【手続補正書】
【提出日】平成20年9月26日(2008.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面上の異常を検出するための表面検査方法であって、
輻射のビームと前記表面との間に相対運動を生じさせるステップと、
前記表面から散乱した輻射を集め、その集められた輻射を１つ以上のチャネルに向けるステップと、
前記チャネルのうちの少なくとも１つにより導かれた集められた輻射を各々の信号に変換するステップと、
前記信号から前記表面の中または上の潜在的異常の存在を判定するステップと、
潜在的異常を有すると判定された前記表面の場所から散乱した輻射から変換された前記信号中の情報と、前記場所に隣接していて潜在的異常を有すると判定されていない前記表面の部分から散乱した輻射から変換された前記信号中の情報とを格納するステップと、
前記集めるステップおよび前記変換するステップの前に領域の寸法を指定するステップと、を含み、前記格納するステップは、少なくとも、前記表面上にある前記指定された寸法の１つ以上の領域の中にあるいろいろなピクセルから散乱した輻射から変換された信号中の情報を格納し、前記領域の各々は、前記表面上の潜在的異常が存在すると判定された場所を含み、
前記表面上の部分から散乱した輻射から変換された信号中の格納された情報を、前記表面上の潜在的異常が存在すると判定された場所を各々含む前記領域のいずれの中にも前記部分がないときに限って、消去するステップと、
を含む方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法において、
前記指定するステップは、距離を設定するステップを含み、前記格納するステップは、少なくとも、前記表面上にある前記表面上の潜在的異常が存在すると判定された場所から前記距離の中にあるいろいろなピクセルから散乱した輻射から変換された信号中の情報を格納する方法。
【請求項３】
請求項１記載の方法において、
前記格納するステップは、少なくとも、前記表面の潜在的に異常があるとは判定されていない部分の画像を格納する方法。
【請求項４】
請求項１記載の方法において、
前記判定するステップは、前記信号の強度を少なくとも１つのしきい値と比較することによって前記表面の中または上の潜在的異常の存在を識別し、前記格納するステップは、前記表面の、前記信号の強度が前記少なくとも１つのしきい値より大きくない少なくとも１つの部分から集められた前記信号中の情報を格納する方法。
【請求項５】
表面上の異常を検出するための表面検査方法であって、
輻射のビームと前記表面との間に相対運動を生じさせるステップと、
前記表面から散乱した輻射を集め、その集められた輻射を１つ以上のチャネルに向けるステップと、
前記チャネルのうちの少なくとも１つにより導かれた集められた輻射を各々の信号に変換するステップと、
前記信号から前記表面の中または上の潜在的異常の存在を判定するステップと、
潜在的異常を有すると判定された前記表面の場所から散乱した輻射から変換された前記信号中の情報と、前記場所に隣接していて潜在的異常を有すると判定されていない前記表面の部分から散乱した輻射から変換された前記信号中の情報とを格納するステップと、
前記表面の、輻射のビームにより存在すると判定された潜在的異常の部分およびそれに隣接する部分を再走査するステップと、
前記再走査中に前記表面の前記部分から散乱した輻射を集め、その集められた輻射を前記チャネルのグループのうちの各チャネルに向けるステップであって、前記グループ中のチャネルの数が潜在的異常の存在を判定するために前に使われたチャネルの数より多い、ステップと、
チャネルの前記グループにおいて導かれた輻射から変換された信号から前記表面の中または上の潜在的異常の存在を確認または度外視するステップと、
を含む方法。
【請求項６】
表面上の異常を検出するための表面検査方法であって、
輻射のビームと前記表面との間に相対運動を生じさせるステップと、
前記表面から散乱した輻射を集め、その集められた輻射を１つ以上のチャネルに向けるステップと、
前記チャネルのうちの少なくとも１つにより導かれた集められた輻射を各々の信号に変換するステップと、
