(57)【要約】  本発明の半導体加工用粘着シートは、基材、中間層、及び粘着剤層をこの順に備える半導体加工用粘着シートであって、前記中間層が、非エネルギー線硬化性のアクリル系重合体（Ａ）と、重量平均分子量が５万〜２５万のエネルギー線硬化性のアクリル系重合体（Ｂ）とを含有する中間層形成用組成物から形成された層であるとともに、前記粘着剤層がエネルギー線硬化性であり、エネルギー線硬化後の中間層と粘着剤層の２３℃における弾性率差が２０ＭＰａ以下である。【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材、中間層、及び粘着剤層をこの順に備える半導体加工用粘着シートであって、
前記中間層が、非エネルギー線硬化性のアクリル系重合体（Ａ）と、重量平均分子量が５万〜２５万のエネルギー線硬化性のアクリル系重合体（Ｂ）とを含有する中間層形成用組成物から形成された層であるとともに、前記粘着剤層がエネルギー線硬化性であり、
エネルギー線硬化後の中間層と粘着剤層の２３℃における弾性率差が２０ＭＰａ以下である半導体加工用粘着シート。
【請求項２】
前記中間層形成用組成物において、アクリル系重合体（Ｂ）が、アクリル系重合体（Ａ）１００質量部に対して、２５質量部未満である請求項１に記載の半導体加工用粘着シート。
【請求項３】
アクリル系重合体（Ａ）の重量平均分子量が、３０万〜１５０万である請求項１又は２に記載の半導体加工用粘着シート。
【請求項４】
前記粘着剤層が、エネルギー線硬化性のアクリル系重合体（Ｃ）を含有する粘着剤組成物から形成される請求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体加工用粘着シート。
【請求項５】
アクリル系重合体（Ｃ）が、アルキル基の炭素数が１〜１８であるアルキル（メタ）アクリレート（ｃ１）由来の構成単位と、官能基含有モノマー（ｃ２）由来の構成単位とを有するアクリル系共重合体（Ｃ０）に、エネルギー線重合性基を有する重合性化合物（Ｘｃ）を反応させた反応物であるアクリル系共重合体（Ｃ１）である請求項４に記載の半導体加工用粘着シート。
【請求項６】
アクリル系重合体（Ｃ）の重量平均分子量が、１０万〜１５０万である請求項４又は５に記載の半導体加工用粘着シート。
【請求項７】
前記中間層形成用組成物が、アクリル系重合体（Ａ）１００質量部に対して、０．３〜１５質量部の光重合開始剤を含有するとともに、
前記粘着剤組成物が、アクリル系重合体（Ｃ）１００質量部に対して、０．５〜１５質量部の光重合開始剤を含有する請求項４〜６のいずれか１項に記載の半導体加工用粘着シート。
【請求項８】
アクリル系重合体（Ｂ）は、アルキル基の炭素数が１〜１８であるアルキル（メタ）アクリレート（ｂ１）由来の構成単位と、官能基含有モノマー（ｂ２）由来の構成単位とを有するアクリル系共重合体（Ｂ０）に、エネルギー線重合性基を有する重合性化合物（Ｘｂ）を反応させた反応物であるアクリル系共重合体（Ｂ１）である請求項１〜７のいずれか１項に記載の半導体加工用粘着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体加工用粘着シートに関し、特に、バンプ付き半導体ウエハの表面を保護するために使用される半導体ウエハ表面保護用粘着シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
情報端末機器の薄型化、小型化、多機能化が急速に進む中、それらに搭載される半導体装置も同様に、薄型化、高密度化が求められており、半導体ウエハの薄型化も要望されている。従来、その要望に対応するために、半導体ウエハの裏面を研削して、薄型化することが行われている。また、近年、半導体ウエハは、高さが数十〜数百μｍ程度のはんだ等からなるバンプがウエハ表面に形成されることがある。そのようなバンプ付き半導体ウエハが裏面研削される場合、バンプ部分を保護するために、バンプが形成されたウエハ表面には、表面保護シートが貼付される。【０００３】
表面保護シートとしては、従来、特許文献１、２に開示されるように、例えば、基材の上に、中間層、及び粘着剤層がこの順で設けられた粘着シートが使用される。特許文献１、２において、中間層は、ウエハ汚染を抑え、かつ被着体であるウエハ表面の凹凸に対する追従性を高めるために弾性率やゲル分が調整されている。
また、特許文献１、２では、粘着剤層は、エネルギー線硬化性オリゴマーが配合され、或いは、粘着剤を構成するポリマーに炭素−炭素二重結合が導入され、エネルギー線硬化性とされてもよいことが開示されている。表面保護シートは、エネルギー線硬化性粘着剤が使用されることで、エネルギー線の照射により粘着剤層の粘着力が低下するので、使用後、半導体ウエハから剥離しやすくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４３６７７６９号公報
【特許文献２】特許第４３６９５８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、エネルギー線により硬化された粘着剤層は、中間層との密着強度が不十分になることがある。その結果、エネルギー線硬化後に表面保護シートを半導体ウエハから剥離するときに、中間層と粘着剤層との間で層間剥離が生じることがある。層間剥離が生じると、例えば、表面保護シート剥離時に、半導体ウエハ上に粘着剤が残着し、ウエハ汚染の原因となることがある。
本発明は、以上の実情に鑑みてなされたものであり、半導体加工用粘着シートを硬化してワークから剥離するときに、中間層と粘着剤層との間で生じる層間剥離を防止することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、鋭意検討の結果、中間層及び粘着剤層の両方を、エネルギー線硬化性を有する所定の配合とし、かつこれらのエネルギー線硬化後の弾性率差を一定値以下とすることで上記課題を解決できることを見出し、以下の本発明を完成させた。本発明は、以下の（１）〜（８）を提供する。
（１）基材、中間層、及び粘着剤層をこの順に備える半導体加工用粘着シートであって、
前記中間層が、非エネルギー線硬化性のアクリル系重合体（Ａ）と、重量平均分子量が５万〜２５万のエネルギー線硬化性のアクリル系重合体（Ｂ）とを含有する中間層形成用組成物から形成された層であるとともに、前記粘着剤層がエネルギー線硬化性であり、
エネルギー線硬化後の中間層と粘着剤層の２３℃における弾性率差が２０ＭＰａ以下である半導体加工用粘着シート。
（２）前記中間層形成用組成物において、アクリル系重合体（Ｂ）が、アクリル系重合体（Ａ）１００質量部に対して、２５質量部未満である上記（１）に記載の半導体加工用粘着シート。
（３）アクリル系重合体（Ａ）の重量平均分子量が、３０万〜１５０万である上記（１）又は（２）に記載の半導体加工用粘着シート。
（４）前記粘着剤層が、エネルギー線硬化性のアクリル系重合体（Ｃ）を含有する粘着剤組成物から形成される上記（１）〜（３）のいずれか１項に記載の半導体加工用粘着シート。
（５）アクリル系重合体（Ｃ）が、アルキル基の炭素数が１〜１８であるアルキル（メタ）アクリレート（ｃ１）由来の構成単位と、官能基含有モノマー（ｃ２）由来の構成単位とを有するアクリル系共重合体（Ｃ０）に、エネルギー線重合性基を有する重合性化合物（Ｘｃ）を反応させた反応物であるアクリル系共重合体（Ｃ１）である上記（４）に記載の半導体加工用粘着シート。
（６）アクリル系重合体（Ｃ）の重量平均分子量が、１０万〜１５０万である上記（４）又は（５）に記載の半導体加工用粘着シート。
（７）前記中間層形成用組成物が、アクリル系重合体（Ａ）１００質量部に対して、０．３〜１５質量部の光重合開始剤を含有するとともに、前記粘着剤組成物が、アクリル系重合体（Ｃ）１００質量部に対して、０．５〜１５質量部の光重合開始剤を含有する上記（４）〜（６）のいずれか１項に記載の半導体加工用粘着シート。
（８）アクリル系重合体（Ｂ）は、アルキル基の炭素数が１〜１８であるアルキル（メタ）アクリレート（ｂ１）由来の構成単位と、官能基含有モノマー（ｂ２）由来の構成単位とを有するアクリル系共重合体（Ｂ０）に、エネルギー線重合性基を有する重合性化合物（Ｘｂ）を反応させた反応物であるアクリル系共重合体（Ｂ１）である上記（１）〜（７）のいずれか１項に記載の半導体加工用粘着シート。
【発明の効果】
【０００７】
本発明では、半導体加工用粘着シートをエネルギー線により硬化してワークから剥離するとき、中間層と粘着剤層の間で生じる層間剥離を防止することが可能になる。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下の記載において、「重量平均分子量（Ｍｗ）」は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）法で測定されるポリスチレン換算の値であり、具体的には実施例に記載の方法に基づいて測定した値である。
また、本明細書中の記載において、例えば「（メタ）アクリレート」とは、「アクリレート」及び「メタクリレート」の双方を示す語として用いており、他の類似用語についても同様である。
