【事件の表示】
　平成　９年特許願第５２６２０５号「反射防止コーティング及び積層配線ライン」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年　７月２４日国際公開、ＷＯ９７／２６６７９、平成１２年　４月１１日国内公表、特表２０００−５０４４８７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯 
　本願は、１９９７年１月１７日（パリ条約による優先権主張外国庁受理１９９６年１月１９日、米国）を国際出願日とする出願であって、平成１７年５月１０日付けで拒絶査定がなされ、これに対して同年８月１２日に拒絶査定に対する審判請求とともに手続補正がなされ、その後当審において、平成１９年５月１１日付けで審尋がなされ、同年８月８日に回答書が提出されたものである。
　 
２．平成１７年８月１２日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）について 
［補正却下の決定の結論］ 
　平成１７年８月１２日付けの手続補正を却下する。 
［理由］ 
（１）本件補正の内容 
　本件補正は、補正前の請求項１を補正後の請求項１と補正し、補正前の請求項２を補正後の請求項２と補正し、補正前の請求項３を補正後の請求項３とし、補正前の請求項４ないし１９を削除するものであり、補正前の請求項１及び補正後の請求項１は以下のとおりである。
〈補正前の請求項１〉
「１．半導体基板（１１２）に対する反射防止コーティング（２００）であって、
  コーティングはチタニウム、アルミニウム及び窒素から形成される層を備え、
　基板（１１２）は電界放射ディスプレイ装置の一部であり、電界放射ディスプレイ装置は更にディスプレイスクリーン（１１８）を備え、
　基板は複数のエミッタサイト（１１４）とディスプレイトランジスタ（１２６）とを備え、複数のエミッタサイトはディスプレイトランジスタのソースに接続され、
  コーティング（２００）はディスプレイスクリーン（１１８）によって放射される光子及び電界放射ディスプレイ装置の周囲環境からディスプレイトランジスタの接合部を保護し、
　前記反射防止コーティング（２００）は質量で約１０％から９０％のアルミニウムを含む、反射防止コーティング。」
〈補正後の請求項１〉
「【請求項１】半導体基板（１１２）に対する反射防止及び遮光コーティング（２００）であって、
　該コーティングはチタニウム、アルミニウム及び窒素から形成される層を備え、
　前記基板（１１２）は電界放射ディスプレイ装置の一部であり、電界放射ディスプレイ装置は更にディスプレイスクリーン（１１８）を備え、
　前記基板は複数のエミッタサイト（１１４）とディスプレイトランジスタ（１２６）とを備え、前記複数のエミッタサイトは前記ディスプレイトランジスタのソースに接続され、
  前記コーティング（２００）は前記ディスプレイスクリーン（１１８）によって放射される光子及び電界放射ディスプレイ装置の周囲環境から前記ディスプレイトランジスタ（１２６）のドレイン及び制御ゲートの接合部を保護し、
　前記コーティング（２００）は質量で約１０％から９０％のアルミニウムを含む、反射防止及び遮光コーティング。」
　
（２）補正内容の整理
　本件補正のうち、補正後の請求項１についてなされた補正の内容を、以下に整理する。
〈補正事項１〉
　補正前の請求項１の項番である「１．」を、補正後の請求項１の項番である「【請求項１】」と補正すること。
〈補正事項２〉
　補正前の請求項１の「反射防止コーティング（２００）であって、」を、補正後の請求項１の「反射防止及び遮光コーティング（２００）であって、」と補正すること。
〈補正事項３〉
　補正前の請求項１の「コーティングはチタニウム、アルミニウム及び窒素から形成される層を備え、」の前に、補正後の請求項１において「該」を追加すること。
〈補正事項４〉
　補正前の請求項１の「基板（１１２）は電界放射ディスプレイ装置の一部であり、」の前に、補正後の請求項１において「前記」を追加すること。
〈補正事項５〉
　補正前の請求項１の「基板は複数のエミッタサイト（１１４）と」の前に、補正後の請求項１において「前記」を追加すること。
〈補正事項６〉
　補正前の請求項１の「複数のエミッタサイトは」の前に、補正後の請求項１において「前記」を追加すること。
〈補正事項７〉
