【手続補正書】
【提出日】令和1年8月5日(2019.8.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
融液から結晶シートを引き出すための装置であって、該装置は、
前記融液を含むように構成され、ダム構造を有する、るつぼであって、前記融液は、前記ダム構造の頂部により画定されるレベルを有する露出面を備える、るつぼと、
該るつぼ内部に配置され、上面を有する、支持装置であって、前記結晶シートが前記支持装置の上を引き出されるときに、前記結晶シートは前記融液の前記露出面と同一平面に維持される、支持装置と、
前記結晶シートが前記支持装置の上を引き出されるときに、前記結晶シートを部分的に融解するために、前記支持装置の前記上面を通って熱を向ける、融解戻しヒーターと、を備える、装置。
【請求項２】
前記融液は酸化アルミニウムを備え、前記結晶シートはサファイアを備える、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記支持装置は、
前記るつぼの底から伸びる固定部分と、
前記支持装置の前記上面を画定する調整可能部分であって、前記ダム構造の前記頂部に対して第１のレベルに前記上面が配置される第１の位置から、前記ダム構造の前記頂部に対して第２のレベルに前記上面が配置される第２の位置へ、動くことができる、調整可能部分と、を備える、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記調整可能部分は、前記第１の位置及び前記第２の位置において、前記固定部分と接触する、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記支持装置は耐熱金属を備える、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記ダム構造の下流に配置され、ガスの流れを前記ダム構造に隣接する前記融液へ向ける、ガスジェットを更に備える、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
融液から結晶シートを成長させるための装置であって、該装置は、
前記融液を含むように構成され、ダム構造を有する、るつぼであって、前記融液は、前記ダム構造の頂部により画定される露出面を有する、るつぼと、
前記融液の前記露出面から冷却区域で熱を除去するために、前記融液の上に配置される晶析装置であって、前記結晶シートの前縁が前記冷却区域で前記露出面に形成され、前記結晶シートは最初のシートの厚さを有する、晶析装置と、
前記るつぼ内部で前記晶析装置の下流に配置され、上面を有する、支持装置であって、前記結晶シートが前記支持装置の上を引き出されるときに、前記結晶シートは前記融液の前記露出面と同一平面に維持される、支持装置と、を備える、装置。
【請求項８】
前記融液は酸化アルミニウムを備え、前記結晶シートはサファイアを備える、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記支持装置は、
前記るつぼの底から伸びる固定部分と、
前記支持装置の前記上面を画定する調整可能部分であって、前記ダム構造の前記頂部に対して第１のレベルに前記上面が配置される第１の位置から、前記ダム構造の前記頂部に対して第２のレベルに前記上面が配置される第２の位置へ、動くことができる、調整可能部分と、を備える、請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
前記固定部分は、水平に対して、第１の傾斜角を画定する第１の接触面を有し、前記調整可能な部分は、前記第１の接触面と接触し前記上面に対して前記第１の傾斜角で配置される第２の接触面を有し、前記支持装置の前記上面は前記水平に平行である、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記結晶シートが前記支持装置の上を引き出されるときに、前記結晶シートを部分的に融解するために、前記支持装置の前記上面を通って熱を向ける、融解戻しヒーターを更に備える、請求項７に記載の装置。
【請求項１２】
前記融解戻しヒーターは、前記るつぼの区分の下で、前記支持装置に隣接して配置される、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
融液から結晶シートを成長させる方法であって、該方法は、
ダム構造を有する、るつぼの中で、融液の露出面の上に前記結晶シートを形成するステップであって、前記露出面は前記ダム構造の頂部により画定される、ステップと、
前記露出面に対する前記結晶シートの表面の第１の位置を測定するステップと、
該第１の位置に基づいて、支持装置の上面を第１のレベルに置くステップと、
