【手続補正書】
【提出日】令和1年5月30日(2019.5.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体部（２０）と緩衝蓄熱部（２１）を備えた調温ユニット（３）を制御する方法であって、本体部（２０）を通して、媒体が案内され、緩衝蓄熱部（２１）と本体部（２０）の間に、第一の伝熱面（２４）と第二の伝熱面（２５）を有する温度調節ユニット（２８）が配置されており、当該温度調節ユニット（２８）を用いて、第一の伝熱面（２４）と第二の伝熱面（２５）の間の温度差を設定する方法において、
この調温ユニット（３）が、媒体の所定の目標温度（Ｔｓｏｌｌ）を維持するように制御され、この調温ユニット（３）を制御するための操作量（Ｙ）が、調温ユニット（３）での媒体の温度調節に必要なパワー（ＰＶ）を算出する原型部分（Ａ）と、この原型部分（Ａ）で算出されたパワー（ＰＶ）を補正する調節部分（Ｒ）とから構成され、目標温度（Ｔｓｏｌｌ）と実際温度（Ｔｉｓｔ）との制御誤差（Ｆ）が、この調節部分（Ｒ）に指数関数的に取り入れられることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記原型部分（Ａ）が、次の関係式に基づき
【数１】
2018520436.tif 000001
前記温度調節に必要なパワー（ＰＶ）を算出することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記原型部分（Ａ）において、調温ユニット（３）の損失パワー（ＰＬ）を考慮することを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記調節部分（Ｒ）が、比例部分（ＹＰ）及び／又は積分部分（ＹＩ）から構成され、前記制御誤差（Ｆ）が、その制御誤差（Ｆ）の指数関数（ｆＰ（ｅＦ），ｆＩ（ｅＦ））として、この比例部分（ＹＰ）及び／又は積分部分（ＹＩ）に取り入れられることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記比例部分（ＹＰ）が、利得（ＫＰ）と前記指数関数（ｆＰ（ｅＦ））から演算されることを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記比例部分（ＹＰ）が、次の関係式
【数２】
2018520436.tif 000002
から算出されることを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記比例部分（ＹＰ）が、補正関数（ＹＰｏｗｅｒＣｏｒ）を用いて、補正された比例部分（ＹＰｃｏｒ）として補正されることを特徴とする請求項５又は６に記載の方法。
【請求項８】
前記補正された比例部分（ＹＰｃｏｒ）が、次の関係式
【数３】
2018520436.tif 000003
から算出されることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記積分部分（ＹＩ）が、利得（ＫＩ）、前記指数関数（ｆＩ（ｅＦ））及び時間（ｔ）から演算されることを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項１０】
前記積分部分（ＹＩ）が、サンプリング時間（Δｔ）による離散時間のコントローラに関して、利得（ＫＩ）、前記指数関数（ｆＩ（ｅＦ））及びこのサンプリング時間（Δｔ）から演算されることを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項１１】
前記積分部分（ＹＩ）における指数関数（ｆＩ（ｅＦ））が、次の関係式
【数４】
2018520436.tif 000004
から算出されることを特徴とする請求項９又は１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記積分部分（ＹＩ）が、補正関数（ＹＰｏｗｅｒＣｏｒ）を用いて、補正された積分部分（ＹＩｃｏｒ）として補正されることを特徴とする請求項９から１１までのいずれか一つに記載の方法。
【請求項１３】
前記補正された積分部分（ＹＩｃｏｒ）が、次の関係式
【数５】
2018520436.tif 000005
から算出されることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記操作量（Ｙ）において、減衰係数（ＹＤｆ）を考慮することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
