(57)【要約】  機内の作業位置に基板を搬送して保持する基板位置決め装置と、前記作業位置の上方にマスクを保持するマスク保持装置と、基板上のマスクに対してクリームはんだを塗り延ばしするスキージ装置と、前記基板位置決め装置の基板と前記マスク保持装置のマスクとの相対的位置の補正を行う補正装置と、機内または機外に設けられた印刷検査装置から印刷状態の検査データを取得し、その検査データに基づく印刷のズレ量に従って修正した補正値により、前記補正装置に対する補正制御処理を行う制御装置と、作業者の検査指示動作を感知する指示入力部を備え、当該指示入力部に対する作業者の指示動作に基づき、前記印刷検査装置から印刷状態の検査データを取得するための検査データ取得信号を前記制御装置へ送信する入力装置とを有するスクリーン印刷機。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機内の作業位置に基板を搬送して保持する基板位置決め装置と、
前記作業位置の上方にマスクを保持するマスク保持装置と、
基板上のマスクに対してクリームはんだを塗り延ばしするスキージ装置と、
前記基板位置決め装置の基板と前記マスク保持装置のマスクとの相対的位置の補正を行う補正装置と、
機内または機外に設けられた印刷検査装置から印刷状態の検査データを取得し、その検査データに基づく印刷のズレ量に従って修正した補正値により、前記補正装置に対する補正制御処理を行う制御装置と、
作業者の検査指示動作を感知する指示入力部を備え、当該指示入力部に対する作業者の指示動作に基づき、前記印刷検査装置から印刷状態の検査データを取得するための検査データ取得信号を前記制御装置へ送信する入力装置とを有するスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記印刷検査装置は、マスクに付されたマスクマークや基板に付された基板マークを撮像するカメラと、当該カメラにより撮像された基板の印刷パターンを画像処理する前記制御装置とで構成されたものである請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
前記印刷検査装置は、基板に塗布された印刷パターンのうち、塗布面積の小さい微小部分を含んだ範囲を検査データ取得のための撮像エリアとする請求項１又は請求項２に記載のスクリーン印刷機。
【請求項４】
前記制御装置は、
前記指示入力部に対する作業者の指示動作に基づいて前記入力装置から送信される一つの検査データ取得信号に従い、
マスク上を往復移動する前記スキージ装置の往路時に印刷された基板に対する第１の検査データと復路時に印刷された基板に対する第２の検査データとを前記印刷検査装置から取得し、
復路時の印刷と往路時の印刷における位置ズレ量をそれぞれ算出して各々の位置ズレ量に基づく前記補正制御処理を交互に行う請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、任意のタイミングで位置ズレ補正の補正値を修正するための検査データを取得するスクリーン印刷機に関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷機では、印刷パターン孔が形成されたマスクの下に基板が配置され、そのマスク上にクリームはんだが塗り延ばされる。そして、印刷パターン孔をクリームはんだが通って基板に塗布されることにより、その基板に印刷パターンが形成される。その場合、マスクと基板との間に位置ズレが生じていれば、基板の印刷パターンにもズレなどが生じてしまう。こうした印刷不良は、製品である回路基板の品質を低下させるものとなるので、スクリーン印刷機では、基板とマスクとの位置関係を一定にするための位置ズレ補正が行われる。更に、適切な位置ズレ補正を行うために印刷状態検査が行われ、そこで印刷のズレが検出された場合には、そのズレ量が位置ズレ補正処理のオフセット値として入力される。【０００３】
こうした印刷状態の検査は、製品の品質確保に必要な処理である。しかし、機内で印刷した基板ごとに印刷状態の検査を行っていたのでは、サイクルタイムが長くなってしまい生産性を低下させることになる。そこで、例えば下記特許文献１には、検査モードの設定により基板の印刷枚数が１００枚に達したところで自動運転が停止し、その１００枚目の基板について印刷状態が検査されるようにした構成が開示されている。更に、下記特許文献２には、印刷後に検査を行うか否かについて判定が行われ、その判定処理が例えばユーザ（作業者）の指示に従って行われることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特願平０６−２５３９３３号公報
