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　平成　９年特許願第５２９３４６号「非汚染性本体を有する腐食性流体内の流量計」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年　８月２１日国際公開、ＷＯ９７／３０３３３、平成１２年　８月１５日国内公表、特表２０００−５１０５７５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、１９９７年１月２２日（パリ条約による優先権主張外国庁受理１９９６年２月１５日、米国）を国際出願日とする出願であって、平成１８年２月２２日付け（発送日：平成１８年２月２８日）で拒絶査定がされ、これに対し、同年５月２６日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同日付けで手続補正がなされたものである。
２．平成１８年５月２６日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
平成１８年５月２６日付けの手続補正を却下する。
［理由］
（１） 補正後の本願発明
　補正により特許請求の範囲の請求項１は、
「流体流路にインライン接続されるように適合した化学的に不活性な流量計において、（ａ）化学的に不活性なハウジングを有し、該ハウジングは、流体の流れ用通路を形成するように前記ハウジングを介して延びる第１の所定の横断面積の縦穴を有し、該通路の入口端と出口端は、流体流路にインライン接続するために適合するものであり、更に、前記ハウジングは、それぞれ前記ハウジングの外部表面から前記ハウジングの縦穴に交差してそれぞれ延びる第１及び第２の離間した個々のキャビティを有し、前記縦穴は、前記第１及び第２のキャビティ間に配置されたくぼみ部分を有し、前記くぼみ部分は、前記第１の所定の横断面積よりも小さい第２の横断面積を有する第２の穴を有し、（ｂ）それぞれ前記第１及び第２のキャビティ内に含まれる化学的に不活性な可撓性のある膜を前記ハウジングの縦穴に近接して有し、これにより、前記第１及び第２のキャビティの内部が、流体用導管内に流れる流体から隔離され、各膜は、第１及び第２の対向する主面を有し、前記第１の主面は、流体流路を流れる流体にさらされ、（ｃ）前記第１のキャビティ内に設けられ、流路内の第１の圧力を検知するための第１の検知手段を有し、（ｄ）前記第２のキャビティ内に設けられ、流路内の第２の圧力を検知するための第２の検知手段を有し、（ｅ）ハウジングのキャビティ内の位置で前記第１及び第２の検知手段を固定させるための押さえ付け手段を有し、（ｆ）前記ハウジング内に含まれ、かつ、第１及び第２の検知手段に接続される電子回路を有し、前記電子回路は、穴内の検知された第１及び第２の圧力に比例する信号を受け取ることを特徴とする流量計。」と補正された。
　この補正は、請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「ハウジング」について「それぞれ前記第１及び第２のキャビティ内に含まれる化学的に不活性な可撓性のある膜を前記ハウジングの縦穴に近接して有し、これにより、前記第１及び第２のキャビティの内部が、流体用導管内に流れる流体から隔離され、各膜は、第１及び第２の対向する主面を有し、前記第１の主面は、流体流路を流れる流体にさらされる」との限定を付加するものであって、特許法第１７条の２第４項２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるかについて以下に検討する。
（２） 引用例記載の発明・事項
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先権主張の日前である平成６年１０月２８日に頒布された刊行物である「実願平5−17641号（実開平6−77236号）のＣＤ−ＲＯＭ 」（以下「引用例」という。）には、次の事項が記載されている。
［１］本考案は、流量計測装置、特に、基板処理装置に供給される基板処理液の流量を計測するための基板処理液の流量計測装置に関する。（段落【０００１】）
