(57)【要約】  液状体充填装置（１１）では、液状体（２３）の充填にあたってステージ（１２）は液状体（２３）上で平板（３１）を受け止める。このとき、駆動機構（１５）はステージ（１２）に対してステージ（１２）の表面に沿って平板（３１）を駆動する。平板（３１）は液状体（２３）に対して相対変位する。平板（３１）の貫通孔（３２）は液状体（２３）に向かって開口することから、貫通孔（３２）の開口は液状体（２３）に擦り付けられる。液状体（２３）は開口でこそげられる。液状体（２３）は貫通孔（３２）内に流入する。こうして液状体（２３）は極めて簡単に貫通孔（３２）内に同時に充填されることができる。しかも、大きな圧力は必要とされないことから、大がかりな装置は必要とされない。加えて、貫通孔（３２）の位置合わせは一切必要とされない。【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に広がる液状体上で平板を受け止めるステージと、ステージの表面に沿って平板を駆動し、液状体に対して、平板に形成され液状体に向かって開口する複数の貫通孔を相対変位させる駆動機構とを備えることを特徴とする液状体充填装置。
【請求項２】
請求の範囲第１項に記載の液状体充填装置において、前記ステージの表面には窪みが区画されることを特徴とする液状体充填装置。
【請求項３】
請求の範囲第２項に記載の液状体充填装置において、前記ステージは弾性材料から形成されることを特徴とする液状体充填装置。
【請求項４】
請求の範囲第１項に記載の液状体充填装置において、前記貫通孔には屈曲域が区画されることを特徴とする液状体充填装置。
【請求項５】
表面に広がる液状体上で平板を受け止めるステージと、ステージの表面に向かって平板を押し付ける押し付け部材と、ステージを駆動し、平板に形成され液状体に向かって開口する複数の貫通孔に対して液状体を相対変位させる駆動機構とを備えることを特徴とする液状体充填装置。
【請求項６】
ステージの表面に広がる液状体上に平板を配置する工程と、ステージの表面に向かって平板を押し付けつつ、液状体に対して、平板に形成され液状体に向かって開口する複数の貫通孔を相対変位させる工程とを備えることを特徴とする液状体充填方法。
【請求項７】
所定の粘性を有する充填材上に部材を配置する工程と、充填材に向かって部材を押し付けつつ、充填材に対して、部材に形成され充填材に向かって開口する複数の貫通孔を相対変位させる工程とを備えることを特徴とする部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば平板に形成される複数の貫通孔に液状体や粘性を有する充填材を充填する液状体充填装置および液状体充填方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献２には、プリント配線基板に形成されるスルーホールに充填ペーストを充填する充填装置が開示される。この充填装置ではプリント配線基板の裏面は充填ペーストのタンクに受け止められる。タンクの表面には貫通孔が区画される。タンクには加圧ピストンが組み込まれる。プリント配線基板のスルーホールの位置とタンクの貫通孔の位置とは揃えられる。加圧ピストンに基づきタンクの貫通孔から充填ペーストが押し出される。押し出された充填ペーストはプリント配線基板のスルーホール内に充填される。
【特許文献１】特開平０３−２４１８９０号公報
【特許文献２】特開２００１−２１７５３８号公報
【発明の開示】
【０００３】
こうした充填装置では、プリント配線基板のスルーホールの深さが増大すれば、充填ペーストの充填にあたって加圧ピストンの圧力は高められなければならない。大がかりな装置が必要とされる。しかも、プリント配線基板のスルーホールの位置やタンクの貫通孔の位置には加工誤差に基づきばらつきが生じる。スルーホールの数が増大すれば、プリント配線基板のスルーホールおよびタンクの貫通孔は正確に位置合わせされることはできない。したがって、充填ペーストはプリント配線基板のすべてのスルーホールに完全に充填されることはできない。
【０００４】
