(57)【要約】  測定装置において、仮に、部品が小さくても、電気的特性を良好に測定可能とすることである。  本測定装置においては、部品保持部の少なくとも一部が帯電防止材で形成された帯電防止部とされる。帯電防止部の表面抵抗は大きいため、部品が帯電防止部によって保持された状態で、その部品の電気的特性を測定することができる。その結果、仮に、部品が小さくても、部品の飛散を防止し、電気的特性を良好に測定することができる。
2018150446.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品供給装置によって供給された部品をピックアップして回路基板に装着する装着機に設けられ、
部品を保持する部品保持部と、
互いに接近・離間可能であって、前記部品保持部に保持された前記部品を挟んで、前記部品の電気的特性を測定する一対の測定子と
を含むともに、
前記部品保持部が、導電性を有する材料で形成された除電部と、帯電防止性を有する材料で形成された帯電防止部とを含む測定装置。
【請求項２】
前記帯電防止部が、表面抵抗が１０９Ω以上１０１３Ω以下の大きさであるものである請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記一対の測定子が、固定子と可動子とを含み、
前記可動子が、前進により前記固定子に接近するものであり、
前記帯電防止部と前記除電部とが、前記可動子の移動方向に沿って、前記帯電防止部が、前記除電部より前記可動子の前進側に位置して設けられた請求項１または２に記載の測定装置。
【請求項４】
前記可動子が、前記部品保持部に係合可能な係合部を有し、前記可動子と前記部品保持部とが、前記可動子が後退端位置にある場合であっても、前記係合部の少なくとも一部が、前記部品保持部に係合する構造を成す請求項３に記載の測定装置。
【請求項５】
前記係合部の長さが前記帯電防止部より短い請求項４に記載の測定装置。
【請求項６】
請求項３ないし５のいずれか１つに記載の測定装置において前記部品の電気的特性を測定する測定方法であって、
前記部品保持部の前記除電部の、前記可動子の前方に保持された前記部品を、前記可動子の前進により、前記帯電防止部に移動させる移動工程と、
前記帯電防止部において前記一対の測定子が前記部品を把持して、前記部品の電気的特性を測定する測定工程と
を含む測定方法。
【請求項７】
当該測定装置が、前記部品保持部を備えた測定台を含み、
前記測定工程の後に、前記可動子を後退させるとともに、前記測定台を後退させることにより、前記部品を廃棄させる廃棄工程を設けた請求項６に記載の測定方法。
【請求項８】
前記移動工程の前に、前記部品が前記除電部に保持された状態を、設定時間の間維持して、前記部品の除電を行う除電工程を設けた請求項６または７に記載の測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、回路基板に装着される部品の電気的特性の測定を行う測定装置、部品の電気的特性の測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１，２には、部品を保持する部品保持部を備えた保持台と、互いに接近・離間可能に設けられ、部品を挟んで電気的特性を測定可能な一対の測定子とを含む測定装置が記載されている。そのうちの特許文献１に記載の測定装置においては、部品保持部が、導電性を有する材料で形成されたものである。そのため、部品保持部に保持された部品が一対の測定子によって把持された後に、部品保持部（保持台）が部品から離間させられ、その状態で、部品の電気的特性が測定される。特許文献２に記載の測定装置においては、部品保持部に保持された部品が一対の測定子によって把持されて、電気的特性が測定される。特許文献２には、部品保持部を形成する材料についての記載はない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１７／００９９８７パンフレット
