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【手続補正書】
【提出日】平成18年11月28日(2006.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
例えば、本発明の不織布を電気二重層キャパシタ用セパレータとして使用する場合には、目付が１０〜６０ｇ／ｍ２、厚さが１７〜１００μｍ、かつ見掛密度が０．３２〜０．６ｇ／ｃｍ３であるのが好ましい。このような物性を同時に満足する不織布（電気二重層キャパシタ用セパレータ）は、空隙が多いことによってイオン透過性に優れている。つまり、不織布の目付が１０ｇ／ｍ２未満であると、強度的に弱い傾向があり、目付が６０ｇ／ｍ２を超えると、一定体積中における不織布（電気二重層キャパシタ用セパレータ）の占める体積が大きくなり過ぎて、エネルギー密度を高められない傾向があるためで、より好ましい目付は１５〜３０ｇ／ｍ２である。また、不織布（電気二重層キャパシタ用セパレータ）の厚さが１７μｍ未満であると、十分な電気絶縁性を発揮するのが困難となり、漏れ電流を生じるなど、不安定になる傾向があり、厚さが１００μｍを越えると、一定体積中におけるセパレータの占める体積が大きくなり、エネルギー密度を高められない傾向があるためで、より好ましい厚さは２０〜５０μｍである。更に、不織布の見掛密度が０．３２ｇ／ｃｍ３未満であると、機械的強度が弱くなって、取り扱いにくくなる傾向があり、見掛密度が０．６ｇ／ｃｍ３を越えると、緻密な構造となりすぎて、イオン透過性が悪くなる傾向があるためで、より好ましい見掛密度は０．３５〜０．５５ｇ／ｃｍ３である。なお、不織布（電気二重層キャパシタ用セパレータ）は上述のような目付、厚さ、見掛密度を有する空隙の多いものであるにもかかわらず、少なくとも一方向における引張り強さが１０Ｎ／１５ｍｍ幅以上と引張り強さが高く、取り扱いやすいものであるのが好ましい。このような引張り強さをもつ方向はどの方向であっても良いが、不織布（電気二重層キャパシタ用セパレータ）はその長手方向に対して張力をかけながら電極と巻き込んで電極群を形成する場合があるため、不織布（電気二重層キャパシタ用セパレータ）の長手方向における引張強さが１０Ｎ／１５ｍｍ幅以上であるのが好ましい。なお、「引張強さ」は、不織布（電気二重層キャパシタ用セパレータ）から長方形の試料（幅：１５ｍｍ、長さ：２００ｍｍ）を採取した後に、ＪＩＳ  Ｐ−８１１３に準じて測定した引張強度をいう。更に、不織布（電気二重層キャパシタ用セパレータ）は上述のような目付、厚さ、見掛密度を有する空隙の多いものであるにもかかわらず、引裂強度が０．１１Ｎ以上であるのが好ましい。このような引裂強度であることによって、電極群形成時、及び形成後の乾燥処理時において破断することがないためである。この「引裂強度」は、不織布（電気二重層キャパシタ用セパレータ）から長方形の試料（幅：７５ｍｍ、長さ：１５０ｍｍ）を採取した後に、ＪＩＳ  Ｌ−１０９６  ８．１５．４Ｃ法（トラペゾイド法）に準じて測定した値をいう。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月26日(2007.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＥＤチップを収容すべき凹陥部を備えた枠状部材と、この枠状部材の凹陥部の底部に露出するチップ実装部及びボンディング部を有し且つ上記枠状部材の下面に回り込む一対のリードフレームと、上記枠状部材の凹陥部内にて上記チップ実装部上に接合され且つその表面が上記ボンディング部に対して接続されるＬＥＤチップと、上記枠状部材の凹陥部内に充填される透明樹脂部と、を含んでいる表面実装型ＬＥＤであって、
上記枠状部材が、主として上記透明樹脂部を構成する高耐熱の熱硬化性透明樹脂から構成されており、
上記ＬＥＤチップが、上記チップ実装部の表面に対して共晶接合されていることを特徴とする、表面実装型ＬＥＤ。
【請求項２】
上記枠状部材が、熱硬化性透明樹脂に酸化チタン及び／またはガラスフィラーを添加した材料から構成されていることを特徴とする、請求項１に記載の表面実装型ＬＥＤ。
【請求項３】
上記枠状部材を構成する材料が、さらに酸化防止剤を添加されていることを特徴とする、請求項２に記載の表面実装型ＬＥＤ。
【請求項４】
上記透明樹脂部には、蛍光体が混入されており、
上記ＬＥＤチップからの出射光により蛍光体を励起させて、出射光と励起光との混色光を外部に出射することを特徴とする、請求項１から３の何れかに記載の表面実装型ＬＥＤ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
上記目的は、本発明によれば、ＬＥＤチップを収容すべき凹陥部を備えた枠状部材と、この枠状部材の凹陥部の底部に露出するチップ実装部及びボンディング部を有し且つ上記枠状部材の下面に回り込む一対のリードフレームと、上記枠状部材の凹陥部内にて上記チップ実装部上に接合され且つその表面が上記ボンディング部に対して接続されるＬＥＤチップと、上記枠状部材の凹陥部内に充填される透明樹脂部と、を含んでいる表面実装型ＬＥＤであって、上記枠状部材が、主として上記透明樹脂部を構成する高耐熱の熱硬化性透明樹脂から構成されており、上記ＬＥＤチップが、上記チップ実装部の表面に対して共晶接合されていることを特徴とする、表面実装型ＬＥＤにより、達成される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明による表面実装型ＬＥＤは、好ましくは、上記透明樹脂部には、蛍光体が混入されており、上記ＬＥＤチップからの出射光により蛍光体を励起させて、出射光と励起光との混色光を外部に出射する。
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月8日(2007.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ｐ型半導体層の上に、ｐ型コンタクト層を介して形成された正電極を備える半導体発光素子であって、
