【手続補正書】
【提出日】平成31年3月8日(2019.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハにおける欠陥を検査ツールで以て識別する方法であって、
ウェハの少なくとも一部分を青色波長光で以て照明し第１グレイスケール画像を捕捉すること、
ウェハの少なくとも一部分を赤色波長光で以て照明し第２グレイスケール画像を捕捉すること、並びに
ウェハの少なくとも一部分を緑色波長光で以て照明し第３グレイスケール画像を捕捉すること、
により、検査ツールの電子撮像デバイスを用いウェハのグレイスケール画像集合を捕捉するステップと、
そのグレイスケール画像集合をコンピュータ可読メモリ内に格納するステップと、
そのコンピュータ可読メモリと通信するプロセッサを用い、上記グレイスケール画像集合の画像それぞれにおける残留信号をそのグレイスケール画像集合内の画像の組合せに基づき特定するステップと、
そのプロセッサを用い、上記グレイスケール画像集合の各画像の残留信号をそのグレイスケール画像集合の各画像から減算するステップと、
上記プロセッサを用い、ウェハにおける欠陥を減算済グレイスケール画像集合に基づき識別するステップと、
を有する方法。
【請求項２】
請求項１の方法であって、ウェハのグレイスケール画像集合を捕捉するステップが、更に、ウェハの少なくとも一部分を青色、赤色又は緑色波長光の組合せで以て照明し１個又は複数個の付加的グレイスケール画像を捕捉するステップを有する方法。
【請求項３】
請求項１の方法であって、更に、上記撮像デバイスにより捕捉されたグレイスケール画像集合をアナログディジタルコンバータを用い変換するステップを有する方法。
【請求項４】
請求項１の方法であって、上記グレイスケール画像集合の画像それぞれにおける残留信号を特定するステップが、
プロセッサを用い、検査ツールを用いた欠陥検出の厳密な数学的モデルを構築するステップと、
上記プロセッサを用い、１個又は複数個のモデルパラメタを既知の標準的グレイスケール画像集合に基づき決定するステップと、
上記プロセッサを用い、上記１個又は複数個のモデルパラメタを用いたウェハのモデルであり設計値又は事前計測値に基づくモデルを構築するステップと、
ウェハの上記モデル及び上記厳密な数学的モデルを用いることによりグレイスケール信号を予測するステップと、
グレイスケール信号予測結果とウェハ由来のグレイスケール信号計測結果との間のベストマッチが見つかるまで、ウェハの上記モデルの１個又は複数個のパラメタを調整するステップと、
上記プロセッサを用い、上記ベストマッチモデルに対応する１個又は複数個のパラメタをサンプルパラメタ計測結果として報告するステップと、
そのプロセッサを用い、ウェハ上でのグレイスケール予測結果・グレイスケール計測結果間差異に基づき残留信号を計算するステップと、
コンピュータ可読メモリ内に、将来の欠陥検出に備え残留信号計算結果を格納するステップと、
を有する方法。
【請求項５】
請求項４の方法であって、上記既知の標準的グレイスケール画像集合がＶＬＳＩ薄膜標準画像集合である方法。
【請求項６】
請求項４の方法であって、その計測対象変数がモデルパラメタである方法。
【請求項７】
請求項１の方法であって、更に、上記コンピュータ可読メモリ内にウェハ情報をインポートするステップを有し、上記グレイスケール画像集合の画像それぞれにおける残留信号を計算する上記のステップが更にそのインポート済ウェハ情報に基づく方法。
【請求項８】
請求項７の方法であって、上記ウェハ情報がＧＤＳＩＩフォーマットに準拠する方法。
【請求項９】
請求項７の方法であって、上記ウェハ情報が上記プロセッサにより自動インポートされる方法。
【請求項１０】
請求項１の方法であって、更に、
そのウェハを修正し終えた後に、検査ツールの電子撮像デバイスを用いウェハの付加的グレイスケール画像集合を捕捉するステップと、
上記コンピュータ可読メモリと通信する上記プロセッサを用い、付加的グレイスケール画像集合の画像それぞれにおける残留信号を、その付加的グレイスケール画像集合内の画像の組合せに基づき特定するステップと、
そのプロセッサを用い、付加的グレイスケール画像集合内の各画像の残留信号を、その付加的グレイスケール画像集合内の各画像から減算するステップと、
上記プロセッサを用い、グレイスケール画像集合間差異に基づきウェハにおける欠陥を識別するステップと、
を有する方法。
【請求項１１】
制御プロセッサと、
その制御プロセッサと電子通信する電子撮像デバイスと、
上記制御プロセッサと電子通信する複数個の発光ダイオードであり各発光ダイオードが別波長の光を輻射するよう構成されている複数個の発光ダイオードと、
上記撮像デバイスと電子通信するコンピュータ可読メモリと、
そのコンピュータ可読メモリと電子通信する分析プロセッサと、
を備える拡張型検査ツールシステムであり、上記制御プロセッサが、
ウェハの少なくとも一部分を青色波長光で以て照明せよと上記複数個の発光ダイオードに命令して第１グレイスケール画像を捕捉し、
ウェハの少なくとも一部分を赤色波長光で以て照明せよと上記複数個の発光ダイオードに命令して第２グレイスケール画像を捕捉し、且つ
