【手続補正書】
【提出日】平成19年6月25日(2007.6.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドを支持するサスペンションアームを曲げて磁気ヘッドの媒体に対するロール角およびピッチ角を修正するサンペンション修正装置において、
レーザビームを照射するレーザ照射装置と、
上記サスペンションアームの磁気ヘッドを保持する一方あるいは両方のビーム部を上記レーザビーム照射装置から発生されたレーザビームで線上に走査して折り曲げて当該サスペンションアームにねじりを与える装置と
を備えたことを特徴とするサスペンション修正装置。
【請求項２】
上記レーザビームで線上に走査する速度を変えて上記修正量を調整する装置を備えたことを特徴とする請求項１記載のサスペンション修正装置。
【請求項３】
上記レーザビームで線上に走査する同じ位置あるいは隣接する位置の回数を変えて上記修正量を調整する装置を備えたことを特徴とする請求項１あるいは請求項２記載のサスペンション修正装置。
【請求項４】
上記レーザビームで線上に走査する位置を変えて上記ロール角の修正量を調整する装置を備えたことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のサスペンション修正装置。
【請求項５】
上記レーザビームで線上に走査する傾きを変えて上記ピッチ角の修正量を調整する装置を備えたことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のサスペンション修正装置。
【請求項６】
上記レーザビームで線上に走査するときにレーザスポット形状が同じになるようにフォーカス制御する装置を備えたことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載のサスペンション修正装置。
【請求項７】
上記レーザビームで線上に走査して折り曲げ部分の厚さを３０μｍ以下としたことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載のサスペンション修正装置。
【請求項８】
磁気ヘッドを支持するサスペンションアームを曲げて磁気ヘッドの媒体に対するロール角およびピッチ角を修正するサンペンション修正方法において、
上記サスペンションアームの磁気ヘッドを保持する一方あるいは両方のビーム部あるいはその近傍をレーザビームで線上に走査して折り曲げて当該サスペンションアームにねじりを与えて保持する磁気ヘッドのロール角およびピッチ角を修正することを特徴とするサスペンション修正方法。
【請求項９】
上記レーザビームで線上に走査する速度を変えて上記修正量を調整することを特徴とする請求項８記載のサスペンション修正方法。
【請求項１０】
上記レーザビームで線上に走査する同じ位置あるいは隣接する位置の回数を変えて上記修正量を調整することを特徴とする請求項８あるいは請求項９記載のサスペンション修正方法。
【請求項１１】
上記レーザビームで線上に走査する位置を変えて上記ロール角の修正量を調整することを特徴とする請求項８から請求項１０のいずれかに記載のサスペンション修正方法。
【請求項１２】
上記レーザビームで線上に走査する傾きを変えて上記ピッチ角の修正量を調整することを特徴とする請求項８から請求項１０のいずれかに記載のサスペンション修正方法。
【請求項１３】
上記レーザビームで線上に走査するときにレーザスポット形状が同じになるようにフォーカス制御することを特徴とする請求項８から請求項１２のいずれかに記載のサスペンション修正方法。
【請求項１４】
上記レーザビームで線上に走査して折り曲げ部分の厚さを３０μｍ以下としたことを特徴とする請求項８から請求項１３のいずれかに記載のサスペンション修正方法。
【請求項１５】
磁気ヘッドを支持するサスペンションアームを曲げて、上記サスペンションアームのロール角およびピッチ角を修正するサスペンション修正装置において、
レーザビームを照射するレーザ照射装置と、
上記サスペンションアームの一方あるいは両方のビーム部を、上記レーザビーム照射装置から発生されたレーザビームで線上に走査して折り曲げて、当該サスペンションアームにねじりを与える装置と
を備えたことを特徴とするサスペンション修正装置。
【請求項１６】
上記レーザビームで線上に走査する速度、上記レーザビームで線上に走査する回数、上記レーザビームで線上に走査する位置、あるいは上記レーザビームで線上に走査する傾きを制御して、上記修正の修正量を調整する装置を備えたことを特徴とする請求項１５に記載のサスペンション修正装置。
【請求項１７】
上記レーザビームにより、上記ビーム部の同じ位置を複数回走査、あるいは先に走査された位置と隣接する位置を走査するように制御して、上記修正の修正量を調整する装置を備えたことを特徴とする請求項１５に記載のサスペンション修正装置。
【請求項１８】
上記レーザ照射装置は、レーザ光源としてＱスイッチパルス制御ＹＡＧレーザを用いることを特徴とする請求項１５に記載のサスペンション修正装置。
【請求項１９】
加工物にレーザビームを照射することによって上記加工物を折り曲げ、上記加工物の傾きを修正するサスペンション修正装置であって、
レーザビームを照射するレーザ照射装置と、
上記加工物が載置されるステージ部と、
上記ステージ部を上記レーザビームに対して移動させ、上記加工物に上記レーザビームを線上に走査させる移動部と、
上記加工物の修正を制御する制御部と
を備えたことを特徴とするサスペンション修正装置。
【請求項２０】
磁気ヘッドを支持するサスペンションアームを曲げて、上記サスペンションアームのロール角およびピッチ角を修正するサスペンション修正方法において、
上記サスペンションアームのビーム部あるいはその近傍をレーザビームで線上に走査して折り曲げて、当該サスペンションアームにねじりを与えてロール角およびピッチ角を修正することを特徴とするサスペンション修正方法。
【請求項２１】
上記レーザビームで線上に走査する位置、上記レーザビームで線上に走査する傾き、上記レーザビームで線上に走査する速度、あるいは上記レーザビームで上記ビーム部を線上に走査する回数を変えて、上記修正の修正量を調整することを特徴とする請求項２０記載のサスペンション修正方法。
【請求項２２】
上記レーザ照射装置は、レーザ光源としてＱスイッチパルス制御ＹＡＧレーザあるいはパルスレーザを用いることを特徴とする請求項２０に記載のサスペンション修正装置。
【請求項２３】
上記レーザビームで、上記ビーム部の同じ位置、あるいははじめに走査された位置に隣接する位置を走査することで、上記修正の修正量を調整することを特徴とする請求項２０に記載のサスペンション修正方法。
【請求項２４】
磁気ヘッドを支持するサスペンションアームの製造方法において、
上記サスペンションアームに設けられたビーム部にレーザビームを照射する工程と、
上記レーザビームを線上に走査して、上記ビーム部を折り曲げる工程とを備え、
ロール角およびピッチ角が修正されたサスペンションアームを生成することを特徴とするサスペンションアームの製造方法。
【請求項２５】
上記サスペンションアームは複数のビーム部を備えており、
上記照射工程では、上記複数のビーム部の一方あるいは両方に上記レーザビームが照射されることを特徴とする請求項２４に記載のサスペンションアームの製造方法。
【請求項２６】
上記レーザビームで線上に走査する位置、上記レーザビームで線上に走査する傾き、上記レーザビームで線上に走査する速度、あるいは上記レーザビームで上記ビーム部を線上に走査する回数を変えて、上記修正の修正量を調整することを特徴とする請求項２４に記載のサスペンションアームの製造方法。
【請求項２７】
上記レーザビームで、上記ビーム部の同じ位置、あるいははじめに走査された位置に隣接する位置を走査することで、上記修正の修正量を調整することを特徴とする請求項２４に記載のサスペンションアームの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】サスペンション修正装置、サスペンション修正方法、サスペンションアームの製造方法。