【手続補正書】
【提出日】平成20年8月29日(2008.8.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接合サイトパターンを有する支持体上に構造物を集積させる方法であって、
感熱増粘性の第１流体並びにその中に浮遊しておりそれぞれ接合サイトに結合できる構成を有する複数個の第１微細部品を支持体表面に供給するステップと、
接合サイトのうち指定されたものの近傍で第１流体を昇温ひいては増粘させることによりその指定接合サイトへの第１微細部品の結合を妨げる第１流体昇温ステップと、
を有する方法。
【請求項２】
接合サイトパターンを有する支持体上に構造物を集積させる方法であって、
感熱増粘性の第１流体を支持体表面に供給するステップと、
第１流体を昇温させることによって接合サイトのうち指定されたものの近傍にある第１流体内に増粘部分を形成する第１流体昇温ステップと、
第１キャリア流体並びにその中にありそれぞれ接合サイトに結合できる構成を有する複数個の第１微細部品を供給するステップと、
を有し、第１流体の増粘部分では第１微細部品の指定接合サイトへの結合が妨げられる方法。
【請求項３】
発色用微細部品を受容可能な構成の接合サイトの配列を有する支持体を用い少なくとも三種類の発色用微細部品をパターン配列する方法であって、
感熱増粘性の第１流体を、第２及び第３発色用微細部品配置予定接合サイトの配列パターンで昇温させることにより、それら第２及び第３発色用微細部品配置予定接合サイトを第１流体の増粘部分によって遮蔽するステップと、
第１発色用微細部品及び第１キャリア流体を含む第１スラリに支持体をさらすことにより、遮蔽されていない接合サイトに第１発色用微細部品を集積させるステップと、
全ての集積外第１発色用微細部品を支持体から除去し第１流体の増粘部分を除熱させることにより、第１流体による第２及び第３発色用微細部品配置予定接合サイトの遮蔽を解除するステップと、
感熱増粘性の第２流体を、第３発色用微細部品配置予定接合サイトの配列パターンで昇温させることにより、それら第３発色用微細部品配置予定接合サイトを第２流体の増粘部分によって遮蔽するステップと、
第２発色用微細部品及び第２キャリア流体を含む第２スラリに支持体をさらすことにより、遮蔽されておらず且つ第１発色用微細部品によって占拠されていない接合サイトに第２発色用微細部品を集積させるステップと、
全ての集積外第２発色用微細部品を支持体から除去し第２流体の増粘部分を除熱させることにより、第３発色用微細部品配置予定接合サイトの遮蔽を解除するステップと、
第３発色用微細部品及び第３キャリア流体を含む第３スラリに支持体をさらすことにより、第１及び第２発色用微細部品の何れによっても占拠されていない接合サイトに第３発色用微細部品を集積させるステップと、
を有する方法。
【請求項４】
その上に複数箇所の接合サイトを有する支持体上に微細集積構造を集積させる装置であって、
接合サイトに結合できる構成を有する第１微細部品を含む感熱増粘性の第１流体を支持体上に供給する第１流体源と、
第１流体源にエネルギを供給することによって第１流体源を昇温させ、それによって接合サイトのうち指定されたものの近傍で第１流体を増粘させ、指定接合サイトへの微細部品の結合を妨げるエネルギ源と、
を備える装置。
【請求項５】
請求項４記載の装置であって、第１流体がポリエチレングリコール（ＰＥＧ）を０〜１０％、メチルセルロース（ＭＣ）を０．１〜３％、クエン酸を０．１〜１０％含む水溶液を含み、そのＰＥＧの分子量が１０００〜１０００００ドルトンの範囲内である装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
