【事件の表示】
　上記当事者間の特許第２５８０４８９号発明「多関節搬送装置，その制御方法及び半導体製造装置」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結論】
　特許第２５８０４８９号の請求項１ないし４、６ないし１０に係る発明についての特許を無効とする。
　特許第２５８０４８９号の請求項５に係る発明についての審判請求は、成り立たない。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理由】
１．手続の経緯・本件特許発明
　特許出願　　　　　　　　　　　　　　　平成　６年　５月１３日
（優先権主張）　　　　　　　　　　　　　平成　５年１１月　４日
　特許権の設定登録　　　　　　　　　　　平成　８年１１月２１日
　無効審判請求（請求人ローツェ株式会社）平成１６年１０月　８日
　答弁書提出　　　　　　　　　　　　　　平成１７年　１月２６日
　口頭審理　　　　　　　　　　　　　　　平成１７年　４月　８日
　上申書提出（被請求人）　　　　　　　　平成１７年　４月２２日
　上申書提出（請求人）　　　　　　　　　平成１７年　５月　６日
　後記５．において示すとおり、本件の特許請求の範囲の記載に不備はないから、本件特許第２５８０４８９号の請求項１ないし１０に係る発明は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし１０に記載されたとおり、次のものと認める。
「【請求項１】第１の搬送部（１５）と、
　前記第１の搬送部（１５）の回転面に対して上又は下側に位置するように高さを規定した第２の搬送部（１６）と、
　前記第１の搬送部（１５）を一方向に伸縮する第１の多関節駆動部（１１）と、
　前記第２の搬送部（１６）を一方向に伸縮する第２の多関節駆動部（１２）と、
　前記第１の多関節駆動部（１１）の回動中心となる第１の固定軸（１３Ａ）と前記第２の多関節駆動部（１２）の回動中心となる第２の固定軸（１３Ｂ）とを有し、かつ、前記第１の多関節駆動部（１１）に回転力を与える第１の駆動軸（１３Ｃ）と前記第２の多関節駆動部（１２）に回転力を与える第２の駆動軸（１３Ｄ）とを有する共通駆動部（１３）と、
　前記第１の多関節駆動部（１１）、第２の多関節駆動部（１２）及び共通駆動部（１３）を回動制御する駆動制御手段（１４）とを備え、
　前記第１の搬送部（１５）及び第２の搬送部（１６）を前記共通駆動部（１３）の上部に縮めたとき、前記第１の搬送部（１５）と第２の搬送部（１６）とを高低差をもって重なるようにしたことを特徴とする多関節搬送装置。」（以下、「本件特許発明１」という。）
「【請求項２】前記共通駆動部（１３）を高さ方向に移動する高さ調整手段（１７）が設けられることを特徴とする請求項１記載の多関節搬送装置。」（以下、「本件特許発明２」という。）
「【請求項３】前記第１の搬送部（１５）及び第２の搬送部（１６）が共通駆動部（１３）上に取り込まれる状態を有し、かつ、前記取り込まれた第１の搬送部（１５）の載置面から第２の搬送部（１６）の載置面までの間隔が、前記第２の搬送部（１６）に載置する被搬送物（２０）の厚み（ｔ０）と、前記第１の搬送部（１５）の厚み（ｔ１）と隙間（ｇ）を加算した載置間距離（Ｄｚ）に規定されることを特徴とする請求項１記載の多関節搬送装置。」（以下、「本件特許発明３」という。）
「【請求項４】前記第１の駆動軸（１３Ｃ），第２の駆動軸（１３Ｄ）及び共通駆動部（１３）を個別に回動制御する電動機（２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ）を有する駆動制御装置（２４）が設けられ、
　前記駆動制御装置（２４）は、前記第１の搬送部（１５）と同じ方向に前記第２の搬送部（１６）を伸縮するように前記電動機（２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ）を制御することを特徴とする請求項１記載の多関節搬送装置。」（以下、「本件特許発明４」という。）
「【請求項５】前記共通駆動屈曲アーム（３３）を回動制御する電動機（３４Ａ）と、前記電動機（３４Ａ）の回転力に基づいて第１の駆動軸（２３Ｃ）及び第２の駆動軸（２３Ｄ）を回動制御する動力伝達制御器（３４Ｂ，３４Ｃ）とを有する駆動制御装置（３４）と、前記駆動制御装置（３４）を共通駆動屈曲アーム（３３）の軸を中心にして回動する電動機（４４）が設けられることを特徴とする請求項１記載の多関節搬送装置。」（以下、「本件特許発明５」という。）
「【請求項６】前記共通駆動部（１３）の回転軸を概略垂線とする平面において、該共通駆動部（１３）が「く」の字型に屈曲されたアーム状を構成することを特徴する請求項１記載の多関節搬送装置。」（以下、「本件特許発明６」という。）
「【請求項７】前記第１の駆動軸（１３Ｃ）を固定し、前記第２の駆動軸（１３Ｄ）及び共通駆動部（１３）を同期させて回動することを特徴とする請求項１〜６記載の多関節搬送装置の制御方法。」（以下、「本件特許発明７」という。）
「【請求項８】前記第２の駆動軸（１３Ｄ）を固定し、前記第１の駆動軸（１３Ｃ）及び共通駆動部（１３）を同期させて回動することを特徴とする請求項１〜６記載の多関節搬送装置の制御方法。」（以下、「本件特許発明８」という。）
「【請求項９】前記第１の駆動軸（１３Ｃ），第２の駆動軸（１３Ｄ）及び共通駆動部（１３）を同期させて回動することを特徴とする請求項１〜６記載の多関節搬送装置の制御方法。」（以下、「本件特許発明９」という。）
「【請求項１０】被加工基板（１９）を各種加工処理するｎ個のプロセスチャンバ（Ｐｎ，〔ｎ＝１，２，…ｎ〕）と、前記プロセスチャンバ（Ｐｎ）に被加工基板（１９）を出し入れする基板搬送手段（１８）とを備え、前記基板搬送手段（１８）が請求項１〜６記載の多関節搬送装置から成ることを特徴とする半導体製造装置。」（以下、「本件特許発明１０」という。）
２．請求人側主張の概要
　請求人の主張を整理すると、以下のとおりと認められる。
　ａ．本件特許発明１ないし４及び６ないし１０は、本件出願前に頒布された甲第１号ないし４号証のいずれかに記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができないものであるから、その特許は無効とされるべきである。
　ｂ．本件特許発明１，３，４および６ないし１０は、本件出願前に公然知られた発明若しくは公然実施をされた発明（甲第６号ないし１２号証）であり、特許法第２９条第１項第１号又は第２号の規定により特許を受けることができないものであるから、その特許は無効とされるべきである。
　ｃ．本件特許発明１ないし４及び６ないし１０は、本件出願前に頒布された甲第１号ないし５号証に記載された発明または本件出願前に公然知られた発明若しくは公然実施をされた発明（甲第６号ないし１２号証）に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができなものであるから、その特許は無効とされるべきである。
　ｄ．本件特許発明６は、発明の詳細な説明において「共通駆動部」が「く」の字型に屈曲されたアーム状を構成することの技術的意義が当業者が理解し得る程度に記載されておらず、特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていないから、その特許は無効とされるべきである。
　ｅ．本件特許発明１及び６は、特許請求の範囲請求項１において「共通駆動部」の「共通」の意味するところが不明確であり、また、特許請求の範囲請求項６において、「共通駆動部」の「く」の字状のアームのどこに回転中心があるのか特定されておらず、特許法第３６条第５項第２号の規定を満たしていないから、その特許は無効とされるべきである。
