【事件の表示】
　特願２００１−　７８０３５「高分解複合型顕微鏡及び観察方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年　９月２７日出願公開、特開２００２−２７９９２５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１３年３月１９日の出願であって、平成１８年９月１５日付け拒絶理由通知に対して、同年１１月１７日付けで手続補正がされたが、平成１９年２月２１日付けで拒絶査定され、これに対して、同年３月３０日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　
２．本願発明
　本願の請求項１に係る発明は、平成１８年１１月１７日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのもの（以下、「本願発明」という。）と認める。
「【請求項１】 
　透過型電子顕微鏡と走査プローブ顕微鏡の機能を併せ持つ高分解複合型顕微鏡であって、
　透過型電子顕微鏡の鏡筒の試料室外部から電子線通路へ向けて挿入され薄膜試料を保持し３軸移動する試料移動手段と、
　透過型電子顕微鏡の鏡筒の試料室外部から電子線通路へ向けて前記試料移動手段と異なる方向から挿入され探針駆動用ゴニオメータとピエゾ極微動機構からなりカンチレバー型ＡＦＭ／ＳＴＭ探針を３軸移動する探針移動手段と、
　前記カンチレバー型ＡＦＭ／ＳＴＭ探針と試料との間にバイアス電圧を印加して前記試料に流れるトンネル電流を検出するＳＴＭ用電流検出手段と、
前記カンチレバー型ＡＦＭ／ＳＴＭ探針の背面にレーザー照射部からレーザー光を照射してそこで反射されたレーザー光をレーザー受光部で検出するＡＦＭの力検出手段と、
　前記カンチレバー型ＡＦＭ／ＳＴＭ探針の先端と前記薄膜試料の先端部の原子配列像を観察するＴＥＭ観察手段と、
前記ＳＴＭ用電流検出手段及びＡＦＭの力検出手段の検出信号に基づきＡＦＭ信号波形、ＳＴＭ信号波形、ＡＦＭ画像、又はＳＴＭ画像を選択的にあるいは組み合わせて観察可能なＡＦＭ／ＳＴＭ観察手段と
　を備え、前記探針移動手段の探針移動用ゴニオメータとピエゾ極微動機構により前記試料移動手段と異なる方向から前記カンチレバー型ＡＦＭ／ＳＴＭ探針の先端を前記薄膜試料の先端部と近接又は接触状態となる位置まで移動させて前記先端の形状像と接触界面の原子配列像及びＡＦＭ像、ＳＴＭ像を観察することを特徴とする高分解能複合型顕微鏡。」
　
３．引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開平１−３１６６０２号公報（以下、引用例１という。）には、次の事項が記載されている。
　
記載事項ア（第１頁）
「【特許請求の範囲】
（１）圧電素子の印加電圧を制御することによって試料面に探針を近づけて走査しトンネル電流を検出する走査トンネル顕微鏡において、探針を試料ホルダーとは独立に直接電子顕微鏡試料ステージに取り付けたことを特徴とする電子顕微鏡組込型走査トンネル顕微鏡。
（２）探針側に微動機構と粗動機構とを設け、微動機構にピエゾ素子を用いたことを特徴とする請求項１記載の電子顕微鏡組込型走査トンネル顕微鏡。」 
　
記載事項イ（第１頁右下欄第１行目乃至第２頁右上欄第４行目）
「探針先端の原子と試料の原子の電子雲とが重なり合うｌｎｍ程度まで探針を試料に近づけ、この状態で探針と試料との間に電圧をかけるとトンネル電流が流れる。このトンネル電流は、電圧が数ｍＶ〜数Ｖのとき、１〜１０ｍＡ程度になり、試料と探針との間の距離により変化する。そこで、トンネル電流の大きさを測定することにより試料と探針との間の距離を超精密測定することができ、探針位置が既知であれば試料の表面形状を求めることができる。
　走査トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）は、トンネル電流が一定になるように探針位置を制御し、探針位置軌跡により試料の表面形状を観察するものであり、表面原子配列を解析する上で注目されている装置である。トンネル電流により試料の表面形状（凹凸像）を観察する場合には、まず、粗動により探針を０．１μｍ程度まで試料に近づけ、そして微動により０．１μｍからさらにｌｎｍまで探針を試料に近づけ、ｎｍオーダーでの制御が行われる。このように走査トンネル顕微鏡は、オングストロームオーダーの表面原子配列を解析するものであり、微小領域の観察になるため、試料の視野探しが難しいという問題がある。また、表面の原子が動き安定していなかったり、表面原子の拡散現象により、試料表面の原子像が得られても、不安定であったり再現性がなかったりするのが常である。そこで、このような問題を補完するため、例えば電子顕微鏡に走査トンネル顕微鏡を組み込み使用して同視野観察を行う方法が採用される。その例を示したのが第３図であり、トンネル電流を検出しながら圧電素子を駆動し、試料の表面の凹凸像を得る全体のシステム概略構成を示したのが第４図である。
