(57)【要約】  被測定信号のジッタを測定するジッタ測定器であって、被測定信号の所定のエッジ毎に、略一定のパルス幅のパルスを出力して、被測定信号のジッタを復調した復調信号として出力するパルス発生器と、パルス発生器が出力した復調信号の直流成分を検出する直流成分検出部と、直流成分検出部が検出した復調信号の直流成分に基づいて、パルス発生器が出力するパルスのパルス幅を調整する調整部とを備えるジッタ測定器を提供する。
2007105564.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定信号のジッタを測定するジッタ測定器であって、
前記被測定信号の所定のエッジ毎に、略一定のパルス幅のパルスを出力して、前記被測定信号のジッタを復調した復調信号として出力するパルス発生器と、
前記パルス発生器が出力した前記復調信号の直流成分を検出する直流成分検出部と、
前記直流成分検出部が検出した前記復調信号の直流成分に基づいて、前記パルス発生器が出力するパルスの前記パルス幅を調整する調整部と
を備えるジッタ測定器。
【請求項２】
前記調整部は、前記復調信号の直流成分が、予め設定される参照値と略一致するように、前記パルス幅を調整する
請求項１に記載のジッタ測定器。
【請求項３】
前記パルス発生器が出力する前記復調信号を受け取り、前記被測定信号のキャリア周波数の成分を除去して、前記復調信号の周期ジッタの成分を出力する第１フィルタを更に備え、
前記直流成分検出部は、前記パルス発生器が出力する前記復調信号を分岐して受け取り、前記復調信号の直流成分を通過させる第２フィルタを有し、
前記調整部は、前記第２フィルタが通過させた前記復調信号の直流成分のレベルと、前記参照値のレベルとの差分に基づいて、前記パルス幅を調整する
を有する請求項２に記載のジッタ測定器。
【請求項４】
前記第１フィルタ及び前記第２フィルタはローパスフィルタであり、前記第１フィルタのカットオフ周波数は、前記第２フィルタのカットオフ周波数より高い
請求項３に記載のジッタ測定器。
【請求項５】
前記パルス発生器が出力する前記復調信号を受け取り、前記被測定信号のキャリア周波数の成分を除去することにより、前記復調信号の周期ジッタの成分を出力する第１フィルタを更に備え、
前記直流成分検出部は、前記第１フィルタが出力する前記復調信号を分岐して受け取り、前記復調信号の直流成分を通過させる第２フィルタを有し、
前記調整部は、前記第２フィルタが通過させた前記復調信号の直流成分のレベルと、前記参照値のレベルとの差分に基づいて、前記パルス幅を調整する
を有する請求項２に記載のジッタ測定器。
【請求項６】
前記パルス発生器及び前記直流成分検出部は、半導体チップ上に設けられ、
前記調整部は、前記半導体チップの外部に設けられる
請求項３に記載のジッタ測定器。
【請求項７】
前記パルス発生器及び前記直流成分検出部は、半導体チップ上に設けられ、
前記ジッタ測定器は、
前記半導体チップの内部において、正側の電源配線及び負側の電源配線の間に直列に設けられ、正側の電源電圧及び負側の電源電圧を予め設定される抵抗比で分圧して前記参照値を生成する二つの直列抵抗を更に備える
請求項２に記載のジッタ測定器。
【請求項８】
前記調整部は、
前記直流成分検出部が出力する前記復調信号の直流成分と、前記参照値との差分に応じた電圧を、前記パルス発生器に出力する差動増幅器と、
前記差動増幅器及び前記パルス発生器を接続する伝送経路と、接地電位との間に設けられたキャパシタと
を有する請求項２に記載のジッタ測定器。
【請求項９】
前記直流成分検出部が出力する前記復調信号の直流成分のレベルと、前記パルス発生器が出力する前記復調信号がＬ論理を示す場合のレベルとの差分を、前記復調信号の直流成分のレベルとして前記調整部に供給する差分回路を更に備える
請求項２に記載のジッタ測定器。
【請求項１０】
請求項１に記載の前記ジッタ測定器が設けられた電子デバイス。
【請求項１１】
被測定信号のジッタを測定するジッタ測定器が設けられる電子デバイスであって、
前記ジッタ測定器は、
前記被測定信号の所定のエッジ毎に、略一定のパルス幅のパルスを出力して、前記被測定信号のジッタを復調した復調信号として出力するパルス発生器と、
前記パルス発生器が出力した前記復調信号の直流成分を検出する直流成分検出部と
を有し、
前記電子デバイスは、
前記直流成分検出部が検出した前記復調信号の直流成分を、前記電子デバイスの外部に設けられた調整部に出力する出力端子と、
前記復調信号の直流成分のレベルと、予め設定される参照値との差分に応じて前記調整部が出力する制御信号を、前記電子デバイスの内部に入力し、前記パルス発生器が出力するパルスの前記パルス幅を調整させる入力端子と
を備える電子デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ジッタ測定装置、電子デバイス、及び試験装置に関する。特に本発明は、測定ゲインを調整するジッタ測定装置に関する。本出願は、下記の米国特許出願に関連する。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。
出願番号ＵＳ１１／３７１，８４９    出願日  ２００６年３月１０日
出願番号ＵＳ１１／６１６，０３８    出願日  ２００６年１２月２６日
【背景技術】
【０００２】
ジッタ測定器として、被測定信号の時間方向におけるジッタを、電圧信号に変換して出力する装置が考えられる。このとき、被測定信号のジッタ量（タイミング変動）は、ジッタ測定器に固有の変換係数（ジッタゲイン）で、電圧量に変換される。このため、ジッタ測定器におけるジッタゲインは既知であることが好ましい。ジッタゲインが既知であれば、ジッタ測定器が出力する電圧値を、ジッタゲインで除算することにより、時間軸におけるジッタ量を求めることができる。【０００３】
ジッタ測定器におけるジッタゲインを求める方法として、被測定信号を測定する前に、既知のジッタ量を印加した基準信号をジッタ測定器に入力して、ジッタ測定器が出力する電圧値を測定する方法が考えられる。測定した電圧値と、既知のジッタ量との比から、ジッタ測定器のジッタゲインを予め推定することができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、被測定信号の測定中に、ＰＶＴ（Ｐｒｏｃｅｓｓ、Ｖｏｌｔａｇｅ、Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ）変動がジッタ測定器に影響すると、ジッタ測定回路の素子の動作特性が動的に変化してしまう。このため、被測定信号の測定前に予め推定したジッタ測定器のゲインと、被測定信号の測定中におけるジッタ測定器のジッタゲインとの間に誤差が生じてしまう場合がある。【０００５】
また、ジッタ測定器に入力する基準信号の周波数が高い場合、ジッタ測定器の外部から、ジッタ測定器の内部における測定回路までの伝送経路のＬＣ成分等により、基準信号が劣化してしまう。このため、ジッタ測定器に入力される基準信号のジッタ量が既知の値から変化してしまい、ジッタ測定器のジッタゲインを精度よく推定することが困難である。【０００６】
