【事件の表示】
　特願２００１−２６５３８１「レーザマイクロ割断装置およびその方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年　３月１２日出願公開、特開２００３−　７１８２８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本件出願は、平成１３年９月３日の特許出願であって、同１７年１１月２２日付けで拒絶の理由が通知され、同１８年１月２７日に手続補正がなされたが、同年２月２７日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同年４月２１日に本件審判の請求がなされ、同年５月１８日に明細書を対象とする手続補正（以下「本件補正」という。）がなされ、同１９年６月４日に期間を指定して審尋したが、請求人からの応答がなかったものである。
　本審決において、意匠法等の一部を改正する法律（平成１８年法律第５５号）附則第３条第１項に規定される各条については、同項の規定により、なお従前の例による。
　
第２．本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
［理由］
１．補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲について補正をするものであって、補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
（１）補正前
「【請求項１】
レ
れていること
【請求項２】
前記レーザ光はＹＡＧレーザであること
【請求項３】
前記レーザ光と同軸に照明光を入れ、焦点部の観察を可能としたこと
【請求項４】
レ
　
（２）補正後
「【請求項１】
ＹＡＧ
、さらに前記レーザ光と同軸に照明光を入れ、焦点部の観察を可能としたこと
【請求項２】
請求項１に記載のレーザマイクロ割断装置を使用したレーザマイクロ割断方法であって、
　
２．補正の適否　　　
　本件補正の特許請求の範囲についての補正は、請求項１について、補正前の請求項２、請求項３で特定した事項を請求項１に含ませるとともに、請求項２を請求項１に従属させるものであり、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）が、特許法第１７条の２第５項において準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するか否か（いわゆる独立特許要件）について検討する。
　
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、上記１．（２）の請求項１のとおりのものと認める。
　
（２）刊行物に記載された発明
　これに対し、原査定で引用され本件出願前に頒布された刊行物である国際公開第９９／１９１０８号パンフレット（以下「刊行物１」という。パテントファミリーとして特表２００１−５１９２４４号公報）には、以下の事項が記載されている。原文はドイツ語であり、当審で仮訳した。
　
ア．第３ページ第２３〜３１行
「レーザ光線によってワークを精密加工及びマイクロ加工するための本発明の方法によれば、レーザ光線がワークに当たる前にレーザ光線を３つのモジュールを通ってガイドし、第１のモジュール内でレーザ光線をこのレーザ光線の軸線を中心にして回転させ、第２のモジュールによってレーザ光線がワークに当たる照射スポットを変え、第３のモジュールによってワークの表面に対するレーザ光線の照射角度を変えることによって、解決された。」
　
イ．第７ページ第５〜３１行
「以下に実施形態の例と図面を参照して、レーザ光線を用いた加工物の精密加工および微細加工のための本発明の方法および本発明の装置を説明する。
　装置の実施形態の第１の例が図１に示されている。この装置はほぼ３０度までの大きな傾斜角（Inklinationswinkel）を生じることを可能にする。図１では、レーザ光線をその光線軸を中心に回転させるために、レーザ光線１は先ず第１のモジュール２に導かれる。モジュール２はレーザ光線をその光線軸を中心に回転させるための装置２１を備え、ここでは、調節可能な回転速度で回転可能なドーブプリズムで実施されている。この回転によってレーザ光線はその横断面形状および／または強度(時間中間値)に関して均質化されるが、詳細にはこれによってレーザ光線の加工物上への照射スポットまたは照射角度が影響を受けることは無く、このため形状作成加工の質が劣化することは無い。
