【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３０８６４４６号発明「回転式塗布装置」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０８６４４６号の請求項１及び請求項２に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第３０８６４４６号（以下、「
本件特許
原出願
本件分割特許出願
請求人
被請求人
　その後、当審は、平成１９年１０月２６日に口頭審理を開廷すべく、前記審判事件弁駁書副本を請求人に送付し、さらに、当審の職権による審理結果としての、本件分割特許出願に関する分割要件違反を前提として、訂正請求後の本件訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に係る各発明（以下、請求項順に「
本件発明１
本件発明２
　そして、当審により平成１９年１０月２６日の期日に口頭審理が公開で開廷され、請求人は平成１８年１２月２７日付け審判請求書、平成１９年５月２９日付け審判事件弁駁書及び平成１９年１０月２６日付け口頭審理陳述要領書に基づいて陳述し、また、被請求人は、平成１９年４月２日付け審判事件答弁書、平成１９年４月２日付け訂正請求書及び平成１９年１０月１２日付け口頭審理陳述要領書に基づいて陳述をした。
　なお、平成１９年１０月２６日期日の口頭審理における、審判事件弁駁書における請求人の主張に対する被請求人の意見、並びに、当審の職権による無効理由通知に関する請求人及び被請求人の意見を含む両当事者の陳述は、第１回口頭審理調書に記載のとおりである。
　
第２　当事者の主張
１　請求人の主張
　請求人は、「特許第３０８６４４６号発明の特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された発明についての特許を無効とする。審判費用は被請求人の負担とする、との審決を求める。」と主張し、下記の甲第１号証ないし甲第５号証を提出して、以下の無効理由を主張する。その無効理由の要点は、次のとおりである。
〔無効理由１〕：本件分割特許出願は、分割要件を満たしていないことにより、本件分割特許出願の出願日が実際の出願日である平成１１年２月３日に繰り下がることを前提に、本件特許の請求項１ないし４に係る発明は、本件特許発明の出願前に日本国内において頒布された甲第１号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当して特許を受けることができないか、あるいは、甲第１号証に記載された発明に基づいて、出願前当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　甲第１号証：特開平６−３３８４４７号公報〔原出願である特願平５−１５１５６７号の公開特許公報〕
　
〔無効理由２〕：本件分割特許出願は、分割要件を満たしていないことにより、本件分割特許出願の出願日が実際の出願日である平成１１年２月３日に繰り下がることを前提に、本件特許の請求項１ないし４に係る発明は、本件特許発明の出願前に日本国内において頒布された甲第２号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当して特許を受けることができないか、あるいは、甲第２号証に記載された発明に基づいて、出願前当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　甲第２号証：特開平７−６６１０８号公報
　
〔無効理由３〕：本件特許の請求項１ないし４に係る発明は、本件特許発明の出願前に日本国内において頒布された甲第３号証ないし甲第５号証に記載された発明に基づいて、出願前当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　甲第３号証：特開平４−３４１３６７号公報
　甲第４号証：特開平３−２９３０５６号公報
　甲第５号証：特開平４−１４６６１５号公報
　
〔無効理由４〕：本件特許の明細書及び図面の記載と特許請求の範囲の記載は、それぞれ特許法第３６条第４項第１号と同条第６項第２号に規定する要件を満たしていないものであり、その特許は、特許法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とすべきである。
　
２　被請求人の主張
　被請求人は、請求人の前記主張に対し、平成１９年４月２日付けの訂正請求書を提出するとともに、乙第１号証ないし乙第１９号証を提出し、「本件審判請求は成り立たない、審判費用は請求人の負担とする、との審決を求める。」と主張し、「本件特許に係る分割出願は適法であって、本件請求項１及び請求項２に係る発明は特許法第１２３条第１項第２号に該当せず、また、本件特許は全ての請求項１及び請求項２について特許法第１２３条第１項第４号に該当しない。よって、答弁の趣旨のとおりの審決を求める。」旨を主張した。
　
第３　当審の審理
１　訂正請求の訂正の適否についての判断
（１）訂正請求の内容
　被請求人は、請求人の無効審判請求書副本の送付を受けて、平成１９年４月２日付の訂正請求書を提出し、その訂正請求（以下、「
本件訂正請求
本件訂正明細書
ア　〔訂正事項１〕　本件分割特許出願の特許査定時の明細書又は図面（以下、「
本件特許明細書等
　
イ　〔訂正事項２〕　本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項４を請求項２に繰り上げて、
　「【請求項４】　基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、この回転台上に支持された基板の上面に塗布液を供給する塗布液供給手段とを備えた回転式塗布装置において、
　上部が開口し、前記回転台の周辺を囲むケースと、
　前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材と、
　前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板と、
　を備え、
　前記上部板の上側中央部には取付部材が立設され、取付部材には水平方向に延在する第１の部材が設けられ、
　前記閉じる部材には、前記上部板の前記第１の部材の下方に位置する第２の部材が設けられ、
　前記上部板と前記回転台との結合時には、前記第２の部材に対して前記取付部材および前記第１の部材が相対回転自在となるように設けられている
　ことを特徴とする回転式塗布装置。」
の記載を、
　「【請求項
２
　上部が開口し、前記回転台の周辺を囲むケースと、
　前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材と、
　前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板と、
　を備え、
　前記上部板の上側中央部には取付部材が立設され、取付部材には水平方向に延在する第１の部材が設けられ、
　前記閉じる部材には、前記上部板の前記第１の部材の下方に位置する第２の部材が設けられ、
　前記上部板と前記回転台との結合時には、前記第２の部材に対して前記取付部材および前記第１の部材が相対回転自在となるように設けられている
　ことを特徴とする回転式塗布装置。」
と訂正する。
　
ウ　〔訂正事項３〕　本件特許明細書等の発明の名称の欄の、
　「回転式塗布装置および回転式塗布方法」
の記載を、
　「
回転式塗布装置
と訂正する。
　
エ　〔訂正事項４〕　本件特許明細書等の発明の詳細な説明欄の段落【０００１】の、
　「【０００１】【発明の属する技術分野】　本発明は、液晶表示パネル用のガラス基板、半導体ウエハ、半導体製造装置用のマスク基板などの基板の表面に、遠心力を利用してフォトレジスト液などの塗布液を薄膜状に塗布するために、基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、この回転台上に支持された基板の上面に塗布液を供給する塗布液供給手段とを備えた回転式塗布装置と、回転式塗布方法に関する。」
の記載を、
　「【０００１】【発明の属する技術分野】　本発明は、液晶表示パネル用のガラス基板、半導体ウエハ、半導体製造装置用のマスク基板などの基板の表面に、遠心力を利用してフォトレジスト液などの塗布液を薄膜状に塗布するために、基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、この回転台上に支持された基板の上面に塗布液を供給する塗布液供給手段とを備えた
回転式塗布装置
と訂正する。
　
オ　〔訂正事項５〕　本件特許明細書等の発明の詳細な説明欄の段落【０００５】の、
　「【０００５】　本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであつて、ケース上部の開口を閉じる部材がケースに、回転台と結合する上部板が回転台に、それぞれ確実に結合でき、パーティクルなどによる基板の処理品質の低下などの問題がない回転式塗布装置および回転式塗布方法を提供するものである。」
の記載を、
　「【０００５】　本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであつて、ケース上部の開口を閉じる部材がケースに、回転台と結合する上部板が回転台に、それぞれ確実に結合でき、パーティクルなどによる基板の処理品質の低下などの問題がない
回転式塗布装置
と訂正する。
　
カ　〔訂正事項６〕　本件特許明細書等の発明の詳細な説明欄の段落【００４５】の、
　「【００４５】【発明の効果】　以上の説明から明らかなように、本発明に係る回転式塗布装置および回転式塗布方法によれば、ケース上部の開口を閉じる部材がケースに、回転台と結合する上部板が回転台に、それぞれ確実に結合でき、基板の処理品質の低下などの問題が生じることがない。」
の記載を、
　「【００４５】【発明の効果】　以上の説明から明らかなように、本発明に係る
回転式塗布装置
と訂正する。
　
（２）本件訂正請求の訂正の目的の適否について
ア　上記〔訂正事項１〕の訂正は、本件特許明細書等の請求項２及び請求項３を削除する訂正であるから、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるものとされた同法第１条の規定による改正前の特許法（以下、「
平成６年改正前特許法
　
イ　上記〔訂正事項２〕の訂正は、〔訂正事項１〕の訂正に伴い、本件特許明細書等の特許請求の範囲の記載を、本件訂正請求の訂正後の特許請求の範囲に整合させるための訂正であるから、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第３号に掲げる「明りようでない記載の釈明」を目的とする訂正に該当する。
　
ウ　上記〔訂正事項３〕、〔訂正事項４〕、〔訂正事項５〕及び〔訂正事項６〕の訂正は、〔訂正事項１〕の訂正に伴い、本件特許明細書等の発明の名称の欄、並びに、発明の詳細な説明欄の段落【０００１】、【０００５】及び【００４５】の各記載を、本件訂正請求の訂正後の請求項１及び請求項２に係る発明の構成に整合させるための訂正であるから、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第３号に掲げる「明りようでない記載の釈明」を目的とする訂正に該当する。
　
エ　したがって、本件訂正請求における上記〔訂正事項１〕ないし〔訂正事項６〕の訂正は、いずれも平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第１号又は第３号に掲げる事項を目的とする訂正に該当する。
　
（３）新規事項の有無及び実質上特許請求の範囲の拡張又は変更の存否について
ア　本件訂正請求により、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項２及び請求項３を削除する上記〔訂正事項１〕の訂正、並びに、その他の〔訂正事項２〕ないし〔訂正事項６〕の明りようでない記載を釈明する訂正は、いずれも本件特許明細書等、すなわち本件分割特許出願の願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてした訂正であると認める。
　したがって、本件訂正請求における上記〔訂正事項１〕ないし〔訂正事項６〕の訂正は、いずれも平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書の規定に適合する。
　
イ　また、本件訂正請求の上記〔訂正事項１〕ないし〔訂正事項６〕の訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　したがって、本件訂正請求における上記〔訂正事項１〕ないし〔訂正事項６〕の訂正は、いずれも特許法第１３４条の２第５項において準用する平成６年改正前特許法第１２６条第２項の規定に適合する。
　
（４）本件訂正請求に対する独立特許要件の有無について
　本件の特許無効審判の請求の趣旨に係る特許発明は、請求項１ないし請求項４に係る発明であり、また、特許無効審判の請求がされている請求項２及び請求項３に係る発明についての訂正が、上記「（２）本件訂正請求の訂正の目的の適否について」欄の「ア」に前述したとおり、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とする訂正に該当しているところ、特許法第１３４条の２第５項において読み替えて準用する平成６年改正前特許法第１２６条第３項の「特許無効審判の請求がされていない請求項に係る第１項ただし書第１号又は第２号の場合は、訂正後における特許請求の範囲に記載されている事項により構成される発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものでなければならない。」の規定に該当する、本件の特許無効審判の請求の趣旨から除外されている請求項が、訂正請求に係る特許請求の範囲に存在していないから、当審は、訂正請求の訂正後の請求項に係る発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができるか否かの、いわゆる独立特許要件の有無について、検討をする必要を認めない。
　
（５）むすび
　当審が本件無効審判事件における本件訂正請求について審理をした結果は、以上のとおりであり、本件特許明細書等についての本件訂正請求による訂正は、特許請求の範囲の請求項２及び請求項３を削除することによる特許請求の範囲の減縮及び請求項２及び請求項３の削除に伴う本件特許明細書等の中の明りようでない記載の釈明を目的とする訂正であるので、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書第１号及び第３号に該当し、さらに、前記訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した範囲内においてした訂正であるので、平成６年改正前特許法第１３４条ただし書に適合する。また、前記訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないので、特許法第１３４条の２第５項において準用する平成６年改正前特許法第１２６条第２項の規定に適合する。
　よって、本件訂正請求の訂正を認める。
　
２　審判事件弁駁書の要旨の変更についての判断
　請求人が審判事件弁駁書において提出した新たな証拠方法としての甲第８号証〔平成１７年（行ケ）第１０７９６号審決取消請求事件に関する平成１８年１１月３０日判決言渡の判決文〕及び甲第９号証〔平成１７年（行ケ）第１０２７１号審決取消請求事件に関する平成１８年２月１４日判決言渡の判決文〕を含む、請求人が主張する新たな無効理由は、請求の理由の要旨を変更するものではあるが、当審の審理を不当に遅延させるおそれはなく、また前記新たな無効理由の主張が、被請求人の訂正請求により補正の必要が生じたものであるので、請求人が主張する新たな無効理由は、許可できるものである。
　
３　当審の職権による無効理由通知
　しかして、当審が本件無効審判事件を審理した結果、請求人が主張していない技術事項〔「第３　当審の審理」欄に後記する「４」を参照。〕について、本件分割特許出願は分割要件を満たしていないとした上で、前記分割要件の欠如を前提に、さらに、本件訂正請求後の本件発明１及び本件発明２に関して職権により審理をした結果として、請求人が提出した甲第１号証ないし甲第５号証の各刊行物の証拠方法を以て、本件訂正請求後の本件発明１及び本件発明２は、前記証拠方法に記載の各発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである旨の進歩性要件の欠如（特許法第２９条第２項違反）を内容とする無効理由通知、及び、本件分割特許出願が分割要件の欠如を惹起する要因である特許請求の範囲の中の技術事項について、本件訂正明細書における発明の明確性の要件、サポート要件及び実施可能要件の各要件の欠如（特許法第３６条第４項及び同条第６項第１号及び第２号違反）を内容とする無効理由通知〔「第３　当審の審理」欄に後記する「４」を参照。〕を、請求人及び被請求人の両当事者双方に対してファクシミリの送信により通知した。
　
４　当審の職権による無効理由通知の内容の要点
