【事件の表示】
　特願２００１−１７１２７８「流体制御弁」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年１２月１８日出願公開、特開２００２−３６４７７０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１３年６月６日の出願であって、平成１８年５月２９日に明細書についての補正がされたものの、同年８月８日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年９月１４日に拒絶査定不服審判の請求がされるとともに、同年１０月１６日に明細書についての補正がされたものである。
　
２．平成１８年１０月１６日付けの手続補正書による補正（以下「本件補正」という。）についての補正却下の決定
　
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
［理由］
（１）本件補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲における請求項１及び２のうちの請求項１は、
「流体の入出力ポートを備えた弁ボディ及び該弁ボディ内の弁座を開閉する弁体とを有する弁機構部と、上記弁体を開閉操作するためのシリンダー操作部と、該シリンダー操作部を制御する制御部とを含み、
　上記シリンダー操作部は、複数のピストン室を有するシリンダーチューブと、上記弁体を開閉動作させる弁棒と、該弁棒を閉弁方向に付勢する弁ばねと、上記各ピストン室内に配設されて該弁ばねの付勢力に抗して上記弁棒を駆動する複数のピストンと、各ピストンの受圧面側にそれぞれ形成された圧力室と、各圧力室毎に調圧された圧力流体を供給・排出するための
各
　上記制御部は、各操作ポートに配管を介して
それぞれ
る電
ことを特徴とする流体制御弁。」
と補正された。
　
　上記補正は、実質的に、請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「電空レギュレータ」が、各操作ポートに配管を介して「それぞれ」接続されるものであることを特定するとともに、「少なくとも１つの」ものであるとの特定を削除することで、「電空レギュレータ」が単数のものではないと限定した補正といえるから、平成１８年改正前特許法１７条の２第４項２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年改正前特許法１７条の２第５項において準用する特許法１２６条５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（２）引用発明
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平６−２９４４７２号公報（以下「引用例」という。）には、図面と共に、以下の事項が記載されている。
　
・「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置に於ける真空チャンバー内の圧力を大気圧に戻す場合や真空チャンバー内のガスをパージする場合に真空チャンバー内にガスを導入するのに適するスローベントバルブに関する。」
　
・「【００１０】
【実施例】本発明のスローベントバルブの一実施例を図１によって説明すると、１０は弁箱で、流体入口通路１１、流体出口通路１２を有していて、流体入口通路１１の出口周縁に弁座シート１３が設けられている。１４は弁開閉操作部で、この弁開閉操作部１４と前記弁箱１０の内部とはメタルダイヤフラム１５により隔離されている。」
　
・「【００１１】弁開閉操作部１４は、筒状のボンネット１９内の下部に上下に摺動可能に嵌入されてメタルダイヤフラム１５を押すダイヤフラムピース２０と、その上側の弁棒２１と、該弁棒２１を作動するアクチュエータ２２とよりなるものである。
【００１２】アクチュエータ２２は弁全開用シリンダー２３とスローリーク用シリンダー２４とよりなる。弁全開用シリンダー２３は弁棒２１の中間外周に一体に設けられたピストン２５と、このピストン２５をメタルダイヤフラム１５側に付勢するスプリング２６とを内蔵している。スローリーク用シリンダー２４は弁全開用シリンダー２３に連設されていて、弁棒２１の上端部外周に摺動可能に設けられ弁棒２１の上端に固定された止めリング２７にて抜け止めされたリーク用ピストン２８と、このリーク用ピストン２８上に設けられたキャップ状のカム受けベース２９と、このカム受けベース２９上で上下に揺動可能に配されたカム３０と、このカム３０の先端に係合して前記リーク用ピストン２８をメタルダイヤフラム１５側に付勢するスプリング３１と、前記カム３０の揺動支点ボール３２とを内蔵し、且つ揺動支点ボール３２を進退するアジャスター３３と、カム３０の先端上面を押える調整摘み３４を備えてなるものである。尚、３５，３６は弁全開用シリンダー２３，スローリーク用シリンダー２４へのエアー供給口で、エアーホース（図示省略）が接続される。」
