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【手続補正書】
【提出日】平成19年11月9日(2007.11.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  部品に形成された小孔の内径部を高周波焼入する高周波焼入方法において、
前記部品を第１の冷却液の中に浸漬すると共に、高周波誘導加熱コイルのコイル頭部を前記第１の冷却液の中に浸漬させた状態の下で、前記部品の小孔の内径部に対して近接配置されるように前記部品の小孔内に前記コイル頭部を挿入配置し、
超高周波帯の周波数の高周波電力を短時間にわたり前記高周波誘導加熱コイルに供給すると共に、前記小孔の内径部に向けて第２の冷却液を流して、前記部品の小孔の内径部のうち前記高周波誘導加熱コイルの頭部に連結されるリード部寄りの部位に、より多くの前記第２の冷却液を流しながら前記小孔の内径部を高周波誘導加熱し、
これと同時に、前記被処理面を前記第１及び第２の冷却液にて焼入冷却するようにしたこと、
を特徴とする高周波焼入方法。
【請求項２】  前記小孔の内径部に向けて流される第２の冷却液は、前記高周波誘導加熱コイルを冷却するために前記高周波誘導加熱コイルの中空部に導入されるコイル冷却液であることを特徴とする請求項１に記載の高周波焼入方法。
【請求項３】  前記コイル冷却液を、前記高周波誘導加熱コイルの中空部を通過して前記高周波誘導加熱コイルを冷却した後に、前記小孔の内径部に向けて流すようにしたことを特徴とする請求項２に記載の高周波焼入方法。
【請求項４】  前記コイル冷却液を、高周波誘導加熱を開始する前の時点から前記小孔の内径部に向けて流し始めると共に、高周波誘導加熱中並びに高周波誘導加熱後にも前記小孔の内径部に向けて流すようにしたことを特徴とする請求項２又は３に記載の高周波焼入方法。
【請求項５】  前記コイル冷却液の流量を、２Ｌ／min〜２０Ｌ／minに設定したことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の高周波焼入方法。
【請求項６】
（Ａ）  第１の冷却液が充填され、かつ、被焼入体である前記部品が前記第１の冷却液の中に浸漬された状態で収容配置される冷却液槽と、
（Ｂ）  被加熱部である部品の小孔の内径部に対して近接して挿入配置されるコイル頭部、第２の冷却液が流される冷却液流通用の中空部、及び前記コイル頭部の近傍箇所において前記中空部に連通する冷却液吐出口を有する高周波誘導加熱コイルと、
（Ｃ）  前記高周波誘導加熱コイルに超高周波帯の周波数の高周波電力を短時間にわたり供給する高周波電源と、
（Ｄ）  前記高周波誘導加熱コイルの中空部に前記第２の冷却液を供給するコイル冷却液供給機構と、
をそれぞれ具備し、
前記小孔の内径部を前記冷却液槽内の第１の冷却液の中に浸漬させた状態の下で前記小孔の内径部に向けて前記第２の冷却液を流して、前記部品の小孔の内径部のうち前記高周波誘導加熱コイルの頭部に連結されるリード部寄りの部位に、より多くの前記第２の冷却液を流しながら前記小孔の内径部を高周波誘導加熱して焼入冷却するようにしたこと、
を特徴とする高周波焼入装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明では、部品に形成された小孔の内径部を高周波焼入する高周波焼入方法において、前記部品を第１の冷却液の中に浸漬すると共に、高周波誘導加熱コイルのコイル頭部を前記第１の冷却液の中に浸漬させた状態の下で、前記部品の小孔の内径部に対して近接配置されるように前記部品の小孔内に前記コイル頭部を挿入配置し、超高周波帯の周波数の高周波電力を短時間にわたり前記高周波誘導加熱コイルに供給すると共に、前記小孔の内径部に向けて第２の冷却液を流して、前記部品の小孔の内径部のうち前記高周波誘導加熱コイルの頭部に連結されるリード部寄りの部位に、より多くの前記第２の冷却液を流しながら前記小孔の内径部を高周波誘導加熱し、これと同時に、前記被処理面を前記第１及び第２の冷却液にて焼入冷却するようにしている。
また、本発明では、前記小孔の内径部に向けて流される第２の冷却液は、前記高周波誘導加熱コイルを冷却するために前記高周波誘導加熱コイルの中空部に導入されるコイル冷却液であるようにしている。
また、本発明では、前記コイル冷却液を、前記高周波誘導加熱コイルの中空部を通過して前記高周波誘導加熱コイルを冷却した後に、前記小孔の内径部に向けて流すようにしている。
また、本発明では、前記コイル冷却液を、高周波誘導加熱を開始する前の時点から前記小孔の内径部に向けて流し始めると共に、高周波誘導加熱中並びに高周波誘導加熱後にも前記小孔の内径部に向けて流すようにしている。
また、本発明では、前記コイル冷却液の流量を、２Ｌ／min〜２０Ｌ／minに設定するようにしている。
また、本発明では、
（Ａ）  第１の冷却液が充填され、かつ、被焼入体である前記部品が前記第１の冷却液の中に浸漬された状態で収容配置される冷却液槽と、
（Ｂ）  被加熱部である部品の小孔の内径部に対して近接して挿入配置されるコイル頭部、第２の冷却液が流される冷却液流通用の中空部、及び前記コイル頭部の近傍箇所において前記中空部に連通する冷却液吐出口を有する高周波誘導加熱コイルと、
（Ｃ）  前記高周波誘導加熱コイルに超高周波帯の周波数の高周波電力を短時間にわたり供給する高周波電源と、
（Ｄ）  前記高周波誘導加熱コイルの中空部に前記第２の冷却液を供給するコイル冷却液供給機構と、
をそれぞれ具備し、
前記小孔の内径部を前記冷却液槽内の第１の冷却液の中に浸漬させた状態の下で前記小孔の内径部に向けて前記第２の冷却液を流して、前記部品の小孔の内径部のうち前記高周波誘導加熱コイルの頭部に連結されるリード部寄りの部位に、より多くの前記第２の冷却液を流しながら前記小孔の内径部を高周波誘導加熱して焼入冷却するようにしている。  
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
【発明の効果】
