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　平成　７年特許願第３０６２３８号「回転角速度センサ」拒絶査定不服審判事件〔平成　８年　８月３０日出願公開、特開平　８−２２０１２５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成７年１１月２４日を出願日（優先日：平成６年１１月２５日、ドイツ連邦共和国）とする出願であって、平成１８年７月２７日付（発送日：平成１８年８月２日）で拒絶査定がされ、これに対し平成１８年１０月３１日に拒絶査定不服審判の請求がされるとともに平成１８年１１月２４日付で手続補正がなされたものである。
　
２．平成１８年１１月２４日付の手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１８年１１月２４日付の手続補正を却下する。
　
［理由］
２−１．本件補正の内容
　本件補正は、以下の（１）に示される本件補正前の特許請求の範囲の請求項１〜６を、以下の（２）に示される本件補正後の特許請求の範囲の請求項１〜６に補正することを含むものである。
　
（１）本件補正前
「【請求項１】　複数のウエブ（４）に懸吊されている少なくとも１つの振動質量体（１）を有した少なくとも１つの振動機構を備えた回転角速度センサであって、前記複数のウエブ（４）は第１の方向で大きな長さを有しており、前記複数のウエブ（４）は前記長さの方向で互いに平行に配置されており、振動機構は駆動手段（５）によって、ウエブの前記長さの第１の方向に対して垂直な第２の方向で振動するように励起可能であって、少なくとも１つの加速度センサ（２）が振動体上に配置されている形式のものにおいて、加速度センサ（２）が、ウエブ（４）の前記長さの第１の方向での加速を知らせるために形成されていることを特徴とする回転角速度センサ。
【請求項２】　加速度センサ（２）がコーム構造体として形成されている、請求項１記載の回転角速度センサ。
【請求項３】　コーム構造体の変位可能な質量体（７）が可撓ビーム（８）を介して振動機構（１）に変位可能に結合されており、前記可撓ビーム（８）が、振動方向に対して平行なコーム構造体の変位可能な質量体（７）の変位が抑制される程度に高いアスペクト比を有している、請求項２記載の回転角速度センサ。
【請求項４】　振動機構（１）が２回折り曲げられた、若しくは２回の数倍折り曲げられたウエブ（４）を介して、フレーム（３）に変位可能に懸吊されていて、振動機構（１）の振動時にウエブ（４）が曲げ負荷しか受けない、請求項１から３までのいずれか１項記載の回転角速度センサ。
【請求項５】　第２の加速度センサ（２）を備えた第２の振動機構（１）がフレーム（３）に変位可能に結合されていて、第１の振動機構と第２の振動機構とが少なくとも１つの別のウエブ（１３，１４）を介して、２つの振動機構（１）が逆相に振動するように、互いに連結されている、請求項１から４までのいずれか１項記載の回転角速度センサ。
【請求項６】　別のウエブ（１３，１４）が２回若しくは２回の数倍折り曲げられている、請求項５記載の回転角速度センサ。」
　
（２）本件補正後
「【請求項１】　１つの平面を有するフレーム（３）を備えた回転角速度センサであって、複数のウエブ（４）に懸吊されている少なくとも１つの振動質量体（１）を有した少なくとも１つの振動機構を備えており、前記複数のウエブ（４）は前記フレーム（３）の平面に対して平行な第１の方向で大きな長さを有しており、前記複数のウエブ（４）は前記長さの方向で互いに平行に配置されており、振動機構は駆動手段（５）によって、フレーム（３）の平面に対して平行でウエブの前記長さの第１の方向に対して垂直な第２の方向で振動するように励起可能であって、少なくとも１つの加速度センサ（２）が振動体上に配置されている形式のものにおいて、加速度センサ（２）が、ウエブ（４）の前記長さの第１の方向での加速を知らせるために形成されていることを特徴とする回転角速度センサ。
【請求項２】　加速度センサ（２）がコーム構造体として形成されている、請求項１記載の回転角速度センサ。