【特許文献２】特開２０１３−１５７５３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の技術によれば、前例のように１００回に１回だけ検査を行うことにより、毎回行う検査に比べて大幅に検査回数を減らすことができる。しかし、印刷状態の検査は、段取り替えなどのスクリーン印刷機に対して作業者が行う作業に応じて必要になることがある。また、決められた印刷回数で印刷状態の検査を行うのではなく、作業者が印刷状態を確認しながら状況に応じて検査を行うことが好ましい場合もある。そのため、予め設定した条件で検査を行うようにしたのでは、変化する製造状況において適切な対応を行うことができない。また、特許文献２では、作業者の指示に従うとあるが、その指示内容は明らかではなく、例えば指示が何らかの条件設定によるものであれば、同じく変化する製造状況に対応することができない。【０００６】
そこで、本発明は、かかる課題を解決すべく、作業者の検査指示動作に基づいて印刷状態の検査データを取得するスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様におけるスクリーン印刷機は、機内の作業位置に基板を搬送して保持する基板位置決め装置と、前記作業位置の上方にマスクを保持するマスク保持装置と、基板上のマスクに対してクリームはんだを塗り延ばしするスキージ装置と、前記基板位置決め装置の基板と前記マスク保持装置のマスクとの相対的位置の補正を行う補正装置と、機内または機外に設けられた印刷検査装置から印刷状態の検査データを取得し、その検査データに基づく印刷のズレ量に従って修正した補正値により、前記補正装置に対する補正制御処理を行う制御装置と、作業者の検査指示動作を感知する指示入力部を備え、当該指示入力部に対する作業者の指示動作に基づき、前記印刷検査装置から印刷状態の検査データを取得するための検査データ取得信号を前記制御装置へ送信する入力装置とを有する。
【発明の効果】
【０００８】
前記構成によれば、印刷検査装置から印刷状態の検査データを取得し、その検査データに基づく印刷のズレ量に従って修正した補正値により、基板とマスクとの相対的位置の補正を行うが、その検査データの取得を、入力装置の指示入力部に対する作業者の指示動作が行われる場合に限定することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】スクリーン印刷機を示した外観斜視図である。
【図２】スクリーン印刷機の内部構造を簡易的に示した図である。
【図３】スクリーン印刷機の制御システムを簡易的に示したブロック図である。
【図４】操作表示装置の画面を示した図である。
【図５】印刷パターンが印刷された基板を示した図である。
【図６】印刷パターンの一部分をずれたものと重ねて示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
次に、本発明に係るスクリーン印刷機の一実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。図１は、本実施形態のスクリーン印刷機を示した外観斜視図である。このスクリーン印刷機１は、基板に対してクリームはんだを印刷するものであり、例えば印刷状態を検査するはんだ検査機や基板に電子部品の装着を行う部品装着機などと共に回路基板生産ラインを構成するものである。なお、本実施形態のスクリーン印刷機１は、後述するように、機内において印刷状態の検査が行われるように内部印刷検査装置が設けられている。
【００１１】
スクリーン印刷機１は、全体が機体カバー２によって覆われている。機体カバー２には機体幅方向の両側面に搬送口２０１が形成され、その搬送口２０１を通って基板の搬入および搬出が行われるようになっている。そして、図２は、スクリーン印刷機１の内部構造を簡易的に示した図であり、基板１０の搬送方向である機体幅方向から示したものである。なお、本実施形態では、スクリーン印刷機１の機体前後方向をＹ軸方向、機体幅方向をＸ軸方向、そして機体高さ方向をＺ軸方向として説明する。
【００１２】
