【手続補正書】
【提出日】平成19年8月7日(2007.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波を流体中に発信する超音波振動子（１２）と該超音波振動子（１２）から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部（６４）に出力する超音波振動子（１３）とを有する流量計センサ部（４）と、操作圧により流体の圧力を制御する圧力制御弁（５）とを具備し、少なくとも流量計センサ部（４）と圧力制御弁（５）とが、流体流入口（３）と流体流出口（６）とを有する１つの第一のケーシング（２）内に接続されて設置されてなる、
ことを特徴とする流体制御装置。
【請求項２】
前記流量計センサ部（４）と圧力制御弁（５）とが１つの第一のケーシング（２）に設置されてなるバルブモジュール（１）と、
流量計センサ部（４）の信号によって流量を演算する流量計アンプ部（６４）と、圧力制御弁（５）の操作圧を調整する電空変換器（６６）と、流量計アンプ部（６４）で演算された流量値に基づいて操作圧を調整しフィードバック制御するための制御部（６５）とが１つの第二のケーシング（６３）内に設置してなる電装モジュール（６２）とを備え、
前記バルブモジュール（１）と前記電装モジュール（６２）とが別体で構成される、
ことを特徴とする請求項１に記載の流体制御装置。
【請求項３】
前記電装モジュール（６２）の第二のケーシング（６３）は、該第二のケーシング（６３）内に充填された気体を排出するために設けられた排出口（７３）が形成されている、
ことを特徴とする請求項２に記載の流体制御装置。
【請求項４】
前記圧力制御弁（５）は、
下部中央に底部まで開放して設けられた第二の空隙（２２）と、第二の空隙（２２）に連通する入口流路（２４）と、上部に上面が開放して設けられ第二の空隙（２２）の径よりも大きい径を有する第一の空隙（２３）と、第一の空隙（２３）に連通する出口流路（２５）と、第一の空隙（２３）と第二の空隙（２２）とを連通し第一の空隙（２３）の径よりも小さい径を有する連通孔（２６）とを有し、第二の空隙（２２）の上面が弁座（２７）とされた本体（１４）と、
円筒状の空隙（２８）を内部に有し、下端内周面に段差部（２９）が設けられたボンネット（１５）と、
ボンネット（１５）の側面あるいは上面に設けられた、上記円筒状の空隙（２８）内に加圧された気体を供給する給気孔（３０）と、
ボンネット（１５）の段差部（２９）に嵌挿され中央部に貫通孔（３２）を有するバネ受け（１６）と、
下端部にバネ受け（１６）の貫通孔（３２）よりも小径の第一接合部（３７）を有し、上部に鍔部（３５）が設けられボンネット（１５）の空隙（２８）内部に上下動可能に嵌挿されたピストン（１７）と、
ピストン（１７）の鍔部（３５）の下端面とバネ受け（１６）の上端面で挟持支承されているバネ（１８）と、
周縁部が本体（１４）とバネ受け（１６）との間で挟持固定され、本体（１４）の第一の空隙（２３）に蓋する形で第一の弁室（４４）を形成する中央部が肉厚とされた第一ダイヤフラム（４０）と、上面中央にピストン（１７）の第一接合部（３７）にバネ受け（１６）の貫通孔（３２）を貫通して接合固定される第二接合部（４２）と、下面中央に本体（１４）の連通孔（２６）を貫通して設けられた第三接合部（４３）とを有する第一弁機構体（１９）と、
本体（１４）の第二の空隙（２２）内部に位置し本体（１４）の連通孔（２６）よりも大径に設けられた弁体（４５）と、弁体（４５）上端面に突出して設けられ第一弁機構体（１９）の第三接合部（４３）と接合固定される第四接合部（４７）と、弁体（４５）下端面より突出して設けられたロッド（４８）と、ロッド（４８）下端面より径方向に延出して設けられた第二ダイヤフラム（５０）とを有する第二弁機構体（２０）と、
本体（１４）の下方に位置し、第二弁機構体（２０）の第二ダイヤフラム（５０）周縁部を本体（１４）との間で挟持固定する突出部（５２）を上部中央に有し、突出部（５２）の上端部に切欠凹部（５３）が設けられると共に切欠凹部（５３）に連通する呼吸孔（５４）が設けられているベースプレート（２１）とを具備し、
ピストン（１７）の上下動に伴って第二弁機構体（２０）の弁体（４５）と本体（１４）の弁座（２７）とによって形成される流体制御部（５５）の開口面積が変化するように構成された、
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【請求項５】
前記流量計センサ部（４）と流量計アンプ部（６４）とを接続するケーブル（７０、７１）が、コネクタ（５９、６０、６７、６８）を介して流量計センサ部（４）及び／または流量計アンプ部（６４）と脱着可能に設けられている、
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【請求項６】
