【事件の表示】
　特願２００１−５１７６２７「化学機械的研磨系及びその使用方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　２月２２日国際公開、ＷＯ０１／１２７３９、平成１５年　２月２５日国内公表、特表２００３−５０７８９４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、２０００年７月２６日の国際出願（パリ条約による優先権主張１９９９年８月１３日、アメリカ合衆国）であって、平成１７年９月８日付の手続補正を経て平成１７年１２月２８日付で拒絶査定がなされ、平成１８年４月１０日に拒絶査定に対する審判が請求されるとともに同年５月１０日付で明細書を補正対象書類とする手続補正（以下、「本件補正」という。）がなされたものであり、平成１９年５月２３日付の当審による審尋に対して同年１１月１４日付で回答書が提出されたものである。
　
２．本件補正についての補正却下の決定　
【補正却下の決定の結論】　
　本件補正を却下する。　
　
【理由】　
2.1　補正後の本願発明　
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１が次のとおり補正された。
＜補正前＞
「少なくとも１種の酸化剤；
　α−アラニン、アルギニン、アスパラギン、アスパラギン酸、シスチン、システイン、グルタミン、グルタミン酸、ヒスチジン、イソロイシン、ロイシン、リジン、メチオニン、フェニルアラニン、セリン、スレオニン、トリプトファン、チロシン、バリン及びそれらの混合からなる群より選択される少なくとも１種のα−アミノ酸；
並びに
　少なくとも１種の不動態フィルム形成剤、
を含有する、化学機械研磨組成物。」
＜補正後＞
「少なくとも１種の酸化剤；
　α−アラニン、アルギニン、アスパラギン、アスパラギン酸、シスチン、システイン、グルタミン、グルタミン酸、ヒスチジン、イソロイシン、ロイシン、リジン、メチオニン、フェニルアラニン、セリン、スレオニン、トリプトファン、チロシン、バリン及びそれらの混合からなる群より選択される少なくとも１種のα−アミノ酸； 
　
活性官能基として５〜６員ヘテロ環の少なくとも１種の有機ヘテロ環を含み、少なくとも１つの環が窒素原子を有する、
並びに
　分子量約２００〜１００万以上のポリエチレンイミン、Ｎ
4
−アミン（Ｎ，Ｎ’−ビス−［３−アミノプロピル］エチレンジアミン）、４，７，１０−トリオキサデカン−１，１３−ジアミン、３，３−ジメチル−４，４−ジアミノジシクロヘキシルメタン、２−フェニルエチルアミン、ポリエーテルアミン、エーテルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルジプロピレントリアミン、３−［２−メトキシエトキシ］プロピルアミン、ジメチルアミノプロピルアミン、１，４−ビス（３−アミノプロピル）ピペラジン、及びそれらの混合からなる群より選択される、少なくとも１種のカチオン性窒素含有停止化合物；
を含有する、化学機械研磨組成物。」
　
　なお、下線は補正箇所を明りょうにする目的で、当審にて付与した。
　
2.2　補正の目的についての判断
　上記補正は、請求項１の発明を特定する事項のうち、「不動態フィルム形成剤」について、「活性官能基として５〜６員ヘテロ環の少なくとも１種の有機ヘテロ環を含み、少なくとも１つの環が窒素原子を有する」との限定を加えるとともに、新たに「分子量約２００〜１００万以上のポリエチレンイミン、Ｎ4−アミン（Ｎ，Ｎ’−ビス−［３−アミノプロピル］エチレンジアミン）、４，７，１０−トリオキサデカン−１，１３−ジアミン、３，３−ジメチル−４，４−ジアミノジシクロヘキシルメタン、２−フェニルエチルアミン、ポリエーテルアミン、エーテルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルジプロピレントリアミン、３−［２−メトキシエトキシ］プロピルアミン、ジメチルアミノプロピルアミン、１，４−ビス（３−アミノプロピル）ピペラジン、及びそれらの混合からなる群より選択される、少なくとも１種のカチオン性窒素含有停止化合物」を発明特定事項に加えるものであるから、特許請求の範囲を限定して減縮することを目的とするものに該当する。そして、上記補正は、願書に最初に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内においてなされたものであるから、本件補正は平成１８年法律第５５号による改正前特許法第１７条の２第３項及び第４項の規定を満たしている。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に係る発明（以下、「本件補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（改正前特許法第１７条の２第５項において準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
