【事件の表示】
　特願２００３−　２７１５１「多極子レンズ用の多極子製造方法、多極子レンズ及び荷電粒子線装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　８月２６日出願公開、特開２００４−２４１１９０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１５年（２００３年）２月４日の出願（特願２００３−２７１５１号）であって、平成１９年８月２４日付で拒絶査定がなされ、これに対して、平成１９年９月２６日付で拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　
 第２　本願発明  
　本願の請求項１〜５に係る発明は、平成１９年７月１７日付手続補正により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１〜５に記載された事項に特定されるとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
　
「下記の工程（Ａ01）〜（Ａ03）を順次実行することを特徴とする多極子レンズ用の多極子製造方法、
（Ａ01）円柱状の一体成形部材の中心部に貫通孔を形成し、前記貫通孔の外周に連続して前記貫通孔の中心から半径方向に延び且つ部分的な未切断部を残した極子分割溝を形成して極子形成部材を製造する極子形成部材製造工程、
（Ａ02）前記極子形成部材を極子固定部材に位置決めした状態で固定支持する極子形成部材固定工程、
（Ａ03）前記極子固定部材に固定支持された前記極子形成部材の前記未切断部を、前記極子固定部材の前記未切断部に対応する位置に形成された未切断部切断用貫通孔を介して、切断して極子を形成する極子分離工程。」
　
第３　引用例
１　引用例の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された特開２０００−２６０３７１号公報（以下、「引用例１」という）には、次の事項が記載されている。
　
(1)「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子ビーム描画装置の電子ビーム整形用及び偏向用などの電極に係わり、特に寸法精度が高く、保守が容易であり、かつ製造も簡単な電子ビーム描画装置用電極及びその製造方法に関する。」
　
(2)「【００１５】また、本発明による電子ビーム描画装置用電極の製造方法は、複数の電極片に対応すべく元端側が互いに分離形成されると共に該電極片の先端に対応する部分が互いに連結された一体型の中間体を形成し、この中間体の前記元端側の光軸方向に対する一方の端面を、電気絶縁材からなり中央に貫通穴を有するリング状の絶縁部材の一方の端面に、該中間体の連結部が前記貫通穴の中央投影位置となるように配置して接着剤又はろう材によりそれぞれ密着固定させ、次いで、前記中間体の連結部を加工により互いに分離すると共に所定の形状に加工して電極片を形成することを特徴とするものである。
【００１６】この製造方法によれば、リング状の絶縁部材の端面に複数の電極片を的確に固着配置することができると共に、電極片の配置精度を容易に高めることができる。」
　
(3)「【００２２】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態につき、図１を参照して説明する。図１において、１０は電極であり、絶縁部材２０、複数の電極片３０及び支持部材４０とにより構成されている。
【００２３】絶縁部材２０は、中央に貫通穴２１を有する円板などのリング状をしており、電気絶縁材により形成されている。この電気絶縁材としては、電極１０が取り付けられる図示しない電子ビーム鏡筒内及びこれに連なる描画室などの装置内汚染を防止すると共に各電極片３０の位置変動を抑えて正確な位置に保持するため、無機系の電気絶縁材であることが好ましく、例えば窒化珪素のような機械的強度を有すると共に熱変形が小さく、かつ真空環境及び電極片３０の発熱により汚染物質を生じることのないファインセラミックスにより形成することが好ましい。電極片３０は、Ｔｉ又はＴｉ合金などの金属で形成され、各電極片３０は、光軸方向に対する一方の端面、すなわち図１（Ｂ）において右側の端面が、絶縁部材２０の同じく図１（Ｂ）において左側の端面に接着剤５０によりそれぞれ密着固定されている。なお、各電極片３０は、絶縁部材２０の貫通穴２１の中心を中心とする円周上に配列され、元端側の一部端面が絶縁部材２０の側面に密着固定され、先端部がそれぞれ貫通穴２１の投影空間内に突出し、互いに対をなして対向するように配置されている。
