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【手続補正書】
【提出日】平成19年7月9日(2007.7.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板と、
前記ガラス基板上の単結晶シリコン薄膜でなる活性層と、
前記ガラス基板と前記活性層との間にある塩素を含む酸化シリコン膜と、
前記活性層を有する薄膜トランジスタと、
を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
ガラス基板と、
前記ガラス基板上の単結晶シリコン薄膜でなる活性層と、
前記ガラス基板と前記活性層との間にある、酸化窒化シリコン膜または窒化シリコン膜と、
前記活性層を有する薄膜トランジスタと、
を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
ガラス基板と、
前記ガラス基板上の単結晶シリコン薄膜でなる第１活性層及び第２活性層と、
前記ガラス基板と前記第１活性層及び前記第２活性層との間にある塩素を含む酸化シリコン膜と、
前記第１活性層を有するＮチャネル型薄膜トランジスタと、
前記第２活性層を有するＰチャネル型薄膜トランジスタと、
を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
ガラス基板と、
前記ガラス基板上の単結晶シリコン薄膜でなる第１活性層及び第２活性層と、
前記ガラス基板と前記第１活性層及び前記第２活性層との間にある、酸化窒化シリコン膜または窒化シリコン膜と、
前記第１活性層を有するＮチャネル型薄膜トランジスタと、
前記第２活性層を有するＰチャネル型薄膜トランジスタと、
を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
請求項１または請求項２において、前記薄膜トランジスタはゲート電極の側面にサイドウォールを有すること特徴とする半導体装置。
【請求項６】
請求項３または請求項４において、前記Ｎチャネル型薄膜トランジスタ及び前記Ｐチャネル型薄膜トランジスタは、それぞれゲート電極の側面にサイドウォールを有することを特徴とする半導体装置。
【請求項７】
請求項５において、前記活性層はチャネル形成領域、ソース領域、ドレイン領域、及び低濃度不純物領域を有し、前記低濃度不純物領域は前記サイドウォールの下部に設けられていることを特徴とする半導体装置。
【請求項８】
請求項６において、前記第１活性層及び前記第２活性層は、それぞれチャネル形成領域、ソース領域、ドレイン領域、及び低濃度不純物領域を有し、前記低濃度不純物領域は、それぞれ、前記Ｎチャネル型薄膜トランジスタの前記サイドウォールの下部または前記Ｐチャネル型薄膜トランジスタの前記サイドウォールの下部に設けられていることを特徴とする半導体装置。
【請求項９】
請求項１または請求項３において、前記塩素を含む酸化シリコン膜と前記活性層との間に酸化膜を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項１０】
請求項２または請求項４において、前記酸化窒化シリコン膜または前記窒化シリコン膜と前記活性層との間に酸化膜を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれか一において、前記薄膜トランジスタを用いて形成した画素マトリクス回路及び駆動回路が、前記ガラス基板上に一体形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項１１のいずれか一において、前記半導体装置は液晶表示装置またはアクティブマトリクス型ＥＬ表示装置であることを特徴とする半導体装置。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項１２のいずれか一において、前記ガラス基板は、アルミノケイ酸塩ガラス、ホウケイ酸塩ガラス、または、ＭｇＯ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系もしくはＡｌ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系の無アルカリガラスでなることを特徴とする半導体装置。
【請求項１４】
請求項１乃至請求項１３のいずれか一において、前記ガラス基板は歪点が７５０℃以上であることを特徴とする半導体装置。
【請求項１５】
請求項１乃至請求項１４のいずれか一において、前記単結晶シリコン薄膜は、単結晶シリコンでなるボンドウェハの一部が剥離したものであることを特徴とする半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月26日(2007.1.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
次に、図３及び図４を参照して第２実施形態を説明する。
図３及び図４の第２実施形態の燃焼装置では、図１及び図２の第１実施形態における容器１に対して、容器の断面が燃焼用空気流入部において絞られた容器１ａに置き換えた実施形態である。
すなわち筒状容器１ａは図４に示す上下方向の略中央において断面が不連続に変化する段付部１ａｄが形成され、その段付部１ａｄに燃焼用空気２０を容器１ａ内に流入させる空気流入部５が形成されている。
尚、図３及び図４において、符号１ａｔは容器１ａの閉鎖端部を示す。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
図１４、図１５は、第３実施形態を例示しているが、上述した作用は、第１、第２実施形態、及び以降説明する実施形態でも同様である。
また、構造上の利点としては、燃焼室が容器１ｂと下流の構造（２次筒６）に分割されているため、容器１ｂを容易に取り出すことが出来、従来例と比較して燃焼装置の分解、交換、整備がしやすく、整備性が向上する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
次に、図１７を参照して第５実施形態を説明する。図１７の第５実施形態は、図５、図６の第３実施形態の応用型、即ち、第３実施形態に対して、容器の閉鎖端部近傍において補助空気孔を形成した実施形態である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０９】
第３の実施形態に代えて、第１、第２、及び第６〜第１２実施形態をガスタービン燃焼装置に適用した場合についても、第１３実施形態の作用、効果が同様に実現出来る。また、その際、第１、第２、及び第６〜第１２実施形態夫々の作用、効果はそのまま発揮される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１２】
