【事件の表示】
　上記当事者間の特許第２８８６６７５号発明「フィルム露光装置およびフィルム露光方法」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８８６６７５号の請求項１ないし４に記載された発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　　出願（特願平２−３３０２７０号）　平成　２年１１月３０日
　（特許法第４１条に基づく優先日、平成２年３月３０日）
　　設定登録　　　　　　　　　　　　　平成１１年　２月１２日
　　（特許第２８８６６７５号）
　　審判請求　請求人：田村　典子　　　平成１９年　９月２７日
　　（無効２００７−８００２０７号）
　　答弁書　　　　　　　　　　　　　　平成１９年１２月１３日
　　訂正請求書　　　　　　　　　　　　平成１９年１２月１３日
　　弁駁書　　　　　　　　　　　　　　平成２０年　１月２４日
　　口頭審理　　　　　　　　　　　　　平成２０年　５月２７日
　　請求人口頭審理陳述要領書　　　　　平成２０年　５月２７日
　　被請求人口頭審理陳述要領書　　　　平成２０年　５月２７日
　　請求人上申書（甲第１０号証抄訳）　平成２０年　６月１３日
　　被請求人上申書　　　　　　　　　　平成２０年　６月１６日
　　請求人上申書　　　　　　　　　　　平成２０年　６月２３日
　
第２　請求人の主張
　請求人は、甲第１号証〜甲第１５号証を提示して、以下のように主張する。
１．特許法第２９条の２（特許法第１２３条第１項第２号）
　本件発明１ないし本件発明４は、甲第１号証の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明と同一であり、しかも、発明者及び出願人を異にするものである。
　
２．特許法第２９条第２項（特許法第１２３条第１項第２号）
　本件発明１ないし本件発明４は、甲第２号証及び甲第３号証に記載された発明に基づいて、本件の出願前に当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第３　被請求人の主張
１．本件発明１ないし本件発明４は、甲第１号証の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明と同一ではない。
　
２．本件発明１ないし本件発明４は、甲第２号証及び甲第３号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
第４　訂正の適否
１．訂正の内容
　平成１９年１２月１３日付の訂正請求書による訂正請求は、本件特許発明の明細書を訂正請求書に添付した訂正明細書のとおりに訂正することを求めるものであって、その内容は以下のとおりである。
（１）【請求項１】について、訂正前の
ア．「照射部」を、
「レジストが感度を有する露光波長の光と、レジストが感度を有しないアライメント波長の光を切り換えるフィルタを内蔵し、位置合わせ時はフォトマスクにアライメント波長の光を照射し、露光時には露光波長の光を照射する照射部」と訂正する。
　
イ．「位置調節機構」を
「Ｘ，Ｙ，θ方向の位置調節機構」と訂正する。
　
ウ．「露光時にはフィルムを真空吸着する機構を有するステージ」を追加訂正する。
　
（２）特許明細書の「３．発明の詳細な説明」中の〔課題を解決するための手段〕の記載の、上記【請求項１】についてした訂正に、対応した部分を訂正する。
　
２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記（１）ア．、イ．の訂正は、請求項１の「照射部」、「位置調節機構」の構成をそれぞれ限定するもので、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。また、ウ．の訂正は、請求項１の「フィルム露光装置」の構成を限定するもので、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
　
　上記（２）の訂正は、特許請求の範囲の訂正に係る上記（１）の訂正に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の欄の記載との整合をとるものであり、明りょうでない記載の釈明に該当する。
　
　そして、上記（１）、（２）の訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
３．請求項５ないし請求項７に係る発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものかどうかについて
　請求項５ないし請求項７に係る特許に対しては、特許無効審判の請求がされていないが、これらの請求項は、間接的に、訂正がされた請求項１を引用するもので、請求項１と同様の訂正がされていると見なせるので、独立特許要件について検討する。
　
　訂正明細書の請求項５ないし請求項７に係る発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項５ないし請求項７に記載された事項により特定されたとおりのものであって、請求人が提出した甲第１〜１５号証に記載された発明と同一であるとも、また、これらの記載された発明から又はこれらの記載された発明の組み合わせから容易に発明をすることができたと認めることはできない。
　また、他に特許を受けることができない理由も見当たらない。
　したがって、訂正明細書の請求項５ないし請求項７に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
　
４．むすび
　したがって、平成１９年１２月１３日付の訂正は、特許法第１３４条の２第１項但し書の規定、及び同条第５項の規定により準用する特許法前第１２６条第３，４項の規定、さらに、同法第１３４条の２第５項において読み替えて準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するので当該訂正を認める。
　
第５　本件特許の請求項１ないし請求項４に係る発明 
 　本件特許の請求項１ないし請求項７に係る発明は、上記訂正請求書により訂正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項７に記載されたとおりのものであるところ、無効審判請求の対象となっている請求項１ないし請求項４に係る発明は、次のとおりのもの（以下、これを「本件発明１」ないし「本件発明４」という。）である。 
「（１）帯状のフィルムの長さ方向に沿って並ぶ複数のコマに順次に回路パターンを露光していくフィルム露光装置であって、
　レジストが感度を有する露光波長の光と、レジストが感度を有しないアライメント波長の光を切り換えるフィルタを内蔵し、位置合わせ時はフォトマスクにアライメント波長の光を照射し、露光時には露光波長の光を照射する照射部と、
　照射部からの光が照射される位置に配置されたフォトマスクと、
　フォトマスクのＸ，Ｙ，θ方向の位置調節機構と、
　照射されたフォトマスクの像を投影する投影レンズと、
　投影レンズによる像の投影位置に、フィルムを一コマずつステップ送りするフィルム送り機構と、
　露光時にはフィルムを真空吸着する機構を有するステージとを具備し、
　帯状のフィルムには、一コマの各々に対応して少なくとも二つ以上のフィルム側アライメント用マークが形成され、
　フォトマスクには、フィルムに投影して転写すべき回路パターンとともに、前記フィルム側アライメント用マークのそれぞれに対応してフォトマスク側アライメント用マークが形成されていることを特徴とするフィルム露光装置。
（２）請求項１に記載のフィルム露光装置を使用したフィルム露光方法であって、
　フィルム送り機構によりフィルムの一コマがステップ送りされてきた時に、その一コマに係るフィルム側アライメント用マークがフォトマスク側アライメント用マークの像の投影位置に達したか否かを検出部により検出し、
　この検出部からの信号によって一コマを停止させ、
