(57)【要約】  装置、例えば基板処理装置に於けるロギングデータの取得に関し、データ量を増やすことなく、アラーム発生前の前兆現象についての細密なデータの取得を可能とする。本発明のデータ記録方法は、取得したデータの最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、取得したデータの第１の部分を記憶し、又前記差が規定値未満の場合は、前記取得したデータの第１の部分に含まれる第２の部分を記憶するようにした。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
取得したデータの最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、取得したデータの第１の部分を記憶し、又前記差が規定値未満の場合は、前記取得したデータの第１の部分に含まれる第２の部分を記憶するようにしたことを特徴とするデータ記録方法。
【請求項２】
装置から取得したデータを第１記憶部に記憶し、所定間隔毎に当該第１記憶部に取得されたデータの最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、取得したデータの第１の部分を第２記憶部に記憶し、又前記差が規定値未満の場合は、前記取得したデータの第１の部分に含まれる第２の部分を第２記憶部に記憶するようにしたことを特徴とするデータ記録方法。
【請求項３】
少なくとも装置から取得したデータを第１記憶部で判定する間隔を設定し、前記設定された所定間隔毎に前記第１記憶部に取得された複数のデータのうち最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、取得したデータの第１の部分を第２記憶部に記憶し、又前記差が規定値未満の場合は、前記取得したデータの第１の部分に含まれる第２の部分を第２記憶部に記憶するようにしたことを特徴とするデータ記録方法。
【請求項４】
少なくとも装置からデータを取得する周期及び当該装置から取得したデータを第１記憶部で判定する間隔を設定し、前記設定された周期毎に取得したデータを前記第１記憶部に記憶し、前記設定された間隔毎に前記第１記憶部に記憶された複数のデータのうち最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、取得したデータの第１の部分を第２記憶部に記憶し、又前記差が規定値未満の場合は、前記取得したデータの第１の部分に含まれる第２の部分を第２記憶部に記憶するようにしたことを特徴とするデータ記録方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、装置の稼働状態を経時的に記録するデータ記録方法、例えば基板処理装置により半導体を製造した場合の生産データ等を経時的に記録するデータ記録方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置を製造する処理工程の１つに、ガラス基板、シリコンウェーハ等の基板（以下ウェーハ）に、薄膜の生成、不純物の拡散、アニール処理、エッチング等の処理を行う基板処理工程があり、これらの処理は基板処理装置によって実施される。【０００３】
又、製品管理、或は処理不良が発生した場合の原因の解明の為、基板処理装置にはトレースロギングを行うデータ記録装置が設けられる。【０００４】
データ記録装置は、ウェーハを処理した時の生産データ、例えば、成膜時の基板温度、処理ガス流量、処理室の圧力等を一定の間隔で、ロギングし、過去の装置の状態データ、処理状態の時間的推移のデータ（ロギングデータ）が記録され、ロギングデータは作業者の要求により、或は常時所要の表示手段によりグラフィカルに表示される。【０００５】
前記ロギングデータは、半導体製造装置に設けられた記憶装置、例えばハードディスクに経時的に記録されていく。【０００６】
ハードディスクは記憶容量が限られているので、１回のウェーハ処理のロギングデータのファイルサイズが大きいと、保存しておける過去のロギングデータファイル数が少なくなる為、ロギングファイルサイズは小さい方が良い。【０００７】
従来は、過去のウェーハ処理何回分のデータ迄保存しておくかを決定し、記憶装置の記憶容量から逆算して、１回のロギングファイルサイズが求められ、このロギングファイルサイズに収まる様に、ロギングする項目の選択、ロギングデータの取得間隔（周期）が決定されていた。【０００８】
例えば、１回のプロセス処理でのロギングデータ取得ポイントを１５００ポイントとすると、１２時間の基板処理の間を全てロギングするには、１２時間／１５００ポイントとなり、周期は３０秒と設定される。【０００９】
この場合、処理途中で何らかの異常が発生し、異常時の状態を詳細に参照したくても、３０秒間隔のロギングデータしか無く、参照するには充分なデータ量とはいえなかった。従って、ロギングデータの総量を増大させることなく、異常時、処理時の細密なデータが取得できる方法が考えられている。【００１０】
ロギングデータはその使用目的から、常に細かい間隔のデータが要求されるものではなく、基板処理装置に異常が発生した場合、或は処理を実行している場合等、所定の状態になっている場合にのみ細かい間隔のロギングデータを要求される。従って、全体のデータ取得間隔を細かく設定する代りに、装置に異常を通知するアラームが発生している時、或は基板処理を行っている時以外は、ロギングデータを取得する間隔を大きくし、ロギングデータ量を減少（データの間引き）させる方法が実施されている。【００１１】