さらに１次燃焼領域１６の安定性が高いため、全空気流量に対する１次空気１７の流量比率を高めて、より希薄な1次燃焼として燃焼温度を低くすることが出来るため、さらにサーマルＮＯｘの生成を抑制出来る。
また、燃焼室が容器１ｃの閉鎖端部１ｃｔが曲面でドーム状に構成されていることにより、特に温度が高温になる用途において容器１ｃをセラミック等の耐熱材料で形成する場合、製作がより容易になり、コストダウンが可能となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２１】
上述してきた実施形態は、単筒型（缶型）燃焼器に関するものであったが、多くの種類があるアニュラ型（環状）燃焼装置の中には、従来その１次燃焼領域に、旋回により火炎を安定化した図３１に示す様な従来技術の燃焼装置を、1次燃焼領域として複数設置するタイプがある。
本発明の実施形態に係る燃焼装置も本質的な効果を保ったままアニュラ型（環状）燃焼装置の1次燃焼領域として適用出来る。
図３０を参照して、そのようなアニュラ型燃焼装置である第１７実施形態を説明する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２６】
セラミックス等の耐熱材料の使用が容易な燃焼装置の提供が実現する。また、分解、交換が容易になされるため、整備性に優れた燃焼装置の提供が実現する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３０】
セラミックス等の耐熱材料の使用が容易なガスタービン燃焼装置の提供が実現する。また、分解、交換が容易になされるため、整備性に優れたガスタービン燃焼装置の提供が実現する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３６】
１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ・・・容器
２、２ａ・・・旋回器
３、３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ・・・流入ケーシング
４、４ａ、４ｂ・・・燃料ノズル
５・・・空気流入部
６、６ｂ・・・２次筒
７・・・接続部材
８・・・３次筒
９・・・空気導入路
１０・・・旋回羽根
１１、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ、・・・整流板
１２・・・補助燃料ノズル
１４・・・空気孔
１５・・・２次旋回器
１６・・・１次燃焼領域
１７・・・１次空気
１８・・・２次及び希釈空気
１９・・・補助空気孔
２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ、２０ｅ・・・燃焼用空気
２１・・・燃料
２２、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ・・・燃焼ガス
２３、２３ａ、２３ｂ・・・燃料の航跡
２５・・・燃焼用空気と燃料との最初の衝突点
２６・・・燃焼用空気と燃料との２回目の衝突点（燃焼ガスと燃料との衝突点）
２７・・・環状火炎
２８・・・主火炎
２９・・・旋回器外筒
３０・・・旋回器内筒
３１・・・環状部材
３２・・・環状流入ケーシング
３３・・・２次環状容器
４１・・・内筒（仕切り筒）
４２・・・保炎板
４３・・・保炎板による逆流
４４・・・旋回流れによる中心逆流
４５・・・外筒
４６・・・燃焼室壁
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月12日(2007.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、電熱マットは、小根太と基材の間に設けられるとともに電気ヒーター線の上に重ねられ、かつ略電熱マットの全面に設けられる熱分散シートを有すると良い。熱分散シートは電気ヒーター線で発生した熱を分散する。さらに、電気ヒーター線の近傍に感熱線（センサー線）を沿わせて設けると良い。感熱線を設けることにより床板の温度を制御するとともに過熱を防止する。電気ヒーター線を基材に貼着する接着剤としては、たとえば酢酸ビニル系、酢酸ビニル・アクリル系、エチレン・酢酸ビニル系、アクリル・エチレン系、ウレタン系などを使用する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
小根太１１は、複数の細長状板として設けられる。小根太１１は、適宜の間隔を保って互いに平行に、かつその長手方向において千鳥状に設けられる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
制御装置３２は、電熱マット３に設けられた端子カバー１５にケーブル３４を介して接続される。制御装置３２には電力を供給する電源コード３６が設けられる。なお、電源コード３６は、このまま制御装置３２に接続されたまま用いられても良いが、電源コード３６に図示していないプラグを取り付けておき、この電源コード３６を電熱マット３の通電試験用として仮設的に使用し、通電試験が終了したときに、この電源コード３６を取り外し、制御装置３２と分電盤との間を電源配線しても良い。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
床下地板２６は、床板２１にかかる荷重を電熱マット３ないし周辺パネル１７を介して支える。床下地板２６の材料は、たとえば合板、木質板、木質繊維板（ＭＤＦなど）などの木質系を使用する。床下地板２６の厚みとしては、たとえば１２〜３０ｍｍの範囲から選定したものを使用する。さらに、床下地板２６を支える根太２８同士の間には断熱材３０として、たとえばポリスチレンフォームなどを設けると良い。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また、床下地板２６上のケーブル３４の敷設箇所は、周辺パネル１９ａと周辺パネル１９ｂとを離してケーブル３４が敷設できる隙間を設ける。さらに、各周辺パネル１９ａ〜１９ｇと周りの壁との間にも３ｍｍ程度の隙間を設ける。電熱マット３および周辺パネル１９ａ〜１９ｇを敷設した後、電熱マット３の通電試験を行い、電気ヒーター線が正常に機能することを確認する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
図５は、図４に続く床暖房装置の施工方法を示し、床板を電熱マットの上に敷設する基準線を示す斜視図である。床下地板２６上に電熱マット３および周辺パネル１９ａ〜１９ｇを敷設した後、床板２１（図１に表示）を張る。床板２１を張るためには、床板２１の割付けを行う。割付け方法は、先ず床板の長手方向に沿う雄実を合せるべき基準線３８を小根太１１の長手方向４０に直交する方向に引く。基準線３８は、電熱マットの端子カバー１５側の縁５から所定の距離Ｄ、たとえばＤ＝２３０±３５ｍｍとなるようにし、床板の幅３０３ｍｍより小さくする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月14日(2007.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を収容する内容器と、前記内容器を包囲する外装ケースと、前記内容器と前記外装ケースとが形成する空間に配置した断熱材とを備え、前記断熱材は少なくとも真空断熱材とシート状断熱材とからなり、前記内容器の側面と前記外装ケースの側面とが近接して空間間隔の狭い部位には、少なくとも真空断熱材が配置されている貯湯タンク。
