【事件の表示】
　平成　８年特許願第３４４１５５号「スパッタイオンポンプ」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年　９月　９日出願公開、特開平　９−２３７６０４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成８年１２月２４日（優先権主張平成７年１２月２６日）に出願された特願平８−３４４１５５号であって、平成１６年１０月８日付けで拒絶理由通知がされ、同年１２月２０日付けで手続補正がされ、平成１７年６月２９日付けで拒絶理由通知がされ、同年９月２日付けで手続補正がされ、平成１８年１月１１日付けで拒絶理由通知がされ、同年３月２０日付けで手続補正がされ、平成１８年８月２８日付けで拒絶査定がされ、これに対し、平成１８年９月２９日付けで審判請求がされたものである。
　
２．本願発明
　本願発明は、「スパッタイオンポンプ」に関するものであり、平成１８年３月２０日付け手続補正により補正された本願明細書の特許請求の範囲には、以下のとおり記載されている。
「【請求項１】
　二つの陰極の間にマルチセルアノードとして構成した陽極を配置し、１０−５Ｐａ以下の圧力で使用されるスパッタイオンポンプにおいて、
　陽極における各セルの長さをＬ、各セルの直径をＤとする時、各セルの長さＬを短くすることで
　　　　　　０．０１５≦Ｌ／Ｄ≦０．８
を満たすように陽極の各セルの直径D及び長さLを設定し、各陰極と陽極との隙間に漏れ出る電子雲の体積を大きくし、該隙間に成長した電子雲によりイオン化されたガス分子が各陰極に斜めに入射するように構成したことを特徴とするスパッタイオンポンプ。
　【請求項２】
　陽極の数をＮとし、陰極の数をｎとする時、
　　　　　　ｎ＝Ｎ＋１
を満たすように陰極及び陽極を配置して成る請求項１に記載のスパッタイオンポンプ。
　【請求項３】
　両側に陽極の配置された陰極の表裏両面がスパッタされるように構成されて成る請求項２に記載のスパッタイオンポンプ。」
　
３．原査定の理由の概要
　原査定の拒絶の理由が記載された平成１８年１月１１日付け拒絶理由通知書には、次のとおりに記載されている。
　
「この出願は、次の理由によって拒絶をすべきものである。これについて意見があれば、この通知書の発送の日から６０日以内に意見書を提出して下さい。
　　　　　　　　　　　　　　　　理　由
　　　　　　　　　　　　　　　 【理由１】
　この出願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
・請求項１−３
（１）「磁場空間の大きさを一定とする条件の下で」について
（あ）当該記載は、スパッタイオンポンプの如何なる構成を限定する記載であるのかが明確でない。
　すなわち、当該条件を課さずに、上記各請求項記載の数値範囲の範囲内となるよう設計されたスパッタイオンポンプと、上記各請求項に係る発明のスパッタイオンポンプとの構成上の差異が明確でない。
（い）「一定」とは、何の変化に対して一定であるのかが明確でない。
（２）「各陰極と陽極との隙間に電子雲が広がり」について
（あ）特開昭６１−１４３９３２号公報に記載されているような公知のスパッタイオンポンプにおいても、陰極と陽極との間に電位差が生じている以上、陰極と陽極との間に多少なりとも電子雲が漏れ出していることは明らかであり、上記公知のスパッタイオンポンプとの差異が明確でない。
　また、当該記載により本願発明のスパッタイオンポンプの如何なる構成を限定しようとするものであるかが明確でない。
（い）「広がり」とは、何に対して広がっているのかが明確でない。
　よって、請求項１−３に係る発明は明確でない。
　
　　　　　　　　　　　　　　　 【理由２】
　
　この出願は、発明の詳細な説明の記載が下記の点で、特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていない。
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　
