(57)【要約】  本技術は、ノイズを低減させることができるようにする撮像素子に関する。光電変換素子と、光電変換素子からの信号を増幅する第１の増幅素子と、第１の増幅素子からの出力を増幅する第２の増幅素子と、第１の増幅素子と第２の増幅素子との間に設けられたオフセット素子と、第１の増幅素子をリセットする第１のリセット素子と、第２の増幅素子をリセットする第２のリセット素子とを備える。オフセット素子は、キャパシタである。第２の増幅素子からの出力のフィードバックループを介して、オフセット素子に、電荷が蓄積され、オフセットバイアスが生成される。本技術は、撮像素子に適用できる。
2018021053.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光電変換素子と、
前記光電変換素子からの信号を増幅する第１の増幅素子と、
前記第１の増幅素子からの出力を増幅する第２の増幅素子と、
前記第１の増幅素子と前記第２の増幅素子との間に設けられたオフセット素子と、
前記第１の増幅素子をリセットする第１のリセット素子と、
前記第２の増幅素子をリセットする第２のリセット素子と
を備える撮像素子。
【請求項２】
前記オフセット素子は、キャパシタである
請求項１に記載の撮像素子。
【請求項３】
前記第２の増幅素子からの出力のフィードバックループを介して、前記オフセット素子に、電荷が蓄積され、オフセットバイアスが生成される
請求項１に記載の撮像素子。
【請求項４】
前記第２の増幅素子からの出力信号と参照信号との差分の逆相が、前記第２のリセット素子に供給される
請求項１に記載の撮像素子。
【請求項５】
前記第２の増幅素子からの出力信号と参照信号が、差動アンプに入力され、
前記差動アンプからの出力が、前記第２のリセット素子に供給される
請求項１に記載の撮像素子。
【請求項６】
前記差動アンプは、前記第２のリセット素子と電流ミラー回路を含む構成とされている
請求項５に記載の撮像素子。
【請求項７】
前記第２の増幅素子の入力寄生容量は、前記第１の増幅素子の入力寄生容量よりも大きい
請求項１に記載の撮像素子。
【請求項８】
前記第１の増幅素子が、前記第１のリセット素子によりリセットされた後、前記第２の増幅素子が、前記第２のリセット素子によりリセットされる
請求項１に記載の撮像素子。
【請求項９】
前記光電変換素子の電荷転送とリセットは、同一の期間に行われる
請求項１に記載の撮像素子。
【請求項１０】
前記第２の増幅素子からの信号を検出する検出部をさらに備え、
前記検出部は、相関二重サンプリングの処理を含み、リセット信号と蓄積信号のサンプリングをそれぞれ行う
請求項１に記載の撮像素子。
【請求項１１】
前記検出部は、所定の行を処理対象とし、前記所定の行からのリセット信号のサンプリングを行い、
前記所定の行を含む全行からの蓄積信号のサンプリングを行う
請求項１０に記載の撮像素子。
【請求項１２】
前記第２の増幅素子からの信号を検出する検出部をさらに備え、
前記検出部は、相関二重サンプリングの処理を含み、リセット信号のサンプリングは行わず、蓄積信号のサンプリングのみを行う
請求項１に記載の撮像素子。
【請求項１３】
前記光電変換素子、前記第１の増幅素子、および前記第１のリセット素子は、第１の層に形成され、
前記オフセット素子、前記第２の増幅素子、および前記第２のリセット素子は、第２の層に形成され、
前記第１の層と前記第２の層は、積層されている
請求項１に記載の撮像素子。
【請求項１４】
前記第２の増幅素子からの信号を検出する検出部は、第３の層に形成され、
前記第１の層、前記第２の層、および前記第３の層は、積層されている
請求項１３に記載の撮像素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は撮像素子に関し、例えば、画素の出力のバラつきを抑制し、高速なグローバルシャッタを行うのに好適な撮像素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、工業生産ライン向けの撮像や、高速に移動する被写体の撮像に、ＣＭＯＳイメージセンサを用いたグローバルシャッタの要請が拡大している。【０００３】
ＣＭＯＳイメージセンサは、複数の画素が１つの読み出し回路を共有し、画素毎に順次読み出しが実施されるが、その際には所謂ローリングシャッタが採用される。ローリングシャッタは、画素毎に読み出しと同期した露光蓄積が実施される方式である。従って、１枚のフレームを構成する画素毎に異なった露光時刻となる。【０００４】
このようなローリングシャッタにおいては、高速移動する被写体には、所謂フォーカルプレーン歪みが発生することが知られている。さらにＣＭＯＳイメージセンサでパルス光を検出する場合、１回のパルス発光が、その時読み出されている画素を境に、２枚のフレームに分割されて出力されてしまい、検出が困難になる。【０００５】
そこで全ての有効画素で露光時刻を揃えるグローバルシャッタの採用が増えている。その主流は、電子シャッタにて一斉に露光を開始し、さらに一斉に露光を完了した後、画素毎の読み出しが実施されるまで、蓄積電荷を画素アンプの入力である浮遊拡散層（フローティングディフュージョン：Floating Diffusion）に一時的に保存するものである。【０００６】
リセット信号と蓄積信号を連続して読み出して両者間で相関二重サンプリング（ＣＤＳ：Correlated Double Sampling）を施せるローリングシャッタに対して、グローバルシャッタは、リセット後における画素毎の出力オフセットを制御することが困難であった。【０００７】
各画素の出力には、素子の特性ばらつきに起因する固定オフセット成分が存在し、さらに浮遊拡散層をリセットすると画素毎にランダムなｋＴＣノイズが発生する。【０００８】
ローリングシャッタにおいては、蓄積信号の読み出しの際、画素の浮遊拡散層のリセットを実施した後で、後段のコンパレータやアンプにオートゼロをかけることで、画素毎にそのオフセットを容易にキャンセルできる。従って、その後、連続的に蓄積信号を読み出してＡＤ変換を施せば、画素のｋＴＣノイズや特性ばらつきによる出力オフセットは既に除去されている。【０００９】
一方、グローバルシャッタにおいては、同一の画素におけるリセットレベルと蓄積レベルの連続した読み出しは不可能なので、このような画素毎のオフセットキャンセルを実施できない。【００１０】
その対策のひとつとして、例えば特許文献１には、蓄積信号を読み出した後に改めて画素をリセットし、リセット信号との差分をとって固定オフセットをキャンセルする手法が提案されている。【００１１】
また特許文献２では、画素毎のｋＴＣノイズを含めてキャンセルを実施するための手法として、露光開始の前後に２度の読み出しを実施することが提案されている。この提案では、まず露光開始前にリセットがかけられ、画素毎のリセット信号が、全有効画素に対して取得され、デジタルデータとしてメモリ等に保存される。露光完了後に取得された蓄積信号から、それらが差し引かれてＣＤＳが実施される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００７−０７４４３５号公報
【特許文献２】特開２００４−１４０１４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
特許文献１によると、ランダム成分であるｋＴＣノイズは、各々異なるリセット操作で独立に発生するため、むしろ多重化されて増大する可能性があった。【００１４】
特許文献２によると、露光前のリセット信号の読み出しは、画素毎の未キャンセルのオフセット成分量をＡＤ変換し、その結果をデジタル保存する処理となる。一方、ローリングシャッタでは、オートゼロ操作によってこの工程は省略できる。あるいは、より高精度が要求される場合でも、読み出し側の回路から発生する微弱なオフセットをキャンセルするのみで良い。【００１５】
しかしながらＡＤ変換の所要時間は、変換すべき信号レンジの大きさと変換精度で決まるので、ローリングシャッタに比べると、グローバルシャッタにおけるリセット信号の変換は大きな時間的なロスとなってしまう可能性があった。【００１６】
またｋＴＣノイズを低減し、かつ素子特性のばらつきに伴う出力オフセットを消滅させることが望まれている。またグローバルシャッタに対して適用できる仕組みが望まれている。【００１７】
本技術は、このような状況に鑑みてなされたものであり、ノイズを低減し、バラつきに伴うオフセットを低減させることができるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本技術の一側面の撮像素子は、光電変換素子と、前記光電変換素子からの信号を増幅する第１の増幅素子と、前記第１の増幅素子からの出力を増幅する第２の増幅素子と、前記第１の増幅素子と前記第２の増幅素子との間に設けられたオフセット素子と、前記第１の増幅素子をリセットする第１のリセット素子と、前記第２の増幅素子をリセットする第２のリセット素子とを備える。【００１９】
本技術の一側面の撮像素子においては、光電変換素子と、光電変換素子からの信号を増幅する第１の増幅素子と、第１の増幅素子からの出力を増幅する第２の増幅素子と、第１の増幅素子と第２の増幅素子との間に設けられたオフセット素子と、第１の増幅素子をリセットする第１のリセット素子と、第２の増幅素子をリセットする第２のリセット素子とが備えられる。
【発明の効果】
【００２０】
本技術の１側面によれば、ノイズを低減し、バラつきに伴うオフセットを低減させることができる。【００２１】
なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本技術を適用した撮像素子の一実施の形態の構成を示す図である。
【図２】画素アレイの構成を示す図である。
【図３】第１の動作シーケンスについて説明するための図である。
【図４】第２の動作シーケンスについて説明するための図である。
【図５】第３の動作シーケンスについて説明するための図である。
【図６】第２の実施の形態における撮像素子の構成を示す図である。
【図７】画素アレイの構成を示す図である。
【図８】等化回路を示す図である。
【図９】第４の動作シーケンスについて説明するための図である。
【図１０】第５の動作シーケンスについて説明するための図である。
【図１１】第６の動作シーケンスについて説明するための図である。
【図１２】積層構造としたときの撮像素子の構成を示す図である。
【図１３】体内情報取得システムの概略的な構成の一例を示すブロック図である。
【図１４】内視鏡手術システムの概略的な構成の一例を示す図である。
【図１５】カメラヘッド及びCCUの機能構成の一例を示すブロック図である。
【図１６】車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
【図１７】撮像部の設置位置の一例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に、本技術を実施するための形態（以下、実施の形態という）について説明する。
【００２４】
＜第１の実施の形態における撮像素子の構成＞
図１に本技術を適用した第１の実施の形態におけるイメージセンサの画素の構成を示す。図１に示した画素１００は、フォトダイオード２１、カソード（蓄積ノード）２２、電源２３、出力ノード２４、転送トランジスタ２５、第１の増幅トランジスタ２６、第１のリセットトランジスタ２７、第１の検出ノード２８、負荷トランジスタ２９を含む構成とされている。
【００２５】
また画素１００は、カップリングキャパシタ３１、第２の検出ノード（入力ノード）３２、第２の増幅トランジスタ３３、選択トランジスタ３４、第２のリセットトランジスタ３５、出力信号線３６を含む。
【００２６】
また画素１００には、行駆動回路５０、負荷トランジスタ５１、検出回路５２、差動型増幅回路５３、帰還信号線５４が接続されている。
【００２７】
このような構成を有する画素１００においては、フォトダイオード２１により光電変換され、そのフォトダイオード２１のカソード２２に蓄積された信号電荷は、転送トランジスタ２５を介して浮遊拡散層を含む第１の検出ノード２８に転送される。
