【手続補正書】
【提出日】平成19年10月11日(2007.10.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波を流体中に発信する超音波振動子（１２）と該超音波振動子（１２）から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部（６０）に出力する超音波振動子（１３）とを有する流量計センサ部（４）と、操作圧により流体の流量を調整する空気駆動式ピンチ弁（５）とを具備し、
少なくとも流量計センサ部（４）と空気駆動式ピンチ弁（５）とが、流体流入口（３）と流体流出口（６）とを有する１つの第一のケーシング（２）内に接続されて設置されてなる、
ことを特徴とする流体制御装置。
【請求項２】
前記流量計センサ部（４）と空気駆動式ピンチ弁（５）とが１つの第一のケーシング（２）に設置されてなるバルブモジュール（１）と、
流量計センサ部（４）の信号によって流量を演算する流量計アンプ部（６０）と、空気駆動式ピンチ弁（５）の操作圧を調整する電空変換器（６２）と、流量計アンプ部（６０）で演算された流量値に基づいて操作圧を調整しフィードバック制御するための制御部（６１）とが１つの第二のケーシング（５９）内に設置してなる電装モジュール（５８）とを備え、
前記バルブモジュール（１）と前記電装モジュール（５８）とが別体で構成される、
ことを特徴とする請求項１に記載の流体制御装置。
【請求項３】
前記電装モジュール（５８）の第二のケーシング（５９）は、該第二のケーシング（５９）内に充填された気体を排出するために設けられた排出口（６３）が形成されている、
ことを特徴とする請求項２に記載の流体制御装置。
【請求項４】
前記空気駆動式ピンチ弁（５）は、
弾性体からなる管体（１４）と、
内部にシリンダー部（２１）を有し、上部にシリンダー蓋（２２）が接合されたシリンダー本体（１５）と、
シリンダー部（２１）の内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接され、且つシリンダー本体（１５）の下面中央に設けられた貫通孔（２３）を密封状態で貫通するように中央より垂下して設けられた連結部（３１）を有するピストン（１６）と、
ピストン（１６）の連結部（３１）の下端部に固定されシリンダー本体（１５）の底面に流路軸線と直交して設けられた長円状スリット（２４）内に収納される挟圧子（１７）と、
シリンダー本体（１５）の下端面に接合固定され、流路軸線上に管体（１４）を受容する第一の溝（３３）と、該第一の溝（３３）の両端部で該第一の溝（３３）よりも深く設けられる第二の溝（３４）とを有する本体（１８）と、
一端に本体（１８）の第二の溝（３４）と嵌合する嵌合部（３６）を有し、他端内部に連結体受口（３８）を有し、さらに管体（１４）を受容する貫通孔（４２）を有する一対の連結体受け（１９）と、
シリンダー本体（１５）の周側面に設けられ、シリンダー部（２１）の底面及び内周面とピストン（１６）の下端面とで囲まれて形成された第１空間部（２５）と、シリンダー蓋（２２）の下端面とシリンダー部（２１）の内周面とピストン（１６）の上面とで囲まれた第二空間部（２６）とにそれぞれ連通される一対のエアー口（２７、２８）とを、具備する、
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【請求項５】
前記流量計センサ部（４）と流量計アンプ部（６０）とを接続するケーブル（６８、６９）が、コネクタ（５４、５５、６４、６５）を介して流量計センサ部（４）および／または流量計アンプ部（６０）と脱着可能に設けられている、
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【請求項６】
前記流量計センサ部（４）と流量計アンプ部（６０）とを接続するケーブル（６８、６９）が、コネクタ（５４、５５、６４、６５）を介して流量計センサ部（４）および／または流量計アンプ部（６０）と脱着可能に設けられ、  
前記空気駆動式ピンチ弁（５）の前記第一空間部（２５）内の気体を排出する第一の排出孔（２９）または前記第二空間部（２６）内の気体を排出する第二の排出孔（３０）の少なくともどちらか一方が、シリンダー本体（１５）および／またはシリンダー蓋（２２）に設けられ、
第一の排出孔（２９）および第二の排出孔（３０）の少なくとも一方が前記第一のケーシング（２）に設けられたコネクタボックス（５０）の吸気孔（５１）に連通され、コネクタボックス（５０）に第一のケーシング（２）の外部と連通する排気孔（５２）が設けられている、
