(57)【要約】  スプライン一体型リニアモータ１０は、軸線方向に延びる複数の転動体転走溝１２が形成されるスプライン軸１１と、転動体転走溝１２に対応する負荷転走溝２２が形成されるスプライン外筒２１と、転動体転走溝１２と負荷転走溝２２とによって形成される負荷転走路内に転動自在に設置される複数のボール２３とを備える。スプライン外筒２１は、コイル２４を備えることによって磁界発生源となり、スプライン軸１１は、複数の永久磁石１３を備えることによって界磁束発生源となる。スプライン軸１１は、複数の転動体転走溝１２近傍が非磁性部材１４によって構成されており、この非磁性材料には、ステンレス鋼、セラミックス、高硬度非磁性快削鋼、チタン合金などを採用することができる。このような構成の採用によって、高い制御性と駆動力伝達効率を備え、且つコンパクトな形状を有するスプライン一体型リニアモータを得ることが可能となる。
2007063729.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線方向に延びる複数の転動体転走溝が形成されるスプライン軸と、
前記転動体転走溝に対応する負荷転走溝が形成されるスプライン外筒と、
前記転動体転走溝と前記負荷転走溝とによって形成される負荷転走路内に転動自在に設置される複数の転動体と、
を備え、
前記スプライン外筒は、コイルを備えることによって磁界発生源となり、
前記スプライン軸は、複数の永久磁石を備えることによって界磁束発生源となるとともに前記複数の転動体転走溝近傍が非磁性部材によって構成されることにより、
前記スプライン外筒が前記スプライン軸の軸線方向に対して相対的に往復運動自在であることを特徴とするスプライン一体型リニアモータ。
【請求項２】
請求項１に記載のスプライン一体型リニアモータにおいて、
前記スプライン外筒は、
前記スプライン軸の軸線方向に対する前記スプライン外筒の相対的な往復運動を案内するスプライン機構部と、
前記コイルを備えるコイル部と、
から構成されていることを特徴とするスプライン一体型リニアモータ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のスプライン一体型リニアモータにおいて、
前記複数の永久磁石は、それぞれが複数の切欠部を備えており、
前記複数の永久磁石がスプライン軸の軸線方向に積み重ねられたときに前記複数の切欠部によって軸線方向に延びる複数条の凹部が形成され、
前記複数条の凹部のそれぞれには、少なくとも１条の転動体転走溝が形成された前記非磁性部材が設置されていることを特徴とするスプライン一体型リニアモータ。
【請求項４】
請求項３に記載のスプライン一体型リニアモータにおいて、
前記スプライン軸の軸方向に対して垂直な方向の断面で見た場合の前記複数条の凹部と前記非磁性部材との境界形状が、少なくとも１つのコーナーＲを含む形状で構成されていることを特徴とするスプライン一体型リニアモータ。
【請求項５】
請求項３に記載のスプライン一体型リニアモータにおいて、
前記スプライン軸の軸方向に対して垂直な方向の断面で見た場合の前記複数条の凹部と前記非磁性部材との境界形状が、円弧形状で構成されていることを特徴とするスプライン一体型リニアモータ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のスプライン一体型リニアモータにおいて、
前記スプライン軸を構成する前記複数の永久磁石の軸表面に現れる部分は、プレート部材によって覆われていることを特徴とするスプライン一体型リニアモータ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のスプライン一体型リニアモータにおいて、
前記スプライン外筒が、前記負荷転走溝近傍を含む少なくとも前記複数の転動体と接触する部分を非磁性体によって構成されることにより、
前記複数の転動体は、前記複数の永久磁石から発生する界磁束によって磁化されないように構成されていることを特徴とするスプライン一体型リニアモータ。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載のスプライン一体型リニアモータにおいて、
