【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３６２９２４４号発明「ウエーハ用検査装置」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第３６２９２４４号の請求項１〜３５に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
　
第１　手続の経緯
　
平成１４年　２月１９日　出願（特願２００２−４２３９８号）
平成１６年１２月１７日　設定の登録（特許権者：本多エレクトロン株式会社、東芝セラミックス株式会社）
平成１７年１１月　２日　株式会社ネットインデックスへ登録名義人中本多エレクトロン株式会社の表示の変更
平成１８年　５月　１日　芝浦メカトロニクス株式会社へ本特許権中株式会社ネットインデックスの持分移転
同　　　年１１月１７日　日本エレクトロセンサリデバイス株式会社による本件審判請求
平成１９年　２月　６日　被請求人芝浦メカトロニクス株式会社、東芝セラミックス株式会社による答弁書提出
同　　　年　４月２０日　請求人による口頭審理陳述要領書提出
同　　　年　５月１１日　被請求人による口頭審理陳述要領書提出
同　　　年　５月１１日　口頭審理
　
　
第２　請求人の主張及び提示した証拠方法
　
　請求人は、審判請求書で下記の甲第１〜２８号証を、口頭審理陳述要領書で下記の甲第２９〜３２号証を提示し、本多エレクトロン株式会社を登録時権利者甲、東芝セラミックス株式会社を被請求人乙として、「本件発明は、登録時権利者甲側の林義典が請求人側の大山洋一郎にウエーハ用検査装置の開発を依頼し、請求人側の大山洋一郎、山本真一郎、藤戸学が登録時権利者甲及び被請求人乙側の技術者（特許公報では、登録時権利者甲側の林義典、西風館広幸、遊田博明、被請求人乙側の田邊淳、磯貝宏道、泉妻宏治）と共同で発明したものである」（審判請求書第６頁第８〜１２行）から、本件特許は、特許法第３８条に違反してなされたものであり、特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである旨主張している（第１回口頭審理調書の請求人側の項目１を参照）。
　なお、審判請求書第３頁の「（３）特許無効の理由の要点」では、本件特許の第１２３条第１項第６号違反（冒認出願）を請求人は主張しているが、審判請求書における無効理由全体から、上記のとおりの無効理由（第１２３条第１項第２号違反）といえ、被請求人もこれを認めている。
　
　　　　　　記
甲第１号証：特許第３６２９２４４号公報（本件特許公報）の写し
甲第２号証：２００４年９月１日付け拒絶理由通知の写し
甲第３号証：２００４年１０月１３日付け意見書の写し
甲第４号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社大山洋一郎ら作成の２０００年３月９日付け実験報告書の写し
甲第５号証：本多エレクトロン株式会社林作成の２０００年９月２７日付け電子メールの写し
甲第６号証：本多エレクトロン株式会社林義典作成の２０００年１０月１２日付けレターの写し
甲第７号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社山本作成の２０００年１０月１９日付け仕様書の写し
甲第８号証：本多エレクトロン株式会社林及び日本エレクトロセンサリデバイス株式会社山本作成の２０００年１０月２０日の打合せ議事録の写し
甲第９号証：東芝セラミックス株式会社田辺作成の２０００年１１月１日付けレターの写し
甲第１０号証：東芝セラミックス株式会社田辺淳作成の２０００年１１月８日付けレターの写し
甲第１１号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社作成の２０００年１２月１１日付け見積仕様書の写し
甲第１２号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社渡辺作成の２０００年１２月１１日付け見積書の写し
甲第１３号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社山本及び本多エレクトロン株式会社林作成の２００１年１月１８日の打合せ議事録の写し
甲第１４号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社山本及び本多エレクトロン株式会社林作成の２００１年２月６日の打合せ議事録の写し
甲第１５号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社藤戸作成の２００１年２月９日付け電子メールの写し
甲第１６号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社藤戸作成の２００１年２月９日付け電子メール（その２）の写し
甲第１７号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社藤戸作成の２００１年２月１７日付け電子メールの写し
甲第１８号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社藤戸作成の２００１年２月１９日付け電子メールの写し
甲第１９号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社藤戸作成の２００１年２月２０日付け電子メールの写し
甲第２０号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社藤戸作成の２００１年２月２３日付け電子メールの写し
甲第２１号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社藤戸作成の２００１年３月１日付け電子メールの写し
甲第２２号証：東芝セラミックス株式会社黒川作成の２００１年３月２日付け送り状及びレターの写し
甲第２３号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社藤戸作成の２００１年３月５日に作成された構成図の写し
甲第２４号証：本多エレクトロン株式会社瀬川作成の２００１年６月２３日の打合せ議事録の写し
甲第２５号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社藤戸作成の２００１年３月２１日付けレターの写し
甲第２６号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社藤戸作成の２００１年３月２６日付け仕様書の写し
甲第２７号証：本多エレクトロン株式会社小原作成の２００１年４月１２日付けの評価器材借用の依頼書の写し
甲第２８号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社作成の２００１年１０月２４日付け取扱説明書兼メンテナンスマニュアルの写し
甲第２９号証：本多エレクトロン株式会社西風館作成の平成１２年１０月３日作成の設計図面の写し
甲第３０号証：本多エレクトロン株式会社西風館ら作成の平成１２年１０月１６日付け見積り仕様書の写し
甲第３１号証：本多エレクトロン株式会社作成の平成１３年３月５日の打合せの議事録の写し
甲第３２号証：本多エレクトロン株式会社作成の平成１３年１０月１７日作成の契約に関するメモの写し
　
　
第３　被請求人の主張及び提示した証拠方法
　
　被請求人は、答弁書で下記の乙第１〜１５号証を、口頭審理陳述要領書で下記の乙第１６〜２７号証を提示し、本件特許発明は、請求人の大山洋一郎らの関与なく、林義典ら発明者によって独自になされたものであるから、本件特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当しない旨主張している（第１回口頭審理調書の被請求人側の項目１を参照）。
　　
　　　　　　記
乙第１号証：東芝セラミックス株式会社泉妻宏治作成の１９９８年９月２９日付け要求仕様書の写し
乙第２号証：本多エレクトロン株式会社林義典ら作成の１９９８年１１月２７日付け提案仕様書の写し
乙第３号証：東芝セラミックス株式会社吉川淳作成の１９９９年１０月１２日付けウエーハサンプル送り状の写し
乙第４号証：推定本多エレクトロン株式会社林義典作成の推定１９９９年１０月２３日付け撮影写真の写し
乙第５号証：推定本多エレクトロン株式会社林義典作成の湘南工科大学での平成１１年１１月５日付け日報の写し
乙第６号証：推定本多エレクトロン株式会社林義典作成の湘南工科大学での平成１１年１１月６日付け日報の写し
乙第７号証：特開平１０−３８５３９号公報
乙第８号証：本多エレクトロン株式会社林作成の２０００年９月３０日付け電子メールの写し
乙第９号証：本多エレクトロン株式会社蛯沢秀一作成の２０００年１０月１１日付け電子メールの写し
乙第１０号証：本多エレクトロン株式会社西風館設計の平成１２年１０月２３日付け作成の図面の写し
乙第１１号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社作成の２００１年１月９日付け見積仕様書の写し
乙第１２号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社山本作成の２００１年１月１８日付け納入仕様書の写し
乙第１３号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社山本作成の２００１年１月２４日付け納入仕様書の写し
乙第１４号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社藤戸作成の２００１年３月５日付け仕様書の写し
乙第１５号証：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社作成の２００１年１月８日付け作成の図面の写し
乙第１６号証：林義典が使用していたノート
乙第１７号証：DRIP（Defect Recognition，Imaging and Physics in Semiconductor）−VIIIの参加申込書
乙第１８号証：湘南工科大学寺嶋一高作成の林義典のDRIPへの参加推薦状
