(57)【要約】【課題】被検体の散乱係数のベクトル測定を実質的にスカラ測定器によって実施し、測定器の規模を小さくでき、かつコストを低減できる測定方法および測定装置を提供する。【解決手段】被検体に信号を印加する信号源１と、被検体の反射波もしくは透過波をスカラ値として測定するスカラ測定器５，１３と、被検体の反射波もしくは透過波に対し、予め関係値が値付けされた３つの異なるベクトル信号をそれぞれ重畳する重畳信号系とを備えた測定系を準備する。被検体の反射波もしくは透過波に対し３つのベクトル信号を重畳し、各重畳信号をスカラ測定器５，１３によりそれぞれスカラ値として測定する。３つのベクトル信号の値付けされた関係値を用いて、測定された３つのスカラ値を１つのベクトル値に変換し、被検体の散乱係数を得る。【選択図】    図１【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体の散乱係数のベクトル測定を行う測定方法において、
前記被検体に信号を印加する信号源と、前記被検体の反射波もしくは透過波をスカラ値として測定するスカラ測定器と、前記被検体の反射波もしくは透過波に対し少なくとも３つの異なるベクトル信号をそれぞれ重畳する重畳信号系とを備えた測定系を準備する第１のステップと、
前記少なくとも３つのベクトル信号の関係値をベクトル値として値付けする第２のステップと、
前記被検体の反射波もしくは透過波に対し前記少なくとも３つのベクトル信号を重畳し、各重畳信号を前記スカラ測定器によりそれぞれスカラ値として測定する第３のステップと、
前記第２のステップで得られた関係値を用いて、前記第３のステップで測定された少なくとも３つのスカラ値を少なくとも１つのベクトル値に変換し、被検体の散乱係数を求める第４のステップと、を有することを特徴とする測定方法。
【請求項２】
前記重畳信号系は、前記被検体の反射波に対し重畳される少なくとも３つの方向性誤差ベクトル信号を発生する少なくとも３つの方向性誤差と、これら方向性誤差を切り替える方向性切替手段とを備え、前記第３のステップで変換されるベクトル値は反射係数であることを特徴とする請求項１に記載の測定方法。
【請求項３】
前記重畳信号系は、前記被検体の透過波に対し重畳される少なくとも３つの漏洩誤差ベクトル信号を発生する少なくとも３つの漏洩誤差と、これら漏洩誤差を切り替える漏洩切替手段とを備え、前記第３のステップで変換されるベクトル値は伝達係数であることを特徴とする請求項１に記載の測定方法。
【請求項４】
前記少なくとも３つのベクトル信号は、前記スカラ測定器の測定精度以上に相互に離れていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の測定方法。
【請求項５】
被検体の散乱係数のベクトル測定を行う測定装置において、
前記被検体に信号を印加する信号源と、
前記被検体の反射波もしくは透過波に対し、互いの関係値がベクトル値として値付けされた少なくとも３つの異なるベクトル信号をそれぞれ重畳する重畳信号系と、
前記被検体の反射波もしくは透過波に対し前記少なくとも３つのベクトル信号を重畳した重畳信号を、それぞれスカラ値として測定するスカラ測定器と、
前記少なくとも３つのベクトル信号の値付けされた関係値を用いて、前記スカラ測定器で測定された少なくとも３つのスカラ値を少なくとも１つのベクトル値に変換し、被検体の散乱係数を求める変換手段と、を有することを特徴とする測定装置。
【請求項６】
前記重畳信号系は、前記被検体の反射波に対し重畳される少なくとも３つの方向性誤差ベクトル信号を発生する少なくとも３つの方向性誤差と、これら方向性誤差を切り替える方向性誤差切替手段とを備え、前記変換手段が変換するベクトル値は反射係数であることを特徴とする請求項５に記載の測定装置。
【請求項７】
前記重畳信号系は、前記被検体の透過波に対し重畳される少なくとも３つの漏洩誤差ベクトル信号を発生する少なくとも３つの漏洩誤差と、これら漏洩誤差を切り替える漏洩誤差切替手段とを備え、前記変換手段が変換するベクトル値は伝達係数であることを特徴とする請求項５に記載の測定装置。
【請求項８】
前記重畳信号系は、前記被検体の反射波に対し重畳される少なくとも３つの方向性誤差ベクトル信号を発生する少なくとも３つの方向性誤差と、これら方向性誤差を切り替える方向性誤差切替手段と、前記被検体の透過波に対し重畳される少なくとも３つの漏洩誤差ベクトル信号を発生する少なくとも３つの漏洩誤差と、これら漏洩誤差を切り替える漏洩誤差切替手段とを備え、
前記スカラ測定器は、前記被検体の反射波に対し前記少なくとも３つの方向性誤差ベクトル信号を重畳した重畳信号をそれぞれスカラ値として測定する反射波測定用スカラ測定器と、前記被検体の透過波に対し前記少なくとも３つの漏洩誤差ベクトル信号を重畳した重畳信号をそれぞれスカラ値として測定する透過波測定用スカラ測定器とで構成されることを特徴とする請求項５に記載の測定装置。
【請求項９】
被検体の散乱係数のベクトル測定を行う測定方法において、
前記被検体に信号を印加する信号源と、前記被検体の反射波もしくは透過波をスカラ値として測定するスカラ測定器と、前記被検体の反射波もしくは透過波に対し２つの異なるベクトル信号をそれぞれ重畳する重畳信号系とを備えた測定系を準備する第１のステップと、
前記２つのベクトル信号の関係値をベクトル値として値付けする第２のステップと、
前記被検体の反射波もしくは透過波に対し前記２つのベクトル信号を重畳し、各重畳信号を前記スカラ測定器によりそれぞれスカラ値として測定する第３のステップと、
前記第２のステップで得られた関係値を用いて、前記第３のステップで測定された２つのスカラ値を２つのベクトル値に変換し、このうちの一方のベクトル値から被検体の散乱係数を求める第４のステップと、を有することを特徴とする測定方法。
【請求項１０】
被検体の散乱係数のベクトル測定を行う測定装置において、
前記被検体に信号を印加する信号源と、
