【手続補正書】
【提出日】令和1年5月16日(2019.5.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
式（ＩＡ）で表され、式（Ｉ）のモノマーに由来する少なくとも一種の繰り返し単位；
【化１】
2018537544.tif 000001
ここで、
【化２】
2018537544.tif 000002
は、別の繰り返し単位と結合する位置を表し、
ｍは０、１又は２の整数であり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４の少なくとも１つは式（Ａ）： 
−Ｒ−ＣＯ−Ａｒ−（Ｙ）ｎ          （Ａ）
（上記式において、
Ｒは、置換又は未置換の（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン、置換又は未置換の（Ｃ３−Ｃ８）シクロアルキレン、置換又は未置換の（Ｃ１−Ｃ６）アルキレンＡｒ、及びＡｒからなる群より選択された２価ラジカルであり、
ここでＡｒは、置換又は未置換のフェニレン、置換又は未置換のビフェニレン及び置換又は未置換のナフタレンからなる群より選択された２価ラジカルであり、
Ｙは、ヒドロキシ又は（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシであり、
ｎは、１〜９の整数である。）；
の基であり、
残りのＲ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、独立して、水素、直鎖又は分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１−Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは、１〜４の整数である。）、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシ及びハロゲンからなる群から選択される；及び、
式（ＩＩＡ）で表され、それぞれ対応する式（ＩＩ）のモノマーに由来する一種またはそれ以上の互いに異なる繰り返し単位；
【化４】
2018537544.tif 000003
ここで、
【化５】
2018537544.tif 000004
は、別の繰り返し単位と結合する位置を表し、
ｐは０、１又は２の整数であり、
Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８は、独立して、水素、直鎖又は分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、ヒドロキシパーフルオロ（Ｃ１−Ｃ６）アルキル（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１−Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは、１〜４の整数である。）、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシ、ハロゲン、（Ｃ１−Ｃ６）アルキルＣＯＯＲ９（ここで、Ｒ９は、水素又は（Ｃ１−Ｃ１２）アルキルである。）からなる群から選択される；
からなる、ターポリマー。
【請求項２】
上記式（Ａ）の基は、
【化３】
2018537544.tif 000005
からなる群より選択され、
ここで、
ｄは、１〜６の整数であり、
ｅは、１〜５の整数であり、
ｆは、１〜９の整数であり、
ｇは、１〜７の整数であり、
Ｘは、水素、直鎖又は分岐鎖（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ６）アルキル及びパーフルオロ（Ｃ１−Ｃ６）アルキルから選択され、
Ｙは、ヒドロキシ又はアセトキシである、請求項１に記載のターポリマー。
【請求項３】
ｐは０又は１であり、
Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８は、独立して、水素、直鎖又は分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシパーフルオロ（Ｃ１−Ｃ６）アルキル（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは、１〜４の整数である。）、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシ、又は（Ｃ１−Ｃ６）アルキルＣＯＯＨを表す、請求項１または２に記載のターポリマー。
【請求項４】
ｐは０であり、
Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８は、独立して、水素、直鎖又は分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、ヒドロキシヘキサフルオロプロピルメチル、フェニル（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、−（ＣＨ２）２ＣＯ２Ｈ、又は−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａは１又は２であり、ｂは２〜４であり、ｃは２又は３である。）を表す、請求項３に記載のターポリマー。
【請求項５】
上記式（ＩＡ）の繰り返し単位は、
４−（２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）アセチル）フェニルアセテート；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン；
４−（２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）アセチル）−２−メトキシフェニルアセテート；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニル）エタン−１−オン；
（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）フェニル）（４−ヒドロキシフェニル）メタノン；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オン；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニル）プロパン−１−オン；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４’−ヒドロキシ−［１，１’−ビフェニル］−４−イル）エタン−１−オン；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４’−ヒドロキシ−３’−メトキシ−［１，１’−ビフェニル］−４−イル）エタン−１−オン；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（６−ヒドロキシナフタレン−２−イル）エタン−１−オン；及び、
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（６−ヒドロキシ−７−メトキシナフタレン−２−イル）エタン−１−オン
からなる群より選択されたモノマーに由来する、請求項１に記載のターポリマー。
【請求項６】
上記式（ＩＩＡ）の１つ以上の繰り返し単位は、
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール；
４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ブタン−２−オール；