前記信号から前記表面の中または上の潜在的異常の存在を判定するステップと、
潜在的異常を有すると判定された前記表面の場所から散乱した輻射から変換された前記信号中の情報と、前記場所に隣接していて潜在的異常を有すると判定されていない前記表面の部分から散乱した輻射から変換された前記信号中の情報とを格納するステップと、を含み、
前記生じさせるステップは、前記ビームが螺旋状経路に沿って実質的に前記表面全体を走査するように輻射のビームと前記表面との間に相対的回転および並進運動を生じさせる方法。
【請求項７】
請求項１記載の方法において、
前記生じさせるステップは、前記ビームが実質的に前記表面全体を走査するように輻射のビームと前記表面との間に互いに横断する２つの方向に沿う相対的並進運動を生じさせる方法。
【請求項８】
請求項１記載の方法において、
前記格納された情報を検索し、前記表面の１つ以上の潜在的異常が存在すると判定された部分におけるピクセルのマップを設けるステップをさらに含み、前記部分の中の前記ピクセルは、潜在的異常の存在が存在すると判定されていない場所に存するものを含む方法。
【請求項９】
請求項８記載の方法において、
前記マップは、前記表面を再走査することなく設けられる方法。
【請求項１０】
請求項１記載の方法において、
前記集めるステップは、前記表面からいろいろな仰角においてまたは前記表面に垂直な線またはそれに対応する方向の回りのいろいろな方位角において前記表面から散乱した輻射を、前記表面からの相対的仰角位置または前記線または回りの集められた輻射の方位角位置に関連する情報が保存されるように、集め、前記向けるステップは、前記表面により散乱した輻射を複数のいろいろなチャネルに、前記チャネルのうちの少なくとも幾つかがいろいろな仰角においてまたは前記線に関していろいろな方位角において散乱した輻射を導くように、向け、前記変換するステップは、前記チャネルのうちの前記少なくとも幾つかにより導かれた前記集められた輻射を各々の信号に変換し、前記判定するステップは前記各々の信号から前記表面の中または上の潜在的異常の存在を判定する方法。
【請求項１１】
請求項１０記載の方法において、
前記格納された情報を検索し、前記表面の１つ以上の潜在的異常が存在すると判定された部分におけるピクセルの複数のマップを設けるステップをさらに含み、前記マップの各々は前記線の回りの１つの対応する方位角および／または前記表面からの仰角において前記表面の前記部分から散乱した前記集められた輻射に関連する情報を含む方法。
【請求項１２】
請求項１０記載の方法において、
前記表面はその上にパターンを有し、前記判定するステップは、対応するチャネルで導かれた前記集められた輻射に応答して出力信号を提供する検出器により判定を行い、所定しきい値より高い検出器の出力信号を用いずに潜在的異常の存在を判定する方法。
【請求項１３】
請求項１０記載の方法において、
前記判定するステップは、対応するチャネルで導かれた前記集められた輻射に応答して出力信号を提供する検出器により判定を行い、前記判定するステップは、前記表面の同じ場所から前記チャネルで導かれた前記集められた輻射に応答して提供された前記検出器出力信号のうちの少なくとも幾つかのものの加重平均、中央値または最小値から前記表面の中または上の潜在的異常の存在を判定する方法。
【請求項１４】
請求項１３記載の方法において、
前記格納するステップは、前記表面の潜在的異常を有すると判定された場所から散乱した前記チャネルで導かれた前記集められた輻射に応答して提供された前記検出器出力信号の前記加重平均、中央値または最小値に関連する情報と、前記表面の、潜在的異常を有していないと判定された、前記場所に隣接する部分から散乱した前記チャネルで導かれた前記集められた輻射に応答して提供された前記検出器出力信号の前記加重平均、中央値または最小値に関連する情報とを格納する方法。
【請求項１５】
請求項１記載の方法において、