前記非磁性部材、前記プレート部材および前記非磁性体は、少なくともステンレス鋼、セラミックス、高硬度非磁性快削鋼、チタン合金を含む材料によって構成されていることを特徴とするスプライン一体型リニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータとスプライン機構を組み合わせることによって、従来にないスプライン一体型のリニアモータを実現する技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、射出成形機の射出装置や建設機械のリンク機構など、機械装置の伸縮動作を実現する駆動装置としては、一般的に、油圧シリンダが用いられている。油圧シリンダは、圧油供給源である可変ポンプの容量を変化させることで圧油の圧力と流量を変化させ、出力を最大にしながら広い速度範囲と推力範囲が実現される装置である。【０００３】
このように駆動される油圧シリンダは、伸縮作動を行う油圧シリンダ本体と、この油圧シリンダ本体に圧油の供給を行う油圧発生装置とから構成されている。油圧シリンダ本体は、油圧ポンプや切換弁等からなる油圧発生装置から圧油の供給を受けることによって、伸縮作動を行えるように構成されている。そしてこれまで、油圧シリンダを構成する油圧シリンダ本体と油圧発生装置とは、油圧シリンダ本体と油圧発生装置とが離間して配置され、油圧配管を通じて両者間で圧油の給排を行うものや、下記特許文献１に示すように油圧シリンダ本体と油圧発生装置とを一体に構成したものが提供されている。【０００４】
しかしながら、油圧シリンダは、油圧シリンダ本体とは別に比較的大きな油圧発生装置を必要とするため、導入の際の製造コストや維持・管理コストが高くなってしまうという課題を有していた。また、油圧シリンダは、大出力であり、且つ、広い速度範囲と推力範囲を実現できる一方、ストローク内での細かい停止位置制御を苦手とするため、高い制御性を要求されるような機械装置には用いることができなかった。さらには、廃油発生などの環境問題をも抱えていた。そこで、このような問題を抱える油圧シリンダから、制御が容易でクリーンな電動の駆動装置の実現が望まれていた。【０００５】
そこで、出願人は、鋭意努力することによって、油圧シリンダに代わる新たな駆動装置を創案した（特願２００５−２４４９６１号）。かかる駆動装置は、リニアモータとスプライン機構を組み合わせた構造の動力伝達装置であり、高い制御性というリニアモータの利点を有しつつ、駆動力の伝達を効率良く行うことができるというスプライン機構の利点をも併せ持つものである。【０００６】
【特許文献１】実開昭６３−１６４６０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、出願人は、様々な動力伝達機構としての運動案内装置を製造・販売しており、上述したようなリニアモータと運動案内機構を組み合わせた構造の動力伝達装置を従来の運動案内装置に応用したいとの要請が生じた。特に、スプライン装置については、元々スプライン機構を有していることから、リニアモータをコンパクトにスプライン装置内に納めることができれば、そのような装置は、産業界において非常に高い利用性を備えたものとなる。【０００８】
しかしながら、界磁束発生源となるコイルと磁界発生源である永久磁石を、それぞれスプライン外筒とスプライン軸にコンパクトに納めることは、従来の技術では非常に困難であった。特に、ボールなどの複数の転動体から転がり負荷を受けるスプライン軸に対して、発生磁界への影響を極力少なくした状態で永久磁石を納めることは技術的に困難を伴うものである。【０００９】
本発明は、かかる課題の存在に鑑みて成されたものであって、その目的は、高い制御性というリニアモータの利点を有しつつ、駆動力の伝達効率を高めることができるというスプライン機構の利点をも併せ持ち、しかもコンパクトな形状を備えるスプライン一体型のリニアモータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るスプライン一体型リニアモータは、軸線方向に延びる複数の転動体転走溝が形成されるスプライン軸と、前記転動体転走溝に対応する負荷転走溝が形成されるスプライン外筒と、前記転動体転走溝と前記負荷転走溝とによって形成される負荷転走路内に転動自在に設置される複数の転動体と、を備え、前記スプライン外筒が、コイルを備えることによって磁界発生源となり、前記スプライン軸が、複数の永久磁石を備えることによって界磁束発生源となるとともに前記複数の転動体転走溝近傍を非磁性部材によって構成されることにより、前記スプライン外筒が前記スプライン軸の軸線方向に対して相対的に往復運動自在であることを特徴とする。【００１１】
