【事件の表示】
　特願２０００−２３２５５２「荷電粒子線装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年　２月１５日出願公開、特開２００２−　５０３１４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　
　本願は、平成１２年８月１日に出願された特願２０００−２３２５５２号であって、平成１６年６月２９日付けで拒絶理由通知がされ、同年９月１日付けで手続補正がされ、同年１１月１５日付けで拒絶理由通知がされ、平成１７年１月１３日付けで手続補正がされ、平成１８年４月７日付けで拒絶理由通知がされ、同年６月７日付けで手続補正がされたが、平成１９年３月１２日付けで平成１７年６月７日付けの手続補正について補正の却下の決定がなされるとともに拒絶査定がされ、これに対し、平成１９年４月１９日付けで拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、同年５月１１日付けで手続補正がされ、同年８月３０日付けで審尋がなされ、これに対して同年１０月１９日付けで回答がなされたものである。
　
第２　平成１９年５月１１日付けの手続補正についての補正却下の決定 
　
［補正却下の決定の結論］ 
 　 
　平成１９年５月１１日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。 
 　 
［理由］独立特許要件違反
１．本件補正前及び本件補正後の本願発明 
　
　本件補正は、特許請求の範囲について、補正前（平成１７年１月１３日付け手続補正書参照）に
「【請求項１】
　荷電粒子を発生する荷電粒子源と、前記荷電粒子線を集束させる集束レンズと、前記荷電粒子線を前記試料に照射するための対物レンズと、前記集束レンズと前記対物レンズの間に位置して荷電粒子線量を制限する絞りと、試料に照射される荷電粒子線量（プローブ電流Ｉｐ）を測定するファラデーカップを備えた荷電粒子線装置において、
　前記制限絞りに照射する荷電粒子線の電流（Ｉａ）を測定する手段と、前記ＩｐとＩａの和が設定値に一定になるように前記荷電粒子源を制御し、Ｉｐ／（Ｉｐ＋Ｉａ）が設定値に一定になるように前記集束レンズの励磁の強度を制御する制御装置を設けたことを特徴とする荷電粒子線装置。
　　【請求項２】
　請求項１に記載の荷電粒子線装置において、前記集束レンズは、２個のコイルを備え、前記制御装置は、それぞれのコイルの電流を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
　　【請求項３】
　請求項１または２の何れか１項に記載の荷電粒子線装置において、前記集束レンズは、２段のレンズで構成し、前記制御装置は、それぞれのレンズの励磁の強度を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
　　【請求項４】
　請求項１〜３の何れか１項に記載の荷電粒子線装置において、前記制御装置は、前記制御の条件であるＩｐ＋Ｉａの値とＩｐ／（Ｉａ＋Ｉｐ）の値の設定，前記制御の実行および前記制御の履歴の保存を行うことを特徴とする荷電粒子線装置。」
　
とあったものを、
　
「【請求項１】
　荷電粒子を発生する荷電粒子源と、前記荷電粒子線を集束させる集束レンズと、前記荷電粒子線を前記試料に照射するための対物レンズと、前記集束レンズと前記対物レンズの間に位置して荷電粒子線量を制限する絞りと、試料に照射される荷電粒子線量（プローブ電流Ｉｐ）を測定するファラデーカップを備えた荷電粒子線装置において、
　前記制限絞りに照射する荷電粒子線の電流（Ｉａ）を測定する手段と、前記ＩｐとＩａの和が設定値に一定になるように前記荷電粒子源の引出電圧を制御すると共に、Ｉｐ／（Ｉｐ＋Ｉａ）が設定値に一定になるように前記集束レンズの励磁の強度を制御する制御装置を設けたことを特徴とする荷電粒子線装置。
　　【請求項２】
　請求項１に記載の荷電粒子線装置において、前記集束レンズは、２個のコイルを備え、前記制御装置は、それぞれのコイルの電流を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
　　【請求項３】
　請求項１または２の何れか１項に記載の荷電粒子線装置において、前記集束レンズは、２段のレンズで構成し、前記制御装置は、それぞれのレンズの励磁の強度を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
　　【請求項４】
　請求項１〜３の何れか１項に記載の荷電粒子線装置において、前記制御装置は、前記制御の条件であるＩｐ＋Ｉａの値とＩｐ／（Ｉａ＋Ｉｐ）の値の設定，前記制御の実行および前記制御の履歴の保存を行うことを特徴とする荷電粒子線装置。」
　
