(57)【要約】本発明の光ファイバスキャナ（１０）は、光ファイバ（１）と、光ファイバ（１）に固定された圧電素子（３）と、圧電素子（３）の接続面（３ａ）に先端が接続された駆動線（６）と、光ファイバ（１）を片持ち梁状に保持するホルダ（４）と、ホルダ（４）に設けられ駆動線（６）をホルダ（４）の基端側から先端側へ案内する配線通路（５）とを備え、配線通路（５）の先端が、光ファイバ（１）の径方向において接続面（３ａ）と略同一か、または接続面（３ａ）よりもわずかに外側に位置する。
2017203581.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端から光を射出する光ファイバと、
該光ファイバに固定され駆動電圧の印加によって前記光ファイバの長手方向に伸縮する圧電素子と、
前記光ファイバに固定されている面とは反対側の面である前記圧電素子の接続面に先端が接続され前記圧電素子に前記駆動電圧を供給する駆動線と、
前記圧電素子よりも基端側において前記光ファイバを片持ち梁状に保持するホルダと、
該ホルダに前記光ファイバの長手方向に沿って設けられ前記駆動線を前記ホルダの基端側から先端側へ前記長手方向に沿って案内する配線通路とを備え、
該配線通路の先端が、前記光ファイバの径方向において、前記圧電素子の前記接続面と略同一か、または前記接続面よりもわずかに外側の位置に位置する光ファイバスキャナ。
【請求項２】
前記配線通路が、
前記ホルダの基端から該ホルダの長手方向の途中位置まで前記光ファイバの長手方向に平行に直線状に延びる直線部分と、
該直線部分の先端から前記ホルダの先端まで前記光ファイバの長手方向に対して傾斜して延びる傾斜部分とを有し、
該傾斜部分は該傾斜部分の先端が基端よりも前記径方向において内側に位置する方向に傾斜し、かつ、前記傾斜部分の先端における該傾斜部分の前記径方向の内側端が前記圧電素子の前記接続面よりも前記径方向において外側に位置する請求項１に記載の光ファイバスキャナ。
【請求項３】
前記配線通路が、前記ホルダの基端から先端まで前記光ファイバの長手方向に平行に直線状に延び、
前記接続面および前記配線通路の先端における該配線通路の前記径方向の内側端が、前記径方向において略同一の位置に位置する請求項１に記載の光ファイバスキャナ。
【請求項４】
前記圧電素子の前記接続面上に設けられ、前記駆動線の先端が突き当てられる突起部を備える請求項１から請求項３のいずれかに記載の光ファイバスキャナ。
【請求項５】
前記駆動線が、フレキシブル配線板である請求項１から請求項４のいずれかに記載の光ファイバスキャナ。
【請求項６】
前記駆動線の先端が、導電性樹脂または半田材料によって前記圧電素子の接続面に接合されている請求項１から請求項５のいずれかに記載の光ファイバスキャナ。
【請求項７】
前記配線通路が、前記駆動線を収容する筒状のガイドパイプを備える請求項１から請求項６のいずれかに記載の光ファイバスキャナ。
【請求項８】
前記配線通路が、前記ホルダに前記長手方向に形成され、前記ガイドパイプを収容する溝または孔を備える請求項７に記載の光ファイバスキャナ。
【請求項９】
前記光ファイバの外周面に固定された筒状のフェルールを備え、
前記圧電素子が、前記フェルールの外周面に固定されている請求項１から請求項８のいずれかに記載の光ファイバスキャナ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバスキャナに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、光走査型内視鏡において、光ファイバの射出端から射出される光を光ファイバの振動によって走査する光ファイバスキャナが使用されている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１の光ファイバスキャナは、光ファイバを片持ち梁状に支持するマウント部材と、該マウント部材よりも先端側において光ファイバの外周面に固定された圧電素子とを備え、圧電素子の伸縮振動によって光ファイバの先端を振動させている。