Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月21日(2007.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の電話機を回線接続可能な回線インターフェース手段と、ＩＰ電話の呼制御を管理するサーバーが配置されたＩＰ網との間の通信を制御するネットワーク制御手段と、前記サーバーと連携して前記電話機によるＩＰ網経由の通話を実現するＶｏＩＰ制御手段と、契約者回線番号及び追加番号の中から発番号通知に使用する番号を前記電話機毎に設定した発番号通知テーブルとを具備し、前記ＶｏＩＰ制御手段は、発信要求してきた電話機について発番号通知用として登録した番号を前記発番号通知テーブルから取得し、この取得した番号を前記発信要求してきた電話機の発信者番号としたリクエストを生成して前記サーバーへ送出するＩＰ電話ゲートウェイ装置。
【請求項２】
前記ＶｏＩＰ制御手段は、ＲＦＣ２５４３，３２６１に定められたＳＩＰに従って動作し、前記発番号通知テーブルから取得した番号をＦｒｏｍヘッダに設定したＩＮＶＩＴＥを前記リクエストとして生成することを特徴とする請求項１記載のＩＰ電話ゲートウェイ装置。
【請求項３】
電話機の送出した発信要求を検出し、契約者回線番号及び追加番号の中から発番号通知に使用する番号を電話機毎に設定した発番号通知テーブルから、今回発信要求してきた電話機の発番号通知用として登録した番号を取得し、この取得した番号を前記発信要求してきた電話機の発信者番号としたリクエストを生成し、ＩＰ網上に配置されＩＰ電話の呼制御を管理するサーバーに対して前記リクエストを送出するＩＰ電話発番号通知方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の第１の態様は、複数の電話機を回線接続可能な回線インターフェース手段と、ＩＰ電話の呼制御を管理するサーバーが配置されたＩＰ網との間の通信を制御するネットワーク制御手段と、前記サーバーと連携して前記電話機によるＩＰ網経由の通話を実現するＶｏＩＰ制御手段と、契約者回線番号及び追加番号の中から発番号通知に使用する番号を前記電話機毎に設定した発番号通知テーブルとを具備し、前記ＶｏＩＰ制御手段は、発信要求してきた電話機について発番号通知用として登録した番号を前記発番号通知テーブルから取得し、この取得した番号を前記発信要求してきた電話機の発信者番号としたリクエストを生成して前記サーバーへ送出するＩＰ電話ゲートウェイ装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
なお、ＶｏＩＰ制御手段は、ＲＦＣ２５４３，３２６１に定められたＳＩＰ（Session Initiation Protocol）に従って動作する場合は、前記発番号通知テーブルから取得した
番号をＦｒｏｍヘッダに設定したＩＮＶＩＴＥを前記リクエストとして生成することが望ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の第２の態様は、電話機の送出した発信要求を検出し、契約者回線番号及び追加番号の中から発番号通知に使用する番号を電話機毎に設定した発番号通知テーブルから、今回発信要求してきた電話機の発番号通知用として登録した番号を取得し、この取得した番号を前記発信要求してきた電話機の発信者番号としたリクエストを生成し、ＩＰ網上に配置されＩＰ電話の呼制御を管理するサーバーに対して前記リクエストを送出するＩＰ電話発番号通知方法である。
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月5日(2007.10.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
グランド層５０２は、基板５０１の裏面に形成される低インピーダンスの材料からなり、基板５０１の裏面全域にわたって形成されない。本実施形態では、グランド層５０２には、プリントパターンの設計上及び／又は実装上の都合により、図４Ａに示すように、少なくとも２個の欠落部分α１及びα２が形成される。具体的には、欠落部分α１及びα２はそれぞれ、略長方形状のスリットであり、ＺＸ平面に平行な基準面Ｅ１を基準として、互いに面対称な空間をグランド層５０２に形成する。また、本実施形態では、便宜上、欠落部分α１及びα２はそれぞれ、ＹＺ平面に平行な基準面Ｅ２を基準して面対称な形状を有すると仮定する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
２本の信号配線５０３及び５０４はそれぞれ、基板５０１の上面にＹ軸の方向に平行に、導電性材料で形成される。ここで、各信号配線５０３及び５０４を鉛直上方からグランド層５０２に投影した場合、投影された信号配線５０３及び５０４は欠落部分α１及びα２と交差する。また、２本の信号配線５０３及び５０４は、面Ｅ２を基準として、Ｘ軸の正方向に互いに異なる距離だけ離れた状態で形成される。ここで、信号配線５０３及び５０４の間の距離は、前述の距離ｘ４に選ばれる（図３Ａ参照）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
２本の信号配線６０３及び６０４はそれぞれ、基板６０１の上面にＹ軸の方向に平行に、導電性材料で形成される。ここで、信号配線６０３を鉛直上方からグランド層６０２に投影した場合、投影された信号配線６０３は欠落部分α３において幅の広い部分と交差する。また、信号配線６０４を鉛直上方からグランド層６０２に投影した場合、投影された信号配線６０４は欠落部分α３において幅の狭い部分と交差する。また、２本の信号配線６０３及び６０４は、前述の距離ｘ４（図３Ａ参照）に選ばれる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月11日(2007.4.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リソグラフィ装置であって、
放射線の投影ビームを供給するための照明システム、
前記投影ビームの断面にパターンを付けるのに役立つ個々に制御可能な素子のアレイ、
基板を支持するための基板テーブル、および
前記パターン化したビームを前記基板の目標部分上に投影するための投影システムを含む装置に於いて、
前記投影システムが集束素子のアレイを含み、各集束素子は、当該集束素子に対応づけられる複数の前記個々に制御可能な素子からのパターン化したビームの放射線を前記基板へ向けそれによって基板のある領域を露光するように構成されており、
各集束素子に対応づけられる個々に制御可能な素子の各々は互いに独立に制御され、各集束素子により基板に投影される放射強度が２つ以上の異なる強度レベルのうちの１つに設定されるよう構成されている装置。
【請求項２】
