【手続補正書】
【提出日】平成18年11月30日(2006.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光ビーム（100）の波長を測定するための波長計（50）であって、
第１の波長範囲において前記入射光ビーム（100）の波長を表す第１の波長値を第１の精度で測定するための粗測定ユニット（130）と、
前記入射光ビーム（100）に対して第２の精度で波長の測定を行なうための微細測定ユニット（200）であって、その波長の測定は、前記第１の波長範囲内においては不明確ではあるが、複数の明確な波長範囲の各々においては明確であり、その結果、複数の異なる波長値が、前記入射光ビーム（100）について前記微細測定ユニット（200）によって測定された測定値に対応し、前記第２の精度が前記第１の精度よりも高い精度である、微細測定ユニット（200）と、
前記第１の波長値をカバーする第２の波長範囲を求めるための、および前記第２の波長範囲内における測定値に対応する前記複数の異なる波長値の１つとして第２の波長値を求めるための、評価ユニット（350）と、
前記入射光ビーム（100）の波長を表す、前記波長計（50）の測定結果として前記第２の波長値を提供するための出力手段（360）とを含み、
前記粗測定ユニット（130）が、前記入射光ビーム（100）から派生した受光光ビーム（120A）を、第１の検出器（150A）に向かう第１のビーム（140A）、および第２の検出器（150B）に向かう第２のビーム（140B）に分割するように適合されたビームスプリッタ（140）を含み、前記ビームスプリッタ（140）が、前記受光光ビーム（120A）の波長に依存する結合比を、前記第１のビーム（140A）と前記第２のビーム（140B）との間に与えることを特徴とする、波長計（50）。
【請求項２】
前記微細測定ユニット（200）が、周期的な波長依存性を提供する、干渉計ユニットである手段を含み、
波長依存性の周期性が、前記粗測定ユニット（130）の測定誤差または不正確さよりも大きい、請求項１に記載の波長計（50）。
【請求項３】
前記ビームスプリッタ（140）が、ガラス板からなり、そのガラス板が一方の側に誘電体コーティングを、他方の側に無反射コーティングを備えて、波長依存ビームスプリッタに相当する、請求項１または２に記載の波長計（50）。
【請求項４】
前記誘電体コーティングが、異なる屈折率および厚さを備えた、ＭｇＦ２、ＳｉＯ、またはＣｅＦ３からなる材料の一つまたはそれ以上の層からなる、請求項３に記載の波長計（50）。
【請求項５】
気体吸収セルによって提供される絶対的に知られた透過特性である明確な波長特性を有する絶対測定ユニット（300）をさらに含む、請求項１または請求項２〜４のいずれかに記載の波長計（50）。
【請求項６】
入射光ビーム（100）の波長を測定するための方法であって、
（ａ）前記入射光ビーム（100）から派生した受光光ビーム（120A）を第１のビーム（140A）と第２のビーム（140B）に分割し、前記第１のビーム（140A）と前記第２のビーム（140B）との間の結合比が、前記受光光ビーム（120A）の波長に依存し、
（ｂ）第１の波長範囲において前記入射光ビーム（100）の波長を表す第１の波長値を第１の精度で、前記第１のビーム（140A）と前記第２のビーム（140B）から測定し、
（ｃ）前記入射光ビーム（100）に対して第２の精度で波長の測定を行い、その波長の測定は、前記第１の波長範囲内においては不明確ではあるが、複数の明確な波長範囲の各々においては明確であり、その結果、複数の異なる波長値が、前記入射光ビーム（100）について測定された測定値に対応し、前記第２の精度が前記第１の精度よりも高い精度であり、
（ｄ）前記第１の波長値をカバーする第２の波長範囲を求め、
（ｅ）前記第２の波長範囲における測定値に対応する前記複数の異なる波長値の１つとして第２の波長値を求め、
（ｆ）前記入射光ビーム（100）の波長を表す測定結果として前記第２の波長値を提供し、
（ｇ）気体吸収セルによって提供される、絶対的に知られている透過特性である明確に絶対的に知られた波長特性を有する絶対測定ユニット（300）を用いて基準測定値を提供するという各ステップを含み、
前記ステップ（ｇ）が、実際の測定前に較正のために前記ステップ（ａ）に先立って実行されるか、および／または実際の測定中に連続的な較正を行うために、前記ステップ（ｂ）および／または前記ステップ（ｃ）と同時に実行される、方法。
【請求項７】
前記ステップ（ｇ）が、
（ｇ１）前記絶対測定ユニット（300）が明確で絶対的に知られた波長特性の少なくとも一つを有しているような波長範囲にわたって入力信号を掃引し、
（ｇ２）前記ステップ（ｇ１）から導出された測定結果を、前記ステップ（ｂ）および／または前記ステップ（ｃ）から導出された測定結果とともに分析し、明確で絶対的に知られた波長特性と前記導出された測定結果との関係を求めるという各ステップを含む、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記ステップ（ｇ）が、請求項１から５のいずれかによる波長計（50）の較正を行うために、および／またはその波長計（50）によって提供される測定結果を調節するために実行される、請求項６または７に記載の方法。
【請求項９】
前記ステップ（ｄ）が、前記第１の波長値を取り囲む波長範囲として前記第２の波長範囲を求めるステップを含む、請求項６から８のいずれかに記載の方法。
【請求項１０】
前記第２の波長範囲が、前記第１の波長値をカバーする明確な波長範囲の周期の半分に対応する値と前記第１の波長値とを加減算することにより求められる、請求項９に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明による波長計５０の好適な実施形態を示している。入射光ビーム１００は、第１のビームスプリッタ１１０によって光ビーム１１０Ａと１１０Ｂに分割される。次いで、光ビーム１１０Ａは、第２のビームスプリッタ１２０によって光ビーム１２０Ａと１２０Ｂに再び分割される。光ビーム１２０Ａは、第３のビームスプリッタ１４０、および２つの検出器１５０Ａと１５０Ｂからなる粗測定ユニット１３０に向けられる。第３のビームスプリッタ１４０は、光ビーム１２０Ａを、検出器１５０Ａに向かう光ビーム１４０Ａと、検出器１５０Ｂに向かう光ビーム１４０Ｂに分割する。第３のビームスプリッタ１４０、または２つの検出器１５０Ａと１５０Ｂは、波長依存性の特性を備えた材料により構成されている。第３のビームスプリッタ１４０は、光ビーム１４０Ａと１４０Ｂとの間に、波長に依存する結合比を与えることが好ましい。好適な実施形態において、粗測定ユニット１３０は、一方の側に誘電体コーティング（ＰＲＣ）を、他方の側に無反射コーティング（ＡＲＣ）を備え、従って、波長依存性のビームスプリッタ（ＷＤＢＳ）を提供するガラス板を含む。ＰＲＣは、高い波長依存性の反射／透過の特性を有し、ＡＲＣは、最小の反射を行うように最適化されて、ＰＲＣの透過／反射の特性をゆがめる第２の面から来る光の乱れを回避する。ＷＤＢＳにより分割された光ビーム１４０Ａと１４０Ｂは、ＰＲＣの反射および／または透過のような特有の特性を測定するために２つの検出器（例えば、フォトダイオード）１５０Ａと１５０Ｂに入射される。