　補正前の請求項１の「ディスプレイトランジスタのソースに接続され、」の前に、補正後の請求項１において「前記」を追加すること。
〈補正事項８〉
　補正前の請求項１の「コーティング（２００）はディスプレイスクリーン（１１８）によって」を、補正後の請求項１の「前記コーティング（２００）は前記ディスプレイスクリーン（１１８）によって」と補正すること。
〈補正事項９〉
　補正前の請求項１の「ディスプレイトランジスタの接合部を保護し、」を、補正後の請求項１の「前記ディスプレイトランジスタ（１２６）のドレイン及び制御ゲートの接合部を保護し、」と補正すること。
〈補正事項１０〉
　補正前の請求項１の「前記反射防止コーティング（２００）は」を、補正後の請求項１の「前記コーティング（２００）は」と補正すること。
〈補正事項１１〉
　補正前の請求項１の「反射防止コーティング。」を、補正後の請求項１の「反射防止及び遮光コーティング。」と補正すること。
　
（３）補正事項についての検討
（３−１）新規事項の追加及び補正の目的の適否について
（３−１−１）補正事項２、３、８、１０及び１１について
（ア）補正事項２、３、８、１０及び１１についての補正は、実質的に「コーティング」が「反射防止」機能の他に「遮光」機能を有することを追加するものである。
　しかし、特許法第１８４条の１２第２項の規定により同法第１７条の２第３項に規定する願書に最初に添付した明細書又は図面とされる、国際出願日における第１８４条の３第２項の国際特許出願の明細書若しくは図面（図面の中の説明に限る。）の翻訳文、請求の範囲の翻訳文又は図面（図面の中の説明を除く。）（以下、「当初明細書等」という。）には、「コーティング」が「遮光」機能を有することは記載されていない。当初明細書等の第１５頁第２４行乃至第１６頁第２行に「詳しくは、反射防止Ｔｉ−Ａｌ−Ｎ層２００はディスプレイトランジスタ１２６のドレイン及び制御ゲートの接合部を覆い、かつ電流制御トランジスタ１４０の全ての接合部を覆うようにして形成されている。Ｔｉ−Ａｌ−Ｎ層２００は環境及びディスプレイスクリーン１１８にて生成された光線がＮ型導電性領域１７０、１７２、１７４と基板１１２との間の接合部のような半導体接合部に衝突するのを防止する。」と記載されているものの、当該記載において「Ｔｉ−Ａｌ−Ｎ層２００」は「反射防止」機能を有する膜として記載されているのみであり、また、「光線が・・・・・・半導体接合部に衝突するのを防止する」効果が、「Ｔｉ−Ａｌ−Ｎ層２００」の如何なる特性により生じるかは記載されていない。さらに、当初明細書等の第１１頁第１ないし第４行に「フォトリソグラフ中にキャップ層５６は光源からの光線２８の光子に晒される。図５を参照すると、光線２８はマスク３４を通過してキャップ層５６に衝突する。キャップ層５６は光子を吸収して光散乱を低減あるいは防止する反射防止コーティングとしての役割を有する。」と記載されているものの、当該記載は、「キャップ層５６」が、特定の波長を有するフォトリソグラフ光の「光子を吸収して光散乱を低減あるいは防止する」機能について記載したものであること、及び、「光子を吸収」する現象は「光散乱を低減あるいは防止する」程度のものであり、それによって遮光されることまでは記載されているとはいえないことより、「光子を吸収」することが「ディスプレイトランジスタの接合部を保護」するために「遮光」することに相当するとも認められない。
　よって、「コーティング」が「反射防止」機能の他に「遮光」機能を有することは、当初明細書等に記載されておらず、かつ、当初明細書等から自明な事項であるともいえないら、補正事項２、３、８、１０及び１１についての補正は当初明細書等に記載した事項の範囲内においてなされたものではなく、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たさない。
（イ）上記（ア）のとおり補正事項２、３、８、１０及び１１についての補正は当初明細書等に記載した事項の範囲内においてなされたものではないが、仮に、「コーティング」が「反射防止」機能の他に「遮光」機能を有することが当初明細書等に記載されていたとみなしたとしても、補正事項２、３、８、１０及び１１についての補正は、「コーティング」の機能として「反射防止」に「遮光」を追加するものであるから、特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものには該当しない。また、補正事項２、３、８、１０及び１１についての補正が、特許法第１７条の２第４項第１号、第３号及び第４号に掲げる、請求項の削除、誤記の訂正、明りょうでない記載の釈明のいずれを目的とするものにも該当しないことは明らかである。