　その後、露光を行うことを特徴とするフィルム露光方法。
（３）請求項１に記載のフィルム露光装置を使用したフィルム露光方法であって、
　フィルム送り機構によりフィルムの一コマをステップ送りし、
　このステップ送り後に停止した一コマに係るフィルム側アライメント用マークの位置に、フォトマスク側アライメント用マークの像が投影されるように、フォトマスク位置調節機構を駆動してフォトマスクの位置制御を行い、
　その後、露光を行うことを特徴とするフィルム露光方法。
（４）請求項１に記載のフィルム露光装置において、
　フィルム側アライメント用マークは、フィルムに形成された穴または透光部により構成されていることを特徴とするフィルム露光装置。」
　
第６　当審の判断
１．甲号各証に記載された事項
（１）甲第１号証；特願平２−１２４８６号（特開平３−２１８０９１号）（平成２年１月２４日出願）の願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、先願明細書という。）。
１−ア．【特許請求の範囲】
（２）表面にレジストが塗布され、間欠的に搬送されるフレキシブルテープ上にマスクに設けたパターンを投影して露光させるフレキシブルテープの製造設備において、
　露光用のパターンと、前記フレキシブルテープ上の少なくとも１か所に設定したターゲットに対応した位置に設けられた検出用パターンとが形成され、前記フレキシブルテープ上にＸ，Ｙ方向に移動及び水平方向に回転可能に配設されたマスクと、
　該マスクと前記フレキシブルテープとの間に配設されたレンズと、
　前記フレキシブルテープの上方に配設され、前記マスクの検出用パターンの映像及びフレキシブルテープのターゲットの反射光を受光する光学素子と、
　該光学素子からの反射光を検出する検出器とを備えたことを特徴とするマスクの自動位置決め装置。（公報第１頁左下欄１８行〜右下欄１６行）
　
１−イ．［産業上の利用分野］
　本発明は、半導体素子を実装するフレキシブルテープの製造設備において、フレキシブルテープ上に導電パターンを投影して露光するマスクの自動位置決め方法及び装置に関するものである。（公報第１頁右下欄１９行〜第２頁左上欄２行）
　
１−ウ．第３図はフレキシブルテープの一例を説明するための平面図である。図において、（ｌ）は長さ方向に等間隔に、実装する半導体素子（５）　，（５ａ）・・・（５ｎ），・・・の表面積より大きい面積のデバイスホール（２），（２ａ）・・・（２ｎ），・・・が設けられた、厚さ７５〜１００μｍ程度の例えばポリイミドフィルムからなるフレキシブルテープである。・・・
６（審決注；６は丸付き数字）フレキシブルテープ（１）を間欠的に搬送し、デバイスホール（２）〜（２ｎ）の周りに導電パターン（３）を露光する。（公報第２頁右上欄１行〜左下欄１２行）
　
１−エ．［実施例］
　第１図は本発明を説明するための位置決め装置の模式図、第２図はその作用説明図である。なお、第３図、第４図の従来技術と同じ部分には同じ符号を付し、説明を省略する。両図において、（６）はＸ，Ｙ方向に移動及び水平方向に回転可能に配設されたマスクで、導電パターン（３）を露光するためのパターン（６ｌ）が形成されていることは従来通りであるが、本発明においては、例えばフレキシブルテープ（１）のスプロケット穴（例えば（４ｘ）で、以下基準スプロケット穴という）に対応した位置に、スプロケット穴（４ｘ）と同じ大きさの検出用パターン（６２）を設けたものである。
　（８）はフレキシブルテープ（１）とレンズ（７）との間において、フレキシブルテープ（１）の基準スプロケット穴（４ｘ）の上方に配置したプリズム、（９）はプリズム（８）の上方に配置されたカメラの如き検出器である。
　次に本発明の作用を説明する。なお、本実施例においては、フレキシブルテープ（１）は矢印方向に間欠的に搬送されるものとする。いま、フレキシブルテープ（１）が露光のためレンズ（７）の下に停止すると、光源（図示せず）からレジストが反応しない波長の光をマスク（６）に照射する。これにより、マスク（６）に設けた露光用のパターン（６１）及び検出用パターン（６２）がレンズ（７）を介してフレキシブルテープ（１）上に投影される。このとき、フレキシブルテープ（１）から反射した検出用パターン（６２）の映像及び基準スプロケット穴（４ｘ）からの反射光は、プリズム（８）を経て検出器（９）に加えられるので、検出器（９）により基準スプロケット穴（４ｘ）とマスク（６）の検出用パターン（６２）とが一致しているかどうかを検出する。両者が一致しているときは、光源からレジストが反応する波長の光を照射して、フレキシブルテープ（１）上に導電パターン（３）を露光する。
　若し、基準パターン（４ｘ）と検出用パターン（６２）とが一致していない場合は、例えば画像処理装置によりマスク（６）をＸ，Ｙ方向に移動し、あるいは回転して両者が一致するように補正し、一致したときは上記と同様にフレキシブルテープ（１）上に導電パターンを露光する。そして、これらの動作はすべて制御器（図示せず）により自動的に行なわれる。（公報第３頁左下欄５行〜第４頁左上欄９行）
　
１−オ．上記基準スプロケット穴（４ｘ）と対角線上にあるスプロケット穴（第２図の（４ｙ））に対応して第２の検出用パターンを設け、両検出用パターンを利用して補正を行なってもよい。（公報第４頁左上欄下から３行〜右上欄２行）
　
　上記記載事項、及び各図面から先願明細書には、
「長さ方向に等間隔に、デバイスホール（２）〜（２ｎ）が設けられたフレキシブルテープ（１）を間欠的に搬送し、デバイスホール（２）〜（２ｎ）の周りに導電パターン（３）を露光するフレキシブルテープの製造設備であって、
　レジストが反応する波長の光と、検出器（９）により基準スプロケット穴（４ｘ）、（４ｙ）とマスク（６）の検出用パターン（６２）とが一致しているかどうかを検出する、レジストが反応しない波長の光を照射する光源と、
　光源から照射される位置に配置されたマスク（６）と、
　基準パターン（４ｘ）と検出用パターン（６２）とが一致していない場合は、マスク（６）をＸ，Ｙ方向に移動し、あるいは回転して両者が一致するように補正し、
　該マスク（６）と前記フレキシブルテープ（１）との間に配設され、マスク（６）に設けた露光用のパターン（６１）及び検出用パターン（６２）をフレキシブルテープ（１）上に投影するレンズ（７）とを具備し、
　フレキシブルテープ（１）には、導電パターン（３）を露光すべき位置ごとに基準スプロケット穴（４ｘ）、（４ｙ）が形成され、
　マスク（６）には、露光用のパターン（６１）及びフレキシブルテープ（１）の基準スプロケット穴（４ｘ）、（４ｙ）に対応して検出用パターン（６２）が設けられているフレキシブルテープの製造設備。」の発明（以下、「先願発明」という。）が記載されている。
　
（２）甲第２号証；特開平１−１９１１５１号公報（平成１年８月１日公開）
２−ア．［従来の技術］
　一般にプリント基板と呼ばれているものには、コンピュータ、テレビ、ステレオ等で用いられるプリンティッドワイヤードボート（以下、ＰＷＢという）や、カメラ、電卓、ＶＴＲ等で用いられるフレキシブルプリンティッドサーキィット（以下、ＦＰＣという）等が知られている。ＰＷＢは基板素材としてエポキシ樹脂、フェノール樹脂、セラミック等を使用し厚さが０．８から３．２ｍｍ程度、ＦＰＣは基板素材としてポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム等を使用し厚さが２５から１２５μｍ程度である。
　これらプリント基板の製作には、基板に液状レジスト、ドライフィルムレジスト等の薄いフォトレジスト層を設け、プリントすべきパターンが描かれたフォトマスクを通して該フォトレジストの感光波長で露光する工程を経て、所望のパターンを該フォトレジスト層に設ける。（公報第１頁右下欄２行〜下から２行）
　
２−イ．第１図の露光装置において、まず露光処理を開始する前に使用する原画２を原画設定機構２ａによって設定する。
