【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３８１５５５１号発明「ダイシング装置」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　本件審判の請求は、成り立たない。
　審判費用は、請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯  
　本件特許第３８１５５５１号の請求項１乃至４に係る発明についての出願は、平成１３年１２月２１日に出願され、平成１８年６月１６日にその発明について特許権の設定登録がされたものである。 
　これに対して、平成１９年８月１日に審判請求人白澤榮樹により無効審判の請求がなされたところ、被請求人株式会社東京精密より平成１９年１０月２２日付けで審判事件答弁書の提出及び訂正請求がなされるとともに、請求人より平成１９年１１月２８日付けで審判事件弁駁書が提出され、請求人より平成２０年１月２１日付けで、被請求人より平成２０年１月２２日付けでそれぞれ口頭審理陳述要領書が提出され、平成２０年２月４日に第１回口頭審理が実施された。
　そして、第１回口頭審理において無効理由が通知され、被請求人より平成２０年３月５日付けで意見書の提出及び訂正請求がなされ、これに対して、請求人より平成２０年３月２８日付けで審判事件上申書が提出されたものである。 
 　  
第２　訂正の適否  
１　訂正の内容  
　平成２０年３月５日付けの訂正請求（以下「本件訂正」という。）は、本件特許第３８１５５５１号の願書に添付された明細書（以下「特許明細書」という。また、願書に添付された図面と併せて「特許明細書等」という。）を、訂正請求書に添付した訂正明細書のとおりに訂正することを求めるものであり、その内容は以下のとおりである。
　なお、下線は対比の便宜のために当審において付したものである。 
　
（１）訂正事項ａ  
　特許明細書における特許請求の範囲の請求項１の記載を、 
「【請求項１】ワークを載置したワークテーブルをＸ方向に研削送りするＸテーブルと、先端に回転刃が取付けられ、Ｘ方向に直交するＹ方向のインデックス送りがなされるスピンドルとを有し、前記回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置において、
　前記ワークテーブルの下方に配置され、研削水や洗浄水の廃水を受けるオイルパンと、
　該オイルパンの外側に配置され、前記ＸテーブルをＸ方向に案内するガイド手段と、
　前記オイルパンの外側に配置され、前記ＸテーブルをＸ方向に研削送りする駆動手段と、
　前記ガイド手段及び駆動手段に連結されるとともに、前記ワークテーブルを前記オイルパン中に保持する保持部材とが設けられていることを特徴とするダイシング装置。」から、
「【請求項１】ワークを載置したワークテーブル
を上方に有し、該ワークテーブル
　前記ワークテーブルの下方に配置され、研削水や洗浄水の廃水を受ける
有底の
　該オイルパンの外側に配置され、前記ＸテーブルをＸ方向に案内するガイド手段と、
　前記オイルパンの外側に配置され、前記ＸテーブルをＸ方向に研削送りする駆動手段と、
　前記ガイド手段及び駆動手段に連結されるとともに、
前記Ｘテーブルを前記オイルパン内に吊り下げ保持することにより
 　  
（２）訂正事項ｂ  
　特許明細書の段落【０００８】における、
「【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達成するために、ワークを載置したワークテーブルをＸ方向に研削送りするＸテーブルと、先端に回転刃が取付けられ、Ｘ方向に直交するＹ方向のインデックス送りがなされるスピンドルとを有し、前記回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置において、前記ワークテーブルの下方に配置され、研削水や洗浄水の廃水を受けるオイルパンと、該オイルパンの外側に配置され、前記ＸテーブルをＸ方向に案内するガイド手段と、前記オイルパンの外側に配置され、前記ＸテーブルをＸ方向に研削送りする駆動手段と、前記ガイド手段及び駆動手段に連結されるとともに、前記ワークテーブルを前記オイルパン中に保持する保持部材とが設けられていることを特徴としている。」を、 
 「【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達成するために、ワークを載置したワークテーブル
を上方に有し、該ワークテーブル
有底の
前記Ｘテーブルを前記オイルパン内に吊り下げ保持することにより
　
（３）訂正事項ｃ
　特許明細書等の図５を削除し、図６〜図８の図番を１つずつ繰り上げる。
　
（４）訂正事項ｄ
　特許明細書の段落【０００２】における
「図６に従来のダイシング装置１１０を示す。図６に示すように、研削水ノズル１２３から回転刃（ブレード）１２１に向けて研削水が供給され、ワークＷの加工ポイントで加工に寄与した研削水は、その後ワークテーブル１２５を囲うように配置されたオイルパン１５０に流れ込む。」を
「図
５
５
　
（５）訂正事項ｅ
　特許明細書の段落【０００３】における
