【手続補正書】
【提出日】平成30年11月30日(2018.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ）構造（Ｉ）の可溶性マルチ−リガンド−置換された金属化合物：
【化１】
2018507933.tif 000001
ここで、Ｍは（４）価を有する金属であり、
ｎは１〜２０であり、そして、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３およびＲ４は、１）、２）、３）またはそれらの混合物から独立して選択される部分であり、ここでＲ１、Ｒ２、Ｒ３およびＲ４の少なくとも一つは１）または２）から選択され、
ここで、
１）は有機部分（ＩＩ）であり、
【化２】
2018507933.tif 000002
ここで、Ｒ８は、Ｃ２−Ｃ１０アルキレン、Ｃ３−Ｃ１２分岐アルキレン、Ｃ５−Ｃ１２シクロアルキレン、Ｃ＝Ｃ二重結合含有のＣ２−Ｃ１０アルキレン、Ｃ＝Ｃ二重結合含有のＣ３−Ｃ１２分岐アルキレン、および、Ｃ＝Ｃ二重結合含有のＣ５−Ｃ１２シクロアルキレンから成る群から選択され、かつ、Ｒ９は水素またはアルキルオキシカルボニル部分（ＩＶ）であり、Ｒ１０は、Ｃ１−Ｃ８アルキル基であり、
【化３】
2018507933.tif 000003
２）は、構造（ＩＩＩ）を有する少なくとも２個の炭素を有するケイ素含有有機部分であり、
【化４】
2018507933.tif 000004
Ｒ５およびＲ６は、独立して、Ｃ１〜Ｃ８アルキル、Ｃ３〜Ｃ１２分岐アルキル、またはアリールから選択され、Ｒ７は、独立して、Ｃ１〜Ｃ８アルキル、アリール、ヒドロキシルまたは構造（Ｖ）のシロキサンから選択され、
ここで、Ｒ１１は、水素、Ｃ１〜Ｃ８アルキル部分、ヒドロキシル基で置換されたＣ１〜Ｃ８アルキル部分、またはアリール部分であり、
Ｒ１２およびＲ１３は、Ｃ１〜Ｃ８アルキル部分、Ｃ３−Ｃ１２分岐アルキル部分、またはアリール部分から独立して選択され、式中、ｐはシロキサン部分（Ｖ）中の繰り返し単位の数を表し、そして
【化５】
2018507933.tif 000005
３）は、Ｃ２〜Ｃ８アルキル、Ｃ６〜Ｃ１６アリールまたは置換アリール、Ｃ２〜Ｃ８アルキルカルボキシル、Ｃ６〜Ｃ１６アリールまたは置換アリールカルボキシル、フッ素化Ｃ２〜Ｃ８アルキルカルボキシル、フッ素化Ｃ６〜Ｃ１６アリールまたは置換アリールカルボキシル、Ｃ２〜Ｃ８アルキルスルホニル、Ｃ６〜Ｃ１６アリールまたは置換アリールスルホニル、フッ素化Ｃ２〜Ｃ８アルキルスルホニル、フッ素化Ｃ６〜Ｃ１６アリールまたは置換アリールスルホニル、およびそれらの混合物から成る群から選択される有機部分であり；
ｂ）構造（ＶＩ）を有するポリオール化合物
【化６】
2018507933.tif 000006
ここで、ＸはＣまたはＮであり、ｒは少なくとも２であり、ｑは０−２の範囲であり、そして、ＸがＣである場合、ｑとｒの合計は４であり、ＸがＮである場合、ｑとｒの合計が３であり、
さらに、Ｒ１４は水素、Ｃ１〜Ｃ８アルキル部分またはＣ２〜Ｃ８ヒドロキシアルキレン部分であり；ＸがＮである場合、ＹはＣ２〜Ｃ８アルキレン部分であり；ＸがＣである場合、Ｙは、直接原子価結合、Ｃ２〜Ｃ８アルキレン部分、または構造（ＶＩＩ）を有するアルコキシアルキレン鎖を含む部分から独立して選択され、ここで、Ｒ１５はＣ２〜Ｃ８アルキレン部分であり、ｔが０〜２であり、ｔ’は１〜２である；
【化７】
2018507933.tif 000007
並びに
ｃ）溶媒
を含む組成物。
【請求項２】
ａ）構造（Ｉ）の可溶性マルチ−リガンド−置換された金属化合物：
【化１】
2018507933.tif 000008
ここで、Ｍは（４）価を有する金属であり、
ｎは１〜２０であり、そして、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３およびＲ４は、１）、２）、３）またはそれらの混合物から独立して選択される部分であり、