　よって、補正事項２、３、８、１０及び１１についての補正は、特許法第１７条の２第４項に規定する要件を満たさないものである。
　
（３−１−２）小むすび
　したがって、その他の補正事項について検討するまでもなく、補正事項２、３、８、１０及び１１についての補正を含む本件補正は、特許法第１７条の２第３項及び第４項に規定する要件を満たしておらず、同法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
（３−２）独立特許要件について
　補正事項２、３、８、１０及び１１についての補正を含む本件補正は、上記「（３−１）新規事項の追加及び補正の目的の適否について」において検討したとおり特許法第１７条の２第３項及び第４項に規定する要件を満たしていないが、以下においては、仮に、本件補正が、当初明細書等に記載した事項の範囲内においてなされ、特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、同法第１７条の２第３項及び第４項に規定する要件を満たすものとみなして、本件補正後の請求項１に記載されている事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否か、すなわち、同法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか否かについて、さらに検討する。
　
（３−２−１）特許法３６条第６項第１号に規定する要件について
　補正後の請求項１には、「半導体基板（１１２）に対する反射防止及び遮光コーティング（２００）であって、　該コーティングはチタニウム、アルミニウム及び窒素から形成される層を備え」、「前記コーティング（２００）は前記ディスプレイスクリーン（１１８）によって放射される光子及び電界放射ディスプレイ装置の周囲環境から前記ディスプレイトランジスタ（１２６）のドレイン及び制御ゲートの接合部を保護し」、及び「前記コーティング（２００）は質量で約１０％から９０％のアルミニウムを含む」と記載されており、当該記載から、「コーティング」が「チタニウム、アルミニウム及び窒素から形成され」、「質量で約１０％から９０％のアルミニウムを含む」層を備えたものであり、「遮光」の機能を有することによって、「前記ディスプレイスクリーン（１１８）によって放射される光子及び電界放射ディスプレイ装置の周囲環境から前記ディスプレイトランジスタ（１２６）のドレイン及び制御ゲートの接合部を保護」するものであると解される。
　しかし、特許法第１８４条の６第２項の規定により同法第３６条第２項に規定する願書に添付した明細書又は図面とみなされる、外国語特許出願に係る国際出願日における明細書の翻訳文及び請求の範囲の翻訳文又は図面（以下、「補正明細書等」という。）の発明の詳細な説明には、配線ライン構造に用いられ、チタニウム−アルミニウム−窒素からなり、１０％〜９０％のアルミニウムを含んでいるキャップ層が、リソグラフプロセスで用いられる波長の光に対し十分小さい反射率を有することは記載されているものの、「電界放射ディスプレイ装置」において用いられる「コーティング」の、「アルミニウム」の質量比については記載されておらず、ましてや、「コーティング」が「１０％〜９０％のアルミニウムを含んでいる」ことにより、「前記ディスプレイスクリーン（１１８）によって放射される」光及び「電界放射ディスプレイ装置の周囲環境」からの光に対して透過率が十分小さいこと、すなわち、「遮光」することについては、何ら記載されていない。
　したがって、「コーティング」が「チタニウム、アルミニウム及び窒素から形成され」、「質量で約１０％から９０％のアルミニウムを含む」層を備えたものであり、「遮光」の機能を有することによって、「前記ディスプレイスクリーン（１１８）によって放射される光子及び電界放射ディスプレイ装置の周囲環境から前記ディスプレイトランジスタ（１２６）のドレイン及び制御ゲートの接合部を保護」することは、補正明細書等に記載されていないから、補正後の請求項１に係る発明は、発明の詳細な説明に記載されたものではなく、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たさない。
