【手続補正書】
【提出日】平成20年6月3日(2008.6.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準ベース（２）に関して定置の係止部分（７）と、この係止部分の近くの弱め区分（９）と、中間部分（４）と、スライダー（３）を支持する自由端（６）とを含む薄いプレート（５；７１、７１′）によって加えられる力（ＧＺ、ＧＬ）を検査するための装置であって、
前記基準ベース（２）に連結された支持体（１０；５０；１７）と、
前記支持体（１０；５０；１７）に連結されており、基準力（Ｒ）を前記薄いプレート（５；７１、７１′）に実質的にスラスト方向（Ｚ）に沿ってスラスト区分（Ｋ）に加えるように構成されたスラスト装置（２７；５７、５７′；２８；１８、２１）と、
少なくとも一つの位置センサ（３０；８０）を含む検出装置と、
前記少なくとも一つの位置センサ（３０；８０）に接続されており、前記係止部分（７）と前記スライダー（３）との間の間に存在する前記スラスト方向（Ｚ）に沿った相互位置（ｚＦ）を前記少なくとも一つの位置センサ（３０；８０）の信号に基づいて検出し、前記基準力（Ｒ）の値及び前記スラスト方向（Ｚ）に沿った予め決定された相互位置（ｚＦ）でのスラスト区分（Ｋ）の位置（ｘ）の値に基づいて検査されるべき力（ＧＬ）の値を演算処理するように構成された記憶−演算処理−制御ユニット（４０）とを含む、検査装置において、
前記少なくとも一つの位置センサ（３０；８０）は、前記薄いプレート（５；７１、７１′）の前記自由端（６）と協働し、前記スラスト方向（Ｚ）に沿った前記スライダー（３）の位置を示す電気信号を与えるようになっており、前記スラスト装置（２７；５７、５７′；２８；１８、２１）は、前記予め決定された相互位置（ｚＦ）で、前記自由端（６）と接触することなく前記薄いプレート（５）と協働するように構成されている、装置。
【請求項２】
前記基準力（Ｒ）は、前記薄いプレート（５；７１、７１′）にトルクを加え、前記トルクの応力中心距離は、前記スラスト区分（Ｋ）と前記弱め区分（９）との間の距離（ｘ）であり、前記記憶−演算処理−制御ユニット（４０）は、前記力（ＧＬ）の値を、次式の
ＧＬ＝ＭＦ／Ｌ
に従って演算処理するようになっており、ここでＭＦは前記スラスト方向（Ｚ）に沿った前記予め決定された相互位置（ｚＦ）での前記トルクのモーメントの値である、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記スラスト区分（Ｋ）は、前記薄いプレート（５；７１、７１′）の前記中間部分（４）に含まれる、請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
前記記憶−演算処理−制御ユニット（４０）は、前記弱め区分（９）が前記スライダー（３）および前記スラスト区分（Ｋ）から離間する距離（Ｌ、ｘ）に基づいて、検査されるべき前記力（ＧＬ）の値を得るように構成されている、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記スラスト区分（Ｋ）の前記位置（ｘ）は、前記薄いプレート（５；７１、７１′）の前記弱め区分（９）に関して固定（ｘ０）されており、前記スラスト装置（２７；５７、５７′）は、前記薄いプレート（５；７１、７１′）に加えられた前記基準力（Ｒｐ）を変化させるようになっており、前記記憶−演算処理−制御ユニット（４０）は、前記予め決定された相互位置（ｚＦ）での基準力（ＲＰ）の値（ＲＰＦ）を検出するように構成されている、請求項１乃至４のいずれかに記載の装置。
【請求項６】
前記スラスト装置は、前記支持体（１０；５０）にしっかりと連結された空気圧ノズル（２７；５７、５７′）を含み、この空気圧ノズルは、前記基準力（Ｒｐ）を前記薄いプレート（５；７１、７１′）に加えるため、前記スラスト区分（Ｋ０）のところで前記薄いプレート（５；７１、７１′）の近くに配置されている、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記スラスト装置は、前記ノズル（２７；５７、５７′）に連結されるとともに、空気源が供給する空気の圧力（Ｐ）を制御するための装置（１４）を有する空気圧回路（１１；５１）を含む、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記記憶−演算処理−制御ユニット（４０）は、前記スラスト方向（Ｚ）に沿った前記スライダー（３）の様々な位置に対応する前記圧力（Ｐ）の値を検出するよう、圧力制御装置（１４）に接続されており、前記基準力（ＲＰ）の対応する値を、記憶されたデータに基づいて決定するように構成されている、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記支持体（１７）は前記基準ベース（２）に関して移動自在であり、前記検出装置は、調節方向（Ｘ）に沿った前記スラスト区分（Ｋ）の位置（ｘ）を示す電気信号を与えるように構成された別の位置センサ（３５）を含み、前記スラスト装置（２８；１８、２１）は、前記基準力（Ｒ）を前記薄いプレート（５）に一定の基準力（Ｒ０）として加えるようになっており、前記記憶−演算処理−制御ユニット（４０）は、前記スラスト区分（Ｋ）と前記弱め区分（９）との間の距離の値（ｘＰＦ）を前記予め決定された相互位置（ｚＦ）のところで検出するように構成されている、請求項１乃至４のいずれかに記載の装置。