前記個々に制御可能な素子の各々を二つの状態の一つにセットでき、第１状態では、第１強度の放射線が前記パターン化したビームの対応する部分に入り、および第２状態では、第２の、低い強度、好ましくは実質的にゼロの強度の放射線が前記パターン化したビームの対応する部分に導き入れられる請求項１に記載された装置。
【請求項３】
前記個々に制御可能な素子の各々を一つ以上の付加的状態にセットでき、その状態では、放射線を、前記第１および第２状態の強度の間で且つ他の状態と異なる強度で前記パターン化したビームの対応する部分に導き入れる請求項２に記載された装置。
【請求項４】
少なくとも一つの個々に制御可能な素子を、その状態の各々でそれが前記個々に制御可能な素子に入射する放射線の、同じ集束素子に関連する少なくとも一つの他の個々に制御可能な素子と異なる割合を前記関連する集束素子へ渡すようにセットできる請求項２に記載された装置。
【請求項５】
更に、前記個々に制御可能な素子の一つに入射する放射線の強度を同じ集束素子に関連する他の個々に制御可能な素子に対して減少するために少なくとも一つの減衰器を含む請求項１に記載された装置。
【請求項６】
更に、前記個々に制御可能な素子から伝播して前記関連する集束素子に達する放射線の一部が少なくとも一つの他の個々に制御可能な素子から伝播して前記集束素子に達する放射線の更なる部分より少ないように、前記個々に制御可能な素子の一つからの放射線を減衰するために少なくとも一つの減衰器を含む請求項１に記載された装置。
【請求項７】
更に、前記基板の所定の部分を露出しながら、前記基板を前記投影システムに対して実質的に一定の速度で動かすためのアクチュエータ、および
前記個々に制御可能な素子をセットするための制御信号を提供するための制御装置で、前記基板上の１点が一つの集束素子によって照射される領域内にある間に前記点で受ける放射線の強度を変えるように、前記個々に制御可能な素子のセットを変えるように構成してある制御装置を含む請求項１に記載された装置。
【請求項８】
更に、前記基板の所定の部分を露出しながら、前記基板上の与えられた点が異なる集束素子によって照射される複数の領域内を通過するように、前記基板を前記投影システムに対して実質的に一定の速度で動かすためのアクチュエータ、および
前記個々に制御可能な素子をセットするための制御信号を提供するための制御装置で、前記集束素子が照射する複数の領域の放射線強度が、前記領域を通過する、前記基板上の点が前記露出中に所望の全放射線量を受けるようになっているように、前記個々に制御可能な素子に必要なセットをできるように構成してある制御装置を含む請求項１に記載された装置。
【請求項９】
デバイス製造方法であって、
照明システムを使って放射線の投影ビームを用意する工程、
前記投影ビームの断面にパターンを付けるために個々に制御可能な素子のアレイを使う工程、
基板の目標部分上に前記パターン化したビームを投影するための投影システムの一部として、集束素子のアレイを使う工程であって、前記集束素子の各々が当該集束素子に対応づけられる複数の前記個々に制御可能な素子からの前記パターン化したビームの放射線を前記目標部分内の対応領域へ向けるように構成してあり、且つ各集束素子に対応する複数の前記個々に制御可能な素子が複数の異なる状態にセットされ、その各々の状態で異なる強度の放射線が対応する複数の前記個々に制御可能な素子から伝播される集束素子のアレイを使う工程、および
２つ以上の放射強度レベルのうちの所望の１つを前記基板上の前記対応領域に生じるように、各集束素子に対応する前記個々に制御可能な素子の各々を独立にセットする工程を含む方法。
【請求項１０】
前記個々に制御可能な素子の各々を少なくとも三つの状態にセットできる請求項９に記載されたデバイス製造方法。
【請求項１１】
更に、前記基板の所定の部分を露出しながら、前記基板を前記投影システムに対して実質的に一定の速度で動かす工程および前記基板上の与えられた点が一つの集束素子によって照射される領域内にある間に前記個々に制御可能な素子のセットを変える工程を含む請求項９に記載されたデバイス製造方法。
【請求項１２】
更に、前記基板の所定の部分を露出しながら、前記基板を前記投影システムに対して実質的に一定の速度で動かす工程および複数の集束素子が照射する領域の放射線強度が、前記領域を通過する前記基板上の点が所望の全放射線量を受けるようになっているように、前記個々に制御可能な素子に必要なセットを適用する工程を含む請求項９に記載されたデバイス製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月31日(2007.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁体で形成された振動膜と該振動膜上に形成された導電膜とを備えた上電極と、前記上電極の振動膜に対向する面に凹凸が複数、形成された下電極とを有し、前記上電極と下電極とを密着させ、該上電極と下電極との間に交流信号を印加することにより超音波を発生させる超音波トランスデューサであって、
前記上電極を、積層構造としたことを特徴とする超音波トランスデューサ。
【請求項２】
前記積層された上電極の各導電膜が上電極の各層の端部に形成された配線部を介して電源側と接続する際に、各導電膜が短絡しないように前記積層される上電極の各層毎に、交互に振動膜上面の両端部に導電膜が形成されていないマージン部を設けたことを特徴とする請求項１に記載の超音波トランスデューサ。
【請求項３】
前記上電極の積層数を奇数としたことを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
【請求項４】
前記積層される上電極のうちの各振動膜の厚みが異なることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずかに記載の超音波トランスデューサを有することを特徴とする超音波スピーカ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記目的を達成するために請求項１に記載の発明は、絶縁体で形成された振動膜と該振動膜上に形成された導電膜とを備えた上電極と、前記上電極の振動膜に対向する面に凹凸が複数、形成された下電極とを有し、前記上電極と下電極とを密着させ、該上電極と下電極との間に交流信号を印加することにより超音波を発生させる超音波トランスデューサであって、前記上電極を、積層構造としたことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月20日(2006.12.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のトランジスタと第２のトランジスタを含み、
