【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３１４５９７９号発明「力・加速度・磁気の検出装置」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１４５９７９号の請求項１及び６に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件は、平成２年１０月１２日にされた特許出願（特願平２−２７４２９９号）の分割出願として平成１０年７月９日に特許出願（特願平１０−２１０３２０号）がされ、平成１３年１月５日に特許権の設定登録がされた特許第３１４５９７９号（以下「本件特許」という。）につき、平成１７年７月１４日にその請求項１及び６に係る特許に対してアナログデバイシーズ、インコーポレイテッドより無効審判の請求がされたものであり、同年１０月２０日に被請求人株式会社ワコーより訂正請求書及び答弁書が提出され、同年１２月１６日に請求人アナログデバイシーズ、インコーポレイテッドより弁駁書が提出され、平成１８年４月２５日に口頭審理が行われたものである。
　
第２　訂正請求について
　１　訂正の内容
　被請求人による訂正請求は、本件特許明細書を訂正請求書に添付した訂正明細書のとおりに訂正することを請求するものであり、その訂正の内容は、以下の訂正事項１及び２のとおりである。
　（１）訂正事項１
　訂正事項１は、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１を次のように訂正するものである。
　　　ア　訂正前の請求項１
「【請求項１】 互いに直交する第１の軸および第２の軸を定義し、前記第１の軸方向に作用した力および前記第２の軸方向に作用した力をそれぞれ独立して検出する機能をもった力検出装置であって、
　装置筐体に対して変位が生じないように固定された固定要素と、
　前記固定要素に可撓性部分を介して接続され、外部から作用した前記第１の軸方向の力もしくは前記第２の軸方向の力に基いて、前記可撓性部分が撓みを生じることにより、前記固定要素に対して前記第１の軸方向もしくは前記第２の軸方向に変位を生じる変位要素と、
　前記変位要素の変位にかかわらず固定状態を維持するように前記固定要素上に形成された第１の固定電極、第２の固定電極、第３の固定電極、第４の固定電極と、
　前記変位要素の変位とともに変位するように前記変位要素上に形成された第１の変位電極、第２の変位電極、第３の変位電極、第４の変位電極と、を備え、
　前記第１の固定電極と前記第１の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、前記第１の固定電極と前記第１の変位電極とによって第１の容量素子が形成され、
　前記第２の固定電極と前記第２の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、前記第２の固定電極と前記第２の変位電極とによって第２の容量素子が形成され、
　前記第３の固定電極と前記第３の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、前記第３の固定電極と前記第３の変位電極とによって第３の容量素子が形成され、
　前記第４の固定電極と前記第４の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、前記第４の固定電極と前記第４の変位電極とによって第４の容量素子が形成され、
　かつ、前記変位要素が前記第１の軸の正方向に変位した場合、前記第１の容量素子の電極間距離が減少するとともに前記第２の容量素子の電極間距離が増加し、前記変位要素が前記第１の軸の負方向に変位した場合、前記第１の容量素子の電極間距離が増加するとともに前記第２の容量素子の電極間距離が減少し、前記変位要素が前記第２の軸の正方向に変位した場合、前記第３の容量素子の電極間距離が減少するとともに前記第４の容量素子の電極間距離が増加し、前記変位要素が前記第２の軸の負方向に変位した場合、前記第３の容量素子の電極間距離が増加するとともに前記第４の容量素子の電極間距離が減少するように、前記各固定電極および前記各変位電極が配置されており、
