(57)【要約】  プラズマ生成素子（２）は、導電線（１１）および導電線（１１）を絶縁被覆する被覆部（１２）を含む被覆導線（１０）と、被覆部（１２）に少なくとも一部が接触するように被覆導線（１０）に隣接して配置された導電部材（２０）と、を備え、導電部材（２０）は、被覆導線（１０）の延在方向と交差する方向において被覆導線（１０）を挟み込んで保持する挟持部を少なくとも１つ以上有し、導電線（１０）および導電部材（２０）の間に電圧が印加されることにより挟持部近傍においてプラズマが生成される。
2018042700.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電線および前記導電線を絶縁被覆する被覆部を含む被覆導線と、
前記被覆部に少なくとも一部が接触するように前記被覆導線に隣接して配置された導電部材と、を備え、
前記導電部材は、前記被覆導線の延在方向と交差する方向において前記被覆導線を挟み込んで保持する挟持部を少なくとも１つ以上有し、
前記導電線および前記導電部材の間に電圧が印加されることにより前記挟持部近傍においてプラズマが生成される、プラズマ生成素子。
【請求項２】
前記導電部材は、前記被覆導線から見て一方側に配置される第１板状部と、前記被覆導線から見て他方側に配置される第２板状部とを含み、
前記第１板状部は、前記被覆導線に接触する第１接触部を有し、
前記第２板状部は、前記被覆導線に接触する第２接触部を有し、
前記挟持部は、前記第１接触部および前記第２接触部によって構成されている、請求項１に記載のプラズマ生成素子。
【請求項３】
前記第１板状部は、前記被覆導線に当接する主面とは反対側に位置する主面から、前記被覆導線から離れる方向に向けて突出し、前記第１板状部が延在する方向に沿って延在する第１突条部を有し、
前記第２板状部は、前記被覆導線に当接周面とは反対外に位置する主面から、前記被覆導線から離れる方向に向けて突出し、前記第２板状部が延在する方向に沿って延在する第２突条部を有する、請求項２に記載のプラズマ生成素子。
【請求項４】
前記導電部材は、内周側が前記被覆導線に接触する１つまたは複数の環状部材によって構成され、
前記挟持部は、前記被覆導線に接触する前記環状部材の内周面によって構成されている、請求項１に記載のプラズマ生成素子。
【請求項５】
前記導電部材は、前記被覆導線の前記延在方向に沿って延在する半筒部材によって構成され、
前記半筒部材は、前記被覆導線の前記延在方向に交差する方向に前記被覆導線を挟み込むように曲げられた内周面を有し、
前記挟持部は、前記被覆導線に接触する部分の前記内周面によって構成されている、請求項１に記載のプラズマ生成素子。
【請求項６】
前記導電部材は、前記被覆導線に接触する板状部と、一端側が前記板状部に連結されるとともに他端側が前記被覆導線に巻回された１つまたは複数の巻回部とを含み、
前記挟持部は、前記被覆導線に接触する部分の前記巻回部の内周面によって構成されている、請求項１に記載のプラズマ生成素子。
【請求項７】
導電線および前記導電線を絶縁被覆する被覆部を含み、互いに並走して配置される複数の被覆導線と、
前記被覆部に少なくとも一部が接触するように前記複数の被覆導線に隣接して配置された導電部材と、を備え、
前記導電部材は、前記被覆導線の延在方向と交差する方向において前記複数の被覆導線を挟み込んで保持する複数の挟持部を有し、
前記導電部材は、前記被覆導線から見て一方側に配置された第１導電部材と、前記被覆導線から見て他方側に配置された第２導電部材とを含み、
前記第１導電部材は、網目形状を有するとともに、前記複数の被覆導線に接触する第１接触部群を有し、
前記第２導電部材は、前記第１導電部材に対応する網目形状を有するとともに、前記複数の被覆導線に接触する第２接触部群を有し、
前記複数の挟持部は、前記第１接触部群と前記第２接触部群とによって構成され、
前記導電線および前記導電部材の間に電圧が印加されることにより前記複数の挟持部近傍においてプラズマが生成される、プラズマ生成素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電体バリア放電を生じさせてプラズマを生成するプラズマ生成素子に関する。本出願は、２０１６年９月２日に出願した日本特許出願である特願２０１６−１７１７９７号に基づく優先権を主張し、当該日本特許出願に記載された全ての記載内容を援用するものである。
【背景技術】
【０００２】
窒素や酸素を含む空気を環境下であってかつ大気圧下でプラズマを生成することができるプラズマ生成素子が開示された文献として、特許第４９８２８５１号公報（特許文献１）が挙げられる。【０００３】
特許文献１に記載のプラズマ生成素子は、芯線が絶縁層で被覆された複数の導線を撚り合わせて撚線構造とすること、または、複数の導線を編み込んで組み合わせた組紐構造とすることにより構成される。【０００４】
このように構成することにより、導線同士が接触する部分の近傍に微小の隙間が形成される。この状態で、導線間に電圧を印加することにより、当該隙間において誘電体バリア放電が発生する。この結果、プラズマを生成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４９８２８５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示のプラズマ生成素子においては、複数の導線を撚り合わせたり編み込んだりする必要があるため、構造が複雑となり、生産性の面で難がある。また、１本の導線が破損したような場合には、撚線構造および組紐構造を構成する導線を分解して組み直す必要が生じる。【０００７】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、簡易な構成を有するプラズマ生成素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子は、導電線および上記導電線を絶縁被覆する被覆部を含む被覆導線と、上記被覆部に少なくとも一部が接触するように上記被覆導線に隣接して配置された導電部材と、を備え、上記導電部材は、上記被覆導線の延在方向と交差する方向において上記被覆導線を挟み込んで保持する挟持部を少なくとも１つ以上有し、上記導電線および上記導電部材の間に電圧が印加されることにより上記挟持部近傍においてプラズマが生成される。【０００９】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記導電部材は、上記被覆導線から見て一方側に配置される第１板状部と、上記被覆導線から見て他方側に配置される第２板状部とを含んでいてもよい。この場合には、上記第１板状部は、上記被覆導線に接触する第１接触部を有する事が好ましく、上記第２板状部は、上記被覆導線に接触する第２接触部を有することが好ましい。さらに、上記挟持部は、上記第１接触部および上記第２接触部によって構成されていることが好ましい。【００１０】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第１板状部および上記第２板状部は、上記被覆導線の上記延在方向に沿って延在していてもよい。【００１１】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第１板状部および上記第２板状部は、上記第１板状部、上記被覆導線、および上記第２板状部が並ぶ方向から見た場合に、上記被覆導線の上記延在方向と交差するように延在していてもよい。【００１２】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第１板状部は、上記被覆導線に当接する主面とは反対側に位置する主面から、上記被覆導線から離れる方向に向けて突出し、上記第１板状部が延在する方向に沿って延在する第１突条部を有していてもよい。また、上記第２板状部は、上記被覆導線に当接周面とは反対外に位置する主面から、上記被覆導線から離れる方向に向けて突出し、上記第２板状部が延在する方向に沿って延在する第２突条部を有していてもよい。【００１３】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第１板状部および上記第１突条部は、一つの部材にて構成されていてもよく、上記第２板状部および上記第２突条部は、一つの部材にて構成されていてもよい。【００１４】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記導電部材は、内周側が上記被覆導線に接触する１つまたは複数の環状部材によって構成されていてもよい。この場合には、上記挟持部は、上記被覆導線に接触する上記環状部材の内周面によって構成されていることが好ましい。【００１５】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記導電部材は、上記被覆導線の上記延在方向に沿って延在する半筒部材によって構成されていてもよい。この場合には、上記半筒部材は、上記被覆導線の上記延在方向に交差する方向に上記被覆導線を挟み込むように曲げられた内周面を有することが好ましく、上記挟持部は、上記被覆導線に接触する部分の上記内周面によって構成されていることが好ましい。【００１６】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記半筒部材は、上記被覆導線の上記延在方向から見た場合に、Ｕ字形状、Ｖ字形状、または多角形形状を有することが好ましい。【００１７】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記半筒部材は、上記被覆導線の上記延在方向から見た場合に、上記内周面の一端側および上記内周面の他端側によって規定される開口面を有することが好ましく、この場合には、上記半筒部材は、上記内周面の上記一端側および上記内周面の上記他端側の一方に接続され、上記被覆導線の周面に沿って延在し、上記被覆導線が上記開口面側から抜けることを防止する抜け止め部を有することが好ましい。【００１８】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記導電部材は、上記被覆導線に接触する板状部と、一端側が上記板状部に連結されるとともに他端側が上記被覆導線に巻回された１つまたは複数の巻回部とを含んでいてもよい。この場合には、上記挟持部は、上記被覆導線に接触する部分の上記巻回部の内周面によって構成されていることが好ましい。【００１９】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記複数の巻回部は、上記被覆導線の上記延在方向に沿って並ぶ第１巻回部および第２巻回部を含んでいてもよい。この場合には、上記第１巻回部の巻回方向と上記第２巻回部の巻回方向とが逆であることが好ましい。【００２０】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記板状部は、上記被覆導線に接触する主面とは反対側の主面から、上記被覆導線から離れる方向に突出し、上記板状部が延在する方向に沿って延在する突条部を有していてもよい。【００２１】
本発明に基づく第２の局面に基づく、プラズマ生成素子にあっては、導線線および上記導電線を絶縁被覆する被覆部を含み、互いに並走して配置される複数の被覆導線と、上記被覆部に少なくとも一部が接触するように上記複数の被覆導線に隣接して配置された導電部材と、を備え、上記導電部材は、上記被覆導線の延在方向と交差する方向において上記複数の被覆導線を挟み込んで保持する複数の挟持部を有し、上記導電部材は、上記被覆導線から見て一方側に配置された第１導電部材と、上記被覆導線から見て他方側に配置された第２導電部材とを含み、上記第１導電部材は、網目形状を有するとともに、上記複数の被覆導線に接触する第１接触部群を有し、上記第２導電部材は、上記第１導電部材に対応する網目形状を有するとともに、上記複数の被覆導線に接触する第２接触部群を有し、上記複数の挟持部は、上記第１接触部群と上記第２接触部群とによって構成され、上記導電線および上記導電部材の間に電圧が印加されることにより上記複数の挟持部近傍においてプラズマが生成される。【００２２】
上記本発明の第２の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第１導電部材および上記第２導電部材は、多角形状に開口する開口部を規定する複数の辺部を含んでいてもよい。この場合には、上記第１導電部材、上記複数の被覆導線、および上記第２導電部材が並ぶ方向から見た場合に、上記複数の被覆導線は、互いに隣り合う辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置されていてもよい。【００２３】
