【手続補正書】
【提出日】平成19年2月22日(2007.2.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下ベースと、下ベースに配設されたリニアモータとを具備する下軸リニアモータ駆動ステージ、
及び下ベースに立設された支柱と、支柱上に配設された上ベースと、上ベースに配設されたＺ軸リニアモータとを具備する上軸リニアモータ駆動ステージを有する上下分離駆動型リニアモータ駆動ステージであることを特徴とするリニアモータ駆動ステージ。
【請求項２】
請求項１に記載のリニアモータ駆動ステージにおいて、下ベースに配設されたリニアモータがＸ軸リニアモータ及び下Ｙ軸リニアモータであり、上ベースには上Ｙ軸リニアモータが配設され、上Ｙ軸リニアモータの可動子にＺ軸リニアモータが配設されたことを特徴とするリニアモータ駆動ステージ。
【請求項３】
請求項２に記載のリニアモータ駆動ステージにおいて、上Ｙ軸リニアモータの可動子にθモータが配設され、θモータを介して上Ｙ軸リニアモータの可動子とＺ軸リニアモータとが接続されたことを特徴とするリニアモータ駆動ステージ。
【請求項４】
下ベースと、下ベースに配設されたリニアモータとを具備する下軸リニアモータ駆動ステージ、
及び下ベースに立設された支柱と、支柱上に配設された上ベースと、上ベースに配設されたＺ軸リニアモータとを具備する上軸リニアモータ駆動ステージを有する上下分離駆動型リニアモータ駆動ステージを用いた機能性薄膜用製造装置であって、
Ｚ軸リニアモータの可動子にインクジェットユニットが配設されたことを特徴とする機能性薄膜用製造装置。
【請求項５】
請求項４に記載の機能性薄膜用製造装置において、このインクジェットユニットにインク吐出口及びエア吐出口が設けられ、インク吐出口から吐出されたインクの飛翔曲がりを抑制するようにエア吐出口からエアが吐出されるように構成されたことを特徴とする機能性薄膜用製造装置。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の機能性薄膜用製造装置において、下軸リニアモータ駆動ステージにはＸ軸リニアモータ及び下Ｙ軸リニアモータが配設され、上軸リニアモータ駆動ステージには上Ｙ軸リニアモータが配設され、上Ｙ軸リニアモータの可動子にＺ軸リニアモータが配設されたことを特徴とする機能性薄膜用製造装置。
【請求項７】
請求項６に記載の機能性薄膜用製造装置において、上Ｙ軸リニアモータの可動子にθモータが配設され、θモータを介して上Ｙ軸リニアモータの可動子とＺ軸リニアモータとが接続されたことを特徴とする機能性薄膜用製造装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】リニアモータ駆動ステージ及びそれを用いた機能性薄膜用製造装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、例えばディスプレイ、表示体などに用いられる電気的発光素子である有機ＥＬ薄膜またはカラーフィルタ薄膜等の機能性薄膜を形成するためのインクジェットヘッド搭載用に有用なリニアモータ駆動ステージ及びそれを用いた機能性薄膜用製造装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
近年、パーソナルコンピュータや携帯用の情報機器といった電子機器の発達に伴い、液晶表示装置、特にカラー液晶表示装置の使用が増加している。前記液晶表示装置には通常表示画像をカラー化するためのカラーフィルタが用いられている。このカラーフィルタの製造方法の１つとして、基板に対してＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）のインクを所定のパターンで着弾させることにより形成するインクジェット方式による方法が知られている。
機能性薄膜を簡便かつ微細にパターニング成膜する手段としてインクジェット方式は有用である。しかし、有機溶剤を使用するインク（機能性薄膜形成用原料の液体）を用いる場合、インクジェットヘッド周辺の排気などの雰囲気制御を必要とする。この場合はノズル面の乾燥、気流の乱れを引き起こし、ノズルから吐出したインク（液滴）の飛翔曲がりを招いてしまうという問題がある。
更にパーソナルコンピュータあるいはテレビ等の液晶ディスプレイ用のカラーフィルタ製造装置では、使用する透明基板（インクが着弾する側のガラス基板等）の大型化のニーズが旺盛である。この大型化と同時に製造コストを低減することが切望されている。このような技術志向から、インクジェットヘッドと透明基板との相対移動速度を高めて工業生産効率を向上すると共に、両者の相対的な位置決め精度を高めることが望まれている。