　発明の詳細な説明及び図面には、陽極の両端部から溢れさせた電子雲によってイオン化したガス分子を陰極に斜めに入射させるために必要なイオンスパッタポンプの設計値、すなわち陰極と陽極との間隔の平均値と陽極の長さとの関係、磁場の配置および強度については、一切の記載がされていない。
　よって、この出願の発明の詳細な説明は、当業者が請求項１−３に係る発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載されていない。
　
　　　　　　　　　　　最後の拒絶理由通知とする理由
　
１．最初の拒絶理由通知に対する応答時の補正によって通知することが必要になった拒絶の理由のみを通知する拒絶理由通知である。」
　
　また、平成１８年８月２８日付けの拒絶査定には、次の事項が記載されている。
　
「この出願については、平成１８年　１月１１日付け拒絶理由通知書に記載した理由１−２によって、拒絶をすべきものである。」
　
４．当審の判断
（１）拒絶の理由の【理由１】について
（ａ）特許請求の範囲の請求項１における「陽極における各セルの長さをＬ、各セルの直径をＤとする時、各セルの長さＬを短くすることで０．０１５≦Ｌ／Ｄ≦０．８を満たすように陽極の各セルの直径D及び長さLを設定し」という記載について検討する。
　請求項１の「０．０１５≦Ｌ／Ｄ≦０．８を満たすように」という記載は、ＬとＤとの相対的な大小関係について限定するものである。
　そして、請求項１には、Ｌについて、更に、「各セルの長さＬを短くすることで」と、長さに関する限定事項が記載されている。
　しかしながら、Ｌを何に対して短くするのか記載されていないので、上記限定事項の意味が不明であり、上記事項を含む上記記載は全体として意味が不明である。
　
（ｂ）特許請求の範囲の請求項１における「各陰極と陽極との隙間に漏れ出る電子雲の体積を大きくし、該隙間に成長した電子雲によりイオン化されたガス分子が各陰極に斜めに入射するように構成したことを特徴とするスパッタイオンポンプ」という記載について検討する。
　特許請求の範囲の請求項１の記載中の「電子雲の体積を大きくし」との記載は何に対して大きくするのか比較の対象が明確でない。また、当該記載によりスパッタイオンポンプの電子雲の体積をどの程度の値に限定しているのかも明確でない。さらに、「各陰極と陽極との隙間に漏れ出る電子雲の体積を大きくし、該隙間に成長した電子雲によりイオン化されたガス分子が各陰極に斜めに入射するように構成した」は、作用的に記載された構成であるが、上記（ａ）で検討した構成のみでは前記作用を奏するとは認められないので、発明の構成が不明確である。
　
　よって、請求項１乃至３に係る発明は明確でない。
　
（２）拒絶の理由の【理由２】について
　請求項１に係る発明に関連して、発明の詳細な説明には、段落【００２５】において、「このように構成した本発明のスパッタイオンポンプにおいては、上記のように０．０１５≦Ｌ／Ｄ≦０．８の関係を満たすように各陰極及び陽極を構成することにより、陽極２の直径Ｄは大きくなり、陽極の長さＬは短くなるので、限界圧を下げると共に排気速度を大きくすることができるようになる。」という記載がある。また、段落【００２６】において、「一方、陽極の長さＬが短くなると、磁場と電場で拘束された電子は陽極２中だけでなく、各陰極１と陽極２との間の隙間に広がり、そしてこれらの隙間の電圧は陽極２より低いので、電場の拘束能力は弱く、しかも磁場は比較的強くしているためこれらの隙間に電子雲が広がり、電子雲の体積が大きくなる。すなわち陽極２の両端面から電子雲が溢れでてくる。その結果、イオン化能率が向上することになる。こうして隙間に大きく成長した電子雲によりイオン化されたガス分子は磁場の作用により各陰極１に垂直にではなく斜めに入射し、それにより陰極に対するスパッタ効率が高くなり、結果として排気速度が大きくなる。」という記載がある。
　
　これらの記載によれば、発明の詳細な説明には、