ここで、
１）は有機部分（ＩＩ）であり、
【化２】
2018507933.tif 000009
ここで、Ｒ８は、Ｃ２−Ｃ１０アルキレン、Ｃ３−Ｃ１２分岐アルキレン、Ｃ５−Ｃ１２シクロアルキレン、Ｃ＝Ｃ二重結合含有のＣ２−Ｃ１０アルキレン、Ｃ＝Ｃ二重結合含有のＣ３−Ｃ１２分岐アルキレン、および、Ｃ＝Ｃ二重結合含有のＣ５−Ｃ１２シクロアルキレンから成る群から選択され、かつ、Ｒ９は水素またはアルキルオキシカルボニル部分（ＩＶ）であり、Ｒ１０は、Ｃ１−Ｃ８アルキル基であり、
【化３】
2018507933.tif 000010
２）は、構造（ＩＩＩ）を有する少なくとも２個の炭素を有するケイ素含有有機部分であり、
【化４】
2018507933.tif 000011
Ｒ５およびＲ６は、独立して、Ｃ１〜Ｃ８アルキル、Ｃ３〜Ｃ１２分岐アルキル、またはアリールから選択され、Ｒ７は、独立して、Ｃ１〜Ｃ８アルキル、アリール、ヒドロキシルまたは構造（Ｖ）のシロキサンから選択され、
ここで、Ｒ１１は、水素、Ｃ１〜Ｃ８アルキル部分、ヒドロキシル基で置換されたＣ１〜Ｃ８アルキル部分、またはアリール部分であり、
Ｒ１２およびＲ１３は、Ｃ１〜Ｃ８アルキル部分、Ｃ３−Ｃ１２分岐アルキル部分、またはアリール部分から独立して選択され、式中、ｐはシロキサン部分（Ｖ）中の繰り返し単位の数を表し、そして
【化５】
2018507933.tif 000012
３）は、Ｃ２〜Ｃ８アルキル、Ｃ６〜Ｃ１６アリールまたは置換アリール、Ｃ２〜Ｃ８アルキルカルボキシル、Ｃ６〜Ｃ１６アリールまたは置換アリールカルボキシル、フッ素化Ｃ２〜Ｃ８アルキルカルボキシル、フッ素化Ｃ６〜Ｃ１６アリールまたは置換アリールカルボキシル、Ｃ２〜Ｃ８アルキルスルホニル、Ｃ６〜Ｃ１６アリールまたは置換アリールスルホニル、フッ素化Ｃ２〜Ｃ８アルキルスルホニル、フッ素化Ｃ６〜Ｃ１６アリールまたは置換アリールスルホニル、およびそれらの混合物から成る群から選択される有機部分であり
ここで、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３およびＲ４は部分１）、部分２）およびそれらの混合物から成る群から選択され；
ｂ）構造（ＶＩ）を有するポリオール化合物
【化６】
2018507933.tif 000013
ここで、ＸはＣまたはＮであり、ｒは少なくとも２であり、ｑは０−２の範囲であり、そして、ＸがＣである場合、ｑとｒの合計は４であり、ＸがＮである場合、ｑとｒの合計が３であり、
さらに、Ｒ１４は水素、Ｃ１〜Ｃ８アルキル部分またはＣ２〜Ｃ８ヒドロキシアルキレン部分であり；ＸがＮである場合、ＹはＣ２〜Ｃ８アルキレン部分であり；ＸがＣである場合、Ｙは、直接原子価結合、Ｃ２〜Ｃ８アルキレン部分、または構造（ＶＩＩ）を有するアルコキシアルキレン鎖を含む部分から独立して選択され、ここで、Ｒ１５はＣ２〜Ｃ８アルキレン部分であり、ｔが０〜２であり、ｔ’は１〜２である；
【化７】
2018507933.tif 000014
並びに
ｃ）溶媒
を含む組成物。
【請求項３】
ａ）構造（Ｉ）の可溶性マルチ−リガンド−置換された金属化合物：
【化１】
2018507933.tif 000015
ここで、Ｍは（４）価を有する金属であり、
ｎは１〜２０であり、そして、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３およびＲ４は、１）、２）、３）またはそれらの混合物から独立して選択される部分であり、
ここで、
１）は有機部分（ＩＩ）であり、
【化２】
2018507933.tif 000016
ここで、Ｒ８は、Ｃ２−Ｃ１０アルキレン、Ｃ３−Ｃ１２分岐アルキレン、Ｃ５−Ｃ１２シクロアルキレン、Ｃ＝Ｃ二重結合含有のＣ２−Ｃ１０アルキレン、Ｃ＝Ｃ二重結合含有のＣ３−Ｃ１２分岐アルキレン、および、Ｃ＝Ｃ二重結合含有のＣ５−Ｃ１２シクロアルキレンから成る群から選択され、かつ、Ｒ９は水素またはアルキルオキシカルボニル部分（ＩＶ）であり、Ｒ１０は、Ｃ１−Ｃ８アルキル基であり、