前記第１のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の一方は、前記第２のトランジスタのゲート電極に接続され、
前記第２のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の一方に、第１のレベルのデータ信号が入力され、
前記第１のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の他方に、サンプリングパルスが入力され、
前記第２のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の一方に、第２のレベルのデータ信号が入力され、
前記第２のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の他方から、前記第２のレベルのデータ信号を出力することを特徴とする電子装置の駆動方法。
【請求項２】
第１のトランジスタと第２のトランジスタを含み、
前記第１のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の一方は、前記第２のトランジスタのゲート電極に接続され、
前記第２のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の一方に、第１のレベルのデータ信号が入力され、
前記第２のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の一方の電位が前記第１のレベルのデータ信号の電位である状態で、前記第１のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の一方に、前記サンプリングパルスが入力され、
前記第１のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の一方の電位が前記サンプリングパルスの電位である状態で、前記第２のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の一方の電位に、第２のレベルのデータ信号の電位が入力され、
前記第２のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の他方から、前記第２のレベルのデータ信号を出力することを特徴とする電子装置の駆動方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、
前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタの導電型はそれぞれＮ型であり、
前記第２のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の一方に、前記第２のレベルのデータ信号が入力されると、前記第２のトランジスタのゲートの電位は、前記第１のトランジスタのゲートの電位より高い電位になることを特徴とする電子装置の駆動方法。
【請求項４】
請求項１又は請求項２において、
前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタの導電型はそれぞれＰ型であり、
前記第２のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の一方に、前記第２のレベルのデータ信号が入力されると、前記第２のトランジスタのゲートの電位は、前記第１のトランジスタのゲートの電位より低い電位になることを特徴とする電子装置の駆動方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、
前記第１のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の他方に、前記サンプリングパルスが入力されると、前記第２のトランジスタのゲートの電位は、前記第１のトランジスタのゲートの電位から、前記第１のトランジスタのしきい値電圧を引いた電位になることを特徴とする電子装置の駆動方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一項において、
前記第１のトランジスタのゲート電極は、電源に接続されていることを特徴とする電子装置の駆動方法。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一項において、
前記第１のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の他方は、前記サンプリングパルスを出力するパルス出力回路に接続されていることを特徴とする電子装置の駆動方法。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一項において、
前記第２のトランジスタのソース電極及びドレイン電極の一方は、前記第１のレベルのデータ信号と前記第２のレベルのデータ信号を出力する信号処理回路に接続されていることを特徴とする電子装置の駆動方法。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか一項において、
前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタは、それぞれ、薄膜トランジスタであることを特徴とする電子装置の駆動方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月1日(2007.2.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
複数のサムネイルを画面上に分類表示する画像表示装置において、
前記複数のサムネイルの画像データに対して所定の抽出条件に基づいて特徴量を抽出する特徴量抽出手段と、
前記特徴量抽出手段にて抽出された特徴量から各サムネイル間の類似度の度合いを算出する類似度算出手段と、
前記類似度算出手段にて算出された類似度に基づいて、前記複数のサムネイルをグループ化するグループ化手段と、
前記グループ化手段によるグループ化に基づき前記複数のサムネイルを画面上に表示するサムネイル表示手段と
を具備することを特徴とする画像表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記グループ化手段によりグループ化されたグループにおいて、所定の条件に基づいて代表サムネイルを特定して管理する代表サムネイル管理手段と、
前記代表サムネイル管理手段にて特定された前記代表サムネイルを表示するとともに、該表示した代表サムネイルのうち選択された代表サムネイルと同一のグループに属するサムネイルを階層的に表示するサムネイル階層表示手段と
をさらに具備する