図８Ｃに、部位選択的局所加熱用にリニアレーザ型サーマルプリントヘッドを用いた場合にそのヘッドから得られるリニアレーザ光ビーム１８３の断面を示す。この図においては、リニアレーザ光ビーム１８３は複数個のチャネル１８５から発せられる複数個のセクションに区分されており、それらのチャネル１８５からの光はめいめいに支持体６０上に合焦してその支持体６０を局所加熱する。こうした多チャネルプリントヘッドについては特許文献１１〜１３に例示がある。また、この図に例示するプリントヘッドは、各チャネル１８５の幅が２０μｍ、スワス幅ＳＷが５．１２ｍｍと狭いので、支持体６０の全幅をカバーするには、適当な移送機構例えば既知のリニア移送機構を用い支持体６０の全幅に亘りプリントヘッド往復ラスタ走査等する必要がある。さもなくば、図示しないが複数個のレーザサーマルプリントヘッドを段違い連続配置して、それらが発するリニアレーザ光ビーム１８３ａ、１８３ｂ及び１８３ｃによって図８Ｄに示すように支持体６０の全幅Ｗを走査するようにする。また、支持体６０に対する加熱乃至エネルギ曝露は、その支持体６０の加熱された部分から輻射される熱でバリアゾーンが形成されスラリ槽を脱するまでそのバリアゾーンが消失しないように、行う必要がある。これを補うため、例えば、ラスタスキャン型プリントヘッドによって支持体上を走査した後、少し時間をおいて別のラスタスキャン型プリントヘッドによって支持体上を再度走査し、先のヘッドにより加熱された部分をリフレッシュするようにしてもよい。また、別に一群のスティッチ型プリントヘッド（図示せず）を設けて使用してもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１６】
これを行うことによって、例えば、後段の集積工程にてその微細部品がダメージを被らないようにすることができる。
１）本発明の実施形態は、接合サイトパターンを有する支持体上に構造物を集積させる方法であって、感熱増粘性の第１流体並びにその中に浮遊しておりそれぞれ接合サイトに結合できる構成を有する複数個の第１微細部品を支持体表面に供給するステップと、接合サイトのうち指定されたものの近傍で第１流体を昇温ひいては増粘させることによりその指定接合サイトへの第１微細部品の結合を妨げる第１流体昇温ステップと、を有する。
２）本発明の他の態様では、上記１）の方法であって、第１微細部品が指定接合サイト以外の接合サイトに結合した後に支持体表面から第１流体及び全ての結合外第１微細部品を除去するステップを、有する。
３）また、上記２）の方法において、第２流体並びにその中に浮遊しておりそれぞれ接合サイトに結合できる構成を有する複数個の第２微細部品を第１流体除去後に支持体表面に供給することにより、指定接合サイトのうち少なくとも一箇所に第２微細部品を結合させる第２流体供給ステップを、有することができる。
４）上記３）の方法において、第２流体供給ステップにて、第２流体として感熱増粘性の流体を供給し、指定接合サイトのうち一部の近傍で第２流体を昇温ひいては増粘させることにより、全指定接合サイトに悉く第２微細部品が結合することを妨げることができる。
５）上記１）の方法において、第１流体昇温ステップにて、パターン状エネルギを供給することによって第１流体のうち指定接合サイト近傍エリアを昇温させる。
６）上記１）の方法において、第１流体昇温ステップにて、指定接合サイト近傍の第１流体に向けてエネルギビームを合焦させる。
７）上記６）の方法において、合焦させるエネルギビームは、レーザビーム、マイクロ波ビーム、赤外線ビーム及び紫外線ビームのうち何れかを含むことができる。
８）上記１）の方法であって、第１流体中に複数種類の第１微細部品があり、支持体上には対応する種類の第１微細部品と結合可能な複数種類の接合サイトがある。
９）上記１）の方法において、第１流体中に複数種類の第１微細部品があり、接合サイトのうち少なくとも一部が、形状認知、疎水力認知、静電認知、分子認知及び生物学的認知のうち少なくとも一種類により第１流体中の微細部品を選別してそのうち一種類と結合する。
１０）上記１）の方法において、第１流体は、水溶液を含むことができる。
１１）上記１）の方法において、第１流体は、ポリマ、ポリサッカライド、ペプチドガム、セルロース系素材又はそれらの組合せを含むことができる。
１２）上記１１）の方法において、上記ポリマとして、ポリエチレンオキシド、ポリプロピレンオキシド、ポロクサマー、モルホリンエチレンオキシドメタクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレート、ポリアクリルアミド、ポリエチレングリコール、アルキレンオキシド含有ポリマ、それらのコポリマ、又はそれらの組合せを採用することができる。
