【事件の表示】
　平成１１年特許願第　５０９５２号「波長検出装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年　９月１４日出願公開、特開２０００−２４９６００〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本願は、平成１１年２月２６日の出願であって、平成１８年７月２０日付けで拒絶査定がされ、これに対し同年８月２４日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、同年９月２１日付けで手続補正がなされたものである。
　
　
II．平成１８年９月２１日付け手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１８年９月２１日付けの手続補正を却下する。
［理由］
１．平成１８年９月２１日付けの手続補正
　平成１８年９月２１日付けの手続補正は、特許請求の範囲の補正を含み、平成１８年６月２日付けの手続補正書の特許請求の範囲の請求項１
「【請求項１】
　基準光源で発光される基準光の波長に基づいて、被検出光源から出力される被検出光の波長を検出する波長検出装置において、
　前記被検出光がフッ素分子Ｆ2レーザ発光線の場合に、フッ素分子Ｆ2レーザ発光線に波長が近似し、かつ光強度が一定以上の炭素Ｃまたは鉄ＦeまたはナトリウムＮaまたはフッ素ＦまたはマグネシウムＭgまたはアルミニウムＡlまたはアルゴンＡrまたはカルシウムＣaまたはスカンジウムＳcまたはクロムＣrまたはマンガンＭnまたはニッケルＮiまたは銅ＣuまたはゲルマニウムＧeまたは砒素Ａsまたは臭素Ｂrまたは白金Ｐtのうち二つ以上の発光線を前記基準光として用い、
　前記二つ以上の基準光と前記フッ素分子Ｆ2レーザ発光線とをラインセンサで検出し、
　前記ラインセンサ上における前記二つ以上の基準光の検出位置と、前記二つ以上の基準光の既知の波長とに基づいて、分光器の特性値を演算し、
　前記ラインセンサ上における前記基準光および前記フッ素分子Ｆ2レーザ発光線の検出
位置と、前記演算された前記分光器の特性値と、前記二つ以上の基準光の既知の波長とに基づいて、前記フッ素分子Ｆ2レーザ発光線の波長を演算するようにした
　波長検出装置。」
を
「【請求項１】
　基準光源で発光される基準光の波長に基づいて、被検出光源から出力される被検出光の波長を検出する波長検出装置において、
　前記被検出光がフッ素分子Ｆ2レーザ発光線の場合に、フッ素分子Ｆ2レーザ発光線に波長が近似し、かつ光強度が一定以上の炭素Ｃまたは鉄ＦeまたはナトリウムＮaまたはフッ素ＦまたはマグネシウムＭgまたはアルミニウムＡlまたはアルゴンＡrまたはカルシウムＣaまたはスカンジウムＳcまたはクロムＣrまたはマンガンＭnまたはニッケルＮiまたは銅ＣuまたはゲルマニウムＧeまたは砒素Ａsまたは臭素Ｂrまたは白金Ｐtのうち二つ以上の発光線を前記基準光として用い、
　
前記二つ以上の基準光と前記フッ素分子Ｆ2レーザ発光線とを積分球に同時に入射し、
前記積分球で混合した
　前記ラインセンサ上における前記二つ以上の基準光の検出位置と、前記二つ以上の基準光の既知の波長とに基づいて、分光器の特性値を演算し、
　前記ラインセンサ上における前記基準光および前記フッ素分子Ｆ2レーザ発光線の検出位置と、前記演算された前記分光器の特性値と、前記二つ以上の基準光の既知の波長とに基づいて、前記フッ素分子Ｆ2レーザ発光線の波長を演算するようにした
　波長検出装置。」（以下、「本願補正発明」という。）
と補正するものである。（下線は補正箇所を示す。）
　上記補正は、補正前の請求項１に係る発明の基準光とフッ素分子F2レーザ発光線がラインセンサで検出される光路を、「積分球」を介するものに限定し、「前記二つ以上の基準光と前記フッ素分子Ｆ2レーザ発光線」について「前記二つ以上の基準光と前記フッ素分子Ｆ2レーザ発光線とを積分球に同時に入射し、前記積分球で混合した」と限定するものであるから、平成１８年改正前の特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本願補正発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について、以下に検討する。
