【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３１１０４１６号発明「角型基板用基板端縁洗浄装置」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１１０４１６号の請求項１に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第３１１０４１６号（以下、「
本件特許
原出願
本件分割特許出願
請求人
被請求人
　その後、当審は、平成１９年１０月２６日に口頭審理を開廷すべく、前記審判事件弁駁書副本を請求人に送付し、さらに、当審の職権による審理結果としての、本件分割特許出願に関する分割要件違反を前提として、平成１９年４月２日付けの訂正請求書に基づく訂正請求後の訂正明細書の特許請求の範囲に記載されている請求項１ないし請求項６に係る発明についての特開平６−９７０６７号公報、特開平６−３１０４２２号公報及び甲第１号証、並びに、甲第２ないし６号証の各刊行物に記載の各発明に基づく進歩性要件の欠如（特許法第２９条第２項違反）と、前記訂正明細書における発明の明確性の要件、サポート要件及び実施可能要件の各要件の欠如（特許法第３６条第４項及び同条第６項第１号及び第２号違反）を内容とする無効理由通知（後記の「第３　当審の審理」欄の「３」及び「４」を参照。）を、請求人及び被請求人の両当事者双方に対して平成１９年８月１４日にファクシミリにより送信した上で、前記口頭審理の期日の２週間前までに、前記審判事件弁駁書及び当審の職権による無効理由通知に関する請求人及び被請求人からの意見等を纏めた口頭審理陳述要領書の提出を求めたところ、被請求人から平成１９年１０月１２日付けの口頭審理陳述要領書及び同日付けの訂正請求書が提出され、また請求人から平成１９年１０月２６日付けの口頭審理陳述要領書が提出されたものである。
　そして、当審により平成１９年１０月２６日の期日に口頭審理が公開で開廷され、請求人は平成１８年１２月２７日付け審判請求書、平成１９年５月２９日付け審判事件弁駁書及び平成１９年１０月２６日付け口頭審理陳述要領書に基づいて陳述し、また、被請求人は、平成１９年４月２日付け審判事件答弁書並びに平成１９年１０月１２日付け口頭審理陳述要領書及び同日付け訂正請求書に基づいて陳述をした。
　なお、平成１９年１０月２６日期日の口頭審理における、審判事件弁駁書における請求人の主張に対する被請求人の意見、被請求人による平成１９年１０月１２日付けの訂正請求に対する請求人の意見、並びに、当審の職権による無効理由通知に関する請求人及び被請求人の意見を含む両当事者の陳述は、第１回口頭審理調書に記載のとおりである。
　
第２　当事者の主張
１　請求人の主張
　請求人は、「特許第３１１０４１６号発明の特許請求の範囲の請求項１ないし７に記載された発明についての特許を無効とする。審判費用は被請求人の負担とする、との審決を求める。」と主張し、下記の甲第１号証ないし甲第６号証を提出して、以下の無効理由を主張する。その無効理由の要点は、次のとおりである。
〔無効理由１〕：本件特許の請求項１ないし７に係る発明は、本件特許発明の出願前に日本国内において頒布された甲第１号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当して特許を受けることができないか、あるいは、甲第１号証に記載された発明に基づいて、出願前当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　甲第１号証：特開平６−３１０４２３号公報〔原出願である特願平５−１２３５３８号の公開特許公報〕
　
〔無効理由２〕：本件特許の請求項５ないし７に係る発明は、本件特許発明の出願前に日本国内において頒布された甲第２号証ないし甲第６号証に記載された発明に基づいて、出願前当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　甲第２号証：特開平４−６５１１５号公報
　甲第３号証：特開昭６３−１９０６７９号公報
　甲第４号証：特開昭６４−６１９１７号公報
　甲第５号証：特開平４−２０６６２６号公報
　甲第６号証：特開平１−２９８７２０号公報
　
〔無効理由３〕：本件特許の明細書及び図面の記載と特許請求の範囲の記載は、それぞれ特許法第３６条第４項第１号と同条第６項第２号に規定する要件を満たしていないものであり、その特許は、特許法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とすべきである。
　
２　被請求人の主張
　被請求人は、請求人の前記主張に対し、平成１９年４月２日付けの訂正請求書（以下、これを「
第１訂正請求書
第１訂正請求
　
第３　当審の審理
１　第１訂正請求の適否についての判断
　当審が本件無効審判事件について審理をした結果、本件分割特許出願の特許査定時の明細書又は図面（以下、「
本件特許明細書等
平成６年改正前特許法
　また、本件の特許無効審判の請求の趣旨に係る特許発明は、請求項１ないし請求項７に係る発明であり、また、特許無効審判の請求がされている請求項７に係る発明についての訂正が、前述のとおり、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とする訂正に該当しているところ、特許法第１３４条の２第５項において読み替えて準用する平成６年改正前特許法第１２６条第３項の「特許無効審判の請求がされていない請求項に係る第１項ただし書第１号又は第２号の場合は、訂正後における特許請求の範囲に記載されている事項により構成される発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものでなければならない。」の規定に該当する、本件の特許無効審判の請求の趣旨から除外されている請求項が、第１訂正請求に係る特許請求の範囲に存在していないから、当審は、第１訂正請求の訂正後の請求項に係る発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができるか否かの、いわゆる独立特許要件の有無について、検討をする必要を認めない。
　
２　審判事件弁駁書の要旨の変更についての判断
　請求人が審判事件弁駁書において提出した新たな証拠方法としての甲第７号証〔平成１７年（行ケ）第１０７９６号審決取消請求事件に関する平成１８年１１月３０日判決言渡の判決文〕を含む、請求人が主張する新たな無効理由は、請求の理由の要旨を変更するものではあるが、当審の審理を不当に遅延させるおそれはなく、また前記新たな無効理由の主張が、被請求人の訂正請求により補正の必要が生じたものであるので、請求人が主張する新たな無効理由は、許可できるものである。
　
３　当審の職権による無効理由通知
　しかして、当審が本件無効審判事件を審理した結果、請求人が主張していない技術事項〔「第３　当審の審理」欄の「４」を参照。〕について、本件分割特許出願は分割要件を満たしていないとした上で、前記分割要件の欠如を前提に、さらに、第１訂正請求後の訂正明細書の特許請求の範囲に記載されている請求項１ないし請求項６に係る発明に関して職権により審理をした結果として、請求人が提出した甲第１号証ないし甲第６号証の各刊行物に加えて、当審が職権により探知した特開平６−９７０６７号公報及び特開平６−３１０４２２号公報の各刊行物の証拠方法を以て、第１訂正請求後の訂正明細書の特許請求の範囲に記載されている請求項１ないし請求項６に係る発明は、前記証拠方法に記載の各発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである旨の進歩性要件の欠如（特許法第２９条第２項違反）を内容とする無効理由通知、及び、本件分割特許出願が分割要件の欠如を惹起する要因である特許請求の範囲の中の技術事項について、本件訂正明細書における発明の明確性の要件、サポート要件及び実施可能要件の各要件の欠如（特許法第３６条第４項及び同条第６項第１号及び第２号違反）を内容とする無効理由通知（「第３　当審の審理」欄の「４」を参照。）を、請求人及び被請求人の両当事者双方に対してファクシミリの送信により通知した。
　
４　当審の職権による無効理由通知の内容の要点
　前記当審の職権による無効理由通知の内容の要点は、請求人及び被請求人の両当事者双方に対して平成１９年８月１４日に送信した下記に示すファクシミリにおける「第１　被請求人に対する事項」欄の「２．」ないし「４．」項の部分に示すとおりである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
『無効審判事件（２００６−８０２７８）に関し、当審が口頭審理において審理する予定の下記の事項について、当事者は、意見等をあらかじめ「口頭審理陳述要領書」にまとめて、口頭審理期日の少なくとも２週間前までに提出してください。
　
　第１　被請求人に対する事項
　１．　請求人が提出した弁駁書の副本を被請求人に送付しますので、その弁駁書における請求人の主張に対する被請求人の意見。
　２．　請求人が審判請求書及び弁駁書において主張する無効理由１（特許法第２９条第１項第３号又は同法第２９条第２項違反）に関連して、当審が職権により、本件分割特許出願の分割要件の有無について審理する場合において、本件分割特許出願の願書に添付した明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし請求項７及び訂正請求後の請求項１ないし請求項６に記載の
　ア．「前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点」、
　イ．「ガイド機構」、
　ウ．「前記溶剤吐出手段と前記ガイド機構は前記角型基板の少なくとも互いに隣り合う２つの端縁にそれぞれ設けられ」
の各技術事項について、原出願（特願平５−１２３５３８号）の願書に最初に添付した明細書及び図面におけるそれらの記載の根拠又はそれらの明細書の記載からの自明性についての説明。
　３．　本件分割特許出願の分割要件の有無について、上記２．のア．ないしウ．に記載した各技術事項に関する当審の審理結果を踏まえて、本件分割特許出願が特許法第４４条に規定する分割要件を満たしていないと当審が判断する場合において、本件第３１１０４１６号特許の訂正請求後の請求項１ないし請求項６に係る特許発明は、本件分割特許出願の現実の特許出願日前に頒布された特開平６−９７０６７号公報、特開平６−３１０４２２号公報及び甲第１号証、並びに、甲第２ないし６号証の各刊行物に記載の各発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるという、当審の職権による無効理由通知（特許法第２９条第２項違反）に対する、被請求人の意見。
　４．　請求人が審判請求書及び弁駁書において主張する無効理由３（特許法第３６条第４項及び同条第６項第２号違反）に関連して、当審が職権により、本件分割特許出願の記載要件の有無について審理する場合において、上記２．のア．ないしウ．に記載した各技術事項について、本件分割特許出願は、訂正明細書の特許請求の範囲の各請求項に係る発明の明確性の要件、訂正明細書の発明の詳細な説明における記載のサポート要件及び実施可能要件の各要件を満たしていないという、当審の職権による無効理由通知（特許法第３６条第４項及び同条第６項第１号及び第２号違反）に対する、被請求人の意見。
　
　第２　請求人に対する事項
　１．　請求人が審判請求書及び弁駁書において主張する無効理由１（特許法第２９条第１項第３号又は同法第２９条第２項違反）に関して、本件第３１１０４１６号特許の訂正請求後の請求項１ないし請求項６に係る特許発明の各構成要素と、甲第１号証刊行物に記載の発明の各構成要素との個々の具体的な対応関係についての説明。
　２．　請求人が審判請求書及び弁駁書において主張する無効理由２（特許法第２９条第２項違反）に関して、本件第３１１０４１６号特許の訂正請求後の請求項５ないし請求項６に係る特許発明の各構成要素と、甲第２ないし６号証に記載の各発明の引用すべき各構成要素との個々の具体的な対応関係についての説明。
　３．　上記「第１　被請求人に対する事項」欄の３．において指摘した当審の職権による無効理由通知（特許法第２９条第２項違反）に対する、請求人の意見。
　４．　上記「第１　被請求人に対する事項」欄の４．において指摘した当審の職権による無効理由通知（特許法第３６条第４項及び同条第６項第１号及び第２号違反）に対する、請求人の意見。』
　
第４　第２訂正請求の訂正の適否についての判断
１　第２訂正請求の内容
　被請求人は、当審の職権による無効理由通知に対して、平成１９年１０月１２日付の訂正請求書（以下、これを「
第２訂正請求書
第２訂正請求
本件訂正明細書等
　なお、第２訂正請求書の提出により、第１訂正請求は、取り下げられたものとみなされた（特許法第１３４条の２第４項の規定を参照。）。
（１）〔訂正事項１〕　本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項１の、
　「【請求項１】　表面に薄膜が形成された角型基板を保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段とを備えた角型基板用基板端縁洗浄装置であって、
　前記溶剤吐出手段が、前記基板保持手段によって保持された前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点間を前記端縁に沿って移動するように、前記溶剤吐出手段を移動案内するガイド機構を設けたことを特徴とする角型基板用基板端縁洗浄装置。」
の記載を、
　「【請求項１】　表面に薄膜が形成された角型基板を保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段とを備えた角型基板用基板端縁洗浄装置であって、
