【手続補正書】
【提出日】平成19年8月7日(2007.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブカードを支持するインサートリングと、インサートリングを支承するヘッドプレートとの間に介在し、上記プローブカードとその下方に配置された載置台上の被検査体との平行度を調整する機構であって、上記ヘッドプレートにおいて上記インサートリングを複数箇所で昇降可能に支承する複数の支承機構を備えていることを特徴とするプローブカードの調整機構。    
【請求項２】
上記複数の支承機構は、上記インサートリングの一部を支承する第１支承機構と、第１支承機構からそれぞれ互いに周方向に離間して配置されて上記インサートリングの他の部位を昇降可能に支承する複数の第２支承機構と、を備えていることを特徴とする請求項１に記載のプローブカードの調整機構。    
【請求項３】
上記第２支承機構は、上記インサートリングを昇降させる楔部材を有することを特徴とする請求項２に記載のプローブカードの調整機構。    
【請求項４】
上記第２支承機構は、上記楔部材を上記インサートリングと上記ヘッドプレートとの間で移動させる駆動機構を有することを特徴とする請求項３に記載のプローブカードの調整機構。    
【請求項５】
上記第２支承機構は、上記楔部材の傾斜面上に配置され且つ上記楔部材の移動に従って上記インサートリングの傾き具合に倣って傾斜する接触面を含む昇降体を有することを特徴とする請求項３または請求項４に記載のプローブカードの調整機構。    
【請求項６】
上記昇降体は、上記接触面が形成された球面軸受けを有することを特徴とする請求項５に記載のプローブカードの調整機構。    
【請求項７】
プローブカードを支持するインサートリングと、インサートリングを支承するヘッドプレートと、インサートリングとヘッドプレートの間に介在し、上記プローブカードとその下方に配置された載置台上の被検査体との平行度を調整する調整機構と、を備えたプローブ装置であって、上記調整機構は、上記ヘッドプレートにおいて上記インサートリングを複数箇所で昇降可能に支承する複数の支承機構を備えていることを特徴とするプローブ装置。    
【請求項８】
上記複数の支承機構は、上記インサートリングの一部を支承する第１支承機構と、第１支承機構からそれぞれ互いに周方向に離間して配置されて上記インサートリングの他の部位を昇降可能に支承する複数の第２支承機構と、を備えていることを特徴とする請求項７に記載のプローブ装置。    
【請求項９】
上記第２支承機構は、上記インサートリングを昇降させる楔部材を有することを特徴とする請求項８に記載のプローブ装置。 
【請求項１０】
上記第２支承機構は、上記楔部材を上記インサートリングと上記ヘッドプレートとの間で移動させる駆動機構を有することを特徴とする請求項９に記載のプローブ装置。    
【請求項１１】
上記第２支承機構は、上記楔部材の傾斜面上に配置され且つ上記楔部材の移動に従って上記インサートリングの下面に倣って傾斜する接触面を含む昇降体を有することを特徴とする請求項９または請求項１０に記載のプローブ装置。    
【請求項１２】
上記昇降体は、上記接触面が形成された球面軸受けを有することを特徴とする請求項１１に記載のプローブ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の請求項１に記載のプローブカードの調整機構は、プローブカードを支持するインサートリングと、インサートリングを支承するヘッドプレートとの間に介在し、上記プローブカードとその下方に配置された載置台上の被検査体との平行度を調整する機構であって、上記ヘッドプレートにおいて上記インサートリングを複数箇所で昇降可能に支承する複数の支承機構を備えていることを特徴とするものである。  また、本発明の請求項２に記載のプローブカードの調整機構は、請求項１に記載の発明において、上記複数の支承機構は、上記インサートリングの一部を支承する第１支承機構と、第１支承機構からそれぞれ互いに周方向に離間して配置されて上記インサートリングの他の部位を昇降可能に支承する複数の第２支承機構と、を備えていることを特徴とするものである。 また、本発明の請求項３に記載のプローブカードの調整機構は、請求項２に記載の発明において、上記第２支承機構は、上記インサートリングを昇降させる楔部材を有することを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の請求項４に記載のプローブカードの調整機構は、請求項３に記載の発明において、上記第２支承機構は、上記楔部材を上記インサートリングと上記ヘッドプレートとの間で移動させる駆動機構を有することを特徴とするものである。 