このように、ジッタ測定器のジッタゲインを精度よく推定することが困難なため、被測定信号のジッタ量を精度よく測定することができないという問題が生じてしまう。【０００７】
そこで本発明の一つの側面においては、上記の課題を解決することができるジッタ測定装置、電子デバイス、及び試験装置を提供することを目的とする。この目的は、請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、被測定信号のジッタを測定するジッタ測定器であって、被測定信号の所定のエッジ毎に、略一定のパルス幅のパルスを出力して、被測定信号のジッタを復調した復調信号として出力するパルス発生器と、パルス発生器が出力した復調信号の直流成分を検出する直流成分検出部と、直流成分検出部が検出した復調信号の直流成分に基づいて、パルス発生器が出力するパルスのパルス幅を調整する調整部とを備えるジッタ測定器を提供する。【０００９】
本発明の第２の形態においては、上記第１の形態におけるジッタ測定器が設けられた電子デバイスを提供する。【００１０】
本発明の第３の形態においては、被測定信号のジッタを測定するジッタ測定器が設けられる電子デバイスであって、ジッタ測定器は、被測定信号の所定のエッジ毎に、略一定のパルス幅のパルスを出力して、被測定信号のジッタを復調した復調信号として出力するパルス発生器と、パルス発生器が出力した復調信号の直流成分を検出する直流成分検出部とを有し、電子デバイスは、直流成分検出部が検出した復調信号の直流成分を、電子デバイスの外部に設けられた調整部に出力する出力端子と、復調信号の直流成分のレベルと、予め設定される参照値との差分に応じて調整部が出力する制御信号を、電子デバイスの内部に入力し、パルス発生器が出力するパルスのパルス幅を調整させる入力端子とを備える電子デバイスを提供する。【００１１】
尚、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又、発明となりうる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、温度変動等が生じた場合であっても、被測定信号のジッタを精度よく測定することができる。このため、被試験デバイス６００を精度よく試験することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、試験装置１００及び電子デバイス２００の構成の一例を示す図である。
【図２】図２は、図１において説明した試験装置１００の動作の一例を示す図である。
【図３】図３は、復調器２３０に入力される出力信号、及び復調器２３０が出力する復調信号の波形の一例を示す図である。
【図４】図４は、ｋ周期目の復調信号の波形の一例を示す図である。
【図５】図５は、キャリブレーション段階Ｓ４４０の処理の一例を示すフローチャートである。
【図６】図６は、サイン波の周期ジッタを印加したクロックを、出力信号として復調器２３０に入力した場合における、復調器２３０が出力する復調信号を用いて、ＶＤＣとＶＬとの差分を変化させて復調器２３０のゲイン−Ｇをシミュレーション（Ｍａｔｌａｂ）で求めた結果を示す。
【図７】図７は、復調器２３０の構成の一例を示す図である。
【図８】図８は、復調器２３０の構成の他の例を示す図である。
【図９】図９は、電子デバイス２００の構成の他の例を示す図である。
【図１０】図１０は、電子デバイス２００の構成の他の例を示す図である。
【図１１】図１１は、電子デバイス２００の構成の他の例を示す図である。
【図１２】図１２は、試験装置１００の構成の他の例を示す図である。
【図１３】図１３は、本発明の一つの実施形態に係るジッタ測定装置４００の構成の一例を示す図である。
【図１４】図１４は、ジッタ測定装置４００の他の構成例を示す図である。
【図１５】図１５Ａ及び図１５Ｂは、調整部４４０の構成例を示す図である。
【図１６】図１６は、ジッタ測定装置４００の他の構成例を示す図である。
【図１７】図１７は、ジッタ測定装置４００の他の構成例を示す図である。
【図１８】図１８は、ジッタ測定装置４００の他の構成例を示す図である。
【図１９】図１９Ａは、積分器２６０の構成の一例を示す図である。図１９Ｂは、積分器２６０の動作の一例を示すタイミングチャートである。
【図２０】図２０は、本発明の他の実施形態に係る試験装置５００の構成の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００１４】
１００・・・試験装置、１１０・・・測定部、１２０・・・判定部、１３０・・・積分器、１４０・・・切替部、２００・・・電子デバイス、２１０・・・動作回路、２２０・・・パッケージ部、２３０・・・復調器、２３２・・・遅延部、２３４・・・位相検出部、２３６・・・ミキサ、２４０・・・出力部、２５０・・・切替部、２６０・・・積分器、２６２・・・ソース側トランジスタ、２６４・・・シンク側トランジスタ、２６６・・・ソース側電流源、２６８・・・シンク側電流源、２７０・・・コンデンサ、３００・・・キャリブレーション装置、３１０・・・直流成分検出部、３２０・・・ゲイン算出部、３３０・・・キャリブレーション部、３４０・・・制御部、４００・・・ジッタ測定装置、４１０・・・パルス発生器、４１２・・・可変遅延回路、４１４・・・論理回路、４２０・・・第１フィルタ、４３０・・・直流成分検出部、４３２・・・第２フィルタ、４４０・・・調整部、４４２・・・差動増幅器、４４４・・・コンデンサ、４４６・・・伝送経路、４４８、４５０、４５２、４５４・・・抵抗、４５６・・・差分回路、４５８、４６０・・・直列抵抗、４６２・・・半導体チップ、４７０・・・出力端子、４７２・・・入力端子、５００・・・試験装置、６００・・・被試験デバイス
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明の一つの側面を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。【００１６】
図１は、試験装置１００及び電子デバイス２００の構成の一例を示す図である。電子デバイス２００は、半導体回路等のデバイスであって、位相復調又は周波数復調された被測定信号を生成する。被測定信号は、例えば電子デバイス２００が外部に出力する信号であってよく、また電子デバイス２００の内部において伝送する信号であってもよい。試験装置１００は、被測定信号に基づいて、電子デバイス２００の良否を判定する。【００１７】
電子デバイス２００は、動作回路２１０、復調器２３０、及びパッケージ部２２０を備える。動作回路２１０は、評価又は試験の対象となる回路であり、回路動作に基づく出力信号を出力する。例えば、動作回路２１０は、クロック信号を生成するＰＬＬ回路であってよく、その他の信号を発生するロジック回路又はアナログ回路であってもよい。【００１８】
