(57)【要約】  耐湿性に優れた構造体、カラーフィルタ、固体撮像素子、画像表示装置および構造体の製造方法を提供する。また、前述の構造体の形成に用いる有機物層形成用組成物を提供する。この構造体１００は、支持体１と、支持体１上に形成された隔壁２と、支持体１上であって、隔壁２で区画された領域に形成された着色層４と、隔壁２と着色層４との間に、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む組成物を用いて形成された有機物層３と、を有する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体と、
前記支持体上に形成された隔壁と、
前記支持体上であって、前記隔壁で区画された領域に形成された着色層と、
前記隔壁と前記着色層との間に、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む組成物を用いて形成された有機物層と、を有する、構造体。
【請求項２】
前記有機物層の厚みが３０ｎｍ以下である、請求項１に記載の構造体。
【請求項３】
前記エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物は、側鎖にエチレン性不飽和結合を有する基を有する樹脂を含む、請求項１または２に記載の構造体。
【請求項４】
前記樹脂の酸価が１０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇである、請求項３に記載の構造体。
【請求項５】
前記樹脂の重量平均分子量が５０００〜２００００である、請求項３または４に記載の構造体。
【請求項６】
前記組成物は、更に界面活性剤を含む、請求項１〜５のいずれか１項に記載の構造体。
【請求項７】
前記着色層は、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む組成物を用いて形成されたものである、請求項１〜６のいずれか１項に記載の構造体。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の構造体を有するカラーフィルタ。
【請求項９】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の構造体を有する固体撮像素子。
【請求項１０】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の構造体を有する画像表示装置。
【請求項１１】
支持体上に隔壁を形成する工程と、
前記隔壁の表面にエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む有機物層形成用組成物を用いて有機物層を形成する工程と、
前記支持体上であって、表面に前記有機物層が形成された隔壁で区画された領域に着色層を形成する工程と、を含む構造体の製造方法。
【請求項１２】
前記エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物は、側鎖にエチレン性不飽和結合を有する基を有する樹脂を含む、請求項１１に記載の構造体の製造方法。
【請求項１３】
前記有機物層形成用組成物は、更に界面活性剤を含む、請求項１１または１２に記載の構造体の製造方法。
【請求項１４】
前記有機物層形成用組成物は、溶剤を９９〜９９．９９質量％含有する、請求項１１〜１３のいずれか１項に記載の構造体の製造方法。
【請求項１５】
前記着色層を、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む着色組成物を用いて形成する、請求項１１〜１４のいずれか１項に記載の構造体の製造方法。
【請求項１６】
支持体と、前記支持体上に形成された隔壁と、前記支持体上であって、前記隔壁で区画された領域に形成された着色層と、前記隔壁と前記着色層との間に形成された有機物層と、を有する、構造体の、前記有機物層を形成するための有機物層形成用組成物であって、
エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む、有機物層形成用組成物。
【請求項１７】
前記エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物は、側鎖にエチレン性不飽和結合を有する基を有する樹脂を含む、請求項１６に記載の有機物層形成用組成物。
【請求項１８】
更に界面活性剤を含む、請求項１６または１７に記載の有機物層形成用組成物。
【請求項１９】
溶剤を９９〜９９．９９質量％含有する、請求項１６〜１８のいずれか１項に記載の有機物層形成用組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、構造体、カラーフィルタ、固体撮像素子、画像表示装置、構造体の製造方法および有機物層形成用組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話等の普及から、電荷結合素子（ＣＣＤ）イメージセンサなどの固体撮像素子の需要が大きく伸びている。ディスプレイや光学素子のキーデバイスとしてカラーフィルタが使用されている。【０００３】
固体撮像素子の一形態として、例えば、支持体上の隔壁で区画された領域に着色層が埋め込まれた構造体を備えた固体撮像素子などが知られている。【０００４】
また、特許文献１には、このような構造体を備えた固体撮像素子において、隔壁と着色層との間に、エポキシ樹脂または１，１，１，３，３，３−ヘキサメチルジシラザンを用いて密着層を設けることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−２２７４７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明者が、支持体上の隔壁で区画された領域に着色層が埋め込まれた構造体を備えた固体撮像素子について検討したところ、このような構造体を備えた固体撮像素子を湿度の高い環境下にさらした場合、着色層と隔壁との間にボイドが発生しやすいことが分かった。着色層と隔壁との間にボイドが発生すると、デバイスの感度が変化してしまうため、ボイドの発生を抑制することが望ましい。【０００７】
また、本発明者の検討によれば、特許文献１に記載されるように、隔壁と着色層との間に、エポキシ樹脂、または、１，１，１，３，３，３−ヘキサメチルジシラザンを用いて密着層を形成した場合であっても、着色層と隔壁との間にボイドが発生しやすいことが分かった。【０００８】
よって、本発明の目的は、耐湿性に優れた構造体、カラーフィルタ、固体撮像素子、画像表示装置および構造体の製造方法を提供することにある。また、前述の構造体の形成に用いる有機物層形成用組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は鋭意検討した結果、支持体と、支持体上に形成された隔壁と、支持体上であって、隔壁で区画された領域に形成された着色層と、を有する構造体において、隔壁と着色層との間に、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む組成物を用いて形成された有機物層を設けることで、構造体を湿度の高い環境下にさらしても、着色層と隔壁との間にボイドが発生し難いことを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、以下の通りである。
＜１＞  支持体と、
支持体上に形成された隔壁と、
支持体上であって、隔壁で区画された領域に形成された着色層と、
隔壁と着色層との間に、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む組成物を用いて形成された有機物層と、を有する、構造体。
＜２＞  有機物層の厚みが３０ｎｍ以下である、＜１＞に記載の構造体。
＜３＞  エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物は、側鎖にエチレン性不飽和結合を有する基を有する樹脂を含む、＜１＞または＜２＞に記載の構造体。
＜４＞  樹脂の酸価が１０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇである、＜３＞に記載の構造体。
＜５＞  樹脂の重量平均分子量が５０００〜２００００である、＜３＞または＜４＞に記載の構造体。
＜６＞  組成物は、更に界面活性剤を含む、＜１＞〜＜５＞のいずれか１つに記載の構造体。
＜７＞  着色層は、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む組成物を用いて形成されたものである、＜１＞〜＜６＞のいずれか１つに記載の構造体。
＜８＞  ＜１＞〜＜７＞のいずれか１つに記載の構造体を有するカラーフィルタ。
＜９＞  ＜１＞〜＜７＞のいずれか１つに記載の構造体を有する固体撮像素子。
＜１０＞  ＜１＞〜＜７＞のいずれか１つに記載の構造体を有する画像表示装置。
＜１１＞  支持体上に隔壁を形成する工程と、
隔壁の表面にエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む有機物層形成用組成物を用いて有機物層を形成する工程と、
支持体上であって、表面に有機物層が形成された隔壁で区画された領域に着色層を形成する工程と、を含む構造体の製造方法。
＜１２＞  エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物は、側鎖にエチレン性不飽和結合を有する基を有する樹脂を含む、＜１１＞に記載の構造体の製造方法。
＜１３＞  有機物層形成用組成物は、更に界面活性剤を含む、＜１１＞または＜１２＞に記載の構造体の製造方法。
＜１４＞  有機物層形成用組成物は、溶剤を９９〜９９．９９質量％含有する、＜１１＞〜＜１３＞のいずれか１つに記載の構造体の製造方法。
＜１５＞  着色層を、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む着色組成物を用いて形成する、＜１１＞〜＜１４＞のいずれか１つに記載の構造体の製造方法。
＜１６＞  支持体と、支持体上に形成された隔壁と、支持体上であって、隔壁で区画された領域に形成された着色層と、隔壁と着色層との間に形成された有機物層と、を有する、構造体の、有機物層を形成するための有機物層形成用組成物であって、
エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む、有機物層形成用組成物。
＜１７＞  エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物は、側鎖にエチレン性不飽和結合を有する基を有する樹脂を含む、＜１６＞に記載の有機物層形成用組成物。
＜１８＞  更に界面活性剤を含む、＜１６＞または＜１７＞に記載の有機物層形成用組成物。
＜１９＞  溶剤を９９〜９９．９９質量％含有する、＜１６＞〜＜１８＞のいずれか１つに記載の有機物層形成用組成物。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、耐湿性に優れた構造体、カラーフィルタ、固体撮像素子、画像表示装置および構造体の製造方法を提供することが可能になった。また、前述の構造体の形成に用いる有機物層形成用組成物を提供することが可能になった。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の構造体の一実施形態を示す側断面図である。
【図２】同構造体における支持体の真上方向からみた平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含するものである。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、一般的に、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の合計質量をいう。
本明細書において、「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アリル」は、アリルおよびメタリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、重量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により測定したポリスチレン換算値として定義される。
【００１３】
＜構造体＞
本発明の構造体について、図面を用いて説明する。図１は、本発明の構造体の一実施形態を示す側断面図であり、図２は、同構造体における支持体の真上方向からみた平面図である。
図１、２に示すように、本発明の構造体１００は、
支持体１と、
支持体１上に形成された隔壁２と、
支持体１上であって、隔壁２で区画された領域に形成された着色層４と、
隔壁２と着色層４との間に、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む組成物を用いて形成された有機物層３と、を有することを特徴とする。
【００１４】
本発明の構造体によれば、湿度の高い環境下にさらした場合であっても、着色層と隔壁との間にボイドが発生しにくく、耐湿性に優れる。このような効果が得られる理由としては、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む組成物を用いて形成された有機物層は、吸湿性が適度に低く、さらには、着色層と相溶性や密着性などに優れるため、優れた耐湿性が得られたと考えられる。一方、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物の代わりに特許文献１のようにエポキシ樹脂を用いて形成した有機物層においては、後述する実施例にて示されるように、耐湿性が劣る。この理由としては、エポキシ樹脂自身の吸湿性が高いため、このような構造体を湿度の高い環境下にさらすと有機物層と着色層との密着性や、有機物層と隔壁との密着性などが低下して、その結果、着色層と隔壁との間にボイドが発生しやすくなったものと考えられる。また、有機物層の代わりに、特許文献１のように１，１，１，３，３，３−ヘキサメチルジシラザンを用いて密着層（以下、ＨＭＤＳ層ともいう）を形成した場合においても、後述する実施例にて示されるように、耐湿性が劣る。この理由としては、ＨＭＤＳ層自身の疎水性が高いため、このような構造体を湿度の高い環境下にさらすとＨＭＤＳ層と着色層との密着性が低下し、その結果、着色層と隔壁との間にボイドが発生しやすくなったものと考えられる。
【００１５】
本発明の構造体においては、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む組成物を用いて着色層を形成した場合においては、着色層と有機物層との相溶性や密着性をより高めることができ、特に優れた耐湿性が得られやすい。
【００１６】
本発明の構造体は、カラーフィルタ、固体撮像素子、画像表示装置などに好ましく用いることができる。より具体的には、デジタルスチルカメラ、デジタルビデオカメラ、監視カメラ、車載カメラなどに搭載される撮像デバイスなどに好ましく用いることができる。以下本発明の構造体について詳細に説明する。
【００１７】
本発明の構造体において、支持体１としては特に限定はない。固体撮像素子などの各種電子デバイスなどで使用されている基板（シリコンウエハ、炭化ケイ素ウエハ、窒化ケイ素ウエハ、サファイアウエハ、ガラスウエハなど）を用いることができる。また、フォトダイオードが形成された固体撮像素子用基板などを用いることもできる。また、これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは表面の平坦化のために下塗り層が設けられていてもよい。
