【手続補正書】
【提出日】平成20年8月29日(2008.8.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子デバイス内での機能的使用のために設計された集積回路のテスト応答を処理することからの情報を受け取るステップであって、前記情報は、前記集積回路のテスト中に観察された集積回路障害と、前記集積回路障害を引き起こす可能な歩留り制限要因とを示す、ステップと、
前記集積回路内の前記可能な歩留り制限要因のうちの１つ又は複数が前記集積回路障害を実際に引き起こした確率を判定するステップであって、前記受け取られた情報を統計的に分析するステップを含む、ステップと、
１つ又は複数の可能な歩留り制限要因が前記集積回路障害を実際に引き起こした前記確率を報告するステップと
を含む、コンピュータ実施される方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法であって、受け取られた前記情報は、（ａ）診断結果、（ｂ）歩留り制限要因の１つ若しくは複数のリスト、又は（ｃ）前記テスト中の前記歩留り制限要因の検出に関する情報のうちの１つ又は複数を含む、方法。
【請求項３】
請求項１に記載の方法であって、前記判定された確率に少なくとも部分的に基づいて、前記集積回路の歩留りの推定値を判定するステップを更に含む、方法。
【請求項４】
請求項１に記載の方法であって、前記集積回路は、集積回路の第１セットを含み、前記方法は、前記判定された確率に少なくとも部分的に基づいて、集積回路の第２セットの歩留りの推定値を判定するステップを更に含む、方法。
【請求項５】
請求項１に記載の方法であって、前記判定された確率に少なくとも部分的に基づいて、各々の可能な歩留り制限要因又は前記集積回路のエスケープ・レートの推定値を判定するステップを更に含む、方法。
【請求項６】
請求項１に記載の方法であって、前記集積回路は、集積回路の第１セットを含み、前記方法は、前記判定された確率に少なくとも部分的に基づいて、集積回路の第２セットの可能な歩留り制限要因又は集積回路の前記第２セットのエスケープ・レートの推定値を判定するステップを更に含む、方法。
【請求項７】
請求項１に記載の方法であって、前記集積回路は、１つ又は複数の設計製造ルールに従って設計され、前記方法は、前記設計製造ルールのうちの少なくとも１つに関する前記判定された確率に少なくとも部分的に基づいて、歩留り感度曲線を推定するステップを更に含む、方法。
【請求項８】
請求項１に記載の方法であって、経時的に繰り返して実行され、前記方法は、経時的に観察された前記判定された確率の変化に基づいて生産傾向を判定するステップを更に含む、方法。
【請求項９】
請求項１に記載の方法であって、前記報告された確率に少なくとも部分的に基づいて、１つ又は複数の設計製造ルールを調整するステップを更に含む、方法。
【請求項１０】
請求項１に記載の方法であって、前記報告された確率に少なくとも部分的に基づいて、前記集積回路の設計内の潜在的欠陥を識別するのに使用される１つ又は複数の欠陥抽出ルールを調整するステップを更に含む、方法。
【請求項１１】
請求項１に記載の方法であって、前記報告された確率に少なくとも部分的に基づいて、前記集積回路内の１つ又は複数の特徴の推奨される変更を提供するステップを更に含む、方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の方法であって、変更された１つ又は複数の特徴を有する１つ又は複数の集積回路を作るステップを更に含む、方法。
【請求項１３】
請求項１に記載の方法であって、報告する前記動作は、前記確率のグラフィカル表現を生成するステップを含む、方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の方法であって、前記グラフィカル表現は、パレート図を含む、方法。
【請求項１５】
請求項１に記載の方法であって、前記受け取られた情報は、被疑特徴のリストを含む、方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載の方法であって、被疑特徴の前記リストは、（ａ）少なくとも１つの圧縮された故障辞書又は（ｂ）増分診断のうちの１つ又は複数を使用して生成される、方法。
