【事件の表示】
　特願２０００−１７２２３３「エキシマレーザ装置用磁気軸受装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年１２月２１日出願公開、特開２００１−３５２１１４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本願は、平成１２年６月８日の出願であって、平成１８年４月２０日に手続補正がなされ、その後同年５月１５日付で拒絶査定がなされ、これに対し、同年６月２２日に拒絶査定不服審判請求がなされるとともに、同年７月１９日に手続補正がなされたものである。
　　  
ＩＩ．平成１８年７月１９日付の手続補正についての補正却下の決定 
［補正却下の決定の結論］ 
　平成１８年７月１９日付の手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。 
　　 
［理由］ 
理由１．補正の目的について
１．補正前後の請求項 
１．１．補正前請求項 
　本件補正前の平成１８年４月２０日付の手続補正により補正された請求項１は、次のとおりである（以下、「補正前請求項１」という。）。 
「【請求項１】　レーザガスを封入するレーザ容器内に配置され高速のレーザガス流を作り出す攪拌ファンの回転軸の両端を磁気浮上支持するエキシマレーザ装置用磁気軸受装置であって、
　前記磁気軸受装置は前記攪拌ファンの回転軸に対向して配置され該回転軸を磁気浮上支持する電磁石と該回転軸の位置を検出する位置変位検出センサとを備えた磁気軸受機構本体部と、該位置変位検出センサの出力信号を処理する信号処理回路部と、該信号処理回路部の出力により前記電磁石の励磁電力を制御する励磁電力制御部を具備する構成であり、
　前記信号処理回路部の一部又は全部を前記磁気軸受機構本体部に搭載し、該磁気軸受機構本体部に搭載した信号処理回路部に、前記位置変位検出センサから得られる原信号を予め設定したセンサ検出感度になるように信号処理し、該磁気軸受機構本体部から出力される位置変位検出信号としてはセンサ検出感度に個体差が生じないように調整する信号処理調整機能を持たせたことを特徴とするエキシマレーザ装置用磁気軸受装置。」
　　  
１．２．補正後請求項　 
　本件補正により補正された請求項１及び２は、次のとおりである（以下、これらをそれぞれ「補正後請求項１」などという。）。 
「【請求項１】レーザガスを封入するレーザ容器内に配置され高速のレーザガス流を作り出す攪拌ファンの回転軸の両端を磁気浮上支持するエキシマレーザ装置用磁気軸受装置であって、
　前記磁気軸受装置は前記攪拌ファンの回転軸の両端部に対向して配置され該回転軸を磁気浮上支持する電磁石と該回転軸の位置を検出する位置変位検出センサとを備えた磁気軸受機構本体部と、該位置変位検出センサの出力信号を処理する信号処理回路部と、該信号処理回路部の出力により前記電磁石の励磁電力を制御する励磁電力制御部を具備する構成であり、
　前記信号処理回路部と前記励磁電力制御部を分離し、
　前記信号処理回路部を前記磁気軸受機構本体部に搭載すると共に、前記励磁電力制御部は前記磁気軸受機構本体部の外に配置するように構成し、
　前記信号処理回路部は、プリアンプ部と、加算回路部と、オフセット出力部と、ゲイン調整回路部を備え、前記磁気軸受機構本体部の前記位置変位検出センサから得られる原位置検出出力信号を前記プリアンプ部で処理しやすい信号レベルに調整し、前記加算回路部で前記オフセット出力部からのオフセット調整信号を加算してオフセット調整し、前記ゲイン調整回路部で前記磁気軸受機構本体部から出力される位置変位検出信号としてセンサ検出感度に個体差が生じないよう予め設定したセンサ検出感度レベルに調整する信号処理調整機能を備えたことを特徴とするエキシマレーザ装置用磁気軸受装置。
　【請求項２】請求項１に記載のエキシマレーザ装置用磁気軸受装置において、
　前記信号処理回路部に電圧／電流変換回路を、前記励磁電力制御部に電流／電圧変換回路を設け、
　前記信号処理回路部では前記ゲイン調整回路部からの位置変位検出信号を電圧／電流変換回路で電流位置変位検出信号に変換して前記励磁電力制御部に出力し、該励磁電力制御部では該電流位置変位検出信号を前記電流／電圧変換回路で電圧位置変位検出信号に変換することを特徴とするエキシマレーザ装置用磁気軸受装置。」
　　
　なお、補正後請求項１には「固体差」と記載されているが、個々の位置変位検出センサのセンサ検出感度のばらつき（個体差）を意図することが明らかであるから、上記のように認定した。
　
２．判断
