【手続補正書】
【提出日】平成31年3月20日(2019.3.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸から延在するビーム上の第１の光導波路が、前記ビームに対して横方向に配置される第１のＭＥＭＳアクチュエータの作用下で前記回転軸に対して回転して、少なくとも前記ビーム、回転軸、第１のＭＥＭＳアクチュエータに基づき幾何学的に配置される複数の第２の光導波路のうちの第２の光導波路に結合されるスイッチング方法。
【請求項２】
前記ビームの他方の側から前記第１のＭＥＭＳアクチュエータに配置される第２のＭＥＭＳアクチュエータと、
第１の固定係止位置を有する前記第１のＭＥＭＳアクチュエータの回転アームに連結される第１のラッチングアクチュエータと、
第２の固定係止位置を有する前記第２のＭＥＭＳアクチュエータの回転アームに連結される第２のラッチングアクチュエータと、をさらに備え、
前記第２の固定係止位置が前記第１の固定係止位置によって確定される位置の間に配置され、
前記第１のラッチングアクチュエータと第２のラッチングアクチュエータの一方のみが任意の時点で始動されて前記光スイッチを現在位置に係止する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ビーム上の前記第１の光導波路が前記ビーム上の複数の光導波路のうちの１つである、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記回転軸と前記複数の第２の光導波路に隣接する端部との間の前記ビームが、前記ビームの端部と前記複数の第２の光導波路との接触を維持するために所定の形状を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
光スイッチであって、
第１および第２の入力導波路が形成される第１の導波路部と、
第１および第２の出力導波路が形成される第２の導波路部と、
複数の光導波路が形成される懸架導波路部と、
懸架導波路部に結合されるＭＥＭＳアクチュエータと、を備え、
第１の位置では、前記ＭＥＭＳアクチュエータが、第１のサブセットの前記複数の光導波路が前記第１および第２の導波路部に光結合されて前記スイッチを第１の状態に置くように、前記懸架導波路部を位置決めし、
第２の位置では、前記ＭＥＭＳアクチュエータが、第２のサブセットの前記複数の光導波路が前記第１および第２の導波路部に光結合されて前記スイッチを第２の状態に置くように、前記懸架導波路部を位置決めする光スイッチ。
【請求項６】
第３の位置では、前記ＭＥＭＳアクチュエータが、前記複数の光導波路のいずれも前記第１および第２の導波路部に結合されず前記スイッチを第３の状態に置くように、前記懸架導波路部を位置決めする、請求項５に記載の光スイッチ。
【請求項７】
前記第１および第２の導波路部と前記複数の第２の光導波路との光結合がエバネッセント結合またはバット結合による、請求項５に記載の光スイッチ。
【請求項８】
光スイッチであって、
第１および第２の導波路が形成される非懸架導波路部と、
それぞれに光導波路が形成される第１および第２の懸架導波路部と、
前記第１および第２の懸架導波路部に結合される第１および第２のＭＥＭＳアクチュエータと、を備え、
第１の位置では、前記第１および第２のＭＥＭＳアクチュエータが、前記懸架導波路部が前記非懸架導波路部内の前記第１および第２の導波路に光結合されて前記スイッチを第１の状態に置くように、前記懸架導波路部を位置決めし、
第２の位置では、前記第１および第２のＭＥＭＳアクチュエータが、前記懸架導波路部が前記非懸架導波路部内の前記第１および第２の導波路に光結合されず前記スイッチを第２の状態に置くように、前記懸架導波路部を位置決めする光スイッチ。
【請求項９】
前記第１および第２の導波路が、前記第２の状態では、前記スイッチが前記クロス状態となるように交差し、
前記第１の状態では、前記第１および第２の導波路内の光信号が、前記導波路交差が迂回され前記スイッチが前記バー状態となるように、前記懸架導波路部と結合される、請求項８に記載の光スイッチ。
【請求項１０】
光スイッチであって、
第１および第２の導波路が形成される非懸架導波路部と、
