【誤訳訂正書】
【提出日】平成20年9月8日(2008.9.8)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】特許請求の範囲
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  試料の表面を分析する原子プローブであって、
検出器と、第１のプレートおよびこの第１のプレートと前記検出器の間に配置される第２のプレートを含む対向電極と、前記第１および第２のプレートに接続され、第２のプレートを前記検出器に対して一定電圧で維持し、かつ前記第１のプレートに負の電圧パルスを供給する、制御および電力供給手段と、を備え、この制御および供給手段は、第２のプレートと前記試料との間隔に応じた時間、一定の負の最大電圧を有する電圧パルスを供給するように構成され、前記一定の負の最大電圧は、イオンが前記試料と前記第２のプレートとの間で遷移状態である間供給される、原子プローブ。
【請求項２】  前記第１のプレートは、
前記第１のプレートに前記負の電圧パルスを印加する場合であって、前記第１のプレートの電圧が前記第２のプレートのものよりも立ち下がる、その場合
以外、前記第２のプレートと同一電圧で維持される、請求項１記載の原子プローブ。
【請求項３】  前記第２のプレートおよび前記検出器は、同一電圧で保持されることで、前記第１のプレートを通過したイオンが減速され、次いで前記検出器に向かって惰走する、請求項１または２記載の原子プローブ。
【請求項４】  前記第１および第２のプレートの間隔は、２５０μｍ未満である、請求項１〜３のいずれか１記載の原子プローブ。
【請求項５】  前記制御および供給手段は、前記電圧パルスを前記第１のプレートに提供する少なくとも１個の固体スイッチを組み込んだ、請求項１〜４のいずれか１記載の原子プローブ。
【請求項６】  前記少なくとも１個の固体スイッチは、１ナノ秒のプラトー持続時間を有する電圧パルスを生成する、請求項５記載の原子プローブ。
【請求項７】  前記検出器は、試料の三次元分析を行うことができるように、イオンが前記検出器に衝突する位置を検出する、請求項１〜６のいずれか１記載の原子プローブ。
【請求項８】  前記対向電極はドライブ手段に取り付けられて、該対向電極を試料に対して可動とする、請求項１〜７のいずれか１記載の原子プローブ。
【請求項９】  試料ドライブ手段は、前記対向電極に対する試料の相対移動を可能にするために設けられる、請求項１〜８のいずれか１記載の原子プローブ。
【請求項１０】  前記対向電極の前記第１のプレートは、検出器から離れる方向で円錐形状を有する、請求項１〜９のいずれか１記載の原子プローブ。
【請求項１１】  前記対向電極は、２つの別個に製造されたプレートをその間の絶縁スペーサと共に組み立てることにより形成される、請求項１〜１０のいずれか１記載の原子プローブ。
【請求項１２】  前記対向電極は、形成された基板上に金属と絶縁層の組合せで形成される、請求項１乃至１０のいずれか１記載の原子プローブ。
【請求項１３】  イオンの質量を測定する方法であって、試料に隣接する第１のプレートと、前記第１のプレートと検出器の間に第２のプレートと、を有する対向電極を、前記試料と前記検出器の間に配置する工程と、正の直流電圧を前記試料に印加する工程と、負の電圧パルスを前記第１のプレートに印加する工程と、前記検出器に対する前記イオンの飛行時間および前記イオンの運動エネルギーに応じて、前記試料から蒸発したイオンの質量を決定する工程と、を含み、前記第１のプレートに印加される電圧パルスは、前記第２のプレートと前記試料との間隔に応じて選択される時間において、一定の負の最大電圧を有し、前記一定の負の最大電圧は、イオンが前記試料と前記第２のプレートとの間で遷移状態である間供給される、イオン質量測定方法。
【請求項１４】  前記第２のプレートおよび前記検出器は、接地状態で保持される、請求項１３記載のイオン質量測定方法。
【請求項１５】  前記対向電極と前記試料の何れか一方または両方を移動して、前記試料の表面の異なる領域から蒸発したイオンの測定値を入手する工程をさらに含む、請求項１３または１４のいずれか１記載のイオン質量測定方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００２】
【従来の技術】
原子プローブの既知の設計は、EMSA Bulletin 20:2、１９９０年１１月に出版されたエー・セレゾ（A. Cerezo）等による論文に記載されている。この設計は本質的に、対向電極と、この対向電極に対しある距離だけ（例えば約６００ｍｍ）後ろに配置された検出器とを備える。対向電極の少なくとも一部は、（例えば、そこに孔を形成することにより）イオンを通過させるように適合される。分析される試料は、半径が約２０〜１００ｎｍの尖鋭な先端を有する針の形態であり、これが対向電極の前方に配置されて、イオンを通過させるよう適合された対向電極の部分と実質的に位置合わせするようにする。大きな正電圧をマイクロチップと対向電極との間に印加することにより、針の先端に十分に大きな電界を発生させて、そこに露出した原子をイオン化することができる。こうして形成されたイオンは蒸発して針から離れ、それから対向電極に向かって加速される。イオンを通過させるよう適合された対向電極の部分に向かって移動するイオンは、さらに電極を越えて検出器に移動する。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００３】
