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　特願２００３−　１４７１８「プラズマ生成装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　８月１２日出願公開、特開２００４−２２８３５４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯 
　本願は、平成１５年１月２３日に出願したものであって、原審において平成１６年４月３０日付で拒絶理由通知がなされ、これに対し、平成１６年７月１２日付で意見書及び手続補正書が提出されたところ、平成１６年１０月２０日付で拒絶査定がなされ、これに対し、平成１６年１２月６日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに平成１７年１月５日付で手続補正書が提出されたものである。
 　
II．平成１７年１月５日付の手続補正についての補正却下の決定 
 　
［補正却下の決定の結論］ 
　平成１７年１月５日付の手続補正を却下する。 
 　 
［理由］ 
１．補正後の本願発明 
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１〜１１は次のとおりに補正された。
　
「【請求項１】　a)真空容器と、
　b)前記真空容器内にグループ分けして設けられた複数個の高周波アンテナであって、各グループが１個の高周波電源に並列に接続されている高周波アンテナ群と、
　c)各々の高周波アンテナに接続した、各アンテナ毎の電流又はアンテナ電極間の電圧を調節するインピーダンス素子と、
　を備えることを特徴とするプラズマ生成装置。
　
　【請求項２】　a)真空容器と、
　b)前記真空容器内に設けられ、１個の高周波電源に並列に接続された複数の高周波アンテナと、
　c)各々の高周波アンテナに接続した、各アンテナ毎の電流又はアンテナ電極間の電圧を調節するインピーダンス素子と、
　を備えることを特徴とするプラズマ生成装置。
　
　【請求項３】　前記インピーダンス素子のインピーダンス値が可変であることを特徴とする請求項１又は２に記載のプラズマ生成装置。
　
　【請求項４】　前記インピーダンス素子が可変インダクタンスコイルであることを特徴とする請求項３に記載のプラズマ生成装置。
　
　【請求項５】　各々の高周波アンテナの電圧又は電流を測定する測定部と、該測定部で得られた電圧又は電流の値により前記可変インピーダンス値を制御する制御部と、を備えることを特徴とする請求項３又は４に記載のプラズマ生成装置。
　
　【請求項６】　前記測定部が、高周波アンテナの近傍に配置され該高周波アンテナの電流を検出するピックアップコイルを備えることを特徴とする請求項５に記載のプラズマ生成装置。
　
　【請求項７】　前記測定部が、高周波アンテナの近傍に配置され該高周波アンテナに印加される電圧を検出するキャパシタを備えることを特徴とする請求項５又は６に記載のプラズマ生成装置。
　
　【請求項８】　前記測定部が、検出された高周波電流又は電圧の信号を直流電流又は電圧の信号に変換するブリッジ回路を備えることを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載のプラズマ生成装置。
　
　【請求項９】　前記測定部が、高周波アンテナの電流の信号と電圧の信号とを合成する信号合成器と、前記合成信号の高周波成分を除去するローパスフィルタとを備えることを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載のプラズマ生成装置。
　
　【請求項１０】　真空容器内にグループ分けして設けられた複数個の高周波アンテナであって、各グループが１個の高周波電源に並列に接続されている高周波アンテナ群を備えたプラズマ生成装置において、各々の高周波アンテナにインピーダンス素子を接続し、各インピーダンス素子のインピーダンス値を調節することによって該真空容器内のプラズマ密度分布を制御することを特徴とするプラズマ制御方法。
　
　【請求項１１】　前記インピーダンス素子のインピーダンス値が可変であり、各々の高周波アンテナの電圧、電流又はその双方を測定し、得られた電圧、電流又はそれらの積の値により該可変インピーダンス値を制御することを特徴とする請求項１０に記載のプラズマ制御方法。」
　
　補正後の請求項１、及び請求項１０は、補正前の請求項１、及び請求項１１の「複数の高周波アンテナ」をそれぞれ「真空容器内にグループ分けして設けられた複数個の高周波アンテナであって、各グループが１個の高周波電源に並列に接続されている高周波アンテナ群」と限定するものに該当し、
　補正後の請求項２は、補正前の請求項２に該当し、
　また、補正後の請求項３〜９、及び請求項１１は、補正前の請求項１、請求項２、及び請求項１１をそれぞれ引用する請求項、又はそれらを更に引用する下位の請求項に該当する。
　したがって、上記補正は、特許法第１７条の２第４項第２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする補正に該当する。 
