【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３０５９３４８号発明「誘電体バリア放電装置」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０５９３４８号の請求項１、３に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
１．手続の経緯
（１）本件特許第３０５９３４８号の請求項１〜４に係る発明についての出願は、平成６年１１月２５日に特許出願され、平成１２年４月２１日にその発明について特許権の設定登録がなされたものである。 
　
（２）請求人は、平成１９年４月３日に請求項１及び３に係る発明の特許に対して特許無効審判を請求した。
　
（３）被請求人は、平成１９年６月２１日に答弁書及び訂正請求書を提出し、また、請求人は、同年７月３０日に弁駁書を提出し、その後、被請求人は同年９月５日に答弁書を提出した。
　
２．訂正の可否について
　被請求人は、平成１９年６月２１日付けの訂正請求書を提出して、本件特許明細書の訂正（以下「本件訂正」という。）を請求しているので、まず、この訂正の可否について検討する。
　
（１）本件訂正の内容
　本件訂正の内容は、本件特許明細書を訂正請求書に添付した訂正明細書のとおりに訂正しようとするものであり、その訂正の内容は以下のとおりである。
　
　（ａ）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の
「前記各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）が、その出力振動波の位相において互いに非同期であり、かつ前記各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）が、独立に出力電力調整可能であることによって、」
を
「前記各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）が、その出力振動波の
発振周波数を異ならせて設定し、
と訂正する。
　
　（ｂ）訂正事項ｂ
　本件特許明細書の段落【００１２】の
「前記各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）が、その出力振動波の位相において互いに非同期であり、かつ前記各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）が、独立に出力電力調整可能であることによって、」
を
「前記各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）が、その出力振動波の
発振周波数を異ならせて設定し、
と訂正するとともに、段落【００１６】の
「各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）は、その出力振動波の位相において互いに非同期であり、かつ独立に出力電力調整が可能である。」
を
「各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）は、その出力振動波の
発振周波数を異ならせて設定し、
と訂正する。
　
　（ｃ）訂正事項ｃ
　本件特許明細書の段落【００１８】の
「しかし、独立な発振周波数決定手段が、例えば精密高安定な水晶発振器を利用したものでない限り、一般に全ての各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，・・・・）の発振周波数は厳密には互いに異なっているため、意識的に発振周波数を互いにずらすことをしなくても前記電磁ノイズ放射の影響は低減されるが、効果的な電磁ノイズ放射低減を行いたい場合は確実に各発振周波数が少しづつ差を有するように設定しておくほうが良い。」
を削除する。
　
（２）訂正の可否についての判断
　（ａ）訂正事項ａは、訂正前の請求項１に記載された発明の構成に欠くことができない事項である「出力振動波」について、その「
発振周波数を異ならせて設定し
　そして、前記訂正事項ａは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないから、旧法第１３４条第２項ただし書に適合し、特許法第１３４条の２第５項で準用する旧法第１２６条第２項の規定に適合する。
　さらに、特許無効審判の請求がされていない請求項２及び請求項４について検討すると、前記訂正事項ａによる訂正後の請求項２及び請求項４に係る発明は出願の際、独立して特許を受けることができるものであるから、前記訂正事項ａは、特許法第１３４条の２第５項において読み替えて準用する旧法第１２６条第３項の規定に適合する。
　
　（ｂ）訂正事項ｂは、前記訂正事項ａによる特許請求の範囲の訂正に応じて、訂正前の請求項１に係る発明に対応する段落【００１２】、段落【００１６】の記載を、訂正後の請求項１の記載に整合させるものであるから、旧法第１３４条第２項ただし書第３号に規定する明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　そして、前記訂正事項ｂは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないから、旧法第１３４条第２項ただし書に適合し、特許法第１３４条の２第５項で準用する旧法第１２６条第２項の規定に適合する。