　
２．引用刊行物記載の発明
（１）本願出願前に頒布された刊行物であり、原査定の拒絶の理由に引用された特開平４−１６３９８０号公報（以下、「引用例１」という。）には、下記の記載がある。
（ａ）「２．特許請求の範囲
（１）アルゴンフッ素エキシマレーザチェンバーと、このレーザチェンバーを挟んで配置されてレーザ共振器を構成する一対の共振ミラーと、
　この共振ミラー間に形成される共振光路上に配置されて発振レーザ光を狭帯化すると共にその狭帯化波長が制御可能な狭帯化素子と、
　前記共振ミラーを通じて外部に取り出された発振レーザ光の一部をサンプリングして、このサンプリング光の波長と基準光の波長とを比較して両者の波長差が所定範囲内になるように、前記狭帯化素子を制御する狭帯化素子制御手段とを有し、
　前記基準光としてヒ素（Ａｓ）、炭素（Ｃ）、ビスマス（Ｂｉ）またはセレン（Ｓｅ）の少なくともいずれか１つの輝線スペクトル線を用いたアルゴンフッ素エキシマレーザ装置。」（第１頁左下欄第５〜２０行）
（ｂ）「［実施例］
　第１図は本発明の一実施例にかかるアルゴンフッ素エキシマレーザ装置の構成を示す図、第２図は制御コンピュータの動作フロー図、第３図は一実施例の露光装置の構成を示す図である。以下、これらの図面を参照しなから一実施例にかかるアルゴンフッ素エキシマレーザ装置及び露光装置を詳述する。
　第１図において、符号１はアルゴンフッ素エキシマレーザチェンバー、符号２及び３はそれぞれ全反射ミラー及び一部透過ミラー、符号４は狭帯化素子、符号４１は狭帯化素子駆動手段、符号５，６はビームスプリッタ、符号７はヒ素封入放電ランプ、符号８は干渉フィルタ、符号９は分光手段、符号１０はラインセンサ、符号１１は制御コンピュータである。
　アルゴンフッ素エキシマレーザチェンバー１は、対向する壁面部にレーザ光を通過させる一対の窓を設け、この一対の窓の間の空間に放電区間を形成してその放電区間にアルゴン（Ａｒ）とフッ素（Ｆ）との混合ガスをフローさせるようにし、放電によってＡｒを励起してＡｒＦのエキシマ分子を形成させることにより、中心波長が約１９３ｎｍ程度であるレーザ光を生じさせるもので、この構成自体は公知のものである。
　全反射ミラー２及び一部透過ミラー３は、前記アルゴンフッ素エキシマレーザチェンバー１を挟んで配置されており、レーザ共振器を構成するものである。これらミラーは周知の多層膜ミラー等で構成することができる。
　狭帯化素子４は、共振光路上において、アルゴンフッ素エキシマレーザチェンバー１と全反射ミラー２との間に配置され、該狭帯化素子４を通過できるレーザ光の波長範囲（スペクトル幅）を２〜３ｐｍ以内に限定（狭帯化）するものである。これにより、発振レーザ光のスペクトル幅を２〜３ｐｍ以内に狭帯化する。この狭帯化素子として、この実施例では周知のファブリーペローのエタロンを用いている。このファブリーペローのエタロンは、通過レーザ光に対してなす角度を調整することにより、狭帯化の絶対波長を変化させることができる。それゆえ、狭帯化素子駆動手段４１として、一定の指令に基づいて前記角度を調整できるものを用いれば、狭帯化素子４の狭帯化の絶対波長位置を所望の位置に固定することができる。この場合、通常、アルゴンフッ素エキシマレーザは、狭帯化処理を施さない場合おいては、中心波長が１９３．３０ｎｍで、スペクトル幅が半値全幅にして約０．７ｎｍあるから、２〜３ｐｍ以内に狭帯化した場合の中心波長の設定は、はぼ１ｎｍの範囲内で任意に選択できる。なお、この狭帯化素子４は、アルゴンフッ素エキシマレーザチェンバー１と一部透過ミラー３との間に設けてもよいことは勿論である。
　ビームスプリッタ５は、一部透過ミラー３を通じて外部に取り出された発振レーザ光Ｌの一部ｌをサンプリングし、ビームスプリッタ６を通じて分光手段９に導く。
　また、ビームスプリッタ６は、前記サンプリング光ｌと、ヒ素封入放電ランプ７から干渉フィルタ８を通じて導かれた基準光ｌ０とを合波して共に分光手段９に導くものである。