　と補正するものであって、本件補正は、補正前の請求項１における「ＩｐとＩａの和が設定値に一定になるように前記荷電粒子源を制御し、」を補正後の請求項１において「ＩｐとＩａの和が設定値に一定になるように前記荷電粒子源の引出電圧を制御すると共に、」と補正するものであるから、平成１８年改正前特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる事項を目的とするものである。
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許請求の範囲に記載されている事項により特定される発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項に規定する要件を満たすか）否かを、について検討する。 
　
２．本願明細書の記載
　平成１９年５月１１日付けの手続補正により補正された明細書の発明の詳細な説明は、本願の特許請求の範囲の請求項１乃至４に係る発明について、当業者がその発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものか否かについて検討する。
　請求項１乃至４に係る発明に関連して、発明の詳細な説明には、以下の記載がある。
（１）「【０００４】
しかし、装置立上げ直後や集束レンズの電流量変更直後にレンズの励磁の強度が変化するだけではなく、電子銃電源の立上げ直後や電子銃電源の条件を変更した直後に電子源から放出される全電流量も変化するので、遮へい電流量と試料に照射する電流量の比を一定となるように集束レンズの励磁電流を制御しても、クロスオーバー位置で決定される光学的倍率と試料に照射される電流量の両方を一定に制御することは困難である。」
（２）「【０００６】
　　【発明が解決しようとする課題】
　特に集束レンズの励磁電流を変化させて光学条件を変更する場合には、前記問題が発生するために、その度に条件確認・再設定を行なう必要がある。これはユーザーが常に装置を監視することを必要とし、また条件の確認・再設定に時間がかかるために、検査効率の低下を招く。」
（３）「【０００７】
　本発明の目的は、光学条件を変更して検査を行なう場合でも、ユーザーによる条件確認・再設定を行なうことなく検査を開始することが可能で、安定性および再現性が良い検査結果を得ることができるようにすることにある。」
（４）「【００２３】
　制御装置２５は、制限電流検出器１８から電流制限絞り１７で測定した電流Ｉａを入力し、ブランキング電流検出器２２からファラデーカップ２１に入射した一次電子線４に相当する電流Ｉｐを入力し、
    Ｉａ＋Ｉｐ＝ｋ（ｋ：設定値）　　　　　　　　　……（数１）
    Ｉｐ／（Ｉａ＋Ｉｐ）＝ｍ（ｍ：設定値）　　　　……（数２）
が設定値に一定となるように電子銃制御電源６および集束レンズ制御電源７を介して電子銃１および集束レンズ８を制御する。」
（５）「【００２５】
　これらを制御する原理は以下のようになる。Ｉａ＋Ｉｐ（＝ｋ）は、電子源２から放出する総電流量であり、（数１）式が成り立つ制御を行うことで電子源２から放出する電流量を一定にすることができる。（数２）式は、電流制限絞り１７を通って試料１２に照射される電流量（Ｉｐ）と総電流量（Ｉａ＋Ｉｐ）の比が一定になるように集束レンズ８の励磁の強度（集束力）を制御することにより、一次電子線の放射角変化による影響を補正してクロスオーバ位置１０を一定にすることができることを意味する。クロスオーバ位置１０が一定であれば試料１２の表面と収束点（フォーカス点）を一致させる対物レンズ９の励磁の強度が一意に決定する。従って、このような制御を行うことにより、試料１２に照射する電流量を一定に維持することが可能であり、且つ光学的倍率などの光学条件も常に一定になる。」
（６）「【００２６】
　このような制御を実現するために、制御装置２５は、先ず、（数１）式が成り立つように電子銃制御電源６を介して引出電圧Ｖ１と制御電圧Ｖｓを制御する。電流の和（＝ｋ）が減少した場合は、引出電圧Ｖ１を増加させて電子源２から放出する電子線量を増加させ、ｋが増加した場合は、引出電圧Ｖ１を減少させることによってｋを設定値に一致させる。このとき、引出電圧Ｖ１を大幅に増減させると、一次電子線４の軸が動き易いので、制御電圧Ｖｓを制御するほうが望ましい。次に、（数２）式が成り立つように、集束レンズ制御電源７を介して集束レンズ８の励磁の強度を制御する。すなわち、プローブ電流Ｉｐの変化を補正するために引出電圧Ｖ１を変化させると静電レンズ作用によって電子線４の放射角が変化してクロスオーバ位置１０とＩｐ／（Ｉｐ＋Ｉａ）が変化する。そこで、集束レンズ８の励磁の強度を制御して集束力を変えることによって電子線４の放射角変化による影響を補正（Ｉｐ／（Ｉｐ＋Ｉａ）を元に戻す）してクロスオーバ位置１０を元に戻す制御を行う。」
　
３．当審の判断
（１）本願発明の課題、目的
　上記「２．本願明細書の記載」で摘記した段落【０００６】、【０００７】、【００２６】の記載からみて、段落【０００６】、【０００７】に記載された本願発明の課題、目的を達成するためには、光学条件を変更する場合でも、クロスオーバ位置１０を一定にできることが必要であることは明らかである。
　
