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　特願２００１−５５０００５「金ゲルマニューム隔離ろう付け結合を有するサファイヤ圧力センサ用梁」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　７月１２日国際公開、ＷＯ０１／５０１０５、平成１５年１１月１８日国内公表、特表２００３−５３４５２９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０００年１２月２０日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２０００年１月６日、米国）を国際出願日とする出願であって、平成１７年２月１７日付（発送日同年２月２３日）で拒絶査定がなされ、これに対し、平成１７年５月２４日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、平成１７年６月２３日付手続補正書によって明細書を補正対象とする補正がなされたものである。
　
第２　平成１７年６月２３日付手続補正書（以下、「本件補正」という。）についての補正却下の決定
[補正却下の決定の結論]
　本件補正を却下する。
[理由]
１．補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲の請求項１を、補正前の、
「　【請求項１】単結晶サファイヤの直接接合層からなる梁として形成され、該梁は、中央チャネルを取り囲む梁壁を形成し、流体圧力に適合されるダイヤフラムを有する第１端部と反対側第２端部を有し、前記梁壁は、前記両端部間に外側梁取付面を有し、前記中央チャネルは、第１端部近傍の第１幅および該第１幅より狭い、前記取付面近傍の第２幅を有する圧力感知本体と、
　取付孔が貫通され、前記梁が該取付孔を通して取り付けられる隔離プレートと、
　前記外側梁取付面を前記取付孔に密封的に接合し、前記第２端部を流体圧力から密封的に隔離するろう付け結合と、
　前記中央チャネル内に設けられた導電膜であって、前記ダイヤフラム上の圧力感知膜部分、および該圧力感知部分から電気接触パッドへ延びるセンサリード部分を含み、前記梁は第２端部に切欠を有し、該切欠は、前記電気接触パッドがアクセス可能な、前記中央チャネル上の隔離リード面を形成する導電膜とを備えた、改良隔離を有する圧力センサカプセル。」
から、補正後の、
「　【請求項１】単結晶サファイヤの直接接合層からなる梁として形成され、該梁は、中央チャネルを取り囲む梁壁を形成し、流体圧力に適合されるダイヤフラムを有する第１端部と反対側第２端部を有し、前記梁壁は、前記両端部間に外側梁取付面を有し、前記中央チャネルは、第１端部近傍の第１幅および該第１幅より狭い、前記取付面近傍の第２幅を有する圧力感知本体と、
　取付孔が貫通され、前記梁が該取付孔を通して取り付けられる隔離プレートと、
　前記外側梁取付面
の周囲を完全に取り囲んで該外側梁取付面
　前記中央チャネル内に設けられた導電膜であって、前記ダイヤフラム上の圧力感知膜部分、および該圧力感知部分から電気接触パッドへ延びるセンサリード部分を含み、前記梁は第２端部に切欠を有し、該切欠は、前記電気接触パッドがアクセス可能な、前記中央チャネル上の隔離リード面を形成する導電膜とを備えた、改良隔離を有する圧力センサカプセル。」
に補正する補正事項を含むものである。（なお、下線は、補正箇所を示すために請求人が付したものである。）
　
２．補正の適否
　上記の補正内容は、請求項１に係る発明特定事項である「外側梁取付面」を「取付孔に密封的に接合」する構成について、「前記外側梁取付面の周囲を完全に取り囲んで」取付孔に密封的に接合するとの限定を付加する補正事項である。
　上記補正事項は、平成１８年法改正前特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された事項により特定される発明（以下、「本件補正発明１」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法改正前特許法第１７条の２第５項で準用する特許法第１２６条第４項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
３．刊行物記載の発明・事項
