【事件の表示】
　特願２０００−　２１９７０「ケミカルフィルタ」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　７月３１日出願公開、特開２００１−２０５０２９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯・本願発明
　本願は平成１２年１月３１日の出願であって、平成１７年１月１３日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年２月１６日に拒絶査定に対する審判請求がなされたものである。
　そして、本願の請求項１〜２に係る発明は、平成１６年１２月１６日付けで提出された手続補正書により補正された本願明細書の特許請求の範囲の請求項１〜２に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、そのうちの請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）は次のとおりのものである。
【請求項１】空気中のガス状不純物及び凝集性有機物質を除去する吸着濾材を有するケミカルフィルタであって、前記吸着濾材は繊維質素材からなるコルゲート状ハニカム構造体であり、前記繊維質素材が、ガラス繊維、チョップドストランド、セラミック繊維、アルミナ繊維、ムライト繊維、シリカ繊維及びロックウール繊維から選ばれる１種若しくは２種以上の組み合わせ、又はガラス繊維、チョップドストランド、セラミック繊維、アルミナ繊維、ムライト繊維、シリカ繊維及びロックウール繊維から選ばれる１種若しくは２種以上と有機繊維との組み合わせからなり、且つ前記吸着濾材が、フッ化水素濃度１ｐｐｍのガスを面速０．５ｍ／秒で前記吸着濾材に１時間流通させた時、流通後のガス中のホウ素濃度が前記吸着濾材１ｇ当たり１μｇ以下のものであることを特徴とするケミカルフィルタ。
　
２．引用文献に記載された発明
（１）特開平１１−７０３１３号公報（以下、「引用文献１」という。）
　原査定の拒絶の理由に引用文献１として引用された該文献には次の事項が記載されている。
（ア）「フライポンタイト鉱物の粉末を、無機物の粉末をバインダとして、支持体の表面に固着させて無機材料層を形成したことを特徴とする空気浄化フィルタ。」（【特許請求の範囲】【請求項１】）、
（イ）「前記支持体が、ハニカム構造体であることを特徴とする請求項１、２、３、４又は５のいずれかに記載の空気浄化フィルタ。」（【特許請求の範囲】【請求項６】）、
（ウ）「前記ハニカム構造体が、無機繊維を必須成分とする構造体であることを特徴とする請求項６に記載の空気浄化フィルタ。」（【特許請求の範囲】【請求項７】）、
（エ）「清浄雰囲気が要求される空間内の空気を循環させる循環経路を備えた高度清浄装置において、該循環経路に、請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０又は１１のいずれかに記載の空気浄化フィルタを配置すると共に、前記空間より上流側であって空気浄化フィルタの下流側に粒子状不純物を除去するフィルタを配置したことを特徴とする高度清浄装置。」（【特許請求の範囲】【請求項１４】）、
（オ）「これら請求項１〜５の空気浄化フィルタにおいて、請求項６に記載したように、前記支持体が、ハニカム構造体であることが好ましい。また、請求項７に記載したように、前記ハニカム構造体が、無機繊維を必須成分とする構造体であることが好ましい。このハニカム構造の吸着層は、セラミック状の硬い表面を有し、薬品添着活性炭やイオン交換繊維を利用した従来のケミカルフィルタに比べて発塵量が極めて少ない。また、この支持体のみならず、吸着剤であるフライポンタイト鉱物の粉末やそれを支持体表面に固着させるために用いるバインダも無機物の粉末とすることにより、本発明の空気浄化フィルタを構成する材料からはガス状有機物の脱離がない。」（第７頁左欄第４１行〜同右欄第３行、段落【００３３】）、
