【手続補正書】
【提出日】平成19年10月16日(2007.10.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】照射光振分機構およびそれを備えた装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源部から照射された紫外線を含む光を、反射させる複数枚の反射鏡と、これらの反射鏡の角度を、それぞれ所定角度に固定した状態で保持する保持部と、この保持部を所定位置に移動する移動手段と、を備えることを特徴とする照射光振分機構。
【請求項２】
前記保持部は、前記移動手段により直線方向に移動することを特徴とする請求項１に記載の照射光振分機構。
【請求項３】
光源部から照射された紫外線を含む光を第１光学経路または第２光学経路に向けて反射して振分ける照射光振分機構を備えた装置であって、
前記照射光振分機構は、第１反射鏡と第２反射鏡と、
これらの第１反射鏡および第２反射鏡を予め所定角度に固定した状態で保持する保持部と、を有し、
前記保持部が所定位置に移動することにより、光源部から照射された紫外線を含む光が前記第１反射鏡に照射されると前記第１光学経路に向けて反射され、前記第２反射鏡に照射されると前記第２光学経路に向けて反射されることを特徴とする照射光振分機構を備えた装置。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載の照射光振分機構を備え、基板の両面を露光する装置であって、
前記照射光振分機構によって第１光学経路に振分けられた光を、前記基板の一面の露光処理が行なわれる第１露光処理位置に導く第１光学手段と、
前記照射光振分機構によって第２光学経路に振分けられた光を、前記基板の他面の露光処理が行なわれる第２露光処理位置に導く第２光学手段と、
前記第１光学手段を介して前記基板の一面を露光処理する第１露光処理部と、
前記第２光学手段を介して前記基板の他面を露光処理する第２露光処理部と、を備えることを特徴とする照射光振分機構を備えた装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特に、両面露光装置に用いられる場合に都合がよく、光源部から照射された光を、一方と他方とに振分けるための照射光振分機構、および、それを有する装置に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
したがって、本発明は前記した問題点に鑑み、光を反射させる反射鏡の角度のずれを防止する照射光振分機構、および、光源部から照射された光を所定の方向に振分けるための照射光振分機構を備え、光を反射させる反射鏡の角度のずれを防止し、かつ冷却機構を改善して反射鏡の劣化を防止することによって極めて安定な露光処理を行なうことができる装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
すなわち、前記した課題を解決するための本発明の請求項１に係る照射光振分機構は、光源部から照射された紫外線を含む光を、反射させる複数枚の反射鏡と、これらの反射鏡の角度を、それぞれ所定角度に固定した状態で保持する保持部と、この保持部を所定位置に移動する移動手段と、を備えることを特徴とする。なお、露光装置に用いる場合には、照射光振分機構は、基板の一面と他面に、マスクを介して所定波長の光を照射して前記基板の両面を露光するための露光装置に用いられる照射光振分機構において、前記照射光振分機構は、光源部から照射された光を、反射させる反射鏡と、これらの反射鏡の角度を、それぞれ所定角度に固定した状態で保持する保持部と、この保持部を所定位置に移動する移動手段とを備える構成であることが好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項２に係る照射光振分機構は、請求項１に記載の照射光振分機構において、前記保持部が、前記移動手段により直線方向に移動することを特徴とする。
なお、請求項１において、前記照射光振分機構は、反射鏡を冷却するための冷却機構が設けられて構成されることであってもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項３に係る装置は、光源部から照射された紫外線を含む光を第１光学経路または第２光学経路に向けて反射して振分ける照射光振分機構を備えた装置であって、前記照射光振分機構は、第１反射鏡と第２反射鏡と、これらの第１反射鏡および第２反射鏡を予め所定角度に固定した状態で保持する保持部と、を有し、前記保持部が所定位置に移動することにより、光源部から照射された紫外線を含む光が前記第１反射鏡に照射されると前記第１光学経路に向けて反射され、前記第２反射鏡に照射されると前記第２光学経路に向けて反射されることを特徴とするものである。
なお、装置として露光装置に用いる場合は、請求項１または請求項２に記載の照射光振分機構が備えられ、基板の一面と他面に、マスクを介して所定波長の光を照射して前記基板の両面を露光するための露光装置であって、前記照射光振分機構によって第１光学経路に振分けられた光を、前記基板の一面の露光処理が行なわれる第１露光処理位置に導く第１光学手段と、前記照射光振分機構によって第２光学経路に振分けられた光を、前記基板の他面の露光処理が行なわれる第２露光処理位置に導く第２光学手段と、前記基板を、各所定位置に搬送する搬送手段と、この搬送手段により搬送された基板とを位置決めし、前記第１光学手段を介して露光処理する第１露光処理部と、この第１露光処理部により、片面が露光処理された前記基板を反転して、前記搬送手段により搬送し、その搬送された基板を位置決めし、前記第２光学手段を介して露光処理する第２露光処理部とを備えることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
他方、第２露光処理部７０にある基板Ｗに対して露光処理を施すときには、照射光振分機構２が矢印に沿って図１の左側方向に移動して、光源部１０の下部に設けられた図示しないシャッタ機構が開かれ、光源部１０から照射された光を図１の右側の光学調整手段３に向けて反射させ、図示しないシャッタ機構が開かれ、基板Ｗに光源部１０からの光が第２露光処理部７０に与えられる。このとき図示しないシャッタは閉じられた状態にある。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１        露光装置
２        照射光振分機構
２Ａ，２０Ａ，２Ｂ，２０Ｂ    反射鏡
３        光学調整手段
１３，１４，１５  照射光振分機構に用いられる照射光振分用反射鏡
１３Ａ，１３Ｂ，１４Ａ，１４Ｂ，１５Ａ，１５Ｂ  反射鏡
４        第１光学手段
５        第２光学手段
６，１６，６０    ホルダ
６ａ      吸着板
６０ａ    吸着板
７，１７  第１露光処理部
７０，２７    第２露光処理部
８，８０  装置ハウジング
９        第１露光機構
９０      第２露光機構
１０      光源部
Ｃ        冷却装置
Ｍ１      第１露光処理部に備えられたマスク
Ｍ２      第２露光処理部に備えられたマスク
３０，３１    マスク枠
Ｘ１，Ｘ２    平面反射鏡
４１      曲面反射鏡
Ｗ        基板