　次に、超高圧水銀灯１１からの光を照明系ｌ、原画２、投影レンズ３を介して露光面に配置されたワーク５に照射する。ワーク５に照射された光は散乱し、この散乱した光の一部は半透過性薄膜４に反射し顕微鏡６に入射し、この顕微鏡６によって露光像を直接モニタすることができる。モニタの結果、露光像のピントずれ、位置ずれがあれば照明系、ワークの位置、または原画の位置の調整を行う。モニタの結果、ピントずれ、位置ずれがなければ半透過性薄膜４を光路中から除去して露光を開始する。
　尚、露光に支障のない位置であれば、半透過性薄膜４をそのままの位置で露光を開始しても良く、この場合は、原画２及びワーク５にアライメントマークを設ける等して、常時モニタすると好適である。（公報第３頁右上欄１０行〜左下欄８行）
　
（３）甲第３号証；特開平１−２９８３６２号公報（平成１年１２月１日公開）
３−ア．〔産業上の利用分野〕
　この発明は、露光装置特に感光性レジストを塗布した長尺のフィルムに配線パターンを投影して露光する露光装置におけるフィルムの位置決め方法及びその装置に関する。（公報第２頁左上欄３〜８行）
　
３−イ．この露光装置は、左側に巻出リール３を支持する巻出軸３ａとセパレータ巻取リール４を支持するセパレータ巻取軸４ａを、右側に巻取リール５を支持する巻取軸５ａとセパレータ巻出リール６を支持するセパレータ巻出軸６ａをそれぞれ設け、ステッピングモータによりそれぞれ所定角度回動する巻出側及び巻取側のスプロケット７，８と共にフィルムの供給装置を構成している。
　中央の上部には、図示しないランプ、インテグレー夕、コンデンサレンズ等からなる露光用光源部９と投影レンズ１０とからなる露光装置を有している。
　光源部９と投影レンズ１０との間に挿入されるパターンマスク１１は、第２図に示すように中央部に配線パターン１１ｃを形成したガラス乾板からなり、フィルム１の基準パーフォレーションｌａ、ｌｂ（第３図参照）と共役の位置に２個の基準マークｌｌａ、ｌｌｂを形成し、それ自体図示しないマスク枠の所定の位置に固設され、露光装置の所定の位置に装着される。
　また、中央の下部には第５図にその詳細を示すように、ステッピングモータ１３により装置固定部に対して左右方向に移動し得るＸテーブル１４、ステッピングモータ１５によりＸテーブル１４に対して紙面に直交する方向に移動し得るＹテーブル１６、ステッピングモータ１７によりタイミングベルト１８を介してＹテーブル１６に対して所定角度回動し得るθテーブル１９をそれぞれ設けている。
　そして、θテーブル１９に第４図に示すようにアパーチャ２０ｃ及びアパーチャ面２０ｄを有するアパーチャ枠２０をアパーチャ２０ｃの中心をθテ一ブル１９の回転中心に合わせて固設し、Ｘテーブル１４，Ｙテーブル１６及びθテーブル１９によりアパーチャ面駆動装置を構成すると共に、第６図に示すように、アパーチャ２０ｃの長辺側の中部でフィルム１の基準パーフォレーションｌａ、１ｂに対応する位置、すなわちパターンマスク１１の基準マークｌｌａ、１１ｂの投影像の位置を中心としてそれより広い範囲に切欠部２０ａ、２０ｂを設けている。（公報第３頁右下欄３行〜第４頁右上欄３行）
　
３−ウ．この状態からスプロケットギヤ２４を所定角度回動させるとフィルム１が摩擦ローラ２３の抵抗により適当な張力を与えられ平面性を保持した状態で１駒分右方に送られた後、フィルム圧着装置２５によりアパーチャ面２０ｄに押圧されると共に、ループ１ｃの下端部が図に仮想線で示す上限位置に達し、ループ１ｄの下端部が下限位置に達する。（公報第４頁右下欄１２〜１９行）
　
３−エ．ここで、このようなフィルム供給及び給送装置を備えた露光装置のフィルム位置決め方法の原理を第１図を参照して説明する。
　アパーチャ枠２０にフィルムを給送しない状態で、ミラー３１ａ、３１ｂを投影光路外に退避させて投影しようとするパターンマスク１１を所定の位置に装着し、露光用光源部９からの紫外光源によりパターンマスク１１をアパーチャ面に投影すると、基準マークｌｌａ、ｌｌｂの像はアパーチャ切欠部２０ａ、２Ｏｂ内に投影されるので、それぞれ基準マークｌｌａ、１１ｂの像の重心の位置をアパーチャ面２０ｄに合焦させた撮影装置３３ａ、３３ｂにより検出して記憶させる。
　次いで、ミラー３１ａ、３１ｂを図示の位置に復帰させ、フィルム１をアパーチャ面２０ｄに給送して所定の位置で停止させると、フィルム１の基準パーフォレーションｌａ、ｌｂはアパーチャ枠切欠部２０ａ、２Ｏｂ内に位置する。
　この状態で、光源３２ａ、３２ｂを点灯し、ミラー３１ａ、３１ｂ（審決注；「３２ｂ」は、誤記である。）を介してフィルムに感光しない波長の光によりフィルムの基本パーフォレーション１ａ、１ｂを照明し、再び撮像装置３３ａ、３３ｂによってその重心の位置を検出して記憶させ、先に記憶させた基準マーク１１ａ、ｌｌｂの像の重心の位置とのずれ量を算出し、その算出結果に応じてθテーブル１９，Ｘテーブル１４，Ｙテーブル１６をそれぞれ所要量移動させて基準パーフォレーションｌａ、ｌｂの重心の位置を基準マーク１１ａ、１１ｂの像の重心の位置に一致させた後、露光用光源９により配線パターン１１ｃをフィルム１上に投影して露光する。（公報第５頁左上欄７行〜右上欄下から４行）
　
　上記記載事項３−ア．、３−ウ．、及び第３図から、長尺のフィルムには、配線パターンを投影して露光すべき複数の駒がフィルムの長さ方向に沿って複数並んでいる点が読み取れる。
　
　第４図から、パターンマスク１１は、露光用光源９からの光が照射される位置に配置されていることは明らかである。
　
　上記記載事項３−イ．３−ウ．、及び第３図から、フィルムの供給装置は、投影レンズ１０による像の投影位置に、長尺のフィルム１を一駒ずつステップ送りしていることは、明らかである。
　
　したがって、甲第３号証には、
「長尺のフィルム１の長さ方向に沿って並ぶ複数の駒に順次に配線パターン１１ｃを投影して露光する露光装置であって、
配線パターン１１ｃをフィルム１上に投影して露光する露光用光源９と、
露光用光源９からの光が照射される位置に配置されたパターンマスク１１と、
照射されたパターンマスク１１の配線パターン１１ｃの像を投影する投影レンズ１０と、
投影レンズ１０による像の投影位置に、長尺のフィルム１を一駒ずつステップ送りするフィルムの供給装置と、
長尺のフィルム１には、一駒の各々に対応して２つの基準パーフォレーションｌａ、ｌｂが形成され、
パターンマスク１１には、長尺のフィルム１に投影して露光する配線パターン１１ｃとともに、フィルム１の基準パーフォレーションｌａ、ｌｂと共役の位置に２個の基準マークｌｌａ、ｌｌｂが形成されている、
露光装置。」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。
　
　また、甲第３号証には、
「長尺のフィルム１の長さ方向に沿って並ぶ複数の駒に順次に配線パターン１１ｃを投影して露光する露光装置であって、
配線パターン１１ｃをフィルム１上に投影して露光する露光用光源９と、
露光用光源９からの光が照射される位置に配置されたパターンマスク１１と、
照射されたパターンマスク１１の配線パターン１１ｃの像を投影する投影レンズ１０と、
投影レンズ１０による像の投影位置に、長尺のフィルム１を一駒ずつステップ送りするフィルムの供給装置と、
長尺のフィルム１には、一駒の各々に対応して２つの基準パーフォレーションｌａ、ｌｂが形成され、
パターンマスク１１には、長尺のフィルム１に投影して露光する配線パターン１１ｃとともに、フィルム１の基準パーフォレーションｌａ、ｌｂと共役の位置に２個の基準マークｌｌａ、ｌｌｂが形成されている、
露光装置を使用したフィルム露光方法。」の発明（以下、「引用発明２」という。）が記載されていることも明らかである。
　
（４）甲第４号証；特開昭６０−２２３１２２号公報（昭和６０年１１月７日公開）
４−ア．ウエハ７にはマスク４のアライメントマークと組合うマークが設けられており、８はウエハ７を載置してアライメントのための移動とステップアンドリピート運動を行うステージである。９はアライメント用の光学系で、１０はヘリウム・ネオンレーザの様なアライメント用光源、１１はアライメントマークの位置ずれを検出する光電検出装置である。アライメント用光源１０及びアライメント用光学系９により、マスク４上にアライメントマークとウエハ７上のアライメントマークが投影光学系５及び光学部材６を通して同時に観察又は計測され、その結果に基づいて、マスク４又はステージ８の移動により両者の位置合わせが行われる。（公報第３頁左上欄９行〜右上欄２行）
