【事件の表示】
　特願２００１−３８７６１１「薬液の特性測定装置及び薬液供給装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年　７月　３日出願公開、特開２００３−１８５５３７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯　 
　本件出願は、平成１３年１２月２０日の出願であって、平成１８年２月１７日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年３月３０日に拒絶査定不服審判の請求が行われるとともに、同年５月１日付けで手続補正が行われたものである。　 
 　 
２．補正の目的の検討 
 　平成１８年５月１日付け手続補正は、補正の内容として、特許請求の範囲の請求項１−５について、補正前（平成１７年１２月１９日付け手続補正書）の 
 　 
 「【請求項１】薬液を下方から上方に向かって案内する流路中に設けられている測定装置と、
　前記測定装置の下部に設けられており前記薬液を上方に向かって噴出するノズルと
を備えた薬液の特性測定装置において、
　前記測定装置は、前記薬液を調合する混合タンク内の薬液を循環させる循環配管に介在される測定筒と、該測定筒内において前記薬液の誘電率を検出する導電率計及び音速を検出する音速計及び温度を検出する温度計からなる検出部とで構成されており、
　前記ノズルは前記測定筒の下端中央部に設けられており、前記ノズルには前記薬液を測定筒の内壁に向かって斜め上方に噴出する噴出孔が設けられていることを特徴とする薬液の特性測定装置。
【請求項２】　複数の原液の供給に基づいて、薬液を調合する混合タンクと、
　前記調合時に、前記混合タンク内の薬液を循環させる循環配管と、
　前記混合タンク内に貯留された薬液を被供給装置に供給する供給配管と、
　前記混合タンク内の薬液を、前記循環配管若しくは供給配管に送出するポンプと、
　前記循環配管に介在される測定筒と該測定筒内において前記薬液の誘電率を検出する導電率計及び音速を検出する音速計及び温度を検出する温度計からなる検出部とで構成され
る測定装置と、
　前記薬液の調合動作と供給動作とを制御するとともに、前記測定装置から出力される測定値に基づいて、前記混合タンク内の薬液の濃度を調整する制御部と
を備えた薬液供給装置であって、
　前記薬液を下方から上方に向かって案内する前記循環配管に前記測定装置を介在させ、前記測定装置の下部には、前記薬液を前記測定筒の内壁に向かって斜め上方に噴出する噴出孔が備えられたノズルを設けたことを特徴とする薬液供給装置。
【請求項３】　前記噴出孔を複数設け、各噴出孔の噴出角度をそれぞれ異なる角度としたことを特徴とする請求項２記載の薬液供給装置。
【請求項４】　前記制御部は、前記導電率計と前記音速計と前記温度計との測定値に基づいて、前記薬液の濃度を算出することを特徴とする請求項２記載の薬液供給装置。
【請求項５】　前記混合タンクには、該混合タンクに供給される原料薬液の体積を測定するレベル計と、重量を測定する重量計とをそれぞれ備え、
　前記制御部は、
　前記レベル計若しくは重量計の測定値に基づいて前記混合タンク内の混合薬液の濃度を算出する第一の算出処理と、
　前記導電率計と前記音速計と前記温度計とから出力される混合薬液の測定値及びあらかじめ設定された検量線及び前記第一の算出処理に基づいて前記混合薬液の濃度を算出する第二の算出処理と、
　前記第二の算出処理に基づいて、混合薬液の濃度調整を行う濃度調整処理と
を行うものであることを特徴とする請求項４記載の薬液供給装置。」を、　 
 　 
 「【請求項１】　薬液を下方から上方に向かって案内する流路中に設けられている測定装置と、
　前記測定装置の下部に設けられており前記薬液を上方に向かって噴出するノズルと
を備えた薬液の特性測定装置において、
