【手続補正書】
【提出日】平成19年1月17日(2007.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  シンクロトロン放射光源からのビームについてその厚さ方向の全範囲にわたって積分した全強度を計測する全強度計測手段と、前記ビームの強度をその厚さ方向の位置が異なる複数点で計測する複数点強度計測手段と、前記全強度計測手段および前記複数点強度計測手段の計測結果に基づいて前記ビームの強度プロファイルを特定するためのパラメータを演算する演算手段とを具備することを特徴とするシンクロトロン放射光計測装置。
【請求項２】  前記複数点強度計測手段は前記ビームの強度をその厚さ方向の位置が異なる２点で計測し、前記演算手段は前記ビームの厚さ方向の大きさを演算することを特徴とする請求項１に記載のシンクロトロン放射光計測装置。
【請求項３】  前記２点間の間隔は前記ビームの厚さ方向の大きさの１．５倍以下または２．５倍以上であることを特徴とする請求項１または２に記載のシンクロトロン放射光計測装置。
【請求項４】  前記複数点強度計測手段を前記ビームの厚さ方向に移動する手段を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のシンクロトロン放射光計測装置。
【請求項５】  前記全強度計測手段は、前記ビームの厚さ方向の全範囲にわたって一度で受光できる受光面を有する放射光検出器を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のシンクロトロン放射光計測装置。
【請求項６】  前記全強度計測手段は、シンクロトロン蓄積電流を検出することにより前記全強度を計測するものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のシンクロトロン放射光計測装置。
【請求項７】  前記全強度計測手段は、前記複数点で強度が計測されるビームが取り出されるビームラインとは別のビームラインから取り出されるビームについて全強度を計測するものであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のシンクロトロン放射光計測装置。
【請求項８】  前記演算手段は、前記全強度および複数点の強度に基づいて前記ビームの厚さ方向の位置または大きさを演算するための校正関数を、予め行なった前記全強度の計測および前記厚さ方向に移動させながら行なう前記複数点の強度についての計測の結果に基づいて求めるものであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のシンクロトロン放射光計測装置。
【請求項９】  前記予め行なった全強度および複数点の強度の計測は、シンクロトロン蓄積電流値が異なる複数の条件下で行なったものであることを特徴とする請求項８に記載のシンクロトロン放射光計測装置。
【請求項１１】  シンクロトロン放射光源からのビームの強度をその厚さ方向の位置が異なる３点で計測する３点強度計測手段と、前記３点強度計測手段の計測結果に基づいて前記ビームの強度プロファイルを特定するためのパラメータを演算する演算手段とを具備することを特徴とするシンクロトロン放射光計測装置。
【請求項１２】  前記３点強度計測手段を前記ビームの厚さ方向に移動させる手段を有することを特徴とする請求項１１に記載のシンクロトロン放射光計測装置。
【請求項１３】  前記演算手段は、３点の強度に基づいて前記パラメータを演算するための校正関数を、前記厚さ方向に移動させながら行なう前記３点の強度についての計測の結果に基づいて求めるものであることを特徴とする請求項１１または１２に記載のシンクロトロン放射光計測装置。
【請求項１４】  前記３点強度計測手段を前記ビームの厚さ方向に移動させる手段を用いることなく、前記校正関数なしに前記３点のビームの強度に基づいて前記パラメータを演算することを特徴とする請求項１１または１２に記載のシンクロトロン放射光計測装置。
【請求項１５】  前記パラメータはシート状に放射される前記ビームの厚さ方向に関する位置と大きさを示す代表値であることを特徴とする請求項１に記載のシンクロトロン放射光計測装置。
【請求項１６】  シンクロトロン放射光源からのビームについてその厚さ方向の全範囲にわたって積分した全強度を計測し、前記ビームの強度をその厚さ方向の位置が異なる複数点で計測することにより、前記全強度および前記複数点強度に基づいて前記ビームの強度プロファイルを特定するためのパラメータを計測することを特徴とするシンクロトロン放射光計測方法。
【請求項１７】  シンクロトロン放射光源からのビームの強度をその厚さ方向の位置が異なる３点で計測する３点強度計測工程と、前記３点のビームの強度に基づいて前記該ビームの強度プロファイルを特定するためのパラメータを演算する演算工程とを具備することを特徴とするシンクロトロン放射光計測方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