　前記当審の職権による無効理由通知の内容の要点は、請求人及び被請求人の両当事者双方に対して平成１９年８月１４日に送信した下記に示すファクシミリにおける「第１　被請求人に対する事項」欄の「２．」ないし「４．」項の部分に示すとおりである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
『無効審判事件（２００６−８０２７５）に関し、当審が口頭審理において審理する予定の下記の事項について、当事者は、意見等をあらかじめ「口頭審理陳述要領書」にまとめて、口頭審理期日の少なくとも２週間前までに提出してください。
　
　第１　被請求人に対する事項
　１．　請求人が提出した弁駁書の副本を被請求人に送付しますので、その弁駁書における請求人の主張に対する被請求人の意見。
　２．　請求人が審判請求書及び弁駁書において主張する無効理由１（特許法第２９条第１項第３号又は同法第２９条第２項違反）及び無効理由２（特許法第２９条第１項第３号又は同法第２９条第２項違反）に関連して、当審が職権により、本件分割特許出願の分割要件の有無について審理する場合において、本件分割特許出願の願書に添付した明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし請求項４及び訂正請求後の請求項１及び請求項２に記載の
　ア．「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」、
　イ．「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」
の各技術事項について、原出願（特願平５−１５１５６７号）の願書に最初に添付した明細書及び図面におけるそれらの記載の根拠又はそれらの明細書の記載からの自明性についての説明。
　３．　本件分割特許出願の分割要件の有無について、上記２．のア．及びイ．に記載した各技術事項に関する当審の審理結果を踏まえて、本件分割特許出願が特許法第４４条に規定する分割要件を満たしていないと当審が判断する場合において、本件第３０８６４４６号特許の訂正請求後の請求項１及び請求項２に係る特許発明は、本件分割特許出願の現実の特許出願日前に頒布された甲第１号証及び甲第２号証、並びに、甲第３ないし５号証の各刊行物に記載の各発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるという、当審の職権による無効理由通知（特許法第２９条第２項違反）に対する、被請求人の意見。
　４．　請求人が審判請求書及び弁駁書においてにおいて主張する無効理由４（特許法第３６条第４項及び同条第６項第２号違反）に関連して、当審が職権により、本件分割特許出願の記載要件の有無について審理する場合において、上記２．のア．及びイ．に記載した各技術事項について、本件分割特許出願は、訂正明細書の特許請求の範囲の各請求項に係る発明の明確性の要件、訂正明細書の発明の詳細な説明における記載のサポート要件及び実施可能要件の各要件を満たしていないという、当審の職権による無効理由通知（特許法第３６条第４項及び同条第６項第１号及び第２号違反）に対する、被請求人の意見。
　
　第２　請求人に対する事項
　１．　請求人が審判請求書及び弁駁書において主張する無効理由１（特許法第２９条第１項第３号又は同法第２９条第２項違反）に関して、本件第３０８６４４６号特許の訂正請求後の請求項１及び請求項２に係る特許発明の各構成要素と、甲第１号証刊行物に記載の発明の各構成要素との個々の具体的な対応関係についての説明。
　２．　請求人が審判請求書及び弁駁書において主張する無効理由２（特許法第２９条第１項第３号又は同法第２９条第２項違反）に関して、本件第３０８６４４６号特許の訂正請求後の請求項１及び請求項２に係る特許発明の各構成要素と、甲第２号証刊行物に記載の発明の各構成要素との個々の具体的な対応関係についての説明。
　３．　請求人が審判請求書及び弁駁書において主張する無効理由３（特許法第２９条第２項違反）に関して、本件第３０８６４４６号特許の訂正請求後の請求項１及び請求項２に係る特許発明の各構成要素と、甲第３ないし５号証の各刊行物に記載の各発明の引用すべき各構成要素との個々の具体的な対応関係についての説明。
　４．　上記「第１　被請求人に対する事項」欄の３．において指摘した当審の職権による無効理由通知（特許法第２９条第２項違反）に対する、請求人の意見。
　５．　上記「第１　被請求人に対する事項」欄の４．において指摘した当審の職権による無効理由通知（特許法第３６条第４項及び同条第６項第１号及び第２号違反）に対する、請求人の意見。』
　
第４　当審の職権による無効理由の前提となる分割要件の有無についての検討
１　本件特許の請求項１及び請求項２に係る発明
　上記のとおり、本件訂正請求の訂正が認められたので、本件特許の請求項１に係る発明（本件発明１）及び請求項２に係る発明（本件発明２）は、訂正請求書に添付された本件訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】　基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、この回転台上に支持された基板の上面に塗布液を供給する塗布液供給手段とを備えた回転式塗布装置において、
　上部が開口し、前記回転台の周辺を囲むケースと、
　前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材と、
　前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板と、
　を備え、
　前記開口を閉じた状態の前記部材を上昇させて前記上部板を上昇させる際には、前記上部板の上昇に先立って前記閉じ部材が上昇するよう構成されていることを特徴とする回転式塗布装置。
　【請求項２】　基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、この回転台上に支持された基板の上面に塗布液を供給する塗布液供給手段とを備えた回転式塗布装置において、
　上部が開口し、前記回転台の周辺を囲むケースと、
　前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材と、
　前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板と、
　を備え、
　前記上部板の上側中央部には取付部材が立設され、取付部材には水平方向に延在する第１の部材が設けられ、
　前記閉じる部材には、前記上部板の前記第１の部材の下方に位置する第２の部材が設けられ、
　前記上部板と前記回転台との結合時には、前記第２の部材に対して前記取付部材および前記第１の部材が相対回転自在となるように設けられていることを特徴とする回転式塗布装置。」
　
２　分割要件の有無についての検討
（１）本件発明１及び本件発明２の技術事項についての分割の根拠についての検討
　本件発明１及び本件発明２は、上記「１　本件特許の請求項１及び請求項２に係る発明」欄に前掲したとおりのものであるが、上記「第３　当審の審理」欄の「４　当審の職権による無効理由通知の内容の要点」に示した「第１　被請求人に対する事項」の「２．」に指摘してあるとおり、本件発明１及び本件発明２には、
　「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」及び
　「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」
の技術事項が記載されている。
　しかして、特許法第４４条には、
『第四四条（特許出願の分割）
　　特許出願人は、願書に添附した明細書又は図面について補正をすることができる時又は期間内に限り、二以上の発明を包含する特許出願の一部を一又は二以上の新たな特許出願とすることができる。
　２　前項の場合は、新たな特許出願は、もとの特許出願の時にしたものとみなす。ただし、新たな特許出願が第二十九条の二に規定する他の特許出願又は実用新案法第三条の二に規定する特許出願に該当する場合におけるこれらの規定の適用並びに第三十条第四項、第四十一条第四項並びに前条第一項及び第二項の規定の適用については、この限りでない。』
と規定されている。
　そこで、前記の技術事項を有する発明が本件分割特許出願のもとの出願である原出願（特願平５−１５１５６７号）に包含されていたか否かについて、換言すれば、前記の技術事項が、前記原出願の願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、「
原出願の当初明細書等
　
（２）原出願の当初明細書等における記載事項
ア　「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項についての検討
（ア）まず、原出願の当初明細書等が記載されている甲第１号証〔特開平６−３３８４４７号公報〕の記載を精査すると、前記甲第１号証の明細書及び図面には、本件発明１及び本件発明２の構成要件である前記「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の文言が記載されておらず、また、それを示唆する記載も前記甲第１号証の中に認めることができない。
　
（イ）そこで、前記「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」に対応する部材であると被請求人が審判事件答弁書及び口頭審理陳述要領書において主張する「固定支持部材１６」に関する技術事項の記載について精査すると、甲第１号証の中に、次のａ〜ｍの事項が記載されている。
　ａ　「【請求項２】　請求項１に記載の回転台洗浄手段が、
　中央に開口を有し、かつ、回転台上に支持された基板の上面と所定の間隔をもって平行に設けられるとともに前記回転台と一体に回転される上部回転板と、
　前記開口を開閉する蓋と、
　前記蓋を開き位置に変位した状態の前記開口を通じて前記上部回転板の下方に変位し、前記回転台の上面に向けて洗浄液を噴射するように固定支持部材に設けた洗浄ノズルと、
　から構成されたものである回転式塗布装置。」
　ｂ　「【請求項３】　請求項２に記載の蓋を、固定支持部材に取り付けた駆動開閉機構によって閉じ位置と開き位置とに変位可能に設け、かつ、洗浄ノズルを、固定支持部材に取り付けた駆動機構によって洗浄位置と非洗浄位置とに変位可能に設けたものである回転式塗布装置。」
　ｃ　「【０００６】　また、請求項２に係る発明の回転式塗布装置は、上述のような目的を達成するために、請求項１に係る発明の回転式塗布装置における回転台洗浄手段を、中央に開口を有し、かつ、回転台上に支持された基板の上面と所定の間隔をもって平行に設けられるとともに前記回転台と一体に回転される上部回転板と、開口を開閉する蓋と、その蓋を開き位置に変位した状態の開口を通じて上部回転板の下方に変位し、回転台の上面に向けて洗浄液を噴射するように固定支持部材に設けた洗浄ノズルとから構成する。」
　ｄ　「【０００７】　また、請求項３に係る発明の回転式塗布装置は、上述のような目的を達成するために、請求項２に係る発明の回転式塗布装置における蓋を、固定支持部材に取り付けた駆動開閉機構によって閉じ位置と開き位置とに変位可能に設け、かつ、洗浄ノズルを、固定支持部材に取り付けた駆動機構によって洗浄位置と非洗浄位置とに変位可能に設けて構成する。」
　ｅ　「【００１４】　図１は本発明に係る回転式塗布装置の第１実施例の全体の概略構成を示す縦断正面図であり、角型基板１を載置する回転台２が鉛直方向の軸心Ｐ周りに水平回転可能に設けられ、その回転台２の上方に、回転台２と平行に上部回転板３が設けられるとともに、その上部回転板３が回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられ、これら回転部材の下方及び周辺部を外から囲むように廃液回収ケース５が設けられ、前記回転台２に、縦向き回転軸としての出力軸６を介して電動モータ７が連結されている。」
　ｆ　「【００１８】　前記廃液回収ケース５の上部に筒状カバー１５が取り付けられ、その筒状カバー１５に固定支持部材１６が着脱可能に取り付けられている。」
　ｇ　「【００１９】　図２の要部の一部切欠拡大正面図、図３および図４の要部の平面図、図５の要部の側面図に示すように、上部回転板３の中央には開口１９が形成され、この開口１９の鉛直方向上方位置において、固定支持部材１６の上方側支持プレート１６ａに駆動開閉機構としての第１のエアシリンダ２０が取り付けられ、その第１のエアシリンダ２０のシリンダロッド２０ａの先端にブロック２１が取り付けられるとともに、ブロック２１に相対昇降および相対回転可能に有底筒状の前記蓋１７が吊り下げ保持されている。」
　ｈ　「【００２２】　上方側支持プレート１６ａの第１のエアシリンダ２０の横側方に、鉛直方向の軸芯周りで９０°の範囲で回転可能な第２のエアシリンダ２４が設けられるとともに、その第２のエアシリンダ２４のシリンダロッド２４ａにスプライン軸２５が連結されている。スプライン軸２５に昇降のみ可能にスプライン筒２６が取り付けられるとともに、スプライン筒２６に回転のみ可能に回転筒２７が取り付けられている。回転筒２７に洗浄ノズル１８が一体的に取り付けられるとともに、上方側支持プレート１６ａの第２のエアシリンダ２４の横側方下側に設けられた第３のエアシリンダ２８のシリンダロッド２８ａに回転筒２７が連結されている。図示しないが、洗浄ノズル１８には、洗浄液圧送機構に接続された配管が接続されている。上述の構成により、回転台２の上面に向けて洗浄液を噴出する回転台洗浄手段が構成されている。」
　ｉ　「【００２４】　固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂは環状に形成され、その内周面側に寄った上面の周方向所定の４箇所それぞれに、山形状の係合突起２９が設けられ、一方、下方側支持プレート１６ｂよりも上方に位置するように、上部支持板４に取付部材３０…を介して環状プレート３１が取り付けられるとともに、その環状プレート３１の周方向所定の４箇所それぞれに、係合突起２９を嵌入する筒体３２が設けられ、前記上部回転板３を着脱する際に、係合突起２９…を筒体３２…に嵌入することにより、固定支持部材１６で吊り下げることができるように構成されている。」
　ｊ　「【００２５】　以上の構成により、先ず、塗布処理に際しては、固定支持部材１６を筒状カバー１５から取り外すとともに上部支持板４を回転台２から取り外し、固定支持部材１６で吊り下げて上部回転板３を上方に外して角型基板１を回転台２の基板支持ピン８…上に所定の姿勢で載置する。」
　ｋ　「【００２６】　次に、図示しない塗布液供給手段としての塗布液供給ノズルを角型基板１の中央上方に移動させ、所定量の塗布液を滴下供給する。その後、固定支持部材１６で吊り下げて上部支持板４を搬入し、上部支持板４をリングプレート１０上に、そして、固定支持部材１６を筒状カバー１５上にそれぞれ取り付け、図６の要部の正面図に示すように、第１のエアシリンダ２０を伸長して蓋１７を駆動変位し、上部回転板３の開口１９を閉じておくとともに洗浄ノズル１８を非洗浄位置に変位しておく。」
　ｌ　「【００２９】　所定回数の回転塗布処理が行われると、固定支持部材１６を筒状カバー１５から取り外すとともに上部支持板４を回転台２から取り外し、固定支持部材１６で吊り下げて上部回転板３を上方に外して角型基板１を取り出してから、上部支持板４をリングプレート１０上に、そして、固定支持部材１６を筒状カバー１５上にそれぞれ取り付け、その後に、第１のエアシリンダ２０を短縮して蓋１７を開き位置に駆動変位する。」
　ｍ　甲第１号証の回転式塗布装置のそれぞれ第１実施例及び第２実施例の全体の概略構成を示す縦断正面図である【図１】及び【図７】に、固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分が、廃液回収ケース５の上部に取り付けられた筒状カバー１５の上面に掛け渡された状態で載置されている状態が図示されている。
　
（ウ）しかして、かかる甲第１号証の上記ａ〜ｍの技術事項から、甲第１号証には、「鉛直方向の軸心Ｐ周りに水平回転可能に角型基板１を載置する回転台２が設けられ、前記回転台２の上方に、回転台２と平行に上部回転板３が設けられるとともに、前記回転台２に縦向き回転軸としての出力軸６を介して電動モータ７が連結されていて、前記上部回転板３が回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられ、これら回転部材の下方及び周辺部を外から囲むように廃液回収ケース５設けられ、さらに前記廃液回収ケース５の上部に筒状カバー１５が取り付けられていて、前記筒状カバー１５の上面に掛け渡された状態で、固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分が、筒状カバー１５に着脱可能に取り付けられている回転式塗布装置」の実施例の記載を認めることができる。
　
（エ）しかしながら、（カ）に後述する理由により、甲第１号証の記載からは、前記「固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分」が「ケースの開口を閉じる部材」である、とはいえない。
　
