(57)【要約】  本発明は、ミラーの振れ角に関する情報を精度良く取得することができる光モジュール、及びそのような光モジュールを備える測距装置を提供することを目的とする。  本発明の光モジュールは、支持部（２）と、支持部（２）において軸線（Ｘ１，Ｘ２）周りに揺動可能となるように支持された可動部（３，４）と、可動部（３，４）に設けられたミラー（７）と、可動部（３，４）に設けられた駆動用コイル（１１，１２）と、支持部（２）に設けられた温度モニタ用素子（１４）と、駆動用コイル（１１，１２）に作用する磁界を発生させる磁石（３０）と、を備える。支持部（２）は、磁石（３０）と熱的に接続されている。
2018159077.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部と、  前記支持部において軸線周りに揺動可能となるように支持された可動部と、  前記可動部に設けられたミラーと、  前記可動部に設けられた駆動用コイルと、  前記支持部に設けられた温度モニタ用素子と、  前記駆動用コイルに作用する磁界を発生させる磁石と、を備え、  前記支持部は、前記磁石と熱的に接続されている、光モジュール。
【請求項２】
前記可動部は、前記支持部において第１軸線周りに揺動可能となるように支持された第１可動部と、前記支持部において前記第１軸線と交差する第２軸線周りに揺動可能となるように支持された第２可動部と、を有し、  前記ミラーは、前記第１可動部に設けられており、  前記第１可動部は、前記第１軸線周りに揺動可能となるように前記第２可動部に連結されており、  前記第２可動部は、前記第２軸線周りに揺動可能となるように前記支持部に連結されている、請求項１に記載の光モジュール。
【請求項３】
前記駆動用コイルは、前記第１可動部に設けられた第１駆動用コイルを有する、請求項２に記載の光モジュール。
【請求項４】
前記第１可動部に設けられた起電力モニタ用コイルを更に備え、  前記磁石は、前記駆動用コイル及び前記起電力モニタ用コイルに作用する磁界を発生させる、請求項３に記載の光モジュール。
【請求項５】
前記駆動用コイルは、前記第２可動部に設けられた第２駆動用コイルを有する、請求項２又は３に記載の光モジュール。
【請求項６】
前記第１可動部に設けられた起電力モニタ用コイルを更に備え、  前記磁石は、前記駆動用コイル及び前記起電力モニタ用コイルに作用する磁界を発生させる、請求項５に記載の光モジュール。
【請求項７】
前記第２可動部に設けられた起電力モニタ用コイルを更に備え、  前記磁石は、前記駆動用コイル及び前記起電力モニタ用コイルに作用する磁界を発生させる、請求項５に記載の光モジュール。
【請求項８】
前記可動部は、前記支持部において第１軸線周りに揺動可能となるように支持された第１可動部と、前記支持部において支持された第２可動部と、を有し、  前記ミラーは、前記第１可動部に設けられており、  前記第１可動部は、前記第１軸線周りに揺動可能となるように前記第２可動部に連結されており、  前記第２可動部は、前記第２可動部を振動させることによって前記第１軸線周りに前記第１可動部が揺動可能となるように、前記支持部に連結されており、  前記駆動用コイルは、前記第２可動部に設けられた第２駆動用コイルを有する、請求項１に記載の光モジュール。
【請求項９】
前記第１可動部に設けられた起電力モニタ用コイルを更に備え、  前記磁石は、前記駆動用コイル及び前記起電力モニタ用コイルに作用する磁界を発生させる、請求項８に記載の光モジュール。
【請求項１０】
前記第２可動部に設けられた起電力モニタ用コイルを更に備え、  前記磁石は、前記駆動用コイル及び前記起電力モニタ用コイルに作用する磁界を発生させる、請求項８に記載の光モジュール。
【請求項１１】
前記第１可動部が前記第１軸線周りに揺動可能となるように、前記第１可動部と前記第２可動部とを互いに連結する連結部を更に備え、  前記ミラーの光軸方向から見た場合に、前記支持部の幅は、前記連結部の幅よりも広い、請求項２〜１０のいずれか一項に記載の光モジュール。
【請求項１２】
前記第２可動部が前記第１軸線と交差する第２軸線周りに揺動可能となるように、前記第２可動部と前記支持部とを互いに連結する連結部を更に備え、  前記ミラーの光軸方向から見た場合に、前記支持部の幅は、前記連結部の幅よりも広い、請求項２〜１０のいずれか一項に記載の光モジュール。
【請求項１３】
前記温度モニタ用素子は、温度に応じて抵抗値が変化する温度モニタ用抵抗である、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の光モジュール。
【請求項１４】
前記温度モニタ用抵抗は、コイルとして構成されている、請求項１３に記載の光モジュール。
【請求項１５】
前記支持部に設けられた電極パッドと、  前記駆動用コイルの一端と前記電極パッドとに接続された配線と、を更に備え、  前記電極パッドは、前記ミラーの光軸方向から見た場合に、前記温度モニタ用抵抗の内側に設けられている、請求項１４に記載の光モジュール。
【請求項１６】
前記支持部は、前記ミラーの光軸方向から見た場合に前記可動部を囲むように枠状に形成されている、請求項１〜１５のいずれか一項に記載の光モジュール。
【請求項１７】
前記温度モニタ用素子は、前記ミラーの光軸方向から見た場合に前記支持部の外縁に沿うように前記支持部に設けられている、請求項１〜１６のいずれか一項に記載の光モジュール。
【請求項１８】
前記駆動用コイル及び前記温度モニタ用素子は、同一平面に沿うように配置されている、請求項１〜１７のいずれか一項に記載の光モジュール。
【請求項１９】
前記駆動用コイル、前記起電力モニタ用コイル及び前記温度モニタ用素子は、同一平面に沿うように配置されている、請求項４，６，７，９，１０のいずれか一項に記載の光モジュール。
【請求項２０】
前記駆動用コイルは、前記可動部に埋め込まれている、請求項１〜１９のいずれか一項に記載の光モジュール。
【請求項２１】
前記起電力モニタ用コイルは、前記可動部に埋め込まれている、請求項４，６，７，９，１０，１９のいずれか一項に記載の光モジュール。
【請求項２２】
前記温度モニタ用素子は、前記支持部に埋め込まれている、請求項１〜２１のいずれか一項に記載の光モジュール。
【請求項２３】
前記支持部、前記可動部、前記ミラー、前記駆動用コイル及び前記温度モニタ用素子を収容するパッケージを更に備え、  前記支持部は、前記パッケージの一部であるベースの内側表面に取り付けられており、  前記磁石は、前記可動部と対向するように前記ベースの外側表面に取り付けられている、請求項１〜２２のいずれか一項に記載の光モジュール。
【請求項２４】
前記ベースの前記内側表面には、前記可動部と対向するように凹部が形成されている、請求項２３に記載の光モジュール。
【請求項２５】
前記パッケージは、前記ミラーの光軸方向から見た場合に前記支持部を囲むように配置された筒状の側壁を有し、  前記ミラーの光軸方向における前記ベースの厚さは、前記ミラーの光軸方向から見た場合における前記側壁と前記支持部との間の距離よりも小さい、請求項２３又は２４に記載の光モジュール。
【請求項２６】
前記温度モニタ用素子の検出値、及び前記起電力モニタ用コイルに発生する起電力に基づいて、前記駆動用コイルに印加する駆動電流を制御する制御部を更に備える、請求項４，６，７，９，１０，１９，２１のいずれか一項に記載の光モジュール。
【請求項２７】
請求項１〜２６のいずれか一項に記載の光モジュールと、  レーザ光を出射する光源と、  物体及び前記ミラーを介して前記レーザ光を検出する光検出器と、を備える、測距装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明の一側面は、光モジュール及び測距装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  光モジュールとして、駆動用コイル及び起電力モニタ用コイルが可動部に設けられた電磁駆動方式のＭＥＭＳ（Micro  Electro  Mechanical  Systems）ミラーを備えるものが知られている（例えば、特許文献１，２参照）。このようなＭＥＭＳミラーでは、駆動用コイルにローレンツ力を発生させるための磁石の磁界中において可動部が揺動するため、可動部に設けられた起電力モニタ用コイルに起電力が発生する。したがって、起電力モニタ用コイルに発生した起電力に基づいて、ミラーが設けられた可動部の振れ角、すなわち、ミラーの振れ角に関する情報を取得することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１８２１３６号公報
【特許文献２】特開平１０−９０６２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  しかし、上述したような光モジュールでは、磁石によって発生させられる磁界の磁束密度が磁石の温度に応じて変化するため、磁石の温度を考慮しないと、ミラーの振れ角に関する情報を精度良く取得することができない。特に、上述したような光モジュールが車載用の測距装置に適用される場合、使用環境温度が大きく変化し、それに伴って、磁石の温度が大きく変化するため、ミラーの振れ角に関する情報の精度が著しく劣化するおそれがある。また、光モジュールが起電力モニタ用コイルを備えない場合においても、磁石の温度を考慮しないと、ミラーの振れ角に関する情報を精度良く取得することができないことがある。【０００５】  本発明の一側面は、ミラーの振れ角に関する情報を精度良く取得することができる光モジュール、及びそのような光モジュールを備える測距装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  本発明の一側面に係る光モジュールは、支持部と、支持部において軸線周りに揺動可能となるように支持された可動部と、可動部に設けられたミラーと、可動部に設けられた駆動用コイルと、支持部に設けられた温度モニタ用素子と、駆動用コイルに作用する磁界を発生させる磁石と、を備え、支持部は、磁石と熱的に接続されている。【０００７】  この光モジュールでは、温度モニタ用素子が、磁石と熱的に接続された支持部に設けられている。これにより、例えば、温度モニタ用素子が駆動用コイルと共に可動部に設けられている場合に比べ、温度モニタ用素子の温度が磁石の温度を反映したものとなる。その理由は、例えば、温度モニタ用素子が駆動用コイルと共に可動部に設けられていると、温度モニタ用素子が駆動用コイルでの発熱の影響を受け、また、可動部と磁石との間に形成される空間が熱抵抗となるからである。よって、この光モジュールによれば、温度モニタ用素子の検出値に基づいて、磁石の温度に応じて変化する磁石の磁束密度を考慮し、その上で、ミラーの振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。なお、温度モニタ用素子の温度が磁石の温度を反映したものになるとは、温度モニタ用素子の温度が磁石の温度に一致する場合に限定されず、温度モニタ用素子の温度が磁石の温度に所定の関係で（例えば、所定の温度差で）追従するという意味である。