前記正電極は、前記ｐ型コンタクト層と接触している第１の半導体酸化物膜と、その上に順に積層された金属膜及び第２の半導体酸化物膜とを有することを特徴とする半導体発光素子。
【請求項２】
正電極は、半導体発光素子の発光波長における光の透過率が８０％以上である請求項１に記載の半導体発光素子。
【請求項３】
第１及び第２の半導体酸化物膜が、亜鉛、インジウム、スズ及びマグネシウムからなる群から選択される少なくとも１種の元素を含む請求項１又は２に記載の半導体発光素子。
【請求項４】
第１及び第２の半導体酸化物膜がＩＴＯ膜である請求項１〜３に記載の半導体発光素子。
【請求項５】
第１の半導体酸化物膜は、内部に複数の空隙を有し、第２の半導体酸化物膜は、第１の半導体酸化物膜よりも密度が大きい請求項１〜４のいずれか１つに記載の半導体発光素子。
【請求項６】
金属膜が、銀、銅、金、白金、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム又はイリジウムの単層膜あるいはこれらの積層膜からなる請求項１〜５のいずれか１つに記載の半導体発光素子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の半導体発光素子は、ｐ型半導体層の上に、ｐ型コンタクト層を介して形成された正電極を備える半導体発光素子であって、
前記正電極は、前記ｐ型コンタクト層と接触している第１の半導体酸化物膜と、その上に順に積層された金属膜及び第２の半導体酸化物膜とを有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
このような半導体発光素子では、正電極は、半導体発光素子の発光波長における光の透過率が８０％以上であることが好ましい。
また、第１及び第２の半導体酸化物膜が、亜鉛、インジウム、スズ及びマグネシウムからなる群から選択される少なくとも１種の元素を含むことが好ましく、特に、ＩＴＯ膜であることが好ましい。
さらに、第１の半導体酸化物膜は、内部に複数の空隙を有し、第２の半導体酸化物膜は、第１の半導体酸化物膜よりも密度が大きいことが好ましい。
また、金属膜が、銀、銅、金、白金、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム又はイリジウムの単層膜あるいはこれらの積層膜からなることが好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成19年9月7日(2007.9.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボートに保持された基板を収納する処理室と、該処理室の下側に連設される予備室と、前記ボートを支持し、前記処理室を閉塞する炉口蓋と、該炉口蓋を支持するアームと、該アームを昇降軸を介して昇降させるボートエレベータと、前記予備室内に前記アームの位置ズレを防止する位置ズレ防止機構を設けたことを特徴とする基板処理装置。  
【請求項２】
前記ボートエレベータは前記予備室の外部に設けられ、前記ボートエレベータの昇降軸は前記予備室内に貫通する様に設けられていることを特徴とする請求項１の基板処理装置。
【請求項３】
前記昇降軸が前記ボートエレベータの本体に対し最も伸びる位置にて前記アームが位置ズレしない様位置ズレ防止機構を設けることを特徴とする請求項１の基板処理装置。
【請求項４】
前記位置ズレ防止機構は、前記昇降軸に対し平行な支え部を有する請求項１乃至３のうちいずれか１項記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記位置ズレ防止機構は、前記アームに設けられた転がり部を有する請求項１乃至３のうちいずれか１項記載の基板処理装置。
【請求項６】
請求項１乃至３のうちいずれか１項記載の基板処理装置を用いて処理する半導体装置の製造方法であって、前記位置ズレ防止機構に支えられたアームに前記炉口蓋を介し支持された前記ボートに前記基板を移載する工程と、該基板を保持しつつ前記ボートを上昇させる工程と、前記炉口蓋が前記処理室迄到達し前記ボートを前記処理室内に収納する工程と、該処理室内を前記加熱手段により加熱する工程と、前記処理室内に反応ガスを導入しつつ、排気させて前記基板に所定の処理をする工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月23日(2007.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に記録されたプログラムを再生することが可能な情報記録再生装置であって、
ユーザを特定するためのＩＤ情報を設定するための設定手段と、
前記記録媒体に記録されたプログラム毎に、当該プログラムの再生が停止された位置を示すレジューム情報を記憶部に記憶する制御を実行する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前記記録媒体に記録されたプログラム毎に、前記設定手段で設定されたＩＤ情報と前記レジューム情報とを関連付けて記憶する制御を実行することを特徴とする情報記録再生装置。
【請求項２】
前記ＩＤ情報の入力を受け付ける入力手段を有し、
前記制御手段は、前記入力手段から入力されたＩＤ情報に基づいて、前記記憶部に記憶されたＩＤ情報に関連付けられたプログラムを特定することを特徴とする請求項１に記載の情報記録再生装置。
【請求項３】
前記制御手段は、特定された前記プログラムに関する情報を表示部に表示する制御を行うことを特徴とする請求項２に記載の情報記録再生装置。
【請求項４】
前記制御手段は、特定された前記プログラムに関する情報として、前記ＩＤ情報に関連付けられたレジューム情報に基づいて、前記プログラムの再生が停止された位置に対応する静止画を表示する制御を行うことを特徴とする請求項３に記載の情報記録再生装置。
【請求項５】
記録媒体に記録されたプログラムを再生することが可能な情報記録再生装置の制御方法であって、
ユーザを特定するためのＩＤ情報を設定するための設定工程と、
