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　平成　９年特許願第２０８５８５号「スピンコート装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　２月　９日出願公開、特開平１１−　３３４６９〕について、次のとおり審決する。
【　結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯及び本願発明
　本件出願は、平成９年７月１７日に出願されたものであって、平成１７年８月２３日付けの拒絶理由通知に対して、平成１７年１０月２５日付けで意見書とともに手続補正書が提出されたが、平成１８年１月２７日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成１８年３月２日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに平成１８年４月３日付けで手続補正書が提出されたものである。
　
　なお、平成１８年４月３日付け手続補正書によりなされた特許請求の範囲についての補正は、当該補正前に請求項５に規定されていた発明を当該補正後の請求項１に係る発明としたものであり、特許法第１７条の２第１項第１号に規定する請求項の削除を目的とするものと解される。
　
　以上の経緯から、本願請求項１〜５に係る発明は、平成１７年１０月２５日付け及び平成１８年４月３日付けの各手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１〜５に記載された事項により特定されるものと認められ、そのうち、請求項１に係る発明（以下、単に「本願発明」という。）は、次のとおりである。
　
「【請求項１】　記録層形成用の色素含有塗布液を円盤状透明樹脂基板の表面に付与するためのノズルを有する塗布液付与装置、該塗布液付与装置の下方に配置されている、上記基板を水平に保持するための、駆動モータにより軸回転が可能とされているスピナーヘッド装置、そして該スピナーヘッドにより水平に保持された状態で回転している基板上に該塗布液付与装置から付与されたのち、基板表面上を外周側に流延し、次いで基板の外周縁部から外側に放出される塗布液の周辺への飛散を防止するための飛散防止壁からなる光ディスク製造用スピンコート装置であって、該飛散防止壁が、スピナーヘッド上に水平に支持される基板の外周縁部から該防止壁のスピナーヘッド側表面までの水平方向の距離が８〜２５ｃｍの範囲にあり、かつスピナーヘッド上に水平に支持される基板の上側表面を延長した平面と該防止壁のスピナーヘッド側表面とが形成する角度が５〜１５度の範囲となるように配置されていることを特徴とするスピンコート装置。」
　
２．引用文献
（１）原査定の拒絶理由に引用された実願昭４７−１２９６３４号（実開昭４９−１１１４８１号）のマイクロフィルム（以下、単に「引用文献１」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
（ア）「かかる回転塗布装置におけるひとつの問題は、回転によって飛散される被膜形成用材の残余物が霧粒子状となって回転台周辺の飛散防止壁ではね返り、これが被膜面に微小なおうとつをもたらすことであり、これがために、均一な被膜を得るのがなかなか困難であった。
　この考案は、上述の問題点を解決する方策を提案するものである。
　この考案の装置は、要約するに、回転台上に載置された基体の表面に粘性材を滴下させて、回転によって上記基体表面に塗布膜を形成する装置において、上記回転台の外周の飛散防止壁内面に湿潤海綿体を配設したものである。この装置によれば、回転によって飛散される被膜形成用材の残余物による霧粒子が上記の湿潤海綿体に付着するので、被膜面にこの霧粒子の沈着で形成される微小なおうとつがなくなる。」（明細書第２頁８行〜同第３頁４行）
