【事件の表示】
　平成１１年特許願第２４２９６８号「フローセンサの製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　３月１６日出願公開、特開２００１−　６６２７２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１１年８月３０日の出願であって、平成１６年５月１４日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年６月２２日に拒絶査定不服の審判請求が行われるとともに、同年７月２２日付けで手続補正が行われたものである。
　
２．平成１６年７月２２日付け手続補正について　
　平成１６年７月２２日付けの手続補正は、特許請求の範囲について、補正前の請求項１（平成１５年１２月８日付け手続補正書に記載のもの。なお、平成１６年４月２日付け手続補正書は、平成１６年５月１４日付けで補正却下されている。）である
「【請求項１】感光性ガラス板に紫外線を選択的に照射してエッチングパターンを設ける工程と、次に上記の感光性ガラス板上に、上記のエッチングパターン上に位置する細幅パターンを含む抵抗金属箔を形成する工程と、次に感光性ガラス板をエッチングして上記選択的に紫外線照射された部分を開孔し上記の抵抗金属箔の細幅パターン部分がこの孔に露出するようにする工程とからなるフローセンサの製造方法。」を、
「【請求項１】感光性ガラス板に紫外線を選択的に照射してエッチングパターンを設ける工程と、次に
前記
前記
前記
前記
前記の
それ自体
直接
　
　この補正の内の、「抵抗金属箔の細幅パターン部分がこの孔に露出するようにする」を「抵抗金属箔
それ自体
直接
　また、「上記の」を「前記」に変更した点は、単に同じ意味の別の用語に変えたのであって、この用語の変更によって発明の構成が変更されるものではない。
　したがって、平成１６年７月２２日付けの手続補正は、「明りょうでない記載の釈明」を目的とするものに該当する、と認められる。
　
３．本願発明　
　本願の請求項１に係る発明は、平成１６年７月２２日付けの手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるものであって、その請求項１は次のとおりである。（以下、「本願発明」という。）
「【請求項１】感光性ガラス板に紫外線を選択的に照射してエッチングパターンを設ける工程と、次に前記感光性ガラス板上に、前記エッチングパターン上に位置する細幅パターンを含む抵抗金属箔を形成する工程と、次に前記感光性ガラス板をエッチングして前記選択的に紫外線照射された部分を開孔し前記の抵抗金属箔それ自体の細幅パターン部分がこの孔に直接露出するようにする工程とからなるフローセンサの製造方法。」
　 
４．引用刊行物
（１）刊行物１（特開平７−２０１５１１号公報）
　原査定の拒絶の理由に引用された上記刊行物１には、次の事項が記載されている。
（１ａ）マイクロブリッジを形成した薄膜素子（特許請求の範囲）
「【請求項１】  基板上に誘電体膜および該誘電体膜上に形成された機能性薄膜素子を有し、かつ基板が部分的に除去され、前記誘電体膜および該誘電体膜上に形成された機能性薄膜が１個または複数個のマイクロブリッジを形成した薄膜素子において、基板がＳｉＯ２を主成分とした感光性ガラスであることを特徴とする薄膜素子。」
　
（１ｂ）感光性ガラス基板を用いたマイクロ加工（段落【０００５】）
「【構成】本発明の第１は、基板上に誘電体膜および該誘電体膜上に形成された機能性薄膜素子を有し、かつ基板が部分的に除去され、前記誘電体膜および該誘電体膜上に形成された機能性薄膜素子が１個または複数個のマイクロブリッジを形成した薄膜素子において、基板がＳｉＯ２を主成分とした感光性ガラスであることを特徴とする薄膜素子にある。本発明で使用する感光性ガラスとは、紫外線等のエネルギー光の照射により金属コロイド前駆体が析出し（露光）、熱処理により金属コロイドが結晶核となり露光部のみ結晶化が生じる（現像）。このように露光部のみを結晶化したガラスはエッチング剤、例えばふっ酸水溶液による溶解が結晶部、非結晶部で速度が異なり、結果として異方性エッチングが可能となる特徴を有するものである。この手法によるマイクロ加工は、半導体製造工程と整合性が良く、またブリッジ設計に対して何等制約されることなく実行できる。」