2.3　先願明細書等に記載された発明
　原査定の拒絶理由に引用された、本願の優先権主張の日前の他の出願であって、その後に出願公開された特願平１０−３４２１２３号（特開２０００−１６０１４１号）（以下、「先願」という。）の願書に最初に添付した明細書及び図面（以下、「先願明細書等」という。）には、次の記載がある。
ａ．（特許請求の範囲、請求項１）
「【請求項１】下記の成分を含んでなることを特徴とする研磨用組成物。
（ａ）研磨材、（ｂ）α−アラニン、（ｃ）過酸化水素、および（ｄ）水。」
ｂ．（発明の詳細な説明、段落００１１）
「【００１１】本発明は、前記のような問題を解決するためになされたものである。すなわち、少なくとも銅膜およびタンタル含有化合物を含む半導体デバイスの製造におけるＣＭＰ加工プロセスにおいて、銅膜に対する研磨速度が大きく、一方、タンタル含有化合物に対する研磨速度が小さく、高い選択比を有し、かつ平滑性が優れた被研磨面を得ることができる研磨用組成物および研磨方法を提供することを目的とするものである。」
ｃ．（同段落００３３）
「【００３３】＜過酸化水素＞本発明の研磨用組成物は、過酸化水素を含んでなる。本発明の研磨用組成物において、過酸化水素は酸化剤として作用するものと考えられる。このとき、過酸化水素は、銅膜を酸化するには十分な酸化力を有し、また不純物として金属イオンを含まないものが容易に入手できるという特徴があり、本発明の研磨用組成物には特に適したものである。」
ｄ．（同段落００３７〜００３９）
「【００３７】本発明の研磨用組成物は、更に、防食剤、ｐＨを調整するためｐＨ調整剤、各種界面活性剤、およびその他を適宜混合することができる。
【００３８】防食剤は、銅膜に対するエッチング作用を抑制するものである。この効果は、研磨においてリセス、ディッシング、またはエロージョン等の表面欠陥の発生による銅膜の膜減りを抑制することができる。
【００３９】本発明の研磨用組成物に用いることのできる防食剤は、銅膜に対するエッチング作用を抑制することのできるものであれば、任意のものをもちいることができるが、一般的には、ベンゾトリアゾール、トリルトリアゾールベンゾイミダゾール、トリアゾール、イミダゾール、およびその他が挙げられる。これらのうち、ベンゾトリアゾールまたはトリルトリアゾールであることが好ましい。これら防食剤の添加量は、用いる防食剤の種類により異なるが、一般的には０．０００５〜０．００１２ｍｏｌ／リットル、である。なお、本発明の研磨用組成物に防食剤を添加した場合、研磨速度が低下する場合があるので、その種類、含有量の決定に関しては注意が必要である。」
ｅ．（同段落００４０）
「【００４０】本発明において、ｐＨ調整剤は、研磨用組成物の安定性の向上、使用安全性の向上、または各種法規制への適合のために用いられる。本発明の研磨用組成物のｐＨを下げるために用いるｐＨ調整剤としては、塩酸、硝酸、硫酸、クロロ酢酸、酒石酸、コハク酸、クエン酸、リンゴ酸、マロン酸、各種の脂肪酸、各種のポリカルボン酸、およびその他が挙げられる。一方、ｐＨを上げる目的のために用いるものとしては、例えば水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、アンモニア、エチレンジアミン、ピペラジン、ポリエチレンイミン、およびその他が挙げられる。本発明の研磨用組成物は、ｐＨに関しては特に制限されないが、一般にｐＨ３〜１０に調整される。」
　
　摘記事項ａにおいて「α−アラニン」が「α−アミノ酸」の一種であること、及び摘記事項ｂにおいて「ＣＭＰ加工」が「化学機械研磨」を意味すること、はいずれも当業者間で普通に知られた事項である。
　そこで、上記摘記事項の内容を本件補正発明の記載に沿って整理すると、先願明細書等には次の発明（以下、「先願明細書等記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
「過酸化水素からなる酸化剤；
　α−アラニンよりなるα−アミノ酸； 
　ベンゾトリアゾールよりなる防食剤；並びに
　ポリエチレンイミンよりなるｐＨ調整剤；
を含有する、化学機械研磨用組成物。」
　
2.4　対比
