(57)【要約】【課題】  吐出不良を迅速に検出するとともに、どのインクジェットノズルの吐出異常かを特定する。【解決手段】  ガラス基板２上に、ＬＣＤパネル画面に相当するブラックマトリックスとブラックマトリックスで囲まれ、かつ着色材料を塗布された画素で構成されるカラーフィルタＣＦが形成され、さらに、前記ガラス基板２の、前記ＬＣＤパネルに相当するブラックマトリックスの外側の所定位置にテストパターンTPが形成されている。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個のインクジェットノズル（５２）を備えたインクジェットヘッド（５１）を複数個配列したインクジェットヘッドバー（５）とブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板（２）とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズル（５２）で前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、
前記ガラス基板（２）にカラー材料を塗布する準備工程として、事前にテスト用基板にテストパターン（ＴＰ）を描画し、前記テストパターン（ＴＰ）のカラー材料の着弾痕の座標を検出し、前記着弾痕の座標を基に吐出データテーブルを作成し、以後の塗布工程における前記インクジェットノズル（５２）の吐出を制御することを特徴とするカラーフィルタ製造方法。
【請求項２】
複数個のインクジェットノズル（５２）を備えたインクジェットヘッド（５１）を複数個配列したインクジェットヘッドバー（５）とブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板（２）とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズル（５２）で前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、
複数回に分けて前記ガラス基板（２）にカラー材料を塗布するようにし、最初の往路の塗布終了後に前記ガラス基板（２）の余剰領域にテストパターン（ＴＰ）を描画し、復路塗布を行っている間に前記テストパターン（ＴＰ）のカラー材料の着弾痕の形状を検査することを特徴とするカラーフィルタ製造方法。
【請求項３】
複数個のインクジェットノズル（５２）を備えたインクジェットヘッド（５１）を複数個配列したインクジェットヘッドバー（５）とブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板（２）とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズル（５２）で前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、
前記インクジェットノズル（５２）で、前記ガラス基板（２）の余剰領域に前記カラー材料を塗布することにより、テストパターン（ＴＰ）を描画し、前記テストパターン（ＴＰ）のカラー材料の着弾痕の座標を検査し、前記テストパターン（ＴＰ）のカラー材料の着弾痕の座標の検査結果を基に各インクジェットノズル（５２）の吐出制御を行うことを特徴とするカラーフィルタ製造方法。
【請求項４】
前記テストパターン（ＴＰ）のカラー材料の着弾痕を千鳥配置に設定することによりテストパターン（ＴＰ）を描画する請求項２に記載のカラーフィルタ製造方法。
【請求項５】
複数個のインクジェットノズル（５２）を備えたインクジェットヘッド（５１）を複数個配列したインクジェットヘッドバー（５）を支持する支持部材と、ブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板（２）を吸着保持する吸着テーブル（３）と、インクジェットヘッドバー（５）とガラス基板（２）とを、所定の間隙を保持した状態で相対的に移動させる移動手段と、前記インクジェットノズル（５２）の吐出動作を制御して前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布する吐出制御手段とを含むカラーフィルタ製造装置において、前記インクジェットノズル（５２）で前記ガラス基板（２）にテストパターン（ＴＰ）を描画するテストパターン描画手段と、前記テストパターン（ＴＰ）のカラー材料の着弾痕の位置を検査する検査手段（９）と、検査結果を基に着弾痕の座標を演算する演算手段と、演算結果を記憶する記憶手段とを含むことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【請求項６】
