【手続補正書】
【提出日】平成20年8月12日(2008.8.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  処理チャンバを有した処理モジュールのコンピュータシステムと、第１のセンサと、の間で通信を行うための、コンピュータによって実行される方法であって、
前記処理モジュールの前記コンピュータシステムを初期化する工程と、
前記処理チャンバ内の第１のパラメータを測定することができる前記第１のセンサを初期化する工程と、
接続メッセージを、前記第１のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
報告可能な仕様を取得するコマンドを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する工程と、
前記報告可能な仕様を取得する前記コマンドに応答して、報告可能な仕様メッセージを、前記第１のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程であって、前記報告可能な仕様メッセージは、前記第１のセンサによって提供される少なくともデータ型を前記処理モジュールの前記コンピュータシステムに通知するよう構成されている、工程と、
前記第１のセンサから受信した前記報告可能な仕様メッセージを用いて、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムにおいて、前記第１のセンサからセンサデータを受信する工程と、
を備える方法。
【請求項２】  請求項１に記載の、コンピュータによって実行される方法であって、さらに、
前記処理モジュールの前記コンピュータシステム内で、接続モニタタスクを作成する工程と、
前記処理モジュールの前記コンピュータシステム内での前記接続モニタタスクから、第１のセンサメッセージングタスクを作成する工程と、
報告可能な仕様を取得するコマンドに対する応答肯定を、前記第１のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
報告可能な仕様メッセージに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する工程と、
を備える方法。
【請求項３】  請求項１ないし請求項２のいずれかに記載の、コンピュータによって実行される方法であって、さらに、
アラームテーブルコマンドを取得するコマンドを、前記第１のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
前記アラームテーブルを取得するコマンドに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する工程と、
アラームテーブルを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する工程と、
前記アラームテーブルに対する肯定応答を、前記第１のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
を備える方法。
【請求項４】  請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の、コンピュータによって実行される方法であって、さらに、
時刻および初期化データを取得するコマンドを、前記第１のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
時刻および初期化データを取得する前記コマンドに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する工程と、
時刻および初期化データを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する工程と、
前記時刻および初期化データに対する肯定応答を、前記第１のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
を備える方法。
【請求項５】  請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の、コンピュータによって実行される方法であって、さらに、
前記処理チャンバ内でのアクションの実行に関する処理関連コマンドを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する工程と、
半導体関連デバイスの処理に関する前記アクションを、前記処理チャンバ内で実行する工程と、
前記処理関連コマンドに対する肯定応答を、前記第１のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
を備える方法。
【請求項６】  請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の、コンピュータによって実行される方法であって、さらに、
前記処理チャンバ内の第２のパラメータを測定することができる第２のセンサを初期化する工程と、
接続メッセージを、前記第２のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
報告可能な仕様を取得するコマンドを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第２のセンサへ伝送する工程と、
報告可能な仕様メッセージを、前記第２のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
前記処理チャンバ内の第３のパラメータを測定することができる第３のセンサを初期化する工程と、
接続メッセージを、前記第３のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
報告可能な仕様を取得するコマンドを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第３のセンサへ伝送する工程と、
報告可能な仕様メッセージを、前記第３のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
を備える方法。
【請求項７】  請求項６に記載の、コンピュータによって実行される方法であって、さらに、
前記処理モジュールの前記コンピュータシステム内での前記接続モニタタスクから、第２のセンサメッセージングタスクを作成する工程と、
報告可能な仕様を取得するコマンドに対する肯定応答を、前記第２のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
報告可能な仕様メッセージに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第２のセンサへ伝送する工程と、
前記処理モジュールの前記コンピュータシステム内での前記接続モニタタスクから、第３のセンサメッセージングタスクを作成する工程と、
報告可能な仕様を取得するコマンドに対する肯定応答を、前記第３のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
報告可能な仕様メッセージに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第３のセンサへ伝送する工程と、
を備える方法。
【請求項８】  請求項６ないし請求項７のいずれかに記載の、コンピュータによって実行される方法であって、さらに、
アラームテーブルコマンドを取得するコマンドを、前記第２のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
前記アラームテーブルを取得するコマンドに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第２のセンサへ伝送する工程と、