スクリーン印刷機１は、機内に設置されたマスク２０の下に基板１０が搬送され、マスク２０の上面から印刷パターン孔をクリームはんだが通り、下側の基板１０に塗布されて印刷パターンが形成される。そこで、スクリーン印刷機１の機内上部側には、機体幅方向に配置された一対のマスクホルダ３があり、マスク枠に固定されたマスク２０が保持される。マスクホルダ３の上方側にはスキージ装置４が設置され、機体前後方向に移動可能な状態で取り付けられている。一方、マスクホルダ３の下方側には、基板１０を機体幅方向に搬入及び搬出させる基板搬送装置５、基板１０を機体前後方向にクランプするためのクランプ装置６、そして基板１０をクランプ位置へと上下させるバックアップ装置７などが、昇降装置８に対して組み付けられている。
【００１３】
昇降装置８は、垂直なガイドレール１１に沿って摺動する昇降台１２を備え、その昇降台１２がボールネジ機構１３を介して昇降用モータ１４に連結されている。そして、昇降台１２の上には支持台１５を介して基板搬送装置５やクランプ装置６などが搭載されている。支持台１５には機体前後方向（Ｙ軸方向）に一対のマスクサポート２１が設けられ、その間にクランプ装置６が配置されている。一対のマスクサポート２１は、それぞれ脚体上面にマスク２０に接触するマスク支持プレート２１１が固定されている。そして、図面右側のマスクサポート２１にボールネジ機構２２が構成され、マスクサポート用モータ２４（図３参照）によって図面左側のマスクサポート２１との距離が調整可能となっている。
【００１４】
クランプ装置６は、基板１０の搬送方向と直行する機体前後方向に一対のサイドフレーム２５が支持台２３に組み付けられている。図面右側のサイドフレーム２５にはボールネジ機構２６が構成され、基板クランプ用モータ２９（図３参照）によって図面左側のサイドフレーム２５との距離が調整可能となっている。一対のサイドフレーム２５には、その上端部にクランプ部２７が形成され、クランプ部２７同士の距離が縮まることによって基板１０が把持できるようになっている。そして、サイドフレーム２５の内側には基板搬送装置５が組み付けられており、基板１０は、コンベアベルト２８によって作業位置まで搬送され、そこで一対のクランプ部２７によって保持されるようになっている。
【００１５】
また、一対のサイドフレーム２５の間には、基板を支持するバックアップ装置７が設けられている。バックアップ装置７は、複数のバックアップピン３２を備えたバックアップテーブル３１がボールネジ機構を介して支持され、バックアップ用モータ３４によって昇降するよう構成されている。また、クランプ装置６の支持台２３は、ボールネジ機構を介して支持され、昇降用モータ３３によって昇降するよう構成されている。そして、クランプ装置６やバックアップ装置７を支持する支持台１５は、昇降台１２に対してＸ−Ｙ平面上のＸ方向及びＹ方向とθ方向に位置調整が可能な構成となっている。つまり、作業位置に搬送されて保持された基板１０に対してマスク２０との間の位置調整を行う補正装置が構成されている。
【００１６】
次に、マスク２０の上方に組み付けられたスキージ装置４は、クリームはんだをローリングしながらマスク２０の印刷パターン孔に押し込み、マスク２０の下に位置する基板１０にクリームはんだを塗布するものである。そのスキージ装置４は、スキージを備えた一対のスキージヘッド４０１，４０２がシリンダによって昇降可能な状態で走行台４１に搭載されている。走行台４１は、ガイドロッド４２に対して摺動可能に組み付けられ、ガイドロッド４２と平行なネジ軸４３からなるボールネジ機構を介して、スキージ用モータ４４（図３参照）の駆動により機体前後方向の直線移動が可能となっている。
【００１７】
マスクホルダ３とクランプ装置６との間には、基板１０やマスク２０に付された基板マークやマスクマークを撮像するためのカメラ４５が設けられている。カメラ４５は、Ｙ軸スライダ４６を介して機体前後方向のガイドレール４７に取り付けられており、また、そのガイドレール４７は、機体幅方向の２本のガイドレール４８にＸ軸スライダ４９を介して架設されている。従って、カメラ４５は、Ｙ軸スライダ４６やＸ軸スライダ４８が不図示のボールネジ機構を介し、Ｙ軸モータ６１やＸ軸モータ６２（図３参照）によってＸＹ平面上を移動できるよう構成されている。
【００１８】