それぞれに光導波路が形成される第１および第２の懸架導波路部と、を備え、
第１の構成では、前記懸架導波路部が、前記非懸架導波路部内の前記第１および第２の導波路に光結合されて、前記スイッチを第１の状態に置くように位置決めされ、第２の構成では、前記懸架導波路部が、前記非懸架導波路部内の前記第１および第２の導波路に光結合されて、前記スイッチを第２の状態に置くように位置決めされる光スイッチ。
【請求項１１】
前記第１および第２の構成の両方において前記懸架導波路部を適所に係止するために前記第１および第２の懸架導波路部に結合されるラッチと、
前記ラッチが解放されるときに前記懸架導波路部を前記第２の構成に配置するために前記第１および第２の懸架導波路部に結合されるバネと、をさらに備える、請求項１０に記載の光スイッチ。
【請求項１２】
前記第１および第２の構成の両方において前記懸架導波路部を適所に係止するために前記第１および第２の懸架導波路部に結合されるラッチであって、それぞれが前記第１の構成にとって複数のラッチング位置を備えるラッチをさらに備え、
前記第１の構成にとっての複数のラッチング位置のうちのラッチング位置が、前記光スイッチに対して、前記光スイッチによってルーティングされる光信号の波長範囲に応じて設定される、請求項１０に記載の光スイッチ。
【請求項１３】
静電力と電磁力の少なくとも一方が、前記第１および第２の懸架導波路部を前記第１の構成に配置するために利用される、請求項１０に記載の光スイッチ。
【請求項１４】
ＭＯＥＭＳ型光スイッチの可動素子上の複数の第１の光導波路のうちの第１の光導波路と、前記ＭＯＥＭＳ型光スイッチの固定素子上の複数の第２の光導波路のうちの少なくとも１つの第２の光導波路との間の光結合を確立することを備える光スイッチング方法であって、
第１の状態では、ＭＯＥＭＳ型光スイッチは、前記第１の光導波路と前記第２の光導波路との間に光結合を有し、
第２の状態では、ＭＯＥＭＳ型光スイッチは、前記第１の光導波路と前記第２の光導波路との間に光結合を有していない光スイッチング方法。
【請求項１５】
前記光結合が、
前記複数の第１の光導波路の前記第１の光導波路と前記複数の第２の光導波路の前記第２の光導波路とを備える水平方向性結合器と、
前記複数の第１の光導波路の前記第１の光導波路と前記複数の第２の光導波路の前記第２の光導波路とを備える垂直方向性結合器と、のいずれか内でエバネッセント結合を介して行われる、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記ＭＯＥＭＳ型光スイッチの前記可動素子が、前記ＭＯＥＭＳ型光スイッチの固定素子に対して、横方向に並進する、縦方向に並進する、回転する、のいずれかである、請求項１４による方法。
【請求項１７】
前記複数の第１の光導波路のうちの前記第１の光導波路と前記複数の第２の光導波路のうちの前記第２の光導波路が、前記複数の第１の光導波路の前記第１の光導波路と前記複数の第２の光導波路の前記第２の光導波路のそれぞれのクラッドを介して結合される、請求項１４に記載の方法。
【請求項１８】
回転軸から延在するビーム上の第１の光導波路が、前記ビームに対して横方向に配置される第１のＭＥＭＳアクチュエータの作用下で前記回転軸に対して回転して、少なくとも前記ビーム、回転軸、前記第１のＭＥＭＳアクチュエータに基づき幾何学的に配置される複数の第２の光導波路のうちの第２の光導波路に前記第1の光導波路がエアギャップ全体でバット結合される光学方法。
【請求項１９】
前記ビームが、懸架構造に伸張して前記エアギャップを閉鎖するギャップ閉鎖素子に結合されている、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記第１の光導波路と前記第２の光導波路の一方の支持部を形成する層は、前記第１の光導波路と前記第２の光導波路の他方が前記第１の光導波路と前記第２の光導波路の前記一方と自己整列するような外形を有する、請求項１８に記載の方法。
【請求項２１】
光スイッチであって、
第１の光導波路および第２の光導波路を支持する前記光スイッチの可動ＭＥＭＳ素子であって、前記第１の光導波路と第２の光導波路が前記第１の光導波路と第２の光導波路との間の光結合を制限するのに十分な大きさの角度で交差する可動ＭＥＭＳ素子と、