【化３】
2018507933.tif 000017
２）は、構造（ＩＩＩ）を有する少なくとも２個の炭素を有するケイ素含有有機部分であり、
【化４】
2018507933.tif 000018
Ｒ５およびＲ６は、独立して、Ｃ１〜Ｃ８アルキル、Ｃ３〜Ｃ１２分岐アルキル、またはアリールから選択され、Ｒ７は、独立して、Ｃ１〜Ｃ８アルキル、アリール、ヒドロキシルまたは構造（Ｖ）のシロキサンから選択され、
ここで、Ｒ１１は、水素、Ｃ１〜Ｃ８アルキル部分、ヒドロキシル基で置換されたＣ１〜Ｃ８アルキル部分、またはアリール部分であり、
Ｒ１２およびＲ１３は、Ｃ１〜Ｃ８アルキル部分、Ｃ３−Ｃ１２分岐アルキル部分、またはアリール部分から独立して選択され、式中、ｐはシロキサン部分（Ｖ）中の繰り返し単位の数を表し、そして
【化５】
2018507933.tif 000019
ここで、部分２）が、構造（Ｉ）中の部分Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３およびＲ４の全モルの３０モル％〜６０モル％の範囲にあり、さらに、構造（ＩＩ）の有機部分１）が構造（Ｉ）中の部分Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３およびＲ４の全モルの３０モル％〜６０モル％の範囲にあり、
そして、
３）は、Ｃ２〜Ｃ８アルキル、Ｃ６〜Ｃ１６アリールまたは置換アリール、Ｃ２〜Ｃ８アルキルカルボキシル、Ｃ６〜Ｃ１６アリールまたは置換アリールカルボキシル、フッ素化Ｃ２〜Ｃ８アルキルカルボキシル、フッ素化Ｃ６〜Ｃ１６アリールまたは置換アリールカルボキシル、Ｃ２〜Ｃ８アルキルスルホニル、Ｃ６〜Ｃ１６アリールまたは置換アリールスルホニル、フッ素化Ｃ２〜Ｃ８アルキルスルホニル、フッ素化Ｃ６〜Ｃ１６アリールまたは置換アリールスルホニル、およびそれらの混合物から成る群から選択される有機部分であり；
ｂ）構造（ＶＩ）を有するポリオール化合物
【化６】
2018507933.tif 000020
ここで、ＸはＣまたはＮであり、ｒは少なくとも２であり、ｑは０−２の範囲であり、そして、ＸがＣである場合、ｑとｒの合計は４であり、ＸがＮである場合、ｑとｒの合計が３であり、
さらに、Ｒ１４は水素、Ｃ１〜Ｃ８アルキル部分またはＣ２〜Ｃ８ヒドロキシアルキレン部分であり；ＸがＮである場合、ＹはＣ２〜Ｃ８アルキレン部分であり；ＸがＣである場合、Ｙは、直接原子価結合、Ｃ２〜Ｃ８アルキレン部分、または構造（ＶＩＩ）を有するアルコキシアルキレン鎖を含む部分から独立して選択され、ここで、Ｒ１５はＣ２〜Ｃ８アルキレン部分であり、ｔが０〜２であり、ｔ’は１〜２である；
【化７】
2018507933.tif 000021
並びに
ｃ）溶媒
を含む組成物。
【請求項４】
前記金属が、ケイ素（４）、チタン（４）、ジルコニウム（４）、タンタル（４）、鉛（４）、ハフニウム（４）、モリブデン（４）、ゲルマニウム（４）、スズ（４）およびタングステン（４）からなる群から選択される、請求項１〜３のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項５】
前記ケイ素含有有機部分２）が以下から成る群から選択される、
【化８】
2018507933.tif 000022
請求項１〜４のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項６】
Ｒ７が構造（Ｖ）を有する、請求項１〜５のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項７】
前記有機部分３）が以下から成る群から選択される、
【化９】
2018507933.tif 000023