【特許文献２】特公昭５２−３０７０３
【概要】
【０００４】
【解決しようとする課題】
【０００５】
本開示の課題は、仮に、部品が小さい場合であっても、部品の電気的特性を良好に測定可能とすることである。
【課題を解決するための手段、作用および効果】
【０００６】
本開示に係る測定装置は、部品保持部と、一対の測定子とを含むものであり、部品保持部の少なくとも一部が帯電防止性を有する材料(以下、帯電防止材と称する)で形成された帯電防止部とされる。帯電防止部の表面抵抗は大きいため、部品が帯電防止部によって保持された状態で、部品の電気的特性を測定することができる。
【０００７】
一方、特許文献１に記載の測定装置においては、上述のように、部品が一対の測定子によって把持された後に、部品保持部が部品から離間させられる。そのため、仮に、部品が小さい場合には、部品が飛散し、電気的特性を測定することができない場合があった。それに対して、本開示に係る測定装置においては、部品の電気的特性を測定する際に、部品から部品保持部の帯電防止部を離間させる必要がない。そのため、仮に、部品が小さい場合であっても、部品の飛散を防止し、電気的特性を良好に測定することができる。なお、本開示に係る測定装置においては、部品が大きい場合に電気的特性を良好に測定できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本開示の一実施形態である測定装置を含む装着機の斜視図である。本測定装置においては、本開示の一実施形態である測定方法が実施される。
【図２】上記測定装置の斜視図である。
【図３】上記測定装置の要部の断面図である。
【図４】上記測定装置の要部の斜視図である。
【図５】図３のＡＡ断面図である。
【図６】上記測定装置に含まれるエア回路図である。
【図７】上記装着機の制御装置を概念的に示す図である。
【図８】上記制御装置の記憶部に記憶されたLCR測定プログラムを表すフローチャートである。
【図９】(図９Ａ)上記測定装置の初期状態を示す図である。(図９Ｂ)上記測定装置の測定状態を示す図である。(図９Ｃ)上記測定装置の廃棄状態を示す図である。
【実施形態】
【０００９】
以下、本開示の一実施形態である測定装置を含む装着機について図面に基づいて詳細に説明する。本測定装置においては、本開示の一実施形態である測定方法が実施される。
図１に示す装着機は、部品を回路基板に装着するものであり、装置本体２，回路基板搬送保持装置４，部品供給装置６，ヘッド移動装置８等を含む。
回路基板搬送保持装置４は、回路基板Ｐ（以下、基板Ｐと略称する）を搬送して保持するものであり、図１において、基板Ｐの搬送方向をｘ方向、基板Ｐの幅方向をｙ方向、基板Ｐの厚み方向をｚ方向とする。ｙ方向、ｚ方向は、それぞれ、装着機の前後方向、上下方向である。これら、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向は互いに直交する。部品供給装置６は、基板Ｐに装着される電子部品（以下、部品と略称する）ｓを供給するものであり、複数のテープフィーダ１４等を含む。ヘッド移動装置８は、装着ヘッド１６を保持してｘ、ｙ、ｚ方向へ移動させるものであり、装着ヘッド１６は、部品ｓを吸着して保持する吸着ノズル１８を有する。
【００１０】
また、符号２０はカメラを示す。カメラ２０は、吸着ノズル１８によって保持された部品ｓを撮像するものであり、カメラ２０によって撮像された画像に基づいて、部品ｓが基板Ｐに装着される予定のものであるか否かが判定される。符号２２は測定装置を示す。測定装置２２は、部品ｓの電気的特性を測定するものである。部品ｓの電気的特性としては、Ｌ（インダクタンス）、Ｃ（キャパシタンス）、Ｒ（レジスタンス）、Ｚ′（インピーダンス）等が該当し、測定装置２２によってこれらのうちの１つ以上が測定される。