【００１８】
支持体１上には隔壁２が形成されている。この実施形態においては、図２に示すように、隔壁２は、支持体１の真上方向から見た平面図において、格子状に形成されている。なお、この実施形態では、支持体１上における隔壁２によって区画された領域の形状（以下、隔壁の開口部の形状ともいう）は正方形状をなしているが、隔壁の開口部の形状は、特に限定されず、例えば、長方形状、円形状、楕円形状、または、多角形状等であっても良い。
【００１９】
隔壁２の材質としては、特に限定はないが、着色層４よりも屈折率の小さい材料で形成されていることが好ましい。この態様によれば、屈折率の大きい着色層４が、屈折率の小さい隔壁２で取り囲まれた構造体とすることができる。このようにすることで、屈折率の大きい着色層４から漏れ出そうとする光が、隔壁２によって反射されて着色層４へ戻されやすくなり、隣の着色層４への光の漏れ出しを抑制することができる。隔壁２の材質の具体例としては、種々の無機材料や有機材料を用いることができる。例えば、有機材料としては、アクリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリイミド系樹脂、有機ＳＯＧ（Ｓｐｉｎ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）系樹脂、シロキサン樹脂、フッ素樹脂などが挙げられる。無機材料としては、多孔質シリカ、多結晶シリコン、コロイダルシリカ粒子、酸化シリコン、窒化シリコン、タングステンやアルミニウムなどの金属材料などが挙げられる。隔壁２を無機材料で形成した場合であっても、良好な耐湿性が得られるので、本発明の積層体は隔壁２を無機材料で形成した場合において特に効果的である。また、隔壁の加工性が良好で、幅寸法のばらつきや、欠陥等が少なく、かつ、屈折率の低い隔壁を形成し易いという理由から、隔壁はシロキサン樹脂を含むことが好ましい。
【００２０】
シロキサン樹脂としては、アルコキシシラン原料を用いて、加水分解反応および縮合反応を介して得られる樹脂が挙げられる。シロキサン樹脂はかご型、はしご型、又はランダム型等のいずれのシルセスキオキサン構造を有するシロキサン樹脂であってもよい。なお、「かご型」、「はしご型」、及び「ランダム型」は、例えば、「シルセスキオキサン材料の化学と応用展開（シーエムシー出版）」等に記載されている構造を参照することができる。
【００２１】
シロキサン樹脂は下記式（Ｓ１）で表されるシルセスキオキサン構造を有することが好ましい。
−（Ｒ１ＳｉＯ３／２）ｎ−  ・・・式（Ｓ１）
（上記式（Ｓ１）中、Ｒ１は炭素数１〜３のアルキル基を表す。ｎは２０〜１０００の整数を表す。）
【００２２】
Ｒ１が表すアルキル基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、フッ素原子、アミノ基、スルホンアミド基、アシルオキシ基、カルバモイル基、アシルアミノ基などが挙げられる。
【００２３】
シロキサン樹脂はかご型シロキサン樹脂であることも好ましい。かご型シロキサン樹脂分子内に空隙を有するので、隔壁の屈折率をより小さくすることができる。さらには、加工性が良好で、着色層側の面の平滑性を高めることができ、着色層への集光率を高めることができる。かご型シロキサン樹脂の重量平均分子量は、５０，０００〜３００，０００が好ましい。かご型シロキサン樹脂の分散度（重量平均分子量／数平均分子量）は、２〜４が好ましく、２〜３．５がより好ましく、２．５〜３．５が更に好ましい。かご型シロキサン樹脂としては、下記式（Ｓ１−１）で表される部分構造を有する樹脂であることが好ましい。以下の式中波線はかご型シロキサン樹脂を構成する他の原子団との結合部位である。例えば、かご型シロキサン樹脂の好ましい一例としては、以下の８個の結合部位のうち、少なくとも２個の結合部位が式（Ｓ１−１）で表される部分構造同士を連結する連結基Ｌと結合し、少なくとも１個の結合部位にアルキル基が結合し、少なくとも１個の結合部位にエチレン性不飽和結合を有する基が結合した構造の樹脂が挙げられる。上記の連結基Ｌとしては、アルキレン基、アルキレン基と−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−および−ＯＣＯ−から選ばれる少なくとも１種とを組み合わせてなる２価の基などが挙げられる。エチレン性不飽和結合を有する基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられる。
式（Ｓ１−１）
【化１】
2018062130.tif 000003
【００２４】
アルコキシシラン原料としては、トリアルコキシシラン、テトラアルコキシシランが挙げられる。アルコキシシラン原料は、トリアルコキシシランを少なくとも含むことが好ましく、トリアルコキシシランとテトラアルコキシシランとを含むことがより好ましい。トリアルコキシシランとしては、下記の式（Ｓ２）で表す化合物であることが好ましい。テトラアルコキシシランとしては、下記の式（Ｓ３）で表す化合物であることが好ましい。
Ｒ２Ｓｉ（ＯＲ３）３      ・・・式（Ｓ２）
Ｓｉ（ＯＲ３）４      ・・・式（Ｓ３）
（Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立してアルキル基を表す。）
【００２５】
Ｒ２およびＲ３が表すアルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜４がより好ましく、１〜３が更に好ましい。Ｒ２およびＲ３が表すアルキル基は、直鎖のアルキル基であることが好ましい。Ｒ２およびＲ３が表すアルキル基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、上述したＲ１が表すアルキル基が有してもよい置換基が挙げられる。
【００２６】
シロキサン樹脂の詳細については、特開２０１４−０６３１２５号公報の段落番号００１４〜００３９、特開２００４−０２１０３６号公報、特開２０１１−８４６７２号公報、特開２００７−２５４５０６号公報の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００２７】
フッ素樹脂としては、分子中にフッ素を含有する樹脂が挙げられる。具体的には、ポリテトラフルオロエチレン、ポリヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体、ヘキサフルオロプロピレン／プロピレン共重合体、ポリビニリデンフルオライド、ビニリデンフルオライド／エチレン共重合体などが挙げられる。また、アモルファスフッ素樹脂も好ましく用いられ、市販品としてはＣＹＴＯＰ（旭硝子製）などが挙げられる。ポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹脂の重量平均分子量は１０万〜１０００万の範囲が好ましく、１０万〜１００万がより好ましい。ポリテトラフルオロエチレンの市販品としては、三井・デュポンフロロケミカル（株）製のテフロン（登録商標）６−Ｊ、テフロン（登録商標）６Ｃ−Ｊ、テフロン（登録商標）６２−Ｊ、旭アイシーアイフロロポリマーズ（株）製のフルオンＣＤ１やＣＤ０７６が挙げられる。また、ポリテトラフルオロエチレン粒子と有機系重合体とからなるポリテトラフルオロエチレン含有混合粉体の市販品としては、三菱レイヨン（株）から、“メタブレン（登録商標）”Ａシリーズとして市販され、“メタブレン（登録商標）”Ａ−３０００、“メタブレン（登録商標）”Ａ−３８００などが市販されている。なお、本明細書において、分子中にシロキサン結合とフッ素原子を含む樹脂については、シロキサン樹脂に該当するものとする。
【００２８】
また、本発明における隔壁は、コロイダルシリカ粒子を含むことも好ましい。この態様によれば、屈折率の低い隔壁を形成し易い。コロイダルシリカ粒子の好ましい態様としては、以下の１〜３の態様が挙げられる。
第１の態様：動的光散乱法により測定された平均粒子径Ｄ１が２５〜１０００ｎｍであり、かつ、平均粒子径Ｄ１と、窒素吸着法により測定されたコロイダルシリカ粒子の比表面積Ｓから下記式（１）により得られる平均粒子径Ｄ２との比Ｄ１／Ｄ２が３以上である態様。
Ｄ２＝２７２０／Ｓ      ・・・（１）
式中、Ｄ２は平均粒子径であって、単位はｎｍであり、Ｓは、窒素吸着法により測定されたコロイダルシリカ粒子の比表面積であって、単位はｍ２／ｇである。
第２の態様：複数個の球状シリカ粒子が平面的に連結されている態様。
第３の態様：複数個の球状シリカ粒子が数珠状に連結されている態様。
【００２９】
第１の態様のコロイダルシリカ粒子は、更に第２の態様または第３の態様のコロイダルシリカ粒子の要件を満たしていてもよい。また、第２の態様のコロイダルシリカ粒子は、更に第１の態様の要件を満たしていてもよい。また、第３の態様のコロイダルシリカ粒子は、更に第１の態様のコロイダルシリカ粒子の要件を満たしていてもよい。
【００３０】
なお、本明細書において「球状」とは、実質的に球形であれば良く、本発明の効果を奏する範囲で、変形していてもよい意味である。例えば、表面に凹凸を有する形状や、所定の方向に長軸を有する扁平形状も含む意味である。
また、「複数個の球状シリカ粒子が数珠状に連結されている」とは、複数個の球状シリカ粒子同士が直鎖状および／または分岐した形で繋がった構造を意味する。例えば、図１に示すように、複数個の球状シリカ粒子同士が、これよりも外径の小さい接合部で連結された構造が挙げられる。また、本発明において、「複数個の球状シリカ粒子が数珠状に連結されている」構造としては、リング状につながった形態をなしている構造のみならず、末端を有する鎖状の形態をなしている構造も含まれる。
また、「複数個の球状シリカ粒子が平面的に連結されている」とは、複数個の球状シリカ粒子同士が、略同一平面上において連結された構造を意味する。なお、「略同一平面」とは同一平面である場合のみならず、同一平面から上下にずれていてもよい意味である。例えば、シリカ粒子の粒子径の５０％以下の範囲で上下にずれていてもよい。
【００３１】
本発明で用いられるコロイダルシリカ粒子は、動的光散乱法により測定された平均粒子径Ｄ１と上記式（１）により得られる平均粒子径Ｄ２との比Ｄ１／Ｄ２が３以上であることが好ましい。Ｄ１／Ｄ２の上限は特にないが、１０００以下であることが好ましく、８００以下であることがより好ましく、５００以下であることが更に好ましい。Ｄ１／Ｄ２をこのような範囲とすることにより、良好な光学特性を発現し、更には、乾燥時における凝集を効果的に抑制することができる。なお、コロイダルシリカ粒子におけるＤ１／Ｄ２の値は、球状シリカ粒子のつながり度合の指標でもある。
【００３２】
コロイダルシリカ粒子の上記平均粒子径Ｄ２は、球状シリカの一次粒子に近似する平均粒子径とみなすことができる。平均粒子径Ｄ２は１ｎｍ以上であることが好ましく、３ｎｍ以上であることがより好ましく、５ｎｍ以上であることが更に好ましく、７ｎｍ以上であることが特に好ましい。上限としては、１００ｎｍ以下であることが好ましく、８０ｎｍ以下であることがより好ましく、７０ｎｍ以下であることが更に好ましく、６０ｎｍ以下であることがより一層好ましく、５０ｎｍ以下であることが特に好ましい。
【００３３】
平均粒子径Ｄ２は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定した球状部分の投影像における円相当直径（Ｄ０）で代用することができる。円相当直径による平均粒子径はとくに断らない限り、５０個以上の粒子の数平均で評価する。
【００３４】
コロイダルシリカ粒子の上記平均粒子径Ｄ１は、複数の球状シリカ粒子がまとまった二次粒子の数平均粒径とみなすことができる。したがって、通常、Ｄ１＞Ｄ２の関係が成り立つ。平均粒子径Ｄ１は、２５ｎｍ以上であることが好ましく、３０ｎｍ以上であることがより好ましく、３５ｎｍ以上であることが特に好ましい。上限としては、１０００ｎｍ以下であることが好ましく、７００ｎｍ以下であることがより好ましく、５００ｎｍ以下であることがさらに好ましく、３００ｎｍ以下であることが特に好ましい。
【００３５】
コロイダルシリカ粒子の上記平均粒子径Ｄ１の測定は、特に断らない限り、動的光散乱式粒径分布測定装置（日機装製  ナノトラック  Ｎａｎｏｔｒａｃ  Ｗａｖｅ−ＥＸ１５０［商品名］）を用いて行う。手順は以下のとおりである。コロイダルシリカ粒子の分散液を２０ｍｌサンプル瓶に分取し、トルエンにより固形分濃度が０．２質量％になるように希釈調整する。希釈後の試料溶液は、４０ｋＨｚの超音波を１分間照射し、その直後に試験に使用する。温度２５℃で２ｍｌの測定用石英セルを使用してデータ取り込みを１０回行い、得られた「数平均」を平均粒子径とする。その他の詳細な条件等は必要によりＪＩＳＺ８８２８：２０１３「粒子径解析−動的光散乱法」の記載を参照する。１水準につき５つの試料を作製しその平均値を採用する。
【００３６】
コロイダルシリカ粒子は、平均粒子径１〜８０ｎｍの球状シリカ粒子が、連結材を介して複数個連結していることが好ましい。球状シリカ粒子の平均粒子径の上限としては、７０ｎｍ以下であることが好ましく、６０ｎｍ以下であることがより好ましく、５０ｎｍ以下であることが更に好ましい。また、球状シリカ粒子の平均粒子径の下限としては、３ｎｍ以上であることが好ましく、５ｎｍ以上であることがより好ましく、７ｎｍ以上であることが更に好ましい。なお、本発明において球状シリカ粒子の平均粒子径の値は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定した球状部分の投影像における円相当直径から求められる平均粒子径の値を用いる。
【００３７】
球状シリカ粒子同士を連結する連結材としては、金属酸化物含有シリカが挙げられる。金属酸化物としては、例えば、Ｃａ、Ｍｇ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ａｌ、Ｉｎ、Ｙ、Ｔｉから選ばれる金属の酸化物などが挙げられる。金属酸化物含有シリカとしては、これらの金属酸化物とシリカ（ＳｉＯ２）との反応物、混合物などが挙げられる。連結材については、国際公開ＷＯ２０００/１５５５２号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００３８】
球状シリカ粒子の連結数としては、３個以上が好ましく、５個以上がより好ましい。上限は、１０００個以下が好ましく、８００個以下がより好ましく、５００個以下が更に好ましい。球状シリカ粒子の連結数は、ＴＥＭで測定できる。
【００３９】
コロイダルシリカ粒子は、粒子液（ゾル）の状態で用いてもよい。例えば特許第４３２８９３５号に記載されているシリカゾル等を使用することができる。コロイダルシリカ粒子を分散させる媒体としては、アルコール（例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール（ＩＰＡ））、エチレングリコール、グリコールエーテル（例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテル）、グリコールエーテルアセテート（例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）等が例示される。また、後述する溶剤Ａ１、溶剤Ａ２などを用いることもできる。粒子液（ゾル）において、ＳｉＯ２濃度は５〜４０質量％であることが好ましい。粒子液（ゾル）は市販品を用いることもできる。例えば、日産化学工業社製の「スノーテックス  ＯＵＰ」、「スノーテックス  ＵＰ」、「ＩＰＡ−ＳＴ−ＵＰ」、「スノーテックス  ＰＳ−Ｍ」、「スノーテックス  ＰＳ−ＭＯ」、「スノーテックス  ＰＳ−Ｓ」、「スノーテックス  ＰＳ−ＳＯ」、触媒化成工業株式会社製の「ファインカタロイドＦ−１２０」、扶桑化学工業株式会社製の「クォートロンＰＬ」などが挙げられる。
