【誤訳訂正書】
【提出日】平成31年4月23日(2019.4.23)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の時間ベース中の開始時間値で、第１のモジュール中の第１の動作を初期化するための方法であって、
クロック信号を発生させることと、
前記クロック信号に基づいて、前記第１のモジュール中で第２の時間ベースを発生させることと、
前記第２の時間ベース中の第２の同期値を決定することと、
前記第２の時間ベース中の第２の同期値に対応する前記第１の時間ベース中の第１の同期値を決定することと、
前記第１の時間ベース中の前記第１の同期値と前記開始時間値とに基づいて、前記第２の時間ベース中の開始トリガ値を決定することと、
前記第１のモジュール中の前記第２の時間ベースの前記開始トリガ値と現在の値とに基づいて、前記第１のモジュール中の前記第１の動作を初期化することと、を備え、
前記第２の時間ベースは、前記第１の時間ベースとは異なる、方法。
【請求項２】
前記第２の時間ベースは、前記クロック信号から発生したカウント値を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１の同期値を決定することは、同期信号を発生させることと、前記第１の時間ベース中の前記同期信号の受信の時間に応じて、前記第１の同期値を決定することとを備え、
前記第２の同期値は、前記同期信号の受信によって決定される前記第２の時間ベース中の値に対応する、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記第１の同期値を決定し、前記第２の同期値を決定するために使用される単一の組み合わせ信号を形成するように、前記同期信号は、クロック信号と組み合わされる、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記開始トリガ値を決定することは、前記開始時間値と前記第１の同期値とに基づいて、前記第１の時間ベース中の相対開始時間を決定することを備え、
前記開始トリガ値は、前記第１の時間ベース中の前記相対開始時間に対応する前記第２の時間ベース中の値である、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記開始トリガ値は、前記第１の時間ベース中の相対開始時間に対応する前記第２の時間ベース中のカウント値に対応する、請求項２に記載の方法。
【請求項７】
前記カウント値が前記開始トリガ値に対応するとき、前記第１の動作は初期化される、請求項２に記載の方法。
【請求項８】
前記方法は、第２のモジュール中の第２の動作を開始することをさらに備え、
前記クロック信号に基づいて、前記第２のモジュール中の前記第２の時間ベースを発生させることと、
前記第２のモジュール中の前記第２の時間ベースの前記開始トリガ値と現在の値とに基づいて、前記第２のモジュール中の前記第２の動作を初期化することとを備える、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記第２の時間ベースは、前記クロック信号から前記第１および第２のモジュールのそれぞれにおいて発生したカウント値を備える、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記第２の同期値は、前記第１および第２のモジュールのそれぞれにおけるカウント値のリセットに対応する、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
第１の時間ベース中の開始時間値で、第１のモジュール中の第１の動作を初期化するためのシステムであって、
クロック信号を発生させるクロックと、
前記クロック信号に基づいて、前記第１のモジュール中で第２の時間ベースを発生させるカウント回路と、
前記第２の時間ベース中の第２の同期値に対応する前記第１の時間ベース中の第１の同期値を決定する第１の回路と、
前記第１の時間ベース中の前記第１の同期値と前記開始時間値とに基づいて、前記第２の時間ベース中の開始トリガ値を決定する第２の回路とを備え、
前記第１のモジュールは、前記第２の時間ベースの前記開始トリガ値と現在の値とに基づいて、前記第１のモジュール中の前記第１の動作を初期化する第３の回路を備え、
前記第２の時間ベースは、前記第１の時間ベースとは異なる、システム。
【請求項１２】
前記第２の時間ベースを発生させる回路は、前記クロック信号からカウント値を発生させるためのカウント回路を備える、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記第１の同期値を決定する第１の回路は、前記第１の時間ベース中の同期信号の受信の時間に応じて、前記第１の同期値を決定するように適合され、
前記第２の同期値を決定する第４の回路をさらに備え、前記第１のモジュールによって、前記同期信号の受信により決定される前記第２の時間ベース中の値に対応する前記第２の同期値を決定するように適合されている、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１４】
前記第２の同期値は、前記カウント回路のリセット値に対応する、請求項１２に記載のシステム。
【請求項１５】
