【事件の表示】
　平成１０年特許願第２９２４５８号「膜形成装置および膜形成基板の製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年　４月２８日出願公開、特開２０００−１２１４００〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　本願は、平成１０年１０月１４日の出願であって、平成１８年１月１９日付け（同年２月１日発送）で拒絶査定がなされ、これに対し、同年３月３日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同日付けで手続補正がなされたものである。
　なお、平成１７年１２月１９日付けの手続補正は、拒絶査定と同日付け（平成１８年１月１９日付け）の補正却下の決定により却下された。
 　 
第２　平成１８年３月３日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１８年３月３日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
１　補正の内容
　本件補正の内容は、特許請求の範囲の請求項１の記載を補正前の、
　「液相材料を液滴として吐出する複数のノズルを有する流量制御バルブと、
　前記複数のノズルの少なくともいずれかから吐出された前記液滴を気化し、気化ガスを生成する液滴気化装置と、を備え、
　前記液滴気化装置から前記気化ガスを供給することを特徴とする膜形成装置。」
から、補正後の、
　「液相材料を液滴として吐出する複数のノズルを有する流量制御バルブと、
　前記複数のノズルの少なくともいずれかから吐出された前記液滴
に、該液滴の飛翔中に光を照射して
　前記液滴気化装置から前記気化ガスを供給することを特徴とする膜形成装置。」（なお、アンダーラインは補正箇所を示すために当審において付したものである。）
と補正する補正事項を含むものである。
　上記補正事項は、補正前の請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「液滴を気化し、」を、「液滴に、該液滴の飛翔中に光を照射して気化し、」と補正することにより気化する手段を具体的に限定したものであるから、平成１８年改正前特許法第１７条の２第４項第２号に規定にする特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、上記補正後の請求項１に記載された事項により特定される発明（以下、「補正後第１発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について、以下に検討する。
  
２　独立特許要件について
（１）補正後第１発明を改めて掲載すると、次のとおりである。
　「液相材料を液滴として吐出する複数のノズルを有する流量制御バルブと、
　前記複数のノズルの少なくともいずれかから吐出された前記液滴に、該液滴の飛翔中に光を照射して気化し、気化ガスを生成する液滴気化装置と、を備え、
　前記液滴気化装置から前記気化ガスを供給することを特徴とする膜形成装置。」
 　 
（２）刊行物 
　本願の出願前に頒布された刊行物である特開平５−１６８８０２号公報（以下、「刊行物１」という。）には、以下の事項が図面とともに記載されている。 
　　ア　「〔産業上の利用分野〕本発明は、液体原料の気化装置に関し、特に化学気相成長法による薄膜堆積装置に好ましく適用できる装置に関する。」（段落【０００１】） 
　　イ　「【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施例を説明する。
【００１６】本発明は、液体原料を液体状態で輸送し、反応室内で加熱されたガス中に噴出させ、加熱されたガス中に飽和蒸気圧分を完全に含ませるものである。
【００１７】図１は、液体原料の噴出部と気化させる部分を模式的に示したものである。４は先端が絞られたノズルであり、流量の制御された液体原料２が輸送される。８は圧電振動子でノズル４の先端に振動を与える。このような構成で、ノズル先端に振動を与えつつ液体原料をノズル先端へ導くと、ノズル先端からノズルの振動に供なって直径１０μｍ〜５０μｍ程度の大きさの液滴状になって液体原料は噴出する。
【００１８】ノズルの先端方向には小孔４０が開口している板３０が設けられている。板３０には図示を省略したヒータが埋め込まれており加熱されている。ノズル周囲からは、不活性ガスもしくはＨ２ガスあるいはそれらの混合ガス３１が小孔に向けて流れ込む。
