【手続補正書】
【提出日】平成20年8月14日(2008.8.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体貯蔵・計量分配装置であって、
内部容積を有する流体貯蔵・計量分配容器であって、前記内部容積は流体を吸着して保持するための物理的吸着剤を含みかつ前記容器から計量分配するために前記流体は該吸着剤から脱着可能とする容器を備えており、
前記物理的吸着剤は、モノリス物理的吸着剤を含み、該モノリス物理的吸着剤は、
（ａ）アルシンガスについて２５℃、圧力６５０トルで測定した充填密度が、アルシン４００ｇ／吸着剤１Ｌより高い充填密度であり、
（ｂ）前記吸着剤の気孔率全体の少なくとも３０％は、約０．３〜約０．７２ｎｍの範囲のサイズのスリット形状の気孔を含み、並びに前記気孔率全体の少なくとも２０％は、直径２ｎｍ未満のミクロ細孔を含んでおり、
（ｃ）約０．８０〜約２．０ｇ／ｃｍ3のバルク密度を有する、
という特性のうち少なくとも１つを特徴としている、流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項２】
前記吸着剤は、アルシンガスについて２５℃、圧力６５０トルで測定した充填密度が、アルシン４００ｇ／吸着剤１Ｌより高い、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項３】
前記吸着剤の気孔率全体の少なくとも３０％は、約０．３〜約０．７２ｎｍの範囲のサイズのスリット形状の気孔を含み、並びに前記気孔率全体の少なくとも２０％は、直径２ｎｍ未満のミクロ細孔を含む、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項４】
前記吸着剤は、約０．８０〜約２．０ｇ／ｃｍ3のバルク密度を有する、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項５】
前記吸着剤は、特性（ａ）及び（ｂ）を特徴としている、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項６】
前記吸着剤は、特性（ｂ）及び（ｃ）を特徴としている、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項７】
前記吸着剤は、特性（ａ）及び（ｃ）を特徴としている、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項８】
前記吸着剤は、特性（ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）を特徴としている、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項９】
脱着された流体を前記容器から計量分配するために前記容器に結合された計量分配アセンブリをさらに備える、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項１０】
前記吸着剤は、炭素質物理的吸着剤を含む、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項１１】
前記物理的吸着剤に吸着された流体をさらに備える、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項１２】
前記モノリス物理的吸着剤は、前記容器の前記内部容積にサイズ及び形状が適合した吸着剤塊を提供する、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項１３】
前記吸着剤塊は、前記容器の前記内部容積の少なくとも６０％を占める、請求項１２に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項１４】
前記吸着剤塊は、前記容器の前記内部容積の約７５〜約９５％を占める、請求項１２に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項１５】
前記吸着剤は、有機樹脂の熱分解生成物である、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項１６】
前記吸着剤は、ポリ塩化ビニリデン、フェノール・ホルムアルデヒド樹脂、ポリフルフリルアルコール、椰子殻、ピーナッツ殻、桃の種、オリーブの種、ポリアクリロニトリル、及びポリアクリルアミドからなる群から選択された材料の熱分解生成物である、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項１７】
前記吸着剤は、前記容器内のその場で形成される、請求項１５に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項１８】
