【事件の表示】
　平成１０年特許願第１９０７７５号「走査型電子顕微鏡」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年　１月２１日出願公開、特開２０００−　２１３４５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯 
　本願は、平成１０年７月６日の出願であって、平成１８年８月３日付けで拒絶査定がなされ、これに対して平成１８年９月７日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、同年１０月１０日に手続補正がなされ、その後、当審から平成１９年１２月４日付けで、平成１８年１０月１０日付けの手続補正を却下するとともに拒絶理由が通知され、これに対して平成２０年２月１２日付けで手続補正がされたものである。
　
２　本願発明
　本願の請求項１に係る発明は、平成２０年２月１２日付け手続補正によって補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１に記載された以下のとおりのものと認める。（以下「本願発明」という。）
「【請求項１】
　試料室内に配置された試料を移動する試料移動ステージが前記試料をｘ方向に移動するためのｘテーブルと、前記試料を前記ｘ方向と直角をなすｙ方向に移動するためのｙテーブルと、前記試料に傾斜動作を与えるための、前記ｘテーブルおよびｙテーブルを支持しているチルトテーブルとを含み、前記チルトテーブルが前記試料室に固定されたステージケースに取り付けられ、前記試料をｘｙ平面と直角をなすｚ方向の軸をもつ電子ビームで走査し、それによって前記試料から発生する信号を検出して前記試料の像を表示する走査型電子顕微鏡において、
　前記チルトテーブルは、その一端がチルト軸に取り付けられることによって回転方向トルクが作用するものであって、前記チルトテーブルの前記チルト軸による取り付け端の反対側の端部にロック板を固定し、該ロック板を押圧して、当該チルトテーブルを固定するステージロック機構を備え、
　当該ステージロック機構は、
　前記試料室に取り付けられたロック軸受と該ロック軸受に螺合されたロック軸とを有し、該ロック軸の先端を前記ロック板に押し当て、該ロック軸を回転させることを通じて該ロック軸により前記チルトテーブルを前記ｘ方向から押圧し、前記ｘ方向の振動に対しては該ロック軸受けと該ロック軸の螺合の作用により、前記ｘ方向と直角をなすｙｚ平面内の振動は、前記ロック軸の先端と前記チルトテーブルの開放端あるいは前記ロック板との間で発生する摩擦力により、前記チルトテーブルの動きを拘束することを特徴とする走査型電子顕微鏡。」
　
３　刊行物に記載された発明
　
　当審での拒絶の理由に引用され、本願出願前に頒布された刊行物である特開平９−２２３４７７号公報（以下「引用刊行物」という。）には、「走査型電子顕微鏡」の発明に関して、以下の事項が記載されている。
＜記載事項１＞
「【特許請求の範囲】
【請求項１】  電子ビームを試料移動ステージ上に載置された試料上で走査し、試料から発生する信号を検出して試料像を形成する走査型電子顕微鏡において、前記試料移動ステージは、試料を光軸方向に移動させるｚテーブルと、試料を光軸に対して傾斜させるチルトテーブルと、試料を光軸と直交するｘ方向に移動させるｘテーブルと、試料を光軸及び前記ｘ方向の双方に直交するｙ方向に移動させるｙテーブルと、試料を光軸の回りに回転させるローテーションテーブルとからなり、前記各テーブルを各々駆動するアクチュエータ並びに前記各テーブルの位置検出手段がすべて試料室内に配置されていることを特徴とする走査型電子顕微鏡。」
＜記載事項２＞
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料移動ステージを備える走査型電子顕微鏡に関するものである。」
