【手続補正書】
【提出日】平成19年10月4日(2007.10.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  レチクル面に描画された所定パターンをウェハ面に露光して転写する投影露光装置において、
前記レチクルを保持し、走査方向に沿って走査する第１の駆動機構と、
前記ウェハを保持し、走査方向に沿って走査する第２の駆動機構と、
予め求められたウェハ面形状に基いて前記第１及び第２の駆動機構を同期して走査駆動した場合の、前記第１の駆動機構と前記第２の駆動機構との同期誤差の期待値を算出して、前記期待値に基づいて走査露光時における前記第１及び第２の駆動機構の走査速度を１回の露光毎に可変に設定するコントローラと
を備えることを特徴とする投影露光装置。
【請求項２】  レチクル面に描画された所定パターンをウェハ面に露光して転写する投影露光装置において、
前記レチクルを保持し、走査方向に沿って走査する第１の駆動機構と、
前記ウェハを保持し、走査方向に沿って走査する第２の駆動機構と、
予め求められたウェハ面形状に基いて前記第１及び第２の駆動機構を同期して走査駆動した場合の、前記第１の駆動機構と前記第２の駆動機構との同期誤差の期待値を算出して、前記期待値に基づいて走査露光時における前記第１及び第２の駆動機構の走査速度を１回の露光毎に自動的に設定するコントローラと
を備えることを特徴とする投影露光装置。
【請求項３】  前記ウェハ面形状を計測するフォーカス検出系を備え、
該フォーカス検出系は、実際の露光に先立って前記第１及び第２の駆動機構を走査駆動しながら計測することを特徴とする請求項１又は２に記載の投影露光装置。
【請求項４】  前記ウェハ面形状からフォーカスレベリング軌道が求められ、該フォーカスレベリング軌道に前記第１及び第２の駆動機構を走査駆動した場合の前記同期誤差の期待値が算出されることを特徴とする請求項３に記載の投影露光装置。
【請求項５】  露光に先立った前記走査駆動は、前記ウェハ１枚毎又は複数枚毎に行われることを特徴とする請求項３に記載の投影露光装置。
【請求項６】  レチクル面に描画された所定パターンをウェハ面に露光して転写する投影露光方法において、
前記レチクルを保持して走査方向に沿って走査する第１の駆動機構と、前記ウェハを保持して走査方向に沿って走査する第２の駆動機構とを駆動制御するに際して、
予め求められたウェハ面形状に基いて前記第１及び第２の駆動機構を同期して走査駆動した場合の、前記第１の駆動機構と前記第２の駆動機構との同期誤差の期待値を算出する工程と、
前記期待値に基づいて走査露光時における前記第１及び第２の駆動機構の走査速度を１回の露光毎に可変に設定する工程とを有することを特徴とする投影露光方法。
【請求項７】  レチクル面に描画された所定パターンをウェハ面に露光して転写する投影露光方法において、
前記レチクルを保持して走査方向に沿って走査する第１の駆動機構と、前記ウェハを保持して走査方向に沿って走査する第２の駆動機構とを駆動制御するに際して、
予め求められたウェハ面形状に基いて前記第１及び第２の駆動機構を同期して走査駆動した場合の、前記第１の駆動機構と前記第２の駆動機構との同期誤差の期待値を算出する工程と、
前記期待値に基づいて走査露光時における前記第１及び第２の駆動機構の走査速度を１回の露光毎に自動的に設定する工程とを有することを特徴とする投影露光方法。
【請求項８】  前記走査速度を１回の露光毎に自動的に設定する工程において、各露光における前記期待値と、実際の露光で得られた同期誤差との比較に基いて走査速度を設定することを特徴とする請求項７に記載の投影露光方法。
【請求項９】  前記ウェハ面形状は実際の露光に先立って計測され、前記第１及び第２の駆動機構の走査駆動をしながら計測されることを特徴とする請求項６〜８のいずれか１項に記載の投影露光方法。
