【手続補正書】
【提出日】平成20年9月16日(2008.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  （ａ）酸の作用で硬化する化合物、又は酸の作用でその溶解度が増加する化合物；及び
（ｂ）感光性酸供与体として、式（Ｉ）、（II）、（III）、（IV）、（Ｖ）、（VI）又は（VII）：
【化１】
2004510189.tif 000001
〔式中、
Ｒ1は、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンファリルスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、Ｃ3−Ｃ12シクロアルキルスルホニル、フェニルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニル（ここで、基Ｃ3−Ｃ12シクロアルキルスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル及びフェナントリルスルホニルの基シクロアルキル、フェニル、ナフチル、アントラシル及びフェナントリルは、非置換か、又はハロゲン、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル、ＣＮ、ＮＯ2、Ｃ1−Ｃ16アルキル、フェニル、Ｃ1−Ｃ4アルキルチオ、ＯＲ4、（ＣＯ）ＯＲ7、Ｃ1−Ｃ4アルキル−（ＣＯ）Ｏ−、Ｒ7ＯＳＯ2−及び／若しくは−ＮＲ5Ｒ6の１個以上で置換されている）であるか；或いはＲ1は、Ｃ2−Ｃ6ハロアルカノイル、ハロベンゾイル又は下記式：
【化２】
2004510189.tif 000002
の基であり；
Ｘ1、Ｘ2及びＸ3は、互いに独立して、Ｏ又はＳであり；
Ｒ2は、ハロゲン又はＣ1−Ｃ10ハロアルキルであり；
Ｒ3は、フェニレンジスルホニル、ナフチレンジスルホニル、下記式：
【化３】
2004510189.tif 000003
の基、ジフェニレンジスルホニル又はオキシジフェニレンジスルホニル（ここで、これらの基は非置換か、又はＣ1−Ｃ12アルキルで置換されている）であるか；或いはＲ3は、Ｃ2−Ｃ12アルキレンジスルホニルであり；
Ａｒ1は、直接結合、非置換のＣ1−Ｃ12アルキレン、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキルで置換されているＣ1−Ｃ12アルキレンであるか；或いはＡｒ1は、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキレン、Ｃ1−Ｃ8ハロアルキレン、Ｃ2−Ｃ12アルケニレン、Ｃ4−Ｃ8シクロアルケニレン、Ｃ6−Ｃ12ビシクロアルケニレンであるか；或いはＡｒ1は、フェニレン（これは、非置換か、又はＣ1−Ｃ12アルキル、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキル、ハロゲン、フェニル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／若しくはＳＯ2Ｒ7の１個以上で置換され、場合により置換基ＯＲ4、ＳＲ7及びＮＲ5Ｒ6は、基Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6及び／若しくはＲ7を介して、フェニレン環の更なる置換基と、又はフェニレン環の炭素原子のうちの１個と５員若しくは６員環を形成する）であるか；或いはＡｒ1は、ナフチレン、アントラシレン又はフェナントリレン環（ここで、基ナフチレン、アントラシレン及びフェナントリレンは、非置換か、又はＣ1−Ｃ6アルキル、フェニル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／若しくはＳＯ2Ｒ7で置換され、場合により置換基ＯＲ4、ＳＲ7及びＮＲ5Ｒ6は、基Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6及び／若しくはＲ7を介して、ナフチレン、アントラシレン若しくはフェナントリレン環の更なる置換基と、又はナフチレン、アントラシレン若しくはフェナントリレン環の炭素原子のうちの１個と５員若しくは６員環を形成する）であるか；或いはＡｒ1は、ヘテロアリーレン環（これは、非置換か、又はＣ1−Ｃ6アルキル、フェニル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ7及び／若しくはＳＯ2Ｒ7で置換され、場合により置換基ＯＲ4、ＳＲ7及びＮＲ5Ｒ6は、基Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6及び／若しくはＲ7を介して、ヘテロアリーレン環の更なる置換基と、又はヘテロアリーレン環の炭素原子のうちの１個と５員若しくは６員環を形成する）であり；
ここで、全ての基Ａｒ1は、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ａ1、Ａ2、Ａ3、Ａ4、Ａ5、Ａ6、Ａ7、Ａ8、Ａ9、Ａ10、Ａ11及びＡ12は、互いに独立して、直接結合、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ4−、−ＣＯ−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ4（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−又は−ＯＳＯ2−であるか；或いはＡ1、Ａ2、Ａ3、Ａ4、Ａ5、Ａ6、Ａ7、Ａ8、Ａ9、Ａ10、Ａ11及びＡ12は、Ｃ1−Ｃ12アルキレン又はフェニレン（ここで、これらの基は非置換か、又はＣ1−Ｃ12アルキル、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル、ハロゲン、ＯＲ4及び／若しくはＳＲ7の１個以上で置換されている）であり；
Ｙ1は、Ｃ1−Ｃ12アルキレン（これは、ＯＲ4、ＳＲ7、ハロゲン及び／又はフェニルで置換されている）であるか；或いはＹ1は、Ｃ2−Ｃ12アルキレン（これは、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ4−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ4（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−及び／又は−ＯＳＯ2−の１個以上により中断され、そして基Ｃ2−Ｃ12アルキレンは、ＯＲ4、ＳＲ7、ハロゲン及び／又はフェニルで置換されている）であり；