　第３図は走査トンネル顕微鏡を組み込んだ電子顕微鏡の構成概要を示す図、第４図は走査トンネル顕微鏡の概略構成を示す図である。図中、２１はＳＴＭユニット、２２は試料、２３は探針、２４はヘッド、２６、２８と２９は圧電素子、２５と２７は絶縁板、３１はポールピース、３２は試料ホルダー、３３は駆動機構、３４は光軸、３５はスクリーン、３６は電子ビーム、４１は電極、４２はＸＹ走査回路、４３はサーボ回路、４４はトンネル電流増幅器、４５はバイアス電源、４６はメモリ、４７はＭＰＵ、４８は表示装置を示す。」
　
記載事項ウ（第２頁左下欄第１９行目乃至同頁右下欄第４行目）
「このように走査トンネル顕微鏡を電子顕微鏡に組み込むメリットとしては、上記探針のアプローチを電子顕微鏡の観察下で行えると同時に、反射電子線回折（ＲＥＭ）法との併用が可能となり、ＲＥＭ像による観察下で同一場所のＳＴＭ像を観察することが可能となることである。」
　
記載事項エ（第３頁左上欄第８行目乃至第１５行目までの記載）
「本発明の電子顕微鏡組込型走査トンネル顕微鏡では、探針を試料ホルダーとは独立に直接電子顕微鏡ステージに取り付けるので、試料と探針とを独立に動かして相対的に位置を選択することができる。また、探針側に微動機構と粗動機構とを設け、微動機構にピエゾ素子を用いることにより、探針の電子ビームに対する位置合わせも容易に行うことができる。」
　
記載事項オ（第３頁右上欄第４行目乃至同頁左下欄第５行目）
「第１図において、ＳＴＭ探針４は、試料ホルダー３とは独立にＴＥＭ試料ステージ１に取り付けられ、積層ピエゾ（微動機構）５と粗動機構６によりＸ、Ｙ、Ｚの各方向に移動させることができるようになっている。積層ピエゾ（微動機構）５は、ズリの動きを利用することによってオングストロームオーダーの動きを制御するものであり、粗動機構６は、アパーチャ粗動機構と同様なＸ、Ｙ、Ｚ移動機構を用い、電子ビームに対する位置合わせをするものである。
　例えば半導体検出器（ＥＤＳ）の横方向取り出し口の部分をＳＴＭ探針４の挿入口として使用すると取り付けが筒便である。この取り付け位置によれば、試料ホルダー３に対して９０°方向がＳＴＭの信号取り出し口となる。
　上記構成によりＳＴＭ観察を行う場合には、試料を傾斜させ、粗動機構６により電子ビームに対する位置合わせを行うと共に、探針４と試料２との間の粗動はゴニオメータ−７で行う。従って、例えばＴＥＭ像では、探針４と試料２の位置を観察して視野探しを行い、みたい領域を確認してＳＴＭ観察を行うことができる。」
　
記載事項カ（第３項左下欄第１５行目乃至同頁右下欄第８行目）
「上記のように２次電子検出器１１も使用することによりＴＥＭ像（透過像）、ＲＥＭ像（反射電子回折像）だけでなくＳＥＩ像のいずれかと対応付けたＳＴＭ像の視野探しを行うことができる。また、試料と探針とを独立に試料ステージに取り付けることにより、それぞれの交換をスムーズに行うことができ、２次電子検出器や半導体Ｘ線検出器等のアタッチメントも無理なく取り付けることができる。通常のＴＥＭ使用に際してもＴＥＭやＳＴＭとしての機能を損なうことない。
　走査トンネル顕微鏡は、先に説明したように表面の原子配列構造を観るため、表面が綺麗でなければならない。」
　
記載事項キ（第３頁右下欄第１５行目乃至第１９行目）
「なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば試料の観たいところにＳＴＭ探針を移動させるのみならず、ゴニオメータ−のＸＹ試料移動により試料の方を動かすようにしてもよい。」
　
記載事項ク（第３頁右下欄第２０行目乃至第４頁左上欄第７行目）
「発明の効果
　以上の説明から明らかなように、本発明によれば、従来より非常に困難とされていた粗動をＴＥＭ像やＳＥＩ像を見ながら行うことができ、ＴＥＭ像やＳＥＩ像のモニターにより同視野観察が可能になり、試料の見たい位置にＳＴＭ探針を移動させることができる。従って、ＳＴＭ像の観たい位置を自由に選ぶことができる。」
　
以上の記載事項ア〜カから、引用例１には、以下の点が記載されていると言える。
　
（１）顕微鏡の種類、試料と探針の位置調整とその移動手段について
　
　記載事項オの「第１図において、ＳＴＭ探針４は、試料ホルダー３とは独立にＴＥＭ試料ステージ１に取り付けられ、積層ピエゾ（微動機構）５と粗動機構６によりＸ、Ｙ、Ｚの各方向に移動させることができるようになっている。積層ピエゾ（微動機構）５は、ズリの動きを利用することによってオングストロームオーダーの動きを制御するものであり、粗動機構６は、アパーチャ粗動機構と同様なＸ、Ｙ、Ｚ移動機構を用い、電子ビームに対する位置合わせをするものである。・・・上記構成によりＳＴＭ観察を行う場合には、試料を傾斜させ、粗動機構６により電子ビームに対する位置合わせを行うと共に、探針４と試料２との間の粗動はゴニオメータ−７で行う。」との記載、記載事項キの「ゴニオメータ−のＸＹ試料移動により試料の方を動かすようにしてもよい。」との記載、及び第１、２図から、引用例１には、