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明の請求項５に記載のプローブカードの調整機構は、請求項３または請求項４に記載の発明において、上記第２支承機構は、上記楔部材の傾斜面上に配置され且つ上記楔部材の移動に従って上記インサートリングの傾き具合に倣って傾斜する接触面を含む昇降体を有することを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明の請求項６に記載のプローブカードの調整機構は、請求項５に記載の発明において、上記昇降体は、上記接触面が形成された球面軸受けを有することを特徴とするものである。 
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明の請求項７に記載のプローブ装置は、プローブカードを支持するインサートリングと、インサートリングを支承するヘッドプレートと、インサートリングとヘッドプレートの間に介在し、上記プローブカードとその下方に配置された載置台上の被検査体との平行度を調整する調整機構と、を備えたプローブ装置であって、上記調整機構は、上記ヘッドプレートにおいて上記インサートリングを複数箇所で昇降可能に支承する複数の支承機構を備えていることを特徴とするものである。  また、本発明の請求項８に記載のプローブ装置は、請求項７に記載の発明において、上記複数の支承機構は、上記インサートリングの一部を支承する第１支承機構と、第１支承機構からそれぞれ互いに周方向に離間して配置されて上記インサートリングの他の部位を昇降可能に支承する複数の第２支承機構と、を備えていることを特徴とするものである。 また、本発明の請求項９に記載のプローブ装置は、請求項８に記載の発明において、上記第２支承機構は、上記インサートリングを昇降させる楔部材を有することを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明の請求項１０に記載のプローブ装置は、請求項９に記載の発明において、上記第２支承機構は、上記楔部材を上記インサートリングと上記ヘッドプレートとの間で移動させる駆動機構を有することを特徴とするものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明の請求項１１に記載のプローブ装置は、請求項９または請求項１０に記載の発明において、上記第２支承機構は、上記楔部材の傾斜面上に配置され且つ上記楔部材の移動に従って上記インサートリングの下面に倣って傾斜する接触面を含む昇降体を有することを特徴とするものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明の請求項１２に記載のプローブ装置は、請求項１１に記載の発明において、上記昇降体は、上記接触面が形成された球面軸受けを有することを特徴とするものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明によれば、プローブカードと被検査体との平行度を短時間で簡単且つ円滑に調整することができ、しかも検査の間、調整後の精度を確実に維持することができるプローブカードの調整機構及びプローブ装置を提供することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
本実施形態のプローブカード調整機構１６は、例えば、図１、図２に示すように、インサートリング１３とヘッドプレート１４との間に介在し、プローブカード１１とその下方に配置されたウエハチャック１５上のウエハＷとの平行度を調整するように構成されている。このプローブカード調整機構１６は、図１、図２に示すように、インサートリング１３の一部を支承する第１支承機構１６１と、第１支承機構１６１からそれぞれ互いに周方向に離間して配置されてインサートリング１３を他の２箇所で支承する２つの第２支承機構１６２と、を備えている。第１支承機構１６１は一定の高さでインサートリング１３を支承し、２つの第２支承機構１６２はそれぞれヘッドプレート１４上にあって個々にインサートリング１３を昇降させる楔部材１６２Ａを有している。第１支承機構１６１は、図２に示すように、インサートリング１３を一点で支承する球体１６１Ａを有し、インサートリング１３の基準高さに設定されている。本実施形態のプローブカードの調整機構１６は、第２支承機構１６２に特徴があるため、以下では第２支承機構１６２について図３の（ａ）、（ｂ）を参照しながら詳述する。