１３）上記１１）の方法において、上記ポリサッカライドとして、キシログルカン、グリカンガム又はそれらの組合せを採用することができる。
１４）上記１１）の方法において、上記セルロース系素材は、セルロースエーテルとすることができる。
１５）上記１）の方法において、第１流体は、メチルセルロース−ポリエチレングリコール−クエン酸三元系を含むことができる。
１６）上記１）の方法において、第１流体は、その濃度及び含有ポロクサマー成分の種類によりそのゲル転移温度が決まるサーマルゲルを含むことができる。
１７）上記１）の方法において、第１流体がポリエチレンオキシド及びポリプロピレンオキシドコポリマ界面活性剤を含むことができる。
１８）上記１７）の方法において、ポリエチレンオキシド及びポリプロピレンオキシドコポリマ界面活性剤の溶液中濃度は、４〜３０重量％の範囲内とすることができる。
１９）上記１）の方法において、第１流体をアルコール、水及びポリエチレングリコールのうち少なくとも一種類と共に溶液中に供給することができる。
２０）上記１）の方法において、第１流体がポリエチレングリコール（ＰＥＧ）を０〜１０％、メチルセルロース（ＭＣ）を０．１〜３％、クエン酸を０．１〜１０％含む水溶液を含み、そのＰＥＧの分子量が１０００〜１０００００ドルトンの範囲内である。
２１）上記１）の方法において、第１流体昇温ステップにて、少なくとも一箇所設けられている接合サイトのうち一部の近傍のみで第１流体が局所的に増粘するよう第１流体を昇温させる。
２２）上記３）の方法において、第１微細部品と結合している接合サイトの近傍で第２流体が局所的に増粘するよう第２流体を昇温させることができる。
２３）上記１）の方法において、第１流体昇温ステップにて、支持体のうち指定接合サイト近傍の部分にエネルギを供給し、支持体がエネルギ供給に応じて発熱し、支持体から輸送される熱で指定接合サイト近傍の第１流体を増粘させる。
２４）上記１）の方法において、第１微細部品がシリコン集積回路、発光ダイオード、発光素材、カプセル、生体細胞、生体構造、発色素材、色フィルタ素材、反射素材、導電素材、磁性素材、薬品化合物ディスク及びバッキーボールのうち少なくとも一種類を含む。
２５）上記１）の方法において、第１流体昇温ステップにて、支持体にパターン状エネルギを供給することによって支持体のうち指定接合サイト近傍の指定部分を昇温させ、その輻射熱によって指定接合サイト近傍エリアで第１流体を増粘させる。
２６）上記２５）の方法において、支持体に向けエネルギを送出するブロードキャストエネルギ源及びブロードキャスト源からのエネルギを部分的に吸収するフィルタを用いて支持体にパターン状エネルギを供給することにより、ブロードキャスト源からのエネルギのうち吸収されなかった部分を指定接合サイト近傍で支持体に射突させその指定接合サイト近傍で支持体から熱を輻射させる。
２７）上記２５）の方法において、支持体のうち指定接合サイトの近傍を光源光で部位選択的に走査することにより支持体にパターン状エネルギを供給し、その指定接合サイト近傍で支持体から熱を輻射させる。
２８）上記２５）の方法において、供給されるエネルギが可視光、不可視光、マイクロ波、赤外線及び無線周波数波のうち少なくとも一種類の形態を採る。
２９）本発明の他の態様では、接合サイトパターンを有する支持体上に構造物を集積させる方法であって、感熱増粘性の第１流体を支持体表面に供給するステップと、第１流体を昇温させることによって接合サイトのうち指定されたものの近傍にある第１流体内に増粘部分を形成する第１流体昇温ステップと、第１キャリア流体並びにその中にありそれぞれ接合サイトに結合できる構成を有する複数個の第１微細部品を供給するステップと、を有し、第１流体の増粘部分では第１微細部品の指定接合サイトへの結合が妨げられる。
３０）上記２９）の方法において、第１キャリア流体の供給は、第１流体中への第１微細部品の導入として行うことができる。
３１）上記２９）の方法において、第１キャリア流体は、感熱増粘性の第１流体と同種の流体中に第１微細部品を浮遊させた流体を含むことができる。