　
　（ｃ）訂正事項ｃは、前記訂正事項ａによる特許請求の範囲の訂正に応じて、訂正後の請求項１に係る発明についての詳細な説明を整合させるものであり、旧法第１３４条第２項ただし書第３号に規定する明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　そして、前記訂正事項ｃは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないから、旧法第１３４条第２項ただし書に適合し、特許法第１３４条の２第５項で準用する旧法第１２６条第２項の規定に適合する。
　
（３）訂正の可否についてのまとめ
　以上のとおりであるから、本件訂正は、旧法第１３４条第２項ただし書に適合するものであり、かつ、特許法第１３４条の２第５項で準用する旧法第１２６条第２項及び第３項の規定にも適合するものである。
　よって、前記結論のとおり、訂正を認める。
　
３．本件発明
　本件特許の請求項１及び３に係る発明（以下「本件発明１」、「本件発明３」という。）は、明細書及び図面の記載からみて、明細書の特許請求の範囲の請求項１及び３に記載された次のとおりのものにある。
　
本件発明１
「誘電体バリア放電によってエキシマ分子を生成する放電用ガスが充填された放電空間（Ｇ，Ｇ1，Ｇ2，‥‥）があって、前記放電用ガスに放電現象を誘起せしめるための一対の電極（Ｅ，Ｅ1，Ｅ2，‥‥），（Ｆ，Ｆ1，Ｆ2，‥‥）のうちの少なくとも一方と前記放電用ガスの間に誘電体（Ｄ，Ｄ1，Ｄ2，‥‥）が介在する構造を有する複数の誘電体バリア放電ランプ（Ｔ，Ｔ1，Ｔ2，‥‥）と、
　前記各誘電体バリア放電ランプの前記一対の電極（Ｅ，Ｅ1，Ｅ2，‥‥），（Ｆ，Ｆ1，Ｆ2，‥‥）に交流の高電圧を印加するための給電装置とを有する誘電体バリア放電装置において、
　前記誘電体バリア放電ランプ（Ｔ，Ｔ1，Ｔ2，‥‥）の各々に対応して、各１個の給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）が設けられているものであって、前記各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）が、その出力振動波の
発振周波数を異ならせて設定し、
　
本件発明３
「前記各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）の出力振動波の周波数が、互いに平均周波数値の２％以上異なるようにしたことを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の誘電体バリア放電装置。」
　
４．請求人の主張
（１）請求人は、本件特許の請求項１及び３に係る発明についての特許を無効とする、審判費用は被請求人の負担とする、との審決を求め、その理由として、概ね次の主張をしている。
　
　（ａ）本件請求項１に係る特許発明は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである（以下「無効理由１」という。）。
　
　（ｂ）また、本件請求項１に係る特許発明は、甲第１号証、甲第２号証及び甲第３号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである（以下「無効理由２」という。）。
　
　（ｃ）本件請求項３に係る特許発明は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである（以下「無効理由３」という。）。
　
　（ｄ）また、本件請求項３に係る特許発明は、甲第１号証、甲第２号証及び甲第３号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである（以下「無効理由４」という。）。
　
　（ｅ）さらに、本件請求項１の特許発明は、甲第１号証、甲第２号証及び甲第１３号証に記載された発明に基づき、或いは甲第１号証乃至甲第３号証及び甲第１３号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。　
　
（２）そして、請求人は、証拠方法として次の甲第１号証〜甲第１１号証を提出している。
　甲第１号証：特開平６−３１２１３０号公報
　
　甲第２号証：特開平６−１９７５５５号公報
　
　甲第３号証：特開平６−８９７８８号公報
　
　甲第４号証：「改訂新版　放電ハンドブック」　電気学会発行
　　　　　　　昭和６２年１月１５日再版六刷発行
　
　甲第５号証：「新村出編　広辞苑　第五版」　岩波書店発行
　　　　　　　２００５年１月２５日第五版第三刷発行
　
　甲第６号証：実開平５−５３１９６号公報
　
　甲第７号証：特開平５−１３５８９５号公報
　
　甲第８号証：実開平２−１０８２９７号公報
　
　甲第９号証：実開平３−１２４４９５号公報
　
　甲第１０号証：特開平６−２６７６８４号公報
　
　甲第１１号証：特開昭５８−１７６６３１号公報
　
　また、請求人は、他の証拠として、平成１９年７月３０日付け弁駁書において甲第１２号証（特開２００６−２６９２７３号公報）、甲第１３号証（特開平５−２０５８７９号公報）を提出している。
　
５．被請求人の主張
（１）一方、被請求人は、本件無効審判の請求は成り立たない、審判費用は請求人の負担とする、との審決を求め、その理由として、概ね次の主張をしている。