　
・「【００１３】このように構成された実施例のスローベントバルブ４０は、通常スプリング２６により弁棒２１と一体のピストン２５がメタルダイヤフラム１５側に付勢され、ダイヤフラムピース２０を介してメタルダイヤフラム１５が弁座シート１３に密着して閉塞されて、ノーマルクローズとなっている。またスプリング３１によりリーク用ピストン２８がメタルダイヤフラム１５側に付勢されている。
【００１４】この実施例のスローベントバルブ４０を、例えば半導体製造装置に於ける図２に示される真空チャンバー１内にＮ２ガスを導入する配管２の途中に設けて、真空チャンバー１の圧力を大気圧に戻すのに使用した場合について説明する。先ず、スローリーク用シリンダー２４内にエアー供給口３６よりエアーを送り込んで、リーク用ピストン２８をスプリング３１に抗して僅かに押し上げ、止めリング２７を介して弁棒２１をごく僅かに本例の場合０．５ｍｍ押し上げてメタルダイヤフラム１５に対する押圧力を解放し、メタルダイヤフラム１５を自身の弾性力によりごく僅かに、本例の場合０．１ｍｍ上昇させて弁開し、Ｎ２ガスを真空チャンバー１内にスローリークさせる。真空チャンバー１（図２参照）内が２００〜４００Ｔｏｒｒまで圧力上昇したならば、弁全開用シリンダー２３内にエアー供給口３５よりエアーを送り込んでピストン２５をスプリング２６に抗して押し上げ、ピストン２５と一体の弁棒２１をカム受けベース２９に当接するまで上昇して弁を全開し、Ｎ２ガスを真空チャンバー１内に導入する。かくして真空チャンバー１内の圧力は大気圧となる。」
　
・「【００１７】前記のように全開した弁を閉じるには、スローリーク用シリンダー２４内及び弁全開用シリンダー２３内よりエアーを抜くことにより、リーク用ピストン２８がスプリング３１により押し下げられ、弁全開用シリンダー２３のピストン２５がスプリング２６により押し下げられ、ピストン２５と一体の弁棒２１が押し下げられ、ダイヤフラムピース２０を介してメタルダイヤフラム１５が押圧されて弁座シート１３に密着し、閉弁される。」
　
・図１には、弁全開用シリンダー２３とスローリーク用シリンダー２４との間にシリンダー部材があり、弁全開用シリンダー２３とシリンダー部材、及び、シリンダー部材とスローリーク用シリンダー２４がそれぞれピストン室を有し、弁全開用シリンダー２３側のピストン室内にはピストン２５が配設され、スローリーク用シリンダー２４側のピストン室内にはリーク用ピストン２８が配設され、各ピストンの受圧面側にそれぞれ圧力室（各ピストンの図面下方側にある空間を参照。）が形成されていることが示されている。
　また、図１には、リーク用ピストン２８を押し上げることにより弁棒２１を押し上げると、弁棒２１と一体のピストン２５を付勢するスプリング２６にも抗することになることが示されている。
　
　これらの記載事項及び図示内容によれば、引用例には、
「流体の流体入口通路及び流体出口通路を備えた弁箱及び該弁箱内の弁座シートを開閉するメタルダイヤフラムとを有する部分と、上記メタルダイヤフラムを開閉操作するための弁開閉操作部とを含み、
　上記弁開閉操作部は、複数のピストン室を有する弁全開用シリンダー及びシリンダー部材並びにスローリーク用シリンダーと、上記メタルダイヤフラムを開閉動作させる弁棒と、該弁棒に一体に設けられたピストンをメタルダイヤフラム側に付勢するスプリングと、上記各ピストン室内に配設されて該スプリングの付勢力に抗して上記弁棒を駆動するピストン及びリーク用ピストンと、各ピストンの受圧面側にそれぞれ形成された圧力室と、各圧力室毎にエアーを供給・排出するための各１つのエアー供給口とを有した、
スローベントバルブ。」
という発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認定することができる。
　
（３）対比
　そこで、本願補正発明と引用発明とを対比すると、引用発明の「流体入口通路及び流体出口通路」が本願補正発明の「入出力ポート」に相当し、以下同様に、「弁箱」が「弁ボディ」に、「弁座シート」が「弁座」に、「メタルダイヤフラム」が「弁体」にそれぞれ相当するから、引用発明の「流体の流体入口通路及び流体出口通路を備えた弁箱及び該弁箱内の弁座シートを開閉するメタルダイヤフラムとを有する部分」は本願補正発明の「流体の入出力ポートを備えた弁ボディ及び該弁ボディ内の弁座を開閉する弁体とを有する弁機構部」に相当する。
　また、引用発明の「弁開閉操作部」は本願補正発明の「シリンダー操作部」に相当する。
　次に、引用発明の「弁全開用シリンダー及びシリンダー部材並びにスローリーク用シリンダー」と、本願補正発明の「シリンダーチューブ」とは、両者がいずれもピストン室等を内包するハウジングを構成しているといえるので、「ハウジング」という概念で共通する。
