【手続補正書】
【提出日】令和1年9月19日(2019.9.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄型の引出し電極アセンブリであって、
該薄型の引出し電極アセンブリは、
絶縁体と、
該絶縁体の第１の側に留められる接地電極と、
前記絶縁体の第１の側の反対側の第２の側に留められる抑制電極と、を備え、
前記接地電極と前記抑制電極との間のトラッキング距離は、前記接地電極と前記抑制電極との間の焦点距離より大きい、薄型の引出し電極アセンブリ。
【請求項２】
前記絶縁体は、
本体と、
該本体の第１の面から伸び、前記接地電極に留められる取り付け脚部と、
前記本体の第２の面から伸び、前記抑制電極に留められる取り付け脚部と、を備え、
前記本体の前記第２の面から伸びる前記取り付け脚部は、前記本体の前記第１の面から伸びる前記取り付け脚部から、前記本体の軸に直交する方向に、補正される、請求項１記載の薄型の引出し電極アセンブリ。
【請求項３】
前記本体の前記第１の面から伸びる前記取り付け脚部は、前記本体の前記第１の面から伸びる複数の相隔たる取り付け脚部を備え、
前記本体の前記第２の面から伸びる前記取り付け脚部は、前記本体の前記第２の面から伸びる複数の相隔たる取り付け脚部を備え、
前記本体の前記第２の面から伸びる前記複数の相隔たる取り付け脚部は、前記本体の前記第１の面から伸びる前記複数の相隔たる取り付け脚部から、前記本体の前記軸の回りに、補正される、請求項２記載の薄型の引出し電極アセンブリ。
【請求項４】
前記本体は円形である、請求項３記載の薄型の引出し電極アセンブリ。
【請求項５】
前記本体の前記第１の面から伸びる前記複数の取り付け脚部は、前記本体の前記軸の回りに、互いに１２０度、相隔たる３つの取り付け脚部を備え、
前記本体の前記第２の面から伸びる前記複数の取り付け脚部は、前記本体の前記軸の回りに、互いに１２０度、相隔たる３つの取り付け脚部を備え、
前記本体の前記第２の面から伸びる前記複数の取り付け脚部は、前記本体の前記第１の面から伸びる前記複数の取り付け脚部から、前記本体の前記軸の回りに、６０度、補正される、請求項４載の薄型の引出し電極アセンブリ。
【請求項６】
前記接地電極及び前記抑制電極は、前記絶縁体に直接、留められる、請求項１記載の薄型の引出し電極アセンブリ。
【請求項７】
前記抑制電極から放射状に前記絶縁体の外側へ伸びる第１の外側の微粒子のシールドと、
前記抑制電極から放射状に前記絶縁体の外側へ伸びる第２の外側の微粒子のシールドと、
前記接地電極から放射状に前記絶縁体の内側へ伸びる第１の内側の微粒子のシールドと、
前記接地電極から放射状に前記絶縁体の内側へ伸びる第２の内側の微粒子のシールドと、を、さらに備え、
前記第１の外側の微粒子のシールドは、前記第２の外側の微粒子のシールドと放射状に重なり合い、前記第１の内側の微粒子のシールドは、前記第２の内側の微粒子のシールドと放射状に重なり合う、請求項１記載の薄型の引出し電極アセンブリ。
【請求項８】
イオン注入機であって、
該イオン注入機は、
ソースチャンバと、
該ソースチャンバ内に配置され、イオンビームを生成するように構成されるイオン源と、
前記ソースチャンバ内で前記イオン源に隣接して配置され、前記イオンビームを引出し集束するように構成される、薄型の引出し電極アセンブリと、を備え、
該薄型の引出し電極アセンブリは、
絶縁体と、
該絶縁体の第１の側に留められる接地電極と、
前記絶縁体の前記第１の側の反対側の第２の側に留められる抑制電極と、を備え、
前記接地電極と前記抑制電極との間のトラッキング距離は、前記接地電極と前記抑制電極との間の焦点距離より大きい、イオン注入機。
【請求項９】
前記絶縁体は、
本体と、
該本体の第１の面から伸び、前記接地電極に留められる取り付け脚部と、
前記本体の第２の面から伸び、前記抑制電極に留められる取り付け脚部と、を備え、
前記本体の前記第２の面から伸びる前記取り付け脚部は、前記本体の前記第１の面から伸びる前記取り付け脚部から、前記本体の軸に直交する方向に、補正される、請求項８記載のイオン注入機。
【請求項１０】
前記本体の前記第１の面から伸びる前記取り付け脚部は、前記本体の前記第１の面から伸びる複数の相隔たる取り付け脚部を備え、
前記本体の前記第２の面から伸びる前記取り付け脚部は、前記本体の前記第２の面から伸びる複数の相隔たる取り付け脚部を備え、
前記本体の前記第２の面から伸びる前記複数の相隔たる取り付け脚部は、前記本体の前記第１の面から伸びる前記複数の相隔たる取り付け脚部から、前記本体の前記軸の回りに、補正される、請求項９記載のイオン注入機。
