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　平成　６年特許願第２０３０２９号「調整可能な素子を有する電子光学結像系」拒絶査定不服審判事件〔平成　７年　３月３１日出願公開、特開平　７−　８５８３１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
　
１．手続の経緯
　
　本願は、平成６年８月５日の出願（パリ条約による優先権主張１９９３年８月２６日、ドイツ国）であって、平成１９年６月４日付で拒絶査定がなされ、これに対して、平成１９年９月１０日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　
　
２．本願発明
　本願の請求項１ないし７に係る発明は、平成１７年４月１１日付の手続補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし７に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、特に、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、その請求項１に記載された次のとおりのものである。
「それぞれ対応する電流源又は電圧源（２１，２２，２３，２４，２６，２７，２８）を伴う複数の制御素子（１１，１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）と、メモリ（３２）と、コンピュータ（３１）とを含んだ電子光学結像系において、
　前記メモリには、前記結像系のそれぞれの動作状態現すための一連の整合された動作条件群であって、隣接する動作条件が所定の間隔をもって不連続となっている一連の整合された動作条件群の各々について実験上整合されたパラメータ値から確定される値が記憶されており、
　「上げ」、「下げ」制御要素（７ａ、７ｂ）を使用して前記整合された動作条件の間隔より小さくかつ任意に選択できるステップ幅で該整合された動作条件群の１つから開始する新たな一連の動作条件群が順次選択可能であるようにするために、前記新たな動作条件群に対応する前記電流源又は電圧源（２１，２２，２３，２４，２６，２７，２８）に対する制御信号が前記コンピュータ（３１）によって前記メモリ（３２）の格納値に基づいて計算されることを特徴とする電子光学結像系。」
　
　
３．引用例
　
　これに対して、原査定の拒絶理由に引用され、本願特許出願の優先権主張日前に頒布された刊行物である、特開昭６１−３２９４８号公報（以下、「引用例１」という。）には、図面の図示とともに次の事項が記載されている。
　
ａ．「１．選択可能な複数の倍率にそれぞれ対応した電子レンズの電流値を記憶したメモリ手段と、このメモリ手段に記憶された電子レンズ電流値のうち選択された倍率に対応する電子レンズ電流値を読出して電子レンズ電流を制御する制御手段とを備えた透過形電子顕微鏡において、隣り合う倍率における電子レンズ電流値を補間演算し、隣り合う倍率の間における任意の倍率の電子レンズ電流を算出する補間演算手段を設け、この補間演算手段の演算結果により電子レンズの電流値を制御するように構成して成る透過形電子顕微鏡。」（第１頁左下欄第４行から第１４行）
　
ｂ．「〔発明の実施例〕
　第１図は、本発明の一実施例を示す構成図であり、電子銃１より発射された電子線は照射レンズ系２〜３によって収束され、試料４を照射する。
試料４を透過した電子線は、結像レンズ系５〜９によつて拡大され、蛍光板１０上に試料の拡大像を形成する。各電子レンズ２〜３，５〜９の電流は、ＤＡ変換器１１〜１７を介してマイクロプロセツサ１８によって制御される。マイクロプロセツサ１８は、倍率が選択されると記憶素子１９に記憶されている各電子レンズ２〜３，５〜９の電流値を読出し、各ＤＡ変換器１１〜１７に出力する。このとき、記憶素子１９に記憶されている電流値をそのままＤＡ変換器１３〜１７に出力すれば、予め選択設定された倍率での拡大像が蛍光板１０上で観察される。従って、記憶素子１９に記憶されている電流値をもとに演算素子２０を用いて補間演算を施し、その結果をＤＡ変換器１３〜１７に出力すれば、予め選択設定された倍率ではなく任意の倍率を設定することが可能となる。