【請求項２】
液体を収容する略円筒状の内容器と、前記内容器を包囲する略角筒状の外装ケースと、前記内容器と前記外装ケースとが形成する空間に配置した断熱材とを備え、前記断熱材は少なくとも真空断熱材とシート状断熱材とからなり、前記真空断熱材の継ぎ目部分が前記内容器の側面と前記外装ケースの側面角部とが形成する空間部に配置され、前記継ぎ目部分には少なくともシート状断熱材が配置された貯湯タンク。
【請求項３】
真空断熱材が、複数の真空断熱材からなる請求項１または２に記載の貯湯タンク。
【請求項４】
液体を収容する内容器と、前記内容器を包囲する外装ケースと、前記内容器と前記外装ケースとが形成する空間に配置した断熱材とを備え、前記断熱材は内容器を覆うように筒状に成形加工した真空断熱材とシート状断熱材とからなり、前記シート状断熱材は前記真空断熱材の継ぎ目部分を覆うように積層されている貯湯タンク。
【請求項５】
真空断熱材が、内容器の形状に沿うように成形加工された真空断熱材である請求項１から４のいずれか一項に記載の貯湯タンク。
【請求項６】
内容器と外装ケースとが形成する空間において、前記内容器の上方空間、或いは下方空間の少なくともいずれかにシート状断熱材を積層配置した請求項１から５のいずれか一項に記載の貯湯タンク。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項２に記載の発明は、液体を収容する略円筒状の内容器と、前記内容器を包囲する略角筒状の外装ケースと、前記内容器と前記外装ケースとが形成する空間に配置した断熱材とを備え、前記断熱材は少なくとも真空断熱材とシート状断熱材とからなり、前記真空断熱材の継ぎ目部分が前記内容器の側面と前記外装ケースの側面角部とが形成する空間部に配置され、前記継ぎ目部分には少なくともシート状断熱材が配置されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の貯湯タンクにおいて、前記真空断熱材が複数の真空断熱材からなるものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項４に記載の発明は、液体を収容する内容器と、前記内容器を包囲する外装ケースと、前記内容器と前記外装ケースとが形成する空間に配置した断熱材とを備え、前記断熱材は内容器を覆うように筒状に成形加工した真空断熱材とシート状断熱材とからなり、前記シート状断熱材は前記真空断熱材の継ぎ目部分を覆うように積層されているものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
これにより、真空断熱材を略内容器状に成形して適用する場合、その真空断熱材の端部をシート状断熱材と積層することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
したがって、継ぎ目部分からの漏洩熱量が大幅に的減できる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、シート状断熱材は、一般に柔軟性が高く、かつその圧縮量を任意にコントロールすることができる。そのため、真空断熱材とシート状断熱材とを積層して使用することで、内容器との密着性が高まり、より一層、漏洩熱量を低減することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、内容器の形状が複雑になったり、内容器に突起部が存在する様な場合にも、シート状断熱材により突起部を被覆するなどにより、真空断熱材を積層して使用することで、真空断熱材が適用できるようになる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
請求項５に記載の発明は、請求項１から４に記載のいずれか一項に記載の貯湯タンクにおいて、前記真空断熱材が、内容器の形状に沿うように成形加工された真空断熱材であるものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
これにより、真空断熱材を内容器に一層密着させることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
したがって、真空断熱材の使用量削減と漏洩熱量の低減が同時に実現できる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
また、一枚の真空断熱材を略内容器状に成形した場合、真空断熱材の継ぎ目部分が一箇所となるため、継ぎ目部分からの漏洩熱量がより低減する。また、略円筒状の前記内容器と、略角筒状の前記外装ケースとからなる貯湯タンクの場合には、前記真空断熱材の継ぎ目部分が前記内容器と前記外装ケースの側面角部とが形成する空間部に配置することで、継ぎ目部分には、厚みの熱いシート状断熱材を適用できることから、より一層、漏洩熱量が低減できる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月5日(2007.2.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁本体と、上記弁本体の上端部に設けられてダイアフラムの変位に応じて弁体を駆動するパワーエレメント部と、上記弁本体の下端部にその底面に向けて開口するように設けられた弁室内に配設されて、上記弁体の弁開度を調節するばねと、上記ばねの下端部を受けるとともに上記弁室の開口に挿入された状態で上記弁本体にカシメ加工部により固定される封止部材と、を備えていることを特徴とする膨張弁。
【請求項２】
上記弁室の開口端側の横幅が拡大して段付部を形成するとともに、上記封止部材は上記段付部に当接した状態で上記カシメ加工部により固定されることを特徴とする請求項１記載の膨張弁。
【請求項３】
上記封止部材における上記弁室側の角にテーパー面が形成されるとともに上記テーパー面が上記段付部の角に当接した状態で上記封止部材が上記カシメ加工部により固定されることを特徴とする請求項２記載の膨張弁。
【請求項４】
上記封止部材の外周部にシール部材が装着されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の膨張弁。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