　
（３−２−２）特許法３６条第６項第２号に規定する要件について
　補正後の請求項１には、「半導体基板（１１２）に対する反射防止及び遮光コーティングであって、　該コーティングはチタニウム、アルミニウム及び窒素から形成される層を備え」、「前記コーティング（２００）は前記ディスプレイスクリーン（１１８）によって放射される光子及び電界放射ディスプレイ装置の周囲環境から前記ディスプレイトランジスタ（１２６）のドレイン及び制御ゲートの接合部を保護し」、及び「前記コーティング（２００）は質量で約１０％から９０％のアルミニウムを含む」と記載されており、当該記載から、「コーティング」が「チタニウム、アルミニウム及び窒素から形成され」、「質量で約１０％から９０％のアルミニウムを含む」層を備えたものであり、「反射防止」の機能を有し、「前記ディスプレイスクリーン（１１８）によって放射される光子及び電界放射ディスプレイ装置の周囲環境から前記ディスプレイトランジスタ（１２６）のドレイン及び制御ゲートの接合部を保護」するものであると解される。
　しかし、補正後の請求項１の記載からは、「コーティング」が如何なる光に対して「反射防止」の機能を果たすのか、また、「反射防止」の機能を果たすことにより如何なる効果が奏されるのか不明である。
　一方、補正明細書等には、配線ライン構造に用いられ、チタニウム−アルミニウム−窒素からなり、１０％〜９０％のアルミニウムを含んでいるキャップ層が、リソグラフプロセスで用いられる波長の光に対し十分小さい反射率を有することは記載されているものの、「電界放射ディスプレイ装置」において用いられる「コーティング」が如何なる光の反射を防止するのか、また、そのために「アルミニウム」の質量比をどのように設定するのか、さらに、「コーティング」が「反射防止」の機能を果たすことと、「前記ディスプレイトランジスタ（１２６）ドレイン及び制御ゲートの接合部を保護」することとがどのような因果関係を有するのかについて、補正明細書等には何ら記載されていない。
　よって、補正明細書等の発明の詳細な説明の記載を参酌しても、補正後の請求項１に記載の「コーティング」が如何なる光に対して「反射防止」の機能を果たすのかが不明であり、「コーティング」が「反射防止」の機能を果たすことにより如何なる効果が奏されるのかも不明であるため、補正後の請求項１に係る発明は明確でなく、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たさない。
  　
（３−２−３）小むすび
　したがって、補正後の請求項１に係る発明は、特許法第３６条第６項第１号及び第２号に規定する要件を満たしておらず、特許出願の際独立して特許を受けることができるものではない。
　
（３−３）むすび
　上記（３−１）において検討したとおり、補正事項２、３、８、１０及び１１についての補正を含む本件補正は、特許法第１７条の２第３項及び第４項に規定する要件を満たしておらず、仮に、本件補正が特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たし、特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものであるとみなしたとしても、上記（３−２）において検討したとおり、補正後の請求項１に係る発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものではなく、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合しないものであるから、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３．本願発明
　平成１７年８月１２日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし１９に係る発明は、平成１６年６月３０日付けの手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし１９に記載された事項により特定されるものである。
  　
３−１．特許法第３６条第６項第２号に規定する要件について
（１）請求項１に係る発明について
