【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３１０３３４６号発明「回転式塗布装置および回転式塗布方法」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１０３３４６号の請求項１ないし５に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第３１０３３４６号（以下、「
本件特許
原出願
本件分割特許出願
請求人
被請求人
　その後、当審は、平成１９年１０月２６日に口頭審理を開廷すべく、前記審判事件弁駁書副本を請求人に送付し、さらに、当審の職権による審理結果としての、本件分割特許出願に関する分割要件違反を前提として、訂正請求後の本件訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし請求項５に係る各発明（以下、請求項順に「
本件発明１
本件発明５
　そして、当審により平成１９年１０月２６日の期日に口頭審理が公開で開廷され、請求人は平成１８年１２月２７日付け審判請求書、平成１９年５月２９日付け審判事件弁駁書及び平成１９年１０月２６日付け口頭審理陳述要領書に基づいて陳述し、また、被請求人は、平成１９年４月２日付け審判事件答弁書、平成１９年４月２日付け訂正請求書及び平成１９年１０月１２日付け口頭審理陳述要領書に基づいて陳述をした。
　なお、平成１９年１０月２６日期日の口頭審理における、審判事件弁駁書における請求人の主張に対する被請求人の意見、並びに、当審の職権による無効理由通知に関する請求人及び被請求人の意見を含む両当事者の陳述は、第１回口頭審理調書に記載のとおりである。
　
第２　当事者の主張
１　請求人の主張
　請求人は、「特許第３１０３３４６号発明の特許請求の範囲の請求項１ないし６に記載された発明についての特許を無効とする。審判費用は被請求人の負担とする、との審決を求める。」と主張し、下記の甲第１号証ないし甲第４号証を提出して、以下の無効理由を主張する。その無効理由の要点は、次のとおりである。
〔無効理由１〕：本件分割特許出願は、分割要件を満たしていないことにより、本件分割特許出願の出願日が実際の出願日である平成１１年２月８日に繰り下がることを前提に、本件特許の請求項１ないし６に係る発明は、本件特許発明の出願前に日本国内において頒布された甲第１号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当して特許を受けることができないか、あるいは、甲第１号証に記載された発明に基づいて、出願前当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　甲第１号証：特開平６−３３８４４７号公報〔原出願である特願平５−１５１５６７号の公開特許公報〕
　
〔無効理由２〕：本件分割特許出願は、分割要件を満たしていないことにより、本件分割特許出願の出願日が実際の出願日である平成１１年２月８日に繰り下がることを前提に、本件特許の請求項１ないし６に係る発明は、本件特許発明の出願前に日本国内において頒布された甲第２号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当して特許を受けることができないか、あるいは、甲第２号証に記載された発明に基づいて、出願前当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　甲第２号証：特開平７−６６１０８号公報
　
〔無効理由３〕：本件特許の請求項１ないし６に係る発明は、本件特許発明の出願前に日本国内において頒布された甲第３号証及び甲第４号証に記載された発明に基づいて、出願前当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　甲第３号証：特開平４−３４１３６７号公報
　甲第４号証：特開平４−１４６６１５号公報
　
〔無効理由４〕：本件特許の明細書及び図面の記載と特許請求の範囲の記載は、それぞれ特許法第３６条第４項第１号と同条第６項第２号に規定する要件を満たしていないものであり、その特許は、特許法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とすべきである。
　
２　被請求人の主張
　被請求人は、請求人の前記主張に対し、平成１９年４月２日付けの訂正請求書を提出するとともに、乙第１号証ないし乙第１９号証を提出して、「本件審判請求は成り立たない、審判費用は請求人の負担とする、との審決を求める。」と主張し、「本件特許に係る分割出願は適法であって、本件請求項１ないし請求項５に係る発明は特許法第１２３条第１項第２号に該当せず、また、本件特許は全ての請求項１ないし請求項５について特許法第１２３条第１項第４号に該当しない。よって、答弁の趣旨のとおりの審決を求める。」旨を主張した。
　
第３　当審の審理
１　訂正請求の訂正の適否についての判断
（１）訂正請求の内容
　被請求人は、請求人の無効審判請求書副本の送付を受けて、平成１９年４月２日付の訂正請求書を提出し、その訂正請求（以下、「
本件訂正請求
本件訂正明細書
ア　〔訂正事項１〕　本件分割特許出願の特許査定時の明細書又は図面（以下、「
本件特許明細書等
「【請求項１】　基板を回転させることにより当該基板の表面に塗布液を塗布する回転式塗布装置において、
　基板を回転可能に支持する基板支持部材と、
　上部が開口し、前記基板支持部材の周辺を囲むケースと、
　前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材と、
　塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して周方向に位置決めする位置決め機構とを備え、
　前記塗布処理空間形成部材の上側中央部には取付部材が立設され、取付部材には水平方向に延在する第１の部材が設けられ、
　前記進退部材には、前記塗布処理空間形成部材の前記第１の部材の下方に位置する第２の部材が設けられ、
　前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には、前記第２の部材に対して前記取付部材および前記第１の部材が相対回転自在となるように設けられていることを特徴とする回転式塗布装置。」
の記載を、
「【請求項１】　基板を回転させることにより当該基板の表面に塗布液を塗布する回転式塗布装置において、
　基板を回転可能に支持する基板支持部材と、
　上部が開口し、前記基板支持部材の周辺を囲むケースと、
　前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材と、
　塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して周方向に位置決めする位置決め機構とを備え、　
　
前記位置決め機構は、前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との離脱時には当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合よりなり、
　前記塗布処理空間形成部材の上側中央部には取付部材が立設され、取付部材には水平方向に延在する第１の部材が設けられ、
　前記進退部材には、前記塗布処理空間形成部材の前記第１の部材の下方に位置する第２の部材が設けられ、
　前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には、前記第２の部材に対して前記取付部材および前記第１の部材が相対回転自在となるように設けられていることを特徴とする回転式塗布装置。」
と訂正する。
　
イ　〔訂正事項２〕　本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項２の、
「【請求項２】　基板を回転させることにより当該基板の表面に塗布液を塗布する回転式塗布装置において、
　基板を回転可能に支持する基板支持部材と、
　塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して周方向に位置決めする位置決め機構とを備え、
　前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とは、前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には前記進退部材による前記塗布処理空間形成部材の支持を解除して前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを互いに非接触状態とする係合部により結合されていることを特徴とする回転式塗布装置。」
の記載を、
「【請求項２】　基板を回転させることにより当該基板の表面に塗布液を塗布する回転式塗布装置において、
　基板を回転可能に支持する基板支持部材と、
　塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して周方向に位置決めする位置決め機構とを備え、　
　
前記位置決め機構は、前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との離脱時には当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合よりなり、
　前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とは、前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には前記進退部材による前記塗布処理空間形成部材の支持を解除して前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを互いに非接触状態とする係合部により結合されていることを特徴とする回転式塗布装置。」
と訂正する。
　
ウ　〔訂正事項３〕　本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項３を削除する。
　
エ　〔訂正事項４〕　本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項４の、
「【請求項４】　基板支持用の回転台と、
　前記回転台を回転させる駆動源と、
　前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板と、
　前記上部板を吊持して昇降させる支持部材と、
　前記上部板と支持部材との間に介在され、上部板が上昇された状態で上部板と支持部材とを結合するとともに、
　上部板が回転台に結合された状態で前記上部板と支持部材との結合状態が解除されて上部板と支持部材とが互いに非接触状態となる係合部とが設けられ、
　前記係合部は、上部板が上昇された状態で上部板の周方向の位置決めが行われるような形状を有していることを特徴とする回転式塗布装置。」
の記載を、
「【請求項４】　基板支持用の回転台と、
　前記回転台を回転させる駆動源と、
　前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板と、
　前記上部板を吊持して昇降させる支持部材と、
　前記上部板と支持部材との間に介在され、上部板が上昇された状態で上部板と支持部材とを結合するとともに、上部板が回転台に結合された状態で前記上部板と支持部材との結合状態が解除されて上部板と支持部材とが互いに非接触状態となる係合部とが設けられ、
　前記係合部は、上部板が上昇された状態で上部板の周方向の位置決めが行われるような形状を有
し、かつ、前記上部板と前記回転台との離脱時には当該上部板と支持部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合よりなる位置決め機構を備えている
と訂正する。
　
オ　〔訂正事項５〕　本件特許明細書等の特許請求の範囲の前記〔訂正事項４〕に係る請求項４を請求項３に繰り上げて、「【請求項４】」を、「【請求項
３
　
カ　〔訂正事項６〕　本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項５の、
「【請求項５】　回転可能な基板支持部材上に基板を水平支持し、当該基板の上面に塗布液を供給して回転させる回転式塗布方法において、
　基板支持部材に基板を支持させる工程と、
　基板支持部材に支持した基板に塗布液を供給する工程と、
　塗布処理空間形成部材を回転不能状態で支持していた進退部材を下降させて塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材と結合させて塗布処理空間を形成するとともに、塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを非接触かつ相対回転可能状態とする工程と、
　基板支持部材と塗布処理空間形成部材とを回転させて基板上の塗布液を拡散流動させる工程と、
　前記進退部材を上昇させることにより、塗布処理空間形成部材を基板支持部材から取り外して回転不能状態で支持する工程とを備えたことを特徴とする回転式塗布方法。」
の記載を、
「【請求項５】　回転可能な基板支持部材上に基板を水平支持し、当該基板の上面に塗布液を供給して回転させる回転式塗布方法において、
　基板支持部材に基板を支持させる工程と、
　基板支持部材に支持した基板に塗布液を供給する工程と、
　塗布処理空間形成部材を
凹凸結合により
凹凸結合を解除させて
　基板支持部材と塗布処理空間形成部材とを回転させて基板上の塗布液を拡散流動させる工程と、
　前記進退部材を上昇させることにより、塗布処理空間形成部材を基板支持部材から取り外して
凹凸結合により
と訂正する。
　
キ　〔訂正事項７〕　本件特許明細書等の特許請求の範囲の前記〔訂正事項６〕に係る請求項５を請求項４に繰り上げて、「【請求項５】」を、「【請求項
４
　
ク　〔訂正事項８〕　本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項６を請求項５に繰り上げて、「【請求項６】」を、「【請求項
５
　
（２）本件訂正請求の訂正の目的の適否について
ア　上記〔訂正事項１〕の訂正は、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項１に「前記位置決め機構は、前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との離脱時には当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合よりなり、」の限定事項を追加することにより、請求項１に係る発明の構成を減縮する訂正であるから、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるものとされた同法第１条の規定による改正前の特許法（以下、「
平成６年改正前特許法
　
イ　上記〔訂正事項２〕の訂正は、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項２に「前記位置決め機構は、前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との離脱時には当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合よりなり、」の限定事項を追加することにより、請求項２に係る発明の構成を減縮する訂正であるから、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とする訂正に該当する。
　
ウ　上記〔訂正事項３〕の訂正は、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項３を削除する訂正であるから、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とする訂正に該当する。
　
エ　上記〔訂正事項４〕の訂正は、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項４に「かつ、前記上部板と前記回転台との離脱時には当該上部板と支持部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合よりなる位置決め機構を備えていること」の限定事項を追加することにより、請求項４に係る発明の構成を減縮する訂正であるから、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とする訂正に該当する。
　
オ　上記〔訂正事項５〕の訂正は、請求項３を削除する〔訂正事項３〕の訂正に伴い、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項４の記載を、本件訂正請求の訂正後の特許請求の範囲の記載に整合させるための訂正であるから、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第３号に掲げる「明りようでない記載の釈明」を目的とする訂正に該当する。
　
カ　上記〔訂正事項６〕の訂正は、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項５に「凹凸結合により」、「凹凸結合を解除させて」及び「凹凸結合により」の語句を挿入することにより、請求項５に係る発明の構成を減縮する訂正であるから、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とする訂正に該当する。
　
キ　上記〔訂正事項７〕の訂正は、請求項３を削除する〔訂正事項３〕の訂正に伴い、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項５の記載を、本件訂正請求の訂正後の特許請求の範囲の記載に整合させるための訂正であるから、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第３号に掲げる「明りようでない記載の釈明」を目的とする訂正に該当する。
　
ク　上記〔訂正事項８〕の訂正は、請求項３を削除する〔訂正事項３〕の訂正に伴い、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項６の記載を、本件訂正請求の訂正後の特許請求の範囲の記載に整合させるための訂正であるから、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第３号に掲げる「明りようでない記載の釈明」を目的とする訂正に該当する。
　
ケ　したがって、本件訂正請求における上記〔訂正事項１〕ないし〔訂正事項８〕の訂正は、いずれも平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第１号又は第３号に掲げる事項を目的とする訂正に該当する。
　
（３）新規事項の有無及び実質上特許請求の範囲の拡張又は変更の存否について
ア　本件訂正請求の本件特許明細書等の特許請求の範囲の減縮を目的とする上記〔訂正事項１〕、〔訂正事項２〕、〔訂正事項３〕、〔訂正事項４〕及び〔訂正事項６〕の訂正、並びに、明りようでない記載の釈明を目的とする上記〔訂正事項５〕、〔訂正事項７〕及び〔訂正事項８〕の訂正は、いずれも本件特許明細書等、すなわち本件分割特許出願の願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてした訂正であると認める。
　したがって、本件訂正請求における上記〔訂正事項１〕ないし〔訂正事項８〕の訂正は、いずれも平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書の規定に適合する。
　
イ　また、本件訂正請求の上記〔訂正事項１〕ないし〔訂正事項８〕の訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　したがって、本件訂正請求における上記〔訂正事項１〕ないし〔訂正事項８〕の訂正は、いずれも特許法第１３４条の２第５項において準用する平成６年改正前特許法第１２６条第２項の規定に適合する。
　
（４）本件訂正請求に対する独立特許要件の有無について
　本件の特許無効審判の請求の趣旨に係る特許発明は、請求項１ないし請求項６に係る発明であり、また、特許無効審判の請求がされている請求項１、請求項２、請求項３及び請求項４に係る発明についての訂正が、上記「（２）本件訂正請求の訂正の目的の適否について」欄に前述したとおり、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とする訂正に該当しているところ、特許法第１３４条の２第５項において読み替えて準用する平成６年改正前特許法第１２６条第３項の「特許無効審判の請求がされていない請求項に係る第１項ただし書第１号又は第２号の場合は、訂正後における特許請求の範囲に記載されている事項により構成される発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものでなければならない。」の規定に該当する、本件の特許無効審判の請求の趣旨から除外されている請求項が、訂正請求に係る特許請求の範囲に存在していないから、当審は、訂正請求の訂正後の請求項に係る発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができるか否かの、いわゆる独立特許要件の有無について、検討をする必要を認めない。
　
（５）むすび
　当審が本件無効審判事件における本件訂正請求について審理をした結果は、以上のとおりであり、本件特許明細書等についての本件訂正請求による訂正は、特許請求の範囲の減縮及び明りようでない記載の釈明を目的とする訂正であるので、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第１号及び第３号に該当し、さらに、前記訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した範囲内においてした訂正であるので、平成６年改正前特許法第１３４条ただし書に適合する。また、前記訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないので、特許法第１３４条の２第５項において準用する平成６年改正前特許法第１２６条第２項の規定に適合する。
　よって、本件訂正請求の訂正を認める。
　
２　審判事件弁駁書の要旨の変更についての判断
　請求人が審判事件弁駁書において提出した新たな証拠方法としての甲第７号証〔平成１７年（行ケ）第１０７９６号審決取消請求事件に関する平成１８年１１月３０日判決言渡の判決文〕及び甲第８号証〔平成１７年（行ケ）第１０２７１号審決取消請求事件に関する平成１８年２月１４日判決言渡の判決文〕を含む、請求人が主張する新たな無効理由は、請求の理由の要旨を変更するものではあるが、当審の審理を不当に遅延させるおそれはなく、また前記新たな無効理由の主張が、被請求人の訂正請求により補正の必要が生じたものであるので、請求人が主張する新たな無効理由は、許可できるものである。