　
・　透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）と走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）の機　　能を併せ持った顕微鏡であること
・「ゴニオメータ７」により、「試料２」を保持する「試料ホルダー３」を　介して、「試料２」をＸ，Ｙ軸方向への移動調整が可能であること。
・「ＳＴＭ探針４」は、「積層ピエゾ（微動機構）５」と、「ＳＴＭ探針４　」と「積層ピエゾ（微動機構）５」を“保持する部材”（図１に描かれた　積層ピエゾ５と粗動機構を連結する部材をさす）を介した「粗動機構６」　によって、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の各方向に移動調整が可能であること
・　第１、２図より、上記「試料ホルダー３」と上記“保持する部材”は、　それぞれ「ＴＥＭ試料ステージ１」の外部から、ＴＥＭ試料ステージの中　央部、乃ち光軸１０に沿った電子線の通路（第２図参照）に向けて、互い　に異なる方向から挿入されること
　が、それぞれ記載されている。
　
（２）観察手段について
　
　上記（１）の言及点、記載事項オの「例えばＴＥＭ像では、探針４と試料２の位置を観察して視野探しを行い、みたい領域を確認してＳＴＭ観察を行うことができる。」との記載、及び第１図から、引用例１には、
・　ＳＴＭ探針４と試料２を観察するＴＥＭ観察手段、
・　試料２のＳＴＭ像を観察する手段
・　探針移動手段は粗動機構と積層ピエゾ（微動機構）５、及び試料移動手　段はゴニオメータ７によって、探針移動手段と試料移動手段はそれぞれ異　なる方向から、ＳＴＭ探針４と試料２の位置を移動して、両者の間の位置　調整を行い、ＳＴＭ探針４と試料２のＴＥＭ像、及び試料２のＳＴＭ像を　観察する手段
　が、それぞれ記載されている。
　
　以上をまとめると、引用例１には、上記記載事項ア〜ク、及び図面から、
「透過型電子顕微鏡と走査トンネル顕微鏡の機能を併せ持つ顕微鏡であって、
　ＴＥＭ試料ステージ１の外部から電子線通路に向けて挿入され、試料２を保持する試料ホルダ３と、前記試料ホルダ３をＸ、Ｙ軸方向に移動可能とするゴニオメータ７よりなる試料移動手段と
　ＴＥＭ試料ステージ１の外部から電子線通路に向けて、前記試料ホルダ３とは異なる方向から挿入され、ＳＴＭ探針４と積層ピエゾ（微動機構）５を保持する保持部材と、前記ＳＴＭ探針４は、積層ピエゾ（微動機構）５及び前記保持部材を介した粗動機構６によって、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の各方向に移動させる探針移動手段と、
　前記ＳＴＭ探針４と前記試料２を観察するＴＥＭ観察手段と、
　前記試料２のＳＴＭ像を観察する手段と
　を備え、前記探針移動手段は粗動機構６と積層ピエゾ（微動機構）５によって、また、前記試料移動手段はゴニオメータ７によって、前記探針移動手段と前記試料移動手段はそれぞれ異なる方向から、ＳＴＭ探針４と試料２の位置を移動して、両者の間の位置調整を行い、ＳＴＭ探針４と試料２のＴＥＭ像、及び試料２のＳＴＭ像を観察する顕微鏡。」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開平５−７９８３３号公報（以下、引用例２という。）には、次の事項が記載されている。
　
記載事項ケ
「特許請求の範囲
【請求項１】探針を試料に近づけ、該探針に働く微小力を一定に保ちつつ表面情報を得る表面顕微鏡において、少なくとも、該探針、試料を真空槽内に設置し、1x10-5Torr以下の真空で動作させることを特徴とした表面顕微鏡。
・・・
【請求項５】請求項１から４記載の表面顕微鏡において、探針の先端に導電性あるいは導電性でカバーした絶縁物を有することを特徴とした表面顕微鏡。
【請求項６】請求項１から５記載の表面顕微鏡において、試料や探針の先端を走査あるいは透過電子顕微鏡で観察可能としたことを特徴とした表面顕微鏡。」
　
記載事項コ
「【０００７】
【作用】本発明の作用について、上記のように少なくとも試料、プローブを真空槽中に挿入し、イオンポンプ、ノーブルポンプ、油拡散ポンプ等の従来技術手段であるポンプシステムで真空排気し、1x10-5Torr以下の真空とすると、試料表面やカンチレバー上のプローブ表面に吸着している水分が無くなり、原子間力、磁気力、トンネル音響顕微鏡等を安定に動作でき、正確な表面計測が行なえる。また、真空排気の際、ベイキングを行ないながら真空排気すると非常に効果が上がる。
【０００８】さらに、試料雰囲気を真空にしたのでSEM(走査電子顕微鏡)やTEM(透過電子顕微鏡)等と複合化して広い視野から原子オーダまでの観察を可能にする。」
　
記載事項サ
