【手続補正書】
【提出日】平成20年9月1日(2008.9.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
静止した第１の要素（１）と、
可動かつ非結合の第２の要素（２）と、
前記第１及び第２の要素（１、２）間に力を生じさせるためのアクチュエータ（３）であって、前記第１の要素（１）及び前記第２の要素（２）の両方の温度（Ｔ１、Ｔ２）を制御するように設計されているアクチュエータ（３）と、
を含むマイクロシステム。
【請求項２】
前記アクチュエータ（３）が作動する作動モードにおいて、前記第１の要素（１）と前記第２の要素（２）との間の距離（ｄ）が１００μｍより小さい、請求項１に記載のマイクロシステム。
【請求項３】
前記アクチュエータ（３）が作動する作動モードにおいて、前記第１の要素（１）と前記第２の要素（２）との間の距離（ｄ）が１０μｍより小さい、請求項１又は請求項２に記載のマイクロシステム。
【請求項４】
互いに対面する前記要素（１、２）の表面（ｓ１、ｓ２）が平行に位置合わせされている、請求項１〜３のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
【請求項５】
互いに対面する前記要素（１、２）の前記表面（ｓ１、ｓ２）の一方は、他方の表面（ｓ２）に向かって傾斜した部分（ｓ１４）を少なくとも含む、前記請求項１〜３のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
【請求項６】
前記表面（ｓ１）は、前記他方の表面（ｓ２）と平行に位置合わせされた別の部分（ｓ１５）を含む、請求項５に記載のマイクロシステム。
【請求項７】
前記表面（ｓ１）は、前記他方の表面（ｓ２）に向かって傾斜したさらに別の部分（ｓ１６）を含む、請求項５又は請求項６に記載のマイクロシステム。
【請求項８】
前記さらに別の表面部分（ｓ１６）は、前記傾斜した表面部分（ｓ１４）を前記他方の表面（ｓ２）に垂直な平面で鏡対称にすることによって、対応する前記要素（１、２）に配置される、請求項７に記載のマイクロシステム。
【請求項９】
前記第１及び第２の要素（１、２）の一方は、前記要素の他方（２、１）に対面する第１のランプ（１１）を含む、請求項１〜８のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
【請求項１０】
前記第１のランプ（１１）に対して１８０度回転させた姿勢で方向付けられた第２のランプ（１２）を前記要素（１、２）上に含む、請求項９に記載のマイクロシステム。
【請求項１１】
前記第１のランプ（１１）に対して９０度回転させた姿勢で方向付けられた第３のランプ（１３）を前記要素（１、２）上に含む、請求項９又は請求項１０に記載のマイクロシステム。
【請求項１２】
前記第１のランプ（１１）に対して２７０度回転させた姿勢で方向付けられた第４のランプ（１４）を前記要素（１、２）上に含む、請求項９〜１１のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
【請求項１３】
前記第１のランプ（１１）と、前記第２のランプ（１２）と、前記第１のランプ（１１）及び前記第２のランプ（１２）の間の中間ゾーン（ｉｚ１）とを含む第１のアライメント（ａ１）を含む、請求項１２に記載のマイクロシステム。
【請求項１４】
前記第３のランプ（１３）と、前記第４のランプ（１４）と、前記第３のランプ（１３）及び前記第４のランプ（１４）の間の中間ゾーン（ｉｚ２）とを含む第２のアライメント（ａ２）を含む、請求項１３に記載のマイクロシステム。
【請求項１５】
前記第１のアライメント（ａ１）は、前記第１のランプ（１１）と、前記第２のランプ（１２）に応じて方向付けられた別のランプとを含む第１のサブアライメント（ａ１１）、及び、前記第２のランプ（１２）と、前記第１のランプ（１１）に応じて方向付けられた別のランプとを含む第２のサブアライメント（ａ１２）を含み、
前記中間ゾーン（ｉｚ１）は、前記第１及び第２のサブアライメント（ａ１１、ａ１２）間に配置されている、
請求項１３に記載のマイクロシステム。
【請求項１６】
前記第２のアライメント（ａ２）は、前記第３のランプ（１３）と、前記第４のランプ（１４）に応じて方向付けられた別のランプとを含む第３のサブアライメント（ａ２１）、及び、前記第４のランプ（１４）と、前記第３のランプ（１３）に応じて方向付けられた別のランプとを含む第４のサブアライメント（ａ２２）を含み、
前記中間ゾーン（ｉｚ２）は、前記第３及び第４のサブアライメント（ａ２１、ａ２２）間に配置されている、
請求項１４に記載のマイクロシステム。
【請求項１７】
前記第１のアライメント（ａ１）は、前記第１のランプ（１１）と、前記第３のランプ（１３）及び前記第４のランプ（１４）の一方に応じて方向付けられた別のランプとを含む第１のサブアライメント（ａ１１）、並びに、前記第２のランプ（１２）と、前記第３のランプ（１３）及び前記第４のランプ（１４）の一方に応じて方向付けられた別のランプとを含む第２のサブアライメント（ａ１２）を含み、
前記中間ゾーン（ｉｚ１）は、前記第１及び第２のサブアライメント（ａ１１、ａ１２）間に配置されている、
請求項１４に記載のマイクロシステム。
【請求項１８】
前記第２のアライメント（ａ２）は、前記第３のランプ（１３）と、前記第１のランプ（１１）及び前記第２のランプ（１２）の一方に応じて方向付けられた別のランプとを含む第３のサブアライメント（ａ２１）、並びに、前記第４のランプ（１４）と、前記第１のランプ（１１）及び前記第２のランプ（１２）の一方に応じて方向付けられた別のランプとを含む第４のサブアライメント（ａ２２）を含み、