ことを特徴とする請求項４に記載の流体制御装置。
【請求項７】
前記流量計センサ部（４）は、流体流入口（３）に連通する入口流路（７）と、入口流路（７）から垂設された第一立上り流路（８）と、第一立上り流路（８）に連通し入口流路（７）の軸線に略平行に設けられた直線流路（９）と、直線流路（９）から垂設された第二立上り流路（１０）と、第二立上り流路（１０）に連通し入口流路（７）の軸線に略平行に設けられ空気駆動式ピンチ弁（５）の入口流路（２４）に連通する出口流路（１１）とが連続して設けられ、第一、第二立上り流路（８、１０）の側壁の直線流路（９）の軸線と交わる位置に、超音波振動子（１２、１３）が互いに対向して配置された流量計センサ部（４）であり、
前記流量計アンプ部（６０）は、超音波振動子（１２、１３）がケーブル（６８、６９）を介して接続される流量計アンプ部（６０）であり、
前記流量計センサ部（４）と前記流量計アンプ部（６０）とが、超音波振動子（１２、１３）の送受信を交互に切り替えて超音波振動子（１２、１３）間の超音波伝搬時間差を測定することにより直線流路（９）を流れる流体の流量を演算する超音波流量計を構成する、
ことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【請求項８】
前記流量計センサ部（９１）は、流体流入口（３）に連通する入口流路（９４）と、入口流路（９４）内に垂設されたカルマン渦を発生させる渦発生体（９５）と、出口流路（９６）とを備える直線流路（９７）とが連続して設けられ、直線流路（９７）の渦発生体（９５）の下流側の側壁に、各超音波振動子（９８、９９）が流路軸線方向に直交する位置に互いに対向して配置された流量計センサ部（９１）であり、
前記流量計アンプ部（１０３）は、各超音波振動子（９８、９９）がケーブル（１０９、１１０）を介して接続される流量計アンプ部（１０３）であり、
前記流量計センサ部（９１）と前記流量計アンプ部（１０３）とが、渦発生体（９５）の下流に発生するカルマン渦の発生周波数を超音波振動子（９８）が送信した信号と超音波振動子（９９）が受信した信号との位相差によって流量を演算する超音波式渦流量計を構成する、
ことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【請求項９】
前記流体流入口（３）の内部または外部に圧力調整弁（１１１）が設けられた、
ことを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の流体制御装置の構成を図１乃至図３に基づいて説明すると、
超音波を流体中に発信する超音波振動子１２と該超音波振動子１２から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部６０に出力する超音波振動子１３とを有する流量計センサ部４と、操作圧により流体の流量を調整する空気駆動式ピンチ弁５とを具備し、
少なくとも流量計センサ部４と空気駆動式ピンチ弁５とが、流体流入口３と流体流出口６とを有する１つの第一のケーシング２内に接続されて設置されてなる、ことを第１の特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、前記流量計センサ部４と空気駆動式ピンチ弁５とが１つの第一のケーシング２に設置されてなるバルブモジュール１と、
流量計センサ部４の信号によって流量を演算する流量計アンプ部６０と、空気駆動式ピンチ弁５の操作圧を調整する電空変換器６２と、流量計アンプ部６０で演算された流量値に基づいて操作圧を調整しフィードバック制御するための制御部６１とが１つの第二のケーシング５９内に設置してなる電装モジュール５８とを備え、
前記バルブモジュール１と前記電装モジュール５８とが別体で構成される、ことを第２の特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、前記電装モジュール５８の第二のケーシング５９は、該第二のケーシング５９内に充填された気体を排出するために設けられた排出口６３が形成されている、ことを第３の特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、前記空気駆動式ピンチ弁５は、
弾性体からなる管体１４と、
内部にシリンダー部２１を有し上部にシリンダー蓋２２が接合されたシリンダー本体１５と、
