【事件の表示】
　特願２００４−　２０１２１「透過電子顕微鏡の高精度な軸調整方法及びその装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　８月１１日出願公開、特開２００５−２１６６１２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
　
１．手続の経緯
　本願は、平成１６年１月２８日の出願であって、平成１８年２月２４日付け拒絶理由通知に対して、同年４月２８日付けで手続補正がされたが、平成１９年３月６日付けで拒絶査定され、これに対して、同年４月１０日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　
２．本願発明
　本願の請求項１に係る発明は、平成１８年４月２８日付け手続補正により補正された特許請求の範囲、明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのもの（以下、「本願発明」という。）と認める。
「【請求項１】
試料の微少領域に入射電子を収束し、電子顕微鏡像を観察する、透過電子顕微鏡において、前記試料を結晶性試料とし、前記入射電子の入射方向を前記試料のほぼ晶帯軸とし、前記電子顕微鏡像に観察される前記入射電子の入射方向及び対物レンズの収差により理想的な位置からずれて現れるブラッグ回折像の位置情報を画像解析装置により解析することにより、対物レンズのコマフリー軸調整することを特徴とする、透過電子顕微鏡の軸調整方法。」
　
３．引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００３−１９７１４２号公報（以下、引用例という。）には、次の事項が記載されている。
　
記載事項ア（特許請求の範囲）
「【請求項１】 試料の近傍に入射電子を収束し、電子顕微鏡像を観察する、透過電子顕微鏡において、前記電子顕微鏡像中に観察される火面の中心に、透過電子によるスポットが位置するように、前記入射電子の入射方向を調整することを特徴とする、透過電子顕微鏡の軸調整方法。
・・・
【請求項５】 試料の近傍に入射電子を収束し、電子顕微鏡像を観察する、透過電子顕微鏡において、前記試料を結晶性試料とし、前記入射電子の入射方向を前記試料のほぼ晶帯軸とし、前記電子顕微鏡像に観察されるブラッグ回折斑点が、点対称となるように、前記入射電子の入射方向を調整することを特徴とする、透過電子顕微鏡の軸調整方法。
【請求項６】 試料の近傍に入射電子を収束し、電子顕微鏡像を観察する、透過電子顕微鏡において、前記試料を結晶性試料とし、前記入射電子の入射方向を前記試料のほぼ晶帯軸とし、前記電子顕微鏡像に観察されるブラッグ回折斑点が、回転対称になるように、前記入射電子線の入射方向と、対物レンズの非点補正量を調整することを特徴とする、透過電子顕微鏡の軸調整方法。」
　
記載事項イ
「【００１９】
【発明の実施の形態】
　以下図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
　図１は、本発明による、透過電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope:TEM)の軸調整の実施の形態の一例である。本発明では、試料４の小さい領域に入射電子１を照射するとともに、TEMで通常用いられる場合よりも大きく焦点をはずしたTEM像７を観察する。大きく焦点をはずしたTEM像を観察するため、本実施の形態では試料４を正焦点試料位置３（焦点が合う位置）よりも対物レンズ6側に近づけている。
【００２０】
　その値は、本発明の方法および装置の場合には、例えば1μｍ以上である。この値は一般にTEMで用いられる焦点ぼけ量よりもかなり大きな値である。試料４を対物レンズ６側に動かしたことで、観察されるTEM像７は、不足焦点像となる
。
【００２１】