これらの目的を達成するため、本発明に係る第１のシンクロトロン放射光計測装置は、シンクロトロン放射光源からのビームについてその厚さ方向の全範囲にわたって積分した全強度を計測する全強度計測手段と、前記ビームの強度をその厚さ方向の位置が異なる複数点で計測する複数点強度計測手段と、前記全強度計測手段および前記複数点強度計測手段の計測結果に基づいて前記ビームの強度プロファイルを特定するためのパラメータを演算する演算手段とを具備することを特徴とする。前記パラメータとしてはシート状に放射される前記ビームの厚さ方向に関する位置と大きさを示す代表値を用いることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
前記第１のシンクロトロン放射光計測装置において、前記複数点強度計測手段による計測点が２点である場合、前記複数点強度計測手段は前記ビームの強度をその厚さ方向の位置が異なる２点で計測し、前記演算手段は前記ビームの厚さ方向の大きさを演算する。なお、ビームの厚さ方向の大きさは、例えば、ビームの厚さ方向の強度分布をガアウシアンでフィッティングした場合の標準偏差σで与えられる。前記２点間の間隔は前記ビームの厚さ方向の大きさの１．５倍以下または２．５倍以上であることが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
前記第１のシンクロトロン放射光計測装置において、好ましくは、前記複数点強度計測手段を前記ビームの厚さ方向に移動する手段を有することを特徴とする。また、前記全強度計測手段は、前記ビームの厚さ方向の全範囲にわたって一度で受光できる受光面を有する放射光検出器を有する。また、前記全強度計測手段は、シンクロトロン蓄積電流を検出することにより前記全強度を計測するものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
さらに、前記全強度計測手段は、前記複数点で強度が計測されるビームが取り出されるビームラインとは別のビームラインから取り出されるビームについて全強度を計測するものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
前記演算手段は、前記全強度および複数点の強度に基づいて前記ビームの厚さ方向の位置または大きさを演算するための校正関数を、予め行なった前記全強度の計測および前記厚さ方向に移動させながら行なう前記複数点の強度についての計測の結果に基づいて求めるものであることが好ましい。前記予め行なった全強度および複数点の強度の計測は、シンクロトロン蓄積電流値が異なる複数の条件下で行なったものであることが好ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明に係る第２のシンクロトロン放射光計測装置は、シンクロトロン放射光源からのビームの強度をその厚さ方向の位置が異なる３点で計測する３点強度計測手段と、前記３点強度計測手段の計測結果に基づいて前記ビームの強度プロファイルを特定するためのパラメータを演算する演算手段とを具備することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、本発明に係る第１のシンクロトロン放射光計測方法は、シンクロトロン放射光源からのビームについてその厚さ方向の全範囲にわたって積分した全強度を計測し、前記ビームの強度をその厚さ方向の位置が異なる複数点で計測することにより、前記全強度および前記複数点強度に基づいて前記ビームの強度プロファイルを特定するためのパラメータを計測することを特徴とする。好ましくは、シンクロトロン放射光源からのビームについてその厚さ方向の全範囲にわたって積分した全強度を計測する全強度計測工程と、前記ビームの強度をその厚さ方向の位置が異なる２点で計測する２点強度計測工程と、前記全強度および２点の強度に基づいて前記ビームの厚さ方向の大きさを演算する演算工程とを具備することを特徴とする。また、前記２点の強度測定点を前記ビームの厚さ方向に移動する工程を有することを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、本発明に係る第２のシンクロトロン放射光計測方法は、シンクロトロン放射光源からのビームの強度をその厚さ方向の位置が異なる３点で計測する３点強度計測工程と、前記３点のビームの強度に基づいて前記ビームの強度プロファイルを特定するためのパラメータを演算する演算工程とを具備することを特徴とする。また、前記３点強度計測工程を前記ビームの厚さ方向に移動させる工程を有することを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
なお、本発明のシンクロトロン放射光計測装置は、シンクロトロン放射光源からのビームの複数のビーム強度の計測情報に基づいて、シンクロトロン照射光源から直接出射されたビームの強度プロファイルを特定するためのパラメータを演算する演算手段を有することを特徴とする。前記パラメータはシート状に放射される前記ビームの厚さ方向に関する位置と大きさを示す代表値を用いることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、本発明のシンクロトロン放射光計測方法は、シンクロトロン放射光源からのビームの複数のビーム強度の計測情報に基づいて、シンクロトロン照射光源から直接出射されたビームの強度プロファイルを特定するためのパラメータを演算することを特徴とする。前記パラメータはシート状に放射される前記ビームの厚さ方向に関する位置と大きさを示す代表値であることが好ましい。