【００２５】　絶縁部材２０と電極片３０とを密着固定する接着剤５０は、接着後の接合域における内部応力低減のため、例えばエポキシ系接着剤のような３００℃以下の保持温度で硬化する有機系の接着剤又は無機系の接着剤を用いることが好ましい。なお、この接着剤５０に代えてアルミニウム合金、銀合金又は金合金のようなろう材を用いることもできる。これらのろう材によれば、脱ガスを抑制して真空保持を容易に行うことができるが、融点が低く、低温度で接合することができ、接合後の接合域に発生する内部応力を低く抑えるため、上記アルミニウム合金のろう材を用いることが好ましい。なお、ろう材は、ペースト状のものを塗布するか、もしくはシート状のものを挟んで接合するようにすることができる。
【００２６】支持部材４０は、円板などのリング状をしており、絶縁部材２０の図１（Ｂ）において右側の端面に、同じく接着剤５０により密着固定されている。この支持部材４０は、電極１０を図示しない電子ビーム鏡筒内に取り付け、又は他の電極と組み合わせる際の位置決め設定用に用いられるものであり、金属により形成されている。」
　
(4)「【００３０】　次に図２を参照して、本発明による上記電極１０の好ましい製造方法の一例について説明する。図２（Ａ）は、図１に示した電極片３０を形成するための中間体３０Ａを示している。この中間体３０Ａは、図１に示す各電極片３０の先端部を除き、元端側（中間体３０Ａの外周側）の形状及び配置状態が製造後の各電極片３０の元端側をそのまま形成するように外形形状及びスリット３１が加工され、中間体３０Ａの中心部すなわち各電極片３０の先端側に当たる部分は互いに切り離されずに一対の部材として形成されている。なお、中間体３０Ａの中心には後述する各部材の組み付け及び加工を容易にするための貫通穴３２が設けられている。この貫通穴３２の直径は、電極片３０の先端対向間隔と等しいかそれより小さい値になされている。
【００３１】この中間体３０Ａの図２（Ａ）において奥側の端面を、図２（Ｂ）に示す絶縁部材２０の図２（Ｂ）において手前側の端面に接着剤（又はろう材）５０により密着固定すると共に、絶縁部材２０の図２（Ｂ）において奥側の端面には図１に示す支持部材４０を同じく接着剤（又はろう材）５０により密着固定する。このとき、中間体３０Ａと絶縁部材２０及び支持部材４０との芯出しは、貫通穴３２を用いて行うことが好ましい。
【００３２】中間体３０Ａ、絶縁部材２０及び支持部材４０を密着固定したならば、この組立体をワイヤカット放電加工機などの加工装置に取り付け、中間体３０の各電極片３０の先端部を、図１（Ａ）に示すように、それぞれ分離すると共に、所定の先端形状に加工する。このとき、各電極片３０の先端部の加工と同時に上記のように支持部材４０の外周形状を加工することが好ましい。この支持部材４０の外周形状の同時加工は、中間体３０Ａ、絶縁部材２０及び支持部材４０からなる組立体を、アームなどを用いて加工装置に取り付ける必要があるため、支持部材４０の全周を加工することはできないが、大部分を加工することができ、この同時加工した外周部を位置決め基準として電極１０を取り付ければ、電極１０の芯出しを極めて容易に高精度に行うことができる。
【００３３】図３は、本発明による電極の他の実施の形態を示すものであり、電極片３０の両端面に絶縁部材２０を接着剤（又はろう材）５０により密着固定したものである。この電極１１は、電極片３０の長さが長い場合、電極片３０をより安定して正確な位置に保つことができる。なお、この場合も、図２（Ａ）に示したような中間体３０Ａの両端面に絶縁部材２０を接合した後、電極片３０の先端部を分離、形成する加工を行う。
【００３４】図３に示す支持部材４１は、電極片３０の長手方向に伸びる円筒状とし、その両端に位置決め支持用のフランジ４２を設け、図３において右方の絶縁部材２０にのみ密着固定したものであるが、これに限らず、左右の絶縁部材２０，２０にそれぞれ図１に示したようなリング状の支持部材４０を別々に密着固定してもよい。」
　
２　引用発明
　上記「１　引用例の記載事項」の記載事項(1)〜(4)から、
・「電子ビーム描画装置の電子ビーム整形用及び偏向用などの電極」の「製造方法」に関するものであること、
・「電極片３０を形成するための中間体３０Ａ」を製造すること、