　前記第１の容量素子の容量値と前記第２の容量素子の容量値との差によって、前記第１の軸方向に作用した力を検出し、前記第３の容量素子の容量値と前記第４の容量素子の容量値との差によって、前記第２の軸方向に作用した力を検出するように構成したことを特徴とする力検出装置。」
　　　イ　訂正後の請求項１
「【請求項１】　互いに直交する第１の軸および第２の軸を定義し、前記第１の軸方向に作用した力および前記第２の軸方向に作用した力をそれぞれ独立して検出する機能をもった力検出装置であって、
　装置筐体に対して変位が生じないように固定された固定要素と、
　前記固定要素に可撓性部分を介して接続され、外部から作用した前記第１の軸方向の力もしくは前記第２の軸方向の力に基いて、前記可撓性部分が撓みを生じることにより、前記固定要素に対して前記第１の軸方向もしくは前記第２の軸方向に変位を生じる変位要素と、
　前記変位要素の変位にかかわらず固定状態を維持するように前記固定要素上に形成された第１の固定電極、第２の固定電極、第３の固定電極、第４の固定電極と、
　前記変位要素の変位とともに変位するように前記変位要素上に形成された第１の変位電極、第２の変位電極、第３の変位電極、第４の変位電極と、
　を備え、
　前記第１の固定電極と前記第１の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、前記第１の固定電極と前記第１の変位電極とによって第１の容量素子が形成され、
　前記第２の固定電極と前記第２の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、前記第２の固定電極と前記第２の変位電極とによって第２の容量素子が形成され、
　前記第３の固定電極と前記第３の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、前記第３の固定電極と前記第３の変位電極とによって第３の容量素子が形成され、
　前記第４の固定電極と前記第４の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、前記第４の固定電極と前記第４の変位電極とによって第４の容量素子が形成され、
　かつ、前記変位要素が前記第１の軸の正方向に変位した場合、前記第１の容量素子の電極間距離が減少するとともに前記第２の容量素子の電極間距離が増加し、前記変位要素が前記第１の軸の負方向に変位した場合、前記第１の容量素子の電極間距離が増加するとともに前記第２の容量素子の電極間距離が減少し、前記変位要素が前記第２の軸の正方向に変位した場合、前記第３の容量素子の電極間距離が減少するとともに前記第４の容量素子の電極間距離が増加し、前記変位要素が前記第２の軸の負方向に変位した場合、前記第３の容量素子の電極間距離が増加するとともに前記第４の容量素子の電極間距離が減少するように、前記各固定電極および前記各変位電極が配置されており、
　前記第１の容量素子の容量値と前記第２の容量素子の容量値との差を、前記第１の軸方向に作用した力方向成分を示す検出信号として出力し、前記第３の容量素子の容量値と前記第４の容量素子の容量値との差を、前記第２の軸方向に作用した力方向成分を示す検出信号として出力する検出回路を更に備え、
　前記固定要素および前記変位要素がシリコンにより構成されていることを特徴とする力検出装置。」
　（２）訂正事項２
　訂正事項２は、訂正事項１による訂正に対応して、本件特許明細書の発明の詳細な説明の段落【０００８】を次のように訂正するものである。
　　　ア　訂正前の段落【０００８】
「【０００８】
【課題を解決するための手段】
（１）本発明の第１の態様は、互いに直交する第１の軸および第２の軸を定義し、第１の軸方向に作用した力および第２の軸方向に作用した力をそれぞれ独立して検出する機能をもった力検出装置において、
　装置筐体に対して変位が生じないように固定された固定要素と、
　この固定要素に可撓性部分を介して接続され、外部から作用した第１の軸方向の力もしくは第２の軸方向の力に基いて、可撓性部分が撓みを生じることにより、固定要素に対して第１の軸方向もしくは第２の軸方向に変位を生じる変位要素と、
　変位要素の変位にかかわらず固定状態を維持するように固定要素上に形成された第１の固定電極、第２の固定電極、第３の固定電極、第４の固定電極と、
