【手続補正書】
【提出日】平成19年8月7日(2007.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
ここで、ＤＭＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｍｉｃｒｏｍｉｒｒｏｒ  Ｄｅｖｉｃｅ）とは、反射投影型の光変調素子である。実際のものは、１４μｍ角の微小な鏡を、数十万個敷詰めたデバイスである。ここで、個々の微小な鏡は、±１２°の角度に切り替えることができる。この切り替えにより、画像を形成させることができる。また、反射時間の調整は、鏡の切替周波数を調整して行われる。この反射時間を変えることで、階調を表現することができるようになっている。ＤＭＤは反射型のため、光量損失が少ない。このようなＤＭＤを用いれば、完全なるデジタル制御により画像形成ができる。また、ＤＭＤは応答速度が速いため、光源からの光をカラーフィルタを回転させる照明方法（原色面順次照明方式）により、カラー表示することもできる。また、３原色用に３枚のＤＭＤを用い、それぞれを独立に出力変調してカラー表示することもできる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
本発明のよると、小型で部品点数が少なく構成が簡単なカラー表示が可能な、照明光学系を備えた投影光学系を得ることができる。特に、反射型ＬＣＤ、ＤＭＤ等の反射型映像表示素子を用いる場合に好適な照明光学系を備えた投影光学系を得ることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
また、実施例１の照明光学系（図１（ｂ））は、光源ＬＳ側から順に、絞りＳ’より光源ＬＳ側の前群ＩＦＧと絞りＳ’よりＤＭＤ１０側の後群ＲＧとからなる。絞りＳ’よりＤＭＤ１０側の後群ＲＧは、図１（ａ）の投影レンズ系の後群ＲＧと共通である。
前群ＩＦＧは、物体（光源）側から順に、物体側に凸の正メニスカスレンズ、両凸正レンズ、物体側に凹の負メニスカスレンズの３枚からなり、何れのレンズの両面も非球面からなる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
投影レンズ系を逆光線追跡した時、ＤＭＤ１０が像面に配置される。この状態におけるＤＭＤ１０の表示面、投影レンズ系の光軸（投影レンズ系の回転対称軸）及びイメージサークルとの関係を図２に示す。ＤＭＤ１０の表示面は縦１０．６６８ｍｍ×横１４．２２４ｍｍである。ＤＭＤ１０は、表示面の短辺方向の１０％が光軸より下側に、９０％が光軸より上側に位置している。なお、ＤＭＤ１０は、長軸方向の長さが左右は均等になるように、配置されている。また、ＤＭＤ１０の表示面の上辺両隅に接するように、イメージサークルが設定されている。最大像高は図示のように、２３．９ｍｍとなる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
また、合成プリズムＰには、複数の光を合成するためのダイクロイック膜が設けられている。図２に示すように、合成プリズムＰは、ダイクロイック膜１１の法線をイメージサークルの面に投影した方向が、図１（ａ）の投影レンズ系の最大像高を含む断面に対して、３６．５３°の角度をなすように配置される。したがって、図１（ａ）のダイクロイック膜１１は、図１（ａ）の断面に対して光軸を中心に３６．５３°傾けられた断面に垂直に設けられる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
また、実施例２の照明光学系（図４（ｂ））は、光源ＬＳ側から順に、絞りＳ’より光源ＬＳ側の前群ＩＦＧと絞りＳ’よりＤＭＤ１０側の後群ＲＧとからなる。絞りＳ’よりＤＭＤ１０側の後群ＲＧは、図４（ａ）の投影レンズ系の後群ＲＧと共通である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
ｘ＝（ｙ2 ／ｒ）／［１＋｛１−（Ｋ＋１）（ｙ／ｒ）2 ｝1/2 ］
＋Ａ4 ｙ4 ＋Ａ6 ｙ6 ＋Ａ8 ｙ8 
ただし、ｒは近軸曲率半径、Ｋは円錐係数、Ａ4 、Ａ6 、Ａ8 はそれぞれ４次、６次、８次の非球面係数である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
実施例２（照明光学系）
曲率変形                    面間隔      偏心      屈折率      アッベ数
ｒ0 =     ∞（光源）        ｄ0 =   8.00          
ｒ1 =     ∞（仮想面）      ｄ1 =   0.00  偏心(1) 