　次に、第２図（ａ），（ｂ）を用いてこの補間演算について説明する。」（第２頁左上欄第５行から右上欄第４行）
　
ｃ．「第２図（ａ）は予め設定された倍率に対する結像レンズ系５〜９の電流値を示すものである。図中の黒丸印の点に対応する電流値が記憶素子１９に予め記憶されている。ここで、倍率Ａと倍率Ｂに注目して考える。第２図（ｂ）はこの倍率ＡとＢとの間を拡大して示したもので、倍率Ａに対して各結像レンズ５〜９の電流がａｌ〜ａ５、倍率Ｂに対してはｂｌ〜ｂ５という値で記憶されている。ここで仮りにこの倍率Ａ、Ｂ間に新たに倍率Ｃを設定しようとすれば、各結像レンズ５〜９の電流値は次のような補間演算を施して求めればよい。
　但し、Ｃｉ＝結像レンズの電流値
　　　　ｉ＝結像レンズの種類（ｉ＝１〜５）
である。これにより、倍率Ｃに対する結像レンズ５〜９の電流値が求められ、この電流値を結像レンズ５〜９に流すことによつて倍率Ｃの拡大像を得ることができる。
　なお、第１式は簡単な一次補間式であるが、複雑な補間式を用いればさらに倍率の制御精度を上げることができる。」（第２頁右上欄第６行から左下欄第８行）
　
　引用例１の上記記載事項及び図面の記載によれば、引用例１には、
「電子レンズ２〜３、５〜９と、予め選択設定された複数の倍率にそれぞれ対応した電子レンズ２〜３、５〜９の電流値を記憶した記憶素子１９と、マイクロプロセッサ１８と、ＤＡ変換器１１〜１７と、演算素子２０とを備えた透過形電子顕微鏡において、
　前記各電子レンズ２〜３、５〜９の電流値は、ＤＡ変換器１１〜１７を介して、マイクロプロセツサ１８により制御され、
　前記マイクロプロセツサ１８は、予め選択設定された倍率が選択されると前記記憶素子１９に記憶された電子レンズ２〜３、５〜９の電流値のうち選択された倍率に対応する電子レンズ２〜３、５〜９の電流値を読出して、各ＤＡ変換器１１〜１７に出力し、
　予め選択設定されていない倍率が設定されると、前記記憶素子１９に記憶され、前記倍率に隣り合う倍率における電子レンズ５〜９の電流値をもとに、演算素子２０を用いて、補間演算し、隣り合う倍率の間における任意の倍率の電子レンズ５〜９の電流値を算出し、その結果をＤＡ変換器１３〜１７に出力し、
　予め選択設定された倍率ではなく任意の倍率を設定することが可能となるように構成して成る透過形電子顕微鏡。」
の発明（以下、「引用例１発明」という。）の記載が認められる。
　
　原査定の拒絶理由に引用され、本願特許出願の優先権主張日前に頒布された刊行物である、実願昭５８−４４４１号（実開昭５９−１１０９５１号）のマイクロフィルム（以下、「引用例２」という。）には、図面の図示とともに次の事項が記載されている。
　
ｄ．「［従来技術］
　第１図は従来の電子顕微鏡の観察制御装置を説明するための図であり、図中１はレンズコイルであり、実際には中間及び投影レンズの複数のレンズコイルから成っている。３はこのレンズ１を励磁するための種々の値の励磁電流に対応するデジタル値を記憶している記憶装置であり、この記憶装置３より読み出された値に基づいて励磁電源２より前記レンズコイル１に励磁電流が供給される。４は観察モードを切換えるための観察モード切換えスイッチである。５は観察倍率（但し回折像観察モードにおいてはカメラ長）を切換えるための観察倍率切換えスイッチであり、ロータリースイッチ等が使用されている。６はこれら観察モード切換えスイッチ４及び観察倍率切換えスイッチ５よりの信号に基づいて前記記憶装置３の特定の番地の記憶内容を読み出して前記レンズ電流２に供給するための読み出し制御回路である。観察モードとしては例えば、千倍から２０万倍までを２０ステップの標準倍率で観察できるようにされた第１の透過像観察モード、視野選択に適切な特定倍率（例えば５千倍）に直ちにするための第２の透過像観察モード、対物レンズをオフにして使用することにより５０倍から千倍までを観察するための低倍率観察モード、制限視野観察モード、回折像観察モード等が用意されている。操作者がスイッチ４，５により特定の観察モードと特定の観察倍率を選択すると、読み出し制御回路６は指示された観察モードにおける倍率を実現するのに必要な励磁電流データを読み出す。