　
（５）甲第５号証；特開昭５７−１６４５２８号公報（昭和５７年１０月９日公開）
５−ア．第２図において、４４はシャッターであり、このシャッター４４はサーボモーター４５によってコントロールを行いながら回転されるようになっている。また、シャッター４４は、第３図に示すように、シャッター板４４ａの円周方向に沿って、露光用穴または露光用フィルター４４ｂと、レジストの感光域以上の波長のみを通過するＥラインフィルターなどのアライメント用フィルター４４ｃとを、交互に等間隔で設けたものである。（公報第２頁左上欄１２行〜右上欄１行）
　
５−イ．シャッター板４４はサーボモーター４５で回転させ、同一の光源１１からの光を露光用穴または露光用フィルター４４ｂに通してウエハー１９に焼付けを行い、またアライメント用フィルター４４に通してウエハー１９上に像を作るものである。したがって、アライメント専用の光源を削除して、アライメント時の光源と露光時の光源とを一致させたことにより、光学系の簡素化、アライメント光量の増加、およびゾーンアライメント時やチップごとのアライメント時にアライメント時間の短縮をはかることができる利点がある。（公報第２頁右上欄１２行〜左下欄３行）
　
（６）甲第６号証；特開平１−２２７４３１号公報（平成１年９月１１日公開）
６−ア．すなわち、第７図において７１は被露光対象物（審決注；「非露光対象物」は、誤記。）であるウェハ、その直上に位置される７２は露光用の縮小投影レンズ、７３は原版としてのレチクル、７４は認識部としてのＴＶカメラ、７５は露光光源と照明光源とを兼ねた水銀ランプである。上記縮小投影レンズ７２とＴＶカメラ７４との光路上には反射鏡７６、中継レンズ７７およびビームスプリッタ７８がそれぞれ配置されており、当該ビームスプリッタ７８によって透過された光はＴＶカメラ７４に入射される構造となっている。一方、水銀ランプ７５とビームスプリッタ７８との間には水銀ランプ７５からの波長中、Ｅ線（５４６ｎｍ）のみを通過させるバンドパスフィルタ８０およびコンデンサレンズ８１がそれぞれ配置されている。
　以上のように、パターン検出のために照明光として、単色光であるＥ線が用いられており、露光時は露光光であるＧ線（４３６ｎｍ）が用いられる構造とされていた。（公報第２頁左上欄１４行〜右上欄１２行）
　
（７）甲第７号証；特開昭６２−２７９６２９号公報（昭和６２年１２月４日公開）
７−ア．〔産業上の利用分野〕
　本発明は、基板（ウェハ）の厚さムラを測定し、マスクと基板間に一定ギャップを明けて露光するプロキシミテイ方式の露光装置に関する。（公報第１頁右下欄８〜１１行）
　
７−イ．基板１は、基板チャック２に真空吸着により固定されている。（公報第２頁右下欄下から３行〜下から２行）
　
（８）甲第８号証；特開平１−２５０９６０号公報（平成１年１０月５日公開）
８−ア．［産業上の利用分野］
　本発明は例えば投影光学装置及びこの装置を用いて、例えばレチクルパターン等を鮮明に結像させる投影露光装置に関するものである。（公報第１頁左下欄下から２行〜右下欄２行）
　
８−イ．また、第３図は第２図におけるフィルム保持台５の詳細を示す断面図であり、５１はフィルム保持台５上のフィルム６を吸着する吸着面、８１は真空吸着口、８２は不図示の真空ポンプと真空吸着口８１を連通ずる連通孔で、真空ポンプ（不図示）、連通孔８２、真空吸着口８１で真空吸着機構を構成しており、（公報第２頁右下欄１０〜１６行）
　
（９）甲第９号証；特開平１−２９５２６１号公報（平成１年１１月２８日公開）
９−ア．〔産業上の利用分野〕
　この発明は、被露光部材を順次所定距離づつ移動させて露光する特に帯状の被露光部材に好適な露光装置で所定のパターンを連続的に露光する露光装置に使用する露光装置の位置合わせ方法及び装置に関する。（公報第２頁左上欄下から３行〜右上欄３行）
　
９−イ．次いで、ステップ２（審決注；公報上では、丸付き数字、以下、ステップのあとの数字も同様。）に移行して、イメージセンサ９ｂからの読取情報を読込み、イメージセンサ９ｂの何れかの画素で位置合わせマークＭを検出したか否かを判定する。このとき、何れの画素でも位置合わせマークＭを検出していないときには、位置合わせマークＭを検出するまで待機し、位置合わせマークＭを検出したときには、ステップ３に移行して、搬送機構７に駆動停止指令を出力して被露光部材６の搬送を停止させると共に、露光装置８のＸＹＺステージ１３の吸着チャック１３ａを吸着状態に制御して、被露光部材６をＸＹＺステージ１３上に吸着保持する。（公報第５頁右上欄下から２行〜左下欄１０行）
　
（１０）甲第１０号証；米国特許第４，１０９，１５８号明細書（昭和５３（１９７８）年８月２２日公開）
１０−ア．この発明は一対の要素を整合された細密接触状態に位置決めする装置に関する。特に、この発明は紫外線露光のため、パターンマスタに隣接したレジストフィルムで覆われ、銅メッキされたフレキシブル(可撓性)なウェブをフォトセルで制御された正確な位置決めを行う位置決め装置に関する。（カラム１、８〜１３行）
　
１０−イ．一般的なフレキシブルウェブ３１の露光処理においては、フレキシブルウェブは真空吸引ドラム５１と６２の動作により第一の露光ステーション５４に引出される。フレキシブルウェブ３１のスロット３６（図１）がパターンマスタ３９の窓４５（図２）に近接して通過するとき、フォトトランジスタよりなる光検知素子５７の一つは、より低速でドラムが動作するように真空吸引ドラム５１と６２の動作を制御すべく、スロットと窓を通過した光を検出する。そのため、フレキシブルウェブ３１のスロット３６とパターンマスタ３９の窓４３（図２）とが概ね整合されたとき、真空グリップドラム５１と６２は停止する。もし、スロット３６と窓４３が正確に整合されない場合には、対応する光検知素子５７は、ゆっくりとそして的確にフレキシブルウェブ３１の領域を位置決めさせるべく真空グリップドラム５１と６２の制御を行うように反応し、その結果スロットと窓は正確に位置合わせ（整合）される。（カラム６、１〜１９行）
　
１０−ウ．同時に、フレキシブルウェブ３１のスロット３８ａと３８ｂ（図１）は、それぞれパターンマスタ３９の窓４４ａと４４ｂ（図２）に概ね整合される。スロット３８ａ及び３８ｂと窓４４ａ及び４４ｂとが概ね整合された状態で、光検知素子５７は、支持フレーム５３の位置制御を行わせるような制御動作と、スロット３８ａ及び３８ｂと窓４４ａ及び４４ｂとが正確に位置合わせされるように制御する。この結果、フレキシブルウェブ３１の位置決めされた領域とパターンマスタ３９との正確な位置決めが実行される。パターンマスタ３９のパターンを構成する個々の要素４２が位置決めされ、個々の要素中のランド領域は、フレキシブルウェブ３１の位置決めされた領域に形成された予め打ち抜きされた穴３４に近接して、正確に位置決めされる。（カラム６、２２〜３６行）
　
１０−エ．パタ一ンマスタ３９がフレキシブルウェブ３１の位置決めされた領域と正確に整合された後、パターンマスタとフレキシブルウェブの領域は気密容器の中で密接して接するように移動され、そしてフォトレジスト材のフィルム３５のパターンマスタ３９の個々の要素４２によって覆われていない部分を露光すべく紫外線ランプ６１（図１２と１３）の光線により露光される。紫外線露光後、フレキシブルウェブ３１の一コマごとの割り出し工程が継続し、そしてフレキシブルウェブの次に連続する一つの領域も同様に、位置決めと露光を行うためのステーション５４に向かって移動される。（カラム６、３７〜４８行）
　
（１１）甲第１１号証；特開昭６２−２１１６５７号公報（昭和６２年９月１７日公開）
１１−ア．「産業上の利用分野」
　本発明は、プリント基板の焼付け方法に関するものであって、さらに詳言すれば、プリント基板の両面に対する焼付けを同時に行うと共に、両面に対するマスクフィルムの位置合せを自動的に達成できるようにしたものである。（公報第２頁左上欄１〜６行）