（３−２−１）特許法３６条第６項第２号に規定する要件について
　請求項１には、「半導体基板（１１２）に対する反射防止コーティング（２００）であって、　コーティングはチタニウム、アルミニウム及び窒素から形成される層を備え」、「コーティング（２００）はディスプレイスクリーン（１１８）によって放射される光子及び電界放射ディスプレイ装置の周囲環境からディスプレイトランジスタの接合部を保護し」、及び「前記反射防止コーティング（２００）は質量で約１０％から９０％のアルミニウムを含む、」と記載されており、当該記載から、「コーティング」が「チタニウム、アルミニウム及び窒素から形成され」、「質量で約１０％から９０％のアルミニウムを含む」層を備えるものであり、「反射防止」の機能を有し、「ディスプレイスクリーン（１１８）によって放射される光子及び電界放射ディスプレイ装置の周囲環境から前記ディスプレイトランジスタの接合部を保護」するものであると解される。
　しかし、請求項１の記載からは、「コーティング」が如何なる光に対して「反射防止」の機能を果たすのか、また、「反射防止」の機能を果たすことにより如何なる効果が奏されるのか不明である。
　一方、特許法第１８４条の６第２項の規定により同法第３６条第２項に規定する願書に添付した明細書又は図面とみなされる、外国語特許出願に係る国際出願日における明細書の翻訳文及び請求の範囲の翻訳文又は図面（以下、「本願明細書等」という。）には、配線ライン構造に用いられ、チタニウム−アルミニウム−窒素からなり、１０％〜９０％のアルミニウムを含んでいるキャップ層が、リソグラフプロセスで用いられる波長の光に対し十分小さい反射率を有することは記載されているものの、「電界放射ディスプレイ装置」において用いられる「コーティング」が如何なる光の反射を防止するのか、また、そのために「アルミニウム」の質量比をどのように設定するのか、さらに、「コーティング」が「反射防止」の機能を果たすことと、「ディスプレイトランジスタの接合部を保護」することとがどのような因果関係を有するのかについて、本願明細書等には何ら記載されていない。
　よって、本願明細書等の発明の詳細な説明の記載を参酌しても、請求項１に記載の「コーティング」が如何なる光に対して「反射防止」の機能を果たすのかが不明であり、「コーティング」が「反射防止」の機能を果たすことにより如何なる効果が奏されるのかも不明であるため、請求項１に係る発明は明確でなく、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たさない。
  
３−２．特許法第３７条に規定する要件について
（１）請求項１に記載された発明を特定発明とした場合
（ア）請求項１に記載された発明を特定発明（以下、「特定発明１」という。）とした場合、請求項１の「半導体基板（１１２）に対する反射防止コーティングであって、」及び「基板（１１２）は電界放射ディスプレイ装置の一部であり」という記載から、特定発明１の発明の産業上の利用分野は、電界放射ディスプレイ装置における半導体基板である。それに対して、請求項４ないし１８に記載された発明の産業上の利用分野は、半導体基板上に設けられた配線ラインであり、特定発明１と請求項４ないし１８に記載された発明とは、産業上の利用分野が同一ではないから、特定発明１と請求項４ないし１８に記載された発明とは、特許法第３７条第１号及び第２号に掲げるいずれの関係も有さない。
（イ）仮に、特定発明１と請求項４ないし１８に記載された発明との産業上の利用分野が同一であるものとみなして、さらに検討を進めると、特定発明１が解決しようとする課題は、電界放射ディスプレイの駆動トランジスタを光子から保護することであるのに対し、請求項４ないし１８に記載された発明が解決しようとする課題は、配線ライン製造プロセスにおける不要なフォトリソグラフ光の反射を防止することにより配線ラインの刻み目を低減することであり、特定発明１と、請求項４ないし１８に記載された発明とは、解決しようとする課題が異なるから、特許法第３７条第１号に掲げる関係を有さない。
（ウ）また、特定発明１と、請求項４ないし１１に記載された発明とに共通する事項は、「チタニウム、アルミニウム及び窒素から形成される層を備え」、「質量で約１０％から９０％のアルミニウムを含む」「反射防止コーティング」である。