（イ）「実施例を参照して、この考案の装置を詳細にのべる。第１図および第２図はこの考案の実施例装置要部の平面図および側断面図であり、回転台１に基体（たとえば半導体ウエハ）２を載置し、この基体２上に粘性の被膜形成用材、たとえば、ホトレジスト被膜形成剤を滴下させて、回転させることによって一様な被膜３を付設するものである。この装置は、回転台１の外周部に設置される飛散防止壁４の内面に湿潤海綿体５を配し、この湿潤海綿体５に、回転塗布時に飛散する被膜形成用材の霧粒子が衝突して吸着されるように構成される。これにより、上記の霧粒子は飛散防止壁４ではね返って、ふたたび回転台１上の基板２の面に付着することがなくなり、したがって、被膜面は平滑なものになる。」（同第３頁５〜１９行）
（ウ）「この湿潤海綿体５を配設するときに、その付設面は、第２図示のように、回転台平面からこれと直交する方向に角度θを有し、この角度θは約４５°〜２０°の範囲が、とくに、好結果をもたらした。これは付設面を傾斜させることにより、被膜形成用材の霧粒子の反射方向が基体面から遠ざかるためである。」（同第４頁８〜１４行）
　
上記の記載事項（ア）〜（ウ）及び図面の記載を総合すると、引用文献１には、次のような発明が記載されているものと認められる。
　
　「ホトレジスト被膜形成剤等の被膜形成用材を半導体ウエハ等の円盤状基体の表面に滴下して付与する塗布手段、該塗布手段の下方に配置されて、上記基体を水平に保持して回転駆動される回転台１、及び、該回転台１により水平に保持された状態で回転している基体２上に該塗布手段から滴下付与されたのち、基体２表面上を外周側に流延し、次いで基体２の外周縁部から外側に放出される被膜形成用材の周辺への飛散を防止するための飛散防止壁４からなる回転塗布装置であって、該飛散防止壁４は、その回転台側表面に湿潤海綿体５が配設され、そして、該飛散防止壁４の回転台側表面は、回転台１上に水平に支持される基体２の外周縁部から水平方向において離間され、かつ、回転台１上に水平に支持される基体の上側表面を延長した平面に対して、被膜形成用材の霧粒子の反射方向を基体面から遠ざかるように、好適には４５°〜２０°の角度をもって傾斜するように配置されている回転塗布装置。」（以下、単に「引用文献１に記載された発明」という。）
　
（２）原査定の拒絶理由に引用された特開平６−２２６１９２号公報（以下、単に「引用文献２」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
（ア）「本発明は、光ディスクや光ディスク用原盤にスピンコート法によりレジスト等を塗布する際に使用される塗布装置（スピンナー）に関するものである。」（第２頁第１欄１５〜１８行、段落【０００１】）
（イ）「従来の装置では、スピンコート法により原盤や基板上に所定の膜厚のレジストを塗布する場合、膜厚を薄く均一にするためスピンナーヘッドを高速に回転させている。そして、必要な厚さ以外の不要なレジストは原盤や基板から外側へ高速に除去される。
【０００７】しかしながら、外側へ除去されたミスト状のレジストがシャヘイ板やインナーカップにあたってはね返ると、原盤や基板に再度、付着する。これがレジスト膜の欠陥になるという問題があった。」（第２頁第２欄７〜１６行、段落【０００６】、【０００７】）
（ウ）「‥（一部略）‥本発明は、基板を載せるスピンナーヘッドと、該スピンナーを回転可能に下から支える回転軸と、該回転軸の下端に取付られたモーターと、前記スピンナーヘッド及び回転軸を保護するインナーカップと、該インナーカップの外側に設けられたシャヘイ板と、該シャヘイ板の外側に設けられたアウターカップと、排気系とからなる塗布装置において、前記インナーカップ及びシャヘイ板が曲面からなることを特徴とする塗布装置を提供するものである。」（第２頁第２欄１９〜２７行、段落【０００８】）
