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【手続補正書】
【提出日】平成19年1月23日(2007.1.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  基板上に、記録層と、中間層と、カバー層と、が順次形成され、前記カバー層側から３８０〜５００ｎｍの波長のレーザー光を照射することにより情報の記録再生が可能な光情報記録媒体であって、
前記記録層が有機物の層であり、かつ前記中間層が前記波長のレーザー光の吸収率が１０％以下の導電体の層であることを特徴とする光情報記録媒体。
【請求項２】  前記中間層の層厚が、０．５〜１０ｎｍであることを特徴とする請求項１に記載の光情報記録媒体。
【請求項３】  前記導電体が、ＺｎＯ単独、又はＺｎＯと軽金属の酸化物との複合物であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光情報記録媒体。
【請求項４】  前記有機物が、トリアゾール系化合物、フタロシアニン化合物、ポリフィリン系化合物、アミノブタジエン系化合物、及びシアニン系化合物からなる群から選択された少なくとも一種であることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
＜２＞  前記中間層の層厚が、０．５〜１０ｎｍであることを特徴とする＜１＞に記載の光情報記録媒体である。
＜３＞  前記導電体が、ＺｎＯ単独、又はＺｎＯと軽金属の酸化物との複合物である前記＜１＞又は＜２＞に記載の光情報記録媒体である。
＜４＞  前記有機物が、トリアゾール系化合物、フタロシアニン化合物、ポリフィリン系化合物、アミノブタジエン系化合物、及びシアニン系化合物からなる群から選択された少なくとも一種であることを特徴とする＜１＞ないし＜３＞のいずれかに記載の光情報記録媒体である。
【手続補正書】
【提出日】平成19年8月22日(2007.8.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トナー組成物であって、
前記トナー組成物は、樹脂と、着色剤と、蝋と、芳香族炭化水素相溶化剤と、を含み、
必要に応じて、前記相溶化剤はさらに、脆化剤として機能し、分子量が低く、
前記蝋は前記トナー中に保持される、トナー組成物。
【請求項２】
前記相溶化剤の分子量は、
重量平均分子量で約１，０００〜約２５，０００であり、または、
重量平均分子量で約３，０００〜約１５，０００であり、または、
重量平均分子量で約７００〜約２，５００である、請求項１記載のトナー組成物。
【請求項３】
前記相溶化剤は、スチレン系モノマとインデン系モノマとの重合により作成されたコポリマを含む、請求項１記載のトナー組成物。
【請求項４】
前記相溶化剤は、約９５℃〜約１４０℃の軟化点；約８０℃〜約１００℃の軟化点；約１００℃〜約１３８℃の軟化点；または約１１０℃〜約１２５℃の軟化点を有し、または、
前記相溶化剤は、約１５℃〜約７５℃のガラス転移温度Ｔｇ；約３０℃〜約６０℃のガラス転移温度Ｔｇ；約５０℃〜約６５℃のガラス転移温度Ｔｇ；または約３０℃〜約６５℃のガラス転移温度Ｔｇを有する、請求項１記載のトナー組成物。
【請求項５】
前記相溶化剤は、約０．５〜約１０重量％の量で存在する、請求項１記載のトナー組成物。
【請求項６】
前記蝋は、ポリエチレンまたはポリプロピレンのポリオレフィンである、請求項１記載のトナー組成物。
【請求項７】
前記相溶化剤は、約８００〜約２，８００の重量平均分子量を有し、または、
約７９０〜約２，７６０の重量平均分子量を有する、請求項１記載のトナー組成物。
【請求項８】
樹脂と、着色剤と、蝋と、および約９００〜約７，０００の重量平均分子量を有するイソプロペニルトルエン／インデンのコポリマ；約１，０００〜約４，０００の重量平均分子量を有するイソプロペニルトルエン／インデンのコポリマ；約２，０００〜約６，０００の重量平均分子量を有するイソプロペニルトルエン／インデンのコポリマ；と、を含み、必要に応じて、さらに酸化シリカ、酸化チタンおよびステアリン酸亜鉛の添加剤を含む、トナー。
【手続補正書】
【提出日】平成19年8月3日(2007.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、医療施設や原子力施設などで発生した放射性気体分を捕集除去する放射性物質除去フィルター及びそれを用いる放射性物質除去フィルターユニットに関するものである。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月15日(2007.2.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
管本体を管本体チャックで固定して刃物回転型の前加工機または仕上げ加工機を回転させて油井管またはガス井管の管端部にテーパねじ部を形成する油井管またはガス井管のねじ切り方法であって、
前記前加工機を用いて管の端面から軸方向へ向けて順に、外径がテーパ状に変化する傾斜部と、外径が一定である水平部とを形成する前加工工程と、
当該前加工工程の後に前記仕上げ加工機に設けられた芯出しチャックを前記水平部に当接させて当該芯出しチャックの芯位置を検出する工程と、
前記検出した当該芯出しチャックの芯位置と前記管本体チャックの芯位置の情報を用いて当該管本体チャックの芯位置の修正の要否を判定する工程と
を含むことを特徴とする油井管またはガス井管のねじ切り方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
ここに、本発明は、管本体を管本体チャックで固定して刃物回転型の前加工機または仕上げ加工機を回転させて油井管またはガス井管の管端部にテーパねじ部を形成する油井管またはガス井管のねじ切り方法であって、前記前加工機を用いて管の端面から軸方向へ向けて順に、外径がテーパ状に変化する傾斜部と、外径が一定である水平部とを形成する前加工工程と、当該前加工工程の後に前記仕上げ加工機に設けられた芯出しチャックを前記水平部に当接させて当該芯出しチャックの芯位置を検出する工程と、前記検出した当該芯出しチャックの芯位置と前記管本体チャックの芯位置の情報を用いて当該管本体チャックの芯位置の修正の要否を判定する工程とを含むことを特徴とする油井管またはガス井管のねじ切り方法である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成19年9月6日(2007.9.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
