【手続補正書】
【提出日】平成31年4月2日(2019.4.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工対象物処理チャンバを覆う円筒形状マイクロ波キャビティと、前記円筒形状マイクロ波キャビティの側壁内にある角度で間隔を空けられた第１と第２の接続開口と、
マイクロ波周波数を有し、且つ、前記第１と第２の接続開口のうちのそれぞれのものに接続されたそれぞれのマイクロ波出力を有する一対のマイクロ波コントローラを備えた、マイクロ波源と
を備え、前記マイクロ波コントローラの各々が、
（ａ）低速回転周波数に対応する周波数を有する第１と第２のデジタル変調信号の源、
（ｂ）中間周波数を有する第１のデジタルキャリア信号の源、
（ｃ）各々が一対の入力を有する一対の乗算器を備えた乗算器ステージであって、それぞれ、前記第１のデジタル変調信号、前記第２のデジタル変調信号、及び前記第１のデジタルキャリア信号を受信するように接続され、それぞれの出力ｉｎ１とｉｎ２を有する、乗算器ステージ、
（ｄ）前記それぞれの出力ｉｎ１とｉｎ２を受信するように接続され、前記出力ｉｎ１とｉｎ２に対応するアナログ出力を有する、デジタルアナログコンバータ、並びに
（ｅ）前記アナログ出力に接続された入力を有するアップコンバータであって、前記マイクロ波出力を備えた、アップコンバータを備える、プラズマリアクタ。
【請求項２】
前記一対の乗算器のうちの第１のものが、前記第１のデジタル変調信号と前記第１のデジタルキャリア信号を受信するように接続され、前記出力ｉｎ１を含む第１の乗算器出力を有し、及び
前記一対の乗算器のうちの第２のものが、前記第２のデジタル変調信号と前記第１のデジタルキャリア信号を受信するように接続され、前記出力ｉｎ２を含む第２の乗算器出力を有する、請求項１に記載のプラズマリアクタ。
【請求項３】
前記中間周波数の第２のデジタルキャリア信号の源を更に備え、
前記第１のデジタルキャリア信号の源が、前記出力ｉｎ１に接続され、
前記一対の乗算器のうちの第１のものが、前記第１のデジタル変調信号と前記第１のデジタルキャリア信号を受信するように接続され、
前記一対の乗算器のうちの第２のものが、前記第２のデジタル変調信号と前記第２のデジタルキャリア信号を受信するように接続され、前記乗算器出力ｉｎ２を含む第２の乗算器出力を有し、及び
前記乗算器ステージは、前記一対の乗算器の出力を受信するように接続された加算器であって、前記出力ｉｎ２を含む出力を有する、加算器を更に備える、請求項１に記載のプラズマリアクタ。
【請求項４】
前記第１と第２のデジタル変調信号が、それぞれ、コサイン形の構成要素Ｉとサイン形の構成要素Ｑを含む、請求項２に記載のプラズマリアクタ。
【請求項５】
前記第１と第２のデジタル変調信号の源が、
前記コサイン形の構成要素Ｉの連続的なサンプルを含む第１のＲＡＭ、前記サイン形の構成要素Ｑの連続的なサンプルを含む第２のＲＡＭ、及び前記低速回転周波数に同期した前記ＩとＱの連続的なサンプルに向けられたロークロックポインタを備える、請求項４に記載のプラズマリアクタ。
【請求項６】
デジタルキャリア信号の前記源が、
前記デジタルキャリア信号の連続的なサンプルを含む第３のＲＡＭ、及び前記中間周波数に同期した前記デジタルキャリア信号の連続的なサンプルに向けられたロークロックポインタを備える、請求項５に記載のプラズマリアクタ。
【請求項７】
前記アップコンバータが、前記マイクロ波周波数と等しい出力周波数を有する、請求項２に記載のプラズマリアクタ。
【請求項８】
前記乗算器の各々が、その入力における前記信号の積を生成する、請求項１に記載のプラズマリアクタ。
【請求項９】
前記角度が９０度である、請求項１に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１０】
ユーザが前記低速回転周波数を指定することを可能にするためのユーザインターフェースを更に備える、請求項１に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１１】
