【手続補正書】
【提出日】平成19年3月13日(2007.3.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】撥液体層の形成方法、液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッド
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  液体を吐出する吐出口を有する液体吐出ヘッドの前記吐出口を形成する部材への撥液体層の形成方法において、
前記部材となる第一の活性エネルギー線硬化性材料の層と、前記撥液体層となる第二の活性エネルギー線硬化性材料の層と、の積層物を形成する工程と、
前記積層物を露光する工程と、
前記積層物を現像することにより前記吐出口を形成する工程と、
を有することを特徴とする撥液体層の形成方法。
【請求項２】  前記積層物を形成する工程は、前記第一の活性エネルギー線硬化性材料の層上に、前記第二の活性エネルギー線硬化性材料の層を形成することを特徴とする請求項１に記載の撥液体層の形成方法。
【請求項３】  前記積層物を形成する工程は、前記第一の活性エネルギー線硬化性材料の層の上に、前記第二の活性エネルギー線硬化性材料を微粒子にして吹き付けて形成することを特徴とする請求項２に記載の撥液体層の形成方法。
【請求項４】  前記積層物を形成する工程は、フレキソ印刷機を用いて前記第二の活性エネルギー線硬化性材料の層を形成することを特徴とする請求項２に記載の撥液体層の形成方法。
【請求項５】  前記積層物を形成する工程は、前記第一の活性エネルギー線硬化性材料の層の上に、前記第二の活性エネルギー線硬化性材料をフィルム化して貼り付けて形成することを特徴とする請求項２に記載の撥液体層の形成方法。
【請求項６】  前記第一の活性エネルギー線硬化性材料は、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤と、を含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の撥液体層の形成方法。
【請求項７】  前記第二の活性エネルギー線硬化性材料は、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤と、を含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の撥液体層の形成方法。
【請求項８】  液体を吐出するために用いられるエネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられた基板と、液体を吐出する吐出口と、前記吐出口が開口している面に形成された撥液体層と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記基板上に前記吐出口を形成する部材を形成するための第一の活性エネルギー線硬化性材料の層を形成する工程と、
前記第一の活性エネルギー線硬化性材料の層上に、前記撥液体層となる前記第二の活性エネルギー線硬化性材料を形成する工程と、
前記第二の活性エネルギー線硬化性材料および前記第一の活性エネルギー線硬化性材料を露光する工程と、
前記第一の活性エネルギー線硬化性材料および前記第二の活性エネルギー線硬化性材料を現像することにより前記吐出口を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】  前記基板上に、少なくとも前記吐出口と連通する液路となる部分を占有する固体層を形成し、前記固体層上に、前記第一の活性エネルギー線硬化性材料の層を形成することを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】  前記第一の活性エネルギー線硬化性材料の層の上に、前記第二の活性エネルギー線硬化性材料を微粒子にして吹き付けて形成することを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１１】  前記第一の活性エネルギー線硬化性材料の層の上に、前記第二の活性エネルギー線硬化性材料をフィルム化して貼り付けて形成することを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】  液体を吐出する吐出口を形成する部材と、前記吐出口が開口している面に形成された撥液体層と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記撥液体層は、エポキシ樹脂のカチオン重合物により形成されることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１３】  前記部材は、エポキシ樹脂のカチオン重合物により形成されることを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、撥液体層の形成方法、液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッドに関し、特にインクジェット記録方式に用いる記録液滴を発生するためのインクジェット記録ヘッドの製造方法及び該製造方法により製造されたインクジェット記録ヘッドに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
このような方法を実現するためのインクジェット記録ヘッドとしては、電気熱変換素子とオリフィスとの距離（以下、“ＯＨ距離”と略称する）が短い方が好ましい。また、前記方法においては、ＯＨ距離がその吐出体積をほぼ決定するため、ＯＨ距離を正確に、また再現良く設定できることが必要である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、気泡の成長方向と吐出方向とがほぼ同じタイプのインクジェット記録ヘッドの製造方法としては、例えば特開昭５８−８６５８号公報に記載されている方法、すなわち、基体とオリフィスプレートとなるドライフィルムとをパターニングされた別のドライフィルムを介して接合し、フォトリソグラフィーによってオリフィスを形成する方法や、特開昭６２−２６４９７５号公報に記載されている方法、すなわち、インク吐出圧力発生素子が形成された基体と電鋳加工により製造されるオリフィスプレートとをパターニングされたドライフィルムを介して接合する方法等がある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