前記記録媒体に記録されたプログラム毎に、当該プログラムの再生が停止された位置を示すレジューム情報を記憶部に記憶する制御を実行する制御工程と、を有し、
前記制御工程では、前記記録媒体に記録されたプログラム毎に、前記設定工程で設定されたＩＤ情報と前記レジューム情報とを関連付けて記憶する制御を実行することを特徴とする情報記録再生装置の制御方法。
【請求項６】
前記ＩＤ情報の入力を受け付ける入力工程を有し、
前記制御工程では、前記入力工程で入力されたＩＤ情報に基づいて、前記記憶部に記憶されたＩＤ情報に関連付けられたプログラムを特定することを特徴とする請求項５に記載の情報記録再生装置の制御方法。
【請求項７】
前記制御工程では、特定された前記プログラムに関する情報を表示部に表示する制御を行うことを特徴とする請求項６に記載の情報記録再生装置の制御方法。
【請求項８】
前記制御工程では、特定された前記プログラムに関する情報として、前記ＩＤ情報に関連付けられたレジューム情報に基づいて、前記プログラムの再生が停止された位置に対応する静止画を表示する制御を行うことを特徴とする請求項７に記載の情報記録再生装置の制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】情報記録再生装置及びその制御方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、その目的は、複数のユーザが使用しても予約した記録領域を確保でき、レジューム情報が混在することがなく、更には、誤消去もなく、使い易い情報記録再生装置及びその制御方法を提供することにある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の情報記録再生装置は、上記課題を解決するため、記録媒体に記録されたプログラムを再生することが可能な情報記録再生装置であって、ユーザを特定するためのＩＤ情報を設定するための設定手段と、前記記録媒体に記録されたプログラム毎に、当該プログラムの再生が停止された位置を示すレジューム情報を記憶部に記憶する制御を実行する制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記記録媒体に記録されたプログラム毎に、前記設定手段で設定されたＩＤ情報と前記レジューム情報とを関連付けて記憶する制御を実行することを特徴とする。
また、本発明の情報記録再生装置の制御方法は、記録媒体に記録されたプログラムを再生することが可能な情報記録再生装置の制御方法であって、ユーザを特定するためのＩＤ情報を設定するための設定工程と、前記記録媒体に記録されたプログラム毎に、当該プログラムの再生が停止された位置を示すレジューム情報を記憶部に記憶する制御を実行する制御工程と、を有し、前記制御工程では、前記記録媒体に記録されたプログラム毎に、前記設定工程で設定されたＩＤ情報と前記レジューム情報とを関連付けて記憶する制御を実行することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月16日(2007.5.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
正極及び負極の極板を巻回した巻回極板を、上部の開口したケースに挿入する第１工程と、
前記巻回極板に接続されている一方のリード線と、上部と下部に少なくとも１箇所ずつの空気抜け穴が開設され、前記リード線に沿って存在する空気抜け通路を形成する空気抜け部材とを、絶縁部に設けられている穴に通し、前記上部の空気抜け穴が前記絶縁部の上方に、前記下部の空気抜け穴が前記絶縁部の下方に配置されるように、前記絶縁部を前記巻回極板上に載置する第２工程と、
前記絶縁部の上方から、前記絶縁部と前記ケースによって囲まれた空間に、電解液を注液する第３工程とを備えた、電気部品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記下部の空気抜け穴は、前記絶縁部の近傍に開設されており、
前記上部の空気抜け穴は、前記リード線の、前記巻回極板と接続されている反対側の端部の近傍に開設されている、請求項１記載の電気部品の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記目的を達成するために、第１の本発明は、正極及び負極の極板を巻回した巻回極板を、上部の開口したケースに挿入する第１工程と、
前記巻回極板に接続されている一方のリード線と、上部と下部に少なくとも１箇所ずつの空気抜け穴が開設され、前記リード線に沿って存在する空気抜け通路を形成する空気抜け部材とを、絶縁部に設けられている穴に通し、前記上部の空気抜け穴が前記絶縁部の上方に、前記下部の空気抜け穴が前記絶縁部の下方に配置されるように、前記絶縁部を前記巻回極板上に載置する第２工程と、
前記絶縁部の上方から、前記絶縁部と前記ケースによって囲まれた空間に、電解液を注液する第３工程とを備えた、電気部品の製造方法である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
又、第２の本発明は、前記下部の空気抜け穴は、前記絶縁部の近傍に開設されており、前記上部の空気抜け穴は、前記リード線の、前記巻回極板と接続されている反対側の端部の近傍に開設されている、第１の本発明の電気部品の製造方法である。
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月14日(2007.3.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースとカバーから筐体が構成され、前記筐体に取り付けられる表示操作パネルと、該表示操作パネルに形成される押しボタン装着部とを備えた電子機器において、
前記押しボタン装着部に形成されたガイド片にガイドされて前記筐体に取付けられる押しボタンと、前記ガイド片の動きを規制するガイド片押えリブとを有し、該ガイド片押えリブと前記押しボタンとを一体的に形成したことを特徴とする電子機器。
【請求項２】
複数の押しボタンを弾性を有する接続片によりそれぞれ連結部材に連結して押しボタンアッセンブリを形成し、前記連結部材に前記ガイド片押えリブを設けたことを特徴とする請求項１記載の電子機器。
