【手続補正書】
【提出日】平成20年4月14日(2008.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テスタに接続可能な複数のコネクタを備えるベースコントローラと、
複数のテストコントローラであって、該複数のテストコントローラのそれぞれは、電子デバイスに電気的に接続可能な複数の第２のコネクタに電気的に接続されている、複数のテストコントローラと、
該ベースコントローラと該テストコントローラとの間で無線を使ってテストデータの通信を行う無線手段と
を備える、テスト用装置。
【請求項２】
前記テストコントローラの少なくとも一部は前記電子デバイス上に配置されている、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記装置は密閉することが可能な筐体を備え、前記ベースコントローラ、前記テストコントローラまたは前記無線手段のうちの少なくとも１つは、該筐体内に配置されている、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記電子デバイスは半導体ダイを備える、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
複数の前記電子デバイスをさらに備え、各ダイは半導体ダイを備え、該ダイは個片切断されていない半導体ウェハを構成する、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記無線手段は、前記テストコントローラと電気的に接続された第１の送受信機と、前記ベースコントローラと電気的に接続された第２の送受信機とを備える、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
複数のプローブであって、該複数のプローブのそれぞれが前記電子デバイスの端子と接触するように配置されている、複数のプローブをさらに備え、該電子デバイスに接続可能な前記複数のコネクタは、該プローブと電気的に接続される、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記テストデータは、テストベクトルまたはテストコマンドのうちの少なくとも１つを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
複数の電子デバイスをテストする方法であって、
ベースコントローラにおいてテストデータを受信することと、
該テストデータを該ベースコントローラから複数のテストコントローラへ無線を使って伝送することと、
該テストデータを該複数のテストコントローラのそれぞれから該複数の電子デバイスのうちの１つに書き込むことと
を包含する、方法。
【請求項１０】
前記電子デバイスによって生成された応答データを前記テストコントローラに読み込むことと、
該応答データを該テストコントローラから前記ベースコントローラへ無線を使って伝送することと
をさらに包含する、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記テストデータをテスタから前記ベースコントローラへ送信することと、
前記応答データを該ベースコントローラから該テスタへ送信することと
をさらに包含する、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記テストデータは、テストベクトルまたはテストコマンドのうちの少なくとも１つを含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１３】
テスタと、
テストステーションと、
該テスタと該テストステーションとの間の通信リンクと、
該テストステーションに配置された基板であって、
該通信リンクと通信するベースコントローラと、
複数のテストコントローラであって、該複数のテストコントローラのそれぞれは、テストされる複数の電子デバイスのうちの１つに接続可能な複数のコネクタを備える、複数のテストコントローラと、
該ベースコントローラと該複数のテストコントローラとの間で無線を使ってテストデータの通信を行う無線手段と
を備える、基板と
を備える、テストシステム。
【請求項１４】
前記複数のテストコントローラのうちの１つのテストコントローラの少なくとも一部は前記複数の電子デバイスのうちの１つに配置されている、請求項１３に記載のテストシステム。
【請求項１５】
複数のプローブであって、該複数のプローブのそれぞれが前記複数の電子デバイスのうちの１つの電子デバイスの端子に接触するように配置されている、複数のプローブをさらに備え、該複数の電子デバイスのうちの１つに接続可能な前記複数のコネクタは、前記プローブと電気的に接続される、請求項１３に記載のテストシステム。
【請求項１６】
複数の前記テスタであって、該複数のテスタのそれぞれは前記通信リンクと通信する、複数のテスタをさらに備える、請求項１３に記載のテストシステム。
【請求項１７】
複数の前記テストステーションであって、該複数のテストステーションのそれぞれは前記通信リンクと通信する、複数のテストステーションをさらに備える、請求項１６に記載のテストシステム。
【請求項１８】
前記電子デバイスは半導体ダイである、請求項１７に記載のテストシステム。
【請求項１９】
前記半導体ダイは、個片切断されていない半導体ウェハを構成する、請求項１８に記載のテストシステム。
【請求項２０】
前記テストデータは、テストベクトルまたはテストコマンドのうちの少なくとも１つを含む、請求項１３に記載のテストシステム。
【請求項２１】
前記基板が配置されているカセットをさらに備える、請求項１３に記載のテストシステム。
