【手続補正書】
【提出日】平成19年12月11日(2007.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  構造化された光電式光検出器（６）を有し、この光検出器が、互いに隣接するように第１の伝導性型式の共通の半導体サブストレート（６０）上に配設された複数の検出器領域（Ｄ；Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１；Ｒ１〜Ｒ８）であって、幅の狭い長方形部分形状又は円形部分形状の感光性の第２の伝導性型式のストライプ（６１）から成り、これらのストライプの長手方向側面が、本質的に、測定方向（ｘ）に対して垂直に互いに隣接するように配設されており、また、本質的に、検出器領域（Ｄ；Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１；Ｒ１〜Ｒ８）の長手方向側面に対して垂直に案内された条導体（Ｌ；Ｌ１〜Ｌ８；Ｌ１１〜Ｌ２８；Ｌ３１，Ｌ３２）を介して評価装置と接続されるように構成されている検出器領域と、光検出器（６）の前面を形成する非反射層（６３）と、これらの間に配設された絶縁体層（６２）とを備える、光学位置測定装置のための走査ユニットにおいて、
条導体（Ｌ；Ｌ１〜Ｌ８；Ｌ１１〜Ｌ２８；Ｌ３１，Ｌ３２）の少なくとも１つの部分が、複数の検出器領域（Ｄ；Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１；Ｒ１〜Ｒ８）の表面にわたって案内されていること、そして、付設された検出器領域（Ｄ；Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１；Ｒ１〜Ｒ８）との条導体（Ｌ；Ｌ１〜Ｌ８；Ｌ１１〜Ｌ２８；Ｌ３１，Ｌ３２）の接続部において、開口部が非反射層（６３）内に設けられていることを特徴とする走査ユニット。
【請求項２】  構造化された光電式光検出器（６）を有し、この光検出器が、互いに隣接するように第１の伝導性型式の共通の半導体サブストレート（６０）上に配設された複数の検出器領域（Ｄ；Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１；Ｒ１〜Ｒ８）であって、幅の狭い長方形部分形状又は円形部分形状の感光性の第２の伝導性型式のストライプ（６１）から成り、これらのストライプの長手方向側面が、本質的に、測定方向（ｘ）に対して垂直に互いに隣接するように配設されており、また、本質的に、検出器領域（Ｄ；Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１；Ｒ１〜Ｒ８）の長手方向側面に対して垂直に案内された条導体（Ｌ；Ｌ１〜Ｌ８；Ｌ１１〜Ｌ２８；Ｌ３１，Ｌ３２）を介して評価装置と接続されるように構成されている検出器領域と、光検出器（６）の前面を形成する非反射層（６３）と、これらの間に配設された絶縁体層（６２）とを備える、光学位置測定装置のための走査ユニットにおいて、
条導体（Ｌ；Ｌ１〜Ｌ８；Ｌ１１〜Ｌ２８；Ｌ３１，Ｌ３２）の少なくとも１つの部分が、複数の検出器領域（Ｄ；Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１；Ｒ１〜Ｒ８）の表面にわたって案内されていること、そして、付設された検出器領域（Ｄ；Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１；Ｒ１〜Ｒ８）との条導体（Ｌ；Ｌ１〜Ｌ８；Ｌ１１〜Ｌ２８；Ｌ３１，Ｌ３２）の接続部において、非反射層（６３）が薄いストライプ状の第２の伝導性型式の層（６１）と接続されていることを特徴とする走査ユニット。
【請求項３】  検出器領域（Ｄ；Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１；Ｒ１〜Ｒ８）が、互いに周期的に配設されており、その際、隣接する複数の検出器領域が、互いに位相のずれた走査信号を供給するグループ（Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１；Ｒ１〜Ｒ８）を形成するように構成されていること、そして、それぞれ１つの条導体（Ｌ；Ｌ１〜Ｌ８；Ｌ１１〜Ｌ２８；Ｌ３１，Ｌ３２）が、位相の同じ走査信号を供給する種々のグループの検出器領域（Ｄ；Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１；Ｒ１〜Ｒ８）と接続されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の走査ユニット。
【請求項４】  活性化された４つの検出器領域が、それぞれ９０°だけ位相のずれた４つの走査信号を供給するグループ（Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１）を形成するように構成されていること、また、活性化された検出器領域（Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１）の少なくとも２つのグループが測定方向（ｘ）に相並んで配設されていること、そして、平行な４つの条導体（Ｌ１〜Ｌ８；Ｌ１１〜Ｌ２８）が、位相の同じ走査信号を供給するグループ（Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１）の検出器領域と接続されていることを特徴とする請求項３に記載の走査ユニット。