５−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ペンタン−２−オール；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）酢酸；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸；
４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブタン酸；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメトキシ）エチルアセテート；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメトキシ）エタノール；
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；及び
１−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−２，５，８，１１−テトラオキサドデカン
からなる群より選択されたモノマーに由来する、請求項１に記載のターポリマー。
【請求項７】
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）酢酸のターポリマー；
及び、
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸、５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンのターポリマー
からなる群より選択される、請求項１に記載のターポリマー。
【請求項８】
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸、５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンのターポリマーである、請求項１に記載のターポリマー。
【請求項９】
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）酢酸のターポリマー；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン、４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ブタン−２−オール、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）酢酸のターポリマー；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン、５−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ペンタン−２−オール、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）酢酸のターポリマー；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸のターポリマー；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オン、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オールのターポリマー；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オン、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸、４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ブタン−２−オールのターポリマー；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オン、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸、５−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ペンタン−２−オールのターポリマー；及び、
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸、５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンのターポリマー
からなる群より選択される、ポリマー。
【請求項１０】
前記ポリマーは、
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸のターポリマー；及び、
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸、５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンのターポリマー
からからなる群より選択される、請求項９に記載のポリマー。
【請求項１１】
ターポリマーと、光活性化合物と、エポキシ樹脂と、溶媒と、を含む層形成ポリマー組成物であって、
前記ターポリマーは、
式（ＩＡ）で表され、式（Ｉ）のモノマーに由来する少なくとも一種の繰り返し単位；
【化６】
2018537544.tif 000006
ここで、
【化７】
2018537544.tif 000007
は、別の繰り返し単位と結合する位置を表し、
ｍは、０、１又は２の整数であり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４の少なくとも１つは式（Ａ）： 
−Ｒ−ＣＯ−Ａｒ−（Ｙ）ｎ          （Ａ）
（上記式において、
Ｒは、置換又は未置換の（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン、置換又は未置換の（Ｃ３−Ｃ８）シクロアルキレン、置換又は未置換の（Ｃ１−Ｃ６）アルキレンＡｒ、及びＡｒからなる群より選択された２価ラジカルであり、
Ａｒは、置換又は未置換のフェニレン、置換又は未置換のビフェニレン及び置換又は未置換のナフタレンからなる群より選択された２価ラジカルであり、
Ｙは、ヒドロキシ又は（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシであり、
ｎは、１〜９の整数である。）；
の基であり、
残りのＲ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、独立して、水素、直鎖又は分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１−Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは、１〜４の整数である。）、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシ及びハロゲンからなる群から選択される；及び、
式（ＩＩＡ）で表され、それぞれ対応する式（ＩＩ）のモノマーに由来する一種またはそれ以上の互いに異なる繰り返し単位；
【化４Ａ】
2018537544.tif 000008
ここで、
【化５Ａ】
2018537544.tif 000009
は、別の繰り返し単位と結合する位置を表し、
ｐは、０、１又は２の整数であり、
Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８は、独立して、水素、直鎖又は分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、ヒドロキシパーフルオロ（Ｃ１−Ｃ６）アルキル（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１−Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは、１〜４の整数である。）、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシ、ハロゲン、（Ｃ１−Ｃ６）アルキルＣＯＯＲ９（ここで、Ｒ９は、水素又は（Ｃ１−Ｃ１２）アルキルである。）からなる群から選択される；