前記集めるステップは、前記表面が前記ビームによって走査されるとき、前記表面に垂直な線の回りにまたはそれに対応する方向の回りにいろいろな方位角で前記表面から散乱した輻射を、前記線の回りにおける前記集められた輻射の相対的方位角位置に関連する情報が保存されるように、集め、前記向けるステップは、前記表面により散乱した輻射を複数のいろいろなチャネルに、前記チャネルのうちの少なくとも幾つかが前記線に関していろいろな方位角に散乱した輻射を導くように、向け、前記変換するステップは前記チャネルのうちの前記少なくとも幾つかのものにより導かれた前記集められた輻射を各々の信号に変換し、前記判定するステップは、前記表面の中または上の潜在的異常の存在を前記各々の信号から判定する方法。
【請求項１６】
請求項１５記載の方法において、
前記表面の部分から前記線の回りの第１の対応する方位角において散乱した集められた輻射から変換された１つの信号からの格納された情報が、前記表面の同じ部分から前記第１の対応する方位角とは異なる前記線の回りの第２の対応する方位角において散乱した集められた輻射から変換された他の信号からの格納された情報から区別され得るように、前記格納するステップは前記各々の信号からの情報を格納する方法。
【請求項１７】
請求項１５記載の方法において、
前記集め、その集められた輻射をチャネルに向けるステップは、前記線または前記方向の回りに実質的に対称的に散乱した輻射を集める集光器による方法。
【請求項１８】
請求項１記載の方法において、
前記向けるステップは、前記集められた輻射を前記チャネルとして作用する光ファイバに少なくとも１つの対物レンズによって収束させることを含む方法。
【請求項１９】
請求項１８記載の方法において、
前記向けるステップは、前記集められた輻射の部分をいろいろな方位角において反射集光器から前記チャネルの方に反射させるステップを含む方法。
【請求項２０】
第１および第２表面の上の異常を検出するための表面検査方法であって、
（ａ）前記第１および第２表面を輻射の１つ以上のビームにより走査させるステップと、
（ｂ）前記第１表面から散乱した輻射を集光光学系によって集め、前記集められた輻射を１つ以上のチャネルの第１セットに向け、前記チャネルのうちの少なくとも１つにより導かれた前記集められた輻射を信号に変換するステップと、
（ｃ）前記第２表面から散乱した輻射を集光光学系によって集め、前記集められた輻射を１つ以上のチャネルの第２セットに向け、前記チャネルのうちの少なくとも１つにより導かれた前記集められた輻射を信号に変換するステップと、
（ｄ）前記第１表面の少なくとも一部分から散乱した輻射から変換された第１信号と、前記第２表面の少なくとも一部分から散乱した輻射から変換された第２信号とを識別するべく前記２つの表面からの前記集められた輻射の変換からの前記信号を処理するステップであって、前記２つの表面の前記２つの部分は前記第１および第２表面上で実質的に同じ相対的場所を有し、前記ビームおよび集めるステップは、前記２つの部分が前記ビームと各々それから散乱した輻射を集める前記集光光学系とに関して実質的に同じ相対的方位角を有するようなビームおよび集めるステップである、ステップと、
（ｅ）前記第１および／または前記第２表面の前記部分の中または上の潜在的異常の存在を前記第１および第２信号から判定するステップと、
を含む方法。
【請求項２１】
請求項２０記載の方法において、
前記処理するステップは、前記第１表面上の位置合せマークに関して前記第１表面から散乱した集められた輻射から変換された前記信号を記録するステップと、前記第２表面上の位置合せマークに関して前記第２表面から散乱した集められた輻射から変換された前記信号を記録するステップと、前記記録された信号から前記第１および第２信号を見出すステップとを含む方法。
【請求項２２】
請求項２０記載の方法において、
前記判定するステップは、前記第１および第２信号を比較するステップを含む方法。
【請求項２３】
請求項２２記載の方法において、
前記処理するステップは、前記第１および／または第２信号を１つ以上のしきい値と比較するステップを含み、前記第１および第２信号の前記比較は、前記第１および／または第２信号の前記１つ以上のしきい値との前記比較の前に行われる方法。
【請求項２４】
請求項２２記載の方法において、
前記第１および／または第２信号からの情報を格納するステップをさらに含む方法。
【請求項２５】
請求項２４記載の方法において、
