【手続補正書】
【提出日】平成19年1月26日(2007.1.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力信号線（Ｉ０，Ｉ１，…）、出力信号線（Ｏ０，Ｏ１，…）及び前記入力信号線と前記出力信号線との間に接続された複数のゲート（Ｇ０，Ｇ１，…）を有する半導体論理回路装置（１）の故障診断方法において、前記半導体論理回路装置の回路内の物理欠陥によって該回路の複数の信号線（ｂ１，ｂ２，…）に出現可能な故障論理値を異なる記号（Ｘ１，Ｘ２，…）で表現することを特徴とする半導体論理回路装置の故障診断方法。
【請求項２】
入力信号線（Ｉ０，Ｉ１，…）、出力信号線（Ｏ０，Ｏ１，…）及び前記入力信号線と前記出力信号線との間に接続された複数のゲート（Ｇ０，Ｇ１，…）を有する半導体論理回路装置（１）の故障診断方法において、
前記半導体論理回路装置の回路情報に従って、前記複数のゲートの１つのゲートのファンアウト信号線（ｂ１，ｂ２，…）に出現可能な故障論理値を表す記号（Ｘ１，Ｘ２，…）を挿入する記号挿入工程と、
前記半導体論理回路装置の回路情報に従って、前記記号を挿入した状態でテスト入力ベクトル（ＶＥＣ）を前記半導体論理回路装置の入力信号線に入力してシミュレーション出力ベクトル（ＳＭＯ）を前記半導体論理回路装置の出力信号線に得るシミュレーション工程と、
前記半導体論理回路装置の入力信号線に前記テスト入力ベクトルを入力した際の該半導体論理回路装置の出力信号線に得られる観測出力ベクトル（ＯＢＯ）と前記シミュレーション出力ベクトルとの比較結果に応じて前記半導体論理回路装置の故障存在被疑領域を特定化する故障診断工程と
を具備することを特徴とする半導体論理回路装置の故障診断方法。
【請求項３】
前記シミュレーション工程は、
前記テスト入力ベクトル（ＶＥＣ）を前記半導体論理回路装置の入力信号線に入力して前記記号を前記ファンアウト信号線の番号情報と共に前記半導体論理回路装置の出力信号線に伝播させて該出力信号線に初期シミュレーション出力ベクトル（ＩＳＯ）を得る信号伝播工程
を具備する請求項２に記載の半導体論理回路装置の故障診断方法。
【請求項４】
前記信号伝播工程は、
条件１：前記記号の反転記号を許容する、
条件２：前記各ゲートの演算結果が０及び１のいずれでもなくかつ前記記号及び該記号の反転記号でもない場合には前記ファンアウト信号線の番号情報を含む新しい記号を生成する
に従う請求項３に記載の半導体論理回路装置の故障診断方法。
【請求項５】
さらに、前記シミュレーション工程は、
前記挿入された記号のうち、前記初期シミュレーション出力ベクトルに含まれている前記ファンアウト信号線の番号に対応する記号に対して２値論理シミュレーションを行うことにより前記半導体論理回路装置の出力信号線に出力ベクトルを得、該出力ベクトルから前記半導体論理回路装置の期待出力ベクトル（ＥＸＯ）を除いて前記シミュレーション出力ベクトル（Ｐ１，Ｐ２，…）を得る記号分解工程
を具備する請求項３に記載の半導体論理回路装置の故障診断方法。
【請求項６】
さらに、前記半導体論理回路装置の回路情報に従って、故障候補ゲートから到達可能な前記半導体論理回路装置の出力信号線を表す到達可能出力ベクトル（ＡＲＯ）を演算する到達可能出力ベクトル演算工程を具備し、
前記故障診断工程は、
前記テスト入力ベクトルを入力した際の観測出力ベクトル（ＯＢＯ）と前記テスト入力ベクトルを入力した際の期待出力ベクトル（ＥＸＯ）とを比較する第１の比較工程と、
前記観測出力ベクトルが前記期待出力ベクトルと不一致のときのみ、前記テスト入力ベクトルを入力した際の前記故障候補ゲート（Ｇｉ）のシミュレーション出力ベクトルと前記観測出力ベクトルとを比較する第２の比較工程と、
前記シミュレーション出力ベクトルと前記観測出力ベクトルとが一致したとき、第１のマッチング値を、前記故障候補ゲートの到達可能出力ベクトルによって定められる範囲内の前記観測出力ベクトルと前記期待出力ベクトルとのエラー率及び前記故障候補ゲートの前記半導体論理回路装置の出力信号線までの実質的距離に依存する故障レベルによって演算する第１のマッチング値演算工程と、
