【手続補正書】
【提出日】令和1年10月1日(2019.10.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の部分流（ＦＧ１）および第２の部分流（ＦＧ２）を、入力流（ＦＧ０）から前記第２の部分流（ＦＧ２）を分離することによってもたらすように構成されたディストリビュータユニット（３００）と、
第１のフィルタ（ＦＩＬ１）を使用することによって前記第１の部分流（ＦＧ１）から粒子（Ｐ１）を収集する粒子収集ユニット（１００）と、
前記第２の部分流（ＦＧ２）によって運ばれる粒子（Ｐ１）を帯電させることによって荷電粒子（Ｐ２）を形成し、該荷電粒子（Ｐ２）を収集することによって電流（Ｉp（ｔ））をもたらす粒子監視ユニット（２００）と
を備え、
前記電流（Ｉp（ｔ））に基づいて前記第１の部分流（ＦＧ１）の流量（Ｑ1）を制御するように構成された、粒子測定装置（５００）。
【請求項２】
コロナ放電（ＤＳＲ１）によって前記第２の部分流（ＦＧ２）の粒子（Ｐ１）を帯電させるための帯電ユニット（ＣＵＮＩＴ１）を備える、請求項１に記載の装置（５００）。
【請求項３】
前記荷電粒子（Ｐ２）を収集するための粒子検出器（ＤＥＴ１）を備えており、前記粒子検出器（ＤＥＴ１）は、ファラデーケージ（ＦＡＲＡ１）に囲まれた監視フィルタ（ＤＦＩＬ）を備える、請求項１または２に記載の装置（５００）。
【請求項４】
前記第２の部分流（ＦＧ２）からイオン（Ｊ１）を取り除くためのイオントラップ（ＪＴＲＡＰ）を備える、請求項１〜３のいずれか一項に記載の装置（５００）。
【請求項５】
前記第１の部分流（ＦＧ１）を前記第１のフィルタ（ＦＩＬ１）へと導くための一次ダクト（３１０）を備えており、前記一次ダクト（３１０）は、直線部（ＰＯＲ１）および発散部（ＰＯＲ２）を備えている、請求項１〜４のいずれか一項に記載の装置（５００）。
【請求項６】
前記粒子監視ユニット（２００）は、
帯電空間（ＳＰＣ１）を定めるための実質的に半球状の内部を有している対向電極（ＥＬＥＣ０）と、
前記帯電空間（ＳＰＣ１）へとエアロゾル粒子（Ｐ１）を導くための入口チャネル（ＣＨ１）と、
前記帯電空間（ＳＰＣ１）においてコロナ放電を発生させることによって前記エアロゾル粒子（Ｐ１）から荷電粒子（Ｐ２）を形成するためのコロナ電極（ＥＬＥＣ３）と、
前記帯電空間（ＳＰＣ１）から荷電粒子（Ｐ２）を導くための出口チャネル（ＣＨ２）と
を備える、請求項１〜５のいずれか一項に記載の装置（５００）。
【請求項７】
前記粒子監視ユニット（２００）は、
コロナ電極（ＥＬＥＣ３）に動作電圧（ＵC）を供給するための電圧供給部（４１０）と、
前記電流（Ｉp（ｔ））を測定するための電流監視ユニット（ＣＭＵ１）と、
前記電流監視ユニット（ＣＭＵ１）を加熱するための加熱ユニット（ＨＵＮＩＴ１）と
を備えており、
当該装置（５００）は、前記電圧供給部（４１０）の動作状態に基づいて前記加熱ユニット（ＨＵＮＩＴ１）を制御するように構成されている、請求項１〜６のいずれか一項に記載の装置（５００）。
【請求項８】
前記第１の部分流（ＦＧ１）を開始させるための制御信号（Ｓ２（ｔ）、Ｓ３（ｔ））をもたらすように構成され、前記電流（Ｉp（ｔ））を監視することによって前記制御信号（Ｓ２（ｔ）、Ｓ３（ｔ））をもたらすように構成されている、請求項１〜７のいずれか一項に記載の装置（５００）。
【請求項９】
フレーム（４０１）と、
前記粒子監視ユニット（２００）が前記フレーム（４０１）に適切に取り付けられているか否かを確認するための近接感知ユニット（４３０）と
を備える、請求項１〜８のいずれか一項に記載の装置（５００）。
【請求項１０】
エアロゾル粒子（Ｐ１）を測定するための方法であって、
第１の部分流（ＦＧ１）および第２の部分流（ＦＧ２）を、ディストリビュータユニット（３００）を使用することによって入力流（ＦＧ０）から前記第２の部分流（ＦＧ２）を分離することによってもたらすステップと、
第１のフィルタ（ＦＩＬ１）を使用することによって前記第１の部分流（ＦＧ１）から粒子（Ｐ１）を収集するステップと、
前記第２の部分流（ＦＧ２）によって運ばれる粒子（Ｐ１）を帯電させることによって荷電粒子（Ｐ２）を形成するステップと、
前記荷電粒子（Ｐ２）を収集することによって電流（Ｉp（ｔ））をもたらすステップと、
前記電流Ｉp（ｔ）に基づいて前記第１の部分流（ＦＧ１）の流量（Ｑ1）を制御するステップ
を含む方法。
【請求項１１】
前記電流（Ｉp（ｔ））の積分値または平均値が所定の値よりも大きくなるときに、前記第１の部分流（ＦＧ１）を停止させるステップ