通常、キャンセルプレート等の金属環の強度が不足する場合の対応としては、金属環形状の変更、金属環の板厚増加、若しくは金属環の材質をより高強度材へ変更すること検討されるが、上記のようにキャンセルプレートの角部に最大応力が発生し強度が不足する場合には、形状変更での対応は難しく、また金属環の板厚の増加や材質の変更はコストが大幅に増加するとの問題点を有していた。また、キャンセルプレートで対応ができない場合には、ハウジングの構造若しくは使用条件等の見直しを行う必要となり、大幅な変更になるとの問題点があった。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
すなわち、上記構成を備えた本発明の請求項１の自動変速機用ピストンは、キャンセルプレートに設けられた止突起を形成するための凹部のストレート側の角部に面取り加工が施されているので、該角部に最大応力が発生することを防止することができる。したがって、キャンセルプレートの板厚の増加および材質の変更等の大幅な変更によるコストアップをすることなく、キャンセルプレートの強度不足の問題が発生するのを防止することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月2日(2007.10.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態を、好適な実施の形態として例示するモータの軸受構造を図面に基づいて詳細に説明する。図１はモータの軸受構造の半部断面構成図、図２は軸の連結状態のモータの軸受構造を示す要部断面である。図に示すように、１はクラッチ一体型モータであって、該クラッチ一体型モータ１は、ワーク側となる電磁クラッチ機構２とステッピングモータ３（以下端にモータという）をそれぞれ形成する鉄、磁性ステンレス等よりなるヨーク２１および３１と、該ヨーク２１と３１の区画中央および両側に配設されたフランジ２２および３２、３２の各々中心に設けられた軸受２３および３３１、３３２と、該軸受２３および３３１、３３２にそれぞれ回転可能に支承される回転軸２４およびモータ軸３４を有する回転子３４ａとを備え、前記ヨーク２１および３１内には、その内壁に設けられた樹脂製のコイルボビン２５および３５、３５に各々巻着されたコイル２５ａおよび３５ａ、３５ａが配設されると共に、クラッチ機構２を構成する一対のクラッチ片２６と３６が接合／離間するスライド間隙Ｓを存して各々回転軸２４とモータ軸３４の端部に対向配設されている。なお、これら構成は、特許文献１に開示されている如くクラッチ一体型モータの基本構成として概略公知の技術である。また、前記ワーク側の回転軸２４の先端には図示しない弁体が設けられており、このクラッチ一体型モータ１は、空調等のガス流路を閉鎖・開放することで流量制御行うような流量制御装置として用いられる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月23日(2007.5.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
本体部材１８側に所定間隔を存して少なくとも２個設けたヒンジ部２２，２４と開閉部材２０側に前記各ヒンジ部２２，２４に対応して少なくとも２個設けたヒンジ部２６，２８とを備え、前記本体部材１８側のヒンジ部２２，２４の中、１つのヒンジ部２２の片側Ｓ１と、他のヒンジ部２４の、前記１つのヒンジ部２２の片側Ｓ１と同じ側の片側Ｓ２に、前記開閉部材２０側の対応するヒンジ部２６，２８を対向配置し、前記本体部材１８側の各ヒンジ部２２，２４に、その同一方向側の各片側Ｓ１，Ｓ２に開放された回転ダンパ用の取付部２２ａ，２４ａを設け、前記開閉部材２０側の各ヒンジ部２６，２８に、前記本体部材１８側の各ヒンジ部２２，２４に対面する側の各片側Ｓ３，Ｓ４に開放された回転ダンパ用の取付部２６ａ，２８ａを設け、互いに向き合ったヒンジ部間に、制動力が非対称型であり、両端側に取付部３０ｃ，３０ｅを有する回転ダンパ３０を配置し、該回転ダンパ３０の一方側の取付部３０ｅを前記本体部材１８のヒンジ部２２，２４に設けた取付部２２ａ，２４ａに結合し、該回転ダンパ３０の他方側の取付部３０ｃを前記開閉部材２０側のヒンジ部２６，２８に設けた取付部２６ａ，２８ａに結合し、該回転ダンパ３０を回転中心として前記開閉部材２０を前記本体部材１８に揺動自在に支承し、前記開閉部材２０の前記回転ダンパ３０を中心とする揺動運動に前記回転ダンパ３０の制動力が付与されるようにしたことを特徴とするダンパ付き開閉機構。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
従来、図５に示すように、洋式便器等において、便器本体部材２側に一対のヒンジ部４，６を設け、便座又は便蓋などの開閉部材８側にヒンジ部１０，１２を設け、該開閉部材８側のヒンジ部１０，１２のうち、一方１０を対応する本体部材２側のヒンジ部４の右側に配置し、他方１２を、対応する本体部材２側のヒンジ部６の左側に配置し、対向するヒンジ部４とヒンジ部１０の間及びヒンジ部６とヒンジ部１２との間を、制動力が非対称型の方向性を有する回転ダンパ１４，１６で結合したダンパ付き開閉機構が知られている（例えば特許文献１参照）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するため本発明は、本体部材１８側に所定間隔を存して少なくとも２個設けたヒンジ部２２，２４と開閉部材２０側に前記各ヒンジ部２２，２４に対応して少なくとも２個設けたヒンジ部２６，２８とを備え、前記本体部材１８側のヒンジ部２２，２４の中、１つのヒンジ部２２の片側Ｓ１と、他のヒンジ部２４の、前記１つのヒンジ部２２の片側Ｓ１と同じ側の片側Ｓ２に、前記開閉部材２０側の対応するヒンジ部２６，２８を対向配置し、前記本体部材１８側の各ヒンジ部２２，２４に、その同一方向側の各片側Ｓ１，Ｓ２に開放された回転ダンパ用の取付部２２ａ，２４ａを設け、前記開閉部材２０側の各ヒンジ部２６，２８に、前記本体部材１８側の各ヒンジ部２２，２４に対面する側の各片側Ｓ３，Ｓ４に開放された回転ダンパ用の取付部２６ａ，２８ａを設け、互いに向き合ったヒンジ部間に、制動力が非対称型であり、両端側に取付部３０ｃ，３０ｅを有する回転ダンパ３０を配置し、該回転ダンパ３０の一方側の取付部３０ｅを前記本体部材１８のヒンジ部２２，２４に設けた取付部２２ａ，２４ａに結合し、該回転ダンパ３０の他方側の取付部３０ｃを前記開閉部材２０側のヒンジ部２６，２８に設けた取付部２６ａ，２８ａに結合し、該回転ダンパ３０を回転中心として前記開閉部材２０を前記本体部材１８に揺動自在に支承し、前記開閉部材２０の前記回転ダンパ３０を中心とする揺動運動に前記回転ダンパ３０の制動力が付与されるようにしたものである。
