【事件の表示】
　特願２００２−２３６６６３「収束電子回折法による局所領域の格子歪み測定方法及びその測定装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　３月１１日出願公開、特開２００４−　７７２４７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯　
 　本件出願は、平成１４年８月１４日の出願であって、平成１８年９月１５日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年１０月２６日に拒絶査定不服審判の請求が行われたものである。　　  
 　  
第２　本願発明  
 　本件出願の請求項１に係る発明は、平成１８年８月２１日付け手続補正書により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものと認められる（以下、平成１８年８月２１日付け手続補正書で補正された請求項１に記載された発明を「本願発明」という。）。 
 　 
 「【請求項１】被測定物である結晶材料の格子歪みを定量化する格子歪み測定方法において、
　前記結晶材料に収束電子を入射してHOLZ図形を取得する工程と、
　前記HOLZ図形から抽出される複数の点の座標をハフ変換してハフ変換画像に置き換え、複数のハフ変換画像の多重点を抽出し、当該多重点を逆変換してHOLZ線を特定する工程と、
　当該特定されたHOLZ線の位置に応じて、前記結晶材料の格子定数を定量化する工程とを有することを特徴とする格子歪み測定方法。」 
 　　 
第３　引用例　  
１　引用刊行物１
 　原査定の拒絶の理由で引用されたれた刊行物である特開平７−２８６９１５号公報（以下、「引用刊行物１」という。）には、「ステンレス鋼の応用測定装置」に関する発明が記載されており、図面とともに次の記載がある（下線は、当審にて付加。）。  
 　  
（１）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は
ステンレス鋼の歪及び応力測定法
収束電子回折法を用いて歪及び応力を測定する装置
【０００２】
【従来の技術】従来、約１μｍ未満の領域の材料の微小部中の歪あるいは応力分布を測定するには、Ｘ線回折法とよばれる方法が用いられてきた。この方法は以下のようなものである。すなわち、従来の電子回折法では図２（ａ）に示すように、
結晶試料１０４に対しては
ＣＢＥＤ法では、図２（ｂ）に示すように、試料１０４に対して急な角度（約１０mradの開き角）で電子線１１２を入射させる。すると、スポットパターンが拡大されてディスク状のパターン１１６になるだけでなく、図３に示すように、高次の結晶面１２４からの回折に起因した線１２０（Higher Order Laue Zoneline、略してＨＯＬＺ線と呼ばれる）が中央のディスク１１８中の観察されるようになる。
ＨＯＬＺ線１２０の間隔は結晶中の歪に対して敏感に変化し、線間隔の測定から歪測定が可能となる。
ＨＯＬＺ線間隔を測定することによって結晶中の１０〜
４
オーダの歪測定が可能である。
 　  
（２）「【０００８】
ＨＯＬＺ線の変位はＨＯＬＺ線の交点を着目することによって求めることができる。すなわち、二つの交点の間隔を測定するか、又は、交点を作るＨＯＬＺ線のなす角度を測定することにより、変位が測定される。
［２１０］入射の場合、交点角度が４５度以上となるＨＯＬＺ線の交点は（−３７５)と(−３７−５)、(−３７５）と（１−１−９）、（−３７−５）と（１−１９）、（−３７５)と(１−１９）、（３−５−７）と（３−５７）の六つがある。
これらの交点間の距離あるいは交線の角度を測定することで、高精度の歪を求めることが可能になる。
　
（３）「【００１０】図５を本装置のブロック図である。
本装置はＣＢＥＤ法の実行可能な透過型電子顕微鏡１５０、ＣＢＥＤ図形の記録する画像記録装置１５６、ＨＯＬＺ線の交点でＨＯＬＺ線のなす角度を計測し、さらにＨＯＬＺ線のシミュレーション計算及び応力計算を行う計算機１５２、計算結果を出力する出力機１５４、ＣＢＥＤ図形または計算結果を記録する記憶装置１５８から構成される。
透過ディスク１２０の中に複数のＨＯＬＺ線２２、２３、２４、２５、２６、２７が現れ、
ＨＯＬＺ線は高次の回折点と対応するので、格子歪により高次の回折点が位置変化するとＨＯＬＺ線透過ディスク内で位置が変化する。この位置変化は二つのＨＯＬＺ線同士の交点の位置変化として検出される。
格子歪を検出することができる。
 　 
