【事件の表示】
　平成　８年特許願第１８８３６５号「反射屈折光学系、その調整方法、投影露光装置及び投影露光方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　１月２３日出願公開、特開平１０−　２０１９７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成８年６月２８日の出願（特願平８−１８８３６５号）であって、平成１８年５月１日付で拒絶査定がなされ、これに対して、平成１８年６月２２日付で拒絶査定に対する審判請求がなされたものである。
　
 ２．本願発明  
　本願の請求項１〜６に係る発明は、平成１７年４月１９日付手続補正書により補正された明細書及び図面の記載から見て、その特許請求の範囲の請求項１〜６に記載されたとおりのものであるところ、その請求項１に記載された発明（以下、「本願発明１」という。）は、以下のとおりである。
本願発明１；
「第１面からの光束が往路のみ透過する往路光学系と、凹面鏡と該凹面鏡への入射光と反射光との双方が透過するレンズ群とからなる往復光学系とによって第１結像光学系を形成し、該第１結像光学系によって前記第１面の中間像を形成し、該中間像の近傍に前記第１結像光学系からの光束を第２結像光学系へ導くように第１のミラーを配置し、前記第２結像光学系によって前記中間像の再結像を第２面上に形成した反射屈折光学系において、
　前記往路光学系は少なくとも１枚のレンズを備え、
　前記往路光学系内の前記少なくとも１枚のレンズを、光軸と直交する方向に移動可能に、又は光軸と直交する軸を中心として回転可能に配置し、
　前記反射屈折光学系の露光範囲は光軸を含まないスリット状又は円弧状であることを特徴とする反射屈折光学系。」
　
３．引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平７−２９４８１９号公報（以下、「引用例１」という）には、次の事項が記載されている。
　
ア．「【００１４】
【課題を解決するための手段】
　本発明による第１の反射屈折投影光学系は、例えば図１に示す如く、第１面（１）のパターンの像を第２面（５）上に投影する光学系において、その第１面のパターンの中間像（６）を形成する第１結像光学系（Ｇ1 ，Ｇ2 ）と、その中間像の像をその第２面上に形成する第２結像光学系（Ｇ3 ）とを有する。
【００１５】
　そして、その第１結像光学系は、屈折レンズ成分を含みその第１面のパターンからの光束を収斂する正屈折力の第１群（Ｇ1 ）と、この第１群の光軸に対して斜めに配置されたビームスプリッター面（６ａ）によりその第１群からの光束の一部を分離するプリズム型ビームスプリッター（６）と、このプリズム型ビームスプリッターにより分離された光束を反射する凹面反射鏡（Ｍ2 ）を含み、プリズム型ビームスプリッター（６）付近にそのパターンの中間像（７）を形成する正の屈折力を持つ第２群（Ｇ2 ）とより構成され、この第２群（Ｇ2 ）により収斂された光束の一部が、プリズム型ビームスプリッター（６）により分離されて第２結像光学系（Ｇ3 ）へ導かれるものである。
【００１６】
　この場合、そのパターンの中間像（７）は、プリズム型ビームスプリッター（７）の内部に形成されることが望ましい。
　また、図１に示すように、凹面反射鏡（Ｍ2 ）と第２面（５）との間の繰り返し反射によるフレアの発生を防止するため、ビームスプリッター（６）として偏光ビームスプリッターを使用し、この偏光ビームスプリッターと凹面反射鏡（Ｍ2 ）との間に１／４波長板（３）を配置することが望ましい。
【００１７】
　更に、少なくとも像面（５）側ではテレセントリックであることが望ましい。
　次に、本発明による第２の反射屈折投影光学系は、例えば図６に示す如く、第１面（１０）のパターンの像を第２面（１１）上に投影する光学系において、その第１面のパターンの中間像を形成する第１結像光学系（Ｇ1 ，Ｇ2 ）と、その中間像の像をその第２面上に形成する第２結像光学系（Ｇ3 ）とを有する。