【請求項３】　コーム構造体の変位可能な質量体（７）が可撓ビーム（８）を介して振動機構（１）に変位可能に結合されており、前記可撓ビーム（８）が、振動方向に対して平行なコーム構造体の変位可能な質量体（７）の、振動質量体（１）の表面に対して垂直な変位が抑制される程度に高いアスペクト比を有している、即ち、細く高く形成されている、請求項２記載の回転角速度センサ。
【請求項４】　振動機構（１）が２回折り曲げられた、若しくは２回の数倍折り曲げられたウエブ（４）を介して、フレーム（３）に変位可能に懸吊されていて、振動機構（１）の振動時にウエブ（４）が曲げ負荷しか受けない、請求項１から３までのいずれか１項記載の回転角速度センサ。
【請求項５】　第２の加速度センサ（２）を備えた第２の振動機構（１）がフレーム（３）に変位可能に結合されていて、第１の振動機構と第２の振動機構とが少なくとも１つの別のウエブ（１３，１４）を介して、２つの振動機構（１）が逆相に振動するように、互いに連結されている、請求項１から４までのいずれか１項記載の回転角速度センサ。
【請求項６】　別のウエブ（１３，１４）が２回若しくは２回の数倍折り曲げられている、請求項５記載の回転角速度センサ。」
　
２−２．本件補正の適否について
〈１〉　本件補正後の請求項１は、本件補正前の請求項１に記載された発明を特定するために必要な事項である「回転角速度センサ」について、「１つの平面を有するフレーム（３）を備えた」との限定を付加するものとなっている。
〈２〉　本件補正後の請求項１は、本件補正前の請求項１に記載された発明を特定するために必要な事項である「ウエブ（４）」について、「第１の方向で大きな長さを有しており」とされていたものを、「フレーム（３）の平面に対して平行な第１の方向で大きな長さを有しており」と、限定を付加したものとなっている。
〈３〉　本件補正後の請求項１は、本件補正前の請求項１に記載された発明を特定するために必要な事項である「振動機構」について、「駆動手段（５）によって、ウエブの前記長さの第１の方向に対して垂直な第２の方向で振動するように励起可能」とされていたものを、「駆動手段（５）によって、フレーム（３）の平面に対して平行でウエブの前記長さの第１の方向に対して垂直な第２の方向で振動するように励起可能」と、限定を付加したものとなっている。
〈４〉　本件補正後の請求項３は、本件補正前の請求項３に記載された発明を特定するために必要な事項である「可撓ビーム（８）」について、「質量体（７）の変位が抑制される程度に高いアスペクト比を有している」とされていたものを、「質量体（７）の、振動質量体（１）の表面に対して垂直な変位が抑制される程度に高いアスペクト比を有している、即ち、細く高く形成されている」と、限定を付加したものとなっている。
　
　したがって、上記手続補正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものと認められ、平成１８年改正前特許法第１７条の２第４項第２号の規定に該当するものである。 
　
２−３．独立特許要件について
　そこで、本件補正後の請求項１に記載されている事項により特定される発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
２−３−１．引用例１
　本願の出願前に頒布された刊行物である特開平５−３１２５７６号公報（以下、「引用例１」という。）には図面と共に、以下の（１−１）および（１−２）の事項が記載されている。
　
（１−１）「【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１ないし図１８に基づき、独立した角速度センサとして構成した場合を例に挙げて説明する。
【００１５】まず、図１ないし図１２は本発明の第１の実施例を示している。
【００１６】図中、１１はシリコン材料等からなる基板を示し、該基板１１は、下側に位置する下側基板１１Ａと、該下側基板１１Ａの上側に後述の酸化膜２７からなる支持枠１１Ｂを介して設けられた上側基板１１Ｃとから大略構成され、該各基板１１Ａ，１１Ｃ間には空間１１Ｄが画成されている。また、該基板１１の上側基板１１Ｃは所定の厚さ寸法ｔを有し、図２にも示す如く、後述する第１の振動体１２，第１の支持梁１３，第２の振動体１４，第２の支持梁１５等がエッチング技術等によってそれぞれ一体形成されている。