　ヒ素封入放電ランプ７は、ヒ素（Ａｓ）の輝線スペクトル線を放射するものであるが、干渉フィルター８によってこの輝線スペクトルのうち、波長１９３．６９６ｎｍの輝線のみが取り出され、これを基準光ｌ０とするようになっている。
　分光手段９は、サンプリング光ｌと基準光ｌ０とを分光し、これら分光光の像をラインセンサ１０の検出部に結像させる。この場合、その像のラインセンサ１０の検出部上における位置は、それぞれの波長に対応する。なお、この分光手段９としては、例えば、回折格子等を利用した高分解能のものを用いる。
　ラインセンサ１０は、検出部における各像の位置情報を電気信号に変換して制御コンピュータ１１に送出するもので、例えば、ＣＣＤラインセンサ等を用いる。
　制御コンピュータ１１は、第２図にその動作フロー図が示されているように、ラインセンサ１０から送出された位置情報から、サンプリング光ｌと基準光ｌ０の波長差を求め、その結果に基づいて狭帯化素子駆動手段４１の移動量を算出してこれを制御し、狭帯化素子４を微調整することにより、狭帯化波長を固定する制御を行うものである。狭帯化波長の固定値は、制御目標値である「サンプリング光ｌと基準光ｌ０の波長差」を設定することにより設定することができる。この設定値は１９３．３０ｎｍを中心にした約１ｎｍの範囲で任意に選定することが可能である。
　なお、ヒ素材封入放電ランプ７、干渉フィルタ８、分光手段９、ラインセンサ１０及び制御コンピュータ１１は本発明の狭帯化素子制御手段を構成する。
　上述の構成によれば、発振レーザ光のスペクトル幅が著しく狭く（２〜３ｐｍ以内）、かつ、常に一定の波長を有するレーザ光を発振させることが可能となる。また、基準光としてヒ素の輝線スペクトルを用いていることから、極めて小型の放電ランプで容易に十分に強い基準光が得られ、しかも、この基準光の波長が発振レーザ光の波長に極めて近いので制御が容易である。さらに、ヒ素の輝線スペクトルには、波長１９３．６９６ｎｍの極近傍に、波長１９３．１９７ｎｍの輝線もあるから、例えば、この２本の輝線を用い、この２本の輝線のラインセンサの検出部上における相対位置を測定することにより、ラインセンサ上の位置と波長の絶対値との変換の更正を容易に高精度に行うこともできる。」（第２頁右下欄第１９行〜第４頁右上欄第７行）
（ｃ）「なお、上述の一実施例では、基準光としてヒ素（Ａｓ）の輝線スペクトル線を用いた例を掲げたが、本発明者等は、ヒ素（Ａｓ）の輝線スペクトル線のかわりに、炭素（Ｃ）の輝線スペクトル線（波長；１９３．０９０ｎｍ）、ビスマス（Ｂｉ）の輝線スペクトル線（波長；１９５．３８９ｎｍ、１９５．９４８ｎｍ）、またはセレン（Ｓｅ）の輝線スペクトル線（波長；１９６．０３０．ｎｍ）を用いることができることも見出だしている。これらは、ヒ素（Ａｓ）の輝線スペクトル線（波長；１９３．６９６ｎｍ）に比較すると、波長の近接性、得られる強度あるいは発生の容易性等の点で若干劣るが、基準光として用いることができることが確認されている。」（第４頁右下欄第７〜２０行）
　これらの記載によれば、引用例１には、
「アルゴンフッ素エキシマレーザチェンバー１、狭帯化素子４、ビームスプリッタ６、ヒ素封入放電ランプ７、分光手段９、ラインセンサ１０、制御コンピュータ１１等を備え、ビームスプリッタ６により、サンプリング光ｌと、基準光ｌ０とを合波して共に分光手段９に導き、ヒ素封入放電ランプ７により、ヒ素（Ａｓ）の輝線が取り出され、これを基準光ｌ０とし、分光手段９により、サンプリング光ｌと基準光ｌ０とを分光し、これら分光光の像をラインセンサ１０の検出部に結像させ、ラインセンサ１０により、検出部における各像の波長に対応する位置情報を制御コンピュータ１１に送出するアルゴンフッ素エキシマレーザ装置であって、前記基準光として十分に強い基準光が得られ、基準光の波長が発振レーザ光の波長に極めて近いヒ素の輝線スペクトルの波長１９３．６９６ｎｍと波長１９３．１９７ｎｍの２本の輝線を用い、この２本の輝線のラインセンサの検出部上における相対位置を測定することにより、ラインセンサ上の位置と波長の絶対値との変換の更正を容易に高精度に行うアルゴンフッ素エキシマレーザ装置。」の発明（以下、「引用例１発明」という。）が開示されていると認められる。
　