　前記測定装置は、前記薬液を調合する混合タンク内の薬液を循環させる循環配管に介在される測定筒と、該測定筒内において前記薬液の
導電率
　前記ノズルは前記測定筒の下端中央部に設けられており、前記ノズルには前記薬液を測定筒の内壁に向かって斜め上方に噴出する噴出孔が設けられている
ことを特徴とする薬液の特性測定装置。
【請求項２】　複数の原液の供給に基づいて、薬液を調合する混合タンクと、
　前記調合時に、前記混合タンク内の薬液を循環させる循環配管と、
　前記混合タンク内に貯留された薬液を被供給装置に供給する供給配管と、
　前記混合タンク内の薬液を、前記循環配管若しくは供給配管に送出するポンプと、
　前記循環配管に介在される測定筒と該測定筒内において前記薬液の
導電率
　前記薬液の調合動作と供給動作とを制御するとともに、前記測定装置から出力される測定値に基づいて、前記混合タンク内の薬液の濃度を調整する制御部と
を備えた薬液供給装置であって、
　前記薬液を下方から上方に向かって案内する前記循環配管に前記測定装置を介在させ、
前記測定装置の下部には、前記薬液を前記測定筒の内壁に向かって斜め上方に噴出する噴出孔が備えられたノズルを設けたことを特徴とする薬液供給装置。
【請求項３】　前記噴出孔を複数設け、各噴出孔の噴出角度をそれぞれ異なる角度としたことを特徴とする請求項２記載の薬液供給装置。
【請求項４】　前記制御部は、前記導電率計と前記音速計と前記温度計との測定値に基づいて、前記薬液の濃度を算出することを特徴とする請求項２記載の薬液供給装置。
【請求項５】　前記混合タンクには、該混合タンクに供給される原料薬液の体積を測定するレベル計と、重量を測定する重量計とをそれぞれ備え、
　前記制御部は、
　前記レベル計若しくは重量計の測定値に基づいて前記混合タンク内の混合薬液の濃度を算出する第一の算出処理と、
　前記導電率計と前記音速計と前記温度計とから出力される混合薬液の測定値及びあらかじめ設定された検量線及び前記第一の算出処理に基づいて前記混合薬液の濃度を算出する第二の算出処理と、
　前記第二の算出処理に基づいて、混合薬液の濃度調整を行う濃度調整処理と
を行うものであることを特徴とする請求項４記載の薬液供給装置。」（下線部分は、補正箇所である。）と補正するものである。 
 　 
 　そして、補正前の請求項１及び２について「誘電率を検出する導電率計」を、それぞれ補正後の「導電率を検出する導電率計」と補正する点は、誤記の訂正を目的とするものに該当すると認められるから、この補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第４項の規定を満たすものである。 
　
３．本願発明　 
　本願の請求項１−５に係る発明は、平成１８年５月１日付け手続補正書で補正された明細書の特許請求の範囲請求項１−５に記載された事項により特定されるものであって、その請求項１に係る発明は、上記「２．補正の目的の検討」に記載の請求項１に記載されたとおりのものと認められる（以下、平成１８年５月１日付け手続補正書で補正された請求項１に記載された発明を「本願発明」という。）。　 
 　 
４．引用例　 
　原査定の拒絶の理由で引用されたれた刊行物である特開平８−２１８２５号公報（以下、「引用刊行物１」という。）には、「超音波式液体濃度測定装置」に関する発明が記載されており、図面とともに次の記載がある。（下線は、当審にて付加。） 
 　 
ア．「【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、超音波式液体濃度測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液体の濃度を測定する装置のひとつとして、超音波式液体濃度測定装置が知られている。ここで、