を含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
燃焼施設（ＳＲＣ１）の煙道ガス（ＰＧ０）をサンプリングすることによって前記入力流（ＦＧ０）をもたらすステップ
を含む、請求項１０または１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記入力流（ＦＧ０）は、周囲空気（ＰＧ０）からサンプリングされる、請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
第１の測定期間（Ｔtot,1）の間、前記第１のフィルタ（ＦＩＬ１）を通って前記第１の部分流（ＦＧ１）を導くことによって粒子（Ｐ１）を収集するステップと、
前記第１の測定期間（Ｔtot,1）の後に、前記第１のフィルタ（ＦＩＬ１）の重量を測定することによって第１の重量測定結果（ｍtot,1）を得るステップと
を含む、請求項１０〜１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
前記第１の測定期間（Ｔtot,1）の間、前記電流Ｉp（ｔ）を測定するステップと、
前記第１の測定期間（Ｔtot,1）の間に測定された前記電流Ｉp（ｔ）を分析することによって、前記第１の重量測定結果（ｍtot,1）を有効または無効と分類するステップと
を含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
第２の測定期間（Ｔtot,2）の間、第２のフィルタ（ＦＩＬ２）へと前記第１の部分流（ＦＧ１）を導くことによって粒子（Ｐ１）を収集するステップと、
前記第２の測定期間（Ｔtot,2）の後に、前記第２のフィルタ（ＦＩＬ２）の重量を測定することによって第２の重量測定結果（ｍtot,2）を得るステップと、
前記第２の測定期間（Ｔtot,2）の間、前記電流Ｉp（ｔ）を測定するステップと、
前記第１の重量測定結果（ｍtot,1）の前記第２の重量測定結果（ｍtot,2）に対する第１の比（ｍtot,1／ｍtot,2）が、前記第１の測定期間（Ｔtot,1）における前記電流Ｉp（ｔ）の第１の積分（ＳＵＭ１）の前記第２の測定期間（Ｔtot,2）における前記電流Ｉp（ｔ）の第２の積分（ＳＵＭ２）に対する第２の比（ＳＵＭ１／ＳＵＭ２）に対応するか否かを判定することによって、前記第１の重量測定結果（ｍtot,1）を有効または無効と分類するステップと
を含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
施設（ＳＲＣ１）を、該施設（ＳＲＣ１）がエアロゾル含有ガス（ＰＧ０）をもたらすように動作させるステップと、
第１の測定期間（Ｔtot,1）の間、前記第１の部分流ＦＧ１を前記第１のフィルタ（ＦＩＬ１）へと導くことによって、前記エアロゾル含有ガス（ＰＧ０）の粒子（Ｐ１）を収集するステップと、
前記第１の測定期間（Ｔtot,1）の間、前記電流信号（Ｉp（ｔ））を測定するステップと、
前記施設（ＳＲＣ１）の動作パラメータを示すプロセスインジケータ信号（Ｐ（ｔ））を取得するステップと、
前記第１の測定期間（Ｔtot,1）の後に、前記第１のフィルタ（ＦＩＬ１）の重量を測定することによって第１の重量測定結果（ｍtot,1）を得るステップと
前記第１の測定期間（Ｔtot,1）の間に測定された前記電流信号（Ｉp（ｔ））が前記プロセスインジケータ信号（Ｐ（ｔ））に相関しているか否かを判定することによって、前記第１の重量測定結果（ｍtot,1）を有効または無効と分類するステップと
を含む、請求項１０〜１６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１８】
コロナ電極（ＥＬＥＣ３）と対向電極（ＥＬＥＣ０）との間に位置しており、実質的に半球状の内部を有している帯電空間（ＳＰＣ１）へと、前記第２の部分流（ＦＧ２）の前記粒子（Ｐ１）を導くステップと、
前記帯電空間（ＳＰＣ１）において前記第２の部分流（ＦＧ２）の前記粒子（Ｐ１）を帯電させることによって前記荷電粒子（Ｐ２）を形成するステップと
を含む、請求項１０〜１７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１９】
コロナ放電（ＤＳＲ１）によって荷電粒子（Ｐ２）を形成するステップと、
電流監視ユニット（ＣＭＵ１）を使用することによって前記電流（Ｉp（ｔ））を測定するステップと、
前記コロナ放電（ＤＳＲ１）の動作状態に基づいて前記電流監視ユニット（ＣＭＵ１）の加熱を制御するステップと
を含む、請求項１０〜１８のいずれか一項に記載の方法。