(57)【要約】  部品装着装置の搬送装置で搬送されることによって、部品装着装置の静電気除去以外のメンテナンスで使用することが可能なメンテナンス用基板を提供すること。  メンテナンス用基板は、部品装着装置の搬送装置に搬送される。メンテナンス用基板は、メンテナンス対象物をブラッシングするブラシと、部品装着装置の作業ヘッドに取り付け可能に保持され、メンテナンス対象物にエアを吹き付ける清掃用ノズルと、作業ヘッドに取り付けられている吸着ノズルへの部品の着脱荷重及び部品の基板への装着荷重を測定する圧力センサと、作業ヘッドにエアを吹き付けるブロアとのうち、少なくとも一つを備える。
2018134867.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品装着装置の搬送装置に搬送されるメンテナンス用基板であって、
メンテナンス対象物をブラッシングするブラシと、
前記部品装着装置の作業ヘッドに取り付け可能に保持され、メンテナンス対象物にエアを吹き付ける清掃用ノズルと、
前記作業ヘッドに取り付けられている吸着ノズルから吹き出すエアの正圧又は該吸着ノズルに吸い込まれるエアの負圧を測定する第１センサと、
前記作業ヘッドに取り付けられている吸着ノズルによる部品の基板への装着荷重を測定する第２センサと、
前記作業ヘッドにエアを吹き付けるブロアとのうち、少なくとも一つを備えるメンテナンス用基板。
【請求項２】
前記ブラシは、前記メンテナンス用基板から上方に向かって立設している請求項１に記載のメンテナンス用基板。
【請求項３】
長尺状の部材であって、前記メンテナンス用基板に長尺状の一方の端部である第１端部が回動可能に軸支されることにより、該メンテナンス用基板に対して倒設状態と立設状態との間で移行することが可能なアーム部を備え、
前記ブラシは、前記アーム部の前記第１端部とは反対側の端部である第２端部において、該アーム部の長手方向の端面、及び短手方向の対向する二つの側面のうち、少なくとも一つの面から立設し、
前記アーム部の軸支点から前記ブラシまでの距離が前記メンテナンス用基板から前記メンテナンス対象物までの距離に相当する請求項１に記載のメンテナンス用基板。
【請求項４】
外部にメンテナンス履歴を送信する通信装置を備える請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載のメンテナンス用基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、部品装着装置をメンテナンスするためのメンテナンス用基板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、部品装着装置をメンテナンスするためのメンテナンス用基板に関し、種々の技術が提案されている。例えば、下記特許文献１には、コンベアによって回路基板を搬送すると共に、フィーダによって供給される部品を吸着ノズルで吸着して該回路基板に実装する部品実装機が記載されている。該部品実装機には、前記吸着ノズルの静電気除去を行うための第一のメンテナンス手段が配置されており、該部品実装機は、前記第一のメンテナンス手段とは前記吸着ノズルの静電気の除去速度又は効果持続時間が異なる第二のメンテナンス手段を前記コンベアによって定期的に搬送し、前記第一のメンテナンス手段によって緊急時の静電気除去を行い、前記コンベアによって前記第二のメンテナンス手段が所定位置に搬送されたときに、前記吸着ノズルをメンテナンス位置まで移動させて該第二のメンテナンス手段により予防的に該吸着ノズルの静電気除去を行う。【０００３】
前記第二のメンテナンス手段は、前記回路基板と同一幅の搬送板上に搭載されており、該部品実装機は、該搬送板を前記コンベアに載せて搬送することで前記第二のメンテナンス手段を前記所定位置に搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５６７９４３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
つまり、上記特許文献１に記載の部品実装機によれば、静電気除去を行うメンテナンス手段をコンベアによって搬送することができる。しかしながら、静電気除去以外のメンテナンス手段についても、コンベアによって搬送されることが望まれている。【０００６】
そこで、本開示は、上述した点を鑑みてなされたものであり、部品装着装置の搬送装置で搬送されることによって、部品装着装置の静電気除去以外のメンテナンスで使用することが可能なメンテナンス用基板を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本明細書は、部品装着装置の搬送装置に搬送されるメンテナンス用基板であって、メンテナンス対象物をブラッシングするブラシと、部品装着装置の作業ヘッドに取り付け可能に保持され、メンテナンス対象物にエアを吹き付ける清掃用ノズルと、作業ヘッドに取り付けられている吸着ノズルから吹き出すエアの正圧又は吸着ノズルに吸い込まれるエアの負圧を測定する第１センサと、作業ヘッドに取り付けられている吸着ノズルによる部品の基板への装着荷重を測定する第２センサと、作業ヘッドにエアを吹き付けるブロアとのうち、少なくとも一つを備えるメンテナンス用基板を、開示する。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、メンテナンス用基板は、部品装着装置の搬送装置で搬送されることによって、部品装着装置の静電気除去以外のメンテナンスで使用することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】部品装着装置１０の斜視図である。
【図２】制御装置２０の電気的接続及びメンテナンス用基板１００の電気的接続を示すブロック図である。
【図３】メンテナンス用基板１００の斜視図である。
【図４】メンテナンス用基板１００の第１メンテナンス動作を表す模式図である。
【図５】メンテナンス用基板１００の第１メンテナンス動作を実現するためのフローチャート図である。
【図６】メンテナンス用基板１００の第２メンテナンス動作を表す模式図である。
【図７】メンテナンス用基板１００の第２メンテナンス動作を実現するためのフローチャート図である。
【図８】メンテナンス用基板１００の第３メンテナンス動作を表す模式図である。
【図９】メンテナンス用基板１００の第３メンテナンス動作を実現するためのフローチャート図である。
【図１０】メンテナンス用基板１００の第４メンテナンス動作を表す模式図である。
【図１１】メンテナンス用基板１００の第４メンテナンス動作を実現するためのフローチャート図である。
【図１２】メンテナンス用基板１００の第５メンテナンス動作を表す模式図である。
【図１３】メンテナンス用基板１００の第５メンテナンス動作を実現するためのフローチャート図である。
【図１４】メンテナンス用基板１００の第６メンテナンス動作を表す模式図である。
【図１５】メンテナンス用基板１００の第６メンテナンス動作を実現するためのフローチャート図である。
【図１６】メンテナンス用基板１００の第７メンテナンス動作を表す模式図である。
【図１７】メンテナンス用基板１００の第７メンテナンス動作を実現するためのフローチャート図である。
【図１８】メンテナンス用基板１００の第８メンテナンス動作を表す模式図である。
【図１９】メンテナンス用基板１００の第８メンテナンス動作を実現するためのフローチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本開示の好適な実施形態を、図面を参照しながら以下に説明する。尚、図面において、左右方向がＸ軸方向であり、前後方向がＹ軸方向であり、上下方向がＺ軸方向である。
【００１１】
（１）部品装着装置１０の構成
図１に、部品装着装置１０を表す。部品装着装置１０は、基板Ｓに対する部品の装着作業を実行するための装置である。部品装着装置１０は、基板搬送保持装置１２、部品採取装置１４、リール部品供給装置１６、パーツカメラ１８、及び制御装置２０等を備えている。尚、基板Ｓとしては、プリント配線板、プリント回路板等が挙げられる。
【００１２】
基板搬送保持装置１２は、搬送装置２２及びクランプ装置２４を備えている。搬送装置２２は、図１の前後に間隔を開けて設けられ左右方向に延びる支持板２６，２６と、両支持板２６，２６の互いに対向する面に設けられたコンベアベルト２８，２８とを備えている。コンベアベルト２８，２８は、支持板２６，２６の左右に設けられた駆動輪及び従動輪に無端状となるように架け渡されている。基板Ｓは、一対のコンべアベルト２８，２８の上面に乗せられて左から右へと搬送される。クランプ装置２４は、基板Ｓを保持する装置である。これにより、基板搬送保持装置１２は、基板Ｓを搬送するとともに、作業位置において、基板Ｓを固定的に保持する。
【００１３】
部品採取装置１４は、作業ヘッド３０及び作業ヘッド移動装置３２を備えている。作業ヘッド３０は、作業ヘッド移動装置３２の前面に取り付けられている。作業ヘッド移動装置３２は、Ｘ軸スライダ３４、Ｙ軸スライダ３６、及びＺ軸モータ３８等を備えている。Ｘ軸スライダ３４は、前後方向にスライド可能なＹ軸スライダ３６の前面に、左右方向にスライド可能となるように取り付けられている。Ｙ軸スライダ３６は、前後方向に延びる左右一対のガイドレール４０，４０にスライド可能に取り付けられている。尚、ガイドレール４０，４０は、部品装着装置１０の内部に固定されている。Ｙ軸スライダ３６の前面には、左右方向に延びる上下一対のガイドレール４２，４２が設けられ、このガイドレール４２，４２にＸ軸スライダ３４が左右方向にスライド可能に取り付けられている。作業ヘッド３０は、Ｘ軸スライダ３４が左右方向に移動するのに伴って左右方向に移動し、Ｙ軸スライダ３６が前後方向に移動するのに伴って前後方向に移動する。尚、各スライダ３４，３６は、それぞれ図示しない駆動モータにより駆動される。更に、各スライダ３４，３６には図示しない位置センサが装備されており、制御装置２０は、それらの位置センサからの位置情報を入力しつつ、各スライダ３４，３６の駆動モータを制御する。
【００１４】