【００２８】
画素１００の出力は、２段のアンプ構成（２段で増幅する構成）となっており、第１の検出ノード２８の信号は、第１の増幅トランジスタ２６により１段目の増幅が実施され、さらに第２の検出ノード３２を入力とした第２の増幅トランジスタ３３により２段目の増幅が実施される。この２段階で増幅された結果は、出力信号線３６に出力される。
【００２９】
１段目のアンプの出力である出力ノード２４と２段目アンプの入力である入力ノード３２は、カップリングキャパシタ３１を介して接続されている。
【００３０】
さらにフォトダイオード２１、カソード２２、および第１の検出ノード２８のリセットが実施されると、画素出力３６は、カラム毎に設置された差動型増幅回路５３を介して逆相でフィードバックされ、カップリングキャパシタ３１にオフセット電荷が生成される。
【００３１】
すなわち、第２の増幅トランジスタ３３からの出力のフィードバックループを介して、カップリングキャパシタ３１に電荷が蓄積され、オフセットバイアスが生成される。これによってリセット時における画素１００の画素出力３６（出力信号線３６に出力される出力）は、差動型増幅回路５３の参照入力Ｒｅｆ１と同電位に調整される。
【００３２】
以下にその構成と動作についてさらに説明する。
【００３３】
図１に示した画素１００は、１段目の検出部として、フォトダイオード２１、フォトダイオード２１のカソード２２（蓄積ノード２２）、１段目の出力ノード２４、転送トランジスタ２５、第１の増幅トランジスタ２６、第１のリセットトランジスタ２７、第１の検出ノード２８、および負荷トランジスタ２９を備える。
【００３４】
画素１００は、さらに２段目の検出部として、カップリングキャパシタ３１、第２の検出ノード３２、第２の増幅トランジスタ３３、選択トランジスタ３４、および第２のリセットトランジスタ３５を有する。画素１００における検出結果は、出力信号線３６に出力される。
【００３５】
画素１００内のトランジスタ（例えば、選択トランジスタ３４など）は、例えば、ｎ型のＭＯＳ（Metal-Oxide Semiconductor）トランジスタやｐ型のトランジスタを用いることができる。
【００３６】
フォトダイオード２１は、光子を電荷に変換する。フォトダイオード２１は、そのカソードである蓄積ノード２２を介して転送トランジスタ２５に接続される。フォトダイオード２１は、シリコン基板に入射した光子から、電子とホールのペアを発生させ、そのうちの電子を蓄積ノード２２に蓄積する。該フォトダイオード２１は、リセットによる電荷排出時には蓄積ノード２２が完全空乏化される、埋め込み型として形成することができる。
【００３７】
転送トランジスタ２５は、行駆動回路５０の制御に従って、蓄積ノード２２から第１の検出ノード２８へ電荷を転送する。なお、行駆動回路５０は、多数の駆動出力端子をもって複数の画素１００を並列駆動するが、図面では簡略の為、接続部の表記は省略している。
【００３８】
第１の検出ノード２８は、転送トランジスタ２５からの電荷を蓄積して、その蓄積した電荷の量に応じたアナログの電圧を生成する。この電圧は、第１の増幅トランジスタ２６のゲートに印加される。
【００３９】
第１のリセットトランジスタ２７は、第１の検出ノード２８、あるいは蓄積ノード２２に蓄積された電荷を電源に引き抜いて初期化する。この第１のリセットトランジスタ２７のゲートは、行駆動回路５０に接続され、ドレインは電源２３に接続され、ソースは第１の検出ノード２８に接続されている。
【００４０】
行駆動回路５０は、例えば、第１のリセットトランジスタ２７と転送トランジスタ２５と同時にオン状態に制御することで、蓄積ノード２２に蓄積された電子を、電源２３に引き抜き、画素を、蓄積前の暗状態、即ち光が未入射の状態に初期化する。また、行駆動回路５０は、第１のリセットトランジスタ２７のみをオン状態に制御することにより、第１の検出ノード２８に蓄積された電荷を、電源２３に引き抜き、その電荷量を初期化する。
【００４１】
第１の増幅トランジスタ２６は、ゲートの電圧に応じて、１段目の出力ノード２４を駆動する。この第１の増幅トランジスタ２６のゲートは、第１の検出ノード２８に接続され、ドレインは電源に接続され、ソースは負荷トランジスタ２９に接続されている。
【００４２】
第１の増幅トランジスタ２６と負荷トランジスタ２９は、例えばソースフォロワアンプを形成している。負荷トランジスタ２９は、ゲート電圧を固定して飽和動作させることで定電流源として機能し、第１の検出ノード２８の電圧変動は、１弱のゲインで１段目の出力ノード２４に伝達されて出力される。
【００４３】
あるいは負荷トランジスタ２９のゲートを、行駆動回路５０に接続して出力リセットとしてもよい。この場合、負荷トランジスタ２９をオンオフすることで１段目の出力ノード２４は、グランドに接続された後、第１の増幅トランジスタ２６によって引き上げられ、第１の検出ノード２８の電位から第１の増幅トランジスタ２６の閾値を減じたレベルに固定される。さらに１段目の出力ノード２４の電位は、カップリングキャパシタ３１を介して第２の検出ノード３２に伝達される。
【００４４】
第２の増幅トランジスタ３３は、ゲートの電圧に応じて、出力信号線３６に信号を出力する。この第２の増幅トランジスタ３３のゲートは、第２の検出ノード３２に接続され、ドレインは電源２３に接続され、ソースは選択トランジスタ３４を介して、負荷トランジスタ５１に接続されている。
【００４５】
第２の増幅トランジスタ３３と負荷トランジスタ５１は、ソースフォロワアンプを形成している。負荷トランジスタ５１は、ゲート電圧を固定して飽和動作させることで定電流源として機能し、第２の検出ノード３２の電圧変動は、１弱のゲインで出力信号線３６に伝達されて出力される。
【００４６】
選択トランジスタ３４は、行駆動回路５０の制御に従って、電気信号を出力する。この選択トランジスタ３４のゲートは、行駆動回路５０に接続され、ドレインは第２の増幅トランジスタ３３に接続され、ソースは出力信号線３６に接続されている。そして画素１００からの出力信号は、検出回路５２によって検知され、ＡＤ変換が実施される。
【００４７】
さらに出力信号線３６は、差動型増幅回路５３の片側の入力に接続されている。差動型増幅回路５３の出力信号線３６が接続されていない側の入力には、出力信号線３６のレベルを制御するための参照電圧Ｒｅｆ１が接続される。
【００４８】
画素１００のリセット時において、差動型増幅回路５３からの出力は、負帰還されて、第２のリセットトランジスタ３５を介して、第２の検出ノード３２に供給される。これによってカップリングキャパシタ３１にオフセット電荷が生成され、出力信号線３６の電圧レベルは、差動型増幅回路５３の参照入力Ｒｅｆ１と同電圧に制御される。
【００４９】
第１のリセットトランジスタ２７の駆動により第１の検出ノード２８をリセットした際に、１段目の出力ノード２４に生じるオフセットは、主として以下のものがある。
【００５０】
オフセット１−１．第１の検出ノード２８に生じたｋＴＣノイズ
オフセット１−２．第１のリセットトランジスタ２７をオフした際に生じたフィードスルーとそのばらつき
オフセット１−３．第１の増幅トランジスタ２６の閾値ばらつき
オフセット１−４．第１の増幅トランジスタ２６のチャンネルに生ずるランダムノイズ
【００５１】
ところで、従来、多くのイメージセンサの画素は、この１段目のみで構成されていた。本技術では１段目に加え、２段目の構成を加えることで、全体のオフセット量を大きく改善することができる。
【００５２】
すなわちオフセット１−１,１−２,１−３は、その後に第２のリセットトランジスタ３５が駆動されることで、カップリングキャパシタ３１のオフセット電荷を介して全てキャンセルされる。さらに第２の増幅トランジスタ３３の閾値ばらつきにより出力信号線３６に生ずるオフセットもキャンセルされるので、残るオフセット要因は以下のものとなる。
【００５３】
オフセット２−１．第２の検出ノード３２に生じたｋＴＣノイズ
オフセット２−２．第２のリセットトランジスタ３５をオフした際に生じたフィードスルーとそのばらつき
オフセット２−３．第１の増幅トランジスタ２６および第２の増幅トランジスタ３３のチャンネルに生ずるランダムノイズ
【００５４】
フォトダイオード２１で光電変換された電荷信号は、第１の検出ノード２８にそのまま転送されるので、画素１００に高い感度を持たせるには、第１の検出ノード２８の寄生容量を出来る限り小さくする必要がある。しかしながら、第１の検出ノード２８の寄生容量に対して、オフセット１−２（フィードスルー量とそのばらつき）は、反比例し、オフセット１−１（ｋＴＣノイズ）は、その平方根に反比例する。
【００５５】
すなわち、第１の検出ノード２８の寄生容量の低減は、オフセット１−１とオフセット１−２の悪化に直結する。そのため従来は、出力ばらつきと感度に深刻なトレードオフが発生していた。よって、第１の検出ノード２８だけでは、オフセットを十分にキャンセルすることは困難であった。
【００５６】
一方、本技術を適用した画素１００においては、第２の検出ノード３２の寄生容量（第２の増幅トランジスタ３３の入力側の寄生容量）を十分大きくとることができ、オフセット２−１とオブセット２−２を容易に低減することができる。また、第２の検出ノード３２の寄生容量を大きくすることは、第１の検出ノード２８の寄生容量（第１の増幅トランジスタ２６の入力側の寄生容量）とは関係無く行えるため、画素１００の感度が悪化するようなことを防ぐこともできる。
【００５７】
オフセット２−３は、第２の増幅トランジスタ３３のランダムノイズ分だけ、従来に対して悪化する可能性があるが、第２の増幅トランジスタ３３のゲート面積と駆動能力を十分大きくとることで、その影響は殆ど無視できる程度に抑制することができる。特に、１／ｆノイズとバーストノイズは、ゲート面積の平方根に反比例するので、ゲート面積の拡大が有効である。
【００５８】
このようなことから、第２の検出ノード３２の寄生容量（第２の増幅トランジスタ３３の入力寄生容量）は、第１の検出ノード２８の寄生容量（第１の増幅トランジスタ２６の入力寄生容量）より大きく構成される。さらに第２の増幅トランジスタのゲート面積は、第１の増幅トランジスタのゲート面積より大きく構成される。
【００５９】
なお、第２の検出ノード３２の寄生容量が、第１の検出ノード２８の寄生容量と同程度、または小さく構成されていても、本技術のように２段構成として、カップリングキャパシタ３１でオフセット電荷を相殺することで、１段構成よりもオフセットをよりキャンセルすることができる。また、第２の増幅トランジスタのゲート面積が、第１の増幅トランジスタのゲート面積と同程度、または小さく構成されていても、本技術のように２段構成として、カップリングキャパシタ３１でオフセット電荷を相殺することで、１段構成よりもオフセットをよりキャンセルすることができる。
【００６０】
＜画素アレイの構成＞
図２に図１に示した画素１００をアレイ化した画素アレイ部の構成例を示す。
【００６１】
検出回路５２は、列方向に並ぶ複数の画素１００と、出力信号線３６を介して接続されている。読み出し対象となる画素は、図１における画素内の選択トランジスタ３４によって択一的に選択される。
【００６２】
さらに差動型増幅回路５３は、列方向にならぶ複数の画素１００、出力信号線３６、および帰還信号線５４を介して接続されている。差動型増幅回路５３の一方の入力は出力信号線３６に、他方の入力は参照信号線５５に接続されており、参照信号Ｒｅｆ１が与えられる構成とされている。
【００６３】
リセット時に出力信号線３６に信号が出力され、かつ帰還信号線５４からの帰還信号を受ける画素１００は、図１における画素内の選択トランジスタ３４と第２のリセットトランジスタ３５によって択一的に決定される。
【００６４】
さらに行駆動回路５０は、駆動信号線５６を介して、行方向に並ぶ複数の画素１００に共有されている。駆動信号線５６は、それぞれが画素１００における転送トランジスタ２５、第１のリセットトランジスタ２７、負荷トランジスタ２９、選択トランジスタ３４、第２のリセットトランジスタ３５のゲートに接続されており、複数画素の各ゲートを行毎に一斉駆動する。
