【誤訳訂正書】
【提出日】平成19年12月3日(2007.12.3)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】請求項１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項１】
可動な部材（５，８）を基体（１）に接続する、長さが可変の支持体（３，１１）と、
それにより支持体（３，１１）が基体（１）内の支点（Ｄ２）を中心にして旋回可能に支承されているリンク機構（２）と
支持体（３，１１）に沿って、基体（１）に対する可動な部材（５，８）の間隔を測定する長さ測定装置（６）と、
光源（７．１）と検出器（７．２）との間の光路内において少なくとも一つの光源（７．１）と一つの検出器（７．２）と、光源（７．１）あるいは検出器（７．２）に空間的に固定されている一つの格子（７．３）とを有する、可動な部材（５，８）と基体（１）との間の角度を測定する角度測定装置（７）とを備えた基体（１）に対する可動な部材（５）の空間的位置を捕捉する位置測定装置において、
角度を測定するための光路（Ｌ）が、可動な部材（５，８）と基体（１）との間にあり、この光路内において、光源（７．１）を使用して格子（７．３）を照射することにより、強度パターンＭが得られ、検出器（７．２）に対するこの強度パターンの位置が、角度に関する尺度であることを特徴とする位置測定装置。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】請求項２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項２】
光源（７．１）が可動な部材（５，８）の物体の一方あるいは基体（１）に設けられており、検出器（７．２）が可動な部材（５，８）の物体の他方あるいは基体（１）に設けられており、そして支点（Ｄ２）において、光源（７．１）あるいは検出器（７．２）の感光性部材の重心が存在していることを特徴とする請求項１記載の位置測定装置。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】請求項３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項３】
支持体（３）と可動な部材（５）との間に、他のリンク機構（４）が設けられており、このリンク機構により可動な部材（５）が、支点（Ｄ４）を中心にして支持体（３）に旋回可能に支承されていることを特徴とする請求項１または２に記載の位置測定装置。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】請求項４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項４】
一方の支点（Ｄ２，Ｄ４）内には光源（７．１）が、もう一方の支点（Ｄ４，Ｄ２）内には検出器（７．２）の感光性部材の重心が存在していることを特徴とする請求項３記載の位置測定装置。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】請求項５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項５】
一方の支点（Ｄ２，Ｄ４）内には光源（７．１）と検出器（７．２）が設けられ、もう一方の支点（Ｄ４，Ｄ２）内には再帰性反射部材が設けられていることを特徴とする請求項３記載の位置測定装置。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】請求項６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項６】
支持体（３）がテレスコープ式に形成され、角度測定装置（７）用のカバーが形成されており、かつ一方のテレスコープ部（３．１）にスケール（６．１）が、もう一方のテレスコープ部（３．２）に長さ測定装置（６）のスケール（６．１）を走査するスキャナユニット（６．２）が固定されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の位置測定装置。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】請求項７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項７】
長さ測定装置が干渉計（６０）であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の位置測定装置。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】請求項８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項８】
共通の光源（６４）の光が、角度を測定しかつ長さを測定するために、二つの部分光線束（Ｌ１，Ｌ２）に分割されるように構成されていることを特徴とする請求項７記載の位置測定装置。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】請求項９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項９】
格子（７．３）が二次元の強度パターンＭを形成する二次元の交差格子であり、検出器（７．２）に対してこの強度パターンの位置が角度に関する尺度であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一つに記載の位置測定装置。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】請求項１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項１０】
可動な部材（５）がプログラム制御された機械部分（５’）で固定されていて、かつ基体（１）が機械の基礎部分（１’）で固定されていることにより、この位置測定装置が、プログラム制御された機械部分（５’）の位置精度を検査するために使用されるように構成されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一つに記載の位置測定装置。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００１】
本発明は基体に対する可動な部材の位置を捕捉する位置測定装置に関する。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００３】
３自由度で可動な部材の空間的位置を決定するのに、多数のテレスコープ状棒を配設することはこれらの位置測定装置の場合不都合である。テレスコープ状棒は、所定の計算規則に従って、テレスコープ状棒の位置の相互関係から可動な部材の空間的位置を決定するために、所定の位置で互いに設けられている。
【特許文献１】ドイツ国特許公開公報第１９５３４５３５号明細書
【特許文献２】ドイツ国特許公開公報第３５０４４６４号明細書
【特許文献３】ドイツ国特許第１９７０３７３５号明細書
【特許文献４】国際特許出願公開第０１／３８８２８号明細書
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１０】
支持体３の長手方向への部材５の変位は、長さ測定装置６により測定される。この装置は一方の管３．１に固定されているスケール６．１ともう一方の管３．２に固定されているスキャナユニット６．２から成る。重複して長さを測るために、多くのこのような長さ測定装置が使用される。特にこれらの装置は、特許文献３において図５に示すように、二つのリンク機構２，４の間に位置している中央の連結線に対して対称に設けられている。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１１】
部材５が基体１に対して横に位置を変えると、支持体３は基体１対して旋回運動を行う
。この旋回運動は角度測定装置７を使って測定される。角度測定装置は、光源７．１と、検出器７．２と、格子７．３とから成る。光源７．１はリンク機構４の支点Ｄ４内で部材５に不動に設けられており、かつ支持体３に沿って発散する光線束Ｌを送る（図２）。光線束Ｌの範囲内で、検出器７．２は基体１においてリンク機構２の支点Ｄ２内にある。ある一定の間隔をおいて、格子７．３は検出器７．２の前方で同様に基体１に固定された状態にあり、したがって格子７．３は検出器７．２に不動に所属している。発散する光線束Ｌを使用して格子７．３を照射することにより、強度パターンＭが形成され、検出器７．２に対する強度パターンの位置は、支持体３の旋回運動に関する尺度であり、それとともに部材５の横の変位の尺度でもある。
基体１あるいは測定されるべき部材５に直接光源７．１と検出器７．２を配設することにより、リンク機構２と４の故障、ならびに支持体３の変位エラーは、角度計測に影響を及ぼさない。角度計測のための光路は、可動な部材５と基体１との間にある。この場合、一方の支点Ｄ２，Ｄ４内には光源７．１が、もう一方の支点Ｄ４，Ｄ２内には検出器７．２の感光性の部材の重心が設けられている。図示していない方法で、一方の支点Ｄ２，Ｄ４内には光源７．１ならびに検出器７．２が設けられており、もう一方の支点Ｄ４，Ｄ２内には再帰性反射部材が設けられている。この場合、光線の分割は長所であり、したがって光線束は格子７．３を介して一方向へのみ進む。そのとき検出器７．２あるいは光源７．１は、支点Ｄ２あるいはＤ４の部分光線束により反射されたかあるいは結像された位置にある。格子７．３は光源７．１あるいは検出器７．２のどちらかに空間的に固定されている。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１４】
図２には、角度測定の元々特許文献４から知られた原理が直線格子を基にして表されている。その原理の詳細に関連して、特許文献４の開示ではっきりと示されている。