【事件の表示】
　特願２００１−５００３７７「紫外レーザ装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年１２月　７日国際公開，ＷＯ００／７４１８３〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は，成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯
　本願は，平成１２年６月１日に国際特許出願（優先権主張日：平成１１年６月１日）したものであって，平成１８年１２月１日付けで拒絶査定がなされたところ，これに対し，同年１２月１５日付けで拒絶査定不服審判の請求がなされた後，平成１９年１月１５日付けで手続補正（以下「本件補正」という。）がなされたものである。
　
２　本件補正の却下の決定
（１）結論
　 本件補正を却下する。
　
（２）理由
　ア　補正の内容
　本件補正は，本件補正前（出願当初のもの）の
「【請求項４】レーザ光（１１）を透過させる透光部（４７Ａ〜４７Ｃ）と，
前記透光部（４７Ａ〜４７Ｃ）の周囲にあって不要レーザ光（１１Ａ）を光路から除去し，レーザ光（１１）を所定形状に整形する遮光部（４９Ａ〜４９Ｃ）とを有してなる遮光素子（３７Ａ〜３７Ｃ）を備える狭帯域化紫外レーザ装置において，
  前記遮光素子（３７Ａ〜３７Ｃ）の近傍に不活性ガスを吹きつける，吹付手段（４０）を備えることを特徴とする狭帯域化紫外レーザ装置。」
を，
「【請求項
１
開口からなる
　前記遮光素子（３７Ａ〜３７Ｃ）の近傍に
，前記透光部（４７Ａ〜４７Ｃ）に
に補正する内容を含むものである。
　
　イ　補正の目的
　上記補正の内容は，補正前の請求項４の「透光部」が開口からなるものであることを限定し，不活性ガスを吹きつける部位が前記透光部であることを限定しようとするものであって，平成１８年改正前特許法第１７条の２第４項第２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当すると認められる。
　
　ウ　独立特許要件
　本件補正後の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるかについて検討する。
　
（ア）刊行物の記載事項
　ａ　原査定の拒絶理由に引用した特開平４−３１４３７４号公報（以下「刊行物１」という。）には，以下の記載がある。
（ａ）「【０００３】図７は，従来の狭帯域レーザ装置の一例を示したものである。本レーザ装置は，ＫｒＦ等のレーザ媒質が封入してあるレーザチャンバ１０の両端部に窓１２，１４が設けてあり，レーザチャンバ１０内で発生したレーザ光１６をレーザチャンバ１０の外部に出射できるようにしてある。そして，出力側となる窓１２の前方には，共振器を構成しているフロントミラー１８が設けてある。
【０００４】また，他方の窓１４の後方（図の右側）には，波長選択素子としてのエタロン２０，２２が配置してあり，エタロン２２の後方に共振器を構成しているリアミラー２４が設けてある。
【０００５】このように構成した図７の狭帯域レーザ装置は，一対のエタロン２０，２２によってレーザ光１６の狭帯域化を図っているため，放電幅を制限する必要がなく，狭帯域化の効率が高い利点がある。しかし，エタロン２０，２２には，レーザチャンバ１０から出射されレーザ光１６が直接入射するため，入射光のエネルギー密度が高く，エタロン２０，２２がレーザ光１６によって加熱され，波長選択特性の熱的安定性が著しく悪く，しかもエタロン２０，２２の寿命が短くなる。また，２つのエタロン２０，２２の選択波長を一致させる複雑な波長制御が必要で，波長および出力の制御速度が遅くなる。
【０００６】そこで，熱的に安定な回折格子を用い，図８に示したように，窓１４の後方にプリズム２６，２８と回折格子３０とをリトロー配置するとともに，窓１２，１４に隣接してアパーチャ３２，３４を配設した装置がある。この狭帯域レーザ装置は，回折格子３０が熱的に安定であって，しかも波長の制御には，回折格子３０の角度だけを調節すればよいため，波長制御および出力制御が非常に速く行える。」
（ｂ）「【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし，上記の回折格子３０を用いた狭帯域レーザ装置は，回折格子３０が入射するレーザ光１６のために加熱されて高温となり，この熱によって回折格子３０の反射面（表面）近傍の気体が温められて揺らぎ，レーザ光１６のビームプロフィルが揺らぐ。・・・
【００１３】
【課題を解決するための手段】発明者等は，上記のビームプロフィルのゆらぎの原因を究明するために種々の実験を行った。そして，各光学素子に気体を吹きつけたところ，プリズムとエタロンに気体を吹きつけても，ビームプロフィルの揺らぎに変化は見られなかったが，回折格子の表面に気体を吹きつけると，ビームプロフィルの揺らぎが小さくなった。
【００１４】これは，回折格子の表面がレーザ光を吸収して熱を発生し，表面近傍の気体の温度が上昇して気体の屈折率が変化するため，回折格子による選択波長が気体の温度の高いところだけ変化し，エタロンの選択波長と一致しなくなって，ビームプロフィルが波を打つ現象が現れると考えられる。そして，回折格子に発生した熱により，回折格子近傍の気体に自然対流が起こり，ビームプロフィルが揺らぐものと考えられる。