【００４０】
隔壁２の幅Ｗ１は、２０〜５００ｎｍであることが好ましく、２０〜３００ｎｍであることがより好ましく、２０〜２００ｎｍであることが更に好ましい。また、隔壁２の高さＨ１は、２００〜１０００ｎｍであることが好ましく、３００〜７００ｎｍであることがより好ましいが、着色層と同等の高さで、より薄い方が、固体撮像素子の低背化が可能となるため、好ましい。
隔壁２のピッチＰ１は、高画素の固体撮像素子用途では、２０００〜５００ｎｍであることが好ましく、１５００〜５００ｎｍであることがより好ましく、１０００〜５００ｎｍであることが更に好ましい。
【００４１】
支持体１上であって、隔壁２で区画された領域（隔壁の開口部）には、着色層４が形成されている。着色層としては、特に限定は無い。赤色、青色、緑色、マゼンタ、シアンなどの着色層が挙げられる。着色層の色と配置は任意に選択することができる。
【００４２】
着色層４の幅Ｌ１は、用途により適宜選択できる。例えば、高画素の固体撮像素子用途では、５００〜２０００ｎｍであることが好ましく、５００〜１５００ｎｍであることがより好ましく、５００〜１０００ｎｍであることが更に好ましい。
着色層４の高さＨ２は、用途により適宜選択できる。例えば、高画素の固体撮像素子用途では、３００〜１０００ｎｍであることが好ましく、３００〜８００ｎｍであることがより好ましく、３００〜６００ｎｍであることが更に好ましい。また、着色層４の高さＨ２は、隔壁２の高さＨ１の５０〜１５０％であることが好ましく、７０〜１３０％であることがより好ましく、９０〜１１０％であることが更に好ましい。
【００４３】
着色層４は、従来公知の着色組成物を用いて形成することができる。例えば、着色剤と硬化性化合物と樹脂と溶剤とを含む着色組成物などを用いることができる。着色組成物は感光性組成物であることが好ましい。光硬化性の着色組成物としては、光重合開始剤と重合性化合物とを含む組成物が挙げられる。また、着色組成物は、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含むことが好ましく、着色組成物の全固形分中に、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を５〜５０質量％含有することがより好ましく、１０〜５０質量％含有することが更に好ましい。この態様によれば、着色層と有機物層との相溶性や密着性を高めることができる。また、構造体を湿度の高い環境にさらしてもボイドの発生を効果的に抑制できる。着色組成物については後に詳しく説明する。
【００４４】
本発明の構造体１００は、隔壁２と着色層４との間に有機物層３を有する。すなわち、図１に示されるように、隔壁２の側面２ａが有機物層３で覆われており、着色層４は有機物層３を介して隔壁２と接している。なお、着色層４と有機物層３とが相溶または反応して一体化している場合もあり、両者の間に明確な界面が存在していない場合もある。
【００４５】
また、この実施形態では、支持体１と着色層４との間にも有機物層３が形成されている。すなわち、この実施形態では、支持体１上の隔壁２で区画された各領域において、隔壁２の側面２ａおよび支持体１の表面１ａが有機物層３で覆われている。そして、着色層４は、有機物層３を介して、隔壁２および支持体１と接している。なお、本発明の構造体においては、支持体１と着色層４との間には有機物層３が形成されていなくてもよいが、支持体１と着色層４との密着性や、耐湿性の観点から支持体１と着色層４との間にも有機物層３が形成されていることが好ましい。
【００４６】
また、この実施形態では、隔壁２の上面２ｂ上には有機物層３が形成されていないが、隔壁２の上面２ｂにも有機物層３が形成されていてもよい。固体撮像素子の低背化の点から、隔壁２の上面２ｂ上には有機物層３が形成されていないことが好ましい。
【００４７】
有機物層３の厚みＬ２は、着色層４の有効面積が大きくなるという理由から薄いことが好ましく、５０ｎｍ以下であることがより好ましく、４０ｎｍ以下であることが更に好ましく、３０ｎｍ以下であることが特に好ましい。有機物層３の厚みＬ２の下限は、密着性や耐湿性などの観点から５ｎｍ以上であることが好ましい。
【００４８】
本発明の構造体１００において、有機物層３は、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む組成物（有機物層形成用組成物）を用いて形成されてなるものである。以下、有機物層形成用組成物について説明する。この有機物層形成用組成物は、本発明の対象としての有機物層形成用組成物でもある。
【００４９】
また、本発明の構造体１００は、支持体１上の隔壁２で区画された領域に近赤外線透過フィルタ層が設けられていてもよい。例えば、図１、２において、着色層４の一部が、近赤外線透過フィルタ層で置き換えられていてもよい。近赤外線透過フィルタ層としては、可視光を遮光し、近赤外線の少なくとも一部を透過させる分光特性を有するフィルタ層であればよい。近赤外線透過フィルタ層は、例えば波長７００〜２５００ｎｍの範囲の波長の少なくとも一部を透過させる分光特性を有するフィルタ層であることが好ましく、波長７００〜２０００ｎｍの範囲の波長の少なくとも一部を透過させる分光特性を有するフィルタ層であることがより好ましく、波長７００〜１５００ｎｍの範囲の波長の少なくとも一部を透過させる分光特性を有するフィルタ層であることが更に好ましく、波長７００〜１３００ｎｍの範囲の波長の少なくとも一部を透過させる分光特性を有するフィルタ層であることがより一層好ましく、波長７００〜１０００ｎｍの範囲の波長の少なくとも一部を透過させる分光特性を有するフィルタ層であることが特に好ましい。また、近赤外線透過フィルタ層は、１層の膜（単層膜）で構成されていてもよく、２層以上の膜の積層体（多層膜）で構成されていてもよい。また、近赤外線透過フィルタ層が多層膜で構成されている場合は、多層膜全体として上述の分光特性を有していればよく、１層の膜自体についてはそれぞれ上述の分光特性を有していなくてもよい。
【００５０】
近赤外線透過フィルタ層の厚さとしては、特に限定はない。例えば、１００μｍ以下が好ましく、１５μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましく、１μｍ以下が特に好ましい。下限値は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上が更に好ましい。
【００５１】
近赤外線透過フィルタ層の好ましい例として、例えば、以下の（１）〜（４）のいずれかの分光特性を有するフィルタ層が挙げられる。
（１）：厚み方向における光の透過率の、波長４００〜６４０ｎｍの範囲における最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、厚み方向における光の透過率の、波長８００〜１３００ｎｍの範囲における最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層。このフィルタ層によれば、波長４００〜６４０ｎｍの範囲の光を遮光して、波長７２０ｎｍ以上の近赤外線を透過させることができる。
（２）：厚み方向における光の透過率の、波長４００〜７５０ｎｍの範囲における最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、厚み方向における光の透過率の、波長９００〜１３００ｎｍの範囲における最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層。このフィルタ層によれば、波長４００〜７５０ｎｍの範囲の光を遮光して、波長８５０ｎｍ以上の近赤外線を透過させることができる。
（３）：厚み方向における光の透過率の、波長４００〜８５０ｎｍの範囲における最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、厚み方向における光の透過率の、波長１０００〜１３００ｎｍの範囲における最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層。このフィルタ層によれば、波長４００〜８５０ｎｍの範囲の光を遮光して、波長９４０ｎｍ以上の近赤外線を透過させることができる。
（４）：厚み方向における光の透過率の、波長４００〜９５０ｎｍの範囲における最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、厚み方向における光の透過率の、波長１１００〜１３００ｎｍの範囲における最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層。このフィルタ層によれば、波長４００〜９５０ｎｍの範囲の光を遮光して、波長１０４０ｎｍ以上の近赤外線を透過させることができる。
【００５２】
（エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物）
本発明の有機物層形成用組成物は、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む。エチレン性不飽和結合を有する基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基、スチレン基などが挙げられ、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基が好ましい。
【００５３】
エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物は、モノマーであってもよく、ポリマーなどの樹脂であってもよい。エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物としては、エチレン性不飽和結合を有する基を有する樹脂であることが好ましい。エチレン性不飽和結合を有する基を有する樹脂を用いた場合においては、隔壁に対して、有機物層形成用組成物をより均一に塗布しやすい。このため、有機物層形成用組成物の製膜性を向上できる。更には、有機物層と着色層との密着性を高めることができ、より良好な耐湿性が得られる。以下、モノマータイプのエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を、モノマーＡともいう。また、樹脂タイプのエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を、樹脂Ａともいう。
【００５４】
モノマーＡの分子量としては、１００〜３０００であることが好ましい。上限は、２０００以下が好ましく、１５００以下が更に好ましい。下限は、１５０以上が好ましく、２５０以上が更に好ましい。
樹脂Ａの重量平均分子量としては、５０００〜２００００であることが好ましい。上限は、１９０００以下が好ましく、１８０００以下がより好ましい。下限は、８０００以上が好ましく、１００００以上がより好ましい。
【００５５】
エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物の含有量は、有機物層形成用組成物の全質量に対して０．０１〜１質量％であることが好ましい。下限は、０．０５質量％以上が好ましく、０．１質量％以上がより好ましい。上限は、０．９質量％以下が好ましく、０．８質量％以下がより好ましい。
【００５６】
有機物層形成用組成物の全固形分中におけるエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物の含有量は、５０〜１００質量％であることが好ましい、下限は、７０質量％以上が好ましく、９０質量％以上がより好ましい。
【００５７】
エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物中における樹脂Ａの化合物の含有量は、５０〜１００質量％であることが好ましく、７０〜１００質量％であることがより好ましく、９０〜１００質量％であることが更に好ましく、実質的に樹脂Ａのみで構成されていることが特に好ましい。この態様によれば、有機物層の製膜性が良好であり、更にはより優れた耐湿性が得られやすい。なお、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物が実質的に樹脂Ａのみで構成されている場合、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物中における樹脂Ａの含有量が９９質量％以上であることが好ましく、９９．５質量％以上であることが更に好ましく、９９．９質量％以上であることがより好ましく、樹脂Ａのみで構成されていることが特に好ましい。
【００５８】
本発明において、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物として、モノマーＡと、樹脂Ａとを併用することも好ましい。
【００５９】
（モノマーＡ）
モノマーＡとしては、３〜１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、３〜６官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましい。具体例としては、特開２００９−２８８７０５号公報の段落番号００９５〜０１０８、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０２２７、特開２００８−２９２９７０号公報の段落番号０２５４〜０２５７に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００６０】
モノマーＡとしては、式（ＭＯ−１）〜式（ＭＯ−５）で表される化合物も好適に用いることができる。なお、式中、Ｔがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がＲに結合する。
【００６１】
【化２】
2018062130.tif 000004
【００６２】
【化３】
2018062130.tif 000005
【００６３】
上記式において、ｎは０〜１４であり、ｍは１〜８である。一分子内に複数存在するＲ、Ｔ、は、各々同一であっても、異なっていてもよい。
式（ＭＯ−１）〜（ＭＯ−５）で表される化合物の各々において、複数存在するＲの少なくとも１つは、−ＯＣ（＝Ｏ）ＣＨ＝ＣＨ２、又は、−ＯＣ（＝Ｏ）Ｃ（ＣＨ３）＝ＣＨ２で表される基を表す。
式（ＭＯ−１）〜（ＭＯ−５）で表される化合物の具体例としては、特開２００７−２６９７７９号公報の段落番号０２４８〜０２５１に記載されている化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００６４】
また、モノマーＡとしては、ジペンタエリスリトールトリアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３３０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３２０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３１０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製、Ａ−ＤＰＨ−１２Ｅ；新中村化学工業（株）製）、およびこれらの（メタ）アクリロイル基がエチレングリコールおよび／またはプロピレングリコール残基を介して結合している構造（例えば、サートマー社から市販されている、ＳＲ４５４、ＳＲ４９９）が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。また、モノマーＡとしては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートなどの３官能の（メタ）アクリレート化合物を用いることも好ましい。３官能の（メタ）アクリレート化合物の市販品としては、アロニックスＭ−３０９、Ｍ−３１０、Ｍ−３２１、Ｍ−３５０、Ｍ−３６０、Ｍ−３１３、Ｍ−３１５、Ｍ−３０６、Ｍ−３０５、Ｍ−３０３、Ｍ−４５２、Ｍ−４５０（東亞合成（株）製）、ＮＫエステル  Ａ９３００、Ａ−ＧＬＹ−９Ｅ、Ａ−ＧＬＹ−２０Ｅ、Ａ−ＴＭＭ−３、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌ、Ａ−ＴＭＭ−３ＬＭ−Ｎ、Ａ−ＴＭＰＴ、ＴＭＰＴ（新中村化学工業（株）製）、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＧＰＯ−３０３、ＴＭＰＴＡ、ＴＨＥ−３３０、ＴＰＡ−３３０、ＰＥＴ−３０（日本化薬（株）製）などが挙げられる。
