(57)【要約】  包装体におけるセンターシール部の異物を的確に検査することができる検査装置を提供する。本発明は、シート材を筒状にした包装部（１１０）と、包装部の閉じ合わせ部に設けられたセンターシール部（１２０）とを有する包装体（１００）を検査する検査装置（１）であって、包装体に向けて検出波を照射する照射部（１０）と、包装体を透過する検出波を検出する検出部（２０）と、を備え、検出部は、センターシール部を透過する検出波を検出する第１検出部分（２１）を有し、第１検出部分は、照射部から照射された検出波が包装部（１１０）で遮られない検出領域を有することを特徴とする。
2018012282.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート材を筒状にした包装部と、前記包装部の閉じ合わせ部に設けられたセンターシール部とを有する包装体を検査する検査装置であって、  前記包装体に向けて検出波を照射する照射部と、  前記包装体を透過する前記検出波を検出する検出部と、  を備え、  前記検出部は、前記センターシール部を透過する前記検出波を検出する第１検出部分を有し、  前記第１検出部分は、前記照射部から照射された前記検出波が前記包装部で遮られない検出領域を有することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記照射部と前記第１検出部分との間に前記センターシール部が配置される、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記照射部における前記検出波の照射源は、前記センターシール部の付け根よりも前記センターシール部の先端側に配置される、請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記検出部は、前記包装部を透過する前記検出波を検出する第２検出部分を有し、  前記第２検出部分は、前記照射部から照射された前記検出波が前記センターシール部で遮られない検出領域を有する、請求項１〜３のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項５】
前記センターシール部の延びる方向における前記第１検出部分の位置は、前記第２検出部分の位置と相違する、請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記検出部は、直線状に複数の検出素子が並ぶラインセンサを有し、  前記第１検出部分および前記第２検出部分は前記ラインセンサに含まれる、請求項４に記載の検査装置。
【請求項７】
前記検出部で検出した前記検出波に基づく信号を処理する信号処理部と、  前記信号処理部で処理した信号に基づき異物の有無を判定する判定部と、をさらに備えた請求項１〜６のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項８】
前記照射部からの検出波が入射しないように設けられたノイズ検出部をさらに備え、  前記信号処理部は、前記検出部で検出した前記検出波に基づく信号から前記ノイズ検出部で検出した前記検出波に基づく信号を差し引くことによりノイズをキャンセルした信号を得ることを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
【請求項９】
前記ノイズ検出部は、前記照射部からの検出波が照射されない位置に配置されることを特徴とする請求項８に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記ノイズ検出部に前記照射部からの検出波が入射しないよう遮蔽する遮蔽部材をさらに備えることを特徴とする請求項８または９に記載の検査装置。
【請求項１１】
前記検出部は、直線状に複数の検出素子が並ぶラインセンサを有し、  前記ラインセンサは、前記検出素子の直線状の配列方向に直交する搬送方向に搬送される前記包装体を透過した検査波を、搬送方向における前記検出素子の幅分だけ搬送方向に移動する都度の撮像タイミングで第１の露光量で検出し、前記撮像タイミングから位相がずれたノイズ検出タイミングで、撮像タイミングとは異なる第２の露光量で検出し、  前記信号処理部は、前記撮像タイミングで検出した前記検出波に基づく信号から前記ノイズ検出タイミングで検出した前記検出波に基づく信号を差し引くことによりノイズをキャンセルした信号を得ることを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
【請求項１２】