＜記載事項３＞
「【００１７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
〔第１の実施の形態〕図５〜図７により、本発明の第１の実施の形態を説明する。図５は、試料移動ステージの略断面図である。図６は図５のＣ−Ｃ線矢視図であり、図７は図５のＤ−Ｄ線矢視図である。
【００１８】試料室４にはステージケース７０が取り付けられ、ｚ移動部材７１がクロスローラ軸受７２ａ，７２ｂを介してステージケース７０に連結されている。ｚ移動部材７１は、ｚボールネジ７３とナット７４によりｚ方向に移送される。ｚナット７４はｚ移動部材７１に固定され、ｚボールネジ７３は両端を玉軸受７５，７６で支持され、軸受ハウジング７７，７８でステージケース７０に取り付けられている。ｚボールネジ７４の一端にはカップリング７９を介してＤＣモータ８０が連結され、ＤＣモータ８０はモータ台８１でステージケース７０に取り付けられている。ＤＣモータ８０の前部には減速機が組み込まれ、後部にはロータリエンコーダが組み込まれている。ｚ移動部材７１は、ＤＣモータ８０を駆動してｚボールネジ７３を回転することによりクロスローラ軸受７２ａ，７２ｂに案内されてｚ方向に移動し、試料６をｚ方向に移動する。
【００１９】Ｌ形チルトテーブル８２の一端にはチルト軸８３が取り付けられ、チルト軸８３は玉軸受８４，８５を介して回転自在にｚ移動部材７１に連結されている。Ｌ形チルトテーブル８２の他端は、試料室４に取り付けられた空気シリンダ２４により押付パッド２５で押されている。これは特に高倍率の観察時になされる。（略）
【００２０】ＤＣモータ９２を駆動し、ウォームホィール８６ａ、ウォームギヤ８６ｂを回転させることにより、チルト軸８３が回転し試料６を傾斜させる。（略）
【００２１】試料６をｘ方向に移動するｘテーブル９４は、クロスローラ軸受９５を介してＬ形チルトテーブル８２に取り付けられている。（中略）ｘテーブル９４はＤＣモータ１０３を駆動しｘボールネジ９６を回転させることによりクロスローラ軸受９５に案内されてｘ方向に移動し、試料をｘ方向に移動する。
【００２２】ｙテーブル１０８は、クロスローラ軸受１０９ａ，１０９ｂを介してｘテーブル９４に取り付けられている。（中略）ｙテーブル１０８はＤＣモータ１２０を駆動し、ｙボールネジ１１０を回転させることにより、クロスローラ軸受１０９ａ，１０９ｂに案内されてｙ方向に移動し、試料をｙ方向に移動する。」
　
　記載事項１ないし３から、以下の点が読みとれる。
ア　試料移動ステージが試料６を光軸と直交するｘ方向に移動させるｘテーブル９４と、試料６を光軸及び前記ｘ方向の双方に直交するｙ方向に移動させるｙテーブル１０８と、試料を光軸に対して傾斜させるＬ型チルトテーブル８２とを含み（記載事項１、３）
　
イ　試料室４に取り付けられたステージケース７０（記載事項３）
　
ウ　電子ビームを試料移動ステージ上に載置された試料上で走査し、試料から発生する信号を検出して試料像を形成する走査型電子顕微鏡において（記載事項１）
　
エ　Ｌ形チルトテーブル８２は、その一端がチルト軸８３に取り付けられ、チルト軸８３が回転することにより試料６を傾斜させるものである（記載事項３）
　
オ　Ｌ形チルトテーブル８２は、その他端を、試料室４に取り付けられた空気シリンダ２４により押付パッド２５で押すＬ形チルトテーブル８２の押圧機構を備えている（記載事項３）
　
　また、図５の図示から、以下の点を読み取ることができる。
カ　Ｌ型チルトテーブル８２がｘテーブル９４およびｙテーブル１０８を支持していること
　
キ　試料移動ステージにより試料室４内に配置された試料６を移動すること
　
ク　Ｌ型チルトテーブル８２がステージケース７０に取り付けられていること
　