　変位要素の変位とともに変位するように変位要素上に形成された第１の変位電極、第２の変位電極、第３の変位電極、第４の変位電極と、
　を設け、
　第１の固定電極と第１の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、第１の固定電極と第１の変位電極とによって第１の容量素子が形成され、
　第２の固定電極と第２の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、第２の固定電極と第２の変位電極とによって第２の容量素子が形成され、
　第３の固定電極と第３の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、第３の固定電極と第３の変位電極とによって第３の容量素子が形成され、
　第４の固定電極と第４の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、第４の固定電極と第４の変位電極とによって第４の容量素子が形成され、
　かつ、変位要素が第１の軸の正方向に変位した場合、第１の容量素子の電極間距離が減少するとともに第２の容量素子の電極間距離が増加し、変位要素が第１の軸の負方向に変位した場合、第１の容量素子の電極間距離が増加するとともに第２の容量素子の電極間距離が減少し、変位要素が第２の軸の正方向に変位した場合、第３の容量素子の電極間距離が減少するとともに第４の容量素子の電極間距離が増加し、変位要素が第２の軸の負方向に変位した場合、第３の容量素子の電極間距離が増加するとともに第４の容量素子の電極間距離が減少するように、各固定電極および各変位電極を配置するようにし、
　第１の容量素子の容量値と第２の容量素子の容量値との差によって、第１の軸方向に作用した力を検出し、第３の容量素子の容量値と第４の容量素子の容量値との差によって、第２の軸方向に作用した力を検出するように構成したものである。」
　　　イ　訂正後の段落【０００８】
「【０００８】
【課題を解決するための手段】
（１）本発明の第１の態様は、互いに直交する第１の軸および第２の軸を定義し、第１の軸方向に作用した力および第２の軸方向に作用した力をそれぞれ独立して検出する機能をもった力検出装置において、
　装置筐体に対して変位が生じないように固定された固定要素と、
　前記固定要素に可撓性部分を介して接続され、外部から作用した第１の軸方向の力もしくは第２の軸方向の力に基いて、可撓性部分が撓みを生じることにより、固定要素に対して第１の軸方向もしくは第２の軸方向に変位を生じる変位要素と、
　変位要素の変位にかかわらず固定状態を維持するように固定要素上に形成された第１の固定電極、第２の固定電極、第３の固定電極、第４の固定電極と、
　変位要素の変位とともに変位するように変位要素上に形成された第１の変位電極、第２の変位電極、第３の変位電極、第４の変位電極と、
　を設け、
　第１の固定電極と第１の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、第１の固定電極と第１の変位電極とによって第１の容量素子が形成され、
　第２の固定電極と第２の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、第２の固定電極と第２の変位電極とによって第２の容量素子が形成され、
　第３の固定電極と第３の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、第３の固定電極と第３の変位電極とによって第３の容量素子が形成され、
　第４の固定電極と第４の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、第４の固定電極と第４の変位電極とによって第４の容量素子が形成され、
　かつ、変位要素が第１の軸の正方向に変位した場合、第１の容量素子の電極間距離が減少するとともに第２の容量素子の電極間距離が増加し、変位要素が第１の軸の負方向に変位した場合、第１の容量素子の電極間距離が増加するとともに第２の容量素子の電極間距離が減少し、変位要素が第２の軸の正方向に変位した場合、第３の容量素子の電極間距離が減少するとともに第４の容量素子の電極間距離が増加し、変位要素が第２の軸の負方向に変位した場合、第３の容量素子の電極間距離が増加するとともに第４の容量素子の電極間距離が減少するように、各固定電極および各変位電極が配置されており、
