【事件の表示】
　特願２００２−　６２２４４「真空処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年　９月１９日出願公開、特開２００３−２６４２１４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本件出願は、平成１４年３月７日の特許出願であって、同１７年１１月９日付けで拒絶の理由が通知され、同１８年１月１３日に手続補正がなされたが、同年４月６日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同年５月１０日に本件審判の請求がなされ、同年６月８日に明細書を対象とする手続補正（以下「本件補正」という。）がなされたものである。
　本審決において、意匠法等の一部を改正する法律（平成１８年法律第５５号）附則第３条第１項に規定される各条については、同項の規定により、なお従前の例による。
　
第２．本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
［理由］
１．補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲の請求項１について補正をするものであって、補正前後の記載は、以下のとおりである。
　
（１）補正前
「ステージ上の所定位置に載置した試料に所定の処理を施す真空処理室と、
　大気中に備えられ、大気中にある試料を真空搬送装置に搬送する大気搬送装置と、
　大気と前記真空処理室を接続する真空搬送室に備えられ、前記大気搬送装置から受け取った試料を前記ステージ上の前記所定位置に搬送する真空搬送装置と、
　前記真空処理室の搬入路に備えたゲートバルブの真空搬送室側または真空処理室側に設けられ
、
の位
　前記試料位置検出装置の検出結果をもとに真空搬送装置の
移動方向および
　
（２）補正後
「ステージ上の所定位置に載置した試料に所定の処理を施す真空処理室と、
　大気中に備えられ、大気中にある試料を真空搬送装置に搬送する大気搬送装置と、
　大気と前記真空処理室を接続する真空搬送室に備えられ、前記大気搬送装置から受け取った試料を前記ステージ上の前記所定位置に搬送する真空搬送装置と、
　前記真空処理室の搬入路に備えたゲートバルブの真空搬送室側または真空処理室側に設けられ、
前記搬入路を通過するときの予め設定された試料の正しい通過位置と前記真空搬送装置により搬入されるときの試料の通過位置とを比較し、
横方向の
　前記試料位置検出装置の検出結果をもとに真空搬送装置の
横方向移動
　
２．補正の適否　　　
　本件補正の特許請求の範囲についての補正は、位置ずれについて特定するものであり、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）が、特許法第１７条の２第５項において準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するか否か（いわゆる独立特許要件）について検討する。
　
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、上記１．（２）のとおりのものと認める。
　
（２）刊行物に記載された発明
　これに対し、原査定で引用され本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平７−１２２６１８号公報（以下「刊行物１」という。）には、以下の事項が記載されている。
　
ア．段落０００１
「【産業上の利用分野】本発明は、真空処理装置に関する。」
　
イ．段落００２９〜００３１
「次に上述実施例の作用について述べる。先ずゲートバルブＧを閉じて搬送室２及び真空処理室４Ａ〜４Ｃ内を夫々真空排気する。・・・。
　一方カセット室３Ａ、３Ｂの蓋３２を開き、被処理体であるウエハＷを２５枚収納した容器としてのカセットＣをウエハＷが水平になる姿勢で例えば一方のカセット室３Ａ（搬入用カセット室３Ａ）内の昇降機構３３上に例えばオペレータにより載置すると共に、他方のカセット室３Ｂ（搬出用カセット室３Ｂ）内に空のカセットＣを載置し、蓋３２を閉じてカセット室３Ａ、３Ｂ内を搬送室２内と同じ程度の真空度まで真空排気した後、カセット室３Ａ、３ＢのゲートバルブＧを開く。次いで搬送手段５の搬送アーム５１が搬出入口３１を介してカセット室３ＡのカセットＣ内に進入し、ウエハＷを受け取る。・・・。
　搬送アーム５３はカセットＣから受け取ったウエハＷを位置合わせ機構７の回転ステージ７１上に載置して、例えば発受光部７２によりウエハＷの周縁を検出し、その結果にもとづき回転ステージ７１を動かしてウエハＷのオリフラの向き及び中心の位置合わせを行う。続いてこのウエハＷを搬送手段５により搬出入口４１を介して例えば真空処理室４Ａ内に搬入する。真空処理室４Ａ内では、サセプタ４２に組み合わされた図示しない昇降ピンの昇降動作を介してウエハがサセプタ４２上に載置され、サセプタ４２及び上部電極４３間の高周波電力とマグネット４７の磁場とのエネルギーにより得られたプラズマによってエッチングされる。」
