【手続補正書】
【提出日】平成20年3月17日(2008.3.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振幅及び位相を持つ１つの分析対象波頭に対応した複数の、異なる位相変化を受けた変換波頭を得る工程と、
前記位相変化を受けた複数の変換波頭の複数の強度マップを得る工程と、
前記分析対象波頭の前記振幅及び位相を示す出力を得るために前記複数の強度マップを使用する工程と
備えることを特徴とする波頭分析方法。
【請求項２】
前記使用する工程は、
前記分析対象波頭の前記位相を少なくとも示す出力を得るために前記複数の強度マップを使用する工程を含み、前記出力を得るには、前記複数の強度マップを、この最初の複数よりも少ない第２の複数の組み合わされた強度マップ中に組み合わせ、そして前記第２の複数の組み合わされた強度マップの各々から前記分析対象波頭の前記位相を示す出力を少なくとも求め、更に前記出力を組み合わせて前記分析対象波頭の位相の強化された指示を少なくとも与える
請求項１に記載の波頭分析方法。
【請求項３】
前記使用する工程は、
前記分析対象波頭の前記位相を少なくとも示す出力を得るために前記複数の強度マップを使用する工程を含み、前記出力を得るには、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波頭の前記振幅と、前記分析対象波頭の前記位相と、前記異なる位相変化を受けた複数の変換波頭を特徴付ける位相変化関数と、の関数として表し、
前記分析対象波頭の前記振幅と、前記分析対象波頭の前記位相と、前記異なる位相変化を受けた複数の変換波頭を特徴付ける前記位相変化関数と、の複素関数であって、前記複数の強度マップの各位置における強度が、主として、前記位置における前記複素関数の値と、前記位置における前記分析対象波頭の前記振幅及び前記位相と、の関数であることにより特徴付けられる複素関数を規定し、
前記複素関数を前記複数の強度マップの関数として表し、そして
前記複数の強度マップの関数として表された前記複素関数を使用することによって前記位相に対する複数の値を求める
請求項１に記載の波頭分析方法。
【請求項４】
前記使用する工程は、
前記分析対象波頭の位相の少なくとも第二階級指示の出力を得るために前記複数の強度マップを使用する工程を含む請求項１に記載の波頭分析方法。
【請求項５】
前記分析対象波頭は、表面からの放射を反射することによって得られる表面マッピング波頭である先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項６】
前記分析対象波頭は、対象物を通して放射を透過させることによって得られる対象調査波頭である請求項１〜４のいずれかに記載の方法。
【請求項７】
前記分析対象波頭は、対象物に放射を衝突させることによって得られるスペクトル分析波頭であり、
前記放射のスペクトル内容を示す出力を得るために前記振幅及び位相を示す前記出力を使用する工程を更に備える請求項１〜４のいずれかに記載の方法。
【請求項８】
前記分析対象波頭は、媒体上の複数の異なる位置のそれぞれにおける媒体の高さを選択することによって符号化された情報を有する媒体からの放射を反射することによって得られる保存データ検索波頭であり、
前記情報を得るために前記振幅及び位相を示す前記出力を使用する工程を更に備える請求項１〜４のいずれかに記載の方法。
【請求項９】
前記異なる位相変化を受けた変換波頭は、共通の光路に沿った前記分析対象波頭の干渉によって得られる先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項１０】
異なる位相変化を受けた複数の変換波頭を得る工程は、
前記分析対象波頭に対し１つの変換を適用することによって１つの変換波頭を得る工程と、
前記変換波頭に対し複数の異なる位相変化を適用することによって異なる位相変化を受けた複数の変換波頭を得る工程と
を含む先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項１１】
前記複数の異なる位相変化は、空間位相変化を含む請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記複数の異なる空間位相変化は、空間的に均一であるが経時変化する空間位相変化を前記変換波頭の一部と前記分析対象波頭の一部の少なくとも一方に対し適用することによってもたらされる請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