現在、故障予知、故障診断といった作業にロギングデータを利用するという要求があり、斯かる要求に応えるには、装置にアラームが発生する前にロギングデータから異常が察知できなければならない。【００１２】
一般的に、装置が異常となる場合、前兆現象を伴い、前兆現象ではアラーム検出レベルには達しないが、正常時と異なるロギングデータを示す。【００１３】
例えば、ガス流量、処理圧力等の検出値は一時的に異常レベルとなっても一定時間継続しなければアラーム検出レベルとは判断されない様になっている。この為、一瞬だけアラーム検出レベルを越えたとか、許容範囲内だが、ふらつきが正常時に比べて大きい場合は、アラームが発生されない。【００１４】
従来のロギングデータ取得方法では、アラーム検出されない状態でのロギングデータ取得間隔は粗くなっているので、上記したアラーム発生前の前兆現象をロギングデータから判断することは難しい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は斯かる実情に鑑み、装置、例えば基板処理装置に於けるロギングデータの取得に関し、データ量を増やすことなく、アラーム発生前の前兆現象についての細密なデータが得られる様にしたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の第１の特徴とするところは、取得したデータの最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、取得したデータの第１の部分を記憶し、又前記差が規定値未満の場合は、前記取得したデータの第１の部分に含まれる第２の部分を記憶するようにしたデータ記録方法にある。【００１７】
本発明の第２の特徴とするところは、装置から取得したデータを第１記憶部に記憶し、所定間隔毎に当該第１記憶部に取得されたデータの最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、取得したデータの第１の部分を第２記憶部に記憶し、又前記差が規定値未満の場合は、前記取得したデータの第１の部分に含まれる第２の部分を第２記憶部に記憶するようにしたデータ記録方法にある。【００１８】
本発明の第３の特徴とするところは、少なくとも装置から取得したデータを第１記憶部で判定する間隔を設定し、前記設定された所定間隔毎に前記第１記憶部に取得された複数のデータのうち最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、取得したデータの第１の部分を第２記憶部に記憶し、又前記差が規定値未満の場合は、前記取得したデータの第１の部分に含まれる第２の部分を第２記憶部に記憶するようにしたデータ記録方法にある。【００１９】
本発明の第４の特徴とするところは、少なくとも装置からデータを取得する周期及び当該装置から取得したデータを第１記憶部で判定する間隔を設定し、前記設定された周期毎に取得したデータを前記第１記憶部に記憶し、前記設定された間隔毎に前記第１記憶部に記憶された複数のデータのうち最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、取得したデータの第１の部分第２記憶部に記憶し、又前記差が規定値未満の場合は、前記取得したデータの第１の部分に含まれる第２の部分を第２記憶部に記憶するようにしたデータ記録方法にある。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、取得したデータのバラツキをデータ項目毎に求め、それぞれのバラツキが規定された範囲内に収まっているかチェックすることにより、前記取得したデータの異常を把握するために、前記取得したデータの最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、取得したデータの第１の部分を記憶し、又前記差が規定値未満の場合は、前記取得したデータの第１の部分に含まれる第２の部分を記憶する様にしたので、取得したデータに異常が無い場合は、少ないデータが記憶され、取得したデータに異常がある場合は、詳細なデータが格納されることになり、格納されるデータの精度を維持しつつ記憶容量の節約が図れ、又取得したデータに異常がある場合は詳細なデータが格納されているので、装置の異常発生の前兆現象を把握することができるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施の形態に係るデータ記録方法が実施される基板処理装置の一例を示す概略斜視図である。
【図２】該基板処理装置の概略側面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るデータ記録方法を示す概略構成図である。
【図４】該データ記録方法で作成されるロギングデータテーブルの一例を示す図である。
【図５】該ロギングデータテーブルのデータ異常を判断する許容値を示す図である。