【０００９】
以下、実施形態を用いて本発明をより詳細に説明する。
本発明の半導体加工用粘着シート（以下、単に“粘着シート”ともいう）は、基材と、基材の一方の面上に設けられる中間層と、中間層の上にさらに設けられる粘着剤層とを有する。また、粘着シートは、粘着剤層の上に更に剥離材が設けられてもよい。剥離材は、粘着剤層を保護するとともに、粘着シートをワークに貼付するときに粘着剤層から除去される。
粘着シートは、上記以外の層を有してもよい。例えば、中間層と基材との密着性を高めるために、各種の硬化性樹脂等で形成された易接着層が基材の一方の面上に設けられてもよい。また、粘着シートの帯電を防止するために、基材の一方の面上に、公知の帯電防止剤を含有する帯電防止層が設けられてもよい。
【００１０】
中間層は、非エネルギー線硬化性のアクリル系重合体（Ａ）と、重量平均分子量が５万〜２５万のエネルギー線硬化性のアクリル系重合体（Ｂ）とを含有する中間層形成用組成物から形成された層である。また、粘着剤層は、エネルギー線硬化性の粘着剤組成物により形成された層である。そして、エネルギー線硬化後の中間層とエネルギー線硬化後の粘着剤層の２３℃における弾性率差が２０ＭＰａ以下となるものである。なお、２３℃における弾性率は、粘弾性測定装置により３℃／分の昇温速度で−３０〜２００℃の貯蔵弾性率を測定（周波数：１Ｈｚ）したときの２３℃における貯蔵弾性率の値であり、具体的には実施例に記載の方法に基づいて測定した値である。
本発明では、中間層及び粘着剤層のいずれもがエネルギー線硬化性である。そのため、被着体に貼付された粘着シートは、エネルギー線が照射されると、中間層及び粘着剤層が硬化して被着体に対する粘着力が低くなり、被着体から容易に剥離されるようになる。また、中間層と粘着剤層のエネルギー線硬化後の弾性率差が小さいため、粘着シートが剥離される際、中間層と粘着剤層の間で層間剥離が生じることが防止される。
【００１１】
一方で、上記弾性率差が２０ＭＰａを超えると、エネルギー線により硬化したとき、中間層と粘着剤層の間の層間強度が低くなる。したがって、エネルギー線硬化後に、粘着シートを被着体から剥離するとき、中間層と粘着剤層の間で層間剥離が生じやすくなる。中間層と粘着剤層の層間強度を向上させ、層間剥離をより有効に抑制する観点から、上記弾性率差は、１５ＭＰａ以下であることが好ましく、８ＭＰａ以下であることがより好ましい。
また、層間剥離を抑える観点からは上記弾性率差は低いほうがよいが、中間層及び粘着剤層それぞれに所望の機能を持たせるためには、弾性率差は、０．１ＭＰａ以上であることが好ましく、０．５ＭＰａ以上であることがより好ましい。
【００１２】
以下、粘着シートを構成する各層についてより詳細に説明する。
＜中間層＞
粘着シートにおいて、中間層は、粘着剤層と基材の間に設けられる層である。中間層は、基材の上に直接形成されてもよいが、上記したように、基材の上に易接着層、帯電防止層など他の層が設けられる場合には、当該他の層の上に形成される。
中間層は、上記したように、非エネルギー線硬化性のアクリル系重合体（Ａ）と、重量平均分子量が５万〜２５万のエネルギー線硬化性のアクリル系重合体（Ｂ）とを含有する中間層形成用組成物から形成された層である。なお、アクリル系重合体（Ａ）は、以下、単に“（Ａ）成分”と略して述べることがある。他の成分についても同様である。
中間層は、（Ａ）成分により凝集力を発揮させるとともに、低分子量の（Ｂ）成分により応力緩和性を発現する。このような中間層を有する粘着シートは、例えば、凹凸を有する被着体に対する追従性が良好になるなど、被着体に対する保持性能が高くなる。そのため、粘着シートを貼付したウエハなどを研削加工するとき、ウエハの破損や、ウエハ表面への研削屑又は研削水の浸入を防止することが可能になる。
【００１３】
中間層のエネルギー線硬化後の２３℃における弾性率は、好ましくは０．５〜４０ＭＰａ、より好ましくは１．０〜３０ＭＰａ、さらに好ましく１．５〜２０ＭＰａである。中間層は、このような弾性率を有することで、エネルギー線照射前は中間層としての機能を十分に発揮しつつ、上記した弾性率差を小さくしやすくなる。また、弾性率をこれら範囲内とすることで、層間強度をより高くしやすくなる。
【００１４】
また、エネルギー線硬化後の中間層の２３℃における弾性率は、エネルギー線硬化後の粘着剤層の２３℃における弾性率よりも低くてもよいが、高くてもよい。
なお、中間層のエネルギー線硬化後の２３℃における弾性率は、例えば、アクリル系重合体（Ｂ）の配合量や、アクリル系重合体（Ｂ）に導入されるエネルギー線重合性基の量（後述するαの値）等により調整可能である。例えば、アクリル系重合体（Ｂ）の配合量や、エネルギー線重合性基の量を増やすと、弾性率は高くなる傾向にある。また、アクリル系重合体（Ａ）を構成するモノマーの種類及び量、さらには、中間層に配合される架橋剤の量、光重合開始剤の量などによっても適宜調整可能である。
【００１５】
［アクリル系重合体（Ａ）］
アクリル系重合体（Ａ）は、（メタ）アクリレート由来の構成単位を有する非エネルギー線硬化性のポリマーである。アクリル系重合体（Ａ）は、アルキル（メタ）アクリレート（ａ１）由来の構成単位と、官能基含有モノマー（ａ２）由来の構成単位とを有するアクリル系共重合体（Ａ１）を含むことが好ましく、このアクリル系共重合体（Ａ１）からなることがより好ましい。
アクリル系共重合体（Ａ１）の共重合の形態は、特に限定されず、ブロック共重合体であってもよいし、ランダム共重合体であってもよい。また、アクリル系共重合体（Ａ１）の含有量は、中間層形成用組成物中に含まれる（Ａ）成分の全量（１００質量％）に対して、好ましくは７０〜１００質量％、より好ましくは８０〜１００質量％、更に好ましくは９０〜１００質量％、より更に好ましくは１００質量％である。
【００１６】
アルキル（メタ）アクリレート（ａ１）としては、アルキル基の炭素数が１〜１８であるアルキル（メタ）アクリレートが使用される。具体的には、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｎ−ペンチル（メタ）アクリレート、ｎ−ヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、ｎ−デシル（メタ）アクリレート、ｎ−ドデシル（メタ）アクリレート、ｎ−トリデシル（メタ）アクリレート、ミリスチル（メタ）アクリレート、パルミチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート等が挙げられる。アルキル（メタ）アクリレート（ａ１）は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００１７】
アクリル系共重合体（Ａ１）における、アルキル（メタ）アクリレート（ａ１）由来の構成単位の含有量は、アクリル系共重合体（Ａ１）の全構成単位（１００質量％）に対して、好ましくは５０〜９９．５質量％、より好ましくは６０〜９９質量％、更に好ましくは７０〜９７質量％、より更に好ましくは８０〜９５質量％である。
この含有量が５０質量％以上であれば、粘着シートの保持性能を高めて、凹凸差が大きい被着体に対する追従性等を良好にしやすくなる。また、９９．５質量％以下であれば、（ａ２）成分由来の構成単位を一定量以上確保できる。
【００１８】
アルキル（メタ）アクリレート（ａ１）は、上記した中でも、中間層の弾性率を適切な値にするために、アルキル基の炭素数が１〜８のアルキル（メタ）アクリレートであることが好ましく、アルキル基の炭素数が４〜８のアルキル（メタ）アクリレート（以下、モノマー（Ｙ）ということがある）を含むことがより好ましい。モノマー（Ｙ）としては、具体的には、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレートが好ましく、ｎ−ブチル（メタ）アクリレートが特に好ましい。
ここで、アクリル共重合体（Ａ１）を構成するアルキル（メタ）アクリレート（ａ１）の全てが、モノマー（Ｙ）であってもよいし、一部がモノマー（Ｙ）であってもよい。具体的には、モノマー（Ｙ）は、アルキル（メタ）アクリレート（ａ１）全量に対して、７５〜１００質量％が好ましく、８０〜１００質量％がより好ましく、９０〜１００質量％がさらに好ましい。
【００１９】
官能基含有モノマー（ａ２）は、ヒドロキシ基、カルボキシ基、エポキシ基、アミノ基、シアノ基、窒素原子含有環基、アルコキシシリル基等の官能基を有するモノマーである。官能基含有モノマー（ａ２）としては、上記した中でも、ヒドロキシ基含有モノマー、カルボキシ基含有モノマー、及びエポキシ基含有モノマーから選ばれる１種以上が好ましい。
【００２０】
ヒドロキシ基含有モノマーとしては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート；ビニルアルコール、アリルアルコール等の不飽和アルコール等が挙げられる。
カルボキシ基含有モノマーとしては、（メタ）アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸等が挙げられる。