　前記溶剤吐出手段が、前記基板保持手段によって保持された前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点間を前記端縁に沿って移動するように、前記溶剤吐出手段を移動案内するガイド機構を設け
、
　
前記溶剤吐出手段と前記ガイド機構は前記角型基板の洗浄すべき端縁の全てにそれぞれ設けられ、前記各ガイド機構ごとに定められる各々２つの端点は、前記各溶剤吐出手段の移動始点となる端点が前記角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たときに同じ側になり、同様に前記各溶剤吐出手段の移動終点となる端点も同じ側になるように設定され、
　
各端縁ごとに設けられた前記溶剤吐出手段は、前記角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たとき同じ方向に移動しながら溶剤を吐出して各端縁の洗浄を行う
と訂正する。
　
（２）〔訂正事項２〕　本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項２ないし請求項７を削除する。
　
（３）〔訂正事項３〕　本件特許明細書等の発明の詳細な説明欄の段落【０００６】の、
　「【０００６】【課題を解決するための手段】　本発明は、上述のような目的を達成するために、次のような構成を採る。
　すなわち、請求項１記載の発明は、表面に薄膜が形成された角型基板を保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段とを備えた角型基板用基板端縁洗浄装置であって、前記溶剤吐出手段が、前記基板保持手段によって保持された前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点間を前記端縁に沿って移動するように、前記溶剤吐出手段を移動案内するガイド機構を設けたことを特徴とする。」
の記載を、
　「【０００６】【課題を解決するための手段】　本発明は、上述のような目的を達成するために、次のような構成を採る。
　すなわち、請求項１記載の発明は、表面に薄膜が形成された角型基板を保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段とを備えた角型基板用基板端縁洗浄装置であって、前記溶剤吐出手段が、前記基板保持手段によって保持された前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点間を前記端縁に沿って移動するように、前記溶剤吐出手段を移動案内するガイド機構を設け
、前記溶剤吐出手段と前記ガイド機構は前記角型基板の洗浄すべき端縁の全てにそれぞれ設けられ、前記各ガイド機構ごとに定められる各々２つの端点は、前記各溶剤吐出手段の移動始点となる端点が前記角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たときに同じ側になり、同様に前記各溶剤吐出手段の移動終点となる端点も同じ側になるように設定され、各端縁ごとに設けられた前記溶剤吐出手段は、前記角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たとき同じ方向に移動しながら溶剤を吐出して各端縁の洗浄を行う
と訂正する。
　
（４）〔訂正事項４〕　本件特許明細書等の発明の詳細な説明欄の段落【０００７】ないし【００１２】の記載を削除する。
　
（５）〔訂正事項５〕　本件特許明細書等の発明の詳細な説明欄の段落【００１４】の記載を削除する。
　
（６）〔訂正事項６〕　本件特許明細書等の発明の詳細な説明欄の段落【００１５】の、
　「【００１５】　請求項３記載の発明によれば、角型基板の洗浄すべき端縁の全てに個別に設けられた溶剤吐出手段が、角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たときに同じ側となる一方の端点から他方の端点に向かって移動するので、各溶剤吐出手段が角型基板の端縁端部（角型基板の角部）で干渉することなく全ての端縁を洗浄することができる。」
の記載を、
　「【００１５】　請求項
１
と訂正する。
　
（７）〔訂正事項７〕　本件特許明細書等の発明の詳細な説明欄の段落【００１６】の、
　「【００１６】　請求項４記載の発明によれば、角型基板の洗浄すべき端縁ごとに設けられた溶剤吐出手段が角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たときに同じ方向に移動しながら溶剤を吐出して各端縁の洗浄を行うので、各溶剤吐出手段が角型基板の端縁端部（角型基板の角部）で干渉することなく各端縁を同時に洗浄することができる。」
の記載を、
　「【００１６】　請求項
１
と訂正する。
　
（８）〔訂正事項８〕　本件特許明細書等の発明の詳細な説明欄の段落【００１７】ないし【００１９】の記載を削除する。
　
（９）〔訂正事項９〕　本件特許明細書等の発明の詳細な説明欄の段落【００２６】の記載を削除する。
　
（１０）〔訂正事項１０〕　本件特許明細書等の発明の詳細な説明欄の段落【００６４】の記載を削除する。
　
（１１）〔訂正事項１１〕　本件特許明細書等の発明の詳細な説明欄の段落【００６５】の、
　「【００６５】　請求項３記載の発明によれば、角型基板の洗浄すべき端縁の全てに個別に設けられた溶剤吐出手段が、角型基板の端縁端部（角型基板の角部）で干渉することなく全ての端縁を洗浄することができる。」
の記載を、
　「【００６５】　請求項
１
と訂正する。
　
（１２）〔訂正事項１２〕　本件特許明細書等の発明の詳細な説明欄の段落【００６６】の、
　「【００６６】　請求項４記載の発明によれば、角型基板の洗浄すべき端縁ごとに設けられた溶剤吐出手段が角型基板の端縁端部（角型基板の角部）で干渉することなく各端縁を同時に洗浄することができる。」
の記載を、
　「【００６６】　請求項
１
と訂正する。
　
（１３）〔訂正事項１３〕　本件特許明細書等の発明の詳細な説明欄の段落【００６７】ないし【００６９】の記載を削除する。
　
（１４）〔訂正事項１４〕　本件特許明細書等の【図３】中の２個所の符号「４ｂ」を削除する訂正をする。
　
２　第２訂正請求の訂正の目的の適否について
（１）上記〔訂正事項１〕の訂正は、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項１に係る発明に、請求項３及び請求項４に記載されていた「前記溶剤吐出手段と前記ガイド機構は前記角型基板の洗浄すべき端縁の全てにそれぞれ設けられ、前記各ガイド機構ごとに定められる各々２つの端点は、前記各溶剤吐出手段の移動始点となる端点が前記角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たときに同じ側になり、同様に前記各溶剤吐出手段の移動終点となる端点も同じ側になるように設定され、」及び「各端縁ごとに設けられた前記溶剤吐出手段は、前記角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たとき同じ方向に移動しながら溶剤を吐出して各端縁の洗浄を行う」の発明特定事項を加えることにより請求項１に係る発明を限定して、その構成を特定する訂正であるから、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とする訂正に該当する。
　
（２）上記〔訂正事項２〕の訂正は、請求項２ないし請求項７を削除する訂正であるから、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とする訂正に該当する。
　
（３）上記〔訂正事項３〕、〔訂正事項６〕、〔訂正事項７〕、〔訂正事項１１〕及び〔訂正事項１２〕の訂正は、〔訂正事項１〕の訂正に伴い、本件特許明細書等の発明の詳細な説明欄の段落【０００６】、【００１５】、【００１６】、【００６５】及び【００６６】の記載を、第２訂正請求の訂正後の請求項１に係る発明の構成に整合させるための訂正であるから、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第３号に掲げる「明りようでない記載の釈明」を目的とする訂正に該当する。
　
（４）上記〔訂正事項４〕、〔訂正事項５〕、〔訂正事項８〕、〔訂正事項９〕〔訂正事項１０〕及び〔訂正事項１３〕の訂正は、〔訂正事項２〕の訂正に伴い、本件特許明細書等の発明の詳細な説明欄の段落【０００７】ないし【００１２】、【００１４】、【００１７】ないし【００１９】、【００２６】、【００６４】、【００６７】ないし【００６９】の記載を、請求項２ないし請求項７を削除した第２訂正請求の訂正後の特許請求の範囲の記載に整合させるための訂正であるから、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第３号に掲げる「明りようでない記載の釈明」を目的とする訂正に該当する。
　
（５）上記〔訂正事項１４〕の訂正は、〔訂正事項９〕の訂正に伴い、段落【００２６】の記載が削除されたことにより、本件特許明細書等の記載と図面の記載とを整合させるための訂正であるから、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第３号に掲げる「明りようでない記載の釈明」を目的とする訂正に該当する。
　
（６）したがって、上記〔訂正事項１〕ないし〔訂正事項１４〕の訂正は、いずれも平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第１号又は第３号に掲げる事項を目的とする訂正に該当する。
　
３　新規事項の有無及び実質上特許請求の範囲の拡張又は変更の存否について
（１）第２訂正請求により、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項１に「前記溶剤吐出手段と前記ガイド機構は前記角型基板の洗浄すべき端縁の全てにそれぞれ設けられ、前記各ガイド機構ごとに定められる各々２つの端点は、前記各溶剤吐出手段の移動始点となる端点が前記角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たときに同じ側になり、同様に前記各溶剤吐出手段の移動終点となる端点も同じ側になるように設定され、」及び「各端縁ごとに設けられた前記溶剤吐出手段は、前記角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たとき同じ方向に移動しながら溶剤を吐出して各端縁の洗浄を行う」の発明特定事項を加える上記〔訂正事項１〕の訂正、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項２ないし請求７を削除する上記〔訂正事項２〕の訂正、そして、本件特許明細書等の発明の詳細な説明の段落【０００６】の記載に「前記溶剤吐出手段と前記ガイド機構は前記角型基板の洗浄すべき端縁の全てにそれぞれ設けられ、前記各ガイド機構ごとに定められる各々２つの端点は、前記各溶剤吐出手段の移動始点となる端点が前記角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たときに同じ側になり、同様に前記各溶剤吐出手段の移動終点となる端点も同じ側になるように設定され、」及び「各端縁ごとに設けられた前記溶剤吐出手段は、前記角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たとき同じ方向に移動しながら溶剤を吐出して各端縁の洗浄を行う」の事項を加える上記〔訂正事項３〕の訂正、さらには、その他の〔訂正事項４〕ないし〔訂正事項１４〕の明りようでない記載を釈明する訂正は、いずれも本件特許明細書等、すなわち本件分割特許出願の願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてした訂正であると認める。
　したがって、本件訂正請求における上記〔訂正事項１〕ないし〔訂正事項１４〕の訂正は、いずれも平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書の規定に適合する。
　
（２）また、本件訂正の上記〔訂正事項１〕ないし〔訂正事項１４〕の訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　したがって、本件訂正請求における上記〔訂正事項１〕ないし〔訂正事項１４〕の訂正は、いずれも特許法第１３４条の２第５項において準用する平成６年改正前特許法第１２６条第２項の規定に適合する。
　
４　第２訂正請求に対する独立特許要件の有無について
　本件の特許無効審判の請求の趣旨に係る特許発明は、請求項１ないし請求項７に係る発明であり、また、特許無効審判の請求がされている請求項１に係る発明についての訂正が、上記「２　第２訂正請求の訂正の目的の適否について」欄の「（１）」に前述したとおり、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とする訂正に該当しているところ、特許法第１３４条の２第５項において読み替えて準用する平成６年改正前特許法第１２６条第３項の「特許無効審判の請求がされていない請求項に係る第１項ただし書第１号又は第２号の場合は、訂正後における特許請求の範囲に記載されている事項により構成される発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものでなければならない。」の規定に該当する、本件の特許無効審判の請求の趣旨から除外されている請求項が、第２訂正請求に係る特許請求の範囲に存在していないから、当審は、第２訂正請求の訂正後の請求項に係る発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができるか否かの、いわゆる独立特許要件の有無について、検討をする必要を認めない。