前記容器は円筒形状を有し、前記吸着剤は、円盤形状のモノリス吸着剤製品を垂直に積み重ねたものを含む、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項１９】
前記吸着剤は、１つ以上のモノリス物理的吸着剤製品を含み、前記複数の製品の各々は、三次元（ｘ、ｙ、ｚ）の各寸法が１．５ｃｍより大きい立体的特性を有する、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項２０】
前記吸着剤は、１０００℃未満の温度で、熱分解及び随意的活性化により形成されている、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項２１】
前記流体は、アルシンを含む、請求項１１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項２２】
前記流体は、ホスフィンを含む、請求項１１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項２３】
前記流体は、セレン化水素を含む、請求項１１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項２４】
前記吸着剤は、熱分解されたポリ塩化ビニリデン樹脂を含む、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項２５】
前記吸着剤は、それに対する添加剤を有する、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項２６】
前記添加剤は、ホウ酸、四ホウ酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、及びリン酸水素二ナトリウムからなる群から選択された少なくとも１つの薬剤を含む、請求項２５に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項２７】
前記吸着剤は、炭素質物理的吸着剤を含む、請求項８に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項２８】
前記流体は、水素化物、ハロゲン化物、及び有機金属の気体試薬からなる群から選択された流体を含む、請求項１１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項２９】
前記流体は、シラン、ゲルマン、アルシン、ホスフィン、ホスゲン、ジボラン、ゲルマン、アンモニア、スチビン、硫化水素、セレン化水素、テルル化水素、亜酸化窒素、シアン化水素、酸化エチレン、重水素化水素化物、ハロゲン化物（塩素、臭素、フッ素、及びヨウ素）化合物、及び有機金属化合物からなる群から選択された流体を含む、請求項１１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項３０】
前記吸着剤は、高さ対直径比、Ｈ／Ｄが約０．１０〜約０．８０となる円盤形状を有する少なくとも１つのモノリス吸着剤製品を含む、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項３１】
前記吸着剤は、炭素質物理的吸着剤を含む、請求項５、６、および７のいずれかに記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項３２】
前記流体は、前記内部容積内の圧力が約２０〜約１８００トルの範囲である、請求項１１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項３３】
前記モノリス吸着剤は、前記容器の前記内部容積にサイズ及び形状が適合した吸着剤塊を提供し、前記吸着剤塊は、前記容器の前記内部容積の少なくとも６０％を占める、請求項２７に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項３４】
前記吸着剤塊は、前記容器の前記内部容積の約７５〜約９５％を占める、請求項３３に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項３５】
前記物理的吸着剤に吸着された流体をさらに備える、請求項２７に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項３６】
前記容器は、金属、ガラス、セラミック、ガラス質素材、ポリマー、及び複合素材からなる群から選択された構造素材を含む、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項３７】
