【手続補正書】
【提出日】平成19年2月16日(2007.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動ミラーと、該可動ミラーを揺動中心の周りで揺動可能に支持する弾性支持部と、該弾性支持部を支持する支持基板と、該可動ミラーを揺動させる揺動手段とを備えた走査デバイスと、該走査デバイスを取付けるための取付け部を有した固定部材を備えた光走査装置において、
該取付け部の一面が該可動ミラーの面と同一面で形成されており、
該取付け部の該面とは別の一面が、揺動中心Ｒ１を含む該可動ミラーの面に垂直な面と同一面で形成されており、
該取付け部の別の一面とは別の一面が、可動ミラー面内における揺動中心Ｒ１に垂直な方向の中心線を含む可動ミラー面に垂直な平面と同一面で形成されていることを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
可動ミラーと、該可動ミラーを揺動中心の周りで揺動可能に支持する弾性支持部と、該弾性支持部を支持する支持基板と、該可動ミラーを揺動させる揺動手段と備えた走査デバイスと、該走査デバイスを取付けるための取付け部を有した固定部材を備えた光走査装置において、
該取付け部もしくは固定部材の一面が可動ミラー面と平行な面で形成されており、
取付け部もしくは固定部材の前記面とは別の一面が、揺動中心Ｒ１を含む可動ミラー面に対して垂直な面に平行に形成されており、
取付け部もしくは固定部材の別の一面とは別の一面が、可動ミラー面内における揺動中心Ｒ１に垂直な方向の中心線を含む面と平行な面で形成されていることを特徴とする光走査装置。
【請求項３】
前記走査デバイスは前記可動ミラーの面内における揺動中心Ｒ１に垂直な方向の中心線に一致させて、該可動ミラーの他の揺動中心Ｒ２を設けることを特徴とする請求項１又は２の光走査装置。
【請求項４】
前記走査デバイスは固定部材に対して位置決めを行うための切り欠き部を有していることを特徴とする請求項１、２又は３の光走査装置。
【請求項５】
前記走査デバイスは、半導体プロセスを用いて製作されたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項の光走査装置。
【請求項６】
前記走査デバイスには、前記固定部材に対して位置決めを行う半導体製造プロセスで形成された位置合わせ部が形成されていることを特徴とする請求項１又は２の光走査装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項の光走査装置を用いて、光源手段から画像情報に基づいて変調され出射した光束で、被走査面上を２次元的に走査し、該被走査面上に形成される画像を光学系を介して観察することを特徴とする画像表示装置。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか１項の光走査装置を用いて、光源手段から画像情報に基づいて変調され出射した光束で、２次元走査した光束に基づく画像を観察することを特徴とする画像表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の光走査装置は、
◎可動ミラー１０２と、該可動ミラーを揺動中心の周りで揺動可能に支持する弾性支持部１０３、１０４と、該弾性支持部を支持する支持基板１０５と、該可動ミラーを揺動させる揺動手段とを備えた走査デバイス２０１と、該走査デバイスを取付けるための取付け部２０４を有した固定部材２０２を備えた光走査装置１０１において、
該取付け部２０４の一面Ｇが該可動ミラーの面と同一面で形成されており、
該取付け部２０４の該面Ｇとは別の一面Ａ１、Ｂ１が、揺動中心Ｒ１を含む該可動ミラーの面に垂直な面と同一面Ｃ１で形成されており、
該取付け部の別の一面Ａ１、Ｂ１とは別の一面Ｄ１、Ｅ１が、可動ミラー面内における揺動中心Ｒ１に垂直な方向の中心線を含む可動ミラー面に垂直な平面Ｆ１と同一面で形成されていることを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
この他本発明の光走査装置は、
◎可動ミラーと、該可動ミラーを揺動中心の周りで揺動可能に支持する弾性支持部と、
該弾性支持部を支持する支持基板と、該可動ミラーを揺動させる揺動手段と備えた走査デバイスと、該走査デバイスを取付けるための取付け部を有した固定部材を備えた光走査装置において、
該取付け部２０４もしくは固定部材の一面が可動ミラー面１０２と平行な面で形成されており、
取付け部もしくは固定部材の前記面とは別の一面Ｉが、揺動中心Ｒ１を含む可動ミラー面に対して垂直な面に平行に形成されており、
取付け部もしくは固定部材の別の一面とは別の一面Ｋが、可動ミラー面内における揺動中心Ｒ１に垂直な方向の中心線を含む面と平行な面Ｌで形成されていることを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
これらのトーションバー１０３は支持基板部１０５ａで支持されている。また、支持基盤部１０５ａはトーションバー１０４を介して支持基板部１０５で支持されている。このような構造とすることで、トーションバー１０３、１０４はそれぞれ独立にひねられることが可能となり、可動ミラー１０２を二次元的に揺動することができる。Ｘ軸方向（水平方向）に対しては、不図示の電磁力、静電気力などを使用したアクチュエータ（揺動手段）より可動ミラー１０２は駆動され、この構造のねじれ共振作用で可動ミラー１０２の反射面の偏向角が変わり、光を走査する。Ｙ軸方向（垂直方向）に対しては、Ｘ軸方向と同期を取るように制御され、不図示のアクチュエータにより鋸歯波状又は３角形状に駆動される。図１で、線１０６は揺動動作による水平方向の走査線の往路を、線１０７は復路の例を示している。実際には、走査線の本数は、図１よりも多いがわかりやすくするため、間引いた形で示している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
図２に示すように固定部材２０２は４つの取付け部２０４（ａ）〜（ｄ）を有している。それぞれの取付け部２０４（ａ）〜（ｄ）において、基準面Ａ１と基準面Ｂ１は平面Ｃ１の面内に配置されており、走査デバイス２０１の可動ミラー１０２のＸ軸方向である回転中心軸（揺動中心、回転軸）Ｒ１も平面Ｃ１の面内に配置されるように構成されている。同様に固定部材２０２の基準面Ｄ１と基準面Ｅ１は平面Ｆ１の面内に配置されており、走査デバイス２０１の可動ミラー１０２のＹ軸方向である回転中心軸（揺動中心、回転軸）Ｒ２も平面Ｆ１の面内に配置されるように構成されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
次に可動ミラー１０２のそれぞれの回転軸Ｒ１、Ｒ２と、各基準面Ａ１、Ｂ１、Ｃ１、Ｄ１との位置合わせについて説明する。走査デバイス２０１は半導体プロセスを用いて作製されるために、図３に示す可動ミラー１０２の回転中心軸Ｒ１と半導体製造プロセスで作成されるエッジＴ１は精度良く平行に作製されている。また、同様に回転中心軸Ｒ２と半導体製造プロセスで作成されるエッジＴ２も精度良く平行に作製されている。ここで、エッジＴ１、Ｔ２は、固体部材２０２に対して位置合わせをする位置合わせ部を構成している。このために図４に示すように固定部材２０２に対して調整された位置決め治具４０１を作製し、位置決め治具４０１から突出した位置決めピン４０２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を前記エッジＴ１とエッジＴ２に押し当てて固定することによって、固定部材２０２の基準面と可動ミラー１０２の回転軸を一致させて固定することが可能となる。位置決めピン４０２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を押し当てるエッジＴ１、Ｔ２はこの位置に限定されるわけではなく、可動ミラー１０２の反射面のエッジを使用しても良い。このような手法を用いることによって、固定部材２０２の基準面Ａ１と基準面Ｂ１は可動ミラー１０２の回転中心軸Ｒ１を示すことになり、基準面Ｄ１、基準面Ｅ１は可動ミラー１０２の回転中心軸Ｒ２を示すこととなる。