【誤訳訂正書】
【提出日】平成30年12月27日(2018.12.27)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００７】
ガリウム含有窒化物を得る方法ではアンモニアに対しモル比１：２００〜１：２の範囲でアルカリ金属（第1族金属、IUPAC、１９８９）の形態でミネラライザーを同時に使用しプロセス環境に少なくとも二つの追加成分を導入することについて開示し又は教示してこなかった。すなわち、a)アンモニアに対するモル比が０．０００１から０．２の範囲の、カルシウムまたは希土類元素あるいはその組み合わせの形態で酸素ゲッターと、ｂ）アンモニアに対するモル比が０．００１より高くない、マグネシウム、亜鉛、カドミウムまたはベリリウムあるいはそれらの組み合わせのアクセプタドーパントを導入することについて開示しまたは教示してこなかった。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１３】
本発明は、第1族金属（IUPAC、１９８９）を含むミネラライザーを追加した超臨界アンモニア含有溶媒の環境においてガリウム含有フィードストックから単結晶ガリウム含有窒化物を得るにあたり、オートクレーブ中に二つの温度帯域を発生させ、ひとつはフィードストックを含む低温度の溶解ゾーンと、その下方の晶出ゾーンであって、晶出ゾーンは少なくともひとつのシードを含み、フィードストックの溶解行程とガリウム含有窒化物の少なくともひとつのシード上への晶出工程を行うにあたり、少なくともふたつの成分をプロセス環境に導入する、すなわち、a)アンモニアに対するモル比が０．０００１から０．２の範囲の酸素ゲッターと、ｂ）アンモニアに対するモル比が０．００１より高くないアクセプタドーパントであることを特徴とする方法である。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１４】
好ましくは、その酸素ゲッターをアンモニアに対するモル比が０．０００５〜０．０５の範囲で導入する。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２１】
好ましくは、内部容量が６００ｃｍ3、より好ましくは９０００ｃｍ3より高いオートクレーブ中で行われる。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１族元素（IUPAC,1989）を含むミネラライザーを追加した超臨界アンモニア含有溶媒の環境においてガリウム含有フィードストックから単結晶ガリウム含有窒化物を得るにあたり、オートクレーブ中に二つの温度帯域を発生させ、ひとつはフィードストックを含む低温度の溶解ゾーンで、もう一つはその下方の高温度の晶出ゾーンであって、晶出ゾーンは少なくともひとつのシードを含み、フィードストック第１族元素（IUPAC,1989）を含むミネラライザーを追加した超臨界アンモニア含有溶媒の環境においてガリウム含有フィードストックから単結晶ガリウム含有窒化物を得るにあたり、オートクレーブ中に二つの温度帯域を発生させ、ひとつはフィードストックを含む低温度の溶解ゾーンとその下方に高温度の晶出ゾーンであって、晶出ゾーンは少なくともひとつのシードを含み、フィードストックの溶解工程とガリウム含有窒化物の少なくともひとつのシード上への晶出工程を行うにあたり、少なくともふたつの成分をプロセス環境に導入する、すなわちa)アンモニアに対するモル比が0.0001〜0.2の範囲の酸素ゲッターとb)アンモニアに対するモル比が0.001より高くないアクセプタドーパントであることを特徴とする方法。
【請求項２】
酸素ゲッターをアンモニアに対するモル比が0.0005〜0.05である請求項１記載の方法。
【請求項３】
酸素ゲッターがカルシウムまたは希土類元素、好ましくはガドリウムまたはイットリウムまたはそれらの混合物から構成されることを特徴とする請求項１又は２記載の方法。
【請求項４】
アクセプタドーパントがマグネシウム、亜鉛、カドミウムまたはベリリウムあるいはそれらの混合物から構成されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
酸素ゲッター及びアクセプタドーパントが元素の形態で、すなわち金属の形態または化合物の形態、好ましくはアジド類、アミド類、イミド類、アミドイミド類及び水素化物からなる群から選ばれ、これらの成分は独立してまたは組み合わせて導入され、組み合わせて導入する場合は、元素のまたは化合物の混合物、中間化合物または金属が使用されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の方法。
【請求項６】
酸素ゲッター及び/またはアクセプタドーパントがミネラライザーとともに行程環境に導入されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の方法。
【請求項７】
ミネラライザーがナトリウムまたはカリウムを含み、アンモニアに対するモル比で0.005〜0.5の範囲にあることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の方法。
【請求項８】
化学量論的GaNが得られることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の方法。
【請求項９】
内部容量が600 ｃｍ3 、好ましくは9000ｃｍ3 より高いオートクレーブ中で行われることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の方法。
【請求項１０】
前記いずれかの請求項に記載の方法によって得られ、少なくとも0.1ppmの量に少なくとも第１族元素（IUPAC,1989）を含む単結晶ガリウム含有窒化物であって、１×1019cm-3、好ましくは３×1018cm-3、より好ましくは１×1018cm-3より高くない濃度の酸素を含むことを特徴とする単結晶ガリウム含有窒化物。
【請求項１１】
N型導電性材料であることを特徴とする請求項１０記載の窒化物。
【請求項１２】
マグネシウム、亜鉛、カドミウムまたはベリリウムから選ばれるアクセプターを総量で１×1018cm-3、好ましくは３×1017cm-3、より好ましくは１×1017cm-3より高くなく、酸素濃度の全アクセプター濃度に対する比が1.2より低くないことを特徴とする請求項１１記載の窒化物。
【請求項１３】
キャリア（自由電子）の濃度が７×1018cm-3、好ましくは２×1018cm-3、より好ましくは７×1017cm-3より高くない請求項１１または１２記載の窒化物。
【請求項１４】
Ｐ型導電性材料である請求項１０記載の窒化物。
【請求項１５】
マグネシウム、亜鉛、カドミウムまたはベリリウムから選ばれるアクセプターを総量で２×1019cm-3、好ましくは６×1018cm-3、より好ましくは２×1018cm-3より高くなく、酸素濃度の全アクセプター濃度に対する比が0.5より高くないことを特徴とする請求項１４記載の窒化物。
【請求項１６】
キャリア（自由電子）の濃度が５×1017cm-3より低い請求項１４または１５記載の窒化物。
【請求項１７】
高抵抗（半絶縁性）材料である請求項１０記載の窒化物。
【請求項１８】
マグネシウム、亜鉛、カドミウムまたはベリリウムから選ばれるアクセプターを総量で１×1019cm-3、好ましくは３×1018cm-3、より好ましくは１×1018cm-3より高くなく、酸素濃度の全アクセプター濃度に対する比が0.5〜1.2であることを特徴とする請求項１７記載の窒化物。
【請求項１９】
抵抗率が1×105Ω、好ましくは1×106Ω、より好ましくは1×109Ωより高い請求項１７または１８記載の窒化物。
【請求項２０】
化学量論的GaNであることを特徴とする請求項１０ないし１９のいずれかに記載の窒化物。