【００６５】
アルキレンオキシ基を有する化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ基を４個有する４官能アクリレートであるＳＲ−４９４、日本化薬株式会社製のペンチレンオキシ基を６個有する６官能アクリレートであるＤＰＣＡ−６０、イソブチレンオキシ基を３個有する３官能アクリレートであるＴＰＡ−３３０などが挙げられる。
【００６６】
モノマーＡは、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基等の酸基をさらに有していてもよい。市販品としては、例えば、東亞合成株式会社製のアロニックスＭ−３０５、Ｍ−５１０、Ｍ−５２０などが挙げられる。
【００６７】
モノマーＡとしては、カプロラクトン構造を有する化合物も好ましい態様である。カプロラクトン構造を有する化合物は、例えば、日本化薬（株）からＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＣＡシリーズとして市販されており、ＤＰＣＡ−２０、ＤＰＣＡ−３０、ＤＰＣＡ−６０、ＤＰＣＡ−１２０等が挙げられる。モノマーＡは、アルキレンオキシ基を有する化合物を用いることも好ましい。アルキレンオキシ基を有する化合物としては、エチレンオキシ基および／またはプロピレンオキシ基を有する化合物であることが好ましく、エチレンオキシ基を有する化合物であることがより好ましく、エチレンオキシ基を４〜２０個有する３〜６官能（メタ）アクリレート化合物であることがさらに好ましい。アルキレンオキシ基を有する化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ基を４個有する４官能（メタ）アクリレートであるＳＲ−４９４、イソブチレンオキシ基を３個有する３官能（メタ）アクリレートであるＫＡＹＡＲＡＤ  ＴＰＡ−３３０などが挙げられる。また、下記化合物を用いることも好ましい。
【化４】
2018062130.tif 000006
【００６８】
（樹脂Ａ）
本発明において、樹脂Ａとしては、側鎖にエチレン性不飽和結合を有する基を有する繰り返し単位を含むポリマーであることが好ましく、式（１）で表される繰り返し単位を有するポリマーであることがより好ましい。
【化５】
2018062130.tif 000007
式中、Ｒ１は、水素原子又はアルキル基を表し、Ｌ１は、単結合または２価の連結基を表し、Ｐ１はエチレン性不飽和結合を有する基を表す。
【００６９】
Ｒ１が表すアルキル基は、炭素数１〜３のアルキル基が好ましく、メチル基が好ましい。Ｒ１は、水素原子またはメチル基であることが好ましい。
【００７０】
Ｌ１は、単結合または２価の連結基を表す。２価の連結基としては、炭素数１〜３０のアルキレン基、炭素数６〜１２のアリーレン基、これらと−ＣＯ−、−ＯＣＯ−、−Ｏ−、−ＮＨ−および−ＳＯ２−から選ばれる１種とを組み合わせてなる基が挙げられる。アルキレン基およびアリーレン基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、アルコキシ基、アリールオキシ基などが挙げられる。ヒドロキシル基が好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよい。
【００７１】
Ｐ１はエチレン性不飽和結合を有する基を表す。エチレン性不飽和結合を有する基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基が好ましく、重合反応性が高く、更にはより優れた耐湿性が得られやすいという理由から（メタ）アクリロイル基がより好ましい。
【００７２】
樹脂Ａにおいて、側鎖にエチレン性不飽和結合を有する基を有する繰り返し単位の含有量は、全繰り返し単位の５〜１００質量％であることが好ましい。下限は、１０質量％以上が好ましく、１５質量％以上がより好ましい。上限は、９０質量％以下が好ましく、８０質量％以下がより好ましく、７５質量％以下が更に好ましく、７０質量％以下が特に好ましい。
【００７３】
樹脂Ａは、更に、酸基を有する繰り返し単位を含むことが好ましい。酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基が例示される。酸基は１種類のみ含まれていても良いし、２種類以上含まれていても良い。酸基を有する繰り返し単位の割合は、ポリマーを構成する全繰り返し単位の１〜５０質量％であることが好ましい。下限は、２質量％以上がより好ましく、３質量％以上が更に好ましい。上限は、３５質量％以下がより好ましく、３０質量％以下が更に好ましい。
【００７４】
樹脂Ａが酸基を有する場合、樹脂Ａの酸価としては、１０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましい。下限は、１５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることが好ましく、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることがより好ましい。上限は、９０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることがより好ましく、７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが更に好ましく、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが特に好ましい。
【００７５】
樹脂Ａは、更に、アリール基を側鎖に有する繰り返し単位を含むことも好ましい。アリール基を側鎖に有する繰り返し単位の割合は、ポリマーを構成する全繰り返し単位の１〜８０質量％であることが好ましい。下限は、１０質量％以上がより好ましく、１５質量％以上が更に好ましい。上限は、７０質量％以下がより好ましく、６０質量％以下が更に好ましい。
【００７６】
樹脂Ａは、下記式（ＥＤ１）で示される化合物および特開２０１０−１６８５３９号公報の式（１）で表される化合物から選ばれる少なくとも１種の化合物（以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。）を含むモノマー成分を重合してなるポリマーを含むことも好ましい。
【００７７】
【化６】
2018062130.tif 000008
【００７８】
式（ＥＤ１）中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数１〜２５の炭化水素基を表す。
【００７９】
エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０３１７を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エーテルダイマーは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
【００８０】
樹脂Ａの具体例としては、例えば下記構造のポリマーが挙げられる。以下の構造式において、Ｍｅはメチル基を表す。
【化７】
2018062130.tif 000009
【００８１】
樹脂Ａは、市販品を用いることもできる。例えば、ダイヤナールＮＲシリーズ（三菱レイヨン株式会社製）、Ｐｈｏｔｏｍｅｒ６１７３（ＣＯＯＨ含有  ｐｏｌｙｕｒｅｔｈａｎｅ  ａｃｒｙｌｉｃ  ｏｌｉｇｏｍｅｒ．Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｓｈａｍｒｏｃｋ  Ｃｏ．，Ｌｔｄ製）、ビスコートＲ−２６４、ＫＳレジスト１０６（いずれも大阪有機化学工業株式会社製）、サイクロマーＰシリーズ（例えば、ＡＣＡ２３０ＡＡ）、プラクセル  ＣＦ２００シリーズ（いずれも（株）ダイセル製）、Ｅｂｅｃｒｙｌ３８００（ダイセルユーシービー株式会社製）、アクリキュアーＲＤ−Ｆ８(日本触媒社製)などが挙げられる。
【００８２】
（界面活性剤）
本発明の有機物層形成用組成物は、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を含有させてもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。なかでもフッ素系界面活性剤が好ましい。本発明の有機物層形成用組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで、より優れた塗布性が得られやすい。このため、薄膜で、均一な膜厚の有機物層を形成しやすい。
【００８３】
フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３〜４０質量％が好ましく、より好ましくは５〜３０質量％であり、特に好ましくは７〜２５質量％である。フッ素含有率が上記範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的である。
【００８４】
フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１７７、Ｆ１４１、Ｆ１４２、Ｆ１４３、Ｆ１４４、Ｒ３０、Ｆ４３７、Ｆ４７５、Ｆ４７９、Ｆ４８２、Ｆ５５４、Ｆ７８０、ＥＸＰ、ＭＦＳ−３３０（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−３８２、ＳＣ−１０１、ＳＣ−１０３、ＳＣ−１０４、ＳＣ−１０５、ＳＣ−１０６８、ＳＣ−３８１、ＳＣ−３８３、Ｓ−３９３、ＫＨ−４０（以上、旭硝子（株）製）、ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、特開２０１５−１１７３２７号公報の段落番号００１５〜０１５８に記載の化合物、特開２０１１−１３２５０３号公報の段落番号０１１７〜０１３２に記載の化合物を用いることもできる。フッ素系界面活性剤としてブロックポリマーを用いることもでき、具体例としては、例えば特開２０１１−８９０９０号公報に記載された化合物が挙げられる。
【００８５】
フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造で、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ（株）製のメガファックＤＳシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月２２日）（日経産業新聞、２０１６年２月２３日）、例えばメガファックＤＳ−２１が挙げられる。
【００８６】
フッ素系界面活性剤は、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。このようなフッ素系界面活性剤は、特開２０１６−２１６６０２号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００８７】
フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位とを含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができ、下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す％は質量％である。
【化８】
2018062130.tif 000010
上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは３，０００〜５０，０００であり、例えば、１４，０００である。
【００８８】
フッ素系界面活性剤として、エチレン性不飽和結合基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開２０１０−１６４９６５号公報の段落番号００５０〜００９０および段落番号０２８９〜０２９５に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、例えばＤＩＣ（株）製のメガファックＲＳ−１０１、ＲＳ−１０２、ＲＳ−７１８−Ｋ、ＲＳ−７２−Ｋ等が挙げられる。
【００８９】
ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレートおよびプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニックＬ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２（ＢＡＳＦ社製）、テトロニック３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１（ＢＡＳＦ社製）、ソルスパース２００００（日本ルーブリゾール（株）製）、ＮＣＷ−１０１、ＮＣＷ−１００１、ＮＣＷ−１００２（和光純薬工業（株）製）、パイオニンＤ−６１１２、Ｄ−６１１２−Ｗ、Ｄ−６３１５（竹本油脂（株）製）、オルフィンＥ１０１０、サーフィノール１０４、４００、４４０（日信化学工業（株）製）などが挙げられる。
【００９０】
カチオン系界面活性剤としては、オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮｏ．７５、Ｎｏ．９０、Ｎｏ．９５（共栄社化学（株）製）、Ｗ００１（裕商（株）製）等が挙げられる。
【００９１】
アニオン系界面活性剤としては、Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）製）、サンデットＢＬ（三洋化成（株）製）等が挙げられる。
【００９２】
シリコーン系界面活性剤としては、例えば、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング（株）製）、ＴＳＦ−４４４０、ＴＳＦ−４３００、ＴＳＦ−４４４５、ＴＳＦ−４４６０、ＴＳＦ−４４５２（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＫＰ３４１、ＫＦ６００１、ＫＦ６００２（以上、信越シリコーン株式会社製）、ＢＹＫ３０７、ＢＹＫ３２３、ＢＹＫ３３０（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。
【００９３】
界面活性剤の含有量は、有機物層形成用組成物の全質量に対して０．０００１〜０．１質量％であることが好ましい、下限は、０．０００５質量％以上が好ましく、０．００１質量％以上がより好ましい。上限は、０．０５質量％以下が好ましく、０．０１質量％以下がより好ましい。
有機物層形成用組成物の全固形分中における界面活性剤の含有量は、０．０１〜２．０質量％であることが好ましい、下限は、０．０５質量％以上が好ましく、０．１質量％以上がより好ましい。上限は、１．５質量％以下が好ましく、１．０質量％以下がより好ましい。
