(57)【要約】  本発明の実施形態によるゴルフクラブヘッド（１０、１０Ａ）は、金属製のヘッド本体（１）と、ヘッド本体の少なくとも一部を覆う被膜（２）とを備える。被膜は、反応性スパッタリング法により形成され、５ｎｍ以上２００ｎｍ以下の厚さを有するＳｉＯｘＮｙ膜、ＡｌＯｘＮｙ膜またはＳｉｘＮｙ膜（ｘおよびｙはそれぞれ非整数）である。
2018181335.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属製のヘッド本体と、
前記ヘッド本体の少なくとも一部を覆う被膜と、を備え、
前記被膜は、反応性スパッタリング法により形成され、５ｎｍ以上２００ｎｍ以下の厚さを有するＳｉＯｘＮｙ膜、ＡｌＯｘＮｙ膜またはＳｉｘＮｙ膜（ｘおよびｙはそれぞれ非整数）である、ゴルフクラブヘッド。
【請求項２】
前記被膜は、８０℃以下の温度で形成されたスパッタ膜である、請求項１に記載のゴルフクラブヘッド。
【請求項３】
前記被膜の硬度は、前記ヘッド本体の硬度以上である、請求項１または２に記載のゴルフクラブヘッド。
【請求項４】
前記被膜の表面の動摩擦係数は、前記ヘッド本体の表面の動摩擦係数と実質的に同じである、請求項１から３のいずれかに記載のゴルフクラブヘッド。
【請求項５】
前記被膜の表面の動摩擦係数は、前記ヘッド本体の表面の動摩擦係数よりも大きい、請求項１から３のいずれかに記載のゴルフクラブヘッド。
【請求項６】
前記ヘッド本体の表面粗さＲｚに対する前記被膜の厚さの比が０．０５以上０．２以下である、請求項１から５のいずれかに記載のゴルフクラブヘッド。
【請求項７】
前記被膜全体の質量は、０．０００５ｇ以上０．０１ｇ以下である、請求項１から６のいずれかに記載のゴルフクラブヘッド。
【請求項８】
前記被膜全体の質量は、０．００１ｇ以上０．００４ｇ以下である、請求項７に記載のゴルフクラブヘッド。
【請求項９】
フェース部を有し、
前記被膜が、少なくとも前記フェース部に形成されている、請求項１から８のいずれかに記載のゴルフクラブヘッド。
【請求項１０】
クラウン部を有し、
前記被膜が、少なくとも前記クラウン部に形成されている、請求項１から８のいずれかに記載のゴルフクラブヘッド。
【請求項１１】
ソール部を有し、
前記被膜が、少なくとも前記ソール部に形成されている、請求項１から８のいずれかに記載のゴルフクラブヘッド。
【請求項１２】
前記被膜が、前記ヘッド本体の略全体を覆うように形成されている、請求項１から８のいずれかに記載のゴルフクラブヘッド。
【請求項１３】
前記被膜は、前記ＳｉＯｘＮｙ膜または前記ＳｉｘＮｙ膜である請求項１から１２のいずれかに記載のゴルフクラブヘッド。
【請求項１４】
前記被膜の金属元素含有率は、０．５質量％以下である、請求項１３に記載のゴルフクラブヘッド。
【請求項１５】
ウッドクラブ用、ユーティリティクラブ用、アイアンクラブ用またはパタークラブ用である請求項１から１４のいずれかに記載のゴルフクラブヘッド。
【請求項１６】
請求項１から１５のいずれかに記載のゴルフクラブヘッドを備える、ゴルフクラブ。
【請求項１７】
シャフトをさらに備え、
前記被膜が前記シャフトにも形成されている、請求項１６に記載のゴルフクラブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ゴルフクラブヘッドおよびゴルフクラブに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ゴルフクラブのクラブヘッドには、打撃性能の向上等を目的とした種々の改良が施されてきた。改良の一環として、クラブヘッド用の材料に種々の金属材料が提案されている。【０００３】