請求項１〜６のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項８】
構造（ＶＩ）を有する前記ポリオールが構造（ＶＩＩ）を有するＹを有し、さらにこのポリオールが５００未満の質量平均分子量および２５０℃より高い沸点を有する、請求項１〜７のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項９】
構造（ＶＩ）を有する前記ポリオールが、テトラエチレングリコール、トリエチレングリコール、グリセロール、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、ネオペンチルグリコール、グリセロールプロポキシレートおよびペンタエリスリトールエトキシレートからなる群から選択される、請求項１〜８のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１０】
前記ポリオールが、構造ＶＩＩＩ、ＩＸ、Ｘ、ＸＩおよびＸＩＩを有する化合物からなる群から選択される、
【化１０】
2018507933.tif 000024
請求項１〜９のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１１】
前記ポリオールが、前記組成物中の全固形分の６０質量％未満かつ５質量％超の含有量を有する、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１２】
前記溶媒が、アルコール、エステル、ケトン、ラクトン、ジケトン、芳香族部分、カルボン酸、アミド、または、これらの混合物から選択される、請求項１〜１１のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１３】
熱酸発生剤、熱塩基発生剤、および熱活性化過酸化物からなる群から選択される少なくとも一つの付加的な成分をさらに含む、請求項１〜１２のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１４】
界面活性剤、表面平滑化剤、架橋添加剤、および熱活性化触媒からなる群から選択される少なくとも一つの付加的な成分をさらに含む、請求項１〜１３のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１５】
構造（Ｉ）中のｎが２〜２０である、請求項１〜１４のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１６】
構造（Ｉ）中のｎが１である、請求項１〜１４のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１７】
以下を含む電子デバイスの製造方法、
ａ．基板上に請求項１〜１６のいずれか一つに記載の組成物を塗布すること；そして、
ｂ．１５０℃〜４００℃の温度でフィルムをベーク処理すること。
【請求項１８】
前記基板はトポグラフィ形態を含むパターン化基体であり、ここで、フィルムをベークした後、さらに、以下の工程を含む請求項１７に記載の電子デバイスの製造方法：
ｃ．パターン化された基板の上部を覆う組成物を化学剥離剤またはフッ素化プラズマエッチングで除去する。
【請求項１９】
パターン化された基板はパターン化された有機ポリマー層であり、ここで、更に以下の工程を含む請求項１８に記載の電子デバイスの製造方法；
ｄ．パターン化された有機ポリマーを酸素プラズマで除去し、それによって元のパターン化されたフォトレジストのネガ型画像を形成する。
【請求項２０】
前記基板が、中空のトポグラフィ形態を含むパターン形成された基板であり、ここで、フィルムを焼成した後、当該方法は更に以下の工程を含む請求項１７に記載の電子デバイスの製造方法；
ｃ．前記中空のトポグラフィ形態が前記金属酸化物材料で部分的に充填されるように、組成物を化学剥離剤またはフッ素化プラズマエッチングで除去すること。