「【００１０】・・・第1図において、原子間力あるいは磁気力検出部を光てこ方式で行なっている。プローブ付きカンチレバー2が微調用移動機構3に固定され、試料10表面からの力を検出する。微調機構5に固定された半導体レーザ4からレーザビーム9が放射されカンチレバー2の裏面で反射される。反射されたレーザビーム9は半導体ポジションセンサー6でビーム偏向量が変位として計測される。半導体ポジションセンサー6は微調機構7に固定され検出感度が最適となるように、微調用移動機構3、微調機構5を含めて調整が行なわれる。・・・
【００１３】1x10-5Torr以下の真空を確認した後、自動接近機構15を自動接近制御回路35により1x10-8N前後の斥力になるようプローブを試料に接近させる。この時、半導体ポジションセサー6の出力を制御系の変位検出回路31に入力し、所定の力となるよう常にプローブと試料間10を制御しておく。変位検出回路31で設定力(レーザビームの位置)との誤差をサーボ回路32に入力し誤差をゼロとするようにスキャナ11で試料10をZ方向に移動して一定な力を保つ。この状態より、XY走査回路36を駆動させ、試料10をラスタ移動させて表面の凹凸像を取得する。・・・」
　
記載事項シ
「【００２１】以上の説明は主に、原子間力顕微鏡の場合であるが、カンチレバー2の先端のプローブ21に磁性体をつけるか、磁性体で構成すると、磁気力顕微鏡になる。この場合でも、図１、図４、図５、図６のような構成を採ることができ、1x10-5Torr以下の真空にすると、水分等の影響を防ぐことができ、高精度な観察ができる。一方、プローブ21に導電体をつけ、トンネル電流を計測し、表面の導電性、電圧電流特性、特定バイアスでの電流像、トンネル障壁分布、トンネル電子分光分析などを可能にし、これらも本発明の範囲である。」
　
以上の記載事項ケ〜シから、引用例２には、
・　顕微鏡として、ＡＦＭ用の探針であるカンチレバー２に、ＳＴＭ用（ト　ンネル電流を計測可能とする等）の探針としての機能を持たせ、ＡＦＭ／　ＳＴＭのいずれのタイプでも観察が可能である点が開示されている（記載　事項コ）。
・　ＡＦＭの原子間力の検出手段として、カンチレバーの裏面に半導体レー　ザ4からレーザビーム9を放射してそこで反射されたレーザービーム９を　半導体ポジションセンサー6で計測する手法が開示されている（記載事項　ケ）。
・　ＡＦＭ画像の観察手段として、半導体ポジションセンサー6からの出力　に基づいて、表面の凹凸像（即ちＡＦＭ画像）を取得する手法が開示され　ている（記載事項サ）。
　
４．対比
　　引用発明と本願発明とを比較する。
　
（１）引用発明の「透過型電子顕微鏡と走査トンネル顕微鏡の機能を併せ持つ顕微鏡」と、本願発明の「透過型電子顕微鏡と走査プローブ　顕微鏡の機能を併せ持つ高分解複合型顕微鏡」とを比較すると、
　
　　ア．引用発明の顕微鏡は透過型電子顕微鏡と走査トンネル顕微鏡の機能　　　を併せ持つことから、複合型の顕微鏡であると言える。
　
　　イ．また、当該走査トンネル顕微鏡は「表面の原子配列構造を観る」（　　　記載事項カ）ことから、原子レベルの大きさを観察出来る程度の高分　　　解解像度を有すものであり、さらに透過型電子顕微鏡も、原子の配列　　　像を観察することができることは、技術常識であるから、引用発明の　　　顕微鏡は、本願発明の「高分解複合型顕微鏡」に相当するものである　　　、と言える。
　
　　ウ．また、引用発明の「走査トンネル顕微鏡」は、走査プローブ顕微鏡　　　の一種であることは技術常識である。
　したがって、引用発明の「透過型電子顕微鏡と走査トンネル顕微鏡の機　能を併せ持つ顕微鏡」は、本願発明の「透過型電子顕微鏡と走査プローブ　顕微鏡の機能を併せ持つ高分解複合型顕微鏡」に相当する。
　
（２）
　　ア．引用発明の「ＴＥＭ試料ステージ１」と本願発明の「透過型電子顕　　　微鏡の鏡筒の試料室」を比較すると、透過型電子顕微鏡の構造として　　　鏡筒を有することは技術常識である（例えば、特開２０００−３１５　　　４７１号公報の第１図等参照のこと）。したがって、引用例１の第１　　　、２図で示された構造は、上記鏡筒内に搭載されているものであるこ　　　とは、当業者にとって自明であることから、引用発明の「ＴＥＭ試料　　　ステージ１」は、ＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）の鏡筒内に存在すると　　　言える。
　　　　よって、引用発明の「ＴＥＭ試料ステージ１」は、本願発明の「透　　　過型電子顕微鏡の鏡筒の試料室」に相当する。
　
