【手続補正書】
【提出日】平成31年2月22日(2019.2.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
化学式（ＩＡ）で表される１つ以上の別個の第１繰り返し単位、
化学式（ＩＩＡ）で表される１つ以上の別個の第２繰り返し単位、及び
化学式（ＩＩＩＡ）で表される１つ以上の別個の第３繰り返し単位
からなり、
前記第１繰り返し単位のそれぞれは、化学式（Ｉ）のモノマーに由来し、
前記第２繰り返し単位のそれぞれは、化学式（ＩＩ）のモノマーに由来し、
前記第３繰り返し単位のそれぞれは、化学式（ＩＩＩ）のモノマーに由来するポリマー。
【化１】
2018520222.tif 000001
上記式において、
【化２】
2018520222.tif 000002
は、他の繰り返し単位との結合が生じる位置を示し、
ｍは、０、１又は２の整数であり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は、それぞれ互いに独立に水素、直鎖もしくは分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１−Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａ、ｂ及びｃは１〜４の整数である）、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ及びハロゲンからなる群より選択され、
【化３】
2018520222.tif 000003
上記式において、
Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ互いに独立に水素、直鎖もしくは分岐鎖（Ｃ１−Ｃ９）アルキル及びフルオロ化又はパーフルオロ化（Ｃ１−Ｃ９）アルキルからなる群より選択され、
【化４】
2018520222.tif 000004
上記式において、
Ｒ９及びＲ１０は、それぞれ互いに独立に水素、直鎖もしくは分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３−Ｃ８）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）アリール及び（Ｃ６−Ｃ１２）アリール（Ｃ１−Ｃ１２）アルキルからなる群より選択され、
Ｒ１１は直鎖もしくは分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３−Ｃ８）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）アリール及び（Ｃ６−Ｃ１２）アリール（Ｃ１−Ｃ１２）アルキルから選択される。
【請求項２】
前記ポリマーは、化学式（ＩＡ）の２以上の別個の繰り返し単位からなる請求項１に記載のポリマー。
【請求項３】
ｍは０であり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は、それぞれ独立に水素、直鎖もしくは分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、フェニル（Ｃ１−Ｃ３）アルキル及び−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａは１又は２であり、ｂは２ないし４であり、ｃは２又は３である）からなる群より選択される請求項１に記載のポリマー。
【請求項４】
Ｒ５及びＲ６は、互いに独立に水素及びメチルから選択され、それぞれのＲ７及びＲ８は、互いに独立に水素、メチル、エチル、ｎ−プロピル及びｎ−ブチルから選択され、Ｒ９及びＲ１０は、互いに独立に水素及びメチルから選択され、Ｒ１１は、ヘキシル、シクロヘキシル及びフェニルから選択される請求項１に記載のポリマー。
【請求項５】
前記１つ以上の第１繰り返し単位は、下記からなる群より選択されるモノマーに由来する請求項１に記載のポリマー。
５−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エン、
５−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エン、
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エン、
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エン、
１−（ビシクロ［２．２．１］ヘプタ−５−エン−２−イル）−２，５，８，１１−テトラオキサドデカン、
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エン、及び
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エン。
【請求項６】
前記第２繰り返し単位は、下記からなる群より選択されるモノマーに由来する請求項１に記載のポリマー。
無水マレイン酸、
２−メチル−無水マレイン酸（３−メチルフラン−２，５−ジオン）、
２，３−ジメチル−無水マレイン酸（３，４−ジメチルフラン−２，５−ジオン）、
２−エチル−無水マレイン酸（３−エチルフラン−２，５−ジオン）、
２，３−ジエチル−無水マレイン酸（３，４−ジエチルフラン−２，５−ジオン）、
２−トリフルオロメチル−無水マレイン酸（３−トリフルオロメチルフラン−２，５−ジオン）、
２，３−ビス（トリフルオロメチル）−無水マレイン酸（３，４−ビス（トリフルオロメチル）フラン−２，５−ジオン）、及び
２−メチル−３−トリフルオロメチル−無水マレイン酸（３−メチル−４−（トリフルオロメチル）フラン−２，５−ジオン）。
【請求項７】
前記第３繰り返し単位は、下記からなる群より選択されるモノマーに由来する請求項２に記載のポリマー。
Ｎ−エチルマレイミド（１−エチル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）、
Ｎ−ブチルマレイミド（１−ブチル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）、
Ｎ−ヘキシルマレイミド（１−ヘキシル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）、
Ｎ−オクチルマレイミド（１−オクチル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）、
Ｎ−シクロペンチルマレイミド（１−シクロペンチル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）、
Ｎ−シクロヘキシルマレイミド（１−シクロヘキシル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）、
Ｎ−シクロヘプチルマレイミド（１−シクロヘプチル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）、
Ｎ−フェニルマレイミド（１−フェニル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）、及び
Ｎ−ベンジルマレイミド（１−ベンジル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）。
【請求項８】
前記第１繰り返し単位は、
５−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エン、
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エン、
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エン、
１−（ビシクロ［２．２．１］ヘプタ−５−エン−２−イル）−２，５，８，１１−テトラオキサドデカン、及び
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エンに由来し、
前記第２繰り返し単位は無水マレイン酸に由来し、
前記第３繰り返し単位は、
Ｎ−ヘキシルマレイミド（１−ヘキシル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）、
