【事件の表示】
　特願２００３−１５８８８３「電子ビーム照射装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年１２月２４日出願公開、特開２００４−３６１１９５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１５年（２００３年）の６月４日出願（特願２００３−１５８８８３号）であって、平成１９年１１月１６日付で拒絶査定がなされ、これに対して、平成１９年１２月２０日付で拒絶査定に対する審判請求がなされたものである。
　
 第２　本願発明  
　本願の請求項１〜５に係る発明は、平成１９年９月１８日付手続補正書により補正された明細書及び図面の記載から見て、その特許請求の範囲の請求項１〜５に記載されたとおりのものであるところ、その請求項１に記載された発明（以下、「本願発明」という。）は、以下のとおりである。
本願発明；
「夫々に電子発生部を内装した複数本の電子ビーム管が、その管端開口部から放出される電子ビームを一括的に透過させる照射窓を設けたヘッド部に対して並列状態で気密に取り付けられると同時に、隣接する電子ビーム管と互いの電子ビーム放出域が前記照射窓の面上で一部重なり合うように配置され、前記ヘッド部と各電子ビーム管とで形成される内部空間が、高真空の気密空間に形成されていることを特徴とする電子ビーム照射装置。」
　
第３　引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された特開２００１−９９９９８号公報（以下、「引用例」という）には、次の事項が記載されている。
　
１　「【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。図１から図３は本発明における電子ビーム放出管の一実施例の概略図であって、図１は概略平面図、図２は概略平面図、図３は電子発生源の概略図である。
【００１６】全体の構造は前端と後端を持つ気密容器であり好ましくはガラスで作られている。放出管の内部の圧力は、およそ１０-5Ｐａ以下に保たれている。後端部の長手方向ほぼ全長にわたって電子線発生源４を直線上に配置している。前端部には後端部の電子線発生源４と対応する位置に電子線を透過し空気を透過しない薄膜２で構成される電子放出窓１を設ける。中間部には電子線収斂デバイス６を設けて電子線を収斂させ、電子ビームほぼすべてを前端部の電子放出窓１へ導き、薄膜２を通して外部へ放出する。
【００１７】　窓枠３に接合された薄膜２は電子線を透過させるために非常に薄い金属または合金の箔が用いられる。好ましくは板厚８〜１０μｍのベリリウム箔、板厚２〜３μｍのチタン箔、または板厚３〜５μｍのジュラルミン箔を窓枠３に接合して使用する。これらの金属箔は素材を圧延して製造されるため、従来の積層形薄膜では現実的に製造不可能な長さ２００ｍｍ以上の薄膜を低コストで入手することができる。
【００１８】薄膜は窓枠３へ気密接合される。接合方法としては、電子ビーム放出管を高真空封止切りで使用するため、高気密かつガス放出の少ない方式が要求される。好ましくはシート状の銀ロウまたは蒸着された金などの中間物質を間に入れて真空加熱することにより、サンドイッチ状に接合させる。」
　
２　「【００２１】電子発生源４は、たとえば図３のようにフィラメントコイルを並列に接続したものであり、グリッドにより電子放出管の前端に向かって電子をほぼ平行に放出する。電子はやや広がりながら前端に向かうが、電子収斂デバイスにより処理幅（長手方向）の両端と奥行きの方向に広がる電子は収斂され、全体として細長い長方形の領域に電子線が放出される。
【００２２】ボディ７は、好ましくはガラス製の気密容器であり、これに電子放出部４、グリット５、電子収斂デバイス６、薄膜２を接合した窓枠３を組み付けた後、排気機上にて内部気体を置換排気した後、排気管８を封止することによって気密の電子ビーム放出管となる。
【００２３】図４から図７に別の電子ビーム放出管の実施例を示す。図番１１から１３は図１及び図２に示す図番１から図番３に示す構成と同一であり、図番１６から１９は図１及び図２に示す図番６から図番９に示す構成と同一である。図４から図７において、電子発生源１４は好ましくは１個で約１０ｍｍから２０ｍｍの範囲の窓に電子線を供給するフィラメントコイルもしくは電界放出素子からなり、グリット１５と組み合わされて１つのユニットを構成している。このユニットを並べることにより、例えば５０ｍｍから１０００ｍｍ以上の処理幅を持つ電子放出管も同じ方式で製造することができる。同タイプの電子放出管は、図５から図７に示すように長短いずれの場合にも単位処理幅の領域に放出される電子ビームの特性は一定となり、安定な特性を得ることができる。電子発生源の各ユニットから発生した電子は前端部へ向かうにつれて広がっていくため、電子放出窓とは異なり、ユニット間の電子密度のムラは問題とならない。」
　
３　【図５】〜【図７】には、複数の電子発生源がボディ７の後端側に並列状態で取り付けられ、その端部から電子ビームを放出している様子が示されている。
　
　上記記載事項１及び２から、引用例からは、、
・装置の「全体の構造は前端と後端を持つ気密容器」であること、
・「後端部の長手方向ほぼ全長にわたって電子線発生源１４を直線上に配置している」こと、
・「前端部には後端部の電子線発生源１４と対応する位置に電子線を透過し空気を透過しない薄膜１２で構成される電子放出窓１１を設ける」こと、
・「中間部には電子線収斂デバイス６を設けて電子線を収斂させ、電子ビームほぼすべてを前端部の電子放出窓１へ導き、薄膜２を通して外部へ放出する」こと、及び
・「電子ビーム放出管を高真空封止切りで使用する」こと、
が記載事項として抽出される。
　