以上の如く、本発明は、被焼入体である部品を第１の冷却液（部品冷却液）の中に浸漬すると共に、高周波誘導加熱コイルのコイル頭部を第１の冷却液の中に浸漬させた状態の下で、前記部品の小孔の内径部に対して近接配置されるように前記部品の小孔内に前記コイル頭部を挿入配置し、超高周波帯の周波数の高周波電力を短時間にわたり前記高周波誘導加熱コイルに供給すると共に、小孔の内径部に向けて第２の冷却液（例えば、コイル冷却液）を流して、前記部品の小孔の内径部のうち前記高周波誘導加熱コイルの頭部に連結されるリード部寄りの部位に、より多くの前記第２の冷却液を流しながら前記小孔の内径部を高周波誘導加熱し、これと同時に、前記被処理面を前記第１及び第２の冷却液にて焼入冷却するようにしたものであるから、高周波誘導加熱コイルより部品の被処理面に向けて流される前記第２の冷却液の作用により、被処理面におけるオーバーヒートを少なく抑えることができ、ひいては部品の焼入歪み（変形）を少なくすることができる。従って、本発明によれば、部品の被処理面の焼入処理に際し、安定した良好な焼入品質を得ることが可能となる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月26日(2007.3.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  シリカアルミナ複合凝集粒子が分散媒中に分散しているシリカアルミナ複合ゾルであって、シリカアルミナ複合凝集粒子の平均凝集粒子径Ｄ（ｎｍ）は１５０ｎｍ以下であり、シリカアルミナ複合ゾルから分散媒を除去して得られるキセロゲルは、平均細孔半径ｒ（ｎｍ）が５ｎｍ以上、比表面積Ａが１００ｍ2／ｇ以上であり、かつ、Ｒ＝（Ｄ／ｒ）で定義されるＲが１８未満であるシリカアルミナ複合ゾル。
【請求項２】  シリカアルミナ複合凝集粒子が分散媒中に分散しているシリカアルミナ複合ゾルであって、シリカアルミナ複合凝集粒子のＡｌ元素とＳｉ元素の比が、酸化物換算モル比Ａｌ2Ｏ3／ＳｉＯ2で０．００１〜０．６であり、かつ、シリカアルミナ複合ゾル中には、周期表２族元素、１０族元素および遷移元素からなる群から選ばれた元素Ｍが、酸化物換算モル比ＭＯ／（ＳｉＯ2＋Ａｌ2Ｏ3）で０．００１〜０．１含まれるシリカアルミナ複合ゾル。
【請求項３】  平均粒子径５〜５０ｎｍのシリカ粒子を含むシリカゾルに、周期表２族元素、１０族元素および遷移元素からなる群から選ばれた元素Ｍの２価陽イオンを含む電解質水溶液を、Ｍ元素とＳｉ元素の比が酸化物換算モル比ＭＯ／ＳｉＯ2で０．００１〜０．４になるように添加して、シリカゾル中のシリカ粒子を凝集させた後、水に溶解したときの液性が酸性のアルミニウム塩を、Ａｌ元素とＳｉ元素の比が酸化物換算モル比Ａｌ2Ｏ3／ＳｉＯ2で０．０１〜０．６になるように添加して、シリカアルミナ複合凝集粒子を生成させた後、不純物除去、濃縮および解膠を行うことを特徴とするシリカアルミナ複合ゾルの製造方法。
【請求項４】  請求項１または２記載のシリカアルミナ複合ゾルから分散媒を除去して得られるキセロゲルを含むインク受容層を、基材上に設けたインクジェット記録媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月7日(2006.12.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明において、前記密着部３２は、ほぼ境界部３３を支点として先端より外側に捲れ上がっており、密着部３２の内壁が外側を向いた構造になっている。このため、前記端部被覆部材の径は、ほぼ被覆体３１の径に相当する径になっており、この径より小さな径である電線１を容易に挿入することが可能である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
このような端部被覆部材３は、図４に斜視図を、図５（ａ），（ｂ）に平面図を示すような端部被覆部材の製造治具５を使用して製造する。すなわち、端部被覆部材の製造治具５は前記密着部３２の中空部３２１の拡径方向（たとえば図５（ｂ）に示すように４５°方向）に移動可能な拡径ピン５２を有している。この実施例においては、この拡径ピン５２は複数の基台５１（図４では４つ）にそれぞれ立設され、固定されており、前記基台５１が前記中空部３２１の拡径方向に移動することによって、前記拡径ピン５２が拡径方向に移動するようになっている。さらに前記拡径状態の拡径ピン５２が当接するような内径を有する捲れ上げリング５３が備えられており、この捲れ上げリング５３によって前記拡径ピン５２の拡径が制御されるようになっている。さらにこの捲れ上げリング５３は基台５１と反対方向（図４において左方向）に平行に移動するようになっている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、拡径された接続部被覆部材の密着部３２を基台５１方向に押し込む押し込みリング５４を有している。この押し込みリング５４の外径は拡径ピン５２が拡径したときの内径より小さな径となっているとともに、前記基台５１方向に平行に移動可能になっている。さらに前記拡径ピン５２の拡径中心と前記捲れ上げリング５３および押し込みリング５４の径の中心は一致するようになっている。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月28日(2006.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の目的とするところは、ソケットの全長の短縮化が図れ、且つ流体の流通を支障なく行わせることができる管継手を提供することにある。
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月9日(2007.1.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】医用診断装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の可動部と、これらの可動部と障害物との位置関係を検出する位置センサとを有する医用診断装置において、
前記位置センサは、前記障害物に電磁波を放射して電磁界を形成する送信電極と、この送信電極によって形成された電磁界の強度を検出する受信電極と、この受信電極によって検出された電磁界の強度から前記受信電極と、
前記障害物間の静電容量を検出する静電容量検出手段と、
前記受信電極と障害物間の静電容量の変化量を検出する静電容量変化量検出手段と、
この静電容量変化量検出手段によって検出された静電容量の変化量から前記障害物の形状を測定する形状測定手段と、
この形状測定手段によって測定された障害物の形状から前記静電容量検出手段の出力を補正する静電容量補正手段と、