【０００８】  本発明の一側面に係る光モジュールでは、可動部は、支持部において第１軸線周りに揺動可能となるように支持された第１可動部と、支持部において第１軸線と交差する第２軸線周りに揺動可能となるように支持された第２可動部と、を有し、ミラーは、第１可動部に設けられており、第１可動部は、第１軸線周りに揺動可能となるように第２可動部に連結されており、第２可動部は、第２軸線周りに揺動可能となるように支持部に連結されていてもよい。これによれば、第１軸線周り及び第２軸線周りにミラーを揺動させることができる。【０００９】  本発明の一側面に係る光モジュールでは、駆動用コイルは、第１可動部に設けられた第１駆動用コイルを有していてもよい。これによれば、第１駆動用コイルに生じるローレンツ力によって第１可動部を駆動することができる。【００１０】  本発明の一側面に係る光モジュールは、第１可動部に設けられた起電力モニタ用コイルを更に備え、磁石は、駆動用コイル及び起電力モニタ用コイルに作用する磁界を発生させてもよい。これによれば、温度モニタ用素子の検出値、及び起電力モニタ用コイルに発生する起電力に基づいて、磁石の温度に応じて変化する磁石の磁束密度を考慮し、その上で、ミラーの振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。【００１１】  本発明の一側面に係る光モジュールでは、駆動用コイルは、第２可動部に設けられた第２駆動用コイルを有していてもよい。これによれば、第２駆動用コイルに生じるローレンツ力によって第２可動部を駆動することができる。【００１２】  本発明の一側面に係る光モジュールは、第１可動部に設けられた起電力モニタ用コイルを更に備え、磁石は、駆動用コイル及び起電力モニタ用コイルに作用する磁界を発生させてもよい。これによれば、温度モニタ用素子の検出値、及び���電力モニタ用コイルに発生する起電力に基づいて、磁石の温度に応じて変化する磁石の磁束密度を考慮し、その上で、ミラーの振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。【００１３】  本発明の一側面に係る光モジュールは、第２可動部に設けられた起電力モニタ用コイルを更に備え、磁石は、駆動用コイル及び起電力モニタ用コイルに作用する磁界を発生させてもよい。これによれば、温度モニタ用素子の検出値、及び起電力モニタ用コイルに発生する起電力に基づいて、磁石の温度に応じて変化する磁石の磁束密度を考慮し、その上で、ミラーの振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。【００１４】  本発明の一側面に係る光モジュールでは、可動部は、支持部において第１軸線周りに揺動可能となるように支持された第１可動部と、支持部において支持された第２可動部と、を有し、ミラーは、第１可動部に設けられており、第１可動部は、第１軸線周りに揺動可能となるように第２可動部に連結されており、第２可動部は、第２可動部を振動させることによって第１軸線周りに第１可動部が揺動可能となるように、支持部に連結されており、駆動用コイルは、第２可動部に設けられた第２駆動用コイルを有していてもよい。これによれば、第２駆動用コイルに生じるローレンツ力によって第１可動部を揺動させることができる。【００１５】  本発明の一側面に係る光モジュールは、第１可動部に設けられた起電力モニタ用コイルを更に備え、磁石は、駆動用コイル及び起電力モニタ用コイルに作用する磁界を発生させてもよい。これによれば、温度モニタ用素子の検出値、及び起電力モニタ用コイルに発生する起電力に基づいて、磁石の温度に応じて変化する磁石の磁束密度を考慮し、その上で、ミラーの振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。【００１６】  本発明の一側面に係る光モジュールは、第２可動部に設けられた起電力モニタ用コイルを更に備え、磁石は、駆動用コイル及び起電力モニタ用コイルに作用する磁界を発生させてもよい。これによれば、温度モニタ用素子の検出値、及び起電力モニタ用コイルに発生する起電力に基づいて、磁石の温度に応じて変化する磁石の磁束密度を考慮し、その上で、ミラーの振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。【００１７】  本発明の一側面に係る光モジュールは、第１可動部が第１軸線周りに揺動可能となるように、第１可動部と第２可動部とを互いに連結する連結部を更に備え、ミラーの光軸方向から見た場合に、支持部の幅は、連結部の幅よりも広くてもよい。これによれば、支持部が熱を伝達し易いため、温度モニタ用素子の温度が磁石の温度をより正確に反映したものとなる。更に、連結部の幅が支持部の幅よりも狭いため、第１可動部に駆動用コイルが設けられている場合に、駆動用コイルで生じた熱が連結部及び第２可動部を介して支持部に伝わり難くなる。これにより、温度モニタ用素子の温度が磁石の温度をより一層正確に反映したものとなる。【００１８】  本発明の一側面に係る光モジュールは、第２可動部が第２軸線周りに揺動可能となるように、第２可動部と支持部とを互いに連結する連結部を更に備え、ミラーの光軸方向から見た場合に、支持部の幅は、連結部の幅よりも広くて���よい。これによれば、支持部が熱を伝達し易いため、温度モニタ用素子の温度が磁石の温度をより正確に反映したものとなる。更に、連結部の幅が支持部の幅よりも狭いため、駆動用コイルで生じた熱が連結部を介して支持部に伝わり難くなる。これにより、温度モニタ用素子の温度が磁石の温度をより一層正確に反映したものとなる。【００１９】  本発明の一側面に係る光モジュールでは、温度モニタ用素子は、温度に応じて抵抗値が変化する温度モニタ用抵抗であってもよい。これによれば、温度モニタ用素子を簡易な構成で容易に形成することができる。【００２０】  本発明の一側面に係る光モジュールでは、温度モニタ用抵抗は、コイルとして構成されていてもよい。これによれば、抵抗値の変化を検出するのに十分な長さを有する温度モニタ用抵抗を限られた領域において実現することができる。【００２１】  本発明の一側面に係る光モジュールは、支持部に設けられた電極パッドと、駆動用コイルの一端と電極パッドとに接続された配線と、を更に備え、電極パッドは、ミラーの光軸方向から見た場合に、温度モニタ用抵抗の内側に設けられていてもよい。これによれば、電極パッドに接続された配線が温度モニタ用抵抗を跨ぐのを回避することができ、配線の熱が温度モニタ用抵抗に伝わるのを抑制することができる。【００２２】  本発明の一側面に係る光モジュールでは、支持部は、ミラーの光軸方向から見た場合に可動部を囲むように枠状に形成されていてもよい。これによれば、可動部の安定的な支持を実現することができる。【００２３】  本発明の一側面に係る光モジュールでは、温度モニタ用素子は、光軸方向から見た場合に支持部の外縁に沿うように支持部に設けられていてもよい。これによれば、温度モニタ用素子が駆動用コイルでの発熱の影響をより受け難くなる。また、温度モニタ用素子が温度モニタ用抵抗である場合に、温度モニタ用抵抗について、抵抗値の変化を検出するのに十分な長さをより確保し易くなる。【００２４】  本発明の一側面に係る光モジュールでは、駆動用コイル及び温度モニタ用素子は、同一平面に沿うように配置されていてもよい。これによれば、支持部、可動部、ミラー、駆動用コイル及び温度モニタ用素子を半導体製造プロセスで製造する場合に、駆動用コイル及び温度モニタ用素子を容易に形成することができる。【００２５】  本発明の一側面に係る光モジュールでは、駆動用コイル、起電力モニタ用コイル及び温度モニタ用素子は、同一平面に沿うように配置されていてもよい。これによれば、支持部、可動部、ミラー、駆動用コイル、起電力モニタ用コイル及び温度モニタ用素子を半導体製造プロセスで製造する場合に、駆動用コイル、起電力モニタ用コイル及び温度モニタ用素子を容易に形成することができる。【００２６】  本発明の一側面に係る光モジュールでは、駆動用コイルは、可動部に埋め込まれていてもよい。これによれば、駆動用コイルの断面積を大きくして、駆動用コイルの抵抗値を小さくすることができるため、駆動用コイルでの消費電力を低下させることが可能となる。【００２７】  本発明の一側面に係る光モジュールでは、起電力モニタ用コイルは、可動部に埋め込まれていてもよい。これによれば、起電力モニタ用コイ���の断面積を大きくして、起電力モニタ用コイルの抵抗値を小さくすることができるため、起電力モニタ用コイルにおいてクロストーク発生時のノイズを低減することが可能となる。【００２８】  本発明の一側面に係る光モジュールでは、温度モニタ用素子は、支持部に埋め込まれていてもよい。これによれば、温度モニタ用素子の温度が磁石の温度をより正確に反映したものとなる。【００２９】  本発明の一側面に係る光モジュールは、支持部、可動部、ミラー、駆動用コイル及び温度モニタ用素子を収容するパッケージを更に備え、支持部は、パッケージの一部であるベースの内側表面に取り付けられており、磁石は、可動部と対向するようにベースの外側表面に取り付けられていてもよい。これによれば、支持部、可動部、ミラー、駆動用コイル及び温度モニタ用素子を外部から保護しつつ、構成の単純化を図ることができる。【００３０】  本発明の一側面に係る光モジュールでは、ベースの内側表面には、可動部と対向するように凹部が形成されていてもよい。これによれば、可動部とベースとの物理的な干渉を防止しつつ支持部の薄型化を図ることができるため、温度モニタ用素子の温度が磁石の温度をより正確に反映したものとなる。【００３１】  本発明の一側面に係る光モジュールでは、パッケージは、ミラーの光軸方向から見た場合に支持部を囲むように配置された筒状の側壁を有し、ミラーの光軸方向におけるベースの厚さは、ミラーの光軸方向から見た場合における側壁と支持部との間の距離よりも小さくてもよい。これによれば、磁石の熱がベースを介して支持部に伝わり易くなる一方、側壁から支持部へは熱が伝わり難くなるため、温度モニタ用素子の温度が磁石の温度をより正確に反映したものとなる。【００３２】  本発明の一側面に係る光モジュールは、温度モニタ用素子の検出値、及び起電力モニタ用コイルに発生する起電力に基づいて、駆動用コイルに印加する駆動電流を制御する制御部を更に備えてもよい。これによれば、ミラーを所望の振れ角で揺動させることができる。【００３３】  本発明の一側面に係る測距装置は、上述した光モジュールと、レーザ光を出射する光源と、物体及びミラーを介してレーザ光を検出する光検出器と、を備える。【００３４】  この測距装置では、使用環境温度の変化によらず、ミラーを所望の振れ角で揺動させることができるため、高精度な測距を実現することが可能となる。
【発明の効果】
【００３５】  本発明の一側面によれば、ミラーの振れ角に関する情報を精度良く取得することができる光モジュール、及びそのような光モジュールを備える測距装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】図１は、一実施形態の光モジュールの一部の断面図である。