上記本発明の第２の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第１導電部材および上記第２導電部材は、多角形状に開口する開口部を規定する複数の辺部を含んでいてもよい。この場合には、上記第１導電部材、上記複数の被覆導線、および上記第２導電部材が並ぶ方向から見た場合に、上記複数の被覆導線は、互いに向かい合う辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置されていてもよい。【００２４】
上記本発明の第２の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第１導電部材は、互いに並走して配置される複数の第１導電体を含んでいてもよい。この場合には、上記第２導電部材は、上記複数の第１導電体が並ぶ方向に沿って互いに並走して配置される複数の第２導電体を含むことが好ましい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、簡易な構成を有するプラズマ生成素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】実施の形態１に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。
【図２】実施の形態１に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。
【図３】実施の形態２に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。
【図４】実施の形態２に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。
【図５】実施の形態３に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。
【図６】実施の形態３に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。
【図７】変形例１に係るプラズマ生成素子の断面図である。
【図８】実施の形態４に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。
【図９】実施の形態４に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。
【図１０】実施の形態５に係るプラズマ生成装置を示す概略平面図である。
【図１１】実施の形態５に係るプラズマ生成装置を示す分解斜視図である。
【図１２】実施の形態５に係るプラズマ生成素子の一部を示す断面図である。
【図１３】実施の形態６に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。
【図１４】実施の形態７に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。
【図１５】実施の形態８に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。
【図１６】実施の形態９に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。
【図１７】実施の形態１０に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。
【図１８】実施の形態１１に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。
【図１９】実施の形態１２に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。
【図２０】実施の形態１３に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。
【図２１】実施の形態１４に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。
【図２２】実施の形態１４に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。
【図２３】実施の形態１５に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。
【図２４】実施の形態１６に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。
【図２５】実施の形態１７に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。
【図２６】実施の形態１７に係る導電部材の巻回前の状態を示す概略斜視図である。
【図２７】実施の形態１８に係るプラズマ生成素子を示す概略斜視図である。
【図２８】実施の形態１９に係るプラズマ生成素子を示す概略斜視図である。
【図２９】実施の形態１９に係る導電部材の巻回前の状態を示す概略斜視図である。
【図３０】実施の形態２０に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。
【図３１】実施の形態２１に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。
【図３２】実施の形態２１に係る空気清浄機の背面図である。
【図３３】実施の形態２２に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。
【図３４】実施の形態２２に係る空気清浄機の背面図である。
【図３５】実施の形態２３に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。
【図３６】実施の形態２３に係る空気清浄機の背面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。
【００２８】
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。図２は、実施の形態１に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。図１および図２を参照して、実施の形態１に係るプラズマ生成装置１およびプラズマ生成素子２について説明する。
【００２９】
図１に示すように、実施の形態１に係るプラズマ生成装置１は、プラズマ生成素子２、支持部材３０、および高電圧回路５０を備える。
【００３０】
図１および図２に示すように、プラズマ生成素子２は、誘電体バリア放電を生じさせてプラズマを生成するための素子である。プラズマ生成素子２は、被覆導線１０および導電部材２０を備える。
【００３１】
被覆導線１０は、所定の方向に沿って延在する。被覆導線１０は、線状に延びる。被覆導線１０は、導電線１１および当該導電線１１を絶縁被覆する被覆部１２を含む。被覆導線１０の延在方向における被覆導線１０の一端側および他端側においては、導電線１１が外部に露出している。導電線１１は、金属線によって構成されている。被覆部１２は、たとえばセラミック、ビニール、テフロン（登録商標）、および絶縁樹脂部材等によって構成されている。
【００３２】
導電部材２０は、被覆部１２に一部が接触するように被覆導線１０に隣接して配置されている。導電部材２０は、被覆導線１０の延在方向と交差する方向において被覆導線１０を挟み込んで保持する挟持部を有する。
【００３３】
導電部材２０は、被覆導線１０から見て一方側に位置する第１板状部２１と、被覆導線１０から見て他方側に位置する第２板状部２２とを含む。第１板状部２１および第２板状部２２は、被覆導線１０の延在方向に沿って延在する。第１板状部２１および第２板状部２２は、被覆導線１０の延在方向に交差する方向から被覆導線１０を挟み込む。第１板状部２１および第２板状部２２は、たとえばアルミ、アルミ合金、鉄、およびステンレス鋼等の鉄合金等の金属板によって構成されている。
【００３４】
第１板状部２１は、被覆導線１０（より特定的には被覆部１２）に接触する第１接触部Ｐ１を有する。第１接触部Ｐ１は、被覆導線１０の延在方向に沿って直線状に延在する。第２板状部２２は、被覆導線１０（より特定的には被覆部１２）に接触する第２接触部Ｐ２を有する。第２接触部Ｐ２は、被覆導線１０の延在方向に沿って直線状に延在する。
【００３５】
上記第１接触部Ｐ１および第２接触部Ｐ２によって、導電部材２０が被覆導線１０を挟み込んで保持する挟持部が構成されている。
【００３６】
支持部材３０は、導電部材２０を支持する。支持部材３０は、導電部材２０が被覆導線１０から離間することを防止する。
【００３７】
支持部材３０は、第１支持部材３１、および第２支持部材３２を含む。第１支持部材３１は、第１部分３１１、第２部分３１２、および接続部３１３を有する。
【００３８】
第１部分３１１は、板状形状を有する。第１部分３１１は、第１板状部２１の外表面（被覆導線１０に接触する側とは反対側の主面）に当接する。第２部分３１２は、板状形状部を有する。第２部分３１２は、所定の方向に第１部分３１１から離間している。第２部分３１２は、第２板状部２２の外表面（被覆導線１０に接触する側とは反対側の主面）に当接する。接続部３１３は、第１部分３１１および第２部分３１２を接続する。
【００３９】
第１部分３１１と第２部分３１２との間の隙間に、第１板状部２１、被覆導線１０および第２板状部２２の各一端側を挿入することにより、第１部分３１１が第１板状部２１を第２板状部２２側に押圧し、第２部分３１２が第２板状部２２を第１板状部２１側に押圧する。
【００４０】
第２支持部材３２は、第１支持部材３１と同様の構成を有する。第２支持部材３２は、第１部分３２１、第２部分３２２、および接続部３２３を有する。
【００４１】
第１部分３２１と第２部分３２２との間の隙間に、第１板状部２１、被覆導線１０および第２板状部２２の各他端側を挿入することにより、第１部分３２１が第１板状部２１を第２板状部２２側に押圧し、第２部分３２２が第２板状部２２を第１板状部２１側に押圧する。
【００４２】
第１支持部材３１および第２支持部材３２によって、被覆導線１０の両端側で、第１板状部２１および第２板状部２２を被覆導線１０に向けて押圧することにより、被覆導線１０から第１板状部２１および第２板状部２２が離間することを防止することができる。これにより、第１板状部２１および第２板状部２２を安定して被覆導線１０に接触させることができる。
【００４３】
高電圧回路５０は、不図示の電源から供給される電圧から高電圧を発生させる。高電圧回路５０の一方側は、配線４１によって導電線１１に電気的に接続される。高電圧回路５０の他方側は、配線４２によって導電部材２０（第１板状部２１および第２板状部２２）に電気的に接続される。第１板状部２１および第２板状部２２は、並列に接続されている。
【００４４】
高電圧回路５０は、高周波、高電圧を導電部材２０と導電線１１との間に印加する。これにより、導電部材２０と導電線１１との間に電位差を発生させる。導電部材２０と導電線１１との間に印加される電圧は、交流電圧であることが好ましい。
【００４５】
第１板状部２１および第２板状部２２が被覆部１２に接触し、第１接触部Ｐ１と第２接触部Ｐ２とによって挟持部が構成されることにより、挟持部の周囲にプラズマを生成可能な隙間Ｒ（プラズマ生成部）が形成される。
【００４６】
当該隙間Ｒにおいて、所定の放電条件を充足することによりプラズマを生成することができる。具体的には、被覆部１２の周面から第１板状部２１までの距離、および被覆部１２の周面から第２板状部２２までの距離と雰囲気圧力（流体圧力）との積に応じて決定される放電開始電圧以上の電圧が、導電線１１と第１板状部２１との間、および、導電線１１と第２板状部２２との間に印加されることにより、誘電体バリア放電が発生しプラズマが生成される。
【００４７】
交流電圧を印加して、導電線１１と第１板状部２１との間、および、導電線１１と第２板状部２２との間に印加される電圧の極性を反転させることにより、誘電体バリア放電を繰り返し行なうことができる。
【００４８】