【００２１】
エポキシ含有モノマーとしては、エポキシ基含有（メタ）アクリル酸エステル及び非アクリル系エポキシ基含有モノマーが挙げられる。エポキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレート、３−エポキシシクロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等が挙げられる。また、非アクリル系エポキシ基含有モノマーとしては、例えば、グリシジルクロトネート、アリルグリシジルエーテル等が挙げられる。
官能基含有モノマー（ａ２）は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
官能基含有モノマー（ａ２）の中では、カルボキシ基含有モノマーがより好ましく、中でも（メタ）アクリル酸がさらに好ましく、アクリル酸が最も好ましい。官能基含有モノマー（ａ２）として、カルボキシ基含有モノマーを使用すると、中間層の凝集力が高められ、中間層の保持性能等をより一層良好にしやすくなる。
【００２２】
アクリル系共重合体（Ａ１）における、官能基含有モノマー（ａ２）由来の構成単位の含有量は、アクリル系共重合体（Ａ１）の全構成単位（１００質量％）に対して、好ましくは０．５〜４０質量％、より好ましくは１〜３０質量％、更に好ましくは３〜２０質量％、より更に好ましくは５〜１５質量％である。
（ａ２）成分由来の構成単位の含有量が０．５質量％以上であれば、中間層の凝集力が高くなり、また、（Ｂ）成分との相溶性も良好としやすくなる。一方、含有量が４０質量％以下であれば、（ａ１）成分由来の構成単位を一定量以上確保できる。
【００２３】
アクリル系共重合体（Ａ１）は、アルキル（メタ）アクリレート（ａ１）と官能基含有モノマー（ａ２）の共重合体であってもよいが、（ａ１）成分と、（ａ２）成分と、これら（ａ１）及び（ａ２）成分以外のその他のモノマー（ａ３）との共重合体であってもよい。
その他のモノマー（ａ３）としては、例えば、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート等の環状構造を有する（メタ）アクリレート、酢酸ビニル、スチレン等が挙げられる。その他のモノマー（ａ３）は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
アクリル系共重合体（Ａ１）における、その他のモノマー（ａ３）由来の構成単位の含有量は、アクリル系共重合体（Ａ１）の全構成単位（１００質量％）に対して、好ましくは０〜３０質量％、より好ましくは０〜２０質量％、更に好ましくは０〜１０質量％、より更に好ましくは０〜５質量％である。
【００２４】
アクリル系重合体（Ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは３０万〜１５０万、より好ましくは４０万〜１２０万、更に好ましくは４０万〜１１０万、より更に好ましくは４５万〜９０万である。Ｍｗをこれら上限値以下とすることで、アクリル系重合体（Ａ）はアクリル系重合体（Ｂ）との相溶性が良好となる。また、Ｍｗを上記範囲内とすることで、粘着シートの保持性能を高めやすくなる。
中間層形成用組成物中のアクリル系重合体（Ａ）の含有量は、中間層形成用組成物の全量（１００質量％）に対して、好ましくは６０〜９９質量％、より好ましくは７０〜９７質量％、更に好ましくは７５〜９２質量％以上である。
なお、中間層形成用組成物が、後述するように有機溶剤等の希釈液で希釈される場合には、中間層形成用組成物の全量とは、希釈液を除いた固形分全量を意味する。後述する粘着剤組成物についても同様である。
【００２５】
［アクリル系重合体（Ｂ）］
アクリル系重合体（Ｂ）は、エネルギー線重合性基が導入されることでエネルギー線硬化性を有するアクリル系重合体である。アクリル系重合体（Ｂ）は、重量平均分子量（Ｍｗ）が５万〜２５万となるものである。本発明では、中間層に（Ｂ）成分を用いることで、エネルギー線を照射した際、（Ｂ）成分と粘着剤層中のエネルギー線硬化成分とが反応して結合すると考えられる。そのため、上記弾性率差が小さいことも相俟って、エネルギー線硬化後の中間層と粘着剤層との層間強度が向上する。
【００２６】
アクリル系重合体（Ｂ）のＭｗが５万未満であると、粘着シートを長期間保管した際、（Ｂ）成分の一部が粘着剤層内へ移行し、粘着シートの粘着力が不安定となるとともに、エネルギー線照射後に、粘着剤層が過度に硬化してしまうおそれがある。その結果、粘着シートは、例えば、長期間保管後に使用した場合、又は被着体に貼付した状態で長期間放置した場合等において、エネルギー線照射後における中間層と粘着剤層との層間強度が不十分となることがある。また、（Ｂ）成分のＭｗが２５万を超える場合にも、エネルギー線照射後における中間層と粘着剤層との層間強度が低下しやすくなる。
以上の観点から、アクリル系重合体（Ｂ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは６万〜２２万、より好ましくは７万〜２０万、更に好ましくは８万〜１８万、より更に好ましくは８．５万〜１５万である。
【００２７】
アクリル系重合体（Ｂ）は、エネルギー線重合性基が導入され、かつ（メタ）アクリレート由来の構成単位を有するアクリル系重合体である。アクリル系重合体（Ｂ）が有するエネルギー線重合性基は、アクリル系重合体の側鎖に導入することが好ましい。エネルギー線重合性基は、エネルギー線重合性の炭素−炭素二重結合を含む基であればよく、例えば、（メタ）アクリロイル基、ビニル基等が挙げられるが、中でも（メタ）アクリロイル基が好ましい。
【００２８】
アクリル系重合体（Ｂ）は、アルキル（メタ）アクリレート（ｂ１）由来の構成単位と、官能基含有モノマー（ｂ２）由来の構成単位とを有するアクリル系共重合体（Ｂ０）に、エネルギー線重合性基を有する重合性化合物（Ｘｂ）を反応させた反応物であるアクリル系共重合体（Ｂ１）を含むことが好ましく、このアクリル系共重合体（Ｂ１）からなることがより好ましい。
なお、アクリル系共重合体（Ｂ０）の共重合の形態は、特に限定されず、ブロック共重合体、ランダム共重合体等のいずれであってもよい。アクリル系共重合体（Ｂ１）の含有量は、中間層形成用組成物中に含まれる（Ｂ）成分の全量（１００質量％）に対して、好ましくは７０〜１００質量％、より好ましくは８０〜１００質量％、更に好ましくは９０〜１００質量％、より更に好ましくは１００質量％である。
【００２９】
アルキル（メタ）アクリレート（ｂ１）としては、アルキル基の炭素数が１〜１８であるアルキル（メタ）アクリレートが使用され、その具体例としては、（ａ１）成分として例示したものが挙げられる。それらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
アクリル系共重合体（Ｂ０）における、アルキル（メタ）アクリレート（ｂ１）由来の構成単位の含有量は、アクリル系共重合体（Ｂ０）の全構成単位（１００質量％）に対して、好ましくは５０〜９５質量％、より好ましくは５５〜９０質量％、更に好ましくは６０〜８５質量％、より更に好ましくは６５〜８０質量％である。この含有量が５０質量％以上であれば、形成される中間層の形状を十分に維持することができる。また、９５質量％以下であれば、重合性化合物（Ｘｂ）との反応点となる（ｂ２）成分由来の構成単位を一定量確保できる。
【００３０】
また、アルキル（メタ）アクリレート（ｂ１）は、（ａ１）成分と同様に、アルキル基の炭素数が１〜８のアルキル（メタ）アクリレートであることが好ましく、さらには、モノマー（Ｙ）（すなわち、アルキル基の炭素数が４〜８のアルキル（メタ）アクリレート）を含むことがより好ましい。なお、モノマー（Ｙ）としての好適な化合物は、上記（ａ１）と同様であり、ｎ−ブチル（メタ）アクリレートが特に好ましい。
ここで、アクリル系共重合体（Ｂ０）に含有されるアルキル（メタ）アクリレート（ｂ１）の全てが、モノマー（Ｙ）であってもよいが、一部がモノマー（Ｙ）であることが好ましい。モノマー（Ｙ）は、アルキル（メタ）アクリレート（ｂ１）全量に対して、６５〜１００質量％が好ましく、７０〜１００質量％がより好ましく、８０〜９５質量％がさらに好ましい。
【００３１】
官能基含有モノマー（ｂ２）は、上記した官能基含有モノマー（ａ２）において例示された官能基を有するモノマーが挙げられ、ヒドロキシ基含有モノマー、カルボキシ基含有モノマー、及びエポキシ基含有モノマーから選ばれる１種以上が好ましい。これらの具体的な化合物としては、（ａ２）成分として例示された化合物と同様のものが例示できる。
また、官能基含有モノマー（ｂ２）としては、ヒドロキシ基含有モノマーが好ましく、中でも、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートなどの各種のヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートがより好ましい。ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートを使用することで、比較的容易にアクリル系共重合体（Ｂ０）に、重合性化合物（Ｘｂ）を反応させることが可能になる。