（エ）ところで、本願の優先権主張日前に日本国内において頒布された刊行物である特開０５−３４３４０１号公報（以下、「刊行物１」という。）には、図１とともに以下の事項が記載されている。
「【００１５】図１(b) 参照
次いで、上記コンタクトホールの内面を含む基板上に、スパッタ法により、Alの拡散阻止膜となる厚さ2000Å程度の第１層Ti-Al 合金窒化物下敷き膜5Aを形成する。
【００１６】スパッタ条件は例えば下記の通りとする。
スパッタターゲット　　　Ti:Al＝3:1 合金（重量比）ターゲット
アルゴン(Ar)流量　　　　80 sccm
窒素(N2)流量　　　　　　50 sccm
圧力　　　　　　　　　　20 mTorr
堆積温度　　　　　　　　200 ℃
スパッタパワー　　　　　1.0 KW
次いでN2雰囲気中、500 ℃で15分程度アニールを施し、上記第１層Ti-Al 合金窒化物下敷き膜5Aを緻密化し拡散阻止効果を高める。」
「【００２０】Ti-Al 合金の窒化物はTiN に比べて耐酸化性が高いので、上記高温スパッタ工程において第１層Ti-Al 合金窒化物下敷き膜5A表面の酸化は殆ど生じない。
図１(d) 参照
次いで、上記第１層Al-5%Si 合金膜5B上に、第１層Ti-Al 合金窒化物下敷き膜5Aと同一の組成を有し反射防止膜として機能する厚さ1000Å程度の第１層Ti-Al合金窒化物キャップ膜5Cを成膜する。成膜条件は第１層Ti-Al 合金窒化物下敷き膜5Aの場合と同様でよい。」
「【００２４】また、請求項２に係る本発明の構造においては、例えば第１層配線及び第２層配線とも、上記実施例に示した下敷き膜5A及び8Aとキャップ膜5C及び8Cが、例えばTi:Al:Ag:Nb=3:1:0.5:0.5 （重量比）組成を有する Ti-Al-Ag-Nb合金膜により形成される。」
「【００２６】
スパッタターゲット　　　Ti:Al:Ag:Nb=3:1:0.5:0.5 合金（重量比）
Ar流量　　　　　　　　　80 sccm
圧力　　　　　　　　　　20 mTorr
堆積温度　　　　　　　　200 ℃
スパッタパワー　　　　　1.0 KW
また、主導電層には例えばAl-5%Si 合金膜が用いられ、その成膜条件、厚さ及び、絶縁膜の厚さ等は前記実施例と同様に形成される。」
　刊行物１の００１５段落、００１６段落及び００２０段落より、刊行物１には、スパッタターゲットとしてTi:Al＝3:1 合金（重量比）ターゲットを用い、アルゴン(Ar)流量が80 sccm、窒素(N2)流量が50 sccm、圧力が20 mTorr、堆積温度が200 ℃、スパッタパワーが1.0 KWであるスパッタ条件で成膜された、反射防止膜として機能するTi-Al合金窒化物キャップ膜が記載されている。
（オ）ここで、スパッタ法において、ターゲットの温度が高温でなければ、ターゲットの組成と成膜される膜の組成とはほぼ同じであることは、例えば、以下の周知文献１及び２に記載されるように従来周知である。
・周知文献１．麻蒔立男著、「薄膜作成の基礎」、第２版、日刊工業新聞社、昭和６２年１月３０日、第１０４頁第１５行ないし第１０５頁第５行　には、スパッタ法では、ターゲットの温度が上がらないようにすれば、ターゲットとほぼ同じ組成の膜を得ることができることが記載されている。
「スパッタ法は，ターゲット材の表面がそのままはね飛ばされるので，ほぼ同じ材質の膜を得ることができると考えてよい（たとえば図５・４）２）．しかしターゲットの温度が上がって，ターゲットとして用いた合金の一成分が自由に拡散して動き得るような状態になると，材料によりスパッタ速度が異なるので膜の組成も変化する（図５・５）．したがってターゲットの温度を上げないようにするのが望ましい３）．」
・周知文献２．伊藤隆司、石川元、中村宏昭著、「ＶＬＳＩの薄膜技術」、丸善株式会社、平成４年１０月１０日、第１３７頁第１１行ないし第１４行　には、ターゲットの温度が高くないときは、合金をスパッタすると、ほとんどターゲットと同一の化学組成のスパッタ膜が得られることが記載されている。
「合金をスパッタすると，ほとんどターゲットと同一の化学組成のスパッタ膜が得られることが経験的にしられている．ただし，ターゲットの温度が高く，合金組成が熱拡散によって変化したり，再蒸発するときは，ターゲット組成とスパッタ組成は同一ではない．」
