【手続補正書】
【提出日】平成19年3月26日(2007.3.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光スイッチ用の構造であって、
固体材料内に収容され、駆動装置液体を有するチャンバと、
前記チャンバ内に位置し、前記固体材料に結合した複数の封止ベルトと、
前記複数の封止ベルトに結合し、前記チャンバに結合した複数の液体金属小滴と、
前記複数の液体金属小滴の１つ又は複数に結合し、複数のスイッチコンタクトの１つ又は複数にも結合したスラグと、
前記チャンバに結合した複数の薄膜に結合する複数の圧電素子と、
前記チャンバに結合し、前記スラグによって閉鎖又は開通するべく動作可能な複数の光導波路と、
を有することを特徴とする光スイッチ用構造。
【請求項２】
前記駆動装置液体は不活性で低粘度を有し、電気的な導電性を有さないことを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ用構造。
【請求項３】
前記スラグは固形であることを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ用構造。
【請求項４】
前記スラグは前記複数の液体金属小滴の１つにカプセル状に包まれていることを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ用構造。
【請求項５】
前記複数の光導波路は濡れ不能な面を有することを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ用構造。
【請求項６】
前記駆動装置液体は３Ｍ  フルオリナート（商標）であることを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ用構造。
【請求項７】
前記複数の圧電素子は、１つ又は複数の槽内に位置しており、前記１つ又は複数の槽は、前記チャンバ内の前記駆動装置流体を補充するべく動作可能な作動液体を格納していることを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ用構造。
【請求項８】
前記液体金属の一つあるいは複数が水銀からなることを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ用構造。
【請求項９】
前記液体金属の一つあるいは複数がガリウム合金からなることを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ用構造。
【請求項１０】
前記複数の薄膜は、対応する複数のビアに結合しており、前記複数のビアのビアは、前記作動液体の流速を増大させるべく動作可能であることを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ用構造。
【請求項１１】
前記複数のビアのひとつは、前記複数の封止ベルトの一つとチャネルの長手方向の端部との間に配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の光スイッチ用構造。
【請求項１２】
前記複数の薄膜のそれぞれはそれぞれの幅を有し、該幅は前記複数の圧電素子の非駆動方向での広がりより広いことを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ用構造。
【請求項１３】
前記複数の圧電素子は、対応する複数のコンタクトに更に結合しており、前記複数のコンタクトは、前記複数の圧電素子を作動させるべく作用することを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ用構造。
【請求項１４】
前記複数のコンタクトのそれぞれは、圧電素子の第１の端部に結合された第１の端子と該圧電素子の第２の端部に結合された第２の端子を備えることを特徴とする請求項１３に記載の光スイッチ用構造。
【請求項１５】
前記第１、第２の端子は相互に誘電体で分離されていることを特徴とする請求項１４に記載の光スイッチ用構造。
【請求項１６】
光スイッチ用の構造であって、
圧電基板層と、
前記圧電基板層に結合しており、複数の圧電作動型の押し出し素子を更に有する駆動装置流体槽層と、
前記駆動装置流体槽層に結合しており、前記複数の圧電作動型の押し出し素子に結合した複数の薄膜を有するチャンバ層と、
前記チャンバ層に結合しており、複数のビアを有するビア層と、
前記ビア層に結合しており、複数の光導波路に結合した液体金属チャネル層と、
前記液体金属チャネル層内に収容された駆動装置液体充填チャンバであって、１つ又は複数の封止ベルトに結合した液体金属の１つ又は複数の小滴と、
前記液体金属の１つ又は複数の小滴の１つ又は複数に結合すると共に前記１つ又は複数の封止ベルトの１つ又は複数に結合したスラグと、を有し、前記１つ又は複数の薄膜に結合した駆動装置液体充填チャンバと、
を有することを特徴とする光スイッチ用構造。
【請求項１７】
前記１つまたは複数の封止ベルトは前記圧電基板層に結合されていることを特徴とする請求項１６に記載の光スイッチ用構造。
【請求項１８】
前記チャンバ層、前記ビア層、前記圧電基板層、前記駆動装置流体槽層、及び前記液体金属チャネル層は、ガラス、セラミック、複合材料、及びセラミック被覆材料の中の１つ又は複数から構成可能であることを特徴とする請求項１６に記載の光スイッチ用構造。