　そして、引用発明の「弁棒に一体に設けられたピストンをメタルダイヤフラム側に付勢するスプリング」は、上記「２．（２）」で摘記した引用例【００１３】に開示されるように引用発明がノーマルクローズ型として実施されることに照らせば、本願補正発明の「弁棒を閉弁方向に付勢する弁ばね」に相当する。
　続いて、引用発明の「ピストン及びリーク用ピストン」は本願補正発明の「複数のピストン」に相当する。
　また、引用発明の「各圧力室毎にエアーを供給・排出するための各１つのエアー供給口」と、本願補正発明の「各圧力室毎に調圧された圧力流体を供給・排出するための各１つの操作ポート」とは、「各圧力室毎に圧力流体を供給・排出するための各１つの操作ポート」という概念で共通する。
　さらに、引用発明の「スローベントバルブ」は、流体制御機能を有する弁であることが明らかであるから、本願補正発明の「流体制御弁」に相当する。
　
　よって、両者は、
「流体の入出力ポートを備えた弁ボディ及び該弁ボディ内の弁座を開閉する弁体とを有する弁機構部と、上記弁体を開閉操作するためのシリンダー操作部とを含み、
　上記シリンダー操作部は、複数のピストン室を有するハウジングと、上記弁体を開閉動作させる弁棒と、該弁棒を閉弁方向に付勢する弁ばねと、上記各ピストン室内に配設されて該弁ばねの付勢力に抗して上記弁棒を駆動する複数のピストンと、各ピストンの受圧面側にそれぞれ形成された圧力室と、各圧力室毎に圧力流体を供給・排出するための各１つの操作ポートとを有した、
流体制御弁。」
の点で一致し、以下の点で相違している。
　
・相違点１
　本願補正発明は「シリンダー操作部を制御する制御部」を含むものであり、該制御部が「各操作ポートに配管を介してそれぞれ接続され圧力流体の圧力を制御する電空レギュレータと、該電空レギュレータへ制御信号を出力する制御装置とを有し、該制御装置に、出力ポートに接続した配管に設けられた流量センサーまたは圧力センサーからの信号を処理して所定の制御信号を出力し、上記出力ポートから流出する流体の流量または圧力を制御する機能をもたせた」ものであると特定しているのに対し、引用発明では制御部について特定されていない点。
　
・相違点２
　複数のピストン室を有するハウジングが、本願補正発明では「シリンダーチューブ」として構成されるのに対し、引用発明では「弁全開用シリンダー及びシリンダー部材並びにスローリーク用シリンダー」として構成される点。
　
・相違点３
　圧力流体に関し、本願補正発明では「調圧された」圧力流体であると特定されるのに対し、引用発明ではかかる特定がなされていない点。
　
（４）判断
・相違点１及び３について
　引用発明において、シリンダー操作部（弁開閉操作部）を制御すべく、操作ポート（エアー供給口）に圧力流体（エアー）を供給するためには、圧力流体を制御する何らかの制御部が必要になることは明らかである。
　また、一般に、空気圧で開閉駆動する流体制御弁において、弁体の開度を調節するための該空気圧の圧力制御に際し、電空レギュレータ及びその制御装置を用いること、並びに、流体制御弁の出力ポートの流量又は圧力の検出信号に基づいて電空レギュレータに制御信号を出力して流体制御を行うことは、いずれも周知の技術である（例えば、原査定の拒絶の理由に引用された特開平１１−１６１３４２号公報【００２３】の「電子レギュレータ３は、流量センサ４からの出力信号と、ユーザが任意に設定する設定信号、即ちユーザコマンド信号とに基づいてパイロットレギュレータ２の加圧室１９に供給される操作圧Ｐａを比例的に調整するために作動するものである。」という記載、特開平１０−１５４６８５号公報【００１５】の「また、上記電空レギュレータ２８は、圧力フィードバックコントローラ７から印加される電圧に対応させてそこを通過する圧縮空気の圧力を制御するものである。」という記載、及び、特開平１０−３３７４６４号公報【００２４】の「流量コントローラ４には、流量計６により検出されるガス流量の値が入力される。このコントローラ４には、作業者により任意に設定される流量設定値が入力される。コントローラ４は、気化装置３から排出されるＴＥＯＳのガス流量が所定の設定流量となるように、電空レギュレータ１３を制御し、これによってバルブ１１の開度を調節する。」という記載等を参照）。
　ここで、引用発明の流体制御弁はスローベントバルブであり、引用例には弁体を２段階に開く態様が開示されているが、一般には、スローベントバルブであるからといって弁体を２段階に開く上記態様のものに限定されることはなく、弁体を多段階又は連続的に開くよう制御することも周知の技術である（例えば、特開平６−１２９５６４号公報【０００１】の記載及び【００２２】の「本発明のバルブアクチェータを用いれば、弁装置の弁開度を微小開度から大開度にわたって極めて正確に設定することができる。」という記載、特開平４−１０４１３号公報３ページ左下欄４〜１０行の「即ち、・・・ベンドガス流量は最初零からスタート（Ｓｔａｒｔ）して徐々に増加させてから流量を急激に増した多段階方式によるスローベンド方式を採った。この流量の増大も一気でなく段階を経て徐々に上げることも可能である。」という記載、及び、特開平５−２７５３５７号公報の請求項１の記載内容等を参照）。