作業ヘッド３０は、部品を吸着する複数の吸着ノズル４４を昇降可能に支持するノズル保持部４６を備えている。ノズル保持部４６は、Ｚ軸と平行な軸線周りに回転可能に構成されている。本実施形態では、作業ヘッド３０は、８本の吸着ノズル４４を備えている。吸着ノズル４４は、圧力を利用して、ノズル先端に部品を吸着したり、ノズル先端に吸着している部品を放したりするものである。吸着ノズル４４は、Ｚ軸モータ３８を駆動源とするホルダ昇降装置によって、ノズル保持部４６の回転位相の特定の位相に位置してホルダ昇降装置と係合する。これにより、吸着ノズル４４が、Ｘ軸およびＹ軸方向と直交するＺ軸方向（上下方向）に昇降される。
【００１５】
リール部品供給装置１６は、部品が格納されたテープが巻き付けられているリール４８を備え、部品装着装置１０の前方に着脱可能に取り付けられている。テープは、リール４８から巻きほどかれ、フィーダ部５０により、作業ヘッド３０により採取される採取位置に送り出される。パーツカメラ１８は、搬送装置２２の前側の支持板２６の前方に配置されている。パーツカメラ１８の撮像範囲は、パーツカメラ１８の上方である。パーツカメラ１８は、部品を吸着した吸着ノズル４４がパーツカメラ１８の上方を通過する際に、吸着ノズル４４に吸着された部品の状態を撮像し、その画像データを制御装置２０へ出力する。
【００１６】
制御装置２０は、図２に表すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit）５２を中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、処理プログラム等を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）５４、各種データを記憶するＨＤＤ（Hard Disc Drive）５６、作業領域として用いられるＲＡＭ（Random Access Memory）５８、外部装置と電気信号のやり取りを行うための入出カインタフェース６０等を備えており、これらはバス６２を介して接続されている。尚、ＲＯＭ５４には、後述する図５、図７、図９、図１１、図１３、図１５、図１７及び図１９のフローチャートを実現するための処理プログラムが記憶されている。
【００１７】
制御装置２０は、上述した搬送装置２２、クランプ装置２４、作業ヘッド３０、作業ヘッド移動装置３２、リール部品供給装置１６、及びパーツカメラ１８と双方向通信可能に接続されている。更に、制御装置２０は、Ｑ方向移動装置６４、正負圧供給装置６６、マークカメラ６８、側面カメラ７０、及び通信装置７２と双方向通信可能に接続されている。
【００１８】
Ｑ方向移動装置６４は、ノズル保持部４６をＺ軸と平行な軸線周りに回動させる装置であり、作業ヘッド３０に内蔵されている。正負圧供給装置６６は、吸着ノズル４４を負圧エア通路及び正圧エア通路に連通させる装置であり、負圧にて部品を吸着ノズル４４に吸着保持させ、僅かな正圧が供給されることで部品を吸着ノズル４４から離脱させる構造となっている。尚、Ｑ方向移動装置６４及び正負圧供給装置６６は、部品採取装置１４を構成する。
【００１９】
マークカメラ６８は、下方を向いた状態で作業ヘッド３０に取り付けられており、作業ヘッド３０とともに、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向に移動させられる。これにより、マークカメラ６８は、フィーダ部５０の採取位置上及び基板Ｓ上等の任意の位置を撮像し、その画像データを制御装置２０へ出力する。側面カメラ７０は、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面に平行な方向を向いた状態で作業ヘッド３０に取り付けられている。側面カメラ７０は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサ等を有しており、後述する反射体８０により反射された光を受光し、吸着ノズル４４に吸着された部品の側面の画像データを制御装置２０へ出力する。通信装置７２は、後述するメンテナンス用基板１００と双方向通信を無線で行うものである。
【００２０】
制御装置２０は、画像処理部７４を有している。画像処理部７４は、パーツカメラ１８、マークカメラ６８、及び側面カメラ７０によって得られた画像データを処理するものであり、制御装置２０は、画像データから各種情報を取得する。
【００２１】
（２）部品装着装置１０の動作
部品装着装置１０では、上述した構成によって、基板搬送保持装置１２に保持された基板Ｓに対して部品の装着作業が行われる。具体的には、基板Ｓが、搬送装置２２によって作業位置まで搬送され、その位置において、クランプ装置２４によって固定的に保持される。次に、マークカメラ６８が、基板Ｓの上方に移動し、基板Ｓを撮像する。これにより、基板Ｓの作業位置等に関する情報が得られる。また、リール部品供給装置１６は、採取位置において、部品を供給する。そして、作業ヘッド３０が、部品の採取位置の上方に移動し、吸着ノズル４４によって部品を保持する。続いて、側面カメラ７０によって、吸着ノズル４４が撮像される。更に、部品を保持した作業ヘッド３０が、パーツカメラ１８の上方に移動し、パーツカメラ１８によって、吸着ノズル４４に保持された部品が撮像される。これらにより、部品の保持位置等に関する情報が得られる。続いて、部品を保持した作業ヘッド３０が、基板Ｓの上方に移動し、基板Ｓの保持位置の誤差、部品の保持位置の誤差等を補正する。そして、吸着ノズル４４が部品を離脱することで、基板Ｓに部品が装着される。
【００２２】
（３）メンテナンス用基板１００の構成
図３に、メンテナンス用基板１００を表す。メンテナンス用基板１００は、部品装着装置１０のメンテナンスで使用される基板であって、そのメンテナンスの際に、搬送装置２２によって作業位置まで搬送され、その位置において、クランプ装置２４によって固定的に保持される。
【００２３】
メンテナンス用基板１００は、基板本体１０２を備えている。基板本体１０２は、平面視で矩形状の平板であって、前後方向の幅Ｌ１が基板Ｓの幅と同じである。これにより、メンテナンス用基板１００は、基板Ｓと同様にして、基板搬送保持装置１２で搬送及び保持される。基板本体１０２には、第１穴１０４、第２穴１０６、第３穴１０８、第４穴１１０、及び第５穴１１２が設けられている。
【００２４】
第１穴１０４は、段付きの貫通穴である。第１穴１０４には、レンズ清掃用ノズル１１４が作業ヘッド３０のノズル保持部４６によって取り出し可能となるように保持されている。レンズ清掃用ノズル１１４は、ノズル本体１１６、保持管１１８、フランジ１２０、及びレンズ清掃用ブラシ１２２等を備えている。ノズル本体１１６は、円筒状を成している。レンズ清掃用ノズル１１４が第１穴１０４に保持された状態では、ノズル本体１１６の長手方向が上下方向に一致している。保持管１１８は、ノズル本体１１６の第１端面から突き出すように設けられており、レンズ清掃用ノズル１１４が第１穴１０４に保持された状態において上方を向いている。保持管１１８には、ノズル本体１１６の第１端面（保持管１１８が設けられた端面）とは反対側の第２端面にまで連通するエア通路が形成されている。フランジ１２０は、ノズル本体１１６の第１端面（保持管１１８が設けられた端面）の外周から張り出すように設けられており、ノズル本体１１６の第１端面（保持管１１８が設けられた端面）の突縁を成している。フランジ１２０は、レンズ清掃用ノズル１１４が第１穴１０４に保持された状態では、第１穴１０４に遊嵌されると共に第１穴１０４の段に係止される。レンズ清掃用ブラシ１２２は、ノズル本体１１６の第１端面（保持管１１８が設けられた端面）とは反対側の第２端面に設けられており、レンズ清掃用ノズル１１４が第１穴１０４に保持された状態において下方を向いている。
【００２５】
従って、レンズ清掃用ノズル１１４の保持管１１８を作業ヘッド３０のノズル保持部４６で保持した後に、作業ヘッド３０を上方に移動させれば、レンズ清掃用ノズル１１４を第１穴１０４から取り出すことが可能である。レンズ清掃用ノズル１１４の保持管１１８が作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持されると、レンズ清掃用ノズル１１４のエア通路が、正負圧供給装置６６を介して、作業ヘッド３０の正圧エア通路と連通する。これにより、レンズ清掃用ノズル１１４では、ノズル本体１１６の第１端面（保持管１１８が設けられた端面）とは反対側の第２端面（レンズ清掃用ブラシ１２２が設けられた端面）から正圧エアを吹き出させることが可能である。尚、作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持された状態にあるレンズ清掃用ノズル１１４を第１穴１０４の上方に移動させた後に、作業ヘッド３０を下方に移動させることにより、レンズ清掃用ノズル１１４を第１穴１０４に差し入れれば、レンズ清掃用ノズル１１４を第１穴１０４に再び保持させることが可能である。
【００２６】
第２穴１０６は、段付きの貫通穴である。第２穴１０６には、フィーダ清掃用ノズル１２４が作業ヘッド３０のノズル保持部４６によって取り出し可能となるように保持されている。フィーダ清掃用ノズル１２４は、ノズル本体１２６、保持管１２８、フランジ１３０、及びノズルヘッド１３２等を備えている。フィーダ清掃用ノズル１２４は、ノズルヘッド１３２を除けば、上述したレンズ清掃用ノズル１１４と同様な構成を有している。更に、フィーダ清掃用ノズル１２４が第２穴１０６に保持された状態は、上述したレンズ清掃用ノズル１１４が第１穴１０４に保持された状態と同様である。
【００２７】
つまり、フィーダ清掃用ノズル１２４のノズル本体１２６、保持管１２８、及びフランジ１３０は、上述したレンズ清掃用ノズル１１４のノズル本体１１６、保持管１１８、及びフランジ１２０に相当する。更に、フィーダ清掃用ノズル１２４を保持する第２穴１０６は、上述したレンズ清掃用ノズル１１４を保持する第１穴１０４に相当する。そこで、フィーダ清掃用ノズル１２４の説明においては、上述したレンズ清掃用ノズル１１４と実質的に共通する部分の説明を省略する。
【００２８】
