Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月24日(2007.1.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファクシミリ通信手段を備えた通信装置において、
前記ファクシミリ通信手段により画情報を受信する画情報受信手段と、
前記受信した画情報の画像データと照合する参照用画データを登録する参照用画データ登録手段と、
前記受信した画情報の画像データ中に、前記登録された参照用画データが含まれているかどうかを照合する照合手段と、
前記照合手段の照合結果に応じて、前記受信した画情報の出力手段を変更する出力変更手段を備えたことを特徴とする通信装置。
【請求項２】
前記参照用画データに対応したメールアドレスを格納したテーブルと、
前記メールアドレスに電子メールを送信する電子メール通信手段をさらに備え、
前記出力変更手段は、前記照合手段による照合の結果、前記受信した画情報の画像データ中に前記参照用画データが含まれている場合には、前記出力手段を前記電子メール通信手段に変更することを特徴とする請求項１記載の通信装置。
【請求項３】
前記受信した画情報を記録出力する記録出力手段をさらに備え、
前記出力変更手段は、前記照合手段による照合の結果、前記受信した画情報の画像データに前記参照用画データが含まれていない場合には、前記出力手段を前記記録手段に変更することを特徴とする請求項１記載の通信装置。
【請求項４】
前記参照用画データは複数であることを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３記載の通信装置。
【請求項５】
前記照合手段は、前記受信した画情報の画像データ中に、前記参照用画データと一致する部分が所定の割合以上が含まれている場合に、当該画情報の画像データ中に、参照用画データが含まれていると判断することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３または請求項４記載の通信装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、ファクシミリ通信手段を備えた通信装置に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、ファクシミリ通信手段を備えた通信装置において、前記ファクシミリ通信手段により画情報を受信する画情報受信手段と、前記受信した画情報の画像データと照合する参照用画データを登録する参照用画データ登録手段と、前記受信した画情報の画像データ中に、前記登録された参照用画データが含まれているかどうかを照合する照合手段と、前記照合手段の照合結果に応じて、前記受信した画情報の出力手段を変更する出力変更手段を備えたものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、前記参照用画データに対応したメールアドレスを格納したテーブルと、前記メールアドレスに電子メールを送信する電子メール通信手段をさらに備え、前記出力変更手段は、前記照合手段による照合の結果、前記受信した画情報の画像データ中に前記参照用画データが含まれている場合には、前記出力手段を前記電子メール通信手段に変更するようにしたものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、前記受信した画情報を記録出力する記録出力手段をさらに備え、前記出力変更手段は、前記照合手段による照合の結果、前記受信した画情報の画像データに前記参照用画データが含まれていない場合には、前記出力手段を前記記録手段に変更するようにしたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、前記参照用画データは複数である。また、前記照合手段は、前記受信した画情報の画像データ中に、前記参照用画データと一致する部分が所定の割合以上が含まれている場合に、当該画情報の画像データ中に、参照用画データが含まれていると判断するようにしたものである。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月22日(2007.5.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の映像クリップを保持する映像通信装置であって、
上記複数の映像クリップから選択された映像クリップを送信したカメラサーバに関する情報、および上記選択された映像クリップとは異なる映像クリップからカメラ制御情報を抽出する抽出手段と、
上記抽出手段によって抽出されたカメラ制御情報を上記カメラサーバに適用する適用手段とを備えることを特徴とする映像通信装置。
【請求項２】
上記抽出手段は、上記カメラ制御情報を複数の映像クリップから抽出し、得られた各映像クリップのカメラ制御情報を組み合わせて利用することを特徴とする請求項１に記載の映像通信装置。
【請求項３】
上記適用手段は、上記抽出手段によってカメラ制御情報が抽出された映像クリップが、上記カメラサーバに関する情報が抽出された映像クリップへとドラッグアンドドロップされることにより、上記カメラ制御情報をカメラサーバに適用することを特徴とする請求項１に記載の映像通信装置。
【請求項４】
上記適用手段は、上記カメラサーバに関する情報および上記カメラ制御情報を、上記映像クリップを生成する際に適用することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の映像通信装置。
【請求項５】
上記適用手段は、上記カメラサーバに関する情報および上記カメラ制御情報を、ライブ映像の配信に際して適用することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の映像通信装置。
【請求項６】
複数の映像クリップを保持する映像通信装置における映像通信方法であって、
上記複数の映像クリップから選択された映像クリップを送信したカメラサーバに関する情報、および上記選択された映像クリップとは異なる映像クリップからカメラ制御情報を抽出する抽出工程と、
上記抽出工程において抽出されたカメラ制御情報を上記カメラサーバに適用する適用工程とを有することを特徴とする映像通信方法。
【請求項７】
上記抽出工程において、上記カメラ制御情報は、複数の映像クリップから抽出されることを特徴とする請求項６に記載の映像通信方法。
【請求項８】
上記適用工程においては、上記抽出工程においてカメラ制御情報が抽出された映像クリップが上記カメラサーバに関する情報が抽出された映像クリップへとドラッグアンドドロップされることにより、上記カメラ制御情報を上記カメラサーバに適用することを特徴とする請求項６に記載の映像通信方法。
【請求項９】
上記適用工程において、上記カメラサーバに関する情報および上記カメラ制御情報を、上記映像クリップを生成する際に適用することを特徴とする請求項６〜８の何れか１項に記載の映像通信方法。