また本発明は、前記回転ダンパ３０は筒状のハウジング３０ａと該ハウジング３０ａ内に一部が回転自在に収納され該ハウジング３０ａに対して相対回転自在な回転部材３０ｂとからなり、前記回転ダンパ３０の両端側に設けられた取付部の中、一端側の取付部３０ｃは前記ハウジング３０ａの端部に形成され、他端側の取付部３０ｅは前記回転部材３０ｂの端部に形成されてなり、前記回転ダンパ３０の一端側の取付部３０ｃと他端側の取付部３０ｅの形状が対称形となるようにしたものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、前記軸線上には、前記ヒンジ部２２と２６、ヒンジ部２４と２８にそれぞれ、回転止め面を有する互いに同一形状のダンパ取付部２２ａと２６ａ、ダンパ取付部２４ａと２８ａが穿設されている。前記ダンパ取付部２２ａ，２４ａはヒンジ部２２，２４の片側Ｓ１，Ｓ２に開放され、ダンパ取付部２６ａ，２８ａはヒンジ部２６，２８の片側Ｓ３，Ｓ４に開放され、これら開放側から回転ダンパ３０が取り付けられるように構成されている。前記回転ダンパ３０は、筒状の、オイルが充填されたハウジング３０ａと、これに一部が回転自在に嵌合する回転部材３０ｂとからなり、本実施形態では、図３に示す構造の、回転方向によって異なる制動特性を出力する非対称型のものが使用されている。
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月11日(2007.10.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
請求項１の連結構造において、嵌合の外側となる被連結材の連結端は連結されて嵌合の内側となる被連結材の係合孔，操作孔のほぼ中間に位置されることを特徴とする連結構造。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
特許文献１に係る連結構造では、ロック部材が一方向からのみ押圧される片押し構造で押圧の反対側で嵌合の内側となる被連結材の内壁に弾圧されているのみであることから、ロック部材の嵌合の内側となる被連結材への取付強度が弱いため、ロック部材が動作の際に位置ずれを引起こして正常に機能しなくなることがあるという問題点がある。また、特許文献２に係る連結構造では、ロック部材の動作に被連結材の回転動作が必要とされるため、被連結材が角パイプ状である場合に適用することができないという問題点がある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
この手段では、ロック部材が特許文献１に係る連結構造とほぼ同様の動作となるため、ロック部材の動作に被連結材の回転動作が必要とされない。また、ロック部材が１８０度の角度を介した二方向から押圧される両押し構造で押圧の両側で嵌合の内側となる被連結材の内壁に弾圧されることから、ロック部材の嵌合の内側となる被連結材への取付強度が強くなる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明に係る連結構造は、ロック部材が特許文献１に係る連結構造とほぼ同様の動作となって、ロック部材の動作に被連結材の回転動作が必要とされないため、被連結材が角パイプ状である場合にも適用することができる効果がある。また、ロック部材が１８０度の角度を介した二方向から押圧される両押し構造で押圧の両側で内側となる被連結材の内壁に弾圧され、ロック部材の内側となる被連結材への取付強度が強くなるため、ロック部材が動作の際に位置ずれを引起こして正常に機能しなくなることが防止されて、ロック部材が確実に動作される効果がある。
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月16日(2007.10.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ころの転動面を当接させる為の円輪状のレース部と、このレース部の周縁部に形成された円筒状のフランジ部とを備え、全体を円環状に形成したスラストころ軸受用レースに於いて、このフランジ部の先端部が全周に亙って、先端に向かう程上記レース部から離れる方向に傾斜している事を特徴とするスラストころ軸受用レース。
【請求項２】
フランジ部の先端部の傾斜した部分の円周方向複数個所に、切り欠き或いはこのフランジ部の径方向に関して貫通した透孔を設けた、請求項１に記載したスラストころ軸受用レース。
【請求項３】
放射方向に配列された複数のころと、これら各ころの転動面を当接させる為の円輪状のレース部の周縁部に円筒状のフランジ部を形成した少なくとも１枚のレースとを備え、回転支持部分に組み込まれて使用されるスラストころ軸受に於いて、このレースが、請求項１〜２の何れかに記載したスラストころ軸受用レースであるスラストころ軸受。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明のスラストころ軸受用レースとスラストころ軸受のうち、請求項１に記載したスラストころ軸受用レースは、レース部と、フランジ部とを備える。
このうちのレース部は、ころの転動面を当接させる為の円輪状のものである。
又、上記フランジ部は、このレース部の周縁部に形成された円筒状のものである。
そして、全体を円環状に形成している。
特に、請求項１に記載したスラストころ軸受用レースに於いては、上記フランジ部の先端部が全周に亙って、先端に向かう程上記レース部から離れる方向に傾斜している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上述の様に構成する本発明のスラストころ軸受用レースとスラストころ軸受の場合、適用するスラストころ軸受の構造によって、次の様な効果が得られる。
（１）レースのフランジ部が複数のころを配列する側と反対側に折り曲げられている場合。
この場合には、このフランジ部を先端部から回転支持部分を構成する部材の一部に嵌合する事により、上記レースをこの部材に組み付ける際に、このフランジ部の先端部の傾斜した部分が、この部材の嵌合部への案内となる。この為、前述の図１０に示した構造の様に、レースの径方向の位置決めを図る為の構造（図１０の第二の内輪側フランジ１７）を設けたり、スラストころ軸受の構成各部材を非分離とする構造としなくても、このレースのこの部材への組み付け性を良好にできる。