（エ）「図１において、（１）は基板（Ｓ）を載置するスピンナーヘッドである。スピンコートを行う際には、スピンナーヘッド（１）をモーター（３）によって回転駆動させる。スピンナーヘッド（１）及び回転軸（２）及びモーター（３）をスピンコート時に基板から垂れ落ちる余分なレジストから保護するようにインナーカップ（４）が設置されている。インナーカップ（４）は従来用いられていたインナーカップの角部を半径５０ｍｍの曲面としたものである。
【００１３】スピンコート時にはね飛ばされたミスト状のレジストは、排出パイプを通って廃液タンク（９）に回収されるか、排気系へ排気される。インナーカップ（４）とアウターカップ（５）との間にはシャヘイ板（６）が設けられている。シャヘイ板（６）は、従来用いられていたシャヘイ板（６）の角部を半径１００ｍｍの曲面としたものである。インナーカップ上部とシャヘイ板との間隙は１００ｍｍ、下部とシャヘイ板との間隙は３０ｍｍとし、排気の流れを良くした。」（第３頁第３欄２〜１９行、段落【００１２】、【００１３】）
　
　以上の記載からみて、スピンコート技術において、シャヘイ板は、塗布液のはね返りによる基板塗布面への再付着を防ぐように設けることが知られていたこと、及びそのようなシャヘイ板を設ける際、インナーカップ上面のスピンナーヘッド端面位置、すなわち被塗布体である原盤の外周縁部とシャヘイ板内側表面との距離については１００ｍｍ程度のものであったこと、がわかる。（以下、単に「引用文献２に記載された技術」という。）
　
（３）原査定の拒絶理由に引用された特公平７−１１８０９４号公報（以下、単に「引用文献３」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
（ア）「本発明の情報記録媒体を製造するためには、射出成形プラスチック基板上に、中間層および／または色素記録層等塗布型記録層（以下は主に色素記録層について説明する）を該基板の内周環状溝より外側に塗布することにより設けることが必要である。
すなわち、中間層または色素記録層の形成に一般的に用いられるスピンコート法は、高分子物質溶液（中間層塗布液）または色素含有溶液（色素層塗布液）を円盤状基板の中央付近に付与し、それを外側に広げながら、基板表面に塗布を行なう方法である。本発明者の研究によると、上記塗布方法は、基板の中央部付近に付与された塗布液が前記の内周側の環状溝を渡って基板の外周側に広がる際に、塗布液がその環状溝の外周側裾部において逆方向に強く押し戻され、これにより塗布液の流れが乱れ、形成される塗布層が不均一になり、塗布むらが発生する傾向があることが判明した。
　本発明者は更に研究を行なった結果、内周側の環状溝（内周環状溝）より外側から中間層塗布液または色素層塗布液を外周側に塗布することにより、上記のような塗布むらの発生を顕著に低減できることを見い出した。」（第３頁第５欄３５行〜同頁第６欄４行）
（イ）「色素記録層の形成は、上記色素、さらに所望により結合剤を溶剤に溶解して塗布液を調製し、次いでこの塗布液を基板表面に塗布して塗膜を形成したのち乾燥することにより行なうことができる。」（第１１頁第２１欄３４〜３７行）
　
　以上のことから、「記録層形成用の色素含有塗布液を、円盤状の透明樹脂基板にスピンコート法により塗布するようにした」ことが解る。（以下、単に「引用文献３に記載された技術」という。）
　
３．当審の判断
（１）本願発明と引用文献１に記載された発明との対比
　本願発明と引用文献１に記載された発明とを対比するに、引用文献１に記載された発明における「回転塗布装置」、「回転台１」、「被膜形成用材」及び「（円盤状）基体２」は、それらの形状、構造及び機能等からみて、本願発明の「スピンコート装置」、「スピナーヘッド」、「塗布液」及び「円盤状樹脂基板」にそれぞれ相当する。さらに、引用文献１に記載された発明における「塗布手段」は、その構造及び機能からみて、本願発明の「（塗布液を円盤状透明樹脂基板の表面に付与するためのノズルを有する）塗布液付与装置」に相当し、また、引用文献１に記載された発明における「回転台１」は、その構造及び機能からみて、本願発明の「（駆動モータにより軸回転が可能とされている）スピナーヘッド装置」に相当する。