３２）上記２９）の方法において、第１キャリア流体は、感熱増粘性の第１流体とは別種の流体とすることができる。
３３）上記２９）の方法において、第１キャリア流体は、感熱増粘性で流体とすることができる。
３４）上記２９）の方法において、第１キャリア流体中に浮遊している第１微細部品が指定接合サイト以外の接合サイトに結合した後に支持体表面から第１キャリア流体及び全ての結合外第１微細部品を除去し、感熱増粘性の第１流体内の増粘部分を除熱させるステップを、有する。
３５）上記３４）の方法において、第２キャリア流体並びにその中に浮遊しておりそれぞれ接合サイトに結合できる構成を有する複数個の第２微細部品を支持体表面に供給することにより、指定接合サイトのうち少なくとも一箇所に第２微細部品を結合させるステップを、有する。
３６）上記３４）の方法であって、第２流体を支持体表面に供給するステップと、指定接合サイトのうち一部の近傍で第２流体を昇温ひいては増粘させることにより、全指定接合サイトに悉く第２微細部品が結合することを妨げるステップと、を有する。
３７）上記２９）の方法であって、第１流体昇温ステップにて、第１流体のうち指定接合サイト近傍エリアに向けてパターン状エネルギを供給する。
３８）上記２９）の方法であって、第１流体昇温ステップにて、第１流体のうち指定接合サイト近傍部分に向けエネルギビームを合焦させる。
３９）上記３８）の方法であって、合焦させるエネルギビームがレーザビーム、マイクロ波ビーム、赤外線ビーム及び紫外線ビームのうち何れかを含む。
４０）上記３８）の方法であって、第１キャリア流体中に複数種類の第１微細部品があり、支持体上にはその種類に対応する種類の第１微細部品と結合する複数種類の接合サイトがある。
４１）上記２９）の方法であって、第１キャリア流体中に複数種類の第１微細部品があり、接合サイトのうち少なくとも一部が、形状認知、疎水力認知、静電認知、分子認知及び生物学的認知のうち少なくとも一種類により第１キャリア流体中の第１微細部品の種類を選別してそのうち一種類のみと結合する。
４２）上記２９）の方法において、第１流体は、ポリマ、ポリサッカライド、ペプチドガム、セルロース系素材又はそれらの組合せを含むことができる。
４３）上記４２）の方法において、上記ポリマは、ポリエチレンオキシド、ポリプロピレンオキシド、ポロクサマー、モルホリンエチレンオキシドメタクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレート、ポリアクリルアミド、ポリエチレングリコール、アルキレンオキシド含有ポリマ、それらのコポリマ、又はそれらの組合せとすることができる。
４４）上記４２）の方法において、上記ポリサッカライドとして、キシログルカン、グリカンガム又はそれらの組合せとすることができる。
４５）上記４２）の方法であって、上記セルロース系素材として、セルロースエーテルを用いることができる。
４６）上記２９）の方法において、第１流体は、メチルセルロース−ポリエチレングリコール−クエン酸三元系を含むことができる。
４７）上記２９）の方法において、第１流体は、その濃度及び含有ポロクサマー成分の種類によりそのゲル転移温度が決まるサーマルゲルを含むことができる。
４８）上記２９）の方法において、第１流体は、ポリエチレンオキシド及びポリプロピレンオキシドコポリマ界面活性剤を含むことができる。
４９）上記４８）の方法において、ポリエチレンオキシド及びポリプロピレンオキシドコポリマ界面活性剤の溶液中濃度は、４〜３０重量％の範囲内とすることができる。
５０）上記２９）の方法において、第１流体をアルコール、水及びポリエチレングリコールのうち少なくとも一種類と共に溶液中に供給することができる。
５１）上記２９）の方法において、第１流体は、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）を０〜１０％、メチルセルロース（ＭＣ）を０．１〜３％、クエン酸を０．１〜１０％含む水溶液を含み、そのＰＥＧの分子量が１０００〜１０００００ドルトンの範囲内とすることができる。
５２）上記２９）の方法において、第１流体は、その濃度及び含有ポロクサマー成分の種類によりそのゲル転移温度を調整できるサーマルゲルを含む溶液を含むことができる。