そして、スクリーン印刷機１には、全体の駆動を制御する制御装置９が搭載され、各装置の駆動部に対して駆動制御が行われるようになっている。図３は、スクリーン印刷機１の制御システムを簡易的に示したブロック図である。制御装置９は、マイクロプロセッサ（ＣＰＵ）５１、ＲＯＭ５２、ＲＡＭ５３、不揮発性メモリ５４がバスラインを介して接続されている。ＣＰＵ５１は、制御装置全体を統括制御するものであり、ＲＯＭ５２には、ＣＰＵ５１が実行するシステムプログラムや制御パラメータ等が格納され、ＲＡＭ５３には、一時的な計算データや表示データ等が格納される。不揮発性メモリ５４には、ＣＰＵ５１が行う処理に必要な情報が記憶され、スクリーン印刷機１のシーケンスプログラムなどが格納されている。特に、本実施形態の不揮発性メモリ５４には、後述する基板補正制御プログラムやオフセット処理プログラムなども格納されている。
【００１９】
スクリーン印刷機１は、図１に示すように、機体前面部にタッチパネル型の操作表示装置５８が取り付けられ、作業者による入力操作や画面における製造状況の表示などが可能になっている。制御装置９にはＩ／Ｏポート５５が設けられており、そのＩ／Ｏポート５５を介して操作表示装置５８が接続されている。Ｉ／Ｏポート５５には、その他にも昇降用モータ１４などの各種モータが各々のドライバ７１〜７８を介して接続されている。
【００２０】
ところで、スクリーン印刷機１は、カメラ４５が印刷後の基板１０を撮像し、その撮像データに基づいて制御装置９により印刷状態の検査が行われるようになっている。すなわち、このスクリーン印刷機１は、内部印刷検査装置を備えた構成となっている。そして、制御装置９に格納されたオフセット処理プログラムでは、その内部印刷検査装置から印刷状態検査で得られる検査データを取得し、基板補正制御プログラムで実行される基板１０の位置ズレ補正処理に関するオフセット値の算出および、補正値の修正が行われる。
【００２１】
図４は、生産中に表示された操作表示装置５８の画面を示した図であるが、その表示画面には自動位置補正ボタン５８０のアイコンが表示されている。そして、スクリーン印刷機１では、この自動位置補正ボタン５８０の入力信号をトリガとして、内部印刷検査装置から印刷状態検査の検査データが取得できるようになっている。なお、印刷検査状態の検査データは、スクリーン印刷機１の隣にはんだ検査機を設置した場合には、その外部検査装置から取得するようにしてもよい。
【００２２】
続いて、スクリーン印刷機１の作用について説明する。スクリーン印刷機１では、先ず一対のサイドフレーム２５の間にコンベアベルト２８によって基板１０が搬送される。そして、昇降用モータ３４の駆動によりバックアップテーブル３１が上昇し、バックアップピン３２に突き上げられるようにして基板１０がコンベアベルト２８から持ち上げられる。その後、ボールネジ機構２６を介して一方のサイドフレーム２５が移動することにより、一対のクランプ部２７によって基板１０が挟み込まれて保持される。
【００２３】
そして、昇降用モータ３３が駆動して基板１０を保持したクランプ装置６が上昇し、マスク支持プレート２１１の位置にクランプ部２７と基板１０が合わせられ、各々の上面の高さが揃えられる。次に、カメラ４５によって基板１０やマスク２０に付された基板マーク１０ｍ（図５参照）やマスクマークが撮像される。その撮像データを基に、基板１０とマスク２０に関するＸ，Ｙ，θ方向の相対的位置の位置ズレ量が算出され、支持台１５に構成されている補正装置によって位置ズレ補正が行われる。
【００２４】
その後、昇降用モータ１４の駆動により昇降台１２が上昇し、マスク支持プレート２１１、クランプ部２７及び基板１０の上面がマスク２０の下面に軽く接触する印刷位置で停止する。一方、マスク２０の上面側ではクリームはんだが供給され、スキージ装置４によってそのクリームはんだがローリングされてマスク２０の印刷パターン孔へと押し込まれる。そして、印刷パターン孔を通ったクリームはんだが基板１０に塗布され、その基板１０には図５に示すような印刷パターン１００が形成される。
【００２５】
スクリーン印刷機１では、前述したように、印刷前に基板マークやマスクマークの位置検出が行われ、その結果に従って基板１０に対する位置ズレ補正が行われる。これは、基板１０に対して正しい位置に印刷パターン１００が印刷されるように、基板１０とマスク２０との相対的位置を調整するために行われる。しかし、補正値が適切でない場合には位置ズレ補正を行ったとしても、図６に示すように、基板に１０に印刷された印刷パターン１００にズレが生じてしまう。