【００１７】１２は基板１１の上側基板１１Ｃに一体形成され、該上側基板１１Ｃと平行方向に振動可能に設けられた第１の振動体を示し、該第１の振動体１２は、上側基板１１Ｃのほぼ中央部に位置して方形枠状に形成された枠部１２Ａと、該枠部１２Ａの両端側からＸ軸方向に延設された一対の腕部１２Ｂ，１２Ｂとから構成され、該各腕部１２Ｂは第１の支持梁１３，１３によってＹ軸方向からそれぞれ支持されている。そして、該第１の振動体１２は、４本の支持梁１３によってＹ軸方向から支持されることにより、上側基板１１Ｃと平行にＸ軸方向に振動可能となっている。
【００１８】ここで、前記各第１の支持梁１３は、所定の長さ寸法Ｌ1 ，幅寸法Ｗ1 ，厚さ寸法ｔをもって長板状に形成され、所定の弾性率を有している。
【００１９】１４は第１の振動体１２の枠部１２Ａ内に位置して該第１の振動体１２とほぼ同一平面上に設けられ、方形平板状に形成された第２の振動体を示し、該第２の振動体１４は、図３にも示す如く、Ｘ軸方向に配設された２本一組の第２の支持梁１５，１５，…によって、第１の振動体１２の各腕部１２Ｂに平行に支持されている。そして、該第２の振動体１４は、各第２の支持梁１５によって支持されることにより、第１の振動体１２の振動方向（Ｘ軸方向）と直交する方向（Ｙ軸方向）に振動可能となっている。
【００２０】ここで、前記各第２の支持梁１５は、所定の長さ寸法Ｌ2 ，幅寸法Ｗ2 ，厚さ寸法ｔを有する長板状に形成されて所定の弾性率を有し、これにより、後述する振動発生部１６，１６の励起周波数と第２の振動体１４の共振周波数とを実質的に一致せしめ、コリオリの力に対する該第２の振動体１４の感度を高めるものである。また、該各第２の支持梁１５は、その基端側が第１の振動体１２の各腕部１２Ｂに接続され、その先端側が第２の振動体１４に接続されている。
【００２１】図１中に二点鎖線で示す１６，１６は第１の振動体１２の各腕部１２Ｂ両側に位置して基板１１の上側基板１１Ｃに設けられた振動発生手段としての振動発生部を示し、該各振動発生部１６は、図４にも示す如く、第１の振動体１２の各腕部１２Ｂ先端側に設けられ、Ｘ軸方向に伸長する複数の突起１７Ａ，１７Ａ，…がＹ軸方向に離間して形成された可動側導電部１７と、該可動側導電部１７と対向して基板１１の上側基板１１Ｃに設けられ、前記各突起１７Ａと互い違いに組み合される複数の突起１８Ａ，１８Ａ，…が形成された固定側導電部１８とから構成されている。また、該各導電部１７，１８はプリント配線（金属配線）１９，２０を介して基板１１に形成された発振回路（図示せず）とそれぞれ接続されている。
【００２２】そして、前記各振動発生部１６は、発振回路から第２の振動体１４の共振周波数に一致した所定の周波数信号が各プリント配線１９，２０を介して各導電部１７，１８に印加されると、電極たる該各導電部１７，１８間に静電力を発生せしめ、この静電力によって第１の振動体１２を第２の振動体１４と共に、Ｘ軸方向に振動させるものである。
【００２３】２１，２１，…は第２の支持梁１５の基端側にそれぞれ設けられた変位量検出手段としての変位量検出部を示し、該各変位量検出部２１は、図４，図５に示す如く、第２の支持梁１５の基端側に位置して幅方向両側に配設され、該第２の支持梁１５の長さ方向（Ｘ軸方向）に伸びて形成されたピエゾ抵抗素子としての拡散抵抗２２，２２と、該各拡散抵抗２２の両端側に設けられたコンタクトホール２３，２３とから大略構成され、該各拡散抵抗２２は、各コンタクトホール２３に接続されたプリント配線２４，２５，２６を介して、基板１１に形成された信号処理回路（図示せず）に接続されている。
【００２４】そして、前記各変位量検出部２１は、回転に伴うコリオリの力によって第２の振動体１４がＹ軸方向に変位（振動）すると、これにより、各第２の支持梁１５に生じる歪み（圧縮応力および引張応力）を検出し、これを角速度信号として信号処理回路に出力するものである。ここで、該各変位量検出部２１の各拡散抵抗２２は、第２の支持梁１５の幅方向両端側に離間して設けられているため、一の拡散抵抗２２には圧縮応力が作用し、他の拡散抵抗２２には逆の引張応力が作用する。従って、該各拡散抵抗２２のピエゾ抵抗効果による抵抗変化率も互いに逆符号となるので、信号処理回路によって両者の抵抗変化率を比較演算することにより、角速度に比例するコリオリの力に応じた第２の振動体１４のＹ軸方向の変位量、即ち、振幅を求めることができるようになっている。」