理論上では、飛行時間型質量分析計を使用して、試料から離れたイオンを識別することが可能である。これには、イオンの運動エネルギーに加えて、イオンの飛行時間ｔｆ（通常数マイクロ秒である）を知る必要がある。正確に飛行時間を知るためには、いつイオンが針から離れたのか、またいつそのイオンが検出器に到達したのかをともに高度な精度で知る必要がある。いつイオンが針の先端から離れたのかを正確に決定するために、一般に非常に短い正電圧パルスＶｐが、連続して試料に印加される正の直流バイアス電圧Ｖｓに加えて、試料に印加される。あるいは、代わりに短い負の電圧パルスを電極に印加してもよい。直流電圧Ｖｓは、針先端に露出したあるいは突出した原子をイオン化して蒸発させるのに十分な電界強度を針先端に生成するのに必要な電圧よりも少ないが、それに近い。電圧パルスＶｐが試料に印加されると、十分に規定された時点において十分に規定された持続時間に亘って、電界強度が増大し、これによりイオン化および蒸発が起こる。このようにして、イオンが試料を離れる時点を決定できる。しかし、電圧パルスの使用により、時変的（time-varying）電界においてイオンが針から加速的に離れるという状況が発生し、この結果、検出器に移行中のイオンの運動エネルギーが広く分散してしまう。このため、試料を離れて対向電極に移行している個々のイオンの運動エネルギーは、十分に規定されない。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００６】
好ましくは、第１のプレートは、第１のプレートに負の電圧パルスを印加する場合であって、第１のプレートの電圧が第２のプレートのものよりも立ち下がる、その場合以外、少なくとも１個の第２のプレートと略同一電圧で維持される。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００８】
また、第１および第２のプレート間の好ましい間隔は２５０μｍ未満である。これは、約１ナノ秒以内に第２のプレートに到達するように、約１０ｋＶの電位差によって加速されるときに、イオンが試料から離れることを依然として可能にしながら、第１のプレートを分析される試料の先端から１μｍ以上離して配置する（好ましくは約５〜３０μｍ）ことを可能にする利点がある。これはほぼ好ましい精度であり、この範囲内で分解能のかなりの損失を防ぐための蒸発時間を知る必要がある。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１０】
針の先端またはマイクロチップと少なくとも１個の第２のプレートの間をイオンが移行している時間中に、第２のプレートでの電位を略一定に維持することにより（あるいは、典型的には１ナノ秒未満であるこの期間中、電位を単に比較的ゆっくりと変化させることにより）、イオンの最終的な運動エネルギーは、蒸発時の第１のプレートの電圧の精確な値に強くは依存しない。この結果、このように加速されるイオンの運動エネルギーの分散は、比較的狭くなる。イオンが第２のプレートを通過した後の第１のプレートの電圧のいかなる変化も、イオンの運動エネルギーには影響しない。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１９】
試料（分析対象の導電性または半導電性材料から形成されている）には、制御および電力供給手段（図示せず）により正の直流電圧Ｖｓが印加される。第１のプレート１１は、負の電圧パルスＶｐが印加されるまでほぼゼロボルトで保持される。第１のプレート１１がほぼゼロボルトである場合、それぞれのマイクロチップ３１ａにおいて生成される電界は、マイクロチップ上に露出または突出された原子が確実にイオン化される電界強度を下回るが、ほぼ電界強度であり、このように形成されたイオンは、脱離ないし蒸発し、対向電極１０の方向に加速される。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２０】
負の電圧パルスＶｐは、ほぼ１〜２ｋＶの大きさで図３に示すような形状であることが好ましい。試料に印加される直流電圧Ｖｓは、好ましくは約１０ｋＶであるが、これは、原子プローブおよび分析される試料の状態に合致するように大幅に変更してもよい（図４参照）。直流電圧Ｖｓに影響を及ぼす要因として、マイクロチップの寸法、試料の組成、試料と対向電極の距離等が挙げられる。臨界電界強度（すなわち、大きなイオン化が全く発生しない電界強度未満であるが、大きなイオンが発生する電界強度を超える）の付近では、電界強度が１〜２％変化することで、イオン化速度が約１０倍変化する。このため、評価可能なイオン化は、実質的に印加電圧の最初の１〜２％に限定される。しかしながら、試料と第１のプレート間の印加電圧全体が電圧パルスに対して約１０倍であるため、評価可能なイオンも主として電圧パルスの最初の１０〜２０％に限定されるといえる。このことは、短時間でイオンが形成および蒸発可能であったことを表し、これにより、イオンの高質量分解能を確実に検出する際に重要なマイクロチップからイオンが離脱する時間（すなわち、数ナノ秒、好ましくは２ナノ秒以内）をかなり厳密に規定する。