【手続補正書】
【提出日】平成19年3月29日(2007.3.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  内部を真空の状態に保持して真空空間を形成するドーナツ形状の真空容器と、この真空容器の内部の真空空間において前記の真空容器の中心軸と同軸的に回転できるように支承された陰極側回転体組立と、この陰極側回転体組立の一部に取り付けられた電子銃組立と、この電子銃組立に取り付けられており電子を放出する陰極と、この陰極に前記の真空容器の外部から給電する為の陰極給電機構の回転部分と、前記の陰極の周回軌道を含む面と対面して取り付けられた環状のＸ線ターゲットと、このＸ線ターゲットの表面で発生したＸ線を前記の真空容器の外に取り出す為のＸ線放出窓と、前記の陰極側回転体組立に回転力を与える回転駆動機構と、前記の陰極側回転体組立を前記の真空容器内で回転自在に支承する軸受機構と、前記の陰極給電機構の回転部分を前記の真空容器内で回転自在に支承する軸受機構とを有して構成されており、これらの軸受機構の内の少なくとも一方の軸受機構は、この軸受機構を固定する部分である軸受固定体と、この軸受固定体に嵌め合わされて回転する軸受回転体とを含んでおり、これらの軸受固定体と軸受回転体の間には動作時に液体である液体金属を潤滑剤とした複数の動圧滑り軸受が構成されており、それぞれの動圧滑り軸受はギャップを有して対向する軸受面を有し、これらの軸受面の少なくとも一方にはヘリンボーン状の軸受溝が設けられており、前記の動圧滑り軸受には、回転軸方向に動圧力を生じる第一のスラスト軸受と、回転半径方向に動圧力を生じる少なくとも１個のラジアル軸受と、前記の第一のスラスト軸受と距離をもって対面して設けられた第二のスラスト軸受とが含まれており、これらの内のいずれか２個の軸受の間に、軸受圧力が小さく、且つ、前記の真空空間に連通した、前記の液体金属潤滑剤で満たされていない真空空間部分を有する、環状に配設された第一の低圧力窪みを有していることを特徴とするカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項２】  内部を真空の状態に保持して真空空間を形成するドーナツ形状の真空容器と、この真空容器の内部の真空空間において前記の真空容器の中心軸と同軸的に回転できるように支承された陽極側回転体組立と、この陽極側回転体組立に取り付けられた環状のＸ線ターゲットと、このＸ線ターゲットの表面に対向した軌道を成して周回できるように取り付けられた電子銃組立と、この電子銃組立に取り付けられており電子を放出する陰極と、この陰極に前記の真空容器の外部から給電する為の陰極給電機構と、前記のＸ線ターゲットの表面で発生したＸ線を前記の真空容器の外に取り出す為のＸ線放出窓と、前記の陽極側回転体組立に回転力を与える回転駆動機構と、前記の陽極側回転体組立を前記の真空容器内で回転自在に支承する軸受機構とを有して構成されており、この軸受機構は、この軸受機構を固定する部分である軸受固定体と、この軸受固定体に嵌め合わされて回転する軸受回転体とを含んでおり、これらの軸受固定体と軸受回転体の間には動作時に液体である液体金属を潤滑剤とした複数の動圧滑り軸受が構成されており、それぞれの動圧滑り軸受はギャップを有して対向する軸受面を有し、これらの軸受面の少なくとも一方にはヘリンボーン状の軸受溝が設けられており、前記の動圧滑り軸受には、回転軸方向に動圧力を生じる第一のスラスト軸受と、回転半径方向に動圧力を生じる少なくとも１個のラジアル軸受と、前記の第一のスラスト軸受と距離をもって対面して設けられた第二のスラスト軸受とが含まれており、これらの内のいずれか２個の軸受の間に、軸受圧力が小さく、且つ、前記の真空空間に連通した、前記の液体金属潤滑剤で満たされていない真空空間部分を有する、環状に配設された第一の低圧力窪みを有していることを特徴とするカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項３】  前記の動圧滑り軸受の内のいずれか２個は、前記の液体金属潤滑剤が存在する領域と前記の真空空間との実質的な境界を形成する環状の軸受開口にそれぞれ経路的に繋がっており、この軸受開口は、前記の軸受回転体に在る第一の面と前記の軸受固定体に在る第二の面と、これらの第一の面と第二の面とで挟まれたギャップとで構成されており、前記の第一の低圧力窪みを形成する面の最小の半径は、前記の軸受開口を構成する前記の第一の面、又は前記の第二の面の最大の半径よりも大きいことを特徴とする請求項１または請求項２のいずれか１つに記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項４】  