複数個のインクジェットノズル（５２）を備えたインクジェットヘッド（５１）を複数個配列したインクジェットヘッドバー（５）を支持する支持部材と、ブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板（２）を吸着保持する吸着テーブル（３）と、インクジェットヘッドバー（５）とガラス基板（２）とを、所定の間隙を保持した状態で相対的に移動させる移動手段と、前記インクジェットノズル（５２）の吐出動作を制御して前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布する吐出制御手段とを含むカラーフィルタ製造装置において、前記インクジェットノズル（５２）で前記ガラス基板（２）にテストパターン（ＴＰ）を描画するテストパターン描画手段と、前記テストパターン（ＴＰ）のカラー材料の着弾痕の形状を検査する検査手段（９）と、検査結果を基に吐出量の変化を演算する演算手段と、演算結果を記憶する記憶手段とを含むことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【請求項７】
前記検査手段（９）は、前記テストパターン（ＴＰ）のカラー材料の着弾痕の形状を基準形状と比較することにより検査を行うものである請求項６に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項８】
前記検査手段（９）は、塗布方向と直交する方向に走査するラインスキャンカメラを含んでいる請求項５または請求項６に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項９】
前記検査手段（９）は、塗布方向と直交する方向に間欠移動し、停止時に撮像するエリアカメラを含んでいる請求項５または請求項６に記載のカラーフィルタ製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットノズルを用いてガラス基板上にカラーフィルタを製造する方法およびその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、インクジェットノズルを用いてガラス基板上にカラーフィルタを製造する方法が提案されている（特許文献１参照）。【０００３】
具体的には、透明基板上に透明な着色材受容層を少なくとも設け、異なった色の画素間となるべき領域を撥着色材性を持った非着色領域とし、同一色となるべき画素同士が隣り合う箇所では、該同一色となるべき複数の画素部分を画素間領域も含めて切れ目なく着色材付与することで着色してカラーフィルタを製造するようにしている。【０００４】
また、インクジェットヘッドから吐出されるインク滴の量を重量で検出し、検出結果に応じた印加電圧をインクジェットヘッドの駆動素子に与えることが提案されている（特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平９−６８６１１号公報
【特許文献２】特開平１１−２４８９２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
インクジェットノズルの使用頻度が高いので、特許文献１の方法では、常に良好に吐出が行われる保証がなく、吐出不良が生じると、検査工程で不良が検出されるまで製造を継続する関係上、製造される不良品の数が多くなってしまうという問題がある。【０００６】
また、検査工程には、色度異常検査を行う工程が含まれるが、ひとつの画素を複数のインクジェットノズルで着色材付与するので、色度異常検査だけでは、どのインクジェットノズルの異常かを即座には判断できないという問題がある。【０００７】
さらに、インクジェットノズルの汚れによる吐出方向の異常、着色材の液滴が分散する異常はブラックマトリックスの汚れなど、画素以外への汚れをもたらすことになるが、その前兆を判定することができないという問題がある。【０００８】
また、特許文献２の方法では、１滴の液滴の量が非常に微細（数ピコリットル〜数十ピコリットル）であるから、重量も微小（数十μｇ〜数百μｇ）となり、正確な測定が困難である。そして、この測定を電子天秤で行う場合には、液滴が付着した測定部を毎回清浄にする必要があり、清浄のための複雑な装置が必要である。また、清浄が不完全であれば、測定が不正確になってしまう。【０００９】
本発明は、吐出不良を迅速に検出することができ、しかも、どのインクジェットノズルの吐出異常かを特定することができるカラーフィルタ製造方法およびその装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１のカラーフィルタ製造方法は、複数個のインクジェットノズルを備えたインクジェットヘッドを複数個配列したインクジェットヘッドバーとブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズルで前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、前記ガラス基板にカラー材料を塗布する準備工程として、事前にテスト用基板にテストパターンを描画し、前記テストパターンのカラー材料の着弾痕の座標を検出し、前記着弾痕の座標を基に吐出データテーブルを作成し、以後の塗布工程における前記インクジェットノズルの吐出を制御する方法である。【００１１】