　
（１ｃ）図４の実施例（段落【０００７】）
「【実施例】図４に基づき実施例を説明する。感光性ガラス３〔ＨＯＹＡ感光性ガラスＰＥＧ３（商品名）〕を使用した。両面を研磨した感光性ガラス３にマイクロパターンを転写する（これはフォトマスク２を介して紫外線Ｃを照射することにより、ガラス内に潜像４を作る）（ａ）。適切な熱処理により感光した部分（潜像４）を結晶化させる。このことによりふっ酸水溶液に対する溶解速度を速くさせる。熱現像の温度は６００℃とした。次に熱履歴による変形を取り除くため精密研磨を行い、薄膜作製用基板３として十分平滑さを確保した後（ｂ）、ブリッジ形成用の誘電体薄膜５を堆積させる（ｃ）。誘電体薄膜５はＳｉ半導体装置などのプロセスで馴染のある窒化シリコン膜をＣＶＤ法で堆積させるほか、五酸化タンタル膜を反応性スパッタリング法にて堆積させても良い。ブリッジとして自立体を得るために、この誘電体薄膜の膜厚は、１．５μｍ以上とした。五酸化タンタルの反応性スパッタ製膜に於いてはスパッタ条件により膜の内部応力が比較的小さい値になること、さらに堆積後の５００°Ｃ熱処理により応力がほとんど残留しないことを確認している。従って、本実施例ではこの五酸化タンタル膜を堆積し、熱処理を施した。次にＰｔ薄膜抵抗体６を形成し、熱式気体質量流量計を作製するならば、このＰｔ薄膜抵抗体を薄膜ヒータと測温抵抗体としてパターニングし、また金属酸化物半導体、該金属酸化物半導体上に白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）等の貴金属を触媒として用いたガスセンサではさらに薄膜機能素子をこのブリッジ上に作製する（ｄ）。基本的にはこの様に少なくともブリッジ上に薄膜機能素子を作り込む事を意味しており、このことで各種マイクロセンサが作製できる。次にパッシベーション膜７を堆積後、パット、エッチングホールを開口させ（ｅ）、８ｗｔ％ふっ酸水溶液、室温にてエッチングを行うことでブリッジを形成した。この工程から示されるようにＳｉ基板ではその結晶方位、ブリッジ面積などに制約があったが、本実施例ではその様なことは生じない。」
　そして、図４に上記に対応する薄膜素子の構成およびその製造工程を説明した図が図示されている。
　
（２）刊行物２（特開平９−２２９８５３号公報）
　同じく原査定の拒絶の理由に引用された上記刊行物２には、次の記載がある。
（２ａ）「【０００５】図７に図示される検出器５において、第１受光室５１と第２受光室５２を連通する連通口５３では、測定セル２１中で被分析成分ガス濃度に応じた赤外線吸収を受けた測定光線１Ａと基準光線１Ｂとの間の光量差に基づき、両受光室内に圧力変動が生じ、試料ガス中の被分析ガスの含有量に比例した流れが生ずる。この流れを対をなす感熱抵抗素子８で検出する。即ち、測定光線１Ａと基準光線１Ｂの光量差は、試料ガス中の被分析ガスの濃度に対応する。」と、該感熱抵抗素子が、試料ガス中の被分析ガスの含有量に比例した流れを検出するセンサ、すなわちフローセンサであることが記載され、
（２ｂ）「【０００６】図８に感熱抵抗素子８の要部構成図を示す。図８の（Ａ）は、感熱抵抗素子８の正面図を図示し、図８の（Ｂ）は、スペーサ８３を介して対をなす感熱抵抗素子８を対向配置し、検出器５としてのセンシング部分を構成する。図８の（Ａ）において、感熱抵抗素子８は、中央部分に開口部８２を備える熱絶縁体８１と、抵抗値の温度変化が大きな導電性金属または導電性セラミックのいずれかよりなり，開口部８２上に細長い帯状素子が複数個横方向に配置される熱線素子８４と，熱絶縁体８１上に設けられ上記熱線素子８４の保持・固定と隣合う熱線素子８４間を電気的に接続する接続部分８５と，端子部８９と，から構成される。