　
（２）無効理由１に対して
　次の理由（ａ）〜（ｃ）により、本件特許の請求項１に係る発明は、甲第３号証〜甲第１１号証に記載される周知の基礎技術を勘案しても、甲第１号証、甲第２号証に記載された事項に基づき当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
　（ａ）甲第１号証には、誘電体バリア放電ランプへの給電装置の構成については何ら記載されておらず、本件請求項１の構成（エ）「誘電体バリア放電ランプの各々に対応して、各１個の給電装置が設けられている」構成について何ら記載されていない。
　甲第２号証に記載された発明は、誘電体バリア放電ランプに関するものではない。
　誘電体バリア放電ランプではない一般の放電ランプ、例えば甲第２号証の冷陰極管、甲第６号証や甲第７号証の蛍光ランプは、回路構成上、特別な工夫を図らない限り、１つの給電装置で複数の放電ランプを点灯させることはできない。つまり、一般の放電ランプは、複数の放電ランプがあった場合は、それぞれに対応して、各１個の給電装置を設けるという構成が一般的である。これは、一般の放電ランプは、一つの給電回路に複数のランプを並列接続して点灯させようとしても、個々のランプの点灯特性が若干異なるため、どちらか一方のランプが点灯すると、他方のランプに高電圧がかからなくなり、他方のランプが点灯しなくなるためである。
　一方、誘電体バリア放電ランプは、放電を開始してもランプ電圧が低下せず、他のランプに電圧がかからなくなることがないため、回路構成上の特別な工夫を図ることなく、簡単に１つの給電装置で複数のランプを点灯させることが可能である。
　従って、複数の誘電体バリア放電ランプに個々に対して、各１個の給電装置を設けるという構成は、コスト高や、部品点数の増加などの要因になるため、普通は、わざわざ採用しない。
　本件特許は、通常、１つの給電装置で複数のランプを点灯させるように構成される誘電体バリア放電装置において、あえて、複数の誘電体バリア放電ランプの個々に対応させて各１個の給電装置を設けるという構成を採用することにより、必要な領域の光照射エネルギー密度の均一性または可制御性の問題を改善したものであり、誘電体バリア放電ランプ以外の一般の放電ランプにおいて、ランプの個々に対応して各１個の給電装置を設けるという構成が周知の基礎技術として存在するからといって、誘電体バリア放電ランプにおいて、当該技術を採用することが容易であるとは必ずしもいえない。
　
　（ｂ）本件特許は、「各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）が、その出力振動波の発振周波数を異ならせて設定し、位相において互いに非同期とした」ことに特徴をもつものであり、これにより電磁ノイズの放射電力スペクトル分布を広く拡散させることができる。甲第１号証、甲第２号証には、この点について何ら記載されていないばかりか、甲第３号証〜甲第１１号証を参照しても、この点について何ら記載されていない。
　請求人が主張するように、交流電源を設けた場合、各交流電源同士の出力振動波の周波数は互いにばらつきが生ずる可能性はある。しかし、このばらつきは、使用した部品等に応じて定まるものであり、そのばらつきの程度は様々であって、大きくばらつくこともあるし、またほとんどばらつかない場合もあり、必ずしも所望の周波数のばらつきにはならない。
　これに対し、本件特許においては、出力振動波の発振周波数の設定により、電磁ノイズの放射電力スペクトル分布を所望のものとすることができる。
　
　（ｃ）甲第１号証の段落００１２の記載は一般論としてランプの入力電力を調整することにより、ランプから放射される紫外線の量を調整できることを述べたものにすぎず、ランプの出力電力を調整可能に構成することを述べたものでないと解される。
　甲第１号証に記載のものは段落００１２の記載等から見てランプ配置などにより光照射エネルギー密度の均一化を図っているものと解され、本件特許のように「各給電装置が独立に出力電力調整可能であることによって、各誘電体バリア放電ランプの消費電力バランスを任意に調整可能とする」ものではない。
　以上のように甲第１号証には、本件特許の構成（カ）「各給電装置が、独立に出力電力調整可能であることによって、各誘電体バリア放電ランプの消費電力バランスを任意に調整可能としたこと」について何ら記載されていないばかりか、示唆もされていない。
　甲第２号証、甲第１１号証に記載されるランプは、誘電体バリア放電ランプではない一般の放電ランプである。一般の放電ランプにおいて、ランプの個々に対応して各１個の給電装置を設け、各ランプの消費電力バランスを任意に調整可能にすることが周知の基礎技術として存在するからといって、誘電体バリア放電ランプにおいて、当該技術の採用は、当業者が容易になし得たことであるとすることは出来ない。
　
（３）無効理由２に対して
　次の理由（ａ）〜（ｃ）により、本件特許の請求項１に係る発明は、甲第４号証〜甲第１１号証に記載される周知の基礎技術を勘案しても、甲第１号証、甲第２号証、甲第３号証に記載された事項に基づき当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
　（ａ）甲第３号証には、本件請求項１の（オ’）「前記各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）が、その出力振動波の発振周波数を異ならせて設定し、位相において互いに非同期であり、」については記載されていない。