【図６】操作画面上に表示される設定画面の一例を示し、（ａ）はロギングデータを取得するための設定画面の一例、（ｂ）は各項目の詳細情報を表示する画面の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００２２】
１  ウェーハ
２  ポッド
３  筐体
４  正面壁
５  正面メンテナンス口
６  正面メンテナンス扉
７  ポッド授受ステージ
８  ポッド搬入搬出口
９  フロントシャッタ
１１  回転式ポッド棚
１２  支柱
１３  棚板
１８  ポッド搬送装置
１９  ポッドエレベータ
２１  ポッド搬送機構
２２  ポッドオープナ
２３  内部筐体
２４  正面壁
２５  ウェーハ搬入搬出口
２６  載置台
２７  キャップ着脱機構
２８  移載室
２９  ウェーハ移載機構
３１  ウェーハ移載装置
３２  ウェーハ移載装置エレベータ
３３  ツイーザ
３４  ボート
３５  待機部
３６  処理炉
３７  炉口シャッタ
３８  ボートエレベータ
３９  昇降アーム
４１  シールキャップ
４３  クリーンエア
４４  クリーンユニット
４６  基板処理装置
４７  制御装置
４８  データ記録装置
４９  操作部
５１  ロギング用ＣＰＵ
５２  ロギングデータ格納記憶部
５３  外部記憶部
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を参照しつつ本発明を実施する為の最良の形態を説明する。【００２４】
先ず、図１、図２に於いて、本発明が実施される基板処理装置４６について説明する。【００２５】
本発明に係る基板処理装置４６では、ウェーハ１は密閉式の基板収納容器（以下ポッド２）に収納され、保管、搬送される様になっている。【００２６】
図１、図２中、３は気密な筐体を示し、筐体３の正面壁４の下部にはメンテナンス用の正面メンテナンス口５が開設され、該正面メンテナンス口５は正面メンテナンス扉６によって開閉される様になっている。【００２７】
前記正面壁４の、前記正面メンテナンス扉６の上側にはポッド授受ステージ（基板収納容器受渡し台）７が設けられ、該ポッド授受ステージ７と前記筐体３内部とはポッド搬入搬出口（基板収納容器搬入搬出口）８を介して連通し、該ポッド搬入搬出口８はフロントシャッタ（基板収納容器搬入搬出口開閉機構）９によって開閉される様になっている。【００２８】
前記ポッド授受ステージ７に対しては外部搬送装置（図示せず）により、前記ポッド２の搬送、授受が行われる様になっている。【００２９】
前記筐体３内の前後方向の略中央部に於ける上部には、回転式ポッド棚（基板収納容器載置棚）１１が設置されており、回転式ポッド棚１１は複数個の前記ポッド２を保管する様に構成されている。【００３０】
前記回転式ポッド棚１１は、垂直に立設されて間欠回転される支柱１２と、該支柱１２に上中下段の各位置に於いて放射状に設けられた複数枚の棚板（基板収納容器載置台）１３とを備えており、複数枚の棚板１３には前記ポッド２が複数個宛それぞれ載置される様に構成されている。【００３１】
前記ポッド授受ステージ７と前記回転式ポッド棚１１との間には、ポッド搬送装置（基板収納容器搬送装置）１８が設置されており、該ポッド搬送装置１８は、前記ポッド２を保持して昇降可能なポッドエレベータ（基板収納容器昇降機構）１９と搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収納容器搬送機構）２１とで構成されており、前記ポッド搬送装置１８は前記ポッドエレベータ１９とポッド搬送機構２１との協働により、前記ポッド授受ステージ７、前記回転式ポッド棚１１、後述するポッドオープナ（基板収納容器蓋体開閉機構）２２との間で、前記ポッド２を搬送する様に構成されている。【００３２】
前記筐体３内の前後方向の略中央部に於ける下部には、気密な筐体から構成される内部筐体２３が後端に亘って設けられている。該内部筐体２３の正面壁２４にはウェーハ１を内部筐体２３内に対して搬入搬出する為のウェーハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）２５が一対、垂直方向に上下二段に開口されており、該ウェーハ搬入搬出口２５にはポッドオープナ２２，２２がそれぞれ設置されている。【００３３】
前記ポッドオープナ２２は前記ポッド２を載置する載置台２６と、ポッド２のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）２７とを備えている。前記ポッドオープナ２２は前記載置台２６に載置された前記ポッド２のキャップを前記キャップ着脱機構２７によって着脱することにより、前記ポッド２のウェーハ出入れ口を開閉する様に構成されている。【００３４】
前記内部筐体２３は気密な移載室２８を構成し、該移載室２８の前側領域にはウェーハ移載機構（基板移載機構）２９が設置されており、該ウェーハ移載機構２９は、ウェーハ１を水平方向に回転、進退可能なウェーハ移載装置（基板移載装置）３１及び該ウェーハ移載装置３１を昇降させる為のウェーハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）３２とで構成されている。【００３５】
