(57)【要約】  記録媒体１６の媒体面から磁気ヘッド１０を浮上させ、記録媒体に対する磁気ヘッドの記録、再生特性を検査して磁気ヘッドの電磁変換特性を試験する試験装置であって、前記磁気ヘッド１０を前記記録媒体１６にロードさせる位置と、ロード位置から退避した位置に移動させて支持するセット部１４と、前記磁気ヘッドに向けて電波を発信する電波発信装置３０と、前記磁気ヘッドに電気的に接続され、該磁気ヘッドの出力信号を検知する検出器２０とを備え、電波発信装置３０から磁気ヘッドに電波を印加して磁気ヘッド１０の電波耐性を検知可能とした。
2007148397.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体の媒体面から磁気ヘッドを浮上させ、記録媒体に対する磁気ヘッドの記録、再生特性を検査して磁気ヘッドの電磁変換特性を試験する試験装置であって、
前記磁気ヘッドを前記記録媒体にロードさせる位置と、ロード位置から退避した位置に移動させて支持するセット部と、
前記磁気ヘッドに向けて電波を発信する電波発信装置と、
前記磁気ヘッドに電気的に接続され、該磁気ヘッドの出力信号を検知する検出器とを備えていることを特徴とする磁気ヘッドの試験装置。
【請求項２】
前記電波発信装置の電波を前記磁気ヘッドに集束させるアンテナが設けられていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの試験装置。
【請求項３】
前記電波発信装置を含む試験領域が、外部からの電波を遮断するようにシールド体により遮蔽されていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの試験装置。
【請求項４】
前記請求項１記載の磁気ヘッドの試験装置により磁気ヘッドを試験する際に、
前記セット部により前記磁気ヘッドを支持して、前記記録媒体のロード位置から退避した位置に磁気ヘッドを移動させ、その移動位置で前記電波発信装置から磁気ヘッドに向けて電波を発信し、
該電波発信時の磁気ヘッドの出力ノイズを前記検出器により検知して磁気ヘッドの電波耐性を試験することを特徴とする磁気ヘッドの試験方法。
【請求項５】
前記請求項１記載の磁気ヘッドの試験装置により磁気ヘッドを試験する際に、
前記セット部により前記磁気ヘッドを支持して、前記記録媒体のロード位置に磁気ヘッドを移動させ、その移動位置で前記電波発信装置から磁気ヘッドに向けて電波を発信し、  該電波発信時の磁気ヘッドの出力ノイズを前記検出器により検知して磁気ヘッドの電波耐性を試験することを特徴とする磁気ヘッドの試験方法。
【請求項６】
前記セット部により、前記記録媒体の媒体面と磁気ヘッドとの浮上量を変えて磁気ヘッドを支持し、前記浮上量による磁気ヘッドの電波耐性を検知することを特徴とする請求項５記載の磁気ヘッドの試験方法。
【請求項７】
前記電波発信装置から磁気ヘッドに向けて、周波数を連続的に変えながら電波を発信し、前記検出部により磁気ヘッドの出力ノイズを検知して磁気ヘッドの電波耐性を試験することを特徴とする請求項４または５記載の磁気ヘッドの試験方法。
【請求項８】
前記セット部に、ヘッドサスペンションにスライダーを搭載したヘッドアセンブリをセットして、磁気ヘッドの電波耐性を試験することを特徴とする請求項４または５記載の磁気ヘッドの試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドに電波を作用させて磁気ヘッドの特性を検査することによって磁気ヘッドの電波耐性を試験することを可能にする磁気ヘッドの試験装置および試験方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドは、きわめて高精度の加工精度が求められる。したがって、製造工程中か磁気ディスク装置の組み立て前、出荷前等において、随時、評価試験を行っている。図３は、磁気ヘッドが形成されたスライダー１０をヘッドサスペンション１２に搭載した状態で磁気ヘッドの電磁変換特性（リード・ライト特性）を試験する従来の装置構成を示す。
この試験装置では、スライダー１０を搭載したヘッドサスペンション１２をセット部１４にセットし、駆動装置１８によって記録媒体１６を回転駆動し、スライダー１０を記録媒体１６の表面から浮上させた状態で、磁気ヘッド（ライト素子）により記録媒体１６に信号を記録し、記録媒体１６に記録された信号をリード素子により電流（電圧）変化として変換した結果の出力やノイズを検出器２０により検出して、磁気ヘッドの特性を試験する。