　ｆ．本件特許発明５は、特許請求の範囲の請求項５に記載された発明特定事項の「前記電動機（３４Ａ）の回転力に基づいて第１の駆動軸（２３Ｃ）及び第２の駆動軸（２３Ｄ）を回動制御する動力伝達制御機（３４Ｂ、３４Ｃ）とを有する駆動制御装置（３４）」の「…回動制御する動力伝達制御機」という記載については、本来、「動力伝達の断続」を制御すべき動力伝達制御機が、「回動」を制御する動力伝達制御機という記載となっており、技術的内容が正確に特定されておらず、また、「回転力に基づいて…回動制御する」という記載については、回転力に基づく制御内容を当業者が理解することができず、これにより技術的思想たる発明を正確に特定することができないこととなっているから、特許法第３６条第５項第２号の規定を満たしておらず、その特許は無効とされるべきである。
　ｇ．被請求人が主張する甲第１号証記載の発明との相違点及び作用効果は、特許請求の範囲の記載に基づかないものであり、「多関節駆動部」及び「共通駆動部」の意味について、発明の詳細な説明を参酌して解釈すべき根拠はない。
　請求人は、上記主張の証拠方法として、下記の証拠を提出している。
　甲第１号証：特開平４−３０４４７号公報
　甲第２号証：特開平５−１０９８６６号公報
　甲第３号証：特開昭６３−２８８６７７号公報
　甲第４号証：特開平４−２８２８４９号公報
　甲第５号証：特開平２−８３１８２号公報
　甲第６号証：「セミコン・ジャパン９２」の出展案内
　甲第７号証：「セミコン・ジャパン９２」の展示レイアウト図
　甲第８号証：日刊工業新聞、平成４年１１月２７日の記事写し
　甲第９号証：特許第２７３９４１３号公報
　甲第１０号証：「セミコン・ジャパン９２」における展示態様、動作が記録されたコンパクトディスク
　甲第１１号証：崎谷文雄の陳述書
　甲第１２号証：櫻井俊男の陳述書
（以上、審判請求書に添付）
　甲第１３号証：米国特許第４６７８３９３号明細書及びその翻訳文
　甲第１４号証：「自動化技術」第１７巻第９号（昭和６０年９月１日発行）工業調査会、第３１ページ
　甲第１５号証：「自動化技術」第２５巻第３号（平成５年３月１日発行）
　　　　　　　　工業調査会、第７６〜８０ページ
　甲第１６号証：特開昭６３−２８８６４２号公報
　甲第１７号証：実願昭５９−９３５５１号（実開昭６１−９２９２号）のマイクロフィルム
（以上、平成１７年４月８日付口頭審理陳述要領書に補充証拠として添付）
３．被請求人側主張の概要
　一方、被請求人の主張を整理すると、以下のとおりと認められる。
　ａ．甲第１ないし１０号証のいずれにも、本件特許発明１の「共通駆動部」に相当する部材が記載されていないから、請求人の提出した証拠及び主張によっては、本件特許発明１が特許法第２９条第１項第１ないし３号若しくは第２号の規定により特許を受けることができないとすることはできない。
　ｂ．請求項１の「共通駆動部」が、双方のアームの駆動部材であることを表した表現であることは明りょうである。
　ｃ．請求項５の「動力伝達制御機構」が、発明の詳細な説明や図面を参照することにより、回転力を伝達するか、回転力を伝達しないかを制御するクラッチであると解釈することに問題はない。
　なお、請求項５において「前記共通屈曲アーム」とあるのは、共通屈曲アームが前出していないので、記載不備であるが、発明の詳細な説明の第２の実施例を参照すれば、共通屈曲アームが共通駆動部の一例で、形状を「く」の字型に特定したものであることが理解できる。
　ｄ．請求項６の発明において、共通駆動部の形状を「く」の字型に特定することには、一方のフラットフォークを直進させた後、搬送装置を「収納角度」旋回させることなく、直ちに、他方のフラットフォークを直進させることができるという、技術的意義がある。
　ｅ．本件発明の特徴は、共通駆動部の存在により、ロボットの旋回中心点とアームの伸縮運動の原点とが共にロボットが回転する円の中心点に集約されることにあり、その結果、同じ占有面積であれば、従来技術のロボットよりも必ず搬送距離が長くなり、ロボットのコンパクト化に資すると共に、ロボットを構成する部材が少なくてすむメリットがある。
　ｆ．本件発明では、共通駆動部の旋回に伴って一方の搬送部が伸縮する際に、他方の搬送部は共通駆動部と一緒に旋回するため、基板同士の衝突が起きない、という効果がある。
　ｇ．本件特許発明特有の用語であって通常の日本語としての意味を有しない用語で記載されている各構成要件の構造を特定するためには、発明の詳細な説明及び図面の参酌が必要不可欠であるところ、実施例を無視して甲号各証記載の発明との対比を行うことは、審査基準に違反する。
　ｈ．上記ｇに従って本件特許発明の構成要件を解釈すると、甲第１号証記載の発明の「搬送部」、「移し換えアーム」及び「旋回台」は、本件発明の「多関節駆動部」及び「共通駆動部」に相当するものではない。
　ｉ．本件特許発明は、左右の搬送部を用いて、同一方向において、一方の搬送部に設置された被搬送物を搬送先に移動して、それを他方の搬送部を用いて搬送先の被搬送物と交換する運動を可能とすることを目的とするのに対し、甲第２号証記載の発明は、左右のウォンドが別々のウェハカセットに対し運動することを目的としている。甲第２号証記載の発明には、本件特許発明の「共通駆動部」を採用しようとする動機付けがなく、むしろ、これを阻害するものである。
　被請求人は、上記主張の証拠方法として、下記の証拠を提出している。
　乙第１号証：特開平１０−１６３２９６号公報
　乙第２号証：特願平８−３３２９１３号に対する、平成１３年１月２４日付拒絶理由通知書の写し
　乙第３号証：特開平７−１７１７７８号公報
（以上、平成１７年１月２６日付答弁書に添付）
　乙第４号証：「解説　平成６年改正特許法の運用」（平成７年１０月２６日発行）社団法人発明協会、第１３２〜１３５ページ、第１４０〜１４３ページ、第１７５〜１７６ページ
　乙第５号証：境野義信の陳述書
（以上、平成１７年４月８日付口頭審理陳述要領書に添付）
　乙第６号証：最高裁判所判例解説第４４巻９号第２１３〜２３５ページ
（平成１７年４月８日付上申書に添付）
４．特許法第２９条に規定する要件についての判断
４．１　甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明
４．１．１　甲第１号証
　ａ．（第２ページ左下欄第１〜１１行）「基板の処理装置内に、一対すなわち２本の移し換えアームを備えておけば、ひとつの処理位置において、基板の取り出し作業と装入作業を、２本の移し換えアームを交互に使って順次連続的に１工程で行うことができる。すなわち、一方の移し換えアームに次ぎに装入する基板を保持させた状態で、他方の移し換えアームで処理を終えた基板を取り出し、移し換えアーム全体すなわち支持台を移動させることなく、ただちに前記一方の移し換えアームに保持された基板を処理位置に挿入すればよいのである。」
　ｂ．（第２ページ右下欄第１５行〜第３ページ左上欄第１３行）「第１図は、移し換え装置全体の構造を示しており、移し換えアームを支持する支持台として、歯車機構１２を介して駆動モータ１１で旋回する旋回台１０を備えている。駆動モータ１１としては、旋回台１０を所定の角度だけ正確に回転できるパルスモータが好ましい。旋回台１０には、一対の移し換えアーム２０，３０が並べて設けられている。各移し換えアーム２０，３０は、２組の平行リンク機構４０，５０が連結されており、先端に半導体ウエハの保持部、すなわち基板保持部６０ａ，６０ｂを備えている。移し換えアーム２０と３０とでは、保持部６０ａと６０ｂの高さ位置に差がある。
