【手続補正書】
【提出日】令和1年8月13日(2019.8.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ガス注入システム及び残留除去ガスを基板に当てるための方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
引き出しプレート１１８には、引き出しプレート１１８の前面で引き出しアパーチャ１４０の反対側に（図２に示すように、例えば、引き出しアパーチャ１４０の上に、及び、下に）形成された、第１及び第２の細長い空洞又は凹部１７０ａ、１７０ｂを設けることができる。第１及び第２の凹部１７０ａ、１７０ｂは、第１及び第２の凹部１７０ａ、１７０ｂのものに類似のサイズ及び形状を有する、それぞれ、第１及び第２のガス分配器１７２ａ、１７２ｂを受けるように適応することができる。第１及び第２のガス分配器１７２ａ、１７２ｂは、近接間隔で対になって係合して、それぞれ、第１及び第２の凹部１７０ａ、１７０ｂ内部に適合することができ、第１及び第２のガス分配器１７２ａ、１７２ｂに、及び、第１及び第２の凹部１７０ａ、１７０ｂに形成された、それぞれの対の取り付け穴１７４ａ、１７４ｂ及び１７６ａ、１７６ｂを通って伸びる機械的ファスナー（図示せず）により、引き出しプレート１１８に取り外し可能に留めることができる。以下に更に説明するように、第１及び第２のガス分配器１７２ａ、１７２ｂには、１つ以上の残留除去ガスをプロセスチャンバ１０６（図１）の中へ放出するための、それぞれ、第１及び第２の複数のガス口１７７ａ、１７７ｂを設けることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
ガス注入システム１１５の実施形態には、引き出しプレート１１８には、上記よりもより大きい又はより小さい数のガス分配器（及びそれぞれの凹部及びガス管）を設けることが検討される。例えば、引き出しプレート１１８の第１及び第２のガス分配器１７２ａ、１７２ｂの内の１つを省略することができる。他の実施形態において、引き出しプレート１１８は、引き出しアパーチャ１４０の上に及び／又は下に位置づけられた複数のガス分配器を含むことができる。他の実施形態において、引き出しプレート１１８は、引き出しアパーチャ１４０に隣接して水平方向に位置づけられた１つ以上のガス分配器を含むことができる。他の実施形態において、第１及び第２のガス分配器１７２ａ、１７２ｂは、引き出しプレート１１８の不可欠な、近接する、取り外しができない部分として、形成することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
引き出しプレート２１８には、引き出しプレート２１８の前面で引き出しアパーチャ２４０の反対側に（図４に示すように、例えば、引き出しアパーチャ２４０の上に、及び、下に）形成された、第１及び第２の細長い空洞又は凹部２７０ａ、２７０ｂを設けることができる。第１及び第２の凹部２７０ａ、２７０ｂは、第１及び第２の凹部２７０ａ、２７０ｂのものに類似のサイズ及び形状を有する、それぞれ、第１及び第２のガス分配器２７２ａ、２７２ｂを受けるように適応することができる。第１及び第２のガス分配器２７２ａ、２７２ｂは、近接間隔で対になって係合して、それぞれ、第１及び第２の凹部２７０ａ、２７０ｂ内部に適合することができ、第１及び第２のガス分配器２７２ａ、２７２ｂに、及び、第１及び第２の凹部２７０ａ、２７０ｂに形成された、それぞれの対の取り付け穴２７４ａ、２７４ｂ及び２７６ａ、２７６ｂを通って伸びる機械的ファスナー（図示せず）により、引き出しプレート２１８に取り外し可能に留めることができる。以下に更に説明するように、第１及び第２のガス分配器２７２ａ、２７２ｂには、１つ以上の残留除去ガスをプロセスチャンバの中へ放出するための、それぞれ、第１及び第２の複数のガス口２７７ａ、２７７ｂを設けることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
第１及び第２の凹部２７０ａ、２７０ｂには、それぞれ、その中に形成された第１及び第２の細長いガス出口流路２７８ａ、２７８ｂを設けることができる。第１のガス出口流路２７８ａは、引き出しプレート２１８の内部を通って伸びる、第１のガス管２８０ａと流体連結することができる。第１のガス多岐管２８２ａは、引き出しプレート２１８の後部に取り付けることができ、第１のガス管２８０ａと流体連結する第１の出口２８４ａを有することができる。第１の残留除去ガスを加圧第１のガス源２８８ａから第１のガス多岐管２８２ａへ供給するために、第１のガス供給ライン２８６ａを第１のガス多岐管２８２ａに接続することができる。同様に、第２のガス出口流路２７８ｂは、引き出しプレート２１８の内部を通って伸びる、第２のガス管２８０ｂと流体連結することができる。第２のガス多岐管２８２は、引き出しプレート２１８の後部に取り付けることができ、第２のガス管２８０ｂと流体連結する第２の出口２８４ｂを有することができる。第２の残留除去ガスを加圧第２のガス源２８８ｂから第２のガス多岐管２８２ｂへ供給するために、第２のガス供給ライン２８６ｂを第２のガス多岐管２８２ｂに接続することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