　
５　むすび
　当審が本件無効審判事件における第２訂正請求について審理をした結果は、以上のとおりであり、本件特許明細書等についての第２訂正請求による訂正は、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書、同ただし書各号及び特許法第１３４条の２第５項において準用する平成６年改正前特許法第１２６条第２項の各規定に適合する。
　よって、第２訂正請求の訂正を認める。
　
第５　当審の職権による無効理由の前提となる分割要件の有無についての検討
１　本件特許の請求項１に係る発明
　上記のとおり、第２訂正請求の訂正が認められたので、本件特許の請求項１に係る発明は、第２訂正請求書に添付された本件訂正明細書等の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのもの（以下、これを「
本件発明１
　「【請求項１】　表面に薄膜が形成された角型基板を保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段とを備えた角型基板用基板端縁洗浄装置であって、
　前記溶剤吐出手段が、前記基板保持手段によって保持された前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点間を前記端縁に沿って移動するように、前記溶剤吐出手段を移動案内するガイド機構を設け、
　前記溶剤吐出手段と前記ガイド機構は前記角型基板の洗浄すべき端縁の全てにそれぞれ設けられ、前記各ガイド機構ごとに定められる各々２つの端点は、前記各溶剤吐出手段の移動始点となる端点が前記角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たときに同じ側になり、同様に前記各溶剤吐出手段の移動終点となる端点も同じ側になるように設定され、
　各端縁ごとに設けられた前記溶剤吐出手段は、前記角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たとき同じ方向に移動しながら溶剤を吐出して各端縁の洗浄を行うことを特徴とする角型基板用基板端縁洗浄装置。」
　
２　分割要件の有無についての検討
（１）本件発明１の技術事項についての分割の根拠についての検討
　本件発明１は、上記「１　本件特許の請求項１に係る発明」欄に前掲したとおりのものであるが、上記「第３　当審の審理」欄の「４　当審の職権による無効理由通知の内容の要点」に示した「第１　被請求人に対する事項」の「２．」に指摘してあるとおり、本件発明１には、「前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点」及び「ガイド機構」の技術事項が記載されている。
　しかして、特許法第４４条には、
『第四四条（特許出願の分割）
　　特許出願人は、願書に添附した明細書又は図面について補正をすることができる時又は期間内に限り、二以上の発明を包含する特許出願の一部を一又は二以上の新たな特許出願とすることができる。
　２　前項の場合は、新たな特許出願は、もとの特許出願の時にしたものとみなす。ただし、新たな特許出願が第二十九条の二に規定する他の特許出願又は実用新案法第三条の二に規定する特許出願に該当する場合におけるこれらの規定の適用並びに第三十条第四項、第四十一条第四項並びに前条第一項及び第二項の規定の適用については、この限りでない。』
と規定されている
　そこで、前記の技術事項を有する発明が本件分割特許出願のもとの出願である原出願（特願平５−１２３５３８号）に包含されていたか否かについて検討する。換言すれば、前記の技術事項が、前記原出願の願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、これを「
原出願の当初明細書等
　
（２）原出願の当初明細書等における記載事項
ア　「前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点」の技術事項についての検討
（ア）まず、原出願の当初明細書等が記載されている甲第１号証〔特開平６−３１０４２３号公報〕には、前記「前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点」に関連する技術事項として、次のａ〜ｋの事項が記載されている。
　ａ　「【請求項３】　請求項１または２に記載の四個の溶剤吐出手段のうちの一個の溶剤吐出手段の移動位置を検出する移動位置検出手段を設け、前記移動位置検出手段による検出結果に基づいて駆動機構を制御する制御手段を備えた基板端縁洗浄装置。」
　ｂ　「【０００９】　また、請求項３に係る発明の基板端縁洗浄装置は、上述のような目的を達成するために、請求項１または２に係る発明の基板端縁洗浄装置における四個の溶剤吐出手段のうちの一個の溶剤吐出手段の移動位置を検出する移動位置検出手段を設け、その移動位置検出手段による検出結果に基づいて駆動機構を制御する制御手段を備えて構成する。」
　ｃ　「【００１２】　また、請求項３に係る発明の基板端縁洗浄装置の構成によれば、四個の溶剤吐出手段のうちの一個の溶剤吐出手段に対する移動位置に基づいて制御することにより、それと一体的に移動する他の溶剤吐出手段の移動をも制御することができる。」
　ｄ　「【００２０】　角型基板１の所定の一辺に対応する箇所において、支持アーム１３に当接してひとつのノズルブロック１２が原点位置に移動したことを検出するノズルブロック原点検出センサ２１が設けられるとともに、そのノズルブロック原点検出センサ２１に近い位置に、ノズルブロック１２が原点位置側に移動していくときに、原点に到達する直前の所定位置に到達したことを検出するノズルブロックドックセンサ２２が設けられている。」
　ｅ　「【００３１】　また、ＣＰＵ３３には、端点Ａ，Ｂ設定手段３６が接続され、角型基板１のサイズに応じ、ノズルブロック１２の移動する距離を設定するようになっている。角型基板１を入口側アーム８によって基板保持手段２上に搬送するときに、角型基板１のサイズにかかわらず、常に、角型基板１の長辺側の中央が基板保持手段２の所定位置に位置するように搬送される。このことに着目して、ノズルブロック１２の移動における端点ＡおよびＢの位置を、上述所定位置からの距離により設定して表すようになっている。そして、スピンコータ６において、角型基板１のサイズが測定されるとともに、そのサイズデータがＣＰＵ３３に入力されるようになっていて、既知の原点位置とノズルブロック１２の幅とサイズデータとから端点ＡおよびＢの位置を自動的に演算して設定するとともに表示するようになっている。この表示値は、微調整のために手動により変更可能である。この端点Ａ，Ｂ設定手段３６によって設定される端点Ａと端点Ｂとにわたる移動量と原点から端点Ａにわたる移動量は、前記ノズルブロック原点検出センサ２１によって検出される原点位置に基づき、それを基準にして電動モータ１６の回転量から検出するようになっており、この構成をして移動位置検出手段と称する。」
　ｆ　「【００３７】　その後に、ノズルブロック駆動手段４０により電動モータ１６を駆動し、ノズルブロック１２を原点位置から端点Ａに移動させる（Ｓ１１）とともに、ガスノズル制御手段４２による窒素ガスの供給とリンス液ノズル制御手段４１によるリンス液の吐出とを開始し（Ｓ１２、Ｓ１３）、更に、入口側アーム８を回転し、基板端縁洗浄装置５の上方から外れた退避位置へ退避させる（Ｓ１４）とともに、電動モータ１６を所定のタイミングで正逆転して、ノズルブロック１２を端点Ａから端点Ｂに（Ｓ１５）、そして、端点Ｂから端点Ａに（Ｓ１６）と往復移動させて角型基板１の端縁全周を洗浄処理する。」
　ｇ　「【００３９】　設定回数のスキャンが終了した後には、リンス液ノズル制御手段４１によるリンス液の吐出とガスノズル制御手段４２による窒素ガスの供給とを停止する（Ｓ１９、Ｓ２０）とともに、ノズルブロック駆動手段４０により電動モータ１６を駆動してノズルブロック１２を端点Ａから原点位置まで移動し（Ｓ２１）、かつ、基板吸着制御手段３９により、真空吸着を解除する（Ｓ２２）。」
　ｈ　「【００４０】　そして、ノズルブロックドックセンサ２２でノズルブロック１２が所定のドック位置に移動したことを検出する（Ｓ２３）に伴い、電動モータ１６の回転速度を低下し（Ｓ２４）、オーバーランを防止する。次いで、ノズルブロック原点検出センサ２１により原点位置を検出する（Ｓ２５）までノズルブロック１２を移動し、原点位置を検出してから電動モータ１６の駆動を停止してノズルブロック１２の移動を停止する（Ｓ２６）。」
　ｉ　「【００５０】　第１実施例における、駆動プーリー１８と遊転プーリー１９…とワイヤー２０とから成る構成、ならびに、第２実施例におけるネジ軸４３…とベベルギア機構４４…とから成る構成をして、四個の溶剤吐出手段３…を一体的に移動するための連係機構と総称する。」
　ｊ　「【００５５】　また、請求項３に係る発明の基板端縁洗浄装置によれば、一個の溶剤吐出手段に対する移動位置に基づいて制御するだけで、四個の溶剤吐出手段すべての移動を制御できるから、制御構成を簡単にできるようになった。」
　ｋ　甲第１号証の【図４】の記載では、ひとつのノズルブロック１２が原点位置に移動したことを検出する「ノズルブロック原点検出センサ２１」は、角型基板１の短辺に対応する箇所に設けられており、また、ノズルブロック１２が原点位置側に移動していくときに、原点に到達する直前の所定位置に到達したことを検出する「ノズルブロックドックセンサ２２」も、ノズルブロック原点検出センサ２１に近い位置の角型基板１の短辺に対応する箇所に設けられている。
　
（イ）そうすると、かかる甲第１号証の上記ａ〜ｋの技術事項から、甲第１号証には、
　「四個のノズルブロック１２のうちの一個のノズルブロック１２（以下、一個のノズルブロック１２を「特定ノズルブロック１２」という。）が角型基板１の短辺に対応する箇所の原点位置に移動したことを検出するノズルブロック原点検出センサ２１と、特定ノズルブロック１２が前記原点位置側に移動していくときに、角型基板１の短辺に対応する箇所の原点に到達する直前の所定位置に到達したことを検出するノズルブロックドックセンサ２２とからなる特定ノズルブロック１２の移動位置を検出する移動位置検出手段を設け、前記移動位置検出手段による検出結果に基づいて特定ノズルブロック１２の駆動機構を制御する制御手段を備えた基板端縁洗浄装置において、
　前記ノズルブロック原点検出センサ２１が角型基板１の短辺に対応する箇所に設けられ、前記ノズルブロックドックセンサ２２もノズルブロック原点検出センサ２１に近い位置の角型基板１の短辺に対応する箇所に設けられており、
　ノズルブロック１２の移動する距離の設定は、端点Ａ，Ｂ設定手段３６が接続されたＣＰＵ３３により、角型基板１の長辺側の中央が位置する基板保持手段２の所定位置からの距離により設定され表わされるノズルブロック１２の移動における端点ＡおよびＢの位置が、搬送される角型基板１のサイズに応じて、特定ノズルブロック１２の既知の前記原点位置と、ノズルブロック１２の幅と、ＣＰＵ３３に入力された角型基板１のサイズデータとから自動的に演算して設定され、
　前記移動位置検出手段による検出結果に基づいて特定ノズルブロック１２を駆動させる駆動機構により、
　まず、特定ノズルブロック１２を原点位置から端点Ａに移動させ、
　次に、特定ノズルブロック１２を端点Ａから端点Ｂに、そして、端点Ｂから端点Ａにと往復移動させて角型基板１の端縁全周を洗浄処理し、
　それから、ノズルブロック駆動手段４０により電動モータ１６を駆動して特定ノズルブロック１２を端点Ａから原点位置まで移動し、
　最後に、ノズルブロック原点検出センサ２１により原点位置を検出するまで特定ノズルブロック１２を移動し、原点位置を検出してから電動モータ１６の駆動を停止して特定ノズルブロック１２の移動を停止するように制御して、
　四個のノズルブロック１２のうちの一個の特定ノズルブロック１２に対する移動位置に基づいて制御するだけで、一体的に移動する四個のノズルブロック１２すべての移動を制御できる基板端縁洗浄装置」
の実施例の記載が認められる。
　
（ウ）しかして、甲第１号証に記載されている前記「基板端縁洗浄装置」は、一方で、四個のノズルブロック１２のうちの一個の特定ノズルブロック１２の移動における端点ＡおよびＢの位置が、「角型基板１の長辺側の中央が位置する基板保持手段２の所定位置からの距離により設定され表わされるもの」でありながら、他方では、同じ前記端点ＡおよびＢの位置が、「搬送される角型基板１のサイズに応じて、四個のノズルブロック１２のうちの一個の特定ノズルブロック１２が移動したことをノズルブロック原点検出センサ２１により検出される角型基板１の短辺に対応する箇所の既知の原点位置と、ノズルブロック１２の幅と、ＣＰＵ３３に入力された角型基板１のサイズデータとに基づいて自動的に演算して設定されるもの」とされている。
　しかも、ノズルブロック原点検出センサ２１及びノズルブロックドックセンサ２２からなる移動位置検出手段により、四個のノズルブロック１２のうちの一個の特定ノズルブロック１２に対する移動位置の検出結果に基づいて駆動制御される特定ノズルブロック１２を、まず、特定ノズルブロック１２を角型基板１の短辺側にある原点位置から端点Ａに移動させてから、端点Ａから端点Ｂに、そして端点Ｂから端点Ａにと往復移動させて角型基板１の端縁全周を洗浄処理した後、端点Ａから原点位置まで移動するように駆動制御することにより、特定ノズルブロック１２と連携機構により一体的に移動する四個のノズルブロック１２すべての移動を制御できるものとされている。
　