前記検出部は、直線状に複数の検出素子が並ぶラインセンサを有し、  前記ラインセンサを構成する前記検出素子少なくとも一部は、検出波が遮蔽されたノイズ検出素子であり、前記ラインセンサを構成する前記検出素子の少なくとも他の一部は、検出波が遮蔽されない撮像用検出素子であり、  前記信号処理部は、前記撮像用検出素子で検出した前記検出波に基づく信号から前記ノイズ検出素子で検出した前記検出波に基づく信号を差し引くことによりノイズをキャンセルした信号を得ることを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
【請求項１３】
前記検出部で検出した前記検出波に基づく画像を表示する表示部をさらに備えた請求項１〜１０のいずれか１つに記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、対象物に検出波を照射して異物等の検査を行う検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  製品の製造から梱包、出荷に至るまで、各工程では検査対象となる異物等の種類（材料、大きさなど）や判定に適した検査方法によって製品の検査を行っている。このうち製品を非破壊で検査できるＸ線検査装置では、対象物を透過したＸ線を検出することで、外側からは見えない内部の異物等を検査することができる。【０００３】  特許文献１には、検査対象物であるワークを搬送ベルトで搬送しながらＸ線を照射して異物検査を行うＸ線検査装置が開示されている。また、特許文献２には、食品などの内容物が透光性の包装シートで包まれた包装体の画像を取得し、シール部に異物が噛み込まれているか否かを判別できる包装体の検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−２１９２６７号公報
【特許文献２】特開２０１３−００７５９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  包装体に内容物を収容して出荷する製品の異物検査では、内容物が収容された状態での異物の検査に加え、包装体に対する異物の検査も必要である。このような包装体の異物検査では、包装体のシール部への異物の噛み込みを的確に検査することが要求される。包装体のシール部には、シート材を筒状にして閉じ合わされた部分を熱圧着したセンターシール部と、筒状の開口端をシールしたエンドシール部とがある。【０００６】  このシール部のうち、センターシール部は包装体の中央部に設けられているため、センターシール部の異物の噛み込みを検査しようとした場合、内容物を収容する包装部と重なることになる。したがって、Ｘ線検査によって映し出された画像から、包装部の異物とセンターシール部の異物とを切り分けることが困難となる。【０００７】  本発明は、包装体におけるセンターシール部の異物を的確に検査することができる検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】  上記課題を解決するため、本発明は、シート材を筒状にした包装部と、包装部の閉じ合わせ部に設けられたセンターシール部とを有する包装体を検査する検査装置であって、包装体に向けて検出波を照射する照射部と、包装体を透過する検出波を検出する検出部と、を備え、検出部は、センターシール部を透過する検出波を検出する第１検出部分を有し、第１検出部分は、照射部から照射された検出波が包装部で遮られない検出領域を有することを特徴とする。【０００９】  このような構成によれば、照射部から照射された検出波が包装部で遮られずにセンターシール部に到達し、センターシール部を透過した検出波を検出部の第１検出部分で検出することができる。これにより、包装部や包装部内の収容物に影響を受けずにセンターシール部の異物を検査することができる。【００１０】  本発明の検査装置において、照射部と第１検出部分との間にセンターシール部が配置されていてもよい。これにより、照射部と第１検出部分とを結ぶ検出波の照射領域にセンターシール部が配置され、検出波によってセンターシール部の異物を検査することができる。【００１１】  本発明の検査装置において、照射部における検出波の照射源は、センターシール部の付け根と同じ高さ、または付け根よりもセンターシール部の先端側に配置されていてもよい。これにより、照射部と第１検出部分とを結ぶ検出波の照射領域に包装部が含まれることを回避することができる。【００１２】  本発明の検査装置において、検出部は、包装部を透過する検出波を検出する第２検出部分を有し、第２検出部分は、照射部から照射された検出波がセンターシール部で遮られない検出領域を有していてもよい。これにより、照射部から照射された検出波がセンターシール部で遮られずに包装部に到達し、包装部を透過した検出波を検出部の第２検出部分で検出することができる。【００１３】  本発明の検査装置において、センターシール部の延びる方向における第１検出部分の位置は、第２検出部分の位置と相違していてもよい。これにより、第１検出部分および第２検出部分のいずれか一方が他方の検出領域の邪魔になることを防ぐことができる。