圧電素子を伸縮振動させるために、ケーブルを介して圧電素子に電圧が印加される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１２８５４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ケーブルは、光ファイバよりも大径のマウント部材を介して光ファイバの基端から圧電素子まで配線され、ケーブルの先端が導電性の接着剤によって圧電素子に接合される。したがって、ケーブルの先端部分は、特許文献１の図１１に示されるように、光ファイバの径方向における圧電素子とマウント部材との間の段差に応じて曲げられ、直線形状に戻ろうとする弾性復元力がケーブルの先端部分に発生する。この弾性復元力によって接着剤の硬化中にケーブルの先端が電極から離間する方向に移動してしまい、ケーブルと圧電素子との良好な電気的接続を確保することが難しい。【０００５】
マウント部材から先端側へ突出するケーブルの突出長を長く確保することによって、弾性復元力を低減することができる。しかし、この場合には、圧電素子上に横たわる長いケーブルが圧電素子の伸縮振動の妨げとなり、光ファイバの振動特性に影響を及ぼす可能性がある。【０００６】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、光ファイバの振動特性に影響を及ぼすことなく駆動線と圧電素子との間の良好な電気的接続を確保することができる光ファイバスキャナを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、先端から光を射出する光ファイバと、該光ファイバに固定され駆動電圧の印加によって前記光ファイバの長手方向に伸縮する圧電素子と、前記光ファイバに固定されている面とは反対側の面である前記圧電素子の接続面に先端が接続され前記圧電素子に前記駆動電圧を供給する駆動線と、前記圧電素子よりも基端側において前記光ファイバを片持ち梁状に保持するホルダと、該ホルダに前記光ファイバの長手方向に沿って設けられ前記駆動線を前記ホルダの基端側から先端側へ前記長手方向に沿って案内する配線通路とを備え、該配線通路の先端が、前記光ファイバの径方向において、前記圧電素子の前記接続面と略同一か、または前記接続面よりもわずかに外側の位置に位置する光ファイバスキャナを提供する。【０００８】
本発明によれば、駆動線を介して圧電素子に駆動電圧が印加されると、圧電素子が逆圧電効果によって光ファイバの長手方向に変形し、圧電素子が固定されている光ファイバが屈曲変形し、光ファイバの先端が径方向に変位する。これにより、光ファイバの先端から射出される光を走査することができる。【０００９】
この場合に、配線通路の先端と圧電素子の接続面との間の径方向における段差はわずかであるので、配線通路の先端から略直線状に延びる駆動線の先端を圧電素子の接続面に接触させることができる。すなわち、配線通路の先端からの駆動線の突出長を長く確保せずとも、駆動線の先端部分に応力を発生させることなく、駆動線の先端が接続面に接触するように駆動線の先端部分を配置することができる。これにより、駆動線の先端を接着剤で圧電素子の接続面に接合する過程において駆動線の先端がひとりでに移動してしまうことを防止し、駆動線と圧電素子との間の良好な電気的接続を確保することができる。【００１０】
上記発明においては、前記配線通路が、前記ホルダの基端から該ホルダの長手方向の途中位置まで前記光ファイバの長手方向に平行に直線状に延びる直線部分と、該直線部分の先端から前記ホルダの先端まで前記光ファイバの長手方向に対して傾斜して延びる傾斜部分とを有し、該傾斜部分は該傾斜部分の先端が基端よりも前記径方向において内側に位置する方向に傾斜し、かつ、前記傾斜部分の先端における該傾斜部分の前記径方向の内側端が前記圧電素子の前記接続面よりも前記径方向において外側に位置していてもよい。