　第１の容量素子の容量値と第２の容量素子の容量値との差を、第１の軸方向に作用した力方向成分を示す検出信号として出力し、第３の容量素子の容量値と第４の容量素子の容量値との差を、第２の軸方向に作用した力方向成分を示す検出信号として出力する検出回路を更に設け、
　固定要素および変位要素をシリコンにより構成したものである。」
　２　訂正の可否について
　訂正事項１は、請求項１の「前記第１の容量素子の容量値と前記第２の容量素子の容量値との差によって、前記第１の軸方向に作用した力を検出し、前記第３の容量素子の容量値と前記第４の容量素子の容量値との差によって、前記第２の軸方向に作用した力を検出するように構成した」を「前記第１の容量素子の容量値と前記第２の容量素子の容量値との差を、前記第１の軸方向に作用した力方向成分を示す検出信号として出力し、前記第３の容量素子の容量値と前記第４の容量素子の容量値との差を、前記第２の軸方向に作用した力方向成分を示す検出信号として出力する検出回路を更に備え、前記固定要素および前記変位要素がシリコンにより構成されている」と限定するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的としており、本件特許明細書の段落【００２２】、【００２９】等を根拠とするものであって、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　訂正事項２は、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合をとるためのものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とし、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　請求人は、この訂正につき、訂正後の請求項１は明細書の段落【００２２】及び図６に記載の方法以外の方法に従って作用点Ｐに作用した力のＺ軸方向成分を示す信号を生成し、その信号を出力するという態様をも包含することとなり、「願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲を超えている」として認められず、検出の対象を「力」から「力方向成分」に変更する訂正は実質上特許請求の範囲を変更するものであり、更に、請求項１に「前記固定要素および前記変位要素がシリコンにより構成されている」という記載を追加する訂正は、訂正後の請求項１が変位基板２０ｃの一部がシリコン以外の材料により構成されている態様をも包含することを意味し、このことは、変位基板２０ｃの全部がシリコンにより構成されることを記載する明細書の段落【００２９】に矛盾すると主張する。
　しかしながら、訂正後の請求項１は、訂正前の請求項１を減縮するものであり、訂正事項１の「前記第１の容量素子の容量値と前記第２の容量素子の容量値との差を、前記第１の軸方向に作用した力方向成分を示す検出信号として出力し、前記第３の容量素子の容量値と前記第４の容量素子の容量値との差を、前記第２の軸方向に作用した力方向成分を示す検出信号として出力する検出回路を更に備え」及び「前記固定要素および前記変位要素がシリコンにより構成されている」は願書に添付した明細書の段落【００２２】、【００２９】等に記載があり、上記訂正が願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲を超えているということはできない。また、訂正後の請求項１には「第１の軸方向に作用した力方向成分」、「第２の軸方向に作用した力方向成分」なる記載がされているが、これは訂正前の請求項１の「第１の軸方向に作用した力」、「第２の軸方向に作用した力」と変わるものではなく、実質上特許請求の範囲を変更するものではない。請求項１に「前記固定要素および前記変位要素がシリコンにより構成されている」という記載を追加する訂正については、本件特許の願書に添付した明細書の発明の詳細な説明に「【００２９】図９に示す実施形態は、固定基板１０ｃ、変位基板２０ｃ、作用体３０ｃ、のすべてにシリコンなどの半導体を使用した例である。」との記載がされており、この記載によれば固定基板、変位基板がシリコンにより構成され、その結果、固定要素、変位要素がシリコンにより構成されることとなるから、請求項１の「前記固定要素および前記変位要素がシリコンにより構成されている」という記載は段落【００２９】の記載に矛盾するものではない。そうすると、請求人の上記訂正に関する主張は、根拠がない。
