【事件の表示】
　平成１０年特許願第２０６２７０号「ロボット装置および処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　５月２１日出願公開、特開平１１−１３５６００〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成１０年７月２２日（優先権主張平成９年８月２５日）の特許出願であって、同１７年１２月２８日付で拒絶の理由が通知され、その指定期間内の同１８年３月９日に意見書と共に明細書について手続補正がされたが、同１８年５月１７日付で拒絶をすべき旨の査定がされ、同１８年６月２２日に本件審判の請求がされ、その後、同１８年７月２４日に明細書について再度手続補正（以下「本件補正」という。）がされたものである。
　
第２　本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
［理由］
１　補正の内容の概要
　本件補正は、特許請求の範囲について、請求項の一部を削除し、請求項１を補正をすると共に、それに関連して発明の詳細な説明の一部について補正をするものであって、特許請求の範囲の請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
　
（１）補正前
　ワークを受け渡すためのロボット装置において、
　トランスファチャンバの底壁に気密に設けられた取付体と、
　この取付体に回転自在に設けられたアーム体と、
　このアーム体を回転駆動する駆動手段と、
　上記取付体に設けられ上記アーム体の回転中心部に位置した固定プーリと、
　上記アーム体の両端部に回転自在に設けられた一対の回転プーリと、
　各回転プーリに一端部が取り付けられこの回転プーリとともに回転して上記ワークを搬送する一対のフィンガと、
　上記固定プーリと上記回転プーリとにわたって設けられ上記駆動手段によって上記アーム体を回転させたときに上記固定プーリと回転プーリとの外径寸法比に応じて上記一対の回転プーリを回転させる動力伝達手段を具備し、
　上記アーム体は、上記一対の回転プーリと固定プーリとを収容した収容空間を有する中空状に形成されていて、
　上記駆動手段は駆動源と、一端がこの駆動源に連結され他端が上記アーム体に連結された駆動軸を有し、
　上記駆動軸には一端が上記アーム体の上記収容空間に連通し他端がこの駆動軸の外周面に開放した通孔が形成されていて、
　この駆動軸の上記通孔の他端が開放した外周面には上記通孔を介して上記収容空間内を減圧する吸引手段が接続され、
　上記アーム体にはその収容空間に外気を導入する導入孔が設けられていることを特徴とするロボット装置。
　
（２）補正後
　ワークを受け渡すためのロボット装置において、
　トランスファチャンバの底壁に気密に設けられた取付体と、
　この取付体に回転自在に設けられたアーム体と、
　このアーム体を回転駆動する駆動手段と、
　上記取付体に設けられ上記アーム体の回転中心部に位置した固定プーリと、
　上記アーム体の両端部に回転自在に設けられた一対の回転プーリと、
　各回転プーリに一端部が取り付けられこの回転プーリとともに回転して上記ワークを搬送する一対のフィンガと、
　上記固定プーリと上記回転プーリとにわたって設けられ上記駆動手段によって上記アーム体を回転させたときに上記固定プーリと回転プーリとの外径寸法比に応じて上記一対の回転プーリを回転させる動力伝達手段を具備し、
　上記アーム体は、上記一対の回転プーリと固定プーリとを収容した収容空間を有する中空状に形成されていて、
　上記駆動手段は駆動源と、一端がこの駆動源に連結され他端が上記アーム体に連結された駆動軸を有し、
　上記駆動軸には一端が上記アーム体の上記収容空間に連通し他端がこの駆動軸の外周面に開放した通孔が形成されていて、
　この駆動軸の上記通孔の他端が開放した外周面には上記通孔を介して上記収容空間内を減圧する吸引手段が接続され、
　上記アーム体には
上記吸引手段による上記収容空間の減圧にともない上記
　
２　補正の適否　　　
　本件補正のうち特許請求の範囲の請求項１についてする補正は、導入孔について「上記吸引手段による上記収容空間の減圧にともない」という事項を付加するものであり特許請求の範囲の減縮を目的とすることが明らかであるので、さらに、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか否かについて検討する。
　
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、上記１（２）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの「ロボット装置」であると認める。
　