【００１９】この時、空間Ａの圧力は７６０Ｔｏｒｒ〜５００Ｔｏｒｒ、空間Ｂは反応室であり、その圧力は堆膜の堆積圧力である。例えば、空間Ｂの圧力は０．１ないし１０Ｔｏｒｒである。小孔４０の中では空間Ａから空間Ｂへ向けて圧力勾配が生じている。空間Ｂは排気装置（図示せず）で排気され、所定の圧力を保っている。・・・このような空間Ａ，小孔，空間Ｂに、図１のように液滴５０がノズルから噴出すると、液滴５０は小孔４０内で気化され、気体となって空間Ｂへ導入される。」（段落【００１５】〜【００１９】）
　　ウ　「【００２１】図２は、図１に示す気化器を設けた化学気相成長装置の一例を示す模式図である。
【００２２】図２において１は液体原料の容器、２は液体原料である。ガス導入口１１から加圧用のガスがバルブ１０を通して印加される。加圧する圧力は、圧力計９で調整する。加圧用ガスは、液体原料と反応しないガスであれば良い。・・・ガス導入口１１からガス圧が加えられると、サイホンの原理で液体は液体流量計３に導かれる。液体流量計としては、市販の液体マスフローコントローラを用い得る。液体流量が正確に測定できるならば、何を用いても良い。液体流量計を通った液体原料はノズル４〜７へ導かれる。
【００２３】図２では、ノズルの数は４つしか描かれていないが、４つより少なくても多くても良い。・・・各ノズル４〜７には、それぞれ圧電振動子８が取りつけられており、ノズル先端から液滴を噴出する。図１，図２の実施例では、圧電振動子の振動を利用してノズル先端から液体原料が液滴状に噴出させているが、直径１０〜１００μｍの液滴を噴出できるならば、圧電振動子以外の手段を用いても良い。空間２０は、ほぼ大気圧程度の圧力に、空間２１は所望の堆積膜堆積に適当な圧力０．１〜１０Ｔｏｒｒに設定する。空間２０と空間２１の圧力差はバッフル板３０に設けた小孔４０で作られる。バッフル板３０の小孔４０は、各ノズルの前面に配置される。・・・図１でも述べたように、バッフル板３０はヒータ（図示せず）により加熱されており、ノズル４〜７から噴出された液滴はバッフル板３０に設けられた小孔４０内で気化する。
【００２４】バッフル板３０は、金属製であっても良いし、絶縁物であっても良い。・・・バッフル板３０の厚さは、ノズル４〜７から噴出された液滴が小孔４０内の加熱された空間で気化するに必要な長さがあれば良い。」（段落【００２１】〜【００２４】）
　　エ　「【００２５】図１に一例を示した本発明に係る気化装置および図２に一例を示した薄膜堆積装置は、液体原料を用いるすべての化学気相成長装置に用いることができる。」（段落【００２５】） 
　
　上記ウの記載「液体流量計としては、市販の液体マスフローコントローラを用い得る。」によれば、液体流量計３として、液体マスフローコントローラ液体流量計３を用いたものが読み取れる。
　
　したがって、刊行物１には次のとおりの発明（以下、「刊行物発明」という。）が記載されているものと認められる。
【刊行物発明】
　「圧電振動子８の振動を利用してノズル先端から液体原料を液滴として噴出するノズル４〜７を有する、液体原料を前記ノズル４〜７に導く液体マスフローコントローラ液体流量計３と、前記ノズル４〜７から噴出された前記液滴を、小孔４０内の加熱された空間で気化し、気体を生成するための、前記小孔４０を有し、ヒータにより加熱されるバッフル板３０とを備え、前記小孔４０内の加熱された空間で前記液滴が気化した気体を反応室へ導入する薄膜堆積装置。」
　
（３）対比 
　補正後第１発明と刊行物発明を対比する。
　　ア　刊行物発明の「液体原料」、「液滴」、「噴出」、「ノズル４〜７」は、それぞれ、補正後第１発明の「液相材料」、「液滴」、「吐出」、「複数のノズル」に相当する。
　　イ　刊行物発明の「液体原料を前記ノズル４〜７に導く液体マスフローコントローラ液体流量計３」は、補正後第１発明の「流量制御バルブ」に相当し、また、刊行物発明の「薄膜堆積装置」は、補正後第１発明の「膜形成装置」に相当する。
　　ウ　刊行物発明では、液滴を、小孔４０内の加熱された空間で気化するのであるから、液滴が、小孔４０内の加熱された空間を飛翔中に気化するものと解される。したがって、刊行物発明の「液滴を、小孔４０内の加熱された空間で気化し、気体を生成する」ことと、補正後第１発明の「液滴に、該液滴の飛翔中に光を照射して気化し、気化ガスを生成する」こととは、共に、「液滴を、該液滴の飛翔中に気化し、気化ガスを生成する」ことで共通する。
