【手続補正書】
【提出日】平成19年7月3日(2007.7.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  載置台の凸部によって基板を支持し吸着する基板吸着保持方法において、
基板の加工時の位置合わせに用いる位置合わせマークの位置または位置合わせマークを作成する位置が前記凸部上になるように基板を保持することを特徴とする基板吸着保持方法。
【請求項２】  載置台の凸部によって基板を支持し吸着する基板吸着保持方法において、
基板の加工時の位置合わせに用いる位置合わせマークの位置または位置合わせマークを作成する位置が前記凸部の配列の中央部になるように基板を保持することを特徴とする基板吸着保持方法。
【請求項３】  載置台の凸部によって基板を支持し吸着する基板吸着保持方法において、
前記凸部に形成された溝を利用して前記凸部の内側を真空吸引するとともに、前記凸部の周りの圧力を調整して基板を保持することを特徴とする基板吸着保持方法。
【請求項４】  基板を支持する凸部を有する載置台を備え、該凸部によって基板を支持し吸着する基板吸着保持装置において、
基板の加工時の位置合わせに用いる位置合わせマークの位置または位置合わせマークを作成する位置が前記凸部上になるように基板を保持することを特徴とする基板吸着保持装置。
【請求項５】  基板を支持する凸部を有する載置台を備え、該凸部によって基板を支持し吸着する基板吸着保持装置において、
基板の加工時の位置合わせに用いる前記位置合わせマークの位置または位置合わせマークを作成する位置が前記凸部の配列の中央部になるように基板を保持することを特徴とする基板吸着保持装置。
【請求項６】  前記基板は複数の加工領域を有し、前記凸部は、前記基板における各加工領域のいずれに対しても同一の配列となるように形成されていることを特徴とする請求項４または５に記載の基板吸着保持装置。
【請求項７】  前記凸部は、前記基板における前記位置合わせマークまたは位置合わせマークを作成する各加工領域のいずれに対しても同一の配列となるように形成されていることを特徴とする請求項４ないし６のいずれか１項に記載の基板吸着保持装置。
【請求項８】  前記位置合わせマークの位置または位置合わせマークを作成する位置が、前記基板の複数の加工領域範囲の外側に設けられていることを特徴とする請求項４ないし７のいずれか１項に記載の基板吸着保持装置。
【請求項９】  前記凸部は、前記位置合わせマークの位置または位置合わせマークを作成する位置に対応する部位を囲むように配置されていることを特徴とする請求項８に記載の基板吸着保持装置。
【請求項１０】  前記凸部は、縁堤型凸部とピン接触型凸部の少なくとも一方であることを特徴とする請求項４ないし９のいずれか１項に記載の基板吸着保持装置。
【請求項１１】  前記基板の各加工領域内での前記載置台と前記基板との空間の圧力を調整することができる圧力調整手段を備えていることを特徴とする請求項４ないし１０のいずれか１項に記載の基板吸着保持装置。
【請求項１２】  前記圧力調整手段は、前記基板の各加工領域内での基板吸着力を基板全体にわたって同一にすることができるように構成されていることを特徴とする請求項１１に記載の基板吸着保持装置。
【請求項１３】  前記載置台と前記基板との間を減圧することにより基板を前記載置台上に吸着保持する真空吸引手段を備えていることを特徴とする請求項４ないし１０のいずれか１項に記載の基板吸着保持装置。
【請求項１４】  前記基板の位置合わせマークの位置または位置合わせマークを作成する位置と前記載置台の凸部との位置関係を位置調整しうる機構を備えることを特徴とする請求項４ないし１３のいずれか１項に記載の基板吸着保持装置。
【請求項１５】  基板を支持する凸部を有する載置台を備え、該凸部によって基板を支持し吸着する基板吸着保持装置において、
前記凸部は、該凸部の内側に設けられ前記基板を真空吸引するための吸引溝を有し、前記基板を保持するため前記凸部の周りの圧力を調整する圧力調整手段とを有することを特徴とする基板吸着保持装置。
【請求項１６】  請求項４ないし１５のいずれか１項に記載の基板吸着保持装置、および該基板吸着保持装置により吸着保持された基板に対して原版のパターンを露光転写する露光手段を備えていることを特徴とする露光装置。
【請求項１７】  基板の吸着保持に起因する基板の加工表面の変形によって発生する位置合わせマークの座標誤差を、基板の位置合わせマークと凸部の配列との位置関係から算出する制御手段を備えていることを特徴とする請求項１６に記載の露光装置。
【請求項１８】  前記制御手段は、基板の位置合わせマークと凸部の配列との位置関係に基づく関数またはテーブルにより前記座標誤差を算出することを特徴とする請求項１７に記載の露光装置。
【請求項１９】  前記制御手段は、算出された位置合わせマークの座標誤差に基づいて計測された位置合わせマークの位置を補正する機能を有することを特徴とする請求項１７または１８に記載の露光装置。
【請求項２０】  前記制御手段は、位置合わせマークの座標誤差に基づいて投影光学系を制御し、基板の位置合わせを行なう機能を有することを特徴とする請求項１７ないし１９のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項２１】  請求項１６ないし１９のいずれか１項に記載の露光装置を用いて回路パターンを基板に露光転写する工程と、
該露光した基板を現像する工程と、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の基板吸着保持方法は、載置台の凸部によって基板を支持し吸着する基板吸着保持方法において、基板の加工時の位置合わせに用いる位置合わせマークの位置または位置合わせマークを作成する位置が前記凸部上になるように基板を保持することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の他の基板吸着保持方法においては、載置台の凸部によって基板を支持し吸着する基板吸着保持方法において、基板の加工時の位置合わせに用いる位置合わせマークの位置または位置合わせマークを作成する位置が前記凸部の配列の中央部になるように基板を保持することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の他の基板吸着保持方法は、載置台の凸部によって基板を支持し吸着する基板吸着保持方法において、前記凸部に形成された溝を利用して前記凸部の内側を真空吸引するとともに、前記凸部の周りの圧力を調整して基板を保持することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
さらに、本発明の基板吸着保持装置は、基板を支持する凸部を有する載置台を備え、該凸部によって基板を支持し吸着する基板吸着保持装置において、基板の加工時の位置合わせに用いる位置合わせマークの位置または位置合わせマークを作成する位置が前記凸部上になるように基板を保持することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の他の基板吸着保持装置は、基板を支持する凸部を有する載置台を備え、該凸部によって基板を支持し吸着する基板吸着保持装置において、基板の加工時の位置合わせに用いる前記位置合わせマークの位置または位置合わせマークを作成する位置が前記凸部の配列の中央部になるように基板を保持することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の基板吸着保持装置においては、前記基板の位置合わせマークの位置または位置合わせマークを作成する位置と前記載置台の凸部との位置関係を位置調整しうる機構を備えることが望ましい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、本発明のデバイス製造方法は、上述した露光装置を用いて回路パターンを基板に露光転写する工程と、該露光した基板を現像する工程と、を有することを特徴とする。