　そこで、請求項１乃至４に係る荷電粒子線装置に関する発明は、上記課題、目的を達成するための発明であるので、発明の詳細な説明において説明された荷電粒子線装置が、光学条件を変更する場合でも、クロスオーバ位置を一定にできることが明確かつ十分に記載されているか否かについて検討する。
　
（２）クロスオーバ位置を一定にできるか
　発明の詳細な説明によれば、以下のことがいえる。
　
　Ｉｐ／（Ｉａ＋Ｉｐ）が一定になるように集束レンズ８の励磁の強度（集束力）を制御することにより、一次電子線の放射角変化による影響を補正してクロスオーバ位置１０を一定にすることができる。（段落【００２６】参照）
　そこで、上記事項について検討する。
　
　電流量を一定にするために引出電圧Ｖ１を制御すると、静電レンズ作用によって電子線４の放射角が変化し、クロスオーバ位置が変化する。Ｉａ＋Ｉｐ及びＩｐ／（Ｉａ＋Ｉｐ）が一定になるように制御することは、すなわち、Ｉｐが一定になるように制御することである。しかし、放射角が異なる電子線に対してＩｐが一定になるように集束レンズの励磁の強度を制御すると、電子線に対する集束条件が異なるものとなり、クロスオーバ位置が移動するので、Ｉｐ／（Ｉａ＋Ｉｐ）が一定になるように集束レンズの励磁の強度（集束力）を制御することでクロスオーバ位置を一定にすることはできない。
　
　なお、請求人は、平成１９年１０月１９日付けで提出された回答書において、「電子銃１の電子銃絞り１ａを通過して集束レンズ８の位置に至る電子線４ｂ１（軌道Ｂ）のビーム径（φｂ１）は、電子源２から比較的遠くに離れて位置する電子銃絞り１ａに規制されることから無視し得る程度の微増（φｂ１≒φｂ）に過ぎない。」と主張している。しかし、本件補正により補正された明細書又は図面には、上記「電子銃絞り１ａ」については何等記載がないために、請求項１に記載されるように「制限絞りに照射する荷電粒子線の電流（Ｉａ）を測定する手段と、前記ＩｐとＩａの和が設定値に一定になるように前記荷電粒子源を制御し、Ｉｐ／（Ｉｐ＋Ｉａ）が設定値に一定になるように前記集束レンズの励磁の強度を制御する」ことで、クロスオーバ位置を一定にすることは、当業者といえども容易に実施することができない。
　
（３）小括
　したがって、本願明細書の発明の詳細な説明の記載は、請求項１乃至４に係る発明について、当業者が容易にその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものということができない。
　
４．本件補正についての結び
　
　以上のとおり、本願は、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしておらず、請求項１乃至４に係る発明は特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるから、本件補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第５項に規定する要件を満たさないものであり、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本願発明について 
１．本願発明 
　平成１９年５月１１日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１乃至４に係る発明は平成１７年１月１３日付け手続補正書により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至４に記載されたとおりのものであるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、第２［理由］１．に本件補正前の請求項１として記載したとおりものである。 
　
２．原審の拒絶理由の概要
　　原審において通知した拒絶の理由の概要は、次のとおりである。
「（理由１）
　この出願は、発明の詳細な説明の記載について下記の点で、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　補正により「変化した一次電子線の放射角を元に戻して」との記載が発明の詳細な説明に追加されたが、本願の図１においてＶａｃｃ及びＶｓ等を変化させることにより、総電流量が同じであっても、電子源からの放射角は、変化するものと考えられる。例えば、上記図１において、２通りに記載された破線のように電子源からの放射角が変化したときについて考えるに、電子ビームの電流密度が一定という仮定においては、請求項１における各設定値を一定に制御することは、絞り位置におけるビーム径を一定に制御することとなるが、そのようにレンズの励磁強度を調整するのみでは、放射角が元に戻るとは言えず、クロスオーバ位置が移動してしまうことは明らかである。
　この点に関して、意見書においても何故クロスオーバの位置を「一定」にできるのかについての具体的な説明はなく、補正書により発明の詳細な説明に上記記載を追加するのみでは、請求項１のように集束レンズの励磁強度を制御することの技術的意味が依然として不明である。