　　エ　刊行物発明の「小孔４０を有し、ヒータにより加熱されるバッフル板３０」は、補正後第１発明の「液滴気化装置」に相当する。
　　オ　刊行物発明の「前記小孔４０内の加熱された空間で前記液滴が気化した気体を反応室へ導入する」は、補正後第１発明の「前記液滴気化装置から前記気化ガスを供給する」に相当する。
　
　したがって、以上ア〜オの考察から、両者は、次の一致点及び相違点を有する。
【一致点】 
　「液相材料を液滴として吐出する複数のノズルを有する流量制御バルブと、前記複数のノズルから吐出された前記液滴を、該液滴の飛翔中に気化し、気化ガスを生成する液滴気化装置と、を備え、前記液滴気化装置から前記気化ガスを供給する膜形成装置。」
【相違点】 
　液滴の飛翔中に気化し、気化ガスを生成する手段として、補正後第１発明では、液滴に、光を照射して気化しているのに対して、刊行物発明では、液滴を、ヒータにより加熱されるバッフル板３０に設けられた小孔４０内の加熱された空間で気化している点。
 　
（４）判断 
　上記相違点について検討する。
　本願の出願時の技術水準を示すものとして、例えば、以下の刊行物２、３には次のような記載がある。
　　ア　刊行物２：特開平７−１７１５５２号公報
　「【請求項１】アルカリ可溶性樹脂とケイ酸塩とを含有する廃液を気化した後に凝縮と分離とを行い、水溶液、水不溶性液体及び固形物の三者に分離する装置であって、上記気化の手段として光線の発生装置を有し、該光線によって上記気化を行うことを特徴とする廃液処理装置。」（【特許請求の範囲】）
　「【実施例】図１は請求項１に係る処理装置の一例の概略構成を示す図である。図１において、１は廃液タンク、２は廃液タンク１中の廃液を気化装置１０へ送るポンプである。気化装置１０は、上部がドーム型に形成された円筒形の炉壁１１で囲繞された炉１２、炉壁１１の一部を形成する遠赤外線ヒータ１３、炉１２の底面を形成し、炉１２内で廃液が加熱され気化成分が気化した残りの固形物が沈降してその内部に堆積できる構造の固形分回収器１４、断熱材１６、炉１２内へ廃液を噴霧状に噴出する噴出ノズル１７、及び炉１２内で気化した気化物を凝縮・分離装置４０へ送る配管１９から主として構成されている。」（段落【０００９】）
　「【００１３】次に、図１及び図２に示す装置の動作について説明する。
【００１４】気化装置１０の遠赤外線ヒータ１３に通電して遠赤外線を発生させた状態で、廃液タンク１中の廃液をポンプ２で所定の流量で炉１２内に噴出ノズル１７から噴出させる。噴出した噴霧状の廃液中の気化し得る成分は遠赤外線により加熱されて気化し、気化物は配管１９を通って凝縮・分離装置４０の凝縮器４１へ吸引される。」（段落【００１３】【００１４】）
　「請求項１に係る発明において、廃液の気化手段に好ましく用いられる光線は赤外線であり、特に好ましくは遠赤外線である。」（段落【００１８】）
　　イ　刊行物３：特開昭６３−１２９２０号公報
　「２．特許請求の範囲　検出器の光路に遠赤外線を照射し、該光路内の霧滴を加熱し、気化させることを特徴とする検出器光路の霧滴除去方法。」（１頁左下欄４〜７行）
　「本発明においてはこの検出光路２に遠赤外線を照射し光路２に漂う霧滴を加熱気化させる。この実施例では検出器１の近傍に遠赤外線スポット加熱器３を配置させここから遠赤外線を照射している。・・・この遠赤外線スポット加熱器３からの遠赤外線は照射範囲４の空間に漂う霧滴に吸収されて、霧滴を加熱気化させる。遠赤外線の波長は３μｍ−１０μｍであり、一方霧滴を構成する水や油の有機材料の殆どは３−２５μｍ位の波長域に多くの吸収スペクトルを有しているため、熱吸収効率は極めて高く、ほぼ連続的に検出光路２内に侵入する霧状の粒子を完全に帰化（当審注：「気化」の誤記と認める。）し検出光路２の霧をはらすことができる。」（２頁左上欄２０行〜右上欄１６行）
　
　上記刊行物２、３の記載によれば、液滴を気化させる際に、飛翔中の液滴に光線を照射して気化させることは周知技術にすぎない。
　したがって、刊行物発明の小孔４０内の加熱された空間で気化することに代えて上記刊行物２、３記載の周知技術を採用し、補正後第１発明のごとく液滴の飛翔中に光を照射して気化する構成とすることは、当業者が容易になし得たものである。
　
　そして、補正後第１発明の奏する効果は、刊行物１〜３の記載事項から当業者が予測し得る範囲内のものにすぎず、格別なものとはいえない。 
 　 
（５）むすび 
