【手続補正書】
【提出日】平成19年6月15日(2007.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向で所定間隔を空けて被処理体を収納するキャリアを載置する機構であって、上記キャリアは、上記被処理体を左右両側から支持するように上下方向に所定間隔を空けて形成された複数対の溝と、最下段の上記左右一対の溝よりも下方に配置された案内棒と、を有し、上記最下段の溝と上記案内棒との間隔が上下で隣り合う溝の間隔よりも狭くなっており、上記キャリアを載置する機構は、上記キャリアを載置する載置台と、この載置台に対して出没可能に設けられ且つ上記キャリアの最下段の溝に収納された被処理体を昇降させる出没部材と、これらの出没部材を駆動させる駆動機構とを有することを特徴とする載置機構。
【請求項２】
上記載置台は、上面に上記出没部材が出没する開口部を有することを特徴とする請求項１に記載の載置機構。
【請求項３】
上記出没部材は、上記開口部に固定された軸に遊嵌する孔を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の載置機構。
【請求項４】
上記出没部材を複数有し、上記駆動機構は、上記複数の出没部材を連結する無端状ベルトと、無端状ベルトに連結されたシリンダ機構と、を有することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の載置機構。
【請求項５】
上記被処理体は、ウエハと、このウエハが貼り付けられたフィルムと、上記ウエハの周囲で上記フィルムを支持するダイシングフレームとを有することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の載置機構。
【請求項６】
被処理体を左右両側から支持するように上下方向に所定間隔を空けて形成された複数対の溝と、最下段の上記左右一対の溝よりも下方に配置された案内棒と、を有し、上記最下段の溝と上記案内棒との間隔が上下で隣り合う溝の間隔よりも狭くなっているキャリア内に収納された上記被処理体を上記キャリアから搬出する方法であって、
上記キャリアにおける最下段の溝で支持された上記被処理体を持ち上げる工程と、
持ち上げられた上記被処理体の下面と上記キャリアの案内棒との間に搬送アームを挿入する工程と、
上記被処理体を降下させて上記搬送アームに載せる工程と、
上記搬送アームによって上記被処理体を上記キャリアから搬出する工程と、を備えた
ことを特徴とする被処理体の搬出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】載置機構及び被処理体の搬出方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
左右の側板１の内面には上下方向に所定間隔を空けて複数（例えば、２５段）の溝１Ａが形成され、各段の溝１Ａ、１ＡによってダイシングフレームＤの左右両端縁をそれぞれ支持する。キャリアＣにウエハを搬入する場合には左右の溝１Ａ、１Ａの間に搬送アームを挿入した後搬送アームが下降してダイシングフレームＤをその溝１Ａ、１Ａに収納し、キャリアＣからウエハを搬出する場合には搬送アームを所望のダイシングフレームＤの下に挿入した後ダイシングフレームＤを持ち上げて搬出している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の請求項１に記載の載置機構は、上下方向で所定間隔を空けて被処理体を収納するキャリアを載置する機構であって、上記キャリアは、上記被処理体を左右両側から支持するように上下方向に所定間隔を空けて形成された複数対の溝と、最下段の上記左右一対の溝よりも下方に配置された案内棒と、を有し、上記最下段の溝と上記案内棒との間隔が上下で隣り合う溝の間隔よりも狭くなっており、上記キャリアを載置する機構は、上記キャリアを載置する載置台と、この載置台に対して出没可能に設けられ且つ上記キャリアの最下段の溝に収納された被処理体を昇降させる出没部材と、これらの出没部材を駆動させる駆動機構とを有することを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の請求項２に記載の載置機構は、請求項１に記載の発明において、上記載置台は、上面に上記出没部材が出没する開口部を有することを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の請求項３に記載の載置機構は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上記出没部材は、上記開口部に固定された軸に遊嵌する孔を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項４に記載の載置機構は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記出没部材を複数有し、上記駆動機構は、上記複数の出没部材を連結する無端状ベルトと、無端状ベルトに連結されたシリンダ機構と、を有することを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明の請求項５に記載の載置機構は、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の発明において、上記被処理体は、ウエハと、このウエハが貼り付けられたフィルムと、上記ウエハの周囲で上記フィルムを支持するダイシングフレームとを有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項６に記載の被処理体の搬出方法は、被処理体を左右両側から支持するように上下方向に所定間隔を空けて形成された複数対の溝と、最下段の上記左右一対の溝よりも下方に配置された案内棒と、を有し、上記最下段の溝と上記案内棒との間隔が上下で隣り合う溝の間隔よりも狭くなっているキャリア内に収納された上記被処理体を上記キャリアから搬出する方法であって、上記キャリアにおける最下段の溝で支持された上記被処理体を持ち上げる工程と、持ち上げられた上記被処理体の下面と上記キャリアの案内棒との間に搬送アームを挿入する工程と、上記被処理体を降下させて上記搬送アームに載せる工程と、上記搬送アームによって上記被処理体を上記キャリアから搬出する工程と、を備えたことを特徴とするものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明によれば、最下段の溝がそれより上段の溝より狭い間隔で形成されたキャリアの最下段の溝に対してそれより上段の溝と同様に搬送アームを介してダイシングフレーム等の被処理体を搬出入することができる載置機構及び被処理体の搬出方法を提供することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
図１の（ａ）、（ｂ）に示すように無端状ベルト１３Ｂの４箇所には出没部材１２の他端部（下端部）が軸部材１３Ｄを介してそれぞれ連結され、無端状ベルト１３Ｂの正逆回転で各出没部材１２の上端部がそれぞれ載置台１１の４箇所に形成された開口部１１Ｂにおいて出没するようになっている。４箇所の開口部１１Ｂは、図１の（ａ）に示すようにプーリ１３Ａ及び無端状ベルト１３Ｂそれぞれの近傍に位置して形成されている。各開口部１１Ｂの長手方向中央には出没部材１２の長孔１２Ａを貫通する軸部材１３Ｅがそれぞれ取り付けられ、各出没部材１２の下端は図１の（ｂ）に示すように載置台１１の上面に固定された細長形状の支持部材１３Ｆによって支持されている。支持部材１３Ｆは、出没部材１２の下端を支持する支持部と、この支持部の一側面から垂直上方に延びる垂直部と、この垂直部から支持部とは逆方向に水平に延びる固定部とからなり、固定部を介して載置台１１の上面１１Ａの下側に水平に取り付けられた板部材の下面（図示せず）に固定されている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
次に、図２をも参照しながら載置機構１０を用いた被処理体の搬出方法の一実施形態について説明する。まず、キャリアＣを案内棒３によって載置機構１０の載置台１１上で位置決めすると、クランプ機構が駆動してキャリアＣを図２の（ａ）に部分的に示すように載置台１１の上面１１Ａに固定する。キャリアＣ内には２５枚のダイシングフレームＤが収納されている。そして、ダイシングフレームＤで保持された８インチウエハの電気的特性検査を行う場合には搬送アーム２０によってキャリアＣからダイシングフレームＤを搬出して検査室へ搬送する。