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　平成１０年特許願第　５１６５２号「インクジェットプリントヘッドに用いる遷移金属炭化物膜」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　９月２２日出願公開、特開平１０−２５００８０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１０年３月４日（パリ条約による優先権主張：１９９７年３月４日、米国）に出願したものであって、平成１６年８月２７日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年１１月２９日付けで拒絶査定に対する審判請求がなされたものである。
　当審においてこれを審理した結果、平成１９年３月１９日付けで拒絶の理由を通知したところ、請求人は同年９月１９日付けで意見書及び手続補正書を提出した。
　
２．本願発明
　本願請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成１９年９月１９日付けの手続補正によって補正された特許請求の範囲（請求項数１０）の請求項１に記載された事項により特定される次のものと認める。
「複数の薄膜層を備えた薄膜基板(11)と、
　該複数の薄膜層中に画定された複数の発射ヒータ抵抗(56)と、
　前記複数の薄膜層上に配置された遷移金属炭化物層(63)と、
　前記遷移金属炭化物層上に配置されたポリマーからなるインクバリア層(12)と、
　個々の前記ヒータ抵抗上方の前記バリア層中に形成された個々の発射チャンバ(19)と、を備えており、前記遷移金属炭化物層が、前記薄膜基板と前記インクバリア層の間に配置され且つ前記薄膜基板と前記インクバリア層との接着層として機能する、薄膜プリントヘッド。」
　
３．引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願優先権主張日前に頒布された刊行物である特開昭５９−２０１８６８号公報（以下、「刊行物」という。）には、以下の記載が図示とともにある。（現代仮名使いに書き改めたところがある。）
ア．「液体を吐出して飛翔的液滴を形成する為に設けられたオリフィスと、該オリフィスに連通し、前記液滴を形成する為の熱エネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路とを有する液吐出部と、基板上に設けられた発熱抵抗層に電気的に接続して、少なくとも一対の対置する電極が設けられ、これ等電極の間に熱発生部が形成されている電気熱変換体とを具備する液体噴射記録ヘッドに於いて、少なくとも前記熱発生部の上面を覆う様に保護層が無機材料からなる３層以上の層を積層することによって設けられ、それ等の層の直接重なり合った２層を構成するそれぞれの無機材料が一つ以上の共通する構成元素を含有していることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。」（特許請求の範囲）
イ．「この様な多層から成る保護層では、新たに、積層された各重なり合う層の間の接着力が十分に強く、記録ヘッドの製造過程及び実際の使用期間にわたって、層間での剥離や浮き上がりなどの接着力の低下による故障が生じないことが要求される。」（第２頁左下欄第１１〜１６行）
ウ．「第１図に於いて、基板１はシリコン、ガラス、セラミックス等で形成される支持体１０１と、該支持体１０１上にＳｉＯ２等よりなる下部層１０２とを具備している。」（第３頁右下欄第１〜第４行）
エ．「基板への上部には、発熱抵抗層２が積層され、更にその上部に電極層３が積層される。これ等発熱抵抗層２及び電極層３は、フォトエッチング法等により所望する形状を残して基板１上から選択的に除去される。熱発生部６に於いては、第１図に示す様に、電極層３は、その端部が所定の距離を持って対向するように発熱抵抗層２上より除去されてパターニングされる。この電極層３の除去された発熱抵抗層２の部分が電極層３に通電することによって熱を発生する領域（熱発生部６）となる。」（第３頁右下欄第１８行〜第４頁左上欄第８行）
オ．「発熱抵抗層２及び電極３が形成された基板１の表面上には更に、上部層として保護層４が積層される。この保護層４は、第１図に示した本発明の保護層では、第１層４０１、第２層４０２及び第３層４０３からなる３層構造とされている。
