(57)【要約】  気体センサ（２００）と、気体センサ（２００）に所定の電圧を印加する電源回路（１０２２）と、気体の漏洩の有無を判断する制御回路（１０２３）とを備え、電源回路（１０２２）は、第１の電圧を生成するリセット電源（９４０）と、気体センサ（２００）の金属酸化物層の抵抗値の測定するための検知電圧を生成する検知電源（９２０）と、を備え、気体センサ（２００）の金属酸化物層を流れる電流が所定の値ＩＴＨ以上である場合に、リセット電源（９４０）により、気体センサ（２００）に第１の電圧を印加して気体センサ（２００）の金属酸化物層を高抵抗状態に再設定するリセットを行い、制御回路（１０２３）は、最初のリセット後に行われるリセットの、当該リセットが行われる状態に応じて、気体の漏洩が有ると判断する。
2018123673.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体センサと、前記気体センサに所定の電圧を印加する電源回路と、前記気体の漏洩の有無を判断する判断部とを備え、
前記気体センサは、
第１の電極と、
第２の電極と、
前記第１の電極及び前記第２の電極の間に配置され、バルク領域と、前記バルク領域に囲まれ、かつ、前記バルク領域よりも大きい酸素不足度を有する局所領域とを含む金属酸化物層と、
前記第１の電極、前記第２の電極、及び前記金属酸化物層を覆い、かつ、前記第２の電極の主面の一部を露出させる開口を有する絶縁膜と、を備え、
前記金属酸化物層は、第１の電圧が印加されることによって低抵抗状態から高抵抗状態に遷移し、かつ、前記第１の電圧とは異なる第２の電圧が印加されることによって前記高抵抗状態から前記低抵抗状態に遷移する、可逆的な抵抗変化特性を有し、
前記金属酸化物層の抵抗値は、水素原子を含有する気体が前記第２の電極に接したときに減少し、
前記電源回路は、
前記第１の電圧を生成する第１の電源回路と、
前記金属酸化物層の前記抵抗値の測定するための検知電圧を生成する第２の電源回路と、を備え、
前記金属酸化物層を流れる電流が所定の値以上である場合に、前記第１の電源回路により、前記第１の電極及び前記第２の電極の間に前記第１の電圧を印加して前記金属酸化物層を前記高抵抗状態に再設定するリセットを行い、
前記判断部は、最初の前記リセット後に行われる前記リセットの、当該リセットが行われる状態に応じて、前記気体の漏洩が有ると判断する、
気体検出装置。
【請求項２】
前記判断部は、
最初の前記リセットが行われた後次の前記リセットが行われるまでの待ち時間を設定する時間設定器を有し、
前記時間設定器において設定された前記待ち時間内に再度前記リセットが行われたときに、前記気体の漏洩が有ると判断する、
請求項１に記載の気体検出装置。
【請求項３】
前記判断部は、
最初の前記リセットが行われた後に行われる前記リセットの回数をカウントするカウンタを有し、
前記カウンタでカウントされた前記リセットの回数が、最初の前記リセットが行われた後所定の期間内に所定の回数以上であるときに、前記気体の漏洩が有ると判断する、
請求項１に記載の気体検出装置。
【請求項４】
前記所定の回数は、１以上である、
請求項３に記載の気体検出装置。
【請求項５】
前記判断部は、さらに、前記所定の回数が０であるときに気体の漏洩が有ると判断する第１のモードと、前記所定の回数が１以上であるときに気体の漏洩が有ると判断する第２のモードとを切り替える切替器を有する、
請求項３に記載の気体検出装置。
【請求項６】
電流測定器をさらに備え、
前記電流測定器は、前記第１の電源回路が前記第１の電極及び前記第２の電極の間に前記検知電圧を印加しているときに、前記第１の電極及び前記第２の電極の間を流れる電流値を前記金属酸化物層を流れる電流として測定する、
請求項１〜５のいずれか一項に記載の気体検出装置。
【請求項７】
前記検知電圧の絶対値は、前記第１の電圧の絶対値よりも小さい、
請求項１〜６のいずれか一項に記載の気体検出装置。
【請求項８】
前記電源回路は、前記気体センサを前記第１の電源回路及び前記第２の電源回路のいずれに接続させるかを切り替えるスイッチをさらに備える、
請求項１〜７のいずれか一項に記載の気体検出装置。
【請求項９】
前記第２の電極の前記主面の前記一部は、前記気体が接触できるように構成されている、
請求項１〜８のいずれか一項に記載の気体検出装置。
【請求項１０】
前記金属酸化物層は、第１の電極に接し、前記バルク領域よりも大きい酸素不足度を有する第１の金属酸化物層と、第２の電極に接し、かつ、前記バルク領域を含む第２の金属酸化物層とを備え、
前記局所領域は、前記第２の電極に接し、かつ、前記第２の金属酸化物層を貫通する、
請求項１〜９のいずれか一項に記載の気体検出装置。
【請求項１１】
前記第２の電極は、前記気体に含まれる分子から前記水素原子を解離させる、
請求項１〜１０のいずれか一項に記載の気体検出装置。
【請求項１２】
前記第２の電極は、白金、パラジウム、及び、イリジウムからなる群から選択される少なくとも１種を含有する、
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の気体検出装置。
【請求項１３】
前記金属酸化物層は、遷移金属酸化物及びアルミニウム酸化物の少なくとも一方を含有する、
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の気体検出装置。
【請求項１４】
前記遷移金属酸化物は、タンタル酸化物、ハフニウム酸化物、又はジルコニウム酸化物である、
請求項１３に記載の気体検出装置。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか一項に記載の気体検出装置と、
前記気体検出装置と接続され、かつ外部の機器と無線通信可能な無線インタフェース回路と、
前記気体検出装置における金属酸化物層の抵抗値を、前記無線インタフェース回路を介して、無線通信により取得するアクセス装置と、
を備える気体検出システム。
【請求項１６】
客室と、
水素ガスのタンクが配置されたガスタンク室と、
燃料電池が配置された燃料電池室と、
請求項１〜１４のいずれか一項に記載の気体検出装置と、
を備え、
前記気体検出装置が、前記ガスタンク室内及び前記燃料電池室内のうちの少なくとも一方に配置されている、
燃料電池自動車。
【請求項１７】
気体センサを用いた気体検出方法であって、
前記気体センサは、
第１の電極と、
第２の電極と、
前記第１の電極及び前記第２の電極の間に配置され、バルク領域と、前記バルク領域に囲まれ、かつ、前記バルク領域よりも大きい酸素不足度を有する局所領域とを含む金属酸化物層と、
前記第１の電極、前記第２の電極、及び前記金属酸化物層を覆い、かつ、前記第２の電極の主面の一部を露出させる開口を有する絶縁膜と、を備え、
前記気体検出方法は、
前記金属酸化物層の抵抗値の減少を検知することによって、水素原子を含有する気体を検知するステップと、
前記気体を検知した後、前記第１の電極及び前記第２の電極の間に所定の電圧を印加して、前記金属酸化物層の前記抵抗値を増大させる最初のリセットを行うステップと、
前記最初のリセットを行った後、所定の期間内に再度前記リセットが行われたときに、前記気体の漏洩が有ると判断するステップを含む、
気体検出方法。
【請求項１８】
気体センサを用いた気体検出方法であって、
前記気体センサは、
第１の電極と、
第２の電極と、
前記第１の電極及び前記第２の電極の間に配置され、バルク領域と、前記バルク領域に囲まれ、かつ、前記バルク領域よりも大きい酸素不足度を有する局所領域とを含む金属酸化物層と、
前記第１の電極、前記第２の電極、及び前記金属酸化物層を覆い、かつ、前記第２の電極の主面の一部を露出させる開口を有する絶縁膜と、を備え、
前記気体検出方法は、
前記金属酸化物層の抵抗値の減少を検知することによって、水素原子を含有する気体を検知するステップと、
前記気体を検知した後、前記第１の電極及び前記第２の電極の間に所定の電圧を印加して、前記金属酸化物層の前記抵抗値を増大させる最初のリセットを行うステップと、
前記最初のリセットを行った後、所定の期間内に所定の回数再度前記リセットが行われたときに、前記気体の漏洩が有ると判断するステップを含む、
気体検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、気体センサを備える気体検出装置、気体検出システム、燃料電池自動車、及び気体検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、水素原子を含有するガス（水素含有ガス）の存在を抵抗値の変化として検知する気体センサが開示されている。この気体センサは、基板上に薄膜状の半導体層を有している。半導体層は、例えば、酸化すず、酸化亜鉛、酸化タングステン、酸化チタン、酸化鉄、酸化マグネシウム等の金属酸化物により構成され、水素含有ガスがこれらの金属酸化物を還元することにより、気体センサの抵抗値を変化させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６１−１９１９５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、水素含有ガスの誤検出を抑制することができる気体検出装置、気体検出システム、燃料電池自動車、及び気体検出方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様に係る気体検出装置は、気体センサと、前記気体センサに所定の電圧を印加する電源回路と、前記気体の漏洩の有無を判断する判断部とを備え、前記気体センサは、第１の電極と、第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極の間に配置され、バルク領域と、前記バルク領域に囲まれ、かつ、前記バルク領域よりも大きい酸素不足度を有する局所領域とを含む金属酸化物層と、前記第１の電極、前記第２の電極、及び前記金属酸化物層を覆い、かつ、前記第２の電極の主面の一部を露出させる開口を有する絶縁膜と、を備え、前記金属酸化物層は、第１の電圧が印加されることによって低抵抗状態から高抵抗状態に遷移し、かつ、前記第１の電圧とは異なる第２の電圧が印加されることによって前記高抵抗状態から前記低抵抗状態に遷移する、可逆的な抵抗変化特性を有し、前記金属酸化物層の抵抗値は、水素原子を含有する気体が前記第２の電極に接したときに減少し、前記電源回路は、前記第１の電圧を生成する第１の電源回路と、前記金属酸化物層の前記抵抗値の測定するための検知電圧を生成する第２の電源回路と、を備え、前記金属酸化物層を流れる電流が所定の値以上である場合に、前記第１の電源回路により、前記第１の電極及び前記第２の電極の間に前記第１の電圧を印加して前記金属酸化物層を前記高抵抗状態に再設定するリセットを行い、前記判断部は、最初の前記リセット後に行われる前記リセットの、当該リセットが行われる状態に応じて、前記気体の漏洩が有ると判断する。【０００６】