ノズルヘッド１３２は、ノズル本体１２６の第１端面（保持管１２８が設けられた端面）とは反対側の第２端面に設けられており、フィーダ清掃用ノズル１２４が第２穴１０６に保持された状態において下方を向いている。ノズルヘッド１３２は、フィーダ清掃用ノズル１２４のエア通路と連通している。従って、フィーダ清掃用ノズル１２４の保持管１２８が作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持されると、フィーダ清掃用ノズル１２４のエア通路が、正負圧供給装置６６を介して、作業ヘッド３０の正圧エア通路及び負圧エア通路と連通する。これにより、フィーダ清掃用ノズル１２４では、ノズル本体１２６の第１端面（保持管１２８が設けられた端面）とは反対側の第２端面に設けられたノズルヘッド１３２から正圧エアを吹き出させること、及びノズルヘッド１３２に負圧エアを吸い込ませることが可能である。
【００２９】
第３穴１０８は、所定の深さを有する縦穴である。第３穴１０８には、後述するロードセル１５４が設けられると共に、そのロードセルの球面座１３４が上下方向に摺動可能に装入されている。第４穴１１０は、貫通穴である。第４穴１１０の下側開口には、後述するブロア１５６の吐出口が連通している。第５穴１１２は、貫通穴である。第５穴１１２の下側開口には、後述するトランスジューサー１５８が設けられている。
【００３０】
メンテナンス用基板１００は、その右側側面において、第１アーム部１３６及び第２アーム部１３８を備えている。第１アーム部１３６及び第２アーム部１３８は、長尺状である。第１アーム部１３６は、その長手方向の第１端部が第１モータ１４０の出力軸１４２によって回動可能に軸支されている。これにより、第１アーム部１３６は、メンテナンス用基板１００に対して倒設状態と立設状態との間で移行することが可能である。図３の第１アーム部１３６は、倒設状態を表しており、基板本体１０２とは面一の状態にある。尚、第１モータ１４０は、基板本体１０２の下面に固設されている。
【００３１】
第１アーム部１３６では、その長手方向の第１端部（第１モータ１４０の出力軸１４２で軸支された端部）とは反対側の第２端部において、第１ブラシ１４４及び第２ブラシ１４６が設けられている。第１ブラシ１４４は、第１アーム部１３６を構成する六面のうち、第１アーム部１３６が倒設状態において上方を向いた面に設けられることにより、メンテナンス用基板１００から上方に向かっている。第２ブラシ１４６は、第１アーム部１３６を構成する六面のうち、第１アーム部１３６が倒設状態において下方を向いた面に設けられることにより、メンテナンス用基板１００から下方に向かっている。つまり、両ブラシ１４４，１４６は、第１アーム部１３６の上記第２端部において、第１アーム部１３６の短手方向（第１アーム部１３６が倒設状態において、上下方向）で対向する二つの側面に立設されている。尚、両ブラシ１４４，１４６から第１モータ１４０の出力軸１４２の軸支点までの距離Ｌ２は、第１ブラシ１４４又は第２ブラシ１４６でメンテナンスを行う際において、メンテナンス用基板１００からメンテナンス対象物までの距離に相当する。そのメンテナンス対象物としては、例えば、吸着ノズル４４、側面カメラ７０、又は反射体８０等がある。
【００３２】
第２アーム部１３８は、その長手方向の第１端部が第２モータ１４８の出力軸１５０によって回動可能に軸支されている。これにより、第２アーム部１３８は、メンテナンス用基板１００に対して倒設状態と立設状態との間で移行することが可能である。図３の第２アーム部１３８は、倒設状態を表しており、基板本体１０２とは面一の状態にある。尚、第２モータ１４８は、基板本体１０２の下面に固設されている。
【００３３】
第２アーム部１３８では、その長手方向の第１端部（第２モータ１４８の出力軸１５０で軸支された端部）とは反対側の第２端部の端面において、第３ブラシ１５２が設けられている。第３ブラシ１５２は、第２アーム部１３８を構成する六面のうち、第２アーム部１３８が倒設状態において前方を向いた面に設けられることにより、当該面から前方に向かっている。尚、第３ブラシ１５２から第２モータ１４８の出力軸１５０の軸支点までの距離Ｌ３は、第３ブラシ１５２でメンテナンスを行う際において、メンテナンス用基板１００からメンテナンス対象物までの距離に相当する。そのメンテナンス対象物としては、例えば、マークカメラ６８等がある。
【００３４】
第１モータ１４０は、基板本体１０２の前側側面より後方に位置している。更に、倒設状態にある第１アーム部１３６の前側側面も、同様にして、基板本体１０２の前側側面より後方に位置している。第２モータ１４８は、基板本体１０２の後側側面より前方に位置している。更に、倒設状態にある第２アーム部１３８の後側側面も、同様にして、基板本体１０２の後側側面より前方に位置している。このような構造により、基板本体１０２の前側端部及び後側端部が一対のコンべアベルト２８，２８の上面に乗せることが可能である。従って、メンテナンス用基板１００は、基板Ｓと同様にして、基板搬送保持装置１２で搬送及び保持されることが可能である。
【００３５】
メンテナンス用基板１００では、図２に表すように、上記第１モータ１４０及び上記第２モータ１４８に加えて、ロードセル１５４、ブロア１５６、トランスジューサー１５８、記憶装置１６０、バッテリー１６２、及び通信装置１６４が、バス１６６を介して接続されている。
【００３６】
ロードセル１５４は、基板本体１０２の第３穴１０８に内設されており、第３穴１０８の上側開口付近の球面座１３４に対して上方から作用する荷重を測定することが可能である。ブロア１５６は、その吐出口が基板本体１０２の第４穴１１０の下側開口に連通されるようにして、基板本体１０２の下面に固設されている。これにより、ブロア１５６は、第４穴１１０の上側開口から上方に向けて強風を吹き出させることが可能である。トランスジューサー１５８は、そのセンサ部分が基板本体１０２の第５穴１１２の下側開口に配置されるようにして、基板本体１０２の下面に固設されている。これにより、トランスジューサー１５８は、第５穴１１２の上側開口から第５穴１１２内に向けて吹き出されるエアの正圧、又は第５穴１１２の上側開口を介して第５穴１１２内から吸い込まれるエアの負圧を測定することが可能である。記憶装置１６０は、ＨＤＤ又はＲＡＭ等であり、各種データを記憶することが可能である。バッテリー１６２は、メンテナンス用基板１００の電源である。通信装置１６４は、制御装置２０の通信装置７２と双方向通信を無線で行うものである。
【００３７】
尚、メンテナンス用基板１００は、ＣＰＵ及びＲＯＭ等を備えることにより、自ら制御できるように電気的に構成しても良い。
【００３８】
（４）メンテナンス用基板１００の各メンテナンス動作
次に、メンテナンス用基板１００の各メンテナンス動作の一例について、図４乃至図１９を用いて説明する。メンテナンス用基板１００の各メンテナンス動作が行われる際は、上述したように、メンテナンス用基板１００は、搬送装置２２によって作業位置まで搬送され、その位置において、クランプ装置２４によって固定的に保持される。尚、図４、図６、図８、図１０、図１２、図１４、図１６、及び図１８では、構成の一部が省略されて描かれていることがあり、描かれた各部の寸法比等は必ずしも正確ではない。
【００３９】
（４−１）メンテナンス用基板１００の第１メンテナンス動作
メンテナンス用基板１００の第１メンテナンス動作とは、図４に表すように、第１アーム部１３６の第１ブラシ１４４で吸着ノズル４４をブラッシングすることにより、吸着ノズル４４を清掃する動作をいう。メンテナンス用基板１００の第１メンテナンス動作では、第１アーム部１３６が倒設状態にある。従って、第１ブラシ１４４が基板本体１０２から上方に向いており、上方に向いている第１ブラシ１４４の中を吸着ノズル４４が移動する。
【００４０】
メンテナンス用基板１００の第１メンテナンス動作が行われる際には、図５のフローチャートを実現するための処理プログラムが、制御装置２０のＣＰＵ５２によって実行される。当該処理プログラムが実行されると、図５に表すように、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃前画像取得処理を行う（ステップＳ１００）。この処理では、清掃対象の吸着ノズル４４がパーツカメラ１８によって撮像される。これにより、清掃前の吸着ノズル４４を撮像した画像データが取得される。
【００４１】
画像データが取得されると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃処理を行う（ステップＳ１０２）。この処理では、第１ブラシ１４４の中を清掃対象の吸着ノズル４４が移動することにより、吸着ノズル４４の清掃が第１ブラシ１４４で行われる。吸着ノズル４４の移動は、作業ヘッド３０をＸ方向（左右方向）又はＹ方向（前後方向）に移動させたり、ノズル保持部４６をＱ方向（Ｚ軸と平行な軸線周りに回動させる方向）に移動させることにより行われる。
【００４２】
尚、図４に表すように、作業ヘッド３０のノズル保持部４６の下面中央には、突出部７６が下方に向けて突設されており、その突出部７６の下面中央には、ヘッド位置認識マーク７８が設けられている。ヘッド位置認識マーク７８は、吸着ノズル４４と同様にして、作業ヘッド３０又はノズル保持部４６の移動により、第１ブラシ１４４の中を移動することができるので、第１ブラシ１４４で清掃することが可能である。
【００４３】
図５に戻り、上記ステップＳ１０２の処理が行われると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃後画像取得処理を行う（ステップＳ１０４）。この処理では、清掃対象の吸着ノズル４４がパーツカメラ１８によって撮像される。これにより、清掃後の吸着ノズル４４を撮像した画像データが取得される。
【００４４】
画像データが取得されると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃対象の吸着ノズル４４に異物があるか否かを判定する（ステップＳ１０６）。この判定は、上記ステップＳ１００の処理で取得された清掃前の画像データと、上記ステップＳ１０４の処理で取得された清掃後の画像データとを、画像処理部７４で比較照合することにより行われる。
【００４５】
