【手続補正書】
【提出日】平成20年3月3日(2008.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  基板を処理するためのプラズマ処理システムであって、
ほぼ軸対称の単一のプラズマ処理チャンバであって、前記処理のために内部でプラズマの発生と維持との双方が実行され、プラズマ生成用のチャンバを別途有さず、上端と下端とを有する、前記プラズマ処理チャンバと、
前記プラズマ処理チャンバの上端に設けられた結合窓と、
前記基板が前記処理のために前記プラズマ処理チャンバ内に配置された際に前記基板によって規定される平面の上方に設けられた高周波アンテナ構成と、
前記基板によって規定される前記平面の上方に設けられた電磁石構成であって、少なくとも１の直流電流が供給されるときに、前記結合窓および前記アンテナに近い領域における前記プラズマ処理チャンバ内の制御可能な磁場に、前記基板全体の処理の均一性に効果的に作用する半径方向の変化を生じさせるように構成された前記電磁石構成と、
前記電磁石構成に結合された直流電源であって、前記少なくとも１の直流電流の大きさを変更することによって、前記アンテナに近い前記領域における前記プラズマ処理チャンバ内の前記制御可能な磁場の半径方向の変化を変更し、この結果、前記基板全体の前記処理の均一性を向上させるコントローラを有する前記直流電源と、
を備えるプラズマ処理システム。
【請求項２】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、
前記高周波アンテナ構成は、前記結合窓の上方に設けられている、プラズマ処理システム。
【請求項３】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、
前記高周波アンテナ構成と前記電磁石構成とは、前記制御可能な磁場中に前記半径方向の変化を生じさせるために、前記プラズマ処理チャンバの軸に沿って空間的にオフセットされている、プラズマ処理システム。
【請求項４】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、
前記電磁石構成は、少なくとも２つの電磁石を含む、プラズマ処理システム。
【請求項５】  請求項２記載のプラズマ処理システムであって、
前記電磁石構成は、２つの同心の電磁コイルを含み、
前記２つの同心の電磁コイルのうちの第１の電磁コイルは、第１の方向の第１の直流電流を流すように構成されており、
前記２つの同心の電磁コイルのうちの第２の電磁コイルは、前記第１の方向と反対の第２の方向の第２の直流電流を流すように構成されている、プラズマ処理システム。
【請求項６】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、
前記結合窓は、誘電体窓である、プラズマ処理システム。
【請求項７】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、
前記結合窓は、実質的に非平面状である、プラズマ処理システム。
【請求項８】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、
前記結合窓は、実質的に平面状である、プラズマ処理システム。
【請求項９】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、
前記アンテナは、実質的に平面状である、プラズマ処理システム。
【請求項１０】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、
前記アンテナは、実質的に非平面状である、プラズマ処理システム。
【請求項１１】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、
前記基板は、半導体ウエハである、プラズマ処理システム。
【請求項１２】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、
前記基板は、フラットパネルディスプレイの製造に使用されるガラスまたはプラスチックのパネルである、プラズマ処理システム。
【請求項１３】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、
前記高周波アンテナ構成は、前記プラズマ処理チャンバの軸を中心としてほぼ対称である、プラズマ処理システム。
【請求項１４】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、
前記プラズマ処理チャンバ内のプラズマ密度分布に影響を及ぼす前記プラズマ処理チャンバに関連する構造は、前記プラズマ処理チャンバの軸を中心としてほぼ対称に構成されている、プラズマ処理システム。
【請求項１５】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、
前記プラズマ処理チャンバの出力ポートは、前記プラズマ処理チャンバの軸を中心としてほぼ対称である、プラズマ処理システム。
【請求項１６】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、さらに、
可動チャック構成を備え、