【請求項５】  活性化された検出器領域（Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１）の複数のグループが、測定方向（ｘ）に相前後してかつ相並んで配設されていること、また、位相のズレに応じた数の条導体（Ｌ１〜Ｌ８；Ｌ１１〜Ｌ２８）が、測定方向（ｘ）に相前後して配設された位相の同じ走査信号を供給するグループ（Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１）と接続されていること、そして、測定方向（ｘ）に互いに平行に配設されたグループ（Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１）の位相の同じ走査信号を検出する条導体（Ｌ１〜Ｌ８；Ｌ１１〜Ｌ２８）が互いに接続されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の走査ユニット。
【請求項６】  測定方向（ｘ）に互いに平行に配設されたグループ（Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１）の位相の同じ走査信号を検出する条導体（Ｌ１〜Ｌ８；Ｌ１１〜Ｌ２８）の接続部が、構造化された光検出器（６）の背面に配設されていることを特徴とする請求項５に記載の走査ユニット。
【請求項７】  構造化された光検出器（６）が、測定方向（ｘ）に相前後して配設されたそれぞれ複数の検出器領域（Ｄ）を有する複数のグループ（Ｄ；Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１；Ｒ１〜Ｒ８）を備え、その際、グループの１つの部分が、基準パルス信号を発生させるための基準パルス検出器領域（Ｒ１〜Ｒ８）を、またグループの他の部分が、増分信号を発生させるための増分信号検出器領域（Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１）を備えること、そして、基準パルス検出器領域（Ｒ１〜Ｒ８）が基準パルス条導体（Ｌ３１，Ｌ３２）と、また位相の同じ出力信号を供給する増分信号検出器領域（Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１）がそれぞれ１つの増分信号条導体（Ｌ１〜Ｌ８；Ｌ１１〜Ｌ２８）と接続されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の走査ユニット。
【請求項８】  少なくとも増分信号条導体（Ｌ１〜Ｌ８；Ｌ１１〜Ｌ２８）が、増分信号検出器領域（Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１）の感光性の表面にわたって案内されており、それぞれ位相の同じ出力信号を供給する増分信号検出器領域（Ｉ１〜Ｉ６；Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１）と接続されていることを特徴とする請求項７に記載の走査ユニット。
【請求項９】  測定方向（ｘ）に相前後してかつ相並んで配設された位相の同じ出力信号を供給する検出器領域（Ｉ１０，Ｉ１１もしくはＩ２０，Ｉ２１）のそれぞれ２つのグループを有する増分信号検出器領域（Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１）の２つのグループが設けられており、また増分信号検出領域（Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１）の両方のグループの間に、基準パルス検出器領域（Ｒ１〜Ｒ８）のグループが設けられていること、そして、増分信号条導体（Ｌ１１〜Ｌ２８）が、それぞれ構造化された光検出器（６）の端面へと案内されていることを特徴とする請求項７又は８に記載の走査ユニット。
【請求項１０】  基準パルス条導体（Ｒ１〜Ｒ８）が、測定方向に相並んで配設された増分信号検出器領域（Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１）のグループの間へと案内されていることを特徴とする請求項９に記載の走査ユニット。
【請求項１１】  基準パルス検出器領域（Ｒ１〜Ｒ８）のタイミング信号を検出する基準パルス条導体（Ｌ３１）が、測定方向（ｘ）に相並んで配設されたこの側の増分信号検出器領域（Ｉ１０，Ｉ１１）のグループの間の一方の端面へと、また基準パルス検出器領域（Ｒ１〜Ｒ８）のプッシュプル信号を検出する基準パルス条導体（Ｌ３２）が、測定方向（ｘ）に相並んで配設されたこの側の増分信号検出器領域（Ｉ２０，Ｉ２１）のグループの間の他方の端面へと案内されていることを特徴とする請求項１０に記載の走査ユニット。
【請求項１２】  基準パルス検出器領域（Ｒ１〜Ｒ８）のタイミング信号及びプッシュプル信号を検出する基準パルス条導体（Ｌ３１，Ｌ３２）が、部分的に重なり合って配設されるように、測定方向（ｘ）に相並んで配設された一方又は他方の側の増分信号検出器領域（Ｉ１０，Ｉ１１もしくはＩ２０，Ｉ２１）のグループの間に案内されていることを特徴とする請求項１０に記載の走査ユニット。
【請求項１３】  基準パルス条導体（Ｌ３１，Ｌ３２）が、少なくとも部分的に、測定方向（ｘ）に相並んで配設された増分信号検出器領域（Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１）のグループの互いに向かい合って位置する側縁部（６ａ，６ｂ）にわたって案内されていることを特徴とする請求項９又は１０に記載の走査ユニット。
【請求項１４】  測定方向（ｘ）にそれぞれ相前後して位置する増分信号検出器領域（Ｉ１０，Ｉ１１，Ｉ２０，Ｉ２１）のグループが、位相の同じ出力信号のためのそれぞれ１つの増分信号条導体（Ｌ１１〜Ｌ２８）と接続されていること、そして、増分信号条導体（Ｌ１１〜Ｌ２８）が、基準パルス検出器領域（Ｒ１〜Ｒ８）にわたって案内されていることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１つに記載の走査ユニット。