【事件の表示】
　特願２０００−４０３５５８「垂直式走査型顕微鏡用カンチレバー及びこれを使用した垂直式走査型顕微鏡用プローブ」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年　６月　７日出願公開、特開２００２−１６２３３５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１２年１１月２６日の出願であって、平成１８年３月２８日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成１８年５月８日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、平成１８年６月６日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１８年６月６日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）について
（１）補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲の記載を、補正前（平成１７年５月２３日付けの手続補正で補正されたもの、以下同様。）の記載から、次の記載：
「【請求項１】　カンチレバー２に固着されたナノチューブ探針の先端１８により試料表面２４の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、前記カンチレバー２に突出部８を形成し、前記カンチレバー２の測定状態で平均試料表面２６に対し略垂直状態になるように取付平面１０を前記突出部８の周面に設け、前記取付平面１０に前記平均試料表面２６
上の直交する２軸
前記ナノチューブ探針が
【請求項２】　前記取付平面１０の両縁線が前記取付方向線となり、この取付平面１０の両縁線に平行に前記ナノチューブ１２の基端部１４が取り付けられるようにした請求項
１
【請求項３】　前記取付平面１０にナノチューブ１２の基端部１４を嵌め込む取付溝３０が設けられ、この取付溝３０の軸方向線が前記取付方向線となり、この取付溝３０の前記軸方向線に平行に前記ナノチューブ１２の基端部１４が取り付けられるようにした請求項
１
【請求項４】　前記取付平面１０の表面に平坦な切欠部３２を設け、前記取付平面１０と前記切欠部３２の境界に段差３２ａが形成され、この境界線が前記取付方向線となり、この段差３２ａに沿って前記境界線に平行に前記ナノチューブ１２の基端部１４が取り付けられるようにした請求項
１
【請求項５】　前記ナノチューブ１２の基端部１４の取付位置が稜線部３４であり、この稜線が前記取付方向線となり、この稜線に平行に前記ナノチューブ１２の基端部１４が取り付けられるようにした請求項
１
【請求項６】　前記取付平面１０を、集束イオンビーム加工、エッチングプロセス、又はデボジションプロセスを利用して形成する請求項
１
【請求項７】　カンチレバー２に固着されたナノチューブ探針の先端１８により試料表面２４の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、前記カンチレバー２に突出部８を形成し、前記カンチレバー２の測定状態で平均試料表面２６に対し略垂直状態になるように取付平面１０を前記突出部の周面に設け、前記測定状態で前記平均試料表面２６
上の直交する２軸に対して前記ナノチューブ探針が
【請求項８】　カンチレバー２に固着されたナノチューブ探針の先端１８により試料表面２４の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、前記カンチレバー２に突出部８を形成し、前記カンチレバー２の測定状態で平均試料表面２６に対し略垂直状態になるように取付平面１０を前記突出部の周面に設け、この取付平面１０に前記平均試料表面２６
上の直交する２軸
前記ナノチューブ探針が
【請求項９】　前記カンチレバー２のカンチレバー部４の軸方向が測定状態において平均試料表面２６に対し角度θで尻上がり状に配置されるとき、前記ナノチューブ１２の軸線とカンチレバー部４の軸方向とが略（θ＋９０）度の角度をなす請求項
７又は８
に補正したものである。（下線は補正箇所を示す。）
　この補正は、
（i）補正前の請求項１を削除し、
（ii）補正前の請求項２を新たな請求項１に繰り上げると共に、「取付方向線」の形成についての補正前の記載：「前記取付平面１０に前記平均試料表面２６に対して略垂直状態となるように取付方向線が形成されており、」を、「前記取付平面１０に前記平均試料表面２６
