【手続補正書】
【提出日】平成20年4月1日(2008.4.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸発可能な流体を用いて熱負荷の温度を制御する方法であって；
蒸発可能な流体を気体から高温高圧の気体状態へ圧縮する工程；
高圧の気体の少なくとも一部を加圧された液体の状態へ凝縮させる工程；
より低い温度及び圧力にて、加圧された流体の少なくとも一部を飽和蒸気へ膨張させる工程；
高温高圧の気体と膨張した飽和蒸気とを選択された割合にて混合して、選択された圧力での飽和した蒸気ミストを提供する工程；
前記混合流を熱負荷を通して流れさせ、その温度を制御する工程；
前記混合流の圧力を調節することによって、熱負荷の温度を調節する工程；並びに
熱負荷からの流れを再加圧に好適な気体へ戻す工程
を含んでなる方法。
【請求項２】
混合物中の高温気体の割合を変えることによって、混合流圧力を変える工程を含んでなる請求項１に記載の方法。
【請求項３】
圧力の変化が蒸発もしくは凝縮の潜熱による熱エネルギーの移動を含む主モード範囲に、飽和蒸気ミストが維持される請求項２記載の方法。
【請求項４】
流れが専ら高温気体である高温範囲を提供する工程を含んでなる請求項３に記載の方法。
【請求項５】
熱負荷へ送る前に、高温気体を更に加熱する工程を含んでなる請求項４に記載の方法。
【請求項６】
膨張流と可変高温気体流との間の圧力降下が、混合前と実質的に等しい請求項１記載の方法。
【請求項７】
加圧された蒸発可能な流体において選択された最小値よりも低い圧力レベルに応じて、熱負荷からのアウトプット流を加熱する工程を更に含んでなる請求項２記載の方法。
【請求項８】
熱負荷から戻された流体を加圧して循環させる工程、及び流体のインプット温度を再加熱前に選択された最大値より低く維持する工程を更に含んでなる請求項２記載の方法。
【請求項９】
凝縮された流体をリターン・ラインの中に注入することによって、再加熱のために戻される流体の過熱防止を行う工程を更に含んでなる請求項８記載の方法。
【請求項１０】
加圧された高温高圧の気体の圧力レベルを検知する工程、及び圧力が選択された限度を下回ると、熱負荷からのリターン・フローを加熱して、利用できる出力を向上させる工程を更に含んでなる請求項２に記載の方法。
【請求項１１】
熱負荷から戻される流体と、加圧された液体状態に凝縮された流体との間で熱エネルギーを交換する工程を更に含んでなる請求項２に記載の方法。
【請求項１２】
制御された熱負荷の温度を検知し、及び目標温度に従って高圧気体流れの割合を調節する工程を更に含んでなる請求項３に記載の方法。
【請求項１３】
直ちに膨張させるために必要でない場合、凝縮の後で、加圧された液体の一部を保存する工程を含んでなる請求項２に記載の方法。
【請求項１４】
第１の流れおよび第２の流れの選択的な急停止によって、熱負荷における温度レベルどうしの間での急速な遷移を可能とする更なる工程を含む請求項２記載の方法。
【請求項１５】
内部を流体が流れるプロセス装置の温度を制御する方法であって、
液化と蒸発の遷移温度がプロセス装置の所望の操作温度の範囲に好適である流体を選択する工程；
流体を高温、高圧気体へ圧縮する工程；
加圧した気体の第１の流れを冷却して、飽和された流体を提供する工程；
加圧した気体の第２の可変的流れを混合ゾーンへ送る工程；
混合ゾーンの前で第１の流れ状態を液体／蒸気状態へ制御的に膨張させる工程；
選択された割合の高温気体と液体／蒸気流とを選択的に混合して、制御された温度レベルにて飽和した流体混合物を提供する工程；
プロセス装置の中を通して飽和された流体混合物を移送して、直接的熱交換を行う工程；
飽和した流体混合物の圧力を調節して、プロセス装置の温度を変化させる工程；ならびに
流体を再加圧のために循環させて上記サイクルを繰り返す工程
を含んでなる方法。
【請求項１６】
流体が蒸発可能な冷媒であり、プロセス装置が可変的熱負荷を示す請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
再加圧のために気体インプットを戻す工程が、所定のレベルを越えるインプット温度に対応してリターン・フローの過熱を防止する工程、ならびに加圧レベルを選択された範囲よりも低く低下させることに対応させてリターン・フローを過熱させる工程を含んでなる請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
凝縮させた加圧した流体と、プロセス装置から戻される膨張させられた液体／蒸気混合物との間で熱エネルギーを交換する工程を含んでなる請求項１７記載の方法であって、リターン・フローの加熱には、プロセス装置から出た直後のリターン・フローについて、加圧のレベルを検知することおよび加熱することを含む方法。
【請求項１９】