ここで、清掃対象の吸着ノズル４４に異物がある場合には（ステップＳ１０６：ＹＥＳ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、停止処理を行う（ステップＳ１０８）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、当該処理プログラムを終了する。但し、制御装置２０のＣＰＵ５２は、この処理において、上記ステップＳ１００乃至上記ステップＳ１０６までの各処理を繰り返して実行しても良い。尚、繰り返し回数は、予め定められた所定回数を限度とする。
【００４６】
これに対して、清掃対象の吸着ノズル４４に異物がない場合には（ステップＳ１０６：ＮＯ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、サイドビュー画像取得処理を行う（ステップＳ１１０）。この処理では、清掃対象の吸着ノズル４４の側面が側面カメラ７０によって撮像される。これにより、清掃後の吸着ノズル４４の側面を撮像した画像データが取得される。尚、側面カメラ７０は、図４に表すように、反射体８０により反射された光を受光し、吸着ノズル４４の側面の画像データを制御装置２０へ出力する。反射体８０は、作業ヘッド３０に取り付けられている。
【００４７】
図５に戻り、上記ステップＳ１１０の処理が行われると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃対象の吸着ノズル４４が折れているか否かを判定する（ステップＳ１１２）。この判定は、上記ステップＳ１１０の処理で取得された吸着ノズル４４の側面の画像データに基づいて行われる。
【００４８】
ここで、清掃対象の吸着ノズル４４が折れている場合には（ステップＳ１１２：ＹＥＳ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、上述した停止処理を行う（ステップＳ１０８）。これに対して、清掃対象の吸着ノズル４４が折れていない場合には（ステップＳ１１２：ＮＯ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、履歴処理を行う（ステップＳ１１４）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、上記ステップＳ１００、上記ステップＳ１０４、及び上記ステップＳ１１０の各処理で取得された画像データを、清掃対象の吸着ノズル４４のノズルＩＤ（Identification Number）に対応付けてＨＤＤ５６等に記憶する。但し、それらの画像データ及びノズルＩＤは、各通信装置７２，１６４を介して、メンテナンス用基板１００に送信されることにより、メンテナンス用基板１００の記憶装置１６０において対応付けて記憶されても良いし、部品装着装置１０に接続されたＰＣ（Personal Computer）等において対応付けて記憶されても良い。
【００４９】
画像データが記憶されると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、全ての吸着ノズル４４が第１ブラシ１４４で清掃されたか否かを判定する（ステップＳ１１６）。この判定は、例えば、清掃対象の吸着ノズル４４のノズルＩＤ等に基づいて行われる。ここで、全ての吸着ノズル４４が第１ブラシ１４４で清掃されていない場合には（ステップＳ１１６：ＮＯ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、上記ステップＳ１００に戻って、上記ステップＳ１００以降の各処理を繰り返して行う。これに対して、全ての吸着ノズル４４が第１ブラシ１４４で清掃されている場合には（ステップＳ１１６：ＹＥＳ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、当該処理プログラムを終了する。
【００５０】
以上詳細に説明したように、メンテナンス用基板１００の第１メンテナンス動作では、その第１メンテナンス動作の際に搬送装置２２で搬送される、メンテナンス用基板１００の第１ブラシ１４４が使用されており、第１ブラシ１４４を設けるためのスペースを部品装着装置１０に常に確保する必要がないので、費用対効果が大きい。
【００５１】
（４−２）メンテナンス用基板１００の第２メンテナンス動作
メンテナンス用基板１００の第２メンテナンス動作とは、図６に表すように、第１アーム部１３６の第１ブラシ１４４で反射体８０をブラッシングし、第１アーム部１３６の第２ブラシ１４６で側面カメラ７０をブラッシングすることにより、反射体８０又は側面カメラ７０を清掃する動作をいう。メンテナンス用基板１００の第２メンテナンス動作では、第１アーム部１３６が立設状態にある。従って、第１ブラシ１４４が基板本体１０２から離れた状態で前方に向いており、前方に向いている第１ブラシ１４４の中を反射体８０が移動する。更に、第２ブラシ１４６が基板本体１０２から離れた状態で後方に向いており、後方に向いている第２ブラシ１４６の中を側面カメラ７０が移動する。
【００５２】
尚、図６では、吸着ノズル４４がノズル保持部４６に保持されていないが、反射体８０又は側面カメラ７０をブラッシングする際に第１アーム部１３６が吸着ノズル４４と接触しない場合には、吸着ノズル４４がノズル保持部４６に保持されていても良い。
【００５３】
メンテナンス用基板１００の第２メンテナンス動作が行われる際には、図７のフローチャートを実現するための処理プログラムが、制御装置２０のＣＰＵ５２によって実行される。当該処理プログラムが実行されると、図７に表すように、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃前画像取得処理を行う（ステップＳ２００）。この処理では、反射体８０が側面カメラ７０によって撮像される。これにより、清掃前の反射体８０を清掃前の側面カメラ７０で撮像した画像データが取得される。
【００５４】
画像データが取得されると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、立設処理を行う（ステップＳ２０２）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、各通信装置７２，１６４を介して、メンテナンス用基板１００に制御信号を送信することにより、第１モータ１４０を駆動させて、第１アーム部１３６を立設状態にする。
【００５５】
第１アーム部１３６が立設状態になると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃処理を行う（ステップＳ２０４）。この処理では、第１ブラシ１４４の中を反射体８０が移動することにより、反射体８０の清掃が第１ブラシ１４４で行われる。更に、第２ブラシ１４６の中を側面カメラ７０が移動することにより、側面カメラ７０の清掃が第２ブラシ１４６で行われる。反射体８０及び側面カメラ７０の移動は、作業ヘッド３０をＸ方向（左右方向）、Ｙ方向（前後方向）、又はＺ方向（上下方向）に移動させることにより行われる。
【００５６】
清掃が行われると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、倒設処理を行う（ステップＳ２０６）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、各通信装置７２，１６４を介して、メンテナンス用基板１００に制御信号を送信することにより、第１モータ１４０を駆動させて、第１アーム部１３６を倒設状態にする。
【００５７】
第１アーム部１３６が倒設状態になると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃後画像取得処理を行う（ステップＳ２０８）。この処理では、反射体８０が側面カメラ７０によって撮像される。これにより、清掃後の反射体８０を清掃後の側面カメラ７０で撮像した画像データが取得される。
【００５８】
画像データが取得されると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、反射体８０又は側面カメラ７０に異物があるか否かを判定する（ステップＳ２１０）。この判定は、上記ステップＳ２００の処理で取得された清掃前の画像データと、上記ステップＳ２０８の処理で取得された清掃後の画像データとを、画像処理部７４で比較照合することにより行われる。
【００５９】
ここで、反射体８０又は側面カメラ７０に異物がある場合には（ステップＳ２１０：ＹＥＳ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、停止処理を行う（ステップＳ２１２）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、当該処理プログラムを終了する。但し、制御装置２０のＣＰＵ５２は、この処理において、上記ステップＳ２００乃至上記ステップＳ２１０までの各処理を繰り返して実行しても良い。尚、繰り返し回数は、予め定められた所定回数を限度とする。
【００６０】
これに対して、反射体８０及び側面カメラ７０に異物がない場合には（ステップＳ２１０：ＮＯ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、吸着ノズル４４が折れているか否かを判定する（ステップＳ２１４）。この判定は、上記ステップＳ２０８の処理で取得された清掃後の画像データに基づいて行われる。尚、吸着ノズル４４がノズル保持部４６に保持されていない場合には、この処理は実行されず、後述するステップＳ２１６の処理が実行される。
【００６１】
ここで、吸着ノズル４４が折れている場合には（ステップＳ２１４：ＹＥＳ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、上述した停止処理を行う（ステップＳ２１２）。これに対して、吸着ノズル４４が折れていない場合には（ステップＳ２１４：ＮＯ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、履歴処理を行う（ステップＳ２１６）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、上記ステップＳ２００及び上記ステップＳ２０８の各処理で取得された画像データをＨＤＤ５６等に記憶する。但し、それらの画像データは、各通信装置７２，１６４を介して、メンテナンス用基板１００に送信されることにより、メンテナンス用基板１００の記憶装置１６０において記憶されても良いし、部品装着装置１０に接続されたＰＣ等において記憶されても良い。その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、当該処理プログラムを終了する。
