【手続補正書】
【提出日】平成18年11月27日(2006.11.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を保持して搬送するための搬送装置において、
ベースに回転自在に支持された回転基台と、
第１アーム部、第２アーム部及びピック部をこの順序で屈伸可能に連結してなる第１及び第２アーム機構と、
前記第１及び第２アーム機構の各第１アーム部にそれぞれ連結されて前記第１及び第２アーム機構を屈伸させる駆動リンク機構と、
前記回転基台を回転駆動させる第１駆動源と、
前記駆動リンク機構を駆動する第２駆動源と、
を備えたことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記駆動リンク機構は、基端部が前記回転基台に回転自在に支持されると共に前記第２駆動源によって旋回駆動される駆動アーム部と、複数の従動アーム部とよりなり、
前記各従動アーム部の基端部が前記駆動アーム部の先端部にそれぞれ回転自在に支持されると共に、先端部が前記各第１アーム部にそれぞれ回転自在に支持されることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記駆動リンク機構は、基端部が前記回転基台に回転自在に支持されると共に前記第２駆動源によって旋回駆動される駆動アーム部と、Ｕ字状に屈曲された第１及び第２従動アーム部よりなり、
前記第１従動アーム部の基端部が中心線を越えて前記駆動アーム部の第２アーム機構側で軸支され、前記第２従動アーム部の基端部が中心線を越えて前記駆動アーム部の第１アーム機構側で軸支され、前記第１及び第２従動アーム部の各先端部が前記第１及び第２アーム部にそれぞれ軸支されることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項４】
前記中心線は、前記第１及び第２アーム機構が共に収縮する初期状態における前記第１及び第２アーム機構の各ピックの中心を結んだ線分の垂直二等分線であることを特徴とする請求項３記載の搬送装置。
【請求項５】
前記２つのピック部は、同一平面上に互いに異なる方向に向けて配置されると共に、前記２つのピック部の開き角は６０〜１８０度未満の範囲に設定されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項６】
前記駆動アーム部には、プーリと連結ベルトよりなる動力伝達機構を介して前記第２駆動源の動力が伝えられることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項７】
前記駆動リンク機構は、基端部が前記回転基台に回転可能に支持されると共に、前記第２駆動源によって旋回駆動されて屈伸可能になされた小リンク機構と、２本の従動アーム部とよりなり、
前記各従動アーム部の基端部が前記小リンク機構の先端部にそれぞれ回転自在に支持されると共に、先端部が前記各第１アーム部にそれぞれ回転自在に支持されることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項８】
前記小リンク機構には、プーリと連結ベルトよりなる動力伝達機構を介して前記第２駆動源の動力が伝えられることを特徴とする請求項７記載の搬送装置。
【請求項９】
前記駆動リンク機構は、２本の従動アーム部を有すると共に、前記第２駆動源は直線移動するリニアモータよりなり、前記各従動アーム部の基端部が前記リニアモータ側にそれぞれ回転自在に支持されると共に、先端部が前記各第１アーム部にそれぞれ回転自在に支持されることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項１０】
前記駆動リンク機構は、
基端部が前記回転基台の回転中心の部分に回転自在に支持されると共に、前記第２駆動源の駆動軸に直接的に連結された駆動アーム部と、２本の従動アーム部とよりなり、
前記各従動アーム部の基端部が前記駆動アーム部の先端部にそれぞれ回転自在に支持されると共に、先端部が前記各第１アーム部にそれぞれ回転自在に支持されることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項１１】
前記２つのピック部は、互いに上下に重ねて配置されると共に同一方向に向けられていることを特徴とする請求項１、２、６乃至１０のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項１２】
前記２つの第１アーム部の基端部は、同一平面上に離間させて回転自在に支持されていることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項１３】
前記２つの第１アーム部の基端部は、互いに上下に重ね合わせて同軸状態で回転自在に支持されることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項１４】
前記第１及び第２アーム機構は、前記駆動リンク機構の旋回揺動動作によっていずれか一方のアーム機構が伸長した時に他方のアーム機構が縮退するように動作されることを特徴とする請求項１乃至１３のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項１５】