・「この中間体３０Ａは、図１に示す各電極片３０の先端部を除き、元端側（中間体３０Ａの外周側）の形状及び配置状態が製造後の各電極片３０の元端側をそのまま形成するように外形形状及びスリット３１が加工され、中間体３０Ａの中心部すなわち各電極片３０の先端側に当たる部分は互いに切り離されずに一対の部材として形成されている」こと、
・「中間体３０Ａの中心には後述する各部材の組み付け及び加工を容易にするための貫通穴３２が設けられている」こと、
・「この中間体３０Ａの前記元端側の光軸方向に対する一方の端面を、電気絶縁材からなり中央に貫通穴２１を有するリング状の絶縁部材２０の一方の端面に、該中間体３０Ａの連結部が前記貫通穴２１の中央投影位置となるように配置して接着剤又はろう材によりそれぞれ密着固定させ」ること、
・「次いで、前記中間体の連結部を加工により互いに分離すると共に所定の形状に加工して電極片を形成する」こと、
が記載事項として抽出される。
　
　また、【図１】【図２】の記載から、中間体３０Ａは、外周面から中心の貫通穴に向かって延びるスリットを有する円柱形状の一体成形部材であり、中心には貫通穴が形成され、スリットは貫通穴まで達していないものであることが読み取れる。
　
　そして、中間体３０Ａのスリットと貫通穴の間の部分が上記記載事項(2)における連結部であるから、引用例１には、
「下記の工程（１）〜（３）を順次実行する、電子ビーム描画装置の電子ビーム整形用及び偏向用などの電極の製造方法、
（１）円柱形状の一体成形部材に、中心の貫通穴３２及び外周面から中心の貫通穴３２に向かって延びるスリット３１が、スリット３１が貫通穴３２まで達しないように連結部を残して加工されて、中間体３０Ａを製造する中間体製造工程、
（２）この中間体３０Ａを、電気絶縁材からなり中央に貫通穴２１を有するリング状の絶縁部材２０の一方の端面に、該中間体３０Ａの連結部が前記貫通穴２１の中央投影位置となるように配置して、それぞれ密着固定させる中間体固定工程、
（３）次いで、リング状の絶縁部材２０の貫通穴２１の中央投影位置となるように配置された中間体３０Ａの連結部を分離する分離工程」の発明（以下、「引用発明」という）が記載されている。
　
第４　対比
１　対比
　引用発明と本願発明を対比する。
　引用発明の「電子ビーム描画装置の電子ビーム整形用及び偏向用などの電極」は、本願発明の「多極子レンズ用の多極子」に相当する。
　また、引用発明の「中間体３０Ａ」は、本願発明の「極子形成部材」に相当し、引用発明の中間体３０Ａの「貫通穴３２」、「外周面から中心の貫通穴３２に向かって延びるスリット３１」及び「連結部」が、その機能・構造から考えて、それぞれ、本願発明の極子形成部材の「貫通孔」、「貫通孔の中心から半径方向に延びる極子分割溝」及び「部分的な未切断部」に相当する。したがって、引用発明の「（１）円柱形状の一体成形部材に、中心の貫通穴３２及び外周面から中心の貫通穴３２に向かって延びるスリット３１が、スリット３１が貫通穴３２まで達しないように連結部を残して加工されて、中間体３０Ａを製造する中間体製造工程」と、本願発明の「（Ａ01）円柱状の一体成形部材の中心部に貫通孔を形成し、前記貫通孔の外周に連続して前記貫通孔の中心から半径方向に延び且つ部分的な未切断部を残した極子分割溝を形成して極子形成部材を製造する極子形成部材製造工程」とは、「円柱状の一体成形部材の中心部に貫通孔を形成し、また、前記貫通孔の中心から半径方向に延び且つ部分的な未切断部を残した極子分割溝を形成して極子形成部材を製造する極子形成部材製造工程」である点で共通している。
　また、引用発明の「電気絶縁材からなり中央に貫通穴２１を有するリング状の絶縁部材２０」が、本願発明の「極子固定部材」に相当するから、引用発明の「この中間体３０Ａを、電気絶縁材からなり中央に貫通穴２１を有するリング状の絶縁部材２０の一方の端面に、該中間体３０Ａの連結部が前記貫通穴２１の中央投影位置となるように配置して、それぞれ密着固定させる中間体固定工程」は、本願発明の「前記極子形成部材を極子固定部材に位置決めした状態で固定支持する極子形成部材固定工程」に相当する。