この従来の試験装置は、ヘッドサスペンションに磁気ヘッドを搭載した状態で、磁気ディスク装置を組み立てたと略同じ条件で試験をするものである。ところで、最近の磁気ヘッドにおいては、外的な電界（電波）の影響によって動作が不安定になるという現象が生じてきた。たとえば、リード素子に用いられるＴＭＲ素子（トンネル磁気抵抗効果素子）などでは、構造的に外的な電波の影響を受けやすいために、電磁変換特性の他に電波耐性についても試験する必要が生じてきた。
【特許文献１】特開平９−１６９２１号公報
【特許文献２】特開平１１−３５２１７１号公報
【発明の開示】
【０００３】
従来、磁気ディスク装置について外的な電波の影響を試験する装置として、図４に示すような、電波暗室３２内に磁気ディスク装置３０を配置し、磁気ディスク装置３０と検出器３４とをフラットケーブル３４ａにより接続し、電波暗室３２内で磁気ディスク装置３０に電波を当てて特性を試験する装置が使用されている。この試験装置は電波耐性を試験する専用機として使用されるもので、磁気ディスク装置を組み立てた状態で試験する。したがって、この方法による場合は磁気ディスク装置として組み立てた状態でしか試験できず、磁気ヘッド単体としての試験ができないという問題と、電波耐性の試験は磁気ヘッドの特性を試験する工程とは別工程になるため、検査が煩雑になるという問題がある。
本発明は、磁気ヘッドをヘッドサスペンションに搭載した状態でヘッドアセンブリの電磁変換特性（リード・ライト特性）やノイズ特性を検査するとともに、磁気ヘッドの電波耐性についても試験することができる磁気ヘッドの試験装置および磁気ヘッドの試験方法を提供することを目的とする。
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、記録媒体の媒体面から磁気ヘッドを浮上させ、記録媒体に対する磁気ヘッドの記録、再生特性を検査して磁気ヘッドの電磁変換特性を試験する試験装置であって、前記磁気ヘッドを前記記録媒体にロードさせる位置と、ロード位置から退避した位置に移動させて支持するセット部と、前記磁気ヘッドに向けて電波を発信する電波発信装置と、前記磁気ヘッドに電気的に接続され、該磁気ヘッドの出力信号を検知する検出器とを備えていることを特徴とする。
この磁気ヘッドの試験装置によれば、磁気ヘッドの電磁変換特性（リード・ライト特性）とともに磁気ヘッドの電波耐性を試験することができ、電波耐性の低いＴＭＲ素子等を搭載した磁気ヘッドの試験に好適に使用できる。
また、前記電波発信装置の電波を前記磁気ヘッドに集束させるアンテナが設けられていることにより、磁気ヘッドに効率的に電波を印加させて磁気ヘッドの電波耐性を試験することができる。
また、前記電波発信装置を含む試験領域が、外部からの電波を遮断するようにシールド体により遮蔽されていることにより、ばらつきのない試験が可能になる。
また、前記磁気ヘッドの試験装置により磁気ヘッドを試験する際に、前記セット部により前記磁気ヘッドを支持して、前記記録媒体のロード位置から退避した位置に磁気ヘッドを移動させ、その移動位置で前記電波発信装置から磁気ヘッドに向けて電波を発信し、該電波発信時の磁気ヘッドの出力ノイズを前記検出器により検知して磁気ヘッドの電波耐性を試験することを特徴とする。
また、前記磁気ヘッドの試験装置により磁気ヘッドを試験する際に、前記セット部により前記磁気ヘッドを支持して、前記記録媒体のロード位置に磁気ヘッドを移動させ、その移動位置で前記電波発信装置から磁気ヘッドに向けて電波を発信し、該電波発信時の磁気ヘッドの出力ノイズを前記検出器により検知して磁気ヘッドの電波耐性を試験することを特徴とする。
また、前記セット部により、前記記録媒体の媒体面と磁気ヘッドとの浮上量を変えて磁気ヘッドを支持し、前記浮上量による磁気ヘッドの電波耐性を検知することにより、磁気ヘッドを記録媒体にロードした位置での磁気ヘッドの電波耐性をさらに的確に検知することができる。
また、前記電波発信装置から磁気ヘッドに向けて、周波数を連続的に変えながら電波を発信し、前記検出部により磁気ヘッドの出力ノイズを検知して磁気ヘッドの電波耐性を試験することにより好適な試験が行える。
また、前記セット部に、ヘッドサスペンションにスライダーを搭載したヘッドアセンブリをセットして、磁気ヘッドの電波耐性を試験することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００４】
