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　特願２００１−３３０１１３「欠陥検査方法及びその装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年　５月　８日出願公開、特開２００３−１３０８０８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１３年１０月２９日の出願であって、平成１８年６月８日付けで、同年４月１４日付け手続補正についての補正の却下の決定とともに拒絶査定がされ、これに対し、同年７月１２日に拒絶査定不服審判の請求が行われるとともに、同年８月４日付けで手続補正がされたものである。
　
２．平成１８年８月４日付けの手続補正についての補正の却下の決定
　
　［補正却下の決定の結論］
　　平成１８年８月４日付けの手続補正を却下する。
　
　［理由］
２−１．補正後の本願発明
　平成１８年８月４日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）は、特許請求の範囲を補正するものであって、そのうち請求項７についてする補正は、発明特定事項の対応関係からして、補正前（平成１７年５月２３日付け手続補正書。以下同様）の特許請求の範囲の
「【請求項８】
第１のレーザを発射する第１のレーザ光源と、前記第１のレーザとは異なる波長の第２のレーザを発射する第２のレーザ光源と、前記第１のレーザ光源と前記第２のレーザ光源とからそれぞれ発射した第１のレーザと第２のレーザとを同軸化する同軸化手段と、該同軸化手段で同軸化した第１のレーザと第２のレーザとにそれぞれ光路差を与えて複数系統のレーザを形成する光路差光学系手段と、該光路差光学系手段に入射して形成された光路長の異なる複数系統の第１のレーザと第２のレーザとを試料に照射する照射手段と、該照射手段により前記光路長の異なる複数系統の第１のレーザと第２のレーザとが照射された前記試料からの反射光を対物レンズを介して検出する検出手段と、該検出手段で検出して得られた信号を処理して前記試料上の欠陥を検出する処理手段とを備えた欠陥検査装置であって、前記第１のレーザ光源はパルスレーザを発振するパルスレーザ光源であり、前記照射手段は前記光路長の異なる複数系統の第１のレーザと第２のレーザとを前記検出手段の対物レンズの外側から試料に暗視野照明することを特徴とする欠陥検査装置。」を、
「【請求項７】
第１のレーザを発射する第１のレーザ光源と、前記第１のレーザとは異なる波長の第２のレーザを発射する第２のレーザ光源と、前記第１のレーザ光源と前記第２のレーザ光源とからそれぞれ発射した第１のレーザと第２のレーザとを同軸化する同軸化手段と、該同軸化手段で同軸化した第１のレーザと第２のレーザとにそれぞれ光路差を与えて複数系統のレーザを形成する光路差光学系手段と、該光路差光学系手段に入射して形成された光路長の異なる複数系統の第１のレーザと第２のレーザとを試料に照射する照射手段と、該照射手段により前記光路長の異なる複数系統の第１のレーザと第２のレーザとが照射された前記試料からの反射光を対物レンズを介して
前記第１のレーザの波長と前記第２のレーザの波長とに分離して
分離して
前記第１のレーザの波長に対応する画像信号と前記第２のレーザの波長に対応する画像信号を合成して得られる合成画像
　
　上記補正は、補正前の請求項８に記載した発明を特定するために必要な事項である「検出手段」について、（反射光を対物レンズを介して）「
前記第１のレーザの波長と前記第２のレーザの波長とに分離して
分離して
前記第１のレーザの波長に対応する画像信号と前記第２のレーザの波長に対応する画像信号を合成して得られる合成画像
　
　そこで、本願補正発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について検討する。
　
２−２．引用例
２−２−１．引用例６