前記可動ＭＥＭＳ素子に配置され、前記第１の光導波路の第１の端部側に配置される第１の端部と前記第２の光導波路の第１の端部側に配置される第２の端部とを有する湾曲光導波路と、
前記光スイッチの固定部に支持される第３および第４の光導波路と、を備え、
第１の状態の前記可動ＭＥＭＳ素子が、前記第３および第４の光導波路をそれぞれ、対応する前記第１の光導波路と前記第２の光導波路の前記第１の端部に結合し、
第２の状態の前記可動ＭＥＭＳ素子が、前記第３および第４の光導波路をそれぞれ前記湾曲光導波路の端部に結合する光スイッチ。
【請求項２２】
光スイッチマトリックスであって、
前記光スイッチマトリックスの第１の端部の複数の入力と、
前記光スイッチマトリックスの第２の遠位端部の複数の出力と、
複数のユニットセルと、を備え、
各ユニットセルが、
第１の光導波路および第２の光導波路を支持する前記光スイッチの可動ＭＥＭＳ素子であって、前記第１の光導波路と第２の光導波路が前記第１の光導波路と第２の光導波路との間の光結合を制限するのに十分な大きさの角度で交差する可動ＭＥＭＳ素子と、
前記可動ＭＥＭＳ素子に配置され、前記第１の光導波路の第１の端部側に配置される第１の端部と前記第２の光導波路の第１の端部側に配置される第２の端部とを有する湾曲光導波路と、
前記光スイッチの固定部に支持される第３および第４の光導波路と、を備え、
第１の状態の前記可動ＭＥＭＳ素子が、前記第３および第４の光導波路をそれぞれ、対応する前記第１の光導波路と前記第２の光導波路の前記第１の端部に結合し、
第２の状態の前記可動ＭＥＭＳ素子が、前記第３および第４の光導波路をそれぞれ前記湾曲光導波路の端部に結合し、
前記光スイッチマトリックスの前記第１の端部と前記光スイッチマトリックスの前記第２の端部との間の他の縁部に沿って配置される隣接ユニットセルが、反射ミラーを介して相互に順次結合される光スイッチマトリックス。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７４】
さらに、本発明の代表的な実施形態を記載する際、本明細書は、本発明の方法および／またはプロセスを特定のシーケンスのステップとして提示している場合がある。しかしながら、方法またはプロセスが本明細書に記載される特定の順序のプロセスに依存しないという点で、方法またはプロセスは記載する特定のシーケンスのステップに限定されるべきではない。当業者が理解するように、他のシーケンスのステップも可能である。したがって、本明細書に記載する特定の順序のステップは請求項の限定と解釈すべきではない。また、本発明の方法および／またはプロセスに関する請求項は、記載される順番でステップを実行することに限定されず、当業者であれば、シーケンスは本発明の精神と範囲を逸脱せずに変更できることが容易に認識されるであろう。
（付記１）
第１のスパインスイッチに関連付けられる第１のセットのリーフスイッチと第２のスパインスイッチに関連付けられる第２のセットのリーフスイッチとを、モジュール式光切替（ＭＯＳ）相互接続ネットワークを設けて、前記第１のセットのリーフスイッチのそれぞれのポートから前記第２のセットのリーフスイッチのそれぞれのポートに帯域幅をプログラム可能に割り当てることによって、前記第１および第２のスパインスイッチの少なくとも一方を通じたルーティングなしの相互接続システム。
（付記２）
前記ＭＯＳが、前記第１のセットのリーフスイッチのうちのリーフスイッチの個々の光チャネルを前記第２のセットのリーフスイッチのうちの第２のリーフスイッチのポートにプログラム可能に結合する、付記１に記載のシステム。
（付記３）
前記第１のセットのリーフスイッチのそれぞれのポートと前記第２のセットのリーフスイッチのそれぞれのポートは各リーフスイッチの所定のサブセットのポートであり、各スイッチの第２の所定のサブセットのポートが、前記リーフスイッチを対応するスパインスイッチに接続する、付記１に記載のシステム。
（付記４）