（オ）したがって、被請求人の主張するところの「固定支持部材１６」が「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」であることの根拠となる記載を、甲第１号証の中に認めることができない。また、「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項が、甲第１号証の記載から自明であるということもできない。
　
（カ）ここで、被請求人の主張について検討する。
ａ　被請求人は、口頭審理陳述要領書の９頁９〜２０行において、「そして、甲第１号証（特に上記各箇所の記載）に記載されている技術内容を出願時において当業者が客観的に判断すれば、『前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材』自体が記載してあったことに相当すると認められる。なぜなら、原出願の出願時における当業者は、『断面図において基板を処理する容器に形成された『開口』の両側縁部に当接する『部材』が明示されている場合は、その『部材」が容器の『開口』を閉じることを意味する』という技術常識を通常の知識として有するからである。よって、『前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材』は、当業者が原出願の当初明細書等の記載からみて自明な事項である。したがって、技術事項アは、原出願（特願平５−１５１５６７号）の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内である。」と主張し、「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項は、甲第１号証に記載されていた事項から自明である旨を主張する。
　
ｂ　しかして、前記甲第１号証には、「鉛直方向の軸心Ｐ周りに水平回転可能に角型基板１を載置する回転台２が設けられ、前記回転台２の上方に、回転台２と平行に上部回転板３が設けられるとともに、前記回転台２に縦向き回転軸としての出力軸６を介して電動モータ７が連結されていて、前記上部回転板３が回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられ、これら回転部材の下方及び周辺部を外から囲むように廃液回収ケース５設けられ、さらに前記廃液回収ケース５の上部に筒状カバー１５が取り付けられていて、前記筒状カバー１５の上面に掛け渡された状態で、固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分が、筒状カバー１５に着脱可能に取り付けられている回転式塗布装置」が記載されていることは、上記「（２）原出願の当初明細書等における記載事項」欄の「ア」の「（ウ）」に前述したとおりであり、前記甲第１号証の図１及び図７に図示されている前記「固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分」を、被請求人は、断面図において基板を処理する容器に形成された「開口」の両側縁部に当接する「部材」であると主張する。
　
ｃ　しかしながら、甲第１号証の図１及び図７は、それぞれ回転式塗布装置の第１実施例及び第２実施例の全体の概略構成を示す「縦断正面図」であって、前記図１及び図７が、被請求人が主張する「縦断図」であるということについては、甲第１号証に明示の記載がない。
　　しかして、甲第１号証の図１及び図７に表示されている「固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分」としての「断面図において基板を処理する容器に形成された『開口』の両側縁部に当接する『部材』」は、正面図、平面図、側面図等において、目で見える部材の表面の表示に用いられる「実線」で表記されていることが明らかである。
　
ｄ　仮に、甲第１号証の図１及び図７が、被請求人の主張する「断面図」であるとするとした場合には、断面図における紙面に平行な破断面により破断されて表れる部材の断面のすべては、部材ごとに線間隔及び線方向の違える約４５°の平行斜線のハッチングが施されて表記されるという、当業者の技術常識である「断面図の表記ルール」に従えば、甲第１号証の図１及び図７に図示されている「固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分」としての「断面図において基板を処理する容器に形成された『開口』の両側縁部に当接する『部材』」は、線間隔及び線方向の違える約４５°の平行斜線のハッチングが施されて表記されてしかるべきであるのに、前述のとおり、正面図、平面図、側面図等において、目で見える部材の表面の表示に用いられる「実線」で表記されている。
　　そして、前記「断面図の表記ルール」が、当業者の技術常識であることは、被請求人が提出した乙第１ないし１９号証に図示されている諸々の断面図の表記を参照すれば、断面図における部材の断面は、ことごとく部材ごとに線間隔及び線方向の違える約４５°の平行斜線のハッチングが施されて表記されている事実からみても、明らかなことである。
　
ｅ　したがって、甲第１号証の図１及び図７は、やはり被請求人が主張する純粋な「縦断図（縦断面図）」ではなく、甲第１号証の図面の簡単な説明欄に説明されているとおり、甲第１号証の図１及び図７は、正面図と断面図とを混合して、正面図の一部を断面で表した「縦断正面図」であると考えるのが相当である。
　　そうすると、被請求人の「原出願の出願時における当業者は、『断面図において基板を処理する容器に形成された『開口』の両側縁部に当接する『部材』が明示されている場合は、その『部材』が容器の『開口』を閉じることを意味する』という技術常識を通常の知識として有するからである。」という主張は、甲第１号証の図１及び図７が「断面図」であるという前提を欠いているといえる。
　
ｆ　そして、甲第１号証の図１及び図７が、正面図の一部を断面で表した「縦断正面図」であるとすると、甲第１号証の図１及び図７に図示されている「固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分」が、廃液回収ケース５の上部に取り付けられた筒状カバー１５に着脱可能に取り付けられていることから、甲第１号証の図１及び図７は、前記「固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分」が、廃液回収ケース５の上部に取り付けられた筒状カバー１５の開口の全面を塞いでいる（閉じている）のではなく、甲第１号証の図１及び図７の「縦断正面図」における紙面に平行な破断面よりも手前側の筒状カバー１５の開口に、前記「固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分」が存在していない状態、すなわち、筒状カバー１５の開口の一部が塞がれていない（閉じていない）状態を、図示したものといえる。
　
ｇ　ところで、本件発明１及び本件発明２の構成要件である「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の中の「ケース」の文言は、甲第１号証の発明の詳細な説明にしたがえば、「廃液回収ケース５」を意味すると考えるのが自然であるところ、甲第１号証には、「【００１８】　前記廃液回収ケース５の上部に筒状カバー１５が取り付けられ、その筒状カバー１５に固定支持部材１６が着脱可能に取り付けられている。」と明記されていて、「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」に相当する部材であると被請求人が主張する「固定支持部材１６」は、「ケース（廃液回収ケース５）」に着脱可能に設けられているのではなく、廃液回収ケース５の上部に取り付けられた「筒状カバー１５」に着脱可能に取り付けられるものとして、甲第１号証に記載されている。
　　しかしながら、前記「ケース」の定義として、「筒状カバー１５」が本件発明１及び本件発明２の前記構成要件の「ケース」であるという説明が、甲第１号証に何らも記載されていないことから、本件発明１及び本件発明２の構成要件である「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」は、甲第１号証の発明の詳細な説明に記載されてなく、また甲第１号証の図面に図示されてもいないことが明らかである。
　
ｈ　以上のとおりであり、甲第１号証の図１及び図７の回転式塗布装置の第１実施例及び第２実施例の全体の概略構成を示す「縦断正面図」に図示されている「基板を処理する容器に形成された『開口』の両側縁部に当接する『部材』」は、被請求人が主張する「容器の『開口』を閉じることを意味する」ということができない。
　
ｉ　そうすると、被請求人が甲第１号証に示唆されていると主張する「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項は、甲第１号証に示唆されてもいないことが明らかである。
　　したがって、「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項は、甲第１号証に記載されていた事項から自明である旨の被請求人の主張は、根拠がなく到底採用することができないものである。
　
（キ）そうしてみると、本件分割特許出願のもとの出願である原出願の当初明細書等である上記甲第１号証には、本件発明１及び本件発明２における上記「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項が記載されていたということができない。
　そして、本件発明１及び本件発明２の前記「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項が、本件分割特許出願のもとの出願である原出願の当初明細書等である前記甲第１号証に記載されていた事項から自明であるということもできない。
　したがって、本件分割特許出願のもとの出願である原出願には、「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項をその構成要件とする本件発明１及び本件発明２が包含されていたということができない。
　
イ　「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」の技術事項についての検討
（ア）まず、原出願の当初明細書等が記載されている甲第１号証〔特開平６−３３８４４７号公報〕の記載を精査すると、前記甲第１号証の明細書及び図面には、本件発明１及び本件発明２の構成要件である前記「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」の文言が記載されておらず、また、それを示唆する記載も前記甲第１号証の中に認めることができない。
　
（イ）被請求人は、口頭審理において、甲第１号証の「上部回転板３と上部支持板４」が、前記「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」に対応する旨を陳述した。
　そこで、前記甲第１号証の「上部回転板３と上部支持板４」に関する技術事項の記載について精査すると、甲第１号証の中に、次のｎ〜ｚの事項が記載されている。
　ｎ　「【０００６】　また、請求項２に係る発明の回転式塗布装置は、上述のような目的を達成するために、請求項１に係る発明の回転式塗布装置における回転台洗浄手段を、中央に開口を有し、かつ、回転台上に支持された基板の上面と所定の間隔をもって平行に設けられるとともに前記回転台と一体に回転される上部回転板と、開口を開閉する蓋と、その蓋を開き位置に変位した状態の開口を通じて上部回転板の下方に変位し、回転台の上面に向けて洗浄液を噴射するように固定支持部材に設けた洗浄ノズルとから構成する。」
　ｏ　「【００１０】　また、請求項２に係る発明の回転式塗布装置の構成によれば、通常の、基板を回転しながら行う塗布液の塗布は、蓋を閉じ位置に変位させて、従来同様に基板上部での空気層の乱れを生じさせることなく行うことができる。そして、所定の回転塗布を行った後には、蓋を開き位置に変位し、開口を通じて洗浄ノズルを上部回転板の下方に変位させ、洗浄ノズルに洗浄液を噴出しながら上部回転板を回転台と共に回転駆動することにより、洗浄ノズルから回転台の上面に噴出した洗浄液を回転台の上面に沿って遠心流動させ、先の回転塗布処理中に回転台の上面に付着した塗布液を洗浄し、その後の回転塗布処理を均一に、かつ汚染のない状態で行うことができる。」
　ｐ　「【００１４】　図１は本発明に係る回転式塗布装置の第１実施例の全体の概略構成を示す縦断正面図であり、角型基板１を載置する回転台２が鉛直方向の軸心Ｐ周りに水平回転可能に設けられ、その回転台２の上方に、回転台２と平行に上部回転板３が設けられるとともに、その上部回転板３が回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられ、これら回転部材の下方及び周辺部を外から囲むように廃液回収ケース５が設けられ、前記回転台２に、縦向き回転軸としての出力軸６を介して電動モータ７が連結されている。」
　ｑ　「【００１６】　また、回転台２の外周上面には、回転台２と同外径のスペーサリング９およびリングプレート１０が同心円線上の場所に複数箇所で連結されるとともに、このリングプレート１０に上部支持板４がノブボルト１１を介して着脱自在に取り付けられ、上部支持板４を取り外すことで、リングプレート１０の中央開口から基板１を出し入れすることができるようになっている。」
　ｒ　「【００１７】　前記上部回転板３は基板１の外形形状より大径の円板に構成され、上部支持板４の下面にカラー１２を介してボルト連結されている。廃液回収ケース５の底部は絞り込まれ、その下端に廃液排出口１３が形成されるとともに、周方向の複数箇所には塗布液から蒸発した溶剤ガスや塗布液ミストを排出する排気口１４が形成されている。」
　ｓ　「【００２４】　固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂは環状に形成され、その内周面側に寄った上面の周方向所定の４箇所それぞれに、山形状の係合突起２９が設けられ、一方、下方側支持プレート１６ｂよりも上方に位置するように、上部支持板４に取付部材３０…を介して環状プレート３１が取り付けられるとともに、その環状プレート３１の周方向所定の４箇所それぞれに、係合突起２９を嵌入する筒体３２が設けられ、前記上部回転板３を着脱する際に、係合突起２９…を筒体３２…に嵌入することにより、固定支持部材１６で吊り下げることができるように構成されている。」
　ｔ　「【００２５】　以上の構成により、先ず、塗布処理に際しては、固定支持部材１６を筒状カバー１５から取り外すとともに上部支持板４を回転台２から取り外し、固定支持部材１６で吊り下げて上部回転板３を上方に外して角型基板１を回転台２の基板支持ピン８…上に所定の姿勢で載置する。」
　ｕ　「【００２６】　次に、図示しない塗布液供給手段としての塗布液供給ノズルを角型基板１の中央上方に移動させ、所定量の塗布液を滴下供給する。その後、固定支持部材１６で吊り下げて上部支持板４を搬入し、上部支持板４をリングプレート１０上に、そして、固定支持部材１６を筒状カバー１５上にそれぞれ取り付け、図６の要部の正面図に示すように、第１のエアシリンダ２０を伸長して蓋１７を駆動変位し、上部回転板３の開口１９を閉じておくとともに洗浄ノズル１８を非洗浄位置に変位しておく。」
　ｖ　「【００２７】　その後、電動モータ７を起動して回転台２、上部支持板４、上部回転板３および角型基板１を一体に水平回転させる。この回転によって角型基板１上の塗布液は遠心力によって外方に拡散流動して角型基板１上面に薄く塗布される。この場合、回転台２と上部回転板３との間に形成された偏平な塗布処理空間Ｓの空気層も一体に回転し、角型基板１上に気流が発生しない状態で塗布液の拡散流動が行われる。」
　ｗ　「【００２８】　角型基板１上を流動して外周に到達した余剰塗布液は角型基板１の周縁から流出し、塗布処理空間Ｓの外周全域から飛散してゆく。そして、飛散した塗布液はスペーサリング９の上下に形成されている間隙を通って廃液回収ケース５内に流出して回収される。」
　ｘ　「【００３０】　しかる後、第２のエアシリンダ２４を作動して洗浄ノズル１８を開口１９の上方位置まで回転変位し、その状態から第３のエアシリンダ２８を伸長して洗浄ノズル１８を下降させ、開口１９を通じて、図５に示すように、上部回転板３の下方の洗浄位置まで変位する。その状態で、電動モータ７を起動して回転台２、上部支持板４、上部回転板３を一体に水平回転させながら、洗浄ノズル１８から回転台２の上面に洗浄液を噴出供給し、遠心力を利用して、回転台２の上面に付着した塗布液のミストを洗浄除去する。」
　ｙ　「【００３５】　また、請求項２に係る発明の回転式塗布装置によれば、上部回転板に設けた開口を通じて洗浄ノズルを上部回転板の下方に変位させ、洗浄ノズルから回転台の上面に洗浄液を噴出することにより、回転台の上面に付着した塗布液を洗浄するから、回転台の上面に対する洗浄を、上部回転板を取り外しての洗浄をせずに短時間で簡単容易に行うことができ、基板に対して、均一な膜厚で、かつ汚染のない塗布処理を効率的に行うことができる。」
