(57)【要約】  面状に拡がる金属板ＭＰと、金属板ＭＰと対向する基板面ＢＳ１と、基板面ＢＳ１に設けられた導電部ＰＡ１〜ＰＦ１とその導電部を金属板ＭＰに電気的に接続する接続部ＲＡ〜ＲＦとの対とを有すると共に当該対を三つ以上備える中間基板Ｂについて、導電部ＰＡ１〜ＰＦ１のうちの導電部ＰＢ１（第一導電部）と導電部ＰＣ１（第二導電部）との間に金属板ＭＰを介して電流を流す電流供給部ＣＳと、導電部ＰＡ１（第三導電部）と導電部ＰＢ１（第一導電部）との間の電圧を検出する電圧検出部ＶＭ１と、電流供給部ＣＳによって流された電流Ｉと電圧検出部ＶＭ１によって検出された電圧とに基づいて、導電部ＰＢ１（第一導電部）と対になる接続部ＲＢの抵抗値を算出する抵抗算出部２２とを備えた。
2018101234.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
面状に拡がる導電性の面状導体と、前記面状導体と対向する基板面と、前記基板面に設けられた導電部とその導電部を前記面状導体に電気的に接続する接続部との対とを有すると共に当該対を三つ以上備える被測定基板の前記接続部の抵抗を測定するための抵抗測定装置であって、
前記三つ以上の導電部のうちの一つである第一導電部と前記第一導電部とは異なる導電部である第二導電部との間に前記面状導体を介して電流を流す電流供給部と、
前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部である第三導電部と前記第一導電部との間の電圧を検出する第一電圧検出部と、
前記電流供給部によって流された電流と前記第一電圧検出部によって検出された電圧とに基づいて、前記第一導電部と対になる接続部の抵抗値を算出する抵抗算出部とを備える抵抗測定装置。
【請求項２】
前記抵抗測定装置は、前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部である第四導電部と前記第二導電部との間の電圧を検出する第二電圧検出部をさらに備え、
前記抵抗算出部は、さらに、前記電流供給部によって流された電流と前記第二電圧検出部によって検出された電圧とに基づいて、前記第二導電部と対になる接続部の抵抗値を算出する請求項１記載の抵抗測定装置。
【請求項３】
前記第四導電部は、前記第三導電部と同一の前記導電部である請求項２記載の抵抗測定装置。
【請求項４】
前記各導電部のうち、前記抵抗値が算出された接続部とは別の接続部と対になる導電部を新たな第一導電部として選択し、前記各導電部のうち前記新たな第一導電部とは異なる第一条件を満たす導電部を新たな第二及び第三導電部として選択する導電部選択部をさらに備え、
前記電流供給部は、さらに、前記新たな第一導電部と前記新たな第二導電部との間に電流を流し、
前記第一電圧検出部は、さらに、前記新たな第三導電部と前記新たな第一導電部との間の電圧を検出し、
前記抵抗算出部は、さらに、前記電流供給部によって流された電流と前記第一電圧検出部によって検出された電圧とに基づいて、前記新たな第一導電部と対になる接続部の抵抗値を算出する請求項１記載の抵抗測定装置。
【請求項５】
前記各導電部のうち、前記抵抗値が算出された接続部とは別の接続部と対になる導電部を新たな第一及び第二導電部として選択し、前記各導電部のうち前記新たな第一及び第二導電部とは異なる第一条件を満たす導電部を新たな第三及び第四導電部として選択する導電部選択部をさらに備え、
前記電流供給部は、さらに、前記新たな第一導電部と前記新たな第二導電部との間に前記面状導体を介して電流を流し、
前記第一電圧検出部は、さらに、前記新たな第三導電部と前記新たな第一導電部との間の電圧を検出し、
前記第二電圧検出部は、さらに、前記新たな第四導電部と前記新たな第二導電部との間の電圧を検出し、
前記抵抗算出部は、さらに、前記電流供給部によって流された電流と前記第一及び第二電圧検出部によって検出された電圧とに基づいて、前記新たな第一導電部と対になる接続部の抵抗値と前記新たな第二導電部と対になる接続部の抵抗値とを算出する請求項２又は３に記載の抵抗測定装置。
【請求項６】
前記第三導電部は、前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部であって、かつ当該第三導電部から前記第一導電部に至る最短の導電経路が、前記電流供給部により流される電流の前記面状導体を流れる電流経路と重ならない導電部である請求項１〜５のいずれか１項に記載の抵抗測定装置。
【請求項７】
前記第四導電部は、前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部であって、かつ当該第四導電部から前記第二導電部に至る最短の導電経路が、前記電流供給部により流される電流の前記面状導体を流れる電流経路と重ならない導電部である請求項２、３、及び５のいずれか１項に記載の抵抗測定装置。
【請求項８】
前記導電部選択部は、
前記各導電部のうち、前記抵抗値が算出された接続部とは別の接続部と対になる導電部を新たな第一導電部として選択し、前記各導電部のうち前記新たな第一導電部とは異なる第一条件と、新たな第三導電部から前記新たな第一導電部に至る最短の導電経路が、前記電流供給部により前記新たな第一導電部と新たな第二導電部との間に流される電流の前記面状導体を流れる電流経路と重ならない第二条件とを満たすように、前記新たな第二導電部及び前記新たな第三導電部を選択する請求項４記載の抵抗測定装置。
【請求項９】
前記導電部選択部は、
前記第一及び第二条件を満たす前記導電部が存在しない場合、前記第一条件を満たし、かつ前記第二条件を満たさない導電部を前記新たな第二及び第三導電部として選択する請求項８記載の抵抗測定装置。
【請求項１０】
前記導電部選択部は、
前記各導電部のうち、前記抵抗値が算出された接続部とは別の接続部と対になる導電部を新たな第一及び第二導電部として選択し、前記各導電部のうち前記新たな第一及び第二導電部とは異なる第一条件と、新たな第三導電部から前記新たな第一導電部に至る最短の導電経路及び新たな第四導電部から前記新たな第二導電部に至る最短の導電経路が、前記電流供給部により前記新たな第一導電部と新たな第二導電部との間に流される電流の前記面状導体を流れる電流経路と重ならない第二条件とを満たすように、前記新たな第三導電部及び前記新たな第四導電部を選択する請求項５記載の抵抗測定装置。
【請求項１１】
前記導電部選択部は、
前記第一及び第二条件を満たす前記導電部が二つ以上存在しない場合、前記第一条件を満たし、かつ前記第二条件を満たさない導電部を前記新たな第二及び第三導電部のうち少なくとも一つとして選択する請求項１０記載の抵抗測定装置。
【請求項１２】
面状に拡がる導電性の面状導体と、前記面状導体と対向する基板面と、前記基板面に設けられた導電部とその導電部を前記面状導体に電気的に接続する接続部との対とを有すると共に当該対を三つ以上備える被測定基板の前記接続部の抵抗を測定するための抵抗測定方法であって、
前記各導電部のうちの一つである第一導電部と前記第一導電部とは異なる導電部である第二導電部との間に電流を流す電流供給工程と、