スイッチングファブリックを確立して、前記スイッチングファブリック内の最低速スイッチング素子によって定義されるよりも高速である再構成速度を提供する方法であって、入力時間スイッチアレイ、複数の空間スイッチングファブリック、出力時間スイッチアレイを設けることを備え、前記複数の空間スイッチングファブリックのうちの現在アクティブの空間スイッチングファブリック以外の前記複数の空間スイッチングファブリックのうちの構成可能空間スイッチングファブリックは、前記入力および出力時間スイッチアレイがすべての光信号を前記複数の空間スイッチングファブリックの前記構成可能空間スイッチングファブリックにルーティングする前に新たな構成で構成される方法。
（付記５）
前記再構成速度が、前記複数の空間スイッチングファブリックよりも高速に切り換える前記入力および出力時間スイッチアレイによって決定される、付記４に記載の方法。
（付記６）
前記複数の空間スイッチングファブリックの数が、前記スイッチングファブリックの最高再構成速度と前記複数の空間スイッチングファブリックのスイッチング速度に応じて決定さる、付記４に記載の方法。
（付記７）
スイッチングファブリックを確立して、前記スイッチングファブリック内の最低速スイッチング素子によって定義されるよりも高速である再構成速度を提供する方法であって、入力時間スイッチアレイ、複数の空間スイッチングファブリック、出力時間スイッチアレイを設けることを備え、前記入力時間スイッチアレイの所定の出力ポートに結合される前記複数の空間スイッチングファブリックのうち現在アクティブの空間スイッチングファブリック以外の所定の空間スイッチングファブリック上の前記入力時間スイッチアレイの所定の出力ポートと前記出力時間スイッチアレイの所定の入力ポートとの間の経路は、前記入力および出力時間スイッチアレイがすべての光信号を前記複数の空間スイッチングファブリックのうちの構成可能空間スイッチングファブリックにルーティングする前に新たな構成で構成される方法。
（付記８）
前記再構成速度が、前記複数の空間スイッチングファブリックよりも高速に切り換える前記入力および出力時間スイッチアレイによって決定される、付記７に記載の方法。
（付記９）
前記入力時間スイッチアレイの出力ポートと前記出力時間スイッチアレイの入力ポートとの間の光路が、前記複数の空間スイッチングファブリック全体に分散される、付記７に記載の方法。
（付記１０）
前記複数の空間スイッチングファブリックの各空間スイッチングファブリックが、厳密非閉塞空間スイッチファブリック、広義非閉塞空間スイッチファブリック、再構成型非閉塞空間スイッチファブリック、閉塞空間スイッチファブリックのうちの少なくとも１つである、付記７に記載の方法。
（付記１１）
複数の第１のスイッチから第２の遠隔スイッチの構成を確立する方法であって、各第１のスイッチの所定のサブセットの出力に帯域外信号を結合することと、前記複数の第１のスイッチからの帯域外信号から前記第２の遠隔スイッチの構成を判定することとを含む方法。
（付記１２）
各第１のスイッチの所定のサブセットの出力が、各第１のスイッチのイナクティブな（非選択）出力またはアクティブな（選択）出力である、付記１１に記載の方法。
（付記１３）
前記第２の遠隔スイッチが光導波路を有するシリコン微小光電気機械システム（ＭＯＥＭＳ）装置であり、前記帯域外信号が、前記複数の第１のスイッチの第１のスイッチに結合される各光導波路から光導波路型デマルチプレクサを用いて波長多重分離され、前記ＭＯＥＭＳ装置にモノリシックまたはハイブリッドに結合される光検出器で電気信号に変換され、
前記第１の遠隔スイッチが光導波路を有するシリコン微小光電気機械システム（ＭＯＥＭＳ）装置であり、前記帯域外信号が、前記複数の第１のスイッチの各第１のスイッチの出力ポートに結合され、前記ＭＯＥＭＳ装置にモノリシックまたはハイブリッドに結合される光学装置によって切り換えられる信号の帯域外で光信号を生成する光源に結合される各光導波路に光導波路型マルチプレクサを用いて波長多重化される、付記１１に記載の方法。
（付記１４）
回転軸から延在するビーム上の第１の光導波路が、前記ビームに対して横方向に配置される第１のＭＥＭＳアクチュエータの作用下で前記回転軸に対して回転して、少なくとも前記ビーム、回転軸、第１のＭＥＭＳアクチュエータに基づき幾何学的に配置される複数の第２の光導波路のうちの第２の光導波路に結合されるスイッチング方法。
（付記１５）