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、極めて簡単に複数の貫通孔内に同時に液状体を充填することができる液状体充填装置および液状体充填方法を提供することを目的とする。
【０００５】
上記目的を達成するために、第１発明によれば、表面に広がる液状体上で平板を受け止めるステージと、ステージの表面に沿って平板を駆動し、液状体に対して、平板に形成され液状体に向かって開口する複数の貫通孔を相対変位させる駆動機構とを備えることを特徴とする液状体充填装置が提供される。
【０００６】
こうした液状体充填装置では、液状体の充填にあたってステージは液状体上で平板を受け止める。このとき、駆動機構はステージの表面に沿って平板を駆動する。平板の貫通孔は液状体に対して相対変位する。平板の貫通孔は液状体に向かって開口することから、貫通孔の開口は液状体に擦り付けられる。液状体は開口でこそげられる。その結果、液状体は貫通孔内に流入する。こうして液状体は極めて簡単に複数の貫通孔内に同時に充填されることができる。しかも、大きな圧力は必要とされないことから、大がかりな装置は必要とされない。加えて、貫通孔の位置合わせは一切必要とされない。
【０００７】
こうした液状体充填装置では、ステージの表面には窪みが区画されればよい。こうした窪みには液状体が溜め込まれることができる。平板およびステージの間から液状体のはみ出しはできる限り回避されることができる。十分な量の液状体が貫通孔に供給されることができる。液状体は貫通孔に効率的に充填されることができる。
【０００８】
このとき、ステージは弾性材料から形成されてもよい。こうした液状体充填装置では、窪みには液状体が溜め込まれることができる。しかも、貫通孔およびステージの相対移動に伴って窪みの周囲でステージは弾性変形することができる。こうした弾性変形に基づき窪み内の液状体は窪みから押し出されることができる。十分な量の液状体が貫通孔に供給されることができる。液状体は貫通孔に効率的に充填されることができる。
【０００９】
液状体充填装置に用いられる平板の貫通孔には屈曲域が区画されてもよい。前述のような液状体充填装置では、液状体は貫通孔の開口でこそげられる。こうして液状体は簡単に貫通孔の屈曲域に充填されることができる。
【００１０】
第２発明によれば、表面に広がる液状体上で平板を受け止めるステージと、ステージの表面に向かって平板を押し付ける押し付け部材と、ステージを駆動し、平板に形成され液状体に向かって開口する複数の貫通孔に対して液状体を相対変位させる駆動機構とを備えることを特徴とする液状体充填装置が提供される。
【００１１】
こうした液状体充填装置では、液状体の充填にあたってステージは液状体上で平板を受け止める。このとき、駆動機構は平板に対してステージを駆動する。前述と同様に、平板は液状体に対して相対変位する。平板の貫通孔は液状体に向かって開口することから、貫通孔の開口は液状体に擦り付けられる。液状体は開口でこそげられる。液状体は貫通孔内に流入する。こうして液状体は極めて簡単に貫通孔内に同時に充填されることができる。しかも、大きな圧力は必要とされないことから、大がかりな装置は必要とされない。加えて、貫通孔の位置合わせは一切必要とされない。
【００１２】
第３発明によれば、ステージの表面に広がる液状体上に平板を配置する工程と、ステージの表面に向かって平板を押し付けつつ、液状体に対して、平板に形成され液状体に向かって開口する複数の貫通孔を相対変位させる工程とを備えることを特徴とする液状体充填方法が提供される。
【００１３】
こうした液状体充填方法によれば、液状体の充填にあたってステージの表面に広がる液状体上に平板が配置される。平板はステージの表面に向かって押し付けられる。このとき、平板の貫通孔は液状体に対して相対変位する。貫通孔は液状体に向かって開口することから、貫通孔の開口は液状体に擦り付けられる。液状体は貫通孔の開口でこそげられる。液状体は貫通孔内に流入する。こうして液状体は極めて簡単に複数の貫通孔内に同時に充填されることができる。
【００１４】