又、回転支持部分に上記スラストころ軸受を組み込んだ状態で、このスラストころ軸受内に潤滑油を供給する通油孔が、上記傾斜した部分よりもこのスラストころ軸受側に存在する場合には、潤滑油がこの傾斜した部分により捕集される。そして、この潤滑油が、上記スラストころ軸受内に効率良く送り込まれる。
（２）レースのフランジ部が複数のころを配列する側に折り曲げられている場合。
この場合には、このフランジ部を折り曲げた方向と逆の方向から、このフランジ部を回転支持部分を構成する部材の一部に嵌合する事により、上記レースをこの部材に組み付ける。この様な構造の場合に、組み付け方向を間違えると、上記フランジ部の先端部の傾斜した部分が相手部材と干渉して組み付けられなくなる。この為、組み付け方向を正しく規制できる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明を実施する為に好ましくは、上記（１）の構造の場合に、レースのフランジ部が、径方向に関して一方の周縁部にのみ形成されており他方の周縁部には形成されておらず、スラストころ軸受の、複数のころが存在する空間の径方向他方が径方向に開放されている構造とする。
この様に構成すれば、スラストころ軸受内径側、外径側両端部のうち、上記他方の周縁部側の端部で潤滑油が堰き止められる事がなくなり、通油性を良好にできる。又、このスラストころ軸受の径方向の寸法を小さくできる為、このスラストころ軸受の軽量化及び製造コストの低減を図れる。
又、上記（１）の構造で、スラストころ軸受が存在する側と反対側にも潤滑油を流したい場合には、請求項２に記載した様に、フランジ部の先端部の傾斜した部分の円周方向複数個所に、切り欠き或いはこのフランジ部の径方向に関して貫通した透孔を設けても良い。
この様に構成すれば、通油孔から流れる潤滑油の一部が、上記切り欠き或いは透孔により上記スラストころ軸受と反対側にも流れる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月5日(2007.10.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
又、上記内輪軌道２の両端部には、１対の鍔８、８を形成している。この鍔８、８同士の間隔は、上記円筒ころ６の軸方向（図３の左右方向）の長さ寸法Ｌｒよりも僅かに大きい。従って上記各円筒ころ６は、これら１対の鍔８、８により軸方向両側から挟まれ、軸方向への変位を防止される。又、上記各円筒ころ６は、転動面９と軸方向両端面１０、１０との間に面取り部１１、１１を設けている。尚、上記各鍔８、８の軌道面からの高さｈ｛＝（各鍔８、８の外径−内輪軌道２の外径）／２｝は、上記円筒ころ６の外径をｄとした場合に、従来は０．１ｄ〜０．４ｄ程度としていた。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
ところで、上記各特許文献１〜３に記載された構造を含む、上述の様な従来構造の場合、各鍔８、８の内側面１２、１２を傾斜させたり、これら各内側面１２、１２を曲面等の特殊な形状としたりする必要がある。又、各円筒ころ６の面取り部１１、１１や端面１０、１０を球面としたり、これら各円筒ころ６の端面１０、１０と上記各鍔８、８の内側面１２、１２との軸方向隙間等を規制したりする必要がある。この様に何れの場合も、上記各鍔８、８や各円筒ころ６を形成する際の加工工程が増える事が避けられず、加工作業が面倒になって、製造コストが嵩む可能性がある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
尚、上述の様に各鍔８ａ、８ａの高さｈを従来構造に比べて大きくする分、各円筒ころ６を転動自在に保持する保持器の径方向の厚さを小さくする必要がある。この場合に、この保持器の強度を十分に確保できない場合には、この保持器を省略して、保持器を持たない総ころ型の円筒ころ軸受とする事もできる。この様な場合には、各円筒ころのうちの少なくとも１個（好ましくは総て）の円筒ころを、セラミック製としたり、窒化鋼製としたり、転動面に窒化処理を施す事が好ましい。この様に構成すれば、円筒ころの組み込み本数を多くして剛性確保を図れると共に、これら各円筒ころの強度や耐摩耗性、耐焼き付き性を確保して、耐久性や信頼度の向上を図れる。又、本実施例の場合は、内輪３ａに鍔８ａ、８ａを設けた構造に本発明を適用した場合を示しているが、外輪に鍔を設けた構造に本発明を適用する事もできる。この場合には、各鍔の外輪軌道からの高さをｈとし、各円筒ころの外径をｄとし、この円筒ころの端面と上記鍔の内側面とが当接した場合のこれら両面同士の接触長さをｂとし、上記鍔の内径をｓとした場合に、｛０．５ｄ−（ｂ2 ／４ｓ）｝≦ｈ＜ｄとする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月3日(2007.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
外部の蒸気供給源からの蒸気の熱で冷水を加熱することにより熱水を生成する熱交換器と、
外部の給水源からの冷水を前記熱交換器に導く冷水通路と、前記冷水通路の分岐点から導出された冷水の一部を前記熱交換器からの熱水に混合して温水を生成する湯水混合弁と、
前記分岐点と熱交換器との間の冷水通路に設けられた逆止弁と、
前記湯水混合弁からの温水を導出する温水供給通路に設けられた給湯口弁とを備えた蒸気給湯システム。
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月18日(2007.4.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
室内に配置された放熱管に少なくとも冷水を流動させて少なくとも冷房を実行する輻射冷房システムであって、
室内に配列されている複数の前記放熱管と、
前記冷水を生成する冷水生成機構と、
生成される前記冷水を複数の前記放熱管に流動させる冷水流動機構と、
前記冷水の流動を複数の前記放熱管で選択的に解除自在に停止させる流動調節手段と、
前記冷水の流動が停止される前記放熱管の割合に対応して前記冷水生成機構と前記冷水流動機構との出力を調節する出力調節手段と、
を有している輻射冷房システム。
【請求項２】
前記出力調節手段は、前記放熱管を流動する前記冷水の流速と温度とが一定に維持されるように前記冷水生成機構と前記冷水流動機構との出力を調節する請求項１に記載の輻射冷房システム。
【請求項３】