しかしながら、従来用いられているスピンコート法では、第一の活性エネルギー線硬化材料であるノズル形成材料と、第２の活性エネルギー線硬化材料である撥インク性である表面処理材料とが互いに溶け合う場合、相溶してしまい、ノズル形成材料は撥インク性を帯びたり、撥インク性材料は撥インク性が減少する等の個々の特性がでなくなるばかりか、膜厚分布なども大幅に乱れてしまうという問題点があった。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明は、以上のような局面にかんがみてなされたもので、これらの問題点を解消するための撥液体層の形成方法、液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッドの提供を目的としている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【課題を解決するための手段】
このため、本発明においては、以下の各項（１）〜（１３）のいずれかに示す撥液体層の形成方法、液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッドを提供することにより、前記目的を達成しようとするものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
（１）液体を吐出する吐出口を有する液体吐出ヘッドの前記吐出口を形成する部材への撥液体層の形成方法において、前記部材となる第一の活性エネルギー線硬化性材料の層と、前記撥液体層となる第二の活性エネルギー線硬化性材料の層と、の積層物を形成する工程と、前記積層物を露光する工程と、前記積層物を現像することにより前記吐出口を形成する工程と、を有することを特徴とする撥液体層の形成方法。
（２）前記積層物を形成する工程は、前記第一の活性エネルギー線硬化性材料の層上に、前記第二の活性エネルギー線硬化性材料の層を形成することを特徴とする前記（１）に記載の撥液体層の形成方法。
（３）前記積層物を形成する工程は、前記第一の活性エネルギー線硬化性材料の層の上に、前記第二の活性エネルギー線硬化性材料を微粒子にして吹き付けて形成することを特徴とする前記（２）に記載の撥液体層の形成方法。
（４）前記積層物を形成する工程は、フレキソ印刷機を用いて前記第二の活性エネルギー線硬化性材料の層を形成することを特徴とする前記（２）に記載の撥液体層の形成方法。
（５）前記積層物を形成する工程は、前記第一の活性エネルギー線硬化性材料の層の上に、前記第二の活性エネルギー線硬化性材料をフィルム化して貼り付けて形成することを特徴とする前記（２）に記載の撥液体層の形成方法。
（６）前記第一の活性エネルギー線硬化性材料は、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤と、を含むことを特徴とする前記（１）ないし（５）のいずれかに記載の撥液体層の形成方法。
（７）前記第二の活性エネルギー線硬化性材料は、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤と、を含むことを特徴とする前記（１）ないし（５）のいずれかに記載の撥液体層の形成方法。
（８）液体を吐出するために用いられるエネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられた基板と、液体を吐出する吐出口と、前記吐出口が開口している面に形成された撥液体層と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、前記基板上に前記吐出口を形成する部材を形成するための第一の活性エネルギー線硬化性材料の層を形成する工程と、前記第一の活性エネルギー線硬化性材料の層上に、前記撥液体層となる前記第二の活性エネルギー線硬化性材料を形成する工程と、前記第二の活性エネルギー線硬化性材料および前記第一の活性エネルギー線硬化性材料を露光する工程と、前記第一の活性エネルギー線硬化性材料および前記第二の活性エネルギー線硬化性材料を現像することにより前記吐出口を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
（９）前記基板上に、少なくとも前記吐出口と連通する液路となる部分を占有する固体層を形成し、前記固体層上に、前記第一の活性エネルギー線硬化性材料の層を形成することを特徴とする前記（８）に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
（１０）前記第一の活性エネルギー線硬化性材料の層の上に、前記第二の活性エネルギー線硬化性材料を微粒子にして吹き付けて形成することを特徴とする前記（９）に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
（１１）前記第一の活性エネルギー線硬化性材料の層の上に、前記第二の活性エネルギー線硬化性材料をフィルム化して貼り付けて形成することを特徴とする前記（９）に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
（１２）液体を吐出する吐出口を形成する部材と、前記吐出口が開口している面に形成された撥液体層と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記撥液体層は、エポキシ樹脂のカチオン重合物により形成されることを特徴とする液体吐出ヘッド。
（１３）前記部材は、エポキシ樹脂のカチオン重合物により形成されることを特徴とする前記（１２）に記載の液体吐出ヘッド。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
【作用】
以上のような本発明によれば、吐出口部の撥インク性感光性材料とインク流路形成材料とを同時にパターニングされ、また、撥インク感光性材料とインク流路形成材料との相溶の問題もないため、各吐出口に均一で安定した撥インク領域を作ることができる。