　以上のとおりであるから、補正後第１発明は、刊行物発明及び刊行物２、３記載の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　したがって、本件補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本願発明
　平成１８年３月３日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜９に係る発明は、平成１７年９月２２日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１〜９に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、本願の請求項１に係る発明（以下、「本願第１発明」という。）は次のとおりである。
　「液相材料を液滴として吐出する複数のノズルを有する流量制御バルブと、
　前記複数のノズルの少なくともいずれかから吐出された前記液滴を気化し、気化ガスを生成する液滴気化装置と、を備え、
　前記液滴気化装置から前記気化ガスを供給することを特徴とする膜形成装置。」
　
第４　引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された本願の出願前に頒布された刊行物である特開平５−２３９６５２号公報（以下、「引用例１」という。）には、以下の事項が図面とともに記載されている。 
　１　「【請求項１】反応室と、該反応室内を排気する排気手段と、該反応室内に基体を保持する為の基体保持手段と、該反応室内に原料ガスを導入する導入手段と、を具備する化学気相堆積装置において、前記導入手段は液体状の原料物質の供給量を制御する制御手段と、前記制御手段により下流側に設けられ、液体状の前記原料物質を気化させ反応室内に導入する気化手段と、を有することを特徴とする化学気相堆積装置。」（【特許請求の範囲】）
　２　「【産業上の利用分野】本発明は半導体装置又は光磁気ディスク等の記憶装置或いはフラットパネルディスプレイ等に用いられる金属膜、半導体膜或いは絶縁膜等の各種堆積膜を形成する為の化学気相堆積法及び装置に関し、特に液体状の原料を用いる化学気相堆積法及び装置に関する。」（段落【０００１】）
　３　「本発明によれば、有機金属などの常温で液体状態にある原料物質を、液体状態の段階で計量して供給量を制御した後、振動子やベンチュリ手段などを用いて粒子又は気化させ、反応前に加熱して、反応室に気体として送り込む構成にすることにより、原料物質の飽和蒸気圧の変動に影響されることなく、高精度でキャリアガスや他の反応ガスとの混合比を制御することが可能となる。」（段落【００５０】）
　４　「本発明に用いられる気化手段のより好ましい構成について説明する。気化手段に導入されてきた液体状の原料物質は気化手段でほぼ１００％気化させることが望ましく、その為にはまず液体を液滴（ここで言う液滴とはミストのような液体の微粒子をも含む）としての気化手段の気化室内に導入する。」（段落【００６２】）
　５　「【実施例】
（実施例１）図１は本発明の実施例１によるＣＶＤ装置を示す模式図である。
【００７８】１０１は液体状の原料物質を収容する容器であり、一方の導管はＡｒやＮ２等の加圧用のガスを封入したボンベ１１４に圧力コントローラー１１６を介して接続されている。
【００７９】他方の導管は液体流量を検知して流量を高精度で制御できる制御器１０２を介して反応室１０６の上流側に接続されている。
【００８０】反応室１０６の上流側には別に気体流量制御器としてのマスフローコントローラ１０３を介して、ガスボンベ１１３に接続されている。
【００８１】更に反応室１０６の上流側には加熱手段が設けられており、該加熱手段は穴の開いた石英板１０９と、加熱器１０５と加熱コントローラ１１５とを含んでいる。そして、反応室１０６内は基板１０７を複数保持する基板ホルダー１０８が設けられている。ここで基板ホルダー１０８は基板１０７を加熱する為の抵抗加熱器を含んでいる。
【００８２】反応室１０６の下流側には排気装置１１２が設けられており、原料物質の供給量と排気量とを制御することにより反応室内部を所望の圧力に保持する。
【００８３】図２は図１の反応室１０６の上流側の気化器（エバポレーター部）を拡大した模式図であり、複数の開口１２０が設けられた石英板１０９が複数並んで配されている。その上流には液体原料物質の導入手段としての、ピエゾ振動子１０４が設けられた導入ヘッド１２１が配設されている。図３は該導入ヘッド１２１の模式的断面図である。