第４発明によれば、所定の粘性を有する充填材上に部材を配置する工程と、充填材に向かって部材を押し付けつつ、充填材に対して、部材に形成され充填材に向かって開口する複数の貫通孔を相対変位させる工程とを備えることを特徴とする部材の製造方法が提供される。
【００１５】
こうした部材の製造方法によれば、粘性を有する充填材の充填にあたって充填材上に部材が配置される。部材は充填材に向かって押し付けられる。このとき、部材の貫通孔は充填材に向かって開口することから、貫通孔の開口は充填材に擦り付けられる。充填材は貫通孔の開口でこそげられる。充填材は貫通孔内に流入する。こうして充填材は極めて簡単に複数の貫通孔内に同時に充填されることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る液状体充填装置の一具体例の構成を概略的に示す図である。
【図２】平板の構造を概略的に示す斜視図である。
【図３】図２の３−３線に沿った断面図である。
【図４】平板を保持部材に装着する様子を概略的に示す図である。
【図５】平板をステージ上のはんだペーストに押し付ける様子を概略的に示す図である。
【図６】ステージの表面に沿って第１方向に平板を移動させる様子を概略的に示す図である。
【図７】ステージの表面に沿って第１方向に反対向きの第２方向に平板を移動させる様子を概略的に示す図である。
【図８】平板の表面で貫通孔からはんだペーストが溢れ出す様子を概略的に示す図である。
【図９】一変形例に係る液状体充填装置の構成を概略的に示す図である。
【図１０】他の変形例に係る液状体充填装置の構成を概略的に示す図である。
【図１１】ステージの表面に沿って平板を移動させる様子を概略的に示す図である。
【図１２】他の変形例に係る液状体充填装置の構成を概略的に示す図である。
【図１３】ステージの表面に沿って平板を移動させる様子を概略的に示す図である。
【図１４】他の変形例に係る液状体充填装置の構成を概略的に示す図である。
【図１５】図３に対応し、一変形例に係る平板の構造を概略的に示す断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。【００１８】
図１は、本発明の一実施形態に係る液状体充填装置１１の構造を概略的に示す。この液状体充填装置１１は、任意の水平面に沿って表面を規定するステージ１２を備える。ステージ１２の表面では外縁から外壁１２ａが立ち上がる。こうしてステージ１２の表面には外壁１２ａで囲まれる平坦面１２ｂが規定される。後述されるように、平坦面１２ｂ上には液状体が受け止められる。なお、液状体には粘性を有する充填材が含まれる。【００１９】
ステージ１２の裏面には発熱体すなわち電熱コイル１３が向き合わせられる。電熱コイル１３に流通する電流に基づき電熱コイル１３は熱を発する。こうしてステージ１２は加熱される。この電熱コイル１３には温度制御回路１４が接続される。温度制御回路１４は、電熱コイル１３に流通する電流量を調整することができる。こうして電熱コイル１３の温度すなわちステージ１２の温度は制御される。【００２０】
液状体充填装置１１は、可動部材１６と、可動部材１６に相対変位自在に連結される可動ヘッド１７とを備える。可動ヘッド１７は例えば可動部材１６の下端に連結されればよい。可動部材１６および可動ヘッド１７は例えば枠体から構成されればよい。可動ヘッド１７は裏面でステージ１２の平坦面１２ｂに向き合わせられる。【００２１】
可動部材１６には可動部材駆動機構１８が接続される。可動部材駆動機構１８は可動部材制御回路１９に接続される。可動部材制御回路１９は可動部材駆動機構１８に電気信号を供給する。電気信号に基づき可動部材駆動機構１８は、ステージ１２の平坦面１２ｂに直交する垂直軸に沿って可動部材１６および可動ヘッド１７を上下移動させる。こうして可動部材駆動機構１８はステージ１２の平坦面１２ｂに対する可動ヘッド１７の押し付け力を制御することができる。【００２２】
その一方で、可動ヘッド１７には可動ヘッド駆動機構２１が接続される。可動ヘッド駆動機構２１は可動ヘッド制御回路２２に接続される。可動ヘッド制御回路２２は可動ヘッド駆動機構２１に電気信号を供給する。電気信号に基づき可動ヘッド駆動機構２１は可動部材１６に対して可動ヘッド１７を相対移動させることができる。こうして可動ヘッド１７は、前述の垂直軸に直交する水平軸に沿ってステージ１２の平坦面１２ｂに平行に水平移動する。ここでは、可動ヘッド１７は水平軸に沿って往復運動する。【００２３】