【００６５】
画素１００からの信号の読み出しは、行毎に複数画素に対して並列に実行され、複数の検出回路５２によって並列に検出されてＡＤ変換される。さらにリセット時の信号の帰還も、行毎に複数画素に対して並列に実行され、複数の差動型増幅回路５３によって並列に帰還信号が供給される。
【００６６】
行単位で複数の検出回路５２によって一斉に検出され、ＡＤ変換が実施された複数画素の出力信号は、スイッチ５７によって順次出力回路５８に接続されて、シリアルに外部に出力される。
【００６７】
次に、画素１００の動作についてさらに説明を加える。
【００６８】
ここでは、光電変換信号の画素への蓄積は、有効画素全てに対して同時に開始され、かつ同時に終了する、所謂グローバルシャッタを適用した場合を例に挙げて説明する。
【００６９】
検出回路５２は出力信号線３６を介して複数の画素に接続されている為、その出力のサンプリングは、行毎に順次実施される。サンプリングについては、光が未入射な暗状態に相当するリセット信号のサンプリングと、露光を経た蓄積信号のサンプリングが行われ、その差分を取ることによって各種ノイズを相殺する相関二重サンプリング（ＣＤＳ：Correlated Double Sampling）が実施される。
【００７０】
＜第１の動作シーケンス＞
図３を参照し、図１、図２に示した画素１００（画素１００から構成される画素アレイ部）の動作シーケンスについて説明する。
【００７１】
行駆動回路５０は、蓄積期間直前の時刻Ｔ１１において、転送トランジスタ２５と第１のリセットトランジスタ２７を、ともにオン状態に制御する。この制御により、フォトダイオード２１と転送トランジスタ２５の間の蓄積ノード２２に蓄積された電荷が、第１の検出ノード２８を介して全て電源２３へ排出される。この制御を以下、「ＰＤ（Photo Diode）リセット」と称する。
【００７２】
時刻Ｔ１１の後の時刻Ｔ１２において、行駆動回路５０は、転送トランジスタ２５をオフ状態に制御する。時刻Ｔ１１から時刻Ｔ１２までの期間をＰＤリセット期間と記述する。この制御により、蓄積ノード２２は、浮遊状態となり、新たな電荷の蓄積が開始される。
【００７３】
さらに行駆動回路５０は、ＰＤリセット後の時刻Ｔ１３において、第１のリセットトランジスタ２７をオフ状態に制御する。この制御により、第１の検出ノード２８の電位は、第１のリセットトランジスタ２７のゲートとのカップリングを受けて基準電位から幾分低下し、浮遊状態となる。
【００７４】
さらに、この際に第１の検出ノード２８には、有意なｋＴＣノイズが発生する。第１の検出ノード２８として、一般に、浮遊拡散層（Floating）が用いられるため、この制御を以下、「ＦＤリセット」と称し、ＦＤリセットが行われる期間をＦＤリセット期間と記述する。
【００７５】
第１の動作シーケンスにおいては、ＰＤリセットとＦＤリセットが連続して実施される。これらの動作は、全有効画素１００に対して同時に実施される。
【００７６】
一方、負荷トランジスタ２９のゲートは、飽和動作領域内で固定されており、第１の増幅トランジスタ２６とソースフォロア回路を構成している。これによってリセット信号を反映した、各画素の第１段目の出力ノード２４の電位が確定する。
【００７７】
次に画素１００に対して、行毎に順次リセット信号のサンプリングが実施される。リセット信号のサンプリングは、相関二重サンプリングにおいて１回目の読み出しとして扱われる。
【００７８】
時刻Ｔ１４において、行選択が実施され、画素１００と出力信号線３６が選択トランジスタ３４で接続され、第２の検出ノード３２の電圧が、第２の増幅トランジスタ３３により増幅され、出力信号線３６へ出力される。出力信号線３６に出力された第２の検出ノード３２の電圧は、差動型増幅回路５３によって参照電圧Ｒｅｆ１と比較され、逆相で帰還信号線５４が駆動される。
【００７９】
同時に選択行では第２のリセットトランジスタ３５がオンにされ、出力信号線３６からの信号と参照信号Ｒｅｆ１のバランスがとれるように、カップリングキャパシタ３１にオフセット電荷が発生される。第２のリセットトランジスタがオフにされることで、第２の検出ノード３２の電位は、第２のリセットトランジスタ３５のゲートとのカップリングを受けて幾分低下し、浮遊状態となる。さらに、この際に第２の検出ノード３２には、有意なｋＴＣノイズが発生する。
【００８０】
検出回路５２は、１回以上（例えば、４回）のサンプリングを行う。これらのサンプリングにおいて、出力信号線３６の電位の信号が、画素１００のリセット信号として検出回路５２によりデジタル信号Ｄｓ１１に変換される。デジタル信号Ｄｓ１１の値は、例えば検出回路５２内のレジスタに保存される。
【００８１】
このリセット信号のサンプリングは、各行の画素１００に対して繰り返される。各検出回路５２には、それを共有する各画素のリセット信号Ｄｓ１１〜Ｄｓ１ｎが保存される。これらは、チップ全体としては画素総数に相当する記憶量になるので、チップ内またはチップ外にフィールドメモリを設置し、そこに保存されるようにしても良い。
【００８２】
蓄積期間が終了する直前の時刻Ｔ１６において、行駆動回路５０は、転送トランジスタ２５をオン状態に制御する。この制御により、蓄積ノード２２に蓄積された電荷が、第１の検出ノード２８へ転送される。この際に、第１の検出ノード２８のポテンシャルが十分に深ければ、蓄積ノード２２に蓄積されていた電子は、第１の検出ノード２８に全て転送され、蓄積ノード２２は完全空乏状態になる。
【００８３】
時刻Ｔ１６からパルス期間が経過した時刻Ｔ１７（電荷転送期間経過後）において、行駆動回路５０は、転送トランジスタ２５をオフ状態に制御する。この制御により、第１の検出ノード２８の電位は、転送トランジスタ２５の駆動前に比較して、蓄積電荷量の分だけ下降する（すなわち、ポテンシャルが浅くなる）。これらの動作は、全有効画素１００に対して同時に実施され、これによって蓄積信号が反映された、各画素の第１段目の出力ノード２４の電位が確定される。
【００８４】
次に蓄積信号のサンプリング期間において、画素１００に対して、行毎に順次蓄積信号のサンプリングが実施される。蓄積信号のサンプリングは、相関二重サンプリングにおいて２回目の読み出しとして扱われる。
【００８５】
時刻Ｔ１８において、行選択が実施され、画素１００と出力信号線３６が選択トランジスタ３４で接続され、上記下降分の電圧が第２の増幅トランジスタ３３により増幅されて出力信号線３６に出力される。
【００８６】
ここで検出回路５２は、１回以上（例えば、４回）のサンプリングを行う。これらのサンプリングにおいて、出力信号線３６の電位の信号が、画素の蓄積信号として検出回路５２によりデジタル信号Ｄｓ２１に変換される。
【００８７】
検出回路５２は、サンプリングした蓄積信号（すなわち、デジタル信号Ｄｓ２１）とリセット信号（すなわち、デジタル信号Ｄｓ１１）を比較して、その比較結果に基づいて入射光子量を判定する。２段目の出力におけるｋＴＣノイズは、デジタル信号Ｄｓ１１とデジタル信号Ｄｓ２１の差分を正味の蓄積信号とすることにより相殺される。このようにしてＣＤＳをとったデジタル検出結果は、順次出力回路５８に送られて、外部に出力される。
【００８８】
この蓄積信号のサンプリングと出力は、各行の画素１００に対して繰り返される。
【００８９】
ここで各画素１００の露光蓄積期間は、上述のＰＤリセット動作と蓄積信号の読み出し動作との間の期間であり、正確には転送トランジスタ２５がリセット後にオフしてから、読み出しでオフするまでの期間である。この露光蓄積期間にフォトダイオード２１に光子が入射し電荷が発生すると、発生した電荷量は、リセット信号および蓄積信号の間の差分となり、上述の手順に従って検出回路５２により導出される。
【００９０】
この露光蓄積時刻は全有効画素で同一であるため、所謂グローバルリセットが実施されていることになる。
【００９１】
また、時刻Ｔ１１でのＦＤリセット時に、１段目のアンプからの出力（出力ノード２４）に発生したｋＴＣノイズ、フィードスルー、Ｖｔｈばらつき等を含むオフセットは、時刻Ｔ１４の２段目のアンプの入力リセットによって全てキャンセルされる。この際、２段目のアンプの出力に残るオフセットは、その入力である第２の検出ノード３２に生じたｋＴＣノイズとフィードスルーであり、それらは上記ＣＤＳ工程によってキャンセルされる。
【００９２】
＜第２の動作シーケンス＞
第１の動作シーケンスにおいては、単位蓄積が完了して次の蓄積が開始される間、特に蓄積信号のサンプリング期間において、蓄積が実施されない不感期間が発生している。このような不感期間を除去し、例えば高速なサンプリングに対応した例を第２の動作シーケンスとして、図４を参照して説明する。
【００９３】
図４に示した第２の動作シーケンスにおいては、図３に示した第１の動作シーケンスと比較し、時刻Ｔ１１で実行されたＰＤリセットの処理が省略され、読み出し時の時刻Ｔ２５の電荷転送に伴うＰＤの電荷排出と兼用されている点が異なる。
【００９４】
すなわち、時刻Ｔ２１において、第１のリセットトランジスタ２７がオンにされ、時刻Ｔ２２までＦＤリセット期間とされ、ＦＤリセット処理が実行される。時刻Ｔ２１においては、転送トランジスタ２５はオンにされない。このとき、ＰＤリセット処理は、実行されない。
【００９５】
時刻Ｔ２３以降、第１の動作シーケンスと同じく、リセット信号のサンプリング期間が設けられ、リセット信号のサンプリングが実行される。
【００９６】
ＦＤリセット期間も含めて蓄積期間とされ、フォトダイオード２１への電荷の蓄積が実行されている。
【００９７】
その後、時刻Ｔ２５において、転送トランジスタ２５がオンにされ、時刻Ｔ２６においてオフにされる。時刻Ｔ２５から時刻Ｔ２６は、電荷転送期間とされ、フォトダイオード２１に蓄積された電荷が、第１の検出ノード２８に転送される期間とされる。この電荷転送期間は、ＰＤリセット期間にも該当し、フォトダイオード２１に対するリセット処理も実行される。
【００９８】
すなわち時刻Ｔ２５で、転送トランジスタ２５にパルスが印加されて、蓄積信号の第１の検出ノード２８への転送が実施されるが、この電荷排出はＰＤリセットと兼用される。このとき、フォトダイオード２１の次の蓄積期間は、電荷転送期間終了直後（転送トランジスタ２５がオフにされた直後）から開始される。これにより、画素１００に入射した光子が検知されない不感期間は、ほぼゼロにすることができる。
【００９９】
＜第３の動作シーケンス＞
第１、第２の動作シーケンスにおいては、ＣＤＳをとるために、リセット出力と蓄積出力について２回のサンプリングが実施された。
【０１００】
本技術によれば、リセット出力は差動型増幅回路５３によって、その参照入力Ｒｅｆ１（参照電圧Ｒｅｆ１）と略同等のレベルに調整されており、それに付加されるオフセット成分は、前述の如く非常に小さいものとすることができる。従って、高精度を要求しない用途などでは、リセット出力のサンプリングの一部または全てを省略したとしても、ある程度の精度を満たした動作を行うことができる。
【０１０１】
そこで、サンプリングの一部または全てを省略する動作シーケンスを、第３の動作シーケンスとして、図５を参照して説明する。
【０１０２】
図５に示した第３の動作シーケンスの時刻Ｔ３１から時刻Ｔ３３において、第１の動作シーケンスと同じく、ＰＤリセットとＦＤリセットが実施される。その後、第１、第２の動作シーケンスにおいては、リセット信号のサンプリングが行われるが、第３の動作シーケンスにおいては、リセット信号のサンプリングは行われない。
【０１０３】
すなわち第３の動作シーケンスにおいては、時刻Ｔ３４において、行選択と２段目の第２の増幅トランジスタ３３への入力リセットのみが実施され、信号のサンプリングは実施されない。
【０１０４】
あるいは１〜数行のみがサンプリングされて、その出力平均値がリセット信号とみなされる処理が実行されるようにしても良い。即ちリセット信号の出力は、全て均一として扱い、処理が行われるようにしても良い。
【０１０５】
そして全有効画素に対しては、時刻Ｔ３８の蓄積信号のサンプリングが実施される。
【０１０６】
