【手続補正書】
【提出日】平成20年5月7日(2008.5.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マグネトロン組立体において、
ハウジングと、
前記ハウジング内で回転させるために取り付けられている回転可能な駆動軸と、
前記駆動軸と接続されているターゲットと、
前記ハウジングと前記駆動軸の間のベアリングであって、少なくとも一部は導電性材料で作られている、ベアリングと、
電流が前記ベアリングを通って流れることを防止する手段と、を備えているマグネトロン組立体。
【請求項２】
前記防止する手段は、非導電材料で作られた、内側レース、外側レース、及び前記ベアリング部材の内の少なくとも１つを含んでいる、請求項１に記載のマグネトロン組立体。
【請求項３】
前記ベアリングは、内側レースと、外側レースと、前記内側レースと前記外側レースの間のベアリング部材と、を含んでおり、前記手段は、前記外側レースの外面又は前記内側レースの内面の内の少なくとも一方に、非導電性被覆が施されている、請求項１に記載のマグネトロン組立体。
【請求項４】
前記防止する手段は、前記ベアリングと前記ハウジングの間に配置された非導電性材料のスリーブ、又は前記ベアリングと前記駆動軸の間に配置された非導電性材料のスリーブ、の内の少なくとも一方を含んでいる、請求項１に記載のマグネトロン組立体。
【請求項５】
前記防止する手段は、前記駆動シャフトの外面の前記ベアリングの領域に施された非導電性材料の被覆、又は前記ハウジングの内面の前記ベアリングの領域に施された非導電性材料の被覆、の内の少なくとも一方を含んでいる、請求項１に記載のマグネトロン組立体。
【請求項６】
前記ベアリングは、組み合わせ式ベアリング／シール部材であって、
前記ハウジングに対して固定されている外側ベアリングレースと、
共に回転するように、前記駆動軸に接続されている内側ベアリングと、
前記外側ベアリングレースと前記内側ベアリングレースの間のベアリング部材と、
前記外側ベアリングレースと前記内側ベアリングレースの間の強磁性流体シールと、を備えている、組み合わせ式ベアリング／シール部材である、請求項１に記載のマグネトロン組立体。
【請求項７】
前記防止する手段は、前記外側ベアリングレース又は前記内側ベアリングレースの内の少なくとも一方が、非導電性材料で作られている、請求項６に記載のマグネトロン組立体。
【請求項８】
前記ベアリングは、内側レースと、外側レースと、前記内側レースと前記外側レースの間の第２ベアリング部材と、を含んでおり、前記手段は、非導電性材料で作られた、前記内側レース、前記外側レース、及び前記第２ベアリング部材の内の少なくとも１つを含んでいる、請求項６に記載のマグネトロン組立体。
【請求項９】
前記ハウジングの内面部分と前記ベアリングハウジングの外面部分との間に配置され且つ前記両部分により画定されている冷却流体流路を含んでいる、請求項６に記載のマグネトロン組立体。
【請求項１０】
前記ハウジングは、前記冷却流体流路と連通している冷却流体の流入口と流出口を含んでいる、請求項９に記載のマグネトロン組立体。
【請求項１１】
前記駆動軸は、軸方向に伸張しており、前記手段は、前記ベアリングに密接に関係付けられ且つ前記ハウジングと前記駆動軸の間を伸張している導電性部材を含んでいる、請求項１に記載のマグネトロン組立体。
【請求項１２】
前記導電性部材は導電性ブラシである、請求項１１に記載のマグネトロン組立体。
【請求項１３】
前記ベアリングは、組み合わせ式ベアリング／シール部材であって、
前記ハウジングに対して固定されている外側ベアリングレースと、
前記駆動軸に、共に回転するように接続されている内側ベアリングと、
前記外側ベアリングレースと前記内側ベアリングレースの間のベアリング部材と、
前記外側ベアリングレースと前記内側ベアリングレースの間のリップシールと、を備えている、組み合わせ式ベアリング／シール部材である、請求項１に記載のマグネトロン組立体。
【請求項１４】
マグネトロン組立体において、
ハウジングと、
前記ハウジング内で回転させるために取り付けられている回転可能な駆動軸と、
前記駆動軸と接続されているターゲットと、
前記ハウジングと前記駆動シャフトの間のベアリングであって、内側レースと、外側レースと、前記内側レースと前記外側レースの間のベアリング部材と、を含んでおり、且つ導電グリースで包み込まれている、ベアリングと、を備えているマグネトロン組立体。
【請求項１５】
ハウジングと、前記ハウジング内に取り付けられた回転可能な駆動軸と、前記駆動軸と接続されているカソードと、前記ハウジングと前記駆動軸の間に配置されている組み合わせ式ベアリング／シールと、を備えている型式のマグネトロン組立体用の組み合わせ式ベアリング／シールにおいて、