Ｙ2は、Ｃ1−Ｃ12アルキレン、フェニレン、ナフチレン又は複素環の三価基（ここで、これらの基は非置換か、又はＣ1−Ｃ12アルキル、ハロゲン、ＯＲ4及び／若しくはＳＲ7で置換されている）であるか；或いはＹ2は、下記式：
【化４】
2004510189.tif 000004
の基であり；
Ｙ3は、Ｃ1−Ｃ12アルキレン、フェニレン、ナフチレン又は複素環の四価基（ここで、これらの基は非置換か、又はＣ1−Ｃ18アルキル、ハロゲン、ＯＲ4及び／若しくはＳＲ7で置換されている）であり；
Ｘは、ハロゲンであり；
Ｒ4は、水素、Ｃ1−Ｃ18アルキル（これは、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ4は、Ｃ2−Ｃ18アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ4は、フェニル（これは、非置換か、又はＯＨ、Ｃ1−Ｃ18アルキル、ハロゲン及び／若しくはＣ1−Ｃ12アルコキシで置換されている）であるか；或いはＲ4は、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル（これは、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ4は、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル（これは、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ4は、フェニルスルホニル（これは、非置換か、又はハロゲン、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル、ＣＮ、ＮＯ2、Ｃ1−Ｃ16アルキル、フェニル、Ｃ1−Ｃ4アルキルチオ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ及び／若しくはフェノキシの１個以上で置換されている）であるか；或いはＲ4は、ベンゾイル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンファリルスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、Ｃ3−Ｃ12シクロアルキルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであり；
Ｒ5及びＲ6は、互いに独立して、水素又はＣ1−Ｃ18アルキル（これは、非置換か、又はＯＨ、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ1−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ5及びＲ6は、Ｃ2−Ｃ18アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、非置換か、又はＯＨ、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ1−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ5及びＲ6は、フェニル（これは、非置換か、又はＯＨ、Ｃ1−Ｃ18アルキル、ハロゲン及び／若しくはＣ1−Ｃ12アルコキシで置換されている）であるか；或いはＲ5及びＲ6は、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル（これは、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ5及びＲ6は、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル（これは、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ5及びＲ6は、フェニルスルホニル（これは、非置換か、又はハロゲン、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル、ＣＮ、ＮＯ2、Ｃ1−Ｃ16アルキル、フェニル、Ｃ1−Ｃ4アルキルチオ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ及び／若しくはフェノキシの１個以上で置換されている）であるか；或いはＲ5及びＲ6は、ベンゾイル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンファリルスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、Ｃ3−Ｃ12シクロアルキルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであるか；或いはＲ5及びＲ6は、それらが結合している窒素原子と一緒になって、５員、６員若しくは７員環（これは、−Ｏ−により、又は−ＮＲ4−により中断されていてもよい）を形成し；
Ｒ7は、水素、フェニル、Ｃ1−Ｃ18アルキル（これは、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ7は、Ｃ2−Ｃ18アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ7は、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル（これは、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ7は、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル（これは、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ7は、フェニルスルホニル（これは、非置換か、又はハロゲン、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル、ＣＮ、ＮＯ2、Ｃ1−Ｃ16アルキル、フェニル、Ｃ1−Ｃ4アルキルチオ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ及び／若しくはフェノキシの１個以上で置換されている）であるか；或いはＲ7は、ベンゾイル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンファリルスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、Ｃ3−Ｃ12シクロアルキルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであり；