　よって、この出願の発明の詳細な説明は、請求項１−４に係る発明について、経済産業省令で定めるところにより記載されたものでない。
　
（理由２）
　この出願の下記の請求項に係る発明は、その出願前日本国内又は外国において頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
（略）」
　
３．本願明細書の記載
　平成１７年１月１３日付けの手続補正により補正された明細書の発明の詳細な説明は、本願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明について、当業者がその発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものか否かについて検討する。
　
　請求項１乃至４に係る発明に関連して、発明の詳細な説明には、前記「第２［理由］２．」（１）乃至（４）に摘記した段落【０００４】、【０００６】、【０００７】、【００２３】の記載に加え、以下の記載がある。
　
（１）「【００２５】
　これらを制御する原理は以下のようになる。Ｉａ＋Ｉｐ（＝ｋ）は、電子源２から放出する総電流量であり、（数１）式が成り立つ制御を行うことで電子源２から放出する電流量を設定値に一定にすることができる。（数２）式は、電流制限絞り１７を通って試料１２に照射される電流量（Ｉｐ）と総電流量（Ｉａ＋Ｉｐ）の比が設定値に一定になるように集束レンズ８の励磁の強度を制御することにより、一次電子線の放射角変化による影響を補正してクロスオーバ位置１０を一定にすることができることを意味する。クロスオーバ位置１０が一定であれば試料１２の表面と収束点（フォーカス点）を一致させる対物レンズ９の励磁の強度が一意に決定する。従って、このような制御を行うことにより、試料１２に照射する電流量を一定に維持することが可能であり、且つ光学的倍率などの光学条件も常に一定になる。」
（２）「【００２６】
　このような制御を実現するために、制御装置２５は、先ず、（数１）式が成り立つように電子銃制御電源６を介して引出電圧Ｖ１と制御電圧Ｖｓを制御する。電流の和（＝ｋ）が減少した場合は、引出電圧Ｖ１を増加させて電子源２から放出する電子線量を増加させ、ｋが増加した場合は、引出電圧Ｖ１を減少させることによってｋを設定値に一致させる。このとき、引出電圧Ｖ１を大幅に増減させると、一次電子線４の軸が動き易いので、制御電圧Ｖｓを制御するほうが望ましい。次に、（数２）式が成り立つように、集束レンズ制御電源７を介して集束レンズ８の励磁の強度を制御する。すなわち、プローブ電流Ｉｐの変化を補正するために引出電圧Ｖ１を変化させると静電レンズ作用によって電子線４の放射角が変化してクロスオーバ位置１０とＩｐ／（Ｉｐ＋Ｉａ）が変化する。そこで、集束レンズ８の励磁の強度を制御して集束力を変えることによって電子線４の放射角変化による影響を補正（Ｉｐ／（Ｉｐ＋Ｉａ）を元に戻す）してクロスオーバ位置１０を元に戻す制御を行う。
　
４．当審の判断
（１）本願発明の課題、目的
　上記「３．本願明細書の記載」で摘記した段落【０００６】、【０００７】、【００２６】の記載からみて、段落【０００６】、【０００７】に記載された本願発明の課題、目的を達成するためには、光学条件を変更する場合でも、クロスオーバ位置１０を一定にできることが必要であることは明らかである。
　
　そこで、請求項１乃至４に係る荷電粒子線装置に関する発明は、上記課題、目的を達成するための発明であるので、発明の詳細な説明において説明された荷電粒子線装置が、光学条件を変更する場合でも、クロスオーバ位置を一定にできることが明確かつ十分に記載されているか否かについて検討する。
　
（２）クロスオーバ位置を一定にできるか
　発明の詳細な説明によれば、以下のことがいえる。
　
　Ｉｐ／（Ｉａ＋Ｉｐ）が一定になるように集束レンズ８の励磁の強度を制御することにより、変化した一次電子線の放射角を元に戻してクロスオーバ位置１０を一定にすることができる。（段落【００２６】参照）
　そこで、上記事項について検討する。
　Ｉａ＋Ｉｐ及びＩｐ／（Ｉａ＋Ｉｐ）が一定になるように制御することは、すなわち、Ｉｐが一定になるように制御することである。しかし、発明の詳細な説明には、Ｉｐ及びＩａ＋Ｉｐと一次電子線の放射角との関係については何等記載がないために、Ｉｐ／（Ｉａ＋Ｉｐ）が一定になるように集束レンズの励磁の強度を制御することで、変化した一次電子線の放射角を元に戻し、クロスオーバ位置１０を一定にすることはできない。
　
（３）小括
　したがって、本願明細書の発明の詳細な説明の記載は、請求項１乃至４に係る発明について、当業者が容易にその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものということができない。
　
５．むすび
　
　以上のとおり、本願は、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない。
　したがって、本願は拒絶すべきものである。 
　よって、結審のとおり審決する。