【手続補正書】
【提出日】平成19年2月26日(2007.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機成分と感光性有機成分を必須成分とする感光性セラミックス組成物において、無機成分が平均粒子径４０ｎｍ〜３００ｎｍの無機微粒子を含有し、かつ感光性有機成分が一般式（１）で表されるモノマーと一般式（２）で表されるウレタン化合物を含有することを特徴とする感光性セラミックス組成物。
ＣＨ２＝ＣＲ１−ＣＯＯ−（Ｒ２Ｏ）ｎ−ＯＣ−Ｒ３Ｃ＝ＣＨ２（１）
（ここでＲ１、Ｒ３は水素、メチル基のいずれかであり、Ｒ２はエチレン基である。ｎは１〜１５の自然数。ｎが２以上のとき、各Ｒ２は同じであっても異なっていても良い。）
Ｒ４−（Ｒ７−（Ｒ６Ｏ）ｌ）ｍ−Ｒ７−Ｒ５     （２）
（Ｒ４およびＲ５はエチレン性不飽和基を含む置換基、水素、炭素数１〜２０のアルキル基、アリール基、アラルキル基およびヒドロキシアラルキル基からなる群から選ばれたものであり、それぞれ同じであっても異なっていても良い。Ｒ６はアルキレン基、Ｒ７はウレタン結合を含む有機基である。ｌは１〜２００の自然数。ｍは１〜１０の自然数。）
【請求項２】
一般式（１）で表される化合物を０．１重量％〜１０重量％含有し、かつ一般式（２）で表されるウレタン化合物を０．１重量％〜１０重量％含有することを特徴とする請求項１記載の感光性セラミックス組成物。
【請求項３】
無機微粒子がアルミナであることを特徴とする請求項１または２記載の感光性セラミックス組成物。
【請求項４】
平均粒子径が５ｎｍ〜５００ｎｍの無機微粒子を５重量％〜９０重量％含有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか記載の感光性セラミックス組成物。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
すなわち本発明は、無機成分と感光性有機成分を必須成分とする感光性セラミックス組成物において、無機成分が平均粒子径４０ｎｍ〜３００ｎｍの無機微粒子を含有し、かつ感光性有機成分が一般式（１）で表されるモノマーと一般式（２）で表されるウレタン化合物を含有することを特徴とする感光性セラミックス組成物により課題を解決するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
ＣＨ２＝ＣＲ１−ＣＯＯ−（Ｒ２Ｏ）ｎ−ＯＣ−Ｒ３Ｃ＝ＣＨ２（１）
（ここでＲ１、Ｒ３は水素、メチル基のいずれかであり、Ｒ２はエチレン基である。ｎは１〜１５の自然数。ｎが２以上のとき、各Ｒ２は同じであっても異なっていても良い。）
Ｒ４−（Ｒ７−（Ｒ６Ｏ）ｌ）ｍ−Ｒ７−Ｒ５     （２）
（Ｒ４およびＲ５はエチレン性不飽和基を含む置換基、水素、炭素数１〜２０のアルキル基、アリール基、アラルキル基およびヒドロキシアラルキル基からなる群から選ばれたものであり、それぞれ同じであっても異なっていても良い。Ｒ６はアルキレン基、Ｒ７はウレタン結合を含む有機基である。ｌは１〜２００の自然数。ｍは１〜１０の自然数。）
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の感光性セラミックス組成物は、無機成分と感光性有機成分を必須成分とする感光性セラミックス組成物において、無機成分が平均粒子径４０ｎｍ〜３００ｎｍの無機微粒子を含有し、かつ感光性有機成分が一般式（１）で表されるモノマーと一般式（２）で表されるウレタン化合物を含有することを特徴とする感光性セラミックス組成物である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
ＣＨ２＝ＣＲ１−ＣＯＯ−（Ｒ２Ｏ）ｎ−ＯＣ−Ｒ３Ｃ＝ＣＨ２（１）
（ここでＲ１、Ｒ３は水素、メチル基のいずれかであり、Ｒ２はエチレン基である。ｎは１〜１５の自然数。ｎが２以上のとき、各Ｒ２は同じであっても異なっていても良い。）
Ｒ４−（Ｒ７−（Ｒ６Ｏ）ｌ）ｍ−Ｒ７−Ｒ５     （２）
（Ｒ４およびＲ５はエチレン性不飽和基を含む置換基、水素、炭素数１〜２０のアルキル基、アリール基、アラルキル基およびヒドロキシアラルキル基からなる群から選ばれたものであり、それぞれ同じであっても異なっていても良い。Ｒ６はアルキレン基、Ｒ７はウレタン結合を含む有機基である。ｌは１〜２００の自然数。ｍは１〜１０の自然数。）
本発明において、感光性セラミックス組成物は無機成分と感光性有機成分からなる。無機成分は少なくとも１種類以上の無機微粒子を必須成分とする。無機微粒子の平均粒子径は４０〜３００ｎｍであるが、４０〜１５０ｎｍがより好ましい。このような大きさの無機微粒子を用いることによって、低温焼成を可能にし、焼結性を高めて緻密で機械的強度の高い焼結体を得ることができる。また、露光時の光を散乱して露光特性に障害を与えることがない。３００ｎｍを超える平均粒子径では紫外線が深部まで届かないため、パターンを形成することができない。一方４０ｎｍ未満の無機微粒子は容易に２次凝集を引き起こすため、取り扱いが困難である。無機微粒子としてはシリカ、アルミナ、チタニア、ジルコニア、イットリア、セリアなどが挙げられる。特にアルミナが好ましく用いられるが、複数種の成分を混合して用いても良い。無機微粒子の含有量は感光性セラミックス組成物に対して５重量％〜９０重量％が好ましく、さらに２０重量％〜９０重量％がより好ましい。