【手続補正書】
【提出日】令和1年6月3日(2019.6.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の電極と、第２の電極と、第３の電極と、第４の電極とを含む複数の電極を有する第１多重極を備え、前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極とは、互いに空間的に分離されるとともに、各々が電源に電気的に結合され、
前記電源は、ＤＣ電界を供給するために、直流電圧を、前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極との各々に供給するように構成され、前記ＤＣ電界は、前記第１多重極内、かつ前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極とによって形成された内部空間内の第１内部軌道に沿って、進入する粒子ビームの第１イオンを効果的に導き、前記第１内部軌道は、前記粒子ビームの進入軌道に対して実質的に直交し、前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極とは、更に、前記導かれた第１イオンを、前記第１多重極内、かつ前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極によって形成された前記内部空間内にある、前記第１内部軌道に対して実質的に直交する第２内部軌道に沿って導くように構成され、さらに、
前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極と、前記電源との各々に電気的に結合されたプロセッサを備え、前記プロセッサは、前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極との各々に独立に直流電圧を供給して、前記ＤＣ電界を供給するとともに、前記進入する粒子ビームの前記第１イオンを、前記粒子ビームの前記進入軌道に対して実質的に直交する第１内部軌道および、前記第１内部軌道に実質的に直交する前記第２内部軌道に沿って導くように構成される、装置。
【請求項２】
前記プロセッサは、第１の直流電圧を、前記第１多重極の前記第１の電極および前記第２の電極を含む第１極セットに供給して、前記第１イオンを前記第１内部軌道に沿って導くように構成され、前記プロセッサは、第２の直流電圧を、前記第１多重極の前記第３の電極および前記第４の電極を含む第２極セットに供給して、前記第２内部軌道に沿って前記第１イオンを導くように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１極セット及び前記第２極セットのそれぞれは、一対の極である、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記プロセッサは、異なる直流電圧を、前記第１多重極の前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極とに供給するように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記プロセッサは、第１の直流電圧を、前記第３の電極および前記第４の電極に供給して、前記第１イオンを、前記進入軌道の方向に実質的に平行な方向に向け、前記第２内部軌道に沿って導くように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記プロセッサは、第１の直流電圧を、前記第３の電極および前記第４の電極に供給して、前記第１イオンを、前記進入軌道の方向に実質的にアンチパラレルな方向に向け、前記第２内部軌道に沿って導くように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
更に、前記第１多重極の出口開口に位置する少なくとも１つの追加電極を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
更に、前記第１多重極の出口開口に位置する少なくとも１つのレンズを有する、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
前記第１多重極は、前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極とを含むＤＣ四重極として構成され、前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極との各々は、内側に向く湾曲面を有するとともに円筒の１／４として構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
第１の電極と、第２の電極と、第３の電極と、第４の電極とを含む複数の電極を有する第１多重極を備え、前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極とは、互いに空間的に分離されるとともに、各々が電源に電気的に結合され、
前記電源は、ＤＣ電界を供給するために、直流電圧を、前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極との各々に供給するように構成され、前記ＤＣ電界は、前記第１多重極内、かつ前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極とによって形成された内部空間内の第１内部軌道に沿って、進入する粒子ビームの第１イオンを効果的に導き、前記第１内部軌道は、前記粒子ビームの進入軌道に対して実質的に直交し、前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極とは、更に、前記導かれた第１イオンを、前記第１多重極内、かつ前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極によって形成された前記内部空間内にある、前記導かれた第１内部軌道に対して第１角度を有する第２内部軌道に沿って導くように構成され、前記第２内部軌道の前記第１角度は、前記第１内部軌道に対して、０度よりも大きくかつ＋／−９０度よりも小さく、
前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極と、前記電源との各々に電気的に結合されたプロセッサを備え、前記プロセッサは、前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極との各々に独立に直流電圧を供給して、前記ＤＣ電界を供給するとともに、前記進入する粒子ビームの前記第１イオンを、前記粒子ビームの前記進入軌道に対して実質的に直交する第１内部軌道および、前記導かれた第１内部軌道に対して前記第１角度を有する第２内部軌道に沿って導くように構成される、装置。
【請求項１１】
前記プロセッサは、第１の直流電圧を、前記第１多重極の前記第１の電極および前記第２の電極を含む第１極セットに供給して、前記第１イオンを前記第１内部軌道に沿って導くように構成され、前記プロセッサは、第２の直流電圧を、前記第１多重極の前記第３の電極および前記第４の電極を含む第２極セットに供給して、前記第２内部軌道に沿って前記第１イオンを導くように構成される、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記第１極セット及び前記第２極セットのそれぞれは、一対の極である、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記第１極セットの１つの極の断面形状は、前記第２極セットの１つの極の前記断面形状と相違する、請求項１１に記載の装置。
【請求項１４】
前記プロセッサは、異なる直流電圧を、前記第１多重極の前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極とに供給するように構成される、請求項１０に記載の装置。
【請求項１５】
前記プロセッサは、第１の直流電圧を、前記第３の電極と、前記第４の電極とに供給して、前記第１イオンを、前記第１内部軌道の前記角度に対して約＋／−４５度の角度で前記第２内部軌道に沿って導くように構成される、請求項１０に記載の装置。
【請求項１６】
前記プロセッサは、第１の直流電圧を、前記第３の電極と、前記第４の電極とに供給して、前記第１イオンを、前記第１内部軌道の前記角度に対して約＋／−４５度より大きな角度で前記第２内部軌道に沿って導くように構成される、請求項１０に記載の装置。
【請求項１７】
更に、前記第１多重極の出口開口に位置する少なくとも１つのレンズを有する、請求項１０に記載の装置。
【請求項１８】
前記第１多重極は、前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極とを有するＤＣ四重極として構成され、前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極と、前記第４の電極との各々は、内側に向く湾曲面を有し、前記第１の電極と、前記第２の電極と、前記第３の電極とは円筒の１／４として構成され、前記第４の電極は、円筒の１／８として構成される、請求項１０に記載の装置。