　
１１−イ．支持体２４は、マスクフィルム２２を保持し、かつその水平姿勢を維持したまま所定方向に変位させることができる。
　ここでの所定方向とは、Ｘ方向がマスクフィルム２２の水平一方向、Ｙ方向がこのＸ方向に直交する水平方向、θ方向がマスクフィルム２２の中心を軸とする回転方向であり、所定の信号指令を受けて変位する。
　次に光学装置３５は、複数組のテレビカメラ３６により構成され、マスクフィルム２２、或いはプリント基板１４の一部に設けられた位置合せ用の基準マークを撮影するものである。
　光学装置３５による撮像信号は、制禦値設定装置４２に送られ、ここでは、この撮像信号に従って前記した基準マーク同志のズレを算出すると共に、このズレを零とする前記のＸ方向、Ｙ方向、θ回転方向への変位量を演算し、さらにこの演算した変位信号を出力する。
　そして、この制禦値設定装置４２の変位信号を受けて、前記した支持体２４に装着された変位装置２９を作動させ、支持体２４をＸ方向、Ｙ方向に移動させ、或いは、θ方向に回動させるのである。
　上述した構成にあって、先ず、前記した上下一対のマスクフィルム２２を近接させた姿勢で、光学装置３５におけるそれぞれのテレビカメラ３６を所定位置に配し、上下の各マスクフィルム２２の一部に設けられた位置合せ用の基準マークを同時に撮影する（第２図ａ参照）。
　複数の光学装置３５は、それぞれ上下の各マスクフィルム２２の各基準マークを撮影するが、マスクフィルム２２の伸び変形等によって各基準マークの重なりにズレが生じているので、このズレを最小限に止めるように、光学装置３５による撮像信号を制禦値設定装置４２に送り、基準マーク同志のズレを算出し、このズレを零とする前記所定方向への変位量を演算し、この制禦値設定装置４２の変位信号を受けて、支持体２４を変位装置２９を介して移動させ、或いは、回動させるのである。
　このようにして、上下のマスクフィルム２２を位置合せした後、両マスクフィルム２２を離反させ、その間にプリント基板１４を保持する基板支持枠１５を、相互に平行水平姿勢を維持した状態で配置し（第２図ｂ参照）、前記と同様に、光学装置３５、制禦値設定装置４２、変位装置２９を介して一方のマスクフィルム２２をプリント基板１４に位置合せする（第２図ｃ参照）。（公報第２頁右下欄１行〜第３頁右上欄６行）
　
（１２）甲第１２号証；特開昭６２−２５３１７５号公報（昭和６２年１１月４日公開）
１２−ア．特許請求の範囲
（１）複数個の位置決めマークを有する基板の露光すべき面側に、対応する複数個の位置決めマークを有する原版を、両者の位置決めマークが位置合わせされた状態で配置し、原版を通して光を照射して基板を自動的に露光するための自動露光装置であって、
　基板待機ステーションと露光ステーションとを有し、
　前記基板の位置決めマークと前記原版の位置決めマークとは、各々の大きさが互いに異なっており、さらに
　光が透過する構造とされるとともに前記基板を真空吸着して当該基板を垂直状態で保持し、かつ前記基板待機ステーションおよび前記露光ステーションの間を移動する吸着板と、
　前記原版を前記露光ステーションにおいて垂直状態で保持する原版枠と、
　前記基板の位置決めマークおよび前記原版の位置決めマークを、前記露光ステーションにおいて前記基板および前記原版が重なった状態で検出するための、位置検出用光源および光センサの組合わせからなる光検出機構と、
　前記光センサによって検出された前記基板の位置決めマークの位置と前記原版の位置決めマークの位置とを比較する比較回路と、
　前記比較回路により求められた前記両位置決めマーク間の位置ずれを修正するように前記原版枠を縦、横、回転方向に移動させるＸ、Ｙ、θ方向駆動機構と、
　前記露光ステーションにあるときの前記吸着板上に保持された前記基板と前記原版枠に保持された前記原版とを互いに近接させ、または離隔させるように、前記吸着板と前記原版枠とを相対的に移動させるＺ方向移動機構と、
　前記原版と前記基板とを近接させた状態で前記原版側から露光用の光を照射する露光用光源と、を備えた、自動露光装置。
　
（１３）甲第１３号証；特開昭５９−９５５２３号公報（昭和５９年６月１日公開）
１３−ア．受光素子（６）は、検出マーク（２）とマスク開口（５）の相対位置に伴って変化するランプ（４）の透過光量を受けて、光電変換された反転信号Ａを発生する。この信号Ａを、ピークホールド回路（７）を介して出力される信号Ａ’に変換し、該信号ＡとＡ’を比較器（８）にて比較し、該信号Ａがピーク値に達したとき（ＡがＡ’よりも小となったとき）、該比較器（８）より信号Ｂを発生せしめ、フィルム（１）の駆動系（図示せず）を停止する。（公報第３頁左上欄下から６行〜右上欄３行）
　
（１４）甲第１４号証；特開昭５７−２０００２９号公報（昭和５７年１２月８日公開）
１４−ア．第４図は、本発明の実施例である投影型露光装置を示している。
　本発明による露光装置は、フォトレジストに感光する露光用の光とフォトレジストに感光しない位置合せ用の光とを切換えるフィルタ板４０と被露光体より反射する位置合せ用の光を検出するイメージセンサ等の検出器３０とを含み、露光用の光の焦点位置に前記位置合せ用の光の焦点を結ばせる色収差補正レンズが前記位置合せ用の光の光路に設けてある。また本発明の装置はさらに露光用、位置合せ用等の光を発する超高圧水銀灯３６を有し前記水銀灯よりの光を光ファイバ３５によりフィルタ板４０に導く。さらに被露光体である半導体ウエーハ３２を有しフォトマスク３３上のパターンをウエーハ３２上に投影する。（公報第３頁右上欄４行〜末行）
　
１４−イ．第５図において、このフィルタ板は軸５４を中心としてステッピングモータで回転される。アパーチャ５１及び５３には前記水銀灯３６より発した光のうちＥ線のみを透過するフィルタをつけ、アパーチャ５２にはＧ線及びＥ線のみを透過するフィルタをつけておく。・・・フォトマスク３３上に集光された光がＧ線及びＥ線の場合はフォトマスク３３上の回路パターンを投影レンズ３１を介し半導体ウエーハ３２上に投影する。またフォトマスク３３上に集光された光がＥ線のみの場合は、フォトマスク上の位置合せマークを色収差補正レンズ３８を介しハーフミラー３７を透過し投影レンズを介し半導体ウエーハ３２上の位置合せターゲット上に投影する。
　前記ハーフミラー３７は前記半導体ウエーハ３２上の位置合せターゲットと前記フォトマスク３３上の位置合せマークを前記半導体ウエーハ３２へ投影した際の投影像との重複パターンを反射し、前記拡大器３９へ導く。イメージセンサ３０では前記拡大器３９で拡大した前記重複パターンを検出する。（公報第３頁左下欄下から３行〜第４頁左上欄６行）
　
（１５）甲第１５証；後藤学、衛藤潤生「ＴＢＡ露光装置」、電子材料７月号、第２８巻第７号、株式会社工業調査会、１９８９年７月１日発行、第３８頁〜第４２頁
１５−ア．フィルムは、ｄ（審決注；ｄは、丸付き文字。）の露光部で、スプロケットホールに位置決めピンが差し込まれ真空吸着される。吸着直後、積算光量制御による露光が行われる。（３９頁左欄７〜９行）
　
２．本件発明１が、特許法第２９条の２の規定に違反して特許されたものかについて
（１）対比
　先願発明と本件発明１とを対比する。
ａ．先願発明の「フレキシブルテープ（１）」、「導電パターン（３）」は、本件発明１の「帯状のフィルム」、「回路パターン」にそれぞれ相当し、先願発明の、フレキシブルテープの製造設備は、デバイスホール（２）〜（２ｎ）が設けられたフレキシブルテープ（１）を間欠的に搬送し、デバイスホール（２）〜（２ｎ）の周りに導電パターン（３）を露光するものであるので、フレキシブルテープ（１）のデバイスホール（２）〜（２ｎ）の周りで導電パターン（３）を露光すべき部分が、本件発明１の「長さ方向に沿って並ぶ複数のコマ」に相当し、それらを順次に露光していくものであることは明らかである。
　したがって、先願発明の「長さ方向に等間隔に、デバイスホール（２）〜（２ｎ）が設けられたフレキシブルテープ（１）を間欠的に搬送し、デバイスホール（２）〜（２ｎ）の周りに導電パターン（３）を露光するフレキシブルテープの製造設備」は、本件発明１の「帯状のフィルムの長さ方向に沿って並ぶ複数のコマに順次に回路パターンを露光していくフィルム露光装置」に相当する。