この静電容量補正手段によって補正された静電容量を前記受信電極と障害物間の距離に変換する距離変換手段とから成ることを特徴とする医用診断装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月13日(2007.2.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記のクラッチ板集合体(018)は、出力部材(08)の円筒部(06)の内面に形成されたスプライン状の案内突条(023)と係合して、出力部材(08)とともに回転する複数のクラッチ板(021)と、入力部材(03)の外周面に形成されたスプライン状の案内突条(024)と係合して、入力部材(03)とともに回転する複数のクラッチ板(022)とを、軸線方向に配設したものよりなっている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
出力軸(04)には、図示を省略した歪ゲージ等よりなるトルク検出装置が設けられており、トルク検出装置が、予め設定した値よりも大きなトルクを検知した場合には、流路(029)を大気圧に解放して、圧縮コイルばね(014)の付勢力により、ピストン(012)を右方に押動し、隣り合うクラッチ板(021)(022)の相対回転を許容するようにして、入力軸(02)と出力軸(04)の連係を断って、両軸(02)(04)に過大なトルクが生じないようにしている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2001241466.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成19年2月8日(2007.2.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
上述の様に構成する保持器８ａの各ポケット１０ａ、１０ａ内に、玉軸受を構成する内輪軌道と外輪軌道との間に配置した複数個の玉６を１個ずつ保持した状態では、上記各押圧部１４が上記各玉６を、上記主部９の軸方向に関して１対の弾性片１１、１１の先端側（図３の上側）に弾性的に押圧する。そして、この様に各押圧部１４、１４が各玉６を押圧する事に基づき、上記保持器８ａが、これら各押圧部１４、１４がこれら各玉６を押圧する方向と反対方向（図３の下側）に変位する。この結果、上記保持器８ａを構成する総てのポケット１０ａ、１０ａ内に保持した各玉６が、これら各ポケット１０ａ、１０ａ内の上記１対の弾性片１１、１１の先端寄り部分に配置される。特に、本例の場合には、この状態で上記各玉６の転動面が、上記各ポケット１０ａ、１０ａの内面のうち上記各弾性片１１、１１の内側部分（図３のＱ1 、Ｑ2 部分）に押し付けられる様に、各部の形状及び寸法を規制している。この結果、図３に示す様に、上記各玉６が上記押圧部１４の外面と上記Ｑ1 、Ｑ2 部分とで支持された状態となり、上記各玉６が上記各ポケット１０ａ、１０ａ内で円周方向に変位し得る隙間がなくなる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2001241447.tif 000001
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２６】
2001241447.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成19年6月27日(2007.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受信したパケットを他のノードに転送する機能を備えるパケット転送装置と、
受信した名前解決要求メッセージに対して名前解決を行い、名前解決応答メッセージによって前記名前解決の結果を返す名前解決サーバと
を備える名前解決システムであって、
クライアントから前記名前解決サーバへ送信された名前解決要求メッセージは、前記パケット転送装置によって一旦受信され、
前記名前解決要求メッセージを一旦受信し、前記名前解決要求メッセージの送信者に関する属性情報を取得し、前記属性情報を付加した前記名前解決要求メッセージを前記名前解決サーバへ送信するDNSプロキシ部とを有し、
前記名前解決サーバは、前記パケット転送装置によって送信された前記名前解決要求に含まれる前記属性情報に基づいて、前記名前解決の結果である名前解決応答メッセージを返す、ことを特徴とする名前解決システム。
【請求項２】
前記パケット転送装置は、
前記属性情報が格納されたユーザ情報データベースを内部要素として備え、
前記名前解決要求メッセージの送信者であるユーザに関する属性情報を、前記ユーザ情報データベースから取得することを特徴とする請求項１に記載の名前解決システム。
【請求項３】
前記パケット転送装置は、前記属性情報が格納されたユーザ情報データベースを備える外部のデータベースサーバから、前記属性情報を取得することを特徴とする請求項１に記載の名前解決システム。
【請求項４】
前記パケット転送装置は、前記外部のデータベースサーバからの前記属性情報の取得において、名前解決要求メッセージを用いることを特徴とする請求項３に記載の名前解決システム。
【請求項５】
前記外部のデータベースサーバが、外部に設置された名前解決サーバであることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の名前解決システム。
【請求項６】
前記パケット転送装置は、さらに
自ノードに接続するクライアントにおけるユーザを識別、認証するユーザ認証部と、
認証時に得られた前記ユーザに関する属性情報に基づいて、前記ユーザ情報データベースの内容を更新するユーザ情報更新部とを備えたことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の名前解決システム。
【請求項７】
前記パケット転送装置は、前記名前解決要求メッセージに含まれる送信元アドレスに基づいて前記名前解決要求メッセージの送信者に関する属性情報を取得することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の名前解決システム。
【請求項８】
クライアントが送信した名前解決要求メッセージに対して、名前解決サーバが名前解決を行い、名前解決応答メッセージによって前記名前解決の結果を返す名前解決方法であって、
前記クライアントから前記名前解決サーバへ送信された名前解決要求メッセージを、前記クライアントと前記名前解決サーバとの間に存在する、受信したパケットを他のノードに転送する機能を備えるパケット転送装置が一旦受信し、
