【手続補正書】
【提出日】平成19年10月31日(2007.10.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光部となる各フォトセンサ上方にカラーフィルターを備える固体撮像素子であって、
各色信号に合わせて、フォトセンサ上方の屈折率差のある媒質の境界面形状が各画素ごとに異なる
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
受光部となる各フォトセンサ上方にカラーフィルターを備える固体撮像素子であって、
フォトセンサ上方に形成される前記媒質の屈折率が上側媒質＜下側媒質の場合、
各画素の色に相当する波長範囲における屈折率差が大きい画素の媒質境界形状は凸形状に形成し、
前記屈折率差が小さい画素の媒質境界形状は凹形状に形成する
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項３】
受光部となる各フォトセンサ上方にカラーフィルターを備える固体撮像素子であって、
フォトセンサ上方に形成される前記媒質の屈折率が上側媒質＜下側媒質の場合、
媒質境界形状は凸形状であり、各画素の色に相当する波長範囲における屈折率差が大きい画素程凸形状の曲率が大きくなる
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項４】
受光部となる各フォトセンサ上方にカラーフィルターを備える固体撮像素子であって、
フォトセンサ上方に形成される媒質の屈折率が上側媒質＞下側媒質の場合、
各画素の色に相当する波長範囲における屈折率差が大きい画素の媒質境界形状は凸形状に形成し、
前記屈折率差が小さい画素の媒質境界形状は凹形状に形成する
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項５】
受光部となる各フォトセンサ上方にカラーフィルターを備える固体撮像素子であって、
フォトセンサ上方に形成される媒質の屈折率が上側媒質＞下側媒質の場合、
媒質境界形状は凹形状であり、各画素の色に相当する波長範囲における屈折率差が大きい画素ほど凹形状の曲率が小さくなる
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項６】
各受光部のフォトセンサ上方の下側媒質層である複数の色フィルター成分からなる色フィルターを備える固体撮像装置の製造方法であって、
前記色フィルターのうち上面が平坦な第１の色フィルター成分を形成する工程と、
前記第１の色フィルター成分を含む全面に該第１の色フィルター成分以外の部分の上面が凹形状となるように、第２の色フィルター材料膜を形成する工程と、
前記第２の色フィルター材料膜をフォトリソグラフィ法によりパターニングして上面が凹形状の第２の色フィルター成分を形成する工程と、
第３の色フィルター材料膜を形成し、フォトリソグラフィ法によりパターニングして第３の色フィルターを形成する工程と、
前記第３の色フィルター成分の上面を熱リフロー処理して凸形状に形成する工程と、
前記各色フィルター上に上側媒質層であるマイクロレンズを形成する工程を有する
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【請求項７】
各受光部のフォトセンサ上方に複数のフィルター成分からなる色フィルターを備える固体撮像装置の製造方法であって、
前記下側媒質層上の第１の画素となる部分に凸状部を形成する工程と、
前記下側媒質層の第２の画素となる部分に開口を有するレジスト層を形成する工程と、
前記開口を介して等方性エッチングし、下側媒質層に凹状部を形成する工程と、
前記レジスト層を除去した後、前記下側媒質層より屈折率が大きい上側媒質層を積層する工程と、
前記上側媒質層上に各色フィルター成分及びマイクロレンズを形成する工程を有する
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の固体撮像装置は、受光部となる各フォトセンサ上方にカラーフィルターを備える固体撮像素子であって、フォトセンサ上方に形成される媒質の屈折率が上側媒質＞下側媒質の場合、各画素の色に相当する波長範囲における屈折率差が大きい画素の媒質境界形状は凸形状に形成し、前記屈折率差が小さい画素の媒質境界形状は凹形状に形成することを特徴とする。この構成では、媒質境界形状として、屈折率差の大小の画素に応じて凸形状と凹形状の組み合わせ、あるいは、凸形状と凹形状と平坦形状の組み合わせを含むものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の固体撮像装置は、受光部となる各フォトセンサ上方にカラーフィルターを備える固体撮像素子であって、フォトセンサ上方に形成される媒質の屈折率が上側媒質＞下側媒質の場合、媒質境界形状は凹形状であり、各画素の色に相当する波長範囲における屈折率差が大きい画素ほど凹形状の曲率が小さくなることを特徴とする。この構成では、媒質境界形状として、屈折率差の大小に応じて全て凹形状とした組み合わせ、あるいは、凹形状と平坦形状の組み合わせを含むものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の固体撮像装置では、フォトセンサ上方に形成される媒質の屈折率が上側媒質＞下側媒質の場合、各画素の色に相当する波長範囲における屈折率差が大きい画素の媒質境界形状を凸形状に形成することにより、凸レンズ効果で入射光の集光位置が浅くなる方にシフトされる。屈折率差が小さい画素の媒質境界形状を凹形状に形成することにより、凹レンズ効果で入射光の集光位置が深くなる方にシフトされる。したがって、各色の入射光のフォトセンサへの集光位置を揃えることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の固体撮像装置では、フォトセンサ上方に形成される媒質の屈折率が上側媒質＞下側媒質の場合、各画素の色に相当する波長範囲における屈折率差が大きい画素ほど凹形状の曲率を小さくすることにより、曲率の違う凸レンズ効果によって、各色の入射光のフォトセンサへの集光位置を揃えることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明の固体撮像装置によれば、受光部となる各フォトセンサ上方にカラーフィルターを備える固体撮像素子であって、フォトセンサ上方に形成される媒質の屈折率が上側媒質＞下側媒質の場合、各画素の色に相当する波長範囲における屈折率差が大きい画素の媒質境界形状は凸形状に形成し、前記屈折率差が小さい画素の媒質境界形状は凹形状に形成するので、屈折率差のある媒質の境界面の凹凸形状を各画素ごとに変えることによって、オンチップマイクロレンズからの入射光の色収差を除去することができ、フォトセンサへの集光位置のずれを無くすことができる。結果として、周辺画素での集光のずれも無くなり、色信号ごとのシェーディングに差が無くなることによりホワイトバランスのズレが発生しなくなるため、チップ周辺での色の変化を無くすことができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明の固体撮像装置によれば、受光部となる各フォトセンサ上方にカラーフィルターを備える固体撮像素子であって、フォトセンサ上方に形成される媒質の屈折率が上側媒質＞下側媒質の場合、媒質境界形状は凹形状であり、各画素の色に相当する波長範囲における屈折率差が大きい画素ほど凹形状の曲率が小さくなるので、屈折率差のある媒質の境界面の凸形状を各画素ごとに変えることによって、オンチップマイクロレンズからの入射光の色収差を除去することができ、フォトセンサへの集光位置のずれを無くすことができる。結果として、周辺画素での集光のずれも無くなり、色信号ごとのシェーディングに差が無くなることによりホワイトバランスのズレが発生しなくなるため、チップ周辺での色の変化を無くすことができる。