本発明の膨張弁は、弁本体と、上記弁本体の上端部に設けられてダイアフラムの変位に応じて弁体を駆動するパワーエレメント部と、上記弁本体の下端部にその底面に向けて開口するように設けられた弁室内に配設されて、上記弁体の弁開度を調節するばねと、上記ばねの下端部を受けるとともに上記弁室の開口に挿入された状態で上記弁本体にカシメ加工部により固定される封止部材と、を備えていることを特徴とするものである。また、上記弁室の開口端側の横幅が拡大して段付部を形成するとともに、上記封止部材は上記段付部に当接した状態で上記カシメ加工部により固定されることを特徴とする。さらに、上記封止部材における上記弁室側の角にテーパー面が形成されるとともに上記テーパー面が上記段付部の角に当接した状態で上記封止部材が上記カシメ加工部により固定されることを特徴としたり、上記封止部材の外周部にシール部材が装着されていることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月22日(2007.1.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明によると、惰性走行条件を満たす場合にクラッチを断状態にすることにより、エンジン出力軸とトランスミッション入力軸間の動力伝達を解除する。こうして車両の惰性走行が行われることにより、車両の運動エネルギがエンジンブレーキによって消費されることを抑え、エンジンの燃料消費量を低減することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
そして本発明の要旨とするところであるが、コントロールユニット１０は少なくとも車速が所定値ａより高い惰性走行許可条件を満たすか否かを判定する許可条件判定手段と、この惰性走行許可条件を満たす場合にアクセルスイッチ８がＯＮになるとともにブレーキスイッチ９がＯＦＦになる惰性走行条件を判定する惰性走行条件判定手段と、この惰性走行条件にてクラッチ２を切り離すクラッチ切断手段とを備え、エンジン出力軸とトランスミッション入力軸間の動力伝達を解除して惰性走行が行われる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月28日(2006.12.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１２】
前記第７工程において投入する土砂として、前記第４工程において掘削され取り出されたケーシングパイプ内部の土砂を用いることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の底質泥土回収方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月9日(2006.12.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上端部に散水された熱媒体を均等に拡散させ下流域に向けて流下させる流下規正シートを用い、この流下規正シート上に散水されて流下する熱媒体により流下規正シート上に堆積した雪を溶解させる傾斜面の散水融雪方法において、時間タイマーまたは降雪検知器からの遅延出力に応答して、または手動操作により給湯配管の給湯開閉弁を開放し、給湯配管を通じて静水圧タンク内にほぼ摂氏３０度から８０度の温度帯域の熱水、好ましくは摂氏４０度から６０度の熱水を流入させる段階と、熱水が所定の水位に到達した時期に給水ポンプの駆動を開始し、給水管を通じ散水ヘッダに熱水を供給して流下規正シートの上流側に熱水を散水する段階と、流下規正シート上に均等に広がって流下する熱水により流下規正シート上に堆積した雪層を急速に溶解させる一方、静水圧タンク内の水位が下限に到達した時点で給水ポンプの駆動を停止する段階とを有し、給水ポンプの運転開始から停止までを単位サイクルとし、カウンタ手段によりサイクル数をカウントしながら、このサイクルを一回のみか、または繰り返して行ない、最後に静水圧タンク下部に設けた排水開閉弁を開閉して静水圧タンク内の残水の排水を行なう散水融雪方法。
【請求項２】
上端部に散水された熱媒体を均等に拡散させ下流域に向けて流下させる流下規正シートを用い、この流下規正シート上に散水されて流下する熱媒体により流下規正シート上に堆積した雪を溶解させる傾斜面の散水融雪方法において、時間タイマーまたは降雪検知器からの出力信号に応答して、または手動操作により給湯配管の給湯開閉弁を開放し、給湯配管を通じて静水圧タンク内にほぼ摂氏３０度から８０度の温度帯域の熱水、好ましくは摂氏４０度から６０度の熱水を流入させる段階と、熱水が所定の水位に到達した時期に給水ポンプの駆動を開始し、給水管を通じ散水ヘッダに熱水を供給して流下規正シートの上流側に熱水を散水する段階と、流下規正シート上に均等に広がって流下する熱水により流下規正シート上に堆積した雪層を急速に溶解させる一方、静水圧タンク内の水位が下限に到達した時点で給水ポンプの駆動を停止する段階と、給水ポンプの運転開始から停止までを単位サイクルとし、カウンタ手段によりサイクル数をカウントしながら、このサイクルを一回のみか、または繰り返して行ない、最後に静水圧タンク下部に設けた排水開閉弁を開放して静水圧タンク内の残水の排水を行なう段階とを有し、前記給水管は途中位置で複数の枝配管に分岐し、枝配管の各々は給水開閉弁を介して散水ヘッダに接続されていて、給水開閉弁の開閉操作により枝配管から給水ヘッダへの選択的な給水が行われる散水融雪方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】  しかし、ボイラーを使用する加温散水方式は雪の量の多少にかかわらず降雪が続けば灯油の使用量が累積してゆく。降雪量が少ないようであれば出湯温度を下げて灯油の使用量を節約する必要があり、雪の降り具合に合わせ人が湯温を調整するのが従来の方法であった。
降雪検知器を使用して漫然と自動運転した場合、特別豪雪地帯では高額な灯油代がかかる。雪の降り具合と外気温を考えに入れて制御に人が手を加えた場合には節約が可能であったが、人の介在する制御には相当な労力と熱意を必要としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】  出願人のした試験によると、屋根勾配１０：３．５のカラー屋根面を設営し、表面にシートを貼り付け、シート上縁に散水ヘッダを設置した。シートの流下距離は約３．８メートルとし、外気温マイナス３度、ウエットな質の雪が３０センチ積雪した時点で約５０度の熱水を１平米当たり４５０ｃｃ散水した。散水時間約３分で３０センチの雪層は消失した。したがって、１日の積雪量が３０センチ程度であれば、２４時間に１回程度の熱水散布により雪処理を行える。これに要する灯油量は１００平米辺り約２リットルである。前述した従来技術では、１日の降雪量が６０センチを越える大雪警報時にはボイラーは連続運転状態になることが多く、１日の灯油使用料は１２０平米の屋根で１００〜２００リットル前後は消費する。少量の熱水を均等に拡散させて移動させる流下規正シートは、積雪した雪を滑らせずその場所で融雪することができ、使用する油燃料も本件出願の発明者のしてきたリアルタイム散水方式のものに比べて理論上は（雪質がウエットであれば）１０分の１以下に節約できる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年9月18日(2007.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、Ｆｅイオン、Ｐｔイオン、錯化剤を含み、前記Ｆｅイオン濃度と前記Ｐｔイオン濃度のモル比（Ｆｅ／Ｐｔ）が０．７５≦Ｆｅ／Ｐｔ≦３であることを特徴とするめっき液。
