【手続補正書】
【提出日】平成19年1月22日(2007.1.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
金属塩および以下の式を有する添加剤消費抑制化合物を含む金属メッキ浴：
Ｒ１−Ｘ−Ｒ２
式中、Ｘは、−Ｓ（Ｏ）ｎ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−Ｓ（Ｏ）ｖ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−Ｓ（Ｏ）ｖ−Ｓ（Ｏ）ｗ−、−（Ｓ（Ｏ）ｚ）ｍ−（ＣＨ２）ｙ−（Ｓ（Ｏ）ｚ’）ｍ’−、または−ＳＯ２−Ｓ−（ＣＨ２）ｙ−Ｓ−ＳＯ２−であり、ｎ，ｐ，ｑ，ｕ，ｖ，ｗ，ｚおよびｚ’はそれぞれ独立して０から２の整数であり、ｍおよびｍ’は独立して１から６の整数であり、ｙは２から４の整数である；Ｒ１およびＲ２はそれぞれ独立してハロゲン；−ＯＨ；（Ｃ１−Ｃ２０）直鎖、分枝、または環状アルキル；（Ｃ２−Ｃ２０）直鎖、分枝、または環状アルケニル；（Ｃ２−Ｃ２０）直鎖、または分枝アルキニル；または（Ｃ１−Ｃ２０）アルキル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，（Ｃ１−Ｃ１２）アルキルフェニル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，または−フェニル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，式中ｔは１から５００の整数であり、Ｒ５は水素、（Ｃ１−Ｃ４）アルキルまたはフェニルである；アルキル、アルケニル、またはアルキニルは置換または非置換である；または
ＸはＳ，Ｏ，Ｎから選択されたヘテロ原子、または（Ｃ１−Ｃ６）アルキルもしくはトシル基で置換されたＮであり、Ｒ１およびＲ２はそれらが結合している原子と一緒になって５から１８員の複素環を形成することができ、この環は１から８個の複素原子を含み、非置換もしくは置換、飽和もしくは不飽和であることができる；該複素環は任意に１以上のカルボニルを含み；および
金属塩は銅、金、銀、白金、パラジウム、コバルト、クロム、カドミウム、ビスマス、インジウム、鉛、錫、ロジウム、イリジウム、ルテニウム、亜鉛およびこれらの混合物からなる群から選択される金属の塩である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
アルキル、アルケニル、またはアルキニル基が、ハロゲン、アリール、シリル、−ＳＨ，−ＣＮ，−ＳＣＮ，−Ｃ＝ＮＳ，Ｓｉ（ＯＨ）３，−ＮＯ２，Ｐ（Ｒ）２，−ＯＨ，−ＣＯＯＨ，−ＣＯ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、−ＣＯＯ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、シラン、−ＮＲ３Ｒ４，−ＰＯ３Ｍまたは−ＳＯ３Ｍの１以上で置換されている、ただし、−ＳＯ３Ｍまたは−ＰＯ３Ｍが置換基の時は、Ｘは鎖中に２個よりも多い硫黄原子を含み、Ｍは水素またはアルカリ金属であり、Ｒは水素またはハロゲンであり、Ｒ３およびＲ４は独立にハロゲン、水素、アリール、または（Ｃ１−Ｃ１２）直鎖、または分枝アルキルである、請求項１記載の金属メッキ浴。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
添加剤消費抑制化合物が、浴１Ｌあたり約０．００１ｇ〜約１００ｇである請求項１の金属メッキ浴。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】
光沢剤が、式：ＨＯ３Ｓ−Ｒ１１−ＳＨ；ＨＯ３Ｓ−Ｒ１１−Ｓ−Ｓ−Ｒ１１−ＳＯ３Ｈ（式中、Ｒ１１はＣ１−Ｃ６アルキルまたはアリール基である）；あるいはＨＯ３Ｓ−Ａｒ−Ｓ−Ｓ−Ａｒ−ＳＯ３Ｈ（式中、Ａｒはフェニルまたはナフチルである）を有する化合物を含み、アルキルおよびアリール基はアルキル基、ハロまたはアルコキシ基で置換されていてもよいし、あるいは置換されていなくてもよい請求項９記載の金属メッキ浴。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１７】