　本件補正発明と先願明細書等記載の発明とを対比すると、後者の「ベンゾトリアゾール」は、本願明細書の段落００３１の記載によれば、「活性官能基として５〜６員ヘテロ環の少なくとも１種の有機ヘテロ環を含み、少なくとも１つの環が窒素原子を有する」化合物であり、後者の「防食剤」、「ｐＨ調整剤」はいずれも「化合物」である限りにおいて前者の「不動態フィルム形成剤」、「カチオン性窒素含有停止化合物」と共通するから、両者は以下の点において一致及び一応相違すると認められる。
【一致点】
「少なくとも１種の酸化剤；
　α−アラニン、アルギニン、アスパラギン、アスパラギン酸、シスチン、システイン、グルタミン、グルタミン酸、ヒスチジン、イソロイシン、ロイシン、リジン、メチオニン、フェニルアラニン、セリン、スレオニン、トリプトファン、チロシン、バリン及びそれらの混合からなる群より選択される少なくとも１種のα−アミノ酸； 
　活性官能基として５〜６員ヘテロ環の少なくとも１種の有機ヘテロ環を含み、少なくとも１つの環が窒素原子を有する、少なくとも１種の化合物；並びに
　ポリエチレンイミン、Ｎ4−アミン（Ｎ，Ｎ’−ビス−［３−アミノプロピル］エチレンジアミン）、４，７，１０−トリオキサデカン−１，１３−ジアミン、３，３−ジメチル−４，４−ジアミノジシクロヘキシルメタン、２−フェニルエチルアミン、ポリエーテルアミン、エーテルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルジプロピレントリアミン、３−［２−メトキシエトキシ］プロピルアミン、ジメチルアミノプロピルアミン、１，４−ビス（３−アミノプロピル）ピペラジン、及びそれらの混合からなる群より選択される、少なくとも１種の化合物；
を含有する、化学機械研磨組成物。」
【相違点１】
　「活性官能基として５〜６員ヘテロ環の少なくとも１種の有機ヘテロ環を含み、少なくとも１つの環が窒素原子を有する、少なくとも１種の化合物」が、前者では「不動態フィルム形成剤」であるのに対し、後者では「防食剤」である点。
【相違点２】
　「ポリエチレンイミン、Ｎ4−アミン（Ｎ，Ｎ’−ビス−［３−アミノプロピル］エチレンジアミン）、４，７，１０−トリオキサデカン−１，１３−ジアミン、３，３−ジメチル−４，４−ジアミノジシクロヘキシルメタン、２−フェニルエチルアミン、ポリエーテルアミン、エーテルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルジプロピレントリアミン、３−［２−メトキシエトキシ］プロピルアミン、ジメチルアミノプロピルアミン、１，４−ビス（３−アミノプロピル）ピペラジン、及びそれらの混合からなる群より選択される、少なくとも１種の化合物」が、前者では「分子量２００〜１００万以上」の「カチオン性窒素含有停止化合物」であるのに対し、後者では「ｐＨ調整剤」である点。
　
2.5　当審の判断
　次に、上記各相違点について検討する。
　
2.5.1　【相違点１】について
　先願明細書等の摘記事項ｄには、「防食剤は、銅膜に対するエッチング作用を抑制するものである。この効果は、研磨においてリセス、ディッシング、またはエロージョン等の表面欠陥の発生による銅膜の膜減りを抑制することができる。」と記載されている。この「防食剤」の作用は、本件補正発明について平成１７年９月８日付で補正された発明の詳細な説明の段落００３１の「本発明のＣＭＰ組成物は、不動態フィルム形成剤を更に含有している。フィルム形成剤は、金属層の表面において金属の不動態フィルム及び溶解抑制層の形成を促進することができる任意の化合物又は化合物の組み合わせでよい。」、「そのような窒素含有５〜６員環化合物の例としては、・・・、ベンゾトリアゾール、・・・を挙げることができる。」との記載から把握される「不動態フィルム形成剤」の作用と実質的に同一のものと認められ、しかも、その成分は「ベンゾトリアゾール」であって両者に共通している。
　よって、先願明細書等に記載された「防食剤」と、本件補正発明の「不動態フィルム形成剤」とは、実質的に同一のものというべきである。
　
2.5.2　【相違点２】について　
　本件補正発明の「カチオン性窒素含有停止化合物」と、先願明細書等に記載された「ｐＨ調整剤」とは、ともに「ポリエチレンイミン」からなる。そして、「ポリエチレンイミン」は、分子量が２００を超えることが普通であるから、先願明細書等に記載された「ｐＨ調整剤」は本件補正発明の「カチオン性窒素含有停止化合物」と実質的に同一のものであり、本件補正発明の「カチオン性窒素含有停止化合物」と同様の作用を生じるというべきである。
　よって、先願明細書等に記載された「ｐＨ調整剤」と、本件補正発明の「カチオン性窒素含有停止化合物」とは、実質的に同一のものというべきである。