【請求項１７】
請求項１に記載の方法であって、確率を判定する前記動作は、
各々の可能な歩留り制限要因が、関連する各々の集積回路障害を引き起こした確率を推定するステップと、
前記推定された確率を、前記各々の可能な歩留り制限要因が前記関連する障害を引き起こした実際の確率に関係付ける連立方程式を反復的に解くステップと
を含む、方法。
【請求項１８】
請求項１に記載の方法であって、前記可能な歩留り制限要因は、（ａ）集積回路レイアウト内のネット、（ｂ）前記集積回路レイアウト内の特徴、又は（ｃ）前記集積回路の製造に関連する設計製造ルールのうちの少なくとも１つを含む、方法。
【請求項１９】
請求項１に記載の方法であって、テストされた前記集積回路は、共通の設計を有し、確率を判定する前記動作は、前記集積回路の前記設計を複数の設計ブロックに区分するステップを含み、各設計ブロックは、前記可能な歩留り制限要因の部分集合を含む、方法。
【請求項２０】
請求項１９に記載の方法であって、区分する前記ステップは、
前記集積回路の前記設計内のネットに関連する故障をシミュレートするステップと、
少なくともネットの第１セットからの誤りを取り込む観察点の第１グループとネットの第２セットからの誤りを取り込む観察点の第２グループとを識別するステップと、
第１設計ブロックにネットの前記第１セットを、第２設計ブロックにネットの前記第２セットを含めるステップと
を含む、方法。
【請求項２１】
請求項１９に記載の方法であって、確率を判定する前記動作は、
設計ブロック障害確率を、歩留り制限要因が各々の設計ブロック内に含まれる障害確率に関係付ける確率モデルを構築するステップと、
前記設計ブロック障害確率を前記受け取られた情報と比較するステップと、
回帰技法を使用して、歩留り制限要因の推定された障害確率を計算するステップと
を更に含む、方法。
【請求項２２】
請求項１に記載の方法であって、前記確率を判定する前記動作は、他のネットより実質的に高いレートで障害を発生するネットを識別するステップを更に含む、方法。
【請求項２３】
請求項２２に記載の方法であって、前記確率を判定する前記動作は、他のネットより実質的に高いレートで障害を発生する前記ネットが、前記テストされた集積回路のインスタンスをそれぞれが含むダイの複数のインスタンスを含む複数のウェハの同一のダイ位置又はその付近で繰り返して発生するかどうかを判定するステップを更に含む、方法。
【請求項２４】
請求項２２に記載の方法であって、他のネットより実質的に高いレートで障害を発生する前記ネットが同一のダイ位置又はその付近で繰り返して発生するかどうかを判定する前記動作は、ウェハ欠陥マップを生成するステップを含む、方法。
【請求項２５】
請求項１に記載の方法であって、前記テストは、その中で１つ又は複数の潜在的欠陥がビット・マスクの適用によって識別される故障辞書を使用して前記集積回路内の潜在的欠陥を識別するステップを含む、方法。
【請求項２６】
コンピュータに請求項１に記載の方法を実行させるコンピュータ実行可能命令を含む１つ又は複数の有形のコンピュータ可読媒体。
【請求項２７】
請求項１に記載の方法を実行するようにプログラムされた少なくとも１つのコンピュータ。
【請求項２８】
集積回路のテスト応答を処理することからの情報を受け取るステップであって、前記情報は、前記集積回路のテスト中に観察された集積回路障害と、前記集積回路障害を引き起こした可能性がある潜在的欠陥とを示す、ステップと、
前記受け取られた情報を分析することによって、前記潜在的欠陥が前記集積回路障害を実際に引き起こしている確率を判定するステップであって、前記分析することは、推定された確率を、各々の潜在的欠陥が関連する集積回路障害を引き起こした実際の確率に関係付ける連立方程式を反復的に解くステップを含む、ステップと、
前記判定された確率を報告するステップと
を含む、コンピュータ実施される方法。
【請求項２９】
請求項２８に記載の方法であって、受け取られた前記情報は、（ａ）診断結果、（ｂ）前記潜在的欠陥の１つ若しくは複数のリスト、又は（ｃ）前記テスト中の前記潜在的欠陥の検出に関する情報のうちの１つ又は複数を含む、方法。