前記流量計センサ部（４）と流量計アンプ部（６４）とを接続するケーブル（７０、７１）が、コネクタ（５９、６０、６７、６８）を介して流量計センサ部（４）及び／または流量計アンプ部（６４）と脱着可能に設けられ、
前記圧力制御弁（５）のボンネット（１５）の側面あるいは上面に、前記円筒状の空隙（２８）内から気体を排出する排出孔（３１）が設けられ、
該排出孔（３１）が前記第一のケーシング（２）に設けられたコネクタボックス（５６）の吸気孔（５７）に連通され、コネクタボックス（５６）に第一のケーシング（２）の外部と連通する排気孔（５８）が設けられている、
ことを特徴とする請求項４に記載の流体制御装置。
【請求項７】
前記流量計センサ部（４）は、流体流入口（３）に連通する入口流路（７）と、入口流路（７）から垂設された第一立上り流路（８）と、第一立上り流路（８）に連通し入口流路（７）の軸線に略平行に設けられた直線流路（９）と、直線流路（９）から垂設された第二立上り流路（１０）と、第二立上り流路（１０）に連通し入口流路（７）の軸線に略平行に設けられ圧力制御弁（５）の入口流路（２４）に連通する出口流路（１１）とが連続して設けられ、第一、第二立上り流路（８、１０）の側壁の直線流路（９）の軸線と交わる位置に、超音波振動子（１２、１３）が互いに対向して配置された流量計センサ部（４）であり、
前記流量計アンプ部（６４）は、超音波振動子（１２、１３）がケーブル（７０、７１）を介して接続される流量計アンプ部（６４）であり、
前記流量計センサ部（４）と前記流量計アンプ部（６４）とが、超音波振動子（１２、１３）の送受信を交互に切り替えて超音波振動子（１２、１３）間の超音波伝搬時間差を測定することにより直線流路（９）を流れる流体の流量を演算する超音波流量計を構成する、
ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【請求項８】
前記流量計センサ部（７４）は、流体流入口（３）に連通する入口流路（７７）と、入口流路（７７）内に垂設されたカルマン渦を発生させる渦発生体（７８）と、出口流路（７９）とを備える直線流路（８０）とが連続して設けられ、直線流路（８０）の渦発生体（７８）の下流側の側壁に、各超音波振動子（８１、８２）が流路軸線方向に直交する位置に互いに対向して配置された流量計センサ部（７４）であり、
前記流量計アンプ部（８６）は、各超音波振動子（８１、８２）がケーブル（９２、９３）を介して接続される流量計アンプ部（８６）であり、
前記流量計センサ部（７４）と前記流量計アンプ部（８６）とが、渦発生体（７８）の下流に発生するカルマン渦の発生周波数を超音波振動子（８１）が送信した信号と超音波振動子（８２）が受信した信号との位相差によって流量を演算する超音波式渦流量計を構成する、
ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の流体制御装置の構成を図１、図２に基づいて説明すると、
超音波を流体中に発信する超音波振動子１２と該超音波振動子１２から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部６４に出力する超音波振動子１３とを有する流量計センサ部４と、操作圧により流体の圧力を制御する圧力制御弁５とを具備し、少なくとも流量計センサ部４と圧力制御弁５とが、流体流入口３と流体流出口６とを有する１つの第一のケーシング２内に接続されて設置されてなることを第１の特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
流量計センサ部４と圧力制御弁５とが１つの第一のケーシング２に設置されてなるバルブモジュール１と、
流量計センサ部４の信号によって流量を演算する流量計アンプ部６４と、圧力制御弁５の操作圧を調整する電空変換器６６と、流量計アンプ部６４で演算された流量値に基づいて操作圧を調整しフィードバック制御するための制御部６５とが１つの第二のケーシング６３内に設置してなる電装モジュール６２とを備え、
前記バルブモジュール１と前記電装モジュール６２とが別体で構成される、例えば、それぞれが独立したケーシングで構成されることを第２の特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、電装モジュール６２の第二のケーシング６３は、該第二のケーシング６３内に充填された気体を排出するために設けられた排出口７３が形成されていることを第３の特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、圧力制御弁５が、
下部中央に底部まで開放して設けられた第二の空隙２２と、第二の空隙２２に連通する入口流路２４と、上部に上面が開放して設けられ第二の空隙２２の径よりも大きい径を有する第一の空隙２３と、第一の空隙２３に連通する出口流路２５と、第一の空隙２３と第二の空隙２２とを連通し第一の空隙２３の径よりも小さい径を有する連通孔２６とを有し、第二の空隙２２の上面が弁座２７とされた本体１４と、