からなる、層形成ポリマー組成物。
【請求項１２】
前記式（Ａ）の基は、
【化３Ａ】
2018537544.tif 000010
からなる群より選択され、
ここで、
ｄは、１〜６の整数であり、
ｅは、１〜５の整数であり、
ｆは、１〜９の整数であり、
ｇは、１〜７の整数であり、
Ｘは、水素、直鎖又は分岐鎖（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ６）アルキル及びパーフルオロ（Ｃ１−Ｃ６）アルキルからなる群から選択され、
Ｙは、ヒドロキシ又はアセトキシである、請求項１１に記載の層形成ポリマー組成物。
【請求項１３】
上記式（ＩＡ）又は式（ＩＩＡ）の繰り返し単位は、
４−（２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）アセチル）フェニルアセテート；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン；
４−（２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）アセチル）−２−メトキシフェニルアセテート；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニル）エタン−１−オン；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オン；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニル）プロパン−１−オン；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４’−ヒドロキシ−［１，１’−ビフェニル］−４−イル）エタン−１−オン；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４’−ヒドロキシ−３’−メトキシ−［１，１’−ビフェニル］−４−イル）エタン−１−オン；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（６−ヒドロキシナフタレン−２−イル）エタン−１−オン；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（６−ヒドロキシ−７−メトキシナフタレン−２−イル）エタン−１−オン；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール；
４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ブタン−２−オール；
５−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ペンタン−２−オール；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）酢酸；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸；
４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブタン酸；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメトキシ）エチルアセテート；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメトキシ）エタノール；
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；及び、
１−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−２，５，８，１１−テトラオキサドデカン；
からなる群より選択されたモノマーに由来する、請求項１２に記載の組成物。
【請求項１４】
ポリマーと、光活性化合物と、エポキシ樹脂と、溶媒と、を含む層形成ポリマー組成物であって、
前記ポリマーは、
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）酢酸のターポリマー；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン、４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ブタン−２−オール、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）酢酸のターポリマー；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン、５−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ペンタン−２−オール、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）酢酸のターポリマー；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸のターポリマー；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オン、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オールのターポリマー；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オン、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸、４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ブタン−２−オールのターポリマー；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オン、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸、５−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ペンタン−２−オールのターポリマー；及び、
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸、５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンのターポリマー
からなる群から選択される、層形成ポリマー組成物。
【請求項１５】
前記光活性化合物は、それぞれ構造式（ＩＩＩａ）及び（ＩＩＩｂ）で表される１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホニル部分及び／又は１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホニル部分：
【化１０】
2018537544.tif 000011
又は、構造式（ＩＩＩｃ）で表されるスルホニルベンゾキノンジアジド基：
【化１１】
2018537544.tif 000012
を含む、請求項１１から１４のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１６】
前記光活性化合物は、
【化１２】
2018537544.tif 000013
であり、