ことを特徴とする請求項１に記載の画像表示装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
複数のサムネイルを画面上に分類表示する画像表示方法であって、
前記複数のサムネイルの画像データに対して所定の抽出条件に基づいて特徴量を特徴量抽出手段により抽出し、
前記特徴量抽出手段にて抽出された特徴量から各サムネイル間の類似度の度合いを類似度算出手段により算出し、
前記類似度算出手段にて算出された類似度に基づいて、前記複数のサムネイルをグループ化手段によりグループ化し、
前記グループ化手段によるグループ化に基づき前記複数のサムネイルをサムネイル表示手段により画面上に表示する
ことを特徴とする画像表示方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
複数のサムネイルを画面上に分類表示する処理をコンピュータに実行させる画像表示プログラムであって、
前記コンピュータを、
前記複数のサムネイルの画像データに対して所定の抽出条件に基づいて特徴量を抽出する特徴量抽出手段、
前記特徴量抽出手段にて抽出された特徴量から各サムネイル間の類似度の度合いを算出する類似度算出手段、
前記類似度算出手段にて算出された類似度に基づいて、前記複数のサムネイルをグループ化するグループ化手段、
前記グループ化手段によるグループ化に基づき、前記複数のサムネイルを画面上に表示するサムネイル表示手段
として機能させることを特徴とする画像表示プログラム。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成するために、請求項１の発明は、複数のサムネイルを画面上に分類表示する画像表示装置において、複数のサムネイルの画像データに対して所定の抽出条件に基づいて特徴量を抽出する特徴量抽出手段と、特徴量抽出手段にて抽出された特徴量から各サムネイル間の類似度の度合いを算出する類似度算出手段と、類似度算出手段にて算出された類似度に基づいて、複数のサムネイルをグループ化するグループ化手段と、グループ化手段によるグループ化に基づき複数のサムネイルを画面上に表示するサムネイル表示手段を具備することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明において、グループ化手段によりグループ化されたグループにおいて、所定の条件に基づいて代表サムネイルを特定して管理する代表サムネイル管理手段と、代表サムネイル管理手段にて特定された代表サムネイルを表示するとともに、表示した代表サムネイルのうち選択された代表サムネイルと同一のグループに属するサムネイルを階層的に表示するサムネイル階層表示手段とをさらに具備することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、請求項４の発明は、複数のサムネイルを画面上に分類表示する画像表示方法であって、複数のサムネイルの画像データに対して所定の抽出条件に基づいて特徴量を特徴量抽出手段により抽出し、特徴量抽出手段にて抽出された特徴量から各サムネイル間の類似度の度合いを類似度算出手段により算出し、類似度算出手段にて算出された類似度に基づいて、複数のサムネイルをグループ化手段によりグループ化し、グループ化手段によるグループ化に基づき複数のサムネイルをサムネイル表示手段により画面上に表示することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、請求項５の発明は、複数のサムネイルを画面上に分類表示する処理をコンピュータに実行させる画像表示プログラムであって、コンピュータを、複数のサムネイルの画像データに対して所定の抽出条件に基づいて特徴量を抽出する特徴量抽出手段、特徴量抽出手段にて抽出された特徴量から各サムネイル間の類似度の度合いを算出する類似度算出手段、類似度算出手段にて算出された類似度に基づいて、複数のサムネイルをグループ化するグループ化手段、グループ化手段によるグループ化に基づき、複数のサムネイルを画面上に表示するサムネイル表示手段として機能させることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月27日(2006.11.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
すると基板１７を固定した圧着台１１の下降に従い、基板１７と接着した部分のＡＣＦテープ６も下降することで、ＡＣＦテープ６に上向きの張力がかかった状態となり、この状態でチャック機構２２のチャック兼剥離ローラ２１のチャックを解き、チャック兼剥離ローラ２１を回転させながらチャック機構２２をテープ供給側方向に後退動させ（図１４（ｅ））、基板１７の辺全長にわたってＡＣＦテープ６とセパレータ８を完全に剥離させる（図１４（ｆ））。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
巻き取りローラ５１及びガイドローラ４８のセパレータ８の下側に位置するローラ並びに張力緩和ローラ４９は、ＡＣＦテープ６の交換時に下降するようになっており、ＡＣＦテープ６の交換が容易に行えるようになっている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
次に、圧着ヘッド１２が下降して熱圧着を行う。更に、圧着ヘッド１２のセパレータ回収側にて押さえローラ５５と剥離ローラ５６がセパレータ８を挟むように突出し、センサー５４はテープ走行路から退去する（図２（ｄ））。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
この際、テープ供給部分で保護テープ３３は所定張力に調整されているので、基板３１上面の保護テープ３３には適度な張力がかかった状態となり、また、セパレータ６１もガイドローラ６８から離れて弛んだ状態であるので、保護テープ３３からセパレータ６１を剥離する際に無理な力がかからず貼り付け時の残存応力が緩和されて貼り付け後の基板の反りや破損が生じないと共に、貼り付け時に保護テープ３３に皺などが生じておらず、保護テープ３３の浮き等の不良品の発生も防止している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
１  ガラス基板
２  液晶パネル
３  半導体チップ
４  制御基板
５  ＴＡＢ部品
６  ＡＣＦテープ
７  供給リール
８  セパレータ
９  昇降ローラ
１０  ガイドローラ
１１  圧着台
１２  圧着ヘッド
１３  カッターユニット
１４  カッター刃
１５  昇降シリンダ
１６  昇降シリンダ
１７  基板
１８  巻き取りモータ
１９  セパレータ吸い取りユニット
２０  チャック
２１  チャック兼剥離ローラ
２２  チャック機構
２３  カッター台
２４  ＡＣＦ抜き取りユニット