前記の動圧滑り軸受の内のいずれか２個は、前記の液体金属潤滑剤が存在する領域と前記の真空空間との実質的な境界を形成する環状の軸受開口とそれぞれ経路的に繋がっており、この環状の軸受開口は、前記の軸受回転体に在る第一の面と、前記の軸受固定体に在る第二の面と、これらの第一の面と第二の面で挟まれたギャップとで構成されており、前記の第一の低圧力窪みは前記の環状の軸受開口の前記第一の面又は前記第二の面に繋がった連通路を有していることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項５】  前記の動圧滑り軸受の内のいずれか２個の軸受の間に、軸受圧力が小さく、且つ前記の液体金属潤滑剤で満たされていない真空空間部分を有する、環状に配設された第二の低圧力窪みが設けてあり、この第二の低圧力窪みは前記の第一の低圧力窪みに繋がった連通路を有していることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項６】  前記の連通路は前記の液体金属潤滑剤で濡れない表面を持っていることを特徴とする請求項４または請求項５のいずれか１つに記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項７】  前記の連通路は、この連通路の端部において前記の液体金属潤滑剤内に生じる重力加速度に起因する静圧力よりも大きな表面張力の圧力効果が生じるように作られていることを特徴とする請求項４乃至請求項６のいずれか１項に記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項８】  前記の連通路の端部において、前記の液体金属潤滑剤に生じる表面張力の圧力効果は、この液体金属潤滑剤に作用する遠心力による圧力効果よりも小さいことを特徴とする請求項４乃至請求項７のいずれか１項に記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項９】  前記の第一の低圧力窪みに開口した、前記の真空容器の外部に通じる通路を設け、この通路を通じて、前記の第一の低圧力窪みに在る液体金属潤滑剤の液面高さを、前記の真空容器の内部を高真空状態に保った状態で、前記の真空容器の外部から変化させられるようにしたことを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１つに記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項１０】  内部を真空の状態に保持して真空空間を形成するドーナツ形状の真空容器と、この真空容器の内部の真空空間において前記の真空容器の中心軸と同軸的に回転できるように支承された陰極側回転体組立と、この陰極側回転体組立の一部に取り付けられた電子銃組立と、この電子銃組立に取り付けられており電子を放出する陰極と、この陰極に前記の真空容器の外部から給電する為の陰極給電機構の回転部分と、前記の陰極から放出されて加速された電子を取り出す為の電子線放出窓と、前記の陰極側回転体組立に回転力を与える回転駆動機構と、前記の陰極側回転体組立を前記の真空容器内で回転自在に支承する軸受機構と、前記の陰極給電機構の回転部分を前記の真空容器内で回転自在に支承する軸受機構とを有して構成されており、これらの軸受機構の内の少なくとも一方の軸受機構は、この軸受機構を固定する部分である軸受固定体と、この軸受固定体に嵌め合わされて回転する軸受回転体とを有し、これらの軸受固定体と軸受回転体の間には動作時に液体である液体金属を潤滑剤とした複数の動圧滑り軸受が構成されており、それぞれの動圧滑り軸受はギャップを有して対向する軸受面を有し、これらの軸受面の少なくとも一方にはヘリンボーン状の軸受溝が設けられており、前記の動圧滑り軸受には、回転軸方向に動圧力を生じる第一のスラスト軸受と、回転半径方向に動圧力を生じる少なくとも１個のラジアル軸受と、前記の第一のスラスト軸受と距離をもって対面して設けられた第二のスラスト軸受とが含まれており、これらのいずれか２個の軸受の間に、軸受圧力が小さく、且つ、前記の真空空間に連通した、前記の液体金属潤滑剤で満たされていない真空空間部分を有する、環状に配設された第一の低圧力窪みを有していることを特徴とする電子線照射装置。