（２）引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願の優先権主張日前に日本国内において頒布された刊行物である特開平７−１２２６１８号公報（以下「引用例１」という。）及び特開平４−１２９９１５号公報（以下「引用例２」という。）の記載内容は以下のとおりである。
　
ア　引用例１
　引用例１には以下の事項が記載されている。
「【００１８】
【実施例】図１及び図２は、夫々本発明の実施例の全体構成を示す一部破断斜視図及び平面図である。図中２は搬送室であり、この搬送室２は、直方体形状に形成された気密構造のチャンバよりなる。この搬送室２には、一方の長辺に沿って２個のウエハの搬出入口３１、３１が側壁に形成されており、ウエハカセットＣが載置される気密構造の２個のカセット室３Ａ、３Ｂが夫々前記搬出入口３１、３１を介して搬送室２に気密に接続されている。」
　
「【００２２】前記搬送室２内には、前記カセット室３Ａ、３Ｂ及び真空処理室４Ａ〜４Ｃ間でウエハＷを搬送するための搬送手段５が設けられている。前記搬送手段５は、各々独立して水平方向に回動される３本の搬送アーム５１、５２、５３を備えた多関節アームよりなり、下段の搬送アーム５１は、図４に示すように搬送室の下部に設けられた駆動部６より伸びる回動軸６１に取り付けられている。搬送室２の底面部には、搬送アーム５１の取り付け用の穴が形成されており、この穴を覆うようにフランジ部６２が前記底面部に対して着脱自在に設けられている。
【００２３】前記フランジ部６２の中央部には下方側に伸びる円筒部６３が形成され、この円筒部６３の内壁と回動軸６１との間には、軸受け部６４が介装されている。また前記フランジ部６２の下方側には、気密構造の円筒状のケース部６５が取り付けられ、ケース部６５内の空間は大気側と気密に区画されている。
【００２４】前記駆動部６は、前記３本の搬送アーム５１〜５３に対応して３個の駆動モータを備えており、また前記回動軸６１の内部には、上段及び中段の搬送アーム５２、５３を夫々独立して駆動するための回動軸（図示せず）が設けられている。そして上段及び中段の搬送アーム５２、５３の間には、上段の搬送アーム５３を回動させる回動軸５３ａ及び軸受け部５３ｂが設けられると共に、中段及び下段の搬送アーム５１、５２の間には、上段の搬送アーム５３用の回動軸（図示せず）を内蔵した、中段の搬送アーム５２を回動させる回動軸５２ａ及び軸受け部５２ｂが設けられている。中段及び下段の搬送アーム５１、５２の内部には、駆動部６の駆動により上段及び中段の搬送アーム５２、５３が独立して駆動されるようにベルトやプーリなどの伝達機構が組み込まれていると共に、関節部の軸受け部５２ｂ、５３ｂで発生したパーティクルを吸引するための吸引路（点線で示す）５４が形成され、この吸引路５４は、前記回動軸６１内を通ってケース部６５の内部空間に開口している。
【００２５】前記ケース部６５には、排気管３６が接続され、この排気管３６は、バルブＶ２を介して前記真空ポンプ３５例えばターボ分子ポンプに接続されている。従ってバルブＶ２を開くと、ケース部６５の内部空間が真空排気され、これにより各軸受け部６４、５２ｂ、５３ｂで発生したパーティクルがケース部６５の内部空間を介して排気管３６内に排出されることとなる。更に前記軸受け部６４と搬送室２内との間にはラビリンス（迷路）シールが形成されている。即ち回動軸６４と円筒部６３とは、これらの間の間隙が入り込んだ形状となるように構成されている。」
　
「【００２８】また前記搬送室２内には、図１及び図２に示すように不活性ガス例えば窒素ガスを供給するための不活性ガス供給管２３が前記下段の搬送アーム５１の回動中心付近の上方位置まで延び出して配管されており、この不活性ガス供給管２３の先端部には，例えば焼結金属よりなる不活性ガス供給部２４が形成されている。前記不活性ガス供給管２３の基端側は例えば窒素ガス供給源２５に接続されている。
【００２９】次に上述実施例の作用について述べる。先ずゲートバルブＧを閉じて搬送室２及び真空処理室４Ａ〜４Ｃ内を夫々真空排気する。搬送室２内の真空排気初期時（粗引き時）には、バルブＶ２を開いて真空ポンプ３５により排気管３６を介してケース部６５内を真空排気すると共に、不活性ガス供給管２３より不活性ガス供給部２４を介して不活性ガス例えば窒素ガスを搬送室２内に供給する。これにより搬送室２内の気体が排気管２１からの経路に加えて、回転軸６１の軸受け部６４→ケース部６５→排気管３６の経路、及び搬送手段５の関節部の軸受け部５２ｂ、５３ｂ→吸引路５４→ケース部６５→排気管３６の経路で排気される。そして搬送室２内がある程度減圧された後バルブＶ２を閉じ、その後は排気管２１を通じて例えば５０〜９００ｍＴｏｒｒの真空度まで減圧する。」
　