　原査定の拒絶の理由に引用した、本願出願日前に頒布された刊行物である、特開平１−１８７４３７号公報（以下「引用例６」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審にて付加した）。（なお、原査定の拒絶の理由とされた平成１８年２月７日付け拒絶理由通知書では、引用文献等一覧において、当該刊行物が「７．特開平１−１８７４３７号公報」と記載されているが、当該拒絶理由通知書中では当該刊行物を引用文献６として引用しており、また出願人の平成１８年４月１４日付けの意見書及び平成１８年８月４日付け補正書で補正された審判請求書の請求の理由においては当該刊行物を「引用文献６」として参照していることから、上記拒絶理由通知書中の記載は「６．特開平１−１８７４３７号公報」とすべきものの誤記であって、当該誤記にもかかわらず出願人は当該刊行物を引用文献６として応答しており、原査定の拒絶の理由は正しく出願人に伝えられたものである。）
　
（６ａ）「２．特許請求の範囲
　
光透過性を有する薄膜状の被検査対象の表裏のいずれに異物等の欠陥が存在しているかを検出する欠陥検査装置において、前記被検査対象のいずれか一方の面に波長の異なる２つの光ビームを照射する照射手段と
前記光ビームの前記欠陥による散乱光を受光する第二の光電検出手段と；前記第二の光電検出手段の検出出力に基づいて前記被検査対象における欠陥付着面を判定する判定手段とを有することを特徴とする欠陥検査装置。
　
（６ｂ）「〔実施例〕
　以下本発明の実施例について、添付の図面を参照しながら説明する。
　まず第１図を参照しながら、本発明の第１実施例の構成について説明する。
　第１図において、被検査物としてのペリクル１は支持枠２を介してレチクルまたはフォトマスク（以下レチクルで代表する）３に装着されている。レチクル３は、図中ｘ方向及び紙面と垂直なｙ方向に移動可能な不図示の載物台に載置されている。従ってこの載物台をｘ方向、ｙ方向に移動することによってペリクル１の任意の位置の異物検査が可能となる。
　一方ペリクル１の一方の面（第１図ではペリクル１の上方の面）側には
波長λ
１
の光ビームを出力するレーザ光源４と波長λ
２
の光ビームを出力するレーザ光源５が置かれている。
レーザ光源４、５のおのおのから出力されたレーザビーム６、７はダイクロイックミラー８によって同軸上の光路９となる
．．．
　可変ＮＤフィルター１２を透過した
レーザビームは
レンズ１６によって屈折してペリクル１上の点Ｑに入射する
　
（６ｃ）「ペリクル１の上面には
ペリクル１上の異物からの散乱光を検出するための受光レンズ２１及び光電検出器２２、２４が配置されている。受光レンズ２１と光電検出器２２の間の光路中にはダイクロイックミラー２３が置かれていて、波長λ
１
の散乱光のみを透過し、光電検出器２２へ導き、また波長λ
２
の散乱光のみを反射し光電検出器２４へ導く
　
（６ｄ）「光電検出器１８、２０、２２、２４の光電出力はおのおの増幅器３０、３１、３２、３３によって増幅され、受光光量に比例した電器信号Ｒ１、Ｒ２、Ｉ１、Ｉ２を得る。すなわちペリクル１による正反射光のうち波長λ１の光に対しては光電信号Ｒ１、波長λ２の光に対しては光電信号Ｒ２が得られ、
ペリクル１に付着した異物からの散乱光のうち波長λ
１
の光に対しては光電信号Ｉ
１
、波長λ
２
の光に対しては光電信号Ｉ
２
がおのおの得られる。
．．．
　角度可変ミラー１３を駆動させて、波長λ１、λ２に対するペリクル１の反射率Ｒ１（θ）、Ｒ２（θ）を求めたのち、ペリクル１上の照射位置Ｑに検査したい異物を不図示のｘ−ｙ駆動装置により移動させる。
このとき波長λ
１
、λ
２
の照射光に対する前記異物からの散乱光の光電信号Ｉ
１
、Ｉ
２
は、角度可変ミラー１３を制御部３４によって駆動して先に演算部３６で求めた入射角θ。に固定した角度でＩ
１
（θ。）、Ｉ
２
（θ。）を得る。演算部３８では、波長λ
１
、λ
２
に対するおのおのの光電信号Ｉ
１
（θ。）、Ｉ
２
（θ。）の比が求められ、その出力信号３９は判定部４０に入力される。判定部４０ではＩ
１
（θ。）、Ｉ
２
（θ。）の比から前記異物がペリクル１の照射面側（上面）に付着しているか照射面と反対面側（下面）に付着しているかの判定を行う。
　
（６ｅ）また、図面第１図を参照すると、レーザ光源４、５のおのおのから出力され、同軸上の光路９となったレーザビーム６、７は、散乱光を検出するための受光レンズ２１の外側から、被検査対象に、暗視野照明されることが記載されている。