　　イ．また、引用発明の「ＴＥＭ試料ステージ１の外部から電子線通路に　　　向けて挿入され、試料２を保持する試料ホルダ３と、前記試料ホルダ　　　３をＸ、Ｙ軸方向に移動可能とするゴニオメータ７よりなる試料移動　　　手段」と、本願発明の「透過型電子顕微鏡の鏡筒の試料室外部から電　　　子線通路へ向けて挿入され薄膜試料を保持し３軸移動する試料移動手　　　段」とを比較すると、本願発明の上記発明特定事項である「透過型電　　　子顕微鏡の鏡筒の試料室外部から電子線通路へ向けて挿入され薄膜試　　　料を保持し３軸移動する試料移動手段」とは、本願の明細書の記載「　　　【００１８】図３に示されているように、試料５を先端に保持した試　　　料ホルダ５１は、試料室Ｓの中心を通る電子線通路に向けて試料室外　　　から挿入される。電子線通路に対する試料５の位置は、試料移動機構　　　６の３軸操作により調整される。」及び図３からみて、具体的には、　　　試料を先端に保持し、電子線通路に向けて試料室外から挿入される試　　　料ホルダ５１と、この試料ホルダ５１を３軸操作することによって試　　　料５の位置を調整可能とする試料移動機構６０によって構成されるも　　　のと解される。
　　　　この本願発明の発明特定事項の具体的な構成と、引用発明の構成事　　　項である「ＴＥＭ試料ステージ１の外部から、電子線の通路に向けて　　　挿入され、試料２を保持する試料ホルダ３と、前記試料ホルダ３をＸ　　　、Ｙ軸方向に移動可能とするゴニオメータ７よりなる試料移動手段」　　　とを比較すると、引用発明の「ＴＥＭ試料ステージ１」、「試料２を　　　保持する試料ホルダ３」、及び「前記試料ホルダ３をＸ、Ｙ軸方向に　　　移動可能とするゴニオメータ７」は、本願発明の上記発明特定事項の　　　具体的構成中の「試料室」、「試料を先端に保持した試料ホルダ５１　　　」、及び「試料ホルダ５１を３軸操作することによって試料５の位置　　　を調整可能とする試料移動機構６０」にそれぞれ対応することは明ら　　　かであるから、両者は、同様の構成を有するものであると言える。
　　　　すなわち、引用発明の「試料移動手段」も、透過型電子顕微鏡の鏡　　　筒の試料室外部から電子線通路へ向けて挿入され試料を保持し複数の　　　軸方向に移動する手段、であると言える。
　
　以上ア、イの考察から、引用発明の「ＴＥＭ試料ステージ１の外部から、電子線の通路に向けて挿入され、試料２を保持する試料ホルダ３と、前記試料ホルダ３をＸ、Ｙ軸方向に移動可能とするゴニオメータ７よりなる試料移動手段」と、本願発明の「透過型電子顕微鏡の鏡筒の試料室外部から電子線通路へ向けて挿入され薄膜試料を保持し３軸移動する試料移動手段」とは、透過型電子顕微鏡の鏡筒の試料室外部から電子線通路へ向けて挿入され試料を保持し複数の軸方向に移動する試料移動手段、である点一致する。
　
（３）引用発明の「ＴＥＭ試料ステージ１の外部から電子線通路に向けて、前記試料ホルダ３とは異なる方向から挿入され、ＳＴＭ探針４と積層ピエゾ（微動機構）５を保持する保持部材と、前記ＳＴＭ探針４は、積層ピエゾ（微動機構）５及び前記保持部材を介した粗動機構６によって、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の各方向に移動させる探針移動手段」と、本願発明の「透過型電子顕微鏡の鏡筒の試料室外部から電子線通路へ向けて前記試料移動手段と異なる方向から挿入され探針駆動用ゴニオメータとピエゾ極微動機構からなりカンチレバー型ＡＦＭ／ＳＴＭ探針を３軸移動する探針移動手段」とを比較すると、
　
　　ア．本願発明の「探針駆動用ゴニオメータ」とは、本願明細書の記載「　　　【０００８】・・・探針移動用ゴニオメータ８は、・・・ＸＹ軸方向　　　に±１．０ｍｍ、Ｚ方向に±０．２μｍの精度」及び「ピエゾ極微動　　　機構Ｐは、Ｘ方向に・・・、ピエゾで±０．１μｍ、Ｙ軸方向にピエ　　　ゾで±０．５μｍ、Ｚ方向にピエゾで±０．５μｍの精度」からみて　　　、「ピエゾ極微動機構」に比べ、駆動精度の面から、粗動用の探針駆　　　動手段である、と言える
　
　　イ．また、本願発明の発明特定事項である「透過型電子顕微鏡の鏡筒の　　　試料室外部から電子線通路へ向けて前記試料移動手段と異なる方向か　　　ら挿入され探針駆動用ゴニオメータとピエゾ極微動機構からなりカン　　　チレバー型ＡＦＭ／ＳＴＭ探針を３軸移動する探針移動手段」とは、　　　本願の明細書の記載「【００１９】一方、探針７を先端に保持した探　　　針ホルダ９は、試料ホルダ５１とほぼ９０°をなす方向から電子線通　　　路に向けて試料室外から挿入される。図４に示すように、探針ホルダ　　　９の先端部にはＸ−Ｙ−Ｚ３軸制御圧電素子からなるピエゾ極微動機　　　構Ｐが設けられ、探針７はこのピエゾ極微動機構Ｐに取り付けられて　　　いる。試料に対する探針７の位置は、探針駆動用ゴニオメータ８とピ　　　エゾ極微動機構Ｐの３軸操作により調整される。」及び図３，４から　　　みて、具体的には、探針７を取り付けたピエゾ極微動機構Ｐを先端部　　　に設けた探針ホルダ９を、試料ホルダ５１とは異なる方向から電子線　　　通路に向けて試料室外から挿入し、探針７はピエゾ極微動機構Ｐと、　　　試料ホルダ５１を介した探針駆動用ゴニオメータ８によって、３軸操　　　作により位置調整される探針移動手段、であると言える。