　平行リンク機構４０は、一対の長いリンク４１，４２が旋回台１０に旋回可能に支持され、一方のリンク４２の旋回中心となる駆動軸４３は、支持台部１０の下方に取り付けられた駆動モータ４４に連結されており、駆動モータ４４の回転でリンク４２が旋回する。」
　ｃ．（第４ページ左上欄第３〜５行）「処理装置８０は、移し換え装置を取り付けた移載室８２の四方に、予備室８４および複数の処理室８６，８７，８８を備えている。」
　ｄ．（第４ぺージ左上欄第１７行〜右上欄第７行）「まず、移し換えアーム２０，３０が予備室８４を向くように旋回台１０を旋回させ、一方の移し換えアーム２０（または３０）で、予備室８２の半導体ウエハを受け取る。つぎに、旋回台１０を一定角度旋回させて、最初の処理室、例えば処理室８６に向ける。空の移し換えアーム３０（または２０）で処理室８６の処理済み半導体ウエハを受け取った後、残りの移し換えアーム２０（または３０）に保持された半導体ウエハを空になった処理室８６に移す。」
　ｅ．（第３図）移し換えアーム２０，３０を旋回台１０の上部に縮めたとき、基板保持部６０ａと基板保持部６０ｂとが高低差をもって重なることが、看取される。
　上記摘記事項ａから、甲第１号証には、
「一対の移し換えアームを用いて、同一方向において、一方の移し換えアームに設置された基板を処理位置に移動して、それを他方の移し換えアームを用いて処理位置の基板と交換すること」が記載されていると認められる。
　また、甲第１号証には明記されていないが、摘記事項ｄからは、２つの移し換えアーム２０，３０と旋回台１０が連携して運動することが理解され、このために２つの移し換えアームと旋回台の運動を制御する駆動制御手段が備えられていることは、自明である。
　そこで、摘記事項ｂ，ｄ，ｅを本件特許発明１の表現に沿って整理すると、甲第１号証には、「基板保持部６０ａと、基板保持部６０ａの回転面に対して上又は下側に位置するように高さを規定した基板保持部６０ｂと、前記基板保持部６０ａを一方向に伸縮する移し換えアーム２０と、前記基板保持部６０ｂを一方向に伸縮する移し換えアーム３０と、前記移し換えアーム２０のリンク４２の回動中心となる駆動軸４３と前記移し換えアーム３０のリンク４２の回動中心となる駆動軸４３とを有し、かつ、前記移し換えアーム２０のリンク４２に回転力を与える第１の駆動軸４３と前記移し換えアーム３０のリンク４２に回転力を与える第２の駆動軸４３とを有する旋回台１０と、前記移し換えアーム２０のリンク４２、移し換えアーム３０のリンク４２及び旋回台１０を回動制御する駆動制御手段とを備え、前記移し換えアーム２０及び移し換えアーム３０を前記旋回台１０の上部に縮めたとき、前記基板保持部６０ａと基板保持部６０ｂとを高低差をもって重なるようにした基板の移し換え装置。」（以下、「甲第１号証記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
４．１．２　甲第２号証
　ａ．（特許請求の範囲、請求項１）「上下方向に移動可能なＺ軸可動ベースと、前記Ｚ軸可動ベースに回転保持される第１中空シャフトと、前記第１中空シャフト内で回転可能な第２中空シャフトと、前記第２中空シャフト内で回転可能な第３中空シャフトと、前記第３中空シャフト内で回転可能な第４シャフトと、前記第１中空シャフトに固定される第１プーリと、前記第２中空シャフトに固定される第１アームと、前記第１アームに回転保持される第５シャフトと、前記第５シャフトと同軸で第１タイミングベルトにより前記第１プーリと連結され前記第１プーリの半分の歯数の第２プーリと、前記第５シャフトに固定される第２アームと、前記第２アーム内で前記第５シャフトに固定され前記第２プーリと同歯数の第３プーリと、前記第５シャフトに対し前記第１中空シャフトとの軸間距離に等しく第２アーム内に回転保持される第６シャフトと、前記第６シャフトと同軸で前記第３プーリと第２タイミングベルトで連結され前記第１プーリと同歯数の第４プーリと、前記第６シャフトに固定される第３アームと、前記第３アームに固定される第１ウォンドと、前記第３中空シャフトに固定される第５プーリと、前記第４シャフトに固定される第４アームと、前記第４アームに回転保持される第７シャフトと、前記第７シャフトと同軸で第３タイミングベルトにより前記第５プーリと連結され前記第５プーリの半分の歯数の第６プーリと、前記第７シャフトに固定される第５アームと、前記第５アーム内で前記第７シャフトに固定され前記第６プーリと同歯数の第７プーリと、前記第７シャフトに対し前記第３中空シャフトとの軸間距離に等しく第５アーム内に回転保持される第８シャフトと、前記第８シャフトと同軸で前記第７プーリと第４タイミングベルトで連結され前記第５プーリと同歯数の第８プーリと、前記第８シャフトに固定される第６アームと、前記第６アームに固定される第２ウォンドと、前記第１中空シャフトの下部に固定される第１歯車と、前記第１歯車とかみ合う第２歯車と、前記Ｚ軸可動ベースに固定される第３歯車と、前記第３歯車とかみ合う第４歯車と、前記第１歯車に固定され前記第４歯車を駆動する第２モータと、前記第３中空シャフトの下部に固定される第５歯車と、前記第５歯車とかみ合う第６歯車と、前記Ｚ軸可動ベースに固定され前記第６歯車を駆動する第３モータと、前記第４シャフトの下部に固定される第７歯車と、前記第７歯車とかみ合う第８歯車と、前記第５歯車に固定され前記第８歯車を駆動する第４モータと、前記Ｚ軸可動ベースが摺動する固定ベースと、前記固定ベースに固定され前記Ｚ軸可動ベースを駆動するボールねじおよび第５モータとを含んだことを特徴とするウェハ移載ロボット。」
　ｂ．（段落【００１０】）「次に、本実施例の動作を説明する。Ｚ軸可動ベース１は、第５モータ４７及びボールねじ４６により、上下方向に動作し本実施例のウェハカセット移載ロボット５０のＺ軸となる。ウェハカセット移載ロボット５０の半径（Ｒ）方向と回転（θ）方向の動作については、ウェハカセット移載ロボット５０の片方のアーム部５１（第４アーム２２と第５アーム２６と第６アーム３１）を示した図３と本実施例の断面図の図２を用いて説明する。先に、半径（Ｒ）方向の動作について説明する。第５プーリ２１の中心と第８プーリ３０の中心を結んだ直線をＬとする。第４モータ４４が回転し、第８歯車４３及び第７歯車４２により、第４アーム２２が直線Ｌよりα度回転したとき、第５プーリ２１と第６プーリ２５の歯数比は２：１なので第５アーム２６は第４アーム２２に対し−２α度回転する。また、第６アーム３１は第７プーリ２７と第８プーリ３０の歯数比が１：２なのでα度回転する。よって、第６アーム３１は、第４モータ４４の回転により、直線Ｌ上を動き、ウェハカセット移載ロボット５０の片方のアーム部５１の半径（Ｒ）方向の動作となる。同様に、他方のアーム部５２（第１アーム７と第２アーム１１と第３アーム１６）も、第２モータ３８の回転により、半径（Ｒ）方向の動作を行なう。」
　ｃ．（段落【００１１】）「次に、回転（θ）方向の動作について説明する。第１モータ３５が回転すると、第１歯車３３と第２歯車３４により、第１アーム７が回転し、これが、ウェハカセット移載ロボット５０の他方のアーム部５２の回転（θ）方向の動作となる。なお、第２モータ３８は第１歯車３３に固定されているので第１モータ３５が回転しても、半径（Ｒ）方向に他方のアーム部５２は動作しない。第３モータ４１が回転すると、第５歯車３９と第６歯車４０により、第４アーム２２が回転し、これが、ウェハカセット移載ロボット５０の片方のアーム部５１の回転（θ）方向の動作となる。なお、第４モータ４４は第５歯車３９に固定されているので第３モータ４１が回転しても、半径（Ｒ）方向に片方のアーム部５１は動作しない。」
　ｄ．（図２）第２ウォンドが第１ウォンドの回転面に対して下側に位置するように高さを規定してあることが示されている。
