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　特願２００１−１３５３５７「イオン加速装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年１１月１５日出願公開、特開２００２−３２９６００〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯及び本願発明
　本願は、平成１３年（２００１年）５月２日に出願された特願２００１−１３５３５７号の特許出願であって、原審における平成１６年１２月２２日付の拒絶理由通知に対し、平成１７年３月７日付の意見書とともに同日付の手続補正書が提出されたところ、前記拒絶理由により平成１７年６月２８日付で拒絶査定がなされ、これに対し、拒絶査定不服審判の請求が平成１７年８月３日にされたものである。
　したがって、当審の審理の対象とすべき本願発明は、平成１７年３月７日付の手続補正により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし請求項１１に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、特にその請求項１に係る発明は、次のとおりのものである。（以下、これを「
本願発明１
「【請求項１】
　レーザーを照射してプラズマを発生させるプラズマ発生源と、前記プラズマ発生源から発生したプラズマよりイオンを引き出すための真空容器と、イオン線形加速器とが直列に接続され、
　前記真空容器は、該イオン線形加速器のイオン入射口近傍に取り付けられ、かつ、前記真空容器をイオン線形加速器に対して所望の電圧に昇圧する高圧電源を備え、
　前記真空容器から前記イオン線形加速器に、直接、イオンを入射するようにしたことを特徴とするイオン加速装置。」
　
２　引用刊行物及びその記載事項
（１）原審における拒絶査定の理由に引用された、本願の特許出願前に頒布された刊行物である特開平２−２８４４００号公報（以下、「
引用刊行物１
「〔産業上の利用分野〕
　この発明は、加速器、特にそのイオン源に関するものである。
〔従来の技術〕
　従来の加速器の構造を第２図に示す。この図において（１）は加速器の容器であり、通常その内部はイオン源（１２）の部分を除いて超高真空になっている。（２）はフイラメント、（３）は電源、（４）は陽極、（５）は高圧電源であり、フイラメント（２）と陽極（４）間に高電圧がかかつている。従って、電子ビーム（６）が発生しこれがガス（８）と衡突して公知の事実より電離し、正イオン（７）を発生させる。この正イオン（７）を発生させる部分がイオン源（１２）である。
　次に正イオン（７）はアパーチャー（９）を通り、低エネルギー加速部（１３）に導かれる。この低エネルギー加速部（１３）は電極（１０）と高周波電源（１１）によって構成され、正イオン（７）を加速して高エネルギー加速部（１４）に導く。高エネルギー加速部（１４）も低エネルギー加速部（１３）と同様に構成され、加速された正イオン（７）をさらに加速することによって正イオン（７）は高エネルギーに加速される。この時のイオン電流は数ｍＡ程度となる。
〔発明が解決しようとする課題〕
　従来の加速器では、低エネルギー加速部へ入射されるイオンのエネルギーはほとんど零の状態であり、初期速度のわずかに異なる粒子は加速位相に入るのが困難であるため、粒子の壁への損失が大きく加速効率はほとんど低エネルギー加速部で決定されていた。また粒子の壁への損失を少なくするための集束用装置は極めて複雑かつ、高価となるなどの問題点があった。
　この発明は係る問題点を解決するためになされたもので、イオン源で発生する正イオンを直接高エネルギー加速部で加速し容易に大電流を供給できる加速器を得ることを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
　この発明に係る加速器は、イオン源にプラズマフオーカスを利用したものである。
〔作用〕
　この発明においては、プラズマフオーカスが高エネルギーの正イオンを大量に発生するので、直接高エネルギー加速部へ導ける。
〔実施例〕
　以下この発明の一実施例を第１図について説明する。（１５），（１６）はプラズマフオーカスの電極であり、同軸構造になっている。これに、コンデンサー電源（１７），及びスイッチ（１８）が設けられ、このスイッチ（１８）を閉じることにより、放電がスタートして、電流（１９）が流れ、電極（１６）のそばにプラズマ（２０）が発生する。