【００１４】  本発明の検査装置において、検出部は、直線状に複数の検出素子が並ぶラインセンサを有し、第１検出部分および第２検出部分はラインセンサに含まれていてもよい。１つのラインセンサによってセンターシール部および包装部の両方の異物検査を行うことができる。【００１５】  本発明の検査装置において、検出部で検出した検出波に基づく信号を処理する信号処理部と、信号処理部で処理した信号に基づき異物の有無を判定する判定部と、をさらに備えていてもよい。これにより、検出部で検出した検出波に基づいて異物の有無を判定することができる。【００１６】  本発明の検査装置は、照射部からの検出波が入射しないように設けられたノイズ検出部をさらに備えるとよく、信号処理部は、検出部で検出した検出波に基づく信号からノイズ検出部で検出した検出波に基づく信号を差し引くことによりノイズをキャンセルした信号を得るとよい。このようにすれば、Ｓ／Ｎ比の優れた信号を得ることができる。ノイズ検出部は、照射部からの検出波が照射されない位置に配置されるとよい。また、ノイズ検出部に照射部からの検出波が入射しないよう遮蔽する遮蔽部材をさらに備えてもよい。なお、ノイズのキャンセルはアナログ信号に対して行ってもよいし、検出波のアナログ信号をＡＤ変換機によりデジタル信号としてから行ってもよい。【００１７】  本発明の検査装置において、検出部は、直線状に複数の検出素子が並ぶラインセンサを有するとよい。このラインセンサは、検出素子の直線状の配列方向に直交する搬送方向に搬送される包装体を透過した検査波を、搬送方向における検出素子の幅分だけ搬送方向に移動する都度の撮像タイミングで第１の露光量で検出し、撮像タイミングから位相がずれたノイズ検出タイミングで、撮像タイミングとは異なる第２の露光量で検出するとよく、これに伴い、信号処理部は、撮像タイミングで検出した検出波に基づく信号からノイズ検出タイミングで検出した検出波に基づく信号を差し引くことによりノイズをキャンセルした信号を得るとよい。このようにすれば、Ｓ／Ｎ比の優れた信号を得ることができる。【００１８】  本発明の検査装置において、ラインセンサを構成する検出素子少なくとも一部は、検出波が遮蔽されたノイズ検出素子であり、ラインセンサを構成する検出素子の少なくとも他の一部は、検出波が遮蔽されない撮像用検出素子であるように構成するとよく、これに伴い、信号処理部は、撮像用検出素子で検出した検出波に基づく信号からノイズ検出素子で検出した検出波に基づく信号を差し引くことによりノイズをキャンセルした信号を得るとよい。このようにすれば、Ｓ／Ｎ比の優れた信号を得ることができる。【００１９】  本発明の検査装置において、検出部で検出した検出波に基づく画像を表示する表示部をさらに備えていてもよい。これにより、表示部に表示される画像によって異物の状態を把握することができる。
【発明の効果】
【００２０】  本発明によれば、包装体におけるセンターシール部の異物を的確に検査することができる検査装置を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】（ａ）および（ｂ）は、第１実施形態に係る検査装置の構成を例示する模式図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は、照射部および検出部の配置を説明する模式図である。
【図３】本実施形態に係る検査装置のブロック構成図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、第２実施形態に係る検査装置の構成を例示する模式図である。
【図５】第３実施形態に係る検査装置の構成を例示する模式図である。
【図６】第４実施形態に係る検査装置における撮像及びノイズ検出のタイミングを模式的に示す図である。
【図７】第５実施形態に係る検査装置で用いられるラインセンサの構造を示す模式図である。
【図８】本実施形態に係る検査装置の適用例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】（第１実施形態）  以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、同一の部材には同一の符号を付し、一度説明した部材については適宜その説明を省略する。
【００２３】（装置構成）  図１（ａ）および（ｂ）は、本実施形態に係る検査装置の構成を例示する模式図である。  図１（ａ）には斜視図が示され、図１（ｂ）にはセンターシール部の延びる方向から見た断面図が示される。  本実施形態に係る検査装置１は、検出波によって包装体１００を検査する装置である。検出波には、Ｘ線、紫外線、可視光線、赤外線、テラヘルツ波などが含まれる。本実施形態では、検出波としてＸ線を使用するＸ線検査装置を例とする。包装体１００は、シート材を筒状にした包装部１１０と、包装部１１０の閉じ合わせ部に設けられたセンターシール部１２０とを有する。シート材としては、ＣＰＰ（Cast Polypropylene）、ＰＥ（Polyethylene）、アルミ蒸着ＰＥＴ（Polyethylene terephthalate）などを積層したラミネートフィルムなどが用いられる。
