【手続補正書】
【提出日】平成31年1月23日(2019.1.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ．第１の表面と、
ｂ．第２の表面と、
ｃ．前記第１の表面に直交する方向で第１の平均厚を有する第１の領域と、
ｄ．規制位置に、前記第１の平均厚よりも厚い第２の平均厚を有する第２の領域と、
ｅ．前記第１の平均厚よりも厚く、且つ、前記第２の平均厚よりも薄い第３の平均厚を有する第３の領域と、を備える半導体ウェハ。
【請求項２】
第２の平均厚と前記第１の平均厚の比が１．２８：１〜５：１である、請求項１に記載のウェハ。
【請求項３】
６×１０１７原子／ｃｃ未満の格子間酸素含有量と、８．７５×１０１７原子／ｃｃ未満の総酸素含有量とを備える、請求項１に記載のウェハ。
【請求項４】
前記第１の平均厚が１６０ミクロン未満であり、前記第２の平均厚が１８０ミクロン以上である、請求項１に記載のウェハ。
【請求項５】
前記第２の領域が、外周部、境界部、内側ストライプ、ランディング、及びアイランド部のうち少なくとも１つから成る群から選択される、請求項１に記載のウェハ。
【請求項６】
前記第２の領域が、２５０ミクロン未満、好ましくは１８０〜２５０ミクロン、より好ましくは１８０〜２００ミクロンの厚さを有する、請求項１に記載のウェハ。
【請求項７】
半導体ウェハの製造方法であって、
ａ．表面を有する溶融半導体材料を提供するステップと、
ｂ．テンプレートを備えるステップであって、
ｉ．溶解側面と、
ｉｉ．裏面と、
ｉｉｉ．第１の熱抽出性を有する第１のテンプレート領域と、
ｉｖ．前記第１の熱抽出性よりも高い第２の熱抽出性を有する第２のテンプレート領域と、を備える多孔体を備えるテンプレートを設けるステップと、
ｃ．前記溶解側面の少なくとも一部の圧力が前記溶融半導体材料表面の圧力よりも低くなるように、圧力差レジメを提供するステップと、
ｄ．前記溶解側面と前記溶融半導体材料とが相互に接触する接触期間の少なくとも一部、前記溶融半導体材料の表面に前記テンプレート溶解側面を接触させるステップと、を含み、
半導体材料本体が前記溶解側面上で固体化し、形成される本体が、
ｉ．第１の薄肉本体平均厚を有し、前記第１のテンプレート領域に隣接して形成される第１の薄肉本体領域と、
ｉｉ．第２の厚肉本体平均厚を有し、前記第２のテンプレート領域に隣接して形成される第２の厚肉本体領域であって、前記第２の本体平均厚が前記第１の本体厚よりも大きい第２の厚肉本体領域と、を備えるように、前記圧力差レジメが提供される、方法。
【請求項８】
前記第１のテンプレート領域が内側領域を備えることによって、前記第１の薄肉本体領域が内側領域である、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記第２のテンプレート領域が外周領域を備え、前記第２の厚肉本体領域が外周領域を備える、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記第２のテンプレート領域が外周領域を備え、前記第２の厚肉本体領域が外周部を備え、前記第２の厚肉テンプレート領域が、
ａ．前記内側領域全体に延在し、前記第２の厚肉本体領域が前記本体内側部にわたって延在するストライプを備えるストライプ領域と、
ｂ．前記第２の厚肉本体領域がランディングを備えるランディング領域と、
ｃ．前記第２の厚肉本体領域がアイランド部を備えるアイランド領域と、から成る群から選択される少なくとも１つをさらに備える、請求項７に記載の方法。
【請求項１１】
前記テンプレート多孔体が前記第１のテンプレート領域で第１の低平均厚を有するテンプレート材料と、前記第２のテンプレート領域で第２の高平均厚を有するテンプレート材料と、を備え、前記第１のテンプレート領域と比較した前記第２のテンプレート領域の高熱抽出性は、前記第１のテンプレート領域の前記テンプレート材料よりも前記第２のテンプレート領域の前記テンプレート材料の方が、平均厚が高いことに少なくとも部分的に依る、請求項７に記載の方法。