　本件補正が、平成１４年改正前特許法第１７条の２第４項で規定する、請求項の削除（第１号）、誤記の訂正（第３号）、明りょうでない記載の釈明（第４号）のいずれを目的とするものにも該当しないことは明らかである。
　そこで、本件補正が、同法第１７条の２第４項第２号で規定する、「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当するか否かについて検討する。同項第２号の括弧書きは、「第３６条第５項の規定により請求項に記載した発明を特定するために必要な事項を限定するものであつて、その
補正前の当該請求項
補正後の当該請求項
　　
　そこで、補正前の請求項と補正後の請求項とが、一対一又はこれに準ずるような対応関係に立つものであるか否かについて検討する。
　補正後請求項１は、補正前請求項１を補正の対象として、当該請求項を限定するものであるから、補正後請求項１に関する本件補正の目的は、特許法第１７条の２第４項第２号において規定する「特許請求の範囲の減縮」に該当する。
　これに対し、補正後請求項２も補正前請求項１を補正の対象とするものと解されるが、補正前請求項１が既に補正後請求項１の補正の対象として選択されているから、補正後請求項２に関して一対一の対応関係に立つ補正前の請求項は存在しない。
　しかも、補正後請求項１及び２は、補正前請求項１において択一的に記載された構成要件をそれぞれ限定して補正後請求項１及び２としたものでもないので、補正後請求項１及び２が補正前請求項１と一対一に準ずるような対応関係にあるともいえない。
　したがって、請求項２を追加する本件補正は、特許法第１７条の２第４項第２号で規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当するとはいえない。
　　
３．理由１のまとめ 
　以上のとおり、本件補正は、平成１４年改正前特許法第１７条の２第４項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。 
　　
　なお、仮に上記本件補正が同法第１７条の２第４項第２号に規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当すると認められたとしても、以下に示す理由２．のとおり、本件補正は、同法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。  
　　
理由２．独立特許要件について
１．本願補正発明
　本件補正により補正された請求項１に係る発明（以下、「本願補正発明」という。）は、上記理由１．の１．２．の【請求項１】に記載されたとおりのものである。
　　
２．引用発明  
２．１．引用刊行物１ 
　本願の出願前に頒布された刊行物であって、原査定の拒絶の理由に引用された特開２０００−１３３８６０号公報（以下、「引用刊行物１」という。）には、図面と共に以下の事項が記載されている。  
　　
（１）「【特許請求の範囲】
【請求項１】  気体を循環させるファンと、
前記ファンに回転力を伝達する回転軸と、
前記回転軸を回転させるモータと、
前記回転軸に固定された軸受ロータ部及び該軸受ロータ部を電磁力により支持する軸受コイルを含む軸受手段と、
前記軸受ロータ部と前記軸受コイルとの間に配設され、前記軸受コイルを前記気体から隔離する隔壁とを備え、
前記隔壁は、少なくとも気体側の表面が前記気体と非反応性の材料で形成されており、
前記軸受ロータ部の表面が前記気体と非反応性の材料で被覆されていることを特徴とする気体循環装置。」
　　
（２）「【０００８】更に、本発明は、上記本発明の気体循環装置と、前記気体循環装置により循環される気体を媒質としてレーザを発振させるレーザ発振部とを備えるレーザ発振装置を提供することにより、前記目的を達成する。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明に好適な実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明のレーザ発振装置の一実施形態を表す概略構成図である。
【００１０】本実施形態のレーザ発振装置は、エキシマレーザ発振装置であり、半導体製造におけるマスクの形成等に使用される。このレーザ発振装置は、図１に示すように、媒質である反応気体を収容する放電チャンバ１と、放電チャンバ１内の反応気体を所定の温度に維持するためのヒートエクスチェンジャ２及びブロワ３と、反応気体を予備放電後電信ビーム励起し、分布反転させるとともに光を発生させ発振させる、アノード４ａ及びカソード４ｂの各極と１対の誘電体４ｃとを含むレーザ発振部４と、放電チャンバ１に連設され放電チャンバ１の外壁１ａとともに反応気体を内側に収容する隔壁６と備えている。