請求項２のカラーフィルタ製造方法は、複数個のインクジェットノズルを備えたインクジェットヘッドを複数個配列したインクジェットヘッドバーとブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズルで前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、複数回に分けて前記ガラス基板にカラー材料を塗布するようにし、最初の往路の塗布終了後に前記ガラス基板の余剰領域にテストパターンを描画し、復路塗布を行っている間に前記テストパターンのカラー材料の着弾痕の形状を検査する方法である。【００１２】
本明細書において「余剰領域」とは、ガラス基板のうち、カラーフィルタが形成される領域を除く領域を意味し、カラーフィルタが形成される領域が表示領域に対応し、余剰領域が非表示領域に対応している。【００１３】
請求項３のカラーフィルタ製造方法は、複数個のインクジェットノズルを備えたインクジェットヘッドを複数個配列したインクジェットヘッドバーとブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズルで前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、前記インクジェットノズルで、前記ガラス基板の余剰領域に前記カラー材料を塗布することにより、テストパターンを描画し、前記テストパターンのカラー材料の着弾痕の座標を検査し、前記テストパターンのカラー材料の着弾痕の座標の検査結果を基に各インクジェットノズルの吐出制御を行う方法である。【００１４】
請求項４のカラーフィルタ製造方法は、前記テストパターンのカラー材料の着弾痕を千鳥配置に設定することによりテストパターンを描画する方法である。【００１５】
請求項５のカラーフィルタ製造装置は、複数個のインクジェットノズルを備えたインクジェットヘッドを複数個配列したインクジェットヘッドバーを支持する支持部材と、ブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板を吸着保持する吸着テーブルと、インクジェットヘッドバーとガラス基板とを、所定の間隙を保持した状態で相対的に移動させる移動手段と、前記インクジェットノズルの吐出動作を制御して前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布する吐出制御手段とを含むカラーフィルタ製造装置において、
前記インクジェットノズルで前記ガラス基板にテストパターンを描画するテストパターン描画手段と、前記テストパターンのカラー材料の着弾痕の位置を検査する検査手段と、検査結果を基に着弾痕の座標を演算する演算手段と、演算結果を記憶する記憶手段とを含むものである。【００１６】
請求項６のカラーフィルタ製造装置は、複数個のインクジェットノズルを備えたインクジェットヘッドを複数個配列したインクジェットヘッドバーを支持する支持部材と、ブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板を吸着保持する吸着テーブルと、インクジェットヘッドバーとガラス基板とを、所定の間隙を保持した状態で相対的に移動させる移動手段と、前記インクジェットノズルの吐出動作を制御して前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布する吐出制御手段とを含むカラーフィルタ製造装置において、
前記インクジェットノズルで前記ガラス基板にテストパターンを描画するテストパターン描画手段と、前記テストパターンのカラー材料の着弾痕の形状を検査する検査手段と、検査結果を基に吐出量の変化を演算する演算手段と、演算結果を記憶する記憶手段とを含むものである。【００１７】
請求項７のカラーフィルタ製造装置は、前記検査手段として、前記テストパターンのカラー材料の着弾痕の形状を基準形状と比較することにより検査を行うものを採用するものである。【００１８】
請求項８のカラーフィルタ製造装置は、前記検査手段として、塗布方向と直交する方向に走査するラインスキャンカメラを含むものを採用するものである。【００１９】