銅塩、および以下の式を有する添加剤消費抑制化合物を含む金属銅メッキ浴：
Ｒ１−Ｘ−Ｒ２
式中、Ｘは、−Ｓ（Ｏ）ｎ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−Ｓ（Ｏ）ｖ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−Ｓ（Ｏ）ｖ−Ｓ（Ｏ）ｗ−、−（Ｓ（Ｏ）ｚ）ｍ−（ＣＨ２）ｙ−（Ｓ（Ｏ）ｚ’）ｍ’−、または−ＳＯ２−Ｓ−（ＣＨ２）ｙ−Ｓ−ＳＯ２−であり、ｎ，ｐ，ｑ，ｕ，ｖ，ｗ，ｚおよびｚ’はそれぞれ独立して０から２の整数であり、ｍおよびｍ’は独立して１から６の整数であり、ｙは２から４の整数である；Ｒ１およびＲ２はそれぞれ独立してハロゲン；−ＯＨ；（Ｃ１−Ｃ２０）直鎖、分枝、または環状アルキル；（Ｃ２−Ｃ２０）直鎖、分枝、または環状アルケニル；（Ｃ２−Ｃ２０）直鎖、または分枝アルキニル；または（Ｃ１−Ｃ２０）アルキル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，（Ｃ１−Ｃ１２）アルキルフェニル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，または−フェニル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，式中ｔは１から５００の整数であり、Ｒ５は水素、（Ｃ１−Ｃ４）アルキルまたはフェニルである；アルキル、アルケニル、またはアルキニルは置換または非置換である；または
ＸはＳ，Ｏ，Ｎから選択されたヘテロ原子、または（Ｃ１−Ｃ６）アルキルもしくはトシル基で置換されたＮであり、Ｒ１およびＲ２はそれらが結合している原子と一緒になって５から１８員の複素環を形成することができ、この環は１から８個の複素原子を含み、非置換もしくは置換、飽和もしくは不飽和であることができる；該複素環は任意に１以上のカルボニルを含む。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１９】
５から１８員の複素環が環の１以上の炭素上において−ＣＯＯＨ，−ＯＨ，（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、またはカルボキシ（Ｃ１−Ｃ６）アルキルで置換されている、請求項１７記載の金属銅電気メッキ浴。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２０】
添加剤消費抑制化合物が、メチルスルホキシド、メチルスルホン、テトラメチレンスルホキシド、チオグリコール酸、２（５Ｈ）チオフェノン、１，４−ジチアン、トランス−１，２−ジチアン、テトラヒドロチオフェン−３−オン、３−チオフェンメタノール、１，３，５−トリチアン、３−チオフェン酢酸、チオテトロン酸、クラウンエーテル、クラウンチオエーテル、テトラピリド、ジプロピルトリスルフィド、ビス（３−トリエトキシシリル）プロピルテトラスルフィド、ジメチルテトラスルフィド、メチルメタンチオスルフェート、（２−スルホナトエチル）メタン、ｐ−トリルジスルホキシド、ｐ−トリルジスルホン、ビス（フェニルスルホニル）スルフィド、４（クロロスルホニル）安息香酸、イソプロピルスルホニルクロライド、１−プロパンスルホニルクロライド、リポ酸、４−ヒドロキシ−ベンゼンスルホン酸、フェニルビニルスルホン、またはこれらの混合物を含む、請求項１７記載の金属銅電気メッキ浴。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２１】
クラウンエーテルが、１２−クラウン−４，１５−クラウン−５，１８−クラウン−６，（＋）−（１８−クラウン−６）−２，３，１１，１２−テトラカルボン酸、またはこれらの混合物を含む、請求項２０記載の金属銅電気メッキ浴。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２２】
テトラピリドが、１，５，９，１３−テトラチアシクロヘキサデカン、１，５，１３−テトラチアシクロヘキサデカン−３，１１−ジオール、１，５，９，１３−テトラシクロヘキサデカン、またはこれらの混合物を含む、請求項２０記載の金属銅電気メッキ浴。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２３】
