【手続補正書】
【提出日】平成19年8月7日(2007.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波を流体中に発信する超音波振動子（１２）と該超音波振動子（１２）から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部（８２）に出力する超音波振動子（１３）とを有する流量計センサ部（４）と、操作圧により流体の流量を制御する定流量弁（５）とを具備し、少なくとも流量計センサ部（４）と定流量弁（５）とが、流体流入口（３）と流体流出口（６）とを有する１つの第一のケーシング（２）内に接続されて設置されてなる、
ことを特徴とする流体制御装置。
【請求項２】
前記流量計センサ部（４）と定流量弁（５）とが１つの第一のケーシング（２）に配置されてなるバルブモジュール（１）と、
流量計センサ部（４）の信号によって流量を演算する流量計アンプ部（８２）と、定流量弁（５）の操作圧を調整する電空変換器（８４）と、流量計アンプ部（８２）で演算された流量値に基づいて操作圧を調整しフィードバック制御するための制御部（８３）とが１つの第二のケーシング（８１）内に設置してなる電装モジュール（８０）とを備え、
前記バルブモジュール（１）と前記電装モジュール（８０）とが別体で構成される、
ことを特徴とする請求項１に記載の流体制御装置。
【請求項３】
前記電装モジュール（８０）の第二のケーシング（８１）は、該第二のケーシング（８１）内に充填された気体を排出するために設けられた排出口（９１）が形成されている、
ことを特徴とする請求項２に記載の流体制御装置。
【請求項４】
前記定流量弁（５）は、流体の入口流路（３８）、出口流路（４５）及び、入口流路（３８）と出口流路（４５）とが連通するチャンバ（２０）から形成された本体部（１４）と、弁体（５８）と第一ダイヤフラム部（３０）を有する弁部材（２９）と、弁部材（２９）の下部及び上部に位置し第一ダイヤフラム部（３０）よりも有効受圧面積が小さい第二ダイヤフラム部（３１）及び第三ダイヤフラム部（３２）とを有し、
弁部材（２９）及び各ダイヤフラム部（３０、３１、３２）は、各ダイヤフラム部（３０、３１、３２）の外周部が本体部（１４）に固定されることによりチャンバ（２０）内に取りつけられ、かつ各ダイヤフラム部（３０、３１、３２）によってチャンバ（２０）を第一加圧室（２１）、第二弁室（２２）、第一弁室（２３）、及び第二加圧室（２４）に区分し、
第一加圧室（２１）は第二ダイヤフラム部（３１）に対して常時内向きの一定の力を加える手段を有し、
第一弁室（２３）は入口流路（３８）と連通しており、
第二弁室（２２）は、弁部材（２９）の弁体（５８）に対応する弁座（４３）を有し、また弁座（４３）に対して第一ダイヤフラム部（３０）側に位置し第一ダイヤフラム部（３０）に設けられた連通孔（５５）にて第一弁室（２３）と連通している下部第二弁室（２５）と、第二ダイヤフラム部（３１）側に位置し出口流路（４５）と連通して設けられた上部第二弁室（２６）とに分かれて形成され、弁部材（２９）の上下動により弁体（５８）と弁座（４３）との間の開口面積が変化して下部第二弁室（２５）の流体圧力が制御される流体制御部（６１）を有し、
第二加圧室（２４）は、第三ダイヤフラム部（３２）に対して常時内向きの一定の力を加える手段を有する、
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【請求項５】
前記流量計センサ部（４）と流量計アンプ部（８２）とを接続するケーブル（８８、８９）が、コネクタ（７７、７８、８５、８６）を介して流量計センサ部（４）及び／または流量計アンプ部（８２）と脱着可能に設けられている、
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【請求項６】
前記流量計センサ部（４）と流量計アンプ部（８２）とを接続するケーブル（８８、８９）が、コネクタ（７７、７８、８５、８６）を介して流量計センサ部（４）及び／または流量計アンプ部（８２）と脱着可能に設けられ、
前記定流量弁（５）の本体部（１４）の側面あるいは上面に、前記第一加圧室（２１）内に加圧された気体を供給する給気孔（５０）および前記第一加圧室（２１）内から気体を排出する排出孔（７３）が設けられ、