　したがって、本願発明と引用文献１に記載された発明は、「塗布液を円盤状脂基板の表面に付与するための塗布液付与装置、該塗布液付与装置の下方に配置されている、基板を水平に保持するための、軸回転が可能とされているスピナーヘッド装置、及び、スピナーヘッドにより水平に保持された状態で回転している基板上に塗布液付与装置から付与されたのち、基板表面上を外周側に流延し、次いで基板の外周縁部から外側に放出される塗布液の周辺への飛散を防止するための飛散防止壁からなるスピンコート装置であって、前記飛散防止壁は、そのスピナーヘッド側表面が、スピナーヘッド上に水平に支持される基板の外周縁部から水平方向において離間され、かつ、スピナーヘッド上に水平に支持される基板の上側表面を延長した平面に対してある角度をもって傾斜するように配置されているスピンコート装置。」である点で一致し、次の〈相違点１〉乃至〈相違点３〉の３点において相違する。
〈相違点１〉
　本願発明においては、「記録層形成用の色素含有塗布液を透明樹脂基板に付与するためのノズルを有する塗布液付与装置」を備えるものであるのに対し、引用文献１に記載された発明では「ホトレジスト被膜形成剤等の塗布液（被膜形成用材）を半導体ウエハ等の基板（基体）上に付与する塗布手段」を備えるというのみである点。
〈相違点２〉
　本願発明においては、「飛散防止壁が、スピナーヘッド上に水平に支持される基板の外周縁部から飛散防止壁のスピナーヘッド側表面までの水平方向の距離が８〜２５ｃｍの範囲にあり、かつ、スピナーヘッド上に水平に支持される基板の上側表面を延長した平面と飛散防止壁のスピナーヘッド側表面とが形成する角度が５〜１５度の範囲となるように配置されている」のに対し、引用文献１に記載された発明では、スピナーヘッド上に水平に支持される基板の外周縁部から飛散防止壁のスピナーヘッド側表面までの水平方向の距離は明確にされておらず、また、スピナーヘッド上に水平に支持される基板の上側表面を延長した平面と飛散防止壁のスピナーヘッド側表面とが形成する角度について、「好結果をもたらすものとして４５度〜２０度の範囲」としているのみである点。
〈相違点３〉
　本願発明においては、スピナーヘッド装置が「駆動モータにより軸回転が可能とされている」ものであるのに対し、引用文献１に記載された発明のスピナーヘッド装置は、軸回転が可能なものではあるが、「駆動モータにより」駆動されるものかどうか明らかではない点。
　
（２）相違点についての検討
（ア）前記〈相違点１〉について検討するに、光ディスクにおいてその記録層としての色素記録層を形成するために、スピンコート法を採用し、色素含有塗布液を円盤状透明基板に付与して均一な塗布層を形成することは、引用文献３に記載された技術、にあるとおりであり、また、記録層としての色素記録層を形成するためにノズルを備えた塗布液付与装置をを使用することは、例えば特開平８−７１４８４号公報、特開平２−２２３４８０号公報等に記載されているように、本願出願前周知の技術である。
　してみると、引用文献１に記載された発明においては、被膜形成用材としてホトレジスト被膜形成剤等が例示されているとはいえ、引用文献１に記載された発明のスピンコート装置を、引用文献３に記載された技術のような色素含有塗布液の塗布に適用し、その際周知のごとくノズルを有する塗布液付与装置を採用し前記〈相違点１〉に係る本願発明のようにすることは、引用文献１に記載された発明及び引用文献３に記載された技術並びに上記周知の技術に基づいて、当業者が格別困難なく想到することができる程度のことである。