【００１５】本発明は，上記の知見に基づいてなされたもので，波長選択素子として回折格子を有する狭帯域レーザ装置において，前記回折格子の反射面に気体を流す気流発生手段を設けたことを特徴としている。・・・
【００１７】
【作用】上記の如く構成した本発明は，気流発生手段によって回折格子の反射面（表面）に，強制的に気体の流れを生じさせる。これにより，回折格子が冷却されるとともに，回折格子の表面付近の気体を強制的に移動させ，回折格子近傍の気体の温度上昇を防止する。従って，回折格子の反射面近傍の気体の熱分布の発生と自然対流による影響とが除去され，ビームプロフィルの揺らぎが小さくなって，安定したビームプロフィルを得られる。」
　
　ｂ　原査定の拒絶理由に引用した特開平５−３９０号公報（以下「刊行物２」という。）には，以下の記載がある。
「【０００２】
【従来の技術】従来，レーザ光をスリットにより整形して，対物レンズにより被加工物上に集光照射して加工を行なうレーザ加工装置として，例えば，電子材料１９７８年３月号  ４９−５３ページに報告されているものが知られている。しかし，これらのレーザ加工装置ではレーザ光を反射させるミラーと，レーザ光を任意の形状に整形するスリットと，整形されたレーザ光を被加工物上に集光投影する対物レンズ等を同一筐体内に収納し加工光学系を構成していた。即ち，ミラーによってスリット上に照射されたレーザ光の内，その開口部上のレーザ光のみを通過させ，開口部以外の部分に照射されたレーザ光はスリットを形成する部材で一部は反射させ，一部は吸収させてレーザ光を任意の形状に整形し，対物レンズによって被加工物上に集光投影し被加工物を加工せしめるといった手段をとっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしこの従来技術では，スリットの開口部以外の部分にレーザ光が照射され，スリットを形成する部材でレーザ光の一部が吸収されることにより，そこで発生する熱によってスリットが変形し，その開口寸法が変化するといった問題点があった。また，スリットで発生した熱がミラーや対物レンズあるいは，それらの保持部などの，加工光学系を構成する他の部分に影響を与え，レーザ光の光軸を変化させるといった問題点もあった。そこで，スリットに放熱あるいは冷却する手段を設けることにより，スリットが熱のために変形するのを防止し，また，スリットと，加工光学系を構成するミラーや対物レンズなどの他の部分とを熱的に分離して構成することによって，加工光学系を構成する他の部分への熱影響を最小限にとどめ，高精度な加工が可能となる。」，
「【００１４】次に図４により，冷媒を吹き付けて冷却する方法について説明する。これはレーザ照射面２０２及びスリット板２０４，２０５の上側に吹き付けノズル４０２，下側に排気ノズル４０３を配置したもので，吹付ノズル４０２から，例えば，圧縮空気をレーザ照射部２０２に向けて吹き付け，矩形開口部２０３を通して排気ノズル４０３から排気してレーザ照射面２０２およびスリット４０１を冷却する。この場合の冷媒は，必要に応じて窒素，アルゴンあるいはヘリウムなどの不活性ガスを使うことができる。」
　
　ｃ　本願優先権主張日当時の技術水準を示すものとして，特開平２−２８８３８３号公報には，「規制部材１３のスリット１２は，レーザ励起部１１から出力されるレーザ光の・・・拡がり角を小さく規制する」（２頁右下欄下から８行〜同６行）との記載，同じく特開平４−１８７８３号公報には，「特にグレーティング３０を使用する・・・場合は，放電幅がグレーティング３０の線引方向に広がると，放電のビーム発散角が大きくなり，そのため狭帯域スペクトルの幅も広がってしまうことになる。そこで，グレーティング３０の線引方向に発振レーザ光のビーム径か変化しないようにアパーチャ（スリット）等により制限して，・・・」（３頁左上欄下から７行〜右上欄１行）との記載，同じく特開平６−１５２００５号公報には，「放電方向の垂直方向に対して垂直方向に発信を制限するスリットを配置し，このスリットによりビームの広がり角を制限して」（２頁第１欄２９行〜３２行）との記載がある。
　
（イ）引用発明
　上記（ア）ａ（ａ）によれば，刊行物１には，次の発明が記載されているものと認められる。
「ＫｒＦ等のレーザ媒質が封入してあるレーザチャンバ１０の両端部に窓１２，１４を設け，窓１２，１４に隣接してアパーチャ３２，３４を配設した狭帯域エキシマレーザ装置。」（以下「引用発明」という。）
　
（ウ）対比
　本願補正発明と引用発明とを対比する。
　前記（ア）ｃによれば，引用発明の「アパーチャ３２，３４」は，「不要レーザ光を光路から除去し，レーザ光を所定形状に整形する」ものと認められ，また，「レーザ光を透過させる開口からなる透光部」，「透光部の周囲にある遮光部」を有することは明らかであるから，本願補正発明の「レーザ光を透過させる開口からなる透光部と，前記透光部の周囲にあって不要レーザ光を光路から除去し，レーザ光を所定形状に整形する遮光部とを有してなる遮光素子」に相当する（なお，引用発明の「アパーチャ３２，３４」が「レーザ光を整形する」ものであることは，審判請求書の請求の理由を補正する平成１９年１月１５日付け手続補正書３頁２１行において，請求人が自認するところでもある。）。
