【手続補正書】
【提出日】平成20年3月21日(2008.3.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入口側と出口側とを有する流体流路に結合されるフローセンサを含むフローコントローラにおける方法であって、フローセンサは流路を通る感知された流体流れを示すセンサ出力信号を提供するよう適合され、方法は
流路内の流体の圧力を測定することを含み、圧力は流路における圧力過渡に対応し、方法はさらに、
測定された圧力に対応する圧力信号を提供することと、
圧力過渡によるフローセンサの応答をエミュレートする偽の流れ信号を形成することと
偽の流れ信号に基づきセンサ出力信号を調節することとを含む、方法。
【請求項２】
圧力信号をフィルタリングすることをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
センサ出力を調節することは、センサ出力信号から偽の流れ信号を差し引くことを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
偽の流れ信号を形成することは、圧力信号がセンサ出力信号に対し適時に実質的に整列されるように、圧力信号を遅延させることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
偽の流れ信号を形成することは、圧力信号を微分することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
偽の流れ信号を形成することは、圧力信号を少なくとも１つのフィルタでフィルタリングすることを含み、少なくとも１つのフィルタは、圧力過渡に対するフローセンサの応答をエミュレートする転換機能を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
少なくとも１つのフィルタは、直列に接続される複数の二次フィルタを含み、複数の二次フィルタの各々からの出力は、スケーリングされて合計され、偽の流れ信号を提供する、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
偽の流れ信号を形成することは、圧力信号を微分することをさらに含む、請求項４に記
載の方法。
【請求項９】
偽の流れ信号を形成することは、圧力信号を少なくとも１つのフィルタでフィルタリングすることをさらに含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
少なくとも１つのフィルタは、直列に接続される複数の二次フィルタを含み、複数の二次フィルタの各々からの出力は、スケーリングされて合計され、偽の流れ信号を提供する、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
センサ出力を調節することは、センサ出力信号から偽の流れ信号を差し引くことを含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
フローメータであって、
流体流路における流体流れを感知して、感知した流体流れを示すセンサ出力信号を提供するよう適合されるフローセンサと、
流体流路環境における圧力を測定して、測定された圧力を示す圧力信号を提供するよう適合される圧力変換器とを含み、測定された圧力は流体流路における圧力過渡に対応し、フローメータはさらに、
圧力信号を受けて、圧力信号に関する偽の流れ信号を形成する補償フィルタを含み、
偽の流れ信号は、圧力過渡によって生じる流れ変動に対するフローセンサ応答から生じる偽の流れ情報を再生成するよう形成される、フローメータ。
【請求項１３】
補償フィルタは、流路における圧力過渡に対するフローセンサの応答をエミュレートする転換機能を含む、請求項１２に記載のフローメータ。
【請求項１４】
偽の流れ信号は、センサ出力信号から差し引かれて流れ信号を提供する、請求項１２に記載のフローメータ。
【請求項１５】
フローメータはマスフローコントローラに含まれ、マスフローコントローラはさらに、
フローメータに結合され、少なくとも一部は流れ信号に基づき駆動信号を提供するよう適合されるコントローラと、
コントローラから駆動信号を受けるよう適合されるバルブアクチュエータと、
バルブアクチュエータによって制御されるよう適合され、流体流路に結合されるバルブとを含む、請求項１２に記載のフローメータ。
【請求項１６】
変換器は、流路の入口圧力を測定して、入口圧力信号を提供する、請求項１２に記載のフローメータ。
【請求項１７】
補償フィルタは、入口圧力における変化から生じる流体流れに対するフローセンサの応答をエミュレートする転換機能を有する、請求項１６に記載のフローメータ。
【請求項１８】
偽の流れ信号は、入口圧力における変化から生じるセンサ出力信号の偽の流れ情報成分を再生成するよう形成される、請求項１６に記載のフローメータ。
【請求項１９】
流れ信号は、センサ出力信号から偽の流れ信号を差し引くことにより決定される、請求項１５に記載のフローメータ。
【請求項２０】
補償フィルタは変位補償手段を含み、変位補償手段は、圧力信号を受けてバルブの制御される部分をバルブの圧力環境において実質的に動きなく維持する駆動レベルを示す変位補償信号を提供する、請求項１５に記載のフローメータ。
【請求項２１】
変位補償信号は駆動信号に追加されて、バルブの圧力環境における圧力勾配から生じるバルブ変位を補償する、請求項２０に記載のフローメータ。
【請求項２２】
変位補償信号は、バルブの力モデルに部分的に基づく、請求項２０に記載のフローメータ。
【請求項２３】
バルブの力モデルは、バルブの磁気モデルを含む、請求項２２に記載のフローメータ。
【請求項２４】
バルブの力モデルは、バルブをわたる少なくとも１つの圧力降下に対するパラメータを含む、請求項２２に記載のフローメータ。
【請求項２５】
補償フィルタは、偽の流れ信号を形成して、圧力過渡に応答するフローメータから生じた偽の流れ情報を再生成し、補償フィルタは、圧力信号を受け、圧力過渡によって生じたバルブのバルブ変位を補償するための駆動レベルを示す変位補償信号を提供する変位補償手段を含む、請求項１５に記載のフローメータ。