請求項９のカラーフィルタ製造装置は、前記検査手段として、塗布方向と直交する方向に間欠移動し、停止時に撮像するエリアカメラを含むものを採用するものである。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１のカラーフィルタ製造方法は、テストパターンを事前にテスト用基板上に描画するので、テストパターンのカラー材料の着弾痕の座標を検査することで、どのインクジェットノズルに吐出異常が発生しているかを判定することができる。この結果、インクジェットノズルに吐出異常が発生している場合であっても、不良品が製造されることを防止することができる。【００２１】
請求項２のカラーフィルタ製造方法は、テストパターンをガラス基板上に描画するので、テストパターンのカラー材料の着弾痕の形状を検査することで、どのインクジェットノズルに吐出異常が発生しているかを迅速に判定することができる。この結果、インクジェットノズルに吐出異常が発生していると判定されるまでの間に製造される不良品の数を１に減少させることができる。【００２２】
また、複数のカラーフィルタについて、テストパターンを順次検査することによって、インクジェットノズルの吐出方向の異常を早期に検出することができ、不良品の発生を未然に防止することができる。【００２３】
請求項３のカラーフィルタ製造方法は、テストパターンをガラス基板上に描画するので、テストパターンの着弾痕の座標を検査することで、どのインクジェットノズルに吐出異常が発生しているかを迅速に判定することができる。この結果、インクジェットノズルに吐出異常が発生していると判定されるまでの間に製造される不良品の数を減少させることができる。【００２４】
また、複数のカラーフィルタについて、テストパターンを順次検査することによって、インクジェットノズルの吐出方向の異常を早期に検出することができ、不良品の発生を未然に防止することができる。【００２５】
請求項４のカラーフィルタ製造方法は、隣り合うカラー材料同士の間隔を大きくすることができ、ひいては、検査精度を高めることができる。【００２６】
請求項５のカラーフィルタ製造装置は、テストパターン描画手段によってテストパターンをガラス基板上に描画するので、検査手段によってテストパターンのカラー材料の着弾痕の位置を検査し、検査結果を基に、演算手段によって着弾痕の座標を演算することで、どのインクジェットノズルに吐出異常が発生しているかを迅速に判定することができる。この結果、インクジェットノズルに吐出異常が発生していると判定されるまでの間に製造される不良品の数を減少させることができる。そして、演算結果を記憶手段に記憶しておくことができる。【００２７】
また、複数のカラーフィルタについて、検査手段によってテストパターンのカラー材料の着弾痕の位置を順次検査することによって、インクジェットノズルの吐出方向の異常を早期に検出することができ、不良品の発生を未然に防止することができる。【００２８】
請求項６のカラーフィルタ製造装置は、テストパターン描画手段によってテストパターンをガラス基板上に描画するので、検査手段によってテストパターンのカラー材料の着弾痕の形状を検査し、検査結果を基に、演算手段によって着弾痕の形状の変化を演算することで、どのインクジェットノズルに吐出異常が発生しているかを迅速に判定することができる。この結果、インクジェットノズルに吐出異常が発生していると判定されるまでの間に製造される不良品の数を減少させることができる。そして、演算結果を記憶手段に記憶しておくことができる。【００２９】
また、複数のカラーフィルタについて、検査手段によってテストパターンのカラー材料の着弾痕の形状を順次検査することによって、インクジェットノズルの吐出方向の異常を早期に検出することができ、不良品の発生を未然に防止することができる。【００３０】
請求項７のカラーフィルタ製造装置は、テストパターンのカラー材料の着弾痕の形状の検査精度を高めることができる。【００３１】
請求項８のカラーフィルタ製造装置は、ラインスキャンカメラによってテストパターンのカラー材料の着弾痕を検査することができる。【００３２】
請求項９のカラーフィルタ製造装置は、エリアカメラによってテストパターンのカラー材料の着弾痕を検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、添付図面を参照して、本願発明のカラーフィルタ製造方法およびその装置およびカラーフィルタ用基板の実施の形態を詳細に説明する。【００３４】
図１は本願発明のカラーフィルタ製造装置の一実施形態を示す斜視図である。【００３５】
このカラーフィルタ製造装置は、機台１上に吸着テーブル３、塗布ガントリー４、カメラガントリー６などを支承している。【００３６】
吸着テーブル３は、ガラス基板２を吸着保持するものであり、このガラス基板２の位置決めを達成するために、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、θ方向に回転駆動されるとともに、Ｙ方向に駆動される。【００３７】