第１接触部Ｐ１および第２接触部Ｐ２に沿って、被覆導線１０の延在方向における一端側および他端側にかけて略均一にプラズマが生成されるため、広範囲に亘ってプラズマを生成することができる。これにより、処理対象気体に効率よくプラズマを接触させることができる。
【００４９】
プラズマを発生させつつ、プラズマ生成装置１に空気等の処理対象気体を通過させることにより、処理対象気体中に存在する菌やウイルスの不活化、または、臭気等の処理対象気体中に含まれる不純物ガスの分解除去を行なうことができる。これにより処理対象気体を浄化することができる。
【００５０】
処理対象気体の送風方向は、図１および図２に示すように、被覆導線１０の延在方向、および第１板状部２１、被覆導線１０、ならびに第２板状部２２が並ぶ方向に直交する方向（ＡＲ１方向）としてもよい。処理対象気体を上記送風方向に送風することにより、上記第１接触部Ｐ１および上記第２接触部Ｐ２に直接処理対象気体が当たることなり、処理対象気体にプラズマを含ませることができる。
【００５１】
なお、処理対象気体の送風方向は、第１板状部２１、被覆導線１０、および第２板状部２２が並ぶ方向であってもよいし、被覆導線１０の延在方向であってもよい。送風方向を第１板状部２１、被覆導線１０、および第２板状部２２が並ぶ方向とする場合には、被覆導線１０の周面上を周方向に沿って処理対象気体の一部が流れることにより、処理対象気体にプラズマを含ませることができる。送風方向を被覆導線１０の延在方向とする場合には、被覆導線１０の周面上を被覆導線１０の延在方向に沿って処理対象気体の一部が流れることにより、処理対象気体にプラズマを含ませることができる。
【００５２】
なお、導電部材２０を接地することにより、使用者が外部に露出する導電部材２０に触れた場合であっても安全性を確保することができる。
【００５３】
以上のように、実施の形態１に係るプラズマ生成素子２は、被覆導線同士を撚り合わせることなく、被覆導線１０を第１板状部２１および第２板状部２２によって挟み込むことにより構成されるため、その構成を簡素化することができる。これに伴って、プラズマ生成素子２を具備するプラズマ生成装置１の構成も簡素化することができる。
【００５４】
（実施の形態２）
図３は、実施の形態２に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。図４は、実施の形態２に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。図３および図４を参照して、実施の形態２に係るプラズマ生成装置１Ａおよびプラズマ生成素子２Ａについて説明する。
【００５５】
図３に示すように、実施の形態２に係るプラズマ生成装置１Ａは、実施の形態１に係るプラズマ生成装置１と比較して、プラズマ生成素子２Ａの構成が相違し、これに伴って支持部材３０Ａの構成が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
【００５６】
図３および図４に示すように、プラズマ生成素子２Ａは、実施の形態１に係るプラズマ生成素子２が複数並走して配置されていることより構成される。具体的には、プラズマ生成素子２Ａは、複数の被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃと、複数の導電部材２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃと、を備える。
【００５７】
複数の被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは、互いに並走して配置されている。複数の被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃの各々は、導電線１１およびこれを絶縁被覆する被覆部１２を含む。
【００５８】
複数の導電部材２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃは、それぞれ被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを挟み込んで保持する。これにより、複数の導電部材２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの各々は、被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを挟持する挟持部を有する。
【００５９】
複数の導電部材２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの各々は、第１板状部２１、および第２板状部２２を含む。複数の導電部材２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに含まれる第１板状部２１および第２板状部２２の各々は、複数の被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃが並ぶ方向から被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを挟み込む。
【００６０】
第１板状部２１は、被覆導線１０に接触する第１接触部Ｐ１を有する。第２板状部２２は、被覆導線１０に接触する第２接触部Ｐ２を有する。この第１接触部Ｐ１および第２接触部Ｐ２によって挟持部が構成されている。
【００６１】
支持部材３０Ａは、複数の導電部材２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを支持する。支持部材３０Ａは、導電部材２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃが被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃから離間することを防止する。
【００６２】
支持部材３０Ａは、第１支持部材３１Ａ，第２支持部材３２Ａを含む。第１支持部材３１Ａは、略直方体のブロック形状を有する。第１支持部材３１Ａは、第１凹部３０１、第２凹部３０２、および第３凹部３０３を有する。第２支持部材３２Ａも第１支持部材３１Ａと同様の構成を有する。
【００６３】
第１板状部２１、被覆導線１０Ａおよび第２板状部２２の各一端側は、第１支持部材３１Ａの第１凹部３０１に挿入されている。第１板状部２１、被覆導線１０Ａおよび第２板状部２２の各他端側は、第２支持部材３２Ａの第１凹部に挿入されている。
【００６４】
第１板状部２１、被覆導線１０Ｂおよび第２板状部２２の各一端側は、第１支持部材３１Ａの第２凹部３０２に挿入されている。第１板状部２１、被覆導線１０Ｂおよび第２板状部２２の各他端側は、第２支持部材３２Ａの第２凹部に挿入されている。
【００６５】
第１板状部２１、被覆導線１０Ｃおよび第２板状部２２の各一端側は、第１支持部材３１Ａの第３凹部３０３に挿入されている。第１板状部２１、被覆導線１０Ｃおよび第２板状部２２の各他端側は、第２支持部材３２Ａの第１凹部に挿入されている。
【００６６】
高電圧回路５０の一方側は、配線４１によって複数の導電線１１に電気的に接続されている。複数の導電線１１は、並列に接続されている。高電圧回路５０の他方側は、配線４２によって複数の導電部材２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに含まれる第１板状部２１および第２板状部２２の各々に電気的に接続されている。複数の導電部材２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに含まれる第１板状部２１および第２板状部２２の各々は、並列に接続されている。
【００６７】
高電圧回路５０によって、複数の導電線１１の各々と複数の導電部材２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃにそれぞれ高電圧を印加することにより、実施の形態１同様に、複数の挟持部からプラズマが生成する。
【００６８】
なお、処理対象気体の送風方向は、図３および図４に示すように、複数の被覆導線が並ぶ方向および被覆導線１０の延在方向に直交する方向（ＡＲ２方向）としてもよいし、複数の被覆導線１０が並ぶ方向としてもよいし、被覆導線１０の延在方向に平行な方向としてもよい。
【００６９】
以上のように構成される場合であっても、実施の形態２に係るプラズマ生成素子２Ａ、およびプラズマ生成装置１Ａは、実施の形態１に係るプラズマ生成素子２およびプラズマ生成装置１とほぼ同様の効果が得られる。
【００７０】
プラズマ生成素子２Ａが、複数の被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃおよび複数の導電部材２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを備えることにより、実施の形態１と比較してより広範囲に亘って処理対象気体を浄化させることができる。
【００７１】
（実施の形態３）
図５は、実施の形態３に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。図６は、実施の形態３に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。図５および図６を参照して、実施の形態３に係るプラズマ生成装置１Ｂおよびプラズマ生成素子２Ｂについて説明する。
【００７２】
図５に示すように、実施の形態３に係るプラズマ生成装置１Ｂは、実施の形態１に係るプラズマ生成装置１と比較した場合に、プラズマ生成素子２Ｂの導電部材２０Ｂ１の構成が相違する。その他の構成は、ほぼ同様である。
【００７３】
図５および図６に示すように、プラズマ生成素子２Ｂの導電部材２０Ｂ１は、第１板状部２１Ｂおよび第２板状部２２Ｂを含む。
【００７４】
第１板状部２１Ｂは、第１突条部２３を有する。第１突条部２３は、被覆導線１０に当接する主面２１Ｂａとは反対側に位置する主面２１Ｂｂから、被覆導線１０から離れる方向に向けて突出する。第１突条部２３は、第１板状部２１Ｂの延在方向に沿って延在する。
【００７５】
第１板状部２１Ｂおよび第１突条部２３は、一つの部材によって構成されている。第１板状部２１Ｂおよび第１突条部２３は、平板形状を有する金属片を折り曲げることにより形成される。これにより、第１板状部２１Ｂと第１突条部２３とを別部材にて構成する場合と比較して、別部材同士を固着させる手間を省くことができるとともに、製造コストを低減させることができる。
【００７６】
第２板状部２２Ｂは、第２突条部２４を有する。第２突条部２４は、被覆導線１０に当接する主面２２Ｂａとは反対側に位置する主面２２Ｂｂから、被覆導線１０から離れる方向に向けて突出する。第２突条部２４は、第２板状部２２Ｂの延在方向に沿って延在する。
【００７７】
第２板状部２２Ｂおよび第２突条部２４は、一つの部材によって構成されている。第２板状部２２Ｂおよび第２突条部２４は、平板形状を有する金属片を折り曲げることにより形成される。これにより、第２板状部２２Ｂと第２突条部２４とを別部材にて構成する場合と比較して、別部材同士を固着させる手間を省くことができるとともに、製造コストを低減させることができる。
【００７８】
以上のように構成される場合であっても、実施の形態２に係るプラズマ生成素子２Ｂおよびプラズマ生成装置１Ｂは、実施の形態１に係るプラズマ生成素子２、プラズマ生成装置１とほぼ同様の効果が得られる。
【００７９】
上述のように第１突条部２３および第２突条部２４が設けられることにより、第１板状部２１Ｂおよび第２板状部２２Ｂの剛性が向上する。このため、第１支持部材３１および第２支持部材３２によって被覆導線１０の両端側で、第１板状部２１Ｂおよび第２板状部２２Ｂを被覆導線１０に向けて押圧した場合であっても、第１板状部２１Ｂおよび第２板状部２２Ｂの中央部が被覆導線１０から離間するようにして、第１板状部２１Ｂおよび第２板状部２２Ｂが撓むことを抑制できる。これにより、第１板状部２１Ｂおよび第２板状部２２Ｂをより安定して被覆導線１０に接触させることができる。
【００８０】
この結果、第１接触部Ｐ１および第２接触部Ｐ２に沿って、被覆導線１０の延在方向における一端側および他端側にかけてプラズマをより均一に生成することができる。
【００８１】
なお、処理対象気体の送風方向は、図５および図６に示すように、第１板状部２１Ｂ、被覆導線１０、および第２板状部２２Ｂが並ぶ方向（ＡＲ３方向）であってもよいし、被覆導線１０の延在方向に平行な方向であってもよいし、第１板状部２１Ｂ、被覆導線１０、および第２板状部２２Ｂが並ぶ方向ならびに被覆導線１０の延在方向に直交する方向であってもよい。