前記被検体の反射波もしくは透過波に対し、互いの関係値がベクトル値として値付けされた２つの異なるベクトル信号をそれぞれ重畳する重畳信号系と、
前記被検体の反射波もしくは透過波に対し前記２つのベクトル信号を重畳した重畳信号を、それぞれスカラ値として測定するスカラ測定器と、
前記２つのベクトル信号の値付けされた関係値を用いて、前記スカラ測定器で測定された２つのスカラ値を２つのベクトル値に変換し、このうちの一方のベクトル値から被検体の散乱係数を求める変換手段と、を有することを特徴とする測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子デバイスなどの被検体（ＤＵＴ）の散乱係数をベクトル測定するための測定方法および測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
高周波電子回路の動作周波数がますます高周波化し、回路に用いられる電子デバイスも高周波領域で正確な電気特性を測定しなければならなくなっている。高周波測定項目のうち、重要なものとして反射係数と伝達係数とがある。反射係数とは、ＤＵＴに印加する入射波に対するＤＵＴから反射してきた反射波の比である。また、伝達係数とは、ＤＵＴに印加する入射波に対するＤＵＴを透過してきた透過波の比である。これらは全てベクトル値（または複素数量）である。しかし、実使用上はこれらの振幅情報（スカラ値）のみが重要なことが多い。【０００３】
ＤＵＴの反射波や透過波を測定系で観測した場合、通常はこれらには測定系の誤差を多く含む。測定系の誤差を観測量から除去することでＤＵＴの真の特性が得られるが、これには反射波や透過波をベクトル値として観測（ベクトル測定）することが必要である。これらの振幅情報（スカラ値）のみを観測している場合は、測定系の誤差を正確に取り除くことは不可能である。つまり、実使用上は反射係数や伝達係数の振幅のみが重要であっても、これらを正確に測定するにはベクトル値が必要である。【０００４】
ミリ波帯以上の高周波特性のベクトル測定には、ベクトルネットワークアナライザ（ＶＮＡ）が一般に使用される。ＶＮＡは、ＤＵＴの散乱係数（反射係数，伝達係数など）行列を求めるために、ＤＵＴに測定信号を印加し、反射波と透過波それぞれの測定信号に対する振幅比と位相差を測定する。つまり、ＶＮＡは信号源にベクトル検波器を組み合わせてなる測定器である。従来のＶＮＡはベクトル検波器の構成として、重要な部分は局部発振器とミキサから成るＰＬＬ（Phase Locked Loop ）回路を用いたヘテロダイン検波方式を採用している。【０００５】
しかし、ＶＮＡの構成では、測定周波数が高くなるに従ってＰＬＬ回路の局部発振器とミキサの段数が増えることなどにより、価格が著しく上昇する問題がある。加えて、周波数が高くなるに従って周波数変換時の損失及び測定信号純度の低下を招来し、高精度測定が困難となる問題もある。【０００６】
非特許文献１では、入射波及び反射波に対し４つの電力測定を行う測定系を構築して電力測定を行い、測定系のシステムパラメータを用いて前記４つの電力測定値から位相差を導出する方法が提案されている。この方法では、周波数が高くなるに従って高精度な測定が困難になる位相差を、電磁波計測において基本測定量であり、かつ計測精度が周波数に殆ど依存しない電力値というスカラ値の計測を基に求めるものであり、ＶＮＡにおける前記欠点を解消できる。しかしながら、反射測定を行う際、４つの電力を４つの電力測定器で測定する必要があるため、測定器全体の規模が大きくなり、コストもかかるという問題がある。【０００７】
特許文献１は、基本的な測定原理は非特許文献１と同様であるが、電力測定値を４つから５つに増やし、入射波と反射波の振幅比を比較可能とすることで測定精度を向上させたものである。この方法では、反射測定を行う際、５つの電力を５つの電力測定器で測定するため、測定器全体の規模はさらに大きくなりコストもかかる。
【非特許文献１】G.F.Engen,"The six-port reflectometer: An alternative network analyzer," IEEE Trans. Microw.  Theory Tech., vol. MTT-25, no.12,pp1075-1080, Dec. 1977.
【特許文献１】特許第３５４０７９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明の好ましい実施形態の目的は、被検体の散乱係数のベクトル測定を実質的にスカラ測定器によって実施し、測定器の規模を小さく、かつコストを低減できる測定方法および測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の好ましい第１の実施形態は、被検体の散乱係数のベクトル測定を行う測定方法において、前記被検体に信号を印加する信号源と、前記被検体の反射波もしくは透過波をスカラ値として測定するスカラ測定器と、前記被検体の反射波もしくは透過波に対し少なくとも３つの異なるベクトル信号をそれぞれ重畳する重畳信号系とを備えた測定系を準備する第１のステップと、前記少なくとも３つのベクトル信号の関係値をベクトル値として値付けする第２のステップと、前記被検体の反射波もしくは透過波に対し前記少なくとも３つのベクトル信号を重畳し、各重畳信号を前記スカラ測定器によりそれぞれスカラ値として測定する第３のステップと、前記第２のステップで得られた関係値を用いて、前記第３のステップで測定された少なくとも３つのスカラ値を少なくとも１つのベクトル値に変換し、被検体の散乱係数を求める第４のステップと、を有することを特徴とする測定方法である。【００１０】
本発明の好ましい第２の実施形態は、被検体の散乱係数のベクトル測定を行う測定装置において、前記被検体に信号を印加する信号源と、前記被検体の反射波もしくは透過波に対し、互いの関係値がベクトル値として値付けされた少なくとも３つの異なるベクトル信号をそれぞれ重畳する重畳信号系と、前記被検体の反射波もしくは透過波に対し前記少なくとも３つのベクトル信号を重畳した重畳信号を、それぞれスカラ値として測定するスカラ測定器と、前記少なくとも３つのベクトル信号の値付けされた関係値を用いて、前記スカラ測定器で測定された少なくとも３つのスカラ値を少なくとも１つのベクトル値に変換し、被検体の散乱係数を求める変換手段と、を有することを特徴とする測定装置である。【００１１】