このような状況の下で、クラブヘッドの耐食性や耐久性をいっそう向上させることが要望されている。例えば特許文献１は、マグネシウム合金製のクラブヘッドの表面にステンレス鋼またはチタン合金から形成された薄板を接合することによって、マグネシウム合金の腐食を抑制することを開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２４７３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されている手法は、クラブヘッドの構造が複雑化するので、製造コストが大きく増加する。また、マグネシウム合金製のクラブヘッドの外側にチタン合金等の薄板をうまく密着させて貼り付けることが難しいので、接合部から腐食が進行して薄板の剥離が生じやすい。【０００６】
なお、ここではクラブヘッドの材料としてマグネシウム合金を用いる場合を例示したが、耐食性や耐久性の向上が求められているのは、マグネシウム合金製のクラブヘッドに限られない。例えば、比較的腐食に強い金属材料を用いる場合でも、ゴルフクラブの使用によってクラブヘッドの表面が傷付くと、耐久性の低下の原因となり、また、クラブヘッドの美観を損ねてしまう。【０００７】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ゴルフクラブヘッドの耐食性および耐久性を比較的簡便な構成により向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の実施形態によるゴルフクラブヘッドは、金属製のヘッド本体と、前記ヘッド本体の少なくとも一部を覆う被膜と、を備え、前記被膜は、反応性スパッタリング法により形成され、５ｎｍ以上２００ｎｍ以下の厚さを有するＳｉＯｘＮｙ膜、ＡｌＯｘＮｙ膜またはＳｉｘＮｙ膜（ｘおよびｙはそれぞれ非整数）である。【０００９】
ある実施形態において、前記被膜は、８０℃以下の温度で形成されたスパッタ膜である。【００１０】
ある実施形態において、前記被膜の硬度は、前記ヘッド本体の硬度以上である。【００１１】
ある実施形態において、前記被膜の表面の動摩擦係数は、前記ヘッド本体の表面の動摩擦係数と実質的に同じである。【００１２】
ある実施形態において、前記被膜の表面の動摩擦係数は、前記ヘッド本体の表面の動摩擦係数よりも大きい。【００１３】
ある実施形態において、前記ヘッド本体の表面粗さＲｚに対する前記被膜の厚さの比が０．０５以上０．２以下である。【００１４】
ある実施形態において、前記被膜全体の質量は、０．０００５ｇ以上０．０１ｇ以下である。【００１５】
ある実施形態において、前記被膜全体の質量は、０．００１ｇ以上０．００４ｇ以下である。【００１６】
ある実施形態において、本発明によるゴルフクラブヘッドは、フェース部を有し、前記被膜が、少なくとも前記フェース部に形成されている。【００１７】
ある実施形態において、本発明によるゴルフクラブヘッドは、クラウン部を有し、前記被膜が、少なくとも前記クラウン部に形成されている。【００１８】
ある実施形態において、本発明によるゴルフクラブヘッドは、ソール部を有し、前記被膜が、少なくとも前記ソール部に形成されている。【００１９】
ある実施形態において、前記被膜が、前記ヘッド本体の略全体を覆うように形成されている。【００２０】
ある実施形態において、前記被膜は、前記ＳｉＯｘＮｙ膜または前記ＳｉｘＮｙ膜である。【００２１】
ある実施形態において、前記被膜の金属元素含有率は、０．５質量％以下である。【００２２】
ある実施形態において、本発明によるゴルフクラブヘッドは、ウッドクラブ用、ユーティリティクラブ用、アイアンクラブ用またはパタークラブ用である。【００２３】
本発明の実施形態によるゴルフクラブは、上述したいずれかの構成を有するゴルフクラブヘッドを備える。【００２４】