　
　以上の記載を総合すると、引用例６には、「光透過性を有する薄膜状の被検査対象であるペリクルの表裏のいずれに異物等の欠陥が存在しているかを検出する欠陥検査装置において、
波長λ１の光ビームを出力するレーザ光源４と、波長λ２の光ビームを出力するレーザ光源５と、レーザ光源４、５のおのおのから出力されたレーザビーム６、７を同軸上の光路９とするダイクロイックミラー８と、同軸上の光路９とされたレーザビーム６、７をペリクル１上の点Ｑに入射するレンズ１６と、
ペリクル１上の異物からの散乱光を検出するための受光レンズ２１及び波長λ１の散乱光のみ検出するための光電検出器２２、波長λ２の散乱光のみ検出するための光電検出器２４と、波長λ１、λ２の照射光に対する前記異物からの散乱光の光電信号の比から前記異物がペリクル１の照射面側（上面）に付着しているか照射面と反対面側（下面）に付着しているかの判定を行う判定部４０とを備え、
レーザビーム６、７は、散乱光を検出するための受光レンズ２１の外側から、被検査対象に暗視野照明される、欠陥検査装置。」（以下、「引用例６に記載された発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
２−２−２．引用例３
　原査定の拒絶の理由に引用した、本願出願日前に頒布された刊行物である、特開平１１−３１１６０８号公報（以下「引用例３」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審にて付加した）。
　
（３ａ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被検物を検査する検査装置に係るものであり、特に、微細な回路パターンをウエハやガラス等の感光性基板上に焼き付け転写する際に使用される
レチクルやマスク等の原版
ウエハやガラス等の基板そのものをの欠陥の有無を調べる欠陥検査装置
　
（３ｂ）「【０００２】
【従来の技術】
従来の欠陥検査装置においては
照明された領域からの光を結像光学系を介して集光して、フォトマル、ＣＣＤ等の光電検出素子の受光面上に被検物の照明領域の像が形成される。光電検出素子からの光電検出信号（画像情報）は、画像処理系に入力されて、その画像処理系は、被検物の欠陥検出のための画像処理を行う
　
（３ｃ）「【０００６】
これらの検査対象物を十分なる解像力のもとで観察するためには
検査のために使用される光の波長をより一層短くする
以上の挙げた２６０ｎｍ以下の短波長λの光を供給する光源は、レーザ光を連続発振するものではなく、間欠的な光、所謂パルス状の光を発振するものである
　
（３ｄ）「【００１１】ここで、
パルス光源１から供給されるレーザ光は一般に可干渉長が大きいため条件によっては、観察基板６上にランダムノイズとなるスペックルが発生する場合がある。このため、照明光学系４の内部あるいはビームエキスパンダ２と照明光学系との間の光路中に、スペックル低減手段を配置することが好ましい
【００１２】例えば、図２及び図３に示す光学系をスペックル低減手段として用いることが可能である。図２に示すスペックル低減手段の一例を説明すると、ビームエキスパンダ２からのレーザ光を１／２波長板２０によって図２の紙面に対して４５°傾いた方向に振動する直線偏光の光に変換し、第１の偏光ビームスプリッタ２１によってＰ偏光（図２の紙面方向に振動する直線偏光）とＳ偏光（図２の紙面と垂直な方向に振動する直線偏光）との光に分割される。
【００１３】第１の偏光ビームスプリッタ２１を透過するＰ偏光の光は、第２の偏光ビームスプリッタ２４を透過して照明光学系４の内部に導かれる。一方、第１の偏光ビームスプリッタ２１を反射するＳ偏光の光は、２つのミラー（２２、２３）を介して、第２の偏光ビームスプリッタ２４を反射して照明光学系４の内部に導かれる。
【００１４】ここで、第１のビームスプリッタ２１を反射し、２つのミラー（２２、２３）を介して第２の偏光ビームスプリッタ２４に達する光路（反射光路）と、第１のビームスプリッタ２１を透過して第２のビームスプリッタ２４に達する光路（透過光路）とには、
観察基板６上にスペックルが発生しないように所定の光路長差が与えられるように、各光学部材がそれぞれ配置されている