ウェハの少なくとも一部分を緑色波長光で以て照明せよと上記複数個の発光ダイオードに命令して第３グレイスケール画像を捕捉し、
ウェハの少なくとも一部分が上記複数個の発光ダイオードにより照明されている間にその集合の各画像が捕捉されるようウェハのグレイスケール画像集合を捕捉せよと、上記電子撮像デバイスに命令し、且つ
そのグレイスケール画像集合を上記コンピュータ可読メモリ内に格納する、
よう構成されており、上記分析プロセッサが、
上記コンピュータ可読メモリから読み出した上記グレイスケール画像集合の画像それぞれにおける残留信号を、そのグレイスケール画像集合内の画像の組合せに基づき特定し、
上記グレイスケール画像集合の各画像の残留信号を、そのグレイスケール画像集合の各画像から減算し、且つ
ウェハにおける欠陥を減算済グレイスケール画像集合に基づき識別する、
よう構成されている拡張型検査ツールシステム。
【請求項１２】
請求項１１のシステムであって、上記制御プロセッサが、更に、ウェハの少なくとも一部分を青色、赤色及び緑色波長光の組合せで照明せよと上記複数個の発光ダイオードに命令するよう且つその組合せ光の下で付加的グレイスケール画像を捕捉するよう構成されているシステム。
【請求項１３】
請求項１１のシステムであって、更に、上記コンピュータ可読メモリ内への格納に備え上記グレイスケール画像集合を変換するよう構成されたアナログディジタルコンバータを備えるシステム。
【請求項１４】
請求項１１のシステムであって、上記グレイスケール画像集合の画像それぞれにおける残留信号を上記分析プロセッサが特定することを、
上記分析プロセッサを用い、検査ツールを用いた欠陥検出の厳密な数学的モデルを構築し、
上記分析プロセッサを用い、１個又は複数個のモデルパラメタを既知の標準的グレイスケール画像集合に基づき決定し、
上記分析プロセッサを用い、上記１個又は複数個のモデルパラメタを用いたウェハのモデルであり設計値又は事前計測値に基づくモデルを構築し、
ウェハの上記モデル及び上記厳密な数学的モデルを用いることによりグレイスケール信号を予測し、
グレイスケール信号予測結果とウェハ由来のグレイスケール信号計測結果との間のベストマッチが見つかるまで、ウェハの上記モデルの１個又は複数個のパラメタを調整し、
上記分析プロセッサを用い、上記ベストマッチモデルに対応する１個又は複数個のパラメタをサンプルパラメタ計測結果として報告し、
上記分析プロセッサを用い、ウェハ上でのグレイスケール予測結果・グレイスケール計測結果間差異に基づき残留信号を計算し、
コンピュータ可読メモリ内に、将来の欠陥検出に備え残留信号計算結果を格納する、
ことにより行うシステム。
【請求項１５】
請求項１１のシステムであって、上記分析プロセッサが、更に、上記コンピュータ可読メモリからウェハ情報をインポートするよう、且つ上記グレイスケール画像集合の画像それぞれにおける残留信号をそのインポート済ウェハ情報に基づき特定するよう構成されているシステム。
【請求項１６】
請求項１５のシステムであって、そのウェハ情報がＧＤＳＩＩフォーマットに準拠するシステム。
【請求項１７】
請求項１１のシステムであって、上記制御プロセッサが、更に、そのウェハを修正し終えた後に、ウェハの付加的グレイスケール画像集合を捕捉せよと上記電子撮像デバイスに命令するよう構成されており、上記分析プロセッサが、更に、
付加的グレイスケール画像集合の画像それぞれにおける残留信号を、その付加的グレイスケール画像集合内の画像の組合せに基づき特定し、
付加的グレイスケール画像集合内の各画像の残留信号を、その付加的グレイスケール画像集合内の各画像から減算し、且つ
グレイスケール画像集合間差異に基づきウェハにおける欠陥を識別する、
よう構成されているシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
分析プロセッサが、コンピュータ可読メモリから読み出したグレイスケール画像集合の画像それぞれにおける残留信号をそのグレイスケール画像集合内の画像の組合せに基づき特定するよう、構成されていてもよい。分析プロセッサによるグレイスケール画像集合の画像それぞれにおける残留信号の特定は、検査ツールを用いた欠陥検出の厳密な数学的モデルを分析プロセッサを用い構築し、分析プロセッサを用い１個又は複数個のモデルパラメタを既知の標準的グレイスケール画像集合に基づき決定し、上記１個又は複数個のモデルパラメタを用いたウェハのモデルであり設計値又は事前計測値に基づくモデルを分析プロセッサを用い構築し、ウェハのモデル及び上記厳密な数学的モデルを用いることによりグレイスケール信号を予測し、グレイスケール信号予測結果とウェハ由来のグレイスケール信号計測結果との間のベストマッチが見つかるまでウェハのモデルの１個又は複数個のパラメタを調整し、ベストマッチモデルに対応する１個又は複数個のパラメタを分析プロセッサを用いサンプルパラメタ計測結果として報告し、分析プロセッサを用いウェハ上でのグレイスケール予測結果・グレイスケール計測結果間差異に基づき残留信号を計算し、将来の欠陥検出に備えコンピュータ可読メモリ内に残留信号計算結果を格納することにより、行えばよい。