【事件の表示】
　平成１１年特許願第１８１１９６号「薄状部材のハンドリング装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　１月１６日出願公開、特開２００１−　　９７６６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成１１年６月２８日の特許出願であって、同１７年２月２５日付けで拒絶の理由が通知され、その指定期間内の同１７年４月２７日に意見書とともに明細書について手続補正がされ、さらに、同１７年１０月２１日付けで最後の拒絶の理由が通知され、その指定期間内の同１７年１２月１９日に意見書とともに明細書について第２回目の手続補正がされたが、同１８年４月３日付けで前記第２回目の手続補正について補正却下の決定がされるとともに拒絶をすべき旨の査定がされた。そして、同１８年５月１６日に本件審判の請求がされるとともに明細書について第３回目の手続補正（以下「本件補正」という。）がされたものである。
　
第２　本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
［理由］
１　補正の内容の概要
　本件補正は、特許請求の範囲について補正をするとともにそれに関連して発明の詳細な説明について補正をするものであって、特許請求の範囲についての補正は、補正前の請求項１及び請求項２に、それぞれ同請求項５及び請求項６の内容を組み込んで、補正後の請求項１及び請求項２とし、また、補正前の請求項１及び請求項２に、それぞれ同請求項５及び請求項７の内容を組み込んで、補正後の請求項３及び請求項４とする補正事項を含むものである。
　そして、補正前の請求項２と補正後の請求項４について、それぞれの記載を補正箇所に下線を付して示すと次のとおりである。
　
（１）補正前の請求項２
「【請求項２】　薄状部材のハンドリング装置において、
（ａ）前記薄状部材を浮上させるための静電気力を発生させる電極を有する固定子と、
（ｂ）該固定子の一部に配置されるとともに、底面に前記薄状部材の局所を保持する保持部材を具備する機構的支持部材とを備え、
（ｃ）前記薄状部材の主要部を外した局所を前記機構的支持部材により補助的に支持することを特徴とする薄状部材のハンドリング装置。」
　
（２）補正後の請求項４
「【請求項４】　薄状部材のハンドリング装置において、
（ａ）
半導体、高抵抗体又は誘電体からなる
（ｂ）該固定子の一部に配置されるとともに、底面に前記薄状部材の局所を保持する保持部材を具備する機構的支持部材とを備え、
（ｃ）
前記電極の一部または全部はドット状に細かく分割された第１の電極要素及び第２の電極要素を有し、該第１の電極要素と第２の電極要素にはそれぞれ極性が異なる電圧を印加し、前記薄状部材に対して誘導静電気力を高めるとともに、ハンドリング時における薄状部材の横方向の拘束力を強める電極配置を有し
（ｄ）前記薄状部材の主要部を外した局所を前記機構的支持部材により補助的に支持することを特徴とする薄状部材のハンドリング装置。」　
　
２　補正の適否　　　
　上記特許請求の範囲についての補正は、補正前の請求項２における「薄状部材」について「半導体、高抵抗体又は誘電体からなる」と限定し、また、電極配置に関する事項を付加するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とすることが明らかである。
　そこで、補正後の請求項４に記載された発明（以下「本願補正発明」という。）が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか否かについて検討する。                               
　
（１）本願補正発明
　本願補正発明は、本件補正により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、上記１（２）に示す特許請求の範囲の請求項４に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められる。
　
（２）引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平１０−１６４８７７号公報（以下「引用例」という。）の記載内容は以下のとおりである。
　
ア　引用例記載の事項
　引用例には、「静電浮上チャック」に関して、図面とともに以下の事項が記載されている。
（ア）段落【０００１】
「【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、サファイア基板、アルミニウム基板、ガラス基板、ドラムなどの板状あるいは円筒状をした被固定物を静電吸着力により吸引電極と直に接触しない状態で静電吸着力により保持可能とした静電浮上チャックに関するものであり、特に半導体製造装置や液晶製造装置等に好適に用いられるものである。」
　
（イ）段落【００１１】〜【００１４】
