【手続補正書】
【提出日】平成20年7月4日(2008.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  低誘電率ポリマーを製造する方法であって、
次式の構造
【化１】
2004504455.tif 000001
（式中、Ｙはケージ化合物およびシリコン原子から選択され、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は独立にアリール、分岐アリール、アリーレンエーテルから選択され、アリール、分岐アリール、アリーレンエーテルの少なくとも１つは三重結合を有する）を有する熱硬化性モノマーを提供すること、
その熱硬化性モノマーをポリマーに組み込み、それによって低誘電率ポリマーを形成し、ポリマーへの組み込みが三重結合の化学反応を含むこと
とを含む方法。
【請求項２】  Ｙがアダマンタン、ジアマンタンからなる群から選択される請求項１に記載の方法。
【請求項３】  アリールがトラニル、フェニルエチニルフェニルエチニルフェニル、ｐ−トラニルフェニルからなる群から選択される部分を含む請求項１に記載の方法。
【請求項４】  分岐アリールが１，２−ビス（フェニルエチニル）フェニルを含む請求項１に記載の方法。
【請求項５】  アリーレンエーテルがｐ−トラニルフェニルエーテルを含む請求項１に記載の方法。
【請求項６】  アリール、分岐アリール、アリーレンエーテルの少なくとも３つが三重結合を有し、ポリマーへの組み込みが少なくとも３つの三重結合の化学反応を含む
請求項１に記載の方法。
【請求項７】  アリール、分岐アリール、アリーレンエーテルの全てが三重結合を有し、ポリマーへの組み込みが全ての三重結合の化学反応を含む請求項１に記載の方法。
【請求項８】  Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４の全長がＬであり、低誘電率ポリマーの誘電率がＫであり、Ｌが増加するときＫが減少する請求項１に記載の方法。
【請求項９】  ポリマーがポリ（アリーレンエーテル）を含む請求項１に記載の方法。
【請求項１０】  熱硬化性モノマーをポリマーへ組み込むステップが、追加の分子の関与なしに起こる請求項１に記載の方法。
【請求項１１】  低誘電率ポリマーを製造する方法であって、
次式の構造
【化２】
2004504455.tif 000002
（式中、Ａｒはアリールであり、Ｒ’１、Ｒ’２、Ｒ’３、Ｒ’４、Ｒ’５、Ｒ’６は独立にアリール、分岐アリール、アリーレンエーテルから選択され、アリール、分岐アリール、アリーレンエーテルは各々少なくとも１つの三重結合を有する）を有する熱硬化性モノマーを提供すること、
その熱硬化性モノマーをポリマーに組み込み、それによって低誘電率ポリマーを形成し、ポリマーへの組み込みが少なくとも１つの三重結合の化学反応を含むこと
とを含む方法。
【請求項１２】  アリールがフェニル基を含む請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】  Ａｒがフェニル基およびセクシフェニレンからなる群から選択される請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】  Ｒ’１、Ｒ’２、Ｒ’３、Ｒ’４、Ｒ’５、Ｒ’６の全長がＬであり、低誘電率ポリマーの誘電率がＫであり、Ｌが増加するときＫが減少する請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】  熱硬化性モノマーをポリマーへ組み込むステップが、追加の分子の関与なしに起こる請求項１１に記載の方法。
【請求項１６】  ポリマーがポリ（アリーレンエーテル）を含む請求項１１に記載の方法。
【請求項１７】  次式の構造
【化３】
2004504455.tif 000003
（式中、Ｙはケージ化合物およびシリコン原子から選択され、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は独立にアリール、分岐アリール、アリーレンエーテルから選択され、アリール、分岐アリール、アリーレンエーテルの少なくとも１つは三重結合を有し、ケージ化合物は、ジアマンタン分子、架橋環状脂肪族分子、芳香族分子、及びフラーレン分子から選択される）を有する熱硬化性モノマー。