異なる位相変化を受けた複数の変換波頭を得る工程は、
前記分析対象波頭に対しフーリエ変換を適用することによって１つの変換波頭を得る工程、及び前記変換波頭に対し複数の異なる位相変化を適用することによって異なる位相変化を受けた複数の変換波頭を得る工程、の少なくとも一方と、
前記分析対象波頭に対し複数の異なる位相変化を適用することによって異なる位相変化を受けた複数の波頭を得る工程と、
前記異なる位相変化を受けた複数の波頭に対しフーリエ変換を適用することによって異なる位相変化を受けた複数の変換波頭を得る工程とを備え、
前記複数の異なる位相変化は、空間位相変化を含み、
前記複数の異なる空間位相変化は、空間的に均一であるが経時変化する空間位相変化を前記変換波頭の一部と前記分析対象波頭の一部の少なくとも一方に対し適用することによってもたらされ、
前記複数の異なる空間位相変化は、少なくとも３つの異なる位相変化を含み、
前記複数の強度マップは、少なくとも３つの強度マップを含み、
前記分析対象波頭の前記振幅及び位相の少なくとも一方を示す出力を得るために前記複数の強度マップを使用する工程は、
前記分析対象波頭を、前記分析対象波頭の前記振幅及び位相と同一の振幅及び位相を有する第１の複素関数として表す工程と、
前記複数の強度マップを、前記第１の複素関数と、空間的に均一であるが経時変化する空間位相変化を統制する空間関数と、の関数として表す工程と、
絶対値及び位相を持つ第２の複素関数を、前記第１の複素関数と、前記空間的に均一であるが経時変化する空間位相変化を統制する前記空間関数のフーリエ変換と、の畳み込み積分として規定する工程と、
前記複数の強度マップの各々を、前記分析対象波頭の前記振幅と、前記第２の複素関数の前記絶対値と、前記分析対象波頭の前記位相と前記第２の複素関数の前記位相との差と、各々が前記少なくとも３つの強度マップの１つに対応する前記少なくとも３つの異なる位相変化の１つによって生成される既知の位相遅延と、の第３の関数として表す工程と、
前記分析対象波頭の前記振幅と、前記第２の複素関数の前記絶対値と、前記分析対象波頭の前記位相と前記第２の複素関数の前記位相との差と、を得るために前記第３の関数を解く工程と、
前記第２の複素関数の前記位相を得るために前記第２の複素関数を解く工程と、
前記第２の複素関数の前記位相を、前記分析対象波頭の前記位相と前記第２の複素関数の前記位相との差に加えることによって、前記分析対象波頭の前記位相を得る工程と
を備える先行する請求項１〜９のいずれかに記載の方法。
【請求項１４】
前記空間的に均一であるが経時変化する空間位相変化は、前記変換波頭と前記分析対象波頭の少なくとも一方の空間的中心部に対し適用される請求項１２〜１３のいずれかに記載の方法。
【請求項１５】
前記分析対象波頭は、複数の異なる波長成分を有し、そして
前記異なる位相変化を受けた複数の変換波頭は、前記分析対象波頭、及びこの分析対象波頭に対し１つの変換を適用することによって得られた１つの変換波頭、の少なくとも一方の複数の異なる波長成分に対し１つの位相変化を適用することによって得られる先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項１６】
前記複数の異なる波長成分に対し適用される前記位相変化は、その厚さ及び屈折率の少なくとも一方が空間的に変化する前記分析対象波頭及び前記変換波頭の少なくとも一方を、対象物を通して通過させることによってもたらされる請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記分析対象波頭は、複数の異なる偏光成分を有し、そして
前記異なる位相変化を受けた複数の変換波頭は、前記分析対象波頭、及びこの分析対象波頭に対し１つの変換を適用することによって得られた１つの変換波頭、の少なくとも一方の複数の異なる偏光成分に対し１つの位相変化を適用することによって得られる請求項１〜１４のいずれかに記載の方法。
【請求項１８】
前記異なる位相変化を受けた複数の変換波頭の複数の強度マップを得る工程は、
前記異なる位相変化を受けた複数の変換波頭に対し１つの変換を適用する工程を含む先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項１９】
