【事件の表示】
　平成　８年特許願第２８０１７２号「基板処理装置のための雰囲気処理部の寿命判定装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　４月２４日出願公開、特開平１０−１０６９１４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は，平成８年９月３０日の出願であって，平成１７年７月１５日付けで拒絶査定がされ，これに対し，同年８月２５日に拒絶査定不服審判の請求がされた。その後，当審において平成１９年１０月２２日付けで拒絶理由が通知され，これに対し，同年１２月１８日付けで意見書が提出されたものである。
　
２．本願発明
　本願の請求項１乃至３に係る発明は，平成１７年５月１７日付けの手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて，本願の特許請求の範囲の請求項１乃至３に記載された事項により特定されるものと認められるところ，その請求項１に係る発明は次のとおりである。（以下，「本願発明」という。）
　「【請求項１】　基板処理装置の雰囲気ガスを処理するための雰囲気処理部の寿命を判定する装置であって、
　前記雰囲気処理部の上流側において、雰囲気ガス中に含まれる特定の物質の濃度を測定する濃度測定手段と、
　前記雰囲気処理部を通過する前記雰囲気ガスの流量を測定する流量測定手段と、
　前記雰囲気処理部の上流側において測定された前記特定の物質の濃度と、前記流量測定手段で測定された流量との積を、時間的に積算することによって、前記雰囲気処理部における処理量の積算値を求める処理量算出手段と、
　前記処理量の積算値に基づいて、前記雰囲気処理部の寿命を判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする寿命判定装置。」
　
３．引用例
３−１．引用文献１
　平成１９年１０月２２日付け拒絶理由に引用された，本願出願日前に頒布された刊行物である特開平３−２０７４２５号公報（以下「引用文献１」という。）には、図面とともに次の記載がある。
　
（ア）「２．特許請求の範囲
（１）気体に含有した不用ガスを除去するフィルターの気体流入側に、不用ガス分子濃度を検知する第１ガスセンサーを設け、同フィルターの気体流出側には、前記同様の第２ガスセンサー及び流通気体の速度を計測する風速計を設け、第１と第２のガスセンサーと風速計の各出力端子をコンピュータの入力端子へ接続し、コンピュータは各入力信号に基づきフィルターに捕捉したガス量を積算して出力するように設定したことを特徴とするフィルター交換時期判別装置。」（第１頁左下欄第４行目から第１４行目。）
（イ）「フィルター交換時期判別装置は、外気に含有する臭気を除去するため、外気取り入れ口に装着する脱臭フィルターの交換時期を判別するものである。」（第２頁左下欄第２行目から第５行目）
（ウ）「フィルター１を通過する前の外気流入側の流通路２ａには、臭気ガスの分子濃度を検出する第１ガスセンサー３が設けられ、フィルター１に対して逆側の外気流出側の流通路２ｂには、流入側と同様の第２ガスセンサー４及びフィルター１を通過する外気の速度を計測する風速計５が設けられている。」（第２頁左下欄第９行目から第１５行目）
（エ）「マイクロコンピュータ８は、第１ガスセンサーにより検出された不用ガス分子濃度Ｃ１と第２ガスセンサーにより検出された不用ガス分子濃度Ｃ０との差を算出する。
　また、マイクロコンピュータ８は外気がフィルター１を通過する単位時間の処理風量Ｑを、風速計５の検出値と流通面積との関係から算出し、さらにフィルター１によって捕捉された除去臭気ガス量（Ｊ）を下記演算式に基づき算出するようになっている。
　　　Ｊ＝Σ（Ｃ１−Ｃ０）Ｑ　　−−−−式」（第２頁右下欄第５行目から第１５行目）
（オ）「マイクロコンピュータ８は、比較演算部を有していて、除去臭気ガス量（Ｊ）とフィルターが劣化する限界除去臭気ガス量（Ｍ）とを比較判断し、除去臭気ガス量（Ｊ）が限界除去臭気ガス量（Ｍ）以下になった際（Ｊ≦Ｍ）、表示器９に信号を出力するようになっている。」（第２頁右下欄第１６行目から第３頁左上欄第１行目）
　