　これら周知の技術を参照すると、引用発明の流体制御弁（スローベントバルブ）にシリンダー操作部を制御する制御部を含むよう構成し、その際の制御部を、電空レギュレータ及びその制御装置並びにその他配管等で構成され、引用発明の流体制御弁に調圧された圧力流体を供給・排出することができる制御部として具体化することにより、相違点１及び３に係る本願補正発明の構成とすることは、当業者が容易に想到できたことである。
　
・相違点２について
　ハウジングを一体のものとするか別体からなるものとするかは、当業者にとって適宜設定する事項に過ぎない。
　そうすると、引用発明においても、弁全開用シリンダー及びシリンダー部材並びにスローリーク用シリンダーを一体のものとし、相違点２に係る本願補正発明の構成とすることは当業者が容易になし得たものである。
　
　そして、本願補正発明の全体構成から奏される効果も、引用発明及び周知の技術から当業者が予測できる範囲のものである。
　
　したがって、本願補正発明については、引用発明及び周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　
（５）むすび
　以上のとおりであるから、本件補正は、平成１８年改正前特許法１７条の２第５項で準用する特許法１２６条５項の規定に違反するものであり、平成１８年改正前特許法１５９条１項で読み替えて準用する同法５３条１項の規定により却下を免れない。　
　
３．本願発明について
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成１８年５月２９日付け手続補正書における特許請求の範囲の請求項１ないし４のうちの請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
　
「流体の入出力ポートを備えた弁ボディ及び該弁ボディ内の弁座を開閉する弁体とを有する弁機構部と、上記弁体を開閉操作するためのシリンダー操作部と、該シリンダー操作部を制御する制御部とを含み、
　上記シリンダー操作部は、複数のピストン室を有するシリンダーチューブと、上記弁体を開閉動作させる弁棒と、該弁棒を閉弁方向に付勢する弁ばねと、上記各ピストン室内に配設されて該弁ばねの付勢力に抗して上記弁棒を駆動する複数のピストンと、各ピストンの受圧面側にそれぞれ形成された圧力室と、各圧力室毎に調圧された圧力流体を供給・排出するための１つの操作ポートとを有し、
　上記制御部は、各操作ポートに配管を介して接続され上記圧力流体の圧力を制御する少なくとも１つの電空レギュレータと、該電空レギュレータへ制御信号を出力する制御装置とを有し、該制御装置に、上記出力ポートに接続した配管に設けられた流量センサーまたは圧力センサーからの信号を処理して所定の制御信号を出力し、上記出力ポートから流出する流体の流量または圧力を制御する機能をもたせた、
ことを特徴とする流体制御弁。」　
　
（１）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例及びその記載事項は、前記「２．（２）」に記載したとおりである。
　
（２）対比・判断
　本願発明は、前記「２．」で検討した本願補正発明から、実質的に、請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「電空レギュレータ」が各操作ポートに配管を介して「それぞれ」接続されるものであるとの特定を省くとともに、「電空レギュレータ」が単数のものではないという限定を省いたものといえる。
　そうすると、本願発明の構成要件をすべて含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（４）」に記載したとおり、引用発明及び周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、引用発明及び周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。　
　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、本願発明については、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願は、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、特許法４９条２号の規定に該当し拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。