【手続補正書】
【提出日】平成19年5月23日(2007.5.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】アクティブ除振装置、露光装置、およびデバイス製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  除振対象に力を付与するエアバネを有するアクチュエータと、このアクチュエータの圧力を検出する圧力検出手段と、この圧力検出手段の検出値に基づいて前記アクチュエータを制御する制御手段とを備えたアクティブ除振装置において、前記圧力検出手段は、前記エアバネおよびこれに接続されたタンクの少なくとも一方の内部の圧力を直接検出するものであることを特徴とするアクティブ除振装置。
【請求項２】  前記除振対象の振動を検出する振動検出手段、および前記除振対象の位置を検出する位置検出手段を備え、前記制御手段は、前記振動検出手段および位置検出手段の検出値に基づいて前記アクチュエータを制御するものであることを特徴とする請求項１に記載のアクティブ除振装置。
【請求項３】  前記エアバネは、概ね円筒形状の弾性膜の両端に円盤形状の板を対向するように固定して形成することにより、その内部空間の気体圧力を制御することによって前記対向する板が前記円筒形状の軸方向に相対移動可能な構造としたものであって、外部との通気が可能な通気口を３個以上有し、該通気口のうちいずれか１個以上は電空弁を介して前記内部空間内に気体を供給するための給気口であり、別の１個以上の通気口は前記内部空間内から気体を排気するための排気口であり、さらに別の１個以上の通気口には前記圧力検出手段として、前記内部空間内の圧力を検出するための第１の検出手段が接続されており、前記制御手段は、前記第１検出手段の検出値に基づいて前記電空弁を制御することにより前記アクチュエータを制御するものであることを特徴とする請求項１または２に記載のアクティブ除振装置。
【請求項４】  前記第１検出手段は、前記対向する円盤形状の板のうち前記除振対象に固定される方の板の概ね中心部に直付けして配されていることを特徴とする請求項３に記載のアクティブ除振装置。
【請求項５】  前記タンクとして、前記内部空間に前記給気口を介して接続されたものを有し、前記電空弁はこのタンクに設けられた前記内部空間以外の外部との通気口に設けられていることを特徴とする請求項３または４に記載のアクティブ除振装置。
【請求項６】  前記タンクは、前記圧力検出手段として、前記給気口および前記電空弁が設けられた通気口以外の部分に設けられた圧力検出用の出口に接続された第２の検出手段を備え、前記制御手段は、この第２検出手段と前記第１検出手段のいずれか一方または双方の検出値に基づいて前記電空弁を制御するものであることを特徴とする請求項５に記載のアクティブ除振装置。
【請求項７】  前記排気口には、異なる複数の経路へ切り換えて排気を行うための排気経路切換手段が接続され、この排気経路切換手段の入力または出力側に絞りを有することを特徴とする請求項３乃至６のいずれか１項に記載のアクティブ除振装置。
【請求項８】  可動物の移動に基づく振動を除振するための請求項１乃至７のいずれか１項に記載のアクティブ除振装置を具備することを特徴とする露光装置。
【請求項９】  請求項８に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
該露光された基板を現像するステップと、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気体の圧力を利用したアクチュエータを備えたアクティブ除振装置、露光装置、およびデバイス製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
特に、露光装置においてはステージなどの可動物の移動に伴って高周波数の振動が起こりうるため、低周波数から高周波数までの振動を高精度で除振する必要があるが、従来のエアアクチュエータで除振を行うと、配管共振を起こしたり、アクチュエータの内圧を精確に検出できないことがあり、高周波数域の除振を十分に行うことができない。
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑み、エアバネを有するアクチュエータの制御帯域を広げることを課題とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するため、本発明の第１のアクティブ除振装置は、除振対象に力を付与するエアバネを有するアクチュエータと、このアクチュエータの圧力を検出する圧力検出手段と、この圧力検出手段の検出値に基づいて前記アクチュエータを制御する制御手段とを備えたアクティブ除振装置において、前記圧力検出手段は、前記エアバネおよびこれに接続されたタンクの少なくとも一方の内部の圧力を直接検出するものであることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明のデバイス製造方法は、前記第８の露光装置を用いて基板を露光するステップと、該露光された基板を現像するステップと、を有することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
つぎに圧力検出手段である圧力センサ９２または２２をアクチュエータまたはタンク２１に直付けする効果を概説する。図７は電空弁７１の近傍に圧力センサ７２を設け、タンク７３およびアクチュエータ７４の内圧を制御する従来の構成を示す。このような構成では、一般にアクチュエータ７４の内圧の周波数特性は、図８の太い実線７６のような「電空弁電流−圧力」特性となり、配管路７５が長くなるとＱの周波数が低くなる。圧力センサ７２で検出される圧力は、破線７７のような周波数特性となり、ＲおよびＳの影響で、実際のエアアクチュエータの内圧（太い実線７６）とはかなり異なり、当然、圧力フィードバック制御の帯域も制限されてしまう。そこで、本発明に従った構成を用いることで、このような問題点を解決することが可能となり、圧力センサ９２や２２で実際のアクチュエータの内圧変化を正確に検出できる。すでに実施例中で電空弁１５からの給気配管長を短くする効果に触れているが、具体的には配管路７５を短くすると、アクチュエータの内圧は図８の細い実線７８のような周波数特性となることが期待され、図１および２に示すように圧力センサ９２や２２を用いればこれを観測することが可能となる。アクチュエータに取り付けた圧力センサ９２は、これを用いて圧力フィードバック制御を実施することで多くの効果を期待できるが、精緻な解析のための測定用として用いるのみでも充分な効果が期待できる。
本実施例の効果は以下の通りである。
（１）エアバネまたはこれに接続されたタンクの内部の圧力を直接検出するようにしたため、高周波数域においても十分な除振を行うことができる。すなわち、エアバネを有するアクチュエータの制御帯域を広げることができる。
（２）アクティブ除振装置の構造を、アクチュエータのエアバネとタンクを流路とした行き止まり空間の少ない構造とし、内部での局所的圧力変動を抑え、広帯域に除振が可能なアクティブ除振装置を提供することができる。
（３）上記（２）の構造を前提とし、アクチュエータのエアバネまたはタンクに圧力検出手段を直付けしていることにより、アクティブ除振装置の発生力の正確な測定を広帯域で実現でき、信頼性の高い振動解析が可能となる。その結果、アクティブ除振装置の制御パラメータや、除振対象に施すべき各種振動対策（構造変更、材質変更など）を明解に示唆することができる。
（４）広帯域で正確な圧力検出が可能なため、優れた特性の圧力フィードバック制御系を実現でき、主に電空弁の「電流−圧力」非直線性に起因する除振制振性能の低下を避けることができる。
（５）排気経路切換手段を設けたことにより、圧力検出手段の校正を容易に、場合によっては自動的に実現でき、主に経時ドリフトの対策を提供し、また排気経路に絞りを設けたことにより電空弁の選択範囲（流量制御、圧力制御など）を広げることができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
【発明の効果】
本発明によれば、エアバネを有するアクチュエータの制御帯域を広げることができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】削除
【補正の内容】