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【手続補正書】
【提出日】平成19年4月25日(2007.4.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成された第１の電極と、
前記第１の電極上に形成された発光物質を含む層と、
前記発光物質を含む層上に形成された第２の電極と、
前記第２の電極と電気的に絶縁され、かつ、前記発光物質を含む層及び前記第２の電極に形成された開口部を介して前記第１の電極と電気的に接続された第３の電極とを有することを特徴とする照明装置。
【請求項２】
基板上に形成された第１の電極と、
前記第１の電極上に形成された発光物質を含む層と、
前記発光物質を含む層上に形成された第２の電極と、
前記第２の電極上、並びに前記発光物質を含む層及び前記第２の電極に形成された開口部を覆うように形成された絶縁膜と、
前記発光物質を含む層及び前記第２の電極に形成された開口部において、前記絶縁膜に形成された開口部を介して前記第１の電極と電気的に接続された第３の電極とを有することを特徴とする照明装置。
【請求項３】
請求項２において、前記絶縁膜に形成された開口部の径は、１０〜５００μｍであることを特徴とする照明装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一において、前記発光物質を含む層及び前記第２の電極に形成された開口部は、発光領域に複数設けられていることを特徴とする照明装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一において、前記第２の電極に形成された開口部は、前記発光物質を含む層に形成された開口部よりも大きいことを特徴とする照明装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一において、前記発光物質を含む層から発光した光は、前記基板側から放射されることを特徴とする照明装置。
【請求項７】
基板上に形成された第２の電極と、
前記第２の電極上に形成された発光物質を含む層と、
前記発光物質を含む層上に形成された第１の電極と、
前記基板、前記第２の電極、前記発光物質を含む層、及び前記第１の電極に形成された開口部の側壁、及び当該開口部の付近を覆うように形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜に形成された開口部を介して前記第１の電極と電気的に接続された第３の電極とを有することを特徴とする照明装置。
【請求項８】
請求項７において、前記絶縁膜に形成された開口部の径は、１０〜５００μｍであることを特徴とする照明装置。
【請求項９】
請求項７または８において、前記基板、前記第２の電極、前記発光物質を含む層、及び前記第１の電極に形成された開口部は、発光領域に複数設けられていることを特徴とする照明装置。
【請求項１０】
請求項７乃至９のいずれか一において、前記発光物質を含む層から発光した光は、前記基板の逆側から放射されることを特徴とする照明装置。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれか一において、前記基板は、可撓性を有することを特徴とする照明装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれか一において、前記第１の電極は、透明導電膜からなることを特徴とする照明装置。
【請求項１３】
請求項１乃至１２のいずれか一において、前記第３の電極は、アルミニウム、銅、または銀からなることを特徴とする照明装置。
【請求項１４】
請求項１乃至１３のいずれか一において、前記発光物質を含む層は、複数の発光物質を含む層が積層された構造であることを特徴とする照明装置。
【請求項１５】
請求項１乃至１４のいずれか一に記載の照明装置を、液晶表示装置のバックライト、室内の照明、インテリア用の照明、またはトンネル内の照明として用いることを特徴とする照明装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月16日(2007.5.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ユーザの操作を受ける複数の操作手段を備えた情報処理装置において、
前記各操作手段を独立して発光させる自照手段と、
前記複数の操作手段の中で、操作を有効とする操作手段と操作を無効とする操作手段を判断し、操作が有効な操作手段と無効な操作手段に応じて前記自照手段の発光の有無を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、機器の動作状態に応じて操作が有効となった操作手段の前記自照手段を点灯させ、操作が無効となった操作手段の前記自照手段を消灯させる
ことを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
前記制御手段は、操作が有効な前記操作手段において前記自照手段の点灯と点滅を、機器の動作状況に応じて制御する
ことを特徴とする請求項１記載の情報処理装置。
【請求項３】
ユーザの操作を受ける複数の操作手段を備えた情報処理装置において、
前記各操作手段を独立して発光させる自照手段と、
前記複数の操作手段の中で、操作を有効とする操作手段と操作を無効とする操作手段を判断し、操作が有効な操作手段と無効な操作手段に応じて前記自照手段の発光の有無を制御する制御手段とを備え、
前記自照手段は、少なくとも２色の発光色を有し、
前記制御手段は、前記自照手段の発光色を選択して所定の発光色で前記操作手段を発光させる
ことを特徴とする情報処理装置。
【請求項４】
前記制御手段は、操作が有効な前記操作手段において前記自照手段の発光色を機器の動作状況に応じて制御する
ことを特徴とする請求項３記載の情報処理装置。
【請求項５】
記録手段に記録された情報を読み取り再生を行う再生手段を更に備え、
前記制御手段は、前記記録手段に付随する識別情報に応じて操作を有効とする操作手段を判断し、前記操作を有効とした操作手段に対応した前記自照手段の発光を制御する
ことを特徴とする請求項１記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記操作手段は、該操作手段が操作されることで実行される機能を特定する特定情報が図示された操作ボタンで、
前記自照手段は、前記特定情報を認識可能に前記操作ボタンを発光させる
ことを特徴とする請求項１記載の情報処理装置。
【請求項７】
ユーザの操作を受ける複数の操作手段を備えた情報処理装置の入力支援方法において、