本発明の基本概念は、ＤＵＴの反射波及び／又は透過波を測定する際、測定系の状態が異なる少なくとも３回のスカラ測定を行い、得られた少なくとも３つのスカラ値からベクトル値、つまり散乱係数を数学的に求めるものである。前記測定を実施するため、少なくとも３つの異なるベクトル信号を反射波及び／又は透過波に重畳できるように、切替可能な信号経路を持つ測定系を準備する。各ベクトル信号の関係値を予めベクトル的に値付けしておく。ここで、重畳できるベクトル信号としては、例えば方向性誤差や漏洩誤差があるが、各ベクトル信号の位相や絶対位置を値付けする必要はなく、その相互関係が分かればよい。次に、前記測定系を用いて、ＤＵＴに対して３つのベクトル信号を切り替えた場合の反射波及び／又は透過波をスカラ測定することにより、ＤＵＴによる反射波及び／又は透過波とベクトル信号との重畳信号をスカラ値として測定することができる。この重畳スカラ測定値と３つのベクトル信号の関係値とから、ＤＵＴの反射係数（ベクトル値）または伝達係数（ベクトル値）を計算で求めることができる。【００１２】
本発明は、３つのベクトル信号の値付けされた関係値（ベクトル値）と、被検体の反射波もしくは透過波に対し３つのベクトル信号を重畳した重畳信号をスカラ値として測定した測定値とから、１つの散乱係数（ベクトル値）を求めるものである。この散乱係数は、複素平面において値付けされた関係値に対応した中心と、測定されたスカラ値に対応した半径とを持つ３つの円の交点として得られるが、実際には測定誤差などによって３つの円が１点で交わらず、複数の交点が発生する可能性がある。その場合には、例えば所定の円内に位置する３つの交点の重心を求めるなどして、最終的な散乱係数（ベクトル値）を求めることができる。【００１３】
本発明では、３つのベクトル信号（例えば方向性誤差や漏洩誤差）の関係値をベクトル的に値付けしておく必要があるが、そのためにベクトル測定器（例えばＶＮＡ）を用いてもよいし、後述するような独自の校正手順を踏むことによりスカラ測定器のみを用いて導出することも可能である。３つのベクトル信号の関係値の値付けは、本測定装置の製作時に１回実施するだけでよく、その後のＤＵＴの測定に際しては値付けされた関係値を用いればよい。ＤＵＴが変更されても、値付けをやり直す必要はない。【００１４】
本発明は、周波数にほとんど依存しない、基本的で安価な測定であるスカラ値測定（パワーメータやパワーセンサによる電力測定、電圧計による電圧測定、電流計による電流測定）によって、実質的に高周波領域での反射波及び／又は透過波のベクトル的な測定値（散乱係数）が得られることを明らかにしたものである。ここで、スカラ測定を行うスカラ測定器とは、電力、電圧または電流の振幅情報（振幅の大きさ）のみを測定する測定器のことである。多品種／少量生産の多い高周波デバイスにおいては、本発明による安価な測定器であれば、デバイス毎にこれを備えることが可能になるので、段取り換え等の工程の負担を小さくすることができる。前記の特徴は、測定系の微妙な調整が要求されるミリ波帯以上の高周波測定において、測定再現性の確保に多大な効果をもたらす。また、本発明は基本的に熱測定である電力測定が可能である限り、測定システムの価格の上昇を抑えつつベクトル誤差補正が可能である。本発明の手法は、ミキサやサンプラによる乗算型の位相検出法ではなく、負荷変動時の測定値変化を利用した加算型の位相検出法であるから、本質的に入力帯域幅に限度がない。そのため、光の周波数領域まで拡張できる可能性がある。【００１５】
被検体の反射波もしくは透過波に対し、少なくとも３つのベクトル信号を重畳させる際、少なくとも３つの方向性誤差または漏洩誤差と、これら誤差を選択的に切り替える方向性誤差切替手段または漏洩誤差切替手段とを設けることで、３つの状態を容易に得ることができる。そして、３つの状態の測定値を得るために、各状態ごとにスカラ測定器を準備する必要はなく、１台で足りる。そのため、非特許文献１や特許文献１のような多数の電力測定器を必要とするシステムとは異なり、測定装置全体の規模を小さくでき、コストも低減できる。【００１６】
反射係数測定系は、信号源とＤＵＴとを結ぶ測定信号経路の途中にカプラ（方向性結合器）を設け、カプラによって測定信号経路と結合された他の信号経路の一方のポートに少なくとも３つの状態に切替可能な方向性誤差を取り付け、他方のポートに反射波測定用スカラ測定器を接続することで、簡単に構成できる。一方、伝達係数測定系は、信号源と透過波測定用スカラ測定器との間に、ＤＵＴを有する信号経路と、少なくとも３つの状態に切替可能な漏洩誤差を有する信号経路とを並列に接続することで、簡単に構成できる。さらに、反射係数測定系と伝達係数測定系とを組み合わせて、１パス２ポート測定系を構成することもできるし、スイッチで信号源を切り替えることにより、フル２ポート測定系、フル３ポート測定系などを構成することもできる。その場合、ＤＵＴを測定系に接続した状態のまま、切替手段により方向性誤差および漏洩誤差を切り替えることにより、反射係数および伝達係数の両方の散乱係数を同時に測定することができる。【００１７】
上述の説明では、被検体の反射波もしくは透過波に対し、少なくとも３つのベクトル信号を重畳させる方法について説明したが、２つのベクトル信号を重畳させる方法を用いることも可能である。この場合には、重畳信号であるベクトル信号が２つしかないため、基本的にはベクトル値が２つ導出され、被検体の散乱係数（ベクトル値）を一意に求めることができない。しかし、予め被検体の散乱係数の概略特性が既知であれば、変換された２つのベクトル値から一方のみを選択できるので、その値から被検体の散乱係数を求めることができる。また、２つの導出されたベクトル値が共に被検体試料の基準特性からある範囲内（例えば良品範囲内）に入らなかった場合は、量産選別時に不良品と判断することができる。この方法では、３回のスカラ測定を必要とする上述の例に比べて、２回のスカラ測定で済むため、散乱係数導出にかかる時間が短縮される。