ケ　空気シリンダ２４により押付パッド２５で押すＬ型チルトテーブル８２の箇所は、チルト軸８３による取り付け端の反対側の端部であること
　
　したがって、上記記載事項１〜３及び図面に基づけば、引用刊行物には
「試料室４内に配置された試料６を移動する試料移動ステージが前記試料６を光軸と直交するｘ方向に移動させるｘテーブル９４と、試料６を光軸及び前記ｘ方向の双方に直交するｙ方向に移動させるｙテーブル１０８と、試料を光軸に対して傾斜させ、前記ｘテーブル９４およびｙテーブル１０８を支持しているＬ型チルトテーブル８２とを含み、
　前記Ｌ型チルトテーブル８２が前記試料室４に取り付けられたステージケース７０に取り付けられ、
　電子ビームを試料移動ステージ上に載置された試料上で走査し、試料から発生する信号を検出して試料像を形成する走査型電子顕微鏡において、
　前記Ｌ形チルトテーブル８２は、その一端がチルト軸８３に取り付けられ、チルト軸８３が回転することにより試料６を傾斜させるものであって、Ｌ型チルトテーブル８２のチルト軸８３による取り付け端の反対側の端部を、試料室４に取り付けられた空気シリンダ２４により押付パッド２５で押すＬ形チルトテーブル８２の押圧機構を備えた走査型電子顕微鏡。」の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
　　
４　対比
　本願発明と引用発明とを比較する。
　
（１）引用発明の「光軸と直交するｘ方向」は、本願発明の「ｘ方向」に相当し、以下同様に、「光軸及び前記ｘ方向の双方に直交するｙ方向」は「前記ｘ方向と直角をなすｙ方向」に、「移動させる」（２箇所）は「移動するための」に、「試料を光軸に対して傾斜させ」は「前記試料に傾斜動作を与えるための」に、それぞれ相当する。
　
　したがって、引用発明の「試料室４内に配置された試料６を移動する試料移動ステージが前記試料６を光軸と直交するｘ方向に移動させるｘテーブル９４と、試料６を光軸及び前記ｘ方向の双方に直交するｙ方向に移動させるｙテーブル１０８と、試料を光軸に対して傾斜させ、前記ｘテーブル９４およびｙテーブル１０８を支持しているＬ型チルトテーブル８２とを含み」は、本願発明の「試料室内に配置された試料を移動する試料移動ステージが前記試料をｘ方向に移動するためのｘテーブルと、前記試料を前記ｘ方向と直角をなすｙ方向に移動するためのｙテーブルと、前記試料に傾斜動作を与えるための、前記ｘテーブルおよびｙテーブルを支持しているチルトテーブルとを含み」に相当する。
　
（２）引用発明の「前記試料室４に取り付けられた」は、本願発明の「前記試料室に固定された」に相当する。
　
（３）引用発明の「電子ビームを試料移動ステージ上に載置された試料上で走査し、試料から発生する信号を検出して試料像を形成する走査型電子顕微鏡」は、本願発明の「前記試料をｘｙ平面と直角をなすｚ方向の軸をもつ電子ビームで走査し、それによって前記試料から発生する信号を検出して前記試料の像を表示する走査型電子顕微鏡」に相当する。
　
（４）引用発明の「チルト軸８３が回転することにより」は本願発明の「回転方向トルクが作用する」に相当するから、引用発明の「前記Ｌ形チルトテーブル８２は、その一端がチルト軸８３に取り付けられ、チルト軸８３が回転することにより試料６を傾斜させるものであって」は、本願発明の「前記チルトテーブルは、その一端がチルト軸に取り付けられることによって回転方向トルクが作用するものであって」に相当する。
　
（５）引用発明は、Ｌ形チルトテーブル８２の一端がチルト軸８３に取り付けられているから、Ｌ形チルトテーブル８２の他端を、試料室４に取り付けられた空気シリンダ２４により押付パッド２５で押すことにより、Ｌ形チルトテーブル８２が固定されることは明らかであるから、引用発明の「Ｌ形チルトテーブル８２の押圧機構」は、本願発明の「当該チルトテーブルを固定するステージロック機構固定機構」に相当する。
　