復調器２３０は、動作回路２１０から出力信号を受け取り、出力信号の位相変調成分又は周波数変調成分を復調した復調信号を被測定信号として出力する。例えば復調器２３０は、高周波数のキャリア信号を低周波数の変調成分で変調した出力信号から、低周波数の変調成分を抽出する。【００１９】
パッケージ部２２０は、動作回路２１０及び復調器２３０が内部に設けられる。例えばパッケージ部２２０は、セラミック又は樹脂等により形成され、動作回路２１０及び復調器２３０を外部から絶縁する。また、パッケージ部２２０は、電子デバイス２００の内部と外部とを電気的に接続する端子を有する。例えば、パッケージ部２２０は、動作回路２１０が生成する出力信号を出力する端子を有してよく、復調器２３０が生成する信号を出力する端子を有していてもよい。また、パッケージ部２２０は、動作回路２１０及び復調器２３０に対して共通の出力端子を有していてもよい。【００２０】
このような構成により、電子デバイス２００は、低周波数の被測定信号で変調成分を出力することができる。このため、パッケージ部２２０の外部で被測定信号を計測した場合であっても、信号の劣化が小さく、精度よく位相変調成分又は周波数変調成分を測定することができる。【００２１】
試験装置１００は、測定部１１０、判定部１２０、及びキャリブレーション装置３００を備える。測定部１１０は、電子デバイス２００が出力する復調信号に基づいて、変調成分を測定する。例えば測定部１１０は、当該復調信号をサンプリングすることにより、変調成分を測定してよい。また測定部１１０は、当該サンプリング結果に基づいて、動作回路２１０が出力する出力信号におけるジッタ量を算出してよい。この場合、出力信号に含まれる変調成分が、ジッタ成分に対応する。【００２２】
判定部１２０は、測定部１１０における測定結果に基づいて、電子デバイス２００の良否を判定する。例えば判定部１２０は、測定部１１０が測定したジッタ量に基づいて、電子デバイス２００の良否を判定してよい。【００２３】
キャリブレーション装置３００は、復調器２３０に対してキャリブレーションを行う。復調器２３０は、入出力間に回路特性に応じたゲインを有するので、試験装置１００に入力される復調信号は、動作回路２１０が出力する出力信号に含まれる変調成分に、復調器２３０のゲインを乗じたものとなる。このため、キャリブレーション装置３００は、復調器２３０のゲインを所定のゲインに調整し、測定部１１０に変調成分を精度よく測定させる。【００２４】
キャリブレーション装置３００は、直流成分検出部３１０、ゲイン算出部３２０、キャリブレーション部３３０、及び制御部３４０を有する。直流成分検出部３１０は、電子デバイス２００が出力する復調信号の直流成分を検出する。例えば、直流成分検出部３１０は、復調信号の平均電圧を、復調信号の直流成分として検出してよい。また、直流成分検出部３１０は、測定部１１０に入力される復調信号を分岐して受け取ってよい。【００２５】
ゲイン算出部３２０は、直流成分検出部３１０が検出した直流成分に基づいて、復調器２３０におけるゲインを算出する。キャリブレーション部３３０は、ゲイン算出部３２０が算出したゲインに基づいて、復調器２３０に対してキャリブレーションを行う。当該キャリブレーションは、復調器２３０に対して直接行ってよく、また試験装置１００が測定する測定値を当該ゲインに基づいて補正することにより、復調器２３０に対して間接的にキャリブレーションを行ってもよい。【００２６】
本例におけるキャリブレーション部３３０は、当該ゲインに基づいて、復調信号の測定値に乗算すべき補正値を算出し、判定部１２０に通知する。例えばキャリブレーション部３３０は、当該ゲインの逆数を当該補正値として算出する。判定部１２０は、当該補正値に基づいて、測定部１１０が測定した測定値を補正することにより、復調器２３０におけるゲインの影響を低減する。【００２７】
このような処理により、動作回路２１０が出力する変調成分を精度よく測定することができる。また、電子デバイス２００を精度よく試験することができる。【００２８】
制御部３４０は、電子デバイス２００を制御し、復調信号を出力させる。例えば、電子デバイス２００は、実動作時に出力信号を外部に出力し、電子デバイス２００の試験時に復調信号を外部に出力する回路であってよい。この場合、制御部３４０は、電子デバイス２００の試験時に、電子デバイス２００に復調信号を出力させる。【００２９】
図２は、図１において説明した試験装置１００の動作の一例を示す図である。まず出力制御段階Ｓ４００において、制御部３４０は、電子デバイス２００に、復調信号を出力させる。次に、測定段階Ｓ４２０において、測定部１１０は、復調信号を測定する。【００３０】
次に、キャリブレーション段階Ｓ４４０において、キャリブレーション装置３００は、復調器２３０におけるゲインを算出する。またキャリブレーション装置３００は、当該ゲインに基づいて、キャリブレーションを行う。本例においては、キャリブレーション装置３００は、復調信号の直流成分に基づいてゲインを算出する。またキャリブレーション装置３００は、判定部１２０に当該ゲインに基づく補正値を通知する。【００３１】
次に、判定段階Ｓ４６０において、判定部１２０は、測定部１１０が測定した復調信号のジッタ量に基づいて、電子デバイス２００の良否を判定する。例えば判定部１２０は、測定部１１０が測定したジッタ量を、予め定められた判定値と比較することにより、電子デバイス２００の良否を判定してよい。【００３２】
図３は、復調器２３０に入力される出力信号、及び復調器２３０が出力する復調信号の波形の一例を示す図である。図３に示すように、出力信号は、周波数変調又は位相変調により、各サイクルにおけるパルスのタイミングは、キャリア周期（０、Ｔ、２Ｔ、・・・）に対してずれを有する。また、各パルス間の時間間隔は互いに異なる。
復調器２３０は、出力信号のエッジに応じて、所定のパルス幅Ｗのパルスを出力することにより、復調信号を出力する。本例において復調器２３０は、出力信号の立ち上がりエッジ毎に、当該パルスを出力する。復調器２３０は、当該パルスを生成するパルス発生器を有してよい。パルス発生器は、例えば遅延回路と論理回路とを組み合わせることにより容易に構成することができる。このような動作により、復調器２３０は、出力信号のエッジ位置の情報（変調成分）を抽出した復調信号を生成する。【００３３】
図４は、ｋ周期目の復調信号の波形の一例を示す図である。ＶＨは復調信号が論理値１を示す場合の電圧値を示し、ＶＬは復調信号が論理値０を示す場合の電圧値を示す。またＴは復調信号の平均周期を示し、Ｊｋはｋ周期目の周期ジッタ量を示す。【００３４】
復調信号のｋ周期目の平均電圧は、下式で与えられる。
2007105564.tif 000003
・・・式（１）【００３５】
ここで、Ｊｋ／ＴをＪｋ'とすると、式（１）は下式となる。
2007105564.tif 000004
・・・式（２）【００３６】
Ｊｋ'の絶対値が０．１以下の場合、