【請求項２】
前記錯化剤が、酒石酸又はクエン酸のいずれかである請求項１記載のめっき液。
【請求項３】
前記Ｆｅイオン濃度が、０．００５ｍｏｌ／Ｌ以上で０．１ｍｏｌ／Ｌ以下である請求項１又は２のいずれか記載のめっき液。
【請求項４】
前記めっき液のｐＨが、５．０以上１０．５以下である請求項１から３のいずれか記載のめっき液。
【請求項５】
前記Ｆｅイオンと前記ＰｔイオンがＦｅ錯体及びＰｔ錯体の複錯体を形成している請求項１から４のいずれか記載のめっき液。
【請求項６】
前記めっき液にＣｕを含むことを特徴とする請求項１から５のいずれか記載のめっき液。
【請求項７】
構造体の製造方法であって、
請求項１から６のいずれか記載のめっき液がはいっためっき浴に電極とめっきされる基板とを用意する工程と、
前記電極に電圧を印加することによって、めっき液からＦｅＰｔを含む磁性体を前記基板にめっきし、構造体を形成する工程とを備える構造体の製造方法。
【請求項８】
請求項７記載の構造体をさらに、４５０℃以上７５０℃以下で熱処理を行うことを特徴とする構造体の製造方法。
【請求項９】
請求項７記載の構造体をさらに、水素存在下で熱処理を行うことを特徴とする構造体の製造方法。
【請求項１０】
前記めっきされる基板が、複数の穴を有する構造体であり、前記基板にめっきをし、構造体を形成する工程が、前記穴の中にＦｅＰｔを含む磁性体をめっきし、構造体を形成する工程である請求項７から９のいずれか記載の構造体の製造方法。
【請求項１１】
請求項１から５のいずれか記載のめっき液と前記めっき液を入れるめっき浴と電極とを備え、前記電極に電圧を印加することによりめっきを行うことを特徴とする装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月12日(2007.7.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
フッ素ゴムの加硫接着に用いられる(a′)成分のフェノール樹脂としては、(a)成分のそれと同様のものが用いられる。また、エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、含ブロモエポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等の内の少なくとも一種が、好ましくはビスフェノールA型エポキシ樹脂とフェノールノボラック型エポキシ樹脂の混合物が用いられる。これらのフェノール樹脂成分および／またはエポキシ樹脂成分は、接着剤中の固形分（あるいは樹脂分）を100とした場合、その50〜90重量％、好ましくは65〜85重量％となるように調整されて用いられる。これら両者が併用される場合には、これらの合計量がこのような固形分濃度(50〜90重量％)となるような割合で用いられる。また、(d)成分としてフッ素ゴム(コンパウンド)溶液が用いられた場合には、接着剤固形分中40〜80重量％、好ましくは50〜70重量％となるような固形分配合割合で用いられる。接着剤成分がこれより少ないと、接着力の低下を招くので好ましくない。実際には、市販品である油化シェル製品エピコート801等がビスフェノールA型エポキシ樹脂として、また同社製品エピコート152等がフェノールノボラック型エポキシ樹脂としてそれぞれ用いられる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
加硫接着剤組成物は、以上の各成分は配合した後、メタノール、エタノール、イソプロパノール等のアルコール系有機溶媒またはアセトン、メチルエチルケトン等のケトン系有機溶媒の約0.5〜10重量％、好ましくは約1〜4重量％、さらに好ましくは2〜3重量％の濃度の分散液として調製され、これを刷毛塗り法、浸漬法、スプレー法、噴霧法、ロールコータ法等任意の手段によって塗布し、室温または温風で乾燥させた後、約100〜250℃で約1〜20分間焼付処理され、金属板上に膜厚約0.1〜15μm、好ましくは約0.5〜6μm、さらに好ましくは約1〜6μm程度の接着剤層が形成される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
接着剤層が形成される金属板としては、ステンレス鋼、軟鋼、真鍮、アルミニウム、アルミニウムダイカスト等が用いられ、好ましくはSUS304、430、301、301H等のステンレス鋼板が用いられ、これは接着剤塗布前に、脱脂、アルカリ洗浄等の表面洗浄処理を施した後、クロメート処理以外の代替下処理方法、例えば鋼板上に酸性分と水分酸性シリカ、チタン化合物および水溶性の窒素含有置換基を有するビスフェノールAノボラック重合体からなる皮膜を形成する方法、ステンレス鋼板上にシリカ-アルミナ縮合体のプライマー層を形成する方法、ステンレス鋼板上にチタン化合物とフッ化物を含む有機-無機複合皮膜を形成する方法等やシランカップリング剤等のプライマー処理などが施された上で用いられる。
【特許文献２】特開平2003-105321号公報
【特許文献３】特開平2003-028307号公報
【特許文献４】特開平2002-264253号公報
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
作製されたニトリルゴム積層鋼板について、次のような評価方法を実施した。
耐水試験：異種金属間の電位差を考慮した浸せき試験として、ガラス製容器内に入れた95℃の0.1重量％炭酸水素ナトリウム水溶液中にそれぞれ7日間、ゴム金属積層板とアルミニウム板とを逆V字形で頂部が接するようにクリップなどで押さえながら浸せきし、その際頂部付近は液面より上部に位置するようにし、また接触部分のゴム金属積層板はゴム部分を削り取り、ステンレス鋼板部分がアルミニウム板とが直接接触するようにして浸せき試験を行った後、ゴバン目剥離試験(JIS K5600-5-6塗膜の付着性試験方法＝クロスカット法＝準拠)を実施
〔JIS K5600-5-6による試験結果の分類〕
(分類)                         ( 説              明 )                       
０ カットの縁が完全に滑らかで、どの格子の目にもはがれがない