【請求項１０】
上記適用工程において、上記カメラサーバに関する情報および上記カメラ制御情報を、ライブ映像の配信に際して適用することを特徴とする請求項６〜８の何れか１項に記載の映像通信方法。
【請求項１１】
複数の映像クリップを保持する映像通信装置における映像通信を行う工程をコンピュータに実行させるプログラムであって、
上記複数の映像クリップから選択された映像クリップの上記カメラサーバに関する情報、および上記選択された映像クリップとは異なる映像クリップからカメラ制御情報を抽出する抽出工程と、
上記抽出工程において抽出されたカメラ制御情報をカメラサーバに適用する適用工程とをコンピュータに実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。
【請求項１２】
請求項１１に記載のコンピュータプログラムを記録したことを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の映像通信装置は、複数の映像クリップを保持する映像通信装置であって、上記複数の映像クリップから選択された映像クリップを送信したカメラサーバに関する情報、および上記選択された映像クリップとは異なる映像クリップからカメラ制御情報を抽出する抽出手段と、上記抽出手段によって抽出されたカメラ制御情報を上記カメラサーバに適用する適用手段とを備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の映像通信方法は、複数の映像クリップを保持する映像通信装置における映像通信方法であって、上記複数の映像クリップから選択された映像クリップを送信したカメラサーバに関する情報、および上記選択された映像クリップとは異なる映像クリップからカメラ制御情報を抽出する抽出工程と、上記抽出工程において抽出されたカメラ制御情報を上記カメラサーバに適用する適用工程とを有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のコンピュータプログラムは、複数の映像クリップを保持する映像通信装置における映像通信を行う工程をコンピュータに実行させるプログラムであって、上記複数の映像クリップから選択された映像クリップの上記カメラサーバに関する情報、および上記選択された映像クリップとは異なる映像クリップからカメラ制御情報を抽出する抽出工程と、上記抽出工程において抽出されたカメラ制御情報をカメラサーバに適用する適用工程とをコンピュータに実行させることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月25日(2007.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空間を伝播する光を用いて通信を行う光空間伝送装置であって、
受光手段と、
入射光を前記受光手段に導く可動ミラーを有する光学系と、
前記可動ミラーを制御する制御手段と、
前記受光手段での受光強度を検出する検出手段とを有し、
前記制御手段は、前記受光強度の変化に基づいて前記可動ミラーの制御特性を変更することを特徴とする光空間伝送装置。
【請求項２】
前記制御手段は、所定時間内での前記受光強度の最大値、最小値および平均値のうち少なくとも２つを比較した結果に基づいて前記制御特性を変更することを特徴とする請求項１に記載の光空間伝送装置。
【請求項３】
前記制御手段は、ゲインおよび応答速度のうち少なくとも一方の制御値を変更することを特徴とする請求項２に記載の光空間伝送装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記受光強度の変化が大きいほど前記制御値を減少させることを特徴とする請求項３に記載の光空間伝送装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】光空間伝送装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、光ビームを伝播して遠距離間で通信を行う光空間伝送装置に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記課題を解決するために、本願発明の空間を伝播する光を用いて通信を行う光空間伝
送装置の構成は、受光手段と、入射光を前記受光手段に導く可動ミラーを有する光学系と、前記可動ミラーを制御する制御手段と、前記受光手段での受光強度を検出する検出手段とを有し、前記制御手段は、前記受光強度の変化に基づいて前記可動ミラーの制御特性を変更することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本願発明の光空間伝送装置によれば、高品位の光空間伝送を行なうことができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
演算回路４７は可動ミラー制御回路４８に角度誤差を０とするように指令信号を送り、
可動ミラー制御回路（制御手段）４８は、Ｘ軸、Ｙ軸のアクチュエータ５１を同時に駆動
して、可動ミラー３２の角度調整を行う。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
一方、受光素子（受光手段）４２から出力された電気信号は、受信光強度検出回路（検
出手段）５３にも出力され、ここで受光素子４２に入射した光の受光強度が検出される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
ここで、図３は、ある日の夜から翌々日の明け方までの受光強度を示しており、横軸は
時間で、縦軸は相対的な受光強度である。３本あるグラフのうち、中央の比較的平坦なグ
ラフａは１分間の受光強度（ＯＰＴ ＲＸ）の平均値、上のグラフｂは１分間の受光強度の最大値、下の変動の大きいグラフｃは１分間の受光強度の最小値を示している。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
本実施例では、光通信の通信路を形成する空間の状態を、ある一定期間内での受光強度の平均値、最小値及び最大値に基づき判別しているが、例えば、受光強度がある値より大きく又は小さくなった回数が何回あるかによって判別するようにしてもよい。
（参考例）
図２は、本発明の参考例の光空間伝送装置の概略図である。ここでは、受光強度の平均値、最小値、最大値のなどの差（シンチレーションの大きさ）に基づき、制御の速度をそのままにして、シンチレーションによる追尾誤差の影響が出ない程度に送信光ビームの拡がり角を大きくするような動作を行なっている。なお、第一の実施例と同一の構成要素については、同一符号を付して説明を省略する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