　試料を透過した電子5aは、TEM像7中では、透過スポット8bとして観察される。試料によって散乱された散乱電子は火面5eを形成する。火面5eはTEM像7中では電子密度の濃い領域（火面8b）として、多くの場合円として観察される。高角度に散乱された散乱電子5cでは、試料4の移動によって生じた焦点ぼけ量が、対物レンズ6の球面収差により短くなった焦点距離で相殺されている。
【００２２】
　すなわち、試料4で散乱された散乱電子5cがTEM像7上に焦点を結んでいる。これは、試料面上のプローブ像8cと考えられる。さらに広角に散乱された散乱電子5dは火面8bよりも外に投影され、バックグランド8dを形成する。散乱角度を変化させたときの、TEM像面上の電子の位置の変化9は曲線で示される。
【００２３】
　火面8bやプローブ像8cの位置は、入射電子1の方向には依存せず、一定である。一方、入射電子の方向を変えると、透過スポット8aの位置は変化する。この図では、対物レンズ6はコマ収差を持っていないので、光軸2はコマフリー軸となり、その方向は火面8bの中心（あるいはプローブ像8cの位置）になる。その方向に電子線を傾斜させれば、軸調整がなされる。
【００２４】
　コマ収差を有する対物レンズにおいて軸調整する場合においても、火面の中心に透過スポットを一致させれば、コマフリー軸調整となる。本発明による透過電子顕微鏡の軸調整が、従来報告されているコマフリー軸調整であることは、次のように示される。」 
　
記載事項ウ
「【００２５】
　レンズの収差の複素数表現（K. Ishizuka,Ultramicroscopy, 55 (1994) 407)を用いると、電子を光軸からw=αexp(iφ)傾斜させたときの電子の投影位置dは、次のように示される。
【００２６】
【式１】
　
　  
　
【００２７】
　ここで、Csは球面収差、zは焦点はずれ量、a2およびa3は２回および３回の非点収差、bはレンズ自身が持つコマ収差である。記号上のバーは、その数の複素共役を示している。
【００２８】
  式（１）に基づき、散乱電子が形成するＴＥＭ像を計算したものを図２に示す。これは、スポットダイアグラムと呼ばれているものである（村田和美、「光学」  サイエンス社）。ここでは、試料面上の一点から格子状に散乱した電子が像面で観察される位置を計算した。図２（ａ）は、球面収差Ｃｓと焦点ぼけ量ｚのみ考慮して計算したものである。図２（ｂ）〜（ｄ）は、それぞれ２回の非点収差ａ２ 、コマ収差ｂおよび３回の非点収差ａ３ を図２（ａ）の条件に加えて計算したものである。各点は１．９ｍｒａｄステップで散乱された散乱電子のＴＥＭ像上の位置を点として描いている。
【００２９】
　Cs =1.5x10-3、z = -7x10-6 (不足焦点)|a2|=5x10-6、|b|=1x10-5、|a3|=1x10-5で計算した。矢印15b〜15dは、a2、b、およびa3によって受ける点の動きの方向である。○印12は散乱角（w）が0の方向を示している。２回の非点収差a2により、火面は楕円になり、３回の非点収差a3により３角形に歪んでくる。２回や３回の非点によって火面は円形からゆがむものの、重心の位置は○印から動いていない性質が重要である。
【００３０】
　一方、コマ収差によると、図2(c)に示されるように、火面はほぼ平行移動する。火面の中心(□印12c)は、式2から計算されるように散乱角で3.3 mradずれる。
コマフリー軸調整とは、レンズ自身がもつコマ収差bをうち消すように入射電子を傾斜させ、実効的にコマ収差をなくすことを意味する。式(2)によれば、その傾斜角度はw=-b/2Csとなる。これは図２(c)における火面の中心(□印)に他ならない。したがって、本発明による軸調整方法は、コマフリー軸調整法を提供していることになる。」
　
記載事項エ
「【００３１】図３は、本発明による実施の形態を示したものである。コマ収差が残存している状態(a)から、入射電子を傾斜させることにより、火面16の中心と透過スポット17とを一致させ(c)、コマフリー軸調整ができていることが分かる。」
　なお、ここでいうコマ収差とは、上記記載事項イの【００２４】からみて、対物レンズのコマ収差を意味することは、明らかである。
　
記載事項オ
「【００３５】