（１−２）「【００４５】次に、図１３は本発明の第２の実施例を示し、本実施例の特徴は、各振動体１２，１４間の静電容量変化に基づき、第２の振動体１４の変位量を検出する構成としたことにある。なお、本実施例では、上述した第１の実施例と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとする。
【００４６】図中、３１は第１の振動体１２と第２の振動体１４との間にＹ軸方向に亘って設けられた変位量検出手段としての変位量検出部を示し、該変位量検出部３１は、第１の振動体１２の内側に形成された固定側電極３１Ａと、該固定側電極３１Ａと対向して第２の振動体１４に形成された可動側電極３１Ｂとから構成され、該各電極３１Ａ，３１Ｂはプリント配線３２，３３を介して信号処理回路（図示せず）と接続されている。そして、該変位量検出部３１は、各電極３１Ａ，３１Ｂ間の静電容量変化を検出することにより、第２の振動体１４のＹ軸方向の変位量を検出するものである。
【００４７】このように構成される本実施例でも、前記第１の実施例とほぼ同一の作用効果を得ることができる。」
　
　引用例１の上記記載から、以下の［１−１］〜［１−３］の事項が読み取れる。
　
［１−１］　上記段落【００１７】、【００１８】、図１および図２の記載からみて、引用例１に記載の「第１の支持梁１３」は、上側基板１１Ｃの平面に対して平行なＹ軸方向で大きな長さを有しており、この長さの方向で互いに平行に配置されていることは明らかである。
［１−２］　上記段落【００２１】、【００２２】、図１および図２の記載からみて、引用例１に記載の「振動発生手段」は、振動発生部１６によって上側基板１１Ｃの平面に対して平行で第１の支持梁１３の長さのＹ軸方向に対して垂直なＸ軸方向で振動するように励起可能であることは明らかである。
［１−３］　上記段落【００１９】、【００２０】、【００２４】、図１および図２の記載からみて、引用例１に記載の「第２の振動体１４」は、第１の支持梁１３の長さのＹ軸方向での加速を知らせるために形成されていることは明らかである。
　
　してみると、これらの記載から引用例１には、以下の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認めることができる。
「１つの平面を有する上側基板１１Ｃを備えた角速度センサであって、複数の第１の支持梁１３に懸吊されている少なくとも１つの第１の振動体１２を有した少なくとも１つの振動発生手段を備えており、前記複数の第１の支持梁１３は前記上側基板１１Ｃの平面に対して平行なＹ軸方向で大きな長さを有しており、前記複数の第１の支持梁１３は前記長さの方向で互いに平行に配置されており、振動発生手段は振動発生部１６によって、上側基板１１Ｃの平面に対して平行で第１の支持梁１３の前記長さのＹ軸方向に対して垂直なＸ軸方向で振動するように励起可能であって、少なくとも１つの第２の振動体１４が配置されている形式のものにおいて、第２の振動体１４が、第１の支持梁１３の前記長さのＹ軸方向での加速を知らせるために形成されていることを特徴とする角速度センサ。」
　
２−３−２．引用例２
　原査定の拒絶の理由に引用された本願の出願前に頒布された刊行物である特開平４−２３３４６８号公報（以下，「引用例２」という。）には図面と共に、以下の事項が記載されている。
「【０００９】