基板１２２が第１のガス分配器１７２ａの正面でスキャンされる時、コントローラ１９８は、図５に例示する例示的方法のブロック３２０において、ガス源１８８が上記の方法で残留除去ガスを引き出しプレート１１８へ供給し始めることを命令し、残留除去ガスが第１及び第２のガス分配器１７２ａ、１７２ｂのガス口１７７ａ、１７７ｂから放出されることを引き起す。したがって、第１のガス分配器１７２ａのガス口１７７ａから放出される残留除去ガスは、ガス口１７７ａにごく近くに（例えば、５〜２５ミリメートル）配置される表面１９２がイオンビーム１２０によりエッチングされる前に、基板１２２の表面１９２に当てることができる。あるいは、ガス注入システム２１５（図４）が、装置１００のガス注入システム１１５の代わりとなっている場合、コントローラ１９８は、図５に例示する例示的方法のブロック３２０において、第１のガス源２８８ａが上記の方法で第１の残留除去ガスを引き出しプレート２１８へ供給し始めることを命令し、第１の残留除去ガスが第１のガス分配器２７２ａのガス口２７７ａから放出されることを引き起す。したがって、第１のガス分配器２７２ａのガス口２７７ａから放出される第１の残留除去ガスは、ガス口２７７ａにごく近くに（例えば、５〜２５ミリメートル）配置される表面１９２がイオンビーム１２０によりエッチングされる前に、基板１２２の表面１９２に当てることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
図５に例示する例示的方法のブロック３３０において、駆動機構１９７は、基板ステージ１２４を垂直上方にスキャンし続けることができ、基板１２２の表面１９２はイオンビーム１２０を通過し、表面１９２の所望の部分はイオンビーム１２０によりエッチングされる。基板１２２が第２のガス分配器１７２ｂの正面でスキャンされる時、第２のガス分配器１７２ｂのガス口１７７ｂから放出される残留除去ガスは、例示的方法のブロック３４０において、ガス口１７７ｂにごく近くに（例えば、５〜２５ミリメートル）配置される基板１２２の表面１９２に当てることができる。したがって、残留除去ガスは、表面１９２がイオンビーム１２０によりエッチングされた後に、基板１２２の表面１９２に当てることができる。あるいは、ガス注入システム２１５（図４）が、装置１００のガス注入システム１１５の代わりとなっている場合、コントローラ１９８は、図５に例示する例示的方法のブロック３４０において、基板１２２が第２のガス分配器２７２ｂの正面でスキャンされる時、第２のガス源が上記の方法で第２の残留除去ガスを引き出しプレート２１８へ供給し始めることを命令し、第２の残留除去ガスは、第１の残留除去ガスと同じであり得るし、又は、異なるようにし得る。したがって、第２の残留除去ガスは、第２のガス分配器２７２ｂのガス口２７７ｂから放出することができ、ガス口２７７ｂにごく近くに（例えば、５〜２５ミリメートル）配置される表面１９２がイオンビーム１２０によりエッチングされた後に、基板１２２の表面１９２に当てることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
後続のエッチングアプリケーション（すなわち、上記の及び図５のブロック３００〜３４０で説明したアプリケーションの後の）で用いるため、引き出しプレート１１８を修正するために、引き出しプレート１１８の第１及び第２のガス分配器１７２ａ、１７２ｂに留める複数の機械的ファスナーの取り外しによるなどで、図５に例示する例示的方法のブロック３５０において、引き出しプレート１１８の第１及び第２のガス分配器１７２ａ、１７２ｂは、引き出しプレート１１８から取り外すことができる。例示的方法のブロック３６０において、ガス分配器１７２ａ、１７２ｂのものと異なって構成されるガス口１９６ａ、１９６ｂを有する一対の代替ガス分配器（図３）を、引き出しプレート１１８に取り付けることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2018525786.tif 000001
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2018525786.tif 000002