このプラズマ（２０）を発生する部分が、この実施例のイオン源（２２）である。従って、プラズマ（２０）から発生した正イオン（２１）がアパーチャー（９）を通りぬけて高エネルギー加速部（１４）に導かれる。
　即ち、プラズマフオーカスで一対の同軸円筒間にプラズマをつくると、印加電圧の２００倍ものエネルギーを持つイオンが大量に発生することを利用して、１０キロボルト程度の放電電圧によってほぼ１００万電子ボルトの陽子を発生させ、直接高エネルギー加速部（１４）に入射しようとするものである。
　次に実施例の動作について説明する。プラズマフオーカスは比較的小型な同軸構造を持つ電極（１５），（１６）に大電流を流すとその電極付近のガスが電離し、ピンチ効果によって高温・高密度のプラズマが比較的容易に発生するので、このプラズマから同時に１００万電子ボルト程度の正イオンが大量に得られる。従って、（１５），（１６）の構造を適切に設計するとプラズマフオーカスは自動的に繰り返えされるので、これを利用すれば準定常的なイオン源として利用出来ることになる。この様にして発生した約１００万電子ボルトのイオンを高エネルギー加速部（１４）に導き、さらに高エネルギーまで加速することができる。この時、イオン電流は数百ＫＡにもなる。尚、イオンの発生する周期と高周波電場の周期を合致させることにより、より効率よくイオン電流を得ることも可能である。
　また、上記実施例では、線型加速器の場合について説明したが、円形加速器についても、上記実施例と同様の効果を得る。
〔発明の効果〕
　以上のようにこの発明によれば、単純な構成のプラズマフオーカスを
１００電子ボルト
　 
　そうしてみると、引用刊行物１の上記摘記事項及び図面の図示からみて、前記引用刊行物１には、次の発明（以下、「
引用発明１
「プラズマフオーカスイオン源（２２）と、高エネルギー加速部（１４）とからなり、前記プラズマフオーカスイオン源（２２）を、加速器の容器（１）の初段部に構成した加速器において、
　前記プラズマフオーカスイオン源（２２）には、同軸構造を持つ一対の円筒状の電極（１５），（１６）間にコンデンサー電源（１７）及びスイッチ（１８）が設けられ、また、前記高エネルギー加速部（１４）が、電極（１０）と高周波電源（１１）によって構成され、そして、前記プラズマフオーカスイオン源（２２）と前記高エネルギー加速部（１４）の間にはアパーチャー（９）が設けられていて、加速器の容器（１）の内部はプラズマフオーカスイオン源（２２）の部分を除いて超高真空になっており、
　前記プラズマフオーカスイオン源（２２）では、前記スイッチ（１８）を閉じて放電させると、前記電極（１５），（１６）間に電流（１９）が流れて電極（１６）付近のガスが電離し、高温・高密度のプラズマ（２０）が発生するようになっており、
　前記プラズマ（２０）から大量に得られる高エネルギーの正イオン（２１）が、前記アパーチャー（９）を通りぬけて、高エネルギー加速部（１４）に直接導かれて、前記正イオン（２１）をさらに高エネルギーに加速させることにより、プラズマフオーカスイオン源（２２）で発生する正イオン（２１）を直接高エネルギー加速部（１４）で加速し容易に大電流を供給することができる加速器」
　
（２）原審における拒絶査定の理由に引用された、本願の特許出願前に頒布された刊行物である実願昭４６−２７４６４号（実開昭４７−２４５００号）の願書に添付した明細書及び図面の内容を撮影したマイクロフィルム（以下、「
引用刊行物２
「２．実用新案登録請求の範囲
　一端閉口の筒状絶縁部材の任意の位置の径を絞り込み、この位置より閉口端部までを内部に導いた気体を電磁波また放電現象により荷電粒子化する荷電粒子発生容器部に、前記位置より開口端部までを外周部にそれぞれ所定電圧を印加する複数個の加速電極を配設して前記発生容器部内に生ずる荷電粒子を加速する加速管部にそれぞれ形成してなる荷電粒子加速器。」（明細書１頁４〜１１行）
「本考案は静電型粒子加速器に関する。」（明細書１頁１３行）
「高電圧絶縁と真空容器を兼ねた一端閉口の円筒状絶縁部材、例えば石英ガラス管（２０）は開口端部にこの管（２０）を他の部材に取り付けるための鍔部（２１）を形成し、他端部にこれから所望距離を離れた位置の径を絞り込んでイオン発生源室（２２）を形成し、この絞られた位置から鍔部（２１）に至る加速管（２３）となるガラス管（２０）の外周部に、個々に適宜の間隔をおいて絶縁しながら複数個の加速電極（２４−１、２４−２、・・・・・・２４−ｎ）を配設してイオン加速部（２５）を形成し、前記イオン発生源室（２２）を形成したガラス管（２０）の外周部に、このイオン発生源室内（２２）の気体を高周波によりイオン化する高周波コイル（２６）を配設する。