【００１１】図２は、本発明の気体循環装置の第１の実施形態であるブロワ３の構成を示す断面図である。この図２に示すように、本実施形態の気体循環装置（ブロワ）３は、周面に略放射状に延設された複数枚のファン翼３１ａを有するファン３１と、このファン３１に連接固定された回転軸３２と、回転軸３２を支持する５軸制御型の磁気軸受３３と、タッチダウンが発生した場合に磁気軸受３３に代わって回転軸３２を支持する保護軸受３４と、回転軸３２を回転するモータ３５とを備えている。
【００１２】磁気軸受３３は、回転軸３２をラジアル方向に支持するラジアル方向磁気軸受（４軸）と、回転軸３２をスラスト方向に支持するスラスト磁気軸受（１軸）とを備えている。ラジアル方向磁気軸受は、磁性材料よりなり回転軸３２に一体回転するように配設されたラジアル軸受ロータ部３３ａ、ラジアル軸受ロータ部３３ａに離間対向し励磁電流を供給されてラジアル軸受ロータ部３３ａに対して半径方向の電磁力を発生させるラジアル軸受コイル３３ｂと、回転軸３２と一体回転するように配設された半径方向センサロータ部３３ｃと、半径方向センサロータ部３３ｃに離間対向し半径方向センサロータ部３３ｃを検知して回転軸３２の半径方向位置に対応する信号を出力する半径方向センサステータ部３３ｄとを備えている。
【００１３】図３は、ラジアル軸受ロータ部３３ａを含む本実施形態のブロワ３の要部断面図である。ラジアル軸受ロータ部３３ａは、回転軸３２に、ファン３１を間にしてこのファン３１に対して回転軸３２の軸線方向両側それぞれに配設されている。図３に示すように、ラジアル軸受ロータ部３３ａにおいては、回転軸３２は他の部分よりも小さい径の小径部３２ａとなっており、この小径部３２ａに、中央に孔を有する円板状の珪素鋼板（又は永久磁石）３３ｅが軸方向に積み重ねられた状態で挿通固定されてなっている。そしてこれらの珪素鋼板３３ｅに、カバー３３ｆが装着されている。このカバー３３ｆは、非磁性材料に非反応性の材料をコーティングしたもの、または非反応性の材料よりなっている。非反応性の材料とは、放電チャンバ１内の反応気体と反応しない材料のことをいう。カバー３３ｆは、ラジアル軸受ロータ部３３ａに加えて、後述する半径方向センサロータ部３３ｃ及びモータ３５のロータ部３５ａをともに覆っている。
【００１４】そして、図２に示すように、これらのラジアル軸受ロータ部３３ａそれぞれに対向してラジアル軸受コイル３３ｂが配設されている。各ラジアル軸受コイル３３ｂは、互いに直交するように２対配置されており、各対は、ラジアル軸受ロータ部３３ａを挟んで対向配置されている。各ラジアル軸受コイル３３ｂとラジアル軸受ロータ部３３ａとの間には隔壁６が介在配置されている。
【００１５】半径方向センサロータ部３３ｃは、回転軸３２の２つのラジアル軸受ロータ部３３ａそれぞれよりも端側に配設されており、ラジアル軸受ロータ部３３ａとともにカバー３３ｆにより被覆されている。半径方向センサステータ部３３ｄは、半径方向センサロータ部３３ｃを挟んで２対ずつ設けられている。各半径方向センサステータ部３３ｄと半径方向センサロータ部３３ｃとの間には隔壁６が介在配置されている。半径方向センサロータ部３３ｃのうちの一方、及び半径方向センサロータ部３３ｃに対応する半径方向センサステータ部３３ｄは、それぞれ、軸方向センサロータ部及び軸方向センサステータ部を兼ねている。
【００１６】そして、ラジアル軸受コイル３３ｂに励磁電流が供給されることによって、回転軸３２が磁気浮上される。この励磁電流は、磁気浮上時に、半径方向センサステータ部３３ｄからの位置検知信号に応じて制御され、これによって回転軸３２が半径方向の所定位置に保持されるようになっている。
【００１７】スラスト方向磁気軸受は、磁性材料よりなり回転軸３２に一体回転するように配設されたスラスト軸受ディスク３３ｇと、スラスト軸受ディスク３３ｇを挟んで互いに対向する１対のスラスト軸受コイル３３ｈを備えており、スラスト軸受コイル３３ｈが励磁電流を供給されてスラスト軸受ディスク３３ｇに対して軸方向の電磁力を発生させ、スラスト軸受ディスク３３ｇを浮上支持する。
【００１８】スラスト軸受ディスク３３ｇは、ファン３１と一方のラジアル軸受ロータ部３３ａとの間において回転軸３２に固定された磁性材料よりなる円板状の金属ディスクを、非磁性材料に非反応性の材料をコーティングしたカバーで被覆してなっている。そして、このスラスト軸受ディスク３３ｇを挟むように、一対のスラスト軸受コイル３３ｈが配置されている。軸受ディスク３３ｇとスラスト軸受コイル３３ｈとの間には隔壁６が介在している。