塗布ガントリー４は、インクジェットヘッドバー５を保持するものであり、ガラス基板２にカラー材料を塗布するために、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、Ｘ方向に駆動される。また、ガラス基板２に対する相対位置を調整するために、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、インクジェットヘッドバー５は、Ｚ方向、Ｙ方向に駆動される。【００３８】
カメラガントリー６は、ガラス基板２のアラインメントのためのアラインメントカメラ７、８、およびガラス基板２の、インクジェットノズルからのカラー材料の着弾痕（後述するテストパターンを含む）を検出するためのスキャンカメラ９を保持するものであり、アラインメント、画素検出のために、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、Ｘ方向に駆動される。また、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、アラインメントカメラ７、８、スキャンカメラ９をＹ方向に駆動する。ここで、スキャンカメラ９としては、ラインスキャンカメラが例示できる。ただし、スキャンカメラに代えてエリアカメラを採用することもできるが、この場合には、エリアカメラを間欠移動させ、停止時に撮像すればよい。【００３９】
アラインメントカメラ７、８はガラス基板２のマーク（図示せず）を検出するものであり、アラインメントカメラ７、８によるマーク検出結果に基づいて吸着テーブル３を回転させ、および／またはＹ方向に移動させることにより、ガラス基板２のアラインメントを達成することができる。【００４０】
なお、Ｘ、Ｙは、吸着テーブル３により吸着保持されたガラス基板２の上面と平行な平面を規定すべく設定された互いに直交する方向を表し、Ｚは、Ｘ、Ｙにより規定された平面と直交する方向を表している。【００４１】
図２はインクジェットヘッドバー５の構成を示す概略図である。【００４２】
このインクジェットヘッドバー５は、複数個のインクジェットヘッド５１を整列させてなるものであり、各インクジェットヘッド５１は、複数個のインクジェットノズル５２を整列させてなるものである。そして、複数個のインクジェットヘッド５１を整列は、全てのインクジェットノズル５２のＸ方向の間隔、Ｙ方向の間隔がそれぞれ所定の間隔となるように設定されている。【００４３】
なお、インクジェットノズル５２は、所定個数を単位として斜め方向に配列されているので、塗布ガントリー４をＸ方向に駆動しながら、インクジェットノズル５２を順次動作させることによって、Ｙ方向に直線的に整列させた状態でカラー材料を塗布することができる。【００４４】
図２に示すインクジェットヘッドバー５は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラー材料のいずれかを塗布するためのものであり、特には図示していないが、他のカラー材料を塗布するためのインクジェットヘッドバーも設けられている。ただし、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラー材料用のインクジェットヘッドバー５が一体的に並べられていてもよい。また、１色のカラー材料用のインクジェットヘッドバー５のみが設けられてもよい。【００４５】
次いで、上記の構成のカラーフィルタ製造装置の作用を説明する。【００４６】
図３はカラー材料塗布処理およびテストパターン検査処理を説明するタイミングチャート、図７はテストパターン検査処理の一例を説明するフローチャート、図８はカラーフィルタ製造処理の一例を説明するフローチャートである。なお、図３のタイミングチャートには、図７のフローチャートに基づく処理は示されていない。【００４７】
先ず、テストパターン検査処理を説明する。【００４８】
ステップＳＰ１において、図示しない搬入ロボットなどによる吸着テーブル３へのテスト用基板の搬入が行われた後に、ステップＳＰ２において、図示しない外形規制手段によって、テスト用基板の概略の位置決めを達成する。そして、ステップＳＰ３において、吸着テーブル３によりテスト用基板を吸着し、その後、ステップＳＰ４において、カメラガントリー６を往動させ、ステップＳＰ５において、テスト用基板のアラインメントマークを検出し、Ｙ方向、θ方向の位置決めを行うことによって、テスト用基板のアラインメントを達成し、ステップＳＰ６において、カメラガントリー６を復動させる。【００４９】
次いで、ステップＳＰ７において、塗布ガントリー４を往動／復動させるとともに、塗布ガントリー４のＸ座標値を出力し、ステップＳＰ８において、Ｘ座標値に基づいて塗布ガントリー４がテストパターン塗布位置に達したか否かを判定する。そして、テストパターン塗布位置に達していない場合には、再びステップＳＰ７の処理を行う。【００５０】