【００３２】
また、アクリル系重合体（Ａ）に使用される官能基含有モノマー（ａ２）と、アクリル系重合体（Ｂ）に使用される官能基含有モノマー（ｂ２）における官能基は、互いに同一であってもよいし、異なっていてもよいが、異なることが好ましい。すなわち、例えば、官能基含有モノマー（ａ２）がカルボキシ基含有モノマーであれば、官能基含有モノマー（ｂ２）が水酸基含有モノマーであることが好ましい。このように、互いの官能基が異なると、例えば、アクリル系重合体（Ｂ）を、後述する架橋剤によって優先的に架橋させたりすることが可能になり、上記した粘着シートの保持性能等をより良好にしやすくなる。
【００３３】
アクリル系共重合体（Ｂ０）における、官能基含有モノマー（ｂ２）由来の構成単位の含有量は、アクリル系共重合体（Ｂ０）の全構成単位（１００質量％）に対して、好ましくは５〜５０質量％、より好ましくは１０〜４５質量％、更に好ましくは１５〜４０質量％、より更に好ましくは２０〜３５質量％である。５質量％以上であれば、重合性化合物（Ｘｂ）との反応点を比較的多く確保でき、エネルギー性重合性を側鎖に導入しやすくなる。また、５０質量％以下であれば、形成される中間層の形状を十分に維持することができる。
【００３４】
アクリル系共重合体（Ｂ０）は、アルキル（メタ）アクリレート（ｂ１）と官能基含有モノマー（ｂ２）の共重合体であってもよいが、（ｂ１）成分と、（ｂ２）成分と、これら（ｂ１）及び（ｂ２）成分以外のその他のモノマー（ｂ３）との共重合体であってもよい。
その他のモノマー（ｂ３）としては、上述のモノマー（ａ３）として例示したものが挙げられる。
アクリル系共重合体（Ｂ０）における、その他のモノマー（ｂ３）由来の構成単位の含有量は、アクリル系共重合体（Ｂ０）の全構成単位（１００質量％）に対して、好ましくは０〜３０質量％、より好ましくは０〜２０質量％、更に好ましくは０〜１０質量％、より更に好ましくは０〜５質量％である。
【００３５】
重合性化合物（Ｘｂ）は、エネルギー線重合性基と、アクリル系共重合体（Ｂ０）の（ｂ２）成分由来の構成単位中の官能基と反応し得る置換基（以下、単に「反応性置換基」ともいう）とを有する化合物である。
エネルギー線重合性基としては、上述のとおり、（メタ）アクリロイル基、ビニル基等が挙げられ、（メタ）アクリロイル基が好ましい。また、重合性化合物（Ｘｂ）は、エネルギー線重合性基を１分子あたり１〜５個有する化合物であることが好ましい。
重合性化合物（Ｘｂ）における反応性置換基としては、官能基含有モノマー（ｂ２）が有する官能基に応じて適宜変更すればよいが、例えば、イソシアネート基、カルボキシル基、エポキシ基等が挙げられ、反応性等の観点から、イソシアネート基が好ましい。重合性化合物（Ｘｂ）は、イソシアネート基を有すると、例えば、官能基含有モノマー（ｂ２）の官能基がヒドロキシ基である場合に、アクリル系共重合体（Ｂ０）に容易に反応することが可能になる。
【００３６】
具体的な重合性化合物（Ｘｂ）としては、例えば、（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、メタ−イソプロペニル−α，α−ジメチルベンジルイソシアネート、（メタ）アクリロイルイソシアネート、アリルイソシアネート、グリシジル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸等が挙げられる。これらの重合性化合物（Ｘｂ）は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
これらの中でも、上記反応性置換基として好適なイソシアネート基を有しており、且つ主鎖とエネルギー線重合性基との距離が適当となる化合物であるとの観点から、（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネートが好ましい。
重合性化合物（Ｘｂ）は、アクリル系共重合体（Ｂ１）における官能基含有モノマー（ｂ２）由来の官能基全量（１００当量）のうち、好ましくは４０〜９８当量、より好ましくは５０〜９５当量、更に好ましくは６０〜９０当量、より更に好ましくは７０〜８５当量が官能基に反応される。
【００３７】
下記式（１）より算出されるαの値は、アクリル系共重合体（Ｂ１）が有するエネルギー線重合性基の数を表す指標となるものである。アクリル系重合体（Ｂ１）において、αの値は、好ましくは５〜４０、より好ましくは１０〜３５、更に好ましくは１５〜３０である。
このようなαの値を有するアクリル系共重合体（Ｂ１）を後述する配合量で使用することで、中間層の弾性率を所望の範囲に調整しやすくなる。
式（１）：α＝〔Ｐｂ〕×〔Ｑｂ〕×〔Ｒｂ〕／１００
（式（１）中、〔Ｐｂ〕は、アクリル系共重合体（Ｂ０）の全構成単位１００質量部に対する官能基含有モノマー（ｂ２）由来の構成単位の含有量を示す。〔Ｑｂ〕は、アクリル系共重合体（Ｂ０）が有する官能基含有モノマー（ｂ２）由来の官能基１００当量に対する、重合性化合物（Ｘｂ）の当量を示す。〔Ｒｂ〕は、重合性化合物（Ｘｂ）が有するエネルギー線重合性基の数を示す。）
【００３８】
中間層形成用組成物において、アクリル系重合体（Ｂ）の含有量は、アクリル系重合体（Ａ）１００質量部に対して、２５質量部未満であることが好ましく、１〜２４質量部であることさらに好ましく、８〜２３質量部であることがより好ましい。（Ｂ）成分の含有量をこのように比較的少なくすることで、中間層の応力緩和性が向上し、凹凸追従性の高い中間層となる。
また、アクリル系重合体（Ｂ）の含有量を少なくすると、エネルギー線硬化後の中間層の弾性率はそれほど高くならないので、上記した弾性率差を小さくすることが可能になり、層間剥離が防止されやすくなる。
【００３９】
［架橋剤］
中間層形成用組成物は、さらに架橋剤を含有することが好ましい。架橋剤としては、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、アジリジン系架橋剤、金属キレート系架橋剤が挙げられ、これらの中では、イソシアネート系架橋剤が好ましい。イソシアネート系架橋剤を使用すると、例えば（Ｂ）成分がヒドロキシ基を有する場合には、架橋剤はアクリル系重合体（Ｂ）を優先的に架橋する。
中間層形成用組成物は、例えば塗布後に加熱されることで、架橋剤によって架橋される。中間層は、アクリル系重合体、特に低分子量のアクリル系重合体（Ｂ）等が架橋されることで、塗膜が適切に形成され、中間層としての機能を発揮しやすくなる。
架橋剤の含有量は、アクリル系重合体（Ａ）１００質量部に対して、好ましくは０．１〜１０質量部、より好ましくは０．５〜７質量部、更に好ましくは１〜５質量部である。
【００４０】
イソシアネート系架橋剤としては、ポリイソシアネート化合物が挙げられる。ポリイソシアネート化合物の具体例としては、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の芳香族ポリイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、水素添加ジフェニルメタンジイソシアネート等の脂環族ポリイソシアネートなどが挙げられる。また、これらのビウレット体、イソシアヌレート体、さらにはエチレングリコール、プロピレングリコール、ネオペンチルグリコール、トリメチロールプロパン、ヒマシ油等の低分子活性水素含有化合物との反応物であるアダクト体等も挙げられる。
これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。また、上記した中では、トリレンジイソシアネート等の芳香族ポリイソシアネートの多価アルコール（例えば、トリメチロールプロパン等）アダクト体が好ましい。
【００４１】
また、エポキシ系架橋剤としては、例えば、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ’−ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジル−ｍ−キシリレンジアミン、エチレングリコールジグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンジグリシジルエーテル、ジグリシジルアニリン、ジグリシジルアミン等が挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
金属キレート系架橋剤としては、例えば、アルミニウム、鉄、銅、亜鉛、スズ、チタン、ニッケル、アンチモン、マグネシウム、バナジウム、クロム、ジルコニウム等の多価金属にアセチルアセトン、アセト酢酸エチル、トリス（２，４−ペンタンジオネート）等が配位した化合物等が挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