【請求項１０】  前記ウェハ面形状からフォーカスレベリング軌道が求められ、該フォーカスレベリング軌道に前記第１及び第２の駆動機構を走査駆動した場合の前記同期誤差の期待値が算出されることを特徴とする請求項６〜９のいずれか１項に記載の投影露光方法。
【請求項１１】  露光に先立った前記走査駆動を、前記ウェハ１枚毎又は複数枚毎に行うことを特徴とする請求項９に記載の投影露光方法。
【請求項１２】  ウェハ面に感光材料を塗布するステップと、
請求項６〜１１のいずれか１項に記載の投影露光方法の各工程により、前記感光材料が塗布された前記ウェハ面に所定パターンの露光を行うステップと、
前記所定パターンの露光が行われた前記感光材料を現像するステップとを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１３】  請求項６〜１１のいずれか１項に記載の投影露光方法の各工程を実行させるためのプログラムをコンピュータ読み取り可能に格納したことを特徴とする記憶媒体。
【請求項１４】  請求項１２に記載の半導体装置の製造方法の各ステップを実行させるためのプログラムをコンピュータ読み取り可能に格納したことを特徴とする記憶媒体。
【請求項１５】  レチクル面に描画された所定パターンをウェハ面に露光して転写する投影露光装置において、
前記レチクルを保持し、走査方向に沿って走査する第１の駆動機構と、
前記ウェハを保持し、走査方向に沿って走査する第２の駆動機構と、
前記ウェハ面形状を計測するフォーカス検出系とを備え、
走査露光前に前記第１及び第２の駆動機構を走査駆動しながら前記フォーカス検出系によりウェハ面形状の計測を行い、その計測結果を用いて走査露光時における前記第１の駆動機構と前記第２の駆動機構との同期誤差を予測することを特徴とする投影露光装置。
【請求項１６】  前記同期誤差の予測結果に基づき、前記第１及び第２の駆動機構の走査制御を行なうことを特徴とする請求項１５に記載の投影露光装置。
【請求項１７】  前記ウェハ面形状からフォーカスレベリング軌道が求められ、該フォーカスレベリング軌道に前記第１及び第２の駆動機構を走査駆動した場合の前記同期誤差の期待値が算出されることを特徴とする請求項１５又は１６に記載の投影露光装置。
【請求項１８】  前記走査駆動は、前記ウェハ１枚毎又は複数枚毎に行われることを特徴とする請求項１５〜１７のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項１９】  レチクル面に描画された所定パターンをウェハ面に露光して転写する投影露光方法において、
前記レチクルを保持して走査方向に沿って走査する第１の駆動機構と、前記ウェハを保持して走査方向に沿って走査する第２の駆動機構とを駆動制御するに際して、
走査露光前に前記第１及び第２の駆動機構を走査駆動しながらウェハ面形状を計測し、その計測結果を用いて走査露光時における前記第１の駆動機構と前記第２の駆動機構との同期誤差を予測することを特徴とする投影露光方法。
【請求項２０】  前記同期誤差の予測結果に基づき、前記第１及び第２の駆動機構の走査制御を行なうことを特徴とする請求項１９に記載の投影露光方法。
【請求項２１】  前記ウェハ面形状からフォーカスレベリング軌道が求められ、該フォーカスレベリング軌道に前記第１及び第２の駆動機構を走査駆動した場合の前記同期誤差の期待値が算出されることを特徴とする請求項１９又は２０に記載の投影露光方法。
【請求項２２】  前記走査駆動は、前記ウェハ１枚毎又は複数枚毎に行われることを特徴とする請求項１９〜２１のいずれか１項に記載の投影露光方法。
【請求項２３】  ウェハ面に感光材料を塗布するステップと、
請求項１９〜２２のいずれか１項に記載の投影露光方法の各工程により、前記感光材料が塗布された前記ウェハ面に所定パターンの露光を行うステップと、