乙第１９号証：本多エレクトロン株式会社林義典ら作成のDRIP−VIIIに向けたAbstract（アブストラクト）の下書き（その１）
乙第２０号証：DRIP−VIIIに向けたAbstract（アブストラクト）の下書き（その２）
乙第２１号証：本多エレクトロン株式会社林義典ら作成のDRIP−VIIIに提出されたAbstract（アブストラクト）
乙第２２号証：DRIP−VIIIのProgram Chair（プログラム議長）であるMichio Tajima作成のAbstract（アブストラクト）の受け取り確認レター
乙第２３号証：DRIP−VIIIに向けたAbstract（アブストラクト）の下書き（その１）の裏面に書かれたメモ書き
乙第２４号証：DRIP−VIIIに向けたAbstract（アブストラクト）の下書き（その２）の裏面に書かれたメモ書き
乙第２５号証：本多エレクトロン株式会社と日本エレクトロセンサリデバイス株式会社との間でウエーハ端面欠陥座標検査システムについて取り交わされた覚書
乙第２６号証：本多エレクトロン株式会社作成の甲第３１号証に対応する書面
乙第２７号証：本多エレクトロン株式会社作成の甲第３２号証に対応する書面
　
　
第４　当審の判断
　
１　本件発明
　
（１）　本件の請求項１〜３５に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、設定登録時の明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜３５に記載されたとおりのものであるところ、その請求項１〜３５に係る発明は次のとおりのものである。
　
「【請求項１】　周端縁に底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチがある円盤状のウエーハを検査するウエーハ用検査装置であって、該ウエーハを回転可能に支持する支持部と、該支持部に支持されて回転させられるウエーハの周端縁を連続的に撮像する周端縁撮像部と、上記ウエーハの周端縁を照明する周端縁照明部と、上記周端縁撮像部で撮像した撮像データを処理する制御部とを備えたウエーハ用検査装置において、
　上記周端縁撮像部を、上記ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構成し、
　上記周端縁撮像部の撮像カメラを上記周端縁の厚さ方向に沿って略直線状に撮像するラインセンサで構成し、
　上記ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け、上記ノッチを照明するノッチ照明部を設け、上記制御部に該ノッチ撮像部で撮像した撮像データを処理する機能を備え、上記ノッチ撮像部を、上記ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像するエリアセンサで構成した複数の撮像カメラを配置して構成したことを特徴とするウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明１」という。）
　
「【請求項２】　上記ウエーハの周端縁は、ウエーハの面に対して略直角な側面，該側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成され、上記周端縁撮像部において、上記側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫々配置した側面用撮像カメラ，上面用撮像カメラ及び下面用撮像カメラを備え、該周端縁撮像部の各撮像カメラを、該各撮像カメラの撮像部位が上記ウエーハの周端縁の同じ位相位置を撮像し得るように配置したことを特徴とする請求項１記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明２」という。）
　
「【請求項３】　上記周端縁照明部を、上記ウエーハの周端縁の厚さ方向に沿う所定の円弧に沿って照射面を形成し該円弧の中心に向けて収束するように照射光を放光する光ファイバの集合体を備えて構成するとともに、上記周端縁撮像部の各撮像カメラが該周端縁照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置したことを特徴とする請求項２記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明３」という。）
　
「【請求項４】　上記制御部を、撮像データ処理部と、ＣＲＴ等の表示部とを備えて構成し、上記撮像データ処理部を、上記周端縁撮像部の複数の撮像カメラで撮像したウエーハの周端縁をウエーハの角度位置の位相を合わせて上記表示部に同時表示する周端縁表示手段を設けて構成したことを特徴とする請求項１，２または３記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明４」という。）
　
「【請求項５】　上記撮像データ処理部を、ウエーハの周端縁の画像データから基準にする基準輝度に対して所定以上の輝度差のあるエリアを欠陥部として認識する欠陥部認識手段と、該欠陥部認識手段が認識した欠陥部を上記表示部に座標表示する欠陥部座標表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項４記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明５」という。）
　
「【請求項６】　上記欠陥部座標表示手段を、ウエーハの周端縁の周方向に沿う角度座標を表示する角度座標表示機能と、ウエーハの周端縁の厚さ方向に沿う相対位置を表示する厚さ方向座標表示機能とを備えて構成したことを特徴とする請求項５記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明６」という。）
　
「【請求項７】　上記撮像データ処理部を、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の形状を認識する欠陥部形状認識手段と、該欠陥部形状認識手段が認識した形状を上記表示部に表示する欠陥部形状表示手段を備えて構成したことを特徴とする請求項５または６記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明７」という。）
　
「【請求項８】　上記欠陥部形状認識手段を、予め定められたしきい値に基づいて点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部のいずれかに区分けして認識する機能を備えて構成したことを特徴とする請求項７記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明８」という。）
　
「【請求項９】　上記周端縁撮像部の各撮像カメラの撮像面毎に、点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部の分布を所定の角度単位で算出する欠陥分布算出手段を備えたことを特徴とする請求項８記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明９」という。）
　
「【請求項１０】　上記周端縁撮像部の各撮像カメラの撮像面毎に、点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部の程度を所定の角度単位でランク付けする欠陥ランク付け手段を備えたことを特徴とする請求項９記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明１０」という。）
　
「【請求項１１】　上記撮像データ処理部を、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の面積を算出する欠陥部面積算出手段と、該欠陥部面積算出手段が算出した面積を上記表示部に表示する欠陥部面積表示手段と、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部が外接する外接矩形の大きさを算出する欠陥部外接矩形大きさ算出手段と、該欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した大きさを上記表示部に表示する欠陥部外接矩形大きさ表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項５，６，７，８，９または１０記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明１１」という。）
　
「【請求項１２】　上記撮像データ処理部を、上記欠陥部面積算出手段が算出した欠陥部の面積と、欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した外接矩形の大きさとから欠陥部の密度を算出する欠陥部密度算出手段と、該欠陥部密度算出手段が算出した欠陥部の密度を上記表示部に表示する欠陥部密度表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項１１記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明１２」という。）
　
「【請求項１３】　上記撮像データ処理部を、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の平均輝度を算出する欠陥部輝度算出手段と、該欠陥部輝度算出手段が算出した欠陥部の平均輝度を上記表示部に表示する欠陥部輝度表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項５，６，７，８，９，１０，１１または１２記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明１３」という。）
　
