【手続補正書】
【提出日】平成19年4月27日(2007.4.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出射するレーザ光源と、
該レーザ光源と媒質との間に配されて、前記レーザ光を媒質中に集光させると共に集光点からの光を再集光する集光光学系と、
該集光光学系により再集光された前記光を検出する光検出器と、
前記レーザ光のレーザ発散点の位置及び前記光検出器の位置を、レーザ光を集光したい前記媒質の屈折率及び前記媒質の表面から集光したい位置までの距離に応じて、前記レーザ光の光軸上に沿って移動可能なレーザ発散点移動手段とを備えていることを特徴とするレーザ集光光学系。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザ集光光学系において、
前記レーザ光を前記集光光学系の光軸に対して直交する方向に向けて走査可能な走査手段を備えていることを特徴とするレーザ集光光学系。
【請求項３】
請求項１乃至２に記載のレーザ集光光学系において、
前記レーザ発散点移動手段が、さらに前記集光光学系のNAに基づいて前記レーザ発散点の位置を設定することを特徴とするレーザ集光光学系。
【請求項４】
請求項１乃至３に記載のレーザ集光光学系において、
前記レーザ発散点移動手段が、予め測定された前記集光光学系の波面データに基づいてレーザ発散点の位置を設定することを特徴とするレーザ集光光学系。
【請求項５】
請求項１乃至４に記載のレーザ集光光学系において、
前記集光光学系に連携して設けられ、集光光学系の下面から前記媒質の表面までの距離を所定の距離に維持する観察光学系を備え、
該観察光学系が、オートフォーカス検出手段又はオートフォーカス機構を備えていることを特徴とするレーザ集光光学系。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のレーザ集光光学系において、
前記集光光学系と前記媒質の表面との光軸方向の相対的な距離が一定とされていることを特徴とするレーザ集光光学系。
【請求項７】
請求項１記載のレーザ集光光学系において、
前記レーザ発散点移動手段は、前記レーザ光源と前記光検出器とが互いに共役な位置となるように移動させることを特徴とするレーザ集光光学系、
【請求項８】
請求項７記載のレーザ集光光学系において、
前記レーザ発散点移動手段は、
前記レーザ光源を光軸方向に沿って移動させる光源移動手段と、
前記光源移動手段と同期して前記光検出器を光軸方向に沿って移動させる光検出器移動手段と、を有することを特徴とするレーザ集光光学系。
【請求項９】
請求項８記載のレーザ集光光学系において、
前記光源移動手段と前記光検出器移動手段は、前記レーザ光源と前記光検出器とを光軸方向に沿って一体的に移動させることを特徴とするレーザ集光光学系。
【請求項１０】
請求項７記載のレーザ集光光学系において、
前記レーザ発散点移動手段は、
前記集光光学系中に設けられる少なくとも２つのミラーと、
該ミラーを光軸方向に沿って移動させミラー移動手段と、
を備えることを特徴とするレーザ集光光学系。
【請求項１１】
請求項１記載のレーザ集光光学系において、
前記レーザ発散点移動手段を制御する制御手段と、
前記屈折率及び前記距離を入力する入力手段と、
前記入力手段から入力された前記媒質の屈折率及び前記距離から、前記レーザ発散点の移動量を算出する算出手段と、
を有することを特徴とするレーザ集光光学系。
【請求項１２】
レーザ光を出射するレーザ光源と、
前記レーザ光源と媒質との間に配されて、前記レーザ光を媒質中に集光させると共に集光点からの光を再集光する集光光学系と、
前記レーザ光を前記集光光学系の光軸に対して直交する方向に向けて走査可能な走査手段と、
前記集光光学系により再集光された前記光を検出する光検出器と、
前記レーザ光のレーザ発散点の位置及び前記光検出器の位置を、レーザ光を集光したい前記媒質の屈折率及び前記媒質の表面から集光したい位置までの距離に応じて、前記レーザ光の光軸上に沿って移動可能なレーザ発散点移動手段とを備えていることを特徴とするレーザ走査型顕微鏡。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項３に係る発明は、請求項１乃至２に記載のレーザ集光光学系において、前記レーザ発散点移動手段が、さらに前記集光光学系のNAに基づいてレーザ発散点の位置を設定するレーザ集光光学系を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項４に係る発明は、請求項１乃至３に記載のレーザ集光光学系において、前記レーザ発散点移動手段が、予め測定された前記集光光学系の波面データに基づいてレーザ発散点の位置を設定するレーザ集光光学系を提供する。