　また、上記記載事項２における「電子はやや広がりながら前端に向かうが、電子収斂デバイスにより処理幅（長手方向）の両端と奥行きの方向に広がる電子は収斂され、全体として細長い長方形の領域に電子線が放出される。」の記載と、上記記載事項３の【図５】〜【図７】の記載を併せて読めば、【図５】〜【図７】の破線は電子線を示す線であるものと認められ、そして、破線は電子放出窓の面上で一部重なり合っていることが見取れるから、引用例には「隣接する電子発生源と互いの電子線放出域が電子放出窓の面上で一部重なり合うように配置され」ていることが記載されているといえる。
　
　よって、引用例には、
「複数の電子発生源が、その端部から放出される電子線をほぼすべて透過する電子放出窓を設けた前端部に対して、後端部の長手方向ほぼ全長にわたって並列状態で後端部の長手方向ほぼ全長にわたって取り付けられると同時に、隣接する電子発生源と互いの電子線放出域が電子放出窓の面上で一部重なり合うように配置され、電子ビーム放出管の内部空間が、高真空の気密空間に形成されている電子ビーム放出管」の発明（以下、「引用発明」という）が記載されている。
　
第４　対比
　本願発明と引用発明を対比すると、引用発明の「電子発生源」と、本願発明の「電子ビーム管」は、「電子発生部材」である点で一致している。また、引用発明の（電子発生源の）「端部」と、本願発明の（電子ビーム管の）「管端開口部」は、（電子発生部材の）「端部」である点で一致している。
　次に、引用発明の「電子線」、「電子放出窓」、「前端部」及び「電子ビーム放出管」は、それぞれ、本願発明の「電子ビーム」、「照射窓」、「ヘッド部」及び「電子ビーム照射装置」に相当する。
　また、引用発明の「後端部の長手方向ほぼ全長にわたって取り付けられる」は、本願発明における「気密に取り付けられる」に相当する。
　また、引用発明の「電子ビーム放出管の内部空間」と、本願発明の「前記ヘッド部と各電子ビーム管とで形成される内部空間」は、「電子ビームを放出する内部空間」である点で一致している。
　
　よって、両者は、
「複数の電子発生部材が、その端部から放出される電子ビームを一括的に透過させる照射窓を設けたヘッド部に対して並列状態で気密に取り付けられると同時に、隣接する電子発生部材と互いの電子ビーム放出域が前記照射窓の面上で一部重なり合うように配置され、電子ビームを放出する内部空間が、高真空の気密空間に形成されていることを特徴とする電子ビーム照射装置」である点で一致し、以下の各点で相違する。
　
１　相違点１
　「電子発生部材」及び「その（電子ビームを放出する）端部」に関して、本願発明は『「夫々に電子発生部を内装した電子ビーム管」が、「その管端開口部」から電子ビームを放出する』ものであるのに対し、引用発明は『「電子発生源」が、「その端部」から電子ビームを放出する』ものである点。
　
２　相違点２
　電子ビームを放出する内部空間が、本願発明においては「ヘッド部と各電子ビーム管とで形成される」ものであるのに対し、引用発明においては「電子ビーム放出管に形成される」ものである点。
　
第５　当審の判断
　以下、上記の各相違点について検討する。
１　相違点１について
　電子ビーム照射装置において、『「夫々に電子発生部を内装した電子ビーム管」が、「その管端開口部」から電子ビームを放出する』ものは、例えば、
・特開２００２−１８２０００号公報（【０００２】【００１３】【００１４】【００１８】【００１９】【図１】【図３】参照）
・特開２００２−３４１１００号公報（【００１７】【００２６】【図１】【図６】参照）にも記載されているように周知技術である。
　そして、上記周知技術を、電子ビーム照射装置という同じ技術分野に属する引用発明に採用し、上記相違点１に係る発明特定事項を得ることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　
２　相違点２について
　上記相違点２に関して、本願発明の「ヘッド部」も引用発明の「電子ビーム放出管」も照射窓を有する容器状部材である点では一致している。そして、本願発明は、該容器部材の電子ビーム放出側が電子ビーム放出管で覆われているものであるのに対して、引用発明においては、そのようになっていない。すなわち、上記相違点２は、電子ビームを放出する内部空間を形成している容器部材に関して、本願発明は『容器部材の電子ビーム放出側が電子ビーム放出管で覆われている』のに対して、引用発明においてはそのような構造となっていないものである点で相違しているといえるものである。
　上記の「１　相違点１について」で記載した２つの周知例（特開２００２−１８２０００号公報、及び、特開２００２−３４１１００号公報）においては、電子ビームを放出する内部空間が「処理室」と「各電子ビーム管」で形成されているものが記載されている。すなわち、電子ビームを放出する内部空間を、処理室である容器状部材と電子ビーム放出側の各電子ビーム管で形成するものは、引用例２に記載されているように周知の技術である。
　そして、上記周知技術を、電子ビーム照射装置という同じ技術分野に属する引用発明に採用し、上記相違点２に係る発明特定事項を得ることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　
　そして、本願発明によってもたらされる効果は、上記引用発明及び上記周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
　したがって、本願発明は、引用例に記載された発明、及び従来周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明することができたものである。 
　
第６　むすび
　以上より、本願発明は、引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。