【請求項３】
前記ガイド片の外側に、該ガイド片と間隔を隔てて固定壁を立設し、前記押しボタンアッセンブリを前記表示操作パネルに取付けてその上にメインプリント基板を固定した際に、前記連結部材を該メインプリント基板に当接するように設定し、前記ガイド片押えリブが、前記ガイド片と固定壁との間から外れるのを防止することを特徴とする請求項２記載の電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
ベースとカバーから筐体が構成され、前記筐体に取り付けられる表示操作パネルと、該表示操作パネルに形成される押しボタン装着部とを備えた電子機器において、前記押しボタン装着部に形成されたガイド片にガイドされて前記筐体に取付けられる押しボタンと、前記ガイド片の動きを規制するガイド片押えリブとを有し、該ガイド片押えリブと前記押しボタンとを一体的に形成したものである。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月26日(2007.1.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
凝縮器により凝縮された冷媒が、レシーバタンクにより気液分離されるようにした凝縮装置であって、
前記凝縮器は、間隔をおいて互いに平行に配置される一対のヘッダー間に、両端を両ヘッダーに連通接続する複数の熱交換チューブが配置されてコアが形成される一方、前記ヘッダーの内部に設けられた仕切部材により、前記複数の熱交換チューブが複数のパスに区分けされ、それらの各パスを冷媒が順に通過する冷媒経路が形成され、
前記パスが３つ以上設けられ、第１パスと最終パスとの間の中間のパスが、冷媒圧力を低下させるための減圧手段を構成する減圧パスとして形成され、
前記減圧パスを構成する熱交換チューブの数が、前記減圧パスの前後のパスを構成する熱交換チューブの数よりも少なく設定され、
前記冷媒経路における前記減圧手段よりも上流側で凝縮された冷媒が、前記減圧手段により減圧されて少なくとも一部が気化され、その低圧ガス冷媒が前記冷媒経路における前記減圧手段よりも下流側で再凝縮されるよう構成され、
前記熱交換チューブとして、内部に、複数の冷媒通路が併設されるとともに、隣り合う冷媒通路間の仕切壁に、隣り合う冷媒通路同士を連通する複数の連通孔が形成される扁平チューブが使用されてなることを特徴とする凝縮装置。
【請求項２】
前記レシーバタンクは、前記凝縮器のコアとは別体の構成で独立している請求項１記載の凝縮装置。
【請求項３】
コンプレッサー、凝縮器、レシーバタンク、膨張弁及び蒸発器が冷媒管により接続された冷凍システムであって、
前記凝縮器は、間隔をおいて互いに平行に配置される一対のヘッダー間に、両端を両ヘッダーに連通接続する複数の熱交換チューブが配置されてコアが形成される一方、前記ヘッダーの内部に設けられた仕切部材により、前記複数の熱交換チューブが複数のパスに区分けされ、それらの各パスを冷媒が順に通過する冷媒経路が形成され、
前記パスが３つ以上設けられ、第１パスと最終パスとの間の中間のパスが、冷媒圧力を低下させるための減圧手段を構成する減圧パスとして形成され、
前記減圧パスを構成する熱交換チューブの数が、前記減圧パスの前後のパスを構成する熱交換チューブの数よりも少なく設定され、
前記冷媒経路における前記減圧手段よりも上流側で凝縮された冷媒が、前記減圧手段により減圧されて少なくとも一部が気化され、その低圧ガス冷媒が前記冷媒経路における前記減圧手段よりも下流側で再凝縮されるよう構成され、
前記熱交換チューブとして、内部に、複数の冷媒通路が併設されるとともに、隣り合う冷媒通路間の仕切壁に、隣り合う冷媒通路同士を連通する複数の連通孔が形成される扁平チューブが使用されてなることを特徴とする冷凍システム。
【請求項４】
前記レシーバタンクは、前記凝縮器のコアとは別体の構成で独立している請求項３に記載の冷凍システム。
【手続補正書】
【提出日】平成19年9月18日(2007.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】        明細書
【発明の名称】小型タービンの簡素化で発生するタービン出力低下を補うタービンの形状。
【特許請求の範囲】
【請求項１】小型タービンの構造を簡素化するブレードの形状。
【請求項２】小型タービンの高出力を図るノズルの形状及び増設。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、簡素化した小型タービンの高出力に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、小型タービンの回転出力は非燃焼型・燃焼型に大別され、非燃焼型のエネルギーは、圧縮空気・水力等を利用。燃焼型のエネルギーは、高圧ガス（含む蒸気）に求め、水力（ダム・水路）は、小型タービンには不向きで、他は、小型タービンの出力に対し、エネルギー消費量が大きく採算性が悪い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
簡素化されたタービンブレードの圧縮空気消費量を軽減し、出力増強を図る。
【０００４】
【発明が解決するための手段】
上記の問題を解決するため本発明は、タービンブレード断面を湾曲翼型にして、製作工程を軽減で起こる出力低下を防ぐため、音速噴射の噴射角度調整式ノズルを複数設け、省エネルギー化を図り、タービン出力を増加させる。
【０００５】
【発明の効果】
本発明は、圧縮空気駆動、小型タービンで圧縮空気使用量を削減し、環境問題とエネルギー削減に寄与する。
【０００６】
【発明を実施するための最良の形態】
図１は、小型タービンのブレード部分の概略横断面図である。
複数のノズル１０・（１０′）から噴射する圧縮空気Ａでタービンシャフト２に組付けたタービンブレードホイル１を回転し高出力の回転動力を提供する。Ａは１を回転させ排気Ａ′となり大気へ噴出する。１の形状をコスト削減での簡素化は出力低下が起こる。その防止・出力向上のため、１０・（１０′）の構造を提供する。
