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　特願２００４−　１６０７３「液晶基板の搬送装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　６月　９日出願公開、特開２００５−１４５７１３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件出願は、平成１６年１月２３日（優先権主張平成１５年８月２９日、平成１５年１０月２２日）の出願であって、平成１８年７月１２日付けで拒絶の理由が通知され、同年９月２５日に意見書とともに手続補正書が提出されたが、同年１０月２７日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、平成１９年１月１１日に拒絶査定に対する審判の請求がなされるとともに、平成１９年２月７日に手続補正がされたものである。
　これに対して、当審において平成２０年５月１５日付けで拒絶理由が通知され、同年７月２２日に手続補正がなされたものであって、その請求項１に係る発明は、特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「基板を収容可能なカセットをストッカ内の昇降装置に載置し、昇降装置と製造装置又は検査装置との間に配設した基板移載機構の移載面と、前記カセットの基板収納位置とが一致するようにカセットを昇降することにより、当該位置の基板を、カセットの基板の支持部材間に挿入される搬送用支持部材上に受け取り、該基板を、搬送用支持部材の先端に設けられた駆動ローラからなる送り機構によって、基板移載機構に同一の高さ位置で移載するようにするとともに、
　ストッカと基板移載機構との間に区画壁を配設し、該区画壁に基板が通過可能なスリット部を形成し、
　前記区画壁により区画された製造装置又は検査装置及び基板移載機構を配設した区画の内圧を、昇降装置、カセットを搬送・移載する搬送移載機及び複数台のカセットを収容可能なカセット収納棚を配設したストッカの内圧より高く維持するようにすることによって、複数台のカセットを収容可能なストッカと製造装置又は検査装置との間で、１枚単位で液晶基板の受け渡しを行うようにした液晶基板の搬送装置であって、
　前記送り機構の間に昇降可能に設けられ、該送り機構の受け取り位置の上方で基板をエア浮上させながら支持するエア浮上機構と、該エア浮上機構により浮上支持した基板の位置を修正する位置決め機構とを備えるとともに、
　前記区画壁に形成するスリット部を基板が通過可能な範囲の小さい寸法に形成するようにしたことを特徴とする液晶基板の搬送装置。」（以下、「本願発明」という。）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２．引用刊行物記載の発明（事項）
　これに対し、当審における拒絶理由に引用した本件優先日前に日本国内で頒布された刊行物である特開平１０−１２０１０９号公報（以下、「刊行物１」という。）、特開２００１−９３９５７号公報（以下、「刊行物２」という。）、特開平７−２９７２５７号公報（以下、「刊行物３」という。）、特開平８−１６６５６８号公報（以下、「刊行物４」という。）、特開平１１−７９３８８号公報（以下、「刊行物５」という。）、特開平９−２０５０４７号公報（以下、「刊行物６」という。）、特開２００１−３１９９５７号公報（以下、「刊行物７」という。）には、次の事項が記載されていると認められる。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（１）刊行物１
（ア）段落【０００１】
「【発明の属する技術分野】本発明は、インライン式枚葉ストッカに関するものである。より詳しくは、内部に貯えているガラス基板の汚染を効果的に防止し得るようにしたインライン式枚葉ストッカに関するものである。」
（イ）段落【００１４】
「本発明にかかるインライン式枚葉ストッカ１は、例えば、図１に示すように、前工程の液晶加工装置２から後工程の液晶加工装置３へと、ガラス基板を搬送する搬送装置４，５の途中に設けられたり、図２に示すように、複数種類の加工が一台で可能な液晶加工装置６に対し、搬送装置７を介して付設されたりする。」
（ウ）段落【００１６】〜【００２２】
「そして、上記インライン式枚葉ストッカ１は、図３〜図６に示すようなものである。
　先ず、図３に示すように、基台９のライン方向１０に対する一側部に枠状の昇降フレーム１１を固定し、・・・フォーク１４を昇降可能な昇降機構２２を構成する。
　そして、フォーク１４の上に、液晶パネルのガラス基板などの枚葉物２３を上下方向へ多段に貯え得るようにしたストッカ棚２４を乗せるようにする。
