【手続補正書】
【提出日】平成19年1月16日(2007.1.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ＰＷＭ制御装置、モータ駆動装置、およびステージ装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
三角波を生成する三角波生成回路と、
前記入力信号と前記三角波とを比較し、前記入力信号の電圧レベルに応じたパルス幅のＰＷＭ信号を出力する比較器と、
所定の電源に接続され、該電源からの電圧を前記ＰＷＭ信号に基づいてオンオフして出力するスイッチング素子と、
前記ＰＷＭ信号のデューティ比を前記所定の電源の電圧レベルの変動に応じて調整する調整回路とを備えることを特徴とするＰＷＭ制御装置。
【請求項２】
請求項１記載のＰＷＭ制御装置において、
前記調整回路は、前記入力信号を前記電源の電圧レベルでわり算する回路であることを特徴とするＰＷＭ制御装置。
【請求項３】
請求項１記載のＰＷＭ制御装置において、
前記調整回路は、前記電源の電圧レベルの変動に応じて前記三角波の振幅を調整する回路であることを特徴とするＰＷＭ制御装置。
【請求項４】
請求項３記載のＰＷＭ制御装置において、
前記調整回路は、前記三角波生成回路から出力された三角波を前記電源の電圧レベルでかけ算する回路であることを特徴とするＰＷＭ制御装置。
【請求項５】
請求項３記載のＰＷＭ制御装置において、
前記調整回路は、前記電源の電圧レベルの変動に比例して前記三角波生成回路に供給する三角波生成回路用電源の電圧レベルを調整する回路であることを特徴とするＰＷＭ制御装置。
【請求項６】
請求項３記載のＰＷＭ制御装置において、
前記三角波生成回路は、２つの異なる信号レベルを所定の周波数で交互にスイッチングするスイッチング回路と、前記スイッチング回路の出力を積分して三角波を出力する積分回路とから構成され、
前記調整回路は、前記電源の電圧レベルの変動に比例して信号レベル差が変化する前記２つの異なる信号レベルを出力する増幅回路であることを特徴とするＰＷＭ制御装置。
【請求項７】
三角波を生成する三角波生成回路と、
前記入力信号と前記三角波とを比較し、前記入力信号の電圧レベルに応じたパルス幅のＰＷＭ信号を出力する比較器と、
電源が接続され、該電源からの電圧を前記ＰＷＭ信号に基づいてオンオフして出力するスイッチング素子と、
前記比較器に入力される前記入力信号の電圧レベルを前記電源の変化する電圧レベルに応じて調整する調整回路とを備えることを特徴とするＰＷＭ制御装置。
【請求項８】
三角波を生成する三角波生成回路と、
前記入力信号と前記三角波とを比較し、前記入力信号の電圧レベルに応じたパルス幅のＰＷＭ信号を出力する比較器と、
電源が接続され、該電源からの電圧を前記ＰＷＭ信号に基づいてオンオフして出力するスイッチング素子と、
前記三角波の振幅を前記電源の変化する電圧レベルに応じて調整する調整回路とを備えることを特徴とするＰＷＭ制御装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載のＰＷＭ制御装置を備えた電流増幅回路を備えることを特徴とするモータ駆動装置。
【請求項１０】
移動対象物を搭載するステージと、
前記移動対象物を移動させるために前記ステージを駆動するモータと、
前記モータを駆動する請求項９記載のモータ駆動装置とを備えることを特徴とするステージ装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＰＷＭ制御装置、モータ駆動装置、ステージ装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
本発明の目的は、高精度、高Ｓ／Ｎ比、低コスト、小容積、低重量なモータ駆動装置を可能とするＰＷＭ制御装置を提供することにある。また、このＰＷＭ制御装置を使用したモータ駆動装置、このモータ駆動装置を使用したステージ装置を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
以下、実施の形態を示す図２、４〜６を参照して、括弧内にその対応する要素の符号をつけて本発明を説明する。
上記目的を達成するために、請求項１のＰＷＭ制御装置は、三角波を生成する三角波生成回路（１０１）と、入力信号（Ｉ）と三角波とを比較し、入力信号（Ｉ）の電圧レベルに応じたパルス幅のＰＷＭ信号を出力する比較器（１０３）と、所定の電源（１１０）に接続され、該電源（１１０）からの電圧をＰＷＭ信号に基づいてオンオフして出力するスイッチング素子（Ｑ１、Ｑ２）と、ＰＷＭ信号のデューティ比を所定の電源（１１０）の電圧レベルの変動に応じて調整する調整回路（１０４）とを備えるようにしたものである。
請求項２の発明は、請求項１記載のＰＷＭ制御装置において、調整回路（１０４）を、入力信号（Ｉ）を電源（１１０）の電圧レベルでわり算する回路としたものである。
請求項３の発明は、請求項１記載のＰＷＭ制御装置において、調整回路（２０１）を、電源（１１０）の電圧レベルの変動に応じて三角波の振幅を調整する回路としたものである。
請求項４の発明は、請求項３記載のＰＷＭ制御装置において、調整回路（２０１）を、三角波生成回路（１０１）から出力された三角波を電源（１１０）の電圧レベルでかけ算する回路としたものである。
請求項５の発明は、請求項３記載のＰＷＭ制御装置において、調整回路（３０１）を、電源（１１０）の電圧レベルの変動に比例して三角波生成回路（１０１）に供給する三角波生成回路用電源（３０１）の電圧レベルを調整する回路としたものである。
請求項６の発明は、請求項３記載のＰＷＭ制御装置において、三角波生成回路（１０１）を、２つの異なる信号レベル（Ｓ１、Ｓ２）を所定の周波数で交互にスイッチングするスイッチング回路（４０２、４０３）と、スイッチング回路（４０２、４０３）の出力を積分して三角波を出力する積分回路（Ｒ４１、Ｃ４１、Ｕ４１）とから構成されるようにし、調整回路（４０４）を、電源（１１０）の電圧レベルの変動に比例して信号レベル差が変化する２つの異なる信号レベルを出力する増幅回路としたものである。
請求項７のＰＷＭ制御装置は、三角波を生成する三角波生成回路（１０１）と、入力信号（Ｉ）と三角波とを比較し、入力信号（Ｉ）の電圧レベルに応じたパルス幅のＰＷＭ信号を出力する比較器（１０３）と、電源（１１０）が接続され、該電源（１１０）からの電圧をＰＷＭ信号に基づいてオンオフして出力するスイッチング素子（Ｑ１、Ｑ２）と、比較器（１０３）に入力される入力信号（Ｉ）の電圧レベルを電源（１１０）の変化する電圧レベルに応じて調整する調整回路（１０４）とを備えるようにしたものである。
請求項８のＰＷＭ制御装置は、三角波を生成する三角波生成回路（１０１）と、入力信号（Ｉ）と三角波とを比較し、入力信号（Ｉ）の電圧レベルに応じたパルス幅のＰＷＭ信号を出力する比較器（１０３）と、電源（１１０）が接続され、該電源（１１０）からの電圧をＰＷＭ信号に基づいてオンオフして出力するスイッチング素子（Ｑ１、Ｑ２）と、三角波の振幅を電源（１１０）の変化する電圧レベルに応じて調整する調整回路（２０１）とを備えるようにしたものである。
請求項９のモータ駆動装置は、請求項１〜８のいずれか１項に記載のＰＷＭ制御装置を備えた電流増幅回路を備えるようにしたものである。
請求項１０のステージ装置は、移動対象物を搭載するステージと、移動対象物を移動させるためにステージを駆動するモータと、モータを駆動する請求項９記載のモータ駆動装置とを備えるようにしたものである。