　その均質化の後にレーザ光線１は加工物６上の照射スポットの変更のためにモジュール３内に導かれる。ここではモジュール３は、ひとつのミラー３１と、２つの直角の回転軸を中心にミラーを回転するための装置の形状で実現され、この際ミラーを回転するための装置は圧電アクチュエーターを用いて駆動される。このモジュール３によってレーザ光線１は、高精度かつ反復可能な加工物形状の作成、特に回転対称では無い形状の作成、または加工物の表面上に３次元の構造を研削することが可能になるように、加工物上に導かれることができる。回転軸の直角な配置はレーザ光線を厳密に操作調整することを容易にする。圧電アクチュエーターは最適な精度で高度にダイナミックな運動を得ることを可能にする。」
　
ウ．第８ページ第１７〜２２行
「続いてレーザ光線１は、ここでは平面フィールドレンズ５１の形で実施されているところの投影レンズ５へと導かれ、これによって必要とされる加工焦点が作成される。
　その後レーザ光線１は傾斜角αで加工物６の表面６１に照射される。」
　
エ．第１０ページ第４〜１２行
「こうして、例えば第３のモジュールを完全に省略し、これに代わって投影レンズ５の適した性質を利用することが考えられ、例えば適した像歪曲を持つレンズまたはレンズシステムの形状である。こうして、このような所望されるレンズの像歪曲、およびモジュール２から投影レンズ５までの距離の変化を取り入れることで、テーパを設定することができる。これについては図４に示された実施例を参照のこと。より良く設定する可能性は、さらなる並進的な運動(例、クロステーブル)および／または投影レンズ５の偏心的な旋回運動によって生じる。これについては図４に示された実施例を参照のこと。」
　
　ここで、第２のモジュール３のミラー３１については、ＦＩＧ．４も参照すると、圧電アクチュエーターを用いて往復駆動され、レーザ光線がワークに当たる照射スポットを変えていることから、請求人も、審判請求理由（４）４−１に記しているとおり、「ガルバノミラー」であると認められる。
　また、加工物にレーザ光線が照射されることにより、加工物に熱歪みが生じることは明らかである。
　
　これらの記載事項を、技術常識を考慮しながら補正発明に照らして整理すると、刊行物１には以下の発明（以下、「刊行物１発明」という。）が記載されていると認める。
「レーザ光線１と、このレーザ光線を集光し加工物６上に照射する投影レンズ５と、加工物上でレーザ光線を走査して加工物に熱歪みを形成するガルバノミラーと、移動可能なクロステーブルとによって構成されるレーザ精密加工装置。」
　
　また、同じく本件出願前に頒布された刊行物である特開平１０−３２８８６６号公報（以下「刊行物２」という。）には、以下の事項が記載されている。
　
ア．段落０００１
「【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を被加工物に集光させて微細加工を行うレーザ加工装置に関する。・・・」
　
イ．段落０００３
「・・・。このヒューズにＹＡＧレーザ等の加工レーザ光源からのレーザ光を集光させて照射し、ヒューズを構成する物質を光エネルギによって昇温蒸発させて除去することによりヒューズを切断する。・・・」
　
ウ．段落００１０〜００１１
「レーザパワー制御光学系１３を出たレーザ光は、光学鏡筒１４内の中心部に配置されているハーフミラー１５に当って図の下方に反射される。なお、ハーフミラー１５は、加工レーザ照明光学系の光軸と観察光学系の光軸とが交わる位置に配置されている。ハーフミラー１５で下方に反射された加工レーザ光は、ハーフミラー１７を通過し、光学鏡筒１４の下部の光軸上に配置されている対物レンズ１９に入射する。レーザ光は、対物レンズ１９を通過し、対物レンズ１９の下方に置かれているウエハ（被加工物）２１の表面に集光する。
ウエハ２１は、ウエハホルダ（吸着式チャック）２３を介してウエハステージ２５上に保持されている。ウエハステージ２５は、光軸方向（Ｚ方向）及び光軸直角方向（Ｘ、Ｙ、θ方向等）において走査される。・・・」
　
エ．段落００１３
「光学鏡筒１４の基部側面には水銀ランプ等の明視野観察光源３１が備えられている。同光源３１から図の左方向に出射された観察光Ｌ２は、光学鏡筒１４の中央に斜めに配置されているハーフミラー１７に当って図の下方に反射される。ハーフミラー１７で反射された観察光は、対物レンズ１９を通ってウエハ２１表面に当る。ウエハ２１表面で上方に反射した観察光は、対物レンズ１９を通過してほぼ平行光となってハーフミラー１７を通過（図１のハーフミラー１５も通過）する。この反射光は、接眼レンズ３５で集光されて、光学鏡筒１４の頂部に配置されているＣＣＤカメラ３７の光電変換面に結像する。・・・」
　