前記分析対象波頭の前記振幅及び位相の少なくとも一方を示す出力を得るために前記複数の強度マップを使用する工程は、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波頭の、少なくとも一方が未知である前記振幅及び位相の少なくとも１つの数学的関数として表す工程と、
前記少なくとも１つの数学的関数を使用して前記振幅及び位相の少なくとも一方を示す出力を得る工程と
を含む請求項１，４〜１２及び１５〜１８のいずれかに記載の方法。
【請求項２０】
前記異なる位相変化を受けた複数の変換波頭を得る工程は、
前記分析対象波頭に対し１つの変換を適用することによって１つの変換波頭を得る工程、及びこの変換波頭に対し複数の異なる位相及び振幅変化を適用することによって異なる位相及び振幅変化を受けた複数の変換波頭を得る工程、の少なくとも一方と、
前記分析対象波頭に対し複数の異なる位相及び振幅変化を適用することによって異なる位相及び振幅変化を受けた複数の変換波頭を得る工程と、
前記異なる位相及び振幅変化を受けた複数の変換波頭に対し１つの変換を適用することによって異なる位相及び振幅変化を受けた複数の変換波頭を得る工程と
を含む請求項１〜９，１１〜１２及び１５〜１８のいずれかに記載の方法。
【請求項２１】
前記分析対象波頭は、少なくとも２つの波長成分を有し、
前記複数の強度マップを得る工程はまた、前記位相変化を受けた変換波頭を前記少なくとも２つの波長成分に従って分割して前記位相変化を受けた変換波頭の少なくとも２つの波長成分を得ると共に、各組が前記位相変化を受けた変換波頭の前記少なくとも２つの波長成分の異なるものに対応した少なくとも２組の強度マップを得るための工程を含み、そして
前記分析対象波頭の前記位相を少なくとも示す出力を得るために前記複数の強度マップを使用する工程は、前記分析対象波頭の前記位相を示す出力を、前記少なくとも２組の強度マップの各々から得る工程と、前記出力を組み合わせて前記分析対象波頭の位相の、２πアンビギュイティのない強化された指示を与える工程と
を含む先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項２２】
前記分析対象波頭は、少なくとも１つの１次元成分を有し、
前記複数の異なる位相変化を受けた変換波頭を得る工程は、
前記分析対象波頭に対し、この分析対象波頭の伝播の方向に垂直な次元でなされる１次元フーリエ変換を適用することによって、前記伝播の方向に垂直な前記次元の１つの変換波頭の少なくとも１つの１次元成分を得る工程と、
前記少なくとも１つの１次元成分の各々に対し、複数の異なる位相変化を適用することによって、複数の異なる位相変化を受けた変換波頭の少なくとも１つの１次元成分を得る工程とを含み、
前記複数の強度マップは、前記分析対象波頭の前記少なくとも１つの１次元成分の前記振幅及び位相の少なくとも一方を示す出力を得ることに使用される
請求項１〜９，１１〜１７，２０及び２１のいずれかに記載の方法。
【請求項２３】
前記複数の異なる位相変化は、前記分析対象波頭と１つの要素との間に相対移動を与えることによって、前記少なくとも１つの１次元成分の各々に対し適用され、前記要素は、空間的に変化するが経時的に一定の位相変化を発生し、前記相対移動は、前記伝播の方向と、この伝播の方向に垂直な前記次元と、の双方に対し垂直な１つの付加的次元でなされる請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記放射は、各々が異なる波長を中心とした少なくとも２つの狭帯域を有して、前記分析対象波頭内の少なくとも２つの波長成分と、前記分析対象波頭の前記位相の少なくとも２つの指示とを与え、これにより前記２つの狭帯域の中心がある前記異なる波長の大きい方を超える前記マッピング中のアンビギュイティを回避して、前記放射が衝突している被衝突要素の特徴の強化されたマッピングを可能にし、そして前記特徴は、表面、厚さの幾何学的変化及び前記要素の幾何学的変化の少なくとも１つを含んでいる請求項５〜６のいずれかに記載の方法。
【請求項２５】
振幅及び位相を持つ１つの分析対象波頭に対応した複数の、異なる位相変化を受けた変換波頭を与える波頭変換器と、
前記位相変化を受けた複数の変換波頭の複数の強度マップを与える強度マップ発生器と、
前記分析対象波頭の前記振幅及び位相を示す出力を得るために前記複数の強度マップを使用する強度マップ利用器と
備えることを特徴とする波頭分析装置。
【請求項２６】
前記強度マップ利用器は、
前記複数の強度マップを、この最初の複数よりも少ない第２の複数の組み合わされた強度マップ中に組み合わせる強度コンバイナと、