【００２６】
図６は、印刷パターン１００の一部分を示した図であり、本来あるべき位置の印刷パターン１０１に対して、実際にはハッチングで示したような位置に印刷パターン１０２が印刷されてしまうことがある。そのため従来であれば、例えば印刷毎に基板１０の印刷状態が検査され、印刷パターン１００に図６に示すようなズレが生じている場合には一旦スクリーン印刷機１が止められる。そして、基板１０とマスク２０との位置関係を正しく補正するため、位置ズレ補正処理の補正値を修正するオフセット処理が行われる。
【００２７】
スクリーン印刷機１では、印刷状態検査を行う場合、カメラ４５によって基板１０の印刷パターン１００が撮像され、印刷パターン１０１，１０２のようにズレが生じている場合には、その撮像データを基にズレ量が算出される。そして、そのズレ量が補正値を修正するオフセット値となる。すなわち、次に行われる位置ズレ補正処理では、基板マークとマスクマークとから算出されるＸ，Ｙ，θ方向の位置ズレ量（補正値）に、オフセット値ΔＸ，ΔＹ，Δθが加算され、その値が修正後の補正値として位置ズレ補正が行われる。
【００２８】
しかし、基板１０の印刷ごとに印刷状態の検査とオフセット処理が行われていたのでは、前記課題でも述べたようにサイクルタイムが長くなってしまう。そこで、オフセット処理が必要な場合として検討したところ、任意のタイミングで行うようにすることが望ましいと分かった。例えば、基板のロットが変わった場合は、基板マークの位置に微妙な違いが存在することなどにより、オフセット値の入力が必要になる。また、同じ印刷パターン孔のマスクを複数使用するような場合は、マスクによってマスクマークと印刷パターン孔との位置に微妙な違いがあり、やはりオフセット値の入力が必要になる。このように、段取り替えなど製造状況に応じて印刷パターン１００にズレが生じ得るため、そのタイミングで補正値のオフセット処理を行うことが望ましい。
【００２９】
この点、本実施形態では、作業者の指示動作に基づきオフセット処理のための検査データが取得できるようにした。スクリーン印刷機１は、作業者が操作表示装置５８の自動位置補正ボタン５８０を押すと、その操作表示装置５８から制御装置９に対して印刷状態検査を実行させるための検査データ取得信号が送信されるようになっている。そして、制御装置９がその検査データ取得信号を受信すると、次に印刷が行われる基板１０に対して印刷状態検査が実行される。つまり、印刷された基板１０の印刷パターン１００に関する撮像データがカメラ４５から制御装置９へと送信され、その制御装置９により撮像データを基にして印刷パターン１００のズレ量が算出される。
【００３０】
そこで、マスク２０の交換が行われた場合には、自動位置補正ボタン５８０が押され、段取り替え後の最初の基板１０に対して印刷状態検査が行われる。そして、搬送された基板１０について印刷が行われ、その印刷パターン１００がカメラ４５によって撮像される。制御装置９では、その撮像データから印刷パターン１００のズレ量が算出され、その結果、印刷パターン１００にズレが生じていた場合には、そのズレ量が補正値にオフセット値として加算され、基板１０の位置ズレ補正が行われるようになる。
【００３１】
よって、マスク交換が行われた後も同じように基板マークやマスクマークの位置検出に従い基板１０に対する位置ズレ補正が実行されるが、修正後の補正値に基づいて基板１０の位置ズレ補正が行われるため、基板１０には正確な印刷パターン１００が印刷されることとなる。本実施形態では、こうしたマスク交換や基板ロットの変更時に、作業者の指示動作に基づいて印刷状態検査および当該検査に基づく検査データの取得が行われる。そして、その検査データに基づいて自動的にオフセット処理が行われるため、製造が頻繁に停止してしまうことなくサイクルタイムの遅延を最小限に抑えることができる。
【００３２】
ところで、スクリーン印刷機１での印刷状態検査は、基板１０に印刷された印刷パターン１００のうち所定の検査範囲をカメラ４５が撮像することにより行われる。その際、カメラ４５は縦横数ミリ程度の範囲が撮像エリアとなるため、印刷パターン１００の中から一箇所あるいは数カ所を選択して撮像することとなる。本実施形態では、図５に示すように、印刷パターン１００のうちクリームはんだの塗布面積の小さい微小部分を含んだ範囲を検査データ取得エリア１０ａとして選択するように、制御装置９に対して予め設定されている。クリームはんだの塗布面積が小さい箇所や、そのほか塗布範囲の間隔が狭い箇所などは、印刷パターン１００のズレが品質に影響しやすいからである。