前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部である第三導電部と前記第一導電部との間の電圧を検出する第一電圧検出工程と、
前記電流供給工程によって流された電流と前記第一電圧検出工程によって検出された電圧とに基づいて、前記第一導電部と対になる接続部の抵抗値を算出する抵抗算出工程とを含む抵抗測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の抵抗を測定する抵抗測定装置、及び抵抗測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、回路基板に形成されたビアのように、回路基板の一方の面から他方の面に亘って貫通するものを測定対象とするときに、当該測定対象に測定電流を流し、当該測定対象に生じた電圧を測定することによって、その電流値と電圧値とから当該測定対象の抵抗値を測定する基板検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１１７９９１号公報
【発明の概要】
【０００４】
ところで、面状に拡がる導体（以下、面状導体と称する）を内部に備えた基板において、基板表面のパッド、バンプ、配線等の導電部と面状導体とが基板の厚み方向に電気的に接続された構造の基板がある。図１１、図１２は、このような基板の一例を示す概念的な模式図である。
【０００５】
図１１は、基板内層に面状の内層パターンＩＰを備えた基板の一例である多層基板ＷＢを示す概念的な模式図である。図１１に示す多層基板ＷＢは、その基板面ＢＳにパッドや配線パターン等の導電部ＰＡ，ＰＢが形成されている。導電部ＰＡ，ＰＢは、ビアや配線パターン等の接続部ＲＡ，ＲＢによって内層パターンＩＰと電気的に接続されている。多層基板ＷＢの例では、内層パターンＩＰが面状導体に相当する。
【０００６】
また、基板の製造方法として、導電性の金属板を土台としてこの金属板の両面にプリント配線基板を積層形成し、形成された基板を土台の金属板から剥離することによって、二枚のプリント配線基板を形成する方法がある。このような基板の製造方法において、土台の金属板から基板を剥離する前の状態の基板（以下、中間基板と称する）は、金属板が二枚の基板に挟まれた態様を有している。
【０００７】
図１２は、このような中間基板Ｂの一例を示す概念的な模式図である。図１２に示す中間基板Ｂは、金属板ＭＰの一方の面に基板ＷＢ１が形成され、金属板ＭＰの他方の面に基板ＷＢ２が形成されている。基板ＷＢ１の基板面ＢＳ１には、パッドや配線パターン等の導電部ＰＡ１，ＰＢ１，・・・，ＰＦ１が形成されている。基板ＷＢ１の金属板ＭＰとの接触面ＢＳ２には、パッドや配線パターン等の導電部ＰＡ２，ＰＢ２，・・・，ＰＦ２が形成されている。金属板ＭＰは、例えば厚さが１ｍｍ〜１０ｍｍ程度の導電性を有する金属板である。
【０００８】
導電部ＰＡ１〜ＰＦ１は、ビアや配線パターン等の接続部ＲＡ〜ＲＦによって導電部ＰＡ２〜ＰＦ２と電気的に接続されている。導電部ＰＡ２〜ＰＦ２は、金属板ＭＰと密着、導通しているので、導電部ＰＡ１〜ＰＦ１は、接続部ＲＡ〜ＲＦによって金属板ＭＰと電気的に接続されている。導電部ＰＡ１と接続部ＲＡとが対になり、導電部ＰＢ１と接続部ＲＢとが対になり、それぞれ導電部と接続部とが対になっている。基板ＷＢ２は、基板ＷＢ１と同様に構成されているのでその説明を省略する。中間基板Ｂの例では、金属板ＭＰが面状導体に相当する。
【０００９】
多層基板ＷＢや中間基板Ｂ等の検査として、接続部ＲＡ，ＲＢの抵抗値Ｒａ，Ｒｂを測定する場合がある。
【００１０】
図１３は、図１２に示す中間基板Ｂの接続部ＲＡ，ＲＢの抵抗値Ｒａ，Ｒｂを測定する測定方法を説明するための説明図である。接続部ＲＡ，ＲＢの抵抗値Ｒａ，Ｒｂを測定するには、導電部ＰＡ１と導電部ＰＢ１との間に測定用の電流Ｉを流し、導電部ＰＡ１と導電部ＰＢ１との間に生じた電圧Ｖを測定し、抵抗値をＶ／Ｉとして算出することが考えられる。この場合、Ｖ／Ｉによって算出される抵抗値は、Ｒａ＋Ｒｂとなる。
【００１１】
しかしながら、二カ所の接続部の合計抵抗値ではなく、各接続部の抵抗値を個別に測定したいというニーズがある。
【００１２】
本発明の目的は、面状に拡がる導電性の面状導体と、面状導体と対向する基板面と、基板面に設けられた導電部とその導電部を前記面状導体に電気的に接続する接続部との対とを有する被測定基板の各接続部の抵抗を個別に測定することができる抵抗測定装置、及び抵抗測定方法を提供することである。
【００１３】
本発明の一局面に従う抵抗測定装置は、面状に拡がる導電性の面状導体と、前記面状導体と対向する基板面と、前記基板面に設けられた導電部とその導電部を前記面状導体に電気的に接続する接続部との対とを有すると共に当該対を三つ以上備える被測定基板の前記接続部の抵抗を測定するための抵抗測定装置であって、前記三つ以上の導電部のうちの一つである第一導電部と前記第一導電部とは異なる導電部である第二導電部との間に前記面状導体を介して電流を流す電流供給部と、前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部である第三導電部と前記第一導電部との間の電圧を検出する第一電圧検出部と、前記電流供給部によって流された電流と前記第一電圧検出部によって検出された電圧とに基づいて、前記第一導電部と対になる接続部の抵抗値を算出する抵抗算出部とを備える。
【００１４】
また、本発明の一局面に従う抵抗測定方法は、面状に拡がる導電性の面状導体と、前記面状導体と対向する基板面と、前記基板面に設けられた導電部とその導電部を前記面状導体に電気的に接続する接続部との対とを有すると共に当該対を三つ以上備える被測定基板の前記接続部の抵抗を測定するための抵抗測定方法であって、前記各導電部のうちの一つである第一導電部と前記第一導電部とは異なる導電部である第二導電部との間に電流を流す電流供給工程と、前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部である第三導電部と前記第一導電部との間の電圧を検出する第一電圧検出工程と、前記電流供給工程によって流された電流と前記第一電圧検出工程によって検出された電圧とに基づいて、前記第一導電部と対になる接続部の抵抗値を算出する抵抗算出工程とを含む。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係る抵抗測定方法を用いる抵抗測定装置の構成を概念的に示す模式図である。
【図２】図１に示す測定部の電気的構成の一例を示すブロック図である。
【図３】図１に示す抵抗測定装置の動作の一例を示すフローチャートである。
【図４】図１に示す抵抗測定装置の動作の一例を示すフローチャートである
【図５】図１に示す抵抗測定装置の動作の一例を示すフローチャートである
【図６】図１に示す抵抗測定装置の動作を説明するための説明図である。
【図７】図１に示す抵抗測定装置の動作を説明するための説明図である。
【図８】図１に示す抵抗測定装置の動作を説明するための説明図である。
【図９】図１に示す抵抗測定装置の動作を説明するための説明図である。
【図１０】第三導電部と第四導電部とを同一の導電部とした場合の抵抗測定装置の動作を説明するための説明図である。