【実施例】図１にはセンサエレメントの部分が示されており、該センサエレメントは、二重の音叉形状の円板形支持体１０から構成されている。音叉構造体の片側は振動体１３から成っており、この振動体は両側で４つのウエブ１４を介して支持体１０と結合されている。振動体１３もウエブ１４も、支持体１０の完全な厚さで形成されている。同様に、振動体１３を片側でのみウエブ１４を介して支持体と結合することもでき、従って開放する音叉構造体が形成される。振動体は、図面では詳しく示さない手段によって、矢印１で示され支持体平面内に位置する第１の振動方向で励振されることができる。このことは、例えば静電気的に、電気力学的に、あるいは熱電的に行なわれ、このことはまだ公開されていない同一出願人により特許出願された第４０２２４９５３号明細書に記載されている。振動体１３に、舌片として形成された構造体エレメント２１が懸架ウエブ２３を介して取り付けられている。舌片２１が支持体表面に対して平行に整合されており、かつ支持体表面に対して垂直に変向可能であり、従って支持体表面に対して垂直な加速度は、舌片２１によって検出される。振動体１３が第１の振動方向で振動され、かつセンサエレメントが、第１の振動方向１に対して垂直にかつ舌片２１の変向方向２に対して垂直に整合されている回転軸線３を中心にして回転運動されると、舌片２１に、変向方向２において支持体表面に対して垂直なコリオリス加速度が作用する。舌片２１の変向を導くコリオリス加速度は、舌片２１に配置された圧電抵抗によって圧電的にも、図１に示されたように容量的に検出されることができる。このため、振動体１３の舌片２１に向かう表面の範囲に平板蓄電器の一方の電極側１７が準備されており、該電極側は導線１８１を介して接続部１９１と接続されている。平板蓄電器の他方の電極側は舌片２１自体によって形成され、この電極側は導線１８２を介して接続部１９２と接続されている。舌片２１の方向２での変向が、この平板蓄電器の容量変化を導き、かつここでは示さない評価回路によって評価されることができる。
【００１０】特に有利には、センサエレメントの図１に示された構造体は、単結晶のシリコン支持体１０及び該支持体上の析出された多結晶シリコン構造体又は単結晶のシリコン支持体において実現される。振動体１３及びウエブ１４は、乾式化学的又は湿式化学的なエッチングによってシリコン支持体から簡単に構成され、このことは例えば、薄膜及びこの薄膜に接続される構造体の電気化学的なエッチングによって行なうことができる。支持体表面に対して垂直な側壁を有する構造体を生ぜしめるために、特に（１１０）−結晶方位のシリコンウェーハが適し、これはこの場合構造体が、ＫＯＨによる湿式化学エッチングによって生ぜしめられるからである。乾式化学エッチングを使用する際に、このようなウエブは結晶方位に無関係に製造されることができる。振動体に配置された振動可能な構造体エレメント並びに該構造体エレメントの、支持体土台のための結合ウエブは、有利には多結晶シリコン又は単結晶シリコンにおいて実現され、これは、「犠牲層」として役立ちかつ続いてシリコン構造体のサイドエッチングによって再び除去される補助層、例えば酸化物層におけるシリコンからの分離によって薄い構造体エレメントが生ぜしめられ、該構造エレメントは回転率センサの高い感性に役立つ。構造体エレメントとして、支持体表面に対して平行に整合された舌片の他に、振動体にブリッジ状に配置された両側で固定されたプレートも適する。」
　
２−３−３．対比・判断
　そこで，本願補正発明と引用発明とを対比すると，引用発明の「上側基板１１Ｃ」、「第１の支持梁１３」、「第１の振動体１２」、「振動発生手段」、「Ｙ軸方向」、「振動発生部１６」、「Ｘ軸方向」、「第２の振動体１４」および「角速度センサ」は、それぞれ本願補正発明の「フレーム（３）」、「ウエブ（４）」、「振動質量体（１）」、「振動機構」、「第１の方向」、「駆動手段（５）」、「第２の方向」、「加速度センサ（２）」および「回転角速度センサ」に相当する。
　
　してみると、両者は
「１つの平面を有するフレーム（３）を備えた回転角速度センサであって、複数のウエブ（４）に懸吊されている少なくとも１つの振動質量体（１）を有した少なくとも１つの振動機構を備えており、前記複数のウエブ（４）は前記フレーム（３）の平面に対して平行な第１の方向で大きな長さを有しており、前記複数のウエブ（４）は前記長さの方向で互いに平行に配置されており、振動機構は駆動手段（５）によって、フレーム（３）の平面に対して平行でウエブの前記長さの第１の方向に対して垂直な第２の方向で振動するように励起可能であって、少なくとも１つの加速度センサ（２）が配置されている形式のものにおいて、加速度センサ（２）が、ウエブ（４）の前記長さの第１の方向での加速を知らせるために形成されていることを特徴とする回転角速度センサ。」