【請求項１１】  前記の連通路は、遠心力の作用で一方向にのみ前記の液体金属潤滑剤を移動させるように構成されたことを特徴とする請求項４乃至請求項９のいずれか１項に記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項１２】  前記の第一のスラスト軸受又は前記の第二のスラスト軸受の少なくとも一方は、前記の真空空間との実質的な境界となる環状の軸受開口と繋がっており、この軸受開口に隣接した、前記の軸受回転体内において回転軸に沿った方向に窪んだ環状の窪みを有しており、この環状の窪みと前記の第一の低圧力窪みとが前記の連通路を介して連通していることを特徴とする請求項４乃至請求項９、又は請求項１１のいずれか１項に記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項１３】  前記の液体金属潤滑剤が存在する領域と前記の真空空間との実質的な境界を形成する環状の軸受開口に隣接する軸受は前記のスラスト軸受のみに限定されていることを特徴とする請求項１乃至請求項９、又は請求項１１、又は請求項１２のいずれか１項に記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項１４】  前記の液体金属潤滑剤が存在する領域と前記の真空空間との実質的な境界を形成する環状の軸受開口は、前記の液体金属潤滑剤で濡れない、互いに対向して設けられた表面とこの表面で挟まれたギャップを有しており、この環状の軸受開口から前記の軸受機構の外側の前記真空空間に至る経路に前記の液体金属潤滑剤で濡れない面が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項９、又は請求項１１乃至請求項１３のいずれか１項に記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項１５】  前記の軸受回転体が回転を停止したときにおける前記の第一の低圧力窪み内に在る前記の液体金属潤滑剤の液面高さは、この液面高さによって前記の液体金属潤滑剤の重力加速度に起因して生じる静圧力が、前記の液体金属潤滑剤が存在する領域と前記の真空空間との実質的な境界を形成する環状の軸受開口において生じる液体金属潤滑剤の表面張力の圧力効果よりも大きくならないように決まられていることを特徴とする請求項１乃至請求項９、又は、請求項１１乃至請求項１４のいずれか１項に記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【請求項１６】  前記の液体金属潤滑剤が存在する領域と前記の真空空間との実質的な境界を形成する環状の軸受開口の直径が１８ｃｍを超えていることを特徴とする請求項１乃至請求項９、又は、請求項１１乃至請求項１５のいずれか１項に記載したカソードスキャン型Ｘ線発生器、及びこれを使ったＸ線ＣＴスキャナ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
環状の低圧力窪み１５１、１５２、１５３内に在る液体金属潤滑剤の量を制御する手段について述べる。前記の低圧力窪み１５１、１５２、１５３のいずれかの鉛直最下端に開口する管（図示せず）を前記の軸受固定体１０１に取り付け、この管を前記の真空容器ＶＶの外に導いておき、この管を真空容器ＶＶの外に設けた潤滑剤収容容器（図示せず）に接続しておく。この潤滑剤収容容器内に前記の液体金属潤滑剤が移動できるようにしておき、この潤滑剤収容容器の鉛直方向の高さを変えられるようにして、真空容器ＶＶ内は高真空状態に保ちながら、連通管の原理に従って前記の低圧力窪み１５１、１５２、１５３における液体金属潤滑剤の液面高さＨ（図示せず）を真空容器ＶＶの外から制御する。例えば、前記の軸受回転体１０２が回転を停止している時には前記の潤滑剤収容容器を鉛直下方に移動して前記の潤滑剤存在領域における液面高さＨ（図示せず）を低くし、反対に前記の軸受回転体１０２が回転いる時には前記の潤滑剤収容容器を鉛直上方に移動して前記の低圧力窪み１５１、１５２、１５３における液面高さＨ（図示せず）を高くする。このようにすると、前記の低圧力窪み１５１、１５２、１５３内の液体金属潤滑剤の量を真空容器ＶＶの外部から常に最適値に制御できる。又、常に最良の潤滑状態を保つことができるだけでなく、軸受の保守が容易になる。