【図１１】基板内層に面状の内層パターンを備えた基板の一例である多層基板を示す概念的な模式図である。
【図１２】中間基板の一例を示す概念的な模式図である。
【図１３】図１２に示す中間基板の抵抗値を測定する測定方法を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の一局面に従う実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。図１は、本発明の一実施形態に係る抵抗測定方法を用いる抵抗測定装置１の構成を概念的に示す模式図である。図１に示す抵抗測定装置１は、測定対象となる被測定基板の抵抗を測定するための装置である。抵抗測定装置１は、測定された抵抗値に基づき被測定基板の良否を判定する基板検査装置であってもよい。
【００１７】
被測定基板は、例えば中間基板や多層基板であり、半導体パッケージ用のパッケージ基板、フィルムキャリア、プリント配線基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及びこれらの基板を製造する過程の中間基板であってもよい。図１１に示す多層基板ＷＢ、及び図１２に示す中間基板Ｂは、被測定基板の一例に相当している。図１では、被測定基板として中間基板Ｂが抵抗測定装置１に取り付けられた例を示している。
【００１８】
図１に示す抵抗測定装置１は、筐体１１２を有している。筐体１１２の内部空間には、基板固定装置１１０と、測定部１２１と、測定部１２２と、測定部移動機構１２５と、制御部２０とが主に設けられている。基板固定装置１１０は、測定対象の中間基板Ｂを所定の位置に固定するように構成されている。
【００１９】
測定部１２１は、基板固定装置１１０に固定された中間基板Ｂの上方に位置する。測定部１２２は、基板固定装置１１０に固定された中間基板Ｂの下方に位置する。測定部１２１，１２２は、中間基板Ｂに形成された導電部にプローブを接触させるための測定治具４Ｕ，４Ｌを備えている。
【００２０】
測定治具４Ｕ，４Ｌには、複数のプローブＰｒが取り付けられている。測定治具４Ｕ，４Ｌは、中間基板Ｂの表面に形成された測定対象の導電部の配置と対応するように複数のプローブＰｒを配置、保持する。測定部移動機構１２５は、制御部２０からの制御信号に応じて測定部１２１，１２２を筐体１１２内で適宜移動させ、測定治具４Ｕ，４ＬのプローブＰｒを中間基板Ｂの各導電部に接触させる。
【００２１】
なお、抵抗測定装置１は、測定部１２１，１２２のうちいずれか一方のみを備えてもよい。そして、抵抗測定装置１は、いずれか一方の測定部１２１，１２２によって、被測定基板を表裏反転させてその両面の測定を行うようにしてもよい。
【００２２】
制御部２０は、例えば、所定の演算処理を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）と、データを一時的に記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）と、所定の制御プログラムを記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）やＨＤＤ（Hard Disk Drive）等の記憶部と、これらの周辺回路等とを備えて構成されている。そして、制御部２０は、例えば記憶部に記憶された制御プログラムを実行することにより、導電部選択部２１及び抵抗算出部２２として機能する。
【００２３】
図２は、図１に示す測定部１２１の電気的構成の一例を示すブロック図である。なお、測定部１２２は、測定部１２１と同様に構成されているのでその説明を省略する。図２に示す測定部１２１は、スキャナ部３１、電流供給部ＣＳ、電圧検出部ＶＭ１（第一電圧検出部）、電圧検出部ＶＭ２（第二電圧検出部）、電流検出部ＡＭ、及び複数のプローブＰｒを備えている。
【００２４】
電流供給部ＣＳは、制御部２０からの制御信号に応じた電流Ｉを出力する定電流回路である。電圧検出部ＶＭ１，ＶＭ２は電圧を測定し、その電圧値を制御部２０へ送信する電圧検出回路である。電流検出部ＡＭは、電流Ｉを測定し、その電流値Ｉｃを制御部２０へ送信する電流検出回路である。なお、電圧検出部ＶＭ２を備えない構成としてもよい。
【００２５】
スキャナ部３１は、例えばトランジスタやリレースイッチ等のスイッチング素子を用いて構成された切り替え回路である。スキャナ部３１は、中間基板Ｂに抵抗測定用の電流Ｉを供給するための電流端子＋Ｆ，−Ｆと、電流Ｉによって中間基板Ｂの導電部間に生じた電圧を検出するための電圧検出端子＋Ｓ１，−Ｓ１，＋Ｓ２，−Ｓ２とを備えている。また、スキャナ部３１には、複数のプローブＰｒが電気的に接続されている。スキャナ部３１は、制御部２０からの制御信号に応じて電流端子＋Ｆ，−Ｆ及び電圧検出端子＋Ｓ１，−Ｓ１，＋Ｓ２，−Ｓ２と、複数のプローブＰｒとの間の接続関係を切り替える。
【００２６】
電流供給部ＣＳは、その出力端子の一端が回路グラウンドに接続され、他端が電流端子＋Ｆに接続されている。電流検出部ＡＭは、その一端が電流端子−Ｆに接続され、他端が回路グラウンドに接続されている。電圧検出部ＶＭ１は、その一端が電圧検出端子＋Ｓ１に接続され、他端が電圧検出端子−Ｓ１に接続されている。電圧検出部ＶＭ２は、その一端が電圧検出端子＋Ｓ２に接続され、他端が電圧検出端子−Ｓ２に接続されている。
【００２７】
そして、スキャナ部３１は、制御部２０からの制御信号に応じて、電流端子＋Ｆ，−Ｆ及び電圧検出端子＋Ｓ１，−Ｓ１，＋Ｓ２，−Ｓ２を任意のプローブＰｒに導通接続可能にされている。これにより、スキャナ部３１は、制御部２０からの制御信号に応じて、プローブＰｒが接触している任意の導体部間に電流Ｉを流し、その電流Ｉを電流検出部ＡＭによって測定させ、任意の導体部間に生じた電圧Ｖを電圧検出部ＶＭ１，ＶＭ２によって測定させることが可能にされている。
【００２８】
なお、電流供給部ＣＳは、スキャナ部３１を介して中間基板Ｂに電流Ｉを流すことができればよく、電流供給部ＣＳの一端が回路グラウンドに接続される例に限らない。例えば、電流供給部ＣＳの一端と電流検出部ＡＭの他端とが接続されて電流ループが形成される構成であってもよい。また、電流検出部ＡＭは、電流Ｉが流れる経路上に配置されればよく、必ずしも電流端子−Ｆに接続される例に限らない。例えば、電流検出部ＡＭは、電流供給部ＣＳと直列接続されて、電流端子＋Ｆに接続されてもよい。
【００２９】
これにより、制御部２０は、スキャナ部３１へ制御信号を出力することで、電流供給部ＣＳにより電流Ｉを任意のプローブＰｒ間に流させ、任意のプローブＰｒ間の電圧を電圧検出部ＶＭ１，ＶＭ２によって検出させることが可能にされている。
【００３０】
導電部選択部２１は、プローブＰｒが接触している導電部のうちから、第一、第二、第三、及び第四導電部を選択する。第一及び第二導電部として選択された導電部と対になる接続部の抵抗値が抵抗算出部２２によって算出されるので、導電部選択部２１は、まだ抵抗値が算出されていない接続部と対になる新たな導電部を第一及び第二導電部として順次、選択することによって、最終的に抵抗値を測定しようとしている全ての接続部の抵抗値を測定するようになっている。
