【手続補正書】
【提出日】平成19年3月29日(2007.3.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  内部を真空の状態に保持して真空空間を形成するドーナツ形状の真空容器と、この真空容器の内部の真空空間において前記の真空容器の中心軸と同軸的に回転できるように支承された陰極側回転体組立と、この陰極側回転体組立の一部に取り付けられた電子銃組立と、この電子銃組立に取り付けられており電子を放出する陰極と、この陰極に前記の真空容器の外部から給電する為の陰極給電機構の回転部分と、前記の陰極の周回軌道を含む面と対面して取り付けられた環状のＸ線ターゲットと、このＸ線ターゲットの表面で発生したＸ線を前記の真空容器の外に取り出す為のＸ線放出窓と、前記の陰極側回転体組立に回転力を与える回転駆動機構と、前記の陰極側回転体組立を前記の真空容器内で回転自在に支承する軸受機構と、前記の陰極給電機構の回転部分を前記の真空容器内で回転自在に支承する軸受機構とを有して構成されており、これらの軸受機構の内の少なくとも一方の軸受機構は、この軸受機構を固定する部分である軸受固定体と、この軸受固定体に嵌め合わされて回転する軸受回転体とを有し、これらの軸受固定体と軸受回転体との間には動作時に液体である液体金属を潤滑剤とした複数の動圧滑り軸受が構成されており、それぞれの動圧滑り軸受はギャップを有して対向する軸受面を有しており、これらの軸受面の少なくとも一方にはヘリンボーン状の軸受溝が設けられており、前記の動圧滑り軸受の内のいずれか２個の軸受の間には軸受圧力が小さな低圧力領域があり、この低圧力領域に位置する前記の軸受固定体の部分に、前記の液体金属潤滑剤を鉛直下方部分に集中して貯蔵している液体金属潤滑剤貯蔵機構が設けてあることを特徴とするカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項２】  内部を真空の状態に保持して真空空間を形成するドーナツ形状の真空容器と、この真空容器の内部の真空空間において前記の真空容器の中心軸と同軸的に回転できるように支承された陽極側回転体組立と、この陽極側回転体組立に取り付けられた環状のＸ線ターゲットと、このＸ線ターゲットの表面に対向した軌道を成して周回できるように取り付けられた電子銃組立と、この電子銃組立に取り付けられており電子を放出する陰極と、この陰極に前記の真空容器の外部から給電する為の陰極給電機構と、前記のＸ線ターゲット表面から発生したＸ線を前記の真空容器の外に取り出す為のＸ線放出窓と、前記の陽極側回転体組立に回転力を与える回転駆動機構と、前記の陽極側回転体組立を前記の真空容器内で回転自在に支承する軸受機構とを有して構成されており、この軸受機構は、この軸受機構を固定する部分である軸受固定体と、この軸受固定体に嵌め合わされて回転する軸受回転体とを有し、これらの軸受固定体と軸受回転体との間には動作時に液体である液体金属を潤滑剤とした複数の動圧滑り軸受が構成されており、それぞれの動圧滑り軸受はギャップを有して対向する軸受面を有しており、これらの軸受面の少なくとも一方にはヘリンボーン状の軸受溝が設けられており、前記の動圧滑り軸受の内のいずれか２個の軸受の間には軸受圧力が小さな低圧力領域があり、この低圧力領域に位置する前記の軸受固定体の部分に、前記の液体金属潤滑剤を鉛直下方部分に集中して貯蔵している液体金属潤滑剤貯蔵機構が設けてあることを特徴とするカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項３】  前記の液体金属潤滑剤貯蔵機構は、前記の軸受固定体内にあり、前記の軸受回転体に対面している環状の溝又は環状に配設された複数の窪みで構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれか１つに記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項４】  前記の液体金属潤滑剤貯蔵機構は半径が大きい側に閉じた環状溝を含んで構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項５】  前記の液体金属潤滑剤貯蔵機構は、同軸状に複数個有り、少なくともこれらの一部は通路で互いに連通されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項６】  前記の液体金属潤滑剤貯蔵機構は鉛直上方の位置に前記の真空容器の真空空間と連通する通気孔を持っていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１つに記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項７】  