【手続補正書】
【提出日】平成19年9月5日(2007.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レチクルを搬送する装置であって、前記レチクルの少なくとも一部を保護するためのレチクル保護部材で覆われた状態のレチクルを搬送するレチクル搬送手段と、前記レチクルの位置を測定する第１の位置測定手段と、前記レチクル保護部材の位置を測定する第２の位置測定手段とを有することを特徴とするレチクル搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレチクル搬送装置であって、保護対象であるレチクルが、片面にパターンが形成された反射型レチクルであり、当該レチクル保護部材は、前記レチクルのパターンが形成された面を保護する第１部材と、パターンが形成された面と反対の面を保護する第２部材とを有し、前記第２の位置測定装置は、前記第１の部材と第２部材の位置を独立に測定するものであることを特徴とするレチクル搬送装置。
【請求項３】
請求項１に記載のレチクル搬送装置であって、保護対象であるレチクルが、片面にパターンが形成された反射型レチクルであり、前記レチクル保護部材は、前記レチクルのパターンが形成された面のうち少なくともパターンが形成される領域を保護するものであることを特徴とするレチクル搬送装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のうちいずれか１項に記載のレチクル搬送装置であって、前記第１の位置測定手段及び第２の位置測定手段によって測定されたレチクルの位置及び前記レチクル保護部材の位置に基づいて、前記レチクル保護部材及びレチクルの位置を補正する位置補正手段を有することを特徴とするレチクル搬送装置。
【請求項５】
請求項２に記載のレチクル搬送装置であって、前記第１の位置測定手段及び第２の位置測定手段によって測定されたレチクルの位置及び前記レチクル保護部材の位置に基づいて、前記第１部材及び前記レチクルの位置を補正する位置補正手段を有することを特徴とするレチクル搬送装置。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載のレチクル搬送装置であって、前記レチクル搬送手段は、レチクルステージへ、レチクル保護部材によって保護されたレチクルを搬送し、前記レチクルステージに前記レチクルを搭載した後に、前記レチクル保護部材を前記レチクルステージから他の場所へ搬送するものであり、前記位置補正手段による前記レチクル保護部材又は前記第１部材と、前記レチクルの位置補正を、前記レチクルを前記レチクルステージに搭載する前に行う機能を有することを特徴とするレチクル搬送装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のうちいずれか１項に記載のレチクル搬送装置であって、前記レチクルの搬送手段は、レチクルステージに搭載された前記レチクルを前記レチクルステージから回収する際に、前記レチクル保護部材を前記レチクルステージまで搬送して前記レチクルを前記レチクル保護部材によって保護し、その後、前記レチクル保護部材とレチクルを搬送することにより、前記レチクルを前記レチクルステージから回収する機能を有し、前記レチクルステージへ前記レチクル保護部材を搬送する前に、前記第２の測定手段により前記レチクル保護部材の位置を測定する機能を有することを特徴とするレチクル搬送装置。
【請求項８】
請求項２に記載のレチクル搬送装置、又は請求項４から請求項７のうちいずれか１項に記載のレチクル搬送装置のうち請求項２に記載のレチクル搬送装置でもあるものであって、前記第１部材と前記第２部材の位置を測定した後に、その測定結果に基づいて、前記第１部材と前記第２部材とを位置合わせして合体させる機能を有することを特徴とするレチクル搬送装置。
【請求項９】
請求項１から請求項８のうちいずれか１項に記載のレチクル搬送装置を備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項１０】
露光装置に使用されるレチクルであって、少なくともその一部を保護するためのレチクル保護部材で覆われたものを、前記保護部材から取り外し、前記露光装置のレチクルステージまで搬送する方法であって、搬送の途中において、前記レチクルを前記保護部材から取り外す前に、前記レチクルの位置と前記レチクル保護部材の位置を測定する工程を有することを特徴とするレチクルの搬送方法。
【請求項１１】
露光装置に使用されるレチクルの、少なくとも一部を保護するレチクル保護部材であって、その位置を検出するためのアライメントマークが設けられていることを特徴とするレチクル保護部材。
【請求項１２】
請求項１１に記載のレチクル保護部材であって、保護対象であるレチクルが、片面にパターンが形成された反射型レチクルであり、当該レチクル保護部材は、前記レチクルのパターンが形成された面を保護する第１部材と、パターンが形成された面と反対の面を保護する第２部材とを有し、前記第１部材と第２部材は、その各々に前記アライメントマークが設けられていることを特徴とするレチクル保護部材。
【請求項１３】
請求項１１に記載のレチクル保護部材であって、保護対象であるレチクルが、片面にパターンが形成された反射型レチクルであり、当該レチクル保護部材は、前記レチクルのパターンが形成された面のうち少なくともパターンが形成される領域を保護するものであることを特徴とするレチクル保護部材。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
前記課題を解決するための第１の手段は、レチクルを搬送する装置であって、前記レチクルの少なくとも一部を保護するためのレチクル保護部材で覆われた状態のレチクルを搬送するレチクル搬送手段と、前記レチクルの位置を測定すると、前記レチクル保護部材の位置を測定する第２の位置測定手段とを有することを特徴とするレチクル搬送装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本手段においては、第１の位置測定手段でレチクルの位置を測定し、第２の位置測定手段でレチクル保護部材の位置を測定しているので、レチクルと保護部材の相対位置関係を知ることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