　ｚ　甲第１号証の図１には、「鉛直方向の軸心Ｐ周りに水平回転可能に角型基板１を載置する回転台２が設けられ、前記回転台２の上方に、回転台２と平行に上部回転板３が設けられるとともに、前記回転台２に縦向き回転軸としての出力軸６を介して電動モータ７が連結されていて、前記上部回転板３が回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられ、これら回転部材の下方及び周辺部を外から囲むように廃液回収ケース５が設けられ、さらに前記廃液回収ケース５の上部に筒状カバー１５が取り付けられていて、前記筒状カバー１５の上面に掛け渡された状態で、固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分が、筒状カバー１５に着脱可能に取り付けられ、回転台２の外周上面には、回転台２と同外径のスペーサリング９およびリングプレート１０が連結されるとともに、このリングプレート１０に上部支持板４がノブボルト１１を介して取り付けられ、前記上部回転板３は前記上部支持板４の下面にカラー１２を介してボルト連結されており、固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂ上面に設けられた係合突起２９を、上部支持板４に取付部材３０を介して取り付けられる環状プレート３１に設けられた筒体３２に嵌入することにより、固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂで前記上部支持板４を吊り下げることができるように構成されている回転式塗布装置」が図示されている。
　
（ウ）しかして、かかる甲第１号証の上記ｎ〜ｚの技術事項から、次の実施例の記載を、甲第１号証に認めることができる。
　「角型基板１を水平支持した状態で回転させる回転台２と、前記回転台２上に支持された角型基板１の上面に塗布液を供給する塗布液供給手段とを備えた回転式塗布装置において、
　鉛直方向の軸心Ｐ周りに水平回転可能に角型基板１を載置する回転台２が設けられ、前記回転台２の上方に、回転台２と平行に上部回転板３が設けられるとともに、前記回転台２に縦向き回転軸としての出力軸６を介して電動モータ７が連結されていて、前記上部回転板３が回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられて、回転台２と上部回転板３との間に形成された偏平な塗布処理空間Ｓの空気層も一体に回転し、これら回転部材の下方及び周辺部を外から囲むように廃液回収ケース５が設けられ、さらに前記廃液回収ケース５の上部に筒状カバー１５が取り付けられていて、前記筒状カバー１５の上面に掛け渡された状態で、固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分が、筒状カバー１５に着脱可能に取り付けられ、
　回転台２の外周上面には、回転台２と同外径のスペーサリング９およびリングプレート１０が同心円線上の場所に複数箇所で連結されるとともに、このリングプレート１０に上部支持板４がノブボルト１１を介して着脱自在に取り付けられ、上部支持板４を取り外すことで、リングプレート１０の中央開口から基板１を出し入れすることができるようになっており、
　前記上部回転板３は基板１の外形形状より大径の円板に構成され、前記上部支持板４の下面にカラー１２を介してボルト連結されており、
　固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂは環状に形成され、その内周面側に寄った上面の周方向所定の４箇所それぞれに、山形状の係合突起２９が設けられ、一方、下方側支持プレート１６ｂよりも上方に位置するように、上部支持板４に取付部材３０…を介して環状プレート３１が取り付けられるとともに、その環状プレート３１の周方向所定の４箇所それぞれに、係合突起２９を嵌入する筒体３２が設けられ、前記上部回転板３を着脱する際に、係合突起２９…を筒体３２…に嵌入することにより、固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂで前記上部支持板４を吊り下げることができるように構成されていて、
　塗布処理に際しては、固定支持部材１６を筒状カバー１５から取り外すとともに上部支持板４を回転台２から取り外し、固定支持部材１６で吊り下げて上部回転板３を上方に外して角型基板１を回転台２の基板支持ピン８…上に所定の姿勢で載置するようにした回転式塗布装置」
　
（エ）しかしながら、（カ）に後述する理由により、甲第１号証の記載からは、甲第１号証の「上部回転板３と上部支持板４」が、前記「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」である、とはいえない。
　
（オ）したがって、被請求人の主張するところの甲第１号証の「上部回転板３と上部支持板４」が「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」であることの根拠となる記載を、甲第１号証の中に認めることができない。また、前記「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」の技術事項が、甲第１号証の記載から自明であるということもできない。
　
（カ）ここで、被請求人の主張について検討する。
ａ　被請求人は、口頭審理陳述要領書の１２頁２０行〜１２頁２４行において、「以上のとおり、『前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板』は当初明細書等に明示的に記載されている。したがって、技術事項イは、原出願（特願平５−１５１５６７号）の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内である。」と主張し、「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」の技術事項は、甲第１号証に明示的に記載されているので、甲第１号証に記載した事項の範囲内である旨を主張する。
　
ｂ　しかして、前記甲第１号証には、上記「（２）原出願の当初明細書等における記載事項」欄の「イ」の「（ウ）」に前述したとおりの「回転式塗布装置」の実施例が記載されているところ、前記甲第１号証の図１に図示されている前記回転式塗布装置の「上部回転板３と上部支持板４」を、被請求人は、「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」であると主張する。
　
ｃ　しかしながら、甲第１号証の段落【００２７】には、「その後、電動モータ７を起動して回転台２、上部支持板４、上部回転板３および角型基板１を一体に水平回転させる。この回転によって角型基板１上の塗布液は遠心力によって外方に拡散流動して角型基板１上面に薄く塗布される。この場合、回転台２と上部回転板３との間に形成された偏平な塗布処理空間Ｓの空気層も一体に回転し、角型基板１上に気流が発生しない状態で塗布液の拡散流動が行われる。」と明記されているのであり、甲第１号証の前記段落【００２７】の記載によれば、「偏平な塗布処理空間Ｓ」は、回転台２と上部回転板３との間に形成されるものとして記載されていることが明らかである。そして、回転台２とで偏平な塗布処理空間Ｓを形成する「上部回転板３」は、甲第１号証の段落【００１７】の記載によれば、上部支持板４の下面にカラー１２を介してボルト連結されるものとされている。
　　そして、甲第１号証の図５及び図７の図示では、「偏平な塗布処理空間Ｓ」は、回転台２と上部回転板３との間に形成されており、被請求人が「上部回転板３」とともに「上部板」であると主張する「上部支持板４」は、「偏平な塗布処理空間Ｓ」の形成には全く寄与していないことが明らかである。
　
ｄ　さらに、甲第１号証の段落【００１６】には、「また、回転台２の外周上面には、回転台２と同外径のスペーサリング９およびリングプレート１０が同心円線上の場所に複数箇所で連結されるとともに、このリングプレート１０に上部支持板４がノブボルト１１を介して着脱自在に取り付けられ、上部支持板４を取り外すことで、リングプレート１０の中央開口から基板１を出し入れすることができるようになっている。」と記載されていて、これによれば、「上部支持板４」は、回転台２の外周上面に、回転台２と同外径のスペーサリング９を介してリングプレート１０にノブボルト１１を介して着脱自在に取り付けられるものとされている。
　　一方、段落【００２４】の記載から、前記「上部支持板４」は、固定支持部材１６の環状の下方側支持プレート１６ｂ上面の周方向所定の４箇所に設けられた係合突起２９を、上部支持板４に取付部材３０を介して取り付けられる環状プレート３１の周方向所定の４箇所に設けられた筒体３２に嵌入することにより、固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂで吊り下げることができるものとして、甲第１号証に記載されている。
　　そうすると、かかる甲第１号証の記載によれば、係合突起２９の筒体３２への嵌入により、固定支持部材１６に吊り下げ可能に構成されているのは、「上部支持板４」であることが明らかである。
　
ｅ　しかしながら、甲第１号証には、固定支持部材１６に吊り下げ可能に構成されている「上部支持板４」が、回転台２と結合して前記回転台２とで塗布処理空間Ｓを形成することについては、一切記載がない。他方、回転台２と結合して前記回転台２とで塗布処理空間Ｓを形成する「上部回転板３」が、固定支持部材１６に上下方向への相対移動可能に結合されることについても、一切記載がない。
　
ｆ　したがって、固定支持部材１６に吊り下げ可能に構成されている「上部支持板４」と、回転台２と結合して前記回転台２とで塗布処理空間Ｓを形成する「上部回転板３」とについては、甲第１号証に個々に記載されているが、「上部支持板４」が、回転台２と結合して前記回転台２とで塗布処理空間Ｓを形成すること、及び「上部回転板３」が、固定支持部材１６に上下方向への相対移動可能に結合されることについては、甲第１号証に一切記載がない。
　
ｇ　しかるに、本件発明１及び本件発明２の構成要件である前記「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」の構成によれば、「上部板」が前記部材（閉じる部材）に上下方向への相対移動可能に結合されると同時に、該「上部板」が回転台２と結合して前記回転台２との間に塗布処理空間を形成するものとして記載されている。
　
ｈ　しかしながら、甲第１号証に、前述した「前記部材（閉じる部材）１６に上下方向への相対移動可能に結合されると同時に、回転台２と結合して回転台２と上部板との間に塗布処理空間を形成する上部板」については、全くその記載を認めることができない。
　　したがって、甲第１号証に、本件発明１及び本件発明２の構成要件である「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」が記載されているということができない。
　
ｉ　そうすると、被請求人が主張する「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」の技術事項は、甲第１号証に記載されていないことが明らかである。
　　また、甲第１号証には、「上部回転板３」を「上部支持板４」と兼用して「上部板」とすることができるとか、あるいは、「上部回転板３」か「上部支持板４」かのいずれかを省略できるとも記載されていないから、前記「上部回転板３」及び「上部支持板４」のそれぞれの機能を併せ持った「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」を含む発明が、甲第１号証に記載されているとすることはできず、また、明示の記載はなくとも実質的に記載されているとみることもできない。
　　そして、前記「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」の技術事項が、甲第１号証に記載されていた事項から自明であるということもできない。
　　したがって、前記「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」は、原出願の当初明細書等が記載されている甲第１号証に記載されている事項を超える意味内容の記載であるといえる。
　
（キ）そうしてみると、本件分割特許出願のもとの出願である原出願の当初明細書等である上記甲第１号証には、本件発明１及び本件発明２における上記「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」の技術事項が記載されていたということができない。
　そして、本件発明１及び本件発明２の前記「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」の技術事項が、本件分割特許出願のもとの出願である原出願の当初明細書等である前記甲第１号証に記載されていた事項から自明であるということもできない。
　したがって、本件分割特許出願のもとの出願である原出願には、「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」の技術事項をその構成要件とする本件発明１及び本件発明２が包含されていたということができない。
　
３　分割要件の有無についてのまとめ
　以上のとおりであるから、本件分割特許出願は、特許法第４４条に規定されているところの、二以上の発明を包含する特許出願の一部を一又は二以上の新たな特許出願としたものということができない。
　したがって、本件分割特許出願は、もとの特許出願の時にしたものとみなすことができないから、本件分割特許出願の出願日は、実際に特許出願された平成１１年２月３日である。
　そして、上述した理由により、本件分割特許出願を、以下においては、「
本件特許出願
　
第５　当審の職権による無効理由１（特許法第２９条第２項違反）についての検討
１　甲号各証の記載事項
（１）甲第１号証〔特開平６−３３８４４７号公報〕の記載事項
　本件特許出願の出願前に頒布された刊行物である甲第１号証には、「回転式塗布装置」に関し、図面の図示とともに次の技術事項が記載されている。
「【請求項１】　基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、この回転台上に支持された基板の上面に塗布液を供給する塗布液供給手段とを備えた回転式塗布装置において、
　前記回転台の上面に向けて洗浄液を噴射する回転台洗浄手段を備えたことを特徴とする回転式塗布装置。
　【請求項２】　請求項１に記載の回転台洗浄手段が、
　中央に開口を有し、かつ、回転台上に支持された基板の上面と所定の間隔をもって平行に設けられるとともに前記回転台と一体に回転される上部回転板と、
　前記開口を開閉する蓋と、
　前記蓋を開き位置に変位した状態の前記開口を通じて前記上部回転板の下方に変位し、前記回転台の上面に向けて洗浄液を噴射するように固定支持部材に設けた洗浄ノズルと、
　から構成されたものである回転式塗布装置。
　【請求項３】　請求項２に記載の蓋を、固定支持部材に取り付けた駆動開閉機構によって閉じ位置と開き位置とに変位可能に設け、かつ、洗浄ノズルを、固定支持部材に取り付けた駆動機構によって洗浄位置と非洗浄位置とに変位可能に設けたものである回転式塗布装置。
　【請求項４】　請求項１に記載の回転台洗浄手段が、
　回転台の回転軸を貫通して前記回転台の上方に位置するように固定状態で洗浄ノズルを設け、その洗浄ノズルにより前記回転台の上面に向けて洗浄液を噴出するものである回転式塗布装置。」
「【０００１】【産業上の利用分野】　本発明は、液晶表示パネル用のガラス基板、半導体ウエハ、半導体製造装置用のマスク基板などの基板の表面に、遠心力を利用してフォトレジスト液などの塗布液を薄膜状に塗布するために、基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、この回転台上に支持された基板の上面に塗布液を供給する塗布液供給手段とを備えた回転式塗布装置に関する。
　【０００２】【従来の技術】　この種の回転式塗布装置としては、従来、特開平２−２１９２１３号公報および特開平４−６１９５５号公報に開示されているものが知られている。
　これらの従来例によれば、基板を水平に支持して回転させる回転台と、この回転台に支持された基板の上面と小間隔をもって平行に配置されて回転台と一体に回転する上部回転板とを有し、基板を回転台および上部回転板とともに回転させながら基板の上面の中央部に塗布液を供給し、基板の回転による遠心力を利用して塗布液を基板全面に拡散させて薄膜を形成するように構成されている。
　【０００３】【発明が解決しようとする課題】　しかしながら、上述のような従来例の場合に、その回転塗布時に、回転台の上面に塗布液の一部が飛散し、それがミストとなって付着し、多数枚の基板に対して回転塗布動作を繰り返すうちに、回転台の上面に付着した塗布液がパーティクル発生の原因となってしまう。このような回転台の上面への塗布液付着に起因するパーティクル発生についての対策は、従来何等講じられていず、品質の低下を招く欠点があった。更に、回転台の上面に付着した塗布液のミストが固化しないうちに次の基板に対する回転塗布が行われた際に、付着したミストが再び飛散して基板を汚染する欠点があった。
　【０００４】　本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、請求項１に係る発明の回転式塗布装置は、回転台の上面への塗布液付着に起因するパーティクルの発生を防止できるようにすることを目的とし、また、請求項２に係る発明の回転式塗布装置は、回転台の上面の洗浄を行うに際して、上部回転板を取り外しての洗浄をせずに短時間で簡単容易に行えるようにするとともに、その洗浄ための構成に起因する慣性増加を回避できるようにすることを目的とし、また、請求項３に係る発明の回転式塗布装置は、回転台の上面の洗浄をより一層簡単容易に行えるようにすることを目的とし、更に、請求項４に係る発明の回転式塗布装置は、回転台の上面の洗浄を簡単な構成で行うことができるようにすることを目的とする。