［２］半導体基板や液晶用ガラス基板等の処理対象基板の表面を洗浄する場合に、浸漬型の基板処理装置が用いられる。この基板処理装置は、基板を複数枚浸漬する基板浸漬槽と、基板浸漬槽に基板処理液を供給する処理液供給部とを備えている。処理液供給部には、薬液と純水とを混合する薬液純水混合装置と、薬液及び純水を一定流量に制御して供給する薬液及び純水供給装置とが設けられている。この供給装置の配管途中には、薬液や純水の流量を計測するための流量計測装置が接続されている。（段落【０００２】）
［３］各薬液導入弁２０A 〜２０E には、純水供給管１８に所定の薬液を供給するための薬液圧送部２１が連結されている。この薬液導入弁２０A 〜２０E には、空気圧制御により開度が調節可能な絞り弁３１が設けられている。この絞り弁３１と薬液圧送部２１との間にも流量計２８が配置されている。（段落【００１５】）
［４］流量計２８は、図４に示すように、ＰＶＤＦ等の樹脂製の本体ボディ３２を有している。本体ボディ３２の図４左右には、継手部３３，３３が突出している。本体ボディ３２には、左右の継手部３３，３３に連なる流路３４が形成されている。流路３４の中央にはのど部３５が形成されている。また流路３４には、のど部３５に向かって内径が徐々に縮小する絞り部３６と、のど部３５から内径が徐々に拡大する拡がり部３７とが形成されている。（段落【００１６】、図４）
［５］本体ボディ３２には、流路３４に対して直交するように、かつのど部３５及び絞り部３６の上流側に連通するように、センサ取付け用の孔３２ａ，３２ｂが形成されている。これらの孔３２ａ，３２ｂには、それぞれ第１圧力センサ３８及び第２圧力センサ３９が流路３４に臨むように配置されている。両圧力センサ３８，３９は半導体製であり、表面にＳｉＣ等の耐薬品コーティングがなされている。孔３２ａ，３２ｂの一部にはねじが形成されており、このねじに螺合する押さえねじ４０，４１により各圧力センサ３８，３９は固定されている。なお、この孔３２ａ，３２ｂにはＯリング４２，４３が配置され、圧力センサ取付部分を液密に封止している。（段落【００１７】）
［６］圧力センサ３８，３９は、それぞれ増幅部４４，４５に接続されている。増幅部４４，４５は圧力センサ３８，３９で検出した圧力信号を増幅する。増幅部４４，４５は、演算部４６に接続されている。演算部４６は、増幅部で増幅された圧力信号の差を演算する。そしてその差圧信号に基づいて純水や薬液の流量を演算する。ここでは流量Ｑの演算を公知の下記式により行う。
　Ｑ＝（α／（π／４）ｄ2 ）（２ΔＰ／ρ）1/2 
　ここで、αは流量係数、ｄはのど部３５の直径、ΔＰは差圧、ρは液体の密度である。（段落【００１８】、【００１９】）
　ここで、引用例の流量計も半導体基板や液晶用ガラス基板の処理液の流量を測定するものである（上記［１］、［２］）から、化学的に不活性なものであり、また、この流量計は薬液供給装置の配管途中に配置されている（上記［２］、［３］）から、流体流路にインライン接続されているものである。また、流量計の本体ボデイとして用いられているＰＶＤＦ（上記［４］）はフッ化ビニリデン樹脂のことであり、該樹脂は耐薬品性と耐候性に優れた特性を有するフッ素系樹脂として周知なものである。
してみると、引用例には、「流体流路にインライン接続されるように適合した化学的に不活性な流量計であって、化学的に不活性な本体ボデイ（３２）を有し、該本体ボデイは、流路（３４）が形成されるように本体ボデイを介して延びる第１の所定の横断面積の流路を有し、該流路の入口端と出口端（３３）は、流体流路にインライン接続するために適合しており、更に、前記本体ボデイは、それぞれ該ボデイの外部表面から該ボデイの流路に対して直交してそれぞれ延びるセンサ取付け用の孔（３２ａ、３２ｂ）を有し、該流路は、前記第１の所定の横断面積よりも小さい第２の横断面積を有するのど部（３５）を有し、センサ取付け用の孔（３２ａ、３２ｂ）内にそれぞれ第１圧力センサ（３８）、第２圧力センサ（３９）を有し、センサ取付け用の孔内の位置で該第１、第２圧力センサを固定させるための押さえねじ（４０、４１）を有し、第１、第２の圧力センサに接続される増幅部（４４、４５）及び演算部（４６）を有し、該演算部においては第１、第２圧力センサにより測定された圧力に比例した信号が入力されるものであり、第１、第２圧力センサにはその流路に望む表面にＳｉＣ等の耐薬品コーティングがなされており、また、Ｏリング（４２、４３）によりセンサ取付け用の孔の内部が流体用導管内に流れる流体から隔離され、該コーテイングのうち流路側の面は、流体流路を流れる流体にさらされている流量計。」についての発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