　
３　当審の職権による無効理由通知
　しかして、当審が本件無効審判事件を審理した結果、請求人が主張していない技術事項〔「第３　当審の審理」欄に後記する「４」を参照。〕について、本件分割特許出願は分割要件を満たしていないとした上で、前記分割要件の欠如を前提に、さらに、本件訂正請求後の本件発明１ないし本件発明５に関して職権により審理をした結果として、請求人が提出した甲第１号証ないし甲第４号証の各刊行物の証拠方法を以て、本件訂正請求後の本件発明１ないし本件発明５は、前記証拠方法に記載の各発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである旨の進歩性要件の欠如（特許法第２９条第２項違反）を内容とする無効理由通知、及び、本件分割特許出願が分割要件の欠如を惹起する要因である特許請求の範囲の中の技術事項について、本件訂正明細書における発明の明確性の要件、サポート要件及び実施可能要件の各要件の欠如（特許法第３６条第４項及び同条第６項第１号及び第２号違反）を内容とする無効理由通知〔「第３　当審の審理」欄に後記する「４」を参照。〕を、請求人及び被請求人の両当事者双方に対してファクシミリの送信により通知した。
　
４　当審の職権による無効理由通知の内容の要点
　前記当審の職権による無効理由通知の内容の要点は、請求人及び被請求人の両当事者双方に対して平成１９年８月１４日に送信した下記に示すファクシミリにおける「第１　被請求人に対する事項」欄の「２．」ないし「４．」項の部分に示すとおりである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
『無効審判事件（２００６−８０２７６）に関し、当審が口頭審理において審理する予定の下記の事項について、当事者は、意見等をあらかじめ「口頭審理陳述要領書」にまとめて、口頭審理期日の少なくとも２週間前までに提出してください。
　
　第１　被請求人に対する事項
　１．　請求人が提出した弁駁書の副本を被請求人に送付しますので、その弁駁書における請求人の主張に対する被請求人の意見。
　２．　請求人が審判請求書及び弁駁書において主張する無効理由１（特許法第２９条第１項第３号又は同法第２９条第２項違反）及び無効理由２（特許法第２９条第１項第３号又は同法第２９条第２項違反）に関連して、当審が職権により、本件分割特許出願の分割要件の有無について審理する場合において、本件分割特許出願の願書に添付した明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし請求項６及び訂正請求後の請求項１ないし請求項５に記載の
　ア．「基板を回転可能に支持する基板支持部材」、
　イ．「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」
　ウ．「塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材」、
　エ．「前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材」、
　オ．「前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して周方向に位置決めする位置決め機構」、
　カ．「前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には前記進退部材による前記塗布処理空間形成部材の支持を解除して前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを互いに非接触状態とする係合部」、
　キ．「前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との離脱時には当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合」、
　ク．「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」、
　ケ．「前記上部板を吊持して昇降させる支持部材」、
　コ．「前記上部板と支持部材との間に介在され、上部板が上昇された状態で上部板と支持部材とを結合するとともに、上部板が回転台に結合された状態で前記上部板と支持部材との結合状態が解除されて上部板と支持部材とが互いに非接触状態となる係合部」
の各技術事項について、原出願（特願平５−１５１５６７号）の願書に最初に添付した明細書及び図面におけるそれらの記載の根拠又はそれらの明細書の記載からの自明性についての説明。
　３．　本件分割特許出願の分割要件の有無について、上記２．のア．ないしコ．に記載した各技術事項に関する当審の審理結果を踏まえて、本件分割特許出願が特許法第４４条に規定する分割要件を満たしていないと当審が判断する場合において、本件第３１０３３４６号特許の訂正請求後の請求項１ないし請求項５に係る特許発明は、本件分割特許出願の現実の特許出願日前に頒布された甲第１号証及び甲第２号証、並びに、甲第３号証及び甲第４号証の各刊行物に記載の各発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるという、当審の職権による無効理由通知（特許法第２９条第２項違反）に対する、被請求人の意見。
　４．　請求人が審判請求書及び弁駁書において主張する無効理由４（特許法第３６条第４項及び同条第６項第２号違反）に関連して、当審が職権により、本件分割特許出願の記載要件の有無について審理する場合において、上記２．のア．ないしコ．に記載した各技術事項について、本件分割特許出願は、訂正明細書の特許請求の範囲の各請求項に係る発明の明確性の要件、訂正明細書の発明の詳細な説明における記載のサポート要件及び実施可能要件の各要件を満たしていないという、当審の職権による無効理由通知（特許法第３６条第４項及び同条第６項第１号及び第２号違反）に対する、被請求人の意見。
　
　第２　請求人に対する事項
　１．　請求人が審判請求書及び弁駁書において主張する無効理由１（特許法第２９条第１項第３号又は同法第２９条第２項違反）に関して、本件第３１０３３４６号特許の訂正請求後の請求項１ないし請求項５に係る特許発明の各構成要素と、甲第１号証刊行物に記載の発明の各構成要素との個々の具体的な対応関係についての説明。
　２．　請求人が審判請求書及び弁駁書において主張する無効理由２（特許法第２９条第１項第３号又は同法第２９条第２項違反）に関して、本件第３１０３３４６号特許の訂正請求後の請求項１ないし請求項５に係る特許発明の各構成要素と、甲第２号証刊行物に記載の発明の引用すべき各構成要素との個々の具体的な対応関係についての説明。
　３．　上記「第１　被請求人に対する事項」欄の３．において指摘した当審の職権による無効理由通知（特許法第２９条第２項違反）に対する、請求人の意見。
　４．　上記「第１　被請求人に対する事項」欄の４．において指摘した当審の職権による無効理由通知（特許法第３６条第４項及び同条第６項第１号及び第２号違反）に対する、請求人の意見。』
　
第４　当審の職権による無効理由の前提となる分割要件の有無についての検討
１　本件特許の請求項１ないし請求項５に係る発明
　上記のとおり、本件訂正請求の訂正が認められたので、本件特許の請求項１に係る発明（本件発明１）ないし請求項５に係る発明（本件発明５）は、訂正請求書に添付された本件訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし請求項５に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】　基板を回転させることにより当該基板の表面に塗布液を塗布する回転式塗布装置において、
　基板を回転可能に支持する基板支持部材と、
　上部が開口し、前記基板支持部材の周辺を囲むケースと、
　前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材と、
　塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して周方向に位置決めする位置決め機構とを備え、
　前記位置決め機構は、前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との離脱時には当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合よりなり、
　前記塗布処理空間形成部材の上側中央部には取付部材が立設され、取付部材には水平方向に延在する第１の部材が設けられ、
　前記進退部材には、前記塗布処理空間形成部材の前記第１の部材の下方に位置する第２の部材が設けられ、
　前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には、前記第２の部材に対して前記取付部材および前記第１の部材が相対回転自在となるように設けられていることを特徴とする回転式塗布装置。
　【請求項２】　基板を回転させることにより当該基板の表面に塗布液を塗布する回転式塗布装置において、
　基板を回転可能に支持する基板支持部材と、
　塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して周方向に位置決めする位置決め機構とを備え、
　前記位置決め機構は、前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との離脱時には当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合よりなり、
　前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とは、前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には前記進退部材による前記塗布処理空間形成部材の支持を解除して前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを互いに非接触状態とする係合部により結合されていることを特徴とする回転式塗布装置。
　【請求項３】　基板支持用の回転台と、
　前記回転台を回転させる駆動源と、
　前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板と、
　前記上部板を吊持して昇降させる支持部材と、
　前記上部板と支持部材との間に介在され、上部板が上昇された状態で上部板と支持部材とを結合するとともに、上部板が回転台に結合された状態で前記上部板と支持部材との結合状態が解除されて上部板と支持部材とが互いに非接触状態となる係合部とが設けられ、
　前記係合部は、上部板が上昇された状態で上部板の周方向の位置決めが行われるような形状を有し、かつ、前記上部板と前記回転台との離脱時には当該上部板と支持部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合よりなる位置決め機構を備えていることを特徴とする回転式塗布装置。
　【請求項４】　回転可能な基板支持部材上に基板を水平支持し、当該基板の上面に塗布液を供給して回転させる回転式塗布方法において、
　基板支持部材に基板を支持させる工程と、
　基板支持部材に支持した基板に塗布液を供給する工程と、
　塗布処理空間形成部材を凹凸結合により回転不能状態で支持していた進退部材を下降させて塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材と結合させて塗布処理空間を形成するとともに、凹凸結合を解除させて塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを非接触かつ相対回転可能状態とする工程と、
　基板支持部材と塗布処理空間形成部材とを回転させて基板上の塗布液を拡散流動させる工程と、
　前記進退部材を上昇させることにより、塗布処理空間形成部材を基板支持部材から取り外して凹凸結合により回転不能状態で支持する工程とを備えたことを特徴とする回転式塗布方法。
　【請求項５】　請求項１に記載の回転式塗布装置において、
　前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材とは、
　前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じるとともに、前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる部材により構成されることを特徴とする回転式塗布装置。」
　
２　分割要件の有無についての検討
（１）本件発明１ないし本件発明５の技術事項についての分割の根拠についての検討
　本件発明１ないし本件発明５は、上記「１　本件特許の請求項１ないし請求項５に係る発明」欄に前掲したとおりのものであるが、上記「第３　当審の審理」欄の「４　当審の職権による無効理由通知の内容の要点」に示した「第１　被請求人に対する事項」の「２．」に指摘してあるとおり、本件発明１ないし本件発明５には、
　「基板を回転可能に支持する基板支持部材」、
　「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」、
　「塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材」、
　「前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材」、
　「前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して周方向に位置決めする位置決め機構」、
　「前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には前記進退部材による前記塗布処理空間形成部材の支持を解除して前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを互いに非接触状態とする係合部」、
　「前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との離脱時には当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合」、
　「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」、
　「前記上部板を吊持して昇降させる支持部材」及び
　「前記上部板と支持部材との間に介在され、上部板が上昇された状態で上部板と支持部材とを結合するとともに、上部板が回転台に結合された状態で前記上部板と支持部材との結合状態が解除されて上部板と支持部材とが互いに非接触状態となる係合部」
の技術事項が記載されている。
　しかして、特許法第４４条には、
『第四四条（特許出願の分割）
　　特許出願人は、願書に添附した明細書又は図面について補正をすることができる時又は期間内に限り、二以上の発明を包含する特許出願の一部を一又は二以上の新たな特許出願とすることができる。
　２　前項の場合は、新たな特許出願は、もとの特許出願の時にしたものとみなす。ただし、新たな特許出願が第二十九条の二に規定する他の特許出願又は実用新案法第三条の二に規定する特許出願に該当する場合におけるこれらの規定の適用並びに第三十条第四項、第四十一条第四項並びに前条第一項及び第二項の規定の適用については、この限りでない。』
と規定されている。
　そこで、前記の技術事項を有する発明が本件分割特許出願のもとの出願である原出願（特願平５−１５１５６７号）に包含されていたか否かについて、換言すれば、前記の技術事項が、前記原出願の願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、「
原出願の当初明細書等
　
（２）原出願の当初明細書等における記載事項
ア　「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項についての検討
（ア）まず、原出願の当初明細書等が記載されている甲第１号証〔特開平６−３３８４４７号公報〕の記載を精査すると、前記甲第１号証の明細書及び図面には、本件発明１及び本件発明５の構成要件である前記「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の文言が記載されておらず、また、それを示唆する記載も前記甲第１号証の中に認めることができない。
　
（イ）そこで、前記「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」に対応する部材であると被請求人が主張する「固定支持部材１６」に関する技術事項の記載について精査すると、甲第１号証の中に、次のａ〜ｍの事項が記載されている。
　ａ　「【請求項２】　請求項１に記載の回転台洗浄手段が、
　中央に開口を有し、かつ、回転台上に支持された基板の上面と所定の間隔をもって平行に設けられるとともに前記回転台と一体に回転される上部回転板と、
　前記開口を開閉する蓋と、
　前記蓋を開き位置に変位した状態の前記開口を通じて前記上部回転板の下方に変位し、前記回転台の上面に向けて洗浄液を噴射するように固定支持部材に設けた洗浄ノズルと、
　から構成されたものである回転式塗布装置。」
　ｂ　「【請求項３】　請求項２に記載の蓋を、固定支持部材に取り付けた駆動開閉機構によって閉じ位置と開き位置とに変位可能に設け、かつ、洗浄ノズルを、固定支持部材に取り付けた駆動機構によって洗浄位置と非洗浄位置とに変位可能に設けたものである回転式塗布装置。」
　ｃ　「【０００６】　また、請求項２に係る発明の回転式塗布装置は、上述のような目的を達成するために、請求項１に係る発明の回転式塗布装置における回転台洗浄手段を、中央に開口を有し、かつ、回転台上に支持された基板の上面と所定の間隔をもって平行に設けられるとともに前記回転台と一体に回転される上部回転板と、開口を開閉する蓋と、その蓋を開き位置に変位した状態の開口を通じて上部回転板の下方に変位し、回転台の上面に向けて洗浄液を噴射するように固定支持部材に設けた洗浄ノズルとから構成する。」
　ｄ　「【０００７】　また、請求項３に係る発明の回転式塗布装置は、上述のような目的を達成するために、請求項２に係る発明の回転式塗布装置における蓋を、固定支持部材に取り付けた駆動開閉機構によって閉じ位置と開き位置とに変位可能に設け、かつ、洗浄ノズルを、固定支持部材に取り付けた駆動機構によって洗浄位置と非洗浄位置とに変位可能に設けて構成する。」
　ｅ　「【００１４】　図１は本発明に係る回転式塗布装置の第１実施例の全体の概略構成を示す縦断正面図であり、角型基板１を載置する回転台２が鉛直方向の軸心Ｐ周りに水平回転可能に設けられ、その回転台２の上方に、回転台２と平行に上部回転板３が設けられるとともに、その上部回転板３が回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられ、これら回転部材の下方及び周辺部を外から囲むように廃液回収ケース５が設けられ、前記回転台２に、縦向き回転軸としての出力軸６を介して電動モータ７が連結されている。」
　ｆ　「【００１８】　前記廃液回収ケース５の上部に筒状カバー１５が取り付けられ、その筒状カバー１５に固定支持部材１６が着脱可能に取り付けられている。」
　ｇ　「【００１９】　図２の要部の一部切欠拡大正面図、図３および図４の要部の平面図、図５の要部の側面図に示すように、上部回転板３の中央には開口１９が形成され、この開口１９の鉛直方向上方位置において、固定支持部材１６の上方側支持プレート１６ａに駆動開閉機構としての第１のエアシリンダ２０が取り付けられ、その第１のエアシリンダ２０のシリンダロッド２０ａの先端にブロック２１が取り付けられるとともに、ブロック２１に相対昇降および相対回転可能に有底筒状の前記蓋１７が吊り下げ保持されている。」
　ｈ　「【００２２】　上方側支持プレート１６ａの第１のエアシリンダ２０の横側方に、鉛直方向の軸芯周りで９０°の範囲で回転可能な第２のエアシリンダ２４が設けられるとともに、その第２のエアシリンダ２４のシリンダロッド２４ａにスプライン軸２５が連結されている。スプライン軸２５に昇降のみ可能にスプライン筒２６が取り付けられるとともに、スプライン筒２６に回転のみ可能に回転筒２７が取り付けられている。回転筒２７に洗浄ノズル１８が一体的に取り付けられるとともに、上方側支持プレート１６ａの第２のエアシリンダ２４の横側方下側に設けられた第３のエアシリンダ２８のシリンダロッド２８ａに回転筒２７が連結されている。図示しないが、洗浄ノズル１８には、洗浄液圧送機構に接続された配管が接続されている。上述の構成により、回転台２の上面に向けて洗浄液を噴出する回転台洗浄手段が構成されている。」
　ｉ　「【００２４】　固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂは環状に形成され、その内周面側に寄った上面の周方向所定の４箇所それぞれに、山形状の係合突起２９が設けられ、一方、下方側支持プレート１６ｂよりも上方に位置するように、上部支持板４に取付部材３０…を介して環状プレート３１が取り付けられるとともに、その環状プレート３１の周方向所定の４箇所それぞれに、係合突起２９を嵌入する筒体３２が設けられ、前記上部回転板３を着脱する際に、係合突起２９…を筒体３２…に嵌入することにより、固定支持部材１６で吊り下げることができるように構成されている。」
　ｊ　「【００２５】　以上の構成により、先ず、塗布処理に際しては、固定支持部材１６を筒状カバー１５から取り外すとともに上部支持板４を回転台２から取り外し、固定支持部材１６で吊り下げて上部回転板３を上方に外して角型基板１を回転台２の基板支持ピン８…上に所定の姿勢で載置する。」
　ｋ　「【００２６】　次に、図示しない塗布液供給手段としての塗布液供給ノズルを角型基板１の中央上方に移動させ、所定量の塗布液を滴下供給する。その後、固定支持部材１６で吊り下げて上部支持板４を搬入し、上部支持板４をリングプレート１０上に、そして、固定支持部材１６を筒状カバー１５上にそれぞれ取り付け、図６の要部の正面図に示すように、第１のエアシリンダ２０を伸長して蓋１７を駆動変位し、上部回転板３の開口１９を閉じておくとともに洗浄ノズル１８を非洗浄位置に変位しておく。」
　ｌ　「【００２９】　所定回数の回転塗布処理が行われると、固定支持部材１６を筒状カバー１５から取り外すとともに上部支持板４を回転台２から取り外し、固定支持部材１６で吊り下げて上部回転板３を上方に外して角型基板１を取り出してから、上部支持板４をリングプレート１０上に、そして、固定支持部材１６を筒状カバー１５上にそれぞれ取り付け、その後に、第１のエアシリンダ２０を短縮して蓋１７を開き位置に駆動変位する。」