　甲第３号証に記載のものにおいては、非同期ではあるものの、各インバータ（各給電装置に対応）は同一の周波数（３０ｋＨｚ程度）で駆動される。このためリップル電流を小さくすることはできるものの、インバータの駆動周波数が同一であるため、電磁ノイズがその特定の周波数にて協調的に放射される。
　すなわち、甲第３号証のものにおいては電磁ノイズがその特定の周波数で放射され、本件特許のように、その放射電力スペクトル分布において電磁ノイズが広く拡散し、全体として、低い電磁ノイズ放射水準に抑えられるという作用効果を得ることができない。
　
　（ｂ）甲第２号証に記載されるランプは、誘電体バリア放電ランプではない一般の放電ランプであり、誘電体バリア放電ランプ以外の一般の放電ランプにおいて、ランプの個々に対応して各１個の給電装置を設け、各ランプの消費電力バランスを任意に調整可能にすることが周知の基礎技術として存在するからといって、誘電体バリア放電ランプにおいて、当該技術の採用は、当業者が容易になし得たことであるとすることは出来ない。
　
　（ｃ）甲第３号証には、「誘電体バリア放電ランプの各々に対応して、各１個の給電装置を設ける」構成が記載されているものの、「各給電装置が、独立に出力電力調整可能であることによって、各ランプの消費電力バランスを任意に調整可能とする」ことについては何ら記載されていない。
　
（４）無効理由３、４に対して
　本件特許の請求項１の発明が甲第１号証〜甲第３号証に記載された事項に基づき当業者が容易に発明できたものではない以上、請求項１の従属項である請求項３の発明も、甲第１号証〜甲第３号証に記載された事項に基づき当業者が容易に発明できたものではない。
　
（５）さらに、被請求人は、平成１９年６月２１日付け訂正請求書において、訂正前の請求項１の記載が「[1]複数電源の発振周波数は同じで、各発振周波数の位相が異なる実施形態」および「[2]複数電源の発振周波数を同じ値になるように設定したが、発振器の個体差により結果的に各発振器の発振周波数が異なった値になる実施形態」を含むと解釈される可能性のある記載となっていたため、各給電装置の出力振動波の発振周波数を異ならせて設定することを限定することにより、上記[1],[2]の実施形態を本件特許の権利範囲から積極的に除外し、上記[1],[2]の実施形態が本件特許に含まれないことを明確にしたものである旨を主張している。
　
６．甲各号証の記載事項
　請求人が提出した甲各号証のうちの甲第１号証及び甲第２号証には、それぞれ、次の事項が記載されている。
　
（１）甲第１号証（特開平６−３１２１３０号公報）の記載事項
　甲第１号証には、図１〜図３とともに以下の事項が記載されている。
　
　（ａ）「【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、大面積の被処理物を均一に、かつ高速で洗浄出来る洗浄方法を提供することである。」
　
　（ｂ）「【０００９】
【実施例】本発明の実施例である半導体ウエハの洗浄方法の概略図を図１に示す。洗浄ダクト３内に誘電体バリヤ放電ランプ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅが被洗浄物であるシリコン半導体ウエハ８に近接して設けられている。・・・」
　
　（ｃ）「【００１０】実施例に使用した同軸円筒形誘電体バリヤ放電ランプの概略図を図２に示す。放電容器１３は石英ガラス製で内側管１４と外側管１５を同軸に配置して中空円筒状にしたもので、外側管１５は誘電体バリヤ放電の誘電体バリヤと光取り出し窓を兼用しており、その外面に光を透過する金属網からなる電極１７が設けられている。内側管１４の内径部には紫外線の反射板を兼ねた円筒状の金属電極１６が設けられている。・・・放電空間２０に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを封入して、誘電体１５の表面に設けられた金属網からなる透明電極１７と内側管１４の内径部には紫外線の反射板を兼ねた円筒状の金属電極１６に交流電源２１によって電圧を印加すると、放電空間２０内にいわゆる誘電体バリヤ放電、別名オゾナイザ放電あるいは無声放電が発生して、誘電体１５、透明電極１７を通して、高効率で紫外線が放射される。・・・」
　
　（ｄ）「【００１２】・・・また、従来の低圧水銀ランプの場合と異なって、ランプへの入力電力を変化させることによって分光分布を変えること無く光出力を変化できるので、ランプへの入力電力と誘電体バリヤ放電ランプと半導体ウエハの間の距離を調整する事により、半導体ウエハ８に照射される紫外線の量を制御できる。・・・」　
　
　そして、前記甲第１号証記載事項（ｃ）によれば「放電空間２０内にいわゆる誘電体バリヤ放電、別名オゾナイザ放電あるいは無声放電が発生して、誘電体１５、透明電極１７を通して、高効率で紫外線が放射される。」ということであるから、図２の図示内容をあわせみると、少なくとも透明電極１７と、放電空間２０の間に誘電体１５が介在していることは明らかである。
　また、甲第１号証に記載された洗浄方法が、誘電体バリア放電ランプを用いた装置を使用していることも明らかである。
　
