【事件の表示】
　特願２０００−１０４２６２「研磨スラリーを連続的に供給し、調整するための装置および方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年１１月　７日出願公開、特開２０００−３０８９５７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯と本願発明
　本願は、平成１２年４月６日の出願（パリ条約に基づく優先権主張１９９９年４月６日、アメリカ合衆国）であって、平成１７年３月１日付で拒絶査定がなされたものであり、これに対し、平成１７年６月６日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年７月６日に明細書を補正対象とする手続補正がなされ、当審による平成１９年７月１１日付の拒絶理由通知に対し、平成２０年１月１７日に明細書を補正対象とする手続補正がなされたものである。
　
　本願の請求項１ないし１０に係る発明は、平成２０年１月１７日付の手続補正書により補正された明細書の請求項１ないし１０に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明は、次のとおりである。
「スラリーを使用する研磨装置と一緒に使用するための、連続スラリー供給システムであって、
　混合チャンバと、
　各異なるスラリー成分を含み複数のスラリー成分タンクであって、前記混合チャンバに必要な流量で異なるスラリー成分を供給するために、前記混合チャンバと流体で連絡しているような複数のスラリー成分タンクと、
　前記混合チャンバに接続され、前記スラリーの化学的特性を感知するように構成された化学的パラメータ・センサ・システムと、
　前記化学的パラメータ・センサ・システムおよび前記混合チャンバに接続され、前記スラリー成分の中の少なくとも一つを所与の流量で導入するように構成された制御システムと、前記スラリー供給システムの全容量の１／７００以下の容量を持つ前記混合チャンバと流体で連絡している予備分配チャンバとを備え、ここで、前記混合チャンバの容量は、前記スラリーの化学的濃度、温度、ｐＨ及び比重を迅速に調節するため設定される
連続スラリー供給システム。」（以下、「本件発明」という。）
　
２．当審における拒絶理由の概要
　当審が平成１９年７月１１日付で通知した拒絶理由は、本願の請求項１ないし１０に係る発明は、次の刊行物に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないというものであり、また、特許請求の範囲の記載が不備のため、特許法第３６条第６項第２号の規定を満たさないというものである。
　
　刊行物：　　特開平１０−５８３１４号公報
　
３．刊行物記載の発明
ａ．（請求項１）
「【請求項１】　研磨パッドを含む化学機械研磨（ＣＭＰ）装置において、
　前記研磨パッドを少なくとも部分的に取り囲み、使用済みスラリーが前記研磨パッドから流れ出ると前記使用済みスラリーを受けて収容するキャッチリングと、
　前記キャッチリングから前記使用済みスラリーの一部をその第１の端部を介して回収する第１の管と、
　前記第１の管に接続された第１入力と、新しいスラリー源に接続する第２入力とを備え、前記第１および第２入力へ供給される流体を混合して、リサイクルされたスラリーを生成する混合マニホールドと、
　前記混合マニホールドの出力に接続されて、前記リサイクルされたスラリーを前記研磨パッドへ戻す第２の管と、を含む装置。」
ｂ．（段落【００３６】）
「【００３６】本発明の上記の目的および他の目的は、本発明によって達成される。本発明は、リサイクルされたスラリーを単に新しいスラリーと交換するのではなく、研磨パッドに流れ続けるスラリーのうちの少量のスラリーを消費または廃棄しながら、リサイクルされたスラリーを使用中のスラリーと間断なく混合して一定の研磨速度を保つ。まず、スラリーをキャッチリング中に回収して、リサイクルループに送り、回収されたスラリーと、新しいスラリー、再生用化学物質または水とを混合し、混合物をテストし、混合物をろ過し、かつ混合物を研磨パッドに戻す。パッドに戻される量は、回収される量をわずかに上回り、トラフを溢れさせるのが好ましい。すすぎ水も同様にリサイクルされ、研磨パッドを研磨サイクル間で濡れた状態に保つ。」
ｃ．（段落【００４６】〜【００５０】）
「【００４６】図２では、回収管４１はトラフ３５中に設置され、使用済みスラリーの一部をトラフから引き上げて、パイプ４３を介してポンプ４５の入り口へ運ぶ。ポンプ４５の出口はパイプ４６によって混合マニホールド４７へ接続される。本発明の一実施形態では、回収管４１およびパイプは、Ｔｅｆｌｏｎ（登録商標）プラスチックから作られる。この代わりに、十分な剛性をもって、または固定支持されて、トラフ中にとどまり、かつスラリーと化学反応をおこさない材料であれば、どのような材料でも使用可能である。