【００８４】ガラス製の導入管１１８は、接続体１１７によって反応室１０６の上流の壁１２２に接続されている。そのまわりには、ピエゾ振動子１０４が設けられ、駆動回路１１１からのパルス信号電圧により振動する。供給量が制御されつつ高圧で供給されてきた液体原料物質は開口部１２３より吐出されて吐出途中でピエゾ振動子１０４より受けた振動エネルギーにより液滴に分断される。この原理は周知のインクジェット技術と同様である。
【００８５】こうして噴射された原料物質の液滴は、加熱器１０５により加熱され、更には石英板１０９に当たって気化する。加熱温度や石英板１０９と開口１２３の距離や位置、またはボンベ１１３より導入されるガスの圧力や流量は、最も効率よく液滴が気化するように調整される。又、１１９はオペレーションパネル、メモリー及びマイクロコンピュータを含む制御回路であり、液体流量制御器１０２、マスフローコントローラー１０３、加熱コントローラー１１５の動作を制御する。従って、操作者はこの制御回路１１９を操作することにより最適の堆積条件を容易に設定することができる。」（段落【００７７】〜【００８５】） 
　
　したがって、引用例１には次のとおりの発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
【引用発明】
　「液体状の原料物質を液滴として吐出する導入ヘッド１２１を有する、液体状の原料物質を前記導入ヘッド１２１へ供給し、液体流量を検知して流量を高精度で制御できる液体流量制御器１０２と、前記導入ヘッド１２１から吐出された前記液滴を気化する気化器（エバポレータ部）とを備え、前記気化器（エバポレータ部）から気化した原料物質を反応室１０６内へ導入する化学気相堆積装置。」
　
第５　対比
　本願第１発明と引用発明とを対比する。
　１　引用発明の「液体状の原料物質」、「液滴」、「吐出」、「導入ヘッド１２１」、「化学気相堆積装置」は、それぞれ、本願第１発明の「液相材料」、「液滴」、「吐出」、「ノズル」、「膜形成装置」に相当する。
　２　引用発明の「液体状の原料物質を前記導入ヘッド１２１へ供給し、液体流量を検知して流量を高精度で制御できる液体流量制御器１０２」は、補正後第１発明の「流量制御バルブ」に相当する。
　３　引用発明の気化器（エバポレータ部）は、導入ヘッド１２１から吐出された液滴を気化するものであるから、引用発明の「気化器（エバポレータ部）」は、補正後第１発明の「液滴気化装置」に相当する。
　４　引用発明の「前記気化器（エバポレータ部）から気化した原料物質を反応室１０６内へ導入する」は、本願第１発明の「前記液滴気化装置から前記気化ガスを供給する」に相当する。
　したがって、以上１〜４の考察から、両者は、次の一致点及び相違点を有する。
【一致点】 
　「液相材料を液滴として吐出するノズルを有する流量制御バルブと、前記ノズルから吐出された前記液滴を気化し、気化ガスを生成する液滴気化装置と、を備え、前記液滴気化装置から前記気化ガスを供給する膜形成装置。」
【相違点】 
　液相材料を液滴として吐出するノズルの数が、本願第１発明では、「複数」であるのに対して、引用発明では、複数なのか不明である点。
　
第６　判断
　上記相違点について検討するに、例えば、原査定の拒絶の理由に引用された特開平９−７５８２５号公報（「ノズル１５ａ〜１５ｇ」、「ノズル３５ａ〜３５ｉ」、「ノズル４５ａ〜４５ｆ」参照。以下、「引用例２」という。）、前掲刊行物１：特開平５−１６８８０２号公報（４個のノズル「ノズル４〜７」参照）に記載されているごとく、膜形成のための液相原料を液滴として吐出する複数のノズルは周知技術にすぎない。
　したがって、引用発明の導入ヘッド１２１に上記引用例２及び刊行物１記載の周知技術を適用して導入ヘッド１２１のノズル数を複数とし、本願第１発明のごとく構成することは、当業者が容易になし得たものである。
　そして、本願第１発明の奏する効果は、引用例１、２及び刊行物１の記載事項から、当業者であれば予測し得る範囲内のものにすぎず、格別なものとはいえない。 
　
第７　むすび
　以上のとおりであるから、本願第１発明は、引用発明並びに上記引用例２及び刊行物１記載の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして、本願第１発明が特許を受けることができないものであるから、その余の請求項２〜９に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。