（カ）そして、刊行物１の００２４段落ないし００２６段落には、堆積温度が２００℃、スパッタパワーが１．０ｋｗのスパッタ法により、Ｔｉ及びＡｌを含むＴｉ−Ａｌ−Ａｇ−Ｎｂ合金膜を、ターゲットと同一の組成で形成することが記載されており、刊行物１に記載されたTi-Al合金窒化物キャップ膜を形成するスパッタ法も堆積温度が２００℃、スパッタパワーが１．０ｋｗの堆積条件であるから、結局、刊行物１に記載のＴｉ−Ａｌ−Ａｇ−Ｎｂ合金膜を形成するスパッタ法及びTi-Al合金窒化物キャップ膜を形成するスパッタ法におけるターゲットの温度は同程度であり、反射防止膜であるTi-Al合金窒化物キャップ膜のＴｉ及びＡｌの組成比は、スパッタターゲットと同じ３：１（重量比）であることは明らかである。そして、Ti-Al合金窒化物キャップ膜における窒素の組成が化学量論比を超えないとすると、Ti-Al合金窒化物キャップ膜のＡｌの組成は重量比で１１．９１％（２６．９８×１００／［４７．８７×３＋２６．９８×１＋１４．００×４］）以上１５．８２％（２６．９８×１００／［４７．８７×３＋２６．９８×１］）未満である。
　よって、刊行物１に記載された反射防止膜であるTi-Al合金窒化物キャップ膜は、チタニウム、アルミニウム及び窒素から形成され、質量で１０％から９０％の範囲内の約１２％ないし約１６％のアルミニウムを含むものである。
　したがって、特定発明１と、請求項４ないし１１に記載された発明とに共通する事項である「チタニウム、アルミニウム及び窒素から形成される層を備え」、「質量で約１０％から９０％の」範囲内の約１２％ないし約１６％の「アルミニウムを含む」「反射防止コーティング」は、刊行物１に記載されており、本願の優先権主張日前に公知であったから、特許法第３７条第２号に掲げる主要部に該当しない。したがって、特定発明１と、請求項４ないし１１に記載された発明とは、特許法第３７条第２号に掲げる関係を有さない。
（キ）特定発明１は、「半導体基板（１１２）に対する反射防止コーティング（２００）」に関するものであり、「基板（１１２）は電界放射ディスプレイの一部であ」るという発明特定事項を有するものであるが、請求項１２ないし１８に記載された発明は、配線ラインを形成する方法であり「電界放射ディスプレイ」とは無関係であるから、製造方法の発明である請求項１２ないし１８に記載された発明が、物の発明である特定発明１に対し、その物を製造する方法の発明である関係を有さないことは明らかである。
　したがって、特定発明１と、請求項１２ないし１８に記載された発明とは、特許法第３７条第３号に掲げる関係を有さない。
（ク）さらに、特定発明１と、請求項４ないし１８に記載された発明とが、特許法第３７条第４号及び第５号に掲げる関係を有さないことは明らかである。
（ケ）以上述べたとおり、請求項１に記載された発明と、請求項４ないし１８に記載された発明とは、特許法第３７条１号ないし第５号に掲げるいずれの関係も有さない。
  　
（２）請求項２、３及び１９に記載された発明を特定発明とした場合
　上記（１）と同様の理由により、請求項２、３及び１９に記載された発明のいずれを特定発明とした場合にも、当該特定発明と請求項４ないし１８に記載された発明とは、特許法第３７条１号ないし第５号に掲げるいずれの関係も有さない。
  　
（３）請求項４に記載された発明を特定発明とした場合
（ア）請求項４に記載された発明を特定発明（以下、「特定発明２」という。）とした場合、上記（１）（ア）において検討したとおりの理由で、特定発明２と請求項１ないし３及び１９に記載された発明とは、産業上の利用分野が異なるから、特定発明２と請求項１ないし３及び１９に記載された発明とは特許法第３７条第１号、第２号に掲げるいずれの関係も有さない。
（イ）仮に、特定発明２と請求項１ないし３及び１９に記載された発明の産業上の利用分野が同一であるものとみなして、さらに検討を進めると、請求項１ないし３及び１９に記載された発明が解決しようとする課題は、電界放射ディスプレイの駆動トランジスタを光子から保護することであるのに対し、特定発明２が解決しようとする課題は、配線ライン製造プロセスにおける不要なフォトリソグラフ光の反射を防止することにより配線ラインの刻み目を低減することであり、請求項１ないし３及び１９に記載された発明と、特定発明２は、解決しようとする課題が異なるから、特許法第３７条第１号に掲げる関係を有さない。
（ウ）請求項１ないし３及び１９に記載された発明と、特定発明２とに共通する事項は、「チタニウム、アルミニウム及び窒素から形成される層を備え」、「質量で約１０％から９０％のアルミニウムを含む」「反射防止コーティング」である。
