【手続補正書】
【提出日】平成31年4月1日(2019.4.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体流中の粒子を検出する方法であって、
前記粒子を有する前記流体流を供給するステップと、
前記流体流をレーザからの電磁放射ビームに晒し、それによって散乱又は放出電磁放射を発生させるステップと、
前記散乱又は放出電磁放射を観察領域から収集し、複数の検出器素子へと導くステップであって、各検出器素子が、前記散乱又は放出電磁放射を前記観察領域の異なる部分から受けるように配置されている、ステップと、
前記複数の検出器素子に導かれた前記電磁放射を検出するステップであって、前記検出器素子がそれぞれ、独立した出力信号を生成する、ステップと、
少なくとも２つの異なる検出器素子からの出力信号を比較して、粒子検出事象に対応する出力信号をレーザノイズ事象に対応する出力信号と区別するステップと、
前記粒子検出事象に対応する出力信号を解析し、かつ前記レーザノイズ事象を識別し、それによって前記流体流中の前記粒子を検出するステップであって、前記レーザノイズ事象が、少なくとも２つの隣り合わない検出器素子それぞれの前記出力信号が個別に閾値以上である場合に識別される、ステップと、
を含む、方法。
【請求項２】
単一の検出器素子又は複数の隣り合う検出器素子のうちの一部のみの前記出力信号の大きさの増加が、前記粒子検出事象を示す、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記散乱又は放出電磁放射を前記観察領域から収集して導く前記ステップが、前記散乱又は放出電磁放射を前記観察領域から前記複数の検出器素子に集束させる光学系を用いて提供される、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記光学系、並びに／又は検出器素子の物理的寸法及び位置の少なくとも一方は、前記複数の検出器素子の一部のみが、前記粒子検出事象に対応する前記散乱又は放出電磁放射を受けるようになっている、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記光学系、並びに／又は検出器素子の物理的寸法及び位置の少なくとも一方は、前記複数の検出器素子のすべてが、前記レーザノイズ事象に対応する前記散乱又は放出電磁放射を受けるようになっている、請求項３に記載の方法。
【請求項６】
前記複数の検出器素子が、前記光学系と光連通して配置された検出器アレイを含み、前記アレイの各素子が、前記観察領域の異なる部分から散乱又は放出電磁放射を受けるようになっている、請求項３に記載の方法。
【請求項７】
前記検出器アレイが、２〜２０個の検出器素子を含む１次元アレイである、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記１次元アレイの前記検出器素子がそれぞれ、４１０μｍ〜４４０μｍの範囲から選択される横寸法を特徴とするアクティブ領域を独立して有する、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記１次元アレイの隣り合う検出器素子が、６０μｍ〜９０μｍの範囲から選択される距離だけ互いに離れている、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記レーザが、固体レーザ又はダイオードレーザである、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記レーザノイズ事象が、前記レーザの放射出力の変化に対応していることにより、前記観察領域から実質的に均一な空間強度分布を有する前記散乱又は放出電磁放射を発生させる、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記粒子検出事象が、電磁放射ビームを通過する粒子に対応していることにより、前記観察領域から不均一な空間強度分布を有する前記散乱又は放出電磁放射を発生させる、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
少なくとも２つの異なる検出器素子からの出力信号を比較する前記ステップが、前記散乱又は放出電磁放射の前記空間強度分布を特性化して、粒子検出事象に対応する出力信号をレーザノイズ事象に対応する出力信号と区別することを含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記粒子検出事象を識別するステップをさらに含み、前記粒子検出事象が、単一の検出器素子又は複数の隣り合う検出器素子のうちの一部のみの前記出力信号が個別に閾値以上である場合に識別される、請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