１ カットの交差点における塗膜の小さなはがれ
クロスカット部分で影響を受けるのは、明確に5％を上回ることはない
２ 塗膜がカットの縁に沿って、および／または交差点においてはがれている
クロスカット部分で影響を受けるのは明確に5％を超えるが15％を上回るこ とはない
３ 塗膜がカットの縁に沿って、部分的または全面的に大はがれを生じており、 および／または目のいろいろな部分が、部分的または全面的にはがれている
クロスカット部分で影響を受けるのは、明確に15％を超えるが35％を上回る ことはない
４ 塗膜がカットの縁に沿って、部分的または全面的に大はがれを生じており、 および／または数か所の目が部分的または全面的にはがれている
クロスカット部分で影響を受けるのは、明確に35％を上回ることはない
５ 分類４でも分類できないはがれ程度のいずれか
耐LLC試験：ソフトメタルを耐圧容器中で、50重量％ロングライフクーラント水溶液中に120℃、14日間浸漬した後、ゴバン目剥離試験を実施
耐熱試験：ソフトメタルをオーブン中で200℃、3日間暴露した後、ゴバン目剥離試験を実施
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月26日(2007.3.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
硬化性樹脂（ａ）、繊維状無機充填剤（ｂ）を必須成分とし、平均粒径が５〜１００ｎｍの粉末状無機充填剤（ｃ）を繊維状無機充填剤（ｂ）の表面に付着させたプラスチック複合透明シート。
【請求項２】
プラスチック複合透明シートの全重量に対し、繊維状無機充填剤（ｂ）と粉末状無機充填剤（ｃ）の合計量が５０〜９５重量％を占めることを特徴とする請求項１記載のプラスチック複合透明シート。
【請求項３】
前記硬化性樹脂（ａ）と繊維状無機充填剤（ｂ）の屈折率の差が、０．０１以下である請求項１または２記載のプラスチック複合透明シート。
【請求項４】
波長５５０ｎｍにおける光線透過率が６０％以上である請求項１〜３いずれか記載の透明プラスチック複合透明シート。
【請求項５】
３０〜１５０℃の平均線膨張係数が２５ｐｐｍ以下である請求項１〜４いずれか記載のプラスチック複合透明シート。
【請求項６】
前記樹脂組成物のアッベ数が、４５以上である請求項１〜５いずれか記載のプラスチック複合透明シート。
【請求項７】
基板表面の最大表面粗さが２００ｎｍ以下である請求項１〜６いずれか記載のプラスチック複合透明シート。
【請求項８】
粉末状無機充填剤（ｃ）が、金属酸化物である請求項１〜７いずれか記載のプラスチック複合透明シート。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
すなわち本発明は
（１）  硬化性樹脂（ａ）、繊維状無機充填剤（ｂ）を必須成分とし、平均粒径が５〜１００ｎｍの粉末状無機充填剤（ｃ）を繊維状無機充填剤（ｂ）の表面に付着させたプラスチック複合透明シート。
（２）プラスチック複合透明シートの全重量に対し、繊維状無機充填剤（ｂ）と粉末状無機充填剤（ｃ）の合計量が５０〜９５重量％を占めることを特徴とする（１）のプラスチック複合透明シート。
（３）  前記硬化性樹脂（ａ）と繊維状無機充填剤（ｂ）の屈折率の差が、０．０１以下である（１）、（２）のプラスチック複合透明シート。
（４）  波長５５０ｎｍにおける光線透過率が６０％以上である（１）〜（３）の透明プラスチック複合透明シート。
（５）  ３０〜１５０℃の平均線膨張係数が２５ｐｐｍ以下である（１）〜（４）のプラスチック複合透明シート。
（６）  前記樹脂組成物のアッベ数が、４５以上である（１）〜（５）のプラスチック複合透明シート。
（７）  基板表面の最大表面粗さが２００ｎｍ以下である（１）〜（６）のプラスチック複合透明シート。
（８）  粉末状無機充填剤（ｃ）が、金属酸化物である（１）〜（７）のプラスチック複合透明シート。
である。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月30日(2007.1.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
さらに、３．０質量％以下のＭｏ、あるいは０．５質量％以下のＣｕの１種又は２種を含む請求項１に記載の固体酸化物型燃料電池セパレータ用フェライト系ステンレス鋼。
（以下余白）
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月31日(2007.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）（メタ）アクリル重合体、（Ｂ）有機リン化合物、トリアジン骨格含有化合物、膨張黒鉛及びポリフェニレンエーテルからなる群より選ばれるハロゲン不含難燃剤及び（Ｃ）水和金属化合物を含む組成物からなる熱伝導性シートであって、前記水和金属化合物は前記組成物の総体積の４０〜９０体積％を占める熱伝導性シート。
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月6日(2007.4.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  スキャナ光学系が、入力される画像信号に応じて変調された光ビームにより、複数の感光体の夫々に対して露光を行ない、カラー画像を形成可能なカラー画像形成装置であって、
画像形成時における画像の位置ずれを検出すべく、位置ずれ検出パターンを形成する第１形成手段と、
位置ずれ検出パターンを読み取る位置ずれ検出パターン検出手段と、
濃度検出パターンを形成する第２形成手段と、
前記位置ずれ検出パターン検出手段により前記濃度検出パターンを読み取ったときの出力を平均化することにより前記濃度検出パターンの濃度検知を行う濃度検知手段とを有することを特徴とするカラー画像形成装置。
【請求項２】  前記濃度検出パターンは最小単位のパターンを繰り返し並べて形成され、前記位置ずれ検出パターン検出手段は、１以上の前記最小単位のパターンからなる前記濃度検出パターンを読み取ることを特徴とする請求項１に記載のカラー画像形成装置。
【請求項３】  スキャナ光学系が、入力される画像信号に応じて変調された光ビームにより、複数の感光体の夫々に対して露光を行ない、カラー画像を形成可能なカラー画像形成装置であって、
画像形成時における画像の位置ずれを検出すべく、位置ずれ検出パターンを形成する第１形成手段と、
位置ずれ検出パターンを読み取る位置ずれ検出パターン検出手段と、
濃度検出パターンを形成する第２形成手段と、
最小単位を繰り返し並べた濃度検出パターンを前記位置ずれ検出パターン検出手段で読み取った結果を平均化することにより濃度検知を行う濃度検知手段とを有することを特徴とするカラー画像形成装置。