前記パケット転送装置により、前記名前解決要求メッセージの送信者であるユーザに関する属性情報が、前記名前解決要求メッセージに含まれる送信元アドレスに基づいて取得され、前記属性情報を前記名前解決要求メッセージに付加された後に前記名前解決要求メッセージを前記名前解決サーバへ送信され、
前記名前解決サーバは、前記パケット転送装置によって送信された前記名前解決要求に含まれる前記属性情報に基づいて、前記名前解決の結果である名前解決応答メッセージを返す、ことを特徴とする名前解決方法。
【請求項９】
受信したパケットを他のノードに転送するパケット転送装置であって、
クライアントから名前解決サーバへ送信された名前解決要求メッセージの送信者に関する属性情報を取得するユーザ情報取得部と、
前記名前解決要求メッセージを一旦受信し、前記名前解決要求メッセージの送信者に関する属性情報を前記ユーザ情報取得部を介して取得し、前記属性情報を付加した前記名前解決要求メッセージを前記名前解決サーバへ送信するDNSプロキシ部とを有することを特徴とするパケット転送装置。
【請求項１０】
さらに、前記属性情報が格納されたユーザ情報データベースを内部要素として備え、
前記名前解決要求メッセージの送信者であるユーザに関する属性情報を、前記ユーザ情報データベースから前記ユーザ情報取得部を介して取得することを特徴とする請求項９に記載のパケット転送装置。
【請求項１１】
さらに、前記属性情報が格納されたユーザ情報データベースを備える外部のデータベースサーバから、前記ユーザ情報取得部を介して前記属性情報を取得することを特徴とする請求項９に記載のパケット転送装置。
【請求項１２】
さらに、前記外部のデータベースサーバからの前記属性情報の取得において、名前解決要求メッセージを用いることを特徴とする請求項１１に記載のパケット転送装置。
【請求項１３】
前記外部のデータベースサーバが、外部に設置された名前解決サーバであることを特徴とする請求項１１又は請求項１２に記載のパケット転送装置。
【請求項１４】
さらに自ノードに接続するクライアントにおけるユーザを識別、認証するユーザ認証部と、
認証時に得られた前記ユーザに関する属性情報に基づいて、前記ユーザ情報データベースの内容を更新するユーザ情報更新部とを有することを特徴とする請求項９から請求項１３のいずれか１項に記載のパケット転送装置。
【請求項１５】
前記情報取得部は、前記名前解決要求メッセージに含まれる送信元アドレスに基づいて前記名前解決要求メッセージの送信者に関する属性情報を取得することを特徴とする請求項９〜１４のいずれかに記載のパケット転送装置。
【請求項１６】
受信したパケットを他のノードに転送するパケット転送装置におけるパケット転送方法であって、
クライアントから名前解決サーバへ送信された名前解決要求メッセージを一旦受信し、前記名前解決要求メッセージの送信者に関する属性情報を取得し、前記属性情報を付加した前記名前解決要求メッセージを前記名前解決サーバへ送信する、ことを特徴とするパケット転送方法。
【請求項１７】
受信したパケットを他のノードに転送するパケット転送装置を、
クライアントから名前解決サーバへ送信された名前解決要求メッセージの送信者に関する属性情報を取得するユーザ情報取得部と、
前記名前解決要求メッセージを一旦受信し、前記名前解決要求メッセージの送信者に関する属性情報を前記ユーザ情報取得部を介して取得し、前記属性情報を付加した前記名前解決要求メッセージを前記名前解決サーバへ送信するDNSプロキシ部として機能させること特徴とするパケット転送プログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成19年6月20日(2007.6.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに通信形態の異なる第１の網と第２の網との間に配置されてデータの送受信を行う通信装置であって、
前記第１の網の障害を検出するための要求フレームを前記第１の網に送信する送信手段と、
前記要求フレームに対応する応答フレームを前記第１の網から受信する受信手段と、
前記応答フレームが、対応する要求フレームの送信ののち所定時問内に受信できない場合に前記第１の網の障害として認識する障害検出手段と、
を備えることを特徴とする通信装置。
【請求項２】
前記障害検出手段において、前記第１の網の障害が認識された場合に、前記第２の網へ障害通知情報を送信する機能をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の通信装置。
【請求項３】
前記第２の網からのデータを受信する手段と、
前記受信したデータを前記第１の網のプロトコルに対応させて変換する変換手段と、
前記変換されたデータを第１の網に送信する送信手段と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の通信装置。
【請求項４】
前記受信手段および前記送信手段は、前記第１の網を通して対向の通信装置と前記要求フレーム及び前記応答フレームの送受信を行い、
前記障害検出手段は、前記応答フレームが、対応する要求フレームの送信ののち所定時問内に受信できない場合に、前記対向の通信装置までの回線上の障害として認識する
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の通信装置。
【請求項５】
前記対向の通信装置から、前記第１の網を通して要求フレームを受信する要求フレーム受信手段と、
前記要求フレーム受信手段にて要求フレームを受信した後に、前記対向の通信装置に対して応答フレームを送信する応答フレーム送信手段と、
をさらに有することを特徴とする請求項４記載の通信装置。
【請求項６】
前記第１の網がイーサネット網であり、前記第２の網がＡＴＭ網である請求項１乃至５のいずれかに記載の通信装置。
【請求項７】
互いに通信形態の異なる第１の網及び第２の網間に配置されてインタフェースの相互変換を行う異種網間接続装置であって；
前記第１の網を通して対向の異種網間接続装置と要求フレーム及び応答フレームを定期的に送受信し、前記対向の異種網間接続装置からの前記応答フレームを前記要求フレームの送信ののち所定時間内に受信できないとき、前記第１の網における自己に隣接しない回線を含む回線の障害と認識し、自己が接続されている前記第２の網の回線に第１の回線障害通知情報を送信する手段と；
前記第１の網を通して前記対向の異種網間接続装置と前記要求フレーム及び前記応答フレームを定期的に送受信し、前記対向の異種網間接続装置からの前記応答フレームを前記要求フレームの送信ののち所定時間内に受信したとき、前記応答フレームの所定領域の回線状態情報に基づいて、前記対向の異種網間接続装置側の第２の網の回線障害を検出し、自己が接続されている前記第２の網の回線に第２の回線障害通知情報を送信する手段と；