【発明の好ましい実施形態の効果】
【００１８】
以上のように、本発明の第１の実施形態では、ＤＵＴの反射波及び／又は透過波を測定する際、測定系の状態が異なる少なくとも３回のスカラ値測定を行い、得られた少なくとも３つのスカラ値測定値から散乱係数を数学的に求めるものである。すなわち、周波数にほとんど依存しない基本的で安価な測定であるスカラ値測定によって、実質的に高周波領域での反射波及び／又は透過波の各散乱係数を得ることができるため、ＶＮＡのように測定周波数が高くなるに従って価格が著しく上昇する問題がなく、かつ周波数が高くなるに従って周波数変換時の損失及び測定信号純度の低下を招来することもない。また、従来の電力測定器を用いたベクトル測定法に比べても、スカラ測定器の個数を減らすことができるため、測定装置全体の規模を小さくでき、コストも低減できる。
【００１９】
本発明の第２の実施形態では、ＤＵＴの反射波及び／又は透過波に２つのベクトル信号を重畳し、各重畳信号をスカラ測定器によりそれぞれスカラ値として測定し、これら２つのスカラ値を２つのベクトル信号の関係値を用いて２つのベクトル値に変換し、このうちの一方のベクトル値から被検体の散乱係数を求めることができるので、スカラ測定回数を少なくでき、測定時間を短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる反射係数を測定するための回路図である。
【図２】反射損失測定の誤差モデル図である。
【図３】３つのスカラ測定値と方向性誤差からベクトル測定値を導出する方法を説明する図である。
【図４】値付けされた３つの方向性誤差を示すスミスチャートである。
【図５】ＤＵＴの反射波と方向性誤差の反射波の重畳信号をスカラ測定したスミスチャートである。
【図６】本発明の第２実施形態にかかる伝達係数を測定するための回路図である。
【図７】本発明の第３実施形態にかかる反射測定系と伝達測定系とを組み合わせた１パス２ポート測定システムの例を示す回路図である。
【図８】本発明の第４実施形態にかかる反射測定系と伝達測定系とを組み合わせたフル２ポート測定システムの例を示す回路図である。
【図９】ベクトル測定器で測定した３つの方向性誤差の関係値を示すスミスチャートである。
【図１０】方向性誤差が異なる３つの場合におけるＤＵＴスカラ測定値を示す図である。
【図１１】本発明方法を用いて計算したＤＵＴのベクトル測定値（振幅）を示す図である。
【図１２】本発明方法を用いて計算したＤＵＴのベクトル測定値を示すスミスチャートである。
【図１３】本発明方法によるＤＵＴの測定値ΓD と校正されたＶＮＡを用いたＤＵＴの測定値ΓA との振幅を比較したグラフである。
【図１４】本発明方法によるＤＵＴの測定値ΓD と校正されたＶＮＡを用いたＤＵＴの測定値ΓA とを比較したスミスチャートである。
【図１５】本発明の第５実施形態において、スカラ測定器によって３つの方向性誤差の関係値を求める方法を複素平面で表した図である。
【図１６】本発明の第６実施形態にかかる反射係数を測定するための回路図である。
【図１７】本発明の第６実施形態において、導出された被検体の２つのベクトル測定値と、既知特性とをプロットしたスミスチャートを示す。
【図１８】本発明の第６実施形態の一方の測定値から求めたＤＵＴの振幅およびスミスチャートを示す図である。
【図１９】本発明の第６実施形態の他方の測定値から求めたＤＵＴの振幅およびスミスチャートを示す図である。
【図２０】本発明の第６実施形態の真値を選択するための既知のＤＵＴの振幅およびスミスチャートを示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に、本発明の好ましい実施の形態を、図面を参照して説明する。
【好ましい実施形態１】
【００２２】
図１は、本発明の好ましい第１実施形態であるＤＵＴの反射係数測定装置を示す。
発振器よりなる信号源１が発生した測定信号は、測定信号経路２を通ってＤＵＴに印加される。測定信号経路２の途中には、この信号経路２を流れる信号の一部を分離するカプラ３が設けられている。カプラ３によって測定信号経路２と結合された誤差信号経路４の信号源側のポートには、反射波をスカラ値として測定するパワーメータ等の電力測定器５が接続されており、誤差信号経路４のＤＵＴ側のポートには方向性切替スイッチ６を介して３種類の方向性誤差７ａ〜７ｃが接続されている。方向性誤差７ａ〜７ｃとは、反射の位相が相互に異なるものであり、予めその方向性誤差の関係値（相対的なベクトル値）を求めておく。
【００２３】
図２は、反射損失測定の誤差モデルを示す。ここで、Ｓ11A はＤＵＴの反射損失、Ｓ11M は反射損失の測定値、ＥDFは方向性誤差、ＥRFは反射周波数応答誤差、ＥSFはソースマッチ誤差をそれぞれ表わす。図２の誤差モデルから、被検体の反射損失Ｓ11A と測定値Ｓ11M の関係は次の通りとなる。
【数１】
2007029495.tif 000002
【００２４】
ここで、多くのＤＵＴにおいて測定すべき反射損失Ｓ11A は約−１５ｄＢ〜−２０ｄＢ程度であり、またＥSFはプローブの作り込みにより−２０ｄＢ〜−２５ｄＢ程度まで小さくできる。従って、ＥSFＳ11A は−３５ｄＢ〜−４５ｄＢと測定信号レベル０ｄＢに比べて非常に小さな値になるので、次式のように近似しても差し支えない。
【数２】
2007029495.tif 000003
【００２５】