逆に、ステップＳＰ８において塗布ガントリー４がテストパターン塗布位置に達したと判定された場合には、ステップＳＰ９において、塗布ガントリー４の移動を停止させ、インクジェットヘッドバー５の全てのインクジェットノズル５２からカラー材料の液滴を吐出し、ステップＳＰ１０において、塗布ガントリー４を復動させ、待機位置で停止させる。【００５１】
図１０はインクジェットノズル５２からの着弾痕の一例を示す図である。【００５２】
図１０には、ノズル列、ノズル番号により定まる着弾痕を示しており、ＰはＹ方向の画素ピッチ（インクジェットノズル５２のピッチ）、Ｌ１〜Ｌ５はノズル列塗布方向間隔である。【００５３】
次いで、ステップＳＰ１１において、カメラガントリー６を往動させ、ステップＳＰ１２において、カメラガントリー６がテストパターン検査位置に達したか否かを判定する。そして、テストパターン検査位置に達していない場合には、再びステップＳＰ１１の処理を行う。【００５４】
逆に、ステップＳＰ１２においてカメラガントリー６がテストパターン検査位置に達したと判定された場合には、ステップＳＰ１３において、カメラガントリー６を停止させ、ステップＳＰ１４において、スキャンカメラ９をＹ方向に移動させてテストパターンを検出し、その後、スキャンカメラ９をＹ方向に戻す。【００５５】
ステップＳＰ１４の処理後、ステップＳＰ１５において、カメラガントリー６を復動させて待機位置で停止させ、ステップＳＰ１６において、ガラス基板２の吸着を解除して、排出し、一連の処理を終了する。【００５６】
また、ステップＳＰ１５、ステップＳＰ１６の処理と並行して、ステップＳＰ１７において、スキャンカメラ９による検出信号を画像処理し、Ｘ，Ｙ座標を演算し、ステップＳＰ１８において、テストパターンのインク（カラー材料）着弾痕から検出した座標位置情報を入力し、ステップＳＰ１９において、ガラス基板２上の全画素の位置情報（座標値）を入力し、ステップＳＰ２０において、その他のパラメータを入力し、ステップＳＰ２１において、データテーブルの演算／作成を行い、ステップＳＰ２２において、演算結果を吐出データテーブルに記憶し、一連の処理を終了する。【００５７】
図９は吐出データテーブルの一例を示す図であり、塗布走査回数、塗布方向画素番号、塗布方向画素位置、ノズル列、塗布ガントリーＸ座標値、全ノズルの吐出パターンが設定されている。なお、Ｘ０は初期移動量、ＰｇはＸ方向（塗布方向）の画素ピッチ、Ｌ１〜Ｌｎはノズル列塗布方向間隔、ｍは塗布方向の画素の番号である。【００５８】
上記のフローチャートの処理は、カラーフィルタ製造処理の前の任意のタイミングで行っておけばよい。【００５９】
次いで、カラーフィルタ製造処理を説明する。【００６０】
ステップＳＰ１において、図示しない搬入ロボットなどによる吸着テーブル３へのガラス基板２の搬入が行われた後に、ステップＳＰ２において、図示しない外形規制手段によって、ガラス基板２の概略の位置決めを達成する。そして、ステップＳＰ３において、吸着テーブル３によりガラス基板２を吸着し、その後、ステップＳＰ４において、カメラガントリー６を往動させ、ステップＳＰ５において、ガラス基板２のアラインメントマークを検出し、Ｙ方向、θ方向の位置決めを行うことによって、ガラス基板２のアラインメントを達成し、ステップＳＰ６において、カメラガントリー６を復動させる。【００６１】
そして、ステップＳＰ７において、往路塗布か、復路塗布かを判定する。【００６２】
ステップＳＰ７において往路塗布であると判定された場合には、ステップＳＰ８において、塗布ガントリー４を往動させるとともに、塗布ガントリー４のＸ座標値を出力し、逆に、ステップＳＰ７において復路塗布であると判定された場合には、ステップＳＰ９において、塗布ガントリー４を復動させる。【００６３】
そして、ステップＳＰ８の処理、またはステップＳＰ９の処理が行われた場合には、ステップＳＰ１０において、塗布が終端まで行われたか否かを判定する。【００６４】
ステップＳＰ１０において塗布が終端までは行われていないと判定された場合には、ステップＳＰ１１において、塗布ガントリー４のＸ座標出力信号と吐出データテーブルとを比較し、ステップＳＰ１２において、Ｘ座標と吐出データとが一致しているか否かを判定し、Ｘ座標と吐出データとが一致していれば、ステップＳＰ１３において、インクジェットノズル５２によりカラー材料の液滴を吐出する。【００６５】
そして、ステップＳＰ１２においてＸ座標と吐出データとが一致していないと判定された場合、またはステップＳＰ１３の処理が行われた場合には、再びステップＳＰ１０の判定を行う。【００６６】
