【誤訳訂正書】
【提出日】平成30年12月21日(2018.12.21)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）原子層堆積プロセスにより無機層を堆積する工程、及び
（ｂ）分子層堆積プロセスによりセレンを含む有機層を堆積する工程、
を含む、積層品の製造方法。
【請求項２】
前記分子層堆積プロセスにセレノールを使用して、前記有機層を堆積する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記分子層堆積プロセスにジセレノールを使用して、前記有機層を堆積する、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記分子層堆積プロセスに芳香族セレノールを使用して、前記有機層を堆積する、請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
前記原子層堆積プロセスにＡｌ含有化合物を使用して、前記無機層を堆積する、請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
前記無機層が、４回〜１５０回の原子層堆積サイクルにより堆積される、請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
（ａ）無機層、及び
（ｂ）セレンを含む有機層、
を含む、積層品。
【請求項８】
前記有機層が、酸化状態−２、−１又は０のセレンを含有する、請求項７に記載の積層品。
【請求項９】
前記無機層がＡｌＯｘ（ＯＨ）ｙを含み、式中、０≦ｘ≦１．５、０≦ｙ≦３、かつ、２ｘ＋ｙ＝３である、請求項７又は８に記載の積層品。
【請求項１０】
前記無機層が０．４〜１５ｎｍの厚さを有する、請求項７から９のいずれか一項に記載の積層品。
【請求項１１】
請求項７から１０のいずれか一項に記載の積層品を含む、バリアフィルム。
【請求項１２】
ポリマー基板をさらに含む、請求項１１に記載のバリアフィルム。
【請求項１３】
平坦化層をさらに含む、請求項１１又は１２に記載のバリアフィルム。
【請求項１４】
カプセル化、パッケージング又は不動態化における、請求項１１から１３のいずれか一項に記載のバリアフィルムの使用方法。
【請求項１５】
請求項１１から１３のいずれか一項に記載のバリアフィルムを含む、電子デバイス。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００９】
さらに、本発明は、本発明によるバリアフィルムをカプセル化、パッケージング又は不動態化に使用する方法に関する。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１１】
本発明の好ましい実施態様は、明細書及び特許請求の範囲に見出すことができる。種々の実施態様の組み合わせが本発明の範囲内に含まれる。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１２】
この明細書において、積層品は、少なくとも２つの異なる化学組成物の層が互いに接触している製品である。他に示されない限り、一般的に、サイズ、各層の組成、又は層が一緒に保持される強度には特に制限がない。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１３】
この明細書において、無機材料とは、少なくとも１質量％、好ましくは少なくとも２質量％、より好ましくは少なくとも５質量％、特に少なくとも１０質量％の少なくとも１種の金属又は半金属を含有する材料を指す。この明細書において、有機材料とは、９９質量％以上、好ましくは９９．５質量％以上の非金属、特に完全に又は実質的に完全に非金属を含有する材料を指す。さらにより好ましくは、非金属がＣ、Ｈ、Ｏ、Ｎ、Ｓ、Ｓｅ及び／又はＰである。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２０】
好ましくは、第２の（半）金属含有化合物は、（半）金属含有化合物の総モル量に対して、１〜３０モル％、より好ましくは２〜１５モル％で存在する。この場合、（半）金属でドープされた無機層、例えばアルミニウムでドープされた酸化亜鉛、スズでドープされた酸化インジウム又はアンチモンでドープされた酸化スズを利用できる。代わりに、ハロゲンでドープされた無機層を得るために、（半）金属含有化合物に加えて、ハロゲン及び（半）金属を含有する化合物又はハロゲン含有化合物を、（半）金属含有化合物及びハロゲン含有化合物の総モル量に対して、好ましくは１〜３０モル％の量、より好ましくは２〜１５モル％の量で使用することが可能である。このようなハロゲン含有化合物の例としては、塩素ガス、フッ化アンモニウム又は四塩化スズが挙げられる。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２５】
好ましくは、セレン含有化合物は、少なくとも２個のセレン原子、より好ましくは２個のセレン原子を含有する。セレン含有化合物中のセレン原子は、上述したように、互いに、官能基の部分と独立している。セレノールが好ましいが、ジセレノールがより好ましい。好ましくは、２つのセレノール基は、芳香族系、例えばベンゼンと直接に結合されるか、又はメチレン基などのリンカーを介して結合する。以下、２個のセレン原子を含有するセレン含有化合物の好ましい例の一部が挙げられる。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３４】