（２）本願出願前に頒布された刊行物であり、原査定の拒絶の理由に引用された特開平５−９５１５４号公報（以下、「引用例２」という。）には、下記の記載がある。
「【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の狭帯域レーザ装置は、レーザ媒質として少なくともフッ素を用いる狭帯域レーザ装置であって、フッ素レーザまたはエキシマレーザ光を発振させるための第１の共振器、前記第１の共振器内にフッ素分子レーザまたはエキシマレーザ光を狭帯域化するための分散素子と前記分散素子を制御するため分散素子制御機構を有し、フッ素分子レーザまたはエキシマレーザ光の光軸上にフッ素原子レーザ光を発振させるための第２共振器と、フッ素原子レーザ光を参照光としてフッ素分子レーザまたはエキシマレーザ光の絶対波長を測定し、設定波長からのずれを検出するための波長測定機構を備え、前記波長測定機構の出力信号を前記分散素子制御機構に入力するよう接続したことを特徴とする。」
　この記載によれば、引用例２には、
「参照光を用いてフッ素分子レーザまたはエキシマレーザ光の絶対波長を測定し、設定波長からのずれを検出するための波長測定機構。」が開示されていると認められる。
　
３．対比
　本願補正発明と引用例１発明とを対比する。引用例１発明の「ヒ素封入放電ランプ７」および「アルゴンフッ素エキシマレーザチェンバー１」は、それぞれ本願補正発明の「基準光源」および「被検出光源」に相当する。そして、引用例１発明の「アルゴンフッ素エキシマレーザ装置」は、「ヒ素封入放電ランプ７により、ヒ素（Ａｓ）の輝線が取り出され、これを基準光ｌ０とし、分光手段９により、サンプリング光ｌと基準光ｌ０とを分光し、これら分光光の像をラインセンサ１０の検出部に結像させ、ラインセンサ１０により、検出部における各像の波長に対応する位置情報を制御コンピュータ１１に送出」するものであるから、本願補正発明の「基準光源で発光される基準光の波長に基づいて、被検出光源から出力される被検出光の波長を検出する波長検出装置」を包含するものである。また、引用例１発明の基準光として用いられる「十分に強い基準光が得られ、基準光の波長が発振レーザ光の波長に極めて近いヒ素の輝線スペクトルの波長１９３．６９６ｎｍと波長１９３．１９７ｎｍの２本の輝線」と、本願補正発明の基準光として用いられる「二つ以上の発光線」とは、被検出光であるレーザ発光線に波長が近似し、かつ光強度が一定以上の二つの発光線である点で共通している。さらに、引用例１発明は、「ビームスプリッタ６により、前記サンプリング光ｌと、基準光ｌ０とを合波して共に分光手段９に導き、」「分光手段９により、サンプリング光ｌと基準光ｌ０とを分光し、これら分光光の像をラインセンサ１０の検出部に結像させ」るものであり、また基準光として「ヒ素の輝線スペクトルの波長１９３．６９６ｎｍと波長１９３．１９７ｎｍの２本の輝線を用い」るものであるから、本願補正発明と、「二つの基準光とレーザ発光線とを同時に入射し、混合した二つの基準光とレーザ発光線とをラインセンサで検出する」ものである点で共通している。そして、引用例１発明の「２本の輝線のラインセンサの検出部上における相対位置を測定することにより、ラインセンサ上の位置と波長の絶対値との変換の更正を容易に高精度に行う」ことは、ラインセンサ上の位置の変換の更正とは分光器の特性値を演算することであり、波長の絶対値の変換の更正とはサンプリング光１の波長を演算することであるから、本願補正発明の、「ラインセンサ上における前記二つの基準光の検出位置と、前記二つの基準光の既知の波長とに基づいて、分光器の特性値を演算し、ラインセンサ上における基準光およびレーザ発光線の検出位置と、演算された分光器の特性値と、二つの基準光の既知の波長とに基づいて、レーザ発光線の波長を演算するようにした」ことに相当する。
　したがって、両者は、
「基準光源で発光される基準光の波長に基づいて、被検出光源から出力される被検出光の波長を検出する波長検出装置において、
　レーザ発光線に波長が近似し、かつ光強度が一定以上の二つの発光線を前記基準光として用い、
　前記二つの基準光と前記レーザ発光線とを同時に入射し、混合した前記二つの基準光と前記レーザ発光線とをラインセンサで検出し、