（エ）しかしながら、甲第１号証の前記「基板端縁洗浄装置」の端点Ａおよび端点Ｂの位置の設定の場合には、角型基板１の短辺に対応する箇所に設けられているノズルブロック原点検出センサ２１が検出するところの、特定のノズルブロック１２が移動する既知の原点位置が角型基板１の短辺側にあるにも拘わらず、角型基板１の短辺側にある既知の原点位置に基づいて演算設定される特定ノズルブロック１２の移動における端点Ａおよび端点Ｂの位置を、角型基板１の短辺側の中央に位置する基板保持手段２の所定位置からの距離ではなく、角型基板１の長辺側の中央が位置する基板保持手段２の所定位置からの距離により設定して表わし、また、特定ノズルブロック１２を駆動制御する場合には、角型基板１の短辺側にある既知の原点位置、端点Ａ及び端点Ｂの位置の３点間を移動させるというものであるから、甲第１号証の前記「基板端縁洗浄装置」では、端点Ａおよび端点Ｂの位置を設定する場合には、端点Ａ及び端点Ｂについての設定時の基準として、「角型基板１の長辺側の中央が位置する基板保持手段２の所定位置」と「角型基板１の短辺側にある既知の原点位置」を採用して端点Ａ，Ｂ設定手段３６が接続されたＣＰＵ３３により演算される一方で、特定ノズルブロック１２を駆動制御する場合には、駆動制御時の基準として、「角型基板１の短辺側にある既知の原点位置」を採用して、特定ノズルブロック１２を、短辺側の端点Ａ及び端点Ｂの間で往復移動させることとしている。
　そうすると、端点Ａおよび端点Ｂの位置の設定と、特定ノズルブロック１２の短辺側の端点Ａ及び端点Ｂの間の往復移動との両者に共通する「端点Ａおよび端点Ｂ」の位置に関しては、「角型基板１の長辺側の中央が位置する基板保持手段２の所定位置」と「角型基板１の短辺側にある既知の原点位置」との間には、角型基板１の長辺側の基準である「角型基板１の長辺側の中央が位置する基板保持手段２の所定位置」と、角型基板１の短辺側の基準である「角型基板１の短辺側にある既知の原点位置」とを関連づける手段について、甲第１号証に何らも開示されていないから、両者の基準については整合性が欠けていて、不明というべきである。
　そうしてみると、甲第１号証において、端点Ａおよび端点Ｂの２つの端点の位置が角型基板のサイズに応じて定められることについての記載は認められるが、端点Ａおよび端点Ｂの２つの端点の位置が角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって角型基板のサイズに応じて定められることについての記載は、認めることができない。また、端点Ａおよび端点Ｂの２つの端点の位置が角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって角型基板のサイズに応じて定められることが、甲第１号証の記載から自明であるということもできない。
　
（オ）そして、甲第１号証においては、ノズルブロック１２とガイド１５，１５が角型基板１の洗浄すべき端縁の全てにそれぞれ設けられていることについては、その記載が認められるが、前記端点Ａ及び端点Ｂが、各ガイド１５，１５ごとに定められることについては、全く記載がなく、その示唆もない。
　
（カ）そうしてみると、本件分割特許出願のもとの出願である原出願の当初明細書等である上記甲第１号証には、本件発明１における上記「前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点」の技術事項が記載されていたということができないばかりでなく、「前記各ガイド機構ごとに定められる各々２つの端点」の技術事項も前記甲第１号証に記載されていたということができない。
　そして、本件発明１の前記「前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点」及び「前記各ガイド機構ごとに定められる各々２つの端点」の技術事項が、本件分割特許出願のもとの出願である原出願の当初明細書等である前記甲第１号証に記載されていた事項から自明であるということもできない。
　したがって、本件分割特許出願のもとの出願である原出願には、「前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点」及び「前記各ガイド機構ごとに定められる各々２つの端点」の技術事項をその発明特定事項とする本件発明１が包含されていたということができない。
 
（キ）ここで、被請求人の主張について検討する。
ａ　被請求人は、口頭審理陳述要領書の７頁２２〜１３頁１３行において、根拠１ないし根拠４を挙げて、「前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点」の技術事項は、甲第１号証に記載されていたか、あるいは甲第１号証に記載されていた事項から自明である旨を主張する。
　
ｂ　しかして、前記甲第１号証の記載では、「ノズルブロック１２の移動における端点ＡおよびＢの位置を、角型基板１の長辺側の中央が位置する基板保持手段２の所定位置からの距離により設定して表すようになっている」にもかかわらず、端点Ａ、Ｂの位置を設定するのに、「角型基板１の短辺側にあるノズルブロック原点検出センサ２１によって検出される既知の原点位置とノズルブロック１２の幅とサイズデータとから端点ＡおよびＢの位置を、端点Ａ，Ｂ設定手段３６によって自動的に演算して設定する」とされているのであり、そして、「端点Ａと端点Ｂとにわたる移動量と原点から端点Ａにわたる移動量は、前記ノズルブロック原点検出センサ２１によって検出される前記既知の原点位置に基づき、それを基準にして電動モータ１６の回転量から検出する」としている。
　
ｃ　しかしながら、甲第１号証には、角型基板１の
長辺側の中央
長辺側の中央
長辺側の中央
短辺側の中央
　
ｄ　そうすると、角型基板１の短辺側の諸データに基づいて端点ＡおよびＢの位置が設定される後者の場合において、角型基板１の
短辺側の中央
長辺側の中央
　
ｅ　しかも、被請求人が、口頭審理陳述要領書の１１頁２２〜２５行において主張する「なお、端点Ａ、Ｂの位置を設定するのに、既知の原点位置のデータも用いているのは、基板保持手段２の所定位置からの距離として設定された端点Ａ、Ｂの位置を、原点位置を基準とした位置データに変換しているからである。このことも当業者にとって自明である。」の根拠となるべき「基板保持手段２の所定位置からの距離として設定された端点Ａ、Ｂの位置を、原点位置を基準とした位置データに変換している」ことの説明については、甲第１号証にその記載を認めることができず、また、前記「基板保持手段２の所定位置からの距離として設定された端点Ａ、Ｂの位置を、原点位置を基準とした位置データに変換している」ことが、甲第１号証の記載から自明であるということもできない。
　
ｆ　したがって、「前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点」の技術事項は、甲第１号証に記載されていたか、あるいは甲第１号証に記載されていた事項から自明である旨の被請求人の主張は、根拠がなく到底採用することができないものである。
　
イ　「ガイド機構」の技術事項についての検討
（ア）また、原出願の当初明細書等が記載されている甲第１号証〔特開平６−３１０４２３号公報〕には、前記「ガイド機構」に関連する技術事項として、次のｌ〜ｓの事項が記載されている。
　ｌ　「【００１６】　溶剤吐出手段３…それぞれは、図３の要部の拡大側面図、および、図４の平面図に示すように、吸引部材４の吸引口４ａを挟んだ上下方向の上側に第１のリンス液ノズル１０ａと第１のガスノズル１１ａとを設け、一方、下側に第２のリンス液ノズル１０ｂと第２のガスノズル１１ｂとを設けて構成されている。」
　ｍ　「【００１７】　前記第１および第２のリンス液ノズル１０ａ，１０ｂと第１および第２のガスノズル１１ａ，１１ｂ、ならびに、吸引部材４がノズルブロック１２に一体的に取り付けられ、そのノズルブロック１２を取り付けた支持アーム１３が、固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５を介して、角型基板１の端縁に沿って移動可能に設けられている。」
　ｎ　「【００１８】　基板保持手段２に保持された角型基板１のひとつの角部に対応する箇所に、正逆転可能な駆動機構としての電動モータ１６を設けたモータブラケット１７が立設されるとともに、電動モータ１６の駆動軸に駆動プーリー１８が連動連結されている。」
　ｏ　「【００１９】　基板保持手段２に保持された角型基板１のひとつの角部に対応する箇所に１個の遊転プーリー１９が、そして、他の３箇所の角部に対応する箇所に２個づつの遊転プーリー１９，１９がそれぞれ設けられ、前記駆動プーリー１８と遊転プーリー１９…とにわたって一対のワイヤー２０，２０が巻回され、そのワイヤー２０，２０の所定の四箇所それぞれに支持アーム１３が連結され、電動モータ１６の正逆転により、四個の溶剤吐出手段３…、吸引部材４…それぞれを角型基板１の各辺に沿わせて往復移動し、角型基板１の端縁を洗浄できるように構成されている。」
　ｐ　「【００４７】　上述した移動位置検出手段により検出したノズルブロック１２の位置、すなわち、溶剤吐出手段３の位置に基づいてノズルブロック駆動手段４０の動作を制御する構成をして制御手段と称する。」
　ｑ　「【００４８】　図９は、本発明に係る基板端縁洗浄装置の第２実施例の概略平面図であり、基板保持手段２に載置された角型基板１の各辺それぞれと平行にネジ軸４３が回転可能に設けられるとともに、各ネジ軸４３…それぞれに支持アーム１３が螺合されている。」
　ｒ　「【００４９】　ネジ軸４３…のうちの所定のひとつに電動モータ１６ａが連動連結され、そのネジ軸４３と他の２本のネジ軸４３，４３とがベベルギア機構４４を介して連動連結されるとともに、そのうちの１本のネジ軸４３と残りの１本のネジ軸４３とが別のベベルギア機構４４を介して連動連結され、単一の電動モータ１６の正逆転により、溶剤吐出手段３…および吸引部材４…それぞれを一体的に往復移動して角型基板１の端縁全周に対する洗浄処理を一挙に行うことができるように構成されている。」
　ｓ　「【００５０】　第１実施例における、駆動プーリー１８と遊転プーリー１９…とワイヤー２０とから成る構成、ならびに、第２実施例におけるネジ軸４３…とベベルギア機構４４…とから成る構成をして、四個の溶剤吐出手段３…を一体的に移動するための連係機構と総称する。」
　
（イ）そうすると、上記甲第１号証には、その段落【００１７】に「固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５」についての記載があるのみであり、他のガイドについての記載は一切ないことが認められる。
　
（ウ）しかして、前記「ガイド機構」という文言は、「固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５」という具体的構成の上位概念であるということができ、「ガイド機構」の文言は、前記「固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５」の具体的構成だけではなく、ガイド機能を有する他の構成によるガイドをも包含する拡張された一般的な概念であり、「ガイド機構」の文言が、必ずしも前記「固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５」のみを一義的に意味するものでないことは明らかなことであるから、前記「固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５」が「ガイド機構」に該当するということはいえるが、逆に、「ガイド機構」の文言が前記「固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５」のみを意味することにはならないので、前記「ガイド機構」は、原出願の当初明細書等が記載されている甲第１号証に記載されている事項を超えている記載であるといえる。
　したがって、前記「固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５」を離れた「ガイド機構」を含む発明が、甲第１号証に記載されているとすることはできず、また、明示の記載はなくとも実質的に記載されているとみることもできない。
　
（エ）そうしてみると、本件分割特許出願のもとの出願である原出願の当初明細書等である上記甲第１号証には、本件発明１における上記「ガイド機構」の技術事項が記載されていたということができないばかりでなく、「ガイド機構」の技術事項が、本件分割特許出願のもとの出願である原出願の当初明細書等である前記甲第１号証に記載されていた事項から自明であるということもできない。
　したがって、本件分割特許出願のもとの出願である原出願には、「ガイド機構」の技術事項をその発明特定事項とする本件発明１が包含されていたということができない。
　
（３）分割要件の有無についてのまとめ
　以上のとおりであるから、本件分割特許出願は、特許法第４４条に規定されているところの、二以上の発明を包含する特許出願の一部を一又は二以上の新たな特許出願としたものということができない。
　したがって、本件分割特許出願は、もとの特許出願の時にしたものとみなすことができないから、本件分割特許出願の出願日は、実際に特許出願された平成１１年２月１５日である。
　そして、上述した理由により、本件分割特許出願を、以下においては、「
本件特許出願
　
第６　当審の職権による無効理由１（特許法第２９条第２項違反）についての検討
１　甲号各証の記載事項
（１）甲第１号証〔特開平６−３１０４２３号公報〕の記載事項
　甲第１号証には、「基板端縁洗浄装置」に関し、図面の図示とともに次の技術事項が記載されている。
「【特許請求の範囲】
　【請求項１】　表面に薄膜が形成された角型基板を載置保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段とを備えた基板端縁洗浄装置であって、