上述の実施例では、受信光強度の所定時間範囲での平均値、最小値及び最大値に基づき大気揺らぎによる受信光の変動（シンチレーション）の大きさを求め、これに基づいて、自動追尾の制御特性（ゲインまたは応答速度）を変化させている。これにより、シンチレーションが特に大きい場合を除き、通常の状態では自動追尾の性能を落とすことなく、高品位の光空間伝送を行なうことができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
【図１】本発明の第一の実施例の概略図
【図２】本発明の参考例の概略図
【図３】受光強度の平均値、最小値及び最大値を図示した図
【図４】第一の実施例の追尾速度の制御手順を説明するためのフローチャート
【図５】参考例のコリメートレンズの制御手順を説明するためのフローチャート
【図６】従来のミラー駆動機構の概略図
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月22日(2007.5.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光を電気信号に変換する複数の光電変換素子を２次元状に配列して成る撮像手段と、
複数の画素からの信号を順次出力するための複数の共通読み出し手段と、
前記複数の共通読み出し手段のそれぞれに、異なる複数の固定電圧を選択的に出力する電圧供給手段と、
前記電圧供給手段による出力タイミングを制御する供給制御手段とを有し、
前記供給制御手段は、前記複数の画素からの信号読み出しを行っていない時間に、前記固定電圧を前記複数の共通読み出し手段に出力させることを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
前記電圧供給手段は、複数の固定電圧をそれぞれ供給する複数の供給手段と、前記複数の供給手段のいずれかを選択する選択手段とを有することを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記電圧供給手段は、複数の電圧を供給可能な可変電圧供給手段と、前記可変電圧供給手段の供給電圧を制御する制御手段とを有することを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記複数の共通読み出し手段は、それぞれ、前記撮像手段により入射光を電気信号に変換して得た画像信号を読み出す第１の読み出し系と、ノイズ信号を読み出す第２の読み出し系とを有し、
前記電圧供給手段は、前記第２の読み出し系をリセットするための固定電圧を供給する固定電圧供給手段と、複数の電圧を前記第１の読み出し系に対して供給可能な可変電圧供給手段と、前記可変電圧供給手段の供給電圧を制御する制御手段とを有することを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記複数の共通読み出し手段は、それぞれ、前記撮像手段により入射光を電気信号に変換して得た画像信号を読み出す第１の読み出し系と、ノイズ信号を読み出す第２の読み出し系とを有し、
前記電圧供給手段は、前記第２の読み出し系をリセットするための第１の固定電圧と、前記第１の固定電圧とは異なる第２の固定電圧とを選択的に前記第１の読み出し系に供給することを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記第１の読み出し系は、入射光を電気信号に変換して得た画像信号を一時的に保持する第１の保持手段を有し、前記第２の読み出し系は、ノイズ信号を一時的に保持する第２の保持手段を有し、
前記電圧供給手段は、前記第１及び第２の保持手段に対して電圧を供給することを特徴とする請求項４または５に記載の固体撮像装置。
【請求項７】
前記固定電圧を固体撮像装置内で生成することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項８】
前記固定電圧は、固体撮像装置外から供給されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置の前記複数の共通読み出し手段にそれぞれ対応して設けられた、所定の信号処理を行う複数の信号処理手段と、
前記複数の信号処理手段により処理された複数の信号間の差を検出する検出手段と、
前記検出された信号間の差を減少させるように補正を行う補正手段と
を有することを特徴とする固体撮像システム。
【請求項１０】
前記補正手段は、前記信号間の差を補正するための補正値を演算し、前記補正値を用いて前記撮像手段から読み出された画像信号を補正することを特徴とする請求項９に記載の固体撮像システム。
【請求項１１】
前記複数の共通読み出し手段は、ゲインを変更可能な増幅手段を有し、
前記補正手段は、前記信号差が無くなるように前記ゲインを変更する補正信号を前記増幅手段に出力することを特徴とする請求項９に記載の固体撮像システム。
【請求項１２】
前記複数の信号処理手段は、ゲインを変更可能な増幅手段を有し、
前記補正手段は、前記信号差が無くなるように前記ゲインを変更する補正信号を前記増幅手段に出力することを特徴とする請求項９に記載の固体撮像システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
上記目的を達成するために、本発明の固体撮像装置は、入射光を電気信号に変換する複数の光電変換素子を２次元状に配列して成る撮像手段と、複数の画素からの信号を順次出力するための複数の共通読み出し手段と、前記複数の共通読み出し手段のそれぞれに、異なる複数の固定電圧を選択的に出力する電圧供給手段と、前記電圧供給手段による出力タイミングを制御する供給制御手段とを有し、前記供給制御手段は、前記複数の画素からの信号読み出しを行っていない時間に、前記固定電圧を前記複数の共通読み出し手段に出力させる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月23日(2007.5.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料により形成された基部と、
前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕と
前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、
前記長溝に形成した励振用の電極と
を備えており、
前記各振動腕が、前記長溝が形成された領域において、前記基部側から先端側にいくに従って剛性が低下する構成とされている
ことを特徴とする、圧電振動片。
【請求項２】