【００３１】
導電部選択部２１は、スキャナ部３１によって、第一導電部に接触しているプローブＰｒと電流検出部ＡＭ（電流端子−Ｆ）とを接続させ、第二導電部に接触しているプローブＰｒと電流供給部ＣＳ（電流端子＋Ｆ）とを接続させ、第三導電部に接触しているプローブＰｒと電圧検出部ＶＭ１の一端（電圧検出端子＋Ｓ１）とを接続させ、第一導電部に接触しているプローブＰｒと電圧検出部ＶＭ１の他端（電圧検出端子−Ｓ１）とを接続させ、第二導電部に接触しているプローブＰｒと電圧検出部ＶＭ２の一端（電圧検出端子＋Ｓ２）とを接続させ、第四導電部に接触しているプローブＰｒと電圧検出部ＶＭ２の他端（電圧検出端子−Ｓ２）とを接続させる（図６参照）。
【００３２】
これによって、導電部選択部２１は、電流供給部ＣＳによって第一導電部と第二導電部との間に金属板ＭＰを介して電流を流させ、電圧検出部ＶＭ１によって第一導電部と第三導電部との間の電圧を検出させ、電圧検出部ＶＭ２によって第二導電部と第四導電部との間の電圧を検出させる。
【００３３】
抵抗算出部２２は、電流検出部ＡＭによって測定された電流値Ｉｃすなわち電流供給部ＣＳによって流された電流Ｉと、電圧検出部ＶＭ１によって検出された電圧Ｖ１とに基づいて、第一導電部と対になる接続部の抵抗値を算出する。また、抵抗算出部２２は、電流値Ｉｃと、電圧検出部ＶＭ２によって検出された電圧Ｖ２とに基づいて、第二導電部と対になる接続部の抵抗値を算出する。
【００３４】
次に、上述の抵抗測定装置１の動作について説明する。被測定基板が中間基板Ｂである場合を例に、測定部１２１を用いて基板ＷＢ１の抵抗測定を行う抵抗測定方法について説明する。測定部１２２を用いて基板ＷＢ２の抵抗測定を行う場合は、測定部１２１を用いて基板ＷＢ１の抵抗測定を行う場合と同様であるのでその説明を省略する。
【００３５】
図３〜図５は、本発明の一実施形態に係る抵抗測定方法を用いる抵抗測定装置１の動作の一例を示すフローチャートである。図３〜図５に示すフローチャートは、中間基板Ｂの測定を行う場合について例示している。図６〜図９は、図１に示す抵抗測定装置１の動作を説明するための説明図である。図６〜図９では、説明を簡単にするためスキャナ部３１の記載を省略している。
【００３６】
まず、制御部２０は、測定部移動機構１２５によって測定部１２１を移動させ、基板固定装置１１０に固定された中間基板Ｂに測定治具４ＵのプローブＰｒを接触させる（ステップＳ１）。図６に示す例では、いわゆる四端子測定法によって抵抗測定する場合を例示しており、導電部ＰＡ１〜ＰＦ１のそれぞれに、プローブＰｒが二つずつ接触する。
【００３７】
なお、抵抗測定装置１は、四端子測定法によって抵抗測定を行う例に限られず、各導電部にプローブＰｒを一つずつ接触させ、一つのプローブＰｒで電流供給と電圧測定とを兼用する構成としてもよい。
【００３８】
次に、導電部選択部２１は、導電部ＰＡ１〜ＰＦ１のうち任意の導電部、例えば導電部ＰＢ１と導電部ＰＣ１とを選択し、導電部ＰＢ１を第一導電部、導電部ＰＣ１を第二導電部とする（ステップＳ２：導電部選択工程）。
【００３９】
次に、導電部選択部２１は、第一及び第二導電部と異なる第一条件と、第三導電部から第一導電部に至る最短の導電経路及び第四導電部から第二導電部に至る最短の導電経路が、金属板ＭＰを流れる電流経路と重ならない第二条件とを満たす第三及び第四導電部を検索し、第一及び第二条件を満たす導電部ＰＡ１を第三導電部とし、導電部ＰＤ１を第四導電部として選択する（ステップＳ３：導電部選択工程）。
【００４０】
次に、導電部選択部２１は、スキャナ部３１によって、電流検出部ＡＭを導電部ＰＢ１（第一導電部）に接続させ電流供給部ＣＳを導電部ＰＣ１（第二導電部）に接続させて、電流供給部ＣＳによって導電部ＰＢ１（第一導電部）と導電部ＰＣ１（第二導電部）との間に電流Ｉを供給させ（ステップＳ４：電流供給工程）、電流Ｉの電流値Ｉｃを電流検出部ＡＭによって測定させる（ステップＳ５）（図６参照）。
【００４１】
次に、導電部選択部２１は、スキャナ部３１によって電圧検出部ＶＭ１の一方端子を導電部ＰＢ１（第一導電部）に、電圧検出部ＶＭ１の他方端子を導電部ＰＡ１（第三導電部）に接続させて、電圧検出部ＶＭ１によって導電部ＰＢ１（第一導電部）と導電部ＰＡ１（第三導電部）との間の電圧Ｖ１を測定させる（ステップＳ６：第一電圧検出工程）（図６参照）。
【００４２】
次に、導電部選択部２１は、スキャナ部３１によって電圧検出部ＶＭ２の一方端子を導電部ＰＣ１（第二導電部）に、電圧検出部ＶＭ２の他方端子を導電部ＰＤ１（第四導電部）に接続させて、電圧検出部ＶＭ２によって導電部ＰＣ１（第二導電部）と導電部ＰＤ１（第四導電部）との間の電圧Ｖ２を測定させる（ステップＳ７：第二電圧検出工程）（図６参照）。
【００４３】
導電部ＰＡ１（第三導電部）は、導電部ＰＢ１（第一導電部）及び導電部ＰＣ１（第二導電部）と異なる導電部であるから第一条件を満たしている。導電部ＰＡ１（第三導電部）から導電部ＰＢ１（第一導電部）に至る最短の導電経路は、図６に示すように、導電部ＰＡ１から接続部ＲＡ、金属板ＭＰの導電経路Ｘ、及び接続部ＲＢを介して導電部ＰＢ１に至る経路である。導電部ＰＢ１（第一導電部）と導電部ＰＣ１（第二導電部）の間に流れる電流Ｉが金属板ＭＰを流れる電流経路Ａと導電経路Ｘとは重ならない。従って、導電部ＰＡ１（第三導電部），ＰＢ１（第一導電部），ＰＣ１（第二導電部）は、第一条件及び第二条件を満たしている。
【００４４】
導電部ＰＤ１（第四導電部）は、導電部ＰＢ１（第一導電部）及び導電部ＰＣ１（第二導電部）と異なる導電部であるから第一条件を満たしている。導電部ＰＤ１（第四導電部）から導電部ＰＣ１（第二導電部）に至る最短の導電経路は、図６に示すように、導電部ＰＤ１から接続部ＲＤ、金属板ＭＰの導電経路Ｙ、及び接続部ＲＣを介して導電部ＰＣ１に至る経路である。導電部ＰＢ１（第一導電部）と導電部ＰＣ１（第二導電部）の間に流れる電流Ｉが金属板ＭＰを流れる電流経路Ａと導電経路Ｙとは重ならない。従って、導電部ＰＢ１（第一導電部），ＰＣ１（第二導電部），ＰＤ１（第四導電部）は、第一条件及び第二条件を満たしている。
【００４５】
上述のようにして選択された導電部ＰＡ１（第三導電部），ＰＢ１（第一導電部），ＰＣ１（第二導電部）によれば、導電経路Ｘ及び接続部ＲＡには電流が流れず、従ってこの箇所では電圧が生じないから、電圧検出部ＶＭ１によって測定された電圧Ｖ１には、導電経路Ｘ及び接続部ＲＡで生じた電圧が含まれることがない。従って、電圧Ｖ１は、接続部ＲＢに電流Ｉが流れることによって生じた電圧に略等しい。
【００４６】
また、上述のようにして選択された導電部ＰＤ１（第四導電部），ＰＢ１（第一導電部），ＰＣ１（第二導電部）によれば、導電経路Ｙ及び接続部ＲＤには電流が流れず、従ってこの箇所では電圧が生じないから、電圧検出部ＶＭ２によって測定された電圧Ｖ２には、導電経路Ｙ及び接続部ＲＤで生じた電圧が含まれることがない。従って、電圧Ｖ２は、接続部ＲＣに電流Ｉが流れることによって生じた電圧に略等しい
【００４７】
次に、抵抗算出部２２によって、下記の式（１），（２）に基づいて、接続部ＲＢの抵抗値Ｒｂと接続部ＲＣの抵抗値Ｒｃとが算出される（ステップＳ８：抵抗算出工程）。
