【手続補正書】
【提出日】令和1年6月19日(2019.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ツールを用いてワークピースを加工するように構成された多軸工作機械を制御するための方法であって、
前記多軸工作機械は、
第１の軸を中心として前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるように構成されたロータリアクチュエータと、
第２の軸に沿って前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるように構成された第１のリニアアクチュエータと、
第３の軸に沿って前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるように構成された第２のリニアアクチュエータと、
前記第２の軸及び前記第３の軸の少なくとも一方に沿って前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるように構成された第３のリニアアクチュエータと
を含み、
前記第３のリニアアクチュエータは、前記第１のリニアアクチュエータ又は前記第２のリニアアクチュエータが生じさせる前記ツールと前記ワークピースとの間の相対移動の帯域幅よりも高い帯域幅で前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるように構成され、
前記ロータリアクチュエータの帯域幅を超える周波数成分を有する予備ロータリアクチュエータコマンドを受信し、
前記予備ロータリアクチュエータコマンドに少なくとも部分的に基づいて、前記ロータリアクチュエータの帯域幅内の周波数成分を有する処理済みロータリアクチュエータコマンドを生成し、
前記処理済みロータリアクチュエータコマンドに少なくとも部分的に基づいて、第１のリニアアクチュエータコマンド、第２のリニアアクチュエータコマンド、及び第３のリニアアクチュエータコマンドを生成し、
前記処理済みロータリアクチュエータコマンドを前記ロータリアクチュエータに出力し、
前記第１のリニアアクチュエータコマンドを前記第１のリニアアクチュエータに出力し、
前記第２のリニアアクチュエータコマンドを前記第２のリニアアクチュエータに出力し、
前記第３のリニアアクチュエータコマンドを前記第３のリニアアクチュエータに出力する、
方法。
【請求項２】
前記第２の軸は前記第１の軸に直交する、請求項１の方法。
【請求項３】
前記処理済みロータリアクチュエータコマンドを生成する際に、前記予備ロータリアクチュエータコマンドをフィルタリングする、請求項１の方法。
【請求項４】
前記第１のリニアアクチュエータコマンド及び前記第２のリニアアクチュエータコマンドを生成する際に、
前記予備ロータリアクチュエータコマンド及び少なくとも１つの予備リニアアクチュエータコマンドに基づいて、１組の中間リニアアクチュエータコマンドを生成し、
前記処理済みロータリアクチュエータコマンドに少なくとも部分的に基づいて、前記１組の中間リニアアクチュエータコマンドを処理する、
請求項１の方法。
【請求項５】
さらに、前記第１の軸を中心とした相対移動を生じさせつつ、前記ツールを用いて前記ワークピースを処理する、請求項１の方法。
【請求項６】
前記ツールを用いて前記ワークピースを処理する際に、レーザ光を前記ワークピースに照射する、請求項５の方法。
【請求項７】
ツールを用いてワークピースを加工するように構成された多軸工作機械を制御するためのコントローラであって、
前記多軸工作機械は、
第１の軸を中心として前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるように構成されたロータリアクチュエータと、
第２の軸に沿って前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるように第１のリニアアクチュエータコマンドに応答する第１のリニアアクチュエータと、
第３の軸に沿って前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるように第２のリニアアクチュエータコマンドに応答する第２のリニアアクチュエータと、
前記第２の軸及び前記第３の軸の少なくとも一方に沿って前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるように第３のリニアアクチュエータコマンドに応答する第３のリニアアクチュエータと
を含み、
前記第３のリニアアクチュエータは、前記第１のリニアアクチュエータ又は前記第２のリニアアクチュエータが生じさせる前記ツールと前記ワークピースとの間の相対移動の帯域幅よりも高い帯域幅で前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるように構成され、
少なくとも１つのプロセッサと、前記少なくとも１つのプロセッサにアクセス可能なコンピュータメモリとを備え、前記コンピュータメモリには命令が格納され、該命令は、前記少なくとも１つのプロセッサにより実行された際に前記コントローラに、
前記ロータリアクチュエータの帯域幅を超える周波数成分を有する予備ロータリアクチュエータコマンドに少なくとも部分的に基づいて、前記ロータリアクチュエータの帯域幅内の周波数成分を有する処理済みロータリアクチュエータコマンドを生成させ、
前記処理済みロータリアクチュエータコマンドに少なくとも部分的に基づいて、前記第１のリニアアクチュエータコマンド、前記第２のリニアアクチュエータコマンド、及び前記第３のリニアアクチュエータコマンドを生成させ、
前記処理済みロータリアクチュエータコマンド、前記第１のリニアアクチュエータコマンド、前記第２のリニアアクチュエータコマンド、及び前記第３のリニアアクチュエータコマンドを出力させる、
コントローラ。
【請求項８】
ワークピースを処理するように構成されたツールと、
第１の軸を中心として前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるように構成された第１のロータリアクチュエータと、