【請求項４】  前記位置ずれ検出パターン検出手段の前記濃度検出パターンの読み取り方向は搬送ベルトの移動方向であることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載のカラー画像形成装置。
【請求項５】  前記位置ずれ検出パターン検出手段の前記濃度検出パターンの読み取り方向はビーム走査方向であることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載のカラー画像形成装置。
【請求項６】  前記濃度検知手段は、位置ずれ検出パターン検出手段の読み取り結果をアナログ値からディジタル値へ変換する変換手段を有し、前記変換手段による変換後の出力を用い、前記位置ずれ検出パターン検出手段の読み取り結果を平均化し濃度を検知することを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載のカラー画像形成装置。
【請求項７】  スキャナ光学系が、入力される画像信号に応じて変調された光ビームにより、複数の感光体の夫々に対して露光を行ない、カラー画像を形成可能なカラー画像形成装置であって、
画像形成時における画像の位置ずれを検出すべく、位置ずれ検出パターンを形成する第１形成手段と、
位置ずれ検出パターンを読み取る位置ずれ検出パターン検出手段と、
濃度検出パターンを形成する第２形成手段と、
前記濃度検出パターンを前記位置ずれ検出パターン検出手段で読み取った結果を入力するローパスフィルタ手段と、
前記ローパスフィルタ手段からの出力に基づき濃度検知を行う濃度検知手段とを有することを特徴とするカラー画像形成装置。
【請求項８】  前記濃度検出パターンは最小単位のパターンを繰り返し並べて形成され、前記濃度検知手段は、前記最小単位のパターンを前記位置ずれ検出パターン検出手段が走査する時間よりも長い時定数を持つローパスフィルタからの出力に基づき濃度検知を行うことを特徴とする請求項７に記載のカラー画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、スキャナ光学系が、入力される画像信号に応じて変調された光ビームにより、複数の感光体の夫々に対して露光を行ない、カラー画像を形成可能なカラー画像形成装置であって、画像形成時における画像の位置ずれを検出すべく、位置ずれ検出パターンを形成する第１形成手段と、位置ずれ検出パターンを読み取る位置ずれ検出パターン検出手段と、濃度検出パターンを形成する第２形成手段と、前記位置ずれ検出パターン検出手段により前記濃度検出パターンを読み取ったときの出力を平均化することにより前記濃度検出パターンの濃度検知を行う濃度検知手段とを有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
又、本発明は、スキャナ光学系が、入力される画像信号に応じて変調された光ビームにより、複数の感光体の夫々に対して露光を行ない、カラー画像を形成可能なカラー画像形成装置であって、画像形成時における画像の位置ずれを検出すべく、位置ずれ検出パターンを形成する第１形成手段と、位置ずれ検出パターンを読み取る位置ずれ検出パターン検出手段と、濃度検出パターンを形成する第２形成手段と、最小単位を繰り返し並べた濃度検出パターンを前記位置ずれ検出パターン検出手段で読み取った結果を平均化することにより濃度検知を行う濃度検知手段とを有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
更に、本発明は、スキャナ光学系が、入力される画像信号に応じて変調された光ビームにより、複数の感光体の夫々に対して露光を行ない、カラー画像を形成可能なカラー画像形成装置であって、画像形成時における画像の位置ずれを検出すべく、位置ずれ検出パターンを形成する第１形成手段と、位置ずれ検出パターンを読み取る位置ずれ検出パターン検出手段と、濃度検出パターンを形成する第２形成手段と、前記濃度検出パターンを前記位置ずれ検出パターン検出手段で読み取った結果を入力するローパスフィルタ手段と、前記ローパスフィルタ手段からの出力に基づき濃度検知を行う濃度検知手段とを有することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
ここで、濃検パターンの最小単位の整数倍の長さの出力を平均化するのは、主走査方向の測定位置による差が出ないようにするためである。例えば、３／４最小単位の長さの出力を平均化した場合、（ａ）測定した３／４最小単位にドットが形成されていない点が含まれていないときと、（ｂ）測定した３／４最小単位にドットが形成されていない点が含まれているときとで出力結果が異なる。（ｂ）よりも（ａ）の方が濃度が濃いと判断されてしまう。これに対して、最小単位の整数倍の長さを位置ずれ検出センサ６で走査したときの出力を平均するときには、濃検パターンの濃度に対応した出力が得られることになる。即ち、濃検パターンが位置ずれにより多少位置がずれても、濃検パターンの最小単位の整数倍の長さに当たる出力を平均化することによって、濃検パターンの濃度を正確に検出することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、濃度検知において、センサの数を減らし、装置の小型化や低コスト化を図ることができるという効果が得られる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年9月26日(2007.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に対向する一対の主面を有するガラス基板と、前記ガラス基板を貫通して一方の主面側で露出した固定電極を有すると共に、前記ガラス基板を貫通して前記一方の主面側で露出した突出部を有する第１シリコン基板と、前記ガラス基板の一方の主面上に接合されており、前記第固定電極との間でキャビティを形成するように対向して配置された可動電極を有する第２シリコン基板と、を具備し、前記突出部上に前記固定電極用の引き出し電極が形成され、前記第１シリコン基板は、前記固定電極の外側に前記突出部が位置し、前記固定電極と前記突出部とで構成される溝部内に前記ガラス基板が配置され、前記キャビティを形成するガラス基板の凹部が前記固定電極の外側で前記固定電極よりリセスしていることを特徴とする静電容量型圧力センサ。
【請求項２】
前記ガラス基板と前記第１及び第２シリコンとの界面においてＳｉ−Ｓｉ結合又はＳｉ−Ｏ結合を有することを特徴とする請求項１に記載の静電容量型圧力センサ。
【請求項３】