2007105564.tif 000005
・・・式（３）
と１％以内の誤差で近似できる。式（３）を式（２）に代入し、下式が得られる。
2007105564.tif 000006
・・・式（４）【００３７】
式（４）からわかるように、平均電圧は周期ジッタＪｋ'に比例するので、復調信号を測定することにより、周期ジッタを測定することができる。測定部１１０は、復調信号の平均電圧を測定することにより、周期ジッタを測定してよい。【００３８】
また、タイミングジッタは、周期ジッタを累積加算した値と等しいので、周期ジッタを積分することによりタイミングジッタを求めることができる。測定部１１０は、復調信号を積分した信号に基づいて、復調信号のタイミングジッタを測定してよい。この場合、測定部１１０は、積分回路のゲインを予め通知されることが好ましい。積分回路のゲインにより、タイミングジッタを除算することにより、積分回路のばらつきの影響を排除することができる。【００３９】
式（４）から、復調器２３０におけるゲインＧは、平均電圧と周期ジッタの比例係数として、下式で与えられる。
2007105564.tif 000007
・・・式（５）【００４０】
ここで、パルス幅Ｗは、プロセス変動、温度等によりばらつくので、電子デバイス２００毎にゲインＧの値もばらついてしまう。キャリブレーション装置３００は、当該ばらつきをキャリブレーションする。【００４１】
また、式（４）の右辺第２項は、パルス幅Ｗが一定であるので一定値をとる。一方、式（４）の右辺第１項は、周期ジッタＪｋ'に比例しており、時間平均した値は零となる。よって、式（４）の右辺第２項が復調信号の直流成分ＶＤＣとなり、式（４）は下式に変形される。
2007105564.tif 000008
・・・式（６）【００４２】
式（６）から復調器２３０のゲインＧは、下式となる。
2007105564.tif 000009
・・・式（７）【００４３】
従って、復調信号が論理値０を示す場合の電圧値ＶＬ、及び復調信号の直流成分の電圧値ＶＤＣを求めることで、復調器２３０のゲインＧを求めることができる。特に、ＶＬ＝０（ＧＮＤ）の場合、復調器２３０のゲインＧは、復調信号の直流成分の電圧値ＶＤＣから求めることができる。直流成分検出部３１０は、電圧値ＶＬ及びＶＤＣを測定してよい。また電圧値ＶＬが既知である場合、直流成分検出部３１０は、電圧値ＶＤＣを測定してよい。【００４４】
ゲイン算出部３２０は、直流成分検出部３１０の測定結果に基づいて、式（７）を用いてゲインＧを算出する。キャリブレーション部３３０は、当該ゲインＧに基づく補正係数を判定部１２０に通知する。【００４５】
復調信号の周期ジッタ成分（変調成分）は、復調器２３０のゲインＧに比例して増幅される。従って、測定部１１０における周期ジッタの測定値をゲインＧで除算することで、復調器２３０に入力される出力信号の周期ジッタを測定することができる。この結果、復調器２３０へのプロセス変動等の影響を排除してジッタを測定することができる。【００４６】
プロセス変動によるゲインのばらつきは信号の周波数に依存せず、直流成分に基づくキャリブレーションでプロセス変動の影響を排除することができる。キャリブレーション部３３０は、直流成分に基づいて算出した補正値を、全ての周波数帯域に適用してよい。【００４７】
また、キャリブレーションは、試験開始前、または試験開始から電子デバイス２００の良否を判定する間であれば、いずれのタイミングで行ってもよい。また、測定部１１０がジッタ量を測定する場合に、キャリブレーション装置３００が平行してゲインを算出してもよい。【００４８】
図５は、キャリブレーション段階Ｓ４４０の処理の一例を示すフローチャートである。まず、制御部３４０は、復調信号が論理値０を示す場合の電圧値ＶＬが既知であるか否かを判定する（Ｓ４４２）。ＶＬが既知である場合、Ｓ４４８の処理を行う。ＶＬが既知でない場合、制御部３４０は、復調器２３０に論理値０の信号を出力させる(Ｓ４４４)。つまり、制御部３４０は、電圧値をＶＬに固定した信号を復調器２３０に出力させる。そして、直流成分検出部３１０は、復調器２３０が出力する信号の電圧値ＶＬを測定する（Ｓ４４６）。【００４９】
次に、制御部３４０は、復調器２３０に復調信号を出力させる。また、直流成分検出部３１０は、復調信号の直流成分を検出する（Ｓ４４８）。直流成分検出部３１０は、復調信号の平均電圧を、当該直流成分として検出してよい。【００５０】
次に、ゲイン算出部３２０は、論理値０の電圧値ＶＬ及び直流成分の電圧値ＶＤＣに基づいて、復調器２３０のゲインＧを算出する（Ｓ４５０）。キャリブレーション部３３０は、当該ゲインに基づいてキャリブレーションを行う（Ｓ４５２）。【００５１】
図６は、サイン波の周期ジッタを印加したクロックを、出力信号として復調器２３０に入力した場合における、復調器２３０が出力する復調信号を用いて、ＶＤＣとＶＬとの差分を変化させて復調器２３０のゲイン−Ｇをシミュレーション（Ｍａｔｌａｂ）で求めた結果を示す。本例においては、ＶＤＣとＶＬとの差分が０．２Ｖ、０．４Ｖ、０．６Ｖ、０．８Ｖ、１Ｖのそれぞれの場合のゲインをプロットする。図６に示すように、当該ゲインは原点と座標（１，１）を通る直線上にプロットされ、式（７）が成立することが確認される。【００５２】
図７は、復調器２３０の構成の一例を示す図である。本例における復調器２３０は、遅延部２３２と位相検出部２３４を有する。遅延部２３２は、動作回路２１０が出力する出力信号を受け取り、出力信号を所定の遅延時間で遅延させた遅延信号を生成する。遅延部２３２における遅延時間は、上述したパルス幅Ｗと略等しい。【００５３】
位相検出部２３４は、動作回路２１０が出力する出力信号と、遅延部２３２が出力する遅延信号とを受け取り、出力信号と遅延信号との位相差に応じたパルス幅のパルスを出力し、復調信号を生成する。位相検出部２３４は、例えば排他的論理和回路であってよい。当該位相差は、遅延部２３２における遅延時間と略等しいので、復調信号のパルス幅は当該遅延時間と略等しい。【００５４】
遅延部２３２における遅延時間は、外部から制御できることが好ましい。この場合、キャリブレーション装置３００は、遅延部２３２における遅延時間を制御することにより、復調器２３０のゲインを調整してよい。式（５）に示すように、遅延部２３２における遅延時間、即ち復調信号のパルス幅Ｗを調整することにより、復調器２３０のゲインを調整することができる。キャリブレーション装置３００は、復調器２３０のゲインが最適値（最大値）となるように遅延部２３２における遅延時間を調整してよい。また、測定部１１０は、キャリブレーション装置３００が遅延時間を調整した後に、復調信号を測定することが好ましい。【００５５】
また、復調器２３０の構成は、図７に示した構成に限定されない。例えば出力信号を分周して遅延部２３２及び位相検出部２３４に入力する分周器を更に有してよい。また遅延部２３２の出力を判定するインバータを更に有してよい。この場合、位相検出部２３４は論理積回路であってよい。また、位相検出器２３４は、位相周波数検出器であってもよい。【００５６】