「【００３３】そして搬送手段５が駆動されている間はバルブＶ２を開いてケース部６５内を真空排気して既述のように軸受け部６４、５２ｂ、５３ｂより吸引すると共に不活性ガス供給部２４より例えば窒素ガスを搬送室２内に供給する。この不活性ガス供給部２４は搬送手段５の回転軸６１の上方付近にあるため、前記窒素ガスは主として軸受け部６４、５２ｂ、５３ｂより既述の経路でケース部６５内に流れ込む。」
　
　また、【図１】及び【図２】を参照すると、「上段の搬送アーム５３は、フォーク状先端部を有すること」が看取できる。
　
　引用例１記載の事項を技術常識を考慮しながら補正発明に照らして整理すると引用例１には以下の発明が記載されていると認める。
　
「ウエハＷを搬送するための搬送手段５において、
　搬送室２の底壁に気密に設けられたフランジ部６２と円筒部６３とから成る部材と、
　この部材に回転自在に設けられた下段の搬送アーム５１と、
　この下段の搬送アーム５１を回転駆動する駆動部６と、
　中段の搬送アーム５２の端部に回転自在に設けられて上記ウエハＷを搬送するフォーク状先端部を有する上段の搬送アーム５３と、
　中段及び下段の搬送アーム５１、５２は、ベルトやプーリなどの伝達機構を収容した収容空間を有する中空状に形成されていて、
　上記駆動部６は駆動モータと、一端がこの駆動モータに連結され他端が上記下段の搬送アーム５１に連結された回動軸６１を有し、
　上記回動軸６１には一端が上記中段及び下段の搬送アーム５１、５２の上記収容空間に連通し他端がこの回動軸６１の外周面に開放した通孔が形成されていて、
　この回動軸６１の上記通孔の他端が開放した外周面には上記通孔を介して上記収容空間内を減圧する真空ポンプ３５が接続されているウエハＷを搬送するための搬送手段。」
　
イ　引用例２
（ア）第１頁左欄第１９〜２０行
「この発明は、例えばディスク枚葉処理装置に好適な搬送装置に関する。」
　
（イ）第２頁左下欄第１６行〜第３頁左上欄第１８行
「以下、この発明による搬送装置の一実施例を第１図ないし第３図を参照して詳細に説明する。
　即ち、この実施例による搬送装置５は、まず、円板状のカムであって固定された円板体５１を有し、この円板体５１の外周面はこれに接触しつつ回転する一対の第１の回転体５２，５２′が対向して配置構成されている。
　次に、その第１の回転体５２，５２′の回転駆動力を受けるように、この第１の回転体５２，５２′の外周面に接触しつつ回転する一対の第２の回転体５３，５３′が構成され、この一対の第２の回転体５３，５３′の各回転軸５３ａ，５３ａ′には、夫々互いに高さを異にした受皿５４，５４′が固定して取付けられている。
　更に、前記第１及び第２の各回転体５２，５２′、５３，５３′は、夫々の各回転軸５２ａ，５２ａ′、５３ａ，５３ａ′が支持アーム５５によって夫々回転自在に連結されている。
　この支持アーム５５の中央部は、モータからなる駆動源５６に固定され、矢印Ｘ方向への回転駆動力を受けるとすれば、この支持アーム５５に軸支された第１の回転体５２，５２′は円板体５１の外周面に、また第２の回転体５３，５３′は第１の回転体５２，５２′の外周面に夫々接触しつつ矢印Ｘ方向に回転する。
　この結果、第２の回転体５３，５３′の軸５３ａ，５３ａ′に夫々固定された各受皿５４，５４′は、第２図に示す状態から円板体５１を挟んで互いに反対方向（受皿５４はＸ方向、受皿５４′はＸ′方向）に移動し、第３図に示すように、前記受皿５４は前記円板体５１を挟んで互いに反対方向に相対移動して基板（２）を搬送する。
　各受皿５４，５４′は一対の第２の回転体５３，５３′に互いに取付け高さを異にして取付けられているから、次に駆動源５６の回転方向を矢印Ｘとは反対方向に回転させることによって、互いに衝突することなく相対的に対向移動できる。
　このように、駆動源５６によって、第１図及び第２図に示す矢印Ｘ方向及びその逆方向に各回転体（５２〜５３′）を反復往復運動させることによって、受皿５４は、円板体５１を中心に交互に直線的に対向移動するので、搬送に伴う往復移動軌跡は短くなり、装置の小形化が可能となる。」
　
（ウ）第１図ないし第３図
「固定された円板体５１は、支持アーム５５の回転中心部に位置していること」が看取できる。
　
　引用例２記載の上記各事項を整理すると引用例２には以下の事項が記載されていると認める。
　　
「基板２の搬送装置において、
  駆動源５６によって回転駆動される支持アーム５５の回転中心部に位置する固定された円板体５１と、
　上記円板体５１の外周面に接触しつつ回転するように上記支持アーム５５に対向して回転自在に設けられた一対の第１の回転体５２，５２′と、
　上記第１の回転体５２，５２′の外周面に接触しつつ回転するように上記支持アーム５５の両端部に回転自在に設けられた一対の第２の回転体５３，５３′と、
　上記各第２の回転体５３，５３′に一端部が取り付けられこの第２の回転体５３，５３′とともに回転して上記基板２を搬送する一対の受皿５４，５４′とを具備すること。」
　
（３）対比
　補正発明と引用例１記載の発明とを対比すると以下のとおりである。