前記各振動腕は、前記基部側から前記先端側にいくに従って腕幅が小さくなるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記各振動腕は、該振動腕の側面と前記長溝との間の壁部の厚みが、先端側の領域よりも前記基部側の領域において厚く形成されていることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記長溝が前記基部側において、溝幅が狭くなるように構成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記長溝には、溝幅の方向に設けたリブ状もしくは壁状の補強部が、長溝の長さ方向に沿って複数設けられており、前記複数の補強部が、長溝の長さ方向に沿って、先端側にいく程大きな間隔をおいて形成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項６】
前記基部の前記振動腕の基端部に近接した箇所には、部分的に幅方向に切り込んだ切り込み部が形成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項７】
パッケージまたはケース内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、
前記圧電振動片が、
圧電材料により形成された基部と、
前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕と
前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、
前記長溝に形成した励振用の電極と
を備えており、
前記各振動腕が、前記長溝が形成された領域において、前記基部側から先端側にいくに従って剛性が低下する構成とされている
ことを特徴とする、圧電デバイス。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上述の目的は、第１の発明にあっては、圧電材料により形成された基部と、前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕と前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、前記長溝に形成した励振用の電極とを備えており、前記各振動腕が、前記長溝が形成された領域において、前記基部側から先端側にいくに従って剛性が低下する構成とされている圧電振動片により、達成される。
第１の発明の構成によれば、振動腕の根本部分が先端側と比較してその剛性を強化されることにより、２次の高調波における振動の際の大きく歪む位置をより先端側に位置させることができると考えられる。このことにより、長溝を長くして圧電材料の電界効率を上げて、基本波のＣＩ値を低くしつつも、このことが、２次の高調波のＣＩ値の低下を招くことがないようにすることができる。かくして、小型化しても、基本波のＣＩ値だけを低く抑えることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記各振動腕は、前記基部側から前記先端側にいくに従って腕幅が小さくなるように構成されていることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、振動腕に関して基部側の剛性が高く、先端にいくにしたがって剛性が低くなる構造を容易に実現できる。
第３の発明は、第１または２のいずれかの発明の構成において、前記各振動腕は、該振動腕の側面と前記長溝との間の壁部の厚みが、先端側の領域よりも前記基部側の領域において厚く形成されていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
第４の発明は、第１ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記長溝が前記基部側において、溝幅が狭くなるように構成されていることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、長溝が設けられる振動腕においては、この長溝が前記基部側のその溝幅が小さくなるようにされることにより、長溝の両側の側壁の壁厚が増大するので、その領域の剛性は高くなる。このため、振動腕の基部側の剛性を高くし、先端側の剛性をこれより低くする構造を実現することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
第５の発明は、第１ないし第４のいずれかの発明の構成において、前記長溝には、溝幅の方向に設けたリブ状もしくは壁状の補強部が、長溝の長さ方向に沿って複数設けられており、前記複数の補強部が、長溝の長さ方向に沿って、先端側にいく程大きな間隔をおいて形成されていることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、長溝に設けた前記補強部が、長溝の長さ方向に沿って、先端側にいく程大きな間隔をおいて形成されているので、前記基部側で振動腕の剛性が高く、先端側にいくにしたがい剛性が低下する構造を実現することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
第６の発明は、第１ないし第５のいずれかの発明の構成において、前記基部の前記振動腕の基端部に近接した箇所には、部分的に幅方向に切り込んだ切り込み部が形成されていることを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、振動腕側からの振動が基部側へ漏れ込むことを防止し、一層、ＣＩ値を低く抑えることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、上述の目的は、第７の発明にあっては、パッケージまたはケース内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、前記圧電振動片が、圧電材料により形成された基部と、前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕と前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、前記長溝に形成した励振用の電極とを備えており、前記各振動腕が、前記長溝が形成された領域において、前記基部側から先端側にいくに従って剛性が低下する構成とされている圧電デバイスにより、達成される。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月25日(2007.1.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報データを入力する入力手段と、
前記入力手段により入力された情報データを記録媒体に記録する記録手段と、
前記記録媒体における記録残容量が閾値以下となったことを検出する記録残量検出手段と、
前記記録残量検出手段の出力に応じて、前記記録媒体に記録されている情報データのうち所定の情報源以外の情報源から得られた情報データの中から消去すべき情報データを選択し、前記選択した情報データを前記記録媒体から消去する消去手段とを備える記録装置。
【請求項２】
