【手続補正書】
【提出日】平成19年4月20日(2007.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  現在処理中のロットに連続して処理すべき次のロットが存在するか否かを判定する判定手段を具備し、前記判定手段が、該次のロットが存在する旨を判定した場合には、該現在処理中のロットの処理が完了する前に、該次のロットの処理を進行させることを特徴とする半導体製造装置。
【請求項２】  該次のロットの処理を進行させることには、該次のロットの先頭ウエハを搬入することが含まれることを特徴とする請求項１に記載の半導体製造装置。
【請求項３】  現在処理中のロットに連続して処理すべき次のロットが存在するか否かを判定する判定手段を具備し、前記判定手段が、該次のロットが存在する旨を判定した場合には、該現在処理中のロットの処理が完了した後も、ロット処理に必要な資源のオフ処理を行わず、前記判定手段が、該次のロットが存在しない旨を判定した場合には、該現在処理中のロットの処理が完了した後、該資源のオフ処理を行う、ことを特徴とする半導体製造装置。
【請求項４】  前記判定手段は、オペレータの操作により、または通信手段を介してロット処理の予約を受け付けるためのキューを備え、前記キューにおいて次に処理すべきロットの予約が必要な情報を伴って行われたかどうかを監視することによって該判定を行うものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の半導体製造装置。
【請求項５】  前記判定手段は、到着したロットが有する情報に基づいてロット処理の予約を登録するためのキューを備え、前記キューにおいて次に処理すべきロットの予約が必要な情報を伴って行われたかどうかを監視することによって該判定を行うものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の半導体製造装置。
【請求項６】  該次のロットの先頭ウエハの到着に付随して該次のロットの処理に必要なロット情報を受け取ることができる場合において、該現在処理中のロットの最終ウエハに引き続いて該次のロットの先頭ウエハを受け取ったときに、前記判定手段は該次のロットが存在する旨の判定を行うものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の半導体製造装置。
【請求項７】  現在処理中のロットに連続して処理すべき次のロットが存在するか否かを判定する判定工程を有し、前記判定工程において該次のロットが存在する旨を判定した場合には、該現在処理中のロットの処理が完了する前に、次のロットの処理を進行させることを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項８】  現在処理中のロットに連続して処理すべき次のロットが存在するか否かを判定する判定工程を有し、前記判定工程において該次のロットが存在する旨を判定した場合には、該現在処理中のロットの処理が完了した後も、ロット処理に必要な資源のオフ処理を行わず、前記判定工程において該次のロットが存在しない旨を判定した場合には、該現在処理中のロットの処理が完了した後、該資源のオフ処理を行うことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
そこで、本発明は、半導体製造装置およびデバイス製造方法において、連続して処理される前後のロットを切換えるときの時間的損失を減少させることを課題とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明の第１の半導体製造装置は、現在処理中のロットに連続して処理すべき次のロットが存在するか否かを判定する判定手段を具備し、前記判定手段が、該次のロットが存在する旨を判定した場合には、該現在処理中のロットの処理が完了する前に、該次のロットの処理を進行させることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
第２の半導体製造装置は、第１の半導体製造装置において、該次のロットの処理を進行させることには、該次のロットの先頭ウエハを搬入することが含まれることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
第３の半導体製造装置は、現在処理中のロットに連続して処理すべき次のロットが存在するか否かを判定する判定手段を具備し、前記判定手段が、該次のロットが存在する旨を判定した場合には、該現在処理中のロットの処理が完了した後も、ロット処理に必要な資源のオフ処理を行わず、前記判定手段が、該次のロットが存在しない旨を判定した場合には、該現在処理中のロットの処理が完了した後、該資源のオフ処理を行う、ことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
第４の半導体製造装置は、第１〜第３のいずれかの半導体製造装置において、前記判定手段は、オペレータの操作により、または通信手段を介してロット処理の予約を受け付けるためのキューを備え、前記キューにおいて次に処理すべきロットの予約が必要な情報を伴って行われたかどうかを監視することによって該判定を行うものであることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
第５の半導体製造装置は、第１〜第３のいずれかの半導体製造装置において、前記判定手段は、到着したロットが有する情報に基づいてロット処理の予約を登録するためのキューを備え、前記キューにおいて次に処理すべきロットの予約が必要な情報を伴って行われたかどうかを監視することによって該判定を行うものであることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
そして、第６の半導体製造装置は、第１〜第３のいずれかの半導体製造装置において、該次のロットの先頭ウエハの到着に付随して該次のロットの処理に必要なロット情報を受け取ることができる場合において、該現在処理中のロットの最終ウエハに引き続いて該次のロットの先頭ウエハを受け取ったときに、前記判定手段は該次のロットが存在する旨の判定を行うものであることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明のデバイス製造方法は、現在処理中のロットに連続して処理すべき次のロットが存在するか否かを判定する判定工程を有し、前記判定工程において該次のロットが存在する旨を判定した場合には、該現在処理中のロットの処理が完了する前に、次のロットの処理を進行させることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
そして製造方は、現在処理中のロットに連続して処理すべき次のロットが存在するか否かを判定する判定工程を有し、前記判定工程において該次のロットが存在する旨を判定した場合には、該現在処理中のロットの処理が完了した後も、ロット処理に必要な資源のオフ処理を行わず、前記判定工程において該次のロットが存在しない旨を判定した場合には、該現在処理中のロットの処理が完了した後、該資源のオフ処理を行うことを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
これら本発明の構成において、次のロットが存在する旨が判定され場合には、現在処理中のロットの処理が完了する前に、該次のロットの処理が進行されるため、従来のジョブキューによるロット処理の自動開始や、オペレータの指示による処理開始の場合に比べ、時間を無駄に費やすことなく次のロットの処理が開始され、可能な範囲で処理が進行する。したがって、複数のロットが連続して処理される場合、ロットの切換え時の時間的損失が減少することになる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、現在処理中のロットに連続して処理すべき次のロットが存在するか否かを判定し、この判定結果に応じて、現在処理中のロットの処理が完了した後も、ロット処理に必要な資源のオン／オフ処理を行うようにしたため、次のロットが現在処理中のロットに引き続き連続して処理される場合は、現在処理中のロットの処理が完了した後も、中断することなく引き続き資源の提供を継続することにより、資源のオン／オフに伴う時間の損失が排除されることになる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、連続して処理される前後のロットを切換えるときの時間的損失を減少させることができる。