　
ｂ．先願発明の「レジストが反応する波長の光」、「マスク（６）」、「光源」は、本件発明１の「レジストが感度を有する露光波長の光」、「フォトマスク」、「照射部」にそれぞれ相当し、先願発明の、「レジストが反応しない波長の光」は、検出器（９）により基準スプロケット穴（４ｘ）、（４ｙ）とマスク（６）の検出用パターン（６２）とが一致しているかどうかを検出するためのものであるので、本件発明１の「レジストが感度を有しないアライメント波長の光」に相当する。
　したがって、先願発明の「レジストが反応する波長の光と、検出器（９）により基準スプロケット穴（４ｘ）、（４ｙ）とマスク（６）の検出用パターン（６２）とが一致しているかどうかを検出する、レジストが反応しない波長の光を照射する光源」と、本件発明１の「レジストが感度を有する露光波長の光と、レジストが感度を有しないアライメント波長の光を切り換えるフィルタを内蔵し、位置合わせ時はフォトマスクにアライメント波長の光を照射し、露光時には露光波長の光を照射する照射部」とは、「レジストが感度を有する露光波長の光と、レジストが感度を有しないアライメント波長の光を切り換え、位置合わせ時はフォトマスクにアライメント波長の光を照射し、露光時には露光波長の光を照射する照射部」の点で一致する。
　
ｃ．先願発明は、基準パターン（４ｘ）、（４ｙ）と検出用パターン（６２）とが一致していない場合は、マスク（６）をＸ，Ｙ方向に移動し、あるいは回転して両者が一致するように補正するのであるから、本件発明１の「フォトマスクのＸ，Ｙ，θ方向の位置調節機構」に相当する機構を有していることは自明である。
　
ｄ．先願発明の「マスク（６）に設けた露光用のパターン（６１）及び検出用パターン（６２）をフレキシブルテープ（１）上に投影するレンズ（７）」は、本件発明１の「照射されたフォトマスクの像を投影する投影レンズ」に相当する。
　
ｅ．先願発明は、上記ａ．で述べたように、フレキシブルテープ（１）を間欠的に搬送し、デバイスホール（２）〜（２ｎ）の周りに導電パターン（３）を露光するものであるので、フレキシブルテープ（１）のデバイスホール（２）〜（２ｎ）の周りで導電パターン（３）を露光すべき部分が、本件発明１の「長さ方向に沿って並ぶ複数のコマ」に相当し、それらを順次に露光していくので、本件発明１の「投影レンズによる像の投影位置に、フィルムを一コマずつステップ送りするフィルム送り機構」を有していることは明らかである。
　
ｆ．先願発明のフレキシブルテープ（１）に導電パターン（３）を露光すべき位置ごとに「基準スプロケット穴（４ｘ）、（４ｙ）」が形成されており、それらは、「検出器（９）により基準スプロケット穴（４ｘ）、（４ｙ）とマスク（６）の検出用パターン（６２）とが一致しているかどうかを検出する」（上記記載事項エ．）ためのものであるので、本件発明１の「フィルム側アライメント用マーク」に相当する。
　したがって、先願発明の「フレキシブルテープ（１）には、導電パターン（３）を露光すべき位置ごとに基準スプロケット穴（４ｘ）、（４ｙ）が形成され」は、本件発明１の「帯状のフィルムには、一コマの各々に対応して少なくとも二つ以上のフィルム側アライメント用マークが形成され」に相当する。
　
ｇ．上記ｆ．から、先願発明の「検出用パターン（６２）」は、本件発明１の「フォトマスク側アライメント用マーク」に相当し、先願発明の「マスク（６）には、露光用のパターン（６１）及びフレキシブルテープ（１）の基準スプロケット穴（４ｘ）、（４ｙ）に対応して検出用パターン（６２）が設けられている」は、本件発明１の「フォトマスクには、フィルムに投影して転写すべき回路パターンとともに、前記フィルム側アライメント用マークのそれぞれに対応してフォトマスク側アライメント用マークが形成されている」に相当する。
　
　したがって、先願発明と本件発明１とは、
「帯状のフィルムの長さ方向に沿って並ぶ複数のコマに順次に回路パターンを露光していくフィルム露光装置であって、
　レジストが感度を有する露光波長の光と、レジストが感度を有しないアライメント波長の光を切り換え、位置合わせ時はフォトマスクにアライメント波長の光を照射し、露光時には露光波長の光を照射する照射部と、
　照射部からの光が照射される位置に配置されたフォトマスクと、
　フォトマスクのＸ，Ｙ，θ方向の位置調節機構と、
　照射されたフォトマスクの像を投影する投影レンズと、
　投影レンズによる像の投影位置に、フィルムを一コマずつステップ送りするフィルム送り機構と、
　を具備し、
　帯状のフィルムには、一コマの各々に対応して少なくとも二つ以上のフィルム側アライメント用マークが形成され、
　フォトマスクには、フィルムに投影して転写すべき回路パターンとともに、前記フィルム側アライメント用マークのそれぞれに対応してフォトマスク側アライメント用マークが形成されていることを特徴とするフィルム露光装置。」である点で一致し、次の各点で相違する。 
　
相違点１：
　レジストが感度を有する露光波長の光と、レジストが感度を有しないアライメント波長の光を切り換える手段として、本件発明１は、フィルタを照射部に内蔵しているのに対し、先願発明は、そのようなフィルタを有していない点。
　
相違点２：
　本件発明１は、露光時にはフィルムを真空吸着する機構を有するステージを具備しているのに対し、先願発明は、そのようなステージを具備していない点。
　
（２）判断
相違点１について
　本件発明１と同様な、マスクと被露光物とを位置合わせする露光装置において、露光波長の光と、レジストが感度を有しないアライメント波長の光を切り換えるフィルタを有する点は、上記甲第５号証、及び甲第１４号証に記載されるように周知の技術事項であると認められ、パターン検出のために照明光であるＥ線のみを透過させるフィルタも甲第６号証に記載されるように周知の技術事項であると認められる。
　しかし、先願明細書には、上記相違点１に係る構成を具体的に想起させる記載は一切なく、相違点１に係る構成が設計上の微差ということもできないので、相違点１に係る構成は、実質的な相違点である。
　
相違点２について
　本件発明１と同様な、マスクと被露光物とを位置合わせする露光装置において、被露光物を真空吸着する機構は、上記甲第７〜９号証、及び甲第１５号証に記載されるように周知の技術事項であると認められ、それらには、構造的に被露光物を吸着する台が必須であり、それをステージということができる。したがって、上記相違点２に係る構成は、周知の技術事項であると認められる。
　しかし、先願明細書には、上記相違点２に係る構成を具体的に想起させる記載は一切なく、相違点２に係る構成が設計上の微差ということもできないので、相違点２に係る構成は、実質的な相違点である。
　
　したがって、本件発明１は、先願発明と同一ではなく、特許法第２９条の２の規定に違反して特許されたものではない。
　
３．本件発明２〜４が、特許法第２９条の２の規定に違反して特許されたものかについて
　本件発明２、３は、いずれも、請求項１に記載のフィルム露光装置を使用したフィルム露光方法に関する発明であり、上記「２．（２）」で、示した判断と同様の理由で、先願発明と同一ではなく、特許法第２９条の２の規定に違反して特許されたものではない。
　
　本件発明４は、請求項１に記載のフィルム露光装置において、フィルム側アライメント用マークの構成を限定した発明であり、上記「２．（２）」で、示した判断と同様の理由で、先願発明と同一ではなく、特許法第２９条の２の規定に違反して特許されたものではない。
　
４．本件発明１が、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものかについて
（１）対比