前記ビームの他方の側から前記第１のＭＥＭＳアクチュエータに配置される第２のＭＥＭＳアクチュエータと、
第１の固定係止位置を有する前記第１のＭＥＭＳアクチュエータの回転アームに連結される第１のラッチングアクチュエータと、
第２の固定係止位置を有する前記第２のＭＥＭＳアクチュエータの回転アームに連結される第２のラッチングアクチュエータと、をさらに備え、
前記第２の固定係止位置が前記第１の固定係止位置によって確定される位置の間に配置され、
前記第１のラッチングアクチュエータと第２のラッチングアクチュエータの一方のみが任意の時点で始動されて前記光スイッチを現在位置に係止する、付記１４に記載の方法。
（付記１６）
前記ビーム上の前記第１の光導波路が前記ビーム上の複数の光導波路のうちの１つである、付記１４に記載の方法。
（付記１７）
前記回転軸と前記複数の第２の光導波路に隣接する端部との間の前記ビームが、前記ビームの端部と前記複数の第２の光導波路との接触を維持するために所定の形状を有する、付記１４に記載の方法。
（付記１８）
光スイッチであって、
第１および第２の入力導波路が形成される第１の導波路部と、
第１および第２の出力導波路が形成される第２の導波路部と、
複数の光導波路が形成される懸架導波路部と、
懸架導波路部に結合されるＭＥＭＳアクチュエータと、を備え、
第１の位置では、前記ＭＥＭＳアクチュエータが、第１のサブセットの前記複数の光導波路が前記第１および第２の導波路部に光結合されて前記スイッチを第１の状態に置くように、前記懸架導波路部を位置決めし、
第２の位置では、前記ＭＥＭＳアクチュエータが、第２のサブセットの前記複数の光導波路が前記第１および第２の導波路部に光結合されて前記スイッチを第２の状態に置くように、前記懸架導波路部を位置決めする光スイッチ。
（付記１９）
第３の位置では、前記ＭＥＭＳアクチュエータが、前記複数の光導波路のいずれも前記第１および第２の導波路部に結合されず前記スイッチを第３の状態に置くように、前記懸架導波路部を位置決めする、付記１８に記載の光スイッチ。
（付記２０）
前記第１および第２の導波路部と前記複数の第２の光導波路との光結合がエバネッセント結合またはバット結合による、付記１８に記載の光スイッチ。
（付記２１）
光スイッチであって、
第１および第２の導波路が形成される非懸架導波路部と、
それぞれに光導波路が形成される第１および第２の懸架導波路部と、
前記第１および第２の懸架導波路部に結合される第１および第２のＭＥＭＳアクチュエータと、を備え、
第１の位置では、前記第１および第２のＭＥＭＳアクチュエータが、前記懸架導波路部が前記非懸架導波路部内の前記第１および第２の導波路に光結合されて前記スイッチを第１の状態に置くように、前記懸架導波路部を位置決めし、
第２の位置では、前記第１および第２のＭＥＭＳアクチュエータが、前記懸架導波路部が前記非懸架導波路部内の前記第１および第２の導波路に光結合されず前記スイッチを第２の状態に置くように、前記懸架導波路部を位置決めする光スイッチ。
（付記２２）
前記第１および第２の導波路が、前記第２の状態では、前記スイッチが前記クロス状態となるように交差し、
前記第１の状態では、前記第１および第２の導波路内の光信号が、前記導波路交差が迂回され前記スイッチが前記バー状態となるように、前記懸架導波路部と結合される、付記２１に記載の光スイッチ。
（付記２３）
光スイッチであって、
第１および第２の導波路が形成される非懸架導波路部と、
それぞれに光導波路が形成される第１および第２の懸架導波路部と、を備え、
第１の構成では、前記懸架導波路部が、前記非懸架導波路部内の前記第１および第２の導波路に光結合されて、前記スイッチを第１の状態に置くように位置決めされ、第２の構成では、前記懸架導波路部が、前記非懸架導波路部内の前記第１および第２の導波路に光結合されて、前記スイッチを第２の状態に置くように位置決めされる光スイッチ。
（付記２４）
前記第１および第２の構成の両方において前記懸架導波路部を適所に係止するために前記第１および第２の懸架導波路部に結合されるラッチと、
前記ラッチが解放されるときに前記懸架導波路部を前記第２の構成に配置するために前記第１および第２の懸架導波路部に結合されるバネと、をさらに備える、付記２３に記載の光スイッチ。