ある実施形態において、前記ゴルフクラブは、シャフトをさらに備え、前記被膜が前記シャフトにも形成されている。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の実施形態によると、ゴルフクラブヘッドの耐食性および耐久性を比較的簡便な構成により向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施形態によるクラブヘッド１０を模式的に示す斜視図である。
【図２】クラブヘッド１０を模式的に示す断面図であり、フェース−バック方向Ｄ１に平行で、且つ、トゥ−ヒール方向Ｄ２に直交する断面を示している。
【図３】被膜２の断面構造を拡大して模式的に示す図である。
【図４】（ａ）および（ｂ）は、被膜２の形成に用いられるスパッタリング装置２０を示す図である。
【図５】本発明の実施形態による他のクラブヘッド１０Ａを模式的に示す斜視図である。
【図６】本発明の実施形態によるクラブヘッド１０を備えたゴルフクラブ４０を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
【００２８】
［ゴルフクラブヘッドの構成］
図１を参照しながら、本発明の実施形態によるゴルフクラブヘッド（以下では「クラブヘッド」とも呼ぶ）１０の構成を説明する。図１は、クラブヘッド１０を模式的に示す斜視図である。図１に例示するクラブヘッド１０は、ウッドクラブ用のクラブヘッドである。なお、以下では、フェース側からバック側に向かう方向およびその反対方向をフェース−バック方向Ｄ１と呼び、トゥ側からヒール側に向かう方向およびその反対方向をトゥ−ヒール方向Ｄ２と呼ぶ。
【００２９】
クラブヘッド１０は、図１に示すように、フェース部１０ａ、クラウン部１０ｂおよびソール部１０ｃを有する。
【００３０】
フェース部１０ａは、ゴルフボールを打撃する面であるフェース面を含む。クラウン部１０ｂは、フェース部１０ａに隣接し、クラブヘッド１０の上面を構成する。ソール部１０ｃは、フェース部１０ａに隣接し、クラブヘッド１０の底面を構成する。クラウン部１０ｂとソール部１０ｃとの間の部位は、サイド部１０ｄと呼ばれる。サイド部１０ｄは、フェース部１０ａのトゥ側からクラブヘッド１０のバック側を通ってフェース部１０ａのヒール側へと延びる。クラウン部１０ｂのヒール側に隣接するようにホーゼル部１０ｅが設けられている。ホーゼル部１０ｅには、ゴルフクラブのシャフト（不図示）が挿入される孔１０ｏが形成されている。
【００３１】
図２に、クラブヘッド１０の断面構造を示す。図２は、フェース−バック方向Ｄ１に平行で、且つ、トゥ−ヒール方向Ｄ２に直交する断面を示している。図２に示すように、クラブヘッド１０は、ヘッド本体１と、ヘッド本体１の少なくとも一部を覆う被膜２とを備える。
【００３２】
ヘッド本体１は、金属製である。ヘッド本体１の材料として用いられる金属材料に特に制限はない。例えば、ステンレス鋼やチタン合金などを用いることができる。クラブヘッドがパタークラブ用である場合には、銅合金が用いられることもある。ヘッド本体１は、図２に示すように、中空構造を有する。なお、ヘッド本体１は、２つ以上の部材を組み合わせて構成され得るが、図２ではヘッド本体１の詳細な構造の図示を省略している。
【００３３】
被膜２は、図２に示す例では、ヘッド本体１の略全体を覆っている。つまり、フェース部１０ａ、クラウン部１０ｂおよびソール部１０ｃのいずれにも被膜２が形成されている。
【００３４】
被膜２は、後に詳述するように、反応性スパッタリング法により形成される。つまり、被膜２は、スパッタ膜である。また、被膜２は、具体的には、ＳｉＯｘＮｙ（窒化酸化シリコン）膜、ＡｌＯｘＮｙ（窒化酸化アルミニウム）膜またはＳｉｘＮｙ（窒化シリコン）膜である。ここで、ｘおよびｙはそれぞれ非整数である。