【請求項１９】
前記スラグは前記１つ又は複数の液体金属小滴の１つにカプセル状に包まれていることを特徴とする請求項１６に記載の光スイッチ用構造。
【請求項２０】
前記複数の光導波路は濡れ不能な面を有することを特徴とする請求項１６に記載の光スイッチ用構造。
【請求項２１】
前記駆動装置流体槽層は更に  を有することを特徴とする請求項１６に記載の光スイッチ用構造。
【請求項２２】
前記圧電基板層は、前記複数の圧電素子の１つ又は複数の作動によって生成される１つ又は複数の信号をルーティングするべく動作可能な複数の回路トレース及び複数のパッドを更に有することを特徴とする請求項１６に記載の光スイッチ用構造。
【請求項２３】
前記駆動装置液体は不活性で低粘度を有し、導電性でないことを特徴とする請求項１６に記載の光スイッチ用構造。
【請求項２４】
前記液体金属の一つあるいは複数の小滴が水銀からなることを特徴とする請求項１６に記載の光スイッチ用構造。
【請求項２５】
前記複数のビアが前記駆動装置液体の流れを速くするように作用するとともに前記スラグの速度を変えるように作用することを特徴とする請求項１６に記載の光スイッチ用構造。
【請求項２６】
前記チャンバ層は１つ又は複数の流体ポートをさらに備え、該１つ又は複数の流体ポートは前記駆動装置流体槽層の１つ又は複数の槽からある量の前記駆動装置液体を該チャンバ層の流体チャンバに補充するよう作用することを特徴とする請求項１６に記載の光スイッチ用構造。
【請求項２７】
前記１つ又は複数の流体ポートのサイズは前記駆動装置液体充填チャンバへの前記駆動装置液体の流れを遅くすることなく前記補充をおこなえるように選択されることを特徴とする請求項２６に記載の光スイッチ用構造。
【請求項２８】
前記複数の圧電素子は、対応する複数のコンタクトに更に結合しており、前記複数のコンタクトは、前記複数の圧電素子を作動させるべく作用することを特徴とする請求項１６に記載の光スイッチ用構造。
【請求項２９】
前記複数のコンタクトのそれぞれは、圧電素子の第１の端部に結合された第１の端子と該圧電素子の第２の端部に結合された第２の端子を備えることを特徴とする請求項２８に記載の光スイッチ用構造。
【請求項３０】
前記第１、第２の端子は相互に誘電体で分離されていることを特徴とする請求項２９に記載の光スイッチ用構造。
【請求項３１】
液体金属スイッチを使用して１つ又は複数の光信号を切り替えるスイッチング方法であ って、
１つ又は複数の圧電素子を作動させることと、
前記１つ又は複数の圧電素子の作動により、１つ又は複数の対応する薄膜素子を偏向させることと、
前記１つ又は複数の薄膜素子の偏向により、駆動装置液体の圧力を変化させることと、
前記駆動装置液体の圧力における変化により、前記液体金属スイッチの第１のコンタクトと第２のコンタクトの間にある液体金属の接続を切断し、前記第１のコンタクト及び第２のコンタクトに結合したスラグを移動させ、これにより、複数の光導波路の１つ又は複数を閉鎖又は開通させることと、
を有することを特徴とするスイッチング方法。
【請求項３２】
前記圧電素子は該圧電素子の第１の側面と該第１の側面に対向する第２の側面との間に電圧を印加して駆動されることを特徴とする請求項３１に記載のスイッチング方法。
【請求項３３】
前記液体金属の接続は、液体金属と前記第１コンタクト及び前記第２コンタクトとの間における表面張力によって維持されていることを特徴とする請求項３１に記載のスイッチング方法。
【請求項３４】
前記スラグは該スラグの濡れ性と該スラグ上の液体金属の存在とによってコンタクトに結合されることを特徴とする請求項３１に記載のスイッチング方法。
【請求項３５】
前記液体金属スイッチの作動に先立ち、注入口を使用して前記液体金属スイッチに前記駆動装置液体を加えることを特徴とする請求項３１に記載のスイッチング方法。
【請求項３６】
前記１つ又は複数の薄膜素子に結合した１つ又は複数のビアが圧力の増加により引き起こされる前記駆動装置液体の流れの速さを増すために使用され、該流れの速さの増加が前記液体金属の接続の切断を加速し前記スラグを加速することを特徴とする請求項３１に記載のスイッチング方法。
【請求項３７】
前記液体金属の接続を切断した後に、前記第２コンタクトと第３コンタクト間において、第２の液体金属の接続とスラグの結合が確立することを特徴とする請求項３１に記載のスイッチング方法。
【請求項３８】
前記第２の液体金属の接続を切断し、前記第１の電圧とは反対極性の第２の電圧を印加して前記スラグを移動させることをさらに含み、該第２の電圧が前記圧電素子を駆動することで前記薄膜素子に負の圧力が生じ前記液体金属と前記スラグとを引き込み、前記第１、第２のコンタクト間に前記液体金属の接続を再確立するとともに前記第２、第３のコンタクト間で第２の前記液体金属の接続を切断することを特徴とする請求項３７に記載のスイッチング方法。
【請求項３９】
第２の圧電素子と第２の薄膜素子と第２の電圧とを用いて前記第２の液体金属の接続を切断し前記スラグを移動させることをさらに含み、該第２の電圧が前記第２の圧電素子を駆動することで前記第２の薄膜素子が偏向して前記駆動装置液体の圧力を高め、該駆動装置液体が流れて前記第２の液体金属の接続を切断し前記スラグを移動させることを特徴とする請求項３７に記載のスイッチング方法。