ここで、少なくとも１つのＱは、式（ＶＩＩａ）又は（ＶＩＩｂ）
【化１３】
2018537544.tif 000014
の基であり；
残りのＱは水素である、請求項１５に記載の組成物。
【請求項１７】
前記エポキシ樹脂は、
ビスフェノールＡエポキシ樹脂；
ポリプロピレングリコールエポキシ樹脂；
ビス（４−（オキシラン−２−イルメトキシ）フェニル）メタン；
ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェノールのグリシジルエーテル；
ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル；
ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル；及び、
これらを組み合わせた混合物
からなる群より選択される、請求項１１から１６のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１８】
前記溶媒は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、γ−ブチロラクトン又はＮ−メチルピロリドンである、請求項１１から１７のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１９】
前記組成物は、
接着促進剤；
酸化防止剤；
界面活性剤；
熱酸発生剤；
熱塩基発生剤；及び、
これらを組み合わせた混合物
からなる群より選択された１種以上の添加剤をさらに含む、請求項１１から１８のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項２０】
（ｉ）請求項１１から１９のいずれか一項に記載の層形成ポリマー組成物を基板に塗布してコーティング膜を形成すること、
（ｉｉ）所望のパターンのマスクを通じて前記コーティング膜を露光すること；
（ｉｉｉ）アルカリ性現像剤で現像することにより前記露光部を溶解及び除去して前記所望のパターンを取得すること、
（ｉｖ）取得した前記所望のパターンを加熱すること、
を包含する、硬化物形成プロセス。
【請求項２１】
請求項１１から１９のいずれか一項に記載の層形成ポリマー組成物を硬化させて得られる、硬化物。
【請求項２２】
光電子デバイス又はマイクロ電子デバイスであって、請求項２１に記載の硬化物を含み、前記硬化物は１ＭＨｚで３．２以下の比誘電率を有する、デバイス。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６２】
本発明を上記実施例を挙げて説明したが、本発明は実施例に限定されるものではなく、本明細書で上述した一般的な領域を総体的に包括している。本発明の趣旨から逸脱しない限り、各種様々な改良案及び実施形態を製作することも可能である。
〔１〕
式（ＩＡ）で表され、式（Ｉ）のモノマーに由来する繰り返し単位を含み、
【化２１】
2018537544.tif 000015
ここで、
【化２２】
2018537544.tif 000016
は、別の繰り返し単位と結合する位置を表し、
ｍは０、１又は２の整数であり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４の少なくとも１つは式（Ａ）の基であり、
−Ｒ−ＣＯ−Ａｒ−（Ｙ）ｎ          （Ａ）
（上記式において、
Ｒは、置換又は未置換の（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン、置換又は未置換の（Ｃ３−Ｃ８）シクロアルキレン、置換又は未置換の（Ｃ１−Ｃ６）アルキレンＡｒ、及びＡｒからなる群より選択された２価ラジカルであり、
Ａｒは、置換又は未置換のフェニレン、置換又は未置換のビフェニレン及び置換又は未置換のナフタレンからなる群より選択された２価ラジカルであり、
Ｙは、ヒドロキシ又は（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシであり、
ｎは、１〜９の整数である。）
残りのＲ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、独立して、水素、直鎖又は分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１−Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは、１〜４の整数である。）、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシ及びハロゲンを表す、ポリマー。
〔２〕
上記式（Ａ）の基は、
【化２３】
2018537544.tif 000017
からなる群より選択され、
ここで、
ｄは、１〜６整数であり、
ｅは、１〜５整数であり、
ｆは、１〜９の整数であり、
ｇは、１〜７整数であり、
Ｘは、水素、直鎖又は分岐鎖（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ６）アルキル及びパーフルオロ（Ｃ１−Ｃ６）アルキルから選択され、
Ｙは、ヒドロキシ又はアセトキシである、上記〔１〕に記載のポリマー。
〔３〕
互いに異なりそれぞれ式（ＩＩＡ）で表される１つ以上の繰り返し単位をさらに含み、前記繰り返し単位は対応する式（ＩＩ）のモノマーに由来し、
【化２４】
2018537544.tif 000018
ここで、
【化２５】
2018537544.tif 000019
は、別の繰り返し単位と結合する位置を表し、
ｐは０、１又は２の整数であり、
Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８は、独立して、水素、直鎖又は分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、ヒドロキシパーフルオロ（Ｃ１−Ｃ６）アルキル（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１−Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは、１〜４の整数である。）、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシ、ハロゲン、（Ｃ１−Ｃ６）アルキルＣＯＯＲ９（ここで、Ｒ９は、水素又は（Ｃ１−Ｃ１２）アルキルである。）を表す、上記〔１〕に記載のポリマー。
〔４〕
ｐは０であり、
Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８は、独立して、水素、直鎖又は分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、ヒドロキシヘキサフルオロプロピルメチル、フェニル（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、−（ＣＨ２）２ＣＯ２Ｈ、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａは１又は２であり、ｂは２〜４であり、ｃは２又は３である。）を表す、上記〔３〕に記載のポリマー。
〔５〕
上記式（ＩＡ）の繰り返し単位は、
４−（２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）アセチル）フェニルアセテート（ＮＢＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＰｈＯＡｃ）；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン（ＮＢＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＰｈＯＨ）；