　保護層４は、熱発生部６上に設けられる保護層として求められる前述した特性を有し、かつ基板との接着性及び保護層４を形成する各層間の接着性に充分優れているように各層の材料が選択され構成される。」（第４頁右上欄第７〜１６行）
カ．「第１層４０１を構成する材料としては、上記した無機質材料の他に酸化チタン、・・・アモルファスセレン等の半導体などバルクでは低抵抗であってもスパッタリング法、ＣＶＤ法、蒸着法、気相反応法、液体コーティング法等の製造過程で高抵抗化し得る薄膜材料を挙げることができ、その層厚としては、好ましくは０．１〜５μｍ、より好ましくは０．２〜３μｍ、特に好ましくは０．５〜３μｍとされるのが望ましい。」（第４頁左下欄第５行〜右下欄第２行）
キ．「保護層４の最上部層として積層される第３層４０３は、熱発生部６に対応してその上部に設けられる液流路の液体と直接接触する部位にあり、・・・
　この第３層４０３を構成する材料は、粘りがあって比較的機械的強度に優れ、熱伝導性、耐液性及び液浸透防止性にも優れた材料であり、このような材料としては、例えばＳｃ、Ｙ等の周期律表第IIIａ族の元素、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆなどの第IVａ族の元素、Ｔａ、Ｖ、Ｎｂ等の第Ｖａ族の元素、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ等の第VIａ族の元素、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の第VIII族の元素等からなる金属；・・・Ｔｉ−Ｃ、Ｚｒ−Ｃ、Ｖ−Ｃ、Ｔａ−Ｃ、Ｍｏ−Ｃ、Ｎｉ−Ｃなどの上記金属の炭化物；・・・が挙げられる。第３の層は、これらの材料を用いて蒸着法、スパッタリング法、ＣＶＤ法等の手法により形成することができ、」（第４頁右下欄第３行〜第５頁左上欄第５行）
ク．「第２層４０２を構成する材料としては、第１層４０１と第３層４０３との接着性を高めかつ熱発生部上に設けることによって要求される保護層の特性を損なわない材料の多くが利用できるが、最適なものとして、第１層４０１を構成する材料の構成元素と少なくとも一つの共通する第１の元素を含有し、かつ第３層４０３を構成する材料の構成元素と少なくとも一つの共通する第２の元素を含有する材料が挙げられる。前記第１の元素及び第２の元素は、必ずしも異なっている必要はなく、同一のものであっても良い。」（第５頁右上欄第１５行〜左下欄第５行）
ケ．「更に、第１図に示した様な保護層４によって保護された電気熱変換体により形成される熱発生部の設けられた基板上に、その熱発生部に対応した液流路とオリフィスを形成することにより本発明の液体噴射記録ヘッドが完成される。
　第２図は、完成された液体噴射記録ヘッドの一実施態様例の模式的組立て図である。
　この記録ヘッドは、基板２０１上に、感光性樹脂ドライフィルムを積層し、所定のパターンマスクによる露光、現像を行ない基板上の熱発生部に対応した液路壁２０３、共通液室２０５を設け、更に、ガラス板、プラスチック板等からなるオリフィス２０８を有する天板２０７をエポキシ系接着剤を使用して、流路壁上に積層接着して完成されたものである。この記録ヘッドでは、熱作用面を有する液流路２０２の天井部分に、熱作用面に相対してオリフィスが設けられている。」（第５頁右下欄第１５行〜第６頁左上欄第１１行）
コ．第２図から、液路壁２０３間の空間が液流路２０２であり、複数設けられていることが看取できる。
　
　上記キ．に周期律表第IIIａ族の元素、IVａ族の元素、第Ｖａ族の元素、第VIａ族の元素、第VIII族の元素等からなる金属（これらの金属は遷移金属である。）が示され、「Ｔｉ−Ｃ、Ｚｒ−Ｃ、Ｖ−Ｃ、Ｔａ−Ｃ、Ｍｏ−Ｃ、Ｎｉ−Ｃなどの上記金属の炭化物」との記載から、遷移金属炭化物層からなる第３層４０３を有し、上記ク．の記載から、遷移金属炭化物の構成元素と少なくとも一つの共通する元素を含有する材料（以後、「共通元素材料」という。）からなる第２層４０２を有する液体噴射記録ヘッドが想定できる。また、上記ケ．、コ．から、液流路２０２は、感光性樹脂ドライフィルムをパターンマスクによる露光、現像して形成された液路壁２０３間の空間であり、したがって、液流路２０２は、感光性樹脂ドライフィルム中に複数形成され、液流路２０２毎に熱発生部６があることは技術常識であり、液流路２０２は、個々の熱発生部６の上方であることは明らかであるから、上記記載及び図面を含む刊行物全体の記載から、刊行物には、以下の発明が開示されていると認められる。