　ｍ　甲第１号証の回転式塗布装置のそれぞれ第１実施例及び第２実施例の全体の概略構成を示す縦断正面図である【図１】及び【図７】に、固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分が、廃液回収ケース５の上部に取り付けられた筒状カバー１５の上面に掛け渡された状態で載置されている状態が図示されている。
　
（ウ）しかして、かかる甲第１号証の上記ａ〜ｍの技術事項から、甲第１号証には、「鉛直方向の軸心Ｐ周りに水平回転可能に角型基板１を載置する回転台２が設けられ、前記回転台２の上方に、回転台２と平行に上部回転板３が設けられるとともに、前記回転台２に縦向き回転軸としての出力軸６を介して電動モータ７が連結されていて、前記上部回転板３が回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられ、これら回転部材の下方及び周辺部を外から囲むように廃液回収ケース５設けられ、さらに前記廃液回収ケース５の上部に筒状カバー１５が取り付けられていて、前記筒状カバー１５の上面に掛け渡された状態で、固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分が、筒状カバー１５に着脱可能に取り付けられている回転式塗布装置」の実施例の記載を認めることができる。
　
（エ）しかしながら、（カ）に後述する理由により、甲第１号証の記載からは、前記「固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分」が「ケースの開口を閉じる部材」である、とはいえない。
　
（オ）したがって、被請求人の主張するところの「固定支持部材１６」が「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」であることの根拠となる記載を、甲第１号証の中に認めることができない。また、「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項が、甲第１号証の記載から自明であるということもできない。
　
（カ）ここで、被請求人の主張について検討する。
ａ　被請求人は、口頭審理陳述要領書の１１頁９〜２０行において、「そして、甲第１号証（特に上記各箇所の記載）に記載されている技術内容を出願時において当業者が客観的に判断すれば、『前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材』自体が記載してあったことに相当すると認められる。なぜなら、原出願の出願時における当業者は、『断面図において基板を処理する容器に形成された『開口』の両側縁部に当接する『部材』が明示されている場合は、その『部材』が容器の『開口』を閉じることを意味する』という技術常識を通常の知識として有するからである。よって、『前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材』は、当業者が原出願の当初明細書等の記載からみて自明な事項である。したがって、技術事項イは、原出願（特願平５−１５１５６７号）の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内である。」と主張し、「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項は、甲第１号証に記載されていた事項から自明である旨を主張する。
　
ｂ　しかして、前記甲第１号証には、「鉛直方向の軸心Ｐ周りに水平回転可能に角型基板１を載置する回転台２が設けられ、前記回転台２の上方に、回転台２と平行に上部回転板３が設けられるとともに、前記回転台２に縦向き回転軸としての出力軸６を介して電動モータ７が連結されていて、前記上部回転板３が回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられ、これら回転部材の下方及び周辺部を外から囲むように廃液回収ケース５設けられ、さらに前記廃液回収ケース５の上部に筒状カバー１５が取り付けられていて、前記筒状カバー１５の上面に掛け渡された状態で、固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分が、筒状カバー１５に着脱可能に取り付けられている回転式塗布装置」が記載されていることは、上記「（２）原出願の当初明細書等における記載事項」欄の「ア」の「（ウ）」に前述したとおりであり、前記甲第１号証の図１及び図７に図示されている前記「固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分」を、被請求人は、断面図において基板を処理する容器に形成された「開口」の両側縁部に当接する「部材」であると主張する。
　
ｃ　しかしながら、甲第１号証の図１及び図７は、それぞれ回転式塗布装置の第１実施例及び第２実施例の全体の概略構成を示す「縦断正面図」であって、前記図１及び図７が、被請求人が主張する「縦断図」であるということについては、甲第１号証に明示の記載がない。
　　しかして、甲第１号証の図１及び図７に表示されている「固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分」としての「断面図において基板を処理する容器に形成された『開口』の両側縁部に当接する『部材』」は、正面図、平面図、側面図等において、目で見える部材の表面の表示に用いられる「実線」で表記されていることが明らかである。
　
ｄ　仮に、甲第１号証の図１及び図７が、被請求人の主張する「断面図」であるとするとした場合には、断面図における紙面に平行な破断面により破断されて表れる部材の断面のすべては、部材ごとに線間隔及び線方向の違える約４５°の平行斜線のハッチングが施されて表記されるという、当業者の技術常識である「断面図の表記ルール」に従えば、甲第１号証の図１及び図７に図示されている「固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分」としての「断面図において基板を処理する容器に形成された『開口』の両側縁部に当接する『部材』」は、線間隔及び線方向の違える約４５°の平行斜線のハッチングが施されて表記されてしかるべきであるのに、前述のとおり、正面図、平面図、側面図等において、目で見える部材の表面の表示に用いられる「実線」で表記されている。
　　そして、前記「断面図の表記ルール」が、当業者の技術常識であることは、被請求人が提出した乙第１ないし１９号証に図示されている諸々の断面図の表記を参照すれば、断面図における部材の断面は、ことごとく部材ごとに線間隔及び線方向の違える約４５°の平行斜線のハッチングが施されて表記されている事実からみても、明らかなことである。
　
ｅ　したがって、甲第１号証の図１及び図７は、やはり被請求人が主張する純粋な「縦断図（縦断面図）」ではなく、甲第１号証の図面の簡単な説明欄に説明されているとおり、甲第１号証の図１及び図７は、正面図と断面図とを混合して、正面図の一部を断面で表した「縦断正面図」であると考えるのが相当である。
　　そうすると、被請求人の「原出願の出願時における当業者は、『断面図において基板を処理する容器に形成された「開口」の両側縁部に当接する「部材」が明示されている場合は、その「部材」が容器の「開口」を閉じることを意味する』という技術常識を通常の知識として有するからである。」という主張は、甲第１号証の図１及び図７が「断面図」であるという前提を欠いているといえる。
　
ｆ　そして、甲第１号証の図１及び図７が、正面図の一部を断面で表した「縦断正面図」であるとすると、甲第１号証の図１及び図７に図示されている「固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分」が、廃液回収ケース５の上部に取り付けられた筒状カバー１５に着脱可能に取り付けられていることから、甲第１号証の図１及び図７は、前記「固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分」が、廃液回収ケース５の上部に取り付けられた筒状カバー１５の開口の全面を塞いでいる（閉じている）のではなく、甲第１号証の図１及び図７の「縦断正面図」における紙面に平行な破断面よりも手前側の筒状カバー１５の開口に、前記「固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分」が存在していない状態、すなわち、筒状カバー１５の開口の一部が塞がれていない（閉じていない）状態を、図示したものといえる。
　
ｇ　ところで、本件発明１及び本件発明５の構成要件である「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の中の「ケース」の文言は、甲第１号証の発明の詳細な説明にしたがえば、「廃液回収ケース５」を意味すると考えるのが自然であるところ、甲第１号証には、「【００１８】　前記廃液回収ケース５の上部に筒状カバー１５が取り付けられ、その筒状カバー１５に固定支持部材１６が着脱可能に取り付けられている。」と明記されていて、「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」に相当する部材であると被請求人が主張する「固定支持部材１６」は、「ケース（廃液回収ケース５）」に着脱可能に設けられているのではなく、廃液回収ケース５の上部に取り付けられた「筒状カバー１５」に着脱可能に取り付けられるものとして、甲第１号証に記載されている。
　　しかしながら、前記「ケース」の定義として、「筒状カバー１５」が本件発明１及び本件発明５の前記構成要件の「ケース」であるという説明が、甲第１号証に何らも記載されていないことから、本件発明１及び本件発明５の構成要件である「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」は、甲第１号証の発明の詳細な説明に記載されてなく、また甲第１号証の図面に図示されてもいないことが明らかである。
　
ｈ　以上のとおりであり、甲第１号証の図１及び図７の回転式塗布装置の第１実施例及び第２実施例の全体の概略構成を示す「縦断正面図」に図示されている「基板を処理する容器に形成された『開口』の両側縁部に当接する『部材』」は、被請求人が主張する「容器の『開口』を閉じることを意味する」ということができない。
　
ｉ　そうすると、被請求人が甲第１号証に示唆されていると主張する「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項は、甲第１号証に示唆されてもいないことが明らかである。
　　したがって、「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項は、甲第１号証に記載されていた事項から自明である旨の被請求人の主張は、根拠がなく到底採用することができないものである。
　
（キ）そうしてみると、本件分割特許出願のもとの出願である原出願の当初明細書等である上記甲第１号証には、本件発明１及び本件発明５における上記「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項が記載されていたということができない。
　そして、本件発明１及び本件発明５の前記「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項が、本件分割特許出願のもとの出願である原出願の当初明細書等である前記甲第１号証に記載されていた事項から自明であるということもできない。
　したがって、本件分割特許出願のもとの出願である原出願には、「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項をその構成要件とする本件発明１及び本件発明５が包含されていたということができない。
　
イ　「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」、「前記上部板を吊持して昇降させる支持部材」及び「前記上部板と支持部材との間に介在され、上部板が上昇された状態で上部板と支持部材とを結合するとともに、上部板が回転台に結合された状態で前記上部板と支持部材との結合状態が解除されて上部板と支持部材とが互いに非接触状態となる係合部」の技術事項についての検討
（ア）まず、原出願の当初明細書等が記載されている甲第１号証〔特開平６−３３８４４７号公報〕の記載を精査すると、前記甲第１号証の明細書及び図面には、本件発明３の構成要件である前記「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」、「前記上部板を吊持して昇降させる支持部材」及び「前記上部板と支持部材との間に介在され、上部板が上昇された状態で上部板と支持部材とを結合するとともに、上部板が回転台に結合された状態で前記上部板と支持部材との結合状態が解除されて上部板と支持部材とが互いに非接触状態となる係合部」の文言が記載されておらず、また、それを示唆する記載も前記甲第１号証の中に認めることができない。
　
（イ）そこで、被請求人が口頭審理陳述要領書において「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」であると主張する前記甲第１号証の「上部回転板３と上部支持板４」に関する技術事項の記載について精査すると、甲第１号証の中に、次のｎ〜ｚの事項が記載されている。
　ｎ　「【０００６】　また、請求項２に係る発明の回転式塗布装置は、上述のような目的を達成するために、請求項１に係る発明の回転式塗布装置における回転台洗浄手段を、中央に開口を有し、かつ、回転台上に支持された基板の上面と所定の間隔をもって平行に設けられるとともに前記回転台と一体に回転される上部回転板と、開口を開閉する蓋と、その蓋を開き位置に変位した状態の開口を通じて上部回転板の下方に変位し、回転台の上面に向けて洗浄液を噴射するように固定支持部材に設けた洗浄ノズルとから構成する。」
　ｏ　「【００１０】　また、請求項２に係る発明の回転式塗布装置の構成によれば、通常の、基板を回転しながら行う塗布液の塗布は、蓋を閉じ位置に変位させて、従来同様に基板上部での空気層の乱れを生じさせることなく行うことができる。そして、所定の回転塗布を行った後には、蓋を開き位置に変位し、開口を通じて洗浄ノズルを上部回転板の下方に変位させ、洗浄ノズルに洗浄液を噴出しながら上部回転板を回転台と共に回転駆動することにより、洗浄ノズルから回転台の上面に噴出した洗浄液を回転台の上面に沿って遠心流動させ、先の回転塗布処理中に回転台の上面に付着した塗布液を洗浄し、その後の回転塗布処理を均一に、かつ汚染のない状態で行うことができる。」
　ｐ　「【００１４】　図１は本発明に係る回転式塗布装置の第１実施例の全体の概略構成を示す縦断正面図であり、角型基板１を載置する回転台２が鉛直方向の軸心Ｐ周りに水平回転可能に設けられ、その回転台２の上方に、回転台２と平行に上部回転板３が設けられるとともに、その上部回転板３が回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられ、これら回転部材の下方及び周辺部を外から囲むように廃液回収ケース５が設けられ、前記回転台２に、縦向き回転軸としての出力軸６を介して電動モータ７が連結されている。」
　ｑ　「【００１６】　また、回転台２の外周上面には、回転台２と同外径のスペーサリング９およびリングプレート１０が同心円線上の場所に複数箇所で連結されるとともに、このリングプレート１０に上部支持板４がノブボルト１１を介して着脱自在に取り付けられ、上部支持板４を取り外すことで、リングプレート１０の中央開口から基板１を出し入れすることができるようになっている。」
　ｒ　「【００１７】　前記上部回転板３は基板１の外形形状より大径の円板に構成され、上部支持板４の下面にカラー１２を介してボルト連結されている。廃液回収ケース５の底部は絞り込まれ、その下端に廃液排出口１３が形成されるとともに、周方向の複数箇所には塗布液から蒸発した溶剤ガスや塗布液ミストを排出する排気口１４が形成されている。」
　ｓ　「【００２４】　固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂは環状に形成され、その内周面側に寄った上面の周方向所定の４箇所それぞれに、山形状の係合突起２９が設けられ、一方、下方側支持プレート１６ｂよりも上方に位置するように、上部支持板４に取付部材３０…を介して環状プレート３１が取り付けられるとともに、その環状プレート３１の周方向所定の４箇所それぞれに、係合突起２９を嵌入する筒体３２が設けられ、前記上部回転板３を着脱する際に、係合突起２９…を筒体３２…に嵌入することにより、固定支持部材１６で吊り下げることができるように構成されている。」
　ｔ　「【００２５】　以上の構成により、先ず、塗布処理に際しては、固定支持部材１６を筒状カバー１５から取り外すとともに上部支持板４を回転台２から取り外し、固定支持部材１６で吊り下げて上部回転板３を上方に外して角型基板１を回転台２の基板支持ピン８…上に所定の姿勢で載置する。」
　ｕ　「【００２６】　次に、図示しない塗布液供給手段としての塗布液供給ノズルを角型基板１の中央上方に移動させ、所定量の塗布液を滴下供給する。その後、固定支持部材１６で吊り下げて上部支持板４を搬入し、上部支持板４をリングプレート１０上に、そして、固定支持部材１６を筒状カバー１５上にそれぞれ取り付け、図６の要部の正面図に示すように、第１のエアシリンダ２０を伸長して蓋１７を駆動変位し、上部回転板３の開口１９を閉じておくとともに洗浄ノズル１８を非洗浄位置に変位しておく。」
　ｖ　「【００２７】　その後、電動モータ７を起動して回転台２、上部支持板４、上部回転板３および角型基板１を一体に水平回転させる。この回転によって角型基板１上の塗布液は遠心力によって外方に拡散流動して角型基板１上面に薄く塗布される。この場合、回転台２と上部回転板３との間に形成された偏平な塗布処理空間Ｓの空気層も一体に回転し、角型基板１上に気流が発生しない状態で塗布液の拡散流動が行われる。」
　ｗ　「【００２８】　角型基板１上を流動して外周に到達した余剰塗布液は角型基板１の周縁から流出し、塗布処理空間Ｓの外周全域から飛散してゆく。そして、飛散した塗布液はスペーサリング９の上下に形成されている間隙を通って廃液回収ケース５内に流出して回収される。」
　ｘ　「【００３０】　しかる後、第２のエアシリンダ２４を作動して洗浄ノズル１８を開口１９の上方位置まで回転変位し、その状態から第３のエアシリンダ２８を伸長して洗浄ノズル１８を下降させ、開口１９を通じて、図５に示すように、上部回転板３の下方の洗浄位置まで変位する。その状態で、電動モータ７を起動して回転台２、上部支持板４、上部回転板３を一体に水平回転させながら、洗浄ノズル１８から回転台２の上面に洗浄液を噴出供給し、遠心力を利用して、回転台２の上面に付着した塗布液のミストを洗浄除去する。」
　ｙ　「【００３５】　また、請求項２に係る発明の回転式塗布装置によれば、上部回転板に設けた開口を通じて洗浄ノズルを上部回転板の下方に変位させ、洗浄ノズルから回転台の上面に洗浄液を噴出することにより、回転台の上面に付着した塗布液を洗浄するから、回転台の上面に対する洗浄を、上部回転板を取り外しての洗浄をせずに短時間で簡単容易に行うことができ、基板に対して、均一な膜厚で、かつ汚染のない塗布処理を効率的に行うことができる。」
　ｚ　甲第１号証の図１には、「鉛直方向の軸心Ｐ周りに水平回転可能に角型基板１を載置する回転台２が設けられ、前記回転台２の上方に、回転台２と平行に上部回転板３が設けられるとともに、前記回転台２に縦向き回転軸としての出力軸６を介して電動モータ７が連結されていて、前記上部回転板３が回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられ、これら回転部材の下方及び周辺部を外から囲むように廃液回収ケース５が設けられ、さらに前記廃液回収ケース５の上部に筒状カバー１５が取り付けられていて、前記筒状カバー１５の上面に掛け渡された状態で、固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分が、筒状カバー１５に着脱可能に取り付けられ、回転台２の外周上面には、回転台２と同外径のスペーサリング９およびリングプレート１０が連結されるとともに、このリングプレート１０に上部支持板４がノブボルト１１を介して取り付けられ、前記上部回転板３は前記上部支持板４の下面にカラー１２を介してボルト連結されており、固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂ上面に設けられた係合突起２９を、上部支持板４に取付部材３０を介して取り付けられる環状プレート３１に設けられた筒体３２に嵌入することにより、固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂで前記上部支持板４を吊り下げることができるように構成されている回転式塗布装置」が図示されている。
　
（ウ）しかして、かかる甲第１号証の上記ｎ〜ｚの技術事項から、次の実施例の記載を、甲第１号証に認めることができる。
　「角型基板１を水平支持した状態で回転させる回転台２と、前記回転台２上に支持された角型基板１の上面に塗布液を供給する塗布液供給手段とを備えた回転式塗布装置において、
　鉛直方向の軸心Ｐ周りに水平回転可能に角型基板１を載置する回転台２が設けられ、前記回転台２の上方に、回転台２と平行に上部回転板３が設けられるとともに、前記回転台２に縦向き回転軸としての出力軸６を介して電動モータ７が連結されていて、前記上部回転板３が回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられて、回転台２と上部回転板３との間に形成された偏平な塗布処理空間Ｓの空気層も一体に回転し、これら回転部材の下方及び周辺部を外から囲むように廃液回収ケース５が設けられ、さらに前記廃液回収ケース５の上部に筒状カバー１５が取り付けられていて、前記筒状カバー１５の上面に掛け渡された状態で、固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分が、筒状カバー１５に着脱可能に取り付けられ、
　回転台２の外周上面には、回転台２と同外径のスペーサリング９およびリングプレート１０が同心円線上の場所に複数箇所で連結されるとともに、このリングプレート１０に上部支持板４がノブボルト１１を介して着脱自在に取り付けられ、上部支持板４を取り外すことで、リングプレート１０の中央開口から基板１を出し入れすることができるようになっており、
　前記上部回転板３は基板１の外形形状より大径の円板に構成され、前記上部支持板４の下面にカラー１２を介してボルト連結されており、