可動ヘッド１７の裏面には受け入れ溝１７ａが形成される。後述されるように、受け入れ溝１７ａには基板といった部材すなわち平板が受け止められる。受け入れ溝１７ａの輪郭は平板の輪郭に合わせられればよい。受け入れ溝１７ａには複数の吸引ホース２３が連結される。吸引ホース２３は吸引ポンプ２４に接続される。平板が受け入れ溝１７ａに受け入れられると、吸引ポンプ２４の働きで平板は吸引ホース２３の先端に吸い付く。こうして平板は可動ヘッド１７に保持されることができる。【００２４】
温度制御回路１４や可動部材制御回路１９、可動ヘッド制御回路２２、吸引ポンプ２４には主制御回路２５が接続される。主制御回路２５は所定のプログラムに従って液状体充填装置１１の処理動作を制御する。主制御回路２５は、温度制御回路１４、可動部材制御回路１９、可動ヘッド制御回路２２および吸引ポンプ２４に所定の制御信号を供給する。こうして温度制御回路１４、可動部材制御回路１９、可動ヘッド制御回路２２および吸引ポンプ２４の動作は制御される。【００２５】
図２に示されるように、平板３１は例えば矩形に規定される。平板３１は例えばガラス板から形成される。平板３１の板厚は例えば４００μｍ程度に設定される。図３を併せて参照し、平板３１には所定の間隔で例えば２０００個の貫通孔３２が形成される。貫通孔３２は平板３１の表面に直交しつつ平板３１を貫通する。貫通孔３２同士は相互に平行に延びる。貫通孔３２の断面形状は例えば円形に区画される。貫通孔３２の直径は例えば２０μｍ程度に設定される。【００２６】
いま、平板３１の貫通孔３２に液状体を充填する場面を想定する。まず、図４に示されるように、平板３１は可動ヘッド１７に装着される。装着にあたって、主制御回路２５は吸引ポンプ２４に電気信号を送り出す。電気信号に基づき吸引ポンプ２４は作動する。こうして平板３１は吸引ホース２３の先端に吸い付く。その結果、平板３１は可動ヘッド１７の受け入れ溝１７ａ内に保持されることができる。こうして平板３１は裏面でステージ１２の平坦面１２ｂに向き合わせられる。【００２７】
その一方で、ステージ１２の平坦面１２ｂには液状体すなわちはんだ材料３３が配置される。はんだ材料３３には例えば亜鉛およびアルミニウムの合金や、亜鉛、錫およびアルミニウムの合金といった導電材料が用いられる。電熱コイル１３の働きではんだ材料３３は平坦面１２ｂ上で加熱される。加熱に基づきステージ１２の温度ははんだ材料３３の融点まで上昇する。はんだ材料３３は溶融する。はんだ材料３３は所定の粘性を有する。外壁１２ａの働きでステージ１２の外縁からはんだ材料３３の漏れ出しは回避される。【００２８】
主制御回路２５は可動部材制御回路１９に制御信号を送り出す。制御信号に基づき可動部材制御回路１９は可動部材駆動機構１８に電気信号を供給する。電気信号に基づき可動部材駆動機構１８は垂直軸に沿ってステージ１２の平坦面１２ｂに向かって可動部材１６および可動ヘッド１７を降下させる。その後、可動部材１６および可動ヘッド１７は所定の位置で停止する。図５に示されるように、ステージ１２の平坦面１２ｂははんだ材料３３上で平板３１の裏面を受け止める。平板３１ははんだ材料３３上に配置される。【００２９】
このとき、可動部材制御回路１９から供給される電気信号に基づき、可動部材１６すなわち可動ヘッド１７はステージ１２すなわちはんだ材料３３に所定の押し付け力で押し付けられる。こうして可動ヘッド１７は本発明の押し付け部材として機能する。このとき、平板３１の貫通孔３２ははんだ材料３３に向かって開口する。その結果、可動ヘッド１７の押し付け力に基づき平板３１がはんだ材料３３に押し付けられると、はんだ材料３３は貫通孔３２内に流入する。【００３０】