ａ．本件発明１と引用発明とを対比すると、引用発明の「長尺のフィルム１」は、本件発明１の「帯状のフィルム」に相当し、以下、同様に「駒」は「コマ」に、「配線パターン」は「回路パターン」に、「露光装置」は「フィルム露光装置」に、「パターンマスク１１」は「フォトマスク」に、「照射されたパターンマスク１１の配線パターン１１ｃの像を投影する投影レンズ１０」は「照射されたフォトマスクの像を投影する投影レンズ」に、「投影レンズ１０による像の投影位置に、長尺のフィルム１を一駒ずつステップ送りするフィルムの供給装置」は「投影レンズによる像の投影位置に、フィルムを一コマずつステップ送りするフィルム送り機構」に、それぞれ相当する。
　
ｂ．引用発明の「配線パターン１１ｃをフィルム１上に投影して露光する露光用光源９」と、本件発明１の「レジストが感度を有する露光波長の光と、レジストが感度を有しないアライメント波長の光を切り換えるフィルタを内蔵し、位置合わせ時はフォトマスクにアライメント波長の光を照射し、露光時には露光波長の光を照射する照射部」とは、「照射部」である点で、一致する。
　
ｃ．引用発明の「２つの基準パーフォレーションｌａ、ｌｂ」は、本件発明１の「少なくとも二つ以上のフィルム側アライメント用マーク」に相当するので、引用発明の「長尺のフィルム１には、一駒の各々に対応して２つの基準パーフォレーションｌａ、ｌｂが形成され」は、本件発明１の「帯状のフィルムには、一コマの各々に対応して少なくとも二つ以上のフィルム側アライメント用マークが形成され」に相当する。
　
ｄ．引用発明の「基準マークｌｌａ、ｌｌｂ」は、本件発明１の「フォトマスク側アライメント用マーク」に相当するので、引用発明の「パターンマスク１１には、長尺のフィルム１に投影して露光する配線パターン１１ｃとともに、フィルム１の基準パーフォレーションｌａ、ｌｂと共役の位置に２個の基準マークｌｌａ、ｌｌｂが形成されている」は、本件発明１の「フォトマスクには、フィルムに投影して転写すべき回路パターンとともに、前記フィルム側アライメント用マークのそれぞれに対応してフォトマスク側アライメント用マークが形成されている」に相当する。
　
　したがって、引用発明と本件発明１とは、
「帯状のフィルムの長さ方向に沿って並ぶ複数のコマに順次に回路パターンを露光していくフィルム露光装置であって、
　照射部と、
　照射部からの光が照射される位置に配置されたフォトマスクと、
　照射されたフォトマスクの像を投影する投影レンズと、
　投影レンズによる像の投影位置に、フィルムを一コマずつステップ送りするフィルム送り機構と、
　を具備し、
　帯状のフィルムには、一コマの各々に対応して少なくとも二つ以上のフィルム側アライメント用マークが形成され、
　フォトマスクには、フィルムに投影して転写すべき回路パターンとともに、前記フィルム側アライメント用マークのそれぞれに対応してフォトマスク側アライメント用マークが形成されているフィルム露光装置。」
である点で一致し、次の各点で相違する。 
　
相違点１：
　照射部に関し、本件発明１は、「レジストが感度を有する露光波長の光と、レジストが感度を有しないアライメント波長の光を切り換えるフィルタを内蔵し、位置合わせ時はフォトマスクにアライメント波長の光を照射し、露光時には露光波長の光を照射する」のに対し、引用発明では、そのような限定がない点。
　
相違点２：
　本件発明１は、「フォトマスクのＸ，Ｙ，θ方向の位置調節機構」を具備しているのに対し、引用発明では、そのような構成を具備していない点。
　
相違点３：
　本件発明１は、「露光時にはフィルムを真空吸着する機構を有するステージ」を具備しているのに対し、引用発明では、そのような構成を具備していない点。
　
（２）判断
相違点１について
　本件発明１と同様な、マスクと被露光物とを位置合わせする露光装置において、露光波長の光と、レジストが感度を有しないアライメント波長の光を切り換えるフィルタを有する点は、上記甲第５号証、及び甲第１４号証に記載されるように周知の技術事項であると認められる。
　したがって、引用発明に周知の技術事項を適用し、上記相違点１に係る本件発明１の構成を得ることは、当業者にとって容易である。
　
　これに対し、被請求人は、甲第５号証、甲第１４号証のものは、光学的原理が誤ったものと主張している。しかし、被請求人が指摘する両甲号証の図面は、両号証に記載された発明の理解をし易くするためのものであり、細部に到るまで光学的原理に基づき、正確に記載されている必要はない。両甲号証の上記摘記事項から、当業者であれば、上記周知の技術事項が記載されていると理解し得ることは、明らかである。
　
相違点２について
　本件発明１と同様な、マスクと被露光物とを位置合わせする露光装置において、フォトマスクのＸ，Ｙ，θ方向の位置調節機構を具備した点は、上記甲第１１号証、及び甲第１２号証に記載されるように周知の技術事項であると認められる。また、Ｘ，Ｙ，θ方向の限定はないものの、マスクの位置調節をすることは、甲第２号証、甲第４号証にも記載されている。
　したがって、引用発明に周知の技術事項を適用し、上記相違点２に係る本件発明１の構成を得ることは、当業者にとって容易である。
　
　これに対し、被請求人は、甲第１１号証、甲第１２号証のものは、本件発明のようにフィルム状のワークの露光を対象としたものではないと主張している。しかし、マスクとフィルム状の被露光物とを位置合わせする露光装置において、正確な位置合わせが必要なことは、引用発明に示されているので、その具体的手段として、両甲号証に記載された周知の技術事項を適用することは、当業者にとって容易である。
　
　また、被請求人は、甲第３号証に記載のものは、光源部９から常に露光波長の光が照射されているため、本件発明のように、一コマごとにフォトマスク側マークの投影像がフィルム側マークに重なるように位置合わせをすることができない、と主張している。しかし、マスクと被露光物とを位置合わせする露光装置において、露光波長の光と、レジストが感度を有しないアライメント波長の光を切り換えるフィルタを有する点は、上記「相違点１について」で述べたように周知の技術事項であり、それを引用発明に適用することは当業者にとって容易である。そして、その際に、マスクと被露光物との相対的位置合わせをするのに、甲第１１号証、甲第１２号証に記載された周知の技術事項を適用して、マスク位置を調整することも、当業者にとって何ら格別の創意工夫を要することでもない。
　
相違点３について
　被露光物を真空吸着する機構を有するステージは、甲第７〜９号証、及び甲第１５号証に記載されるように周知の技術事項であると認められる。
　したがって、引用発明に周知の技術事項を適用し、上記相違点３に係る本件発明１の構成を得ることは、当業者にとって容易である。
　
　そして、本件発明１の効果は、引用発明及び甲号各証に記載の周知の技術事項から予測できる範囲内のものであり、格別のものとはいえない。 
 　 
（３）まとめ 
 　以上のとおり、本件発明１は、甲第３号証に記載された発明に、甲号各証に記載の周知の技術事項を適用することにより当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
５．本件発明２が、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものかについて
（１）本件発明２
　本件発明２は、「請求項１に記載のフィルム露光装置を使用したフィルム露光方法であって、
　フィルム送り機構によりフィルムの一コマがステップ送りされてきた時に、その一コマに係るフィルム側アライメント用マークがフォトマスク側アライメント用マークの像の投影位置に達したか否かを検出部により検出し、
　この検出部からの信号によって一コマを停止させ、
　その後、露光を行うことを特徴とするフィルム露光方法。」に関するものである。
　
　ここで、請求項１に記載のフィルム露光装置については、上記「４．本件発明１が、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものかについて」で既に検討済みであるので、以下では、その余の部分について検討する。
　
（２）対比