また、本開示の一態様に係る気体検出システムは、上述した特徴を有する気体検出装置と、前記気体検出装置と接続され、かつ外部の機器と無線通信可能な無線インタフェース回路と、前記気体検出装置における金属酸化物層の抵抗値を、前記無線インタフェース回路を介して、無線通信により取得するアクセス装置と、を備える。【０００７】
また、本開示の一態様に係る燃料電池自動車は、客室と、水素ガスのタンクが配置されたガスタンク室と、燃料電池が配置された燃料電池室と、上述した特徴を有する気体検出装置と、を備え、前記気体検出装置が、前記ガスタンク室内及び前記燃料電池室内のうちの少なくとも一方に配置されている。【０００８】
また、本開示の一態様に係る気体検出方法は、気体センサを用いた気体検出方法であって、前記気体センサは、第１の電極と、第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極の間に配置され、バルク領域と、前記バルク領域に囲まれ、かつ、前記バルク領域よりも大きい酸素不足度を有する局所領域とを含む金属酸化物層と、前記第１の電極、前記第２の電極、及び前記金属酸化物層を覆い、かつ、前記第２の電極の主面の一部を露出させる開口を有する絶縁膜と、を備え、前記気体検出方法は、前記金属酸化物層の抵抗値の減少を検知することによって、水素原子を含有する気体を検知するステップと、前記気体を検知した後、前記第１の電極及び前記第２の電極の間に所定の電圧を印加して、前記金属酸化物層の前記抵抗値を増大させる最初のリセットを行うステップと、前記最初のリセットを行った後、所定の期間内に再度前記リセットが行われたときに、前記気体の漏洩が有ると判断するステップを含む。【０００９】
また、本開示の一態様に係る気体検出方法は、気体センサを用いた気体検出方法であって、前記気体センサは、第１の電極と、第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極の間に配置され、バルク領域と、前記バルク領域に囲まれ、かつ、前記バルク領域よりも大きい酸素不足度を有する局所領域とを含む金属酸化物層と、前記第１の電極、前記第２の電極、及び前記金属酸化物層を覆い、かつ、前記第２の電極の主面の一部を露出させる開口を有する絶縁膜と、を備え、前記気体検出方法は、前記金属酸化物層の抵抗値の減少を検知することによって、水素原子を含有する気体を検知するステップと、前記気体を検知した後、前記第１の電極及び前記第２の電極の間に所定の電圧を印加して、前記金属酸化物層の前記抵抗値を増大させる最初のリセットを行うステップと、前記最初のリセットを行った後、所定の期間内に所定の回数再度前記リセットが行われたときに、前記気体の漏洩が有ると判断するステップを含む。
【発明の効果】
【００１０】
本開示の一態様に係る気体検出装置、気体検出システム、燃料電池自動車、及び気体検出方法は、水素含有ガスの誤検出を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１Ａ】図１Ａは、第１の実施形態に係る気体センサの一例を示す断面図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、第１の実施形態に係る気体センサの一例を示す上面図である。
【図２】図２は、第１の実施形態に係る気体センサの状態遷移一例を示す図である。
【図３】図３は、第１の実施形態に係る気体センサの電流−電圧特性一例を示す図である。
【図４Ａ】図４Ａは、第１の実施形態に係る気体センサの製造方法の一例を示す断面図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、第１の実施形態に係る気体センサの製造方法の一例を示す断面図である。
【図４Ｃ】図４Ｃは、第１の実施形態に係る気体センサの製造方法の一例を示す断面図である。
【図４Ｄ】図４Ｄは、第１の実施形態に係る気体センサの製造方法の一例を示す断面図である。
【図４Ｅ】図４Ｅは、第１の実施形態に係る気体センサの製造方法の一例を示す断面図である。
【図４Ｆ】図４Ｆは、第１の実施形態に係る気体センサの製造方法の一例を示す断面図である。
【図４Ｇ】図４Ｇは、第１の実施形態に係る気体センサの製造方法の一例を示す断面図である。
【図５】図５は、第１の実施形態の変形例に係る気体センサの断面図である。
【図６】図６は、第１の実施形態の変形例に係る気体センサの評価システムを示す図である。
【図７】図７は、第１の実施形態の変形例に係る気体センサの評価結果を示す図である。
【図８Ａ】図８Ａは、第１の実施形態に係る気体検出装置の一例を示す回路図である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、第１の実施形態に係る気体検出装置の一例を示す回路図である。
【図９】図９は、第１の実施形態に係る気体検出装置のリセット動作の前後における気体センサ２００を流れる電流を示す図である。
【図１０】図１０は、第１の実施形態に係る気体検出方法を説明するための図である。
【図１１】図１１は、第１の実施形態に係る気体検出方法の一例を示すフローチャートである。
【図１２】図１２は、第２の実施形態に係る気体検出方法を説明するための図である。
【図１３】図１３は、第２の実施形態に係る気体検出方法の一例を示すフローチャートである。
【図１４】図１４は、第３の実施形態にかかる気体検出装置の一例を示す回路図である。
【図１５】図１５は、第４の実施形態に係る気体検出システムの構成の一例を示す模式図である。
【図１６】図１６は、第５の実施形態に係る燃料電池自動車の構成の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（本開示の基礎となった知見）
本発明者らが鋭意検討を行なった結果、従来の気体センサにおいて、以下のような問題があることを見出した。
【００１３】
従来の気体検出装置では、突発的に水素が流入する等の外乱が生じた場合であっても、気体検出装置は気体が漏洩していると誤検出し、これにより、気体の漏洩が報知されたり気体検出装置が取り付けられている機器が停止されたりするという不具合が生じていた。
【００１４】
これに対し、本開示の一態様に係る気体検出装置は、外乱等によって生じる水素含有ガスの誤検出を抑制し、外乱等による誤検出と気体の漏洩の検出とを区別することができる。
【００１５】
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１６】
なお、図面において、実質的に同一の構成、動作、および効果を表す要素については、同一の符号を付し、説明を省略する。また、以下において記述される数値、材料、組成、形状、成膜方法、構成要素間の接続関係などは、すべて本開示の実施の形態を具体的に説明するための単なる例示であり、本開示はこれらに限定されない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
【００１７】
（第１の実施形態）
［気体センサの構成］
第１の実施形態に係る気体センサは、抵抗膜（金属酸化物層）と金属膜とが積層されてなる金属−絶縁膜−金属（ＭＩＭ）構造の気体センサである。当該気体センサは、抵抗膜内に形成される局所領域での自己発熱と気体感応性とを利用することにより、ヒータで加熱することなく、水素含有ガスを検出することができる。ここで、水素含有ガスとは、水素原子を有する分子からなる気体の総称であり、一例として、水素、メタン、アルコールなどを含み得る。
【００１８】
図１Ａは、第１の実施形態に係る気体センサ１００の一構成例を示す断面図である。
【００１９】
図１Ｂは、第１の実施形態に係る気体センサ１００の一構成例を示す上面図である。図１Ａの断面は、図１Ｂの１Ａ−１Ａの切断線において矢印方向に見た断面に対応する。
【００２０】
気体センサ１００は、基板１０１、基板１０１上に形成された絶縁膜１０２、絶縁膜１０２の上方に形成された第１の電極１０３、第２の電極１０６、第１の電極１０３と第２の電極１０６とで挟まれた抵抗膜１０４、絶縁膜１０７、ビア１０８、及び配線１０９を備えている。第１の電極１０３の主面と第２の電極１０６の主面とは対向して配置され、第１の電極１０３の主面と第２の電極１０６の主面とに接して抵抗膜１０４が配置されている。
【００２１】
絶縁膜１０７には、第２の電極１０６を検査対象である気体に接触させるための開口１０７ａが設けられている。言い換えると、絶縁膜１０７は、第１の電極１０３、第２の電極１０６及び抵抗膜１０４を覆いつつ、第２の電極１０６の上面（上記した主面に対向する他面）の少なくとも一部は絶縁膜１０７に覆われることなく露出している。
【００２２】
抵抗膜１０４は、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に介在する。抵抗膜１０４の抵抗値は、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に与えられる電気的信号に基づいて可逆的に抵抗値が変化する。例えば、抵抗膜１０４の抵抗状態は、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に与えられる電圧（電位差）に応じて高抵抗状態と低抵抗状態とを可逆的に遷移する。また、抵抗膜１０４の抵抗状態は、第２の電極１０６に接触した水素含有ガスに応じて、例えば、高抵抗状態から低抵抗状態に遷移する。
【００２３】
ここで、抵抗膜１０４の内部には、第２の電極１０６と接して配置され、第１の電極１０３に接していない局所領域１０５を備えている。局所領域１０５の酸素不足度は、その周囲（すなわち抵抗膜１０４のバルク領域）の酸素不足度よりも大きい。局所領域１０５の酸素不足度は、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間への電気的信号の印加及び第２の電極１０６が接触する気体中の水素含有ガスの有無に応じて可逆的に変化する。局所領域１０５は、酸素欠陥サイトから構成されるフィラメント（導電パス）を含む微小な領域である。
【００２４】
絶縁膜１０７は、第２の電極１０６の上面を覆っている部分において、ビア１０８が絶縁膜１０７を貫通して第２の電極１０６に接続されている。ビア１０８の上に配線１０９が配置されている。
【００２５】
なお、本開示において、金属酸化物の「酸素不足度」とは、当該金属酸化物と同じ元素から構成される化学量論的組成の酸化物における酸素の量に対する、当該金属酸化物における酸素の不足量の割合をいう（ここで、酸素の不足量とは、化学量論的組成の金属酸化物における酸素の量から当該金属酸化物における酸素の量を引いた値である）。もし、当該金属酸化物と同じ元素から構成される化学量論的組成の金属酸化物が複数存在しうる場合、当該金属酸化物の酸素不足度は、それらの化学量論的組成の金属酸化物のうち最も高い抵抗値を有する１つに基づいて定義される。化学量論的組成の金属酸化物は、他の組成の金属酸化物と比べて、より安定でありかつより高い抵抗値を有している。
【００２６】