「【請求項１４】　上記撮像データ処理部を、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部に基づいて、当該ウエーハの良否を判定する良否判定手段と、該良否判定手段が判定した当該ウエーハの良否を上記表示部に表示するウエーハ良否表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項５，６，７，８，９，１０，１１，１２または１３記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明１４」という。）
　
「【請求項１５】　上記ノッチがウエーハの面に対して略直角な側面，該側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成され、上記ノッチ撮像部の撮像カメラを、上記側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫々配置したことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３または１４記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明１５」という。）
　
「【請求項１６】　上記ノッチ撮像部において、上記ノッチの底部の側面に対応した底部側面撮像カメラ，該底部の上面に対応した底部上面撮像カメラ，該底部の下面に対応した底部下面撮像カメラ，上記ノッチの一方の側部の側面に対応した一方側部側面撮像カメラ，上記ノッチの他方の側部の側面に対応した他方側部側面撮像カメラを備えたことを特徴とする請求項１５記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明１６」という。）
　
「【請求項１７】　上記ノッチ照明部を、上記ノッチに向けて照射光を放光する発光ダイオードの集合体を備えて構成するとともに、上記ノッチ撮像部の各撮像カメラが該ノッチ照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置したことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５または１６記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明１７」という。）
　
「【請求項１８】　上記ノッチ照明部を、上記ノッチに向けて照射光を放光する発光ダイオードの集合体を備えて構成するとともに、上記ノッチ撮像部の各撮像カメラが該ノッチ照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置し、上記底部上面撮像カメラ及び底部下面撮像カメラに夫々設けられ該各撮像カメラの撮像面が中央に臨むドーム状の照射面を形成し上記ノッチに向けて照射光を放光するドーム照射体と、上記底部側面撮像カメラ，一方側部側面撮像カメラ及び他方側部側面撮像カメラの撮像面が臨むスリットを形成するように設けられた略平面状の照射面を一対有し上記ノッチに向けて照射光を放光する平面照射体とを備えて構成したことを特徴とする請求項１７記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明１８」という。）
　
「【請求項１９】　上記制御部を、撮像データ処理部と、ＣＲＴ等の表示部とを備えて構成し、上記撮像データ処理部を、上記ノッチ撮像部の複数の撮像カメラで撮像したノッチの画像を上記表示部に同時表示するノッチ表示手段を設けて構成したことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７または１８記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明１９」という。）
　
「【請求項２０】　上記撮像データ処理部を、上記表示部に表示される各撮像カメラに対応するノッチの画像の最適画像範囲を、基準位置を基準にして設定する画像範囲設定手段を備えて構成したことを特徴とする請求項１９記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明２０」という。）
　
「【請求項２１】　上記基準位置を、各撮像カメラに対応してノッチの表面に行列状の点を付した基準ウエーハを撮像し、該撮像画面の行列状の点に基づいて決定することを特徴とする請求項２０記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明２１」という。）
　
「【請求項２２】　上記撮像データ処理部を、ノッチの画像データから基準にする基準輝度に対して所定以上の輝度差のあるエリアを欠陥部として認識する欠陥部認識手段と、該欠陥部認識手段が認識した欠陥部を上記表示部に座標表示する欠陥部座標表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項１９，２０または２１記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明２２」という。）
　
「【請求項２３】　上記撮像データ処理部を、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の形状を認識する欠陥部形状認識手段と、該欠陥部形状認識手段が認識した形状を上記表示部に表示する欠陥部形状表示手段を備えて構成したことを特徴とする請求項２２記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明２３」という。）
　
「【請求項２４】　上記欠陥部形状認識手段を、予め定められたしきい値に基づいて点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部のいずれかに区分けして認識する機能を備えて構成したことを特徴とする請求項２３記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明２４」という。）
　
「【請求項２５】　上記撮像データ処理部を、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の面積を算出する欠陥部面積算出手段と、該欠陥部面積算出手段が算出した面積を上記表示部に表示する欠陥部面積表示手段と、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部が外接する外接矩形の大きさを算出する欠陥部外接矩形大きさ算出手段と、該欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した大きさを上記表示部に表示する欠陥部外接矩形大きさ表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項２２，２３または２４記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明２５」という。）
　
「【請求項２６】　上記撮像データ処理部を、上記欠陥部面積算出手段が算出した欠陥部の面積と上記欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した外接矩形の大きさとから欠陥部密度を算出する欠陥部密度算出手段と、該欠陥部密度算出手段が算出した欠陥部の密度を上記表示部に表示する欠陥部密度表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項２５記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明２６」という。）
　
「【請求項２７】　上記撮像データ処理部を、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の平均輝度を算出する欠陥部輝度算出手段と、該欠陥部輝度算出手段が算出した欠陥部の平均輝度を上記表示部に表示する欠陥部輝度表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項２２，２３，２４，２５または２６記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明２７」という。）
　
「【請求項２８】　上記撮像データ処理部を、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部に基づいて、当該ウエーハの良否を判定するウエーハ良否判定手段と、該ウエーハ良否判定手段が判定した当該ウエーハの良否を上記表示部に表示するウエーハ良否表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項２２，２３，２４，２５，２６または２７記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明２８」という。）
　
「【請求項２９】　上記支持部を、中心軸を回転中心として回転可能に設けられ該中心軸を中心とする円周上に上記ウエーハの周端縁を支承する複数の支承フィンガを備えた支承盤と、該支承盤を回転させる駆動部とを備えて構成したことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，１９，２０，２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７または２８記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明２９」という。）
　
「【請求項３０】　上記支承フィンガを、上記中心軸側に向けて下に傾斜する上記ウエーハの周端縁を支承する支承面を備えて構成したことを特徴とする請求項２９記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明３０」という。）
　
「【請求項３１】　上記支持部を、上記支承盤の支承フィンガに支承されたウエーハの支承位置を可変にする支承位置可変機構を備えて構成したことを特徴とする請求項２９または３０記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明３１」という。）
　