本発明に係るスプライン一体型リニアモータにおいて、前記スプライン外筒は、前記スプライン軸の軸線方向に対する前記スプライン外筒の相対的な往復運動を案内するスプライン機構部と、前記コイルを備えるコイル部と、から構成されていることとすることができる。【００１２】
また、本発明に係るスプライン一体型リニアモータにおいて、前記複数の永久磁石は、それぞれが複数の切欠部を備えており、前記複数の永久磁石がスプライン軸の軸線方向に積み重ねられたときに前記複数の切欠部によって軸線方向に延びる複数条の凹部が形成され、前記複数条の凹部のそれぞれには、少なくとも１条の転動体転走溝が形成された前記非磁性部材が設置されていることとすることができる。【００１３】
本発明に係るスプライン一体型リニアモータは、前記スプライン軸の軸方向に対して垂直な方向の断面で見た場合の前記複数条の凹部と前記非磁性部材との境界形状が、少なくとも１つのコーナーＲを含む形状で構成されていることとすることができる。【００１４】
本発明に係るスプライン一体型リニアモータは、前記スプライン軸の軸方向に対して垂直な方向の断面で見た場合の前記複数条の凹部と前記非磁性部材との境界形状が、円弧形状で構成されていることとすることができる。【００１５】
また、本発明に係るスプライン一体型リニアモータにおいて、前記スプライン軸を構成する前記複数の永久磁石の軸表面に現れる部分は、プレート部材によって覆われていることとすることができる。【００１６】
さらに、本発明に係るスプライン一体型リニアモータでは、前記スプライン外筒が、前記負荷転走溝近傍を含む少なくとも前記複数の転動体と接触する部分を非磁性体によって構成されることにより、前記複数の転動体が、前記複数の永久磁石から発生する界磁束によって磁化されないように構成することが好適である。【００１７】
またさらに、本発明に係るスプライン一体型リニアモータにおいて、前記非磁性部材、前記プレート部材および前記非磁性体は、少なくともステンレス鋼、セラミックス、高硬度非磁性快削鋼、チタン合金を含む材料によって構成されていることとすることができる。【００１８】
なお上記発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた発明となり得る。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、高い制御性というリニアモータの利点を有しつつ、駆動力の伝達効率を高めることができるというスプライン機構の利点をも併せ持ち、しかもコンパクトな形状を備えるという、従来技術では実現不可能であったまったく新しいスプライン一体型のリニアモータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本実施形態に係るスプライン一体型リニアモータの全体構成を説明するための部分破断正面図である。
【図１Ａ】図１Ａは、本実施形態に係るスプライン一体型リニアモータの作動原理を説明するための模式図である。
【図２】図２は、図１におけるＡ−Ａ断面を示す縦断面側面図である。
【図３】図３は、本実施形態に係る複数の永久磁石がスプライン軸の軸方向に配列された様子を示す外観斜視図である。
【図４】図４は、図１におけるＢ−Ｂ断面を示す縦断面側面図である。
【図５】図５は、本実施形態に係るスプライン軸とは別の形態を例示する縦断面側面図である。
【図６】図６は、本実施形態に係るスプライン軸におけるさらに別の形態を例示する縦断面側面図である。
【図７】図７は、本実施形態に係るスプライン軸が採り得る多様な変形形態を例示する縦断面図である。
【図８】図８は、本実施形態に係るスプライン軸が採り得る多様な変形形態のうち、図７とは別の形態を例示する縦断面図である。
【図９】図９は、図１におけるＣ−Ｃ断面を示す縦断面側面図である。
【符号の説明】
【００２１】
１０  スプライン一体型リニアモータ、１１  スプライン軸、１２  転動体転走溝、１３  永久磁石、１４  非磁性部材、１５  切欠部、１６  凹部、１７  プレート部材、１８  エンドプレート、２１  スプライン外筒、２１ａ  スプライン機構部、２１ｂ  コイル部、２２  負荷転走溝、２３  ボール、２４  コイル、３３  磁性材料、３４  非磁性体、α  磁力線。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を実施するための好適な実施形態について、図面を用いて説明する。なお、以下の実施形態は、各請求項に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。【００２３】