　【０００５】【課題を解決するための手段】　請求項１に係る発明の回転式塗布装置は、上述のような目的を達成するために、基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、この回転台上に支持された基板の上面に塗布液を供給する塗布液供給手段とを備えた回転式塗布装置において、回転台の上面に向けて洗浄液を噴射する回転台洗浄手段を備えて構成する。
　【０００６】　また、請求項２に係る発明の回転式塗布装置は、上述のような目的を達成するために、請求項１に係る発明の回転式塗布装置における回転台洗浄手段を、中央に開口を有し、かつ、回転台上に支持された基板の上面と所定の間隔をもって平行に設けられるとともに前記回転台と一体に回転される上部回転板と、開口を開閉する蓋と、その蓋を開き位置に変位した状態の開口を通じて上部回転板の下方に変位し、回転台の上面に向けて洗浄液を噴射するように固定支持部材に設けた洗浄ノズルとから構成する。
　【０００７】　また、請求項３に係る発明の回転式塗布装置は、上述のような目的を達成するために、請求項２に係る発明の回転式塗布装置における蓋を、固定支持部材に取り付けた駆動開閉機構によって閉じ位置と開き位置とに変位可能に設け、かつ、洗浄ノズルを、固定支持部材に取り付けた駆動機構によって洗浄位置と非洗浄位置とに変位可能に設けて構成する。
　【０００８】　また、請求項４に係る発明の回転式塗布装置は、上述のような目的を達成するために、請求項１に係る発明の回転式塗布装置における回転台洗浄手段を、回転台の回転軸を貫通して前記回転台の上方に位置するように固定状態で洗浄ノズルを設け、その洗浄ノズルにより前記回転台の上面に向けて洗浄液を噴出するように構成する。
　【０００９】【作用】　請求項１に係る発明の回転式塗布装置の構成によれば、基板に対する所定の回転塗布を行った後、基板の無い状態にしてから洗浄液を回転台の上面に向けて噴射し、回転台の上面に飛散して付着した塗布液を洗浄除去することができる。
　【００１０】　また、請求項２に係る発明の回転式塗布装置の構成によれば、通常の、基板を回転しながら行う塗布液の塗布は、蓋を閉じ位置に変位させて、従来同様に基板上部での空気層の乱れを生じさせることなく行うことができる。そして、所定の回転塗布を行った後には、蓋を開き位置に変位し、開口を通じて洗浄ノズルを上部回転板の下方に変位させ、洗浄ノズルに洗浄液を噴出しながら上部回転板を回転台と共に回転駆動することにより、洗浄ノズルから回転台の上面に噴出した洗浄液を回転台の上面に沿って遠心流動させ、先の回転塗布処理中に回転台の上面に付着した塗布液を洗浄し、その後の回転塗布処理を均一に、かつ汚染のない状態で行うことができる。
　【００１１】　また、請求項３に係る発明の回転式塗布装置の構成によれば、蓋を駆動開閉機構により、そして、洗浄ノズルを駆動機構によってそれぞれ駆動変位させ、回転台の上面に対する洗浄を行うことができる。
　【００１２】　また、請求項４に係る発明の回転式塗布装置の構成によれば、回転台の下方側から延ばして固定状態で設けた洗浄ノズルにより、回転状態の回転台の上面に洗浄液を噴出し、洗浄液を回転台の上面に沿って遠心流動させ、回転台の上面を洗浄することができる。
　【００１３】【実施例】　次に、本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。
　【００１４】　図１は本発明に係る回転式塗布装置の第１実施例の全体の概略構成を示す縦断正面図であり、角型基板１を載置する回転台２が鉛直方向の軸心Ｐ周りに水平回転可能に設けられ、その回転台２の上方に、回転台２と平行に上部回転板３が設けられるとともに、その上部回転板３が回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられ、これら回転部材の下方及び周辺部を外から囲むように廃液回収ケース５が設けられ、前記回転台２に、縦向き回転軸としての出力軸６を介して電動モータ７が連結されている。
　【００１５】　回転台２は、角型基板１の外形形状より充分大きい外形円板として構成されていて、その上面に立設した多数の基板支持ピン８…上に角型基板１が水平に載置支持されるようになっている。また、図示しないが、回転台２上には角型基板１の四隅それぞれに一対づつの位置決めピンが設けられていて、これら位置決めピンによって角型基板１が回転台２と一体に水平回転されるようになっている。
　【００１６】　また、回転台２の外周上面には、回転台２と同外径のスペーサリング９およびリングプレート１０が同心円線上の場所に複数箇所で連結されるとともに、このリングプレート１０に上部支持板４がノブボルト１１を介して着脱自在に取り付けられ、上部支持板４を取り外すことで、リングプレート１０の中央開口から基板１を出し入れすることができるようになっている。
　【００１７】　前記上部回転板３は基板１の外形形状より大径の円板に構成され、上部支持板４の下面にカラー１２を介してボルト連結されている。廃液回収ケース５の底部は絞り込まれ、その下端に廃液排出口１３が形成されるとともに、周方向の複数箇所には塗布液から蒸発した溶剤ガスや塗布液ミストを排出する排気口１４が形成されている。
　【００１８】　前記廃液回収ケース５の上部に筒状カバー１５が取り付けられ、その筒状カバー１５に固定支持部材１６が着脱可能に取り付けられている。
　【００１９】　図２の要部の一部切欠拡大正面図、図３および図４の要部の平面図、図５の要部の側面図に示すように、上部回転板３の中央には開口１９が形成され、この開口１９の鉛直方向上方位置において、固定支持部材１６の上方側支持プレート１６ａに駆動開閉機構としての第１のエアシリンダ２０が取り付けられ、その第１のエアシリンダ２０のシリンダロッド２０ａの先端にブロック２１が取り付けられるとともに、ブロック２１に相対昇降および相対回転可能に有底筒状の前記蓋１７が吊り下げ保持されている。
　【００２０】　また、ブロック２１の下面に第１の磁石２２が付設され、一方、蓋１７の底面に、前記第１の磁石２２と同極の第２の磁石２３が付設され、蓋１７を閉じ位置に変位した状態で、ブロック２１を蓋１７と非接触状態にしたときに、反発力によって蓋１７を閉じ位置に維持できるようになっている。
　【００２１】　したがって、第１のエアシリンダ２０の短縮により、蓋１７を開口１９の上方の開き位置に上昇変位させ、一方、第１のエアシリンダ２０の伸長により、蓋１７を下降して開口１９に嵌入する閉じ位置に変位し、開口１９を閉じながら蓋１７のみを上部回転板３と一体回転できるようになっている。
　【００２２】　上方側支持プレート１６ａの第１のエアシリンダ２０の横側方に、鉛直方向の軸芯周りで９０°の範囲で回転可能な第２のエアシリンダ２４が設けられるとともに、その第２のエアシリンダ２４のシリンダロッド２４ａにスプライン軸２５が連結されている。スプライン軸２５に昇降のみ可能にスプライン筒２６が取り付けられるとともに、スプライン筒２６に回転のみ可能に回転筒２７が取り付けられている。回転筒２７に洗浄ノズル１８が一体的に取り付けられるとともに、上方側支持プレート１６ａの第２のエアシリンダ２４の横側方下側に設けられた第３のエアシリンダ２８のシリンダロッド２８ａに回転筒２７が連結されている。図示しないが、洗浄ノズル１８には、洗浄液圧送機構に接続された配管が接続されている。上述の構成により、回転台２の上面に向けて洗浄液を噴出する回転台洗浄手段が構成されている。
　【００２３】　上記構成により、蓋１７が閉じ位置にある非洗浄状態では、洗浄ノズル１８を開口１９の上方よりも外れた非洗浄位置に位置させておき、そして、蓋１７が開き位置にある洗浄状態では、第２のエアシリンダ２４により回転して洗浄ノズル１８を開口１９の上方箇所に位置させた後に、第３のエアシリンダ２８を伸長して洗浄ノズル１８を下降させ、その吹き出し口１８ａから回転台２の上面に向けて洗浄液を噴出する洗浄位置に変位できるようになっている。
　上記洗浄ノズル１８を洗浄位置と非洗浄位置とに駆動変位させるための第２および第３のエアシリンダ２４，２８から成る構成をして駆動機構と総称する。
　【００２４】　固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂは環状に形成され、その内周面側に寄った上面の周方向所定の４箇所それぞれに、山形状の係合突起２９が設けられ、一方、下方側支持プレート１６ｂよりも上方に位置するように、上部支持板４に取付部材３０…を介して環状プレート３１が取り付けられるとともに、その環状プレート３１の周方向所定の４箇所それぞれに、係合突起２９を嵌入する筒体３２が設けられ、前記上部回転板３を着脱する際に、係合突起２９…を筒体３２…に嵌入することにより、固定支持部材１６で吊り下げることができるように構成されている。
　【００２５】　以上の構成により、先ず、塗布処理に際しては、固定支持部材１６を筒状カバー１５から取り外すとともに上部支持板４を回転台２から取り外し、固定支持部材１６で吊り下げて上部回転板３を上方に外して角型基板１を回転台２の基板支持ピン８…上に所定の姿勢で載置する。
　【００２６】　次に、図示しない塗布液供給手段としての塗布液供給ノズルを角型基板１の中央上方に移動させ、所定量の塗布液を滴下供給する。その後、固定支持部材１６で吊り下げて上部支持板４を搬入し、上部支持板４をリングプレート１０上に、そして、固定支持部材１６を筒状カバー１５上にそれぞれ取り付け、図６の要部の正面図に示すように、第１のエアシリンダ２０を伸長して蓋１７を駆動変位し、上部回転板３の開口１９を閉じておくとともに洗浄ノズル１８を非洗浄位置に変位しておく。
　【００２７】　その後、電動モータ７を起動して回転台２、上部支持板４、上部回転板３および角型基板１を一体に水平回転させる。この回転によって角型基板１上の塗布液は遠心力によって外方に拡散流動して角型基板１上面に薄く塗布される。この場合、回転台２と上部回転板３との間に形成された偏平な塗布処理空間Ｓの空気層も一体に回転し、角型基板１上に気流が発生しない状態で塗布液の拡散流動が行われる。
　【００２８】　角型基板１上を流動して外周に到達した余剰塗布液は角型基板１の周縁から流出し、塗布処理空間Ｓの外周全域から飛散してゆく。そして、飛散した塗布液はスペーサリング９の上下に形成されている間隙を通って廃液回収ケース５内に流出して回収される。
　【００２９】　所定回数の回転塗布処理が行われると、固定支持部材１６を筒状カバー１５から取り外すとともに上部支持板４を回転台２から取り外し、固定支持部材１６で吊り下げて上部回転板３を上方に外して角型基板１を取り出してから、上部支持板４をリングプレート１０上に、そして、固定支持部材１６を筒状カバー１５上にそれぞれ取り付け、その後に、第１のエアシリンダ２０を短縮して蓋１７を開き位置に駆動変位する。
　【００３０】　しかる後、第２のエアシリンダ２４を作動して洗浄ノズル１８を開口１９の上方位置まで回転変位し、その状態から第３のエアシリンダ２８を伸長して洗浄ノズル１８を下降させ、開口１９を通じて、図５に示すように、上部回転板３の下方の洗浄位置まで変位する。その状態で、電動モータ７を起動して回転台２、上部支持板４、上部回転板３を一体に水平回転させながら、洗浄ノズル１８から回転台２の上面に洗浄液を噴出供給し、遠心力を利用して、回転台２の上面に付着した塗布液のミストを洗浄除去する。
　【００３１】　図７は、本発明に係る回転式塗布装置の第２実施例を示す全体概略正面図であり、第１実施例と異なるところは次の通りである。
　回転台２の回転軸２ａの下端と電動モータ３３の駆動軸３３ａの上端とがベルト式伝動機構３４を介して連動連結されるとともに、回転台２の回転軸２ａに、その回転軸芯を通る貫通孔３５が形成され、その貫通孔３５内に、上端に洗浄ノズル３６を取り付けた洗浄液パイプ３７が挿入されるとともに、洗浄ノズル３６が回転台２の上方に位置されて固定状態で設けられ、回転台２の上面に向けて洗浄液を噴出するように回転台洗浄手段が構成されている。他の構成は第１実施例と同様であり、同一図番を付すことにより、その説明を省略する。
　【００３２】　図８は、本発明に係る回転式塗布装置の第３実施例を示す全体概略正面図であり、第１実施例と異なるところは次の通りである。
　回転台２の周囲の固定フレーム１５ａ上の所定箇所に、支持ブラケット３８を介して洗浄ノズル３９が取り付けられ、上部回転板３を取り外した状態で回転台２の上面に向けて洗浄液を噴出するように回転台洗浄手段が構成されている。他の構成は第１実施例と同様であり、同一図番を付すことにより、その説明を省略する。
　【００３３】　本発明としては、角型基板１に限らず円形基板の回転式塗布装置にも適用できる。
　【００３４】【発明の効果】　以上の説明から明らかなように、請求項１に係る発明の回転式塗布装置によれば、基板に対する所定の回転塗布に起因して回転台の上面に付着した塗布液を洗浄除去するから、回転台の上面への塗布液付着に起因するパーティクルの発生、ならびに、付着ミストの再飛散による基板の汚染を防止でき、基板の処理品質の低下を回避できる。
　【００３５】　また、請求項２に係る発明の回転式塗布装置によれば、上部回転板に設けた開口を通じて洗浄ノズルを上部回転板の下方に変位させ、洗浄ノズルから回転台の上面に洗浄液を噴出することにより、回転台の上面に付着した塗布液を洗浄するから、回転台の上面に対する洗浄を、上部回転板を取り外しての洗浄をせずに短時間で簡単容易に行うことができ、基板に対して、均一な膜厚で、かつ汚染のない塗布処理を効率的に行うことができる。
　【００３６】　しかも、洗浄ノズルを固定支持部材に設け、基板に対して塗布液を塗布するときに洗浄ノズルを上部回転板と一体回転させないから、回転台の上面に対する洗浄構成に起因して重量が大になって回転慣性を増加してしまうといったことを回避でき、基板に対して塗布液を塗布するときに早期に高速回転状態に立ち上げることができ、塗布処理に支障をきたすことが無い。
　【００３７】　また、請求項３に係る発明の回転式塗布装置によれば、蓋および洗浄ノズルのいずれをも駆動変位させて回転台の上面に対する洗浄を行うから、人為的な操作でもって蓋や洗浄ノズルを変位させる場合に比べ、回転台の洗浄をより一層簡単容易に行うことができる。
　【００３８】　また、請求項４に係る発明の回転式塗布装置によれば、回転台の回転軸を貫通させて回転台の下方側から延ばして設けた洗浄ノズルにより、回転台の上面に洗浄液を噴出して洗浄するから、上部回転板の上方に設ける場合に比べ、洗浄液の漏れによる基板の汚染などを考慮せずに済み、構成的に簡単にできる利点がある。」
　
　そして、甲第１号証に縦断正面図として添付された、回転式塗布装置の第１実施例の全体の概略構成を示す図１には、「鉛直方向の軸心Ｐ周りに水平回転可能に角型基板１を載置する回転台２が設けられ、前記回転台２の上方に、回転台２と平行に上部回転板３が設けられるとともに、前記回転台２に縦向き回転軸としての出力軸６を介して電動モータ７が連結されていて、前記上部回転板３が回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられ、これら回転部材の下方及び周辺部を外から囲むように廃液回収ケース５が設けられ、さらに前記廃液回収ケース５の上部に筒状カバー１５が取り付けられていて、前記筒状カバー１５の上面に掛け渡された状態で、固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分が、筒状カバー１５に着脱可能に取り付けられ、回転台２の外周上面には、回転台２と同外径のスペーサリング９およびリングプレート１０が連結されるとともに、このリングプレート１０に上部支持板４がノブボルト１１を介して取り付けられ、前記上部回転板３は前記上部支持板４の下面にカラー１２を介してボルト連結されており、固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂ上面に設けられた係合突起２９を、上部支持板４に取付部材３０を介して取り付けられる環状プレート３１に設けられた筒体３２に嵌入することにより、固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂで前記上部支持板４を吊り下げることができるように構成されている回転式塗布装置」が図示されている。
　
　そうしてみると、上記甲第１号証の摘記事項及び添付図面に図示された技術事項を総合すると、甲第１号証には、次の発明（以下、これを、「
引用発明１
「角型基板１を水平支持した状態で回転させる回転台２と、前記回転台２上に支持された角型基板１の上面に塗布液を供給する塗布液供給手段としての塗布液供給ノズルとを備えた回転式塗布装置において、
　鉛直方向の軸心Ｐ周りに水平回転可能に角型基板１を載置する回転台２が設けられ、前記回転台２の上方に、回転台２と平行に上部回転板３が設けられるとともに、前記回転台２に縦向き回転軸としての出力軸６を介して電動モータ７が連結されていて、前記上部回転板３が回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられて、回転台２と上部回転板３との間に形成された偏平な塗布処理空間Ｓの空気層も一体に回転し、これら回転部材の下方及び周辺部を外から囲むように廃液回収ケース５が設けられ、さらに前記廃液回収ケース５の上部に筒状カバー１５が取り付けられていて、前記筒状カバー１５の上面に掛け渡された状態で、固定支持部材１６の左右両翼に延びた水平部分が、筒状カバー１５に着脱可能に取り付けられ、