「【請求項３２】　上記支承位置可変機構を、上記支承盤と同軸の中心軸を中心に相対回転可能に設けられ該中心軸を中心とする円周上に上記ウエーハの周端縁を担持可能な複数の担持フィンガを備えるとともに該担持フィンガを上記支承盤の支承フィンガより上位の位置であって該ウエーハを担持して持ち上げる担持位置及び該支承フィンガより下位の位置であって該ウエーハを上記支承フィンガに受け渡す受渡位置の２位置に移動可能な担持盤と、該担持盤を上記担持位置及び受渡位置の２位置に移動させる移動機構とを備えて構成したことを特徴とする請求項３１記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明３２」という。）
　
「【請求項３３】　ウエーハの貯留部から検査対象のウエーハを搬送して上記支持部の支承盤の支承フィンガに該ウエーハを芯出しして支承させるウエーハ搬送部を備えたことを特徴とする請求項２９，３０，３１または３２記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明３３」という。）
　
「【請求項３４】　上記ウエーハ搬送部を、該ウエーハの周端縁に係合する係合部を備えるとともに該係合部を係合させて該ウエーハを該ウエーハの面方向に挾持して把持する把持位置及び該把持を解除する把持解除位置の２位置に相対移動可能な一対の把持ハンドを備えて構成し、上記係合部に上記把持位置で該ウエーハに弾接する弾接体を設けたことを特徴とする請求項３３記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明３４」という。）
　
「【請求項３５】　上記支持部に支持されて回転させられるウエーハの直径を計測する直径計測部を設けたことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，１９，２０，２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９，３０，３１，３２，３３または３４記載のウエーハ用検査装置。」（以下、「本件発明３５」という。）
　
　
（２）　設定登録時の明細書の発明の詳細な説明には、次の記載があることが認められる。
　
ア　「以上説明したように、本発明のウエーハ用検査装置によれば、ウエーハの周端縁撮像部を、ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構成したので、複数の撮像カメラがウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像することから、ウエーハの周端縁が面取りされていても、撮像カメラの位置を逐一移動させることなく、厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき、操作性を向上させることができるとともに、撮像精度を向上させることができる。
そして、撮像カメラをラインセンサで構成した場合には、周端縁を狭い幅で撮像してこれを連続させることができ、解像度が良く、撮像精度を向上させることができる。」（第２１頁第２７〜３５行）
　
　
イ　「また、ウエーハの周端縁がウエーハの面に対して略直角な側面，この側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成された場合、側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫々配置した側面用撮像カメラ，上面用撮像カメラ及び下面用撮像カメラを備えた場合には、ウエーハの周端縁の各面を明瞭にしかも同時に撮像でき、操作性を向上させることができるとともに、撮像精度を向上させることができる。
更に、各撮像カメラを、各撮像カメラの撮像部位がウエーハの周端縁の同じ位相位置を撮像し得るように配置した場合には、撮像カメラを集約できるので、装置をコンパクトにすることができる。」（第２１頁第３６〜４５行）
　
　
ウ　「この構成において、ウエーハの周端縁を照明する周端縁照明部を設け、この周端縁照明部を、ウエーハの周端縁の厚さ方向に沿う所定の円弧に沿って照射面を形成し該円弧の中心に向けて収束するように照射光を放光する光ファイバの集合体を備えて構成するとともに、各撮像カメラが周端縁照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置した場合には、各撮像カメラは、Ｃ型の周端縁照明部からの照明を正反射で受けるよう配置されているので、周端縁の各面を明瞭に撮像でき、特に、欠陥を良く撮像でき、この点でも撮像精度を向上させることができる。」（第２１頁第４６行〜第２２頁第２行）
　
　
エ　「そして、本発明において対象とするウエーハは、その周端縁に底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチがあるウエーハであり、本発明は、ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け、このノッチ撮像部を、ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置した構成にしたことから、複数の撮像カメラでノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像するので、ノッチが面取りされていても、撮像カメラの位置を逐一移動させることなく、厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき、操作性を向上させることができるとともに、撮像精度を向上させることができる。
また、撮像カメラを面状に撮像するエリアセンサで構成した場合には、ウエーハを回転させることなく、一時に撮像できる。」（第２３頁第４〜１３行）
　
　
オ　「そしてまた、ノッチがウエーハの面に対して略直角な側面，この側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成された場合、撮像カメラを、側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫々配置した構成とした場合には、ノッチの各面を明瞭にしかも同時に撮像でき、操作性を向上させることができるとともに、撮像精度を向上させることができる。」（第２３頁第１４〜１８行）
　
　
カ　「この場合、ノッチの底部の側面に対応した底部側面撮像カメラ，底部の上面に対応した底部上面撮像カメラ，底部の下面に対応した底部下面撮像カメラ，ノッチの一方の側部の側面に対応した一方側部側面撮像カメラ，ノッチの他方の側部の側面に対応した他方側部側面撮像カメラを備えた場合には、ノッチの各面を明瞭にしかも同時に撮像でき、操作性を向上させることができるとともに、撮像精度を向上させることができる。」（第２３頁第１９〜２３行）
　
　
キ　「また、ノッチを照明するノッチ照明部を設け、ノッチ照明部を、ノッチに向けて照射光を放光する発光ダイオードの集合体を備えて構成するとともに、各撮像カメラがノッチ照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置した場合には、ノッチ照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置されているので、ノッチの各面を明瞭に撮像でき、特に、欠陥を良く撮像でき、この点でも撮像精度を向上させることができる。」（第２３頁第２５〜３０行）
　
　
ク　「更に、ノッチ照明部を、底部上面撮像カメラ及び底部下面撮像カメラに夫々設けられ各撮像カメラの撮像面が中央に臨むドーム状の照射面を形成しノッチに向けて照射光を放光するドーム照射体と、底部側面撮像カメラ，一方側部側面撮像カメラ及び他方側部側面撮像カメラの撮像面が臨むスリットを形成するように設けられた略平面状の照射面を一対有しノッチに向けて照射光を放光する平面照射体とを備えて構成した場合には、ノッチを照明するノッチ照明部が、ドーム照射体及び平面照射体を備え、ノッチを良く照明するとともに、各撮像カメラは、ノッチ照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置されているので、ノッチの各面を明瞭に撮像でき、特に、欠陥を良く撮像でき、この点でも撮像精度を向上させることができる。」（第２３頁第３１〜３９行）
　
　
（３）　以上の明細書の記載からすれば、本件発明１は、特に「周端縁に底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチがある円盤状のウエーハを検査するウエーハ用検査装置であって、回転させられるウエーハの周端縁を連続的に撮像する周端縁撮像部と、上記ウエーハの周端縁を照明する周端縁照明部と、上記周端縁撮像部で撮像した撮像データを処理する制御部とを備えたウエーハ用検査装置において、上記周端縁撮像部を、上記ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構成し、上記周端縁撮像部の撮像カメラを上記周端縁の厚さ方向に沿って略直線状に撮像するラインセンサで構成し、上記ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け、上記ノッチを照明するノッチ照明部を設け、上記制御部に該ノッチ撮像部で撮像した撮像データを処理する機能を備え、上記ノッチ撮像部を、上記ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像するエリアセンサで構成した複数の撮像カメラを配置した構成」（以下、「技術的特徴ａ」という。）により、上記ア及びエの効果を奏するものと認められる。
　そして、本件発明２の構成（以下、「技術的特徴ｂ」という。）により上記イの効果を、本件発明３の構成（以下、「技術的特徴ｃ」という。）により上記ウの効果を、本件発明１５の構成（以下、「技術的特徴ｄ」という。）により上記オの効果を、本件発明１６の構成（以下、「技術的特徴ｅ」という。）により上記カの効果を、本件発明１７の構成（以下、「技術的特徴ｆ」という。）により上記キの効果を、本件発明１８の構成（以下、「技術的特徴ｇ」という。）により上記クの効果を、それぞれ奏するものと認められる。
　
　
２　証拠の記載事項等
　