好ましくは、本発明によるプロセスは、気体状態の（半）金属含有化合物及びセレン含有化合物を、基板に対して移動される別個のオリフィスに通過させることにより行われる。これは、基板が移動され、オリフィスが不動のままであること、又は基板が不動のままであり、オリフィスが移動されること、又は、基板及びオリフィスの両方が移動されることを意味する。移動の速度は、好ましくは０．０１〜１０ｍ／ｓ、より好ましくは０．０２〜１ｍ／ｓ、特に０．０５〜０．３ｍ／ｓである。オリフィスは、（半）金属含有化合物及びセレン含有化合物が上述したようなプロセスの順番で基板の表面に達するように設けられる。好ましくは、（半）金属を含有するより厚い層を作り上げるために、表面に向いて（半）金属含有化合物を通過させる少なくとも２つのオリフィスが存在する。（半）金属含有化合物の分解は、好ましくは、分解材料（例えば、水）が基板の表面に向いて通過されるオリフィスにより行われる。気相中の反応を避けるために、不活性ガス（例えば、窒素又はアルゴン）が基板の表面に向いて通過されるオリフィスを設置することが好ましい。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３７】
本発明によるプロセスは、水及び酸素のような小分子に対して低い透過性並びに高可撓性を有する積層品を産出する。したがって、本発明は、無機層及びセレン含有の有機層を含む積層品にも関する。小分子に対する透過性のよい測定は、水蒸気透過速度（water vapor transmission rate）（ＷＶＴＲ）である。好ましくは、積層品の上に大量のカルシウムドットを蒸発させ、該カルシウムドット上にもう１つの積層品を堆積することにより測定する。その後、暖かい湿気、例えば３０〜１００℃及び３０〜９０％の相対湿度、好ましくは６０〜８５℃及び７０〜９０％の相対湿度、例えば６０℃及び９０％の相対湿度又は８５℃及び８５％の相対湿度に、これらの見本を曝す。通常少なくとも１００時間、好ましくは少なくとも２００時間、特に少なくとも３００時間曝す。一般的には、暴露時間は１０００時間を超えない。透明になったカルシウムドット数は、Ｐａｅｔｚｏｌｄらにより開示されるように（Ｒｅｖｉｅｗ ｏｆ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ ７４ （２００３） ５１４７−５１５０）ＷＶＴＲを計算することに使用される。一般的には、ＷＶＴＲが１０−２ｇ／ｍ２ｄ、好ましくは１０−４ｇ／ｍ２ｄ、より好ましくは１０−５ｇ／ｍ２ｄ、特に１０−６ｇ／ｍ２ｄより小さい場合、小分子に対して低い透過性を有する積層品と見なされる。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３９】
無機層は、好ましくは０．４〜１５ｎｍ、より好ましくは０．５〜５ｎｍ、特に０．６〜３ｎｍの厚さを有する。セレン含有の有機層は、好ましくは０．１〜１０ｎｍ、０．２〜５ｎｍ、特に０．３〜３ｎｍ、例えば０．４〜１ｎｍの厚さを有する。典型的には、層の厚さは、好ましくはＸ線源としてのシンクロトロンを用いて、Ｘ線回折、例えば広角Ｘ線回折（ＷＡＸＤ）により測定される。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４１】
無機酸化物の例には、アルカリ土類金属酸化物、例えばＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ；主族金属（main group metal）酸化物、例えばＡｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、Ｇａ２Ｏ３、ＧｅＯ２、Ｉｎ２Ｏ３、ＳｎＯ２、Ｔｌ２Ｏ、ＰｂＯ、ＰｂＯ２、Ｂｉ２Ｏ３；遷移金属酸化物、例えばＳｃ２Ｏ３、ＴｉＯ２、Ｖ２Ｏ５、ＣｒＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、ＭｎＯ、Ｍｎ２Ｏ３、ＦｅＯ、Ｆｅ３Ｏ４、Ｆｅ２Ｏ３、ＣｏＯ、Ｃｏ２Ｏ３、ＮｉＯ、Ｎｉ２Ｏ３、Ｃｕ２Ｏ、ＣｕＯ、ＺｎＯ、Ｙ２Ｏ３、ＺｒＯ２、Ｎｂ２Ｏ５、ＭｏＯ、ＭｏＯ２、ＲｕＯ２、Ｒｈ２Ｏ、ＰｄＯ、Ａｇ２Ｏ、ＣｄＯ、ＨｆＯ２、Ｔａ２Ｏ５、ＷＯ３、ＲｅＯ３、ＯｓＯ４、ＩｒＯ２、ＰｔＯ２、ＡｕＯ、Ｈｇ２Ｏ；ランタノイド酸化物、例えばＬａ２Ｏ３、Ｃｅ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ２Ｏ３、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ２Ｏ３、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３が含まれる。好ましくは、Ｂ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、Ｌａ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、ＺｎＯ、ＺｒＯ２であり、特にＡｌ２Ｏ３である。しばしば、本発明による薄い層中の酸化物は、ある程度水和される。それにもかかわらず、これらの水和物は、本発明において上記の式で表される酸化物と見なされる。代わりに、例えば、酸化物Ａｌ２Ｏ３は、より一般的な式ＡｌＯｘ（ＯＨ）ｙ（式中、０≦ｘ≦１．５；０≦ｙ≦３、かつ、２ｘ＋ｙ＝３であり、好ましくは１≦ｘ≦１．５；０≦ｙ≦１、かつ、２ｘ＋ｙ＝３である）で表すことができる。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４３】
