【手続補正書】
【提出日】令和1年9月20日(2019.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
格子に直交する方向に沿って間隔を置いて複数のタルボ画像を形成するように入射放射を回折させる格子であって、前記入射放射の波長λよりおよそ１からおよそ３倍大きな格子周期ｄを有する格子と、
前記複数のタルボ画像のうちの少なくとも一部を検出するために、前記格子に対して特定の角度で配設された検出器アレイとを備えるスペクトロメータ。
【請求項２】
前記格子周期ｄがおよそ０．８μｍからおよそ４μｍである、請求項１に記載のスペクトロメータ。
【請求項３】
前記検出器アレイが、近位端と、遠位端とを有し、前記近位端は、前記格子から１ｍｍ以上離れておらず、前記遠位端は、前記格子から１０ｍｍ以上離れていない、請求項１に記載のスペクトロメータ。
【請求項４】
前記検出器アレイが、前記格子に直交する方向に沿って前記複数のタルボ画像によって規定されるタルボ長より少なくとも３倍大きな投影長さを有する、請求項１に記載のスペクトロメータ。
【請求項５】
前記検出器アレイが、前記格子周期ｄの整数の倍数と異なるピクセルピッチｐを有する、請求項１に記載のスペクトロメータ。
【請求項６】
前記ピクセルピッチｐが、（２ｍ＋１）ｄ／２にほぼ等しく、この場合ｍは正の整数である、請求項５に記載のスペクトロメータ。
【請求項７】
前記角度がおよそ１０度からおよそ４０度である、請求項１に記載のスペクトロメータ。
【請求項８】
前記検出器に作動可能に結合され、前記複数のタルボ画像の前記少なくとも一部に少なくとも幾分基づいて波長を推定するプロセッサをさらに備える、請求項１に記載のスペクトロメータ。
【請求項９】
前記プロセッサが、前記複数のタルボ画像の前記少なくとも一部のフーリエ変換を行うことによって、前記波長を推定するように構成される、請求項８に記載のスペクトロメータ。
【請求項１０】
前記プロセッサが、前記複数のタルボ画像を、特定の範囲の波長に対して予測される強度パターンのライブラリと比較することによって、前記波長を推定するように構成される、請求項８に記載のスペクトロメータ。
【請求項１１】
複数のタルボ画像を生成するために入射放射を、前記入射放射の波長よりおよそ１からおよそ３倍大きな格子周期を有する格子に透過させることと、
前記格子に対して傾斜させた検出器アレイによって前記タルボ画像を検出することと、
前記複数のタルボ画像に少なくとも幾分基づいて前記波長を推定することとを含む、スペクトル分析の方法。
【請求項１２】
前記格子周期がおよそ０．８μｍからおよそ２μｍである、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記複数のタルボ画像を検出することが、
前記検出器アレイの近位端によって、前記格子から１ｍｍ未満の第１の距離のところで前記複数のタルボ画像の中の第１のタルボ画像の一部を検出することと、
前記検出器アレイの遠位端によって、前記格子から１０ｍｍ未満の第２の距離のところで前記複数のタルボ画像の中の第２のタルボ画像の一部を検出することとを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記複数のタルボ画像を検出することが、前記格子に対して直交する方向に沿って前記複数のタルボ画像によって規定されるタルボ長より少なくとも３倍大きな投影長さを有する前記検出器アレイを利用して、前記タルボ画像を検出することを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
前記複数のタルボ画像を検出することが、前記格子周期の整数の倍数と異なるピクセルピッチを有する前記検出器アレイを利用して、前記タルボ画像を検出することを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１６】
前記ピクセルピッチが、（２ｍ＋１）ｄ／２にほぼ等しく、この場合ｍは整数であり、ｄは前記格子周期である、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記複数のタルボ画像を検出することが、前記格子に対しておよそ１０度からおよそ４０度の角度で傾斜された前記検出器アレイを利用して前記タルボ画像を検出することを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１８】
前記波長を推定することが、前記複数のタルボ画像のフーリエ変換を行うことを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１９】
前記波長を推定することが、前記複数のタルボ画像を、特定の範囲の波長に対して予測される強度パターンのライブラリと比較することを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項２０】
格子に直交する方向に沿って間隔を置いて複数のタルボ画像を形成するように入射放射を回折させるための格子であって、前記入射放射の波長λよりおよそ１からおよそ３倍大きな格子周期ｄを有する格子と、
前記複数のタルボ画像のうちの少なくとも一部を検出するために、前記格子に対して特定の角度で配設された検出器アレイとを備えるスペクトロメータであって、