（付記２５）
前記第１および第２の構成の両方において前記懸架導波路部を適所に係止するために前記第１および第２の懸架導波路部に結合されるラッチであって、それぞれが前記第１の構成にとって複数のラッチング位置を備えるラッチをさらに備え、
前記第１の構成にとっての複数のラッチング位置のうちのラッチング位置が、前記光スイッチに対して、前記光スイッチによってルーティングされる光信号の波長範囲に応じて設定される、付記２３に記載の光スイッチ。
（付記２６）
静電力と電磁力の少なくとも一方が、前記第１および第２の懸架導波路部を前記第１の構成に配置するために利用される、付記２３に記載の光スイッチ。
（付記２７）
ネットワークであって、
２層折返しＣｌｏｓネットワークトポロジを形成するため、第２層内の複数の光スイッチを介して第１層内の複数の電子パケットスイッチを相互接続することを備え、
前記複数の光スイッチが光学的に相互接続され、各電子パケットスイッチが複数の光スイッチに接続されるネットワーク。
（付記２８）
各電子パケットスイッチが複数の並列レーン光送受信機を備え、各並列レーン送受信機が別の光ファイバに結合され、各並列レーン送受信機が別の光スイッチに結合される、付記２７に記載のネットワーク。
（付記２９）
各並列レーン光送受信機が所定の基準に準拠し、前記所定の基準がＰＳＭ４ＱＳＦＰ＋、ＱＳＦＰ２８、ＱＳＦＰ５６から成る群から選択される、付記２８に記載のネットワーク。
（付記３０）
各光スイッチが光スイッチングの複数のプレーンを備える、付記２７に記載のネットワーク。
（付記３１）
スイッチング素子であって、
電子パケットスイッチングと光スイッチングを備え、「トップオブラック」スイッチとしてラック内で前記スイッチング素子に結合される複数のサーバと、遠隔配置される少なくとも別の電子装置を切り換えるスイッチング素子。
（付記３２）
データセンター内の他のサーバラック内の複数の「トップオブラック」スイッチのうち少なくとももう１つの「トップオブラック」スイッチへの光スパインスイッチの機能を果たす、付記３１に記載のスイッチング素子。
（付記３３）
システムであって、
それぞれが複数のＰ個の並列レーンプラガブル光送受信機に結合される複数のＲ個の光ケーブルと、
複数のＰ個のＭ×Ｎ光スイッチプレーンを備える光スイッチマトリックスと、を備え、
前記のＰ個の並列レーンプラガブル光送受信機のうちの所定の並列レーンを前記複数のＰ個のＭ×Ｎ光スイッチプレーンのうちのＭ×Ｎ光スイッチプレーンに対応付けることによって静的に、および、前記光ケーブルに組み付けられる１以上の複数のプルアウトコネクタが前記光スイッチマトリックスの複数のプルアウトコネクタに結合されるように、前記光スイッチマトリックスの一部を形成する光スイッチングマトリックスによって動的に、の少なくとも一方で、各光ケーブルが前記複数のＰ個のＭ×Ｎ光スイッチプレーンに接続されるシステム。
（付記３４）
各光ケーブルがサーバの単独クラスタ内の複数の電子パケットスイッチの電子パケットスイッチを相互接続し、各電子パケットスイッチがサーバラックの最上部に配置される、付記３３に記載のシステム。
（付記３５）
各光ケーブルが、複数のサーバクラスタ内の複数の電子パケットスイッチのうちの電子パケットスイッチと交差し、各電子パケットスイッチが前記複数のサーバクラスタの各サーバクラスタ内の所定のサーバラックの最上部に配置される、付記３３に記載のシステム。
（付記３６）
それぞれが複数のＰ個の並列レーンプラガブル光送受信機に結合される複数のＳ個の光ケーブルと、
それぞれが複数のＰ個のＭ×Ｎ光スイッチプレーンを備える複数の他の光スイッチマトリックスと、をさらに備え、
光スイッチマトリックス総体が、所定のサブセットの光スイッチマトリックス総体に接続される電子パケットスイッチの全並列レーンを別の電子パケットスイッチに動的に集約することを可能にする、付記３３に記載のシステム。
（付記３７）
ＭＯＥＭＳ型光スイッチの可動素子上の複数の第１の光導波路のうちの第１の光導波路と、前記ＭＯＥＭＳ型光スイッチの固定素子上の複数の第２の光導波路のうちの少なくとも１つの第２の光導波路との間の光結合を確立することを備える光スイッチング方法であって、