【００３３】
また、スクリーン印刷機１は、図２に示すスキージ装置４がＹ軸方向を往復移動し、マスク２０の上でクリームはんだをローリングさせながら基板１０に印刷を行う。その際、例えばスキージヘッド４０１による図面左方への移動時に１枚目の基板１０に印刷が行われ、もう一つのスキージヘッド４０２による図面右方への移動時に２枚目の基板１０に印刷が行われる。従って、クリームはんだをローリングさせるときの移動方向の違いによって印刷パターン１００のズレに差が生じることがある。
【００３４】
そのため、前述したオフセット処理をスキージヘッド４０１，４０２による印刷方向の違いに応じて行うことが好ましい。そこで、作業者が操作表示装置５８の自動位置補正ボタン５８０を押すと、その操作表示装置５８から制御装置９に対して印刷状態検査を実行させるための検査データ取得信号が送信される。そして、制御装置９では、その検査データ取得信号を受信することにより、その後に印刷が行われる２枚の基板１０に対して印刷状態検査が実行される。すなわち、スキージヘッド４０１の印刷ともう一方のスキージヘッド４０２の印刷とに関し、カメラ４５によってをそれぞれの印刷パターン１００を撮像させる。
【００３５】
そして、印刷パターン１００のズレに関して各々の撮像データから第１ズレ量と第２ズレ量とが算出される。このとき第１印刷状態検査と第２印刷状態検査とはスキージヘッド４０１，４０２の順番が逆であってもよい。よって、２枚の基板１０に対して連続して印刷状態検査が行われ、制御装置９では、その後の印刷の際、自動的に第１ズレ量に従ったオフセット処理と、第２ズレ量に従ったオフセット処理とが、スキージ装置４の移動方向に応じて交互に行われるようにする。
【００３６】
以上、本実施形態によれば、作業者が操作表示装置５８の自動位置補正ボタン５８０を押した場合に、検査データ取得信号が制御装置９に送信され、内部印刷検査装置により検査データが取得される。スクリーン印刷機１は、特にカメラ４５が作動して得られた撮像データから制御装置９が印刷パターン１００のズレ量を算出する内部検査装置であるため、データ取得の際には印刷作業が止められてしまう。しかし、本実施形態では、その作業停止時間を作業者が自動位置補正ボタン５８０を押すときに限定することで、サイクルタイムの遅延を最小限に抑えることができる。
【００３７】
また、印刷状態検査では、印刷パターン１００の微小部分を検査データ取得エリア１０ａとして設定し、その部分をカメラ４５で撮像することによって検査データを取得するようにしている。そのため、印刷パターン１００のズレによって品質に影響を受けやすい微少部分を基にオフセット処理を行うことで、基板品質を保つことができる。更に、スキージ装置４は方向を変えてクリームはんだを基板１０に塗布するが、その方向の印刷ごとに検査データを取得してオフセット処理を行うようにしたため、基板１０とマスク２０との位置ズレ補正を適切に行うことができる。
【００３８】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
前記実施形態ではカメラ４５を使用した機内の検査装置に関して説明したが、前述したように外部検査装置の場合であってもよい。その際、例えば外部検査装置では常に印刷状態検査が実行され、作業者が操作表示装置５８の自動位置補正ボタン５８０を押した場合にのみ検査データが取得され、印刷パターンのズレ量の算出およびオフセット処理が行われるようにしてもよい。
また、オフセット処理は、算出された印刷パターンのズレ量の値が操作表示装置５８の画面に表示されることにより、作業者がその入力画面から入力するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００３９】
１…スクリーン印刷機  ３…マスクホルダ  ４…スキージ装置  ５…搬送装置  ６…クランプ装置  ７…バックアップ装置  ８…昇降装置  ９…制御装置  １０…基板  ２０…マスク  ４５…カメラ  ５８…操作表示装置  １００…印刷パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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