Ｒ8、Ｒ9及びＲ10は、互いに独立して、Ｃ1−Ｃ6アルキル（これは、非置換か、又はハロゲンで置換されている）であるか；或いはＲ8、Ｒ9及びＲ10は、フェニル（これは、非置換か、又はＣ1−Ｃ4アルキル若しくはハロゲンで置換されている）であるか；或いはＲ9及びＲ10は、一緒になって１，２−フェニレン又はＣ2−Ｃ6アルキレン（これは、非置換か、又はＣ1−Ｃ4アルキル若しくはハロゲンで置換されている）であり；
Ａｒ′1は、Ｃ1−Ｃ12アルキル（これは、非置換か、又はＣ3−Ｃ30シクロアルキルで置換されている）であるか；或いはＡｒ′1は、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ8ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ8シクロアルケニル、Ｃ6−Ｃ12ビシクロアルケニル、カンファリルであるか；或いはＡｒ′1は、フェニル（これは、非置換か、又はＣ1−Ｃ12アルキル、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、ハロゲン、フェニル、ＯＲ′4、ＮＲ′5Ｒ′6、ＳＲ′7、ＳＯＲ′7、及び／若しくはＳＯ2Ｒ′7の１個以上で置換され、場合により置換基ＯＲ′4、ＳＲ′7及びＮＲ′5Ｒ′6は、基Ｒ′4、Ｒ′5、Ｒ′6及び／若しくはＲ′7を介して、フェニル環の更なる置換基と、又はフェニル環の炭素原子のうちの１個と５員若しくは６員環を形成する）であるか；或いはＡ′ｒ1は、ナフチル、アントラシル又はフェナントリル（ここで、基ナフチル、アントラシル及びフェナントリルは、非置換か、又はＣ1−Ｃ6アルキル、フェニル、ＯＲ′4、ＮＲ′5Ｒ′6、ＳＲ′7、ＳＯＲ′7及び／若しくはＳＯ2Ｒ′7で置換され、場合により置換基ＯＲ′4、ＳＲ′7及びＮＲ′5Ｒ′6は、基Ｒ′4、Ｒ′5、Ｒ′6及び／若しくはＲ′7を介して、ナフチル、アントラシル若しくはフェナントリル環の更なる置換基と、又はナフチル、アントラシル若しくはフェナントリル環の炭素原子のうちの１個と５員若しくは６員環を形成する）であるか；或いはＡｒ′1は、ヘテロアリール基（これは、非置換か、又はＣ1−Ｃ6アルキル、フェニル、ＯＲ′4、ＮＲ′5Ｒ′6、ＳＲ′7、ＳＯＲ′7及び／若しくはＳＯ2Ｒ′7で置換され、場合により置換基ＯＲ′4、ＳＲ′7及びＮＲ′5Ｒ′6は、基Ｒ′4、Ｒ′5、Ｒ′6及び／若しくはＲ′7を介して、ヘテロアリール環の更なる置換基と、又はヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と５員若しくは６員環を形成する）であり；
ここで、基Ｃ1−Ｃ12アルキル、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリール基は、場合により下記式：
【化５】
2004510189.tif 000005
の基１〜３個で置換され、そして全ての基Ａ′ｒ1は、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ａ″1は、フェニレン、ナフチレン、下記式：
【化６】
2004510189.tif 000006
の基、ジフェニレン又はオキシジフェニレン（ここで、これらの基は非置換か、又はＣ1−Ｃ12アルキルで置換されている）であるか；或いはＡ″1は、Ｃ1−Ｃ12アルキレン又は下記式：
【化７】
2004510189.tif 000007
の基であり；ここで、全ての基Ａｒ″1は、場合により下記式：
【化８】
2004510189.tif 000008
の基１〜３個で置換され、そして全ての基Ａ″ｒ1は、場合により、酸の作用で開裂する−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により更に置換され；
Ｄは、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ′4−、−ＣＯ−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ′4（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−又は−ＯＳＯ2−であり；
Ｄ1は、Ｃ1−Ｃ12アルキレン又はＣ2−Ｃ12アルキレン（これは、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ′4−、−ＣＯ−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ′4（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ2−及び／又は−ＯＳＯ2の１個以上により中断されている）であり；ここで、基Ｃ1−Ｃ12アルキレン及びＣ2−Ｃ12アルキレンは、場合により下記式：
【化９】
2004510189.tif 000009
の基１〜３個で置換され；