　
２−２−３．引用例４
　原査定の拒絶の理由に引用した、本願出願日前に頒布された刊行物である、特開２０００−３２３５４２号公報（以下「引用例４」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審にて付加した）。
　
（４ａ）「【請求項４】  被検査物上の所定方向に配列されたパターンを撮像し、該撮像したパターンの画像を他の被検査物の対応する位置に配列されたパターンの画像と比較して
被検査物の欠陥を検出する外観検査装置において
少なくとも
２つの波長帯域を持つ光を放射する照明手段
該照明手段からの光の方向を変更するビームスプリッタと、
該ビームスプリッタにより方向変更された光を該波長帯域に対応した被検査物の表面位置に焦点化するような色収差を有する光学系と、
該被検査物の表面から反射され該光学系及び該ビームスプリッタを通過した光を２つの方向に分離するハーフミラーと、
該ハーフミラーにより該分離された光の一方を受け取り該少なくとも２つの波長帯域の一方の光を通過させる第１の波長選択手段と、
該第ハーフミラーにより分離された光の他方を受け取り該少なくとも２つの波長帯域の他方の光を通過させる第２の波長選択手段と、
該第１及び第２の波長選択手段を通過した光を受け取りそれぞれの波長帯域毎に該被検査物の表面の撮像画像を生成する少なくとも２つの撮像手段と、該撮像手段の出力を合成する画像データ合成手段と、
該画像データ合成手段から得られる各領域の画像を他の被検査物の対応する位置に配列されたパターンの画像と比較した結果に基づいて被検査物の欠陥を検出する欠陥検出手段
　
２−３．対比・判断
　本願補正発明と引用例６に記載された発明とを対比する。
　引用例６に記載された発明の「波長λ１の光ビームを出力するレーザ光源４」、「波長λ２の光ビームを出力するレーザ光源５」、「レーザ光源４、５のおのおのから出力されたレーザビーム６、７を同軸上の光路９とするダイクロイックミラー８」、「同軸上の光路９とされたレーザビーム６、７をペリクル１上の点Ｑに入射するレンズ１６」及び「レーザビーム６、７は、散乱光を検出するための受光レンズ２１の外側から、被検査対象に暗視野照明される」ことはそれぞれ本願補正発明の「第１のレーザを発射する第１のレーザ光源」、「前記第１のレーザとは異なる波長の第２のレーザを発射する第２のレーザ光源」、「前記第１のレーザ光源と前記第２のレーザ光源とからそれぞれ発射した第１のレーザと第２のレーザとを同軸化する同軸化手段」、「第１のレーザと第２のレーザとを試料に照射する照射手段」及び「第１のレーザと第２のレーザとを前記検出手段の対物レンズの外側から試料に暗視野照明する」ことに相当する。
　また、本願補正発明の「検出手段」は、「試料からの反射光を」検出するとされているが、本願補正発明においては「試料に暗視野照明する」としていることから、この「試料からの反射光」とは、試料からの散乱光を意味していることは明らかである。すると、引用例６に記載された発明の「ペリクル１上の異物からの散乱光を検出するための受光レンズ２１及び波長λ１の散乱光のみ検出するための光電検出器２２、波長λ２の散乱光のみ検出するための光電検出器２４」は、本願補正発明の「該照射手段により」「第１のレーザと第２のレーザとが照射された前記試料からの反射光を対物レンズを介して
前記第１のレーザの波長と前記第２のレーザの波長とに分離して
　さらに、引用例６に記載された発明の「波長λ１、λ２の照射光に対する前記異物からの散乱光の光電信号の比から前記異物がペリクル１の照射面側（上面）に付着しているか照射面と反対面側（下面）に付着しているかの判定を行う判定部４０」は、本願補正発明の「該検出手段で分離して検出して得られた前記第１のレーザの波長に対応する画像信号と前記第２のレーザの波長に対応する画像信号を合成して得られる合成画像信号を処理して前記試料上の欠陥を検出する処理手段」と、「該検出手段で分離して検出して得られた前記第１のレーザの波長に対応する信号と前記第２のレーザの波長に対応する信号に基づいて処理して前記試料上の欠陥を検出する処理手段」である点で共通している。
