【手続補正書】
【提出日】平成19年6月19日(2007.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物に近接自在な加工電極と、
前記被加工物に給電する給電電極と、
前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に配置され、固体電解質からなる電解質を有する電解質部と電解質を有しない非電解質部をそれぞれ１つ以上有する接触部材と、
前記加工電極と前記給電電極との間に電圧を印加する電源と、
前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方とを相対運動させる駆動部と、
前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給する流体供給部を有することを特徴とする電解加工装置。
【請求項２】
前記非電解質部は、導電性材料からなることを特徴とする請求項１記載の電解加工装置。
【請求項３】
前記非電解質部は、導電性パッドからなることを特徴とする請求項２記載の電解加工装置。
【請求項４】
被加工物に近接自在な加工電極と、
前記被加工物に給電する給電電極と、
前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に配置され、固体電解質からなる電解質を有する電解質部と電解質を有さない非電解質部がそれぞれ少なくとも１層以上存在する積層体からなる接触部材と、
前記加工電極と前記給電電極との間に電圧を印加する電源と、
前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方とを相対運動させる駆動部と、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給する流体供給部を有することを特徴とする電解加工装置。
【請求項５】
前記積層体は、前記電解質部及び非電解質部の端面が前記被加工物と対面するように配置されていることを特徴とする請求項４記載の電解加工装置。
【請求項６】
前記非電解質部は、絶縁材料からなることを特徴とする請求項１，４または５記載の電解加工装置。
【請求項７】
前記電解質部は、イオン交換基を有するイオン交換基部からなることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の電解加工装置。
【請求項８】
前記電解質部及び／または前記非電解質部は、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間の相対運動時に、前記被加工物の被加工表面における任意の点に対して複数通過するように配置されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の電解加工装置。
【請求項９】
被加工物を加工電極に近接させ、
前記加工電極と前記被加工物に給電する給電電極との間に電圧を印加し、
前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に、固体電解質からなる電解質を有する電解質部と電解質を有しない非電解質部をそれぞれ１つ以上有する接触部材を配置し、
前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方とを相対運動させつつ、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給することを特徴とする電解加工方法。
【請求項１０】
被加工物に加工電極を近接させ、
前記加工電極と前記被加工物に給電する給電電極との間に電圧を印加し、
前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に、固体電解質からなる電解質を有する電解質部と電解質を有さない非電解質部がそれぞれ少なくとも１層以上存在する積層体からなる接触部材を配置し、
前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方とを相対運動させつつ、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給することを特徴とする電解加工方法。
【請求項１１】
前記電解質部及び／または前記非電解質部が前記被加工物の被加工表面における任意の点に対して複数通過するように、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方とを相対運動させることを特徴とする請求項９または１０記載の電解加工方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項１に記載の発明は、被加工物に近接自在な加工電極と、前記被加工物に給電する給電電極と、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に配置され、固体電解質からなる電解質を有する電解質部と電解質を有しない非電解質部をそれぞれ１つ以上有する接触部材と、前記加工電極と前記給電電極との間に電圧を印加する電源と、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方とを相対運動させる駆動部と、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給する流体供給部を有することを特徴とする電解加工装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
固体電解質は、固体中をイオンが移動するタイプの電解質をいい、固体アイオニクスとも呼ばれる。電解液が二種類以上のイオンを運ぶのに対して、固体電解質は、一種類のイオンしか運ばないのが普通である。イオン交換膜は、固体高分子電解質であり、固体高分子型燃料電池や固体酸化物型燃料電池に応用されている。電池に固体電解質を使った場合、隔膜を使わなくても良い利点がある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の好ましい一態様において、前記電解質部は、前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方と互いに対向した位置に配置されている。
これにより、例えば多数の加工電極及び／または給電電極がピン状に多数配置されている場合に、接触部材の加工電極及び／または給電電極に対向する部位を電解質部となし、それ以外の部位を非電解質部となして、この非電解質部におけるイオン電流の流れを制限することで、イオン電流の流れをより容易に制御することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
前記接触部材は、加工電極及び給電電極に対して一体に配置されていてもよい。
このように、接触部材を加工電極及び給電電極に対して一体に配置することで、接触部材の製作の便を図るとともに、接触部材を所定の位置により容易に配置することができる。
前記非電解質部は、例えば絶縁材料からなる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項２に記載の発明は、前記非電解質部は、導電性材料からなることを特徴とする請求項１記載の電解加工装置である。