前記第２の複数の組み合わされた強度マップの各々から前記分析対象波頭の前記位相を示す出力を少なくとも与える指示プロバイダと、
前記出力を組み合わせて前記分析対象波頭の位相の強化された指示を少なくとも与える強化指示プロバイダと
を含む請求項２５に記載の波頭分析装置。
【請求項２７】
前記強度マップ利用器は、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波頭の前記振幅と、前記分析対象波頭の前記位相と、前記異なる位相変化を受けた複数の変換波頭を特徴付ける位相変化関数と、の関数として表す強度マップ表現器と、
前記分析対象波頭の前記振幅と、前記分析対象波頭の前記位相と、前記異なる位相変化を受けた複数の変換波頭を特徴付ける前記位相変化関数と、の複素関数であって、前記複数の強度マップの各位置における強度が、主として、前記位置における前記複素関数の値と、前記位置における前記分析対象波頭の前記振幅及び前記位相と、の関数であることにより特徴付けられる複素関数を規定する複素関数規定器と、
前記複素関数を前記複数の強度マップの関数として表す複素関数表現器と、
前記複数の強度マップの関数として表された前記複素関数を使用することによって前記位相に対する複数の値を求める位相獲得器と
を含む請求項２５に記載の波頭分析装置。
【請求項２８】
前記強度マップ利用器は、前記分析対象波頭の位相の少なくとも第二階級指示の出力を得るために前記複数の強度マップを使用する請求項２５に記載の波頭分析装置。
【請求項２９】
前記分析対象波頭は、表面マッピング波頭であり、
表面からの放射を反射することによって前記表面マッピング波頭を得る波頭獲得器を備える請求項２５〜２８のいずれかに記載の表面マッピング装置。
【請求項３０】
前記分析対象波頭は、対象調査波頭であり、
前記対象物を通して放射を透過させることによって前記対象調査波頭を得る波頭獲得器を備える請求項２５〜２８のいずれかに記載の対象調査装置。
【請求項３１】
前記分析対象波頭は、スペクトル分析波頭であり、
放射を対象物に衝突させることによって前記スペクトル分析波頭を得る波頭獲得器と、
前記放射のスペクトル内容を示す出力を得るために前記振幅及び位相を示す前記出力を使用する位相及び振幅利用器と
を備える請求項２５〜２８のいずれかに記載のスペクトル分析装置。
【請求項３２】
前記分析対象波頭は、保存データ検索波頭であり、
媒体上の複数の異なる位置のそれぞれにおける媒体の高さを選択することによって符号化された情報を有する媒体からの放射を反射することによって前記保存データ検索波頭を得る波頭獲得器と、
前記情報を得るために前記振幅及び位相を示す前記出力を使用する位相及び振幅利用器と
を備える請求項２５〜２８のいずれかに記載の保存データ検索装置。
【請求項３３】
前記波頭変換器は、前記異なる位相変化を受けた変換波頭を、共通の光路に沿った前記分析対象波頭の干渉によって与える請求項２５〜３２のいずれかに記載の装置。
【請求項３４】
前記波頭変換器は、
前記分析対象波頭に対し１つの変換を適用することによって１つの変換波頭を得る変換適用器と、
前記変換波頭に対し複数の異なる位相変化を適用することによって異なる位相変化を受けた複数の変換波頭を得る位相変化適用器と
を含む請求項２５〜３３のいずれかに記載の装置。
【請求項３５】
前記複数の異なる位相変化は、空間位相変化を含む請求項３４に記載の装置。
【請求項３６】
前記複数の異なる空間位相変化は、空間的に均一であるが経時変化する空間位相変化を前記変換波頭の一部と前記分析対象波頭の一部の少なくとも一方に対し適用することによってもたらされる請求項３５に記載の装置。
【請求項３７】
前記波頭変換器は、
前記分析対象波頭に対しフーリエ変換を適用することによって１つの変換波頭を得る変換適用器、及び前記変換波頭に対し複数の異なる位相変化を適用することによって異なる位相変化を受けた複数の変換波頭を得る位相変化適用器、の少なくとも一方を備えるか、あるいは
前記分析対象波頭に対し複数の異なる位相変化を適用することによって異なる位相変化を受けた複数の波頭を得る位相変化適用器と、
前記異なる位相変化を受けた複数の波頭に対しフーリエ変換を適用することによって異なる位相変化を受けた複数の変換波頭を得る変換適用器とを備え、
前記複数の異なる位相変化は、空間位相変化を含み、