　そして、引用例６に記載された発明は「光透過性を有する薄膜状の被検査対象であるペリクルの表裏のいずれに異物等の欠陥が存在しているかを検出する欠陥検査装置」であって、検出対象の欠陥を具体的に示している一方、本願補正発明では単に「欠陥検査装置」としており、欠陥について具体的に示してはいないものの、両者は「欠陥検査装置」である点で共通している。
　
　そうすると、本願補正発明と引用例６に記載された発明とは、
「第１のレーザを発射する第１のレーザ光源と、前記第１のレーザとは異なる波長の第２のレーザを発射する第２のレーザ光源と、前記第１のレーザ光源と前記第２のレーザ光源とからそれぞれ発射した第１のレーザと第２のレーザとを同軸化する同軸化手段と、
第１のレーザと第２のレーザとを試料に照射する照射手段と、該照射手段により第１のレーザと第２のレーザとが照射された前記試料からの反射光を対物レンズを介して前記第１のレーザの波長と前記第２のレーザの波長とに分離して検出する検出手段と、該検出手段で分離して検出して得られた前記第１のレーザの波長に対応する信号と前記第２のレーザの波長に対応する信号に基づいて処理して前記試料上の欠陥を検出する処理手段とを備えた欠陥検査装置であって、前記照射手段は第１のレーザと第２のレーザとを前記検出手段の対物レンズの外側から試料に暗視野照明する、欠陥検査装置。」
である点で一致しており、次の点で相違する。
　
（相違点１）本願補正発明では「前記第１のレーザ光源はパルスレーザを発振するパルスレーザ光源」であるのに対し、引用例６に記載された発明ではそのような限定がない点。
　
（相違点２）本願補正発明では「同軸化手段で同軸化した第１のレーザと第２のレーザとにそれぞれ光路差を与えて複数系統のレーザを形成する光路差光学系手段」を備え、「該光路差光学系手段に入射して形成された光路長の異なる複数系統の」第１のレーザと第２のレーザとを試料に照射しているのに対し、引用例６に記載された発明では光路差光学系手段を備えていない点。
　
（相違点３）本願補正発明では検出手段が検出する信号が「画像信号」であって、処理手段の処理する信号が「前記第１のレーザの波長に対応する画像信号と前記第２のレーザの波長に対応する画像信号を合成して得られる合成画像信号」であるのに対し、引用例６に記載された発明では光電検出器から出力されるのは「光電信号」であり、判定部が判定するのは「波長λ１、λ２の照射光に対する前記異物からの散乱光の光電信号の比」である点。
　
２−４．判断
　上記各相違点について判断する。
　相違点１について。
　上記摘記事項（３ａ）及び（３ｃ）に示されるように、欠陥検査装置において、十分な解像力のもので観察するために、短波長のパルスレーザ光を用いることは、従来知られている。
　ここで、引用例６に記載された発明はペリクルを検査するものであって、上記摘記事項（３ａ）に示されるようなレチクルやマスクなどの原版を検査するものと、密接に関連する技術分野に属するものであり、また検査のために解像力を高くすることは、欠陥検査における一般的な技術課題である。
　そうすると、引用例６に記載された発明において、引用例３に記載されるような光源の構成を採用し、レーザ光源の一方をパルスレーザ光源とすることは、当業者であれば容易に為し得たものである。
　
　相違点２について。
　上記摘記事項（３ｄ）に示されるように、欠陥検査装置において、可干渉長が大きいレーザ光を観察基板に照射する際、所定の光路差長が与えられるような手段を用いて、スペックルの発生を低減させることは、引用例３に記載されている。
　また、スペックルの発生が、特にパルスレーザでなくとも、可干渉長が大きいレーザ光を用いる際に問題となることは、当業者における技術常識であり、レーザ光を用いて検査を行う引用例６に記載された発明においても、そのような問題が発生しうることは、当業者であれば通常予測し得たものである。
　そうすると、そのような問題の解決のために、密接に関連する技術分野に属する引用例３に記載された所定の光路差長が与えられるような手段を、引用例６に記載された発明に適用することは、当業者であれば容易に為し得たものである。その際、レーザ光源４、５のおのおのから出力されたレーザビーム６、７が光路長の異なる複数系統のものとなり、検査対象に照射されることは、明らかである。
　
　相違点３について。