【００４７】新しいスラリーは、適当な容器またはリザバ（図示せず）からバルブ２８によってパイプ２７を通ってマニホールド４７へ供給される。再生用化学物質、例えばアルカリ、界面活性剤、懸濁剤、酸、酸化剤、または研磨対象材料に適したその他の化学物質等は、適当な容器またはレザバ（図示せず）からバルブ３０を経てパイプ２９を通ってマニホールド４７へ供給される。再生用化学物質の性質によっては、該化学物質のマニホールド４７への搬送に別々のポンプおよびパイプを使用しなければならない。
【００４８】通常は閉じられたバルブ３５には、非イオン化水が圧力をかけて供給される。バルブ３５の出口はパイプ３４によってマニホールド４７へ接続される。スラリーの希釈、またはウェハもしくは装置のすすぎには、非イオン化水が使用される。再生用化学物質、新しいスラリー、使用済みスラリー、かつ場合によっては非イオン化水は、マニホールド４７中で一つに完全に混合される。これによって得られるリサイクルされたスラリーは、パイプ４８を通って熱交換器４９へ流れる。熱交換器４９は任意で設置し、ここでスラリーは加熱または冷却されて、所望の温度に維持される。
【００４９】リサイクルされたスラリーは、熱交換器４９から、ｐＨセンサ５１、温度センサ５２、および導電率センサ５３等の複数のセンサを経て流れる。特定の用途に適していると考えられる他のセンサは、濁度センサ、デンショメータ、イオン特異性電極、電圧電流計電池、赤外線センサ、紫外線センサ、または視覚センサ等である。センサ群は、情報、警告および制御用に、１つ以上のフィードバックループ中で単独または組み合わせて使用され、リサイクルされたスラリーの特性制御を行う。例えば、導電率センサ５３は、制御ループ３２の一部として、バルブ３０を通るアルカリまたは酸の流量を自動的に測定する。
【００５０】リサイクルされたスラリーは、三方向バルブ５５によってフィルタ５６へ進み、パイプ５９から供給管３３を通ってパッド１１上へと流れる。管３３の終端部の位置は重要ではないが、液体は研磨パッド表面で遠心的に流れるため、好ましくはパッドの中心近くに設置するのがよい。」
ｄ．（段落【００５９】〜【００６１】）
「【００５９】スラリーがシステム全体に循環したら、ウェハを担体に搭載して研磨パッドへ設置する。ステップ７１で、スラリーの一部がキャッチリングから回収され、かつスラリーの別の一部はキャッチリングからドレーンへ溢れ出る。ステップ７２で、回収されたスラリーは、必要に応じて再生用化学物質と、新しいスラリーと、また必要に応じて水とともに、混合マニホールドへポンプで送られる。混合マニホールドは、ステップ７３で各成分を混ぜ合わせ、リサイクルされたスラリーをステップ７４で測定ステップへ進める。ここで温度およびその他のパラメータが測定され、各センサからのデータに従ってバルブおよび熱交換器の調整が行われる。リサイクルされたスラリーは、ステップ７５でろ過される。ろ過後、スラリーは研磨パッドへ戻され、研磨が完了するまでリサイクルが続く。好適には、戻されるリサイクル済みスラリーの量は除去した量を上回るため、ステップ７７で、スラリーの一部をシステムから排出する。
【００６０】研磨パッドを濡れた状態に保ち、かつパッド上でのスラリーの乾燥を防ぐために、定期的に、時には一晩中、大量の非イオン化水が用いられる。本発明の他の実施形態では、非イオン化水またはｐＨ調整済み水を長期の待機時間中に再循環させてパッドを濡れた状態に保つことにより、非イオン化水を大幅に節約できる。また、リサイクルされたスラリーは待機時間中でも流れ続けるため、パッドを非イオン化水で定期的に濡らすのを完全にやめることができる。
【００６１】ＣＭＰでは、スラリー以外の化学物質のリサイクルも可能である。多くの方法では、非イオン化水またはｐＨ調節されたすすぎ水と選択したパッドとを用いて、第２の研磨台上で第２の研磨工程つまりバフ工程が行われる。第２の研磨台についてすすぎ用化学物質をリサイクルするには、スラリーと同様の方法を用いる。つまり、回収（溢れに関係なし）、再生、測定、ろ過、および再循環を行う。」
　
　摘記事項ｄから、バルブが新しいスラリー、再生用化学物質及び非イオン化水のそれぞれを所与の必要な流量で供給することが理解される。また、摘記事項ｃにおいて、「ｐＨセンサ」、「導電率センサ」等が、スラリーの化学的特性を感知するセンサ群を構成するものであることは、当業者にとって明白である。
　そこで、上記摘記事項を本件発明の記載に沿って整理すると、刊行物には、以下の発明が記載されていると認められる。
「スラリーを使用する化学機械研磨装置と一緒に使用するための、システムであって、
　混合マニホールドと、