　
　これらの記載事項を、技術常識を考慮しながら補正発明に照らして整理すると、刊行物１には以下の発明（以下、「刊行物１発明」という。）が記載されていると認める。
　
「サセプタ４２上の所定位置に載置したウエハにプラズマエッチングを施す真空処理室４Ａと、
　真空搬送室２に備えられ、カセット室３Ａから受け取ったウエハを前記サセプタ４２上の前記所定位置に搬送する搬送手段５と、
　前記真空処理室４Ａの搬入路に備えたゲートバルブＧと、
　前記真空搬送室２に設けられ、ウエハの周縁を検出する発受光部７２と、
　その結果にもとづき、ウエハのオリフラの向き及び中心の位置合わせを行う回転ステージ７１を備えた真空処理装置。」
　
（３）対比
　補正発明と刊行物１発明とを対比する。
　刊行物１発明の「サセプタ４２」は、補正発明の「ステージ」に相当し、以下同様に、「ウエハ」は「試料」に、「プラズマエッチング」は「所定の処理」に、「搬送手段５」は真空搬送室内にあるから「真空搬送装置」に、それぞれ相当する、又は含まれる。
　また、刊行物１発明の「ウエハの周縁を検出する発受光部７２」と、補正発明の「横方向の位置ずれを検出する試料位置検出装置」とは、「試料の位置を検出する試料位置検出装置」である限りにおいて一致し、刊行物１発明の「その結果にもとづき、ウエハのオリフラの向き及び中心の位置合わせを行う回転ステージ７１」と、補正発明の「真空搬送装置の横方向移動距離を制御して前記試料のステージ上の載置位置を補正する補正手段」とは、「検出結果により試料の位置を補正する手段」である限りにおいて、一致する。
　
　したがって、補正発明と刊行物１発明とは、次の点で一致している。
「ステージ上の所定位置に載置した試料に所定の処理を施す真空処理室と、
　真空搬送室に備えられ、試料を前記ステージ上の前記所定位置に搬送する真空搬送装置と、
　前記真空処理室の搬入路に備えたゲートバルブと、
　試料の位置を検出する試料位置検出装置と、
　前記試料位置検出装置の検出結果により試料の位置を補正する手段を備えた真空処理装置。」
　
　そして、補正発明と刊行物１発明とは、以下の点で相違している。
　相違点１：補正発明は「大気中に備えられ、大気中にある試料を真空搬送装置に搬送する大気搬送装置」を有し、「大気と真空処理室を接続する」ものであるが、刊行物１発明は「大気搬送装置」を有さず、カセット室の試料を、真空搬送装置により真空処理室に搬送するものである点。
　相違点２：試料位置検出装置、試料の位置を補正する手段について、補正発明は、試料位置検出装置が「真空処理室の搬入路に備えたゲートバルブの真空搬送室側または真空処理室側」に設けられ、「搬入路を通過するときの予め設定された試料の正しい通過位置と前記真空搬送装置により搬入されるときの試料の通過位置とを比較し、ステージ上に載置する直前における前記搬入試料の横方向の位置ずれを検出する」ものであり、試料の位置を補正する手段が、「真空搬送装置の横方向移動距離を制御して前記試料のステージ上の載置位置を補正する」ものであるが、刊行物１発明は、試料位置検出装置が「真空搬送室」に設けられ、「ウエハの周縁を検出する発受光部」であり、試料の位置を補正する手段が、「ウエハのオリフラの向き及び中心の位置合わせを行う回転ステージ」である点。
　
（４）相違点の検討
　相違点１について検討する。
　大気中にある試料を真空処理室に搬入する手段は、当業者が、適宜選択しうるものであるところ、大気中に備えられ、試料を真空搬送装置に搬送する大気搬送装置は、特許第２９４２５２７号公報の「第１搬送装置１３」にみられるごとく、周知である。
　したがって、かかる周知の搬入手段を採用することは、設計的事項にすぎない。
　
　相違点２について検討する。
　刊行物１発明は、試料位置検出、補正のための機構として、発受光部、回転ステージを備えている。
　試料の位置を検出し、補正することの目的は、次工程における精度の確保のためであるから、位置検出、補正は、次工程への搬送経路上のいずれかで行えば良いが、より精度を高めるためには、次工程直前が望ましいことは明らかである。
　よって、次工程が行われる「真空処理室」の直前位置である「真空処理室の搬入路に備えたゲートバルブの真空搬送室側」に、位置検出装置を設けることは、設計的事項にすぎない。
　試料位置検出を、搬送路上のセンサで行い、試料の実位置と理想位置との差である補正を搬送手段側で行うものは、当審の審尋で引用した特開平１０−３２６８１９号公報の段落００１３、特開平１１−３１２７２６号公報の段落００２６〜００２７にみられるごとく周知である。
　かかる周知技術は、刊行物１発明が有している回転ステージを必要としないものであることから、装置の簡素化の観点から、かかる周知技術を適用することは、当業者が、困難なく行いうることである。
　位置検出、補正を「横方向」に特定した点は、次工程との関係で考慮すべき事項にすぎない。
　したがって、周知技術を踏まえ、相違点２に係る事項とすることに、困難性は認められない。
　
