【手続補正書】
【提出日】平成18年12月7日(2006.12.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体を移動させる駆動装置であって、
前記物体をＸ方向及びＹ方向に駆動する第１アクチュエータと、
前記アクチュエータが前記物体を駆動する際の反力を受ける反力カウンタを駆動する第２アクチュエータと、
前記物体を前記第１アクチュエータで駆動する際に前記反力カウンタが受ける反力を前記第２アクチュエータによって相殺するように、前記物体のＸ方向及びＹ方向の位置及び加速度に基づいて前記第２アクチュエータを制御する制御部と、
を備えることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記物体のＸ方向及びＹ方向の位置に基づいて前記物体のＸ方向及びＹ方向の加速度を演算することを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記物体のＸ方向及びＹ方向の加速度を検出して前記制御部に提供する加速度センサを更に備えることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記物体を前記第１アクチュエータで駆動する際に前記反力カウンタが受けるＸ方向反力、Ｙ方向反力及びモーメント反力を前記第２アクチュエータによって相殺するように前記第２アクチュエータを制御することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記物体を前記第１アクチュエータで駆動する際に前記反力カウンタが受けるＸ方向反力、Ｙ方向反力及びモーメント反力を演算し、前記Ｘ方向反力、前記Ｙ方向反力及び前記モーメント反力に基づいて前記反力カウンタを駆動するためのプロファイルを生成することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記物体の重量をｍ、Ｘ方向位置をｘ、Ｙ方向位置をｙ、Ｘ方向加速度をＡｃｃＸ、Ｙ方向加速度をＡｃｃＹとし、前記反力カウンタが受けるＸ方向反力をＦｘ、Ｙ方向反力をＦｙ、モーメント反力をＦｒとしたときに、Ｆｘ、Ｆｙ、Ｆｒを
Ｆｘ＝ｍ・ＡｃｃＸ、
Ｆｙ＝ｍ・ＡｃｃＹ、
Ｆｒ＝ｙ・Ｆｘ−ｘ・Ｆｙ＝ｍ（ｙ・ＡｃｃＸ−ｘ・ＡｃｃＹ）
に基づいて演算することを特徴とする請求項５に記載の駆動装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記第２アクチュエータのＸ方向推力の総和をΣ（ＦＭｘ）、Ｙ方向推力の総和をΣ（ＦＭｙ）、モーメント推力の総和をΣ（ＦＭｒ）としたときに、Σ（ＦＭｘ）＝−Ｆｘ、Σ（ＦＭｙ）＝−Ｆｙ、Σ（ＦＭｒ）＝−Ｆｒが成立するように、前記反力カウンタを駆動するためのプロファイルを生成することを特徴とする請求項６に記載の駆動装置。
【請求項８】
前記プロファイルは、推力指令値を提供するプロファイルであることを特徴とする請求項７に記載の駆動装置。
【請求項９】
前記制御部は、前記第１アクチュエータが前記物体を駆動する際の反力を受ける複数の前記反力カウンタのそれぞれの重量をＭ（ｉ）、それぞれのＸ方向加速度をＡｃｃＭＸ（ｉ）、それぞれのＹ方向加速度をＡｃｃＭＹ（ｉ）、それぞれの慣性モーメントをＪ（ｉ）、それぞれの角加速度をＡｃｃＭＪ（ｉ）としたときに、Σ（Ｍ（ｉ）・ＡｃｃＭＸ（ｉ））＝−Ｆｘ、Σ（Ｍ（ｉ）・ＡｃｃＭＹ（ｉ））＝−Ｆｙ、Σ（Ｊ（ｉ）・ＡｃｃＭＪ（ｉ））＝−Ｆｒが成立するように、前記第２アクチュエータを駆動するためのプロファイルを生成することを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項１０】
前記プロファイルは、加速度指令値を提供するプロファイルであることを特徴とする請求項９に記載の駆動装置。
【請求項１１】
前記制御部は、前記加速度指令値を速度指令値に変換して、前記速度指令値によって前記第２アクチュエータを制御することを特徴とする請求項１０に記載の駆動装置。
【請求項１２】
前記制御部は、前記加速度指令値を位置指令値に変換して、前記位置指令値によって前記第２アクチュエータを制御することを特徴とする請求項１０に記載の駆動装置。
【請求項１３】
前記反力カウンタは、前記第１アクチュエータの固定子を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項１２のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項１４】
前記制御部は、前記物体の速度が０になった状態において前記反力カウンタの速度が０でない場合に、前記反力カウンタを徐々に減速させるように前記第２アクチュエータを制御することを特徴とする請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項１５】
チャックを有し、前記チャック上にチャックされた基板にパターンを転写又は描画する露光装置であって、前記チャックが請求項１乃至請求項１４のいずれか１項に記載された駆動装置によって駆動されることを特徴とする露光装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の露光装置を利用してパターンを基板に転写又は描画し、該基板に転写又は転写したパターンを現像することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の１つの側面は、物体を移動させる駆動装置に係り、該駆動装置は、前記物体をＸ方向及びＹ方向に駆動する第１アクチュエータと、前記アクチュエータが前記物体を駆動する際の反力を受ける反力カウンタを駆動する第２アクチュエータと、前記物体を前記第１アクチュエータで駆動する際に前記反力カウンタが受ける反力を前記第２アクチュエータによって相殺するように、前記物体のＸ方向及びＹ方向の位置及び加速度に基づいて前記第２アクチュエータを制御する制御部とを備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の好適な実施形態によれば、前記制御部は、例えば、前記物体のＸ方向及びＹ方向の位置に基づいて前記物体のＸ方向及びＹ方向の加速度を演算する。或いは、前記駆動装置は、前記物体のＸ方向及びＹ方向の加速度を検出して前記制御部に提供する加速度センサを更に備えてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の好適な実施形態によれば、前記制御部は、例えば、前記第１アクチュエータが前記物体を駆動する際の反力を受ける複数の前記反力カウンタのそれぞれの重量をＭ（ｉ）、それぞれのＸ方向加速度をＡｃｃＭＸ（ｉ）、それぞれのＹ方向加速度をＡｃｃＭＹ（ｉ）、それぞれの慣性モーメントをＪ（ｉ）、それぞれの角加速度をＡｃｃＭＪ（ｉ）としたときに、Σ（Ｍ（ｉ）・ＡｃｃＭＸ（ｉ））＝−Ｆｘ、Σ（Ｍ（ｉ）・ＡｃｃＭＹ（ｉ））＝−Ｆｙ、Σ（Ｊ（ｉ）・ＡｃｃＭＪ（ｉ））＝−Ｆｒが成立するように、前記第２アクチュエータを駆動するためのプロファイルを生成する。前記プロファイルは、例えば、加速度指令値を提供するプロファイルとすることができる。前記制御部は、例えば、前記加速度指令値を速度指令値に変換して、前記速度指令値によって前記第２アクチュエータを制御することもできるし、前記加速度指令値を位置指令値に変換して、前記位置指令値によって前記第２アクチュエータを制御することもできる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の第３の側面は、上記の露光装置を利用してパターンを基板に転写又は描画し、該基板に転写又は転写したパターンを現像することを特徴とする。