【請求項１２】
前記テンプレート多孔体が前記第１のテンプレート領域で第１の熱伝導率を有する機能的材料と、前記第２のテンプレート領域で第２の高熱伝導率を有する機能的材料とを有し、前記第１のテンプレート領域と比較した前記テンプレート第２の領域の高熱抽出性は、前記第１のテンプレート領域のテンプレート材料よりも前記第２のテンプレート領域のテンプレート材料の方が機能的材料の熱伝導率が高いことに少なくとも部分的に依る、請求項７に記載の方法。
【請求項１３】
前記機能的材料が相互に同一の組成を有し、前記第１の領域の機能的材料が第１の厚を有し、前記第２の領域の機能的材料が前記第１の厚よりも薄い第２の厚を有する、請求項１２の方法。
【請求項１４】
前記テンプレート多孔体が前記第１のテンプレート領域で第１の気体透過性を有するテンプレート材料と、前記第２のテンプレート領域で第２の高気体透過性を有するテンプレート材料とを備え、前記第１のテンプレート領域と比較した前記テンプレート第２の領域の高熱抽出性は、前記第１のテンプレート領域のテンプレート材料よりも前記第２のテンプレート領域のテンプレート材料の方が、透過性が高いことに少なくとも部分的に依る、請求項７に記載の方法。
【請求項１５】
前記第１のテンプレート領域を第１の圧力差のソースに連結するステップと、前記第２のテンプレート領域を第２の圧力差のソースに連結するステップとをさらに備え、前記第２の圧力差のソースが前記第１の圧力差のソースよりも高圧力差を提供し、前記第１のテンプレート領域と比較した前記第２のテンプレート領域の高熱抽出性は、前記第１のテンプレート領域に提供される圧力差よりも前記第２のテンプレート領域に提供される圧力差の方が高いことに少なくとも部分的に依る、請求項７記載の方法。
【請求項１６】
ａ．溶解側面と、
ｂ．裏面と、
ｃ．第１の熱抽出性を有する第１の領域と、
ｄ．前記第１の熱抽出性よりも高い第２の熱抽出性を有する第２の領域と、を備える多孔体を備える、テンプレート。
【請求項１７】
前記多孔体が前記第１の領域で第１の低平均厚を有する材料と、前記第２の領域で第２の高平均厚を有する材料とを備え、前記第１の領域の低熱抽出性と比較した前記第２の領域の高熱抽出性が、前記第１の領域の材料よりも前記第２の領域の方が薄いことに少なくとも部分的に依る、請求項１６に記載のテンプレート。
【請求項１８】
前記多孔体が前記第１の領域に第１の高厚を有する機能的材料と、前記第２の領域に第２の低厚を有する機能的材料とを溶解側面に備え、前記第１の領域の低熱抽出性と比較した前記第２の領域の高熱抽出性が、前記第１の領域の前記機能的材料よりも前記第２の領域の前記機能的材料の方が薄いことに少なくとも部分的に依る、請求項１６に記載のテンプレート。
【請求項１９】
前記多孔体が前記第１の領域に第１の低熱伝導率を有する機能的材料と、前記第２の領域に第２の高熱伝導率を有する機能的材料とを溶解側面に備え、前記第１の領域の低熱抽出性と比較した前記第２の領域の高熱抽出性が、前記第１の領域の前記機能的材料よりも前記第２の領域の前記機能的材料の方が、熱伝導率が高いことに少なくとも部分的に依る、請求項１６に記載のテンプレート。
【請求項２０】
前記第１の領域が内側領域を備える、請求項１６に記載のテンプレート。
【請求項２１】
前記第２の領域が外周領域を備える、請求項１６から２０のいずれか一項に記載のテンプレート。
【請求項２２】
前記第２の領域が外周領域と、
ａ．前記内側領域にわたって延在するストライプ領域、
ｂ．ランディング領域、及び、
ｃ．アイランド領域、から成る群から選択される少なくとも１つと、を備える請求項２０に記載のテンプレート。