前記ウェーハ移載機構２９は、前記ウェーハ搬入搬出口２５に対峙して設けられ、前記ウェーハ移載装置エレベータ３２及び前記ウェーハ移載装置３１の協働により、ウェーハ移載装置３１のツイーザ（基板保持体）３３によりウェーハ１をボート（基板保持具）３４に対して装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）する様に構成されている。【００３６】
前記移載室２８の後側領域には、前記ボート３４を保持して待機させる待機部３５が構成されている。該待機部３５の上方には、処理炉３６が設けられている。該処理炉３６の下端の炉口部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）３７により開閉される様になっている。【００３７】
前記処理炉３６の下方には前記ボート３４を前記処理炉３６に装脱させる為のボートエレベータ（基板保持具昇降機構）３８が設置されている。該ボートエレベータ３８の昇降アーム３９には炉口蓋としてのシールキャップ４１が水平に設けられており、該シールキャップ４１は前記ボート３４を垂直に支持し、前記炉口部を気密に閉塞可能となっている。【００３８】
前記ボート３４は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０枚〜２９枚程度）のウェーハ１を水平姿勢で多段に保持する様に構成されている。【００３９】
前記ウェーハ移載装置エレベータ３２と対向し、前記移載室２８に清浄化した雰囲気又は不活性ガスであるクリーンエア４３を供給する様供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット４４が設置されており、該クリーンユニット４４と前記ウェーハ移載装置３１との間には、図示はしないが、ウェーハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置が設置されている。【００４０】
前記クリーンユニット４４から吹出された前記クリーンエア４３は、前記ノッチ合わせ装置（図示せず）及び前記ウェーハ移載装置３１、前記待機部３５にある前記ボート３４に流通された後に、図示しないダクトにより吸込まれて、前記筐体３の外部に排気がなされるか、若しくはクリーンユニット４４の吸込み側である一次側（供給側）に迄循環され、再び該クリーンユニット４４によって、前記移載室２８内に吹出される様になっている。【００４１】
次に、作用について説明する。【００４２】
前記ポッド２が前記ポッド授受ステージ７に供給されると、前記ポッド搬入搬出口８が前記フロントシャッタ９によって開放され、前記ポッド授受ステージ７の上の前記ポッド２は前記ポッド搬送装置１８によって前記筐体３の内部へ前記ポッド搬入搬出口８から搬入される。【００４３】
搬入された前記ポッド２は前記回転式ポッド棚１１の指定された前記棚板１３へ前記ポッド搬送装置１８によって搬送されて載置され、一時的に保管された後、前記棚板１３から一方の前記ポッドオープナ２２に搬送されて前記載置台２６に移載されるか、若しくは直接前記ポッドオープナ２２に搬送されて前記載置台２６に移載される。この際、前記ウェーハ搬入搬出口２５は前記キャップ着脱機構２７によって閉じられており、前記移載室２８には前記クリーンエア４３が流通され、充満されている。例えば、前記移載室２８には前記クリーンエア４３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、前記筐体３の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。【００４４】
前記載置台２６に載置された前記ポッド２はその開口側端面が前記ウェーハ搬入搬出口２５の開口縁辺部に押付けられ、前記ポッド２のキャップは前記キャップ着脱機構２７によって取外され、ウェーハ出入れ口が開放される。【００４５】
前記ポッド２がポッドオープナ２２によって開放されると、前記ウェーハ１はポッド２から前記ツイーザ３３によってウェーハ出入れ口を通じてピックアップされ、前記ノッチ合わせ装置（図示せず）にてウェーハを整合した後、前記移載室２８の後方にある待機部３５へ搬入され、前記ボート３４に装填される。該ボート３４にウェーハ１を装填したウェーハ移載装置３１はポッド２に戻り、次のウェーハ１を前記ボート３４に装填する。【００４６】
上段又は下段のポッドオープナ２２に保持されたポッド２に対し前記ウェーハ移載機構２９による前記ボート３４へのウェーハ装填作業中に、他方（下段又は上段）のポッドオープナ２２には前記回転式ポッド棚１１から別のポッド２が前記ポッド搬送装置１８によって搬送されて移載され、前記ポッドオープナ２２による前記ポッド２の開放作業が同時進行される。【００４７】
予め指定された枚数のウェーハ１が前記ボート３４に装填されると、前記炉口シャッタ３７によって閉じられていた炉口部が、該炉口シャッタ３７によって、開放される。続いて、前記ボート３４は前記ボートエレベータ３８によって上昇され、前記処理炉３６に装入される。【００４８】
装入後、前記ウェーハ１は所定温度に加熱され、処理に応じた処理ガスが前記処理炉３６内の処理室に導入される。導入するガスは所定の流量に維持され、又処理室内部も所定圧に維持され、該処理炉３６にてウェーハ１に所定の処理が実施される。【００４９】