界面活性剤は、１種のみを用いてもよいし、２種類以上を組み合わせて用いてもよい。２種以上を組み合わせて用いる場合は、合計量が上記範囲であることが好ましい。
【００９４】
（溶剤）
本発明の有機物層形成用組成物は、溶剤を含有することが好ましい。溶剤は有機溶剤が好ましい。溶剤は、各成分の溶解性や有機物層形成用組成物の塗布性を満足すれば特に制限はない。
【００９５】
有機溶剤の例としては、例えば、以下の有機溶剤が挙げられる。エステル類として、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、酢酸シクロヘキシル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、アルキルオキシ酢酸アルキル（例えば、アルキルオキシ酢酸メチル、アルキルオキシ酢酸エチル、アルキルオキシ酢酸ブチル（例えば、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等））、３−アルキルオキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、３−アルキルオキシプロピオン酸メチル、３−アルキルオキシプロピオン酸エチル等（例えば、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル等））、２−アルキルオキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、２−アルキルオキシプロピオン酸メチル、２−アルキルオキシプロピオン酸エチル、２−アルキルオキシプロピオン酸プロピル等（例えば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル））、２−アルキルオキシ−２−メチルプロピオン酸メチル及び２−アルキルオキシ−２−メチルプロピオン酸エチル（例えば、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル等）、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等が挙げられる。エーテル類として、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート等が挙げられる。ケトン類として、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等が挙げられる。芳香族炭化水素類として、例えば、トルエン、キシレン等が好適に挙げられる。ただし溶剤としての芳香族炭化水素類（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある（例えば、有機溶剤全量に対して、５０質量ｐｐｍ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｍｉｌｌｉｏｎ）以下、１０質量ｐｐｍ以下、あるいは１質量ｐｐｍ以下とすることができる）。
【００９６】
有機溶剤は、１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。有機溶剤を２種以上組み合わせて用いる場合、特に好ましくは、上記の３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される２種以上で構成される混合溶液である。
【００９７】
本発明において、有機溶剤は、過酸化物の含有率が０．８ｍｍｏｌ／Ｌ以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。また、金属含有量の少ない有機溶剤を用いることが好ましく、例えば有機溶剤の金属含有量は、１０質量ｐｐｂ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｂｉｌｌｉｏｎ）以下であることが好ましい。必要に応じて有機溶剤の金属含有量が質量ｐｐｔ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｔｒｉｌｌｉｏｎ）レベルのものを用いてもよく、そのような高純度溶剤は例えば東洋合成社が提供している（化学工業日報、２０１５年１１月１３日）。
【００９８】
溶剤の含有量は、有機物層形成用組成物の全質量に対して９９〜９９．９９質量％であることが好ましい、下限は、９９．２質量％以上が好ましく、９９，４質量％以上がより好ましい。上限は、９９．９５質量％以下が好ましく、９９．９質量％以下がより好ましい。溶剤の含有量が上記範囲であれば、有機物層形成用組成物の塗布性が良好で、薄膜で、膜厚のばらつきの少ない有機物層を形成しやすい。
【００９９】
本発明の有機物層形成用組成物は、エポキシ樹脂をさらに含有してもよいが、エポキシ樹脂を実質的に含有しないことが好ましい。この態様によれば、耐湿性に優れた構造体を形成しやすい。なお、エポキシ樹脂を実質的に含有しない場合、エポキシ樹脂の含有量が有機物層形成用組成物の全固形分に対して１質量％以下であることが好ましく、０．１質量％以下であることがより好ましく、０．０１質量％以下であることが更に好ましく、含有しないことが特に好ましい。
【０１００】
本発明の有機物層形成用組成物は、更に、光重合開始剤、重合禁止剤等の他の添加剤を更に含んでもよいが、これらの他の添加剤の含有量は、有機物層形成用組成物の全固形分に対して１質量％以下であることが好ましく、０．１質量％以下であることがより好ましく、実質的に含有しないことがより好ましい。なお、他の添加剤を実質的に含有しない場合、他の添加剤の含有量が有機物層形成用組成物の全固形分に対して１質量％以下であることが好ましく、０．１質量％以下であることがより好ましく、０．０１質量％以下であることが更に好ましく、含有しないことが特に好ましい。
【０１０１】
＜構造体の製造方法＞
次に、本発明の構造体の製造方法について説明する。本発明の構造体の製造方法は、
支持体上に隔壁を形成する工程と、
隔壁の表面にエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む有機物層形成用組成物を用いて有機物層を形成する工程と、
支持体上であって、表面に有機物層が形成された隔壁で区画された領域に着色層を形成する工程と、を含む。
【０１０２】
隔壁は、従来公知の方法を用いて形成することができる。例えば、次のようにして隔壁を形成することができる。
まず、支持体上に隔壁材料層を形成する。隔壁を有機材料で形成する場合は、支持体上に、アクリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリイミド系樹脂、有機ＳＯＧ系樹脂などを塗布した後、熱硬化などを行い成膜して隔壁材料層を形成する。また、隔壁を無機材料で形成する場合は、化学気相成長（ＣＶＤ）法、プラズマＣＶＤ法、スパッタリング法などを用いて多孔質シリカ膜、多結晶シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、金属膜（例えばタングステン膜、アルミニウム膜など）を成膜して隔壁材料層を形成する。
次いで、隔壁の形状に沿ったパターンを有するマスクを使用して隔壁材料層上にレジストパターンを形成する。次いで、このレジストパターンをマスクとして、隔壁材料層に対してドライエッチング法でエッチングを行う。次いで、レジストパターンを隔壁材料層から剥離除去する。このようにして隔壁を形成することができる。また、隔壁は、特開２００６−１２８４３３号公報に記載された方法を用いて形成することもできる。
【０１０３】
次に、支持体上に形成した隔壁の表面に、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含む有機物層形成用組成物（本発明の有機物層形成用組成物）を用いて有機物層を形成する。有機物層は、少なくとも隔壁の側面（図１における符号２ａ）に形成されていればよい。隔壁の上面（図１における符号２ｂ）には、有機物層が形成されていなくてもよく、形成されていてもよい。
【０１０４】
有機物層は、隔壁の表面に有機物層形成用組成物を塗布して有機物層形成用組成物層を形成する工程、および、有機物層形成用組成物層を乾燥する工程を経て形成することができる。
【０１０５】
有機物層形成用組成物の塗布方法としては、特に限定は無く、スピンコート法、スリットコート法、インクジェット法、ディップコート法、スクリーン印刷法などが挙げられる。なかでも、少量で均一に製膜できるという理由からスピンコート法が好ましい。
【０１０６】
有機物層形成用組成物層の乾燥条件は、特に限定はない。例えば、乾燥温度は、６０〜１５０℃が好ましい。乾燥温度の上限は、１３０℃以下が好ましく、１１０℃以下がより好ましい。乾燥温度の下限は、８０℃以上が好ましく、９０℃以上がより好ましい。乾燥時間は、６０秒〜６００秒が好ましい。乾燥時間の上限は、３００秒以下が好ましく、１８０秒以下がより好ましい。乾燥時間の下限は、８０秒以上が好ましく、１００秒以上がより好ましい。乾燥は、ホットプレート、オーブン等を用いて行うことができる。
【０１０７】
有機物層形成用組成物層に対して乾燥を施した後に加熱処理（ポストベーク）を行うこともできる。ポストベークを行う場合、ポストベーク温度は、例えば１８０〜２６０℃が好ましい。ポストベーク温度の上限は、２５０℃以下が好ましく、２４０℃以下がより好ましい。ポストベーク温度の下限は、１９０℃以上が好ましく、２００℃以上がより好ましい。ポストベーク時間は、６０秒〜６００秒が好ましい。ポストベーク時間の上限は、３００秒以下が好ましく、１８０秒以下がより好ましい。ポストベーク時間の下限は、８０秒以上が好ましく、１００秒以上がより好ましい。ポストベークは、ホットプレート、オーブン等を用いて行うことができる。
【０１０８】
次に、支持体上であって、表面に有機物層が形成された隔壁で区画された領域に着色層を形成する。着色層は、従来公知の着色組成物を用いて形成することができる。例えば、着色組成物として感光性組成物を用い、フォトリソグラフィー法にてパターン形成して、隔壁で区画された領域に着色層を形成する方法が挙げられる。フォトリソグラフィー法を用いたパターン形成方法としては、着色組成物を用いて支持体上に着色組成物層を形成する工程と、着色組成物層をパターン状に露光する工程と、露光後の感光性組成物層を現像する工程とを含むことが好ましい。以下、各工程について説明する。
【０１０９】
着色組成物層は、支持体上に着色組成物を塗布して形成することができる。着色組成物の塗布方法としては、従来公知の方法を用いることができる。例えば、スピンコート法、スリットコート法、インクジェット法、ディップコート法、スクリーン印刷法などが挙げられる。
【０１１０】
支持体上に形成した着色組成物層は、乾燥（プリベーク）してもよい。プリベーク温度は、１２０℃以下が好ましく、１１０℃以下がより好ましく、１０５℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。プリベーク時間は、１０秒〜３００秒が好ましく、４０〜２５０秒がより好ましく、８０〜２２０秒がさらに好ましい。プリベークは、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。
【０１１１】
次に、着色組成物層に対して、パターン状に露光する。例えば、着色組成物層に対し、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン状に露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。露光に際して用いることができる放射線（光）としては、ｇ線、ｉ線等の紫外線が好ましく（特に好ましくはｉ線）用いられる。照射量（露光量）は、例えば、０．０３〜２．５Ｊ／ｃｍ２が好ましく、０．０５〜１．０Ｊ／ｃｍ２がより好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が１９体積％以下の低酸素雰囲気下（例えば、１５体積％、５体積％、実質的に無酸素）で露光してもよく、酸素濃度が２１体積％を超える高酸素雰囲気下（例えば、２２体積％、３０体積％、５０体積％）で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常１０００Ｗ／ｍ２〜１０００００Ｗ／ｍ２（例えば、５０００Ｗ／ｍ２、１５０００Ｗ／ｍ２、３５０００Ｗ／ｍ２）の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度１０体積％で照度１００００Ｗ／ｍ２、酸素濃度３５体積％で照度２００００Ｗ／ｍ２などとすることができる。
【０１１２】
次に、着色組成物層の未露光部を現像除去してパターンを形成する。着色組成物層の未露光部の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。現像液としては、アルカリ現像液が望ましい。現像液の温度は、例えば、２０〜３０℃が好ましい。現像時間は、２０〜１８０秒が好ましい。
【０１１３】
現像液としては、アルカリ剤を純水で希釈したアルカリ性水溶液が好ましく使用される。アルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス（２−ヒドロキシエチル）アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの無機アルカリ性化合物が挙げられる。アルカリ性水溶液のアルカリ剤の濃度は、０．００１〜１０質量％が好ましく、０．０１〜１質量％がより好ましい。また、現像液には、界面活性剤をさらに含んでいてもよい。界面活性剤の例としては、上述した有機物層形成用組成物で説明した界面活性剤が挙げられ、ノニオン系界面活性剤が好ましい。
【０１１４】
現像後、乾燥を施した後に加熱処理（ポストベーク）を行うこともできる。ポストベークは、膜の硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理である。ポストベークを行う場合、ポストベーク温度は、例えば１００〜２４０℃が好ましい。膜硬化の観点から、２００〜２３０℃がより好ましい。
【０１１５】
次に、着色層の形成に用いることができる着色組成物について説明する。
【０１１６】
（着色組成物）
着色組成物は着色剤を含有することが好ましい。着色剤としては、染料および顔料のいずれでもよく、両者を併用してもよい。無機顔料としては、カーボンブラックおよびチタンブラック等の黒色顔料；鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属の酸化物、金属錯塩等が挙げられる。有機顔料として、以下を挙げることができる。
【０１１７】
カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）ピグメントイエロー１，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４（以上、黄色顔料）；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ  ２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３（以上、オレンジ色顔料）；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド  １，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２７０，２７２，２７９（以上、赤色顔料）；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン  ７，１０，３６，３７，５８，５９（以上、緑色顔料）；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット  １，１９，２３，２７，３２，３７，４２，５８，５９（以上、紫色顔料）；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー  １，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，６０，６４，６６，７９，８０（以上、青色顔料）。