前記複数の操作手段の中で、操作を有効とする操作手段と操作を無効とする操作手段を判断し、操作が有効となった操作手段を点灯し、操作が無効となった操作手段を消灯する
ことを特徴とする情報処理装置の入力支援方法。
【請求項８】
機器の動作状況に応じて前記操作手段の点灯と点滅を切り替える
ことを特徴とする請求項７記載の情報処理装置の入力支援方法。
【請求項９】
機器の動作状況に応じて前記操作手段の発光色を切り替える
ことを特徴とする請求項７記載の情報処理装置の入力支援方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上述した課題を解決するため、本発明に係る情報処理装置は、ユーザの操作を受ける複数の操作手段を備えた情報処理装置において、各操作手段を独立して発光させる自照手段と、複数の操作手段の中で、操作を有効とする操作手段と操作を無効とする操作手段を判断し、操作が有効な操作手段と無効な操作手段に応じて自照手段の発光の有無を制御する制御手段とを備え、制御手段は、機器の動作状態に応じて操作が有効となった操作手段の自照手段を点灯させ、操作が無効となった操作手段の自照手段を消灯させるものである。
また、本発明に係る情報処理装置は、ユーザの操作を受ける複数の操作手段を備えた情報処理装置において、各操作手段を独立して発光させる自照手段と、複数の操作手段の中で、操作を有効とする操作手段と操作を無効とする操作手段を判断し、操作が有効な操作手段と無効な操作手段に応じて自照手段の発光の有無を制御する制御手段とを備え、自照手段は、少なくとも２色の発光色を有し、制御手段は、自照手段の発光色を選択して所定の発光色で前記操作手段を発光させるものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の情報処理装置では、複数の操作手段の中で、操作を有効とする操作手段と操作を無効とする操作手段が判断される。操作が有効な操作手段と無効な操作手段に応じて自照手段の発光の有無が制御され、機器の動作状態に応じて操作が有効となった操作手段の自照手段は点灯され、操作が無効となった操作手段の自照手段は消灯される。また、自照手段の発光色を選択して所定の発光色で操作手段が発光される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
これにより、操作が有効な操作手段と操作が無効な操作手段は、発光の有無と発光色で区別される。
【手続補正書】
【提出日】平成19年9月14日(2007.9.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
また従来例２のカウンタは、図１１に示すように、回転ドラムＤを挟む両側の円周５等分の対向位置に、５対のオプチカルエンコーダ（発光素子Ａ１と受光素子Ｂ１の一対と、発光素子Ａ２と受光素子Ｂ２の一対と、発光素子Ａ３と受光素子Ｂ３の一対と、発光素子Ａ４と受光素子Ｂ４の一対と、発光素子Ａ５と受光素子Ｂ５の一対の合計５対からなる）を発光素子Ａ１に対しては受光素子Ｂ１、発光素子Ａ２に対しては受光素子Ｂ２、発光素子Ａ３に対しては受光素子Ｂ３、発光素子Ａ４に対しては受光素子Ｂ４、発光素子Ａ５に対しては受光素子Ｂ５となり、且つ各発光素子Ａ１乃至Ａ５及び受光素子Ｂ１乃至Ｂ５が同心円上においてドラム回転方向に７２度の等間隔をおいて離隔している対向位置関係で配設し、前記回転ドラムＤの発光素子Ａ１乃至Ａ５からの光が通過する部分に軸方向に貫通した１個の光透過孔ｈを設けている。
また、水道メーターから水道水の流量に比例した電気信号を得る装置として、円錐形で表面に複数の反射面を有する回転子において、複数の反射面のうちの任意の１面に投光し、回転子の流量に比例した回転によって生ずる光に反射角の変化を検出して、流量に比例した電気パルス信号を取り出すようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
また、ガスメーターや水道メーターの検針システムにおいて、積算カウンタに貫通孔を設ける一方、積算カウンタを挟んで光ファイバの照射部と受光部とを対向して設置し、積算カウンタの回転に伴って光ファイバの照射部からの照射光が貫通孔を通過して受光部で受光した信号を積算するようにしたものも知られている（例えば、特許文献２参照。）。
【特許文献１】特開２００２−１０７１９０号公報の請求項１の記載
【特許文献２】特開２００３−２０３２８８号公報の段落番号［００３７］［００３８］
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月25日(2007.4.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータシステムを、
調査対象システムが提供する機能に対し利用者が行った操作を検知してそのログを記録するログ記録手段、
前記ログ記録手段により記録されたログを解析し、前記機能の利用状況を示す利用状況指標を求めるログ解析手段、
前記調査対象システムの有用性に関するアンケート質問票データを生成する質問票生成手段であって、前記ログ解析手段により求められた前記機能の利用状況指標に基づきアンケート質問票データに組み込む質問項目を選択する質問票生成手段、
として機能させるためのプログラム。
【請求項２】
前記コンピュータシステムを、
前記調査対象システムが提供する機能の利用状況指標についての条件ごとに該条件に対応する質問項目の情報を示した質問条件情報が登録されたデータベース、
として更に機能させ、
前記質問票生成手段は、前記ログ解析手段により求められた前記機能の利用状況指標が満たす条件が前記データベースにあれば、該条件に対応する質問項目をアンケート質問票データに組み込む質問項目として選択する、
ことを特徴とする請求項１記載のプログラム。
【請求項３】
前記質問条件情報には、前記条件ごとに該条件に対応する質問項目の対象とする利用者を特定するための対象者情報が含まれ、
前記質問票生成手段は、前記ログ解析手段により求められた前記機能の利用状況指標が満たす条件が前記データベースにあれば、該条件に対応する対象者情報に基づき、該条件に対応する質問項目の対象とする利用者を特定し、特定した利用者に対するアンケート質問票データとして該質問項目を含んだアンケート質問票データを生成する、
ことを特徴とする請求項２記載のプログラム。
【請求項４】
前記データベースには、前記調査対象システムが提供する機能ごとに前記質問条件情報が登録され、
前記ログ解析手段は、前記調査対象システムが提供する機能ごとにその利用状況指標を求め、
前記質問票生成手段は、前記ログ解析手段が求めた各機能の利用状況指標と各機能についての質問条件情報とに基づき、利用者ごとに、該利用者を対象とする質問項目を集めたアンケート質問票データを生成する、