アラームテーブルを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第２のセンサへ伝送する工程と、
前記アラームテーブルに対する肯定応答を、前記第２のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
アラームテーブルコマンドを取得するコマンドを、前記第３のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
前記アラームテーブルを取得するコマンドに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第３のセンサへ伝送する工程と、
アラームテーブルを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第３のセンサへ伝送する工程と、
前記アラームテーブルに対する肯定応答を、前記第３のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
を備える方法。
【請求項９】  請求項７ないし請求項８のいずれかに記載の、コンピュータによって実行される方法であって、さらに、
時刻および初期化データを取得するコマンドを、前記第２のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
時刻および初期化データを取得する前記コマンドに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第２のセンサへ伝送する工程と、
時刻および初期化データを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第２のセンサへ伝送する工程と、
前記時刻および初期化データに対する肯定応答を、前記第２のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
時刻および初期化データを取得するコマンドを、前記第３のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
時刻および初期化データを取得する前記コマンドに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第３のセンサへ伝送する工程と、
時刻および初期化データを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第３のセンサへ伝送する工程と、
前記時刻および初期化データに対する肯定応答を、前記第３のセンサから前記処理モジュールの前記コンピュータシステムへ伝送する工程と、
を備える方法。
【請求項１０】  半導体関連デバイスを処理するための装置であって、
半導体関連デバイスを処理するための処理チャンバと、
前記処理チャンバに電気的に接続され、前記処理チャンバを制御するためのコンピュータシステムと、
前記コンピュータシステムに電気的に接続されたネットワークと、
前記ネットワークに電気的に接続され、前記処理チャンバ内の第１のパラメータを測定することができる第１のセンサと、
前記コンピュータシステムが初期化された後に、前記コンピュータシステム内で作成される接続モニタタスクと、
前記第１のセンサが前記コンピュータシステムとの接続を開始した後に、処理モジュールの前記コンピュータシステム内で前記接続モニタタスクから作成される、第１のセンサメッセージングタスクと、
を備え、
前記第１のセンサメッセージングタスクは、
接続メッセージを前記第１のセンサから受信する手段と、
報告可能な仕様を取得するコマンドを前記第１のセンサに伝送する手段と、
報告可能な仕様メッセージを前記第１のセンサから受信する手段であって、前記報告可能な仕様メッセージは、前記第１のセンサによって提供される少なくともデータ型を前記コンピュータシステムに通知するよう構成されている、手段と、
前記報告可能な仕様メッセージを用いて、前記第１のセンサからセンサデータを受信する手段と、
を備える、
装置。
【請求項１１】  請求項１０に記載の装置であって、さらに、
前記ネットワークに電気的に接続され、前記処理チャンバ内の第２のパラメータを測定することができる第２のセンサと、
前記第２のセンサが前記コンピュータシステムとの接続を開始した後に、前記処理モジュールの前記コンピュータシステム内で前記接続モニタタスクから作成される、第２のセンサメッセージングタスクと、
を備え、
前記第２のセンサメッセージングタスクは、
接続メッセージを前記第２のセンサから受信する手段と、
報告可能な仕様を取得するコマンドを前記第２のセンサに伝送する手段と、
報告可能な仕様メッセージを前記第２のセンサから受信する手段であって、前記報告可能な仕様メッセージは、前記第２のセンサによって提供される少なくともデータ型を前記コンピュータシステムに通知するよう構成されている、手段と、
前記報告可能な仕様メッセージを用いて、前記第２のセンサからセンサデータを受信する手段と、
を備える、
装置。
【請求項１２】  請求項１１に記載の装置であって、さらに、
前記ネットワークに電気的に接続され、前記処理チャンバ内の第３のパラメータを測定することができる第３のセンサと、
前記第３のセンサが前記コンピュータシステムとの接続を開始した後に、前記処理モジュールの前記コンピュータシステム内で前記接続モニタタスクから作成される、第３のセンサメッセージングタスクと、
を備え、
前記第３のセンサメッセージングタスクは、
接続メッセージを前記第３のセンサから受信する手段と、
報告可能な仕様を取得するコマンドを前記第３のセンサに伝送する手段と、
報告可能な仕様メッセージを前記第３のセンサから受信する手段であって、前記報告可能な仕様メッセージは、前記第３のセンサによって提供される少なくともデータ型を前記コンピュータシステムに通知するよう構成されている、手段と、
前記報告可能な仕様メッセージを用いて、前記第３のセンサからセンサデータを受信する手段と、
を備える、
装置。
【請求項１３】  請求項１２に記載の装置であって、
前記第１のセンサと、前記第２のセンサと、前記第３のセンサとは、クライアントとして前記処理モジュールの前記コンピュータシステムに接続される、装置。
【請求項１４】  請求項１２ないし請求項１３のいずれかに記載の装置であって、
前記第１のセンサと、前記第２のセンサと、前記第３のセンサとは、ホットスワップが可能なプラグアンドプレイである、装置。
【請求項１５】  請求項１０ないし１４のいずれかに記載の装置であって、
前記コンピュータシステムは、さらに、前記コンピュータシステムが一定期間のあいだ前記センサからメッセージを受信しない場合に、前記センサにハートビートメッセージを送信するハートビートメッセージツールを備える、装置。
【請求項１６】 請求項１０ないし１５のいずれかに記載の装置であって、
前記コンピュータシステムは、さらに、
前記処理チャンバ内でのアクションの実行に関する処理関連コマンドを、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムから前記第１のセンサへ伝送する手段と、
半導体関連デバイスの処理に関する前記アクションを、前記処理チャンバ内で実行する手段と、
前記第１のセンサからの前記処理関連コマンドに対する肯定応答を、前記処理モジュールの前記コンピュータシステムで受信する手段と、
を備える、
装置。
【請求項１７】 請求項１ないし９のいずれかに記載の、コンピュータによって実行される方法であって、前記報告可能な仕様は、さらに、前記センサから提供される可能なデータ範囲およびデータの頻度を提供する、方法。
【請求項１８】 請求項１７に記載の、コンピュータによって実行される方法であって、前記報告可能な仕様は、さらに、前記データが、前記センサから要求される必要があるか、前記センサから自動的に送信されるかについての情報を提供する、方法。