「図７に、従来のダイシング装置１１０のカッティングテーブル１２５まわりの断面図を示す。図６、図７に示すように、従来のダイシング装置１１０では、マシンベース１２９上に設けられたＸ軸ガイドレール１２８、１２８と係合するボールホルダ１２８Ａ、１２８Ａと、リードスクリュー１４３、ボールナット１４３ＡとによりＸ方向に研削送りされるＸテーブル１２７がある。」を
「図
６
５
６
　
（６）訂正事項ｆ
　特許明細書の段落【０００４】における
「図８は、この従来のダイシング装置１１０に用いられているオイルパン１５０と蛇腹１３１、１３１の形状を示している。」を
「図
７
　
（７）訂正事項ｇ
　特許明細書の段落【００２０】における、
「図４、及び図５は本発明の実施の形態の変形例である。」を
「図
４は
　
（８）訂正事項ｈ
　特許明細書の段落【００２１】を削除する。
　
（９）訂正事項ｉ
　特許明細書の【図面の簡単な説明】における
「【図５】実施形態の別の変形例を示す側断面図
　【図６】従来のダイシング装置を示す正面断面図
　【図７】従来のダイシング装置の要部を示す側断面図
　【図８】従来のダイシング装置のオイルパンと蛇腹を示す斜視図  」を
「【図
５
　【図
６
　【図
７
　
２　訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否  
（１）訂正事項ａについて  
　訂正事項ａにおいて、「ワークを載置したワークテーブル
を上方に有し、該ワークテーブル
有底の
前記Ｘテーブルを前記オイルパン内に吊り下げ保持することにより
　したがって、訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。 　 
　そして、訂正事項ａ１は、特許明細書の段落【００１４】の「このＸテーブル２７にはＺ方向の軸心回りにθ回転するθテーブル２６が載置され、θテーブル２６には、ワークテーブル２５が取付けられている。」との記載に、訂正事項ａ２は、同段落【００１５】の「Ｘテーブル２７は保持部材２７Ａ、２７Ｂによってオイルパン５０内に吊り下げられているので、オイルパン５０の底部に開口部を設ける必要がない。」との記載に基づくものである。また、訂正事項ａ３は、同段落【００１５】の前記記載及び同段落【００１６】の「Ｘテーブル２７は、保持部材２７Ａ、２７Ｂによってオイルパン５０内に吊り下げられ、リニアガイドユニット２８、２８に案内され、リニアモータ３１に駆動されてオイルパン５０内をＸ方向に移動される。」との記載に基づくものである。
　したがって、訂正事項ａは、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内であるから、新規事項の追加には該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
（２）訂正事項ｂ〜ｉについて  
　訂正事項ｂ〜ｉは、訂正事項ａによる特許請求の範囲の記載の訂正に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るためのものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。  
　そして、訂正事項ｂ〜ｉは、新規事項の追加には該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。  
 　  
３．訂正の適否についてのまとめ  
　以上のとおりであるから、本件訂正は、特許法第１３４条の２第１項ただし書き及び同条第５項において準用する特許法第１２６条第３項及び第４項の規定に適合するので、訂正を認める。
　
第３　請求人の主張の概要 
　請求人は、下記甲第１、２号証を提出し、本件特許の請求項１乃至４に係る発明は、甲第１、２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであると主張している。  
［甲号各証］ 
　　甲第１号証：特開２０００−３３５３０号公報  
　　甲第２号証：特開２００１−５３０３４号公報  
　
第４　被請求人の主張の概要 
　被請求人は、上記請求人の主張に対して、本件特許の請求項１乃至４に係る発明は、甲第１、２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではないと反論している。 
 　 
第５　通知した無効理由
　当審で通知した無効理由の概要は以下のとおりである。
１　無効理由１  
　本件請求項１（平成１９年１０月２２日付け訂正請求によるもの）における「Ｘテーブルを前記オイルパン中に吊り下げ保持することによりワークテーブルをオイルパン中に保持する」という記載は明確でないから、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
　
２　無効理由２
　本件特許の請求項１乃至４に係る発明は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件特許は特許法第２９条第２項に違反してされたものである。
 　  
第６　当審の判断  
１　無効理由１について
　第２にて示したとおり、本件訂正が認められたことにより、無効理由１において指摘した請求項１の記載箇所は「Ｘテーブルを前記オイルパン
