【手続補正書】
【提出日】平成19年8月2日(2007.8.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
上記基板の表面上に配置され当該表面に対して直交して延びる第１及び第２の支持部材と、
ビームアレイを形成するよう上記第１の支持部材と上記第２の支持部材との間に配置されて平行に且つ何れも角度を持たず実質的にまっすぐに延びる複数本のビームであって、これらのビームの幅が所定のパターンに従って変化する複数本のビームと、
上記ビームアレイに対して直交するよう延び上記ビームアレイを構成する各ビームの中間点において当該各ビームと結合する内部結合ビームと、
を備えるサーマルアクチュエータ。
【請求項２】
基板と、
上記基板の表面上に配置され当該表面に対して直交して延びる第１及び第２の支持部材と、
ビームアレイを形成するよう上記第１の支持部材と上記第２の支持部材との間に配置されて平行に且つ何れも角度を持たず実質的にまっすぐに延びる複数本のビームであって、隣接するビーム同士の間隔が所定のパターンに従って変化する複数本のビームと、
上記ビームアレイに対して直交するよう延び上記ビームアレイを構成する各ビームの中間点において当該各ビームと結合する内部結合ビームと、
を備えるサーマルアクチュエータ。
【請求項３】
基板と、
上記基板の表面上に配置され当該表面に対して直交して延びる第１及び第２の支持部材と、
ビームアレイを形成するよう上記第１の支持部材と上記第２の支持部材との間に配置されて平行に且つ何れも角度を持たず実質的にまっすぐに延びる複数本のビームであって、各ビームの抵抗値が所定のパターンに従って変化する複数本のビームと、
上記ビームアレイに対して直交するよう延び上記ビームアレイを構成する各ビームの中間点において当該各ビームと結合する内部結合ビームと、
を備えるサーマルアクチュエータ。
【請求項４】
基板と、
上記基板の表面上に配置され当該表面に対して直交して延びる第１及び第２の支持部材と、
上記第１及び第２の支持部材の間に渡されるように延び、第１の側部、第２の側部、長さ及び中間点を有し、上記第１の側部に沿って実質的にまっすぐに延びるビームと、
を有し、
上記ビームは複数のビームセグメントから構成され、これらのビームセグメントはそれぞれ上記長さと直交する方向における幅を有し、上記ビームは複数のビームセグメント幅を有するよう形成され、
上記複数のビームセグメント幅が上記長さ方向に沿い所定のパターンに従って変化し、
ビームを加熱することによってビームが座屈し、ビームの中間点が、当該ビームの第２の側部に対してほぼ直交し且つ外側に向いた所定方向に移動するサーマルアクチュエータ。
【請求項５】
基板と、
上記基板の表面上に配置され当該表面に対して直交して延びる第１及び第２の支持部材と、
上記第１及び第２の支持部材の間に渡されるように互いに平行に延び、ビームアレイを形成する複数のビームと、
を有し、
上記ビームアレイの各ビームは、第１の側部、第２の側部、長さ及び中間点を有し、当該第１の側部に沿い実質的にまっすぐに延び、
各ビームが、複数のビームセグメントから構成され、これらのビームセグメントはそれぞれ上記長さと直交する方向における幅を有し、上記ビームは複数のビームセグメント幅を有するように形成され、
上記複数のビームセグメント幅が上記長さ方向に沿い所定のパターンに従って変化し、
さらに、上記ビームアレイに対して直交するよう延び各ビームの中間点において当該各ビームと結合する内部結合ビーム、を有し、
ビームを加熱することによってビームアレイが座屈し、上記内部結合ビームが、各ビームの第２の側部に対してほぼ直交し且つ外側に向いた所定方向に移動するサーマルアクチュエータ。
【請求項６】
基板と、
上記基板の表面上に配置され当該表面に対して直交して延びる第１及び第２の支持部材と、
上記第１及び第２の支持部材の間に渡されるように延び、第１の側部、第２の側部、長さ及び中間点を有し、上記第２の側部に沿って実質的にまっすぐに延びるビームと、
を有し、
上記ビームは複数のビームセグメントから構成され、これらのビームセグメントはそれぞれ上記長さと直交する方向における幅を有し、上記ビームは複数のビームセグメント幅を有するよう形成され、
上記複数のビームセグメント幅が上記長さ方向に沿い所定のパターンに従って変化し、
ビームを加熱することによってビームが座屈し、ビームの中間点が、当該ビームの第２の側部に対してほぼ直交し且つ外側に向いた所定方向に移動するサーマルアクチュエータ。
【請求項７】
基板と、
上記基板の表面上に配置され当該表面に対して直交して延びる第１及び第２の支持部材と、
上記第１及び第２の支持部材の間に渡されるように延び、第１の側部、第２の側部、長さ及び中間点を有し、上記第１の側部に沿い実質的にまっすぐに延びるビームと、
を有し、