【０００７】
図２は、タービンの概略正面図である。
１に対し、１０・（１０′）の関連を示し、１が高速で、高出力を発揮するため、１０・（１０′）の複数個を配する構造。
【０００８】
図３は、タービンブレード概略図である。
１は従来のタービンブレード形状を破棄して、湾曲型ブレード構造（型成型）で簡素化し、量産に関わる生産コストを削減する。
１の出力低下を、１０・（１０′）で向上させる。
【０００９】
図４は、ノズル概略図である。
１０・（１０′）は、タービンハウヂィング８へ、取付けるため、タービンサイドカヴァーＡ・Ｂ９・９′のピボットホールに１０・（１０′）のノズルピボットＰを組み込む。
【００１０】
図５は、角度調整式ノズル概略図である。
８に組付けた１０・（１０′）が、１に対し、調整式ノズル噴射角度θの調整範囲内で、１の最高出力位置に固定する。
【００１１】
【産業上の利用可能性】
省エネルギー小型タービンの必要性は、各産業分野に動力装置として、需要先は、枚挙数知れず。
【図面の簡単な説明】
【図１】タービンの概略横断面図
【図２】小型タービンのブレード部分の概略正面図
【図３】タービンブレード概略図
【図４】ノズル概略図
【図５】角度調整式ノズル概略図
【符号の説明】
Ａ：圧縮空気
Ａ′：排気
１：タービンブレードホイル
２：タービンシャフト
３：タービンブレードキャップ
４：ベアリング
４′：ハウヂィング
５：カラー（排気口）
６：スペーサーＡ
７：スペーサーＢ
７′：スペーサーＣ
８：タービンハウヂィング
９：タービンサイドカヴァーＡ
９′：タービンサイドカヴァーＢ（排気口）
１０：ノズル
１０′：ノズル噴射口
Ｐ：ノズルピボット
θ：調整式ノズル噴射角度
１１：タービンセッティングベース
１２：スペーサー
１３：タービンマウントラグ
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】  図面
【図１】
2004003482.tif 000001
【図２】
2004003482.tif 000002
【図３】
2004003482.tif 000003
【図４】
2004003482.tif 000004
【図５】
2004003482.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月22日(2006.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】  
【請求項１】コイルの励磁力で駆動し主通路を遮断すると共に、手動または自動の復帰力で主通路を開放し永久磁石を介して保持するガス遮断弁であって、
前記コイルの励磁力で摺動するプランジャーと、前記プランジャーの先端に取り付けた主弁と、前記主弁に対向して設けられ主通路を形成する主弁座と、前記コイルで構成する駆動部と前記プランジャーの間に介在させベース側及び永久磁石側で気密性を有する構成とした金属製のガイドパイプと、前記主弁と前記ベース間に介設させ前記主弁座を付勢するスプリングとを備え、
前記ガイドパイプの内径側に、粒径１μｍ以下のＰＴＦＥ粉末を６〜９重量％でＮｉ−Ｐ中に分散させめっき処理を施したガス遮断弁。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のガス遮断弁は、前記コイルの励磁力で摺動するプランジャーと、前記プランジャーの先端に取り付けた主弁と、前記主弁に対向して設けられ主通路を形成する主弁座と、前記コイルで構成する駆動部と前記プランジャーの間に介在させベース側及び永久磁石側で気密性を有する構成とした金属製のガイドパイプと、前記主弁と前記ベース間に介設させ前記主弁座を付勢するスプリングとを備え、前記ガイドパイプの内径側に、粒径１μｍ以下のＰＴＦＥ粉末を６〜９重量％でＮｉ−Ｐ中に分散させめっき処理を施したものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明は上記目的を達成するため、コイルの励磁力で駆動し主通路を遮断すると共に、手動または自動の復帰力で主通路を開放し永久磁石を介して保持するガス遮断弁であって、前記コイルの励磁力で摺動するプランジャーと、前記プランジャーの先端に取り付けた主弁と、前記主弁に対向して設けられ主通路を形成する主弁座と、前記コイルで構成する駆動部と前記プランジャーの間に介在させベース側及び永久磁石側で気密性を有する構成とした金属製のガイドパイプと、前記主弁と前記ベース間に介設させ前記主弁座を付勢するスプリングとを備え、前記ガイドパイプの内径側に、粒径１μｍ以下のＰＴＦＥ粉末を６〜９重量％でＮｉ−Ｐ中に分散させた表面処理を施したもので、プランジャーとガイドパイプの摺動抵抗を著しく低下させることができ、その結果としてガス遮断弁の消費電流を低下させる効果と同時にガス遮断弁の耐久性を著しく向上させることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
以上のように本発明のガス遮断弁では、プランジャー１がガイドパイプ７の内側を摺動する構成であるため、プランジャー１とガイドパイプ７の摺動抵抗を極めて低く抑えることができ、消費電力低減や耐久性の向上に関して最大の有効手段である。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月9日(2007.5.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】車載用物体検出装置及び物体検出装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  レーダからの出力データと、画像認識部からの出力データとに基づいて、処理部にて物体の検出を行う車載用物体検出装置において、
前記レーダは、既定された近距離領域においてターゲットが存在すると判断すると近距離フラグを出力し、
前記処理部は、前記近距離フラグの状態を判定し、前記画像認識部から出力されるエッジデータの中から、前記状態に応じた距離範囲にあるエッジデータを採用して前記物体検出処理を行うこと