更にまた通常インクジェットヘッドを所定位置に位置決め（停止）した状態で、かつ透明基板を高速で所定位置まで移動させて、該透明基板に機能性薄膜を高精細にパターニング成膜するためにインクを吐出する。ところが、作業効率向上のために透明基板の高速移動を高めて行くのに伴い、該透明基板の高速移動により発生した気流の影響でインク（液滴）の飛翔曲がりが顕著になるという新たな問題が発生し、対策が求められている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
従って本発明の目的は、例えばインクジェットヘッドと透明基板との相対的な高速移動及び高精度位置決めを実現することができるリニアモータ駆動ステージ、及びそれを用いた機能性薄膜用製造装置を安価に提供することである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明のリニアモータ駆動ステージは、下ベースと、下ベースに配設されたリニアモータとを具備する下軸リニアモータ駆動ステージ、
及び下ベースに立設された支柱と、支柱上に配設された上ベースと、上ベースに配設されたＺ軸リニアモータとを具備する上軸リニアモータ駆動ステージを有する上下分離駆動型リニアモータ駆動ステージであることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明のリニアモータ駆動ステージにおいて、下ベースに配設されたリニアモータがＸ軸リニアモータ及び下Ｙ軸リニアモータであり、上ベースには上Ｙ軸リニアモータが配設され、上Ｙ軸リニアモータの可動子にＺ軸リニアモータが配設されることが好ましい。前記リニアモータ駆動ステージはＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の高速移動、高精度位置決め性能が良好であり、実用性が高い。下Ｙ軸リニアモータの可動子と上Ｙ軸リニアモータの可動子とが平行に配設されている場合は非常に有用である。
また本発明のリニアモータ駆動ステージにおいて、上Ｙ軸リニアモータの可動子にθモータが配設され、θモータを介して上Ｙ軸リニアモータの可動子とＺ軸リニアモータとが接続されることが好ましい。前記リニアモータ駆動ステージはＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸のリニアモータによる高速移動、高精度位置決め性能が良好であり、かつ上Ｙ軸リニアモータの可動子にθモータ（θ方向の回転角度：０〜９０°）を配設し、θ方向への駆動を可能にしたので実用性に富む。下Ｙ軸リニアモータの可動子と上Ｙ軸リニアモータの可動子とが平行に配設されている場合は非常に有用である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また本発明の機能性薄膜用製造装置は、下ベースと、下ベースに配設されたリニアモータとを具備する下軸リニアモータ駆動ステージ、
及び下ベースに立設された支柱と、支柱上に配設された上ベースと、上ベースに配設されたＺ軸リニアモータとを具備する上軸リニアモータ駆動ステージを有する上下分離駆動型リニアモータ駆動ステージを用いた機能性薄膜用製造装置であって、
Ｚ軸リニアモータの可動子にインクジェットユニットが配設されたことを特徴とする。
本発明の機能性薄膜用製造装置は、下軸リニアモータ駆動ステージに配設されたリニアモータのテーブル（可動子）上に透明基板を保持し、該透明基板とＺ軸リニアモータの可動子に配設されたインクジェットユニットとを相対的に高速移動、高精度位置決めできる構成なので実用性が高い。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の機能性薄膜用製造装置において、このインクジェットユニットにインク吐出口及びエア吐出口が設けられ、インク吐出口から吐出されたインクの飛翔曲がりを抑制するようにエア吐出口からエアが吐出されるように構成されることが好ましい。前記機能性薄膜用製造装置では、透明基板の高速移動で発生する気流の乱れによるインクの飛翔曲がり対策として、インクジェットユニットにインク吐出口及びエア吐出口を設けると共にインク吐出口から吐出されたインクの飛翔曲がりを抑制するようにエア吐出口からエアを吐出する。