　ｅ．（図４）第１及び第２ウェハカセットにウェハを出し入れするウェハ移載ロボットをもつウェハ移載装置が示されている。
　上記摘記事項ａ〜ｄを本件特許発明１の表現に沿って整理すると、甲第２号証には、
「第１ウォンドと、前記第１ウォンドの回転面に対して下側に位置するように高さを規定した第２ウォンドと、前記第１ウォンドを一方向に伸縮する第２アームと、前記第２ウォンドを一方向に伸縮する第５アームと、前記第２アームの回動中心となる第５シャフトを有し、かつ前記第２アームに回転力を与える第１中空シャフトを有する第１アームと、前記第５アームの回動中心となる第７シャフトを有し、かつ前記第５アームの回転力を与える第３中空シャフトを有する第４アームとを備え、前記第２アーム及び第５アームを前記第１アーム及び第４アームの上部に縮めたとき、前記第２アームと第５アームとを高低差をもって重なるようにしたウェハ移載ロボットであって、前記第１アーム及び第４アームを高さ方向に移動するＺ軸可動ベース、ボールねじ及び第５モータが設けられ、第１中空シャフト、第３中空シャフト、第１アーム及び第４アームを個別に回動させる第１ないし第４モータを有し、第３中空シャフトと第４アームとを同期させて回動することと、第１中空シャフトと第１アームとを同期させて回動することとができる、ウェハ移載ロボット。」（以下、「甲第２号証記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
　また、摘記事項ｅから、甲第２号証には、
「２個のウェハカセットと、前記ウェハカセットにウェハを出し入れするウェハ搬送手段とを備え、該ウェハ搬送手段が前記のウェハ移載ロボットからなる」ことが記載されていると認められる。
４．１．３　甲第３号証
　ａ．（第３ページ左上欄第１０行〜右上欄第８行）「まず（ａ）図のように、真空処理室（１４）内ではウエハ（Ｗ１）を処理中で、真空状態下のローダー、アンローダー室（３７）内には第３のアーム部材（２７）と処理済のウエハ（Ｗ２）を載置した第４のアーム部材（３２）が待機しており、大気圧下のウエハキャリア（３５）上には未処理のウエハ（Ｗ３）が待機している。その後（ｂ）図のようにローダー・アンローダー室（３７）内を大気圧下と同じ状態にした後シャッター（３８）が開き第４のアーム部材（３２）が処理済みウエハ（Ｗ２）をウエハキャリア（３６）に移載し、その後（ｃ）図のように第３のアーム部材（２７）が未処理ウエハ（Ｗ３）を保持した後（ｄ）図のようにローダー・アンローダー室（３７）内に戻り、その後シャッター（３８）が閉じてローダー・アンローダー室（３７）内は真空に引かれる。次に（ｅ）図のように、シャッター（３８）が開き真空処理室（３４）から処理を終了したウエハ（Ｗ１）を第４のアーム部材（３２）によって搬出し、さらに（ｆ）図のようにそれに代わり未処理ウエハ（Ｗ３）を第３のアーム部材（２７）が真空処理室（３４）内に搬入し、搬入を終えると再び（ａ）図の状態にもどる。」
　ｂ．（第３ページ右上欄第１３行〜左下欄第９行）「また他の実施例として、上記ウエハ保持部（２８），（３３）を全く同期させて直線軌道に沿って動かす場合には、第４図及び第５図に示すような構造にしてもよい。つまり、（４０）は駆動モータで、この回転駆動は駆動モータ（４０）に連結された駆動軸（４１）に伝達され、この駆動軸（４１）の先端には第１のアーム部材（４２）が取付けられ、駆動軸（４１）の回転に応じて旋回するようにされている。また、駆動軸（４１）に同軸に固定プーリ（４３）が支持板（４４）に固定されている。また上記第１のアーム部材（４２）の両端には回転プーリ（４５），（４６）が回転自在に支持されており、上記固定プーリ（４３）とワイヤベルト（４７），（４８）によって回転を伝達するように連結されている。上記回転プーリ（４５），（４６）の回転軸（４９），（５０）には第２および第３のアーム部材（５１），（５２）の一端が取付けられ、この第２および第３アーム部材（５１），（５２）の他端にはウエハ保持部（５３），（５４）が形成されている。」
　ｃ．（第３ページ左下欄第１２〜１３行）「また、他の実施例として、上記ウエハ保持部（２８），（３３）はどちらか一方だけを動かすこともできる。」
　上記摘記事項ａ〜ｃから、甲第３号証には「左右のウエハ保持部を用いて、同一方向において、一方のウエハ保持部に載置されたウエハを搬送先に移動して、それを他方のウエハ保持部を用いて搬送先のウエハと交換する運動を行うこと」及び「第２のアーム部材とその回転軸及び第３のアーム部材とその回転軸とを共通の第１のアーム部材に設けること」（以下、「甲第３号証記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
４．２　甲第１号証記載の発明との対比・判断
４．２．１　本件特許発明１につき
　本件特許発明１と甲第１号証記載の発明とを対比すると、後者の「基板保持部６０ａ」、「基板保持部６０ｂ」、「移し換えアーム２０」、「移し換えアーム３０」、「移し換えアーム２０のリンク４２の回動中心となる駆動軸４３」、「移し換えアーム３０のリンク４２の回動中心となる駆動軸４３」、「第１の駆動軸４３」、「第２の駆動軸４３」及び「旋回台１０」は、本件特許発明１の「第１の搬送部」、「第２の搬送部」、「第１の多関節駆動部」、「第２の多関節駆動部」、「第１の固定軸」、「第２の固定軸」、「第１の駆動軸」、「第２の駆動軸」及び「共通駆動部」にそれぞれ相当すると認められるから、甲第１号証記載の発明は、
「第１の搬送部と、前記第１の搬送部の回転面に対して上又は下側に位置するように高さを規定した第２の搬送部と、前記第１の搬送部を一方向に伸縮する第１の多関節駆動部と、前記第２の搬送部を一方向に伸縮する第２の多関節駆動部と、前記第１の多関節駆動部のリンク４２の回動中心となる第１の固定軸と前記第２の多関節駆動部のリンク４２の回動中心となる第２の固定軸とを有し、かつ、前記第１の多関節駆動部のリンク４２に回転力を与える第１の駆動軸と前記第２の多関節駆動部のリンク４２に回転力を与える第２の駆動軸とを有する共通駆動部と、前記第１の多関節駆動部のリンク４２、第２の多関節駆動部リンク４２及び共通駆動部を回動制御する駆動制御手段とを備え、前記第１の多関節駆動部及び第２の多関節駆動部を前記共通駆動部の上部に縮めたとき、前記第１の搬送部と第２の搬送部とを高低差をもって重なるようにした多関節搬送装置。」であると認められる。
　なお、被請求人は、平成１７年４月８日付口頭審理陳述要領書及び平成１７年４月２２日付上申書において、「搬送部」、「多関節駆動部」及び「共通駆動部」の構成は明細書の発明の詳細な説明及び図面の記載を参酌して特定することが必須であり、そうすると甲第１号証記載の発明の「基板保持部」、「移し換えアーム」及び「旋回台」は本件特許発明の「搬送部」、「多関節駆動部」及び「共通駆動部」に相当せず、作用効果も異なる旨主張している。しかしながら、これら発明の構成要件の特定にあたって発明の詳細な説明や図面を参酌する必要があるとしても、それは考慮することが許されるにとどまるものであって、実施例に限定して解釈することが許される特段の事情は存在しないから、発明の詳細な説明及び図面を参酌して、「搬送部」とは被搬送物を載置するもの、「多関節駆動部」とは多数の関節をもち、駆動されて搬送部を伸縮移動させるもの、「共通駆動部」は２つの多関節駆動部に共通する支持部材であって駆動されるもの、と解釈することが相当であるので、上記のとおり認定する。
　そうすると、本件発明１と甲第１号証記載の発明とは、以下の点において一致及び相違すると認められる。
＜一致点＞