　したがって、前記甲第１号証記載事項（ａ）〜（ｄ）及び図面の図示内容を総合すると、甲第１号証には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　
　「誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを封入した放電空間２０があって、透明電極１７と金属電極１６のうちの少なくとも透明電極１７と、放電空間２０の間に誘電体１５が介在する複数の誘電体バリア放電ランプ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅと、前記各誘電体バリア放電ランプ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅの透明電極１７と金属電極１６に電圧を印加する交流電源２１とを有する誘電体バリア放電ランプ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅを用いた装置において、誘電体バリア放電ランプ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅへの入力電力を変化させることによって光出力を変化できる誘電体バリア放電ランプ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅを用いた装置。」
　
（２）甲第２号証（特開平６−１９７５５５号公報）の記載事項
　甲第２号証には、図１、図２とともに以下の事項が記載されている。　
　
　（ｅ）「【０００２】
【従来の技術】従来、液晶パネル等のバックライトとして冷陰極管等の複数のランプを点灯させるランプ点灯回路が知られており、この一例としてインバータ回路を用いたものが知られている。この一例として２つのランプを点灯させる回路例を図２に示す。・・・」
　
　（ｆ）「【００１１】また、ランプ６ａの他端はコンデンサＣ１を介して第１のインバータ回路４ａの二次巻線412 の他端に接続され、ランプ６ｂの他端はコンデンサＣ２を介して第２のインバータ回路４ｂの二次巻線412 の他端に接続されている。」
　
　（ｇ）「【００１４】・・・電圧Ｖd1，Ｖd2の値は、演算増幅器２３ａ，２３ｂの入力端において発振器２１の出力電圧Ｖoscの最大値と最小値との間の値となるように抵抗器Ｒ１〜Ｒ４及び可変抵抗器ＶＲ１，ＶＲ２の値が設定され、さらに可変抵抗器ＶＲ１，ＶＲ２の値は十分な調光効果が得られる値に設定されている。これにより、演算増幅器２３ａ，２３ｂからトランジスタ２４ａ，２４ｂにローレベルの信号が出力されている間だけ、各チョッパ回路３ａ，３ｂのＦＥＴ３１を介して対応するインバータ回路４ａ，４ｂの変圧器４１に電流が供給されるので、可変抵抗器ＶＲ１，ＶＲ２の抵抗値を変化させて演算増幅器２３ａ，２３ｂの出力信号のパルス幅を変えることにより、ランプ６ａ，６ｂの輝度を調節することができる。」
　
　（ｈ）「【００１５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述した従来のランプ点灯回路においては、発振器２１の発振周波数ｆ３と第１のインバータ回路４ａの動作周波数ｆ１とは一致しているものの、これらの周波数ｆ１，ｆ３と第２のインバータ回路４ｂの動作周波数ｆ２とが異なるため、これらの周波数のビートが発生する。このビートは多次に亙って発生し、複数の周波数成分を含むので、可聴ノイズを発生したり、或いは液晶ディスプレイのバックライト点灯用に使用した場合には液晶ディスプレイのフレーム周波数との干渉による画面ビート、フリッカ等を引き起こす。・・・」
　
７．対比・判断
（１）本件発明１について
　（ａ）対比
　本件発明１と引用発明とを対比すると、引用発明の「エキシマ分子を形成する放電用ガスを封入した放電空間２０」及び「誘電体バリア放電ランプ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅを用いた装置」は、それぞれ本件発明１の「エキシマ分子を生成する放電用ガスが充填された放電空間（Ｇ，Ｇ1，Ｇ2，‥‥）」及び「誘電体バリア放電装置」に相当する。
　また、引用発明の「透明電極１７」及び「金属電極１６」は、前記甲第１号証記載事項（ｃ）によれば、交流電源２１によって電圧を印加されるものであり、該電圧の印加により、放電空間２０内に誘電体バリア放電が生じるものであるから、本件発明１の「前記放電用ガスに放電現象を誘起せしめるための一対の電極（Ｅ，Ｅ1，Ｅ2，‥‥），（Ｆ，Ｆ1，Ｆ2，‥‥）」に相当する。そうすると引用発明の「透明電極１７と金属電極１６のうちの少なくとも透明電極１７と、放電空間２０の間に誘電体１５が介在する複数の誘電体バリア放電ランプ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ」は、本件発明１の「前記放電用ガスに放電現象を誘起せしめるための一対の電極（Ｅ，Ｅ1，Ｅ2，‥‥），（Ｆ，Ｆ1，Ｆ2，‥‥）のうちの少なくとも一方と前記放電用ガスの間に誘電体（Ｄ，Ｄ1，Ｄ2，‥‥）が介在する構造を有する複数の誘電体バリア放電ランプ（Ｔ，Ｔ1，Ｔ2，‥‥）」に相当する。
　そして、引用発明の「前記各誘電体バリア放電ランプ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅの透明電極１７と金属電極１６に電圧を印加する交流電源２１」は、交流の電圧を印加する給電装置であるといえ、少なくとも放電空間２０内に誘電体バリア放電を生じさせる程度の高い電圧を印加していることは明らかであるから、本件発明１の「前記各誘電体バリア放電ランプの前記一対の電極（Ｅ，Ｅ1，Ｅ2，‥‥），（Ｆ，Ｆ1，Ｆ2，‥‥）に交流の高電圧を印加するための給電装置」に相当する。