　以上の記載を総合すると，引用文献１には，「フィルターの交換時期を判別するフィルター交換時期判別装置であって，フィルターを通過する前の外気流入側の流通路には不用ガスの分子濃度を検出する第１ガスセンサーが設けられ，フィルターに対して逆側の外気流出側の流通路には流入側と同様の第２ガスセンサー及びフィルターを通過する外気の速度を計測する風速計が設けられ，外気がフィルターを通過する単位時間の処理風量Ｑを風速計の検出値と流通面積との関係から算出し，フィルターによって捕捉された除去不用ガス量Ｊを，第１ガスセンサーにより検出された不用ガス分子濃度Ｃ１と第２ガスセンサーにより検出された不用ガス分子濃度Ｃ０とを用いて，Ｊ＝Σ（Ｃ１−Ｃ０）Ｑに基づき算出するマイクロコンピュータを備え，除去不用ガス量Ｊとフィルターが劣化する限界除去不用ガス量とを比較判断し、除去不用ガス量Ｊが限界除去不用ガス量以下になった際、表示器に信号を出力する比較演算部を有するフィルター交換時期判別装置。」の発明（以下，「引用文献１に記載された発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
３−２．引用文献２
平成１９年１０月２２日付け拒絶理由に引用された，本願出願日前に頒布された刊行物である特開昭６３−１４７５１３号公報（以下「引用文献２」という。）には、図面とともに次の記載がある。
　
（カ）「本発明は使用者がフィルターのメンテナンスを行なうことが必要な空気清浄機に関するものである。」（第１頁左下欄第１４行目から第１６行目）
（キ）「本体１０の上部に着脱自在に取り付けたリモコン１５は前記電動送風機１４を制御するもので、運転スイッチ１６と表示灯１７，１８，１９及びタイマースイッチ２０と表示灯２１，２２，２３を設け、ガスセンサー２４を配してなるものであり、内部には制御回路（図示せず）を有している。」（第２頁右上欄第１６行目から左下欄第２行目）
（ク）「上記構成において動作を説明すると、電動送風機１４は運転スイッチ１６とタイマースイッチ２０の操作により運転され、その時の動作状態は表示灯１７，１８，１９，２１，２２，２３によって表示され、この時にフィルター１３が吸着する汚れの濃度はガスセンサー２４の出力として第２図のように表わされる。また制御回路に含まれる演算部では、このガスセンサー２４の出力と運転時間の積を算出し、その累計は第３図のような形で得られ、これは空気清浄機が吸入した汚れの量に概当する。」（第２頁左下欄第４行目から第１４行目）
　
　以上の記載を総合すると，引用文献２には，「運転時にフィルターが吸着する汚れの濃度をひとつのガスセンサーの出力として検出すること。」の発明（以下，「引用文献２に記載された発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
３−３．引用文献３
　平成１９年１０月２２日付け拒絶理由に引用された，本願出願日前に頒布された刊行物である特開平６−３１８５３８号公報（以下「引用文献３」という。）には、図面とともに次の記載がある。
　
（ケ）「図１は本発明の半導体装置の製造装置の第１実施例を示す構成図である。製造装置は、主としてクリーンルーム１０と、クリーンルーム１０に温湿度を調整した清浄空気を供給する空調器１２と、前記クリーンルーム１０の清浄室１０Ａ内に工程順に配設された感光性樹脂膜の前躯体を形成する膜形成装置１４、露光装置１６、現像・ベーク装置１８と、から構成されている。また、クリーンルーム１０は、二重構造で形成され、前記各装置１４、１６、１８を収納する前記清浄室１０Ａと、清浄室１０Ａ周囲に一定空間を有する空気循環系空間１０Ｂから構成されている。」「また、清浄室１０Ａの天井裏には、前記各ＨＥＰＡフィルタ２０に夫々連通するファン２２Ａ付きフィルタユニット（以下ＦＦＵという）２２、２２…が設けられている。そして、夫々のＦＦＵ２２、２２…の空気取込口にはアルカリ性ガス物質除去フィルタ２４、２４…が設けられている。」（【００１０】）
（コ）「そして、前記処理の行われる清浄室１０Ａには、次のように清浄空気４０が供給される。即ち、空調器１２の湿度調整部１２Ａ、温度調整部１２Ｃで温湿度が調整され、除塵フィルタ１２Ｄで除塵された空気は、給気ファン１２Ｂにより、給気ダクト２６を介して各ＦＦＵ２２、２２…に給気され、ＦＦＵ２２の空気取込口から取り込まれる。また、リターンエリア１０Ｅを通り天井裏空間１０Ｃに循環された空気４２もＦＦＵ２２の空気取込口から取り込まれる。そして、ＦＦＵ２２に取り込まれた空気は、ＦＦＵ２２の空気取込口に設けられたアルカリ性ガス物質除去フィルタ２４により、アルカリ性ガス物質が除去される。アルカリ性ガス物質が除去された空気は、次に、ＨＥＰＡフィルタを通り塵埃等が高精度に除塵されて清浄室１０Ａ内に供給される。」（【００１２】）