図８は、復調器２３０の構成の他の例を示す図である。本例における復調器２３０は、遅延部２３２及びミキサ２３６を有する。遅延部２３２は、動作回路２１０が出力する出力信号を受け取り、出力信号を所定の遅延時間で遅延させた遅延信号を生成する。例えば遅延部２３２は、出力信号を、１／４周期遅延させた遅延信号を生成する。ミキサ２３６は、出力信号と遅延信号とを乗算し、復調信号を生成する。【００５７】
例えば位相変調された出力信号ｆ（ｔ）は下式であらわされる。
2007105564.tif 000010
・・・式（８）
但し、ω０は出力信号のキャリア成分の角周波数を示し、Δφ（ｔ）は位相変調成分を示す。【００５８】
この場合、信号を１／４周期遅延させた遅延信号ｇ（ｔ）は下式であらわされる。
2007105564.tif 000011
・・・式（９）
但し、Ｔは出力信号のキャリア成分の周期を示す。【００５９】
ミキサ２３６が出力する復調信号は、式（８）及び式（９）に示す信号を乗算した信号であるので、復調信号ｖ（ｔ）は下式であらわされる。
2007105564.tif 000012
・・・式（１０）【００６０】
ここで、低域通過フィルタを用いて式（１０）の右辺第１項を除去することにより、復調信号ｖ（ｔ）は下式となる。
2007105564.tif 000013
・・・式（１１）【００６１】
また、Δφ（ｔ）−Δφ（ｔ−Ｔ／４）が十分に小さければ、式（１１）は下式で近似できる。
2007105564.tif 000014
・・・式（１２）【００６２】
式（１２）に示すように、ミキサ２３６の出力から、１／４周期あたりのタイミングジッタの変動量（すなわち、周期ジッタ）が求まる。よって、当該変動量を１／４周期毎に加算していくことで、出力信号のタイミングジッタを復調することができる。復調器２３０は、式（１０）の右辺第１項を除去する低域通過フィルタを更に有してよい。また、キャリブレーション部３３０は、復調器２３０のゲインに基づいて、補正値を算出してよい。【００６３】
図９は、電子デバイス２００の構成の他の例を示す図である。本例における電子デバイス２００は、図１に示した電子デバイス２００の構成に加え、出力部２４０を更に備える。他の構成要素は、図１において同一の符号を付した構成要素と同一の機能を有してよい。【００６４】
出力部２４０は、動作回路２１０が出力する出力信号と、復調器２３０が出力する復調信号とを受け取り、いずれかを選択して外部に出力する。例えば出力部２４０は、電子デバイス２００の実動作時に出力信号を外部に出力し、電子デバイス２００の試験時に復調信号を外部に出力する。また、出力部２４０は、通常時には出力信号を外部に出力し、外部から復調信号を出力する旨の指示があった場合に復調信号を外部に出力してもよい。【００６５】
図１０は、電子デバイス２００の構成の他の例を示す図である。本例における電子デバイス２００は、複数の動作回路２１０、切替部２５０、及び復調器２３０を備える。複数の動作回路２１０は、それぞれ出力信号を生成する。切替部２５０は、複数の動作回路２１０が出力する出力信号のうち、いずれの出力信号を復調器２３０に入力するかを切り替える。例えば、切替部２５０は、試験装置１００からいずれの動作回路２１０の試験を行うかの指示を受け取り、当該指示に応じて出力信号を選択してよい。【００６６】
復調器２３０は、入力される出力信号を復調した復調信号を出力する。復調器２３０は、図９に示すように出力部２４０を介して復調信号を外部に出力してよく、また出力部２４０を介さずに復調信号を外部に出力してもよい。【００６７】
図１１は、電子デバイス２００の構成の他の例を示す図である。本例における電子デバイス２００は、図９に示した電子デバイス２００の構成に加え、積分器２６０を更に備える。他の構成要素は、図９において同一の符号を付した構成要素と同一の機能を有してよい。【００６８】
積分器２６０は、復調器２３０が出力する復調信号を積分する。例えば積分器２６０は、復調信号が論理値１を示す間、所定の充電電流で充電され、復調信号が論理値０を示す間、所定の放電電流で放電されるコンデンサであってよい。当該コンデンサの電圧値により、復調信号の積分値を検出することができる。【００６９】
また、出力部２４０は、動作回路２１０が出力する出力信号、復調器２３０が出力する復調信号、又は積分器２６０が出力する信号のいずれかを選択して外部に出力する。例えば出力部２４０は、電子デバイス２００の実動作時に出力信号を選択し、出力信号の周期ジッタを測定する場合に復調信号を選択し、出力信号のタイミングジッタを測定する場合に積分器２６０の出力信号を選択してよい。【００７０】
また、キャリブレーション部３３０は、積分器２６０のゲインが予め通知されることが好ましい。積分器２６０が出力する信号の変調成分は、復調器２３０及び積分器２６０のゲインにより増幅されるので、キャリブレーション部３３０は、測定した復調器２３０のゲインに加え、積分器２６０のゲインに更に基づいてキャリブレーションを行うことが好ましい。【００７１】
図１２は、試験装置１００の構成の他の例を示す図である。本例における試験装置１００は、図１に示した試験装置１００の構成に加え、積分器１３０及び切替部１４０を更に備える。この場合、電子デバイス２００は、図１１において説明した積分器２６０を備えなくともよい。【００７２】
積分器１３０は、電子デバイス２００が出力する復調信号を積分する。切替部１４０は、復調信号又は積分器１３０の出力信号のいずれかを選択して、測定部１１０及び直流成分検出部３１０に入力する。例えば切替部１４０は、出力信号の周期ジッタを測定する場合に復調信号を選択し、出力信号のタイミングジッタを測定する場合に積分器１３０の出力信号を選択してよい。また切替部１４０は、復調器２３０のゲインを測定する場合、復調信号を選択してよい。また、キャリブレーション部３３０は、積分器１３０のゲインが予め通知されることが好ましい。【００７３】
図１３は、本発明の一つの実施形態に係るジッタ測定装置４００の構成の一例を示す図である。ジッタ測定装置４００は、被測定信号のジッタを測定する装置であって、パルス発生器４１０、第１フィルタ４２０、直流成分検出部４３０、調整部４４０を備える。【００７４】
パルス発生器４１０は、被測定信号の所定のエッジ毎に、略一定のパルス幅のパルスを出力して、被測定信号のジッタを復調した復調信号として出力する。例えばパルス発生器４１０は、被測定信号の立ち上がりエッジ毎に、略一定のパルス幅のパルスを出力する。パルス発生器４１０は、図３に関連して説明した復調器２３０と同一の機能及び構成を有してよい。本例におけるパルス発生器４１０は、可変遅延回路４１２及び論理回路４１４を有する。【００７５】