　
　そうすると、本件発明１と引用発明とは、次の点で一致する。
「誘電体バリア放電によってエキシマ分子を生成する放電用ガスが充填された放電空間（Ｇ，Ｇ1，Ｇ2，‥‥）があって、前記放電用ガスに放電現象を誘起せしめるための一対の電極（Ｅ，Ｅ1，Ｅ2，‥‥），（Ｆ，Ｆ1，Ｆ2，‥‥）のうちの少なくとも一方と前記放電用ガスの間に誘電体（Ｄ，Ｄ1，Ｄ2，‥‥）が介在する構造を有する複数の誘電体バリア放電ランプと、
　前記各誘電体バリア放電ランプの前記一対の電極（Ｅ，Ｅ1，Ｅ2，‥‥），（Ｆ，Ｆ1，Ｆ2，‥‥）に交流の高電圧を印加するための給電装置とを有する誘電体バリア放電装置。」
　
　一方で、両者は、次の点で相違する。
[相違点１]
　給電装置について、本件発明１は「前記誘電体バリア放電ランプ（Ｔ，Ｔ1，Ｔ2，‥‥）の各々に対応して、各１個の給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）が設けられているものであって」、「前記各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）が、独立に出力電力調整可能であることによって、前記各誘電体バリア放電ランプ（Ｔ，Ｔ1，Ｔ2，‥‥）の消費電力バランスを任意に調整可能とした」のに対し、引用発明は、誘電体バリア放電ランプへの入力電力を変化させることによって光出力を変化できるものではあるものの、給電装置をどのように設けるのかが不明である点。
　
［相違点２］　
　給電装置の出力振動波について、本件発明１は、各給電装置が「発振周波数を異ならせて設定し、位相において互いに非同期」であるのに対し、引用発明は、そのような構成を有するものであるのかが不明である点
　
　（ｂ）判断
[相違点１]について
　引用発明の解決しようとする課題として、前記甲第１号証記載事項（ａ）には、大面積の被処理物を均一に洗浄することが示されており、被処理物を均一に照射するという課題が示唆されているといえる。
　一方、前記甲第２号証記載事項（ｅ）〜（ｇ）及び図２の図示内容をみると、甲第２号証には、複数のランプ６ａ，６ｂの各々に対応して、各１個のインバータ回路４ａ（又は４ｂ）及びチョッパ回路３ａ（又は３ｂ）が設けられ、可変抵抗器ＶＲ１（又はＶＲ２）の抵抗値を変化させることにより、各チョッパ回路３ａ（又は３ｂ）のＦＥＴ３１を介して対応するインバータ回路４ａ（又は４ｂ）の変圧器４１に供給される電流を変化させ、ランプ６ａ，６ｂの輝度を調節する点が記載されている。そして、このインバータ回路４ａ（又は４ｂ）及びチョッパ回路３ａ（又は３ｂ）をあわせたものが、本件発明１の「給電装置」に相当するから、複数のランプの各々に対応して、各１個設けられる給電装置が独立に出力電力調整可能であることによって、ランプの消費電力バランスを任意に調整可能としているといえる。
　また、複数のランプを用いる装置において、照射面での光出力分布を均一なものとするために、各ランプの各々に対応した給電装置により、各ランプの光出力を独立に調整することは、例えば特開平５−１１４５７０号公報、実願平２−２７２１５号（実開平３−１１８５９４号）のマイクロフィルム、特開平４−１９９６２２号公報等にも示されているように本件特許の出願前より周知の技術であるといえ、引用発明において、被処理物を均一に照射するために、前記周知の技術を参酌して、甲第２号証に記載されたランプの各々に対応して、各１個の給電装置を設け、各給電装置が独立に出力電力調整可能であることによって、ランプの消費電力バランスを任意に調整可能とする構成を採用し、本件発明１の相違点１に係る構成とすることは当業者が容易に想到し得たものである。
　
[相違点２]について
　本件発明１の「各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）が、その出力振動波の発振周波数を異ならせて設定し、位相において互いに非同期であり」という構成の進歩性を検討するにあたり、本件発明１が、設定方法に関する発明ではなく、「誘電体バリア放電装置」という「物」の発明であることを勘案すると、装置の製造時等に、どのような設定が行われたか、又は何等、設定が行われなかったかにかかわらず、各給電装置の出力振動波自体に着目し、発振周波数が異なり、位相が互いに非同期であるという構成の採用が容易であるか、否かについて、検討を行うべきである。
　そして、給電装置を複数用いる場合、この給電装置に発振周波数を一致させるための特別な調整手段を施さない限り、その出力振動波の発振周波数や位相が異なるものとなることは、例えば前記甲第２号証記載事項（ｈ）や、実願平３−１８６１５号（実開平４−１２４８９４号）のマイクロフィルム（特に段落【００１８】〜【００２０】参照）等にも示されているように、本件特許の出願前より当業者に知られている事項である。そうすると、前記「相違点１］についての検討で示したように、引用発明に、甲第２号証に記載されたランプの各々に対応して、各１個の給電装置を設け、各給電装置が独立に出力電力調整可能であることによって、ランプの消費電力バランスを任意に調整可能とする構成を採用する際、甲第２号証に【従来の技術】として記載された構成を採用すれば、各給電装置の出力振動波の発振周波数は異なり、位相も互いに非同期なものになると考えられる。