前記消去手段は更に、前記記録媒体に記録されている情報データのうち再生済みの情報データを検出し、この再生済みの情報データのうち前記所定の情報源以外の情報源から得られた情報データの中から前記消去すべき情報データを選択することを特徴とする請求項１記載の記録装置。
【請求項３】
前記記録媒体に記録されている情報データの情報源を示す管理情報を前記記録媒体から再生する再生手段を備え、前記消去手段は前記再生手段により再生された管理情報に基づいて前記記録媒体に記録されている情報データの情報源を検出することを特徴とする請求項１または２記載の記録装置。
【請求項４】
前記情報データは画像データであり、前記情報源としてビデオカメラを含み、前記消去手段はビデオカメラを情報源とする画像データ以外の画像データの中から消去すべき画像データを選択することを特徴とする請求項１記載の記録装置。
【請求項５】
前記情報源としてテレビジョン放送を受信するチューナを含むことを特徴とする請求項４記載の記録装置。
【請求項６】
前記記録手段は更に、前記入力された情報データの情報源を示す管理情報を前記記録媒体に記録することを特徴とする請求項１記載の記録装置。
【請求項７】
前記消去手段は前記記録媒体に記録されている情報データの情報源を示す管理情報に基づいて前記記録媒体に記録されている情報データの情報源を検出することを特徴とする請求項１記載の記録装置。
【請求項８】
記録媒体に対するビデオデータの記録中に、前記記録媒体の残容量が閾値以下となった場合に、前記記録媒体に記録されているビデオデータのうち再生済みのものを自動的に消去して前記記録媒体の残容量を確保する自動消去機能を有する装置であって、
前記再生済みのビデオデータのうち、ビデオカメラにより撮影されて前記記録媒体に記録されたビデオデータを前記自動消去の候補から除外することを特徴とする記録装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明においては、情報データを入力する入力手段と、前記入力手段により入力された情報データを記録媒体に記録する記録手段と、前記記録媒体における記録残容量が閾値以下となったことを検出する記録残量検出手段と、前記記録残量検出手段の出力に応じて、前記記録媒体に記録されている情報データのうち所定の情報源以外の情報源から得られた情報データの中から消去すべき情報データを選択し、前記選択した情報データを前記記録媒体から消去する消去手段とを備える。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月16日(2006.11.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体像を撮像して得られた被写体画像を、入射光を遮光して撮像した第１の暗時画像を用いて、補正する第１の補正処理と、被写体像を撮像して得られた被写体画像を、入射光を遮光して前記被写体画像の撮像時間よりも短く、前記第１の暗時画像の撮像時間よりも短い時間撮像した第２の暗時画像を用いて、補正する第２の補正処理とを行う補正手段と、
撮像条件に応じて、前記第１の補正処理を行うか、前記第２の補正処理を行うか、を選択する選択手段と、
を有することを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
請求項１に記載の撮像装置であって、
前記選択手段は、撮像条件に応じて、前記第１の補正処理を行うか、前記第２の補正処理を行うか、に加えて、前記第１の補正処理と前記第２の補正処理のいずれも行わないか、の中から選択することを特徴とする撮像装置。
【請求項３】
請求項１および請求項２に記載の撮像装置であって、
前記撮像条件とは、複数の画素を有する撮像素子の温度条件、感度設定条件、露光時間の設定条件の少なくとも１つであることを特徴とする撮像装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の撮像装置であって、
所定数の欠陥画素を補正する第１の欠陥画素補正処理と、前記所定数よりも少ない数の欠陥画素を補正する第２の欠陥画素補正処理と、
前記選択手段は、前記撮像条件に応じて、前記第１の欠陥画素補正処理を行うか、前記第２の欠陥画素補正処理を行うか、を選択することを特徴とする特徴とする撮像装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の撮像装置であって、
前記撮像素子に像を結像するレンズと、
前記撮像素子からの信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器と、
前記Ａ／Ｄ変換器から出力された信号を記憶手段に記録するように制御する記憶制御手段とを有することを特徴とする撮像装置。
【請求項６】
被写体像を撮像する撮像素子を有する撮像装置の撮像方法であって、
被写体像を撮像して得られた被写体画像を、入射光を遮光して撮像した第１の暗時画像を用いて、補正する第１の補正処理と、被写体像を撮像して得られた被写体画像を、入射光を遮光して前記被写体画像の撮像時間よりも短く、前記第１の暗時画像の撮像時間よりも短い時間撮像した第２の暗時画像を用いて、補正する第２の補正処理とを行う補正工程と、撮像条件に応じて、前記第１の補正処理を行うか、前記第２の補正処理を行うか、を選択する選択工程と、を有することを特徴とする撮像装置の撮像方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月20日(2007.3.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予測符号化画像とフレーム内符号化画像とから構成される番組の映像を端末装置に送出するセンタ装置であって、
前記映像をスクランブルするスクランブル手段と、
前記スクランブル手段によりスクランブルされた映像を前記端末装置に送出する送出手段とを備え、
前記スクランブル手段は、
前記予測符号化画像を周期的に更新される第１のスクランブル鍵を使用してスクランブルし、
前記フレーム内符号化画像を同一番組内では不変の第２のスクランブル鍵を使用してスクランブルすることを特徴とするセンタ装置。
【請求項２】
前記送出手段は、
前記第１のスクランブル鍵を映像に付随する共通情報に含めて送出し、
前記第２のスクランブル鍵を個別情報に含めて送出することを特徴とする請求項１に記載のセンタ装置。
【請求項３】
前記送出手段は、
前記第２のスクランブル鍵を、前記第１のスクランブル鍵を送出する第一の周波数帯域とは独立した第二の周波数帯域で送出することを特徴とする請求項１または２のいずれか一項に記載のセンタ装置。
【請求項４】
予測符号化画像とフレーム内符号化画像とから構成される番組の映像を端末装置に送出するための映像送出方法であって、
前記映像をスクランブルするスクランブルステップと、
前記スクランブルステップによりスクランブルされた映像を前記端末装置に送出する送出ステップとを含み、
前記スクランブルステップは、
前記予測符号化画像を周期的に更新される第１のスクランブル鍵を使用してスクランブルし、