【００１１】
測定装置２２は、ごみ箱２６を介して回路基板搬送保持装置４の本体に設けられる。ごみ箱２６と測定装置２２とは廃棄通路２８によって接続される。電気的特性が測定された部品ｓが、廃棄通路２８を経てごみ箱２６に収容される。
【００１２】
測定装置２２は、図２〜６に示すように、(i)本体３０、(ii)部品ｓを保持可能な部品保持部を備えた測定台３２、(iii)固定子３４および可動子３６から成る一対の測定子３７、(iv)測定台３２を移動させる測定台移動装置４０、(v)可動子３６を移動させて、固定子３４に接近・離間させる可動子移動装置４１、(vi)電気的特性検出部としてのLCR検出部４２等を含む。本実施例において、部品ｓは、両端に電極部を有し、電極部において一対の測定子３７によって把持可能なものである。部品ｓとしては、例えば、角チップが該当する。図２，３等に記載のように、測定装置２２は、可動子３６、測定台３２の移動方向がｙ方向に対応する姿勢で回路基板搬送保持装置４の本体に取り付けられる。
【００１３】
本体３０の底部には、図３に示すように、開口３０ａが設けられる。開口３０ａは、廃棄通路２８と連通状態にある。
【００１４】
測定台３２は、測定台保持体４６に、一体的に移動可能に保持される。測定台３２は、それの上面に形成された、部品保持部としての溝部４５を含む。溝部４５は、ｙ方向に伸びた段付き形状を成し、ｙ方向に伸びた一対の側面が、概してＶ字形を成した第１溝部４５ｃと、その第１溝部４５ｃの底部に設けられ、一対の側面が平行に伸びた第２溝部４５ｓとを含む。溝部４５に部品ｓが載せられて、保持されるのであるが、部品ｓが大きい場合には、第１溝部４５ｃに保持され、部品ｓが小さい場合には、第２溝部４５ｓに保持されることが多い。
【００１５】
測定台３２は、大部分が、導電性を有する材料（以下、導電材と称する）、例えば、アルミニウム合金またはステンレス材料等によって製造されたものであり、複数の導電材で形成された部材を介して本体３０に電気的に接続される（内部導通と称する場合がある）。また、本体３０は接地(アース)されているため、測定台３２も接地される。すなわち、測定台３２が測定台保持体４６に当接し、かつ、締結部４７によって固定されるとともに、測定台保持体４６が本体３０にストッパ８０（図３参照）を介して当接する。そして、測定台保持体４６、ストッパ８０、本体３０、締結部４７等は導電材で形成されたものである。したがって、測定台３２は、測定台保持体４６、ストッパ８０、締結部４７、本体３０等を経て接地されるのである。
【００１６】
また、図４に示すように、測定台３２の溝部４５の周辺のｙ方向における固定子３４側の部分には帯電防止性を有する材料（以下、帯電防止材と称する）によって形成された帯電防止部４８が設けられる。溝部４５には、ｙ方向に、導電材によって形成された部分である除電部４９と帯電防止部４８とが並んで、帯電防止部４８が可動子３６の前進側（固定子側）に除電部４９が可動子３６の後退側に位置することになる。
【００１７】
除電部４９の表面抵抗は非常に小さい。そのため、除電部４９に部品を保持させることにより、部品ｓの除電を行うことができる。
【００１８】
帯電防止部４８の表面抵抗は１０９Ω〜１０１３Ωの間の大きさである。帯電防止材は、複数の材料から成る複合材であり、例えば、樹脂に帯電防止剤を混練して製造された物、樹脂の表面に帯電防止剤を塗布して製造された物等が該当する。帯電防止剤はよく知られたものであり、例えば、三洋化成工業株式会社製の商品名「ペレスタット（登録商標）」等がある。
このように、帯電防止部４８の表面抵抗は大きいため、帯電防止部４８には電流が流れ難い。そのため、部品ｓが帯電防止部４８によって保持された状態で、部品ｓの電気的特性を測定することができる。一方、帯電防止材は、絶縁材より表面抵抗が小さいため、部品ｓへの通電時間が長くなると、帯電防止部４８にも電流が流れ、部品の電気的特性を正確に検出できない場合もある。しかし、部品ｓの電気的特性を測定するために要する時間は短いため、差し支えない。