上の直交する２軸
前記ナノチューブ探針が
（iii）補正前の請求項３〜７を、補正前の請求項２が新たな請求項１に繰り上げられたことに伴い、それぞれ請求項番号を新たな請求項２〜６に繰り上げると共に、補正前の「・・・請求項２に記載の垂直式走査型顕微鏡用カンチレバー」および「・・・請求項１又は２に記載の垂直式走査型顕微鏡用カンチレバー」という記載を、「・・・請求項１に記載の垂直式走査型顕微鏡用カンチレバー」と補正し、
（iv）補正前の請求項８を、補正前の請求項２が新たな請求項１に繰り上げられたことに伴い、新たな請求項７に繰り上げると共に、「ナノチューブ１２の基端部１４」の前記取付平面１０への配置についての記載：「前記測定状態で前記平均試料表面２６に略垂直状態になるようにナノチューブ１２の基端部１４を前記取付平面１０に配置し」を、「前記測定状態で前記平均試料表面２６
上の直交する２軸
対して前記ナノチューブ探針が
（v）補正前の請求項９を、補正前の請求項２が新たな請求項１に繰り上げられたことに伴い、新たな請求項８に繰り上げると共に、「取付方向線」の形成についての補正前の記載：「前記取付平面１０に前記平均試料表面２６に対して略垂直状態となるように取付方向線が形成されており、」を、「前記取付平面１０に前記平均試料表面２６
上の直交する２軸
前記ナノチューブ探針が
（vi）補正前の請求項１０を、補正前の請求項２が新たな請求項１に繰り上げられたことに伴い、新たな請求項９に繰り上げると共に、補正前の「・・・請求項８又は９に記載の垂直式走査型顕微鏡用プローブ」という記載を、「・・・請求項
７又は８
　
（２）補正の目的等の適否
　「平均試料表面２６上の直交する２軸に対して前記ナノチューブ探針が略垂直状態になるように」という「取付方向線」の形成についての上記補正（ii）および（v）は、何が平均試料表面に略垂直状態になるようにされるのか明確でなかった上記記載を、「前記ナノチューブ探針」が略垂直状態になるようにであると明確にするとともに、ある面がその面上の直交する２軸によって規定されることは幾何学的に自明な法則であって、そのように規定することによって平均試料表面が複数の面のうちの特定のものに減縮限定されるものでもないから、「前記ナノチューブ探針」が略垂直状態になるようにすべき「平均試料表面２６」をより明確になるように釈明したものと認められる。
　また、「ナノチューブ１２の基端部１４」の前記取付平面１０への配置についての上記補正（iv）も、同様である。
　そうすると、本件補正は、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内において、請求項の削除（上記補正（ｉ））および明りょうでない記載の釈明（上記補正（ii）〜（vi））を目的とする適法なものと認められる。
　
３．本願発明
　本願の請求項１〜９に係る発明は、平成１８年６月６日付けの手続補正書により適法に補正された特許請求の範囲の請求項１〜９に記載されたとおりのものと認められるところ、その請求項７に係る発明は次のとおりである。（以下、「本願発明」という。）                
「【請求項７】　カンチレバー２に固着されたナノチューブ探針の先端１８により試料表面２４の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、前記カンチレバー２に突出部８を形成し、前記カンチレバー２の測定状態で平均試料表面２６に対し略垂直状態になるように取付平面１０を前記突出部の周面に設け、前記測定状態で前記平均試料表面２６上の直交する２軸に対して前記ナノチューブ探針が略垂直状態になるようにナノチューブ１２の基端部１４を前記取付平面１０に配置し、前記基端部１４をコーティング膜又は融着により固着させたことを特徴とする垂直式走査型顕微鏡用プローブ。」
　
４．引用刊行物の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された各刊行物には、図面と共に次の記載がある。
（イ）刊行物２（国際公開第００／３３０５２号）
（ａ）発明の開示（第４頁第２０行〜第５頁第４行）
「本発明は上記課題を達成するためになされたものであり、本発明に係る電子装置の表面信号操作用プローブは、ナノチューブと、このナノチューブを保持するホルダーと、前記ナノチューブの先端部を突出させた状態でその基端部をホルダー面に固着させる固定手段から構成され、前記ナノチューブの先端部を探針として表面信号を操作する点に特徴を有する。
