【事件の表示】
　特願２００１−５０２１４９「ウエハ方向センサー」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年１２月１４日国際公開、ＷＯ００／７５９６９、平成１５年　１月１４日国内公表、特表２００３−５０１８２８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯 
　本件出願は、平成１２年５月１０日（優先権主張１９９９年６月８日、アメリカ合衆国）を国際出願日とする出願であって、平成１６年９月１６日付けで拒絶の理由が通知され、同１７年９月６日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同年１２月９日に本件審判の請求がなされ、当審において同１９年１月３０日付けで拒絶理由が通知され、同年８月１日に手続補正（方式不備に伴う同年９月２１日の手続補正を含む）がなされたものである。 
 　 
２．本願発明
　本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される以下のとおりのものと認められる。
　
「表面を有する，ほぼディスク状のワークピースのエッジを決定する装置であって，
　光ビームの第一の部分がワークピースを通り越し，光ビームの第二の部分がワークピースにより遮断されるように，ワークピースのエッジの近傍で，ワークピースの表面に，光ビームを向けるように配置された光源と，
　ワークピースを回転させる機構と，
　光ビームの第一の部分を検知し，ワークピースが回転するときに，回転中心に関するワークピース偏心および角度方向を表すエッジ信号を発生するように配置された光センサーと，
を含み，
　光ビームと，ワークピースの表面に対する法線との間の角度が，ワークピース内で，光ビームが全内反射する臨界角度に等しいか，またはそれよりも大きく，
　光ビームは細長い断面を有し，細長い断面の光ビームの長手方向の寸法がワークピースの回転中心に関して放射方向に沿うように，ワークピースの回転中心の軸線に向けられる，
ところの装置。」
　
３．刊行物記載の発明
（１）特開平１−１６９９３９号公報
　これに対し、本願優先日前に頒布された刊行物であって、当審で通知した拒絶理由に引用された特開平１−１６９９３９号公報（以下「刊行物１」という。）には、次のように記載されている。 
　
ア．第２ページ左下欄第５〜１１行
「本発明は、ウエハがＮＣ装置などによって事前にほぼ真円に近い状態に加工されていることに着目し、ウエハを回転させてそのエツジ位置を回転角度に対応させて検出記憶し、検出信号の最大値、最小値によつてウエハ位置の偏心量と方向とを算出し、この偏心データによってウエハのセンタ合せを行うようにしたものである。」
　
イ．第２ページ右下欄第６行〜第３ページ左上欄第１０行
「第１図は、本発明の装置の実施例を示す構成図である。同図において１はセンタ合せの対象となる半導体ウエハでありターンテーブル２の上に載置されている。３はターンテーブル２を回転させるためのターンテーブル回転機構であり、電動機４にて駆動される。５はウエハ１の端縁（エツジ）位置を検出するための検出器であり、投光器５ａおよび光センサ５ｂからなる。このセンサ５ｂは受光量に応じて出力が特定の関係を保ちながら連続的に変化するものであり、・・・。６はターンテーブル２の回転角度に相当する電動機４の回転量を検出しデイジイタル信号を出力するエンコーダ、７はセンサ５ｂの出力とエンコーダ６の出力とを１対のデータとしてターンテーブル２の一定回転角度毎に記憶する記憶回路である。・・・。８は記憶回路７の出力を読み出してウエハ１の中心位置の偏位置と方向とを算出し、修正信号（回転角度および水平方向位置の各信号）を出力する演算回路であり、マイクロコンピュータが利用できる。」
　
ウ．第３ページ右上欄第６〜１８行
「第１図において、図示しない搬送装置によってウエハ１がターンテーブル２の上に載せられると電動機４が回転し、これによって駆動されるターンテーブル回転機構３によつてウエハが所定角度（例えば１度）回転する。このときエツジ位置検出器５のセンサ５ｂはセンサ直下のウエハによって減量されて到達する光の量に応じた出力を発生し、この出力はウエハ回転量信号とともに一対のデータ（θｘ、ｌｘ）として記憶回路７に記憶される。
さらにターンテーブル２を所定回度回転し、エツジ位置の検出、記憶をくりかえし、ウエハが原位置（θｘ＝０）から３６０度回転するまで続ける。」
　
エ．第３ページ左下欄第１６行〜右下欄第３行
