【手続補正書】
【提出日】平成19年5月7日(2007.5.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液処理方法及び液処理装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の保持部材を被処理体の側方から荷重を加えて該被処理体を保持し、
前記複数の保持部材及び該複数の保持部材に保持された前記被処理体を回転させ、
回転された前記被処理体の周縁部に洗浄液を供給して、前記被処理体の周縁を洗浄する、
ことを特徴とする液処理方法。
【請求項２】
前記複数の保持部材の少なくとも一つを、前記被処理体に付与される荷重が異なるように保持する、ことを特徴とする請求項１に記載の液処理方法。
【請求項３】
前記被処理体の周縁を洗浄した後、
前記保持部材の前記被処理体の縁を保持する位置を変更して、前記複数の保持部材を前記被処理体の側方から荷重を加えて該被処理体を保持し、
前記複数の保持部材及び該複数の保持部材に保持された前記被処理体を回転させ、
回転された前記被処理体の周縁に洗浄液を供給して、前記被処理体の周縁を洗浄する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液処理方法。
【請求項４】
前記保持部材の保持位置を変更するステップは、洗浄済の位置に前記複数の保持部材の位置を変更するステップを有する、ことを特徴とする請求項１、２又は３に記載の液処理方法。
【請求項５】
前記保持部材は、前記被処理体を回転させた状態で、該被処理体の回転中心軸が一定となるように保持する、ことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の液処理方法。
【請求項６】
前記保持部材は、前記被処理体の回転中心軸と、前記被処理体の中心とを異ならせるように保持する、ことを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の液処理方法。
【請求項７】
前記洗浄液を、前記被処理体を回転させた状態で、該被処理体の回転中心軸から最も離れた前記被処理体の周縁に供給する、ことを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載の液処理方法。
【請求項８】
未処理の被処理体を回転可能なチャックに配置し、
前記チャックを回転させることにより前記被処理体の位置合わせを行う、
ことを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項に記載の液処理方法。
【請求項９】
被処理体を保持する保持部材を複数備え、該保持部材により前記被処理体の側方から荷重を加えて該被処理体を保持する保持手段と、
前記保持手段及び該保持手段に保持された前記被処理体を回転させる回転手段と、
前記回転手段により回転中の被処理体の周縁に洗浄液を供給する洗浄手段と、
を備える、ことを特徴とする液処理装置。
【請求項１０】
前記保持部材の少なくとも一つは、前記被処理体に付与される荷重が他の保持部材から前記被処理体に付与される荷重と異なる、ことを特徴とする請求項９に記載の液処理装置。
【請求項１１】
前記保持手段により被処理体を保持し、前記回転手段により前記保持手段及び前記被処理体を回転させ、前記洗浄手段により前記被処理体の周縁を洗浄した後、前記保持手段による前記被処理体の保持位置を変更し、前記回転手段により保持位置を変更した前記保持手段及び前記被処理体を回転させ、前記洗浄手段により前記被処理体の周縁を洗浄する、制御手段、
をさらに備えることを特徴とする請求項９又は１０に記載の液処理装置。
【請求項１２】
前記制御手段は、前記洗浄手段により洗浄された位置に前記複数の保持手段による保持位置を変更する、ことを特徴とする請求項９、１０又は１１に記載の液処理装置。
【請求項１３】
前記保持手段は複数の遠心力チャックから構成され、該遠心力チャックは質量の異なるおもりを備える、ことを特徴とする請求項９乃至１２の何れか１項に記載の液処理装置。
【請求項１４】
前記遠心力チャックは、一の遠心力チャックのおもりが、他の遠心力チャックのおもりより軽い、ことを特徴とする請求項９乃至１３の何れか１項に記載の液処理装置。
【請求項１５】
前記洗浄手段を、前記被処理体を回転させた状態で、該被処理体の回転中心軸から最も離れた位置に洗浄液を供給するように配置する、ことを特徴とする請求項９乃至１４の何れか１項に記載の液処理装置。
【請求項１６】
前記被処理体を前記保持手段に搬送する手段と、
前記保持手段は、前記保持部材と前記被処理体を回転させ、回転により前記保持部材にかかる遠心力により、前記被処理体を位置合わせすると共に固定する手段を備える、
ことを特徴とする請求項９乃至１５の何れか１項に記載の液処理装置。
【請求項１７】
処理ユニットの回転チャックに被処理体を載置し、
回転チャックを回転させることにより被処理体を回転させながら、被処理体を位置合わせすると共に前記被処理体を保持し、
回転された前記被処理体の周縁に洗浄液を供給して、前記被処理体を洗浄する、
ことを特徴とする液処理方法。
【請求項１８】
回転チャックと、
前記回転チャックに被処理体を載置する搬送手段と、
前記回転チャックを回転させて前記被処理体を回転させながら、前記被処理体を位置合わせすると共に被処理体を保持する保持手段と、
前記保持されて回転されている前記被処理体に処理液を供給して該被処理体に形成された膜を処理する処理手段と、