例えば、金属がタンタル（Ｔａ）の場合、上述の定義による化学量論的組成の酸化物はＴａ２Ｏ５であるので、ＴａＯ２．５と表現できる。ＴａＯ２．５の酸素不足度は０％であり、ＴａＯ１．５の酸素不足度は、酸素不足度＝（２．５−１．５）／２．５＝４０％となる。また、酸素過剰の金属酸化物は、酸素不足度が負の値となる。なお、本開示では、特に断りのない限り、酸素不足度は正の値、０、又は負の値をとり得る。
【００２７】
酸素不足度の小さい酸化物は化学量論的組成の酸化物により近いため抵抗値が高く、酸素不足度の大きい酸化物は酸化物を構成する金属により近いため抵抗値が低い。
【００２８】
「酸素含有率」とは、総原子数に占める酸素原子の比率である。例えば、Ｔａ２Ｏ５の酸素含有率は、総原子数に占める酸素原子の比率（Ｏ／（Ｔａ＋Ｏ））であり、７１．４ａｔｍ％となる。従って、酸素不足型のタンタル酸化物は、酸素含有率は０より大きく、７１．４ａｔｍ％より小さいことになる。
【００２９】
局所領域１０５は、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に初期ブレイク電圧を印加することによって、抵抗膜１０４内に形成される。言い換えると、初期ブレイク電圧とは、局所領域１０５を形成するために、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に印加される電圧である。初期ブレイク電圧は、書き込み電圧より絶対値が大きい電圧であってもよい。書き込み電圧とは、抵抗膜１０４を高抵抗状態と低抵抗状態とに可逆的に遷移させるために、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に印加される電圧である。あるいは、初期ブレイク電圧は、書き込み電圧より絶対値が小さい電圧であってもよい。この場合は、初期ブレイク電圧を繰り返し印加するか、または所定時間連続して印加してもよい。初期ブレイク電圧の印加により、図１Ａに示すように、第２の電極１０６と接し、第１の電極１０３と接していない局所領域１０５が形成される。
【００３０】
局所領域１０５は、酸素欠陥サイトから構成されるフィラメント（導電パス）を含むと考えられる。局所領域１０５の大きさは、電流を流すために必要なフィラメントに見合う微小な大きさである。局所領域１０５におけるフィラメントの形成は、パーコレーションモデルを用いて説明される。
【００３１】
パーコレーションモデルとは、局所領域１０５中での酸素欠陥サイトのランダムな分布を仮定し、酸素欠陥サイトの密度がある閾値を越えると酸素欠陥サイトのつながりが形成される確率が増加するという理論に基づくモデルである。
【００３２】
パーコレーションモデルによれば、フィラメントは、局所領域１０５中の複数の酸素欠陥サイトがつながることにより構成され、抵抗膜１０４における抵抗変化は、局所領域１０５における酸素欠陥サイトの発生及び消失を通じて発現する。
【００３３】
ここで、「酸素欠陥」とは、金属酸化物中で酸素が化学量論的組成から欠損していることを意味し、「酸素欠陥サイトの密度」は、酸素不足度とも対応している。つまり、酸素不足度が大きくなると、酸素欠陥サイトの密度も大きくなる。
【００３４】
局所領域１０５は、気体センサ１００の１つの抵抗膜１０４に１ケ所のみ形成されてもよい。抵抗膜１０４に形成されている局所領域１０５の数は、例えば、ＥＢＡＣ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｂｅａｍ  Ａｂｓｏｒｂｅｄ  Ｃｕｒｒｅｎｔ）解析によって確認することができる。
【００３５】
抵抗膜１０４内に局所領域１０５が存在する場合、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に電圧を印加した際、抵抗膜１０４内の電流は局所領域１０５に集中的に流れる。
【００３６】
局所領域１０５のサイズは小さい。そのため、局所領域１０５は、例えば、抵抗値を読み出すときに流れる数十μＡ程度の電流によって発熱し、この発熱がかなりの温度上昇を引き起こす。数十μＡ程度の電流が流れるとき、その消費電力は０．１ｍＷ未満である。
【００３７】
そこで、第２の電極１０６を触媒作用のある金属（例えばＰｔ）で構成され、局所領域１０５は第２の電極１０６に接する。これらの構成によれば、局所領域１０５における発熱によって第２の電極１０６が加熱され、水素含有ガスから水素原子が効率よく解離する。
【００３８】
検査対象である気体中に水素含有ガスがあるとき、第２の電極１０６において、水素含有ガスから水素原子が解離され、解離された水素原子は局所領域１０５内の酸素原子と結合し、その結果、局所領域１０５の抵抗値が低下する。
【００３９】
このようにして、気体センサ１００は、第２の電極１０６が水素含有ガスに接すると第１の電極１０３と第２の電極１０６との間の抵抗値が低下する特性を有する。当該特性により、検査対象である気体が第２の電極１０６に接したとき、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間の抵抗値の低下を検出することによって、気体に含まれる水素含有ガスを検出することができる。
【００４０】
なお、局所領域１０５が高抵抗状態及び低抵抗状態の何れの状態であっても、水素含有ガスが第２の電極１０６に接することで抵抗値の低下が生じる。そのため、水素含有ガスの検出は、局所領域１０５が高抵抗状態及び低抵抗状態の何れの状態にある気体センサ１００によっても可能である。ただし、抵抗値の低下をより明確に検出できるように、局所領域１０５をあらかじめ電気的に高抵抗状態に設定した気体センサ１００を用いてもよい。
【００４１】
以下では、安定的な抵抗変化特性を得るための気体センサ１００の細部について説明する。
【００４２】
抵抗膜１０４は、酸素不足型の金属酸化物から構成される。当該金属の酸化物の母体金属は、タンタル（Ｔａ）、ハフニウム（Ｈｆ）、チタニウム（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、鉄（Ｆｅ）等の遷移金属と、アルミニウム（Ａｌ）とから少なくとも１つ選択されてもよい。遷移金属は複数の酸化状態をとることができるため、異なる抵抗状態を酸化還元反応により実現することが可能である。
【００４３】
ここで、酸素不足型の金属酸化物とは、同一の金属元素を含有する化学量論的組成の金属酸化物に比べて、酸素不足度が大きい金属酸化物である。化学量論的組成の金属酸化物が典型的に絶縁体であるのに対し、酸素不足型の金属酸化物は典型的に半導体的な特性を有する。酸素不足型の金属酸化物を抵抗膜１０４に用いることで、気体センサ１００は、再現性がよくかつ安定した抵抗変化動作を実現できる。
【００４４】
例えば、抵抗膜１０４を構成する金属酸化物としてハフニウム酸化物を用いる場合、その組成をＨｆＯｘと表記した場合にｘが１．６以上であるとき、抵抗膜１０４の抵抗値を安定して変化させることができる。この場合、ハフニウム酸化物の膜厚は、３〜４ｎｍとしてもよい。
【００４５】
また、抵抗膜１０４を構成する金属酸化物としてジルコニウム酸化物を用いる場合、その組成をＺｒＯｘと表記した場合にｘが１．４以上であるとき、抵抗膜１０４の抵抗値を安定して変化させることができる。この場合、ジルコニウム酸化物の膜厚は、１〜５ｎｍとしてもよい。
【００４６】
また、抵抗膜１０４を構成する金属酸化物としてタンタル酸化物を用いる場合、その組成をＴａＯｘと表記した場合にｘが２．１以上であるとき、抵抗膜１０４の抵抗値を安定して変化させることができる。
【００４７】
以上の各金属酸化物層の組成についてはラザフォード後方散乱法を用いて測定できる。
【００４８】
第１の電極１０３および第２の電極１０６の材料としては、例えば、Ｐｔ（白金）、Ｉｒ（イリジウム）、Ｐｄ（パラジウム）、Ａｇ（銀）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｗ（タングステン）、Ｃｕ（銅）、Ａｌ（アルミニウム）、Ｔａ（タンタル）、Ｔｉ（チタン）、ＴｉＮ（窒化チタン）、ＴａＮ（窒化タンタル）およびＴｉＡｌＮ（窒化チタンアルミニウム）などから選択される。
【００４９】
具体的に、第２の電極１０６は、例えば、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、又はパラジウム（Ｐｄ）、若しくは、これらのうちの少なくとも１つを含む合金など、水素原子を有する気体分子から水素原子を解離する触媒作用を有する材料で構成する。また、第１の電極１０３は、例えば、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、タンタル（Ｔａ）、チタン（Ｔｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、窒化タンタル（ＴａＮ）、窒化チタン（ＴｉＮ）など、金属酸化物を構成する金属と比べて標準電極電位が、より低い材料で構成してもよい。標準電極電位は、その値が高いほど酸化しにくい特性を表す。
【００５０】
また、基板１０１としては、例えば、シリコン単結晶基板または半導体基板を用いることができるが、これらに限定されるわけではない。抵抗膜１０４は比較的低い基板温度で形成することが可能であるため、例えば、樹脂材料などの上に抵抗膜１０４を形成することもできる。
【００５１】
また、気体センサ１００は、抵抗膜１０４に電気的に接続された負荷素子として、例えば固定抵抗、トランジスタ、またはダイオードをさらに備えてもよい。
【００５２】
ここで、気体センサ１００の電圧印加による抵抗変化特性について、サンプル素子による実測結果に基づいて説明する。なお、気体センサ１００の水素含有ガスによる抵抗変化特性については、後述する。
【００５３】
図２は、サンプル素子で実測された抵抗変化特性を示すグラフである。
【００５４】
図２の測定結果が得られたサンプル素子である気体センサ１００は、第１の電極１０３および第２の電極１０６並びに抵抗膜１０４の大きさを０．５μｍ×０．５μｍ（面積０．２５μｍ２）としたものである。また、抵抗膜１０４としてのタンタル酸化物の組成をＴａＯｙと表記したとき、ｙ＝２．４７としている。さらに、抵抗膜１０４の厚みを５ｎｍとしている。このような気体センサ１００に対して、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に読み出し用電圧（例えば０．４Ｖ）を印加した場合、初期抵抗値ＲＩは約１０７〜１０８Ωである。
【００５５】
図２に示されるように、気体センサ１００の抵抗値が初期抵抗値ＲＩ（高抵抗状態における抵抗値ＨＲより高い値）である場合、初期ブレイク電圧を第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に印加することにより、抵抗値が低抵抗値ＬＲに変化する（Ｓ１０１）。その後、気体センサ１００の第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に、書き込み用電圧として、例えばパルス幅が１００ｎｓでかつ極性が異なる２種類の電圧パルス、すなわち正電圧パルスと負電圧パルスとを交互に印加すると、図２に示すように第１の電極１０３と第２の電極１０６との間の抵抗値が変化する。