【０１１８】
また、緑色顔料として、分子中のハロゲン原子数が平均１０〜１４個であり、臭素原子数が平均８〜１２個であり、塩素原子数が平均２〜５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることも可能である。具体例としては、国際公開ＷＯ２０１５／１１８７２０号公報に記載の化合物が挙げられる。
【０１１９】
また、青色顔料として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開２０１２−２４７５９１号公報の段落番号００２２〜００３０、特開２０１１−１５７４７８号公報の段落番号００４７に記載の化合物などが挙げられる。
【０１２０】
染料としては、例えば特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、米国特許４８０８５０１号明細書、米国特許５６６７９２０号明細書、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−３５１８３号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報等に開示されている染料が挙げられる。化学構造として区分すると、ピラゾールアゾ化合物、ピロメテン化合物、アニリノアゾ化合物、トリアリールメタン化合物、アントラキノン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、ピロロピラゾールアゾメチン化合物等が挙げられる。
【０１２１】
また、着色剤として色素多量体を用いてもよい。色素多量体は、溶剤に溶解して用いられる染料であることが好ましいが、粒子を形成していてもよい。色素多量体が粒子である場合は、色素多量体を溶剤などに分散して用いられる。粒子状態の色素多量体は、例えば乳化重合によって得ることができる。粒子状態の色素多量体としては、例えば、特開２０１５−２１４６８２号公報に記載されている化合物が挙げられる。また、色素多量体として、特開２０１１−２１３９２５号公報、特開２０１３−０４１０９７号公報、特開２０１５−０２８１４４号公報、特開２０１５−０３０７４２号公報等に記載されている化合物を用いることもできる。
【０１２２】
また、黄色着色剤として、特開２０１３−５４３３９号公報の段落番号００１１〜００３４に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４−２６２２８号公報の段落番号００１３〜００５８に記載のキノフタロン化合物などを用いることもできる。
【０１２３】
着色剤の含有量は、着色組成物中の全固形分に対して、１０質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上がより好ましく、３０質量％以上がさらに好ましい。上限は、８０質量％以下であることが好ましく、７５質量％以下がより好ましく、７０質量％以下がさらに好ましい。着色組成物に含まれる着色剤は、１種であってもよく、２種以上であってもよい。着色剤が２種以上含まれる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１２４】
着色組成物は硬化性化合物を含有することが好ましい。硬化性化合物としては、ラジカル、酸、熱により架橋可能な公知の化合物を用いることができる。硬化性化合物としては、例えば、重合性化合物、エポキシ基を有する化合物などが挙げられ、重合性化合物が好ましい。重合性化合物としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などのエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物が挙げられる。重合性化合物は、ラジカル重合性化合物であることがより好ましい。重合性化合物としては、モノマー、プレポリマー、オリゴマーなどの化学的形態のいずれであってもよいが、モノマーが好ましい。重合性化合物の分子量は、１００〜３０００が好ましい。上限は、２０００以下がより好ましく、１５００以下が更に好ましい。下限は、１５０以上がより好ましく、２５０以上が更に好ましい。重合性化合物は、３〜１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、３〜６官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましい。これらの具体的な化合物としては、特開２００９−２８８７０５号公報の段落番号００９５〜０１０８、特開２０１３−２９７６０号公報の段落０２２７、特開２００８−２９２９７０号公報の段落番号０２５４〜０２５７に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、重合性化合物としては、上述した有機物層形成用組成物で説明したエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を用いることもできる。
【０１２５】
硬化性化合物の含有量は、着色組成物の全固形分に対し、０．１〜５０質量％が好ましい。下限は、例えば０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、４５質量％以下がより好ましく、４０質量％以下が更に好ましい。硬化性化合物は、１種単独であってもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上を併用する場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１２６】
硬化性化合物として重合性化合物を用いた場合においては、着色組成物は、更に光重合開始剤を含有することが好ましい。光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物など）、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル化合物、アミノアセトフェノン化合物、ヒドロキシアセトフェノン化合物、フェニルグリオキシレート化合物などが挙げられ、アミノアセトフェノン化合物、アシルホスフィン化合物、ヒドロキシアセトフェノン化合物およびオキシム化合物が好ましく、オキシム化合物がより好ましい。光重合開始剤の具体例としては、例えば、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０２６５〜０２６８の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。オキシム化合物の市販品としては、例えば、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０２、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０４（以上、ＢＡＳＦ社製）、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０４、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０９、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０５（以上、常州強力電子新材料有限公司（ＣＨＡＮＧＺＨＯＵ  ＴＲＯＮＬＹ  ＮＥＷ  ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣ  ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ  ＣＯ．，ＬＴＤ）製）、アデカアークルズＮＣＩ−９３０、アデカオプトマーＮ−１９１９（特開２０１２−１４０５２号公報の光重合開始剤２）（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられ、これらを好ましく用いることができる。
【０１２７】
光重合開始剤としては、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１４−１３７４６６号公報に記載の化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。また、光重合開始剤としては、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開ＷＯ２０１５／０３６９１０号公報に記載の化合物ＯＥ−０１〜ＯＥ−７５が挙げられる。また、光重合開始剤としては、フッ素原子を有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１０−２６２０２８号公報に記載の化合物、特表２０１４−５００８５２号公報に記載の化合物２４、３６〜４０、特開２０１３−１６４４７１号公報に記載の化合物（Ｃ−３）などが挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。また、光重合開始剤として、カルバゾール環の少なくとも１つのベンゼン環がナフタレン環となった骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。そのようなオキシム化合物の具体例としては、国際公開ＷＯ２０１３／０８３５０５号公報に記載の化合物が挙げられる。また、光重合開始剤としては、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１３−１１４２４９号公報の段落番号００３１〜００４７、特開２０１４−１３７４６６号公報の段落番号０００８〜００１２、００７０〜００７９に記載の化合物、特許４２２３０７１号公報の段落番号０００７〜００２５に記載の化合物、アデカアークルズＮＣＩ−８３１（（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。また、光重合開始剤として、２官能あるいは３官能以上の光重合開始剤を用いてもよい。そのような光重合開始剤の具体例としては、特表２０１０−５２７３３９号公報、特表２０１１−５２４４３６号公報、国際公開ＷＯ２０１５／００４５６５号公報、特表２０１６−５３２６７５号公報の段落番号０４１７〜０４１２、国際公開ＷＯ２０１７／０３３６８０号公報の段落番号００３９〜００５５に記載されているオキシム化合物の２量体や、特表２０１３−５２２４４５号公報に記載されている化合物（Ｅ）および化合物（Ｇ）、国際公開ＷＯ２０１６／０３４９６３号公報に記載されているＣｍｐｄ１〜７などが挙げられる。
【０１２８】
光重合開始剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対し０．１〜５０質量％が好ましく、０．５〜３０質量％がより好ましく、１〜２０質量％が更に好ましい。光重合開始剤は、１種単独であってもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上を併用する場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１２９】
着色組成物は樹脂を含有することが好ましい。樹脂としては、（メタ）アクリル樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、シロキサン樹脂などが挙げられる。樹脂は、例えば、顔料などの粒子を組成物中で分散させる用途、バインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などの粒子を分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で使用することもできる。樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、５０００〜１００，０００が好ましい。また、樹脂の数平均分子量（Ｍｎ）は、１０００〜２０，０００が好ましい。
【０１３０】
本発明において、樹脂として酸基を有する樹脂を用いることも好ましい。酸基としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシル基などが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸基を有する樹脂の酸価としては、２５〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましい。下限は、３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が更に好ましい。上限は、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が更に好ましく、１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が特に好ましい。
【０１３１】
本発明において、樹脂としてエチレン性不飽和結合を有する基を有する樹脂を用いることも好ましい。エチレン性不飽和結合を有する基を有する樹脂は、更に酸基を有することも好ましい。エチレン性不飽和結合を有する基を有する樹脂としては、上述した有機物層形成用組成物で説明したエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を用いることもできる。
【０１３２】
本発明において、分散剤として樹脂を用いることもできる。分散剤としては、特開２０１５−１５１５３０号公報の段落０１７３〜０１７９に記載された顔料分散剤が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。分散剤の市販品としては、例えば、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１（ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）などが挙げられる。また、特開２０１２−１３７５６４号公報の段落番号０１２９に記載された製品を分散剤として用いることもできる。
【０１３３】
樹脂の含有量は、着色組成物の全固形分に対し、１〜８０質量％であることが好ましい。下限は、５質量％以上であることがより好ましく、１０質量％以上がさらに好ましい。上限は、７０質量％以下であることがより好ましく、６０質量％以下がさらに好ましい。
【０１３４】
着色組成物は溶剤を含有することが好ましい。溶剤としては、上述した有機物層形成用組成物で説明した溶剤などが挙げられる。
【０１３５】
着色組成物は、更に界面活性剤、紫外線吸収剤、重合禁止剤、酸化防止剤、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、凝集防止剤等の他の添加剤を更に配合することができる。これらの他の添加剤としては、特開２０１６−１０２１９１号公報の段落番号０１６４〜０３００に記載の添加剤を挙げることができ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、界面活性剤としては、上述した有機物層形成用組成物で説明した界面活性剤を用いることもできる。
【０１３６】
＜カラーフィルタ＞