数式２中のＥRFによる誤差については、予め値付けされたＤＵＴのスカラ測定値から補正係数を求めることにより補正することができるが、方向性誤差ＥDFについては通常のスカラ測定では補正を行なうことができない。そこで、本発明では、スカラ測定でありながら方向性誤差ＥDFの補正を行なうべく、下記の各ステップを実施する。なお、実際にはＳ11M からＥDFを取り除いたΓT を得ることができれば、ΓT はベクトル測定値になっているので、通常の誤差除去手順を踏むことにより、ＥRFとＥSFの誤差を取り除くことができる。すなわち、前記の仮定は必ずしも必要なものではなく、ＥSFＳ11A が無視できなくとも、本発明を適用することができる。
【００２６】
次に、ＤＵＴの反射係数測定方法について説明する。
−方向性誤差の値付け−
３つの方向性誤差７ａ〜７ｃの関係値（ＥDF1 、ＥDF2 、ＥDF3 ）を求めるために、例えば校正済みのＶＮＡで実測してもよいし、ＶＮＡで測定を行わなくとも、後述するような独自の校正手順によって３つの方向性誤差のベクトル関係値を得ることができる。例えば２ポートＶＮＡを用いて３つの方向性誤差の関係値を求める場合には、ＶＮＡに加えて無反射終端を準備する。そして、図１の信号源側にＶＮＡのポート１を、ＤＵＴ側に無反射終端を、電力測定器側にＶＮＡのポート２を接続する。この状態で、方向性切替スイッチ６を３位置に切り替えた際の伝達係数の３つの測定値Ｓ21が３つの方向性誤差の関係値になる。このようにして値付けした３つの方向性誤差は、一度測定装置を製造すれば通常は変化しないものであるから、測定装置製造時に値付けすることで、以後この値を継続して使用することが可能であり、したがって当該測定装置を使用するデバイス量産工程では、ＶＮＡが不要である。
【００２７】
−スカラ測定−
方向性誤差７ａ〜７ｃの値付けを終了した後、図１に示す測定装置にＤＵＴを接続して反射測定を行う。すなわち、方向性切替スイッチ６を切り替えた際の３状態における反射波の電力値（スカラ値）を電力測定器５により測定する。測定された測定値は、図１に示すＤＵＴの反射波Ｒ１と方向性誤差７ａ〜７ｃの反射波Ｒ２との重畳信号の振幅である。
【００２８】
−スカラ値からベクトル値への変換−
予め値付けされた方向性誤差の３つのベクトル値（ＥDF1 、ＥDF2 、ＥDF3 ）と、前記スカラ測定により測定された３つの電力値（｜Γm1｜、｜Γm2｜、｜Γm3｜）とを用いて、１つのベクトル値すなわちＤＵＴの反射係数ΓT に変換する。その変換式の導出について、以下に説明する。
【００２９】
ベクトル値の実数部と虚数部をそれぞれ添字ｘ、ｙをつけて表すと、（ＥDF1 、ＥDF2 、ＥDF3 ）およびΓT は以下のようになる。
ＥDF1 ＝（ＥDF1x，ＥDF1y）
ＥDF2 ＝（ＥDF2x，ＥDF2y）
ＥDF3 ＝（ＥDF3x，ＥDF3y）
ΓT ＝（ΓTx，ΓTy）
【００３０】
それぞれ３つの方向性誤差（ＥDF1 、ＥDF2 、ＥDF3 ）と、３つのＤＵＴの反射係数スカラ測定値（｜Γm1｜、｜Γm2｜、｜Γm3｜）と、方向性誤差を取り除いたベクトル測定値ΓT の関係式は、ベクトル測定値ΓT の取りうる値を（ｘ，ｙ）と置くと、ベクトル測定値に方向性誤差を足した点の振幅が反射係数スカラ測定値であるため、数式３〜数式５で表される。
【数３】
2007029495.tif 000004
【数４】
2007029495.tif 000005
【数５】
2007029495.tif 000006
【００３１】
以下に、数式３〜５を同時に満たすベクトル測定値ΓT が存在するという仮定を基に、この３つの方程式を満たすベクトル測定値ΓT を導出する。通常の方法でこの３つの連立方程式を解くと、４つの解が得られ、一致する２つの解がベクトル測定値ΓT となる。しかし、この方法では４つの解を得るための計算量が膨大であるため、計算機の桁落ちなどで誤差を増大しやすい。そのため、以下に説明する幾何学的な方法を用いベクトル測定値ΓT を導出した。
【００３２】
数式３〜５は、図３に示すように座標（ｘ−ＥDFx ，ｙ−ＥDFy ) を中心とする、半径｜Γm ｜の３つの円とみなすことができる。さらに「数式３〜５を同時に満たすベクトル測定値ΓT が存在する」という仮定から、この３つの円における共通の交点が存在し、その交点がベクトル測定値ΓT となる。そのため、図３に示すようにベクトル測定値ΓT は、それぞれ２つの円の交点を通る直線（例えば、数式３、４の円の交点を通る直線と、数式３、５の円の交点を通る直線）の方程式を２つ導出し、その直線の交点を求めることで導出できる。
【００３３】
２つの直線の方程式を以下に示す。
（数式３）−（数式４）より
【数６】
2007029495.tif 000007
（数式３）−（数式５）より
【数７】
2007029495.tif 000008
【００３４】
２つの直線の方程式である数式６，７から交点の座標（ΓTx，ΓTy）を導出すると、数式８、数式９になる。
【数８】
2007029495.tif 000009
【数９】
2007029495.tif 000010
【００３５】
以上より、３つのＤＵＴの反射係数スカラ測定値（｜Γm1｜、｜Γm2｜、｜Γm3｜）から方向性誤差を取り除いたベクトル測定値（ΓTx，ΓTy）を導出できた。
【００３６】
前記説明では、ＤＵＴの反射係数（ΓTx、ΓTy）を数式を用いて求めた例について説明したが、次にスミスチャートを用いて説明する。図４は、値付けされた３つの方向性誤差７ａ〜７ｃの関係値（ＥDF1 、ＥDF2 、ＥDF3 ）を示す。図示するように、３つのベクトル（ＥDF1 、ＥDF2 、ＥDF3 ）は電力測定器６の測定誤差以上に相互に離れているのがよい。ここでは、値付けの際にＤＵＴ側に無反射終端を接続したため、５０Ωを中点とする３つのベクトルで表されるが、無反射終端以外のものを接続した場合には、中点は５０Ωにならない。いずれにしても、３つの方向性誤差を定量化すればよい。
【００３７】