アジリジン系架橋剤としては、例えば、ジフェニルメタン−４,４’−ビス（１−アジリジンカーボキサミド）、トリメチロールプロパントリ−β−アジリジニルプロピオネート、テトラメチロールメタントリ−β−アジリジニルプロピオネート、トルエン−２,４−ビス（１−アジリジンカーボキサミド）、トリエチレンメラミン、ビスイソフタロイル−１−（２−メチルアジリジン）、トリス−１−（２−メチルアジリジン）フォスフィン、トリメチロールプロパントリ−β−（２−メチルアジリジン）プロピオネート、ヘキサ〔１−（２−メチル）−アジリジニル〕トリフオスファトリアジン等が挙げられる。
【００４２】
［光重合開始剤］
中間層形成用組成物は、さらに光重合開始剤を含有することが好ましい。中間層形成用組成物は、光重合開始剤を含有することで、中間層形成用組成物の紫外線等によるエネルギー線硬化を進行させやすくなる。
光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン、２，２−ジエトキシベンゾフェノン、４−メチルベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノン、ミヒラーケトン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジフェニサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、ベンジルジメチルケタール、ジベンジル、ジアセチル、１−クロルアントラキノン、２−クロルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノプロパノン−１，２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１，２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オン、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニル−フォスフィンオキサイド等の低分子量重合開始剤、オリゴ｛２−ヒドロキシ−２−メチル−１−［４−（１−メチルビニル）フェニル］プロパノン｝等のオリゴマー化された重合開始剤などが挙げられる。これらを単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。また、これらの中では、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンが好ましい。
光重合開始剤の含有量は、アクリル系重合体（Ａ）１００質量部に対して、通常、０．３〜１５質量部であるが、少ないアクリル系重合体（Ｂ）の含有量でも十分に硬化が進むとともに、硬化後の中間層の弾性率を高くしやすくするために、比較的含有量を多くしたほうがよく、好ましくは１〜１０質量部、より好ましくは３〜８質量部である。
【００４３】
中間層形成用組成物は、本発明の効果を損なわない範囲において、他の添加剤を含有してもよい。他の添加剤としては、例えば、酸化防止剤、軟化剤（可塑剤）、充填剤、防錆剤、顔料、染料、粘着付与剤等が挙げられる。これらの添加剤を含有する場合、それぞれの添加剤の含有量は、アクリル系重合体（Ａ）１００質量部に対して、好ましくは０．０１〜６質量部、より好ましくは０．０１〜２質量部である。
また、中間層の厚さは、例えば、被着体となる半導体ウエハに形成されるバンプの高さ等に応じて適宜選択されればよいが、好ましくは１０〜８００μｍ、より好ましくは１５〜６００μｍ、更に好ましくは２０〜５００μｍである。
【００４４】
＜粘着剤層＞
粘着シートにおいて、粘着剤層は、中間層の上に形成される層であり、粘着シートは粘着剤層により被着体に貼付される。粘着剤層は、通常、中間層の上に直接形成される。粘着剤層は、上記したようにエネルギー線硬化性の層である。粘着シートは、エネルギー線照射前には、ワークを十分に保持し得る高い粘着力を有するが、エネルギー線照射後には、粘着剤層が硬化することで粘着力が低下し、被着体であるウエハ等から容易に剥離することが可能になる。
【００４５】
粘着剤層のエネルギー線硬化後の２３℃における弾性率は、好ましくは１〜６０ＭＰａ、より好ましくは１．５〜３０ＭＰａ、さらに好ましく１．８〜１２ＭＰａである。粘着剤層は、エネルギー線硬化後の弾性率をこのような範囲とすることで、上記した弾性率差を小さくしやすくなる。また、エネルギー線照射前は粘着剤層として適切な粘着性を発現しやすくなる。さらに、弾性率をこれら範囲内とすることで、層間強度をより高くしやすくなる。
【００４６】
粘着剤層を形成する粘着剤組成物は、粘着剤層に粘着性を発現し得る粘着剤成分（粘着性樹脂）として、例えば、アクリル系重合体、ポリウレタン、ゴム系ポリマー、ポリオレフィン、シリコーン等を含有する。これらの中では、アクリル系重合体が好ましい。
粘着剤層を形成する粘着剤組成物は、粘着性樹脂とは別にエネルギー線硬化性化合物が配合されることでエネルギー線硬化性を有してもよいが、上記した粘着性樹脂自体がエネルギー線硬化性を有することが好ましい。粘着性樹脂自体がエネルギー線硬化性を有する場合、粘着性樹脂にエネルギー線重合性基が導入されるが、エネルギー線重合性基は粘着性樹脂の主鎖または側鎖に導入されることが好ましい。
【００４７】
また、粘着性樹脂とは別にエネルギー線硬化性化合物が配合される場合、そのエネルギー線硬化性化合物としては、エネルギー線重合性基を有するモノマー、オリゴマーが使用される。オリゴマーは、重量平均分子量（Ｍｗ）が１００００未満のオリゴマーであり、例えばウレタン（メタ）アクリレートが挙げられる。なお、粘着性樹脂自体がエネルギー線硬化性を有する場合であっても、粘着剤組成物には、粘着性樹脂以外にもエネルギー線硬化性化合物が配合されてもよい。
【００４８】
以下、粘着剤組成物に含有されるエネルギー線硬化性の粘着性樹脂が、アクリル系重合体（以下、“アクリル系重合体（Ｃ）”ともいう）である場合についてより詳細に説明する。
［アクリル系重合体（Ｃ）］
アクリル系重合体（Ｃ）は、エネルギー線重合性基が導入され、かつ（メタ）アクリレート由来の構成単位を有するアクリル系重合体である。エネルギー線重合性基は、アクリル系重合体の側鎖に導入することが好ましい。
アクリル系重合体（Ｃ）は、アルキル（メタ）アクリレート（ｃ１）由来の構成単位と、官能基含有モノマー（ｃ２）由来の構成単位とを有するアクリル系共重合体（Ｃ０）に、エネルギー線重合性基を有する重合性化合物（Ｘｃ）を反応させた反応物であるアクリル系共重合体（Ｃ１）を含むことが好ましく、このアクリル系共重合体（Ｃ１）からなることがより好ましい。
なお、アクリル系共重合体（Ｃ０）の共重合の形態は、特に限定されず、ブロック共重合体、ランダム共重合体等のいずれであってもよい。アクリル系共重合体（Ｃ１）の含有量は、粘着剤組成物中に含まれる（Ｃ）成分の全量（１００質量％）に対して、好ましくは７０〜１００質量％、より好ましくは８０〜１００質量％、更に好ましくは９０〜１００質量％、より更に好ましくは１００質量％である。
【００４９】
アルキル（メタ）アクリレート（ｃ１）としては、アルキル基の炭素数が１〜１８であるアルキル（メタ）アクリレートが使用され、その具体例としては、（ａ１）成分として例示したものが挙げられ、それらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
アクリル系共重合体（Ｃ０）における、アルキル（メタ）アクリレート（ｃ１）由来の構成単位の含有量は、形成される粘着剤層の粘着力を向上させる観点から、アクリル系共重合体（Ｃ０）の全構成単位（１００質量％）に対して、好ましくは５０〜９９質量％、より好ましくは６０〜９８質量％、更に好ましくは７０〜９７質量％、より更に好ましくは８０〜９６質量％である。
【００５０】
また、アルキル（メタ）アクリレート（ｃ１）は、（ａ１）、（ｂ１）成分と同様に、アルキル基の炭素数が１〜８のアルキル（メタ）アクリレートであることが好ましく、さらには、アルキル基の炭素数が４〜８のアルキル（メタ）アクリレート（すなわち、モノマー（Ｙ））を含むことがより好ましい。なお、モノマー（Ｙ）として使用される好適な化合物は、上記（ａ１）、（ｂ１）と同様であり、中でもｎ−ブチル（メタ）アクリレートが特に好ましい。
ここで、アルキル（メタ）アクリレート（ｃ１）は、全てがモノマー（Ｙ）であってもよいが、粘着剤層の粘着性能や弾性率を好適に調整するために、一部がモノマー（Ｙ）であることが好ましい。具体的には、モノマー（Ｙ）は、アルキル（メタ）アクリレート（ｃ１）全量に対して、６５〜９８質量％が好ましく、７０〜９５質量％がより好ましく、７５〜９０質量％がさらに好ましい。
【００５１】
例えば、アルキル（メタ）アクリレート（ｃ１）は、上記したモノマー（Ｙ）に加えて、エチル（メタ）アクリレートを含んでいてもよい。エチル（メタ）アクリレートを使用すると、エネルギー線硬化後でも粘着剤層の弾性率を低くしやすくなり、中間層との弾性率差を小さくしやすくなる。また、粘着剤層の粘着性能を所望のものに調整しやすくなる。