内
を上方に有し、該ワークテーブル
　そこで、上記記載箇所が明確であるか否かについて検討する。
　上記「Ｘテーブル」に関して、特許明細書には、段落【００１５】に「Ｘテーブル２７は保持部材２７Ａ、２７Ｂによってオイルパン５０内に吊り下げられているので」と記載され、段落【００１６】に「Ｘテーブル２７は、保持部材２７Ａ、２７Ｂによってオイルパン５０内に吊り下げられ、リニアガイドユニット２８、２８に案内され、リニアモータ３１に駆動されてオイルパン５０内をＸ方向に移動される。」と記載されている。
　また、「ワークテーブル」に関しては、段落【０００８】に「前記ワークテーブルを前記オイルパン中に保持する保持部材とが設けられていることを特徴としている。」と記載され、段落【０００９】に「ワークテーブルをオイルパン中でＸ方向に研削送りするためのガイド手段と駆動手段とがオイルパンの外側に配置され、ワークテーブルが保持部材によってオイルパン中に保持されているので、」と記載され、さらに段落【００２３】に「ワークテーブルをオイルパン中でＸ方向に研削送りするためのガイド手段と駆動手段とがオイルパンの外側に配置され、ワークテーブルがオイルパン中に吊り下げられているので、オイルパンの底部に開口部を形成する必要がなく防水効果が高い。」と記載されている。
　上記のように、特許明細書において、「Ｘテーブル」については「オイルパン内」と、「ワークテーブル」については「オイルパン中」と、両者は区別して記載されていることが認められる。
　そして、特許明細書等の図２乃至４を参照すると、「Ｘテーブル２７」はＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸のいずれの方向にも「オイルパン５０内」に位置しており、「ワークテーブル２５」は、その下端部とオイルパン上縁部との高さの関係は不明であるが、少なくともＸ軸及びＹ軸の方向で「オイルパン中」に位置している。
　そうすると、上記「Ｘテーブルを前記オイルパン内に吊り下げ保持することにより前記ワークテーブルを前記オイルパン中に保持する」は、「Ｘテーブル」についてはＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸のいずれの方向にもオイルパンの内側に保持され、「ワークテーブル」については少なくともＸ軸及びＹ軸の方向でオイルパンの内側に保持されるものと解することができる。
　しかも、「Ｘテーブル」は、「ワークテーブルを上方に有」する、すなわちワークテーブルはＸテーブルの上方に位置しているから、図２において、ワークテーブルの厚さまたはワークテーブルを支持しているθテーブル２６の高さによっては、ワークテーブルの下端がＺ軸方向にもオイルパンの内側に保持され得ることは当業者が容易に理解できることである。
　したがって、上記記載箇所が明確でないとすることはできない。
　
　なお、請求人は平成２０年３月２８日付け審判事件上申書において、被請求人が平成２０年３月５日付け意見書において「即ち、『オイルパン内』とは、オイルパンの側壁によって囲まれる空間のうち、オイルパンの底面と側壁上縁との間に位置する空間を意味する。一方、『オイルパン中』とは、オイルパンの側壁によって囲まれる空間を意味する。」（同意見書第３頁下から３行〜第４頁第１行参照）と主張していることについて、「『オイルパンの側壁によって囲まれた空間』は、『オイルパンの側壁によって囲まれる空間のうち、オイルパンの底面と側壁上縁との間に位置する空間』にほかならず、従って『オイルパン中』と『オイルパン内』とは同一である、といわざるを得ない。」（同上申書（１−２）参照）と主張し、また、「本件特許の明細書中に明確な定義でも存在しない限り、被請求人が主張する如く、・・・とは到底認められない。」（同上申書（１−３）参照）と主張し、さらに、「本件特許の出願当初明細書及び図面には、被請求人の上記主張と齟齬する記載が存在する。即ち・・・上方に位置している。」（同上申書（１−４）参照）として、請求項１の上記記載が未だ明確でない旨主張している。
　しかしながら、上述のとおり、請求項１の上記記載箇所は、「Ｘテーブル」についてはＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸のいずれの方向にもオイルパンの内側に保持され、「ワークテーブル」については少なくともＸ軸及びＹ軸の方向でオイルパンの内側に保持されるものと解することができるものである。しかも、ワークテーブルの厚さまたはワークテーブルを支持しているθテーブルの高さによっては、ワークテーブル下端がＺ軸方向にもオイルパンの内側に保持され得ることは当業者が容易に理解できることである。
　また、たとえ「・・・内に」と「・・・中に」が、同じ「ある範囲のうち」を意味するものであったとしても、「Ｘテーブル」も、少なくともＸ軸及びＹ軸の方向でオイルパンの内側に保持されることは明らかであるから、請求項１に係る発明が明確でないということはできない。
　さらに、請求人が「本件特許の出願当初明細書及び図面には被請求人の上記主張と齟齬する記載が存在する。」と主張している点については、本件訂正により当該部分は削除されており、特許明細書に上記齟齬する記載は存在しない。
　
２　無効理由２について  