【００１９】更に、ブロワ３は、半径方向センサステータ部３３ｄの検出信号を基に、ラジアル軸受コイル３３ｂおよびスラスト軸受コイル３３ｈ等の励磁電流をそれぞれフィードバック制御することで回転軸３２を磁気浮上させる磁気軸受制御部（図示せず）を備えている。
【００２０】そして、ラジアル軸受コイル３３ｂ及びスラスト軸受コイル３３ｈに励磁電流が供給されることによって、回転軸３２が磁気浮上される。この励磁電流は、磁気浮上時に、半径方向センサステータ部３３ｄからの位置検知信号に応じて制御され、これによって回転軸３２が半径方向及び軸方向の所定位置に保持されるようになっている。」
　　
（３）図１及び図２からは、ファンを備えたブロアが放電チャンバ内に配置されることが見てとれる。
　　
（４）エキシマレーザ発信装置においては、ファンにより反応気体が循環することにより高速の反応気体の気体流を作り出すといえる。
　　
　よって、これらを総合すると、引用刊行物１には、 
「レーザ発振の媒質である反応気体を収容する放電チャンバ１内に配置され、高速の前記反応気体の気体流を作り出すファン３１に連接固定された回転軸３２の軸線方向両側をそれぞれ磁気浮上保持するエキシマレーザ発振装置の磁気軸受であって、
　前記磁気軸受は、前記ファン３１に連接固定された回転軸３２の軸線方向両側に離間対向して配置された、前記回転軸３２と一体回転するように配設されたラジアル軸受ロータ部３３ａと、励磁電流を供給されて前記ラジアル軸受ロータ部３３ａに対して半径方向の電磁力を発生させるラジアル軸受コイル３３ｂとからなる前記回転軸３２を磁気浮上させて保持するラジアル方向磁気軸受と、
　前記回転軸３２と一体回転するように配設された半径方向センサロータ部３３ｃと、該半径方向センサロータ部３３ｃに離間対向し半径方向センサロータ部３３ｃを検知して前記回転軸３２の半径方向位置に対応する検出信号を出力する半径方向センサステータ部３３ｄと、
を備え、
　前記半径方向センサステータ部３３ｄの前記検出信号を基に、前記ラジアル軸受コイル３３ｂの励磁電流をそれぞれフィードバック制御することで前記回転軸３２を磁気浮上させる磁気軸受制御部を具備する構成である、
エキシマレーザ発振装置の磁気軸受。」
　の発明（以下、「引用発明１」という。）が開示されていると認められる。  
　
２．２．引用刊行物２ 
　本願の出願前に頒布された刊行物であって、原査定の拒絶の理由に引用された特開平５−１４９３３７号公報（以下、「引用刊行物２」という。）には、図面と共に以下の事項が記載されている。  
　　
（１）「【特許請求の範囲】
【請求項１】  浮上保持対象物の浮上位置を検出する位置センサからの検出信号をフィードバックして磁力を制御して、この磁力により前記浮上対象物を保持する磁気軸受を有する構造物と、前記位置センサからの検出信号に対して中心位置調整及び位置フィードバックゲイン調節を行って、前記浮上対象物の固有振動数にチューニングされたフィルタを通過させた後、フィードバックするように構成した磁気軸受制御装置とを具えた磁気軸受装置において、前記磁気軸受制御装置内の制御要素の一部を磁気軸受制御装置外に設置したことを特徴とする磁気軸受装置。」
　　
（２）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、浮上対象物、例えばターボ分子ポンプ、コンプレッサ、タービン、工作機械用スピンドル等の高速回転体に適用する磁気軸受装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】高速回転体を浮上保持する手段として、電磁石を用いた磁気軸受がある。その従来例を図５により説明すると、４が回転体、５ａ、５ｂが同回転体４を回転可能に支持する一対の磁気軸受（ジャーナル軸受）、６ａ、６ｂが上記回転体４の浮上位置を検出する位置センサである。
【０００３】回転体４の浮上位置を位置センサ６ａ、６ｂにより検出し、そのとき得られる検出信号に基づいて磁気軸受５ａ、５ｂに設けた電磁石（図示せず）に流す電流値を決めて、電磁石に発生する磁力の大きさを制御して、回転体４の浮上位置を設定するようにしている。図６は、上記磁気軸受制御装置のブロック図である。同図６において、１が磁気軸受制御装置、２が回転体を有する構造物（例えばケーシング）、３が互換性を制限する部分、７が位置センサ、８が中心位置（オフセット）調整器、９が位置フィードバックゲイン調節器、１０がフィルタ、１１が制御回路、１２が電磁石である。
