【手続補正書】
【提出日】平成20年1月15日(2008.1.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ニッケル又はニッケル合金を本質的に含む、少なくとも一つの外表面を有するガス検知フィラメントを備え、対象ガス種と接触すると前記ガス検知フィラメントの少なくとも１つの特性の変化を検出して、前記対象ガス種の存在を示す出力信号を応答して発生するように構成される、ガスセンサアセンブリ。
【請求項２】
前記対象ガス種が、ＮＦ３、ＳｉＦ４、Ｃ２Ｆ６、ＨＦ、Ｆ２、ＣＯＦ２、ＣｌＦ３、ＩＦ３、及びそれらの活性種からなる群から選択されたフッ素種を含む、請求項１に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項３】
前記ガス検知フィラメントが、約１５０ミクロン未満の平均直径を特徴とする、請求項１に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項４】
前記ガス検知フィラメントが、約５０ミクロン未満の平均直径を特徴とする、請求項１に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項５】
前記ガス検知フィラメントが、約０．１ミクロン〜約３０ミクロンの範囲の平均直径を特徴とする、請求項１に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項６】
前記ガス検知フィラメントが、約１ｃｍを超える長さを特徴とする、請求項１に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項７】
前記ガス検知フィラメントが、コア構造を包み込む被覆構造を備え、前記被覆構造がニッケル又はニッケル合金を含み、前記コア構造が、前記被覆構造の電気抵抗率よりも高い電気抵抗率と、前記被覆構造の熱容量よりも低い熱容量とを有する、請求項１に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項８】
前記コア構造の電気抵抗率が、少なくとも約１０ｍΩ・ｃｍであり、前記コア構造の熱容量が、２．５Ｊ／Ｋ・ｃｍ３未満である、請求項７に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項９】
前記コア構造がニッケル・銅合金を含み、前記被覆構造が本質的にニッケルからなる、請求項７に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項１０】
前記コア構造が、炭化ケイ素を含む、請求項７に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項１１】
前記コア構造が、異なる材料の多層を有する複合繊維を含む、請求項７に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項１２】
前記ガス検知フィラメントが、合金の合計重量の約１０％〜約９０％のニッケル及び約１０％〜約９０％の銅を含有するニッケル・銅合金を含み、合金の合計重量の約１０％〜約９０％のアルミニウムを任意に含む、請求項１に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項１３】
前記ニッケル・銅合金が、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ａｇ、Ｉｒ、及びＰｔからなる群から選択された１つ以上の金属をさらに含む、請求項１２に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項１４】
前記ガス検知フィラメントが、ニッケル又はニッケル合金の多孔質被覆を含む、請求項１に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項１５】
前記ガス検知フィラメントを吊設するための支持構造をさらに備える、請求項１に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項１６】