　　　　そこで、引用発明の構成「ＴＥＭ試料ステージ１の外部から電子線　　　通路に向けて、前記試料ホルダ３とは異なる方向から挿入され、ＳＴ　　　Ｍ探針４と積層ピエゾ（微動機構）５を保持する保持部材と、前記Ｓ　　　ＴＭ探針４は、積層ピエゾ（微動機構）５及び前記保持部材を介した　　　粗動機構６によって、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の各方向に移動させる探針移動手　　　段」と、本願発明の発明特定事項の当該具体的構成とを比較すると、　　　引用発明の「ＴＥＭ試料ステージ１」、「ＳＴＭ探針４」、「積層ピ　　　エゾ（微動機構）５」、「試料ホルダ３とは異なる方向から挿入され　　　、ＳＴＭ探針４と積層ピエゾ（微動機構）５を保持する保持部材」、　　　及び「粗動機構６」と、本願発明の発明特定事項の上記具体的構成の　　　「試料室」、「探針７」、「ピエゾ極微動機構Ｐ」、「試料ホルダ９　　　」、及び「探針駆動用ゴニオメータ８」に対応することは明らかであ　　　るので、両者は、同様の構成を有するものと言える。
　　　　すなわち、引用発明の「探針移動手段」も、透過型電子顕微鏡の鏡　　　筒の試料室外部から電子線通路へ向けて前記試料移動手段と異なる方　　　向から挿入され探針駆動用粗動機構とピエゾ極微動機構からなり探針　　　を３軸移動する探針移動手段、であると言える。
　
　したがって、引用発明の「ＴＥＭ試料ステージ１の外部から光軸１０方向の通路に向けて前記試料ホルダ３とは異なる方向から挿入され、ＳＴＭ探針４と積層ピエゾ（微動機構）５を保持する保持部材と、前記ＳＴＭ探針４は、積層ピエゾ（微動機構）５及び前記保持部材を介した粗動機構６によって、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の各方向に移動させる探針移動手段」と、本願発明の「透過型電子顕微鏡の鏡筒の試料室外部から電子線通路へ向けて前記試料移動手段と異なる方向から挿入され探針駆動用ゴニオメータとピエゾ極微動機構からなりカンチレバー型ＡＦＭ／ＳＴＭ探針を３軸移動する探針移動手段」とは、透過型電子顕微鏡の鏡筒の試料室外部から電子線通路へ向けて前記試料移動手段と異なる方向から挿入され探針駆動用粗動機構とピエゾ極微動機構からなり探針を３軸移動する探針移動手段、である点一致する。
　
（４）引用発明の「前記ＳＴＭ探針４と前記試料２を観察するＴＥＭ観察手段」と、本願発明の「前記カンチレバー型ＡＦＭ／ＳＴＭ探針の先端と前記薄膜試料の先端部の原子配列像を観察するＴＥＭ観察手段」とは、共に、ＳＴＭ探針と試料を観察するＴＥＭ観察手段、である点一致する。
　
（５）引用発明と本願発明は、共に（試料の）ＳＴＭ像を観察する手段を有する点で一致する。
　
（６）引用発明の「前記探針移動手段は粗動機構６と積層ピエゾ（微動機構）５によって、また、前記試料移動手段はゴニオメータ７によって、前記探針移動手段と前記試料移動手段はそれぞれ異なる方向から、ＳＴＭ探針４と試料２の位置を移動して、両者の間の位置調整を行い、ＳＴＭ探針４と試料２のＴＥＭ像、及び試料２のＳＴＭ像を観察する」と、本願発明の「前記探針移動手段の探針移動用ゴニオメータとピエゾ極微動機構により前記試料移動手段と異なる方向から前記カンチレバー型ＡＦＭ／ＳＴＭ探針の先端を前記薄膜試料の先端部と近接又は接触状態となる位置まで移動させて前記先端の形状像と接触界面の原子配列像及びＡＦＭ像、ＳＴＭ像を観察する」とを比較すると、
　本願の明細書の段落【００２２】の「原子像が鮮明に検鏡できる条件に電子顕微鏡の各機能を設定する。つまり、倍率、非点、焦点等を最適化する。そして、この条件を維持した状態で、探針駆動用ゴニオメータ８を操作し、モニター１６上に透過像として映し出されている試料端面の界面を目視確認しながら、カンチレバー型ＡＦＭ／ＳＴＭ探針７の先端を試料５の端面に近づけてゆくように操作する。・・・」の記載及び
　段落【００２５】の「図７は信頼性の高いＡＦＭおよびＳＴＭ測定をＴＥＭでその場観察しながら行う例を示す図であり、ＡＦＭ，ＳＴＭの観察時にはそれら単体では見えない探針の形状像とその接触界面の原子配列像をＴＥＭでその場観察できる。」の記載からみて、本願発明の「前記先端の形状像と接触界面の原子配列像」は、ＴＥＭによる探針の先端部と試料端面の界面の原子配列像、を意味するものであると言える。
　そして、上記（１）〜（５）の考察から、引用発明の「前記探針移動手段は粗動機構６と積層ピエゾ（微動機構）５によって、また、前記試料移動手段はゴニオメータ７によって、前記探針移動手段と前記試料移動手段はそれぞれ異なる方向から、ＳＴＭ探針４と試料２の位置を移動して、両者の間の位置調整を行い、ＳＴＭ探針４と試料２のＴＥＭ像、及び試料２のＳＴＭ像を観察する」と、本願発明の「前記探針移動手段の探針移動用ゴニオメータとピエゾ極微動機構により前記試料移動手段と異なる方向から前記カンチレバー型ＡＦＭ／ＳＴＭ探針の先端を前記薄膜試料の先端部と近接又は接触状態となる位置まで移動させて前記先端の形状像と接触界面の原子配列像及びＡＦＭ像、ＳＴＭ像を観察する」とは、ＳＴＭ探針と試料の間の位置調節を行い、前記ＳＴＭ探針と前記試料のＴＥＭ像及び、ＳＴＭ像を観察する点で両者は一致する。