　固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂは環状に形成され、その内周面側に寄った上面の周方向所定の４箇所それぞれに、山形状の係合突起２９が設けられ、一方、下方側支持プレート１６ｂよりも上方に位置するように、上部支持板４に取付部材３０…を介して環状プレート３１が取り付けられるとともに、その環状プレート３１の周方向所定の４箇所それぞれに、係合突起２９を嵌入する筒体３２が設けられ、前記上部回転板３を着脱する際に、係合突起２９…を筒体３２…に嵌入することにより、固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂで前記上部支持板４を吊り下げることができるように構成されていて、
　塗布処理に際しては、固定支持部材１６を筒状カバー１５から取り外すとともに上部支持板４を回転台２から取り外し、固定支持部材１６で吊り下げて上部回転板３を上方に外して角型基板１を回転台２の基板支持ピン８…上に所定の姿勢で載置するようにした回転式塗布装置」
　
（エ）しかしながら、（カ）に後述する理由により、甲第１号証の記載からは、甲第１号証の「上部回転板３と上部支持板４」が、前記「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」である、とはいえない。
　
（オ）したがって、被請求人の主張するところの甲第１号証の「上部回転板３と上部支持板４」が「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」であることの根拠となる記載を、甲第１号証の中に認めることができない。また、前記「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」の技術事項が、甲第１号証の記載から自明であるということもできない。
　
（カ）ここで、被請求人の主張について検討する。
ａ　被請求人は、口頭審理陳述要領書の１３頁１７〜２０行において、「以上より、技術事項クに記載される『上部板』は、甲第１号証に記載される上部回転板３および上部支持板４に相当すること、および、この『上部板』に関する技術事項クは、原出願（特願平５−１５１５６７号）の願書に最初に添付した明細書又は図面に明示的に記載されている。」と主張し、前記「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」の技術事項は、甲第１号証に明示的に記載されているので、甲第１号証に記載した事項の範囲内である旨を主張する。
　
ｂ　しかして、前記甲第１号証には、上記「（２）原出願の当初明細書等における記載事項」欄の「イ」の「（ウ）」に前述したとおりの「回転式塗布装置」の実施例が記載されているところ、前記甲第１号証の図１に図示されている前記回転式塗布装置の「上部回転板３と上部支持板４」を、被請求人は、「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」であると主張する。
　
ｃ　しかしながら、甲第１号証の段落【００２７】には、「その後、電動モータ７を起動して回転台２、上部支持板４、上部回転板３および角型基板１を一体に水平回転させる。この回転によって角型基板１上の塗布液は遠心力によって外方に拡散流動して角型基板１上面に薄く塗布される。この場合、回転台２と上部回転板３との間に形成された偏平な塗布処理空間Ｓの空気層も一体に回転し、角型基板１上に気流が発生しない状態で塗布液の拡散流動が行われる。」と明記されているのであり、甲第１号証の前記段落【００２７】の記載によれば、「偏平な塗布処理空間Ｓ」は、回転台２と上部回転板３との間に形成されるものとして記載されていることが明らかである。そして、回転台２とで偏平な塗布処理空間Ｓを形成する「上部回転板３」は、甲第１号証の段落【００１７】の記載によれば、上部支持板４の下面にカラー１２を介してボルト連結されるものとされている。
　　そして、甲第１号証の図５及び図７の図示では、「偏平な塗布処理空間Ｓ」は、回転台２と上部回転板３との間に形成されており、被請求人が「上部回転板３」とともに「上部板」であると主張する「上部支持板４」は、「偏平な塗布処理空間Ｓ」の形成には全く寄与していないことが明らかである。
　
ｄ　さらに、甲第１号証の段落【００１６】には、「また、回転台２の外周上面には、回転台２と同外径のスペーサリング９およびリングプレート１０が同心円線上の場所に複数箇所で連結されるとともに、このリングプレート１０に上部支持板４がノブボルト１１を介して着脱自在に取り付けられ、上部支持板４を取り外すことで、リングプレート１０の中央開口から基板１を出し入れすることができるようになっている。」と記載されていて、これによれば、「上部支持板４」は、回転台２の外周上面に、回転台２と同外径のスペーサリング９を介してリングプレート１０にノブボルト１１を介して着脱自在に取り付けられるものとされている。
　　一方、段落【００２４】の記載から、前記「上部支持板４」は、固定支持部材１６の環状の下方側支持プレート１６ｂ上面の周方向所定の４箇所に設けられた係合突起２９を、上部支持板４に取付部材３０を介して取り付けられる環状プレート３１の周方向所定の４箇所に設けられた筒体３２に嵌入することにより、固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂで吊り下げることができるものとして、甲第１号証に記載されている。
　　そうすると、かかる甲第１号証の記載によれば、係合突起２９の筒体３２への嵌入により、固定支持部材１６に吊り下げ可能に構成されているのは、「上部支持板４」であることが明らかである。
　
ｅ　しかしながら、甲第１号証には、固定支持部材１６に吊り下げ可能に構成されている「上部支持板４」が、回転台２と結合して前記回転台２とで塗布処理空間Ｓを形成することについては、一切記載がない。他方、回転台２と結合して前記回転台２とで塗布処理空間Ｓを形成する「上部回転板３」が、固定支持部材１６に上下方向への相対移動可能に結合されることについても、一切記載がない。
　
ｆ　したがって、固定支持部材１６に吊り下げ可能に構成されている「上部支持板４」と、回転台２と結合して前記回転台２とで塗布処理空間Ｓを形成する「上部回転板３」とについては、甲第１号証に個々に記載されているが、「上部支持板４」が、回転台２と結合して前記回転台２とで塗布処理空間Ｓを形成すること、及び「上部回転板３」が、固定支持部材１６に上下方向への相対移動可能に結合されることについては、甲第１号証に一切記載がない。
　
ｇ　しかるに、本件発明３の構成要件である前記「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」の構成によれば、「上部板」が回転台２と結合して内部に塗布処理空間を形成するものとして記載されている。
　
ｈ　しかしながら、甲第１号証に、前述した「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」については、全くその記載を認めることができない。
　　　したがって、甲第１号証に、本件発明３の構成要件である「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」が記載されているということができない。
　
ｉ　そうすると、被請求人が主張する「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」の技術事項は、甲第１号証に記載されていないことが明らかである。
　　また、甲第１号証には、「上部回転板３」を「上部支持板４」と兼用して「上部板」とすることができるとか、あるいは、「上部回転板３」か「上部支持板４」かのいずれかを省略できるとも記載されていないから、前記「上部回転板３」及び「上部支持板４」のそれぞれの機能を併せ持った「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」を含む発明が、甲第１号証に記載されているとすることはできず、また、明示の記載はなくとも実質的に記載されているとみることもできない。
　　そして、前記「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」の技術事項が、甲第１号証に記載されていた事項から自明であるということもできない。
　　したがって、前記「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」は、原出願の当初明細書等が記載されている甲第１号証に記載されている事項を超える意味内容の記載であるといえる。
　
（キ）さらに言えば、被請求人が口頭審理において「請求項３に記載されている『支持部材』は、『固定支持部材１６』を指す。」と陳述した「支持部材」についても、前記「支持部材」が、甲第１号証に記載されている「固定支持部材１６」を意味するものとして、甲第１号証にその定義がなされているわけでもないから、甲第１号証には、「前記上部板を吊持して昇降させる支持部材」、すなわち、前記「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板を吊持して昇降させる支持部材」の技術事項についても記載されているということができない。
　そうすると、甲第１号証には、前記「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」と前記「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板を吊持して昇降させる支持部材」との間に介在される「上部板が上昇された状態で上部板と支持部材とを結合するとともに、上部板が回転台に結合された状態で前記上部板と支持部材との結合状態が解除されて上部板と支持部材とが互いに非接触状態となる係合部」の技術事項についての記載も認めることができず、また、甲第１号証に記載の事項から前記技術事項が自明であるということもできない。
　
（ク）そうしてみると、本件分割特許出願のもとの出願である原出願の当初明細書等である上記甲第１号証には、本件発明３における上記「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」、「前記上部板を吊持して昇降させる支持部材」及び「前記上部板と支持部材との間に介在され、上部板が上昇された状態で上部板と支持部材とを結合するとともに、上部板が回転台に結合された状態で前記上部板と支持部材との結合状態が解除されて上部板と支持部材とが互いに非接触状態となる係合部」の各技術事項が記載されていたということができない。
　そして、本件発明３の前記「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」、「前記上部板を吊持して昇降させる支持部材」及び「前記上部板と支持部材との間に介在され、上部板が上昇された状態で上部板と支持部材とを結合するとともに、上部板が回転台に結合された状態で前記上部板と支持部材との結合状態が解除されて上部板と支持部材とが互いに非接触状態となる係合部」の各技術事項が、本件分割特許出願のもとの出願である原出願の当初明細書等である前記甲第１号証に記載されていた事項から自明であるということもできない。
　したがって、本件分割特許出願のもとの出願である原出願には、「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」、「前記上部板を吊持して昇降させる支持部材」及び「前記上部板と支持部材との間に介在され、上部板が上昇された状態で上部板と支持部材とを結合するとともに、上部板が回転台に結合された状態で前記上部板と支持部材との結合状態が解除されて上部板と支持部材とが互いに非接触状態となる係合部」の各技術事項をその構成要件とする本件発明３が包含されていたということができない。
　
ウ　「基板を回転可能に支持する基板支持部材」、「塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材」、「前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材」、「前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して周方向に位置決めする位置決め機構」、「前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には前記進退部材による前記塗布処理空間形成部材の支持を解除して前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを互いに非接触状態とする係合部」及び「前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との離脱時には当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合」の技術事項についての検討
（ア）まず、原出願の当初明細書等が記載されている甲第１号証〔特開平６−３３８４４７号公報〕の記載を精査すると、前記甲第１号証の明細書及び図面には、本件訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし請求項５に記載されている、
　「基板を回転可能に支持する
基板支持部材
　「塗布処理空間を形成すべく前記
基板支持部材
基板支持部材
基板支持部材
塗布処理空間形成部材
　「前記
塗布処理空間形成部材
基板支持部材
進退部材
　「前記
塗布処理空間形成部材
基板支持部材
塗布処理空間形成部材
記進退部材
位置決め機構
　「前記
塗布処理空間形成部材
基板支持部材
進退部材
塗布処理空間形成部材
塗布処理空間形成部材
進退部材
　「前記
塗布処理空間形成部材
基板支持部材
塗布処理空間形成部材
進退部材
凹凸結合
「基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「位置決め機構」、「凹凸結合」及び「係合部」の各構成要素の文言が記載されておらず、また、それを示唆する記載も前記甲第１号証の中に認めることができない。
　
（イ）被請求人は、口頭審理において、特許請求の範囲の請求項１ないし請求項５に記載の「基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「位置決め機構」、「凹凸結合」及び「係合部」の各構成要素について、次のように陳述した。
　「基板支持部材」は、甲第１号証に記載の「回転台」である。
　「塗布処理空間形成部材」は、甲第１号証に記載の「上部回転板３」と「上部支持板４」である。
　「進退部材」を指すのは、甲第１号証に記載の「固定支持部材１６」全体である。
　「位置決め機構」は、甲第１号証に記載の「筒体３２」と「係合突起２９」を指す。
　「凹凸結合」は、甲第１号証に記載の「筒体３２と係合突起２９の嵌入」に対応する。
　「係合部」は、甲第１号証に記載の「係合突起２９」と「下方側支持プレート１６ｂ」と「筒体３２」と「環状プレート３１」と「取付部材３０」とに相当する。
　
（ウ）しかしながら、前記「基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「位置決め機構」、「凹凸結合」及び「係合部」の各構成要素が、甲第１号証に記載されている「回転台」；「上部回転板３」と「上部支持板４」；「固定支持部材１６」；「筒体３２」と「係合突起２９」；「筒体３２と係合突起２９の嵌入」；「係合突起２９」と「下方側支持プレート１６ｂ」と「筒体３２」と「環状プレート３１」と「取付部材３０」をそれぞれ意味するものとして、甲第１号証にそれらの定義がなされているわけでもないから、甲第１号証に記載されている「回転台」；「上部回転板３」と「上部支持板４」；「固定支持部材１６」；「筒体３２」と「係合突起２９」；「筒体３２と係合突起２９の嵌入」；「係合突起２９」と「下方側支持プレート１６ｂ」と「筒体３２」と「環状プレート３１」と「取付部材３０」が、前記「基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「位置決め機構」、「凹凸結合」及び「係合部」の各構成要素にそれぞれ該当する蓋然性があるとはいえるが、反対に、前記「基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「位置決め機構」、「凹凸結合」及び「係合部」の各構成要素が、甲第１号証に記載されている「回転台」；「上部回転板３」と「上部支持板４」；「固定支持部材１６」；「筒体３２」と「係合突起２９」；「筒体３２と係合突起２９の嵌入」；「係合突起２９」と「下方側支持プレート１６ｂ」と「筒体３２」と「環状プレート３１」と「取付部材３０」のみを意味するものであり、それ以外の構成を意味するものではないという必然性があると、必ずしもいえないことは明らかである。
　
（エ）そうすると、本件訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし請求項５に記載されている、
前記「基板を回転可能に支持する基板支持部材」、
「塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材」、
「前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材」、
「前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して周方向に位置決めする位置決め機構」、
「前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には前記進退部材による前記塗布処理空間形成部材の支持を解除して前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを互いに非接触状態とする係合部」及び
「前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との離脱時には当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合」
の各技術事項は、原出願の当初明細書等が記載されている甲第１号証に記載されている事項を超える意味内容の記載であるといえる。
　
（オ）したがって、本件訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし請求項５に記載されている、
　「基板を回転可能に支持する基板支持部材」、
　「塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材」、
　「前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材」、
　「前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して周方向に位置決めする位置決め機構」、
　「前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との離脱時には当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合」及び
　「前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には前記進退部材による前記塗布処理空間形成部材の支持を解除して前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを互いに非接触状態とする係合部」
の各技術事項については、甲第１号証に記載されているということができないばかりでなく、各技術事項が甲第１号証に記載されていた事項から自明であるということもできない。
　
３　分割要件の有無についてのまとめ
　以上のとおりであるから、本件分割特許出願は、特許法第４４条に規定されているところの、二以上の発明を包含する特許出願の一部を一又は二以上の新たな特許出願としたものということができない。
　したがって、本件分割特許出願は、もとの特許出願の時にしたものとみなすことができないから、本件分割特許出願の出願日は、実際に特許出願された平成１１年２月８日である。
　そして、上述した理由により、本件分割特許出願を、以下においては、「
本件特許出願
　
第５　請求人の無効理由２及び当審の職権による無効理由１（特許法第２９条第２項違反）についての検討
１　甲号各証の記載事項
（１）甲第２号証〔特開平７−６６１０８号公報〕の記載事項
　本件特許出願の出願前に頒布された刊行物である甲第２号証には、「処理液塗布装置」に関し、図面の図示とともに次の技術事項が記載されている。
「【０００１】【産業上の利用分野】　本発明は、塗布装置、特に、基板の主面に処理液を塗布する処理液塗布装置に関する。」
「【０００９】【実施例】　図１において、本発明の一実施例による処理液塗布装置１は、角型基板（以下基板と記す）Ｗにフォトレジスト液（処理液の一例）を塗布するものである。処理液塗布装置１は、角型基板Ｗを保持して回転させる基板保持部２と、基板保持部２の上方に基板保持部２と平行に配置された上部回転板３と、基板保持部２及び上部回転板３を囲むように配置された下部ケース４及び上部ケース５と、基板保持部２に保持された基板Ｗにフォトレジスト液を供給するための処理液供給部６と、基板保持部２の上面を洗浄するための上面洗浄部７と、上部回転板３の下面を洗浄するための下面洗浄部８とを主に有している。
　【００１０】　基板保持部２は、基板Ｗの対角線長さより長い直径を有する円形状であり、中央部に配置された基板吸着部１０と、基板吸着部１０の周囲に配置されたリング状の周端部１１とから構成されている。基板吸着部１０の上面には、同心円上に複数の吸着溝１２が形成されている。また、放射状に複数の吸着溝１３も形成されている。さらに、基板吸着部１０の中心には、負圧経路２０の先端が開口している。」
「【００１２】　筒状回転軸１８は上部にフランジ部を有しており、このフランジ部には、基板吸着部１０の下方に平行に配置された下部回転板２４が固定されている。下部回転板２４上には、周端部１１と、周端部１１の外周側に配置されたリング部材２５とが固定されている。周端部１１の上面は、基板吸着部１０の上面より僅かに低い位置に配置されている。この結果、基板吸着部１０は、周端部１１と一体回転し、かつ周端部１１に対して上下動可能となっている。リング部材２５の下部回転板２４の端面に対向する内周面には、図４に示すように、液溜め空間２６が形成されている。液溜め空間２６は、僅かな隙間で下部回転板２４の上面に連通しており、かつ下方に開口している。液溜め空間２６には、処理液塗布時に基板Ｗから流出した余剰の処理液が貯溜され、貯溜された処理液は下方に排出される。
　【００１３】　筒状回転軸１８の下端は、図２に示すように、連結部材３１を介してプーリ３０に連結されている。プーリ３０は、軸受により装置フレーム２３に回転自在に支持されている。プーリ３０と、駆動モータ３２の出力軸に取り付けられたプーリ３３とにはベルト３４が掛け渡されている。この結果、駆動モータ３２の駆動力は、プーリ３３、ベルト３４、プーリ３０、連結部材３１を介して筒状回転軸１８に伝達される。そして、ポールスプライン軸受１６，１７を介して中心軸１５に伝達される。」