　なおこのイオン発生源室（２２）は電極（２７）および図示されない気体供給源からこの室に気体を導くパイプ（２８）を有している。また（２９）は石英ガラス管（２０）の絞られた外周部に取り付けられてこのガラス管（２０）を支持するとともにイオン引出し電極をかねるものである。
　以上のように１箇の一端閉口の石英ガラス管の任意の位置の径を絞り込んでこの位置より一方側をイオン発生源室、この位置より他方側をこのイオン発生源室で生じたイオンを加速する加速部の加速管にそれぞれ形成する本願装置は・・・・・。さらに前記管は気密性の部材を用いているので、真空漏れがなく加速部から安定な高エネルギーを有する荷電粒子を得ることが可能になる。
　なお、本考案は詳細な説明の項で、高周波によりイオン生成するように記述したが、これに限定せず、イオン源室に少なくとも２つの放電電極を配設し、この電極間に放電させてイオンを生ずるようにさせてもよい。」（明細書３頁１６行〜５頁１７行）
　
（３）原審における拒絶査定の理由に引用された、本願の特許出願前に頒布された刊行物である特開昭６０−１４６４３８号公報（以下、「
引用刊行物３
「２．特許請求の範囲
（１）ターゲット上の一点にレーザービームを収束させ、このターゲットと対向させてイオン引出し電極を配置したことを特徴とするイオンビーム発生装置。」（１頁左欄４〜８行）
「イ　産業上の利用分野
　本発明は２次イオン質量分析計（特にイオンマイクロアナライザ）、走査イオンマイクロスコープ、イオンビーム加工或はイオン注入等に用いられる鮮鋭に収束されたイオンビームを発生する装置に関する。」（１頁左欄１４〜１９行）
「ニ　構成
　本発明イオン源装置は目的のイオン種の元素を含むターゲットをレーザービームで照射し、レーザービームの照射点からイオンを発生させる点に特徴を有する。
　レーザービームは容易に数μｍのスポット径に収束させることができ、その場合の収束点のエネルギー密度はきわめて高いものになるので、ターゲットを構成している物質は直ちに気化原子化し、更に相当部分の原子はイオン化してレーザービーム照射点にはプラズマが形成される。そこでイオン引出し電極を配置してこのプラズマからイオンを引出すことによりイオンビームを得るものである。」（２頁左上欄６〜１９行）
「ホ　実施例
　図は本発明の一実施例装置を示す。１はターゲットで円筒形であり、回転せしめられると共に軸方向に送られるようになっている。ターゲット１の表面には目的とするイオン種の元素の層が蒸着によって形成してある。この層は元素の単体で形成されていることが望ましいが、化合物或は合金のような混合物でもよいのである。２はレーザーで例えばＮｄ−ＹＡＧレーザーが用いられる。３はレーザービームをターゲット１表面の一点に収束させるレンズで、レーザービームの収束点の径を０−５μｍ程度まで小さくすることも可能である。そしてターゲット表面のレーザービーム照射点のエネルギー密度は約１０１１Ｗ／ｃｍ２と云った高密度にすることも比較的容易である。４はターゲット１と対向させて配置したイオン引出し及び加速電極であり、５はマスフイルタで目的のイオン種のみを通過させる。６はイオンレンズであり、試料７上にイオンビームを収束させる。ターゲット１の表面はレーザービームの照射点で蒸発して消耗して行くから回転させると共に軸方向に送ってレーザービーム照射点がターゲット表面を螺旋状に移動して行くようになっている。」（２頁左上欄２０行〜２頁左下欄２行）
　
３　当審の判断 
（１）対比 
　本願発明１と上記引用発明１とを対比する。
ア　まず、引用発明１における「プラズマフオーカスイオン源（２２）」、「高エネルギー加速部（１４）」、「アパーチャー（９）」及び「正イオン（２１）を直接高エネルギー加速部（１４）で加速し容易に大電流を供給することができる加速器」のそれぞれが、本願発明１の「プラズマ発生源」、「イオン線形加速器」、「イオン入射口」及び「イオン加速装置」のそれぞれに相当することは、明らかである。
　
