【手続補正書】
【提出日】平成19年6月21日(2007.6.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】物体温度調節用熱交換装置及び該熱交換装置により温調される半導体製造装置光学系または検査装置用光学系または測定装置用光学系とを具備する装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  温度制御された液体を流す流路と該温度制御された液体と被温度制御対象物との間で熱を伝達する熱伝導部材との少なくとも一方の少なくとも一部に、前記被温度制御対象物に着脱可能に装着し得る柔軟性を持つ温調ジャケットが設けてあり、前記温度制御された液体を供給するための液体供給機構を備えることを特徴とする物体温度調節用熱交換装置。
【請求項２】  前記被温度制御対象物から取り外した前記温調ジャケットが略平面状に展開できることを特徴とする請求項１に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項３】  前記温調ジャケットを前記被温度制御対象物表面に接して螺旋状に配設したことを特徴とする請求項２に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項４】  前記温調ジャケットの前記被温度制御対象物表面に対向する面に熱伝導促進部材を配設したことを特徴とする請求項２または３に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項５】  前記熱伝導促進部材がグラファイトでなることを特徴とする請求項４に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項６】  前記被温度制御対象物表面に対向する前記温調ジャケットの面に磁性部材を配設したことを特徴とする請求項２に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項７】  前記磁性部材がラバーマグネットであることを特徴とする請求項６に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項８】  前記被温度制御対象物表面に対向する前記温調ジャケットの面と反対側の面に断熱材を配設したことを特徴とする請求項２に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項９】  前記温調ジャケットに備えられた前記液体を流す流路の少なくとも一部が可撓性管であることを特徴とする請求項１または２に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項１０】  前記温調ジャケットに備えられた熱伝導部材が充填剤と該充填剤を封入する袋状シートでなることを特徴とする請求項１または２に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項１１】  前記袋状シートが、樹脂、金属薄膜及び樹脂と金属薄膜を畳重してなるもののいずれかであることを特徴とする請求項１０に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項１２】  前記袋状シート内部の気密空間を区切り、かつ区切った内部空間は互いに連通させ、この空間内部に充填材を封入したことを特徴とする請求項１０または１１に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項１３】  前記袋状シート内部を複数の気密空間に分割し、分割したそれぞれの空間に充填剤を封入したことを特徴とする請求項１０または１１に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項１４】  前記袋状シートに少なくとも１本以上の前記液体を流す流路としてのチューブが内装され、該チューブの出入り口は前記袋状シートの外部に、該袋状シート内部の気密を保持したまま貫通させ、該袋状シートと内装された前記チューブの間に充填剤が封入されたことを特徴とする請求項１０、１２または１３のいずれかに記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項１５】  前記袋状シートに前記液体を流す流路としてのチューブが蛇行して内装されたことを特徴とする請求項１４に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項１６】  前記袋状シートの外表面の少なくとも一面に、少なくとも１本以上のチューブを接するように配設したことを特徴とする請求項１０、１２または１３のいずれかに記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項１７】  前記袋状シートに前記液体を流す流路としてのチューブが蛇行して外装されたことを特徴とする請求項１６に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項１８】  充填剤が封入された第１の袋状シートと、充填剤が封入されたほぼ同形状の第２の袋状シートを設け、少なくとも１本以上のチューブを、この２枚の袋状シートそれぞれの外表面に接するように配設し、かつ２枚の袋状シートを互いに貼り合わせたことを特徴とする請求項１０〜１７のいずれかに記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項１９】  前記２枚の袋状シートの間に前記液体を流す流路としてのチューブが蛇行して配設されたことを特徴とする請求項１８に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項２０】  少なくとも２本以上のチューブを平行して前記袋状シートに内装または外装させ、隣り合うそれぞれのチューブ内をそれぞれ逆方向に液体を流すことを特徴とする請求項１４〜１７のいずれかに記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項２１】  前記温調ジャケットに備えられた熱伝導部材は、少なくとも１本以上の前記液体を流す流路が形成され、かつ温度制御対象物表面の曲率とほぼ同等の曲率面を少なくともその一面に持つ複数のブロックであることを特徴とする請求項１または２に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項２２】  前記複数のブロックのそれぞれを、少なくとも１本以上の前記液体を流す流路としてのチューブで連結したことを特徴とする請求項２１に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項２３】  前記複数のブロックを少なくとも１枚以上の連結シートで連結したことを特徴とする請求項２２に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項２４】  前記連結シートが熱伝導促進部材及び磁性材料の少なくともいずれかでなることを特徴とする請求項２３に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項２５】  前記熱伝導部材は、少なくとも１本以上の前記液体を流す流路がその外壁に接して形成され、かつ温度制御対象物表面の曲率とほぼ同等の曲率面を持つ複数の板状体であることを特徴とする請求項１または２に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項２６】  前記板状体がループ型細管ヒートパイプ及びグラファイトのいずれかでなることを特徴とする請求項２５に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項２７】  複数の前記板状体のそれぞれを、少なくとも１本以上の前記液体を流す流路としてのチューブで連結したことを特徴とする請求項２５に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項２８】  前記複数の板状体を少なくとも１枚以上の連結シートで連結したことを特徴とする請求項２７に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項２９】  被温度制御対象物が投影レンズであることを特徴とする請求項１に記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項３０】  前記液体の温度及び前記温度制御対象物の少なくともいずれかの温度を制御する温度制御手段を備えることを特徴とする請求項１〜２７のいずれかに記載の物体温度調節用熱交換装置。
【請求項３１】  請求項１〜３０のいずれかに記載の物体温度調節用熱交換装置と、該装置により温調される半導体製造装置光学系または検査装置用光学系または測定装置用光学系とを具備する装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記問題を解決するための本発明の物体温度調節用熱交換装置は、温度制御された液体を流す流路と該温度制御された液体と被温度制御対象物との間で熱を伝達する熱伝導部材との少なくとも一方の少なくとも一部に、前記被温度制御対象物に着脱可能に装着し得る柔軟性を持つ温調ジャケットが設けてあり、前記温度制御された液体を供給するための液体供給機構を備えることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】