「【００１５】　回転継手部３５は、Ｌ字状の昇降ブラケット４０の先端（上端）に取り付けられている。昇降ブラケット４０の基端には、ロッド固定型の昇降シリンダ４１のシリンダ本体４１ａが取り付けられている。昇降シリンダ４１のロッド４１ｂの上下端は、装置フレーム２３の下部に取り付けられたコ字状の支持フレーム２７に固定されている。この昇降シリンダ４１により、中心軸１５が上下駆動される。この結果、中心軸１５の上端に固定された基板吸着部１０が昇降し、基板Ｗを図２に２点鎖線で示す搬入・搬出位置に配置することが可能となる。
　【００１６】　上部回転板３は、図２に示すように、リング部材２５上に着脱可能かつ係止可能に配置され得るものであり、装着時に下部回転板２４と一体回転可能である。この上部回転板３と下部回転板２４とリング部材２５とによって半密閉の空間を形成することより、回転時における空気の流れが少なくなり、処理液の飛散を防止できる。上部回転板３の中心部には、図５に示すように、開口６０が形成されている。」
「【００１８】　上部ケース５は、下部ケース４の側部材４ｂ上に着脱可能に配置される。上部ケース５の中心部には、図５及び図６に示すように、下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１が配置されている。両固定支持部材６１は上方側支持プレート６１ａ及び下方側支持プレート６１ｂで連結されている。上方側支持プレート６１ａ上面には、エアシリンダ６２とエアロータリーアクチュエータ６３とが、下面にはエアシリンダ７１（図６）がそれぞれ取り付けられている。エアシリンダ６２のシリンダロッド６２ａの先端には、ブロック６４が取り付けられているとともに、ブロック６４に昇降及び回転自在に有底筒状の蓋６５が吊り下げ保持されている。蓋６５は、エアシリンダ６２の進退動作により上部回転板３の中心に形成された開口６０を開閉可能である。」
「【００２２】　固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂは環状に形成され、その内周部上面の周方向４か所それぞれには係合突起７２が設けられている。また、下方側支持プレート６１ｂよりも上方に位置するように、上部回転板３に取付部材７３を介して環状プレート７４が取り付けられている。環状プレート７４の外周部には、４つの係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５が設けられている。この結果、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、係合突起７２が筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できる構成となっている。」
「【００２５】　基板処理時には、まず昇降シリンダ４１により、基板吸着部１０を上昇させ、搬入・搬出位置に配置する。そして図示しない搬送機構から基板Ｗが搬送されると、真空弁３９を開き、基板吸着部１０を負圧にする。この結果、基板Ｗが吸着保持される。そして昇降シリンダ４１により基板吸着部１０を周端部１１と対向する位置に下降させる。続いて処理液供給部６のアーム８０を旋回し、処理液ノズル８１を基板Ｗの中心位置の上方に配置する。続いて、基板Ｗに対して処理液（たとえばフォトレジスト液）を所定量供給する。処理液の供給が終了すると、処理液アーム８０を退避させ、続いて上部ケース５を下部ケース４に装着する。これにより、上部回転板３はリング部材２５上に係合され、下部回転板２４と一体回転可能となる。続いてモータ３２を回転駆動し、下部回転板２４、基板吸着部１０及び上部回転板３を一体回転させる。そして基板Ｗに滴下されたフォトレジスト液を径方向外周に拡散させ、基板Ｗ上に処理液を均一に塗布する。基板Ｗからの余剰の処理液は、リング部材２５に形成された液溜め空間２６に徐々に溜まり、液溜め空間２６から液溜め部４２に滴下されて廃液配管４３から排出される。
　【００２６】　フォトレジスト液の塗布が終了すると、モータ３２の駆動を停止し、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げ、下部ケース４から離脱させる。すると、上部ケース５によって、上部回転板３もリング部材２５から離脱される。そして昇降シリンダ４１により基板Ｗを上昇させ、図示しない搬送機構により次の工程に基板Ｗを搬送する。」
　
　そして甲第２号証に添付された図面には、「水平回転可能に角型基板Ｗを保持する基板保持部２が設けられ、前記基板保持部２の上方に、基板保持部２と平行に上部回転板３が配置されるとともに、前記基板保持部２に電動モータ３２が連結されていて、前記上部回転板３が基板保持部２に一体的に回転可能に取り付けられ、前記基板保持部２と上部回転板３を囲むように下部ケース４が設けられ、さらに前記下部ケース４の開口を覆うように設けられる上部ケース５が、前記下部ケース４の上部に着脱可能に取り付けられていて、前記上部ケース５の中心部に配置された一対の固定支持部材６１の環状の下方側支持プレート６１ｂ上面に設けられた固定支持部材６１側の係合突起７２を、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられる環状プレート７４に設けられた上部回転板３側の筒体７５に係合することにより、固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂで前記上部回転板３を吊り下げ支持することができるように構成された処理液塗布装置」が図示されている。
　
　そうしてみると、上記甲第２号証の摘記事項及び添付図面に図示された技術事項を総合すると、甲第２号証には、次の発明（以下、これを、「
引用発明２
　「角型基板Ｗを水平回転可能に保持して回転させる基板保持部２と、前記基板保持部２の上方に基板保持部２と平行に配置された上部回転板３と、基板保持部２及び上部回転板３を囲むように配置された上部が開口する下部ケース４と、該下部ケース４の開口を覆うように着脱可能に取り付けられる上部ケース５と、基板保持部２に保持された角型基板Ｗにフォトレジスト液を供給するための処理液供給部６と、基板保持部２の上面を洗浄するための上面洗浄部７と、上部回転板３の下面を洗浄するための下面洗浄部８とからなる角型基板Ｗにフォトレジスト液を塗布する処理液塗布装置１において、
　前記基板保持部２は、基板Ｗの対角線長さより長い直径を有する円形状であり、中央部に配置された基板吸着部１０と、基板吸着部１０の周囲に配置されたリング状の周端部１１とから構成され、
　筒状回転軸１８の上部のフランジ部に、基板吸着部１０の下方に平行に配置された下部回転板２４が固定され、前記下部回転板２４上に、周端部１１と、周端部１１の外周側に配置されたリング部材２５とが固定されていて、前記周端部１１の上面は、基板吸着部１０の上面より僅かに低い位置に配置されていて、前記基板吸着部１０は、周端部１１と一体回転し、かつ周端部１１に対して上下動可能となっており、
　昇降シリンダ４１により、中心軸１５が上下駆動される結果、中心軸１５の上端に固定された基板吸着部１０が昇降し、角型基板Ｗを搬入・搬出位置に配置することが可能となり、
　前記上部回転板３は、基板保持部２の上方に前記基板保持部２と平行に着脱可能かつ係止可能に配置され、電動モータ３２により基板保持部２に一体的に回転可能に取り付けられていて、下部回転板２４とリング部材２５とによって半密閉の空間を形成するものとされ、
　前記上部ケース５は、下部ケース４の側部材４ｂ上に着脱可能に配置され、前記上部ケース５の中心部に、下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１が配置されていて、両固定支持部材６１は上方側支持プレート６１ａ及び下方側支持プレート６１ｂで連結されているとともに、
　前記固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂは環状に形成され、その内周部上面の周方向４か所それぞれには係合突起７２が設けられ、下方側支持プレート６１ｂよりも上方に位置するように、上部回転板３に取付部材７３を介して環状プレート７４が取り付けられていて、環状プレート７４の外周部には、４つの係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５が設けられていて、この結果、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できる構成となっていて、
　基板処理時には、まず昇降シリンダ４１により、基板吸着部１０を上昇させ、搬入・搬出位置に配置し、そして搬送機構から角型基板Ｗが搬送されると、真空弁３９を開き、基板吸着部１０を負圧にする結果、角型基板Ｗが吸着保持されて、昇降シリンダ４１により基板吸着部１０を周端部１１と対向する位置に下降させ、続いて処理液供給部６のアーム８０を旋回し、処理液ノズル８１を角型基板Ｗの中心位置の上方に配置し、続いて、角型基板Ｗに対してフォトレジスト液を所定量供給し、処理液の供給が終了すると、処理液アーム８０を退避させ、続いて上部ケース５を下部ケース４に装着すると、上部回転板３はリング部材２５上に係合されて下部回転板２４と一体回転可能となり、続いてモータ３２を回転駆動し、下部回転板２４、基板吸着部１０及び上部回転板３を一体回転させて、角型基板Ｗに滴下されたフォトレジスト液を径方向外周に拡散させ、角型基板Ｗ上に処理液を均一に塗布し、フォトレジスト液の塗布が終了すると、モータ３２の駆動を停止し、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げ、下部ケース４から離脱させると、上部ケース５によって、上部回転板３もリング部材２５から離脱され、そして昇降シリンダ４１により角型基板Ｗを上昇させ、搬送機構により次の工程に角型基板Ｗを搬送するようにした処理液塗布装置」
　
２　当審の判断
（１）本件発明１について
ア　対比
ａ　ここで、本件発明１と引用発明２とを対比すると、引用発明２の「角型基板１」、「角型基板Ｗを水平回転可能に保持して回転させる基板保持部２」、「フォトレジスト液」及び「処理液塗布装置１」のそれぞれが、本件発明１の「基板」、「基板を回転可能に支持する基板支持部材」、「塗布液」及び「回転式塗布装置」のそれぞれに相当することは、明らかである。
　
ｂ　そして、引用発明２の「基板保持部２及び上部回転板３を囲むように配置された上部が開口する下部ケース４」が、本件発明１の「上部が開口し、前記基板支持部材の周辺を囲むケース」に相当するから、引用発明２の「該下部ケース４の開口を覆うように着脱可能に取り付けられる上部ケース５」は、本件発明１の「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」に相当する。
　
ｃ　また、引用発明２の「上部回転板３は、基板保持部２の上方に前記基板保持部２と平行に着脱可能かつ係止可能に配置され、電動モータ３２により基板保持部２に一体的に回転可能に取り付けられていて、下部回転板２４とリング部材２５とによって半密閉の空間を形成するもの」とされる「上部回転板３」と、本件発明１の「塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材」とは、引用発明２の「上部回転板３」が「塗布処理空間形成部材」であることに違いはないから、引用発明２の前記「上部回転板３は、基板保持部２の上方に前記基板保持部２と平行に着脱可能かつ係止可能に配置され、電動モータ３２により基板保持部２に一体的に回転可能に取り付けられていて、下部回転板２４とリング部材２５とによって半密閉の空間を形成するもの」とされる「上部回転板３」が、本件発明１の「塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材」に相当する。
　
ｄ　そして、引用発明２の「基板処理時には、まず昇降シリンダ４１により、基板吸着部１０を上昇させ、搬入・搬出位置に配置し、そして搬送機構から角型基板Ｗが搬送されると、真空弁３９を開き、基板吸着部１０を負圧にする結果、角型基板Ｗが吸着保持されて、昇降シリンダ４１により基板吸着部１０を周端部１１と対向する位置に下降させ、続いて処理液供給部６のアーム８０を旋回し、処理液ノズル８１を角型基板Ｗの中心位置の上方に配置し、続いて、角型基板Ｗに対してフォトレジスト液を所定量供給し、処理液の供給が終了すると、処理液アーム８０を退避させ、続いて上部ケース５を下部ケース４に装着すると、上部回転板３はリング部材２５上に係合されて下部回転板２４と一体回転可能となり、続いてモータ３２を回転駆動し、下部回転板２４、基板吸着部１０及び上部回転板３を一体回転させて、角型基板Ｗに滴下されたフォトレジスト液を径方向外周に拡散させ、角型基板Ｗ上に処理液を均一に塗布し、フォトレジスト液の塗布が終了すると、モータ３２の駆動を停止し、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げ、下部ケース４から離脱させると、上部ケース５によって、上部回転板３もリング部材２５から離脱され、そして昇降シリンダ４１により角型基板Ｗを上昇させ、搬送機構により次の工程に角型基板Ｗを搬送する」の一連の処理工程における前記「上部ケース５を下部ケース４に装着すると、上部回転板３はリング部材２５上に係合されて下部回転板２４と一体回転可能となり、」及び前記「図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げ、下部ケース４から離脱させると、上部ケース５によって、上部回転板３もリング部材２５から離脱され、」という「上部ケース５の下部ケース４への装着」及び「上部ケース５の下部ケース４からの離脱」の両操作工程を担保する構成であるところの引用発明２の「前記上部ケース５は、下部ケース４の側部材４ｂ上に着脱可能に配置され、前記上部ケース５の中心部に、下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１が配置されていて、両固定支持部材６１は上方側支持プレート６１ａ及び下方側支持プレート６１ｂで連結されているとともに、前記固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂは環状に形成され、その内周部上面の周方向４か所それぞれには係合突起７２が設けられ、下方側支持プレート６１ｂよりも上方に位置するように、上部回転板３に取付部材７３を介して環状プレート７４が取り付けられていて、環状プレート７４の外周部には、４つの係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５が設けられていて、この結果、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できる構成」においては、引用発明２の「下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１」、「取付部材７３」、「環状プレート７４」、「環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ」のそれぞれが、本件発明１の「進退部材」、「取付部材」、「第１の部材」、「第２の部材」のそれぞれに相当する。
　
ｅ　そうすると、引用発明２の「環状に形成された下方側支持プレート６１ｂの内周部上面の周方向４か所それぞれに設けられた係合突起７２と、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４の外周部に設けられた、４つの前記係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５」及び「固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合」の各構成は、それぞれ本件発明１の「前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して位置決めする位置決め機構」及び「当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを結合する凹凸結合」に相当するといえる。
　
ｆ　したがって、本件発明１と引用発明２とは、
「基板を回転させることにより当該基板の表面に塗布液を塗布する回転式塗布装置において、
　基板を回転可能に支持する基板支持部材と、
　上部が開口し、前記基板支持部材の周辺を囲むケースと、
　前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材と、
　塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して位置決めする位置決め機構とを備え、
　前記位置決め機構は、前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との離脱時には当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを結合する凹凸結合よりなり、
　前記塗布処理空間形成部材の上側中央部には取付部材が立設され、取付部材には水平方向に延在する第１の部材が設けられ、
　前記進退部材には、前記塗布処理空間形成部材の前記第１の部材の下方に位置する第２の部材が設けられている回転式塗布装置」
である点で一致し、次の点で両者の構成が相違する。
　［相違点１］：本件発明１の位置決め機構が「周方向に」位置決めし、また、本件発明１の凹凸結合が「相対回転不能に」結合するものであるのに対し、引用発明２では、前記構成であるか否か明確でない点。
　［相違点２］：本件発明１では「前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には、前記第２の部材に対して前記取付部材および前記第１の部材が相対回転自在となるように設けられている」のに対し、引用発明２では、前記構成となっているか否か明確でない点。
　
イ　相違点についての検討
（ア）相違点１について
ａ　甲第２号証の記載からみて、甲第２号証には、「吊り上げ手段で上部ケース５を吊り上げることにより、固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂの内周部上面の周方向４か所に設けられている係合突起７２を、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４の外周部に設けられている４つの筒体７５に係合させて、上部ケース５とともに基板保持部２及び上部回転板３を囲むように配置されている下部ケース４から前記上部ケース５を離脱させ、あるいは、前記下部ケース４に前記上部ケース５を装着させて、上部回転板３をリング部材２５を介して下部回転板２４に対し離脱又は係合できる技術手段」の記載が認められる。
　　してみると、引用発明２は、「吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げて上部回転板３側の筒体７５に固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ側の係合突起７２を係合させることにより、前記上部ケース５に吊り上げられた上部回転板３を下部回転板２４に対し離脱又は係合できる技術手段」を備えているといえる。
　
ｂ　そして、引用発明２においては、吊り上げ手段で上部ケース５を吊り上げることにより、固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ側の係合突起７２を上方に移動させて、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４側の筒体７５に前記係合突起７２を係合させることにより、固定支持部材６１と上部回転板３とを係合させ、また、吊り上げ手段で上部ケース５を吊り降ろすことにより、固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ側の係合突起７２も下方に移動するから、上部回転板３の環状プレート７４側の筒体７５への前記係合突起７２の係合を外すことにより固定支持部材６１と上部回転板３とを離脱させる構成となっているので、引用発明２は、「上部回転板３が固定支持部材６１に上下方向に移動可能に係合又は離脱される」構成を備えているといえる。
　
ｃ　そうすると、上部回転板３の環状プレート７４側の筒体７５と前記係合突起７２との係合が外れて、上部回転板３が固定支持部材６１に対して離脱しているときには、上部回転板３と固定支持部材６１とは互いに係合されてなく力学的に切断されていて、固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ側の係合突起７２と上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４側の筒体７５との間に、両者を相互に力学的に拘束するような力は存在していないから、吊り上げ手段で上部ケース５を吊り降ろしているときには、上部回転板３は固定支持部材６１に対して回転位置が自由状態にあるといえる。
　　一方、反対に、上部回転板３の環状プレート７４側の筒体７５と前記係合突起７２とが係合して、上部回転板３が固定支持部材６１に対して係合しているときには、上部回転板３と固定支持部材６１とは互いに係合していることにより力学的に結合していて、固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ側の係合突起７２と上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４側の筒体７５との間に、両者を相互に力学的に拘束するように力が働くから、吊り上げ手段で上部ケース５を吊り上げるときには、上部回転板３は固定支持部材６１に対して回転位置が拘束状態にあるといえる。
　
ｄ　してみれば、引用発明２においては、固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂは環状に形成され、その内周部上面の周方向４か所それぞれには係合突起７２が設けられており、また、下方側支持プレート６１ｂよりも上方に位置するように、上部回転板３に取付部材７３を介して環状プレート７４が取り付けられていて、環状プレート７４の外周部には、４つの係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５が設けられているのであるから、環状に形成された下方側支持プレート６１ｂの内周部上面の周方向４か所に設けられた係合突起７２と係合し得る、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられた環状プレート７４の外周部に設けられた４つの筒体７５の角度位置を、恣意的に選択することにより、引用発明２の「固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ側の係合突起７２」と「上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４側の筒体７５」とからなる係合手段は、「周方向に」位置決めさせる機能を備えているものといえる。