また、上述のように、帯電防止材は絶縁材より表面抵抗が小さいため、帯電防止部４８においては、静電気が発生し難く、帯電し難い。そのため、部品ｓの移動等に起因して、帯電防止部４８に摩擦が生じても、静電気の発生が抑制され、帯電が防止される。
以上のように、帯電防止材の表面抵抗は、導電材より大きく、絶縁材より小さい。そのため、帯電防止材は、電気が流れ難く、帯電し難いという特性を有する。この特性により、部品ｓが帯電防止部４８によって保持された状態で部品ｓの電気的特性を測定することが可能となり、しかも、電気的特性を精度よく測定できるという特有の効果を奏することができるのである。
【００１９】
測定台３２の固定子３４側にはカバー部５０が取り付けられる。カバー部５０は、後述するように、エアの拡散を防止するとともに、エアの噴出によって落下した部品ｓの飛散を防止するものである。カバー部５０は、互いにｘ方向に隔たって、溝部４５の両側にそれぞれ設けられた一対のカバー用板部５２，５４を含む。カバー用板部５２，５４は、それぞれ、ｙ方向およびｚ方向、すなわち、測定台３２、可動子３６の移動方向および上下方向に伸びたものである。
【００２０】
固定子３４、可動子３６は、互いに接近・離間可能に設けられる。固定子３４は固定子保持体５５を介して本体３０に固定される。可動子３６は一端部（後退側の端部）において可動子保持体５６に保持され、可動子保持体５６と一体的に移動可能とされる。
【００２１】
また、図３に示すように、可動子３６の他端部（前進側の端部）には、測定台３２の溝部４５に係合可能な係合部３６ａが設けられる。係合部３６ａは、図５に示すように、溝部４５に対応する段付き形状とされている。係合部３６ａは、下方に三角形状に突出して伸びた第１係合部３６ｃと、第１係合部３６ｃの頂部付近からさらに下方に突出して設けられ、断面が四角形を成した第２係合部３６ｓとを有する。第１係合部３６ｃが第１溝部４５ｃに係合し、第２係合部３６ｓが第２溝部４５ｓに係合する。また、本実施例においては、係合部３６ａの少なくとも一部が、常時、溝部４５に係合した状態にある。そのため、係合部３６ａと溝部４５との間の隙間を非常に小さくすることができる。
【００２２】
これら固定子３４と可動子３６とにより一対の測定子３７が構成される。固定子３４、可動子３６は、それぞれ、互いに対向する対向面３４ｆ、３６ｆを有し、これら一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって部品ｓが把持される。すなわち、部品ｓの両端の電極部と一対の測定子３７とが接触した状態（通電可能な状態）で、部品ｓ、一対の測定子３７、LCR検出部４２、図示を省略する電源装置等を含む電気回路５８が形成される。これら固定子３４と可動子３６との間に電圧が印加された状態で、これらの間を流れる電流がLCR検出部４２によって検出されるとともに、印加された電圧、流れた電流等に基づいて、部品ｓの電気的特性が取得される。LCR検出部４２は、Ｌ，Ｃ，Ｒを検出する検出部に限らず、Ｌ，Ｃ，Ｒ，Ｚ´等の電気的特性を表す物理量の１つ以上を検出するものとすることができる。なお、図２，３の符号５８ａ、ｂは、一対の測定子３７の電気回路５８への接続部である。
【００２３】
本測定装置２２はエア供給装置５９を含む。エア供給装置５９は、図３に示すように、エア通路６０、イオナイザ６２、エア源６８等を含む。エア通路６０は、固定子保持体５５および本体３０等に形成された内部通路６０ｈ、固定子３４に形成されたエア噴出通路６０ｓ等を含む。エア噴出通路６０ｓは、概してｙ方向に、可動子３６に近づくにつれて下方へいく向きに傾斜して伸び、開口６０ａは可動子３６の対向面３６ｆに対向する。また、エア噴出通路６０ｓの延長線Ｋは、可動子３６が固定子３４から離間した位置にある場合に、可動子３６の対向面３６ｆの部品ｓを把持する頻度が高い部分（把持部）Ｒのやや上方に達する。エア噴出通路６０ｓを経て供給されたエアは、対向面３６ｆに斜め上方から当たる。
