(57)【要約】  下地材料（１）の上に絶縁膜（２）が形成されている。絶縁膜（２）は、中央部で下地材料から剥がれる方向にストレスがかかる圧縮膜である。絶縁膜（２）の中央部に凹部（３）が形成されて厚みが部分的に薄くなっている。
2018198199.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下地材料と、
前記下地材料の上に形成された絶縁膜とを備え、
前記絶縁膜は、中央部で前記下地材料から剥がれる方向にストレスがかかる圧縮膜であり、
前記絶縁膜の前記中央部に凹部が形成されて厚みが部分的に薄くなっていることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
下地材料と、
前記下地材料の上に形成された絶縁膜とを備え、
前記絶縁膜は、外周部で前記下地材料から剥がれる方向にストレスがかかる引張膜であり、
前記絶縁膜の前記外周部に凹部が形成されて厚みが部分的に薄くなっていることを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
第１の配線と、
前記第１の配線の上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜の上に形成され、開口部を有する第２の配線とを備え、
前記開口部の中央部において前記絶縁膜に凹部が形成されて厚みが部分的に薄くなっていることを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
第１の配線と、
前記第１の配線の上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜の上に形成され、開口部を有する第２の配線とを備え、
前記開口部の開口縁部において前記絶縁膜に凹部が形成されて厚みが部分的に薄くなっていることを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
第１の配線と、
前記第１の配線の上に形成され、開口部を有する絶縁膜と、
前記絶縁膜の上に形成され、前記開口部を介して前記第１の配線に接続された第２の配線とを備え、
前記第２の配線の端部の下部において前記絶縁膜に凹部が形成されて厚みが部分的に薄くなっていることを特徴とする半導体装置。
【請求項６】
前記凹部において前記絶縁膜が切り離されていることを特徴とする請求項５に記載の半導体装置。
【請求項７】
第１の配線と、
前記第１の配線の上に形成され、開口部を有する絶縁膜と、
前記絶縁膜の上に形成され、前記開口部を介して前記第１の配線に接続された第２の配線とを備え、
前記開口部の端部がテーパー状になっていることを特徴とする半導体装置。
【請求項８】
前記絶縁膜は、下部から上部に向かってＳｉ／Ｎ組成比が段階的に上がるＳｉＮ膜であることを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の半導体装置。
【請求項９】
前記絶縁膜は、ＳｉＯ膜と、前記ＳｉＯ膜の上に形成されたＳｉＮ膜とを有することを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線間又は配線上に絶縁膜を形成した半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置では、チップサイズを最小限にとどめるべく配線を三次元的に重ねて配置する。そして、絶縁性を確保するために配線間又は配線上に絶縁膜を形成する。この配線と絶縁膜の積層構造において、様々なパラメータのばらつきなどによって、絶縁膜が剥れたり、浮いたり、それにより膜にクラックが入ったりする不具合が発生する場合がある。絶縁膜の剥れの防止策として、それぞれ膜又は構造は異なるが、密着性改善（例えば、特許文献１参照）、成膜後処理（例えば、特許文献２参照）、膜質制御（例えば、特許文献３参照）、緩和膜挿入（例えば、非特許文献１参照）などが検討されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】日本特開２００９−２３１３９９号公報
【特許文献２】日本特開２００８−３１１５４３号公報
【特許文献３】日本特開２０１０−１７１０７２号公報
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】ＮＨＫ技研Ｒ＆Ｄ／Ｎｏ．１５３／２０１５  Ｐ．２９−３４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の半導体装置では、配線間又は配線上に形成された絶縁膜において、絶縁膜又は金属配線からのストレスが集中する箇所が存在する。そのような箇所において、偶発的ではあるが、断続的に膜剥れ、膜浮き、膜のクラックが発生する。このため、品質懸念でＮＧ判定となり歩留りに大きく影響していた。この原因としては、例えば有機残渣の影響などの接触部の密着性の劣化、絶縁膜上に配線形成する際の前処理の不安定性、絶縁膜のストレスが考えられる。その中でも絶縁膜のストレスは根本原因と考えられ、絶縁膜の膜質制御又はストレス緩和層挿入など様々な対策が検討される。