【０００４】上記中心位置（オフセット）調整器８は、位置センサ７設置時の組立誤差による回転体の浮上保持中心の機械的ずれを、電気的に補正調節するものであり、この調節値は、磁気軸受を持つ機器一品毎に異なる。上記位置フィードバックゲイン調節器９は、位置センサ７の出力電圧値を回転体４の浮上中心からの変位量に換算するものであり、位置センサ７の一点毎の異なる感度を補正する機能を含んでいる。
【０００５】上記フィルタ１０は、磁気軸受の高周波数領域での高ゲイン及び位相遅れによる低減衰能力で発生する、高周波ハンチング（回転体曲げモヒド固有振動）を制振させ、回転安定性を確保するものであり、このフィルタ１０の中心周波数の設定値は、回転体４の固有振動数に合わせるため、磁気軸受を持つ機器一品毎に異なる。
【０００６】上記制御回路１１は、回転体４の浮上中心からの偏差量に対する位置制御と、回転体４の剛体モード固有値の発振を減衰させるべく設計されたゲインと位相を確保できるよう一般的に比例要素、積分要素、微分要素（ＰＩＤ要素）で構成されている。通常、中心位置（オフセット）調整器８、位置フィードバックゲイン調節器９、フィルタ１０、及び制御回路１１は、磁気軸受制御装置１内に組み込まれ、また位置センサ７、及び電磁石１２は、回転体を有する構造物２、２内に組み込まれている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
（１）一般に磁気軸受を有する機器は、回転体を有する構造物と回転体を浮上制御する磁気軸受制御装置との２つのユニツトからなる。勿論、磁気軸受制御装置内には、回転体を高速回転させるためのインバータも含まれている。上記２つのユニツトは、磁気軸受制御用ケーブルとモータ駆動用ケーブルとで接続されている。
（２）磁気軸受制御装置内には、回転体を有する構造物の個性により調整または設定される部分を有する。例えば、位置センサ７設置時の組立誤差による回転体の浮上中心の機械的ずれを補正する中心位置（オフセット）調整器８、位置センサ７の出力電圧値を回転体の浮上中心からの偏差量に換算する位置フィードバックゲイン調節器９、及び回転体の曲げ１次固有値の発振を減衰させるフィルタ１０とがそれに当たる。
【０００８】これらの調節値及び設定値は、回転体を有する構造物一品毎に異なり、磁気軸受制御装置と回転体とを有する構造物は、一対一の組み合わせとなる。
（〜）磁気軸受制御装置と回転体を有する構造物とは、一対一の組み合わせになるため、その組み合わせを変えると、磁気軸受制御が正規の機能を失って、安定回転が保証できなくなる。
（４）この一対一の組み合わせを変更できないこと、即ち、磁気軸受制御装置と回転体を有する構造物との間に互換性がないことは、磁気軸受を有する機器の量産性を著しく低下させる。またアフターサービス上の管理及びトラブルの対応等に対して好ましくない。
【０００９】本発明は前記の問題点に鑑み提案するものであり、その目的とする処は、磁気軸受を有する機器製造時の量産性を向上できる。また磁気軸受制御装置または回転体を有する構造物の故障時、どちらか故障した方の交換または修理で済んで、磁気軸受を有する機器のアフタサービスを簡便化できる磁気軸受装置を提供しようとする点にある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するために、本発明は、浮上保持対象物の浮上位置を検出する位置センサからの検出信号をフィードバックして磁力を制御して、この磁力により前記浮上対象物を保持する磁気軸受を有する構造物と、前記位置センサからの検出信号に対して中心位置調整及び位置フィードバックゲイン調節を行って、前記浮上対象物の固有振動数にチューニングされたフィルタを通過させた後、フィードバックするように構成した磁気軸受制御装置とを具えた磁気軸受装置において、前記磁気軸受制御装置内の制御要素の一部を磁気軸受制御装置外に設置している。
【００１１】
【作用】本発明の磁気軸受装置は前記のように磁気軸受制御装置内の制御要素の一部を磁気軸受制御装置外に設置しており、磁気軸受制御装置と回転体を有する構造物との間の互換性を制限している要因が解消されることになり、磁気軸受装置及び回転体を有する構造物（例えばケーシング）が個別に生産されるようになって、磁気軸受を有する機器製造時の量産性が向上する。また磁気軸受制御装置または回転体を有する構造物の故障時、どちらか故障した方の交換または修理で済んで、磁気軸受を有する機器のアフタサービスが簡便化される。
【００１２】
【実施例】