前記シミュレーション出力ベクトルと前記観測出力ベクトルとが不一致のとき、第２のマッチング値を０とする第２のマッチング値演算工程と、
前記シミュレーション出力ベクトルの数の前記第１、第２のマッチング値の平均値を第３のマッチング値として演算する第３のマッチング演算工程と
を具備する請求項２に記載の半導体論理回路装置の故障診断方法。
【請求項７】
前記第１のマッチング値は、
ｐ(ＦＶＥＣ，Ｇｉ，ｊ)
＝（Ｌ(Ｇｉ)／Ｌｍａｘ）・（ＤＥＦ∩ＡＲＯ）／｜ＡＲＯ｜
ただし、ＦＶＥＣはテスト入力ベクトル、
Ｇｉは故障候補ゲート、
ｊはシミュレーション出力ベクトルの番号（＝１，２，…，ｋ）、
ＤＥＦは観測出力ベクトルＯＢＯと期待出力ベクトルＥＸＯとの排他的論理オアによる差分ベクトル、
ＡＲＯは到達可能出力ベクトル、
Ｌ(Ｇｉ)は、１）出力信号線の故障レベルをＬ＝１とし、２）あるゲートの出力の故障レベルをＬとすると、その入力の故障レベルをＬ＋１とし、３）ゲートの信号線の故障レベルをＬ１，Ｌ２，…とすれば、そのゲートの出力（信号線の幹）の故障レベルはＬ１，Ｌ２，…の最大値とする、
ことによって導入される故障レベル、
Ｌｍａｘは前記半導体論理回路装置内の最大故障レベル、
によって演算される請求項６に記載の半導体論理回路装置の故障診断方法。
【請求項８】
さらに、前記故障診断工程は、
前記テスト入力ベクトル及び前記故障候補ゲートを行及び列とする前記第３のマッチング値による故障診断値の原始故障診断値表を生成する原始故障診断値表生成工程と、
前記原始故障診断値表にある行及びある列において零でない故障診断値が唯一である必須故障がある存在する場合に、該必須故障を前記原始故障診断値表から削除して対象故障診断値表とし、該必須故障が存在しない場合に、前記原始故障診断値表を対象故障診断値表とする対象故障診断値表生成工程と、
前記対象故障診断値表から前記テスト入力ベクトルに対して零でない少なくとも１つの故障診断値を有する最小故障集合(被覆)より最小被覆を抽出する最小被覆抽出工程と、
前記必須故障がある場合に該必須故障を前記最小被覆に加えて最小故障集合(マルチプレット)とし、必須故障がない場合に、前記最小被覆を最小故障集合(マルチプレット)とする最小故障集合生成工程と
を具備する請求項６に記載の半導体論理回路装置の故障診断方法。
【請求項９】
さらに、前記故障診断工程は、前記最小故障集合を各故障候補ゲート毎の平均故障診断値を用いて順位付けする最小故障集合順位付け工程を具備する請求項８に記載の半導体論理回路装置の故障診断方法。
【請求項１０】
入力信号線（Ｉ０，Ｉ１，…）、出力信号線（Ｏ０，Ｏ１，…）及び前記入力信号線と前記出力信号線との間に接続された複数のゲート（Ｇ０，Ｇ１，…）を有する半導体論理回路装置（１）の故障診断プログラムにおいて、前記半導体論理回路装置の回路内の物理欠陥によって該回路の複数の信号線（ｂ１，ｂ２，…）に出現可能な故障論理値を異なる記号（Ｘ１，Ｘ２，…）で表現する手順を具備することを特徴とする半導体論理回路装置の故障診断プログラム。
【請求項１１】
入力信号線（Ｉ０，Ｉ１，…）、出力信号線（Ｏ０，Ｏ１，…）及び前記入力信号線と前記出力信号線との間に接続された複数のゲート（Ｇ０，Ｇ１，…）を有する半導体論理回路装置（１）の故障診断プログラムにおいて、
前記半導体論理回路装置の回路情報に従って、前記複数のゲートの１つのゲートのファンアウト信号線（ｂ１，ｂ２，…）に出現可能な故障論理値を表す記号（Ｘ１，Ｘ２，…）を挿入する記号挿入手順と、
前記半導体論理回路装置の回路情報に従って、前記記号を挿入した状態でテスト入力ベクトル（ＶＥＣ）を前記半導体論理回路装置の入力信号線に入力してシミュレーション出力ベクトル（ＳＭＯ）を前記半導体論理回路装置の出力信号線に得るシミュレーション手順と、