　また，引用発明の「ＫｒＦ等のレーザ媒質」を用いた「エキシマレーザ装置」が，紫外レーザ装置であることは，技術常識であるから，引用発明の「狭帯域エキシマレーザ装置」は，本願補正発明の「狭帯域化紫外レーザ装置」に相当する。
　したがって，両者は，
　「レーザ光を透過させる開口からなる透光部と，前記透光部の周囲にあって不要レーザ光を光路から除去し，レーザ光を所定形状に整形する遮光部とを有してなる遮光素子を備える狭帯域化紫外レーザ装置」である点
において一致し，
　本願補正発明は，遮光素子の近傍に，透光部に不活性ガスを吹きつける吹付手段を備えるのに対して，引用発明は，この点の構成を備えない点（以下「相違点」という。）
で相違するものと認められる。
　
（ウ）判断
　前記（ア）ｂによれば，刊行物２には，レーザ光を任意の形状に整形するスリットを形成する部材がレーザ光の一部を吸収して発生する熱によってスリットが変形するとの問題があったところ，スリットを冷却する手段を設けることにより変形を防止すること（段落【０００２】【０００３】），及び，その具体的な手段として，スリット板の上側に吹き付けノズルを配置して不活性ガスを吹きつけ，矩形開口部を通して排気する技術が開示されている（段落【００１４】）ものと認められる。
　そうすると，引用発明においてレーザ光を所定形状に整形するアパーチャ３２，３４にあっても，レーザ光の一部を吸収して発生する熱によってアパーチャが変形するとの問題が生じ得ることは，当業者が容易に認識し得るものであって，引用発明において，アパーチャの変形を防止するために，刊行物２に開示された上記技術を適用して，アパーチャの近傍に，不活性ガスを吹きつける吹付手段を設け，アパーチャの開口を通して排気するようにすることは，当業者が容易に想到し得たものというべきである。
　そして，これにより，透光部に不活性ガスを吹きつける吹付手段を備えるとする，相違点に係る本願補正発明の構成を得ることになるから，引用発明において，相違点に係る本願補正発明の構成とすることは，刊行物２に開示された技術に基づいて当業者が容易になし得たものである。
　また，本願明細書（本件補正後のもの）によれば，本願補正発明は，遮光素子の透光部（開口部）に不活性ガスを吹きつけることにより，「遮光素子の透光部内に気体が滞留しなくなって，遮光部の内縁で熱せられた気体が常に新鮮な不活性ガスと入れ替わるので，気体の温度勾配が緩やかになり，透光部の屈折率勾配が小さくなる。従って，レーザ光が透光部を透過した際にレーザ光の波面が歪むということが少なくなり，レーザ光の高品位が保たれる。」（段落【００１２】）との効果を奏するものと認められるところ，前記アａ（ｂ）によれば，刊行物１には，気流発生手段によって強制的に気体の流れを生じさせることにより，回折格子の表面がレーザ光を吸収，発熱して生じる，気体の熱分布の発生による影響を除去することが開示されているから，引用発明において，アパーチャの近傍に，不活性ガスを吹きつける吹付手段を設け，アパーチャの開口を通して排気するようにすれば，遮光素子の透光部内に気体が滞留せず気体の温度勾配が緩やかになるとした，本願補正発明の上記効果を奏することも当業者が予測し得るものといえ，本願補正発明が，当業者の予測の域を超えるほどの格別顕著な効果を奏するものとはいえない。
　
（エ）　小括
　以上のとおりであるから，本願補正発明は，引用発明及び刊行物２開示の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって，特許法第２９条第２項の規定により，特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　したがって，本件補正は，平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから，同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３　本願発明について
（１）本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので，本願の請求項に係る発明は，出願当初の明細書及び図面の記載からみて，その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項１０に記載された事項によって特定されるものであるところ，請求項４に係る発明は，前記２（２）アにおいて，本件補正前のものとして示したとおりである。
　
（２）判断
　本願発明は，本願補正発明における，「透光部」が開口からなるものであること，不活性ガスを吹きつける場所が前記透光部であること，との限定を除いたものと認められる。
　しかるところ，上記２（２）ウで検討したとおり，当該限定のある本願補正発明が，引用発明及び刊行物２開示の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである以上，当該限定を除外した本願発明も，本願補正発明と同様の理由により，引用発明及び刊行物２開示の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび
　以上の検討によれば，本願発明は，刊行物１及び刊行物２にそれぞれ記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって，結論のとおり審決する。