さらに、アルキル（メタ）アクリレート（ｃ１）は、上記したモノマー（Ｙ）、又はモノマー（Ｙ）及びエチル（メタ）アクリレートに加えて、メチル（メタ）アクリレートを含有してもよい。メチル（メタ）アクリレートを含有させることで、粘着剤層の粘着性能を所望のものに調整しやすくなる。
【００５２】
エチル（メタ）アクリレートとメチル（メタ）アクリレートの合計量は、アルキル（メタ）アクリレート（ｃ１）全量に対して、２〜３５質量％であることが好ましく、５〜３０質量％がより好ましく、１０〜２５質量％がさらに好ましい。
また、エチル（メタ）アクリレートは、アルキル（メタ）アクリレート（ｃ１）全量に対して、２〜３０質量％が好ましく、５〜２５質量％がより好ましく、１０〜２０質量％がさらに好ましい。
【００５３】
官能基含有モノマー（ｃ２）は、上記した官能基含有モノマー（ａ２）として例示された官能基を有するモノマーが挙げられ、具体的には、ヒドロキシ基含有モノマー、カルボキシ基含有モノマー、及びエポキシ基含有モノマーから選ばれる１種以上が好ましい。これらの具体的な化合物としては、（ａ２）成分として例示された化合物と同様のものが例示できる。
【００５４】
官能基含有モノマー（ｃ２）としては、上記した中でも、ヒドロキシ基含有モノマーがより好ましく、中でも、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートがより好ましく、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートがさらに好ましく、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートが特に好ましい。
（ｃ２）成分として、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートを使用することで、比較的容易にアクリル系共重合体（Ｃ０）に、重合性化合物（Ｘｃ）を反応させることが可能になる。また、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートを使用すると、中間層の引張強度が高くなり、糊残りを防止しやすくなる。
【００５５】
アクリル系共重合体（Ｃ０）における、官能基含有モノマー（ｃ２）由来の構成単位の含有量は、アクリル系共重合体（Ｃ０）の全構成単位（１００質量％）に対して、好ましくは１〜４０質量％、より好ましくは２〜３０質量％、更に好ましくは３〜２５質量％、より更に好ましくは４〜１５質量％である。
含有量が１質量％以上であれば、重合性化合物（Ｘｃ）との反応点となる官能基を一定量確保できる。そのため、エネルギー線の照射により粘着剤層を適切に硬化できるので、エネルギー線照射後の粘着力を低くすることが可能になる。さらには、粘着剤層と中間層とのエネルギー線照射後の層間強度を向上させやすくなる。また、含有量が４０質量％以下であれば、粘着剤組成物の溶液を塗布し、粘着剤層を形成する際、十分なポットライフを確保することができる。
【００５６】
アクリル系共重合体（Ｃ０）は、アルキル（メタ）アクリレート（ｃ１）と官能基含有モノマー（ｃ２）の共重合体であってもよいが、（ｃ１）成分と、（ｃ２）成分と、これら（ｃ１）及び（ｃ２）成分以外のその他のモノマー（ｃ３）との共重合体であってもよい。
その他のモノマー（ｃ３）としては、上述のモノマー（ａ３）として例示したものが挙げられる。
アクリル系共重合体（Ｃ０）における、その他のモノマー（ｃ３）由来の構成単位の含有量は、アクリル系共重合体（Ｃ０）の全構成単位（１００質量％）に対して、好ましくは０〜３０質量％、より好ましくは０〜２０質量％、更に好ましくは０〜１０質量％、より更に好ましくは０〜５質量％である。
【００５７】
重合性化合物（Ｘｃ）は、上述の重合性化合物（Ｘｂ）と同様に、エネルギー線重合性基と、アクリル系共重合体（Ｃ０）の（ｃ２）成分由来の構成単位中の官能基と反応し得る置換基（反応性置換基）とを有する化合物であり、好ましくは、エネルギー線重合性基を１分子あたり１〜５個有する化合物であることが好ましい。
反応性置換基及びエネルギー線重合性基の具体例は、重合性化合物（Ｘｂ）と同様であり、したがって、反応性置換基はイソシアネート基が好ましく、エネルギー線重合性基は（メタ）アクリロイル基が好ましい。
また、具体的な重合性化合物（Ｘｃ）としては、上述の重合性化合物（Ｘｂ）として例示したものと同様のものが挙げられ、（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネートが好ましい。なお、重合性化合物（Ｘｃ）は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
重合性化合物（Ｘｃ）は、アクリル系共重合体（Ｃ０）における官能基含有モノマー（ｃ２）由来の官能基全量（１００当量）のうち、好ましくは３０〜９８当量、より好ましくは４０〜９５当量、更に好ましくは５０〜９２当量、より更に好ましくは８０〜９２当量が官能基に反応される。
【００５８】
アクリル系重合体（Ｃ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは１０万〜１５０万、より好ましくは２５万〜１００万、更に好ましくは３０万〜９０万、より更に好ましくは３５万〜８０万である。このようなＭｗを有することで、粘着剤層に適切な粘着性を付与することが可能になる。
粘着剤組成物中のアクリル系重合体（Ｃ）の含有量は、粘着剤組成物の全量（１００質量％）に対して、好ましくは７０〜９９質量％、より好ましくは７５〜９８質量％、更に好ましくは８０〜９６質量％以上である。
【００５９】
下記式（２）より算出されるβの値は、アクリル系共重合体（Ｃ１）が有するエネルギー線重合性基の数を表す指標となるものである。アクリル系共重合体（Ｃ１）において、下記式（２）より算出されるβの値は、好ましくは０．５〜３０、より好ましくは１．０〜２０、更に好ましくは１．２〜１５、より更に好ましくは２〜１２である。
粘着剤層は、このようなβの値を有するアクリル系共重合体（Ｃ１）を含有することで、粘着剤層の弾性率を所望の範囲に調整しやすくなる。
式（２）：β＝〔Ｐｃ〕×〔Ｑｃ〕×〔Ｒｃ〕／１００
（式（２）中、〔Ｐｃ〕は、アクリル系共重合体（Ｃ０）の全構成単位１００質量部に対する官能基含有モノマー（ｃ２）由来の構成単位の含有量を示す。〔Ｑｃ〕は、アクリル系共重合体（Ｃ０）が有する官能基含有モノマー（ｃ２）由来の官能基１００当量に対する、重合性化合物（Ｘｃ）の当量を示す。〔Ｒｃ〕は、重合性化合物（Ｘｃ）が有するエネルギー線重合性基の数を示す。）
【００６０】
［架橋剤］
粘着剤組成物は、さらに架橋剤を含有することが好ましい。粘着剤組成物は、例えば塗布後に加熱されることで、架橋剤によって架橋される。粘着剤層は、アクリル系重合体（Ｃ）が架橋剤によって架橋されることで、塗膜が適切に形成され、粘着剤層としての機能を発揮しやすくなる。
架橋剤としては、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、アジリジン系架橋剤、キレート系架橋剤が挙げられ、これらの中では、イソシアネート系架橋剤が好ましい。架橋剤は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。なお、イソシアネート系架橋剤の具体例は、中間層形成用組成物に使用され得る架橋剤として例示されたものが挙げられ、その好ましい化合物も同様である。
架橋剤の含有量は、アクリル系重合体（Ｃ）１００質量部に対して、好ましくは０．０１〜１０質量部、より好ましくは０．１〜７質量部、更に好ましくは０．３〜４質量部である。
【００６１】
［光重合開始剤］
粘着剤組成物は、さらに光重合開始剤を含有することが好ましい。光重合開始剤としては、上述の中間層形成用組成物に使用される光重合開始剤として例示されたものが挙げられる。なお、光重合開始剤は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。また、上記した中では、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンが好ましい。
光重合開始剤の含有量は、アクリル系重合体（Ｃ）１００質量部に対して、通常、０．５〜１５質量部であるが、より好ましくは１〜１２質量部、更に好ましくは４．５〜１０質量部である。このように光重合開始剤の含有量を比較的高くすると、硬化後の粘着剤層の弾性率を高くしやすくなる。
【００６２】
粘着剤組成物は、本発明の効果を損なわない範囲において、他の添加剤を含有してもよい。他の添加剤としては、例えば、粘着付与剤、酸化防止剤、軟化剤（可塑剤）、充填剤、防錆剤、顔料、染料等が挙げられる。これらの添加剤を含有する場合、それぞれの添加剤の含有量は、アクリル系重合体（Ｃ）１００質量部に対して、好ましくは０．０１〜６質量部、より好ましくは０．０１〜２質量部である。
粘着剤層の厚さは、好ましくは１〜１００μｍ、より好ましくは１〜７５μｍ、更に好ましくは３〜５０μｍである。
【００６３】