複素環式窒素化合物が、１，４，７，１０，１３，１６−ヘキサメチル−１，４，７，１０，１３，１６−ヘキサアザシクロオクタデカン、１，４，７，１０−テトラ−ｐ−トシル−１，４，７，１０−テトラアザシクロドデカン、１，４，１０，１３−テトラオキサ−７，１６−ジアザシクロオクタデカン、またはこれらの混合物を含む、請求項１７記載の金属銅電気メッキ浴。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２４】
添加剤消費抑制化合物が、浴１Ｌあたり約０．００１ｇ〜約１００ｇである請求項１７の金属銅電気メッキ浴。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２５】
銅塩が、ハロゲン化銅、硫酸銅、アルカンスルホン酸銅、アルカノールスルホン酸銅、またはその混合物を含む請求項１７記載の銅金属電気メッキ浴。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２６】
浴のｐＨが０〜約８．０である請求項１７記載の銅金属電気メッキ浴。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２８】
光沢剤が、構造式：ＨＯ３Ｓ−Ｒ１１−ＳＨ；ＨＯ３Ｓ−Ｒ１１−Ｓ−Ｓ−Ｒ１１−ＳＯ３Ｈ（式中、Ｒ１１はＣ１−Ｃ６アルキル基またはアリール基である）；あるいはＨＯ３Ｓ−Ａｒ−Ｓ−Ｓ−Ａｒ−ＳＯ３Ｈ（式中、Ａｒはフェニルまたはナフチルである）、該アルキルおよびアリール基はアルキル基、ハロ、またはアルコキシで置換されていても、置換されていなくてもよい、を有する化合物を含む請求項２７記載の銅金属メッキ浴。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２９】
レベラーが、アルキル化ポリアルキレンイミン、有機スルホスルホネート、フェナジンクラスの染料、フェナジンアゾ染料、またはその混合物を含む請求項２７記載の銅金属メッキ浴。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３０】
基体を金属メッキ浴と接触させ；十分な電流密度を金属メッキ浴にかけて、金属を基体上に堆積させることを含み；金属メッキ浴が、銅、金、銀、パラジウム、白金、コバルト、カドミウム、クロム、ビスマス、インジウム、鉛、錫、ロジウム、イリジウム、ルテニウム、亜鉛およびこれらの混合物からなる群から選択される金属の塩、および以下の式を有する添加剤消費抑制化合物を含む、基体上に金属をメッキする方法：
Ｒ１−Ｘ−Ｒ２
式中、Ｘは、−Ｓ（Ｏ）ｎ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−Ｓ（Ｏ）ｖ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−Ｓ（Ｏ）ｖ−Ｓ（Ｏ）ｗ−、−（Ｓ（Ｏ）ｚ）ｍ−（ＣＨ２）ｙ−（Ｓ（Ｏ）ｚ’）ｍ’−、または−ＳＯ２−Ｓ−（ＣＨ２）ｙ−Ｓ−ＳＯ２−であり、ｎ，ｐ，ｑ，ｕ，ｖ，ｗ，ｚおよびｚ’はそれぞれ独立して０から２の整数であり、ｍおよびｍ’は独立して１から６の整数であり、ｙは２から４の整数である；Ｒ１およびＲ２はそれぞれ独立してハロゲン；−ＯＨ；（Ｃ１−Ｃ２０）直鎖、分枝、または環状アルキル；（Ｃ２−Ｃ２０）直鎖、分枝、または環状アルケニル；（Ｃ２−Ｃ２０）直鎖、または分枝アルキニル；または（Ｃ１−Ｃ２０）アルキル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，（Ｃ１−Ｃ１２）アルキルフェニル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，または−フェニル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，式中ｔは１から５００の整数であり、Ｒ５は水素、（Ｃ１−Ｃ４）アルキルまたはフェニルである；アルキル、アルケニル、またはアルキニルは置換または非置換である；または