前記の液体金属潤滑剤貯蔵機構は、前記の軸受回転体が回転を停止している場合には、前記の液体金属潤滑剤貯蔵機構の鉛直下方部分の特定の高さまでは前記の液体金属潤滑剤が満たされており、それよりも高い位置では真空状態になっており、前記の軸受回転体が回転を開始した場合には、前記鉛直下方部分にある前記液体金属潤滑剤が前記の軸受の鉛直上方部分に供給されるように構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項８】  内部を真空の状態に保持して真空空間を形成するドーナツ形状の真空容器と、この真空容器の内部の前記の真空空間において真空容器の中心軸と同軸的に回転できるように支承された陰極側回転体組立と、この陰極側回転体組立の一部に取り付けられた電子銃組立と、この電子銃組立に取り付けられており電子を放出する陰極と、この陰極に前記の真空容器の外部から給電する為の陰極給電機構の回転部分と、前記の陰極から放出されて加速された電子を取り出す為の電子線放出窓と、前記の陰極側回転体組立に回転力を与える回転駆動機構と、前記の陰極側回転体組立を前記の真空容器内で回転自在に支承する軸受機構と、前記の陰極給電機構の回転部分を前記の真空容器内で回転自在に支承する軸受機構とを有して構成されており、これらの軸受機構の内の少なくとも一方の軸受機構は、この軸受機構を固定する部分である軸受固定体と、この軸受固定体に嵌め合わされて回転する軸受回転体とを有し、これらの軸受固定体と軸受回転体との間には動作時に液体である液体金属を潤滑剤とした複数の動圧滑り軸受が構成されており、それぞれの動圧滑り軸受はギャップを有して対向する軸受面を有しており、これらの軸受面の少なくとも一方にはヘリンボーン状の軸受溝が設けられており、前記の動圧滑り軸受の内のいずれか２個の軸受の間には軸受圧力が小さな低圧力領域があり、この低圧力領域に位置する前記の軸受固定体の部分に、前記の液体金属潤滑剤を鉛直下方部分に集中して貯蔵している液体金属潤滑剤貯蔵機構が設けてあることを特徴とする電子線照射装置。
【請求項９】  前記の軸受回転体には、自らの回転によって、前記の液体金属潤滑剤貯蔵機構の鉛直下方部分に溜まっている前記の液体金属潤滑剤を前記の動圧滑り軸受の鉛直上方の部分に供給する液体金属潤滑剤供給機構が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項１０】  前記の液体金属潤滑剤供給機構は、前記の液体金属潤滑剤貯蔵機構内の液体金属潤滑剤を鉛直上方に汲み上げるように構成した、前記の軸受回転体に設けられた有底の液体金属潤滑剤汲み上げ穴を含んでいることを特徴とする請求項９に記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項１１】  前記の軸受回転体が回転を停止したときにおける前記の液体金属潤滑剤貯蔵機構内に在る前記の液体金属潤滑剤の液面高さは、この液面高さによって生じる前記の液体金属潤滑剤の重力加速度に起因する静圧力が、前記の液体金属潤滑剤が存在する領域と前記の真空空間との実質的な境界を形成する環状の軸受開口において生じる液体金属潤滑剤の表面張力の圧力効果よりも大きくないように決まられていることを特徴とする請求項１乃至請求項７、又は、請求項９乃至請求項１０のいずれか１項に記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項１２】  前記の液体金属潤滑剤が存在する領域と前記の真空空間との実質的な境界となる環状の軸受開口に経路的に連通している軸受は、前記の中心軸に沿った方向に動圧を生じるスラスト軸受に限定されており、これら全てのスラスト軸受は、これらそれぞれのスラスト軸受の、径が小さい側に在る環状の端部において前記の環状の軸受開口と隣接しており、前記の環状の軸受開口よりも経路的に前記の真空空間に向かう側において、前記の液体金属潤滑剤で濡れていない対向面が、それぞれ前記の軸受固定体の表面と前記の軸受回転体の表面とに設けてあることを特徴とする請求項１乃至請求項７、又は請求項９乃至請求項１１のいずれか１項に記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項１３】  前記の陰極給電機構の少なくとも一部分は、前記の陰極側回転体組立を前記の真空容器内で回転自在に支承するための前記の陰極側の軸受機構と一体的に構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項７、又は、請求項９乃至請求項１２のいずれか１項に記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項１４】  前記の液体金属潤滑剤が存在する領域と前記の真空空間との実質的な境界を形成する環状の軸受開口の直径が１８ｃｍを超えていることを特徴とする請求項１乃至請求項７、又は、請求項９乃至請求項１３のいずれか１項に記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。