　当事者間に成立について争いのない証拠（甲第１〜３０号証、乙第１〜１５，１７〜２２，２５〜２７号証、第１回口頭審理調書の請求人側の項目２及び被請求人側の項目２参照）及び両当事者の主張によれば、時系列的にみて以下のとおりの事実が認められる。
　
　
（１）　１９９８年９月頃より、本多エレクトロン株式会社（以下、「本多エレクトロン」という。）は、東芝セラミックス株式会社（以下、「東芝セラミックス」という。）向けのウエーハエッジ検査装置の開発を行っていた。（乙第１〜６号証）
　
　乙第１号証の東芝セラミックスの泉妻宏治（以下、「東芝セラミックス泉妻」という。）による「要求仕様書」の「品名」には、ウエーハエッジ検査装置と記載され、「用途、目的、性能」には、シリコンウエーハ外周部（端面）上のキズ、カケ等の不良を非接触にて検出することが記載されている。
　乙第２号証の本多エレクトロンの林義典（以下、「本多エレクトロン林」という。）による「東芝セラミックス（株）開発研究所向け　ＳＷＩ１２０４Ｃ用１２インチ端面検査システム改造提案仕様」の「品名」には、ウェーハエッジ検査装置と記載され、「用途、目的、性能」には、シリコンウェーハ外周部（端面）上のキズ、カケ等の不良を非接触にて検出することが記載されている。
　
　
（２）　２０００年９月頃より、東芝セラミックス向けの本多エレクトロン製端面欠陥座標計測装置の端面検査ユニットを日本エレクトロセンサリデバイス株式会社（以下、「ＮＥＤ」という。）が担当することとなった。（甲第５号証、乙第８号証、乙第９号証、甲第３０号証、甲第７号証）
　
　甲第５号証の本多エレクトロン林による電子メールには、
「最終納め先：東芝セラミックス株式会社
　・・・
　必要書類：
　１．本多エレクトロン社製：端面欠陥座標計測装置提案仕様書（１次提出）
　・・・
　３．ＮＥＤ殿社製：端面検査ユニット提案仕様書」と記載されている。
　
（３）　２０００年１０月２０日に、ＮＥＤ技術センターにおいて、ＮＥＤの大山洋一郎（以下、「ＮＥＤ大山」という。）、ＮＥＤの山本真一郎（以下、「ＮＥＤ山本」という。）、ＮＥＤの藤戸学（以下、「ＮＥＤ藤戸」という。）、本多エレクトロンの蛯沢（以下、「本多エレクトロン蛯沢」という。）、本多エレクトロンの遊田博明（以下、「本多エレクトロン遊田」という。）、本多エレクトロン林、東芝セラミックスの田辺淳（以下、「東芝セラミックス田辺」という。）らが出席して、φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置仕様打合せが行われた。（甲第８号証）
　
　甲第８号証の本多エレクトロン林による議事録には、
「２．画像処理について
１）「φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置画像処理部仕様」をＴＣ殿←ＮＥＤ殿
・・・
４）ベベルの形状について回答するものとする。（データ、種類）　ＴＣ殿→ＮＩＣ殿11/1
・・・
９）ノッチの欠陥サンプルをＴＣ殿に送付頂くものとする。ＴＣ殿→ＮＥＤ殿11/1発送
１０）ノッチは検査の手方を検討して頂く。要回答　ＮＥＤ殿→弊社11/13
１１）ベベルの限度見本サンプルを送付頂くものとする。　ＴＣ殿→ＮＥＤ殿11/1発送
１２）カメラ、照明等の光学配置を再検討し回答するものとする。　ＮＥＤ殿→弊社11/13」
と記載され、
甲第８号証のＮＥＤ山本による打合せ記録には、
「ノッチ内部も検査したい→サンプルを頂く。（11/1発送）
　　　　ノッチに多い欠陥は　欠け、非ミラー、ヒビ割れ（林氏）
　　　　レンズ系、照明を検討する
　　・ベベル形状は11/1発送　東セラ殿→日商→本多→ＮＥＤ
    　　    設計データ、サンプル含む（ノッチサンプル含む）　着は11/6
　　  カメラ位置回答は〜11/13　ＮＥＤ→本多」
と記載されている。
　
　
（４）　平成１２年１０月２３日（２０００年１０月２３日）付けで「自動端面欠陥座標計測装置カメラ取付範囲図」が、本多エレクトロンの西風館広幸（以下、「本多エレクトロン西風館」という。）の設計により作成された。（乙第１０号証）
　
　乙第１０号証の図面には、３つで１組のカメラが２組示されている。
　
　
（５）　２０００年１１月１日付けの「３００ｍｍウェーハ端面検査装置について」と題するレターが、東芝セラミックス田辺から、ＮＥＤ山本らに送られた。（甲第９号証）
　
　甲第９号証のレターには、Ｔｙｐｅ−Ａ、Ｔｙｐｅ−Ｂのウエーハの形状を示した図面が記載され、同図には、周端縁に底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチが示されている。
　
　
（６）　２００１年１月８日付けで「Wafer Edge Inspection System」の「Outline」図面が、ＮＥＤ側で作成された。（乙第１５号証）
　
　
（７）　２００１年１月１８日に、本多エレクトロン本社において、本多エレクトロン林・蛯沢、ＮＥＤ大山・山本らが出席して、φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置画像処理部仕様打合せが行われた。（甲第１３号証）
　
　甲第１３号証のＮＥＤ山本による打合せ記録には、
「ノッチベベル部画像取り込みする・・・
　エリア　ラインセンサの画像表示倍率合わせる
　・・・仕様書1/26再提出」
と記載され、
甲第１３号証の本多エレクトロン林による議事録には、
「３．提出物（本日）
　１）φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置画像処理部→ＮＥＤ殿→弊社
　２）自動端面欠陥座標計測装置カメラ取付範囲図　　　→ＮＥＤ殿←弊社
　３）白板資料（この内容に基づき仕様書を修正するものとする。）８頁
　４．今後のアクションアイテム
　・・・
　２）仕様書の再提出日−1/26迄　ＮＥＤ殿→弊社
　３）ノッチの評価実験−1/26迄　　　　〃　　　」
と記載されている。
　そして、甲第１３号証の本多エレクトロン林により記載された白板資料には、画像処理システム仕様を、エリアセンサー１、エリアセンサー２、ラインセンサー１、ランセンサー２、ラインセンサー３を有する構成に変更し、ノッチのベベル上面をラインセンサーで、ノッチ側面の左側をエリアセンサー１で、ノッチ側面の右側をエリアセンサー２で、ノッチのベベル下面をランセンサーで撮影することが示されている。
　
　
（８）　２００１年２月６日に、ＮＥＤ技術センターにおいて、本多エレクトロン蛯沢・林、ＮＥＤ大山・山本が出席して、自動端面欠陥座標計測装置画像処理部仕様打合せが行われた。（甲第１４号証）
　
　甲第１４号証のＮＥＤ山本による打合せ記録には、
「１１．日程
　　　　仕様書見直し　　　　　（ＮＥＤ→本多殿）　　〜2/26着
　　　　８インチノッチテスト　（ＮＥＤ→本多殿）　　〜2/9着
　　　　１２インチ実験方法案　　（本多殿→ＮＥＤ）　〜2/16着　」
と記載され、
甲第１４号証の本多エレクトロン林による議事録には
「２．アクションアイテムの確認
　１）ＮＥＤ殿仕様書再提出　　　　　　　　−ＮＥＤ殿→弊社　2/26着
　２）８インチウェーハのノッチ実験結果提出−ＮＥＤ殿→弊社　2/9着
　３）弊社３００ｍｍ端実験用要領提出　　　−ＮＥＤ殿←弊社　2/16着」
と記載されている。
　
　
（９）　２００１年２月９日に、ＮＥＤ藤戸より、本多エレクトロン林に電子メールが送られた。（甲第１５号証、甲第１６号証）
　
　甲第１５〜１６号証の電子メールには、二次元ＣＣＤカメラによるノッチ端面画像（ノッチ左側面、ノッチ右側面）と、ラインセンサカメラによるノッチベベル面画像を送る旨が記載されている。
　
　
（１０）　２００１年２月１７日から同年２月２３日にかけて、ＮＥＤ藤戸より、ＮＥＤ大山に電子メールが送られた。（甲第１７〜２０号証）
　
　甲第１７号証の２００１年２月１７日付け電子メール及び甲第１８号証の同年２月１９日付け電子メールには、ノッチベベル面をラインセンサカメラで撮影したこと、ノッチ端面（側面）をエリアセンサカメラで撮影したこと、ノッチ端面は、「照明１で、十分な照度が得られ」たが、ノッチベベル面は、「上記いずれの照明でも、かなり暗く、実用レベルでは」ないこと、「ノッチベベル面を他のベベル面と同様にラインセンサカメラで見るというのは照明が煩雑になります。エリアセンサカメラで見るのが実用的と思います。またノッチをエリアセンサカメラで見る場合、上、横、下の３箇所から見るというのが妥当ではないでしょうか。ノッチのすべての面を正面から見る必要は本当にあるのでしょうか？」と記載されている。
　甲第１９号証の２００１年２月２０日付け電子メールには、
「本日は、Ｃ型リング照明に加え、ＰＧＡ検査装置で使用しているスポット状のライトガイドを用いて、ノッチおよびその近傍のベベル面を撮ってみました。添付画像をご覧ください。二つの画像はそれぞれ、Ｃ型リングの右側からスポット照明を与えたもの、および、Ｃ型リングの左側からスポット照明を与えたものです。後者は、Ｃ型リングが障壁になり前者と同様の照明ができませんでした。この方法がうまく行ったとしても、ラインセンサ用に照明が５つ必要になります。・・・それとも、ノッチのベベル面はエリアセンサカメラで見るように、方針を変えるというのはいかがでしょうか？」
と記載されている。
　甲第２０号証の２００１年２月２３日付け電子メールには、
「ノッチの端面の画像で、暗い領域があり、レンズがテレセンのためと思っていましたが、普通のレンズで見ても、同様でした（添付画像をご覧ください）。これまでの実験からは、ノッチの撮影は次の構成になるかと思います。
　上下ベベル：それぞれカメラ一台、円錐上ＬＥＤ照明一つ。
　ノッチ側面：左右、それぞれカメラ１台、メタハラ面照明２枚（間から覗きます）。
　ノッチ正面：カメラ１台、照明は上記メタハラ面照明を併用。
カメラは計５台、照明はＬＥＤが２個、メタハラが４個になります。」
と記載されている。
　
　
（１１）　２００１年３月１日に、ＮＥＤ藤戸より、本多エレクトロン林に電子メールが送られた。（甲第２１号証）
　
　甲第２１号証の電子メールには、