　このような従来装置において、第２図に示すように、例えば操作者がまずスイッチ４により第２の透過像観察モードを選択して試料を５千倍で観察して視野選択を行なった後、スイッチ４により第１の透過像観察モードに切換え、次にスイッチ５により倍率を順次１０万倍、１５万倍、２０万倍にして試料を観察した後、スイッチ４により第２の透過像観察モードを選択すると、読み出し制御回路６は第２の透過像観察モードを実現すべくデータの読み出しを行なうため、直ちに視野観察用の５千倍に戻る。そこで、再び視野選択を行った後、更にスイッチ４により第１の透過像観察モードを選択すると、読み出し制御回路６は前回の第１の透過像観察モードにおける最終観察倍率である２０万倍を実現するデータを読み出すため、２０万倍となる。そこで、２０万倍で観察した後、スイッチ５を切換えて順次１５万倍、１０万倍で試料を観察したとする。
　ところで、第２の透過像観察モードを除いて各観察モードにおける観察倍率は様々な要求を持った使用者に応え得るように１０乃至２０程度のステップに分けられている。そのため、上述した第１の透過像観察モードにおける観察例のようにステップ数が例えば、１０万倍、１５万倍、２０万倍だけというように少なくてよい場合にも、第２図に示すように操作者はスイッチ５を大角度回転して途中の倍率ステップを経由して目的とする倍率に到達しなければならない。そのため、操作が繁雑であり、又時間がかかる。」（第２頁第１９行から第５頁第１７行）
　
　原査定の拒絶理由に引用され、本願特許出願の優先権主張日前に頒布された刊行物である、特開昭５５−６９９４９号公報（以下、「引用例３」という。）には、図面の図示とともに次の事項が記載されている。
　
ｅ．「本発明の１実施例を第１図に従つて説明する。第１図はマイクロプロセツサを内蔵した電源のブロツク図である。１．はマイクロプロセツサでＲＯＭ２、レンズ系インターフエース３，および外部入出力インターフエース４とをバスライン５で接続されている。倍率切換スイツチ６は倍率を高くするＵＰスイツチと低くするＤＯＷＮスイツチの２組からなつており、自由に倍率を変えることができる。スイツチ６からの信号を外部入出力インターフエース４で受けて、バスライン５を経てマイクロプロセツサ１に伝送し、スイツチ６で指定されたアドレスのデータ（対物レンズ電流値）をＲＯＭ１より読み出す。読み出されたデータはレンズ系インターフエース３を通りＤＡ変換器７によりアナログ値に変換され、誤差増幅器８でレンズコイル９と検出抵抗１０からの対物レンズ電流信号と比較され、制御回路１１によつて所定の対物レンズ電流値に設定される。第１図にはレンズ系が一系統しか記されていないが、コンデンサレンズ、対物、中間、投射レンズなど６ないし８系統を有している。これらはすべて同一構成をとり得るため１系統のみ書き他は省略した。」（第２頁右上欄第３行から左下欄第４行）
　
　本願特許出願の優先権主張日前に頒布された刊行物である、特開平４−７６７１２号公報（以下、「周知例」という。）には、図面の図示とともに次の事項が記載されている。
　
ｆ．「３．発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
　本発明は可変電圧電源に係り、とくに設定値を簡単にしかも円滑に変更できる装置に関する。」（第１頁右下欄第２行から第５行）　
　
ｇ．「〔実施例〕
　第１図は本発明の一実施例を示したもので、同図上部に示す１００は、公知の構成による可変電圧電源であり、パワーコントローラ１０１、電圧検出器１０２、偏差検出器１０３をそなえる。パワーコントローラ１０１は、入力電圧Ｖｉｎを得て出力電圧Ｖｏｕｔを生じるもので、出力電圧は電圧検出器１０２の検出電圧が偏差検出器１０３に与えられて指令電圧と突き合わされ、指令電圧との偏差が取り出されパワーコントローラ１０１に与えられる。