（第１実施例）次に本発明の磁気軸受装置を図１及び図２に示す第１実施例により説明する。図１の１が磁気軸受制御装置、２が回転体を有する構造物（例えばケーシング）、３が互換性を制限する部分、７が位置センサ、８が中心位置（オフセット）調整器、９が位置フィードバックゲイン調節器、１０がフィルタ、１１が制御回路、１２が電磁石であり、以上の図１は、互換性を制限している部分３を、回転体を有する構造物（例えばケーシング）２内に組み込んだ場合のブロツク線図を示している。
【００１３】図２は、同磁気軸受装置をターボ分子ポンプに適用した適用例である。位置センサ７の出力を、中心位置（オフセット）調整器（位置センサ７の設置による回転体４の軸中心位置ずれを補正する中心位置調整器）８、及び位置センサ７自身が持つ出力値のバラツキを補正するフィードバックゲイン調節器９により調整し、これを回転体４の固有振動数にチユーニングされたフィルタ１０を通過させた後、ＰＩＤと位相補償による制御回路１１により、電磁石１２の磁力を制御して、同磁力により回転体４を浮上、保持する。
【００１４】このターボ分子ポンプ本体の特性により、調整または調節される互換性を制限する部分３、即ち、中心位置（オフセット）調整器８、フィードバックゲイン調節器９、フィルタ１０を１つのユニツトにして、ターボ分子ポンプ本体に組み込む。
（第２実施例）次に本発明の磁気軸受装置を図３及び図４に示す第１実施例により説明する。図３の１が磁気軸受制御装置、２が回転体を有する構造物（例えばケーシング）、３が互換性を制限する部分、７が位置センサ、８が中心位置（オフセット）調整器、９が位置フィードバックゲイン調節器、１０がフィルタ、１１が制御回路、１２が電磁石であり、以上の図３は、互換性を制限している部分３を、１つのユニツトとして磁気軸受制御装置１から切り離して、回転体を有する構造物（例えばケーシング）２外に設置した場合のブロツク線図を示している。
【００１５】図４は、同磁気軸受装置をターボ分子ポンプに適用した適用例である。その作用は，図２に示すターボ分子ポンプと同様である。
【００１６】
【発明の効果】本発明の磁気軸受装置は前記のように磁気軸受制御装置内の制御要素の一部を磁気軸受制御装置外に設置しており、磁気軸受制御装置と回転体を有する構造物との間の互換性を制限している要因を解消することになり、磁気軸受装置及び回転体を有する構造物（例えばケーシング）を個別に生産できるようになって、磁気軸受を有する機器製造時の量産性を向上できる。
【００１７】また磁気軸受制御装置または回転体を有する構造物の故障時、どちらか故障した方の交換または修理で済んで、磁気軸受を有する機器のアフタサービスを簡便化できる。」
　　
（３）図１からは、回転体を有する構造物２に、位置センサ７と、中心位置（オフセット）調整器８、位置フィードバックゲイン調節器９及びフィルタ１０からなる互換性を制限している部分３を組み込み、回転体を有する構造物２の外に制御回路１１を有する磁気軸受制御装置１を配置したブロック線図が見てとれる。
　　
　よって、これらを総合すると、引用刊行物２には、 
「浮上対象物、例えばターボ分子ポンプ、コンプレッサ、タービン、工作機械用スピンドル等の高速回転体に適用する磁気軸受装置に関するものであって、
　該磁気軸受装置は、回転体を有する構造物２と磁気軸受制御装置１とからなり、
　前記回転体を有する構造物２内には、前記回転体の浮上位置を検出する位置センサ７と、位置センサ７設置時の組立誤差による回転体の浮上中心の機械的ずれを補正する中心位置（オフセット）調整器８、位置センサ７の出力電圧値を回転体の浮上中心からの偏差量に換算する位置フィードバックゲイン調節器９及び回転体の曲げ１次固有値の発振を減衰させるフィルタ１０からなる互換性を制限している部分３とが組み込まれており、
　前記磁気軸受制御装置１は、制御回路１１を有し、かつ前記回転体を有する構造物２の外に配置されており、
　前記位置フィードバックゲイン調節器９は、前記位置センサ７の一点毎の異なる感度を補正する機能を含んでおり、
　前記磁気軸受制御装置と前記回転体を有する構造物２との間の互換性を制限している要因が解消される磁気軸受装置。」
の発明（以下、「引用発明２」という。）が開示されていると認められる。  
　　  
３．対比、判断
３．１．対比  
　本願補正発明と引用発明１とを以下に対比する。  
　引用発明１の「レーザ媒質である反応気体」、「放電チャンバ１」、「反応気体の気体流」、「ファン３１」、「回転軸３２」、「軸線方向両側」、「磁気浮上保持」及び「エキシマレーザ発振装置の磁気軸受」は、それぞれ本願補正発明の「レーザガス」、「レーザ容器」、「レーザガス流」、「攪拌ファン」、「回転軸」、「両端（両端部）」、「磁気浮上支持」及び「エキシマレーザ装置用磁気軸受装置」に相当する。  