（イ）前記〈相違点２〉について検討する。先ず、スピナーヘッド上に水平に保持される基板の上側表面を延長した平面と飛散防止壁のスピナーヘッド側表面とが形成する角度（以下、単に「傾斜角度α」ともいう。）について検討するに、引用文献１に記載された発明においては、飛散防止壁の傾斜は、飛散防止壁に衝突した塗布液（被膜形成用材）の粒子の反射方向が基板面から遠ざかるように構成するために設定され、傾斜角度αを約２０度〜４５度の範囲とすることによって好結果をもたらしたとするものであり、この約２０度〜４５度の範囲とする傾斜角度αにおいて、その下限値や上限値に特に臨界的な意義を有するものとは認められず、引用文献１に記載された発明も、その傾斜角度αは約２０度〜４５度の範囲に限定されるものではない。また、スピンコート装置における飛散防止壁の傾斜角度αに関しては、被処理物としての基板の回転に伴って基板の外周から飛散した塗布液の飛翔粒子が、飛散防止壁に衝突した後にはね返ることによって基板上の被膜表面に付着することがないように、飛散防止壁の傾斜角度αを１５度前後に設定することは、本願出願前に周知の技術である（例えば、特開平２−９４７６号公報〈特に、第３頁上左欄１７行〜同頁下右欄６行及び図面第１〜３図等の記載〉、実願昭４７−１２９６３５号（実開昭４９−１１１４８２号）のマイクロフィルム〈特に、明細書第４頁４〜１８行及び図面第４図の記載〉等も参照のこと）。
　これに対し、本願発明においては飛散防止壁の傾斜角度αを５〜１５度の範囲と限定するものであるが、本願発明の実施例では、傾斜角度αを１０度（実施例１、実施例２及び実施例５）とするものが例示され、その比較例として、２０度、３０度、４５度等が示されているのみであり、傾斜角度αを５〜１５度の範囲と限定したことの技術的意義について、「色素溶液の飛散防止壁からの基板への跳ね返り防止」ということ以外格別のことが生ずるものでもなく、またその下限値（５度）や上限値（１０度）の臨界的意義についてなんら記載や示唆もない。したがって、傾斜角度αにおいて、限定された５〜１５度の範囲内のものが当該角度範囲外のものに比して格別に顕著な効果を奏するものとは認められない。
　してみると、スピンコート装置における飛散防止壁の傾斜角度αを５〜１５度の範囲とすることは、引用文献１に記載された「被処理物としての基板の回転に伴って基板の外周から飛散した塗布液の飛翔粒子が、飛散防止壁に衝突した後にはね返ることによって基板上の被膜表面に付着することがないようにする」なる点及びそのために講じた技術手段や前述した周知の技術を勘案すれば、当業者にとり格別な創意を要することなく設定しうる程度のことと認められる。
　次に、スピナーヘッド上に水平に支持される基板の外周縁部から飛散防止壁のスピナーヘッド側表面までの水平方向の距離（以下、単に「離間距離ｄ」ともいう。）について検討するに、引用文献１に記載された発明においては、飛散防止壁のスピナーヘッド側表面は（スピナーヘッド上に水平に支持される）基板の外周縁部から水平方向において離間しているけれども、その離間距離ｄは明確にされていない。ところで、基板（原盤）の外周縁部と飛散防止壁のスピナーヘッド側表面との間隙を１００ｍｍ程度とすることは、引用文献２に記載された技術にあるとおり、この出願前公知の値にすぎないと解される。
　また、本願発明においては、離間距離ｄを８〜２５ｃｍの範囲と限定するものであるが、その一方の基準とする基板は、本願発明の実施例では、直径１２０ｍｍの基板（実施例１、実施例２及び実施例５）が用いられているが、本願発明における基板は、直径１２０±３ｍｍの基板のみならず、直径８０±３ｍｍや直径６４±３ｍｍの基板をも包含するものである。そして、本願発明の前述した各実施例においては、直径１２０ｍｍの基板に対して、離間距離ｄを１１ｃｍ（実施例１及び実施例２）と２１ｃｍ（実施例５）とするものが例示されているけれども、本願発明においては、これらの種々の直径を有する基板に対して離間距離ｄを８〜２５ｃｍの範囲とすることは、例えば、直径６４ｍｍの基板に対して離間距離ｄを２５ｃｍとする形態や直径１２０ｍｍの基板に対して離間距離ｄを８ｃｍとする形態をも包含することとなるけれども、このような種々の形態においては、基板の外周縁部から外方に飛散される塗布液の粒子の状態や速度、さらには、その飛翔距離等が大きく異なるものと認められる。