【００１８】
　そして、その第１結像光学系は、屈折レンズ成分を含みその第１面のパターンからの光束を収斂する正屈折力の第１群（Ｇ1 ）と、この第１群の光軸に対して斜めに配置された反射面によりその第１群からの光束の一部を分離する部分ミラー（８）と、この部分ミラーにより分離された光束を反射する凹面反射鏡（Ｍ2 ）を含み、部分ミラー（８）の反射面付近にそのパターンの中間像を形成する正屈折力の第２群（Ｇ2 ）とより構成され、この第２群により収斂された光束の一部が、部分ミラー（８）により分離されて第２結像光学系（Ｇ3 ）へ導かれるものである。
【００１９】
　この場合、部分ミラー（８）により反射された光束を使用しているため、結像範囲はスリット状又は円弧状等が望ましい。即ち、この第２の反射屈折投影光学系は走査露光方式の投影露光装置に好適である。この場合、部分ミラー（８）が使用され、繰り返し反射の影響が小さいため、１／４波長板を使用する必要はない。」
　
イ．「【００４８】
［第３実施例］この第３実施例は倍率が１／４倍の、走査露光方式の投影露光装置に好適な投影光学系である。この第３実施例は、部分ミラーを用いる光学系の実施例でもある。図６（ａ）は第３実施例の投影光学系の展開光路図であり、図６（ｂ）はレチクル１０上の照明領域を示す。この図６（ｂ）に示すように、レチクル１０上の円弧状の照明領域１２が不図示の照明光学系により照明されている。そして、図６（ａ）において、レチクル１０上の照明領域１２内のパターンからの光が、４枚の屈折レンズよりなる第１収斂群Ｇ1 を経て、部分ミラー８の側面を通過する。
【００４９】
　この通過光は、負メニスカスレンズＬ20及び凹面反射鏡Ｍ2 よりなる第２収斂群Ｇ2 に至り、第２収斂群Ｇ2 で反射された光が部分ミラー８の近傍に照明領域１２内のパターンの中間像を結像する。そして、この中間像からの光が、部分ミラー８で反射された後、屈折レンズ１４枚からなる第３収斂群Ｇ3 を経て、ウエハ１１の表面にそのパターンの第２中間像を結像する。また、第３収斂群Ｇ3 内のフーリエ変換面、即ち凸レンズＬ34と凸レンズＬ35との間に開口絞り４が配置されている。この場合、レチクル１０からウエハ１１への投影倍率をβとして、レチクル１２を上方向に所定速度ＶR で走査するのと同期して、ウエハ１１を上方向に速度β・ＶR で走査することにより、走査露光方式で露光が行われる。」
　
ウ．「【００７２】
　また第１結像光学系による結像倍率を自由に選ぶことができるので、優れた光学性能状態を実現できる。
　この場合、プリズム型ビームスプリッターの内部に中間像を形成することにより、そのビームスプリッターをより小型化できる利点がある。
　次に、本発明の第２の反射屈折投影光学系によれば、凹面反射鏡と第２面（像面）との間で一度結像を行っているため、小型の部分ミラーを使用できると共に、凹面反射鏡から像面までの光路を長く取れる利点がある。更に、部分ミラーを使用した場合には、良好な結像範囲が例えば光軸から偏心した円弧状又はスリット状となるが、このような結像範囲は走査露光方式の投影露光装置に好適である。」
　
　したがって、上記記載事項ア．乃至ウ．及び【図６】の記載から、引用例１には、
「第１面のパターンからの光束を収斂する正屈折力の第１群（Ｇ1 ）」、
「部分ミラーにより分離された光束を反射する凹面反射鏡（Ｍ2 ）を含み、部分ミラー（８）の反射面付近にそのパターンの中間像を形成する正屈折力の第２群（Ｇ2 ）」、
「第１結象光学系は、・・・第１群（Ｇ1 ）と・・・第２群（Ｇ2 ）とより構成され」ていること、
「部分ミラー（８）の反射面付近にそのパターンの中間像を形成する」こと、
「この第２群により収斂された光束の一部が、部分ミラー（８）により分離されて第２結像光学系（Ｇ3 ）へ導かれる」こと、
「中間像からの光が、部分ミラー８で反射された後、屈折レンズ１４枚からなる第３収斂群Ｇ3 を経て、ウエハ１１の表面にそのパターンの第２中間像を結像する」こと、
