【手続補正書】
【提出日】平成20年3月25日(2008.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ウエハ洗浄工程で使用されるドリップマニホルドであって、
複数のドリップノズルを備え、
各ドリップノズルは、
第１端と、第２端と、これらの間に規定された通路と、
前記通路内に規定され、前記ドリップノズルの前記第１端に設けられたサファイアオリフィスであって、前記通路は、前記第１端と前記第２端との間で長手方向に延びる壁を有し、前記サファイアオリフィスは、前記壁が延びる前記長手方向に対して鋭角の角度をなすよう配置されており、前記サファイアオリフィスは、前記サファイアオリフィスの前記角度に合わせて配置された内側通路を有し、前記サファイアオリフィスの前記内側通路は、前記第２端に向かう方向において少なくとも２回前記壁で反射される流体ストリームを通過させ、反射された前記流体ストリームは、１以上の均一な液滴が前記通路の前記第２端から出ることを可能にする、サファイアオリフィスと、
を備える、ドリップマニホルド。
【請求項２】  請求項１記載のウエハ洗浄工程で使用されるドリップマニホルドであって、
前記ドリップマニホルドは、第１のブラシと第２のブラシとを有する洗浄ステーションに組み込まれており、
前記ドリップマニホルドは、前記第１のブラシの長さ全体に延びている、ドリップマニホルド。
【請求項３】  請求項２記載のウエハ洗浄工程で使用されるドリップマニホルドであって、
前記複数のドリップノズルのそれぞれは、互いに間隔を空けて設けられており、前記ドリップマニホルドの長さ全体に渡って分配されている、ドリップマニホルド。
【請求項４】  請求項１記載のウエハ洗浄工程で使用されるドリップマニホルドであって、
前記複数のドリップノズルのそれぞれの前記第１端は、前記ドリップマニホルドの内側領域に突出している、ドリップマニホルド。
【請求項５】  請求項４記載のウエハ洗浄工程で使用されるドリップマニホルドであって、
前記複数のドリップノズルのそれぞれの前記第２端は、前記ドリップマニホルドの外面を越えて延びている、ドリップマニホルド。
【請求項６】  請求項１記載のウエハ洗浄工程で使用されるドリップマニホルドであって、
前記第１端は、傾斜した壁を有しており、
前記傾斜壁は、挿入物としての前記サファイアオリフィスを収容するように構成されている、ドリップマニホルド。
【請求項７】  請求項１記載のウエハ洗浄工程で使用されるドリップマニホルドであって、
前記複数のノズルのそれぞれは、前記ドリップマニホルドへのねじ込みを可能にするネジ山を含む、ドリップマニホルド。
【請求項８】  請求項１記載のウエハ洗浄工程で使用されるドリップマニホルドであって、
前記複数のドリップノズルのそれぞれは、前記第２端にノズルヘッドを有している、ドリップマニホルド。
【請求項９】  請求項１記載のウエハ洗浄工程で使用されるドリップマニホルドであって、
前記ドリップノズルの前記第１端と前記第２端との間に規定された前記通路は、前記流体ストリームが前記均一な液滴を形成するまで反射される長さを規定する、ドリップマニホルド。
【請求項１０】  請求項１記載のウエハ洗浄工程で使用されるドリップマニホルドであって、
前記サファイアオリフィスの前記内面は、一端において、外側に向かって傾斜して傾斜面を規定しており、前記傾斜面は、前記ドリップノズルの前記第１端と前記第２端とによって規定される前記通路内に流体が供給されるように構成されている、ドリップマニホルド。
【請求項１１】  ウエハ洗浄装置であって、
第１のブラシと第２のブラシとを有する洗浄ステーションと、
第１のブラシの長さ全体に延びているドリップマニホルドと、
前記ドリップマニホルドに組み込まれた複数のドリップノズルであって、前記複数のドリップノズルのそれぞれは、互いに間隔を空けて設けられており、前記ドリップマニホルドの長さ全体に渡って分配されている、複数のドリップノズルと、を備え、
各ドリップノズルは、
第１端と、第２端と、これらの間に規定された通路と、
