【手続補正書】
【提出日】平成19年6月29日(2007.6.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子銃から放出された電子ビームを複数の露光ビームに加工成形し分割する分割手段と、ブランキング電極及びアパーチャを有し、前記分割手段で得られる各露光ビームをオンオフ制御するためのブランキングアパーチャアレイと、前記ブランキング電極を駆動する駆動信号を伝送する伝送線路と、前記露光ビームを試料上に収束させ所望のパターンを露光するための電子光学系と、前記電子光学系を支持する鏡筒と、を備えた電子線露光装置において、
前記鏡筒の外側にて前記伝送線路の一端に接続され、前記ブランキング電極を駆動する駆動信号を出力するドライバと、前記鏡筒の外側にて前記伝送線路の他端に接続され、前記駆動信号を終端するための終端器と、前記ドライバと前記終端器との間の前記伝送線路上に配置され、端部が前記ブランキング電極に接続されるスタブ線路と、を備え、複数の前記ブランキング電極に接続される複数の前記スタブ線路の長さを実質的に等しくしたことを特徴とする電子線露光装置。
【請求項２】
前記ブランキング電極が形成された第一の基板と、前記ブランキング電極へ駆動信号を中継するための第二の基板とを備え、前記伝送線路は、前記第二の基板に導入され、接合部材を通して前記第一の基板に導入されて、前記第一の基板上に配線されるとともに、前記第一の基板から導出され、前記接合部材を通して前記第二の基板に導入されて、前記第二の基板から導出されるように形成され、前記スタブ線路は、前記第一の基板上の前記伝送線路から分岐されて前記ブランキング電極に接続されるように形成されることを特徴とする請求項１に記載の電子線露光装置。
【請求項３】
前記ブランキング電極が形成された第一の基板と、前記ブランキング電極へ駆動信号を中継するための第二の基板とを備え、前記伝送線路は、前記第二の基板に導入され、前記第二の基板上に配線されるとともに、前記第二の基板から導出されるように形成され、前記スタブ線路は、前記第二の基板上の前記伝送線路から分岐され、接合部材を通して前記第一の基板に導入され、前記第一の基板上に配線されて前記ブランキング電極に接続されるように形成されることを特徴とする請求項１に記載の電子線露光装置。
【請求項４】
前記ブランキング電極を駆動する駆動信号の駆動特性を観測する駆動プロファイルモニタを備え、前記終端器に接続される前記伝送線路の終端位置での前記駆動特性を観測することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の電子線露光装置。
【請求項５】
前記ブランキング電極を駆動する駆動信号の駆動特性を制御する駆動プロファイル制御部と、前記終端器に接続される前記伝送線路の終端位置での前記駆動特性を計測する駆動プロファイル計測部と、前記駆動特性を補正するための補正パラメータを算出する演算部とを備え、前記演算部は、前記駆動プロファイル計測部の計測結果に基づいて前記補正パラメータを算出し、前記駆動プロファイル制御部は、前記補正パラメータに基づいて前記駆動特性を制御することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の電子線露光装置。
【請求項６】
複数の電子ビームを試料上に照射させて所望のパターンを露光する電子線露光装置において、
複数のブランキング電極及び複数のアパーチャを有し、複数の前記電子線ビームの照射をそれぞれ制御するブランキングアパーチャアレイと、
一端が前記ブランキング電極を駆動する駆動信号を出力するドライバに接続され、他端が前記駆動信号を終端する終端器に接続され、前記ブランキング電極を駆動する駆動信号を伝送するための伝送線路と、
前記ドライバと前記終端器の間の前記伝送線路から複数の前記ブランキング電極に接続される複数のスタブ線路と、を備え、
複数の前記スタブ線路の前記伝送線路から前記ブランキング電極までの長さは略等しいことを特徴とする電子線露光装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１つに記載の電子線露光装置を用いて試料を露光する工程と、露光された前記試料を現像する工程と、を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
図１は本発明の実施例１に係る電子線露光装置（描画装置）の構成図である。同図において、１は電子銃で描画装置の光源としての電子銃である。この電子銃１から放射された電子ビーム２はその前側焦点位置が前記光源位置であるコンデンサーレンズ３によって略平行の電子ビームとなる。この略平行の電子ビームは要素電子光学系４が複数配列された成形系５に入射する。略平行の電子ビームは成形系５で光軸に垂直な面内で複数に分割して加工成形され、分割された露光ビームである電子ビームはそれぞれの電子ビームを各々個別にオンオフ制御するブランキングモジュール６を通過し、複数の光源の中間像７ａ，７ｂをブランキングアパーチャアレイであるブランキングアパーチャ１０の開口付近に形成する。ここでブランキングモジュール６は、複数の開口と各開口毎に設けられた一対のブランキング電極を有し、これらのブランキング電極を各々個別に作動させてブランキングアパーチャ１０で複数の電子ビームを各々個別に遮蔽することができるようになっている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
そして、この電子線露光装置（描画装置）は、これら二つの偏向器１３，１４を用いて複数の電子ビームを一括偏向させて、複数の中間像７ａ，７ｂの像を試料上である試料１８の上で平面的に移動させるようになっている。磁界偏向器１３と静電偏向器１４は、光源像の移動距離によって使い分けている。１５は偏向器を作動させた際に発生する偏向収差によるフォーカス位置のずれを補正するためのダイナミックフォーカスコイルである。また、１９は試料１８をＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動させるためのXYZステージであり、複数のレーザー干渉計によってその位置や移動速度が正確に制御されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
同図において、４３は描画データを各ビームのオンオフ信号パターンに変換し所望の露光時間と露光タイミングを提供するデータ処理部であり、４４は前記データ処理部４３からのデータに従ってブランキングモジュール６のブランキング電極３３に駆動信号を送出するドライバである。８ａは前記ドライバの信号を第二の基板である中継基板３１の入力コネクタ３５へ前記駆動信号を接続するための駆動信号ケーブルである。また、３４は駆動信号ケーブル８ａを通して伝送されてきた駆動信号を複数のビーム開口３２を有する第一の基板としてのブランカー基板３０に配置された各ブランキング電極３３に接続するための配線パターンであり、３６，３７は第二の基板としての中継基板３１とブランカー基板３０を接続する接続部材であるコンタクトユニットであり、３８は鏡筒内部の真空を維持するための真空シールである。９ａは信号出力ケーブルであり、２７は終端器２３に入力した駆動信号を終端するためのターミネータであり、３９はターミネータ２７の終端位置における各駆動信号の特性を計測するためのプローブである。４０は駆動プロファイル計測部である各駆動信号の計測処理を行う波形処理部であり、４２は波形処理部４０からの信号４１を取り込んで前記計測部の計測結果に基づいて補正パラメータの算出や補正演算等を行う駆動プロファイル演算部であり、２４はターミネータ２７で発生した熱を除去するための熱交換器である。２６は熱交換器２４に冷媒を流すための冷却管であり、２５は冷却装置である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
したがって中継基板３１上の分岐線路の長さとブランカー基板３０上のブランカー配線の長さとを加えたものが皆略等しくなるような等長配線がなされており、そのために配線パターン３４上の分岐点の位置と分岐線路の引回し、さらにブランカー基板３０上のブランカー配線４７の引回しが考慮されている。本実施例ではブランカー基板上の実装スペースを考慮して、所謂バスが中継基板３１のみを通過するように構成され、ブランカー基板３０を経由していないことが特徴である。