「投光器５ａからの光は図中矢印にて模式的に示すようにウエハ１によって遮られてその一部が減じられて残りがセンサ５ｂに到達する。そこでセンサ５ｂとして入力光量に正比例して出力が変化するものを用いるとその出力はウエハ１のエツジ部の位置によって変化するｌの長さに比例した信号となる。」
　
オ．第３図、第４図
　センサ５ｂの形状、配置位置から「光が細長い断面であり、光の長手方向の寸法がウエハ１の回転中心に関して放射方向に沿うようにされていること」が看取できる。
　
　上記記載を、技術常識を踏まえ、本願発明に照らして整理すると、上記刊行物１には、次の発明（以下「刊行物１発明」という。）が記載されていると認められる。
　 
「表面を有する、ほぼ真円に近いウエハのエッジを決定する装置であって、
　光がウエハによって遮られてその一部が減じられて残りがセンサに到達するように、ウエハのエッジの近傍で、ウエハの表面に、光を向けるように配置された投光器と、
　ウエハを回転させるターンテーブル回転機構と、
　遮られることのない光を検知し、ウエハが回転するときに、回転中心に関するウエハ位置の偏心量および方向を表す光の量に応じた信号を発生するように配置されたセンサと、
を含み、
　光が細長い断面であり、光の長手方向の寸法がウエハの回転中心に関して放射方向に沿うようにされている、
ところの装置。」
　
（２）特開平１０−１６３３０１号公報
　同じく特開平１０−１６３３０１号公報（以下「刊行物２」という。）には、次のように記載されている。 
　
ア．段落０００３〜０００４
「従来、プリアライメントする方法には幾つかの種類があるが、現在では半導体ウェーハのエッジ部に幅が狭い長方形の光束を照射するとともに、半導体ウェーハを回転させ、その透過光量が半導体ウェーハのエッジ部の一部であるオリフラやノッチによって変化することを利用してプリアライメントするのが一般的である。
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体ウェーハのように不透明部材のウェーハでは、上述の方法でプリアライメントが可能であるが、素材がガラス等の透明部材である透明ウェーハの場合にはオリフラやノッチによる透過光量の変化が少なく、・・・上述の方法ではオリフラやノッチの検出が困難である。」
　
イ．段落００１４
「・・・。図２及び図３は、それぞれ上記オリフラ検出用センサ２４の構成を示した側面図及び上面図である。これらの図に示すように上記オリフラ検出用センサ２４は、プリチャック２２に吸着保持された透明ウェーハ１０のエッジ部に下面方向（パターンが形成されている面を上面とし、下面にはパターンが形成されいないものとする。）から光束を照射する発光部６０と、透明ウェーハ１０によって反射された光束を受光する受光素子７０とから構成される。」
　
ウ．段落００１６
「・・・。以上のように構成されたオリフラ検出用センサ２４によれば、発光部６０によってオリフラ１０Ａ以外の透明ウェーハ１０のエッジ部に光束を照明した場合には、受光素子７０によって透明ウェーハ１０の表面から全反射された光束を受光する。即ち、この場合には一定光量の光束を受光する。一方、この透明ウェーハ１０がプリチャック２２により回転され、発光部６０から出射された光束が照射される位置に透明ウェーハ１０のオリフラ１０Ａが位置した場合には、光束の大部分が透明ウェーハ１０のオリフラ１０Ａの部分を通過して上方に透過する。これにより、このとき受光素子７０によって受光する光束の光量が減少する。従って、制御部は、オリフラ検出用センサ２４の受光素子７０から出力される信号レベルが所定値より減少した場合に透明ウェーハ１０のオリフラ１０Ａを検出する。」
　
エ．段落００２０
「【発明の効果】以上説明したように本発明に係る透明ウェーハのアライメント装置によれば、透明ウェーハに偏光を偏光角で照射し、透明ウェーハの表面で全反射させるようにし、この反射光量又は透過光量の光量変化により透明ウェーハのオリフラ又はノッチを検出するようにしたため、透明ウェーハの表面（偏光を照射する面と異なる面）にパターンが形成されている場合にもこのパターンに影響されずに確実に透明ウェーハのオリフラ又はノッチを検出することができ、これに基づいて透明ウェーハのアライメントを行うことができる。」
　
　上記記載を、技術常識を踏まえ、本願発明に照らして整理すると、上記刊行物２には、次の発明（以下「刊行物２発明」という。）が記載されていると認められる。
　 
「透明ウェーハを回転させながら、透明ウェーハに偏光を偏光角で照射し、透明ウェーハの表面で全反射させるようにし、この透過光量の光量変化により透明ウェーハの位置を検出するもの。」
　そして、これにより、透明ウェーハであっても、位置の検出を可能としている。