「第１の搬送部と、前記第１の搬送部の回転面に対して上又は下側に位置するように高さを規定した第２の搬送部と、前記第１の搬送部を一方向に伸縮する第１の多関節駆動部と、前記第２の搬送部を一方向に伸縮する第２の多関節駆動部と、第１の固定軸と第２の固定軸とを有し、かつ、第１の駆動軸と第２の駆動軸とを有する共通駆動部と、駆動制御手段とを備え、前記第１の多関節駆動部及び第２の多関節駆動部を前記共通駆動部の上部に縮めたとき、前記第１の搬送部と第２の搬送部とを高低差をもって重なるようにした多関節搬送装置。」
＜相違点１＞
　前者では、第１及び第２の固定軸が第１及び第２の多関節駆動部の回動中心であり、第１及び第２の駆動軸が第１及び第２の多関節駆動部に回転力を与え、駆動制御手段が第１及び第２の多関節駆動部を回動制御するのに対し、後者では、第１及び第２の固定軸が第１及び第２の多関節駆動部のリンクの回動中心であり、第１及び第２の駆動軸が第１及び第２の多関節駆動部のリンクに回転力を与え、駆動制御部が第１及び第２の多関節駆動部のリンクを回動制御する点。
　上記＜相違点１＞について検討する。
　甲第２号証記載の発明の「第２アーム」、「第５アーム」、「第５シャフト」、「第７シャフト」、「第１中空シャフト」、「第３中空シャフト」および「ウェハ移載ロボット」が、本件特許発明１の「第１の多関節駆動部」、「第２の多関節駆動部」、「第１の固定軸」、「第２の固定軸」、「第１の駆動軸」、「第２の駆動軸」および「多関節搬送装置」に相当することは明白であるから、甲第２号証には「第１及び第２の固定軸が第１及び第２の多関節駆動部の回動中心であり、第１及び第２の駆動軸が第１及び第２の多関節駆動部に回転力を与え、駆動制御手段が第１及び第２の多関節駆動部を回動制御する多関節搬送装置であって、第１の駆動軸、第２の駆動軸、第１アーム及び第４アームを個別に回動させるモータを有し、第１の駆動軸と第１アーム及び第２の駆動軸と第４アームとをそれぞれ同期して回動することができる多関節搬送装置」が記載されていると認められる。
　甲第２号証記載の発明は、甲第１号証記載の発明と同じく多関節搬送装置に関するから、甲第２号証記載の発明の技術を甲第１号証記載の発明に適用して、相違点１に係る構成を本件特許発明１のものとすることは、当業者が容易に想到し得るものである。
　また、本件特許発明１の作用効果は、甲第１号証記載の発明および甲第２号証記載の発明から普通に予測される域を超えているということもできない。
　よって、本件特許発明１は、甲第１号証記載の発明及び甲第２号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４．２．２　本件特許発明２につき
　本件特許発明２と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者の間には、上記＜相違点１＞に加え、次の相違点が認められる。
＜相違点２＞
　前者は、共通駆動部を高さ方向に移動する高さ調整手段が設けられるのに対し、後者はそのような手段を有しない点。
　上記＜相違点２＞について検討する。
　甲第２号証記載の発明の「第１アーム及び第４アームを高さ方向に移動するＺ軸可動ベース」が、本件特許発明２の「高さ調整手段」に相当することは明白である。
　甲第２号証記載の発明は、甲第１号証記載の発明と同じく多関節搬送装置に関するから、甲第２号証記載の発明の技術を甲第１号証記載の発明に適用して、相違点２に係る構成を本件特許発明２のものとすることは、当業者が容易に想到し得るものである。
　また、本件特許発明２の作用効果は、甲第１号証記載の発明および甲第２号証記載の発明から普通に予測される域を超えているということもできない。
　よって、本件特許発明２は、甲第１号証記載の発明および甲第２号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４．２．３　本件特許発明３につき
　本件特許発明３と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者の間には、上記＜相違点１＞に加え、次の相違点が認められる。
＜相違点３＞
　共通駆動部上に取り込まれた第１の駆動部の載置面から第２の搬送部の載置面までの間隔が、前者では第２の搬送部に載置する被搬送物の厚みと、第１の搬送部の厚みと隙間を加算した載置間距離に規定されるのに対し、後者では載置間距離が規定されていない点。
　上記＜相違点３＞について検討する。
　甲第１号証には載置間距離について明記はされていないが、甲第１号証記載の発明のように両搬送部が被搬送物を載置して共通駆動部上に取り込まれた状態で互いに上下に、干渉することなく重なり合う場合、両搬送部の載置間距離が被搬送物の厚みと上側の搬送部の厚みと隙間を加算した値となることは、当然の結果にすぎず、甲第１号証記載の発明において、載置間距離を本件特許発明３のそれと同様に規定することは、当業者にとっては設計上の事項にすぎない。
　よって、本件特許発明３は、甲第１号証記載の発明および甲第２号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４．２．４　本件特許発明４につき
　本件特許発明４と甲第１号証記載の発明とを対比すると、後者においても第１の駆動軸、第２の駆動軸及び共通駆動部を個別に回動制御する電動機を有する駆動制御装置が、第１の搬送部と同じ方向に第２の搬送部を伸縮するように電動機を制御するから、両者は、上記４．２．１記載の＜一致点＞に加えて「第１の駆動軸、第２の駆動軸及び共通駆動部を個別に回動制御する電動機を有する駆動制御装置が設けられ、前記駆動制御装置は、前記第１の搬送部と同じ方向に前記第２の搬送部を伸縮するように前記電動機を制御する点」において一致する一方、＜相違点１＞において相違すると認められる。
＜相違点１＞については、４．２．１においてすでに検討したとおりである。
　そして、本件特許発明４の作用効果が、甲第１号証記載の発明および甲第２号証記載の発明から普通に予測される域を超えているということもできない。
　よって、本件特許発明４は、甲第１号証記載の発明および甲第２号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４．２．５　本件特許発明６につき
　本件特許発明６と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者の間には、上記＜相違点１＞に加え、次の相違点が認められる。
＜相違点４＞
　共通駆動部が、前者では共通駆動部の回転軸を概略垂線とする平面において、「く」の字型に屈曲されたアーム状を構成するのに対し、後者はそのようなものでない点。
　上記＜相違点４＞について検討する。
　本件の発明の詳細な説明には、共通駆動部が直線状である場合に「収納角度」が必要である理由が、実質的に説明されていないため、両搬送部を同じ方向に伸縮させるために共通駆動部を回転させねばならない理由が不明である。このため、共通駆動部を「く」の字型に屈曲したアーム状とした場合との作用上の差異が認められず、相違点３に係る構成に技術的な意義を認めることができない。よって、共通駆動部を「く」の字型に屈曲されたアーム状とすることは、当業者が容易に設計し得る事項にすぎないというべきである。
　なお、被請求人は平成１７年４月８日付口頭審理陳述要領書において、共通駆動部が直線状である場合には、多関節搬送装置が旋回するときの占有面積を最小に抑えるため「収納角度」が必要であるのに対し、共通駆動部が「く」の字型をなしている場合には「収納角度」が不要となる旨説明しているが、本文においても、添付図においても、その根拠が示されているとは認められず、直線状の共通駆動部を用いても、各回動部の軸間距離や旋回角度の組み合わせによっては収納角度を設けることなく、占有面積を最小化し得る可能性は排除することができない。したがって、被請求人が主張する、共通駆動部を「く」の字型に屈曲したアーム状とすることの効果は認めることができない。