前記所定パターンの露光が行われた前記感光材料を現像するステップとを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２４】  請求項１９〜２２のいずれか１項に記載の投影露光方法の各工程を実行させるためのプログラムをコンピュータ読み取り可能に格納したことを特徴とする記憶媒体。
【請求項２５】  請求項２３に記載の半導体装置の製造方法の各ステップを実行させるためのプログラムをコンピュータ読み取り可能に格納したことを特徴とする記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の投影露光装置は、レチクル面に描画された所定パターンをウェハ面に露光して転写する投影露光装置において、前記レチクルを保持し、走査方向に沿って走査する第１の駆動機構と、前記ウェハを保持し、走査方向に沿って走査する第２の駆動機構と、予め求められたウェハ面形状に基いて前記第１及び第２の駆動機構を同期して走査駆動した場合の、前記第１の駆動機構と前記第２の駆動機構との同期誤差の期待値を算出して、前記期待値に基づいて走査露光時における前記第１及び第２の駆動機構の走査速度を１回の露光毎に可変に設定するコントローラとを備える。
本発明の投影露光装置は、レチクル面に描画された所定パターンをウェハ面に露光して転写する投影露光装置において、前記レチクルを保持し、走査方向に沿って走査する第１の駆動機構と、前記ウェハを保持し、走査方向に沿って走査する第２の駆動機構と、予め求められたウェハ面形状に基いて前記第１及び第２の駆動機構を同期して走査駆動した場合の、前記第１の駆動機構と前記第２の駆動機構との同期誤差の期待値を算出して、前記期待値に基づいて走査露光時における前記第１及び第２の駆動機構の走査速度を１回の露光毎に自動的に設定するコントローラとを備える。
本発明の投影露光装置の一態様では、前記ウェハ面形状を計測するフォーカス検出系を備え、該フォーカス検出系は、実際の露光に先立って前記第１及び第２の駆動機構を走査駆動しながら計測する。
本発明の投影露光装置の一態様では、前記ウェハ面形状からフォーカスレベリング軌道が求められ、該フォーカスレベリング軌道に前記第１及び第２の駆動機構を走査駆動した場合の前記同期誤差の期待値が算出される。
本発明の投影露光装置の一態様では、露光に先立った前記走査駆動は、前記ウェハ１枚毎又は複数枚毎に行われる。
本発明の投影露光方法は、レチクル面に描画された所定パターンをウェハ面に露光して転写する投影露光方法において、前記レチクルを保持して走査方向に沿って走査する第１の駆動機構と、前記ウェハを保持して走査方向に沿って走査する第２の駆動機構とを駆動制御するに際して、予め求められたウェハ面形状に基いて前記第１及び第２の駆動機構を同期して走査駆動した場合の、前記第１の駆動機構と前記第２の駆動機構との同期誤差の期待値を算出する工程と、前記期待値に基づいて走査露光時における前記第１及び第２の駆動機構の走査速度を１回の露光毎に可変に設定する工程とを有する。
本発明の投影露光方法は、レチクル面に描画された所定パターンをウェハ面に露光して転写する投影露光方法において、前記レチクルを保持して走査方向に沿って走査する第１の駆動機構と、前記ウェハを保持して走査方向に沿って走査する第２の駆動機構とを駆動制御するに際して、予め求められたウェハ面形状に基いて前記第１及び第２の駆動機構を同期して走査駆動した場合の、前記第１の駆動機構と前記第２の駆動機構との同期誤差の期待値を算出する工程と、前記期待値に基づいて走査露光時における前記第１及び第２の駆動機構の走査速度を１回の露光毎に自動的に設定する工程とを有する。
本発明の投影露光方法の一態様では、前記走査速度を１回の露光毎に自動的に設定する工程において、各露光における前記期待値と、実際の露光で得られた同期誤差との比較に基いて走査速度を設定する。