第２の軸に沿って前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるように構成された第１のリニアアクチュエータと、
第３の軸に沿って前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるように構成された第２のリニアアクチュエータと、
前記第１の軸、前記第２の軸、及び前記第３の軸のうち少なくとも１つに沿って前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるように構成された第３のリニアアクチュエータと
を備え、
前記第３のリニアアクチュエータは、前記第１のリニアアクチュエータ又は前記第２のリニアアクチュエータが生じさせる前記ツールと前記ワークピースとの間の相対移動の帯域幅よりも高い帯域幅で前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるように構成され、
前記第１のロータリアクチュエータ、前記第１のリニアアクチュエータ、及び前記第２のリニアアクチュエータと動作可能に連結されたコントローラであって、
前記第１のロータリアクチュエータの帯域幅を超える周波数成分を有する予備ロータリアクチュエータコマンドに少なくとも部分的に基づいて、前記第１のロータリアクチュエータの帯域幅内の周波数成分を有する処理済みロータリアクチュエータコマンドを生成し、
前記処理済みロータリアクチュエータコマンドに少なくとも部分的に基づいて、第１のリニアアクチュエータコマンド及び第２のリニアアクチュエータコマンドを生成し、
前記処理済みロータリアクチュエータコマンドを前記第１のロータリアクチュエータに出力し、
前記第１のリニアアクチュエータコマンドを前記第１のリニアアクチュエータに出力し、
前記第２のリニアアクチュエータコマンドを前記第２のリニアアクチュエータに出力する
ように構成されたコントローラと
を備える、多軸工作機械。
【請求項９】
前記第１の軸を中心として前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるように構成された第２のロータリアクチュエータをさらに備え、前記第２のロータリアクチュエータの帯域幅は、前記第１のロータリアクチュエータの帯域幅よりも高い、請求項８の多軸工作機械。
【請求項１０】
レーザ源をさらに備え、前記ツールはレーザ光の集束ビームを含む、請求項８の多軸工作機械。
【請求項１１】
前記ツールはウォータジェットを含む、請求項８の多軸工作機械。
【請求項１２】
前記第３のリニアアクチュエータはミラーを含む、請求項８の多軸工作機械。
【請求項１３】
前記第３のリニアアクチュエータはレンズを含む、請求項８の多軸工作機械。
【請求項１４】
前記第３のリニアアクチュエータは音響光学偏向器（AOD）システムを含む、請求項８の多軸工作機械。
【請求項１５】
前記第３のリニアアクチュエータは、前記第１の軸に沿って前記ツールと前記ワークピースとの間で相対移動を生じさせるようにさらに構成される、請求項８の多軸工作機械。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
シリアルツールチップ位置決めアセンブリ内の比較的高い帯域幅のＢ軸アクチュエータ402及び比較的高い帯域幅のＣ軸アクチュエータ404のそれぞれは、それぞれ１以上の油圧シリンダ、１以上の空気圧シリンダ、１以上のサーボモータ、１以上のボイスコイルアクチュエータ、１以上の圧電アクチュエータ、１以上の電歪素子など、又はこれらの任意の組み合わせにより駆動される１以上の回転ステージ（例えば、ダイレクトドライブステージ、親ネジステージ、ボールネジステージ、ベルト駆動ステージなど）であってもよい。また、シリアルツールチップ位置決めアセンブリ内の比較的高い帯域幅のＢ軸アクチュエータ402及び比較的高い帯域幅のＣ軸アクチュエータ404のうちいずれかは、連続運動又はステップ状（増分）運動を提供するように構成されていてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
次に、図５を参照すると、比較的高い帯域幅のＢ軸アクチュエータ402は、印加RF信号に応答して、ある軸に沿って（例えばＸ軸に沿って）レーザ光を回折させるように配置及び構成された第１のAODシステム500と、必要に応じて第１のAODシステム500の「下流側」に配置及び設置され、印加RF信号に応答して、別の軸に沿って（例えばＹ軸に沿って）レーザ光を回折させるように構成された第２のAODシステム502とを含むことができる。比較的高い帯域幅のＢ軸アクチュエータ402は、半波長板501及び503、偏光ビームスプリッタ505などの付加的な構成要素を含むことができる。駆動されると、第１のAODシステム500及び第２のAODシステム502は、第１のAODシステム500及び第２のAODシステム502に関連付けられたスキャン範囲内で（例えば、偏向ビーム512及び514により示されているように）レーザ光510の入射ビームを偏向又は任意の個数の位置に移動させることができる。偏向ビーム512及び514のような偏向ビームは、レーザ光510の入射ビームに対して測定される偏向角によって特徴付けることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
また、比較的高い帯域幅のＢ軸アクチュエータ402は、必要に応じて第２のAODシステム502の下流側に配置される１組のレンズ（例えば、リレーレンズ504及びスキャンレンズ506）を含むことができる。リレーレンズ504は、偏向ビーム（例えば、偏向ビーム512及び514）の偏向角をスキャンレンズ506上で横方向にずらされたビーム（例えば、横方向にずらされたビーム512’及び514’）に変換するために使用される。そして、スキャンレンズ506は、横方向にずらされたビーム（例えば、横方向にずらされたビーム512’及び514’）を（ここでは508で図示される）ワークピースに伝達される入射ビーム（例えば、入射ビーム512”及び514”）に変換する。図示されているように、入射ビーム512”及び514”は、同一の（又は少なくとも実質的に同一の）スポット又はツーリング領域において異なるツーリング角度でワークピースを照射する。