このようにすることで、配線通路の先端から圧電素子の接続面に向かって駆動線の先端部分が斜めに突出する。これにより、駆動線を配線する工程において、駆動線の先端を確実にかつ容易に接続面に接触させることができる。【００１１】
上記発明においては、前記配線通路が、前記ホルダの基端から先端まで前記光ファイバの長手方向に平行に直線状に延び、前記接続面および前記配線通路の先端における該配線通路の前記径方向の内側端が、前記径方向において略同一の位置に位置していてもよい。
このようにすることで、配線通路の先端から光ファイバの長手方向に平行に直線状に突出する駆動線の先端部分が圧電素子の接続面上に配置される。これにより、駆動線を配線する工程において、駆動線の先端を確実にかつ容易に接続面に接触させることができる。【００１２】
上記発明においては、前記圧電素子の前記接続面上に設けられ、前記駆動線の先端が突き当てられる突起部を備えていてもよい。
このようにすることで、突起部に突き当たった駆動線の先端の移動が、駆動線の先端と突起部との間の摩擦によってさらに確実に防止される。これにより、駆動線と圧電素子との間の良好な電気的接続をさらに確実に確保することができる。【００１３】
上記発明においては、前記駆動線が、フレキシブル配線板であってもよい。
このようにすることで、駆動線をより薄い構造にすることができる。
上記発明においては、前記駆動線の先端が、導電性樹脂または半田材料によって前記圧電素子の接続面に接合されていてもよい。
このようにすることで、駆動線と圧電素子との間のさらに良好な電気的接続を確保することができる。【００１４】
上記発明においては、前記配線通路が、前記駆動線を収容する筒状のガイドパイプを備えていてもよい。さらに、前記配線通路が、前記ホルダに前記長手方向に形成され、前記ガイドパイプを収容する溝または孔を備えていてもよい。【００１５】
上記発明においては、前記光ファイバの外周面に固定された筒状のフェルールを備え、前記圧電素子が、前記フェルールの外周面に固定されていてもよい。
このようにすることで、光ファイバの外周面を覆うフェルールによって光ファイバを構造的に補強することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、光ファイバの振動特性に影響を及ぼすことなく駆動線と圧電素子との間の良好な電気的接続を確保するという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１Ａ】本発明の第１の実施形態に係る光ファイバスキャナの全体構成を示す側面図である。
【図１Ｂ】図１Ａの光ファイバスキャナを先端側から見た正面図である。
【図２】図１Ａの光ファイバスキャナの領域Ｉの拡大図である。
【図３Ａ】図１Ａの光ファイバスキャナの第１の変形例の全体構成を示す側面図である。
【図３Ｂ】図３Ａの光ファイバスキャナを先端側から見た正面図である。
【図４Ａ】図１Ａの光ファイバスキャナの第２の変形例の全体構成を示す側面図である。
【図４Ｂ】図４Ａの光ファイバスキャナを先端側から見た正面図である。
【図５】図１Ａの光ファイバスキャナの第３の変形例の部分的な構成を示す側面図である。
【図６Ａ】本発明の第２の実施形態に係る光ファイバスキャナの全体構成を示す側面図である。
【図６Ｂ】図６Ａの光ファイバスキャナを先端側から見た正面図である。
【図７】図６Ａの光ファイバスキャナの領域ＶＩの拡大図である。
【図８】本発明の第３の実施形態に係る光ファイバスキャナの部分的な構成を示す側面図である。
【図９】図８の光ファイバスキャナに設けられるガイドパイプの構成を示す縦断面である。
【図１０】図８の光ファイバの変形例の部分的な構成を示す側面図である。
【図１１】図８の光ファイバスキャナの変形例の全体構成を示す側面図である。
【図１２】図１Ａの光ファイバスキャナの変形例の全体構成を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（第１の実施形態）