前記中間ゾーン（ｉｚ２）は、前記第３及び第４のサブアライメント（ａ２１、ａ２２）間に配置されている、
請求項１４に記載のマイクロシステム。
【請求項１９】
前記第１及び第２のアライメント（ａ１、ａ２）は、それらの前記中間ゾーン（ｉｚ１、ｉｚ２）が交差するように互いに対して位置合わせされている、請求項１４に記載のマイクロシステム。
【請求項２０】
前記中間ゾーン（ｉｚ１、ｉｚ２）はランプのないゾーンである、請求項１４に記載のマイクロシステム。
【請求項２１】
前記中間ゾーン（ｉｚ１）は、前記第３のランプ（１３）及び前記第４のランプ（１４）の一方を含む、請求項１３に記載のマイクロシステム。
【請求項２２】
同じアライメント（ａ１、ａ２）のランプが、当該アライメント（ａ１、ａ２）の軸に垂直に方向付けられている、請求項１４に記載のマイクロシステム。
【請求項２３】
同じアライメント（ａ１、ａ２）のランプが、当該アライメント（ａ１、ａ２）の軸に沿って方向付けられている、請求項１４に記載のマイクロシステム。
【請求項２４】
前記第１のランプ（１１）は、前記第１のランプ（１１）に応じて方向付けられた、鋸歯形状を形成する多数のランプの組の一部である、請求項９に記載のマイクロシステム。
【請求項２５】
前記第２のランプ（１２）は、前記第２のランプ（１２）に応じて方向付けられた、鋸歯形状を形成する多数のランプの組の一部である、請求項１０に記載のマイクロシステム。
【請求項２６】
前記第３のランプ（１３）は、前記第３のランプ（１３）に応じて方向付けられた、鋸歯形状を形成する多数のランプの組の一部である、請求項１１に記載のマイクロシステム。
【請求項２７】
前記第４のランプ（１４）は、前記第４のランプ（１４）に応じて方向付けられた、鋸歯形状を形成する多数のランプの組の一部である、請求項１２に記載のマイクロシステム。
【請求項２８】
前記アクチュエータ（３）は、前記第２の要素（２）の温度（Ｔ２）を前記第１の要素（１）の温度（Ｔ１）より高い温度に制御するように設計されている、請求項１〜２７のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
【請求項２９】
前記アクチュエータ（３）は、前記第２の要素（２）の温度（Ｔ２）を前記第１の要素（１）の温度（Ｔ１）より低い温度に制御するように設計されている、請求項１〜２８のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
【請求項３０】
前記アクチュエータ（３）は、前記第１の要素（１）の温度（Ｔ１）を前記第２の要素（２）の温度（Ｔ２）より低い温度に制御するように設計されている、請求項１〜２９のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
【請求項３１】
前記アクチュエータ（３）は、前記第１の要素（１）の温度（Ｔ１）を前記第２の要素（２）の温度（Ｔ２）より高い温度に制御するように設計されている、請求項１〜３０のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
【請求項３２】
前記アクチュエータ（３）は、前記第１の要素（１）に取り付けられている、請求項１〜３１のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
【請求項３３】
前記アクチュエータ（３）は、前記第１及び第２の要素（１、２）の一方の温度制御ゾーン（ｔｃｚ）の温度を制御するように設計されている、請求項１〜３２のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
【請求項３４】
前記要素の他方（２、１）は、前記温度制御ゾーン（ｔｃｚ）と相互作用するための作動ゾーンを含む、請求項３３に記載のマイクロシステム。
【請求項３５】
前記作動ゾーン及び前記温度制御ゾーン（ｔｃｚ）の一方の表面は、他方のゾーンの対面する表面に向かって傾斜している、請求項３４に記載のマイクロシステム。
【請求項３６】
複数の作動ゾーン−温度制御ゾーンの組み合わせを含む、請求項３４又は請求項３５に記載のマイクロシステム。
【請求項３７】
前記第１の要素（１）に対して前記第２の要素（２）を位置決めするための、請求項１〜３６のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステムを含むマイクロポジショナ。
【請求項３８】
前記第１の要素（１）に対して前記第２の要素（２）を持ち上げるための、請求項１〜３６のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステムを含むマイクロリフタ。
【請求項３９】
前記第１の要素（１）に対して前記第２の要素（２）を横方向に移動させるための、請求項１〜３６のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステムを含むマイクロスキャナ。
【請求項４０】
マイクロシステムにおいて第１の要素に対して第２の要素を位置決めするための方法であって、
前記第１の要素（１）及び前記第２の要素（２）の両方の温度（Ｔ１、Ｔ２）を制御するステップであって、前記第１の要素（１）は静止した要素であり、前記第２の要素（２）は可動かつ非結合の要素である、ステップと、
前記第１の要素（１）に対して前記第２の要素（２）を位置決めするために前記第１の要素（１）と前記第２の要素（２）との間に力を生じさせるステップと、
を含む方法。
【請求項４１】
コンピュータ上で実行されたときに、当該コンピュータに、請求項４０に記載の方法のステップを実行させるためのコンピュータ・プログラム。