マグネトロン組立体ハウジングと接続可能な外側ベアリングレースと、
マグネトロン組立体駆動軸に、共に回転させるために接続可能な内側ベアリングと、
前記外側ベアリングレースと前記内側ベアリングレースの間の強磁性流体シールと、
前記外側ベアリングレースと前記内側ベアリングレースの間に配置されているベアリング部材と、
何れの電流も前記ベアリング部材を通って流れることを防止するための手段と、を備えている、組み合わせ式ベアリング／シール。
【請求項１６】
前記手段は、非導電性材料で作られた、前記外側ベアリングレース又は前記内側ベアリングレースの少なくとも一方を含んでいる、請求項１５に記載の組み合わせ式ベアリング／シール。
【請求項１７】
前記ベアリング部材は、外側レースと、内側レースと、前記外側レースと前記内側レースの間に配置された第２ベアリング部材とを含んでおり、前記内側レースと前記外側レースと前記第２ベアリング部材の内の少なくとも１つは、非導電性材料で作られている、請求項１５に記載の組み合わせ式ベアリング／シール。
【請求項１８】
冷却流体流路を、前記外側ベアリングハウジングの外面部分に含んでいる、請求項１５に記載の組み合わせ式ベアリング／シール。
【請求項１９】
マグネトロン組立体において、
ハウジングと、
前記ハウジング内で回転させるための駆動軸と、
前記駆動軸と接続されているターゲットと、
前記ハウジングと前記駆動軸の間のベアリングであって、内側レースと、外側レースと、前記内側レースと前記外側レースの間に配置されているベアリング部材と、を含んでおり、前記内側レースと前記外側レースと前記ベアリング部材の内の少なくとも１つは、非導電性材料で作られており、前記内側レースと前記外側レースと前記ベアリング部材の内の少なくとも１つは、導電性材料で作られている、ベアリングと、を備えているマグネトロン組立体。
【請求項２０】
前記内側レースと前記外側レースは、それぞれ導電性材料で作られており、前記ベアリング部材は非導電性材料で作られている、請求項１９に記載のマグネトロン組立体。
【請求項２１】
前記ベアリング部材はセラミックで作られている、請求項２０に記載のマグネトロン組立体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
組み合わせ式ベアリング／シール１６、４８のシール部分は、ベアリング部材の間に配置されており、磁石５９と、磁石５９の各側の双極性材料６０の環状リング６０とで構成されている。強磁性流体シールでは従来から実施されているように、部材６０の内側環状縁と、対応する内側軸５４の外面部分には、複数の溝６１が設けられている。この溝には強磁性流体液材料が供給され、磁石５９によって溝６１の中に保持されており、これが、固定された部材６０と回転する内側軸５４の間にシールを形成する機能を果たす。ねじを切った端キャップ５３がハウジング５２にねじ込まれて、ベアリングとシール要素を保持する。内側軸５４には、クランプ又はカラー６２を介して駆動軸１２、３４（図１及び図２）が接続されている。一対のＯリングシール５７、５７が、内側軸５４と駆動軸１２、３６（図１及び図２）の間に設けられている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
【図１】水平に配置されたターゲットを備えた、回転マグネトロンスパッタリング組立体の部分断面図である。
【図２】垂直に配置されたターゲットを備えた、回転マグネトロンスパッタリング組立体の部分断面図である。
【図３】本発明による強磁性流体シールの断面図である。
【図４】図４Ａと図４Ｂは、それぞれ、本発明によるダブルボールベアリング構成の側面図と断面図である。
【図５】図５Ａと図５Ｂは、それぞれ、本発明によるシングルボールベアリング構成の側面図と断面図である。
【図６】本発明による、非導電性スリーブを備えたベアリング構成の断面図である。
【図７】本発明による、ベアリング構成の別の実施形態の断面図である。
【図８】電流バイパスを設けるために、導電性要素と組み合わせた別のベアリング構成の断面図である。
【図９】本発明による強磁性流体ベアリング／シールの別の実施形態の断面図である。
【図１０】図１０は、図１０Ａと図１０Ｂから成り、図１０Ａは、本発明による強磁性流体ベアリング／シールの別の実施形態の断面図であり、図１０Ｂは、図１０Ａの１０Ｂ−１０Ｂ線に沿って見た断面図である。
【図１１】本発明によるベアリングシールの別の実施形態の断面図である。
【図１２】ベアリング／シール部材用の水冷手段を示している、図１と同様の図である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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