【請求項１８】  次式の構造
【化４】
2004504455.tif 000004
（式中、Ａｒはアリールであり、Ｒ’１、Ｒ’２、Ｒ’３、Ｒ’４、Ｒ’５、Ｒ’６は独立にアリール、分岐アリール、アリーレンエーテルから選択され、アリール、分岐アリール、アリーレンエーテルは各々少なくとも１つの三重結合を有する）を有する熱硬化性モノマー。
【請求項１９】  式ＴＭ−１による構造
【化５】
2004504455.tif 000005
（式中、ｎ＝１〜３）を有する熱硬化性モノマー。
【請求項２０】  式ＴＭ−２による構造
【化６】
2004504455.tif 000006
（式中、ｎ＝１〜３）を有する熱硬化性モノマー。
【請求項２１】  式ＴＭ−３による構造
【化７】
2004504455.tif 000007
を有する熱硬化性モノマー。
【請求項２２】
【化８】
2004504455.tif 000008
（式中、Ｙはケージ化合物およびシリコン原子から選択され、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は独立にアリール、分岐アリール、アリーレンエーテルから選択され、アリール、分岐アリール、アリーレンエーテルの少なくとも１つは三重結合を有し、ケージ化合物は、ジアマンタン分子、架橋環状脂肪族分子、芳香族分子、及びフラーレン分子から選択される）、
【化９】
2004504455.tif 000009
（式中、Ａｒはアリールであり、Ｒ’１、Ｒ’２、Ｒ’３、Ｒ’４、Ｒ’５、Ｒ’６は独立にアリール、分岐アリール、アリーレンエーテルから選択され、アリール、分岐アリール、アリーレンエーテルは各々少なくとも１つの三重結合を有する）、
【化１０−１】
2004504455.tif 000010
【化１０−２】
2004504455.tif 000011
からなる群からの少なくとも１つの熱硬化性モノマーから作られたポリマーを含む誘電層を含む電子デバイス。
【請求項２３】
【化１１】
2004504455.tif 000012
（式中、Ｙはケージ化合物およびシリコン原子から選択され、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は独立にアリール、分岐アリール、アリーレンエーテルから選択され、アリール、分岐アリール、アリーレンエーテルの少なくとも１つは三重結合を有し、ケージ化合物は、ジアマンタン分子、架橋環状脂肪族分子、芳香族分子、及びフラーレン分子から選択される）、
【化１２】
2004504455.tif 000013
（式中、Ａｒはアリールであり、Ｒ’１、Ｒ’２、Ｒ’３、Ｒ’４、Ｒ’５、Ｒ’６は独立にアリール、分岐アリール、アリーレンエーテルから選択され、アリール、分岐アリール、アリーレンエーテルは各々少なくとも１つの三重結合を有する）、
【化１３−１】
2004504455.tif 000014
【化１３−２】
2004504455.tif 000015
からなる群からの少なくとも１つの熱硬化性モノマーから作られたポリマーを含む誘電材料。
【請求項２４】  前記ポリマーが、
【化１４】
2004504455.tif 000016
（式中、Ｙはケージ化合物およびシリコン原子から選択され、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４はアリール、分岐アリール、アリーレンエーテルから独立に選択され、アリール、分岐アリール、アリーレンエーテルの少なくとも１つは三重結合を有する）、
【化１５】
2004504455.tif 000017
からなる群からの少なくとも１つの熱硬化性モノマーから作られる請求項２３に記載の誘電材料。
【請求項２５】  請求項２３に記載の誘電材料を含む層。
【請求項２６】  請求項２４に記載の誘電材料を含む層。
【請求項２７】  請求項２３に記載の誘電材料を含むフィルム。
【請求項２８】  請求項２４に記載の誘電材料から形成されるフィルム。
【請求項２９】  誘電率が３未満の請求項２７に記載のフィルム。
【請求項３０】  誘電率が３未満の請求項２８に記載のフィルム。