　該ストッカ棚２４は、天板２５と底板２６のライン方向１０両側位置を、四対計八本の棚柱２７で接続した箱状体をしており、対を成す棚柱２７，２７の対向面には、図４に示すような櫛歯状の棚段２８が多段に設けられている。尚、上下の棚段２８間のピッチは、ガラス基板などの枚葉物２３の厚さ寸法よりも大きくなるように設定されている。
　そして、ストッカ棚２４の隣接する棚柱２７間の位置から内部へ、それぞれ三対計六本の受ローラ２９の先端部を挿入配置して受ステーション３０を構成し、同じ側にある受ローラ２９の後端部を、ローラ支持部材３１を介して片持ち支持し、ローラ支持部材３１を基台９などに固定する。
　以上のようなインライン式枚葉ストッカ本体３２に対し、インライン式枚葉ストッカ本体３２全体を覆うように防塵カバー３３を取付ける。
　該防塵カバー３３は、図５・図６に示すように、下面にキャスタ３４を取付けられた基台９の上に取付けられて、基台９ごと移動可能となっている。更に、防塵カバー３３のライン方向１０の前後面には、リフトアンドキャリーなどの搬送装置４，５，７の搬送用アーム３５とガラス基板などの枚葉物２３が出入可能な開口部３６が形成されており、・・・」
（エ）段落【００３６】〜【００３７】
「・・・液晶パネルのガラス基板などの枚葉物２３を取り出す場合、ストッカ棚２４を下降させて、枚葉物２３が収容された最も下の棚段２８内の枚葉物２３を受ステーション３０の受ローラ２９上面に支持させた後、更に約半ピッチだけストッカ棚２４を下降させて待機させ、受ローラ２９上面に支持された枚葉物２３を、リフトアンドキャリーなどの搬送装置４，５，７の搬送用アーム３５を受ステーション３０の高さへ挿入して僅かに上昇させその後外部へ引出すことによりすくい取らせるようにする。
　以後、上記と同様の作動を繰返すことにより、順次、下方の棚段２８からガラス基板などの枚葉物２３が取り出される。」
（オ）段落【００３９】
「尚、液晶加工装置２，３，６や搬送装置４，５，７のそれぞれに対しても、本発明と同様の防塵カバーを設けて、全ての装置２〜７に局所的に高い清浄度を作り出させるようにすることにより、清浄度の低いクリーンルーム８を用いても全体として極めて清浄度の高い設備を得ることができるようになり、しかも、安価且つ簡単な構成で高い清浄度を達成することが可能となる。」
（カ）図４，６
　図４と図６とから、防塵カバーに形成された開口部３６は、受けローラ２９，２９の上方にあるスリット部を液晶パネルのガラス基板などの枚葉物２３が通過し、当該スリット部の下方にある受けローラ２９，２９間にある幅狭部を前記枚葉物２３を搬送する搬送用アーム３５が通過することが理解される。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　これらの摘記事項及び図４，６の記載からみて、技術常識を考慮しながら本願発明に照らして整理すると、刊行物１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
「液晶パネルのガラス基板などの枚葉物２３を収容可能なストッカ棚２４をインライン式枚葉ストッカ１内の昇降機構２２に載置し、ストッカ棚２４を昇降することにより、前記ストッカ棚２４の基板収納位置の前記枚葉物２３を、ストッカ棚２４の前記枚葉物２３の棚段２８間に挿入される受けステーション３０の受ローラ２９上に受け取り、該枚葉物２３を、搬送用アーム３５によって、搬送装置４，５，７に移載するようにするとともに、インライン式枚葉ストッカ１と搬送装置４，５，７との間に防塵カバー３３を配設し、該防塵カバー３３に前記枚葉物２３が通過可能なスリット部とその下の搬送用アーム３５が通過する幅狭部とからなる開口部３６を形成し、ストッカ棚２４と液晶加工装置２，３，６との間で、１枚単位で前記枚葉物２３の受け渡しを行うようにした前記枚葉物２３の搬送装置であって、前記防塵カバー３３に形成する前記枚葉物２３が通過可能なるスリット部とその下の搬送用アーム３５が通過する幅狭部とからなる開口部３６を前記枚葉物２３が通過可能な寸法に形成するようにした液晶パネルのガラス基板などの枚葉物２３の搬送装置。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（２）刊行物２及び刊行物３
　カセットから１枚単位で基板の受け渡しを行うようにした基板の搬送装置において、ストッカに前記カセットを複数台収納可能とすること。（以下、「周知の事項１」という。上記刊行物６の段落【００１５】〜【００１６】，【００１９】及び図６、上記刊行物７の段落【００２５】〜【００２６】，【００３１】及び図１参照。） 
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（３）刊行物４及び刊行物５