４−（２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）アセチル）−２−メトキシフェニルアセテート；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニル）エタン−１−オン；
（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）フェニル）（４−ヒドロキシフェニル）メタノン
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オン；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニル）プロパン−１−オン；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４’−ヒドロキシ−［１，１’−ビフェニル］−４−イル）エタン−１−オン；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４’−ヒドロキシ−３’−メトキシ−［１，１’−ビフェニル］−４−イル）エタン−１−オン；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（６−ヒドロキシナフタレン−２−イル）エタン−１−オン；及び、
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（６−ヒドロキシ−７−メトキシナフタレン−２−イル）エタン−１−オン
からなる群より選択されたモノマーに由来する、上記〔１〕に記載のポリマー。
〔６〕
上記式（ＩＩＡ）の１つ以上の繰り返し単位は、
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール（ＨＦＡＮＢ）；
４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ブタン−２−オール（ＨＦＡＣＨ２ＮＢ）；
５−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ペンタン−２−オール（ＨＦＡＣＨ２ＣＨ２ＮＢ）；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）酢酸（ＮＢＣＨ２ＣＯ２Ｈ）；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸（ＮＢＣＨ２ＣＨ２ＣＯ２Ｈ）；
４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブタン酸（ＮＢＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＯ２Ｈ）；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメトキシ）エチルアセテート（ＮＢＣＨ２ＧｌｙＯＡｃ）；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメトキシ）エタノール（ＮＢＣＨ２ＧｌｙＯＨ）；
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＮＢＴＯＮ）；
１−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−２，５，８，１１−テトラオキサドデカン（ＮＢＴＯＤＤ）
からなる群より選択されたモノマーに由来する、上記〔１〕に記載のポリマー。
〔７〕
前記ポリマーは、
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン（ＮＢＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＰｈＯＨ）と２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール（ＨＦＡＮＢ）のコポリマー；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン（ＮＢＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＰｈＯＨ）と４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ブタン−２−オール（ＨＦＡＣＨ２ＮＢ）のコポリマー；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン（ＮＢＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＰｈＯＨ）と５−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ペンタン−２−オール（ＨＦＡＣＨ２ＣＨ２ＮＢ）のコポリマー；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン（ＮＢＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＰｈＯＨ）と２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）酢酸（ＮＢＣＨ２ＣＯ２Ｈ）のコポリマー；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン（ＮＢＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＰｈＯＨ）と３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸（ＮＢＣＨ２ＣＨ２ＣＯ２Ｈ）のコポリマー；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オンと２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール（ＨＦＡＮＢ）のコポリマー；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オンと４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ブタン−２−オール（ＨＦＡＣＨ２ＮＢ）のコポリマー；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オンと５−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ペンタン−２−オール（ＨＦＡＣＨ２ＣＨ２ＮＢ）のコポリマー；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オンと２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）酢酸（ＮＢＣＨ２ＣＯ２Ｈ）のコポリマー；及び、
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オンと３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸（ＮＢＣＨ２ＣＨ２ＣＯ２Ｈ）のコポリマー
からなる群より選択されたコポリマーである、上記〔１〕に記載のポリマー。
〔８〕
前記ポリマーは、