【００６２】
以上詳細に説明したように、メンテナンス用基板１００の第２メンテナンス動作では、その第２メンテナンス動作の際に搬送装置２２で搬送される、メンテナンス用基板１００の第１ブラシ１４４及び第２ブラシ１４６が使用されており、第１ブラシ１４４及び第２ブラシ１４６を設けるためのスペースを部品装着装置１０に常に確保する必要がないので、費用対効果が大きい。更に、メンテナンス用基板１００の第２メンテナンス動作を行うことにより、作業者による清掃を省くことが可能である。
【００６３】
（４−３）メンテナンス用基板１００の第３メンテナンス動作
メンテナンス用基板１００の第３メンテナンス動作とは、図８に表すように、レンズ清掃用ノズル１１４のレンズ清掃用ブラシ１２２でパーツカメラ１８をブラッシングすると共に、レンズ清掃用ノズル１１４に内設されたエア通路１６８から正圧エアをパーツカメラ１８に吹き付けることにより、パーツカメラ１８を清掃する動作をいう。尚、メンテナンス用基板１００の第３メンテナンス動作は、レンズ清掃用ノズル１１４が作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持された状態で行われる。
【００６４】
メンテナンス用基板１００の第３メンテナンス動作が行われる際には、図９のフローチャートを実現するための処理プログラムが、制御装置２０のＣＰＵ５２によって実行される。当該処理プログラムが実行されると、図９に表すように、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃前画像取得処理を行う（ステップＳ３００）。この処理では、清掃前のパーツカメラ１８による撮像が行われる。これにより、清掃前のパーツカメラ１８で撮像した画像データが取得される。
【００６５】
画像データが取得されると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃用ノズル取付処理を行う（ステップＳ３０２）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、メンテナンス用基板１００の第１穴１０４にあるレンズ清掃用ノズル１１４を作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持させる。レンズ清掃用ノズル１１４が作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持されると、上述したように、レンズ清掃用ノズル１１４のエア通路１６８が、正負圧供給装置６６を介して、作業ヘッド３０の正圧エア通路と連通する。
【００６６】
その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃処理を行う（ステップＳ３０４）。この処理では、レンズ清掃用ノズル１１４が移動することによってレンズ清掃用ブラシ１２２でパーツカメラ１８がブラッシングされると共に、正負圧供給装置６６が駆動することによってレンズ清掃用ノズル１１４からパーツカメラ１８に正圧エアが吹き付けられる。これにより、パーツカメラ１８の清掃がレンズ清掃用ノズル１１４で行われる。レンズ清掃用ノズル１１４の移動は、作業ヘッド３０をＸ方向（左右方向）又はＹ方向（前後方向）に移動させたり、ノズル保持部４６をＱ方向（Ｚ軸と平行な軸線周りに回動させる方向）に移動させることにより行われる。
【００６７】
清掃が行われると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃後画像取得処理を行う（ステップＳ３０６）。この処理では、清掃後のパーツカメラ１８による撮像が行われる。これにより、清掃後のパーツカメラ１８で撮像した画像データが取得される。尚、この処理では、上記ステップＳ３００の処理での撮像条件に合わせるため、レンズ清掃用ノズル１１４がパーツカメラ１８で撮像されないように、レンズ清掃用ノズル１１４を移動させる。
【００６８】
画像データが取得されると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、パーツカメラ１８に異物があるか否かを判定する（ステップＳ３０８）。この判定は、上記ステップＳ３００の処理で取得された清掃前の画像データ及び上記ステップＳ３０６の処理で取得された清掃後の画像データとを、画像処理部７４で比較照合することにより行われる。
【００６９】
ここで、パーツカメラ１８に異物がある場合には（ステップＳ３０８：ＹＥＳ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、停止処理を行う（ステップＳ３１０）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、当該処理プログラムを終了する。但し、制御装置２０のＣＰＵ５２は、この処理において、上記ステップＳ３００乃至上記ステップＳ３０８までの各処理を繰り返して実行しても良い。尚、繰り返し回数は、予め定められた所定回数を限度とする。
【００７０】
これに対して、パーツカメラ１８に異物がない場合には（ステップＳ３０８：ＮＯ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃用ノズル返却処理を行う（ステップＳ３１２）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持されているレンズ清掃用ノズル１１４を、メンテナンス用基板１００の第１穴１０４に返却する。
【００７１】
その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、履歴処理を行う（ステップＳ３１４）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、上記ステップＳ３００及び上記ステップＳ３０６の各処理で取得された画像データをＨＤＤ５６等に記憶する。但し、それらの画像データは、各通信装置７２，１６４を介して、メンテナンス用基板１００に送信されることにより、メンテナンス用基板１００の記憶装置１６０において記憶されても良いし、部品装着装置１０に接続されたＰＣ等において記憶されても良い。その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、当該処理プログラムを終了する。
【００７２】
以上詳細に説明したように、メンテナンス用基板１００の第３メンテナンス動作では、その第３メンテナンス動作の際に搬送装置２２で搬送される、メンテナンス用基板１００のレンズ清掃用ノズル１１４が使用されており、レンズ清掃用ノズル１１４を備えるためのスペースを部品装着装置１０に常に確保する必要がないので、費用対効果が大きい。更に、メンテナンス用基板１００の第３メンテナンス動作を行うことにより、パーツカメラ１８の清掃を正圧エア及びブラッシングを併用して行うことが可能である。
【００７３】
（４−４）メンテナンス用基板１００の第４メンテナンス動作
メンテナンス用基板１００の第４メンテナンス動作とは、図１０に表すように、フィーダ清掃用ノズル１２４に内設されたエア通路１７０から正圧エアを吹き出させること、又はフィーダ清掃用ノズル１２４にエア通路１７０を介して負圧エアを吸い込ませることにより、リール部品供給装置１６のフィーダ部５０を清掃する動作をいう。尚、メンテナンス用基板１００の第４メンテナンス動作は、フィーダ清掃用ノズル１２４が作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持された状態で行われる。
【００７４】
リール部品供給装置１６においては、リール４８から巻きほどかれたテープ８２が、フィーダ部５０のガイド８４を通過する。その通過の際に、テープ８２のエッジが削がれてしまうと、テープ摩耗クズ８６がガイド８４に蓄積する。そこで、メンテナンス用基板１００の第４メンテナンス動作では、フィーダ清掃用ノズル１２４からの正圧エアでテープ摩耗クズ８６を吹き飛ばしたり、又はフィーダ清掃用ノズル１２４からの負圧エアでテープ摩耗クズ８６を吸い取ることにより、リール部品供給装置１６のフィーダ部５０を清掃する。尚、テープ摩耗クズ８６を吸い取る場合には、サイクロン方式、紙パック方式、又はフィルタ等により、作業ヘッド３０内でテープ摩耗クズ８６が集められる。
【００７５】
メンテナンス用基板１００の第４メンテナンス動作が行われる際には、図１１のフローチャートを実現するための処理プログラムが、制御装置２０のＣＰＵ５２によって実行される。当該処理プログラムが実行されると、図１１に表すように、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃用ノズル取付処理を行う（ステップＳ４００）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、メンテナンス用基板１００の第２穴１０６にあるフィーダ清掃用ノズル１２４を作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持させる。フィーダ清掃用ノズル１２４が作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持されると、上述したように、フィーダ清掃用ノズル１２４のエア通路１７０が、正負圧供給装置６６を介して、作業ヘッド３０の正圧エア通路及び負圧エア通路と連通する。
【００７６】