ことを特徴とする請求項３記載のプログラム。
【請求項５】
前記機能の利用状況指標は、該機能の利用者数及び利用頻度を含むことを特徴とする請求項１記載のプログラム。
【請求項６】
前記ログ解析手段は、前記機能の利用状況指標が所定の条件を満足する場合に、更に利用者の該機能についての操作時間のばらつきを前記ログから解析し、
前記質問票生成手段は、そのばらつきの程度に応じて該利用状況指標に対応する質問項目の対象となる利用者を限定する、
ことを特徴とする請求項１記載のプログラム。
【請求項７】
前記ログ解析手段は、前記機能の利用状況指標が所定の条件を満足する場合に、更に利用者のプロファイル情報により区別される利用者のグループごとに前記ログから該グループの該機能の利用状況を求め、
前記質問票生成手段は、グループごとの利用状況の差の程度に応じ、質問項目の対象とする利用者を限定する、
ことを特徴とする請求項１記載のプログラム。
【請求項８】
調査対象システムが提供する機能に対し利用者が行った操作を検知してそのログを記録するログ記録手段と、
前記ログ記録手段により記録されたログを解析し、前記機能の利用状況を示す利用状況指標を求めるログ解析手段と、
前記調査対象システムの有用性に関するアンケート質問票データを生成する質問票生成手段であって、前記ログ解析手段により求められた前記機能の利用状況指標に基づきアンケート質問票データに組み込む質問項目を選択する質問票生成手段と、
を備えるシステム有用性調査支援装置。
【請求項９】
ログ記録手段、ログ解析手段及び質問票生成手段を有するシステム有用性調査支援装置におけるシステム有用性調査支援方法であって、
前記ログ記録手段が、調査対象システムが提供する機能に対し利用者が行った操作を検知してそのログを記録するログ記録ステップと、
前記ログ解析手段が、前記ログ記録ステップにより記録されたログを解析し、前記機能の利用状況を示す利用状況指標を求めるログ解析ステップと、
前記質問票生成手段が、前記調査対象システムの有用性に関するアンケート質問票データを生成する質問票生成ステップであって、前記ログ解析ステップにより求められた前記機能の利用状況指標に基づきアンケート質問票データに組み込む質問項目を選択する質問票生成ステップと、
を有するシステム有用性調査支援方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、コンピュータシステムを、調査対象システムが提供する機能に対し利用者が行った操作を検知してそのログを記録するログ記録手段、前記ログ記録手段により記録されたログを解析し、前記機能の利用状況を示す利用状況指標を求めるログ解析手段、前記調査対象システムの有用性に関するアンケート質問票データを生成する質問票生成手段であって、前記ログ解析手段により求められた前記機能の利用状況指標に基づきアンケート質問票データに組み込む質問項目を選択する質問票生成手段、として機能させるためのプログラムを提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の好適な態様では、前記コンピュータシステムを、前記調査対象システムが提供する機能の利用状況指標についての条件ごとに該条件に対応する質問項目の情報を示した質問条件情報が登録されたデータベース、として更に機能させ、前記質問票生成手段は、前記ログ解析手段により求められた前記機能の利用状況指標が満たす条件が前記データベースにあれば、該条件に対応する質問項目をアンケート質問票データに組み込む質問項目として選択する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
更に好適な態様では、前記質問条件情報には、前記条件ごとに該条件に対応する質問項目の対象とする利用者を特定するための対象者情報が含まれ、前記質問票生成手段は、前記ログ解析手段により求められた前記機能の利用状況指標が満たす条件が前記データベースにあれば、該条件に対応する対象者情報に基づき、該条件に対応する質問項目の対象とする利用者を特定し、特定した利用者に対するアンケート質問票データとして該質問項目を含んだアンケート質問票データを生成する。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月18日(2007.5.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
デバイスホールとスリットが形成された樹脂テープ基板と、
前記デバイスホールに配置された半導体チップと、
一端が前記半導体チップに接続され、他端が前記樹脂テープ基板の相対向する一対の辺に入出力端子をそれぞれ形成するよう前記樹脂テープ基板上に形成された複数のリード線とを備え、
前記スリットは、前記樹脂テープ基板の前記入出力端子が形成された辺と垂直な方向に長手方向を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記樹脂テープ基板は、前記樹脂テープ基板の前記入出力端子が向かい合う辺に平行に長手方向を有することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記スリットは複数本形成されており、
複数の前記スリットは、前記樹脂テープ基板の前記入出力端子が形成された辺に垂直な方向に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記スリットは複数本形成されており、
複数の前記スリットは、前記樹脂テープ基板の前記入出力端子が形成された辺に平行な方向に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記スリットは前記樹脂テープ基板の前記入出力端子が形成された辺に平行な方向に形成されており、
それぞれの前記スリットは前記長手方向において少なくとも一部を他の前記スリットとオーバーラップするよう形成されていることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置。
【請求項６】
少なくとも一部の前記スリットは、隣り合う前記リード線間に形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項７】
前記樹脂テープ基板の前記入出力端子が形成された辺に垂直な方向の全幅にわたって複数の前記スリットが形成されていることを特徴とする請求項５に記載の半導体装置。
【請求項８】