前記緩衝蓄熱部（２１）において、当該緩衝蓄熱部（２１）を通して冷媒を案内する冷却機器（２６）が設けられており、操作量（ＹＣＰ）を算出することによって、当該冷却機器（２６）を制御し、温度調節ユニット（２３）の温度（ＴＴＥ）と冷媒の実際温度（ＴＫ）の温度差（ΔＴＫ）が、当該操作量（ＹＣＰ）に指数関数的に取り入れられることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１６】
前記温度調節ユニット（２３）の温度（ＴＴＥ）を不感時間（Ｔｔｏｔｂ）によって補正することを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記操作量（ＹＣＰ）が、次の式
【数６】
2018520436.tif 000006
に基づき算出されることを特徴とする請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記算出された操作量（ＹＣＰ）をフィルタリングして、このフィルタリングされた操作量（ＹＣＰ）を前記冷却機器（２６）の制御に使用することを特徴とする請求項１５から１７までのいずれか一つに記載の方法。
【請求項１９】
前記フィルタリングが、ガウスフィルター（Ｇ）を用いて行なわれることを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
請求項１から１９までのいずれか一つに記載の方法をガス状媒体の消費量を測定するために使用する方法であって、
当該ガス状媒体が、ガス流路（１７）に沿って消費量測定装置（１）を通って流れ、その際、消費量が、消費量センサー（５）を用いて測定され、当該ガス状媒体が消費量センサー（５）の上流側で調温ユニット（３）を用いて温度調節され、当該ガス状媒体が調温ユニット（３）と消費量センサー（５）との間で減圧され、調温ユニット（３）が前記制御方法に基づき制御される方法。
【請求項２１】
前記調温ユニット（３）の下流側のガス状媒体の圧力が、圧力制御ユニット（４，７）によって設定されることを特徴とする請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
ガス状媒体の消費量を測定する消費量測定装置であって、ガス状媒体を消費量測定装置（１）に供給するための入力ポート（１５）と、ガス状媒体を消費量測定装置（１）から提供するための出力ポート（１６）とを有し、これらの入力ポート（１５）と出力ポート（１６）の間に、ガス流路（１７）が設けられており、このガス流路には、消費量センサー（５）が配置され、この消費量センサー（５）の上流側に、ガス状媒体を温度調節する調温ユニット（３）が配置され、これらの調温ユニット（３）と消費量センサー（５）の間に、ガス状媒体を減圧する圧力制御ユニット（４）が配置されている消費量測定装置において、
当該調温ユニット（３）が、ガス状媒体を貫流させる媒体配管（２２）を配置した本体部（２０）と、熱を蓄積する緩衝蓄熱部（２１）とを有して構成されており、これらの本体部（２０）と緩衝蓄熱部（２１）の間に、温度調節ユニット（２３）が配置されており、ガス状媒体の所定の目標温度（Ｔｓｏｌｌ）を維持するように、当該調温ユニット（３）を制御する制御ユニット（１０）が設けられていることを特徴とする消費量測定装置。
【請求項２３】
前記緩衝蓄熱部（２１）に、冷却機器（２６）が設けられていることを特徴とする請求項２２に記載の消費量測定装置。
【請求項２４】
前記消費量センサー（５）の下流側に、さらに他の圧力制御ユニット（７）が設けられていることを特徴とする請求項２２又は２３に記載の消費量測定装置。
【請求項２５】
前記消費量センサー（５）が、測定範囲が異なる複数のコリオリセンサー（３１，３２）から構成されていることを特徴とする請求項２２又は２３に記載の消費量測定装置。
【請求項２６】
前記ガス流路（１７）には、前記消費量センサー（５）の下流側に、前記ガス流路（１７）を遮断することが可能なゼロ点調整弁（３９）が配置されていることを特徴とする請求項２２又は２３に記載の消費量測定装置。
【請求項２７】
前記ガス流路（１７）に不活性ガスをパージすることが可能な不活性ガスパージ部（４１）が、この消費量測定装置（１）に設けられていることを特徴とする請求項２２又は２３に記載の消費量測定装置。
【請求項２８】
請求項１から１９までのいずれか一つに記載の制御方法が、前記制御ユニット（１０）に実装されていることを特徴とする請求項２２から２７までのいずれか一つに記載の消費量測定装置。