（１）本件発明  
　前述のとおり、本件訂正が認められたことにより、本件特許の請求項１乃至４に係る発明（以下、「本件発明１」乃至「本件発明４」という。）は、訂正明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至４に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。 
「【請求項１】ワークを載置したワークテーブルを上方に有し、該ワークテーブルをＸ方向に研削送りするＸテーブルと、先端に回転刃が取付けられ、Ｘ方向に直交するＹ方向のインデックス送りがなされるスピンドルとを有し、前記回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置において、
　前記ワークテーブルの下方に配置され、研削水や洗浄水の廃水を受ける有底のオイルパンと、
　該オイルパンの外側に配置され、前記ＸテーブルをＸ方向に案内するガイド手段と、
　前記オイルパンの外側に配置され、前記ＸテーブルをＸ方向に研削送りする駆動手段と、
　前記ガイド手段及び駆動手段に連結されるとともに、前記Ｘテーブルを前記オイルパン内に吊り下げ保持することにより前記ワークテーブルを前記オイルパン中に保持する保持部材とが設けられていることを特徴とするダイシング装置。
　【請求項２】前記ガイド手段は、リニアガイドユニットであることを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。
　【請求項３】前記駆動手段は、リニアモータであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のダイシング装置。
　【請求項４】前記駆動手段は、リードスクリューと、該リードスクリューに螺合するナットと、該リードスクリューを回転駆動するモータとから構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のダイシング装置。」
　
（２）甲号各証の記載内容
　請求人の提出した甲第１、２号証には、以下の技術的事項が記載されている。 
ア　甲第１号証 　  
（ア）段落【０００１】
「【発明の属する技術分野】本発明は、工具主軸と平行な一対のガイドウエイに沿ってワークテーブルを工具主軸に対して水平方向に進退する形式の工作機械のワークデーブル送り機構において、ベースに固定された前記一対のガイドウエイの間に形成された切り屑回収向空間をなす凹部の外側に、または前記凹部の外側であって前記一対のガイドウエイの外側に、ワークテーブルを工具主軸に向かって進退させる左右一対の送りネジを配置する工作機械のワークテーブル送り機構に関する。」
 　  
（イ）段落【０００４】〜【０００７】
「【発明が解決しようとする課題】上記従来のこの種通常のＺ軸用テーブル送り装置においては、図５に示されるようにＺ軸送りネジＳが、ワークテーブルＴをＺ軸方向に案内する一対の平行なガイドウエイＧの中央位置すなわちテーブルＴの幅方向の中央位置に配置されている。このため、前記送りネジＳは、実質的に工具主軸の直下に配置されることになる。
　この場合、工具主軸先端の切削工具がワークを切削する加工点から落下する切り屑による送りネジの汚染を防止するため、送りネジの周囲を包囲するカバー機構が具備されるか、或いは、図５のように、カバー機能を兼ねるようにテーブルＴのＺ方向の長さが延長される。この送りネジＳのためのカバー機構或いは延長されたテーブルＴは、加工点からベッドへ向かって落下する切り屑の落下領域を横切ることになり、このため切り屑がカバー機構或いはテーブルＴ上に堆積し、切り屑の回収が完全にできない等の問題があった。
　また従来の工作機械（特公昭６０−２３９３６）は、図６に示されるように、送りネジをカバーするスライド式のカバー機構Ｃの下方に位置するように切り屑回収装置ＲをベッドＢ内に配置して、加工点から切り屑が直接前記回収装置Ｒ内へ落下するようにしているが、切り屑の一部がカバー機構Ｃ上に堆積する不具合が生じる。
　そこで本発明者は、工具主軸と平行な一対のガイドウエイに沿ってワークテーブルを工具主軸に対して水平方向に進退する形式の工作機械のワークテーブル送り機構において、ベースに固定された前記一対のガイドウエイの間に形成された切り屑回収向空間をなす凹部の外側に、または前記凹部の外側であって前記一対のガイドウエイの外側に、ワークテーブルを工具主軸に向かって進退させる左右一対の送りネジを配置するという本発明の技術的思想に着眼し、更に研究開発を重ねた結果、前記一対の送りネジが切り屑やクーラントの回収の妨げとならないようにして、従来における切り屑がカバー機構に堆積することを解消するとともに、切り屑やクーラントの回収が完全にできない等の問題を解消するという目的を達成する本発明に到達した。」
　  
（ウ）段落【００２１】〜【００２２】
「（実施形態）本実施形態の工作機械のワークテーブル送り機構は、図１ないし図４に示されるように工具主軸１と平行な一対のガイドウエイ２に沿ってワークテーブル３を工具主軸１に対して水平方向に進退する形式の工作機械のワークデーブル送り機構において、ベッド１００には、このベッド上に固定された前記一対のガイドウエイ２の間に切り屑回収向空間をなす凹部４が形成され、左右一対の送りネジ５を、前記凹部４の外側に配置した前記一対のガイドウエイ２のさらに外側に配置したものである。
