【手続補正書】
【提出日】平成19年10月18日(2007.10.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  露光装置を管理する顧客のホストコンピュータにデータ通信ネットワークを介して情報を提供する、コンピュータシステムによる情報提供方法であって、
前記データ通信ネットワークを介して前記露光装置の使用条件を前記ホストコンピュータから受信する受信工程と、
前記受信工程で受信された使用条件の下での前記露光装置の性能をシミュレーションするシミュレーション工程と、
前記シミュレーション工程でシミュレーションされた前記性能を、前記データ通信ネットワークを介して、前記ホストコンピュータに送信する送信工程と、
を含むことを特徴とする情報提供方法。
【請求項２】  前記シミュレーション工程において、前記露光装置の設計データ、製造データ、性能実測データ、設定値及び許容誤差の少なくとも１つに基づき、前記性能をシミュレーションすることを特徴とする請求項１に記載の情報提供方法。
【請求項３】  前記シミュレーション工程において、前記露光装置による結像性能、レジストプロファイル、アライメント精度及びスループットの少なくとも１つをシミュレーションすることを特徴とする請求項１に記載の情報提供方法。
【請求項４】  前記使用条件は、照明モード、基板及びマスクの少なくとも１つに関する条件を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の情報提供方法。
【請求項５】  前記基板に関する条件は、前記基板の構造及びレジストの種類を含むことを特徴とする請求項４に記載の情報提供方法。
【請求項６】  露光装置を管理する顧客のホストコンピュータにデータ通信ネットワークを介して情報を提供する、コンピュータシステムによる情報提供方法であって、
前記データ通信ネットワークを介して前記露光装置の目標性能を前記ホストコンピュータから受信する受信工程と、
前記受信工程で受信された目標性能に基づいて前記露光装置の使用条件を決定する決定工程と、
前記決定工程で決定された前記使用条件を、前記データ通信ネットワークを介して、前記ホストコンピュータに送信する送信工程と、
を含むことを特徴とする情報提供方法。
【請求項７】  前記目標性能は、目標結像性能を含むことを特徴とする請求項６に記載の情報提供方法。
【請求項８】  前記使用条件は、照明モード、投影光学系及びマスクの少なくとも１つに関する条件を含むことを特徴とする請求項６又は７に記載の情報提供方法。
【請求項９】  前記決定工程で決定された前記使用条件をデータベースに登録する登録工程を更に含むことを特徴とする請求項６乃至請求項８のいずれか１項に記載の情報提供方法。
【請求項１０】  前記データベースを顧客ごとに管理することを特徴とする請求項９に記載の情報提供方法。
【請求項１１】  前記使用条件は、マスクのデザインに関する条件を含むことを特徴とする請求項６乃至請求項１０のいずれか１項に記載の情報提供方法。
【請求項１２】  前記マスクのデザインに関する条件は、光学的近接補正量及び位相シフトマスクパターン補正量の少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１１に記載の情報提供方法。
【請求項１３】  前記データ通信ネットワークとしてインターネットを使って前記受信工程及び前記送信工程における通信を行うことを特徴とする請求項１乃至請求項１２のいずれか１項に記載の情報提供方法。
【請求項１４】  露光装置を管理する顧客のホストコンピュータにデータ通信ネットワークを介して情報を提供するコンピュータシステムであって、
前記データ通信ネットワークを介して前記露光装置の使用条件を前記ホストコンピュータから受信し、
受信された前記使用条件の下での前記露光装置の性能をシミュレーションし、
前記データ通信ネットワークを介して、シミュレーションされた前記性能を、前記ホストコンピュータに送信する、
ことを特徴とするコンピュータシステム。
【請求項１５】  露光装置を管理する顧客のホストコンピュータにデータ通信ネットワークを介して情報を提供するコンピュータシステムであって、
前記データ通信ネットワークを介して前記露光装置の目標性能を前記ホストコンピュータから受信し、
受信された前記目標性能に基づいて前記露光装置の使用条件を決定し、
前記データ通信ネットワークを介して、決定された前記使用条件を、前記ホストコンピュータに送信する、
ことを特徴とするコンピュータシステム。