２５  供給モータ
２６  ウエイト
２７  下方センサー
２８  上方センサー
３１  基板
３２  回路パターン
３３  保護テープ
３３′余剰テープ
４１  供給リール
４２  供給モータ
４３  テンションローラ
４４  ウエイト
４５  テンションアーム
４６  エンコーダ
４７  ガイドローラ
４８  ガイドローラ
４９  張力緩和ローラ
５０  巻き取りモータ
５１  巻き取りローラ
５２  セパレータ吸い取りユニット
５３  セパレータ回収機構
５４  センサー
５５  押さえローラ
５６  剥離ローラ
５７  剥離ユニット
６１  セパレータ
６２  供給リール
６３  駆動モータ
６４  テンションローラ
６５  ローラ
６６  テンションアーム
６７  エンコーダ
６８  ガイドローラ
６９  テンションアーム
７０  ローラ
７１  テンションローラ
７２  セパレータ巻き取りリール
７３  巻き取りモータ
７４  エンコーダ
７５  昇降シリンダ
７６  吸着テーブル
７７  ガイドローラ
７８  チャック
７９  チャック兼剥離ローラ
８０  貼付ローラ
８１  昇降ベース
８２  駆動モータ
８３  回転ユニット
８４  カッター刃
８５  カッター機構
８６  巻き取りモータ
８７  巻き取りリール
９１  ベース板
９２  レール
９３  スライダ
９４  支持部材
９５  圧着ヘッド
９６  レール
９７  スライダ
９８  レール
９９  支持板
１００  上方支持枠
１０１  支持板
１０２  モータ
１０３  ボールネジ
１０４  ナット部材
１０５  スライダ
１０６  シリンダ
１０７  シリンダ軸
１０８  スライダ
１０９  シリンダ
１１０  圧着ベース
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
2005236049.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月18日(2007.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リソグラフィマージン評価方法において、
一枚のウエハ上に、フォーカス条件とドーズ条件をマトリックス状に変化させた複数のチップを作成するステップと、
作成された複数のチップを、線幅測定器で評価するステップと、
評価結果から、フォーカス条件とドーズ条件の適切範囲を決定するステップと、
決定された適切範囲内のチップについて、欠陥検査装置を用いて画像を得るステップと、
得られた画像に基づいて、フォーカス条件とドーズ条件の許容範囲を求めるステップと
からなることを特徴とするリソグラフィマージン評価方法。
【請求項２】
請求項１記載のリソグラフィマージン評価方法において、欠陥検査装置は、複数のビームを試料上に合焦させ、該ビームの最大間隔より大きい距離にわたって、複数のビームを同時に走査し、各走査点から放出された二次電子を拡大光学系で拡大してそれぞれの複数のビームからの二次電子を、対物レンズを通過後、Ｅ×Ｂ分離器で検出器の方向に偏向して検出する装置であることを特徴とするリソグラフィマージン評価方法。
【請求項３】
請求項２記載のリソグラフィマージン評価方法において、欠陥検査装置は、空間電荷制限条件で動作する単一カソード電子銃から放出される電子線を、第１の軸方向へ投影した場合の相互間隔が等間隔の開口で複数のビームとし、走査方向は第１の軸方向と直交する方向であり、第１の軸方向へは試料台を連続移動させながら欠陥検出を行う装置であることを特徴とするリソグラフィマージン評価方法。
【請求項４】
請求項３記載のリソグラフィマージン評価方法において、欠陥検査装置は、走査に同期して、一次電子線または二次電子線の収差を低減する手段を備えていることを特徴とするリソグラフィマージン評価方法。
【請求項５】
請求項２記載のリソグラフィマージン評価方法において、上記欠陥検査装置は、複数の光軸を一枚の試料上に有することを特徴とするリソグラフィマージン評価方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月15日(2007.2.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
デジタル放送に使用される番組配列情報に含まれる著作権保護のための権利保護情報であるデジタルコピー制御記述子及びコンテント利用記述子のうちの少なくとも一方の前記記述子をスクランブルされた番組と共に送信する放送送信システムにおいて、
前記記述子が改ざんされたか否かを受信装置側で検出するために前記記述子から改ざん検出データを生成する手段と、
前記改ざん検出データと、前記受信装置における前記記述子の改ざん検出動作又は改ざんの判定動作を所定期間猶予させるための改ざん検出猶予情報とを、前記番組のスクランブルを解くための鍵の情報を含む番組情報に多重する第１の多重化手段と、
前記第１の多重化手段からの前記番組情報を暗号化する暗号化手段と、
前記権利保護情報及び暗号化された前記番組情報を前記スクランブルされた番組に多重して伝送する第２の多重化手段とを具備したことを特徴とする放送送信システム。
【請求項２】
前記第１の多重化手段は、前記改ざん検出猶予情報として、前記デジタルコピー制御記述子及びコンテント利用記述子を含む権利保護情報の運用系と、前記番組情報の運用系とのタイミングのずれに基づく情報を用いることを特徴とする請求項１に記載の放送送信システム。
【請求項３】
前記第１の多重化手段は、前記改ざん検出猶予情報として、前記権利保護情報の運用系と前記番組情報の運用系とのタイミングのずれに基づくカウント値を設定することを特徴とする請求項２に記載の放送送信システム。
【請求項４】
前記デジタルコピー制御記述子は、ＰＭＴの第１ループのみに配置されることを特徴とする請求項１に記載の放送送信システム。
【請求項５】
デジタル放送に使用される番組配列情報に含まれる著作権保護のための権利保護情報であるデジタルコピー制御記述子及びコンテント利用記述子のうちの少なくとも一方の前記記述子をスクランブルされた番組と共に送信する放送送信方法において、
前記記述子が改ざんされたか否かを受信装置側で検出するために前記記述子から改ざん検出データを生成する処理と、
前記改ざん検出データと、前記受信装置における前記記述子の改ざん検出動作又は改ざんの判定動作を所定期間猶予させるための改ざん検出猶予情報とを、前記番組のスクランブルを解くための鍵の情報を含む番組情報に多重する第１の多重化処理と、
前記第１の多重化処理によって得られた前記番組情報を暗号化する暗号化処理と、
前記権利保護情報及び暗号化された前記番組情報を前記スクランブルされた番組に多重して伝送する第２の多重化処理とを具備したことを特徴とする放送送信方法。
【請求項６】