を備える異種網間接続装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年9月14日(2007.9.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の血液バッグを載置するテーブルと、このテーブル上の血液バッグに放射線を照射する放射線源とを備えた血液バッグ用放射線照射装置において、前記血液バッグの厚みに応じて放射線を照射する情報を付与する手段と、その付与された情報に基づいて前記テーブルと前記放射線源との間の距離を調整させる手段とを備えたことを特徴とする血液バッグ用放射線照射装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】   
【課題を解決するための手段】
上記目的は、複数の血液バッグを載置するテーブルと、このテーブル上の血液バッグに放射線を照射する放射線源とを備えた血液バッグ用放射線照射装置において、前記血液バッグの厚みに応じて放射線を照射する情報を付与する手段と、その付与された情報に基づいて前記テーブルと前記放射線源との間の距離を調整させる手段とを備えたことを特徴とする血液バッグ用放射線照射装置によって達成される。
【手続補正書】
【提出日】平成19年6月4日(2007.6.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  シンボルを変動表示させるためのシンボル表示器を複数具備し、各シンボル表示器の変動表示の停止時に複数の入賞ライン上にそれぞれ複数のシンボルが停止表示されるスロットマシンにおいて、
遊技媒体の投入数に応じた入賞ラインを有効化して各シンボル表示器に変動表示を開始させるゲーム開始手段と、
抽選により入賞または特別のゲームモードに当選した状態において複数の入賞ラインが有効化されているとき、すべてのシンボル表示器の変動表示が終了するまでの間に前記有効化された入賞ラインの数を減少させる有効ライン数変更手段とを具備して成るスロットマシン。
【請求項２】  前記有効ライン数変更手段は、前記抽選により所定の入賞に当選し、かつ所定数のシンボル表示器が変動表示を停止した時点で所定の有効ライン上に前記当選した入賞のシンボルが揃ったとき、このライン以外の有効ラインを無効化する請求項１に記載されたスロットマシン。
【請求項３】  請求項１に記載されたスロットマシンにおいて、
特別の入賞に当選している状態下で前記特別の入賞を除く他の入賞を対象とした抽選を実行し、この抽選に当選したとき、その当選結果に対応するシンボルを前記特別の入賞のシンボルより優先的に有効ライン上に引き込んで各シンボル表示器の変動表示を停止させるシンボル停止制御手段を具備し、
前記有効ライン数変更手段は、特別の入賞に当選している状態下での抽選により引分けゲームに当選したとき、有効ラインの数を減少させるスロットマシン。
【請求項４】  請求項３に記載されたスロットマシンにおいて、
前記有効ライン数変更手段は、前記特別の入賞に当選している状態下での抽選により引分けゲームに当選し、前記シンボル停止制御手段の制御により所定の有効ラインに前記リプレイ図柄が前記特別の入賞のシンボルより優先的に引き込まれて停止したとき、そのリプレイ図柄が停止したライン以外の有効ラインを無効化することにより有効ラインの数を減少させるスロットマシン。
【請求項５】  請求項１に記載されたスロットマシンにおいて、
特別の入賞に当選している状態下で前記特別の入賞を除く他の入賞を対象とした抽選を実行し、この抽選に当選したとき、その当選結果に対応するシンボルを前記特別の入賞のシンボルより優先的に有効ライン上に引き込んで各シンボル表示器の変動表示を停止させるシンボル停止制御手段を具備し、
前記有効ライン数変更手段は、特別の入賞に当選している状態下での抽選によりゲームに投入された遊技媒体の数以上の遊技媒体の払出が行われる入賞に当選したとき、有効ラインの数を減少させるスロットマシン。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
さらに他の態様にかかるスロットマシンは、特別の入賞に当選している状態下で前記特別の入賞を除く他の入賞を対象とした抽選を実行し、この抽選に当選したとき、その当選結果に対応するシンボルを前記特別の入賞のシンボルより優先的に有効ライン上に引き込んで各シンボル表示器の変動表示を停止させるシンボル停止制御手段を具備する。また有効ライン数変更手段は、特別の入賞に当選している状態下での抽選により引分けゲームに当選したとき、有効ラインの数を減少するように構成される。
なお「特別の入賞」とは、前記したボーナス入賞のように、多数の遊技媒体の払出を伴い、入賞が成立するまで当選状態が維持される入賞である。
より好ましい態様においては、有効ライン数変更手段は、前記特別の入賞に当選している状態下での抽選により引分けゲームに当選し、前記シンボル停止表示手段の制御により所定の有効ラインに前記リプレイ図柄が前記特別の入賞のシンボルより優先的に引き込まれて停止したとき、そのリプレイ図柄が停止したライン以外の有効ラインを無効化することにより有効ラインの数を減少させる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
上記構成によれば、有効ラインの数が減少しても、遊技者は、その減少により限定された有効ライン上にリプレイ図柄の組合せが停止することによって、特別の入賞に当選していることを認識し、引分け後の再ゲームに期待感を高めるようになる。またゲームが引分けになった場合には、遊技媒体を投入することなくつぎのゲームを実行できるので、有効ライン数の減少により遊技者が損失を被るのを回避することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月11日(2007.7.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  反応器と、反応器から処理液を流出させる処理液管に設けられた少なくとも気液分離器とを備え、反応器に有機塩素化合物を含む被処理液を導入し、超臨界水反応処理を施して有機塩素化合物を分解し、次いで反応器から流出した処理液を気液分離器で気液分離する超臨界水反応装置において、