（カ）「ここで、フィルタ１の製造方法の一例を説明する。先ず，無機繊維(セラミック繊維、ガラス繊維、シリカ繊維、アルミナ繊維等)と有機材料（パルプ、溶融ビニロンの混合物）と珪酸カルシウムの３つの材料を１：１：１の等重量で配合し、湿式抄紙法により約０.３ｍｍの厚みに抄造する。……。この抄造シートをコルゲータによって波形加工し、出来上がった波形シート１０を、同様の材料を薄板形状に抄造した薄板シート１１に接着剤で接着し、図３に示すようなハニカム構造体１２を得る。」（第１０頁左欄第４３行〜同右欄第４行、段落【００５１】）、
（キ）「本発明の空気浄化フィルタが除去の対象とする化学汚染物質は、酸性物質、塩基性物質、ドーパント、有機物である。代表的な障害事例を説明すると、酸性ガス特にフッ酸（ＨＦ）は粒子除去用フィルタ濾材であるガラス繊維からのボロン（Ｂ）の揮発を促進し、塩基性ガスはレジストの解像の障害になる。ボロン（Ｂ）やリン（Ｐ）は半導体デバイスの動作不良を起こす。特にボロン（Ｂ）は、ＴＦＴトランジスタのチャネル領域を汚染してトランジスタ特性を劣化させる原因となる。」（第１４頁右欄第９〜１７行、段落【００７８】）、
（ク）「本発明による空気浄化フィルタはガス状無機不純物のみならずガス状有機不純物をも一括除去でき、それ自身も新たな有機物汚染源とならない。特に、ガス状ホウ素化合物と親和性（吸着率）が高いシリカ等が吸着第１層と吸着第２層の両方に存在するフィルタは、比較的長時間に渡ってガス状ホウ素化合物を除去できることができる。」（第２０頁左欄第９〜１５行、段落【０１１４】）
　
３．対比・判断
　引用文献１には、記載事項（ア）に「フライポンタイト鉱物の粉末を、無機物の粉末をバインダとして、支持体の表面に固着させて無機材料層を形成した」「空気浄化フィルタ」が記載されている。そして、該記載中の「空気浄化フィルタ」に関して、記載事項（ク）に「ガス状無機不純物のみならずガス状有機不純物をも一括除去でき、それ自身も新たな有機物汚染源とならない」こと及び「比較的長時間に渡ってガス状ホウ素化合物を除去できる」ことが記載されている。また、記載事項（ア）の上記記載中の「フライポンタイト鉱物の粉末」に関して、記載事項（オ）に「吸着剤である」ことが記載され、さらに、記載事項（ア）の上記記載中の「支持体」に関して、記載事項（イ）に「ハニカム構造体である」ことが記載され、記載事項（オ）に「ハニカム構造の吸着層」であることが記載され、記載事項（カ）に「無機繊維(セラミック繊維、ガラス繊維、シリカ繊維、アルミナ繊維等)」を用いて得た「抄造シートをコルゲータによって波形加工し」て「得る」ことが記載されている。　
　これらの記載を本願発明１の記載振りに則して整理すると、引用文献１には、「ガス状無機不純物のみならずガス状有機不純物をも一括除去でき、それ自身も新たな有機物汚染源とならないで、比較的長時間に渡ってガス状ホウ素化合物を除去できる空気浄化フィルタにおいて、吸着剤を表面に固着させてハニカム構造の吸着層とする無機繊維(セラミック繊維、ガラス繊維、シリカ繊維、アルミナ繊維等)を用いて得た抄造シートをコルゲータによって波形加工して得るハニカム構造体からなる空気浄化フィルタ」の発明（以下、「引用１発明」という。）が記載されているといえる。
