初期位置は、少なくとも１つのシムを前記プライマリハウジングと前記ウェーハ保持リングとの間に配置することにより調整可能である、
請求項２に記載のウェーハキャリヤヘッド。
【請求項４】  前記加圧力は、前記保持リングに取り付けられたプライマリベローズ組立体を通して前記保持リングに加えられる、
請求項２に記載のウェーハキャリヤヘッド。
【請求項５】  前記ウェーハ保持機構は、前記ウェーハの上面に保持力を加えることにより前記ウェーハを保持して搬送し、圧力を加えることにより前記ウェーハの下向きの表面を前記研磨面上に当接保持する、
請求項１に記載のウェーハキャリヤヘッド。
【請求項６】  前記プライマリハウジングは、少なくとも１つのプライマリハウジングストップを更に有し、前記保持リング機構は、少なくとも１つの保持リングストップを有し、前記プライマリハウジングストップと前記保持リングストップは、前記保持リングの垂直方向運動を制限するよう互いに接触したり離れる、
請求項１に記載のウェーハキャリヤヘッド。
【請求項７】  ウェーハキャリヤヘッドであって、
ウェーハを研磨面上に下降させているときウェーハの縁部を研磨面に保持するよう構成された調節可能なウェーハ保持機構を備えるプライマリハウジングと、
前記プライマリハウジングに固定されたセカンダリハウジングであって、下向きの力及び上向きの力のうち一方を前記ウェーハに及ぼし、前記ウェーハを保持して前記研磨面に搬送したり前記研磨面から搬送し、前記ウェーハを前記研磨面に当接保持するように構成された調節可能なウェーハ保持機構を有するセカンダリハウジングとを備え、
前記ウェーハ保持機構は、調節可能であって制御可能な下向きの力を前記ウェーハに及ぼし、それにより前記ウェーハは、前記ウェーハ保持機構が前記ウェーハを前記研磨面上に当接保持しているときに一様に研磨される、
ことを特徴とするウェーハキャリヤヘッド。
【請求項８】  前記ウェーハ保持機構は、調節可能であって制御可能な上向きの力を前記ウェーハの上面に及ぼして前記ウェーハを保持し、ウェーハを前記研磨面に搬送したり前記研磨面から搬送するよう調節可能である、
請求項７に記載のウェーハキャリヤヘッド。
【請求項９】  前記ウェーハ保持機構は、前記ウェーハを保持する軟質メンブレンと、前記メンブレンの下向きの外縁部及び前記ウェーハの対応関係にある外縁部によって構成されたシールとを更に有し、 前記シール及び前記上向きの力により、第２の上向きの力が前記メンブレンの残部と前記ウェーハの前記上面の残部との間に加えられる、
請求項８に記載のウェーハキャリヤヘッド。
【請求項１０】  前記ウェーハ保持機構は、前記メンブレンの上向きの外縁部に取り付けられている下向きの表面を備え、前記下向きの力及び前記上向きの力のうち一方を前記シールに加えるセカンダリベローズ組立体と、前記セカンダリハウジングの内面によって構成されたチャンバと、を更に有し、前記チャンバは、前記下向きの力を前記メンブレンの前記残部及び前記ウェーハの前記対応関係にある残部に加え、前記上向きの力を前記メンブレンの前記残部に加え、前記セカンダリベローズ組立体と前記チャンバは協働して、前記一様な下向きの力を前記メンブレン及び前記ウェーハに加える、
請求項９に記載のウェーハキャリヤヘッド。
【請求項１１】  前記チャンバは、前記下向きの力及び前記上向きの力を前記セカンダリベローズ組立体及び前記メンブレンの前記残部に伝える、
請求項１０に記載のウェーハキャリヤヘッド。
【請求項１２】  前記セカンダリハウジング及び前記セカンダリベローズ組立体の一方は、少なくとも１つの第１のストップを更に有し、前記セカンダリハウジング及び前記セカンダリベローズ組立体の他方は、少なくとも２つの第２のストップを更に有し、
前記第１のストップは、前記第２のストップのうちの一方に接触したりこれから離れて一方向における前記ウェーハ保持機構の運動を制限し、
前記第２のストップの他方に接触したりこれから離れて逆方向における前記ウェーハ保持機構の運動を制限する、
請求項１０に記載のウェーハキャリヤヘッド。
【請求項１３】  前記セカンダリハウジングは、前記第１のストップを有し、