ｒ2 =    -8.29（非球面）    ｄ2 =  11.28          ｎd1 =1.6204  νd1 =60.3
ｒ3 =   -13.04（非球面）    ｄ3 =   0.16          
ｒ4 =    38.77（非球面）    ｄ4 =   6.85          ｎd2 =1.4875  νd2 =70.2
ｒ5 =   -32.11（非球面）    ｄ5 =   9.34          
ｒ6 =   -29.22（非球面）    ｄ6 =  13.49          ｎd3 =1.4875  νd3 =70.2
ｒ7 =   -28.47（非球面）    ｄ7 =  12.88          
ｒ8 =     ∞（絞り面）      ｄ8 =  21.00          
ｒ9 =  -244.56              ｄ9 =   3.00  偏心(2) ｎd4 =1.7552  νd4 =27.5
ｒ10=    58.79              ｄ10=  24.55          ｎd5 =1.6204  νd5 =60.3
ｒ11=  -127.94              ｄ11=   0.10          
ｒ12=   134.83              ｄ12=  17.21          ｎd6 =1.6204  νd6 =60.3
ｒ13=  -174.91              ｄ13=   0.10          
ｒ14=    81.87              ｄ14=  16.72          ｎd7 =1.7552  νd7 =27.5
ｒ15=     ∞                ｄ15=   0.10          
ｒ16=     ∞                ｄ16=  70.00          ｎd8 =1.5163  νd8 =64.1
ｒ17=     ∞                ｄ17=   0.10          
ｒ18=     ∞                ｄ18=   3.00          ｎd9 =1.5163  νd9 =64.1
ｒ19=     ∞                ｄ19=   1.62          
ｒ20=     ∞（ＤＭＤ表示面）
非球面係数
第２面
Ｋ  =  0.0000 
Ａ4 =  2.6301 ×10-4
Ａ6 = -3.6360 ×10-6
Ａ8 =  2.9277 ×10-8
第３面
Ｋ  =  0.0000 
Ａ4 = -5.7577 ×10-5
Ａ6 =  2.2779 ×10-7
Ａ8 = -3.9002 ×10-10 
第４面
Ｋ  =  0.0000 
Ａ4 = -5.0680 ×10-5
Ａ6 =  3.2433 ×10-7
Ａ8 = -8.3380 ×10-10 
第５面
Ｋ  =  0.0000 
Ａ4 =  1.0299 ×10-4
Ａ6 = -2.6025 ×10-7
Ａ8 = -1.5747 ×10-11 
第６面
Ｋ  =  0.0000 
Ａ4 =  1.3372 ×10-4
Ａ6 = -3.0787 ×10-7
Ａ8 =  3.4529 ×10-10 
第７面
Ｋ  =  0.0000 
Ａ4 =  4.0323 ×10-5
Ａ6 = -2.0263 ×10-8
Ａ8 =  7.7914 ×10-11 
偏心(1) 
Ｘ    0.00  Ｙ    0.58  Ｚ    0.00
α    0.00  β    0.00  γ    0.00
偏心(2) 
Ｘ    0.00  Ｙ  -20.34  Ｚ    0.00
α    0.00  β    0.00  γ    0.00                                          。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
【図１】本発明の投影光学系の実施例１の投影レンズ系の光路図（ａ）と照明光学系の展開した光路図（ｂ）である。
【図２】実施例１、２の投影レンズ系の逆光線追跡での像面に配置されるＤＭＤの表示面と投影レンズ系の光軸とイメージサークルとの関係を示す図である。
【図３】実施例１、２の投影レンズ系の絞りの面での照明光、ＤＭＤがＯＮ状態にあるときの反射光のＯＮ光、ＤＭＤがニュートラルな位置の反射光の０°光の光束の位置関係を示す図である。
【図４】本発明の投影光学系の実施例２の投影レンズ系の光路図（ａ）と照明光学系の展開した光路図（ｂ）である。
【図５】実施例１の投影レンズ系の横収差を示す図である。
【図６】実施例２の投影レンズ系の横収差を示す図である。