　前記溶剤吐出手段を、前記基板保持手段によって保持された前記角型基板の四辺それぞれごとにその端縁に沿って移動可能に設けるとともに、前記四個の溶剤吐出手段を一体的に移動可能に連係機構を介して連動連結し、かつ、前記連係機構に、前記四個の溶剤吐出手段を一体的に移動する単一の駆動機構を設けたことを特徴とする基板端縁洗浄装置。
　【請求項２】　請求項１に記載の連係機構が、一個の駆動プーリーと遊転プーリーとにわたって前記基板保持手段によって保持された前記角型基板の外周縁に沿うようにループ状に巻回されたワイヤーであり、前記駆動機構が、前記駆動プーリーに連動連結された正逆転可能な一個の電動モータである基板端縁洗浄装置。
　【請求項３】　請求項１または２に記載の四個の溶剤吐出手段のうちの一個の溶剤吐出手段の移動位置を検出する移動位置検出手段を設け、前記移動位置検出手段による検出結果に基づいて駆動機構を制御する制御手段を備えた基板端縁洗浄装置。」
「【０００１】【産業上の利用分野】
　本発明は、フォトレジスト液や感光性ポリイミド樹脂やカラーフィルター用の染色剤などから成る薄膜が表面に塗布された液晶用ガラス基板やフォトマスク用ガラス基板やサーマルヘッド製造用のセラミック基板などの角型基板に対し、その薄膜塗布後に角型基板の端縁に付着した不要薄膜を溶解除去するために、表面に薄膜が形成された角型基板を載置保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保持された角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段とを備えた基板端縁洗浄装置に関する。
　【０００２】【従来の技術】　上述のような基板端縁洗浄装置としては、従来、特公平３−７８７７７号公報に開示されているものがあった。
　この従来例によれば、表面に薄膜が形成された基板の周縁部の上面と下面に対向して第１の管と第２の管が設けられるとともに、第１および第２の管の間の間隙部でかつ基板端部の延長上に第３の管が設けられ、第１および第２の管から基板の周縁部の上面と下面に溶剤を供給するとともに、それらの溶剤ならびに溶解除去された不要薄膜を第３の管から吸引排出できるように構成されている。
　【０００３】　そして、第３の管から不要薄膜を吸引排出することにより溶剤が基板の中心側に侵入していくことを回避し、基板を低速で回転させながら第１、第２および第３の管を基板の回転中心から遠近する方向に移動させることにより、オリエンテーションフラットのある基板とか液晶用ガラス基板のような角型基板に対しても、その端縁の不用薄膜を溶解除去できるように構成されている。
　【０００４】【発明が解決しようとする課題】　しかしながら、角型基板の回転に伴う回転中心からの距離の変化に対応できるように、第１、第２および第３の管を基板の回転中心から遠近する方向に移動するためには、極めて高精度な制御を必要とし、また、基板を高速で回転することができないために処理効率が大幅に低下し、上述の従来例の装置によって角型基板の端縁を洗浄することは実用的ではない。
　【０００５】　そこで、角型基板の一辺または二辺に、角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段を設け、回転を停止した状態の角型基板に対して、その端縁に沿って溶剤吐出手段を移動させるように構成したものが提案されているが、溶剤吐出手段を一辺に対して設ける場合であれば、一辺の洗浄が終わる度に９０°づつ回転させなければならず、また、二辺に対して設ける場合であれば、二辺の洗浄が終わる度に　１８０°づつ回転させなければならず、処理効率の面で未だ改善の余地があった。
　【０００６】　本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、請求項１に係る発明の基板端縁洗浄装置は、構成的に簡単にできながら、角型基板の端縁全周を短時間で効率良く洗浄できるようにすることを目的とし、また、請求項２に係る発明の基板端縁洗浄装置は、溶剤吐出手段の駆動系のスペースを小さくできるようにすることを目的とし、また、請求項３に係る発明の基板端縁洗浄装置は、制御構成を簡単にできるようにすることを目的とする。
　【０００７】【課題を解決するための手段】　請求項１に係る発明の基板端縁洗浄装置は、上述のような目的を達成するために、表面に薄膜が形成された角型基板を載置保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保持された角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段とを備えた基板端縁洗浄装置において、溶剤吐出手段を、基板保持手段によって保持された角型基板の四辺それぞれごとにその端縁に沿って移動可能に設けるとともに、四個の溶剤吐出手段を一体的に移動可能に連係機構を介して連動連結し、かつ、連係機構に、四個の溶剤吐出手段を一体的に移動する単一の駆動機構を設けて構成する。
　【０００８】　また、請求項２に係る発明の基板端縁洗浄装置は、上述のような目的を達成するために、上述した請求項１に係る発明の基板端縁洗浄装置における連係機構を、一個の駆動プーリーと遊転プーリーとにわたって基板保持手段によって保持された角型基板の外周縁に沿うようにループ状に巻回したワイヤーで構成し、かつ、駆動機構を、駆動プーリーに連動連結した正逆転可能な一個の電動モータで構成する。
　【０００９】　また、請求項３に係る発明の基板端縁洗浄装置は、上述のような目的を達成するために、請求項１または２に係る発明の基板端縁洗浄装置における四個の溶剤吐出手段のうちの一個の溶剤吐出手段の移動位置を検出する移動位置検出手段を設け、その移動位置検出手段による検出結果に基づいて駆動機構を制御する制御手段を備えて構成する。
　【００１０】【作用】　請求項１に係る発明の基板端縁洗浄装置の構成によれば、単一の駆動機構の駆動により、角型基板の四辺それぞれに対応させて設けた溶剤吐出手段を角型基板の端縁に沿わせて一体的に移動させ、角型基板の四辺を一挙に洗浄することができる。
　【００１１】　また、請求項２に係る発明の基板端縁洗浄装置の構成によれば、四個の溶剤吐出手段を連動連結した一本のワイヤーを、電動モータによる駆動プーリーの正逆転によって往復移動し、角型基板の四辺それぞれに対応させて設けた溶剤吐出手段を角型基板の端縁に沿わせて一体的に移動することができる。
　【００１２】　また、請求項３に係る発明の基板端縁洗浄装置の構成によれば、四個の溶剤吐出手段のうちの一個の溶剤吐出手段に対する移動位置に基づいて制御することにより、それと一体的に移動する他の溶剤吐出手段の移動をも制御することができる。
　【００１３】【実施例】　次に、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
　【００１４】　図１は、本発明の第１実施例に係る基板端縁洗浄装置の全体概略側面図、図２は一部切欠全体概略平面図であり、回転塗布によって表面に薄膜が形成された角型基板１を載置して真空吸着により保持する基板保持手段２の周囲４箇所それぞれに、角型基板１の表裏両面に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段３…と、溶剤および溶解した不要薄膜を吸引する吸引部材４…とが備えられて、基板端縁洗浄装置５が構成されている。
　【００１５】　基板端縁洗浄装置５の一側方にフォトレジスト液を塗布するスピンコータ６が設けられるとともに、他側方に乾燥用のオーブン７が設けられ、かつ、スピンコータ６と基板端縁洗浄装置５との間に基板搬送用の入口側アーム８が設けられ、一方、基板端縁洗浄装置５と乾燥用のオーブン７との間に基板搬送用の出口側アーム９が設けられている。
　【００１６】　溶剤吐出手段３…それぞれは、図３の要部の拡大側面図、および、図４の平面図に示すように、吸引部材４の吸引口４ａを挟んだ上下方向の上側に第１のリンス液ノズル１０ａと第１のガスノズル１１ａとを設け、一方、下側に第２のリンス液ノズル１０ｂと第２のガスノズル１１ｂとを設けて構成されている。
　【００１７】　前記第１および第２のリンス液ノズル１０ａ，１０ｂと第１および第２のガスノズル１１ａ，１１ｂ、ならびに、吸引部材４がノズルブロック１２に一体的に取り付けられ、そのノズルブロック１２を取り付けた支持アーム１３が、固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５を介して、角型基板１の端縁に沿って移動可能に設けられている。
　【００１８】　基板保持手段２に保持された角型基板１のひとつの角部に対応する箇所に、正逆転可能な駆動機構としての電動モータ１６を設けたモータブラケット１７が立設されるとともに、電動モータ１６の駆動軸に駆動プーリー１８が連動連結されている。
　【００１９】　基板保持手段２に保持された角型基板１のひとつの角部に対応する箇所に１個の遊転プーリー１９が、そして、他の３箇所の角部に対応する箇所に２個づつの遊転プーリー１９，１９がそれぞれ設けられ、前記駆動プーリー１８と遊転プーリー１９…とにわたって一対のワイヤー２０，２０が巻回され、そのワイヤー２０，２０の所定の四箇所それぞれに支持アーム１３が連結され、電動モータ１６の正逆転により、四個の溶剤吐出手段３…、吸引部材４…それぞれを角型基板１の各辺に沿わせて往復移動し、角型基板１の端縁を洗浄できるように構成されている。
　【００２０】　角型基板１の所定の一辺に対応する箇所において、支持アーム１３に当接してひとつのノズルブロック１２が原点位置に移動したことを検出するノズルブロック原点検出センサ２１が設けられるとともに、そのノズルブロック原点検出センサ２１に近い位置に、ノズルブロック１２が原点位置側に移動していくときに、原点に到達する直前の所定位置に到達したことを検出するノズルブロックドックセンサ２２が設けられている。
　【００２１】　図５のブロック図に示すように、前記入口側アーム８に付設されている、入口側アームｉｎ検出センサ２３、入口側アームｄｏｗｎ検出センサ２４、入口側アームｏｐｅｎ検出センサ２５、入口側アームｕｐ検出センサ２６、入口側アームｏｕｔ検出センサ２７、ならびに、出口側アーム９に付設されている、出口側アームｉｎ検出センサ２８、出口側アームｄｏｗｎ検出センサ２９、出口側アームｃｌｏｓｅ検出センサ３０、出口側アームｕｐ検出センサ３１、出口側アームｏｕｔ検出センサ３２、および、前記ノズルブロック原点検出センサ２１、ノズルブロックドックセンサ２２がＣＰＵ３３に接続され、更に、基板保持手段２が角型基板１を真空吸着保持したことを検出する基板吸着確認センサ３４がＣＰＵ３３に接続されている。
　【００２２】　入口側アームｉｎ検出センサ２３は、スピンコータ６内に置かれた角型基板１を把持した入口側アーム８が基板端縁洗浄装置５内の所定位置まで移動したことを検出するようになっている。
　【００２３】　入口側アームｄｏｗｎ検出センサ２４は、角型基板１を把持した入口側アーム８が基板端縁洗浄装置５の基板保持手段２上に角型基板１を載置する位置まで下降したことを検出するようになっている。
　【００２４】　入口側アームｏｐｅｎ検出センサ２５は、角型基板１を基板保持手段２上に載置する位置まで下降した入口側アーム８の爪が開いて、角型基板１の把持を解除したことを検出するようになっている。
　【００２５】　入口側アームｕｐ検出センサ２６は、角型基板１の把持を解除した入口側アーム８が爪を開いたままで所定位置まで上昇したことを検出するようになっている。また、入口側アームｏｕｔ検出センサ２７は、所定位置まで上昇した入口側アーム８がスピンコータ６側の退避位置まで移動したことを検出するようになっている。
　【００２６】　出口側アームｉｎ検出センサ２８は、端縁洗浄処理が終了した角型基板１を把持してオーブン７に搬送するための出口側アーム９が基板端縁洗浄装置５内の所定位置まで移動したことを検出するようになっている。
　【００２７】　出口側アームｄｏｗｎ検出センサ２９は、角型基板１を把持した出口側アーム９が基板端縁洗浄装置５の基板保持手段２上に載置された角型基板１を把持可能な下降位置まで下降したことを検出するようになっている。
　【００２８】　出口側アームｃｌｏｓｅ検出センサ３０は、基板保持手段２上に載置された角型基板１を把持可能な位置まで下降した出口側アーム９の爪が閉じて、角型基板１を把持したことを検出するようになっている。
　【００２９】　出口側アームｕｐ検出センサ３１は、角型基板１を把持した出口側アーム９が爪を閉じたままで所定位置まで上昇したことを検出するようになっている。また、出口側アームｏｕｔ検出センサ３２は、所定位置まで上昇した出口側アーム９がオーブン７側の所定の退避位置まで移動したことを検出するようになっている。
　【００３０】　また、ＣＰＵ３３には、スキャン回数ｎ設定手段３５が接続され、１枚の角型基板１に対し、ノズルブロック１２を往復させる回数を手動（キーボードなど）により入力して設定するようになっている。
　【００３１】　また、ＣＰＵ３３には、端点Ａ，Ｂ設定手段３６が接続され、角型基板１のサイズに応じ、ノズルブロック１２の移動する距離を設定するようになっている。角型基板１を入口側アーム８によって基板保持手段２上に搬送するときに、角型基板１のサイズにかかわらず、常に、角型基板１の長辺側の中央が基板保持手段２の所定位置に位置するように搬送される。このことに着目して、ノズルブロック１２の移動における端点ＡおよびＢの位置を、上述所定位置からの距離により設定して表すようになっている。そして、スピンコータ６において、角型基板１のサイズが測定されるとともに、そのサイズデータがＣＰＵ３３に入力されるようになっていて、既知の原点位置とノズルブロック１２の幅とサイズデータとから端点ＡおよびＢの位置を自動的に演算して設定するとともに表示するようになっている。この表示値は、微調整のために手動により変更可能である。この端点Ａ，Ｂ設定手段３６によって設定される端点Ａと端点Ｂとにわたる移動量と原点から端点Ａにわたる移動量は、前記ノズルブロック原点検出センサ２１によって検出される原点位置に基づき、それを基準にして電動モータ１６の回転量から検出するようになっており、この構成をして移動位置検出手段と称する。