図１は、本実施形態に係るスプライン一体型リニアモータの全体構成を説明するための部分破断正面図であり、図１Ａは、本実施形態に係るスプライン一体型リニアモータの作動原理を説明するための模式図である。また、図２は、図１におけるＡ−Ａ断面を示す縦断面側面図であり、図３は、本実施形態に係る複数の永久磁石がスプライン軸の軸方向に配列された様子を示す外観斜視図である。さらに、図４は、図１におけるＢ−Ｂ断面を示す縦断面側面図である。【００２４】
本実施形態に係るスプライン一体型リニアモータ１０は、スプライン軸１１およびスプライン外筒２１から構成されており、スプライン外筒２１がスプライン軸１１の軸線方向に対して相対的に往復運動自在とされる装置である。【００２５】
スプライン軸１１の表面には、軸線方向に延びる複数の転動体転走溝１２が形成されている。また、スプライン軸１１には複数の永久磁石１３が設置されており、これら複数の永久磁石１３は界磁束発生源としての役割を担っている。複数の永久磁石１３は、スプライン軸１１の軸線方向に積み重ねられてそれぞれが固定されるとともに、隣り合う永久磁石１３同士の互いに対向する面の極性が同極となるように設置されている。【００２６】
一方、スプライン外筒２１は、略円筒形をした外筒の両端部に設置されるスプライン機構部２１ａと、これら２つのスプライン機構部２１ａ，２１ａに挟まれる位置に設置されるコイル部２１ｂとから構成されている。【００２７】
このうち、スプライン機構部２１ａには、スプライン軸１１に形成された転動体転走溝１２に対応する負荷転走溝２２が形成されるとともに、複数のボール２３が設置されている。複数のボール２３は、スプライン軸１１側の転動体転走溝１２とスプライン機構部２１ａ側の負荷転走溝２２とによって形成される負荷転走路内に、転動自在に設置される部材である。したがって、スプライン軸１１と２つのスプライン機構部２１ａ，２１ａによって、いわゆるボールスプライン装置が構成されており、スプライン外筒２１のスプライン軸１１に対するスムーズな相対的往復直線運動が実現している。【００２８】
また、コイル部２１ｂには、スプライン軸１１に設置される複数の永久磁石１３と好適な間隔を隔てた位置にコイル２４が設置されている。このコイル２４は、図示しない電力源から電力ケーブル（不図示）を介して電力の供給を受けることにより、磁界発生源としての役割を担うことができる部材である。【００２９】
ここで、図１Ａを参照して本実施形態に係るスプライン一体型リニアモータの作動原理を説明すると、スプライン軸１１に設置される複数の永久磁石１３は、上述したように、それぞれ互いに同極が向き合うように、すなわちＮ極とＮ極が、Ｓ極とＳ極とが対向するように積層されている。一方、コイル２４については、３つでＵ・Ｖ・Ｗ相を形成する一組の三相コイルが最小の設置単位となり、この三相コイルを複数組み合わせることによってコイルユニットが形成されている。そして、Ｕ・Ｖ・Ｗ相の三相に分けた複数のコイル２４に１２０°ずつ位相が異なる三相電流を流すことによって、コイル２４の軸線方向に移動する移動磁界を発生させることができる。このようにして発生した移動磁界により推力を得ることによって、スプライン軸１１は、移動磁界の速さに同期したスプライン外筒２１に対する相対的な直線運動が可能となる。【００３０】
なお、スプライン外筒２１とスプライン軸１１は、その軸線方向に対して相対的に往復運動自在とされる装置であるため、スプライン外筒２１とスプライン軸１１のいずれか一方を固定側に、他方を移動側に設定することができる。つまり、本実施形態に係るコイル２４は、スプライン一体型リニアモータの設置条件に応じて、固定側コイルとしての機能および可動側コイルとしての機能のいずれをも発揮することが可能となっている。【００３１】
以上、本実施形態に係るスプライン一体型リニアモータ１０の構成を説明したが、本実施形態に係るスプライン一体型リニアモータ１０は、さらなる好適な特徴点を有している。この特徴点について、図２を参照して説明すると、本実施形態では、スプライン一体型リニアモータ１０を構成するスプライン軸１１に複数（図２では４つ）形成される転動体転走溝１２の近傍が、永久磁石１３とは別の部材で構成されていることが解る。この転動体転走溝１２を有する部材は非磁性材料によって構成される非磁性部材１４であり、複数のボール２３から繰り返し受けることになる転がり負荷に耐えるとともに、界磁束発生源となる永久磁石１３からの磁力を透過してコイル２４側に及ぼすことが可能となっている。【００３２】