液体の濃度とは、二種以上の成分液体同志の液状混合物中における特定の成分液体の濃度、又は液体に溶解された成分固体の濃度をいう。
電子工業用に使用される液体工業薬品
電子工業用に使用される液体工業薬品としては、シリコンウエハー洗浄用薬品、配線パターン現像用薬品、各種エッチング剤などがある。
 　 
イ．「【０００８】すなわち、
本発明は、超音波受発信部及び超音波反射部を有する超音波式液体濃度測定装置であって、超音波受発信部及び超音波反射部に対する気泡除去手段を有する超音波式液体濃度測定装置に係るものである。
 　 
ウ．「【００１０】本発明の超音波受発信部及び超音波反射部を有する
超音波式液体濃度測定装置としては、公知のものを使用することができ、これらは広く市販されている。
発信から受信までの時間を測定するこにより液体中での超音波の伝播速度を求め、該伝播速度が液体の濃度に依存する性質を利用して、液体の濃度を求める装置
 　 
エ．「【００１２】
超音波受発信部及び超音波反射部に対する気泡除去手段としては
ノズル（１）から超音波受発信部（２）及び超音波反射部（３）に濃度測定用液体を噴出するもの（図１）
ノズルの形状及び大きさ並びに液体の噴出量については、特に制限はなく、要するに超音波受発信部及び超音波反射部に付着する気泡を除去できればよい
濃度測定用液体を超音波受発信部及び超音波反射部に向かって噴出させればよい。
 　 
オ．「【００１４】第一に、白金測温抵抗体からなる温度計を用いて
濃度測定用液体の温度を測定し、超音波の伝播速度に対する液温の影響を補正することが好ましい。
　
カ．「【００１６】第三に、超音波式液体濃度測定装置の設置環境温度を一定に保持することが好ましい。特に、超音波受発信部分及び温度計を通して受ける環境温度の影響は無視できない場合がある。その対策としては、
たとえば超音波受発信部分及び温度計が設置されたフランジ部分
　
キ．「【００２１】また、
二種以上の成分液体を混合して目的の成分比率を有する混合液を調合するに際し、本発明の超音波式液体濃度測定装置により混合液の濃度を監視し、得られた濃度測定値をフィードバックして成分液の供給流量を自動調節できるシステムとする
極めて高精度下、自動的に目的の濃度を有する混合液体を調合することができる。
 　 
ク．第１図
　濃度測定用液体を加圧するポンプ５から出た矢印が途中で分岐して、超音波式濃度測定装置本体４が挿入される上部挿入部及びノズル１が挿入される下部挿入部が形成された円筒部材の中に下方から向かう矢印並びにノズル１内に向かう矢印となっている様子と、さらに、前記円筒部材の中から上方へ向かう矢印が示されている。また、前記ノズル１が、測定装置本体４の下方に位置し、先端部に所定の形状の孔を有する様子が示されている。
　
　そして、これらの記載から、引用刊行物１には「内部を薬品の混合液からなる濃度測定用液体が下方から上方に向かって流れる円筒部材及び該円筒部材に形成された上部挿入部に挿入された測定装置本体と、
　前記円筒部材の下部挿入部に挿入され、前記濃度測定用液体を前記測定装置本体の超音波受発信部及び超音波反射部に向かって噴出させるノズルと
を備え、前記濃度測定用液体中での超音波の伝播速度を求めて濃度測定用液体の濃度を求める超音波式液体濃度測定装置において、
　前記円筒部材内には、前記測定装置本体の超音波受発信部及び超音波反射部とともに前記濃度測定用液体の温度を測定する温度計が配置され、
　前記円筒部材の下部挿入部に挿入されるノズルには、前記濃度測定用液体を前記測定装置本体の超音波受発信部及び超音波反射部に向かって噴出させる所定の形状の孔が設けられている超音波式液体濃度測定装置。」（以下、「引用刊行物１記載の発明」という。）が記載されているものと認められる。 　 
　
５．対比・判断　 
　本願発明と上記引用刊行物１記載の発明とを対比する。 
 　 