「反射屈折投影光学系」であること、
第１収斂群Ｇ1が「４枚の屈折レンズよりなる」こと、及び
「結像範囲が例えば光軸から偏心した円弧状又はスリット状となる」ことが記載されている。
　
　よって、引用例１には、
「第１面のパターンからの光束が収斂する正屈折力の第１群と、入射された光束を反射する凹面反射鏡を含む正屈折力の第２群とによって第１結像光学系を形成し、該第１結像光学系によって前記第１面のパターンの中間像を形成し、該中間像の近傍に前記第１結像光学系からの光束を第２結像光学系へ導くように部分ミラーを配置し、前記第２結像光学系によって、前記第１面のパターンの第２中間結像をウエハの表面に形成した反射屈折光学系において、
　前記第１群は４枚のレンズを備え、
　前記反射屈折光学系の結像範囲は光軸から偏心した円弧状又はスリット状である反射屈折光学系。」の発明（以下、「引用発明」という）が記載されている。
　
　また、原査定の拒絶理由に引用された特開平７−１８３１９０号公報（以下、「引用例２」という）には、次の事項が記載されている。
　
エ．「【０００４】
　　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、特開平４−１５７４１２号及び特開平５−１７３０６５号の各特許公報にて提案されている高性能な投影光学系は、レンズの構成枚数が１５〜２４枚で、特に、開口数ＮＡが０．４以上の高解像の投影光学系になると、構成枚数が２０枚以上と非常に多くなっている。このように、要求性能が厳しくなってくるにしたがって、ますます投影光学系は構成枚数も増えて非常に複雑な構成になってきている。そのため、これらの投影光学系を実際に製造し、投影露光装置に搭載して、像面湾曲、非点収差、歪曲収差等の収差を設計値どおりにおさえ、高性能を発揮させるには、個々のレンズ部品の精度や組立の精度を非常に厳しくおさえる必要があり、そのため歩留まりが悪かったり、製造する日程が非常にかかったり、あるいは、十分な性能が発揮できない等の問題があった。
【０００５】
　また、特開昭５９−１４４１２７号にて提案されている倍率誤差の補正方法では、光学系の結像性能に影響を与えないような極めて薄い膜等を湾曲させてそのプリズム作用によって倍率誤差を補正しているものの、投影光学系内に残存する方向性のある非対称な倍率誤差成分の補正量や補正方向に対する微調整はできない。しかも、薄い膜を用いているために、ミラープロジェクション方式のように露光領域が細長い場合には、金枠等に貼って２次元的に保持可能であるが、露光領域が長方形や正方形の場合には、そのような薄い膜を３次元的に保持し、良い再現性を発揮させるのは非常に困難である。また、形状を保持するために薄い膜の代わりにガラス等を使用するとしても、結像性能に影響を与えないように薄くかつ均一にそれらを作成するのはやはり困難であり、さらに、それらの膜等を実際に使用したときの露光光の熱吸収等による破損事故を含めての膜等の耐久性、露光光の熱吸収や環境変化に伴う光学性能の変化に対して非常に問題がある。
【０００６】
　また、特開昭６２−３５６２０号では回転対称なレンズを使用して倍率誤差を調整することが提案されているが、回転対称なレンズを光軸方向に動すだけでは、ウエハ面での全体の倍率だけを等方的しか調整できず、投影光学系内に残存する方向性のある非対称な倍率誤差成分は調整できない。
　さらに、特開昭５９−１４４１２７号及び特開昭６２−３５６２０号にて提案されている倍率誤差の補正方法では、倍率誤差のみが基本的に補正可能であり、軸外収差としての非点収差等に対する補正は出来きず、さらには、投影光学系内にて回転非対称で局所的にランダムに残存する倍率誤差成分や歪曲収差成分に対する対応も困難であった。
【０００７】