無機微粒子の含有量を５重量％以上とすることで、焼成後のシート誘電率特性を所望のものとすることができ、９０重量％以下とすることで、シートの光透過性が高く、フォトリソ加工性が良好となる。また、本発明の感光性セラミックス組成物は、無機成分として金属、金属酸化物、ガラス、その他無機粉末を含有してもよい。ガラス粉末は超高圧水銀灯などの光を透過する為、平均粒子径が規制されるものではない。また本発明のセラミックス組成物に含有される無機成分は焼成工程において焼結するものであり、本発明の目的とする基板形成では、１０００℃以下、特に７００〜９００℃の温度での焼成が好ましいので、いわゆる低温焼成無機粉末が好ましい。もちろん、これらの無機成分が基板の電気的特性、強度、熱膨張係数などの基本物性を決めるものであるため、目的とする特性に応じて選択されるものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
ＣＨ２＝ＣＲ１−ＣＯＯ−（Ｒ２Ｏ）ｎ−ＯＣ−Ｒ３Ｃ＝ＣＨ２（１）
（ここでＲ１、Ｒ３は水素、メチル基のいずれかであり、Ｒ２はエチレン基である。ｎは１〜１５の自然数。ｎが２以上のとき、各Ｒ２は同じであっても異なっていても良い。）
このモノマーを添加することで無機微粒子が良分散し、シートの光透過率が向上し、より微細な加工が可能となる。また、エチレンオキサイドは易分解性であり、低温で脱バインダーするため、焼成欠陥が発生しにくい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
Ｒ２は無機微粒子の分散性の観点から、エチレン基が好ましい。エチレン基であることにより分子の極性が増加し、無機微粒子との親和性が良好となるため、無機微粒子の分散がさらに向上する。また、本発明において繰り返し単位ｎはモノマーの取扱い性や無機微粒子の観点から１〜１５であるが、さらに、繰り返し単位ｎは５〜１２がより好ましい。ｎを５以上とすることで、皮膚刺激性を抑制し、ｎを１２以下とすることでモノマーの粘度を下げて取り扱いがさらに容易となる。このような化合物としては、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート（４量体〜１５量体）などが挙げられる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の感光性セラミックス組成物は、さらに一般式（２）で表されるウレタン化合物を含有する。ウレタン化合物を含有することにより、焼成時の収縮応力を緩和し、焼成欠陥を低減することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明で使用するウレタン化合物は、下記一般式（２）で示される化合物である。
Ｒ４−（Ｒ７−（Ｒ６Ｏ）ｌ）ｍ−Ｒ７−Ｒ５（２）
（Ｒ４およびＲ５はエチレン性不飽和基を含む置換基、水素、炭素数１〜２０のアルキル基、アリール基、アラルキル基およびヒドロキシアラルキル基からなる群から選ばれたものであり、それぞれ同じであっても異なっていても良い。Ｒ６はアルキレン基、Ｒ７はウレタン結合を含む有機基である。ｌは１〜２００の自然数。ｍは１〜１０の自然数。）
ウレタン化合物はエチレンオキサイド単位を含むことが好ましい。より好ましくは、一般式（２）中、（Ｒ６Ｏ）lがエチレンオキサイド単位とプロピレンオキサイド単位を含むオリゴマーであることであり、かつ、該オリゴマー中のエチレンオキサイド単位含有量が８〜７０重量％の範囲内であることである。エチレンオキサイド単位含有量が７０重量％以下であることにより、柔軟性が向上し、焼成時の収縮応力を小さくできるため、焼成欠陥を効果的に抑制できる。さらに、熱分解性が向上し、パターン形成後の焼成工程において、焼成残渣が発生しにくくなる。また、エチレンオキサイド単位含有量が８％以上であることにより、他の有機成分との相溶性が向上する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
（比較例１）
モノマーとしてモノマーIVを用いた以外は、実施例１を繰り返した。得られたシートの透過率、パターン加工性は良好で、焼成欠陥も発生しなかった。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
（比較例２）
ウレタン化合物をモノマーIIに置き換えた以外は、実施例２を繰り返した。得られたシートの透過率、パターン加工性は良好であった。焼成後に微少な傷が見られたが、大きな焼成欠陥は発生しなかった。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
（比較例３）
実施例２において、モノマーIIをモノマーＶとする以外は同様の組成、試作操作を繰り返し、厚み１００μｍのグリーンシートを得た。モノマーＶは室温において固形ワックスであり、取り扱いが困難であった。得られたシートの透過率が低いため光硬化不十分であり、８０μｍビアホールの形状が欠けていて悪かった。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
（比較例４）
実施例２において、無機成分Ｉを無機成分IIIとする以外は同様の組成、試験操作を繰り返し、厚み１００μｍのグリーンシートを得た。シートの透過率が非常に低下し、厚み１００μｍのグリーンシートで１００μｍのビアホールを形成することができなかった。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
【表１】
2005241931.tif 000001