を備えることを特徴とする液処理装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液処理方法及び液処理装置に関し、詳しくは、被処理体表面に形成された薄膜の周縁を洗浄（除去）する液処理方法及び液処理装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、被処理体の周縁の洗浄を微細に制御可能な液処理方法及び液処理装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る液処理方法は、
複数の保持部材を被処理体の側方から荷重を加えて該被処理体を保持し、
前記複数の保持部材及び該複数の保持部材に保持された前記被処理体を回転させ、
回転された前記被処理体の周縁部に洗浄液を供給して、前記被処理体の周縁を洗浄する、ことを特徴とする。
前記複数の保持部材の少なくとも一つを、前記被処理体に付与される荷重が異なるように保持することが望ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
前記被処理体の周縁を洗浄した後、前記保持部材の前記被処理体の縁を保持する位置を変更して、前記複数の保持部材を前記被処理体の側方から荷重を加えて該被処理体を保持し、前記複数の保持部材及び該複数の保持部材に保持された前記被処理体を回転させ、回転された前記被処理体の周縁に洗浄液を供給して、前記被処理体の周縁を洗浄する、ようにしてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
前記保持部材の保持位置を変更するステップは、洗浄済の位置に前記複数の保持部材の位置を変更するステップをさらに配置してもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
前記保持部材は、例えば、前記被処理体を回転させた状態で、該被処理体の回転中心軸が一定となるように保持する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
前記保持部材は、例えば、前記被処理体の回転中心軸と、該被処理体の中心とを異ならせるように保持する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
例えば、前記洗浄液を、前記被処理体を回転させた状態で、該被処理体の回転中心軸から最も離れた前記被処理体の周縁に供給するようにしてもよい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
未処理の被処理体を回転可能なチャックに配置し、前記チャックを回転させることにより前記被処理体の位置合わせを行う、ように構成してもよい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
この発明の第２の観点に係る液処理装置は、
被処理体を保持する保持部材を複数備え、該保持部材により前記被処理体の側方から荷重を加えて該被処理体を保持する保持手段と、
前記保持手段及び該保持手段に保持された前記被処理体を回転させる回転手段と、
前記回転手段により回転中の前記被処理体の周縁に洗浄液を供給する洗浄手段と、
を備える、ことを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
前記保持部材の少なくとも一つは、前記被処理体に付与される荷重が他の保持部材から前記被処理体に付与される荷重と異なる、ことが望ましい。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
前記保持手段により被処理体を保持し、前記回転手段により前記保持手段及び前記被処理体を回転させ、前記洗浄手段により前記被処理体の周縁を洗浄した後、前記保持手段による前記被処理体の保持位置を変更し、前記回転手段により保持位置を変更した前記保持手段及び前記被処理体を回転させ、前記洗浄手段により前記被処理体の周縁を洗浄する、制御手段をさらに配置してもよい。
この制御手段は、例えば、前記洗浄手段により洗浄された位置に前記複数の保持手段による保持位置を変更する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
前記保持手段は、例えば、複数の遠心力チャックから構成され、該遠心力チャックは質量の異なるおもりを備える。
前記遠心力チャックは、例えば、一の遠心力チャックのおもりが、他の遠心力チャックのおもりより軽い、ように構成してもよい。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
前記洗浄手段を、前記被処理体を回転させた状態で、該被処理体の回転中心軸から最も離れた位置に洗浄液を供給するように配置することが望ましい。
また、前記被処理体を前記保持手段に搬送する手段と、前記保持手段は、前記保持部材と前記被処理体を回転させ、回転により前記保持部材にかかる遠心力により、前記被処理体を位置合わせすると共に固定する手段を、さらに配置してもよい。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
この発明の第３の観点に係る液処理方法は、
処理ユニットの回転チャックに被処理体を載置し、
回転チャックを回転させることにより前記被処理体を回転させながら、前記被処理体を位置合わせすると共に前記被処理体を保持し、
回転された前記被処理体の周縁に洗浄液を供給して、前記被処理体を洗浄する、
ことを特徴とする。
この発明の第４の観点に係る液処理装置は、
回転チャックと、
前記回転チャックに被処理体を載置する搬送手段と、
前記回転チャックを回転させて前記被処理体を回転させながら、被処理体を位置合わせすると共に前記被処理体を保持する保持手段と、
前記保持されて回転されている前記被処理体に処理液を供給して前記被処理体に形成された膜を処理する処理手段と、
を備えることを特徴とする。