　
　以上（１）〜（６）から、引用発明と本願発明とは、
「透過型電子顕微鏡と走査プローブ顕微鏡の機能を併せ持つ高分解複合型顕微鏡であって、
　透過型電子顕微鏡の鏡筒の試料室外部から電子線通路へ向けて挿入され試料を保持し複数の軸方向に移動する試料移動手段と、
　透過型電子顕微鏡の鏡筒の試料室外部から電子線通路へ向けて前記試料移動手段と異なる方向から挿入され探針駆動用粗動機構とピエゾ極微動機構からなり探針を３軸移動する探針移動手段と、
　前記ＳＴＭ探針と前記試料を観察するＴＥＭ観察手段と、
ＳＴＭ観察手段と
　を備え、前記ＳＴＭ探針と前記試料の間の位置調節を行い、前記ＳＴＭ探針と前記試料のＴＥＭ像及び、ＳＴＭ像を観察する高分解能複合型顕微鏡。」の点で一致し、以下の点で相違する。
　
相違点１；
　本願発明は、「前記カンチレバー型ＡＦＭ／ＳＴＭ探針の背面にレーザー照射部からレーザー光を照射してそこで反射されたレーザー光をレーザー受光部で検出するＡＦＭの力検出手段」を有するのに対し、引用発明には、この点の限定がなされていない点。
　
相違点２；
　走査プローブ型顕微鏡の探針の構造が、本願発明は「カンチレバー型ＡＦＭ／ＳＴＭ探針」であるのに対して、引用発明は「ＳＴＭ探針」である点。
　
相違点３；
　ＴＥＭ以外の観察手段が、本願発明は、「前記ＳＴＭ用電流検出手段及びＡＦＭの力検出手段の検出信号に基づきＡＦＭ信号波形、ＳＴＭ信号波形、ＡＦＭ画像、又はＳＴＭ画像を選択的にあるいは組み合わせて観察可能なＡＦＭ／ＳＴＭ観察手段」と言及しているのに対し、引用発明では、明示的に言及がされていない点。
　
（以上、相違点１ないし３は、引用例１において、引用発明の顕微鏡が、ＡＦＭの機能を有する旨の記載がない点について、言及したものである。以下、相違点４〜１０においても、ＡＦＭの機能・構成を有しない点は、同様に相違点であるが、その言及は省略する。）
　
相違点４；
　透過型顕微鏡の観察対象となる試料は、本願発明では「薄膜」であるのに対し、引用発明には、そのような限定が明示されていない点。
　
相違点５；
　電子顕微鏡の観察対象である試料を、保持し移動する手段が、本願発明では「３軸移動する」のに対して、引用発明では、「Ｘ，Ｙ軸移動可能」である点。
　
相違点６；
　探針駆動用の粗動機構が、本願発明は「ゴニオメータ」であるのに対し、引用発明には、そのような言及がない点。
　
相違点７；
　ＳＴＭの基本構成として、本願発明には「ＳＴＭ探針と試料の間にバイアス電圧を印加して前記試料に含まれるトンネル電流を検出するＳＴＭ用電流検出手段」を有するのに対し、引用発明はその旨の明示的な記載がない点。
　
相違点８；
　ＴＥＭ像の観察対象が、本願発明は、探針の「先端」と試料の「先端部」の「原子配列像」であるのに対して、引用発明は、そのような観察対象の部位や、観察像の内容について、特に明示されていない点。
　
相違点９；
　探針と試料間の位置を調整するための駆動手段が、本願発明では、「探針移動手段の探針移動用ゴニオメータとピエゾ極微動機構」であるのに対し、引用発明は探針移動手段の「粗動機構６」と「積層ピエゾ（微動機構）５」、及び試料移動手段の「ゴニオメータ７」である点。
　
相違点１０；
　探針と試料間の位置調整として、本願発明では「カンチレバー型ＡＦＭ／ＳＴＭ探針の先端を前記薄膜試料の先端部と近接又は接触状態となる位置まで移動させ」る旨、言及されているのに対し、引用発明には、両者をどのように位置調整するかについて、明示的な言及がなされていない点。
　
５．当審の判断
　
（１）相違点１、２、３について
　顕微鏡の分野において、複数の像取得方式を複合化することは、当業者にとって、従来周知の手段であり（引用例１の記載事項アや引用例２の段落【０００１】及び【０００６】等参照）、また、その複合化の例として、引用例２に記載されたような、ＳＴＭとＡＦＭの複合型の顕微鏡は、当業者にとって従来周知のものであるから（引用例２の記載事項キ、ク、コ）、引用発明の複合型顕微鏡として、ＡＦＭの機能を付加することは、当業者であれば容易に想到し得る事項であり、またその際に、引用発明の探針として、引用例２に記載のＳＴＭ／ＡＦＭの両用可能な探針を採用することも、当業者であれば適宜選択する事項であると認める。
　また、ＳＴＭ／ＡＦＭの複合型顕微鏡であるならば、当然これらの観察画像を観察する手段を有することは、当業者にとって当然なす程度の事項である。
　してみると、相違点１ないし３に係る本願発明の発明特定事項は、従来周知の技術に基づいて当業者が容易に想到し得る事項である。
　
（２）相違点４について
　透過型顕微鏡の観察対象となる試料は、通常薄膜であることは、当業者にとって技術常識である（例えば、特開２０００−３１０５８５号公報の段落【０００３】の記載等を参照のこと。）ので、引用発明の試料の形状が薄膜であることは、当業者にとって自明である。