　【００３２】　フォトレジスト液が塗布された角型基板１を基板端縁洗浄装置５に搬送する入口側アーム８の動作（アームの回転、昇降、爪の開閉）を制御する入口側アーム制御手段３７、端縁洗浄処理が終了した角型基板１をオーブン７に搬送する出口側アーム９の動作（アームの回転、昇降、爪の開閉）を制御する出口側アーム制御手段３８、基板保持手段２により角型基板１を真空吸着保持するための吸着動作を制御する基板吸着制御手段３９、電動モータ１６の回転方向および速度を制御してノズルブロック１２の移動方向および速度を制御するノズルブロック駆動手段４０、第１および第２のリンス液ノズル１０ａ…，１０ｂからのリンス液の吐出と停止とを行うリンス液ノズル制御手段４１、ならびに、第１および第２のガスノズル１１ａ…，１１ｂからの窒素ガスの吹き出しと停止とを行うガスノズル制御手段４２それぞれがＣＰＵ３３に接続されている。なお、吸引部材４からの吸気は常に行われている。
　【００３３】　以上の構成により、基板端縁洗浄装置５への角型基板１の搬入と搬出、および、端縁洗浄が自動的に行うようになっており、次に、図６のタイムチャートと、図７および図８のフローチャートを用いて説明する。
　【００３４】　先ず、スピンコータ７でフォトレジスト液が塗布された角型基板１を入口側アーム８に保持させた後、その入口側アーム８を回転させ、角型基板１を基板端縁洗浄装置５上に搬送し（Ｓ１）、所定位置まで搬送されたかどうかを入口側アームｉｎ検出センサ２３で検出する（Ｓ２）。
　【００３５】　所定位置まで搬送された後に入口側アーム８を下降させ（Ｓ３）、角型基板１を基板保持手段２に載置する位置まで入口側アーム８が下降したかどうかを入口側アームｄｏｗｎ検出センサ２４により検出した（Ｓ４）後に、基板吸着制御手段３９により基板保持手段２による真空吸着を開始する（Ｓ５）とともに、入口側アーム８の爪を開く（Ｓ６）。
　【００３６】　入口側アーム８の爪が開いたことを入口側アームｏｐｅｎ検出センサ２５により検出して（Ｓ７）から、入口側アーム８を上昇させる（Ｓ８）。その後、入口側アームｕｐ検出センサ２６で入口側アーム８が所定位置まで上昇したことを検出してから（Ｓ９）、基板吸着確認センサ３４で基板保持手段２が角型基板１を真空吸着保持したことを検出させる（Ｓ１０）。
　【００３７】　その後に、ノズルブロック駆動手段４０により電動モータ１６を駆動し、ノズルブロック１２を原点位置から端点Ａに移動させる（Ｓ１１）とともに、ガスノズル制御手段４２による窒素ガスの供給とリンス液ノズル制御手段４１によるリンス液の吐出とを開始し（Ｓ１２、Ｓ１３）、更に、入口側アーム８を回転し、基板端縁洗浄装置５の上方から外れた退避位置へ退避させる（Ｓ１４）とともに、電動モータ１６を所定のタイミングで正逆転して、ノズルブロック１２を端点Ａから端点Ｂに（Ｓ１５）、そして、端点Ｂから端点Ａに（Ｓ１６）と往復移動させて角型基板１の端縁全周を洗浄処理する。
　【００３８】　そのノズルブロック１２の一回のスキャンが終了した時点でカウント（ｎ＝ｎ−１）して（Ｓ１７）から、そのカウント値が設定回数になったかどうかを判断し（Ｓ１８）、設定回数になっていなければ、ステップＳ１５に戻し、再度ノズルブロック１２を往復移動させて角型基板１の端縁全周を洗浄処理する。ここではスキャン設定回数を二回に設定している（図６参照）。
　【００３９】　設定回数のスキャンが終了した後には、リンス液ノズル制御手段４１によるリンス液の吐出とガスノズル制御手段４２による窒素ガスの供給とを停止する（Ｓ１９、Ｓ２０）とともに、ノズルブロック駆動手段４０により電動モータ１６を駆動してノズルブロック１２を端点Ａから原点位置まで移動し（Ｓ２１）、かつ、基板吸着制御手段３９により、真空吸着を解除する（Ｓ２２）。
　【００４０】　そして、ノズルブロックドックセンサ２２でノズルブロック１２が所定のドック位置に移動したことを検出する（Ｓ２３）に伴い、電動モータ１６の回転速度を低下し（Ｓ２４）、オーバーランを防止する。次いで、ノズルブロック原点検出センサ２１により原点位置を検出する（Ｓ２５）までノズルブロック１２を移動し、原点位置を検出してから電動モータ１６の駆動を停止してノズルブロック１２の移動を停止する（Ｓ２６）。
　【００４１】　その後、入口側アームｏｕｔ検出センサ２７により、入口側アーム８が退避位置に移動したことを確認する（Ｓ２７）とともに、角型基板１の真空吸着が解除されていることを確認した（Ｓ２８）後、出口側アーム９を回転させ、基板端縁洗浄装置５上の所定の搬出位置に移動させる（Ｓ２９）。ここで、入口側アーム８の退避確認は、出口側アーム９と入口側アーム８との干渉を防止するためであり、また、吸着解除の確認は、吸着状態の角型基板１に出口側アーム９が作用して角型基板１が破損することを防止するためである。
　【００４２】　その後、出口側アーム９が基板端縁洗浄装置５上の所定の搬出位置に移動したかどうかを出口側アームｉｎ検出センサ２８で検出し（Ｓ３０）、その所定位置まで搬送された後に出口側アーム９を下降させ（Ｓ３１）、真空吸着を解除した状態で基板保持手段２に保持されている角型基板１を把持可能な位置まで下降したかどうかを出口側アームｄｏｗｎ検出センサ２９で検出する（Ｓ３２）。
　【００４３】　所定位置まで下降した後に、出口側アーム９の爪を閉じて角型基板１を把持させ（Ｓ３３）、その爪を閉じて角型基板１を把持したことを出口側アームｃｌｏｓｅ検出センサ３０で検出した（Ｓ３４）後、出口側アーム９を上昇させる（Ｓ３５）。
　【００４４】　その後、出口側アームｕｐ検出センサ３１で出口側アーム９が所定位置まで上昇したことを検出して（Ｓ３６）から、出口側アーム９を回転してオーブン７側の所定の退避位置に移動させる（Ｓ３７）。
　【００４５】　出口側アーム９が所定の退避位置に移動したかどうかを出口側アームｏｕｔ検出センサ３２で検出し（Ｓ３８）、その退避を確認した後に、連続処理するかどかを判断し（Ｓ３９）、連続処理であればステップＳ１に戻して、上述処理を繰り返し、一方、連続処理で無ければ、処理を終了する。
　【００４６】　以上の動作により、スピンコータ６から基板端縁洗浄装置５への角型基板１の搬入、端縁洗浄処理、および、基板端縁洗浄装置５からオーブン７への角型基板１の搬出を自動的に行うことができる。
　【００４７】　上述した移動位置検出手段により検出したノズルブロック１２の位置、すなわち、溶剤吐出手段３の位置に基づいてノズルブロック駆動手段４０の動作を制御する構成をして制御手段と称する。
　【００４８】　図９は、本発明に係る基板端縁洗浄装置の第２実施例の概略平面図であり、基板保持手段２に載置された角型基板１の各辺それぞれと平行にネジ軸４３が回転可能に設けられるとともに、各ネジ軸４３…それぞれに支持アーム１３が螺合されている。
　【００４９】　ネジ軸４３…のうちの所定のひとつに電動モータ１６ａが連動連結され、そのネジ軸４３と他の２本のネジ軸４３，４３とがベベルギア機構４４を介して連動連結されるとともに、そのうちの１本のネジ軸４３と残りの１本のネジ軸４３とが別のベベルギア機構４４を介して連動連結され、単一の電動モータ１６の正逆転により、溶剤吐出手段３…および吸引部材４…それぞれを一体的に往復移動して角型基板１の端縁全周に対する洗浄処理を一挙に行うことができるように構成されている。
　【００５０】　第１実施例における、駆動プーリー１８と遊転プーリー１９…とワイヤー２０とから成る構成、ならびに、第２実施例におけるネジ軸４３…とベベルギア機構４４…とから成る構成をして、四個の溶剤吐出手段３…を一体的に移動するための連係機構と総称する。
　【００５１】　本発明としては、吸引部材４…を備えずに、溶剤吐出手段３…だけを備える基板端縁洗浄装置にも適用できる。
　【００５２】　また、上記実施例では、角型基板端縁の表裏両面に溶剤を吐出するように構成しているが、例えば、回転可能に保持された角型基板１の下方側に溶剤を供給し、角型基板１の裏面に回り込んで形成される薄膜を溶解除去するように構成した裏面洗浄タイプの回転塗布装置で裏面を洗浄しながら回転塗布により薄膜が形成された角型基板１に対しては、角型基板１の端縁の表面側にのみ溶剤を吐出するように構成するとか、あるいは、角型基板１の端縁の裏面側にのみ溶剤を吐出して表面張力により表面側に回り込ませるように構成するなど、本発明としては、角型基板１の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出するように構成するものであれば良い。
　【００５３】【発明の効果】　以上の説明から明らかなように、請求項１に係る発明の基板端縁洗浄装置によれば、単一の駆動機構と四個の溶剤吐出手段とを連係機構を介して連動連結するだけで、その駆動機構の駆動により、基板保持手段に載置保持された角型基板の四辺の端縁を一挙に洗浄するから、例えば、各溶剤吐出手段それぞれに駆動機構を連動連結する場合に比べて駆動機構の個数を減らせるのみならず、その設置スペースも小さくでき、また、例えば、一辺を洗浄した後に、角型基板を９０°回転させ、次の一辺を洗浄するような場合に比べて１／４以下の時間で洗浄でき、また、二辺づつ洗浄するような場合に比べて１／２以下の時間で洗浄でき、構成的に簡単にできながら、角型基板の端縁全周を短時間で効率良く洗浄できるようになった。
　【００５４】　また、請求項２に係る発明の基板端縁洗浄装置によれば、電動モータによって正逆転される駆動プーリーと遊転プーリーとに巻回した一本のワイヤーに四個の溶剤吐出手段を連動連結し、角型基板の四辺それぞれに対応させて設けた溶剤吐出手段を角型基板の端縁に沿わせて一体的に移動するから、例えば、ベルトのように幅の有る部材を用いる場合に比べて、溶剤吐出手段の駆動系のスペースを小さくでき、また、フェルト製のベルトを使用する場合に比べて発塵の問題を抑制できる。
　【００５５】　また、請求項３に係る発明の基板端縁洗浄装置によれば、一個の溶剤吐出手段に対する移動位置に基づいて制御するだけで、四個の溶剤吐出手段すべての移動を制御できるから、制御構成を簡単にできるようになった。」
　
　そして、甲第１号証に添付された図４には、「単一の電動モータ１６の駆動力が駆動プーリー１８を介して角型基板１の４辺の各端縁に対応する４個所の一対のプーリー１９に巻回されたワイヤ２０に伝達され、角型基板１の各端縁ごとに前記ワイヤ２０に結合されて設けられる前記各溶剤吐出手段３が、角型基板１の各端縁の一方側の位置に配置された各溶剤吐出手段３の移動始点となる端点と、前記移動始点となる端点とは反対側の前記角型基板１の各端縁の他方側の位置に配置された前記各溶剤吐出手段３の移動終点となる端点との間を、単一の電動モータ１６の正逆転により角型基板１の各端縁に沿って往復移動して、前記各溶剤吐出手段３が角型基板１の４辺の各端縁を洗浄する角型基板用基板端縁洗浄装置」が図示されている。
　また、甲第１号証に添付された図９にも、図４に図示の角型基板用基板端縁洗浄装置とは駆動機構だけが相違する「単一の電動モータ１６ａの駆動力がベベルギア機構４４を介して角型基板１の４辺の各端縁に対応するネジ軸４３に伝達され、角型基板１の各端縁ごとに前記ネジ軸４３に螺合された支持アーム１３に設けられる前記各溶剤吐出手段３が、角型基板１の各端縁の一方側の位置に配置された各溶剤吐出手段３の移動始点となる端点と、前記移動始点となる端点とは反対側の前記角型基板１の各端縁の他方側の位置に配置された前記各溶剤吐出手段３の移動終点となる端点との間を、単一の電動モータ１６ａの正逆転により角型基板１の各端縁に沿って往復移動して、前記各溶剤吐出手段３が角型基板１の４辺の各端縁を洗浄する角型基板用基板端縁洗浄装置」が図示されている。
　
　そうしてみると、上記甲第１号証の摘記事項及び添付図面に図示された技術事項を総合すると、甲第１号証には、次の発明（以下、これを、「
引用発明１
　「表面に薄膜が形成された角型基板１を保持する基板保持手段２と、その基板保持手段２によって保持された前記角型基板１の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段３とを備える基板端縁洗浄装置５において、
　前記溶剤吐出手段３と前記溶剤吐出手段３を前記端縁に沿って移動案内するガイド１５，１５とが前記角型基板１の洗浄すべき端縁の全てにそれぞれ設けられ、
　単一の電動モータ１６の駆動力が駆動プーリー１８を介して角型基板１の４辺の各端縁に対応する４個所の一対のプーリー１９に巻回されたワイヤ２０に伝達されるとともに、
　前記各溶剤吐出手段３が角型基板１の各端縁ごとに前記ワイヤ２０に結合されて角型基板１の各端縁に沿って移動することにより角型基板１の４辺の各端縁を洗浄するように構成され、
　前記各溶剤吐出手段３が、角型基板１の各端縁の一方側の位置に配置された各溶剤吐出手段３の移動始点となる端点Ａと、前記移動始点となる端点Ａとは反対側の前記角型基板１の各端縁の他方側の位置に配置された前記各溶剤吐出手段３の移動終点となる端点Ｂとの間を、前記電動モータ１６の正逆転により前記角型基板１の各端縁に沿って往復移動することにより、前記各溶剤吐出手段３が、前記基板保持手段２によって保持された前記角型基板１の洗浄すべき各端縁に沿って移動し、溶剤を吐出して各端縁の洗浄を行い、
　端点Ａ，Ｂ設定手段３６により角型基板１のサイズに応じて設定される前記溶剤吐出手段３のノズルブロック１２の移動する距離は、前記端点Ａ及び端点Ｂが、角型基板１の長辺側の中央が位置する基板保持手段２の所定位置と角型基板１の短辺側にある既知の原点位置とから演算して設定されるようにした基板端縁洗浄装置」
　