５３）上記２９）の方法において、少なくとも一箇所ある指定接合サイトのうち一部の近傍のみで局所的に第１流体が増粘するよう第１流体を昇温させる。
５４）上記３６）の方法において、第１微細部品と結合した接合サイトの近傍で局所的に且つ引き続き第２流体が増粘するよう第２流体を昇温させることができる。
５５）上記２９）の方法において、第１流体昇温ステップにて、指定接合サイト近傍にエネルギを供給し、支持体がこれを受けて発熱し、支持体からの輻射熱で第１キャリア流体を増粘させることができる。
５６）上記５５）の方法において、支持体上に、供給されるエネルギを吸収し熱を輻射するエネルギ吸収性熱発生器のパターンがある。
５７）上記２９）の方法において、第１微細部品は、シリコン集積回路、発光ダイオード、発光素材、カプセル、生体細胞、生体構造、発色素材、色フィルタ素材、反射素材、導電素材、磁性素材、薬品化合物ディスク及びバッキーボールのうち少なくとも一種類を含むことができる。
５８）上記２９）の方法において、第１流体昇温ステップにて、支持体のうち指定接合サイト近傍の指定部分を昇温させ、支持体の昇温部分からの輻射熱で指定接合サイト近傍の第１流体を増粘させることができる。
５９）上記２９）の方法において、第１流体昇温ステップにて、支持体に向けてパターン状送出エネルギを供給し、そのエネルギのうちの指定部分をフィルタリングしすることによって、パターン状送出エネルギの一部を指定接合サイト近傍で支持体に射突させその指定接合サイト近傍から熱を輻射させる。
６０）上記２９）の方法において、第１流体昇温ステップにて、支持体のうち指定接合サイト近傍を光源光により部位選択的に走査することにより、その指定接合サイトから熱を輻射させる。
６１）上記２９）の方法であって、第１流体昇温ステップにて、パターン状エネルギを感熱増粘性の第１流体の一部領域に向けて供給することにより、指定接合サイト近傍の第１流体を昇温させる。
６２）本発明の他の態様では、発色用微細部品を受容可能な構成の接合サイトの配列を有する支持体を用い少なくとも三種類の発色用微細部品をパターン配列する方法であって、感熱増粘性の第１流体を、第２及び第３発色用微細部品配置予定接合サイトの配列パターンで昇温させることにより、それら第２及び第３発色用微細部品配置予定接合サイトを第１流体の増粘部分によって遮蔽するステップと、第１発色用微細部品及び第１キャリア流体を含む第１スラリに支持体をさらすことにより、遮蔽されていない接合サイトに第１発色用微細部品を集積させるステップと、全ての集積外第１発色用微細部品を支持体から除去し第１流体の増粘部分を除熱させることにより、第１流体による第２及び第３発色用微細部品配置予定接合サイトの遮蔽を解除するステップと、感熱増粘性の第２流体を、第３発色用微細部品配置予定接合サイトの配列パターンで昇温させることにより、それら第３発色用微細部品配置予定接合サイトを第２流体の増粘部分によって遮蔽するステップと、第２発色用微細部品及び第２キャリア流体を含む第２スラリに支持体をさらすことにより、遮蔽されておらず且つ第１発色用微細部品によって占拠されていない接合サイトに第２発色用微細部品を集積させるステップと、全ての集積外第２発色用微細部品を支持体から除去し第２流体の増粘部分を除熱させることにより、第３発色用微細部品配置予定接合サイトの遮蔽を解除するステップと、第３発色用微細部品及び第３キャリア流体を含む第３スラリに支持体をさらすことにより、第１及び第２発色用微細部品の何れによっても占拠されていない接合サイトに第３発色用微細部品を集積させるステップと、を有する。
６３）上記６２）の方法において、発色用微細部品は、有色発光表示素子及びカラーフィルタ素子のうち少なくとも一方を含むことができる。
６４）本発明の他の態様では、その上に複数箇所の接合サイトを有する支持体上に微細集積構造を集積させる装置であって、接合サイトに結合できる構成を有する第１微細部品を含む感熱増粘性の第１流体を支持体上に供給する第１流体源と、第１流体源にエネルギを供給することによって第１流体源を昇温させ、それによって接合サイトのうち指定されたものの近傍で第１流体を増粘させ、指定接合サイトへの微細部品の結合を妨げるエネルギ源と、を備える。