レチクルを、少なくとも保護部材の一部と一緒に、搬送する場合に、搬送手段は保護部材を保持して搬送することになるので、例えば、露光装置のレチクルステージ等の搬送先に対するレチクルの位置決めは、保護部材を保持する搬送装置により行われることになる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本手段においては、レチクルと保護部材の相対位置関係を知ることができるので、レチクルを正確に搬送先に位置決めするのに、保護部材をどの位置に搬送すればよいかが明確になり、従って、レチクルを搬送先に対して正確に位置決めすることができるようになる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
前記課題を解決するための第２の手段は、前記第１の手段であって、保護対象であるレチクルが、片面にパターンが形成された反射型レチクルであり、当該レチクル保護部材は、前記レチクルのパターンが形成された面を保護する第１部材と、パターンが形成された面と反対の面を保護する第２部材とを有し、前記第２の位置測定装置は、前記第１の部材と第２部材の位置を独立に測定するものであることを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本手段においては、パターンが形成された面のみならず、パターンが形成されていない面も保護部材により保護することができ、保護が完全になる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
前記課題を解決するための第３の手段は、前記第１の手段であって、保護対象であるレチクルが、片面にパターンが形成された反射型レチクルであり、前記レチクル保護部材は、前記レチクルのパターンが形成された面のうち少なくともパターンが形成される領域を保護するものであることを特徴とするものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本手段においては、パターンが形成された面のうち少なくともパターンが形成される領域のみを保護部材で保護するようになっているので、保護部材の構成が簡単になる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
前記課題を解決するための第４の手段は、前記第１の手段から第３の手段のいずれかであって、前記第１の位置測定手段及び第２の位置測定手段によって測定されたレチクルの位置及び前記レチクル保護部材の位置に基づいて、前記レチクル保護部材及びレチクルの位置を補正する位置補正手段を有することを特徴とするものである。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本手段においては、第１の位置測定手段及び第２の位置測定手段によって測定されたレチクルの位置及び前記レチクル保護部材の位置に基づいて、レチクル保護部材及びレチクルの位置を補正する位置補正手段を有するので、レチクル（レチクル保護部材と共に搬送される場合もある）をレチクルステージに搬送する前に、レチクル保護部材及びレチクルの位置を補正しておき、搬送手段が決められたシーケンスでレチクルをレチクルステージに搬送したときに、レチクルがレチクルステージ上の適正な位置に位置するようにすることができる。なお、本手段における位置補正手段は、レチクル保護部材、レチクルの位置の少なくとも一方の位置を補正する機能を有するものであればよい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
なお、搬送手段自身が位置補正機能を有する場合には、特別の位置補正手段を設ける必要はない。この場合も、本手段に含まれ、搬送手段が位置補正手段を兼ねることになる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
前記課題を解決するための第５の手段は、前記第２の手段であって、前記第１の位置測定手段及び第２の位置測定手段によって測定されたレチクルの位置及び前記レチクル保護部材の位置に基づいて、前記第１部材及び前記レチクルの位置を補正する位置補正手段を有することを特徴とするものである。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本手段は、前記第４の手段と同様の作用効果を奏する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
前記課題を解決するための第６の手段は、前記第４の手段又は第５の手段であって、前記レチクル搬送手段は、レチクルステージへ、レチクル保護部材によって保護されたレチクルを搬送し、前記レチクルステージに前記レチクルを搭載した後に、前記レチクル保護部材を前記レチクルステージから他の場所へ搬送するものであり、前記位置補正手段による前記レチクル保護部材又は前記第１部材と、前記レチクルの位置補正を、前記レチクルを前記レチクルステージに搭載する前に行う機能を有することを特徴とするものである。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本手段においては、位置補正手段による前記レチクル保護部材又は前記第１部材と、レチクルの位置補正を、前記レチクルを前記レチクルステージに搭載する前に行う機能を有するので、搬送手段が決められたシーケンスでレチクルをレチクルステージに搬送したときに、レチクルがレチクルステージ上の適正な位置に位置するようにすることができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
なお、レチクルの位置補正は、アライメントステージ等において行うような場合に限らず、搬送手段の搬送目標位置を変えることによって行う場合をも含む。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