「支持体１０１上に下部層１０２を設けた基板１と、
その上部に積層した発熱抵抗層２の上部に電極層３を積層し、フォトエッチング法等により所望する形状を残して電極層３の一部を除去し、電極層３が除去された発熱抵抗層２の部分である複数の熱発生部６と、
その上に設けられた第１層４０１と、
その上に設けられた共通元素材料からなる第２層４０２と、
その上にスパッタリング法により形成した遷移金属炭化物からなる第３層４０３と、
更にその上に積層した感光性樹脂ドライフィルムと、
感光性樹脂ドライフィルムを所定のパターンマスクにより露光、現像を行ない液路壁２０３、共通液室２０５を設け、個々の熱発生部６上方の前記感光性樹脂ドライフィルム中に形成された個々の液流路２０２を備える液体噴射記録ヘッド。」
　
４．対比
　刊行物記載の発明は、支持体１０１、下部層１０２、第１層４０１、第２層４０２を備え、支持体１０１、下部層１０２、第１層４０１、第２層４０２からなるものを基板と称することができるから、複数の層を備えた基板を備えていることを限度として本願発明と一致する。
　刊行物記載の発明は、フォトエッチング法等により所望する形状を残して電極層３の一部を除去し、電極層３が除去された発熱抵抗層２の部分である複数の熱発生部６を備え、熱発生部６は、下部層１０２と第１層４０１の間にあるから、複数の層中に画定された複数の発射ヒータ抵抗を備えていることを限度として本願発明と一致する。
　刊行物記載の発明の遷移金属炭化物からなる第３層４０３は、支持体１０１、下部層１０２、第１層４０１、第２層４０２からなるものの上に形成されているから、刊行物記載の発明は、複数の層上に配置された遷移金属炭化物層を備えていることを限度として本願発明と一致する。
　刊行物記載の発明の感光性樹脂ドライフィルムは、遷移金属炭化物からなる第３層４０３の上に積層され、露光現像されることにより液路壁２０３が設けられるから、刊行物記載の発明は、遷移金属炭化物層上に配置されたポリマーからなる液体バリア層を備えていることを限度として本願発明と一致する。
　刊行物記載の発明の個々の液流路２０２は、個々の熱発生部６上方の前記感光性樹脂ドライフィルム中に形成されており、液流路２０２は、本願発明の発射チャンバに相当するから、刊行物記載の発明は、個々のヒータ抵抗上方のバリア層中に形成された個々の発射チャンバを備えている点で本願発明と一致する。
　刊行物記載の発明の遷移金属炭化物からなる第３層４０３は、第２層４０２の上に形成され、その上に感光性樹脂ドライフィルムが積層されるから、刊行物記載の発明は、遷移金属炭化物層が、基板と液体バリア層の間に配置されていることを限度として本願発明と一致する。
　刊行物記載の発明の液体噴射記録ヘッドがプリントヘッドであることを限度として本願発明と一致する。
　よって、両者は、
「複数の層を備えた基板と、
　該複数の層中に画定された複数の発射ヒータ抵抗と、
　前記複数の層上に配置された遷移金属炭化物層と、
　前記遷移金属炭化物層上に配置されたポリマーからなる液体バリア層と、
　個々の前記ヒータ抵抗上方の前記バリア層中に形成された個々の発射チャンバと、を備えており、前記遷移金属炭化物層が、前記基板と前記液体バリア層の間に配置されたプリントヘッド。」
の点で一致し、以下の点で相違している。
［相違点１］基板に関し、本願発明は、複数の薄膜層を備えた薄膜基板であり、したがって、複数の薄膜層中に複数の発射ヒータ抵抗が画定され、複数の薄膜層上に遷移金属炭化物層が配置され、遷移金属炭化物層が、薄膜基板とインクバリア層の間に配置され、本願発明を薄膜プリントヘッドと称しているのに対し、刊行物記載の発明は、複数の層を備えた基板を有するものの、本願発明のような特定がない点。
［相違点２］液体バリア層に関し、本願発明は、インクバリア層であるのに対し、刊行物記載の発明は、そのような特定がない点。
［相違点３］遷移金属炭化物層に関し、本願発明は、遷移金属炭化物層が、薄膜基板とインクバリア層との接着層として機能するのに対し、刊行物記載の発明は、そのような特定がない点。
　
５．判断
　上記相違点１について検討する。