【００８２】
（変形例１）
図７は、変形例１に係るプラズマ生成素子の断面図である。図７を参照して、変形例１に係るプラズマ生成素子２Ｃについて説明する。
【００８３】
図７に示すように、変形例１に係るプラズマ生成素子２Ｃは、実施の形態３に係るプラズマ生成素子２Ｂと比較した場合に、導電部材２０Ｃ１の構成が相違する。その他の構成についてはほぼ同様である。
【００８４】
導電部材２０Ｃ１は、実施の形態３に係る導電部材２０Ｂ１と比較した場合に、第１突条部２３Ｃおよび第２突条部２４Ｃの設けられている位置が相違するとともに、第１板状部２１Ｂと第１突条部２３Ｃとが別部材で構成されているとともに、第２板状部２２Ｂと第２突条部２４Ｃとが別部材で構成されている点において相違する。
【００８５】
第１突条部２３Ｃは、第１板状部２１Ｂの略中央部に設けられている。第１突条部２３Ｃは、第１板状部２１Ｂに接着または溶着等によって固着されている。第２突条部２４Ｃは、第２板状部２２Ｂの略中央部に設けられている。第２突条部２４Ｃは、第２板状部２２Ｂに接着または溶着等によって固着されている。
【００８６】
第１突条部２３Ｃおよび第２突条部２４Ｃは、金属板によって構成されていてもよいし、樹脂部材によって構成されていてもよい。
【００８７】
以上のように構成した場合であっても、変形例１に係るプラズマ生成素子２Ｃおよびこれを備えたプラズマ生成装置は、実施の形態３に係るプラズマ生成素子２Ｂおよびプラズマ生成装置１Ｂとほぼ同様の効果が得られる。
【００８８】
（実施の形態４）
図８は、実施の形態４に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。なお、図８においては、高電圧回路および配線を省略している。図９は、実施の形態４に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。図８および図９を参照して、実施の形態４に係るプラズマ生成装置１Ｄおよびプラズマ生成素子２Ｄについて説明する。
【００８９】
図８に示すように、実施の形態４に係るプラズマ生成装置１Ｄは、実施の形態３に係るプラズマ生成装置１Ｂと比較した場合に、プラズマ生成素子２Ｄの構成が相違し、これに伴って支持部材３０Ｄの構成が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
【００９０】
図８および図９に示すように、プラズマ生成素子２Ｄは、実施の形態３に係るプラズマ生成素子２Ｂ１が、並走して配置されることにより構成されている。具体的には、プラズマ生成素子２Ｄは、複数の被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃと、複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３と、を備える。
【００９１】
複数の被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは、互いに並走して配置されている。複数の被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃの各々は、導電線１１およびこれを絶縁被覆する被覆部１２を含む。
【００９２】
複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３は、それぞれ被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを挟み込んで保持する。これにより、複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３の各々は、被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを挟持する挟持部を有する。
【００９３】
複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３の各々は、第１板状部２１Ｂ、および第２板状部２２Ｂを含む。複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３に含まれる第１板状部２１Ｂおよび第２板状部２２Ｂの各々は、複数の被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃが並ぶ方向および複数の被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃの延在方向に交差する方向から被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを挟み込む。
【００９４】
第１板状部２１Ｂは、被覆導線１０に接触する第１接触部Ｐ１を有する。第２板状部２２Ｂは、被覆導線１０に接触する第２接触部Ｐ２を有する。この第１接触部Ｐ１および第２接触部Ｐ２によって挟持部が構成されている。
【００９５】
第１板状部２１Ｂは、第１突条部２３を有する。第１突条部２３は、実施の形態３に係る第１突条部２３と同様の構成である。第２板状部２２Ｂは、第２突条部２４を有する。
【００９６】
支持部材３０Ｄは、複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３を支持する。支持部材３０Ｄは、導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３が被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃから離間することを防止する。
【００９７】
支持部材３０Ｄは、第１支持部材３１Ｄ，第２支持部材３２Ｄを含む。第１支持部材３１Ｄは、第１部分３１１、第２部分３１２、および第１部分３１１および第２部分３１２を接続する接続部３１３を有する。
【００９８】
第１部分３１１は、板状形状を有する。第１部分３１１は、複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３の各々に含まれる第１板状部２１Ｂの外表面（被覆導線１０に接触する側とは反対側の主面）に当接し、これらを第２部分３１２側に向けて押圧する。
【００９９】
第１部分３１１には、複数の切欠きが設けられている。複数の切欠きには、複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３の各々に含まれる第１突条部２３の一端側が挿入されている。
【０１００】
第２部分３１２は、板状形状部を有する。第２部分３１２は、所定の方向に第１部分３１１から離間している。第２部分３１２は、複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３の各々に含まれる第２板状部２２の外表面（被覆導線１０に接触する側とは反対側の主面）に当接し、これらを第１部分３１１側に向けて押圧する。
【０１０１】
第２部分３１２には、複数の切欠きが設けられている。複数の切欠きには、複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３の各々に含まれる第２突条部２４の一端側が挿入されている。
【０１０２】
第１部分３１１と第２部分３１２との間に複数の被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃおよび複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３の一端側が挿入されることにより、第１支持部材３１Ｄは、複数の被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃおよび複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３の一端側を支持する。
【０１０３】
第２支持部材３２Ｄは、第１支持部材３１Ｄと同様の構成を有する。第２支持部材３２Ｄは、第１支持部材３１Ｄと同様の状態で、第１支持部材３１Ｄは、複数の被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃおよび複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３の他端側を支持する。
【０１０４】
高電圧回路（不図示）の一方側は、配線（不図示）によって複数の導電線１１に電気的に接続されている。複数の導電線１１は、並列に接続されている。高電圧回路（不図示）の他方側は、配線（不図示）によって複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３に含まれる第１板状部２１Ｂおよび第２板状部２２Ｂの各々に電気的に接続されている。複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３に含まれる第１板状部２１Ｂおよび第２板状部２２Ｂの各々は、並列に接続されている。
【０１０５】
上記高電圧回路によって、複数の導電線１１の各々と複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３にそれぞれ高電圧を印加することにより、実施の形態１同様に、複数の挟持部近傍からプラズマが生成する。
【０１０６】
以上のように構成される場合であっても、実施の形態４に係るプラズマ生成素子２Ｄ、およびプラズマ生成装置１Ｄは、実施の形態３に係るプラズマ生成素子２Ｂおよびプラズマ生成装置１Ｂとほぼ同様の効果が得られる。
【０１０７】
プラズマ生成素子２Ｄが、複数の被覆導線１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃおよび複数の導電部材２０Ｂ１，２０Ｂ２，２０Ｂ３を備えることにより、実施の形態１と比較してより広範囲に亘って処理対象気体を浄化させることができる。
【０１０８】
（実施の形態５）
図１０は、実施の形態５に係るプラズマ生成装置を示す概略平面図である。図１１は、実施の形態５に係るプラズマ生成装置を示す分解斜視図である。図１２は、実施の形態５に係るプラズマ生成素子の一部を示す断面図である。図１０から図１２を参照して、実施の形態５に係るプラズマ生成装置１Ｅおよびプラズマ生成素子２Ｅについて説明する。
【０１０９】
図１０および図１１に示すように、実施の形態５に係るプラズマ生成装置１Ｅは、プラズマ生成素子２Ｅ、および高電圧回路５０を備える。図１０から図１２に示すように、プラズマ生成素子２Ｅは、複数の被覆導線１０、および導電部材２０Ｅを備える。
【０１１０】
複数の被覆導線１０は、互いに並走して配置されている。複数の被覆導線１０の各々は、導電線１１および導電線１１を被覆する被覆部１２を含む。
【０１１１】
導電部材２０Ｅは、被覆部１２に少なくとも一部が接触するように複数の被覆導線１０に隣接して配置されている。導電部材２０Ｅは、被覆導線の延在方向と交差する方向において複数の被覆導線１０を挟み込んで保持する複数の挟持部を有する。
【０１１２】
導電部材２０Ｅは、第１導電部材２１Ｅおよび第２導電部材２２Ｅを含む。第１導電部材２１Ｅは、被覆導線１０から見て一方側に配置されている。第１導電部材２１Ｅは、網目形状を有する。具体的には、矩形形状を有する複数の開口部が行状または列状に並ぶ網目形状を有する。
【０１１３】
第１導電部材２１Ｅは、複数の導電体２１１（第１導電体）および枠体２１５を有する。複数の導電体２１１は、互いに並走して配置されている。複数の導電体２１１は、たとえば板状形状を有する。なお、導電体２１１の形状は、板状形状に限定されず、円柱状形状であってもよい。
【０１１４】
複数の導電体２１１は、第１導電部材２１Ｅ，複数の被覆導線１０、および第２導電部材２２Ｅが並ぶ方向から見た場合（平面視した場合）に、被覆導線１０と交差するように延在する。具体的には、複数の導電体２２１は、第１導電部材２１Ｅ，複数の被覆導線１０、および第２導電部材２２Ｅが並ぶ方向から見た場合に、被覆導線１０の延在方向と直交する方向に延在する。複数の導電体２１１は、枠体２１５によって支持されている。
【０１１５】
第２導電部材２２Ｅは、被覆導線１０から見て他方側に配置されている。第２導電部材２２Ｅは、網目形状を有する。具体的には、矩形形状を有する複数の開口部が行状または列状に並ぶ網目形状を有する。