　したがって、上記訂正は、特許法１３４条の２第５項において準用する、平成６年法律第１１６号による改正前の特許法１２６条１項ただし書、２項及び３項の規定に適合するので、これを認める。
　
第３　請求人の主張
　本件特許の請求項１及び６に係る特許を無効とする、との審決を求める。
　本件特許は、特許法２９条１項３号の規定に違反してされたというべきであるから、特許法１２３条１項２号の規定により無効とされるべきである。
　本件特許は、特許法２９条２項の規定に違反してされたというべきであるから、特許法１２３条１項２号の規定により無効とされるべきである。
　証拠方法として、甲第１号証（米国特許第４９４１３５４号公報）、甲第２号証（米国特許第３２７０２６０号公報）、甲第３号証（特開昭６２−１２３３６１号公報）、甲第４号証（国際公開ＷＯ８９／９９２７号公報）、甲第５号証（米国特許第４７１９５３８号公報）、甲第６号証（米国特許第４３７２１６２号公報）及び甲第７号証（特開昭６０−２０７０６６号公報）を提出する。
　
第４　被請求人の主張
　本件審判請求は成り立たない、との審決を求める。
　訂正請求により、本件特許センサは、「前記第１の容量素子の容量値と前記第２の容量素子の容量値との差を、前記第１の軸方向に作用した力方向成分を示す検出信号として出力し、前記第３の容量素子の容量値と前記第４の容量素子の容量値との差を、前記第２の軸方向に作用した力方向成分を示す検出信号として出力する検出回路を更に備え」及び「前記固定要素および前記変位要素がシリコンにより構成されている」という新たな構成要件が必須となった。この新たに加えられた２つの構成要件は、甲各号証のいずれにも記載のない事項である。
　訂正後の請求項１及び６に係る発明は、甲各号証に対して新規性及び進歩性を有し、特許法２９条１項及び２項の規定に違反するものではない。
　
第５　本件特許発明
　本件特許の請求項１及び６に係る発明は、その訂正明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１及び６に記載された上記のとおりのものである。
　
第６　証拠方法
　請求人の提出した証拠方法のうち、甲第１号証及び甲第７号証には以下の事項が記載されている。（なお、甲第１号証の翻訳は、原則として請求人及び被請求人の抄訳による。）
　１　甲第１号証（米国特許第４９４１３５４号公報）
　甲第１号証には、図面とともに、「本発明によれば、３軸の加速度計が提供される。この加速度計は、ハウジングと、加えられた力に応答して３つの測定軸に対して変位可能なようにそのハウジング内に取り付けられたマグネットと、マグネットの変位を検知し、３つの測定軸のそれぞれに沿って加えられた力の成分に比例する出力信号を提供する検知手段とを含む。」（原文１欄３２〜４０行）、「図１を参照して、図示される加速度計１は、導電性のハウジング２を含む。ハウジング２は、下部ハウジング部分３と上部ハウジング部分４とから構成されており、ハウジング２とは電気的に絶縁されているケーシング５によって囲まれている。ケーシング５は、磁気的なスクリーニングを提供するために、ラジオメタルのような軟磁性アロイから作成されている。サマリウムコバルトの永久マグネット６は、導電性の支持部材７内の円柱状のボア５０の中に受容されることによってハウジング２内に取り付けられている。支持部材７は、中央孔８を介して下部ハウジング部分３の中を延びている。支持部材７は、ネジ５１によって導電性の円形の支持ダイヤフラム９の中央に接続されている。ネジ５１は、ダイヤフラム９を介して支持部材７の中をネジがきられたボア５２に延びている。支持部材７の軸方向のマグネット６の移動は、Ｚ測定軸に沿っており、ダイヤフラム９の平面と垂直な方向にダイヤフラム９が変形することによって許容される。