前記セカンダリベローズ組立体は、前記第２のストップを有している、
請求項１２に記載のウェーハキャリヤヘッド。
【請求項１４】  前記セカンダリベローズ組立体は、前記第１のストップを有し、
前記セカンダリハウジングは、前記第２のストップを有している、
請求項１２に記載のウェーハキャリヤヘッド。
【請求項１５】  ウェーハキャリヤヘッドであって、
ウェーハを研磨面上に下降しているとき、ウェーハの縁部を研磨面上に保持する垂直方向に調節可能なウェーハ保持機構を備えたプライマリハウジングと、
前記プライマリハウジングに固定され、ウェーハを研磨面を保持してこれを研磨面に搬送したり研磨面から搬送したり、前記ウェーハを前記研磨面上に当接保持したりする垂直方向に調節可能なウェーハ保持機構を備えたセカンダリハウジングと、を有し、
前記ウェーハ保持機構及び前記ウェーハ保持機構は、前記ウェーハを前記研磨面によって研磨しているとき、前記ウェーハと前記研磨面の相互の平行度の変化に回動自在に順応するよう構成されている、
ことを特徴とするウェーハキャリヤヘッド。
【請求項１６】  前記ウェーハ保持機構は、可撓性プライマリベローズ組立体を更に有し、
前記ウェーハ保持機構は、可撓性セカンダリベローズ組立体を更に有し、
前記プライマリベローズ組立体と前記セカンダリベローズ組立体は協働して、前記ウェーハキャリヤヘッドが回動できるようにする、
請求項１５に記載のウェーハキャリヤヘッド。
【請求項１７】  前記プライマリハウジングは、少なくとも１つのプライマリハウジングストップを更に有し、前記ウェーハ保持機構は、少なくとも１つのウェーハ保持ストップを有し、前記プライマリハウジングストップ及び前記ウェーハ保持ストップは、前記ウェーハ保持機構の運動を制限するよう互いに接触したり離れるように位置決めされており、前記セカンダリハウジングは、少なくとも１つのセカンダリハウジングストップを更に有し、前記ウェーハ保持機構は、少なくとも１つの保持機構ストップを有し、前記セカンダリハウジングストップと前記ウェーハ保持ストップは、前記ウェーハ保持機構の運動を制限するよう互いに接触したり離れるように位置決めされている、
請求項１６に記載のウェーハキャリヤヘッド。
【請求項１８】  前記ウェーハキャリヤヘッドの回動可能な量は、前記プライマリハウジングストップと前記ウェーハ保持ストップとの間の距離及び前記セカンダリハウジングストップと前記保持機構ストップとの間の距離によって制限される、
請求項１７に記載のウェーハキャリヤヘッド。
【請求項１９】  研磨されるべきウェーハを取り扱う方法であって、
ウェーハをウェーハキャリヤヘッドのところに受け入れて前記ウェーハが前記ウェーハキャリヤヘッドに接触するようにする段階と、
一様な上向きの力を前記ウェーハキャリヤヘッドから及ぼして前記ウェーハを保持する段階と、
前記ウェーハキャリヤヘッドをウェーハ研磨面に搬送する段階と、
前記ウェーハキャリヤヘッドから突出した保持機構を前記研磨面上に下降させて前記保持機構が前記研磨面に接触するようにする段階と、
一様な下向きの力を前記ウェーハに加える段階と、
前記ウェーハ保持機構を上昇させて前記ウェーハを研磨する段階と、を有している、
ことを特徴とする方法。
【請求項２０】  負圧力を前記ウェーハキャリヤヘッドに及ぼして前記ウェーハを前記研磨面から上昇させる段階と、
前記ウェーハキャリヤヘッドを前記研磨面から遠ざけて前記ウェーハを取り出す段階と、を更に有している、
請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】  前記ウェーハが前記ウェーハキャリヤヘッドのところに受け入れられたときに、前記ウェーハの上向きの外部と、前記ウェーハキャリヤヘッド上のウェーハ保持機構の下向きの外部との間にシールを形成する段階を更に有している、
請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】  第２の上向きの力を前記シール内部の前記ウェーハの領域に加える段階を更に有している、
請求項２１に記載の方法。