（６）引用発明の「その他端を、試料室４に取り付けられた空気シリンダ２４により押付パッド２５で押す」と本願発明の「前記チルトテーブルの前記チルト軸による取り付け端の反対側の端部にロック板を固定し、該ロック板を押圧して」とは、前記チルトテーブルの前記チルト軸による取り付け端を押圧してという点で一致する。
　
　したがって、両者は、
「試料室内に配置された試料を移動する試料移動ステージが前記試料をｘ方向に移動するためのｘテーブルと、前記試料を前記ｘ方向と直角をなすｙ方向に移動するためのｙテーブルと、前記試料に傾斜動作を与えるための、前記ｘテーブルおよびｙテーブルを支持しているチルトテーブルとを含み、
　前記チルトテーブルが前記試料室に固定されたステージケースに取り付けられ、
　前記試料をｘｙ平面と直角をなすｚ方向の軸をもつ電子ビームで走査し、それによって前記試料から発生する信号を検出して前記試料の像を表示する走査型電子顕微鏡において、
　前記チルトテーブルは、その一端がチルト軸に取り付けられることによって回転方向トルクが作用するものであって、前記チルトテーブルの前記チルト軸による取り付け端の反対側の端部を押圧して、当該チルトテーブルを固定するステージロック機構を備えた走査型電子顕微鏡。」の点で一致するが、以下の点で相違する。
[相違点１]
　チルトテーブルのチルト軸による取り付け端の反対側の端部を押圧する点に関して、本願発明は、上記端部にロック板を固定し、該ロック板を押圧することによって、上記端部を押圧するのに対して、引用発明は、その点が限定されていない点。
[相違点２]
　ステージロック機構について、本願発明は、
　「前記試料室に取り付けられたロック軸受と該ロック軸受に螺合されたロック軸とを有し、該ロック軸の先端を前記ロック板に押し当て、該ロック軸を回転させることを通じて該ロック軸により前記チルトテーブルを前記ｘ方向から押圧し、前記ｘ方向の振動に対しては該ロック軸受けと該ロック軸の螺合の作用により、前記ｘ方向と直角をなすｙｚ平面内の振動は、前記ロック軸の先端と前記チルトテーブルの開放端あるいは前記ロック板との間で発生する摩擦力により、前記チルトテーブルの動きを拘束する」のに対して、引用発明は、そのような限定がされていない点。
　
５　当審の判断
　上記相違点について検討する。
　
（１）相違点１
　チルトテーブルの端部を押圧する際、本願発明のように、該端部に第３の部材であるロック板を固定し、該ロック板を押圧するか、第３の部材を介せずに直接に、該端部を押圧するかは、必要に応じて適宜に選択し得る設計事項であるといえる。
　
　したがって、相違点１に係る本願発明の発明特定事項は格別なものではない。
　
（２）相違点２
ア　本願発明における「前記ｘ方向と直角をなすｙｚ平面内の振動は、前記ロック軸の先端と前記チルトテーブルの開放端あるいは前記ロック板との間で発生する摩擦力により、前記チルトテーブルの動きを拘束すること」という事項について検討する。
　　
　引用発明の「試料室４に取り付けられた空気シリンダ２４により押付パッド２５で押すＬ形チルトテーブル８２の押圧機構」も、押付パッド２５の先端が当接するＬ形チルトテーブル８２を上記押圧方向（ｘ方向）から押圧し、Ｌ形チルトテーブル８２を固定するから、上記押圧方向（ｘ方向）と直角の方向（ｙ方向、ｚ方向）には、押付パッド２５の先端とＬ形チルトテーブル８２には何らかの摩擦力が生じて、Ｌ形チルトテーブル８２が上記直角の方向（ｙ方向、ｚ方向）の動きを抑えるように機能することは明らかである。
　
イ　本願発明における、試料室に取り付けられたロック軸受と該ロック軸受に螺合されたロック軸とを有し、該ロック軸の先端をロック板に押し当て、該ロック軸を回転させることを通じて該ロック軸により前記チルトテーブルを前記ｘ方向から押圧し、ｘ方向の振動に対しては該ロック軸受けと該ロック軸の螺合の作用により、チルトテーブルの動きを拘束するという事項について検討する。