このような第３の動作シーケンスの場合、ＡＤ変換の回数を約半分に削減できるので、フレームレートの高速化や低消費電力化に寄与する上、リセット信号を記憶するためのレジスタやメモリが不要となる利点がある。
【０１０７】
なお、第３の動作シーケンスに対して、第２の動作シーケンスを適用し、電荷転送とＰＤリセットを兼用したシーケンスとすることも可能である。
【０１０８】
＜第２の実施の形態における撮像素子の構成＞
第２の実施の形態における撮像素子の構成について説明する。図６に、第２の実施の形態における撮像素子（画素２００）の構成を示す。
【０１０９】
以下の説明において、図１に示した第１の実施の形態における画素１００と、図６に示した第２の実施の形態における画素２００において、同一の部分には同一の符号を付し、その説明は適宜省略する。
【０１１０】
図６に示した画素２００は、フォトダイオード２１、カソード（蓄積ノード）２２、電源２３、出力ノード２４、転送トランジスタ２５、第１の増幅トランジスタ２６、第１のリセットトランジスタ２７、第１の検出ノード２８、負荷トランジスタ２９、カップリングキャパシタ３１、第２の検出ノード（入力ノード）３２、選択トランジスタ３４、出力信号線３６を含む構成とされている。ここまでの構成は、画素１００と同様である。
【０１１１】
画素２００は、さらに第２の増幅トランジスタ２２１、第２のリセットトランジスタ２２２、およびキャパシタ２２３を含む。また画素２００には、行駆動回路２０１、電流ミラー回路２５１、参照電圧入力用増幅トランジスタ２５２、電流／動作点調整用トランジスタ２５３、およびソース線２５４が接続されている。
【０１１２】
第２の増幅トランジスタ２２１、第２のリセットトランジスタ２２２、参照電圧入力用増幅トランジスタ２５２、電流／動作点調整用トランジスタ２５３は、他のトランジスタと同じく、例えば、ｎ型のＭＯＳトランジスタやｐ型のトランジスタを用いることができる。
【０１１３】
第２の実施の形態における画素２００は、第１の実施の形態における画素１００の２段目のアンプ構成が変更されている。すなわち、画素２００においては、フォトダイオード２１から１段目の出力ノード２４の出力（アンプ出力）までの回路構成、オフセット電荷を蓄えるカップリングキャパシタ３１、および２段目の第２の検出ノード３２（アンプの入力）の存在については、第１の実施の形態における画素１００と同様である。
【０１１４】
第１の実施の形態における画素１００の第２の増幅トランジスタ３３（図１）が、ソースフォロアを構成していたのに対して、第２の実施の形態における画素２００の第２の増幅トランジスタ２２１は、電流ミラー回路２５１、第２の増幅トランジスタ２２１と対をなす参照電圧入力用増幅トランジスタ２５２、およびゲートが適切な固定電圧に接続された電流／動作点調整用トランジスタ２５３とともに、差動型の増幅回路を構成している。
【０１１５】
さらに構成されている差動型の増幅回路からの出力（出力信号線３６への出力）は、第２のリセットトランジスタ２２２を介して第２の検出ノード３２（入力ノード３２）に、逆相でフィードバックされる構成とされている。
【０１１６】
すなわち、第２の実施の形態における画素２００で構成されている差動型の増幅回路（以下、差動増幅回路２７１とする）は、画素内の各素子と、図７のような等価回路を構成している。図７に示した等化回路を参照するに、第２のリセットトランジスタ２２２がオンすると、参照信号Ｒｅｆ２（参照電圧Ｒｅｆ２）のボルテージフォロアが形成されて、画素出力３６には参照信号Ｒｅｆ２と同レベルの信号が出力される。
【０１１７】
この画素出力３６は、画素の第１段目の出力ノード２４の出力に生じたオフセットや、第２の増幅トランジスタ２２１の閾値オフセットに関わらず、参照信号Ｒｅｆ２と略同レベルに固定され、その調整を成すオフセット電荷は、カップリングキャパシタ３１に保存される。
【０１１８】
さらに第２のリセットトランジスタ２２２がオフにされると、画素２００の１段目の出力ノード２４（アンプ出力）の変位は、カップリングキャパシタ３１とキャパスタ２２３の容量比に従って増幅され、画素出力３６に伝達される。
【０１１９】
第１の実施の形態における画素１００の２段目のアンプ素子（第２の増幅トランジスタ３３）が、ソースフォロアであり、１より小さい増幅しか得られなかったのに対して、第２の実施の形態における画素２００の２段目のアンプ素子（第２の増幅トランジスタ２２１）は、例えば２倍以上の増幅を得ることができる。よって、画素の変換効率を向上させることができる。またその分、後段に接続される検出回路５２のノイズの影響を相対的に緩和することができる。
【０１２０】
なお行駆動回路２０１は、行方向に並ぶ複数の画素に対して、転送トランジスタ２５、第１のリセットトランジスタ２７、第２のリセットトランジスタ２２２、選択トランジスタ３４のゲートを各々並列駆動する。あるいは、第１の実施の形態と同様に、負荷トランジスタ２９のゲートも必要に応じて駆動されるように構成することも可能である。
【０１２１】
＜画素アレイの構成＞
図８に図６に示した画素２００をアレイ化した画素アレイ部の構成例を示す。
【０１２２】
検出回路５２は、列方向に並ぶ複数の画素２００と、出力信号線３６を介して接続されている。読み出し対象となる画素は、図６における画素内の選択トランジスタ３４によって択一的に選択される。
【０１２３】
電流ミラー回路２５１は、各列に一つ配置され、さらに列毎に参照用の参照電圧入力用増幅トランジスタ２５２を含んだダミー画素２５５が配置されている。ダミー画素２５５は、選択画素２００と対をなして差動増幅回路２７１の入力部を構成するものであり、選択画素と諸特性が類似するようにトランジスタサイズや回路構成が決定されている。
【０１２４】
参照電圧入力用増幅トランジスタ２５２は、第２の増幅トランジスタ２２１と同サイズであるのが良い。また例えば選択画素２００には選択トランジスタ３４が挿入されているので、ダミー画素２５５にも同サイズのトランジスタが挿入されている構成としても良い。
【０１２５】
列状に並んだ画素２００の第２の増幅トランジスタ２２１とダミー画素２５５の電流／動作点調整用トランジスタ２５３のソースは、列毎のソース線２５４に接続されて、電流／動作点調整用トランジスタ２５３を介してグランドに接続される。
【０１２６】
さらに行駆動回路２０１は、駆動信号線５６を介して、行方向に並ぶ複数の画素２００に共有されている。駆動信号線５６は、それぞれが、画素２００における転送トランジスタ２５、第１のリセットトランジスタ２７、負荷トランジスタ２９、選択トランジスタ３４、第２のリセットトランジスタ２２２のゲートに接続されており、複数画素の各ゲートを行毎に一斉駆動する。
【０１２７】
画素２００からの信号の読み出しは、行毎に複数の画素に対して並列に実行され、複数の検出回路５２によって並列に検出されてＡＤ変換される。
【０１２８】
さらに第２のリセット時の信号帰還も、行毎に複数の画素に対して並列に実行され、複数の差動型増幅によって並列に帰還信号が供給される。
【０１２９】
行単位で複数の検出回路５２によって一斉に検出され、ＡＤ変換が実施された複数の画素の出力信号は、スイッチ５７によって順次出力回路５８に接続されて、シリアルに外部に出力される。
【０１３０】
＜第４の動作シーケンス＞
図９を参照し、図６、図８に示した画素２００（画素２００から構成される画素アレイ部）の動作シーケンス（第４の動作シーケンスとする）について説明する。
【０１３１】
第１乃至第３の動作シーケンス（第１の実施の形態の画素１００における動作シーケンス）と同様に、第４の動作シーケンス（第２の実施の形態の画素２００における動作シーケンス）も、光電変換信号の画素への蓄積は、全ての有効画素に対して同時に開始され、かつ同時に終了する、所謂グローバルシャッタを適用した場合を例に挙げて説明する。
【０１３２】
検出回路５２は出力信号線３６を介して複数の画素に接続されている為、その出力のサンプリングは、行毎に順次実施される。サンプリングについては、光が未入射な暗状態に相当するリセット信号のサンプリングと、露光を経た蓄積信号のサンプリングが行われ、その差分を取ることによって各種ノイズを相殺する相関二重サンプリング（ＣＤＳ：Correlated Double Sampling）が実施される。
【０１３３】
行駆動回路２０１は、蓄積期間直前の時刻Ｔ５１において、転送トランジスタ２５と第１のリセットトランジスタ２７をともにオン状態に制御する。この制御により、フォトダイオード２１と転送トランジスタ２５の間の蓄積ノード２２に蓄積された電荷が、第１の検出ノード２８を介して全て電源２３へ排出される。すなわち、ＰＤリセットが行われる。
【０１３４】
時刻Ｔ５１の後の時刻Ｔ５２において、行駆動回路２０１は、転送トランジスタ２５をオフ状態に制御する。時刻Ｔ５１から時刻Ｔ５２までの期間をＰＤリセット期間と記述する。この制御により、蓄積ノード２２は、浮遊状態となり、新たな電荷蓄積が開始される。
【０１３５】
さらに行駆動回路２０１は、ＰＤリセット後の時刻Ｔ５３において、第１のリセットトランジスタ２７をオフ状態に制御する。この制御により、第１の検出ノード２８の電位は、第１のリセットトランジスタ２７のゲートとのカップリングを受けて基準電位から幾分低下し、浮遊状態となる。
【０１３６】
さらに、この際に第１の検出ノード２８には、有意なｋＴＣノイズが発生する。第１の検出ノード２８として、一般に、浮遊拡散層（Floating）が用いられるため、この制御を以下、「ＦＤリセット」と称し、ＦＤリセットが行われる期間をＦＤリセット期間と記述する。
【０１３７】
第４の動作シーケンスにおいては、ＰＤリセットとＦＤリセットが連続して実施されている。これらの動作は全有効画素２００に対して同時に実施される。
【０１３８】
一方、負荷トランジスタ２９のゲートは、飽和動作領域内で固定されており、第１の増幅トランジスタ２６とソースフォロア回路を構成している。これによってリセット信号が反映された、各画素の第１段目の出力ノード２４の電位が確定される。
【０１３９】
次に画素２００に対して、行毎に順次リセット信号のサンプリングが実施される。リセット信号のサンプリングは、相関二重サンプリングにおいて１回目の読み出しとして扱われる。
【０１４０】
時刻Ｔ５４において、行選択が実施され、画素２００と出力信号線３６が選択トランジスタ３４で接続され、第２の検出ノード３２の電圧が、第２の増幅トランジスタ２２１により増幅され、出力信号線３６へ出力される。
【０１４１】
この際、第２の増幅トランジスタ２２１のソース線２５４は、電流／動作点調整用トランジスタ２５３を介してグランドに接続されており、ドレイン側が画素出力３６となっている。これらは差動増幅回路の一部を構成し、第２の増幅トランジスタ２２１の入力（第２の検出ノード３２からの信号）は、参照信号Ｒｅｆ２と比較され、画素出力３６の変位は逆相となって増幅される。
【０１４２】
ここで第２のリセットトランジスタ２２２がオンされると、画素出力３６は、第２の検出ノード３２にフィードバックされ、前述の如くボルテージフォロアが構成されて、画素出力３６は、参照信号Ｒｅｆ２と同電位に固定される。
【０１４３】
さらに第２のリセットトランジスタ２２２がオフにされることで、第２の検出ノード３２の電位は、第２のリセットトランジスタ２２２のゲートとのカップリングを受けて幾分低下し、浮遊状態となる。さらに、この際に第２の検出ノード３２には、有意なｋＴＣノイズが発生する。
【０１４４】
検出回路５２は、１回以上（例えば、４回）のサンプリングを行う。これらのサンプリングにおいて、出力信号線３６の電位の信号が、画素２００のリセット信号として検出回路５２によりデジタル信号Ｄｓ１１に変換される。デジタル信号Ｄｓ１１の値は、例えば検出回路５２内のレジスタに保存される。
【０１４５】
このリセット信号のサンプリングは、各行の画素２００に対して繰り返される。各検出回路５２には、それを共有する各画素のリセット信号Ｄｓ１１〜Ｄｓ１ｎが保存される。これらは、チップ全体としては画素総数に相当する記憶量になるので、チップ内またはチップ外にフィールドメモリを設置し、そこに保存されるようにしても良い。