　回転台２の外周上面には、回転台２と同外径のスペーサリング９およびリングプレート１０が同心円線上の場所に複数箇所で連結されるとともに、このリングプレート１０に上部支持板４がノブボルト１１を介して着脱自在に取り付けられ、上部支持板４を取り外すことで、リングプレート１０の中央開口から基板１を出し入れすることができるようになっており、
　前記上部回転板３は基板１の外形形状より大径の円板に構成され、前記上部支持板４の下面にカラー１２を介してボルト連結されており、
　固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂは環状に形成され、その内周面側に寄った上面の周方向所定の４箇所それぞれに、山形状の係合突起２９が設けられ、一方、下方側支持プレート１６ｂよりも上方に位置するように、上部支持板４の取付部材３０…を介して環状プレート３１が取り付けられるとともに、その環状プレート３１の周方向所定の４箇所それぞれに、係合突起２９を嵌入する筒体３２が設けられ、前記上部回転板３を着脱する際に、係合突起２９…を筒体３２…に嵌入することにより、固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂで前記上部支持板４を吊り下げることができるように構成されていて、
　塗布処理に際しては、固定支持部材１６を筒状カバー１５から取り外すとともに上部支持板４を回転台２から取り外し、固定支持部材１６で吊り下げて上部回転板３を上方に外して角型基板１を回転台２の基板支持ピン８…上に所定の姿勢で載置し、次に、塗布液を滴下供給した後、固定支持部材１６で吊り下げて上部支持板４を搬入し、上部支持板４をリングプレート１０上に、そして、固定支持部材１６を筒状カバー１５上にそれぞれ取り付け、所定回数の回転塗布処理が行われると、固定支持部材１６を筒状カバー１５から取り外すとともに上部支持板４を回転台２から取り外し、固定支持部材１６で吊り下げて上部回転板３を上方に外して角型基板１を取り出してから、上部支持板４をリングプレート１０上に、そして、固定支持部材１６を筒状カバー１５上にそれぞれ取り付けるようにした回転式塗布装置」
　
（２）甲第２号証〔特開平７−６６１０８号公報〕の記載事項
　本件特許出願の出願前に頒布された刊行物である甲第２号証には、「処理液塗布装置」に関し、図面の図示とともに次の技術事項が記載されている。
「【０００１】【産業上の利用分野】　本発明は、塗布装置、特に、基板の主面に処理液を塗布する処理液塗布装置に関する。」
「【０００９】【実施例】　図１において、本発明の一実施例による処理液塗布装置１は、角型基板（以下基板と記す）Ｗにフォトレジスト液（処理液の一例）を塗布するものである。処理液塗布装置１は、角型基板Ｗを保持して回転させる基板保持部２と、基板保持部２の上方に基板保持部２と平行に配置された上部回転板３と、基板保持部２及び上部回転板３を囲むように配置された下部ケース４及び上部ケース５と、基板保持部２に保持された基板Ｗにフォトレジスト液を供給するための処理液供給部６と、基板保持部２の上面を洗浄するための上面洗浄部７と、上部回転板３の下面を洗浄するための下面洗浄部８とを主に有している。
　【００１０】　基板保持部２は、基板Ｗの対角線長さより長い直径を有する円形状であり、中央部に配置された基板吸着部１０と、基板吸着部１０の周囲に配置されたリング状の周端部１１とから構成されている。基板吸着部１０の上面には、同心円上に複数の吸着溝１２が形成されている。また、放射状に複数の吸着溝１３も形成されている。さらに、基板吸着部１０の中心には、負圧経路２０の先端が開口している。」
「【００１２】　筒状回転軸１８は上部にフランジ部を有しており、このフランジ部には、基板吸着部１０の下方に平行に配置された下部回転板２４が固定されている。下部回転板２４上には、周端部１１と、周端部１１の外周側に配置されたリング部材２５とが固定されている。周端部１１の上面は、基板吸着部１０の上面より僅かに低い位置に配置されている。この結果、基板吸着部１０は、周端部１１と一体回転し、かつ周端部１１に対して上下動可能となっている。リング部材２５の下部回転板２４の端面に対向する内周面には、図４に示すように、液溜め空間２６が形成されている。液溜め空間２６は、僅かな隙間で下部回転板２４の上面に連通しており、かつ下方に開口している。液溜め空間２６には、処理液塗布時に基板Ｗから流出した余剰の処理液が貯溜され、貯溜された処理液は下方に排出される。
　【００１３】　筒状回転軸１８の下端は、図２に示すように、連結部材３１を介してプーリ３０に連結されている。プーリ３０は、軸受により装置フレーム２３に回転自在に支持されている。プーリ３０と、駆動モータ３２の出力軸に取り付けられたプーリ３３とにはベルト３４が掛け渡されている。この結果、駆動モータ３２の駆動力は、プーリ３３、ベルト３４、プーリ３０、連結部材３１を介して筒状回転軸１８に伝達される。そして、ポールスプライン軸受１６，１７を介して中心軸１５に伝達される。」
「【００１５】　回転継手部３５は、Ｌ字状の昇降ブラケット４０の先端（上端）に取り付けられている。昇降ブラケット４０の基端には、ロッド固定型の昇降シリンダ４１のシリンダ本体４１ａが取り付けられている。昇降シリンダ４１のロッド４１ｂの上下端は、装置フレーム２３の下部に取り付けられたコ字状の支持フレーム２７に固定されている。この昇降シリンダ４１により、中心軸１５が上下駆動される。この結果、中心軸１５の上端に固定された基板吸着部１０が昇降し、基板Ｗを図２に２点鎖線で示す搬入・搬出位置に配置することが可能となる。
　【００１６】　上部回転板３は、図２に示すように、リング部材２５上に着脱可能かつ係止可能に配置され得るものであり、装着時に下部回転板２４と一体回転可能である。この上部回転板３と下部回転板２４とリング部材２５とによって半密閉の空間を形成することより、回転時における空気の流れが少なくなり、処理液の飛散を防止できる。上部回転板３の中心部には、図５に示すように、開口６０が形成されている。」
「【００１８】　上部ケース５は、下部ケース４の側部材４ｂ上に着脱可能に配置される。上部ケース５の中心部には、図５及び図６に示すように、下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１が配置されている。両固定支持部材６１は上方側支持プレート６１ａ及び下方側支持プレート６１ｂで連結されている。上方側支持プレート６１ａ上面には、エアシリンダ６２とエアロータリーアクチュエータ６３とが、下面にはエアシリンダ７１（図６）がそれぞれ取り付けられている。エアシリンダ６２のシリンダロッド６２ａの先端には、ブロック６４が取り付けられているとともに、ブロック６４に昇降及び回転自在に有底筒状の蓋６５が吊り下げ保持されている。蓋６５は、エアシリンダ６２の進退動作により上部回転板３の中心に形成された開口６０を開閉可能である。」
「【００２２】　固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂは環状に形成され、その内周部上面の周方向４か所それぞれには係合突起７２が設けられている。また、下方側支持プレート６１ｂよりも上方に位置するように、上部回転板３に取付部材７３を介して環状プレート７４が取り付けられている。環状プレート７４の外周部には、４つの係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５が設けられている。この結果、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、係合突起７２が筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できる構成となっている。」
「【００２５】　基板処理時には、まず昇降シリンダ４１により、基板吸着部１０を上昇させ、搬入・搬出位置に配置する。そして図示しない搬送機構から基板Ｗが搬送されると、真空弁３９を開き、基板吸着部１０を負圧にする。この結果、基板Ｗが吸着保持される。そして昇降シリンダ４１により基板吸着部１０を周端部１１と対向する位置に下降させる。続いて処理液供給部６のアーム８０を旋回し、処理液ノズル８１を基板Ｗの中心位置の上方に配置する。続いて、基板Ｗに対して処理液（たとえばフォトレジスト液）を所定量供給する。処理液の供給が終了すると、処理液アーム８０を退避させ、続いて上部ケース５を下部ケース４に装着する。これにより、上部回転板３はリング部材２５上に係合され、下部回転板２４と一体回転可能となる。続いてモータ３２を回転駆動し、下部回転板２４、基板吸着部１０及び上部回転板３を一体回転させる。そして基板Ｗに滴下されたフォトレジスト液を径方向外周に拡散させ、基板Ｗ上に処理液を均一に塗布する。基板Ｗからの余剰の処理液は、リング部材２５に形成された液溜め空間２６に徐々に溜まり、液溜め空間２６から液溜め部４２に滴下されて廃液配管４３から排出される。
　【００２６】　フォトレジスト液の塗布が終了すると、モータ３２の駆動を停止し、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げ、下部ケース４から離脱させる。すると、上部ケース５によって、上部回転板３もリング部材２５から離脱される。そして昇降シリンダ４１により基板Ｗを上昇させ、図示しない搬送機構により次の工程に基板Ｗを搬送する。」
　
　そして甲第２号証に添付された図面には、「水平回転可能に角型基板Ｗを保持する基板保持部２が設けられ、前記基板保持部２の上方に、基板保持部２と平行に上部回転板３が配置されるとともに、前記基板保持部２に電動モータ３２が連結されていて、前記上部回転板３が基板保持部２に一体的に回転可能に取り付けられ、前記基板保持部２と上部回転板３を囲むように下部ケース４が設けられ、さらに前記下部ケース４の開口を覆うように設けられる上部ケース５が、前記下部ケース４の上部に着脱可能に取り付けられていて、前記上部ケース５の中心部に配置された一対の固定支持部材６１の環状の下方側支持プレート６１ｂ上面に設けられた固定支持部材６１側の係合突起７２を、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられる環状プレート７４に設けられた上部回転板３側の筒体７５に係合することにより、固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂで前記上部回転板３を吊り下げ支持することができるように構成された処理液塗布装置」が図示されている。
　
　そうしてみると、上記甲第２号証の摘記事項及び添付図面に図示された技術事項を総合すると、甲第２号証には、次の発明（以下、これを、「
引用発明２
　「角型基板Ｗを水平回転可能に保持して回転させる基板保持部２と、前記基板保持部２の上方に基板保持部２と平行に配置された上部回転板３と、基板保持部２及び上部回転板３を囲むように配置された上部が開口する下部ケース４と、該下部ケース４の開口を覆うように着脱可能に取り付けられる上部ケース５と、基板保持部２に保持された角型基板Ｗにフォトレジスト液を供給するための処理液供給部６と、基板保持部２の上面を洗浄するための上面洗浄部７と、上部回転板３の下面を洗浄するための下面洗浄部８とからなる角型基板Ｗにフォトレジスト液を塗布する処理液塗布装置１において、
　前記基板保持部２は、基板Ｗの対角線長さより長い直径を有する円形状であり、中央部に配置された基板吸着部１０と、基板吸着部１０の周囲に配置されたリング状の周端部１１とから構成され、
　筒状回転軸１８の上部のフランジ部に、基板吸着部１０の下方に平行に配置された下部回転板２４が固定され、前記下部回転板２４上に、周端部１１と、周端部１１の外周側に配置されたリング部材２５とが固定されていて、前記周端部１１の上面は、基板吸着部１０の上面より僅かに低い位置に配置されていて、前記基板吸着部１０は、周端部１１と一体回転し、かつ周端部１１に対して上下動可能となっており、
　昇降シリンダ４１により、中心軸１５が上下駆動される結果、中心軸１５の上端に固定された基板吸着部１０が昇降し、角型基板Ｗを搬入・搬出位置に配置することが可能となり、
　前記上部回転板３は、基板保持部２の上方に前記基板保持部２と平行に着脱可能かつ係止可能に配置され、電動モータ３２により基板保持部２に一体的に回転可能に取り付けられていて、下部回転板２４とリング部材２５とによって半密閉の空間を形成するものとされ、
　前記上部ケース５は、下部ケース４の側部材４ｂ上に着脱可能に配置され、前記上部ケース５の中心部に、下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１が配置されていて、両固定支持部材６１は上方側支持プレート６１ａ及び下方側支持プレート６１ｂで連結されているとともに、
　前記固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂは環状に形成され、その内周部上面の周方向４か所それぞれには係合突起７２が設けられ、下方側支持プレート６１ｂよりも上方に位置するように、上部回転板３に取付部材７３を介して環状プレート７４が取り付けられていて、環状プレート７４の外周部には、４つの係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５が設けられていて、この結果、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できる構成となっていて、
　基板処理時には、まず昇降シリンダ４１により、基板吸着部１０を上昇させ、搬入・搬出位置に配置し、そして搬送機構から角型基板Ｗが搬送されると、真空弁３９を開き、基板吸着部１０を負圧にする結果、角型基板Ｗが吸着保持されて、昇降シリンダ４１により基板吸着部１０を周端部１１と対向する位置に下降させ、続いて処理液供給部６のアーム８０を旋回し、処理液ノズル８１を角型基板Ｗの中心位置の上方に配置し、続いて、角型基板Ｗに対してフォトレジスト液を所定量供給し、処理液の供給が終了すると、処理液アーム８０を退避させ、続いて上部ケース５を下部ケース４に装着すると、上部回転板３はリング部材２５上に係合されて下部回転板２４と一体回転可能となり、続いてモータ３２を回転駆動し、下部回転板２４、基板吸着部１０及び上部回転板３を一体回転させて、角型基板Ｗに滴下されたフォトレジスト液を径方向外周に拡散させ、角型基板Ｗ上に処理液を均一に塗布し、フォトレジスト液の塗布が終了すると、モータ３２の駆動を停止し、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げ、下部ケース４から離脱させると、上部ケース５によって、上部回転板３もリング部材２５から離脱され、そして昇降シリンダ４１により角型基板Ｗを上昇させ、搬送機構により次の工程に角型基板Ｗを搬送するようにした処理液塗布装置」
　
２　当審の判断
（１）本件発明１について
　ア　対比
　ここで、本件発明１と引用発明２とを対比すると、引用発明２の「角型基板Ｗ」、「角型基板Ｗを水平回転可能に保持して回転させる基板保持部２」、「フォトレジスト液」、「角型基板Ｗにフォトレジスト液を供給するための処理液供給部６」及び「処理液塗布装置１」のそれぞれが、本件発明１の「基板」、「基板を水平支持した状態で回転させる回転台」、「塗布液」、「基板の上面に塗布液を供給する塗布液供給手段」及び「回転式塗布装置」のそれぞれに相当することは、明らかである。
　そして、引用発明２の「基板保持部２及び上部回転板３を囲むように配置された上部が開口する下部ケース４」が、本件発明１の「上部が開口し、前記回転台の周辺を囲むケース」に相当するから、引用発明２の「該下部ケース４の開口を覆うように着脱可能に取り付けられる上部ケース５」は、本件発明１の「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」に相当する。
　また、引用発明２の「上部回転板３は、基板保持部２の上方に前記基板保持部２と平行に着脱可能かつ係止可能に配置され、電動モータ３２により基板保持部２に一体的に回転可能に取り付けられていて、下部回転板２４とリング部材２５とによって半密閉の空間を形成するもの」とされる「上部回転板３」と、本件発明１の「前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」とでは、引用発明２の前記「上部回転板３」が「塗布処理空間を形成」することにおいて前記「上部板」と違いがなく、また、引用発明２の前記上部ケース５は、下部ケース４の開口を覆うように着脱可能に取り付けられるものであり、そして図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できる構成となっていて、前記上部ケース５が前記下部ケース４に装着される時の上部回転板３は、リング部材２５上に係合されることから、引用発明２の「上部回転板３は、基板保持部２の上方に前記基板保持部２と平行に着脱可能かつ係止可能に配置され、電動モータ３２により基板保持部２に一体的に回転可能に取り付けられていて、下部回転板２４とリング部材２５とによって半密閉の空間を形成するもの」とされる前記「上部回転板３」が、本件発明１の「前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」に相当する。