（１）原査定の拒絶の理由に引用された本願の優先権主張の日前の平成４年４月８日に頒布された刊行物である特開平４−１０６４４２号公報（以下「刊行物１という」）には、図面とともに下記の事項が記載されている。
（ア）「［実施例］
　第１図について本発明の圧力センサーＳの一実施例を説明する。
　１，２はＺｒＯ２系，Ａｌ２Ｏ３系等からなる長尺板状セラミックス層であって、受圧側セラミックス層１の厚を０．０５ｍｍ〜０．７ｍｍとし、基部側セラミックス層２の厚を０．０５ｍｍ〜１．５ｍｍとし、前記受圧側セラミックス層１を基部側セラミックス層２に比して薄厚か、または等しくする。そして、この生のセラミックス層１，２の端部に第１図イに示すようにカーボン等の焼失性物質３を配設し、第１図ロのようにこれを接合し、３００℃で２０時間樹脂抜きをした後に、１５００℃で２時間焼成して一体化する。なお、後述するように、容量式の感圧電極部を配設する場合には、前記焼失性物質３を挟持するセラミックス層１，２の内面位置に、白金、タングステンまたはモリブデン等からなる電極７〜９及び導電路１０ａ，導電端１０ｂをスクリーン印刷等により塗布しておく。
　そして、上述のように、セラミックス層１，２を焼成すると焼失性物質３は焼失し、その後に空隙４を生じ、セラミックス層１の空隙４に対接する外肉部分は外圧により空隙４側に歪むダイヤフラム部５となる。
　このダイヤフラム部５またはその周囲には、感圧電極部が配設される。この感圧電極部は被検出圧力によるダイヤフラム部５の歪量に起因して該圧力と相関性のある電気的出力を発生するものであり、この−例として次のように静電容量式が提案される。」（第３頁左上欄第１９行〜同頁左下欄第８行）
（イ）「そして前記セラミックス層１及び基部側セラミックス層２の当接側内面には、前記可動電極７，検出電極８及び基準電極９に接続する白金，タングステンまたはモリブデン等からなる導電路１０ａが相互に干渉することのないように延成され、その他端部において、前記セラミックス層１の長さを基部側セラミックス層２の長さよりも少し短くすることにより前記基部側セラミックス層２を突出して、この突出部に各導電路１０ａの導電端１０ｂを露出するようにしている。そしてこの導電端１０ｂに導線ｌが接続される。尚、可動電極７に接続する導電路１０ａは、基部側セラミックス層２側にあらかじめ形成し、セラミックス層１，２の接合により夫々電気的に接続するようにする。」（第３頁左下欄第１４行〜同頁右下欄第８行）
（ウ）「前記空隙４を形成する他の手段として、第２図イに示すようにセラミックス層１とセラミックス層２との間に、空孔１５を形成されたセラミックス層１，２と同一材料からなるセラミックススペーサ１６を介装する手段がある。かかる構成にあっては、各部材を接合して焼成することにより第２図ロに示すように前記空孔１５により空隙４が形成され、前記空孔１５と対向するセラミックス層１の部分がダイヤフラム部５となる。
　・・・セラミックススペーサ１６に空孔１５と連通する導入溝１７を形成し、・・・」（第４頁右上欄第１８行〜同頁左下欄第１８行）
（エ）「第７〜９図は前記板状圧力センサーＳを実際に取付ける場合の構成を示すものである。
　ここで第７図は自動車の吸気管等の壁部ｗに螺合する雄螺子３１を備えた六角頭部付き螺装管３０の内孔にガラスシール３４を介して圧力センサーＳを挿通したものであり、前記圧力センサーＳのダイヤフラム部５を備えた先端部を被検出圧力の雰囲気中に挿入し、該先端部を雄螺子３１の下端に固着される保護網３５で囲繞して保護するようにしている。」（第６頁左上欄第１４行〜同頁右上欄第３行）
（オ）図面第２図イ、ロには、セラミックス層１，２、及び、その間に介装されるセラミックススペーサ１６を接合した圧力センサーが、長尺板状部材として形成されていること、導入溝１７の幅は空孔１５の幅より狭いことが示されている。
（カ）図面第７図には、圧力センサーＳの両端部間で硝子シール３４によって取付けられる取付面とする構成が示されている。
　
　上記摘記事項の（エ）の「螺装管３０の内孔にガラスシール３４を介して圧力センサーＳを挿通した」の記載、及び「シール」の技術常識からみて、刊行物１に記載の圧力センサーＳは、その周囲を完全に取り囲んで圧力センサーＳの周囲を螺装管３０の内孔に密封的に接合した構成が読み取れる。
　また、上記摘記事項（イ）の「・・・その他端部において、前記セラミックス層１の長さを基部側セラミックス層２の長さよりも少し短くすることにより前記基部側セラミックス層２を突出して、この突出部に各導電路１０ａの導電端１０ｂを露出するようにしている。」の記載からみて、センサーＳの他端部は切欠を有している構成が読み取れる。