好ましくは、積層品は、少なくとも２つの無機層を含み、その間にセレン含有の有機層を有する。より好ましくは、積層品は、少なくとも３０層の無機層及び少なくとも３０層の有機層、さらにより好ましくは少なくとも１００層の無機層及び少なくとも１００層の有機層、特に少なくとも２００層の無機層及び少なくとも２００層の有機層を、交互に含む。好ましくは、積層品は、１０００層以下の無機層及び１０００層以下の有機層を含む。「交互に」という用語は、それぞれの２つの無機層は、有機層により分離されていることを意味する。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４６】
典型的には、本発明によるバリアフィルムは基板を含む。基板は任意の固体材料であり得る。これらには、例えば、金属、半金属、酸化物、窒化物及びポリマーが含まれる。また、基板は異なる材料の混合物であることが可能である。金属の例としては、アルミニウム、スチール、亜鉛及び銅が挙げられる。半金属の例としては、シリコン、ゲルマニウム及びヒ化ガリウムが挙げられる。酸化物の例としては、二酸化ケイ素、二酸化チタン及び酸化亜鉛が挙げられる。窒化物の例としては、窒化シリコン、窒化アルミニウム、窒化チタン及び窒化ガリウムが挙げられる。ポリマーが好ましい。ポリマーには、ポリエステル、例えばポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）又はポリエチレンナフタレン−ジカルボン酸（ＰＥＮ）；ポリイミド；ポリアクリレート、例えばポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）；ポリアクリルアミド；ポリカーボネート、例えばポリ（ビスフェノールＡカーボネート）；ポリビニルアルコール及びその誘導体、例えばポリ酢酸ビニル又はポリビニルブチラール；ポリ塩化ビニル；ポリオレフィン、例えばポリエチレン（ＰＥ）又はポリプロピレン（ＰＰ）；ポリシクロオレフィン、例えばポリノルボルネン；ポリエーテルサルホン；ポリアミド、例えばポリカプロラクタム又はポリ（ヘキサメチレンアジピンアミド）；セルロース誘導体、例えばヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、メチルセルロース、メチルヒドロキシルプロピルセルロース又はニトロセルロース；ポリウレタン；エポキシ樹脂；メラミンホルムアルデヒド樹脂；フェノールホルムアルデヒド樹脂が含まれる。ポリマーは、ポリ（エチレン−コ−ノルボルネン）又はポリ（エチレン−コ−酢酸ビニル）などのコポリマーを含む。ポリエステル及びポリシクロオレフィンが好ましい。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４９】
しばしば、積層品を配置する前に基板上に平坦化層を作る材料を堆積することにより、平坦化層が製造される。有機ポリマーの場合、モノマーを含む液体を、基板上に流延し、その後、例えば加熱又はＵＶ開始（UV initiation）により硬化させる。ＵＶ開始が好ましいが、より好ましくは、モノマーを含む液体は、硬化助剤、例えば官能化ベンゾフェノンをさらに含む。好ましくは、モノマーを含む液体は、硬化後に架橋した有機ポリマーが得られるような、単官能性モノマー及び二官能性モノマーの混合物を含む。セラミックを含む平坦化層は、通常、材料を基板上にスパッタすることにより得られる。有機−無機ハイブリッド材料を含む平坦化層は、有機−無機前駆体を含む溶液を基板上に流延して、例えば加熱により溶媒を蒸発し、有機−無機前駆体を濃縮することにより得ることができる。このプロセスは、しばしば、ゾル−ゲル法と称される。有機−無機前駆体の例としては、アルキル−トリアルコキシシランが挙げられる。好ましくは、前駆体は、ＵＶで硬化可能な側基、例えばアクリレートで官能化される。このようにして、有機−無機ハイブリッド材料を架橋することができる。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５３】
さらに、本発明は、カプセル化、パッケージング又は不動態化における、本発明によるバリアフィルムの使用に関する。水又は酸素のような小分子に敏感である任意の製品、例えば食品、医薬品、反応性化学品、電池、又は好ましくは電子デバイスは、本発明によるバリアフィルムでカプセル化、パック又は不動態化することができる。電子デバイスの例としては、特に電子デバイス中の活物質が有機分子である場合、電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）、太陽電池、発光ダイオード、センサー、またはコンデンサーが挙げられる。本発明によるバリアフィルムは、さらに、電気絶縁体として、例えばトランジスタ中の絶縁体として使用することができる。