さらに、支持部材７の軸に対して横方向のマグネット６の移動は、ダイヤフラム９に平行な平面内で直交するＸおよびＹ測定軸に沿っており、ダイヤフラム９の中心を軸として支持部材７を回転させるようにダイヤフラム９が撓むことによって許容される。」（原文２欄１４〜３９行）、「支持部材７の上部分には、ピックオフキャパシタ１４の可動プレート１３を構成する環状のフランジが設けられている。キャパシタ１４は、従来のプリント回路プロセスによって回路板１５の下側に形成された固定された円状のプレートをさらに含み、ネジ１６によってハウジング固定されている。ネジ１６はまた、下部ハウジング部分３と上部ハウジング部分４とを接続する。図３に示されるように、固定プレート１７は、４つのプレート部分１８、１９、２０、２１を含む。これらのプレート部分は、互いに電気的に絶縁されており、中央点２２の周りにある共通のプレートに配置されている。」（原文２欄４７〜５７行）、「図３を再び参照して、ピックオフキャパシタ１４の４つのプレート部分１８〜２１をＹＡ、ＸＡ、ＹＢ、ＸＢと表記し、これらのプレート部分のそれぞれと可動プレート１３との間の静電容量をＣＹＡ、ＣＸＡ、ＣＹＢ、ＣＸＢと表記すると、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸に沿ってそれぞれ△Ｘ、△Ｙ、△Ｚ移動することにより、その変形に比例して静電容量が変化する。
　△Ｘ　∝　ＣＸＡ−ＣＸＢ　
　△Ｙ　∝　ＣＹＡ−ＣＹＢ　
　△Ｚ　∝　ＣＸＡ＋ＣＸＢ＋ＣＹＡ＋ＣＹＢ　
　このような軸方向のマグネット６の移動は、可動プレート１３と固定プレート１７との間の静電容量を変化させる。横方向のマグネット６の移動は、可動プレート１３とそれに対向するプレート部分１９および２１（もしくは、１８および２０）との間の差動静電容量に変化を生じさせる。」（原文３欄１５〜３３行）、「マグネット６が、可動プレート１３とプレート部分１９との間の間隔が増加するように中立位置から移動すると、ＣＸＡはＣＲＥＦより小さくなり、ＶＸＡは励起電圧Φに対して１８０゜位相がずれることになる。逆に、マグネット６が、その間隔が減少するように中立位置から移動すると、ＣＸＡはＣＲＥＦより大きくなり、ＶＸＡはΦと同位相になる。出力電圧ＶＸＢ、ＶＹＡ、ＶＹＢは、プレート部分２１、１８、２０にそれぞれ関連する同様のピックオフ増幅回路によって供給される。」（原文３欄５４〜６３行）、「増幅器４９は、矩形波電圧ＶＸＡとＶＸＢとの差に応じた直流出力を発生させ、この直流出力は、Ｘ軸フォースコイル３０、３２および電流検出抵抗５８を流れる復帰電流を生じさせる。フォースコイル３０、３２を流れる電流の方向は、マグネット６を中立位置に戻す方向であり、ピックオフキャパシタ１４の可動プレート１３がプレート部分１９、２１に関して左右対称に配置されるようにする方向である。」（原文４欄３０〜３８行）等の記載がされている。
　２　甲第７号証（特開昭６０−２０７０６６号公報）
　甲第７号証には、図面とともに、「本発明は、フラット形振子構造を用い、該構造体の面内に感応軸線がある加速度計用センサに関する。特に本発明は、前記振子構造が例えばシリコン或いは石英からなる結晶性ウエハを微細機械加工して形成され、且つ平形試験体の面内の２つの可撓性平行ブレードにより懸架された前記試験体よりなる加速度計用センサに関する。」（３頁左上欄１７行〜右上欄４行）、「第１図は本発明による振子構造の基本的配置を示すものである。上記のように、この構造は平面状であり、結晶性シリコン或いは石英ウエハの微細機械加工により単一片に形成され、これは更に集積電子回路の基板として用いられる。」（４頁右上欄１２〜１６行）等の記載がされている。
　
第７　当審の判断
　１　本件特許の請求項１に係る発明（以下「本件発明１」という。）について
　本件発明１と甲第１号証に記載された発明とを対比する。
　甲第１号証に記載されたＸ及びＹ測定軸は、本件発明１の「第１の軸」及び「第２の軸」に相当する。
　甲第１号証に記載された加速度計１は、加えられた力に応答し、加えられた力の成分に比例する出力信号を提供するものであるから、本件発明１の「力検出装置」に相当する。
　甲第１号証に記載されたハウジング２、回路板１５は、それぞれ本件発明１の「装置筐体」、「固定要素」に相当する。
　甲第１号証に記載されたダイヤフラム９、環状のフランジは、それぞれ本件発明１の可撓性部分、変位要素に相当する。