　引用刊行物１記載の発明の（ａ）「薬品の混合液」、（ｂ）「円筒部材の下部挿入部に挿入され、濃度測定用液体を測定装置本体の超音波受発信部及び超音波反射部に向かって噴出させるノズル」、（ｃ）「超音波式液体濃度測定装置」、（ｄ）「円筒部材」、（ｅ）「液体中での超音波の伝播速度を求める」ための「超音波受発信部及び超音波反射部」、（ｆ）「濃度測定用液体の温度を測定する温度計」及び（ｇ）「孔」は、それぞれ本願発明の（ａ）「薬液」、（ｂ）「測定装置の下部に設けられており薬液を上方に向かって噴出するノズル」、（ｃ）「特性測定装置」、（ｄ）「測定筒」、（ｅ）「音速を検出する音速計」、（ｆ）「温度を検出する温度計」及び（ｇ）「噴出孔」に相当する。 
　
　また、引用刊行物１記載の発明における「円筒部材」及び「測定装置本体」は、前記円筒部材内部を混合液からなる濃度測定用液体が下方から上方に向かって流れるものであるとともに、前記円筒部材の上部挿入部に前記測定装置本体が挿入され、前記円筒部材の下部挿入部に前記ノズルが挿入されるから、本願発明の「測定装置」に相当し、両者は「薬液が下方から上方に向かって流れながら測定される測定装置」という点で共通する。
　
　また、引用刊行物１記載の発明における「濃度測定用液体を前記測定装置本体の超音波受発信部及び超音波反射部に向かって噴出させる所定の形状の孔」は、濃度測定用液体を、前記円筒部材の下部挿入部に挿入されたノズルから、一定の横方向間隔を有する超音波受発信部及び超音波反射部に向かって噴出させるのであるから、濃度測定用液体を斜め上方に噴出させることは明らかであるとともに、該斜め上方に噴出された濃度測定用液体が、前記円筒部材の内壁に向かっていることも明らかである。そうすると、引用刊行物１記載の発明における「濃度測定用液体を前記測定装置本体の超音波受発信部及び超音波反射部に向かって噴出させる所定の形状の孔」は、本願発明の「薬液を測定筒の内壁に向かって斜め上方に噴出する噴出孔」に相当する。
　　
　また、引用刊行物１記載の発明においてノズルが設けられる「円筒部材の下部挿入部」と、本願発明においてノズルが設けられる「測定筒の下端中央部」とは、「測定筒の下部」である点で共通する。
　
　また、引用刊行物１記載の発明は、薬品の混合液を調合するに際し、前記混合液の濃度を監視するシステムに用いられるのであるから、当該システムにおける「調合中の薬品の混合液が流れる場所」において用いられることは明らかである。そうすると、引用刊行物１記載の発明が用いられる「調合されるべき薬品の混合液が流れる場所」と本願発明における「薬液を調合する混合タンク内の薬液を循環させる循環配管」とは、「調合中の薬液が流れる場所」という点で共通する。
　　
　したがって、両者は「薬液が下方から上方に向かって流れながら測定される測定装置と、
　前記測定装置の下部に設けられており前記薬液を上方に向かって噴出するノズルと
を備えた薬液の特性測定装置において、
　前記測定装置は、調合中の薬液が流れる場所に介在される測定筒と、該測定筒内において前記薬液の音速を検出する音速計及び温度を検出する温度計からなる検出部と有し、
　前記ノズルは前記測定筒の下部に設けられており、前記ノズルには前記薬液を測定筒の内壁に向かって斜め上方に噴出する噴出孔が設けられている
薬液の特性測定装置。」である点で一致し、次の点で相違すると認められる。 
 　 
（相違点１）　 
　測定筒が介在する「調合中の薬液が流れる場所」が、本願発明においては、「薬液を調合する混合タンク内の薬液を循環させる循環配管」であり、また「薬液を下方から上方に向かって案内する流路中」であるのに対して、引用刊行物１記載の発明が混合液の濃度を監視するシステムのどの場所のどのような流路において用いられるのか明らかでない点。
　
（相違点２）　 
　測定装置が、本願発明においては「薬液の導電率を検出する導電率計」を有しているのに対し、引用刊行物１記載の発明は導電率計を有していない点。
　