　
　以上の記載から，引用文献３には，「半導体装置の製造装置のクリーンルームの清浄室にアルカリ性ガス物質除去フィルタ及びＨＥＰＡフィルタを通して空気を供給する装置。」が記載されているものと認められる。
　
３−４．引用文献４
　平成１９年１０月２２日付け拒絶理由に引用された，本願出願日前に頒布された刊行物である特開平７−２７２９９２号公報（以下「引用文献４」という。）には、図面とともに次の記載がある。
　
（サ）「図１は、本発明の第１実施例の清浄空間システムを示す。」（【０００８】）
（シ）「図１において、清浄化すべき空間は、シート５に周囲を取り囲まれた空間である。クリーンブース内には、例えば半導体ウエハ等の高度の清浄度が要求される処理基体４が、次工程に移載するロボットによりハンドリングされる、又は次工程への移送のために搬送用ボックスに収納される。原動機１は、清浄化すべき空間を構成する気体を、シート５で囲まれた清浄化すべき空間に送りだすファン２を自在の回転数で回転させるためのものである。フィルタ３は、清浄化すべき空間を構成する気体から有害物質を除去するためのものである。フィルタ３は、ＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタのような粒子を除去するもの、或いはイオン交換樹脂のような化学的な反応により異分子を吸着するケミカルフィルタである。センサ６は清浄化すべき空間の各種パラメータを検出するもので、例えばダストカウンタ、或いは化学的な異分子を検出するセンサである。センサ６の出力はセンサ情報処理装置７に送られ、センサ６からの信号を基準値と比較し予め設けてある各種の制御手段に制御指示を出す。原動機制御処理部８は、センサ情報処理装置７からの指示により原動機１の回転数等の制御を行い、清浄化すべき空間内に送る気体の風量等を制御する。」（【０００９】）
　
　以上の記載から，引用文献４には，「半導体ウエハ等の高度の清浄度が要求される処理基体をその内部に有するクリーンブースに，有害物質を除去するフィルタを通して清浄化すべき空間を構成する気体を送り出す清浄空間システム。」が記載されているものと認められる。
　
４．対比
　引用文献１に記載された発明の「フィルターの交換時期を判別するフィルター交換時期判別装置」において，「フィルター」は，気体に含有した不用ガスの除去処理を行う処理部と言うことができることから，本願発明の「雰囲気ガスを処理するための雰囲気処理部」と，「気体を処理するための処理部」という点で共通すると共に，「フィルター交換時期」は，フィルターの寿命を意味するものと認められることから，引用文献１に記載された発明の「フィルターの交換時期を判別するフィルター交換時期判別装置」は，本願発明の「基板処理装置の雰囲気ガスを処理するための雰囲気処理部の寿命を判定する装置」と，「気体を処理するための処理部の寿命を判定する装置」である点で共通する。
　そうすると，引用文献１に記載された発明の「第１ガスセンサー」及び「風速計」は，その機能と配置位置からして，本願発明における「濃度測定手段」及び「流量測定手段」に相当する。
　そして，引用文献１に記載された発明における「外気がフィルターを通過する単位時間の処理風量Ｑを風速計の検出値と流通面積との関係から算出し，フィルターによって捕捉された除去不用ガス量Ｊを，第１ガスセンサーにより検出された不用ガス分子濃度Ｃ１と第２ガスセンサーにより検出された不用ガス分子濃度Ｃ０とを用いて，Ｊ＝Σ（Ｃ１−Ｃ０）Ｑに基づき算出するマイクロコンピュータ」は，不用ガス分子濃度Ｃ１及びＣ０と，単位時間の処理風量Ｑとの積の積算に基づいて，フィルターによって捕捉された除去不用ガス量Ｊを求めるものであるから，本願発明の「前記処理部の上流側において測定された前記特定の物質の濃度と、前記流量測定手段で測定された流量との積を、時間的に積算することによって、前記雰囲気処理部における処理量の積算値を求める処理量算出手段」と，「測定された前記特定の物質の濃度と、前記流量測定手段で測定された流量との積を、時間的に積算することによって、処理部における処理量の積算値を求める処理量算出手段」である点で共通している。