　ここで、甲第２号証には、ビートの発生を防止したランプ点灯回路を提供することを目的として、第１及び第２のインバータ回路４ａ，４ｂの動作周波数ｆ１，ｆ２を一致させる点が記載されているが、複数の給電装置を有する装置において、発振周波数を一致させるための特別な調整手段を設けないものは、甲第２号証に【従来の技術】として記載されている他、例えば特開平６−２６７６７４号公報（特に図２に関する記載参照）、特開平５−８２２７５号公報（特に図２５に関する記載参照）、実願平２−２７２１５号（実開平３−１１８５９４号）のマイクロフィルム、特開平６−９８８７９号公報等にも示されているように、本件特許の出願前より当業者に広く知られた技術である。このことを勘案すると、引用発明に甲第２号証に記載された構成を採用する際、各給電装置の出力振動波の発振周波数を一致させるための特別な調整手段を設けないこと、つまり、甲第２号証に【従来の技術】として記載された構成を採用することに、格別の困難性はないというべきである。
　したがって、引用発明に、甲第２号証に【従来の技術】として記載された構成を採用し、本件発明１の相違点２に係る構成とすることは当業者が容易に想到し得たものである。
　
　なお、被請求人は、平成１９年９月５日付けの答弁書において、「『発振周波数を異ならせて設定する』ことは、発振周波数が異なるように設定することを意味しており、仮に、発振周波数を何ら調整することなく、発振器を組み立て結果的に発振周波数が異なる値になり、本件特許の請求の範囲に含まれるようになった場合も含むことは明らかである。」（第８頁第１行〜第４行）と主張しており、この主張によれば、本件発明１の「各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）が、その出力振動波の発振周波数を異ならせて設定し、位相において互いに非同期であり」という構成は、装置の製造時等に、どのような設定が行われたか、又は何等、設定が行われなかったかにかかわらず、結果的に、各給電装置の出力振動波の発振周波数が異なり、位相が互いに非同期であるものを含むと解され、やはり、引用発明に、甲第２号証に【従来の技術】として記載された構成を採用し、本件発明１の相違点２に係る構成とすることは当業者が容易に想到し得たものであるといえる。
　
　そして、本件発明１の作用効果についても、引用発明、甲第２号証に記載された事項及び周知の技術から当業者が予測できる範囲のものである。
　
　したがって、本件発明１は、周知の技術を参酌することにより、引用発明及び甲第２号証に記載された事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（２）本件発明３について
　本件発明３は、本件発明１において「前記各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）の出力振動波の周波数が、互いに平均周波数値の２％以上異なるようにしたこと」を限定したものである。
　ここで、本件発明３も「誘電体バリア放電装置」という「物」の発明であることを勘案すると、前記「７．（１）（ｂ）」の［相違点２］についての検討と同様に、装置の製造時等に、どのような設定が行われたか、又は何等、設定が行われなかったかにかかわらず、各給電装置の出力振動波自体に着目し、周波数が、互いに平均周波数値の２％以上異なるという構成の採用が容易であるか、否かにより本件発明３の進歩性を検討するべきである。
　一般的に各部品に、製造誤差、バラツキが存在することは知られており、こららの部品を複数、組み立てて装置を製造する際、製造誤差、バラツキをどの程度、許容するかは、費用対効果等を考慮の上、当業者が適宜、選択し得るものである。
　そして、引用発明に、甲第２号証に【従来の技術】として記載された構成を採用する際、給電装置を構成する部品の製造誤差、バラツキを通常、許容される程度のものとすれば、各給電装置の出力振動波の周波数において、互いに平均周波数値の２％程度のバラツキは生じるものと考えられる。
　
　したがって、本件発明３は、周知の技術を参酌することにより、引用発明及び甲第２号証に記載された事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）被請求人の主張について
　（ａ）誘電体バリア放電ランプに対する各１個の給電装置の採用について
　被請求人は、一般の放電ランプにおいて、ランプの個々に対応して各１個の給電装置を設けるという構成が周知の基礎技術として存在するからといって、誘電体バリア放電ランプにおいて、当該技術を採用することが容易であるとは必ずしもいえないと主張している。
　しかしながら、誘電体バリア放電ランプが、その特性上、回路構成上の特別な工夫を図ることがなく、簡単に１つの給電装置で複数のランプを点灯させることが可能であったとしても、このことをもって、誘電体バリア放電ランプの各々に対応して、各１個の給電装置を設けることを妨げるものではない。