その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃処理を行う（ステップＳ４０２）。この処理では、作業ヘッド３０又はノズル保持部４６の移動によってフィーダ清掃用ノズル１２４（のノズルヘッド１３２）が清掃対象のリール部品供給装置１６のフィーダ部５０のガイド８４の上方に移動すると共に、正負圧供給装置６６が駆動することによって、フィーダ清掃用ノズル１２４（のノズルヘッド１３２）から正圧エアが吹き出し、又はフィーダ清掃用ノズル１２４（のノズルヘッド１３２）に負圧エアが吸い込まれる。これにより、リール部品供給装置１６のフィーダ部５０の清掃がフィーダ清掃用ノズル１２４で行われる。尚、フィーダ清掃用ノズル１２４に負圧エアが吸い込まれる場合には、テープ摩耗クズ８６を吸い取り易くするため、フィーダ部５０のガイド８４からフィーダ清掃用ノズル１２４のノズルヘッド１３２までの間隔を所定距離にすることが望ましい。
【００７７】
清掃が行われると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃用ノズル返却処理を行う（ステップＳ４０４）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持されているフィーダ清掃用ノズル１２４を、メンテナンス用基板１００の第２穴１０６に返却する。
【００７８】
その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、履歴処理を行う（ステップＳ４０６）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃対象のリール部品供給装置１６のフィーダ部５０を清掃した旨のログを、清掃対象のリール部品供給装置１６のフィーダＩＤに対応付けて、ＨＤＤ５６等に記憶する。但し、そのログは、各通信装置７２，１６４を介して、メンテナンス用基板１００に送信されることにより、メンテナンス用基板１００の記憶装置１６０において記憶されても良いし、部品装着装置１０に接続されたＰＣ等において記憶されても良い。その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、当該処理プログラムを終了する。
【００７９】
以上詳細に説明したように、メンテナンス用基板１００の第４メンテナンス動作では、その第４メンテナンス動作の際に搬送装置２２で搬送される、メンテナンス用基板１００のフィーダ清掃用ノズル１２４が使用されており、フィーダ清掃用ノズル１２４を備えるためのスペースを部品装着装置１０に常に確保する必要がないので、費用対効果が大きい。更に、メンテナンス用基板１００の第４メンテナンス動作を行うことにより、作業者による清掃を省くことが可能である。
【００８０】
（４−５）メンテナンス用基板１００の第５メンテナンス動作
メンテナンス用基板１００の第５メンテナンス動作とは、図１２に表すように、吸着ノズル４４を第３穴１０８内の球面座１３４に接触させることにより、吸着ノズル４４の荷重データを第３穴１０８内のロードセル１５４で取得する動作をいう。
【００８１】
作業ヘッド３０において、吸着ノズル４４は、ノズル保持部４６に対してＺ方向（上下方向）に相対移動可能な構成になっている。従って、リール部品供給装置１６から部品が吸着される際において、吸着ノズル４４が部品に接触した後に作業ヘッド３０が下降しても、その下降の動きは、ノズル保持部４６に対する吸着ノズル４４の相対移動により吸収される。更に、基板Ｓに部品が装着される際において、部品が基板Ｓに接触した後に作業ヘッド３０が下降しても、その下降の動きは、ノズル保持部４６に対する吸着ノズル４４の相対移動により吸収される。そこで、メンテナンス用基板１００の第５メンテナンス動作では、ノズル保持部４６に対する吸着ノズル４４の相対移動時の摺動抵抗を、吸着ノズル４４の荷重データとして取得する。
【００８２】
メンテナンス用基板１００の第５メンテナンス動作が行われる際には、図１３のフローチャートを実現するための処理プログラムが、制御装置２０のＣＰＵ５２によって実行される。当該処理プログラムが実行されると、図１３に表すように、制御装置２０のＣＰＵ５２は、ノズル取付処理を行う（ステップＳ５００）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、実際に部品実装に使用される吸着ノズル４４のノズルＩＤを認識した後に、その吸着ノズル４４を作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持させる。ノズルＩＤの認識は、例えば、ノズル保持部４６による吸着ノズル４４の保持前において、吸着ノズル４４に付されたＱＲコード（登録商標）をマークカメラ６８で読み取ること等によって行われる。尚、制御装置２０のＣＰＵ５２は、荷重測定専用ノズルのノズルＩＤを認識した後に、その荷重測定専用ノズルを作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持させても良い。
【００８３】
その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、荷重測定処理を行う（ステップＳ５０２）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、吸着ノズル４４による部品吸着が行われるようにして、又は吸着ノズル４４による部品装着が行われるようにして、吸着ノズル４４をメンテナンス用基板１００の球面座１３４に向けて下降させることにより、吸着ノズル４４を球面座１３４に接触させる。このような接触は、ＲＯＭ５４等に記憶された生産プログラムの設定に基づいて行われる。これにより、吸着ノズル４４の荷重データがロードセル１５４で取得されると共に、吸着ノズル４４の摺動動作又はスタック動作が確認される。尚、荷重測定専用ノズルが作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持されている場合には、ＲＯＭ５４等に記憶されている測定専用プログラムに基づいて、荷重測定専用ノズルが球面座１３４に接触される。これにより、荷重測定専用ノズルの荷重データがロードセル１５４で取得される。
【００８４】
荷重データが取得されると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、画像処理を行う（ステップＳ５０４）。この処理では、荷重データが取得された吸着ノズル４４又は荷重測定専用ノズル（以下、測定対象ノズルという。）がパーツカメラ１８又は側面カメラ７０によって撮像される。これにより、測定対象ノズルを撮像した画像データが取得される。
【００８５】
その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、測定対象ノズルに割れがあるか否かを判定する（ステップＳ５０６）。この判定は、上記ステップＳ５０４の処理で取得された画像データに基づいて行われる。
【００８６】
ここで、測定対象ノズルに割れがある場合には（ステップＳ５０６：ＹＥＳ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、停止処理を行う（ステップＳ５０８）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、当該処理プログラムを終了する。これに対して、測定対象ノズルに割れがない場合には（ステップＳ５０６：ＮＯ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、ノズル返却処理を行う（ステップＳ５１０）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持されている測定対象ノズルをノズルパレット等に返却する。
【００８７】
その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、履歴処理を行う（ステップＳ５１２）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、荷重データを、各通信装置７２，１６４を介してメンテナンス用基板１００から取得し、測定対象ノズルのノズルＩＤに対応付けてＨＤＤ５６等に記憶する。尚、部品装着装置１０に接続されたＰＣ等において、荷重データをノズルＩＤに対応付けて記憶しても良い。一方、ノズルＩＤは、各通信装置７２，１６４を介して、メンテナンス用基板１００に送信されることにより、メンテナンス用基板１００の記憶装置１６０において、荷重データに対応付けて記憶されても良い。その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、当該処理プログラムを終了する。
【００８８】
以上詳細に説明したように、メンテナンス用基板１００の第５メンテナンス動作では、その第５メンテナンス動作の際に搬送装置２２で搬送される、メンテナンス用基板１００のロードセル１５４が使用されており、ロードセル１５４を備えるためのスペースを部品装着装置１０に常に確保する必要がないので、費用対効果が大きい。更に、メンテナンス用基板１００の第５メンテナンス動作を行うことにより、測定対象ノズルの荷重データを測定対象ノズルのノズルＩＤに対応付けて記憶することが可能である。
【００８９】
（４−６）メンテナンス用基板１００の第６メンテナンス動作
メンテナンス用基板１００の第６メンテナンス動作とは、図１４に表すように、第４穴１１０から上方に向けて吹き出されるブロア１５６の強風で作業ヘッド３０のノズル保持部４６を清掃する動作をいう。尚、ノズル保持部４６に吸着ノズル４４が保持されている場合には、その吸着ノズル４４の清掃も、メンテナンス用基板１００の第６メンテナンス動作によって行われる。
【００９０】
メンテナンス用基板１００の第６メンテナンス動作が行われる際には、図１５のフローチャートを実現するための処理プログラムが、制御装置２０のＣＰＵ５２によって実行される。当該処理プログラムが実行されると、図１５に表すように、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃前画像取得処理を行う（ステップＳ６００）。この処理では、作業ヘッド３０のノズル保持部４６がパーツカメラ１８によって撮像される。これにより、作業ヘッド３０のノズル保持部４６を清掃前に撮像した画像データが取得される。
【００９１】