この発明に係るレーザ集光光学系においては、レーザ発散点移動手段が、予め測定された集光光学系の波面データ、例えば、集光光学系を構成している一部である対物レンズの波面データや、集光光学系全体の波面データを考慮してレーザ発散点の位置を設定するので、レーザ光の集光性能及び観察性能をさらに向上させることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項５に係る発明は、請求項１乃至４に記載のレーザ集光光学系において、前記集光光学系に連携して設けられ、集光光学系の下面から前記媒質の表面までの距離を所定の距離に維持する観察光学系を備え、該観察光学系が、オートフォーカス検出手段又はオートフォーカス機構を備えているレーザ集光光学系を提供する。
この発明に係るレーザ集光光学系においては、観察光学系により集光光学系の下面から媒質の表面までの距離を所定の距離に維持できるので、例えば、集光光学系と媒質との水平方向の相対的な移動、即ち、走査を行う際に、媒質表面からの深さを所望する深さに正確に制御することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項６に係る発明は、請求項１乃至５に記載のレーザ集光光学系において、前記集光光学系と前記媒質の表面との光軸方向の相対的な距離が一定とされているレーザ集光光学系を提供する。
この発明に係るレーザ集光光学系においては、レーザ光を集光したい媒質深さが変化した場合でも、集光光学系と媒質の表面との光軸方向の相対的な距離、即ち、ＷＤが一定になるように設定されているので、装置構成を簡単にすることができると共に観察速度を上げることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項７に係る発明は、請求項１記載のレーザ集光光学系において、
前記レーザ発散点移動手段は、前記レーザ光源と前記光検出器とが互いに共役な位置となるように移動させることを特徴とするレーザ集光光学系を提供する。
また、請求項８に係る発明は、請求項７記載のレーザ集光光学系において、前記レーザ発散点移動手段は、前記レーザ光源を光軸方向に沿って移動させる光源移動手段と、前記光源移動手段と同期して前記光検出器を光軸方向に沿って移動させる光検出器移動手段と、を有することを特徴とするレーザ集光光学系を提供する。
また、請求項９に係る発明は、請求項８記載のレーザ集光光学系において、前記光源移動手段と前記光検出器移動手段は、前記レーザ光源と前記光検出器とを光軸方向に沿って一体的に移動させることを特徴とするレーザ集光光学系を提供する。
また、請求項１０に係る発明は、請求項７記載のレーザ集光光学系において、前記レーザ発散点移動手段は、前記集光光学系中に設けられる少なくとも２つのミラーと、該ミラーを光軸方向に沿って移動させミラー移動手段と、を備えることを特徴とするレーザ集光光学系を提供する。
また、請求項１１に係る発明は、請求項１記載のレーザ集光光学系において、前記レーザ発散点移動手段を制御する制御手段と、前記屈折率及び前記距離を入力する入力手段と、前記入力手段から入力された前記媒質の屈折率及び前記距離から、前記レーザ発散点の移動量を算出する算出手段と、を有することを特徴とするレーザ集光光学系を提供する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項１２に係る発明は、レーザ光を出射するレーザ光源と、前記レーザ光源と媒質との間に配されて、前記レーザ光を媒質中に集光させると共に集光点からの光を再集光する集光光学系と、前記レーザ光を前記集光光学系の光軸に対して直交する方向に向けて走査可能な走査手段と、前記集光光学系により再集光された前記光を検出する光検出器と、前記レーザ光のレーザ発散点の位置及び前記光検出器の位置を、レーザ光を集光したい前記媒質の屈折率及び前記媒質の表面から集光したい位置までの距離に応じて、前記レーザ光の光軸上に沿って移動可能なレーザ発散点移動手段とを備えていることを特徴とするレーザ走査型顕微鏡を提供する。