前記出力調節手段は、前記放熱管の表面に水分が結露するように前記冷水生成機構と前記冷水流動機構との出力を調節する請求項２に記載の輻射冷房システム。
【請求項４】
冷房強度の入力操作を受け付けるコントロールパネルをさらに有しており、
前記流動調節手段は、前記入力操作に対応して複数の前記放熱管での前記冷水の流動を選択的に停止させ、
前記出力調節手段は、前記入力操作に対応して前記冷水生成機構と前記冷水流動機構との出力を調節する請求項１ないし３の何れか一項に記載の輻射冷房システム。
【請求項５】
室内の温度を計測する温度計測手段をさらに有しており、
前記流動調節手段は、計測される前記温度に対応して複数の前記放熱管での前記冷水の流動を選択的に停止させ、
前記出力調節手段は、計測される前記温度に対応して前記冷水生成機構と前記冷水流動機構との出力を調節する請求項１ないし３の何れか一項に記載の輻射冷房システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の輻射冷房システムは、室内に配置された放熱管に少なくとも冷水を流動させて少なくとも冷房を実行する輻射冷房システムであって、複数の放熱管、冷水生成機構、冷水流動機構、流動調節手段、出力調節手段、を有している。放熱管は、室内に複数配列されている。冷水生成機構は、冷水を生成し、冷水流動機構は、生成される冷水を複数の放熱管に流動させる。流動調節手段は、冷水の流動を複数の放熱管で選択的に解除自在に停止させ、出力調節手段は、冷水の流動が停止される放熱管の割合に対応して冷水生成機構と冷水流動機構との出力を調節する。
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月18日(2007.4.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
室内の天井面の近傍に配置された放熱管に少なくとも冷水を流動させて少なくとも冷房を実行する天井輻射システムであって、
前記天井面の下方で水平に配列されている複数の前記放熱管と、
前記冷水を生成する冷水生成機構と、
生成される前記冷水を複数の前記放熱管に流動させる冷水流動機構と、
複数の前記放熱管の各々の外面から下方に形成されている複数の放熱板と、
前記放熱管より幅広で上面が開口した細長い樋状に形成されていて前記放熱管の下方に個々に配置されている複数のドレンと、
を有している天井輻射システム。
【請求項２】
複数の前記放熱管の一端にそれぞれ連結された送水管と、複数の前記放熱管の他端にそれぞれ連結された回収管と、をさらに有し、
前記冷水流動機構は、前記送水管に前記冷水を供給するとともに前記回収管から前記冷水を回収する請求項１に記載の天井輻射システム。
【請求項３】
前記放熱管の一端と前記送水管とを少なくとも下方から遮蔽している送水カバーと、前記放熱管の他端と前記回収管とを少なくとも下方から遮蔽している回収カバーと、をさらに有しており、
挿入される前記ドレンを個々に保持する複数の保持孔が前記送水カバーと前記回収カバーとに形成されている請求項２に記載の天井輻射システム。
【請求項４】
複数の前記ドレンの各々の一端が他端より上方に位置しており、
複数の前記ドレンの他端から流出する排水を室外に排出する排水管をさらに有している請求項１ないし３の何れか一項に記載の天井輻射システム。
【請求項５】
複数の前記ドレンは、上面は一端が他端より上方に位置して下面は水平な形状に各々形成されており、
複数の前記ドレンの他端から流出する排水を室外に排出する排水管をさらに有している請求項１ないし３の何れか一項に記載の天井輻射システム。
【請求項６】
前記ドレンは、金属で形成されていて下面に珪藻土が塗布されている請求項１ないし５の何れか一項に記載の天井輻射システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の天井輻射システムは、室内の天井面の近傍に配置された放熱管に少なくとも冷水を流動させて少なくとも冷房を実行する天井輻射システムであって、複数の放熱管、冷水生成機構、冷水流動機構、複数の放熱板、複数のドレン、を有している。複数の放熱管は、天井面の下方で水平に配列されている。冷水生成機構は、冷水を生成し、冷水流動機構は、生成される冷水を複数の放熱管に流動させる。複数の放熱板は、複数の放熱管の各々の外面から下方に形成されており、複数のドレンは、放熱管より幅広で上面が開口した細長い樋状に形成されていて放熱管の下方に個々に配置されている。
【手続補正書】
【提出日】平成19年8月30日(2007.8.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受電端子と下部に係止部を有する集塵部本体と、上部が前記集塵部本体の前面側にヒンジ部により開閉可能に取付けられ下部に前記集塵部本体の係止部に係止するフックを有するプレフィルタとからなる電気式集塵部と、
前記受電端子が接続される給電端子を有するとともに、空気調和機の風路に固定されて前記電気式集塵部が取付けられる集塵部取付枠と、を備え、
前記電気式集塵部のプレフィルタが不完全閉止状態のときは、前記プレフィルタのフックが前記集塵部取付枠に当って前記電気式集塵部を前記集塵部取付枠に固定できないように構成したことを特徴とする空気調和機の空気清浄装置。
【請求項２】
受電端子及び下部に係止部を有し、内部に放電電極及び接地電極が設けられ側壁に触媒フィルタ挿入口が開口した脱臭部本体と、上部が前記脱臭部本体の前面側にヒンジ部により開閉可能に取付けられ下部に前記脱臭部本体の係止部に係止するフックを有するプレフィルタと、前記脱臭部本体の触媒フィルタ挿入口に着脱可能に挿入される触媒フィルタとからなる電気式脱臭部と、
前記受電端子が接続される給電端子を有するとともに、空気調和機の風路に固定されて前記電気式脱臭部が取付けられる脱臭部取付枠と、を備え、
前記電気式脱臭部のプレフィルタが不完全閉止状態のときは、前記プレフィルタのフックが前記脱臭部取付枠に当って前記電気式脱臭部を前記脱臭部取付枠に固定できないように構成したことを特徴とする空気調和機の空気清浄装置。
【請求項３】
前記プレフィルタに押圧突起部を設け、前記プレフィルタの閉止状態において、前記押圧突起部が前記触媒フィルタを前記接地電極に押し付けるように構成したことを特徴とする請求項２記載の空気調和機の空気清浄装置。
【請求項４】
前記脱臭部取付枠に押圧凸部を設け、前記脱臭部取付枠に前記電気式脱臭部が取付けられた状態において、前記押圧凸部が前記接地電極を押圧して前記触媒フィルタに接触させるように構成したことを特徴とする請求項２記載の空気調和機の空気清浄装置。