　また同図下部に示す２００は、指令回路であり、ステップ幅設定手段２１１およびその付属回路、出力電圧設定手段２２１およびその付属回路をそなえており、デジタル回路として構成されている。ステップ幅設定手段２１１は、出力電圧の変化幅を設定するものであり、たとえば１０Ｖであれば「１０」と、５Ｖであれば「５」と設定する。設定操作は、アップボタン２１３Ｕあるいはダウンボタン２１３Ｄを押すことにより行い、設定された幅は表示器２１２に例えば「１０Ｖ」と表示されるとともに、出力電圧設定手段２２１に与えられる。
　出力電圧設定手段２２１は、ステップ幅設定手段２１１同様に、アップボタン２２３Ｕあるいはダウンボタン２２３Ｄを有し、これらボタンの操作により出力電圧を設定変更する。この場合電圧は、ステップ幅設定手段２１１により設定された幅で変更される。たとえば、現在設定値が９０Ｖとしステップ幅が１０Ｖになっていれば、アップボタン２２３Ｕを１回押すだけで、設定値を１００Ｖに変更することかできる。（９０Ｖ＋１０Ｖ＝１００Ｖ）
　この出力電圧設定手段２２１の出力は、デジタル信号であり表示器２２２に表示されるとともに、変換回路３００によりアナログ変換されて偏差検出器１０３に与えられ、出力電圧制御に用いられる。
　第２図は、第１図に示した実施例の動作を示したフローチャートである。
　同図において、まず処理Ｓ１でステップ幅ＳＷすなわちアップボタン２１３Ｕまたはダウンボタン２１３ＤがＯＮであるか否かを判定し、ＯＮであれば処理Ｓ２に移行しアップか否かが判定される。そしてアップであればステップＳ３によりステップ幅を増す動作を行い、アップでなければステップＳ４によりステップ幅を減らす動作を行う。これによりステップ幅の変更が終了する。
　次に処理Ｓ５により電圧設定ＳＷすなわちアップボタン２２３Ｕまたはダウンバタン２２３ＤがＯＮであるか否かを判定し、ＯＮであれば処理Ｓ６によりアップか否かが判定される。そしてアップであればステップＳ７により出力電圧を増加する動作が行われる。このとき電圧は設定されたステップ幅だけ増加する。またアップでなければ処理Ｓ８により出力電圧を減少する動作が行われる。この場合も出力電圧はステップ幅だけ減少する。」（第２頁左下欄第１３行から第３頁右上欄第１０行）　
　
　
４．対比
　
　本願発明と引用例１発明とを対比する。
　
　本願発明の「複数の制御素子（１１，１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）」は、本件特許出願の願書に最初に添付した明細書または図面（以下、「当初明細書等」という。）の段落【００１６】の「全ての磁気レンズ１１，１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９の励磁は互いに独立して調整可能である。」の記載からみて、磁気レンズを含む概念を意味する事項なので、引用例１発明の「電子レンズ」は、本願発明の「複数の制御素子（１１，１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）」に相当する。
　
　引用例１発明の「ＤＡ変換器１１〜１７」は、当該「ＤＡ変換器１１〜１７」に出力された電流値により「電子レンズ２〜３、５〜９」に電流を供給するものなので、引用例１発明の「ＤＡ変換器１１〜１７」は、本願発明の「電流源又は電圧源（２１，２２，２３，２４，２６，２７，２８）」に相当する。
　
　そして、引用例１発明の「電子レンズ２〜３、５〜９」は複数個あり、それぞれ対応する「ＤＡ変換器１１〜１７」と接続していることは、引用例１発明の第１図の記載からみて明らかであるので、引用例１発明の「電子レンズ２〜３、５〜９」及び「ＤＡ変換器１１〜１７」は、本願発明の「それぞれ対応する電流源又は電圧源（２１，２２，２３，２４，２６，２７，２８）を伴う複数の制御素子（１１，１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）」に相当する。
