【手続補正書】
【提出日】平成19年3月30日(2007.3.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光光学系から照射される光ビームを被露光体の移動方向に直交する方向に相対的に走査して、該被露光体に機能パターンを露光する露光装置であって、
前記露光光学系に備えられ前記光ビームを前記被露光体の移動方向に偏向する光偏向手段と、
前記被露光体へ照射される光ビームの走査位置に対して前記被露光体の移動方向手前側の位置を撮像する撮像手段と、
前記光偏向手段の偏向角を制御すると共に前記撮像手段で取得した画像を処理する光学系制御手段とを備え、
前記光学系制御手段により前記光ビームの走査中に前記光偏向手段の偏向角を変化させて前記光ビームを前記被露光体上にて撮像手段の撮像位置側に振り、前記光偏向手段の偏向開始時刻と前記振られた光ビームを前記撮像手段で検出した時刻とに基づいて前記光ビームの走査位置と前記撮像手段の撮像位置との相対距離を演算し、該相対距離が所定の値となるように前記光偏向手段の偏向角を制御することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記光学系制御手段は、前記光偏向手段の偏向角の制御を前記被露光体上に前記機能パターンを露光する前に実行することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記光学系制御手段は、前記撮像手段で取得され、前記被露光体に形成された基準となる機能パターンに予め設定された基準位置を検出し、該基準位置を基準にして前記光ビームの照射開始又は照射停止の制御をすることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項４】
露光光学系から照射される光ビームを被露光体の移動方向に直交する方向に相対的に走査して、該被露光体に機能パターンを露光するパターン形成方法であって、
前記露光光学系に備えられて前記光ビームを前記被露光体の移動方向に偏向する光偏向手段の偏向角を前記光ビームの走査中に変化させて前記光ビームを前記被露光体の移動方向手前側に振る段階と、
前記光偏向手段の偏向開始時刻と前記振られた光ビームを前記被露光体への光ビームの走査位置に対して前記被露光体の移動方向手前側の位置を撮像する撮像手段で検出する時刻とに基づいて前記光ビームの走査位置と前記撮像手段の撮像位置との相対距離を演算する段階と、
前記相対距離が所定の値となるように前記光偏向手段の偏向角を制御する段階と、
前記撮像手段により前記被露光体に予め設けられた基準となる機能パターンの画像を取得する段階と、
前記撮像手段で取得された前記基準となる機能パターンに予め設定された基準位置を検出する段階と、
前記基準位置を基準にして前記光ビームの照射開始又は照射停止を制御して前記基準位置に対して所定位置に所定の機能パターンを露光する段階と、
を実行することを特徴とするパターン形成方法。
【請求項５】
前記光偏向手段により偏向角を前記光ビームの走査中に変化させるのは、前記被露光体上に前記機能パターンを露光する前に実行することを特徴とする請求項４記載のパターン形成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の露光装置は、露光光学系から照射される光ビームを被露光体の移動方向に直交する方向に相対的に走査して、該被露光体に機能パターンを露光する露光装置であって、前記露光光学系に備えられ前記光ビームを前記被露光体の移動方向に偏向する光偏向手段と、前記被露光体へ照射される光ビームの走査位置に対して前記被露光体の移動方向手前側の位置を撮像する撮像手段と、前記光偏向手段の偏向角を制御すると共に前記撮像手段で取得した画像を処理する光学系制御手段とを備え、前記光学系制御手段により前記光ビームの走査中に前記光偏向手段の偏向角を変化させて前記光ビームを前記被露光体上にて撮像手段の撮像位置側に振り、前記光偏向手段の偏向開始時刻と前記振られた光ビームを前記撮像手段で検出した時刻とに基づいて前記光ビームの走査位置と前記撮像手段の撮像位置との相対距離を演算し、該相対距離が所定の値となるように前記光偏向手段の偏向角を制御するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明のパターン形成方法は、露光光学