【請求項５】
前記集塵部本体又は脱臭部本体に下面から背面にかけて係止部を設け、前記プレフィルタのフックが前記集塵部本体又は脱臭部本体の下面から背面に達して、その先端部が前記係止部に係止するように構成したことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の空気調和機の空気清浄装置。
【請求項６】
前記空気調和機の前面に装着するグリルを有し、前記電気式集塵部又は電気式脱臭部を前記プレフィルタが不完全閉止状態で前記集塵部取付枠又は脱臭部取付枠に取付けたときは、前記グリルに設けた誤装着防止用リブが前記プレフィルタに当って装着できないように構成したことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の空気調和機の空気清浄装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明に係る空気調和機の空気清浄装置は、受電端子と下部に係止部を有する集塵部本体と、上部が前記集塵部本体の前面側にヒンジ部により開閉可能に取付けられ下部に前記集塵部本体の係止部に係止するフックを有するプレフィルタとからなる電気式集塵部と、前記受電端子が接続される給電端子を有するとともに空気調和機の風路に固定されて前記電気式集塵部が取付けられる集塵部取付枠と、を備え、前記電気式集塵部のプレフィルタが不完全閉止状態のときは、前記プレフィルタのフックが前記集塵部取付枠に当って前記電気式集塵部を前記集塵部取付枠に固定できないように構成したものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明に係る空気調和機の空気清浄装置は、受電端子及び下部に係止部を有し、内部に放電電極及び接地電極が設けられ側壁に触媒フィルタ挿入口が開口した脱臭部本体と、上部が前記脱臭部本体の前面側にヒンジ部により開閉可能に取付けられ下部に前記脱臭部本体の係止部に係止するフックを有するプレフィルタと、前記脱臭部本体の触媒フィルタ挿入口に着脱可能に挿入される触媒フィルタとからなる電気式脱臭部と、前記受電端子が接続される給電端子を有するとともに空気調和機の風路に固定されて前記電気式脱臭部が取付けられる脱臭部取付枠と、を備え、前記電気式脱臭部のプレフィルタが不完全閉止状態のときは、前記プレフィルタのフックが前記脱臭部取付枠に当って前記電気式脱臭部を前記脱臭部取付枠に固定できないように構成したものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明によれば、電気式集塵部のプレフィルタをヒンジ部により集塵部本体に開閉可能に取付けたので、清掃等の際に落下して破損したり紛失したりすることがない。
また、プレフィルタが不完全閉止状態のときは、電気式集塵部を集塵部取付枠に固定することができず、空気調和機にグリルを装着することもできないので、プレフィルタが完全に閉止していないことを容易かつ確実に知ることができる。
さらに、空気調和機にグリルが装着されていないと電気式集塵部に通電されないので安全であり、これらにより信頼性の高い空気調和機の空気清浄装置を得ることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明によれば、触媒フィルタを消臭部本体に着脱可能に装着するようにしたので交換が容易であり、長期に亘って室内空気を清浄化することができる。
また、電気式脱臭部のプレフィルタが不完全閉止状態のときは、電気式脱臭部を脱臭部取付枠に固定することができず、空気調和機にグリルを装着することもできないので、フルフィルタが完全に閉止していないことを容易かつ確実に知ることができる。さらに、触媒フィルタを接地電極に確実に接触させるようにしたので、悪臭物質や揮発性有機化合物を高精度で除去することができ、その上触媒フィルタの揺動を防止することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月11日(2007.10.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面近傍に配置され、該表面の高さ変化に応じて位置が変化する複数の非光学的検出素子を配列して構成される高さ検出器と、
該非光学的検出素子に向けて測定光を発する光源と、
前記非光学的検出素子からの前記測定光の反射光を受光することにより前記非光学的検出素子の位置を光学的に検出する光検出器とを有することを特徴とする表面形状計測装置。
【請求項２】
基板を所定距離まで近接させた場合にその高さ変化に応じて原子間力に基づきつつ位置が変化する複数の非光学的検出素子に向けて前記基板を前記所定距離以下まで近接させるステップと、
前記非光学的検出素子に測定光を入射するステップと、
前記非光学的検出素子からの前記測定光の反射光を光検出器により受光するステップと、
該光検出器による受光位置に基づいて、前記非光学的検出素子の位置を算出するステップとを有することを特徴とする表面形状計測方法。
【請求項３】
露光光源からの露光光をレチクル上に導く照明光学系と、
前記レチクルを駆動するレチクル駆動系と、
前記レチクル上のパターンを前記基板上に投影する投影光学系と、
該基板を駆動する基板駆動系と、
請求項１又は２に記載の表面形状計測装置とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項４】
請求項３に記載の露光装置によって基板にパターンを投影露光する工程と、
投影露光された前記基板を現像する工程とを有するデバイスの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年8月20日(2007.8.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パラレルデータをクロックに同期してシリアルデータに変換し、該シリアルデータおよび該シリアルデータに同期したクロックを出力する機能を有する集積回路であって、
遅延制御信号に応じて、前記出力したシリアルデータとクロックとを相対的かつ可変的に遅延して出力する遅延可変回路と、
前記遅延可変回路から出力されるクロックを用いて、前記遅延可変回路から出力されるシリアルデータをパラレルデータに変換するシリアル・パラレル変換回路とを備えることを特徴とする集積回路。
【請求項２】
パラレルデータをクロックに同期してシリアルデータに変換し、該シリアルデータおよび該シリアルデータに同期したクロックを出力する機能を有する集積回路のテスト回路であって、