【００３５】
反応性スパッタリング法により形成されるＳｉＯｘＮｙ膜、ＡｌＯｘＮｙ膜またはＳｉｘＮｙ膜は、緻密なアモルファス（非晶質）構造を有し得る。そのため、ヘッド本体１が被膜２で覆われていることにより、ヘッド本体１への水分やガス、塩分等の侵入を防止できるので、クラブヘッド１０の耐食性および耐久性を向上させることができる。本発明の実施形態によれば、特許文献１の手法とは異なり、クラブヘッド１の構造が複雑化しない。つまり、比較的簡便な構成でクラブヘッド１０の耐食性および耐久性を向上させることができる。また、ＳｉＯｘＮｙ膜、ＡｌＯｘＮｙ膜およびＳｉｘＮｙ膜は、材料が容易に入手できるという点でも優れている。
【００３６】
被膜２の厚さは、５ｎｍ以上２００ｎｍ以下であることが好ましい。被膜２の厚さが５ｎｍ未満であると、ヘッド本体１の表面を均一に覆うように被膜２を形成することが難しい場合がある。また、被膜２の厚さが２００ｎｍを超えると、被膜２を形成するために要する時間が長くなり、生産性が低下することがある。
【００３７】
また、被膜２の屈折率および厚さを適切に設定することによって、被膜２が所望の干渉色を呈することも可能である。これにより、クラブヘッド１を装飾する、つまり美観を向上させることもできる。また、被膜２の上、または下つまり被膜２とヘッド本体１との間に、少なくとも１層（例えば１層または２層）のさらなる被膜を設けてもよい。被膜２とさらなる被膜とを含む多層構造により、深みのある色を出すことができる。被膜２の下に設けられるさらなる被膜は、ＳｉＯｘＮｙ膜、ＡｌＯｘＮｙ膜およびＳｉｘＮｙ膜以外の膜であってもよく、例えば、Ａｌ系、Ｔｉ系、Ｃｒ系、Ｚｒ系の酸化物膜および窒化物膜、ＴｉＡｌＮなどの複合窒化物膜、複合酸化物膜、ＤＬＣ膜、Ｓｉ膜などであってもよい。
【００３８】
なお、被膜２の形成による上述した利点は、被膜２の組成が化学量論比ではないこと、言い換えるとｘ、ｙが非整数であることによって得られているということもできる。
【００３９】
被膜２は、８０℃以下の温度で形成されたスパッタ膜であることが好ましく、５０℃以下の温度で形成されたスパッタ膜であることがより好ましい。成膜温度が８０℃以下の低温であることによって、基材であるヘッド本体１の特性変化や寸法変化が生じにくい。また、ヘッド本体１が高温に弱い塗料により塗装されていても問題なく成膜を行うことができる。さらに、成膜温度が５０℃以下であると、上述した効果がいっそう高くなる。
【００４０】
クラブヘッド１０の耐久性をいっそう向上させる観点からは、被膜２の硬度は、ヘッド本体１の硬度以上であることが好ましい。例えば、ヘッド本体１の材料として、ステンレス鋼であるＳＵＳ３０４を用いる場合、ヘッド本体１のビッカース硬さＨＶは２００〜３００程度であるので、被膜２の硬度はそれ以上であることが好ましい。
【００４１】
フェース部１０ａの表面の動摩擦係数は、ゴルフボールの回転量つまりスピンのかかりやすさに影響を与える。本発明の実施形態によれば、成膜条件等を適宜設定して被膜２の表面の凹凸形状を制御することにより、被膜２の表面の動摩擦係数を調節することができる。
【００４２】
被膜２の表面の動摩擦係数が、ヘッド本体１の表面の動摩擦係数と実質的に同じであると、被膜２がない場合とほぼ同じボール回転量を実現できる。これに対し、被膜２の表面の動摩擦係数を、ヘッド本体１の表面の動摩擦係数よりも大きくすると、ボール回転量を増やすことができる。また、これとは逆に、被膜２の表面の動摩擦係数を、ヘッド本体１の表面の動摩擦係数よりも小さくすると、ボール回転量を減らすことができる。
【００４３】