　前記ラインセンサ上における前記二つの基準光の検出位置と、前記二つの基準光の既知の波長とに基づいて、分光器の特性値を演算し、
　前記ラインセンサ上における前記基準光および前記レーザ発光線の検出位置と、前記演算された前記分光器の特性値と、前記二つの基準光の既知の波長とに基づいて、前記レーザ発光線の波長を演算するようにした波長検出装置。」である点で一致し、以下の点で相違している。
［相違点１］被検出光が、本願補正発明では「フッ素分子Ｆ2レーザ発光線」であるのに対し、引用例１発明では「アルゴンフッ素エキシマレーザ」であり、発光線である基準光が、本願補正発明では「フッ素分子Ｆ2レーザ発光線に波長が近似し、かつ光強度が一定以上の炭素Ｃまたは鉄ＦeまたはナトリウムＮaまたはフッ素ＦまたはマグネシウムＭgまたはアルミニウムＡlまたはアルゴンＡrまたはカルシウムＣaまたはスカンジウムＳcまたはクロムＣrまたはマンガンＭnまたはニッケルＮiまたは銅ＣuまたはゲルマニウムＧeまたは砒素Ａsまたは臭素Ｂrまたは白金Ｐt」のうち「二つ以上」であるのに対し、引用例１発明では「ヒ素」の「２本」である点。
［相違点２］基準光とレーザ発光線とを同時に入射し、混合するための構成が、本願補正発明では「積分球」であるのに対し、引用例１発明では「ビームスプリッタ６」である点。
　
４．判断
［相違点１］について
　引用例２に示されるように、フッ素分子レーザにおいても、他のエキシマレーザと同様に設定波長からのずれを参照光を用いて測定することは本願出願前に公知である。また、フッ素分子レーザの波長が１５７ｎｍであること（例えば特開平１０−１５２３３０号公報の段落【０００３】を参照。）や、炭素Ｃ、鉄Ｆｅ、ナトリウムＮａ、フッ素Ｆ、マグネシウムＭｇ、アルミニウムＡｌ、カルシウムＣａ、スカンジウムＳｃ、クロムＣｒ、銅Ｃｕ、ゲルマニウムＧｅ、ヒ素Ａｓ、臭素Ｂｒ（Joseph Reader等, Wavelengths and Transition Probabilities for Atoms and Atomic Ions - Part I.Wavelengths, NSRDS-NBS 68, 1980年12月, p.214 を参照。)、アルゴンＡｒ（J.C.Boyce, The Spectra of Argon in the Extreme Ultraviolet, Physical Review, Vol.48, 1935年9月1日, p.396-402 を参照。）、マンガンＭｎ（C.Mendoza等, Transition probabilities for forbidden lines in the 3p4 configuration - III, Monthly Notices of the Royal Astronomical Society, vol.202, 1983年5月, p.981-896 を参照。）、ニッケルＮｉ（R. POPPE, EXTENDED ANALYSIS OF Ni IV, Physlca, 1976, vol.81C, p.351-365 を参照。）、白金Ｐｔ（J. Reader等, Wavelengths and intensities of a platinum/neon hollow cathode lamp in the region 1100-4000 Å, Astrophysical Journal Supplement Series, Vol. 72, 1990年4月, pp.831-866）のそれぞれの発光線は従来より知られている。
　そして、引用例１発明のアルゴンフッ素エキシマレーザと引用例２に示されるフッ素分子レーザは、どちらも気体を媒質とするレーザであり、共に狭帯化して露光装置に用いるという同じ技術分野において利用されるものであるから、引用例１発明において被検出光として用いられるアルゴンフッ素エキシマレーザを引用例２のフッ素分子レーザに置き換え、引用例１発明において基準光として用いられる発振レーザ光の波長に極めて近いヒ素の２本の輝線からなる基準光を、フッ素分子レーザの波長１５７ｎｍに近い炭素Ｃや鉄Ｆｅ等の輝線の中から選択して置き換えることは、当業者が容易に想到しうることである。また、精度を向上させるために基準の数を増やすことは一般に行われることであるから、２つ以上とすることも当業者ならば適宜なし得ることである。