【請求項１６】  請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に記載の情報提供方法をコンピュータに実施させるためのソフトウェアを格納したメモリ媒体。
【請求項１７】  基板を露光する露光装置をホストコンピュータにより管理する管理方法であって、
請求項１４に記載のコンピュータシステムにデータ通信ネットワークを介して前記露光装置の使用条件を送信する送信工程と、
送信された前記使用条件に基づいて前記コンピュータシステムによりシミュレーションされた前記露光装置の性能を、前記データ通信ネットワークを介して、前記コンピュータシステムから受信する受信工程と、
を含むことを特徴とする管理方法。
【請求項１８】  基板を露光する露光装置をホストコンピュータにより管理する管理方法であって、
請求項１５に記載のコンピュータシステムにデータ通信ネットワークを介して前記露光装置の目標性能を送信する送信工程と、
送信された前記目標性能に基づいて前記コンピュータシステムによりシミュレーションされた前記露光装置の使用条件を、前記データ通信ネットワークを介して、前記コンピュータシステムから受信する受信工程と、
を含むことを特徴とする管理方法。
【請求項１９】  基板を露光する露光装置と、前記露光装置を管理するホストコンピュータとを含むシステムであって、
請求項１４に記載のコンピュータシステムにデータ通信ネットワークを介して前記露光装置の使用条件を送信し、
送信された前記使用条件に基づいて前記コンピュータシステムによりシミュレーションされた前記露光装置の性能を、前記データ通信ネットワークを介して、前記コンピュータシステムから受信する、
ことを特徴とするシステム。
【請求項２０】  基板を露光する露光装置と、前記露光装置を管理するホストコンピュータとを含むシステムであって、
請求項１５に記載のコンピュータシステムにデータ通信ネットワークを介して前記露光装置の目標性能を送信し、
送信された前記目標性能に基づいて前記コンピュータシステムによりシミュレーションされた前記露光装置の使用条件を、前記データ通信ネットワークを介して、前記コンピュータシステムから受信する、
ことを特徴とするシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】情報提供方法、コンピュータシステム、メモリ媒体、管理方法およびシステム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、露光装置についての情報を提供する情報提供方法、コンピュータシステム、メモリ媒体、並びに当該コンピュータシステムを利用して当該情報を得る管理方法およびシステムに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
本発明は、上記の背景に鑑みてなされたものであり、例えば、露光装置の使用に関連する情報（例えば、使用条件の下での性能、目標性能の下での使用条件）を迅速に提供または取得することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の側面は、露光装置を管理する顧客のホストコンピュータにデータ通信ネットワークを介して情報を提供する、コンピュータシステムによる情報提供方法に係り、前記情報処理方法は、前記データ通信ネットワークを介して前記露光装置の使用条件を前記ホストコンピュータから受信する受信工程と、前記受信工程で受信された使用条件の下での前記露光装置の性能をシミュレーションするシミュレーション工程と、前記シミュレーション工程でシミュレーションされた前記性能を、前記データ通信ネットワークを介して、前記ホストコンピュータに送信する送信工程とを含む。
本発明の第２の側面は、露光装置を管理する顧客のホストコンピュータにデータ通信ネットワークを介して情報を提供する、コンピュータシステムによる情報提供方法に係り、前記情報処理方法は、前記データ通信ネットワークを介して前記露光装置の目標性能を前記ホストコンピュータから受信する受信工程と、前記受信工程で受信された目標性能に基づいて前記露光装置の使用条件を決定する決定工程と、前記決定工程で決定された前記使用条件を、前記データ通信ネットワークを介して、前記ホストコンピュータに送信する送信工程とを含む。