【０１１６】
第２導電部材２２Ｅは、複数の導電体２２１（第２導電体）および枠体２２５を有する。複数の導電体２２１は、複数の導電体２１１が並ぶ方向に沿って互いに並走して配置されている。複数の導電体２２１は、たとえば板状形状を有する。なお、導電体２２１の形状は、板状形状に限定されず、円柱状形状であってもよい。
【０１１７】
複数の導電体２２１は、第１導電部材２１Ｅ，複数の被覆導線１０、および第２導電部材２２Ｅが並ぶ方向から見た場合に、被覆導線１０と交差するように延在する。複数の導電体２２１は、複数の導電体２１１と同じ方向に沿って延在する。複数の導電体２２１は、枠体２２５によって支持されている。
【０１１８】
複数の被覆導線１０が第１導電部材２１Ｅと第２導電部材２２Ｅとによって挟み込まれることにより、第１導電部材２１Ｅは、複数の被覆導線１０に接触する第１接触部群を有し、第２導電部材２２Ｅは、複数の被覆導線１０に接触する第２接触部群を有することとなる。
【０１１９】
第１導電部材２１Ｅの複数の導電体２１１が複数の被覆導線１０に接触することにより、第１接触部Ｐ１が行列状に形成されることにより、第１接触部群が形成される。第２導電部材２２Ｅの複数の導電体２２１が複数の被覆導線１０に接触することにより、第２接触部Ｐ２が行列状に形成されることにより、第２接触部群が形成される。
【０１２０】
これら第１接触部群および第２接触部群によって、複数の被覆導線１０を挟み込んで保持する複数の挟持部が構成される。
【０１２１】
高電圧回路５０の一方側は、配線４１によって複数の導電線１１に電気的に接続されている。複数の導電線１１は、並列に接続されている。高電圧回路５０の他方側は、配線４２によって複数の導電体２１１および複数の導電体２２１に電気的に接続されている。複数の導電体２１１および複数の導電体２２１は、並列に接続されている。
【０１２２】
高電圧回路５０によって、複数の導電線１１の各々と導電部材２０Ｅ（より具体的には、第１導電部材２１Ｅの複数の導電体２１１および第２導電部材２２Ｅの複数の導電体２２１）に高電圧を印加することにより、実施の形態１同様に、複数の挟持部近傍においてプラズマが生成される。
【０１２３】
以上のように、実施の形態５に係るプラズマ生成素子２Ｅは、被覆導線同士を撚り合わせることなく、網目形状を有する第１導電部材２１Ｅおよび第２導電部材２２Ｅによって複数の導電線１１を挟み込むことにより構成されるため、その構成を簡素化することができる。これに伴って、プラズマ生成素子２Ｅを具備するプラズマ生成装置１Ｅの構成も簡素化することができる。
【０１２４】
また、プラズマ生成素子２Ｅが、複数の被覆導線１０を備えることにより、実施の形態１と比較してより広範囲に亘って処理対象気体を浄化させることができる。
【０１２５】
なお、処理対象気体の送風方向は、第１導電部材２１Ｅと第２導電性部材２２Ｅとが並ぶ方向であることが好ましい。
【０１２６】
（実施の形態６）
図１３は、実施の形態６に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。図１３を参照して、実施の形態６に係るプラズマ生成素子２Ｆについて説明する。
【０１２７】
図１３に示すように、実施の形態６に係るプラズマ生成素子２Ｆは、実施の形態５に係るプラズマ生成素子２Ｅと比較した場合に、導電部材２０Ｆの構成が相違する。その他の構成は、ほぼ同様である。
【０１２８】
導電部材２０Ｆは、第１導電部材２１Ｆおよび第２導電部材２２Ｆを含む。第１導電部材２１Ｆおよび第２導電部材２２Ｆは、矩形形状を有する複数の開口部が行列状に並ぶ網目形状を有する。
【０１２９】
第１導電部材２１Ｆは、複数の導電体２１１，２１２および枠体２１５を有する。複数の導電体２１１は、互いに並走して配置されている。複数の導電体２１１は、平面視した場合に、複数の被覆導線１０の延在方向と平行な方向に沿って延在する。複数の導電体２１２は、互いに並走して配置されている。複数の導電体２１２は、平面視した場合に、複数の導電体２１１に略直交するように延在する。複数の導電体２１１および複数の導電体２１２は、枠体２１５によって支持されている。
【０１３０】
第２導電部材２２Ｆは、複数の導電体２２１，２２２および枠体２２５を有する。複数の導電体２２１は、互いに並走して配置されている。複数の導電体２２１は、平面視した場合に、複数の被覆導線１０の延在方向と平行な方向に沿って延在する。複数の導電体２２２は、互いに並走して配置されている。複数の導電体２２２は、平面視した場合に、複数の導電体２２１に略直交するように延在する。複数の導電体２２１および複数の導電体２２２は、枠体２２５によって支持されている。
【０１３１】
第１導電部材２１Ｆおよび第２導電部材２２Ｆは、矩形形状に開口する開口部を規定する複数の辺部２３１，２３２，２３３，２３４を有する。
【０１３２】
複数の被覆導線１０は、第１導電部材２１Ｆおよび第２導電部材２２Ｆによって挟み込まれている。複数の被覆導線１０は、第１導電部材２１Ｆ、複数の被覆導線１０、および第２導電部材２２Ｆが並ぶ方向から見た場合に、互いに向かい合う辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置されている。
【０１３３】
具体的には、複数の被覆導線１０の各々は、列方向に配置される複数の開口部の各々に対応して配置されている。複数の被覆導線１０の各々は、平面視した場合に、対応する開口部において、行方向に対向する辺部の中心を通過する。
【０１３４】
たとえば、複数の被覆導線１０のうちの一つに着目すると、着目された一つの被覆導線１０は、平面視した場合に、開口部を規定する複数の辺部２３１，２３２，２３３，２３４のうち互いに向かい合う辺部２３１，２３３の中心Ｏ１，Ｏ２を通過する。
【０１３５】
以上のように構成される場合であっても、実施の形態６に係るプラズマ生成素子２Ｆは、実施の形態５に係るプラズマ生成素子２Ｅとほぼ同様の効果を有する。
【０１３６】
複数の被覆導線１０の各々が、平面視した場合に、開口部に構成する辺部の中心を通過することにより、通過する辺部の両端の頂点部の各々から挟持部までの距離が等しくなる。これにより、挟持部と辺部とが交差する方向においてプラズマを略均一に発生させることができる。さらに、複数の挟持部が規則正しく配列することとなり、全体的にもプラズマを略均一に発生させることができる。
【０１３７】
（実施の形態７）
図１４は、実施の形態７に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。図１４を参照して、実施の形態７に係るプラズマ生成素子２Ｇについて説明する。
【０１３８】
図１４に示すように、実施の形態７に係るプラズマ生成素子２Ｇは、実施の形態６に係るプラズマ生成素子２Ｆと比較した場合に、複数の被覆導線１０の並走方向が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
【０１３９】
複数の被覆導線１０は、第１導電部材２１Ｆ、複数の被覆導線１０、および第２導電部材２２Ｆが並ぶ方向から見た場合に、第１導電部材２１Ｆおよび第２導電部材２２Ｆが有する網目形状を構成する開口部を規定する辺部のうち、互いに隣り合う辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置される。
【０１４０】
複数の被覆導線１０の各々は、矩形形状を有する開口部の対角線に平行な方向に延在する。複数の被覆導線１０の各々は、平面視した場合に、通過する開口部の各々において、互いに隣り合う辺部の中心を通過する。
【０１４１】
たとえば、複数の被覆導線１０のうちの一つに着目すると、着目された一つの被覆導線１０は、平面視した場合に、開口部を規定する複数の辺部２３１，２３２，２３３，２３４のうち互いに隣り合う辺部２３１，２３４の中心Ｏ１，Ｏ３を通過する。
【０１４２】
以上のように構成される場合であっても、実施の形態７に係るプラズマ生成素子２Ｆは、実施の形態６に係るプラズマ生成素子２Ｆとほぼ同様の効果を有する。
【０１４３】
（実施の形態８）
図１５は、実施の形態８に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。図１５を参照して、実施の形態８に係るプラズマ生成素子２Ｈについて説明する。
【０１４４】
図１５に示すように、実施の形態８に係るプラズマ生成素子２Ｈは、実施の形態５に係るプラズマ生成素子２Ｅと比較した場合に、導電部材２０Ｈの構成（具体的には、第１導電部材２１Ｈおよび第２導電部材２２Ｈの形状）が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
【０１４５】
第１導電部材２１Ｈは、複数の導電体２１１、複数の導電体２１２、複数の導電体２１３、および枠体２１５を有する。
【０１４６】
複数の導電体２１１は、第１方向に沿って延在する。複数の導電体２１２は、第１方向に交差する第２方向に沿って延在する。複数の導電体２１３は、第１方向および第２方向に交差する第３方向に沿って延在する。複数の導電体２１１、複数の導電体２１２、および複数の導電体２１３は、枠体２１５によって支持されている。
【０１４７】
第１導電部材２１Ｈは、複数の導電体２１１、複数の導電体２１２、および複数の導電体２１３によって、三角形状を有する複数の開口部が平面的に並ぶ網目形状を有するように構成されている。
【０１４８】
第２導電部材２２Ｈも、第１導電部材２１Ｈとほぼ同様の形状を有する。第２導電部材２２Ｅは、複数の導電体２２１、複数の導電体２２２、および複数の導電体２２３によって、三角形状を有する複数の開口部が平面的に並ぶ網目形状を有するように構成されている。
【０１４９】
複数の被覆導線１０は、第１導電部材２１Ｈ、複数の被覆導線１０、および第２導電部材２２Ｈが並ぶ方向から見た場合に、三角形状の網目形状を構成する開口部を規定する辺部のうち、互いに隣り合う辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置される。
【０１５０】
複数の被覆導線１０の各々は、それぞれ異なる方向に延在する導電体２１１、導電体２１２、および導電体２１３のいずれか１つの導電体２１１の延在方向と平行な方向に延在する。複数の被覆導線１０の各々は、平面視した場合に、通過する開口部の各々において、開口部を規定する辺部のうち、上記１つの導電体２１１と異なる他の２つの導電体２１２，２１３によって構成される互いに隣り合う辺部の中心を通過する。
【０１５１】
たとえば、複数の被覆導線１０のうちの一つに着目すると、着目された一つの被覆導線１０は、平面視した場合に、開口部を規定する複数の辺部２３１，２３２，２３３のうち互いに隣り合う辺部２３２，２３２の中心Ｏ３，Ｏ４を通過する。
【０１５２】
以上のように構成される場合であっても、実施の形態８に係るプラズマ生成素子２Ｈは、実施の形態５に係るプラズマ生成素子２Ｅとほぼ同様の効果を有する。
【０１５３】
（実施の形態９）
図１６は、実施の形態９に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。図１６を参照して、実施の形態９に係るプラズマ生成素子２Ｉについて説明する。
【０１５４】
図１６に示すように、実施の形態９に係るプラズマ生成素子２Ｉは、実施の形態８に係るプラズマ生成素子２Ｈと比較した場合に、複数の被覆導線１０の延在方向が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
【０１５５】
複数の被覆導線１０は、第１導電部材２１Ｈ、複数の被覆導線１０、および第２導電部材２２Ｈが並ぶ方向から見た場合に、三角形状の網目形状を構成する開口部を規定する辺部のうち、互いに隣り合う辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置される。
【０１５６】
複数の被覆導線１０の各々は、それぞれ異なる方向に延在する導電体２１１、導電体２１２、および導電体２１３のいずれか１つの導電体２１２の延在方向と平行な方向に延在する。複数の被覆導線１０の各々は、平面視した場合に、通過する開口部の各々において、開口部を規定する辺部のうち、上記１つの導電体２１２と異なる他の２つの導電体２１１，２１３によって構成される互いに隣り合う辺部の中心を通過する。
【０１５７】
たとえば、複数の被覆導線１０のうちの一つに着目すると、着目された一つの被覆導線１０は、平面視した場合に、開口部を規定する複数の辺部２３１，２３２，２３３のうち互いに隣り合う辺部２３１，２３３の中心Ｏ５，Ｏ４を通過する。