以下に、本発明の第１の実施形態に係る光ファイバスキャナ１０について図１Ａから図５を参照して説明する。
本実施形態に係る光ファイバスキャナ１０は、図１Ａに示されるように、光ファイバ１と、該光ファイバ１の外周面を被覆する筒状のフェルール２と、フェルール２の外周面に固定された圧電素子３と、光ファイバ１およびフェルール２を片持ち梁状に保持するホルダ４と、該ホルダ４に設けられた配線通路５と、圧電素子３に接続された駆動線６とを備えている。
【００１９】
光ファイバ１は、基端において図示しない光源に接続され、光源から基端に入射された光を先端まで導光し、先端から射出する。
フェルール２は、導電性の弾性材料からなる四角筒状の部材である。フェルール２は、中心軸に沿って長手方向に貫通する貫通孔を有し、該貫通孔内に光ファイバ１が挿入されている。フェルール２は、光ファイバ１の先端から基端側へ間隔をあけた位置において光ファイバ１の外周面に固定され、光ファイバ１の先端部分が、貫通孔の先端側の開口から突出している。
なお、フェルール２の形状は、四角筒状に限らず、例えば、他の多角筒状または円筒状であってもよい。
【００２０】
圧電素子３は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電セラミックス材料からなる矩形の平板状である。各圧電素子３は、厚さ方向に互いに対向する表面３ｂおよび裏面３ｃに電極が形成され、厚さ方向に分極している。圧電素子３は、フェルール２の４つの外側面の各々に１枚ずつ、厚さ方向が光ファイバ１の径方向と一致するように導電性の接着剤によって固定されている。これにより、圧電素子３は、フェルール２を介して光ファイバ１の外周面に固定されている。圧電素子３の表面３ｂおよび裏面３ｃのうち、フェルール２を介して光ファイバ１に固定されている面とは反対側の面は、駆動線６の先端が接続される接続面３ａとなる。
【００２１】
ホルダ４は、導電性材料からなる円筒状の部材であり、図１Ｂに示されるように、長手方向に貫通する中央孔４ａを有している。ホルダ４は、圧電素子３よりも基端側に設けられ、フェルール２を中央孔４ａに嵌合させた状態で導電性の接着剤によってフェルール２の外周面に固定されている。ホルダ４の長手方向の一部分には、他の部分よりも大きな径を有する大径部４ｂが設けられ、光ファイバスキャナ１０全体を収容する図示しない枠体の内壁に大径部４ｂが固定される。これにより、フェルール２および光ファイバ１は、先端を自由端とする片持ち梁状にホルダ４によって支持される。
【００２２】
配線通路５は、ホルダ４に長手方向に形成され基端面から先端面まで貫通する孔からなる。配線通路５は、光ファイバ１の長手方向に沿って各圧電素子３と一列に並ぶように、ホルダ４の周方向に間隔をあけて設けられている。各配線通路５は、基端側から順に、直線部分５ａと傾斜部分５ｂとから構成されている。
【００２３】
直線部分５ａは、ホルダ４の基端から該ホルダ４の長手方向の途中位置まで光ファイバ１の長手方向に平行に直線状に延びている。また、直線部分５ａは、ホルダ４の外周面に開口した溝からなる。直線部分５ａは、ホルダ４の外周面に開口せずに、周方向に閉じた孔であってもよい。
傾斜部分５ｂは、図２に示されるように、直線部分５ａの先端からホルダ４の先端まで光ファイバ１の長手方向に対して傾斜して延び、傾斜部分５ｂの基端よりも先端の方が光ファイバ１の径方向において内側に位置する方向に傾斜している。ホルダ４の先端面における傾斜部分５ｂの開口５ｃの径方向の内側端は、径方向において圧電素子３よりもわずかに外側に位置している。
【００２４】
駆動線６は、各配線通路５内に長手方向に沿って１本ずつ収容されている。駆動線６の先端部分は、配線通路５の傾斜部分５ｂの傾斜から開口５ｃに従って光ファイバ１の長手方向に対して斜めに突出し、駆動線６の先端が導電性の接着剤Ａによって圧電素子３の接続面３ａに接合されている。ここで使用される接着剤Ａは、樹脂接着剤または半田であることが好ましい。
【００２５】