　
　したがって刊行物１には次の発明（以下、「刊行物１記載の発明」という。）が記載されているものと認める。
＜刊行物１記載の発明＞
　「長尺板状セラミックス層１、基部側セラミックス層２、及びこれらセラミックス層１、２と同一材料からなるセラミックススペーサ１６を接合して一体化した長尺板状部材として形成され、該長尺板状部材は、その内部に空孔１５及び導入溝１７が形成され、外圧により歪むダイヤフラム部５を備えた先端部と、該先端部とは反対側の他端部を有し、両端部間に取付面を有し、空孔１５及び導入溝１７は、空孔１５の幅より狭い導入溝１７の幅を有する圧力センサーＳと、
　内孔に圧力センサーＳを挿通した螺装管３０と、
　圧力センサーＳの取付面の周囲を完全に取り囲んで圧力センサーＳを螺装管３０の内孔に密封的に接合し、上記他端部を被検出圧力の雰囲気から密封的に隔離するガラスシール３４と、
　セラミックス層１及び基部側セラミックス層２の当接側内面に設けられたスクリーン印刷等により塗布された電極７〜９及び導電路１０ａであって、ダイヤフラム５に設けられた感圧電極部、および該感圧電極部から導電端１０ｂへ延びる導電路１０ａを含み、圧力センサーＳは上記他端部に切欠を有し、導電端１０ｂが露出する突出部とを備えた、圧力センサー。」
　
（２）原査定の拒絶の理由に引用された本願の優先権主張の日前の平成６年９月２２日に頒布された刊行物である特開平６−２６５４２８号公報（以下「刊行物２という」）には、図面とともに下記の事項が記載されている。
（ア）「【００１０】
【作用】本発明においては、第１のサファイア基板と、第２のサファイア基板とがシール材を不要としてサファイア同志の物理化学的な結合力により直接的に密着して接合される。 」（段落【００１０】）
（イ）「【００３２】図４は、本発明による静電容量式圧力センサのさらに他の実施例による構成を示す図である。同図において、２１は第１のサファイア基板であり、この第１のサファイア基板２１の下面側には、断面が凹状となる深さの浅い凹部２２が形成されており、この凹部２２内の底面には導電性膜からなる固定電極２３が形成されている。
【００３３】また、この第１のサファイア基板２１の溝２２の底面には固定電極２３の電極取り出し孔２１ａが外部に貫通して形成され、この電極取り出し孔２１ａの内面には固定電極２３のリード部２３ａが一体形成されるとともに第１のサファイア基板２１の上面に引き出されて固定電極取り出し端子２３ｂが形成されている。さらにこの第１のサファイア基板２１には、図４（ｂ）に下斜め方向から見た斜視図で示すように上記凹部２２が大気圧に連通する大気圧導入孔２１ｂが設けられている。」（段落【００３２】〜【００３３】）
（ウ）「【００３６】そして第１のサファイア基板２１と、第２のサファイア基板２４と、第３のサファイア基板２７との各周辺接合部がサファイア同志の直接接合により密着されて固定され、容量式圧力センサチップのパッケージ構造が構成されている。」（段落【００３６】）
（エ）図面図４（ｂ）には、サファイア基板２１の下面側に形成された凹部２２が、幅の広い部分と当該部分より幅の狭い部分とから成り、これらの部分に導電性膜からなる固定電極２３が形成されている構成が示されている。
　
４．対比
　本件補正発明１と刊行物１記載の発明を対比する。
　その技術的意義からみて、後者の「セラミックス層１、２と同一材料からなるセラミックススペーサ１６を接合して一体化した長尺板状部材」、「空孔１５及び導入溝１７」、「外圧により歪む」、「ダイヤフラム部５」、「先端部」、「他端部」、「取付面」、「空孔１５の幅」、「導入溝１７の幅」、「センサーＳ」、「被検出圧力」、「スクリーン印刷等により塗布された電極７〜９及び導電路１０ａ」、「ダイヤフラム５に設けられた感圧電極部」、「導電端１０ｂ」、「導電路１０ａ」は、それぞれ、前者の「接合層からなる梁」、「中央チャネル」、「流体圧力に適合される」、「ダイヤフラム」、「第１端部」、「第２端部」、「外側梁取付面」、「第１端部近傍の第１幅」、「取付面近傍の第２幅」、「圧力感知本体」、「流体圧力」、「導電膜」、「ダイヤフラム上の圧力感知膜部分」、「電気接触パッド」、「センサリード部分」に相当する。