Ｒｂ＝Ｖ１／Ｉｃ  ・・・（１）
Ｒｃ＝Ｖ２／Ｉｃ  ・・・（２）
【００４８】
これにより、接続部ＲＢ，ＲＣの抵抗値を、個別に測定することができる。なお、必ずしも電流検出部ＡＭによって電流値Ｉｃを測定する例に限らない。電流検出部ＡＭを備えず、電流供給部ＣＳが、予め設定された電流値Ｉｃの電流Ｉを出力する構成であってもよい。
【００４９】
なお、導電部選択部２１は、必ずしも上述の第二条件を満たすように第三導電部と第四導電部とを選択する例に限らず、第二条件を満たさない第三導電部と第四導電部とを選択してもよい。第二条件を満たさない第三導電部と第四導電部とを選択した場合であっても、各接続部の抵抗値を、個別に測定することができる。
【００５０】
図７は、第二条件を満たさない第三導電部と第四導電部とを選択する例を説明するための説明図である。図７に示す例では、導電部ＰＡ１が第一導電部、導電部ＰＤ１が第二導電部、導電部ＰＢ１が第三導電部、導電部ＰＣ１が第四導電部としてそれぞれ選択されている。この場合、電流Ｉが金属板ＭＰを流れる電流経路Ａと導電経路Ｘ，Ｙとが重なっているから、第三及び第四導電部は、第二条件を満たさない。
【００５１】
この場合であっても、電流Ｉは接続部ＲＢ，ＲＣを流れないから、抵抗算出部２２は、接続部ＲＡの抵抗値Ｒａと接続部ＲＤの抵抗値Ｒｄとを個別に算出することができる。
【００５２】
しかしながら、導電経路Ｘ，Ｙでは電流Ｉが流れることによる電圧降下が生じるから、抵抗算出部２２によって算出される接続部ＲＡの抵抗値Ｒａには金属板ＭＰの導電経路Ｘの抵抗値Ｒｘが含まれ、抵抗算出部２２によって算出される接続部ＲＤの抵抗値Ｒｄには金属板ＭＰの導電経路Ｙの抵抗値Ｒｙが含まれる。しかしながら、金属板ＭＰや内層パターンＩＰなどの面状導体は、その導体面積が広いため抵抗値Ｒｘ，Ｒｙは微小であり、特に金属板ＭＰは、その導体面積が広く、かつ厚さも１ｍｍ〜１０ｍｍ程度と厚く断面積が広いので、抵抗値Ｒｘ，Ｒｙは極めて小さく無視することができる。
【００５３】
しかしながら、ステップＳ３に示すように、第二条件を満たす第三及び第四導電部を選択することによって、電圧Ｖ１，Ｖ２には金属板ＭＰに電流Ｉが流れることで生じる電圧が含まれなくなるので、接続部の抵抗値算出精度をより向上することができる点でより好ましい。
【００５４】
導電部選択部２１は、まだ抵抗値が算出されていない接続部がある場合、新たな接続部の抵抗値を算出するべく、抵抗値が既に算出済の接続部ＲＢ，ＲＣとは別の接続部、例えば接続部ＲＤ，ＲＥと対になる導電部ＰＤ１，ＰＥ１を新たな第一及び第二導電部として選択する（ステップＳ１１：導電部選択工程）（図８参照）。
【００５５】
次に、導電部選択部２１は、新たな第一及び第二導電部と異なる第一条件と、第三導電部から第一導電部に至る最短の導電経路及び第四導電部から第二導電部に至る最短の導電経路が、金属板ＭＰを流れる電流経路Ａと重ならない第二条件とを満たす第三及び第四導電部を検索し、第一及び第二条件を満たす導電部ＰＣ１を新たな第三導電部とし、導電部ＰＦ１を第四導電部として選択する（ステップＳ１２：導電部選択工程）。
【００５６】
次に、導電部選択部２１は、スキャナ部３１によって、電流検出部ＡＭを導電部ＰＤ１（第一導電部）に接続させ電流供給部ＣＳを導電部ＰＥ１（第二導電部）に接続させて、電流供給部ＣＳによって導電部ＰＤ１（第一導電部）と導電部ＰＥ１（第二導電部）との間に電流Ｉを供給させ（ステップＳ１３：電流供給工程）、電流Ｉの電流値Ｉｃを電流検出部ＡＭによって測定させる（ステップＳ１４）（図８参照）。
【００５７】
次に、導電部選択部２１は、スキャナ部３１によって電圧検出部ＶＭ１の一方端子を導電部ＰＤ１（第一導電部）に、電圧検出部ＶＭ１の他方端子を導電部ＰＣ１（第三導電部）に接続させて、電圧検出部ＶＭ１によって導電部ＰＤ１（第一導電部）と導電部ＰＣ１（第三導電部）との間の電圧Ｖ１を測定させる（ステップＳ１５：第一電圧検出工程）（図８参照）。
【００５８】
次に、導電部選択部２１は、スキャナ部３１によって電圧検出部ＶＭ２の一方端子を導電部ＰＥ１（第二導電部）に、電圧検出部ＶＭ２の他方端子を導電部ＰＦ１（第四導電部）に接続させて、電圧検出部ＶＭ２によって導電部ＰＥ１（第二導電部）と導電部ＰＦ１（第四導電部）との間の電圧Ｖ２を測定させる（ステップＳ１６：第二電圧検出工程）（図８参照）。
【００５９】
導電部ＰＣ１（第三導電部）は、導電部ＰＤ１（第一導電部）及び導電部ＰＥ１（第二導電部）と異なる導電部であるから第一条件を満たしている。導電部ＰＣ１（第三導電部）から導電部ＰＤ１（第一導電部）に至る最短の導電経路は、図８に示すように、導電部ＰＣ１から接続部ＲＣ、金属板ＭＰの導電経路Ｘ、及び接続部ＲＤを介して導電部ＰＤ１に至る経路である。導電部ＰＤ１（第一導電部）と導電部ＰＥ１（第二導電部）の間に流れる電流Ｉが金属板ＭＰを流れる電流経路Ａと導電経路Ｘは重ならない。従って、導電部ＰＣ１（第三導電部），ＰＤ１（第一導電部），ＰＥ１（第二導電部）は、第一条件及び第二条件を満たしている。
【００６０】
導電部ＰＦ１（第四導電部）は、導電部ＰＤ１（第一導電部）及び導電部ＰＥ１（第二導電部）と異なる導電部であるから第一条件を満たしている。導電部ＰＦ１（第四導電部）から導電部ＰＥ１（第二導電部）に至る最短の導電経路は、図８に示すように、導電部ＰＦ１から接続部ＲＦ、金属板ＭＰの導電経路Ｙ、及び接続部ＲＥを介して導電部ＰＥ１に至る経路である。導電部ＰＤ１（第一導電部）と導電部ＰＥ１（第二導電部）の間に流れる電流Ｉが金属板ＭＰを流れる電流経路Ａと導電経路Ｙは重ならない。従って、導電部ＰＤ１（第一導電部），ＰＥ１（第二導電部），ＰＦ１（第四導電部）は、第一条件及び第二条件を満たしている。
【００６１】
このようにして得られた電圧Ｖ１，Ｖ２は、上述の接続部ＲＢ，ＲＣの場合と同様、接続部ＲＤ，ＲＥに電流Ｉが流れることによって生じた電圧に略等しい。
【００６２】
次に、抵抗算出部２２によって、下記の式（３），（４）に基づいて、接続部ＲＤの抵抗値Ｒｄと接続部ＲＥの抵抗値Ｒｅとが算出される（ステップＳ１７：抵抗算出工程）。
Ｒｄ＝Ｖ１／Ｉｃ  ・・・（３）
Ｒｅ＝Ｖ２／Ｉｃ  ・・・（４）
【００６３】
これにより、接続部ＲＤ，ＲＥの抵抗値を、個別に測定することができる。
【００６４】
導電部選択部２１は、まだ抵抗値が算出されていない接続部がある場合、新たな接続部の抵抗値を算出するべく、抵抗値が既に算出済の接続部ＲＢ，ＲＣ，ＲＤ，ＲＥとは別の接続部、例えば接続部ＲＡ，ＲＦと対になる導電部ＰＡ１，ＰＦ１を新たな第一及び第二導電部として選択する（ステップＳ２１：導電部選択工程）。
【００６５】
次に、導電部選択部２１は、新たな第一及び第二導電部と異なる第一条件と、第三導電部から第一導電部に至る最短の導電経路及び第四導電部から第二導電部に至る最短の導電経路が、金属板ＭＰを流れる電流経路と重ならない第二条件とを満たす第三及び第四導電部を検索する。
【００６６】
ここで、説明を簡素化するために、基板ＷＢ１の基板面ＢＳ１には、導電部ＰＡ１〜ＰＦ１が一列に形成され、導電部ＰＡ１〜ＰＦ１以外にプローブＰｒが接触する導電部が存在していない場合を例に説明する。また、抵抗測定装置１は、測定部１２１のプローブＰｒが接触する基板ＷＢ１の基板面ＢＳ１の導電部と、測定部１２２のプローブＰｒが接触する基板ＷＢ２の基板面ＢＳ１の導電部との間に電流を流したり、当該両面の導電部間の電圧を測定したりすることはできない場合を例に説明する。