第１の状態では、ＭＯＥＭＳ型光スイッチは、前記第１の光導波路と前記第２の光導波路との間に光結合を有し、
第２の状態では、ＭＯＥＭＳ型光スイッチは、前記第１の光導波路と前記第２の光導波路との間に光結合を有していない光スイッチング方法。
（付記３８）
前記光結合が、
前記複数の第１の光導波路の前記第１の光導波路と前記複数の第２の光導波路の前記第２の光導波路とを備える水平方向性結合器と、
前記複数の第１の光導波路の前記第１の光導波路と前記複数の第２の光導波路の前記第２の光導波路とを備える垂直方向性結合器と、のいずれか内でエバネッセント結合を介して行われる、付記３７に記載の方法。
（付記３９）
前記ＭＯＥＭＳ型光スイッチの前記可動素子が、前記ＭＯＥＭＳ型光スイッチの固定素子に対して、横方向に並進する、縦方向に並進する、回転する、のいずれかである、付記３７による方法。
（付記４０）
前記複数の第１の光導波路のうちの前記第１の光導波路と前記複数の第２の光導波路のうちの前記第２の光導波路が、前記複数の第１の光導波路の前記第１の光導波路と前記複数の第２の光導波路の前記第２の光導波路のそれぞれのクラッドを介して結合される、付記３７に記載の方法。
（付記４１）
回転軸から延在するビーム上の第１の光導波路が、前記ビームに対して横方向に配置される第１のＭＥＭＳアクチュエータの作用下で前記回転軸に対して回転して、少なくとも前記ビーム、回転軸、前記第１のＭＥＭＳアクチュエータに基づき幾何学的に配置される複数の第２の光導波路のうちの第２の光導波路に前記第1の光導波路がエアギャップ全体でバット結合される光学方法。
（付記４２）
前記ビームが、懸架構造に伸張して前記エアギャップを閉鎖するギャップ閉鎖素子に結合されている、付記４１に記載の方法。
（付記４３）
前記第１の光導波路と前記第２の光導波路の一方の支持部を形成する層は、前記第１の光導波路と前記第２の光導波路の他方が前記第１の光導波路と前記第２の光導波路の前記一方と自己整列するような外形を有する、付記４１に記載の方法。
（付記４４）
光スイッチであって、
第１の光導波路および第２の光導波路を支持する前記光スイッチの可動ＭＥＭＳ素子であって、前記第１の光導波路と第２の光導波路が前記第１の光導波路と第２の光導波路との間の光結合を制限するのに十分な大きさの角度で交差する可動ＭＥＭＳ素子と、
前記可動ＭＥＭＳ素子に配置され、前記第１の光導波路の第１の端部側に配置される第１の端部と前記第２の光導波路の第１の端部側に配置される第２の端部とを有する湾曲光導波路と、
前記光スイッチの固定部に支持される第３および第４の光導波路と、を備え、
第１の状態の前記可動ＭＥＭＳ素子が、前記第３および第４の光導波路をそれぞれ、対応する前記第１の光導波路と前記第２の光導波路の前記第１の端部に結合し、
第２の状態の前記可動ＭＥＭＳ素子が、前記第３および第４の光導波路をそれぞれ前記湾曲光導波路の端部に結合する光スイッチ。
（付記４５）
光スイッチマトリックスであって、
前記光スイッチマトリックスの第１の端部の複数の入力と、
前記光スイッチマトリックスの第２の遠位端部の複数の出力と、
複数のユニットセルと、を備え、
各ユニットセルが、
第１の光導波路および第２の光導波路を支持する前記光スイッチの可動ＭＥＭＳ素子であって、前記第１の光導波路と第２の光導波路が前記第１の光導波路と第２の光導波路との間の光結合を制限するのに十分な大きさの角度で交差する可動ＭＥＭＳ素子と、
前記可動ＭＥＭＳ素子に配置され、前記第１の光導波路の第１の端部側に配置される第１の端部と前記第２の光導波路の第１の端部側に配置される第２の端部とを有する湾曲光導波路と、
前記光スイッチの固定部に支持される第３および第４の光導波路と、を備え、
第１の状態の前記可動ＭＥＭＳ素子が、前記第３および第４の光導波路をそれぞれ、対応する前記第１の光導波路と前記第２の光導波路の前記第１の端部に結合し、
第２の状態の前記可動ＭＥＭＳ素子が、前記第３および第４の光導波路をそれぞれ前記湾曲光導波路の端部に結合し、
前記光スイッチマトリックスの前記第１の端部と前記光スイッチマトリックスの前記第２の端部との間の他の縁部に沿って配置される隣接ユニットセルが、反射ミラーを介して相互に順次結合される光スイッチマトリックス。