　したがって、相違点４は実質的な相違点ではない。
　
（３）相違点５について
　電子顕微鏡の観察対象となる試料を保持し移動する手段として、三軸方向に駆動可能なものは、電子顕微鏡の分野では従来周知（例えば、特開平４−１６７３４６号公報の特許請求の範囲の記載等を参照のこと）であるから、引用発明の試料の移動手段を、上記周知の手段に置き換えることは、当業者にとって単なる設計的事項にすぎない。
　したがって、相違点５に係る本願発明の発明特定事項は、単なる設計的事項である。
　
（４）相違点６について
　記載事項オの「探針４と試料２との間の粗動はゴニオメータ７で行う」との記載から、引用発明の試料移動手段の粗動機構として、ゴニオメータ７を使うことが開示されているので、探針駆動用の粗動機構としてもゴニオメータを利用することは、当業者であれば当然想起する程度の設計的事項である。
　したがって、相違点６に係る本願発明の発明特定事項は、単なる設計的事項である。
　
（５）相違点７について
　引用例１の記載事項イは、ＳＴＭの従来周知の基本構成として、ＳＴＭ探針と試料の間にバイアス電圧を印加して前記試料に含まれるトンネル電流を検出するＳＴＭ用電流検出手段を有することを開示しており（「探針先端の原子と試料の原子の電子雲とが重なり合うｌｎｍ程度まで探針を試料に近づけ、この状態で探針と試料との間に電圧をかけるとトンネル電流が流れる。　このトンネル電流は、電圧が数ｍＶ〜数Ｖのとき、１〜１０ｍＡ程度になり、試料と探針との間の距離により変化する。そこで、トンネル電流の大きさを測定することにより試料と探針との間の距離を超精密測定することができ、探針位置が既知であれば試料の表面形状を求めることができる。」）、引用発明のＳＴＭ装置も当然、この基本構成を有するものと認められる。
　したがって、相違点７は実質的な相違点ではない。
　
（６）相違点８について
　ＴＥＭは、一般的に、調査資料の原子配列の大きさまで観察することを可能とするものである。また、引用例１の記載事項クには、ＴＥＭによって、ＳＴＭの試料の見たい位置を特定できる程度の同視野観察を行われること（「以上の説明から明らかなように、本発明によれば、従来より非常に困難とされていた粗動をＴＥＭ像やＳＥＩ像を見ながら行うことができ、ＴＥＭ像やＳＥＩ像のモニターにより同視野観察が可能になり、試料の見たい位置にＳＴＭ探針を移動させることができる。従って、ＳＴＭ像の観たい位置を自由に選ぶことができる。」）が記載されており、この記載から、引用発明のＴＥＭによる観察は、ＳＴＭの観察位置の特定のために、探針の先端部の大きさ程度、乃ち源子レベルのオーダーでの観察が行われているものと認められる。
　したがって、引用発明のＴＥＭ像は、探針及び試料表面の原子配列を観察するもの、と言える。
　よって、相違点８は実質的な相違点ではない。
　
（７）相違点９について
　探針と試料間の位置調整における粗動を、探針移動手段の粗動機構（探針移動用ゴニオメータ）のみで行うか、探針移動手段の粗動機構と試料移動手段の粗動機構を共動して行うかのどちらを選択するかは、単に２つの物体の間の位置調整を行う際の、物体の動かし方としては相対的なものにすぎないので、当業者にとって単なる設計的事項にすぎない、と言える。
　したがって、相違点９に係る本願発明の発明特定事項は、単なる設計的事項である。
　
（８）相違点１０について
　ＳＴＭによる観察を行うためには、探針の先端と試料とを、数ナノオーダーのレベルまで近接させることが必要であるから（記載事項イ「トンネル電流により試料の表面形状（凹凸像）を観察する場合には、まず、粗動により探針を０．１μｍ程度まで試料に近づけ、そして微動により０．１μｍからさらにｌｎｍまで探針を試料に近づけ、ｎｍオーダーでの制御が行われる。」、引用発明の複合型顕微鏡においても、ＳＴＭ観察の際には、探針の先端部を試料に近接するまで移動するものであると言える。
　よって、相違点１０は実質的な相違点ではない。
　
　以上（１）乃至（８）の考察から、相違点４，７，８，１０は実質的な相違点ではなく、また、相違点１，２，３，５、６、９についても、引用例１に記載された発明、並びに引用例２に記載された事項及び従来周知の事項に基づいて、引用発明から当業者が容易に想到し得るものである。
　
　そして、本願発明の効果は、引用例１及び２の記載、並びに従来周知の事項から当業者が予測し得る範囲内のものである。
　
　よって、本願発明は、引用例１に記載された発明、並びに引用例２に記載された事項及び従来周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例１に記載された発明、並びに引用例２に記載された事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、請求項２に係る発明に論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。