　複数のランプに給電するにあたり、複数のランプを１つの給電装置に接続するか、複数のランプの各々対応して、各１個の給電装置を設けるかは、それぞれの利点や、欠点を考慮の上、選択可能な事項であると考えられ、前記「７．（１）（ｂ）」の［相違点１］についての検討で示した周知の技術によれば、複数のランプの各々に対応して、各１個の給電装置を設けた場合、少なくとも各ランプの光出力を独立に調整でき、照射面での光出力分布を均一なものにすることができるという利点を有するのであるから、引用発明の誘電体バリア放電ランプに給電するにあたり、前記利点を考慮の上、甲第２号証に記載されたランプの各々に対応して、各１個の給電装置を設けるという構成を採用することに、格別の困難性はないというべきである。  
　したがって、前記被請求人の主張は採用できない。
　
　（ｂ）出力振動波の周波数の設定について
　被請求人は、甲第１号証、甲第２号証には、「各給電装置（Ｓ，Ｓ1，Ｓ2，‥‥）が、その出力振動波の発振周波数を異ならせて設定し、位相において互いに非同期とした」点について何ら記載されていないばかりか、甲第３号証〜甲第１１号証を参照しても、この点について何ら記載されていないと主張し、これに対し、本件特許においては、出力振動波の発振周波数の設定により、電磁ノイズの放射電力スペクトル分布を所望のものとすることができると主張している。
　しかしながら、前記「７．（１）（ｂ）」の［相違点２］についての検討でも示したように、本件発明１及び本件発明３が、設定方法に関する発明ではなく、「誘電体バリア放電装置」という「物」の発明であることを勘案すると、装置の製造時等に、どのような設定が行われたか、又は何等、設定が行われなかったかにかかわらず、「誘電体バリア放電装置」という「物」において、各給電装置の出力振動波がどのようなものであるか、つまり、結果として、発振周波数が異なるものであり、位相が互いに非同期であるかについて、進歩性を判断せざるを得ないといえる。
　そして、引用発明に、甲第２号証に【従来の技術】として記載された構成を採用した場合、各給電装置の出力振動波の発振周波数は異なるものとなり、位相も互いに非同期となることは、前記「７．（１）（ｂ）」の［相違点２］についての検討で示したとおりである。
　したがって、前記被請求人の主張は採用できない。
　
　（ｃ）甲第１号証の均一照射手段について
　被請求人は、甲第１号証に記載のものは段落【００１２】の記載等から見てランプ配置などにより光照射エネルギー密度の均一化を図っているものと解され本件特許のように「各給電装置が、独立に出力電力調整可能であることによって、各誘電体バリア放電ランプの消費電力バランスを任意に調整可能とする」ものではないと主張している。
　ここで、甲第１号証に記載されたものが、被処理物を均一に洗浄する、つまり被処理物を均一に照射するという課題を、ランプ配置の工夫等、本件発明１や、本件発明３とは異なる手段で解決しようとするものであるとしても、この課題の解決をさらに図り、より均一な照射を行うため、他の課題解決手段を付加することを妨げるものではない。
　すなわち、前記課題を有する引用発明において、他の課題解決手段が存在することをもって、甲第２号証に【従来の技術】として記載された構成の採用を阻害するとはいえない。
　したがって、前記被請求人の主張は採用できない。
　
　（ｄ）訂正の趣旨について
　被請求人は、平成１９年６月２１日付け訂正請求書において、訂正前の請求項１の記載が「[1]複数電源の発振周波数は同じで、各発振周波数の位相が異なる実施形態」および「[2]複数電源の発振周波数を同じ値になるように設定したが、発振器の個体差により結果的に各発振器の発振周波数が異なった値になる実施形態」を含むと解釈される可能性のある記載となっていたため、各給電装置の出力振動波の発振周波数を異ならせて設定することを限定することにより、上記[1],[2]の実施形態を本件特許の権利範囲から積極的に除外し、上記[1],[2]の実施形態が本件特許に含まれないことを明確にしたものである旨を主張している。
　一方、被請求人は、平成１９年９月５日付けの答弁書において、「発振周波数を異ならせて設定する」ことには、発振周波数を何ら調整することなく、発振器を組み立て結果的に発振周波数が異なる値になったものも含む旨の主張をしている。
　これらの記載によると、「発振周波数を異ならせて設定する」という構成が、発振器を組み立て結果的に発振周波数が異なる値になったものも含むのか、否かが必ずしも明確ではないが、前記「７．（３）（ｂ）」でも示したように、本件発明１及び本件発明３が「誘電体バリア放電装置」という「物」の発明であることを勘案すると、結果として、発振周波数が異なるものであるかについて、進歩性を判断せざるを得ないといえる。
　したがって、「発振周波数を異ならせて設定する」が、発振器を組み立て結果的に発振周波数が異なる値になったものを含むものであっても、含まないものであっても、進歩性の判断を左右するものではない。
　
８．むすび 
　したがって、本件発明１及び本件発明３は、周知の技術を参酌することにより、引用発明及び甲第２号証に記載された事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明１及び本件発明３についての特許は、他の無効理由及び証拠を検討するまでもなく、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである。
　
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により被請求人がそれを負担すべきものとする。
　
　よって、結論のとおり審決する。