前記スリットはその長手方向に垂直な方向の幅が１００μｍ以下に規定されていることを特徴とする請求項１または７のいずれかに記載の半導体装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記目的を達成するために本第１発明における半導体装置は、デバイスホールとスリットが形成された樹脂テープ基板と、
前記デバイスホールに配置された半導体チップと、
一端が前記半導体チップに接続され、他端が前記樹脂テープ基板の相対向する一対の辺に入出力端子をそれぞれ形成するよう前記樹脂テープ基板上に形成された複数のリード線とを備え、
前記スリットは、前記樹脂テープ基板の前記入出力端子が形成された辺と垂直な方向に長手方向を有するものである。
本第２発明における半導体装置は、前記樹脂テープ基板は、前記樹脂テープ基板の前記入出力端子が向かい合う辺に平行に長手方向を有するものである。
本第３発明における半導体装置は、前記スリットは複数本形成されており、
複数の前記スリットは、前記樹脂テープ基板の前記入出力端子が形成された辺に垂直な方向に形成されているものである。
本第４発明における半導体装置は、前記スリットは複数本形成されており、
複数の前記スリットは、前記樹脂テープ基板の前記入出力端子が形成された辺に平行な方向に形成されているものである。
本第５発明における半導体装置は、前記スリットは前記樹脂テープ基板の前記入出力端子が形成された辺に平行な方向に形成されており、
それぞれの前記スリットは前記長手方向において少なくとも一部を他の前記スリットとオーバーラップするよう形成されているものである。
本第６発明における半導体装置は、少なくとも一部の前記スリットは、隣り合う前記リード線間に形成されているものである。
本第７発明における半導体装置は、前記樹脂テープ基板の前記入出力端子が形成された辺に垂直な方向の全幅にわたって複数の前記スリットが形成されているものである。
本第８発明における半導体装置は、前記スリットはその長手方向に垂直な方向の幅が１００μｍ以下に規定されているものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、スリットの最大幅を、複数のリード線を引くのに必要なリード線間の間隔以下に抑えることができる。このため、スリットをリード線間に形成することができ、樹脂テープ基板上のスペースを有効に利用することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月17日(2007.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下の工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法；
（ａ）主面およびその反対面の裏面を持つ半導体ウエハを用意する工程、
（ｂ）前記半導体ウエハの主面に、半導体素子を有する半導体チップを形成する工程、
（ｃ）テープと、前記テープの外周に貼り付けられた枠体とを有する治具を準備する工程、
（ｄ）前記治具のテープに前記半導体ウエハの主面を貼り付ける工程、
（ｅ）前記治具のテープに前記半導体ウエハの主面を貼り付けた状態で、前記半導体ウエハの裏面を研削する工程、
（ｆ）前記治具のテープに前記半導体ウエハの主面を貼り付けた状態で、前記半導体ウエハを分割する工程に搬送する工程。
【請求項２】
請求項１記載の半導体装置の製造方法において、前記（ｅ）工程に先立って、前記テープに貼り付けられた前記半導体ウエハの厚さを測定する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１記載の半導体装置の製造方法において、前記（ｆ）工程の後、以下の工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法；
（ｇ１）前記半導体ウエハの主面の切断領域を認識する工程、
（ｇ２）前記（ｇ１）工程の後、前記半導体ウエハの裏面から前記切断領域に切断刃を当てて前記半導体ウエハを切断する工程。
【請求項４】
請求項３記載の半導体装置の製造方法において、前記（ｇ１）工程においては、赤外線カメラを用いて前記半導体ウエハの裏面から前記半導体ウエハの主面の切断領域を認識することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１記載の半導体装置の製造方法において、前記（ｆ）工程の後、以下の工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法；
（ｇ１）前記半導体ウエハの主面の切断領域を認識する工程、
（ｇ２）前記（ｇ１）工程によって得られた切断領域のパターンデータを用いて、前記半導体ウエハの裏面から切断領域にレーザを照射し、前記半導体ウエハの内部に改質層を形成する工程、
（ｇ３）前記テープを引き伸ばすことにより、前記半導体ウエハを切断する工程。
【請求項６】
請求項５記載の半導体装置の製造方法において、前記（ｇ１）工程においては、赤外線カメラを用いて前記半導体ウエハの裏面から前記半導体ウエハの主面の切断領域を認識することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項７】
請求項１記載の半導体装置の製造方法において、前記（ｆ）工程の後、以下の工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法；
（ｇ１）前記半導体ウエハの主面の切断領域を認識する工程、
（ｇ２）前記半導体ウエハの裏面にダイアタッチ層を形成する工程、
（ｇ３）前記（ｇ１）工程の後、前記半導体ウエハの切断領域の前記ダイアタッチ層に第１切断刃を当てて切断する工程、
（ｇ４）前記（ｇ１）工程によって得られた切断領域のパターンデータを用いて、前記半導体ウエハの裏面から切断領域に前記第１切断刃よりもその幅が狭い第２切断刃を当てて前記半導体ウエハを切断する工程。
【請求項８】
請求項１記載の半導体装置の製造方法において、前記半導体ウエハを分割した後、前記テープを前記半導体ウエハの主面が貼り付けられた面とは反対の裏面側から吸引し、前記テープの主面と前記半導体チップの主面との接触状態を面接触から点接触に変えた状態で、前記半導体チップを取り出すことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項９】
請求項１記載の半導体装置の製造方法において、
（ｈ）前記半導体ウエハを分割することで前記半導体チップを取り出した後、搬送トレイの粘着テープに貼り付ける工程、