　
　引用例１発明の「記憶素子１９」は、本願発明の「メモリ（２３）」に相当する。
　
　引用例１発明の「マイクロプロセツサ１８」及び「演算素子２０」は、本願発明の「コンピュータ（３１）」に相当する。
　
　引用例１発明の「透過形電子顕微鏡」は、本願発明の「電子光学結像系」に相当する。
　
　本願発明の「動作条件」は、当初明細書等の段落【０００８】の「たとえば、倍率などの動作条件」の記載からみて、倍率を含む概念を意味する事項なので、引用例１発明の「倍率」は、本願発明の「動作条件」に相当する。
　また、本願発明の「整合された」とは、当初明細書等の段落【００１７】の「初めて顕微鏡を動作させるときには、操作員が実験によって電子顕微鏡を整合させる。」の記載からみて、初めて顕微鏡を動作させるときに操作員が実験によって電子顕微鏡を整合させて得られたことを意味し、また、平成１７年４月１１日付意見書の第２頁第５行から第７行に記載の「補正請求項１：段落０００７（装置出荷時の規定の倍率等の動作条件は、使用に際してユーザが調整（整合）する必要があります。この段落に記載された「不連続の異なる実験によって整合された動作条件群」はこのような調整済み動作条件群を示します。）、」の記載からみて、使用に際してユーザにより調整されたことを意味するものである。
　一方、引用例１発明の「予め選択設定」された「倍率」は、引用例１発明の「透過形電子顕微鏡」が予め前記「倍率」に対応した電子レンズ２〜３、５〜９の電流値を記憶素子１９に記憶するときに用いられる倍率であって、前記「倍率」となるように電子レンズ２〜３、５〜９に流れる電流を調整して得られた電流値に対応する「倍率」であり、前記「予め選択設定」された「倍率」は、予め調整されたものといえる。　
　したがって、引用例１発明の「予め選択設定された・・・倍率」及び「予め選択設定された倍率」は、本願発明の「整合された動作条件」に相当する。
　さらに、引用例１発明の「予め選択設定された複数の倍率」は、本願発明の「整合された動作条件群」及び「一連の整合された動作条件群」に相当する。
　
　本願発明の「前記結像系のそれぞれの動作状態現すための」における「動作状態」は、当初明細書等の段落【００１７】の「第１のステップ４１では、まず、電子光学筒１の内部における電子ビームが所望のビーム経路を保持するように、整合されるべき動作条件に付随するレンズ励磁をボタン区域７を介して不連続の段階を経て手操作で設定する。所望のビーム経路が設定されたならば、直ちに、第２のステップ４２で、設定した動作状態を特徴づける倍率、電子エネルギー、照射野直径、口径などのパラメータをコンピュータのキーボード５を介して入力する。」の記載、同段落【００１８】の「動作状態ｋにおけるｎ番目のレンズの電流をＩｎ（ｋ）とし、電子顕微鏡を実験的に整合してある、ｋに隣接する動作状態をｋ−１及びｋ＋１で表すと、Ｉｎ（ｋ）は等式（１）に従って次のように表される。
　Ｉｎ（ｋ）＝ａ（ｋ＋ｂ）2＋ｃ　　　　　　　　　　　　　　　　　（１）」
の記載、同段落【００２０】の「電子顕微鏡が実験によって整合されている特性パラメータｋをもつ動作状態ごとに、機能ステップ４６において実行される。」の記載等からみて、電子光学筒１の内部における電子ビームが所望のビーム経路を保持するように実験によって整合された倍率を持った電子光学結像系の状態を意味しているものと解すことができる。
　一方、引用例１発明の「透過形電子顕微鏡」における「予め選択設定された倍率」を選択したときの状態は、電子銃１より発射された電子線が、試料４の像を蛍光板１０上を形成するよう所定の経路となるように電子レンズ２〜３，５〜９の電流値を調整された状態であり、これは、引用例１発明の「透過形電子顕微鏡」の動作状態を現しているといえる。　
　したがって、引用例１発明の「透過形電子顕微鏡」における「所定の選択設定された倍率」は、本願発明の「結像系のそれぞれの動作状態現すための」に対応する構成を備えているといえる。