【０１５８】
以上のように構成される場合であっても、実施の形態９に係るプラズマ生成素子２Ｉは、実施の形態８に係るプラズマ生成素子２Ｈとほぼ同様の効果を有する。
【０１５９】
（実施の形態１０）
図１７は、実施の形態１０に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。図１７を参照して、実施の形態１０に係るプラズマ生成素子２Ｊについて説明する。
【０１６０】
図１７に示すように、実施の形態１０に係るプラズマ生成素子２Ｊは、実施の形態５に係るプラズマ生成素子２Ｅと比較した場合に、導電部材２０Ｊの構成（具体的には、第１導電部材２１Ｊおよび第２導電部材２２Ｊの形状）が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
【０１６１】
第１導電部材２１Ｊは、六角形状を有する複数の開口部が平面的に並ぶ網目形状を有するように構成されている。第２導電部材２２Ｊは、第１導電部材２１Ｊとほぼ同様の径所を有する。第２導電部材２２Ｊは、六角形状を有する複数の開口部が平面的に並ぶ網目形状を有するように構成されている。
【０１６２】
複数の被覆導線１０は、第１導電部材２１Ｊ、複数の被覆導線１０、および第２導電部材２２Ｊが並ぶ方向から見た場合（平面視した場合）に、六角形状の網目形状を構成する開口部を規定する辺部のうち、互いに対向する辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置される。
【０１６３】
複数の被覆導線１０は、平面視した場合に、六角形状の開口部を規定する３組の対向する辺部（２３１，２３４）、（２３２，２３５）、（２３３，２３６）のうちのいずれか１組の対向する辺部（２３２、２３５）が並ぶ方向に平行な方向に延在する。
【０１６４】
複数の被覆導線１０の各々は、平面視した場合に、六角形状の開口部を構成する３組の対向する辺部（２３１，２３４）、（２３２，２３５）、（２３３，２３６）のうち、上記１組の対向する辺部（２３２、２３５）の中心（Ｏ１２、Ｏ１５）を通過する。
【０１６５】
以上のように構成される場合であっても、実施の形態１０に係るプラズマ生成素子２Ｊは、実施の形態５に係るプラズマ生成素子２Ｅとほぼ同様の効果を有する。
【０１６６】
（実施の形態１１）
図１８は、実施の形態１１に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。図１８を参照して、実施の形態１１に係るプラズマ生成素子２Ｋについて説明する。
【０１６７】
図１８に示すように、実施の形態１１に係るプラズマ生成素子２Ｋは、実施の形態１０に係るプラズマ生成素子２Ｊと比較した場合に、複数の被覆導線１０の延在方向が相違する。その他の構成についてはほぼ同様である。
【０１６８】
複数の被覆導線１０は、第１導電部材２１Ｊ、複数の被覆導線１０、および第２導電部材２２Ｊが並ぶ方向から見た場合（平面視した場合）に、六角形状の網目形状を構成する開口部を規定する辺部のうち、互いに対向する辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置される。
【０１６９】
複数の被覆導線１０の各々は、平面視した場合に、六角形状の開口部を規定する３組の対向する辺部（２３１，２３４）、（２３２，２３５）、（２３３，２３６）のうちのいずれか１組の対向する辺部（２３２、２３５）に平行な方向に延在する。
【０１７０】
複数の被覆導線１０の各々は、平面視した場合に、通過する開口部の各々において、開口部を規定する３組の対向する辺部（２３１，２３４）、（２３２，２３５）、（２３３，２３６）のうち、上記１組の対向する辺部（２３２、２３５）と異なる複数の辺部２３１、２３３、２３４、２３６のうち、上記１組対向する辺部（２３２、２３５）と平行な方向に対向する２組の辺部（２３１，２３３）、（２３４，２３６）のいずれか一方の中心を通過する。
【０１７１】
たとえば、複数の被覆導線１０のうちの一つに着目すると、着目された一つの被覆導線１０は、平面視した場合に、上記１組対向する辺部（２３２、２３５）と平行な方向に対向する２組の辺部（２３１，２３３）、（２３４，２３６）のうち、対向する辺部（２３１，２３３）の中心（Ｏ１１，Ｏ１３）を通過する。
【０１７２】
他の一つの被覆導線に着目すると、当該被覆導線１０は、平面視した場合に、上記１組対向する辺部（２３２、２３５）と平行な方向に対向する２組の辺部（２３１，２３３）、（２３４，２３６）のうち、対向する辺部（２３４，２３６）の中心（Ｏ１４，Ｏ１６）を通過する。
【０１７３】
以上のように構成される場合であっても、実施の形態１１に係るプラズマ生成素子２Ｋは、実施の形態１０に係るプラズマ生成素子２Ｊと同等以上の効果を有する。挟持部の個数が増加することにより、プラズマ生成量を増加させることができる。
【０１７４】
（実施の形態１２）
図１９は、実施の形態１２に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。図１９を参照して、実施の形態１２に係るプラズマ生成素子２Ｌについて説明する。
【０１７５】
図１９に示すように、実施の形態１２に係るプラズマ生成素子ＬＫは、実施の形態１０に係るプラズマ生成素子２Ｊと比較した場合に、複数の被覆導線１０の延在方向が相違する。その他の構成についてはほぼ同様である。
【０１７６】
複数の被覆導線１０は、第１導電部材２１Ｊ、複数の被覆導線１０、および第２導電部材２２Ｊが並ぶ方向から見た場合（平面視した場合）に、六角形状の網目形状を構成する開口部を規定する辺部のうち、互いに隣り合う辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置される。
【０１７７】
複数の被覆導線１０は、平面視した場合に、六角形状の開口部を規定する３組の対向する辺部（２３１，２３４）、（２３２，２３５）、（２３３，２３６）のうちのいずれか１組の対向する辺部（２３１、２３４）が並ぶ方向に平行な方向に延在する。
【０１７８】
複数の被覆導線１０の各々は、平面視した場合に、通過する開口部の各々において、開口部を規定する３組の対向する辺部（２３１，２３４）、（２３２，２３５）、（２３３，２３６）のうち、上記１組の対向する辺部（２３１、２３４）と異なる複数の辺部２３１、２３３、２３４、２３６のうち、２組の互いに隣り合う辺部（２３２，２３３）、（２３５，２３６）のいずれか一方の中心を通過する。
【０１７９】
たとえば、複数の被覆導線１０のうちの一つに着目すると、着目された一つの被覆導線１０は、平面視した場合に、上記２組の互いに隣り合う辺部（２３２，２３３）、（２３５，２３６）のうち、互いに隣り合う辺部（２３２，２３３）の中心（Ｏ１２，Ｏ１３）を通過する。
【０１８０】
他の一つの被覆導線に着目すると、当該被覆導線１０は、平面視した場合に、上記２組の互いに隣り合う辺部（２３２，２３３）、（２３５，２３６）のうち、互いに隣り合う辺部（２３５，２３６）の中心（Ｏ１５，Ｏ１６）を通過する。
【０１８１】
以上のように構成される場合であっても、実施の形態１２に係るプラズマ生成素子２Ｌは、実施の形態１０に係るプラズマ生成素子２Ｊとほぼ同様の効果を有する。
【０１８２】
（実施の形態１３）
図２０は、実施の形態１３に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。図２０を参照して、実施の形態１３に係るプラズマ生成素子２Ｍについて説明する。
【０１８３】
図２０に示すように、実施の形態１３に係るプラズマ生成素子２Ｍは、実施の形態１０に係るプラズマ生成素子２Ｊと比較した場合に、複数の被覆導線１０の延在方向が相違する。その他の構成についてはほぼ同様である。
【０１８４】
複数の被覆導線１０は、第１導電部材２１Ｊ、複数の被覆導線１０、および第２導電部材２２Ｊが並ぶ方向から見た場合（平面視した場合）に、六角形状の網目形状を構成する開口部を規定する辺部のうち、互いに隣り合う辺部の中心を通るとともに、互いに対向する辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置される。
【０１８５】
複数の被覆導線１０は、平面視した場合に、六角形状の開口部を規定する３組の対向する辺部（２３１，２３４）、（２３２，２３５）、（２３３，２３６）のうちのいずれか１組の対向する辺部（２３１、２３４）が並ぶ方向に平行な方向に延在する。
【０１８６】
複数の被覆導線１０の一部は、平面視した場合に、通過する開口部の各々において、開口部を規定する３組の対向する辺部（２３１，２３４）、（２３２，２３５）、（２３３，２３６）のうち、上記１組の対向する辺部（２３１、２３４）の中心（Ｏ１１，Ｏ１５）を通過する。
【０１８７】
複数の被覆導線１０の他の部分は、平面視した場合に、通過する開口部の各々において、開口部を規定する３組の対向する辺部（２３１，２３４）、（２３２，２３５）、（２３３，２３６）のうち、上記１組の対向する辺部（２３１、２３４）と異なる複数の辺部２３１、２３３、２３４、２３６のうち、２組の互いに隣り合う辺部（２３２，２３３）、（２３５，２３６）のいずれか一方の中心を通過する。
【０１８８】
たとえば、複数の被覆導線１０の他の部分のうちの一つに着目すると、着目された一つの被覆導線１０は、平面視した場合に、上記２組の互いに隣り合う辺部（２３２，２３３）、（２３５，２３６）のうち、互いに隣り合う辺部（２３２，２３３）の中心（Ｏ１２，Ｏ１３）を通過する。
【０１８９】
複数の被覆導線１０の他の部分のうちの他の一つの被覆導線に着目すると、当該被覆導線１０は、平面視した場合に、上記２組の互いに隣り合う辺部（２３２，２３３）、（２３５，２３６）のうち、互いに隣り合う辺部（２３５，２３６）の中心（Ｏ１５，Ｏ１６）を通過する。
【０１９０】
以上のように構成される場合であっても、実施の形態１２に係るプラズマ生成素子２Ｌは、実施の形態１０に係るプラズマ生成素子２Ｊと同等以上の効果を有する。挟持部の個数が増加することにより、プラズマ生成量を増加させることができる。
【０１９１】
上述した実施の形態６から実施の形態１２に係るプラズマ生成素子のように、導電部材の開口部の形状を適宜設計しつつ、複数の被覆導線１０の並走方向を適宜変更することにより、複数の挟持部の個数を適宜調整することができる。これにより、プラズマ生成量を調整することができる。
【０１９２】
（実施の形態１４）
図２１は、実施の形態１４に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。図２２は、実施の形態１４に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。図２１および図２２を参照して、実施の形態１４に係るプラズマ生成装置１Ｎおよびプラズマ生成素子２Ｎについて説明する。
【０１９３】
図２１および図２２に示すように、実施の形態１４に係るプラズマ生成装置１Ｎは、実施の形態１に係るプラズマ生成装置１と比較した場合に、プラズマ生成素子２Ｎの構成（具体的には、導電部材２０Ｎの構成）が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
【０１９４】
導電部材２０Ｎは、被覆導線１０の延在方向に沿って延在する半筒部材によって構成されている。導電部材２０Ｎは、被覆導線１０の延在方向から見た場合に、Ｕ字形状を有する。導電部材２０Ｎは、被覆導線１０の延在方向に交差する方向に被覆導線１０を挟み込むように曲げられた内周面２０Ｎａを有する。内周面２０Ｎａは、被覆導線１０の延在方向に沿って見た場合に、略半楕円形状を有する。なお、内周面２０Ｎａの形状は、半楕円形状に限定されず、半長円形状、半トラック形状、および半卵型形状等の半オーバル形状であってもよい。
【０１９５】
内周面２０Ｎａは、被覆導線１０から見て一方側から被覆導線１０に接触する第１接触部Ｐ１および被覆導線１０から見て他方側から被覆導線１０に接触する第２接触部Ｐ２を有する。第１接触部Ｐ１および第２接触部Ｐ２は、被覆導線１０の延在方向に沿って延在する。
【０１９６】
第１接触部Ｐ１および第２接触部Ｐ２によって、被覆導線１０の延在方向と交差する方向において被覆導線１０を挟み込んで保持する挟持部が構成される。内周面２０Ｎａが上記のような形状を有することにより、挟持部の近傍に形成されるプラズマ生成部の領域を相当程度広くすることができる。