図５は、図１に示す測定装置にＤＵＴを接続し、方向性切替スイッチ６を３位置に切り替えた際の電力測定器５による測定値（スカラ値）を示したものである。測定値は、その大きさを半径とする３つの同心円（ｒ＝｜Ｓ11M1｜，ｒ＝｜Ｓ11M2｜，ｒ＝｜Ｓ11M3｜）で表される。ここで、図４で求めた３つの方向性誤差ベクトル（ＥDF1 、ＥDF2 、ＥDF3 ）を満足しながら、図５で得られたスカラ値を満足するベクトル（Ｓ11M1、Ｓ11M2、Ｓ11M3）の組み合わせを求める。つまり、図４で求めた３つの方向性誤差ベクトルの頂点を結ぶ三角形と合同で、かつその頂点が３つの同心円上に位置するベクトルの組み合わせを求める。図４の三角形を図５の三角形に重ね合わせるためのベクトルＳ11A がＤＵＴの反射係数である。
【好ましい実施形態２】
【００３８】
図６は、本発明の好ましい第２実施形態であるＤＵＴの伝達係数測定装置を示す。信号源１が発生した測定信号は、パワースプリッタ８によって測定信号経路９と誤差信号経路１０とに分岐される。測定信号経路９に入った一方の測定信号はＤＵＴに印加され、誤差信号経路１０に入った他方の測定信号は漏洩切替スイッチ１１を介して３つの漏洩誤差１２ａ〜１２ｃの何れかに印加される。ＤＵＴの透過波と漏洩誤差１２ａ〜１２ｃの透過波は重畳され、重畳信号は電力測定器１３によって電力値（スカラ値）として測定される。漏洩誤差１２ａ〜１２ｃは、透過波の位相が相互に異なるものであり、予めその漏洩誤差の関係値（相対的なベクトル値）を求めておく。
【００３９】
次に、ＤＵＴの伝達係数測定方法について説明する。
−漏洩誤差の値付け−
上述の３つの漏洩誤差１２ａ〜１２ｃの関係値（ＥXF1 、ＥXF2 、ＥXF3 ）を求めるために、例えば校正済みのＶＮＡで実測してもよいし、ＶＮＡで測定しなくとも、後述するような独自の校正手順によって漏洩誤差を３種類に変化させたそれぞれの状態の漏洩誤差のベクトル値の関係値を得ることができる。例えば２ポートＶＮＡを用いて３つの漏洩誤差の関係値を求める場合には、図６の信号源側にＶＮＡのポート１を、電力測定器側にＶＮＡのポート２を接続し、漏洩切替スイッチ１１を３位置に切り替えた際の伝達係数の３つの測定値Ｓ21が３つの漏洩誤差の関係値になる。なお、ＤＵＴを接続する測定端子間はＯＰＥＮ状態としでもよいし、それぞれに無反射終端を接続してもよい。このようにして値付けした３つの漏洩誤差の関係値は、測定装置を製造する際に一度求めておけは、ＤＵＴの測定に際してはこの値を継続して使用することができる。
【００４０】
−スカラ測定−
漏洩誤差１２ａ〜１２ｃの値付けを終了した後、図６に示す測定装置にＤＵＴを接続して測定を行う。すなわち、漏洩切替スイッチ１１を切り替えた際の３状態における透過波の電力値（スカラ値）を電力測定器１３により測定する。測定された測定値は、図６に示すＤＵＴの透過波Ｔ１と漏洩誤差１２ａ〜１２ｃの透過波Ｔ２との重畳信号の振幅である。
【００４１】
−スカラ値からベクトル値への変換−
予め値付けされた漏洩誤差の３つのベクトル値と、前記スカラ測定により測定された３つの電力値とを用いて、ＤＵＴの伝達係数ＴT に変換する。伝達係数ＴT の実数部と虚数部をそれぞれ添字ｘ、ｙをつけて（ＴTx、ＴTy）と表すと、変換式は以下の数式で表される。
【数１０】
2007029495.tif 000011
【数１１】
2007029495.tif 000012
ここで、｜Ｔm1｜、｜Ｔm2｜、｜Ｔm3｜は漏洩切替スイッチ１１を３位置に切り替えた時の測定値（電力値）であり、（ＥXF1x、ＥXF1y）、（ＥXF2x、ＥXF2y）、（ＥXF3x、ＥXF3y）は３つの漏洩誤差１２ａ〜１２ｃの関係値（ＥXF1 、ＥXF2 、ＥXF3 ）の実数部と虚数部にそれぞれ添字ｘ、ｙをつけて表したものである。
【００４２】
以上の計算を行うことで、３つのスカラ測定値から１つのベクトル測定値が得られることになり、この値はＶＮＡが通常ミキサによって検出するベクトル測定値と等価な測定値である。以上のように導出されたＤＵＴのベクトル測定値における測定系の誤差は、ベクトル測定値が得られているため、ＶＮＡで行われる通常の校正の手順を踏むことにより取り除くことができる。例えばＳＯＬ校正（Ｓｈｏｒｔ，Ｏｐｅｎ，Ｌｏａｄの校正基準を用いる校正方法）を行うことで、測定値から測定系の誤差の影響を除去し、ＤＵＴの真値を得ることができる。
【好ましい実施形態３】
【００４３】
図７は図１に示す反射測定系と図６の伝達測定系とを組み合わせた１パス２ポート測定システムの例を示す。信号源１が発生した測定信号は、パワースプリッタ８によって分岐され、一方の測定信号はＤＵＴに印加され、他方の測定信号は漏洩切替スイッチ１１を介して３つの漏洩誤差１２ａ〜１２ｃの何れかに印加される。ＤＵＴの透過波と漏洩誤差１２ａ〜１２ｃの透過波との重畳信号は電力測定器１３によって電力値（スカラ値）として測定される。ＤＵＴを接続した信号経路２の途中にはカプラ３が設けられ、カプラ３によって信号経路２と結合された他の信号経路の信号源側のポートには、反射波を電力値として測定する電力測定器５が接続され、ＤＵＴ側のポートには方向性切替スイッチ６を介して３つの方向性誤差７ａ〜７ｃが接続されている。方向性切替スイッチ６を３位置に切り替えながら電力測定器５によって電力値を測定し、漏洩切替スイッチ１１を３位置に切り替えながら電力測定器１３によって電力値を測定する。これら測定値から数式８，９および数式１０，１１を用いてＤＵＴの反射係数ΓT および伝達係数ＴT を求めることができる。
【好ましい実施形態４】
【００４４】
図８は図１に示す反射測定系と図６の伝達測定系とを組み合わせたフル２ポート測定システムの例を示す。この測定システムでは、ＤＵＴの両端に接続される信号経路に切替スイッチ１４を設け、これらスイッチ１４によってＤＵＴの向きを変更できるようになっている点を除き、その他の構成は図７と同様であるため、同一符号を付して重複説明を省略する。この実施形態では、切替スイッチ１４の切替によりＤＵＴの向きを変えて測定でき、フル２ポートの測定が可能となる。
【００４５】
−実験例−