「ノッチベベル面の撮影をラインセンサカメラで行うことを断念し、エリアカメラに切り替えた理由を記します。添付画像をご覧下さい。左は、Ｃ型メタハラ照明のみの場合で、光軸のやや左側より照射しています。右は、それに加え、光軸の右側に１００Ｗの白熱電球を配置したものです。左側面が見えるようになりましたが、右側面用にもう一つ電球が必要です。結局、上下で計４個の電球が必要になり、照明が非常に煩雑になります。また、電球は、破損、寿命の問題もあります。・・・一方、エリアカメラで撮影したノッチベベル面は、分解能はラインセンサカメラの場合に比べ劣りますが、十分なものが得られていると思います。現在使用中のＬＥＤ照明を使えば、さらに照度、均一性は上がります。これから撮ります。ノッチ側面についても、本日、同じ照明で撮影します。」
と記載されている。
　
　
（１２）　２００１年３月５日に、ＮＥＤ大山・山本、本多エレクトロン蛯沢・遊田・西風館・林が出席して、自動端面欠陥座標計測システム極秘ミーティングが行われた。（乙第２６号証）
　
　乙第２６号証の本多エレクトロン側による議事録には、
「１．目的１）８”ウェーハサンプルの取得画像評価
　　　　　２）１２”ウェーハサンプルの評価実験検討
２．内容１）８”ウェーハサンプルの撮像方式について
　　　　　　　１　カメラ台数の確認　（現状５台→？）
　　　　　　　・・・
　　　　　　　４　照明レイアウト〃　（現状３灯→？）
　　　　　２）１２”ウェーハサンプルの評価実験検討
　　　　　　　１　カメラ台数の確認　（現状５台→？）
　　　　　　　・・・
　　　　　　　４　照明レイアウト〃　（現状３灯→？）
３．進捗１）提案仕様書（本体）　　　　　提出済H12,12,1　ＴＣ殿←弊社
　　　　２）　　〃　　（画像処理）　　　提出済H13,01,24  　　　　弊社
←ＮＥＤ殿
　　　　３）納入仕様書（本体）　　　　　予定  H13,05,E   ＴＣ殿←弊社
　　　　４）　　〃　　（画像処理）　　　予定  H13,05,E     〃  ← 〃
←ＮＥＤ殿
　　　　５）１２”ウェーハサンプ評価実験　〃  H13,05,E   　〃  ←〃
←　〃
　　　　６）　　〃　　　　　　　確定〃  　〃　H13,06,E     〃  ←〃 
←　〃
　　　　・・・
４．Agenda
　・・・
　１３：１０　実験機器と方法の説明　　　　　大山副社長殿　＆　山本チーフ殿
　１３：２０　取得済画像の説明　　　　　　　　　〃　　　　＆　　〃
　１３：４０　画像取得デモ第１回　　　　　　　　〃　　　　＆　　〃
　１３：５０　取得画像の説明　　　　　　　　　　〃　　　　＆　　〃
　１４：００　打ち合せ，及びカメラの段取り換え　〃　　　　＆　　〃
　１４：３０　画像取得デモ第２回　　　　　　　　〃　　　　＆　　〃
　１４：４０　取得画像の説明　　　　　　　　　　〃　　　　＆　　〃
  ・・・
LW−３００DX仕様打ち合せ
１．仕様書内容の確認
１）５ページ３搬送装置仕様は削除とする。　  　　　    ＮＥＤ殿→弊社
２）８ページファイバーケーブル長を確認するものとする。ＮＥＤ殿→弊社
　・・・
５）１２ページノッチ部の取り込みを先にするとして修正　  　　　〃
６）１２ページエリアカメラ２台→５台  　　　　　　　　　　　　〃  」
と記載されている。
　
　
（１３）　２００１年３月５日付けで、本多エレクトロン宛「φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置　ＬＷ−３００ＤＸ　仕様書」がＮＥＤ藤戸により作成された。（乙第１４号証）
　
　乙第１４号証の仕様書の第５頁の「II　仕様」には、「１．概要」、「２．対象物仕様」、「３．搬送装置仕様」、「４．画像処理部仕様」が記載され、「３．搬送装置仕様」が手書きで削除されている。
　「４．画像処理部仕様」については、後述の甲第２６号証の第５頁の端面検出光学系とノッチ部検査光学系と同様のものが記載されている。
　第７〜８頁の「III.システム仕様」には、甲第２６号証の第８〜９頁に示されたカメラ構成及び装置構成図と同様のものが記載されている。
　第１２頁の「４．検査手順」には、「ラインセンサ３台とエリアカメラ２台で画像を取り込みます。・・・ラインセンサで取り込んだ後、エリアカメラでノッチ部を取り込みます。」と記載され、「エリアカメラ２台」の「２」が手書きで「５」に修正されている。
　
　
（１４）　２００１年３月５日付けで、ウェーハエッジ検査装置ノッチ検査用光学系図面がＮＥＤ藤戸により作成された。（甲第２３号証）
　
　
（１５）　２００１年３月２６日付けで、本多エレクトロン宛「φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置　ＬＷ−３００ＤＸ　仕様書」がＮＥＤ藤戸により作成された。（甲第２６号証）
　
　甲第２６号証の仕様書第１頁の「用途」には、「φ３００ｍｍシリコンウエハー端面欠陥座標計測装置画像処理部」と記載されている。
　第２頁の「２．１号機検収条件」には、「ウエハー端面（上面ベベル・側面・下面ベベル）の良質な画像を撮像出来ること。」と記載されている。
　第５〜６頁の「II　仕様」には、「１．概要」、「２．対象物仕様」、「３．画像処理部仕様」が記載されている。
　「２．対象物仕様」には、「（２）ウエハー端面形状　ユーザー提供別紙＜Ｔｙｐｅ−Ａ，Ｔｙｐｅ−Ｂウエハー端面／ノッチ形状＞資料に準ずる」と記載されている。
　「３．画像処理部仕様」には、端面検出光学系のラインセンサカメラとして、１０２４画素高速デジタルラインセンサカメラ（３台）を、端面検出光学系のレンズとして、３．５倍テレセントリックタイプ（３本）を、端面検出光学系の照明として、高輝度メタルハライドランプ（１台）及びライトガイド（特殊C型リングライト）を、ノッチ部検出光学系のエリアＣＣＤカメラとして、７６８×４９４画素カメラ（５台）を、ノッチ部検出光学系のレンズとして、２．０倍高解像度レンズ（５本）を、ノッチ部検出光学系の照明として、ＬＥＤ無影照明　ベベル部（２本）及びＬＥＤ面照明　側面（３本）を、それぞれ用いることが示されている。
  第８頁の「２．１カメラ構成」には、「エッジは、表面、側面、裏面の３方向より、３台のラインセンサカメラで取り込みます。但し、ノッチ部側面については、エリアカメラにて５方向からみるものとします。」と記載され、図面には、エリアカメラ２（ノッチ左側面観察用）、エリアカメラ３（ノッチ右側面観察用）、エリアカメラ４（ノッチ上ベベル用）、エリアカメラ１（ノッチ底面用）、エリアカメラ５（ノッチ下ベベル用）、ラインセンサ２（表面観察用）、ラインセンサ１（側面観察用）、ラインセンサ３（裏面観察用）が記載されている。また、ウエハーが回転させられること、ラインセンサ１〜３は、ウエハーのエッジの同じ位相位置を観測し得るように配置されていることが示されている。
　第９頁の「２．２装置構成図」には、エリアカメラ１〜５及びラインセンサカメラ１〜３からのデータを処理するパソコンが示されている。
　
　
（１６）　平成１３年４月１２日（２００１年４月１２日）に、ＮＥＤ大山・山本宛で、本多エレクトロン西風館らにより作成された評価器材借用の依頼書が送られた。（甲第２７号証）
　
　甲第２７号証の依頼書には、平成１３年３月５日の打合せで本多エレクトロン側が評価器材借用を依頼した旨が記載され、「φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置　評価機材借用品リスト」には、端面検出光学系として、ラインセンサカメラ３台、レンズ３本、高輝度メタルハライドランプ１台等が、ノッチ部検出光学系として、エリアＣＣＤカメラ５台、レンズ５本、ＬＥＤ無影照明２本、ＬＥＤ面照明３本が記載され、「ＬＥＤ無影照明２本」の「本」が「個」に、「ＬＥＤ面照明３本」の「３本」が「２個」に、それぞれ手書きで修正されている。
　
　
（１７）　Ｈ１３．１０．１７（２００１年１０月１７日）付けで、ＮＥＤ藤戸、本多エレクトロン林・西風館らにより、契約に関するメモが作成された。（乙第２７号証）
　
　乙第２７号証のメモの「ＮＥＤ殿の申し入れ事項」には、「ＬＷ−３００ＤＸの光学販売権はＮＥＤにあると主張」と記載され、「本多見解」には、「ＬＷ−３００−ＤＸの光学部販売権はＮＥＤ殿と本多にあると主張」と記載されている。
　
　
（１８）　２００１年１０月２４日付けで、本多エレクトロン宛「φ３００mmウェーハ端面欠陥座標検査システム　初号機及びその開発　LW-300DX-1A　取扱説明書兼メインテナンスマニュアル」がＮＥＤ藤戸により作成された。（甲第２８号証）
　
　甲第２８号証の取扱説明書第３頁の「図１−１．光学系概観」には、「エリアセンサカメラ、ＬＥＤ照明（ノッチ観察用）」、「ラインセンサカメラ（エッジ上面観察用）」、「ラインセンサカメラ（エッジ側面観察用）」、「ラインセンサカメラ（エッジ下面観察用）」、「Ｃ型ライトガイド」、「メタルハライド光源」、「ラインセンサカメラ取り付けステージ」、「ラインセンサカメラ取り付けステージ固定台」が記載されている。
　第４〜１１頁の「２．ラインセンサの光学系」には、「各ラインセンサは、Ｃ型ライトガイドからの照明を、正反射で受けるよう配置します。」、「図2-6は、Ｃ型照明を、ファイバ接続部のファイバ軸まわりに少し回転させ」と記載され、図2-8には、Ｃ型ライトガイドが、ウエーハのエッジの厚さ方向に沿う所定の円弧に沿って照射面を形成し該円弧の中心に向けて収束するように配置されていることが示されている。
　第１２頁の「３．ラインセンサの取り付け、調整手順」には、「側面、上面、下面用の各カメラ取り付けステージを、垂直に立った固定台の側面に取り付けます」と記載されている。
　第１４頁の「４．エリアセンサの光学系」には、「図では、角型照明と円錐状同軸無影照明がウェーハ上に映っていますが、実際も、このようにウェーハに対して上下に対象に照明が配置されています（ウェーハが透けているとイメージしてください）。
　ノッチ部側面にあたる、底面、左側面、右側面は、２枚の角型照明の隙間から覗く形で撮影します。隙間は５ｍｍ程度が適当です。
　上、下テーパ面は、円錐状同軸無影照明の中央部から覗く形で撮影します。」と記載されている。
　第１５頁の「５．エリアセンサの取り付け、調整手順」には、「照明に関しても、光軸方向に移動させ、最適な場所を探します。」と記載されている。
　第１６頁の「６．構成品リスト」には、ラインセンサ光学系のラインセンサカメラ３個、ラインセンサ光学系のメタルハライドランプ１個、ラインセンサ光学系のＣ型ライトガイド１個、エリアセンサ光学系のエリアセンサカメラ５個、エリアセンサ光学系のＬＥＤ照明器（１）２個、エリアセンサ光学系のＬＥＤ照明器（２）２個が記載されている。