遅延制御信号に応じて、前記集積回路から出力されるシリアルデータとクロックとを相対的かつ可変的に遅延して出力する遅延可変回路と、
前記遅延可変回路から出力されるクロックを用いて、前記遅延可変回路から出力されるシリアルデータをパラレルデータに変換するシリアル・パラレル変換回路とを備えることを特徴とするテスト回路。
【請求項３】
パラレルデータをクロックに同期してシリアルデータに変換し、該シリアルデータおよび該シリアルデータに同期したクロックを出力する機能を有する集積回路のテスト方法であって、
前記出力されるシリアルデータとクロックとを相対的かつ可変的に遅延し、該遅延されたクロックを用いて該遅延されたシリアルデータをパラレルデータに変換し、当該変換されたパラレルデータを判定することによりテストを行うことを特徴とする集積回路のテスト方法。
【請求項４】
前記出力されるシリアルデータとクロックとを相対的かつ可変的に遅延する機能と、遅延されたシリアルデータをパラレルデータに変換する機能とを、前記半導体集積回路とは別のテスト回路として構成したことを特徴とする請求項３記載の集積回路のテスト方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明は、パラレルデータをクロックに同期してシリアルデータに変換し、該シリアルデータおよび該シリアルデータに同期したクロックを出力する機能を有する集積回路であって、
遅延制御信号に応じて、前記出力したシリアルデータとクロックとを相対的かつ可変的に遅延して出力する遅延可変回路と、
前記遅延可変回路から出力されるクロックを用いて、前記遅延可変回路から出力されるシリアルデータをパラレルデータに変換するシリアル・パラレル変換回路とを備えることを特徴とする集積回路を提供するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明は、パラレルデータをクロックに同期してシリアルデータに変換し、該シリアルデータおよび該シリアルデータに同期したクロックを出力する機能を有する集積回路のテスト回路であって、
遅延制御信号に応じて、前記集積回路から出力されるシリアルデータとクロックとを相対的かつ可変的に遅延して出力する遅延可変回路と、
前記遅延可変回路から出力されるクロックを用いて、前記遅延可変回路から出力されるシリアルデータをパラレルデータに変換するシリアル・パラレル変換回路とを備えることを特徴とするテスト回路を提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明は、パラレルデータをクロックに同期してシリアルデータに変換し、該シリアルデータおよび該シリアルデータに同期したクロックを出力する機能を有する集積回路のテスト方法であって、
前記出力されるシリアルデータとクロックとを相対的かつ可変的に遅延し、該遅延されたクロックを用いて該遅延されたシリアルデータをパラレルデータに変換し、当該変換されたパラレルデータを判定することによりテストを行うことを特徴とする集積回路のテスト方法を提供する。
ここで、前記出力されるシリアルデータとクロックとを相対的かつ可変的に遅延する機能と、遅延されたシリアルデータをパラレルデータに変換する機能とを、前記半導体集積回路とは別のテスト回路として構成したことが好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月12日(2007.10.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−５４０８号公報、図１３、図１４、段落４９〜５５
【非特許文献１】ソニー、LCX028BMT(4.6cm(1.8-inch)Black-and-White LCD Panel) Data Sheet
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
図９は、書き込みと読み出しの画素選択動作を単純かつ高速にする割り当て方法による実施例の一つである。第１の画素グループは、画素（１，１）を起点として、上から下にＳ個を選び、次の画素グループはひとつ右隣の列で、画素（２，１）を起点として、上から下にＳ個選ぶ、というような順で表示パネルの全画素について画素グループを割り当てる。この方法だと、図７のステップ９３２で説明すると、ｊ−１番目の画素グループのｉ番目の画素で読み出しを行い、次にｊ番目の画素グループのｉ番目の画素で書き込みをする際に、ゲート線は同じゲート線ですむので、データ線だけ一つ隣を選択するだけでよい。そのため、アルゴリズムとしても簡単だし、対象画素の移動にかかる時間も短い。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
図１０の４方式によって画素を選択する際のＨシフトレジスタ及びＶシフトレジスタの移動量を、表１に示す。ここでは、データ線の信号線の番号をＤで、ゲート線の番号をＧで示している。ここで示した移動量から、それぞれのシフトレジスタのシフト方向をシフト方向入力端子（Ｄｉｒ＿Ｈ、Ｄｉｒ＿Ｖ）で選択し、必要とされるクロックＣＬＫ＿Ｈ，ＣＬＫ＿Ｖを入力し、さらにサイクリックな動作をさせる場合にはパルス入力端子Ｓｔａｒｔ＿Ｈ，Ｓｔａｒｔ＿Ｖにも入力してシフトレジスタを動作させることで、画素が選択される。この表から、図１０で示される４方式は、画素間の移動量が最小で済み、試験時間の短縮化に寄与する方式であることが理解されよう。
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月15日(2007.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射した平行光束を分離して各分離光束が基準面と測定対象面の各々に供給されるように配置されたビームスプリッタと、
光源からの光束より平行光束を形成し、該平行光束から前記ビームスプリッタで得られる分離光束が前記基準面及び前記測定対象面のそれぞれに斜めに入射するように、該平行光束を該ビームスプリッタに供給する入射ユニットと、
前記基準面及び前記測定対象面で反射され、前記ビームスプリッタによって光路が一致させられた前記分離光束を、当該光路に沿って該ビームスプリッタへ平行光束として供給するべく反射部材で反射する反射ユニットと、
前記反射ユニットから供給され、前記ビームスプリッタにて再び分離され、前記基準面及び前記測定対象面で反射され、該ビームスプリッタで再び光路が一致させられた復路光束を干渉させて、前記分離光束の位相差に対応した信号を生成する生成手段とを備え、