前記第１および第２信号の差がしきい値より小さいときに限って前記第１および／または第２信号からの情報を格納するステップをさらに含む方法。
【請求項２６】
請求項２２記載の方法において、
前記処理するステップは、前記第１および／または第２信号を１つ以上のしきい値と比較するステップを含み、前記第１および第２信号の前記比較は、前記第１および／または第２信号の前記１つ以上のしきい値との前記比較の後に行われる方法。
【請求項２７】
請求項２０記載の方法において、
前記判定するステップは、前記第１および第２信号の差を計算するステップを含む方法。
【請求項２８】
請求項２０記載の方法において、
前記第１表面の潜在的異常を有すると判定された場所から散乱した輻射から変換された前記信号中の情報と、前記第１表面の、前記場所に隣接していて潜在的異常を有するとは判定されなかった部分から散乱した輻射から変換された前記信号中の情報とを格納するステップと、前記第２表面の潜在的異常を有すると判定された場所から散乱した輻射から変換された前記信号中の情報と、前記第２表面の、前記場所に隣接していて潜在的異常を有するとは判定されなかった部分から散乱した輻射から変換された前記信号中の情報とを格納するステップとをさらに含む方法。
【請求項２９】
請求項２８記載の方法において、
（ｂ）および（ｃ）における前記集めるステップおよび前記変換するステップの前に領域の寸法を指定するステップをさらに含み、前記格納するステップは、少なくとも、前記第１または第２表面上にある前記指定された寸法の１つ以上の領域の中にあるいろいろなピクセルから散乱した輻射から変換された信号中の情報を格納し、前記領域の各々は、前記第１または第２表面上の潜在的異常が存在すると判定された場所を含む方法。
【請求項３０】
請求項２９記載の方法において、
前記格納するステップは、前記第１および／または第２表面の前記領域内の場所から散乱した輻射から変換された前記信号中の情報をメモリに格納し、前記方法は、前記指定された寸法の前記１つ以上の領域内に潜在的異常が存在しないと判定されたときに限って前記第１または表面上のピクセルから散乱した輻射から変換された信号中の格納された前記情報を消去するステップをさらに含む方法。
【請求項３１】
請求項２８記載の方法において、
（ｂ）および（ｃ）における前記集めるステップおよび前記変換するステップの前に距離を設定するステップをさらに含み、前記格納するステップは、少なくとも、前記第１または第２表面上にある前記表面上の潜在的異常が存在すると判定された場所から前記距離の中にあるいろいろなピクセルから散乱した輻射から変換された信号中の情報を格納する方法。
【請求項３２】
請求項２０記載の方法において、
（ｂ）における前記集めるステップは、前記第１表面が前記ビームによって走査されるとき、前記第１表面からの相対的仰角位置に関連しまたは第１の線または回りの前記集められた輻射の方位角位置における情報が保存され、且つ前記第１表面により前記第１表面からいろいろな仰角位置においてまたは前記第１の線に関していろいろな方位角において散乱した輻射がいろいろなチャネルに沿って伝えられるように、前記第１表面から散乱した輻射を集めて、その集められた輻射を前記第１表面からのいろいろな仰角においてまたは前記第１表面に垂直な第１の線の回りのまたはそれに対応する方向の回りのいろいろな方位角において前記第１セット中のチャネルに向け、（ｃ）における前記集めるステップは、前記第２表面が前記ビームによって走査されるとき、前記第２表面からの相対的仰角位置に関連しまたは第２の線または回りの前記集められた輻射の方位角位置における情報が保存され、且つ前記第２表面により前記第２表面からいろいろな仰角位置においてまたは前記第２の線に関していろいろな方位角において散乱した輻射がいろいろなチャネルに沿って伝えられるように、前記第２表面から散乱した輻射を集めて、その集められた輻射を前記第２表面からのいろいろな仰角においてまたは前記第２表面に垂直な第２の線の回りのまたはそれに対応する方向の回りのいろいろな方位角において前記第２セット中のチャネルに向ける方法。
【請求項３３】
請求項３２記載の方法において、