前記開始トリガ値を決定する第２の回路は、前記開始時間値と前記第１の同期値とに基づいて、前記第１の時間ベース中の相対開始時間を決定するように適合され、
前記開始トリガ値は、前記第１の時間ベース中の前記相対開始時間に対応する前記第２の時間ベース中の値である、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１６】
前記開始トリガ値を決定する第２の回路は、前記開始時間値と前記第１の同期値とに基づいて、前記第１の時間ベース中の相対開始時間を決定するように適合され、
前記開始トリガ値は、前記第１の時間ベース中の相対開始時間に対応する前記第２の時間ベース中のカウント値に対応する、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１７】
カウント値が前記開始トリガ値に対応するとき、前記第１の動作を初期化する第３の回路は、前記第１の動作を初期化するように適合されている、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１８】
前記システムは、第２のモジュール中の第２の動作を開始するようにさらに適合され、  前記システムは、前記クロック信号に基づいて、前記第２のモジュール中の前記第２の時間ベースを発生させる第５の回路をさらに備え、
前記第２のモジュールは、前記第２の時間ベースの前記開始トリガ値と現在の値とに基づいて、前記第２のモジュール中の前記第２の動作を初期化する第６の回路を備える、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１９】
前記第２の時間ベースは、前記クロック信号から前記第１および第２のモジュールのそれぞれにおいて発生したカウント値を備える、請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
前記第１のモジュールは、第１のネットワークを介して制御装置に接続されている複数のモジュールのうちの１つであり、前記制御装置は、前記第１のネットワークを介して前記第１の動作を識別する１つ以上の命令を前記第１のモジュールに送信する、請求項１１に記載のシステム。
【請求項２１】
荷電粒子リソグラフィシステムであって、
荷電粒子ビームを生成するための荷電粒子ビーム源と、
前記荷電粒子ビームから複数の荷電粒子ビームレットを生成する開口アレイと、
前記荷電粒子ビームレットのうちの選択されたものをブランキングするためのブランキング電極を備えるビームレットブランカアレイを含むビーム切り替えモジュールと、
パターンデータを前記ビーム切り替えモジュールに送信するためのパターンデータストリーミングモジュールと、
目標の表面にわたるブランキングされていないビームレットを走査するためのビーム偏向器アレイを含む投射光学モジュールと、
前記目標を運ぶための可動ステージと、
前記可動ステージの移動を制御するためのステージ制御モジュールと
を備え、
前記システムは、請求項１１にしたがうシステムをさらに備える、荷電粒子リソグラフィシステム。
【請求項２２】
前記第１のモジュールは、前記ステージ制御モジュールを備え、前記第１の動作は、走査の間、前記ステージの予め定められた移動を備え、
第２のモジュールは、前記投射光学モジュールを備え、第２の動作は、前記目標の表面にわたる前記ブランキングされていないビームレットの予め定められた走査偏向を備え、  第３のモジュールは、前記パターンデータストリーミングモジュールを備え、第３の動作は、前記荷電粒子ビームレットのうちの選択されたものをブランキングするため、データの予め定められた一部分の前記ビーム切り替えモジュールへの送信を備える、請求項２１に記載の荷電粒子リソグラフィシステム。
【請求項２３】
前記第１および第２の同期値は、時間的に同じ瞬間を表す、請求項１に記載の方法。
【請求項２４】
前記第１および第２の同期値は、時間的に同じ瞬間を表す、請求項１１に記載のシステム。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７７】
［００８６］
第１の同期値は、第１の時間ベース中で決定される（ステップ４０６）。第１の時間ベースは、第２の時間ベースとは異なり、上記で説明したように、第１の時間ベースは、時間および／または分および／または秒および／またはその細区分部分で測定されてもよい。第１の時間ベース中の第１の同期値は、第２の時間ベース中の第２の同期値に対応し、すなわち、これらは、同じ瞬間を表す。第１の同期値は、第１の時間ベース中の同期信号１１７の受信時間に応じて決定されてもよい。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７８】
［００８７］
次に、第１の時間ベース中の第１の同期値と開始時間値とに基づいて、第２の時間ベース中の開始トリガ値が決定される（ステップ４１０）。開始トリガ値は、開始時間値と第１の同期値とに基づいて、第１の時間ベース中の相対開始時間を決定することによって決定されてもよい。例えば、相対開始時間は、第１の時間ベース中の第１の同期値と開始時間値との間の差として計算されてもよい。したがって、同期の瞬間は第１の同期値によって表されることから、相対開始時間は、経過した時間として表される開始時間を表す。この例では、開始トリガ値は、第１の時間ベース中の相対開始時間に対応する第２の時間ベース中の値である。