【請求項３０】
請求項２８に記載の方法であって、前記判定された確率に少なくとも部分的に基づいて、前記集積回路の歩留りの推定値を判定するステップを更に含む、方法。
【請求項３１】
請求項２８に記載の方法であって、前記集積回路は、集積回路の第１セットを含み、前記方法は、前記判定された確率に少なくとも部分的に基づいて、集積回路の第２セットの歩留りの推定値を判定するステップを更に含む、方法。
【請求項３２】
請求項２８に記載の方法であって、前記判定された確率に少なくとも部分的に基づいて、各々の潜在的欠陥又は前記集積回路のエスケープ・レートの推定値を判定するステップを更に含む、方法。
【請求項３３】
請求項２８に記載の方法であって、前記集積回路は、集積回路の第１セットを含み、前記方法は、前記判定された確率に少なくとも部分的に基づいて、集積回路の第２のセットの潜在的欠陥又は集積回路の前記第２セットのエスケープ・レートの推定値を判定するステップを更に含む、方法。
【請求項３４】
請求項２８に記載の方法であって、前記集積回路は、１つ又は複数の設計製造ルール
に従って設計され、前記方法は、前記判定された確率に少なくとも部分的に基づいて前記設計製造ルールのうちの少なくとも１つの歩留り感度曲線を推定するステップを更に含む、方法。
【請求項３５】
請求項２８に記載の方法であって、経時的に繰り返して実行され、前記方法は、経時的に観察された前記判定された確率の変化に基づいて生産傾向を判定するステップを更に含む、方法。
【請求項３６】
請求項２８に記載の方法であって、前記報告された確率に少なくとも部分的に基づいて、（ａ）１つ若しくは複数の設計製造ルールの調整、（ｂ）１つ若しくは複数の欠陥抽出ルールの調整、又は（ｃ）前記集積回路内の１つ若しくは複数の特徴の推奨される変更の提供のうちの１つ又は複数を実行するステップを更に含む、方法。
【請求項３７】
請求項３６に記載の方法であって、前記集積回路内の１つ又は複数の特徴は、前記報告された確率に少なくとも部分的に基づいて変更され、前記方法は、前記変更された１つ又は複数の特徴を有する１つ又は複数の集積回路を作るステップを更に含む、方法。
【請求項３８】
請求項２８に記載の方法であって、報告する前記動作は、前記確率のグラフィカル表現を生成するステップを含む、方法。
【請求項３９】
請求項２８に記載の方法であって、テストされた前記集積回路は、共通の設計を有し、前記確率を判定する前記動作は、前記集積回路の前記設計を複数の設計ブロックに区分するステップを含み、各設計ブロックは、前記潜在的欠陥の部分集合を含む、方法。
【請求項４０】
請求項３９に記載の方法であって、区分する前記ステップは、
前記集積回路の前記設計内のネットに関連する故障をシミュレートするステップと、
少なくともネットの第１セットからの誤りを取り込む観察点の第１グループとネットの第２セットからの誤りを取り込む観察点の第２グループとを識別するステップと、
第１設計ブロック内にネットの前記第１セットを、第２設計ブロック内にネットの前記第２セットを含めるステップと
を含む、方法。
【請求項４１】
請求項３９に記載の方法であって、確率を判定する前記動作は、
設計ブロック障害確率を、各々の設計ブロックに含まれる潜在的欠陥の障害確率に関係付ける確率モデルを構築するステップと、
前記設計ブロック障害確率を前記受け取られた情報と比較するステップと、
回帰技法を使用して、前記潜在的欠陥の推定された障害確率を計算するステップと
を更に含む、方法。
【請求項４２】
請求項２８に記載の方法であって、診断情報は、更に、各々の潜在的欠陥に関連する次のプロパティ即ち、
前記各々の潜在的欠陥を他の潜在的欠陥から区別する欠陥識別子と、
前記各々の潜在的欠陥を抽出するのに使用された欠陥抽出ルールを識別する被導出ルール識別子と、
前記欠陥抽出ルールがそれに基づいた製造ルールを識別する設計製造ルール識別子と、
前記各々の潜在的欠陥の１つ又は複数の物理的プロパティと、
集積回路設計の物理的レイアウト内の前記各々の潜在的欠陥の物理的位置と、
潜在的欠陥の同一のクラス内の他の潜在的欠陥に対する相対的な前記各々の潜在的欠陥のランキングと
