【手続補正書】
【提出日】平成19年6月8日(2007.6.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被駆動部材と、
前記被駆動部材に接触する複数の接触部が形成され、単一の部材にて構成される弾性部材と、
前記弾性部材の前記接触部を有する面とは異なる面に接合された電気−機械変換素子とを備え、
前記弾性部材及び前記電気−機械変換素子の少なくとも一方は、前記被駆動部材と対向する部位を有し、該部位には、前記弾性部材が前記接触部で前記被駆動部材と接触するように前記接触部以外の箇所で少なくとも１つの凹部が形成されていることを特徴とする振動波駆動装置。
【請求項２】
前記弾性部材の前記被駆動部材と対向しない部位は、前記接触部と同一面をなすように形成されていることを特徴とする請求項１記載の振動波駆動装置。
【請求項３】
前記弾性部材は、金属の板材から打ち抜き加工又はエッチング加工により形成されることを特徴とする請求項１又は２記載の振動波駆動装置。
【請求項４】
前記電気−機械変換素子は、圧電材料と電極材料が交互に積層された積層圧電素子であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
【請求項５】
前記弾性部材は、前記振動子の振動特性を調整するための第２の凹部を複数箇所に備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
【請求項６】
前記弾性部材に、前記振動子を支持するための少なくとも１つの支持部が一体的に形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
【請求項７】
前記電気−機械変換素子は、波長方向の異なる複数の面外曲げ振動モードで前記弾性部材を励振することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
【請求項８】
前記複数の接触部は、一方の曲げ振動モードの腹部付近且つ他方の曲げ振動モードの節部付近に形成されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の振動波駆動装置。
【請求項９】
前記接触部は、前記電気−機械変換素子が接合された面に少なくとも１つの隙間を有することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
【請求項１０】
前記被駆動部材と前記弾性部材とで磁気回路を形成することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
【請求項１１】
複数の接触部が形成され、単一の部材にて構成される弾性部材と、
前記弾性部材の前記接触部を有する面とは異なる面に接合された電気−機械変換素子とを備え、
前記電気−機械変換素子は、波長方向の異なる複数の面外曲げ振動モードで前記弾性部材を励振するものであって、前記弾性部材の前記複数の接触部の間には凹部が形成されていることを特徴とする振動子。
【請求項１２】
前記弾性部材は、金属の板材から打ち抜き加工又はエッチング加工により形成されることを特徴とする請求項１１記載の振動子。
【請求項１３】
前記電気−機械変換素子は、圧電材料と電極材料が交互に積層された積層圧電素子であることを特徴とする請求項１１又は１２記載の振動子。
【請求項１４】
前記弾性部材は、前記振動子の振動特性を調整するための第２の凹部を複数箇所に備えることを特徴とする請求項１１乃至１３のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項１５】
前記弾性部材に、前記振動子を支持するための少なくとも１つの支持部が一体的に形成されていることを特徴とする請求項１１乃至１４のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項１６】
前記複数の接触部は、一方の曲げ振動モードの腹部付近且つ他方の曲げ振動モードの節部付近に形成されていることを特徴とする請求項１１乃至１５のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項１７】
前記接触部は、前記電気−機械変換素子との対向面に少なくとも１つの隙間を有することを特徴とする請求項１１乃至１６のいずれか１項に記載の振動子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記目的を達成するために、請求項１記載の振動波駆動装置は、被駆動部材と、前記被駆動部材に接触する複数の接触部が形成され、単一の部材にて構成される弾性部材と、前記弾性部材の前記接触部を有する面とは異なる面に接合された電気−機械変換素子とを備え、前記弾性部材及び前記電気−機械変換素子の少なくとも一方は、前記被駆動部材と対向する部位を有し、該部位には、前記弾性部材が前記接触部で前記被駆動部材と接触するように前記接触部以外の箇所で少なくとも１つの凹部が形成されていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項２記載の振動波駆動装置は、請求項１記載の振動波駆動装置において、前記弾性部材の前記被駆動部材と対向しない部位は、前記接触部と同一面をなすように形成されていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項５記載の振動波駆動装置は、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動波駆動装置において、前記弾性部材は、前記振動子の振動特性を調整するための第２の凹部を複数箇所に備えることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項６記載の振動波駆動装置は、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動波駆動装置において、前記弾性部材に、前記振動子を支持するための少なくとも１つの支持部材が一体的に形成されていることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項７記載の振動波駆動装置は、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動波駆動装置において、前記電気−機械変換素子は、波長方向の異なる複数の面外曲げ振動モードで前記弾性部材を励振することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項８記載の振動波駆動装置は、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動波駆動装置において、前記複数の接触部は、一方の曲げ振動モードの腹部付近且つ他方の曲げ振動モードの節部付近に形成されていることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項９記載の振動波駆動装置は、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振動波駆動装置において、前記接触部は、前記電気−機械変換素子が接合された面に少なくとも１つの隙間を有することを特徴とする。
請求項１０記載の振動波駆動装置は、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の振動波駆動装置において、前記被駆動部材と前記弾性部材とで磁気回路を形成することを特徴とする。
上記目的を達成するために、請求項１１記載の振動子は、複数の接触部が形成され、単一の部材にて構成される弾性部材と、前記弾性部材の前記接触部を有する面とは異なる面に接合された電気−機械変換素子とを備え、前記電気−機械変換素子は、波長方向の異なる複数の面外曲げ振動モードで前記弾性部材を励振するものであって、前記弾性部材の前記複数の接触部の間には凹部が形成されていることを特徴とする。
請求項１２記載の振動子は、請求項１１記載の振動子において、前記弾性部材は、金属の板材から打ち抜き加工又はエッチング加工により形成されることを特徴とする。
請求項１３記載の振動子は、請求項１１又は１２記載の振動子において、前記電気−機械変換素子は、圧電材料と電極材料が交互に積層された積層圧電素子であることを特徴とする。
請求項１４記載の振動子は、請求項１１乃至１３のいずれか１項に記載の振動子において、前記弾性部材は、前記振動子の振動特性を調整するための第２の凹部を複数箇所に備えることを特徴とする。
請求項１５記載の振動子は、請求項１１乃至１４のいずれか１項に記載の振動子において、前記弾性部材に、前記振動子を支持するための少なくとも１つの支持部が一体的に形成されていることを特徴とする。
請求項１６記載の振動子は、請求項１１乃至１５のいずれか１項に記載の振動子において、前記複数の接触部は、一方の曲げ振動モードの腹部付近且つ他方の曲げ振動モードの節部付近に形成されていることを特徴とする。
請求項１７記載の振動子は、請求項１１乃至１６のいずれか１項に記載の振動子において、前記接触部は、前記電気−機械変換素子との対向面に少なくとも１つの隙間を有することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の振動波駆動装置又は振動子によれば、機械加工時に必要な部品精度を容易に確保しつつ、突起をなくして振動子のサイズを小さくし、ひいては対サイズ出力比を向上させることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】