（ｉ）前記半導体チップを前記搬送トレイの粘着テープに貼り付けた状態で所望の場所に搬送する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項９記載の半導体装置の製造方法において、前記搬送トレイの粘着テープは紫外線を照射すると粘着性が低下する特性を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項９記載の半導体装置の製造方法において、前記搬送トレイの粘着テープは着脱自在の状態で前記搬送トレイに貼り付けられていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項９記載の半導体装置の製造方法において、前記搬送トレイの粘着テープは透明であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１３】
請求項１記載の半導体装置の製造方法において、前記半導体ウエハを分割することで前記半導体チップを取り出した後、所望の基板に実装する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１記載の半導体装置の製造方法において、前記（ｅ）工程後の半導体ウエハの厚さが１００μｍまたは１００μｍより薄いことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１記載の半導体装置の製造方法において、前記治具の枠体は、前記テープの主面に形成された接着層を介して貼り付けられていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１６】
請求項１５記載の半導体装置の製造方法において、前記半導体ウエハの主面は、前記テープの主面に形成された接着層を介して貼り付けられていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１７】
請求項１記載の半導体装置の製造方法において、前記(ｅ)工程の後に、前記半導体ウエハを研磨する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１８】
請求項１７記載の半導体装置の製造方法において、前記研磨する工程は、研磨パッドを用いて行われることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１９】
請求項１７記載の半導体装置の製造方法において、前記研磨する工程は、エッチング法により行われることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月4日(2007.4.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反応性ガスのプラズマを生成することにより、基板上に半導体装置を形成する半導体装置の製造方法であって、
前記基板の温度を調整する基板温調動作を開始した後に、前記反応性ガスを前記基板上に供給するガス供給動作を行い、
前記基板温調動作と、前記ガス供給動作と、を同時に定常化させることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記ガス供給動作を行った後に、真空容器内の圧力を所定値に調整する圧力調整動作を行うことを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記基板温調動作と、前記圧力調整動作と、を同時に定常化させることを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記基板温調動作は、前記基板と、当該基板が載置される載置部とを密着させる基板密着動作を含むことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
ガス供給手段と、高周波電源と、基板温調手段とを具備する半導体装置の製造装置であって、
請求項１から請求項４のいずれかに記載の半導体装置の製造方法を行うための制御手段を更に具備することを特徴とする半導体装置の製造装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
本発明の半導体装置の製造方法は、反応性ガスのプラズマを生成することにより、基板上に半導体装置を形成する半導体装置の製造方法であって、前記基板の温度を調整する基板温調動作を開始した後に、前記反応性ガスを前記基板上に供給するガス供給動作を行い、前記基板温調動作と、前記ガス供給動作と、を同時に定常化させることを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、前記半導体装置の製造方法においては、前記基板温調動作と、前記ガス供給動作と、を同時に定常化させるので、ガス供給動作が単独で行われることが無く、定常化過程に要する時間を短縮することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月17日(2007.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、第２の物質としては、水酸化物イオン濃度が高い場合に反応が促進される物質であることが好ましい。具体的には、過酸化水素、水素、ヒドラジン等を用いることができる。また、これらの物質を含有する液体、あるいは、化学変化によってこれらの物質を放出する液体、の状態で第２の物質を供給するようにしてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月7日(2007.5.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光記録媒体を移動機構に固定する固定装置であって、
上記光記録媒体の信号記録面とは反対側の非信号記録面を基準面として、上記移動機構に固定する固定機構を具備して成る
ことを特徴とする光記録媒体固定装置。
【請求項２】
上記固定機構は、上記光記録媒体の上記基準面と接する第１の固定部と、該第１の固定部とは上記光記録媒体を介して対向する位置に配置される第２の固定部とを有し、
上記第１及び第２の固定部が上記光記録媒体を介して固定されると共に、上記第１の固定部が上記移動機構に固定されることによって、上記光記録媒体が上記移動機構に固定される
ことを特徴とする請求項１記載の光記録媒体固定装置。
【請求項３】
上記第１の固定部の上記光記録媒体への接触面積が、上記第２の固定部の上記光記録媒体への接触面積よりも大とされる
ことを特徴とする請求項２記載の光記録媒体固定装置。
【請求項４】
上記第１の固定部の硬度が、上記第２の固定部の硬度よりも小とされて成る
ことを特徴とする請求項２記載の光記録媒体固定装置。
【請求項５】
上記第１の固定部の、上記光記録媒体の上記基準面と接する位置に、凹部が設けられて成る
ことを特徴とする請求項２記載の光記録媒体固定装置。