（２）甲第２号証〔特開平４−６５１１５号公報〕の記載事項
　甲第２号証には、「不要レジスト除去装置」に関し、図面の図示とともに次の技術事項が記載されている。
「［実施例］
　第１図には本発明に係る不要レジスト除去装置の一実施例の平面図が示されている。
　同図において、１１は中央に基板ａよりも一回り小さな基台としての固定テーブル１２を有する処理槽で、処理槽１１の各側壁には、基板ａの端面の接線延長線上にシリンダ２０がそれぞれピン１３を支点として水平面内回転可能に取り付けられている。そして、上記各エアシリンダ２０のピストンロッド２０ａの先端には、第２図に拡大して示すようなＬ字形断面を有するパッド２１ａと、これを保持するベース２１ｂとからなるクリーニングヘッド２１が、基板の側面から底面にかけて接触可能な状態で装着されている。上記パッド２１ａは、例えばブチルゴムなどの高分子材からなるスポンジゴムのような弾力性のある材料により構成されている。
　また、各パッド２１ａを保持するベース２１ｂの上面には複数のノズル２３ａを有するパイプ２３が配設されており、各ノズル２３ａはパッド２１ａの上面に、アセトンようなレジスト除去液を供給できるように先端が下向きに形成されている。なお、上記パイプ２３の先端は閉塞されているとともに、パイプ２３の始端にはフレキシブルなチューブ２４が接続されており、図示しないポンプからレジスト除去液が輸送されるようになっている。
　さらに、上記各エアシリンダ２０のシリンダ部と処理槽１１の側壁との間には、上記ピン１３を支点としてエアシリンダ２０を回動させるための第２のエアシリンダ３０がそれぞれ介挿されている。
　次に、上記不要レジスト除去装置の動作を説明する。
　第３図に示すレジスト塗付装置により表面にフォトレジストが塗付されたガラス基板ａは、第１図に２点鎖線Ａ〜Ｄで示すように、全エアシリンダ２０を外側に回転させた状態で不要レジスト除去装置の固定テーブル１２上に載置され、図示しない真空吸着手段により固定される。次に、第２のエアシリンダ３０を作動させて４つのエアシリンダ２０を第１図に実線で示されるような位置まで回動させる。それから、パイプ２３に設けられたノズル２３ａよりレジスト除去液を滴下させながら、エアシリンダ２０に圧縮空気を送ってシリンダロッド２０ａを往復動させる。すると、パッド
２２ａ
２２ａ
　
（３）甲第３号証〔特開昭６３−１９０６７９号公報〕の記載事項
　甲第３号証には、「塗布材料の塗布装置」に関し、図面の図示とともに次の技術事項が記載されている。
「次に動作について説明する。チャック３上に、吸着されたウエハ１上にレジスト吐出ノズル６よりレジストを滴下し、チャック３を回転させレジストを基板上に均一に塗布する。次にチャック３を回転させながらレジスト溶剤吐出手段５よりレジスト溶剤を吐出し、ウエハ周辺および裏面のレジストを除去する。」（１頁右欄７〜１３行）
「次に動作について説明する。従来の装置と同様にして、ウエハ１上にレジストを均一に塗布する。次に基板のプリアライメントを行ないウエハカバー２形状に合うようオリフラを合わせてウエハカバー２にはめる。次にウエハ１を回転させながらレジスト溶剤をレジスト溶剤吐出手段５より数秒間小量吐出する。次に回転させたままレジスト溶剤の吐出を止め、その後回転速度を上げレジスト溶剤を乾燥させる。」（２頁右上欄３〜１１行）
　
（４）甲第４号証〔特開昭６４−６１９１７号公報〕の記載事項
　甲第４号証には、「基板端部の塗布膜除去装置」に関し、図面の図示とともに次の技術事項が記載されている。
「このような問題が生じないようにするため従来基板端部に形成された塗布膜を除去する方法および装置が種々知られており、第４図および第５図に基づいてその一例を説明する。シリコン１の表面には回転塗布法によりポジ型フォトレジスト２が約１μｍの厚さに塗布されているものとする。この時前述したように基板１の表面端部には厚く盛り上がるように塗布され、かつ基板１の裏面にも囲り込みが生じている。基板１をはさみ込むように上下から２本の管３，４を約１０ｍｍの間隙５を有するように対向させて配置し、この間隙５の間に前述した厚さ０．６ｍｍの塗布済シリコン基板１を挿入し、管３，４からフォトレジスト２の溶剤６を供給して基板１の端部に形成されたフォトレジスト２を溶解して除去するようにしている。」（２頁左上欄１９行〜同右上欄１３行）
　次に基板端部のレジスト除去について説明すると、第１、第２の管２１，２２からレジスト溶剤２８を供給し、第３の管２４は排気装置またはダクトに連結する。まず基板２７の周縁部を２ｍｍほど間隙２３内に挿入し、第１、第２の管２１，２２より溶剤２８を供給し、基板２７端部のレジスト２６を溶解させ、第３の管２４より溶剤と溶解物とを排出させるようにする。」（３頁右上欄６〜１３行）
　
（５）甲第５号証〔特開平４−２０６６２６号公報〕の記載事項
　甲第５号証には、「周辺レジスト除去方法」に関し、図面の図示とともに次の技術事項が記載されている。
「上記のチャンバ１内の上方周辺位置に周辺除去用のノズル６を設け、スピンチャック２を低速回転（例えば１ｒｐｍ以下）させて上記したレジスト膜の溶剤をこのノズル６より外周側に供給、例えば噴射して第１図に示した矢印７の方向に溶剤を吸引し、第３図に示すようにウエハ３周辺部のレジスト液５膜の表面層を除去して周辺のレジスト膜５の厚さを中央部の厚さより薄く減少させると共に、ウエハ３のオリフラ部３Ａの周辺部のレジスト膜も薄くできるように、オリフラ部３Ａで上記ノズル６を側縁に沿って移動させるようにしている。」（２頁左下欄６〜１７行）
　
（６）甲第６号証〔特開平１−２９８７２０号公報〕の記載事項
　甲第６号証には、「ウエハ裏面への回り込みレジストの除去・乾燥方法」に関し、図面の図示とともに次の技術事項が記載されている。
「この装置は、第６図に示すように、ノズル１３，１４及び壁部材２６をブロック４０に取り付けてユニット化し、このユニット４１を、ウエハ１０の上方にウエハ１０を囲むように設けた環状のガイドレール４２に沿って移動可能に設けた構成である。
　レジスト洗浄除去工程は、第７図に併せて示すように、ウエハ１０は回転させずに、ノズル１３よりレジスト剥離液を噴射させながら、ユニット４１をガイドレール４２に沿って矢印Ａ方向及びＢ方向に略−周毎交互に往復移動させて行なう。」（４頁左上欄５〜１５」行）
　
（７）当審の職権の無効理由通知において提示した本件特許出願前に頒布された刊行物である引用文献１〔特開平６−９７０６７号公報〕の記載事項
　上記引用文献１には、「基板端縁洗浄装置」に関し、図面の図示とともに次の技術事項が記載されている。
「【００２０】　前記基板端縁洗浄具３は、洗浄具本体１０と、それを角型基板１の端縁に沿わせて直線移動する移動手段１１と、洗浄具本体１０を角型基板１の端縁に対して遠近変位する位置調整手段１２とから構成されている。
　【００２１】　前記基台Ｂに取り付けられた支持台１３に、一対の第２のガイド１４，１４を介して角型基板１の端縁に沿う方向に移動可能に移動台１５が設けられ、かつ、支持台１３に、主動プーリー１６と従動プーリー１７とが取り付けられ、両プーリー１６，１７にベルト１８が巻回されるとともに主動プーリー１６に電動モータ１９が連動連結され、そして、ベルト１８に移動台１５が一体的に取り付けられ、洗浄具本体１０を角型基板１の端縁に沿わせて直線移動するように前記移動手段１１が構成されている。」
「【００２８】　以上の構成により、回転塗布によって表面に薄膜が形成された角型基板１を基板保持手段２に保持させ、角型基板１の各辺それぞれに対応するように洗浄具本体１０を移動させ、その状態で、溶剤とガスを吐出するとともに排気しながら洗浄具本体１０を各辺それぞれに沿わせて移動させ、角型基板１の各辺それぞれの表裏両面と周端面の不要薄膜を溶解除去することができる。」
「【００３５】　また、上記実施例では、洗浄具本体１０を角型基板１の四辺に対応させられるように、全体として四個設けているが、本発明としては、洗浄具本体１０を一個あるいは二個設け、角型基板１を回転して異なる辺部分をも洗浄できるように構成しても良い。」
　
（８）当審の職権の無効理由通知において提示した本件特許出願前に頒布された刊行物である引用文献２〔特開平６−３１０４２２号公報〕の記載事項
　上記引用文献２には、「基板端縁洗浄装置」に関し、図面の図示とともに次の技術事項が記載されている。
「【００１３】　前記溶剤ノズル３，３および排気管４がノズルブロック７に一体的に取り付けられ、そのノズルブロック７を取り付けた支持アーム８が、固定フレーム９に付設した上下一対のガイド１０，１０を介して、角型基板１の端縁に沿って移動可能に設けられている。
　【００１４】　基板保持手段２に保持された角型基板１のひとつの角部に対応する箇所に、正逆転可能な駆動機構としての電動モータ１１を設けたモータブラケット１２が立設されるとともに、電動モータ１１の駆動軸に駆動プーリー１３が連動連結されている。
　【００１５】　基板保持手段２に保持された角型基板１のひとつの角部に対応する箇所に１個の遊転プーリー１４が、そして、他の３箇所の角部に対応する箇所に２個づつの遊転プーリー１４，１４がそれぞれ設けられ、駆動プーリー１３と遊転プーリー１４…とにわたって一対のワイヤー１５，１５が巻回され、そのワイヤー１５，１５の所定の四箇所それぞれに支持アーム８が連結され、電動モータ１１の正逆転により、四個の溶剤ノズル３…、排気管４…それぞれを角型基板１の各辺に沿わせて往復移動し、角型基板１の端縁を洗浄できるように構成されている。」
「【００１９】　また、上記実施例では、基板保持手段２に保持された角型基板１の４辺それぞれに対応して溶剤ノズル３と排気管４とを設けているが、本発明としては、１辺にのみ対応させて設けるものでも良い。」
　
２　当審の判断
（１）本件発明１と引用発明１との対比
ア　ここで、本件発明１と引用発明１とを対比すると、引用発明１の「表面に薄膜が形成された角型基板１を保持する基板保持手段２」、「その基板保持手段２によって保持された前記角型基板１の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段３」、「基板端縁洗浄装置５」及び「前記溶剤吐出手段３を前記端縁に沿って移動案内するガイド１５，１５」のそれぞれが、本件発明１の「表面に薄膜が形成された角型基板を保持する基板保持手段」、「その基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段」、「角型基板用基板端縁洗浄装置」及び「前記溶剤吐出手段を移動案内するガイド機構」のそれぞれに相当することは、明らかである。
　
イ　そして、引用発明１の「前記溶剤吐出手段３と前記溶剤吐出手段３を前記端縁に沿って移動案内するガイド１５，１５とが前記角型基板１の洗浄すべき端縁の全てにそれぞれ設けられ、」が、本件発明１の「前記溶剤吐出手段と前記ガイド機構は前記角型基板の洗浄すべき端縁の全てにそれぞれ設けられ、」に相当する。
　さらに、引用発明１の「角型基板１の各端縁の一方側の位置に配置された各溶剤吐出手段３の移動始点となる端点Ａ」及び「前記移動始点となる端点Ａとは反対側の前記角型基板１の各端縁の他方側の位置に配置された前記各溶剤吐出手段３の移動終点となる端点Ｂ」は、本件発明１の「前記各溶剤吐出手段の移動始点となる端点」及び「前記各溶剤吐出手段の移動終点となる端点」に相当する。
　
ウ　そうすると、引用発明１の「前記各溶剤吐出手段３が、角型基板１の各端縁の一方側の位置に配置された各溶剤吐出手段３の移動始点となる端点Ａと、前記移動始点となる端点Ａとは反対側の前記角型基板１の各端縁の他方側の位置に配置された前記各溶剤吐出手段３の移動終点となる端点Ｂとの間を、前記電動モータ１６の正逆転により前記角型基板１の各端縁に沿って往復移動することにより、前記各溶剤吐出手段３が、前記基板保持手段２によって保持された前記角型基板１の洗浄すべき各端縁に沿って移動し、溶剤を吐出して各端縁の洗浄を行い」の構成と、本件発明１の「各々２つの端点は、前記各溶剤吐出手段の移動始点となる端点が前記角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たときに同じ側になり、同様に前記各溶剤吐出手段の移動終点となる端点も同じ側になるように設定され、各端縁ごとに設けられた前記溶剤吐出手段は、前記角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たとき同じ方向に移動しながら溶剤を吐出して各端縁の洗浄を行う」構成との間の相違は、表現上の形式的な相違であって、実質的な構成上の相違ではないから、両者は実質的に同一の構成である。
　
エ　さすれば、引用発明１の「前記各溶剤吐出手段３が、角型基板１の各端縁の一方側の位置に配置された各溶剤吐出手段３の移動始点となる端点Ａと、前記移動始点となる端点Ａとは反対側の前記角型基板１の各端縁の他方側の位置に配置された前記各溶剤吐出手段３の移動終点となる端点Ｂとの間を、前記電動モータ１６の正逆転により前記角型基板１の各端縁に沿って往復移動する」構成と、本件発明１の「前記溶剤吐出手段が、前記基板保持手段によって保持された前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点間を前記端縁に沿って移動する」構成とは、２つの端点の設定位置を「延長線上であって」とする点を除いて、両者は少なくとも「前記溶剤吐出手段が、前記基板保持手段によって保持された前記角型基板の洗浄すべき端縁の前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点間を前記端縁に沿って移動する構成」である点で共通する。
　
オ　そうすると、本件発明１と引用発明１とは、
　「表面に薄膜が形成された角型基板を保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段とを備えた角型基板用基板端縁洗浄装置であって、