【０００７】図示例では、熱絶縁体８１は、ガラスまたはセラミックなどの絶縁基板からなる材料であり、この絶縁基板の中央部分に図示例では点線で図示された正方形の開口部８２が設けられている。この熱絶縁体８１および開口部８２を横切って金属帯が設けられ、この金属帯から熱線素子８４が、例えば、エッチング加工されて形成される。個々の熱線素子８４間の空間にはガスが流れる。この熱線素子８４が感熱抵抗素子８の導体部分を形成する。熱線素子８４は２個ずつ開口部８２の端面８６，８７のいずれか一方の接続部分８５で互いに接続されるので、熱線素子８４全体が蛇行状に接続される。そして蛇行の端の折り返し点は幅の広い金属線が延長されて電流の出入口である端子部８９を構成し、ここにリード線８８が接続される。
【０００８】検出器５は、連通口５３における微弱なガス流を安定に、効率的に検出するために、上述の感熱抵抗素子８を互いに隣接して予め定められた間隔で対向配置される。図８の（Ｂ）にこの様な構成のセンシング部分を示す。図８の（Ｂ）において、両方向の矢印で示されている部分が検出器５の連通口５３の内部に配置される対をなす感熱抵抗素子８の熱線素子８４の間を通過するガス通路である。このガス通路内に太い点線で図示される対をなす感熱抵抗素子８の熱線素子８４が対向配置される。図示例では、感熱抵抗素子８の熱線素子８４を互いに内側に向けて対向配置し、予め定められた厚みを有する熱絶縁材料、例えば、ガラス板８３をスペーサとして介在して固着する。このガラス板８３はその中央部に開口部８２を有し、感熱抵抗素子８の開口部８２とガラス板８３の開口部８２は互いに重なり合い共通の開口部８２を形成する。この共通開口部８２には、対をなす熱線素子８４がガラス板８３の厚さの間隔をおいて互いに平行かつガス流方向に垂直に設けられる。」と、感熱抵抗素子の構造について記載されている。
　そして、上記記載に対応した感熱抵抗素子が図示されている図８の記載を勘案すれば、刊行物２には、ガラス板上に細幅パターンを含む抵抗金属箔と、該抵抗金属箔それ自体の細幅パターンがガラス板に設けられた開孔に直接露出するフローセンサが記載されている。
　
５．刊行物１記載の発明　
　刊行物１には、上記記載（１ｃ）に「次にＰｔ薄膜抵抗体６を形成し、熱式気体質量流量計を作製するならば、このＰｔ薄膜抵抗体を薄膜ヒータと測温抵抗体としてパターニングし、」との記載があるから、刊行物１には、「感光性ガラス３に紫外線を選択的に照射して潜像４を作り結晶化させる工程と、次に前記感光性ガラス３上に、ブリッジ形成用の誘電体薄膜５を堆積し、該誘電体薄膜５上にパターニングされたＰｔ薄膜抵抗体６を、その上にパッシベーション膜７が堆積された状態で形成する工程と、次に前記感光性ガラス３をエッチングして前記選択的に紫外線照射された部分を開孔し、前記のパターニングされたＰｔ薄膜抵抗体６がこの孔に前記誘電体薄膜５及びパッシベーション膜７を介して間接的に露出するようにする工程とからなる熱式気体質量流量計の製造方法。」（刊行物１記載の発明）が記載されていると認められる。　
　
６．本願発明と刊行物１記載の発明との対比
　本願発明と刊行物１に記載された発明とを対比する。
　刊行物１の「熱式気体質量流量計」は、「流量計」、すなわちフロー（流れ）をセンシングするセンサの一種であるから、本願発明の「フローセンサ」に相当するものである。　
　また、刊行物１記載の発明の「感光性ガラス３に紫外線を選択的に照射して潜像４を作り結晶化させる工程」は、本願発明の「感光性ガラス板に紫外線を選択的に照射してエッチングパターンを設ける工程」に相当することが明らかである。　