本願発明は、このような種々の直径を有する基板に対して離間距離ｄを８〜２５ｃｍの範囲と限定するものであるけれども、実施例１、実施例２及び実施例５においては高い製品歩留まりを示しているとしても、その離間距離ｄを８〜２５ｃｍの範囲と限定したことの技術的意義も明確にされておらず、さらに、離間距離ｄの下限値や上限値の臨界的意義について記載も示唆もない。してみると、離間距離ｄにおいて、限定された８〜２５ｃｍの範囲内のものが当該数値範囲外のものに比して格別に顕著な作用効果を奏するものとも認められず、また、種々の直径を有する基板すべてに対して離間距離ｄをその下限値や上限値に設定した場合においても前述した実施例のものと同様の作用効果を奏するものとも認められない。
　してみると、スピンコート装置における飛散防止壁の離間距離ｄを８〜２５ｃｍの範囲とすることは、引用文献２に記載された技術や周知の技術を勘案すれば、当業者が格別な創意を要することなく必要に応じて適宜設定しうる程度のことと認められる。
　したがって、スピンコート装置における飛散防止壁を、離間距離ｄを８〜２５ｃｍの範囲とし、かつ傾斜角度αが５〜１５度の範囲となるように配置することは、引用文献１に記載された発明及び引用文献３に記載された技術並びに前述した周知の技術に基づいて、当業者が格別困難なく想到しうる程度のことと認められる。
　なお、審判請求人においては、本願発明は、光ディスクにおける色素記録層を形成するための色素含有塗布液を対象とするものであり、この色素含有塗布液は引用文献１、２に記載されるレジスト溶液とは物性が大きく異なり、色素含有塗布液を対象とするスピンコート装置において、離間距離ｄが８〜２５ｃｍの範囲にあり、かつ傾斜角度αが５〜１５度の範囲となるように飛散防止壁を配置することにより、明細書に記載の特有の作用効果を奏するものであるという趣旨の主張をしている。しかしながら、飛散防止壁における傾斜角度α（５〜１５度の範囲）や離間距離ｄ（８〜２５ｃｍの範囲）は、前述したように、通常一般のスピンコート装置において格別新規な数値でもなく、当業者が格別な創意を要することなく適宜設定しうる程度のものであり、そして、離間距離ｄを８〜２５ｃｍの範囲としかつ傾斜角度αを５〜１５度の範囲となるように配置した飛散防止壁と色素含有塗布液との関連においても、前述したように、それらの数値限定の技術的意義や上限値や下限値の臨界的意義が生じたものといえない以上、格別顕著な作用効果を奏するものとも認められず、審判請求人の主張は採用できない。
　よって、前記〈相違点２〉に係る本願発明のような構成とすることは、引用文献１に記載された発明及び引用文献２に記載された技術並びに上記周知の技術に基づいて、当業者が格別な創意工夫を要することなく容易に想到し発明しうる程度のことである。
（ウ）前記〈相違点３〉については、引用文献２にもモータにより軸回転が可能とされたスピンナーヘッドが記載されているが、回転塗布装置において「モータ」により軸回転させることは従前周知のことであり、当該周知のことを採用し、前記〈相違点３〉に係る本願発明のようにすることは、当業者にとり、設計上適宜に採用する程度のことにすぎない。
　
（エ）以上のように、本願発明は、引用文献１に記載された発明及び引用文献２及び３に記載された技術並びに上記周知の技術に基づいて、当業者が格別な困難性を伴うことなく容易に想到し発明をすることができたものと認められ、しかも、本願発明は、全体構成でみても、引用文献１に記載された発明及び引用文献２及び３に記載された技術並びに上記周知の技術から予測できる作用効果以上の顕著な作用効果を奏するものとも認められない。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用文献１に記載された発明及び引用文献２及び３に記載された技術並びに上記周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。