【請求項１０】
前記スラスト方向（Ｚ）は実質的に垂直方向であり、前記調節方向（Ｘ）は実質的に水平方向である、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記スラスト装置は、前記実質的に一定の基準力（Ｒ０）を前記薄いプレート（５）に加えるため、前記支持体（１７）にしっかりと連結されており且つ前記スラスト区分（Ｋ）のところで前記薄いプレート（５）の前記中間部分（４）の近くに配置された空気圧ノズル（２８）を含む、請求項９又は１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記スラスト装置は、相互回転軸線（Ａ）を画成する支点（１９）によって前記支持体（１７）に連結されており且つ前記スラスト区分（Ｋ）のところで前記薄いプレート（５）と接触するための載止面（２１）を有するレバー（１８）を含み、このレバーは、前記実質的に一定の基準力（Ｒ０）を加えるため、検査されるべき前記薄いプレート（５）に向かって前記載止面（２１）を押圧するようになったアンバランストルク（ＣＳ）を発生する、請求項９又は１０に記載の装置。
【請求項１３】
前記レバー（１８）の前記重心（Ｂ）は、前記支点（１９）が画成する相互回転軸線（Ａ）から水平方向（Ｘ）に沿ってゼロでない予め設定された距離（ｄＢ）のところに配置されており、前記アンバランストルク（ＣＳ）は、前記レバー（１８）の重量（ＧＢ）によって発生する、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記レバー（１８）の前記載止面（２１）は実質的に円筒形形状を有する、請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記支持体（１７）に連結され、前記支持体（１７）を前記ベース（２）に関して調節方向（Ｘ）に沿って並進変位させるように構成された駆動モータ（２２）を含む、請求項９乃至１４のいずれかに記載の装置。
【請求項１６】
前記記憶−演算処理−制御ユニット（４０）は、前記支持体（１７）の前記ベース（２）に関する前記並進変位の開始及び停止を制御するよう、前記駆動モータ（２２）に接続されている、請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
前記少なくとも一つの位置センサ（３０）は、光電式計測システムを含む、請求項１乃至１６のいずれかに記載の装置。
【請求項１８】
前記スラスト装置（２７；５７、５７′；２８；１８、２１）は、前記薄いプレート（５；７１、７１′）に一定の基準力（Ｒ）を加えるようになっており、前記記憶−演算処理−制御ユニット（４０）は、前記係止部分（７）と前記スライダー（３）との間の前記予め決定された相互位置（ｚＦ）を得るのに必要な力（ＲＦ）の値を得るため、前記スラスト方向（Ｚ）に沿って検出された前記一定の基準力（Ｒ）の値及び前記相互位置（ｚＦ）の値を演算処理するようになっている、請求項１に記載の装置。
【請求項１９】
単一のエレメント（７０）に連結された複数の薄いプレート（７１、７１′）によって加えられる前記力（ＧＺ、ＧＬ）の検査を行うため、前記支持体（５０）に連結されており且つ前記複数の薄いプレート（７１、７１′）に単一のスラスト区分（Ｋ０）のところで基準力（Ｒ）を加えるように構成された複数のスラスト装置（５７、５７′）を含み、前記位置センサ（８０）は、前記複数の薄いプレート（７１、７１′）の全てのスライダー（３）の位置を示す電気信号を与えるように構成されている、請求項１に記載の装置。
【請求項２０】
前記スラスト装置は、前記支持体（５０）にしっかりと連結された空気圧ノズル（５７、５７′）を含み、これらのノズルは、前記基準力（Ｒ）を前記薄いプレート（７１、７１′）に加えるため、前記スラスト区分（Ｋ０）のところで前記薄いプレート（７１、７１′）の前記中間部分（４）の近くに配置されており、空気圧回路（５１）が前記ノズル（５７、５７′）に連結されており、圧縮空気源（１３）及びこの空気源によって供給される空気の圧力を制御するための装置（１４）を含む、請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