イ　また、引用発明１が、プラズマフオーカスイオン源（２２）と高エネルギー加速部（１４）とを収容する加速器の容器（１）を備えていることは、引用刊行物１の第１図の記載から明らかであり、しかも、前記プラズマフオーカスイオン源（２２）が加速器の容器（１）の初段部に収容されていることから、引用発明１の「プラズマフオーカスイオン源（２２）を収容する加速器の容器（１）の初段部」と、本願発明１の「前記プラズマ発生源から発生したプラズマよりイオンを引き出すための真空容器」とは、引用発明１の前記「加速器の容器（１）の初段部」が真空であるか否かが明確でない点を除いて、ともに「プラズマ発生源から発生したプラズマよりイオンを得るための容器」である点で共通する。
　
ウ　そして、引用発明１においては、プラズマフオーカスイオン源（２２）と、前記プラズマフオーカスイオン源（２２）を収容する加速器の容器（１）の初段部と、高エネルギー加速部（１４）とが直列に接続されていること、及び、前記プラズマフオーカスイオン源（２２）を収容する加速器の容器（１）の初段部が高エネルギー加速部（１４）のアパーチャー（９）に近接して取り付けられていることは、引用刊行物１の第１図の記載から明らかであるから、本願発明１の「プラズマ発生源と、前記プラズマ発生源から発生したプラズマよりイオンを得るための容器と、イオン線形加速器とが直列に接続され」及び「前記容器は、該イオン線形加速器のイオン入射口近傍に取り付けられ」の構成に関して、引用発明１と本願発明１の構成が一致しているといえる。
　
エ　さらに、引用発明１も、前記プラズマフオーカスイオン源（２２）を収容する加速器の容器（１）の初段部から前記高エネルギー加速部（１４）に、イオンを直接入射するようにしているから、本願発明１の「前記容器から前記イオン線形加速器に、直接、イオンを入射するようにした」に関しても、引用発明１と本願発明１の構成が一致している。
　
オ　そうすると、本願発明１と引用発明１の両者は、
「プラズマ発生源と、前記プラズマ発生源から発生したプラズマよりイオンを得るための容器と、イオン線形加速器とが直列に接続され、
　前記容器は、該イオン線形加速器のイオン入射口近傍に取り付けられ、
　前記容器から前記イオン線形加速器に、直接、イオンを入射するようにしたイオン加速装置」
である点で一致し、次の点で両者の構成が相違する。
　
相違点１
　
相違点２
　
相違点３
　
（２）相違点についての検討 
ア　相違点１について
　上記引用刊行物３に、「レーザー２からのレーザービームをターゲット１の表面の一点に収束させて照射してプラズマを発生させるイオン源装置を備え、さらに、ターゲット１と対向させて配置したイオン引出し及び加速電極４により、イオン源装置により発生させたプラズマからイオンを引き出すことができるようにしたイオンビーム発生装置」に関する発明が記載されている。
　そして、引用刊行物３に記載のイオンビーム発生装置における前記イオン源装置は、本願発明１の「レーザーを照射してプラズマを発生させるプラズマ発生源」にほかならない。
　さすれば、引用発明１のプラズマフオーカスイオン源（２２）に代えて、プラズマ発生源として前記引用刊行物３に記載の「レーザー２からのレーザービームをターゲット１の表面の一点に収束させて照射してプラズマを発生させるイオン源装置」を採用することにより、相違点１に係る本願発明１の「レーザーを照射してプラズマを発生させるプラズマ発生源」の構成を得ることは、当業者が容易に想到できることである。
　
イ　相違点２について
　上記引用刊行物２に、「高電圧絶縁と真空容器を兼ねた一端閉口の円筒状の石英ガラス管（２０）の任意の位置の径を絞り込み、前記位置より閉口端部までの部分を、内部に導いた気体を電磁波また放電現象によりイオン化するイオン発生源室（２２）に形成し、また、前記位置より開口端部までの部分を、加速管（２３）となる外周部にそれぞれ所定電圧を印加する複数個の加速電極（２４−１、２４−２、・・・・・・２４−ｎ）を配設して前記イオン発生源室（２２）内に生ずるイオンを加速するイオン加速部（２５）に形成し、前記イオン発生源室（２２）を形成したガラス管（２０）の外周部に、前記イオン発生源室内（２２）の気体を高周波によりイオン化する高周波コイル（２６）を配設してなる荷電粒子加速器において、石英ガラス管（２０）を支持するとともにイオン引出し電極をかねる電極（２９）が前記ガラス管（２０）の絞られた外周部に取り付けられている荷電粒子加速器」に関する発明が記載されている。
　そして、引用刊行物２に記載の発明では、真空容器を兼ねた一端閉口の円筒状の石英ガラス管（２０）で形成されたイオン発生源室（２２）の前記石英ガラス管（２０）を支持するとともに、イオン引出し電極をかねる電極（２９）が、前記ガラス管（２０）の絞られた外周部に取り付けられており、しかも、前記電極（２９）が前記イオン発生源室（２２）内に生ずるイオンを引出す役割を担っていることは明らかであることから、引用刊行物２に記載の発明における前記「イオン引出し電極をかねる電極（２９）がガラス管（２０）の絞られた外周部に取り付けられているところの、真空容器を兼ねた一端閉口の円筒状の石英ガラス管（２０）」が、本願発明１の「イオンを引き出すための真空容器」に相当する。