所与の検出器素子の前記閾値が、検出器アレイの前記所与の検出器素子のノイズの標準偏差の１．５：１〜２．０：１倍に等しい、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記レーザノイズ事象が、すべての検出器素子それぞれの出力値が個別に閾値以上である場合に識別される、請求項１に記載の方法。
【請求項１７】
前記閾値が、各検出器素子について独立に設定されている、請求項１に記載の方法。
【請求項１８】
所与の検出器素子の前記閾値が、検出器アレイの前記所与の検出器素子のノイズの標準偏差の１．５：１〜２．０：１倍に等しい、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
レーザノイズ事象が識別されると、すべての検出器素子の前記出力信号をモニタリングすることにより、少なくとも２つの検出器素子の出力値について、個別に、対応する検出器素子のノイズの標準偏差の１．５：１〜２．０：１倍以上の変化を識別するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項２０】
すべての検出器素子の前記出力信号を予め選択された期間にわたって記憶するステップと、
レーザノイズ事象が識別されない場合に前記記憶された出力信号を解析するステップ又は前記レーザノイズ事象が識別された場合に前記記憶された出力信号を破棄するステップと、
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項２１】
レーザノイズ事象が識別されると、粒子検出事象を識別する前に、予め選択された期間だけ待機するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項２２】
前記流体が、超純水、硫酸（Ｈ２ＳＯ４）、フッ酸（ＨＦ）、塩酸（ＨＣｌ）、水酸化アンモニウム（ＮＨ４ＯＨ）、過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）、又はイソプロピルアルコール（Ｃ３Ｈ７ＯＨ）である、請求項１に記載の方法。
【請求項２３】
前記粒子を計数するステップをさらに含み、少なくとも２つの異なる検出器素子からの出力信号を比較して、前記粒子検出事象に対応する出力信号を前記レーザノイズ事象に対応する出力値と区別する前記ステップによって、誤計数の発生を低減することができる、請求項１に記載の方法。
【請求項２４】
前記レーザの温度を制御してレーザノイズを抑えるステップをさらに含み、前記制御が、熱電冷却器（ＴＥＣ）によって実行される、請求項１に記載の方法。
【請求項２５】
電磁放射ビームを生成するレーザと、
粒子を含む流体を流れ方向に沿って流し、前記電磁放射ビームに通し、それによって散乱又は放出電磁放射を発生させるフローチャンバと、
前記散乱又は放出電磁放射を観察領域から収集し、複数の検出器素子へと導く収集光学系と、
前記電磁放射を検出して独立した出力信号を生成する前記複数の検出器素子であって、それぞれ、散乱又は放出電磁放射を前記観察領域の異なる部分から受けるように配置されている、前記複数の検出器素子と、
前記複数の検出器素子に動作可能に接続された信号処理システムであって、
少なくとも２つの異なる検出器素子からの出力信号を比較して、粒子検出事象に対応する出力信号をレーザノイズ事象に対応する出力信号と区別することと、
前記粒子検出事象に対応する前記出力信号を解析することと、
前記レーザノイズ事象を識別することであって、前記レーザノイズ事象が、少なくとも２つの隣り合わない検出器素子それぞれの前記出力信号が個別に閾値以上である場合に識別される、ことと、
を行う信号処理システムと、
を備えた、光学粒子分析器。
【請求項２６】
光学粒子分析器において、粒子散乱をレーザノイズと区別する方法であって、
粒子を有する流体流を前記光学粒子分析器に供給するステップと、
前記流体流をレーザからの電磁放射ビームに晒すステップであって、前記流体流と前記ビームとの相互作用が散乱又は放出電磁放射を発生させる、ステップと、
前記散乱又は放出電磁放射を観察領域から収集し、複数の検出器素子へと導くステップであって、各検出器素子が、前記散乱又は放出電磁放射を前記観察領域の異なる部分から受けるように配置されている、ステップと、
前記複数の検出器素子に導かれた前記電磁放射を検出するステップであって、前記検出器素子がそれぞれ、独立した出力信号を生成する、ステップと、
少なくとも２つの隣り合わない異なる検出器素子からの出力信号を比較して、粒子検出事象に対応する出力信号をレーザノイズ事象に対応する出力信号と区別するステップと、
前記レーザノイズ事象を識別するステップであって、前記レーザノイズ事象が、少なくとも２つの隣り合わない検出器素子それぞれの前記出力信号が個別に閾値以上である場合に識別される、ステップと、