　本実施形態の工作機械のワークデーブル送り機構は、図１ないし図３に示されるように加工部１０が、スピンドルヘッド１１とスピンドルユニット１２と工具１３によって構成される。工具主軸１を回転支持するスピンドルユニット１２は、スピンドルヘッド１１に一体的に取り付けられ、工具主軸１の先端に工具１３を取り付け可能としている。スピンドルヘッド１１は、コラム１０１の前面で上下動可能に案内されている。コラム１０１は、Ｘ軸サーボモータ６１によってボールネジ７１を介して駆動され、ベッド１００上でこの長手方向と直角なＸ軸方向に延在形成された一対のガイドウエイ２１に沿って位置が制御される。」
　
（エ）段落【００２４】
「前記ベッド１００の幅方向（Ｘ軸方向）の中央部には、図１で左側の後端面から右側の前端面に向けて長手方向（Ｚ軸方向）に延在する凹部４が形成されている。この凹部４は、床面に開放されて対面するとともに、右側端がベッド１００の前面壁で閉鎖されている。前記工具１３による加工時に加工点から落下する切り屑やクーラントを回収するための切屑回収装置８は、その水平部がベッド１００の後端開口部から挿入されて凹部４内へ進出されており、その回収口８１が少なくとも前記ベッド１００の凹部４内における前記ワークテーブル３の下方位置において上方に向けてテーパ状に開口して上方に行くに従い開口面積が増加するように配置されている。また前記凹部４は、コラム１０１の前側でベッド１００の上面に開口し、切り屑やクーラントが回収口８１へ直接落下するようになっている。」　
　
（オ）段落【００２６】〜【００２８】
「前記テーパ状の回収口８１の外側の前記ベッド１００の上面にＸ軸及びＹ軸に直交するＺ軸を構成する左右一対のリニアガイドウエイ２が水平に配設され、ワーク３１を載置するワークパレット３２を回転自在に支持するワークテーブル３を工具主軸１に対して水平方向に移動自在に案内している。
　前記ベッド１００の上面に配設された左右一対のリニアガイドウエイ２のさらに外側に左右一対のボールネジ５が配設されている。これらのボールネジ５は、前記ワークテーブル３の両外側に突出する突出部３３に配設されたナット５１にネジ係合している。これにより左右一対の送りネジ５の各送りネジが、独立した駆動モータ５０によって回転駆動されるように構成されている。すなわち前記左右一対のボールネジ５の一端には、それぞれ減速機構５２を有し同期運転されるサーボモータ５０が配設され、前記ワークテーブル３を前記工具主軸１に対して進退させるように構成されている。
　前記一対のガイドウエイ２の各々の内側であって前記テーパ状の回収口８１の上部において、各ガイドウエイ２に沿って配置されるスプラッシュカバー９は、前記ワークテーブル３の進退動作に伴ってＺ軸方向のカバー範囲を可変できる下方カバー９１と、該下方カバーの上方に直立状態で配置された固定カバー９０とから成る。」
　
（カ）段落【００３４】〜【００３５】
「すなわち前記ワークテーブル３は、前記左右一対のボールネジ５の回転により、前記ワーク３１を載置するワークパレット３２を回転自在に支持した状態において、図４に示されるように前記リニアガイドウエイ２に沿って、矩形上面部９００と矩形両側面部９０１、９０２とから成る横断面コの字状の固定カバー９０内に進入する。これにより、該固定カバー９０によって包囲された状態において前記加工部１０での加工が遂行され、加工後にワークテーブル３が前記固定カバー９０の外側の退避位置へ退避できるようにしている。前記加工動作の間、サーボモータ６１によりコラム１０１が左右方向に移動され、サーボモータ６２によりスピンドルヘッド１１が上下方向に移動され、このため、工具主軸１と共に回転する工具１３は、固定カバー内で垂直平面上でワークテーブル３に対し移動される。
　加工動作において加工点から飛散する切り屑やクーラントは、前記ベッド１００の幅方向の中央部に長手方向に延在形成された前記凹部４内へ一部が直接落下して回収され、他の一部が固定カバー９０および伸縮カバー９１に当接ガイドされて凹部４内へ回収される。特に前記凹部４の入口部に配設された前記回収口８１が少なくとも前記ベッド１００の前記凹部４内における前記ワークテーブル３の下方位置において上方に向けてテーパ状に開口して上方に行くに従い開口面積が増加しているので、切り屑やクーラントは、前記回収口８１を介して前記凹部４内に設置した切屑回収装置８内に確実に回収される。」
　
（キ）段落【００４０】
「上記作用を奏する本実施形態の工作機械のワークテーブル送り機構は、前記ワークテーブル３を工具主軸１に向かって進退させる前記左右一対の送りネジ５を、切り屑回収向空間をなす前記凹部４の外側に配置した前記一対のガイドウエイ２のさらに外側に配置したので、前記一対の送りネジ５が一層切り屑やクーラントによる汚染から防止され、ワークテーブル３の送り精度の永続的維持を可能にする効果を奏する。」
　
（ク）図１〜図３の記載によれば、テーブル３が、ワークを載置したワークテーブルを上方に有し、該ワークテーブルをＺ方向に研削送りするものであることが看取できる。また、ワークテーブルの下方に配置され、クーラントの廃水を受ける切屑回収装置８が、有底であることが看取できる。 