可変遅延回路４１２は、被測定信号を分岐して受け取り、設定される遅延量で被測定信号を遅延させた遅延信号を出力する。論理回路４１４は、被測定信号と遅延信号とに基づいてパルスを出力して、復調信号として出力する。例えば論理回路４１４は、被測定信号及び遅延信号の排他的論理和を出力する回路であってよい。この場合、パルス発生器４１０は、被測定信号の立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッジの双方に応じて、可変遅延回路４１２における遅延量に略等しいパルス幅のパルスを出力する。【００７６】
また論理回路４１４は、被測定信号と、遅延信号を反転させた信号との論理積を出力する回路であってもよい。この場合、パルス発生器４１０は、図３に示すように、被測定信号の立ち上がりエッジに応じて、可変遅延回路４１２における遅延量に略等しいパルス幅のパルスを出力する。このような構成により、被測定信号の周期ジッタを復調した復調信号を出力することができる。例えば、復調信号における、被測定信号の周期毎の平均電圧の変動が、被測定信号の周期ジッタに対応する。【００７７】
第１フィルタ４２０は、パルス発生器４１０が出力した復調信号の波形を平均化して出力する。例えば第１フィルタ４２０は、復調信号に対して、予め定められたカットオフ周波数より高い周波数成分を除去して通過させるローパスフィルタであってよい。このような処理により、復調信号の波形を平均化して、周期ジッタを示す信号として出力することができる。第１フィルタ４２０のカットオフ周波数は、例えば被測定信号の周期毎の、復調信号の平均電圧変動を検出することができる程度の周波数に設定されてよい。【００７８】
直流成分検出部４３０は、パルス発生器４１０が出力する復調信号を分岐して受け取り、復調信号の直流成分を検出する。例えば、直流成分検出部４３０は、復調信号に対して、所定のカットオフ周波数より大きい周波数の成分を除去してよい。本例における直流成分検出部４３０は、第２フィルタ４３２を有する。【００７９】
第２フィルタ４３２は、復調信号を受け取り、復調信号の直流成分を通過させる。例えば第２フィルタ４３２は、復調信号に対して、予め定められたカットオフ周波数より高い周波数成分を除去して通過させるローパスフィルタであってよい。尚、第２フィルタ４３２のカットオフ周波数は、第１フィルタ４２０のカットオフ周波数より小さい。例えば、被測定信号に、被測定信号のキャリア周波数より小さい周波数のジッタが印加されている場合において、第１フィルタ４２０のカットオフ周波数は、被測定信号のキャリア周波数より小さく、ジッタ成分の最大周波数より大きい周波数であってよい。また、第２フィルタ４３２のカットオフ周波数は、ジッタ成分の最大周波数より小さい周波数であってよい。また、第２フィルタ４３２のカットオフ周波数は、フィードバックループの応答周波数より十分小さいことが望ましい。【００８０】
調整部４４０は、直流成分検出部４３０が検出した復調信号の直流成分に基づいて、パルス発生器４１０が出力するパルスのパルス幅を調整する。例えば調整部４４は、復調信号の直流成分が、予め設定される参照値と略一致するように、パルス発生器４１０が出力するパルスのパルス幅を調整する。例えば、調整部４４０は、復調信号の直流成分のレベルと、参照値との差分に基づいて、可変遅延回路４１２における遅延量を負帰還で制御することにより、パルス幅を調整してよい。【００８１】
図４において説明したように、復調信号の直流成分は、パルス発生器４１０のゲインに依存する。このため、被測定信号の測定中に、復調信号の直流成分を参照値と一致するように、パルス発生部４１０を動的に制御することにより、パルス発生器４１０におけるジッタゲインの変動を防ぐことができる。【００８２】
また、参照値は既知の値であるので、第１フィルタ４２０が出力する平均電圧の変動量を、当該参照値で除算することにより、被測定信号の周期ジッタを求めることができる。また、参照値を、所望のジッタゲインに応じた値に設定することにより、パルス発生器４１０のジッタゲインを所望の値に設定してもよい。【００８３】
以上のような構成により、被測定信号のジッタを精度よく測定することができる。参照値は、使用者が所望のジッタゲインに応じて予め設定する値であってよい。【００８４】
図１４は、ジッタ測定装置４００の他の構成例を示す図である。本例におけるジッタ測定装置４００は、直流成分検出部４３０が、第１フィルタ４２０が出力する復調信号を分岐して受け取る点で、図１３において説明したジッタ測定装置４００と異なる。他の機能及び構成は、図１３において説明したジッタ測定装置４００と同一であってよい。直流成分検出部４３０が受け取る復調信号は、第１フィルタ４２０により一定の高周波成分が既に除去されているので、第２フィルタ４３２をより容易に設計することができる。【００８５】
図１５Ａ及び図１５Ｂは、調整部４４０の構成例を示す図である。図１５Ａに示す調整部４４０は、差動増幅器４４２、伝送経路４４６、及びコンデンサ４４４を有する。差動増幅器４４２は、直流成分検出部４３０が出力する復調信号の直流成分と、参照値との差分に応じた電圧を、パルス発生器４１０に出力する。差動増幅器４４２は、当該差分を、略１のゲインで出力する増幅器であってよい。【００８６】
伝送経路４４６は、差動増幅器４４２の出力端子と、可変遅延回路４１２の制御端子とを電気的に接続する。可変遅延回路４１２は、制御端子に入力される電圧に応じた遅延量を生じさせる回路であってよい。コンデンサ４４４は、伝送経路４４６と接地電位との間に設けられる。これにより、差動増幅器４４２が出力する電圧を保持して可変遅延回路４１２に供給できる。また、差動増幅器４４２が出力する電圧の急峻な変動を低減することができる。【００８７】
図１５Ｂに示す調整部４４０は、図１５Ａに示した調整部４４０の構成に加え、差分回路４５６、及び抵抗（４４８、４５０、４５２、４５４）を更に有する。差分回路４５６は、直流成分検出部４３０と、差動増幅器４４２との間に設けられ、直流成分検出部４３０が出力する復調信号の直流成分のレベルと、所定のレベルＶＬＯとの差分を、復調信号の直流成分のレベルとして差動増幅器４４２に供給する。ここで、所定のレベルＶＬＯは、パルス発生器４１０が出力する復調信号がＬ論理を示すときのレベルである。【００８８】
つまり、差分回路４５６は、直流成分検出部４３０が出力する復調信号の直流成分のレベルから、オフセット成分に相当するレベルＶＬＯを減じて、差動増幅器４４２に供給する。このような構成により、復調信号のオフセット成分を考慮せずに、差動増幅器４４２に入力する参照値等を設定することができる。復調信号がＬ論理を示すときのレベルＶＬＯは、パルス発生器４１０が生成してよい。また、論理回路４１４が、レベルＶＬＯを差分回路４５６に供給してよい。例えば論理回路４１４のＬ論理の出力レベルを規定する負側の電源電圧等を、差分回路４５６に供給してよい。【００８９】
尚、抵抗４４８は、レベルＶＬＯを差分回路４５６の負入力端子に供給する伝送経路に設けられる。また、抵抗４５０は、直流成分検出部４３０及び差分回路４５６の正入力端子の間に設けられる。また、抵抗４５４は、差分回路４５６の出力端子及び負入力端子の間に設けられる。また、抵抗４５２は、差分回路４５６の正入力端子及び接地電位の間に設けられる。【００９０】