請求項１の放送送信システムの前記第２の多重化処理から送信される多重化信号を受信する放送受信装置において、
受信した前記多重化信号から前記権利保護情報、暗号化された前記番組情報及び前記スクランブルされた番組を分離する分離手段と、
前記分離手段からの番組のスクランブルを解くデスクランブル手段と、
前記分離手段からの前記暗号化された番組情報を復号化する復号化手段と、
前記分離部からの権利保護情報と前記復号化手段からの前記番組情報に含まれる前記改ざん検出データとに基づいて、前記権利保護情報の改ざんを検出する改ざん検出手段と、
前記復号化手段からの前記番組情報に含まれる前記改ざん検出猶予情報と前記改ざん検出手段の検出結果とに基づいて、前記権利保護情報の改ざんを判定する改ざん判定手段とを具備したことを特徴とする放送受信装置。
【請求項７】
請求項１の放送送信システムの前記第２の多重化処理から送信される多重化信号を受信する放送受信装置において、
受信した前記多重化信号から前記権利保護情報、暗号化された前記番組情報及び前記スクランブルされた番組を分離する分離手段と、
前記分離手段からの番組のスクランブルを解くデスクランブル手段と、
前記分離手段からの前記暗号化された番組情報を復号化する復号化手段と、
前記分離部からの権利保護情報と前記復号化手段からの前記番組情報に含まれる前記改ざん検出データと前記改ざん検出猶予情報とに基づいて、前記権利保護情報の改ざんを検出する改ざん検出手段と、
前記改ざん検出手段の検出結果に基づいて前記権利保護情報の改ざんを判定する改ざん判定手段とを具備したことを特徴とする放送受信装置。
【請求項８】
前記デスクランブル手段は、前記改ざん判定手段の判定結果に基づいて、デスクランブル処理が制御されることを特徴とする請求項６又は７のいずれか一方に記載の放送受信装置。
【請求項９】
前記改ざん判定手段は、前記デジタルコピー制御記述子がＰＭＴの第２ループに配置されていた場合にも前記デジタルコピー制御記述子に改ざんがあると判定することを特徴とする請求項６又は７のいずれか一方に記載の放送受信装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明に係る放送送信システムは、デジタル放送に使用される番組配列情報に含まれる著作権保護のための権利保護情報であるデジタルコピー制御記述子及びコンテント利用記述子のうちの少なくとも一方の前記記述子をスクランブルされた番組と共に送信する放送送信システムにおいて、前記記述子が改ざんされたか否かを受信装置側で検出するために前記記述子から改ざん検出データを生成する手段と、前記改ざん検出データと、前記受信装置における前記記述子の改ざん検出動作又は改ざんの判定動作を所定期間猶予させるための改ざん検出猶予情報とを、前記番組のスクランブルを解くための鍵の情報を含む番組情報に多重する第１の多重化手段と、前記第１の多重化手段からの前記番組情報を暗号化する暗号化手段と、前記権利保護情報及び暗号化された前記番組情報を前記スクランブルされた番組に多重して伝送する第２の多重化手段とを具備したことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
例えば、著作権保護処理部６０１４は、ＯＳＤ部６０１６を制御して、改ざんが行われていることを示す警告のメッセージ表示を表示させることができる。この場合の警告メッセージは固定的なメッセージとして著作権保護処理部６０１４で予め製造時等に記憶しておき、著作権保護処理部６０１４に対しデータ提示しても良いし、番組配列情報ＳＩ，ＰＳＩの一部として放送側から提供されたものを、分離部６０１で分離して使用してもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月29日(2007.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
三次元仮想空間内に仮想的な物体を配置し、視点から見える前記物体を投影面に投射した画像を表示するためのデータ処理手段を有する画像処理装置において、
前記データ処理手段は、
前記三次元仮想空間内に配置された前記物体に軌跡の帯を表示させる条件が満たされたかを判定する手段と、
前記判定する手段により前記条件が満されたと判定されたときに、前記物体上に特定の線を設定し、前記物体が前記三次元仮想空間内を移動したことに連れて前記線によって作られた前記軌跡の帯にテクスチャをマッピングする手段と、
を実行するように構成されてなる画像処置装置。
【請求項２】
三次元仮想空間内に仮想的な物体を配置し、視点から見える前記物体を投影面に投射した画像を表示するためのデータ処理手段を有する画像処理装置における画像処理方法であって、
前記データ処理手段は、前記三次元仮想空間内に配置された前記物体を視点座標系の投影面に透視変換した画像を表示するためのデータ処理工程を実行するものであり、
前記データ処理工程は、
前記三次元仮想空間内に配置された前記物体に軌跡の帯を表示させる条件が満たされたかを判定する工程と、
前記判定する手段により前記条件が満されたと判定されたときに、前記物体上に特定の線を設定し、前記物体が前記三次元仮想空間内を移動したことに連れて前記線によって作られた前記軌跡の帯にテクスチャをマッピングする工程と、
を備えることを特徴とする画像処理方法。
【請求項３】
三次元仮想空間内に仮想的な物体を配置し、視点から見える前記物体を投影面に投射した画像を表示するためのデータ処理手段を有する画像処理装置における画像処理方法であって、
前記データ処理手段は、前記三次元仮想空間内に配置された前記物体を視点座標系の投影面に透視変換した画像を表示するためのデータ処理工程を実行するものであり、
前記データ処理工程は、
前記三次元仮想空間内に配置された前記物体に軌跡の帯を表示させる条件が満たされたかを判定する工程と、
前記判定する手段により前記条件が満されたと判定されたときに、前記軌跡の帯を表示させる前記物体の特定点を計算する工程と、
前記物体の特定点を基準とし、前記視点の視線方向に垂直で一定幅な線分の端点を計算する工程と、
計算された過去一定期間内における前記線分の端点同士をつないで形成される前記軌跡の帯にテクスチャをマッピングする工程と、
を備えることを特徴とする画像処理方法。
【請求項４】
前記端点を計算する工程は、新たなフレーム期間に表示させる前記物体の位置から前記視点へ向かうベクトルを求める工程と、当該物体の新たなフレーム期間に表示させる位置から前回のフレーム期間に表示させた位置へ向かうベクトルを求める工程と、双方のベクトルの外積を求めて両ベクトルで形成される面の法線方向を求める工程と、この法線方向に前記一定幅を設定する工程と、を備える請求項３に記載の画像処理方法。
【請求項５】
前記端点を計算する工程は、前記線分の一定幅を当該物体の幅のｋ倍（１≧ｋ＞０）に設定する請求項３に記載の画像処理方法。