ＸはＳ，Ｏ，Ｎから選択されたヘテロ原子、または（Ｃ１−Ｃ６）アルキルもしくはトシル基で置換されたＮであり、Ｒ１およびＲ２はそれらが結合している原子と一緒になって５から１８員の複素環を形成することができ、この環は１から８個の複素原子を含み、非置換もしくは置換、飽和もしくは不飽和であることができる；該複素環は任意に１以上のカルボニルを含む。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３１】
アルキル、アルケニル、アルキニル、またはアリールが、ハロゲン、アリール、シリル、シラン、−ＳＨ，−ＣＮ，−ＳＣＮ，−Ｃ＝ＮＳ，Ｓｉ（ＯＨ）３，−ＮＯ２，−Ｐ（Ｒ）２，−ＯＨ，−ＣＯＯＨ，−ＣＯＯ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、−ＣＯ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、−ＮＲ３Ｒ４，−ＰＯ３Ｍまたは−ＳＯ３Ｍの１以上で置換されている、ただし、−ＳＯ３Ｍまたは−ＰＯ３Ｍが置換基の時は、Ｘは鎖中に２個よりも多い硫黄原子を含み、Ｍは水素またはアルカリ金属であり、Ｒは水素またはハロゲンであり、Ｒ３およびＲ４は独立にハロゲン、水素、アリール、または（Ｃ１−Ｃ１２）直鎖、または分枝アルキルである、請求項３０記載の金属メッキ方法。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３２】
５から１８員の複素環が環の１以上の炭素上において−ＣＯＯＨ，−ＯＨ，（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、またはカルボキシ（Ｃ１−Ｃ６）アルキルで置換されている、請求項３０記載の金属メッキ方法。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３６】
複素環式窒素化合物が、１，４，７，１０，１３，１６−ヘキサメチル−１，４，７，１０，１３，１６−ヘキサアザシクロオクタデカン、１，４，７，１０−テトラ−ｐ−トシル−１，４，７，１０−テトラアザシクロドデカン、１，４，１０，１３−テトラオキサ−７，１６−ジアザシクロオクタデカン、またはこれらの混合物を含む、請求項３０記載の金属メッキ方法。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３７】
添加剤消費抑制化合物が、浴１Ｌあたり約０．００１ｇ〜約１００ｇである請求項３０記載の方法。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３９】
光沢剤が、式：ＨＯ３Ｓ−Ｒ１１−ＳＨ；ＨＯ３Ｓ−Ｒ１１−Ｓ−Ｓ−Ｒ１１−ＳＯ３Ｈ（式中、Ｒ１１はＣ１−Ｃ６アルキルまたはアリール基である）；あるいはＨＯ３Ｓ−Ａｒ−Ｓ−Ｓ−Ａｒ−ＳＯ３Ｈ（式中、Ａｒはフェニルまたはナフチルである）、該アルキルおよびアリール基はアルキル基、ハロ、またはアルコキシで置換されていても、置換されていなくてもよい、を有する化合物を含む請求項３８記載の方法。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４０】
基体が、プリント配線板、集積回路、電気接触面、コネクター、電解ホイル、シリコンウェハ、半導体、リードフレーム、オプトエレクトロニクス部品、シリコンウェハ上のソルダーバンプ、装飾品、衛生用品などである請求項３０記載の方法。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４１】
基体を金属メッキ浴と接触させる段階；および十分な電流密度をメッキ浴にかけて、金属を基体上に堆積させる段階を含み；銅金属メッキ浴が銅塩およびおよび以下の式を有する添加剤消費抑制化合物を含む、基体上に銅金属をメッキする方法：
Ｒ１−Ｘ−Ｒ２