　
の点で一致し，以下の点で相違している。
　
［相違点］　本願補正発明においては「加速度センサ（２）」が「振動体上に配置されている」のに対して、引用発明においては加速度センサが振動体の内側に配置されている点。
　
　そこで、上記各相違点について検討する。
　
　まず、請求項１の記載、発明の詳細な説明の欄および図面の記載からみて、本願補正発明において「振動体」とは「振動質量体（１）」を指すものであると認められる。
　そして、回転により発生するコリオリ力を検知する加速度センサを振動体上に配置することは、上記引用例２（特に、段落【０００９】および図１における「振動体１３」および「構造体エレメント２１」について参照）に示されているとおり公知のことであるから、この公知の振動体と加速度センサとの配置関係を引用発明に適用して、上記相違点に係る構成とすることは当業者が容易に想到し得たものといえる。
　
　そして、本願補正発明の奏する効果も引用例１および引用例２の記載事項から当業者が予測しうる範囲内のものである。
　したがって、本願補正発明は引用発明および公知技術に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
２−４．むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、特許法１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明
３−１．本願発明
　平成１８年１１月２４日付の手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜６に係る発明は、平成１８年６月１４日付の手続補正書により補正された明細書および図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜６に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
　
「【請求項１】　複数のウエブ（４）に懸吊されている少なくとも１つの振動質量体（１）を有した少なくとも１つの振動機構を備えた回転角速度センサであって、前記複数のウエブ（４）は第１の方向で大きな長さを有しており、前記複数のウエブ（４）は前記長さの方向で互いに平行に配置されており、振動機構は駆動手段（５）によって、ウエブの前記長さの第１の方向に対して垂直な第２の方向で振動するように励起可能であって、少なくとも１つの加速度センサ（２）が振動体上に配置されている形式のものにおいて、加速度センサ（２）が、ウエブ（４）の前記長さの第１の方向での加速を知らせるために形成されていることを特徴とする回転角速度センサ。」
　
３−２．引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物およびその記載事項は、前記「２−３−１」および「２−３−２」に記載したとおりのものである。
　
３−３．対比・判断
　本願発明は、前記「２−２」で検討した本願補正発明から同「２−２」の〈１〉〜〈３〉において指摘した限定事項を省いたものである。
　してみると、本願発明の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が前記「２−３−３」に記載したとおり、引用発明および公知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、引用発明および公知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、本願の請求項１に係る発明は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。そして、請求項１に係る発明が特許を受けることのできないものであるから、その余の請求項に係る発明について検討するまでもなく本願は拒絶すべきものである。
　よって，結論のとおり審決する。