 　そして、これらの記載から、引用刊行物１には「収束電子回折法（ＣＢＥＤ）を用いた結晶試料の格子歪測定法において、ＣＢＥＤ法の実行可能な透過型電子顕微鏡、ＣＢＥＤ図形を記録する画像記録装置、ＨＯＬＺ線の交点でＨＯＬＺ線のなす角度を計測し、さらにＨＯＬＺ線のシミュレーション計算及び応力計算を行う計算機、計算結果を出力する出力機、ＣＢＥＤ図形または計算結果を記録する記憶装置から構成される装置を用いて前記格子試料に対して急な角度で電子線を入射させ、ＣＢＤＥ図形におけるＨＯＬＺ線が現れた透過ディスクを得て、前記ＣＢＥＤ図形の透過ディスクにおける複数のＨＯＬＺ線のうち二つのＨＯＬＺ線同士の交点の位置変化を測定することにより前記透過ディスク内のＨＯＬＺ線の位置の変化を検出して格子歪を検出する方法。」（以下、「引用刊行物１記載の発明」という。）が記載されているものと認められる。 
 
２　引用刊行物２
 　原査定の拒絶の理由で引用されたれた刊行物である特開平２０００−１０５２００号公報（以下、「引用刊行物２」という。）には、「画面検査方法」に関する発明が記載されており、図面とともに次の記載がある（下線は、当審にて付加。）。  
 　  
（１）「【請求項１】
画面欠陥を撮像して得られる濃淡画像の各画素の濃度データから線
欠陥を検出し位置を特定するに際し、データ点列の各点をハフ変換しパラメータ平面上に曲線を書く
ハフ空間プロット部によりカウント値を変化させた曲線を書き、
セル特定部によりセルの値が最大値となるところをパラメータ曲線のパラメータとすることによりデータ点列にパラメータ曲線を当てはめることにより、
線
欠陥の検出を行う画面検査方法。
 　  
（２）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子機器分野などで使用される液晶パネル、ＣＲＴパネル、ＰＤＰパネル等の表示素子、およびＣＣＤ等の受光素子に現れる線欠陥をその製造ラインにおいて検査するために、
被検査体を画像としてとらえ、その画像中の発生角度が特定できない線欠陥に対応する濃淡画像の各画素の濃度データに基づいて欠陥検出を行う欠陥検出装置に利用できる。以下では、これを画面検査と総称する。
　
（３）「【０００６】近年、
工業用途などでの位置を認識すべき対象物の形状が複雑になってきており、直線
などの曲線（以下、直線を含めたこれらをパラメータ曲線とする）の存在の有無および位置を認識したいというニーズが大きくなっている。
その中の１つにハフ変換によりパラメータ曲線を当てはめることにより位置を認識する方法がある。
 　 
（４）「【００１５】図１４は図１３の点線１４で示される部分を拡大したもので、データ点列１６となっている。
直線の認識はこれらの点列に点線１５で示すような直線をハフ変換により当てはめることにより行う
　
（５）「【００１８】このように、
パターン平面の点列をパラメータ平面上の曲線に変換することをハフ変換と呼ぶ。
【００１９】
図中に示すようにデータ点列が直線上にあるとするとデータ点列（ｘｉ、ｙｉ）（ｉ＝１、２、３）に対応する（式２）のパラメータ曲線は、全てパラメータ平面上の１点で交わり、その交点の座標（ρ０、θ０）は（式２）の直線のパラメータであるρとθとなり直線の方程式が求められる。
パラメータ平面上で全てのパラメータ曲線が交わる交点を探せばパターン平面での直線のパラメータρ、θが求められ、直線の方程式（式１）がわかり、直線の位置が認識できる。
　　
第４　対比・判断　  
　本願発明と上記引用刊行物１記載の発明とを対比する。  
 　  
　引用刊行物１記載の発明の（ａ）「結晶試料」、（ｂ）「格子歪」及び（ｃ）「格子歪測定法」、（ｄ）「格子試料に対して急な角度で電子線を入射させ、ＣＢＤＥ図形におけるＨＯＬＺ線が現れた透過ディスクを得て」は、それぞれ本願発明の（ａ）「結晶材料」、（ｂ）「格子歪み」、（ｃ）「格子歪み測定方法」及び（４）「前記結晶材料に収束電子を入射してHOLZ図形を取得する工程」に相当する。
　
　また、引用刊行物１記載の発明における「複数のＨＯＬＺ線のうち二つのＨＯＬＺ線同士の交点の位置変化を測定することにより前記透過ディスク内のＨＯＬＺ線の位置の変化を検出して格子歪を検出」することは、本願発明における「特定されたHOLZ線の位置に応じて、前記結晶材料の格子定数を定量化する工程」に相当する。 
　
　また、引用刊行物１記載の発明における「ＣＢＥＤ図形の透過ディスクにおける複数のＨＯＬＺ線のうち二つのＨＯＬＺ線同士の交点の位置変化を測定」することは、上記「第３　１（２）」に摘記したように、交点を形成するＨＯＬＺ線である（−３７５)及び(−３７−５)のようにＨＯＬＺ線を特定して、交点の位置変化を測定するものであるから、本願発明における「HOLZ図形から抽出される複数の点の座標をハフ変換してハフ変換画像に置き換え、複数のハフ変換画像の多重点を抽出し、当該多重点を逆変換してHOLZ線を特定する工程」とは、「HOLZ図形におけるHOLZ線を特定する工程」という点で共通する。