【００５６】
すなわち、書き込み用電圧として正電圧パルス（パルス幅１００ｎｓ）を電極間に印加した場合、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間の抵抗値が低抵抗値ＬＲから高抵抗値ＨＲへ増加する（Ｓ１０２）。他方、書き込み用電圧として負電圧パルス（パルス幅１００ｎｓ）を電極間に印加した場合、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間の抵抗値が高抵抗値ＨＲから低抵抗値ＬＲへ減少する（Ｓ１０３）。なお、電圧パルスの極性は、第１の電極１０３の電位を基準として第２の電極１０６の電位が高い場合が“正”であり、第１の電極１０３の電位を基準として第２の電極１０６の電位が低い場合が“負”である。
【００５７】
図３は、気体センサ１００の電流−電圧特性の一例を示す図である。図３では、気体センサ１００の第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に変動する電圧を印加しながら、気体センサに流れる電流を測定して得られた電流−電圧特性を示している。具体的に、気体センサ１００をあらかじめ高抵抗状態に設定しておき、印加電圧を（１）まず、０から負の書き込み用電圧ＶＬまで変化させ、（２）次に、負の書き込み用電圧ＶＬから正の書き込み用電圧ＶＨまで変化させ、（３）最後に、正の書き込み用電圧ＶＨから０まで変化させた。ここで、電圧の正と負の定義は上述の通りである。
【００５８】
印加電圧が所定の大きさの負電圧に達したとき、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間の抵抗値が高抵抗値ＨＲから低抵抗値ＬＲへ減少（電流の絶対値が増加）する。一方、印加電圧が所定の大きさの正電圧に達したとき、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間の抵抗値が低抵抗値ＬＲから高抵抗値ＨＲへ増加（電流の絶対値が減少）する。
【００５９】
［気体センサの製造方法と動作］
次に、図４Ａ〜図４Ｇを参照しながら、気体センサ１００の製造方法の一例について説明する。
【００６０】
まず、図４Ａに示すように、例えば単結晶シリコンである基板１０１上に、厚さ２００ｎｍの絶縁膜１０２を熱酸化法により形成する。そして、第１の電極１０３として例えば厚さ１００ｎｍのＰｔ薄膜を、スパッタリング法により絶縁膜１０２上に形成する。なお、第１の電極１０３と絶縁膜１０２との間にＴｉ、ＴｉＮなどの密着層をスパッタリング法により形成することもできる。その後、第１の電極１０３上に、抵抗膜１０４となる酸素不足型の金属酸化物層を、例えばＴａターゲットを用いた反応性スパッタリング法で形成する。以上により抵抗膜１０４が形成される。
【００６１】
ここで、抵抗膜１０４の厚みについては、厚すぎると初期抵抗値が高くなりすぎる等の不都合があり、薄すぎると安定した抵抗変化が得られないという不都合がある。以上の理由から、１ｎｍ以上８ｎｍ以下程度であってもよい。
【００６２】
次に、抵抗膜１０４上に、第２の電極１０６として例えば厚さ１５０ｎｍのＰｔ薄膜をスパッタリング法により形成する。
【００６３】
次に、図４Ｂに示すように、フォトリソグラフィー工程によって、フォトレジストによるマスク３００を形成する。その後、図４Ｃに示すように、マスク３００を用いたドライエッチングによって、第１の電極１０３、抵抗膜１０４、及び第２の電極１０６を素子の形状に形成する。
【００６４】
その後、図４Ｄに示すように、絶縁膜１０２、第１の電極１０３、抵抗膜１０４、及び第２の電極１０６を覆うように絶縁膜１０７を形成する。そして、エッチングによって、絶縁膜１０７に第２の電極１０６の上面の一部に到達するビアホール１０７ｂを設ける。
【００６５】
次に、図４Ｅに示すように、絶縁膜１０７の上面及びビアホール１０７ｂの内部を充填するように導体膜４０８を形成する。その後、図４Ｆに示すように、ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）によって絶縁膜１０７上の導体膜４０８を除去してビアホール１０７ｂ内にビア１０８を形成する。さらに新たな導体膜を絶縁膜１０７上に配置してパターニングすることによって、ビア１０８と接続する配線１０９を形成する。
【００６６】
次に、図４Ｇに示すように、エッチングによって、絶縁膜１０７に第２の電極１０６の上面の一部が露出する開口１０７ａを設ける。
【００６７】
その後、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に初期ブレイク電圧を印加することにより、抵抗膜１０４内に図１Ａに示す局所領域１０５を形成し、気体センサ１００が完成する。
【００６８】
［気体センサの変形例］
図５は、第１の実施形態の変形例に係る気体センサの一構成例を示す断面図である。以下、第１の実施形態の気体センサ１００と異なる点についてのみ説明する。
【００６９】
本変形例の気体センサ２００は、抵抗膜２０４が、第１の電極１０３に接する第１の金属酸化物層２０４ａと第２の電極１０６に接する第２の金属酸化物層２０４ｂとの２層を積層して構成される点で、第１の実施形態の気体センサ１００と異なる。なお、抵抗膜２０４は、２層に限らず３層以上の金属酸化物層を積層してもよい。
【００７０】
第１の金属酸化物層２０４ａ及び第２の金属酸化物層２０４ｂ内には、電気的パルスの印加及び水素含有ガスに応じて酸素不足度が可逆的に変化する局所領域１０５を備えている。局所領域１０５は、少なくとも第２の金属酸化物層２０４ｂを貫通して第２の電極１０６と接して形成される。
【００７１】
言い換えると、抵抗膜２０４は、少なくとも第１の金属酸化物を含む第１の金属酸化物層２０４ａと、第２の金属酸化物を含む第２の金属酸化物層２０４ｂとの積層構造を含む。そして、第１の金属酸化物層２０４ａは、第１の電極１０３と第２の金属酸化物層２０４ｂとの間に配置され、第２の金属酸化物層２０４ｂは、第１の金属酸化物層２０４ａと第２の電極１０６との間に配置されている。
【００７２】
第２の金属酸化物層２０４ｂの厚みは、第１の金属酸化物層２０４ａの厚みより薄くてもよい。この場合、局所領域１０５が第１の電極１０３と接しない構造を容易に形成できる。第２の金属酸化物層２０４ｂの酸素不足度は、第１の金属酸化物層２０４ａの酸素不足度より小さくてもよい。この場合、第２の金属酸化物層２０４ｂの抵抗値は、第１の金属酸化物層２０４ａの抵抗値より高いため、抵抗膜２０４に印加された電圧の多くは第２の金属酸化物層２０４ｂに印加される。この構成は、例えば、初期ブレイク電圧を第２の金属酸化物層２０４ｂに集中させ、局所領域１０５の形成に必要な初期ブレイク電圧を低減するために役立つ。
【００７３】
また、本開示において、第１の金属酸化物層２０４ａと第２の金属酸化物層２０４ｂを構成する金属が同一である場合に、「酸素不足度」に代えて「酸素含有率」という用語を用いることがある。「酸素含有率が高い」とは、「酸素不足度が小さい」ことに対応し、「酸素含有率が低い」とは「酸素不足度が大きい」ことに対応する。
【００７４】
ただし、後述するように、本実施の形態に係る抵抗膜２０４は、第１の金属酸化物層２０４ａと第２の金属酸化物層２０４ｂとを構成する金属は同一である場合に限定されるものではなく、異なる金属であってもよい。すなわち、第１の金属酸化物層２０４ａと第２の金属酸化物層２０４ｂとは異なる金属の酸化物であってもよい。
【００７５】
第１の金属酸化物層２０４ａを構成する第１の金属と、第２の金属酸化物層２０４ｂを構成する第２の金属とが同一である場合、酸素含有率は酸素不足度と対応関係にある。すなわち、第２の金属酸化物の酸素含有率が第１の金属酸化物の酸素含有率より大きいとき、第２の金属酸化物の酸素不足度は第１の金属酸化物の酸素不足度より小さい。
【００７６】
抵抗膜２０４は、第１の金属酸化物層２０４ａと第２の金属酸化物層２０４ｂとの界面近傍に、局所領域１０５を備える。局所領域１０５の酸素不足度は、第２の金属酸化物層２０４ｂの酸素不足度より大きく、第１の金属酸化物層２０４ａの酸素不足度と異なる。
【００７７】
第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に初期ブレイク電圧を印加することによって、局所領域１０５が抵抗膜２０４内に形成される。初期ブレイク電圧により、第２の電極１０６と接し、第２の金属酸化物層２０４ｂを貫通して第１の金属酸化物層２０４ａに一部が侵入し、第１の電極１０３と接していない局所領域１０５が形成される。
【００７８】
このように構成された気体センサ２００の水素含有ガスによる抵抗変化特性の一評価例について説明する。
【００７９】
図６は、気体センサ２００の評価に用いた評価システムの一例を示すブロック図である。図６に示す評価システム９００は、気体センサ２００を格納する密閉容器９１０、検知電圧を生成する検知電源９２０、及び電流測定器９３０を備える。密閉容器９１０は、導入弁９１３、９１４を介して、それぞれ水素ボンベ９１１、窒素ボンベ９１２に接続されるとともに、排気弁９１５を介して内部のガスを排出可能に構成されている。
【００８０】
図７は、気体センサ２００の一評価例を示すグラフである。横軸は時間（ａ．ｕ．）を表し、縦軸は気体センサ２００に流れる電流値（ａ．ｕ．）を表している。実験では、まず、密閉容器９１０内に導入した窒素ガス中に気体センサ２００を置き、検知電圧を印加して電流測定を開始した。その後、密閉容器９１０内に水素ガスを導入し、さらに一定時間後に、導入ガスを水素ガスから窒素ガスに切り替えた。
【００８１】
図７は、このときの結果を示しており、横軸に、先の窒素導入（ステップＳ２０１）、水素導入（ステップＳ２０２）、後の窒素導入（ステップＳ２０３）を行った３期間を示している。導入ガスを窒素ガスから水素ガスに切り替えてから、電流値が増加し始め、電流値が所定の閾値電流ＩＴＨに到達することで水素ガスが検出される。水素ガスの導入開始から電流値が増加して所定の閾値電流に到達するまでの時間を、水素検出時間ｔＤＥＴと表す。水素検出後、電流値はさらに増加して飽和する。
【００８２】
また、水素ガスを検出した後、導入ガスを水素ガスから窒素ガスに切り替えても、電流値は飽和したままで、再び低下することはなかった。すなわち、気体センサ２００は、第２の電極１０６が水素原子を有する水素分子を含む気体（ここでは水素ガス）に接すると第１の電極１０３と第２の電極１０６との間の抵抗値が低下し、この低下の後に第２の電極１０６が水素原子を有しない気体（ここでは窒素ガス）に接しても抵抗値が低下したままの状態を維持する特性を有することが理解できる。
【００８３】
本評価例においては、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間にあらかじめ所定の電圧（リセット電圧）を印加することで局所領域１０５を高抵抗状態に設定した気体センサ２００を用いた。