【０１４６】
蓄積期間が終了する直前の時刻Ｔ５６において、行駆動回路２０１は、転送トランジスタ２５をオン状態に制御する。この制御により、蓄積ノード２２に蓄積された電荷が、第１の検出ノード２８へ転送される。この際に、第１の検出ノード２８のポテンシャルが十分に深ければ、蓄積ノード２２に蓄積されていた電子は、第１の検出ノード２８に全て転送され、蓄積ノード２２は完全空乏状態になる。
【０１４７】
時刻Ｔ５６からパルス期間が経過した時刻Ｔ５７（電荷転送期間経過後）において、行駆動回路２０１は、転送トランジスタ２５をオフ状態に制御する。この制御により、第１の検出ノード２８の電位は、転送トランジスタ２５の駆動前に比較して、蓄積電荷量の分だけ下降する（すなわち、ポテンシャルが浅くなる）。これらの動作は全有効画素２００に対して同時に実施され、これによって蓄積信号が反映された、各画素の第１段目の出力ノード２４の電位が確定される。
【０１４８】
次に蓄積信号のサンプリング期間において、画素２００に対して、行毎に順次蓄積信号のサンプリングが実施される。蓄積信号のサンプリングは、相関二重サンプリングにおいて２回目の読み出しとして扱われる。
【０１４９】
時刻Ｔ５８において、行選択が実施され、画素２００と出力信号線３６が選択トランジスタ３４で接続され、上記下降分の電圧が第２の増幅トランジスタ２２１により増幅されて出力信号線３６に出力される。
【０１５０】
ここで検出回路５２は、１回以上（例えば、４回）のサンプリングを行う。これらのサンプリングにおいて、出力信号線３６の電位の信号が、画素の蓄積信号として検出回路５２によりデジタル信号Ｄｓ２１に変換される。
【０１５１】
検出回路５２は、サンプリングした蓄積信号（すなわち、デジタル信号Ｄｓ２１）とリセット信号（すなわち、デジタル信号Ｄｓ１１）を比較して、その比較結果に基づいて入射光子量を判定する。２段目の出力におけるｋＴＣノイズは、デジタル信号Ｄｓ１１とデジタル信号Ｄｓ２１の差分を正味の蓄積信号とすることにより相殺される。このようにしてＣＤＳをとったデジタル検出結果は、順次出力回路５８に送られて、外部に出力される。
【０１５２】
この蓄積信号のサンプリングと出力は、各行の画素２００に対して繰り返される。
【０１５３】
ここで各画素２００の露光蓄積期間は、上述のＰＤリセット動作と蓄積信号の読み出し動作との間の期間であり、正確には転送トランジスタ２５がリセット後にオフしてから、読み出しでオフするまでの期間である。この露光蓄積期間にフォトダイオード２１に光子が入射し電荷が発生すると、発生した電荷量はリセット信号および蓄積信号の間の差分となり、上述の手順に従って検出回路５２により導出される。
【０１５４】
この露光蓄積時刻は全有効画素で同一であり、所謂グローバルリセットが実施されている。
【０１５５】
また、時刻Ｔ５１でのＦＤリセット時に、１段目のアンプ出力２４に発生したｋＴＣノイズ、フィードスルー、Ｖｔｈばらつき等を含むオフセットは、時刻Ｔ５４の２段目のアンプの入力リセットによって全てキャンセルされる。この際、２段目のアンプの出力に残るオフセットは、その入力である第２の検出ノード３２に生じたｋＴＣノイズとフィードスルーであり、それらは上記ＣＤＳ工程によってキャンセルされる。
【０１５６】
＜第５の動作シーケンス＞
第４の動作シーケンスにおいては、単位蓄積が完了して次の蓄積が開始される間、特に蓄積信号のサンプリング期間において、蓄積が実施されない不感期間が発生している。このような不感期間を除去し、例えば高速なサンプリングに対応した例を第５の動作シーケンスとして、図１０を参照して説明する。
【０１５７】
図１０に示した第５の動作シーケンスにおいては、図９に示した第４の動作シーケンスと比較し、時刻Ｔ５１で実行されたＰＤリセットの処理が省略され、読み出し時の時刻Ｔ６４の電荷転送に伴うＰＤの電荷排出と兼用されている点が異なる。
【０１５８】
すなわち、時刻Ｔ６１において、第１のリセットトランジスタ２７がオンにされ、時刻Ｔ６２までＦＤリセット期間とされ、ＦＤリセット処理が実行される。時刻Ｔ６１において、転送トランジスタ２５はオンにされず、ＰＤリセット処理は実行されない。
【０１５９】
時刻Ｔ６３以降、第４の動作シーケンスと同じく、リセット信号のサンプリング期間が設けられ、リセット信号のサンプリングが実行される。
【０１６０】
ＦＤリセット期間も含めて蓄積期間とされ、フォトダイオード２１への電荷の蓄積が実行されている。
【０１６１】
その後、時刻Ｔ６５において、転送トランジスタ２５がオンにされ、時刻Ｔ６６においてオフにされる。時刻Ｔ６５から時刻Ｔ６６は、電荷転送期間とされ、フォトダイオード２１に蓄積された電荷が、第１の検出ノード２８に転送される期間とされる。この電荷転送期間は、ＰＤリセット期間にも該当し、フォトダイオード２１に対するリセット処理も実行される。
【０１６２】
すなわち時刻Ｔ６５で、転送トランジスタ２５にパルスが印加されて、蓄積信号の第１の検出ノード２８への転送が実施されるが、この電荷排出はＰＤリセットと兼用される。このとき、フォトダイオード２１の次の蓄積期間は、電荷転送期間の終了直後から開始される。これにより、画素２００に入射した光子が検知されない不感期間を、ほぼゼロにすることができる。
【０１６３】
＜第６の動作シーケンス＞
第４、第５の動作シーケンスにおいては、ＣＤＳをとるために、リセット出力と蓄積出力について２回のサンプリングが実施された。
【０１６４】
本技術によれば、リセット出力は差動増幅回路２７１（図７）（差動増幅回路２７１を構成する電流ミラー回路２５１などを含む回路）によって、その参照信号Ｒｅｆ２と略同等のレベルに調整されており、それに付加されるオフセット成分は、前述の如く非常に小さいものとすることができる。従って、高精度を要求しない用途などでは、リセット出力のサンプリングの一部または全てを省略したとしても、ある程度の精度を満たした動作を行うことができる。
【０１６５】
そこで、サンプリングの一部または全てを省略する動作シーケンスを、第６の動作シーケンとして、図１１を参照して説明する。
【０１６６】
図１１に示した第６の動作シーケンスの時刻Ｔ７１から時刻Ｔ７３において、第４の動作シーケンスと同じく、ＰＤリセットとＦＤリセットが実施される。その後、第４、第５の動作シーケンスにおいては、リセット信号のサンプリングが行われるが、第６の動作シーケンスにおいては、リセット信号のサンプリングは行われない。
【０１６７】
すなわち第６の動作シーケンスにおいては、時刻Ｔ７４において、行選択と２段目の第２の増幅トランジスタ２２１への入力リセットのみが実施され、信号のサンプリングは実施されない。
【０１６８】
あるいは１〜数行のみがサンプリングされて、その出力平均値がリセット信号とみなされる処理が実行されるようにしても良い。即ちリセット信号の出力は、全て均一として扱う処理が実行されるようにしても良い。
【０１６９】
そして全有効画素に対しては、時刻Ｔ７８の蓄積信号のサンプリングが実施される。
【０１７０】
このような第６の動作シーケンスの場合、ＡＤ変換の回数を約半分に削減できるので、フレームレートの高速化や低消費電力化に寄与する上、リセット信号を記憶するためのレジスタやメモリが不要となる利点がある。
【０１７１】
なお、第６の動作シーケンスに対して、第５の動作シーケンスを適用し、電荷転送とＰＤリセットを兼用したシーケンスとすることも可能である。
【０１７２】
＜積層構造の画素＞
このように画素を２段のアンプを有する構成にし、かつ２段目のアンプ入力に画素の出力信号に基づいた負帰還を施すことで、各画素の出力信号におけるオフセット量を大幅に低減させることができる。
【０１７３】
ところで２段目のオフセットキャパシタ（例えば、図１に示したカップリングキャパシタ３１）やアンプ素子（例えば、図１に示した第２の増幅トランジスタ３３など）は、画素の占有面積を増加させる一因となってしまう可能性がある。そこで画素を、積層構造にして、異なるシリコン層に形成し、画素自体のサイズが大きくならないような構成としても良い。
【０１７４】
図１２に積層構造としたときの画素構造の一例を示す。図１２では、図１に示した画素１００を積層構造とした場合を例に挙げて説明するが、図６に示した画素２００を積層構造にする場合も、基本的に同様に構成することができる。
【０１７５】
画素１００は、第１のシリコン層３１１と第２のシリコン層３１２の積層により形成されている。第１のシリコン層３１１には、フォトダイオード２１を含む１段目のアンプ出力までの回路が形成されている。
【０１７６】
すなわち、第１のシリコン層３１１には、フォトダイオード２１、蓄積ノード２２、電源２３、出力ノード２４、転送トランジスタ２５、第１の増幅トランジスタ２６、第１のリセットトランジスタ２７、第１の検出ノード２８、負荷トランジスタ２９が形成されている。
【０１７７】
フォトダイオード２１が裏面照射型である場合、図中上側が受光面となり、メタル配線は下方（第２のシリコン層３１２と積層される側）に形成される。
【０１７８】
第２のシリコン層３１２には、１段目のアンプ出力を処理する２段目のアンプ回路が形成されている。第２のシリコン層３１２には、カップリングキャパシタ３１を含む２段目のアンプ出力までの回路が形成されている。
【０１７９】
すなわち、第２のシリコン層３１２には、カップリングキャパシタ３１、第２の検出ノード（入力ノード）３２、第２の増幅トランジスタ３３、選択トランジスタ３４、第２のリセットトランジスタ３５、出力信号線３６の一部、および帰還信号線５４の一部が形成されている。
【０１８０】
第２のシリコン層３１２のメタル配線は、第１のシリコン層３１１のメタル配線と対面するように図中の第２のシリコン層３１２の上方に形成される。第１のシリコン層３１１に形成された回路と、第２のシリコン層３１２に形成された回路は、出力ノード２４を介して接続されている。
【０１８１】
第１のシリコン層３１１に形成された回路と、第２のシリコン層３１２に形成された回路は、例えば、Ｃｕパッド同士の対面接着を用いて接続される。
【０１８２】
第１のシリコン層３１１と第２のシリコン層３１２の接続部には、ビアやＣｕパッド等を介して比較的大きな寄生容量が生じるが、第１のシリコン層３１１で１段目の増幅まで実施しておく本構成によれば、高い変換効率と高速な動作を維持することができ、かつ回路規模の配分の点でも適切である。
【０１８３】
より詳しくは、少なくともフォトダイオード２１から第１の増幅トランジスタ２６までは第１のシリコン層３１１に、カップリングキャパシタ３１から第２の増幅トランジスタ３３までは第２のシリコン層３１２に形成されることにより、高い変換効率と高速な動作を維持することができる積層構造とすることができる。
【０１８４】
このようなシリコンの積層構成により、従来の画素と同等の占有面積で２段目回路を搭載することができ、これによって画素出力のオフセットを大幅に低減し、高速なグローバルリセットの実施が可能な画素を提供することが可能となる。
【０１８５】
なお、図１２には図示していないが、第２のシリコン層３１２の下層に、行駆動回路５０、負荷トランジスタ５１、検出回路５２、差動型増幅回路５３、帰還信号線５４を含む回路が形成された層をさらに積層した構成としても良い。
【０１８６】
なお、上記した実施の形態において、画素１００（図１）における参照信号Ｒｅｆ１や、画素２００（図６）における参照信号Ｒｅｆ２は、固定値であっても良いし、可変値（何らかの条件により設定される値）であっても良い。
【０１８７】
また、増幅トランジスタやＦＤ（浮遊拡散層）などを複数のフォトダイオードで共有する共有画素構造に対しても、上記した本技術を適用することができる。
【０１８８】
本技術によれば、例えば、ＣＭＯＳイメージセンサの画素毎の出力信号において、ｋＴＣノイズを低減し、かつ素子特性のばらつきに伴う出力オフセットをほぼ消滅させることができる。またこれにより、例えば読み出しシーケンスにおいてオフセットキャンセルそのものを不要とすることができる。
【０１８９】
また本技術をグローバルシャッタに適用した場合には、オフセットキャンセルを省略することで、アクセスを高速化しつつｋＴＣノイズの多重化を防止でき、かつそのレベルも低減することができる。