前記搬送機構の第１及び第２アーム機構の軸受として、アルミニウム合金製のハウジングの表面に硬質硫酸アルマイト処理を施したものが用いられることを特徴とする請求項１乃至１４のいずれかに記載の搬送装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】搬送装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の被処理体を保持して搬送するための搬送装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の関連技術は、同軸状に互いに回転自在になされた中空パイプ状の複数の駆動軸と、前記複数の駆動軸のそれぞれに結合された複数の駆動源と、前記複数の駆動軸の内の中心部に配置された中心駆動軸内にその軸方向に沿って検出光を放射する発光部と、前記検出光の反射光を受光する受光部と、前記中心駆動軸に設けられて前記検出光を前記中心駆動軸の半径方向へ反射する反射部材と、前記中心駆動軸に設けられて前記反射部材で反射された検出光を通過させる光通過窓部と、前記中心駆動軸の外周に配置された駆動軸に設けられて前記光透過窓部を通過した検出光を前記反射部材に向けて反射する光反射エリアと吸収する光吸収エリアとを有する位置識別パターン部と、前記受光部の出力に基づいて前記複数の駆動軸の回転方向における位置関係を求める軸位置検出手段と、を備えたことを特徴とする駆動機構である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
このように、同軸状に互いに回転自在になされた中空パイプ状の複数の駆動軸の内の中心駆動軸に沿って検出光を発光部より放射し、この検出光を、中心駆動軸に設けた反射部材により反射させて他の駆動軸に設けた位置識別パターン部に照射し、その反射光を上記光路を逆に経由させて受光部により受光するようにしたので、この受光部からの出力に基づいて上記複数の駆動軸の相対位置関係を認識することが可能となる。
この場合、前記発光部及び前記受光部は、前記駆動源を収容する筐体側に固定されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の関連技術は、同軸状に互いに回転自在になされた中空パイプ状の複数の駆動軸と、前記複数の駆動軸のそれぞれに結合された複数の駆動源と、前記複数の駆動軸の内の中心部に配置された中心駆動軸以外の駆動軸に設けられた位置識別パターン部と、前記位置識別パターン部からの反射光を取り込むために前記中心駆動軸に設けられた光通過窓部と、前記光通過窓部を通過した光を前記中心駆動軸の軸方向に沿って反射する反射部材と、前記反射部材で反射した光を受光する画像センサ部と、前記画像センサ部の出力に基づいて前記複数の駆動軸の回転方向における位置関係を求める軸位置検出手段と、を備えたことを特徴とする駆動機構である。
このように、同軸状に互いに回転自在になされた中空パイプ状の複数の駆動軸の内の中心駆動軸以外の駆動軸に位置識別パターン部を設け、この位置識別パターン部からの反射光を、上記中心駆動軸に設けた反射部材によってこの軸方向に沿って反射させ、この反射した光を画像センサ部で受けるようにしたので、この画像センサ部からの出力に基づいて上記位置識別パターン部の画像を認識することによって、上記複数の駆動軸の相対関係を認識することが可能となる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
この場合、例えば前記画像センサ部は、前記駆動源を収容する筐体側に固定されている。
また例えば前記位置識別パターン部に照明光を照射する照明手段が設けられる。
また例えば前記位置識別パターンは、異なる色の領域が配列されている。
また例えば前記位置識別パターンは、異なる図形が配列されている。
また例えば前記位置識別パターンは、異なる明度の領域が配列されている。
また本発明の関連技術は、前記いずれかに記載の搬送装置を駆動する駆動機構として用いられることを特徴とする駆動機構である。
また例えば請求項１５に規定するように、前記搬送機構の第１及び第２アーム機構の軸受として、アルミニウム合金製のハウジングの表面に硬質硫酸アルマイト処理を施したものが用いられる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の搬送装置によれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。
本発明によれば、装置全体は第１駆動源で旋回できるようにし、第１及び第２アーム機構は駆動リンク機構を介して第２駆動源で伸縮駆動できるようにしたので、少ない数の駆動源で動作させることができ、しかも構造が簡単なので装置コストを大幅に削減することができる。
特に請求項５に係る発明によれば、被処理体の入れ替え動作の時には両ピック部の開き角である１８０度よりも小さい所定の角度だけ装置全体を旋回させればよいので、被処理体の入れ替え動作を迅速に行うことができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項１０に係る発明によれば、駆動アーム部を第２駆動源の回転軸に直接的に連結して駆動するようにしているので、プーリや連結ベルト等よりなる動力伝達機構が不要となり、装置構造を簡単化でき、しかも、その分、装置コストを削減することができる。
本発明の関連技術によれば、同軸状に互いに回転自在になされた中空パイプ状の複数の駆動軸の内の中心駆動軸に沿って検出光を発光部より放射し、この検出光を、中心駆動軸に設けた反射部材により反射させて他の駆動軸に設けた位置識別パターン部に照射し、その反射光を上記光路を逆に経由させて受光部により受光するようにしたので、この受光部からの出力に基づいて上記複数の駆動軸の相対位置関係を認識することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の関連技術によれば、同軸状に互いに回転自在になされた中空パイプ状の複数の駆動軸の内の中心駆動軸以外の駆動軸に位置識別パターン部を設け、この位置識別パターン部からの反射光を、上記中心駆動軸に設けた反射部材によってこの軸方向に沿って反射させ、この反射した光を画像センサ部で受けるようにしたので、この画像センサ部からの出力に基づいて上記位置識別パターン部の画像を認識することによって、上記複数の駆動軸の相対関係を認識することができる。