続いて、主制御回路２５は可動ヘッド制御回路２２に制御信号を送り出す。制御信号に基づき可動ヘッド制御回路２２は可動ヘッド駆動機構２１に電気信号を供給する。電気信号に基づき可動ヘッド駆動機構２１はステージ１２の平坦面１２ｂに沿って可動ヘッド１７を水平移動させる。可動ヘッド１７は水平軸に沿って直線運動する。このとき、可動部材制御回路１９から供給される電気信号に基づき垂直軸に沿って可動ヘッド１７の押し付け力は維持される。同様に、電熱コイル１３の働きではんだ材料３３の温度は融点以上に維持される。【００３１】
図６に示されるように、可動ヘッド１７は水平軸に沿って第１方向Ｄ１に移動する。ステージ１２は不動に保持される。その結果、可動ヘッド１７の移動に基づき平板３１はステージ１２すなわちはんだ材料３３に対して相対変位する。相対変位に基づき貫通孔３２の入口すなわち開口３２ａははんだ材料３３に擦り付けられる。こうしてはんだ材料３３は貫通孔３２の開口３２ａでこそげられる。その結果、はんだ材料３３は第１方向Ｄ１の平板３１の移動に逆らって貫通孔３２内に流入する。【００３２】
続いて、図７に示されるように、可動ヘッド１７は水平軸に沿って第１方向Ｄ１に反対向きの第２方向Ｄ２に移動する。前述と同様に、平板３１ははんだ材料３３に対して相対変位する。貫通孔３２の開口３２ａははんだ材料３３に擦り付けられる。こうしてはんだ材料３３は貫通孔３２の開口３２ａでこそげられる。はんだ材料３３は第２方向Ｄ２の平板３１の移動に逆らって開口３２ａから貫通孔３２内に流入する。その後、第１および第２方向Ｄ１、Ｄ２に可動ヘッド１７の往復運動は継続される。【００３３】
その結果、図８に示されるように、開口３２ａから流入するはんだ材料３３は貫通孔３２内から平板３１の表面に溢れる。はんだ材料３３は貫通孔３２内に完全に充填される。その後、平板３１は可動ヘッド１７から取り外される。平板３１の表面や裏面で貫通孔３２から溢れるはんだ材料３３は除去される。冷却に基づき貫通孔３２内ではんだ材料３３は硬化する。こうして貫通孔３２内には導電材料が充填される。こういった平板３１は例えば半導体チップ同士の接続に用いられる。このとき、貫通孔３２内のはんだ材料は配線として用いられる。【００３４】
以上のような液状体充填装置１１では、はんだ材料３３の充填にあたって、平板３１ははんだ材料３３に対して相対変位する。貫通孔３２ははんだ材料３３に向かって開口することから、貫通孔３２の開口３２ａははんだ材料３３に擦り付けられる。はんだ材料３３は開口３２ａでこそげられる。はんだ材料３３は貫通孔３２内に流入する。こうしてはんだ材料３３は極めて簡単にすべての貫通孔３２内に同時に充填されることができる。しかも、大きな圧力は必要とされないことから、大がかりな装置は必要とされない。加えて、平板３１がはんだ材料３３上に受け止められれば足りることから、貫通孔３２の位置合わせは一切必要とされない。【００３５】
以上のような液状体充填装置１１では、可動ヘッド１７は可動部材１６に対して所定の回転軸（図示されず）回りで回転してもよい。回転軸は、ステージ１２の平坦面１２ｂに直交する垂直軸に沿って規定されればよい。こうした可動ヘッド１７の回転に基づき平板３１の貫通孔３２はステージ１２すなわちはんだ材料３３に対して相対変位する。貫通孔３２の開口３２ａははんだ材料３３に擦り付けられる。はんだ材料３３は開口３２ａでこそげられる。前述と同様に、はんだ材料３３は極めて簡単にすべての貫通孔３２内に同時に充填されることができる。【００３６】
その他、図９に示されるように、ステージ１２にはステージ駆動機構３４が接続されてもよい。ステージ駆動機構３４にはステージ制御回路３５が接続される。ステージ制御回路３５は主制御回路２５に接続される。このとき、前述の可動ヘッド駆動機構２１および可動ヘッド制御回路２２は省略されればよい。こうしたステージ駆動機構３４の働きで可動ヘッド１７すなわち平板３１に対してステージ１２の水平移動や回転が実現されてもよい。その一方で、可動部材１６すなわち可動ヘッド１７では、可動部材制御回路１９に基づき垂直軸に沿って上下移動のみが実現されればよい。以下、前述の実施形態と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。【００３７】