スプライン軸１１の具体的な構成としては、スプライン軸１１を構成する複数の永久磁石１３のそれぞれが複数の切欠部１５を備えており、そして、図３において示すように、複数の永久磁石１３がスプライン軸１１の軸線方向に積み重ねられたときに複数（図３では４つ）の切欠部１５によって軸線方向に延びる複数条（図３では４条）の凹部１６が形成されることになる。そして、この凹部１６に対して転動体転走溝１２が形成された非磁性部材１４を設置することにより、本実施形態に係るスプライン軸１１が完成する。【００３３】
なお、凹部１６に対する非磁性部材１４の設置方法としては、上述したように複数の永久磁石１３を積み重ねた上で、凹部１６と非磁性部材１４とを接着剤を用いて接着接合する方法を採用することができる。また、図１においてスプライン軸１１の両軸端部に設置されているようなエンドプレート１８，１８を用意し、まず一端側のエンドプレート１８に対して非磁性部材１４を設置して籠型形状の部材を作成し、次にこの籠型の中に複数の永久磁石１３を積み重ね、最後に別端側のエンドプレート１８を設置することによってスプライン軸１１を組み立てる方法を採用することもできる。【００３４】
スプライン軸１１が上述したような構成を備えることによって、本実施形態に係るスプライン一体型リニアモータ１０は、様々な好適な作用効果を発揮することができる。すなわち、本実施形態では、永久磁石１３のみでは困難であったボール２３からの転がり負荷を受容できるとともに、永久磁石１３から発生する界磁束を邪魔しない非磁性部材１４をスプライン軸１１に採用し、さらに、これら永久磁石１３と非磁性部材１４をスプライン軸１１の周方向で重なるように配置したので、高い制御性というリニアモータの利点を有しつつ、駆動力の伝達効率を高めることができるというスプライン機構の利点をも併せ持ち、しかもコンパクトな形状を備えるという、従来技術では実現不可能であったまったく新しいスプライン一体型のリニアモータを提供することが可能となった。【００３５】
なお、本実施形態に係るスプライン軸１１では、図２において示すように、スプライン軸１１を構成する複数の永久磁石１３の軸表面に現れる部分を、非磁性材料から成るプレート部材１７によって覆うようにすることが好適である。かかるプレート部材１７の採用によって永久磁石１３の保護を行うことができるので、装置寿命の延長を図ることができる。【００３６】
ただし、上述した本実施形態に係るスプライン軸１１の構成については、様々な態様を採用することが可能である。例えば、図５は、上述した本実施形態に係るスプライン軸１１とは別の形態を例示する縦断面側面図であるが、図５において例示するスプライン軸１１では、スプライン軸１１の軸方向に対して垂直な方向の断面（図１におけるＡ−Ａ断面と同じ断面）で見た場合の複数条の凹部１６と非磁性部材１４との境界形状が、少なくとも１つ（図５では２つ）のコーナーＲを含む形状によって構成することができる。凹部１６と非磁性部材１４との境界形状にコーナーＲが含まれるようにすることによって磁束に対する特異点をなくすことができ、スプライン軸１１が発生させる界磁束を効率良くスプライン外筒２１側のコイル２４に及ぼすことが可能となる。【００３７】
また、スプライン軸１１の軸方向に対して垂直な方向の断面（図１におけるＡ−Ａ断面と同じ断面）で見た場合の複数条の凹部１６と非磁性部材１４との境界形状については、図６に示すような円弧形状とすることも好適である。ここで、図６は、本実施形態に係るスプライン軸１１におけるさらに別の形態を例示する縦断面側面図である。この円弧形状は、ボール２３によってスプライン軸１１側に繰り返し及ぼされる転がり負荷を特定の箇所に集中させないようにするための工夫であり、円弧形状の効果によって、ボール２３から永久磁石１３側に及ぼされる負荷を分散させ、スプライン軸１１の長寿命化を実現することが可能となる。【００３８】
さらに、本実施形態に係るスプライン軸１１には、さらなる好適な変形形態を採用することが可能であり、例えば、永久磁石１３を保護する必要のない使用環境で本実施形態に係るスプライン一体型リニアモータ１０を用いる場合には、図７において示すように、プレート部材１７を省略し、永久磁石１３と非磁性部材１４でスプライン軸１１を構成することが可能である。【００３９】