有機塩素化合物の酸化分解を促進させる二次酸化反応器を反応器の下流に設け、二次酸化反応器を、常時、運転するか、又は超臨界水反応装置が所定状態になった段階で、手動で又は自動的に起動させることを特徴とする超臨界水反応装置。
【請求項２】  気液分離器で処理液を気液分離して得た液成分を流出させる液流出管に二次酸化反応器を設けることを特徴とする請求項１に記載の超臨界水反応装置。
【請求項３】  二次酸化反応器としてＵＶ（紫外線）照射装置を設けることを特徴とする請求項１又は２に記載の超臨界水反応装置。
【請求項４】  ＵＶ照射装置の上流の液成分、ＵＶ照射装置内を流れる液成分、及びＵＶ照射装置の下流の液成分の少なくともいずれかに二次酸化剤を注入する二次酸化剤注入装置を備え、二次酸化剤注入装置を、常時、運転するか、又は超臨界水反応装置が所定状態になった段階で、手動で又は自動的に起動させることを特徴とする請求項３に記載の超臨界水反応装置。
【請求項５】  二次酸化反応器として、処理液管又は液流出管に設けられた容器と、容器の入口側配管に二次酸化剤を注入する二次酸化剤注入装置とを設けることを特徴とする請求項１又は２に記載の超臨界水反応装置。
【請求項６】  反応器と、反応器から処理液を流出させる処理液管に、順次、設けられた、冷却器、圧力制御弁、及び気液分離器とを備え、反応器に有機塩素化合物を含む被処理液を導入し、超臨界水反応処理を施して有機塩素化合物を分解し、次いで反応器から流出した処理液を冷却器で冷却し、圧力制御弁によって処理液の流量を調整して反応器の圧力を制御し、更に気液分離器で処理液を気液分離する超臨界水反応装置において、
反応器の下流で、かつ冷却器の上流の処理液管に有機塩素化合物の酸化分解を促進する二次酸化剤を注入する二次酸化剤注入装置を備え、二次酸化剤注入装置を、常時、運転するか、又は超臨界水反応装置が所定状態になった段階で、手動で又は自動的に起動させることを特徴とする超臨界水反応装置。
【請求項７】  気液分離器で分離された液成分を収容する貯槽と、反応器の下流で、かつ二次酸化剤の注入点の下流の処理液管に、貯槽に収容された液成分を注入する液成分注入装置とを設け、
超臨界水反応装置を通常停止運転に移行した時点以降に、又は超臨界水反応装置を緊急停止運転に移行した時点以降に気液分離器から流出する液成分を貯槽に収容し、二次酸化剤を処理液管に注入する際に、液成分注入装置を起動して、貯槽の液成分を処理液管に注入することを特徴とする請求項６に記載の超臨界水反応装置。
【請求項８】  二次酸化剤が、オゾン、過酸化水素、過硫酸、過酸化よう素、過酸化臭素、塩素酸、過マンガン酸、過チオ炭酸、過リン酸、過炭酸、過クロム酸、過硝酸、過チタン酸、過ほう酸及び光触媒の少なくともいずれかであることを特徴とする請求項４から７のうちのいずれか１項に記載の超臨界水反応装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、超臨界水反応装置を所定の定常的プロセス条件で運転する定常運転状態では、上述のように、反応器の反応温度が一定の反応温度に制御され、有機塩素化合物を排出基準以下までに分解できるものの、装置の起動運転時、装置の停止運転時又は緊急停止運転時などの非定常状態では、反応器の反応温度が変動する。
ここで、非定常状態とは、時間の経過と共に超臨界水反応装置のプロセス条件が変動するような状態を言い、緊急停止運転とは、装置の機器の故障、制御装置の電気的故障等により、通常の運転停止手順に従わないで、装置を強制的に緊急停止する運転を言う。
このため、定常運転時には、処理液中の有機塩素化合物濃度を排出基準値以下に維持することができるものの、非定常状態では、処理液中の有機塩素化合物濃度が排出基準値以上の濃度になる可能性がある。
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月11日(2007.7.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
水・汚泥処理系での高分子凝集剤の使用に際しては、粉末体である高分子凝集剤は瞬時に水には溶解しないことから、一度溶解設備で水溶液としてから処理系へ最適な注入率となるように注入・混和される（最適注入率はあらかじめジャーテスト等の手法により決定する）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
各電気伝導度測定セル１２、１３は電気的に並列に接続されており、各電気伝導度測定セル１２、１３の電流供給用電極１２ａ、１３ａには、電源としての交流オシレーター１４から同相の交流電流が供給されている。各電気伝導度測定セル１２、１３の電気伝導度検出用電極１２ｂ、１３ｂは、互いに電気的に接続され、両検出用電極１２ｂ、１３ｂからの検出信号自身の値が次のように減算されるようになっている。電気伝導度測定セル１３の電流供給用電極１３ａの前に、供給される交流電流の値を所定の倍率で増幅あるいは減幅可能な位相反転器１５が設けられており、電気伝導度測定セル１３で検出対象となる被測定物質の電気伝導度のレベルを、電気伝導度測定セル１２のそれに比べ異ならしめることができるとともに、その検出信号の位相を反転できるようになっている。このようにしておけば、各電気伝導度測定セル１２、１３からの検出信号自身が、実質的に減算されることになる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
なお、上記装置に加えて、差伝導度計の電極表面での気泡生成を抑制するためのデガッサーや、試料とキャリア液とを均一に混合するためのインラインミキサーや混合コイル等の混合器などを必要に応じて設置してもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
この溶解装置の粉末凝集剤貯留槽に、ポリアクリルアミドを主成分とする粉末高分子凝集剤Ａを１ｋｇ投入した。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
実施例２