 　  
　これらの事項を技術常識を勘案しながら本件発明１に照らして整理すると、甲第１号証には、次の発明（以下「甲第１号証に記載の発明」という。）が記載されていると認められる。  
「ワークを載置したワークテーブルを上方に有し、該ワークテーブルをＺ方向に研削送りするテーブル３と、先端に工具１３が取付けられ、Ｚ方向に直交するＸ方向の送りがなされるスピンドルとを有し、前記工具１３でワークの加工を行う工作機械において、
　前記ワークテーブルの下方に配置され、クーラントの廃水を受ける有底の切屑回収装置８と、
　該切屑回収装置８の外側に配置され、前記テーブル３をＺ方向に案内するガイドウェイ２と、
　前記切屑回収装置８の外側に配置され、前記テーブル３をＺ方向に研削送りする送りネジ５と、
　前記テーブル３には、前記送りネジ５に連結される突出部３３が形成されている工作機械。」
　 
イ　甲第２号証 
（ア）段落【０００１】
「【発明の属する技術分野】本発明は、ワークテーブルの送り機構及びダイシング装置に係り、特にダイシング装置などの精密切断装置に適用されるワークテーブルの送り機構及びダイシング装置に関する。」
 　  
（イ）段落【０００５】  
「【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達成するために、ワークを保持するワークテーブルに所定経路に沿った送りを与えるワークテーブルの送り機構において、前記ワークテーブルが載置されるキャリッジと、前記キャリッジを所定経路に沿って走行自在に支持するガイド部材と、前記キャリッジを前記ガイド部材に沿って走行させるリニアモータと、からなることを特徴とする。」
　
（ウ）段落【００１４】〜【００１５】  
「図３は、切断部１の構成を示す斜視図である。同図に示すように、切断部１は、ウェーハＷを切断するウェーハ切断装置１０と、そのウェーハ切断装置１０に向けてウェーハＷを送るウェーハ送り装置３０とから構成されている。
　まず、ウェーハ切断装置１０の構成について説明する。図示しないダイシング装置の本体フレーム上には、門型に形成されたＹ軸ベース１２が垂直に立設されている。このＹ軸ベース１２は図中Ｙ軸方向に沿って配設されており、その前面には一対のＹ軸ガイドレール１４、１４がＹ軸方向に沿って敷設されている。」
　
（エ）段落【００１８】〜【００２０】  
「さらに、この２台のＺ軸キャリッジ１８Ｒ、１８Ｌの前面下部には、それぞれスピンドル駆動モータ２０Ｒ、２０Ｌが設けられている。このスピンドル駆動モータ２０Ｒ、２０Ｌの出力軸には、スピンドル２２Ｒ、２２Ｌが連結されており、該スピンドル２２Ｒ、２２Ｌにブレード２４Ｒ、２４Ｌが装着されている。
　以上のように構成されたウェーハ切断装置１０によれば、ウェーハＷを切断するブレード２４Ｒ、２４Ｌは、スピンドル駆動モータ２０Ｒ、２０Ｌを駆動することにより回転する。そして、Ｚ軸キャリッジ１８Ｒ、１８ＬをＺ軸ガイドレールに沿って摺動させることによりＺ軸方向に移動し、Ｙ軸キャリッジ１６Ｒ、１６ＬをＹ軸ガイドレール１４、１４に沿って摺動させることによりＹ軸方向に移動する。
　次に、ウェーハ送り装置３０の構成について説明する。図示しないダイシング装置の本体フレーム上には、図中Ｘ軸方向に沿ってＸ軸ベース３２が水平に敷設されている。このＸ軸ベース３２上には、所定の間隔をもって一対のＸ軸ガイドレール３４Ｒ、３４ＬがＸ軸方向に沿って敷設されている。そして、このＸ軸ガイドレール３４Ｒ、３４Ｌ上には、スライドユニット３６Ｒ、３６Ｒ、３６Ｌ、３６Ｌを介してＸ軸キャリッジ３８が走行自在に設けられている。」
　
（オ）段落【００２８】〜【００２９】  
「前記のごとくガイドレール３４Ｒ、３４Ｌ上を走行するＸ軸キャリッジ３８の上面中央部には、図３に示すように、θ軸モータ５４が搭載され、該θ軸モータ５４の出力軸にワークテーブル５６が連結される。
　ウェーハ送り装置３０は、前記のごとく構成され、前記Ｘ軸キャリッジ３８をリニアモータ４４で駆動して走行させることにより、ワークテーブル５６がＸ軸ガイドレール３４Ｒ、３４Ｌに沿ってＸ軸方向に走行する。」
　
（カ）図３〜図５の記載によれば、Ｘ軸キャリッジ３８がワークを載置したワークテーブル５６を上方に有し、該ワークテーブル５６をＸ方向に研削送りするものであることが看取できる。
　
　甲第２号証において、スピンドルは、Ｙ方向のインデックス送りがなされ、回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うことは技術常識より明らかである。
　これらの事項及び図面の記載からみて、甲第２号証には次の発明が記載されていると認められる。  
「ワークを載置したワークテーブル５６を上方に有し、該ワークテーブル５６をＸ方向に研削送りするＸ軸キャリッジ３８と、先端に回転刃が取付けられ、Ｘ方向に直交するＹ方向のインデックス送りがなされるスピンドルとを有し、前記回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置において、
　前記Ｘ軸キャリッジ３８をＸ方向に案内するガイドレール３４と、
　前記Ｘ軸キャリッジ３８をＸ方向に研削送りするリニアモータ４４と、