「【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の静電浮上チャックの構成図であり、図１（ａ）は静電浮上チャックの斜視図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＸ−Ｘ線断面図である。この静電浮上チャックは絶縁体基板１０２（以下、単に基板という）の表面に吸引電極１０３を敷設してある。この吸引電極１０３は中央側に扇状をした三つの吸引電極１０３ｄ，１０３ｅ，１０３ｆと、それらの外周側に帯状をした三つの吸引電極１０３ａ，１０３ｂ，１０３ｃが、ほぼ同一面積となるように配置してあり、例えば、吸引電極１０３ａと吸引電極１０３ｄ、吸引電極１０３ｂと吸引電極１０３ｅ、吸引電極１０３ｃと吸引電極１０３ｆとのそれぞれの間に制御電圧を印加するようになっている。
　また、基板１０２の周縁部には三つの円錐状をした当接部材１０４ａ，１０４ｂ，１０４ｃを等間隔に設けてあり、被固定物１０の吸引時に当接部材１０４ａ，１０４ｂ，１０４ｃの内側面であるテーパ面で、上記被固定物１０の外周部を支持するとともに、被固定物１０の中心が基板１０２の中心と一致するように位置決めできるようにしたものである。
　したがって、被固定物１０は吸引電極１０３と非接触の状態で保持することができるため、摺動摩耗に伴う摩耗粉が生じることがなく、使用時の真空雰囲気や被固定物を汚染することがない。また、吸引時に被固定物１０との位置関係が若干ずれていたとしても、当接部材１０４ａ，１０４ｂ，１０４ｃのテーパ面に沿って移動して、基板１０２の中心と一致するように所定位置に位置決めすることができる。
　しかも、被固定物１０はその外周部を当接部材１０４ａ，１０４ｂ，１０４ｃにより保持されることから、搬送時や外部からの振動が加わった場合ても、位置ズレが生じることがなく、高い保持力を得ることができる。・・・・・・・。」
　
（ウ）【図１】
　当接部材１０４ａ，１０４ｂ，１０４ｃは底面を備えていること。
　
イ　引用例記載の発明
　上記摘記事項（イ）において、板状被固定物１０の外周部が当接部材１０４ａ，１０４ｂ，１０４ｃにより補助的に支持されることは明らかである。
　そこで、引用例記載の事項を技術常識を勘案しながら本願補正発明に照らして整理すると、引用例には次の発明が記載されていると認められる。
「板状被固定物の静電浮上チャックにおいて、
　半導体ウエハ、サファイア基板、アルミニウム基板、ガラス基板などの板状被固定物１０を浮上させるための静電気力を発生させる吸引電極１０３を敷設してある絶縁体基板１０２と、
　該絶縁体基板１０２の周縁部に等間隔に配置されるとともに、内側面に前記板状被固定物１０の外周部を支持するテーパ面と、底面とを有する円錐状をした当接部材１０４ａ，１０４ｂ，１０４ｃとを備え、    
　前記吸引電極１０３は中央側に扇状をした三つの吸引電極１０３ｄ，１０３ｅ，１０３ｆと、それらの外周側に帯状をした三つの吸引電極１０３ａ，１０３ｂ，１０３ｃが、吸引電極１０３ａと吸引電極１０３ｄ、吸引電極１０３ｂと吸引電極１０３ｅ、吸引電極１０３ｃと吸引電極１０３ｆとのそれぞれの間に制御電圧を印加するように配置してあり、
　前記板状被固定物１０の外周部を当接部材１０４ａ，１０４ｂ，１０４ｃにより補助的に支持する板状被固定物の静電浮上チャック。」
　
（３）対比
　本願補正発明と引用例記載の発明とを対比すると以下のとおりである。
　引用例記載の発明の「半導体ウエハ、サファイア基板、アルミニウム基板、ガラス基板などの板状被固定物１０」及び「絶縁体基板１０２」は、それぞれ、本願補正発明の「半導体、高抵抗体又は誘電体からなる薄状部材」及び「固定子」に相当する。
　また、引用例記載の発明の「当接部材１０４ａ，１０４ｂ，１０４ｃ」は、固定子の周縁部、すなわち、一部に配置されるとともに、前記薄状部材の外周部、すなわち、局所を補助的に保持する保持部材を具備する部材であるという限りで、本願補正発明の「機構的支持部材」と共通している。
　また、引用例記載の発明の吸引電極１０３のうち、対となる吸引電極１０３ａと吸引電極１０３ｄ、吸引電極１０３ｂと吸引電極１０３ｅ、及び吸引電極１０３ｃと吸引電極１０３ｆは、それぞれ極性が異なる電圧を印加することが明らかであり、対となる吸引電極の内の何れか一方が本願補正発明の「第１の電極要素」に、他方が同「第２の電極要素」に対応する。したがって、引用例記載の発明の「吸引電極１０３」は、薄状部材を浮上させるための静電気力を発生させる電極であって、第１の電極要素及び第２の電極要素を有し、該第１の電極要素と第２の電極要素にはそれぞれ極性が異なる電圧を印加する電極配置を有しているという限りで、本願補正発明の「電極」と共通している。
　さらに、引用例記載の発明は「静電浮上チャック」と表現されているが、本願補正発明と同様「ハンドリング装置」と表現できるものである。
　そうすると、本願補正発明と引用例記載の発明とは、以下の点で一致しているということができる。
「薄状部材のハンドリング装置において、
　半導体、高抵抗体又は誘電体からなる薄状部材を浮上させるための静電気力を発生させる電極を有する固定子と、