【００８４】
水素含有ガスの監視動作では、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に０．６Ｖの検知電圧を印加し、水素ガスが検出され、電流値が飽和した状態で、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間には約２０μＡの電流が流れた。
【００８５】
従って、気体センサ２００によれば、高々０．０１２ｍＷの非常に小さい消費電力で、水素含有ガスを監視できることが分かる。この０．６Ｖの電圧は、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に常時印加するとしてもよい。
【００８６】
なお、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に０．４Ｖの検知電圧を印加した場合、水素ガスによる抵抗変化が起こらず、水素ガスを検出できなかった。これは、０．４Ｖの検知電圧の印加では、局所領域１０５での発熱が第２の電極１０６の触媒作用を促進するためには不十分であり、水素ガスを検出可能とするには、０．６Ｖの検知電圧の印加が必要であったものと考えられる。
【００８７】
この場合の０．６Ｖの検知電圧は、第２の電極１０６が水素原子を有する気体分子を含む気体に接すると第１の電極１０３と第２の電極１０６との間の抵抗値が低下する特性を活性化させる検知電圧の一例である。
【００８８】
ここでの検知電圧は、図３に示した読み出し用電圧ＶＳである。水素原子を起因とすること以外では気体センサ２００の抵抗値が変化するのを防ぐ必要がある。図３に示すように、気体センサ２００に所定の大きさの正電圧を印加すると、気体センサ２００の抵抗値は低抵抗から高抵抗に変化し、所定の大きさの負電圧を印加すると、気体センサ２００の抵抗値は高抵抗から低抵抗に変化する。このため、検知電圧（読み出し用電圧ＶＳ）の絶対値は、抵抗値の変化を生じないようにするために、所定の大きさよりも小さい値にしなければならない。
【００８９】
気体センサ２００が、水素ガスを検出して電流値が増加して飽和した後は、水素ガスの濃度が減少しても再び電流値が低下することはない。そのため、気体センサ２００を水素ガス検出前の高抵抗状態に戻すには、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間に再度所定の大きさの正電圧（リセット電圧）を印加する必要がある。
【００９０】
以上の結果から、発明者は、気体センサ２００による水素含有ガスの検出メカニズムを以下のように推測する。
【００９１】
第２の電極１０６に水素含有ガスが接すると、第２の電極１０６の触媒作用により、水素含有ガスから水素原子が解離する。解離された水素原子は、平衡状態を保とうとして、第２の電極１０６中を拡散して、局所領域１０５にまで到達する。
【００９２】
局所領域１０５に到達した水素原子によって、微小な局所領域１０５中で還元反応が発生し、局所領域１０５内の酸素と、上記水素原子とが反応する。局所領域１０５中に新たに酸素欠陥が生じ、局所領域１０５中の酸素不足度が増加する。局所領域１０５中に数多くの酸素欠陥が生じることで、酸素欠陥から形成されるフィラメントが繋がりやすくなり、局所領域１０５の抵抗値が減少する。その結果、第１の電極１０３と第２の電極１０６との間を流れる電流が増加すると考えられる。
【００９３】
なお、上述の動作は、気体センサ２００に限られず、要部の構造が気体センサ２００と実質的に等しい気体センサ１００や他の気体センサでも生じると考えられる。また、上述の動作は、検出可能な気体は水素ガスに限られず、例えば、メタンやアルコールなどの各種の水素含有ガスについても生じると考えられる。
【００９４】
以上の説明のように、本実施の形態に係る気体センサによれば、抵抗状態を検知するための電流だけで発熱し、別途のヒータで加熱することなく水素含有ガスを検出できる、優れた省電力性に優れた気体センサが得られる。
【００９５】
また、第２の電極が水素原子を有する気体分子を含む気体に接すると第１の電極と第２の電極との間の抵抗値が低下し、この低下の後に第２の電極が水素原子を有しない気体に接しても抵抗値が低下したままの状態を維持することができる。
【００９６】
［気体検出回路］
図８Ａは、第１の実施形態の変形例に係る気体センサ２００を含む気体検出装置１０１０の一例を示す回路図である。
【００９７】
気体検出装置１０１０は、気体センサ２００と電流測定器９３０とを直列に接続してなる測定回路１０１１と、検知電源９２０からなる電源回路１０１２とを備える。
【００９８】
より詳細には、気体センサ２００の第２の電極１０６は、図５に示すビア１０８と配線１０９とを介して、検知電源９２０のプラス電位端子に接続されている。また、気体センサ２００の第１の電極１０３は例えば配線（図示せず）等を介して電流測定器９３０の一端に接続されている。電流測定器９３０の他端は、検知電源９２０のマイナス電位端子に接続されている。以上の構成により、気体センサ２００の第１の電極１０３と第２の電極１０６との間には、検知電源９２０によって所定の電圧が印加されている。
【００９９】
気体検出装置１０１０では、気体センサ２００に接続された電流測定器９３０において測定される電流値が、図７に示した所定の閾値電流ＩＴＨを超えた時点を水素検出の判定ポイントとする。すなわち、気体検出装置１０１０は、気体センサ２００に流れる電流が、所定の閾値電流ＩＴＨを超えた時点をもって水素含有ガスを検出したと判定する。
【０１００】
以上のように、本実施形態の気体センサによれば、水素検出を省電力で行うことが可能になる。なお、本実施形態においては水素ガスの場合の実験結果を説明したが、水素を含有するガス（例えば、アンモニアガスなど）においても同様の効果が得られることを確認している。
【０１０１】
また、上記では、水素を検出する例を示したが、本実施形態の気体センサは、水素を検出するだけでなく、水素を検出した状態を保持する（水素濃度が減少しても高抵抗状態が維持される）という特性を有する。したがって、本実施形態に係る気体センサを、過去に水素漏洩があったかどうかを調べるための水素漏洩記憶素子として、水素プラント等に複数個設置することも有効である。
【０１０２】
［リセット機能を有する気体検出装置］
図８Ｂは、気体センサ２００を低抵抗状態から高抵抗状態へリセットすることができる気体検出装置の一例を示す回路図である。図９は、リセット動作の前後における気体センサ２００を流れる電流を示す図である。
【０１０３】
図８Ｂの気体検出装置１０２０は、図８Ａに示した気体検出装置１０１０の電源回路１０１２を、検知電源９２０に切り替えスイッチ９５０とリセット電源９４０とを追加した電源回路１０２２に変更して構成される。また、気体検出装置１０２０は、さらに、制御回路１０２３を備える。
【０１０４】
電源回路１０２２において、リセット電源９４０は、気体センサ２００に所定の値のリセット電圧（例えば、１．５Ｖ）を印加することで、水素含有ガスにより低抵抗状態となっていた気体センサ２００を電気的に高抵抗状態にリセットするための電源である。なお、本開示において、リセット電圧は第１の電圧に相当する。
【０１０５】
切り替えスイッチ９５０は、気体センサ２００と検知電源９２０またはリセット電源９４０との接続を切り替えるスイッチである。
【０１０６】
制御回路１０２３は、測定回路１０１１と電源回路１０２２とに接続されている。本実施形態において制御回路１０２３は、水素含有ガスの漏洩の有無を判断する判断部である。
【０１０７】
制御回路１０２３は、測定回路１０１１において水素含有ガスが検出されたときに、電源回路１０２２に設けられた切り替えスイッチ９５０を切り替え、検知電源９２０に接続されていた気体センサ２００をリセット電源９４０に接続させる。これにより、気体センサ２００には、リセット電圧が印加され、気体センサ２００は低抵抗状態から高抵抗状態へリセットされる。また、制御回路１０２３は、気体センサ２００のリセット後、気体センサ２００を再び検知電源９２０に接続させる。これにより、気体センサ２００は、再び水素含有ガスを検出することが可能な状態となる。
【０１０８】
また、制御回路１０２３は、時間設定器９５５と、カウンタ９６０と、報知器９７０とを有している。
【０１０９】
時間設定器９５５は、気体センサ２００がリセットされた後次のリセットが行われるまでの待ち時間を設定するタイマーである。また、時間計測機能を有し、例えば、気体センサ２００が最初にリセットされた時に時間計測を開始し、所定期間経過したときに時間計測を停止する。
【０１１０】
カウンタ９６０は、後述するように、気体センサ２００がリセットされた回数をカウントするリセットカウンタである。なお、カウンタ９６０でカウントされたリセット回数のことを、リセットカウントＲという。
【０１１１】
報知器９７０は、気体センサ２００において水素含有ガスが検出されたときに、水素含有ガスが漏洩しているという異常をユーザに報知するための報知器である。報知器９７０は、例えば、音声によりユーザに異常を報知する音声出力装置、画像によりユーザに異常を報知する画像出力装置である。
【０１１２】
なお、図８Ｂにおいて、リセット電源９４０は、本開示における「第１の電源回路」の一例であり、検知電源９２０は、本開示における「第２の電源回路」の一例である。本開示における「電源回路」は、例えば、電源そのものであってもよく、外部電源の電圧を所望の電圧に変換する変換回路であってもよい。
【０１１３】
気体検出装置１０２０では、気体センサ２００および電流測定器９３０を用いて水素含有ガスを検出する。ここで、気体検出装置１０２０が水素含有ガスを検出したとき、すなわち、図９に示すように、気体センサ２００に流れる電流が所定の閾値電流ＩＴＨを超えた時点において、制御回路１０２３は、切り替えスイッチ９５０をリセット電源９４０に接続させる。リセット電源９４０にて気体センサ２００にリセット電圧（例えば、１．５Ｖ）を印加することで、低抵抗状態となっていた気体センサ２００は、高抵抗状態にリセットされる。これにより、図９に示すように、気体センサ２００を流れる電流は、閾値以下の、水素を検出する前の値にリセットされる。
【０１１４】
これにより、水素含有ガスの検出後に低抵抗状態となった気体センサ２００を高抵抗状態にリセットすることで、水素含有ガスを繰り返し検出することが可能となる。
【０１１５】
なお、上述した気体検出装置１０１０、１０２０の効果は、気体センサ２００に限らず、要部の構造が気体センサ２００と実質的に等しい気体センサ１００など他の気体センサを用いた場合でも同様に得られる。
【０１１６】
また、気体センサを、第１の電極と第２の電極との間にリセット電圧を印加して高抵抗状態にリセットするタイミングは、水素含有ガスを検出した後だけには限られない。例えば、水素含有ガスを検出する前（特には、初回の検出前）にもリセットしてもよい。これにより、高抵抗状態の気体センサを用いて水素含有ガスを検出することで、抵抗値の低下をより明確に検出できるので、水素含有ガスの検出特性が向上する。
