【手続補正書】
【提出日】平成19年8月8日(2007.8.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】スキャン露光装置およびデバイス製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  レチクルステージと、
基板ステージと、
パルス光を発する光源と、
スキャンスピードにより決まる周期で該パルス光を揺動する揺動手段と、
該揺動されたパルス光で該レチクルのパターンを該基板に投影する投影光学系と、
該揺動されたパルス光で前記レチクルステージ上のマークおよび前記基板ステージ上のマークのうち少なくとも一方のマークを照明する照明手段と、
該少なくとも一方のマークを介し、該揺動されたパルス光を受ける蓄積型センサと、
を有し、レチクルを介して基板を露光するスキャン露光装置であって、
前記揺動手段の周期と前記蓄積型センサの蓄積中に必要な該パルス光の数とに基づき、前記光源の発光周波数と前記蓄積型センサの蓄積時間とを決定する、
ことを特徴とするスキャン露光装置。
【請求項２】  前記照明手段は、前記レチクルステージ上のマークと前記投影光学系とを介して前記基板ステージ上のマークを照明する、ことを特徴とする請求項１に記載のスキャン露光装置。
【請求項３】  該少なくとも一方のマークの明るさ、コントラストおよび位置のうち一つを計測する、ことを特徴とする請求項１または２に記載のスキャン露光装置。
【請求項４】  前記揺動手段の周期の自然数倍の間に、前記光源が該数の該パルス光を発するように、前記光源の発光周波数を決定する、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のスキャン露光装置。
【請求項５】  前記蓄積型センサの蓄積時間が前記揺動手段の周期の自然数倍以上になるように、前記蓄積型センサの蓄積時間を決定する、ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のスキャン露光装置。
【請求項６】  前記蓄積型センサは、ノンインターレース型カメラおよびインターレース型カメラのいずれかを含む、ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のスキャン露光装置。
【請求項７】  前記光源の発光を開始し、前記光源からのパルス光のエネルギーが安定した後、前記蓄積型センサの蓄積を開始する、ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のスキャン露光装置。
【請求項８】  請求項１乃至７のいずれかに記載のスキャン露光装置を用いて基板を露光するステップと、
前記ステップにおいて露光された基板を現像するステップと、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パルス光を露光光として使用するスキャン露光装置に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、スキャン露光装置のスループットを向上させることを課題とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
すなわち、上記課題を解決するために、本発明のスキャン露光装置は、レチクルステージと、基板ステージと、パルス光を発する光源と、スキャンスピードにより決まる周期で該パルス光を揺動する揺動手段と、該揺動されたパルス光で該レチクルのパターンを該基板に投影する投影光学系と、該揺動されたパルス光で前記レチクルステージ上のマークおよび前記基板ステージ上のマークのうち少なくとも一方のマークを照明する照明手段と、該少なくとも一方のマークを介し、該揺動されたパルス光を受ける蓄積型センサと、を有し、レチクルを介して基板を露光するスキャン露光装置であって、前記揺動手段の周期と前記蓄積型センサの蓄積中に必要な該パルス光の数とに基づき、前記光源の発光周波数と前記蓄積型センサの蓄積時間とを決定する、ことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
【作用】
本発明によれば、スキャン露光装置のスループットを向上させることができる。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
エキシマレーザ等のパルスレーザ（Laser）１４は、ＫｒＦ，ＡｒＦ，Ｆ２等が封入されたガスレーザであり、パルス化されたレーザ光を発生する光源（パルス発光装置）である。ここで発生されたパルス光は、揺動手段７に入射する。揺動手段７は、入射したビームを出力において円周状に揺動させるための光学系であり、例えばウェッジをモータによって回転することにより実現される。揺動手段７によって揺動されたビームは、（ミラー４で反射され）ハーフミラー６を通過し、ミラー５で反射されてレチクルステージ上のレチクル側マーク１（位置合わせマーク若しくはコントラスト測定マーク）に達する。さらに、光（揺動手段７によって揺動されたビーム）は投影レンズ２を通り、ウエハステージ上の基準マーク３（位置合わせマーク若しくはコントラスト測定マーク）を照明する。この照明手段は、レチクルステージ上のマークと投影光学系とを介して基板ステージ上のマークを照明することを特徴とする。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
揺動手段７の回転数、即ち周期は、露光時のスキャンスピードによって決まっている。蓄積中に必要なパルス数は、計測精度に影響しない十分なパルス数が予め決められている。
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
【発明の効果】
本発明によれば、スキャン露光装置のスループットを向上させることができる。
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】削除
【補正の内容】