【手続補正書】
【提出日】平成19年7月3日(2007.7.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機薄膜形成用溶液を、基材の表面に接触させる工程を有する有機薄膜形成方法であって、前記有機薄膜形成用溶液が、水酸基又は加水分解性基を有する金属系界面活性剤を、有機溶媒中、金属；金属塩；金属酸化物；金属水酸化物；担体に担持された金属；担体に担持された金属塩；担体に担持された金属酸化物；キレート化又は配位化された金属化合物；及び金属ナノ粒子から選ばれる少なくとも１種、並びに水で処理することによって得られるものであることを特徴とする有機薄膜形成方法。
【請求項２】
前記有機薄膜形成用溶液中の水分量を所定量範囲内にする又は保持することを特徴とする請求項１に記載の有機薄膜形成方法。
【請求項３】
前記有機薄膜形成用溶液中の水分量を５０〜１０００ｐｐｍの範囲にする又は保持することを特徴とする請求項２に記載の有機薄膜形成方法。
【請求項４】
前記金属；金属塩；金属酸化物；金属水酸化物；担体に担持された金属；担体に担持された金属塩；担体に担持された金属酸化物；キレート化又は配位化された金属化合物；及び金属ナノ粒子から選ばれる少なくとも１種を、前記水酸基又は加水分解性基を有する金属系界面活性剤１モルに対して、０．００１〜１モル用いることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の有機薄膜形成方法。
【請求項５】
前記水酸基又は加水分解性基を有する金属系界面活性剤が、式（Ｉ）
【化１】
2006110476.tif 000001
［式中、Ｒ1は、置換基を有していてもよい炭化水素基、置換基を有していてもよいハロゲン化炭化水素基、連結基を含む炭化水素基、又は連結基を含むハロゲン化炭化水素基を表し、Ｍは、ケイ素原子、ゲルマニウム原子、スズ原子、チタン原子、及びジルコニウム原子からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属原子を表し、Ｘは、水酸基又は加水分解性基を表し、ｎは、１〜（ｍ−１）のいずれかの整数を表し、ｍはＭの原子価を表し、ｎが２以上のとき、Ｒ1は、同一であっても、相異なっていてもよく、（ｍ−ｎ）が２以上のとき、Ｘは同一であっても、相異なっていてもよい。］で表される化合物であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の有機薄膜形成方法。
【請求項６】
水酸基又は加水分解性基を有する金属系界面活性剤が、式（II）
【化２】
2006110476.tif 000002
［式中、Ｍ、Ｘ及びｍは前記と同じ意味を表す。Ｒ2〜Ｒ6は、それぞれ独立して、水素原子又はフッ素原子を表し、Ｒ7は、アルキレン基、ビニレン基、エチニレン基、アリーレン基、又はケイ素原子及び／若しくは酸素原子を含む２価の連結基を表す。Ｙは、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、含フッ素アルキル基、又は含フッ素アルコキシ基を表す。ｐは０又は自然数を表し、ｑは０又は１を表す。ｐが２以上のとき、Ｒ5同士及び／又はＲ6同士は、同一であっても、相異なっていてもよい。ｒは０又は１から（ｍ−２）の正整数を表し、ｒが２以上のとき、Ｙは同一であっても、相異なっていてもよく、（ｍ−ｒ−１）が２以上のとき、Ｘは同一であっても、相異なっていてもよい。］で表される化合物であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の有機薄膜形成方法。
【請求項７】
前記Ｘの加水分解性基が、置換基を有していてもよい炭化水素オキシ基、置換基を有していてもよいアシルオキシ基、又はハロゲン原子であることが特徴とする請求項５又は６に記載の有機薄膜形成方法。
【請求項８】
前記有機溶媒が、炭化水素系溶媒、フッ化炭素系溶媒、及びシリコーン系溶媒から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の有機薄膜形成方法。