　が設けられているダイシング装置。」  
　
（３）対比・判断
ア　本件発明１について 
　本件発明１と甲第１号証に記載の発明とを対比すると、甲第１号証に記載の発明の「テーブル３」は、本件発明１の「Ｘテーブル」に相当し、以下同様に、「Ｚ方向」は「Ｘ方向」に、「Ｘ方向」は「Ｙ方向」に、「ガイドウェイ２」は「ガイド手段」に、「送りネジ５」は「駆動手段」に、それぞれ相当することが明らかである。 
　そして、甲第１号証に記載の発明の「工具１３」は、回転工具という限りで本件発明１の「回転刃」と共通しており、また、甲第１号証に記載の発明の「切屑回収装置８」は、廃水を受ける液体受け部という限りで本件発明における「オイルパン」と共通している。
　さらに、甲第１号証に記載の発明の「工作機械」は、ワークの加工を行う装置という限りで本件発明１の「ダイシング装置」と共通している。
　したがって、両者の一致点及び相違点は以下のとおりと認められる。  
［一致点］
「ワークを載置したワークテーブルを上方に有し、該ワークテーブルをＸ方向に研削送りするＸテーブルと、先端に回転工具が取付けられ、Ｘ方向に直交するＹ方向の送りがなされるスピンドルとを有し、前記回転工具でワークの加工を行う装置において、
　前記ワークテーブルの下方に配置され、廃水を受ける有底の液体受け部と、
　該液体受け部の外側に配置され、前記ＸテーブルをＸ方向に案内するガイド手段と、
　前記液体受け部の外側に配置され、前記ＸテーブルをＸ方向に送り駆動する駆動手段と、
　が設けられている装置。」である点。
［相違点１］
　装置が、本件発明１は、「ワークテーブルをＸ方向に研削送りするＸテーブルと、先端に回転刃が取付けられ、Ｘ方向に直交するＹ方向のインデックス送りがなされるスピンドルとを有し、前記回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置」であるのに対し、甲第１号証に記載の発明は、工作機械である点。
［相違点２］
　本件発明１では、液体受け部が「研削水や洗浄水の廃水を受けるオイルパン」であって、「前記ガイド手段及び駆動手段に連結されるとともに、前記Ｘテーブルを前記オイルパン内に吊り下げ保持することにより前記ワークテーブルを前記オイルパン中に保持する保持部材とが設けられている」のに対して、甲第１号証に記載の発明では、液体受け部が切屑回収装置であって、Ｘテーブルには駆動手段に連結される突出部が設けられている点。
　
　上記相違点について検討する。
［相違点１について］ 
　甲第２号証には、第６の２（２）イに示すとおりの発明が記載されている。甲第２号証に記載の発明の「Ｘ軸キャリッジ３８」は本件発明１の「Ｘテーブル」に相当するから、甲第２号証には、「ワークを載置したワークテーブルを上方に有し、該ワークテーブルをＸ方向に研削送りするＸテーブルと、先端に回転刃が取付けられ、Ｘ方向に直交するＹ方向のインデックス送りがなされるスピンドルとを有し、前記回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置」が記載されているとすることができる。
　そして、甲第１号証に記載の発明に係る構成を、回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うことに用いることができないとする特段の理由も見当たらない。
　してみると、甲第１号証に記載の発明に甲第２号証に記載の発明を適用し、相違点１に係る本件発明の特定事項とすることは当業者が容易になし得たことである。 
 　 
［相違点２について］ 
　甲第１号証に記載の発明の「切屑回収装置」は、加工の際の廃水を受けるものであるから、本件発明１の「オイルパン」と実質的な差異はない。
　次に、相違点２に係る本件発明１における「Ｘテーブルを前記オイルパン内に吊り下げ保持することにより前記ワークテーブルを前記オイルパン中に保持する」という事項は、上記１にて述べたとおり、「Ｘテーブル」についてはＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸のいずれの方向にもオイルパンの内側に保持され、「ワークテーブル」については少なくともＸ軸及びＹ軸の方向でオイルパンの内側に保持されるものと解することができる。
　一方、甲第１号証において、テーブル３（本件発明１のＸテーブルに相当）のワークパレット３２が載置される部分（同ワークテーブル）は、図３の記載によれば、切屑回収装置８の左右方向（同Ｙ方向）の内側に保持されていると認められる。しかしながら、図１の記載によれば、テーブル３は前後方向（同Ｘ方向）には切屑回収装置８の外側にも移動することができるから、本件発明１のワークテーブルに相当する上記部分も、前後方向（同Ｘ方向）には切屑回収装置８の外側にも移動するものであり、切屑回収装置８の内側に保持されるということはできない。そして、テーブル３は、図１及び図３によれば、上下方向（同Ｚ方向）には切屑回収装置８の外側に保持されている。