【０１９７】
導電部材２０は、被覆導線１０の延在方向から見た場合に、内周面２０Ｎａの一端側および内周面２０Ｎａの他端側によって規定される開口面を有する。導電部材２０は、内周面２０Ｎａの一端側および他端側の一方に接続され、被覆導線１０が上記開口面側から抜けることを防止する抜け止め部２７を有する。抜け止め部２７は、被覆導線１０の周面に近づくように設けられている。
【０１９８】
高電圧回路５０の一方側は、配線４１によって導電線１１に電気的に接続されている。高電圧回路５０の他方側は、配線４２によって導電部材２０Ｎに電気的に接続されている。高電圧回路５０によって、複数の導電線１１と導電部材２０Ｎに高電圧を印加することにより、実施の形態１同様に、挟持部近傍にてプラズマが生成する。この場合においても、導電部材２０Ｎを接地することにより、使用者が外部に露出する導電部材２０に触れた場合であっても安全性を確保することができる。
【０１９９】
以上のように、実施の形態１４に係るプラズマ生成素子２Ｎは、被覆導線同士を撚り合わせることなく、半筒形状を有する導電部材２０Ｎの内周面Ｎａによって被覆導線１０を挟み込むことにより構成されるため、その構成を簡素化することができる。これに伴って、プラズマ生成素子２Ｎを具備するプラズマ生成装置１Ｎの構成も簡素化することができる。
【０２００】
（実施の形態１５）
図２３は、実施の形態１５に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。図２３を参照して、実施の形態１５に係るプラズマ生成素子２Ｏについて説明する。
【０２０１】
図２３に示すように、実施の形態１５に係るプラズマ生成素子２Ｏは、実施の形態１４に係るプラズマ生成素子２Ｎと比較した場合に、導電部材２０Ｏの形状（より具体的には、内周面２０Ｏａの形状）が相違する。
【０２０２】
導電部材２０Ｏは、被覆導線１０の延在方向に沿って延在する半筒部材によって構成されている。導電部材２０Ｏは、被覆導線１０の延在方向から見た場合に、Ｕ字形状を有する。導電部材２０Ｏは、被覆導線１０の延在方向に交差する方向に被覆導線１０を挟み込むように曲げられた内周面２０Ｏａを有する。内周面２０Ｏａは、被覆導線１０の延在方向に沿って見た場合に、略半円形状を有する。内周面２０Ｏａが略半円形状を有することにより、実施の形態１４と比較して、挟持部の近傍に形成されるプラズマ生成部の領域を相当程度狭くすることができる。
【０２０３】
以上のように構成される場合であっても、実施の形態１５に係るプラズマ生成素子２Ｏは、実施の形態１４に係るプラズマ生成素子２Ｎとほぼ同様の効果が得られる。
【０２０４】
（実施の形態１６）
図２４は、実施の形態１６に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。図２４を参照して、実施の形態１６に係るプラズマ生成素子２Ｐについて説明する。
【０２０５】
図２４に示すように、実施の形態１６に係るプラズマ生成素子２Ｐは、実施の形態１４に係るプラズマ生成素子２Ｎと比較した場合に、導電部材２０Ｐの形状が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
【０２０６】
導電部材２０Ｐは、被覆導線１０の延在方向に沿って延在する半筒部材によって構成されている。導電部材２０Ｐは、被覆導線１０の延在方向から見た場合に、Ｕ字形状を有する。導電部材２０Ｐは、被覆導線１０の延在方向に交差する方向に被覆導線１０を挟み込むように曲げられた内周面２０Ｐａを有する。内周面２０Ｏａは、被覆導線１０の延在方向に沿って見た場合に、Ｖ字形状を有する。内周面２０Ｏａが略Ｖ字形状を有することにより、実施の形態１４と比較して、挟持部の近傍に形成されるプラズマ生成部の領域を略同等とすることができる。
【０２０７】
以上のように構成される場合であっても、実施の形態１６に係るプラズマ生成素子２Ｐは、実施の形態１４に係るプラズマ生成素子２Ｎとほぼ同様の効果が得られる。
【０２０８】
上述した実施の形態１４から１６に係るプラズマ生成素子２Ｐのように、半筒形状を有する導電部材２０Ｎ，２０Ｏ，２０Ｐの形状を適宜変更することができ、導電部材の加工の自由度が増す。加工のしやすさに応じて、導電性部材の適宜選択することが好ましい。
【０２０９】
（実施の形態１７）
図２５は、実施の形態１７に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。図２５を参照して、実施の形態１７に係るプラズマ生成装置１Ｑについて説明する。
【０２１０】
図２５に示すように、実施の形態１７に係るプラズマ生成装置１Ｑは、実施の形態１に係る１と比較した場合に、プラズマ生成素子２Ｑの構成（具体的には、導電部材２０Ｑの構成）が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
【０２１１】
プラズマ生成素子２Ｑは、被覆導線１０と、複数の導電部材２０Ｑを備える。複数の導電部材２０Ｑは、被覆導線１０の延在方向に沿って並んで配置されている。
【０２１２】
複数の導電部材２０Ｑの各々は、板状部２１Ｑおよび巻回部２８Ｑを含む。板状部２１Ｑは、平面視した場合に被覆導線１０の延在方向と交差するように延在する。板状部２１Ｑは、一方の主面が被覆導線１０に接触するように配置されている。
【０２１３】
巻回部２８Ｑは、一端側が板状部２１Ｑに連結されるとともに他端側が被覆導線１０に巻回された状態である。巻回部２８Ｑは、被覆導線１０を挟み込んで保持している。被覆導線１０に接触する部分の巻回部２８Ｑの内周面によって挟持部が構成される。
【０２１４】
図２６は、実施の形態１７に係る導電部材の巻回前の状態を示す概略斜視図である。図２６を参照して、実施の形態１７に係る導電部材２０Ｑの巻回前の状態について説明する。
【０２１５】
図２６に示すように、導電部材２０Ｑの巻回前の状態にあっては、板状部２１Ｑの一部に切れ込みが設けられることにより、被覆導線１０に巻回可能な金属片部２８Ｑ１が、板状部２１Ｑに設けられている。この金属片部２８Ｑ１の自由端である他端側を被覆導線１０に巻回することにより巻回部２８Ｑが形成される。
【０２１６】
高電圧回路５０の一方側は、配線４１によって導電線１１に電気的に接続されている。高電圧回路５０の他方側は、配線４２によって複数の導電部材２０Ｑに電気的に接続されている。複数の導電部材２０Ｑは、並列に接続されている。
【０２１７】
高電圧回路５０によって、導電線１１と各導電部材２０Ｑとの間に高電圧を印加することにより、実施の形態１同様に、挟持部の近傍においてプラズマを生成させることができる。また、被覆導線１０と板状部２１Ｑの接触部の近傍においてもプラズマを生成させることができる。この場合においても、導電部材２０Ｑを接地することにより、使用者が外部に露出する導電部材２０Ｑに触れた場合であっても安全性を確保することができる。
【０２１８】
以上のように、実施の形態１７に係るプラズマ生成素子２Ｑは、被覆導線同士を撚り合わせることなく、金属片である板状部２１Ｑの一部を被覆導線１０に巻回した巻回部２８Ｑによって被覆導線１０を挟み込む構成であるため、その構成を簡素化することができる。これに伴って、プラズマ生成素子２Ｑを具備するプラズマ生成装置１Ｑの構成も簡素化することができる。
【０２１９】
なお、実施の形態１４においては、導電部材２０Ｑが、複数の板状部２１Ｑと複数の巻回部２８Ｑとによって構成される場合を例示して説明したが、これに限定されず、単数の板状部２１Ｑと単数の巻回部２８Ｑによって構成されていてもよい。
【０２２０】
（実施の形態１８）
図２７は、実施の形態１８に係るプラズマ生成素子を示す概略斜視図である。図２７を参照して、実施の形態１８に係るプラズマ生成素子２Ｒについて説明する。
【０２２１】
図２７に示すように、実施の形態１８に係るプラズマ生成素子２Ｒは、実施の形態１７に記載のプラズマ生成素子２Ｑと比較した場合に、導電部材２０Ｒの構成が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
【０２２２】
導電部材２０Ｒの板状部２１Ｑは、被覆導線１０に当接するとは反対側に位置する主面から、被覆導線１０から離れる方向に向けて突出する突条部２３Ｒを有する。突条部２３Ｒは、板状部２１Ｑの延在方向に沿って延在する。
【０２２３】
板状部２１Ｑ、突条部２３Ｒおよび巻回部２８Ｑは、一つの部材によって構成されている。板状部２１Ｑおよび突条部２３Ｒは、平板形状を有する金属片を折り曲げることにより形成される。これにより、板状部２１Ｑと突条部２３Ｒとを別部材にて構成する場合と比較して、別部材同士を固着させる手間を省くことができるとともに、製造コストを低減させることができる。
【０２２４】
以上のように構成される場合であっても、実施の形態１８に係るプラズマ生成素子２Ｒは、実施の形態１７に係るプラズマ生成素子２Ｑとほぼ同様の効果が得られる。
【０２２５】
上述のように突条部２３Ｒが設けられることにより、板状部２１Ｑの剛性を向上させることができる。これにより、板状部２１Ｑと被覆導線１０との密着性を高めることができる。この結果、板状部２１Ｑが被覆導線１０から離間することにより、巻回部２８Ｑの巻回が解かれることを防止することができる。
【０２２６】
（実施の形態１９）
図２８は、実施の形態１９に係るプラズマ生成素子を示す概略斜視図である。図２８を参照して、実施の形態１９に係るプラズマ生成素子２Ｓについて説明する。
【０２２７】
図２８に示すように、実施の形態１９に係るプラズマ生成素子２Ｓは、実施の形態１７に係るプラズマ生成素子２Ｑと比較した場合に、導電部材２０Ｓの構成が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
【０２２８】
導電部材２０Ｓは、板状部２１Ｑ、第１巻回部２８Ｓ１、および第２巻回部２８Ｓ２を含む。第１巻回部２８Ｓ１および第２巻回部２８Ｓ２は、被覆導線１０の延在方向に沿って並んでいる。第１巻回部２８Ｓ１および第２巻回部２８Ｓ２の各々は、一端側が板状部２１Ｑに接続され、他端側が被覆導線１０に巻回されている。第１巻回部２８Ｓ１および第２巻回部２８Ｓ２の逆である。これにより、第１巻回部２８Ｓ１および第２巻回部２８Ｓ２の巻回状態が解かれることを抑制することができる。
【０２２９】
図２９は、実施の形態１９に係る導電部材の巻回前の状態を示す概略斜視図である。図２９を参照して、実施の形態１９に係る導電部材２０Ｓの巻回前の状態について説明する。
【０２３０】
図２９に示すように、導電部材２０Ｓの巻回前の状態にあっては、板状部２１Ｑは、延在方向に直交する方向に張り出す張出部２９Ｓを有する。この張出部２９Ｓに、被覆導線１０に巻回可能な金属片部２８Ｓ１１，２８Ｓ１２が連結されている。
【０２３１】
金属片部２８Ｓ１１は、板状部２１Ｑの延在方向の一方に向けて延在する。金属片部２８Ｓ１１は、板状部２１Ｑの延在方向の他方に向けて延在する。金属片部２８Ｓ１１および金属片部２８Ｓ１２は、張出部２９Ｓの張出方向に沿って並んでいる。この金属片部２８Ｓ１１および金属片部２８Ｓ１２の各々の自由端である他端側を被覆導線１０に巻回することにより第１巻回部２８Ｓ１および第２巻回部２８Ｓ２が形成される。
【０２３２】
以上のように構成される場合であっても、実施の形態１９に係るプラズマ生成素子２Ｓは、実施の形態１７に係るプラズマ生成素子２Ｑとほぼ同様の効果が得られる。
【０２３３】
なお、実施の形態１９においては、巻回部の個数が２つである場合を例示して説明したが、これに限定されず、巻回部の個数が１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。このように、複数の巻回部の個数を適宜調整することにより、プラズマ生成量を調整することができる。
【０２３４】
（実施の形態２０）
図３０は、実施の形態２０に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。図３０を参照して、実施の形態２０に係るプラズマ生成装置１Ｔについて説明する。
【０２３５】
図３０に示すように、実施の形態２０に係るプラズマ生成装置１Ｔは、実施の形態１に係るプラズマ生成装置１と比較した場合に、プラズマ生成素子２Ｔの構成が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
【０２３６】
プラズマ生成素子２Ｔは、複数の被覆導線１０と、複数の導電部材２０Ｔとを備える。複数の被覆導線１０は、互いに並走して配置されている。複数の導電部材２０Ｔは、それぞれ複数の被覆導線１０に対応して設けられている。