式中、Ｘは、−Ｓ（Ｏ）ｎ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−Ｓ（Ｏ）ｖ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−Ｓ（Ｏ）ｖ−Ｓ（Ｏ）ｗ−、−（Ｓ（Ｏ）ｚ）ｍ−（ＣＨ２）ｙ−（Ｓ（Ｏ）ｚ’）ｍ’−、または−ＳＯ２−Ｓ−（ＣＨ２）ｙ−Ｓ−ＳＯ２−であり、ｎ，ｐ，ｑ，ｕ，ｖ，ｗ，ｚおよびｚ’はそれぞれ独立して０から２の整数であり、ｍおよびｍ’は独立して１から６の整数であり、ｙは２から４の整数である；Ｒ１およびＲ２はそれぞれ独立してハロゲン；−ＯＨ；（Ｃ１−Ｃ２０）直鎖、分枝、または環状アルキル；（Ｃ２−Ｃ２０）直鎖、分枝、または環状アルケニル；（Ｃ２−Ｃ２０）直鎖、または分枝アルキニル；または（Ｃ１−Ｃ２０）アルキル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，（Ｃ１−Ｃ１２）アルキルフェニル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，または−フェニル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，式中ｔは１から５００の整数であり、Ｒ５は水素、（Ｃ１−Ｃ４）アルキルまたはフェニルである；アルキル、アルケニル、またはアルキニルは置換または非置換である；または
ＸはＳ，Ｏ，Ｎから選択されたヘテロ原子、または（Ｃ１−Ｃ６）アルキルもしくはトシル基で置換されたＮであり、Ｒ１およびＲ２はそれらが結合している原子と一緒になって５から１８員の複素環を形成することができ、この環は１から８個の複素原子を含み、非置換もしくは置換、飽和もしくは不飽和であることができる；該複素環は任意に１以上のカルボニルを含む。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４２】
アルキル、アルケニル、またはアルキニル基が、ハロゲン、アリール、シリル、シラン、−ＳＨ，−ＣＮ，−ＳＣＮ，−Ｃ＝ＮＳ，Ｓｉ（ＯＨ）３，−ＮＯ２，Ｐ（Ｒ）２，−ＯＨ，−ＣＯＯＨ，−ＣＯＯ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、−ＣＯ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、−ＮＲ３Ｒ４，−ＰＯ３Ｍまたは−ＳＯ３Ｍの１以上で置換されていてもよく、ただし、−ＳＯ３Ｍまたは−ＰＯ３Ｍが置換基の時は、Ｘは鎖中に２個よりも多い硫黄原子を含み、Ｍは水素またはアルカリ金属であり、Ｒは水素またはハロゲンであり、Ｒ３およびＲ４は独立にハロゲン、水素、アリール、または（Ｃ１−Ｃ１２）直鎖、または分枝アルキルである、請求項４１記載の方法。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４３】
５から１８員の複素環が環の１以上の炭素上において−ＣＯＯＨ，−ＯＨ，（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、またはカルボキシ（Ｃ１−Ｃ６）アルキルで置換されている、請求項４１記載の方法。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４６】
テトラピリドが、１，５，９，１３−テトラチアシクロヘキサデカン、１，５，９，１３−テトラチアシクロヘキサデカン−３，１１−ジオール、または１，４，７，１０−テトラチアシクロデカン、を含む、請求項４４記載の金属銅メッキ方法。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４８】
添加剤消費抑制化合物が、浴１Ｌあたり約０．００１ｇ〜約１００ｇである請求項４１記載の方法。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５０】
光沢剤が、式：ＨＯ３Ｓ−Ｒ１１−ＳＨ；ＨＯ３Ｓ−Ｒ１１−Ｓ−Ｓ−Ｒ１１−ＳＯ３Ｈ（式中、Ｒ１１はＣ１−Ｃ６アルキルまたはアリール基である）；あるいはＨＯ３Ｓ−Ａｒ−Ｓ−Ｓ−Ａｒ−ＳＯ３Ｈ（式中、Ａｒはフェニルまたはナフチルである）、該Ｃ１−Ｃ６アルキルおよびアリール基はアルキル基、ハロ、またはアルコキシで置換されていても、置換されていなくてもよい、を有する化合物を含む請求項４９記載の方法。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５２】