　さすれば、プラズマ発生源から発生したプラズマよりイオンを得るための容器として、引用発明１の「プラズマフオーカスイオン源（２２）を収容する加速器の容器（１）の初段部」に対して、引用刊行物２に記載の前記「イオン引出し電極をかねる電極（２９）がガラス管（２０）の絞られた外周部に取り付けられているところの、真空容器を兼ねた一端閉口の円筒状の石英ガラス管（２０）」を採用することにより、相違点２に係る本願発明１の前記「プラズマよりイオンを引き出すための真空容器」とすることは、当業者が容易に想到することができたものである。
　
ウ　相違点３について
　上記引用刊行物３には、上記「ア　相違点１について」欄において前述したように、「レーザー２からのレーザービームをターゲット１の表面の一点に収束させて照射してプラズマを発生させるイオン源装置を備え、さらに、ターゲット１と対向させて配置したイオン引出し及び加速電極４により、イオン源装置により発生させたプラズマからイオンを引き出すことができるようにしたイオンビーム発生装置」に関する発明が記載されている。
　また、引用刊行物２にも、上記「イ　相違点２について」欄において前述したように、「高電圧絶縁と真空容器を兼ねた一端閉口の円筒状の石英ガラス管（２０）の任意の位置の径を絞り込み、前記位置より閉口端部までの部分を、内部に導いた気体を電磁波また放電現象によりイオン化するイオン発生源室（２２）に形成し、また、前記位置より開口端部までの部分を、加速管（２３）となる外周部にそれぞれ所定電圧を印加する複数個の加速電極（２４−１、２４−２、・・・・・・２４−ｎ）を配設して前記イオン発生源室（２２）内に生ずるイオンを加速するイオン加速部（２５）に形成し、前記イオン発生源室（２２）を形成したガラス管（２０）の外周部に、前記イオン発生源室内（２２）の気体を高周波によりイオン化する高周波コイル（２６）を配設してなる荷電粒子加速器において、石英ガラス管（２０）を支持するとともにイオン引出し電極をかねる電極（２９）が前記ガラス管（２０）の絞られた外周部に取り付けられている荷電粒子加速器」に関する発明が記載されている。
　かかる引用刊行物３及び引用刊行物２に記載されているように、イオンビーム発生装置、荷電粒子加速器等の真空容器及びイオン線形加速器を具備する装置がイオンを引出すための引出し電極を真空容器に備えることは、本願特許出願時における周知技術である。
　そして、真空容器及びイオン線形加速器を具備する装置がイオンを引出すための引出し電極を備える以上、前記引出し電極に所望の電圧を印加するための電源をも備えているのは当然のことであるから、真空容器及びイオン線形加速器を具備する装置が真空容器をイオン線形加速器に対して所望の電圧に昇圧する高圧電源を備えることも、本願特許出願時における周知技術であるといえる。
　さすれば、引用発明１に、前記「真空容器及びイオン線形加速器を具備する装置が真空容器をイオン線形加速器に対して所望の電圧に昇圧する高圧電源を備えること」の周知技術を適用することにより、相違点３に係る本願発明１の「前記真空容器をイオン線形加速器に対して所望の電圧に昇圧する高圧電源」を備えるようにすることは、当業者が容易に想到できることである。
　
　そして、本願発明１の奏する作用効果は、引用発明１、及び引用刊行物２〜引用刊行物３に記載された発明ないし周知技術から予測できる範囲内のものであって、格別のものということができない。
　
（３）まとめ 
　以上のとおりであるから、本願発明１は、本願特許出願前に当業者が上記引用発明１、及び引用刊行物２〜引用刊行物３に記載された発明ないし周知技術に基いて容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび 
　以上のとおり、請求項１に係る本願発明１は、本願特許出願前に当業者が上記引用発明１、及び引用刊行物２〜引用刊行物３に記載された発明ないし周知技術に基いて容易に発明をすることができたものであり、本願発明１は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は、拒絶されるべきである。
　よって、結論のとおり審決する。