　刊行物記載の発明の支持体１０１は、他の層を支持しているものであるから、ある程度の厚みを要するとしても、他の層は必要に応じその厚みを決定でき、本願明細書の従来例として薄膜基礎構造が記載され、刊行物の上記カ．に「スパッタリング法、ＣＶＤ法、蒸着法、気相反応法、液体コーティング法等の製造過程で高抵抗化し得る薄膜材料を挙げることができ」と記載されているように、薄膜成形技術は、周知技術でもあるから、刊行物記載の発明の下部層１０２、第１層４０１、第２層４０２を薄膜層とし、複数の薄膜層を備えた薄膜基板とすることは当業者が容易になし得る程度のことである。
　刊行物記載の発明の下部層１０２、第１層４０１、第２層４０２を薄膜層とすれば、複数の薄膜層中に複数の発射ヒータ抵抗が画定され、複数の薄膜層上に遷移金属炭化物層が配置され、遷移金属炭化物層が、薄膜基板と液体バリア層（本願発明が「インクバリア層」である点については相違点２で検討する。）の間に配置されることなるのは明らかであり、刊行物記載の発明の液体噴射記録ヘッドを薄膜プリントヘッドと称することができる。
　
　上記相違点２について検討する。
　液体噴射記録ヘッドに用いられる液体として、インクは最も一般的なものであるから、刊行物記載の発明に用いられる液体をインクとすることは自然なことであり、そうすると、刊行物記載の発明の感光性樹脂ドライフィルムを露光現像した層（「液体バリア層」）をインクバリア層と称することができる。
　
　上記相違点３について検討する。
　本願発明は、「薄膜基板とインクバリア層との接着層として機能する」と遷移金属炭化物層を機能的表現で特定しているものであり、該特定から、遷移金属炭化物層と薄膜基板との間、及び、遷移金属炭化物層とインクバリア層との間は、接着剤等の存在なしに直接接着しているものと解することができる。
　刊行物記載の発明において、遷移金属炭化物からなる第３層４０３と共通元素材料からなる第２層４０２（基板の最上層に当たる。）との間について検討すると、遷移金属炭化物からなる第３層４０３は、スパッタリング法により形成され、第２層４０２は、共通元素材料からなっており、それぞれの材料が共通する構成元素を含有している。刊行物記載の発明は、重なり合う層の間の接着力を十分に強くすることを目的として、共通する構成元素を含有しているものであるから、第３層４０３と第２層４０２は、接着剤等の存在なしに直接接着しているものといえる。
　次に、刊行物記載の発明における遷移金属炭化物からなる第３層４０３と感光性樹脂ドライフィルムとの間について検討する。刊行物の上記ケ．に「この記録ヘッドは、基板２０１上に、感光性樹脂ドライフィルムを積層し、所定のパターンマスクによる露光、現像を行ない基板上の熱発生部に対応した液路壁２０３、共通液室２０５を設け、更に、ガラス板、プラスチック板等からなるオリフィス２０８を有する天板２０７をエポキシ系接着剤を使用して、流路壁上に積層接着して完成されたものである。」と記載され、感光性樹脂ドライフィルムが接着剤を使用しないで接着されているとは明記されていないが、天板２０７との接着には「エポキシ系接着剤を使用して」と明記していることと合わせてみれば、接着剤を使用しないことが示唆されており、しかも、遷移金属炭化物からなる第３層４０３と感光性樹脂ドライフィルムは、共通する構成元素であるＣを含有しいるので、接着力を推認でき、感光性樹脂ドライフィルムが接着剤を使用しないで接着できることは、周知技術（例えば、特開平４−３１０７４９号公報、段落【００７０】〜【００７３】「フォトレジストや感光性ドライフィルム等を用いたリソグラフィー技術によるため、・・・接着剤による微細部の接着が必要ないため、」、特開平４−２１６９５２号公報、段落【００５９】〜【００６４】「フォトレジストや感光性ドライフィルム等を用いたリソグラフィー技術によるため、・・・接着剤による微細部の接着が必要ない為、」）でもあるから、遷移金属炭化物からなる第３層４０３と感光性樹脂ドライフィルムとの間を接着剤を使用しないで接着することは当業者が容易になし得る程度のことである。
　よって、上記相違点３のような構成とすることは、当業者が容易になし得る程度のことである。
　
　そして、本願発明の作用効果も、刊行物記載の発明及び周知技術から当業者が予測できる範囲のものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明は、本願優先権主張日前に頒布された刊行物記載の発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明を検討するまでもなく、本願は、拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。