（相違点３）
　ノズルが設けられる場所が、本願発明においては「測定筒の下端中央部」であるのに対し、引用刊行物１記載の発明においては「円筒部材の下部挿入部」である点。
　
　上記相違点について検討する。　 
 　 
（相違点１について） 
　引用刊行物１記載の発明は、上記「キ．」に摘記したように、薬品の混合液を調合するに際し、前記混合液の濃度を監視し、得られた濃度測定値をフィードバックして成分液の供給流量を自動調節できるシステムに用いられる超音波式液体濃度測定装置である。
　そして、薬品の混合液を調合するに際し、前記混合液の濃度を監視し、得られた濃度測定値をフィードバックして成分液の供給流量を自動調節できるシステムが、薬液を調合する混合タンク内の薬液を循環させる循環配管を有するとともに、該循環配管に混合液の濃度を測定するための装置を設ける技術は周知（例えば、原査定の拒絶の理由で提示した特表平１１−５００８４６号公報明細書第１１ページ第２３行−第１２ページ第１０行及び第１図に記載された、混合タンク（１２）内のブレンド薬品を循環する再循環ライン（２）において濃度測定センサにより濃度がモニターされる例、並びに、特開昭６３−３８４６６号公報第４ページ右上欄第４行−１７行及び第１図に記載された、第１混合タンク（Ｍ１）及び第２混合タンク（Ｍ２）にそれぞれ設けられた循環ライン（４０、４１）において濃度計（Ｎ１ａ、Ｎ１ｂ）により濃度が測定される例等参照）であるから、上記システムの濃度計として用いられる引用刊行物１記載の発明を、上記周知技術のように薬液を調合する混合タンク内の薬液を循環させる循環配管を有するシステムの該循環配管に設けるようにすることは当業者が容易に想到することである。そしてその際に、内部を薬品の混合液からなる濃度測定用液体が下方から上方に向かって流れる円筒部材を設置するにあたっては、上記循環配管が薬液を下方から上方に向かって案内する流路となるようにすることは当業者が適宜決定することである。
　　
（相違点２について） 
　混合液体の成分濃度を測定する装置において、音速を検出する音速計及び温度を検出する温度計とともに薬液の導電率を検出する導電率計とからなる検出部を用いる技術は周知（例えば、原査定の拒絶の理由で提示した特開平５−２６８５３号公報【請求項２】に記載された、超音波伝搬速度，溶液導電率及び液温度それぞれの計測用のセンサを有する濃度計の例、及び、特開昭６３−３１１１６６号公報第２ページ右上欄第１３行−左下欄第６行及び第１図に記載された、被測定溶液の温度を測定する温度検出器（１６）、溶液の導電率を検出する導電率検出器（１７）、超音波の伝搬速度を演算するための超音波送受波器（１４）を備える濃度測定装置の例、等参照）であるから、引用刊行物１記載の発明における濃度測定のために用いられる検出部が備えるセンサとして、音速を検出する音速計及び温度を検出する温度計とともに、薬液の導電率を検出する導電率計を有するようにすることは当業者が適宜選択することである。
　
（相違点３について）
　引用刊行物１記載の発明において、前記ノズルは気泡除去手段としての機能を有するものであるから、前記ノズルを円筒部材内の下端中央部に設けることは、前記ノズルから噴出される濃度測定用液体の到達範囲を勘案して当業者が適宜決定することである。
　
　そして、本願発明の作用効果も、引用刊行物１記載の発明及び上記周知技術から当業者であれば予測できる範囲のものである。 
 　 
６．むすび 
　以上のとおり、本願発明は、引用刊行物１記載の発明及び上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　 
 　 
　したがって、他の請求項に係る発明について言及するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。　 
 　 
　よって、結論のとおり審決する。