を特徴とする車載用物体検出装置。
【請求項２】  レーダからの出力データと、画像認識部からの出力データとに基づいて物体の検出を行う物体検出装置において、
既定された近距離領域においてターゲットが存在すると判断すると前記レーダから出力される近距離フラグを判定し、前記画像認識部から出力されるエッジデータの中から前記状態に応じた距離範囲にあるエッジデータを採用して前記物体検出処理を行うこと
を特徴とする物体検出装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月26日(2007.1.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ナビゲーション装置、ナビゲーション装置のマップマッチング方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  所定の検出項目の検出結果に基づいて、移動体の現在位置を測定する位置測定手段と、
上記位置測定手段により測定される上記移動体の位置情報と、地図情報とに基づいてマップマッチング処理を行うマップマッチング手段と、
上記位置測定手段による所定の検出項目の測定結果に基づいて、上記移動体が特定の区域内にあるとされる場合に対応する条件が満たされているか否かを判別する区域判別手段と、
上記区域判別手段により上記移動体が特定の区域内にあると判別された場合に対応して、上記マップマッチング手段によるマップマッチング処理を停止させるように制御する制御手段と、
を備えていることを特徴とするナビゲーション装置。
【請求項２】  上記制御手段は、
上記区域判別手段により上記移動体が特定の区域内にあると判別されているときには、上記移動体が特定の区域内にあることを示す区域情報を記憶手段に記憶させておくと共に、
上記区域情報に基づいて、上記マップマッチング手段によるマップマッチング処理の停止についての制御を実行可能とされていることを特徴とする請求項１に記載のナビゲーション装置。
【請求項３】  上記区域判別手段は、
上記条件の１つとして、測位システムから送信される電波を上記位置測定手段において所定時間以上連続して捕捉不能とされる状態にあるか否かを判別するようにされていることを特徴とする請求項１に記載のナビゲーション装置。
【請求項４】  上記区域判別手段は、
上記条件の１つとして、上記位置測定手段により検出される上記移動体の速度が所定以下であるか否かを判別するようにされていることを特徴とする請求項１に記載のナビゲーション装置。
【請求項５】  上記区域判別手段は、
上記条件の１つとして、上記位置測定手段により検出される上記移動体の現在位置、及び上記移動体の進行方向を基準として、上記移動体の現在位置から所定距離内において、移動体の進行方向に対して所定以上の方位差を有する道路が地図情報上に存在しないか否かを判別するようにされていることを特徴とする請求項１に記載のナビゲーション装置。
【請求項６】  上記区域判別手段は、
上記条件の１つとして、上記位置測定手段により検出される上記移動体の角速度について所定以上の値が得られたか否かを判別するようにされていることを特徴とする請求項１に記載のナビゲーション装置。
【請求項７】  所定の検出項目の検出結果に基づいて、移動体の現在位置を測定する位置測定ステップと、
上記位置測定ステップにより測定される上記移動体の位置情報と、地図情報とに基づいてマップマッチング処理を行うマップマッチング処理ステップと、
上記位置測定ステップによる所定の検出項目の測定結果に基づいて、上記移動体が特定の区域内にあるとされる場合に対応する条件が満たされているか否かを判別する区域判別ステップと、
上記区域判別ステップにより上記移動体が特定の区域内にあると判別された場合に対応して、上記マップマッチング手段によるマップマッチング処理を停止させるように制御する制御ステップと、
を備えることを特徴とするナビゲーション装置のマップマッチング方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は自動車等の移動体に搭載されて、その移動体の現在位置などの各種情報を出力するナビゲーション装置と、そのマップマッチング方法とに関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
このため、ナビゲーション装置として、所定の検出項目の検出結果に基づいて、移動体の現在位置を測定する位置測定手段と、この位置測定手段により測定される移動体の位置情報と地図情報とに基づいてマップマッチング処理を行うマップマッチング手段と、位置測定手段による所定の検出項目の測定結果に基づいて、移動体が特定の区域内にあるとされる場合に対応する条件が満たされているか否かを判別する区域判別手段と、この区域判別手段により記移動体が特定の区域内にあると判別された場合に対応して、マップマッチング手段によるマップマッチング処理を停止させるように制御する制御手段とを備えることとした。
また、ナビゲーション装置のマップマッチング方法として、所定の検出項目の検出結果に基づいて、移動体の現在位置を測定する位置測定ステップと、この位置測定ステップにより測定される上記移動体の位置情報と、地図情報とに基づいてマップマッチング処理を行うマップマッチング処理ステップと、位置測定ステップによる所定の検出項目の測定結果に基づいて、移動体が特定の区域内にあるとされる場合に対応する条件が満たされているか否かを判別する区域判別ステップと、この区域判別ステップにより移動体が特定の区域内にあると判別された場合に対応して、マップマッチング手段によるマップマッチング処理を停止させるように制御する制御ステップとを備えることとした。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月26日(2007.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮影レンズを介して被写体像が結像される撮像素子の画像信号のコントラストを示すＡＦ評価値が極大となるようにフォーカスレンズを移動させる第１のＡＦを行う第１ＡＦ手段と、
