【手続補正書】
【提出日】平成20年9月17日(2008.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、該少なくとも１つの増幅チャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成し、かつフッ素注入制御システムを有する、マルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムであって、
ハロゲンガス消費推定器、
を含み、
前記ハロゲンガス消費推定器は、
少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの一方の少なくとも第１の作動パラメータと、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの第２の作動パラメータの間の差とに基づいて推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバの他方の少なくとも第３の作動パラメータに基づいて、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量を表す出力と、前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を表す出力とを生成する、
ことを特徴とするシステム。
【請求項２】
前記フッ素消費推定器からの前記推定フッ素消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断するハロゲンガス注入コントローラ、
を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１の作動パラメータは、前記少なくとも１つの増幅チャンバの前記出力パルスの帯域幅であり、
前記第２の作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおけるガス放電の発射の時間を表し、
前記第３の作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバの前記出力パルスのエネルギである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記フッ素消費量の前記推定は、公式：
2008515231.tif 000001
に従って実行され、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記フッ素消費量の前記推定は、公式：
2008515231.tif 000002
に従って実行される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記コスト関数は、
2008515231.tif 000003
の場合には、発振器注入＝Ａの方を選択し、かつ
2008515231.tif 000004
の場合には、増幅器注入＝Ａ’の方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記コスト関数は、
帯域幅＞選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｂの方を選択し、かつ
帯域幅＜選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｃの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記コスト関数は、
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＞選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｄの方を選択し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＜選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｅの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】
Ａ＝Ａ’＜Ｂ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｅ、
であることを更に含むことを特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
フッ素注入コントローラが、最も高い得点を有する前記重み付け注入決定判断に基づいてフッ素注入を実施する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、該少なくとも１つの増幅チャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成し、かつフッ素注入制御システムを有する、マルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムであって、
ハロゲンガス消費推定器、
を含み、
前記ハロゲンガス消費推定器は、
少なくとも１つの発振器及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの間の差に基づいて推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバ及び増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量を表す出力を生成する、
ことを特徴とするシステム。
【請求項１２】
前記ハロゲンガス消費推定器からの前記推定ハロゲンガス消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断するハロゲンガス注入コントローラ、
を更に含むことを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１４】
前記作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバのそれぞれのものにおけるガス放電のタイミングである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１５】
少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、該少なくとも１つのパワーチャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成し、かつフッ素注入制御システムを有する、マルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムであって、
ハロゲンガス消費推定器、
を含み、
前記ハロゲンガス消費推定器は、
少なくとも１つの発振器及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの他方の作動パラメータに基づいて推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバ及び増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量を表す出力を生成する、
ことを特徴とするシステム。
【請求項１６】
前記フッ素消費推定器からの前記推定フッ素消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断するハロゲンガス注入コントローラ、
を更に含むことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１８】
前記作動パラメータは、Ｅ９５である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１９】
少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、該少なくとも１つの増幅チャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成し、かつフッ素注入制御システムを有する、マルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムであって、
少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの各々において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス消費の量を示す少なくとも１つのパラメータと該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス消費の量を示す少なくとも１つのパラメータとに基づいて推定し、該少なくとも１つの発振チャンバの該ハロゲンガス消費量を表す出力と該少なくとも１つの増幅チャンバの該ハロゲンガス消費量を表す出力とを生成するハロゲンガス消費推定器、
を含むことを特徴とするシステム。
【請求項２０】
前記ハロゲンガス消費推定器からの前記推定ハロゲンガス消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断するハロゲンガス注入コントローラ、
を更に含むことを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２２】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、その第１のものは、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの差であり、その第２のものは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータであり、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの発振チャンバの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２３】
コスト関数が、より高い重み係数を有する別の重み付け注入決定判断が存在しない限り、前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値が前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの発振チャンバに注入する第１の重み係数を有する決定と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値が該少なくとも１つの発振チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの増幅チャンバに注入する第２の重み係数を有する決定とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２２に記載の装置。
【請求項２４】
他方の重み付け注入決定判断が、帯域幅が帯域幅の範囲内で高又は低で仕様外であるか否か、及び電圧が電圧の範囲内で高又は低で仕様外であるか否かの群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２３に記載の装置。
【請求項２５】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項２６】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２５に記載の装置。
【請求項２７】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項２８】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１２に記載の装置。
【請求項２９】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２７に記載の装置。
【請求項３０】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２８に記載の装置。
【請求項３１】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項３２】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１６に記載の装置。
【請求項３３】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３１に記載の装置。
【請求項３４】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３２に記載の装置。
【請求項３５】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項３６】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２０に記載の装置。
【請求項３７】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３５に記載の装置。
【請求項３８】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３６に記載の装置。
【請求項３９】
フッ素注入制御システムを有し、かつ少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含む、該少なくとも１つの増幅チャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成するためのマルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムを使用する方法であって、
ハロゲンガス消費推定器を使用して、
少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの一方の少なくとも第１の作動パラメータと、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの第２の作動パラメータの間の差とに基づいて推定する段階と、
前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバの他方の少なくとも第３の作動パラメータに基づいて、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定する段階と、
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量と、前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量とを表す出力を生成する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項４０】
ハロゲンガス注入コントローラを使用して、前記ハロゲンガス消費推定器からの前記推定ハロゲンガス消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項３９に記載の方法。
【請求項４１】
前記第１の作動パラメータは、前記少なくとも１つの増幅チャンバの前記出力パルスの帯域幅であり、
前記第２の作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおけるガス放電の発射の時間を表し、
前記第３の作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバの前記出力パルスのエネルギである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３９に記載の方法。
【請求項４２】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３９に記載の方法。
【請求項４３】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記フッ素消費量を推定する前記段階は、公式：
2008515231.tif 000005
を実行し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記フッ素消費量を推定する前記段階は、公式：
2008515231.tif 000006
を実行する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４２に記載の方法。
【請求項４４】
コスト関数が、
2008515231.tif 000007
の場合には、発振器注入＝Ａの方を選択し、かつ
2008515231.tif 000008
の場合には、増幅器注入＝Ａ’の方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４３に記載の方法。
【請求項４５】
前記コスト関数は、
帯域幅＞選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｂの方を選択し、かつ
帯域幅＜選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｃの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４４に記載の方法。
【請求項４６】
前記コスト関数は、
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＞選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｄの方を選択し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＜選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｅの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４５に記載の方法。
【請求項４７】
Ａ＝Ａ’＜Ｂ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｅ、
であることを更に含むことを特徴とする請求項４６に記載の方法。
【請求項４８】
フッ素注入コントローラが、最も高い得点を有する前記重み付け注入決定判断に基づいてフッ素注入を実施する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４７に記載の方法。
【請求項４９】
フッ素注入制御システムを有し、かつ少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含む、該少なくとも１つのパワーチャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成するためのマルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムを使用する方法であって、
ハロゲンガス消費推定器を使用して、
少なくとも１つの発振器及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの間の差に基づいて推定する段階と、
前記少なくとも１つの発振チャンバ及び増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定する段階と、
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量を表す出力を生成する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項５０】
ハロゲンガス注入コントローラを使用して、前記ハロゲンガス消費推定器からの前記推定ハロゲンガス消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項４９に記載の方法。
【請求項５１】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５０に記載の方法。
【請求項５２】
前記作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバのそれぞれのものにおけるガス放電のタイミングである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４９に記載の方法。
【請求項５３】
前記作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバのそれぞれのものにおけるガス放電のタイミングである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５０に記載の方法。