　また、引用発明の「（３）次いで、リング状の絶縁部材２０の貫通穴２１の中央投影位置となるように配置された中間体３０Ａの連結部を分離する分離工程」における「次いで」は、「（中間体と絶縁部材を）中間体３０Ａの連結部が前記貫通穴２１の中央投影位置となるように配置して、密着固定させ」た後、その状態で、ということを意味しているから、引用発明の「（３）次いで、リング状の絶縁部材２０の貫通穴２１の中央投影位置となるように配置された中間体３０Ａの連結部を分離する分離工程」と、本願発明の「（Ａ03）前記極子固定部材に固定支持された前記極子形成部材の前記未切断部を、前記極子固定部材の前記未切断部に対応する位置に形成された未切断部切断用貫通孔を介して、切断して極子を形成する極子分離工程」とは、「前記極子固定部材に固定支持された前記極子形成部材の前記未切断部を、前記極子固定部材の貫通孔に対応する位置に配置した状態で、切断して極子を形成する極子分離工程」である点で共通している。
　
２　一致点
　したがって、本願発明と引用発明は、
「下記の各工程を順次実行することを特徴とする多極子レンズ用の多極子製造方法、
　円柱状の一体成形部材の中心部に貫通孔を形成し、また、前記貫通孔の中心から半径方向に延び且つ部分的な未切断部を残した極子分割溝を形成して極子形成部材を製造する極子形成部材製造工程、
　前記極子形成部材を極子固定部材に位置決めした状態で固定支持する極子形成部材固定工程、
　前記極子固定部材に固定支持された前記極子形成部材の前記未切断部を、前記極子固定部材の貫通孔に対応する位置に配置した状態で、切断して極子を形成する極子分離工程。」
である点で一致し、次の各点で相違している。
　
３　相違点
（１）相違点１；
　極子形成部材製造工程の貫通孔の中心から半径方向に延び且つ部分的な未切断部を残した極子分割溝の形成について、本願発明においては「貫通孔の外周に連続して」形成しているのに対し、引用発明においては「（貫通孔の外周との間に）連結部を残して」形成している点。
　
（２）相違点２；
　極子分離工程の未切断部の切断について、本願発明においては、「未切断部に対応する位置に配置された貫通孔を介して」切断するものであるのに対し、引用発明においては、その点が限定されていない点。
　
第５　当審の判断
　次に、上記の相違点について検討する。
　
１　相違点１について
　相違点１は、本願発明が極子分割溝を貫通孔に連続して形成することにより、未切断部を貫通孔から離れた位置に形成したものであるのに対して、引用発明は、貫通穴の外周に接して連結部を形成した点、すなわち、未切断部を貫通孔に接した位置に形成した点にある。
　したがって、相違点１は、未切断部の位置に関する相違であるといえるが、未切断部を貫通孔から離れた位置に形成することについても、例えば、
・特開平５−２９２０１号公報（【００２１】【００２２】【図１】【図２】参照。）
にも記載されているように周知の技術であることにかんがみれば、未切断部をどこに設けるかは単なる設計的事項であるということができるから、引用発明においても、未切断部を貫通孔から離れた位置に形成すること、すなわち、貫通孔の外周に連続して極子分割溝を形成することは、当業者が容易に想到し得た事項に過ぎない。
　そうすると、上記相違点１に係る本願発明の発明特定事項は、上記周知技術にかんがみて当業者が容易に想到し得た事項である。
　
２　相違点２について
　未切断部をどのように切断するかについては、引用発明においては明確に特定はされていないが、「第３　引用例」の「１　引用例の記載事項」における(4)の記載事項の【００３３】欄の記載及び引用例１の【図３】の記載における、リング状の絶縁部材２０を中間体３０Ａの両端面に接合した後、連結部（未切断部）を切断する場合には、該連結部に対応して配置された貫通穴２１を介して切断することが最も自然であると認められるから、引用例１においても、極子分離工程の未切断部の切断について「未切断部に対応する位置に配置された貫通孔を介して」切断することが記載されているに等しいということができる。
　すなわち、上記相違点２は実質的な相違点ではない。
　
３　まとめ
　そして、本願発明によってもたらされる効果は、上記引用例１に記載された発明及び上記周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
　したがって、本願発明は、引用例１に記載された発明及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明することができたものである。 
　
第６　むすび
　以上より、本願発明は、引用例１に記載された発明及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。