前記通路内に規定され、前記ドリップノズルの前記第１端に設けられたサファイアオリフィスであって、前記通路は、前記第１端と前記第２端との間で長手方向に延びる壁を有し、前記サファイアオリフィスは、前記壁が延びる前記長手方向に対して鋭角の角度をなすよう配置されており、前記サファイアオリフィスは、前記サファイアオリフィスの前記角度に合わせて配置された内側通路を有し、前記サファイアオリフィスの前記内側通路は、前記第２端に向かう方向において少なくとも２回前記壁で反射される流体ストリームを通過させ、反射された前記流体ストリームは、１以上の均一な液滴が前記第１のブラシの上で前記通路の前記第２端から出ることを可能にする、サファイアオリフィスと、
を備える、ウエハ洗浄装置。
【請求項１２】  請求項１１記載のウエハ洗浄装置であって、
前記複数のドリップノズルのそれぞれの前記第１端は、前記ドリップマニホルドの内側領域に突出している、ウエハ洗浄装置。
【請求項１３】  請求項１２記載のウエハ洗浄装置であって、
前記複数のドリップノズルのそれぞれの前記第２端は、前記ドリップマニホルドの外面を越えて延びている、ウエハ洗浄装置。
【請求項１４】  請求項１１記載のウエハ洗浄装置であって、
前記第１端は、傾斜した壁を有しており、
前記傾斜壁は、挿入物としての前記サファイアオリフィスを収容するように構成されている、ウエハ洗浄装置。
【請求項１５】  請求項１１記載のウエハ洗浄装置であって、
前記複数のノズルのそれぞれは、前記ドリップマニホルドへのねじ込みを可能にするネジ山を含む、ウエハ洗浄装置。
【請求項１６】  請求項１１記載のウエハ洗浄装置であって、
前記複数のドリップノズルのそれぞれは、前記第２端にノズルヘッドを有している、ウエハ洗浄装置。
【請求項１７】  請求項１１記載のウエハ洗浄装置であって、
前記ドリップノズルの前記第１端と前記第２端との間に規定された前記通路は、前記流体ストリームが前記均一な液滴を形成するまで反射される長さを規定する、ウエハ洗浄装置。
【請求項１８】  請求項１１記載のウエハ洗浄装置であって、
前記サファイアオリフィスの前記内面は、一端において、外側に向かって傾斜して傾斜面を規定しており、前記傾斜面は、前記ドリップノズルの前記第１端と前記第２端とによって規定される前記通路内に流体が供給されるように構成されている、ウエハ洗浄装置。
【請求項１９】  ウエハ洗浄工程で使用されるドリップマニホルドであって、
複数のドリップノズルを備え、
各ドリップノズルは、
第１端と、第２端と、これらの間に規定された通路と、
前記通路内に規定され、前記ドリップノズルの前記第１端に設けられた挿入オリフィスであって、前記通路は、前記第１端と前記第２端との間で長手方向に延びる壁を有し、前記挿入オリフィスは、前記壁が延びる前記長手方向に対して鋭角の角度をなすよう配置されており、前記挿入オリフィスは、前記挿入オリフィスの前記角度に合わせて配置された内側通路を有し、前記挿入オリフィスの前記内側通路は、前記第２端に向かう方向において少なくとも２回前記壁で反射される流体ストリームを通過させ、反射された前記流体ストリームは、１以上の均一な液滴が前記通路の前記第２端から出ることを可能にする、挿入オリフィスと、
を備える、ドリップマニホルド。
【請求項２０】  請求項１９記載のウエハ洗浄工程で使用されるドリップマニホルドであって、
前記ドリップマニホルドは、第１のブラシと第２のブラシとを有する洗浄ステーションに組み込まれており、
前記ドリップマニホルドは、前記第１のブラシの長さ全体に延びている、ドリップマニホルド。
【請求項２１】  請求項２０記載のウエハ洗浄工程で使用されるドリップマニホルドであって、
前記複数のドリップノズルのそれぞれは、互いに間隔を空けて設けられており、前記ドリップマニホルドの長さ全体に渡って分配されている、ドリップマニホルド。
【請求項２２】  請求項１９記載のウエハ洗浄工程で使用されるドリップマニホルドであって、
前記挿入オリフィスは、サファイア材料または洗浄に適合する材料で作成されている、ドリップマニホルド。