　上記摘記事項（４ａ）に示されるように、欠陥検査装置において、２つの波長帯域を持つ照明手段によって被検査物を照明し、該被検査物からの光をそれぞれの波長帯域ごとに２つの撮像手段によって撮像して撮像画像を生成し、それぞれの撮像画像を画像データ合成手段によって合成し、該画像データ合成手段からの画像に基づいて欠陥検出手段によって欠陥を検出することが、引用例４には記載されている。
　ここで、上記摘記事項（３ｂ）に示されるように、欠陥検査装置において、被検物の照明された領域からの光を受光するために、フォトマルのような単一検出器やＣＣＤのような画像検出器のいずれを用いるかは、被検物の欠陥検出のための画像処理を行うために並列して記載される程度の当業者における周知技術であって、検査対象からの光を受光するために単一の光電検出器を用いるか、画像信号を出力するような検出手段を用いるかは当業者において適宜の構成を選択し得たものである。また、単一検出器による点検出に対して、画像検出器による面検出が、一度に検出できる領域が広いなどの有利な効果を奏することは、当業者には明らかである。
　そうすると、引用例６に記載された発明における光電検出器に代えて、周知の画像検出器を用いるようにすることは、当業者において適宜に為し得たものであり、その際に、引用例６に記載された発明における、光電信号の比を判定する判定部の構成として、引用例４に記載されるような画像データを合成する手段を採用し、当該手段からの合成画像に基づいて判定を行うようにすることは、当業者であれば容易に想到し得たものである。
　
　そして、本願補正発明の作用効果も、引用例６に記載された発明並びに引用例３及び４それぞれに記載された発明から、当業者であれば予測できる範囲のものである。
　以上の通り、本願補正発明は、引用例６に記載された発明並びに引用例３及び４それぞれに記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　
２−５．むすび
　上記のとおり、本件補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
３−１．本願発明
　平成１８年８月４日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項８に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成１７年５月２３日付け手続補正書の請求項８に記載された事項により特定される、上記２−１．に記載のとおりのものである。
　
３−２．引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例及びその記載事項は、上記２−２．に記載したとおりである。
　
３−３．対比・判断
　本願発明は、上記２．で検討した本願補正発明において、「検出手段」について、（反射光を対物レンズを介して）「
前記第１のレーザの波長と前記第２のレーザの波長とに分離して
分離して
前記第１のレーザの波長に対応する画像信号と前記第２のレーザの波長に対応する画像信号を合成して得られる合成画像
　
　そうすると、本願発明の構成要件をすべて含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、上記２−４．に記載したとおり、引用例６に記載された発明並びに引用例３及び４それぞれに記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、引用例６に記載された発明並びに引用例３及び４それぞれに記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
３−４．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例６に記載された発明並びに引用例３及び４それぞれに記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　
　したがって、請求項１乃至７、９乃至１５に係る発明について審理するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。