前記複数の異なる空間位相変化は、空間的に均一であるが経時変化する空間位相変化を、前記変換波頭の一部と前記分析対象波頭の一部の少なくとも一方に対し適用することによってもたらされ、
前記複数の異なる空間位相変化は、少なくとも３つの異なる位相変化を含み、
前記複数の強度マップは、少なくとも３つの強度マップを含み、
前記強度マップ利用器は、
前記分析対象波頭を、前記分析対象波頭の前記振幅及び位相と同一の振幅及び位相を有する第１の複素関数として表す波頭表現器と、
前記複数の強度マップを、前記第１の複素関数と、空間的に均一であるが経時変化する空間位相変化を統制する空間関数と、の関数として表す第１の強度マップ表現器と、
絶対値及び位相を持つ第２の複素関数を、前記第１の複素関数と、前記空間的に均一であるが経時変化する空間位相変化を統制する前記空間関数のフーリエ変換と、の畳み込み積分として規定する複素関数規定器と、
前記複数の強度マップの各々を、前記分析対象波頭の前記振幅と、前記第２の複素関数の前記絶対値と、前記分析対象波頭の前記位相と前記第２の複素関数の前記位相との差と、各々が前記少なくとも３つの強度マップの１つに対応する前記少なくとも３つの異なる位相変化の１つによって生成される既知の位相遅延と、の第３の関数として表す第２の強度マップ表現器と、
前記分析対象波頭の前記振幅と、前記第２の複素関数の前記絶対値と、前記分析対象波頭の前記位相と前記第２の複素関数の前記位相との差と、を得るために前記第３の関数を解く第１の関数解答器と、
前記第２の複素関数の前記位相を得るために前記第２の複素関数を解く第２の関数解答器と、
前記第２の複素関数の前記位相を、前記分析対象波頭の前記位相と前記第２の複素関数の前記位相との差に加えることによって、前記分析対象波頭の前記位相を得る位相獲得器と
を備える請求項２５〜３３のいずれかに記載の装置。
【請求項３８】
前記空間的に均一であるが経時変化する空間位相変化は、前記変換波頭と前記分析対象波頭の少なくとも一方の空間的中心部に対し適用される請求項３６〜３７のいずれかに記載の装置。
【請求項３９】
前記異なる位相変化を受けた複数の変換波頭は、少なくとも経時的に変化する位相変化関数を前記分析対象波頭に適用する位相変化器によって変化させられた位相を持つ複数の波頭を含む請求項２５〜３３のいずれかに記載の装置。
【請求項４０】
前記分析対象波頭は、複数の異なる波長成分を有し、そして
前記波頭変換器は、前記分析対象波頭、及び前記分析対象波頭に対し１つの変換を適用する変換適用器によって得られた１つの変換波頭、の少なくとも一方の複数の異なる波長成分に対し１つの位相変化を適用することによって、前記異なる位相変化を受けた複数の変換波頭を得る請求項２５〜３８のいずれかに記載の装置。
【請求項４１】
前記複数の異なる波長成分に対し適用される前記位相変化は、その厚さ及び屈折率の少なくとも一方が空間的に変化する前記分析対象波頭及び前記変換波頭の少なくとも一方を、対象物を通して通過させることによってもたらされる請求項４０に記載の装置。
【請求項４２】
前記分析対象波頭は、複数の異なる偏光成分を有し、そして
前記波頭変換器は、前記分析対象波頭、及びこの分析対象波頭に対し１つの変換を適用する変換適用器によって得られた１つの変換波頭、の少なくとも一方の複数の異なる偏光成分に対し１つの位相変化を適用することによって得られる請求項２５〜３８のいずれかに記載の装置。
【請求項４３】
前記強度マップ発生器は、
前記異なる位相変化を受けた複数の変換波頭に対し１つの変換を適用する第２の変換適用器を含む請求項２５〜４２のいずれかに記載の装置。
【請求項４４】
前記強度マップ利用器は、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波頭の、少なくとも一方が未知である前記振幅及び位相の少なくとも１つの数学的関数として表す強度マップ表現器と、
前記少なくとも１つの数学的関数を使用して前記振幅及び位相の少なくとも一方を示す出力を得る関数解答器と
を含む請求項２５，２８〜３６及び３９〜４３のいずれかに記載の装置。
【請求項４５】
前記波頭変換器は、
前記分析対象波頭に対し１つの変換を適用することによって１つの変換波頭を得る変換適用器、及びこの変換波頭に対し複数の異なる位相及び振幅変化を適用することにより異なる位相及び振幅変化を受けた複数の変換波頭を得る位相及び振幅変化適用器、の少なくとも１つを含むか、あるいは
前記分析対象波頭に対し複数の異なる位相及び振幅変化を適用することによって異なる位相及び振幅変化を受けた複数の変換波頭を得る位相及び振幅変化適用器と、