しかし、特性確保のための自由度が無く、結局、歩留りと品質を安定的に確保することができていない。【０００６】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は歩留りと品質を安定的に確保することができる半導体装置を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る半導体装置は、下地材料と、前記下地材料の上に形成された絶縁膜とを備え、前記絶縁膜は、中央部で前記下地材料から剥がれる方向にストレスがかかる圧縮膜であり、前記絶縁膜の前記中央部に凹部が形成されて厚みが部分的に薄くなっていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明では、圧縮膜である絶縁膜の中央部に凹部が形成されて厚みが部分的に薄くなっている。これにより、下地材料から剥れる方向にかかるストレスを小さくすることができるため、絶縁膜の剥れ、浮き、クラックを安定して抑制することができる。この結果、歩留りと品質を安定的に確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】圧縮膜と引張膜の膜ストレスを示す断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る半導体装置を示す断面図である。
【図３】比較例１に係る半導体装置を示す断面図である。
【図４】絶縁膜の膜厚と膜ストレスの関係を実験した結果を示すグラフである。
【図５】本発明の実施の形態２に係る半導体装置を示す断面図である。
【図６】比較例２に係る半導体装置を示す断面図である。
【図７】本発明の実施の形態３に係る半導体装置を示す断面図である。
【図８】比較例３に係る半導体装置を示す断面図である。
【図９】本発明の実施の形態４に係る半導体装置を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態５に係る半導体装置を示す断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態６に係る半導体装置を示す断面図である。
【図１２】本発明の実施の形態７に係る層間絶縁膜を示す断面図である。
【図１３】Ｓｉ／Ｎ組成比とエッチングレートの関係を示す図である。
【図１４】本発明の実施の形態８に係る層間絶縁膜を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の実施の形態に係る半導体装置について図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。
【００１１】
実施の形態１．
一般的に半導体装置のあらゆる箇所において、下地材料の上に絶縁膜が形成される。下地材料は、例えば、半導体基板、エピタキシャル成長した半導体層、別の絶縁膜、配線又は電極などの金属膜である。絶縁膜として、ＳｉＮ膜、ＳｉＯＮ膜、ＳｉＯ膜などの窒化膜又は酸化膜が多く使われる。
【００１２】
図１は、圧縮膜と引張膜の膜ストレスを示す断面図である。絶縁膜は、成膜装置、成膜方法、又は成膜条件などによって膜自体にかかるストレス方向が異なる２種類に分類される。圧縮（compressive）膜では、中央部で下地材料から剥がれる方向にストレスがかかる。引張（tensile）膜では、外周部で下地材料から剥がれる方向にストレスがかかる。このため、下地材料と絶縁膜の密着力を超えるストレスがかかる部分で、膜が剥れたり、浮いたり、膜にクラックが入ったりしてしまう。
【００１３】
図２は、本発明の実施の形態１に係る半導体装置を示す断面図である。下地材料１の上に圧縮膜である絶縁膜２が形成されている。絶縁膜２の中央部に凹部３が形成されて厚みが部分的に薄くなっている。
【００１４】
図３は、比較例１に係る半導体装置を示す断面図である。比較例１には凹部３が形成されていない。圧縮膜である絶縁膜２は、外周部で下地材料１の方向にストレスＳ１がかかり、中央部で下地材料１から剥がれる方向にストレスＳ２がかかる。
【００１５】
図４は、絶縁膜の膜厚と膜ストレスの関係を実験した結果を示すグラフである。このグラフから、膜厚が薄い方が膜ストレスが軽減していることが分かる。本実施の形態では、圧縮膜である絶縁膜２の中央部に凹部３が形成されて厚みが部分的に薄くなっている。これにより、下地材料１から剥れる方向にかかるストレスＳ２を小さくすることができるため、絶縁膜２の剥れ、浮き、クラックを安定して抑制することができる。この結果、歩留りと品質を安定的に確保することができる。
【００１６】
実施の形態２．
図５は、本発明の実施の形態２に係る半導体装置を示す断面図である。下地材料１の上に引張膜である絶縁膜４が形成されている。絶縁膜４の外周部に凹部５が形成されて厚みが部分的に薄くなっている。
【００１７】
図６は、比較例２に係る半導体装置を示す断面図である。比較例２には凹部５が形成されていない。引張膜である絶縁膜４は、中央部で下地材料１の方向にストレスＳ１がかかり、外周部で下地材料１から剥がれる方向にストレスＳ２がかかる。
【００１８】