前記流体は、シラン、ゲルマン、アルシン、ホスフィン、ホスゲン、ジボラン、ゲルマン、アンモニア、スチビン、硫化水素、セレン化水素、テルル化水素、亜酸化窒素、シアン化水素、酸化エチレン、重水素化水素化物、ハロゲン化物（塩素、臭素、フッ素、及びヨウ素）化合物、及び有機金属化合物からなる群から選択された流体を含む、請求項３５に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項３８】
前記流体は、アルシン、ホスフィン、セレン化水素、及び三フッ化ホウ素からなる群から選択される、請求項３５に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項３９】
前記吸着剤は、その気孔率の少なくとも３０％が直径２ｎｍ未満の孔である、請求項１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項４０】
前記流体は、三フッ化ホウ素を含む、請求項１１に記載の流体貯蔵・計量分配装置。
【請求項４１】
流体貯蔵・計量分配装置を製造する方法であって、前記方法は、
モノリス物理的吸着剤を調整するステップを含み、
該モノリス物理的吸着剤は、
（ａ）アルシンガスについて２５℃、圧力６５０トルで測定した充填密度が、アルシン４００ｇ／吸着剤１Ｌより高い充填密度であり、
（ｂ）前記吸着剤の気孔率全体の少なくとも３０％は、約０．３〜約０．７２ｎｍの範囲のサイズのスリット形状の気孔を含み、並びに前記気孔率全体の少なくとも２０％は、直径２ｎｍ未満のミクロ細孔を含んでおり、
（ｃ）約０．８０〜約２．０ｇ／ｃｍ3のバルク密度を有する、
という特性のうち少なくとも１つを特徴とする、製造方法。
【請求項４２】
流体貯蔵・計量分配装置を製造する方法であって、前記方法は、
有機樹脂を所定量まで流体貯蔵・計量分配装置に充填するステップと、
前記容器内の前記有機樹脂を熱分解して物理的吸着剤を形成するステップと、を含み、
該吸着剤は、
（ａ）アルシンガスについて２５℃、圧力６５０トルで測定した充填密度が、アルシン４００ｇ／吸着剤１Ｌより高い充填密度であり、
（ｂ）前記吸着剤の気孔率全体の少なくとも３０％は、約０．３〜約０．７２ｎｍの範囲のサイズのスリット形状の気孔を含み、並びに前記気孔率全体の少なくとも２０％は、直径２ｎｍ未満のミクロ細孔を含んでおり、
（ｃ）約０．８０〜約２．０ｇ／ｃｍ3のバルク密度を有する、
という特性のうち少なくとも１つを特徴とする、流体貯蔵・計量分配装置製造方法。
【請求項４３】
流体貯蔵・計量分配装置を製造する方法であって、前記方法は、
流体を、物理的吸着剤を含む流体貯蔵・計量分配装置へ充填するステップを含み、
該吸着剤は、
（ａ）アルシンガスについて２５℃、圧力６５０トルで測定した充填密度が、アルシン４００ｇ／吸着剤１Ｌより高い充填密度であり、
（ｂ）前記吸着剤の気孔率全体の少なくとも３０％は、約０．３〜約０．７２ｎｍの範囲のサイズのスリット形状の気孔を含み、並びに前記気孔率全体の少なくとも２０％は、直径２ｎｍ未満のミクロ細孔を含んでおり、
（ｃ）約０．８０〜約２．０ｇ／ｃｍ3のバルク密度を有する、
という特性のうち少なくとも１つを特徴とする、流体貯蔵・計量分配装置製造方法。
【請求項４４】
流体を計量分配する方法であって、
前記計量分配のために物理的吸着剤から吸着流体を脱着するステップを含み、
前記物理的吸着剤は、
（ａ）アルシンガスについて２５℃、圧力６５０トルで測定した充填密度が、アルシン４００ｇ／吸着剤１Ｌより高い充填密度であり、
（ｂ）前記吸着剤の気孔率全体の少なくとも３０％は、約０．３〜約０．７２ｎｍの範囲のサイズのスリット形状の気孔を含み、並びに前記気孔率全体の少なくとも２０％は、直径２ｎｍ未満のミクロ細孔を含んでおり、
（ｃ）約０．８０〜約２．０ｇ／ｃｍ3のバルク密度を有する、
という特性のうち少なくとも１つを特徴としている、流体計量分配方法。
【請求項４５】
前記吸着剤は、アルシンガスについて２５℃、圧力６５０トルで測定した充填密度がアルシン４００ｇ／吸着剤１Ｌより高い、請求項４１、４２、４３、及び４４のいずれかに記載の方法。
【請求項４６】
前記吸着剤の気孔率全体の少なくとも３０％は、約０．３〜約０．７２ｎｍの範囲のサイズのスリット形状の気孔を含み、並びに前記気孔率全体の少なくとも２０％は、直径２ｎｍ未満のミクロ細孔を含む、請求項４１、４２、４３、及び４４のいずれかに記載の方法。
【請求項４７】
前記吸着剤は、約０．８０〜約２．０ｇ／ｃｍ3のバルク密度を有する、請求項４１、４２、４３、及び４４のいずれかに記載の方法。
【請求項４８】
前記物理的吸着剤は、熱分解されたポリ塩化ビニリデンを含む、請求項４１、４２、４３、及び４４のいずれかに記載の方法。
【請求項４９】
前記熱分解されたポリ塩化ビニリデンは、活性化状態に暴露される、請求項４８に記載の方法。
【請求項５０】