電流が不溶性陽極および陰極に流れるように、並びに不溶性陽極および陰極が、銅、金、銀、パラジウム、白金、コバルト、カドミウム、クロム、ビスマス、インジウム、ロジウム、イリジウム、ルテニウム、亜鉛およびこれらの混合物からなる群から選択される金属の塩、および添加剤消費抑制化合物を含む金属メッキ浴と接触するように、不溶性陽極および陰極と電気的に連結された電源を含む、基体を電気メッキする装置であって、該添加剤消費抑制化合物が、以下の式を有する装置：
Ｒ１−Ｘ−Ｒ２
式中、Ｘは、−Ｓ（Ｏ）ｎ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−Ｓ（Ｏ）ｖ−、−（Ｓ（Ｏ）ｚ）ｍ−（ＣＨ２）ｙ−（Ｓ（Ｏ）ｚ’）ｍ’−、または−ＳＯ２−Ｓ−（ＣＨ２）ｙ−Ｓ−ＳＯ２−であり、ｎ，ｐ，ｑ，ｕ，ｖ，ｗ，ｚおよびｚ’はそれぞれ独立して０から２の整数であり、ｍおよびｍ’はそれぞれ独立して１から６の整数であり、ｙは２から４の整数である；Ｒ１およびＲ２はそれぞれ独立してハロゲン；−ＯＨ；（Ｃ１−Ｃ２０）直鎖、分枝、または環状アルキル；（Ｃ２−Ｃ２０）直鎖、分枝、または環状アルケニル；（Ｃ２−Ｃ２０）直鎖、または分枝アルキニル；または（Ｃ１−Ｃ２０）アルキル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，（Ｃ１−Ｃ１２）アルキルフェニル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，または−フェニル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，式中ｔは１から５００の整数であり、Ｒ５は水素、（Ｃ１−Ｃ４）アルキルまたはフェニルである；アルキル、アルケニル、またはアルキニルは置換または非置換である；または
ＸはＳ，Ｏ，Ｎから選択されたヘテロ原子、または（Ｃ１−Ｃ６）アルキルもしくはトシル基で置換されたＮであり、Ｒ１およびＲ２はそれらが結合している原子と一緒になって５から１８員の複素環を形成することができ、この環は１から８個の複素原子を含み、非置換もしくは置換、飽和もしくは不飽和であることができる；該複素環は任意に１以上のカルボニルを含む。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５３】
アルキル、アルケニル、アルキニル基またはアリール基が、ハロゲン、アリール、シリル、シラン、−ＳＨ，−ＣＮ，−ＳＣＮ，−Ｃ＝ＮＳ，Ｓｉ（ＯＨ）３，−ＮＯ２，Ｐ（Ｒ）２，−ＯＨ，−ＣＯＯＨ，−ＣＯ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、−ＣＯＯ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、−ＮＲ３Ｒ４，−ＰＯ３Ｍまたは−ＳＯ３Ｍの１以上で置換されている、ただし、−ＳＯ３Ｍまたは−ＰＯ３Ｍが置換基の時は、Ｘは鎖中に２個よりも多い硫黄原子を含み、Ｍは水素またはアルカリ金属であり、Ｒは水素またはハロゲンであり、Ｒ３およびＲ４は独立にハロゲン、水素、アリール、または（Ｃ１−Ｃ１２）直鎖、または分枝アルキルである、請求項５２記載の装置。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５４】
５から１８員の複素環が環の１以上の炭素上において−ＣＯＯＨ，−ＯＨ，（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、またはカルボキシ（Ｃ１−Ｃ６）アルキルで置換されている、請求項５２記載の装置。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５５】
添加剤消費抑制化合物が浴１Ｌあたり約０．００１ｇ〜約１００．０ｇである請求項５２記載の装置。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６１】
不溶性陽極が、さらにベリリウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、スカンジウム、イットリウム、ランタン、または希土類元素の金属を含む請求項６０記載の装置。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明は、メッキ浴における添加剤の劣化を防止する複素原子含有有機化合物を含有するメッキ浴、およびメッキ浴を用いて基体上に金属をメッキする方法に関する。かかる複素原子含有有機化合物としては、以下の一般紙基を有する化合物があげられる。