　よって、本件特許発明６は、甲第１号証記載の発明および甲第２号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４．２．６　本件特許発明７につき
　本件特許発明７と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者は、上記＜相違点１＞に加え、次の点で相違するものと認められる。
＜相違点５＞
　前者では第１の駆動軸を固定し、第２の駆動軸及び共通駆動部を同期させて回動するのに対し、後者ではこのような動作をさせることについて特定がない点。
４．２．７　本件特許発明８につき
　本件特許発明８と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者は、上記＜相違点１＞に加え、次の点で相違するものと認められる。
＜相違点６＞
　前者では第２の駆動軸を固定し、第１の駆動軸及び共通駆動部を同期させて回動するのに対し、後者ではこのような動作をさせることについて特定がない点。
　上記＜相違点５＞及び＜相違点６＞について検討する。
　甲第１号証記載の発明では、第１及び第２の駆動軸とそれらを駆動制御する電動機が共通駆動部に搭載されている（第１図参照。）ため、共通駆動部を回動すると、第１及び第２の駆動軸の電動機を駆動しない限り、第１及び第２駆動軸は共通駆動部と同期して回動する。一方、甲第１号証記載の発明では、共通駆動部を回動する間、第１または第２駆動軸を固定しておくためには、第１または第２駆動軸を、共通駆動部に対し、共通駆動部の回動とは逆方向に同角度回動する必要がある。この場合、共通駆動部が旋回しながら多関節駆動部が伸縮して搬送部が渦巻き状に移動することになるが、このよう渦巻き運動は、甲第１号証記載の発明のように密閉された空間内で半導体ウエハを扱う装置においては、旋回半径を最小にとどめるという観点から、通常行われないため、甲第１号証には、相違点５及び６に係る構成について記載あるいは示唆されているとはいえない。
　また、甲第２号ないし１７号証にも、第１の駆動軸または第２の駆動軸の一方を固定し、他方を共通駆動部と同期させて回動することについて記載は見当たらない。
　よって、本件特許発明７及び８が、甲第１号証及び甲第２号ないしし１７号証のいずれかに記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
４．２．８　本件特許発明９につき
　本件特許発明９と甲第１号証に記載された発明とを対比すると、両者は、上記＜相違点１＞に加え、次の点で相違するものと認められる。
＜相違点７＞
　前者では第１の駆動軸、第２の駆動軸及び共通駆動部を同期させて回動するのに対し、後者ではこのような動作をさせることについて特定がない点。
　上記＜相違点７＞について検討する。
　甲第１号証記載の発明では、第１及び第２の駆動軸を駆動制御する電動機が共通駆動部に固定されている（第１図参照。）ため、共通駆動部を回動すると、第１及び第２の駆動軸の電動機を駆動しない限り、第１及び第２駆動軸は共通駆動部と同期して回動する。第１及び第２の駆動軸を駆動制御する電動機を共通駆動部に固定する代わりに、第１の駆動軸、第２の駆動軸及び共通駆動部を個別に回動制御することによって同期させて回動することは、当業者にとっては容易になし得る設計変更である。
　よって、本件特許発明は、甲第１号証及び甲第２号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４．２．９　本件特許発明１０につき
　本件特許発明１０と甲第１号証記載の発明とを対比すると、後者においても、摘記事項ｃ，ｄより、多関節搬送装置を取り付けた移載室の四方に、予備室および複数の処理室を備えることが理解されるため、両者は、上記４．２．１記載の＜一致点＞に加えて「被加工基板を各種加工処理するｎ個のプロセスチャンバと、前記プロセスチャンバに被加工基板を出し入れする多関節搬送装置を備える半導体製造装置」において一致する一方、＜相違点１＞において相違すると認められる。
＜相違点１＞については、４．２．１においてすでに検討したとおりである。
　そして、本件特許発明１０の作用効果が、甲第１号証記載の発明および甲第２号証記載の発明から普通に予測される域を超えているということもできない。
　よって、本件特許発明１０は、甲第１号証記載の発明および甲第２号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４．３　甲第２号証記載の発明との対比・判断
４．３．１　本件特許発明１につき
　本件特許発明１と甲第２号証に記載された発明とを対比すると、後者の「第１ウォンド」、「第２ウォンド」、「第２アーム」、「第５アーム」、「第５シャフト」、「第７シャフト」、「第１中空シャフト」、「第３中空シャフト」及び「ウェハ移載ロボット」が、前者の「第１の搬送部」、「第２の搬送部」、「第１の多関節駆動部」、「第２の多関節駆動部」、「第１の固定軸」、「第２の固定軸」、「第１の駆動軸」、「第２の駆動軸」及び「多関節搬送装置」にそれぞれ相当することは明白であり、また、後者の「第１アーム」及び「第４アーム」は、各多関節駆動部の回動中心となる固定軸を有し、各多関節駆動部に回転力を与える駆動軸を有するものである限りにおいて、前者の「共通駆動部」と同様の「第１の駆動部」及び「第２の駆動部」である。さらに、甲第２号証に明記はされていないが、第１ないし第３中空シャフト及び第４シャフトを回動させて、第２アーム、第５アーム、第１アーム、第４アームを回動制御する駆動制御手段が備えられていることは、当業者にとって自明であるから、甲第２号証記載の発明とは、
「第１の搬送部と、前記第１の搬送部の回転面に対して下側に位置するように高さを規定した第２の搬送部と、前記第１の搬送部を一方向に伸縮する第１の多関節駆動部と、前記第２の搬送部を一方向に伸縮する第２の多関節駆動部と、前記第１の多関節駆動部の回動中心となる第１の固定軸を有し、かつ前記第１の多関節駆動部に回転力を与える第１の駆動軸を有する第１の駆動部と、前記第２の多関節駆動部の回動中心となる第２の固定軸を有し、かつ前記第２の多関節駆動部に回転力を与える第２の駆動軸を有する第２の駆動部と、前記第１の多関節駆動部、第２の多関節駆動部及び第１の駆動部、第２の駆動部を回動制御する駆動制御手段とを備え、前記第１の搬送部及び第２の搬送部を前記第１の駆動部及び第２の駆動部の上部に縮めたとき、前記第１の搬送部と第２の搬送部とを高低差をもって重なるようにした多関節搬送装置であって、前記第１の駆動部及び第２の駆動部を高さ方向に移動するＺ軸可動ベース、ボールねじ及び第５モータが設けられ、第１の駆動軸、第２の駆動軸、第１の駆動部材及び第２の駆動部材を個別に回動させる第１ないし第４モータを有し、第２の駆動軸と第２の駆動部とを同期させて回動することと、第１駆動軸と第１の駆動部とを同期させて回動することとができる、多関節搬送装置。」であると認められる。
　そうすると、本件発明１と甲第２号証記載の発明とは、以下の点において一致及び相違すると認められる。
＜一致点＞