　
　引用例１発明の「予め選択設定された複数の倍率」は、引用例１発明の第２図に示される黒丸印の点に対応する倍率であり、前記黒丸印の点に対応する倍率は、互いに間隔を持って離れているので、引用例１発明の「透過形電子顕微鏡」における「所定の選択設定された倍率」は、本願発明の「隣接する動作条件が所定の間隔をもって不連続となっている」に対応する構成を備えているといえる。
　
　本願発明の「一連の整合された動作条件群の各々について実験上整合されたパラメータ値」における「パラメータ値」は、当初明細書等の段落【００１７】の「第２のステップ４２で、設定した動作状態を特徴づける倍率、電子エネルギー、照射野直径、口径などのパラメータをコンピュータのキーボード５を介して入力する。この入力の終了後、自動的に、電流源及び電圧源２０〜２９で設定された補正時パラメータ値をコンピュータ３１で読取り、続くステップ４４においては、入力された特性値と関係づけながら読取り専用メモリ３２に中間記憶させる。」
の記載からみて、倍率等の動作条件と関連づけられた電流源又は電圧源（２１，２２，２３，２４，２６，２７，２８）に設定された電流の値といえるので、引用例１発明の「電子レンズ２〜３、５〜９の電流値」は、本願発明の「パラメータ値」に相当する。　
　したがって、引用例１発明の「予め選択設定された複数の倍率にそれぞれ対応した電子レンズ２〜３、５〜９の電流値」は、本願発明の「一連の整合された動作条件群の各々について実験上整合されたパラメータ値」に相当する。
　
　また、本願発明では、「メモリ」に記憶される値は、「実験上整合されたパラメータ値から確定される値」を記憶するのに対して、引用例１発明では、本願発明の「メモリ」に対応する記憶素子１９に、本願発明の「パラメータ値」に対応する「電子レンズ２〜３、５〜９の電流値」自体を記憶しているが、いずれにしても、記憶される値がパラメータ値に関連する値である点では共通する。　
　したがって、引用例１発明の「予め選択設定された複数の倍率にそれぞれ対応した電子レンズ２〜３、５〜９の電流値を記憶した記憶素子１９」と、本願発明の「前記メモリには、前記結像系のそれぞれの動作状態現すための一連の整合された動作条件群であって、隣接する動作条件が所定の間隔をもって不連続となっている一連の整合された動作条件群の各々について実験上整合されたパラメータ値から確定される値が記憶されており」とはともに、「前記メモリには、前記結像系のそれぞれの動作状態現すための一連の整合された動作条件群であって、隣接する動作条件が所定の間隔をもって不連続となっている一連の整合された動作条件群の各々について実験上整合されたパラメータ値に関連する値が記憶されており」の点で一致する。
　
　引用例１発明の「予め選択設定されていない倍率」は、「予め選択設定されている倍率」とは異なる倍率であり、本願発明の「新たな動作条件」は、「整合された動作条件」とは異なる動作条件であり、上述のように、引用発明の「倍率」は、本願発明の「動作条件」に相当するから、引用例１発明の「予め選択設定されていない倍率」は、本願発明の「新たな動作条件」に相当する。
　また、引用例１発明の「透過形電子顕微鏡」においては、引用例１発明の「予め選択設定されていない倍率」は、複数の異なる値を任意に入力して設定できるので、引用例１発明の「透過形電子顕微鏡」における「予め選択設定されていない倍率」は、本願発明の「新たな動作条件群」に対応する構成を備えているといえる。
　
　本願発明の「制御信号」は、電流源又は電圧源（２１，２２，２３，２４，２６，２７，２８）に対して出力されるので、引用例１発明の「電子レンズ２〜３、５〜９の電流値」は、本願発明の「前記電流源又は電圧源（２１，２２，２３，２４，２６，２７，２８）に対する制御信号」に相当する。
　
　引用例１発明の「予め選択設定された複数の倍率にそれぞれ対応した電子レンズ２〜３、５〜９の電流値」は、「記憶素子１９」に記憶されているので、本願発明の「メモリ（３２）の格納値」に相当する。
　