前記可動チャック構成は、前記基板をロードおよびアンロードするための第１の位置と、前記基板を処理するための第２の位置と、の間で移動するように構成されている、プラズマ処理システム。
【請求項１７】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、さらに、
前記プラズマ処理チャンバの周囲に設けられた磁気バケット構成を備える、プラズマ処理システム。
【請求項１８】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、さらに、
前記プラズマ処理チャンバの周囲に設けられた磁気バケット構成であって、ほぼ対称な磁束板システムによって囲まれた前記磁気バケット構成を備える、プラズマ処理システム。
【請求項１９】  請求項１８記載のプラズマ処理システムであって、
前記対称な磁束板システムは、
前記磁気バケット構成の外周を囲むように連続的に設けられた磁束板を含み、
前記磁束板は、前記磁気バケット構成の磁気要素の近くに配置されている、プラズマ処理システム。
【請求項２０】  請求項１７記載のプラズマ処理システムであって、
前記磁気バケット構成は、前記プラズマ処理チャンバの外側において前記プラズマ処理チャンバの軸にほぼ平行に設けられた複数の永久磁石を含む、プラズマ処理システム。
【請求項２１】  請求項２０記載のプラズマ処理システムであって、
前記複数の永久磁石は、前記プラズマ処理チャンバの前記上端から前記下端までの高さの一部分にのみ及ぶ、プラズマ処理システム。
【請求項２２】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、
前記処理は、前記基板のエッチングを含む、プラズマ処理システム。
【請求項２３】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、さらに、
前記処理の際に前記基板を支持するように構成された基板支持部と、
前記基板支持部に結合された第１の高周波電源であって、前記高周波アンテナ構成に結合された第２の高周波電源と独立して制御可能な前記第１の高周波電源と、
を備える、プラズマ処理システム。
【請求項２４】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、
前記制御可能な磁場の前記半径方向の変化を変更する処理は、前記制御可能な磁場の大きさ成分を変更する処理を含む、プラズマ処理システム。
【請求項２５】  請求項１記載のプラズマ処理システムであって、
前記制御可能な磁場の前記半径方向の変化を変更する処理は、前記制御可能な磁場のトポロジー成分を変更する処理を含む、プラズマ処理システム。
【請求項２６】  プラズマ処理を用いて基板を処理する際に処理の均一性を制御するための方法であって、
ほぼ軸対称の構成を有し、前記基板を処理する際に内部でプラズマを発生と維持との双方が実行される単一のプラズマ処理チャンバであって、プラズマ生成用のチャンバを別途有さない、前記プラズマ処理チャンバを準備する工程と、
前記プラズマ処理システムの上端に設けられる結合窓を準備する工程と、
前記基板が前記処理のために前記プラズマ処理チャンバ内に配置された際に前記基板によって規定される平面の上方に設けられる高周波アンテナ構成を準備する工程と、
前記基板によって規定される前記平面の上方に設けられる電磁石構成であって、少なくとも１の直流電流が供給されるときに、前記結合窓および前記アンテナに近い領域における前記プラズマ処理チャンバ内の制御可能な磁場に、前記基板全体の処理の均一性に効果的に作用する半径方向の変化を生じさせるように構成された前記電磁石構成を準備する工程と、
前記電磁石構成に結合される直流電源を準備する工程と、
前記基板を前記プラズマ処理チャンバ内に配置する工程と、
前記プラズマ処理チャンバ内に反応ガスを流入させる工程と、
前記反応ガスからプラズマを発生させる工程と、
前記アンテナに近い前記領域における前記プラズマ処理チャンバ内の前記制御可能な磁場の前記半径方向の変化を変更し、この結果、前記基板全体の前記処理の均一性を向上させる工程と、
を備える方法。
【請求項２７】  請求項２６記載の方法であって、さらに、
前記プラズマ処理チャンバの周囲に設けられる磁気バケット構成を準備する工程を備える、方法。
【請求項２８】  請求項２６記載の方法であって、
前記プラズマ処理チャンバ内に前記基板を配置する工程は、前記電磁石構成によって生成される磁力線の軸方向の勾配を最小化する位置に、前記基板を配置する工程を含む、方法。
【請求項２９】  請求項２６記載の方法であって、
前記半径方向の変化を変更する工程は、
前記直流電流の大きさを変更する工程と、
前記直流電流の方向を変更する工程と、
前記高周波アンテナの１つを移動させる工程と、
前記電磁石構成を前記基板に対して移動させる工程と、
磁束板材料の集合体を前記電磁石構成の付近で移動させる工程と、
のうち少なくとも１つを含む、方法。
【請求項３０】  請求項２９記載の方法であって、
前記制御可能な磁場の前記半径方向の変化を変更する工程は、前記直流電流の大きさを変更する工程である、方法。
【請求項３１】  請求項２９記載の方法であって、
前記制御可能な磁場の前記半径方向の変化を変更する工程は、前記電磁石構成の１つを前記基板に対して移動させる工程である、方法。
【請求項３２】  請求項２９記載の方法であって、