なお、粘着剤層の上記弾性率は、例えば、アクリル系重合体（Ｃ）を使用する場合には、アクリル系重合体（Ｃ）を構成するモノマーの種類及び量、アクリル系重合体（Ｃ）に導入されるエネルギー線重合性基の量（βの値）等により調整可能である。例えば、エネルギー線重合性基の量（βの値）を増やすと、弾性率は高くなる傾向にある。さらには、粘着剤層に配合される架橋剤の量、光重合開始剤の量等によっても適宜調整可能である。
【００６４】
中間層形成用組成物及び粘着剤組成物それぞれは、基材、剥離材等の面上に中間層、粘着剤層を形成する際、塗布性を向上させる観点から、更に有機溶媒で希釈して、中間層形成用組成物又は粘着剤組成物の溶液の形態としてもよい。
有機溶媒としては、例えば、メチルエチルケトン、アセトン、酢酸エチル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、シクロヘキサン、ｎ−ヘキサン、トルエン、キシレン、ｎ−プロパノール、イソプロパノール等が挙げられる。なお、使用する有機溶媒は、（Ａ）〜（Ｃ）成分の合成時に使用した有機溶媒をそのまま用いてもよいし、合成時に使用された有機溶媒以外の１種以上の有機溶媒を加えてもよい。
上記したような溶液の形態とする場合、溶液の固形分濃度としては、好ましくは５〜７０質量％、より好ましくは１０〜６０質量％、更に好ましくは１５〜５０質量％である。  
【００６５】
＜基材＞
粘着シートに使用される基材は、ワークに対する保持性能を良好にできる等の観点から、樹脂フィルムが好ましい。樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体フィルム、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルム、ポリカーボネート系フィルム、ポリスチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、シクロオレフィンポリマー系フィルム、ポリウレタン系フィルム、アイオノマー樹脂フィルム、ポリイミド系フィルム、フッ素樹脂フィルム等が挙げられる。
【００６６】
基材は、上述の樹脂を１種のみ有する樹脂フィルムであってもよいし、２種以上有するものであってもよい。例えば、１つの樹脂フィルムからなる単層フィルムでもよく、複数の樹脂フィルムが積層した複層フィルムであってもよい。また、樹脂フィルムは、これらの架橋フィルムであってもよい。
上記樹脂フィルムの中でも、ワークの保持性能をより高くするために、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。
また、樹脂フィルムは、公知のフィラー、着色剤、帯電防止剤、酸化防止剤、有機滑剤、触媒等を含有してもよい。また、樹脂フィルムは、透明なものであっても、所望により着色等されていてもよい。
基材の厚さは、好ましくは１０〜５００μｍ、より好ましくは１５〜３００μｍ、更に好ましくは２０〜２００μｍである。
【００６７】
＜剥離材＞
本発明のウエハ保護用粘着シートは、粘着剤層上に、更に剥離材を有していてもよい。
剥離材としては、両面剥離処理をされた剥離シート、片面剥離処理をされた剥離シート等が挙げられる。これらの剥離シートは、剥離材用基材上に剥離剤を塗布したものが挙げられる。
剥離材用基材としては、例えば、上述の基材として用いられる樹脂フィルムが挙げられ、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系フィルム、及びポリプロピレン、ポリエチレン等のポリオレフィン系フィルムが好ましい。
剥離剤としては、例えば、シリコーン系樹脂、オレフィン系樹脂、イソプレン系樹脂、ブタジエン系樹脂等のゴム系エラストマー、長鎖アルキル系樹脂、アルキド系樹脂、フッ素系樹脂等が挙げられる。
剥離材の厚さは、特に制限ないが、好ましくは１０〜２００μｍ、より好ましくは２０〜１５０μｍである。
【００６８】
［粘着シートの製造方法］
本発明のウエハ保護用粘着シートの製造方法としては、特に制限はなく、公知の方法により製造することができる。
例えば、基材の一方の面に中間層を設けた中間層付き基材を用意し、その中間層付き基材の中間層の上に、さらに粘着剤層を積層することで製造することができる。
中間層付き基材は、例えば、基材の一方の面に、中間層形成用組成物又はその溶液を塗布し、その後加熱し乾燥することで中間層を形成して作製することができる。或いは、剥離材の剥離処理面に、中間層形成用組成物又はその溶液を塗布し、その後加熱し乾燥して、剥離材上に中間層を形成し、この中間層を基材に貼り合わせて、中間層付き基材を得てもよい。なお、剥離材は、中間層の上に粘着剤層を積層する前に剥離すればよい。
【００６９】
粘着剤層は、中間層作製時に使用した剥離材とは別の剥離材の剥離処理面上に、粘着剤組成物又はその溶液を塗布し、加熱して乾燥することで粘着剤層を形成し、その剥離材付きの粘着剤層を中間層の上に貼り合わせればよい。剥離材は、粘着剤層から剥離してもよいし、そのまま粘着剤層上に設けられた剥離材として使用してもよい。
また、粘着剤層は、中間層付き基材の中間層上に、粘着剤組成物を直接塗布し、その後加熱し乾燥することで形成してもよい。この場合、粘着剤層の上に剥離材をさらに貼り合わせてもよい。
【００７０】
中間層形成用組成物、粘着性組成物、又はこれらの溶液を、基材又は剥離材上に塗布する方法としては、例えば、スピンコート法、スプレーコート法、バーコート法、ナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法、グラビアコート法等が挙げられる。
また、比較的厚い中間層を形成する際には、剥離材の剥離処理面上に、中間層形成用組成物の溶液を塗布し乾燥して中間層を２つ以上形成し、その中間層を互いに貼り合わせ、又は、複数の中間層を基材の上に順次積層していき、中間層を形成してもよい。粘着剤層についても同様である。
【００７１】
［粘着シートの使用方法］
本発明の粘着シートは、半導体ウエハ等の各種ワークに貼付し、ワークを加工する際に使用するものであって、凹凸や突起があるワーク面に貼付して使用することが好ましい。
また、半導体ウエハ表面、特にバンプが形成されたウエハ表面に貼付して、半導体ウエハ表面保護用粘着シートとして使用することがより好ましい。また、粘着シートは、半導体ウエハ表面に貼付して、その後のウエハ裏面研削時に、ウエハ表面に形成された回路を保護するバッググラインドテープとして使用することがさらに好ましい。本発明の粘着シートが中間層を有する場合には、ウエハ表面にバンプ等により高低差があっても埋め込み性が良好であるため、ウエハ表面の保護性能が良好となる。
【００７２】
本発明において粘着剤層及び中間層は、エネルギー線硬化性である。そのため、半導体ウエハ等のワーク表面に貼付された粘着シートは、エネルギー線が照射されエネルギー線硬化された後、ワーク表面から剥離される。これにより、粘着シートは、粘着力が低下してから剥離されるため、剥離性が良好となる。また、硬化後の粘着シートは、剥離される際、上記のように粘着剤層と中間層の間で発生する層間剥離が防止され、ウエハ表面に糊残りが生じにくくなる。
なお、粘着シートの用途は、バックグラインドシートに限定されず、その他の用途に使用することも可能である。例えば、粘着シートは、ウエハ裏面に貼付し、ウエハをダイシングする際にウエハを保持するダイシングシートとして使用してもよい。この場合のウエハは、貫通電極が形成されているもの等、ウエハ裏面にバンプ等の突起や凹凸が形成されているものであってもよい。
【実施例】
【００７３】
以下、実施例に基づき本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの例によって制限されるものではない。【００７４】
本発明における測定方法、評価方法は以下のとおりである。
［重量平均分子量（Ｍｗ）］
ゲル浸透クロマトグラフ装置（製品名「ＨＬＣ−８２２０」、東ソー株式会社製）を用いて、下記の条件下で測定し、標準ポリスチレン換算にて測定した値を用いた。
（測定条件）
カラム：「ＴＳＫ  ｇｕａｒｄ  ｃｏｌｕｍｎ  ＨＸＬ−Ｈ」「ＴＳＫ  ｇｅｌ  ＧＭＨＸＬ（×２）」「ＴＳＫ  ｇｅｌ  Ｇ２０００ＨＸＬ」（いずれも東ソー株式会社製）
カラム温度：４０℃    展開溶媒：テトラヒドロフラン    流速：１．０ｍＬ／ｍｉｎ【００７５】
［弾性率測定］
各実施例及び比較例で用いた中間層形成用組成物、粘着剤組成物を用いて、両面にポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系剥離フィルム（リンテック株式会社製、製品名「ＳＰ−ＰＥＴ３８１０３１」、厚さ：３８μｍ）が貼付された厚さ２００μｍの中間層、粘着剤層を用意した。なお、厚さ２００μｍの中間層は、実施例、比較例と同様の方法により、剥離フィルムの上に形成した厚さ５０μｍの中間層を複数準備し、順次積層することで得たものである。粘着剤層についても同様である。