該排出孔（７３）が前記第一のケーシング（２）に設けられたコネクタボックス（７４）の吸気孔（７５）に連通され、コネクタボックス（７４）に第一のケーシング（２）の外部と連通する排気孔（７６）が設けられている、
ことを特徴とする請求項４に記載の流体制御装置。
【請求項７】
前記流量計センサ部（４）は、流体流入口（３）に連通する入口流路（７）と、入口流路（７）から垂設された第一立上り流路（８）と、第一立上り流路（８）に連通し入口流路（７）の軸線に略平行に設けられた直線流路（９）と、直線流路（９）から垂設された第二立上り流路（１０）と、第二立上り流路（１０）に連通し入口流路（７）の軸線に略平行に設けられ定流量弁（５）の入口流路（３８）に連通する出口流路（１１）とが連続して設けられ、第一、第二立上り流路（８、１０）の側壁の直線流路（９）の軸線と交わる位置に、超音波振動子（１２、１３）が互いに対向して配置された流量計センサ部（４）であり、
前記流量計アンプ部（８２）は、超音波振動子（１２、１３）がケーブル（８８、８９）を介して接続される流量計アンプ部（８２）であり、
前記流量計センサ部（４）と前記流量計アンプ部（８２）とが、超音波振動子（１２、１３）の送受信を交互に切り替えて超音波振動子（１２、１３）間の超音波伝搬時間差を測定することにより直線流路（９）を流れる流体の流量を演算する超音波流量計を構成する、
ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【請求項８】
前記流量計センサ部（９２）は、流体流入口（３）に連通する入口流路（９５）と、入口流路（９５）内に垂設されたカルマン渦を発生させる渦発生体（９６）と、出口流路（９７）とを備える直線流路（９８）とが連続して設けられ、直線流路（９８）の渦発生体（９６）の下流側の側壁に、超音波振動子（９９、１００）が流路軸線方向に直交する位置に互いに対向して配置された流量計センサ部（９２）であり、
前記流量計アンプ部（１０４）は、超音波振動子（９９、１００）がケーブル（１１０、１１１）を介して接続される流量計アンプ部（１０４）であり、
前記流量計センサ部（９２）と前記流量計アンプ部（１０４）とが、渦発生体（９６）の下流に発生するカルマン渦の発生周波数を超音波振動子（９９）が送信した信号と超音波振動子（１００）が受信した信号との位相差によって流量を演算する超音波式渦流量計を構成する、
ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の流体制御装置の構成を図１から図３に基づいて説明すると、
超音波を流体中に発信する超音波振動子１２と該超音波振動子１２から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部８２に出力する超音波振動子１３とを有する流量計センサ部４と、操作圧により流体の圧力を制御する定流量弁５とを具備し、少なくとも流量計センサ部４と定流量弁５とが、流体流入口３と流体流出口６を有する１つの第一のケーシング２内に接続されて設置されてなる、ことを第一の特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、流量計センサ部４と定流量弁５とが１つの第一のケーシング２に設置されてなるバルブモジュール１と、
流量計センサ部４の信号によって流量を演算する流量計アンプ部８２と、定流量弁５の操作圧を調整する電空変換器８４と、流量計アンプ部８２で演算された流量値に基づいて操作圧を調整しフィードバック制御するための制御部８３とが１つの第二のケーシング８１内に設置してなる電装モジュール８０とを備え、
前記バルブモジュール１と前記電装モジュール８０とが別体で構成される、例えば、それぞれが独立したケーシングで構成されることを第２の特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、電装モジュール８０の第二のケーシング８１は、該第二のケーシング８１内に充填された気体を排出するために設けられた排出口９１が形成されていることを第３の特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、定流量弁５が、流体の入口流路３８、出口流路４５及び、入口流路３８と出口流路４５とが連通するチャンバ２０から形成された本体部１４と、弁体５８と第一ダイヤフラム部３０とを有する弁部材２９と、弁部材２９の下部及び上部に位置し第一ダイヤフラム部３０よりも有効受圧面積が小さい第二ダイヤフラム部３１及び第三ダイヤフラム部３２とを有し、