【請求項６】
上記第２の固定部の、少なくとも上記光記録媒体の上記信号記録面と接する位置が、凸状に形成されて成る
ことを特徴とする請求項２記載の光記録媒体固定装置。
【請求項７】
光記録媒体を移動機構に固定する光記録媒体の固定方法であって、
上記光記録媒体の信号記録面とは反対側の非信号記録面を基準面として、上記光記録媒体を上記移動機構に固定する
ことを特徴とする光記録媒体の固定方法。
【請求項８】
上記光記録媒体の上記基準面と接する第１の固定部と、該第１の固定部と上記光記録媒体を介して対向する位置に配置される第２の固定部とを用いて、上記第１及び第２の固定部を上記光記録媒体を介して固定すると共に、上記第１の固定部を上記移動機構に固定することにより上記光記録媒体を上記移動機構に固定する
ことを特徴とする請求項７記載の光記録媒体の固定方法。
【請求項９】
光記録媒体の信号記録面に光を照射して信号の記録及び／又は再生を行う光記録再生装置であって、
上記光記録媒体の移動機構において、上記光記録媒体の非信号記録面を基準面として上記移動機構に固定する固定機構が設けられて成る
ことを特徴とする光記録再生装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
上述したように、本発明による光記録媒体固定装置及び光記録媒体の固定方法は、光記録媒体の信号記録面とは反対側の非信号記録面を基準面として移動機構に固定するものであり、信号記録面の表面性に依存せず、その裏面の非信号記録面を基準面として固定することから、信号記録面を基準面とする従来の固定装置と比較して、より平面度の高い面を基準面とすることにより移動機構に対して一定の角度を保持して固定することができると共に、光記録媒体の歪の発生を低減化することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
以下、本発明を実施するための最良の形態の例を説明するが、本発明は以下の例に限定されるものではない。
本発明による光記録媒体固定装置は、図１にその一例の概略構成を示すように、光記録媒体１の信号記録面２とは反対側の非信号記録面３に、固定部いわゆるクランパを接触させて、この非信号記録面３を基準面として固定する固定機構１０を有する構成とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
ここで、第１の固定部１１を例えば金属または比較的硬質の樹脂より構成し、一方第２の固定部１２を比較的硬度の低い樹脂等より構成することによって、また上述したように、第１の固定部１１による光記録媒体１への接触面積を、第２の固定部１２による接触面積に比して大とすることによって、これら固定機構１０による光記録媒体１に生じる歪は、第１の固定部１１によるものが支配的となる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2005332448.tif 000001
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2005332448.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月7日(2007.5.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
このようなチルト制御を行う方法として、弾性体などを用いて対物レンズを保持するヘッド部を傾ける方法の他に、ヘッド部自体を駆動してアクチュエーターによりヘッド部を傾けて、光ディスクのディスク面とのチルトを補正する方法が提案されている（例えば特許文献１及び２参照。）。
【特許文献１】特開平２−１３０７３５号公報
【特許文献２】特開２０００−２６００４３号公報
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明による光記録再生装置は、光源と、光記録媒体に対向して配置され、光源から出射された光を光記録媒体に集光させるヘッド部と、光記録媒体とヘッド部とを相対的に移動させる移動機構部と、ヘッド部と光記録媒体との距離を一定に保持する駆動部と、記光記録媒体の記録面に対するヘッド部のチルトを可変するチルトアクチュエーターと、記録面に対するヘッド部との距離を一定に保持するように駆動部を制御する第１の制御部と、記録面に対するヘッド部のチルトを補正するようにチルトアクチュエーターを制御する第２の制御部とを有し、チルトアクチュエーターが、ヘッド部の光軸に対し光記録媒体の略ラジアル方向及びタンジェンシャル方向に延長する位置に設けられて成ることを特徴とする。
更に、本発明は、上述の光記録再生装置において、チルトアクチュエーターのうち少なくとも１つがステッピングモーターより成ることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
光記録媒体１１から反射された光は、１／４波長板８を通り再び直線偏光になった後、偏光ビームスピリッター６により反射され、シリンドリカルレンズ５を介してフォトディ
テクタ１２より成る検出部４４にて検出される。フォトディテクタ１２では、戻り光量が非点収差法、ナイフエッジ法等によって検出され、フォーカスエラー信号Ｅｆとして光記録媒体１１の記録面とヘッド部４２のレンズ９１との距離を制御するサーボ、例えばフォーカスサーボ１５に出力される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
図４は、本発明の光学ピックアップ装置の一例における要部の概略構成を示す。この場合、ヘッド部のレンズ９１は、台座８０上に配置される例えばボイスコイルモーター９２及び永久磁石９３より成る従来の光記録再生装置において用いられる通常の２軸構成のレンズアクチュエーター１０によって、図４において矢印ｘ及びｚで示す光記録媒体のラジアル方向（トラッキング方向）及びフォーカス方向に駆動可能とされる。
このような構成において、フォーカス制御電圧Ｖｆないし、トラッキング制御電圧Ｖｔをボイスコイルモーター９２にそれぞれ端子２１及び２２から印加することで、フォーカス軸ないしラジアル軸方向に対物レンズ９１を移動させる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
図７Ａ及びＢは、上述の本発明光学ピックアップ装置において用いることが可能な一般的なチルトセンサーの一例の検出態様を示した概略構成図である。図７Ａに示すように、チルトセンサー９０は、ＬＥＤ等より成る発光手段２５とフォトディテクタ（ＰＤ）等よりなる受光手段２６とから成る。発光手段２５からの光は光記録媒体１１を照射し、戻り光を受光手段２６で受ける。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