　図３の実施の形態では、試料は非晶質試料であったが、結晶性試料を用いても同様の軸調整が可能である。その場合には、多数の回折スポットが観察されるので、そのスポットが回転対称をとるように軸調整することにより、同様の軸調整が可能になる。」
　
　なお、上記記載事項オの、図３の非晶質試料を結晶性試料に代えて、記載事項エと同様の軸調整を実施するという記載から、当該結晶性試料を用いた軸調整も、透過電子顕微鏡像に現れるスポット像（結晶性試料の場合は、（ブラッグ）回折斑点）を基に、入射電子を傾斜、即ち入射電子の入射方向を調整することによって行われるものと、解される。
　
記載事項カ
「【００３６】
　図４は、他の実施の形態を示したものである。TEM19に加え、画像取得装置30、画像解析装置31を備えている。画像取得装置30では、TEM像29を取得し、当該TEM像29を画像解析装置31に転送する。画像解析装置31では、TEM像29中の火面と透過スポットを検出する。さらに、画像解析装置31では、そのずれ量からコマ収差を式(2)に基づき計算する。
【００３７】
　計算結果に基づき、画像解析装置31は偏向装置制御装置22へと必要な偏向量を指示し、それにより偏向装置21が駆動され入射電子23の方向が設定され、コマフリー軸調整が行われる。画像取得装置30を用いることにより、オペレーターが目視でやるよりも高精度にコマフリー軸調整が可能になる。」
　
　上記記載事項ア〜カ、及び図面から、引用例には
「試料の近傍に入射電子を収束し、電子顕微鏡像を観察する、透過電子顕微鏡において、前記試料を結晶性試料とし、前記入射電子の入射方向を前記試料のほぼ晶帯軸とし、前記電子顕微鏡像に観察される多数のブラッグ回折斑点を基に、前記入射電子の入射方向を調整する、透過電子顕微鏡の軸調整方法。」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　
４．対比
　　引用発明と本願発明とを比較する。
　
（１）記載事項ア、エ及びオに記載されているように、コマフリー軸調整用の試料４として、非晶質試料に代えて、結晶性試料を用いた場合に、特段の事情がなければ、当業者であれば、発明の実施の形態として、その他の条件（透過電子顕微鏡の観察条件など）を実質的に変更しない、と解すべきである。
　したがって、引用発明の「試料の近傍に入射電子を収束」するとは、その実施例（非結晶試料を使用した場合）の「試料４の小さい領域に入射電子を照射」（記載事項イ【００１９】）すること、と解される。
　よって、引用発明の「試料の近傍に入射電子を収束し、」とは、本願発明の「試料の微少領域に入射電子を収束し、」に相当すると認められる。
　
（２）　
(i)　引用発明の、「透過型電子兼備胸像に観察されるブラッグ回折斑点」を得るための同電子顕微鏡の観察条件は、上記（１）で述べたように、試料を非晶質のものから結晶性のものに代えること以外は、引用例の実施例（記載事項イ等）で記載された条件と実質的に変わらないと解すべきである。
　一方、本願発明の「前記電子顕微鏡像に観察される前記入射電子の入射方向及び対物レンズの収差により理想的な位置からずれて現れるブラッグ回折像」を得るための同電子顕微鏡の観察条件は、引用例の実施例（記載事項イ）と同じものであり、また、その「回折像」とは、回折斑点である（本願明細書の【発明を実施するための最良の形態】（【００２６】〜【００２９】）の記載を参照のこと）。
　してみれば、引用発明の「透過型電子顕微鏡像に観察されるブラッグ回折斑点」と、本願発明の「前記電子顕微鏡像に観察される前記入射電子の入射方向及び対物レンズの収差により理想的な位置からずれて現れるブラッグ回折像」とは、共に結晶性試料を透過型電子顕微鏡によって観察することによって得られるブラッグ回折像である点で一致すると言える。
　
(ii)　さらに、記載事項エ及びオ（引用例の実施の形態を示した図３についての記載）から、引用例には、引用発明の「透過型電子顕微鏡像に観察される多数のブラッグ回折斑点」を基に、入射電子を傾斜させる（即ち、入射角度を調整する）ことによって、（対物レンズの）コマ収差をなくすように（コマフリー）軸調整を行う技術思想が示唆されていると言える。
