【手続補正書】
【提出日】令和1年8月7日(2019.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
融液から単結晶インゴットを成長させるための成長チャンバにポリシリコンを供給するポリシリコン供給装置であって、
粒トレイおよびチャンクトレイのうちの１つを受け取る１つ以上の支持レールと、
前記粒トレイまたは前記チャンクトレイのいずれかに選択的に供給するように前記１つ以上の支持レールの上に配置された供給材料容器と、
を含むポリシリコン供給装置。
【請求項２】
前記粒トレイと前記チャンクトレイとを更に含み、
前記粒トレイおよび前記チャンクトレイは、前記粒トレイおよび前記チャンクトレイを交換するために、前記ポリシリコン供給装置からそれぞれ取外し可能であり、
前記粒トレイは、第１内側輪郭を有し、前記チャンクトレイは、第２内側輪郭を有し、前記第２内側輪郭は、前記第１内側輪郭より大きい深さを有する、請求項１に記載のポリシリコン供給装置。
【請求項３】
前記粒トレイまたは前記チャンクトレイを更に含み、
前記粒トレイまたは前記チャンクトレイは、前記ポリシリコン供給装置から取外し可能であり、
前記粒トレイまたは前記チャンクトレイは、外側溝を含み、前記外側溝は、前記支持レールと同一の寸法を有し、前記支持レールと噛み合う、請求項１に記載のポリシリコン供給装置。
【請求項４】
前記粒トレイおよび前記チャンクトレイと、
前記粒トレイまたは前記チャンクトレイのいずれかを振動させるバイブレータと、
を更に含み、
前記粒トレイおよび前記チャンクトレイは、前記粒トレイおよび前記チャンクトレイを交換するために、前記ポリシリコン供給装置からそれぞれ取外し可能であり、
前記粒トレイおよび前記チャンクトレイのうちの１つは、前記バイブレータに接続され、
前記バイブレータは、管に対して回転可能であり、
前記バイブレータは、ポリシリコンが前記成長チャンバに入ることができる供給位置と、前記粒トレイおよび前記チャンクトレイが交換可能な停止位置と、の間で回転する、請求項１に記載のポリシリコン供給装置。
【請求項５】
前記バイブレータは、前記支持レールを支持し、
コントローラは、前記バイブレータによって、第１振動数で前記チャンクトレイを振動させ、かつ、前記バイブレータによって、前記第１振動数より高い第２振動数で前記粒トレイを振動させる、請求項４に記載のポリシリコン供給装置。
【請求項６】
前記粒トレイと、前記粒トレイからのポリシリコンの流れを制御するバルブ機構と、を更に含む、請求項１に記載のポリシリコン供給装置。
【請求項７】
前記バルブ機構は、
前記粒トレイの出口を選択的に塞ぐシールと、
前記出口を塞ぐ封鎖位置と前記シールが前記出口を塞がない開位置との間で前記シールを上下させるように構成された駆動装置と、
前記シールを前記駆動装置に接続するリンケージと、を含み、
前記出口内の粒状ポリシリコンが前記出口との間の封鎖を妨げないように、前記シールは、前記シールと前記粒トレイの前記出口の部分との間の隙間を許容するように形成された、請求項６に記載のポリシリコン供給装置。
【請求項８】
前記出口は、開口を含み、
前記シールは、
前記出口の前記開口に噛み合う半径を有し、かつ、前記出口の前記開口に対応する傾斜を有する、第１部分と、
前記出口の前記開口より小さい半径を有し、かつ、前記シールが前記封鎖位置にある場合に、少なくとも部分的に前記出口の前記開口内にある、第２部分と、を含み、
前記第２部分の半径と前記出口の前記開口の半径との間の差が、前記隙間を形成する、請求項７に記載のポリシリコン供給装置。
【請求項９】
前記粒トレイまたは前記チャンクトレイのうちの１つから出るポリシリコンを前記成長チャンバに供給するように配置された管を更に含む、請求項１に記載のポリシリコン供給装置。
【請求項１０】
ポリシリコンを前記成長チャンバに供給するための管を更に含み、
前記粒トレイまたは前記チャンクトレイは、前記管に対して回転可能であり、ポリシリコンが前記成長チャンバに入ることができる供給位置と、前記粒トレイまたは前記チャンクトレイが交換可能な停止位置と、の間で回転する、請求項１に記載のポリシリコン供給装置。
【請求項１１】
前記粒トレイおよび前記チャンクトレイのうちの１つは、前記１つ以上の支持レールの中に受けられ、
前記管は、前記ポリシリコン供給装置の中に受けられた前記粒トレイおよび前記チャンクトレイのうちの１つに接触する、請求項１０に記載のポリシリコン供給装置。
【請求項１２】
前記粒トレイまたは前記チャンクトレイを更に含み、
前記粒トレイまたは前記チャンクトレイは、前記１つ以上の支持レールから取外し可能であり、