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。本発明のカラーフィルタは、上述した本発明の構造体を有する。本発明の構造体自体をカラーフィルタとして用いてもよく、本発明の構造体上に、更に保護層などの他の機能層を形成したものをカラーフィルタとして用いてもよい。本発明のカラーフィルタは、ＣＣＤ（電荷結合素子）やＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）などの固体撮像素子や、画像表示装置などに用いることができる。
【０１３７】
＜固体撮像素子＞
本発明の固体撮像素子は、上述した本発明の構造体を有する。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明の構造体を備え、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
【０１３８】
基板上に、固体撮像素子（ＣＣＤ（電荷結合素子）イメージセンサ、ＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）イメージセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に本発明の構造体を有する構成が挙げられる。更に、デバイス保護膜上であって本発明の構造体の下（基板に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、本発明の構造体上に集光手段を有する構成等であってもよい。本発明の固体撮像素子を備えた撮像装置は、デジタルカメラや、撮像機能を有する電子機器（携帯電話等）の他、車載カメラや監視カメラ用としても用いることができる。
【０１３９】
＜画像表示装置＞
本発明の構造体は、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの、画像表示装置に用いることができる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木  昭夫著、（株）工業調査会  １９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹  順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田  龍男編集、（株）工業調査会  １９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
【実施例】
【０１４０】
以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は、質量基準である。【０１４１】
＜有機物層形成用組成物の調製＞
以下に示す原料を混合して各有機物層形成用組成物を調製した。【０１４２】
（有機物層形成用組成物１）
樹脂１（５４質量％プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）溶液）・・・０．７質量部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）・・・９９．３質量部【０１４３】
（有機物層形成用組成物２）
樹脂２（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・１．０質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９９．０質量部【０１４４】
（有機物層形成用組成物３）
樹脂３・・・０．４質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９９．６質量部【０１４５】
（有機物層形成用組成物４）
樹脂１（５４質量％ＰＧＭＥ溶液）・・・０．７質量部
界面活性剤１（０．２質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・０．８質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９８．５質量部【０１４６】
（有機物層形成用組成物５）
樹脂１（５４質量％ＰＧＭＥ溶液）・・・１．２質量部
界面活性剤１（０．２質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・０．８質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９８．０質量部【０１４７】
（有機物層形成用組成物６）
樹脂２（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・１．０質量部
界面活性剤１（０．２質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・０．８質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９８．２質量部【０１４８】
（有機物層形成用組成物７）
樹脂３・・・０．４質量部
界面活性剤１（０．２質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・０．８質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９８．８質量部【０１４９】
（有機物層形成用組成物８）
硬化性化合物１・・・０．４質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９９．６質量部【０１５０】
（有機物層形成用組成物９）
硬化性化合物２・・・０．４質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９９．６質量部【０１５１】
（有機物層形成用組成物１０）
硬化性化合物３・・・０．８質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９９．２質量部【０１５２】
（有機物層形成用組成物１１）
樹脂１（５４質量％ＰＧＭＥ溶液）・・・０．２質量部
硬化性化合物１・・・０．４質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９９．４質量部【０１５３】
（有機物層形成用組成物１２）
樹脂１（５４質量％ＰＧＭＥ溶液）・・・０．５質量部
硬化性化合物２・・・０．１質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９９．４質量部【０１５４】
（有機物層形成用組成物１３）
樹脂９・・・０．４質量部
界面活性剤１（０．２質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・０．８質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９８．８質量部【０１５５】
（有機物層形成用組成物１４）
樹脂１０・・・０．４質量部
界面活性剤１（０．２質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・０．８質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９８．８質量部【０１５６】
（有機物層形成用組成物１５）
樹脂１１・・・０．４質量部
界面活性剤１（０．２質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・０．８質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９８．８質量部【０１５７】
（有機物層形成用組成物１６）
樹脂１２・・・０．４質量部
界面活性剤１（０．２質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・０．８質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９８．８質量部【０１５８】
（有機物層形成用組成物Ｒ１）
樹脂４・・・０．４質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９９．６質量部【０１５９】
（有機物層形成用組成物Ｒ２）
樹脂４・・・０．２質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９９．８質量部【０１６０】
（有機物層形成用組成物Ｒ３）
樹脂５・・・０．５質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９９．５質量部【０１６１】
（有機物層形成用組成物Ｒ４）
樹脂６・・・０．８質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９９．２質量部【０１６２】
（有機物層形成用組成物Ｒ５）
樹脂４・・・０．３質量部
界面活性剤１（０．２質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・０．８質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９８．９質量部【０１６３】
（有機物層形成用組成物Ｒ６）
樹脂７（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・１．０質量部
界面活性剤１（０．２質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・０．８質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９８．２質量部【０１６４】
（有機物層形成用組成物Ｒ７）
樹脂８（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・０．８質量部
ＰＧＭＥＡ・・・９９．２質量部【０１６５】
有機物層形成用組成物１〜１２、Ｒ１〜Ｒ７で使用した原料は以下の通りである。なお、樹脂４、樹脂５および樹脂６は、エチレン性不飽和結合を有する基を含まない樹脂である。
・樹脂１：サイクロマーＰ（ＡＣＡ）２３０ＡＡ  （（株）ダイセル製、酸価＝３０ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ＝１５０００）
・樹脂２：下記構造の樹脂（酸価＝７０ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ＝１１０００、主鎖に付記した数値はモル比である）
【化９】
2018062130.tif 000011
・樹脂３：下記構造の樹脂（酸価＝９５ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ＝１８０００、主鎖に付記した数値はモル比である）
【化１０】
2018062130.tif 000012
・樹脂４：ＪＥＲ１５４  （三菱化学（株）製、エポキシ樹脂）
・樹脂５：ＪＥＲ８０７  （三菱化学（株）製、エポキシ樹脂）
・樹脂６：ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６９０（ＤＩＣ（株）製、エポキシ樹脂）
・樹脂７：下記構造（酸価＝８０ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ＝１２０００、主鎖に付記した数値は質量比である）
【化１１】
2018062130.tif 000013
・樹脂８：下記構造（酸価＝７０ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ＝１００００、主鎖に付記した数値はモル比である）
【化１２】
2018062130.tif 000014
・樹脂９：下記構造（酸価＝１２１ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ＝１８０００、主鎖に付記した数値はモル比である）
【化１３】
2018062130.tif 000015
・樹脂１０：下記構造の樹脂（酸価＝０ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ＝１８０００）
【化１４】
2018062130.tif 000016
・樹脂１１：下記構造の樹脂（酸価＝９５ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ＝２２０００、主鎖に付記した数値はモル比である）
【化１５】
2018062130.tif 000017
・樹脂１２：下記構造の樹脂（酸価＝９５ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ＝４０００、主鎖に付記した数値はモル比である）
【化１６】
2018062130.tif 000018
・界面活性剤１：下記混合物（Ｍｗ＝１４０００、繰り返し単位の割合を示す％は質量％である。）
【化１７】
2018062130.tif 000019
・硬化性化合物１：下記構造の化合物
【化１８】
2018062130.tif 000020
・硬化性化合物２：下記構造の化合物の混合物（左側化合物と右側化合物とのモル比が７：３の混合物）
【化１９】
2018062130.tif 000021
・硬化性化合物３：Ｍ−３０５（トリアクリレートが５５〜６３質量％、東亞合成（株）製）【０１６６】
＜着色組成物の調製＞
（Ｒｅｄ組成物１）
以下に示す原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、Ｒｅｄ組成物１を調製した。
Ｒｅｄ顔料分散液・・・５１．７質量部
樹脂２（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・０．６質量部
硬化性化合物１・・・０．６質量部
光重合開始剤１・・・０．３質量部
界面活性剤１・・・４．２質量部
ＰＧＭＥＡ・・・４２．６質量部【０１６７】
（Ｒｅｄ組成物２）
以下に示す原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、Ｒｅｄ組成物２を調製した。
Ｒｅｄ顔料分散液・・・５１．７質量部
樹脂３・・・０．６質量部
硬化性化合物２・・・０．６質量部
光重合開始剤１・・・０．３質量部
界面活性剤１・・・４．２質量部【０１６８】
（Ｇｒｅｅｎ組成物１）
以下に示す原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、Ｇｒｅｅｎ組成物１を調製した。
Ｇｒｅｅｎ顔料分散液・・・７３．７質量部
樹脂２（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・０．３質量部
硬化性化合物２・・・１．２質量部
光重合開始剤１・・・０．６質量部
界面活性剤１・・・４．２質量部
紫外線吸収剤１・・・０．５質量部
ＰＧＭＥＡ・・・１９．５質量部【０１６９】
（Ｇｒｅｅｎ組成物２）
以下に示す原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、Ｇｒｅｅｎ組成物２を調製した。
Ｇｒｅｅｎ顔料分散液・・・７３．７質量部
樹脂１（５４質量％ＰＧＭＥ溶液）・・・０．３質量部
硬化性化合物２・・・１．２質量部
光重合開始剤３・・・０．６質量部
界面活性剤１・・・４．２質量部
紫外線吸収剤１・・・０．５質量部
ＰＧＭＥＡ・・・１９．５質量部【０１７０】
（Ｂｌｕｅ組成物１）
以下に示す原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、Ｂｌｕｅ組成物１を調製した。
Ｂｌｕｅ顔料分散液・・・４４．９質量部