実施例１と同じ溶解装置を使用して、ポリアクリルアミドを主成分とする粉末高分子凝集剤Ｂの溶解を行った。ただし、この凝集剤は、保存環境がよくなかったためか、やや吸湿しているようであった。粉末凝集剤貯留槽に１ｋｇ投入した後、溶解槽には水道水２００Ｌが導入され、秤量部にて粉末高分子２００ｇが計り取られ、攪拌機で水道水を攪拌しつつ、導入部より粉末高分子が溶解槽に少しずつ添加された。１時間攪拌溶解後、溶解液が高分子凝集剤濃度測定装置に導入された。濃度は１０００ｍｇ／Ｌとなるはずであるが、溶解前に吸湿していたためか、実測値は、９０１ｍｇ／Ｌであった。そこで、さらに粉末高分子凝集剤を追加して、１０００ｍｇ／Ｌする操作が行われた。凝集剤は、さらに乾燥重量で２０ｇ追加する必要がある。そこで、水分含有を加味した２２ｇを溶解液に添加し、３０分攪拌した。その後、再度、濃度測定装置で測定したところ１００２ｍｇ／Ｌであった。目的の濃度の溶解液を作製できたと判断し、溶解液は、溶解槽から移送ポンプにて溶解液貯留槽に移送された。貯留槽より１３９ｍｌ／ｍｉｎ（２００Ｌ／日）の流量で定量ポンプにて注入した。
以上より、所定濃度の高分子凝集剤溶解液を正しく調整し、水処理プラントへの適正な注入が行えることが確認できた。
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月11日(2007.7.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
水・汚泥処理系での高分子凝集剤の使用に際しては、粉末体である高分子凝集剤は瞬時に水には溶解しないことから、一度溶解設備で水溶液としてから処理系へ最適な注入率となるように注入・混和される（最適注入率はあらかじめジャーテスト等の手法により決定する）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
各電気伝導度測定セル１２、１３は電気的に並列に接続されており、各電気伝導度測定セル１２、１３の電流供給用電極１２ａ、１３ａには、電源としての交流オシレーター１４から同相の交流電流が供給されている。各電気伝導度測定セル１２、１３の電気伝導度検出用電極１２ｂ、１３ｂは、互いに電気的に接続され、両検出用電極１２ｂ、１３ｂからの検出信号自身の値が次のように減算されるようになっている。電気伝導度測定セル１３の電流供給用電極１３ａの前に、供給される交流電流の値を所定の倍率で増幅あるいは減幅可能な位相反転器１５が設けられており、電気伝導度測定セル１３で検出対象となる被測定物質の電気伝導度のレベルを、電気伝導度測定セル１２のそれに比べ異ならしめることができるとともに、その検出信号の位相を反転できるようになっている。このようにしておけば、各電気伝導度測定セル１２、１３からの検出信号自身が、実質的に減算されることになる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
次に、本発明に係わる濃度測定装置のシステム例について説明する。濃度測定装置は、基本的にキャリア液を送液するポンプ、試料溶液をキャリア溶液中に注入するインジェクター、高分子凝集剤を酸化する酸化反応器（酸化手段）、酸化前後の電気伝導度を測定する差伝導度計、差伝導度計で測定されたデータを記録するデータプロセッサーで構成されている。ただし、場合によっては、キャリア液を用いないこともあるため、そのような系ではインジェクターは不要となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
なお、上記装置に加えて、差伝導度計の電極表面での気泡生成を抑制するためのデガッサーや、試料とキャリア液とを均一に混合するためのインラインミキサーや混合コイル等の混合器などを必要に応じて設置してもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
この測定結果をもとに、凝集槽への高分子凝集剤の注入率が１ｍｇ／Ｌとなるように、制御装置により溶解液の注入流量を１５３ｍｌ／ｍｉｎと計算し、定量ポンプの吐出量がその流量となるよう調整され、実際にその流量で水処理系凝集槽に注入された。この制御により、実際に水処理系へ注入される高分子凝集剤の量が、厳密に目標値に制御できることが確認できた。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月23日(2007.5.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（１）光を熱に変換できる化合物及び熱の作用下でより親水性になる化合物を含んでなる感熱性コーティングの連続最上層を平版親水性支持体上に含んでなる画像形成要素を準備し；
（２）該画像形成感熱性組成物を、該感熱性組成物の表面において少なくとも０．２ｍＷ／μｍ2の強度を有するレーザービームを発する高強度レーザーを用いて画像通りに露光し、それにより該感熱性組成物を少なくとも部分的に除去して平版支持体を少なくとも部分的に露出させる
段階を含んでなる平版印刷版の作製方法。
【請求項２】
該強度が少なくとも０．４ｍＷ／μｍ2である請求項１に従う平版印刷版の作製方法。
【請求項３】
感熱性コーティングが熱及び／又は酸の作用下で反応して親水性基を形成する側鎖疎水性基を有するポリマーを含んでなる請求項１又は２に従う平版印刷版の作製方法。
【請求項４】
該側鎖疎水性基がｔ−アルキルカルボキシレート、ｔ−アルキルカーボネート、ベンジルカルボキシレート及びアルコキシアルキルエステルから選ばれる請求項３に従う平版印刷版の作製方法。
【請求項５】
該側鎖疎水性基が次式（Ｉ）
【化１】
2001047593.tif 000001
［式中：
Ｒ1及びＲ2の一方は水素であり、他方は水素又は炭素数が最高で１８のアルキル基であり、
Ｒ3は炭素数が最高で１８のアルキル基を示すか；
あるいはＲ1、Ｒ2及びＲ3のいずれか２つは一緒になって炭素環式もしくは複素環式環を形成することができ、
Ｔはポリマー主鎖に結合している２価の結合基を示す］
を有する請求項３に従う平版印刷版の作製方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月25日(2007.4.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  液体を吐出するための吐出口と、
該吐出口に液体を供給するために前記吐出口に連通された液流路を構成する壁部材と、
前記液体に気泡を発生させるための発熱体が備えられた基板と、
前記吐出口側を自由端として前記基板に支持固定されるとともに、前記液流路内の前記発熱体に対面する位置に前記基板との間に間隙をおいて設けられた可動部材と、
を有し、
前記気泡を発生させることにより生じる圧力によって、前記可動部材の自由端を前記基板と離れる方向に変位させて前記圧力を前記吐出口側に導き、前記吐出口から液体を吐出させる液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記可動部材を備える基板を用意する工程と、