　引用例１記載の発明の「ウエハＷ」は補正発明の「ワーク」に相当し、以下同様に、「搬送室２」は「トランスファチャンバ」に、「フランジ部６２と円筒部６３とから成る部材」は「取付体」に、「駆動部６」は「駆動手段」に、「駆動モータ」は「駆動源」に、「回動軸６１」は「駆動軸」に、「真空ポンプ３５」は「吸引手段」にそれぞれ相当する。
　また、引用例１記載の発明の「中段及び下段の搬送アーム５１、５２」は、取付体に回転自在に設けられ、駆動手段により回転駆動され、ベルトやプーリなどの伝達機構、すなわち、動力伝達機構を収容した収容空間を有する中空状に形成されているアーム体であるという限りで、補正発明の「アーム体」と共通している。
　そして、引用例１記載の発明の「中段の搬送アーム５２の端部に回転自在に設けられて上記ウエハＷを搬送するフォーク状先端部を有する上段の搬送アーム５３」は、ア−ム体の端部に回転自在に設けられてワークを搬送するフィンガであるという限りで、補正発明の「フィンガ」と共通している。
　また、引用例１記載の発明は「ウエハＷを搬送するための搬送手段」として表現されているが、補正発明と同様「ワークを受け渡すためのロボット装置」としても表現できるものである。
　
　したがって、補正発明と引用例１記載の発明とは、以下の点で一致しているということができる。
「ワークを受け渡すためのロボット装置において、
　トランスファチャンバの底壁に気密に設けられた取付体と、
　この取付体に回転自在に設けられたアーム体と、
　このアーム体を回転駆動する駆動手段と、
　上記アーム体の端部に回転自在に設けられて上記ワークを搬送するフィンガと、
　上記アーム体は、動力伝達機構を収容した収容空間を有する中空状に形成されていて、
　上記駆動手段は駆動源と、一端がこの駆動源に連結され他端が上記アーム体に連結された駆動軸を有し、
　上記駆動軸には一端が上記アーム体の上記収容空間に連通し他端がこの駆動軸の外周面に開放した通孔が形成されていて、
　この駆動軸の上記通孔の他端が開放した外周面には上記通孔を介して上記収容空間内を減圧する吸引手段が接続されているロボット装置。」
　
　そして、補正発明と引用例１記載の発明とは、以下の２点で相違している。
ア　相違点１     
　補正発明では、取付体に設けられアーム体の回転中心部に位置した固定プーリと、上記アーム体の両端部に回転自在に設けられた一対の回転プーリと、各回転プーリに一端部が取り付けられこの回転プーリとともに回転して上記ワークを搬送する一対のフィンガと、上記固定プーリと上記回転プーリとにわたって設けられ駆動手段によって上記アーム体を回転させたときに上記固定プーリと回転プーリとの外径寸法比に応じて上記一対の回転プーリを回転させる動力伝達手段を具備しているのに対して、引用例１記載の発明では、そのようになっていない点。
　
イ　相違点２
　補正発明では、アーム体には吸引手段による収容空間の減圧にともない上記収容空間に外気を導入する導入孔が設けられているのに対して、引用例１記載の発明では、そのような導入孔が設けられているのかどうか明らかでない点。
　
（４）相違点の検討
ア　相違点１について
　上記（２）のイ末尾で認定したように引用例２には以下の事項が記載されている。
「基板２の搬送装置において、
  駆動源５６によって回転駆動される支持アーム５５の回転中心部に位置する固定された円板体５１と、
　上記円板体５１の外周面に接触しつつ回転するように上記支持アーム５５に対向して回転自在に設けられた一対の第１の回転体５２，５２′と、
　上記第１の回転体５２，５２′の外周面に接触しつつ回転するように上記支持アーム５５の両端部に回転自在に設けられた一対の第２の回転体５３，５３′と、
　上記各第２の回転体５３，５３′に一端部が取り付けられこの第２の回転体５３，５３′とともに回転して上記基板２を搬送する一対の受皿５４，５４′とを具備すること。」
　上記引用例２記載の事項における「支持アーム５５」、「固定された円板体５１」及び「第２の回転体５３，５３′」は、それぞれ補正発明の「アーム体」、「固定プーリ」及び「回転プーリ」に対応することが明らかであり、引用例２記載の事項における「第１の回転体５２，５２′」は、固定プーリと回転プーリとにわたって設けられ駆動手段によってアーム体を回転させたときに上記固定プーリと回転プーリとの外径寸法比に応じて上記一対の回転プーリを回転させる動力伝達手段であるということができるものである。
　そして、引用例２記載の事項及び引用例１記載の発明はいずれもワークの搬送装置に関するものであり、引用例２記載の事項を引用例１記載の発明に適用してフィンガ及びその駆動機構を補正発明のように構成することに格別の困難性はない。
　
イ　相違点２について