【０１９０】
さらに、高精度を必要とするグローバルシャッタ用途において、前述のようなｋＴＣキャンセルを実施する場合でも、キャンセルすべきオフセット量を最小化することができ、ＡＤ変換の所要時間を大幅に短縮することができる。
【０１９１】
＜体内情報取得システムへの応用例＞
【０１９２】
図１３は、本開示に係る技術（本技術）が適用され得る、カプセル型内視鏡を用いた患者の体内情報取得システムの概略的な構成の一例を示すブロック図である。
【０１９３】
体内情報取得システム10001は、カプセル型内視鏡10100と、外部制御装置10200とから構成される。
【０１９４】
カプセル型内視鏡10100は、検査時に、患者によって飲み込まれる。カプセル型内視鏡10100は、撮像機能及び無線通信機能を有し、患者から自然排出されるまでの間、胃や腸等の臓器の内部を蠕動運動等によって移動しつつ、当該臓器の内部の画像（以下、体内画像ともいう）を所定の間隔で順次撮像し、その体内画像についての情報を体外の外部制御装置10200に順次無線送信する。
【０１９５】
外部制御装置10200は、体内情報取得システム10001の動作を統括的に制御する。また、外部制御装置10200は、カプセル型内視鏡10100から送信されてくる体内画像についての情報を受信し、受信した体内画像についての情報に基づいて、表示装置（図示せず）に当該体内画像を表示するための画像データを生成する。
【０１９６】
体内情報取得システム10001では、このようにして、カプセル型内視鏡10100が飲み込まれてから排出されるまでの間、患者の体内の様子を撮像した体内画像を随時得ることができる。
【０１９７】
カプセル型内視鏡10100と外部制御装置10200の構成及び機能についてより詳細に説明する。
【０１９８】
カプセル型内視鏡10100は、カプセル型の筐体10101を有し、その筐体10101内には、光源部10111、撮像部10112、画像処理部10113、無線通信部10114、給電部10115、電源部10116、及び制御部10117が収納されている。
【０１９９】
光源部10111は、例えばLED(light emitting diode)等の光源から構成され、撮像部10112の撮像視野に対して光を照射する。
【０２００】
撮像部10112は、撮像素子、及び当該撮像素子の前段に設けられる複数のレンズからなる光学系から構成される。観察対象である体組織に照射された光の反射光（以下、観察光という）は、当該光学系によって集光され、当該撮像素子に入射する。撮像部10112では、撮像素子において、そこに入射した観察光が光電変換され、その観察光に対応する画像信号が生成される。撮像部10112によって生成された画像信号は、画像処理部10113に提供される。
【０２０１】
画像処理部10113は、CPU(Central Processing Unit)やGPU(Graphics Processing Unit)等のプロセッサによって構成され、撮像部10112によって生成された画像信号に対して各種の信号処理を行う。画像処理部10113は、信号処理を施した画像信号を、RAWデータとして無線通信部10114に提供する。
【０２０２】
無線通信部10114は、画像処理部10113によって信号処理が施された画像信号に対して変調処理等の所定の処理を行い、その画像信号を、アンテナ10114Aを介して外部制御装置10200に送信する。また、無線通信部10114は、外部制御装置10200から、カプセル型内視鏡10100の駆動制御に関する制御信号を、アンテナ10114Aを介して受信する。無線通信部10114は、外部制御装置10200から受信した制御信号を制御部10117に提供する。
【０２０３】
給電部10115は、受電用のアンテナコイル、当該アンテナコイルに発生した電流から電力を再生する電力再生回路、及び昇圧回路等から構成される。給電部10115では、いわゆる非接触充電の原理を用いて電力が生成される。
【０２０４】
電源部10116は、二次電池によって構成され、給電部10115によって生成された電力を蓄電する。図１３では、図面が煩雑になることを避けるために、電源部10116からの電力の供給先を示す矢印等の図示を省略しているが、電源部10116に蓄電された電力は、光源部10111、撮像部10112、画像処理部10113、無線通信部10114、及び制御部10117に供給され、これらの駆動に用いられ得る。
【０２０５】
制御部10117は、CPU等のプロセッサによって構成され、光源部10111、撮像部10112、画像処理部10113、無線通信部10114、及び、給電部10115の駆動を、外部制御装置10200から送信される制御信号に従って適宜制御する。
【０２０６】
外部制御装置10200は、CPU，GPU等のプロセッサ、又はプロセッサとメモリ等の記憶素子が混載されたマイクロコンピュータ若しくは制御基板等で構成される。外部制御装置10200は、カプセル型内視鏡10100の制御部10117に対して制御信号を、アンテナ10200Aを介して送信することにより、カプセル型内視鏡10100の動作を制御する。カプセル型内視鏡10100では、例えば、外部制御装置10200からの制御信号により、光源部10111における観察対象に対する光の照射条件が変更され得る。また、外部制御装置10200からの制御信号により、撮像条件（例えば、撮像部10112におけるフレームレート、露出値等）が変更され得る。また、外部制御装置10200からの制御信号により、画像処理部10113における処理の内容や、無線通信部10114が画像信号を送信する条件（例えば、送信間隔、送信画像数等）が変更されてもよい。
【０２０７】
また、外部制御装置10200は、カプセル型内視鏡10100から送信される画像信号に対して、各種の画像処理を施し、撮像された体内画像を表示装置に表示するための画像データを生成する。当該画像処理としては、例えば現像処理（デモザイク処理）、高画質化処理（帯域強調処理、超解像処理、NR(Noise reduction)処理及び／又は手ブレ補正処理等）、並びに／又は拡大処理（電子ズーム処理）等、各種の信号処理を行うことができる。外部制御装置10200は、表示装置の駆動を制御して、生成した画像データに基づいて撮像された体内画像を表示させる。あるいは、外部制御装置10200は、生成した画像データを記録装置（図示せず）に記録させたり、印刷装置（図示せず）に印刷出力させてもよい。
【０２０８】
以上、本開示に係る技術が適用され得る体内情報取得システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、撮像部10112に適用され得る。具体的には、図１に示した画素１００や、図6に示した画素２００は、撮像部10112を構成する撮像素子に適用できる。また、図１２に示した積層構造の画素１００を、撮像部10112に適用することで、カプセル型内視鏡10100の大きさを変えずに本技術を適用した撮像素子を搭載することが可能となる。本技術を適用することで、よりノイズの少ない鮮明な術部画像を得ることができる。
【０２０９】
＜内視鏡手術システムへの応用例＞
【０２１０】
図１４は、本開示に係る技術（本技術）が適用され得る内視鏡手術システムの概略的な構成の一例を示す図である。
【０２１１】
図１４では、術者（医師）11131が、内視鏡手術システム11000を用いて、患者ベッド11133上の患者11132に手術を行っている様子が図示されている。図示するように、内視鏡手術システム11000は、内視鏡11100と、気腹チューブ11111やエネルギー処置具11112等の、その他の術具11110と、内視鏡11100を支持する支持アーム装置11120と、内視鏡下手術のための各種の装置が搭載されたカート11200と、から構成される。
【０２１２】
内視鏡11100は、先端から所定の長さの領域が患者11132の体腔内に挿入される鏡筒11101と、鏡筒11101の基端に接続されるカメラヘッド11102と、から構成される。図示する例では、硬性の鏡筒11101を有するいわゆる硬性鏡として構成される内視鏡11100を図示しているが、内視鏡11100は、軟性の鏡筒を有するいわゆる軟性鏡として構成されてもよい。
【０２１３】
鏡筒11101の先端には、対物レンズが嵌め込まれた開口部が設けられている。内視鏡11100には光源装置11203が接続されており、当該光源装置11203によって生成された光が、鏡筒11101の内部に延設されるライトガイドによって当該鏡筒の先端まで導光され、対物レンズを介して患者11132の体腔内の観察対象に向かって照射される。なお、内視鏡11100は、直視鏡であってもよいし、斜視鏡又は側視鏡であってもよい。
【０２１４】
カメラヘッド11102の内部には光学系及び撮像素子が設けられており、観察対象からの反射光（観察光）は当該光学系によって当該撮像素子に集光される。当該撮像素子によって観察光が光電変換され、観察光に対応する電気信号、すなわち観察像に対応する画像信号が生成される。当該画像信号は、RAWデータとしてカメラコントロールユニット(CCU: Camera Control Unit)11201に送信される。
【０２１５】
CCU11201は、CPU(Central Processing Unit)やGPU(Graphics Processing Unit)等によって構成され、内視鏡11100及び表示装置11202の動作を統括的に制御する。さらに、CCU11201は、カメラヘッド11102から画像信号を受け取り、その画像信号に対して、例えば現像処理（デモザイク処理）等の、当該画像信号に基づく画像を表示するための各種の画像処理を施す。
【０２１６】
表示装置11202は、CCU11201からの制御により、当該CCU11201によって画像処理が施された画像信号に基づく画像を表示する。
【０２１７】
光源装置11203は、例えばLED(light emitting diode)等の光源から構成され、術部等を撮影する際の照射光を内視鏡11100に供給する。
【０２１８】
入力装置11204は、内視鏡手術システム11000に対する入力インタフェースである。ユーザは、入力装置11204を介して、内視鏡手術システム11000に対して各種の情報の入力や指示入力を行うことができる。例えば、ユーザは、内視鏡11100による撮像条件（照射光の種類、倍率及び焦点距離等）を変更する旨の指示等を入力する。
【０２１９】
処置具制御装置11205は、組織の焼灼、切開又は血管の封止等のためのエネルギー処置具11112の駆動を制御する。気腹装置11206は、内視鏡11100による視野の確保及び術者の作業空間の確保の目的で、患者11132の体腔を膨らめるために、気腹チューブ11111を介して当該体腔内にガスを送り込む。レコーダ11207は、手術に関する各種の情報を記録可能な装置である。プリンタ11208は、手術に関する各種の情報を、テキスト、画像又はグラフ等各種の形式で印刷可能な装置である。
【０２２０】
なお、内視鏡11100に術部を撮影する際の照射光を供給する光源装置11203は、例えばLED、レーザ光源又はこれらの組み合わせによって構成される白色光源から構成することができる。RGBレーザ光源の組み合わせにより白色光源が構成される場合には、各色（各波長）の出力強度及び出力タイミングを高精度に制御することができるため、光源装置11203において撮像画像のホワイトバランスの調整を行うことができる。また、この場合には、RGBレーザ光源それぞれからのレーザ光を時分割で観察対象に照射し、その照射タイミングに同期してカメラヘッド11102の撮像素子の駆動を制御することにより、RGBそれぞれに対応した画像を時分割で撮像することも可能である。当該方法によれば、当該撮像素子にカラーフィルタを設けなくても、カラー画像を得ることができる。
【０２２１】
また、光源装置11203は、出力する光の強度を所定の時間ごとに変更するようにその駆動が制御されてもよい。その光の強度の変更のタイミングに同期してカメラヘッド11102の撮像素子の駆動を制御して時分割で画像を取得し、その画像を合成することにより、いわゆる黒つぶれ及び白とびのない高ダイナミックレンジの画像を生成することができる。