　本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、個々の部品の精度や組立の精度を非常に厳しく抑えることなしに、投影光学系内に残存する投影光学系の光軸に対して回転非対称な光学特性、例えば回転非対称な軸外収差成分（非点収差、像面湾曲等）、回転非対称な倍率誤差成分等を調整可能としながら、耐久性、再現性に優れた高性能な投影露光装置を提供することを主たる目的としている。さらには、投影光学系内にて回転非対称で局所的にランダムに残存する回転非対称な歪曲収差等の補正に対しても十分に対応し得る投影露光装置を提供することを副次的な目的としている。」
　
オ．「【００１３】
　よって、円柱レンズ１を移動させれば、（１）式〜（４）式中のｄ１１が変化するため、（５）式より非点収差量が変化するとともに、（１）式及び（３）式の倍率が変化することが理解できる。
　一方、円柱レンズ１を回転させれば、（１）式〜（４）式中のθが変化するため、（５）式より非点収差量が変化するとともに、（１）式及び（３）式の倍率が変化することが理解できる。」
　
カ．「【００１８】
　以上の如く、結像倍率、非点収差、像面湾曲に対する量並びに方向を調整するためには、円柱レンズ等のトーリックレンズを光軸方向に移動させるか、あるいは円柱レンズ等のトーリックレンズ自体を回転させれば良いことが理解される。」
　
キ．「【００５９】【実施例】
　次に、図１２を参照しながら本発明の実施例について詳述する。
　図１２は、本発明の実施例による投影露光装置の構成を示している。図１２に示す如く、両側（又は片側）テレセントリックな投影レンズ３６の上方には、不図示のレチクルステージに保持されたレチクル３５が配置され、レチクル３５と投影レンズ３６との間には、その投影レンズ３６の光軸に対して回転非対称なパワーを持つ光学手段として直交した方向に異なるパワーを有するトーリック型光学部材が配置されている。このトーリック型光学部材は、レチクル側から順に、投影レンズ側に凹面を向け紙面方向に負のパワーを持つ負の円柱レンズ１と、レチクル側に凸面を向け紙面方向に正のパワーを持つ正の円柱レンズ２とを有し、円柱レンズ１と円柱レンズ２とは投影レンズ３６の光軸を中心にそれぞれ回転可能に設けられている。
【００６０】
　また、投影レンズ３６に関してレチクル３５と共役な位置には、ウエハステージ３７上に載置されたウエハ３８が配置されており、このウエハステージ３７は、２次元的に移動可能なＸＹステージ及び投影レンズ３６の光軸方向に移動可能なＺステージより構成されている。
　一方、レチクル３５の上方には、レチクル３５を均一にケーラー照明するための照明光学系（２１，２２，２３，２４，２５，３２，３３，３４）が設けられており、照明光学系中には投影レンズの光学特性を計測するための計測系４２と、後述する露光光ＩＬとは異なる波長の光によってレチクル３５とウエハ３８との相対的な位置検出を光学的に行う第１アライメント系４７とがそれぞれ設けられている。」
　
４．対比
　本願発明１と引用発明を対比すると、まず、引用発明の「第１面のパターンからの光束が収斂する正屈折力の第１群」、「入射された光束を反射する凹面反射鏡を含む正屈折力の第２群」は、それぞれ、本願発明１の「第１面からの光束が往路のみ透過する往路光学系」、「凹面鏡と該凹面鏡への入射光と反射光との双方が透過するレンズ群とからなる往復光学系」に相当する。次に、引用発明の「第１面のパターンの中間像」、「第１面のパターンの第２中間像」は、それぞれ、本願発明１の「第１面の中間像」、「中間像の再結像」に相当する。次に、「部分ミラー」、「ウエハの表面」が、それぞれ、本願発明１の「第１のミラー」、「第２面上」に相当する。また、引用発明において「第１群は４枚のレンズを備え」ていることから、「第１群は少なくとも１枚のレンズを備え」ているといえる。さらに、引用発明の「結像範囲」は、本願発明１の「露光範囲」に相当する。
　
　よって、両者は、
「第１面からの光束が往路のみ透過する往路光学系と、凹面鏡と該凹面鏡への入射光と反射光との双方が透過するレンズ群とからなる往復光学系とによって第１結像光学系を形成し、該第１結像光学系によって前記第１面の中間像を形成し、該中間像の近傍に前記第１結像光学系からの光束を第２結像光学系へ導くように第１のミラーを配置し、前記第２結像光学系によって前記中間像の再結像を第２面上に形成した反射屈折光学系において、