系から照射される光ビームを被露光体の移動方向に直交する方向に相対的に走査して、該被露光体に機能パターンを露光するパターン形成方法であって、前記露光光学系に備えられて前記光ビームを前記被露光体の移動方向に偏向する光偏向手段の偏向角を前記光ビームの走査中に変化させて前記光ビームを前記被露光体の移動方向手前側に振る段階と、前記光偏向手段の偏向開始時刻と前記振られた光ビームを前記被露光体への光ビームの走査位置に対して前記被露光体の移動方向手前側の位置を撮像する撮像手段で検出する時刻とに基づいて前記光ビームの走査位置と前記撮像手段の撮像位置との相対距離を演算する段階と、前記相対距離が所定の値となるように前記光偏向手段の偏向角を制御する段階と、前記撮像手段により前記被露光体に予め設けられた基準となる機能パターンの画像を取得する段階と、前記撮像手段で取得された前記基準となる機能パターンに予め設定された基準位置を検出する段階と、前記基準位置を基準にして前記光ビームの照射開始又は照射停止を制御して前記基準位置に対して所定位置に所定の機能パターンを露光する段階とを実行するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
上記搬送手段４の上方にて矢印Ａで示す搬送方向の上記レーザビームの走査位置手前側には、撮像手段５が設けられている。この撮像手段５は、ガラス基板８に予め形成された基準となる機能パターンとしてのブラックマトリクスのピクセルを撮像するものであり、受光素子が一列状に配列された例えばラインＣＣＤである。ここで、図３に示すように、上記撮像手段５の撮像位置Ｅと上記レーザビームの走査位置Ｆとの距離Ｄは、ブラックマトリクス２１のピクセル２２の搬送方向配列ピッチＰの整数倍（ｎ倍）となるように設定される。これにより、ガラス基板８が搬送されて上記ピクセル２２の中心とレーザビームの走査位置とが一致したときにレーザビームが走査を開始するように走査タイミングを合わせることができる。また、上記距離Ｄは、小さい程よい。これにより、ガラス基板８の移動誤差を少なくすることができ、レーザビームの走査位置を上記ピクセル２２に対してより正確に位置決めすることができる。なお、図１には、撮像手段５を三台設置した例を示しているが、レーザビームの走査範囲が一台の撮像手段５の画像処理領域より狭いときには、撮像手段５は一台でよく、上記走査範囲が一台の撮像手段５の画像処理領域より広いときには、それに応じて複数台の撮像手段５を設置するとよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
ステップＳ３では、ガラス基板８の移動方向における露光位置が検出される。ここで、図３に示すように、レーザビームの走査位置Ｆと撮像手段５の撮像位置Ｅ間の距離Ｄは、上記ピクセル２２の移動方向への配列ピッチＰの整数倍（ｎ倍）に設定されているため、レーザビームの走査周期をカウントすることによって上記露光位置を割り出すことができる。例えば、図１２に示すように、レーザビームの走査位置と撮像手段５の撮像位置との間の距離Ｄがピクセル２２の配列ピッチＰの例えば３倍に設定されている場合に、ステップＳ２においてピクセル２２の端部に第１及び第２の基準位置を検出した後（同図（ａ）参照）、ガラス基板８が移動してピクセル列中心線が撮像手段５の撮像位置に達したとき（同図（ｂ）参照）、レーザビームの走査開始タイミングと一致する。ここで、レーザビームが周期Ｔで走査している場合、ガラス基板８の搬送速度は、レーザビームの周期Ｔに同期してピクセル２２の１ピッチ分だけ移動するように制御される。したがって、次の１Ｔ間にピクセル２２は同図（ｃ）に示す位置に移動する。さらに、２Ｔ後には、ピクセル２２は同図（ｄ）に示す位置まで移動する。そして、３Ｔ後には、同図（ｅ）に示すように、ピクセル２２の列中心線がレーザビームの走査位置に達することになる。こうして、露光位置が検出される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
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【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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