円筒状の空隙２８を内部に有し、下端内周面に段差部２９が設けられたボンネット１５と、
ボンネット１５の側面あるいは上面に設けられた、円筒状の空隙２８内に加圧された気体を供給する給気孔３０と、
ボンネット１５の段差部２９に嵌挿され中央部に貫通孔３２を有するバネ受け１６と、  下端部にバネ受け１６の貫通孔３２よりも小径の第一接合部３７を有し、上部に鍔部３５が設けられボンネット１５の空隙２８内部に上下動可能に嵌挿されたピストン１７と、
ピストン１７の鍔部３５の下端面とバネ受け１６の上端面で挟持支承されているバネ１８と、
周縁部が本体１４とバネ受け１６との間で挟持固定され、本体１４の第一の空隙２３に蓋する形で第一の弁室４４を形成する中央部が肉厚とされた第一ダイヤフラム４０と、上面中央にピストン１７の第一接合部３７にバネ受け１６の貫通孔３２を貫通して接合固定される第二接合部４２と、下面中央に本体１４の連通孔２６と貫通して設けられた第三接合部４３とを有する第一弁機構体１９と、
本体１４の第二の空隙２２内部に位置し本体１４の連通孔２６よりも大径に設けられた弁体４５と、弁体４５上端面に突出して設けられ第一弁機構体１９の第三接合部４３と接合固定される第四接合部４７と、弁体４５下端面より突出して設けられたロッド４８と、ロッド４８下端面より径方向に延出して設けられた第二ダイヤフラム５０とを有する第二弁機構体２０と、
本体１４の下方に位置し第二弁機構体２０の第二ダイヤフラム５０周縁部を本体１４との間で挟持固定する突出部５２を上部中央に有し、突出部５２の上端部に切欠凹部５３が設けられると共に切欠凹部５３に連通する呼吸孔５４が設けられているベースプレート２１とを具備し、
ピストン１７の上下動に伴って第二弁機構体２０の弁体４５と本体１４の弁座２７とによって形成される流体制御部５５の開口面積が変化するように構成されたことを第４の特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、流量計センサ部４と流量計アンプ部６４とを接続するケーブル７０、７１が、コネクタ５９、６０、６７、６８を介して流量計センサ部４及び／または流量計アンプ部６４と脱着可能に設けられていることを第５の特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、流量計センサ部４と流量計アンプ部６４とを接続するケーブル７０、７１が、コネクタ５９、６０、６７、６８を介して流量計センサ部４及び／または流量計アンプ部６４と脱着可能に設けられ、
圧力制御弁５のボンネット１５の側面あるいは上面に、円筒状の空隙２８内から気体を排出する排出孔３１が設けられ、
該排出孔３１が第一のケーシング２に設けられたコネクタボックス５６の吸気孔５７に連通され、コネクタボックス５６に第一のケーシング２の外部と連通する排気孔５８が設けられていることを第６の特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、流量計センサ部４は、流体流入口３に連通する入口流路７と、入口流路７から垂設された第一立上り流路８と、第一立上り流路８に連通し入口流路７の軸線に略平行に設けられた直線流路９と、直線流路９から垂設された第二立上り流路１０と、第二立上り流路１０に連通し入口流路７の軸線に略平行に設けられ圧力制御弁５の入口流路２４に連通する出口流路１１とが連続して設けられ、第一、第二立上り流路８、１０の側壁の直線流路９の軸線と交わる位置に、超音波振動子１２、１３が互いに対向して配置された流量計センサ部４であり、
流量計アンプ部６４は、超音波振動子１２、１３がケーブル７０、７１を介して接続される流量計アンプ部６４であり、
前記流量計センサ部４と前記流量計アンプ部６４とが流量計測器を構成し、
前記流量計測器が、超音波振動子１２、１３の送受信を交互に切り替えて超音波振動子１２、１３間の超音波伝搬時間差を測定することにより直線流路９を流れる流体の流量を演算するように構成された超音波流量計であることを第７の特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、流量計センサ部７４は、流体流入口３に連通する入口流路７７と、入口流路７７内に垂設されたカルマン渦を発生させる渦発生体７８と、出口流路７９とを備える直線流路８０とが連続して設けられ、直線流路８０の渦発生体７８の下流側の側壁に、超音波振動子８１、８２が流路軸線方向に直交する位置に互いに対向して配置された流量計センサ部７４であり、
流量計アンプ部８６は、超音波振動子８１、８２がケーブル９２、９３を介して接続される流量計アンプ部８６であり、
前記流量計センサ部７４と前記流量計アンプ部８６とが流量計測器を構成し、
前記流量計測器が、渦発生体７８の下流に発生するカルマン渦の発生周波数を超音波振動子８１が送信した信号と超音波振動子８２が受信した信号との位相差によって流量を演算するように構成された超音波式渦流量計であることを第８の特徴とする。