　前記固定手段がコーティング膜であり、このコーティング膜により前記基端部を含む所要領域を被覆してナノチューブをホルダーに固着させる表面信号操作用プローブを提案する。
　また、前記固定手段が融着部であり、この融着部によりナノチューブの基端部をホルダーに融着固定する表面信号操作用プローブを提案する。
　前記電子装置が走査型プローブ顕微鏡であり、前記ナノチューブが探針として試料表面の物理的・化学的作用を検出する表面信号操作用プローブを提案する。この走査型プローブ顕微鏡には、走査型トンネル顕微鏡や原子間力顕微鏡などが含まれている。」
　
（ｂ）図２のＡＦＭ構成図（第８頁第１８行〜同第２５行）
「図２は本発明が適用される原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）の構成図である。ナノチューブ探針１はホルダー２ａに固着され、このホルダー２ａはカンチレバー２ｂの先端に形成されたピラミッド形状の部材である。このピラミッド断面は直角三角形状をなし、その垂直面に探針１を固着しているため、探針１が試料面にほぼ垂直に当接し、試料表面形状を正確に読み取ることができる。カンチレバー２ｂはサブストレート２ｃに固定され、図示しないホルダーセット部に着脱自在に固定される。この形式では、ナノチューブ探針１、ホルダー２ａ、カンチレバー２ｂおよびサブストレート２ｃが一体としてプローブ２を構成し、探針の交換時にはプローブ２の全体が交換される。」
　そして、図２には、「ホルダー２ａ」を示す直角三角形の直角をなす２辺のうちの一辺が「カンチレバー２ｂ」を示す直線の延長上にあると共に、他方の試料表面に向いた辺に「探針１」を示す針状図形が固着されている状態が図示されている。
　
（ｃ）図１１のＡＦＭ用ホルダーとナノチューブの転移、固定（第１３頁第２８行〜第１４頁第１６行）
「図１１はＡＦＭ用のホルダーにナノチューブを転移させる装置図である。カンチレバー２ｂの先端にホルダー２ａがピラミッド状に突設されている。これは半導体プレーナ技術によって製造されたシリコン製部材である。通常はピラミッド状の凸部がＡＦＭ探針として用いられているのであるが、本発明ではこのピラミッド状凸部をホルダー２ａに転用する。このホルダー２ａにナイフエッジ２３のナノチューブ２４を転移させ、このナノチューブ２４を探針とする。ナイフエッジ上のナノチューブは単に付着しているだけで、膜で固着させていないことは当然である。これらの操作は走査型電子顕微鏡室２７内で実時間観察しながら行われる。カンチレバー２ｂはＸＹＺの３次元方向に移動でき、ナイフエッジ２３はＸＹの２次元方向に移動操作できる。従って、極めて微細な操作が可能となる。
　本発明に係る電子装置の表面信号操作用プローブは、前記ナイフエッジに付着したナノチューブをホルダーに移動し、このナノチューブを固定手段によりホルダーに固定させて完成させる。固定手段としては、本発明では二つの方法が実施された。一つはコーティング膜で、ナノチューブをコーティング膜によりホルダーに固定するものである。二つは融着部で、ナノチューブをホルダーに付着させ、その接触部を融着して相互に結合させるものである。ナノチューブは極めて細いので、ホルダーに接触しているナノチューブの基端部全体が融着部となりやすい。融着方法には通電による融着と電子ビーム照射による融着がある。」
　そして、図１１には、ナノチューブ２４がその端部から多数突出しているナイフエッジ面と共に、カンチレバー２ｂの先端にあるホルダー２ａに上向きの平面が存在しているよう図示されている。
　これらの記載から、刊行物２には、次の発明が記載されている。
「カンチレバー先端に形成されたホルダーに固着されたナノチューブ探針の先端を探針として、試料表面の物理的・化学的作用を検出する走査トンネル顕微鏡や原子力間顕微鏡用プローブにおいて、前記カンチレバー先端に形成されたホルダーは、断面が直角三角形のピラミッド形状であって、前記ナノチューブ探針は、前記探針が試料面にほぼ垂直に当接するよう、前記ホルダーの垂直面に、基端部をコーティング膜又は融着により固定された、走査トンネル顕微鏡や原子力間顕微鏡用プローブ。」（以下、「刊行物２発明」という。）
　
（ロ）刊行物４（特開平６−１２３６２１号公報）
（ｄ）【特許請求の範囲】の欄
「【請求項１】カンチレバーの自由端近傍に傾斜面を有し、前記傾斜面上にテトラポッド形状の構造体を設けたことを特徴とする原子間力顕微鏡用探針付カンチレバー。」