また、本実施形態では、永久磁石１３が複数の切欠部１５を備えるという複雑な磁石形状を採用した場合を例示して説明したが、図８において示すように、永久磁石１３の断面形状を単純な円形とし、この円形断面の永久磁石１３を取り囲むように非磁性部材１４を配置しても良い。【００４０】
以上、本実施形態に係るスプライン軸１１が採り得る好適な形態について種々説明したが、本実施形態に係るスプライン一体型リニアモータ１０においては、スプライン外筒２１側にも新たな特徴を付加し、好適な改良を加えることが可能である。かかる改良について、図９を用いて説明する。ここで、図９は、図１におけるスプライン外筒２１の部分のＣ−Ｃ断面を示す縦断面側面図である。【００４１】
図９において示すスプライン外筒２１においては、負荷転走溝２２近傍を含む少なくとも複数のボール２３と接触する部分が、非磁性体３４によって構成されている。また、複数のボール２３を囲むように設置される非磁性体３４以外の部分には、磁性材料３３が配置されている。つまり、非磁性体３４が位置する場所を覆うように磁性材料３３が配置されているので、ボール２３が循環する場所には磁気シールドが形成されることになる。したがって、符号αで示される磁力線は、図９中で示されるように複数のボール２３を避けて流れることになるので、ボール２３は永久磁石１３から発生する界磁束によって磁化されないことになる。よって、図９において例示される形態のスプライン外筒２１によれば、ボール２３が磁化されることによるボール２３の転がり運動への悪影響を排除することができるので、スムーズ且つ安定した動作を行うことが可能なスプライン一体型リニアモータ１０を実現することが可能となる。【００４２】
なお、上述した本実施形態に係るスプライン一体型リニアモータ１０において、非磁性部材１４、プレート部材１７および非磁性体３４を構成する非磁性材料には、少なくともステンレス鋼、セラミックス、高硬度非磁性快削鋼、チタン合金を含む材料を採用することが可能である。【００４３】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態には、多様な変更又は改良を加えることが可能である。例えば、本実施形態では、スプライン軸１１に４つの転動体転走溝１２が形成される場合を例示して説明したが、転動体転走溝１２の設置数は使用条件に応じてその数を変更することが可能である。【００４４】
また、本実施形態に係る非磁性部材１４では、１条の転動体転走溝１２を備えた場合を例示して説明したが、非磁性部材１４に形成される転動体転走溝１２は複数であっても良い。【００４５】
さらに、本実施形態では、永久磁石１３の外周面を保護する目的で非磁性材料から成るプレート部材１７を採用した場合を例示して説明したが、リニアモータとしての機能を確保できる場合には、金属材料から成るプレート部材１７を採用することも可能である。【００４６】
またさらに、本実施形態では、凹部１６に対する非磁性部材１４の設置方法として、凹部１６と非磁性部材１４とを接着剤を用いて接着接合する方法を採用した場合を例示して説明したが、例えばカシメ接合など、その他のあらゆる接合方法を採用することが可能である。【００４７】
さらにまた、本実施形態では、２つのスプライン機構部２１ａ，２１ａに用いられる転動体について、ボール２３を採用した場合を例示して説明したが、ローラ等の他の形態を有する転動体を採用することもできる。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図１】
2007063729.tif 000003
【図１Ａ】
2007063729.tif 000004
【図２】
2007063729.tif 000005
【図３】
2007063729.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007063729.tif 000010
【図８】
2007063729.tif 000011
【図９】
2007063729.tif 000012
【国際調査報告】
2007063729.tif 000013
2007063729.tif 000014
2007063729.tif 000015
2007063729.tif 000016
2007063729.tif 000017