　第１８頁の「８．保守体制」には、「お問合せ先：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社ＥＭＩ事業部　担当：藤戸」と記載されている。
　
　
（１９）　平成１３年１１月１日（２００１年１１月１日）付けで、本多エレクトロンとＮＥＤにより、覚書が作成された。（乙第２５号証）
　
　乙第２５号証の覚書には、双方は、本多エレクトロンがウェハー端面欠陥座標検査システムを１０月度に検収する条件を確認したこと、条件の一つが、ＮＥＤは、ウェハー端面欠陥座標検査システムに係る情報を第三者に公開する場合、事前に本多エレクトロンの同意を得ることである旨が記載されている。
　
　
（２０）　２００２年２月１９日に、本多エレクトロンと東芝セラミックスは、本多エレクトロン林、本多エレクトロン西風館、本多エレクトロン遊田、東芝セラミックス田辺、東芝セラミックスの磯貝宏道、東芝セラミックス泉妻を発明者とする本件の特許出願をした。
　
　
（２１）　本多エレクトロンとＮＥＤとの間で、本件発明の特許出願に関する取り決めはない。（第１回口頭審理調書の請求人側の項目４及び被請求人側の項目５）
　
　
３　判断
　
（１）　甲第２６号証及び甲２８号証について検討する。
　
ア　上記２（１５）によれば、甲第２６号証の仕様書には、用途がφ３００ｍｍシリコンウエハー端面欠陥座標計測装置画像処理部であること、ウエハー端面が、側面、上面ベベル、下面ベベルを有すること、ノッチは、ノッチ左側面、ノッチ右側面、ノッチ上ベベル、ノッチ底面、ノッチ下ベベルを備えていること、画像処理部は、端面検出光学系のラインセンサカメラ（３台）、端面検出光学系の照明、ノッチ部検出光学系のエリアＣＣＤカメラ（５台）、ノッチ部検出光学系の照明、及びパソコンを有すること、端面検出光学系のラインセンサカメラ（３台）は、ラインセンサ２（表面観察用）、ラインセンサ１（側面観察用）、ラインセンサ３（裏面観察用）であること、ノッチ部検出光学系のエリアＣＣＤカメラ（５台）は、エリアカメラ２（ノッチ左側面観察用）、エリアカメラ３（ノッチ右側面観察用）、エリアカメラ４（ノッチ上ベベル用）、エリアカメラ１（ノッチ底面用）、エリアカメラ５（ノッチ下ベベル用）であること、パソコンは、エリアカメラ１〜５及びラインセンサカメラ１〜３からのデータを処理するものであること、ラインセンサ１〜３は、ウエハーのエッジの同じ位相位置を観測し得るように配置されていることが示されている。また、ウエハーは回転させられていることから、３台のラインセンサカメラは、ウエハー端面を連続的に観測するものと認められる。
　
　
イ　甲第２６号証に記載される「ウエハー端面」は、本件発明１の「周端縁」に相当し、以下同様に、「ノッチ」は「底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチ」に、「ウエハー」は「円盤状のウエーハ」に、「φ３００ｍｍシリコンウエハー端面欠陥座標計測装置」は「ウエーハ用検査装置」に、「観測」及び「観察」は「撮像」に、「端面検出光学系のラインセンサカメラ（３台）」は「周端縁撮像部」に、「端面検出光学系の照明」は「周端縁照明部」に、「パソコン」は「制御部」に、「ノッチ部検出光学系のエリアＣＣＤカメラ（５台）」は「ノッチ撮像部」に、「ノッチ部検出光学系の照明」は「ノッチ照明部」に、「エリアカメラ」は「エリアセンサ」に、それぞれ相当しており、ラインセンサ２、ラインセンサ１、ラインセンサ３が、それぞれ表面観察用、側面観察用、裏面観察用であることから、ラインセンサ１〜３は、ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像しているといえ、エリアカメラ４、エリアカメラ１、エリアカメラ５が、それぞれノッチ上ベベル用、ノッチ底面用、ノッチ下ベベル用であることから、エリアカメラ４，１，５は、ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像しているといえるから、甲第２６号証には、技術的特徴ａが記載されている。
　
　
ウ　甲第２６号証に記載されるウエハー端面の「側面」は、本件発明２の「ウエーハの面に対して略直角な側面」に相当し、以下同様に、ウエハー端面の「上面ベベル」及び「下面ベベル」は「該側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面」に、「ラインセンサ１（側面観察用）」は「側面用撮像カメラ」に、「ラインセンサ２（表面観察用）」は「上面用撮像カメラ」に、「ラインセンサ３（裏面観察用）」は「下面用撮像カメラ」に、それぞれ相当しているから、甲第２６号証には、技術的特徴ｂが記載されている。
　
　
エ　甲第２６号証に記載される「ノッチ底面」、「ノッチ上ベベル」及び「ノッチ下ベベル」は、本件発明１５の「ウエーハの面に対して略直角な側面」、「該側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面」に、それぞれ相当しているから、甲第２６号証には、技術的特徴ｄが記載されている。
　
　
オ　甲第２６号証に記載される「エリアカメラ１（ノッチ底面用）」は、本件発明１６の「底部側面撮像カメラ」に相当し、以下同様に、「エリアカメラ４（ノッチ上ベベル用）」は「底部上面撮像カメラ」に、「エリアカメラ５（ノッチ下ベベル用）」は「底部下面撮像カメラ」に、「エリアカメラ２（ノッチ左側面観察用）」は「一方側部側面撮像カメラ」に、「エリアカメラ３（ノッチ右側面観察用）」は「他方側部側面撮像カメラ」に、それぞれ相当しているから、甲第２６号証には、技術的特徴ｅが記載されている。
　
　
カ　上記２（１８）によれば、甲第２８号証の取扱説明書には、φ３００mmウェーハ端面欠陥座標検査システム初号機は、ラインセンサ光学系のラインセンサカメラ３個、ラインセンサ光学系のメタルハライドランプ１個、ラインセンサ光学系のＣ型ライトガイド１個、エリアセンサ光学系のエリアセンサカメラ５個、エリアセンサ光学系のＬＥＤ照明器（１）２個、エリアセンサ光学系のＬＥＤ照明器（２）２個を有すること、各ラインセンサは、Ｃ型ライトガイドからの照明を、正反射で受けるよう配置されること、Ｃ型照明は、ファイバであること、Ｃ型ライトガイドが、ウエーハのエッジの厚さ方向に沿う所定の円弧に沿って照射面を形成し該円弧の中心に向けて収束するように配置されていること、ノッチ部側面にあたる、底面、左側面、右側面は、２枚の角型照明の隙間から覗く形で撮影すること、ノッチ部の上、下テーパ面は、円錐状同軸無影照明の中央部から覗く形で撮影すること、ウェーハに対して上下に対象に角型照明と円錐状同軸無影照明が配置されていることが示されている。
　
　
キ　甲第２８号証に記載される「Ｃ型ライトガイド」は、本件発明３の「光ファイバの集合体」に相当し、以下同様に、「ラインセンサカメラ３個」は「周端縁撮像部の各撮像カメラ」に相当しているから、甲第２８号証には、技術的特徴ｃが記載されている。
　
　
ク　甲第２８号証に記載される「エリアセンサカメラ５個」は、本件発明１７の「ノッチ撮像部の各撮像カメラ」に相当し、以下同様に、「ＬＥＤ照明器（１）」及び「ＬＥＤ照明器（１）」は「発光ダイオードの集合体」に相当しているおり、各エリアセンサカメラは、ラインセンサカメラと同様に、照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置されているものと認められるから、甲第２８号証には、技術的特徴ｆが記載されている。
　
　
ケ　甲第２８号証に記載される「ノッチ部の上テーパ面」は、本件発明１８の「底部上面」に相当し、以下同様に、「ノッチ部の下テーパ面」は「底部下面」に、「円錐状同軸無影照明」は「ドーム照射体」に、「ノッチ部側面にあたる底面」は「底部側面」に、「ノッチ部側面にあたる左側面」は「一方側部側面」に、「ノッチ部側面にあたる右側面」は「他方側部側面」に、「２枚の角型照明」は「平面照射体」に、それぞれ相当しているから、甲第２８号証には、技術的特徴ｇが記載されている。
　
　
（２）　ＮＥＤ藤戸が本件発明の発明者の一人であるか否かについて検討する。
　
ア　東芝セラミックス向けの本多エレクトロン製端面欠陥座標計測装置について、２０００年９月頃から、少なくとも２００１年１１月１日まで、本多エレクトロンとＮＥＤとの間に協力関係があったこと、及びＮＥＤが画像処理部の担当であったことが認められる（上記２の（１）〜（１９））。
　
　
イ　ＮＥＤがノッチの検査手法の検討や評価実験を行っており（上記２の（３），（７），（８），（１２））、ＮＥＤ藤戸が、ノッチを撮影し、その結果に基づきカメラ及び照明の構成について着想を得ている（上記２（１０））。その結果、ＮＥＤ藤戸により、甲第２６号証の「φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置　ＬＷ−３００ＤＸ　仕様書」及び甲第２８号証の「φ３００mmウェーハ端面欠陥座標検査システム　初号機及びその開発　LW-300DX-1A　取扱説明書兼メインテナンスマニュアル」が作成されたが（上記２の（１５），（１８））、甲第２６号証又は甲第２８号証には、上記（１）のとおり、本件発明の技術的特徴ａ〜ｇが記載されている。
　
　
ウ　また、本件発明が、協力関係が開始するよりも前に、被請求人の主張する発明者によって完成していたことを認めるに足りる証拠はない。
　
　
エ　そして、当該発明者による実験方法等の具体的な指示がなされたとする証拠もなく、むしろＮＥＤ藤戸からカメラ及び照明の構成を提案していることから（上記２（１１））、ＮＥＤ藤戸は、単なる補助者でもない。
　
　
オ　したがって、ＮＥＤ藤戸は、本件発明の完成に深く関与しており、本件発明の発明者の一人であるというべきである。
　
　
（３）　被請求人は、乙第１６号証、乙第２３号証及び乙第２４号証にあるように、本件特許発明は、ＮＥＤ大山らの関与なく、本多エレクトロン林ら発明者によって独自になされたものであると主張している。
　
ア　乙第１６号証
　