を含む、方法。
【請求項２７】
流体流中の粒子を検出する方法であって、
前記粒子を有する前記流体流を供給するステップと、
前記流体流をレーザからの電磁放射ビームに晒し、それによって散乱又は放出電磁放射を発生させるステップと、
前記散乱又は放出電磁放射を観察領域から収集し、複数の検出器素子へと導くステップであって、各検出器素子が、前記散乱又は放出電磁放射を前記観察領域の異なる部分から受けるように配置されている、ステップと、
前記複数の検出器素子に導かれた前記電磁放射を検出するステップであって、前記検出器素子がそれぞれ、独立した出力信号を生成する、ステップと、
少なくとも２つの異なる検出器素子からの出力信号を比較して、粒子検出事象に対応する出力信号をレーザノイズ事象に対応する出力信号と区別するステップと、
前記粒子検出事象に対応する出力信号を解析し、それによって前記流体流中の前記粒子を検出するステップと、
前記レーザノイズ事象を識別するステップと、
すべての検出器素子の前記出力信号を予め選択された期間にわたって記憶するステップと、
前記レーザノイズ事象が識別されない場合に前記記憶された出力信号を解析するステップ又は前記レーザノイズ事象が識別された場合に前記記憶された出力信号を破棄するステップと、
を含む、方法。
【請求項２８】
流体流中の粒子を検出する方法であって、
前記粒子を有する前記流体流を供給するステップと、
前記流体流をレーザからの電磁放射ビームに晒し、それによって散乱又は放出電磁放射を発生させるステップと、
前記散乱又は放出電磁放射を観察領域から収集し、複数の検出器素子へと導くステップであって、各検出器素子が、前記散乱又は放出電磁放射を前記観察領域の異なる部分から受けるように配置されている、ステップと、
前記複数の検出器素子に導かれた前記電磁放射を検出するステップであって、前記検出器素子がそれぞれ、独立した出力信号を生成する、ステップと、
少なくとも２つの異なる検出器素子からの出力信号を比較して、粒子検出事象に対応する出力信号をレーザノイズ事象に対応する出力信号と区別するステップと、
前記粒子検出事象に対応する出力信号を解析し、それによって前記流体流中の前記粒子を検出するステップと、
前記レーザノイズ事象を識別するステップと、
前記レーザノイズ事象が識別されると、粒子検出事象を識別する前に、予め選択された期間だけ待機するステップと、
を含む、方法。
【請求項２９】
前記予め選択された期間が、１０ｍｓ〜５０ｍｓの範囲から選択される、請求項２８に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
[0013]一実施形態において、例えば、この方法は、粒子検出事象を識別するステップをさらに含む。一実施形態において、粒子検出事象は、単一の検出器素子又は複数の隣り合う検出器素子のうちの一部の出力信号が個別に閾値以上である場合に識別される。一実施形態において、所与の検出器素子の閾値は、上記アレイの所与の検出器素子のノイズの標準偏差の１．３：１〜３．０：１、任意選択として、いくつかの用途では１．５：１〜２．０：１倍に等しい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
[0014]一実施形態において、例えば、この方法は、レーザノイズ事象を識別するステップをさらに含む。一実施形態において、レーザノイズ事象は、２つ、３つ、４つ、又は５つ等、少なくとも２つの隣り合わない検出器素子それぞれの出力信号が個別に閾値以上である場合に識別される。一実施形態において、閾値は、各検出器素子について個別に設定される。一実施形態において、例えば、所与の検出器素子の閾値は、アレイの所与の検出器素子のノイズの標準偏差の１．３：１〜３．０：１、任意選択として、いくつかの用途では１．５：１〜２．０：１倍に等しい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
[0015]一実施形態において、例えば、この方法は、レーザノイズ事象が識別されると、すべての検出器素子の出力信号をモニタリングすることにより、個別に１．５：１〜２．０：１倍以上の少なくとも２つの検出器素子の出力値の変化を識別するステップをさらに含む。一実施形態において、この方法は、（ｉ）すべての検出器素子の出力信号を予め選択された期間（８ｍｓ〜４０ｍｓの範囲から選択される期間等）にわたって記憶するステップと、（ｉｉ）レーザノイズ事象が識別されない場合に記憶された出力信号を解析するステップ又はレーザノイズ事象が識別された場合に記憶された出力信号を破棄するステップと、をさらに含む。一実施形態において、例えば、この方法は、レーザノイズ事象が識別されると、粒子検出事象を識別する前に、予め選択された期間（１０ｍｓ〜５０ｍｓの範囲から選択される期間等）だけ待機するステップをさらに含む。