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン（ＮＢＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＰｈＯＨ）、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール（ＨＦＡＮＢ）、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）酢酸（ＮＢＣＨ２ＣＯ２Ｈ）のターポリマー；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン（ＮＢＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＰｈＯＨ）、４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ブタン−２−オール（ＨＦＡＣＨ２ＮＢ）、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）酢酸（ＮＢＣＨ２ＣＯ２Ｈ）のターポリマー；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン（ＮＢＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＰｈＯＨ）、５−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ペンタン−２−オール（ＨＦＡＣＨ２ＣＨ２ＮＢ）、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）酢酸（ＮＢＣＨ２ＣＯ２Ｈ）のターポリマー；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン（ＮＢＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＰｈＯＨ）、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール（ＨＦＡＮＢ）、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸（ＮＢＣＨ２ＣＨ２ＣＯ２Ｈ）のターポリマー；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オン、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸（ＮＢＣＨ２ＣＨ２ＣＯ２Ｈ）、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール（ＨＦＡＮＢ）のターポリマー；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オン、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸（ＮＢＣＨ２ＣＨ２ＣＯ２Ｈ）、４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ブタン−２−オール（ＨＦＡＣＨ２ＮＢ）のターポリマー；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オン、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸（ＮＢＣＨ２ＣＨ２ＣＯ２Ｈ）、５−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ペンタン−２−オール（ＨＦＡＣＨ２ＣＨ２ＮＢ）のターポリマー；及び、
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン（ＮＢＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＰｈＯＨ）、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸（ＮＢＣＨ２ＣＨ２ＣＯ２Ｈ）、５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＮＢＴＯＮ）のターポリマー
からなる群より選択されたターポリマーである、上記〔１〕に記載のポリマー。
〔９〕
前記ポリマーは、
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン（ＮＢＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＰｈＯＨ）と２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール（ＨＦＡＮＢ）のコポリマー；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン、２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール（ＨＦＡＮＢ）、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸（ＮＢＣＨ２ＣＨ２ＣＯ２Ｈ）のターポリマー；及び、
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン（ＮＢＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＰｈＯＨ）、３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸（ＮＢＣＨ２ＣＨ２ＣＯ２Ｈ）、５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＮＢＴＯＮ）のターポリマー
からからなる群より選択される、上記〔１〕に記載のポリマー。
〔１０〕
ポリマーと、光活性化合物と、エポキシ樹脂と、溶媒と、を含む層形成ポリマー組成物であって、
前記ポリマーは、
式（ＩＡ）で表され、式（Ｉ）のモノマーに由来する繰り返し単位を含み、
【化２６】
2018537544.tif 000020
ここで、
【化２７】
2018537544.tif 000021
は、別の繰り返し単位と結合する位置を表し、
ｍは、０、１又は２の整数であり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４の少なくとも１つは式（Ａ）の基であり、
−Ｒ−ＣＯ−Ａｒ−（Ｙ）ｎ          （Ａ）
（上記式において、
Ｒは、置換又は未置換の（Ｃ１−Ｃ６）アルキレン、置換又は未置換の（Ｃ３−Ｃ８）シクロアルキレン、置換又は未置換の（Ｃ１−Ｃ６）アルキレンＡｒ、及びＡｒからなる群より選択された２価ラジカルであり、
Ａｒは、置換又は未置換のフェニレン、置換又は未置換のビフェニレン及び置換又は未置換のナフタレンからなる群より選択された２価ラジカルであり、
Ｙは、ヒドロキシ又は（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシであり、
ｎは、１〜９の整数である。）
残りのＲ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、独立して、水素、直鎖又は分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１−Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは、１〜４の整数である。）、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシ及びハロゲンを表す、層形成ポリマー組成物。
〔１１〕
前記ポリマーは、互いに異なりそれぞれ式（ＩＩＡ）で表される１つ以上の繰り返し単位をさらに含み、前記繰り返し単位は対応する式（ＩＩ）のモノマーに由来し、
【化２８】
2018537544.tif 000022
ここで、
【化２９】
2018537544.tif 000023
は、別の繰り返し単位と結合する位置を表し、
ｏは、０、１又は２の整数であり、
Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８は、独立して、水素、直鎖又は分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、ヒドロキシパーフルオロ（Ｃ１−Ｃ６）アルキル（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１−Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは、１〜４の整数である。）、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシ、ハロゲン、（Ｃ１−Ｃ６）アルキルＣＯＯＲ９（ここで、Ｒ９は、水素又は（Ｃ１−Ｃ１２）アルキルである。）を表す、上記〔１０〕に記載の組成物。
〔１２〕
上記式（ＩＡ）又は式（ＩＩＡ）の繰り返し単位は、
４−（２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）アセチル）フェニルアセテート（ＮＢＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＰｈＯＡｃ）；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）エタン−１−オン（ＮＢＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＰｈＯＨ）；
４−（２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）アセチル）−２−メトキシフェニルアセテート；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニル）エタン−１−オン；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシフェニル）プロパン−１−オン；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニル）プロパン−１−オン；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４’−ヒドロキシ−［１，１’−ビフェニル］−４−イル）エタン−１−オン；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（４’−ヒドロキシ−３’−メトキシ−［１，１’−ビフェニル］−４−イル）エタン−１−オン；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（６−ヒドロキシナフタレン−２−イル）エタン−１−オン；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１−（６−ヒドロキシ−７−メトキシナフタレン−２−イル）エタン−１−オン；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール（ＨＦＡＮＢ）；
４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ブタン−２−オール（ＨＦＡＣＨ２ＮＢ）；
５−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ペンタン−２−オール（ＨＦＡＣＨ２ＣＨ２ＮＢ）；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）酢酸（ＮＢＣＨ２ＣＯ２Ｈ）；
３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロパン酸（ＮＢＣＨ２ＣＨ２ＣＯ２Ｈ）；
４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブタン酸（ＮＢＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＯ２Ｈ）；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメトキシ）エチルアセテート（ＮＢＣＨ２ＧｌｙＯＡｃ）；
２−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメトキシ）エタノール（ＮＢＣＨ２ＧｌｙＯＨ）；
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＮＢＴＯＮ）；及び、
１−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−２，５，８，１１−テトラオキサドデカン（ＮＢＴＯＤＤ）
からなる群より選択されたモノマーに由来する、上記〔１１〕に記載の組成物。
〔１３〕
前記光活性化合物は、それぞれ構造式（ＩＩＩａ）及び（ＩＩＩｂ）で表される１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホニル部分及び／又は１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホニル部分：
【化３０】
2018537544.tif 000024
又は、構造式（ＩＩＩｃ）で表されるスルホニルベンゾキノンジアジド基：
【化３１】
2018537544.tif 000025
を含む、上記〔１０〕に記載の組成物。
〔１４〕
前記光活性化合物は、
【化３２】
2018537544.tif 000026
であり、
ここで、少なくとも１つのＱは、式（ＶＩＩａ）又は（ＶＩＩｂ）
【化３３】
2018537544.tif 000027
の基であり；
残りのＱは水素である、上記〔１３〕に記載の組成物。
〔１５〕
前記エポキシ樹脂は、
ビスフェノールＡエピクロロヒドリン系エポキシ樹脂；
ポリプロピレングリコールエピクロロヒドリン系エポキシ樹脂；
ビス（４−（オキシラン−２−イルメトキシ）フェニル）メタン；
ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェノールのグリシジルエーテル；
ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル（ＰＥＧＤＧＥ）；
ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル（ＰＰＧＤＧＥ）；及び、
これらを組み合わせた混合物
からなる群より選択される、上記〔１０〕に記載の組成物。
〔１６〕
前記溶媒は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、γ−ブチロラクトン（ＧＢＬ）又はＮ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）である、上記〔１０〕に記載の組成物。
〔１７〕
前記組成物は、
接着促進剤；
酸化防止剤；
界面活性剤；
熱酸発生剤又は熱塩基発生剤；及び、
これらを組み合わせた混合物
からなる群より選択された１種以上の添加剤をさらに含む、上記〔１０〕に記載の組成物。
〔１８〕
（ｉ）上記〔１０〕に記載の層形成ポリマー組成物を基板に塗布してコーティング膜を形成すること、
（ｉｉ）所望のパターンのマスクを通じて前記コーティング膜を露光すること；
（ｉｉｉ）アルカリ性現像剤で現像することにより前記露光部を溶解及び除去して前記所望のパターンを取得すること、
（ｉｖ）取得した前記所望のパターンを加熱すること、
を包含する、硬化物形成プロセス。
〔１９〕
上記〔１０〕に記載の層形成ポリマー組成物を硬化させて得られる、硬化物。
〔２０〕
上記〔１９〕に記載の硬化物を含み、前記硬化物は１ＭＨｚで３．２以下の比誘電率を有する、光電子デバイス又はマイクロ電子デバイス。