６５）上記６４）の装置において、第１流体源が、第１期間にて第１流体を供給し更に指定接合サイト近傍で第１流体が増粘した後の第２期間にて第１流体中に第１微細部品を導入する。
６６）上記６５）の装置において、第１流体及び全ての結合外第１微細部品を支持体から除去する清掃システムを備えることができる。
６７）上記６６）の装置において、接合サイトに結合できる構成を有する第２微細部品を含有する第２流体を支持体上に供給する第２流体源を、備える。
６８）上記６７）の装置において、あるパターンで熱を印加することによって一組の指定接合サイトの近傍で感熱増粘性の第２流体を昇温ひいては増粘させるパターンヒータを備え、第２流体の増粘によりその一組の指定接合サイトへの第２微細部品の結合を妨げることができる。
６９）上記６４）の装置において、あるパターンで熱を発生させ接合サイト近傍で第１流体を昇温させるパターンヒータを備え、そのパターンヒータがレーザ装置、マイクロ波源、赤外光源、紫外光源、無線周波数波源、電磁輻射源及びγ線源のうち少なくとも一種類を含むことができる。
７０）上記６４）の装置において、エネルギ源は、指定接合サイト近傍で熱を印加して第１流体を増粘させることにより、その指定接合サイトへの第１微細部品の結合を妨げる。
７１）上記６４）の装置において、エネルギ源は、加熱パターンローラを含むことができる。
７２）上記６４）の装置において、エネルギ源は、レーザ装置、マイクロ波源その他のエネルギビーム源を含むことができる。
７３）上記６４）の装置において、エネルギ源は、集積中にその上で支持体が輸送されるプラテンにより実現されたパターンヒータを含むことができる。
７４）上記６４）の装置において、ウェブ状の支持体を受け取りそれを用いて微細集積構造を形成することができる。
７５）上記６４）の装置において、第１微細部品は、シリコン集積回路、発光ダイオード、発光素材、カプセル、生体細胞、有色発光素材、色フィルタ素材、反射素材、導電素材、磁性素材、反射素材、ディスク状物体及びバッキーボールのうち少なくとも一種類を含むことができる。
７６）上記６４）の装置において、支持体のうち指定接合サイト近傍の部分は、エネルギ源から供給されるエネルギ場に反応して熱を輻射する素材により形成することができる。
７７）上記６４）の装置において、支持体に向けエネルギを送出するブロードキャストエネルギ源及びそのエネルギの一部を吸収するフィルタを用いパターン状エネルギを供給し、吸収されなかったエネルギを指定接合サイト近傍で支持体に射突させてその指定接合サイトから熱を輻射させる。
７８）上記６４）の装置において、エネルギビームによって第１流体中を部位選択的に走査することにより指定接合サイト近傍の第１流体を昇温させるパターンヒータを備える。
７９）上記６４）の装置において、第１流体中に複数種類の第１微細部品があり、接合サイトのうち少なくとも一部が、形状認知、疎水力認知、静電認知、分子認知及び生物学的認知のうち少なくとも一種類により第１流体中の微細部品の種類を選別してそのうち一種類のみと結合することができる。
８０）上記６４）の装置において、第１流体は、ポリマ、ポリサッカライド、ペプチドガム、セルロース系素材又はそれらの組合せを含むことができる。
８１）上記６４）の装置であって、上記ポリマは、ポリエチレンオキシド、ポリプロピレンオキシド、ポロクサマー、モルホリンエチレンオキシドメタクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレート、ポリアクリルアミド、ポリエチレングリコール、アルキレンオキシド含有ポリマ、それらのコポリマ、又はそれらの組合せを含むことができる。
８２）上記８１）の装置において、上記ポリサッカライドは、キシログルカン、グリカンガム又はそれらの組合せを用いることができる。
８３）上記８１）の装置において、上記セルロース系素材は、セルロースエーテルである装置。
８４）上記６４）の装置において、第１流体は、メチルセルロース−ポリエチレングリコール−クエン酸三元系を含むことができる。
８５）上記６４）の装置において、第１流体は、その濃度及び含有ポロクサマー成分の種類によりそのゲル転移温度が決まるサーマルゲルを含むことができる。