抵抗４４８及び抵抗４５０の抵抗値は略同一であってよい。また抵抗４５４及び抵抗４５２の抵抗値は略同一であってよい。この場合、差分回路４５６は、抵抗４４８及び抵抗４５４の抵抗値の比に応じたゲインで、入力される電圧の差分を増幅して出力する。【００９１】
図１６は、ジッタ測定装置４００の他の構成例を示す図である。本例におけるジッタ測定装置４００は、図１３又は図１４に示したいずれかのジッタ測定装置４００の構成に加え、二つの直列抵抗（４５８、４６０）を更に有してよい。図１６で４は、図１３に示したジッタ測定装置４００に、二つの直列抵抗（４５８、４６０）を付加した構成を示す。また、ジッタ測定装置４００は、半導体チップ４６２上に設けられる。【００９２】
二つの直列抵抗（４５８、４６０）は、半導体チップ４６２の内部において、正側の電源配線及び負側の電源配線との間に直列に設けられる。正側の電源配線及び負側の電源配線は、パルス発生器４１０、第１フィルタ４２０、直流成分検出部４３０、調整部４４０等に、電源電力を供給する配線であってよい。【００９３】
二つの直列抵抗（４５８、４６０）は、正側の電源電圧（本例ではＶＤＤ）及び負側の電源電圧（本例ではＧＮＤ）を予め設定される抵抗比で分圧して生成した参照値を、調整部４４０に供給する。二つの直列抵抗（４５８、４６０）は、外部から与えられる制御電圧により、抵抗値が設定可能な可変抵抗であってよい。二つの直列抵抗（４５８、４６０）のそれぞれの抵抗値は、ジッタ測定装置４００が有するべきジッタゲインに応じた抵抗比となるように、予め設定される。このような構成により、温度変動等が生じた場合であっても、ジッタ測定装置４００のジッタゲインを略一定に維持することができる。【００９４】
図１７は、ジッタ測定装置４００の他の構成例を示す図である。本例におけるジッタ測定装置４００は、パルス発生器４１０、第１フィルタ４２０、直流成分検出部４３０、調整部４４０、及び半導体チップ４６２を備える。パルス発生器４１０、第１フィルタ４２０、直流成分検出部４３０、及び調整部４４０の機能及び構成は、図１３又は図１４に関連して説明したパルス発生器４１０、第１フィルタ４２０、直流成分検出部４３０、及び調整部４４０と同一であってよい。【００９５】
また、パルス発生器４１０、第１フィルタ４２０、直流成分検出部４３０は、半導体チップ４６２上に設けられる。これに対し、調整部４４０は、半導体チップ４６２の外部に設けられる。半導体チップ４６２は、出力端子４７０及び入力端子４７２を有する。【００９６】
出力端子４７０は、直流成分検出部４３０が検出した復調信号の直流成分を、半導体チップ４６２の外部に設けられた調整部４４０に出力する。調整部４４０は、復調信号の直流成分と、与えられる参照値との差分に応じた制御信号を出力する。入力端子は、当該制御信号を半導体チップ４６２の内部に入力して、パルス発生器４１０が出力するパルスのパルス幅を調整させる。【００９７】
このように、ジッタ測定装置４００が半導体チップ４６２に設けられる場合において、調整部４４０を半導体チップ４６２の外部に取り出すことにより、調整部４４０の設定を容易に行うことができる。例えば調整部４４０に与える参照値等を容易に調整することができる。また、ジッタ測定装置４００が、被試験デバイスの各出力ピンに対応して、半導体チップ４６２の内部に複数設けられる場合、それぞれの調整部４４０を半導体チップ４６２の外部に取り出すことにより、調整部４４０の設定を容易に行うことができる。【００９８】
図１８は、ジッタ測定装置４００の他の構成例を示す図である。本例におけるジッタ測定装置４００は、図１３から図１７において説明したいずれかのジッタ測定装置４００の構成に加え、積分器２６０を更に備えてよい。積分器２６０は、パルス発生器４１０が出力するパルスを積分して、被測定信号のタイミングジッタを復調する。また、ジッタ測定装置４００は、第１フィルタ４２０に代えて、積分器２６０を備えてもよい。積分器２６０は、図１１に関連して説明した積分器２６０と同一の機能及び構成を有してよい。【００９９】
図１９Ａは、積分器２６０の構成の一例を示す図である。積分器２６０は、ソース側電流源２６６、ソース側トランジスタ２６２、シンク側電流源２６８、シンク側トランジスタ２６４、及びコンデンサ２７０を有する。ソース側トランジスタ２６２は、パルス発生器４１０が出力する復調信号がＨ論理を示す間、ソース側電流源２６６が生成するソース電流で、コンデンサ２７０を充電する。また、シンク側トランジスタ２６４は、パルス発生器４１０が出力する復調信号がＬ論理を示す間、シンク側電流源２６８が生成するシンク電流で、コンデンサ２７０を放電する。このような構成により、タイミングジッタを、コンデンサ２７０における電圧の変動として復調することができる。【０１００】
図１９Ｂは、積分器２６０の動作の一例を示すタイミングチャートである。図１９Ｂにおいて、被測定信号の各サイクルの境界を、時刻０、Ｔ、２Ｔ、３Ｔ、・・・で示す。被測定信号にジッタが無い場合、例えば図１９Ｂの時刻０及びＴのように、パルス発生器４１０は、被測定信号の各サイクルの境界に同期して、パルスを出力する。このとき、図１９Ｂに示すように、コンデンサ２７０の電圧（タイミングジッタ）は、時刻０、時刻Ｔにおいて所定の基準レベルとなる。ソース側電流源２６６及びシンク側電流源２６８が生成する電流量は、被測定信号にジッタが無い場合に、被測定信号の各サイクルの境界におけるコンデンサ２７０の電圧が、略一定となるように設定されてよい。【０１０１】
これに対し、被測定信号にジッタが有る場合、例えば図１９Ｂの時刻２Ｔに示すように、パルス発生器４１０が出力するパルスは、ジッタの無い被測定信号の各サイクルの境界に対して位相差ΔＴ１を有する。位相差ΔＴ１が、被測定信号の当該エッジにおけるタイミングジッタ量に対応する。【０１０２】
このとき、コンデンサ２７０の電圧は、放電時間がΔＴ１変化するので、基準レベルに対して、ΔＴ１に応じた電圧差ΔＶ１を有する。このため、電圧差ΔＶ１は、被測定信号の当該エッジにおけるタイミングジッタ量に対応する。つまり、積分器２６０は、時間単位のジッタ測定値を電圧単位のジッタ測定値に変換して出力する。このような構成により、被測定信号の各エッジのタイミングジッタを測定することができる。【０１０３】
図２０は、本発明の他の実施形態に係る試験装置５００の構成の一例を示す図である。試験装置５００は、半導体チップ等の被試験デバイス６００の良否を判定する装置であって、ジッタ測定装置４００及び判定部１２０を備える。判定部１２０は、図１２に関連して説明した判定部１２０と同一であってよい。【０１０４】
また、ジッタ測定装置４００は、図１３から図１９に関連して説明したジッタ測定装置４００と同一であってよい。ジッタ測定装置４００は、被試験デバイス６００が出力する被測定信号のジッタを測定する。【０１０５】