【図２】図２は、図１に示されるＭＥＭＳミラーの平面図である。
【図３】図３は、図２に示される第１駆動用コイル及び起電力モニタ用コイル並びにその周辺部分の断面図である。
【図４】図４は、図２に示される第２駆動用コイル及びその周辺部分の断面図である。
【図５】図５は、図２に示される温度モニタ用抵抗及びその周辺部分の断面図である。
【図６】図６は、一実施形態の光モジュールの構成図である。
【図７】図７（ａ）は、図６に示されるフィルタに入力される駆動電流の波形図である。図７（ｂ）は、図６に示されるフィルタから出力された駆動電流の波形図である。
【図８】図８（ａ）は、温度モニタ用抵抗における温度と抵抗値との関係を示す図である。図８（ｂ）は、起電力モニタ用コイルにおける振れ角と起電力との関係を示す図である。
【図９】図９は、図６に示される光モジュールにおいて実施される駆動電流のフィードバック制御を示すフローチャートである。
【図１０】図１０は、一実施形態の測距装置の構成図である。
【図１１】図１１（ａ）は、第１変形例のＭＥＭＳミラーを示す模式的な平面図である。図１１（ｂ）は、第２変形例のＭＥＭＳミラーを示す模式的な平面図である。
【図１２】図１２（ａ）は、第３変形例のＭＥＭＳミラーを示す模式的な平面図である。図１２（ｂ）は、第４変形例のＭＥＭＳミラーを示す模式的な平面図である。
【図１３】図１３（ａ）は、第５変形例のＭＥＭＳミラーを示す模式的な平面図である。図１３（ｂ）は、第６変形例のＭＥＭＳミラーを示す模式的な平面図である。
【図１４】図１４（ａ）は、第７変形例のＭＥＭＳミラーを示す模式的な平面図である。図１４（ｂ）は、第８変形例のＭＥＭＳミラーを示す模式的な平面図である。
【図１５】図１５（ａ）は、第９変形例のＭＥＭＳミラーを示す模式的な平面図である。図１５（ｂ）は、第１０変形例のＭＥＭＳミラーを示す模式的な平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】  以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する部分を省略する。
【００３８】  図１に示されるように、光モジュール１０は、電磁駆動方式のＭＥＭＳミラー１と、磁石３０と、パッケージ４０と、を備えている。磁石３０は、例えば、永久磁石によって矩形板状に形成されている。磁石３０は、ＭＥＭＳミラー１に作用する磁界を発生させる。パッケージ４０は、磁石３０上に配置されている。パッケージ４０は、ＭＥＭＳミラー１を収容している。
【００３９】  パッケージ４０は、ベース４１と、側壁４２と、窓材４３と、を有している。ベース４１は、例えば、窒化アルミニウム又は酸化アルミニウム等の非磁性材料によって矩形板状に形成されている。側壁４２は、例えば、窒化アルミニウム又は酸化アルミニウム等の非磁性材料によって矩形筒状に形成されている。窓材４３は、例えば、ガラス等の透光性材料によって形成された矩形板状の基材の両表面に反射防止膜が形成されることで、構成されている。窓材４３は、側壁４２の一方の開口を気密に封止するように、例えば低融点ガラスによって側壁４２に接合されている。ベース４１は、側壁４２の他方の開口を気密に封止するように、例えば低融点ガラスによって側壁４２に接合されている。なお、ベース４１と側壁４２とは、非磁性材料によって一体的に形成されていてもよい。また、側壁４２の一方の開口（すなわち、窓材４３によって封止される開口）は、ベース４１に対して傾斜していてもよい。
【００４０】  ＭＥＭＳミラー１が有する支持部２は、例えば樹脂によってベース４１の内側表面４１ａ（ベース４１の表面のうちパッケージ４０の内面を構成する面）に取り付けられている。磁石３０は、例えば樹脂によってベース４１の外側表面４１ｂ（ベース４１の表面のうちパッケージ４０の外面を構成する面）に取り付けられている。磁石３０は、ベース４１を介して、ＭＥＭＳミラー１が有する第１可動部３と対向している。以下、ＭＥＭＳミラー１が有するミラー７が動作させられていない状態において当該ミラー７に垂直な方向を光軸方向Ａという。側壁４２は、光軸方向Ａから見た場合に支持部２を囲むように配置されている。光軸方向Ａにおけるベース４１の厚さは、光軸方向Ａから見た場合における側壁４２と支持部２との間の距離（最小距離）よりも小さい。光軸方向Ａにおけるベース４１の厚さとは、例えば、ベース４１のうち、光軸方向Ａから見た場合に支持部２と重なる領域の厚さ（最大厚さ）である。
【００４１】  磁石３０は、例えば、複数の磁石が組み合わせられることにより構成されている。磁石３０は、第１磁石５１と、第１磁石を挟むように配置された一対の第２磁石５２，５３と、を含んでいる。第１磁石５１及び第２磁石５２，５３は、それぞれの磁極がハルバッハ配列となるように配列されている（すなわち、磁石３０は、ハルバッハ構造を有している）。第２磁石５２は、その第１磁極（例えばＮ極）が底面側（ＭＥＭＳミラー１とは反対側）に位置し、且つ、その第２磁極（例えばＳ極）が上面側（ＭＥＭＳミラー１側）に位置するように、配置されている。第２磁石５３は、第２磁石５２とは逆向きに配置されている。すなわち、第２磁石５３は、その第１磁極が上面側に位置し、且つ、その第２磁極が底面側に位置するように、配置されている。第１磁石５１は、第２磁石５３側に第１磁極が位置し、且つ、第２磁石５２側に第２磁極が位置するように、配置されている。第１磁石５１、第２磁石５２，５３は、以上のような磁極の配列となるように配置されて組み合わされている。このため、磁極同士の引力及び斥力によって、第１磁石５１には、上面から底面に向かう方向Ｄ１に沿って力が作用する。一方、第２磁石５２，５３には、底面から上面に向かう方向Ｄ２に沿って力が作用する。
【００４２】  図２に示されるように、ＭＥＭＳミラー１は、支持部２と、第１可動部３と、第２可動部４と、一対の第１連結部５と、一対の第２連結部６と、ミラー７と、を有している。支持部２、第１可動部３、第２可動部４、一対の第１連結部５及び一対の第２連結部６は、例えばシリコンによって一体的に形成されている。
【００４３】  第１可動部３は、例えば矩形板状に形成されている。第２可動部４は、光軸方向Ａから見た場合に隙間を介して第１可動部３を囲むように、例えば矩形環状に形成されている。支持部２は、光軸方向Ａから見た場合に隙間を介して第２可動部４を囲むように、例えば矩形枠状に形成されている。つまり、支持部２は、光軸方向Ａから見た場合に第１可動部３及び第２可動部４を囲むように枠状に形成されている。第２可動部４は、光軸方向Ａから見た場合に、多角形環状、円環状等の任意の形状に形成されてよい。
【００４４】  第１可動部３は、第１軸線Ｘ１周りに揺動可能となるように、一対の第１連結部５を介して第２可動部４に連結されている。つまり、第１可動部３は、支持部２において第１軸線Ｘ１周りに揺動可能となるように支持されている。第１可動部３は、第１部分３１と、第２部分３２と、を含んでいる。第１部分３１は、光軸方向Ａから見た場合に例えば円形状に形成されている。第２部分３２は、光軸方向Ａから見た場合に例えば矩形環状に形成されている。第１部分３１は、光軸方向Ａから見た場合に第２部分３２に囲まれており、複数の接続部分３３を介して第２部分３２と接続されている。つまり、第１部分３１と第２部分３２との間には、複数の接続部分３３を除いて隙間が形成されている。複数の接続部分３３は、例えば、矩形状の第２部分３２の内縁のうち２辺の中央部に位置している。第２可動部４は、第２軸線Ｘ２周りに揺動可能となるように、一対の第２連結部６を介して支持部２に連結されている。つまり、第２可動部４は、支持部２において第２軸線Ｘ２周りに揺動可能となるように支持されている。第１軸線Ｘ１及び第２軸線Ｘ２は、光軸方向Ａに垂直であり、互いに交差している（ここでは、互いに直交している）。なお、第１部分３１は、光軸方向Ａから見た場合に矩形状又は多角形状に形成されていてもよい。第２部分３２は、光軸方向Ａから見た場合に五角形以上の多角形環状又は円環状に形成されていてもよい。
【００４５】  一対の第１連結部５は、第１可動部３の第２部分３２と第２可動部４との間の隙間において、第１可動部３を挟むように第１軸線Ｘ１上に配置されている。各第１連結部５は、トーションバーとして機能する。一対の第１連結部５は、第１可動部３が第１軸線Ｘ１周りに揺動可能となるように、第１可動部３と第２可動部４とを互いに連結している。光軸方向Ａから見た場合に、支持部２の幅（最大幅）は、各第１連結部５の幅（最大幅）よりも広い。一対の第２連結部６は、第２可動部４と支持部２との間の隙間において、第２可動部４を挟むように第２軸線Ｘ２上に配置されている。各第２連結部６は、トーションバーとして機能する。一対の第２連結部６は、第２可動部４が第２軸線Ｘ２周りに揺動可能となるように、第２可動部４と支持部２とを互いに連結している。光軸方向Ａから見た場合に、支持部２の幅（最大幅）は、各第２連結部６の幅（最大幅）よりも広い。なお、支持部２の幅とは、光軸方向Ａから見た場合における支持部２の内縁と外縁との間の距離である。第１連結部５の幅とは、第１連結部５の延在方向（第１軸線Ｘ１に沿った方向）及び光軸方向Ａの双方に直交する方向における長さである。第２連結部６の幅とは、第２連結部６の延在方向（第２軸線Ｘ２に沿った方向）及び光軸方向Ａの双方に直交する方向における長さである。
【００４６】  ミラー７は、第１可動部３の第１部分３１に設けられている。ミラー７は、第１軸線Ｘ１と第２軸線Ｘ２との交点を含むように、第１部分３１の一方の表面（窓材４３側の表面）に形成されている。ミラー７は、例えば、アルミニウム、アルミニウム系合金、金又は銀等の金属材料によって、円形、楕円形又は矩形の膜状に形成されており、ミラー７の中心は、光軸方向Ａから見た場合に、第１軸線Ｘ１と第２軸線Ｘ２との交点に一致している。このように、複数の接続部分３３を介して第２部分３２と接続された第１部分３１にミラー７が設けられているため、第１可動部３が共振周波数レベルで第１軸線Ｘ１周りにおいて揺動しても、ミラー７に撓み等の変形が生じることが抑制される。
【００４７】  更に、ＭＥＭＳミラー１は、第１駆動用コイル１１と、第２駆動用コイル１２と、配線１５ａ，１５ｂと、配線１６ａ，１６ｂと、電極パッド２１ａ，２１ｂと、電極パッド２２ａ，２２ｂと、を有している。なお、図２では、説明の便宜上、第１駆動用コイル１１及び第２駆動用コイル１２を一点鎖線で示し、配線１５ａ，１５ｂ及び配線１６ａ，１６ｂを実線で示す。
【００４８】  第１駆動用コイル１１は、第１可動部３の第２部分３２に設けられている。第１駆動用コイル１１は、光軸方向Ａから見た場合におけるミラー７の外側の領域（すなわち、第２部分３２）においてスパイラル状（渦巻き状）に複数回巻かれている。第１駆動用コイル１１には、磁石３０によって発生させられる磁界が作用する。