　該固定子の一部に配置されるとともに、前記薄状部材の局所を保持する保持部材を具備する機構的支持部材とを備え、
　前記電極は第１の電極要素及び第２の電極要素を有し、該第１の電極要素と第２の電極要素にはそれぞれ極性が異なる電圧を印加する電極配置を有し、
　前記薄状部材の主要部を外した局所を前記機構的支持部材により補助的に支持する薄状部材のハンドリング装置。」である点。
　そして、本願補正発明と引用例記載の発明とは、以下の２点で相違している。
ア　相違点１
　機構的支持部材が、本願補正発明では、底面に薄状部材の局所を保持する保持部材を具備しているのに対して、引用例記載の発明では、内側面に前記保持部材を具備している点。
イ　相違点２
　本願補正発明では、電極の一部または全部はドット状に細かく分割された第１の電極要素及び第２の電極要素を有し、該第１の電極要素と第２の電極要素にはそれぞれ極性が異なる電圧を印加し、前記薄状部材に対して誘導静電気力を高めるとともに、ハンドリング時における薄状部材の横方向の拘束力を強める電極配置を有しているのに対して、引用例記載の発明では、そのようになっていない点。
　
（４）相違点についての検討
ア　相違点１について　
　引用例記載の発明では、吸引時に薄状部材との位置関係が若干ずれていたとしても、固定子の中心と一致するよう位置決めしたり、また、搬送時や外部からの振動が加わった場合でも高い保持力を得るために、内側面で薄状部材を保持するようにしているが、そのような必要がない場合には、底面で薄状部材を保持するように構成できることは技術常識からみて明らかであり、機構的支持部材が、底面に保持部材を具備するように構成することに格別の困難性はない。
　
イ　相違点２について
　当審の平成１９年７月１０日付け審尋で示した《前置報告書の内容》の中でその旨指摘しているように、静電気力を利用した薄状部材の吸着手段において、ドット状に細かく分割された電極要素を、２つのグループに分け、それぞれのグループに異なる極性の電圧を印加することは、例えば、特開平１−２７４９３８号公報、特開平９−２２３７２９号公報等に示されているように従来周知の事項である。
　そして、この従来周知の事項における電極配置は、本願補正発明における電極配置の実施例を示す本件出願の願書に添付した図面の【図３】及び【図４】に示されているものと比較して実質的に異なるところがないことからみて、本願補正発明と同様に薄状部材に対して誘導静電気力を高めるとともに、ハンドリング時における薄状部材の横方向の拘束力を強める電極配置であるとみるのが相当である。
　そうすると、上記従来周知の事項を引用例記載の発明に適用して、その電極配置を本願補正発明のように構成することに格別の困難性はない。
　
　また、本願補正発明によってもたらされる効果も、引用例記載の発明及び上記従来周知の事項から当業者であれば十分予測できる範囲内のものであって格別顕著なものとはいえない。
　
　したがって、本願補正発明は、引用例記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
３　むすび
　以上のとおり、本件補正は、補正後のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合しないものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本件出願の発明について
１　本件出願の発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１乃至１２に係る発明は、平成１７年４月２７日付手続補正書により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至１２に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項２に係る発明（以下「本願発明」という。）は、上記第２の１（１）に示す特許請求の範囲の請求項２に記載されたとおりのものである。
　
２　引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物及びその記載内容は、上記第２の２（２）に示したとおりである。
　
３　対比・検討
　本願発明は、上記第２の２で検討した本願補正発明から、薄状部材について「半導体、高抵抗体又は誘電体からなる」という限定を外し、また、電極配置についての事項を削除したものである。
　そうすると、本願発明を構成する事項の全てを含み、さらに他の事項を付加したものに相当する本願補正発明が上記第２の２（４）で示したとおり、引用例記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび
　以上のとおりであるから、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件出願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。