　
　まず、「ロック板」の点は、「（１）相違点１」の項で検討済みである。
　
　当審からの拒絶理由で示したように、当該技術分野において、ねじを用いて部材を固定することは周知事項である〔要すれば、実願平１−２８９８５号（実開平２−１１９３４５号）のマイクロフィルム（以下「周知例」という）参照）〕。
　また、引用発明の「空気シリンダ２４により押付パッド２５で押すＬ形チルトテーブル８２の押圧機構」の空気シリンダ２４に代えて、ＳＥＭ、即ち走査型電子顕微鏡における、ねじを用いて部材を固定する周知事項を適用することは困難なことではない。
　そして、本願発明の、ｘ方向の振動に対してはロック軸受けと該ロック軸の螺合の作用により、チルトテーブルの動きを拘束することは、上記適用に伴って当然生じる機能ともいえるので、格別なものともいえない。
　
　なお、本願発明において、ロック軸が螺合する部材として「試料室に取り付けられたロック軸受」を用いることは、設計事項といえる。
　
　したがって、上記イの事項は、引用発明及び周知事項に基づいて当業者が容易に想到し得るものである。
　
　ちなみに、上記周知例には、「試料固定装置」の発明に関して、以下の事項が記載されている。
＜記載事項４＞
「２　実用新案登録請求の範囲
　（１）（丸数字の１を表記上、括弧付き数字の１と表記した。）　基体に上下動自在に設けられた昇降台と、該昇降台を前記基体に固定する止めねじと、前記昇降台の突部を支点にして傾斜及び回動自在に設けられた載置台と、該載置台を前記昇降台に固定する止めねじと、前記載置台に形成され載置された試料の一側が当接する当接面と、前記試料の他側に当接し前記試料を固定する止めねじとを備えた試料固定装置。」（第１ページ第４〜１２行）
＜記載事項５＞
「〔産業上の利用分野〕
　本考案は、ＳＥＭ，ＡＥＳ等の各種分析装置の試料台に不規則な形状のバルク試料，ウエハ等の薄板の試料を固定する試料固定装置に関する。」（第１ページ第１４〜１７行）　
＜記載事項６＞
「〔実施例〕
　実施例について第１図ないし第４図を参照して説明する。
　それらの図面において、（５）は有底円筒状の基体、（６）は基体（５）の底部中央に上下方向に螺合した止めねじ、（７）は外面が基体（５）の内面に摺接し基体（５）内に上下動自在に設けられた有底円筒状の昇降台、（８）は基体（５）の周壁に螺合した止めねじであり、止めねじ（６）の進退により昇降台（７）が上下動し、止めねじ（８）の挿入により昇降台（７）の高さ位置が固定される。（中略）
（１４）は昇降台（７）の周壁に螺合した止めねじであり、止めねじ（１４）の挿入により載置台（１０）の傾斜状態が固定される。」（第４ページ第９行〜同第５ページ第１０行）　
　
　これらの記載によれば、上記周知例には、ＳＥＭ、即ち走査型電子顕微鏡において、走査型電子顕微鏡を構成する基体や昇降台等の構成部材に螺合する止めねじを設け、前記止めねじを回転することにより該止めねじの先端を固定したい部材に押しつけ、該固定したい部材の動きを拘束することが記載されている。
　　
ウ　相違点２の検討のまとめ　
　したがって、上記「ア」及び「イ」の項で検討したことを総合すると、相違点２に係る本願発明の発明特定事項は、引用発明及び周知事項に基づいて当業者が容易に想到し得るものである。
　　
（３）まとめ
　本願発明の効果は、引用刊行物の記載及び周知事項から当業者が予測し得る範囲内のものである。
　
　よって、本願発明は、引用刊行物に記載された発明及び周知事項に基づいて当業者が容易に発明することができたものである。　　
　
６　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用刊行物に記載された発明及び周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。