【０１１７】
ここで、突発的に水素含有ガスが流入する等、外乱により気体センサ２００を流れる電流が閾値電流ＩＴＨを超えることもある。外乱により気体センサ２００を流れる電流が閾値電流ＩＴＨを超える場合には、気体センサ２００をリセットした後に気体センサ２００を流れる電流が再度増加して閾値電流ＩＴＨを超えることはない。しかし、外乱ではなく水素含有ガスが実際に漏洩している場合には、気体センサ２００をリセットした後、気体センサ２００を流れる電流が再度増加して閾値電流ＩＴＨを超えるという現象が繰り返し起こる。
【０１１８】
そこで、本実施形態では、外乱等による誤検出と水素含有ガスの漏洩の検出とを区別するために、以下に示すように、最初のリセット後に行われるリセットの、当該リセットが行われる状態に応じて水素含有ガスの漏洩が有ると判断する気体検出方法を用いている。最初のリセット後に行われるリセットの当該リセットが行われる状態とは、例えば、最初のリセット後次のリセットが行われるまでの時間、最初のリセット後に行われるリセットの回数等のことをいう。
【０１１９】
［気体検出方法］
図１０は、本実施形態にかかる気体検出方法を説明するための図である。
【０１２０】
本実施形態にかかる気体検出装置１０２０は、制御回路１０２３において、最初のリセットが行われた後、次のリセットが所定の期間内に所定の回数Ｎ以上行われた場合に、水素含有ガスの漏洩があると判断する。
【０１２１】
つまり、図１０に示すように、制御回路１０２３のカウンタ９６０において、最初のリセットが行われた後気体センサ２００のリセットの回数Ｒ（リセットカウントＲ）をカウントし、リセットカウントＲが所定の期間Ｔ１内に所定の回数Ｎ以上であるか否かを判断する。
【０１２２】
図１１は、本実施形態に係る気体検出方法の一例を示すフローチャートである。図１１に示すように、まず電流測定器９３０により気体センサ２００を流れる電流を検出する（ステップＳ１００１）。そして、検出された電流（検出電流）が閾値電流ＩＴＨ以上であるか否か、制御回路１０２３において判定する（ステップＳ１００２）。
【０１２３】
検出電流が閾値電流ＩＴＨ以上である場合（ステップＳ１００２においてＹＥＳ）、制御回路１０２３は、上述したように、切り替えスイッチ９５０をリセット電源９４０に接続させる。これにより、リセット電源９４０から気体センサ２００にリセット電圧が印加され、気体センサ２００はリセットされる（ステップＳ１００３）。このときのリセットを、最初のリセットという。また、このとき、制御回路１０２３の時間設定器９５５は、気体センサ２００がリセットされた後の経過時間の計測を開始する。
【０１２４】
さらに、制御回路１０２３のカウンタ９６０において、気体センサ２００のリセットの回数Ｒ（リセットカウントＲ）がカウントされる。そして、制御回路１０２３は、所定の期間Ｔ１内のリセットカウントＲが所定の回数Ｎ以上であるか否かを判定する（ステップＳ１００４）。つまり、時間設定器９５５で計測される経過時間がＴ１となったときにリセットカウントＲが所定の回数Ｎ以上であるか否かを判断する。ここで、所定の回数Ｎは、１以上であり、図１０に示したように、例えば３としてもよいしその他の回数であってもよい。また、所定の期間Ｔ１内とは、例えば、１分である。
【０１２５】
所定の期間Ｔ１内のリセットカウントＲがＮ以上である場合には（ステップＳ１００４においてＹＥＳ）、制御回路１０２３は、水素含有ガスが漏洩していると判断する（ステップ１００５）。そして、制御回路１０２３の報知器９７０によって、水素含有ガスの漏洩（水素漏洩）を報知する（ステップＳ１００６）。なお、制御回路１０２３は、水素漏洩の報知と併せて、気体検出装置１０２０が搭載された機器（例えば、後述する燃料電池自動車等）の動作を停止させる制御を行ってもよい。
【０１２６】
また、所定の期間Ｔ１内のリセットカウントＲがＮより小さい場合には（ステップＳ１００４においてＮＯ）、制御回路１０２３は、切り替えスイッチ９５０を検知電源９２０に接続させる。これにより、気体センサ２００は再度水素含有ガスを検出することが可能な状態となり、再び水素含有ガスの検出を行う。なお、このときに時間設定器９５５の時間計測を停止してもよい。
【０１２７】
また、検出電流が閾値電流ＩＴＨより小さい場合（ステップＳ１００２においてＮＯ）には、制御回路１０２３は、上述したように切り替えスイッチ９５０を検知電源９２０に接続させる。これにより、気体センサ２００は再度水素含有ガスを検出することが可能な状態となり、再び水素含有ガスの検出を行う。このときに時間設定器９５５の時間計測を停止してもよい。
【０１２８】
このように、気体検出装置１０２０は、気体センサ２００において、最初のリセットが行われた後次のリセットが所定の期間Ｔ１内に所定の回数Ｎ以上行われた場合に、水素含有ガスが漏洩していると判断する。したがって、気体検出装置１０２０は、外乱等による誤検出と水素含有ガスの漏洩の検出とを区別し、水素含有ガスの漏洩が検出された場合にのみ水素漏洩を報知することができる。
【０１２９】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態について説明する。図１２は、本実施形態における気体検出方法を説明するための図である。
【０１３０】
第２の実施形態に係る気体検出方法は、気体センサ２００において最初のリセット後所定の期間内に気体センサ２００が再度リセットされた場合に水素含有ガスが漏洩していると判断する点が第１の実施形態に係る気体検出方法と異なっている。
【０１３１】
つまり、図１２に示すように、制御回路１０２３のカウンタ９６０において、最初のリセット動作が行われてから所定の期間Ｔ２内に再度検出電流が閾値電流ＩＴＨ以上となり、気体センサ２００が再度リセット動作を行った場合に、水素含有ガスが漏洩していると判断する。
【０１３２】
図１３は、本実施形態に係る気体検出方法の一例を示すフローチャートである。図１３に示すように、まず、第１の実施形態に示した気体検出方法と同様、電流測定器９３０により気体センサ２００を流れる電流を検出する（ステップＳ１３０１）。そして、検出された電流（検出電流）が閾値電流ＩＴＨ以上であるか否か、制御回路１０２３において判定する（ステップＳ１３０２）。
【０１３３】
検出電流が閾値電流ＩＴＨ以上である場合（ステップＳ１３０２においてＹＥＳ）、制御回路１０２３は、上述したように、切り替えスイッチ９５０をリセット電源９４０に接続させ、気体センサ２００をリセットさせる（ステップＳ１３０３）。このときのリセットを、最初のリセットという。また、このとき、制御回路１０２３は、時間設定器９５５において、次のリセットが行われるまでの待ち時間として所定の期間Ｔ２を設定する。なお、所定の期間Ｔ２とは、例えば、１分である。なお、所定の期間Ｔ２が短いほど、気体センサ２００は、感度よく水素含有ガスの漏洩を検知することができる。
【０１３４】
そして、制御回路１０２３は、切り替えスイッチ９５０を検知電源９２０に接続させ、気体センサ２００により再び水素含有ガスの検出を行う（ステップＳ１３０４）。また、このとき、時間設定器９５５は、時間の計測を開始し、気体センサ２００がリセットされた後の経過時間を計測する。
【０１３５】
そして、制御回路１０２３は、気体センサ２００がリセットされてから待ち時間として設定した所定の期間Ｔ２内に再度検出電流が閾値電流ＩＴＨ以上となり、気体センサ２００がリセットされるか否かを判定する（ステップＳ１３０５）。つまり、時間設定器９５５での計測時間がＴ２となる前に、再度気体センサ２００がリセットされるか否かを判定する。そして、所定の期間Ｔ２内に再度気体センサ２００がリセットされた場合には（ステップＳ１３０５においてＹＥＳ）、制御回路１０２３は、水素含有ガスが漏洩していると判断する（ステップ１３０６）。そして、制御回路１０２３の報知器９７０によって、水素含有ガスの漏洩を報知する（ステップＳ１３０７）。このとき、制御回路１０２３は、気体検出装置１０２０が搭載された機器の動作を制御して停止させてもよい。
【０１３６】
また、所定の期間Ｔ２内の検出電流が閾値電流ＩＴＨより小さい場合には（ステップＳ１３０５においてＮＯ）、制御回路１０２３は、切り替えスイッチ９５０を検知電源９２０に接続させる。これにより、気体センサ２００は、再び水素含有ガスの検出を行う。また、このときに時間設定器９５５の時間計測を停止してもよい。
【０１３７】
また、検出電流が閾値電流ＩＴＨより小さい場合（ステップＳ１３０２においてＮＯ）には、制御回路１０２３は、上述したように切り替えスイッチ９５０を検知電源９２０に接続させる。これにより、気体センサ２００は再び水素含有ガスの検出を行う。このときに時間設定器９５５の時間計測を停止してもよい。
【０１３８】
このように、気体検出装置１０２０は、気体センサ２００の最初のリセット後所定の期間Ｔ２内に再度検出電流が閾値電流ＩＴＨ以上となりリセットされた場合に、水素漏洩と判定する。したがって、気体検出装置１０２０は、外乱等による誤検出と水素ガスの漏洩の検出とを区別し、水素含有ガスの漏洩が検出された場合にのみ水素漏洩を報知することができる。また、使用する環境および状況に応じて最初のリセット後のリセットの回数を設定することにより、使用する環境及び状況に応じて適切に水素含有ガスの漏洩を検出することができる。
【０１３９】
（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態について説明する。図１４は、本実施形態にかかる気体検出装置の一例を示す回路図である。
【０１４０】
本実施形態に係る気体検出装置１０３０が第１の実施形態に示した気体検出装置１０２０と異なる点は、制御回路１０３３が切替器９８０を備えている点である。
【０１４１】
図１４に示すように、気体検出装置１０３０は、測定回路１０１１と、電源回路１０２２と、制御回路１０２３とを備えている。測定回路１０１１および電源回路１０２２の構成は、第１の実施形態に示した測定回路１０１１および電源回路１０２２と同様であるため、詳細な説明は省略する。
【０１４２】
制御回路１０３３は、第１の実施形態に示した制御回路１０２３と同様、時間設定器９５５と、カウンタ９６０と、報知器９７０とを備えている。さらに、制御回路１０３３は、切替器９８０を備えている。切替器９８０は、所定の回数が０であるときに気体の漏洩が有ると判断する第１のモードと、所定の回数が１以上であるときに気体の漏洩が有ると判断する第２のモードとを切り替える。つまり、切替器９８０は、気体センサ２００のリセットが１回行われるごとに水素含有ガスが漏洩していると判定する第１のモードと、気体センサ２００のリセットが所定の回数以上行われた場合に水素含有ガスが漏洩していると判定する第２のモードとを有している。この場合、ユーザがこれらのモードを切り替えて使用する構成としてもよいし、制御回路１０２３により、これらのモードを切り替える制御を行う構成としてもよい。