前記活性化状態は、前記熱分解されたポリ塩化ビニリデンの高温非酸化環境への暴露と、それに引き続き前記熱分解されたポリ塩化ビニリデンの高温酸化環境への暴露を含む、請求項４９に記載の方法。
【請求項５１】
アルシンガスについて２５℃、圧力６５０トルで測定した前記充填密度は、アルシン４５０ｇ／吸着剤１Ｌより高い、請求項４１、４２、４３、及び４４のいずれかに記載の方法。
【請求項５２】
前記流体は、アルシン、ホスフィン、セレン化水素、テルル化水素、三フッ化窒素、三フッ化ホウ素、三塩化ホウ素、ジボラン、トリメチルシラン、テトラメチルシラン、ジシラン、シラン、ゲルマン、及び有機金属気体試薬からなる群から選択される流体を含む、請求項４３及び４４のいずれかに記載の方法。
【請求項５３】
流体貯蔵・計量分配システムで使用するモノリス吸着剤を形成する方法であって、前記方法は、
熱分解可能モノリス吸着剤を生成する熱分解条件において前記熱分解可能材料を熱分解するステップを含み、
該モノリス吸着剤は、
（ａ）アルシンガスについて２５℃、圧力６５０トルで測定した充填密度が、アルシン４００ｇ／吸着剤１Ｌより高い充填密度であり、
（ｂ）前記吸着剤の気孔率全体の少なくとも３０％は、約０．３〜約０．７２ｎｍの範囲のサイズのスリット形状の気孔を含み、並びに前記気孔率全体の少なくとも２０％は、直径２ｎｍ未満のミクロ細孔を含んでおり、
（ｃ）約０．８０〜約２．０ｇ／ｃｍ3のバルク密度を有する、
という特性のうち少なくとも１つを特徴とする、形成方法。
【請求項５４】
前記吸着剤は、アルシンガスについて２５℃、圧力６５０トルで測定した充填密度がアルシン４００ｇ／吸着剤１Ｌより高い、請求項５３に記載の方法。
【請求項５５】
前記吸着剤の気孔率全体の少なくとも３０％は、約０．３〜約０．７２ｎｍの範囲のサイズのスリット形状の気孔を含み、並びに前記気孔率全体の少なくとも２０％は、直径２ｎｍ未満のミクロ細孔を含む、請求項５３に記載の方法。
【請求項５６】
前記吸着剤は約０．８０〜約２．０ｇ／ｃｍ3のバルク密度を有する、請求項５３に記載の方法。
【請求項５７】
前記吸着剤は、特性（ａ）及び（ｂ）を特徴としている、請求項４１、４２、４３、４４、及び５３のいずれかに記載の方法。
【請求項５８】
前記吸着剤を活性化するステップをさらに含む、請求項５３に記載の方法。
【請求項５９】
前記活性化は、前記吸着剤の高温の非酸化環境への暴露と、それに引き続き前記吸着剤の酸化環境への暴露とを含む、請求項５３に記載の方法。
【請求項６０】
前記非酸化環境は、窒素を含む、請求項５９に記載の方法。
【請求項６１】
前記酸化環境は、二酸化炭素を含む、請求項５９に記載の方法。
【請求項６２】
前記酸化環境は、水蒸気を含む、請求項５９に記載の方法。
【請求項６３】
前記吸着剤は、前記酸化環境への前記暴露の後、非酸化環境で冷却される、請求項５９に記載の方法。
【請求項６４】
前記吸着剤は、特性（ａ）及び（ｃ）を特徴としている、請求項４１、４２、４３、４４、及び５３のいずれかに記載の方法。
【請求項６５】
前記吸着剤は、特性（ｂ）及び（ｃ）を特徴としている、請求項４１、４２、４３、４４、及び５３のいずれかに記載の方法。
【請求項６６】
前記吸着剤は、炭素質物理的吸着剤を含む、請求項４１、４２、４３、及び４４のいずれかに記載の方法。
【請求項６７】
前記吸着剤は、前記容器の前記内部容積の少なくとも６０％を占める、請求項４１、４２、４３、及び４４のいずれかに記載の方法。
【請求項６８】
前記吸着剤は、前記容器の前記内部容積の約７５〜約９５％を占める、請求項４１、４２、４３、及び４４のいずれかに記載の方法。
【請求項６９】
前記吸着剤は、特性（ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）を特徴としている、請求項４１、４２、４３、及び４４のいずれかに記載の方法。
【請求項７０】
熱分解可能材料をモノリス形態に成形して前記熱分解材料を形成するステップをさらに含む、請求項５３に記載の方法。
【請求項７１】
前記吸着剤は、炭素質物理的吸着剤を含む、請求項５７、６４、及び６５のいずれかに記載の方法。
【請求項７２】
前記熱分解状態は、１０００℃未満の温度を含む、請求項５３に記載の方法。
【請求項７３】
前記吸着剤は、１つ以上の円盤形状モノリス吸着剤製品を含む、請求項４１、４４、及び５３のいずれかに記載の方法。
【請求項７４】
前記複数の製品の各々は、三次元（ｘ、ｙ、ｚ）の各寸法が１．５ｃｍより大きい立体的特性を有する、請求項７３に記載の方法。
【請求項７５】
前記複数の製品の各々は、約０．１０〜約０．８０の高さ対直径比、Ｈ／Ｄを有する、請求項７３に記載の方法。
【請求項７６】
前記流体は、アルシンを含む、請求項４３及び４４のいずれかに記載の方法。
【請求項７７】
前記流体は、ホスフィンを含む、請求項４３及び４４のいずれかに記載の方法。
【請求項７８】