（ｅ）段落【０００９】
「【作用】前記本発明の構造によれば、カンチレバーに設けられた探針が、高アスペクト比で先端曲率が極めて小さい形状であり、しかも観察時にＡＦＭに固定された試料とカンチレバー軸間の角度に相当する傾斜角を持つ傾斜面を作製すれば、探針が試料に垂直となり、従来のカンチレバーでは探針側面等が溝上部の角に接触し精度良く測定できなかったような深い溝形状の試料でも、底面まで探針が垂直に届き、精度よく観察できるＡＦＭが得られる。」
　
（ハ）刊行物５（特開平１１−３２６３４８号公報）
（ｆ）段落【０００７】
「【発明の実施の形態】以下、図面を用いて、本発明の実施の形態によるプローブを説明する。図１は、本発明の実施の形態によるプローブを示す側面図である。また、図２は、図１のプローブの先端部を拡大して示した図である。図１に示したように、本発明のプローブは、支持体１０とこの支持体１０から延設された薄膜状カンチレバー１１とこのカンチレバー１１の先端領域に形成された探針１２とで構成され、この探針１２はカンチレバー１１の表面に対して傾斜して一体化されている。なお、図１の支持体１０とカンチレバー１１とで支持体部を構成する。図２に示すように、探針１２はカンチレバー１１の表面に対して垂直な方向から角度ｔだけ前方、即ちカンチレバーの先端方向に傾斜している。図３は、原子間力顕微鏡に本実施の形態のプローブを取り付けて測定する時の様子を凹凸のある試料近傍で示した図である。試料３４の表面には凹凸があるため、支持体１０、カンチレバー１１が試料３４にぶつからないように、ホルダー３３を不図示の原子関力顕微鏡本体に傾斜して取り付ける必要がある。一般的にこの角度ｔは１５度から25度に設定される。ホルダー３３は試料３４に対して三次元的に走査されるが、探針３２は角度ｔだけ傾斜して形成されているため、試料３４に対しては垂直に接触することが可能となる。図４（ａ）は、本実施の形態によるプローブを用いて溝を有する試料４２を計測している様子を示す図であり、図４（ｂ）は、本実施の形態によるプローブを用いて試料４２の表面形状を測定したイメージ信号である。このプローブは探針１２をカンチレバー１１に対して15度傾けて形成したものであり（図２の角度ｔが１５度の場合である）、カンチレバー１１を試料４２の表面に対してほぼ１５度傾斜させて原子間力顕微鏡の不図示のホルダーに取り付けている。このようなプローブによれば、探針１２が試料４２の表面に対して垂直にアプローチするため（試料４２が水平面内に載置面を有するテーブル上に載置され、探針１２の中心軸が鉛直方向を向いている）、図４（ｂ）に示したように、試料４２の表面形状を忠実にトレースしたイメージ信号４３が得られた。従来の構成では、図４（ｃ）のように、カンチレバー４０を試料４２の表面に対して傾けた状態で原子間力顕微鏡の不図示のホルダーに取り付けると、カンチレバー４０に対してほぼ垂直な探針４１は、試料４２の表面に対して傾斜することになる。その結果、探針４１の縁４１ａが溝４２の角４２ａにぶつかり、試料４２の表面形状を正確にトレースできない。従って、従来の構成では、試料４２の表面を忠実にトレースしたイメージが得られず、探針４１先端の接触できない溝部分が再現されない、歪なイメージとなってしまう。」
　
５．対比・検討
（１）一致点・相違点
　そこで、本願発明と上記刊行物２発明とを対比する。
　刊行物２発明の「カンチレバー先端に形成されたホルダーに固着されたナノチューブ探針」、「試料表面の物理的・化学的作用を検出する」、「走査トンネル顕微鏡や原子力間顕微鏡」、「ホルダー」が、それぞれ、本願発明の「カンチレバーに固着されたナノチューブ探針」、「物性情報を得る」、「走査型顕微鏡」、「突出部」と同義であることは、当業者に明らかである。
　そして、刊行物２の第２図、第１１図からして、刊行物２発明の、ナノチューブ探針が固定されている「ホルダーの垂直面」は、「ホルダーの周面に設けられた」ナノチューブ探針の「取付面」に他ならず、しかもホルダーはピラミッド形状であることからして「平面」であり、実質的に本願発明の「突出部の周面に設け」られた「取付平面」に相当するものである。