ここで、反射測定における本発明の実験例を示す。ここでは、スカラ測定器としてＶＮＡ測定値の振幅情報のみを用いてスカラ測定値とすることにする。実際の測定系では、スカラ測定器は安価なパワーメータやパワーセンサを用いることが一般的であるが、本実験例では振幅情報のみからベクトル測定値が得られるという本発明の特徴を証明する為、同一の測定器を用いる。つまり、同じ測定器を用いる限り測定器の測定値の機差などはありえず、本発明が効果を奏すれば、振幅情報のみからＶＮＡの測定値と全く同じ測定値が得られるはずであるので、これをもって本発明の有効性を証明しようとするものである。
【００４６】
実験条件を以下に示す。本発明を用いた測定値と比較する測定値は、校正されたＶＮＡの測定値とする。
被検体：同軸コネクタ接続のＣＰＷ伝送路に表面実装デバイスを接続したもの
ベクトル測定器：E8364B(Agilent Technologies)
スカラ測定器：E8364B(Agilent Technologies)（測定値の振幅情報のみ）
周波数範囲：34GHz 〜42GHz 
データ数：801 点
IF帯域幅：100Hz （平均化処理無し）
カプラ：Kaバンド（26.5GHz 〜40GHz ）導波管10dBカプラ
方向性誤差：３つのオフセットショート（λg ＝０、1/6 、1/3 ＠38GHz ）
【００４７】
図９にベクトル測定器で測定した３８ＧＨｚにおける３つの方向性誤差の関係値（ＥDF1 、ＥDF2 、ＥDF3 ）を示す。図１０に方向性誤差が異なる３つの場合におけるＤＵＴスカラ測定値を示す。図１１、図１２は図９、図１０の測定値を数式８、数式９に代入し計算した後のＤＵＴの測定値（振幅）とベクトル測定値とを示す。図１２では３つのスカラ測定値から位相情報を含んだベクトル測定値が得られていることが示されている。
【００４８】
図１１、図１２の測定値は測定系の誤差も含んでいる。そのため、ベクトル誤差補正を行うために同様に本発明の測定系を用いて標準器の測定を行い、図１１図１２の測定値を補正してＤＵＴのベクトル測定値ΓD を算出した。図１３、図１４に本発明方法によるＤＵＴの測定値ΓD と校正されたＶＮＡを用いたＤＵＴの測定値ΓA とを比較したグラフを示す。図１３、図１４から明らかなように、両方の測定値はほとんど一致しており、本発明が正確なベクトル測定方法であることがわかる。
【好ましい実施形態５】
【００４９】
−スカラ測定器によって３つの方向性誤差の関係値を求める方法−
ここで、ＶＮＡを用いずにスカラ測定器によって３つの方向性誤差の関係値を求める方法について説明する。まず、それぞれ異なる反射係数を有する２種類のＤＵＴ（それぞれｍ，ｎ）を図１に示す測定装置に接続し、それぞれ３つの方向性誤差の状態において測定する。本手順では、３つの方向性誤差の相互関係がわかれば十分であり、位相や絶対位置は問題ではないので、簡単の為、仮に１つ目のＤＵＴ（ｍ）の１つ目の方向性誤差状態における測定値は位相が０°であるとする。この時の複素平面上での位置は、図１５のΓm1の様になる。これに対し、２つ目及び３つ目の方向性誤差状態における測定値の複素平面上での位置は例えば図１５のΓm2，Γm3の様になる。ここで、観測値はスカラ値であるから、これら点の実際の位置はわからず、ただ中心が原点で半径が｜Γm2｜，｜Γm3｜であるような円周上のどこかにこれら点が存在する筈であることのみがわかっているに過ぎない。そこで、仮にΓm1からこれら点への角度がθ1 ，θ2 であるとする。当然に、θ1 ，θ2 はこの時点では未知量である。
【００５０】
次に、２つ目のＤＵＴ（ｎ）の１つ目の方向性誤差状態における測定値Γn1が、Γm1に対して位相がφだけずれているとすると、図１５のようになる。さらに、Γn1に対して、Γn2，Γn3は、方向性誤差の相互関係は先の場合と同じであるから角度はθ1 ，θ2 のはずであり、かつ、それぞれは中心が原点で半径が｜Γn2｜，｜Γn3｜の円周（破線で示す）上にあるはずなのであるから、同図の通りそれぞれの位置が決定する。
【００５１】
さて、仮にθ1 ，θ2 ，φが正しく選ばれていれば、方向性誤差はＤＵＴによらず一定である以上、Γm1〜Γm3の作る三角形とΓn1〜Γn3の作る三角形は合同になる。そこで、これら三角形が合同になるように（実際には測定誤差などの影響があるため最も合同に近くなる様に) θ1 ，θ2 ，φを選択することで、３つの方向性誤差の関係値が求められる。
【００５２】
より具体的には、次の様になる。
（ｘ0,ｙ0 ）を通り、勾配がθの直線は、次式で与えられる。
sin θ（ｘ−ｘ0)−cos θ（ｙ−ｙ0)＝０
中心が原点で半径がｒである円は次式で与えられる。
ｘ2 ＋ｙ2 ＝ｒ2 
前記直線と円の交点（ｘ, ｙ) は次のとおりである。
ｘ＝ｘ0sin2 θ−ｙ0cosθ sinθ±cos θ√｛ｒ2 −（ｘ0 sin θ−ｙ0cosθ)2｝
ｙ＝ｙ0cos2 θ−ｘ0cosθ sinθ±sin θ√｛ｒ2 −（ｘ0 sin θ−ｙ0cosθ)2｝
【００５３】
まず、θ1 ，θ2 ，φに適当な値を仮定する。
Γm1の座標は、（｜Γm1｜，０）で与えられる。
Γm2の座標は、 (ｘ0,ｙ0)をΓm1の座標とし、半径ｒを｜Γm2｜とし、勾配θをθ1 として求められる。
Γm3の座標は、Γm2と同様に求められる。
Γn1の座標は、（｜Γn1｜cos φ，｜Γn1｜sin φ) で与えられる。
Γn2の座標は、Γm2と同様に求められる。
Γn3の座標は、Γm3と同様に求められる。
以上得られた座標から、以下の式により推定誤差Ｅを求める。
Ｅ＝｜Γn1−Γm1｜2 ＋｜Γn2−Γm2｜2 
【００５４】
適当な最適化アルゴリズムによりθ1 ，θ2 ，φを変化させ、前記Ｅが最小となるθ1 ，θ2 ，φを求める。こうして得られたθ1 ，θ2 ，φに対するΓm1，Γm2，Γm3を３つの方向性誤差の関係値とすればよい。なお、３つの方向性誤差の関係値を得た後に、通常の１ポート校正を行うことが必要である。
【００５５】
以上のようにＶＮＡを使用せずに、スカラ測定器だけで３つの方向性誤差の関係値を得ることができるので、何らかの原因で測定装置の状態が変わった場合等にも、ＶＮＡを使用せずに再度正しい３つの方向性誤差の関係値を得ることができる。つまり、本発明に係る測定装置を使用する量産工程自体で測定装置の校正を行えるため、異常発生時の復旧などが容易になる。また、そもそもＶＮＡが不要であるので、ＶＮＡを所有していない場合にもベクトル測定が実施できる。加えて、ＶＮＡが対応していないような高周波領域でもベクトル測定を実現できる利点もある。