プロセス装置の温度を検知する工程；第２の流の割合を調節することによって、混合流の温度を調節する工程；およびリターン・フローを、液体を含まず、再圧縮のために選択された圧力および温度範囲内にあるように処理する工程を更に含んでなる請求項１５記載の方法。
【請求項２０】
流体を用いてプロセス装置の温度を制御する方法であって、
液体／蒸気状態を有する冷媒を、温度および圧力に応じて約１２０℃および約４００ｐｓｉの範囲の高圧気相状態へ圧縮する工程；
気体状態の流れの一部を、ほぼ周囲温度にて高圧の液体状態へ凝縮させる工程；
凝縮させた冷媒流の一部を選択した温度で液体／蒸気混合物へ膨張させる工程；
選択された割合の高圧の気体流と膨張した流れとを混合して、混合物中で選択された公称温度および圧力を達成する工程；
冷媒の流れをプロセスツールとの熱交換関係に直接送る工程；
液体／蒸気混合物を維持しながら、高温の気体流の割合を調節することによって、プロセスツールの温度を調節する工程；ならびに
冷媒の温度および圧力を選択された範囲で調節して、リサイクルおよび再圧縮に好適な気体状態の冷媒へ戻す工程
を含んでなる方法。
【請求項２１】
プロセスツールは可変式熱負荷を提供しており、およびその中を通る冷媒の流れが基本モードにおいて、プロセス装置で−５０℃〜＋１４０℃の範囲に制御することができる請求項２０記載の方法。
【請求項２２】
約２５０℃まで操作する加熱モードを更に含んでなり、飽和した流体を維持せず、圧縮した高温気体の高い割合を用い、および最終的な目標温度に到達するように気体に熱を加える工程を含む請求項２０に記載の方法。
【請求項２３】
冷媒が所定の圧力−エンタルピー状態にある場合に液化し、実質的に同じ圧力で、液化した状態の冷媒流と気体状態の冷媒流とを混合する工程を含む請求項２０に記載の方法。
【請求項２４】
蒸発可能な流体と、温度が制御されるべき可変式熱負荷のプロセス装置との間で熱エネルギーを交換する方法であって、
流体を加圧された高温の気体の状態に転化させる工程；
所定の圧力にて、加圧された気体の第１の部分を液体に凝縮させる工程；
ほぼ所定の圧力に加圧された気体の残部を、別の経路へ転じさせる工程；
加圧した液体を選択された圧力の飽和流体へ膨張させて、第１の圧力およびエンタルピーレベルへ到達させる工程；
加圧された気体の選択された割合を抜き出して、調節された圧力およびエンタルピーレベルを提供する工程；
膨張させた飽和した流体と、前記気体の抜き出した部分とを混合して、目標圧力およびエンタルピーの流体を提供する工程；
目標圧力およびエンタルピーの混合した流体を、熱交換関係のプロセス装置を通過させて、そこでの熱負荷に応じて凝縮させるかまたは蒸発させる工程；
混合した流体の圧力を調整することによって、プロセス装置温度レベルを新たなレベルに調節する工程；
圧力および温度を所定の範囲内で回復させながら、混合した流体を移動させる工程；ならびに
混合した流体を加圧された高温状態へ再度転化させる工程
を含んでなる方法。
【請求項２５】
膨張させた飽和した流体に補償圧力降下を導入して、混合される２つの流れの円滑な制御を、それらの相対的割合にかかわらず、形成する工程；および再加圧の圧力が設定最小値よりも低い場合には、リターン・フローを加熱することによって、再加圧する前に、その圧力および温度を回復させる工程を更に含んでなる請求項２４記載の方法。
【請求項２６】
前記圧力および温度を回復させる工程は、インプット温度が最大値よりも高い場合には、再加圧する前に、混合物の過熱防止を行うことを含んでなり、ならびに、インプット圧力が選ばれた最大値よりも高い場合には、インプット圧力を降下させる工程を更に含んでなる請求項２５記載の方法。
【請求項２７】
プロセス装置温度を制御する工程は、蒸発可能な流体として、ミスト化された小滴相の中で冷媒を使用することを含んでなる請求項２４に記載の方法。
【請求項２８】
冷媒を高温高圧の蒸気状態へ圧縮する工程；
前記圧縮した冷媒の第１の流れを液体へ凝縮させる工程；
前記凝縮させた液体からミスト化された蒸気形態の第１の流れを形成する工程；
前記第１の流れと、高温および高圧の蒸気の第２の流れとを選ばれた割合で混合する工程；ならびに
混合した流れを熱交換関係で制御装置へ導く工程
を含んでなる、熱的に接触している制御された装置の温度を制御するために、直接の熱交換媒体として冷媒を使用する方法。
【請求項２９】
冷媒を最初にその蒸発点よりも高い圧力へ圧縮し、その後、形成された圧力にて蒸発点よりも低い温度へ熱を除去することによって凝縮させ、ならびに、流体粒状物と周囲気体との間での凝縮または蒸発によって内部エネルギーの大部分が交換されるように、相溶性の気体中に含まれる流体粒状物として混合物を維持しながら、混合物の圧力を変化させることによって、混合した流れの温度を変化させることができる請求項２８記載の方法。
【請求項３０】
冷媒は周囲圧力において約４５℃の蒸発点を有しており、冷媒は約４００ｐｓｉまで圧縮され、ならびに混合物は周囲圧力において約−５０℃〜＋１４０℃の温度範囲で気体／液体形態に保たれる請求項２９記載の方法。