　
ｅ　そして、引用発明２の「固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ側の係合突起７２」と「上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４側の筒体７５」とからなる前記係合手段は、前記係合突起７２と前記筒体７５とが一旦係合してしまえば、「相対回転不能に」結合するものとなることも、明らかなことである。
　
ｆ　したがって、引用発明２は、実質的に、本件発明１の相違点１に係る構成を備えているといえるから、前記相違点１は、実質的な相違点ではなく、形式的な表現上の相違点であるにすぎない。
　
（イ）相違点２について
ａ　引用発明２が、「上部回転板３の環状プレート７４側の筒体７５と前記係合突起７２との係合が外れて、上部回転板３が固定支持部材６１に対して離脱しているときには、上部回転板３と固定支持部材６１とは互いに係合されてなく力学的に切断されていて、固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ側の係合突起７２と上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４側の筒体７５との間に、両者を相互に力学的に拘束するような力は存在していないから、吊り上げ手段で上部ケース５を吊り降ろしているときには、上部回転板３は固定支持部材６１に対して自由状態にあるといえ、一方、反対に、上部回転板３の環状プレート７４側の筒体７５と前記係合突起７２とが係合して、上部回転板３が固定支持部材６１に対して係合しているときには、上部回転板３と固定支持部材６１とは互いに係合していることにより力学的に結合していて、固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ側の係合突起７２と上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４側の筒体７５との間に、両者を相互に力学的に拘束するように力が働くから、吊り上げ手段で上部ケース５を吊り上げるときには、上部回転板３は固定支持部材６１に対して拘束状態にあるといえる」ものであることは、上記「（ア）相違点１について」欄の「ｃ」に前述したとおりである。
　
ｂ　そして、引用発明２では、基板保持部２（本件発明１の「基板支持部材」に相当する。）の上方に前記基板保持部２と平行に着脱可能かつ係止可能に配置されている上部回転板３（本件発明１の「塗布処理空間形成部材」に相当する。）が、電動モータ３２により基板保持部２に一体的に回転可能に取り付けられている場合は、上記「ａ」に前述してあるように、前記上部回転板３は、上部回転板３の環状プレート７４側の筒体７５と前記係合突起７２との係合が外れている場合であるから、その場合には、前記上部回転板３の回転を妨げるような拘束力を受けていない状態にあるから、引用発明２においても、上部回転板３と基板保持部２との結合時には、固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂに対して取付部材７３及び環状プレート７４が相対回転自在となるように設けられているといえる。
　
ｃ　したがって、引用発明２は、実質的に、本件発明１の相違点２に係る構成を備えているといえるから、前記相違点２も、実質的な相違点ではなく、形式的な表現上の相違点であるにすぎない。
　
　そして、本件発明１の奏する作用効果は、引用発明２から予測できる範囲内のものであり、格別のものということができない。
　
ウ　まとめ
　以上のとおりであり、本件発明１は、引用発明２に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（２）本件発明２について
ａ　本件発明２と引用発明２とを対比する前に、請求項１に係る本件発明１と請求項２に係る本件発明２とを比較すると、本件発明１と本件発明２とは、請求項１及び請求項２に共に記載されている「基板を回転させることにより当該基板の表面に塗布液を塗布する回転式塗布装置において、基板を回転可能に支持する基板支持部材と、塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材と、前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材と、前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して周方向に位置決めする位置決め機構とを備え、前記位置決め機構は、前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との離脱時には当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合よりなることを特徴とする回転式塗布装置。」の点で構成が共通し、その余の点で構成が相違している。
　　そして、本件発明２の本件発明１と共通する構成については、すでに上記「（１）本件発明１について」欄の「ア　対比」及び「（ア）相違点１について」の欄において前述したとおりである。
　
ｂ　そうすると、ここで、本件発明２と引用発明２とを対比した場合の両者の構成上の相違は、上記「（１）本件発明１について」欄において前述した本件発明１と引用発明２との構成上の相違である相違点１を含み、かつ、本件発明１と本件発明２と構成が共通していない「前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とは、前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には前記進退部材による前記塗布処理空間形成部材の支持を解除して前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを互いに非接触状態とする係合部により結合されている」構成であることは明らかである。
　
ｃ　しかして、引用発明２は、上記「１　甲号各証の記載事項」欄の「（１）」に前掲したとおりのものであり、引用発明２の「角型基板Ｗを水平回転可能に保持して回転させる基板保持部２」、「上部回転板３」、「下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１」、「取付部材７３」、「環状プレート７４」、「環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ」のそれぞれが、本件発明１の「基板を回転可能に支持する基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「取付部材」、「第１の部材」、「第２の部材」のそれぞれに対応する関係にあることは、すでに上記「（１）本件発明１について」欄の「ア　対比」において前述したとおりであり、本件発明２についても同様に、本件発明２と引用発明２とでは、引用発明２の「角型基板Ｗを水平回転可能に保持して回転させる基板保持部２」、「上部回転板３」、「下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１」、「取付部材７３」、「環状プレート７４」、「環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ」のそれぞれが、本件発明２の「基板を回転可能に支持する基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「取付部材」、「第１の部材」、「第２の部材」のそれぞれに対応している。
　　また、引用発明２の「環状に形成された下方側支持プレート６１ｂの内周部上面の周方向４か所それぞれに設けられた山形状の係合突起７２と、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４の外周部に設けられた、４つの前記係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５」及び「固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合」の各構成についても、本件発明１と同様であり、それぞれ本件発明２の「前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して位置決めする位置決め機構」及び「当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを結合する凹凸結合」に相当している。
　
ｄ　したがって、本件発明２と引用発明２とは、
「基板を回転させることにより当該基板の表面に塗布液を塗布する回転式塗布装置において、
　基板を回転可能に支持する基板支持部材と、
　塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材と、
　前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して位置決めする位置決め機構とを備え、
　前記位置決め機構は、前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との離脱時には当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを結合する凹凸結合よりなる回転式塗布装置」
である点で一致し、上記「（１）本件発明１について」欄において前述した上記相違点１の他に、次の点で両者の構成が相違する。
　［相違点３］：本件発明２では、「前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とは、前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には前記進退部材による前記塗布処理空間形成部材の支持を解除して前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを互いに非接触状態とする係合部により結合されている」のに対し、引用発明２では、前記係合部の構成が明確でない点。
　
イ　相違点についての検討
（ア）相違点１について
　本件発明２と引用発明２との構成上の相違である相違点１は、本件発明１と引用発明２との構成上の相違である相違点１と共通しており、前記相違点１については、上記「（１）本件発明１について」欄の「イ　相違点についての検討」の「（ア）相違点１について」において、すでに前述したとおりであるので、重複を避けるために、ここでは繰り返さない。
　
（イ）相違点３について
ａ　甲第２号証に、「吊り上げ手段で上部ケース５を吊り上げることにより、固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂの内周部上面の周方向４か所に設けられている係合突起７２を、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４の外周部に設けられている４つの筒体７５に係合させて、上部ケース５とともに基板保持部２及び上部回転板３を囲むように配置されている下部ケース４から前記上部ケース５を離脱させ、あるいは、前記下部ケース４に前記上部ケース５を装着させて、上部回転板３をリング部材２５に対して離脱又は係合できる技術手段」が記載されていることは、上記「（ア）相違点１について」欄の「ａ」に前述したとおりである。
　　してみると、甲第２号証には、「吊り上げ手段により上部ケース５の固定支持部材６１を吊り上げて（本件発明２の「前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき」に相当する。）上部回転板３側の筒体７５に前記上部ケース５側の係合突起７２を係合させることにより、前記上部ケース５の固定支持部材６１に吊り上げられた上部回転板３をリング部材２５に対して離脱又は係合できる技術手段」が記載されているといえる。
　
ｂ　しかも、甲第２号証に記載の前記技術手段における上記「上部回転板３」は、甲第２号証の段落【００１６】に記載されているとおり、上部回転板３は、リング部材２５上に着脱可能かつ係止可能に配置され得るものであり、装着時に下部回転板２４と一体回転可能であり、また、この上部回転板３と下部回転板２４とリング部材２５とによって半密閉の空間を形成することにより、回転時における空気の流れが少なくなり、処理液の飛散を防止できるという役割を担っているものでもあるから、前記「上部回転板３」が、本件発明２の「塗布処理空間形成部材」に相当しており、そして前記「上部回転板３」は、リング部材２５を介して基板保持部２の下部回転板２４に装着されて一体回転するものとされている。
　
ｃ　また、甲第２号証には、その段落【００２２】に「固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂは環状に形成され、その内周部上面の周方向４か所それぞれには係合突起７２が設けられている。また、下方側支持プレート６１ｂよりも上方に位置するように、上部回転板３に取付部材７３を介して環状プレート７４が取り付けられている。環状プレート７４の外周部には、４つの係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５が設けられている。この結果、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、係合突起７２が筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できる構成となっている。」が記載され、また、段落【００２６】に「フォトレジスト液の塗布が終了すると、モータ３２の駆動を停止し、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げ、下部ケース４から離脱させる。すると、上部ケース５によって、上部回転板３もリング部材２５から離脱される。」が記載されている。
　
ｄ　ここで、引用発明２の「基板保持部２」、「取付部材７３」、「環状プレート７４」、「固定支持部材６１」及び「下方側支持プレート６１ｂ」のそれぞれが、本件発明２の「基板支持部材」、「取付部材」、「第１の部材」、「進退部材」及び「第２の部材」のそれぞれに相当するから、引用発明２の固定支持部材６１側の「下方側支持プレート６１ｂ」及び「係合突起７２」と、上部回転板３側の「取付部材７３」、「環状プレート７４」及び「筒体７４」とが、本件発明２の「係合部」を構成しているといえる。
　　したがって、結局のところ、甲第２号証には、「上部回転板３と固定支持部材６１とは、前記上部回転板３と基板保持部２との結合時には前記固定支持部材６１による前記上部回転板３の支持を解除して前記上部回転板３と前記固定支持部材６１とを互いに非接触状態とする係合部により結合されている」構成が記載されているといえる。
　
ｅ　さすれば、かかる甲第２号証の記載からみて、本件発明２の相違点３に係る前記「前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とは、前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には前記進退部材による前記塗布処理空間形成部材の支持を解除して前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを互いに非接触状態とする係合部により結合されている」構成は、本件特許出願前の刊行物である甲第２号証に実質的に記載されているといえる。
　
ｆ　そうしてみると、本件発明２の前記相違点３に係る「前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とは、前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には前記進退部材による前記塗布処理空間形成部材の支持を解除して前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを互いに非接触状態とする係合部により結合されている」構成は、甲第２号証に実質的に記載されているから、前記相違点３は、本件発明２と引用発明２との間の形式的な表現上の相違であって、実質的な構成上の相違とはいえない。
　
　そして、本件発明２の奏する作用効果は、引用発明２から予測できる範囲内のものであり、格別のものということができない。
　
ウ　まとめ
　以上のとおりであり、本件発明２は、引用発明２に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（３）本件発明３について
ア　対比
　ａ　引用発明２は、上記「１　甲号各証の記載事項」欄の「（１）」に前掲したとおりのものであり、引用発明２の「下部回転板２４」、「電動モータ３２」、「上部回転板３」及び「処理液塗布装置１」が、本件発明３の「基板支持用の回転台」、「前記回転台を回転させる駆動源」、「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」及び「回転式塗布装置」に相当することは明らかである。
　
ｂ　そして、甲第２号証の段落【００２２】における「固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂは環状に形成され、その内周部上面の周方向４か所それぞれには係合突起７２が設けられている。また、下方側支持プレート６１ｂよりも上方に位置するように、上部回転板３に取付部材７３を介して環状プレート７４が取り付けられている。環状プレート７４の外周部には、４つの係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５が設けられている。この結果、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、係合突起７２が筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できる構成となっている。」の記載及び甲第２号証の図１ないし図６における実施例の記載から、甲第２号証に、「上部回転板３の上側中央部に取付部材７３が立設され、該取付部材７３に水平方向に延在する環状プレート７４が設けられ、上部ケース５の中心部に配置されている１対の固定支持部材６１に、前記上部回転板３の前記環状プレート７４の下方に位置する下方側支持プレート６１ｂが設けられ、前記上部回転板３と下部回転板２４との結合時には、前記下方側支持プレート６１ｂに対して前記取付部材７３および前記環状プレート７４が相対回転自在となるように設けられている」構成についての記載が認められるから、前記引用発明２の「上部ケース５の中心部に配置されている１対の固定支持部材６１」が、本件発明３の「前記上部板を吊持して昇降させる支持部材」に相当することは明らかである。
　
ｃ　そうすると、引用発明２の「環状に形成された下方側支持プレート６１ｂの内周部上面の周方向４か所それぞれに設けられた係合突起７２と、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４の外周部に設けられた、４つの前記係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５」及び「固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合」の各構成についても、本件発明３と同様であるから、引用発明２の前記「環状に形成された下方側支持プレート６１ｂの内周部上面の周方向４か所それぞれに設けられた係合突起７２と、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４の外周部に設けられた、４つの前記係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５」及び「固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合」の各構成が、本件発明３の「前記上部板と支持部材との間に介在され、上部板が上昇された状態で上部板と支持部材とを結合するとともに、上部板が回転台に結合された状態で前記上部板と支持部材との結合状態が解除されて上部板と支持部材とが互いに非接触状態となる係合部」に相当するといえる。
　
ｄ　しかして、引用発明２は、上記「１　甲号各証の記載事項」欄の「（１）」に前掲したとおり、「前記上部ケース５は、下部ケース４の側部材４ｂ上に着脱可能に配置され、前記上部ケース５の中心部に、下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１が配置されていて、両固定支持部材６１は上方側支持プレート６１ａ及び下方側支持プレート６１ｂで連結されているとともに、前記固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂは環状に形成され、その内周部上面の周方向４か所それぞれには係合突起７２が設けられ、下方側支持プレート６１ｂよりも上方に位置するように、上部回転板３に取付部材７３を介して環状プレート７４が取り付けられていて、環状プレート７４の外周部には、４つの係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５が設けられていて、この結果、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できる構成となっていて、」というものである。
　　そして、本件発明３の「係合部」に相当する引用発明２の前記「環状に形成された下方側支持プレート６１ｂの内周部上面の周方向４か所それぞれに設けられた係合突起７２と、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４の外周部に設けられた、４つの前記係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５」及び「固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合」の構成は、「（１）本件発明１について」欄において前述したように、上部回転板３が固定支持部材６１により吊り上げられて上昇させられた状態では、上部回転板３が自由状態にあるから、上部回転板３の位置決めが行われることになるのであり、また、上部回転板３が固定支持部材６１により吊り下げられて降下させられた状態である上部回転板３と下部回転板２４とが離脱した時には、引用発明２の「固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合」することにより、上部回転板３と下部回転板２４とを結合することになるものである。
　