　そうすると、刊行物２発明の「ナノチューブ探針は、前記探針が試料面にほぼ垂直に当接するよう前記ホルダーの垂直面に、（ナノチューブ探針）基端部をコーティング膜又は融着により固定され」ることと、本願発明の「前記測定状態で前記平均試料表面２６上の直交する２軸に対して前記ナノチューブ探針が略垂直状態になるようにナノチューブ１２の基端部１４を前記取付平面１０に配置し、前記基端部１４をコーティング膜又は融着により固着させ」ることとは、「測定状態で試料表面に対して前記ナノチューブ探針が略垂直状態になっているナノチューブの基端部を取付平面に配置し、前記基端部をコーティング膜又は融着により固着させ」る点で共通している。
　また、本願発明の「垂直式走査型顕微鏡用プローブ」の「垂直式」なる用語の意味は、本願明細書の、「ところが、このナノチューブ先端１８を試料表面２４に接触させたとき、ナノチューブ１２と試料２２の平均表面２６とは直交せず、交差角φを以て斜交している。斜交状態ではナノチューブ先端１８は試料表面２４の急峻な凹部や凸部に追随できず、検出不能な空白領域が出現する。つまり、この場合にも検出分解能が低下することは避けられない。」（段落【００１１】）、ならびに、「従って、本発明の目的は、カンチレバー突出部が先鋭な先端を有さず、しかも検出時にナノチューブ先端が試料面に対し略垂直状に当接する垂直式走査型顕微鏡用プローブを実現することである。」（段落【００１３】）との記載からして、測定時にナノチューブ先端が試料面に対し略垂直状に当接することを意味すると認められ、この意味において、刊行物２発明も「垂直式」である。
　してみると、両者は、
「カンチレバーに固着されたナノチューブ探針の先端により試料表面の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、前記カンチレバーに突出部を形成し、取付平面を前記突出部の周面に設け、測定状態で試料表面に対して前記ナノチューブ探針が略垂直状態になっているナノチューブの基端部を前記取付平面に配置し、前記基端部をコーティング膜又は融着により固着させた垂直式走査型顕微鏡用プローブ。」
である点で一致し、次の点で相違する。
（相違点）
　突出部の取付平面、ならびに、ナノチューブ基端部の取付平面への配設態様が、
本願発明では、「カンチレバーの測定状態で平均試料表面に対し略垂直状態になるように取付平面を突出部の周面に設け」、ならびに、「測定状態で平均試料表面上の直交する２軸に対してナノチューブ探針が略垂直状態になるようにナノチューブの基端部を前記取付平面に配置」するのに対し、刊行物２発明は、「カンチレバー先端に形成された断面が直角三角形のピラミッド形状のホルダーの垂直面」、ならびに、「ナノチューブ探針が試料面にほぼ垂直に当接するよう、ホルダーの垂直面に固定」している点。
　
（２）相違点についての検討、判断
　走査型顕微鏡の測定対象である試料が凹凸を有することは技術常識であり、走査型顕微鏡のカンチレバーに設けられた探針の先端によって溝を有する試料表面の物性情報を精度良く測定ためには、測定状態において、試料の平均的な平面と直交する溝の深さ方向に探針を配向することが必要であり、そのように探針が配向するようにカンチレバーに探針を取り付けること、すなわち、「測定状態で探針が溝の深さ方向と直交する平均的な試料表面に対し略垂直になるようにカンチレバーに探針を取り付けること」は、刊行物４，５に記載されている（前記摘記（ロ）、（ハ）参照）。
　そうすると、本願発明において、カンチレバーに探針を固着するための取付平面を、「カンチレバーの測定状態で試料表面に対し略垂直状態になるように取付平面を突出部の周面に設け」ること、ならびに、探針を垂直に当接せしめる試料表面を「平均試料表面」とすることは、当業者が普通に採択する設計事項にすぎない。
　そして、ある面に垂直状態であるということは、その面上の直交する２軸に対して垂直状態であることと幾何学的に同義である。
　してみると、突出部の取付平面を「カンチレバーの測定状態で平均試料表面に対し略垂直状態になるように取付平面を突出部の周面に設け」るとともに、ナノチューブ基端部の取付平面への配設態様を「測定状態で平均試料表面上の直交する２軸に対してナノチューブ探針が略垂直状態になるようにナノチューブの基端部を前記取付平面に配置」することは、当業者が容易に想到し得る範囲内の事項であり、そのことによってもたらされる効果も、当業者が想定できる域を出ないものである。
　よって、本願発明は、刊行物２発明ならびに刊行物４，５に記載された技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明は、本願出願前に頒布された上記刊行物２，４，５に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。