　
 　したがって、両者は「被測定物である結晶材料の格子歪みを定量化する格子歪み測定方法において、
　前記結晶材料に収束電子を入射してHOLZ図形を取得する工程と、
　前記HOLZ図形におけるHOLZ線を特定する工程と、
　当該特定されたHOLZ線の位置に応じて、前記結晶材料の格子定数を定量化する工程とを有することを特徴とする格子歪み測定方法。」である点で一致し、次の点で相違すると認められる。  
 　  
（相違点）　  
　HOLZ図形におけるHOLZ線を特定する工程が、本願発明においては、「HOLZ図形から抽出される複数の点の座標をハフ変換してハフ変換画像に置き換え、複数のハフ変換画像の多重点を抽出し、当該多重点を逆変換してHOLZ線を特定する工程」であるのに対し、引用刊行物１記載の発明においてどのようにしてＨＯＬＺ線を特定しているのか不明である点。
　
　上記相違点について検討する。　  
 　  
　引用刊行物２は、「測定により得られた画像に含まれる直線を特定するために、当該画像から抽出される複数の点の座標をハフ変換してハフ変換画像に置き換え、複数のハフ変換画像の多重点を抽出し、当該多重点を逆変換して直線を特定する技術」を表示素子や受光素子の画面検査の技術分野において用いることを開示するものであって、引用刊行物１記載の発明とは対象とする技術分野が相違するものの、上記技術は、結晶材料を測定対象とする技術分野においても用いられる周知のものであり（例えば、S. Kramer, et al.「CBED strain measurement in Aluminium interconnects」Electron Microscopy 1998 Volume III, 1998年8月31日-9月4日, pp.759-760,  KRAMER, et al.「Using the Hough transform for HOLZ line identification in convergent beam electron diffraction」Journal of Microscopy, Vol. 194, Pt. 1, 1999年4月, pp. 2-11, S. Kramer, et al.「Analysis of local strain in aluminium interconnects by energy filtered CBED」Ultramicroscopy, Volume 81, Number 3/4, 2000年4月, pp. 245-262, R. Wittmann, et al.「An investigation of strain fields in dispersion strengthened aluminium by convergent beam electron diffraction」Philosophical Magazine A, Volume 80, Number 10, 2000年10月, pp. 2215-2232 等参照）、技術分野によらないものであるから、引用刊行物１記載の発明に引用刊行物２に記載された上記技術を適用することに格別の困難性はない。
　してみると、引用刊行物１記載の発明のＣＢＥＤ図形の透過ディスクにおける複数のＨＯＬＺ線のうち二つのＨＯＬＺ線同士の交点の位置変化を測定する際のＨＯＬＺ線を特定するために、引用刊行物２に記載された上記技術と同様に、ＣＢＥＤ図形の透過ディスクから抽出される複数の点の座標をハフ変換してハフ変換画像に置き換え、複数のハフ変換画像の多重点を抽出し、当該多重点を逆変換して直線を特定するようにして本願発明を想到することは、当業者が容易になし得ることである。
 　 
　そして、本願発明の作用効果も、引用刊行物１記載の発明、引用刊行物２に記載された技術及び周知技術から当業者であれば予測できる範囲のものである。  
 　  
第５　むすび  
　以上のとおり、本願発明は、引用刊行物１記載の発明、引用刊行物２に記載された技術及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　  
 　  
　したがって、他の請求項について審理するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。　  
 　  
　よって、結論のとおり審決する。