画像データが取得されると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃処理を行う（ステップＳ６０２）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、各通信装置７２，１６４を介して、メンテナンス用基板１００に制御信号を送信することにより、ブロア１５６を駆動させる。更に、制御装置２０のＣＰＵ５２は、作業ヘッド３０をＸ方向（左右方向）又はＹ方向（前後方向）に移動させたり、ノズル保持部４６をＱ方向（Ｚ軸と平行な軸線周りに回動させる方向）に移動させることにより、作業ヘッド３０のノズル保持部４６の全域をメンテナンス用基板１００の第４穴１１０の上方を通過させる。そのため、メンテナンス用基板１００の第４穴１１０から上方に向かって吹き出されるブロア１５６の強風が、作業ヘッド３０のノズル保持部４６の全域に当てられる。これにより、作業ヘッド３０のノズル保持部４６の清掃がブロア１５６により行われる。
【００９２】
その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃後画像取得処理を行う（ステップＳ６０４）。この処理では、先ず、制御装置２０のＣＰＵ５２は、各通信装置７２，１６４を介して、メンテナンス用基板１００に制御信号を送信することにより、ブロア１５６を停止させる。更に、制御装置２０のＣＰＵ５２は、作業ヘッド３０のノズル保持部４６をパーツカメラ１８によって撮像する。これにより、作業ヘッド３０のノズル保持部４６を清掃後に撮像した画像データが取得される。尚、ブロア１５６の停止は、当該処理プログラムを終了する際に行っても良い。
【００９３】
画像データが取得されると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、作業ヘッド３０のノズル保持部４６に異物があるか否かを判定する（ステップＳ６０６）。この判定は、上記ステップＳ６００の処理で取得された清掃前の画像データと、上記ステップＳ６０４の処理で取得された清掃後の画像データとを、画像処理部７４で比較照合することにより行われる。
【００９４】
ここで、作業ヘッド３０のノズル保持部４６に異物がある場合には（ステップＳ６０６：ＹＥＳ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、停止処理を行う（ステップＳ６０８）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、当該処理プログラムを終了する。但し、制御装置２０のＣＰＵ５２は、この処理において、上記ステップＳ６００乃至上記ステップＳ６０６までの各処理を繰り返して実行しても良い。尚、繰り返し回数は、予め定められた所定回数を限度とする。
【００９５】
これに対して、作業ヘッド３０のノズル保持部４６に異物がない場合には（ステップＳ６０６：ＮＯ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、履歴処理を行う（ステップＳ６１０）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、上記ステップＳ６００及び上記ステップＳ６０４の各処理で取得された画像データをＨＤＤ５６等に記憶する。但し、それらの画像データは、各通信装置７２，１６４を介して、メンテナンス用基板１００に送信されることにより、メンテナンス用基板１００の記憶装置１６０において記憶されても良いし、部品装着装置１０に接続されたＰＣ等において記憶されても良い。その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、当該処理プログラムを終了する。
【００９６】
以上詳細に説明したように、メンテナンス用基板１００の第６メンテナンス動作では、その第６メンテナンス動作の際に搬送装置２２で搬送される、メンテナンス用基板１００のブロア１５６が使用されており、ブロア１５６を設けるためのスペースを部品装着装置１０に常に確保する必要がないので、費用対効果が大きい。更に、メンテナンス用基板１００の第６メンテナンス動作を行うことにより、作業者による清掃を省くことが可能である。
【００９７】
（４−７）メンテナンス用基板１００の第７メンテナンス動作
メンテナンス用基板１００の第７メンテナンス動作とは、図１６に表すように、吸着ノズル４４を第５穴１１２の上側開口から第５穴１１２内に挿入させることにより、吸着ノズル４４のエア圧力データを、第５穴１１２の下側開口に接続されたトランスジューサー１５８で取得する動作をいう。
【００９８】
吸着ノズル４４では、部品採取時に負圧で部品を吸着保持し、部品実装時に僅かな正圧で部品を離脱させている。そこで、メンテナンス用基板１００の第７メンテナンス動作では、吸着ノズル４４の負圧データ及び正圧データを、吸着ノズル４４のエア圧力データとして取得する。
【００９９】
メンテナンス用基板１００の第７メンテナンス動作が行われる際には、図１７のフローチャートを実現するための処理プログラムが、制御装置２０のＣＰＵ５２によって実行される。当該処理プログラムが実行されると、図１７に表すように、制御装置２０のＣＰＵ５２は、ノズル取付処理を行う（ステップＳ７００）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、実際に部品実装に使用される吸着ノズル４４のノズルＩＤを認識した後に、その吸着ノズル４４を作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持させる。吸着ノズル４４が作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持されると、上述したように、吸着ノズル４４が、正負圧供給装置６６を介して、作業ヘッド３０の負圧エア通路及び正圧エア通路と連通する。尚、ノズルＩＤの認識は、例えば、上述したメンテナンス用基板１００の第５メンテナンス動作のときと同様にして行われる。
【０１００】
その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、エア圧力測定処理を行う（ステップＳ７０２）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、吸着ノズル４４をメンテナンス用基板１００の第５穴１１２に向けて下降させることにより、吸着ノズル４４を第５穴１１２に挿入させてトランスジューサー１５８に密着させる。更に、制御装置２０のＣＰＵ５２は、正負圧供給装置６６を駆動させることにより、吸着ノズル４４から正圧エアを吹き出させたり、吸着ノズル４４に負圧エアを吸い込ませる。これにより、吸着ノズル４４のエア圧力データがトランスジューサー１５８で取得される。
【０１０１】
エア圧力データが取得されると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、画像処理を行う（ステップＳ７０４）。この処理では、エア圧力データが取得された吸着ノズル４４（以下、測定対象ノズルという。）がパーツカメラ１８又は側面カメラ７０によって撮像される。これにより、測定対象ノズルを撮像した画像データが取得される。
【０１０２】
その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、測定対象ノズルに割れがあるか否かを判定する（ステップＳ７０６）。この判定は、上記ステップＳ７０４の処理で取得された画像データに基づいて行われる。
【０１０３】
ここで、測定対象ノズルに割れがある場合には（ステップＳ７０６：ＹＥＳ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、停止処理を行う（ステップＳ７０８）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、当該処理プログラムを終了する。これに対して、測定対象ノズルに割れがない場合には（ステップＳ７０６：ＮＯ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、ノズル返却処理を行う（ステップＳ７１０）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持されている測定対象ノズルをノズルパレット等に返却する。
【０１０４】
その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、履歴処理を行う（ステップＳ７１２）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、エア圧力データを、各通信装置７２，１６４を介してメンテナンス用基板１００から取得し、測定対象ノズルのノズルＩＤに対応付けてＨＤＤ５６等に記憶する。尚、部品装着装置１０に接続されたＰＣ等において、エア圧力データをノズルＩＤに対応付けて記憶しても良い。一方、ノズルＩＤは、各通信装置７２，１６４を介して、メンテナンス用基板１００に送信されることにより、メンテナンス用基板１００の記憶装置１６０において、エア圧力データに対応付けて記憶されても良い。その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、当該処理プログラムを終了する。
【０１０５】
以上詳細に説明したように、メンテナンス用基板１００の第７メンテナンス動作では、その第７メンテナンス動作の際に搬送装置２２で搬送される、メンテナンス用基板１００のトランスジューサー１５８が使用されており、トランスジューサー１５８を備えるためのスペースを部品装着装置１０に常に確保する必要がないので、費用対効果が大きい。更に、メンテナンス用基板１００の第７メンテナンス動作を行うことにより、測定対象ノズルのエア圧力データを測定対象ノズルのノズルＩＤに対応付けて記憶することが可能である。
【０１０６】
尚、メンテナンス用基板１００の第７メンテナンス動作では、吸着ノズル４４に代えて、エア圧力データの取得が所望されるノズルが作業ヘッド３０のノズル保持部４６に保持された場合でも、吸着ノズル４４と同様にして、エア圧力データの取得が行われる。
【０１０７】
（４−８）メンテナンス用基板１００の第８メンテナンス動作