シリンダー部２１の内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接され、且つシリンダー本体１５の下面中央に設けられた貫通孔２３を密封状態で貫通するように中央より垂下して設けられた連結部３１を有するピストン１６と、
ピストン１６の連結部３１の下端部に固定されシリンダー本体１５の底面に流路軸線と直交して設けられた長円状スリット２４内に収納される挟圧子１７と、
シリンダー本体１５の下端面に接合固定され、流路軸線上に管体１４を受容する第一の溝３３と、該第一の溝３３の両端部で該第一の溝３３よりも深く設けられる第二の溝３４とを有する本体１８と、
一端に本体１８の第二の溝３４と嵌合する嵌合部３６を有し他端内部に連結体受口３８を有しさらに管体１４を受容する貫通孔４２を有する一対の連結体受け１９と、
シリンダー本体１５の周側面に設けられ、シリンダー部２１の底面及び内周面とピストン１６の下端面とで囲まれて形成された第一空間部２５と、シリンダー蓋２２の下端面とシリンダー部２１の内周面とピストン１６の上面とで囲まれた第二空間部２６とにそれぞれ連通される一対のエアー口２７、２８とを、具備する、ことを第４の特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、前記流量計センサ部４と流量計アンプ部６０とを接続するケーブル６８、６９が、コネクタ５４、５５、６４、６５を介して流量計センサ部４及び／または流量計アンプ部６０と脱着可能に設けられている、ことを第５の特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、前記流量計センサ部４と流量計アンプ部６０とを接続するケーブル６８、６９が、コネクタ５４、５５、６４、６５を介して流量計センサ部４及び／または流量計アンプ部６０と脱着可能に設けられ、
前記空気駆動式ピンチ弁５の前記第一空間部２５内の気体を排出する第一の排出孔２９または前記第二空間部２６内の気体を排出する第二の排出孔３０の少なくともどちらか一方が、シリンダー本体１５および／またはシリンダー蓋２２に設けられ、
第一の排出孔２９および第二の排出孔３０の少なくとも一方が前記第一のケーシング２に設けられたコネクタボックス５０の吸気孔５１に連通され、コネクタボックス５０に第一のケーシング２の外部と連通する排気孔５２が設けられている、ことを第６の特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、前記流量計センサ部４は、流体流入口３に連通する入口流路７と、入口流路７から垂設された第一立上り流路８と、第一立上り流路８に連通し入口流路７の軸線に略平行に設けられた直線流路９と、直線流路９から垂設された第二立上り流路１０と、第二立上り流路１０に連通し入口流路７の軸線に略平行に設けられ空気駆動式ピンチ弁５の入口流路４８に連通する出口流路１１とが連続して設けられ、第一、第二立上り流路８、１０の側壁の直線流路９の軸線と交わる位置に、超音波振動子１２、１３が互いに対向して配置された流量計センサ部４であり、
前記流量計アンプ部６０は、超音波振動子１２、１３がケーブル６８、６９を介して接続される流量計アンプ部６０であり、
前記流量計センサ部４と前記流量計アンプ部６０とが、超音波振動子１２、１３の送受信を交互に切り替えて超音波振動子１２、１３間の超音波伝搬時間差を測定することにより直線流路９を流れる流体の流量を演算する超音波流量計を構成する、ことを第７の特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、前記流量計センサ部９１は、流体流入口３に連通する入口流路９４と、入口流路９４内に垂設されたカルマン渦を発生させる渦発生体９５と、出口流路９６とを備える直線流路９７とが連続して設けられ、直線流路９７の渦発生体９５の下流側の側壁に、各超音波振動子９８、９９が流路軸線方向に直交する位置に互いに対向して配置された流量計センサ部９１であり、
前記流量計アンプ部１０３は、各超音波振動子９８、９９がケーブル１０９、１１０を介して接続される流量計アンプ部１０３であり、
前記流量計センサ部９１と前記流量計アンプ部１０３とが、渦発生体９５の下流に発生するカルマン渦の発生周波数を超音波振動子９８が送信した信号と超音波振動子９９が受信した信号との位相差によって流量を演算する超音波式渦流量計を構成する、ことを第８の特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
さらに、前記流体流入口３の内部または外部に圧力調整弁１１１が設けられた、ことを第９の特徴とする。