【００６７】
この場合、第一条件と第二条件とを満たす導電部は存在しないことになる（ステップＳ２２）。電圧検出部ＶＭ１，ＶＭ２を備える構成において、第一及び第二条件を満たす導電部が存在しない場合とは、第一及び第二条件を満たし、かつその導電部を第三導電部とした場合にプローブＰｒを接触させて第一電圧検出部により第一導電部と第三導電部との間の電圧を測定可能な導電部が存在せず、かつその導電部を第四導電部とした場合にプローブＰｒを接触させて第二電圧検出部により第一導電部と第四導電部との間の電圧を測定可能な導電部が存在しないことを意味する。電圧検出部ＶＭ２を備えない構成においては、第一及び第二条件を満たす導電部が存在しない場合とは、第一及び第二条件を満たし、かつその導電部を第三導電部とした場合にプローブＰｒを接触させて第一電圧検出部により第一導電部と第三導電部との間の電圧を測定可能な導電部が存在しないことを意味する。
【００６８】
第一条件と第二条件とを満たす導電部が存在しない場合にのみ、導電部選択部２１は、第一条件を満たし、第二条件を満たさない導電部ＰＢ１，ＰＥ１を新たな第三，第四導電部として選択する（ステップＳ２３：導電部選択工程）。なお、ステップＳ２３において、第一条件と第二条件とを満たす導電部が一つだけ存在する場合には、導電部選択部２１は、その第一条件と第二条件とを満たす導電部を新たな第三，第四導電部のいずれか一方として選択し、第一条件を満たし、第二条件を満たさない導電部を新たな第三，第四導電部のうち他方として選択してもよい。
【００６９】
次に、導電部選択部２１は、スキャナ部３１によって、電流検出部ＡＭを導電部ＰＡ１（第一導電部）に接続させ電流供給部ＣＳを導電部ＰＦ１（第二導電部）に接続させて、電流供給部ＣＳによって導電部ＰＡ１（第一導電部）と導電部ＰＦ１（第二導電部）との間に電流Ｉを供給させ（ステップＳ２４：電流供給工程）、電流Ｉの電流値Ｉｃを電流検出部ＡＭによって測定させる（ステップＳ２５）（図９参照）。
【００７０】
次に、導電部選択部２１は、スキャナ部３１によって電圧検出部ＶＭ１の一方端子を導電部ＰＡ１（第一導電部）に、電圧検出部ＶＭ１の他方端子を導電部ＰＢ１（第三導電部）に接続させて、電圧検出部ＶＭ１によって導電部ＰＡ１（第一導電部）と導電部ＰＢ１（第三導電部）との間の電圧Ｖ１を測定させる（ステップＳ２６：第一電圧検出工程）（図９参照）。
【００７１】
次に、導電部選択部２１は、スキャナ部３１によって電圧検出部ＶＭ２の一方端子を導電部ＰＦ１（第二導電部）に、電圧検出部ＶＭ２の他方端子を導電部ＰＥ１（第四導電部）に接続させて、電圧検出部ＶＭ２によって導電部ＰＦ１（第二導電部）と導電部ＰＥ１（第四導電部）との間の電圧Ｖ２を測定させる（ステップＳ２７：第二電圧検出工程）（図９参照）。
【００７２】
導電部ＰＢ１（第三導電部）は、導電部ＰＡ１（第一導電部）及び導電部ＰＦ１（第二導電部）と異なる導電部であるから第一条件を満たしている。導電部ＰＢ１（第三導電部）から導電部ＰＡ１（第一導電部）に至る最短の導電経路は、図９に示すように、導電部ＰＢ１から接続部ＲＢ、金属板ＭＰの導電経路Ｘ、及び接続部ＲＡを介して導電部ＰＡ１に至る経路である。導電部ＰＡ１（第一導電部）と導電部ＰＦ１（第二導電部）の間に流れる電流Ｉが金属板ＭＰを流れる電流経路Ａと導電経路Ｘとは重なっている。従って、導電部ＰＢ１（第三導電部），ＰＡ１（第一導電部），ＰＦ１（第二導電部）は、第二条件を満たしていない。
【００７３】
導電部ＰＥ１（第四導電部）は、導電部ＰＡ１（第一導電部）及び導電部ＰＦ１（第二導電部）と異なる導電部であるから第一条件を満たしている。導電部ＰＥ１（第四導電部）から導電部ＰＦ１（第二導電部）に至る最短の導電経路は、図９に示すように、導電部ＰＥ１から接続部ＲＥ、金属板ＭＰの導電経路Ｙ、及び接続部ＲＦを介して導電部ＰＦ１に至る経路である。導電部ＰＡ１（第一導電部）と導電部ＰＦ１（第二導電部）の間に流れる電流Ｉが金属板ＭＰを流れる電流経路Ａと導電経路Ｙとは重なっている。従って、導電部ＰＡ１（第一導電部），ＰＦ１（第二導電部），ＰＥ１（第四導電部）は、第二条件を満たしていない。
【００７４】
次に、抵抗算出部２２によって、下記の式（５），（６）に基づいて、接続部ＲＡの抵抗値Ｒａと接続部ＲＦの抵抗値Ｒｆとが算出される（ステップＳ２８：抵抗算出工程）。
Ｒａ＝Ｖ１／Ｉｃ  ・・・（５）
Ｒｆ＝Ｖ２／Ｉｃ  ・・・（６）
【００７５】
これにより、接続部ＲＡ，ＲＦの抵抗値を、個別に測定することができる。第二条件を満たさない場合、ステップＳ２６，Ｓ２７で測定された電圧Ｖ１，Ｖ２には、上述したように金属板ＭＰの導電経路Ｘ，Ｙに電流Ｉが流れることで生じる電圧が含まれるから、式（５），（６）で算出される抵抗値Ｒａ，Ｒｆには、抵抗値Ｒｘ，Ｒｙが誤差として含まれる。しかしながら、上述したように、抵抗値Ｒｘ，Ｒｙは微小であるから実質的に無視できる。
【００７６】
以上、ステップＳ１〜Ｓ２８の処理によれば、面状に拡がる導電性の中間基板Ｂなどの面状導体と、面状導体と対向する基板面ＢＳ１と、基板面ＢＳ１に設けられた導電部ＰＡ１〜ＰＦ１とその導電部ＰＡ１〜ＰＦ１を面状導体に電気的に接続する接続部ＲＡ〜ＲＦとの対とを有する中間基板Ｂなどの被測定基板の接続部ＲＡ〜ＲＦの抵抗値Ｒａ〜Ｒｆを個別に測定することができる。
【００７７】
なお、一つの導電部が第三導電部と第四導電部とを兼ね、すなわち第三導電部と第四導電部とが同一の導電部であってもよい。導電部選択部２１は、第三導電部についての第一及び第二条件を満たし、かつ第四導電部についての第一及び第二条件とを満たす導電部を、第三導電部と第四導電部とを兼ねる導電部として選択してもよい。
【００７８】
図１０は、第三導電部と第四導電部とを同一の導電部とした場合の抵抗測定装置の動作を説明するための説明図である。図１０に示す例では、導電部ＰＡ１が第一導電部、導電部ＰＣ１が第二導電部、導電部ＰＢ１が第三導電部と第四導電部を兼ねている。すなわち、第三導電部と第四導電部とが同一の導電部ＰＢ１となっている。
【００７９】
この場合、電圧検出部ＶＭ１は、導電部ＰＡ１（第一導電部）と導電部ＰＢ１（第三、第四導電部）との間の電圧を電圧Ｖ１として測定する。電圧検出部ＶＭ２は、導電部ＰＢ１（第三、第四導電部）と導電部ＰＣ１（第二導電部）との間の電圧を電圧Ｖ２として測定する。
【００８０】
抵抗算出部２２は、下記の式（７），（８）に基づいて、接続部ＲＡの抵抗値Ｒａと接続部ＲＣの抵抗値Ｒｃとを算出する（抵抗算出工程）。
Ｒａ＝Ｖ１／Ｉｃ  ・・・（７）
Ｒｃ＝Ｖ２／Ｉｃ  ・・・（８）
【００８１】
この場合であっても、電流Ｉは接続部ＲＢを流れないから、抵抗算出部２２は、接続部ＲＡの抵抗値Ｒａと接続部ＲＣの抵抗値Ｒｃとを個別に算出することができる。
【００８２】