ステップＳＰ１０において塗布が終端まで行われたと判定された場合には、ステップＳＰ１４において、往路１回目の塗布か否かを判定し、往路１回目の塗布であった場合には、ステップＳＰ１５において、塗布ガントリー４をテストパターン塗布位置に移動させ、ステップＳＰ１６において、インクジェットヘッドバー５によりテストパターンを形成する。具体的には、インクジェットヘッドバー５をＸ方向に移動させるとともに、吐出動作を行うインクジェットノズル５２を選択することによって、千鳥状のテストパターンを形成する。【００６７】
ステップＳＰ１４において往路１回目の塗布でないと判定された場合、またはステップＳＰ１６の処理が行われた場合には、ステップＳＰ１７において、所定回数の塗布が行われたか否かを判定する。【００６８】
ステップＳＰ１７において塗布回数が所定回数に達していないと判定された場合には、ステップ１８において、塗布ガントリー４を停止させ、インクジェットヘッドバー５をＹ方向に移動させ、再びステップＳＰ７の判定を行う。なお、Ｙ方向の移動距離は、例えば、１つの画素領域に塗布したいカラー材料の液滴の数により定まる距離であってもよいが、この距離に対して、Ｙ方向の画素ピッチの整数倍を加算した距離であってもよい。後者の場合には、インクジェットノズルが異なる画素にインクを吐出することになるので、インクジェットノズル毎に着弾痕のサイズのばらつきがあっても、全体として平均化することができる。【００６９】
また、ステップＳＰ１７において所定回数の塗布が行われたと判定された場合には、ステップＳＰ１９において、塗布処理を終了し、ステップＳＰ２０において、吸着テーブル３によるガラス基板２の吸着を解除し、図示しない搬出ロボットなどによりガラス基板２を搬出し、そのまま一連の処理を終了する。【００７０】
以上を要約すれば、
吸着テーブル３へのガラス基板２の搬入が行われた後に、外形規制手段による位置決め、およびカメラガントリー６を往動させることによるガラス基板２のアラインメントマーク検出、検出結果に基づくＹ方向、θ方向の位置決めを行うことによって、ガラス基板２のアラインメントを達成する。その後、カメラガントリー６を復動させるとともに、吸着テーブル３によりガラス基板２を吸着保持する。【００７１】
次いで、塗布ガントリー４を往動させて１回目の往路塗布を行う。【００７２】
その後、塗布ガントリー４を余剰領域まで移動させてテストパターンを形成する。【００７３】
その後、インクジェットヘッドバー５をＹ方向に僅かに移動させた状態で塗布ガントリー４を復動させることによって１回目の復路塗布を行い、この間に、カメラガントリー６を往動させてスキャンカメラ９によりガラス基板２のテストパターンの検査を行い、その後、カメラガントリー６を復動させる。【００７４】
ここで、テストパターンの検査は、カラー材料の着弾痕の位置の検査であってもよく、カラー材料の着弾痕の形状の検査であってもよい。前者の場合には、検査された位置を基に所定の演算を行うことによって座標値を算出することができる。後者の場合には、形状を基準形状と比較することにより形状の検査を達成することができる。【００７５】
その後、塗布ガントリー４をＹ方向に僅かに移動させた状態で往動させることによって、２回目の往路塗布を行う。【００７６】
その後、塗布ガントリー４をＹ方向に僅かに移動させた状態で復動させることによって２回目の復路塗布を行う。【００７７】
その後、ガラス基板２の吸着保持を停止し、吸着テーブル３から搬出する。
その後、上記の一連の処理を反復的に行うことによって、所望枚数のカラーフィルタを製造することができる。【００７８】
すなわち、一度のカラー材料の塗布を行った場合には、インクジェットノズル５２同士の間隔と等しい間隔でカラー材料が付着するので、カラー材料を連続的に塗布した状態にはならない。【００７９】
しかし、上記のタイミングチャートに従う処理を行った場合には、Ｙ方向の位置を僅かに変化させて塗布を行うのであるから、最終的に、図４に示すように、ガラス基板２上に形成されたブラックマトリックス２１の該当する画素領域２２内にカラー材料を連続的に塗布することができる。【００８０】
図５はガラス基板２上に６個のカラーフィルタＣＦが形成された状態を示しており、しかも、カラーフィルタＣＦよりも外方の余剰領域に各カラー材料毎のテストパターンＴＰが形成されている。【００８１】
図６はテストパターンＴＰ形成部を拡大して示す図であり、カメラガントリー６により検査されるものとして、３色分のインクジェットノズル５２によって形成されたテストパターンＴＰを示している。【００８２】
したがって、カラー材料同士は互いに離れているとともに千鳥状となっている。【００８３】