前記結晶シートを前記支持装置の前記上面の上を第１の方向に沿って引き出すステップであって、前記結晶シートは前記露出面と同一平面に維持される、ステップと、を有する方法。
【請求項１４】
前記支持装置は、
前記るつぼの底から伸びる固定部分と、
前記支持装置の前記上面を画定する調整可能部分と、を備え、
前記上面を前記第１のレベルに置くステップは、前記調整可能部分が前記固定部分と接触する間に、第１の位置から第２の位置へ前記第１の方向に沿って前記調整可能部分を動かす、ステップを有する、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記引き出すステップ中に、前記支持装置を通って、前記結晶シートへ、熱を向けるステップであって、前記支持装置の上に配置された前記結晶シートの一部の融解戻しをする、ステップを更に有する、請求項１３に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】融液から結晶シートを引き出し成長させるための装置及び結晶シートを成長させる方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
サファイアは、シリコンの次に２番目に最も広く用いられる、合成の単結晶材料である。サファイアは、酸化アルミニウム（Al203）の１つの結晶形状を表し、例えば、融液からサファイアの結晶ブールを成長することにより形成することができる。サファイアの応用は、発光ダイオード（LED）の基板、光の窓、サファイア上シリコン（SOS）、携帯機器など、としての使用を含む。これらの応用の全ては、薄い結晶シートの形状の単一の結晶（単結晶）サファイアを伴う。したがって、ブールとして成長するとき、成長後にブールを薄切りにすることにより、サファイアのシート又はウエーハを形成することができ、ターゲットの厚さのサファイアのシート又は基板を形成する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
更なる実施態様において、融液から結晶シートを成長させる方法は、ダム構造を有する、るつぼの中で、融液の露出面の上に前記結晶シートを形成するステップであって、前記露出面は前記ダム構造の頂部により画定される、ステップと、前記結晶シートの表面の第１の位置を測定するステップと、測定した第１の位置に基づいて、支持装置の上面を第１のレベルに置くステップと、前記結晶シートを前記支持装置の前記上面の上を第１の方向に沿って引き出すステップであって、前記結晶シートは前記露出面と同一平面に維持される、ステップと、を含んでもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
さらに図１Ａに示唆されるように、結晶シート１１２の形態を向上するだけでなく、結晶シート１１２のシート厚さを修正するためにも、結晶シート１１２への熱流を調整するために、結晶シート１１２が右の方へ引き出されるときに、ヒーター１０４などのヒーターを用いることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
第１のシナリオにおいて、結晶シート１１２は２ｍｍの厚さを有することができる。この状況において、調整可能部分２０６は、破線の構造に示されるように、位置Ｐ１に位置付けることができ、ダム構造１１６の頂部２１０などのるつぼ１０２の他のパーツに対して、第１のレベルＬ１に上面２１４が配置される。第１のシナリオにおいて、結晶シート１１２の厚さを２ｍｍと仮定すると、結晶シート１１２の表面２２２を融液１０６の露出面１２４と同一平面にすることができる。図３に例示する第２のシナリオにおいても、調整可能部分２０６は、実線の構造に示されるように、位置Ｐ２に位置付けることができる。第２のシナリオにおいて、ダム構造１１６の頂部２１０に対して、したがって、露出面１２４に対して、第２のレベルＬ２に上面２１４が配置される。第２のシナリオにおいて、上面２１４は、露出面１２４に、より近くに位置付けられる。結晶シート１１２が第１のシナリオより薄い場合、この構成は有用にすることができる。例えば、第２のシナリオにおいて、結晶シート１１２は１ｍｍの厚さを有することができる。したがって、結晶シート１１２の表面２２２を露出面１２４と同一平面にすることを維持するため、第１のシナリオと比較して、結晶シート１１２のより薄い厚さ用に調整するために、支持装置２０２の上面２１４の第２のレベルＬ２は露出面１２４により近くにされる。もっと一般的に、結晶シートの引き出し方向に平行な方向（Ｚ軸）に沿って、調整可能部分２０６を単に動かすことにより、上面２１４のレベルを、必要に応じて、露出面に対して上方へ又は下方へ調整することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
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