Ｒ１−Ｘ−Ｒ２
式中、Ｘは、−Ｓ（Ｏ）ｎ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−Ｓ（Ｏ）ｖ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−Ｓ（Ｏ）ｖ−Ｓ（Ｏ）ｗ−、−（Ｓ（Ｏ）ｚ）ｍ−（ＣＨ２）ｙ−（Ｓ（Ｏ）ｚ’）ｍ’−、または−ＳＯ２−Ｓ−（ＣＨ２）ｙ−Ｓ−ＳＯ２−であり、ｎ，ｐ，ｑ，ｕ，ｖ，ｗ，ｚおよびｚ’はそれぞれ独立して０から２の整数であり、ｍおよびｍ’は独立して１から６の整数であり、ｙは２から４の整数である；Ｒ１およびＲ２はそれぞれ独立してハロゲン；−ＯＨ；（Ｃ１−Ｃ２０）直鎖、分枝、または環状アルキル；（Ｃ２−Ｃ２０）直鎖、分枝、または環状アルケニル；（Ｃ２−Ｃ２０）直鎖、または分枝アルキニル；または（Ｃ１−Ｃ２０）アルキル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，（Ｃ１−Ｃ１２）アルキルフェニル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，または−フェニル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，式中ｔは１から５００の整数であり、Ｒ５は水素、（Ｃ１−Ｃ４）アルキルまたはフェニルである；アルキル、アルケニル、またはアルキニルは置換または非置換である；または
ＸはＳ，Ｏ，Ｎから選択されたヘテロ原子、または（Ｃ１−Ｃ６）アルキルもしくはトシル基で置換されたＮであり、Ｒ１およびＲ２はそれらが結合している原子と一緒になって５から１８員の複素環を形成することができ、この環は１から８個の複素原子を含み、非置換もしくは置換、飽和もしくは不飽和であることができる；該複素環は任意に１以上のカルボニルを含む。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
Ｒ１−Ｘ−Ｒ２
式中、Ｘは、−Ｓ（Ｏ）ｎ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−Ｓ（Ｏ）ｖ−、−Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｓ（Ｏ）ｐ−Ｓ（Ｏ）ｑ−Ｓ（Ｏ）ｕ−Ｓ（Ｏ）ｖ−Ｓ（Ｏ）ｗ−、−（Ｓ（Ｏ）ｚ）ｍ−（ＣＨ２）ｙ−（Ｓ（Ｏ）ｚ’）ｍ’−、または−ＳＯ２−Ｓ−（ＣＨ２）ｙ−Ｓ−ＳＯ２−であり、ｎ，ｐ，ｑ，ｕ，ｖ，ｗ，ｚおよびｚ’はそれぞれ独立して０から２の整数であり、ｍおよびｍ’は独立して１から６、好ましくは１から４の整数であり、ｙは２から４の整数である；Ｒ１およびＲ２はそれぞれ独立してハロゲン；−ＯＨ；（Ｃ１−Ｃ２０）直鎖、分枝、または環状アルキル；（Ｃ２−Ｃ２０）直鎖、分枝、または環状アルケニル；（Ｃ２−Ｃ２０）直鎖、または分枝アルキニル；または（Ｃ１−Ｃ２０）アルキル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，（Ｃ１−Ｃ１２）アルキルフェニル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，または−フェニル−Ｏ（Ｃ２−Ｃ３Ｏ）ｔＲ５，式中ｔは１から５００の整数であり、Ｒ５は水素、（Ｃ１−Ｃ４）アルキルまたはフェニルである；アルキル、アルケニル、またはアルキニルは置換または非置換である；または
ＸはＳ，Ｏ，Ｎから選択されたヘテロ原子、または（Ｃ１−Ｃ６）の直鎖、または分枝アルキルもしくはトシル基で置換されたＮであり、Ｒ１およびＲ２はそれらが結合している原子と一緒になって５から１８員の複素環を形成することができ、任意に１以上のカルボニル基を含み、該複素環は飽和もしくは不飽和であることができ、非置換もしくは環の１以上の原子においてカルボン酸、−ＯＨ、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、またはカルボキシ（Ｃ１−Ｃ６）アルキルで置換されることができる。