処理後は、前記ノッチ合わせ装置（図示せず）でのウェーハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウェーハ１及びポッド２は前記筐体３の外部へ払出される。【００５０】
次に、図３により本発明に係る基板処理システムについて説明する。【００５１】
基板処理システムは、前記基板処理装置４６、制御装置４７、データ記録装置４８等によって構成され、前記基板処理装置４６、前記制御装置４７、前記データ記録装置４８はＬＡＮ、ＬＯＮ等の回線によって接続され、相互にデータ通信が可能となっている。尚、図３では、前記制御装置４７、前記データ記録装置４８は別々の装置として図示されているが、前記制御装置４７にデータロギング機能を持たせても構わないので、前記制御装置４７と前記データ記録装置４８を１つの装置とすることも可能である。【００５２】
前記基板処理装置４６は、処理ガスのガス流量、パージガスの流量等を制御する流量制御部（ＭＦＣ）４６１、処理室の圧力制御を行う圧力制御部（ＡＰＣ）４６２、処理室の圧力を検出する圧力センサ、ウェーハの加熱温度を制御する温度制御部４６３、処理室の温度を検出する温度センサ等を具備しており、前記流量制御部で検出されたガス流量値、前記圧力センサからの圧力検出値、前記温度センサからの温度検出値はそれぞれ増幅、Ａ／Ｄ変換される等の信号処理が為され、前記制御装置４７、前記データ記録装置４８に送出される。【００５３】
前記制御装置４７は設定されたレシピに従って前記基板処理装置４６を統括して制御し、又前記制御装置４７は、前記ポッド搬送装置１８、前記ポッドオープナ２２、前記ウェーハ移載装置３１、前記ボートエレベータ３８等を制御する搬送制御部４６４、前記圧力制御部４６２、前記流量制御部４６１、前記温度制御部４６３等により構成される。【００５４】
前記データ記録装置４８は、ロギング用ＣＰＵ５１、半導体メモリ等で構成される内部記憶装置であるロギングデータ格納記憶部５２、ＨＤＤ等で構成される外部記憶部５３を具備しており、前記ロギングデータ格納記憶部５２は所要回数取得したロギングデータを格納できる様になっており、１回で取得されるロギングデータを１レコードとすると、ｎ回のレコード、例えば１０レコードが格納される様になっている。また、予め設定されている許容値を示すレコードも一時的に格納され、前記ロギングデータのバラツキを示す演算値と比較される。操作部４９は、操作画面を有し、図示しない入力手段により指示を受け付ける。そして、前記ロギングデータ格納記憶部５２で取得したロギングデータを外部記憶部５３に格納する際に前記ロギングデータを判定する周期が設定される。詳細は後述するが、その他のロギング条件の設定が操作画面で行われる。【００５５】
前記外部記憶部５３には前記基板処理装置４６、前記制御装置４７からの各種データの取得、前記ロギング用ＣＰＵ５１へのデータ書込み、読取り、更に前記ロギングデータ格納記憶部５２と前記外部記憶部５３間のデータの送信、ロギングデータの処理等を行うロギングデータ処理プログラムが格納され、更に該処理プログラムで処理されたロギングデータを格納する様になっている。【００５６】
以下、基板処理システムに於ける、処理例を図４〜図６に基づいて具体的に説明する。【００５７】
以下の処理例では、ロギングデータ収集周期１秒、レコード数１０とする。【００５８】
尚、ロギングデータ収集周期、ロギングデータ取得項目等のロギングデータ取得条件については、前記制御装置４７の操作部４９に備えられた設定画面を介して予め設定される。以下図６を用いてロギングデータの設定について詳述する。【００５９】
図６（ａ）は、ロギングデータを取得するための設定画面の一例である。本実施例に合わせて、この設定画面上では、ロギングデータ収集周期に当たるサンプリング周期が１秒と設定され、ロギングデータ格納記憶部５２に取得したロギングデータを判定する周期であるサンプリング判定周期が１０秒と設定されている。本実施例では、サンプリング周期（１秒）毎に１レコード取得されるので、サンプリング判定周期（１０秒）毎、つまり１０レコード毎にロギングデータの判定が行なわれる。なお、サンプリング周期やサンプリング判定周期は、前記設定画面で任意に設定が可能である。また、サンプリング判定周期は時間で設定されているが、データ数でも設定できる。【００６０】
また、設定画面上では、その他、項目数、ロギング開始条件、ロギング終了条件、データ取得項目等が設定される。また、本実施例において、ロギング開始条件がレシピスタート時、ロギング終了条件がレシピ終了時という設定になっているが、特にこれに限らず例えば時間で設定できる。項目数の設定は、制御装置４７やロギングデータ格納記憶部５２の性能上、上限が決められる。図６（ａ）でデータ取得項目として、温度、圧力、ＭＦＣ、バルブ、ヒータ、ＲＦ等が表示されているが、これらの項目は、追加変更が可能であり、例えば、膜種や処理形態（ＣＶＤ、拡散、酸化等）などに沿って変更される。また、これらの項目はそれぞれ項目自体がボタンとなっており、例えば、ＭＦＣボタンが押下されると図６（ｂ）のような画面が表示される。【００６１】