　また、後者の「セラミックス層１、２と同一材料からなるセラミックススペーサ１６を接合して一体化した長尺板状部材」は圧力センサーＳそのものを形成するものであることから、圧力センサーＳは「梁」形状を有している。したがって、後者の「内孔に圧力センサーＳを挿通した螺装管３０」、「圧力センサーＳの取付面の周囲を完全に取り囲んで圧力センサーＳを螺装管３０の内孔に密封的に接合」、「圧力センサーＳは上記他端部に切欠を有し、導電端１０ｂが露出する突出部とを備えた」は、それぞれ、、前者の「取付孔が貫通され、前記梁が該取付孔を通して取り付けられる隔離プレート」、「外側梁取付面の周囲を完全に取り囲んで該外側梁取付面を前記取付孔に密封的に接合」、「梁は第２端部に切欠を有し、該切欠は、前記電気接触パッドがアクセス可能な、前記中央チャネル上の隔離リード面を形成する導電膜とを備えた」に相当する。
　また、後者において「セラミックス層１、２と同一材料からなるセラミックススペーサ１６を接合して一体化した長尺板状部材として形成され、該長尺板状部材は、その内部に空孔１５及び導入溝１７が形成され」る構成は、該長尺板状部材が空孔１５及び導入溝１７に対して壁を形成していることは明らかである。
　また、後者において、圧力センサーＳがガラスシール３４による隔離構造によって螺装管３０に取り付けられた構成は、前者の「隔離を有する圧力センサカプセル」に相当する。
　また、後者における「ガラスシール３４」は、前者の「ろう付け結合」と、被測定流体を密封的に隔離する手段である限りにおいて一致している。
　そうすると、両者は次の一致点及び相違点を有している。
　
＜一致点＞
「接合層からなる梁として形成され、該梁は、中央チャネルを取り囲む梁壁を形成し、流体圧力に適合されるダイヤフラムを有する第１端部と反対側第２端部を有し、前記梁壁は、前記両端部間に外側梁取付面を有し、前記中央チャネルは、第１端部近傍の第１幅および該第１幅より狭い、前記取付面近傍の第２幅を有する圧力感知本体と、
　取付孔が貫通され、前記梁が該取付孔を通して取り付けられる隔離プレートと、
　前記外側梁取付面の周囲を完全に取り囲んで該外側梁取付面を前記取付孔に密封的に接合し、前記第２端部を流体圧力から密封的に隔離する手段と
　導電膜であって、前記ダイヤフラム上の圧力感知膜部分、および該圧力感知部分から電気接触パッドへ延びるセンサリード部分を含み、前記梁は第２端部に切欠を有し、該切欠は、前記電気接触パッドがアクセス可能な、前記中央チャネル上の隔離リード面を形成する導電膜とを備えた、改良隔離を有する圧力センサカプセル。」
＜相違点１＞
　本件補正発明１においては、接合層からなる梁の材質が「単結晶サファイヤ」であり、層の接合が「直接接合」であるのに対し、刊行物１記載の発明においては、当該構成を具えていない点。
＜相違点２＞
　本件補正発明１においては、梁の第２端部を流体圧力から密封的に隔離する手段が「ろう付け結合」であるのに対し、刊行物１記載の発明においては、当該手段が「ガラスシール」である点。
＜相違点３＞
　本件補正発明１においては、導電膜が「中央チャネル内に設けられた」ものであるのに対し、刊行物１記載の発明においては、当該構成を具えていない点。
　
５．当審の判断
＜相違点１について＞
　上記の刊行物２に記載されるように、圧力センサのダイヤフラム構造部分を、第１のサファイア基板と第２のサファイア基板とを物理化学的な結合力により直接的に密着して接合した圧力センサは本願の優先権主張の日前公知である（上記摘記事項３．（２）（ア）及び（ウ））。更に、圧力センサのダイヤフラム構造部分の材料に単結晶サファイヤを用いることは、例えば、特開平６−２１２４０２号公報（その段落【００２３】を参照）あるいは特開昭６４−８８３２３号公報（その特許請求の範囲の請求項２を参照）に示されるごとく周知の技術であることからすれば、刊行物１記載の発明における長尺板状セラミックス層の材質およびそれらの接合に刊行物２に記載の技術及び周知の技術を適用して相違点１に係る特定事項を得ることは当業者が容易に成し得たものといえる。
　
＜相違点２について＞
　圧力測定装置を設置する際に、測定装置の一部分を測定すべき流体圧力から密封的に隔離する手段として、ろう付け結合を用いることは、例えば、特表平８−５０７８５４号公報（その第１２頁第１２〜１５行を参照）に記載されるように周知の技術である。してみれば、刊行物１記載の発明における、圧力センサーＳの他端部を被検出圧力の雰囲気から密封的に隔離する「ガラスシール３４」に替えて、当該周知の技術を適用して相違点２に係る特定事項を得ることは当業者が容易に成し得たものといえる。