前記半導体論理回路装置の入力信号線に前記テスト入力ベクトルを入力した際の該半導体論理回路装置の出力信号線に得られる観測出力ベクトル（ＯＢＯ）と前記シミュレーション出力ベクトルとの比較結果に応じて前記半導体論理回路装置の故障存在被疑領域を特定化する故障診断手順と
を具備することを特徴とする半導体論理回路装置の故障診断プログラム。
【請求項１２】
前記シミュレーション手順は、
前記テスト入力ベクトル（ＶＥＣ）を前記半導体論理回路装置の入力信号線に入力して前記記号を前記ファンアウト信号線の番号と共に前記半導体論理回路装置の出力信号線に伝播させて該出力信号線に初期シミュレーション出力ベクトル（ＩＳＯ）を得る信号伝播手順
を具備する請求項１１に記載の半導体論理回路装置の故障診断プログラム。
【請求項１３】
前記信号伝播手順は、
条件１：前記記号の反転記号を許容する、
条件２：前記各ゲートの演算結果が０及び１のいずれでもなくかつ前記記号及び該記号の反転記号でもない場合には前記ファンアウト信号線の番号情報を含む新しい記号を生成する
に従う請求項１２に記載の半導体論理回路装置の故障診断プログラム。
【請求項１４】
さらに、前記シミュレーション手順は、
前記挿入された記号のうち、前記初期シミュレーション出力ベクトルに含まれている前記信号線の番号に対応する記号に対して２値論理シミュレーションを行うことにより前記半導体論理回路装置の出力信号線に出力ベクトルを得、該出力ベクトルから前記半導体論理回路装置の期待出力ベクトル（ＥＸＯ）を除いて前記シミュレーション出力ベクトル（Ｐ１，Ｐ２，…）を得る記号分解手順
を具備する請求項１１に記載の半導体論理回路装置の故障診断プログラム。
【請求項１５】
さらに、前記半導体論理回路装置の回路情報に従って、故障候補ゲートから到達可能な前記半導体論理回路装置の出力信号線を表す到達可能出力ベクトル（ＡＲＯ）を演算する到達可能出力ベクトル演算手順を具備し、
前記故障診断手順は、
前記テスト入力ベクトルを入力した際の観測出力ベクトル（ＯＢＯ）と前記テスト入力ベクトルを入力した際の期待出力ベクトル（ＥＸＯ）とを比較する第１の比較手順と、
前記観測出力ベクトルが前記期待出力ベクトルと不一致のときのみ、前記テスト入力ベクトルを入力した際の前記故障候補ゲート（Ｇｉ）のシミュレーション出力ベクトルと前記観測出力ベクトルとを比較する第２の比較手順と、
前記シミュレーション出力ベクトルと前記観測出力ベクトルとが一致したとき、第１のマッチング値を、前記故障候補ゲートの到達可能出力ベクトルによって定められる範囲内の前記観測出力ベクトルと前記期待出力ベクトルとのエラー率及び前記故障候補ゲートの前記半導体論理回路装置の出力信号線までの実質的距離に依存する故障レベルによって演算する第１のマッチング値演算手順と、
前記シミュレーション出力ベクトルと前記観測出力ベクトルとが不一致のとき、第２のマッチング値を０とする第２のマッチング値演算手順と、
前記シミュレーション出力ベクトルの数の前記第１、第２のマッチング値の平均値を第３のマッチング値として演算する第３のマッチング演算手順と
を具備する請求項１１に記載の半導体論理回路装置の故障診断プログラム。
【請求項１６】
前記第１のマッチング値は、
ｐ(ＦＶＥＣ，Ｇｉ，ｊ)
＝（Ｌ(Ｇｉ)／Ｌｍａｘ）・（ＤＥＦ∩ＡＲＯ）／｜ＡＲＯ｜
ただし、ＦＶＥＣはテスト入力ベクトル、
Ｇｉは故障候補ゲート、
ｊはシミュレーション出力ベクトルの番号（＝１，２，…，ｋ）、
ＤＥＦは観測出力ベクトルＯＢＯと期待出力ベクトルＥＸＯとの排他的論理オアによる差分ベクトル、
ＡＲＯは到達可能出力ベクトル、
Ｌ(Ｇｉ)は、１）出力信号線の故障レベルをＬ＝１とし、２）あるゲートの出力の故障レベルをＬとすると、その入力の故障レベルをＬ＋１とし、３）ゲートの信号線の故障レベルをＬ１，Ｌ２，…とすれば、そのゲートの出力（信号線の幹）の故障レベルはＬ１，Ｌ２，…の最大値とする、
ことによって導入される故障レベル、
Ｌｍａｘは前記半導体論理回路装置内の最大故障レベル、
によって演算される請求項１５に記載の半導体論理回路装置の故障診断プログラム。
【請求項１７】
さらに、前記故障診断手順は、