（３） 対比
　本願補正発明と引用発明とを対比するに、引用発明における「本体ボデイ」、「流路」、「センサ取付け用の孔」、「のど部」、「コーティング」、「圧力センサ」、「押さえねじ」、「増幅器、演算器」は、本願補正発明の「ハウジング」、「縦穴」、「キャビティ」、「くぼみ部分」、「膜」、「圧力を検知するための検知手段」、「押さえつけ手段」、「電子回路」にそれぞれ相当する。
　してみると、両者は「流体流路にインライン接続されるように適合した化学的に不活性な流量計において、化学的に不活性なハウジングを有し、該ハウジングは、流体の流れ用通路を形成するように前記ハウジングを介して延びる第１の所定の横断面積の縦穴を有し、該通路の入口端と出口端は、流体流路にインライン接続するために適合するものであり、更に、前記ハウジングは、それぞれ前記ハウジングの外部表面から前記ハウジングの縦穴に交差してそれぞれ延びる第１及び第２の離間した個々のキャビティを有し、前記縦穴は、くぼみ部分を有し、前記くぼみ部分は、前記第１の所定の横断面積よりも小さい第２の横断面積を有する第２の穴を有し、それぞれ前記第１及び第２のキャビティ内に含まれる化学的に不活性な膜を前記ハウジングの縦穴に近接して有し、これにより、前記第１及び第２のキャビティの内部が、流体用導管内に流れる流体から隔離され、各膜は、第１及び第２の対向する主面を有し、前記第１の主面は、流体流路を流れる流体にさらされ、前記第１のキャビティ内に設けられ、流路内の第１の圧力を検知するための第１の検知手段を有し、前記第２のキャビティ内に設けられ、流路内の第２の圧力を検知するための第２の検知手段を有し、ハウジングのキャビティ内の位置で前記第１及び第２の検知手段を固定させるための押さえ付け手段を有し、第１及び第２の検知手段に接続される電子回路を有し、前記電子回路は、穴内の検知された第１及び第２の圧力に比例する信号を受け取ることを特徴とする流量計。」で一致し、以下の点で相違する。
［相違点１］くぼみ部分に関して、本願補正発明が２つのキャビティの間に設けられているのに対して、引用発明では一方のキャビティに設けられている点。
［相違点２］化学的に不活性な保護膜に関して、本願補正発明が可撓性があるとしているのに対して、引用発明では圧力センサに施されたＳｉＣコーティングであり、可撓性について明示していない点。
［相違点３］電子回路に関して、本願補正発明では流量計のハウジング内に設けられているのに対して、引用発明では、ハウジング外に設けられている点。
（４） 判断
［相違点１］について検討する。
くぼみ部分をそれぞれの圧力検知手段が設けられるキャビティの間に設けることは、この種の流量計において周知な事項である（例えば、実願平２−９４９５３号（実開平４−５３５２０号公報）のマイクロフィルム（平成４年５月７日特許庁発行）（特に第１図及びこれに関する詳細な説明の箇所参照のこと）、実願平３−３６４８２号（実開平４−１２４４２１号公報）のマイクロフィルム（平成４年１１月１２日特許庁発行）（特に図２及びこれに関する詳細な説明の箇所参照のこと））から、くぼみ部分を圧力検知手段が設けられるキャビティの間に設けることは当業者ならば容易に為し得たことである。
［相違点２］について検討する。
腐食性流体と圧力センサー部とを隔離するための保護膜としてポリテトラフロオロエチレン等の可撓性膜を用いることも、この種の腐食性流体の測定において周知な事項である（例えば、特開平６−１０９５７０号公報（特に、保護用薄膜３についての記載を参照のこと）、特開平７−１５９２６３号公報（特に、シート１７についての記載を参照のこと））から、保護膜を可撓性のあるものとすることは当業者ならば容易に為し得たことである。