前記制御可能な磁場の前記半径方向の変化を変更する工程は、前記磁束板材料の集合体を前記電磁石構成に対して移動させる工程である、方法。
【請求項３３】  基板を処理するためのプラズマ処理システムであって、
ほぼ軸対称の単一のプラズマ処理チャンバであって、前記処理のために内部でプラズマの発生と維持との双方が実行され、プラズマ生成用のチャンバを別途有さず、上端と下端とを有する、前記プラズマ処理チャンバと、
前記プラズマ処理チャンバの上端に設けられた結合窓と、
前記基板が前記処理のために前記プラズマ処理チャンバ内に配置された際に前記基板によって規定される平面の上方に設けられた高周波アンテナ構成と、
前記高周波アンテナに結合された第１の高周波電源と、
前記基板によって規定される前記平面の上方に設けられた磁石構成であって、自身が発散する磁力線に起因して、前記結合窓および前記アンテナに近い領域における前記プラズマ処理チャンバ内の制御可能な磁場に、前記基板全体の処理の均一性に効果的に作用する半径方向の変化を生じさせるように構成された前記磁石構成と、
前記処理の際に、前記プラズマ処理チャンバ内で前記基板を支持するように構成された基板支持構成と、
前記基板サポート構成に結合され、前記第１の高周波電源と独立して制御可能な第２の高周波電源と、
前記アンテナに近い前記領域における前記プラズマ処理チャンバ内の前記制御可能な磁場の前記半径方向の変化を変更し、この結果、前記基板全体の前記処理の均一性を向上させるための手段と、
を備えるプラズマ処理システム。
【請求項３４】  請求項３３記載のプラズマ処理システムであって、
前記手段は、前記磁石構成と前記高周波アンテナとのうちの一方を前記基板に対して移動させるための構成である、プラズマ処理システム。
【請求項３５】  請求項３３記載のプラズマ処理システムであって、
前記磁気構成は、少なくとも１つの電磁コイルを備え、
前記手段は、前記少なくとも１つの電磁コイルに供給される直流電流の大きさを変更するための構成である、プラズマ処理システム。
【請求項３６】  請求項３３記載のプラズマ処理システムであって、
前記手段は、磁束に影響を及ぼす材料の集合体を前記磁石構成の付近で移動させるための構成である、プラズマ処理システム。
【請求項３７】  請求項３３記載のプラズマ処理システムであって、さらに、
前記プラズマ処理チャンバの周囲に設けられた磁気バケット構成を備える、プラズマ処理システム。
【請求項３８】  請求項３７記載のプラズマ処理システムであって、
前記磁気バケット構成は、前記プラズマ処理チャンバの外側において前記プラズマ処理チャンバの軸にほぼ平行に設けられた複数の永久磁石を含む、プラズマ処理システム。
【請求項３９】  請求項３８記載のプラズマ処理システムであって、
前記複数の永久磁石は、前記プラズマ処理チャンバの前記上端から前記下端までの高さの一部分にのみ及ぶ、プラズマ処理システム。
【請求項４０】  請求項３３記載のプラズマ処理システムであって、
前記プラズマ処理チャンバは、ほぼ円筒形状を有する、プラズマ処理システム。
【請求項４１】  請求項３３記載のプラズマ処理システムであって、
前記プラズマ処理チャンバは、少なくとも１つの曲がった側壁を有する、プラズマ処理システム。
【請求項４２】 基板を処理するためのプラズマ処理システムであって、
ほぼ軸対称の単一のプラズマ処理チャンバであって、前記処理のために内部でプラズマの発生と維持との双方が実行され、プラズマ生成用のチャンバを別途有さず、上端と下端とを有する、前記プラズマ処理チャンバと、
前記プラズマ処理チャンバの上端に設けられた結合窓と、
高周波アンテナ構成と、
前記高周波アンテナの上方に離間して設けられた電磁石構成であって、少なくとも１の直流電流が供給されるときに、前記結合窓および前記アンテナに近い領域における前記プラズマ処理チャンバ内の制御可能な磁場に、前記基板全体の処理の均一性に効果的に作用する半径方向の変化を生じさせるように構成された前記電磁石構成と、
前記電磁石構成に結合された直流電源であって、前記少なくとも１の直流電流の大きさを変更することによって前記磁場を調整して、前記アンテナに近い前記領域における前記プラズマ処理チャンバ内の前記制御可能な磁場の半径方向の変化を変更し、この結果、前記基板全体の前記処理の均一性を向上させるコントローラを有する前記直流電源と、
を備えるプラズマ処理システム。
【請求項４３】 請求項４２記載のプラズマ処理システムであって、前記高周波アンテナ構成は、前記結合窓の上方に配置された三次元の積層構成である、プラズマ処理システム。
【請求項４４】 請求項４２記載のプラズマ処理システムであって、前記高周波アンテナ構成は、前記基板が前記処理のために前記プラズマ処理チャンバ内に配置された際に前記基板によって規定される平面の上方に設けられている、プラズマ処理システム。
【請求項４５】 請求項１記載のプラズマ処理システムであって、前記電磁石構成は、前記高周波アンテナ構成の上方に離間して設けられている、プラズマ処理システム。
【請求項４６】 請求項２６記載の方法であって、前記電磁石構成は、前記高周波アンテナ構成の上方に離間して設けられている、方法。
【請求項４７】 請求項３３記載のプラズマ処理システムであって、前記電磁石構成は、前記高周波アンテナ構成の上方に離間して設けられている、プラズマ処理システム。