「第１の搬送部と、前記第１の搬送部の回転面に対して下側に位置するように高さを規定した第２の搬送部と、前記第１の搬送部を一方向に伸縮する第１の多関節駆動部と、前記第２の搬送部を一方向に伸縮する第２の多関節駆動部と、前記第１の多関節駆動部の回動中心となる第１の固定軸を有し、かつ前記第１の多関節駆動部に回転力を与える第１の駆動軸を有する駆動部と、前記第２の多関節駆動部の回動中心となる第２の固定軸を有し、かつ前記第２の多関節駆動部に回転力を与える第２の駆動軸を有する駆動部と、前記第１の多関節駆動部、第２の多関節駆動部及び駆動部を回動制御する駆動制御手段とを備え、前記第１の搬送部及び第２の搬送部を前記駆動部の上部に縮めたとき、前記第１の搬送部と第２の搬送部とを高低差をもって重なるようにした多関節搬送装置。」
＜相違点８＞
　多関節駆動部と固定軸とを支持する駆動部が、前者では第１の多関節駆動部及び第１の固定軸と、第２の多関節駆動部及び第２の固定軸とについて共通の部材であるのに対し、後者では個別に回動可能な２部材からなる点。
　上記＜相違点８＞について検討する。
　左右の搬送部を用いて、同一方向において、一方の搬送部に載置された被搬送物を搬送先に移動して、それを他方の搬送部を用いて搬送先の被搬送物と交換する運動を行うことは、甲第１号証や甲第３号証に例示されるように、従来周知の技術であり、甲第２号証記載の発明を、前記運動を行う目的に使用することを妨げる要因も見当たらない。
　甲第３号証には、左右のウエハ保持部を用いて、同一方向において、一方のウエハ保持部に載置されたウエハを搬送先に移動して、それを他方のウエハ保持部を用いて搬送先のウエハと交換する運動を行う搬送装置において、左右のアーム部材とそれらの回転軸とを共通の第１のアーム部材に設け、一方の搬送部が被搬送物を搬出または搬入する間、他方の搬送部を逆方向に移動させて退避させることが記載されている。
　甲第３号証記載の発明の「ウエハ保持部」、「第１のアーム部材（４２）」、「回転プーリ（４５）の回転軸（４９）」、「回転プーリ（４６）の回転軸（５０）」、「第２アーム部材（５１）」および「第３アーム部材（５２）」が、本件発明１の「搬送部」、「共通駆動部」、「第１の固定軸」、「第２の固定軸」、「第１の多関節駆動部」および「第２の多関節駆動部」にそれぞれ相当することは明白であるから、甲第３号証には、第１の多関節駆動部及び第１の固定軸と、第２の多関節駆動部及び第２の固定軸とを共通駆動部に設けることが記載されていると認められる。
　甲第３号証記載の発明は、甲第１号証記載の発明と同じく、多関節搬送装置に係るから、前者の技術を後者に適用して、相違点１に係る構成を本件特許発明１のものとすることは、当業者であれば容易に想到し得る。
　また、本件特許発明１の作用および効果は、甲第２号証記載の発明及び甲第１号証並びに甲第３号証記載の発明から予測される範囲を超えるものではない。
　よって、本件特許発明１は、甲第２号証記載の発明及び甲第１号証ならびに甲第３号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４．３．２　本件特許発明２につき
　本件特許発明２と甲第２号証に記載された発明とを対比すると、後者の「Ｚ軸可動ベース」、「ボールねじ」及び「第５モータ」が、前者の「高さ調整手段」に相当することは明白であるから、両者は、上記４．３．１記載の＜一致点＞に加えて「駆動部を高さ方向に移動する高さ調整手段が設けられる」点において一致する一方、＜相違点８＞において相違すると認められる。
＜相違点８＞については、４．３．１においてすでに検討したとおりである。
　よって、本件特許発明２は、甲第２号証記載の発明及び甲第１号証ならびに甲第３号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４．３．３　本件特許発明３につき
　本件特許発明３と甲第２号証記載の発明とを対比すると、両者の間には、上記＜相違点８＞に加え、次の相違点が認められる。
＜相違点９＞
　第１の搬送部の載置面から第２の搬送部の載置面までの間隔が、前者では第２の搬送部に載置する被搬送物の厚みと、第１の搬送部の厚みと隙間を加算した載置間距離に設定されるのに対し、後者では載置間距離について特定されていない点。
　上記＜相違点９＞について検討する。
　甲第２号証には載置間距離について明記はされていないが、甲第２号証記載の発明のように両搬送部が被搬送物を載置して駆動部上に取り込まれた状態で互いに上下に、干渉することなく重なり合う場合、両搬送部の載置間距離が被搬送物の厚みと上側の搬送部の厚みと隙間を加算した値となることは、当然の結果にすぎず、甲第２号証記載の発明において、載置間距離を本件特許発明３のそれと同様に規定することは、当業者にとっては設計上の事項にすぎない。
　よって、本件特許発明３は、甲第２号証記載の発明及び甲第１号証ならびに甲第３号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４．３．４　本件発明４につき
　本件特許発明４と甲第２号証記載の発明とを対比すると、両者は、上記＜相違点８＞に加え、次の点で相違するものと認められる。
＜相違点１０＞
　前者は第１の駆動軸、第２の駆動軸及び単一の共通駆動部を個別に駆動する電動機を有するのに対し、後者は第１の駆動軸、第２の駆動軸及び２つの駆動部を個別に駆動する電動機を有する点。
　上記＜相違点１０＞について検討する。
　相違点１０は、甲第２号証記載の発明における２つの個別に回動する駆動部を、本件特許発明１において単一の共通駆動部にて置き換えたことに伴い、共通駆動部を１つの電動機で駆動するようにしたという、当業者にとって当然の設計変更にすぎない。
　よって、本件特許発明４は、甲第２号証記載の発明及び甲第１号証ならびに甲第３号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４．３．５　本件発明６につき
　本件特許発明６と甲第２号証に記載された発明とを対比すると、両者は、上記＜相違点８＞に加え、次の点で相違するものと認められる。
＜相違点１１＞
　多関節駆動部と固定軸を支持する駆動部が、前者では「く」の字形の屈曲された単一のアーム状を構成するのに対し、後者では個別に回動し得る第１の駆動部と第２の駆動部との２部材からなる点。
　上記＜相違点１１＞について検討する。
　個別に回動し得る２つの駆動部を単一の共通駆動部とすることは、４．３．１に示したとおり、当業者が容易に想到し得るものである。
　本件の発明の詳細な説明には、共通駆動部が直線状である場合に「収納角度」が必要である理由が、実質的に説明されていないため、両搬送部を同じ方向に伸縮させるために共通駆動部を回転させねばならない理由が不明である。このため、共通駆動部を「く」の字型に屈曲したアーム状とした場合との作用上の差異が認められず、相違点３に係る構成に技術的な意義を認めることができない。よって、共通駆動部を「く」の字型に屈曲されたアーム状とすることは、当業者が容易に設計し得る事項にすぎないというべきである。
　なお、被請求人は平成１７年４月８日付口頭審理陳述要領書において、共通駆動部が直線状である場合には、多関節搬送装置が旋回するときの占有面積を最小に抑えるため「収納角度」が必要であるのに対し、共通駆動部が「く」の字型をなしている場合には「収納角度」が不要となる旨説明しているが、本文においても、添付図においても、その根拠は示されておらず、直線状の共通駆動部を用いても、各回動部の軸間距離や旋回角度の組み合わせによっては収納角度を設けることなく、占有面積を最小化し得る可能性は排除することができない。したがって、被請求人が主張する、共通駆動部を「く」の字型に屈曲したアーム状とすることの効果は認めることができない。
　よって、本件特許発明６は、甲第２号証記載の発明及び甲第１号証ならびに甲第３号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４．３．６　本件特許発明７につき