Ｎ−シクロヘキシルマレイミド（１−シクロヘキシル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）、及び
Ｎ−フェニルマレイミド（１−フェニル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）に由来する請求項１に記載のポリマー。
【請求項９】
前記第１繰り返し単位は
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エン、
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エン、及び
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エンに由来し、
前記第２繰り返し単位は無水マレイン酸に由来し、
前記第３繰り返し単位は、
Ｎ−ヘキシルマレイミド（１−ヘキシル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）、
Ｎ−シクロヘキシルマレイミド（１−シクロヘキシル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）、及び
Ｎ−フェニルマレイミド（１−フェニル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）に由来する請求項１に記載のポリマー。
【請求項１０】
化学式（ＩＡ）で表される１つ以上の別個の第１繰り返し単位、
化学式（ＩＩＡ）で表される１つ以上の別個の第２繰り返し単位、及び
化学式（ＩＩＩＡ）で表される１つ以上の別個の第３繰り返し単位
からなり、
前記第１繰り返し単位のそれぞれは、化学式（Ｉ）のモノマーに由来し、
前記第２繰り返し単位のそれぞれは、化学式（ＩＩ）のモノマーに由来し、
前記第３繰り返し単位のそれぞれは、化学式（ＩＩＩ）のモノマーに由来するポリマー、
光活性化合物、
エポキシ樹脂、及び
溶媒を含む、層形成組成物。
【化５】
2018520222.tif 000005
上記式において、
【化６】
2018520222.tif 000006
は、他の繰り返し単位との結合が生じる位置を示し、
ｍは、０、１又は２の整数であり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は、それぞれ互いに独立に水素、直鎖もしくは分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１−Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａ、ｂ及びｃは１〜４の整数である）、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ及びハロゲンからなる群より選択され、
【化７】
2018520222.tif 000007
上記式において、
Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ互いに独立に水素、直鎖もしくは分岐鎖（Ｃ１−Ｃ９）アルキル及びフルオロ化又はパーフルオロ化（Ｃ１−Ｃ９）アルキルからなる群より選択され、
【化８】
2018520222.tif 000008
上記式において、
Ｒ９及びＲ１０は、それぞれ互いに独立に水素、直鎖もしくは分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３−Ｃ８）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）アリール及び（Ｃ６−Ｃ１２）アリール（Ｃ１−Ｃ１２）アルキルからなる群より選択され、
Ｒ１１は直鎖もしくは分岐鎖（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３−Ｃ８）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）アリール及び（Ｃ６−Ｃ１２）アリール（Ｃ１−Ｃ１２）アルキルから選択される。
【請求項１１】
前記ポリマーは、化学式（ＩＡ）の２以上の別個の繰り返し単位からなる請求項１０に記載の組成物。
【請求項１２】
前記ポリマーの前記第１繰り返し単位は、
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エン、
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エン、及び
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エンに由来し、
前記第２繰り返し単位は無水マレイン酸に由来し、
前記第３繰り返し単位は、
Ｎ−ヘキシルマレイミド（１−ヘキシル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）、
Ｎ−シクロヘキシルマレイミド（１−シクロヘキシル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）、及び
Ｎ−フェニルマレイミド（１−フェニル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン）に由来する請求項１０に記載の組成物。
【請求項１３】
前記光活性化合物は、それぞれ構造式（ＶＩＩａ）及び（ＶＩＩｂ）
【化９】
2018520222.tif 000009
で表される１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホニル部位及び／又は１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホニル部位
又は構造式（ＶＩＩｃ）
【化１０】
2018520222.tif 000010
で表されるスルホニルベンゾキノンジアジド基を含む請求項１０に記載の組成物。
【請求項１４】
前記光活性化合物は下記化合物である請求項１３に記載の組成物。
【化１１】
2018520222.tif 000011
上記式において、Ｑの少なくとも１つは化学式（ＶＩＩａ）又は（ＶＩＩｂ）の基であり：
【化１２】
2018520222.tif 000012
残りのＱは水素である。
【請求項１５】
前記エポキシ樹脂は下記からなる群より選択される請求項１０に記載の組成物：
ビスフェノールＡエピクロロヒドリン系エポキシ樹脂、
ポリプロピレングリコールエピクロロヒドリン系エポキシ樹脂、
ビス（４−（オキシラン−２−イルメトキシ）フェニル）メタン、
パラ−ターシャリ−ブチルフェノールのグリシジルエーテル、
ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、
ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、及び
これらの任意の組み合わせによる混合物。
【請求項１６】
前記溶媒は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、γ‐ブチロラクトン、Ｎ−メチルピロリドン及びこれらの任意の組み合わせによる混合物からなる群より選択される請求項１０に記載の組成物。
【請求項１７】
前記溶媒は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートである請求項１０に記載の組成物。
【請求項１８】
前記組成物は、下記からなる群より選択された１つ以上の添加剤をさらに含む請求項１０に記載の組成物：
接着促進剤、
抗酸化剤、
界面活性剤、
熱酸又は熱塩基発生剤、及び
これらの任意の組み合わせによる混合物。
【請求項１９】
（ｉ）請求項１０に記載の層形成組成物を基板上に塗布してコーティング膜を形成するステップ、
（ｉｉ）目的のパターンマスクを介してコーティング膜を露光するステップ、
（ｉｉｉ）アルカリ性現像液で現像することによって露光部を溶解及び除去して目的のパターンを得るステップ、及び
（ｉｖ）得られた目的のパターンを加熱するステップを含む、硬化物の形成方法。
【請求項２０】
請求項１０に記載の層形成組成物を硬化して得られた硬化物。