【００４９】  図３に示されるように、第１駆動用コイル１１は、第１可動部３の表面３ａに形成された溝３ｂ内に配置されている。つまり、第１駆動用コイル１１は、第１可動部３に埋め込まれている。第１可動部３の表面３ａ及び溝３ｂの内面には、例えば酸化ケイ素又は窒化ケイ素等によって形成された絶縁層３ｃが設けられている。溝３ｂ内における絶縁層３ｃ上には、例えば、チタン、窒化チタン、銅、クロム等によって形成されたシード層２５が設けられている。第１駆動用コイル１１は、例えば、絶縁層３ｃ及びシード層２５を介して溝３ｂ内に銅等の金属材料を埋め込むダマシン法によって形成される。第１可動部３の表面３ａには、第１駆動用コイル１１を覆うように、例えば酸化ケイ素又は窒化ケイ素等によって形成された絶縁層２６及び絶縁層２７が設けられている。第１可動部３において、絶縁層２７の表面には、第１駆動用コイル１１が配置された溝３ｂの内縁及び外縁に沿うように溝２７ａが形成されている。
【００５０】  図２に示されるように、第１駆動用コイル１１の一端は、配線１５ａを介して電極パッド２１ａに接続されている。配線１５ａは、絶縁層２６と絶縁層２７との間に形成されており（図３参照）、第１可動部３から、一方の第１連結部５、第２可動部４及び一方の第２連結部６を介して、支持部２に延在している。電極パッド２１ａは、絶縁層２６と絶縁層２７との間に形成されており（図３参照）、絶縁層２７に形成された開口から外部に露出している。配線１５ａ及び電極パッド２１ａは、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料によって一体的に形成されている。なお、第１駆動用コイル１１と配線１５ａとは、絶縁層２６に形成された開口を介して互いに接続されている。
【００５１】  第１駆動用コイル１１の他端は、配線１５ｂを介して電極パッド２１ｂに接続されている。配線１５ｂは、絶縁層２６と絶縁層２７との間に形成されており（図３参照）、第１可動部３から、他方の第１連結部５、第２可動部４及び他方の第２連結部６を介して、支持部２に延在している。電極パッド２１ｂは、絶縁層２６と絶縁層２７との間に形成されており（図３参照）、絶縁層２７に形成された開口から外部に露出している。配線１５ｂ及び電極パッド２１ｂは、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料によって一体的に形成されている。なお、第１駆動用コイル１１と配線１５ｂとは、絶縁層２６に形成された開口を介して互いに接続されている。電極パッド２１ａ，２１ｂは外部端子であり、それぞれ、ＭＥＭＳミラー１の外部に配置された駆動源等と例えばワイヤを介して電気的に接続されている。
【００５２】  第２駆動用コイル１２は、第２可動部４に設けられている。第２駆動用コイル１２は、第２可動部４においてスパイラル状（渦巻き状）に複数回巻かれている。第２駆動用コイル１２には、磁石３０によって発生させられる磁界が作用する。
【００５３】  図４に示されるように、第２駆動用コイル１２は、第２可動部４の表面４ａに形成された溝４ｂ内に配置されている。つまり、第２駆動用コイル１２は、第２可動部４に埋め込まれている。第２可動部４の表面４ａ及び溝４ｂの内面には、例えば酸化ケイ素又は窒化ケイ素等によって形成された絶縁層４ｃが設けられている。溝４ｂ内における絶縁層４ｃ上には、シード層２５が設けられている。第２駆動用コイル１２は、例えば、絶縁層４ｃ及びシード層２５を介して溝４ｂ内に銅等の金属材料を埋め込むダマシン法によって形成される。第２可動部４の表面４ａには、第２駆動用コイル１２を覆うように、絶縁層２６及び絶縁層２７が設けられている。第２可動部４において、絶縁層２７の表面には、第２駆動用コイル１２が配置された溝４ｂの内縁及び外縁に沿うように溝２７ａが形成されている。
【００５４】  図２に示されるように、第２駆動用コイル１２の一端は、配線１６ａを介して電極パッド２２ａに接続されている。配線１６ａは、絶縁層２６と絶縁層２７との間に形成されており（図４参照）、第２可動部４から、一方の第２連結部６を介して、支持部２に延在している。電極パッド２２ａは、絶縁層２６と絶縁層２７との間に形成されており（図４参照）、絶縁層２７に形成された開口から外部に露出している。配線１６ａ及び電極パッド２２ａは、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料によって一体的に形成されている。なお、第２駆動用コイル１２と配線１６ａとは、絶縁層２６に形成された開口を介して互いに接続されている。
【００５５】  第２駆動用コイル１２の他端は、配線１６ｂを介して電極パッド２２ｂに接続されている。配線１６ｂは、絶縁層２６と絶縁層２７との間に形成されており（図４参照）、第２可動部４から、他方の第２連結部６を介して、支持部２に延在している。電極パッド２２ｂは、絶縁層２６と絶縁層２７との間に形成されており（図４参照）、絶縁層２７に形成された開口から外部に露出している。配線１６ｂ及び電極パッド２２ｂは、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料によって一体的に形成されている。なお、第２駆動用コイル１２と配線１６ｂとは、絶縁層２６に形成された開口を介して互いに接続されている。電極パッド２２ａ，２２ｂは外部端子であり、それぞれ、ＭＥＭＳミラー１の外部に配置された駆動源等と例えばワイヤを介して電気的に接続されている。
【００５６】  更に、ＭＥＭＳミラー１は、起電力モニタ用コイル１３と、温度モニタ用抵抗（温度モニタ用素子）１４と、配線１７ａ，１７ｂと、配線１８ａ，１８ｂと、電極パッド２３ａ，２３ｂと、電極パッド２４ａ，２４ｂと、を有している。なお、図２では、説明の便宜上、起電力モニタ用コイル１３及び温度モニタ用抵抗１４を破線で示し、配線１７ａ，１７ｂ及び配線１８ａ，１８ｂを実線で示す。
【００５７】  起電力モニタ用コイル１３は、第１可動部３の第２部分３２に設けられている。起電力モニタ用コイル１３は、光軸方向Ａから見た場合におけるミラー７の外側且つ第１駆動用コイル１１の内側の領域においてスパイラル状（渦巻き状）に複数回巻かれている。起電力モニタ用コイル１３には、磁石３０によって発生させられる磁界が作用する。なお、起電力モニタ用コイル１３は、光軸方向Ａから見た場合における第１駆動用コイル１１の外側の領域においてスパイラル状（渦巻き状）に複数回巻かれていてもよい。
【００５８】  図３に示されるように、起電力モニタ用コイル１３は、第１可動部３の表面３ａに形成された溝３ｂ内に配置されている。つまり、起電力モニタ用コイル１３は、第１可動部３に埋め込まれている。第１可動部３の表面３ａ及び溝３ｂの内面には、絶縁層３ｃが設けられている。溝３ｂ内における絶縁層３ｃ上には、シード層２５が設けられている。起電力モニタ用コイル１３は、例えば、絶縁層３ｃ及びシード層２５を介して溝３ｂ内に銅等の金属材料を埋め込むダマシン法によって形成される。第１可動部３の表面３ａには、起電力モニタ用コイル１３を覆うように、絶縁層２６及び絶縁層２７が設けられている。第１可動部３において、絶縁層２７の表面には、起電力モニタ用コイル１３が配置された溝３ｂの内縁及び外縁に沿うように溝２７ａが形成されている。
【００５９】  図２に示されるように、起電力モニタ用コイル１３の一端は、配線１７ａを介して電極パッド２３ａに接続されている。配線１７ａは、絶縁層２６と絶縁層２７との間に形成されており（図３参照）、第１可動部３から、他方の第１連結部５、第２可動部４及び一方の第２連結部６を介して、支持部２に延在している。電極パッド２３ａは、絶縁層２６と絶縁層２７との間に形成されており（図３参照）、絶縁層２７に形成された開口から外部に露出している。配線１７ａ及び電極パッド２３ａは、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料によって一体的に形成されている。なお、起電力モニタ用コイル１３と配線１７ａとは、絶縁層２６に形成された開口を介して互いに接続されている。
【００６０】  起電力モニタ用コイル１３の他端は、配線１７ｂを介して電極パッド２３ｂに接続されている。配線１７ｂは、絶縁層２６と絶縁層２７との間に形成されており（図３参照）、第１可動部３から、一方の第１連結部５、第２可動部４及び他方の第２連結部６を介して、支持部２に延在している。電極パッド２３ｂは、絶縁層２６と絶縁層２７との間に形成されており（図３参照）、絶縁層２７に形成された開口から外部に露出している。配線１７ｂ及び電極パッド２３ｂは、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料によって一体的に形成されている。なお、起電力モニタ用コイル１３と配線１７ｂとは、絶縁層２６に形成された開口を介して互いに接続されている。電極パッド２３ａ，２３ｂは外部端子であり、それぞれ、ＭＥＭＳミラー１の外部に配置された制御部等と例えばワイヤを介して電気的に接続されている。
【００６１】  温度モニタ用抵抗１４は、支持部２に設けられている。より具体的には、温度モニタ用抵抗１４は、光軸方向Ａから見た場合に支持部２の外縁２ｅに沿うように支持部２に設けられている。温度モニタ用抵抗１４は、コイルとして構成されており、支持部２においてスパイラル状（渦巻き状）に複数回巻かれている。光軸方向Ａから見た場合に、温度モニタ用抵抗１４の最も外側のコイル部分と支持部２の外縁２ｅとの距離は、温度モニタ用抵抗１４の最も内側のコイル部分と支持部２の内縁２ｆとの距離よりも小さい。温度モニタ用抵抗１４の抵抗値は、温度に応じて変化する。温度モニタ用抵抗１４は、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料によって形成されている。上述した各電極パッド２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂは、光軸方向Ａから見た場合に、支持部２における温度モニタ用抵抗１４の内側に設けられている。
【００６２】  図５に示されるように、温度モニタ用抵抗１４は、支持部２の表面２ａに形成された溝２ｂ内に配置されている。つまり、温度モニタ用抵抗１４は、支持部２に埋め込まれている。支持部２の表面２ａ及び溝２ｂの内面には、例えば酸化ケイ素又は窒化ケイ素等によって形成された絶縁層２ｃが設けられている。溝２ｂ内における絶縁層２ｃ上には、シード層２５が設けられている。温度モニタ用抵抗１４は、例えば、絶縁層２ｃ及びシード層２５を介して溝２ｂ内に銅等の金属材料を埋め込むダマシン法によって形成される。支持部２の表面２ａには、温度モニタ用抵抗１４を覆うように、絶縁層２６及び絶縁層２７が設けられている。支持部２において、絶縁層２７の表面には、温度モニタ用抵抗１４が配置された溝２ｂの内縁及び外縁に沿うように溝２７ａが形成されている。