ｅ　したがって、引用発明２の前記「環状に形成された下方側支持プレート６１ｂの内周部上面の周方向４か所それぞれに設けられた係合突起７２と、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４の外周部に設けられた、４つの前記係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５」は、本件発明３の「上部板が上昇された状態で上部板の位置決めが行われるような形状を有し」ているといえるのであり、そして、引用発明２の前記「固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合」する構成は、本件発明３の「前記上部板と前記回転台との離脱時には当該上部板と支持部材とを結合する凹凸結合よりなる位置決め機構」の機能を具備しているといえる。
　
ｆ　そうすると、本件発明３と引用発明２とは、
「基板支持用の回転台と、
　前記回転台を回転させる駆動源と、
　前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板と、
　前記上部板を吊持して昇降させる支持部材と、
　前記上部板と支持部材との間に介在され、上部板が上昇された状態で上部板と支持部材とを結合するとともに、上部板が回転台に結合された状態で前記上部板と支持部材との結合状態が解除されて上部板と支持部材とが互いに非接触状態となる係合部とが設けられ、
　前記係合部は、上部板が上昇された状態で上部板の位置決めが行われるような形状を有し、かつ、前記上部板と前記回転台との離脱時には当該上部板と支持部材とを結合する凹凸結合よりなる位置決め機構を備えている回転式塗布装置」
である点で一致し、次の点で両者の構成が相違する。
　［相違点４］：本件発明３の係合部が「周方向に」位置決めし、また、本件発明３の凹凸結合が「相対回転不能に」結合するものであるのに対し、引用発明２では、前記構成であるか否か明確でない点。
　
イ　相違点についての検討
（ア）相違点４について
ａ　引用発明２の「環状に形成された下方側支持プレート６１ｂの内周部上面の周方向４か所それぞれに設けられた山形状の係合突起７２と、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４の外周部に設けられた、４つの前記係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５」による「位置決め機構」及び「凹凸結合」については、上記「（１）本件発明１について」欄の「（ア）相違点１について」において詳述したとおりであり、本件発明３の前記相違点４についても、本件発明１の相違点１と同様である。
　
ｂ　すなわち、引用発明２においては、固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂは環状に形成され、その内周部上面の周方向４か所それぞれには係合突起７２が設けられており、また、下方側支持プレート６１ｂよりも上方に位置するように、上部回転板３に取付部材７３を介して環状プレート７４が取り付けられていて、環状プレート７４の外周部には、４つの係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５が設けられているのであるから、環状に形成された下方側支持プレート６１ｂの内周部上面の周方向４か所に設けられた係合突起７２と係合し得る、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられた環状プレート７４の外周部に設けられた４つの筒体７５の角度位置を、恣意的に選択することにより、引用発明２の「固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ側の係合突起７２」と「上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４側の筒体７５」とからなる係合手段は、「周方向に」位置決めさせる機能を備えているものといえる。また、引用発明２の「固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ側の係合突起７２」と「上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４側の筒体７５」とからなる前記係合手段は、前記係合突起７２と前記筒体７５とが一旦係合してしまえば、「相対回転不能に」結合するものとなることも、明らかなことである。
　
ｃ　そうすると、引用発明２も、本件発明３の「上部板が上昇された状態で上部板の周方向の位置決めが行われるような形状を有し、かつ、前記上部板と前記回転台との離脱時には当該上部板と支持部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合よりなる位置決め機構」の構成を備えているといえる。
　
ｄ　したがって、引用発明２は、実質的に、本件発明３の相違点４に係る構成を備えているといえるから、前記相違点４は、実質的な相違点ではなく、形式的な表現上の相違点であるにすぎない。
　
　そして、本件発明３の奏する作用効果は、引用発明２から予測できる範囲内のものであり、格別のものということができない。
　
ウ　まとめ
　以上のとおりであり、本件発明３は、引用発明２に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（４）本件発明４について
ア　対比
ａ　引用発明２は、上記「１　甲号各証の記載事項」欄の「（１）」に前掲したとおりのものである。
　　それによれば、引用発明２の処理液塗布装置は、「角型基板Ｗを水平回転可能に保持して回転させる基板保持部２と、前記基板保持部２の上方に基板保持部２と平行に配置された上部回転板３と、基板保持部２及び上部回転板３を囲むように配置された上部が開口する下部ケース４と、該下部ケース４の開口を覆うように着脱可能に取り付けられる上部ケース５と、基板保持部２に保持された角型基板Ｗにフォトレジスト液を供給するための処理液供給部６と、基板保持部２の上面を洗浄するための上面洗浄部７と、上部回転板３の下面を洗浄するための下面洗浄部８とからなる角型基板Ｗにフォトレジスト液を塗布する処理液塗布装置１において、基板処理時には、まず昇降シリンダ４１により、基板吸着部１０を上昇させ、搬入・搬出位置に配置し、そして搬送機構から角型基板Ｗが搬送されると、真空弁３９を開き、基板吸着部１０を負圧にする結果、角型基板Ｗが吸着保持されて、昇降シリンダ４１により基板吸着部１０を周端部１１と対向する位置に下降させ、続いて処理液供給部６のアーム８０を旋回し、処理液ノズル８１を角型基板Ｗの中心位置の上方に配置し、続いて、角型基板Ｗに対してフォトレジスト液を所定量供給し、処理液の供給が終了すると、処理液アーム８０を退避させ、続いて上部ケース５を下部ケース４に装着すると、上部回転板３はリング部材２５上に係合されて下部回転板２４と一体回転可能となり、続いてモータ３２を回転駆動し、下部回転板２４、基板吸着部１０及び上部回転板３を一体回転させて、角型基板Ｗに滴下されたフォトレジスト液を径方向外周に拡散させ、角型基板Ｗ上に処理液を均一に塗布し、フォトレジスト液の塗布が終了すると、モータ３２の駆動を停止し、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げ、下部ケース４から離脱させると、上部ケース５によって、上部回転板３もリング部材２５から離脱され、そして昇降シリンダ４１により角型基板Ｗを上昇させ、搬送機構により次の工程に角型基板Ｗを搬送するようにした」ものである。
　
ｂ　そして、本件発明４と引用発明２とを対比すると、上記「（１）本件発明１について」欄の「ア　対比」に前述したのと同様に、引用発明２の「角型基板Ｗを水平回転可能に保持して回転させる基板保持部２」、「上部回転板３」及び「下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１」のそれぞれが、本件発明４の「基板を回転可能に支持する基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」及び「進退部材」のそれぞれに相当する。
　
ｃ　しかして、本件発明４は回転式塗布方法の発明であり、引用発明２は処理液塗布装置の発明である点で、両者の「発明のカテゴリー」が相違する。
　　しかしながら、両者の「発明のカテゴリー」の相違を除けば、引用発明２の「角型基板Ｗを水平回転可能に保持して回転させる基板保持部２と、前記基板保持部２の上方に基板保持部２と平行に配置された上部回転板３と、基板保持部２及び上部回転板３を囲むように配置された上部が開口する下部ケース４と、該下部ケース４の開口を覆うように着脱可能に取り付けられる上部ケース５と、基板保持部２に保持された角型基板Ｗにフォトレジスト液を供給するための処理液供給部６と、基板保持部２の上面を洗浄するための上面洗浄部７と、上部回転板３の下面を洗浄するための下面洗浄部８とからなる処理液塗布装置１による角型基板Ｗにフォトレジスト液を塗布すること」と、本件発明４の「回転可能な基板支持部材上に基板を水平支持し、当該基板の上面に塗布液を供給して回転させる回転式塗布方法」とは、いずれも「回転式塗布に関する発明」である点で共通するといえる。
　
ｄ　そして、引用発明２の「まず昇降シリンダ４１により、基板吸着部１０を上昇させ、搬入・搬出位置に配置し、そして搬送機構から角型基板Ｗが搬送されると、真空弁３９を開き、基板吸着部１０を負圧にする結果、角型基板Ｗが吸着保持されて、昇降シリンダ４１により基板吸着部１０を周端部１１と対向する位置に下降させ」る工程、「続いて処理液供給部６のアーム８０を旋回し、処理液ノズル８１を角型基板Ｗの中心位置の上方に配置し、続いて、角型基板Ｗに対してフォトレジスト液を所定量供給し、処理液の供給が終了すると、処理液アーム８０を退避させ」る工程、及び「続いてモータ３２を回転駆動し、下部回転板２４、基板吸着部１０及び上部回転板３を一体回転させて、角型基板Ｗに滴下されたフォトレジスト液を径方向外周に拡散させ、角型基板Ｗ上に処理液を均一に塗布」する工程のそれぞれが、本件発明４の「基板支持部材に基板を支持させる工程」、「基板支持部材に支持した基板に塗布液を供給する工程」及び「基板支持部材と塗布処理空間形成部材とを回転させて基板上の塗布液を拡散流動させる工程」のそれぞれに相当することは、明らかである。
　
ｅ　さらに、引用発明２は、固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂは環状に形成され、その内周部上面の周方向４か所それぞれには係合突起７２が設けられ、下方側支持プレート６１ｂよりも上方に位置するように、上部回転板３に取付部材７３を介して環状プレート７４が取り付けられていて、環状プレート７４の外周部には、４つの係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５が設けられていて、この結果、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できる構成となっていて、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り下げて、固定支持部材６１側の係合突起７２を上部回転板３側の筒体７５から離脱させると、上部回転板３をリング部材２５に対して装着できる状態となるものである。
　　そうすると、引用発明２の「続いて上部ケース５を下部ケース４に装着すると、上部回転板３はリング部材２５上に係合されて下部回転板２４と一体回転可能となり」の工程は、本件発明４が「回転不能状態で」支持する点及び「かつ相対回転可能状態」とする点を除けば、本件発明４の「塗布処理空間形成部材を支持していた進退部材を下降させて塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材と結合させて塗布処理空間を形成するとともに、凹凸結合を解除させて塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを非接触とする工程」に相当するといえる。
　
ｆ　また、引用発明２の「フォトレジスト液の塗布が終了すると、モータ３２の駆動を停止し、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げ、下部ケース４から離脱させると、上部ケース５によって、上部回転板３もリング部材２５から離脱され」る工程は、「固定支持部材６１を上昇させることにより、上部回転板３を下部回転板２４から取り外し、さらに、引用発明２の「環状に形成された下方側支持プレート６１ｂの内周部上面の周方向４か所それぞれに設けられた山形状の係合突起７２」を、「上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４の外周部に設けられた、４つの前記係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５」に係合させて、固定支持部材６１で上部回転板３を支持すること」に他ならないから、本件発明４が凹凸結合により「回転不能状態で」支持する点を除けば、引用発明２の前記「フォトレジスト液の塗布が終了すると、モータ３２の駆動を停止し、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げ、下部ケース４から離脱させると、上部ケース５によって、上部回転板３もリング部材２５から離脱され」る工程が、本件発明４の「前記進退部材を上昇させることにより、塗布処理空間形成部材を基板支持部材から取り外して凹凸結合により支持する工程」に相当する。
　
ｇ　そうすると、本件発明４と引用発明２とは、
「回転可能な基板支持部材上に基板を水平支持し、当該基板の上面に塗布液を供給して回転させる回転式塗布方法において、
　基板支持部材に基板を支持させる工程と、
　基板支持部材に支持した基板に塗布液を供給する工程と、
　塗布処理空間形成部材を凹凸結合により支持していた進退部材を下降させて塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材と結合させて塗布処理空間を形成するとともに、凹凸結合を解除させて塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを非接触とする工程と、
　基板支持部材と塗布処理空間形成部材とを回転させて基板上の塗布液を拡散流動させる工程と、
　前記進退部材を上昇させることにより、塗布処理空間形成部材を基板支持部材から取り外して凹凸結合により支持する工程と
　を備えた回転式塗布に関する発明」
である点で一致し、次の点で構成が相違する。
　［相違点５］：本件発明４が、「回転式塗布方法」の発明であるのに対し、引用発明２は「処理液塗布装置」の発明である点。
　［相違点６］：本件発明４が、塗布処理空間形成部材を凹凸結合により「回転不能状態で」支持し、また、本件発明４が、凹凸結合を解除させて塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを非接触「かつ相対回転可能状態」とするのに対し、引用発明２は、前記構成であるか否か明確でない点。
　
イ　相違点についての検討
（ア）相違点５について
ａ　引用発明２の物の発明を、方法の発明に、発明のカテゴリーを変更することは、当業者が何らの格別の技術力を要することなく、文言を変更することにより容易になし得ることである。
　
ｂ　したがって、本件発明４の上記相違点５は、引用発明２に基づいて、当業者が容易に想到することができたものである。
　
（イ）相違点６について
ａ　引用発明２が、「吊り上げ手段で上部ケース５を吊り上げることにより、固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ側の係合突起７２を上方に移動させて、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４側の筒体７５に前記係合突起７２を係合させることにより、固定支持部材６１と上部回転板３とを係合させ、また、吊り上げ手段で上部ケース５を吊り降ろすことにより、固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ側の係合突起７２も下方に移動するから、上部回転板３の環状プレート７４側の筒体７５への前記係合突起７２の係合を外すことにより固定支持部材６１と上部回転板３とを離脱させる構成となっているので、引用発明２は、「上部回転板３が固定支持部材６１に上下方向に移動可能に係合又は離脱される」構成を備えていること、及び、「上部回転板３の環状プレート７４側の筒体７５と前記係合突起７２との係合が外れて、上部回転板３が固定支持部材６１に対して離脱しているときには、上部回転板３と固定支持部材６１とは互いに係合されてなく力学的に切断されていて、固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ側の係合突起７２と上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４側の筒体７５との間に、両者を相互に力学的に拘束するような力は存在していないから、吊り上げ手段で上部ケース５を吊り降ろしているときには、上部回転板３は固定支持部材６１に対して回転位置が自由状態にある」ことは、上記「（１）本件発明１について」欄の「（ア）相違点１について」の「ｂ」及び「ｃ」に前述したとおりである。
　
ｂ　そうすると、塗布処理空間形成部材を凹凸結合により「回転不能状態で」支持すること、及び、凹凸結合を解除させて塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを非接触「かつ相対回転可能状態」とすることは、引用発明２の発明に基づいて当業者が何らの格別の技術力を要することなく、容易になし得ることである。
　
ｃ　したがって、本件発明４の上記相違点６は、引用発明２に基づいて、当業者が容易に想到することができたものである。
　
　そして、本件発明４の奏する作用効果は、引用発明２から予測できる範囲内のものであり、格別のものということができない。
　
ウ　まとめ
　以上のとおりであり、本件発明４は、引用発明２に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（５）本件発明５について
ア　対比
ａ　本件発明５と引用発明２とを対比する前に、請求項１に係る本件発明１と請求項５に係る本件発明５とを比較すると、本件発明５は請求項１に係る本件発明１を引用する発明であるから、本件発明１と本件発明５とは、請求項１に記載されている構成が共通し、その余の点で構成が相違することは明らかである。
　　そして、本件発明５の本件発明１と共通する構成については、すでに上記「（１）本件発明１について」欄の「ア　対比」及び「（ア）相違点１について」及び「（イ）相違点２について」の欄において前述したとおりである。
　
ｂ　そうすると、ここで、本件発明５と引用発明２とを対比した場合の両者の構成上の相違は、上記「（１）本件発明１について」欄において前述した本件発明１と引用発明２との構成上の相違である相違点１及び相違点２を含み、かつ、本件発明１と本件発明５と構成が共通していない「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材と、前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材とは、前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じるとともに、前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる部材により構成されること」の構成であることは明らかである。
　
ｃ　しかして、上記「（１）本件発明１について」欄の「ア　対比」において、引用発明２の次の各構成が本件発明１の各構成にそれぞれ相当することを前述した。
　（ａ）引用発明２の「角型基板１」、「角型基板Ｗを水平回転可能に保持して回転させる基板保持部２」、「フォトレジスト液」及び「処理液塗布装置１」のそれぞれが、本件発明１の「基板」、「基板を回転可能に支持する基板支持部材」、「塗布液」及び「回転式塗布装置」に相当すること。
　（ｂ）引用発明２の「該下部ケース４の開口を覆うように着脱可能に取り付けられる上部ケース５」が、本件発明１の「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」に相当すること。
　（ｃ）引用発明２の「基板保持部２の上方に前記基板保持部２と平行に着脱可能かつ係止可能に、また、電動モータ３２により基板保持部２に一体的に回転可能に取り付けられていて、下部回転板２４とリング部材２５とによって半密閉の空間を形成する上部回転板３」が、本件発明１の「塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材」に相当すること。
　（ｄ）引用発明２の「下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１」、「取付部材７３」、「環状プレート７４」、「環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ」のそれぞれが、本件発明１の「進退部材」、「取付部材」、「第１の部材」、「第２の部材」のそれぞれに相当すること。
　（ｅ）引用発明２の「環状に形成された下方側支持プレート６１ｂの内周部上面の周方向４か所それぞれに設けられた山形状の係合突起７２と、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４の外周部に設けられた、４つの前記係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５」及び「固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合」の各構成が、それぞれ本件発明１の「前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して位置決めする位置決め機構」及び「当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを結合する凹凸結合」に相当すること。
　
ｄ　したがって、請求項１を引用する請求項５に係る本件発明５においても、引用発明２の「処理液塗布装置１」、「下部ケース４」、「該下部ケース４の開口を覆うように着脱可能に取り付けられる上部ケース５」、「上部回転板３」、「角型基板Ｗを水平回転可能に保持して回転させる基板保持部２」及び「下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１」が、本件発明５の「回転式塗布装置」、「ケース」、「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」、「塗布処理空間形成部材」、「基板支持部材」及び「前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材」にそれぞれ相当することは明らかである。