　そして、本願発明１と引用１発明を対比すると、引用１発明における「ガス状無機不純物のみならずガス状有機不純物をも一括除去できる空気浄化フィルタ」及び「吸着剤を表面に固着させてハニカム構造の吸着層とする無機繊維(セラミック繊維、ガラス繊維、シリカ繊維、アルミナ繊維等)を用いて得た抄造シートをコルゲータによって波形加工して得るハニカム構造体」が、それぞれ、本願発明１における「空気中のガス状不純物及び凝集性有機物質を除去する吸着濾材を有するケミカルフィルタ」及び「繊維質素材からなるコルゲート状ハニカム構造体」に相当し、また、本願発明１の「チョップドストランド」、「ムライト繊維」、「ロックウール繊維」及び「ガラス繊維、チョップドストランド、セラミック繊維、アルミナ繊維、ムライト繊維、シリカ繊維及びロックウール繊維から選ばれる１種若しくは２種以上と有機繊維との組み合わせ」は任意に選択される構成であるから、両者は、「空気中のガス状不純物及び凝集性有機物質を除去する吸着濾材を有するケミカルフィルタであって、前記吸着濾材は繊維質素材からなるコルゲート状ハニカム構造体であり、前記繊維質素材が、ガラス繊維、セラミック繊維、アルミナ繊維、シリカ繊維から選ばれる１種若しくは２種以上の組み合わせからなるケミカルフィルタ」である点で一致し、次の点で相違する。
相違点ａ：本願発明１では「吸着濾材が、フッ化水素濃度１ｐｐｍのガスを面速０．５ｍ／秒で前記吸着濾材に１時間流通させた時、流通後のガス中のホウ素濃度が前記吸着濾材１ｇ当たり１μｇ以下のものである」のに対して、引用１発明は「ガス状無機不純物のみならずガス状有機不純物をも一括除去でき、それ自身も新たな有機物汚染源とならないで、比較的長時間に渡ってガス状ホウ素化合物を除去できる」ものの、ホウ素濃度の上限については記載がない点
　そこで、上記相違点ａについて検討する。
　引用１発明に係る空気浄化フィルタはそれ自身も新たな有機物汚染源とならないで、比較的長時間に渡ってガス状ホウ素化合物を除去できるものであり、記載事項（エ）の高度清浄装置の構成部品として引用１発明に係る空気浄化フィルタを配置する際に粒子除去用フィルタ濾材であるガラス繊維からのボロン（Ｂ）の揮発を促進しないようにする旨の記載が記載事項（キ）にあることを勘案すると、該空気浄化フィルタをボロンの揮発ができるだけ少ないものとすることは当業者であれば当然考慮することである。
　そして、本願発明に係るケミカルフィルタがクリーンルーム等で実際に使用されても、歩留まりの低下等のホウ素汚染による問題が出ない程度にホウ素化合物の放出を抑制するための上限基準として、本願発明１の「吸着濾材が、フッ化水素濃度１ｐｐｍのガスを面速０．５ｍ／秒で前記吸着濾材に１時間流通させた時、流通後のガス中のホウ素濃度が前記吸着濾材１ｇ当たり１μｇ以下のものである」とするものの他に、「吸着濾材中、酸化ホウ素の含有量を１ｇ当たり１μｇ以下である」とするもの、「本願発明１におけるフッ化水素ガスを塩化水素ガスに替えたもの」及び「本願発明１におけるフッ化水素ガスをアンモニアガスに替えたもの」が本願明細書に並列して記載されており、また、本願発明１におけるフッ化水素ガスを用いた上限基準が上記の他の基準よりも格別優れたものであることが本願明細書に記載されておらず、しかも、本願発明１におけるフッ化水素ガスを用いた上限基準を採用することにより上記の他の基準を採用することよりも格別な効果を奏するものであると認められない。
　してみると、引用１発明において、空気浄化フィルタをボロンの揮発ができるだけ少ないものとするために、「吸着濾材が、フッ化水素濃度１ｐｐｍのガスを面速０．５ｍ／秒で前記吸着濾材に１時間流通させた時、流通後のガス中のホウ素濃度が前記吸着濾材１ｇ当たり１μｇ以下のものである」とする上限基準を決めることは当業者であれば容易になし得ることである。
　そして、上記相違点ａにおける本願発明１の構成を採ることにより奏される「半導体や精密電子部品製造における歩留まりの向上を図ることができる」という効果も当業者であれば予測し得る範囲内のものである。
　したがって、本願発明１は、引用１発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、本願出願前に頒布された刊行物である引用文献１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。