エア通路６０には、イオナイザ６２を介してエア源６８等が接続される。イオナイザ６２は、コロナ放電を生起させてエアをイオン化するものであり、エアをイオン化して供給する。
【００２４】
測定台移動装置４０は、測定台３２を移動させるものであり、駆動源としてのエアシリンダ６４を含む。図６に示すように、エアシリンダ６４において、ハウジングの内部がピストンによって２つのエア室６４ａ、６４ｂに仕切られ、ピストンのピストンロッド６６に測定台保持体４６が連結される。２つのエア室６４ａ、６４ｂと、エア源６８、エア通路６０、フィルタ（大気）との間には電磁弁装置６９が設けられる。電磁弁装置６９は、複数の電磁弁を含むものであり、電磁弁装置６９の制御により、測定台３２が前進、後退させられる。なお、測定台３２の前進時には、エア室６４ｂにエア源６８が連通させられ、エア室６４ａにエア通路６０が連通させられる。そのため、測定台３２の前進に伴って、エア室６４ａからエア通路６０にエアが供給される。
【００２５】
可動子移動装置４１は、可動子３６を移動させるものであり、駆動源としてのエアシリンダ７０を含む。エアシリンダ７０においても同様に、ハウジングの内部には、ピストンによって仕切られた２つのエア室７０ａ、７０ｂが形成され、ピストンのピストンロッド７１に可動子保持体５６が連結される。２つのエア室７０ａ、７０ｂには、電磁弁装置７２を介して、エア源６８、エア通路６０、フィルタ（大気）が接続される。電磁弁装置７２の制御により、可動子３６が前進、後退させられる。なお、可動子３６の後退時には、エア室７０ａにエア源が、エア室７０ｂにエア通路６０が、それぞれ、連通させられる。そのため、可動子３６の後退に伴ってエア室７０ｂからエア通路６０にエアが供給される。
以上のことから、エアシリンダ６４，７０は、エア供給装置５９のエア源としての機能も有する。
【００２６】
図２に示すように、本体３０または固定子保持体５５と可動子保持体５６との間には、ｙ方向に伸びた一対のガイドロッド７４，７５が設けられ、測定台３２と可動子保持体５６との間には、ｙ方向に伸びた一対のガイドロッド７６，７７が設けられる。これらガイドロッド７４，７５、７６，７７により固定子３４と可動子３６とがｙ方向に互いに相対移動可能とされるとともに、測定台３２と可動子３６とは互いにｙ方向に相対移動可能とされる。
また、図３に示すように、可動子保持体５６の固定子側にはストッパ８２が設けられ、本体３０または固定子保持体５５にはストッパ８０が設けられる。ストッパ８２は、可動子保持体５６と測定台３２（測定台保持体４６）との接近限度を規定するものであり、ストッパ８０は、固定子３４と測定台３２（測定台保持体４６）との接近限度を規定するものである。
【００２７】
当該装着機は制御装置１００を含む。制御装置１００は、図７に示すように、コンピュータを主体とするコントローラ１０２と、複数の駆動回路１０４とを含む。コントローラ１０２は、実行部１１０、記憶部１１２、入出力部１１４等を含み、入出力部１１４には、基板搬送保持装置４、部品供給装置６、ヘッド移動装置８が、それぞれ、駆動回路１０４を介して接続されるとともに、測定台移動装置４０、可動子移動装置４１の電磁弁装置６９，７２等が接続される。また、ＬＣＲ検出部４２、ディスプレイ１１６、可動子位置センサ１１８、測定台位置センサ１２０、ノズル１８の高さを検出するノズル高さセンサ１２２等が接続される。記憶部１１２には、図８のフローチャートで表されるLCR測定プログラム等の複数のプログラム、テーブルが記憶されている。また、コントローラ１０２に設けられたタイマ１２４によって時間の計測が行われる。本実施例においては、測定台位置センサ１２０、可動子位置センサ１１８の出力、タイマ１２４による計測時間等を利用して、電磁弁装置６９，７２が制御され、測定台３２、可動子３６が前進、後退させられる。