　
ｅ　そうすると、本件発明５と引用発明２とは、
「請求項１に記載の回転式塗布装置」
である点で一致し、上記「（１）本件発明１について」欄において前述した上記相違点１及び相違点２の他に、次の点で両者の構成が相違する。
　［相違点７］：本件発明５が、「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材と、前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材とは、前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じるとともに、前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる部材により構成される」のに対して、引用発明２では、前記構成が明確でない点。
　
イ　相違点についての検討
（ア）相違点１及び相違点２について
　本件発明５と引用発明２との構成上の相違である相違点１及び相違点２は、本件発明１と引用発明２との構成上の相違である相違点１及び相違点２と共通しており、前記相違点１及び相違点２については、上記「（１）本件発明１について」欄の「イ　相違点についての検討」の「（ア）相違点１について」及び「（イ）相違点２について」において、すでに前述したとおりであるので、重複を避けるために、ここでは繰り返さない。
　
（イ）相違点７について
ａ　引用発明２の「該下部ケース４の開口を覆うように着脱可能に取り付けられる上部ケース５」が、本件発明１の「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」に相当することは、前記「ア　対比」欄の「ｃ（ｂ）」に摘記したとおりであり、また、引用発明２の「下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１」が、本件発明１の「進退部材」に相当することについても、前記「ア　対比」欄の「ｃ（ｄ）」に摘記したとおりである。
　
ｂ　そして、引用発明２においては、上部ケース５が、下部ケース４の側部材４ｂ上に着脱可能に配置され、前記上部ケース５の中心部に、下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１が配置されていて、両固定支持部材６１は上方側支持プレート６１ａ及び下方側支持プレート６１ｂで連結されているとともに、前記固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂは環状に形成され、その内周部上面の周方向４か所それぞれには係合突起７２が設けられ、下方側支持プレート６１ｂよりも上方に位置するように、上部回転板３に取付部材７３を介して環状プレート７４が取り付けられていて、環状プレート７４の外周部には、４つの係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５が設けられていて、この結果、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できる構成となっているものである。
　
ｃ　そうすると、引用発明２の前記「該下部ケース４の開口を覆うように着脱可能に取り付けられる上部ケース５」は、下部ケース４の側部材４ｂ上に着脱可能に配置されているのであり、そして、前記「上部ケース５」の中心部に、下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１が配置されていて、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できる構成となっているのであるから、引用発明２においては、前記「下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１」は、前記「該下部ケース４の開口を覆うように着脱可能に取り付けられる上部ケース５」の中心部に配置されて、前記上部ケース５と一体化されているといえる。
　
ｄ　以上のことから、引用発明２の前記「上部ケース５」は、該上部ケース５が下部ケース４に着脱可能に取り付けられると、前記上部ケース５が下部ケース４の開口を覆う機能を具備していることは明らかである。
　　また、引用発明２の前記「固定支持部材６１」は、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できるのであるから、前記固定支持部材６１は、上部回転板３を支持して下部回転板２４に対して進退させる機能を具備しているといえる。
　　そして、引用発明２の前記「固定支持部材６１」が、前記「上部ケース５」と一体化されているのであるから、前記固定支持部材６１も、下部ケース４に着脱可能に取り付けられると、前記固定支持部材６１が下部ケース４の開口を覆うこととなることも明らかである。
　
ｅ　したがって、引用発明２においても、「該下部ケース４の開口を覆うように着脱可能に取り付けられる上部ケース５」と「下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１」とが、本件発明５と同様に、「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じるとともに、前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる部材」から構成されているといえるから、本件発明５の相違点７に係る前記構成は、実質的な構成上の相違ではなく、形式上の表現上の相違でしかない。
　
　そして、本件発明５の奏する作用効果は、引用発明２から予測できる範囲内のものであり、格別のものということができない。
　
ウ　まとめ
　以上のとおりであり、本件発明５は、引用発明２に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
第６　当審の職権による無効理由２（特許法第３６条第４項、同条第６項第１号及び第２号違反）についての検討
１　本件発明１及び本件発明５の「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」について
（１）被請求人が原出願の当初明細書等が記載されている甲第１号証〔特開平６−３３８４４７号公報〕の記載から自明であると主張する本件発明１及び本件発明５の「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」について、甲第１号証の記載からは、甲第１号証に記載の「固定支持部材１６」が、本件発明１及び本件発明５の「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」であるといえないことは、上記「第４　当審の職権による無効理由の前提となる分割要件の有無についての検討」欄の「２（２）ア」に前述したとおりである。
　そして、本件特許出願が、上記甲第１号証に係る特願平５−１２３５３８号を原出願とする分割出願であるとされていたことから、「固定支持部材１６」についての本件訂正明細書における記載は、上記甲第１号証に記載されている技術事項の範囲内にとどまり、甲第１号証と同様に、本件訂正明細書の記載からは、前記「固定支持部材１６」が、本件発明１及び本件発明５の「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」であるとはいえない。
　
（２）したがって、「固定支持部材１６」が「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」であることの根拠となる記載を、本件訂正明細書の中に認めることができない。また、「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項が、本件訂正明細書の記載から自明であるということもできない。
　
（３）そうすると、本件発明１及び本件発明５の前記「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の構成要件が、本件訂正明細書の発明の詳細な説明に記載されてなく、また、前記構成要件について、当業者が実施できる程度に本件訂正明細書の発明の詳細な説明に記載されているということができないばかりでなく、前記構成要件を含む本件発明１及び本件発明５の構成が、明確でないものとなっている。
　
２　本件発明３の「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」、「前記上部板を吊持して昇降させる支持部材」及び「前記上部板と支持部材との間に介在され、上部板が上昇された状態で上部板と支持部材とを結合するとともに、上部板が回転台に結合された状態で前記上部板と支持部材との結合状態が解除されて上部板と支持部材とが互いに非接触状態となる係合部」について
（１）被請求人が原出願の当初明細書等が記載されている甲第１号証〔特開平６−３３８４４７号公報〕に記載されていると主張する本件発明３の「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」について、甲第１号証の記載からは、甲第１号証に記載の「上部回転板３と上部支持板４」が、本件発明３の「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」であるとはいえないことは、上記「第４　当審の職権による無効理由の前提となる分割要件の有無についての検討」欄の「２（２）イ」に前述したとおりである。
　そして、本件特許出願が、上記甲第１号証に係る特願平５−１２３５３８号を原出願とする分割出願であるとされていたことから、「上部回転板３と上部支持板４」についての本件訂正明細書における記載は、上記甲第１号証に記載されている技術事項の範囲内にとどまり、甲第１号証と同様に、本件訂正明細書の記載からは、前記「上部回転板３と上部支持板４」が、本件発明３の「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」であるとはいえない。
　
（２）したがって、「上部回転板３と上部支持板４」が「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」であることの根拠となる記載を、本件訂正明細書の中に認めることができない。また、「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」の技術事項が、本件訂正明細書の記載から自明であるということもできない。
　
（３）しかも、前記「上部板」という文言は、「上部回転板３」又は「上部支持板４」という具体的構成の上位概念であり、前記「上部回転板３」又は「上部支持板４」の具体的構成だけではなく、他の構成の「上部板」としての概念をも包含する拡張された一般的な概念であるから、「上部板」の文言が、必ずしも前記「上部回転板３」又は「上部支持板４」のみを一義的に意味するものでないことは明らかである。
　したがって、前記「上部回転板３」又は「上部支持板４」が「上部板」に該当するということはいえるが、逆に、「上部板」の文言が前記「上部回転板３」又は「上部支持板４」を意味するとは必ずしもいえないので、前記「上部回転板３」又は「上部支持板４」を離れた本件発明３の「上部板」の文言は、前記「上部回転板３」又は「上部支持板４」を超える意味内容の構成であって、本件訂正明細書の発明の詳細な説明に明示の記載がなく、また示唆する記載もないので、明確でないものとなっている。
　
（４）そうすると、前記「上部板」の構成要素を含む本件発明３の「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」の構成要件が、本件訂正明細書の発明の詳細な説明に記載されてなく、また、前記構成要件について、当業者が実施できる程度に本件訂正明細書の発明の詳細な説明に記載されているということができないばかりでなく、さらに、前記「前記回転台との結合によって内部に塗布処理空間を作る上部板」の構成要件を含む本件発明３の「前記上部板を吊持して昇降させる支持部材」及び「前記上部板と支持部材との間に介在され、上部板が上昇された状態で上部板と支持部材とを結合するとともに、上部板が回転台に結合された状態で前記上部板と支持部材との結合状態が解除されて上部板と支持部材とが互いに非接触状態となる係合部」の構成要件も、明確でないものとなっている。
　
３　本件発明１ないし本件発明５の「基板を回転可能に支持する基板支持部材」、「塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材」、「前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材」、「前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して周方向に位置決めする位置決め機構」、「前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には前記進退部材による前記塗布処理空間形成部材の支持を解除して前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを互いに非接触状態とする係合部」及び「前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との離脱時には当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合」について
（１）被請求人が原出願の当初明細書等が記載されている甲第１号証〔特開平６−３３８４４７号公報〕に記載されていると主張する本件発明１ないし本件発明５の「基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「位置決め機構」、「凹凸結合」及び「係合部」の各構成要素の文言について、甲第１号証の記載からは、甲第１号証に記載の「回転台」；「上部回転板３」と「上部支持板４」；「固定支持部材１６」；「筒体３２」と「係合突起２９」；「筒体３２と係合突起２９の嵌入」；「係合突起２９」と「下方側支持プレート１６ｂ」と「筒体３２」と「環状プレート３１」と「取付部材３０」のそれぞれが、本件発明１ないし本件発明５の「基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「位置決め機構」、「凹凸結合」及び「係合部」の各構成要素であるとはいえないことは、上記「第４　当審の職権による無効理由の前提となる分割要件の有無についての検討」欄の「２（２）ウ」に前述したとおりである。
　そして、本件特許出願が、上記甲第１号証に係る特願平５−１２３５３８号を原出願とする分割出願であるとされていたことから、「回転台」；「上部回転板３」と「上部支持板４」；「固定支持部材１６」；「筒体３２」と「係合突起２９」；「筒体３２と係合突起２９の嵌入」；「係合突起２９」と「下方側支持プレート１６ｂ」と「筒体３２」と「環状プレート３１」と「取付部材３０」についての本件訂正明細書における記載は、上記甲第１号証に記載されている技術事項の範囲内にとどまり、甲第１号証と同様に、本件訂正明細書の記載からは、前記「回転台」；「上部回転板３」と「上部支持板４」；「固定支持部材１６」；「筒体３２」と「係合突起２９」；「筒体３２と係合突起２９の嵌入」；「係合突起２９」と「下方側支持プレート１６ｂ」と「筒体３２」と「環状プレート３１」と「取付部材３０」が、本件発明１ないし本件発明５の「基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「位置決め機構」、「凹凸結合」及び「係合部」の各構成要素であるとはいえない。
　
（２）したがって、「回転台」；「上部回転板３」と「上部支持板４」；「固定支持部材１６」；「筒体３２」と「係合突起２９」；「筒体３２と係合突起２９の嵌入」；「係合突起２９」と「下方側支持プレート１６ｂ」と「筒体３２」と「環状プレート３１」と「取付部材３０」が本件発明１ないし本件発明５の「基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「位置決め機構」、「凹凸結合」及び「係合部」の各構成要素であることの根拠となる記載を、本件訂正明細書の中に認めることができない。また、本件発明１ないし本件発明５の「基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「位置決め機構」、「凹凸結合」及び「係合部」の各構成要素の技術事項が、本件訂正明細書の記載から自明であるということもできない。
　
（３）しかも、前記「基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「位置決め機構」、「凹凸結合」及び「係合部」という文言は、「回転台」；「上部回転板３」と「上部支持板４」；「固定支持部材１６」；「筒体３２」と「係合突起２９」；「筒体３２と係合突起２９の嵌入」；「係合突起２９」と「下方側支持プレート１６ｂ」と「筒体３２」と「環状プレート３１」と「取付部材３０」という具体的構成の上位概念であり、前記「回転台」；「上部回転板３」と「上部支持板４」；「固定支持部材１６」；「筒体３２」と「係合突起２９」；「筒体３２と係合突起２９の嵌入」；「係合突起２９」と「下方側支持プレート１６ｂ」と「筒体３２」と「環状プレート３１」と「取付部材３０」の具体的構成だけではなく、他の構成の概念をも包含する拡張された一般的な概念であるから、前記「基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「位置決め機構」、「凹凸結合」及び「係合部」の文言が、必ずしも前記「回転台」；「上部回転板３」と「上部支持板４」；「固定支持部材１６」；「筒体３２」と「係合突起２９」；「筒体３２と係合突起２９の嵌入」；「係合突起２９」と「下方側支持プレート１６ｂ」と「筒体３２」と「環状プレート３１」と「取付部材３０」のみをそれぞれ一義的に意味するものでないことは明らかである。
　したがって、前記「回転台」；「上部回転板３」と「上部支持板４」；「固定支持部材１６」；「筒体３２」と「係合突起２９」；「筒体３２と係合突起２９の嵌入」；「係合突起２９」と「下方側支持プレート１６ｂ」と「筒体３２」と「環状プレート３１」と「取付部材３０」が、「基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「位置決め機構」、「凹凸結合」及び「係合部」の各構成要素にそれぞれ該当するということはいえるが、逆に、「基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「位置決め機構」、「凹凸結合」及び「係合部」の文言が、前記「回転台」；「上部回転板３」と「上部支持板４」；「固定支持部材１６」；「筒体３２」と「係合突起２９」；「筒体３２と係合突起２９の嵌入」；「係合突起２９」と「下方側支持プレート１６ｂ」と「筒体３２」と「環状プレート３１」と「取付部材３０」をそれぞれ意味するとは必ずしもいえないので、前記「回転台」；「上部回転板３」と「上部支持板４」；「固定支持部材１６」；「筒体３２」と「係合突起２９」；「筒体３２と係合突起２９の嵌入」；「係合突起２９」と「下方側支持プレート１６ｂ」と「筒体３２」と「環状プレート３１」と「取付部材３０」を離れた本件発明１ないし本件発明５の「基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「位置決め機構」、「凹凸結合」及び「係合部」の各構成要素の文言は、前記「回転台」；「上部回転板３」と「上部支持板４」；「固定支持部材１６」；「筒体３２」と「係合突起２９」；「筒体３２と係合突起２９の嵌入」；「係合突起２９」と「下方側支持プレート１６ｂ」と「筒体３２」と「環状プレート３１」と「取付部材３０」を超える意味内容の構成要素であって、本件訂正明細書の発明の詳細な説明に明示の記載がなく、また示唆する記載もないので、明確でないものとなっている。
　
（４）そうすると、本件発明１ないし本件発明５の前記「基板支持部材」、「塗布処理空間形成部材」、「進退部材」、「位置決め機構」、「凹凸結合」及び「係合部」の各構成要素を含む本件発明１ないし本件発明５の、
　「基板を回転可能に支持する基板支持部材」、
　「塗布処理空間を形成すべく前記基板支持部材と結合可能でかつ前記基板支持部材との結合時には当該基板支持部材と共に回転可能な塗布処理空間形成部材」、
　「前記塗布処理空間形成部材を支持して前記基板支持部材に対して進退させる進退部材」、
　「前記塗布処理空間形成部材を前記基板支持部材から離脱したとき前記塗布処理空間形成部材を前記進退部材に対して周方向に位置決めする位置決め機構」、
　「前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との離脱時には当該塗布処理空間形成部材と進退部材とを相対回転不能に結合する凹凸結合」及び
　「前記塗布処理空間形成部材と前記基板支持部材との結合時には前記進退部材による前記塗布処理空間形成部材の支持を解除して前記塗布処理空間形成部材と前記進退部材とを互いに非接触状態とする係合部」
の各構成要件についても、本件訂正明細書の発明の詳細な説明に記載されてなく、また、前記各構成要件について、当業者が実施できる程度に本件訂正明細書の発明の詳細な説明に記載されているということができないばかりでなく、明確でないものとなっている。
　
４　まとめ
　以上のとおりであるから、本件発明１ないし本件発明５の特許は、特許法第３６条第４項、同条第６項第１号及び第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものである。
　
第７　むすび
　以上のとおり、本件発明１ないし本件発明５の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、同法第１２３条第１項第２号の規定に該当し、請求人の無効理由２又は当審の職権による無効理由１により無効とすべきものである。
　また、本件発明１ないし本件発明５の特許は、特許法第３６条第４項、同条第６項第１号及び第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであるから、同法第１２３条第１項第４号の規定に該当し、当審の職権による無効理由２により無効とすべきものである。
　
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定において準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。