　また、刊行物１記載の発明の「パターニングされたＰｔ薄膜抵抗体６」は本願発明の「細幅パターンを含む抵抗金属箔」に相当するから、刊行物１記載の発明の「前記感光性ガラス３上に、ブリッジ形成用の誘電体薄膜５を堆積し、該誘電体薄膜５上にパターニングされたＰｔ薄膜抵抗体６を、その上にパッシベーション膜７が堆積された状態で形成する工程」は、本願発明の「前記感光性ガラス板上に、前記エッチングパターン上に位置する細幅パターンを含む抵抗金属箔を形成する工程」と、「前記感光性ガラス板上に、前記エッチングパターン上に位置する細幅パターンを含む抵抗金属箔を含む部分を形成する工程」という点で共通するものである。　
　さらに、刊行物１記載の発明の「前記感光性ガラス３をエッチングして前記選択的に紫外線照射された部分を開孔し、前記のパターニングされたＰｔ薄膜抵抗体６がこの孔に前記誘電体薄膜５及びパッシベーション膜７を介して間接的に露出するようにする工程」は、本願発明の「前記感光性ガラス板をエッチングして前記選択的に紫外線照射された部分を開孔し前記の抵抗金属箔それ自体の細幅パターン部分がこの孔に直接露出するようにする工程」と、「前記感光性ガラス板をエッチングして前記選択的に紫外線照射された部分を開孔し前記の抵抗金属箔を含む部分の細幅パターン部分がこの孔に露出するようにする工程」という点で共通するものである。　
　したがって、両者は、
（一致点）
「感光性ガラス板に紫外線を選択的に照射してエッチングパターンを設ける工程と、次に前記感光性ガラス板上に、前記エッチングパターン上に位置する細幅パターンを含む抵抗金属箔を含む部分を形成する工程と、次に前記感光性ガラス板をエッチングして前記選択的に紫外線照射された部分を開孔し前記の抵抗金属箔を含む部分の細幅パターン部分がこの孔に露出するようにする工程とからなるフローセンサの製造方法。」である点で一致するが、次の点で相違する。
（相違点）
　エッチングパターン上に位置する細幅パターンを含む抵抗金属箔を含む部分が、本願発明では「抵抗金属箔」それ自体であって、感光性ガラス板の選択的に紫外線照射された部分をエッチングして形成された孔に露出される部分の露出が、「前記の抵抗金属箔それ自体の細幅パターン部分がこの孔に直接露出するようにする」ものであるのに対し、刊行物１記載の発明では、抵抗金属箔が誘電体薄膜上に存在しかつその上にパッシベーション膜を含む３層状態の部分であって、感光性ガラス板の選択的に紫外線照射された部分をエッチングして形成された孔に露出される部分の露出が、該誘電体膜及びパッシベーション膜を介して間接的に露出されるものである点。
　
７．相違点についての検討
　フローセンサとして、ガラス板に設けられた開孔に、ガラス板上に形成された抵抗金属箔それ自体の細幅パターンが直接露出するようなフローセンサも、刊行物２にみられるように、本願出願前から周知である。
　そして、刊行物１記載の発明においては、上記記載（１ｂ）（１ｃ）にあるように、感光性ガラスに紫外線照射後、熱処理された結晶化部分をエッチングしているのであるから、感光性ガラスのエッチング時間が短くなることは明らかであり、仮に、抵抗金属膜であるＰｔ薄膜抵抗体６をエッチング液に露出させたとしても、エッチング液による抵抗金属膜へのエッチングの影響が少ないことは明らかであり、ましてや、薄膜抵抗体６の材料はＰｔ（白金）であるから、Ｐｔ薄膜抵抗体６がエッチングされにくいことは当業者に明らかである。　
　してみると、刊行物１記載の発明において、フローセンサを構成する抵抗金属箔それ自体の細幅パターン部分を直接露出させるという上記周知技術を用いて、ブリッジ形成用の誘電体薄膜５やパッシベーション膜７を設けることなく、抵抗金属箔それ自体の細幅パターン部分がエッチングして形成された孔に直接露出するように構成することは当業者ならば容易に想到し得たものと認められる。　
　
８．むすび
　したがって、本願発明は、上記刊行物１に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。