メンテナンス用基板１００の第８メンテナンス動作とは、図１８に表すように、第２アーム部１３８の第３ブラシ１５２でマークカメラ６８をブラッシングし、第４穴１１０から上方に向けて吹き出されるブロア１５６の強風をマークカメラ６８に吹き付けることにより、マークカメラ６８を清掃する動作をいう。メンテナンス用基板１００の第８メンテナンス動作では、第２アーム部１３８が立設状態にある。従って、第３ブラシ１５２が基板本体１０２から離れた状態で上方に向いており、上方に向いている第３ブラシ１５２の中をマークカメラ６８が移動する。
【０１０８】
メンテナンス用基板１００の第８メンテナンス動作が行われる際には、図１９のフローチャートを実現するための処理プログラムが、制御装置２０のＣＰＵ５２によって実行される。当該処理プログラムが実行されると、図１９に表すように、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃前画像取得処理を行う（ステップＳ８００）。この処理では、マークカメラ６８による撮像が行われる。これにより、マークカメラ６８で撮像した清掃前の画像データが取得される。
【０１０９】
画像データが取得されると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、立設処理を行う（ステップＳ８０２）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、各通信装置７２，１６４を介して、メンテナンス用基板１００に制御信号を送信することにより、第２モータ１４８を駆動させて、第２アーム部１３８を立設状態にする。
【０１１０】
第２アーム部１３８が立設状態になると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃処理を行う（ステップＳ８０４）。この処理では、第３ブラシ１５２の中をマークカメラ６８が移動することにより、マークカメラ６８の清掃が第３ブラシ１５２で行われる。マークカメラ６８の移動は、作業ヘッド３０をＸ方向（左右方向）又はＹ方向（前後方向）に移動させることにより行われる。更に、制御装置２０のＣＰＵ５２は、各通信装置７２，１６４を介して、メンテナンス用基板１００に制御信号を送信することにより、ブロア１５６を駆動させる。更に、制御装置２０のＣＰＵ５２は、作業ヘッド３０をＸ方向（左右方向）又はＹ方向（前後方向）に移動させることにより、マークカメラ６８の全域をメンテナンス用基板１００の第４穴１１０の上方を通過させる。メンテナンス用基板１００の第４穴１１０では、その上方に向かってブロア１５６の強風が吹き出されている。そのため、ブロア１５６の強風が、マークカメラ６８の全域に当てられる。これにより、マークカメラ６８の清掃がブロア１５６により行われる。
【０１１１】
清掃が行われると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、清掃後画像取得処理を行う（ステップＳ８０６）。この処理では、先ず、制御装置２０のＣＰＵ５２は、各通信装置７２，１６４を介して、メンテナンス用基板１００に制御信号を送信することにより、ブロア１５６を停止させる。更に、制御装置２０のＣＰＵ５２は、マークカメラ６８による撮像を行う。これにより、マークカメラ６８で撮像した清掃後の画像データが取得される。尚、ブロア１５６の停止は、当該処理プログラムを終了する際に行っても良い。
【０１１２】
画像データが取得されると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、マークカメラ６８に異物があるか否かを判定する（ステップＳ８０８）。この判定は、上記ステップＳ８００の処理で取得された清掃前の画像データと、上記ステップＳ８０６の処理で取得された清掃後の画像データとを、画像処理部７４で比較照合することにより行われる。
【０１１３】
ここで、マークカメラ６８に異物がある場合には（ステップＳ８０８：ＹＥＳ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、停止処理を行う（ステップＳ８１０）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、当該処理プログラムを終了する。但し、制御装置２０のＣＰＵ５２は、この処理において、上記ステップＳ８００乃至上記ステップＳ８０８までの各処理を繰り返して実行しても良い。尚、繰り返し回数は、予め定められた所定回数を限度とする。
【０１１４】
これに対して、マークカメラ６８に異物がない場合には（ステップＳ８０８：ＮＯ）、制御装置２０のＣＰＵ５２は、倒設処理を行う（ステップＳ８１２）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、各通信装置７２，１６４を介して、メンテナンス用基板１００に制御信号を送信することにより、第２モータ１４８を駆動させて、第２アーム部１３８を倒設状態にする。
【０１１５】
第２アーム部１３８が倒設状態になると、制御装置２０のＣＰＵ５２は、履歴処理を行う（ステップＳ８１４）。この処理では、制御装置２０のＣＰＵ５２は、上記ステップＳ８００及び上記ステップＳ８０６の各処理で取得された画像データをＨＤＤ５６等に記憶する。但し、それらの画像データは、各通信装置７２，１６４を介して、メンテナンス用基板１００に送信されることにより、メンテナンス用基板１００の記憶装置１６０において記憶されても良いし、部品装着装置１０に接続されたＰＣ等において記憶されても良い。その後、制御装置２０のＣＰＵ５２は、当該処理プログラムを終了する。
【０１１６】
以上詳細に説明したように、メンテナンス用基板１００の第８メンテナンス動作では、その第８メンテナンス動作の際に搬送装置２２で搬送される、メンテナンス用基板１００の第３ブラシ１５２及びブロア１５６が使用されており、第３ブラシ１５２及びブロア１５６を設けるためのスペースを部品装着装置１０に常に確保する必要がないので、費用対効果が大きい。更に、メンテナンス用基板１００の第８メンテナンス動作を行うことにより、マークカメラ６８の清掃を強風及びブラッシングを併用して行うことが可能であると共に、作業者による清掃を省くことが可能である。
【０１１７】
（５）まとめ
以上、詳細に説明したように、メンテナンス用基板１００は、部品装着装置１０の搬送装置２２で搬送されることによって、部品装着装置１０の静電気除去以外のメンテナンスで使用することが可能となる。更に、メンテナンス用基板１００の各メンテナンス動作において、履歴処理（ステップＳ１１４，ステップＳ２１６，ステップＳ３１４，ステップＳ４０６，ステップＳ５１２，ステップＳ６１０，ステップＳ７１２，ステップＳ８１４）が行われることにより、清掃記録又は各種データを自動的に取得できるトレーサビリティを構築することが可能である。
【０１１８】
ちなみに、本実施形態において、レンズ清掃用ノズル１１４又はフィーダ清掃用ノズル１２４は、清掃用ノズルの一例である。第１アーム部１３６又は第２アーム部１３８は、アーム部の一例である。第１ブラシ１４４、第２ブラシ１４６、又は第３ブラシ１５２は、ブラシの一例である。トランスジューサー１５８は、第１圧力センサの一例である。ロードセル１５４は、第２圧力センサの一例である。
【０１１９】
（６）その他
尚、本発明は上記実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、部品を吸着したり吸着解除したりする吸着ノズル４４については、特にこれに限定されず、例えばメカニカルチャックとしてもよい。そのような場合に対しては、メンテナンス用基板１００の第１メンテナンス動作、メンテナンス用基板１００の第５メンテナンス動作、又はメンテナンス用基板１００の第６メンテナンス動作が適用される。
【０１２０】
また、メンテナンス用基板１００に設けたボタンを作業ヘッド３０等で押下するような構成を備えていれば、そのボタン押下により、メンテナンス開始、メンテナンス終了、又はメンテナンス停止の制御信号をメンテナンス用基板１００に入力することができるので、通信機器７２，１６４を省略することが可能である。
【符号の説明】
【０１２１】
１０  部品装着装置
１８  パーツカメラ
２２  搬送装置
３０  作業ヘッド
４６  ノズル保持部
４４  吸着ノズル
６８  マークカメラ
７０  側面カメラ
８０  反射体
８４  ガイド
１００  メンテナンス用基板
１１４  レンズ清掃用ノズル
１２４  フィーダ清掃用ノズル
１３６  第１アーム部
１３８  第２アーム部
１４４  第１ブラシ
１４６  第２ブラシ
１５２  第３ブラシ
１５４  ロードセル
１５６  ブロア
１５８  トランスジューサー
１６４  通信装置
Ｓ  基板
Ｌ１  メンテナンス用基板の幅  
Ｌ２  第１アーム部の軸支点から第１ブラシ及び第２ブラシまでの距離
Ｌ３  第２アーム部の軸支点から第３ブラシまでの距離
【図１】
2018134867.tif 000003
【図２】
2018134867.tif 000004
【図３】
2018134867.tif 000005
【図４】
2018134867.tif 000006
【図５】
2018134867.tif 000007
【図６】
2018134867.tif 000008
【図７】
2018134867.tif 000009
【図８】
2018134867.tif 000010
【図９】
2018134867.tif 000011
【図１０】
2018134867.tif 000012
【図１１】
2018134867.tif 000013
【図１２】
2018134867.tif 000014
【図１３】
2018134867.tif 000015
【図１４】
2018134867.tif 000016
【図１５】
2018134867.tif 000017
【図１６】
2018134867.tif 000018
【図１７】
2018134867.tif 000019
【図１８】
2018134867.tif 000020
【図１９】
2018134867.tif 000021
【国際調査報告】
2018134867.tif 000022
2018134867.tif 000023
2018134867.tif 000024
2018134867.tif 000025