前記熱分解可能材料は、有機樹脂を含む、請求項５３に記載の方法。
【請求項７９】
前記熱分解可能材料は、ポリ塩化ビニリデン、フェノール・ホルムアルデヒド樹脂、ポリフルフリルアルコール、椰子殻、ピーナッツ殻、桃の種、オリーブの種、ポリアクリロニトリル、及びポリアクリルアミドからなる群から選択された素材を含む、請求項５３に記載の方法。
【請求項８０】
前記熱分解可能材料は、前記流体貯蔵・計量分配システムの流体貯蔵・計量分配容器内のその場で熱分解される、請求項５３に記載の方法。
【請求項８１】
前記流体は、セレン化水素を含む、請求項４３及び４４のいずれかに記載の方法。
【請求項８２】
前記吸着剤は、流体貯蔵・計量分配容器内に入っている、請求項４４に記載の方法。
【請求項８３】
前記容器は、半導体製造器具と流動連通して結合される、請求項８２に記載の方法。
【請求項８４】
前記吸着剤は、炭素質物理的吸着剤を含む、請求項６９に記載の方法。
【請求項８５】
前記流体は、アルシンを含む、請求項８４に記載の方法。
【請求項８６】
前記流体はホスフィンを含む、請求項８４に記載の方法。
【請求項８７】
前記熱分解可能な材料は、ポリ塩化ビニリデン樹脂を含む、請求項５３に記載の方法。
【請求項８８】
前記吸着剤に添加剤を添加するステップをさらに含む、請求項５３に記載の方法。
【請求項８９】
前記添加剤は、ホウ酸、四ホウ酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、及びリン酸水素二ナトリウムからなる群から選択された少なくとも１つの薬剤を含む、請求項８８に記載の方法。
【請求項９０】
前記流体は、三フッ化ホウ素を含む、請求項８４に記載の方法。
【請求項９１】
前記吸着剤は、前記容器の前記内部容積の少なくとも６０％を占める、請求項８４に記載の方法。
【請求項９２】
前記流体は、水素化物、ハロゲン化物、及び有機金属の気体試薬からなる群から選択された流体を含む、請求項４３及び４４のいずれかに記載の方法。
【請求項９３】
前記流体は、シラン、ゲルマン、アルシン、ホスフィン、ホスゲン、ジボラン、ゲルマン、アンモニア、スチビン、硫化水素、セレン化水素、テルル化水素、亜酸化窒素、シアン化水素、酸化エチレン、重水素化水素化物、ハロゲン化物（塩素、臭素、フッ素、及びヨウ素）化合物、及び有機金属化合物からなる群から選択された流体を含む、請求項４３及び４４のいずれかに記載の方法。
【請求項９４】
前記吸着剤は、前記容器の前記内部容積の約７５〜約９５％を占める、請求項９１に記載の方法。
【請求項９５】
炭素質熱分解モノリス吸着剤であって、
（ａ）アルシンガスについて２５℃、圧力６５０トルで測定した充填密度が、アルシン４００ｇ／吸着剤１Ｌより高い充填密度であり、
（ｂ）前記吸着剤の気孔率全体の少なくとも３０％は、約０．３〜約０．７２ｎｍの範囲のサイズのスリット形状の気孔を含み、並びに前記気孔率全体の少なくとも２０％は、直径２ｎｍ未満のミクロ細孔を含んでおり、
（ｃ）約０．８０〜約２．０ｇ／ｃｍ3のバルク密度を有する、
という特性のうち少なくとも１つを特徴としている、炭素質熱分解モノリス吸着剤。
【請求項９６】
前記吸着剤は、特性（ａ）を特徴としている、請求項９５に記載の吸着剤。
【請求項９７】
前記吸着剤は、特性（ｂ）を特徴としている、請求項９５に記載の吸着剤。
【請求項９８】
前記吸着剤は、特性（ｃ）を特徴としている、請求項９５に記載の吸着剤。
【請求項９９】
前記吸着剤は、特性（ａ）及び（ｂ）を特徴としている、請求項９５に記載の吸着剤。
【請求項１００】
前記容器は、金属、ガラス、セラミック、ガラス質素材、ポリマー、及び複合素材からなる群から選択された構造素材を含む、請求項４１及び８０のいずれかに記載の方法。
【請求項１０１】
前記吸着剤は、特性（ｂ）及び（ｃ）を特徴としている、請求項９５に記載の吸着剤。
【請求項１０２】
前記吸着剤は、特性（ａ）及び（ｃ）を特徴としている、請求項９５に記載の吸着剤。
【請求項１０３】
前記吸着剤は、その気孔率の少なくとも３０％が直径２ｎｍ未満の孔である、請求項４１、４４、及び５３のいずれかに記載の方法。
【請求項１０４】
前記流体は、三フッ化ホウ素を含む、請求項４３及び４４のいずれかに記載の方法。
【請求項１０５】
前記吸着剤は、１つ以上の炭素質熱分解モノリス製品を含む、請求項４１、４４、及び５３のいずれかに記載の方法。
【請求項１０６】
前記吸着剤は、特性（ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）を特徴としている、請求項９５に記載の吸着剤。
【請求項１０７】
１つ以上の熱分解モノリス吸着剤製品を含み、前記複数の製品の各々は円盤形状を有する、請求項９５に記載の吸着剤。
【請求項１０８】
前記複数の製品の各々は、約０．１０〜約０．８０の高さ対直径比、Ｈ／Ｄを有する、請求項１０７に記載の方法。