【請求項２６】
補償フィルタは、複数のフィルタを含み、それらのうち少なくとも２つは直列に接続され、少なくとも２つのフィルタの各々のそれぞれの出力は、スケーリングされ合計される、請求項１２に記載のフローメータ。
【請求項２７】
補償フィルタは、圧力信号を微分するよう適合されて複数のフィルタに微分された信号を提供する微分器をさらに含む、請求項２６に記載のフローメータ。
【請求項２８】
補償フィルタは、圧力信号を遅延させて、複数のフィルタに遅延された圧力信号を与える遅延部をさらに含む、請求項２６に記載のフローメータ。
【請求項２９】
センサ出力信号と偽の流れ信号とを受けて、センサ出力信号と偽の流れ信号との差に関する流れ信号を提供する減算器をさらに含む、請求項１２に記載のフローメータ。
【請求項３０】
補償フィルタは、圧力信号を、圧力過渡に対するフローセンサの応答に適時に実質的に整列するように、遅延させる遅延ブロックを含み、遅延ブロックは遅延圧力信号を提供する、請求項２９に記載のフローメータ。
【請求項３１】
補償フィルタは遅延圧力信号を受ける微分器を含み、微分器は遅延圧力信号の導関数を決定して導関数信号を提供するよう適合される、請求項３０に記載のフローメータ。
【請求項３２】
補償フィルタは、圧力信号を受けて圧力信号の導関数を判断して導関数信号を提供するよう適合される微分器と、
導関数信号を、圧力過渡に応答してフローセンサによって生成される偽の流れ情報を示す偽の流れ信号に変換するよう適合される、転換機能を有する少なくとも１つのフィルタとを含む、請求項１２に記載のフローメータ。
【請求項３３】
圧力信号を受けて、圧力過渡によって生じる、流路に結合されるバルブのバルブ変位を補償するための駆動レベルを示す変位補償信号を提供するための変位補償手段とを含む、請求項１２に記載のフローメータ。
【請求項３４】
変位補償手段は、バルブの力モデルに基づき変位補償信号を計算するための手段を含む、請求項３３に記載のフローメータ。
【請求項３５】
バルブの力モデルは、バルブの磁気モデルを含む、請求項３４に記載のフローメータ。
【請求項３６】
バルブの力モデルは、バルブ環境における圧力勾配を示すパラメータを有する、請求項３４に記載のフローメータ。
【請求項３７】
流路に結合されるフローセンサによって提供されるセンサ出力信号から偽の流れ情報を除去する方法であって、偽の流れ情報は、圧力過渡により生じる流れ変化に応答するフローセンサから生じ、方法は、
流路内の流体の圧力を測定することを含み、測定された圧力は流路における圧力過渡に対応し、方法はさらに、
測定された圧力に対応する圧力信号を提供することと、
圧力信号から偽の流れ信号を形成することと、
センサ出力信号から偽の流れ信号を差し引いて、流路における流体流れを示す流れ信号を提供することとを含む、方法。
【請求項３８】
空き容量補償の方法であって、方法は、
流体流路における圧力過渡による空き容量を満たす流体に対するセンサの応答を予測することと、
予測される応答に基づき、センサによって提供されるセンサ出力信号を修正して、センサ出力信号から偽の流れ情報を本質的に除去することとを含む、方法。
【請求項３９】
導管内を流れる流体の流量を判断する方法であって、
ａ）導管内を流れる流体の流量を感知することと、
ｂ）導管へ流れる流体の圧力における変化を測定することとを含み、圧力における変化は圧力過渡に対応し、方法はさらに、
ｃ）（ａ）によって感知された流体の流量に対する圧力における変化の影響を判断することと、
ｄ）圧力における変化の影響に基づき、流体の感知された流量を修正して、導管内を流れる流体の流量を判断することとを含む、方法。
【請求項４０】
バルブの制御される部分の位置における流体圧力誘導変化を補償する方法であって、
バルブ環境における圧力を測定することを含み、測定された圧力は圧力過渡に対応し、方法はさらに、
測定された圧力にそれぞれ対応する圧力信号を提供することと、
圧力信号に基づき、バルブの制御される部分の変位を計算することと、
補償駆動レベルを生成して、バルブの制御される部分を、計算された変位の反対の符号を有しかつ絶対値において計算された変位と実質的に等しい量だけ移動させることとを含む、方法。
【請求項４１】
圧力過渡によるバルブの制御される部分の移動を防ぐ方法であって、
バルブ環境の少なくとも１つの圧力測定値に基づき、圧力過渡がバルブの制御される部分に強いて移動させる変位を予測することと、
バルブの制御される部分を、予測される変位を打ち消すよう移動させることとを含む、方法。
【請求項４２】
流路に結合されるマスフローコントローラにおける方法であって、マスフローコントローラは、フローメータ、コントローラ、バルブアクチュエータおよびバルブを含む制御ループを有し、方法は、
流路環境における圧力を測定することを含み、測定された圧力は流路環境における圧力過渡に対応し、方法はさらに、
測定された圧力に対応する圧力信号を提供することと、
圧力過渡に対するフローメータの応答から生じる偽の流れ情報を再生成するように偽の流れ信号を形成することと、
偽の流れ信号に基づき少なくとも１つの補償信号を決定することと、
少なくとも１つの補償信号をマスフローコントローラの制御ループに適用することとを含む、方法。
【請求項４３】
少なくとも１つの補償信号を制御ループに適用することは、偽の流れ信号を制御ループに適用して、圧力過渡による流体流れにおける変動に対するフローメータの応答を補償することを含む、請求項４２に記載の方法。
【請求項４４】
少なくとも１つの補償信号を決定することは、圧力過渡によるバルブ変位を補償するための駆動レベルを示す変位補償信号を決定することを含む、請求項４２に記載の方法。
【請求項４５】
少なくとも１つの補償信号を決定することは、偽の流れ信号および変位補償信号を決定することを含む、請求項４２に記載の方法。
【請求項４６】
フローコントローラのプロセッサでの実行のためのプログラムをエンコードされるコンピュータ読出可能媒体であって、プログラムは、プロセッサで実行された場合に、請求項１−７、および請求項４２−４５のいずれかに記載の方法を実行する、コンピュータ読出可能媒体。