本発明の第３の側面は、露光装置を管理する顧客のホストコンピュータにデータ通信ネットワークを介して情報を提供するコンピュータシステムに係り、前記コンピュータシステムは、前記データ通信ネットワークを介して前記露光装置の使用条件を前記ホストコンピュータから受信し、受信された前記使用条件の下での前記露光装置の性能をシミュレーションし、前記データ通信ネットワークを介して、シミュレーションされた前記性能を、前記ホストコンピュータに送信する。
本発明の第４の側面は、露光装置を管理する顧客のホストコンピュータにデータ通信ネットワークを介して情報を提供するコンピュータシステムに係り、前記コンピュータシステムは、前記データ通信ネットワークを介して前記露光装置の目標性能を前記ホストコンピュータから受信し、受信された前記目標性能に基づいて前記露光装置の使用条件を決定し、前記データ通信ネットワークを介して、決定された前記使用条件を、前記ホストコンピュータに送信する。
本発明の第５の側面は、上記の情報提供方法をコンピュータに実施させるためのソフトウェアを格納したメモリ媒体として特定される。
本発明の第６の側面は、基板を露光する露光装置をホストコンピュータにより管理する管理方法に係り、前記管理方法は、上記第３の側面に係るコンピュータシステムにデータ通信ネットワークを介して前記露光装置の使用条件を送信する送信工程と、送信された前記使用条件に基づいて前記コンピュータシステムによりシミュレーションされた前記露光装置の性能を、前記データ通信ネットワークを介して、前記コンピュータシステムから受信する受信工程とを含む。
本発明の第７の側面は、基板を露光する露光装置をホストコンピュータにより管理する管理方法に係り、前記管理方法は、上記の第４の側面に係るコンピュータシステムにデータ通信ネットワークを介して前記露光装置の目標性能を送信する送信工程と、送信された前記目標性能に基づいて前記コンピュータシステムによりシミュレーションされた前記露光装置の使用条件を、前記データ通信ネットワークを介して、前記コンピュータシステムから受信する受信工程とを含む。
本発明の第８の側面は、基板を露光する露光装置と、前記露光装置を管理するホストコンピュータとを含むシステムに係り、前記システムは、上記第３の側面に係るコンピュータシステムにデータ通信ネットワークを介して前記露光装置の使用条件を送信し、送信された前記使用条件に基づいて前記コンピュータシステムによりシミュレーションされた前記露光装置の性能を、前記データ通信ネットワークを介して、前記コンピュータシステムから受信する。
本発明の第９の側面は、基板を露光する露光装置と、前記露光装置を管理するホストコンピュータとを含むシステムに係り、前記システムは、上記第４の側面に係るコンピュータシステムにデータ通信ネットワークを介して前記露光装置の目標性能を送信し、送信された前記目標性能に基づいて前記コンピュータシステムによりシミュレーションされた前記露光装置の使用条件を、前記データ通信ネットワークを介して、前記コンピュータシステムから受信する。
本発明の好適な実施形態は、データ通信ネットワークを利用して顧客が使用する装置についての情報を顧客に提供する情報提供方法に係り、装置の使用に関連する条件を前記データ通信ネットワークを介して前記装置を使用する顧客から受信する受信工程と、前記装置の供給者の管理下にある前記装置についての非公開の装置データを利用して、前記受信工程で受信された条件の下での前記装置についての情報を準備するデータ処理工程と、前記データ処理工程で準備された情報を前記データ通信ネットワークを介して前記顧客に送信する送信工程とを含む。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
本発明の他の好適な実施形態は、データ通信ネットワークを利用して顧客が使用する装置についての情報を顧客に提供する情報提供システムに係り、装置の使用に関連する条件を前記データ通信ネットワークを介して前記装置を使用する顧客から受信する受信装置と、前記装置の供給者の管理下にある前記装置についての非公開の装置データを利用して、前記受信装置で受信された条件の下での前記装置についての情報を準備するデータ処理装置と、前記データ処理装置で準備された情報を前記データ通信ネットワークを介して前記顧客に送信する送信装置とを含む。この情報提供システムは、例えば、ネットワークインターフェース等の通信機能を有する一般的なコンピュータにソフトウェアを組み込むことにより構築され得る。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
【発明の効果】
本発明によれば、露光装置の使用に関連する情報（例えば、使用条件の下での性能、目標性能の下での使用条件）を迅速に提供または取得することができる。