　請求人は、平成１９年１０月１８日のＦＡＸによる回答書において、周知技術の根拠とされた特開平１０−３２６８１９号公報、特開平１１−３１２７２６号公報のものは、いずれも「大気中の搬送を前提」とするから「真空搬送装置を用いた搬送中における位置ずれを考慮した技術ではない」旨、主張する。
　しかし、大気中、真空中、いずれも搬送中の誤差は生じうるものであり、位置検出、補正という観点からは、大気中か真空中かという点により、格別の差違が生じるとは認められない。
　したがって、請求人の主張は採用できない。
　なお、補正案についても、格別な技術的意義を見いだすことはできない。
　
　以上のことから、補正発明は、刊行物１発明、周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
　
３．むすび
　したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３．本願発明について
１．本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項に係る発明は、平成１８年１月１３日付けで補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、上記第２．１．（１）のとおりである。
　
２．刊行物等
　これに対して、原査定の際にあげられた刊行物及びその記載内容は、上記第２．２．（２）に示したとおりである。
　
３．対比
　本願発明と刊行物１発明とを対比する。
　刊行物１発明の「サセプタ４２」は、本願発明の「ステージ」に相当し、以下同様に、「ウエハ」は「試料」に、「プラズマエッチング」は「所定の処理」に、「搬送手段５」は真空搬送室内にあるから「真空搬送装置」に、「ウエハの周縁を検出する発受光部７２」は「位置ずれを検出する試料位置検出装置」に、それぞれ相当する、又は含まれる。
　また、刊行物１発明の「その結果にもとづき回転ステージ７１を動かしてウエハのオリフラの向き及び中心の位置合わせを行う位置合わせ機構７」と、本願発明の「真空搬送装置の移動方向および距離を制御して前記試料のステージ上の載置位置を補正する補正手段」とは、「検出結果により試料の位置を補正する手段」である限りにおいて、一致する。
　
　したがって、本願発明と刊行物１発明とは、次の点で一致している。
「ステージ上の所定位置に載置した試料に所定の処理を施す真空処理室と、
　真空搬送室に備えられ、試料を前記ステージ上の前記所定位置に搬送する真空搬送装置と、
　前記真空処理室の搬入路に備えたゲートバルブと、
　試料の位置ずれを検出する試料位置検出装置と、
　前記試料位置検出装置の検出結果により試料の位置を補正する手段を備えた真空処理装置。」
　
　そして、本願発明と刊行物１発明とは、以下の点で相違している。
　相違点３：本願発明は「大気中に備えられ、大気中にある試料を真空搬送装置に搬送する大気搬送装置」を有し、「大気と真空処理室を接続する」ものであるが、刊行物１発明は「大気搬送装置」を有さず、カセット室の試料を、真空搬送装置により真空処理室に搬送するものである点。
　相違点４：試料位置検出装置、試料の位置を補正する手段について、本願発明は、試料位置検出装置が「真空処理室の搬入路に備えたゲートバルブの真空搬送室側または真空処理室側」に設けられ、「ステージ上に載置する直前において」検出するものであり、試料の位置を補正する手段が、「真空搬送装置の移動方向および距離を制御して前記試料のステージ上の載置位置を補正する」ものであるが、刊行物１発明は、試料位置検出装置が「真空搬送室」に設けられ、試料の位置を補正する手段が、「ウエハのオリフラの向き及び中心の位置合わせを行う回転ステージ」である点。
　
４．相違点の検討
　相違点３については、上記第２．２．（４）の相違点１として検討したとおりである。
　
　相違点４について検討する。
　試料の位置を検出し、補正することの目的は、次工程における精度の確保のためであるから、位置検出、補正は、次工程への搬送経路上のいずれかで行えば良いが、より精度を高めるためには、次工程直前が望ましいことは明らかである。
　よって、次工程が行われる「真空処理室」の直前位置である「真空処理室の搬入路に備えたゲートバルブの真空搬送室側」に、位置検出装置を設けることは、設計的事項にすぎない。
　刊行物１発明は、回転ステージを動かして補正するものであるが、補正にあたり、回転ステージを補正するか、搬送手段を補正するかは、相対的位置関係の問題にすぎず、適宜選択しうるものである。
　しかも、前記第２．２．（４）の相違点２で検討したとおり、搬送手段を補正するものは、周知でもある。
　よって、刊行物１発明における搬送手段である真空搬送装置を制御することは、設計的事項にすぎない。
　したがって、相違点４に係る事項とすることに、困難性は認められない。
　
５．むすび
　以上より、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないことから、本件出願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。