前記異なる位相及び振幅変化を受けた複数の変換波頭に対し１つの変換を適用することによって異なる位相及び振幅変化を受けた複数の変換波頭を得る変換適用器と
を含む請求項２５〜３３，３５〜３６及び４０〜４３のいずれかに記載の装置。
【請求項４６】
前記分析対象波頭は、少なくとも２つの波長成分を有し、
前記強度マップ発生器はまた、前記位相変化を受けた変換波頭を前記少なくとも２つの波長成分に従って分割することによって前記位相変化を受けた変換波頭の少なくとも２つの波長成分を得た後、各組が前記位相変化を受けた変換波頭の前記少なくとも２つの波長成分の異なるものに対応した少なくとも２組の強度マップを得る波頭分割器を含み、そして
前記強度マップ利用器は、前記分析対象波頭の前記位相を示す出力を、前記少なくとも２組の強度マップの各々から得ると共に、前記出力を組み合わせて前記分析対象波頭の位相の、２πアンビギュイティのない強化された指示を与える位相獲得器を含む請求項２５〜４５のいずれかに記載の装置。
【請求項４７】
前記分析対象波頭は、少なくとも１つの１次元成分を有し、
前記波頭変換器は、
前記分析対象波頭に対し、この分析対象波頭の伝播の方向に垂直な次元でなされる１次元フーリエ変換を適用することによって、前記伝播の方向に垂直な前記次元の１つの変換波頭の少なくとも１つの１次元成分を得る変換適用器と、
前記少なくとも１つの１次元成分の各々に対し、複数の異なる位相変化を適用することによって、異なる位相変化を受けた複数の変換波頭の少なくとも１つの１次元成分を得る位相変化適用器とを含み、
前記強度マップ利用器は、前記分析対象波頭の前記少なくとも１つの１次元成分の前記振幅及び位相の少なくとも一方を示す出力を得るものである請求項２５〜３３，３５〜３８，４０〜４２，４５及び４６のいずれかに記載の装置。
【請求項４８】
前記位相変化適用器は、前記分析対象波頭と１つの要素との間に相対移動を与える移動発生器を含み、前記要素は、空間的に変化するが経時的に一定の位相変化を発生し、前記相対移動は、前記伝播の方向と、この伝播の方向に垂直な前記次元と、の双方に対し垂直な１つの付加的次元でなされる請求項４７に記載の装置。
【請求項４９】
前記放射は、各々が異なる波長を中心とした少なくとも２つの狭帯域を有して、前記分析対象波頭内の少なくとも２つの波長成分と、前記分析対象波頭の前記位相の少なくとも２つの指示とを与え、これにより前記２つの狭帯域の中心がある前記異なる波長の大きい方を超える前記マッピング内でのアンビギュイティを回避して、前記放射が衝突している被衝突要素の特徴の強化されたマッピングを可能にし、そして前記特徴は、表面、厚さの幾何学的変化及び前記要素の幾何学的変化の少なくとも１つを含んでいる請求項２９〜３０のいずれかに記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１Ａ】
2003530564.tif 000001
【図１Ｂ】
2003530564.tif 000002
【図２】
2003530564.tif 000003
【図３】
2003530564.tif 000004
【図４】
2003530564.tif 000005
【図５】
2003530564.tif 000006
【図６】
2003530564.tif 000007
【図７】
2003530564.tif 000008
【図８】
2003530564.tif 000009
【図９】
2003530564.tif 000010
【図１０Ａ】
2003530564.tif 000011
【図１０Ｂ】
2003530564.tif 000012
【図１１】
2003530564.tif 000013
【図１２】
2003530564.tif 000014
【図１３】
2003530564.tif 000015
【図１４】
2003530564.tif 000016
【図１５】
2003530564.tif 000017
【図１６】
2003530564.tif 000018
【図１７】
2003530564.tif 000019
【図１８】
2003530564.tif 000020
【図１９】
2003530564.tif 000021
【図２０】
2003530564.tif 000022
【図２１Ａ】
2003530564.tif 000023
【図２１Ｂ】
2003530564.tif 000024
【図２２】
2003530564.tif 000025