　甲第１号証に記載された固定プレート１７のプレート部分１８から２１までは本件発明１の「第１の固定電極」から「第４の固定電極」に相当し、甲第１号証に記載された可動プレート１３は本件発明１の「第１の変位電極」から「第４の変位電極」までに相当し、甲第１号証に記載された４つの静電容量を形成するものは本件発明１の「第１の容量素子」から「第４の容量素子」までに相当する。
　甲第１号証に記載された発明では、支持部材７の軸に対して横方向のマグネット６の移動でダイヤフラム９の中心を軸として支持部材７を回転させるようにダイヤフラム９が撓み、可動プレート１３とプレート部分との間の間隔が増加又は減少し、可動プレート１３とそれに対向するプレート部分１９と２１（又は１８と２０）との間の差動静電容量に変化を生じさせており、このことは本件発明１において「前記変位要素が前記第１の軸の正方向に変位した場合、前記第１の容量素子の電極間距離が減少するとともに前記第２の容量素子の電極間距離が増加し、前記変位要素が前記第１の軸の負方向に変位した場合、前記第１の容量素子の電極間距離が増加するとともに前記第２の容量素子の電極間距離が減少し、前記変位要素が前記第２の軸の正方向に変位した場合、前記第３の容量素子の電極間距離が減少するとともに前記第４の容量素子の電極間距離が増加し、前記変位要素が前記第２の軸の負方向に変位した場合、前記第３の容量素子の電極間距離が増加するとともに前記第４の容量素子の電極間距離が減少するように、前記各固定電極および前記各変位電極が配置されて」いることに相当する。
　甲第１号証には、矩形波電圧ＶＸＡとＶＸＢとの差に応じた直流出力を発生して復帰電流を生じさせ電圧ＶＸを得る回路が図５等に示され、この矩形波電圧ＶＸＡ等は図４等に示されているように静電容量ＣＸＡ等に対応するものであるから、これらの回路は本件発明１の「前記第１の容量素子の容量値と前記第２の容量素子の容量値との差を、前記第１の軸方向に作用した力方向成分を示す検出信号として出力し、前記第３の容量素子の容量値と前記第４の容量素子の容量値との差を、前記第２の軸方向に作用した力方向成分を示す検出信号として出力する検出回路」に相当する。
　そうすると、本件発明１と甲第１号証に記載された発明とは以下の一致点で一致し、以下の相違点で相違する。
　一致点　本件発明１と甲第１号証に記載された発明とが「互いに直交する第１の軸および第２の軸を定義し、前記第１の軸方向に作用した力および前記第２の軸方向に作用した力をそれぞれ独立して検出する機能をもった力検出装置であって、装置筐体に対して変位が生じないように固定された固定要素と、前記固定要素に可撓性部分を介して接続され、外部から作用した前記第１の軸方向の力もしくは前記第２の軸方向の力に基いて、前記可撓性部分が撓みを生じることにより、前記固定要素に対して前記第１の軸方向もしくは前記第２の軸方向に変位を生じる変位要素と、前記変位要素の変位にかかわらず固定状態を維持するように前記固定要素上に形成された第１の固定電極、第２の固定電極、第３の固定電極、第４の固定電極と、前記変位要素の変位とともに変位するように前記変位要素上に形成された第１の変位電極、第２の変位電極、第３の変位電極、第４の変位電極と、を備え、前記第１の固定電極と前記第１の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、前記第１の固定電極と前記第１の変位電極とによって第１の容量素子が形成され、前記第２の固定電極と前記第２の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、前記第２の固定電極と前記第２の変位電極とによって第２の容量素子が形成され、前記第３の固定電極と前記第３の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、前記第３の固定電極と前記第３の変位電極とによって第３の容量素子が形成され、前記第４の固定電極と前記第４の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、前記第４の固定電極と前記第４の変位電極とによって第４の容量素子が形成され、かつ、前記変位要素が前記第１の軸の正方向に変