　前記溶剤吐出手段が、前記基板保持手段によって保持された前記角型基板の洗浄すべき端縁の前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点間を前記端縁に沿って移動するように、前記溶剤吐出手段を移動案内するガイド機構を設け、
　　前記溶剤吐出手段と前記ガイド機構は前記角型基板の洗浄すべき端縁の全てにそれぞれ設けられ、各々２つの端点は、前記各溶剤吐出手段の移動始点となる端点が前記角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たときに同じ側になり、同様に前記各溶剤吐出手段の移動終点となる端点も同じ側になるように設定され、
　　各端縁ごとに設けられた前記溶剤吐出手段は、前記角型基板の中心側からそれぞれの端縁を見たとき同じ方向に移動しながら溶剤を吐出して各端縁の洗浄を行う角型基板用基板端縁洗浄装置」
である点で一致し、次の点で両者の構成が相違する。
　［相違点１］：２つの端点の位置設定を、本件発明１が「前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であって」としているのに対し、引用発明１は「角型基板１の各端縁の一方側の位置と他方側の位置」としている点。
　［相違点２］：本件発明１では「各々２つの端点が、前記各ガイド機構ごとに定められる」としているのに対し、引用発明１では、端点Ａ，Ｂ設定手段３６により角型基板１のサイズに応じて設定される前記溶剤吐出手段３のノズルブロック１２の移動する距離は、前記端点Ａ及び端点Ｂが、角型基板１の長辺側の中央が位置する基板保持手段２の所定位置と角型基板１の短辺側にある既知の原点位置とから演算して設定される点。
　
２　相違点についての検討
ア　相違点１について
（ア）甲第２号証には、次の技術事項ａ及びｂが記載されている。
　ａ　「第１図には本発明に係る不要レジスト除去装置の一実施例の平面図が示されている。同図において、１１は中央に基板ａよりも一回り小さな基台としての固定テーブル１２を有する処理槽で、処理槽１１の各側壁には、基板ａの端面の接線延長線上にシリンダ２０がそれぞれピン１３を支点として水平面内回転可能に取り付けられている。」
　ｂ　「第３図に示すレジスト塗付装置により表面にフォトレジストが塗付されたガラス基板ａは、第１図に２点鎖線Ａ〜Ｄで示すように、全エアシリンダ２０を外側に回転させた状態で不要レジスト除去装置の固定テーブル１２上に載置され、図示しない真空吸着手段により固定される。次に、第２のエアシリンダ３０を作動させて４つのエアシリンダ２０を第１図に実線で示されるような位置まで回動させる。それから、パイプ２３に設けられたノズル２３ａよりレジスト除去液を滴下させながら、エアシリンダ２０に圧縮空気を送ってシリンダロッド２０ａを往復動させる。すると、パッド２１ａが基板ａの側面から底面にかけて接触したままこすられるように移動するため、基板ａの側面から底面にかけて付着した不要なレジストがパッド２１ａによってこすりとられて脱落し、基板の周縁が清浄化される。」
　
（イ）そうすると、甲第２号証の上記記載及び添付図面の第１図の記載からみて、甲第２号証には、「レジスト塗付装置により表面にレジストが塗付されたガラス基板ａが不要レジスト除去装置の固定テーブル１２上に載置されて、前記ガラス基板ａの端面の接線延長線上の処理槽１１の各側壁にエアシリンダ２０がそれぞれピン１３を支点として水平面内回転可能に取り付けられていて、ノズル２３ａよりレジスト除去液を滴下させながら、４つのエアシリンダ２０に圧縮空気を送ってシリンダロッド２０ａを往復動させることにより、パッド２１ａが前記ガラス基板ａに接触したまま移動して、ガラス基板ａに付着した不要なレジストがパッド２１ａによってこすりとられて脱落し、基板の周縁を清浄化する基板周縁の不要レジスト除去装置」の発明の記載が認められる。
　
（ウ）そして、甲第２号証に記載の発明においては、前記パッド２１ａが、ガラス基板ａの端面の接線延長線上にあるシリンダロッド２０ａの往復動により、前記ガラス基板ａに接触したまま移動させられるのであるから、前記パッド２１ａは、少なくともガラス基板ａの端面の接線上を摺動していることが明らかである。しかも、前記パッド２１ａが、前記ガラス基板ａに付着した不要なレジストをこすりとることにより脱落させるのであるから、ガラス基板ａの端面の接線上を摺動している前記パッド２１ａの折り返し点の位置は、ガラス基板ａの端面の接線延長線上にあることは明らかである。
　
（エ）かかる甲第２号証に記載の発明から、「ガラス基板ａの端面の接線延長線上において、ガラス基板ａに付着した不要なレジストを除去するために前記ガラス基板ａの端面に接触したまま不要レジスト除去手段を往復動させること」は、本件特許出願前の刊行物に記載された公知の技術手段であるといえる。
　
（オ）そうすると、甲第２号証に記載の前記「ガラス基板ａの端面の接線延長線上において、ガラス基板ａに付着した不要なレジストを除去するために前記ガラス基板ａの端面に接触したまま不要レジスト除去手段を往復動させること」の技術手段を引用発明１に適用することにより、引用発明１の角型基板１の各端縁の一方側の位置と他方側の位置にある２つの端点の設定位置を、本件発明１の前記相違点１に係る「前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上であ」るように変更することは、甲第２号証に記載の発明に基づいて当業者が格別の技術力を要せずに容易に想到できることである。
　
イ　相違点２について
（ア）移動始点と移動終点の２つの端点間を溶剤吐出手段が角型基板の端縁に沿って移動する場合の前記２つの端点の位置設定が、溶剤吐出手段の移動精度及び角型基板の端縁の洗浄精度に密接に関連する事項であることを勘案すれば、前記溶剤吐出手段の移動精度及び角型基板端縁の洗浄精度についての精度設計は、要求される精度に応じて好適な結果が得られるように当業者が適宜に決定する事項であるといえる。
　
（イ）ところで、例えば、洗浄具本体１０の設置個数の設定例では、上記引用文献１〔特開平６−９７０６７号公報〕（上記「２　甲号各証の記載事項」欄の（７）を参照。）の段落【００３５】に、洗浄具本体１０を、角型基板１の四辺に対応させられるように四個設けるか、あるいは、一個あるいは二個設けるかは、当業者が適宜採用できる設計事項であることが記載されている。
　また、溶剤ノズル３と排気管４の設置個数の設定例では、上記引用文献２〔特開平６−３１０４２２号公報〕（上記「２　甲号各証の記載事項」欄の（８）を参照。）の段落【００１９】に、溶剤ノズル３と排気管４を、基板保持手段２に保持された角型基板１の４辺それぞれに対応して設けるか、あるいは、１辺にのみ対応させて設けるかは、当業者が適宜採用できる設計事項であることが記載されている。
　
（ウ）かかる引用文献１及び引用文献２の例示からみて、数量・個数の設定は、設計事項にすぎないことが明らかである。
　さすれば、かかる２つの端点の位置設定を、角型基板の洗浄すべき４辺の端縁の内の１辺の端縁に基づいて設定するか、あるいは、角型基板の洗浄すべき４辺の端縁の２辺の端縁に基づいて設定するか、あるいはまた角型基板の洗浄すべき４辺の端縁の全辺の端縁に基づいて設定するかの精度設計の方針の相違は、すぐれて設計事項に属する事項であるといえる。
　
（エ）そうすると、引用発明１のように、ガイド１５，１５が角型基板１の洗浄すべき端縁の全てにそれぞれ設けられている場合に、溶剤吐出手段３が移動する２つの端点Ａ，Ｂの位置設定に際して、「角型基板の洗浄すべき４辺の端縁の全辺の端縁に基づいて設定する」設計方針を採用することにより、本件発明１の前記相違点２に係る「各々２つの端点が、各ガイド機構ごとに定められる」とすることは、当業者が必要に応じて適宜採用できる設計事項にすぎないことである。
　
　そして、本件発明１の奏する作用効果は、引用発明１及び甲第２号証に記載された発明、並びに引用文献１及び引用文献２の例示から予測できる範囲内のものであり、格別のものということができない。
　
３　まとめ
　以上のとおりであり、本件発明１は、引用発明１及び甲第２号証に記載された発明、並びに引用文献１及び引用文献２の例示に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
第７　当審の職権による無効理由２（特許法第３６条第４項、同条第６項第１号及び第２号違反）についての検討
１　本件発明１の「端点Ａおよび端点Ｂの位置の設定の仕方」について
（１）甲第１号証に記載されている「端点Ａおよび端点Ｂの位置の設定の仕方」については、上記「第５　当審の職権による無効理由の前提となる分割要件の有無についての検討」欄の「２（２）ア（エ）」に前述したとおりである。
　そして、本件特許出願は、上記甲第１号証に係る特願平５−１２３５３８号を原出願とする分割出願であるから、本件発明１の「端点Ａおよび端点Ｂの位置の設定の仕方」については、上記甲第１号証に記載されている技術事項の範囲内にとどまるものであるといえる。
　そうすると、甲第１号証に記載されている「端点Ａおよび端点Ｂの位置の設定の仕方」についてと同様に、本件発明１の「端点Ａおよび端点Ｂの位置の設定の仕方」は、端点Ａおよび端点Ｂの位置の設定と、特定ノズルブロック１２の
短辺
長辺側の中央
短辺
　
（２）しかも、本件訂正明細書等には、本件発明１の構成要件である「前記基板保持手段によって保持された前記角型基板の洗浄すべき端縁の延長線上の前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点を、前記各ガイド機構ごとに定め」る場合の設定方法が記載されていない。
　
（３）そうすると、本件発明１の「前記基板保持手段によって保持された前記角型基板の洗浄すべき端縁の前記角型基板のサイズに応じて定められた２つの端点」及び「各々２つの端点が、前記各ガイド機構ごとに定められる」の各構成要件が本件訂正明細書等に記載されてなく、また、前記各構成要件について、当業者が実施できる程度に本件訂正明細書等の発明の詳細な説明に記載されているということができないばかりでなく、前記各構成要件を含む本件発明１の構成が、明確でないものとなっている。
　
２　本件発明１の「ガイド機構」について
（１）本件特許出願は、上記甲第１号証に係る特願平５−１２３５３８号を原出願とする分割出願であるから、本件発明１の「ガイド機構」については、上記甲第１号証に記載されている「ガイド１５，１５」についての、上記「第５　当審の職権による無効理由の前提となる分割要件の有無についての検討」欄の「２（２）イ」の（イ）及び（ウ）に前述したとおりの技術事項の範囲内にとどまるものであるといえる。
　
（２）しかして、前記「ガイド機構」という文言は、「固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５」という具体的構成の上位概念であり、前記「固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５」の具体的構成だけではなく、ガイド機能を有する他の構成による機構をも包含する拡張された一般的な概念であるから、「ガイド機構」の文言が、必ずしも前記「固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５」のみを一義的に意味するものでないことは明らかである。
　したがって、前記「固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５」が「ガイド機構」に該当するということはいえるが、逆に、「ガイド機構」の文言が前記「固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５」のみを意味することにはならないので、前記「固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５」を離れた本件発明１の「ガイド機構」は、前記「固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５」を超えた構成であって、本件訂正明細書等の発明の詳細な説明に明示の記載がなく、また示唆する記載もないので、明確でないものとなっている。
　
（３）そうすると、本件訂正明細書等に開示されている前記「固定フレーム１４に付設した上下一対のガイド１５，１５」を超えた構成である、本件発明１の「ガイド機構」の構成が、本件訂正明細書等に記載されてなく、また、前記構成について、当業者が実施できる程度に本件訂正明細書等の発明の詳細な説明に記載されているということができないばかりでなく、前記構成を含む本件発明１の構成も明確でない。
　
３　まとめ
　以上のとおりであるから、本件発明１の特許は、特許法第３６条第４項、同条第６項第１号及び第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものである。
　
第８　むすび
　以上のとおり、本件発明１の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、同法第１２３条第１項第２号の規定に該当し、当審の職権による無効理由１により無効とすべきものである。
　また、本件発明１の特許は、特許法第３６条第４項、同条第６項第１号及び第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであるから、同法第１２３条第１項第４号の規定に該当し、当審の職権による無効理由２により無効とすべきものである。
　
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定において準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。