前記課題を解決するための第７の手段は、前記第１の手段から第６の手段のいずれかであって、前記レチクルの搬送手段は、レチクルステージに搭載された前記レチクルを前記レチクルステージから回収する際に、前記レチクル保護部材を前記レチクルステージまで搬送して前記レチクルを前記レチクル保護部材によって保護し、その後、前記レチクル保護部材とレチクルを搬送することにより、前記レチクルを前記レチクルステージから回収する機能を有し、前記レチクルステージへ前記レチクル保護部材を搬送する前に、前記第２の測定手段により前記レチクル保護部材の位置を測定する機能を有することを特徴とするものである。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
本手段においては、あらかじめレチクル保護部材の位置を測定してから、当該レチクル保護部材をレチクルステージまで搬送して、レチクルをレチクル保護部材により保護する。その際、あらかじめレチクル保護部材の位置を測定してあるので、レチクルとレチクル保護部材を正確に位置合わせすることができ、両者の異常接触により破損したり、ゴミが発生したりすることを防止することができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
前記課題を解決するための第８の手段は、前記第２の手段であるか、又は前記第４の手段から第７の手段のいずれかであって前記第２の手段でもあるものであって、前記第１部材と前記第２部材の位置を測定した後に、その測定結果に基づいて、前記第１部材と前記第２部材とを位置合わせして合体させる機能を有することを特徴とするものである。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
第１部材と前記第２部材の位置を測定した後に、その測定結果に基づいて、前記第１部材と前記第２部材とを位置合わせして合体させることにより、両者の異常接触により破損したり、ゴミが発生したりすることを防止することができる。第１部材と前記第２部材を合体させることは、レチクルを保護している場合のみならず、レチクルを保護していない場合にも行われることがある。これは、例えば、第１部材と第２部材が、下蓋、上蓋からなるような場合に、これらを合体しておくことにより中にゴミが入るのを防ぐためである。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
前記課題を解決するための第９の手段は、前記第１の手段から第８の手段のいずれかのレチクル搬送装置を備えたことを特徴とする露光装置である。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
本手段においては、レチクルがレチクルステージに搬送されてきたときに、正確な位置に位置させ、その状態でレチクルをレチクルステージに保持することが可能となる。このことによってレチクルステージに搭載されるレチクルアライメント装置のマーク検出範囲を相対的に狭くすることが可能となり、また、マーク検出時間も短縮することが可能である。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
前記課題を解決するための第１０の手段は、露光装置に使用されるレチクルであって、少なくともその一部を保護するためのレチクル保護部材で覆われたものを、前記保護部材から取り外し、前記露光装置のレチクルステージまで搬送する方法であって、搬送の途中において、前記レチクルを前記保護部材から取り外す前に、前記レチクルの位置と前記レチクル保護部材の位置を測定する工程を有することを特徴とするレチクルの搬送方法である。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
本手段によれば、レチクルがレチクルステージに搬送されてきたときに、正確な位置に位置させ、その状態でレチクルをレチクルステージに保持することが可能となる。なお、レチクルの取り外しはレチクルステージにレチクルを搭載する前でも搭載した後でも構わない。なお、本手段の詳細、変形として、前記第１の手段から第８の手段の説明において説明してきたような動作をさせたり、これらの動作を付加したりすることができる。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
前記課題を解決するための第１１の手段は、露光装置に使用されるレチクルの、少なくとも一部を保護するレチクル保護部材であって、その位置を検出するためのマークが設けられていることを特徴とするレチクル保護部材である。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
本手段は、その位置を検出するためのマークが設けられているので、前記第１の手段〜第１０の各手段において使用されるレチクル保護部材として使用可能である。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
前記課題を解決するための第１２の手段は、前記第１１の手段であって、保護対象であるレチクルが、片面にパターンが形成された反射型レチクルであり、当該レチクル保護部材は、前記レチクルのパターンが形成された面を保護する第１部材と、パターンが形成された面と反対の面を保護する第２部材とを有し、前記第１部材と第２部材は、その各々に前記マークが設けられていることを特徴とするものである。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
本手段は、第１部材と第２部材の間にレチクルを収納して保護することができる。又、それらの各々にマークが設けられているので、それぞれの位置を別々に検出することができる。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
前記課題を解決するための第１３の手段は、前記第１１の手段であって、保護対象であるレチクルが、片面にパターンが形成された反射型レチクルであり、当該レチクル保護部材は、前記レチクルのパターンが形成された面のうち少なくともパターンが形成される領域を保護するものであることを特徴とするものである。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
反射型レチクルにおいては、パターンが形成されていない面及びパターンが形成されていない領域は必ずしも保護する必要がないので、本手段においては、部材の数が少なくて済み、構造が簡単になる。なお、パターン形成領域外でもアライメントマークやＩＤマーク等ゴミの付着が問題になる領域がある場合にはこれらの領域も保護されていることが好ましい。