　これらの記載事項から、技術常識を踏まえて整理すると、刊行物２には以下の事項（以下「刊行物２事項」という。）が記載されていると認める。
「ＹＡＧレーザ光をウエハに集光させて微細加工を行うレーザ加工装置であり、ウエハを保持するウエハステージは光軸直角方向（Ｘ、Ｙ）に移動するものとされ、ＹＡＧレーザ光と同軸に観察光を入れ、焦点部の観察が可能とされたもの。」
　
（３）対比
　補正発明と刊行物１発明とを対比する。
　刊行物１発明の「レーザ光線１」、「加工物６」、「投影レンズ５」は、それぞれ補正発明の「レーザ光」、「試料」、「対物レンズ」に相当する。
　刊行物１発明の「レーザ精密加工装置」は、レーザ光を被加工物に集光させ加工物６を割断するものであるから、「レーザマイクロ割断装置」に相当する。
　また、刊行物１発明の「移動可能なクロステーブル」と、補正発明の「少なくともＸ、Ｙ、Ｚ方向のいずれか一方向に移動可能な試料載置用のステージ」とは、「直交２方向移動可能なテーブル部材」である限りにおいて、一致する。
　　
　したがって、補正発明と刊行物１発明とは、次の点で一致している。
「レーザ光と、このレーザ光を集光し試料上に照射する対物レンズと、試料上でレーザ光を走査して試料に熱歪みを形成するガルバノミラーと、直交２方向移動可能なテーブル部材とによって構成されるレーザマイクロ割断装置。」
  　
　そして、補正発明と刊行物１発明とは、以下の点で相違している。
　相違点１：レーザ光が、補正発明は「ＹＡＧレーザ光」と特定されているが、刊行物１発明は特定されていない点。
　相違点２：直交２方向移動可能なテーブル部材について、補正発明は「少なくともＸ、Ｙ、Ｚ方向のいずれか一方向に移動可能な試料載置用のステージ」であるが、刊行物１発明は「移動可能なクロステーブル」である点。
　相違点３：補正発明は、「レーザ光と同軸に照明光を入れ、焦点部の観察を可能とした」ものであるが、刊行物１発明は、そのようなものでない点。
　
（４）相違点の検討
　相違点１について検討する。
　レーザ加工装置において、「ＹＡＧレーザ光」を利用することは、刊行物２事項にみられるごとく周知である。
　
　相違点２について検討する。
　刊行物１発明は、移動対象が試料であるか否かは不明であるが、クロステーブルであるから、補正発明に照らすと、ＸＹ方向に移動可能なものである。移動対象については、相対的位置関係の問題であり、いずれを移動させるかは選択的事項である。しかも、刊行物２事項は、試料側を移動対象とするものである。
　よって、この点は、設計的事項にすぎない。
　
　相違点３について検討する。
　刊行物２事項は、「ＹＡＧレーザ光と同軸に観察光を入れ、焦点部の観察が可能とされたもの」でもある。
　刊行物１発明においても、焦点部の観察が可能であることが望ましいことは、明らかであるから、刊行物１発明に焦点部の観察に関する刊行物２事項を適用することは、必要に応じてなしうる設計的事項にすぎない。
　
　以上のことから、補正発明は、刊行物１発明、刊行物２事項、周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
　
３．むすび
　したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３．本件発明について
１．本件発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項に係る発明は、平成１８年１月２７日付けで補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、上記第２．１．（１）に示す請求項１に記載されたとおりである。
　
２．刊行物等
　これに対して、原査定の際にあげられた刊行物及びその記載内容は、上記第２．２．（２）に示したとおりである。
　
３．対比・検討
　本件発明は、上記第２．２．で検討した補正発明において、前記特定事項を削除するものである。
　そうすると、本件発明に特定事項を付加した補正発明が、上記第２．２．（４）で示したとおり、刊行物１発明、刊行物２事項、周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明も同様の理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　したがって、本件発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないことから、本件出願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。