前記支持構造が、前記対象ガス種に対し抵抗性の材料を含む、請求項１５に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項１７】
前記支持構造が、ポリイミド、アルミニウム、又はニッケルからなる群から選択された材料を含む、請求項１５に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項１８】
対象ガス種の存在について流体位置を監視するための方法であって、
前記流体位置において、請求項１に記載のガス検知アセンブリに流体を暴露するステップと、
このようなガス検知アセンブリのガス検知フィラメントの少なくとも１つの特性を監視するステップと、
前記ガス検知フィラメントがその少なくとも１つの特性の変化を示したときに、応答して出力信号を発生して、前記流体位置の対象ガス種の存在、又は前記流体位置の対象ガス種の濃度の変化を示すステップと、
を含む方法。
【請求項１９】
監視される前記ガス検知フィラメントの前記少なくとも１つの特性が、前記ガス検知フィラメントの電気抵抗である、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
コア構造を包み込む被覆構造を備えるガス検知フィラメントを備えるガスセンサアセンブリであって、前記被覆構造が、対象ガス種との存否又は濃度を示す検出可能な変化を示すガス感受性材料を含み、前記コア構造が、前記被覆構造の電気抵抗率よりも高い電気抵抗率と、前記被覆構造の熱容量よりも低い熱容量とを特徴とするガスセンサアセンブリ。
【請求項２１】
被覆構造とコア構造とを備えるガス検知フィラメントを備えるガスセンサアセンブリであって、前記被覆構造がニッケル又はニッケル合金を含み、前記コア構造が炭化ケイ素を含む、ガスセンサアセンブリ。
【請求項２２】
ニッケル・銅合金を含むガス検知フィラメントを備えるガスセンサアセンブリであって、前記ニッケル・銅合金が、約１０％〜約９０％のニッケルと、約１０％〜約９０％の銅と、を含む、ガスセンサアセンブリ。
【請求項２３】
ニッケル・銅・アルミニウム合金を含むガス検知フィラメントを備えるガスセンサアセンブリ。
【請求項２４】
前記ニッケル・銅・アルミニウム合金が、前記合金の合計重量の約１０％〜約９０％のニッケルと、約１０％〜約９０％の銅と、約１０％〜約９０％のアルミニウムとを含む、請求項２３に記載のガスセンサアセンブリ。
【請求項２５】
ニッケル含有の独立ガス検知フィラメントを吊設するための支持構造を備えるガスセンサアセンブリであって、前記支持構造が、ポリイミド、アルミニウム、又はニッケルからなる群から選択される耐フッ素材料を含む、ガスセンサアセンブリ。
【請求項２６】
１つ以上の対象フッ素種の存在に敏感なプロセスチャンバに検知関係で配置されたガスセンサアセンブリであって、ポリイミド、アルミニウム、又はニッケルからなる群から選択される耐フッ素支持構造に装着され、かつ対象フッ素種と接触すると前記ガス検知フィラメントの少なくとも１つの特性の変化を検出して、前記対象フッ素種の存在を示す出力信号を応答して発生するための手段に結合されるように、前記ガスセンサアセンブリが、ニッケル又はニッケル合金含有のガス検知フィラメントを備えるガスセンサアセンブリ。
【請求項２７】
１つ以上のガス検知フィラメントによって形成された細長いガスセンサ要素であって、前記細長いガスセンサ要素が、２つの電気接続端子を備えかつ長手方向軸線を有し、前記センサ要素の長手方向軸線が、前記２つの電気接続端子によって画定された線に対し略垂直である細長いガスセンサ要素。
【請求項２８】
前記１つ以上のガス検知フィラメントが、約１５０ミクロン未満の平均直径を特徴とする、請求項２７に記載の細長いガスセンサ要素。
【請求項２９】
前記１つ以上のガス検知フィラメントが、約５０ミクロン未満の平均直径を特徴とする、請求項２７に記載の細長いガスセンサ要素。
【請求項３０】
前記１つ以上のガス検知フィラメントが、約０．１ミクロン〜約３０ミクロンの範囲の平均直径を特徴とする、請求項２７に記載の細長いガスセンサ要素。
【請求項３１】
前記細長いガスセンサ要素の長手方向軸線に沿った約１ｃｍを超える長さを特徴とする、請求項２７に記載の細長いガスセンサ要素。
【請求項３２】
叉骨形状を特徴とする、請求項２７に記載の細長いガスセンサ要素。
【請求項３３】