のうちの１つ又は複数を更に示す、方法。
【請求項４３】
コンピュータに請求項２８に記載の方法を実行させるコンピュータ実行可能命令を含む１つ又は複数の有形のコンピュータ可読媒体。
【請求項４４】
請求項２８に記載の方法を実行するようにプログラムされた少なくとも１つのコンピュータ。
【請求項４５】
複数の集積回路のテスト中に観察された集積回路障害と、前記集積回路障害を引き起こした可能性がある潜在的欠陥とを表す情報を受け取るステップであって、前記潜在的欠陥は、設計製造ルールから導出された抽出ルールを使用して抽出され、テストに関してターゲットにされる、ステップと、
前記潜在的欠陥のうちの１つ又は複数に関連する１つ又は複数の障害レートを判定するために前記情報を分析するステップと、
前記判定された障害レートを報告するステップと
を含む、コンピュータ実施される方法。
【請求項４６】
請求項４５に記載の方法であって、受け取られた前記情報は、（ａ）診断結果、（ｂ）前記潜在的欠陥の１つ若しくは複数のリスト、又は（ｃ）前記テスト中の前記潜在的欠陥の検出に関する情報のうちの１つ又は複数を含む、方法。
【請求項４７】
請求項４５に記載の方法であって、前記判定された障害レートに少なくとも部分的に基づいて前記集積回路の歩留りの推定値を判定するステップを更に含む、方法。
【請求項４８】
請求項４５に記載の方法であって、前記集積回路は、集積回路の第１セットを含み、前記方法は、前記判定された障害レートに少なくとも部分的に基づいて集積回路の第２セットの歩留りの推定値を判定するステップを更に含む、方法。
【請求項４９】
請求項４５に記載の方法であって、前記判定された障害レートに少なくとも部分的に基づいて各々の潜在的欠陥又は前記集積回路のエスケープ・レートの推定値を判定するステップを更に含む、方法。
【請求項５０】
請求項４５に記載の方法であって、前記集積回路は、集積回路の第１セットを含み、前記方法は、前記判定された障害レートに少なくとも部分的に基づいて集積回路の第２セットの潜在的欠陥又は集積回路の前記第２セットのエスケープ・レートの推定値を判定するステップを更に含む、方法。
【請求項５１】
請求項４５に記載の方法であって、前記判定された障害レートに少なくとも部分的に基づいて前記設計製造ルールのうちの少なくとも１つの歩留り感度曲線を推定するステップを更に含む、方法。
【請求項５２】
請求項４５に記載の方法であって、経時的に繰り返して実行され、前記方法は、経時的に観察された判定された確率の変化に基づいて生産傾向を判定するステップを更に含む、方法。
【請求項５３】
請求項４５に記載の方法であって、報告される確率に少なくとも部分的に基づいて、（ａ）１つ若しくは複数の設計製造ルールの調整、（ｂ）１つ若しくは複数の欠陥抽出ルールの調整、又は（ｃ）前記集積回路内の１つ若しくは複数の特徴の推奨される変更の提供のうちの１つ又は複数を実行するステップを更に含む、方法。
【請求項５４】
請求項５３に記載の方法であって、前記集積回路内の１つ又は複数の特徴は、前記報
告される確率に少なくとも部分的に基づいて変更され、前記方法は、前記変更された１つ又は複数の特徴を有する１つ又は複数の集積回路を作るステップを更に含む、方法。
【請求項５５】
請求項４５に記載の方法であって、診断結果は、少なくとも１つの故障辞書の適用を介して入手される、方法。
【請求項５６】
請求項５５に記載の方法であって、前記少なくとも１つの故障辞書は、潜在的欠陥を識別するのに１つ又は複数のビット・マスクを使用する圧縮された故障辞書を含む、方法。
【請求項５７】
請求項４５に記載の方法であって、分析する前記ステップは、
特徴障害レートに関連する確率モデルを構築するステップと、
前記構築された確率モデルを受け取られる診断結果に関係付けるステップと、
回帰分析を使用して推定された特徴障害レートを計算するステップと
を含む、方法。
【請求項５８】
コンピュータに請求項４５に記載の方法を実行させるコンピュータ実行可能命令を含む１つ又は複数の有形のコンピュータ可読媒体。
【請求項５９】
請求項４５に記載の方法を実行するようにプログラムされた少なくとも１つのコンピュータ。