判定部１２０は、ジッタ測定装置４００が測定したジッタ量に基づいて、被試験デバイス６００の良否を判定する。例えば判定部１２０は、当該ジッタ量が、予め定められた許容範囲内であるか否かに基づいて、被試験デバイス６００の良否を判定してよい。【０１０６】
本例における試験装置５００によれば、温度変動等が生じた場合であっても、被測定信号のジッタを精度よく測定することができる。このため、被試験デバイス６００を精度よく試験することができる。【０１０７】
以上、本発明の一つの側面を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることができる。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【図１】
2007105564.tif 000015
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
2007105564.tif 000033
【図１９Ａ】
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【図１９Ｂ】
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【図２０】
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【手続補正書】
【提出日】平成19年7月5日(2007.7.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定信号のジッタを測定するジッタ測定器であって、
前記被測定信号の所定のエッジ毎に、略一定のパルス幅のパルスを出力して、前記被測定信号のジッタを復調した復調信号として出力するパルス発生器と、
前記パルス発生器が出力した前記復調信号の直流成分を検出する直流成分検出部と、
前記直流成分検出部が検出した前記復調信号の直流成分に基づいて、前記パルス発生器が出力するパルスの前記パルス幅を調整する調整部と
を備えるジッタ測定器。
【請求項２】
前記調整部は、前記復調信号の直流成分が、予め設定される参照値と略一致するように、前記パルス幅を調整する
請求項１に記載のジッタ測定器。
【請求項３】
前記パルス発生器が出力する前記復調信号を受け取り、前記被測定信号のキャリア周波数の成分を除去して、前記復調信号の周期ジッタの成分を出力する第１フィルタを更に備え、
前記直流成分検出部は、前記パルス発生器が出力する前記復調信号を分岐して受け取り、前記復調信号の直流成分を通過させる第２フィルタを有し、
前記調整部は、前記第２フィルタが通過させた前記復調信号の直流成分のレベルと、前記参照値のレベルとの差分に基づいて、前記パルス幅を調整する
を有する請求項２に記載のジッタ測定器。
【請求項４】
前記第１フィルタ及び前記第２フィルタはローパスフィルタであり、前記第１フィルタのカットオフ周波数は、前記第２フィルタのカットオフ周波数より高い
請求項３に記載のジッタ測定器。
【請求項５】
前記パルス発生器が出力する前記復調信号を受け取り、前記被測定信号のキャリア周波数の成分を除去することにより、前記復調信号の周期ジッタの成分を出力する第１フィルタを更に備え、
前記直流成分検出部は、前記第１フィルタが出力する前記復調信号を分岐して受け取り、前記復調信号の直流成分を通過させる第２フィルタを有し、
前記調整部は、前記第２フィルタが通過させた前記復調信号の直流成分のレベルと、前記参照値のレベルとの差分に基づいて、前記パルス幅を調整する
を有する請求項２に記載のジッタ測定器。
【請求項６】
前記パルス発生器及び前記直流成分検出部は、半導体チップ上に設けられ、
前記調整部は、前記半導体チップの外部に設けられる
請求項３に記載のジッタ測定器。
【請求項７】
前記パルス発生器及び前記直流成分検出部は、半導体チップ上に設けられ、
前記ジッタ測定器は、
前記半導体チップの内部において、正側の電源配線及び負側の電源配線の間に直列に設けられ、正側の電源電圧及び負側の電源電圧を予め設定される抵抗比で分圧して前記参照値を生成する二つの直列抵抗を更に備える
請求項２に記載のジッタ測定器。
【請求項８】
前記調整部は、
前記直流成分検出部が出力する前記復調信号の直流成分と、前記参照値との差分に応じた電圧を、前記パルス発生器に出力する差動増幅器と、
前記差動増幅器及び前記パルス発生器を接続する伝送経路と、接地電位との間に設けられたキャパシタと
を有する請求項２に記載のジッタ測定器。
【請求項９】
前記直流成分検出部が出力する前記復調信号の直流成分のレベルと、前記パルス発生器が出力する前記復調信号がＬ論理を示す場合のレベルとの差分を、前記復調信号の直流成分のレベルとして前記調整部に供給する差分回路を更に備える
請求項２に記載のジッタ測定器。
【請求項１０】
信号を出力する動作回路と、
前記動作回路が出力する信号のジッタを測定するジッタ測定器と
を備え、
前記ジッタ測定器は、
前記動作回路が出力する信号の所定のエッジ毎に、略一定のパルス幅のパルスを出力して、前記動作回路が出力する信号のジッタを復調した復調信号として出力するパルス発生器と、
前記パルス発生器が出力した前記復調信号の直流成分を検出する直流成分検出部と、
前記直流成分検出部が検出した前記復調信号の直流成分に基づいて、前記パルス発生器が出力するパルスの前記パルス幅を調整する調整部と
を有する電子デバイス。
【請求項１１】
被測定信号のジッタを測定するジッタ測定器が設けられる電子デバイスであって、
前記ジッタ測定器は、
前記被測定信号の所定のエッジ毎に、略一定のパルス幅のパルスを出力して、前記被測定信号のジッタを復調した復調信号として出力するパルス発生器と、
前記パルス発生器が出力した前記復調信号の直流成分を検出する直流成分検出部と
を有し、
前記電子デバイスは、
前記直流成分検出部が検出した前記復調信号の直流成分を、前記電子デバイスの外部に設けられた調整部に出力する出力端子と、
前記復調信号の直流成分のレベルと、予め設定される参照値との差分に応じて前記調整部が出力する制御信号を、前記電子デバイスの内部に入力し、前記パルス発生器が出力するパルスの前記パルス幅を調整させる入力端子と
を備える電子デバイス。
【請求項１２】
被試験デバイスが出力する被測定信号のジッタを測定するジッタ測定器と、
前記ジッタ測定器における測定結果に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備え、
前記ジッタ測定器は、
前記被測定信号の所定のエッジ毎に、略一定のパルス幅のパルスを出力して、前記被測定信号のジッタを復調した復調信号として出力するパルス発生器と、
前記パルス発生器が出力した前記復調信号の直流成分を検出する直流成分検出部と、
前記直流成分検出部が検出した前記復調信号の直流成分に基づいて、前記パルス発生器が出力するパルスの前記パルス幅を調整する調整部と
を備える試験装置。
【国際調査報告】
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