　しかし、請求項１ないし３及び１９に記載された発明と、特定発明２とに共通する事項は、上記（１）（ウ）ないし（カ）において検討したとおり、本願の優先権主張日前に公知であったから、特許法第３７条第２号に掲げる主要部には該当せず、請求項１ないし３及び１９に記載された発明と特定発明２とは、特許法第３７条第２号に掲げる関係を有さない。
（エ）さらに、請求項１ないし３及び１９に記載された発明と、特定発明２とが、特許法第３７条第４号及び第５号に掲げる関係を有さないことは明らかである。
（オ）したがって、特定発明２と、請求項１ないし３及び１９に記載された発明とは、特許法第３７条１号ないし第５号に掲げるいずれの関係も有さない。
  　
（４）請求項５ないし９に記載された発明を特定発明とした場合
　上記（３）と同様の理由により、請求項５ないし９に記載された発明のいずれを特定発明とした場合にも、当該特定発明と請求項１ないし３及び１９に記載された発明とは、特許法第３７条１号ないし第５号に掲げるいずれの関係も有さない。
   　
（５）請求項１０に記載された発明を特定発明とした場合
（ア）請求項１０に記載された発明を特定発明（以下、「特定発明３」という。）とした場合、上記（１）（ア）において検討したとおりの理由で、特定発明３と請求項１ないし３及び１９に記載された発明とは、産業上の利用分野が異なるから、特定発明３と請求項１ないし３及び１９に記載された発明とは特許法第３７条第１号、第２号に掲げるいずれの関係も有さない。
（イ）仮に、特定発明３と請求項１ないし３及び１９に記載された発明の産業上の利用分野が同一であるものとみなして、さらに検討を進めると、請求項１０に記載された発明を特定発明（以下、「特定発明３」という。）とした場合、請求項１ないし３及び１９に記載された発明が解決しようとする課題は、電界放射ディスプレイの駆動トランジスタを光子から保護することであるのに対し、特定発明３が解決しようとする課題は、配線ライン製造プロセスにおける不要なフォトリソグラフ光の反射を防止することにより配線ラインの刻み目を低減することであり、請求項１ないし３及び１９に記載された発明と、特定発明３は、解決しようとする課題が異なるから、特許法第３７条第１号に掲げる関係を有さない。
（ウ）請求項１ないし３及び１９に記載された発明と、特定発明３とに共通する事項は、「チタニウム、アルミニウム及び窒素から形成される層を備え」、「質量で約１０％から９０％のアルミニウムを含む」「反射防止コーティング」である。
　しかし、請求項１ないし３及び１９に記載された発明と、特定発明３とに共通する事項は、上記（１）（ウ）ないし（カ）において検討したとおり、本願の優先権主張日前に公知であったから、特許法第３７条第２号に掲げる主要部には該当せず、請求項１ないし３及び１９に記載された発明と、特定発明３とは、特許法第３７条第２号に掲げる関係を有さない。
（エ）さらに、請求項１ないし３及び１９に記載された発明と、特定発明３とが、特許法第３７条第４号及び第５号に掲げる関係を有さないことは明らかである。
（オ）したがって、請求項１ないし３及び１９に記載された発明と、特定発明３とは、特許法第３７条１号ないし第５号に掲げるいずれの関係も有さない。
  　
（６）請求項１１に記載された発明を特定発明とした場合
　上記（５）と同様の理由により、請求項１１に記載された発明を特定発明とした場合、当該特定発明と請求項１ないし３及び１９に記載された発明とは、特許法第３７条１号ないし第５号に掲げるいずれの関係も有さない。
  　
（７）請求項１２ないし１８に記載された発明を特定発明とした場合
　請求項１２ないし１８に記載された発明のいずれを特定発明とした場合にも、当該特定発明と、請求項１ないし３及び１９に記載された発明とが、特許法第３７条第１号ないし第５号に掲げるいずれの関係も有さないことは明らかである。
　
　上記（１）ないし（７）において検討したとおりであるから、本願は特許法第３７条に規定する要件を満たしていない。
  　
３−３．小むすび
　よって、本願は、特許法第３６条第６項第２号及び同法第３７条各号に規定する要件を満たさないものである。
  　
４．むすび
　以上のとおりであるから、本願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。