【手続補正書】
【提出日】平成18年12月26日(2006.12.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉空間内の気体の濃度を測定する第１濃度測定器の少なくとも一部を、前記密閉空間に対し隔離された隔離空間内に隔離する隔離手段を有し、
前記隔離手段は、前記濃度測定器の少なくとも一部を、前記密閉空間に対して開放することが可能であることを特徴とする濃度測定機構。
【請求項２】
密閉空間内の気体の濃度を測定する第１測定部を有する第１濃度測定器と、
前記第１測定部を格納し、前記密閉空間に対して開放と隔離とを切り替え可能な隔離空間とを有することを特徴とする濃度測定機構。
【請求項３】
前記隔離空間に前記気体とは異なる気体を供給する気体供給手段を有することを特徴とする請求項１又は２記載の濃度測定機構。
【請求項４】
前記隔離空間内の気体を前記異なる気体で置換する置換手段を有することを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の濃度測定機構。
【請求項５】
前記隔離空間を前記密閉空間に対して隔離したとき、該隔離空間の圧力が、前記密閉空間の圧力よりも高いことを特徴とする請求項１乃至４いずれか１項記載の濃度測定機構。
【請求項６】
前記気体の濃度を測定する第２濃度測定器を有し、該第２濃度測定器の測定可能範囲と前記第１濃度測定器の測定可能範囲とが異なることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の濃度測定機構。
【請求項７】
前記第２濃度測定器の測定可能範囲の上限値が、前記第１濃度測定器の測定可能範囲の上限値より高いことを特徴とする請求項６に記載の濃度測定機構。
【請求項８】
前記第２濃度測定器の測定可能範囲と前記第１濃度測定器の測定可能範囲とが重ならないことを特徴とする請求項６又は７に記載の濃度測定機構。
【請求項９】
前記気体の濃度を測定する第２濃度測定器を有し、前記第２濃度測定器の前記気体を測定する第２測定部が、前記密閉空間内で且つ前記隔離空間外に配置されていることを特徴とする請求項１乃至８いずれかに記載の濃度測定機構。
【請求項１０】
前記隔離手段は、前記密閉空間と前記隔離空間との間に設けられたバルブを含むことを特徴とする請求項１に記載の濃度測定器。
【請求項１１】
前記気体が酸素であることを特徴とする請求項１乃至１０いずれか１項記載の濃度測定機構。
【請求項１２】
前記気体が水であることを特徴とする請求項１乃至１１いずれか１項記載の濃度測定機構。
【請求項１３】
光源からの光でレチクルのパターンを照明する照明光学系と、前記レチクルからの光を被露光体に投影する投影光学系と、請求項１乃至１２いずれか１項に記載の濃度測定機構とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の露光装置を用いて被露光体を露光する工程と、前記露光された被露光体を現像する工程とを有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、対象気体の濃度を測定する濃度測定機構、露光装置、およびデバイス製造方法に関するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
よって、本出願に係る発明の目的は、気体の濃度を高精度に測定できるようにすることを目的としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明の一側面としての濃度測定機構は、密閉空間内の気体の濃度を測定する濃度測定機構であって、前記密閉空間内の気体の濃度を測定する第１濃度測定器の少なくとも一部を、前記密閉空間に対し隔離された隔離空間内に隔離する隔離手段を有し、前記隔離手段は、前記濃度測定器の少なくとも一部を、前記密閉空間に対して開放することが可能であることを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明の別の側面としての濃度測定機構は、密閉空間内の対象気体の濃度を測定する濃度測定機構であって、前記密閉空間内の対象気体の濃度を測定する第１測定部を有する第１濃度測定器と、前記測定部を格納し、前記密閉空間に対して開放と隔離とを切り替え可能な隔離空間とを有することを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
ここで、前記隔離空間に前記気体とは異なる気体を供給する気体供給手段を有していたり、前記隔離空間内の気体を前記気体とは異なる気体で置換する置換手段を有していたりしても構わない。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、前記気体の濃度を測定する第２濃度測定器を有し、該第２濃度測定器の測定可能範囲と前記第１濃度測定器の測定可能範囲とが異なることが望ましい。また、前記第２濃度測定器の測定可能範囲の上限値が、前記第１濃度測定器の測定可能範囲の上限値より高いことが望ましい。また、前記第２濃度測定器の測定可能範囲と前記第１濃度測定器の測定可能範囲とが重ならないことが望ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、前記気体の濃度を測定する第２濃度測定器を有し、前記第２濃度測定器の前記気体を測定する第２測定部が、前記密閉空間内で且つ前記隔離空間外に配置されていることが望ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明の別の側面としての濃度測定機構は、密閉空間内の気体の濃度を測定する濃度測定機構であって、前記密閉空間内の対象気体の濃度を測定する第１測定部を有する第１濃度測定器と、前記測定部を格納する隔離空間を、前記密閉空間に対して開放と隔離とに切り替え可能な隔離手段と、前記隔離空間に前記対象気体とは異なるを供給する気体供給手段とを有することを特徴としている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
ここで、前記対象気体の濃度を測定する第２濃度測定器を有し、該第２濃度測定器の測定可能範囲の下限値が前記第１濃度測定器の測定可能範囲の上限値よりも高いことが望ましい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
ここで、前記気体が酸素である、または前記気体が水であることが望ましい。勿論他の物質であっても構わないが、短波長の紫外線、特に１００〜２００ｎｍの光を吸収する物質であることが望ましい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
前記隔離手段は、前記密閉空間と前記隔離空間との間に設けられたバルブを含むことが望ましい。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の一側面としての露光装置は、光源からの光でレチクルのパターンを照明し、前記レチクルからの光で被露光体を露光する露光装置であって、上述の濃度測定機構を有することを特徴としている。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、本発明の別の側面としての露光装置は、光源からの光でレチクルのパターンを照明する照明光学系と、前記レチクルからの光を被露光体に投影する投影光学系と、上述の濃度測定機構とを有することを特徴としている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、本発明の一側面としてのデバイスの製造方法は、上述の露光装置を用いて被露光体を露光する工程と、前記露光された被露光体を現像する工程とを有することを特徴としている。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
上記のように構成すれば、気体の濃度を高精度に測定することができる。