【手続補正書】
【提出日】平成20年5月12日(2008.5.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  パターン化された、硬化光に対して実質的に透明なテンプレートを使用して、基板上にパターンを形成する方法であって、
硬化光が存在すると硬化する光硬化液を基板の一部に塗布するステップと、
パターン化されたテンプレートがテンプレート・アライメント・マークを備えており、かつ、基板が基板アライメント・マークを備えているいときに、そのパターン化されたテンプレートが、基板上に配置された液体の少なくとも一部に接触するように、パターン化されたテンプレートおよび基板を位置決めするステップと、
基板アライメント・マークに対するテンプレート・アライメント・マークのアライメントを正確に測定するステップと、
テンプレート・アライメント・マークと基板アライメント・マークが実質的に整列するように、基板に対するパターン化されたテンプレートのオーバレイ配置を調整するステップと、
塗布された液体が、パターン化されたテンプレートと基板の間の実質的に一様なギャップを実質的に充填するように、パターン化されたテンプレートと基板の間の隙間を調整するステップと、
テンプレートを通して液体に硬化光を照射するステップであって、硬化光の照射によって液体が実質的に硬化し、硬化した液体中に、パターン化されたテンプレートのパターンが形成されるステップと、
パターン化されたテンプレートと硬化した液体を分離するステップと、
から構成されることを特徴とする方法。
【請求項２】  パターン化された、硬化光に対して実質的に透明なテンプレートを使用して、基板上にパターンを形成する方法であって、
硬化光が存在すると硬化する光硬化液を基板の一部に塗布するステップと、
塗布された液体が、パターン化されたテンプレートと基板の間のギャップを実質的に充填するように、パターン化されたテンプレートと基板を位置決めするステップと、
基板アライメント・マークに対するテンプレート・アライメント・マークのアライメントを正確に測定するステップと、
テンプレート・アライメント・マークと基板アライメント・マークが実質的に整列するように、基板に対するパターン化されたテンプレートのオーバレイ配置を調整するステップと、
テンプレートを通して液体に硬化光を照射するステップであって、活性化光の照射によって液体が実質的に硬化し、硬化した液体中に、パターン化されたテンプレートのパターンが形成されるステップと、
パターン化されたテンプレートと硬化した液体を分離するステップと、
から構成されることを特徴とする方法。
【請求項３】  パターン化された、硬化光に対して実質的に透明なテンプレートを使用して、基板上に繰返しパターンを形成する方法であって、
硬化光が存在すると硬化する光硬化液を基板の第１の部分に塗布するステップと、
パターン化されたテンプレートがテンプレート・アライメント・マークを備えており、かつ、基板の第１の部分が基板アライメント・マークを備えているときに、パターン化されたテンプレートが基板上に配置された液体の少なくとも一部に接触するように、パターン化されたテンプレートおよび基板の第１の部分を位置決めするステップと、
基板アライメント・マークに対するテンプレート・アライメント・マークのアライメントを正確に測定するステップと、
テンプレート・アライメント・マークと基板アライメント・マークが実質的に整列するように、基板の第１の部分に対するパターン化されたテンプレートのオーバレイ配置を調整するステップと、
基板に対するパターン化されたテンプレートの較正オーバレイ配置を正確に測定するステップと、
塗布された液体が、パターン化されたテンプレートと基板の間のギャップを実質的に充填するように、パターン化されたテンプレートと基板の第１の部分の間の隙間を調整するステップと、
テンプレートを通して、基板の第１の部分に配置された液体に活性化光を照射するステップであって、活性化光の照射によって、基板の第１の部分の液体が実質的に硬化し、硬化した液体中に、パターン化されたテンプレートのパターンが形成されるステップと、
パターン化された硬化液が基板の第１の部分に形成されるよう、パターン化されたテンプレートと基板の第１の部分の硬化液を分離するステップと、
基板の第２の部分に液体を塗布するステップと、
基板の第２の部分の上にテンプレートを位置決めするステップと、
較正配向に整合させるために、基板の第２の部分に対するパターン化されたテンプレートのオーバレイ配置を再調整するステップと、
塗布された液体が、パターン化されたテンプレートと基板の間のギャップを実質的に充填するように、パターン化されたテンプレートと基板の第２の部分の間の隙間を調整するステップと、