［相違点３］について検討する。
電子回路部を流量計のハウジング内に設けることも、この種の流量計において周知な事項である（例えば、実願平１−８０７９０号（実開平３−２１７３５号公報）のマイクロフィルム（平成３年３月５日特許庁発行）（特に、第３図に示された補正回路部３０についての記載を参照のこと）、特開平７−３１１１１０号公報（特に、図１２に示された信号処理部１０６を参照のこと）から、電子回路部をハウジング内に設けることも当業者ならば容易に為し得たことである。
　そして、本願補正発明の作用効果も、引用発明及び周知技術から当業者が予測可能なものであって格別のものではない。
　したがって、本願補正発明は、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
（５） むすび
　以上のとおり、本願補正は、特許法第１７条の２第５項で準用する同法１２６条５項の規定に違反するものであるから、同法１５９条で準用する同法５３条１項の規定により却下すべきものである。
３．本願発明について
　平成１８年５月２６日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成１０年８月１７日付けの補正書の翻訳文提出書の請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
　「流体流路にインライン接続されるように適合した化学的に不活性な流量計において、（ａ）化学的に不活性なハウジングを有し、該ハウジングは、流体の流れ用通路を形成するように前記ハウジングを介して延びる第１の所定の横断面積の縦穴を有し、該通路の入口端と出口端は、流体流路にインライン接続するために適合するものであり、更に、前記ハウジングは、それぞれ前記ハウジングの外部表面から前記ハウジングの縦穴に交差してそれぞれ延びる第１及び第２の離間した個々のキャビティを有し、前記縦穴は、前記第１及び第２のキャビティ間に配置されたくぼみ部分を有し、前記くぼみ部分は、前記第１の所定の横断面積よりも小さい第２の横断面積を有する第２の穴を有し、（ｂ）前記第１のキャビティ内に設けられ、流路内の第１の圧力を検知するための第１の検知手段を有し、（ｃ）前記第２のキャビティ内に設けられ、流路内の第２の圧力を検知するための第２の検知手段を有し、（ｄ）ハウジングのキャビティ内の位置で前記第１及び第２の検知手段を固定させるための押さえ付け手段を有し、（ｅ）前記ハウジング内に含まれ、かつ、第１及び第２の検知手段に接続される電子回路を有し、前記電子回路は、穴内の検知された第１及び第２の圧力に比例する信号を受け取ることを特徴とする流量計。」
（１） 引用例記載の発明・事項
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例記載の発明・事項は、前記２．（２）に記載したとおりである。
（２） 対比・判断
　本願発明は、前記２．で検討した本願補正発明から「ハウジング」についての限定事項である「それぞれ前記第１及び第２のキャビティ内に含まれる化学的に不活性な可撓性のある膜を前記ハウジングの縦穴に近接して有し、これにより、前記第１及び第２のキャビティの内部が、流体用導管内に流れる流体から隔離され、各膜は、第１及び第２の対向する主面を有し、前記第１の主面は、流体流路を流れる流体にさらされる」との発明特定事項を省いたものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、さらに他の発明特定事項を付加したものに相当する本願補正発明が、前記２．（４）に記載したとおり、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、引用発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
（３） むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。