Ｒ′4は、水素、Ｃ1−Ｃ18アルキル（これは、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ′5Ｒ′6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ′4は、Ｃ2−Ｃ18アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ′5Ｒ′6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ′4は、フェニル（これは、非置換か、又はＯＨ、Ｃ1−Ｃ18アルキル、ハロゲン及び／若しくはＣ1−Ｃ12アルコキシで置換されている）であるか；或いはＲ′4は、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル（これは、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ′5Ｒ′6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ′4は、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル（これは、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ′5Ｒ′6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ′4は、フェニルスルホニル（これは、非置換か、又はハロゲン、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル、ＣＮ、ＮＯ2、Ｃ1−Ｃ16アルキル、フェニル、Ｃ1−Ｃ4アルキルチオ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ及び／若しくはフェノキシの１個以上で置換されている）であるか；或いはＲ′4は、ベンゾイル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンファリルスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、Ｃ3−Ｃ12シクロアルキルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであり；ここで、基Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ2−Ｃ18アルキル、フェニル、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル、フェニルスルホニル、ベンゾイル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンファスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、Ｃ3−Ｃ12シクロアルキルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルは、場合により下記式：
【化１０】
2004510189.tif 000010
の基１〜３個で置換され；
Ｒ′5及びＲ′6は、互いに独立して、水素又はＣ1−Ｃ18アルキル（これは、非置換か、又はＯＨ、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ1−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ′5及びＲ′6は、Ｃ2−Ｃ18アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、非置換か、又はＯＨ、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ1−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ′5及びＲ′6は、フェニル（これは、非置換か、又はＯＨ、Ｃ1−Ｃ18アルキル、ハロゲン及び／若しくはＣ1−Ｃ12アルコキシで置換されている）であるか；或いはＲ′5及びＲ′6は、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル（これは、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ′5及びＲ′6は、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル（これは、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ′5及びＲ′6は、フェニルスルホニル（これは、非置換か、又はハロゲン、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル、ＣＮ、ＮＯ2、Ｃ1−Ｃ16アルキル、フェニル、Ｃ1−Ｃ4アルキルチオ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ及び／若しくはフェノキシの１個以上で置換されている）であるか；或いはＲ′5及びＲ′6は、ベンゾイル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンファリルスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、Ｃ3−Ｃ12シクロアルキルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであるか；或いはＲ′5及びＲ′6は、それらが結合している窒素原子と一緒になって、５員、６員若しくは７員環（これは、−Ｏ−により、又は−ＮＲ′4−により中断されてよい）を形成し；ここで、基Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ2−Ｃ18アルキル、フェニル、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、ベンゾイル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンファスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、Ｃ3−Ｃ12シクロアルキルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルは、場合により下記式：
【化１１】
2004510189.tif 000011
の基１〜３個で置換され；