　
＜相違点３について＞
　上記の刊行物２には、サファイア基板２１の下面側に形成された凹部２２が、幅の広い部分と当該部分より幅の狭い部分とから成り、これらの部分に導電性膜からなる固定電極２３が形成されている構成が記載されている（上記摘記事項３．（２）（イ）及び（エ））。そして、刊行物１に記載の発明においては、センサーＳを構成するセラミックス層１及び基部側セラミックス層２の当接側内面に導電路１０ａが設けられていること、センサーＳは、その内部に空孔１５及び導入溝１７が形成されていることからすれば、当該刊行物２に記載の技術を適用し、上記空孔１５及び導入溝１７に導電膜を設けることにより上記相違点３に係る特定事項を得ることは当業者が容易に成し得たものといえる。
　
＜補正発明１の作用効果について＞　
　そして、本件補正発明１の作用効果は、刊行物１及び２に記載の事項及び上記周知の技術から当業者が予測可能な範囲内のものであって、格別なものではない。
　
　したがって、本件補正発明１は刊行物１記載の発明、刊行物２に記載の事項及び上記周知の技術に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本願発明
１．本願発明
　平成１７年６月２３日付手続補正書による補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし１４に係る発明は、平成１７年１月７日付手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１４にそれぞれ記載された事項により特定されるとおりものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）は次のとおりである。
＜本願発明１＞
　「【請求項１】単結晶サファイヤの直接接合層からなる梁として形成され、該梁は、中央チャネルを取り囲む梁壁を形成し、流体圧力に適合されるダイヤフラムを有する第１端部と反対側第２端部を有し、前記梁壁は、前記両端部間に外側梁取付面を有し、前記中央チャネルは、第１端部近傍の第１幅および該第１幅より狭い、前記取付面近傍の第２幅を有する圧力感知本体と、
　取付孔が貫通され、前記梁が該取付孔を通して取り付けられる隔離プレートと、
　前記外側梁取付面を前記取付孔に密封的に接合し、前記第２端部を流体圧力から密封的に隔離するろう付け結合と、
　前記中央チャネル内に設けられた導電膜であって、前記ダイヤフラム上の圧力感知膜部分、および該圧力感知部分から電気接触パッドへ延びるセンサリード部分を含み、前記梁は第２端部に切欠を有し、該切欠は、前記電気接触パッドがアクセス可能な、前記中央チャネル上の隔離リード面を形成する導電膜とを備えた、改良隔離を有する圧力センサカプセル。」
　
２．刊行物記載の発明・事項
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物、及び同刊行物に記載された発明・事項は、前記、第２　３．（１）ないし（２）に記載したとおりである。
　
３．対比・判断
　本願発明１は、前記第２で検討した請求項１に係る発明特定事項である「外側梁取付面」を「取付孔に密封的に接合」する構成について、「前記外側梁取付面の周囲を完全に取り囲んで」取付孔に密封的に接合するとの限定を省いたものである。
　そうすると、本願発明１の発明特定事項を全て含み、さらに他の限定を付加したものに相当する本願補正発明１が前記第２　５．に記載したとおり、前記刊行物１記載の発明、同刊行物１に記載の事項及び上記周知の技術に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、本願発明１も同様の理由により、刊行物１記載の発明、刊行物２に記載の事項及び上記周知の技術に基づいて当業者が容易に発明できたものであって、特許法２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
４．むすび
　以上のとおり、請求項１に係る発明が特許法２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、請求項２ないし１４に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。