　
　なお、審判請求人は平成１９年１１月１４日付回答書において、補正案に基づき、「また、引用文献１では、使用するポリエチレンイミンの分子量について言及していません。より特に引用文献１では、ポリエチレンイミンを、水酸化ナトリウム等と並んで、ｐＨ調整剤として使用していることから、比較的分子量が小さいポリエチレンイミンの使用を意図しているとも考えられます。これに対して、本回答書の末尾に記載の補正案の請求項１では、「分子量１００万以上のポリエチレンイミン」との記載から明らかなように、本願発明において停止化合物として使用するポリエチレンイミンの分子量が比較的大きいことを明らかにしています。また、本願明細書の実施例においても、分子量が２００万のポリエチレンイミンを使用しています（段落００４５の表１の下）。従って、本回答書の末尾に記載の補正案の請求項１に記載の本願発明は、引用文献１で開示されている発明とは実質的に異なっています。」と主張している。
　しかしながら、補正案に基づく補正を認めるべき法的根拠はなく、本願の願書に最初に添付した明細書及び図面には、段落００２９に「窒素含有化合物の好ましい分類としては、分子量２００〜１００万以上のポリエチレンイミン；・・・」との記載がある一方、１００万以下の、比較的分子量が小さいポリエチレンイミンでは停止化合物として不適であるとの記載も示唆も見当たらないことから、ポリエチレンイミンを１００万以上の比較的分子量が大きいものに限定して解釈することはできないため、上記主張を採用することはできない。
　
2.6　まとめ
　上記のとおり、【相違点１】及び【相違点２】はいずれも実質的な相違ということはできないため、先願明細書等記載の発明と本件補正発明とは実質的に同一である。そして、本願の発明者と先願の発明者とが同一の者であったとも、本願の出願の時に本願の出願人と先願の出願人とが同一の者であったとも、認めることはできない。
　したがって、本件補正発明は特許法第２９条の２の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるから、本件補正は、改正前特許法第１７条の２第５項で準用する特許法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、改正前特許法第１５９条第１項で準用する改正前特許法第５３条第１項の規定により却下するべきものである。
　
３．本願発明について
3.1　本願発明
　平成１８年５月１０日付の明細書を補正対象書類とする手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし２３に係る発明は、平成１７年９月８日付で補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし２３に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
「少なくとも１種の酸化剤；
　α−アラニン、アルギニン、アスパラギン、アスパラギン酸、シスチン、システイン、グルタミン、グルタミン酸、ヒスチジン、イソロイシン、ロイシン、リジン、メチオニン、フェニルアラニン、セリン、スレオニン、トリプトファン、チロシン、バリン及びそれらの混合からなる群より選択される少なくとも１種のα−アミノ酸；並びに
　少なくとも１種の不動態フィルム形成剤、
を含有する、化学機械研磨組成物。」
　
3.2　先願明細書等記載の発明
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物及びその記載事項は、前記「2.3」に記載したとおりである。
　
3.3　対比・判断
　本願発明は、前記２．で検討した本件補正発明から、2.2に記載した発明特定事項を省いたものである。　
　そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、さらに他の事項を付加したものに相当する本件補正発明が、前記2.6に記載したとおり、先願明細書等記載の発明と同一であるから、本願発明も同様の理由により、先願明細書等記載の発明と同一である。そして、本願の発明者と先願の発明者とが同一の者であったとも、本願の出願の時に本願の出願人と先願の出願人とが同一の者であったとも、認めることはできない。
　
3.4　むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができないから、請求項２ないし２３に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。　
　よって、結論のとおり審決する。