図６（ｂ）では、各項目の詳細情報が表示され、少なくとも各項目の名称と許容値が表示される。ロギングを行う項目の許容値をセルに入力する。このように項目別に許容値を設定するので、ロギングするデータの組合せが自由に選択できる。本実施例では、詳細情報として名称と許容値だけが表示されているが、例えば、名称、許容最大値、許容最小値及び規定値（許容最大値−許容最小値）等を表示することもできる。更に、詳細情報として名称や許容値だけでなく設定値やモニタ値（現在値）も表示されるようにしてもよい。【００６２】
更に、本実施例の設定画面を複数備えた場合、ロギング開始条件やロギング終了条件を異ならせることにより、例えば、温度であれば、昇温または高温時のロギング条件と基板処理中に温度安定時のロギング条件を異ならせる。つまり、昇温または高温時に取得するロギングデータを多くして、ロギングデータ判定周期も短くし、温度安定時に取得するロギングデータを少なくして、ロギングデータ判定周期も長めにすると最適なロギングができる。【００６３】
前記制御装置４７から前記ロギング用ＣＰＵ５１にロギング開始のトリガ信号が入力されると、該ロギング用ＣＰＵ５１がデータの取得を開始する。【００６４】
前記制御装置４７から、現在処理モード（例えば、ＩＤＬＥ、ＲＵＮ、ＳＴＡＮＤＢＹ、ＡＢＯＲＴ等）、現処理中のレシピ名等、基板処理を特定するデータを取得する。【００６５】
又、前記基板処理装置４６からはロギングデータの項目として、処理ガスの供給流量、処理圧力、処理温度等のデータが１秒毎に取得される。【００６６】
前記ロギングデータ格納記憶部５２はレコード毎にデータ格納領域が区分されており、１回目に取得したロギングデータはレコード１区分に、２回目に取得したロギングデータではレコード２区分に、ｎ回目のロギングデータはレコードｎ区分にそれぞれ格納され、１０回のロギングデータが前記ロギングデータ格納記憶部５２に格納される。１０回のロギングデータは図４に示す様にロギングデータテーブルを構成する。なお、（ＭＡＸ−ＭＩＮ）演算値を示すレコードはロギングデータテーブルに含めない。【００６７】
図４では、６項目についてのロギングデータを取得した場合を示している。【００６８】
前記ロギングデータテーブルの全ての項目についてデータの取得が完了すると、各項目毎に最大値、最小値が検索され、更に最大値、最小値の差、即ち（ＭＡＸ−ＭＩＮ）演算値が演算される。又、前記データ記録装置４８には、（ＭＡＸ−ＭＩＮ）許容値が予め設定されており（図５参照）、演算した前記（ＭＡＸ−ＭＩＮ）演算値と（ＭＡＸ−ＭＩＮ）許容値との比較が行われる。ここで、図４に示されている（ＭＡＸ−ＭＩＮ）演算値を示すレコードは、図５の（ＭＡＸ−ＭＩＮ）許容値の設定値を示すレコードの下に作成されてもよい。【００６９】
比較の結果、全ての（ＭＡＸ−ＭＩＮ）演算値が（ＭＡＸ−ＭＩＮ）許容値以下の場合は、このロギングデータテーブルに於けるロギングデータは安定していると判断され、例えば、ロギングデータテーブルの先頭レコード１区分のロギングデータのみが前記外部記憶部５３に書込まれる。尚、書込まれるレコード区分の選択は、適宜決定すればよく、例えば３区分目のロギングデータのみであっても、１０区分目のロギングデータのみであっても取得する区分目が固定されていればよい。更に、レコード区分数をｎとした場合、記録する区分数は２以上（ｍ）とし、ｍのレコード区分のロギングデータを前記外部記憶部５３に書込む様にしてもよい。又、それぞれの項目に於いて、取得したデータの平均値、又は該平均値に最も近いデータを前記外部記憶部５３に書込む様にしてもよい。【００７０】
従って、ロギングデータが安定している場合は、前記外部記憶部５３が格納するデータ量は１／１０に減少する。又、ｍ／ｎに減少する。【００７１】
前記ロギングデータ格納記憶部５２のロギングデータの異常判定が終了し、該ロギングデータが前記外部記憶部５３に送出されると、前記ロギングデータ格納記憶部５２のデータは全て削除され、継続してロギングデータが取得される。従って、通算して１１番目のロギングデータは前記ロギングデータ格納記憶部５２のレコード１区分に書込まれることになる。【００７２】
同様にして、次の１０回のロギングデータが取得され、ロギングデータテーブルが作成される。各項目毎に（ＭＡＸ−ＭＩＮ）演算値が演算され、更に（ＭＡＸ−ＭＩＮ）許容値との比較が行われる。【００７３】
比較の結果（ＭＡＸ−ＭＩＮ）演算値が（ＭＡＸ−ＭＩＮ）許容値以上となった項目が１つでも存在した場合、ロギングデータテーブルの全てのデータが前記外部記憶部５３に送出される。例えば、図４では項目４と項目５が許容値を超えており、（ＭＡＸ−ＭＩＮ）演算値を示すレコードを除く全てのロギングデータが前記外部記憶部５３に書込まれる。【００７４】
従って、ロギングデータが不安定の場合は、細密なデータが前記外部記憶部５３に格納される。【００７５】
尚、（ＭＡＸ−ＭＩＮ）演算値が許容値を超えた場合、ロギングデータテーブルのデータ全部ではなく、項目毎に最大値や最小値を含む前記ロギングデータの一部を前記外部記憶部５３に書込む様にしてもよい。例えば、先頭レコードのデータを含む奇数番目のレコード区分のデータを書込む様にしてもよく、この場合も、異常データが取得された時の細密なロギングデータを格納することができる。又、異常データを含む項目のみ全てのロギングデータが前記外部記憶部５３に書込まれる様にしてもよく、この場合、他の項目のロギングデータは正常なので、例えば、先頭レコードのデータのみを前記外部記憶部５３に書込まれる様にしてもよい。【００７６】