　新しいスラリー、再生用化学物質及び非イオン化水を含む複数の容器またはリザバであって、前記混合マニホールドに必要な流量で新しいスラリー、再生用化学物質及び非イオン化水を供給するために、前記混合マニホールドと流体で連絡しているような複数の容器またはリザバと、
　前記混合マニホールドに接続され、前記スラリーの化学的特性を感知するように構成されたセンサ群と、
　前記センサ群および前記混合マニホールドに接続され、前記スラリー成分の中の少なくとも一つを所与の流量で導入するように構成されたフィードバックループとを備えるシステム。」（以下、「刊行物記載の発明」という。）
　
４．対比
　本件発明と刊行物記載の発明とを対比すると、後者の「化学機械研磨装置」、「システム」、「混合マニホールド」、「センサ群」及び「フィードバックループ」が、前者の「研磨装置」、「連続スラリー供給システム」、「混合チャンバ」、「化学的パラメータ・センサ・システム」及び「制御システム」にそれぞれ相当することは明白であり、後者の「新しいスラリー、再生用化学物質及び非イオン化水」は前者の「異なるスラリー成分」に該当することが明白であるから、後者の「容器またはリザバ」は前者の「スラリー成分タンク」に相当する。
　そうしてみると、本件発明と刊行物１記載の発明との間には、以下の一致点及び相違点があるものと認められる。　
【一致点】
「スラリーを使用する研磨装置と一緒に使用するための、連続スラリー供給システムであって、
　混合チャンバと、
　各異なるスラリー成分を含み複数のスラリー成分タンクであって、前記混合チャンバに必要な流量で異なるスラリー成分を供給するために、前記混合チャンバと流体で連絡しているような複数のスラリー成分タンクと、
　前記混合チャンバに接続され、前記スラリーの化学的特性を感知するように構成された化学的パラメータ・センサ・システムと、
　前記化学的パラメータ・センサ・システムおよび前記混合チャンバに接続され、前記スラリー成分の中の少なくとも一つを所与の流量で導入するように構成された制御システムと、を備える
連続スラリー供給システム。」である点。
【相違点１】
　混合チャンバは、前者ではスラリー供給システムの全容量の１／７００以下の容量を持ち、ここで、前記混合チャンバの容量は、前記スラリーの化学的濃度、温度、ｐＨ及び比重を迅速に調節するため設定されるのに対し、後者ではこのような特定がない点。
【相違点２】
　前者は混合チャンバと流体で連絡している予備分配チャンバを備えるのに対し、後者はそのようなものでない点。
　
５．当審の判断　
　以下、上記各相違点について検討する。　
　
5.1　【相違点１】について
　刊行物には、摘記事項ｄから容易に理解されるように、スラリーによる研磨のほかに、非イオン水によるすすぎも行うことが記載されていることから、刊行物記載の発明においては混合チャンバで調整する液の組成等を調節するほか、液を切り換えることも行っていることは明白である。液の組成等の調節と切り換えにあたり、混合チャンバの容量が小さい方が、迅速な調節と切り換えが可能であることは、当業者にとって自明である。 
 　混合チャンバの容量をスラリー供給システムの全容量の１／７００以下とすることは、平成１９年６月２１日付回答書における「数値範囲に厳密な意義を有するものではなく」なる記載からも理解されるように、たまたま本願の明細書中に例示されていたという以外、具体的な数値に何ら技術的な意義を見出すことはできないため、当業者が適宜選択し得る設計上の事項に過ぎないというべきである。 
　したがって、【相違点１】に係る発明特定事項を本件発明のものとすることは、当業者が容易に想到し得る。 
　
5.2　【相違点２】について
　本願の明細書には予備分配チャンバを設けることの技術的な意義について記載が見当たらず、また、平成２０年１月１７日付意見書においても何ら主張がなされていないが、混合チャンバの下流側に別体のスラリーチャンバを設けることは、例えば特開平９−５７６０９号公報に示されるように従来周知の技術であり、刊行物記載のシステム発明においてもこのようなチャンバを設けることを妨げる要因はないため、【相違点２】に係る発明特定事項を本件発明のものとすることは、当業者が容易に想到し得るものである。
　
5.3　まとめ
　本件発明には、刊行物記載の発明及び従来周知の技術とに基いて普通に予測される範囲を超える格別の作用効果を見出すこともできないから、本件発明は刊行物記載の発明及び従来周知の技術とに基いて当業者が容易に発明をすることができたものというべきであるため、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、請求項２ないし１０に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。