パッシブ方式測距により被写体距離に関する情報を検出し、これに基づいてフォーカスレンズを移動させる第２のＡＦを行う第２ＡＦ手段と、
を有し、
上記第１ＡＦ手段の動作を行う期間と第２ＡＦ手段の被写体距離に関する情報を検出する動作を行う期間が少なくとも一部重なっていることを特徴とする測距装置。
【請求項２】
上記第１ＡＦ手段と上記第２ＡＦ手段の出力のうちで検出可能な出力を選択する選択手段を有することを特徴とする請求項１記載の測距装置。
【請求項３】
上記第１ＡＦ手段と上記第２ＡＦ手段の出力のうちで信頼度の高い出力を選択する選択手段を有することを特徴とする請求項１記載の測距装置。
【請求項４】
補助光装置を有し、上記第１、第２ＡＦ手段の少なくとも両方が動作している時に補助光を照射することを特徴とする請求項１記載の測距装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明による測距装置は、撮影レンズを介して被写体像が結像される撮像素子の画像信号のコントラストを示すＡＦ評価値が極大となるようにフォーカスレンズを移動させる第１のＡＦを行う第１ＡＦ手段と、パッシブ方式測距により被写体距離に関する情報を検出し、これに基づいてフォーカスレンズを移動させる第２のＡＦを行う第２ＡＦ手段と、を有し、上記第１ＡＦ手段の動作を行う期間と第２ＡＦ手段の被写体距離に関する情報を検出する動作を行う期間が少なくとも一部重なっていることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月21日(2007.5.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】フォトニック結晶構造体中に形成された光導波路が電気光相互変換素子に隣接して配置され、該光導波路が電気光相互変換素子と光伝送用導波媒体を光接続することを特徴とするアクティブ光コネクタ。
【請求項２】前記フォトニック結晶構造体中に形成された光導波路は、前記電気光相互変換素子の一つである発光素子からの出射光を直角方向に曲げることで前記光伝送用導波媒体へ導入させ、且つ光伝送用導波媒体伝播光を直角方向に曲げることで前記電気光相互変換素子の一つである受光素子へ入射させる請求項１記載のアクティブ光コネクタ。
【請求項３】前記光導波路は、３次元的な屈折率周期構造体の内部の一部に、周囲と異なる屈折率領域を設けて成る請求項１又は２記載のアクティブ光コネクタ。
【請求項４】前記光導波路は、一部に欠陥部を持つ２次元周期配列された微小球体構造体を積層することで形成される請求項１、２又は３記載のアクティブ光コネクタ。
【請求項５】前記電気光相互変換素子に接続され外部接続するコネクタ端子である電気端子を更に有し、前記光伝送用導波媒体は伝送ケーブルである光ファイバである請求項１乃至４の何れかに記載のアクティブ光コネクタ。
【請求項６】前記電気光相互変換素子のうち、発光素子は面発光レーザである請求項１乃至５の何れかに記載のアクティブ光コネクタ。
【請求項７】前記電気光相互変換素子のうち、受光素子は面受光型の光検出器である請求項１乃至６の何れかに記載のアクティブ光コネクタ。
【請求項８】前記電気光相互変換素子のうち、発光素子と隣接もしくは集積されて発光素子用駆動回路が設けられている請求項１乃至７の何れかに記載のアクティブ光コネクタ。
【請求項９】前記電気光相互変換素子のうち、受光素子と隣接もしくは集積されて受光素子用駆動回路が設けられている請求項１乃至８の何れかに記載のアクティブ光コネクタ。
【請求項１０】前記光伝送用導波媒体である光ファイバの一端に前記フォトニック結晶構造体中に形成された光導波路の一端が接続され該光導波路の他端に前記電気光相互変換素子である発光素子が隣接して配置され、前記光伝送用導波媒体である光ファイバの他端に前記フォトニック結晶構造体中に形成された光導波路の一端が接続され該光導波路の他端に前記電気光相互変換素子である受光素子が隣接して配置され、該発光素子と受光素子が該光ファイバを介して光接続されている請求項１乃至９の何れかに記載のアクティブ光コネクタ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2001330760.tif 000001
【図２】
2001330760.tif 000002
【図３】
2001330760.tif 000003
【図４】
2001330760.tif 000004
【図５】
2001330760.tif 000005
【図６】
2001330760.tif 000006
【図７】
2001330760.tif 000007
【図８】
2001330760.tif 000008
【図９】
2001330760.tif 000009
【図１０】
2001330760.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月27日(2007.4.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  光源手段と、偏向手段と、前記光源手段から射出された光束を前記偏向手段に入射させる第１の光学系と、前記偏向手段の偏向面にて偏向された光束を被走査面上の有効走査領域に結像させる第２の光学系と、を有する光走査光学装置であって、
前記光源手段から射出された光束が前記被走査面上の有効走査領域外を走査する際に前記光源手段から射出された光束が常時点灯しつづけるように設定されており、
前記第２の光学系は、長尺プラスチックレンズを備え、前記長尺プラスチックレンズは、主走査方向の端部にフランジ部を有し、前記フランジ部に入射する光束が透過するレンズ面の領域は１０％以下の透過率特性を有することを特徴とする光走査光学装置。
【請求項２】  主走査断面内において、前記フランジ部に入射する光束が透過するレンズ面の領域に向う光束の主光線と前記被走査面上の有効走査領域の端部に向う光束の主光線との間隔が前記被走査面上の有効走査領域の端部に向う光束の主走査方向の光束幅の半値幅以上の大きさであることを特徴とする請求項１に記載の光走査光学装置。