各駆動線６の基端は、図示しない電源に接続され、該電源から供給された駆動電圧を圧電素子３の接続面３ａ上の電極に伝達する。駆動電圧として交番電圧が接続面３ａ上の電極に印加されると、圧電素子３が光ファイバ１の長手方向に伸縮振動し、該圧電素子３が固定されているフェルール２および光ファイバ１の先端部分に屈曲振動が励起されて光ファイバ１の先端が振動する。これにより、光ファイバ１の先端から射出される光を走査することができる。さらに、各圧電素子３に印加される交番電圧の振幅および位相を制御することによって、光の走査軌跡を制御することができる。ここで、フェルール２を介して４枚の圧電素子３のフェルール２側の電極と接続されているホルダ４は、共通のグランドとして機能する。
【００２６】
このような光ファイバスキャナ１０の製造工程において、駆動線６は以下のようにして配線される。
駆動線６をホルダ４の基端側から配線通路５内に挿入し、駆動線６の先端が圧電素子３の接続面３ａに接触するまで駆動線６を配線通路５内へ押し込む。次に、駆動線６の先端に接着剤Ａを塗布し、接着剤Ａを硬化させることによって駆動線６の先端を圧電素子３の接続面３ａに接合する。
【００２７】
この場合に、本実施形態によれば、駆動線６の先端部分が、配線通路５の開口５ｃから圧電素子３の接続面３ａに向かって斜めに突出するので、駆動線６の先端部分が直線状のまま駆動線６の先端が接続面３ａに接触する。すなわち、駆動線６の先端部分に応力を発生させることなく、駆動線６の先端が接続面３ａに接触するように駆動線６を配置することができる。したがって、駆動線６の先端を接続面３ａ上で位置決めした後に駆動線６の先端が弾性復元力等によってひとりでに移動してしまうことがない。これにより、駆動線６の先端と圧電素子３の接続面３ａとの間の接触を維持したまま接着剤Ａを硬化させることができ、駆動線６と圧電素子３の接続面３ａとの間の良好な電気的接続を確保することができるという利点がある。
【００２８】
さらに、接続面３ａと配線通路５の開口５ｃとの間の径方向における段差を段差Ｄ（図１Ｂ参照。）とする。この段差Ｄがわずかであるので、開口５ｃから突出する駆動線６の先端部分は短くなる。これにより、圧電素子３上に位置する駆動線６が圧電素子３の伸縮振動を妨げることがなく、駆動線６の配線が光ファイバ１の振動特性へ影響を及ぼすことを防ぐことができるという利点がある。
【００２９】
本実施形態においては、配線通路５の傾斜部分５ｂが、ホルダ４の内部に形成され周方向に閉じた孔からなることとしたが、これに代えて、図３Ａおよび図３Ｂに示されるように、直線部分５ａと同様に、ホルダ４の外周面に開口した溝であってもよい。このようにしても、上述した効果を奏することができる。
【００３０】
本実施形態においては、駆動線６として、電線を絶縁材料で被覆した被覆電線を例示したが、図４Ａに示されるように、薄膜状のフレキシブル基板の表面に電極パターンを形成したフレキシブル配線板６１を駆動線として使用してもよい。電極パターンは、圧電素子３の接続面３ａと直接接触するように、フレキシブル配線板６１の圧電素子３側の面に形成される。ホルダ４の配線通路５の横断面は、図４Ｂに示されるように、フレキシブル配線板６１の横断面形状に対応して細長い矩形状に形成される。このようにしても、上述した効果を奏することができる。
【００３１】
本実施形態においては、図５に示されるように、圧電素子３の接続面３ａに駆動線６の先端が突き当てられる突起部７がさらに設けられていてもよい。突起部７は、例えば樹脂または半田から形成される。突起部７は、開口５ｃから斜めに突出した駆動線６の先端が接続面３ａに接触する接触位置と隣接するように該接触位置の先端側に設けられている。駆動線６の配線の工程において、駆動線６の先端が突起部７に突き当たる位置まで駆動線６は配線通路５内へ押し込まれる。駆動線６の先端が突起部７に突き当たった状態において、駆動線６の先端と突起部７との間の摩擦によって、駆動線６の先端の移動がさらに確実に防止される。したがって、本変形例によれば、駆動線６と圧電素子３との良好な接続をさらに確実に確保することができる。