Ｒ′7は、水素、フェニル、Ｃ1−Ｃ18アルキル（これは、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ′5Ｒ′6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ′7は、Ｃ2−Ｃ18アルキル（これは、−Ｏ−の１個以上により中断され、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ′5Ｒ′6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ′7は、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル（これは、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ′5Ｒ′6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ′7は、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル（これは、非置換か、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ′5Ｒ′6、Ｃ1−Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2−Ｃ6アルカノイルで置換されている）であるか；或いはＲ′7は、フェニルスルホニル（これは、非置換か、又はハロゲン、Ｃ1−Ｃ4ハロアルキル、ＣＮ、ＮＯ2、Ｃ1−Ｃ16アルキル、フェニル、Ｃ1−Ｃ4アルキルチオ、Ｃ1−Ｃ12アルコキシ及び／若しくはフェノキシの１個以上で置換されている）であるか；或いはＲ′7は、ベンゾイル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンファリルスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、Ｃ3−Ｃ12シクロアルキルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであり；ここで、基Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ2−Ｃ18アルキル、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、ベンゾイル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンファスルホニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3アルキルスルホニル、Ｃ3−Ｃ12シクロアルキルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルは、場合により下記式：
【化１２】
2004510189.tif 000012
の基１〜３個で置換され；
但し、基Ａｒ′1、Ａｒ″1、Ｄ1、Ｒ′4、Ｒ′5、Ｒ′6又はＲ′7の少なくとも１個が、下記式：
【化１３】
2004510189.tif 000013
の基の１〜３個で置換され；
Ｍ+は、下記式：
【化１４】
2004510189.tif 000014
であり；
Ｌ-は、下記式：
【化１５】
2004510189.tif 000015
であり；
Ｒ15、Ｒ16、Ｒ17及びＲ18は、互いに独立して、水素又はフェニル（これは、非置換か、又はＣ1−Ｃ12アルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、フェニル、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、ヒドロキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、Ｃ1−Ｃ4アルキルチオ、フェニルチオ、Ｃ2−Ｃ12アルカノイル、Ｃ2−Ｃ12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシの１個以上で置換されている）であるか；或いはＲ15、Ｒ16、Ｒ17及びＲ18は、Ｃ1−Ｃ12アルキル、−Ｏ−の１個以上により中断されているＣ2−Ｃ12アルキル（ここで、基Ｃ1−Ｃ12アルキル及びＣ2−Ｃ12アルキルは、非置換か、又はハロゲン、ヒドロキシ、−ＮＯ2、−ＣＮ、フェニル、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、Ｃ1−Ｃ4アルキルチオ、フェニルチオ、Ｃ2−Ｃ12アルカノイル、Ｃ2−Ｃ12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び／若しくはベンゾイルオキシの１個以上で置換されている）であるか；或いはＲ15及びＲ16は、適切であればＣ1−Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−又は−ＣＯ−と一緒になって、縮合環を形成するか；或いはＲ15及びＲ16は、適切であればＣ1−Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−又は−ＣＯ−と一緒になって、５員、６員若しくは７員環を形成し；
Ｒ19は、フェニル（これは、非置換か、又はＣ1−Ｃ12アルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、フェニル、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、Ｃ1−Ｃ4アルキルチオ、フェニルチオ、Ｃ2−Ｃ12アルカノイル、Ｃ2−Ｃ12アルカノイルオキシ、ベンゾイル、ベンゾイルオキシの１個以上で置換されている）であるか；或いはＲ19は、Ｃ1−Ｃ12アルキル又は−Ｏ−の１個以上により中断されているＣ2−Ｃ12アルキル（ここで、基Ｃ1−Ｃ12アルキル及びＣ2−Ｃ12アルキルは、非置換か、又はハロゲン、ヒドロキシ、−ＮＯ2、−ＣＮ、フェニル、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、Ｃ1−Ｃ4アルキルチオ、フェニルチオ、Ｃ2−Ｃ12アルカノイル、Ｃ2−Ｃ12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び／若しくはベンゾイルオキシの１個以上で置換されている）であり；