前記反射ユニットは、前記反射部材の位置を焦点面とするように配置された光学素子を有することを特徴とする位置検出装置。
【請求項２】
前記入射ユニットは、
前記光源からの光束を第１の位置に集光する集光手段と、
前記第１の位置を焦点位置とするように配置され、前記第１の位置より発散される光束を前記平行光束に変換する第１レンズとを含み、
前記反射ユニットは、
前記光路が一致させられた前記分離光束を、前記光学素子としての前記第１レンズによって、該第１のレンズの焦点位置であって前記第１の位置とは異なる第２の位置に集光し、
前記第２の位置において、前記第１レンズに向けて前記分離光束を反射する前記反射部材を含むことを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項３】
前記入射ユニットは、
前記光源からの光束を第１の位置に集光する手段と、
前記第１の位置より光束を入射し、前記平行光束を生成する屈折率分布型レンズとを含み、
前記反射ユニットは、
前記光路が一致させられた前記分離光束を、前記光学素子としての前記屈折率分布型レンズによって、前記第１の位置とは異なる第２の位置に集光し、
前記第２の位置において前記分離光束を反射するべく設けられた前記反射部材を含むことを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項４】
前記集光手段は、前記光源からの光束を前記第１の位置に集光する第２のレンズを含むことを特徴とする請求項２に記載の位置検出装置。
【請求項５】
前記集光手段は、前記光源からの光束を伝搬し、前記第１の位置に出射端を有する光ファイバを含むことを特徴とする請求項２に記載の位置検出装置。
【請求項６】
前記第１の位置が前記屈折率分布型レンズの端面透過部であり、前記第２の位置が該屈折率分布型レンズの端面反射部であることを特徴とする請求項３に記載の位置検出装置。
【請求項７】
前記光ファイバは、前記復路光束の光路が前記第１レンズに向かう光路と空間的に分離されるように、前記第１のレンズに対して所定の角度を有して配置され、
前記生成手段は、前記復路光束の光路上に設けられた反射部材により光束を取り出し、これを干渉させることを特徴とする請求項５に記載の位置検出装置。
【請求項８】
入射した平行光束を分離して各分離光束が基準面と測定対象面の各々に供給されるように配置されたビームスプリッタを用いた位置検出方法であって、
光源からの光束より平行光束を形成し、該平行光束から前記ビームスプリッタで得られる分離光束が前記基準面及び前記測定対象面のそれぞれに斜めに入射するように、該平行光束を該ビームスプリッタに供給するステップと、
前記ビームスプリッタにより前記平行光束から得られた各分離光束を前記基準面及び前記測定対象面で反射させ、反射された前記分離光束を前記ビームスプリッタによって光路を一致させ、光路が一致させられた前記分離光束を、当該光路に沿って再び該ビームスプリッタへ平行光束として供給するべく反射部材で反射するステップと、
前記反射するステップから供給された光路が一致させられた分離光束を、前記ビームスプリッタにて分離し、前記基準面及び前記測定対象面で反射させ、該ビームスプリッタで再び光路を一致させて得られた光束を干渉させて、前記分離光束の位相差に対応した信号を生成することを特徴とする位置検出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記の目的を達成するための本発明による位置検出装置は以下の構成を備える。すなわち、
入射した平行光束を分離して各分離光束が基準面と測定対象面の各々に供給されるように配置されたビームスプリッタと、
光源からの光束より平行光束を形成し、該平行光束から前記ビームスプリッタで得られる分離光束が前記基準面及び前記測定対象面のそれぞれに斜めに入射するように、該平行光束を該ビームスプリッタに供給する入射ユニットと、
前記基準面及び前記測定対象面で反射され、前記ビームスプリッタによって光路が一致させられた前記分離光束を、当該光路に沿って該ビームスプリッタへ平行光束として供給するべく反射部材で反射する反射ユニットと、
前記反射ユニットから供給され、前記ビームスプリッタにて再び分離され、前記基準面及び前記測定対象面で反射され、該ビームスプリッタで再び光路が一致させられた復路光束を干渉させて、前記分離光束の位相差に対応した信号を生成する生成手段とを備え、
前記反射ユニットは、前記反射部材の位置を焦点面とするように配置された光学素子を有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
この光束は、非偏光ビームスプリッタ１０２により受光素子側に取り出される。取り出された光束は、１／４波長板１０３を透過することにより、位相差の変化に応じて偏光方位が回転する直線偏光に変換され、集光レンズ１０４及び開口部材１０５を介してビーム分割素子１０６に到達し、そこで３光束に分割される。集光レンズ１０４は、受光素子１０８に入射する光束が広がるので、それを適切に集光して効率良く受光させるための部材である。また、開口部材１０５は、干渉光束を３つに分割する際に元の光束の領域を限定して確実に等質の３光束を得るためのものである。開口部材１０５が無いと、元の光束が広がっている場合に、分割した３光束が重なり合ってしまう。こうして分割された３光束のそれぞれを、互いに６０°ずつ偏光軸をずらして配置した偏光素子アレイ１０７を介して３分割受光素子１０８の各受光部に入射させることで被測定対象物１２１の面外変位に基づく３つの互いに位相が１２０度ずつずれた干渉信号ＵＶＷを検出する。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月19日(2007.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態の一例を図面に沿って説明する。図１は本実施の形態における装置構成を説明する図である。図１において、１はプローブ、２は試料、３は容器、４ａ、４ｂおよび４ｃはそれぞれ光ファイバ、５は照射光源（レーザ）、６は光検出器、７は光分波器、８はハーフミラー、９は光バンドパス・フィルタ、１０は照射光となるレーザ光、１１は信号光、１２は電流注入のプローブ電流、１３はプローブバイアス用電源、１４は照射光１０が試料２の表面で反射された照射光１０の反射成分である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2006112988.tif 000001