【請求項２２】
前記カセットは密閉可能である、請求項２１に記載のテストシステム。
【請求項２３】
前記基板はプローブカードを構成する、請求項１３に記載のテストシステム。
【請求項２４】
複数の電子デバイスをテストする方法であって、
第１のベースコントローラにおいて、第１のテストを実行するための第１のテストデータを第１のテスタから受信することと、
無線を使って該第１のテストデータを該第１のベースコントローラから複数の第１のテストコントローラへ伝送することと、
該第１のテストを該複数の電子デバイスの第１のセット上で実行することと、
該第１のベースコントローラにおいて、第２のテストを該複数の電子デバイスの該第１のセット上で実行するための第２のテストデータを第２のテスタから受信することと、
該第２のテストデータを該第１のベースコントローラから該複数の第１のテストコントローラへ無線を使って伝送することと、
該第２のテストを該複数の電子デバイスの該第１のセット上で実行することと
を包含する、方法。
【請求項２５】
前記第１のテストの結果を前記複数のテストコントローラの第１のセットのそれぞれから前記第１のベースコントローラへ無線を使って伝送することと、
前記第２のテストの結果を前記複数のテストコントローラの第１のセットのそれぞれから該第１のベースコントローラへ無線を使って伝送することと
をさらに包含する、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
第２のベースコントローラにおいて、前記第１のテストを実行するための前記第１のテストデータを前記第１のテスタから受信することと、
前記第１のテストデータを該第２のベースコントローラから複数の第２のテストコントローラへ無線を使って伝送することと、
該第１のテストを前記複数の電子デバイスの第２のセット上で実行することと、
該第２のベースコントローラにおいて、前記第２のテストを実行するための前記第２のテストデータを前記第２のテスタから受信することと、
前記第２のテストデータを該第２のベースコントローラから該複数の第２のテストコントローラへ無線を使って伝送することと、
該第２のテストを該複数の電子デバイスの第２のセット上で実行することと
をさらに包含する、請求項２４に記載の方法。
【請求項２７】
無線を使って前記第１のテストの結果を前記複数のテストコントローラの第２のセットのそれぞれから前記第２のベースコントローラへ伝送することと、
無線を使って前記第２のテストの結果を前記複数のテストコントローラの第２のセットのそれぞれから該第２のベースコントローラへ伝送することと
をさらに包含する、請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
前記テストデータは、テストベクトルまたはテストコマンドのうちの少なくとも１つを含む、請求項２４に記載の方法。
【請求項２９】
複数のテスタと、
複数のベースコントローラであって、該複数のベースコントローラのそれぞれは、テストされる複数の電子デバイスとの無線リンクを備える、複数のベースコントローラと、
該複数のテスタのうちの幾つかと該複数のベースコントローラのうちの幾つかとの間の複数の通信リンクと
を備える、テストシステムであって、
該複数の通信リンクのそれぞれのデータ転送速度は、該テストシステムのデータスループットを最適化するために選択される、テストシステム。
【請求項３０】
前記複数の通信リンクのうちの少なくとも２つは、前記複数のベースコントローラのうちの１つを前記複数のテスタのうちの少なくとも２つに接続する、請求項２９に記載のテストシステム。
【請求項３１】
前記複数の通信リンクのうちの少なくとも２つは、前記複数のテスタのうちの１つを前記複数のベースコントローラのうちの少なくとも２つに接続する、請求項２９に記載のテストシステム。
【請求項３２】
前記テストシステムのデータスループットを最適化することは、該テストシステムのデータスループットの均衡を保たせることを包含する、請求項２９に記載のテストシステム。
【請求項３３】
第１の無線リンクは、信号反応器またはケーブル相互接続ブロードキャストステーションのうちの少なくとも１つを備える、請求項２９に記載のテストシステム。
【請求項３４】
半導体ダイを作成する方法であって、
ダイを備える半導体ウェハを提供することと、
該ウェハをホルダ内に配置することと、
該ホルダに関連するベースコントローラにおいてテストデータを受信することと、
該テストデータを該ベースコントローラからテストコントローラへ無線を使って伝送することと、
該テストデータを該テストコントローラから該ダイに書き込むことによって、該ダイをテストすることと
を包含する、方法。
【請求項３５】
前記ウェハは複数の前記ダイを備え、
前記テストデータを無線を使って伝送するステップは、該テストデータを複数の前記テストコントローラへ無線を使って伝送することを包含し、
前記テストするステップは、該複数のダイのセットを、該テストデータを該複数のテストコントローラのうちの１つから該セットの該複数のダイのうちの１つに書き込むことによって、テストすることを包含する、請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
前記テストするステップは、前記ダイにより生成された応答データを、該ダイから前記テストコントローラに読み込むことをさらに含む、請求項３４に記載の方法。
【請求項３７】
前記応答データを前記ベースコントローラへ無線を使って伝送することをさらに含む、請求項３６に記載の方法。
【請求項３８】
請求項３４に記載の方法を使用して作成されたダイ。