　そして、上記補正については、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内である。
　
　次に、補正後の請求項２に係る発明（以下、「本願補正発明２」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるのかについて以下に検討する。
 
２．引用刊行物とその記載事項 
　原査定の拒絶の理由に引用した本願の出願前に頒布された特開２００１−３５６９７号公報（以下、「刊行物１」という。）には、次の事項が記載されている。 
 
（１）刊行物１（特開２００１−３５６９７号公報）
（１ａ）「【特許請求の範囲】
【請求項１】　高周波放電による誘導結合方式のプラズマ発生装置において、高周波電力を印加して誘導電界を発生させるアンテナを真空容器内に設置したことを特徴とするプラズマ発生装置。
・・・
【請求項７】　請求項１ないし請求項４に示されたプラズマ発生装置において、アンテナは真空容器の内壁に沿って配置されている少なくとも１つ以上の直線状導体で構成され、それら１つ以上の直線状導体の各々へ高周波電流を並列に供給することを特徴とするプラズマ発生装置。・・・」
　
（１ｂ）「【０００８】　【課題を解決するための手段】
　上記の問題点を解決するために、本発明によるプラズマ発生装置においては、アンテナ自体を真空容器内部の任意の場所に設置し、つまり内部アンテナにしてアンテナの全表面が真空内にあるようにし、アンテナから放射される誘導電界の全てを有効利用できるようにするとともに絶縁体の隔壁や天板を用いる必要をなくしている。・・・」
　
（１ｃ）「【００２１】
　図１において、１は真空容器（プロセスチェンバー）、２は天板、３は排気口、４は基板電極、５は本発明によるアンテナ導体、６はアンテナ導体５の全表面を被覆する絶縁体チューブ、７はアンテナ導体５を接地から浮遊（フローティング）させる容量が固定あるいは可変のブロッキングコンデンサ、８、９はアンテナ導体５を支持するとともにアンテナ導体５に高周波電力を供給する導入端子である。
　　　【００２２】
　アンテナ導体５は、図では断面のみが示されているが、真空容器１の内壁面に沿って配置された1つ以上のコの字形あるいは円弧形等の種々の形状の線状導体で構成される。それらの線状導体は、いずれも真空容器１の内壁面を周回しない長さ、つまり内壁面を一周しないで終端する長さにつくられる。具体的には、例えば図３、図９、図１０、図１１に示されているようなアンテナのパターンなどが適用できる。」
　
（１ｄ）「【００５０】
　また図１１に示す実施例は、複数の直線状アンテナ１８ａ〜１８ｆを、真空容器１７の内壁面に沿って縦方向か横方向、あるいは２次元状に配置したマルチ型直線状アンテナである。各直線状アンテナ１８ａ〜１８ｆは真空容器１７の外側で並列接続され、整合器１１とブロッキングコンデンサ７が接続される。図１１の実施例はマルチ型直線状アンテナである点を除けば、図９の実施例の場合と実質的に同じ機能をもつが、特に大口径で長軸の真空容器内での高密度プラズマ生成を行うのに有効である。なお必要に応じて、各直線状アンテナ１８ａ〜１８ｆをコの字形あるいは円弧形のアンテナに変更することも可能である。」
　
（１ｅ）図１１には、複数の直線状アンテナ１８ａ〜１８ｆが１個の高周波電源１２に並列に接続されていることが示されている。
　
３．対比・判断
　上記摘記事項（１ａ）〜（１ｅ）を総合すると、刊行物１には、「真空容器と、前記真空容器内に設けられ、１個の高周波電源に並列に接続された複数の直線状アンテナ１８ａ〜１８ｆとを備えたプラズマ発生装置」の発明（以下、「刊行物１発明」という。）が記載されていることになる。
　
　そこで、本願補正発明２と刊行物１発明とを対比する。 
　刊行物１発明の「直線状アンテナ」、及び「プラズマ発生装置」は、本願補正発明２の「高周波アンテナ」、及び「プラズマ生成装置」にそれぞれ相当しているから、両者は、「a)真空容器と、b)前記真空容器内に設けられ、１個の高周波電源に並列に接続された複数の高周波アンテナと、を備えたプラズマ生成装置」の点で一致し、次の点で相違する。
　相違点：本願補正発明２が、c)各々の高周波アンテナに接続した、各アンテナ毎の電流又はアンテナ電極間の電圧を調節するインピーダンス素子を備えているのに対し、刊行物１発明では、そのような構成のない点。
　
　そこで、上記相違点について検討する。 
　従来から、複数の高周波アンテナにおいて、各アンテナごとに電流又はアンテナ電極間の電圧を調節するインピーダンス素子を設けることは、次の文献に示されているように周知の技術であり、刊行物１発明においても、プラズマ密度分布の調整やインピーダンス整合等を当然行うものであるから、より詳細な設定を可能とするために、各アンテナごとに電流又はアンテナ電極間の電圧を調節するインピーダンス素子を設けようとすることは当業者ならば容易に想到し得ることである。
　
周知例１：特開２０００−５８２９６号公報