また、複数のプローブＰｒが、被検査基板の導電部の配置と対応するように配置されている例を示したが、移動式の、いわゆるフライングプローブによって、電流供給部ＣＳ、電流検出部ＡＭ、及び電圧検出部ＶＭ１，ＶＭ２が導電部と電気的に接続される構成としてもよい。また、抵抗測定装置１は電圧検出部ＶＭ２を備えず、導電部選択部２１は第四導電部を選択しない構成としてもよい。
【００８３】
また、導電部選択部２１は、第二条件を満たすか否かとは無関係に、第一，第二，第三、第四導電部を選択してもよい。また、導電部選択部２１は、新たな第三、第四導電部を選択する際に、新たな第一及び第二導電部と異なる第一条件を満たす導電部を選択すればよく、現在の第三、第四導電部と同じ導電部を新たな第三、第四導電部として選択してもよい。また、抵抗測定装置１は導電部選択部２１を備えず、適宜第一，第二，第三、第四導電部が設定されていてもよい。
【００８４】
すなわち、本発明の一局面に従う抵抗測定装置は、面状に拡がる導電性の面状導体と、前記面状導体と対向する基板面と、前記基板面に設けられた導電部とその導電部を前記面状導体に電気的に接続する接続部との対とを有すると共に当該対を三つ以上備える被測定基板の前記接続部の抵抗を測定するための抵抗測定装置であって、前記三つ以上の導電部のうちの一つである第一導電部と前記第一導電部とは異なる導電部である第二導電部との間に前記面状導体を介して電流を流す電流供給部と、前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部である第三導電部と前記第一導電部との間の電圧を検出する第一電圧検出部と、前記電流供給部によって流された電流と前記第一電圧検出部によって検出された電圧とに基づいて、前記第一導電部と対になる接続部の抵抗値を算出する抵抗算出部とを備える。
【００８５】
この構成によれば、第一電圧検出部によって電圧測定される第三導電部と第一導電部とを結ぶ経路中の第三導電部と対になる接続部には、電流供給部によって流された電流が流れない。その結果、第一電圧検出部によって測定される電圧には、第一導電部と対になる接続部の電圧降下が含まれる一方、第三導電部と対になる接続部の電圧降下は含まれない。その結果、抵抗算出部が電流供給部によって流された電流と第一電圧検出部によって検出された電圧とに基づいて算出する抵抗値は、第一導電部と対になる接続部の抵抗値と略等しくなる。これにより、第一導電部と対になる接続部の抵抗値を個別に測定することができる。
【００８６】
また、前記抵抗測定装置は、前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部である第四導電部と前記第二導電部との間の電圧を検出する第二電圧検出部をさらに備え、前記抵抗算出部は、さらに、前記電流供給部によって流された電流と前記第二電圧検出部によって検出された電圧とに基づいて、前記第二導電部と対になる接続部の抵抗値を算出することが好ましい。
【００８７】
この構成によれば、第二電圧検出部によって電圧測定される第四導電部と第二導電部とを結ぶ経路中の第四導電部と対になる接続部には、電流供給部によって流された電流が流れない。その結果、第二電圧検出部によって測定される電圧には、第二導電部と対になる接続部の電圧降下が含まれる一方、第四導電部と対になる接続部の電圧降下は含まれない。その結果、抵抗算出部が電流供給部によって流された電流と第二電圧検出部によって検出された電圧とに基づいて算出する抵抗値は、第二導電部と対になる接続部の抵抗値と略等しくなる。これにより、第一及び第二導電部と対になる各接続部の抵抗値を個別に測定することができる。第一及び第二電圧検出部による電圧測定を並行して実行し、第一及び第二導電部と対になる各接続部の抵抗値を個別に測定することができるので、抵抗測定時間を短縮することが可能となる。
【００８８】
また、前記第四導電部は、前記第三導電部と同一の前記導電部であることが好ましい。
【００８９】
この構成によれば、一つの導電部が、第三導電部と第四導電部とを兼ねる。この場合、第一、第二、第三、第四導電部となる三つの導電部のうち二つの導電部（第一、第二導電部）と対になる二つの接続部の抵抗値を測定することができる。従って、抵抗測定対象となる二箇所の導電部の他に、もう一箇所導電部を確保すればよいので、抵抗測定が容易となる。
【００９０】
また、前記各導電部のうち、前記抵抗値が算出された接続部とは別の接続部と対になる導電部を新たな第一導電部として選択し、前記各導電部のうち前記新たな第一導電部とは異なる第一条件を満たす導電部を新たな第二及び第三導電部として選択する導電部選択部をさらに備え、前記電流供給部は、さらに、前記新たな第一導電部と前記新たな第二導電部との間に電流を流し、前記第一電圧検出部は、さらに、前記新たな第三導電部と前記新たな第一導電部との間の電圧を検出し、前記抵抗算出部は、さらに、前記電流供給部によって流された電流と前記第一電圧検出部によって検出された電圧とに基づいて、前記新たな第一導電部と対になる接続部の抵抗値を算出することが好ましい。
【００９１】
この構成によれば、導電部選択部が、まだ抵抗値が測定されていない接続部と対になる導電部を順次第一導電部として選択することによって、被測定基板に設けられた各導電部の抵抗値を順次測定することが可能となる。
【００９２】
また、前記各導電部のうち、前記抵抗値が算出された接続部とは別の接続部と対になる導電部を新たな第一及び第二導電部として選択し、前記各導電部のうち前記新たな第一及び第二導電部とは異なる第一条件を満たす導電部を新たな第三及び第四導電部として選択する導電部選択部をさらに備え、前記電流供給部は、さらに、前記新たな第一導電部と前記新たな第二導電部との間に前記面状導体を介して電流を流し、前記第一電圧検出部は、さらに、前記新たな第三導電部と前記新たな第一導電部との間の電圧を検出し、前記第二電圧検出部は、さらに、前記新たな第四導電部と前記新たな第二導電部との間の電圧を検出し、前記抵抗算出部は、さらに、前記電流供給部によって流された電流と前記第一及び第二電圧検出部によって検出された電圧とに基づいて、前記新たな第一導電部と対になる接続部の抵抗値と前記新たな第二導電部と対になる接続部の抵抗値とを算出することが好ましい。
【００９３】
この構成によれば、導電部選択部が、まだ抵抗値が測定されていない接続部と対になる導電部を順次第一及び第二導電部として選択することによって、被測定基板に設けられた各導電部の抵抗値を二つずつ順次測定することが可能となる。
【００９４】
また、前記第三導電部は、前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部であって、かつ当該第三導電部から前記第一導電部に至る最短の導電経路が、前記電流供給部により流される電流の前記面状導体を流れる電流経路と重ならない導電部であることが好ましい。
【００９５】
この構成によれば、第一電圧検出部によって検出される電圧に、面状導体に電流が流れることによって生じる電圧が含まれないので、第一導電部と対になる接続部で生じる電圧の測定精度が向上する結果、抵抗算出部による第一導電部と対になる接続部の抵抗値の算出精度が向上する。
【００９６】