　
［相違点２］について
　複数の発光源からの光を合波するための手段として積分球を用いることは従来より周知である（例えば特開昭６３−２３６９４４号公報の第２頁左下欄第１２行〜同頁左下欄第９行および第１図や、特開平８−１５１４１号公報の段落【００１４】を参照されたい。）ので、引用例１発明の基準光とレーザ発光源とを同時に入射し、混合するための構成として、ビームスプリッタ６の代わりに周知の積分球を採用することは、当業者ならば容易に想到しうることである。
　
　そして、本願明細書記載の効果は、引用例１，２及び上記周知技術から予測しうるものである。
　よって、本願補正発明は、引用例１，２及び上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
５．むすび
　以上のとおり、平成１８年９月２１日付け手続補正は、平成１８年改正前の特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、同法１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
　
III．本願発明について
１．本願発明の認定
　平成１８年９月２１日付け手続補正は上記のとおり却下されることとなったので、本願の請求項１に係る発明は、平成１８年６月２日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される下記のとおりのものである。
「【請求項１】
　基準光源で発光される基準光の波長に基づいて、被検出光源から出力される被検出光の波長を検出する波長検出装置において、
　前記被検出光がフッ素分子Ｆ2レーザ発光線の場合に、フッ素分子Ｆ2レーザ発光線に波長が近似し、かつ光強度が一定以上の炭素Ｃまたは鉄ＦeまたはナトリウムＮaまたはフッ素ＦまたはマグネシウムＭgまたはアルミニウムＡlまたはアルゴンＡrまたはカルシウムＣaまたはスカンジウムＳcまたはクロムＣrまたはマンガンＭnまたはニッケルＮiまたは銅ＣuまたはゲルマニウムＧeまたは砒素Ａsまたは臭素Ｂrまたは白金Ｐtのうち二つ以上の発光線を前記基準光として用い、
　前記二つ以上の基準光と前記フッ素分子Ｆ2レーザ発光線とをラインセンサで検出し、
　前記ラインセンサ上における前記二つ以上の基準光の検出位置と、前記二つ以上の基準光の既知の波長とに基づいて、分光器の特性値を演算し、
　前記ラインセンサ上における前記基準光および前記フッ素分子Ｆ2レーザ発光線の検出
位置と、前記演算された前記分光器の特性値と、前記二つ以上の基準光の既知の波長とに基づいて、前記フッ素分子Ｆ2レーザ発光線の波長を演算するようにした
　波長検出装置。」（以下「本願発明」という。）
　
２．引用刊行物記載の発明
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物と、その記載事項は、上記「II．２．」に記載したとおりである。
　
３．対比・判断
　本願発明は、前記「II．」において検討した本願補正発明から、基準光とフッ素分子F2レーザ発光線がラインセンサで検出される光路を、「積分球」を介するものとする限定を省いたものである。
　そうすると、本願発明の構成要件をすべて含み、さらに構成要件「積分球」を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「II．３．」および「II．４．」に記載したとおり、引用例１，２および上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例１及び引用例２に記載された発明および上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その他の請求項に係る発明についての判断を示すまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。