【手続補正書】
【提出日】平成19年3月30日(2007.3.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】 光源から供給される光の光量を調整する光量調整装置において、
前記光源からの光が平行光となる位置に配置され、偏向方向が各々独立して制御可能な微小光偏向素子を面状に多数配列した光偏向手段と、
照明光路上と該照明光路外との方向に前記光偏向手段の微小光偏向素子で前記光源からの光を偏向するために前記微小光偏向素子を各々独立して制御する制御手段とを具備し、
前記制御手段による微小光偏向素子の各々独立した制御により、前記光源からの光を偏向する割合を調整し、前記光源からの光の光量を調整することを特徴とする光量調整装置。
【請求項２】 前記光量調整装置は、
さらに、前記制御手段の制御により前記照明光路外に偏向された光が、前記照明光路上に混入するのを防止する手段を備えていることを特徴とする請求項１記載の光量調整装置。
【請求項３】 前記光量調整装置は、
前記光偏向手段の微小光偏向素子で前記照明光路上に偏向した前記光源からの光を集光する集光光学系を備えていることを特徴とする請求項１または２記載の光量調整装置。
【請求項４】 前記光量調整装置は、
前記集光光学系の集光位置に内部で集光された光を散乱させる光学系を備えていることを特徴とする請求項３記載の光量調整装置。
【請求項５】 前記内部で集光された光を散乱させる光学系は、
光ファイバであることを特徴とする請求項４記載の光量調整装置。
【請求項６】 前記光ファイバは、
シングルモードファイバであることを特徴とする請求項５記載の光量調整装置。
【請求項７】 前記内部で集光された光を散乱させる光学系は、
光散乱板であることを特徴とする請求項４記載の光量調整装置。
【請求項８】 前記光偏向手段は、
微小光偏向素子として微小ミラーを同一平面上に格子状に多数配列し、これら微小ミラーの偏向方向を各々独立して制御可能な微小ミラーアレイであることを特徴とする請求項１または２記載の光量調整装置。
【請求項９】 前記制御手段は、
さらに前記光偏向手段の微小光偏向素子を制御して調整した前記光源からの光の光量を検出する光量検出手段を備え、
前記光量検出手段により検出された光量と予め設定された設定光量とを比較し、その結果に基づいて前記光偏向手段の微小光偏向素子の偏向方向を各々独立して制御することを特徴とする請求項１、２または８記載の光量調整装置。
【請求項１０】 前記光偏向手段は、正立型顕微鏡または倒立型顕微鏡における照明光路の開口絞りの位置に配置されていることを特徴とする請求項１の光量調整装置。
【請求項１１】 前記光源はランプ光源であり、このランプ光源のフィラメント電圧が一定のまま、前記制御手段が前記微小光偏向素子の制御を行うことによって照明光の光量調整を行うことを特徴とする請求項１０の光量調整装置。
【請求項１２】 レーザ光源と、
前記レーザ光源からの光が平行光となる位置に配置され、偏向方向が各々独立して制御可能な微小光偏向素子を面状に多数配列した光偏向手段と、
照明光路上と該照明光路外との方向に前記光偏向手段の微小光偏向素子で前記レーザ光源からの光を偏向するために前記微小光偏向素子を各々独立して制御する制御手段と、
前記微小光偏向素子によって照明光路上に偏向された光を集光する集光光学系と、
前記集光光学系の集光位置に配置されるシングルモード光ファイバと、
前記シングルモード光ファイバから出射されるレーザ光が供給され、レーザ光を２次元走査するスキャナとレーザ光の走査により発生する試料からの光を検出する光検出器を有する走査型顕微鏡本体とを具備し、
前記制御手段による微小光偏向素子の各々独立した制御により、前記レーザ光源からのレーザ光を偏向する割合を調整し、前記走査型顕微鏡本体に供給されるレーザ光の光量を調整することを特徴とするレーザ走査型顕微鏡。
【請求項１３】 前記レーザ光源は互いに異なる波長のレーザ光を発生する複数のレーザ光源であり、前記光偏向手段は前記複数のレーザ光源のそれぞれに対応して設けられ、
前記制御手段が前記各光偏向手段を個別に制御することにより、前記レーザ光が波長ごとに光量を調整されて、前記シングルモード光ファイバによって前記走査型顕微鏡本体に供給されることを特徴とする請求項１２の光量調整装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、光源から供給される光の光量を調整する光量調整装置において、前記光源からの光が平行光となる位置に配置され、偏向方向が各々独立して制御可能な微小光偏向素子を面状に多数配列した光偏向手段と、照明光路上と該照明光路外との方向に前記光偏向手段の微小光偏向素子で前記光源からの光を偏向するために前記微小光偏向素子を各々独立して制御する制御手段とを具備し、前記制御手段による微小光偏向素子の各々独立した制御により、前記光源からの光を偏向する割合を調整し、前記光源からの光の光量を調整することを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明において、前記光量調整装置は、前記光偏向手段の微小光偏向素子で前記照明光路上に偏向した前記光源からの光を集光する集光光学系を備えていることを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項６記載の発明は、請求項５記載の発明において、前記光ファイバは、シングルモードファイバであることを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項９記載の発明は、請求項１、２または８記載の発明において、前記制御手段は、さらに前記光偏向手段の微小光偏向素子を制御して調整した前記光源からの光の光量を検出する光量検出手段を備え、前記光量検出手段により検出された光量と予め設定された設定光量とを比較し、その結果に基づいて前記光偏向手段の微小光偏向素子の偏向方向を各々独立して制御することを特徴としている。
請求項１０の発明は、請求項１の発明において、前記光偏向手段は、正立型顕微鏡または倒立型顕微鏡における照明光路の開口絞りの位置に配置されていることを特徴とする。
請求項１１の発明は、請求項１０の発明において、前記光源はランプ光源であり、このランプ光源のフィラメント電圧が一定のまま、前記制御手段が前記微小光偏向素子の制御を行うことによって照明光の光量調整を行うことを特徴とする。
請求項１２の発明は、レーザ光源と、前記レーザ光源からの光が平行光となる位置に配置され、偏向方向が各々独立して制御可能な微小光偏向素子を面状に多数配列した光偏向手段と、照明光路上と該照明光路外との方向に前記光偏向手段の微小光偏向素子で前記レーザ光源からの光を偏向するために前記微小光偏向素子を各々独立して制御する制御手段と、前記微小光偏向素子によって照明光路上に偏向された光を集光する集光光学系と、前記集光光学系の集光位置に配置されるシングルモード光ファイバと、前記シングルモード光ファイバから出射されるレーザ光が供給され、レーザ光を２次元走査するスキャナとレーザ光の走査により発生する試料からの光を検出する光検出器を有する走査型顕微鏡本体とを具備し、前記制御手段による微小光偏向素子の各々独立した制御により、前記レーザ光源からのレーザ光を偏向する割合を調整し、前記走査型顕微鏡本体に供給されるレーザ光の光量を調整することを特徴とするレーザ走査型顕微鏡である。
請求項１３の発明は、請求項１２の発明において、前記レーザ光源は互いに異なる波長のレーザ光を発生する複数のレーザ光源であり、前記光偏向手段は前記複数のレーザ光源のそれぞれに対応して設けられ、前記制御手段が前記各光偏向手段を個別に制御することにより、前記レーザ光が波長ごとに光量を調整されて、前記シングルモード光ファイバによって前記走査型顕微鏡本体に供給されることを特徴とする。