【０１４３】
これにより、誤動作であっても水素含有ガスの漏洩が検出された方がよい場合には第１のモード、誤動作で緊急停止等が起こると被害が大きい場合には第２のモードを用いることで、使用する環境および状況に応じて適切に水素含有ガスの漏洩を検出することができる。
【０１４４】
なお、第１のモードは、例えば、走行前の燃料電池自動車、車庫または密閉空間に停車中の燃料電池自動車における水素含有ガスの漏洩の検出等に有効である。また、第２のモードは、例えば、水素プラント、水素ステーション、ガスパイプライン、走行中の燃料電池自動車における水素含有ガスの漏洩の検出等に有効である。
【０１４５】
（第４の実施形態）
次に、第４の実施形態について、図１５を用いて説明する。図１５は、本実施形態に係る気体センサシステム７００の構成の一例を示す模式図である。
【０１４６】
第４の実施形態に係る気体センサシステムは、気体検出装置７３０とリーダライタ７５０とを備え、気体検出装置７３０による水素含有ガスの検出、リセット、リフレッシュの各動作を、リーダライタ７５０から供給される無線信号及び無線電力に基づいて行うシステムである。
【０１４７】
図１５に示されるように、気体センサシステム７００は、ＩＣカード７１０と、リーダライタ７５０とを備える。
【０１４８】
ＩＣカード７１０は、無線Ｉ／Ｆ（インタフェース）回路７２０、気体検出装置７３０及びアンテナ７４０を有する。
【０１４９】
無線Ｉ／Ｆ回路７２０は、アンテナ７４０を用いて、リーダライタ７５０からの無線電力を受信するとともに、リーダライタ７５０との無線通信を行う。本実施形態において、リーダライタ７５０は、アクセス装置である。
【０１５０】
気体検出装置７３０は、第１の実施形態で説明した気体検出装置１０１０、１０２０、及び１０３０の何れかを用いて構成される。気体検出装置７３０は、無線Ｉ／Ｆ回路７２０で受信された電力で、水素含有ガスの検出、リセット、リフレッシュの各動作を行い、動作結果を、無線Ｉ／Ｆ回路７２０を介して、リーダライタ７５０に通知する。通知される動作結果には、水素含有ガスの検出結果が含まれ、さらにリフレッシュ動作の失敗通知が含まれてもよい。
【０１５１】
無線Ｉ／Ｆ回路７２０、気体検出装置７３０及びアンテナ７４０は、例えば、開口を有する樹脂板内に設けられ、気体検出装置７３０は当該開口を通して、当該樹脂板の周囲の外気と接触してもよい。
【０１５２】
リーダライタ７５０は、気体検出装置７３０の動作電力をＩＣカード７１０へ無線で供給するとともに、ＩＣカード７１０から気体検出装置７３０の動作結果を無線で受信し、受信した動作結果をユーザに提示する。動作結果の提示には、例えば、ディスプレイ、ブザー、バイブレータなどを用いてもよい。
【０１５３】
上述の構成によれば、無線駆動可能な気体検出装置が、一般的なＩＣカード７１０の態様で、低コストかつ小型に実現される。また、気体検出装置７３０の電源が無接点で構成できるため、装置自身が着火点にならず、煩雑な防爆処置が不要となる。これにより、簡便に設置できる気体検出システムが得られる。
【０１５４】
気体検出装置７３０を有するＩＣカード７１０は、例えば、水素プラント、水素ステーション、ガスパイプライン、燃料電池自動車などにおいて、ガス漏れを監視したい場所に設置される。監視者はリーダライタ７５０を携行し、設置されたＩＣカード７１０にリーダライタ７５０をかざしてまわることにより、ガス漏れを把握し、またガス漏れ箇所を特定する。また、リーダライタ７５０は、監視者によって携行されるだけでなく、ドローンや自走ロボットに搭載して、ＩＣカード７１０の設置場所を順次まわってもよい。
【０１５５】
なお、ＩＣカード７１０は無線駆動可能な気体検出装置の限定されない一例であり、無線駆動可能な気体検出装置は、他の適宜の態様で実現されてもよい。
【０１５６】
また、ＩＣカード７１０は、ボタン電池のような電源を内蔵し、常時、水素含有ガスの検出、リセット、リフレッシュの各動作を行い、動作結果を、無線Ｉ／Ｆ回路７２０を介して、リーダライタ７５０やタブレット端末のような親機に通知してもよい。
【０１５７】
（第５の実施形態）
次に、第５の実施形態について、図１６を用いて説明する。図１６は、本実施形態に係る燃料電池自動車８００の一構成例を示す模式図である。
【０１５８】
第５の実施形態に係る燃料電池自動車は、第１の実施形態で説明した気体センサを備え、当該気体センサにて車内の水素ガスを検出する。
【０１５９】
図１６に示すように、燃料電池自動車８００は、客室８１０、荷室８２０、ガスタンク室８３０、燃料タンク８３１、気体センサ８３２、配管８４０、燃料電池室８５０、燃料電池８５１、気体センサ８５２、モータ室８６０、及びモータ８６１を備える。
【０１６０】
燃料タンク８３１は、ガスタンク室８３０内に設けられており、燃料ガスとして、水素ガスを保持している。気体センサ８３２は、ガスタンク室８３０での燃料ガス漏れを検出する。
【０１６１】
燃料電池８５１は、燃料極、空気極および電解質を有する基本単位となるセルが複数個積み重なった燃料電池スタックを備えている。燃料電池８５１は、燃料電池室８５０内に設けられている。燃料タンク８３１内の水素ガスは、配管８４０を通して燃料電池室８５０内の燃料電池８５１へ送り込まれる。この水素ガスと大気中の酸素ガスとを燃料電池８５１内で反応させることにより発電する。気体センサ８５２は、燃料電池室８５０での水素ガス漏れを検出する。
【０１６２】
モータ８６１は、モータ室８６０内に設けられている。燃料電池８５１が発電した電力でモータ８６１が回転することにより、燃料電池自動車８００を走行させる。
【０１６３】
前述したように、本開示に係る気体センサでは、一例として０．０１ｍＷ程度の非常に小さい消費電力で、水素含有ガスを検出できる。そのため、気体センサの優れた省電力性を活かして、燃料電池自動車の待機電力を大幅に増やすことなく、水素ガス漏れを常時監視することができる。
【０１６４】
例えば、燃料電池自動車８００におけるイグニッションキーの操作状態にかかわらず、気体センサ８３２、８５２に所定の電圧を常時印加し、気体センサ８３２、８５２に流れる電流量に基づいて、ガスタンク室８３０内の燃料タンク８３１の外部、及び燃料電池室８５０内の燃料電池８５１の外部に水素ガスがあるか否かを判定してもよい。
【０１６５】
これにより、例えば、イグニッションキーの操作を受けた時点で、水素ガス漏れの有無が既に判定されている状態とすることができる。そのため、イグニッションキーの操作を受けてから、水素ガス漏れの有無を判定するために気体センサを駆動する場合と比べ、燃料電池自動車の始動時間を短縮できる。また、燃料電池自動車の走行後、例えば前記燃料電池自動車をガレージに格納した後も、水素ガス漏れを監視し続けることにより、安全性を向上できる。
【０１６６】
［補足］
図５に示されるように、気体センサ２００は、第１の電極１０３と、第１の電極１０３上に配置された抵抗膜２０４と、抵抗膜２０４の上に配置された第２の電極１０６とを備える。抵抗膜２０４は、本開示の「金属酸化物層」の一例である。抵抗膜２０４は、第１の金属酸化物層２０４ａと、第２の金属酸化物層２０４ｂとを含む。抵抗膜２０４は、局所領域１０５と、局所領域１０５を囲むバルク領域とを含む。ここで、「局所領域１０５を囲む」とは、局所領域１０５の外周面を全て囲むことに限定されない。図５において、バルク領域とは、第２の金属酸化物層２０４ｂのうち、局所領域１０５以外の領域である。局所領域１０５の酸素不足度は、バルク領域の酸素不足度よりも大きい。第１の金属酸化物層２０４ａの酸素不足度は、バルク領域の酸素不足度よりも大きい。図５において、局所領域１０５は、第２の電極１０６に接し、第２の金属酸化物層２０４ｂを貫通し、かつ、第１の電極１０３に接していない。
【０１６７】
図５において、絶縁膜１０７は開口１０７ａを有している。開口１０７ａにおいて、第２の電極１０６の上面の一部は絶縁膜１０７から露出している。第２の電極１０６の露出面は、気体に接触できる。
【０１６８】
水素原子を含有する気体が第２の電極１０６に接すると、局所領域１０５の抵抗値が低下し、抵抗膜２０４の抵抗値が低下し、気体センサ２００の抵抗値が低下する。
【０１６９】
電源回路１０１２は、例えば、抵抗膜２０４の抵抗値が低下する前に、第１の電極１０３及び第２の電極１０６の間に所定の電圧を印加し、これにより、抵抗膜２０４の抵抗値を増大させる。例えば、抵抗膜２０４は、電圧によって高抵抗状態に設定され、その後、水素含有ガスによって低抵抗状態に遷移する。あるいは、電源回路１０１２は、例えば、抵抗膜２０４の抵抗値が低下した後に、第１の電極１０３及び第２の電極１０６の間に所定の電圧を印加し、これにより、抵抗膜２０４の抵抗値を増大させる。例えば、抵抗膜２０４は、水素含有ガスによって低抵抗状態に遷移し、その後、電圧によって高抵抗状態に設定される。あるいは、抵抗膜２０４は、電圧によって高抵抗状態に設定され、その後、水素含有ガスによって低抵抗状態に遷移した後に、さらに、電圧によって高抵抗状態に再設定されてもよい。
【０１７０】
（実施形態の概要）
本開示の一態様に係る気体検出装置は、気体センサと、前記気体センサに所定の電圧を印加する電源回路と、前記気体の漏洩の有無を判断する判断部とを備え、前記気体センサは、第１の電極と、第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極の間に配置され、バルク領域と、前記バルク領域に囲まれ、かつ、前記バルク領域よりも大きい酸素不足度を有する局所領域とを含む金属酸化物層と、前記第１の電極、前記第２の電極、及び前記金属酸化物層を覆い、かつ、前記第２の電極の主面の一部を露出させる開口を有する絶縁膜と、を備え、前記金属酸化物層は、第１の電圧が印加されることによって低抵抗状態から高抵抗状態に遷移し、かつ、前記第１の電圧とは異なる第２の電圧が印加されることによって前記高抵抗状態から前記低抵抗状態に遷移する、可逆的な抵抗変化特性を有し、前記金属酸化物層の抵抗値は、水素原子を含有する気体が前記第２の電極に接したときに減少し、前記電源回路は、前記第１の電圧を生成する第１の電源回路と、前記金属酸化物層の前記抵抗値の測定するための検知電圧を生成する第２の電源回路と、を備え、前記金属酸化物層を流れる電流が所定の値以上である場合に、前記第１の電源回路により、前記第１の電極及び前記第２の電極の間に前記第１の電圧を印加して前記金属酸化物層を前記高抵抗状態に再設定するリセットを行い、前記判断部は、最初の前記リセット後に行われる前記リセットの、当該リセットが行われる状態に応じて、前記気体の漏洩が有ると判断する。
【０１７１】
このような構成によれば、リセット機能を有する気体検出装置において、最初のリセット後次のリセットが行われるまでの時間、最初のリセット後に行われるリセットの回数等、リセットが行われる状態に応じて、気体の漏洩が有ると判断する。したがって、外乱等による誤検出と気体の漏洩の検出とを区別し、外乱等によって生じる水素含有ガスの誤検出を抑制することができる。
【０１７２】