図９Ａに示すように、チルト角がゼロの場合は、台座８０が光記録媒体１１の記録面に対し略平行とされる。このとき、チルトアクチュエーター９は、ラジアルチルトアクチュエーター２３及びタンジェンシャルチルトアクチュエーター２４の高さが共にｄであるとする。なお、矢印ｘ及びｙは、それぞれラジアル軸及びタンジェンシャル軸、また一点鎖線ｖは、台座８０上のレンズアクチュエーター１０に保持されるレンズ（図示せず）の中心位置から延長する台座８０の垂線を示す。また、台座８０の表面に沿う平面を一点鎖線ｈで示す。点Ｃは台座８０のラジアルチルト補正方向に関する回転中心位置であり、この場合タンジェンシャルチルトアクチュエーター２４の台座８０への固定位置に略一致する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
次に、本発明による光学ピックアップ装置において、台座を第１及び第２の台座８１及び８２より構成する場合について、図１０の要部の概略構成図を参照して説明する。図１０において、図４と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
この例においては、レンズ９１の光軸からそれぞれ光記録媒体のタンジェンシャル方向及びラジアル方向に延長する位置に、第１及び第２のラジアルチルトアクチュエーター２３Ａ及び２３Ｂ、第１及び第２のタンジェンシャルチルトアクチュエーター２４Ａ及び２４Ｂを設ける場合を示す。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
また、図１２に同様に台座の下面から見た配置例の概略構成を示すように、図１１Ａにおいて説明した例と同様に各チルトアクチュエーター２３Ａ及び２３Ｂ、２４Ａ及び２４Ｂを配置するとともに、それぞれ一点鎖線ｘ及びｙで示す各軸の延長する逆方向に、それぞれ支点となるピボット２５〜２８を配置する構成としてもよい。この場合は、台座を４点で支えることからより安定させることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
１．情報源、２．パワー制御手段、３．光源、４．コリメーターレンズ、５．グレーティング、６．偏光ビームスプリッター、７．ミラー、８．１／４波長板、９．チルトアクチュエーター、１０．レンズアクチュエーター、１１．光記録媒体、１２．フォトディテクタ、１５．フォーカスサーボ、１６．チルトサーボ、１７．回転手段、１８．回転軸、２０．電圧印加手段、２１．端子、２２．端子、２３．ラジアルチルトアクチュエーター、２４．タンジェンシャルチルトアクチュエーター、４１．光学部、４２．ヘッド部、４３．駆動部、４４．光検出部、４５．第１の制御部、４６．第２の制御部、４７．移動機構部、８０．台座、９０．チルトセンサー、９１．レンズ、９２．ボイスコイルモーター、９３．永久磁石
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2005332449.tif 000001
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2005332449.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月1日(2007.3.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持されたデータごとに異なったデータ保持特性を持つメモリセルが集積されたセルアレイを具備し、
前記メモリセルが保持するデータを、一定の時間ごとにリフレッシュする第１リフレッシュ動作と、
前記第１リフレッシュ動作間に前記セルアレイに対するライト動作を生じたとき、前記メモリセルが保持するデータを、このライト動作後にリフレッシュする第２リフレッシュ動作とを行い、
前記ライト動作を生じる毎に、前記セルアレイに対するリフレッシュサイクルを先に進めることを特徴とする半導体集積回路装置。
【請求項２】
保持されたデータごとに異なったデータ保持特性を持つメモリセルが集積された第１、第２セルアレイと、
前記第１セルアレイ内のメモリセル、及び第２セルアレイ内のメモリセルのうち、データをリフレッシュするメモリセルを選択するリフレッシュアドレス発生カウンタとを具備し、
前記リフレッシュアドレス発生カウンタは、
前記第１セルアレイ内のメモリセルを、カウント値に従って選択する第１カウンタと、
前記第２セルアレイ内のメモリセルを、カウント値に従って選択する第２カウンタと、
前記第１、第２セルアレイの１つを、カウント値に従って選択する第３カウンタとを含み、
一定の時間ごとに行う第１リフレッシュ動作において、データをリフレッシュするメモリセルを、前記第１、第２カウンタの１つ、及び前記第３カウンタそれぞれを用いて選択し、前記第１リフレッシュ動作後に、前記第１、第２カウンタのうち、前記メモリセルを選択したカウンタのカウント値、及び前記第３カウンタのカウント値を、それぞれ次のカウント値に更新し、
前記第１リフレッシュ動作間に前記第１、第２セルアレイの１つに対してライト動作を生じたとき、このライト動作後に行う第２リフレッシュ動作時において、リフレッシュするメモリセルを、前記第１、第２カウンタのうち、前記ライト動作を行ったセルアレイ内のメモリセルを選択するカウンタを用いて選択し、前記第２リフレッシュ動作後に、前記第１、第２カウンタのうち、前記メモリセルを選択したカウンタのカウント値を、次のカウント値に更新することを特徴とする半導体集積回路装置。
【請求項３】
ビット情報を保持する単位ラッチと、
前記単位ラッチは複数個接続されて両端の単位ラッチを有するグループをなし、
グループ内の隣接するラッチ間でビット情報を転送し、
ビットデータの転送のタイミングを決めるクロック信号と、
両端以外のある単位ラッチが隣接する単位ラッチのいずれにビットデータを転送するかを指示する転送方向信号とを有し、
転送方向信号は、一定のビットデータが両端の単位ラッチに達したら転送方向の逆転を指示し、一定のビットデータを保持する前記単位ラッチのグループ内の単位ラッチの位置と転送方向の指示状態によって、前記クロック信号のカウント数に応じたクロックカウント信号を発生する半導体集積回路装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