クラブヘッド１０の表面がボール回転量に与える影響は、「面粗度維持性」によっても特徴付けられる。「面粗度維持性」は、ヘッド本体１の面粗度（表面粗さ）が、被膜２の形成後にどの程度維持されるか、つまりクラブヘッド１０の表面粗さがヘッド本体１の表面粗さとどの程度近いか、を表す特性である。「面粗度維持性」は、被膜２の厚さに依存し、具体的には、ヘッド本体１の表面粗さ（最大高さ）Ｒｚに対する被膜２の厚さの比で表わされる。この比が小さいほど、ヘッド本体１の面粗度が維持される度合が高い。本実施形態のクラブヘッド１０における面粗度維持性は、典型的には、０．００１以上２．０以下であり、好ましくは０．０５以上０．２以下である。
【００４４】
反応性スパッタリング法により形成される被膜２の表面は、最大高さＲｚの測定が困難なほど微細な凹凸、言い換えれば原子数レベルの大きさの凹凸、を有し得る。図３に、被膜２の断面構造を拡大して模式的に示す。被膜２の表面に存在する凸部の高さｈおよび幅ｗは、０．１ｎｍ〜１０ｎｍ程度である。また、被膜２の断面形状がフラクタル図形（たとえばコッホ曲線）と類似していると、被膜２が超撥水性を示し、水分をよく弾く。被膜２が超撥水性を示すことにより、雨天時でも晴天時と同様の状態を維持できる。また、濡れたボールと濡れたヘッドとでは接触面に水が存在し、ボールが離れにくくなる。接触面の水が減ることにより、タッチフィーリングやボール回転量が晴天時に近くなるので、ボールをコントロールしやすくなる。
【００４５】
被膜２全体の質量は、０．０００５ｇ以上０．０１ｇ以下であることが好ましく、０．００１ｇ以上０．００４ｇ以下であることがより好ましい。被膜２が０．０１ｇ以下と軽量であることにより、クラブヘッド１およびゴルフクラブの慣性モーメントおよびバランスへの影響を小さくすることができる。また、被膜２が０．００４ｇ以下であると、そのような影響を実質的になくすことができるといえる。ゴルフクラブのチューニング方法の１つとして、鉛から形成されたウェイトのクラブヘッドへの貼り付けが知られている。ウェイトの重さは、例えば２ｇである。ウェイトの貼り付けによって、ゴルフクラブのバランスやゴルフクラブを振ったときのフィーリング、球筋を調整することができる。このように、クラブヘッドにわずかな重さのウェイトを貼り付けるだけで、バランスや慣性モーメントには大きな影響があるが、被膜２全体の質量が０．０１ｇ以下と小さいことにより、バランスや慣性モーメントに実質的に影響を与えることなく、クラブヘッド１の耐食性および耐久性を向上させることができる。
【００４６】
また、既に説明したように、被膜２は所望の干渉色を呈し得るので、これによりクラブヘッド１を装飾することができる。被膜２は、その厚さを小さく（具体的には２００ｎｍ以下に）できるので、一般的な塗膜よりも軽量であり得る。そのため、バランスや慣性モーメントに実質的に影響を与えることなく、クラブヘッド１を装飾することができる。例えば、ドライバーのクラブヘッドが最大容積（具体的には４６０ｃｍ3）を有するときの表面積は２８８ｃｍ2である。このクラブヘッドの全面に、アクリル系塗料やエポキシ系塗料で塗膜を形成すると、塗膜の厚さが１０μｍ〜８０μｍと大きいので、塗膜全体の質量は０．３４５ｇ〜２．７６ｇと大きい。これに対し、被膜２はその厚さを小さくできるので、従来の塗膜よりも軽量である。例えば、被膜２としてある組成のＳｉＯｘＮｙ膜を、上述したドライバーのクラブヘッドの全面に厚さ１０ｎｍ〜２０ｎｍで形成すると、被膜２全体の質量は約０．０００５ｇ〜０．００１０ｇである。このように、被膜２は、従来の塗膜よりも著しく軽量であり得る。
【００４７】
図２には、被膜２がヘッド本体１の略全体を覆っている構成を例示したが、本発明の実施形態はこれに限定されるものではない。