前記粒トレイまたは前記チャンクトレイは、前記１つ以上の支持レールを取外し可能に受ける外側部分を含む、請求項１に記載のポリシリコン供給装置。
【請求項１３】
前記粒トレイおよび前記チャンクトレイを更に含み、
前記粒トレイおよび前記チャンクトレイは、前記粒トレイおよび前記チャンクトレイを交換するために、前記１つ以上の支持レールから取外し可能であり、
前記粒トレイおよび前記チャンクトレイは、前記１つ以上の支持レールを取外し可能に受ける外側部分をそれぞれ含む、請求項１に記載のポリシリコン供給装置。
【請求項１４】
ポリシリコン供給装置の粒トレイから、融液から結晶インゴットを成長させる成長チャンバへの、ポリシリコンの流れを制御するバルブ機構であって、
前記粒トレイの出口を選択的に塞ぐシールと、
前記出口を塞ぐ封鎖位置と前記シールが前記出口を塞がない開位置との間で前記シールを上下させるように構成された駆動装置と、
前記シールを前記駆動装置に接続するリンケージと、を含み、
前記出口内の粒状ポリシリコンが前記シールと前記出口との間の封鎖を妨げないように、前記シールは、前記シールと前記粒トレイの前記出口の部分との間の隙間を許容するように形成された、バルブ機構。
【請求項１５】
前記出口は、開口を含み、
前記シールは、
前記出口の前記開口に噛み合うように形成された半径を有し、かつ、前記出口の前記開口と同一の傾斜を有する、第１部分と、
前記出口の前記開口より小さい半径を有し、かつ、前記シールが前記封鎖位置にある場合に、少なくとも部分的に前記出口の前記開口内にある、第２部分と、を含み、
前記第２部分の半径と前記出口の前記開口の半径との間の差が、前記隙間を形成する、請求項１４に記載のバルブ機構。
【請求項１６】
ポリシリコン供給装置の粒トレイまたはチャンクトレイのいずれか１つから、融液から結晶インゴットを成長させる成長チャンバへの、ポリシリコンの流れを制御する磁気パルスバイブレータであって、
電磁エネルギーの放出によって、前記粒トレイまたは前記チャンクトレイのいずれか１つを振動させる電磁エネルギー源と、
前記電磁エネルギー源に供給される電圧の制御によって、前記粒トレイまたは前記チャンクトレイのいずれか１つの供給速度を制御するコントローラと、
を含む、磁気パルスバイブレータ。
【請求項１７】
前記コントローラは、前記電磁エネルギー源によって、第１振動数で前記チャンクトレイを振動させ、かつ、前記電磁エネルギー源によって、前記第１振動数より高い第２振動数で前記粒トレイを振動させる、請求項１６に記載の磁気パルスバイブレータ。
【請求項１８】
互換性のある粒トレイと、
前記粒トレイを受けるための１つ以上の支持レールを含み、融液から単結晶インゴットを成長させるための成長チャンバにポリシリコンを供給するポリシリコン供給装置と、
前記粒トレイを振動させるためのバイブレータと、を含むポリシリコン供給システムであって、
前記粒トレイは、前記バイブレータの上に配置され、
前記粒トレイは、
前記ポリシリコン供給装置の前記支持レールを取外し可能に受ける外側溝を含む外側部分と、
前記ポリシリコン供給装置の供給材料容器から粒状ポリシリコンを受け取る内側輪郭と、を含み、
前記粒トレイは、前記バイブレータに対して移動するように、前記支持レールに沿って移動可能である、ポリシリコン供給システム。
【請求項１９】
前記内側輪郭は、前記粒トレイと互換性のあるチャンクトレイの第２内側輪郭より小さい深さを有する、請求項１８に記載のポリシリコン供給システム。
【請求項２０】
前記支持レールは、前記バイブレータの上に配置された、請求項１８に記載のポリシリコン供給システム。
【請求項２１】
互換性のある粒トレイを受けるための１つ以上の支持レールを含み、融液から単結晶インゴットを成長させるための成長チャンバにポリシリコンを供給するポリシリコン供給装置と、
前記粒トレイを振動させるためのバイブレータと、
前記バイブレータの上に配置された、互換性のあるチャンクトレイと、を含むポリシリコン供給システムであって、
前記チャンクトレイは、
前記ポリシリコン供給装置の前記支持レールを取外し可能に受ける外側溝を含む外側部分と、
前記ポリシリコン供給装置の供給材料容器からチャンクポリシリコンを受け取る内側輪郭と、を含み、
前記チャンクトレイは、前記バイブレータに対して移動するように、前記支持レールに沿って移動可能である、ポリシリコン供給システム。
【請求項２２】
前記内側輪郭は、前記チャンクトレイと互換性のある粒トレイの第２内側輪郭より大きい深さを有する、請求項２１に記載のポリシリコン供給システム。
【請求項２３】
前記支持レールは、前記バイブレータの上に配置された、請求項２１に記載のポリシリコン供給システム。