【手続補正書】
【提出日】令和1年6月6日(2019.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査回路基板の複数の回路基板検査点に同時に接触するための複数の接触素子を有する検査アダプタ（１４）を具備する回路基板を検査するための並列検査装置（１）用の位置決め装置であって、前記検査アダプタ（１４）が、保持装置の内側保持部品（２８）に固定される能力を有し、前記内側保持部品（２８）が、当該位置決め装置の残りの部分に対して動くことができるように支持される位置決め装置であって、
軸受として、１つ以上の回り継手、及び／又は、１つ以上の空気軸受、及び／又は、１つ以上の磁気軸受のみが設けられる、位置決め装置。
【請求項２】
前記保持装置（２０，２５，２６，２７）が外側保持部品（３２）を有し、前記内側保持部品（２８）と前記外側保持部品（３２）とが、少なくとも回り継手（３０，３１）によって結合されていることを特徴とする、請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】
前記内側保持部品（２８）と前記外側保持部品（３２）との間に中間保持部品（２９）が設けられ、該中間保持部品（２９）が、対応する回り継手（３０，３１）によって前記内側保持部品（２８）及び前記外側保持部品（３２）に結合されていることを特徴とする、請求項２に記載の位置決め装置。
【請求項４】
空気軸受が、前記内側保持部品（２８）及び／又は前記検査アダプタ（１４）を支持するために設けられていることを特徴とする、請求項１から請求項３のいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項５】
当該位置決め装置が、前記検査アダプタ（１４）を前記回路基板に対して前記検査アダプタの前記接触素子の平面内で少なくともｙ方向に位置決めするための２つの直線的に調整するポジショナ（３９，４０）を含むｙ位置決め装置（２５）として具体化され、前記２つの直線的調整ポジショナ（３９，４０）が、相互に略平行に配置され、相互に所定の間隔を置いて配置され、その結果、略平行に配置される前記２つの位置決め装置が異なって駆動されるときに、前記内側保持部品（２８）に固定された検査アダプタ（１４）と被検査回路基板との間で相対回転運動が実行されることを特徴とする、請求項１から請求項４のいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項６】
当該位置決め装置が、リニアモータの形態で具体化される直線的調整ポジショナ（３９，４０）を有することを特徴とする、請求項１から請求項５のいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項７】
前記内側保持部品（２８）の動きを検出するための１つ以上の変位センサ（４５）が設けられ、該１つ以上の変位センサが、好ましくは、非接触変位センサ、特に光学変位センサであることを特徴とする、請求項１から請求項６のいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項８】
被検査回路基板の複数の回路基板検査点に同時に接触するための複数の接触素子を有する検査アダプタ（１４）を具備する回路基板を検査するための並列検査装置であって、前記並列検査装置（１）が、被検査回路基板に対して前記検査アダプタを位置決めするための位置決め装置を有する並列検査装置であって、
前記位置決め装置が、請求項１から請求項７のいずれかによって具体化され、前記ｙ方向に検査アダプタを位置決めするように配置されていることを特徴とする、並列検査装置。
【請求項９】
当該並列検査装置が、前記検査アダプタ（１４）の前記接触素子の平面内で、前記ｙ方向に略直交する方向であるｘ方向に、前記回路基板に対して前記検査アダプタ（１４）を位置決めするように具体化される、ｘ位置決め装置を有することを特徴とする、請求項８に記載の並列検査装置。
【請求項１０】
当該並列検査装置（１）が、前記検査アダプタ（１４）の前記平面に略直交するｚ方向に、前記回路基板に対して前記検査アダプタ（１４）を位置決めするように具体化される、ｚ位置決め装置を有することを特徴とする、請求項８又は請求項９に記載の並列検査装置。
【請求項１１】
当該並列検査装置が、２つの検査アダプタ（１４）を有し、該２つの検査アダプタ（１４）がそれぞれ被検査回路基板の一方の側面を検査するために配置され、該２つの検査アダプタ（１４）には同一の前記位置決め装置が設けられることを特徴とする、請求項８から請求項１０のいずれかに記載の並列検査装置。