【００４８】
フェース部１０ａは、打撃性能に直接影響を与える部位である。そのため、被膜２が少なくともフェース部１０ａに形成されていると、当初の、つまり所望の打撃性能を長期間にわたって維持することができる。
【００４９】
クラウン部１０ｂは、プレーヤーがゴルフクラブを構えたときにもっとも目に付き易い箇所である。そのため、被膜２が、少なくともクラウン部２に形成されていると、商品性を向上させることができる。
【００５０】
ソール部１０ｃは、地面にもっとも接触しやすく、傷付きやすい箇所である。そのため、被膜２が、少なくともソール部１０ｃに形成されていることによっても、商品性を向上させることができる。
【００５１】
被膜２は、既に説明したように、ＳｉＯｘＮｙ膜、ＡｌＯｘＮｙ膜またはＳｉｘＮｙ膜である。ＳｉＯｘＮｙ膜およびＳｉｘＮｙ膜は、ＡｌＯｘＮｙ膜に比べ、靱性に優れ、衝撃に強いので、被膜２としてＳｉＯｘＮｙ膜またはＳｉｘＮｙ膜を用いると、耐食性および耐久性のいっそうの向上を図ることができる。
【００５２】
金属材料から形成された基材の表面に、例えばゾルゲル法を用いて被膜を形成すると、基材に含まれる金属元素が被膜中に拡散し、被膜の金属元素含有率が高くなることがある。これに対し、反応性スパッタリング法により被膜２を形成すると、成膜時に基材（つまりヘッド本体１）に含まれる金属元素が膜中に拡散することが少ない。そのため、本発明の実施形態によれば、ＳｉＯｘＮｙ膜またはＳｉｘＮｙ膜である被膜２の金属元素含有率を０．５質量％以下にすることができる。被膜２の金属元素含有率が０．５質量％以下であることにより、より優れた耐食性が得られる。
【００５３】
［ゴルフクラブヘッドの製造方法］
クラブヘッド１０の製造方法は、ヘッド本体１を用意する工程と、ヘッド本体１の少なくとも一部を覆うように被膜２を形成する工程とを包含する。以下、被膜２を形成する方法、つまり被膜２の成膜方法を説明する。
【００５４】
本実施形態における成膜方法は、ヘッド本体１の表面上に被膜２を反応性スパッタリング法により形成するスパッタリング工程を包含する。被膜２がＳｉＯｘＮｙ膜またはＳｉｘＮｙ膜である場合、ターゲットとしてＳｉを含むターゲットが用いられ、反応性ガスとして酸素ガスおよび／または窒素ガスが用いられる。被膜２がＡｌＯｘＮｙ膜である場合、ターゲットとしてＡｌを含むターゲットが用いられ、反応性ガスとして酸素ガスおよび／または窒素ガスが用いられる。スパッタリング工程における投入電力密度は、例えば、１．０Ｗ／ｃｍ2以上である。「投入電力密度」は、ターゲットへの単位面積当たりの投入電力である。
【００５５】
図４（ａ）および（ｂ）に、本実施形態の成膜方法に用いられるスパッタリング装置の例を示す。図４（ａ）および（ｂ）に示すスパッタリング装置２０は、チャンバー（「真空槽」とも呼ばれる）２１、真空排気装置２２、ガス供給装置２３および電源２４を備える。
【００５６】
チャンバー２１内には、複数のホルダ２５が収容されている。各ホルダ２５は、回転軸２５ａを中心に自転しながらチャンバ２１内で公転する。各ホルダ２５には、基材であるヘッド本体１が保持される。ホルダ２５が回転する軌道の外側には、複数のターゲット２６が配置されている。
【００５７】
真空排気装置２２は、１つまたは複数のポンプを含む。真空排気装置２２により、チャンバー２１内が所定の真空度に保持される。
【００５８】
ガス供給装置２３は、チャンバー２１内にガスを所望の流量で供給することができる。ガス供給装置２３は、例えば、ボンベ２７とマスフローコントローラ２８とを有する。ボンベ２７には、スパッタリングに用いられるガスが貯蔵されている。スパッタリングに用いられるガスは、反応性ガスおよび／または非反応性ガスである。マスフローコントローラ２８はガス流量の検出および制御を行うことができる。