前記第１表面はその上に第１パターンを有し、前記第２表面は前記第１パターンと実質的に同じ第２パターンを有し、前記判定するステップは、前記第１および第２セット中の対応するチャネルで導かれた前記集められた輻射に応答して出力信号を提供する検出器により判定を行い、所定しきい値より高い検出器の出力信号を用いずに潜在的異常の存在を判定する方法。
【請求項３４】
請求項３２記載の方法において、
前記第１表面はその上に第１パターンを有し、前記第２表面は前記第１パターンと実質的に同じ第２パターンを有し、前記判定するステップは、前記第１および第２セット中の対応するチャネルで導かれた前記集められた輻射に応答して出力信号を提供する検出器により判定を行い、前記第１表面の前記少なくとも１つの部分の同じ場所から散乱した前記集められた輻射に応答して提供された前記検出器出力信号の第１加重平均、最小値または中央値から前記第１表面の中または上の潜在的異常の存在を判定し、前記第２表面の前記少なくとも１つの部分の同じ場所から散乱した前記集められた輻射に応答して提供された前記検出器出力信号の第２加重平均、最小値または中央値から前記第２表面の中または上の潜在的異常の存在を判定する方法。
【請求項３５】
請求項３４記載の方法において、
前記判定するステップは、前記第１最小値または中央値と前記第２最小値または中央値とを比較するステップを含む方法。
【請求項３６】
請求項３４記載の方法において、
前記判定するステップは、前記第１加重平均、最小値または中央値と前記第２加重平均、最小値または中央値との差を計算するステップを含む方法。
【請求項３７】
請求項３２記載の方法において、
（ｂ）および（ｃ）の各々における前記集めて、その集められた輻射をチャネルに向けるステップは、前記第１または第２の線またはそれに対応する前記方向の回りに実質的に対称的に散乱した輻射を集める集光器による方法。
【請求項３８】
請求項２０記載の方法において、
（ｂ）および（ｃ）における前記向けるステップは、前記集められた輻射を前記対応するチャネルとして作用する光ファイバに少なくとも１つの対物レンズによって収束させることを含む方法。
【請求項３９】
請求項２０記載の方法において、
（ｂ）および（ｃ）における前記向けるステップは、前記集められた輻射の部分をいろいろな方位角において反射集光器から前記対応するチャネルの方に反射させるステップを含む方法。
【請求項４０】
請求項２０記載の方法において、
前記処理するステップは、前記第１および／または第２信号を１つ以上のしきい値と比較するステップを含む方法。
【請求項４１】
請求項２０記載の方法において、
前記処理するステップは、前記第１および第２信号の補間および平滑化を含む方法。
【請求項４２】
請求項４１記載の方法において、
前記判定するステップは、前記第１および第２信号を比較するステップを含み、前記比較は、前記第１および第２信号の前記補間および平滑化の前に行われる方法。
【請求項４３】
請求項４１記載の方法において、
前記判定するステップは、前記第１および第２信号を比較するステップを含み、前記比較は、前記第１および第２信号の前記補間および平滑化の後に行われる方法。
【請求項４４】
表面上の異常を検出するための表面検査方法であって、
輻射のビームと前記表面との間に相対運動を生じさせるステップと、
前記表面から散乱した輻射を集め、その集められた輻射を１つ以上のチャネルに向けるステップと、
前記チャネルのうちの少なくとも１つにより導かれた集められた輻射を各々の信号に変換するステップと、
前記信号から前記表面の中または上の潜在的異常の存在を判定するステップと、
潜在的異常を有すると判定された前記表面の場所から散乱した輻射から変換された前記信号中の情報と、前記場所に隣接していて潜在的異常を有すると判定されていない前記表面の部分から散乱した輻射から変換された前記信号中の情報とを格納するステップであって、格納された情報が前記表面全体のピクセル強度を含む、ステップと、
を含む方法。
【請求項４５】
請求項４４記載の方法において、
前記生じさせるステップは、前記ビームが螺旋状経路に沿って実質的に前記表面全体を走査するように輻射のビームと前記表面との間に相対的回転および並進運動を生じさせる方法。