【００２８】
以下、装着機の作動について説明する。
新たなテープフィーダ１４のセット、テープフィーダ１４の交換等が行われた場合等、部品ｓの電気的特性の測定指令が出された場合に、そのテープフィーダ１４に保持された部品ｓの電気的特性が測定される。また、測定された電気的特性の値である測定値とその部品の規格値とが比較され、これらがほぼ一致するか否かが判定されるようにすることもできる。その場合には、測定値と規格値とを比較した結果がディスプレイ１１６に表示されるようにすることができる。
【００２９】
部品ｓの電気的特性は、図８のフローチャートで表されるLCR測定プログラムの実行により測定される。
装着機の非作動状態において、測定装置２２は、図９Ａに示す初期状態にある。可動子３６は後退端位置にあり、測定台３２は前進端位置にある。測定台３２は、ストッパ８０に当接した状態にあるため、除電部４９は内部導通等によりアースされた状態にある。また、測定台３２の溝部４５の除電部４９には、可動子３６の係合部３６ａが係合した状態にある。
【００３０】
ステップ１（以下、Ｓ１と略称する。他のステップについても同様とする）において、部品ｓの電気的特性の測定指令が出されたか否かが判定される。測定指令が出された場合には、Ｓ２において、装着ヘッド１６が移動させられ、例えば、新たに取り付けられたテープフィーダ１４に保持された部品ｓが吸着ノズル１８によってピックアップされて、除電部４９の可動子３６の対向面３６ｆの前方に載せられて、保持される。吸着ノズル１８が下降させられ、部品ｓが開放されることにより、部品ｓが除電部４９に保持されたことがわかる。部品ｓが大きい場合には第１溝部４５ｃに保持され、部品ｓが小さい場合には第２溝部４５ｓに保持される。
【００３１】
Ｓ３において、部品ｓが除電部４９に保持されてからの経過時間が計測され、設定時間である除電時間が経過するのが待たれる。テープフィーダ１４に保持された部品ｓの各々は、テープフィーダ１４の運搬に伴う振動、物との接触等に起因して生じた静電気により帯電した状態にある。この帯電された部品ｓが、除電部４９に保持されることにより除電される。除電時間は、部品ｓが有していると推定される容量の静電気を除去するのに要する時間であり、予め実験等により求めたり、部品ｓの大きさ、特性等に基づいて理論的に求めたりすること等ができる。
【００３２】
Ｓ３の判定がＹＥＳとなると、Ｓ４において、電磁弁装置７２の制御により可動子３６の前進が開始される。可動子３６の係合部３６ａは、測定台３２の溝部４５に沿って前進させられ、対向面３６ｆが部品ｓに当接すると、可動子３６の前進によって、部品ｓは、除電部４９から帯電防止部４８へ移動させられる。なお、可動子３６の前進は、吸着ノズル１８が上昇端に達した後に、行われる。
そして、Ｓ５において、帯電防止部４８において、部品ｓが、両端の電極部において、可動子３６の対向面３６ｆと固定子３４の対向面３４ｆとによってクランプされる。部品ｓの電気的特性は、帯電防止部４８に保持された状態で測定される。この状態が図９Ｂに示す測定状態である。また、図３に示すように、可動子３６の係合部３６ａのｙ方向の長さＬ１は、帯電防止部４８の長さＬ２より短くされている（Ｌ１＜Ｌ２）。測定状態において、係合部３６ａが除電部４９から離間した位置にある。そのため、一対の測定子３７に電流が供給された場合に、除電部４９を経る電流の漏れを良好に防止することができ、部品ｓの電気的特性を精度よく測定することができる。
【００３３】