弁部材２９及び各ダイヤフラム部３０、３１、３２が各ダイヤフラム部３０、３１、３２の外周部が本体部１４に固定されることによりチャンバ２０内に取りつけられ、かつ各ダイヤフラム部３０、３１、３２によってチャンバ２０を第一加圧室２１、第二弁室２２、第一弁室２３、及び第二加圧室２４に区分し、
第一加圧室２１は第二ダイヤフラム部３１に対して常時内向きの一定の力を加える手段を有し、
第一弁室２３は入口流路３８と連通しており、
第二弁室２２は、弁部材２９の弁体５８に対応する弁座４３を有し、また弁座４３に対して第一ダイヤフラム部３０側に位置し第一ダイヤフラム部３０に設けられた連通孔５５にて第一弁室２３と連通している下部第二弁室２５と、第二ダイヤフラム部３１側に位置し出口流路４５と連通して設けられた上部第二弁室２６とに分かれて形成され、弁部材２９の上下動により弁体５８と弁座４３との間の開口面積が変化して下部第二弁室２５の流体圧力が制御される流体制御部６１を有し、
第二加圧室２４は、第三ダイヤフラム部３２に対して常時内向きの一定の力を加える手段を有することを第４の特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、流量計センサ部４と流量計アンプ部８２とを接続するケーブル８８、８９が、コネクタ７７、７８、８５、８６を介して流量計センサ部４及び／または流量計アンプ部８２と脱着可能に設けられていることを第５の特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、流量計センサ部４と流量計アンプ部８２とを接続するケーブル８８、８９が、コネクタ７７、７８、８５、８６を介して流量計センサ部４及び／または流量計アンプ部８２と脱着可能に設けられ、
定流量弁５の本体部１４の側面あるいは上面に、第一加圧室２１内に加圧された気体を供給する給気孔５０および第一加圧室２１内から気体を排出する排出孔７３が設けられ、
該排出孔７３が第一のケーシング２に設けられたコネクタボックス７４の吸気孔７５に連通され、コネクタボックス７４に第一のケーシング２の外部と連通する排気孔７６が設けられていることを第６の特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、流量計センサ部４は、流体流入口３に連通する入口流路７と、入口流路７から垂設された第一立上り流路８と、第一立上り流路８に連通し入口流路７の軸線に略平行に設けられた直線流路９と、直線流路９から垂設された第二立上り流路１０と、第二立上り流路１０に連通し入口流路７の軸線に略平行に設けられ定流量弁５の入口流路３８に連通する出口流路１１とが連続して設けられ、第一、第二立上り流路８、１０の側壁の直線流路９の軸線と交わる位置に、超音波振動子１２、１３が互いに対向して配置された流量計センサ部４であり、
流量計アンプ部８２は、超音波振動子１２、１３がケーブル８８、８９を介して接続される流量計アンプ部８２であり、
前記流量計センサ部４と前記流量計アンプ部８２とが流量計測器を構成し、
前記流量計測器が、超音波振動子１２、１３の送受信を交互に切り替えて超音波振動子１２、１３間の超音波伝搬時間差を測定することにより直線流路９を流れる流体の流量を演算するように構成された超音波流量計であることを第７の特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、流量計センサ部９２は、流体流入口３に連通する入口流路９５と、入口流路９５内に垂設されたカルマン渦を発生させる渦発生体９６と、出口流路９７とを備える直線流路９８とが連続して設けられ、直線流路９８の渦発生体９６の下流側の側壁に、超音波振動子９９、１００が流路軸線方向に直交する位置に互いに対向して配置された流量計センサ部９２であり、
流量計アンプ部１０４は、超音波振動子９９、１００がケーブル１１０、１１１を介して接続される流量計アンプ部１０４であり、
前記流量計センサ部９２と前記流量計アンプ部１０４とが流量計測器を構成し、
前記流量計測器が、渦発生体９６の下流に発生するカルマン渦の発生周波数を超音波振動子９９が送信した信号と超音波振動子１００が受信した信号との位相差によって流量を演算するように構成された超音波式渦流量計であることを第８の特徴とする。