　乙第１６号証のノートの２４頁に描かれたウエーハ端面検査装置の図では、「エッジユニットは、ウエーハの周端縁の厚さ方向に異なる３つの部位を３つのカメラにて撮影する構成となっており、ノッチユニットは、ノッチの厚さ方向に異なる３つの部位を３つのカメラにて撮影する構成となっている。」（口頭審理陳述要領書第４頁第３５〜３８行）
　同２５頁には、「ノッチ検査（撮影）で得られる画像であると見て取れる複数の図」が描かれており、「２４頁に描かれるノッチユニットの３つのカメラによる半導体ウエーハのノッチの撮影により得られる画像及びエッジユニットの３つのカメラによる半導体ウエーハのエッジの撮影により得られる画像がそれぞれ描かれている。」（口頭審理陳述要領書第５頁第１３〜３０行）
　同５０頁には、「「製品化イメージ」と題するメモが書き記されている。ここでは、ノッチの厚さ方向に異なる３つの部位を３つのカメラにて撮影する構成となるノッチ部に対してアドイン・浜フォトシステムと名づけられている。「アドイン」は、画像処理のソフトウエアを担当する会社であったアドイン研究所を指し、「浜フォト」は、エリアセンサカメラを供給する浜松フォトニクス社を指している。浜松フォトニクス社がエリアセンサカメラを供給することは、当該ノートの４６頁の「１０２４×１０２４カメラ　浜フォト」という記載や２１頁の「浜フォトのエリアセンサ」という記載からも判る。
　また、ウエーハの周端縁の厚さ方向に異なる３つの部位を３つのカメラにて撮影する構成となるエッジ部に対してアドイン・竹中システムと名づけられている。「アドイン」については前述と同様にアドイン研究所を指すものであり、「竹中」は、ラインセンサカメラを供給する竹中システム機器社を指している。竹中システム機器社がラインセンサカメラを供給することは当該ノートの４７頁の「１０２４×１カメラ　竹中」という記載、２１頁の「竹中のラインセンサ」という記載等からも判る。」（口頭審理陳述要領書第５頁第３１行〜第６頁第４行）
　「乙第１６号証のノートの２４頁、２５頁及び５０頁の記載及び他の頁の記載から、林義典は、このノートを使用していた期間に半導体ウエーハの周端縁及びそのノッチの欠陥を可視的に検出する技術についてまじめに研究を行い、その結果として、
　ウエーハの周端縁の厚さ方向に異なる部位をラインセンサで構成された複数のカメラにて撮影し（構成要件ｂ、ｃ）、
　ウエーハのノッチの厚さ方向に異なる部位をエリアセンサで構成された複数のカメラにて撮影する（構成要件ｄ）ことを要件とする
技術思想たるウエーハ端面検査装置に係る本件特許発明がなされたことが判る。」（口頭審理陳述要領書第６頁第５〜１３行）
　そして、「乙第１６号証のノートの最終頁である５８頁には、ＮＥＤ社の提案を採用するか否かの検討についてのメモが書き記されていることから、その書き記された時期は、登録時権利者甲（本多エレクトロン）と請求人（ＮＥＤ社）とが共同してウエーハ端面検査装置の製品化を開始する時期、例えば、林義典が大山洋一郎氏に相談を持ちかけたと請求人が主張する２０００年７月１７日よりも以前であることは明らかである。従って、林義典が乙第１６号証のノートを使用していた時期は、どんなに遅くとも、２０００年７月１７日より以前の時期である。従って、前述したように、このノートを使用していた期間の研究の結果としてなされた本件特許発明は、どんなに遅くとも２０００年７月１７日より以前になされたものである。２０００年７月１７日より以前ということは、登録時権利者甲と請求人とが共同してウエーハ端面検査装置の製品化を開始するより以前ということであるので、本件発明は、請求人側の大山洋一郎氏らの関与なくなされたことになる。」（口頭審理陳述要領書第７頁第７〜１６行参照）
　
　
イ　乙第２３号証及び乙第２４号証
　
　国際学会である「ＤＲＩＰに提出する英文アブストラクトの検討中に作成された書面（乙第１９号証）の裏面に、２つのカメラ（ラインセンサカメラであると推定される）でウエーハの周端縁の厚さ方向に異なる２つの部位を撮影する構成が描かれている（乙第２３号証）。また、英文アブストラクトの検討中に作成された他の書面（乙第２０号証）の裏面に、２つのエリアセンサカメラ（１０２４×１０２４）でノッチの厚さ方向に異なる２つの部位を撮影する構成が描かれている（乙第２４号証）。これら乙第２３号証及び乙第２４号証の書面の記載内容からも、
　ウエーハの周端縁の厚さ方向に異なる部位をラインセンサで構成された複数のカメラにて撮影し（構成要件ｂ、ｃ）、
　ウエーハのノッチの厚さ方向に異なる部位をエリアセンサで構成された複数のカメラにて撮影する（構成要件ｄ）ことを要件とする
技術思想たるウエーハ端面検査装置に係る本件特許発明が、前記英文アブストラクトのＤＲＩＰでの受け取り確認の日である１９９９年５月１７日より以前になされたものであるといい得る。」（口頭審理陳述要領書第７頁第２４〜３７行）
　
　
（４）　しかしながら、被請求人の主張は、以下のとおり採用することができない。
　
ア　乙第１６号証について
　
　乙第１６号証の第２１頁には、「竹中のラインセンサー」、「浜フォトのエリアセンサー」と記載されている。
　第２４頁の上半分には、ＳＷＣ１２０４Ｃに後付けの場合として、ウエーハの周端縁の厚さ方向に異なる３つの部位を撮影する３つのカメラ（竹中エッジ・ユニット）及びそれぞれのカメラに接続する３つのＰＣ（アドインシステム）、ノッチの厚さ方向に異なる３つの部位を撮影する３つのカメラ（本多エレノッチユニット）とそれぞれのカメラに接続する３つのＰＣ（アドインシステム）が描かれており、第２４頁の下半分には、専用機として新規開発する場合として、ウエーハの周端縁の厚さ方向に異なる３つの部位を撮影する３つのカメラ及びそれぞれのカメラに接続する３つのＰＣからなるセットが２組描かれている。
　第２５頁には、ノッチ検査で得られる画像とみられる表、裏、水平の図、エッジの厚さ方向に異なる３つの部位を撮影する３つのカメラにより得られる画像とみられる３つの図が描かれている。
　第２６〜２８頁には、DRIP-VIIIのアブストラクトの下書きとみられるものが記載されている。
　第４６頁には、「１０２４×１０２４　カメラ　浜フォト」と記載され、第４７頁には、「１０２４×１　カメラ　竹中」と記載されている。
　第５０頁には、製品化イメージとして、「ノッチ部　アドイン・浜フォトシステム」と記載された横に厚さ方向に異なる３つの部位を撮影する３つのカメラが描かれ、「エッジ部　アドイン・竹中システム」と記載された横に厚さ方向に異なる３つの部位を撮影する３つのカメラが描かれ、「ノッチ部　Moritex　レンズ　照明　エッジ部　Moritex　レンズ　照明」と記載された横に３つの照明とみられるものが、下にＣ型の照明とみられるものが描かれている。
　第５２〜５３、５６〜５７頁には、ＮＥＤ見学について記載されている。
　第５８頁には、アドイン・竹中システムとＮＥＤの提案についての比較が記載されている。
　　
　乙第１６号証のノートには、日付は一切記載されておらず、一部鉛筆書きである。そして、表紙から最初の記述頁まで、第３頁、第９頁、第１１頁の下半分、第１９頁、第３３頁、第３５頁、第４１頁の下半分、第４９頁の約４／５が空白であるなど空欄も多く、本人の署名、具体的な実験結果も記載されていないことから、乙第１６号証のノートはメモであって実験ノートではない。
　第２６〜２８頁は、アブストラクトの受け取りの確認がなされた１９９９年５月１７日（乙第２２号証）よりも前に、そして、第５２〜５３、５６〜５８頁は、本多エレクトロンとＮＥＤの協力関係が開始する前頃に記載されたものであるとしても、それ以外の頁については作成時点が不明である。
　また、乙１６号証には、製品化イメージは記載されているが、カメラ、レンズの性能及び配置、照明機器の性能及び配置等の具体的な光学条件について記載されていない。
　
　
イ　乙第２３号証及び乙第２４号証について
　
　乙第２３号証には、ウエーハの周端縁の厚さ方向に異なる部位を撮影する複数のカメラが描かれているだけであり、乙第２４号証には、ノッチの厚さ方向に異なる２つの部位を撮影する２つのカメラが描かれており、「１０２４×１０２４」と記載されているだけである。
　また、乙第２３号証及び乙第２４号証は、作成時点が不明であり、具体的な光学条件も記載されていない。
　
　
ウ　乙第４号証の写真は、推定１９９９年１０月２３日付け撮影写真の写しであるが、単に一つのエリアセンサで撮影したものにすぎず、乙第２１号証の写真は、単に一つのラインセンサで撮影したものにすぎない。
　
　
エ　本多エレクトロンとＮＥＤとの協力関係が始まる前に、本多エレクトロン林ら発明者によって本件発明が完成していたとするならば、カメラ、照明等の構成について当該発明者からＮＥＤ側に具体的に指示してしかるべきであるが、そのような指示があったとする証拠はなく、また、「ノッチは検査の手方を検討して頂く。」との依頼を当該発明者からＮＥＤ側にしたり（上記２（３））、ＮＥＤ藤戸の方から発明者である本多エレクトロン林にカメラ及び照明の構成を提案している（上記２（１１））。
　
　
オ　以上のことから、本多エレクトロン林ら発明者によって本件発明１が完成していたものとは認められない。
　本件発明２及び１５についても同様に、本多エレクトロン林ら発明者によって完成していたものとは認められない。
　
　
カ　また、本件発明３，１６〜１８の構成について、乙第１６号証、乙第２３号証及び乙第２４号証に記載されておらず、本多エレクトロン林ら発明者によって本件発明３，１６〜１８が完成されていたものとも認められない。
　
　
（５）　そして、ＮＥＤ藤戸は、本件発明について特許を受ける権利の持分を本多エレクトロン及び東芝セラミックスに譲渡していない（審判請求書第１７頁第２７〜２８行）。
　
　
（６）　したがって、本件は、本件発明１〜３，１５〜１８及びそれらの発明を引用して記載された本件発明４〜１４，１９〜３５について特許を受ける権利が共有に係るものであるにも関わらず、共同によりその特許出願をしたものでないから、特許法第３８条の規定に違反してなされたものである。
　
　
第５　むすび
　
　以上のとおりであるから、本件発明１〜３５についての特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである。
　
　よって、本件審判費用の負担については特許法第１６９条第２項において準用する民事訴訟法第６１条を適用して、結論のとおり審決する。