その後、紫外線照射装置（リンテック株式会社製、製品名「ＲＡＤ−２０００ｍ／１２」）にて照度２３０ｍＷ／ｃｍ2、積算光量５００ｍＪ／ｃｍ2で紫外線を中間層、粘着剤層に照射した。次に、紫外線で硬化された中間層、粘着剤層を４ｍｍ×５０ｍｍの大きさにカットし、粘弾性を測定するための試料とした。その試料を用いて、粘弾性測定装置（オリエンテック社製、製品名「レオバイブロン」）により、３℃／分の昇温速度で−３０〜２００℃の貯蔵弾性率を測定（周波数：１Ｈｚ）し、２３℃における貯蔵弾性率の値を各層のエネルギー線硬化後の弾性率とした。【００７６】
［層間強度測定］
ＳＵＳ板に両面テープ（リンテック株式会社、商品名「タックライナー」）を貼付し、その上にダイシングテープ（リンテック株式会社、製品名「ＡＤＷＩＬＬ Ｄ−５１０Ｔ」）の基材面を貼付するとともに、ダイシングテープの粘着剤面に、実施例及び比較例で作製し、かつ剥離フィルムを剥がした粘着シート（長さ２００ｍｍ、幅２５ｍｍ）を、粘着シートの粘着剤層側の面がダイシングテープの粘着剤面に接着されるように貼付した。その後、作製したサンプルにリンテック株式会社製、ＲＡＤ−２０００ｍ／１２を用いてＵＶ照射（照度：２３０ｍＷ／ｃｍ２，光量：５００ｍＪ／ｃｍ２)し、株式会社島津製作所製「オートグラフＡＧ−ＩＳ １ｋＮ」にて、２３℃、５０％ＲＨ環境下、剥離速度６００ｍｍ／分、剥離角度１８０°で剥離して中間層と粘着剤層の層間強度を測定した。【００７７】
［実施例１］
（中間層付き基材Ａの作製）
ｎ−ブチルアクリレート（ＢＡ）９１質量部と、アクリル酸（ＡＡ）９質量部とを共重合してなるアクリル系共重合体（重量平均分子量：６００，０００）をアクリル系重合体（Ａ）として用意した。また、ｎ−ブチルアクリレート（ＢＡ）６２質量部、メチルメタクリレート（ＭＭＡ）１０質量部、２−ヒドロキシエチルアクリレート（２ＨＥＡ）２８質量部を共重合してなるアクリル系共重合体に、メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（昭和電工株式会社製、製品名「カレンズＭＯＩ」）を、２ＨＥＡの水酸基（１００当量）に対して付加率が８０当量となるように付加して得たアクリル系共重合体（重量平均分子量：１００，０００）をアクリル系重合体（Ｂ）として用意した。
アクリル系重合体（Ａ）１００質量部に、アクリル系重合体（Ｂ）を１３質量部、架橋剤としてトリメチロールプロパンアダクトトリレンジイソシアネート（東ソー株式会社製、製品名「コロネートＬ」）を２．２質量部、及び、光重合開始剤として１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（ＢＡＳＦ社製、製品名「Ｉｒｇａｃｕｒｅ １８４」）を３．７１質量部添加し、トルエンを用いて固形分濃度３７質量％に調整して、３０分間撹拌を行って中間層形成用組成物の溶液を得た。【００７８】
次いで、中間層形成用組成物の溶液を、ＰＥＴ系剥離フィルム（リンテック株式会社製、製品名「ＳＰ−ＰＥＴ３８１０３１」、厚さ３８μｍ）に塗布し、１００℃で２分間加熱して乾燥させ、剥離フィルム付き中間層を形成した。中間層の厚さは５０μｍであった。この剥離フィルム付き中間層を２枚用意した。次いで、一方の剥離フィルム付き中間層の中間層側を、基材としてのエチレン−酢酸ビニルフィルム（グンゼ株式会社製、製品名「ファンクレアＬＥＢ」、厚さ１２０μｍ）に貼り合わせ、中間層上の剥離フィルムを剥がした。その後、他方の剥離フィルム付き中間層を、基材の上に積層した中間層の上にさらに貼り合わせ、中間層の厚さが１００μｍであり、剥離材／中間層／基材からなる中間層付き基材Ａを得た。【００７９】
（粘着シートの作製）
ｎ−ブチルアクリレート（ＢＡ）７０質量部、エチルアクリレート（ＥＡ）１５質量部、メチルメタクリレート（ＭＭＡ）５質量部、及び、４−ヒドロキシブチルアクリレート（４ＨＢＡ）１０質量部を共重合してなるアクリル系共重合体に、メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（昭和電工株式会社製、製品名「カレンズＭＯＩ」）を、４ＨＢＡの水酸基（１００当量）に対して付加率が９０当量となるように付加して得たアクリル系共重合体（重量平均分子量：６００，０００）をアクリル系重合体（Ｃ）として用意した。
アクリル系重合体（Ｃ）１００質量部に、架橋剤としてのトリメチロールプロパンアダクトトリレンジイソシアネート（東ソー株式会社製、製品名「コロネートＬ」）を１．５質量部、光重合開始剤としての２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン（ＢＡＳＦ社製、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ６５１）を７．３質量部添加し、トルエンを用いて固形分濃度２０質量％に調整し、３０分間撹拌を行って粘着剤組成物の溶液を得た。
次いで、粘着剤組成物の溶液をＰＥＴ系剥離フィルム（リンテック株式会社製、製品名「ＳＰ−ＰＥＴ３８１０３１」厚さ：３８μｍ）に塗布し、９０℃で１分間加熱し乾燥させ、厚さ１０μｍの粘着剤層を調製した。先に作製した中間層付き基材Ａ上の剥離フィルムを除去し、表出しした中間層を粘着剤層の上に貼り合わせて、剥離材／粘着剤層／中間層／基材からなる粘着シートを作製した。【００８０】
［実施例２］
（中間層付き基材Ｂの作製）
アクリル系重合体（Ｂ）の添加量を２３質量部に変更する以外は、実施例１と同様に実施して、中間層付き基材Ｂを作製した。
（粘着シートの作製）
ｎ−ブチルアクリレート（ＢＡ）７４質量部、メチルメタクリレート（ＭＭＡ）２０質量部、２−ヒドロキシエチルアクリレート（２ＨＥＡ）６質量部を共重合してなるアクリル系共重合体に、メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（昭和電工株式会社製、製品名「カレンズＭＯＩ」）を、２ＨＥＡの水酸基（１００当量）に対して付加率が５０当量となるように付加して得たアクリル系共重合体（重量平均分子量：６００，０００）をアクリル系重合体（Ｃ）として用意した。
アクリル系重合体（Ｃ）１００質量部に、架橋剤としてトリメチロールプロパンアダクトトリレンジイソシアネート（東ソー株式会社製、製品名「コロネートＬ」）を０．５質量部、光重合開始剤としての１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（ＢＡＳＦ社製 Ｉｒｇａｃｕｒｅ １８４）を６．０質量部添加して、トルエンを用いて固形分濃度２０質量％に調整し、３０分間撹拌を行って粘着剤組成物の溶液を得た。
次いで、この粘着剤組成物の溶液を用い、かつ中間層付き基材Ａの代わりに、中間層付き基材Ｂを用いた点を除いて、実施例１と同様に粘着シートを作製した。【００８１】
［比較例１］
（粘着シートの作製）
ｎ−ブチルアクリレート（ＢＡ）５２質量部、メチルメタクリレート（ＭＭＡ）２０質量部、２−ヒドロキシエチルアクリレート（２ＨＥＡ）２８質量部を共重合してなるアクリル系共重合体に、メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（昭和電工株式会社製、製品名「カレンズＭＯＩ」）を、２ＨＥＡの水酸基（１００当量）に対して付加率が９０当量となるように付加して得たアクリル系共重合体（重量平均分子量：６００，０００）をアクリル系重合体（Ｃ）として用意した。
アクリル系重合体（Ｃ）１００質量部に、架橋剤としてのトリメチロールプロパンアダクトトリレンジイソシアネート（東ソー株式会社製、製品名「コロネートＬ」）を０．５質量部、光重合開始剤としての１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（ＢＡＳＦ社製「Ｉｒｇａｃｕｒｅ１８４」）を１．４質量部添加し、トルエンを用いて固形分２０質量％に調整し、３０分間攪拌を行って粘着剤組成物を得た。得られた粘着剤組成物を用いて、実施例１と同様の方法で粘着シートを作製した。【００８２】
［比較例２］
アクリル系重合体（Ｂ）の添加量を６７質量部に変更する以外は中間層付き基材Ａ（実施例）と同様の方法にて中間層付き基材Ｃを得た。中間層付き基材Ｃを用いる以外は実施例２と同様の方法にて表面保護シートを作製した。【００８３】
［比較例３］
アクリル系重合体（Ｂ）の添加量を１０７質量部に変更する以外は中間層付き基材Ａ（実施例１）と同様の方法にて中間層付き基材Ｄを得た。中間層付き基材Ｄを用いる以外は実施例２と同様の方法にて表面保護シートを作製した。【００８４】
【表１】
2018092446.tif 000002
【００８５】
以上の実施例１、２から明らかなように、弾性率差を２０ＭＰａ以下と小さくすることで、層間強度が高くなったため、半導体加工用粘着シートを硬化してワークから剥離するときに、中間層と粘着剤層との間で生じる層間剥離を防止することが可能になる。
それに対して、比較例１〜３では、弾性率差が大きくなることで層間強度が低くなったため、半導体加工用粘着シートを硬化してワークから剥離するときに、中間層と粘着剤層との間で生じる層間剥離を十分に防止できない。
【国際調査報告】
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