　基板移載機構の移載面と、カセットの基板収納位置とが一致するようにカセットを昇降することにより、当該位置の基板を、カセットの基板の支持部材間に挿入される搬送用支持部材上に受け取り、該基板を搬送用支持部材の先端に設けられた駆動ローラからなる送り機構によって、基板移載機構に同一の高さ位置で移載するようにすること。（以下、「周知の事項２」という。上記刊行物２の段落【００２７】〜【００３１】及び図２〜４、上記刊行物３の段落【００１０】〜【００１４】及び図４（１）〜４（３）参照。）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（４）刊行物６及び刊行物７
　高い清浄度が求められる基板処理装置及び基板移載機構が配設された区画の内圧を他より高く維持するようにすること。（以下、「周知の事項３」という。上記刊行物４の段落【００１９】〜【００２０】，【００２８】、上記刊行物３の段落【００１７】〜【００２０】参照。） 
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
３．対比
　本願発明と引用発明とを対比すると、
　引用発明における「液晶パネルのガラス基板などの枚葉物２３」は本願発明における「基板」に、以下同様に、「ストッカ棚２４」は「カセット」に、「インライン式枚葉ストッカ１」は「ストッカ」に、「昇降機構２２」は「昇降装置」に、「液晶加工装置２，３，６」は「製造装置又は検査装置」に、「搬送装置４，５，７」は「基板移載機構」に、「受けステーション３０の受ローラ２９」は「搬送用支持部材」に、「防塵カバー３３」は「区画壁」に、それぞれ相当することは明らかである。
　そして、引用発明における「搬送用アーム３５」は、「搬送用機構」である限りにおいて、本願発明の「搬送用支持部材の先端に設けられた駆動ローラからなる送り機構」と共通し、また、引用発明における「液晶パネルのガラス基板などの枚葉物２３が通過可能なスリット部とその下の搬送用アーム３５が通過する幅狭部とからなる開口部３６」は、基板が通過可能な「開口部」である限りにおいて、本願発明の「スリット部」と共通している。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　以上のことより、本願発明と引用発明との一致点及び相違点は、以下のとおりである。
［一致点］
「基板を収容可能なカセットをストッカ内の昇降装置に載置し、カセットを昇降することにより、前記カセットの基板収納位置の基板を、カセットの基板の支持部材間に挿入される搬送用支持部材上に受け取り、該基板を、搬送用機構によって、基板移載機構に移載するようにするとともに、ストッカと基板移載機構との間に区画壁を配設し、該区画壁に基板が通過可能な開口部を形成し、ストッカと製造装置又は検査装置との間で、１枚単位で液晶基板の受け渡しを行うようにした液晶基板の搬送装置であって、前記区画壁に形成する開口部を基板が通過可能な寸法に形成するようにした液晶基板の搬送装置。」である点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点１］
　ストッカが、
　本願発明では、複数台のカセットを収納可能であるのに対し、
　引用発明では、複数台のカセットを収納可能であるのか否かが不明である点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点２］
　本願発明では、基板移載機構の移載面とカセットの基板収納位置とが一致するように当該位置の基板を、搬送用支持部材の先端に設けられた駆動ローラからなる送り機構によって、基板移載機構に同一の高さ位置で移載するようにするとともに、
　区画壁に形成した開口部を基板が通過可能な範囲の小さい寸法のスリット部としたのに対して、
　引用発明では、基板移載機構の移載面とカセットの基板収納位置とが一致するように当該位置の基板を、搬送用アーム３５によって、基板移載機構に同一の高さ位置で移載するようにしたのか否か不明であり、
　区画壁に形成した開口部を基板が通過可能なスリット部とその下の基板を搬送する搬送用アーム３５が通過する幅狭部とからなる開口部とした点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点３］
　本願発明では、区画壁により区画された製造装置又は検査装置及び基板移載機構を配設した区画の内圧を、昇降装置、カセットを搬送・移載する搬送移載機及び複数台のカセットを収容可能なカセット収納棚を配設したストッカの内圧より高く維持するようにしたのに対して、
　引用発明では、区画壁を配設するものの区画の内圧については不明である点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点４］
