【手続補正書】
【提出日】平成19年9月7日(2007.9.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料と探針との間に作用する物理量の変化に基づいて当該試料の表面の状態の検出を行う第一の検出手段と、
前記試料からの光の光量に基づいて当該試料の画像を得るために、当該試料への光の照射と当該照射がされた当該試料からの光の光量の検出とを行う第二の検出手段と、
前記第一の検出手段に対する指示を取得する第一の指示取得手段と、
前記指示の取得に応じ、前記第二の検出手段の動作を抑制する制御を行う抑制手段と、を有することを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項２】
試料と探針との間に作用する物理量の変化に基づいて当該試料の表面の状態の検出を行う探針プローブを有する第一の検出手段と、
前記試料からの光の光量に基づいて当該試料の画像を得るために、対物レンズを介して当該試料への光の照射と当該照射がされた当該試料からの光の光量の検出とを行う第二の検出手段と、
前記探針プローブと前記対物レンズとを切り替え可能に制御する電動切替手段と、
前記電動切替手段に対し、前記探針プローブと前記対物レンズとの切り替えを指示する切替指示手段と、
前記切替指示手段の指示により、前記探針プローブが前記試料に対向して配置されたとき、前記第二の検出手段の動作を抑制する制御を行う抑制手段と、を有することを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項３】
前記第二の検出手段が前記試料へ照射する光はレーザ光であり、
前記第二の検出手段は、前記試料へ照射する前記レーザ光を前記試料の表面で走査させる走査手段を有しており、
前記抑制手段は、前記走査手段による前記レーザ光の走査動作を抑制する制御を行う、ことを特徴とする請求項１または２記載の顕微鏡装置。
【請求項４】
前記抑制手段は、前記走査手段の走査動作を完全に停止させる制御、前記走査手段の走査角度を減少させる制御、または前記走査手段の走査速度を減少させる制御を行なう、ことを特徴とする請求項３記載の顕微鏡装置。
【請求項５】
前記第二の検出手段が前記試料へ照射する光はレーザ光であり、
前記抑制手段は、前記レーザ光の発生を停止させる制御、前記レーザ光の光量を減少させる制御、または前記レーザ光を遮光する制御を行う、ことを特徴とする請求項１または２記載の顕微鏡装置。
【請求項６】
前記第二の検出手段が前記試料へ照射する光は白色光であり、
前記抑制手段は、前記白色光の発生を停止させる制御、前記白色光の光量を減少させる制御、または前記白色光を遮光する制御を行う、ことを特徴とする請求項１または２記載の顕微鏡装置。
【請求項７】
前記第二の検出手段に対する指示を取得する第二の指示取得手段を更に有し、
前記第二の検出手段の動作を抑制する制御が行われているとき、前記第二の指示取得手段が前記第二の検出手段に対する指示を取得したときには、前記抑制手段は、前記第二の検出手段の動作を抑制する制御を解除する、ことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡装置。
【請求項８】
前記第一の検出手段は、走査型プローブ顕微鏡の機能を提供する探針ユニットであり、前記第二の検出手段は、レーザ走査型顕微鏡の機能を提供するレーザ走査型顕微鏡部であること、を特徴とする請求項１記載の顕微鏡装置。
【請求項９】
前記抑制手段は、前記切替指示手段の指示により、前記探針プローブから前記対物レンズが前記試料に対向して配置されたときには、前記第二の検出手段の動作を抑制する制御を解除する、ことを特徴とする請求項２記載の顕微鏡装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項１記載による本発明は、試料と探針との間に作用する物理量の変化に基づいて当該試料の表面の状態の検出を行う第一の検出手段と、前記試料からの光の光量に基づいて当該試料の画像を得るために、当該試料への光の照射と当該照射がされた当該試料からの光の光量の検出とを行う第二の検出手段と、前記第一の検出手段に対する指示を取得する第一の指示取得手段と、前記指示の取得に応じ、前記第二の検出手段の動作を抑制する制御を行う抑制手段とを有することを特徴とする顕微鏡装置である。
請求項２記載による本発明は、試料と探針との間に作用する物理量の変化に基づいて当該試料の表面の状態の検出を行う探針プローブを有する第一の検出手段と、前記試料からの光の光量に基づいて当該試料の画像を得るために、対物レンズを介して当該試料への光の照射と当該照射がされた当該試料からの光の光量の検出とを行う第二の検出手段と、前記探針プローブと前記対物レンズとを切り替え可能に制御する電動切替手段と、前記電動切替手段に対し、前記探針プローブと前記対物レンズとの切り替えを指示する切替指示手段と、前記切替指示手段の指示により、前記探針プローブが前記試料に対向して配置されたとき、前記第二の検出手段の動作を抑制する制御を行う抑制手段とを有することを特徴とする顕微鏡装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項３記載による本発明は、請求項１または２記載の顕微鏡装置において、前記第二の検出手段が前記試料へ照射する光はレーザ光であり、前記第二の検出手段は、前記試料へ照射する前記レーザ光を前記試料の表面で走査させる走査手段を有しており、前記抑制手段は、前記走査手段による前記レーザ光の走査動作を抑制する制御を行うことを特徴とする。
請求項４記載による本発明は、請求項３記載の顕微鏡装置において、前記抑制手段は、前記走査手段の走査動作を完全に停止させる制御、前記走査手段の走査角度を減少させる制御、または前記走査手段の走査速度を減少させる制御を行なうことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項５記載による本発明は、請求項１または２記載の顕微鏡装置において、前記第二の検出手段が前記試料へ照射する光はレーザ光であり、前記抑制手段は、前記レーザ光の発生を停止させる制御、前記レーザ光の光量を減少させる制御、または前記レーザ光を遮光する制御を行うことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項６記載による本発明は、請求項１または２記載の顕微鏡装置において、前記第二の検出手段が前記試料へ照射する光は白色光であり、前記抑制手段は、前記白色光の発生を停止させる制御、前記白色光の光量を減少させる制御、または前記白色光を遮光する制御を行うことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項７記載による本発明は、請求項１記載の顕微鏡装置において、前記第二の検出手段に対する指示を取得する第二の指示取得手段を更に有し、前記第二の検出手段の動作を抑制する制御が行われているとき、前記第二の指示取得手段が前記第二の検出手段に対する指示を取得したときには、前記抑制手段は、前記第二の検出手段の動作を抑制する制御を解除することを特徴とする。
請求項８記載による本発明は、請求項１記載の顕微鏡装置において、前記第一の検出手段は、走査型プローブ顕微鏡の機能を提供する探針ユニットであり、前記第二の検出手段は、レーザ走査型顕微鏡の機能を提供するレーザ走査型顕微鏡部であることを特徴とする。
請求項９記載による本発明は、請求項２記載の顕微鏡装置において、前記抑制手段は、前記切替指示手段の指示により、前記探針プローブから前記対物レンズが前記試料に対向して配置されたときには、前記第二の検出手段の動作を抑制する制御を解除することを特徴とする。