前記検出器アレイが、近位端と、遠位端とを有し、前記近位端は、前記格子から１ｍｍ以上離れておらず、前記遠位端は、前記格子から１０ｍｍ以上離れておらず、
前記検出器アレイが、（２ｍ＋１）ｄ／２にほぼ等しいピクセルピッチを有し、この場合ｍは正の整数である、前記スペクトロメータ。
【請求項２１】
非近軸タルボ効果を用いてチューナブル光源を特徴づける方法であって、
第１の波長と第２の波長との間の動作波長の個別のセットに対して前記チューナブル光源を掃引することにより光ビームを生成すること、
前記第２の波長のおよそ１倍〜およそ２倍の格子周期を有する格子を通して前記光ビームを透過させて、前記非近軸タルボ効果を介して複数のタルボ画像を生成すること、
前記格子に対して傾斜した検出器アレイで複数のタルボ画像を検出すること、及び
各々の動作波長について、前記複数のタルボ画像に少なくとも幾分基づいて前記光ビームの対応する測定される波長を推定すること
を含む、前記方法。
【請求項２２】
格子が、第２の波長のおよそ１倍〜およそ１．２倍の格子周期を有する、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
各々の測定される波長を推定することが、対応する動作波長で得られた複数のタルボ画像における各々のタルボ画像のフーリエ変換を計算することを含む、請求項２１に記載の方法。
【請求項２４】
複数のタルボ画像の検出が、
検出器アレイの近位端で、格子から１ｍｍ未満の第１の距離で前記複数のタルボ画像において第１のタルボ画像の一部を検出すること、及び
前記検出器アレイの遠位端で、前記格子から１０ｍｍ未満の第２の距離で前記複数のタルボ画像において第２のタルボ画像の一部を検出すること
を含む、請求項２１に記載の方法。
【請求項２５】
検出器アレイが、複数のタルボ画像のタルボ長よりも少なくとも３倍大きい投影長さを有する、請求項２１に記載の方法。
【請求項２６】
複数のタルボ画像を検出することが、格子に対しておよそ１０度〜およそ４０度の角度で傾斜した検出器アレイで前記複数のタルボ画像を検出すること
を含む、請求項２１に記載の方法。
【請求項２７】
複数のタルボ画像における各々のタルボ画像が、パターンを正弦曲線で表したものである、請求項２１に記載の方法。
【請求項２８】
第１の波長と第２の波長との間の動作波長の個別のセットに対して掃引する光ビームを生成するためのチューナブル光源と、
非近軸タルボ効果を介して前記光ビームから複数のタルボ画像を生成するための、前記チューナブル光源と光通信している格子であって、前記第２の波長のおよそ１倍〜およそ２倍の格子周期を有する前記格子と、
前記複数のタルボ画像を検出するための、前記格子に対して傾斜した検出器アレイと、
各々の動作波長について、前記複数のタルボ画像に少なくとも幾分基づいて前記光ビームの対応する測定される波長を推定するための、前記検出器アレイに作動可能に結合されたプロセッサと
を備えるシステム。
【請求項２９】
格子が、第２の波長のおよそ１倍〜およそ１．２倍の格子周期を有する、請求項２８に記載のシステム。
【請求項３０】
プロセッサが、対応する動作波長で得られた複数のタルボ画像における各々のタルボ画像のフーリエ変換を計算することにより、各々の測定される波長を推定するように構成されている、請求項２８に記載のシステム。
【請求項３１】
検出器アレイが、
前記検出器アレイの近位端で、格子から１ｍｍ未満の第１の距離で複数のタルボ画像において第１のタルボ画像の一部を検出し、かつ、
前記検出器アレイの遠位端で、前記格子から１０ｍｍ未満の第２の距離で前記複数のタルボ画像において第２のタルボ画像の一部を検出するように構成されている、請求項２８に記載のシステム。
【請求項３２】
検出器アレイが、複数のタルボ画像のタルボ長よりも少なくとも３倍大きい投影長さを有する、請求項２８に記載のシステム。
【請求項３３】
検出器アレイが、格子に対しておよそ１０度〜およそ４０度の角度で傾斜している、請求項２８に記載のシステム。
【請求項３４】
複数のタルボ画像における各々のタルボ画像が、格子のパターンを正弦曲線で表したもの
を含む、請求項２８に記載のシステム。
【請求項３５】
およそ５２０ｎｍ〜およそ１．０３μｍの間の動作波長の個別のセットに対して掃引する光ビームを生成するためのチューナブル光源と、
非近軸タルボ効果を介して前記光ビームから複数のタルボ画像を生成するための、前記チューナブル光源と光通信している格子であって、およそ１０３０ｎｍ〜およそ２０６０ｎｍの格子周期を有する前記格子と、
前記複数のタルボ画像をおよそ１ｎｍのスペクトル分解能で検出するための、前記格子に対しておよそ１０度〜およそ４０度の角度で傾斜した検出器アレイであって、前記複数のタルボ画像における各々のタルボ画像が、前記格子のパターンを正弦曲線で表したものを含む、前記検出器アレイと、
各々の動作波長について、その動作波長で得られた複数のタルボ画像における各々のタルボ画像のフーリエ変換を計算することにより、前記光ビームの対応する測定される波長を推定するための、前記検出器アレイに作動可能に結合されたプロセッサと
を備える、非近軸タルボ効果を用いてチューナブル光源を特徴づけるためのシステム。