【０２３７】
複数の導電部材２０Ｔの各々は、複数の環状部材２１Ｔによって構成されている。複数の環状部材２１Ｔは、被覆導線１０の延在方向に沿って並んで配置されている。複数の環状部材２１Ｔの各々の内周面は、周方向に亘って被覆導線１０の外周面に接触する。
【０２３８】
複数の環状部材２１Ｔの各々は、被覆導線１０を挟み込んで保持している。環状部材２１Ｔの内周面によって挟持部が構成され、環状部材２１Ｔが複数設けられることにより、挟持部も複数設けられる。
【０２３９】
複数の環状部材２１Ｔは、導電性を有する接続部材６０によって接続されている。接続部材６０は、たとえば棒形状を有し、被覆導線１０の延在方向に沿って延在する。
【０２４０】
高電圧回路５０の一方側は、配線４１によって複数の導電線１１に電気的に接続されている。複数の導電線１１は、並列に接続されている。高電圧回路５０の他方側は、配線４２および接続部材６０によって、複数の導電部材２０Ｔの各々に電気的に接続されている。複数の導電部材２０Ｔは、並列に接続されている。
【０２４１】
高電圧回路５０によって、複数の導電線１１の各々と複数の導電部材２０Ｔとの間にそれぞれ高電圧を印加することにより、実施の形態１同様に、複数の挟持部近傍からプラズマが生成する。
【０２４２】
以上のように、実施の形態２０に係るプラズマ生成素子２Ｔは、被覆導線同士を撚り合わせることなく、複数の環状部材２１Ｔの各々の内周面によって被覆導線１０を挟み込むことにより構成されるため、その構成を簡素化することができる。これに伴って、プラズマ生成素子２Ｔを具備するプラズマ生成装置１Ｔの構成も簡素化することができる。
【０２４３】
なお、プラズマ生成素子２Ｔは、複数の被覆導線１０と複数の導電部材２０Ｔとによって構成される場合を例示して説明したが、これに限定されず、単数の被覆導線１０と単数の導電部材２０Ｔとによって構成されていてもよい。
【０２４４】
なお、実施の形態２０においては、導電部材２０Ｔが、複数の環状部材２１Ｔによって構成される場合を例示して説明したが、これに限定されず、単数の環状部材によって構成されていてもよい。
【０２４５】
（実施の形態２１）
図３１は、実施の形態２１に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。図３２は、実施の形態２１に係る空気清浄機の背面図である。図３１および図３２を参照して、実施の形態２１に係る空気清浄機について説明する。なお、空気清浄機２００は、プラズマ生成装置を具備する電子機器の一例であり、プラズマ生成装置としては、たとえば実施の形態２に係るプラズマ生成装置１Ａが用いられる。なお、図３１および図３２においては、プラズマ生成措置１Ａに含まれる複数の被覆導線の各々を被覆導線１０として図示している。
【０２４６】
図３１および図３２に示すように、空気清浄機２００は、プラズマ生成装置１Ａ、吸込口２２０および吹出口２３０が設けられた本体部２１０、送風経路２４０および送風部としての送風機２５０を備える。
【０２４７】
吸込口２２０は、本体部２１０の背面側に設けられている。吹出口２３０は、本体部２１０の上方に設けられている。送風経路２４０は、本体部２１０内に設けられ、吸込口２２０および吹出口２３０を接続する。送風経路２４０内には、送風機２５０が設けられている。送風経路２４０の一部は、送風機２５０のケーシングによって規定される。
【０２４８】
送風機２５０は、吸込口２２０から吸い込んだ空気を吹出口２３０に向けて送風する。送風機２５０としては、シロッコファン、クロスフローファン等の各種の送風機を採用することができる。
【０２４９】
プラズマ生成装置１Ａは、送風経路２４０に配置される。具体的には、プラズマ生成装置１Ａは、吸込口２２０近傍の位置や、送風機２５０と吹出口２３０との間に位置する送風経路２４０に配置される。プラズマ生成装置１Ａは、被覆導線１０の延在方向と送風方向とが略直交するように配置される。具体的には、プラズマ生成装置１Ａは、複数の被覆導線１０が並んで配置される仮想平面と送風方向が略直交するように配置される。なお、プラズマ生成装置１Ａは、送風する送風の圧力損失が小さくなるように配置されることが好ましい。
【０２５０】
このようにプラズマ生成装置１Ａを配置し、プラズマを生成しつつプラズマ生成装置１Ａに空気を通過させることにより、空気中に存在する菌やウイルスの不活化、または、臭気等の空気中に含まれる不純物ガスの分解除去を行なうことができる。これにより、吸込口２２０から吸い込まれる空気および吹出口２３０から吹出されることとなる空気を浄化することができる。この結果、吹出口２３０から清浄な空気を吹出すことができる。
【０２５１】
（実施の形態２２）
図３３は、実施の形態２２に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。図３４は、実施の形態２２に係る空気清浄機の背面図である。図３３および図３４を参照して、実施の形態２２に係る空気清浄機２００Ａについて説明する。
【０２５２】
図３３および図３４に示すように、実施の形態２２に係る空気清浄機２００Ａは、実施の形態２１に係る空気清浄機２００と比較した場合に、プラズマ生成装置１Ａの設置方向が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
【０２５３】
プラズマ生成装置１Ａは、送風経路２４０に配置される。具体的には、プラズマ生成装置１Ａは、吸込口２２０近傍の位置や、送風機２５０と吹出口２３０との間に位置する送風経路２４０に配置される。プラズマ生成装置１Ａは、被覆導線１０の延在方向と送風方向とが略平行となるように配置される。このようにプラズマ生成装置１Ａを配置する場合であっても、吹出口２３０から清浄な空気を吹出すことができる。
【０２５４】
（実施の形態２３）
図３５は、実施の形態２３に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。図３６は、実施の形態２３に係る空気清浄機の背面図である。図３５および図３６を参照して、実施の形態２３に係る空気清浄機２００Ｂについて説明する。
【０２５５】
図３５および図３６に示すように、実施の形態２３に係る空気清浄機２００Ｂは、実施の形態２１に係る空気清浄機２００と比較した場合に、プラズマ生成装置の構成が相違する。実施の形態２３においては、プラズマ生成装置として、実施の形態２０に係るプラズマ生成装置１Ｔが用いられている。
【０２５６】
プラズマ生成装置１Ｔは、送風経路２４０に配置される。具体的には、プラズマ生成装置１Ｔは、吸込口２２０近傍の位置や、送風機２５０と吹出口２３０との間に位置する送風経路２４０に配置される。プラズマ生成装置１Ｔは、被覆導線１０の延在方向と送風方向とが略直交するように配置される。具体的には、プラズマ生成装置１Ｔは、複数の被覆導線１０が並んで配置される仮想平面が送風方向に略直交するように配置されている。このようにプラズマ生成装置１Ｔを配置する場合であっても、吹出口２３０から清浄な空気を吹出すことができる。
【０２５７】
なお、実施の形態２１から２３においては電気機器の一例として空気清浄機について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、電気機器は、これ以外に空気調和機（エアコンディショナー）、冷蔵機器、掃除機、加湿器、除湿機などであってもよく、空気を吸込んで送風する際に、プラズマ生成装置１Ａ，１Ｔに空気を通過させるための送風部を有する電気機器であればよい。
【０２５８】
また、実施の形態２１から２３においては、プラズマ生成装置として実施の形態２および実施の形態２０に係るプラズマ生成装置１Ａ，１Ｔを用いる場合を例示して説明したが、これに限定されず、上述の実施の形態１、３〜１９および変形例に係るプラズマ生成装置を用いてもよい。
【０２５９】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【符号の説明】
【０２６０】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｎ，１Ｑ，１Ｔ  プラズマ生成装置、２，２Ａ，２Ｂ，２Ｂ１，２Ｃ，２Ｄ，２Ｅ，２Ｆ，２Ｇ，２Ｈ，２Ｉ，２Ｊ，２Ｋ，２Ｌ，２Ｍ，２Ｎ，２Ｏ，２Ｐ，２Ｑ，２Ｒ，２Ｓ，２Ｔ，ＬＫ  プラズマ生成素子、１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ  被覆導線、１１  導電線、１２  被覆部、２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｂ２，２０Ｂ３，２０Ｂ１，２０Ｃ，２０Ｃ１，２０Ｅ，２０Ｆ，２０Ｈ，２０Ｊ，２０Ｎ，２０Ｏ，２０Ｐ，２０Ｑ，２０Ｒ，２０Ｓ，２０Ｔ  導電部材、２０Ｎａ，２０Ｏａ  内周面、２１，２１Ｂ  第１板状部、２１Ｅ，２１Ｆ，２１Ｈ，２１Ｊ  第１導電部材、２１Ｑ  板状部、２１Ｔ  環状部材、２２，２２Ｂ  第２板状部、２２Ｅ，２２Ｆ，２２Ｈ，２２Ｊ  第２導電部材、２３，２３Ｃ  第１突条部、２３Ｒ  突条部、２４，２４Ｃ  第２突条部、２７  抜け止め部、２８Ｑ  巻回部、２８Ｑ１，２８Ｓ１１，２８Ｓ１２  金属片部、２８Ｓ１  第１巻回部、２８Ｓ２  第２巻回部、２９Ｓ  張出部、３０，３０Ａ，３０Ｄ  支持部材、３１，３１Ａ，３１Ｄ  第１支持部材、３２，３２Ａ，３２Ｄ  第２支持部材、４１，４２  配線、５０  高電圧回路、６０  接続部材、２１１，２１２，２１３  導電体、２１５  枠体、２２１，２２２，２２３  導電体、２２５  枠体、２３１，２３２，２３３，２３４  辺部、３０１  第１凹部、３０２  第２凹部、３０３  第３凹部、３１１  第１部分、３１２  第２部分、３１３  接続部、３２１  第１部分、３２２  第２部分、３２３  接続部。
【図１】
2018042700.tif 000003
【図２】
2018042700.tif 000004
【図３】
2018042700.tif 000005
【図４】
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【図５】
2018042700.tif 000007
【図６】
2018042700.tif 000008
【図７】
2018042700.tif 000009
【図８】
2018042700.tif 000010
【図９】
2018042700.tif 000011
【図１０】
2018042700.tif 000012
【図１１】
2018042700.tif 000013
【図１２】
2018042700.tif 000014
【図１３】
2018042700.tif 000015
【図１４】
2018042700.tif 000016
【図１５】
2018042700.tif 000017
【図１６】
2018042700.tif 000018
【図１７】
2018042700.tif 000019
【図１８】
2018042700.tif 000020
【図１９】
2018042700.tif 000021
【図２０】
2018042700.tif 000022
【図２１】
2018042700.tif 000023
【図２２】
2018042700.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
2018042700.tif 000026
【図２５】
2018042700.tif 000027
【図２６】
2018042700.tif 000028
【図２７】
2018042700.tif 000029
【図２８】
2018042700.tif 000030
【図２９】
2018042700.tif 000031
【図３０】
2018042700.tif 000032
【図３１】
2018042700.tif 000033
【図３２】
2018042700.tif 000034
【図３３】
2018042700.tif 000035
【図３４】
2018042700.tif 000036
【図３５】
2018042700.tif 000037
【図３６】
2018042700.tif 000038
【国際調査報告】
2018042700.tif 000039
2018042700.tif 000040
2018042700.tif 000041
2018042700.tif 000042