　引用例１発明の「予め選択設定されていない倍率が設定されると、前記記憶素子２０に記憶され、前記倍率に隣り合う倍率における電子レンズ５〜９の電流値をもとに、演算素子２０を用いて、補間演算し、隣り合う倍率の間における任意の倍率の電子レンズ５〜９の電流値を算出し、その結果をＤＡ変換器１３〜１７に出力し」は、本願発明の「新たな動作条件群に対応する前記電流源又は電圧源（２１，２２，２３，２４，２６，２７，２８）に対する制御信号が前記コンピュータ（３１）によって前記メモリ（３２）の格納値に基づいて計算される」に相当する。
　
　したがって、本願発明と引用例１発明の両者は、
「それぞれ対応する電流源又は電圧源（２１，２２，２３，２４，２６，２７，２８）を伴う複数の制御素子（１１，１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）と、メモリ（３２）と、コンピュータ（３１）とを含んだ電子光学結像系において、
　前記メモリには、前記結像系のそれぞれの動作状態現すための一連の整合された動作条件群であって、隣接する動作条件が所定の間隔をもって不連続となっている一連の整合された動作条件群の各々について実験上整合されたパラメータ値に関連する値が記憶されており、
　新たな動作条件群に対応する前記電流源又は電圧源（２１，２２，２３，２４，２６，２７，２８）に対する制御信号が前記コンピュータ（３１）によって前記メモリ（３２）の格納値に基づいて計算される電子光学結像系。」
　の点で一致し、次の各点で相違する。
　
相違点１：メモリに記憶されている実験上整合されたパラメータ値に関連する値が、本願発明では、実験上整合されたパラメータ値から確定される値であるのに対して、引用例１発明では、本願発明のパラメータ値に対応する電子レンズ２〜３、５〜９の電流値自体である点。
　
相違点２：「新たな動作条件群に対応する前記電流源又は電圧源（２１，２２，２３，２４，２６，２７，２８）に対する制御信号が前記コンピュータ（３１）によって前記メモリ（３２）の格納値に基づいて計算される」目的が、本願発明では、「「上げ」、「下げ」制御要素（７ａ、７ｂ）を使用して前記整合された動作条件の間隔より小さくかつ任意に選択できるステップ幅で該整合された動作条件群の１つから開始する新たな一連の動作条件群が順次選択可能であるようにするために、」としているのに対して、引用例１発明では、その目的に関して限定がない点。
　
　
５．判断
　
　相違点１について
　相違点１に係る本願発明の発明特定事項である、メモリに記憶された、「実験上整合されたパラメータ値から確定される値」について検討する。　
　当初明細書等の段落【００１９】から【００２０】には、「コンピュータ３１は、ステップ４６で、整合された動作条件ごとに、付随する中間記憶されているパラメータ値と、すぐ近接する２つのレンズ電流段の対応する中間記憶パラメータ値とから、それら３つの整合パラメータ値を貫く二次多項式を計算する。・・・（略）・・・関数係数ａ，ｂ，ｃの等式（２），（３）及び（４）に従った計算は、電子顕微鏡のレンズごとに、また、電子顕微鏡が実験によって整合されている特性パラメータｋをもつ動作状態ごとに、機能ステップ４６において実行される。電子顕微鏡を合わせてｋ個の条件の下で整合したならば、電子顕微鏡の８個の互いに独立して設定可能な磁気レンズに対して、関数係数ａ，ｂ及びｃが８×ｋ組得られることになる。それらの８×ｋ組の関数係数を次に記憶ステップ４７で読取り専用メモリ３２に記憶させる。関数係数を記憶した後、電子顕微鏡の実験による整合は終了し、ステップ４８をもって整合プログラムを離れる。」と記載されている。　
　してみると、本願発明の上記発明特定事項は、実験上整合された倍率に対応するパラメータ値である電流の値と前記パラメータを貫く多項式から計算された前記多項式の関数係数を意味するものと解することができる。
　そして、本願発明は、前記パラメータ値から確定される値である前記多項式の関数係数を用いて、新たな動作条件である、例えば、整合されていない倍率（引用例１発明では、予め選択設定されていない倍率）に対応する複数の制御素子に対する制御信号（引用例１発明では、電子レンズの電流値）を計算するものである。　