【００３２】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態に係る光ファイバスキャナ２０について図６Ａから図７を参照して説明する。本実施形態においては、第１の実施形態と異なる構成について主に説明し、第１の実施形態と共通する構成については同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態に係る光ファイバスキャナ２０は、配線通路５１の形状および位置において第１の実施形態と異なる。
【００３３】
本実施形態において、配線通路５１は、図６Ａに示されるように、ホルダ４の基端面から先端面まで光ファイバ１の長手方向に平行に直線状に形成された孔からなる。図６Ｂおよび図７に示されるように、圧電素子３の接続面３ａと、ホルダ４の先端面における配線通路５１の開口５１ｃの径方向の内側端との、径方向における位置は、略同一となっている。
【００３４】
このような光ファイバスキャナ２０の製造工程において、駆動線６は以下のようにして配線される。
駆動線６をホルダ４の基端側から配線通路５１内に挿入し、駆動線６の先端が圧電素子３の接続面３ａ上に位置するまで駆動線６を配線通路５１内へ押し込む。次に、駆動線６の先端に接着剤Ａを塗布し、接着剤Ａを硬化させることによって駆動線６の先端を圧電素子３の接続面３ａに接合する。
【００３５】
この場合に、本実施形態によれば、駆動線６の先端部分が、配線通路５１の開口５１ｃから光ファイバ１の長手方向に平行に直線状に突出する。ここで、接続面３ａと配線通路５１の開口５１ｃとの間の径方向における段差が全くまたはほとんどないので、駆動線６が圧電素子３の接続面３ａに接触する。すなわち、駆動線６の先端部分に応力を発生させることなく、駆動線６の先端が接続面３ａに接触するように駆動線６を配置することができる。したがって、駆動線６の先端を接続面３ａ上で位置決めした後に駆動線６の先端が弾性復元力等によってひとりでに移動してしまうことがない。これにより、駆動線６の先端と圧電素子３の接続面３ａとの間の接触を維持したまま接着剤Ａを硬化させることができ、駆動線６と圧電素子３の接続面３ａとの間の良好な電気的接続を確保することができるという利点がある。
【００３６】
さらに、開口５１ｃから突出する駆動線６の先端部分を短くすることができる。これにより、圧電素子３上に位置する駆動線６が圧電素子３の伸縮振動を妨げることがなく、駆動線６の配線が光ファイバ１の振動特性へ影響を及ぼすことを防ぐことができるという利点がある。
本実施形態においては、第１の実施形態において説明した図３Ａから図５の変形例を適宜組み合わせてもよい。すなわち、配線通路５１がホルダ４の外周面に開口した溝から構成されていてもよい。また、駆動線６に代えてフレキシブル配線板６１を用いてもよい。また、突起部７が接続面３ａに設けられていてもよい。
【００３７】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態に係る光ファイバスキャナについて図８から図１１を参照して説明する。本実施形態においては、第１および第２の実施形態と異なる構成について主に説明し、第１および第２の実施形態と共通する構成については同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態に係る光ファイバスキャナは、図８に示されるように、ホルダ４に形成された孔からなる配線通路５，５１に代えて、駆動線６を収容する筒状のガイドパイプ（配線通路）８がホルダ４に設けられている点で第１および第２の実施形態と異なる。
【００３８】
ガイドパイプ８は、図９に示されるように、基端側から順に、直線状に延びる直線部分８ａと、該直線部分８ａの長手方向に対して傾斜する傾斜部分８ｂとから構成される。ガイドパイプ８は、例えば金属製または樹脂製の硬質なチューブから構成され、駆動線６よりも高い剛性を有する。
【００３９】