【請求項９】
有機薄膜が、単分子膜であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の有機薄膜形成方法。
【請求項１０】
水酸基又は加水分解性基を有する金属系界面活性剤を、有機溶媒中、金属；金属塩；金属酸化物；金属水酸化物；担体に担持された金属；担体に担持された金属塩；担体に担持された金属酸化物；キレート化又は配位化された金属化合物；及び金属ナノ粒子から選ばれる少なくとも１種、並びに水で処理することによって調製したものであることを特徴とする有機薄膜形成用溶液。
【請求項１１】
前記有機薄膜形成用溶液中の水分量を所定量範囲内にする又は保持することを特徴とする請求項１０に記載の有機薄膜形成用溶液。
【請求項１２】
前記有機薄膜形成用溶液中の水分量を５０〜１０００ｐｐｍの範囲にする又は保持することを特徴とする請求項１１に記載の有機薄膜形成用溶液。
【請求項１３】
前記金属；金属塩；金属酸化物；金属水酸化物；担体に担持された金属；担体に担持された金属塩；担体に担持された金属酸化物；キレート化又は配位化された金属化合物；及び金属ナノ粒子から選ばれる少なくとも１種を、前記水酸基又は加水分解性基を有する金属系界面活性剤１モルに対して、０．００１〜１モル用いることを特徴とする請求項１０〜１２のいずれかに記載の有機薄膜形成用溶液。
【請求項１４】
前記水酸基又は加水分解性基を有する金属系界面活性剤が、式（Ｉ）
【化３】
2006110476.tif 000003
［式中、Ｒ1は、置換基を有していてもよい炭化水素基、置換基を有していてもよいハロ
ゲン化炭化水素基、連結基を含む炭化水素基、又は連結基を含むハロゲン化炭化水素基を表し、Ｍは、ケイ素原子、ゲルマニウム原子、スズ原子、チタン原子、及びジルコニウム原子からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属原子を表し、Ｘは、水酸基又は加水分解性基を表し、ｎは、１〜（ｍ−１）のいずれかの整数を表し、ｍはＭの原子価を表し、ｎが２以上のとき、Ｒ1は、同一であっても、相異なっていてもよく、（ｍ−ｎ）が２以
上のとき、Ｘは同一であっても、相異なっていてもよい。］で表される化合物であることを特徴とする請求項１０〜１３のいずれかに記載の有機薄膜形成用溶液。
【請求項１５】
水酸基又は加水分解性基を有する金属系界面活性剤が、式（II）
【化４】
2006110476.tif 000004
［式中、Ｍ、Ｘ及びｍは前記と同じ意味を表す。Ｒ2〜Ｒ6は、それぞれ独立して、水素原子又はフッ素原子を表し、Ｒ7は、アルキレン基、ビニレン基、エチニレン基、アリーレ
ン基、又はケイ素原子及び／若しくは酸素原子を含む２価の連結基を表す。Ｙは、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、含フッ素アルキル基、又は含フッ素アルコキシ基を表す。ｐは０又は自然数を表し、ｑは０又は１を表す。ｐが２以上のとき、Ｒ5同士及び／又
はＲ6同士は、同一であっても、相異なっていてもよい。ｒは０又は１から（ｍ−２）の
正整数を表し、ｒが２以上のとき、Ｙは同一であっても、相異なっていてもよく、（ｍ−ｒ−１）が２以上のとき、Ｘは同一であっても、相異なっていてもよい。］で表される化合物であることを特徴とする請求項１０〜１４のいずれかに記載の有機薄膜形成用溶液。
【請求項１６】
前記Ｘの加水分解性基が、置換基を有していてもよい炭化水素オキシ基、置換基を有していてもよいアシルオキシ基、又はハロゲン原子であることが特徴とする請求項１４又は１５に記載の有機薄膜形成用溶液。
【請求項１７】
前記有機溶媒が、炭化水素系溶媒、フッ化炭素系溶媒、及びシリコーン系溶媒から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする請求項１０〜１６のいずれかに記載の有機薄膜形成用溶液。