　一方、引用例１発明は、電流値自体を記憶して、前記記憶された電流値と、補間演算に用いられている補間式（本願発明の「多項式」に相当する）とから前記補間式の係数を求め、前記補間式の係数を用いて、予め選択設定されていない倍率に対応する電子レンズの電流値を計算するものである。　
　そうすると、本願発明と引用例１発明の両者とも、多項式から計算して得られる計算結果は同じものが得られるので、引用例１発明のように、パラメータ値自体を記憶して、前記記憶されたパラメータ値から電流源又は電圧源に対する制御信号を計算するか、本願発明のように、パラメータ値から確定される値を記憶して、前記記憶されたパラメータ値から確定される値から電流源又は電圧源に対する制御信号を計算するかは、単なる演算手法の相違にすぎず、どちらを採用するかは当業者が適宜選択する事項にすぎない。
　よって、引用例１発明において、予め選択設定されていない倍率が設定されたときの前記倍率の電子レンズ５〜９の電流値を算出する演算手法として、上記後者の演算手法を採用して、相違点１に係る本願発明の発明特定事項を得ることは何ら格別ではない。
　
　相違点２について
　引用例２には、電子顕微鏡において、ロータリースイッチ等の観察倍率切換えスイッチ５により観察倍率を切り換える技術が記載されている。
　また、引用例３には、電子顕微鏡において、ＵＰスイッチとＤＯＷＮスイッチの２組からなる倍率切換スイッチ６により倍率を切り換える技術が記載されている。
　引用例２に記載の「電子顕微鏡」、「ロータリースイッチ等の観察倍率切換えスイッチ５」は、本願発明の「電子光学結像系」、「「上げ」、「下げ」制御要素（７ａ、７ｂ）」にそれぞれ相当し、引用例３に記載の「電子顕微鏡」、「ＵＰスイッチとＤＯＷＮスイッチの２組からなる倍率切換スイッチ６」は、本願発明の「電子光学結像系」、「「上げ」、「下げ」制御要素（７ａ、７ｂ）」にそれぞれ相当するので、電子光学結像系において、「上げ」、「下げ」制御要素（７ａ、７ｂ）して倍率を切り換える技術は従来周知の技術であるといえる。
　よって、引用例１発明に上記引用例２及び引用例３に記載された従来周知の技術を適用して、引用例１発明において、「上げ」、「下げ」制御要素（７ａ、７ｂ）を備えることは当業者にとって困難なことではない。　
　また、引用例１発明の「透過形電子顕微鏡」は、「予め選択設定される倍率」のみならず、「予め選択設定されていない倍率」も選択できる以上、上記適用に際して、前記「上げ」、「下げ」制御要素（７ａ、７ｂ）により両者の倍率が選択できるようにすることは当然のことであるので、引用例１発明において、「「上げ」、「下げ」制御要素（７ａ、７ｂ）を使用して前記整合された動作条件の間隔より小さ」い「ステップ幅で該整合された動作条件群の１つから開始する新たな一連の動作条件群が順次選択可能であるようにするために」と限定することは何ら格別ではない。
　また、本願発明の「任意に選択できるステップ幅」に関して、スイッチによりある所定のステップ幅で設定値を変更できる設定装置において、前記ステップ幅を増減することは、例えば周知例に示されるように従来周知の技術であり、かつ、必要に応じて適宜なし得る設計事項といえる。　
　以上総合すると、引用例１発明に、上記従来周知の技術を適用し、引用例１発明において、相違点２に係る本願発明の発明特定事項を得ることは当業者が容易に想到し得ることである。
　
　そして、本願発明の効果は、引用例１発明及び上記従来周知の技術から当業者が予測できる範囲内のものである。
　
　したがって、本願発明は、引用例１発明及び上記従来周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　
６．むすび
　
　以上のとおり、本願発明は、引用例１発明及び上記従来周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。