本実施の形態では、引張膜である絶縁膜４の外周部に凹部５が形成されて厚みが部分的に薄くなっている。これにより、下地材料１から剥れる方向にかかるストレスＳ２を小さくすることができるため、絶縁膜４の剥れ、浮き、クラックを安定して抑制することができる。この結果、歩留りと品質を安定的に確保することができる。
【００１９】
実施の形態３．
図７は、本発明の実施の形態３に係る半導体装置を示す断面図である。半導体基板６に裏面ビアホール７が形成されている。半導体基板６の上に下地絶縁膜８が形成され、その上に下地金属配線９が形成されている。下地金属配線９の上に層間絶縁膜１０が形成されている。層間絶縁膜１０には開口部１１が形成されている。層間絶縁膜１０の上に中間金属配線１２が形成されている。中間金属配線１２は開口部１１を介して下地金属配線９に接続されている。中間金属配線１２の上に上地金属配線１３が形成されている。
【００２０】
中間金属配線１２は開口部１４を有する。全面に上地絶縁膜１５を形成した後にパターニングして、上地絶縁膜１５が中間金属配線１２と開口部１４を覆うようにする。開口部１４の中央部において層間絶縁膜１０に凹部１６が形成されて厚みが部分的に薄くなっている。
【００２１】
続いて、本実施の形態の効果を比較例と比較して説明する。図８は、比較例３に係る半導体装置を示す断面図である。比較例３には凹部１６が形成されていない。特に層間絶縁膜１０が圧縮膜の場合、端部にストレスがかかるのに加え、中間金属配線１２から垂直方向の圧力Ｐ１も付加される。このため、開口部１４の中央部で層間絶縁膜１０に下地金属配線９から剥がれる方向にストレスがかかる。この結果、比較例では、層間絶縁膜１０の剥れ、浮き、クラック１７が生じる。
【００２２】
これに対して、本実施の形態では、開口部１４の中央部において層間絶縁膜１０に凹部１６が形成されて厚みが部分的に薄くなっている。これにより、下地材料１から剥れる方向にかかるストレスを小さくすることができるため、層間絶縁膜１０の剥れ、浮き、クラックを安定して抑制することができる。この結果、歩留りと品質を安定的に確保することができる。なお、層間絶縁膜１０が引張膜の場合でも、開口部１４の中央部でのストレスは緩和されるため、圧縮膜ほどではないが効果がある。
【００２３】
実施の形態４．
図９は、本発明の実施の形態４に係る半導体装置を示す断面図である。層間絶縁膜１０が圧縮膜の場合、端部にストレスがかかるのに加え、中間金属配線１２から垂直方向の圧力Ｐ１もかかる。また、層間絶縁膜１０が引張膜の場合でも中間金属配線１２の端部の下部では反る方向、即ち上方向に力が働いている。
【００２４】
そこで、本実施の形態では、中間金属配線１２の開口部１４の開口縁部において層間絶縁膜１０に凹部１６が形成されて厚みが部分的に薄くなっている。このように圧力Ｐ１がかかる箇所の近傍に凹部１６を形成することで、ストレスを緩和することができるため、層間絶縁膜１０の剥れ、浮き、クラックを安定して抑制することができる。この結果、歩留りと品質を安定的に確保することができる。
【００２５】
実施の形態５．
図１０は、本発明の実施の形態５に係る半導体装置を示す断面図である。中間金属配線１２と下地金属配線９を繋ぐ開口部１４近傍において、中間金属配線１２の端部から層間絶縁膜１０に垂直方向の圧力Ｐ１がかかる。また、上地金属配線１３から中間金属配線１２に垂直方向の圧力Ｐ２がかかる。さらに、これらの垂直方向の圧力も影響し、中間金属配線１２から層間絶縁膜１０に水平方向の圧力Ｐ３がかかる。これらの圧力が緩和されないと、中間金属配線１２の端部の下部において層間絶縁膜１０へのストレスが最も強くなり、膜剥れ、膜浮き、膜のクラックの発生に至ることになる。
【００２６】
本実施の形態では、開口部１４近傍において中間金属配線１２の端部の下部において層間絶縁膜１０にテーパー状の凹部１６が形成されて厚みが部分的に薄くなっている。これにより、各配線からの圧力Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３による層間絶縁膜１０へのストレスを構造上断ち切ることができるため、層間絶縁膜１０の剥れ、浮き、クラックを安定して抑制することができる。この結果、歩留りと品質を安定的に確保することができる。また、凹部１６において層間絶縁膜１０が切り離されていることが好ましい。これにより、各配線からの圧力Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３からのストレスを断ち切ることができる。
【００２７】
実施の形態６．
図１１は、本発明の実施の形態６に係る半導体装置を示す断面図である。半導体基板６の上に下地金属配線９が形成されている。下地金属配線９の上に、開口部１１を有する層間絶縁膜１０が形成されている。中間金属配線１２が層間絶縁膜１０の上に形成され、開口部１１を介して下地金属配線９に接続されている。開口部１１の端部が垂直ではなく、テーパー状になっている。このため、開口部１１の開口面積は上部から下部に向かって緩やかに狭くなる。上部中間金属配線１２の端部は、テーパー斜面上又はその上部の角に合わせる。
【００２８】