テンプレートを通して、基板の第２の部分に配置された液体に活性化光を照射するステップであって、活性化光の照射によって、基板の第２の部分の液体が実質的に硬化し、硬化した液体中に、パターン化されたテンプレートのパターンが形成されるステップと、
パターン化された硬化液が基板の第２の部分に形成されるよう、パターン化されたテンプレートとパターン化された硬化液を分離するステップと、
から構成される特徴とする方法。
【請求項４】  パターン化されたテンプレートを使用して、基板上にパターンを形成するシステムであって、
頂部フレームと、
配向ステージであって、配向ステージが、
使用中、第１の配向軸の周りにピボットするようになされた第１のたわみ部材と、
使用中、第２の配向軸の周りにピボットするようになされた、第１のたわみ部材に結合された第２のたわみ部材と、
使用中、パターン化されたテンプレートを保持するようになされた、第２のたわみ部材に結合されたサポートとを備え、使用中、パターン化されたテンプレートがサポート中に配置されると、パターン化されたテンプレートが、第１および第２の配向軸が交差するピボット・ポイントの周りを移動するように、第２のたわみ部材が第１のたわみ部材に結合される配向ステージと、
サポート中に配置される、パターン化されたテンプレートと、
基板を支持するようになされた基板ステージであって、配向ステージの下側に位置付けされ、かつ、パターン化されたテンプレートに実質的に平行な平面に沿って基板を移動させるようにされた基板ステージと、
テンプレートに光学的に結合された測定デバイスであって、
使用中、テンプレートに向けて光を導くようになされた照明システムと、
照明システムに光学的に結合され、かつ、基板ステージ上に位置付けされたテンプレートおよび基板から伝搬する光を検出するようになされた検出システムとを備えた測定デバイスと、
から構成されることを特徴とするシステム。
【請求項５】  パターン化された、硬化光に対して実質的に透明なテンプレートを使用して、基板上にパターンを形成する方法であって、
硬化光が存在する中で硬化する光硬化液を基板の一部に塗布するステップと、
パターン化されたテンプレートがテンプレート・アライメント・マークおよび基板転写マークを備えており、かつ、基板が基板アライメント・マークを備えているときに、塗布された液体が、パターン化されたテンプレートと基板の間のギャップを実質的に充填するように、パターン化されたテンプレートと基板の間の隙間を調整するステップと、
テンプレートを通して液体に硬化光を照射するステップであって、硬化光の照射によって液体が実質的に硬化し、硬化した液体中の、基板転写マークと実質的に整列した位置に新しい基板アライメント・マークが形成されるステップと、
パターン化されたテンプレートと硬化した液体を分離するステップと、
から構成されることを特徴とする方法。
【請求項６】  パターン化されたテンプレートを使用して、基板上にパターンを形成するシステムであって、
頂部フレームと、
配向ステージであって、配向ステージが、
配向下部構造であって、使用中、パターン化されたテンプレートを保持するようになされたサポートを備え、かつ、パターン化されたテンプレートが配向下部構造中に配置された場合に、パターン化されたテンプレートが、パターン化されたテンプレートの表面のピボット・ポイントの周りを移動するようになされた配向下部構造と、
使用中、テンプレートのサイズを変更するようになされた、配向下部構造に結合されたテンプレート調整デバイスと、
配向下部構造中に配置される、パターン化されたテンプレートと、
基板を支持するようになされた基板ステージであって、配向ステージの下側に位置付けされ、かつ、パターン化されたテンプレートに実質的に平行な平面に沿って基板を移動させるようにされた基板ステージと、
から構成されることを特徴とするシステム。
【請求項７】  パターン化された、硬化光に対して実質的に透明なテンプレートを使用して、基板上にパターンを形成する方法であって、
硬化光が存在する中で硬化する光硬化液を基板の一部に塗布するステップと、
パターン化されたテンプレートが、基板上に配置された液体の少なくとも一部と接触するように、パターン化されたテンプレートおよび基板を位置決めするステップと、
塗布された液体が、パターン化されたテンプレートと基板の間の実質的に一様なギャップを実質的に充填するように、パターン化されたテンプレートと基板の間の隙間を調整するステップと、
硬化光の照射によって液体が実質的に硬化するように、テンプレートを通して液体に硬化光を照射するステップと、
から構成されることを特徴とする方法。
【請求項８】  サイズが約２５０ｎｍ未満の少なくとも複数のフィーチャを備え、転写された光硬化層を有することを特徴とするデバイス。