また本発明の機能性薄膜用製造装置において、下軸リニアモータ駆動ステージにはＸ軸リニアモータ及び下Ｙ軸リニアモータが配設され、上軸リニアモータ駆動ステージには上Ｙ軸リニアモータが配設され、上Ｙ軸リニアモータの可動子にＺ軸リニアモータが配設されることが好ましい。下Ｙ軸リニアモータの可動子と上Ｙ軸リニアモータの可動子とが平行に配設されている場合は非常に有用である。
また本発明の機能性薄膜用製造装置において、上Ｙ軸リニアモータの可動子にθモータが配設され、θモータを介して上Ｙ軸リニアモータの可動子とＺ軸リニアモータとが接続されることが好ましい。下Ｙ軸リニアモータの可動子と上Ｙ軸リニアモータの可動子とが平行に配設されている場合は非常に有用である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明によれば、例えばインクジェットヘッドと透明基板との相対的な高速移動及び高精度位置決めを実現できるリニアモータ駆動ステージ、及びそれを用いた機能性薄膜用製造装置を安価に提供することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
図１のカラーフィルタの製造装置５０について以下に説明する。
図１のカラーフィルタの製造装置５０は、防振ユニット１１と、下軸リニアモータ駆動ステージ１０と、上軸リニアモータ駆動ステージ４０とを有して構成されている。
下軸リニアモータ駆動ステージ１０は、防振ユニット１１上に載置されたＸ軸ベース１（例えば石材製）と、Ｘ軸ベース１上に載置されたＸ軸リニアモータ（可動コイル型リニアモータ）２と、Ｘ軸リニアモータ２の可動子７上に載置された下Ｙ軸リニアモータ（可動コイル型リニアモータ）２２と、下Ｙ軸リニアモータの可動子を構成するガラス基板保持用のテーブル２７等により構成されている。Ｘ軸リニアモータ２は、断面がコの字状に形成された強磁性ヨークの相対向する内側面にブロック状のＮｄＦｅＢ磁石を接着して空隙を介して相対向する一対の磁石列を形成した固定子４と、前記一対の磁石列間の空隙（固定子４の磁気空隙）８に沿ってＸ軸方向に移動自在に走行する３相コイル（図示省略）に接続された可動子７とを有して構成されている。５，５はＸ軸リニアモータガイドであり、６は基準部材（例えば石材製）である。９はＸ軸ケーブルベア（ケーブルベアは登録商標であり、以下同様。）であり図示省略のケーブル（信号線、電力線及び冷却用配管等）を収納した可撓性のキャタピラ型のものである。２９は下Ｙ軸ケーブルベア（Ｘ軸ケーブルベア９と同じ構造のもの）であり、３０は下Ｙ軸ケーブルベア２９の収納スペースである。２１は下Ｙ軸ベース（例えば石材製）であり、溝部２６に下Ｙ軸リニアモータの固定子３１（固定子４と同じ構造の組立体）が配設されていると共に凸部２８，２８に一対の下Ｙ軸リニアモータガイド２５，２５が配設されている。下Ｙ軸リニアモータ２２の可動子を構成する３相コイル（図示省略）が固定子３１の磁気空隙に沿ってＹ軸方向に走行自在に配設されている。３３はネジ孔である。３３以外にもＸ軸ベース１、下Ｙ軸ベース２１、支柱３及び上Ｙ軸ベース４１等随所に同様のネジ孔が設けてあり、本発明のリニアモータ駆動ステージの各構成部材の締結に使用される。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
【図１】本発明のリニアモータ駆動ステージを搭載したカラーフィルタの製造装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】上Ｙ軸方向から見たときの上Ｙ軸リニアモータ、θモータ、Ｚ軸リニアモータ及びインクジェットユニットの構造を説明する正面図である。
【図３】図２を補足説明する斜視図である。
【図４】本発明のカラーフィルタの製造装置に使用するインクジェットヘッドの一実施形態を示す正面図であり、（ａ）はインク吐出口を一対のエア吐出口が囲んだ構造の場合、（ｂ）はインク吐出口を角環状に設けたエア吐出口が囲んだ構造の場合、（ｃ）はインク吐出口に対して上下左右に設けたエア吐出口が囲んだ構造の場合である。
【図５】本発明に係るＺ軸リニアモータに使用したロック機構を説明する斜視図であり、一部破砕して図示してある。
【図６】従来のインクジェットヘッドに係わる、斜視図（ａ）、下側から見た図（ｂ）である。
【図７】従来のカラーフィルタの製造装置に係わる、上面図（ａ）、（ａ）のＢ１−Ｂ２線矢視断面図（ｂ）である。
【図８】従来のインクジェット装置を示す斜視図である。
【図９】従来のＺ−θアクチュエータを示す断面図である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
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