前記テスト入力ベクトル及び前記故障候補ゲートを行及び列とする前記第３のマッチング値による故障診断値の原始故障診断値表を生成する原始故障診断値表生成手順と、
前記原始故障診断値表にある行及びある列において零でない故障診断値が唯一である必須故障がある存在する場合に、該必須故障を前記原始故障診断値表から削除して対象故障診断値表とし、該必須故障が存在しない場合に、前記原始故障診断値表を対象故障診断値表とする対象故障診断値表生成手順と、
前記対象故障診断値表から前記テスト入力ベクトルに対して零でない少なくとも１つの故障診断値を有する最小故障集合(被覆)より最小被覆を抽出する最小被覆抽出手順と、
前記必須故障がある場合に該必須故障を前記最小被覆に加えて最小故障集合(マルチプレット)とし、必須故障がない場合に、前記最小被覆を最小故障集合(マルチプレット)とする最小故障集合生成手順と
を具備する請求項１５に記載の半導体論理回路装置の故障診断プログラム。
【請求項１８】
さらに、前記故障診断手順は、前記最小故障集合の各最小故障を各故障候補ゲート毎の平均故障診断値を用いて順位付けする最小故障集合順位付け手順を具備する請求項１７に記載の半導体論理回路装置の故障診断プログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体論理回路装置の故障診断方法及び故障診断プログラム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は半導体論理回路装置の故障診断方法及び故障診断プログラムに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明は、入力信号線、出力信号線及び入力信号線と出力信号線との間に接続された複数のゲートを有する半導体論理回路装置の故障診断方法において、記号挿入工程とは、半導体論理回路装置の回路情報に従って、１つのゲートのファンアウト信号線に出現可能な故障論理値を表す記号を挿入し、シミュレーション工程は、半導体論理回路装置の回路情報に従って、記号を挿入した状態でテスト入力ベクトルを半導体論理回路装置の入力信号線に入力してシミュレーション出力ベクトルを出力信号線に得、故障診断工程は、入力信号線にテスト入力ベクトルを入力した際の出力信号線に得られる観測出力ベクトルとシミュレーション出力ベクトルとの比較結果に応じて半導体論理回路装置の故障存在被疑領域を特定化する。上述の記号は、複雑、動的及び多重の故障を表す。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
さらに、半導体論理回路装置の回路情報に従って、故障候補ゲートから到達可能な出力信号線を表す到達可能出力ベクトルを演算する到達可能出力ベクトル演算工程を具備し、上述の故障診断工程は、テスト入力ベクトルを入力した際の観測出力ベクトルとテスト入力ベクトルを入力した際の期待出力ベクトルとを比較する第１の比較工程と、観測出力ベクトルが期待出力ベクトルと不一致のときのみ、テスト入力ベクトルを入力した際のある故障候補ゲートのシミュレーション出力ベクトルと観測出力ベクトルとを比較する第２の比較工程と、シミュレーション出力ベクトルと観測出力ベクトルとが一致したとき、第１のマッチング値を、故障候補ゲートの到達可能出力ベクトルによって定められる範囲内の観測出力ベクトルと期待出力ベクトルとのエラー率及び故障可能ゲートの出力信号線までの実質的距離に依存する故障レベルによって演算する第１のマッチング値演算工程と、シミュレーション出力ベクトルと観測出力ベクトルとが不一致のとき、第２のマッチング値を０とする第２のマッチング値演算工程と、シミュレーション出力ベクトルの数の第１、第２のマッチング値の平均値を第３のマッチング値として演算する第３のマッチング演算工程とを具備する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