【００５９】
電源２４は、不図示のカソードに接続されている。電源２４は、カソードを介してターゲット２６に電圧を印加する。
【００６０】
上述したようなスパッタリング装置２０により、本実施形態の成膜方法を好適に行うことができる。なお、スパッタリング装置２０の構成は、図４に例示したものに限定されない。例えば、スパッタリング法として後述するマグネトロンスパッタリング法を用いる場合には、カソードとして、磁界生成装置を含むマグネトロンカソードが用いられる。
【００６１】
スパッタリング工程における投入電力密度は、１．０Ｗ／ｃｍ2以上であることが好ましく、２．０Ｗ／ｃｍ2以上であることがより好ましい。投入電力密度が１．０Ｗ／ｃｍ2以上であることにより、被膜２の膜質をいっそう向上させることができる。
【００６２】
ターゲット２６への投入電力が直流電源から供給されると、つまり、直流電源を用いてスパッタリングを行うと、交流電源を用いてスパッタリングを行う場合に比べ、成膜時間を短くすることができる。
【００６３】
被膜２の膜質のいっそうの向上を図る観点からは、直流電源からの直流電流が所定以上の大きさであることが好ましい。具体的には、直流電源からの直流電流は、３Ａ以上であることが好ましく、５Ａ以上であることがより好ましい。
【００６４】
スパッタリング工程におけるチャンバー２１内の圧力は、放電の安定性の観点から０．０１Ｐａ以上であることが好ましい。また、被膜２中の窒素含有率が高すぎると、被膜２の緻密さが低下することがある。そのため、スパッタリング工程におけるチャンバー２１内の圧力は、膜質の観点からは、１．０Ｐａ以下であることが好ましい。
【００６５】
スパッタリング法としては、例えば、マグネトロンスパッタリング法を好適に用いることができる。マグネトロンスパッタリング法では、ターゲット２６の表面に磁界を印加することによってターゲット２６付近に高密度のプラズマを生成させる。マグネトロンスパッタリング法を用いると、ターゲット２６が均一に消費される。また、ターゲット２６に衝突するイオンが増加するので、成膜速度の向上を図ることができる。勿論、スパッタリング法は、マグネトロンスパッタリング法に限定されない。磁界印加を伴わないスパッタリング法を用いてもよい。
【００６６】
また、スパッタリング工程の前に、逆スパッタリング工程を行ってもよい。逆スパッタリング工程においては、バイアス電圧の印加によってプラズマ粒子（例えばＡｒプラズマの粒子）をヘッド本体１の表面に衝突させ、ヘッド本体１の表面に形成されている自然酸化膜を除去する。このような逆スパッタリング工程を行うことにより、ヘッド本体１と被膜２との密着性を高めることができる。なお、逆スパッタリング工程を必ずしも行う必要はない。
【００６７】
また、スパッタリング工程の前に、予備スパッタリング工程を行ってもよい。予備スパッタリング工程では、ヘッド本体１に対してスパッタ粒子を堆積させることなくターゲット２６表面をスパッタリングすることにより、ターゲット２６表面を清浄化する。予備スパッタリング工程を行うことにより、形成される被膜２の膜質や膜厚の再現性を向上させることができる。なお、逆スパッタリング工程を行う場合は、予備スパッタリングは、逆スパッタリング工程の後で、スパッタリング工程の前に行われる。また、予備スパッタリング工程は、省略されてもよい。
【００６８】