「【００３１】電力分配制御回路４０〜４８は（図１（ａ）参照）、各コイル２１〜２４に分配される電力を調整する際にフィードバック制御で適切な調整を為すために、プラズマ空間５に供給された電力についての分配状態を検出する電流検出部４１〜４４（電力分配状態検出手段）と、その検出値に基づいてプラズマ密度の局所変動を抑制するのに適した電力分配量を算出する帰還制御部４０（電極分配量演算手段）と、その算出値に従って各コイル２１〜２４への電力を可変する配線長可変部４５〜４８とを具えて、プラズマ空間への供給電力の分配状態を検出するとともに、その検出に基づいて電力の調整を行うものとなっている。」（周知例１の「コイル」、及び「配線長可変部」が、本願補正発明２の「高周波アンテナ」、及び「インピーダンス素子」にそれぞれ相当する。）
　
周知例２：特表平１１−５０９３５８号公報、
「・・・第５図では、分割された電極に接続された複数の電力センサ２４と複数の可変コンデンサ２２とが示されている。この電流センサ２４は可変コンデンサ２２に対する能動的コントロールを提供する。この能動的メカニズムを用いれば、電流センサ２４を介した可変コンデンサ２２へのフィードバックループにより、電極ゾーン部分に送られる電力の割合を制御することができる。」（第１４頁第６〜１１行、周知例２の「電極」、及び「可変コンデンサ」が、本願補正発明２の「高周波アンテナ」、及び「インピーダンス素子」にそれぞれ相当する。）
　
周知例３：特開２０００−５８４６５号公報
「【００３０】
　各カソード電極２２ａ乃至２２ｈには、後に詳述する真空用同軸ケーブル４３ａ乃至４３ｈ、インピーダンス変換器６１ａ乃至６１ｈ、電力分配器６０、インピーダンス整合器２５を介して高周波電源２４が接続されている。」（周知例３の「カソード電極」、及び「インピーダンス整合器」が、本願補正発明２の「高周波アンテナ」、及び「インピーダンス素子」にそれぞれ相当する。）
　
　そして、本願補正発明２による効果も刊行物１の記載、及び上記周知技術から予測することができる程度のものであって格別顕著なものとは認められない。
　
　したがって、本願補正発明２は、刊行物１に記載された発明、及び上記周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
　なお、審判請求人は、平成１８年８月２１日付回答書において、「本願発明の進歩性が明確でないと審判合議体が判断されるならば、例えば[0038]の最後の一文に基づいて請求項１、２、１０に「プラズマ密度分布をフィードバックして可変インピーダンス素子のインピーダンス値の制御を行う」との限定を加える等の補正を行うこともやぶさかでは」ない旨、主張しているが（第４頁第２６行〜第５頁第１行）、この構成で限定したとしても、上記周知例１、及び周知例２により、やはり独立特許要件を満たしているとはいえない。
  
４．むすび 
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。 
　
III．本願発明について 
１．本願発明１ 
　平成１７年１月５日付の手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項２に係る発明（以下、「本願発明２」という。）は、平成１６年７月１２日付手続補正書で補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１〜１２に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１を引用する請求項２は、次のとおりのものである。
 
「【請求項１】　a)真空容器と、
　b)前記真空容器内に設けた複数の高周波アンテナと、
　c)各々の高周波アンテナに接続した、各アンテナ毎の電流又はアンテナ電極間の電圧を調節するインピーダンス素子と、
　を備えることを特徴とするプラズマ生成装置。
　【請求項２】　複数個の高周波アンテナが１個の高周波電源に並列に接続されていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ生成装置。」 
　
２．引用刊行物とその記載事項 
　平成１６年４月３０日付拒絶理由通知の拒絶の理由に引用した刊行物１、及びその記載事項は、上記「II．２．引用刊行物とその記載事項」欄に記載されたとおりである。 
　
３．対比・判断
　本願発明２の構成は、前記「II．平成１７年１月５日付の手続補正についての補正却下の決定」で検討した本願補正発明２の構成と同じものである。
　そうすると、本願発明２と同一である本願補正発明２が、前記「II．３．対比・判断」に記載したとおり、刊行物１、及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明２も、同様の理由により、刊行物１、及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明２は、刊行物１に記載された発明、及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができた発明であるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。