樹脂２（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）・・・２．１質量部
硬化性化合物１・・・１．５質量部
硬化性化合物３・・・０．７質量部
光重合開始剤２・・・０．８質量部
界面活性剤１・・・４．２質量部
ＰＧＭＥＡ・・・４５．８質量部【０１７１】
（Ｂｌｕｅ組成物２）
以下に示す原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、Ｂｌｕｅ組成物２を調製した。
Ｂｌｕｅ顔料分散液・・・４４．９質量部
樹脂１（５４質量％ＰＧＭＥ溶液）・・・２．１質量部
硬化性化合物１・・・１．５質量部
硬化性化合物２・・・０．７質量部
光重合開始剤１・・・０．８質量部
界面活性剤１・・・４．２質量部
ＰＧＭＥＡ・・・４５．８質量部【０１７２】
Ｒｅｄ組成物１、２、Ｇｒｅｅｎ組成物１、２、Ｂｌｕｅ組成物１、２で使用した原料は以下の通りである。
・樹脂１〜３：有機物層形成用組成物で説明した樹脂１〜３
・硬化性化合物１〜３：有機物層形成用組成物で説明した硬化性化合物１〜３
・界面活性剤１：有機物層形成用組成物で説明した界面活性剤１
・光重合開始剤１：ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１（ＢＡＳＦ社製）
・光重合開始剤２：下記構造の化合物
【化２０】
2018062130.tif 000022
・光重合開始剤３：下記構造の化合物
【化２１】
2018062130.tif 000023
・紫外線吸収剤１：下記構造の化合物
【化２２】
2018062130.tif 000024
・Ｒｅｄ顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４を９．６質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １３９を４．３質量部、分散剤（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）を６．８質量部、ＰＧＭＥＡを７９．３質量部からなる混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行なった。この分散処理を１０回繰り返し、Ｒｅｄ顔料分散液を得た。【０１７３】
・Ｇｒｅｅｎ顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６を６．４質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １５０を５．３質量部、分散剤（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）を５．２質量部、ＰＧＭＥＡを８３．１質量部からなる混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行なった。この分散処理を１０回繰り返し、Ｇｒｅｅｎ顔料分散液を得た。【０１７４】
・Ｂｌｕｅ顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６を９．７質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２３を２．４質量部、分散剤（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）を５．５部、ＰＧＭＥＡを８２．４部からなる混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行なった。この分散処理を１０回繰り返し、Ｂｌｕｅ顔料分散液を得た。【０１７５】
＜構造体および固体撮像素子の製造＞
（実施例１〜２０、比較例３〜１３）
シリコンウエハ上に、シリコン酸化物層をプラズマＣＶＤ法で形成した。次いで、このシリコン酸化物層をドライエッチング法でパターニングして、シリコン酸化物からなる隔壁（幅１００ｎｍ、厚さ５００ｎｍ）を１．０μｍ間隔で格子状に形成した。シリコンウエハ上の隔壁の開口の寸法（シリコンウエハ上の隔壁で区画された領域）は、縦１．０μｍ、横１．０μｍであった。
次に、隔壁を形成したシリコンウエハ上に、各有機物層形成用組成物をスピンコート法で塗布し、次いでホットプレートを用いて、１００℃で２分間加熱し、次いで、ホットプレートを用いて２３０℃で２分間加熱して膜厚１５ｎｍの有機物層を形成した。
次に、有機物層を形成したシリコンウエハ上に、Ｇｒｅｅｎ組成物を、製膜後の膜厚が０．５μｍになるようにスピンコート法で塗布し、次いで、ホットプレートを用いて１００℃で２分間加熱した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を用い、０．９μｍのベイヤーパターンを有するマスクを介して、１５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液を用い、２３℃で６０秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した後に、ホットプレートを用いて２２０℃で５分間加熱して、隔壁で区画された領域に緑色の着色層を形成した。
次に、Ｒｅｄ組成物およびＢｌｕｅ組成物についても順次パターニングし、赤の着色層、および青の着色層をそれぞれ隔壁で区画された領域に形成した。
このようにして製造した構造体を公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。【０１７６】
（比較例１）
実施例１において、有機物層を形成しなかった以外は、実施例１と同様にして構造体を形成し、得られた構造体を公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。【０１７７】
（比較例２）
実施例１と同様にしてシリコンウエハ上に隔壁を形成した。隔壁を形成したシリコンウエハ上に、１，１，１，３，３，３−ヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ）を１１０℃で６０秒間ベーパー処理を行い、ＨＭＤＳ層を形成した。ＨＭＤＳ層上に、実施例１と同様にして、隔壁で区画された領域に緑色、赤色および青色の着色層を形成して構造体を製造した。このようにして製造した構造体を公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。【０１７８】
（耐湿性の評価）
各固体撮像素子を１３０℃、相対湿度８５％の条件下にて、２０００時間の恒温恒湿試験を行った。恒温恒湿試験後の固体撮像素子から上記構造体を取り出して上記構造体の断面を透過型電子顕微鏡を用いて観察し、隔壁と着色層との間のボイド（空隙）の有無を観察し、耐湿性を判定した。隔壁と着色層との間に隙間が確認されたものをボイドが確認されたと判定した。結果を下記表に示す。
〜判定基準〜
５：１０箇所観察し、いずれの箇所においてもボイドが観測されなかった。
４：１０箇所観察し、１箇所の部位でボイドが観測された。
３：１０箇所観察し、２〜３箇所の部位でボイドが観測された。
２：１０箇所観察し、４〜６箇所の部位でボイドが観測された。
１：１０箇所観察し、７〜９箇所の部位でボイドが観測された。
０：１０箇所観察し、１０箇所のすべてにおいてボイドが観測された。【０１７９】
【表１】
2018062130.tif 000025
【０１８０】
上記表に示す通り、実施例の構造体は耐湿性に優れていた。
また、各実施例において、隔壁を、アクリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリイミド系樹脂、有機ＳＯＧ系樹脂などの有機材料や、多孔質シリカ、多結晶シリコン、窒化シリコン、タングステン、アルミニウムなどの無機材料で形成した場合であっても同様の効果が得られた。【０１８１】
（実施例１０１）
シリコンウエハ上にフッ素樹脂（ＣＹＴＯＰ、旭硝子製）を塗布した後、２２０℃で５分加熱して形成して隔壁材料層を形成し、隔壁材料層に対して、特開２０１６−１４８５６号公報の段落番号０１２８〜０１３３に記載された条件にてドライエッチング法でパターニングして隔壁（幅１００ｎｍ、厚さ５００ｎｍ）を１．０μｍ間隔で格子状に形成した。シリコンウエハ上の隔壁の開口の寸法（シリコンウエハ上の隔壁で区画された領域）は、縦１．０μｍ、横１．０μｍであった。
次に、隔壁を形成したシリコンウエハ上に、有機物層形成用組成物６をスピンコート法で塗布し、次いでホットプレートを用いて、１００℃で２分間加熱し、次いで、ホットプレートを用いて２３０℃で２分間加熱して膜厚１５ｎｍの有機物層を形成した。
次に、有機物層を形成したシリコンウエハ上に、Ｇｒｅｅｎ組成物１を、製膜後の膜厚が０．５μｍになるようにスピンコート法で塗布し、次いで、ホットプレートを用いて１００℃で２分間加熱した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を用い、０．９μｍのベイヤーパターンを有するマスクを介して、１５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液を用い、２３℃で６０秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した後に、ホットプレートを用いて２２０℃で５分間加熱して、隔壁で区画された領域に緑色の着色層を形成した。
次に、Ｒｅｄ組成物１およびＢｌｕｅ組成物１についても順次パターニングし、赤の着色層、および青の着色層をそれぞれ隔壁で区画された領域に形成した。
このようにして製造した構造体を公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。
この構造体は耐湿性に優れていた。【０１８２】
（実施例１０２）
実施例１０１において、シリコンウエハ上に、特開２０１５−１６６４４９号公報の段落番号０１６０に記載された組成物１０７を塗布した後、２２０℃で５分加熱して形成して隔壁材料層を形成した以外は、実施例１０１と同様にして構造体を製造し、公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。この構造体は耐湿性に優れていた。【０１８３】
（実施例１０３）
実施例１０１において、シリコンウエハ上に、下記構造のかご型シロキサン樹脂（重量平均分子量２０００００、分散度３．０）を１０質量％と、ＰＧＭＥＡを９０質量％含む組成物を塗布した後、２２０℃で５分加熱して形成して隔壁材料層を形成した以外は、実施例１０１と同様にして構造体を製造し、公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。この構造体は耐湿性に優れていた。
【化２３】
2018062130.tif 000026
【０１８４】
（実施例１０４）
以下のコロイダルシリカ粒子液Ｐ１の１０質量部と、上述した界面活性剤１の０．０２質量部と、ポリエチレングリコールモノメチルエーテルの７質量部と、乳酸エチルの３５質量部と、ＰＧＭＥの４３質量部と、エタノールとメタノールの混合物の４質量部と、水の１質量部とを含む隔壁材料層形成用組成物を、シリコンウエハ上に塗布した後、２２０℃で５分加熱して形成して隔壁材料層を形成した以外は、実施例１０１と同様にして構造体を製造し、公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。この構造体は耐湿性に優れていた。【０１８５】
・コロイダルシリカ粒子液Ｐ１の調製方法
ケイ素アルコキシド（Ａ）としてテトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）を用意し、フルオロアルキル基含有のケイ素アルコキシド（Ｂ）としてトリフルオロプロピルトリメトキシシラン（ＴＦＰＴＭＳ）を用意した。ケイ素アルコキシド（Ａ）の質量を１としたときのフルオロアルキル基含有のケイ素アルコキシド（Ｂ）の割合（質量比）が０．６になるように秤量し、これらをセパラブルフラスコ内に投入して混合し、混合物を得た。この混合物の１．０質量部に対して１．０質量部となる量のプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）を添加し、３０℃の温度で１５分間撹拌することにより第１液を調製した。
また、この第１液とは別に、上記の混合物の１．０質量部に対して１．０質量部となる量のイオン交換水と０．０１質量部となる量のギ酸を添加し、混合して、３０℃の温度で１５分間撹拌することにより第２液を調製した。
次に、上記調製した第１液を、ウォーターバスにて５５℃の温度に保持してから、この第１液に上記第２液を添加し、上記温度を保持した状態で６０分間撹拌した。これにより、上記ケイ素アルコキシド（Ａ）と上記フルオロアルキル基含有のケイ素アルコキシド（Ｂ）との加水分解物を含む溶液Ｆを得た。この溶液Ｆの固形分濃度は、ＳｉＯ２換算で１０質量％であった。
次に、市販の平均直径１５ｎｍのコロイダルシリカ（日産化学社製、商品名ＳＴ−３０）が３０質量％含まれる水分散液の１００質量部に、３０質量％濃度の硝酸カルシウム水溶液を０．１質量部加えた混合液を、ステンレス製オートクレーブ中で１２０℃５時間加熱した。
この混合液に対し、限外濾過法を用い、溶媒をプロピレングリコールモノメチルエーテルに置換し、更にホモミクサー（プライミクス社製）を用いて回転速度１４０００ｒｐｍにて３０分間撹拌し、十分に分散させ、更にプロピレングリコールモノメチルエーテルを添加して、固形分濃度１５質量％のコロイダルシリカ粒子液Ｇを得た。
上記溶液Ｆの３０質量部と、上記コロイダルシリカ粒子液Ｇの７０質量部を混合し、更に４０℃で１０時間加熱し、１０００Ｇで１０分間遠心分離を行って沈降物を除去することで、コロイダルシリカ粒子液Ｐ１を得た。このコロイダルシリカ粒子液Ｐ１に含まれる球状シリカの平均粒子径Ｄ０は１５ｎｍであり、平均粒子径Ｄ１は８０ｎｍであり、平均粒子径Ｄ２は１５ｎｍであった。なお、平均粒子径Ｄ０は、球状シリカの透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定した球状部分の投影像における円相当直径の平均粒子径である。また、平均粒子径Ｄ１は、動的光散乱法により測定されたコロイダルシリカ粒子の平均粒子径である。また、平均粒子径Ｄ２は、比表面積から求めたコロイダルシリカ粒子の平均粒子径である。【０１８６】
（実施例１０５）
上記コロイダルシリカ粒子液Ｐ１の１０質量部と、界面活性剤（メガファック  Ｆ５５９（ＤＩＣ（株）製））の０．０２質量部と、３−ブトキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルプロパンアミドの９質量部と、乳酸エチルの３０質量部と、ＰＧＭＥの４６質量部と、エタノールとメタノールの混合物の４質量部と、水の１質量部とを含む隔壁材料層形成用組成物を、シリコンウエハ上に塗布した後、２２０℃で５分加熱して形成して隔壁材料層を形成した以外は、実施例１０１と同様にして構造体を製造し、公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。この構造体は耐湿性に優れていた
【符号の説明】
【０１８７】
１：支持体
２：隔壁
３：有機物層
４：着色層
１００：構造体
【図１】
2018062130.tif 000027
【図２】
2018062130.tif 000028
【国際調査報告】
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2018062130.tif 000030
2018062130.tif 000031
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