前記フレーム内符号化画像を同一番組内では不変の第２のスクランブル鍵を使用してスクランブルすることを特徴とする映像送出方法。
【請求項５】
前記送出ステップは、
前記第１のスクランブル鍵を映像に付随する共通情報に含めて送出し、
前記第２のスクランブル鍵を個別情報に含めて送出することを特徴とする請求項４に記載の映像送出方法。
【請求項６】
前記送出ステップは、
前記第２のスクランブル鍵を、前記第１のスクランブル鍵を送出する第一の周波数帯域とは独立した第二の周波数帯域で送出することを特徴とする請求項４または５のいずれか一項に記載の映像送出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】センタ装置および映像送出方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
上記Ｋｓ、Ｋｓ＿ａ、Ｋｓ＿ｂの種類を示したのが図９であり、図９にあるとおり、映像をスクランブルするためのＫｓはスクランブル区間ごとに奇数鍵、偶数鍵と２種類の鍵を交互に変更している。ＥＣＭ内には各スクランブル区間に応じて現在使用中のＫｓとその直前のＫｓおよび直後のＫｓを格納して送信している。以上のようにＫｓを送信することで映像の再生をスクランブル区間３→２→１のように巻き戻し再生をする場合でも、そのときのＥＣＭを受信することで直前のスクランブル区間のＫｓを得ることができるのでスクランブルをかけたままの映像で巻き戻し再生を実現することが可能となる。
【特許文献１】特開２００３−４６９７３号公報
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記従来の課題を解決するために、本発明に係るセンタ装置は、予測符号化画像とフレーム内符号化画像とから構成される番組の映像を端末装置に送出するセンタ装置であって、映像をスクランブルするスクランブル手段と、スクランブル手段によりスクランブルされた映像を端末装置に送出する送出手段とを備え、スクランブル手段は、予測符号化画像を周期的に更新される第１のスクランブル鍵を使用してスクランブルし、フレーム内符号化画像を同一番組内では不変の第２のスクランブル鍵を使用してスクランブルすることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明に係るセンタ装置は、送出手段は、第１のスクランブル鍵を映像に付随する共通情報に含めて送出し、第２のスクランブル鍵を個別情報に含めて送出することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明に係るセンタ装置は、送出手段は、第２のスクランブル鍵を、第１のスクランブル鍵を送出する第一の周波数帯域とは独立した第二の周波数帯域で送出することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明に係る映像送出方法は、予測符号化画像とフレーム内符号化画像とから構成される番組の映像を端末装置に送出するための映像送出方法であって、映像をスクランブルするスクランブルステップと、スクランブルステップによりスクランブルされた映像を端末装置に送出する送出ステップとを含み、スクランブルステップは、予測符号化画像を周期的に更新される第１のスクランブル鍵を使用してスクランブルし、フレーム内符号化画像を同一番組内では不変の第２のスクランブル鍵を使用してスクランブルすることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明に係る映像送出方法は、送出ステップは、第１のスクランブル鍵を映像に付随する共通情報に含めて送出し、第２のスクランブル鍵を個別情報に含めて送出することを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明に係る映像送出方法は、送出ステップは、第２のスクランブル鍵を、第１のスクランブル鍵を送出する第一の周波数帯域とは独立した第二の周波数帯域で送出することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月17日(2007.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力されたデータを分割してクライアントに送信する配信装置であって、
前記クライアントを、複数のグループにそれぞれ割り振る割り振り手段と、
前記分割されたデータの生成に応じて、前記分割されたデータをそれぞれ異なるタイミングにより、前記各グループのクライアントに送信する送信手段と、
を具備することを特徴とする配信装置。
【請求項２】
前記割り振り手段は、前記クライアントの数の増減に応じて、前記グループの数を変更することを特徴とする請求項１に記載の配信装置。
【請求項３】
前記割り振り手段は、前記クライアントの数の増減に応じて、前記クライアントの前記複数のグループに対する所属を変更することを特徴とする請求項２に記載の配信装置。
【請求項４】
前記割り振り手段は、前記グループの分割の変更に応じて、前記クライアントに関する情報を変更することを特徴とする請求項２に記載の配信装置。
【請求項５】
前記データは、音声データであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の配信装置。
【請求項６】
入力されたデータを分割してクライアントに送信する配信装置の処理方法であって、
前記クライアントを、複数のグループにそれぞれ割り振る割り振り工程と、
前記分割されたデータの生成に応じて、前記分割されたデータをそれぞれ異なるタイミングにより、前記各グループのクライアントに送信する送信工程と、
を具備することを特徴とする配信装置の処理方法。
【請求項７】
前記割り振り工程では、前記クライアントの数の増減に応じて、前記グループの数を変更することを特徴とする請求項６に記載の配信装置の処理方法。
【請求項８】
前記割り振り工程では、前記クライアントの数の増減に応じて、前記クライアントの前記複数のグループに対する所属を変更することを特徴とする請求項７に記載の配信装置の処理方法。
【請求項９】
前記割り振り工程では、前記グループの分割の変更に応じて、前記クライアントに関する情報を変更することを特徴とする請求項７に記載の配信装置の処理方法。
【請求項１０】
前記データは、音声データであることを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１項に記載の配信装置の処理方法。
【請求項１１】
請求項６乃至１０のいずれか１項に記載の処理方法をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１２】
請求項１１に記載のプログラムをコンピュータが読み取り可能に記憶したことを特徴とする記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】配信装置及びその処理方法及びプログラム及び記憶媒体