【請求項３】  主走査断面内において、前記フランジ部と前記有効走査領域の中心に向う光束の主光線との成す角度が、前記フランジ部に入射する光束の主光線の入射角度よりも大きいことを特徴とする請求項１又は２に記載の光走査光学装置。
【請求項４】  前記第１の光学系は、主走査断面内において前記光源手段から射出された光束を前記偏向手段の偏向面に対し前記偏向面の主走査方向の幅より広い状態で入射させることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の光走査光学装置。
【請求項５】  請求項１乃至４の何れか１項に記載の光走査光学装置と、前記走査光学装置の被走査面に配置された感光ドラムと、前記感光ドラム上を光束が走査することによって形成された静電潜像をトナー像として現像する現像手段と、前記現像されたトナー像を用紙に転写する転写手段と、転写されたトナー像を用紙に定着させる定着手段とを備えたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項６】  前記画像形成装置はＢＡＥプロセスにて画像が形成されることを特徴とする請求項５に記載の画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
【課題を解決するための手段および作用】
請求項１の発明の光走査光学装置は、光源手段と、偏向手段と、前記光源手段から射出された光束を前記偏向手段に入射させる第１の光学系と、前記偏向手段の偏向面にて偏向された光束を被走査面上の有効走査領域に結像させる第２の光学系と、を有する光走査光学装置であって、
前記光源手段から射出された光束が前記被走査面上の有効走査領域外を走査する際に前記光源手段から射出された光束が常時点灯しつづけるように設定されており、
前記第２の光学系は、長尺プラスチックレンズを備え、前記長尺プラスチックレンズは、主走査方向の端部にフランジ部を有し、前記フランジ部に入射する光束が透過するレンズ面の領域は１０％以下の透過率特性を有することを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項２の発明は請求項１の発明において、主走査断面内において、前記フランジ部に入射する光束が透過するレンズ面の領域に向う光束の主光線と前記被走査面上の有効走査領域の端部に向う光束の主光線との間隔が前記被走査面上の有効走査領域の端部に向う光束の主走査方向の光束幅の半値幅以上の大きさであることを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項３の発明は請求項１又は２の発明において、主走査断面内において、前記フランジ部と前記有効走査領域の中心に向う光束の主光線との成す角度が、前記フランジ部に入射する光束の主光線の入射角度よりも大きいことを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項４の発明は請求項１乃至３のいずれか１項の発明において、前記第１の光学系は、主走査断面内において前記光源手段から射出された光束を前記偏向手段の偏向面に対し前記偏向面の主走査方向の幅より広い状態で入射させることを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項５の発明の画像形成装置は、請求項１乃至４の何れか１項に記載の光走査光学装置と、前記走査光学装置の被走査面に配置された感光ドラムと、前記感光ドラム上を光束が走査することによって形成された静電潜像をトナー像として現像する現像手段と、前記現像されたトナー像を用紙に転写する転写手段と、転写されたトナー像を用紙に定着させる定着手段とを備えたことを特徴としている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
請求項６の発明は請求項５の発明において、前記画像形成装置はＢＡＥプロセスにて画像が形成されることを特徴としている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月24日(2007.5.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  素子構成され段差を有する半導体基板上の全面に層間絶縁膜を形成する半導体装置の製造方法において、
第１のシリコン酸化膜をＴＥＯＳ−Ｏ3系ＣＶＤ技術により上記段差を覆って等方的に成膜する第一工程と、
次いで第２のシリコン酸化膜をＴＥＯＳ−Ｏ3系ＣＶＤ技術により、上記第１のシリコン酸化膜の段差を埋め込むように成膜する第二工程とを有し、
上記第１のシリコン酸化膜のCVD法での成膜条件であるＯ3濃度を、上記第２のシリコン酸化膜のCVD法での成膜条件であるＯ3濃度よりも低くすることにより上記第１および第２のシリコン酸化膜から成る上記層間絶縁膜を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】  上記第１のシリコン酸化膜の成膜が、上記第２のシリコン酸化膜の成膜に比べて、低Ｏ3濃度および低温条件下の成膜であることを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】  上記第１のシリコン酸化膜の成膜を３．０〜７．０ｗｔ％程度のＯ3濃度、３５０〜４００℃程度の温度で行うことを特徴とする請求項２記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】  上記第２のシリコン酸化膜の成膜を１０．０〜１７．０ｗｔ％程度のＯ3濃度、４５０〜５００℃程度の温度で行うことを特徴とする請求項２またはは３記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】  前記層間絶縁膜の形成が、ゲート電極形成後の該ゲート電極を覆う膜形成であって、前記第１のシリコン酸化膜を上記ゲート電極におけるゲート長寸法の２〜３割程度の厚みで成膜することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。