　さらに，引用文献１に記載された発明の「比較演算部」は，フィルターの寿命を意味するものであるフィルタの交換時期を比較判断するためのものであることからして，本願発明の「寿命を判定する判定手段」に相当する。
　してみると，本願発明と，引用文献１に記載された発明とは，「処理部の寿命を判定する装置であって、気体中に含まれる特定の物質の濃度を測定する濃度測定手段と、前記処理部を通過する前記気体の流量を測定する流量測定手段と、測定された前記特定の物質の濃度と、前記流量測定手段で測定された流量との積を、時間的に積算することによって、前記処理部における処理量の積算値を求める処理量算出手段と、前記処理量の積算値に基づいて、前記処理部の寿命を判定する判定手段と、を備える寿命判定装置。」である点で一致し，次の２点で相違している。
　
（相違点１）寿命判定の対象について，本願発明では「基板処理装置の雰囲気ガスを処理するための雰囲気処理部」の寿命を判定するものであるのに対し，引用文献１に記載された発明は一般的なフィルター交換時期判別装置であって，「基板処理装置の雰囲気ガスを処理するための雰囲気処理部」の寿命を判定するものではない点。
（相違点２）「測定された前記特定の物質の濃度と、前記流量測定手段で測定された流量との積を、時間的に積算することによって、前記処理部における処理量の積算値を求める」のに際し，本願発明は，「雰囲気処理部の上流側において、雰囲気ガス中に含まれる特定の物質の濃度を測定する濃度測定手段」によって測定された特定の物質の濃度と流量との積を積算しているのに対し，引用文献１に記載された発明は，「第１ガスセンサーにより検出された不用ガス分子濃度Ｃ１と第２ガスセンサーにより検出された不用ガス分子濃度Ｃ０」の差と流量との積を積算している点。
　
５．判断
　上記各相違点について判断する。
　相違点１について。
　引用文献３又は４に記載されるように，半導体装置を処理するクリーンルームに，フィルタを通して清浄な空気を供給することは，従来周知の技術であり，このようなフィルタ（「アルカリ性ガス物質除去フィルタ及びＨＥＰＡフィルタ」（引用文献３）又は「ＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタのような粒子を除去するもの、或いはイオン交換樹脂のような化学的な反応により異分子を吸着するケミカルフィルタ」（引用文献４））は，粒子の除去或いは異分子の吸着により空気を清浄化するものであるから，フィルタによって除去される粒子或いは吸着される異分子の積算量に応じて，適当な時期に交換が必要であることは当業者には明らかである。すると，一般的なフィルター交換時期判別装置である引用文献１に記載された発明の対象を，周知の「基板処理装置の雰囲気ガスを処理するための雰囲気処理部」として，雰囲気処理部の寿命を判定するようにすることは，当業者であれば容易に想到し得たものである。
　
　相違点２について。
　引用文献２に記載された発明に示されるように，フィルターが吸着する汚れの濃度は，ひとつのガスセンサーのみによって測定しうるものであるから，引用文献１に記載された発明において，ひとつのガスセンサーのみによって不用ガス分子濃度を求め，該不用ガス分子濃度と流量との積を積算することで除去不用ガス量を算出することは当業者が容易に為し得たものであり，ひとつのガスセンサーを用いるに際し，引用文献１に記載された発明の「フィルターを通過する前の外気流入側の流通路」に設けられた第１ガスセンサーを用いるとすることは，フィルターの除去不用ガス量を算出する上で当然の事項である。
　
　そして，本願発明の作用効果も，引用文献１，引用文献２それぞれに記載された発明及び引用文献３又は４に示されるような周知技術から当業者であれば予測できる範囲のものである。
　
６．まとめ
　上記の通り，本願発明は，引用文献１，引用文献２それぞれに記載された発明及び引用文献３又は４に示されるような周知技術に基づいて，当業者が容易に想到し得たものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　
　したがって，請求項２乃至３に係る発明について審理するまでもなく，本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって，結論のとおり審決する。