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係わる配信装置は、入力されたデータを分割してクライアントに送信する配信装置であって、前記クライアントを、複数のグループにそれぞれ割り振る割り振り手段と、前記分割されたデータの生成に応じて、前記分割されたデータをそれぞれ異なるタイミングにより、前記各グループのクライアントに送信する送信手段と、を具備することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、この発明に係わる配信装置において、前記割り振り手段は、前記クライアントの数の増減に応じて、前記グループの数を変更することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、この発明に係わる配信装置において、前記割り振り手段は、前記クライアントの数の増減に応じて、前記クライアントの前記複数のグループに対する所属を変更することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、この発明に係わる配信装置において、前記割り振り手段は、前記グループの分割の変更に応じて、前記クライアントに関する情報を変更することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、この発明に係わる配信装置において、前記データは、音声データであることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、本発明に係わる配信装置の処理方法は、入力されたデータを分割してクライアントに送信する配信装置の処理方法であって、前記クライアントを、複数のグループにそれぞれ割り振る割り振り工程と、前記分割されたデータの生成に応じて、前記分割されたデータをそれぞれ異なるタイミングにより、前記各グループのクライアントに送信する送信工程と、を具備することを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、この発明に係わる配信装置の処理方法において、前記割り振り工程では、前記クライアントの数の増減に応じて、前記グループの数を変更することを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、この発明に係わる配信装置の処理方法において、前記割り振り工程では、前記クライアントの数の増減に応じて、前記クライアントの前記複数のグループに対する所属を変更することを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、この発明に係わる配信装置の処理方法において、前記割り振り工程では、前記グループの分割の変更に応じて、前記クライアントに関する情報を変更することを特徴とする。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、この発明に係わる配信装置の処理方法において、前記データは、音声データであることを特徴とする。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、本発明に係わるプログラムは、上記の処理方法をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
また、本発明に係わる記憶媒体は、のプログラムをコンピュータが読み取り可能に記憶したことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月23日(2007.5.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置及びその作製方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン基板上に設けられた酸化珪素膜と、
前記酸化珪素膜上に備えられ、チャネル形成領域と、ソース領域及びドレイン領域として機能する第２の不純物領域と、前記チャネル形成領域と前記ソース領域及びドレイン領域との間に設けられ前記ソース領域及びドレイン領域よりも不純物が低濃度に含有された第１の不純物領域と、を有する結晶性半導体膜と、
前記結晶性半導体膜上に設けられた第１の酸化シリコン膜と、
前記第１の酸化シリコン膜上に設けられたゲート電極と、
前記ゲート電極側面に設けられた第２の酸化シリコン膜と、
前記第２の酸化シリコン膜を介して前記ゲート電極の側面に設けられた窒化シリコンからなるサイドウォールと、を有する半導体装置であって、
前記第１の酸化シリコン膜は、前記ゲート電極、前記第２の酸化シリコン膜及び前記サイドウォールの下部に選択的に備えられ、
前記ソース領域及びドレイン領域はシリサイド層を有していることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
シリコン基板上に設けられた酸化珪素膜と、
前記酸化珪素膜上に備えられ、チャネル形成領域と、ソース領域及びドレイン領域として機能する第２の不純物領域と、前記チャネル形成領域と前記ソース領域及びドレイン領域との間に設けられ前記ソース領域及びドレイン領域よりも不純物が低濃度に含有された第１の不純物領域と、を有する結晶性半導体膜と、
前記結晶性半導体膜上に設けられた第１の酸化シリコン膜と、
前記第１の酸化シリコン膜上に備えられ、上面にシリサイド層を有するポリシリコン膜からなるゲート電極と、
前記ゲート電極側面に設けられた第２の酸化シリコン膜と、
前記第２の酸化シリコン膜を介して前記ゲート電極の側面に設けられた窒化シリコンからなるサイドウォールと、を有する半導体装置であって、
前記第１の酸化シリコン膜は、前記ゲート電極、前記第２の酸化シリコン膜及び前記サイドウォールの下部に選択的に備えられ、
前記ソース領域及びドレイン領域はシリサイド層を有していることを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項２において、前記ゲート電極、前記ソース領域及びドレイン領域が有しているシリサイド層はコバルトシリサイドであることを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
シリコン基板上に酸化珪素膜を形成する工程と、
前記酸化珪素膜上に結晶性珪素膜を形成する工程と、
前記結晶性珪素膜をパターニングする工程と、
前記パターニングした結晶性珪素膜の表面を熱酸化することにより第１の酸化シリコン膜を形成する工程と、
前記第１の酸化シリコン膜上にポリシリコン膜を形成する工程と、
前記ポリシリコン膜をパターニングすることによって、ゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極をマスクとして第１の不純物濃度で前記結晶性珪素膜に不純物を添加する工程と、
