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　特願２０００−３８２４２２「半導体力学量センサ」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年１１月３０日出願公開、特開２００１−３３０６２３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯・本願発明 
　本願は、平成１２年１２月１５日（優先権主張：平成１２年３月１６日）の出願であって、平成１７年６月１６日付け（発送日：同月２１日）で拒絶査定がなされ、これに対して、同年７月２１日に拒絶査定に対する審判請求がなされたものであり、その請求項１ないし４に係る発明は、平成１７年５月１３日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりのものである。
　「【請求項１】　支持基板（１１）上に、半導体よりなる可動部（２０）、及び、この可動部と溝（１４）を介して区画され前記支持基板に固定された半導体よりなる固定部（３０）が形成されており、
　前記可動部は、力学量の印加に応じて所定方向に変位可能な錘部（２１）と、この錘部における変位方向の軸（Ｙ１）を中心として前記錘部の一側と他側に、それぞれ形成された櫛歯状の可動電極（２４）とを備えており、
　前記固定部は、前記可動電極における櫛歯の隙間に噛み合うように対向配置された櫛歯状の固定電極（３１、３２）を備えており、
　力学量の印加に応じて前記可動電極が変位したとき、前記可動電極と前記固定電極との間の静電容量の変化に基づいて印加力学量を検出するようになっており、
　前記可動電極に対して前記固定電極との間に発生する静電引力の作用方向が、前記変位方向の軸を中心とした前記錘部の一側と他側とで、逆の方向となっている半導体力学量センサであって、
　前記可動電極及び前記固定電極の少なくとも一方には、個々の電極（３１、３２）において相手側電極（２４）と対向する両方の側面に、当該側面より突出する付着防止用の突起部（３３）が形成されており、
　前記突起部（３３）が形成された電極（３１、３２）において、前記突起部は、前記相手側電極（２４）と対向する両方の側面に、それぞれ３個以上間隔を有して配置されており、
　前記突起部が形成された電極の先端側における前記突起部の間隔（Ｓ１）は、前記突起部が形成された電極の根元側における前記突起部の間隔（Ｓ２）よりも狭くなっていることを特徴とする半導体力学量センサ。」
　
第２　引用刊行物に記載された発明
　原査定の拒絶の理由で引用された本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平１１−３２６３６５号公報（以下、「引用刊行物」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
　１．「【０００１】【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板の半導体層に溝を形成することにより可動電極及び当該可動電極と対向する固定電極とを形成してなる半導体力学量センサに関する。」
　２．「【００２３】【発明の実施の形態】以下、本発明を半導体加速度センサに適用した一実施の形態を図１乃至図９を参照して説明する。図１は半導体加速度センサの平面を模式的に示している。尚、図１でハッチングされた部位は断面ではなく、実際は平面である。この図１において、半導体加速度センサ１１（半導体力学量センサに相当）は、ＳＯＩ基板に半導体製造技術を利用した周知のマイクロマシン加工を施すことにより形成されている。
【００２４】可動部１２は、アンカー部１３と、このアンカー部１３に支持された矩形枠状のバネ部１４と、このバネ部１４と連結された重錘部１５と、この重錘部１５の両側に櫛歯形状に形成された可動電極１６とから構成されている。一方、可動電極１６の一方側に対向して櫛歯形状の第１の固定電極１７が形成されていると共に、可動電極１６の他方側に対向して第２の固定電極１８が形成されている。」
　３．「【００２５】図２は図１中におけるＡ−Ａ断面を示している。この図２において、半導体加速度センサ１１は、第１の半導体層１９と第２の半導体層２０との間に絶縁層２１（支持部に相当）を有するＳＯＩ基板によって構成されており、第１の半導体層１９及び絶縁層２１は、可動部１２及び各固定電極１７，１８が形成される領域において第２の半導体層２０が露出するように除去されている。
【００２６】以下、上記構成の半導体加速度センサ１１の製造方法について簡単に説明する。・・・・・
【００２８】続いて、ＳＯＩ基板の表面にＰＩＱ（ポリイミド）膜を塗布し、そのＰＩＱをエッチングして、可動部１２及び各固定電極１７，１８に対応した形状にパターニングしてから、・・・・・
【００２９】・・・・・ＰＩＱ膜をマスクにして、ドライエッチングにより第２の半導体層２０に貫通孔を形成する。この貫通孔によって、第２の半導体層２０に可動部１２及び各固定電極１７，１８が形成される。
【００３０】そして、表面のＰＩＱをＯ2 アッシングによって除去することにより半導体加速度センサ１１が完成されている。
【００３１】以上のように完成された半導体加速度センサ１１では、可動部１２の両端が絶縁層２１上に支持されていると共に、各固定電極１７，１８が絶縁層２１上に片持ち支持された形態となっている。」