【好ましい実施形態６】
【００５６】
図１６は重畳されるベクトル信号が２つの場合の反射測定系を示す。図１と同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
この実施形態の場合、重畳信号である方向性誤差成分が２つしかないため、基本的にはベクトル値が２つ導出され、ＤＵＴの反射信号のベクトル値を一意に求めることができない。しかし、量産における選別などでは、設計時及び開発時のＤＵＴの特性から推定して正しいと思われる方を選択することによって、ＤＵＴの反射信号のベクトル値を求めることが可能である。
【００５７】
図１６のような反射測定系の場合、２つの方法性誤差（ＥDF1 、ＥDF2 ）を切り替えて、スカラ測定器により測定されたＤＵＴの２つの電力値（｜Γm1｜、｜Γm2｜）は数式３および数式４と同様になる。これら電力値から、方向性誤差を取り除いたＤＵＴの反射信号のベクトル値は、数式１２〜１４に示すように、（ｘ1 ，ｙ1 ）、（ｘ2 ，ｙ2 ）の２つが導出される。
【数１２】
2007029495.tif 000013
【数１３】
2007029495.tif 000014
【数１４】
2007029495.tif 000015
【００５８】
この場合、各周波数点において、図１７に示すようにスミスチャート上には（ｘ1 ，ｙ1 ）、（ｘ2 ，ｙ2 ）の２つのベクトル測定値がプロットされることになる。量産においては、ほぼ同じ特性を持つ被検体の測定を行うのが通例である。その際、被検体の特性が既知であれば（シミュレーション値でもよい）、今回の測定系を用いても、被検体の２つのベクトル値から被検体と同種の既知特性に近いものを選択することで、被検体の特性を推定することができる。
【００５９】
ベクトル値の選択方法について、以下に説明する。
図１７において、測定した被検体と同じ特性を持ち、何らかの方法で値が既知である被検体の特性（ａ，ｂ）をプロットする。この例では明らかに（ｘ2 ，ｙ2 ）の方が既知特性（ａ，ｂ）に近いため、（ｘ2 ，ｙ2 ）の値が正しいと推定できるが、実際には以下のような比較処理を行うのがよい。すなわち、（ａ，ｂ）に対する（ｘ1 ，ｙ1 ）の距離ｄ1 と（ｘ2 ，ｙ2 ）の距離ｄ2 は、次式で表される。
【数１５】
2007029495.tif 000016
【数１６】
2007029495.tif 000017
ｄ1 とｄ2 とを比較し、値の小さい方のベクトル値、つまり（ａ，ｂ）に近い方が正しい測定値と推定することができる。
【００６０】
次に、数式１２〜１４を用いて実際にベクトル値の導出を行った実験結果を示す。実験条件は以下の通りであり、方向性誤差として２つのオフセットショートを用いた。
被検体試料：同軸コネクタ接続のＣＰＷ伝送路に表面実装デバイスを接続したもの
ベクトル測定器：E8364B(Agilent Technologies)
スカラ測定器：E8364B(Agilent Technologies)（測定値の振幅情報のみ）
周波数範囲：34GHz 〜42GHz 
データ数：801 点
IF帯域幅：100Hz （平均化処理無し）
カプラ：Kaバンド（26.5GHz 〜40GHz ）導波管10dBカプラ
方向性誤差：２つのオフセットショート（λg ＝０、1/6 ＠38GHz）
【００６１】
数式１２，１４及び数式１３，１４を用いて被検体試料の振幅およびベクトル値を導出した結果を、それぞれ図１８及び図１９に示す。図２０は、予め求められた既知の同種類の被検体試料の特性である。図１８，図１９のうち図２０に近い値を選択すれば、それが測定した被検体試料のベクトル値であると推定できる。今回は図２０に近い値は全て図１８の値、つまり数式１２，１４を用いて導出した値となっているため、図１８が被検体試料の振幅およびベクトル値であると推定できる。
【００６２】
前記説明では、２つの方向性誤差を切り替えてＤＵＴの反射係数を測定する例について説明したが、２つの漏洩誤差を切り替えてＤＵＴの伝達係数を測定することも可能である。その場合には、例えば図６における３つの漏洩誤差１２ａ〜１２ｃのうちの２つを用いればよい。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
従来のＶＮＡの構成を用いて反射波及び透過波のベクトル測定をする場合、周波数が高くなることにより測定システムの価格が著しく上昇しかつ高精度測定が困難となるが、本発明によれば、ほとんど周波数に依存しない基本的かつ安価な測定である電力測定によってベクトル測定が実施できる。すなわち、３つのスカラ測定値のみを用いて反射波及び透過波のベクトル測定が可能であるので、周波数が高くなっても電力測定が可能である限り、測定器価格の上昇を抑えつつ、高精度測定を実現するベクトル誤差補正が可能になるという効果が得られる。よって、従来のＶＮＡが高価なために特性選別工程のコストが増大するミリ波帯以上の高周波商品において、本発明を用いた高精度かつ安価な測定器に置き換えることにより、ベクトル測定に関する大幅なコストダウンが期待できる。また、多品種・少量生産の品種が多いミリ波帯以上の高周波商品においては、本発明による安価な測定器であれば商品ごとにこれを備えることが可能になるので、工程の段取換え等の工程の負担を少なくすることができる。測定系の微妙な調整が要求されるミリ波帯以上の測定工程においては、前記特徴は商品測定の精度・信頼性を確保する効果が大きい。
【図１】
2007029495.tif 000018
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【国際調査報告】
2007029495.tif 000038
2007029495.tif 000039