　上記（２）のアに摘記したように引用例１の段落【００２９】には「・・・・。搬送室２内の真空排気初期時（粗引き時）には、バルブＶ２を開いて真空ポンプ３５により排気管３６を介してケース部６５内を真空排気すると共に、不活性ガス供給管２３より不活性ガス供給部２４を介して不活性ガス例えば窒素ガスを搬送室２内に供給する。これにより搬送室２内の気体が排気管２１からの経路に加えて、回転軸６１の軸受け部６４→ケース部６５→排気管３６の経路、及び搬送手段５の関節部の軸受け部５２ｂ、５３ｂ→吸引路５４→ケース部６５→排気管３６の経路で排気される。・・・。」と、また、【００３３】には「そして搬送手段５が駆動されている間はバルブＶ２を開いてケース部６５内を真空排気して既述のように軸受け部６４、５２ｂ、５３ｂより吸引すると共に不活性ガス供給部２４より例えば窒素ガスを搬送室２内に供給する。この不活性ガス供給部２４は搬送手段５の回転軸６１の上方付近にあるため、前記窒素ガスは主として軸受け部６４、５２ｂ、５３ｂより既述の経路でケース部６５内に流れ込む。」と記載されている。
　これらの記載によると、引用例１記載の発明においても、そのための具体的構成は明確ではないものの、アーム体には吸引手段による収容空間の減圧にともない上記収容空間にトランスファチャンバ内の気体、すなわち、外気を導入するための手段が軸受け５２ｂ、５３ｂの近傍に備えられているとみるのが相当である。
　したがって、この点は、実質的相違点ではない。
　仮に、引用例１記載の発明が、導入孔が設けられているものでないとしても、クリーンルームのような清浄な環境に設ける産業用ロボットなどのダスト放出防止が望まれる装置において、吸引手段による空間の減圧にともない当該空間に装置外の気体を導入する導入孔を設けることは、例えば、特開平２−２２５８２２号公報に示されているように従来周知である。
　そうしてみると、この従来周知の事項を引用例１記載の発明に適用して補正発明のように構成することに格別の困難性はない。
　
ウ　補正発明の効果について
　補正発明によってもたらされる効果も、引用例１記載の発明、引用例２記載の事項及び上記従来周知の事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　
エ　したがって、補正発明は、引用例１記載の発明、引用例２記載の事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
３　むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年法律第５５号による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する特許法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから上記改正前の特許法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。       
　
第３　本件出願の発明について
１　本件出願の発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項に係る発明は、平成１８年３月９日付手続補正書により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項１０に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本件出願の発明」という。）は、上記第２の１（１）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの「ロボット装置」である。
　
２　引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物及びその記載内容は、上記第２の２（２）に示したとおりである。
　
３　対比・検討
　本件出願の発明は、上記第２の２で検討した補正発明から導入孔について「上記吸引手段による上記収容空間の減圧にともない」という限定を削除したものである。
　そうすると、本件出願の発明を構成する事項の全てを含み、さらに他の限定を付加する補正発明が上記第２の２（４）エで示したとおり、引用例１記載の発明、引用例２記載の事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件出願の発明も同様の理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび
　したがって、本件出願の発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、本件出願の請求項２ないし請求項１０に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきであるから、結論のとおり審決する。