この発明の第１態様に係る半導体集積回路装置は、保持されたデータごとに異なったデータ保持特性を持つメモリセルが集積されたセルアレイを具備し、前記メモリセルが保持するデータを、一定の時間ごとにリフレッシュする第１リフレッシュ動作と、前記第１リフレッシュ動作間に前記セルアレイに対するライト動作を生じたとき、前記メモリセルが保持するデータを、このライト動作後にリフレッシュする第２リフレッシュ動作とを行い、前記ライト動作を生じる毎に、前記セルアレイに対するリフレッシュサイクルを先に進める。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
この発明の第２態様に係る半導体集積回路装置は、保持されたデータごとに異なったデータ保持特性を持つメモリセルが集積された第１、第２セルアレイと、前記第１セルアレイ内のメモリセル、及び第２セルアレイ内のメモリセルのうち、データをリフレッシュするメモリセルを選択するリフレッシュアドレス発生カウンタとを具備し、前記リフレッシュアドレス発生カウンタは、前記第１セルアレイ内のメモリセルを、カウント値に従って選択する第１カウンタと、前記第２セルアレイ内のメモリセルを、カウント値に従って選択する第２カウンタと、前記第１、第２セルアレイの１つを、カウント値に従って選択する第３カウンタとを含み、一定の時間ごとに行う第１リフレッシュ動作において、データをリフレッシュするメモリセルを、前記第１、第２カウンタの１つ、及び前記第３カウンタそれぞれを用いて選択し、前記第１リフレッシュ動作後に、前記第１、第２カウンタのうち、前記メモリセルを選択したカウンタのカウント値、及び前記第３カウンタのカウント値を、それぞれ次のカウント値に更新し、前記第１リフレッシュ動作間に前記第１、第２セルアレイの１つに対してライト動作を生じたとき、このライト動作後に行う第２リフレッシュ動作時において、リフレッシュするメモリセルを、前記第１、第２カウンタのうち、前記ライト動作を行ったセルアレイ内のメモリセルを選択するカウンタを用いて選択し、前記第２リフレッシュ動作後に、前記第１、第２カウンタのうち、前記メモリセルを選択したカウンタのカウント値を、次のカウント値に更新する。
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月9日(2007.4.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報記録媒体上に第１の光スポット及び第２の光スポットを形成する手段と、
前記第１の光スポットからの反射光を検出する第１の検出器と、
前記第２の光スポットからの反射光を検出する第２の検出器と、
前記第１の検出器からの出力信号の周波数特性を少なくとも調整する第１の等化器と、
前記第２の検出器からの出力信号の周波数特性を少なくとも調整する第２の等化器と、
前記第１の等化器からの出力と前記第２の等化器からの出力を演算する演算回路と、
前記演算回路の出力信号から前記情報記録媒体上の記録情報を復号する復号処理部と、
前記復号処理部の出力から目標信号を生成する目標信号生成部と、
前記目標信号生成部の出力レベルと前記演算回路の出力値とを比較して前記第１の等化器及び／又は第２の等化器の等化係数の補正値を算出する補正値生成部と、
前記補正値を前記第１の等化器及び／又は第２の等化器に入力する入力手段とを有することを特徴とする情報再生装置。
【請求項２】
情報記録媒体上に第１の光スポット及び第２の光スポットを形成する手段と、
前記第１の光スポットからの反射光を検出する第１の検出器と、
前記第２の光スポットからの反射光を検出する第２の検出器と、
前記第２の検出器からの出力信号の周波数特性を少なくとも調整する第１の等化器と、
前記第１の検出器の出力と前記第１の等化器の出力を演算する演算回路と、
前記演算回路の出力信号の周波数特性を少なくとも調整する第２の等化器と、
前記第２の等化器の出力信号から前記情報記録媒体上の記録情報を復号する復号処理部と、
前記復号処理部の出力から目標信号を生成する目標信号生成部と、
前記目標信号生成部の出力レベルと前記演算回路の出力値とを比較して前記第１の等化器及び／又は第２の等化器の等化係数の補正値を算出する補正値生成部と、
前記補正値を前記第１の等化器及び／又は第２の等化器に入力する入力手段とを有することを特徴とする情報再生装置。
【請求項３】
請求項１記載の情報再生装置において、前記情報記録媒体上に第３の光スポットを形成する手段と、前記第３の光スポットからの反射光を検出する第３の検出器と、前記第３の検出器からの出力信号の周波数特性を少なくとも調整する第３の等化器とを有し、
前記演算回路は、前記第１の等化器からの出力と前記第２、第３の等化器からの出力とを演算し、前記補正値生成部は、前記目標信号生成部の出力レベルと前記演算回路の出力値を比較して前記第１の等化器及び／又は第２、第３の等化器の等化係数の補正値を算出し、前記入力手段は、前記補正値を前記第１の等化器及び／又は第２、第３の等化器に入力することを有することを特徴とする情報再生装置。
【請求項４】
請求項２記載の情報再生装置において、前記情報記録媒体上に第３の光スポットを形成する手段と、前記第３の光スポットからの反射光を検出する第３の検出器と、前記第３の検出器からの出力信号の周波数特性を少なくとも調整する第３の等化器とを有し、
前記演算回路は、前記第１の検出器の出力と前記第２、第３の等化器の出力とを演算し、前記補正値生成部は、前記目標信号生成部の出力レベルと前記演算回路の出力値を比較して前記第１の等化器及び／又は第２、第３の等化器の等化係数の補正値を算出し、前記入力手段は、前記補正値を、前記第１の等化器及び／又は第２、第３の等化器に入力することを特徴とする情報再生装置。
【請求項５】
情報記録媒体上にメインスポットと一つ以上のサブスポットを形成するステップと、
前記メインスポットからの反射光を第１の検出器で検出し、前記サブスポットからの反射光を第２の検出器で検出するステップと、
第１と第２の等化器によって前記第１と第２の検出器からの出力信号の周波数特性を少なくとも調整するステップと、
前記第１と第２の検出器からの出力信号及び前記第１と第２の等化器からの出力信号間で相互算術演算するステップとを有し、
前記相互算術演算するステップでは、前記メインスポットが位置する前記情報記録媒体上の情報トラックの隣接トラックからのクロストークの影響が最小になるように前記第１及び第２の等化器の等化係数を補正することを特徴とする情報再生方法。
【請求項６】
請求項５記載の情報再生方法において、再生リトライ時あるいは記録学習時に前記第２の検出器からの出力信号を実効的にオフにすることを特徴とする情報再生方法。
【請求項７】
請求項５記載の情報再生方法において、前記第１及び第２の等化器の等化係数を学習するステップと、学習した等化係数を前記第１及び第２の等化器に設定して情報の再生を行うステップを有することを特徴とする情報再生方法。