前記ゲート電極の表面にエッチングストッパーとして機能する第２の酸化シリコン膜を熱酸化により形成する工程と、
前記第２の酸化シリコン膜及び前記第１の酸化シリコン膜上に窒化シリコン膜を形成する工程と、
前記窒化シリコン膜エッチングしてサイドウォールを形成する工程と、
前記ゲート電極及び前記サイドウォールをマスクとして前記第１の不純物濃度よりも高濃度な第２の不純物濃度で前記結晶性珪素膜に不純物を添加することによって、チャネル形成領域、第１の不純物領域、ソース領域及びドレイン領域として機能する第２の不純物領域を画定させる工程と、
前記ゲート電極、前記ソース領域及び前記ドレイン領域表面に形成された前記第１の酸化シリコン膜及び前記第２の酸化シリコン膜を除去する工程と、
前記ゲート電極、前記ソース領域及び前記ドレイン領域を覆うようにコバルト膜を形成する工程と、
前記ゲート電極上面、前記ソース領域及び前記ドレイン領域にコバルトシリサイド層を形成する工程とを有することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項５】
シリコン基板上に酸化珪素膜を形成する工程と、
前記酸化珪素膜上に結晶性珪素膜を形成する工程と、
前記結晶性珪素膜をパターニングする工程と、
前記パターニングした結晶性珪素膜の表面を熱酸化することにより第１の酸化シリコン膜を形成する工程と、
前記第１の酸化シリコン膜上にポリシリコン膜を形成する工程と、
前記ポリシリコン膜をパターニングすることによって、ゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極をマスクとして第１の不純物濃度で前記結晶性珪素膜に不純物を添加する工程と、
前記ゲート電極の表面にエッチングストッパーとして機能する第２の酸化シリコン膜を熱酸化により形成する工程と、
前記第２の酸化シリコン膜及び前記第１の酸化シリコン膜上に窒化シリコン膜を形成する工程と、
前記窒化シリコン膜エッチングしてサイドウォールを形成する工程と、
前記ゲート電極及び前記サイドウォールをマスクとして前記第１の不純物濃度よりも高濃度な第２の不純物濃度で前記結晶性珪素膜に不純物を添加することによって、チャネル形成領域、第１の不純物領域、ソース領域及びドレイン領域として機能する第２の不純物領域を画定させる工程と、
前記ゲート電極、前記ソース領域及び前記ドレイン領域表面に形成された前記第１の酸化シリコン膜及び前記第２の酸化シリコン膜を除去する工程と、
前記ゲート電極、前記ソース領域及び前記ドレイン領域を覆うようにコバルト膜を形成する工程と、
前記ゲート電極上面、前記ソース領域及び前記ドレイン領域にコバルトシリサイド層を形成する工程と、
前記コバルト膜を除去する工程とを有することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月6日(2007.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反力フレームの脚を地下埋設物の周囲外側の舗装路面上に設置することによって前記反力フレームを前記地下埋設物の上方に配置し、前記地下埋設物の内側から係合具を前記地下埋設物に係合させた状態で前記反力フレームに設けたセンターホールジャッキで前記係合具を引き上げることにより、前記地下埋設物の周囲の地盤に剪断破壊を生じさせて、前記地下埋設物及びその周囲の剪断された舗装路面を一体的に引き上げる地下埋設物の撤去方法。
【請求項２】
反力フレームと、該反力フレームの中央に設置されたセンターホールジャッキと、該センターホールジャッキに挿入されるロッドと、該ロッドの先端に設けられる係合具とを備えた地下埋設物の引き上げ装置により、舗装路面下に埋設された地下埋設物を引き上げ撤去する地下埋設物の撤去方法であって、
前記反力フレームの脚を地下埋設物の周囲外側の舗装路面上に設置することによって前記反力フレームを前記地下埋設物の上方に配置し、前記地下埋設物の内側に前記ロッドの先端に設けた前記係合具を挿入して該係合具を前記地下埋設物に係合させた状態とし、前記センターホールジャッキで前記係合具を引き上げることにより、前記地下埋設物の周囲の地盤に剪断破壊を生じさせて、前記地下埋設物及びその周囲の剪断された舗装路面を一体的に引き上げる地下埋設物の撤去方法。
【請求項３】
前記係合具は油圧シリンダであり、該油圧シリンダの伸縮によって前記地下埋設物に係合させることを特徴とする請求項１又は２記載の地下埋設物の撤去方法。
【請求項４】
反力フレームと、該反力フレームの中央に設置されたセンターホールジャッキと、該センターホールジャッキに挿入されるロッドと、該ロッドの先端に設けられる係合具とを備え、
舗装路面下に埋設された地下埋設物に前記係合具を係合させて、前記センターホールジャッキが前記ロッドを引き上げることにより、前記地下埋設物とその周囲の舗装路面を一体的に引き上げることを特徴とする地下埋設物の引き上げ装置。
【請求項５】
地下埋設物の周囲の舗装路面に設置される脚によって前記地下埋設物の上方に支持される反力フレームと、該反力フレームの中央に設置されたセンターホールジャッキと、該センターホールジャッキに挿入されるロッドと、該ロッドの先端に設けられる係合具とを備え、
前記地下埋設物に前記係合具を係合させて、前記センターホールジャッキが前記ロッドを引き上げることにより、前記地下埋設物の周囲の地盤に剪断破壊を生じさせて、前記地下埋設物及びその周囲の剪断された舗装路面を一体的に引き上げることを特徴とする地下埋設物の引き上げ装置。
【請求項６】
前記係合具は伸縮自在な油圧シリンダであることを特徴とする請求項４又は５記載の地下埋設物の引き上げ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
反力フレームを地下埋設物の上に設置し、反力フレームを利用して舗装路面及び地下埋設物を一体的に引き上げることにより、短時間で地下埋設物を撤去できるようにしたのである。より具体的には、地下埋設物の引き上げは反力フレームに設置したセンターホールジャッキを利用し、センターホールジャッキに挿通したロッドの先端に設けた係合具を地下埋設物に係合させ、舗装路面と地下埋設物を一体的に引き上げるのである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
反力フレームを利用して地下埋設物を引き上げる際に周囲地盤を剪断破壊して舗装路面、地下埋設物を撤去するので、施工がスピードアップされ、地下埋設物の撤去、交換作業が短時間で済み、道路を占有して交通を制限する時間を短縮できる。油圧シリンダを利用した係合具は、地下埋設物の内壁が垂直であっても、油圧シリンダの押圧力で地下埋設物の引き上げに必要な摩擦力を得ることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本実施例では、まず、筐体の中心位置を求め、円形カッター（図示しない）を地下埋設物１の中心位置に合わせて地下埋設物１の筐体を包み込むように舗装路面１０を切断する。