【手続補正書】
【提出日】平成19年4月19日(2007.4.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
前記光源からの光を試料に集光する照明光学系と、
前記試料からの光を結像する結像光学系と、
前記結像光学系に関し前記試料の集光点と略共役な位置に入射する光を、少なくとも前記試料の前記集光点の近傍領域からの光と、その周辺領域からの光とに分離し、それぞれ検出する検出手段と
を備えることを特徴とする共焦点顕微鏡。
【請求項２】
前記検出手段は、
前記結像光学系の焦点深度内に光軸に対して傾斜して配置された光学部材と、
前記光学部材において前記集光点と略共役な位置に設けられ、その位置に入射する光を前記近傍領域からの光と前記周辺領域からの光とに分離する光分離面とを有する
ことを特徴とする請求項１に記載の共焦点顕微鏡。
【請求項３】
前記光学部材には、
前記周辺領域からの光の光路に対し直列の関係で複数の前記光分離面が設けられる
ことを特徴とする請求項２に記載の共焦点顕微鏡。
【請求項４】
少なくとも１つの前記光分離面は、
前記近傍領域からの光を透過する円形透過面と、前記周辺領域からの光を反射する反射面とを有する
ことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の共焦点顕微鏡。
【請求項５】
少なくとも１つの前記光分離面は、
前記近傍領域からの光を反射する円形反射面と、前記周辺領域からの光を透過する透過面とを有する
ことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の共焦点顕微鏡。
【請求項６】
前記複数の光分離面の各々は、
前記近傍領域からの光を透過する円形透過面と、前記周辺領域からの光を反射する反射面とを有し、
前記複数の光分離面は、
後段に配置されたものほど前記透過面の径が大きい
ことを特徴とする請求項３に記載の共焦点顕微鏡。
【請求項７】
前記複数の光分離面の各々は、
前記近傍領域からの光を反射する円形反射面と、前記周辺領域からの光を透過する透過面とを有し、
前記複数の光分離面は、
後段に配置されたものほど前記反射面の径が大きい
ことを特徴とする請求項３に記載の共焦点顕微鏡。
【請求項８】
前記検出手段は、
前記分離された複数の光を個別に受光する複数の検出器を備える
ことを特徴とする請求項１〜請求項７の何れか一項に記載の共焦点顕微鏡。
【請求項９】
前記検出手段は、
前記分離された前記近傍領域からの光と前記周辺領域からの光との双方を受光する単一の検出器と、
前記近傍領域からの光の光路を開放したまま前記周辺領域からの光の光路を開閉するシャッターとを備える
ことを特徴とする請求項１〜請求項７の何れか一項に記載の共焦点顕微鏡。
【請求項１０】
前記検出手段は、
前記シャッターを開放した状態で前記近傍領域からの光と前記周辺領域からの光との光量和を検出し、前記シャッターを閉鎖した状態で前記近傍領域からの光の光量を検出する
ことを特徴とする請求項９に記載の共焦点顕微鏡。
【請求項１１】
請求項８に記載の共焦点顕微鏡と、
前記複数の検出器が生成する複数の検出信号のうち少なくとも２つを選択し、加算する選択加算手段と
を備えることを特徴とする共焦点顕微鏡システム。
【請求項１２】
請求項８に記載の共焦点顕微鏡と、
前記複数の検出器が生成する複数の検出信号を個別に記憶する記憶手段と、
前記記憶手段が記憶した複数の検出信号を用いて演算する演算処理手段と
を備えることを特徴とする共焦点顕微鏡システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】共焦点顕微鏡及び共焦点顕微鏡システム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、共焦点顕微鏡及び共焦点顕微鏡システムに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
そこで本発明は、シンプルな構成でありながらも高精度にセクショニング分解能を変更することの可能な共焦点顕微鏡及び共焦点顕微鏡システムを提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の共焦点顕微鏡は、光源と、前記光源からの光を試料に集光する照明光学系と、前記試料からの光を結像する結像光学系と、前記結像光学系に関し前記試料の集光点と略共役な位置に入射する光を、少なくとも前記試料の前記集光点の近傍領域からの光と、その周辺領域からの光とに分離し、それぞれ検出する検出手段とを備えることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
なお、前記検出手段は、前記結像光学系の焦点深度内に光軸に対して傾斜して配置された光学部材と、前記光学部材において前記集光点と略共役な位置に設けられ、その位置に入射する光を前記近傍領域からの光と前記周辺領域からの光とに分離する光分離面とを有することが望ましい。
また、前記光学部材には、前記周辺領域からの光の光路に対し直列の関係で複数の前記光分離面が設けられてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、少なくとも１つの前記光分離面は、前記近傍領域からの光を透過する円形透過面と、前記周辺領域からの光を反射する反射面とを有してもよい。
また、少なくとも１つの前記光分離面は、前記近傍領域からの光を反射する円形反射面と、前記周辺領域からの光を透過する透過面とを有してもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、前記複数の光分離面の各々は、前記近傍領域からの光を透過する円形透過面と、前記周辺領域からの光を反射する反射面とを有してもよく、その場合、前記複数の光分離面は、後段に配置されたものほど前記透過面の径が大きいとよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、前記複数の光分離面の各々は、前記近傍領域からの光を反射する円形反射面と、前記周辺領域からの光を透過する透過面とを有してもよく、その場合、前記複数の光分離面は、後段に配置されたものほど前記反射面の径が大きいとよい。
また、前記検出手段は、前記分離された複数の光を個別に受光する複数の検出器を備えてもよい。
また、前記検出手段は、前記分離された前記近傍領域からの光と前記周辺領域からの光との双方を受光する単一の検出器と、前記近傍領域からの光の光路を開放したまま前記周辺領域からの光の光路を開閉するシャッターとを備えてもよい。
また、前記検出手段は、前記シャッターを開放した状態で前記近傍領域からの光と前記周辺領域からの光との光量和を検出し、前記シャッターを閉鎖した状態で前記近傍領域からの光の光量を検出してもよい。
また、本発明の共焦点顕微鏡システムは、本発明の共焦点顕微鏡と、前記複数の検出器が生成する複数の検出信号のうち少なくとも２つを選択し、加算する選択加算手段とを備えることを特徴とする。
また、本発明の共焦点顕微鏡システムは、本発明の共焦点顕微鏡と、前記複数の検出器が生成する複数の検出信号を個別に記憶する記憶手段と、前記記憶手段が記憶した複数の検出信号を用いて演算する演算処理手段とを備えることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
以上、本発明の共焦点顕微鏡又は共焦点顕微鏡システムでは、試料上の比較的薄い層を示す光束と、その上下の層を示す光束とが分離される。よって、これらの光束を選択的に検出可能な検出手段の動作や、各検出器で検出した各光束の信号の演算により、セクショニング分解能が変化する。
その結果、この共焦点顕微鏡又は共焦点顕微鏡システムは、シンプルな構成でありながらも高精度にセクショニング分解能を変更することが可能となる。