【手続補正書】
【提出日】平成19年2月23日(2007.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レチクルからの光を基板に投影する投影光学系と、前記投影光学系の光軸に平行な方向における前記レチクルのパターン面の位置を測定する測定手段とを有し、前記光軸に垂直な走査方向に前記レチクルおよび前記基板を走査しながら、前記測定手段により前記パターン面上の測定ポイントに関し測定された前記パターン面の位置と前記測定ポイントに関し予め求められた前記測定手段の測定誤差とに基づいて前記基板の表面と前記投影光学系の像面とを合せこみ、前記レチクルに形成されたパターンを介して基板を露光する露光装置であって、
他の露光装置により予め測定誤差が求められた前記パターン面上の第１の測定ポイントと前記測定手段により前記パターン面の位置が測定される前記パターン面上の第２の測定ポイントとが互いに同一になるようにし、且つ前記測定手段により該第２の測定ポイントに関し測定された前記パターン面の位置と該他の露光装置により該第１の測定ポイントに関し予め求められた測定誤差とに基づいて前記基板の表面と前記投影光学系の像面とを合せこむ
ことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記走査方向においては、前記測定手段の測定タイミングを制御することにより前記第１の測定ポイントと前記第２の測定ポイントとが同一になるようにする
ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記走査方向と異なる非走査方向においては、前記測定手段の複数の測定ポイントを選択することにより前記第１の測定ポイントと前記第２の測定ポイントとが同一になるようにする
ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】
前記レチクルまたはレチクルカセットに添付されたバーコードに記録された前記測定誤差および前記第１の測定ポイントの情報を利用する
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の露光装置を用いて、基板を露光するステップと、
該露光された基板を現像するステップと
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項６】
レチクルからの光を基板に投影する投影光学系と、前記投影光学系の光軸に平行な方向における前記レチクルのパターン面の位置を測定する測定手段とを有し、前記光軸に垂直な走査方向に前記レチクルおよび前記基板を走査しながら、前記測定手段により前記パターン面上の測定ポイントに関し測定された前記パターン面の位置と前記測定ポイントに関し予め求められた前記測定手段の測定誤差とに基づいて前記基板の表面と前記投影光学系の像面とを合せこみ、前記レチクルに形成されたパターンを介して基板を露光する露光装置であって、
他の露光装置により予め求められた前記測定誤差と該測定誤差が求められた前記パターン面上の第１の測定ポイントとを示す情報を入力する入力手段と、
前記入力手段により入力された前記第１の測定ポイントの情報に基づき、前記測定手段により前記パターン面の位置が測定される前記パターン面上の第２の測定ポイントを補正する補正手段と
を備えることを特徴とする露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、レチクルに形成されたパターンを介して基板を露光する露光装置及びデバイス製造方法に関するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明は、レチクルのパターン面の位置を効率的に測定することができる露光装置を提供することを目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
上記の目的を達成するための本発明による露光装置は以下の構成を備える。即ち、
レチクルからの光を基板に投影する投影光学系と、前記投影光学系の光軸に平行な方向における前記レチクルのパターン面の位置を測定する測定手段とを有し、前記光軸に垂直な走査方向に前記レチクルおよび前記基板を走査しながら、前記測定手段により前記パターン面上の測定ポイントに関し測定された前記パターン面の位置と前記測定ポイントに関し予め求められた前記測定手段の測定誤差とに基づいて前記基板の表面と前記投影光学系の像面とを合せこみ、前記レチクルに形成されたパターンを介して基板を露光する露光装置であって、
他の露光装置により予め測定誤差が求められた前記パターン面上の第１の測定ポイントと前記測定手段により前記パターン面の位置が測定される前記パターン面上の第２の測定ポイントとが互いに同一になるようにし、且つ前記測定手段により該第２の測定ポイントに関し測定された前記パターン面の位置と該他の露光装置により該第１の測定ポイントに関し予め求められた測定誤差とに基づいて前記基板の表面と前記投影光学系の像面とを合せこむ。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、好ましくは、前記走査方向においては、前記測定手段の測定タイミングを制御することにより前記第１の測定ポイントと前記第２の測定ポイントとが同一になるようにする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、好ましくは、前記走査方向と異なる非走査方向においては、前記測定手段の複数の測定ポイントを選択することにより前記第１の測定ポイントと前記第２の測定ポイントとが同一になるようにする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、好ましくは、前記レチクルまたはレチクルカセットに添付されたバーコードに記録された前記測定誤差および前記第１の測定ポイントの情報を利用する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、好ましくは、上記の露光装置を用いて、基板を露光するステップと、
該露光された基板を現像するステップと
を有する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
上記の目的を達成するための本発明による露光装置は以下の構成を備える。即ち、
レチクルからの光を基板に投影する投影光学系と、前記投影光学系の光軸に平行な方向における前記レチクルのパターン面の位置を測定する測定手段とを有し、前記光軸に垂直な走査方向に前記レチクルおよび前記基板を走査しながら、前記測定手段により前記パターン面上の測定ポイントに関し測定された前記パターン面の位置と前記測定ポイントに関し予め求められた前記測定手段の測定誤差とに基づいて前記基板の表面と前記投影光学系の像面とを合せこみ、前記レチクルに形成されたパターンを介して基板を露光する露光装置であって、
他の露光装置により予め求められた前記測定誤差と該測定誤差が求められた前記パターン面上の第１の測定ポイントとを示す情報を入力する入力手段と、
前記入力手段により入力された前記第１の測定ポイントの情報に基づき、前記測定手段により前記パターン面の位置が測定される前記パターン面上の第２の測定ポイントを補正する補正手段と
を備える。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
本発明によれば、レチクルのパターン面の位置を効率的に測定することができる露光装置を提供できる。