　してみると、甲第１号証は、「ワークを載置したワークテーブルを上方に有し、該ワークテーブルをＸ方向に研削送りするＸテーブル」及び「ワークテーブル」を、少なくともＸ軸及びＹ軸の方向で見てオイルパン（切屑回収装置８）の内側に保持するという技術思想を開示するものではなく、また、前記「Ｘテーブル」をＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸のいずれの方向にもオイルパンの内側に保持するという技術思想を開示するものでもない。
　さらに、「Ｘテーブルを前記オイルパン内に吊り下げ保持すること」についてみても、甲第１号証の「テーブル３」は、図３によれば、テーブル３の両外側部分が切屑回収装置８の外側に配置されているガイドウエイ２に保持される構成となっていることが認められるが、前記両外側部分は、ガイドウエイ２に吊り下げ保持される構成とはなっていない。
　ここで、仮に、甲第１号証においてテーブル３をオイルパンの内側に吊り下げ保持したとすると、テーブル３は、図１の記載から明らかなように、オイルパンの前後方向の壁に当接して全ストロークを移動できないこととなるから、甲第１号証には、テーブル３をオイルパンの内側に吊り下げ保持するという契機が存在しないものである。
　また、上記相違点２に係る本件発明１の特定事項は、甲第２号証にも記載されておらず、示唆もされていない。
　
　そして、本件発明１は、上記相違点２に係る特定事項を具備することにより、特許明細書に記載された「オイルパンの底部に開口部を形成する必要がなく防水効果が高い。また、開口部をシールする蛇腹が不要である。更に、蛇腹が用いられていないのでオイルパンの清掃が容易になり、清掃のためのダイシング装置のダウンタイムが減少する。」という格別の効果を奏するものである。
　
　したがって、本件発明１は、甲第１号証に記載された発明とすることができず、また、甲第１号証及び甲第２号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。 
 　  
　なお、請求人はこの点に関して、上記審判事件上申書において、概略、下記（ア）、（イ）について主張している。 
（ア）「オイルパン内」及び「オイルパン中」は共に、オイルパンの「両側壁間の空間」（即ちオイルパンの側壁の離間方向に見て両側壁間に位置する上下方向に制限のない空間）を意味するものと理解すると、甲第１号証に記載されている発明においてもＸテーブル（ワークテーブル３）及びワークテーブル（ワークパレット３２）は共に、オイルパン（切屑回収装置８）の「両側壁間の空間」内に位置せしめられており、この点において本件訂正発明１と甲第１号証に記載された発明との間に相違は認められない。（上申書第６頁第１２〜１８行参照） 
（イ）本件訂正発明１において、Ｘテーブルをオイルパンの両側壁の上縁よりも下方に位置せしめても、ワークが載置され研削水、洗浄水が直接的に噴射されるワークテーブルはオイルパンの両側壁の上縁よりも上方に位置せしめられており、この点において本件訂正発明１と甲第１号証に記載されている発明との間に差異は存在しない。加えて、Ｘテーブルをオイルパンの両側壁の上縁よりも下方に位置せしめるか或いはオイルパンの両側壁の上縁と実質上同高或いはそれよりも上方に位置せしめるかは、装置の他の構成要素との関係等に応じて当業者が適宜に設定することができる設計上の選択事項にすぎない。（同第６頁第２７行〜第７頁第６行参照） 
 　 
　しかしながら、（ア）の点については、上述のように、甲第１号証において、テーブル３のワークパレット３２が載置される部分（本件発明１のワークテーブルに相当）は、図３の記載によれば、切屑回収装置８の左右方向（同Ｙ方向）の内側に保持されるものの、図１の記載によれば、前後方向（同Ｘ方向）には切屑回収装置８の外側にも移動するものであり、上記部分（ワークテーブル）が切屑回収装置（オイルパン）の内側に保持されるということはできない。
　また、（イ）の点について、本件発明１は「Ｘテーブルを前記オイルパン内に吊り下げ保持する」ものであるから、たとえワークテーブルがオイルパンの両側壁の上縁よりも上方に位置するものであったとしても、ワークテーブルをオイルパンにより近接して位置せしめることができ、研削水や洗浄水の廃水の回収を効率的に行い得ることが理解される。そして、上述のとおり、甲第１号証には、テーブル３をオイルパンの内側に吊り下げ保持するという契機が存在しないものであるから、上記「Ｘテーブルを前記オイルパン内に吊り下げ保持する」ことが設計上の選択事項にすぎないということはできない。
　よって、請求人の上記主張は採用することができない。  
 　 
イ　本件発明２乃至４について  
　本件発明２乃至４は、本件発明１を引用する発明であって、本件発明１の発明特定事項をさらに限定するものである。そして、本件発明１が、上述のとおり、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない以上、同様の理由により、本件発明２乃至４は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
　
第７　むすび  
　以上のとおりであるから、請求人の主張及び証拠方法によっては、本件発明１乃至４についての特許を無効とすることはできない。
　また、他に本件発明１乃至４についての特許を無効とすべき理由を発見しない。
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。