【手続補正書】
【提出日】平成20年9月17日(2008.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
休止時間によって分離され、レーザ出力光パルスビームを形成する、選択されたパルス繰返し数でのパルスのバーストのレーザ出力光パルスを生成するレーザ光源であって、
ビームパラメータと該ビームパラメータに対する選択された目標値との間の差を表すビームパラメータ誤差信号を供給するレーザ出力光パルスビームパラメータ誤差検出器と、
ビームパラメータ調節機構と、
前記ビームパラメータ誤差信号の値に基づいてビームパラメータ調節信号を前記ビームパラメータ調節機構に供給するビームパラメータ調節機構コントローラと、
前記ビームパラメータ誤差信号の前記値に基づいて前記ビームパラメータ調節信号を修正する低速遷移反転信号を供給する低速遷移補償器と、
を含むレーザ出力光パルスビームパラメータ調節システム、
を含むことを特徴とする光源。
【請求項２】
前記ビームパラメータ誤差信号の前記値から判断された正規化ビームパラメータ誤差信号を供給するビームパラメータ誤差スケーリング機構、
を更に含み、
前記ビームパラメータ調節機構コントローラ及び前記低速遷移コントローラは、それぞれ、前記正規化ビームパラメータ誤差信号に基づいて前記ビームパラメータ調節信号及び前記低速遷移反転信号を供給する、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記ビームパラメータ調節機構コントローラは、平均実波長誤差を最小にする制御機能に基づいて前記ビームパラメータ調節信号を供給する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記低速遷移コントローラは、前記低速遷移反転信号を供給し、該低速遷移反転信号は、前回バーストの終わりに低速遷移反転信号から判断された低速遷移反転定数と、該前回バーストにおける選択パルスに対するビームパラメータ誤差信号を乗じた低速遷移反転利得係数との関数である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記低速遷移コントローラは、前記低速遷移反転信号を供給し、該低速遷移反転信号は、前回バーストの終わりに低速遷移反転信号から判断された低速遷移反転定数と、該前回バーストにおける選択パルスに対するビームパラメータ誤差信号を乗じた低速遷移反転利得係数との関数である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項６】
バーストの最初に前記ビームパラメータ調節機構への前記ビームパラメータ誤差信号の入力を無効にして、該ビームパラメータ調節機構がビームパラメータ高速遷移に応答するのを防止するビームパラメータ誤差信号スケジュール作成機構、
を更に含むことを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項７】
バーストの最初に前記ビームパラメータ調節機構への前記正規化ビームパラメータ誤差信号の入力を無効にして、該ビームパラメータ調節機構がビームパラメータ高速遷移に応答するのを防止するビームパラメータ誤差信号スケジュール作成機構、
を更に含むことを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項８】
前記前回バーストにおける前記選択パルスは、ビームパラメータ高速遷移によって影響されることを回避するために選択されている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項９】
前記前回バーストにおける前記選択パルスは、ビームパラメータ高速遷移によって影響されることを回避するために選択されている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項１０】
休止時間によって分離され、レーザ出力光パルスビームを形成する、選択されたパルス繰返し数でのパルスのバーストのレーザ出力光パルスを生成する方法であって、
ビームパラメータと該ビームパラメータに対する選択目標値との間の差を表すビームパラメータ誤差信号を供給するためのレーザ出力光パルスビームパラメータ誤差検出機構を使用する段階と、
ビームパラメータ調節機構を使用する段階と、
ビームパラメータ調節機構制御機構を使用して、前記ビームパラメータ誤差信号の値に基づいてビームパラメータ調節信号を前記ビームパラメータ調節機構に供給する段階と、
低速遷移制御機構を使用して、前記ビームパラメータ誤差信号の前記値に基づいて前記ビームパラメータ調節信号を修正する低速遷移反転信号を供給する段階と、
を含むレーザ出力光パルスビームパラメータ調節方法を使用する段階、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１１】
ビームパラメータ誤差スケーリング機構を使用して、前記ビームパラメータ誤差信号の前記値から判断された正規化ビームパラメータ誤差信号を供給する段階、
を更に含み、
前記ビームパラメータ調節機構制御機構及び前記低速遷移制御機構は、それぞれ、前記正規化ビームパラメータ誤差信号に基づいて前記ビームパラメータ調節信号及び前記低速遷移反転信号を供給する、
ことを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記ビームパラメータ調節機構制御機構を使用して、平均実波長誤差を最小にする制御機能に基づいて前記ビームパラメータ調節信号を供給する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記ビームパラメータ調節機構制御機構を利用して、平均実波長誤差を最小にする制御機能に基づいて前記ビームパラメータ調節信号を供給する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記低速遷移制御機構は、前記低速遷移反転信号を供給し、該低速遷移反転信号は、前回バーストの終わりに低速遷移反転信号から判断された低速遷移反転定数と、該前回バーストにおける選択パルスに対するビームパラメータ誤差信号を乗じた低速遷移反転利得係数との関数である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１５】
前記低速遷移制御機構は、前記低速遷移反転信号を供給し、該低速遷移反転信号は、前回バーストの終わりに低速遷移反転信号から判断された低速遷移反転定数と、該前回バーストにおける選択パルスに対するビームパラメータ誤差信号を乗じた低速遷移反転利得係数との関数である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
ビームパラメータ誤差信号スケジュール作成機構を利用して、バーストの最初に前記ビームパラメータ調節機構への前記ビームパラメータ誤差信号の入力を無効にし、該ビームパラメータ調節機構がビームパラメータ高速遷移に応答するのを防止する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【請求項１７】
ビームパラメータ誤差信号スケジュール作成機構を利用して、バーストの最初に前記ビームパラメータ調節機構への前記正規化ビームパラメータ誤差信号の入力を無効にし、該ビームパラメータ調節機構がビームパラメータ高速遷移に応答するのを防止する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
前記前回バーストにおける前記選択パルスは、ビームパラメータ高速遷移によって影響されることを回避するために選択されている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【請求項１９】
前記前回バーストにおける前記選択パルスは、ビームパラメータ高速遷移によって影響されることを回避するために選択されている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項２０】
ビームパラメータ調節機構ステッパ機構と、
所定のバースト内で実行されないステッパ指令を含むステップ指令を供給するビームパラメータ調節機構ステッパ機構制御機構と、
を更に含み、
前記ビームパラメータ調節機構コントローラは、所定のバーストの終わりに次のバーストで使用するための前記低速遷移反転信号を該所定のバースト内の選択されたパルスに対する該低速遷移反転信号に基づいて更新する、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項２１】
ビームパラメータ調節機構ステッパ機構と、
所定のバースト内で実行されないステッパ指令を含むステップ指令を供給するビームパラメータ調節機構ステッパ機構制御機構と、
を更に含み、
前記ビームパラメータ調節機構コントローラは、所定のバーストの終わりに次のバーストで使用するための前記低速遷移反転信号を、実行されない前記ステッパ指令を差し引いた前記指令されたステップに基づいて更新する、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。