　４．「【００３４】また、固定電極１７の検出面において可動電極１６の検出面と対向する部位には付着防止用の突起３２が形成されている。つまり、可動電極１６と各固定電極１７，１８とは重錘部１５に印加される加速度に応じてお互いの間隔が変化しているが、それが外部の静電気力で付着してしまう現象（スティッキング）が稀に発生して加速度センサ１１としての機能が全く失われてしまうことから、それを防止するために各固定電極１７，１８に突起３２を設けて付着を防止するようにしている。」
　５．「【００３９】さて、上記構成において、可動部１２が検出方向の加速度を受けると、重錘部１５が図１中の矢印Ｂ方向に変位し、可動電極１６の検出面と第１の固定電極１７の検出面との間の距離及び可動電極１６の検出面と第２の固定電極１８の検出面との間の距離のうち一方が増加すると他方が減少するようになる。ここで、可動電極１６の検出面と第１，第２の固定電極１７，１８の検出面とはそれぞれ容量を形成しているため、加速度を受けると、それらの容量が変化するようになるので、図示しない差動検出回路によって印加加速度を検出することができる。」
　６．「【００５４】半導体加速度センサ１１に限らず、ヨーレートセンサや角速度センサなどのような他の半導体力学量センサにも応用できる。」
　
　上記摘記事項１ないし６及び図面の記載から、次のことが読み取れる。
　・上記摘記事項３、図１及び図２の記載から、第１の半導体層１９と第２の半導体層２０との間に絶縁層２１を有するＳＯＩ基板の前記第２の半導体層２０に貫通孔を形成し、この貫通孔によって、前記第２の半導体層２０に可動部１２及び各固定電極１７、１８が形成されること、この貫通孔は、上記摘記事項１、図１及び図２の記載からみて溝状であること。
　・上記摘記事項２、５及び図１の記載から、可動部１２は、加速度を受けるとＢ方向に変位する重錘部１５と、この重錘部１５におけるＢ方向の軸を中心として前記重錘部１５の両側に櫛歯形状に形成された可動電極１６とを備えること。
　・上記摘記事項２から、可動電極１６の一方側に対向して櫛歯形状の第１の固定電極１７が形成されていると共に、可動電極１６の他方側に対向して第２の固定電極１８が形成されていること。
　・上記摘記事項５から、可動部１２が検出方向の加速度を受けると、重錘部１５がＢ方向に変位し、可動電極１６の検出面と第１の固定電極１７の検出面との間の距離及び可動電極１６の検出面と第２の固定電極１８の検出面との間の距離のうち一方が増加すると他方が減少するようになり、可動電極１６の検出面と第１，第２の固定電極１７、１８の検出面とはそれぞれ容量を形成しており、加速度を受けると、それらの容量が変化するようになるので印加加速度を検出することができること。
　・上記摘記事項４及び図３の記載から、各固定電極１７、１８の検出面において可動電極１６の検出面と対向する部位には付着防止用の突起３２が形成されていること。
　・上記摘記事項６から、引用刊行物記載の半導体力学量センサは、加速度に限らず種々の力学量の検出にも応用できること。
　
　以上のことから、引用刊行物には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
　「第１の半導体層１９と第２の半導体層２０との間に絶縁層２１を有するＳＯＩ基板の前記第２の半導体層２０に貫通孔すなわち溝を形成し、この貫通孔すなわち溝によって、前記第２の半導体層２０に可動部１２及び各固定電極１７、１８が形成されており、
　前記可動部１２は、力学量を受けるとＢ方向に変位する重錘部１５と、この重錘部１５におけるＢ方向の軸を中心として前記重錘部１５の両側に櫛歯形状に形成された可動電極１６とを備えており、
　前記可動電極１６の一方側に対向して櫛歯形状の第１の固定電極１７が形成されていると共に、可動電極１６の他方側に対向して第２の固定電極１８が形成されており、
　前記可動部１２が検出方向の力学量を受けると、前記重錘部１５がＢ方向に変位し、前記可動電極１６の検出面と前記第１の固定電極１７の検出面との間の距離及び前記可動電極１６の検出面と前記第２の固定電極１８の検出面との間の距離のうち一方が増加すると他方が減少するようになり、前記可動電極１６の検出面と前記第１、第２の固定電極１７、１８の検出面とはそれぞれ容量を形成しており、力学量を受けると、それらの容量が変化するようになるので印加力学量を検出することができる半導体力学量センサであって、
　前記各固定電極１７、１８の検出面において前記可動電極１６の検出面と対向する部位には付着防止用の突起３２が形成されていることを特徴とする半導体力学量センサ。」
　
第３　対比・判断  
　１．本願発明（前者）と引用発明（後者）との対比
　（１）後者の「第１の半導体層１９」、「溝」、「可動部１２」、「各固定電極１７、１８」、「重錘部１５」、「可動電極１６」、「第１の固定電極１７」及び「第２の固定電極１８」、「半導体力学量センサ」は、それぞれ、前者の「支持基板（１１）」、「溝（１４）」、「可動部（２０）」、「固定部（３０）」、「錘部（２１）」、「可動電極（２４）」、「固定電極（３１、３２）」、「半導体力学量センサ」に相当する。