　引用発明２の「投影レンズ１０による像の投影位置に、長尺のフィルム１を一駒ずつステップ送りするフィルムの供給装置」におけるフィルム位置決め方法は、上記記載事項３−エ．に示されるように、「フィルム１をアパーチャ面２０ｄに給送して所定の位置で停止させると、フィルム１の基準パーフォレーションｌａ、ｌｂはアパーチャ枠切欠部２０ａ、２０ｂ内に位置する。この状態で、光源３２ａ、３２ｂを点灯し、ミラー３１ａ、３１ｂ（審決注；「３２ｂ」は、誤記である。）を介してフィルムに感光しない波長の光によりフィルムの基本パーフォレーションｉａ、１ｂを照明し、再び撮像装置３３ａ、３３ｂによってその重心の位置を検出して記憶させ、先に記憶させた基準マーク１１ａ、ｌｌｂの像の重心の位置とのずれ量を算出し、その算出結果に応じてθテーブル１９、Ｘテーブル１４，Ｙテーブル１６をそれぞれ所要量移動させて基準パーフォレーションｌａ、ｌｂの重心の位置を基準マーク１１ａ、１１ｂの像の重心の位置に一致させた後、露光用光源９により配線パターン１１ｃをフィルム１上に投影して露光する」ものである。
　
　本件発明２は、一コマがステップ送りされてきた時に、その一コマに係るフィルム側アライメント用マークがフォトマスク側アライメント用マークの像の投影位置に達したか否かを検出部により検出し、この検出部からの信号によって一コマを停止させるものであるのに対し、
　引用発明２は、所定の位置で停止させてから、フィルムの基本パーフォレーション１ａ、１ｂを照明し、再び撮像装置３３ａ、３３ｂによってその重心の位置を検出して記憶させ、先に記憶させたパターンマスク１１の基準マーク１１ａ、ｌｌｂの像の重心の位置とのずれ量を算出し、その算出結果に応じてθテーブル１９、Ｘテーブル１４，Ｙテーブル１６をそれぞれ所要量移動させて基準パーフォレーションｌａ、ｌｂの重心の位置を基準マーク１１ａ、１１ｂの像の重心の位置に一致させる点で相違する。（以下、相違点４という。）
　
（３）判断
相違点４について
　フィルム状のものを移動して、所定の位置に位置決めするのに、フィルム状のものに設けた開口が、基準となるマスクの開口に達したか否かを検出部により検出し、検出部からの信号によって停止させることは、甲第１０号証、甲第１３号証に記載されるように周知の技術事項であると認められる。両甲号証に記載されたものは、基準となるマスクの開口位置が、像の投影位置であるとの限定はないが、両甲号証に記載されたものも、本件発明２の実施例と同様両開口を透過したアライメント用の光の強さにより開口の一致を検出するものであるので、引用発明２に適用した場合に、そのような限定を付すことは、当業者にとって何ら格別のことではない。
　そして、本件発明１は引用発明、及び周知の技術事項から容易であるので、引用発明２に周知の技術事項を適用し、上記相違点４に係る本件発明２の構成を得ることは、当業者にとって容易である。
　
（４）まとめ 
 　以上のとおり、本件発明２は、甲第３号証に記載された発明に、甲号各証に記載の周知の技術事項を適用することにより当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
６．本件発明３が、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものかについて
（１）本件発明３
　本件発明３は、「請求項１に記載のフィルム露光装置を使用したフィルム露光方法であって、
　フィルム送り機構によりフィルムの一コマをステップ送りし、
　このステップ送り後に停止した一コマに係るフィルム側アライメント用マークの位置に、フォトマスク側アライメント用マークの像が投影されるように、フォトマスク位置調節機構を駆動してフォトマスクの位置制御を行い、
　その後、露光を行うことを特徴とするフィルム露光方法。」に関するものである。
　
　ここで、請求項１に記載のフィルム露光装置については、上記「４．本件発明１が、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものかについて」で既に検討済みであるので、以下では、その余の部分について検討する。
　
（２）対比
　本件発明３は、このステップ送り後に停止した一コマに係るフィルム側アライメント用マークの位置に、フォトマスク側アライメント用マークの像が投影されるように、フォトマスク位置調節機構を駆動してフォトマスクの位置制御を行うものであるのに対し、
　引用発明２は、上記記載事項３−エ．に示されるように、「フィルム１をアパーチャ面２０ｄに給送して所定の位置で停止させると、フィルム１の基準パーフォレーションｌａ、ｌｂの位置と、先に記憶させたパターンマスク１１の基準マーク１１ａ、ｌｌｂの像の重心の位置とのずれ量を算出し、その算出結果に応じてθテーブル１９、Ｘテーブル１４，Ｙテーブル１６をそれぞれ所要量移動させて基準パーフォレーションｌａ、ｌｂの重心の位置を基準マーク１１ａ、１１ｂの像の重心の位置に一致させるものであるので、両者は、以下の点（以下、相違点５という。）で相違する。
　
相違点５；本件発明３は、フィルム側アライメント用マークの位置に、フォトマスク側アライメント用マークの像が投影されるように、フォトマスク位置調節機構を駆動してフォトマスクの位置制御を行うのに対し、引用発明２は、フィルム１を移動している点。
　
（３）判断
相違点５について
　フォトマスク位置調節機構を駆動してフォトマスクの位置制御を行う点は、甲第２号証、甲第１０号証に記載されるように、周知の技術事項であると認められる。甲第２号証に記載されたものは、フォトマスク側アライメント用マークの像が投影されるようになっていると認められる。
　そして、本件発明１は引用発明、及び周知の技術事項から容易であるので、引用発明２に周知の技術事項を適用し、上記相違点５に係る本件発明３の構成を得ることは、当業者にとって容易である。
　
（４）まとめ 
 　以上のとおり、本件発明３は、甲第３号証に記載された発明に、甲号各証に記載の周知の技術事項を適用することにより当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
７．本件発明４が、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものかについて
（１）本件発明４
　本件発明４は、「請求項１に記載のフィルム露光装置において、
　フィルム側アライメント用マークは、フィルムに形成された穴または透光部により構成されていることを特徴とするフィルム露光装置。」に関するものである。
　
　ここで、請求項１に記載のフィルム露光装置については、上記「４．本件発明１が、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものかについて」で既に検討済みであるので、以下では、その余の部分について検討する。
　
（２）対比・判断・まとめ
　引用発明の「基準パーフォレーションｌａ、ｌｂ」は、本件発明１の「少なくとも二つ以上のフィルム側アライメント用マーク」に相当し（上記「４．本件発明１が、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものかについて（１）対比」参照。）、それらは、「穴」であることは明らかである。
　
　したがって、本件発明４は、上記「４．本件発明１が、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものかについて（２）判断」で述べたことと同様の理由により、甲第３号証に記載された発明に、甲号各証に記載の周知の技術事項を適用することにより当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
第７　むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１から４についての特許は、甲第３号証に記載された発明及び甲第２号証、甲第４〜１５号証に記載された周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである。
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人の負担とする。
　よって、上記結論のとおり審決する。