前記ロギングデータ格納記憶部５２のデータが前記外部記憶部５３に送出されると、前記ロギングデータ格納記憶部５２のデータが全て削除され、再びロギングデータの取得が継続される。斯かるロギングデータの取得は、前記制御装置４７からロギング終了のロギング終了トリガが入力される迄継続される。【００７７】
上述した例では、前記基板処理装置４６が正常に稼働している状態では、１秒毎のロギングデータを取得し、データの格納については１０秒毎になり、データの格納量は１／１０となる。本実施例においては、サンプリング周期（ロギングデータ収集周期）を１秒、ロギング判定周期をロギングデータ収集周期（１秒）×レコード数（１０）の１０秒としたが、これに限らず任意に設定が可能である。また、ロギングデータテーブルは、項目種別毎に複数作成されてもよい。例えば、温度だけのロギングデータデーブルやガス流量だけのロギングデータテーブルというように複数作成してもよい。これにより、きめ細やかなデータの異常判定が可能となる。【００７８】
又、前記基板処理装置４６からのロギングデータが一時的に異常値を示しても、アラーム検出レベルには達せず、アラーム検出されない場合でも、異常値を呈したロギングデータテーブルは前記データ記録装置４８に記録されるので、アラーム発生前の前兆現象についての細密なデータが得られる。【００７９】
又、ロギングデータ処理について、全てのロギングデータを前記外部記憶部５３に格納し、格納したロギングデータについてロギングデータ処理を行うとデータ量が多く、時間が掛り、基板処理中はロギングを開始することができない。【００８０】
本発明ではサンプリング判定周期で装置から収集されるデータ群を示すロギングデータテーブル毎に処理を行い、処理後のデータを前記外部記憶部５３に格納する様にしているので、処理時間が短く、ロギングを休止させることなく基板の処理が継続して行え、装置全体としてスループットも低下することがない。【００８１】
次に、取得したロギングデータの取扱いについて、基板処理装置が正常安定稼働している状態では、ロギングデータファイルの容量は最小値となり、ロギングデータに異常があればロギングデータファイルの容量は大きくなる。従って、ロギングデータファイルを開いて、個々のロギングデータを確認しなくても、ロギングデータファイルの容量を確認するだけで、異常データを含んでいるロギングデータファイルの判別ができ、どの処理で、或は処理中のどこの過程で、正常安定稼働でない現象が発生しているかの予想ができる。その結果、異常解析をする場合に、必要のないロギングデータファイル（正常稼働している時のロギングデータファイル）を処理しなくてもよく、解析作業効率が大幅に向上する。【００８２】
更に、ロギングデータテーブルの各項目の最大値或は最小値を合わせて記録する様にしておけば、異常に至る傾向等を推察することも可能となり、故障予知のデータとして利用することも可能である。【００８３】
尚、基板処理はＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜生成、窒化膜生成等の成膜処理、或はアニール処理、酸化処理、窒化処理、拡散処理等、種々の処理が含まれる。又、処理の対象となる基板は、シリコンウェーハに限らず、他の材質のウェーハ、或はガラス基板も含まれる。【００８４】
従って、本願での基板処理装置は、半導体基板（シリコンウェーハ等）を処理する半導体製造装置、又はガラス基板を処理するＬＣＤ製造装置にも適用できる。【００８５】
又本発明は、半導体製造装置に限らず種々の装置の稼働状態を経時的に記憶することに適用可能であることは言う迄もない。【００８６】
（付記）
尚、本発明は以下の実施の態様を含む。【００８７】
（付記１）
基板を処理する際のデータ（成膜時の基板温度、ガス流量、処理室圧力）を測定する検出手段と、該検出手段から取得したデータを一時的に格納する格納手段と、該格納手段に格納されたデータの内少なくとも１つのデータを記録する記録手段と、前記格納手段に格納されたデータ内に於いて、最大値−最小値の差値を求め、該差値と予め設定されている規定値との比較を行い、規定値以上の場合は、前記格納手段に格納されたデータの少なくとも第１の部分を前記記録手段に出力し、規定値未満の場合は、前記格納手段に格納されていたデータの前記第１の部分に含まれる第２の部分を前記記録手段に出力する制御手段とを具備することを特徴とする基板処理装置。【００８８】
（付記２）
基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置から取得したデータを一時的に格納し、データが送出された場合にデータが削除される第１記憶部と、該第１記憶部に格納された少なくとも１つのデータを格納する第２記憶部と、前記第１の記憶部に格納されたデータの最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、前記第１記憶部に格納されたデータの第１の部分を前記第２の記憶部に送出し、前記差が規定値未満の場合は、前記第１記憶部に格納されたデータの内前記データの第１の部分に含まれる第２の部分を前記第２の記憶部に送出するデータ処理手段とを具備したことを特徴とする基板処理システム。【００８９】
（付記３）