　（２）後者は、「前記可動電極１６の一方側に対向して櫛歯形状の第１の固定電極１７が形成されていると共に、可動電極１６の他方側に対向して第２の固定電極１８が形成されており、前記可動部１２が検出方向の力学量を受けると、前記重錘部１５がＢ方向に変位し、前記可動電極１６の検出面と前記第１の固定電極１７の検出面との間の距離及び前記可動電極１６の検出面と前記第２の固定電極１８の検出面との間の距離のうち一方が増加すると他方が減少するようになり、前記可動電極１６の検出面と前記第１、第２の固定電極１７、１８の検出面とはそれぞれ容量を形成して」いるから、静電引力の作用方向に関して、前者と同様に、可動電極１６に対して第１、第２の固定電極１７、１８との間に発生する静電引力の作用方向が、変位方向の軸を中心とした重錘部１５の一側と他側とで、逆の方向となっている。
　（３）後者の「前記各固定電極１７、１８の検出面において前記可動電極１６の検出面と対向する部位には付着防止用の突起３２が形成されている」は、前者の「前記可動電極及び前記固定電極の少なくとも一方には、個々の電極（３１、３２）において相手側電極（２４）と対向する両方の側面に、当該側面より突出する付着防止用の突起部（３３）が形成されており、前記突起部（３３）が形成された電極（３１、３２）において、前記突起部は、前記相手側電極（２４）と対向する両方の側面に、それぞれ３個以上間隔を有して配置されており、前記突起部が形成された電極の先端側における前記突起部の間隔（Ｓ１）は、前記突起部が形成された電極の根元側における前記突起部の間隔（Ｓ２）よりも狭くなっている」と、「固定電極には、個々の電極において相手側電極と対向する側面に、当該側面より突出する付着防止用の突起部が形成されており、前記突起部が形成された電極において、前記突起部は、前記相手側電極と対向する側面に配置されている」点で共通する。
　
　（４）したがって、本願発明と引用発明とは、
　「支持基板上に、半導体よりなる可動部、及び、この可動部と溝を介して区画され前記支持基板に固定された半導体よりなる固定部が形成されており、
　前記可動部は、力学量の印加に応じて所定方向に変位可能な錘部と、この錘部における変位方向の軸を中心として前記錘部の一側と他側に、それぞれ形成された櫛歯状の可動電極とを備えており、
　前記固定部は、前記可動電極における櫛歯の隙間に噛み合うように対向配置された櫛歯状の固定電極を備えており、
　力学量の印加に応じて前記可動電極が変位したとき、前記可動電極と前記固定電極との間の静電容量の変化に基づいて印加力学量を検出するようになっており、
　前記可動電極に対して前記固定電極との間に発生する静電引力の作用方向が、前記変位方向の軸を中心とした前記錘部の一側と他側とで、逆の方向となっている半導体力学量センサであって、
　前記固定電極には、個々の電極において相手側電極と対向する側面に、当該側面より突出する付着防止用の突起部が形成されており、前記突起部が形成された電極において、前記突起部は、前記相手側電極と対向する側面に配置されていることを特徴とする半導体力学量センサ。」
である点で一致し、次の相違点で相違する。
　
［相違点］　突起部が、本願発明では、「相手側電極（２４）と対向する両方の側面に」形成され、その個数及び配置の間隔に関して、「それぞれ３個以上間隔を有して配置されており、前記突起部が形成された電極の先端側における前記突起部の間隔（Ｓ１）は、前記突起部が形成された電極の根元側における前記突起部の間隔（Ｓ２）よりも狭くなっている」のに対し、引用発明では、相手側電極である可動電極１６と対向する一方の側面に形成され、その個数及び配置の間隔に関して特に限定されていない点。
　
　２．判断
　上記相違点について検討する。
　引用発明の「可動電極１６」及び「各固定電極１７、１８」は、それぞれ、片持ち支持されているから、加速度等の力学量が加えられた場合には、電極は撓みによりその長さ方向と直交する方向に振れることになり、その振れ幅の程度によっては、当該電極を挟むようにして当該電極と対向配置されている双方の相手側電極のうち、当該電極からより離間した位置にある方の相手側電極にも当該電極が付着する虞があることは明らかである。
　そして、このように電極を挟んで対向配置された双方の相手側電極との付着防止用に、相手側電極と対向する両方の側面に突起を設けることは、例えば、特開平６−２１３９２４号公報、特開平４−３３７４６８号公報に示されるように従来より周知であるから、引用発明においても、双方の相手側電極との付着防止用に、相手側電極と対向する両方の側面に突起を設けるようにすることは当業者が容易に想到し得たことである。
　また、上記電極の振れ幅はその先端側において最大となり相手側電極と最も付着しやすいことから、付着防止用の突起を設けるにあたり、突起を先端側に重点的に配置すること、すなわち、上記相違点のような個数及び配置の間隔とすることも当業者が容易に想到し得たことである。
　
　そして、本願発明の奏する効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る範囲内のものであり、格別のものではない。  
　よって、本願発明は、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第４　むすび
　以上のとおりであるから、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　そして、本願発明が特許を受けることができないものであるから、その余の請求項２ないし４に係る発明について検討するまでもなく、本願は、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。