（１）陽極における各セルの長さをＬ、各セルの直径をＤとする時、０．０１５≦Ｌ／Ｄ≦０．８を満たすことにより、排気速度が大きくなる。
（２）陽極の長さＬが短くなると、磁場と電場で拘束された電子は陽極２中だけでなく、各陰極１と陽極２との間の隙間に広がり、陽極２の両端面から電子雲が溢れでてくる。その結果、イオン化能率が向上する。
（３）電子雲によりイオン化されたガス分子は磁場の作用により各陰極１に垂直にではなく斜めに入射し、それにより陰極に対するスパッタ効率が高くなり、結果として排気速度が大きくなる。
（４）陽極の両端面から電子雲が溢れでてくるための条件として、陽極の長さが短いこと。
　という事項が記載されている。
　
　上記（４）の「電子雲」が溢れる条件について検討する。本願明細書の段落【００２５】に記載された、０．０１５≦Ｌ／Ｄ≦０．８の関係を満たすことが、上記電子雲の溢れと関係があるのか否かが、本願明細書の記載では不明である。
　次に、本願明細書の「陽極の長さＬが短くなる」という記載では、どの程度の長さの陽極とすればよいのか、当業者といえども容易にその寸法を決めることはできない。
　また、段落【００２６】の記載からみて、「電子雲」が溢れる条件として、陰極及び陽極の近傍での電場、磁場についても重要な要素と思われるが、その強度及び方向等についても、本願明細書の記載からは当業者がといえども容易に決定できるものではない。
　したがって、請求項１に記載された「該隙間に成長した電子雲」は当業者といえども容易に生成することができない。
　
　次に上記（３）のイオン化されたガス分子が各陰極に斜めに入射するための手段について検討する。
　本願明細書には磁場が必要であることが記載されているが、陰極及び陽極の近傍において、どの程度の強さの磁場をどの方向に印加すればよいのか何等記載されていない。
　したがって、請求項１に記載された「イオン化されたガス分子が各陰極に斜めに入射するように構成」することは、当業者といえども容易に実施することができない。
　
　また、上記段落【００２６】の記載中に、「これらの隙間の電圧は陽極２より低いので、電場の拘束能力は弱く、しかも磁場は比較的強くしているためこれらの隙間に電子雲が広がり」という記載があるが、「各陰極１と陽極２との間の」「隙間の電圧」が「陽極２より低い」とは如何なる意味であるのか不明であり、「隙間の電圧」が「陽極２より低い」ので「電場の拘束能力は弱」いとは如何なる意味かも不明である。さらに、前記記載における「磁場は比較的強くしているためこれらの隙間に電子雲が広がり」という記載の意味も不明である。すなわち、スパッタイオンポンプにおいては、磁場を印加することにより電子が螺旋軌道を描き陽極に入射しないように拘束されるのであって、磁場を強くすることで電子雲が広がるのは何故か不明である。
　
　さらに、上記段落【００２７】においては、「図６及び図７には実験結果の一例を示し、排気速度が陽極の長さと陽極の直径との関係によりどのように変化するかが示され、縦軸はＬ／Ｄの値を変化させた時の排気速度ＳをＬ＝Ｄの時の排気速度Ｓ0で割ったものである。Ｓ／Ｓ0 のピークは陽極２を構成している各筒体２ａまたは穴の直径及び内部の圧力を適当に設定することにより、Ｌ／Ｄ＝0.015〜0.8の範囲で移動させることができる。」という記載があるが、図６及び図７に示された実験結果は、スパッタイオンポンプの如何なる実施例におけるものか不明である。すなわち、陽極の形状、陽極の各筒体２ａの長さ、直径、陰極と陽極との間隔、磁場の配置および強度、さらに、電場の強度等が不明である。
　
　したがって、発明の詳細な説明は、当業者が請求項１乃至３に係る発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載されたものとはなっていない。
　
５．むすび
　したがって、本願は、特許法第３６条第４項及び第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
　よって、結論のとおり審決する。