第１シリコン基板を準備し、前記第１シリコン基板の一方の主面をエッチングして、固定電極及び突出部を形成する工程と、前記固定電極及び前記突出部を形成した前記第１シリコン基板上にガラス基板を置き、真空下で、前記第１シリコン基板及び前記ガラス基板を加熱し、前記第１シリコン基板を前記ガラス基板に押圧して前記固定電極及び前記突出部を前記ガラス基板の主面に押し込んで前記第１シリコン基板と前記ガラス基板とを接合する工程と、前記ガラス基板の主面側を研磨処理して、前記第１シリコン基板の前記固定電極及び前記突出部を露出させ、前記ガラス基板及び前記固定電極をミリング加工してキャビティ用の凹部を形成する工程と、前記固定電極の外側をミリング加工してリセスを形成する工程と、前記第１シリコン基板の前記突出部上に、前記固定電極用の引き出し電極を形成する工程と、感圧ダイヤフラムが前記固定電極と所定の間隔をおいて位置するようにして所定の厚さに形成した第２シリコン基板を、前記ガラス基板の接合面上に陽極接合処理により接合する工程と、を具備することを特徴とする静電容量型圧力センサの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の静電容量型圧力センサは、相互に対向する一対の主面を有するガラス基板と、前記ガラス基板を貫通して一方の主面側で露出した固定電極を有すると共に、前記ガラス基板を貫通して前記一方の主面側で露出した突出部を有する第１シリコン基板と、前記ガラス基板の一方の主面上に接合されており、前記第固定電極との間でキャビティを形成するように対向して配置された可動電極を有する第２シリコン基板と、を具備し、前記突出部上に前記固定電極用の引き出し電極が形成され、前記第１シリコン基板は、前記固定電極の外側に前記突出部が位置し、前記固定電極と前記突出部とで構成される溝部内に前記ガラス基板が配置され、前記キャビティを形成するガラス基板の凹部が前記固定電極の外側で前記固定電極よりリセスしていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の静電容量型圧力センサにおいては、前記ガラス基板と前記第１及び第２シリコンとの界面においてＳｉ−Ｓｉ結合又はＳｉ−Ｏ結合を有することが好ましい。この構成によれば、ガラス基板とシリコンとの界面においてＳｉ−Ｓｉ結合又はＳｉ−Ｏ結合を有するので、ガラスとシリコンとが強固に接合されて、両者間の密着性が向上し、キャビティの気密性が向上する。また、本発明の静電容量型圧力センサの製造方法は、第１シリコン基板を準備し、前記第１シリコン基板の一方の主面をエッチングして、固定電極及び突出部を形成する工程と、前記固定電極及び前記突出部を形成した前記第１シリコン基板上にガラス基板を置き、真空下で、前記第１シリコン基板及び前記ガラス基板を加熱し、前記第１シリコン基板を前記ガラス基板に押圧して前記固定電極及び前記突出部を前記ガラス基板の主面に押し込んで前記第１シリコン基板と前記ガラス基板とを接合する工程と、前記ガラス基板の主面側を研磨処理して、前記第１シリコン基板の前記固定電極及び前記突出部を露出させ、前記ガラス基板及び前記固定電極をミリング加工してキャビティ用の凹部を形成する工程と、前記固定電極の外側をミリング加工してリセスを形成する工程と、前記第１シリコン基板の前記突出部上に、前記固定電極用の引き出し電極を形成する工程と、感圧ダイヤフラムが前記固定電極と所定の間隔をおいて位置するようにして所定の厚さに形成した第２シリコン基板を、前記ガラス基板の接合面上に陽極接合処理により接合する工程と、を具備することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年11月6日(2007.11.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
自車位置近傍から案内点に至る経路上にオブジェクトを表示するナビゲーション装置であって、自車位置と案内点との間の経路上の任意の位置における前記オブジェクトの表示態様を案内点から前記任意の位置までの距離に応じて設定するオブジェクト表示制御部を備えることを特徴とするナビゲーション装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年6月27日(2007.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】表示装置の作製方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に第１の電極を形成し、
前記第１の電極上に発光材料を含む層を形成し、
前記発光材料を含む層上に第２の電極を形成し、
大気中の水分が固体の状態で、前記第１の電極、前記発光材料を含む層および前記第２の電極を有する発光素子に逆方向電圧を印加して、前記第１の電極と前記第２の電極の短絡部を絶縁化することを特徴とする表示装置の作製方法。
【請求項２】
基板上に第１の電極を形成し、
前記第１の電極上に発光材料を含む層を形成し、
前記発光材料を含む層上に第２の電極を形成し、
不活性気体の雰囲気下で、前記第１の電極、前記発光材料を含む層および前記第２の電極を有する発光素子に加熱処理を行い、
大気中の水分が固体の状態で、前記発光素子に逆方向電圧を印加して、前記第１の電極と前記第２の電極の短絡部を絶縁化することを特徴とする表示装置の作製方法。
【請求項３】
基板上に第１の電極を形成し、
前記第１の電極上に発光材料を含む層を形成し、
前記発光材料を含む層上に第２の電極を形成し、
不活性気体の雰囲気下で、前記第１の電極、前記発光材料を含む層および前記第２の電極を有する発光素子に第１の加熱処理を行い、
大気中の水分が固体の状態で、前記発光素子に逆方向電圧を印加して、前記第１の電極と前記第２の電極の短絡部を絶縁化し、
不活性気体の雰囲気下で、前記発光素子に第２の加熱処理を行うことを特徴とする表示装置の作製方法。
【請求項４】
請求項２において、
前記加熱処理は、１００度以上の温度で行うことを特徴とする表示装置の作製方法。
【請求項５】
請求項３において、
前記第１の加熱処理と前記第２の加熱処理は、１００度以上の温度で行うことを特徴とする表示装置の作製方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、
大気中の水分が固体の状態とは、−４０度乃至８度の温度の状態であることを特徴とする表示装置の作製方法。
【請求項７】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、
大気中の水分が固体の状態とは、−２５度乃至８度の温度の状態であることを特徴とする表示装置の作製方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年9月19日(2007.9.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
カソード及びアノードは、挿入部又はフレームとも呼ばれる真空容器内部に位置している。フレームは典型的には、絶縁油のような循環冷却流体で充填されているハウジングに封入されている。冷却流体はしばしば、二つの目的を果たす。すなわち、真空容器を冷却すること、及びアノードとカソードとの間に高電圧絶縁を設けることである。
【特許文献１】米国特許第６４８７２７３号