Ｒ20、Ｒ21及びＲ22は、互いに独立して、フェニル（これは、非置換か、又はＣ1−Ｃ12アルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、フェニル、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、ヒドロキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、Ｃ1−Ｃ4アルキルチオ、フェニルチオ、Ｃ2−Ｃ12アルカノイル、Ｃ2−Ｃ12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシの１個以上で置換されている）であるか；或いはＲ20、Ｒ21及びＲ22は、互いに独立して、Ｃ1−Ｃ12アルキル、−Ｏ−の１個以上により中断されているＣ2−Ｃ12アルキル（ここで、基Ｃ1−Ｃ12アルキル及びＣ2−Ｃ12アルキルは、非置換か、又はハロゲン、ヒドロキシ、−ＮＯ2、−ＣＮ、フェニル、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、Ｃ1−Ｃ4アルキルチオ、フェニルチオ、Ｃ2−Ｃ12アルカノイル、Ｃ2−Ｃ12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び／若しくはベンゾイルオキシの１個以上で置換されている）であるか；或いはＲ20及びＲ21は、適切であればＣ1−Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−又は−ＣＯ−と一緒になって、縮合環を形成するか；或いはＲ20及びＲ21は、適切であればＣ1−Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−又は−ＣＯ−と一緒になって、５員、６員若しくは７員環を形成し；そして
Ｒ23及びＲ24は、互いに独立して、フェニル（これは、非置換か、又はＣ1−Ｃ12アルキル、ハロゲン、−ＮＯ2、−ＣＮ、フェニル、Ｃ1−Ｃ4アルコキシ、ヒドロキシ、Ｃ2−Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、Ｃ1−Ｃ4アルキルチオ、フェニルチオ、Ｃ2−Ｃ12アルカノイル、Ｃ2−Ｃ12アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び/若しくはベンゾイルオキシの１個以上で置換されている）であるか；或いはＲ23及びＲ24は、適切であればＣ1−Ｃ2アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−又は−ＣＯ−と一緒になって、縮合環を形成する〕
の化合物の少なくとも１種を含む、化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項２】  式（Ｉ）、（II）、（IV）又は（Ｖ）
〔式中、
Ｒ1は、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルスルホニル、ナフチルスルホニル又はフェニルスルホニル（これは、非置換か、又はハロゲンで置換されている）であり；
Ｒ2は、ハロゲンであり；
Ａｒ1は、フェニレンであり；
Ａ1、Ａ2、Ａ3、Ａ4、Ａ5、Ａ6、Ａ7、Ａ8、Ａ9、Ａ10、Ａ11及びＡ12は、互いに独立して、直接結合、−Ｏ−、Ｏ（ＣＯ）又はＣ1−Ｃ12アルキレンであり；
Ｙ1は、Ｃ1−Ｃ12アルキレン（これは、ＯＲ4で置換されている）であるか；又はＹ1は、Ｃ2−Ｃ12アルキレン（これは、−ＯＳＯ2−により中断されている）であり；
Ｙ2は、Ｃ1−Ｃ12アルキレンの三価基、又は四価の複素環であり；
Ｘは、ハロゲンであり；
Ｒ4は、水素又はＣ2−Ｃ18アルカノイルであり；
Ａｒ′1は、フェニル（これは、非置換か、又はＯＲ′4で置換されている）であり；
Ｒ′4は、Ｃ1−Ｃ18アルキル（これは、非置換か、又は下記式：
【化１６】
2004510189.tif 000016
の基で置換されている）であり；
Ｍ+は、下記式：
【化１７】
2004510189.tif 000017
であり；そして
Ｒ15、Ｒ16、Ｒ17及びＲ18は、水素又はＣ1−Ｃ12アルキルである〕
の化合物を含む、請求項１記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項３】  ポジ型レジストである、請求項１記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項４】  ネガ型レジストである、請求項１記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項５】  （１）基板に、請求項１記載の組成物を塗布し；
（２）６０℃〜１６０℃の温度で組成物を塗布後ベーキングし；
（３）波長１５０nm〜１５００nmの光により像様式に照射し；
（４）場合により、６０℃〜１６０℃の温度で組成物を暴露後ベーキングし；
（５）溶媒で、又はアルカリ性現像水溶液で現像する、フォトレジストの調製方法。
【請求項６】  請求項１記載の式（Ｉ）、（II）、（III）、（IV）、（Ｖ）、（VI）及び（VII）の化合物。
【請求項７】  （１）従来の方法により得られる式（Ｉ′）、（II′）、（III′）、（IV′）、（Ｖ′）又は（VI′）：
【化１８】
2004510189.tif 000018
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｘ、Ａｒ1、Ａｒ1′、Ａｒ1″、Ａ1、Ａ2、Ａ3、Ａ4、Ａ5、Ａ6、Ａ7、Ａ8、Ａ9、Ａ10、Ａ11、Ａ12、Ｙ1、Ｙ2及びＹ3は、請求項１と同義である）の対応する遊離オキシム化合物の異性体混合物を酸で処理し；
（２）そのように調製した単一異性体遊離オキシム化合物を、式（XV）、（XVI）又は（XVII）：
Ｒ1Ｃｌ（XV），Ｒ1−Ｏ−Ｒ１（XVI），Ｃｌ−Ｒ3−Ｃｌ（XVII）
の対応する酸ハロゲン化物、又は酸無水物と反応させる、請求項１記載の式（Ｉ）、（II）、（III）、（IV）、（Ｖ）、（VI）及び（VII）のオキシムエステル化合物の熱的に安定な異性体の特定の調製方法。
【請求項８】  （ａ）酸の作用で硬化する化合物、又は酸の作用でその溶解度が増加する化合物；及び
（ｂ）感光性酸供与体として、請求項６記載の式（Ｉ）、（II）、（III）、（IV）、（Ｖ）、（VI）又は（VII）の化合物の少なくとも１種を含有する組成物。
【請求項９】  酸の作用下で架橋しうる化合物を架橋する方法であって、請求項６記載の式（Ｉ）、（II）、（III）、（IV）、（Ｖ）、（VI）及び／又は（VII）の化合物を上記化合物に加え、波長１５０〜１５００nmを有する光により像様式に、又は全面を照射することを含む方法。
【請求項１０】  表面被覆、プリントインク、印刷版、歯科組成物、カラーフィルタ、レジスト又は像記録材料若しくはホログラフ像を記録する像記録材料の製造のための、請求項９記載の方法。