部品ｓの電気的特性の測定が終了すると、Ｓ６において、電磁弁装置７２、６９の制御により、可動子３６が後退させられ、測定台３２がストッパ８２に当接するまで後退させられる。図９Ｃに示すように、測定台３２の前端面が、可動子３６の対向面３６ｆとほぼ同じあるいはやや後方に位置し、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の下方に測定台３２は存在しない。この状態が廃棄状態である。部品ｓは下方へ落下し、開口３０ａ、廃棄通路２８を経てごみ箱２６に収容される。また、可動子３６の後退時には、エア噴出通路６０ｓの開口６０ａからエアが噴出させられ、可動子３６の領域Ｒの上方に当たる。また、カバー部５０により、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の空間がｘ方向から覆われる。その結果、より一層、対向面３６ｆから部品ｓを落下させることができ、かつ、部品ｓの飛散を防止することができる。
【００３４】
その後、Ｓ７において、電磁弁装置６９の制御により、測定台３２が前進端位置まで前進させられ、図９Ａに示す初期状態とされる。また、測定台３２の前進時には、エア噴出通路６０ｓの開口６０ａから可動子３６の対向面３６ｆにエアが供給される。そのため、可動子３６の対向面３６ｆの除電を良好に行うことが可能となる。
また、図９Ａ〜Ｃに示すように、本実施例においては、測定台３２の溝部４５と可動子３６の係合部３６ａの少なくとも一部とが、常時係合した状態にある。そのため、係合部３６ａと溝部４５との隙間を小さくすることができ、部品ｓが小さくても、部品ｓの噛み込みを良好に抑制することができる。
【００３５】
以上のように、本実施例においては、部品ｓが帯電防止部４８によって保持された状態で部品ｓの電気的特性が測定される。そのため、仮に、部品ｓが小さい場合であっても、部品ｓの飛散を防止しつつ、電気的特性を測定することが可能となる。
また、部品ｓは除電部４９に保持されて、除電された後に、電気的特性の測定が行われる。その結果、部品ｓの電気的特性を精度よく測定することが可能となる。
【００３６】
本実施例においては、Ｓ３の実行が除電工程、Ｓ４の実行が移動工程、Ｓ５が測定工程に対応し、Ｓ６の実行が廃棄工程に対応する。
【００３７】
なお、Ｓ３のステップは不可欠ではない。除電時間が非常に短い場合には、無視することも可能である。また、吸着ノズル１８が上昇端に達するまでに除電時間が経過する場合にも、実質的に、Ｓ３のステップは不要となる。可動子３６は、吸着ノズル１８が上昇端に達した後に、前進させられるからである。
【００３８】
また、廃棄工程において、可動子３６を後退させた後に測定台３２を後退させても、可動子３６と測定台３２とをほぼ同時に後退させてもよい。
【００３９】
係合部３６ａの長さＬ１は、帯電防止部４８の長さＬ２の８０％以下、７０％以下、６０％以下、５０％以下、４０％以下、３０％以下、２０％以下等とすることができる等、本開示は、前記実施形態に記載の態様の他、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。
【符号の説明】
【００４０】
２２：測定装置  ３０：本体  ３０ａ：開口  ３２：測定台  ３４：固定子  ３６：可動子  ３６ａ：係合部  ３４ｆ，３６ｆ：対向面  ４０：測定台移動装置  ４１：可動子移動装置  ４２：LCR検出部  ４５：溝部  ４５ｃ：第１溝部  ４５ｓ：第２溝部  ４８：帯電防止部  ４９：除電部  １００：制御装置
【特許請求可能な態様】
【００４１】
以下の各項に、特許請求可能な態様を記載する。
（１）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして回路基板に装着する装着機に設けられ、
部品を保持する部品保持部と、
互いに接近・離間可能に設けられ、前記部品保持部に保持された前記部品を挟んで、前記部品の電気的特性を測定する一対の測定子と
を含むとともに、