予め設定された弾性変形で薄いプレート（５；７１、７１′）が発生する力（ＧＺ、ＧＬ）を計測するための方法であって、前記薄いプレート（５；７１、７１′）は、基準ベース（２）に関して定置の係止部分（７）と、この係止部分の近くの弱め区分（９）と、中間部分（４）と、スライダー（３）を支持する自由端（６）とを含み、力（Ｒ）を前記薄いプレート（５；７１、７１′）にスラスト方向（Ｚ）に沿って加える工程と、前記力（Ｒ）が加えられることによる前記スラスト方向（Ｚ）に沿った前記係止位置（７）と前記スライダー（３）との間の予め決定された相互位置（ｚＦ）の発生を検出する工程とを含み、前記相互位置が前記薄いプレートの前記弾性変形を決定する、方法において、前記力（Ｒ）はスラスト区分（Ｋ）に加えられ、可変モーメント（Ｍ）の対応するトルクが前記薄いプレート（５；７１、７１′）に前記弱め区分（９）に関して加えられ、
更に、
前記トルクの前記モーメント（Ｍ）を変化させる工程と、
前記薄いプレート（５；７１、７１′）の前記予め設定された弾性変形で前記トルクの前記モーメント（ＭＦ）の値を検出する工程と、
前記薄いプレート（５；７１、７１′）が発生した力（ＧＬ）を、前の工程で評価されたモーメントの値（ＭＦ）と、前記スラスト区分（Ｋ）及び前記スライダー（３）の前記弱め区分（９）に関する位置とに基づいて計算する工程とを含む、方法。
【請求項２２】
前記薄いプレート（５；７１、７１′）が発生した力（ＧＬ）を計算する前記工程は、前記薄いプレート（５；７１、７１′）のバランス構成と対応する
ＧＬ＝ＭＦ／Ｌ
の計算を行う工程を含み、ここで、Ｌは、前記スライダー（３）と前記弱め区分（９）との間の距離を示す、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
供給された空気の増大する圧力（Ｐ）によって前記トルクの前記モーメントを変化させる請求項８に記載の装置によって力（ＧＺ、ＧＬ）を計測するため、
前記基準力（ＲＰ）が変化するとき、前記スラスト方向（Ｚ）に沿った前記スライダー（３）の位置に対する対をなした値（ｚ、Ｐ）、及び前記空気源（１３）によって供給された空気の圧力（Ｐ）の相対的な値を、前記少なくとも一つのセンサ（３０）が前記記憶−演算処理−制御ユニット（４０）に与えた信号に基づいて検索し記憶する工程と、
検索された値に関する中間位置で別の対をなした値を得るため、前記対をなした値（ｚ、Ｐ）を内挿によって演算処理する工程と、
前記薄いプレート（５；７１、７１′）の予め設定された弾性変形での前記スライダー（３）の位置に対応する圧力（Ｐ）の値（ＰＦ）を評価する工程と、前の工程で検出された圧力（Ｐ）の値（ＰＦ）に対応する基準力（ＲＰ）の値（ＲＰＦ）を検出する工程とを更に含む、請求項２１又は２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記スラスト方向（Ｚ）に沿った、前記係止位置（７）と前記スライダー（３）との間の前記相互位置が弾性変形を決定する請求項９乃至１６のいずれかに記載の装置によって力（ＧＺ、ＧＬ）を計測するため、
前記スラスト装置（２８；１８、２１）をスラスト区分（Ｋ）のところで前記薄いプレート（５）の前記中間部分（４）と協働させる工程と、
前記支持体（１７）を前記ベース（２）に関して前記調節方向（Ｘ）に沿って並進変位させることにより、前記スラスト区分（Ｋ）を前記薄いプレート（５）の前記弱め区分（９）に関して変位させる工程と、
前記少なくとも一つの位置センサ（３０）が与えた前記信号に基づいて、前記薄いプレート（５）の前記予め設定された弾性変形に対応する前記スライダー（３）の前記スラスト方向（Ｚ）に沿った位置（ｚＦ）を検出する工程と、
前記別の位置センサ（３５）が送出した信号に基づいて、前の工程で検出された前記スライダー（３）の位置に対応する前記調節方向（Ｘ）に沿った前記スラスト区分（Ｋ）の前記弱め区分（９）に関する位置（ｘＰＦ）を評価する工程と、
前記薄いプレート（５）が発生した力（ＧＬ）を、前の工程で評価された位置（ｘＰＦ）に基づいて計算する工程とを含む、請求項２１又は２２に記載の方法。
【請求項２５】
前記支持体（１７）の前記並進変位中、前記位置センサ（３０、３５）が前記記憶−演算処理−制御ユニット（４０）に送出した信号に基づいて、前記スラスト方向（Ｚ）及び前記調節方向（Ｘ）の夫々に沿った前記スライダー（３）の位置及び前記スラスト区分（Ｋ）の位置に対応する対をなした値（ｚ、ｘＫ）を検索し記憶する工程と、
検索された値に関する中間位置で別の対をなした値を得るため、前記対をなした値（ｚ、ｘＫ）を内挿によって演算処理する工程とを含み、
前記薄いプレート（５）の前記予め設定された弾性変形に対応する前記スライダー（３）の位置を検出する前記工程は、前記位置（ｚＦ）が前記検索され且つ記憶された位置の値（ｚ）内に含まれることを検査する工程を含む、請求項２４に記載の方法。