【手続補正書】
【提出日】平成19年4月13日(2007.4.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反射部材を温度調節する温度調節装置であって、
前記反射部材上の光の照射領域との間で輻射熱の授受を行う第１輻射部材を含み、該第１輻射部材を用いて前記光学部材の温度を調節する第１輻射機構と、
前記第１輻射部材からの輻射熱のうち、前記照射領域以外の領域に伝わる輻射熱の熱量を低減する遮蔽部材とを備えることを特徴とする温度調節装置。
【請求項２】
前記遮蔽部材の輻射率が０．１以下もしくは０．９以上であることを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項３】
前記遮蔽部材は、前記光学部材に入射する光を制限する絞りの機能を有することを特徴とする請求項１又は２記載の温度調節装置。
【請求項４】
前記遮蔽部材は、前記反射部材と前記第１輻射部材との間の空間の側面を覆う筒形状をしていることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の温度調節装置。
【請求項５】
前記遮蔽部材の温度を調節する温度調節機構を有することを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の温度調節装置。
【請求項６】
前記反射部材と前記遮蔽部材とが、互いに異なる支持部材により支持されていることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の温度調節装置。
【請求項７】
前記第１輻射部材は、前記反射部材の反射面と対向していることを特徴とする請求項１乃至６いずれかに記載の温度調節装置。
【請求項８】
前記第１輻射板の前記照射領域と向かい合っている輻射面が凹面形状をしており、該輻射面の曲率半径が該輻射面の中心と前記照射領域の中心との距離と同じか、該輻射面の中心と前記照射領域の中心との距離より長いことを特徴とする請求項１乃至７いずれかに記載の温度調節装置。
【請求項９】
前記反射部材の反射面と反対側の面と対向する第２輻射部材を有し、該第２輻射部材を用いて前記反射部材の温度を調節することを特徴とする請求項７記載の温度調節装置。
【請求項１０】
前記遮蔽部材は、前記反射部材の周囲の少なくとも一部を覆うように構成されていることを特徴とする請求項１乃至９いずれかに記載の温度調節装置。
【請求項１１】
前記反射部材の温度を検出する温度検出部と、前記温度検出部による検出結果に基づいて前記第１輻射機構を制御する制御部とを有することを特徴とする請求項１乃至１０いずれかに記載の温度調節装置。
【請求項１２】
前記第１輻射部材を温度調節する冷媒を流す流路を備えることを特徴とする請求項１１に記載の温度調節装置。
【請求項１３】
前記第１輻射部材の前記反射部材と反対側の設けられたペルチェ素子と、前記ペルチェ素子の前記第１輻射部材と反対側に設けられた放熱ブロックと、前記ペルチェ素子に流す電流量を調整することにより、前記第１輻射部材の温度を調節する制御部とを有することを特徴とする請求項１乃至１２いずれかに記載の温度調節装置。
【請求項１４】
前記放熱ブロックは、冷媒を流す流路を有することを特徴とする請求項１乃至１３いずれかに記載の温度調節装置。
【請求項１５】
前記遮蔽部材は、前記第１輻射部材からの輻射熱のうち前記所定領域以外の領域に輻射熱が伝わるのを防ぐことを特徴とする請求項１乃至１４いずれかに記載の温度調節装置。
【請求項１６】
反射部材を含み、光源からの光を被露光体に導く光学系と、前記反射部材上の光の照射領域との間で輻射熱の授受を行う第１輻射部材を含み、該第１輻射部材を用いて前記反射部材の温度を調節する第１輻射機構と、前記第１輻射部材からの輻射熱のうち、前記照射領域以外の領域に伝わる輻射熱の熱量を低減する遮蔽部材とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１７】
前記光源からの光の波長がＥＵＶ光であって、前記光源から前記被露光体に到る光路上に配置されが光学素子がすべて反射光学素子であって、前記反射部材が収納されている空間の雰囲気が、高真空もしくはヘリウムガスで満たされていることを特徴とする請求項１６記載の露光装置。
【請求項１８】
