【手続補正書】
【提出日】平成19年3月27日(2007.3.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気流を流すことで一定の清浄度に保たれた複数の部屋を連接し、該連接された各部屋に部品を順次移送しながら処理を行なう加工装置の清浄方法であって、
前記各部屋には、外部と連通する開閉可能な扉が設けられており、前記連接された各部屋の少なくとも１つの清浄度が低下した場合には、該清浄度が低下した部屋の扉の開放に伴って、該清浄度が低下した部屋と、該清浄度が低下発生した部屋の両隣の部屋の更に隣の部屋の圧力が増加するように前記気流を調節することを特徴とする加工装置の清浄方法。
【請求項２】
前記清浄度が低下した部屋と、該清浄度が低下した部屋の両隣の部屋の更に隣の部屋の圧力が、通常運転時の３倍以上となるように前記気流を調節することを特徴とする請求項１に記載の加工装置の清浄方法。
【請求項３】
気流を流すことで一定の清浄度に保たれた複数の部屋を連接し、該連接された各部屋に部品を順次移送しながら処理を行なう加工装置の清浄方法であって、
前記各部屋には、外部と連通する開閉可能な扉が設けられており、前記連接された各部屋の少なくとも１つの清浄度が低下した場合には、該清浄度が低下した部屋の扉の開放に伴って、該清浄度が低下した部屋と、該清浄度が低下した部屋の両隣の部屋の更に隣の部屋の圧力が増加するように前記気流を調節すると共に、前記清浄度が低下した部屋の両隣の部屋の圧力を一定に保つように前記気流を調節することを特徴とする加工装置の清浄方法。
【請求項４】
前記清浄度が低下した部屋と、該清浄度が低下した部屋の両隣の部屋の更に隣の部屋の圧力が、通常運転時の３倍以上となるように前記気流を調節することを特徴とする請求項３に記載の加工装置の清浄方法。
【請求項５】
気流を流すことで一定の清浄度に保たれた複数の部屋を連接し、該連接された各部屋に部品を順次移送しながら処理を行なう加工装置の清浄方法であって、
前記各部屋には、外部と連通する開閉可能な扉が設けられており、前記各部屋の気流を調節することにより、前記各部屋の圧力と外気の圧力との間に差圧を発生させ、前記連接された各部屋の少なくとも１つの清浄度が低下した場合には、該清浄度が低下した部屋の扉の開放に伴って、該清浄度が低下した部屋と、該清浄度が低下した部屋の両隣の部屋の前記差圧を調整することにより前記各部屋の清浄度を制御することを特徴とする加工装置の清浄方法。
【請求項６】
気流を流すことで一定の清浄度に保たれた複数の部屋を連接し、該連接された各部屋に部品を順次移送しながら処理を行なう加工装置であって、
前記各部屋には、外部と連通する開閉可能な扉が設けられており、
前記各部屋に気流を発生させるための気流発生手段と、
前記連接された各部屋の少なくとも１つの清浄度が低下した場合には、該清浄度が低下した部屋の扉の開放に伴って、該清浄度が低下した部屋と、該清浄度が低下した部屋の両隣の部屋の更に隣の部屋の圧力を増加させるように前記気流発生手段を制御する制御手段と、
を具備することを特徴とする加工装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記清浄度が低下した部屋の圧力を一定に保つように前記気流発生手段を制御することを特徴とする請求項６に記載の加工装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】加工装置及び加工装置の清浄方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係わる加工装置の清浄方法は、気流を流すことで一定の清浄度に保たれた複数の部屋を連接し、該連接された各部屋に部品を順次移送しながら処理を行なう加工装置の清浄方法であって、前記各部屋には、外部と連通する開閉可能な扉が設けられており、前記連接された各部屋の少なくとも１つの清浄度が低下した場合には、該清浄度が低下した部屋の扉の開放に伴って、該清浄度が低下した部屋と、該清浄度が低下発生した部屋の両隣の部屋の更に隣の部屋の圧力が増加するように前記気流を調節することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、この発明に係わる加工装置の清浄方法において、前記清浄度が低下した部屋と、該清浄度が低下した部屋の両隣の部屋の更に隣の部屋の圧力が、通常運転時の３倍以上となるように前記気流を調節することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明に係わる加工装置の清浄方法は、気流を流すことで一定の清浄度に保たれた複数の部屋を連接し、該連接された各部屋に部品を順次移送しながら処理を行なう加工装置の清浄方法であって、前記各部屋には、外部と連通する開閉可能な扉が設けられており、前記連接された各部屋の少なくとも１つの清浄度が低下した場合には、該清浄度が低下した部屋の扉の開放に伴って、該清浄度が低下した部屋と、該清浄度が低下した部屋の両隣の部屋の更に隣の部屋の圧力が増加するように前記気流を調節すると共に、前記清浄度が低下した部屋の両隣の部屋の圧力を一定に保つように前記気流を調節することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、この発明に係わる加工装置の清浄方法において、前記清浄度が低下した部屋と、該清浄度が低下した部屋の両隣の部屋の更に隣の部屋の圧力が、通常運転時の３倍以上となるように前記気流を調節することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明に係わる加工装置の清浄方法は、気流を流すことで一定の清浄度に保たれた複数の部屋を連接し、該連接された各部屋に部品を順次移送しながら処理を行なう加工装置の清浄方法であって、前記各部屋には、外部と連通する開閉可能な扉が設けられており、前記各部屋の気流を調節することにより、前記各部屋の圧力と外気の圧力との間に差圧を発生させ、前記連接された各部屋の少なくとも１つの清浄度が低下した場合には、該清浄度が低下した部屋の扉の開放に伴って、該清浄度が低下した部屋と、該清浄度が低下した部屋の両隣の部屋の前記差圧を調整することにより前記各部屋の清浄度を制御することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明に係わる加工装置は、気流を流すことで一定の清浄度に保たれた複数の部屋を連接し、該連接された各部屋に部品を順次移送しながら処理を行なう加工装置であって、前記各部屋には、外部と連通する開閉可能な扉が設けられており、前記各部屋に気流を発生させるための気流発生手段と、前記連接された各部屋の少なくとも１つの清浄度が低下した場合には、該清浄度が低下した部屋の扉の開放に伴って、該清浄度が低下した部屋と、該清浄度が低下した部屋の両隣の部屋の更に隣の部屋の圧力を増加させるように前記気流発生手段を制御する制御手段と、を具備することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、この発明に係わる加工装置において、前記制御手段は、前記清浄度が低下した部屋の圧力を一定に保つように前記気流発生手段を制御することを特徴とする。