【図１】磁気ヘッドの試験装置の第１の実施の形態の構成を示す説明図である。
【図２】磁気ヘッドの試験装置の第２の実施の形態の構成を示す説明図である。
【図３】磁気ヘッドの特性を試験する従来の試験装置の構成を示す説明図である。
【図４】磁気ディスク装置の電波耐性を試験する装置の構成を示す説明図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明に係る磁気ヘッドの試験装置の第１の実施の形態の構成を示す。
本実施形態の試験装置は、磁気ヘッドをヘッドサスペンションに搭載した状態で電磁変換特性（リード・ライト特性）の試験と、磁気ヘッドの電波耐性の試験を可能としたことを特徴とする。
図１において、磁気ヘッドの電磁変換特性について試験する装置構成は、図３に示す従来の構成と同一である。すなわち、スライダー１０をヘッドサスペンション１２に搭載したヘッドアセンブリ１３をセットするセット部１４と、スライダー１０に形成されている磁気ヘッドと電気的に接続され、磁気ヘッドの出力、ノイズ等の信号を検出する検出器２０と、リード・ライト試験で使用する試験用の記録媒体１６と記録媒体１６の駆動装置１８とを備える。
本実施形態の磁気ヘッドの試験装置において特徴とする構成は、これらの構成に加えて磁気ヘッドに向けて電波を発信する電波発信装置３０を備えたことにある。この電波発信装置３０はたとえば、１０MHz〜１００MHzといった所要の周波数帯域の電波を発信することができるものである。
磁気ヘッドが電波に対して何らかの作用を生じる理由としてはいろいろな原因が考えられるが、磁気ヘッド回路が容量（キャパシタンス）成分を備えていることが外的な電波（電界、磁界）の影響を受ける一つの理由と考えられる。
（試験装置の使用方法）
図１に示す磁気ヘッドの試験装置によれば、セット部１４にヘッドアセンブリ１３を取り付け、記録媒体１６に信号を記録し、記録した信号を読み取ることにより、磁気ヘッドの電磁変換特性（リード・ライト特性）を試験することができる。この磁気ヘッドの電磁変換特性を試験する方法は従来の試験装置の場合と同様である。
本実施形態の磁気ヘッドの試験装置では、これに加えて、磁気ヘッドの電波耐性試験を行うことができる。
磁気ヘッドの電波耐性を試験する一つの方法は、スライダー１０を記録媒体１６から十分に離間させた状態で、電波発信装置３０からスライダー１０に向けて電波を発信して磁気ヘッドの特性を試験する方法である。
磁気ヘッドは容量成分を有しているから、特定の周波数の電波に対して、ノイズが大きくなるといった振る舞いをする。したがって、電波耐性試験を行う際には、電波発信装置３０から発信する電波の周波数を連続的に変えるか、あるいは所定周波数の間隔で周波数を変えながら、検出器２０によりリード素子の出力あるいはノイズを検知して行うことができる。
磁気ヘッドに電波を印加した際に、特定の周波数でノイズが増大するということは、特性的に好ましくない。磁気ヘッドを設計する際には、特定の周波数でノイズが増大するといったことがないように、所定の周波数領域ではキャパシタンスを打ち消すような構成に設計する。しかしながら、製造ばらつき等によって、ある周波数でノイズが増大するといったことが生じ得る。本実施形態の試験装置を用いれば、電波耐性試験によって、このような磁気ヘッドの電波耐性についての不良を検知することができる。
磁気ヘッドの電波耐性を試験する他の方法は、スライダー１０を記録媒体１６上にロードした状態で試験する方法である。すなわち、スライダー１０は記録媒体１６の表面からわずかに離間する浮上位置で記録媒体１６との間でデータの記録および再生を行う。スライダー１０が記録媒体１６から浮上する量はほんのわずかであり、記録媒体１６にスライダー１０をロードした状態で、記録媒体１６と磁気ヘッドとの間に容量成分（キャパシタンス）が生じる。
したがって、記録媒体１６上にスライダー１０をロードした状態で、電波発信装置３０から磁気ヘッドに向けて電波を発信することにより、ロード状態における磁気ヘッドの電波耐性を試験することができる。この場合も、電波発信装置３０から発信する電波の周波数を連続的に変えながら、検出器２０によりノイズ出力を検知することによって、特定の周波数でノイズの出力が大きくなるといった現象をとらえ、磁気ヘッドの電波耐性を試験、評価することができる。