さらに、上述の故障診断工程は、テスト入力ベクトル及び故障ゲートを行及び列とする第３のマッチング値による故障診断値の原始故障診断値表を生成する原始故障診断値表生成工程と、原始故障診断値表にある行及びある列において零でない故障診断値が唯一である必須故障がある存在する場合に、必須故障を原始故障診断値表から削除して対象故障診断値表とし、必須故障が存在しない場合に、原始故障診断値表を対象故障診断値表とする対象故障診断値表生成工程と、対象故障診断値表から入力ベクトルに対して零でない少なくとも１つの故障診断値を有する最小故障集合(被覆)より最小被覆を抽出する最小被覆抽出工程と、必須故障がある場合に必須故障を最小被覆に加えて最小故障集合(マルチプレット)とし、必須故障がない場合に、最小被覆を最小故障集合(マルチプレット)とする最小故障集合生成工程とを具備する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
図１は本発明に係る半導体論理回路装置の故障診断装置の一実施の形態を示すブロック回路図である。図１において、１は故障診断されるべき半導体論理回路装置、２は半導体論理回路装置１の故障診断を行うテスタであって、たとえば、中央処理ユニット（ＣＰＵ）、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）等よりなるコンピュータである。テスタ２は外部から半導体論理回路装置１の回路情報を入力する。回路情報はたとえばＡＮＤ接続、ＯＲ接続、ＮＡＮＤ接続、ＮＯＲ接続等の接続リストの外に、テスト入力ベクトルＶＥＣ、期待出力ベクトルＥＸＯ等を含む。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
図７の(Ａ)に示すごとく、テスト入力ベクトルＶＥＣ２２、故障ゲートＧ０に対しては、Ｘ故障ゲートＧ０のファンアウト信号線ｂ１、ｂ２のみが出力信号線へ到達しているので、ファンアウト信号線ｂ３は考慮することなく、ファンアウト信号線ｂ１、ｂ２、ｂ３の故障値の組合せは（０，０，Ｘ）、（１，０，Ｘ）、（０，１，Ｘ）、（１，１，Ｘ）である。これにより得られるシミュレーション出力ベクトルは（１，０，１）、（０，０，１）、（１，１，１）、（０，０，１）であるが、（１，０，１）は期待出力ベクトルであるので除外する。従って、Ｘ分解によるシミュレーション出力ベクトルは（０，０，１）（＝Ｐ１）、（１，１，１）（＝Ｐ２）、（０，０，１）（＝Ｐ３）となる。また、図７の(Ｂ)に示すごとく、テスト入力ベクトルＶＥＣ２２、Ｘ故障ゲートＧ１に対しては、Ｘ故障ゲートＧ１のファンアウト信号線ｂ１が出力信号線へ到達しているので、ファンアウト信号線ｂ２は考慮することなく、ファンアウト信号線ｂ１、ｂ２の故障値の組合せは（０，Ｘ）、（１，Ｘ）である。これにより得られるシミュレーション出力ベクトルは（０，０，１）、（１，０，１）であるが、（１，０，１）は期待出力ベクトルであるので除外する。従って、Ｘ分解によるシミュレーション出力ベクトルは（０，０，１）（＝Ｐ１）となる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
次に、ステップ９０５において、狭義のマッチング演算を行う。つまり、シミュレーション出力ベクトルＰｊが観測出力ベクトルＯＢＯと一致するか否かを判別する。この結果、シミュレーション出力ベクトルＰｊが観測出力ベクトルＯＢＯと一致していればステップ９０６に進み、他方、シミュレーション出力ベクトルＰｊが観測出力ベクトルＯＢＯと不一致していればステップ９０７に進む。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
また、図１０においても、故障ゲートＧ０は故障ゲートＧ１、Ｇ２よりも出力信号線Ｏ０，Ｏ１，…に遠い。直感的にも、故障ゲートＧ０における故障は故障ゲートＧ１、Ｇ２の故障より出力信号線Ｏ０，Ｏ１，…に出現しにくい。これを考慮するために、故障ゲートＧｉから出力信号線Ｏ０，Ｏ１，…までの実質的距離に依存する故障レベルＬを導入する。故障レベルＬは次の条件に従う。