【０２２２】
また、光源装置11203は、特殊光観察に対応した所定の波長帯域の光を供給可能に構成されてもよい。特殊光観察では、例えば、体組織における光の吸収の波長依存性を利用して、通常の観察時における照射光（すなわち、白色光）に比べて狭帯域の光を照射することにより、粘膜表層の血管等の所定の組織を高コントラストで撮影する、いわゆる狭帯域光観察(Narrow Band Imaging)が行われる。あるいは、特殊光観察では、励起光を照射することにより発生する蛍光により画像を得る蛍光観察が行われてもよい。蛍光観察では、体組織に励起光を照射し当該体組織からの蛍光を観察すること（自家蛍光観察）、又はインドシアニングリーン（ICG）等の試薬を体組織に局注するとともに当該体組織にその試薬の蛍光波長に対応した励起光を照射し蛍光像を得ること等を行うことができる。光源装置11203は、このような特殊光観察に対応した狭帯域光及び／又は励起光を供給可能に構成され得る。
【０２２３】
図１５は、図１４に示すカメラヘッド11102及びCCU11201の機能構成の一例を示すブロック図である。
【０２２４】
カメラヘッド11102は、レンズユニット11401と、撮像部11402と、駆動部11403と、通信部11404と、カメラヘッド制御部11405と、を有する。CCU11201は、通信部11411と、画像処理部11412と、制御部11413と、を有する。カメラヘッド11102とCCU11201とは、伝送ケーブル11400によって互いに通信可能に接続されている。
【０２２５】
レンズユニット11401は、鏡筒11101との接続部に設けられる光学系である。鏡筒11101の先端から取り込まれた観察光は、カメラヘッド11102まで導光され、当該レンズユニット11401に入射する。レンズユニット11401は、ズームレンズ及びフォーカスレンズを含む複数のレンズが組み合わされて構成される。
【０２２６】
撮像部11402を構成する撮像素子は、１つ（いわゆる単板式）であってもよいし、複数（いわゆる多板式）であってもよい。撮像部11402が多板式で構成される場合には、例えば各撮像素子によってRGBそれぞれに対応する画像信号が生成され、それらが合成されることによりカラー画像が得られてもよい。あるいは、撮像部11402は、3D(dimensional)表示に対応する右目用及び左目用の画像信号をそれぞれ取得するための１対の撮像素子を有するように構成されてもよい。3D表示が行われることにより、術者11131は術部における生体組織の奥行きをより正確に把握することが可能になる。なお、撮像部11402が多板式で構成される場合には、各撮像素子に対応して、レンズユニット11401も複数系統設けられ得る。
【０２２７】
また、撮像部11402は、必ずしもカメラヘッド11102に設けられなくてもよい。例えば、撮像部11402は、鏡筒11101の内部に、対物レンズの直後に設けられてもよい。
【０２２８】
駆動部11403は、アクチュエータによって構成され、カメラヘッド制御部11405からの制御により、レンズユニット11401のズームレンズ及びフォーカスレンズを光軸に沿って所定の距離だけ移動させる。これにより、撮像部11402による撮像画像の倍率及び焦点が適宜調整され得る。
【０２２９】
通信部11404は、CCU11201との間で各種の情報を送受信するための通信装置によって構成される。通信部11404は、撮像部11402から得た画像信号をRAWデータとして伝送ケーブル11400を介してCCU11201に送信する。
【０２３０】
また、通信部11404は、CCU11201から、カメラヘッド11102の駆動を制御するための制御信号を受信し、カメラヘッド制御部11405に供給する。当該制御信号には、例えば、撮像画像のフレームレートを指定する旨の情報、撮像時の露出値を指定する旨の情報、並びに／又は撮像画像の倍率及び焦点を指定する旨の情報等、撮像条件に関する情報が含まれる。
【０２３１】
なお、上記のフレームレートや露出値、倍率、焦点等の撮像条件は、ユーザによって適宜指定されてもよいし、取得された画像信号に基づいてCCU11201の制御部11413によって自動的に設定されてもよい。後者の場合には、いわゆるAE(Auto Exposure)機能、AF(Auto Focus)機能及びAWB(Auto White Balance)機能が内視鏡11100に搭載されていることになる。
【０２３２】
カメラヘッド制御部11405は、通信部11404を介して受信したCCU11201からの制御信号に基づいて、カメラヘッド11102の駆動を制御する。
【０２３３】
通信部11411は、カメラヘッド11102との間で各種の情報を送受信するための通信装置によって構成される。通信部11411は、カメラヘッド11102から、伝送ケーブル11400を介して送信される画像信号を受信する。
【０２３４】
また、通信部11411は、カメラヘッド11102に対して、カメラヘッド11102の駆動を制御するための制御信号を送信する。画像信号や制御信号は、電気通信や光通信等によって送信することができる。
【０２３５】
画像処理部11412は、カメラヘッド11102から送信されたRAWデータである画像信号に対して各種の画像処理を施す。
【０２３６】
制御部11413は、内視鏡11100による術部等の撮像、及び、術部等の撮像により得られる撮像画像の表示に関する各種の制御を行う。例えば、制御部11413は、カメラヘッド11102の駆動を制御するための制御信号を生成する。
【０２３７】
また、制御部11413は、画像処理部11412によって画像処理が施された画像信号に基づいて、術部等が映った撮像画像を表示装置11202に表示させる。この際、制御部11413は、各種の画像認識技術を用いて撮像画像内における各種の物体を認識してもよい。例えば、制御部11413は、撮像画像に含まれる物体のエッジの形状や色等を検出することにより、鉗子等の術具、特定の生体部位、出血、エネルギー処置具11112の使用時のミスト等を認識することができる。制御部11413は、表示装置11202に撮像画像を表示させる際に、その認識結果を用いて、各種の手術支援情報を当該術部の画像に重畳表示させてもよい。手術支援情報が重畳表示され、術者11131に提示されることにより、術者11131の負担を軽減することや、術者11131が確実に手術を進めることが可能になる。
【０２３８】
カメラヘッド11102及びCCU11201を接続する伝送ケーブル11400は、電気信号の通信に対応した電気信号ケーブル、光通信に対応した光ファイバ、又はこれらの複合ケーブルである。
【０２３９】
ここで、図示する例では、伝送ケーブル11400を用いて有線で通信が行われていたが、カメラヘッド11102とCCU11201との間の通信は無線で行われてもよい。
【０２４０】
以上、本開示に係る技術が適用され得る内視鏡手術システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、撮像部11402に適用され得る。具体的には、図１に示した画素１００や、図６に示した画素２００は、撮像部11402を構成する撮像素子に適用できる。本技術を適用することで、よりノイズの少ない鮮明な術部画像を得ることができる。
【０２４１】
なお、ここでは、一例として内視鏡手術システムについて説明したが、本開示に係る技術は、その他、例えば、顕微鏡手術システム等に適用されてもよい。
【０２４２】
＜移動体への応用例＞
【０２４３】
本開示に係る技術（本技術）は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
【０２４４】
図１６は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
【０２４５】
車両制御システム12000は、通信ネットワーク12001を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図１６に示した例では、車両制御システム12000は、駆動系制御ユニット12010、ボディ系制御ユニット12020、車外情報検出ユニット12030、車内情報検出ユニット12040、及び統合制御ユニット12050を備える。また、統合制御ユニット12050の機能構成として、マイクロコンピュータ12051、音声画像出力部12052、及び車載ネットワークI/F(interface)12053が図示されている。
【０２４６】
駆動系制御ユニット12010は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット12010は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。
【０２４７】
ボディ系制御ユニット12020は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット12020は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット12020には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット12020は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
【０２４８】
車外情報検出ユニット12030は、車両制御システム12000を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット12030には、撮像部12031が接続される。車外情報検出ユニット12030は、撮像部12031に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット12030は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。
【０２４９】
撮像部12031は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部12031は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部12031が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。
【０２５０】
車内情報検出ユニット12040は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット12040には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部12041が接続される。運転者状態検出部12041は、例えば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット12040は、運転者状態検出部12041から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。
【０２５１】
マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット12010に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むADAS(Advanced Driver Assistance System)の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
【０２５２】
また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
【０２５３】
また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット12020に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。