また、記録媒体１６に磁気ヘッドをロードする際に、記録媒体１６の媒体表面と磁気ヘッド（スライダー１０）との間隔（浮上量）を変えるようにセット部１４を制御することにより、浮上量によって磁気ヘッドの電波耐性がどのように変動するかを検査することができる。この検査結果は、磁気ヘッドの設計とともに、スライダー１０や浮上量の設計に生かすことができる。
製品によっては、記録媒体１６に磁気ヘッドをロードしない場合（記録媒体１６から十分に離間した状態）での試験では電波耐性に問題がなくても、記録媒体にロードした際に電波耐性に問題が生じるといったことが起こり得る。したがって、記録媒体１６に磁気ヘッドをロードした状態で磁気ヘッドの電波耐性を試験することは有効である。
なお、記録媒体１６に磁気ヘッドから信号を記録、再生する電磁変換特性の試験の際に、同時に磁気ヘッドに電波を印加して検査することも可能である。すなわち、この試験方法によれば、磁気ヘッドに電波を発信した場合と、電波を発信しなかった場合とで、磁気ヘッドの読み取りエラーが発生するか否かといった試験を行うことができる。磁気ヘッドに作用する電波が磁気ヘッドの読み取りエラーに影響を与える場合もあり得るから、このような試験も場合によっては有効である。
なお、上述した試験方法では、電波発信装置３０から発信する電波の周波数を連続的、あるいは離散的に変えながら、検出器２０の出力を検知したが、電波発信装置３０から所定の周波数領域をカバーする電波（いわば、白色の電波）を発信して、磁気ヘッドの出力を検出器２０によって検知することにより磁気ヘッドの電波耐性を試験することも可能である。磁気ヘッド回路のインピーダンスがあらかじめわかっていれば、検出器２０の出力をフーリエ変換して、電波発信装置３０から発信されたいずれの周波数の電波がノイズの発生に原因しているかを知ることが可能である。
このように、本実施形態の磁気ヘッドの試験装置によれば、磁気ヘッドの電磁変換特性（リード・ライト特性）試験と、磁気ヘッドの電波耐性試験を行うことができるから、効率的で的確な試験が可能になる。また、本試験装置は、製品の良不良を検査する他に、磁気ヘッドの設計段階で、磁気ヘッドの電波耐性を調べて、磁気ヘッドの設計にフィードバックするといった場合にも利用できる。
（第２の実施の形態）
図２は、本発明に係る磁気ヘッドの試験装置についての第２の実施の形態の構成を示す。本実施形態の試験装置は、第１の実施の形態に対して、電波発信装置３０から発信される電波を磁気ヘッドに集束させるためのパラボラアンテナ４０を配置した点が異なる。本実施形態によれば、パラボラアンテナ４０を使用して磁気ヘッドに電波を集束させることにより、電波を効率的に磁気ヘッドに作用させることができ、磁気ヘッドの電波耐性試験を的確に行うことができる。
パラボラアンテナ４０を用いて磁気ヘッドに電波を発信して磁気ヘッドの電波耐性を検査する場合も、試験装置の使用方法は第１の実施の形態における場合と同様である。
なお、磁気ヘッドに電波発信装置３０からの電波を集束させる方法はパラボラアンテナ４０を使用する方法に限るものではなく、適宜アンテナを用いて電波を集束させることができる。
また、電波発信装置３０から磁気ヘッドに電波を発信して磁気ヘッドの電波耐性を試験する場合に、外部から電波が侵入すると検査精度がばらつくことになるから、電波発信装置３０および被試験体である磁気ヘッドを含む本試験装置による試験領域を金属のシールド体によって遮蔽する配置とすることにより、外乱の影響を排除することができる。また、本試験装置の試験領域をシールド体によって遮蔽することにより、電波発信装置３０からの電波を外部に漏洩させないようにできるという利点がある。
なお、上記実施形態においては、ヘッドサスペンション１２にスライダー１０を搭載したヘッドアセンブリ１３をセット部１４に支持して磁気ヘッドの電磁変換特性と電波耐性を検査した。スライダーをこのようにヘッドサスペンションに搭載せず、スライダーの単体を、浮上構造を備えた試験装置にセットし、記録媒体を用いて信号を記録・再生して磁気ヘッドの電磁変換特性を検査する方法もある。本発明に係る磁気ヘッドの試験装置および試験方法はこのような、スライダー単体で試験する装置についても適用することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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