取得したデータを一時的に格納し、データが送出された場合にデータが削除される第１記憶部と、該第１記憶部に格納された少なくとも１つのデータを格納する第２記憶部と、前記第１の記憶部に格納されたデータの最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、前記第１記憶部に格納されたデータの第１の部分を前記第２の記憶部に送出し、前記差が規定値未満の場合は、前記第１記憶部に格納されたデータの内前記データの第１の部分に含まれる第２の部分を前記第２の記憶部に送出するデータ処理手段とを具備したことを特徴とするデータ記録装置。【００９０】
（付記４）
取得したデータの最大−最小の差を求め、該差が規定値以上の場合は、取得したデータの第１の部分を記憶し、又前記差が規定値未満の場合は、前記取得したデータの平均値を求め、この平均値データを記憶することを特徴とするデータ記録方法。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【手続補正書】
【提出日】平成20年2月27日(2008.2.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する際のデータ（成膜時の基板温度、ガス流量、処理室圧力）を測定する検出手段と、該検出手段から取得したデータを一時的に格納する格納手段と、該格納手段に格納されたデータの内少なくとも１つのデータを記録する記録手段と、前記格納手段に格納されたデータ内に於いて、最大値−最小値の差値を求め、該差値と予め設定されている規定値との比較を行い、規定値以上の場合は、前記格納手段に格納されたデータの少なくとも第１の部分を前記記録手段に出力し、規定値未満の場合は、前記格納手段に格納されていたデータの前記第１の部分に含まれる第２の部分を前記記録手段に出力する制御手段とを具備することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置から取得したデータを一時的に格納し、データが送出された場合にデータが削除される第１記憶部と、該第１記憶部に格納された少なくとも１つのデータを格納する第２記憶部と、前記第１の記憶部に格納されたデータの最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、前記第１記憶部に格納されたデータの第１の部分を前記第２の記憶部に送出し、前記差が規定値未満の場合は、前記第１記憶部に格納されたデータの内前記データの第１の部分に含まれる第２の部分を前記第２の記憶部に送出するデータ処理手段とを具備したことを特徴とする基板処理システム。
【請求項３】
取得したデータを一時的に格納し、データが送出された場合にデータが削除される第１記憶部と、該第１記憶部に格納された少なくとも１つのデータを格納する第２記憶部と、前記第１の記憶部に格納されたデータの最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、前記第１記憶部に格納されたデータの第１の部分を前記第２の記憶部に送出し、前記差が規定値未満の場合は、前記第１記憶部に格納されたデータの内前記データの第１の部分に含まれる第２の部分を前記第２の記憶部に送出するデータ処理手段とを具備したことを特徴とするデータ記録装置。
【請求項４】
取得したデータの最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、取得したデータの第１の部分を記憶し、又前記差が規定値未満の場合は、前記取得したデータの第１の部分に含まれる第２の部分を記憶するようにしたことを特徴とするデータ記録方法。
【請求項５】
装置から取得したデータを第１記憶部に記憶し、所定間隔毎に当該第１記憶部に取得されたデータの最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、取得したデータの第１の部分を第２記憶部に記憶し、又前記差が規定値未満の場合は、前記取得したデータの第１の部分に含まれる第２の部分を第２記憶部に記憶するようにしたことを特徴とするデータ記録方法。
【請求項６】
少なくとも装置から取得したデータを第１記憶部で判定する間隔を設定し、前記設定された所定間隔毎に前記第１記憶部に取得された複数のデータのうち最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、取得したデータの第１の部分を第２記憶部に記憶し、又前記差が規定値未満の場合は、前記取得したデータの第１の部分に含まれる第２の部分を第２記憶部に記憶するようにしたことを特徴とするデータ記録方法。
【請求項７】
少なくとも装置からデータを取得する周期及び当該装置から取得したデータを第１記憶部で判定する間隔を設定し、前記設定された周期毎に取得したデータを前記第１記憶部に記憶し、前記設定された間隔毎に前記第１記憶部に記憶された複数のデータのうち最大値−最小値の差を求め、該差が規定値以上の場合は、取得したデータの第１の部分を第２記憶部に記憶し、又前記差が規定値未満の場合は、前記取得したデータの第１の部分に含まれる第２の部分を第２記憶部に記憶するようにしたことを特徴とするデータ記録方法。  
【国際調査報告】
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