【０２５４】
音声画像出力部12052は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図１６の例では、出力装置として、オーディオスピーカ12061、表示部12062及びインストルメントパネル12063が例示されている。表示部12062は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。
【０２５５】
図１７は、撮像部12031の設置位置の例を示す図である。
【０２５６】
図１７では、撮像部12031として、撮像部12101，12102，12103，12104，12105を有する。
【０２５７】
撮像部12101，12102，12103，12104，12105は、例えば、車両12100のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部12101及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として車両12100の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部12102，12103は、主として車両12100の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部12104は、主として車両12100の後方の画像を取得する。車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
【０２５８】
なお、図１７には、撮像部12101ないし12104の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲12111は、フロントノーズに設けられた撮像部12101の撮像範囲を示し、撮像範囲12112，12113は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部12102，12103の撮像範囲を示し、撮像範囲12114は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部12104の撮像範囲を示す。例えば、撮像部12101ないし12104で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両12100を上方から見た俯瞰画像が得られる。
【０２５９】
撮像部12101ないし12104の少なくとも１つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。例えば、撮像部12101ないし12104の少なくとも１つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。
【０２６０】
例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を基に、撮像範囲12111ないし12114内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化（車両12100に対する相対速度）を求めることにより、特に車両12100の進行路上にある最も近い立体物で、車両12100と略同じ方向に所定の速度（例えば、0km/h以上）で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ12051は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御（追従停止制御も含む）や自動加速制御（追従発進制御も含む）等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
【０２６１】
例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、２輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両12100の周辺の障害物を、車両12100のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ12051は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ12061や表示部12062を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット12010を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。
【０２６２】
撮像部12101ないし12104の少なくとも１つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、例えば赤外線カメラとしての撮像部12101ないし12104の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ12051が、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部12052は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部12062を制御する。また、音声画像出力部12052は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部12062を制御してもよい。
【０２６３】
以上、本開示に係る技術が適用され得る車両制御システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、撮像部12031に適用され得る。具体的には、図１に示した画素１００や、図６に示した画素２００は、撮像部12031を構成する撮像素子に適用できる。本技術を適用することで、よりノイズの少ない鮮明な術部画像を得ることができる。
【０２６４】
本明細書において、システムとは、複数の装置により構成される装置全体を表すものである。
【０２６５】
なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものでは無く、また他の効果があってもよい。
【０２６６】
なお、本技術の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本技術の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【０２６７】
なお、本技術は以下のような構成も取ることができる。
（１）
光電変換素子と、
前記光電変換素子からの信号を増幅する第１の増幅素子と、
前記第１の増幅素子からの出力を増幅する第２の増幅素子と、
前記第１の増幅素子と前記第２の増幅素子との間に設けられたオフセット素子と、
前記第１の増幅素子をリセットする第１のリセット素子と、
前記第２の増幅素子をリセットする第２のリセット素子と
を備える撮像素子。
（２）
前記オフセット素子は、キャパシタである
前記（１）に記載の撮像素子。
（３）
前記第２の増幅素子からの出力のフィードバックループを介して、前記オフセット素子に、電荷が蓄積され、オフセットバイアスが生成される
前記（１）または（２）に記載の撮像素子。
（４）
前記第２の増幅素子からの出力信号と参照信号との差分の逆相が、前記第２のリセット素子に供給される
前記（１）乃至（３）のいずれかに記載の撮像素子。
（５）
前記第２の増幅素子からの出力信号と参照信号が、差動アンプに入力され、
前記差動アンプからの出力が、前記第２のリセット素子に供給される
前記（１）乃至（３）のいずれかに記載の撮像素子。
（６）
前記差動アンプは、前記第２のリセット素子と電流ミラー回路を含む構成とされている
前記（５）に記載の撮像素子。
（７）
前記第２の増幅素子の入力寄生容量は、前記第１の増幅素子の入力寄生容量よりも大きい
前記（１）乃至（６）のいずれかに記載の撮像素子。
（８）
前記第１の増幅素子が、前記第１のリセット素子によりリセットされた後、前記第２の増幅素子が、前記第２のリセット素子によりリセットされる
前記（１）乃至（７）のいずれかに記載の撮像素子。
（９）
前記光電変換素子の電荷転送とリセットは、同一の期間に行われる
前記（１）乃至（７）のいずれかに記載の撮像素子。
（１０）
前記第２の増幅素子からの信号を検出する検出部をさらに備え、
前記検出部は、相関二重サンプリングの処理を含み、リセット信号と蓄積信号のサンプリングをそれぞれ行う
前記（１）乃至（７）のいずれかに記載の撮像素子。
（１１）
前記検出部は、所定の行を処理対象とし、前記所定の行からのリセット信号のサンプリングを行い、
前記所定の行を含む全行からの蓄積信号のサンプリングを行う
前記（１０）に記載の撮像素子。
（１２）
前記第２の増幅素子からの信号を検出する検出部をさらに備え、
前記検出部は、相関二重サンプリングの処理を含み、リセット信号のサンプリングは行わず、蓄積信号のサンプリングのみを行う
前記（１）乃至（７）のいずれかに記載の撮像素子。
（１３）
前記光電変換素子、前記第１の増幅素子、および前記第１のリセット素子は、第１の層に形成され、
前記オフセット素子、前記第２の増幅素子、および前記第２のリセット素子は、第２の層に形成され、
前記第１の層と前記第２の層は、積層されている
前記（１）乃至（１２）のいずれかに記載の撮像素子。
（１４）
前記第２の増幅素子からの信号を検出する検出部は、第３の層に形成され、
前記第１の層、前記第２の層、および前記第３の層は、積層されている
前記（１３）に記載の撮像素子。
【符号の説明】
【０２６８】
２１  フォトダイオード，  ２２  カソード（蓄積ノード），  ２３  電源，  ２４  出力ノード，  ２５  転送トランジスタ，  ２６  第１の増幅トランジスタ，  ２７  第１のリセットトランジスタ，  ２８  第１の検出ノード，  ２９  負荷トランジスタ，  ３１  カップリングキャパシタ，  ３２  第２の検出ノード（入力ノード），  ３３  第２の増幅トランジスタ，  ３４  選択トランジスタ，  ３５  第２のリセットトランジスタ，  ３６  出力信号線，  ５０  行駆動回路，  ５１  負荷トランジスタ，  ５２  検出回路，  ５３  差動型増幅，  ５４  帰還信号線，  １００  画素，  ２００  画素，  ２２１  第２の増幅トランジスタ，  ２２２  第２のリセットトランジスタ，  ２２３  キャパシタ，  ２５１  電流ミラー回路，  ２５２  参照電圧入力増幅トランジスタ，  ２５３  電流／動作点調整用トランジスタ，  ２５４  ソース線，  ２０１  行駆動回路，  ３１１  第１のシリコン層，  ３１２  第２のシリコン層
【図１】
2018021053.tif 000003
【図２】
2018021053.tif 000004
【図３】
2018021053.tif 000005
【図４】
2018021053.tif 000006
【図５】
2018021053.tif 000007
【図６】
2018021053.tif 000008
【図７】
2018021053.tif 000009
【図８】
2018021053.tif 000010
【図９】
2018021053.tif 000011
【図１０】
2018021053.tif 000012
【図１１】
2018021053.tif 000013
【図１２】
2018021053.tif 000014
【図１３】
2018021053.tif 000015
【図１４】
2018021053.tif 000016
【図１５】
2018021053.tif 000017
【図１６】
2018021053.tif 000018
【図１７】
2018021053.tif 000019
【国際調査報告】
2018021053.tif 000020
2018021053.tif 000021
2018021053.tif 000022