【請求項１１】
前記本体は円形である、請求項１０記載のイオン注入機。
【請求項１２】
前記本体の前記第１の面から伸びる前記複数の取り付け脚部は、前記本体の前記軸の回りに、互いに１２０度、相隔たる３つの取り付け脚部を備え、
前記本体の前記第２の面から伸びる前記複数の取り付け脚部は、前記本体の前記軸の回りに、互いに１２０度、相隔たる３つの取り付け脚部を備え、
前記本体の前記第２の面から伸びる前記複数の取り付け脚部は、前記本体の前記第１の面から伸びる前記複数の取り付け脚部から、前記本体の前記軸の回りに、６０度、補正される、請求項１１載のイオン注入機。
【請求項１３】
前記接地電極及び前記抑制電極は、前記絶縁体に直接、留められる、請求項８記載のイオン注入機。
【請求項１４】
前記抑制電極から放射状に前記絶縁体の外側へ伸びる第１の外側の微粒子のシールドと、
前記抑制電極から放射状に前記絶縁体の外側へ伸びる第２の外側の微粒子のシールドと、
前記接地電極から放射状に前記絶縁体の内側へ伸びる第１の内側の微粒子のシールドと、
前記接地電極から放射状に前記絶縁体の内側へ伸びる第２の内側の微粒子のシールドと、を、さらに備え、
前記第１の外側の微粒子のシールドは、前記第２の外側の微粒子のシールドと放射状に重なり合い、前記第１の内側の微粒子のシールドは、前記第２の内側の微粒子のシールドと放射状に重なり合う、請求項１１記載のイオン注入機。
【請求項１５】
前記接地電極及び前記抑制電極の内の１つは、前記引出し電極アセンブリの位置を選択的に調整するためのマニピュレーターに連結される、請求項１１記載のイオン注入機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明による、薄型の引出し電極アセンブリの別の例示的実施態様は、円形の本体を有する絶縁体と、前記本体の第１の面から伸び、前記本体の軸の回りに、互いに相隔たる３つの取り付け脚部と、前記本体の前記第１の面の反対側の第２の面から伸び、前記本体の前記軸の回りに、互いに相隔たる３つの取り付け脚部を含んでもよく、前記第２の面から伸びる前記３つの取り付け脚部は、前記第１の面から伸びる前記３つの取り付け脚部から、前記本体の前記軸の回りに、補正され、前記薄型の引出し電極アセンブリは、前記第１の面から伸びる前記３つの取り付け脚部に留められる接地電極と、前記第２の面から伸びる前記３つの取り付け脚部に留められる抑制電極と、前記抑制電極から放射状に前記絶縁体の外側へ伸びる第１及び第２の外側の微粒子のシールドと、前記接地電極から放射状に前記絶縁体の内側へ伸びる第１及び第２の内側の微粒子のシールドと、を更に含み、前記第１の外側の微粒子のシールドは、前記第２の外側の微粒子のシールドと放射状に重なり合い、前記第１の内側の微粒子のシールドは、前記第２の内側の微粒子のシールドと放射状に重なり合う。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
様々な代替の実施形態において、絶縁体１３２は、より多い又はより少ない数の取り付け脚部を用いて実行することができる（すなわち、本体１３３の第１の面１４３から伸びる３つの取り付け脚部１４２ａ、１４２ｂ、１４２ｃより多い又はより少ない、及び／又は、本体１３３の第２の面１４５から伸びる３つの取り付け脚部１４４ａ、１４４ｂ、１４４ｃより多い又はより少ない）。一例において、２つの取り付け脚部が本体の第１の面１４３から伸びることができ、２つの取り付け脚部が本体１３３の第２の面１４５から伸びることができ、第１の面１４３から伸びる２つの取り付け脚部は、仮想中心軸Ｑの回りに互いから１８０度の間隔で円周方向に配列され、第２の面１４５から伸びる２つの取り付け脚部は、仮想中心軸Ｑの回りに互いから１８０度の間隔で円周方向に配列され、第１の面１４３から伸びる２つの取り付け脚部は、仮想中心軸Ｑの回りに、第２の面１４５から伸びる２つの取り付け脚部から９０度の補正で円周方向に配列される。別の例において、４つの取り付け脚部が本体の第１の面１４３から伸びることができ、４つの取り付け脚部が本体１３３の第２の面１４５から伸びることができ、第１の面１４３から伸びる４つの取り付け脚部は、仮想中心軸Ｑの回りに互いから９０度の間隔で円周方向に配列され、第２の面１４５から伸びる４つの取り付け脚部は、仮想中心軸Ｑの回りに互いから９０度の間隔で円周方向に配列され、第１の面１４３から伸びる４つの取り付け脚部は、仮想中心軸Ｑの回りに、第２の面１４５から伸びる４つの取り付け脚部から４５度の補正で円周方向に配列される。