【００６３】  図２に示されるように、温度モニタ用抵抗１４の一端は、配線１８ａを介して電極パッド２４ａに接続されている。配線１８ａは、絶縁層２６と絶縁層２７との間に形成されている（図５参照）。電極パッド２４ａは、絶縁層２６と絶縁層２７との間に形成されており（図５参照）、絶縁層２７に形成された開口から外部に露出している。配線１８ａ及び電極パッド２４ａは、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料によって一体的に形成されている。なお、温度モニタ用抵抗１４と配線１８ａとは、絶縁層２６に形成された開口を介して互いに接続されている。
【００６４】  温度モニタ用抵抗１４の他端は、配線１８ｂを介して電極パッド２４ｂに接続されている。配線１８ｂは、絶縁層２６と絶縁層２７との間に形成されている（図５参照）。電極パッド２４ｂは、絶縁層２６と絶縁層２７との間に形成されており（図５参照）、絶縁層２７に形成された開口から外部に露出している。配線１８ｂ及び電極パッド２４ｂは、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料によって一体的に形成されている。なお、温度モニタ用抵抗１４と配線１８ｂとは、絶縁層２６に形成された開口を介して互いに接続されている。
【００６５】  図１に示されるように、ＭＥＭＳミラー１の支持部２は、パッケージ４０のベース４１を介して磁石３０と熱的に接続されている。ＭＥＭＳミラー１の第１可動部３及び第２可動部４は、ベース４１との間に空間が形成され且つ支持部２との間に隙間が形成された状態で支持部２に支持されているため、支持部２に比べ、磁石３０から熱的に切り離された状態にある。ベース４１の内側表面４１ａには、第１可動部３及び第２可動部４と対向するように凹部４１ｃが形成されている。なお、支持部２、第１可動部３及び第２可動部４のそれぞれにおける窓材４３側の表面は、面一となっており、第１駆動用コイル１１、第２駆動用コイル１２、起電力モニタ用コイル１３及び温度モニタ用抵抗１４は、同一平面（支持部２、第１可動部３及び第２可動部４のそれぞれにおける窓材４３側の表面）に沿うように配置されている（図２参照）。
【００６６】  支持部２が磁石３０と熱的に接続されている他の例としては、支持部２が磁石３０に直接に接続されている場合、或いは、空気よりも熱伝導率が高い部材を介して支持部２が磁石３０に接続されている場合が挙げられる。他の例としては、磁石３０、支持部２及び温度モニタ用抵抗１４がこの順に積み重ねられ、一直線上に並んでいる場合が挙げられる。本実施形態では、光軸方向Ａから見た場合に、支持部２と磁石３０とが互いに重なるように配置されているが、磁石３０と支持部２とは、互いに重ならないように配置されてもよい。例えば、磁石３０は、側壁４２と支持部２との間に位置するようにベース４１上に設けられてもよい。この場合にも、支持部２はベース４１を介して磁石３０と熱的に接続される。或いは、磁石３０は、側壁４２と支持部２との間に位置し且つ支持部２に接触するように、ベース４１上に設けられてもよい。この場合、支持部２は、磁石３０に接触することにより、磁石３０と熱的に接続される。或いは、磁石３０は、側壁４２の外側（側壁４２に対してＭＥＭＳミラー１とは反対側）に位置するようにベース４１上に設けられてもよい。この場合、支持部２はベース４１を介して磁石３０と熱的に接続される。本実施形態では、例えば矩形枠状の支持部２が４辺においてベース４１に支持されているが、支持部２は、少なくとも２辺においてベース４１に支持されていればよく、例えば対向する２辺のみにおいてベース４１に支持されてもよい。すなわち、凹部４１ｃが、支持部２の２つの辺部の下側に至るように形成されていてもよい。
【００６７】  光モジュール１０の動作について説明する。図６に示されるように、光モジュール１０では、ＭＥＭＳミラー１に制御部５０が電気的に接続される。
【００６８】  制御部５０は、第１駆動用コイル１１に高周波数の駆動電流を印加する。このとき、第１駆動用コイル１１には、磁石３０によって発生させられた磁界が作用しているため、第１駆動用コイル１１にローレンツ力が発生する。これにより、第１可動部３は、例えば、共振周波数レベルで第１軸線Ｘ１周りにおいて揺動させられる。
【００６９】  なお、第１駆動用コイル１１に印加される駆動電流は、コンデンサを含むフィルタを通ることによって、図７（ａ）に示される方形波から図７（ｂ）に示される方形波に変換される。図７（ａ）に示されるように、急峻な立ち上がりを有する方形波が駆動電流として第１駆動用コイル１１に印加されると、目的以外の周波数成分によって、不要な動作や、第２駆動用コイル１２及び起電力モニタ用コイル１３等へのクロストークが引き起こされるおそれがある。図７（ｂ）に示されるように、遅れが生じるように鈍った立ち上がりを有する方形波が駆動電流として第１駆動用コイル１１に印加されることで、そのような問題の発生が抑制される。
【００７０】  また、制御部５０は、第２駆動用コイル１２に一定の大きさの駆動電流を印加する。このとき、第２駆動用コイル１２には、磁石３０によって発生させられた磁界が作用しているため、第２駆動用コイル１２にローレンツ力が発生する。これにより、第２可動部４は、例えば、駆動電流の大きさに応じて第２軸線Ｘ２周りにおいて回動させられ、その状態で停止させられる。
【００７１】  更に、制御部５０は、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び起電力モニタ用コイル１３に発生する起電力に基づいて、第１駆動用コイル１１に印加する駆動電流を制御する。その理由は、次のとおりである。
【００７２】  ＭＥＭＳミラー１において第１可動部３が定常状態で共振動作している場合、磁石３０によって発生させられる磁界の磁束密度をＢ（Ｔ）とし、起電力モニタ用コイル１３の巻き数をｎとし、磁場が直交する方向における起電力モニタ用コイル１３の長さをｌ（ｍ）とし、起電力モニタ用コイル１３の速度をｖ（ｍ／ｓ）とすると、起電力モニタ用コイル１３に発生する最大起電力Ｅ（Ｖ）は、Ｅ＝ｎｖＢｌと表される。そして、起電力モニタ用コイル１３の回転半径をｒ（ｍ）とし、起電力モニタ用コイル１３の角振動数をω（ｓ−１）とし、起電力モニタ用コイル１３の最大振れ角（振幅）をθ（rad）とすると、起電力モニタ用コイル１３の速度ｖ（ｍ／ｓ）は、ｖ＝ｒωθと表される。以上の２式から、最大起電力Ｅと最大振れ角θとの関係は、Ｅ＝ｎＢｌｒωθと表される。なお、起電力モニタ用コイル１３に発生する起電力、及び起電力モニタ用コイル１３の振れ角のそれぞれの時間変化は、正弦波状であるため、ここでは、それらの最大値（すなわち、最大起電力Ｅ及び最大振れ角θ）に着目している。
【００７３】  したがって、巻き数ｎ、磁束密度Ｂ、長さｌ、回転半径ｒ、角振動数ωが一定であれば、起電力モニタ用コイル１３に発生する最大起電力Ｅをモニタすることで、起電力モニタ用コイル１３の最大振れ角θ、すなわち、ミラー７の最大振れ角を取得することができる。しかし、実際には、磁石３０によって発生させられる磁界の磁束密度Ｂは、磁石３０の温度に応じて変化する。そのため、磁石３０の温度を考慮しないと、ミラー７の最大振れ角を精度良く取得することができない。
【００７４】  そこで、制御部５０は、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び起電力モニタ用コイル１３に発生する起電力に基づいて、次のように、第１駆動用コイル１１に印加する駆動電流を制御する。
【００７５】  前提として、制御部５０は、図８（ａ）に示されるように、温度モニタ用抵抗１４における温度と抵抗値との関係を予め取得し、記憶する。また、制御部５０は、図８（ｂ）に示されるように、温度モニタ用抵抗１４の温度ごとに、起電力モニタ用コイル１３における振れ角と起電力との関係を予め取得し、記憶する。なお、光モジュール１０では、温度に応じて抵抗値が変化する温度モニタ用抵抗１４が、磁石３０と熱的に接続された支持部２に設けられているため、温度モニタ用抵抗１４の温度は、磁石３０の温度を反映したものとなる。なお、温度モニタ用抵抗１４の温度が磁石３０の温度を反映したものになるとは、温度モニタ用抵抗１４の温度が磁石３０の温度に一致する場合に限定されず、温度モニタ用抵抗１４の温度が磁石３０の温度に所定の関係で（例えば、所定の温度差で）追従するという意味である。
【００７６】  上述した各関係を記憶した上で、制御部５０は、図９に示されるフローチャートに従って、第１駆動用コイル１１に印加する駆動電流のフィードバック制御を実施する。まず、制御部５０は、第１駆動用コイル１１に高周波数の駆動電流を印加する（ステップＳ０１）。これにより、第１可動部３が、例えば、共振周波数レベルで第１軸線Ｘ１周りにおいて揺動させられる。
【００７７】  続いて、制御部５０は、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値を取得し、取得した抵抗値に基づいて温度モニタ用抵抗１４の温度を算出する（ステップＳ０２）。具体的には、制御部５０は、温度モニタ用抵抗１４における温度と抵抗値との関係に基づいて、温度モニタ用抵抗１４の温度を算出する。例えば、図８の（ａ）に示されるように、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値がＲ１である場合には、温度モニタ用抵抗１４の温度はＴ１となる。
【００７８】  続いて、制御部５０は、起電力モニタ用コイル１３に発生している起電力を取得し、取得した起電力に基づいて起電力モニタ用コイル１３の振れ角を算出する（ステップＳ０３）。具体的には、制御部５０は、起電力モニタ用コイル１３における振れ角と起電力との関係に基づいて、起電力モニタ用コイル１３の振れ角を算出する。例えば、図８（ｂ）に示されるように、ステップＳ０２で算出した温度がＴ１である場合において、起電力モニタ用コイル１３に発生している起電力がＶ１であるときには、起電力モニタ用コイル１３の振れ角は、θ１となる。
【００７９】  続いて、制御部５０は、ステップＳ０２で算出した振れ角と、実際に与えるべき振れ角との差分に基づいて、第１駆動用コイル１１に印加する駆動電流を算出する（ステップＳ０４）。そして、制御部５０は、算出した駆動電流の値（具体的には、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示される方形波の振幅の大きさ）で第１駆動用コイル１１に駆動電流を印加する。これにより、磁石３０によって発生させられる磁界の磁束密度が、磁石３０の温度に応じて変化したとしても、実際に与えるべき振れ角で第１軸線Ｘ１周りにおいてミラー７が揺動されることになる。