層間絶縁膜１０が圧縮膜の場合、開口部１１の周縁において層間絶縁膜１０には垂直下方向にストレスがかかる。一方、引張膜の場合は垂直上方向にストレスがかかる。その部分に中間金属配線１２が形成されると、開口部１１には中間金属配線１２から垂直下方向への圧力Ｐ４がかかることになる。そうなると、圧縮膜であっても引張膜であっても、開口部１１内の中間金属配線１２から層間絶縁膜１０に水平方向の圧力Ｐ５が大きくかかることになる。これに対して、開口部１１の端部をテーパー状にすることで圧力Ｐ５を分散して小さくすることができるため、層間絶縁膜１０の剥れ、浮き、クラックを安定して抑制することができる。この結果、歩留りと品質を安定的に確保することができる。
【００２９】
実施の形態７．
図１２は、本発明の実施の形態７に係る層間絶縁膜を示す断面図である。絶縁膜１７は、下部から上部に向かってＳｉ／Ｎ組成比が段階的に上がるＳｉＮ膜である。図１３は、Ｓｉ／Ｎ組成比とエッチングレートの関係を示す図である。このようにＳｉ／Ｎ組成比が高いとエッチングレートが大きくなる。従って、絶縁膜１７をエッチングする場合、エッチングレートが大きいＳｉ／Ｎ組成比の部分から順番にエッチングされていく。このため、絶縁膜１７の厚みが部分的に薄くなったテーパー形状を形成することができる。また、Ｓｉ／Ｎ組成比の段階的な変化の回数と各段階の膜厚を調整することで、絶縁膜１７の部分的に薄くする箇所の残し厚を調整することができる。
【００３０】
本実施の形態に係る絶縁膜１７を実施の形態１〜５の半導体装置に適用することで、エッチングにより絶縁膜１７の膜厚を調整しやすくなり、絶縁膜１７の状態に合わせて、膜剥れ、膜浮き、膜のクラックの発生を軽減、抑制することができる。
【００３１】
実施の形態８．
図１４は、本発明の実施の形態８に係る層間絶縁膜を示す断面図である。絶縁膜１８は、ＳｉＯ膜１９と、ＳｉＯ膜１９の上に形成されたＳｉＮ膜２０とを有する。上層のＳｉＮ膜２０は、下層のＳｉＯ膜１９よりエッチングレートが大きい。これにより、ＳｉＯに対してＳｉＮを選択的にエッチングする条件でパターニングを実施すると、上層のＳｉＮ膜２０をエッチングしつつ、下層のＳｉＯ膜１９のみ残すことができる。そして、下層のＳｉＯ膜１９の膜厚を調整することで、層間絶縁膜１０の部分的に薄くする箇所の残し厚２１を調整することができる。
【００３２】
本実施の形態に係る絶縁膜１８を実施の形態１〜５の半導体装置に適用することで、エッチングにより絶縁膜１８の膜厚を調整しやすくなり、絶縁膜１８の状態に合わせて、膜剥れ、膜浮き、膜のクラックの発生を軽減、抑制することができる。
【符号の説明】
【００３３】
１  下地材料、２，４，１７，１８  絶縁膜、３  凹部、１０  層間絶縁膜、１１，１４  開口部、１９  ＳｉＯ膜、２０  ＳｉＮ膜
【図１】
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【図２】
2018198199.tif 000004
【図３】
2018198199.tif 000005
【図４】
2018198199.tif 000006
【図５】
2018198199.tif 000007
【図６】
2018198199.tif 000008
【図７】
2018198199.tif 000009
【図８】
2018198199.tif 000010
【図９】
2018198199.tif 000011
【図１０】
2018198199.tif 000012
【図１１】
2018198199.tif 000013
【図１２】
2018198199.tif 000014
【図１３】
2018198199.tif 000015
【図１４】
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【手続補正書】
【提出日】平成29年8月28日(2017.8.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の配線と、
前記第１の配線の上に形成され、開口部を有する絶縁膜と、
前記絶縁膜の上に形成され、前記開口部を介して前記第１の配線に接続された第２の配線とを備え、
前記第２の配線の端部の下部において前記絶縁膜に凹部が形成されて厚みが部分的に薄くなり、
前記凹部において前記絶縁膜が切り離されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記絶縁膜は、下部から上部に向かってＳｉ／Ｎ組成比が段階的に上がるＳｉＮ膜であることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記絶縁膜は、ＳｉＯ膜と、前記ＳｉＯ膜の上に形成されたＳｉＮ膜とを有することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明に係る半導体装置は、第１の配線と、前記第１の配線の上に形成され、開口部を有する絶縁膜と、前記絶縁膜の上に形成され、前記開口部を介して前記第１の配線に接続された第２の配線とを備え、前記第２の配線の端部の下部において前記絶縁膜に凹部が形成されて厚みが部分的に薄くなり、前記凹部において前記絶縁膜が切り離されていることを特徴とする。
【国際調査報告】
2018198199.tif 000017
2018198199.tif 000018
2018198199.tif 000019
2018198199.tif 000020