　引用発明１の「励磁電流を供給されて前記ラジアル軸受ロータ部３３ａに対して半径方向の電磁力を発生させるラジアル軸受コイル３３ｂ」及び「半径方向センサロータ部３３ｃに離間対向し半径方向センサロータ部３３ｃを検知して前記回転軸３２の半径方向位置に対応する検出信号を出力する半径方向センサステータ部３３ｄ」は、それぞれ本願補正発明の「前記攪拌ファンの回転軸の両端部に対向して配置され該回転軸を磁気浮上支持する電磁石」及び「該回転軸の位置を検出する位置変位検出センサ」に相当する。
　引用発明１の「磁気軸受」において、「ラジアル軸受コイル３３ｂ」及び「半径方向センサステータ部３３ｄ」が備えられる部材は、本願補正発明でいう「磁気軸受機構本体部」に相当する。
　　
　したがって、両者は、  
「レーザガスを封入するレーザ容器内に配置され高速のレーザガス流を作り出す攪拌ファンの回転軸の両端を磁気浮上支持するエキシマレーザ装置用磁気軸受装置であって、
　前記磁気軸受装置は前記攪拌ファンの回転軸の両端部に対向して配置され該回転軸を磁気浮上支持する電磁石と該回転軸の位置を検出する位置変位検出センサとを備えた磁気軸受機構本体部とを具備する構成である、
エキシマレーザ装置用磁気軸受装置。」
である点で一致し、以下の点で相違する。  
　　  
［相違点］
　本願補正発明では、エキシマレーザ用磁気軸受装置が、
「該位置変位検出センサの出力信号を処理する信号処理回路部と、該信号処理回路部の出力により前記電磁石の励磁電力を制御する励磁電力制御部を具備する構成であり、
　前記信号処理回路部と前記励磁電力制御部を分離し、
　前記信号処理回路部を前記磁気軸受機構本体部に搭載すると共に、前記励磁電力制御部は前記磁気軸受機構本体部の外に配置するように構成し、
　前記信号処理回路部は、プリアンプ部と、加算回路部と、オフセット出力部と、ゲイン調整回路部を備え、前記磁気軸受機構本体部の前記位置変位検出センサから得られる原位置検出出力信号を前記プリアンプ部で処理しやすい信号レベルに調整し、前記加算回路部で前記オフセット出力部からのオフセット調整信号を加算してオフセット調整し、前記ゲイン調整回路部で前記磁気軸受機構本体部から出力される位置変位検出信号としてセンサ検出感度に個体差が生じないよう予め設定したセンサ検出感度レベルに調整する信号処理調整機能を備え」るのに対し、
　引用発明１では、磁気軸受が、「半径方向センサステータ部３３ｄの検出信号を基に、前記ラジアル軸受コイル３３ｂの励磁電流をそれぞれフィードバック制御することで前記回転軸３２を磁気浮上させる磁気軸受制御部を具備する」構成であるが、該磁気軸受制御部の回路構成及び配置についての記載がない点。
　　
３．２．判断
　上記[相違点]について検討する。
　引用刊行物２には、上記２．２．に記載の引用発明２が開示されている。
　本願補正発明と引用発明２を対比すると、引用発明２の「磁気軸受装置」、「回転体を有する構造物２」、「磁気軸受制御装置１」及び「位置フィードバックゲイン調節器９」は、それぞれ本願補正発明の「磁気軸受装置」、「磁気軸受機構本体部」、「励磁電力制御部」及び「ゲイン調整回路部」に相当する。
　引用発明２の「互換性を制限している部分３」は、「位置センサ７設置時の組立誤差による回転体の浮上中心の機械的ずれを補正する中心位置（オフセット）調整器８、位置センサ７の出力電圧値を回転体の浮上中心からの偏差量に換算する位置フィードバックゲイン調節器９及び回転体の曲げ１次固有値の発振を減衰させるフィルタ１０」からなるので、本願補正発明の「信号回路処理部」に相当する。
　引用発明２において、「中心位置（オフセット）調整器８」が備える「位置センサ７設置時の組立誤差による回転体の浮上中心の機械的ずれを補正する」機能は、本願補正発明の「前記磁気軸受機構本体部の前記位置変位検出センサから得られる原位置検出出力信号」を「オフセット調整」する信号調整機能に相当する。
　引用発明２において、「位置フィードバックゲイン調節器９」が備える「前記位置センサ７の一点毎の異なる感度を補正する機能」は、この機能により「前記磁気軸受制御装置と前記回転体を有する構造物２との間の互換性を制限している要因が解消される」から、本願補正発明の「前記ゲイン調整回路部で前記磁気軸受機構本体部から出力される位置変位検出信号としてセンサ検出感度に個体差が生じないよう予め設定したセンサ検出感度レベルに調整する信号処理調整機能」に相当する。