【００８０】  以上説明したように、光モジュール１０では、温度に応じて抵抗値が変化する温度モニタ用抵抗１４が、磁石３０と熱的に接続された支持部２に設けられている。これにより、例えば、温度モニタ用抵抗１４が第１駆動用コイル１１及び起電力モニタ用コイル１３と共に第１可動部３に設けられている場合に比べ、温度モニタ用抵抗１４の温度が磁石３０の温度を反映したものとなる。その理由は、例えば、温度モニタ用抵抗１４が第１駆動用コイル１１及び起電力モニタ用コイル１３と共に第１可動部３に設けられていると、温度モニタ用抵抗１４が第１駆動用コイル１１及び起電力モニタ用コイル１３での発熱の影響を受け、また、第１可動部３と磁石３０との間に形成される空間（より具体的には、第１可動部３とパッケージ４０のベース４１との間に形成される空間）が熱抵抗となるからである。よって、光モジュール１０によれば、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び起電力モニタ用コイル１３に発生する起電力に基づいて、磁石３０の温度に応じて変化する磁石３０の磁束密度を考慮し、その上で、ミラー７の振れ角に関する情報（ミラー７の振れ角、ミラー７の速度等を含む）を精度良く取得することができる。また、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値に基づいて、ミラー７の振れ角を精度良く制御することができる。
【００８１】  なお、支持部２の熱伝導率は、空気の熱伝導率よりも大きい（好ましくは、１００倍以上大きい）。同様に、ベース４１の熱伝導率は、空気の熱伝導率よりも大きい（好ましくは、１００倍以上大きい）。また、支持部２が樹脂によってベース４１の内側表面４１ａに取り付けられている場合にも、当該樹脂の厚さは、数十μｍ程度と非常に薄いため、当該樹脂によって熱伝導に影響が生じることは殆どない。同様に、磁石３０が樹脂によってベース４１の外側表面４１ｂに取り付けられている場合にも、当該樹脂の厚さは、数十μｍ程度と非常に薄いため、当該樹脂によって熱伝導に影響が生じることは殆どない。つまり、光モジュール１０では、空気層を隔てて磁石３０の温度を検出する場合に比べ、よりダイレクトに磁石３０の温度を検出しているといえる。
【００８２】  また、光モジュール１０では、第１可動部３が、第１軸線Ｘ１周りに揺動可能となるように第２可動部４に連結されており、第２可動部４が、第２軸線Ｘ２周りに揺動可能となるように支持部２に連結されている。これにより、第１軸線Ｘ１周り及び第２軸線Ｘ２周りにミラー７を揺動させることができる。
【００８３】  また、光モジュール１０では、温度モニタ用抵抗１４が、コイルとして構成されている。これにより、抵抗値の変化を検出するのに十分な長さを有する温度モニタ用抵抗１４を限られた領域において実現することができる。
【００８４】  また、光モジュール１０では、支持部２が、光軸方向Ａから見た場合に第１可動部３を囲むように枠状に形成されている。これにより、第１可動部３の安定的な支持を実現することができる。
【００８５】  また、光モジュール１０では、温度モニタ用抵抗１４が、光軸方向Ａから見た場合に支持部２の外縁２ｅに沿うように支持部２に設けられている。これにより、温度モニタ用抵抗１４が第１駆動用コイル１１及び起電力モニタ用コイル１３での発熱の影響をより受け難くなる。また、温度モニタ用抵抗１４について、抵抗値の変化を検出するのに十分な長さをより確保し易くなる。
【００８６】  また、光モジュール１０では、第１駆動用コイル１１、第２駆動用コイル１２、起電力モニタ用コイル１３及び温度モニタ用抵抗１４が、同一平面に沿うように配置されている。これにより、ＭＥＭＳミラー１を半導体製造プロセスで製造する場合に、第１駆動用コイル１１、第２駆動用コイル１２、起電力モニタ用コイル１３及び温度モニタ用抵抗１４を容易に形成することができる。
【００８７】  また、光モジュール１０では、第１駆動用コイル１１が第１可動部３に埋め込まれている。これにより、第１駆動用コイル１１の断面積を大きくして、第１駆動用コイル１１の抵抗値を小さくすることができるため、第１駆動用コイル１１での消費電力を低下させることが可能となる。
【００８８】  また、光モジュール１０では、第２駆動用コイル１２が第２可動部４に埋め込まれている。これにより、第２駆動用コイル１２の断面積を大きくして、第２駆動用コイル１２の抵抗値を小さくすることができるため、第２駆動用コイル１２での消費電力を低下させることが可能となる。
【００８９】  また、光モジュール１０では、起電力モニタ用コイル１３が第１可動部３に埋め込まれている。これにより、起電力モニタ用コイル１３の断面積を大きくして、起電力モニタ用コイル１３の抵抗値を小さくすることができるため、起電力モニタ用コイル１３においてクロストーク発生時のノイズを低減することが可能となる。
【００９０】  また、光モジュール１０では、温度モニタ用抵抗１４が支持部２に埋め込まれている。これにより、温度モニタ用抵抗１４の温度が磁石３０の温度をより正確に反映したものとなる。
【００９１】  また、光モジュール１０では、支持部２が、パッケージ４０のベース４１の内側表面４１ａに取り付けられており、磁石３０が、第１可動部３及び第２可動部４と対向するようにパッケージ４０のベース４１の外側表面４１ｂに取り付けられている。これにより、ＭＥＭＳミラー１を外部から保護しつつ、光モジュール１０の構成の単純化を図ることができる。
【００９２】  また、光モジュール１０では、パッケージ４０のベース４１の内側表面４１ａに、第１可動部３及び第２可動部４と対向するように凹部４１ｃが形成されている。これにより、第１可動部３及び第２可動部４とベース４１との物理的な干渉を防止しつつ支持部２の薄型化を図ることができるため、温度モニタ用抵抗１４の温度が磁石３０の温度をより正確に反映したものとなる。なお、熱伝導を考慮すると、支持部２の厚さは、１ｍｍ以下であることが好ましく、６００μｍ以下であることがより好ましい。
【００９３】  また、光モジュール１０では、制御部５０が、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び起電力モニタ用コイル１３に発生する起電力に基づいて、第１駆動用コイル１１に印加する駆動電流を制御する。これにより、ミラー７を所望の振れ角で揺動させることができる。
【００９４】  また、光モジュール１０では、光軸方向Ａから見た場合に、支持部２の幅が第１連結部５の幅よりも広い。これにより、支持部２が熱を伝達し易いため、温度モニタ用抵抗１４の温度が磁石３０の温度をより正確に反映したものとなる。更に、第１連結部５の幅が支持部２の幅よりも狭いため、第１駆動用コイル１１で生じた熱が第１連結部５及び第２可動部４を介して支持部２に伝わり難くなる。これにより、温度モニタ用抵抗１４の温度が磁石３０の温度をより一層正確に反映したものとなる。
【００９５】  また、光モジュール１０では、光軸方向Ａから見た場合に、支持部２の幅が第２連結部６の幅よりも広い。これにより、支持部２が熱を伝達し易いため、温度モニタ用抵抗１４の温度がより磁石３０の温度をより正確に反映したものとなる。更に、第２連結部６の幅が支持部２の幅よりも狭いため、第２駆動用コイル１２で生じた熱が第２連結部６を介して支持部２に伝わり難くなる。これにより、温度モニタ用抵抗１４の温度が磁石３０の温度をより一層正確に反映したものとなる。
【００９６】  また、光モジュール１０では、支持部２に設けられた電極パッド２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂが、光軸方向Ａから見た場合に、温度モニタ用抵抗１４の内側に設けられている。これにより、電極パッド２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂに接続された配線１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂが温度モニタ用抵抗１４を跨ぐことを回避することができ、配線１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂの熱が温度モニタ用抵抗１４に伝わることを抑制することができる。なお、本実施形態では、電極パッド２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂにそれぞれ接続された複数のワイヤが温度モニタ用抵抗１４を跨いでいるが、ワイヤと温度モニタ用抵抗１４との間には空気が介在するため、ワイヤの熱が温度モニタ用抵抗１４に伝わることが抑制されている。
【００９７】  また、光モジュール１０では、光軸方向Ａにおけるベース４１の厚さが、光軸方向Ａから見た場合における側壁４２と支持部２との間の距離よりも小さい。これにより、磁石３０の熱がベース４１を介して支持部２に伝わり易くなる一方、側壁４２から支持部２へは熱が伝わり難くなるため、温度モニタ用抵抗１４の温度が磁石３０の温度をより正確に反映したものとなる。
【００９８】  以上のように構成された光モジュール１０は、図１０に示されるように、測距装置１００に適用することができる。測距装置１００は、例えば自動車等の車両に自動運転支援システムとして搭載される装置である。自動運転支援システムでは、走行中の車両と物体Ｋとの距離を測距装置１００でリアルタイム計測し、計測結果に基づいて車両速度等を制御することで、車両と物体Ｋとの衝突を回避する制御が実行される。物体Ｋは、例えば他車両、壁等の障害物、歩行者等である。
【００９９】  光モジュール１０が車載用の測距装置１００に適用される場合、使用環境温度が大きく変化し、それに伴って、磁石３０の温度が大きく変化するため、ミラー７の振れ角に関する情報の精度が著しく劣化するおそれがある。しかし、上述したように、測距装置１００では、使用環境温度の変化によらず、光モジュール１０においてミラー７を所望の振れ角で揺動させることができるため、高精度な測距を実現することが可能となる。
【０１００】  以下、測距装置１００の構成について説明する。測距装置１００は、光モジュール１０と、レーザ光を出射する光源１０１と、物体Ｋ及びミラー７を介してレーザ光を検出する光検出器１０２と、を備えている。光源１０１から出射されたレーザ光Ｌ１は、コリメートレンズ１０３によってコリメートされ、反射ミラー１０４に形成されたピンホール１０４ａを介して、光モジュール１０のミラー７によって反射される。反射されたレーザ光Ｌ１は、ミラー７の揺動によって物体Ｋに対して走査される。物体Ｋからの戻り光Ｌ２は、光モジュール１０のミラー７及び反射ミラー１０４によって順次反射され、集光レンズ１０５によって集光される。集光された戻り光Ｌ２は、アパーチャ１０６を介して光検出器１０２に入射し、光検出器１０２によって検出される。光検出器１０２からの出力信号は、演算部（図示省略）に出力される。演算部では、ＴＯＦ（Time  of  Flight）法に基づいて、物体Ｋまでの距離が演算される。
