【手続補正書】
【提出日】平成19年2月20日(2007.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２色以上の発光画素を有し、該発光画素の少なくとも１色はその画素に含まれる発光層をマスク蒸着法によって発光性の有機化合物を蒸着して形成されたものである有機電界発光装置の製造方法であって、前記の発光層の蒸着に用いられる蒸着マスクは、発光画素に用いられる発光層を形成するための開口部（以下、有効開口部）と該有効開口部の配列した開口領域（以下、有効開口領域）の周囲に発光画素の形成用には使用されない開口部（以下、ダミー開口部）とを具備し、有効開口部が縦方向にｍ個、横方向にｎ個配列しているのに対して、開口部全体として縦方向にｍ＋１個以上、もしくは横方向にｎ＋１個以上配列され、ダミー開口部の少なくとも一部が別のマスク部材または／およびマスク部材を保持するフレームで覆い隠されていることを特徴とする有機電界発光装置の製造方法。
【請求項２】
蒸着マスクのうち、フレームとの固定に使用されている部分以外の部分（以下、蒸着マスク活用領域）の９０％以上の領域を有効開口部とダミー開口部からなる開口領域で占めており、有効開口部とダミー開口部の単位面積あたりに占める開口部の面積（以下、開口率）の比が５０〜２００％であることを特徴とする請求項１記載の有機電界発光装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
さらに、多面取り用の蒸着マスクとしてはｎ個の開口部を持つフレームに蒸着マスクを貼り付けることにより、生産性が上がることも知られている（例えば、特許文献３参照）が、蒸着マスクの持つ局所的な撓みの抑制には効果はない。
【特許文献１】特開２０００−１６０３２３号公報
【特許文献２】特開２０００−１２２３８号公報
【特許文献３】特願２００３−１５２１１４号（特開２００３−３２３９８４号公報）
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明は以下の構成を有する。すなわち、
２色以上の発光画素を有し、該発光画素の少なくとも１色はその画素に含まれる発光層をマスク蒸着法によって発光性の有機化合物を蒸着して形成されたものである有機電界発光装置の製造方法であって、前記の発光層の蒸着に用いられる蒸着マスクは有効開口部と、有効開口領域の周囲にダミー開口部とを具備し、有効開口部が縦方向にｍ個、横方向にｎ個配列しているのに対して、開口部全体として縦方向にｍ＋１個以上、もしくは横方向にｎ＋１個以上配列され、ダミー開口部の少なくとも一部が別のマスク部材または／およびマスク部材を保持するフレームで覆い隠されていることを特徴とする有機電界発光装置の製造方法
、を本旨とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
さらに、本発明の効果を得る方法として、マスク領域と開口領域との境界において１０ｍｍ以上の直線部分を持たない設計にすることが好ましい。これによりマスク領域と開口領域との境界に顕在化する局所的な撓みを分散させることが可能となる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、これらの方法を用いれば、図７、図９のように多面取りに対応する蒸着マスクの作製も容易である。さらに図１０のように蒸着マスクをフレームと組み合わせる場合、蒸着マスクはフレームの桟の部分と必ずしも固定されなくても良い。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
さらに、１枚の基板上にｎ面（ｎは２以上の整数）の有機電界発光装置を作製し、該基板をｎ個に切断する工程を経れば、生産性が向上するので量産時の製造コストの面で好ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
実施例６
発光層用蒸着マスクとして縦２７０μｍ、横１００μｍの開口部が縦横３００μｍピッチで蒸着マスク活用領域全面（９０％以上）に配列した外形が２００×２１４ｍｍの蒸着マスクを用い、十字の桟を追加したスーパーインバー鋼製のフレームに貼り付けた。このとき、桟の部分も蒸着マスクと接着した。このようにして図９に示すような発光層用の蒸着マスクを用意した。それ以外は実施例４と同様にして有機電界発光装置を作製した。フレームに十字の桟を追加したことで、この蒸着マスクによる発光層パターンは発光領域よりやや大きめに４面形成される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
【図１】画素集合の１例を示す平面図
【図２】有機電界発光装置の構造の一例を説明する一部構成を除いた概略斜視図
【図３】蒸着マスクの一例を示す概略図 （ａ）平面図（ｂ）断面図
【図４】蒸着マスクの一例を示す概略斜視図 （ａ）補強線を導入していない蒸着マスクの一例（ｂ）補強線を導入した蒸着マスクの一例（ｃ）補強線を導入した蒸着マスクの別の一例
【図５】マスク蒸着法を説明する模式図
【図６】貼り合わせ型蒸着マスク（１面取り蒸着マスク）とその蒸着パターンの模式図 （ａ）蒸着マスク（ｂ）蒸着パターン
【図７】貼り合わせ型蒸着マスク（４面取り蒸着マスク）とその蒸着パターンの模式図 （ａ）蒸着マスク（ｂ）蒸着パターン
【図８】ダミー開口部を有する蒸着マスクの一例を示す平面図
【図９】フレームに桟を追加した蒸着マスク（桟と蒸着マスクの接着あり）とその蒸着パターンの模式図 （ａ）蒸着マスク（ｂ）蒸着パターン
【図１０】フレームに桟を追加した蒸着マスク（桟と蒸着マスクの接着無し）とその蒸着パターンの模式図 （ａ）蒸着マスク（ｂ）蒸着パターン
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
１ 基板
２ 第一電極
３ 絶縁層
４ 共通有機層
５ 発光層
６ 第二電極
７ マスク領域
８ マスクフレーム
９ 開口領域
１０ 開口部
１１ 補強線
１２ 蒸着源
１３ 有効開口領域
１４ ダミー開口部
１６ 補強線のないストライプ状パターン形成用蒸着マスク
１７ 補強線を１本導入した蒸着マスク
１８ 補強線を３本導入した蒸着マスク
１９ 赤色発光画素
２０ 緑色発光画素
２１ 青色発光画素
２２ 画素集合
２３ フレームへ追加した桟
２４ 蒸着マスク
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2004296436.tif 000001
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2004296436.tif 000002
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】削除
【補正の内容】