前記遮蔽部材は、前記第１輻射部材からの輻射熱のうち前記照射領域以外の領域に輻射熱が伝わるのを防ぐことを特徴とする請求項１６記載の露光装置。
【請求項１９】
請求項１６に記載の露光装置を用いて前記被露光体を露光する工程と、前記露光された被露光体を現像する工程とを有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項２０】
光学部材の入射側に設けられ、前記光学部材に入射する光を制限する絞りを有し、前記絞りの輻射率が０．１以下もしくは０．９以上であることを特徴とする絞り装置。
【請求項２１】
光学部材を含み、光源からの光を被露光体に導く光学系と、前記光学部材の入射側に設けられ、前記光学部材に入射する光を制限する絞りとを備える露光装置であって、前記絞りの輻射率が０．１以下もしくは０．９以上であることを特徴とする露光装置。
【請求項２２】
請求項２１に記載の露光装置を用いて前記被露光体を露光する工程と、前記露光された被露光体を現像する工程とを備えることを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項２３】
反射部材を含み、光源からの光を被露光体に導く光学系と、前記反射部材上の光の照射領域との間で輻射熱の授受を行う第１輻射部材を有し、該第１輻射部材を用いて前記反射部材の温度を調節する第１輻射機構と、前記第１輻射部材からの輻射熱のうち、前記照射領域以外の領域に伝わる輻射熱の熱量を低減する遮蔽部材と、前記反射部材の温度を検出する温度検出機構と、前記温度検出機構による検出結果に基づいて前記反射部材の温度調節を行う制御機構とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２４】
前記制御機構が、前記検出結果及び前記被露光体を露光する露光スケジュールとに基づいて、前記反射部材の温度調節を行うことを特徴とする請求項２３記載の露光装置。
【請求項２５】
前記第１輻射部材の前記反射部材と反対側に設けられたペルチェ素子と、前記ペルチェ素子の前記第１輻射部材と反対側に設けられた放熱ブロックと、前記放熱ブロック内に設けられ、冷媒を流すための流路と、前記ペルチェ素子に流す電流量を調節することにより、前記第１輻射部材の温度を調節する制御機構とを備えることを特徴とする請求項２３又は２４記載の露光装置。
【請求項２６】
請求項２３乃至２５いずれかに記載の露光装置を用いて前記被露光体を露光する工程と前記露光された被露光体を現像する工程とを備えることを特徴とするデバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての温度調節装置は、反射部材を温度調節する温度調節装置であって、前記反射部材上の光の照射領域との間で輻射熱の授受を行う第１輻射部材を含み、該第１輻射部材を用いて前記反射部材の温度を調節する第１輻射機構と、前記第１輻射部材からの輻射熱のうち、前記照射所定領域以外の領域に伝わる輻射熱の熱量を低減する遮蔽部材とを備えることを特徴としている。ここで、前記遮蔽部材の輻射率が０．１以下もしくは０．９以上であるように構成しても良い。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の一側面としての露光装置は、反射部材を含み、光源からの光を被露光体に導く光学系と、前記反射部材上の光の照射領域との間で輻射熱の授受を行う第１輻射部材を含み、該第１輻射部材を用いて前記反射部材の温度を調節する第１輻射機構と、前記第１輻射部材からの輻射熱のうち、前記照射所定領域以外の領域に伝わる輻射熱の熱量を低減する遮蔽部材とを備えることを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の別の側面としての露光装置は、反射部材を含み、光源からの光を被露光体に導く光学系と、前記反射部材上の光の照射領域との間で輻射熱の授受を行う第１輻射部材を有し、該第１輻射部材を用いて前記反射部材の温度を調節する第１輻射機構と、前記第１輻射部材からの輻射熱のうち、前記照射領域以外の領域に伝わる輻射熱の熱量を低減する遮蔽部材と、前記反射部材の温度を検出する温度検出機構と、前記温度検出機構による検出結果に基づいて前記光学部材の温度調節を行う制御機構とを備えることを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９０
【補正方法】削除
【補正の内容】