図８に示されるように、ホルダ４には、第１の実施形態における配線通路５のような通路（配線通路）４ｃが形成され、該通路４ｃ内にガイドパイプ８が収容されている。通路４ｃは、ホルダ４の外周面に開口した溝から構成されていてもよく、周方向に閉じた孔から構成されていてもよい。ガイドパイプ８は、傾斜部分８ｂの基端よりも先端の方が径方向において内側に位置する方向に傾斜部分８ｂが光ファイバ１の長手方向に対して傾斜し、かつ、傾斜部分８ｂの先端面における開口８ｃが圧電素子３の接続面３ａよりもわずかに径方向において外側に位置するように、通路４ｃに保持される。
【００４０】
このような光ファイバスキャナの製造工程において、駆動線６は以下のようにして配線される。
駆動線６をホルダ４の通路４ｃ内に取り付けられたガイドパイプ８内に該ガイドパイプ８の基端側から挿入し、駆動線６の先端が圧電素子３の接続面３ａに接触するまで駆動線６をガイドパイプ８内へ押し込む。次に、駆動線６の先端に接着剤Ａを塗布し、接着剤Ａを硬化させることによって駆動線６の先端を圧電素子３の接続面３ａに接合する。
【００４１】
この場合に、本実施形態によれば、駆動線６の先端部分が、ガイドパイプ８の開口８ｃから圧電素子３の接続面３ａに向かって斜めに突出するので、駆動線６の先端部分が直線状のまま駆動線６の先端が接続面３ａに接触する。すなわち、駆動線６の先端部分に応力を発生させることなく、駆動線６の先端が接続面３ａに接触するように駆動線６を配置することができる。したがって、駆動線６の先端を接続面３ａ上で位置決めした後に駆動線６の先端が弾性復元力等によってひとりでに移動してしまうことがない。これにより、駆動線６の先端と圧電素子３の接続面３ａとの間の接触を維持したまま接着剤Ａを硬化させることができ、駆動線６と圧電素子３の接続面３ａとの間の良好な電気的接続を確保することができるという利点がある。
【００４２】
本実施形態においては、ガイドパイプ８が直線部分８ａと傾斜部分８ｂとから構成されることとしたが、これに代えて、図１０に示されるように、直線部分のみから構成され、第２の実施形態における配線通路５１と同様に、ホルダ４の全長にわたって直線状に延びていてもよい。このようにしても、上述した効果を奏することができる。
【００４３】
本実施形態においては、ホルダ４の通路４ｃ内にガイドパイプ８を設けることとしたが、これに代えて、図１１に示されるように、通路４ｃを省略し、ガイドパイプ８をホルダ４の外周面に直接固定してもよい。このようにしても、上述した効果を奏することができる。
本実施形態においては、第１の実施形態において説明した図４Ａから図５の変形例を適宜組み合わせてもよい。すなわち、駆動線６に代えてフレキシブル配線板６１を用いてもよい。また、突起部７が接続面３ａに設けられていてもよい。
【００４４】
上述した第１から第３の実施形態においては、圧電素子３がフェルール２を介して光ファイバ１に固定されることとしたが、これに代えて、図１２に示されるように、フェルール２を省略して圧電素子３が光ファイバ１の外周面に直接固定されていてもよい。この場合、光ファイバ１はホルダ４によって直接保持される。図１２には、第１の実施形態の光ファイバスキャナ１０の変形例が一例として示されているが、第２および第３の実施形態の光ファイバスキャナにおいても、フェルール２を省略可能である。
【符号の説明】
【００４５】
１  光ファイバ
２  フェルール
３  圧電素子
３ａ  接続面
４  ホルダ
４ａ  中央孔
４ｂ  大径部
４ｃ  通路（配線通路）
５，５１  配線通路
５ａ  直線部分
５ｂ  傾斜部分
５ｃ，５１ｃ  開口
６  駆動線
６１  フレキシブル配線板（駆動線）
７  突起部
８  ガイドパイプ（配線通路）
８ａ  直線部分
８ｂ  傾斜部分
１０，２０  光ファイバスキャナ
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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