　
４．対比・判断 
　本願発明と刊行物１発明とを対比する。
　刊行物１発明における「ほぼ真円に近い」、「ウエハ」、「光」、「投光器」、「回転させるターンテーブル回転機構」、「センサ」は、それぞれ本願発明における「ほぼディスク状の」、「ワークピース」、「光ビーム」、「光源」、「回転させる機構」、「光センサー」に相当する、又は含まれる。
　刊行物１発明における「光がウエハによって遮られてその一部が減じられて残りがセンサに到達するように」、「遮られることのない光」は、ワークピースにより遮られることのない光ビームを第一の部分、遮られる光ビームを第二の部分とみれば、それぞれ本願発明における「光ビームの第一の部分がワークピースを通り越し、光ビームの第二の部分がワークピースにより遮断されるように」、「光ビームの第一の部分」に相当している。
　また、刊行物１発明における「回転中心に関するウエハ位置の偏心量および方向を表す光の量に応じた信号」は、その機能からみて、「回転中心に関するワークピース偏心および角度方向を表すエッジ信号」に相当している。
　
　そうすると、本願発明と刊行物１発明とは、以下の点で一致する。 
「表面を有する、ほぼディスク状のワークピースのエッジを決定する装置であって、
　光ビームの第一の部分がワークピースを通り越し、光ビームの第二の部分がワークピースにより遮断されるように、ワークピースのエッジの近傍で、ワークピースの表面に、光ビームを向けるように配置された光源と、
　ワークピースを回転させる機構と、
　光ビームの第一の部分を検知し、ワークピースが回転するときに、回転中心に関するワークピース偏心および角度方向を表すエッジ信号を発生するように配置された光センサーと、
を含み、
　光ビームは細長い断面を有し、細長い断面の光ビームの長手方向の寸法がワークピースの回転中心に関して放射方向に沿うようにされている、
ところの装置。」 
 　 
　そして、以下の点で相違する。
　本願発明は、「光ビームと、ワークピースの表面に対する法線との間の角度が、ワークピース内で、光ビームが全内反射する臨界角度に等しいか、またはそれよりも大きく、光ビームがワークピースの回転中心の軸線に向けられ」ているが、刊行物１発明は、光ビームの角度、方向が明らかでない点。
　
　上記相違点について、検討する。
　刊行物１発明は、ウエハによって光が遮られることを利用するものであるから、「ウエハによって光が遮られる」ことが必要なものである。
　刊行物２にみられるごとく、透明なウエハは周知である。
　装置の多機能化は当然の課題であるから、かかる視点に基づき、刊行物１発明を透明ウエハに適用しようとする場合には、光を遮る必要がある。
　刊行物２発明は、透明ウエハ表面に、全反射する角度で光を照射することにより、光が遮られることを利用して、透明ウエハであっても、位置の検出を可能としたものであり、しかも、刊行物１発明と同じウエハの位置検出に関するものである。
　したがって、刊行物１発明を透明ウエハに適用するに際し、刊行物２発明を踏まえて、全反射しうるように光ビームの角度を選定し、その結果、光ビームが、ワークピースの回転中心の軸線に向けられるものとすることに困難性は認められない。
　また、これによる格別の効果が生じるとは認められない。
　
　請求人は、平成１９年８月１日の意見書において、「刊行物１の発明は・・・垂直照射を要件とするもですから、刊行物２で全反射を利用した測定技術が公知であっても、この測定技術を刊行物１の発明に適用することはできません。仮に適用したところで、刊行物２の技術は光をウェーハの接線方向に向けるものですから、偏心を測定することができません。」と、主張している。
　確かに、刊行物１には、実施例としては、垂直照射のものが記載されているのみである。しかし、垂直照射以外は不可能である旨の記載はなく、仮に角度をつけて光を照射した場合、角度に伴う補正係数を乗じれば良いことは、当業者であれば、当然予測しうるものである。
　また、刊行物２の実施の形態は、オリフラを検出するために、光をウエハの接線方向に向けている。しかし、刊行物２記載の、透明ウエハであっても、全反射する角度で光を照射することにより、光が遮られることを踏まえ、上記のとおり、一の技術思想として、刊行物２発明を把握し、光をウエハの「放射方向」に照射する刊行物１発明に、刊行物２発明の光の照射角度を適用することに、困難性は認められない。
　したがって、請求人の主張は採用できない。
　
５．むすび 
　本願発明は、刊行物１発明、刊行物２発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものであるから、結論のとおり審決する。