【請求項１２】
請求項８から請求項１１のいずれかに記載の被検査回路基板の複数の回路基板検査点に同時に接触するための複数の接触素子を有する検査アダプタ（１４）を具備する回路基板を検査するための並列検査装置であって、
当該並列検査装置（１）が、前記検査アダプタ（１４）を、その接触素子の平面に対して直交する方向に移動させるためのｚ位置決め装置と、前記検査アダプタを、その接触素子の平面でｘ方向に移動させるためのｘ位置決め装置と、前記検査アダプタを、その接触素子の平面で、ｘ方向に略直交するｙ方向に移動させるためのｙ位置決め装置（２５）とを有し、
当該並列検査装置（１）が、前記ｘ方向にオフセットされた２つの検査ステーションを有し、前記ｘ位置決め装置が、前記ｘ位置方向決め装置を用いて、前記検査アダプタ（１４）が前記２つの検査ステーションの間で移動可能であるように十分に大きい移動経路によって具体化され、
被検査回路基板の前記ｙ方向への搬入及び放出のための運搬手段が各検査ステーションに設けられている、並列検査装置。
【請求項１３】
前記検査アダプタ（１４）が、万能テストヘッド（１６，１７）の均一なグリッド上に被検査回路基板の回路基板テスト検査点のパターンをマッピングする万能アダプタであることを特徴とする、請求項８から請求項１２のいずれかに記載の並列検査装置。
【請求項１４】
前記検査アダプタ（１４）が、被検査回路基板の前記回路基板検査点の前記パターンに対応するパターンで配置された接触素子を有する専用の検査アダプタであり、前記接触素子が、一組の検査用電子回路につながるケーブルに直接接続されていることを特徴とする、請求項８から請求項１３のいずれかに記載の並列検査装置。
【請求項１５】
請求項８から請求項１４のいずれかに記載の検査アダプタ（１４）を有する回路基板を検査するための並列検査装置であって、
当該並列検査装置（１）が、該並列検査装置の少なくとも１つの構成要素、例えば被検査回路基板用のアダプタ（１４）又は受入装置（１０，１１）を移動させるための複数の移動装置（４８）を有し、
当該並列検査装置（１）が、鉱物、セラミック、ガラスセラミックス、若しくは、ガラス状材料により形成される又はコンクリートにより形成される基体（５０）を有し、
被検査回路基板及び前記検査アダプタ（１４）の両方の相対位置に影響を与える各移動装置（４８）が、前記基体（５０）に固定されていることを特徴とする、並列検査装置。
【請求項１６】
前記基体（５０）に直接固定された前記移動装置がそれぞれ１つ以上の位置決め装置を有し、各位置決め装置が、構成要素を移動方向に移動させるように具体化され、各移動装置の前記位置決め装置が相互に直交するように配向されていることを特徴とする、請求項１５に記載の並列検査装置。
【請求項１７】
前記基体が５〜１０−６／Ｋ以下の熱膨張係数を有する材料により構成されることを特徴とする、請求項１５又は請求項１６に記載の並列検査装置。
【請求項１８】
請求項８から請求項１７のいずれかに記載の検査アダプタ（１４）を有する回路基板を検査するための並列検査装置であって、
当該並列検査装置（１）が、前記検査アダプタを移動させるための少なくとも１つの移動装置と、被検査回路基板用の受入装置（１０，１１）を移動させるための移動装置と、少なくとも１つの光検出装置と、有し、
当該並列検査装置が、前記光検出装置を用いて異なる測定位置で被検査回路基板を検出するように具体化される制御装置（４７）を有し、前記異なる測定位置に関する前記回路基板の前記位置情報が、メモリ内に記憶されており、前記回路基板及び検査アダプタが、それぞれの中で各検査プロセスを実行するために異なる測定位置に移動されることを特徴とする、並列検査装置。
【請求項１９】
前記光検出装置が反対方向に向くように配置される２つのカメラを有することを特徴とする、請求項１８に記載の並列検査装置。
【請求項２０】
検出装置が、異なる測定位置における検査アダプタの位置を検出し、前記測定位置間の前記検査アダプタの前記移動を制御するための制御情報が導出され、メモリ内に記憶され、前記制御情報が、前記個々の測定位置における前記検査アダプタの前記移動を記述する、請求項１８又は請求項１９に記載の並列検査装置を較正するための方法。
【請求項２１】
回路基板を検査する方法であって、該回路基板が、請求項８から請求項１７のいずれかに記載の並列検査装置（１）で検査される方法。
【請求項２２】
前記並列検査装置（１）が、好ましくは、請求項２０に従って較正される、請求項２１に記載の方法。