加工対象物処理チャンバを覆う円筒形状マイクロ波キャビティと、前記円筒形状マイクロ波キャビティの壁内にある角度で間隔を空けられた第１と第２の接続開口と、
マイクロ波周波数を有し、且つ、前記第１と第２の接続開口のうちのそれぞれのものに接続されたそれぞれのマイクロ波出力を備えた、マイクロ波源と
を備え、前記マイクロ波源が、
低速回転周波数に対応する周波数を有するデジタル変調信号の位相内構成要素１-Ａと直角位相構成要素１-Ｂの源、
前記位相内構成要素１-Ａと前記直角位相構成要素１-Ｂを受信するように接続され、対応するアナログ出力ｉｎ１とｉｎ２を有する、デジタルアナログコンバータ、及び
アップコンバータ
を更に備え、前記アップコンバータが、
（ａ）前記アナログ出力ｉｎ１と前記マイクロ波周波数の位相内構成要素とのそれぞれの入力、及び前記マイクロ波出力のうちの第１のものに対応する第１の積出力を備えた、第１のコンビナ機能、及び
（ｂ）前記アナログ出力ｉｎ２と前記マイクロ波周波数の位相内構成要素とのそれぞれの入力、及び第２の積出力を備えた、第２のコンビナ機能を備える、プラズマリアクタ。
【請求項１２】
前記第２の積出力が、前記マイクロ波出力のうちの第２のものに接続されている、請求項１１に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１３】
前記マイクロ波源が、一定信号Ａの源を更に備え、前記アップコンバータが、
前記一定信号Ａを受信するように接続された１つの入力、前記マイクロ波周波数の前記直角位相構成要素を受信するように接続された別の１つの入力、及び第３の積出力を有する、第３のコンビナ機能、並びに
前記第２と第３の積出力にそれぞれ接続された入力、及び、前記マイクロ波出力のうちの第２のものに接続された合計出力を有する、加算器機能
を更に備える、請求項１１に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１４】
前記デジタル変調信号の位相内構成要素の前記源が、前記デジタル変調信号と前記一定信号Ａの合計を生成する、請求項１３に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１５】
前記位相内構成要素と前記直角位相構成要素が、それぞれ、コサイン形の構成要素Ｉとサイン形の構成要素Ｑを含む、請求項１２に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１６】
前記デジタル変調信号の前記位相内構成要素の前記源が、前記コサイン形の構成要素Ｉの連続的なサンプルを含む第１のＲＡＭを備え、
前記デジタル変調信号の前記直角位相構成要素の前記源が、前記サイン形の構成要素Ｑの連続的なサンプルを含む第２のＲＡＭを備え、
ロークロックポインタが、前記低速回転周波数に同期したＩとＱの連続的なサンプルに向けられる、請求項１５に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１７】
前記位相内構成要素と前記直角位相構成要素が、それぞれ、コサイン形の構成要素Ｉとサイン形の構成要素Ｑを含む、請求項１３に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１８】
前記デジタル変調信号の前記位相内構成要素の前記源が、前記コサイン形の構成要素Ｉの連続的なサンプルを含む第１のＲＡＭを備え、
前記デジタル変調信号の前記直角位相構成要素の前記源が、前記サイン形の構成要素Ｑの連続的なサンプルを含む第２のＲＡＭを備え、
ロークロックポインタが、低速回転周波数に同期したＩとＱの連続的なサンプルに向けられる、請求項１７に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１９】
前記アップコンバータが、前記マイクロ波周波数と等しい出力周波数を有する、請求項１１に記載のプラズマリアクタ。
【請求項２０】
前記コンビナ機能の各々が、その入力における前記信号の積を生成する、請求項１１に記載のプラズマリアクタ。