また、前記第四導電部は、前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部であって、かつ当該第四導電部から前記第二導電部に至る最短の導電経路が、前記電流供給部により流される電流の前記面状導体を流れる電流経路と重ならない導電部であることが好ましい。
【００９７】
この構成によれば、第二電圧検出部によって検出される電圧に、面状導体に電流が流れることによって生じる電圧が含まれないので、第二導電部と対になる接続部で生じる電圧の測定精度が向上する結果、抵抗算出部による第二導電部と対になる接続部の抵抗値の算出精度が向上する。
【００９８】
また、前記導電部選択部は、前記各導電部のうち、前記抵抗値が算出された接続部とは別の接続部と対になる導電部を新たな第一導電部として選択し、前記各導電部のうち前記新たな第一導電部とは異なる第一条件と、新たな第三導電部から前記新たな第一導電部に至る最短の導電経路が、前記電流供給部により前記新たな第一導電部と新たな第二導電部との間に流される電流の前記面状導体を流れる電流経路と重ならない第二条件とを満たすように、前記新たな第二導電部及び前記新たな第三導電部を選択することが好ましい。
【００９９】
この構成によれば、導電部選択部が、まだ抵抗値が測定されていない接続部と対になる導電部を順次第一導電部として選択することによって、被測定基板に設けられた各導電部の抵抗値を順次測定可能になる。また、第一電圧検出部によって検出される電圧には、面状導体に電流が流れることによって生じる電圧が含まれないので、新たな第一導電部と対になる接続部で生じる電圧の測定精度が向上する結果、抵抗算出部による新たな第一導電部と対になる接続部の抵抗値の算出精度が向上する。
【０１００】
また、前記導電部選択部は、前記第一及び第二条件を満たす前記導電部が存在しない場合、前記第一条件を満たし、かつ前記第二条件を満たさない導電部を前記新たな第二及び第三導電部として選択することが好ましい。
【０１０１】
この構成によれば、第二条件を満たさない導電部と対になる接続部の抵抗値についても、抵抗算出部により算出することが可能となる。
【０１０２】
また、前記導電部選択部は、前記各導電部のうち、前記抵抗値が算出された接続部とは別の接続部と対になる導電部を新たな第一及び第二導電部として選択し、前記各導電部のうち前記新たな第一及び第二導電部とは異なる第一条件と、新たな第三導電部から前記新たな第一導電部に至る最短の導電経路及び新たな第四導電部から前記新たな第二導電部に至る最短の導電経路が、前記電流供給部により前記新たな第一導電部と新たな第二導電部との間に流される電流の前記面状導体を流れる電流経路と重ならない第二条件とを満たすように、前記新たな第三導電部及び前記新たな第四導電部を選択することが好ましい。
【０１０３】
この構成によれば、導電部選択部が、まだ抵抗値が測定されていない接続部と対になる導電部を順次第一及び第二導電部として選択することによって、被測定基板に設けられた各導電部の抵抗値を二つずつ順次測定可能になる。また、第一及び第二電圧検出部によって検出される電圧に、面状導体に電流が流れることによって生じる電圧が含まれないので、新たな第一及び第二導電部と対になる接続部で生じる電圧の測定精度が向上する結果、抵抗算出部による新たな第一及び第二導電部と対になる接続部の抵抗値の算出精度が向上する。
【０１０４】
また、前記導電部選択部は、前記第一及び第二条件を満たす前記導電部が二つ以上存在しない場合、前記第一条件を満たし、かつ前記第二条件を満たさない導電部を前記新たな第二及び第三導電部のうち少なくとも一つとして選択することが好ましい。
【０１０５】
この構成によれば、第二条件を満たさない導電部と対になる接続部の抵抗値についても、抵抗算出部により算出することが可能となる。
【０１０６】
また、本発明の一局面に従う抵抗測定方法は、面状に拡がる導電性の面状導体と、前記面状導体と対向する基板面と、前記基板面に設けられた導電部とその導電部を前記面状導体に電気的に接続する接続部との対とを有すると共に当該対を三つ以上備える被測定基板の前記接続部の抵抗を測定するための抵抗測定方法であって、前記各導電部のうちの一つである第一導電部と前記第一導電部とは異なる導電部である第二導電部との間に電流を流す電流供給工程と、前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部である第三導電部と前記第一導電部との間の電圧を検出する第一電圧検出工程と、前記電流供給工程によって流された電流と前記第一電圧検出工程によって検出された電圧とに基づいて、前記第一導電部と対になる接続部の抵抗値を算出する抵抗算出工程とを含む。
【０１０７】
この構成によれば、第一電圧検出工程によって電圧測定される第三導電部と第一導電部とを結ぶ経路中の第三導電部と対になる接続部には、電流供給工程によって流された電流が流れない。その結果、第一電圧検出工程によって測定される電圧には、第一導電部と対になる接続部の電圧降下が含まれる一方、第三導電部と対になる接続部の電圧降下は含まれない。その結果、抵抗算出工程において、電流供給工程によって流された電流と第一電圧検出工程によって検出された電圧とに基づいて算出される抵抗値は、第一導電部と対になる接続部の抵抗値と略等しくなる。これにより、第一導電部と対になる接続部の抵抗値を個別に測定することができる。
【０１０８】
このような構成の抵抗測定装置及び抵抗測定方法は、面状に拡がる導電性の面状導体と、前記面状導体と対向する基板面と、前記基板面に設けられた導電部とその導電部を前記面状導体に電気的に接続する接続部との対とを有する被測定基板の前記接続部の抵抗を個別に測定することができる。
【０１０９】
この出願は、２０１６年１２月１日に出願された日本国特許出願特願２０１６−２３３８９３を基礎とするものであり、その内容は、本願に含まれるものである。なお、発明を実施するための形態の項においてなされた具体的な実施態様又は実施例は、あくまでも、本発明の技術内容を明らかにするものであって、本発明は、そのような具体例にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではない。
【符号の説明】
【０１１０】
１    抵抗測定装置
４Ｕ，４Ｌ  測定治具
２０  制御部
２１  導電部選択部
２２  抵抗算出部
３１  スキャナ部
１１０      基板固定装置
１１２      筐体
１２１，１２２    測定部
ＡＭ  電流検出部
Ｂ    中間基板（被測定基板）
ＢＳ，ＢＳ１      基板面
ＢＳ２      接触面
ＣＳ  電流供給部
Ｉ    電流
Ｉｃ  電流値
ＩＰ  内層パターン（面状導体）
ＭＰ  金属板（面状導体）
ＰＡ，ＰＢ  導電部
ＰＡ１〜ＰＦ１    導電部
Ｐｒ  プローブ
ＲＡ〜ＲＦ  接続部
Ｒａ〜Ｒｆ，Ｒｘ，Ｒｙ  抵抗値
Ｖ１，Ｖ２  電圧
ＶＭ１      電圧検出部（第一電圧検出部）
ＶＭ２      電圧検出部（第二電圧検出部）
ＷＢ  多層基板（被測定基板）
ＷＢ１，ＷＢ２    基板
Ａ，Ｘ，Ｙ  導電経路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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