上記ビームは複数のビームセグメントから構成され、これらのビームセグメントはそれぞれ上記長さと直交する方向における平均幅を有し、上記ビームは複数のビームセグメント平均幅を有するように形成され、
上記複数のビームセグメント平均幅が上記長さ方向に沿い所定のパターンに従って変化し、
ビームを加熱することによってビームが座屈し、上記ビームの中間点が、各ビームの第２の側部に対してほぼ直交し且つ外側に向いた所定方向に移動するサーマルアクチュエータ。
【請求項８】
基板と、
上記基板の表面上に配置され当該表面に対して直交して延びる第１及び第２の支持部材と、
上記第１及び第２の支持部材の間に渡されるように互いに平行に延び、ビームアレイを形成する複数のビームと、
を有し、
上記ビームアレイの各ビームは、第１の側部、第２の側部、長さ及び中間点を有し、当該第１の側部に沿い実質的にまっすぐに延び、
上記ビームアレイの各ビームは、複数のビームセグメントから構成され、これらのビームセグメントはそれぞれ上記長さと直交する方向における平均幅を有し、各ビームは複数のビームセグメント平均幅を有するように形成され、
上記複数のビームセグメント平均幅が上記長さ方向に沿い所定のパターンに従って変化し、
さらに、上記ビームアレイに対して直交するよう延び各ビームの中間点において当該各ビームと結合する内部結合ビーム、を有し、
ビームアレイを加熱することによってビームアレイが座屈し、上記内部結合ビームが、各ビームの第２の側部に対してほぼ直交し且つ外側に向いた所定方向に移動するサーマルアクチュエータ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明に関連するサーマルアクチュエータは、基板と、上記基板の表面上に配置され当該表面に対して直交して延びる第１及び第２の支持部材と、上記第１及び第２の支持部材の間に渡されるように互いに平行に延び、ビームアレイを形成する複数のビームと、を有し、上記ビームアレイの各ビームは、第１の側部、第２の側部、長さ及び中間点を有し、当該第２の側部に沿い実質的にまっすぐに延び、各ビームが、複数のビームセグメントから構成され、これらのビームセグメントはそれぞれ上記長さと直交する方向における幅を有し、上記ビームは複数のビームセグメント幅を有するように形成され、上記複数のビームセグメント幅が上記長さ方向に沿い所定のパターンに従って変化し、さらに、当該サーマルアクチュエータは、上記ビームアレイに対して直交するよう延び各ビームの中間点において当該各ビームと結合する内部結合ビーム、を有し、ビームを加熱することによってビームアレイが座屈し、上記内部結合ビームが、各ビームの第２の側部に対してほぼ直交し且つ外側に向いた所定方向に移動する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明に係る第７のサーマルアクチュエータは、基板と、上記基板の表面上に配置され当該表面に対して直交して延びる第１及び第２の支持部材と、上記第１及び第２の支持部材の間に渡されるように延び、第１の側部、第２の側部、長さ及び中間点を有し、上記第１の側部に沿い実質的にまっすぐに延びるビームと、を有し、上記ビームは複数のビームセグメントから構成され、これらのビームセグメントはそれぞれ上記長さと直交する方向における平均幅を有し、上記ビームは複数のビームセグメント平均幅を有するように形成され、上記複数のビームセグメント平均幅が上記長さ方向に沿い所定のパターンに従って変化し、ビームを加熱することによってビームが座屈し、上記ビームの中間点が、各ビームの第２の側部に対してほぼ直交し且つ外側に向いた所定方向に移動する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明に係る第８のサーマルアクチュエータは、基板と、上記基板の表面上に配置され当該表面に対して直交して延びる第１及び第２の支持部材と、上記第１及び第２の支持部材の間に渡されるように互いに平行に延び、ビームアレイを形成する複数のビームと、を有し、上記ビームアレイの各ビームは、第１の側部、第２の側部、長さ及び中間点を有し、当該第１の側部に沿い実質的にまっすぐに延び、上記ビームアレイの各ビームは、複数のビームセグメントから構成され、これらのビームセグメントはそれぞれ上記長さと直交する方向における平均幅を有し、各ビームは複数のビームセグメント平均幅を有するように形成され、上記複数のビームセグメント平均幅が上記長さ方向に沿い所定のパターンに従って変化し、さらに、当該サーマルアクチュエータは、上記ビームアレイに対して直交するよう延び各ビームの中間点において当該各ビームと結合する内部結合ビーム、を有し、ビームアレイを加熱することによってビームアレイが座屈し、上記内部結合ビームが、各ビームの第２の側部に対してほぼ直交し且つ外側に向いた所定方向に移動する。