　本件特許発明７と甲第２号証に記載された発明とを対比すると、両者は、上記＜相違点８＞に加え、次の点で相違するものと認められる。
＜相違点１２＞
　前者では第１の駆動軸を固定し、第２の駆動軸及び共通駆動部を同期させて回動するのに対し、後者ではこのような動作をさせることについて特定がない点。
４．３．７　本件特許発明８につき
　本件特許発明８と甲第２号証に記載された発明とを対比すると、両者は、上記＜相違点８＞に加え、次の点で相違するものと認められる。
＜相違点１３＞
　前者では第２の駆動軸を固定し、第１の駆動軸及び共通駆動部を同期させて回動するのに対し、後者ではこのような動作をさせることについて特定がない点。
　上記＜相違点１２＞及び＜相違点１３＞について検討する。
　甲第２号証記載の発明では、第２または第４モータを駆動しない限り、第１駆動軸と第１の駆動部材及び第２の駆動軸と第２の駆動部材とはそれぞれ同期して回動し、また、第２または第４モータだけを駆動すると、対応する第１または第２駆動軸は固定されたまま、第１または第２の多関節駆動部が伸縮する。第２及び第４モータは個別に回動制御されるものであるから、一方の駆動軸と駆動部とが同期して回動する間、他方の駆動軸を固定して多関節駆動部を伸縮させることは、当業者が容易になし得る。
　してみると、甲第２号証記載の発明において、甲第３号証記載の発明のように第１及び第２の駆動部を一体化した共通駆動部とした場合でも、一方の駆動軸と共通駆動部とが同期して回動する間、他方の駆動軸を固定して多関節駆動部を伸縮させることは、当業者がであれば容易に想到し得る。
　よって、本件特許発明７及び８は、甲第２号証記載の発明及び甲第３号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４．３．８　本件特許発明９につき
　本件特許発明９と甲第２号証に記載された発明とを対比すると、両者は、上記＜相違点８＞に加え、次の点で相違するものと認められる。
＜相違点１４＞
　前者では第１の駆動軸、第２の駆動軸及び共通駆動部を同期させて回動するのに対し、後者ではこのような動作をさせることについて特定がない点。
　上記＜相違点１４＞について検討する。
　甲第２号証記載の発明では、第２または第４モータを駆動しない限り、第１駆動軸と第１の駆動部材及び第２駆動軸と第２の駆動部材とはそれぞれ同期して回動する。
　してみると、甲第２号証記載の発明において、甲第３号証記載の発明のように第１及び第２の駆動部を一体化した共通駆動部とした場合に、第１の駆動軸、第２の駆動軸及び共通駆動部を同期して回動することは、当業者がであれば容易に想到し得る。
　よって、本件特許発明９は、甲第２号証記載の発明及び甲第３号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４．３．９　本件特許発明１０につき
　本件特許発明１０と甲第２号証に記載された発明とを対比すると、後者の「ウェハ」が前者の「被加工基板」に相当することは明白であり、また、後者の「ウェハカセット」は、多関節搬送装置によって被加工基板が出し入れされるものである限りにおいて、前者の「プロセスチャンバ」に相当するものであるから、両者は、上記４．４．１記載の＜一致点＞に加えて「被加工基板を各種加工するプロセスチャンバと、前記プロセスチャンバに被加工基板を出し入れする基板搬送手段を備え、該基板搬送手段が多関節搬送装置からなる」点で一致する一方、＜相違点８＞において相違すると認められる。
＜相違点８＞については、４．３．１においてすでに検討したとおりである。
　よって、本件特許発明１０は、甲第２号証記載の発明及び甲第１号証ならびに甲第３号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
５．特許法第３６条に規定する要件についての判断
５．１　本件特許発明１につき
　請求人は、特許請求の範囲の請求項１の記載中、「共通駆動部」の「共通」の意味するところが不明確であると主張しているが、発明の詳細な説明及び図面を参酌することにより、「共通駆動部」とは第１、第２の多関節駆動部及び第１、第２の固定軸に「共通」した「駆動部」、すなわち支持部材、であることを理解することに、困難性はない。
　よって、特許請求の範囲の請求項１の記載が特許法第３６条第５項第２号に規定する要件を満たさないということはできない。
５．２　本件特許発明５につき
　請求人は、特許請求の範囲の請求項５における「前記電動機（３４Ａ）の回転力に基づいて第１の駆動軸（２３Ｃ）及び第２の駆動軸（２３Ｄ）を回動制御する動力伝達制御機（３４Ｂ、３４Ｃ）とを有する駆動制御装置（３４）」という記載が技術的内容を正確に特定しておらず、また、回転力に基づく制御内容を当業者が理解することができないと主張しているが、「動力伝達制御機構」が、発明の詳細な説明や図面を参照することにより、回転力を伝達するか、回転力を伝達しないかを制御するクラッチであると理解することに困難性はない。
　なお、請求項５において「前記共通屈曲アーム」とあるのは、共通屈曲アームが前出していないので、記載不備ともいえるが、発明の詳細な説明及び図面を参酌すれば、共通屈曲アームが共通駆動部の一例で、形状を「く」の字型に特定したものであることを理解することに困難性はない。
　よって、特許請求の範囲の請求項５の記載が特許法第３６条第５項第２号に規定する要件を満たさないということはできない。
５．３　本件特許発明６につき
　請求人は、本願の明細書には本件特許発明６において「共通駆動部」が「く」の字型に屈曲されたアーム状を構成することの技術的意義が当業者が理解し得る程度に記載されておらず、また、特許請求の範囲請求項６において、「共通駆動部」の「く」の字状のアームのどこに回転中心があるのか特定されていない、と主張している。
「く」の字状のアームの回転中心は、発明の詳細な説明及び図面を参酌することによって、本件特許発明１と同様、およそ中央部にあることを理解することに困難性はないから、特許請求の範囲の請求項６の記載が、特許法第３６条第５項第２号の規定を満たしていないということはできない。
　一方、共通駆動部が「く」の字型に屈曲されたアーム状を構成することの技術的意義は、４．２．４及び４．３．４において述べたように、当業者が理解し得る程度に記載されているということはできない。
　よって、本件特許発明６は、特許法第３６条第４項に規定する要件を満たさない。
６．むすび
　以上のとおりであるから、本件特許発明１ないし４、６，９及び１０は、甲第１号証記載の発明及び甲第２号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるため、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とされるべきである。
　また、本件特許発明１ないし４及び６ないし１０は、甲第２号証記載の発明及び甲第１号証ならびに甲第３号証記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるため、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とされるべきである。
　さらに、本件特許発明６は、特許法第３６条第４項に規定する要件を満たさないから、同法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とされるべきである。
　請求人の主張及び証拠方法によっては、本件特許発明５を無効とすることはできない。
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。