コア構造を包み込むニッケル含有被覆を備え、前記コア構造が、前記ニッケル含有被覆よりも高い電気抵抗率と、前記ニッケル含有被覆よりも低い熱容量とを有する、請求項２７に記載の細長いガスセンサ要素。
【請求項３４】
前記コア構造の電気抵抗率が、少なくとも約１０ｍΩ・ｃｍであり、また前記コア構造の熱容量が、２．５Ｊ／Ｋ・ｃｍ３未満である、請求項３３に記載の細長いガスセンサ要素。
【請求項３５】
前記コア構造がニッケル・銅合金を含み、前記ニッケル含有被覆が本質的にニッケルから構成される、請求項３３に記載の細長いガスセンサ要素。
【請求項３６】
前記コア構造が、炭化ケイ素を含む、請求項３３に記載の細長いガスセンサ要素。
【請求項３７】
ニッケル・銅合金を含む、請求項２７に記載の細長いガスセンサ要素。
【請求項３８】
ニッケル・銅・アルミニウム合金を含む、請求項２７に記載の細長いガスセンサ要素。
【請求項３９】
支持構造に装着された請求項２７に記載の細長いガスセンサ要素を備えるガス検知アセンブリであって、前記支持構造が、前記細長いガスセンサ要素の前記２つの電気接続端子を装着するための表面を備えるガス検知アセンブリ。
【請求項４０】
対象ガス種と接触すると前記細長いガスセンサ要素の少なくとも１つの特性の変化を検出して、前記対象ガス種の存在を示す出力信号を応答して発生するための手段をさらに備える、請求項３９に記載のガス検知アセンブリ。
【請求項４１】
前記支持構造が、ポリイミド又はアルミニウムを含む、請求項４０に記載のガス検知アセンブリ。
【請求項４２】
前記細長いガスセンサ要素の前記１つ以上のガス検知フィラメントが、ニッケル又はニッケル合金を含有する、請求項４０に記載のガス検知アセンブリ。
【請求項４３】
前記細長いガスセンサ要素の前記１つ以上のガス検知フィラメントが、２５ミクロン以下の平均直径を特徴とする、請求項４２に記載のガス検知アセンブリ。
【請求項４４】
対象ガス種の存在について流体位置を監視するための方法であって、
前記流体位置において、請求項３９に記載のガス検知アセンブリに流体を暴露するステップと、
このようなガス検知アセンブリの細長いガスセンサ要素の少なくとも１つの特性を監視するステップと、
前記細長いガスセンサ要素がその少なくとも１つの特性の変化を示したときに、応答して出力信号を発生して、前記流体位置の対象ガス種の存在、又は前記流体位置の対象ガス種の濃度の変化を示すステップと、
を含む方法。
【請求項４５】
監視される前記細長いガスセンサ要素の前記少なくとも１つの特性が、前記細長いガスセンサ要素の電気抵抗である、請求項４４に記載の方法。
【請求項４６】
請求項３２に記載の細長いガスセンサ要素を製作するための方法であって、
（ａ）１対のガス検知フィラメントを並べて整列するステップと、
（ｂ）前記１対のガス検知フィラメントの反対側の第２の端部を互いに分離した状態のまま、前記１対のガス検知フィラメントをその第１の端部で接続するステップであって、前記１対のガス検知フィラメントの前記分離された反対側の第２の端部が、前記細長いガスセンサ要素の前記２つの電気接続端子を形成するステップと、
を含む方法。
【請求項４７】
前記ガス検知フィラメントの各々が、ガス感受性材料でフィラメントを被覆することによって形成される、請求項４６に記載の方法。
【請求項４８】
請求項３２に記載の細長いガスセンサ要素を製作するための方法であって、
（ａ）１対のフィラメントを並べて整列するステップと、
（ｂ）叉骨形状の前駆体構造を形成するように、前記１対のフィラメントの反対側の第２の端部を互いに分離した状態のまま、前記１対のフィラメントをその第１の端部で接続するステップと、
（ｃ）前記叉骨形状の前駆体構造にわたってガス感受性被覆を形成するステップと、
を含む方法。
【請求項４９】
１つ以上の対象フッ素ガス種の存在に敏感なプロセスチャンバに検知関係で配置されたガス検知アセンブリであって、前記ガス検知アセンブリが、支持構造の表面に装着され、かつ対象フッ素ガス種と接触すると前記ガスセンサ要素の少なくとも１つの特性の変化を検出して、前記対象フッ素ガス種の存在を示す出力信号を応答して発生するための手段に結合されたニッケル含有のガスセンサ要素を備え、前記ニッケル含有のガスセンサ要素が、前記支持構造の装着面に対し垂直又は略垂直に配向される長手方向軸線を有するガス検知アセンブリ。