１）出力信号線Ｏ０，Ｏ１，…の故障レベルをＬ＝１とする。
２）あるゲートの出力の故障レベルをＬとすると、その入力の故障レベルＬ＋１とする。
３）ゲートのファンアウト信号線の故障レベルをＬ１，Ｌ２，…とすれば、そのゲートの出力（ファンアウトの幹）の故障レベルはＬ１，Ｌ２，…の最大値とする。
４）装置内の最大故障レベルをＬｍａｘとする。
故障レベルＬの一例を図１１に示す。たとえば、故障候補ゲートＧ０のファンアウト信号線の故障レベルＬはＬ＝２，Ｌ＝３であり、故障候補ゲートＧ０の出力つまりファンアウトの幹の故障レベルはＬ＝２，Ｌ＝３の最大値のＬ＝３となる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
次に、ステップ３１３において、最小故障集合に対して順位付けを行う。最小故障集合（マルチプレット）の順位付けは、平均故障診断値を用いて行う。すなわち、
｛Ｇ０，Ｇ２，Ｇ４｝＝０．２７＋０．３６＋０．１４＝０．７７
｛Ｇ０，Ｇ３，Ｇ４｝＝０．２７＋０．０４＋０．１４＝０．４５
｛Ｇ１，Ｇ２，Ｇ４｝＝０．１６＋０．３６＋０．１４＝０．６６
｛Ｇ１，Ｇ３，Ｇ４｝＝０．１６＋０．０４＋０．１４＝０．３４
この順位付けにより、｛Ｇ０，Ｇ２，Ｇ４｝が１番目の故障診断結果となる。このようにして、Ｘ故障シミュレーション出力ベクトルとフェイルテスト入力ベクトルの観測出力ベクトルの比較から故障診断値を演算するので客観性の高い故障診断結果が得られる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
【図１】本発明に係る半導体論理回路装置の故障診断装置の一実施の形態を示すブロック回路図である。
【図２】図１の半導体論理回路装置の一例を示し、（Ａ）は回路図、（Ｂ）はテスト入力ベクトルＶＥＣと期待出力ベクトルＥＸＯとの対応表を示す図である。
【図３】図１のテスタの動作を示すフローチャートである。
【図４】図２の情報収集ステップの詳細を示すフローチャートである。
【図５】図４のＸ挿入ステップを説明する回路図である。
【図６】図４のＸ伝播ステップを説明する回路図である。
【図７】図４のＸ分割ステップを説明する回路図である。
【図８】図４の到達可能出力ベクトルを説明する回路図である。
【図９】図２の故障診断ステップの詳細を示すフローチャートである。
【図１０】図９における有効エラー率及び故障レベルを説明する図である。
【図１１】図９における故障レベルの一例を示す回路図である。
【図１２】図３の原始故障診断値表生成ステップにおいて得られる原始故障診断値表の一例を示す図である。
【図１３】図３の故障診断値表生成ステップにおいて得られる対象故障診断値表の一例を示す図である。
【図１４】図３の最小被覆集合抽出ステップを説明する図である。
【図１５】従来の単一縮退故障モデルを用いたパー・テスト故障診断方法の実験結果及び本発明に係るＸ故障モデルを用いたパー・テスト故障診断方法の実験結果の対比を説明する図である。
【図１６】一般的な半導体論理回路装置の不良解析方法を示すフローチャートである。
【図１７】従来の半導体論理回路装置の故障診断方法の課題を説明する図であって、（Ａ）はビザンチン故障を説明する回路図、（Ｂ）は（Ａ）の信号線の故障値を説明する図、（Ｃ）はビザンチン故障を有する半導体論理回路装置の例を示す回路図である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2006118903.tif 000001
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2006118903.tif 000002
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2006118903.tif 000003
【手続補正１６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
2006118903.tif 000004