前記部品保持部が、導電性を有する材料で形成された除電部と、帯電防止性を有する材料で形成された帯電防止部とを含む測定装置。
【００４２】
（２）前記帯電防止部が、表面抵抗が１０９Ω以上１０１３Ω以下の大きさのものである(1)項に記載の測定装置。
本項に記載の測定装置に用いられる帯電防止部は、電流が流れ難く、帯電し難い特性を有するものである。換言すれば、部品が帯電防止部によって保持された状態で、部品に電流が供給されても、帯電防止部に電流が流れ難く、かつ、部品との間に摩擦が生じても、帯電し難い程度の表面抵抗を有するものとすることができる。なお、帯電防止部は、表面抵抗が１０９Ω〜１０１２Ωの間の値を有するものとすることができる。
【００４３】
（３）前記一対の測定子が、固定子と可動子とを含み、
前記帯電防止部と前記除電部とが、前記可動子の移動方向に沿って、前記帯電防止部が、前記除電部より、前記可動子の前進側に位置して設けられた(1)項または(2)項に記載の測定装置。
【００４４】
（４）前記可動子が、前記部品保持部に係合可能な係合部を有し、
前記係合部の少なくとも一部が、前記可動子が後退端位置にあっても、前記部品保持部に係合した状態で、前記可動子と前記部品保持部とが構成された(3)項に記載の測定装置。
可動子の係合部の少なくとも一部は、常時、部品係合部に係合させられる。そのため、可動子と部品係合部との隙間を小さくすることができる。
【００４５】
（５）前記係合部の長さが前記帯電防止部より短い(4)項に記載の測定装置。
可動子の係合部と固定子とによって部品が把持された場合に、係合部が帯電防止部内に存在する長さとすることが望ましい。その結果、可動子と固定子との間に電圧が印加された場合に、除電部（部品保持部の導電材で形成された部分）を経て電流が漏れ難くすることができる。
【００４６】
（６）当該測定装置が、前記部品保持部を備えた保持台を含み、
前記部品保持部が、前記保持台の上面に設けられ、前記一対の測定子の相対移動方向と平行な溝部とされた(1)項ないし(5)項のいずれか１つに記載の測定装置。
【００４７】
（７）前記溝部が、一対の側面が概してＶ字形を成す第１溝部と、その第１溝部の底部に設けられ、一対の側面が互いに平行に伸びた第２溝部とを含む(6)項に記載の測定装置。
部品保持部を段付き溝とすることにより、部品が大きくても小さくても、良好に保持することが可能となる。
【００４８】
（８）当該測定装置が、前記一対の測定子の間に電圧が印加された状態で、前記一対の測定子の間に流れる電流を検出して、前記部品の前記電気的特性を取得する電気的特性取得部を含む(1)項ないし(7)項のいずれか１つに記載の測定装置。
【００４９】
（９）(3)項ないし(8)項のいずれかに記載の測定装置において前記部品の電気的特性を測定する測定方法であって、
前記部品保持部の前記除電部の、前記可動子の前方に保持された前記部品を、前記可動子の前進により、前記帯電防止部に移動させる移動工程と、
前記帯電防止部において前記一対の測定子が前記部品を把持して、前記部品の電気的特性を測定する測定工程と
を含む測定方法。
【００５０】
（１０）当該測定装置が、前記部品保持部を備えた測定台を含み、
前記測定工程の後に、前記可動子を後退させるとともに、前記測定台を後退させることにより、前記部品を廃棄させる廃棄工程を設けた(9)項に記載の測定方法。
【００５１】
（１１）前記移動工程の前に、前記可動子が前記除電部に保持された状態を、設定時間の間保持する除電工程を設けた(9)項または(10)項に記載の測定方法。
除電工程を設けることは不可欠ではない。部品が小さい場合には、設定時間は非常に短い場合があるからである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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