【請求項６】
前記マッピングする工程は、前記軌跡の帯にマッピングされるテクスチャの濃度を当該帯の中における位置に対応して変更する請求項３に記載の画像処理方法。
【請求項７】
前記データ処理工程は、遊技者の操作に基づいて前記物体であるボールがゴールに入れられたことを条件として、前記ボールに対し前記軌跡の帯を表示する工程をさらに含んでなる請求項２乃至６の何れか１項記載の画像処理方法。
【請求項８】
前記データ処理工程は、前記ボールがゴールされた場合に、前記ボールがゴールされるにあたり生じうる個々の事象に対して予め点数を定めた事象データに基づいて、ゴールされるに至った各事象の点数を累積して前記ゴールを評価する評価点を求め、当該ゴールの評価点が一定の条件に達した場合に前記軌跡の帯を表示する工程を含んでなる請求項７記載の画像処理方法。
【請求項９】
前記データ処理工程は、過去一定期間におけるゴールの評価点の最高点を記憶し、遊技者の操作に基づいて前記物体であるボールがゴールに入れられたときに求めた評価点が前記記憶された最高点を超えたことを前記条件として、前記ボールに前記軌跡の帯を表示する工程を含んでなる請求項８記載の画像処理方法。
【請求項１０】
前記事象データは、前記ゴールに至るまでになされたパスの回数に対し予め点数を定めたデータを含み、
前記データ処理工程は、前記ゴールに至るまでになされたパスの回数に応じて、前記事象データに基づいて求めた点数を累積して前記ゴールの評価点を求める工程を含んでなる請求項８記載の画像処理方法。
【請求項１１】
前記事象データは、前記ボールが前記ゴールの一部に当たってゴールされた場合に対し予め点数を定めたデータを含み、
前記データ処理工程は、前記ボールが前記ゴールの一部に当たってゴールされた場合に前記事象データに基づいて求めた点数を累積して前記ゴールの評価点を求める工程を含んでなる請求項８記載の画像処理方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月30日(2007.3.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】カラー画像形成装置及びカラー画像形成装置の処理方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  カラー画像形成装置であって、
像担持体あるいは転写材担持体上に形成された未定着のトナー像の濃度を検出する第一の検出手段と、
転写材上に形成された定着後のトナー像の濃度を検出する第二の検出手段と、
前記第二の検出手段の検出結果に基づき前記第一の検出手段の出力特性を補正する補正手段と、
を有することを特徴とするカラー画像形成装置。
【請求項２】  前記第一の検出手段は、前記第一の検出手段による出力を補正するための補正テーブルを有し、前記補正手段は、前記第二の検出手段による検出結果に基づき、前記補正テーブルを設定することを特徴とする請求項１に記載のカラー画像形成装置。
【請求項３】 ブラックのトナー像と、シアン及びマゼンタ及びイエローの３色からなる混色トナー像と、を前記転写材上に形成する形成手段と、
前記ブラックのトナー像と、前記混色トナー像と、の前記第二の検出手段による検出結果を比較する比較手段とを有し、
前記補正手段は、前記比較手段による比較結果に基づき、前記第一の検出手段の出力特性を補正することを特徴とする請求項１又は２に記載のカラー画像形成装置。
【請求項４】  カラー画像形成装置の処理方法であって、
第一の検出手段により像担持体あるいは転写材担持体上に形成された未定着のトナー像の濃度を検出する第一の検出工程と、
第二の検出手段により転写材上に形成された定着後のトナー像の濃度を検出する第二の検出工程と、
前記第二の検出工程の検出結果に基づき前記第一の検出工程における出力特性を補正する補正工程と、
を有することを特徴とするカラー画像形成装置の処理方法。
【請求項５】  前記第一の検出工程は、前記第一の検出工程による出力を補正するための補正テーブルを有し、前記補正工程は、前記第二の検出工程による検出結果に基づき、前記補正テーブルを設定することを特徴とする請求項４に記載のカラー画像形成装置の処理方法。
【請求項６】  形成手段によりブラックのトナー像と、シアン及びマゼンタ及びイエローの３色からなる混色トナー像と、を前記転写材上に形成する形成工程と、
前記ブラックのトナー像と、前記混色トナー像と、の前記第二の検出工程による検出結果を比較する比較工程とを有し、
前記補正工程は、前記比較工程による比較結果に基づき、前記第一の検出工程における出力特性を補正することを特徴とする請求項４又は５に記載のカラー画像形成装置の処理方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラープリンタ、カラー複写機等の電子写真方式のカラー画像形成装置及びカラー画像形成装置の処理方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、上述の事情に鑑みて成されたもので、カラーセンサと濃度センサを組み合わせて使用することにより、カラーセンサを用いた濃度制御の実施回数を減らして転写材の消費を抑えると共に、濃度センサのみを用いた従来の濃度制御と比較して濃度安定性の優れたカラー画像形成装置及びカラー画像形成装置の処理方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
（１）カラー画像形成装置であって、像担持体あるいは転写材担持体上に形成された未定着のトナー像の濃度を検出する第一の検出手段と、転写材上に形成された定着後のトナー像の濃度を検出する第二の検出手段と、前記第二の検出手段の検出結果に基づき前記第一の検出手段の出力特性を補正する補正手段とを有することを特徴とするカラー画像形成装置。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
一次帯電手段として、ステーション毎にイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の感光体を帯電させるための４個の注入帯電器２３Ｙ、２３Ｍ、２３Ｃ、２３Ｋを備える構成で、各注入帯電器にはスリーブ２３ＹＳ、２３ＭＳ、２３ＣＳ、２３ＫＳが備えられている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