【０１０１】  以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されない。例えば、図１１（ａ）に示される第１変形例のように、上記実施形態において、ＭＥＭＳミラー１は、第２可動部４、一対の第２連結部６、及び第２駆動用コイル１２を備えなくてもよい。第１変形例では、第１可動部３は、第１軸線Ｘ１周りに揺動可能となるように、一対の第１連結部５を介して支持部２に連結されている。一対の第１連結部５は、第１可動部３が第１軸線Ｘ１周りに揺動可能となるように、第１可動部３と支持部２とを互いに連結している。第１連結部５に作用する応力の緩和のために、各第１連結部５における第１可動部３側の端部の幅は、第１可動部３に近づくほど広がっている。第１変形例では、各第１連結部５における第１可動部３とは反対側の端部は、一定の幅を有しているが、第１連結部５に作用する応力の更なる緩和のために、各第１連結部５における第１可動部３とは反対側の端部の幅は、第１可動部３から遠ざかるほど広がっていてもよい。このように第１連結部５に拡幅部（応力緩和部）が設けられている場合、第１連結部５の幅とは、第１連結部５のうち拡幅部を除いた部分の幅（最大幅）である。なお、同様に、第２連結部６の少なくとも一方の端部に拡幅部が設けられていてもよく、この場合、第２連結部６の幅とは、第２連結部６のうち拡幅部を除いた部分の幅（最大幅）である。
【０１０２】  第１可動部３は、例えば、共振周波数レベルで第１軸線Ｘ１周りにおいて揺動させられる。このような第１変形例によっても、上記実施形態と同様に、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び起電力モニタ用コイル１３に発生する起電力に基づいて、磁石３０の温度に応じて変化する磁石３０の磁束密度を考慮し、その上で、ミラー７の振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。なお、図１１（ａ）では、第１駆動用コイル１１、起電力モニタ用コイル１３及び温度モニタ用抵抗１４が簡略化されて示されている。後述する図１１（ｂ）〜図１５（ｂ）においても同様に、第１駆動用コイル１１、第２駆動用コイル１２、起電力モニタ用コイル１３及び温度モニタ用抵抗１４が簡略化されて示されている。
【０１０３】  図１１（ｂ）に示される第２変形例のように、上記実施形態において、ＭＥＭＳミラー１は、第２駆動用コイル１２を備えなくてもよい。第２変形例では、第１可動部３は、例えば、共振周波数レベルで第１軸線Ｘ１周りにおいて揺動させられる。第２可動部４は、揺動させられない。このような第２変形例によっても、上記実施形態と同様に、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び起電力モニタ用コイル１３に発生する起電力に基づいて、磁石３０の温度に応じて変化する磁石３０の磁束密度を考慮し、その上で、ミラー７の振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。
【０１０４】  図１２（ａ）に示される第３変形例のように、第１変形例において、ＭＥＭＳミラー１は、起電力モニタ用コイル１３を備えなくてもよい。第３変形例では、第１駆動用コイル１１に印加する駆動電流の制御には、起電力モニタ用コイル１３に発生する起電力ではなく、第１駆動用コイル１１に発生する起電力（逆起電力）が用いられる。すなわち、第１駆動用コイル１１が起電力のモニタのために用いられる。制御部５０は、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び第１駆動用コイル１１に発生する起電力に基づいて、第１駆動用コイル１１に印加する駆動電流を制御する。このような第３変形例によっても、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び第１駆動用コイル１１に発生する起電力に基づいて、磁石３０の温度に応じて変化する磁石３０の磁束密度を考慮し、その上で、ミラー７の振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。
【０１０５】  図１２（ｂ）に示される第４変形例のように、第２変形例において、ＭＥＭＳミラー１は、起電力モニタ用コイル１３を備えなくてもよい。第４変形例では、第１駆動用コイル１１に印加する駆動電流の制御には、起電力モニタ用コイル１３に発生する起電力ではなく、第１駆動用コイル１１に発生する起電力が用いられる。すなわち、第１駆動用コイル１１が起電力のモニタのために用いられる。制御部５０は、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び第１駆動用コイル１１に発生する起電力に基づいて、第１駆動用コイル１１に印加する駆動電流を制御する。このような第４変形例によっても、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び第１駆動用コイル１１に発生する起電力に基づいて、磁石３０の温度に応じて変化する磁石３０の磁束密度を考慮し、その上で、ミラー７の振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。
【０１０６】  図１３（ａ）に示される第５変形例のように、上記実施形態において、ＭＥＭＳミラー１は、第１駆動用コイル１１を備えなくてもよい。換言すれば、第５変形例では、第１可動部３に第１駆動用コイル１１が設けられておらず、第２可動部４のみに駆動コイル（第２駆動用コイル１２）が設けられている。第５変形例では、共振周波数での第１可動部３の共振を利用することで、第２駆動用コイル１２に生じるローレンツ力により、第１可動部３を共振周波数レベルで第１軸線Ｘ１周りにおいて揺動させる。具体的には、第１軸線Ｘ１軸周りにおける第１可動部３の共振周波数に等しい周波数の駆動信号が第２駆動用コイル１２に入力されると、第２可動部４が第１軸線Ｘ１周りに当該周波数で僅かに振動する。この振動が第１連結部５を介して第１可動部３に伝わることにより、第１可動部３を第１軸線Ｘ１周りに当該周波数で揺動させることができる。第２可動部４は、上記実施形態の場合と同様に、第２軸線Ｘ２周りにおいて揺動（回動）させられる。すなわち、第２駆動用コイル１２には、第２可動部４を振動させることによって第１軸線Ｘ１周りに第１可動部３を揺動させるための信号、及び第２軸線Ｘ２周りに第２可動部４を揺動させるための信号の２つの信号が入力される。このような第５変形例によっても、上記実施形態と同様に、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び起電力モニタ用コイル１３に発生する起電力に基づいて、磁石３０の温度に応じて変化する磁石３０の磁束密度を考慮し、その上で、ミラー７の振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。第５変形例では、一対の第２駆動用コイル１２が第２可動部４に設けられてもよい。この場合、一方の第２駆動用コイル１２には、第２可動部４を振動させることによって第１軸線Ｘ１周りに第１可動部３を揺動させるための信号が入力され、他方の第２駆動用コイル１２には、第２軸線Ｘ２周りに第２可動部４を揺動させるための信号が入力される。
【０１０７】  図１３（ｂ）に示される第６変形例のように、第５変形例において、起電力モニタ用コイル１３が第２可動部４に設けられてもよい。このような第５変形例によっても、上記実施形態と同様に、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び起電力モニタ用コイル１３に発生する起電力に基づいて、磁石３０の温度に応じて変化する磁石３０の磁束密度を考慮し、その上で、ミラー７の振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。すなわち、第５変形例では、第２可動部４を振動させることによって第１軸線Ｘ１周りに第１可動部４を揺動させているため、第２可動部４の振動によって起電力モニタ用コイル１３に発生する起電力をモニタすることにより、第１可動部４の振れ角に関する情報を取得することができる。
【０１０８】  図１４（ａ）に示される第７変形例のように、第６変形例において、ＭＥＭＳミラー１は、起電力モニタ用コイル１３を備えなくてもよい。第７変形例では、第２駆動用コイル１２に印加する駆動電流の制御には、起電力モニタ用コイル１３に発生する起電力ではなく、第２駆動用コイル１２に発生する起電力が用いられる。すなわち、第２駆動用コイル１２が起電力のモニタのために用いられる。制御部５０は、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び第２駆動用コイル１２に発生する起電力に基づいて、第２駆動用コイル１２に印加する駆動電流を制御する。このような第７変形例によっても、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び第２駆動用コイル１２に発生する起電力に基づいて、磁石３０の温度に応じて変化する磁石３０の磁束密度を考慮し、その上で、ミラー７の振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。
【０１０９】  図１４（ｂ）に示される第８変形例のように、上記実施形態において、ＭＥＭＳミラー１は、第１駆動用コイル１１を備えなくてもよい。第８変形例では、第２可動部４は、第２可動部４を振動させることによって第１軸線Ｘ１周りに第１可動部３が揺動可能となるように、支持部２に連結されている。すなわち、一対の第２連結部６は、第２可動部４を振動させることによって第１軸線Ｘ１周りに第１可動部３が揺動可能となるように、第２可動部４と支持部２とを互いに連結している。第８変形例では、第２可動部４は、第２軸線Ｘ２周りに揺動可能とはなっていない。第８変形例では、第５変形例と同様に、共振周波数での第１可動部３の共振を利用することで、第２駆動用コイル１２に生じるローレンツ力により、第１可動部３を共振周波数レベルで第１軸線Ｘ１周りにおいて揺動させる。このような第８変形例によっても、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び第２駆動用コイル１２に発生する起電力に基づいて、磁石３０の温度に応じて変化する磁石３０の磁束密度を考慮し、その上で、ミラー７の振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。
【０１１０】  図１５（ａ）に示される第９変形例のように、第８変形例において、起電力モニタ用コイル１３が第２可動部４に設けられてもよい。このような第９変形例によっても、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び第２駆動用コイル１２に発生する起電力に基づいて、磁石３０の温度に応じて変化する磁石３０の磁束密度を考慮し、その上で、ミラー７の振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。