　
　そうすると、本件発明１と引用発明２とは、
　「基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、この回転台上に支持された基板の上面に塗布液を供給する塗布液供給手段とを備えた回転式塗布装置において、
　上部が開口し、前記回転台の周辺を囲むケースと、
　前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材と、
　前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板と、
　を備える回転式塗布装置」
である点で一致し、次の点で両者の構成が相違する。
　［相違点１］：本件発明１の上部板が「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され」るのに対し、引用発明２の「回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられて、回転台２との間に偏平な塗布処理空間Ｓを形成する上部回転板３」は、固定支持部材１６に上下方向への相対移動可能に結合されない点。
　［相違点２］：本件発明１が「前記開口を閉じた状態の前記部材を上昇させ」るのに対し、引用発明２は、前記構成であるか否か明確でない点。
　［相違点３］：本件発明１が「前記部材を上昇させて前記上部板を上昇させる際には、前記上部板の上昇に先立って前記閉じ部材が上昇するよう構成されている」のに対し、引用発明２は、前記構成であるか否か明確でない点。
　
イ　相違点についての検討
（ア）相違点１について
ａ　引用発明２の処理液塗布装置１は、次の技術事項（ａ）〜（ｈ）からなる構成を有するものである。すなわち、
　（ａ）「角型基板Ｗを水平回転可能に保持して回転させる基板保持部２と、前記基板保持部２の上方に基板保持部２と平行に配置された上部回転板３と、基板保持部２及び上部回転板３を囲むように配置された上部が開口する下部ケース４と、該下部ケース４の開口を覆うように着脱可能に取り付けられる上部ケース５とからなる」点、
　（ｂ）「筒状回転軸１８の上部のフランジ部に、基板吸着部１０の下方に平行に配置された下部回転板２４が固定され、前記下部回転板２４上に、周端部１１と、周端部１１の外周側に配置されたリング部材２５とが固定されている」点、
　（ｃ）「前記上部回転板３は、基板保持部２の上方に前記基板保持部２と平行に着脱可能かつ係止可能に配置され、電動モータ３２により基板保持部２に一体的に回転可能に取り付けられていて、下部回転板２４とリング部材２５とによって半密閉の空間を形成するものとされ」ている点、
　（ｄ）「前記上部ケース５は、下部ケース４の側部材４ｂ上に着脱可能に配置され、前記上部ケース５の中心部に、下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１が配置されていて、両固定支持部材６１は上方側支持プレート６１ａ及び下方側支持プレート６１ｂで連結されている」点、
　（ｅ）「前記固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂは環状に形成され、その内周部上面の周方向４か所それぞれには係合突起７２が設けられ、下方側支持プレート６１ｂよりも上方に位置するように、上部回転板３に取付部材７３を介して環状プレート７４が取り付けられていて、環状プレート７４の外周部には、４つの係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５が設けられてい」る点、
　（ｆ）「図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できる構成となってい」る点、
　（ｇ）「上部ケース５を下部ケース４に装着すると、上部回転板３はリング部材２５上に係合されて下部回転板２４と一体回転可能となり、続いてモータ３２を回転駆動し、下部回転板２４、基板吸着部１０及び上部回転板３を一体回転させ」る点、
　（ｈ）「図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げ、下部ケース４から離脱させると、上部ケース５によって、上部回転板３もリング部材２５から離脱され」る点。
　
ｂ　そうすると、上記の技術事項（ａ）〜（ｈ）からなる構成を有する引用発明２は、「吊り上げ手段で上部ケース５を吊り上げることにより、固定支持部材６１の環状に形成された下方側支持プレート６１ｂの内周部上面の周方向４か所に設けられている係合突起７２を、上部回転板３に取付部材７３を介して取り付けられている環状プレート７４の外周部に設けられている４つの筒体７５に係合させて、上部ケース５とともに基板保持部２及び上部回転板３を囲むように配置されている下部ケース４から前記上部ケース５を離脱させ、あるいは、前記下部ケース４に前記上部ケース５を装着させて、上部回転板３をリング部材２５に対して離脱又は係合できる技術手段」を具備していることが明らかである。
　すなわち、引用発明２は、「吊り上げ手段により上部ケース５（本件発明１の「ケースの開口を閉じる部材」に相当する。）を吊り上げて上部回転板３側の筒体７５に前記上部ケース５側の係合突起７２を係合させる（本件発明１の「上下方向への相対移動に結合される」に相当する。）ことにより、前記上部ケース５に吊り上げられた上部回転板３をリング部材２５に対して離脱又は係合できる技術手段」を有しているといえる。
　
ｃ　しかも、引用発明２の前記技術手段における上記「上部回転板３」は、上記「ア　対比」欄に前述したとおり、本件発明１の「上部板」に相当するものであるところ、引用発明２の前記「上部回転板３」は、リング部材２５上に着脱可能かつ係止可能に配置され得るものであり、装着時に下部回転板２４と一体回転可能であり、また、この上部回転板３と下部回転板２４とリング部材２５とによって半密閉の空間を形成することにより、回転時における空気の流れが少なくなり、処理液の飛散を防止できるという役割を担っているものでもある。
　そうすると、引用発明２は、「上部板（上部回転板３）が閉じる部材（上部ケース５）に上下方向への相対移動可能に結合される」構成を有しているといえる。
　
ｄ　したがって、引用発明２の「上部回転板３」は、本件発明１の相違点１に係る前記「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され」る構成を具備しているといえるから、本件発明１の相違点１は実質的な構成上の差異ではなく、当業者が引用発明２に基づいて容易に想到することができたものである。
　
（イ）相違点２について
ａ　引用発明２は、前掲の技術事項（ａ）〜（ｈ）からなる構成を有するものであり、そして、前述のとおり、引用発明２の前記「上部ケース５」が、本件発明１の「前記部材（閉じる部材）」に相当する。
　
ｂ　そうすると、前記技術事項（ａ）〜（ｈ）からなる構成を備える引用発明２は、「閉じる部材（上部ケース５）を上昇又は下降させる技術手段」を具備していることは明らかである。
　
ｃ　しかして、かかる「閉じる部材（上部ケース５）を上昇又は下降させる技術手段」を具備する引用発明２においては、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げて、上部ケース５を下部ケース４から離脱させようとする直前においては、上部ケース５が下部ケース４に結合された状態にあることからみて、引用発明２の上部ケース５は、下部ケース４の開口を閉じる状態にしている蓋然性を有しているいえる。
　
ｄ　そうすると、引用発明２の「上部ケース５」は、本件発明１の相違点２に係る前記「前記開口を閉じた状態の前記部材を上昇させ」る蓋然性を有する構成を具備しているといえるから、本件発明１の相違点２は実質的な構成上の差異ではなく、当業者が引用発明２に基づいて容易に想到することができる程度のことにすぎない。
　
（ウ）相違点３について
ａ　甲第１号証に、引用発明１が記載されていることは、上記「１　甲号各証の記載事項」欄の「（１）甲第１号証〔特開平６−３３８４４７号公報〕の記載事項」において前述したとおりである。
　
ｂ　しかして、上記引用発明１の「塗布処理に際しては、固定支持部材１６を筒状カバー１５から取り外すとともに上部支持板４を回転台２から取り外し、固定支持部材１６で吊り下げて上部回転板３を上方に外して角型基板１を回転台２の基板支持ピン８…上に所定の姿勢で載置し、次に、塗布液を滴下供給した後、固定支持部材１６で吊り下げて上部支持板４を搬入し、上部支持板４をリングプレート１０上に、そして、固定支持部材１６を筒状カバー１５上にそれぞれ取り付け、所定回数の回転塗布処理が行われると、固定支持部材１６を筒状カバー１５から取り外すとともに上部支持板４を回転台２から取り外し、固定支持部材１６で吊り下げて上部回転板３を上方に外して角型基板１を取り出してから、上部支持板４をリングプレート１０上に、そして、固定支持部材１６を筒状カバー１５上にそれぞれ取り付けるようにした」構成における、角型基板１を回転台２に載置する場合と、角型基板１を回転台２から取り出す場合との「固定支持部材１６を筒状カバー１５から取り外すとともに上部支持板４を回転台２から取り外し、固定支持部材１６で吊り下げて上部回転板３を上方に外して」の処理操作を担保する構成であるところの引用発明１の「固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂは環状に形成され、その内周面側に寄った上面の周方向所定の４箇所それぞれに、山形状の係合突起２９が設けられ、一方、下方側支持プレート１６ｂよりも上方に位置するように、上部支持板４に取付部材３０…を介して環状プレート３１が取り付けられるとともに、その環状プレート３１の周方向所定の４箇所それぞれに、係合突起２９を嵌入する筒体３２が設けられ、前記上部回転板３を着脱する際に、係合突起２９…を筒体３２…に嵌入することにより、固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂで前記上部支持板４を吊り下げることができるように構成されていて」の構成は、とりもなおさず、引用発明１の「上部支持板４」を本件発明１の「上部板」に置き換えれば、本件発明１の「前記部材を上昇させて前記上部板を上昇させる際には、前記上部板の上昇に先立って前記閉じ部材が上昇するよう構成されている」に他ならない。
　
ｃ　そうしてみると、本件発明１の「上部板」に相当する引用発明２の「上部回転板３」として引用発明１の「上部支持板４」を採用して、引用発明２に、前記引用発明１の前記「固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂは環状に形成され、その内周面側に寄った上面の周方向所定の４箇所それぞれに、山形状の係合突起２９が設けられ、一方、下方側支持プレート１６ｂよりも上方に位置するように、上部支持板４に取付部材３０…を介して環状プレート３１が取り付けられるとともに、その環状プレート３１の周方向所定の４箇所それぞれに、係合突起２９を嵌入する筒体３２が設けられ、前記上部回転板３を着脱する際に、係合突起２９…を筒体３２…に嵌入することにより、固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂで前記上部支持板４を吊り下げることができるように構成されていて」の構成を適用することにより、本件発明１の相違点３に係る前記「前記部材を上昇させて前記上部板を上昇させる際には、前記上部板の上昇に先立って前記閉じ部材が上昇するよう構成されている」の構成を得ることは、当業者が容易に想到することができたものである。
　
　そして、本件発明１の奏する作用効果は、引用発明２及び甲第１号証に記載された引用発明１から予測できる範囲内のものであり、格別のものということができない。
　
ウ　まとめ
　以上のとおりであり、本件発明１は、引用発明２及び甲第１号証に記載された引用発明１に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（２）本件発明２について
ア　対比
ａ　本件発明２と引用発明２とを対比する前に、請求項１に係る本件発明１と請求項２に係る本件発明２とを比較すると、本件発明１と本件発明２とは、請求項１及び請求項２に共に記載されている「基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、この回転台上に支持された基板の上面に塗布液を供給する塗布液供給手段とを備えた回転式塗布装置において、上部が開口し、前記回転台の周辺を囲むケースと、前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材と、前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板と、を備えることを特徴とする回転式塗布装置。」の点で構成が共通し、その余の点で構成が相違している。
　そして、本件発明２の本件発明１と共通する構成については、すでに上記「（１）本件発明１について」欄の「（ア）相違点１について」において前述したとおりである。
　
ｂ　そうすると、ここで、本件発明２と引用発明２とを対比した場合の両者の構成上の相違は、上記「（１）本件発明１について」欄において前述した本件発明１と引用発明２との構成上の相違である相違点１を含み、かつ、本件発明１と本件発明２と構成が共通していない「前記上部板の上側中央部には取付部材が立設され、取付部材には水平方向に延在する第１の部材が設けられ、前記閉じる部材には、前記上部板の前記第１の部材の下方に位置する第２の部材が設けられ、前記上部板と前記回転台との結合時には、前記第２の部材に対して前記取付部材および前記第１の部材が相対回転自在となるように設けられている」の構成であることは明らかである。
　
ｃ　しかして、引用発明２は、上記「１　甲号各証の記載事項」欄の「（２）」に前掲したとおりのものである。
　
ｄ　そして、本件発明２と引用発明２とでは、引用発明２の「上部回転板３」、「取付部材７３」、「環状プレート７４」、「固定支持部材６１」及び「下方側支持プレート６１ｂ」のそれぞれが、本件発明２の「上部板」、「取付部材」、「第１の部材」、「閉じる部材」及び「第２の部材」のそれぞれに対応する関係にある。
　
ｅ　したがって、本件発明２と引用発明２とは、
「基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、この回転台上に支持された基板の上面に塗布液を供給する塗布液供給手段とを備えた回転式塗布装置において、
　上部が開口し、前記回転台の周辺を囲むケースと、
　前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材と、
　前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板と、
　を備える回転式塗布装置」
である点で一致し、上記「（１）本件発明１について」欄において前述した上記相違点１の他に、次の点で両者の構成が相違する。
　［相違点４］：本件発明２が「前記上部板の上側中央部には取付部材が立設され、取付部材には水平方向に延在する第１の部材が設けられ」及び「前記閉じる部材には、前記上部板の前記第１の部材の下方に位置する第２の部材が設けられ」るのに対して、引用発明２は、前記構成を有するか否か明確でない点。
　［相違点５］：本件発明２が「前記上部板と前記回転台との結合時には、前記第２の部材に対して前記取付部材および前記第１の部材が相対回転自在となるように設けられている」のに対して、引用発明２は、前記構成を有するか否か明確でない点。
　
イ　相違点についての検討
（ア）相違点１について
　本件発明２と引用発明２との構成上の相違である相違点１は、本件発明１と引用発明２との構成上の相違である相違点１と共通しており、前記相違点１については、上記「（１）本件発明１について」欄の「イ　相違点についての検討」の「（ア）相違点１について」において、すでに前述したとおりであるので、重複を避けるために、ここでは繰り返さない。
　
（イ）相違点４について
ａ　甲第２号証に、引用発明２が記載されていることは、上記「１　甲号各証の記載事項」欄の「（２）甲第２号証〔特開平７−６６１０８号公報〕の記載事項」において前述したとおりである。
　
ｂ　かかる引用発明２の「上部回転板３」が、リング部材２５上に着脱可能かつ係止可能に配置され得るものであり、装着時に下部回転板２４と一体回転可能であり、また、この上部回転板３と下部回転板２４とリング部材２５とによって半密閉の空間を形成することにより、回転時における空気の流れが少なくなり、処理液の飛散を防止できるという役割を担っているものであることから、上記「（１）本件発明１について」欄の「ア　対比」において前述したところの、引用発明２の前記「上部回転板３」が本件発明１の「上部板」に相当するものであることと同様に、本件発明２においても、引用発明２の前記「上部回転板３」が本件発明２の「上部板」に相当するといえる。
　