スパッタリング工程を含む一連の成膜工程におけるチャンバー２１内の雰囲気温度は、８０℃以下であることが好ましく、５０℃以下であることがより好ましい。チャンバー２１内の雰囲気温度が８０℃以下（より好ましくは５０℃以下）で成膜を行うことにより、成膜後に冷却時間が不要となるので、生産性のいっそうの向上を図ることができる。なお、本実施形態の成膜方法では、反応活性化のための加熱工程は不要であり、また、反応熱による温度上昇もない。また、チャンバ―２１内の雰囲気温度が８０℃以下であることにより、ヘッド本体１の特性変化や寸法変化を抑制することができる。なお、ここでいう成膜工程は、逆スパッタリング工程や予備スパッタリング工程が行われる場合にはそれらも含む。
【００６９】
［ゴルフクラブの他の例］
図１および図２には、ウッドクラブ用のクラブヘッド１０を例示したが、本発明の実施形態は、これに限定されるものではない。
【００７０】
図５に、本発明の実施形態による他のクラブヘッド１０Ａを示す。図５は、クラブヘッド１０Ａを模式的に示す斜視図である。図５に例示するクラブヘッド１０Ａは、アイアンクラブ用のクラブヘッドである。
【００７１】
クラブヘッド１０Ａは、図５に示すように、フェース部１０ａ、ソール部１０ｃおよびバック部１０ｆを有する。フェース部１０ａは、ゴルフボールを打撃する面であるフェース面を含む。ソール部１０ｃは、フェース部１０ａに隣接し、クラブヘッド１０の底面を構成する。バック部１０ｆは、フェース部１０ａからフェース−バック方向Ｄ１に離間しており、クラブヘッド１０の背面を構成する。クラブヘッド１０Ａは、さらに、シャフト（不図示）が挿入される孔１０ｏが形成されたホーゼル部１０ｅを含む。
【００７２】
アイアンクラブ用のクラブヘッド１０Ａについても、金属製のヘッド本体の少なくとも一部を覆うように、図２に示したクラブヘッド１０の被膜２と同様の被膜が形成されていることにより、クラブヘッド１０と同様の効果、具体的には耐食性および耐久性の向上という効果を得ることができる。また、ここでは図示しないが、本発明の実施形態は、ユーティリティクラブ用のクラブヘッドやパタークラブ用のクラブヘッドにも好適に適用される。
【００７３】
［ゴルフクラブ］
本発明の実施形態によるクラブヘッドは、優れた耐食性および耐久性を有するので、各種のゴルフクラブに好適に用いることができる。本発明の実施形態によるクラブヘッドを備えたゴルフクラブの例を、図６に示す。
【００７４】
図６に示すゴルフクラブ４０は、ウッドクラブである。ゴルフクラブ４０は、クラブヘッド１０と、シャフト４１と、グリップ４２とを備える。クラブヘッド１０は、シャフト４１の一端部に設けられている。グリップ４２は、シャフト４１の他端部に設けられている。ゴルフクラブ４０が優れた耐食性および耐久性を有するクラブヘッド１０を備えていることにより、商品性が向上する。
【００７５】
また、クラブヘッド１０の被膜２と同様の被膜が、シャフト４１に形成されていてもよい。これにより、シャフト４１を装飾する、つまり美観を向上させることができる。シャフト４１は、例えばＣＦＲＰやステンレス鋼から形成される。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明の実施形態によると、ゴルフクラブヘッドの耐食性および耐久性を比較的簡便な構成により向上させることができる。本発明の実施形態によるゴルフクラブヘッドは、種々のゴルフクラブに好適に用いられる。
【符号の説明】
【００７７】
１：ヘッド本体、２：被膜、１０：クラブヘッド、１０ａ：フェース部、１０ｂ：クラウン部、１０ｃ：ソール部、１０ｄ：サイド部、１０ｅ：ホーゼル部、２０：スパッタリング装置、２１：チャンバ―、２２：真空排気装置、２３：ガス供給装置、２４：電源、２５：ホルダ、２６：ターゲット、２７：ボンベ、２８：マスフローコントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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