現像手段として、前記静電潜像を可視化するために、ステーション毎にイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の現像を行う４個の現像器２６Ｙ、２６Ｍ、２６Ｃ、２６Ｋを備える構成で、各現像器には、スリーブ２６ＹＳ、２６ＭＳ、２６ＣＳ、２６ＫＳが設けられている。各々の現像器は脱着可能に取り付けられている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、カラーセンサを使用して濃度センサの補正を行うことにより、濃度制御に要する転写材の消費を抑えると共に、濃度センサのみを用いた従来の濃度制御と比較して濃度安定性の優れたカラー画像形成装置及びカラー画像形成装置の処理方法を提供できる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１１  転写材
２２  感光体、感光ドラム
２６  現像手段
２７  中間転写体
３０  定着部
４１  濃度センサ
４２  カラーセンサ
【手続補正書】
【提出日】平成19年6月22日(2007.6.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示装置用基板上に所望の画素パターンを形成するためのグレートーンマスクであって、遮光部、透光部及びグレートーン部からなるパターンを有するグレートーンマスクの製造方法において、
透明基板上に遮光膜を有するマスクブランクス上に形成された感光性材料層にパターン描画を施す描画工程を含み、
前記描画工程は、エネルギービーム照射を行って描画し、エネルギービームの送り方向において、複数のビーム強度を組み合わせて所定のビーム強度とするとともに、描画するパターンの両端においては同等のビーム強度となるように、前記ビーム強度を組み合わせて描画を行うことを特徴とするグレートーンマスクの製造方法。
【請求項２】
前記グレートーン部は、グレートーンマスクを使用して露光を行うために用いる露光機の解像限界以下の遮光パターンが形成された領域であることを特徴とする請求項１記載のグレートーンマスクの製造方法。
【請求項３】
エネルギービームの送り方向において、描画するパターンの線幅に対し、両端においては同等のビーム強度となるように、段階的に異なる複数のビーム強度を組み合わせる条件を選択するとともに、前記条件を選択できるように、描画位置を選定して描画することを特徴とする請求項１又は２記載のグレートーンマスクの製造方法。
【請求項４】
前記ビーム強度の組み合わせに際して、段階的に異なる複数のビーム強度のうち最大のビーム強度を中央に用いるとともに、その両端においては中央よりも小さなビーム強度を組み合わせて用いることを特徴とする請求項３記載のグレートーンマスクの製造方法。
【請求項５】
エネルギービームの送り方向において、描画するパターンの線幅に対し、同等のビーム強度のみを複数組み合わせることを特徴とする請求項１又は２記載のグレートーンマスクの製造方法。
【請求項６】
描画するパターンの両端においては同等のビーム強度を組み合わせて選定できるように、あらかじめ所望の線幅とは異なる線幅を設定した設計データを用いて描画し、描画後の工程において、所望の線幅となるように調整を行うことを特徴とする請求項１又は２記載のグレートーンマスクの製造方法。
【請求項７】
前記描画後の工程は、エッチング工程であることを特徴とする請求項６記載のグレートーンマスクの製造方法。
【請求項８】
前記グレートーン部は、薄膜トランジスタ基板のチャネル部に対応するパターンが形成された領域であることを特徴とする請求項１又は２記載のグレートーンマスクの製造方法。
【請求項９】
請求項１、２、４又は７に記載の製造方法によるグレートーンマスクを用いることを特徴とする液晶表示装置用基板の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】グレートーンマスクの製造方法、及び液晶表示装置用基板の製造方法
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月18日(2007.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
励起光ビームを射出するための光源部と、
光源部からの励起光ビームを走査するための走査光学系と、
励起光ビームを試料に照射するための対物レンズと、
試料に照射される励起光と励起光照射に起因して試料から生じる検出光（蛍光と反射光を含む）とを分離するための分離光学素子と、
共焦点効果を得るための共焦点検出部と、
検出光を分光検出するための分光検出装置と、
前記分光検出装置によって得られた蛍光情報（蛍光分光画像または蛍光特性データ）から蛍光の種類ごとのスペクトル成分に対応した蛍光情報を分離演算する蛍光分離演算処理部を備えており、
前記分光検出装置は、検出光を分光するための分光器と、分光器によって分光された光から任意の幅の波長帯の光を抽出するための光抽出部と、光抽出部によって抽出された光を検出するための検出器と、光抽出部によって抽出される光の波長帯を移動させる波長帯移動部とを有している、光走査型共焦点顕微鏡。
【請求項２】
請求項１において、波長域シフト部による波長帯のシフト量が波長帯の幅よりも小さい、光走査型共焦点顕微鏡。
【請求項３】
請求項１において、波長域シフト部による波長帯のシフト量が波長帯の幅よりも大きい、光走査型共焦点顕微鏡。
【請求項４】
請求項１において、分光器は、検出光を波長ごとに異なる方向に偏向させる分散素子を備えている、光走査型共焦点顕微鏡。
【請求項５】
請求項１において、光抽出部は、開口幅を変更可能な機械的な可変開口を備え、開口を規定している遮光板が抽出する光の波長帯の上限と下限を定める、光走査型共焦点顕微鏡。
【請求項６】
請求項４において、波長帯移動部は、分散素子を光軸に直交する軸周りに回転させる回転デバイスを備えている、光走査型共焦点顕微鏡。
【請求項７】
請求項１において、分光器は、特定の波長帯の光を選択的に透過するバンドパスフィルターを備え、波長帯移動部は、バンドパスフィルターを光軸に直交する軸周りに回転させる回転デバイスを備えている、光走査型共焦点顕微鏡。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の光走査型共焦点顕微鏡は、励起光ビームを射出するための光源部と、光源部からの励起光ビームを走査するための走査光学系と、励起光ビームを試料に照射するための対物レンズと、試料に照射される励起光と励起光照射に起因して試料から生じる検出光（蛍光と反射光を含む）とを分離するための分離光学素子と、共焦点効果を得るための共焦点検出部と、検出光を分光検出するための分光検出装置と、前記分光検出装置によって得られた蛍光情報（蛍光分光画像または蛍光特性データ）から蛍光の種類ごとのスペクトル成分に対応した蛍光情報を分離演算する蛍光分離演算処理部を備えており、分光検出装置は、検出光を分光するための分光器と、分光器によって分光された光から任意の幅の波長帯の光を抽出するための光抽出部と、光抽出部によって抽出された光を検出するための検出器と、光抽出部によって抽出される光の波長帯を移動させる波長帯移動部とを有している。