　したがって、引用発明２には、少なくとも本願補正発明でいう、
「位置変位センサの出力信号を処理する信号処理回路部と、該信号処理回路部の出力により電磁石の励磁電力を制御する励磁電力制御部を具備する構成であり、
　前記信号処理回路部と前記励磁電力制御部とを分離し、
　前記信号処理回路部を前記磁気軸受機構本体部に搭載すると共に、前記励磁電力制御部は前記磁気軸受機構本体部の外に配置するように構成し、
　信号処理回路部は、ゲイン調整回路部を備え、前記磁気軸受機構本体部の前記位置変位検出センサから得られる原位置検出出力信号をオフセット調整し、前記ゲイン調整回路部で前記磁気軸受機構本体部から出力される位置変位検出信号としてセンサ検出感度に個体差が生じないよう予め設定したセンサ検出感度レベルに調整する信号処理調整機能を備えた」磁気軸受装置が開示されているといえる。
　　
　このとき、引用発明２には、「互換性を制限している部分３」が備える「中心位置（オフセット）調整器８」の詳細な回路構成の記載がないが、磁気軸受装置の位置変位検出センサから得られる原位置検出出力信号のオフセット調整を行う回路を、プリアンプ部と、加算回路部と、オフセット出力部とを備える回路によって構成して、位置変位検出センサから得られる原位置検出出力信号をプリアンプ部で処理しやすい信号レベルに調整し、加算回路部でオフセット出力部からのオフセット調整信号を加算してオフセット調整することは常套手段である（例えば、特開平４−２７２５０６号公報（【０００８】、【０００９】及び図１）、特開平９−２４２７５３号公報（【０００３】、図４）等参照。）。
　　
　そうすると、引用発明１及び引用発明２は、磁気軸受装置において、位置変位検出センサの出力信号に基づいて電磁石の励磁電力を制御するという共通の課題を有するものであり、かつ原位置検出出力信号のオフセット調整を行うための詳細な回路構成も常套手段であるから、引用発明１に引用発明２及び上記常套手段を適用して上記[相違点]に係る構成とすることは、当業者が容易に想到できたことである。
　　
　そして、本願補正発明によって得られる効果は、上記引用発明１及び引用発明２並びに上記常套手段から当業者が容易に予測できた程度のものであって、格別とはいえない。
　　
　したがって、本願補正発明は、上記引用刊行物１及び引用刊行物２並びに上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。  
　　  
４．理由２のまとめ　　  
　以上のとおり、本件補正は、平成１４年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。  
　　  
　　  
ＩＩＩ．  
１．本願発明  
　平成１８年７月１９日付の手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項に係る発明は、平成１８年４月２０日付の手続補正の特許請求の範囲に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、上記ＩＩ．理由１．の１．１．の【請求項１】に記載されたとおりのものである。
　　  
２．引用発明  
　原査定の理由で引用された引用刊行物及びその記載事項は、上記ＩＩ．理由２．の２．に記載したとおりである。 
　　  
３．対比、判断 
　本願発明は、上記ＩＩ．理由２．で検討した本願補正発明において、「励磁電力制御部」の配置に関する限定を省くともに、「信号処理回路部」の構成に関する限定を省いたものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、かつ限定を付加した本願補正発明が、上記ＩＩ．理由２．に記載したとおり、上記引用刊行物１及び引用刊行物２に記載された発明並びに上記常套手段に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願補正発明に比べて少なくとも「信号処理回路部」の構成に関する限定を省いた本願発明は、上記理由２．において、前記信号処理回路部の構成に関する上記常套手段の適用を要することなく、上記引用刊行物１及び引用刊行物２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　　  
４．むすび  
　したがって、本願発明は、上記引用刊行物１及び引用刊行物２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。  
　　  
　よって、結論のとおり審決する。