これにより、例えば導電性材料からなる非電解質部を給電電極と被加工物との間に介装することで、導電性材料を介して給電電極から被加工物に直接給電することができる。
請求項３に記載の発明は、前記非電解質部は、導電性パッドからなることを特徴とする請求項２記載の電解加工装置である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の好ましい一態様において、前記電解質部及び／または前記非電解質部は、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間の相対運動時に、前記被加工物の被加工表面における任意の点に対して複数通過するように配置されている。
このように、接触部材の電解質部及び／または非電解質部が被加工物の被加工表面における任意の点に対して複数通過するようにすることで、被加工物の被加工面の各電解質部及び／または各非電解質部に近接乃至接触する部位の加工速度にばらつきが生じた場合においても、この加工速度のばらつきを平均化させ、これによって、被加工物の全面における加工速度の均一化を図ることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
前記電解質部及び／または前記非電解質部は、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間の相対運動時に、前記被加工物の被加工表面における任意の点に対して略均一に通過するように配置されていてもよい。
このように、接触部材の電解質部及び／または非電解質部が被加工物の被加工表面における任意の点に対して略均一に通過するようにすることによっても、被加工物の被加工面の各電解質部及び／または各非電解質部に近接乃至接触する部位の加工速度を平均化させ、被加工物の全面における加工速度の均一化を図ることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明の好ましい一態様において、前記電解質部は、イオン交換基を有するイオン交換基部からなる。
このように、接触部材の電解質部として、イオン交換基を有するイオン交換基部を使用することで、超純水等の液体中の水分子の水酸化物イオンと水素イオンへの解離を促進して、水分子の解離量を増加させることができる。このイオン交換基は、強酸性陽イオン交換基、弱酸性陽イオン交換基、強塩基性陰イオン交換基及び弱塩基性陰イオン交換基の少なくとも１つ、またはこれらの任意の組合せからなる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項４に記載の発明は、被加工物に近接自在な加工電極と、前記被加工物に給電する給電電極と、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に配置され、固体電解質からなる電解質を有する電解質部と電解質を有さない非電解質部がそれぞれ少なくとも１層以上存在する積層体からなる接触部材と、前記加工電極と前記給電電極との間に電圧を印加する電源と、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方とを相対運動させる駆動部と、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給する流体供給部を有することを特徴とする電解加工装置である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
請求項５に記載の発明は、前記積層体は、前記電解質部及び非電解質部の端面が前記被加工物と対面するように配置されていることを特徴とする請求項４記載の電解加工装置である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
請求項６に記載の発明は、前記非電解質部は、絶縁材料からなることを特徴とする請求項１，４または５記載の電解加工装置である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項７に記載の発明は、前記電解質部は、イオン交換基を有するイオン交換基部からなることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の電解加工装置である。
請求項８記載の発明は、前記電解質部及び／または前記非電解質部は、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間の相対運動時に、前記被加工物の被加工表面における任意の点に対して複数通過するように配置されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の電解加工装置である。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
請求項９に記載の発明は、被加工物を加工電極に近接させ、前記加工電極と前記被加工物に給電する給電電極との間に電圧を印加し、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に、固体電解質からなる電解質を有する電解質部と電解質を有しない非電解質部をそれぞれ１つ以上有する接触部材を配置し、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方とを相対運動させつつ、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給することを特徴とする電解加工方法である。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
請求項１０に記載の発明は、被加工物に加工電極を近接させ、前記加工電極と前記被加工物に給電する給電電極との間に電圧を印加し、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に、固体電解質からなる電解質を有する電解質部と電解質を有さない非電解質部がそれぞれ少なくとも１層以上存在する積層体からなる接触部材を配置し、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方とを相対運動させつつ、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給することを特徴とする電解加工方法である。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
請求項１１に記載の発明は、前記電解質部及び／または前記非電解質部が前記被加工物の被加工表面における任意の点に対して複数通過するように、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方とを相対運動させることを特徴とする請求項９または１０記載の電解加工方法である。
前記電解質部及び／または前記非電解質部が前記被加工物の被加工表面における任意の点に対して略均一に通過するように、前記被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方とを相対運動させるようにしてもよい。