　本願発明では、送り機構の間に昇降可能に設けられ、該送り機構の受け取り位置の上方で基板をエア浮上させながら支持するエア浮上機構と、該エア浮上機構により浮上支持した基板の位置を修正する位置決め機構とを備えたのに対して、
　引用発明では、そのようなエア浮上機構と位置決め機構とを備えていない点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
４．相違点についての判断
（１）相違点１について
　カセットから１枚単位で基板の受け渡しを行うようにした基板の搬送装置において、ストッカに前記カセットを複数台収納可能とすることは、上記刊行物２及び３にも記載されているように本件優先日前に周知の事項である。（以下、「周知の事項１」
　そうすると、引用発明に上記周知の事項１を採用して、相違点１に係る特定事項とすることは当業者が容易に想到し得たことである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（２）相違点２について
　基板移載機構の移載面と、カセットの基板収納位置とが一致するようにカセットを昇降することにより、当該位置の基板を、カセットの基板の支持部材間に挿入される搬送用支持部材上に受け取り、該基板を搬送用支持部材の先端に設けられた駆動ローラからなる送り機構によって、基板移載機構に同一の高さ位置で移載するようにすることは、上記刊行物４及び５にも記載されているように本件優先日前に周知の事項である。（上記周知の事項２参照。）
　そうすると、引用発明に上記周知の事項２を適用して、基板移載機構の移載面とカセットの基板収納位置とが一致するように当該位置の基板を、基板移載機構に同一の高さ位置で移載するようにすることは、当業者であれば容易になし得たことである。
　その適用に際し、引用発明の搬送用アームを搬送用支持部材の先端に設けられた駆動ローラからなる送り機構に換えることにより、引用発明の区画壁に形成した開口部のうち、搬送用アームが通過する水平方向幅狭部が不要となることは自明であるから、スリット部を基板が通過可能な範囲の小さい寸法のスリット部とすることは設計的事項にすぎない。
　してみると、引用発明に上記周知の事項２を適用することにより相違点２に係る本願発明特定事項とすることは当業者が容易に想到し得たことである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（３）相違点３について
　高い清浄度が求められる基板処理装置及び基板移載機構が配設された区画の内圧を他より高く維持するようにすることは、上記刊行物６及び７にも記載されているように本件優先日前に周知の事項である。（上記周知の事項３参照。）
　そして、刊行物１においても、製造装置や基板移載機構に対しても防塵カバーを設けて清浄度を高くする旨の記載がある（上記摘記事項オ参照。）以上、引用発明に上記周知の事項３を採用することは当業者が容易になし得たことである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（４）相違点４について
　送り機構や支持部材の間に相対的に昇降可能に設けられ、該送り機構の受け取り位置の上方又は下方で基板をエア浮上させながら支持するエア浮上機構と、該エア浮上機構により浮上支持した基板の位置を修正する位置決め機構は、例えば、特開２００３−１２４２９３号公報の段落【０００１】，【００１０】〜【００１１】，【００２６】及び図１（Ａ），（Ｂ）、並びに特開２０００−２３２１４８号公報の段落【０００１】，【００１２】〜【００１６】，【００２３】及び図１，図２、並びに特開２００３−３４５４４号公報の段落【００３１】，【００４１】にも記載されているように本件優先日前に周知の事項である。
　そして、引用発明と当該周知の事項とはガラス板の搬送装置として共通の技術分野に属するものであり、当該周知の事項の適用を阻害する特段の事情も見出せない。
　してみると、引用発明に当該周知の事項を採用して相違点４に係る特定事項とすることは当業者が容易に想到し得たことである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　そして、本願発明の奏する効果も、引用発明及び上記各周知の事項から当業者であれば十分予測できる程度のものであって格別なものでもない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　したがって、本願発明は、引用発明及び周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
５．むすび 
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件出願は拒絶するべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。