８６）上記６４）の装置において、第１流体は、ポリエチレンオキシド及びポリプロピレンオキシドコポリマ界面活性剤を含むことができる。
８７）上記８６）の装置において、ポリエチレンオキシド及びポリプロピレンオキシドコポリマ界面活性剤の溶液中濃度は、４〜３０重量％の範囲内とすることができる。
８８）上記６４）の装置において、第１流体は、アルコール、水及びポリエチレングリコールのうち少なくとも一種類と共に溶液中に供給することができる。
８９）上記６４）の装置において、第１流体はポリエチレングリコール（ＰＥＧ）を０〜１０％、メチルセルロース（ＭＣ）を０．１〜３％、クエン酸を０．１〜１０％含む水溶液を含み、そのＰＥＧの分子量が１０００〜１０００００ドルトンの範囲内である。
９０）本発明の他の態様では、その上に複数箇所の接合サイトを有する支持体を用い構造物を集積させる装置であって、感熱増粘性の第１流体を支持体上に供給する手段と、接合サイトのうち指定されたものの近傍で第１流体を部位選択的に昇温させる第１流体昇温手段と、第１微細部品を含有するキャリア流体からなる第１スラリに支持体をさらすことにより、第１微細部品を指定接合サイト以外の接合サイトに結合させる手段と、を備える。
９１）上記９０）の装置において、第１流体昇温手段が、支持体を昇温させ、支持体から第１流体へとその熱を輸送して指定接合サイト近傍の第１流体を増粘させることにより、その指定接合サイトへの第１微細部品の結合を妨げることができる。
９２）上記９０）の装置において、結合外第１微細部品を除去する微細部品除去手段と、第１流体昇温手段を無効化することにより指定接合サイト近傍での第１流体の粘度増大を解消させる手段と、を備える。
９３）上記９２）の装置において、微細部品除去手段は、結合外第１微細部品を支持体から濯ぎ取るリンス装置を有することができる。
９４）上記９０）の装置において、第２微細部品を含有する第２キャリア流体からなる第２スラリに支持体をさらす手段を備えることができる。
９５）上記９０）の装置において、第１流体昇温手段は、ブロックヒータを有することができる。
９６）上記９５）の装置において、ブロックヒータが、選択的にアドレス可能なアクチュエータを有し、このアクチュエータを選択的にアドレスすることにより、パターンをなす複数個の加熱突起を選択的に動かして支持体に接触させ、指定接合サイト近傍で支持体を昇温させることができる。
９７）上記９０）の装置において、第１流体昇温手段は、可動面を有し、その可動面に選択的に作動させうるヒータ素子のパターンを備えることができる。
９８）上記９０）の装置において、第１流体昇温手段は、音響波を放射し第１流体又は支持体中で熱を発生させる音響トランスデューサを有することができる。
９９）上記９８）の装置であって、音響トランスデューサは、圧電トランスデューサを含むことができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2008516415.tif 000001
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８Ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８Ｃ】
2008516415.tif 000002
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８Ｄ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８Ｄ】
2008516415.tif 000003
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2008516415.tif 000004
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2008516415.tif 000005
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2008516415.tif 000006