【０１１１】  図１５（ｂ）に示される第１０変形例のように、第９変形例において、ＭＥＭＳミラー１は、起電力モニタ用コイル１３を備えなくてもよい。第１０変形例では、第２駆動用コイル１２に印加する駆動電流の制御には、起電力モニタ用コイル１３に発生する起電力ではなく、第２駆動用コイル１２に発生する起電力が用いられる。すなわち、第２駆動用コイル１２が起電力のモニタのために用いられる。制御部５０は、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び第２駆動用コイル１２に発生する起電力に基づいて、第２駆動用コイル１２に印加する駆動電流を制御する。このような第１０変形例によっても、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値、及び第２駆動用コイル１２に発生する起電力に基づいて、磁石３０の温度に応じて変化する磁石３０の磁束密度を考慮し、その上で、ミラー７の振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。なお、第８〜第１０変形例では、光軸方向Ａから見た場合に、支持部２の幅が第２連結部６の幅よりも狭くなっているが、支持部２の幅は第２連結部６の幅よりも広くなっていてもよい。
【０１１２】  他の変形例として、上記実施形態において、制御部５０は、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値に基づいて、第２駆動用コイル１２に印加する駆動電流を制御してもよい。制御部５０は、第１駆動用コイル１１に印加する駆動電流を温度モニタ用抵抗１４の抵抗値に基づいて制御することに加えて、第２駆動用コイル１２に印可する駆動電流を温度モニタ用抵抗１４の抵抗値に基づいて制御してもよい。或いは、制御部５０は、第１駆動用コイル１１に印加する駆動電流を温度モニタ用抵抗１４の抵抗値に基づいて制御することなく、第２駆動用コイル１２に印可する駆動電流を温度モニタ用抵抗１４の抵抗値に基づいて制御してもよい。第２駆動用コイル１２に印可する駆動電流を温度モニタ用抵抗１４の抵抗値に基づいて制御する理由は、次のとおりである。
【０１１３】  上述したように、第２可動部４は、第２駆動用コイル１２に一定の大きさの駆動電流が印可されることにより、第２軸線Ｘ２周りに回動させられる。このように第２可動部４がリニア駆動される場合、第２連結部６のバネ定数をｋ（Ｎｍ／rad）とし、第２可動部４の振れ角をγ（rad）とすると、フックの法則から、第２可動部４に作用するトルクをＴ（Ｎｍ）は、Ｔ＝ｋγと表される。一方、回転中心から質点までの長さをＲ（ｍ）とし、ローレンツ力をＦ（Ｎ）とし、第２駆動用コイル１２に印可される駆動電流をＩ（Ａ）とし、磁石３０によって発生させられる磁界の磁束密度をＢ（Ｔ）とし、磁場が直交する方向における第２駆動用コイル１２の長さをＬ（ｍ）とすると、トルクＴは、Ｔ＝ＲＦ＝ＲＩＢＬと表される。以上の２式から、振れ角γは、γ＝ＲＩＢＬ／ｋと表される。このように、振れ角γは、駆動電流Ｉ及び磁束密度Ｂに比例する。
【０１１４】  上述したように、磁束密度Ｂは、磁石３０の温度に応じて変化する。そのため、制御部５０は、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値に基づいて、第２駆動用コイル１２に印加する駆動電流をフィードバック制御する。具体的には、制御部５０は、温度モニタ用抵抗１４の温度ごとに、第２駆動用コイル１２における駆動電流と振れ角との関係を予め取得し、記憶しておく。制御部５０は、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値に基づいて算出した温度モニタ用抵抗１４の温度と、第２駆動用コイル１２における駆動電流と振れ角との関係とに基づいて、第２可動部４の振れ角γを算出する。以上のような変形例によっても、温度モニタ用抵抗１４の抵抗値に基づいて、磁石３０の温度に応じて変化する磁石３０の磁束密度を考慮し、その上で、第２可動部４の振れ角γ、すなわち、ミラー７の振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。なお、バネ定数ｋも温度に応じて変化するが、バネ定数ｋの変化の影響は磁束密度Ｂと比べて極めて小さい。
【０１１５】  なお、上記実施形態では、第１可動部３は、第１駆動用コイル１１に高周波数の駆動電流が印可されることにより、共振周波数レベルで第１軸線Ｘ１周りにおいて揺動させられる。このようなノンリニア駆動の場合、リニア駆動の場合とは異なり、第１可動部３に作用するトルクは、第１連結部５のバネ定数と第１可動部３の振れ角との積に、いわゆるＱ値を乗じた値となる。Ｑ値は、空気の粘性及び材料の粘性に依存するパラメータであり、強い非線形性を有する。したがって、ミラー７の振れ角に関する情報を精度良く取得するために、第１駆動用コイル１１に印加する駆動電流の制御には、上述したように、起電力モニタ用コイル１３に発生する起電力、又は第１駆動用コイル１１に発生する起電力が用いられる。
【０１１６】  各構成の材料及び形状は、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。温度モニタ用抵抗１４は、コイルとして構成されていたが、抵抗値の変化を検出するのに十分な長さを確保することができれば、その形状は限定されず、例えば、支持部２において蛇行状（ジグザグ状）に延在するように形成されていてもよい。光モジュール１０にパッケージ４０が設けられておらず、ＭＥＭＳミラー１の支持部２が磁石３０に取り付けられていてもよい。光モジュール１０に第２可動部４及び第２駆動用コイル１２等が設けられておらず、ミラー７が第１軸線Ｘ１周りのみにおいて揺動可能であってもよい。磁石３０は、ＭＥＭＳミラー１に作用する磁界を発生させることができ、且つ支持部２と熱的に接続されていれば、その配置は限定されない。
【０１１７】  支持部２に、温度モニタ用抵抗１４以外の温度モニタ用素子が設けられていてもよい。温度モニタ用抵抗１４以外の温度モニタ用素子としては、例えば熱電対等を用いることができる。温度モニタ用素子が支持部２に接触するように配置されていれば、温度モニタ用素子の温度が磁石３０の温度を反映したものとなる。したがって、温度モニタ用素子の検出値（熱電対の場合には熱起電力）、及び起電力モニタ用コイル１３に発生する起電力に基づいて、磁石３０の温度に応じて変化する磁石３０の磁束密度を考慮し、その上で、ミラー７の振れ角に関する情報を精度良く取得することができる。
【０１１８】  第１駆動用コイル１１は、埋め込み配線としてではなく、配線１５ａ，１５ｂと同様に通常配線として形成されていてもよい。配線１５ａ，１５ｂは、通常配線としてではなく、その一部（例えば、第１連結部５上の部分、第２連結部６上の部分）又は全部が第１駆動用コイル１１と同様に埋め込み配線として形成されていてもよい。第２駆動用コイル１２は、埋め込み配線としてではなく、配線１６ａ，１６ｂと同様に通常配線として形成されていてもよい。配線１６ａ，１６ｂは、通常配線としてではなく、その一部（例えば、第２連結部６上の部分）又は全部が第２駆動用コイル１２と同様に埋め込み配線として形成されていてもよい。
【０１１９】  なお、第１駆動用コイル１１、第２駆動用コイル１２、起電力モニタ用コイル１３及び温度モニタ用抵抗１４は、それらの一部が埋め込み配線として形成され、残りが通常配線として形成される場合にも、同一平面（支持部２、第１可動部３及び第２可動部４のそれぞれにおける窓材４３側の表面）に沿うように配置される。したがって、ＭＥＭＳミラー１を半導体製造プロセスで製造する場合に、第１駆動用コイル１１、第２駆動用コイル１２、起電力モニタ用コイル１３及び温度モニタ用抵抗１４を容易に形成することができる。
【０１２０】  起電力モニタ用コイル１３は、埋め込み配線としてではなく、配線１７ａ，１７ｂと同様に通常配線として形成されていてもよい。配線１７ａ，１７ｂは、通常配線としてではなく、その一部（例えば、第１連結部５上の部分、第２連結部６上の部分）又は全部が起電力モニタ用コイル１３と同様に埋め込み配線として形成されていてもよい。温度モニタ用抵抗１４は、埋め込み配線としてではなく、配線１８ａ，１８ｂと同様に通常配線として形成されていてもよい。配線１８ａ，１８ｂは、通常配線としてではなく、温度モニタ用抵抗１４と同様に埋め込み配線として形成されていてもよい。複数の接続部分３３は、例えば、矩形状の第２部分３２の内縁のうち各辺の中央部に位置していてもよい。
【０１２１】  上記実施形態では、各第２連結部６が直線状に延在していたが、各第２連結部６は、光軸方向Ａから見た場合に蛇行して延在していてもよい。この場合、各第２連結部６は、例えば、複数の直線状部と、複数の折り返し部と、を有する。複数の直線状部は、例えば、第１軸線Ｘ１に沿った方向にそれぞれ延在し、第２軸線Ｘ２に沿った方向に並んで配置される。或いは、複数の直線状部は、第２軸線Ｘ２に沿った方向にそれぞれ延在し、第１軸線Ｘ１に沿った方向に並んで配置されてもよい。複数の折り返し部は、隣り合う直線状部の両端を交互に連結する。各折り返し部は、光軸方向Ａから見た場合に湾曲して延在してもよいし、直線状に延在していてもよい。第２連結部６が蛇行して延在する他の例として、第２連結部６は、湾曲して延在する部分のみによって構成されてもよいし、湾曲して延在する一対の部分が直線状の部分によって互いに連結された構成であってもよい。これらの場合、第２連結部６の幅とは、或る任意の位置における幅（例えば、一の直線状部の幅）であり、或る位置における第２連結部６の幅とは、当該位置における第２連結部６の延在方向、及び光軸方向Ａの双方に直交する方向における長さである。第２連結部６が蛇行して延在している場合において、第２連結部６の少なくとも一方の端部に拡幅部（応力緩和部）が設けられている場合、第２連結部６の幅とは、第２連結部６のうち拡幅部を除いた部分の幅（最大幅）である。第２連結部６が蛇行して延在している場合にも、第２連結部６の幅は、支持部２の幅よりも狭くてもよい。電極パッド２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂの少なくとも１つは、ワイヤではなくフレキシブル基板等の他の接続部材を介して、駆動源又は制御部等と電気的に接続されてもよい。ベース４１は、配線基板、ガラスエポキシ基板等であってもよい。
【符号の説明】
【０１２２】  ２…支持部、２ｅ…外縁、３…第１可動部、４…第２可動部、７…ミラー、１０…光モジュール、１１…第１駆動用コイル、１２…第２駆動用コイル、１３…起電力モニタ用コイル、１４…温度モニタ用抵抗（温度モニタ用素子）、２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ…電極パッド、１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ…配線、３０…磁石、４０…パッケージ、４１…ベース、４１ａ…内側表面、４１ｂ…外側表面、４２…側壁、４１ｃ…凹部、５０…制御部、１００…測距装置、１０１…光源、１０２…光検出器、Ａ…光軸方向、Ｘ１…第１軸線、Ｘ２…第２軸線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【国際調査報告】
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