本発明の投影露光方法の一態様では、前記ウェハ面形状は実際の露光に先立って計測され、前記第１及び第２の駆動機構の走査駆動をしながら計測される。
本発明の投影露光方法の一態様では、前記ウェハ面形状からフォーカスレベリング軌道が求められ、該フォーカスレベリング軌道に前記第１及び第２の駆動機構を走査駆動した場合の前記同期誤差の期待値が算出される。
本発明の投影露光方法の一態様では、露光に先立った前記走査駆動を、前記ウェハ１枚毎又は複数枚毎に行う。
本発明の半導体装置の製造方法は、ウェハ面に感光材料を塗布するステップと、上記した投影露光方法の各工程により、前記感光材料が塗布された前記ウェハ面に所定パターンの露光を行うステップと、前記所定パターンの露光が行われた前記感光材料を現像するステップとを備える。
本発明の記憶媒体は、上記した投影露光方法の各工程を実行させるためのプログラムをコンピュータ読み取り可能に格納したものである。
本発明の記憶媒体は、上記した半導体装置の製造方法の各ステップを実行させるためのプログラムをコンピュータ読み取り可能に格納したものである。
本発明の投影露光装置は、レチクル面に描画された所定パターンをウェハ面に露光して転写する投影露光装置において、前記レチクルを保持し、走査方向に沿って走査する第１の駆動機構と、前記ウェハを保持し、走査方向に沿って走査する第２の駆動機構と、前記ウェハ面形状を計測するフォーカス検出系とを備え、走査露光前に前記第１及び第２の駆動機構を走査駆動しながら前記フォーカス検出系によりウェハ面形状の計測を行い、その計測結果を用いて走査露光時における前記第１の駆動機構と前記第２の駆動機構との同期誤差を予測する。
本発明の投影露光装置の一態様では、前記同期誤差の予測結果に基づき、前記第１及び第２の駆動機構の走査制御を行なう。
本発明の投影露光装置の一態様では、前記ウェハ面形状からフォーカスレベリング軌道が求められ、該フォーカスレベリング軌道に前記第１及び第２の駆動機構を走査駆動した場合の前記同期誤差の期待値が算出される。
本発明の投影露光装置の一態様では、前記走査駆動は、前記ウェハ１枚毎又は複数枚毎に行われる。
本発明の投影露光方法は、レチクル面に描画された所定パターンをウェハ面に露光して転写する投影露光方法において、前記レチクルを保持して走査方向に沿って走査する第１の駆動機構と、前記ウェハを保持して走査方向に沿って走査する第２の駆動機構とを駆動制御するに際して、走査露光前に前記第１及び第２の駆動機構を走査駆動しながらウェハ面形状を計測し、その計測結果を用いて走査露光時における前記第１の駆動機構と前記第２の駆動機構との同期誤差を予測する。
本発明の投影露光方法の一態様では、前記同期誤差の予測結果に基づき、前記第１及び第２の駆動機構の走査制御を行なう。
本発明の投影露光方法の一態様では、前記ウェハ面形状からフォーカスレベリング軌道が求められ、該フォーカスレベリング軌道に前記第１及び第２の駆動機構を走査駆動した場合の前記同期誤差の期待値が算出される。
本発明の投影露光方法の一態様では、前記走査駆動は、前記ウェハ１枚毎又は複数枚毎に行われる。
本発明の半導体装置の製造方法は、ウェハ面に感光材料を塗布するステップと、上記した投影露光方法の各工程により、前記感光材料が塗布された前記ウェハ面に所定パターンの露光を行うステップと、前記所定パターンの露光が行われた前記感光材料を現像するステップとを備える。
本発明の記憶媒体は、上記した投影露光方法の各工程を実行させるためのプログラムをコンピュータ読み取り可能に格納したものである。
本発明の記憶媒体は、上記した半導体装置の製造方法の各ステップを実行させるためのプログラムをコンピュータ読み取り可能に格納したものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】削除
【補正の内容】