そして、カメラガントリー６のスキャンカメラ９によりテストパターンＴＰを検査することができ、吐出不良が検出された場合には、直ちに必要な対処（カラーフィルタの製造中断、インクジェットヘッド５１、インクジェットノズル５２の交換など）を行うことができ、不良品が製造されることを最小限にすることができる。また、インクジェットノズル５２の数が必要数よりも多い場合には、吐出不良が検出されたインクジェットノズル５２からのカラー材料の吐出を阻止し、余剰インクジェットノズル５２からのカラー材料の吐出を行わせるように、インクジェットノズルの吐出制御を行うことが好ましく、カラーフィルタの製造を中断することなく、良品のカラーフィルタの製造を継続することができる。【００８４】
また、千鳥状にすることによって、カラー材料同士の間隔を大きくすることができ、画像処理にゆとりを持たせることができるので、検査精度を高めることができる。【００８５】
また、カメラガントリー６のスキャンカメラ９によるテストパターンＴＰの検査は、塗布ガントリー４を動作させることによる塗布動作中に行われるので、テストパターンＴＰを検査するための時間を余分に必要とすることがなく、タクトタイムが長くなってしまうという不都合を未然に防止することができる。【００８６】
ただし、塗布前に検査を行ってもよく、この場合には、タクトタイムが長くなってしまうが、塗布を中断でき、基板のロスを最小にすることができる。また、塗布終了後に検査を行ってもよく、この場合には、塗布の次工程での検査になるので、タクトタイムには影響を及ぼさないが、基板のロスが１枚以上になってしまう。【００８７】
また、カメラガントリー６のスキャンカメラ９によるテストパターンＴＰの検査は、ガラス基板２に形成されたテストパターンＴＰに基づいて行われるので、カラー材料の塗布がどのように行われるかを精度よく検査することができる。もちろん、どのインクジェットヘッド５１の吐出異常かを迅速に判定することができる。【００８８】
また、検査が座標について行われる場合には、検査結果に基づいてインクジェットヘッド５１の吐出制御を行うことによって、カラー材料の吐出の適正化を達成することができる。【００８９】
また、カラーフィルタが製造されるガラス基板毎に上記の検査が行われるので、吐出方向のずれが徐々に大きくなることなどを検出することができ、この結果、吐出方向の異常を早期に検出することができる。【００９０】
また、検査がカラー材料の着弾痕の形状について行われる場合には、検査結果に基づいてインクジェットヘッド５１の吐出制御を行うことによって、カラー材料の吐出の適正化を達成することができる。【００９１】
また、カラーフィルタが製造されるガラス基板毎に上記の検査が行われるので、吐出量の変化を検出することができ、この結果、吐出量の異常を早期に検出することができる。【００９２】
さらに、テストパターンＴＰを別途設けられた検査装置で検査することができ、スキャンカメラ９による検出限界を超える詳細な検査を達成することができる。【００９３】
また、テストパターンを紙など、ガラス基板２とは別のものに描画することも考えられるが、この場合には、テストパターンを描画するための余分な材料が必要であるだけでなく、テストパターンを描画するための余分な時間が必要であるという問題がある。しかし、上記の実施の形態では、テストパターンを描画するための余分な材料が不要であるとともに、テストパターンを描画するための余分な時間が不要である。【００９４】
以上には、塗布ガントリー４を吸着テーブル２に対してＸ方向に移動させるようにした実施形態を説明したが、塗布ガントリー４を固定し、吸着テーブル３を移動させるように構成することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本願発明のカラーフィルタ製造装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドバーの構成を概略的に示す拡大図である。
【図３】カラー材料塗布処理およびテストパターン検査処理を説明するタイミングチャートである。
【図４】４度の塗布動作でカラー材料が塗布された状態を示す概略図である。
【図５】ガラス基板上にカラーフィルタとテストパターンが形成された状態を示す概略図である。
【図６】テストパターン形成部分を拡大して示す概略図である。
【図７】テストパターン検査処理の一例を説明するフローチャートである。
【図８】カラーフィルタ製造処理の一例を説明するフローチャートである。
【図９】吐出データテーブルの一例を示す図である。
【図１０】インクジェットノズルからの着弾痕の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００９６】
２    ガラス基板
５    インクジェットヘッドバー
９    スキャンカメラ
５１    インクジェットヘッド
５２    インクジェットノズル
ＣＦ    カラーフィルタ
ＴＰ    テストパターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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