　前記往路光学系は少なくとも１枚のレンズを備え、
　前記反射屈折光学系の露光範囲は光軸を含まないスリット状又は円弧状である反射屈折光学系」である点で一致し、以下の各点で相違する。
　
相違点１．
　本願発明１においては、「往路光学系の少なくとも１枚のレンズ」を可動に配置したとしているのに対し、引用発明においては、その点の限定がなされていない点。
　
相違点２．
　本願発明１においては、可動に配置された上記レンズの動かし方として、上記レンズを、「光軸と直交する方向に移動可能に、又は光軸と直交する軸を中心として回転可能に配置し」たものであると特定したのに対し、引用発明においてはその点の限定がなされていない点。
　
５．当審の判断
　以下、上記２つの相違点について検討する。
(1)相違点１について；
　引用例２の上記記載事項カ．、キ．における、レンズを「光軸方向に移動させる」ことや「光軸を中心に回転可能」とすることは、レンズを「可動」としたことに他ならないから、引用例２には、投影露光装置において「少なくとも１枚のレンズを可動とした」ことが記載されているといえる。
　また、引用例２及び本願発明１に共通する「非点収差等の収差を補正する」という技術的課題は、引用例２の上記エ．〜カ．の記載より、投影露光装置の光学系が一般に有する課題であるということができ、したがって、引用発明においても同様の技術課題があることは容易に予測されるところである。よって、引用発明に、引用例２に記載された発明を適用し本願発明１の上記相違点１に係る発明特定事項を得ようと試みることは、当業者にとって容易であるといえる。
　そして、引用発明において「少なくとも１枚のレンズを可動と」するにあたり、引用発明におけるどのレンズを可動とするかについては、レンズの移動による収差補正の容易性等を勘案して選択するものであるところ、往復光学系では、一方（往）方向の光学系における収差補正のためのレンズの移動が他（復）方向の光学系における収差にも影響を与えるため、往路光学系に比べて収差補正が複雑となることは自明であり、レンズの移動によって補正する箇所として往路光学系を避けるべきであることは当業者にとって明らかである。そうすると、レンズの移動による補正を行う箇所としては、第１結像光学系の往路光学系または第２結像光学系が挙げられるが、該二者択一的選択において第１結像光学系の往路光学系を選択することは、当業者が適宜設定し得た事項に過ぎないから、結局、「往路光学系の少なくとも１枚のレンズ」を可動に配置したことは当業者が容易に想到し得た事項であるといえる。
　
(2)相違点２について；
　複数レンズを組合せてなる光学系において、収差補正等のために、少なくとも一枚のレンズを「光軸と直交する方向に移動可能に、又は光軸と直交する軸を中心として回転可能」に配置することは、例えば、
・特開平７−１４０３８１号公報（【００１３】【図１】）
・実願平２−４０７２３０号（実開平６−５４０２６号）のＣＤ−ＲＯＭ（第８ページ第１５〜１６行）
・特開平４−３５７４３２号公報（【０００７】〜【００１７】【図１】【図２】）
等にも記載されているように周知の技術的事項である。
　したがって、光学系の補正のためのレンズ可動の形態として、上記周知の「光軸と直交する方向に移動可能に、又は光軸と直交する軸を中心として回転可能」とする形態を採用し、上記相違点２に係る発明特定事項を得ることは当業者にとって容易である。
　
　そして、本願発明１によってもたらされる効果は、上記引用発明、上記引用例２に記載された発明及び上記の周知技術から、当業者が予測し得る程度のものである。
　
６．むすび
　以上より、本願発明１は、引用例１に記載された発明、引用例２に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。