　この示唆を、ブラッグ回折斑点の観点からみると、言い換えれば、軸調整を行う前、即ち理想的な位置への調整前では、上記ブラック回折斑点は、対物レンズの収差及び入射電子の入射角度に起因して、コマフリーという理想的な位置からずれた位置に斑点像が現れている、ということになる。
　したがって、引用発明の「電子顕微鏡像に観察されるブラッグ回折斑点」は、軸調整を行う前の像であることは明らかであるから、当該斑点の像が入射電子の入射方向及び対物レンズの収差により理想的な位置からずれて像面に現れる、ということになる。
　
(iii)　また、上記（２）(ii)で述べたとおり、記載事項エ及びオ（引用例の実施の形態を示した図３についての記載）から、引用発明の「電子顕微鏡像に観察されるブラッグ回折斑点の像を基に、前記入射電子の入射方向を調整する、透過電子顕微鏡の軸調整方法」は、入射電子を傾斜させる（即ち、入射角度を調整する）ことによって、（対物レンズの）コマ収差をなくす（コマフリー）軸調整方法を包含するものと言える。
　
　以上の（２）(i)〜(iii)の考察から、
　引用発明の「前記入射電子の入射方向を前記試料のほぼ晶帯軸とし、前記電子顕微鏡像に観察される多数のブラッグ回折斑点を基に、前記入射電子の入射方向を調整する、透過電子顕微鏡の軸調整方法」と、本願発明の「前記電子顕微鏡像に観察される前記入射電子の入射方向及び対物レンズの収差により理想的な位置からずれて現れるブラッグ回折像の位置情報を画像解析装置により解析することにより、対物レンズのコマフリー軸調整することを特徴とする、透過電子顕微鏡の軸調整方法」とは、前記電子顕微鏡像に観察される前記入射電子の入射方向及び対物レンズの収差により理想的な位置からずれて現れるブラッグ回折像を基に、対物レンズのコマフリー軸調整する、透過電子顕微鏡の軸調整方法、の点で一致する。
　
　よって、上記（１）及び（２）の比較検討結果から、引用発明と本願発明とは、
「試料の微少領域に入射電子を収束し、電子顕微鏡像を観察する、透過電子顕微鏡において、前記試料を結晶性試料とし、前記電子顕微鏡像に観察される前記入射電子の入射方向及び対物レンズの収差により理想的な位置からずれて現れるブラッグ回折像を基に、対物レンズのコマフリー軸調整する、透過電子顕微鏡の軸調整方法。」の点で一致し、以下の点で相違する。
　
相違点；
　本願発明は、透過電子顕微鏡の軸調整方法として、「ブラッグ回折像の位置情報を画像解析装置により解析すること」によって、軸調整が行われるのに対し、引用例には軸調整方法について明示されていない点。
　
５．当審の判断
　
相違点について
　引用例には、透過電子顕微鏡の観察像に現れる試料の透過スポットの如き特徴点の位置情報を、画像解析装置により解析することにより、透過電子顕微鏡の軸調整を行う手段が記載されている（記載事項カ）。このときの観察対象は非晶質試料であるが、試料が本件発明のような結晶性試料の場合に対しても、上記手段を適用することは、当業者にとって困難なことではない。　なお、透過型電子顕微鏡のブラッグ回折像の位置情報を、画像解析装置によって、回折することにより、透過電子顕微鏡の軸調整を行う方法は、従来周知である（例えば、G Ade et al.,“A NEW METHOD FOR COMA-FREE ALIGNMENT OF TRANSMISSION ELECTRON MICROSCUPE AND DIGITAL DETERMINATION OF ABERRATION COEFFICIENTS2, Scanning Microscopy Vol. 11 (1997), p. 251-256を参照のこと）。
　
　よって、本願発明は、引用発明に基づいて、当業者が容易に想到しうるものであり、また、本願発明によってもたらされる効果は引用例の記載の事項から当業者が予測し得る範囲内のものである。　
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。