ｃ　そしてまた、かかる引用発明２の「基板処理時には、まず昇降シリンダ４１により、基板吸着部１０を上昇させ、搬入・搬出位置に配置し、そして搬送機構から角型基板Ｗが搬送されると、真空弁３９を開き、基板吸着部１０を負圧にする結果、角型基板Ｗが吸着保持されて、昇降シリンダ４１により基板吸着部１０を周端部１１と対向する位置に下降させ、続いて処理液供給部６のアーム８０を旋回し、処理液ノズル８１を角型基板Ｗの中心位置の上方に配置し、続いて、角型基板Ｗに対してフォトレジスト液を所定量供給し、処理液の供給が終了すると、処理液アーム８０を退避させ、続いて上部ケース５を下部ケース４に装着すると、上部回転板３はリング部材２５上に係合されて下部回転板２４と一体回転可能となり、続いてモータ３２を回転駆動し、下部回転板２４、基板吸着部１０及び上部回転板３を一体回転させて、角型基板Ｗに滴下されたフォトレジスト液を径方向外周に拡散させ、角型基板Ｗ上に処理液を均一に塗布し、フォトレジスト液の塗布が終了すると、モータ３２の駆動を停止し、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げ、下部ケース４から離脱させると、上部ケース５によって、上部回転板３もリング部材２５から離脱され、そして昇降シリンダ４１により角型基板Ｗを上昇させ、搬送機構により次の工程に角型基板Ｗを搬送する」の一連の処理工程における前記「上部ケース５を下部ケース４に装着すると、上部回転板３はリング部材２５上に係合されて下部回転板２４と一体回転可能となり、」及び前記「図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げ、下部ケース４から離脱させると、上部ケース５によって、上部回転板３もリング部材２５から離脱され、」という「上部ケース５の下部ケース４への装着」及び「上部ケース５の下部ケース４からの離脱」の両操作工程を担保する構成であるところの引用発明２の「前記上部ケース５は、下部ケース４の側部材４ｂ上に着脱可能に配置され、前記上部ケース５の中心部に、下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１が配置されていて、両固定支持部材６１は上方側支持プレート６１ａ及び下方側支持プレート６１ｂで連結されているとともに、前記固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂは環状に形成され、その内周部上面の周方向４か所それぞれには係合突起７２が設けられ、下方側支持プレート６１ｂよりも上方に位置するように、上部回転板３に取付部材７３を介して環状プレート７４が取り付けられていて、環状プレート７４の外周部には、４つの係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５が設けられていて、この結果、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できる構成」においては、引用発明２の「下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１」、「取付部材７３」、「環状プレート７４」、「環状に形成された下方側支持プレート６１ｂ」のそれぞれが、本件発明２の「閉じる部材」、「取付部材」、「第１の部材」、「第２の部材」のそれぞれに相当する。
　
ｄ　そうすると、引用発明２は、本件発明２の「前記上部板の上側中央部には取付部材が立設され、取付部材には水平方向に延在する第１の部材が設けられ」及び「前記閉じる部材には、前記上部板の前記第１の部材の下方に位置する第２の部材が設けられ」に相当する構成を具備しているといえる。
　
ｅ　したがって、本件発明２の相違点４に係る前記「前記上部板の上側中央部には取付部材が立設され」及び「取付部材には水平方向に延在する第１の部材が設けられ、前記閉じる部材には、前記上部板の前記第１の部材の下方に位置する第２の部材が設けられ」る構成とすることは、引用発明２に基づいて当業者が容易に想到することができたものである。
　
（ウ）相違点５について
ａ　甲第２号証に、引用発明２が記載されていることは、上記「１　甲号各証の記載事項」欄の「（２）甲第２号証〔特開平６−３３８４４７号公報〕の記載事項」において前述したとおりである。
　
ｂ　また、前記引用発明２が、前記「上部ケース５を下部ケース４に装着すると、上部回転板３はリング部材２５上に係合されて下部回転板２４と一体回転可能となり、」及び前記「図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げ、下部ケース４から離脱させると、上部ケース５によって、上部回転板３もリング部材２５から離脱され、」という「上部ケース５の下部ケース４への装着」及び「上部ケース５の下部ケース４からの離脱」の両操作工程を担保する構成であるところの引用発明２の「前記上部ケース５は、下部ケース４の側部材４ｂ上に着脱可能に配置され、前記上部ケース５の中心部に、下面洗浄部８を支持するための１対の固定支持部材６１が配置されていて、両固定支持部材６１は上方側支持プレート６１ａ及び下方側支持プレート６１ｂで連結されているとともに、前記固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂは環状に形成され、その内周部上面の周方向４か所それぞれには係合突起７２が設けられ、下方側支持プレート６１ｂよりも上方に位置するように、上部回転板３に取付部材７３を介して環状プレート７４が取り付けられていて、環状プレート７４の外周部には、４つの係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５が設けられていて、この結果、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できる構成」を有するものであることについては、上記「（イ）相違点４について」欄に前述のとおりである。
　
ｃ　そして、前記引用発明２における「上部回転板３」、「取付部材７３」、「環状プレート７４」、「上部ケース５の中心部に配置されている１対の固定支持部材６１」、「下方側支持プレート６１ｂ」及び「下部回転板２４」のそれぞれが、本件発明２の「上部板」、「取付部材」、「第１の部材」、「閉じる部材」、「第２の部材」及び「回転台」に相当することは明らかである。
　
ｄ　さらに、前記引用発明２においては、上部回転板３の上側中央部に取付部材７３が立設され、該取付部材７３に水平方向に延在する環状プレート７４が設けられ、上部ケース５の中心部に配置されている１対の固定支持部材６１に、前記上部回転板３の前記環状プレート７４の下方に位置する下方側支持プレート６１ｂが設けられていること、及び、引用発明２が、「閉じる部材（上部ケース５）を上昇又は下降させる技術手段」を具備していることも前述のとおりである。
　
ｅ　しかして、かかる「閉じる部材（上部ケース５）を上昇又は下降させる技術手段」を具備する引用発明２においては、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げて、上部回転板３を基板保持部２に結合させようとする場合においては、上部ケース５が下部ケース４から離隔している状態から、上部ケース５が下部ケース４に結合された状態に移行するまでの間は、引用発明２の上部ケース５は、下部ケース４の係合から解放された自由状態にあると推認される。
　
ｆ　そして、引用発明２は、前述のとおり、「前記固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂは環状に形成され、その内周部上面の周方向４か所それぞれには係合突起７２が設けられ、下方側支持プレート６１ｂよりも上方に位置するように、上部回転板３に取付部材７３を介して環状プレート７４が取り付けられていて、環状プレート７４の外周部には、４つの係合突起７２のそれぞれに係合する筒体７５が設けられていて、この結果、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、固定支持部材６１側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合し、上部回転板３をリング部材２５に対して着脱できる構成」を有しているから、上部回転板３を基板保持部２４に結合しようとする場合には、図示しない吊り上げ手段により上部ケース５を吊り上げると、下方側支持プレート６１ｂ側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５に係合することにより、１対の固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂの下降とともに上部回転板３も下降させられることとなり、そして、上部回転板３を吊り下げた状態の固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂを有する上部ケース５が下部ケース４に当接した状態に移行し、さらに固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂが下降して、下方側支持プレート６１ｂ側の係合突起７２が上部回転板３側の筒体７５との係合が解除されると、このときの引用発明２の「取付部材７３」及び「環状プレート７４」は、「固定支持部材６１の下方側支持プレート６１ｂ」に対して自由状態にあると推認される。
　
ｇ　この場合において、引用発明２における上部ケース５を吊り上げる図示しない吊り上げ手段を、何らかの手段により下部ケース４に対して相対的に回転自在の構成とすることにより、本件発明２の相違点５に係る「前記上部板と前記回転台との結合時には、前記第２の部材に対して前記取付部材および前記第１の部材が相対回転自在となるように設けられている」の構成となるように変更することは、当業者が必要に応じて容易になし得る設計事項にすぎない。
　
　そして、本件発明２の奏する作用効果は、引用発明２及び甲第１号証に記載された引用発明１から予測できる範囲内のものであり、格別のものということができない。
　
ウ　まとめ
　以上のとおりであり、本件発明２は、引用発明２及び甲第１号証に記載された引用発明１に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
第６　当審の職権による無効理由２（特許法第３６条第４項、同条第６項第１号及び第２号違反）についての検討
１　本件発明１及び本件発明２の「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」について
（１）被請求人が原出願の当初明細書等が記載されている甲第１号証〔特開平６−３３８４４７号公報〕の記載から自明であると主張する本件発明１及び本件発明２の「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」について、甲第１号証の記載からは、甲第１号証に記載の「固定支持部材１６」が、本件発明１及び本件発明２の「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」であるといえないことは、上記「第４　当審の職権による無効理由の前提となる分割要件の有無についての検討」欄の「２（２）ア」に前述したとおりである。
　そして、本件特許出願が、上記甲第１号証に係る特願平５−１２３５３８号を原出願とする分割出願であるとされていたことから、「固定支持部材１６」についての本件訂正明細書における記載は、上記甲第１号証に記載されている技術事項の範囲内にとどまり、甲第１号証と同様に、本件訂正明細書の記載からは、前記「固定支持部材１６」が、本件発明１及び本件発明２の「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」であるとはいえない。
　
（２）したがって、「固定支持部材１６」が「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」であることの根拠となる記載を、本件訂正明細書の中に認めることができない。また、「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の技術事項が、本件訂正明細書の記載から自明であるということもできない。
　
（３）そうすると、本件発明１及び本件発明２の前記「前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる部材」の構成要件が、本件訂正明細書の発明の詳細な説明に記載されてなく、また、前記構成要件について、当業者が実施できる程度に本件訂正明細書の発明の詳細な説明に記載されているということができないばかりでなく、前記構成要件を含む本件発明１及び本件発明２の構成が、明確でないものとなっている。
　
２　本件発明１及び本件発明２の「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」について
（１）被請求人が原出願の当初明細書等が記載されている甲第１号証〔特開平６−３３８４４７号公報〕に記載されていると主張する本件発明１及び本件発明２の「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」について、甲第１号証の記載からは、甲第１号証に記載の「上部回転板３と上部支持板４」が、本件発明１及び本件発明２の「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」であるとはいえないことは、上記「第４　当審の職権による無効理由の前提となる分割要件の有無についての検討」欄の「２（２）イ」に前述したとおりである。
　そして、本件特許出願が、上記甲第１号証に係る特願平５−１２３５３８号を原出願とする分割出願であるとされていたことから、「上部回転板３と上部支持板４」についての本件訂正明細書における記載は、上記甲第１号証に記載されている技術事項の範囲内にとどまり、甲第１号証と同様に、本件訂正明細書の記載からは、前記「上部回転板３と上部支持板４」が、本件発明１及び本件発明２の「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」であるとはいえない。
　
（２）したがって、「上部回転板３と上部支持板４」が「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」であることの根拠となる記載を、本件訂正明細書の中に認めることができない。また、「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」の技術事項が、本件訂正明細書の記載から自明であるということもできない。
　
（３）しかも、前記「上部板」という文言は、「上部回転板３」又は「上部支持板４」という具体的構成の上位概念であり、前記「上部回転板３」又は「上部支持板４」の具体的構成だけではなく、他の構成の「上部板」としての概念をも包含する拡張された一般的な概念であるから、「上部板」の文言が、必ずしも前記「上部回転板３」又は「上部支持板４」のみを一義的に意味するものでないことは明らかである。
　したがって、前記「上部回転板３」又は「上部支持板４」が「上部板」に該当するということはいえるが、逆に、「上部板」の文言が前記「上部回転板３」又は「上部支持板４」を意味することにはならないので、前記「上部回転板３」又は「上部支持板４」を離れた本件発明１及び本件発明２の「上部板」は、前記「上部回転板３」又は「上部支持板４」を超える意味内容の構成であって、本件訂正明細書の発明の詳細な説明に明示の記載がなく、また示唆する記載もないので、明確でないものとなっている。
　
（４）そうすると、本件発明１及び本件発明２の前記「前記部材に上下方向への相対移動可能に結合され、前記部材の前記ケースへの装着時に前記回転台と結合して前記回転台とで塗布処理空間を形成する上部板」の構成要件が、本件訂正明細書の発明の詳細な説明に記載されてなく、また、前記構成要件について、当業者が実施できる程度に本件訂正明細書の発明の詳細な説明に記載されているということができないばかりでなく、前記構成要件を含む本件発明１及び本件発明２の構成が、明確でないものとなっている。
　
３　まとめ
　以上のとおりであるから、本件発明１及び本件発明２の特許は、特許法第３６条第４項、同条第６項第１号及び第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものである。
　
第７　むすび
　以上のとおり、本件発明１及び本件発明２の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、同法第１２３条第１項第２号の規定に該当し、当審の職権による無効理由１により無効とすべきものである。
　また、本件発明１及び本件発明２の特許は、特許法第３６条第４項、同条第６項第１号及び第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであるから、同法第１２３条第１項第４号の規定に該当し、当審の職権による無効理由２により無効とすべきものである。
　
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定において準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。