図１０に示されるように、ステージ１２の表面には複数の窪み４１が区画されてもよい。窪み４１は、例えば水平軸に直交する方向に延びる複数の長溝で形成されればよい。長溝同士は相互に平行に規定されればよい。こうした窪み４１には、図１１に示されるように、はんだ材料３３が溜め込まれることができる。平板３１およびステージ１２の間からはんだ材料３３のはみ出しはできる限り回避されることができる。十分な量のはんだ材料３３が貫通孔３２の開口３２ａに供給されることができる。その他、窪み４１は、例えば同心円状に延びる長溝から形成されてもよい。【００３８】
図１２に示されるように、窪み４１は、ステージ１２の表面に例えば所定の間隔で配置される有底孔から形成されてもよい。このとき、ステージ１２は例えば弾性材料から形成されればよい。こうした窪み４１には、図１３に示されるように、はんだ材料３３が溜め込まれることができる。しかも、平板３１がステージ１２の表面に沿って水平移動すると、保持部材１６の押し付け力や平板３１の水平移動に伴って窪み４１の周囲でステージ１２は弾性変形する。こうした弾性変形に基づき窪み４１内のはんだ材料３３は窪み４１から押し出されることができる。十分な量のはんだ材料３３が貫通孔３２の開口３２ａに供給されることができる。【００３９】
図１４に示されるように、液状体充填装置１１は吸引ノズル４３をさらに備えてもよい。吸引ノズル４３は可動ヘッド１７に一体化されればよい。吸引ノズル４３には吸引ポンプ４４が接続される。吸引ポンプ４４の働きで吸引ノズル４３には負圧が発生する。受け入れ溝１７ａに平板３１が保持されると、吸引ノズル４３の先端は平板３１の表面に受け止められる。こうした液状体充填装置１１によれば、はんだ材料３３の充填にあたって貫通孔３２内には負圧が発生する。はんだ材料３３は一層確実に貫通孔３２内に充填されることができる。平板３１に例えば大きな直径の貫通孔３２が形成されても、負圧に基づきはんだ材料３３は確実に充填されることができる。【００４０】
図１５に示されるように、平板３１ａの貫通孔３２には屈曲域４５が区画されてもよい。屈曲域４５は平板３１ａの表面や裏面に平行に延びる。ここでは、平板３１ａの裏面から延びる２本の貫通孔３２が屈曲域４５で相互に接続される。その後、貫通孔３２は平板３１ａの表面に向かって延びる。前述の液状体充填装置１１によれば、平板３１ａおよびはんだ材料３３の相対移動に基づきはんだ材料３３は開口３２ａから貫通孔３２すなわち屈曲域４５に確実に流入することができる。はんだ材料３３は平板３１ａの貫通孔３２内に確実に充填されることができる。【００４１】
その他、前述の平坦面１２ｂや窪み４１、吸引ノズル４３は相互に組み合わせられてもよい。例えば図１の液状体充填装置１１に吸引ノズル４３が組み合わせられてもよい。【００４２】
その他、液状体には例えば光硬化性樹脂材料や油脂ワックス、導電体を含有する導体ペーストが用いられてもよい。光硬化性樹脂材料には例えば紫外線硬化樹脂材料が含まれる。液状体に例えば紫外線硬化樹脂材料が用いられる場合、液状体の充填に基づき例えば平板３１の貫通孔３２内には光導波路が形成されることができる。導体ペーストには例えば銀ペーストが含まれる。【００４３】
同様に、液状体には、圧力や化学薬品、化学反応に基づき固体および液体の間で変化する材料が用いられてもよい。このとき、液状体充填装置には、用いられる材料に応じて材料の状態を固体および液体の間で変化させる機構が組み込まれればよい。電熱コイル１３の配置は省略されればよい。【００４４】
その他、可動部材１６すなわち可動ヘッド１７の押し付け力や可動ヘッド１７の水平移動の速度、可動ヘッド１７の回転速度、ステージ１２の水平移動の速度、ステージ１２の回転速度は所定の要因に基づき適宜調整されればよい。所定の要因には、例えば液状体に用いられる材料やその粘性、平板３１の貫通孔３２の大きさや深さといった要因が含まれる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【国際調査報告】
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2007023531.tif 000018
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