位した場合、前記第１の容量素子の電極間距離が減少するとともに前記第２の容量素子の電極間距離が増加し、前記変位要素が前記第１の軸の負方向に変位した場合、前記第１の容量素子の電極間距離が増加するとともに前記第２の容量素子の電極間距離が減少し、前記変位要素が前記第２の軸の正方向に変位した場合、前記第３の容量素子の電極間距離が減少するとともに前記第４の容量素子の電極間距離が増加し、前記変位要素が前記第２の軸の負方向に変位した場合、前記第３の容量素子の電極間距離が増加するとともに前記第４の容量素子の電極間距離が減少するように、前記各固定電極および前記各変位電極が配置されており、前記第１の容量素子の容量値と前記第２の容量素子の容量値との差を、前記第１の軸方向に作用した力方向成分を示す検出信号として出力し、前記第３の容量素子の容量値と前記第４の容量素子の容量値との差を、前記第２の軸方向に作用した力方向成分を示す検出信号として出力する検出回路を更に備え」た「力検出装置」である点。
　相違点　本件発明１では「前記固定要素および前記変位要素がシリコンにより構成されている」のに対し、甲第１号証に記載された発明ではこのような構成を備えていない点。
　この相違点について検討すると、センサにおいて基板にシリコンを用いることは、例えば特開昭６０−２０７０６６号公報（甲第７号証）にも記載され、周知であるということができる。そうすると、甲第１号証に記載された発明においてこのような周知の技術手段を適用し、回路板１５等の固定された部分、可動プレート１３を構成する環状のフランジ等の変位する部分にシリコンを用い、上記相違点のようにすることは当業者が適宜に行いうることである。
　本件発明１の効果についてみても、甲第１号証に記載された発明及び周知の技術手段から予測しうるものであって、格別のものではない。
　なお、被請求人は、甲第１号証に記載された発明ではマグネット６を中立位置に戻すための制御に必要になった電力を所定軸方向に作用した力として検出しているのであり、本件発明１のように静電容量の差を所定軸方向に作用した力として検出しているのではないと主張する。
　しかしながら、甲第１号証に記載された発明においては、増幅器４９は矩形波電圧ＶＸＡとＶＸＢとの差に応じた直流出力を発生させており、矩形波電圧ＶＸＡとＶＸＢとはそれぞれ静電容量ＣＸＡとＣＸＢに対応しているから、上記矩形波電圧ＶＸＡとＶＸＢとの差に応じた直流出力は静電容量ＣＸＡとＣＸＢとの差に応じた出力であり、そうすると、甲第１号証に記載された発明は、上記直流出力により復帰電流を生じさせているとしても、同時に、静電容量の差を所定軸方向に作用した力として検出しているということができる。
　したがって、本件発明１は、当業者が甲第１号証に記載された発明及び周知の技術手段に基いて容易に発明をすることができたものである。
　２　本件特許の請求項６に係る発明（以下「本件発明６」という。）について
　甲第１号証に記載された発明は、加えられた力に比例する出力信号を提供する検知手段を含む加速度計に関する発明である。
　本件発明６と甲第１号証に記載された発明とを対比すると、両発明は、上記一致点で一致し、更に「変位要素に作用する加速度に基いて発生する力を検出することにより、加速度の検出を行い得るようにした」「加速度検出装置」である点でも一致し、上記相違点で相違する。
　上記相違点については、既に検討したとおりである。
　本件発明６の効果についてみても、甲第１号証に記載された発明及び周知の技術手段から予測しうるものであって、格別のものではない。
　したがって、本件発明６は、当業者が甲第１号証に記載された発明及び周知の技術手段に基いて容易に発明をすることができたものである。
　
第８　むすび
　以上のとおり、本件特許の請求項１及び６に係る発明は、当業者が甲第１号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものであるから、本件特許の請求項１及び６に係る特許は、特許法２９条２項の規定に違反してされたものであり、同法１２３条１項２号に該当し、無効にすべきものである。
　審判に関する費用については、特許法１６９条２項において準用する民事訴訟法６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。