光硬化性樹脂を、前記可動部材と前記基板との間隙を埋め、かつ、前記可動部材を被覆するように、スピンコートにて前記基板に塗布する工程と、
前記光硬化性樹脂の少なくとも前記壁部材に相当する箇所を露光し、硬化させる工程と、
前記光硬化性樹脂の未露光部を除去する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】  前記光硬化性樹脂の未露光部を除去する工程の後に、硬化した前記光硬化性樹脂の融点以上の温度で前記樹脂のベークを行う工程をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】  前記基板上に、前記壁部材が設けられた状態で、前記可動部材を切断することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】  前記壁部材上にさらに天板が接合された状態で、前記基板を切断することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】  前記液流路部分に未硬化樹脂を有する状態の前記基板を切断することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】  前記光硬化性樹脂は、常温で固体状のエポキシ樹脂を溶媒に溶かした状態で塗布されることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】  前記壁部材は、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化物であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】  前記光硬化性樹脂は、５０％以上の固形成分を含み、平均分子量が１万以下であることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】  前記基板および天板は、シリコン材料により形成されることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】  請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法により製造された液体吐出ヘッド。
【請求項１１】  流路を構成する壁部材が表面に設けられた第１の基板と、
前記第１の基板上の前記流路に前記第１の基板との間に間隙をおいて一方の端部を自由端として前記第１の基板に支持固定された可動部材と、
前記壁部材の上面に接合される第２の基板と、
を有する微小機械装置の製造方法であって、
前記可動部材を備える第１の基板を用意する工程と、
光硬化性樹脂を、前記可動部材と前記基板との間隙を埋め、かつ、前記可動部材を被覆するように、スピンコートにて前記第１の基板に塗布する工程と、
前記光硬化性樹脂の少なくとも前記壁部材に相当する箇所を露光し、硬化させる工程と、
前記光硬化性樹脂の未露光部を除去する工程と、を有することを特徴とする微小機械装置の製造方法。
【請求項１２】  前記光硬化性樹脂の未露光部を除去する工程の後に、硬化した前記光硬化性樹脂の融点以上の温度で前記樹脂のベークを行う工程をさらに有することを特徴とする請求項１１に記載の微小機械装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、液体を吐出するための吐出口と、該吐出口に液体を供給するために前記吐出口に連通された液流路を構成する壁部材と、前記液体に気泡を発生させるための発熱体が備えられた基板と、前記吐出口側を自由端として前記基板に支持固定されるとともに、前記液流路内の前記発熱体に対面する位置に前記基板との間に間隙をおいて設けられた可動部材と、を有し、前記気泡を発生させることにより生じる圧力によって、前記可動部材の自由端を前記基板と離れる方向に変位させて前記圧力を前記吐出口側に導き、前記吐出口から液体を吐出させる液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記可動部材を備える基板を用意する工程と、光硬化性樹脂を、前記可動部材と前記基板との間隙を埋め、かつ、前記可動部材を被覆するように、スピンコートにて前記基板に塗布する工程と、前記光硬化性樹脂の少なくとも前記壁部材に相当する箇所を露光し、硬化させる工程と、前記光硬化性樹脂の未露光部を除去する工程と、を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
さらに、光硬化性樹脂の未露光部を除去する工程の後に、硬化した光硬化性樹脂の融点以上の温度で樹脂のベークを行う工程を更に有することにより、壁部材の上面のレベリングフローが高精度に行われる。そのため、壁部材の上面を後工程の研磨等によって平坦化を行う必要がなく、液体吐出ヘッドの製造工程が簡素化され、ひいては液体吐出ヘッドを安価に製造することが可能になる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、本発明の微小機械装置の製造方法は、流路を構成する壁部材が表面に設けられた第１の基板と、前記第１の基板上の前記流路に前記第１の基板との間に間隙をおいて一方の端部を自由端として前記第１の基板に支持固定された可動部材と、前記壁部材の上面に接合される第２の基板と、を有する微小機械装置の製造方法であって、前記可動部材を備える第１の基板を用意する工程と、光硬化性樹脂を、前記可動部材と前記基板との間隙を埋め、かつ、前記可動部材を被覆するように、スピンコートにて前記第１の基板に塗布する工程と、前記光硬化性樹脂の少なくとも前記壁部材に相当する箇所を露光し、硬化させる工程と、前記光硬化性樹脂の未露光部を除去する工程と、を有することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
上記の発明において、光硬化性樹脂の未露光部を除去する工程の後に、硬化した光硬化性樹脂の融点以上の温度で樹脂のベークを行う工程を更に有することが好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
また、硬化した樹脂の融点以上の温度でその樹脂のベークを行うことにより、壁部材の上面のレベリングフローが高精度に行われるため、壁部材の上面を研磨等によって後工程で平坦化を行う必要がなく、製造工程が簡素化され、ひいては製造コストを低減させることができる。