また、前記判断部は、最初の前記リセットが行われた後次の前記リセットが行われるまでの待ち時間を設定する時間設定器を有し、前記時間設定器において設定された前記待ち時間内に再度前記リセットが行われたときに、前記気体の漏洩が有ると判断してもよい。
【０１７３】
このような構成によれば、使用する環境および状況に応じて待ち時間を設定することにより、使用する環境及び状況に応じて適切に水素含有ガスの漏洩を検出することができる。
【０１７４】
また、前記判断部は、最初の前記リセットが行われた後に行われる前記リセットの回数をカウントするカウンタを有し、前記カウンタでカウントされた前記リセットの回数が、最初の前記リセットが行われた後所定の期間内に所定の回数以上であるときに、前記気体の漏洩が有ると判断してもよい。
【０１７５】
このような構成によれば、使用する環境および状況に応じて所定の回数を設定することにより、使用する環境及び状況に応じて適切に水素含有ガスの漏洩を検出することができる。
【０１７６】
また、前記所定の回数は、１以上であってもよい。
【０１７７】
このような構成によれば、少なくとも２回リセットが行われることにより、外乱等による誤検出と水素含有ガスの漏洩の検出とを区別して、水素含有ガスの漏洩を検出することができる。
【０１７８】
また、前記判断部は、さらに、前記所定の回数が０であるときに気体の漏洩が有ると判断する第１のモードと、前記所定の回数が１以上であるときに気体の漏洩が有ると判断する第２のモードとを切り替える切替器を有してもよい。
【０１７９】
このような構成によれば、誤動作であっても水素含有ガスの漏洩が検出された方がよい場合には第１のモード、誤動作で緊急停止等が起こると被害が大きい場合には第２のモードを用いることで、使用する環境および状況に応じて適切に水素含有ガスの漏洩を検出することができる。
【０１８０】
また、電流測定器をさらに備え、前記電流測定器は、前記第１の電源回路が前記第１の電極及び前記第２の電極の間に前記検知電圧を印加しているときに、前記第１の電極及び前記第２の電極の間を流れる電流値を前記金属酸化物層を流れる電流として測定してもよい。
【０１８１】
このような構成によれば、電流測定器で測定される電流が増加することをもって、水素含有ガスを検出することができる。
【０１８２】
また、前記検知電圧の絶対値は、前記第１の電圧の絶対値よりも小さくてもよい。
【０１８３】
このような構成によれば、第１の電極と第２の電極との間に、電流測定及び高抵抗化（リセット）のために適した最小限の電圧を印加することにより、省電力性に優れた気体センサが得られる。
【０１８４】
また、前記電源回路は、前記気体センサを前記第１の電源回路及び前記第２の電源回路のいずれに接続させるかを切り替えるスイッチをさらに備えてもよい。
【０１８５】
このような構成によれば、電流測定及び高抵抗化（リセット）のための各電源を備えるモジュール部品として、利便性が高い気体センサが得られる。
【０１８６】
また、前記第２の電極の前記主面の前記一部は、前記気体が接触できるように構成されていてもよい。
【０１８７】
このような構成によれば、第２の電極の主面には気体が接触しやすいため、水素含有ガスの検出を行いやすい気体センサが得られる。
【０１８８】
また、前記金属酸化物層は、第１の電極に接し、前記バルク領域よりも大きい酸素不足度を有する第１の金属酸化物層と、第２の電極に接し、かつ、前記バルク領域を含む第２の金属酸化物層とを備え、前記局所領域は、前記第２の電極に接し、かつ、前記第２の金属酸化物層を貫通してもよい。
【０１８９】
このような構成によれば、金属酸化物層に、抵抗変化特性に優れた積層構造を採用することで、水素含有ガスの検出特性に優れた気体センサが得られる。
【０１９０】
また、前記第２の電極は、前記気体に含まれる分子から前記水素原子を解離させてもよい。
【０１９１】
このような構成によれば、第２の電極の前記局所領域と接した部分において前記水素分子から水素原子が解離され、解離された水素原子が、金属酸化物層の局所領域内の酸素原子と結合することで、第１の電極と第２の電極との間の抵抗値が低下する。
【０１９２】
また、前記第２の電極は、白金、パラジウム、及び、イリジウムからなる群から選択される少なくとも１種を含有してもよい。
【０１９３】
このような構成によれば、前記第２の電極は、白金又はパラジウムの触媒作用により、前記水素分子から水素原子を解離させることができる。
【０１９４】
また、前記金属酸化物層は、遷移金属酸化物及びアルミニウム酸化物の少なくとも一方を含有してもよい。
【０１９５】
このような構成によれば、金属酸化物層を、抵抗変化特性に優れた遷移金属酸化物またはアルミニウム酸化物で構成することで、水素含有ガスの検出特性に優れた気体センサが得られる。
【０１９６】
また、前記遷移金属酸化物は、タンタル酸化物、ハフニウム酸化物、又はジルコニウム酸化物であってもよい。
【０１９７】
このような構成によれば、遷移金属酸化物として抵抗変化特性に優れたタンタル酸化物、ハフニウム酸化物、及びジルコニウム酸化物を用いることで、水素含有ガスの検出特性に優れた気体センサが得られる。
【０１９８】
また、一態様に係る気体センサシステムは、上述した特徴を有する気体検出装置と、前記気体検出装置と接続され、かつ外部の機器と無線通信可能な無線インタフェース回路と、前記気体検出装置における金属酸化物層の抵抗値を、前記無線インタフェース回路を介して、無線通信により取得するアクセス装置と、を備える。
【０１９９】
このような方法によれば、使用する環境及び状況に応じて適切に水素含有ガスの漏洩を検出することができる気体センサシステムを提供することができる。
【０２００】
また、一態様に係る燃料電池自動車は、客室と、水素ガスのタンクが配置されたガスタンク室と、燃料電池が配置された燃料電池室と、上述した特徴を有する気体検出装置と、を備え、前記気体検出装置が、前記ガスタンク室内及び前記燃料電池室内のうちの少なくとも一方に配置されている。
【０２０１】
このような方法によれば、使用する環境及び状況に応じて適切に水素含有ガスの漏洩を検出することができるので、安全かつ効率のよい燃料電池自動車を提供することができる。
【０２０２】
また、一態様に係る水素検出方法は、気体センサを用いた気体検出方法であって、前記気体センサは、第１の電極と、第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極の間に配置され、バルク領域と、前記バルク領域に囲まれ、かつ、前記バルク領域よりも大きい酸素不足度を有する局所領域とを含む金属酸化物層と、前記第１の電極、前記第２の電極、及び前記金属酸化物層を覆い、かつ、前記第２の電極の主面の一部を露出させる開口を有する絶縁膜と、を備え、前記気体検出方法は、前記金属酸化物層の抵抗値の減少を検知することによって、水素原子を含有する気体を検知するステップと、前記気体を検知した後、前記第１の電極及び前記第２の電極の間に所定の電圧を印加して、前記金属酸化物層の前記抵抗値を増大させる最初のリセットを行うステップと、前記最初のリセットを行った後、所定の期間内に再度前記リセットが行われたときに、前記気体の漏洩が有ると判断するステップを含む。
【０２０３】
このような構成によれば、最初のリセット後次のリセットが行われるまでの時間を変更することで、水素含有ガスの検出の誤動作を抑制し、使用する環境及び状況に応じて適切に水素含有ガスの漏洩を検出することができる。
【０２０４】
また、一態様に係る水素検出方法は、気体センサを用いた気体検出方法であって、前記気体センサは、第１の電極と、第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極の間に配置され、バルク領域と、前記バルク領域に囲まれ、かつ、前記バルク領域よりも大きい酸素不足度を有する局所領域とを含む金属酸化物層と、前記第１の電極、前記第２の電極、及び前記金属酸化物層を覆い、かつ、前記第２の電極の主面の一部を露出させる開口を有する絶縁膜と、を備え、前記気体検出方法は、前記金属酸化物層の抵抗値の減少を検知することによって、水素原子を含有する気体を検知するステップと、前記気体を検知した後、前記第１の電極及び前記第２の電極の間に所定の電圧を印加して、前記金属酸化物層の前記抵抗値を増大させる最初のリセットを行うステップと、前記最初のリセットを行った後、所定の期間内に所定の回数再度前記リセットが行われたときに、前記気体の漏洩が有ると判断するステップを含む。
【０２０５】
このような方法によれば、気体センサのリセットの回数を変更することで水素含有ガスの検出の誤動作を抑制し、使用する環境及び状況に応じて適切に水素含有ガスの漏洩を検出することができる。
【産業上の利用可能性】
【０２０６】
本開示に係る気体検出装置は、例えば、燃料電池自動車、水素ステーション、水素プラント等において有用である。
【符号の説明】
【０２０７】
１００、２００、８３２、８５２  気体センサ
１０１  基板
１０２  絶縁膜
１０３  第１の電極
１０４、２０４  抵抗膜
１０５  局所領域
１０６  第２の電極
１０７  絶縁膜
１０７ａ  開口
１０７ｂ  ビアホール
１０８  ビア
１０９  配線
２０４ａ  第１の金属酸化物層
２０４ｂ  第２の金属酸化物層
３００  マスク
４０８  導体膜
７００  気体センサシステム
７１０  ＩＣカード
７２０  無線Ｉ／Ｆ回路
７３０  気体検出装置
７４０  アンテナ
７５０  リーダライタ（アクセス装置）
８００  燃料電池自動車
８１０  客室
８２０  荷室
８３０  ガスタンク室
８３１  燃料タンク
８４０  配管
８５０  燃料電池室
８５１  燃料電池
８６０  モータ室
８６１  モータ
９００  評価システム
９１０  密閉容器
９１１  水素ボンベ
９１２  窒素ボンベ
９１３、９１４  導入弁
９１５  排気弁
９２０  検知電源（第２の電源回路）
９３０  電流測定器
９４０  リセット電源（第１の電源回路）
９５０  切り替えスイッチ
９５５  時間設定器
９６０  カウンタ
９７０  報知器
９８０  切替器
１０１０、１０２０、１０３０  気体検出装置
１０１１  測定回路
１０１２、１０２２  電源回路
１０２３、１０３３  制御回路（判断部）
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図４Ｅ】
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【図４Ｆ】
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【図４Ｇ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【国際調査報告】
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2018123673.tif 000028
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