【００２４】  包装体１００は、このようなシート材を筒状にして、閉じ合わせ部分を熱圧着したものである。この包装体１００において、筒状の内部に収容物を収容する部分が包装部１１０、包装部１１０の中央部において閉じ合わせて熱圧着した部分がセンターシール部１２０である。
【００２５】  なお、本実施形態において、包装体１００のセンターシール部１２０が延びる方向を長さ方向Ｄ１、長さ方向Ｄ１と直交し包装部１１０とセンターシール部１２０とが重ならない方向を幅方向Ｄ２、長さ方向Ｄ１および幅方向Ｄ２と直交する方向を高さ方向Ｄ３と言うことにする。包装体１００は、長さ方向Ｄ１に所定の大きさで切断されていても、長さ方向Ｄ１に連続しているものであってもよい。
【００２６】  検査装置１は、包装体１００に向けて検出波の例であるＸ線を照射する照射部１０と、包装体１００を透過するＸ線を検出する検出部２０と、を備える。照射部１０および検出部２０は、包装体１００を間にして幅方向Ｄ２に対向するように配置される。
【００２７】  照射部１０は、筐体１１内に設けられるＸ線源（Ｘ線の照射源）１２と、Ｘ線源１２から放出されるＸ線を絞るスリット１３とを有する。Ｘ線源１２から放出されたＸ線は、スリット１３によって所定の範囲に絞られ、包装体１００に向けて照射される。
【００２８】  検出部２０は、照射部１０から照射され、包装体１００を透過するＸ線を検出する部分である。検出部２０は、複数の検出素子（例えば、ＣＭＯＳセンサ）が直線状に並ぶラインセンサを含む。本実施形態では、ラインセンサを高さ方向に配置して検出部２０による検出領域を高さ方向Ｄ３とする。そして、照射部１０および検出部２０と包装体１００とを長さ方向Ｄ１に相対的に移動させることで、包装体１００を長さ方向Ｄ１に連続的に検査する。なお、照射部１０および検出部２０と包装体１００との相対的な移動は、通常、搬送装置などで包装体１００を長さ方向Ｄ１に移動させることにより実現される。
【００２９】  本実施形態において、検出部２０は、センターシール部１２０を透過するＸ線を検出する第１検出部分２１を有する。検出部２０は、包装部１１０を透過するＸ線を検出する第２検出部分２２を有していてもよい。
【００３０】  第１検出部分２１はラインセンサＬＳ１に含まれ、第２検出部分２２はラインセンサＬＳ２に含まれる。ラインセンサＬＳ１およびラインセンサＬＳ２のそれぞれは、複数の検出素子が高さ方向Ｄ３に並ぶように配置される。
【００３１】  第１検出部分２１は、照射部１０から照射されたＸ線が包装部１１０で遮られない検出領域を有する。また、第２検出部分２２は、照射部１０から照射されたＸ線がセンターシール部１２０で遮られない検出領域を有する。
【００３２】  本実施形態では、図１（ｂ）に示すように、照射部１０におけるＸ線源１２が、センターシール部１２０の付け根と同じ高さ、または付け根よりもセンターシール部１２０の先端側に配置されている。例えば、センターシール部１２０の付け根の位置における幅方向Ｄ２の線を基準線Ｌとした場合、Ｘ線源１２は、基準線Ｌと同じ高さ、または基準線Ｌに対して包装部１１０とは反対側に配置される。
【００３３】  包装体１００が搬送装置などで搬送される場合、基準線Ｌは例えば搬送装置の搬送面に沿った幅方向Ｄ２の線となる。この場合、Ｘ線源１２は、搬送面の位置と同じ高さか、搬送面よりも下側に配置される。このようなＸ線源１２の配置によって、照射部１０と第１検出部分２１とを結ぶＸ線の照射領域に包装部１１０が含まれることを回避することができる。
【００３４】  つまり、Ｘ線源１２から検出部２０までのＸ線の照射領域のうち、基準線Ｌよりもセンターシール部１２０側の照射領域Ｓ１には包装部１１０が含まれない。したがって、照射領域Ｓ１のＸ線を検出する第１検出部分２１において、センターシール部１２０と包装部１１０とが重ならず、第１検出部分２１では包装部１１０に影響を受けずにセンターシール部１２０のみを透過するＸ線を検出することができる。
【００３５】  一方、Ｘ線源１２から検出部２０までのＸ線の照射領域のうち、基準線Ｌよりも包装部１１０側の照射領域Ｓ２にはセンターシール部１２０が含まれない領域が構成される。したがって、照射領域Ｓ２のＸ線を検出する第２検出部分２２において、センターシール部１２０と包装部１１０とが重ならず、センターシール部１２０に影響を受けずに包装部１１０のみを透過するＸ線を検出することができる。
【００３６】  ここで、Ｘ線源１２が基準線Ｌの延長上に配置されていると、照射領域Ｓ２の全てにおいてセンターシール部１２０が含まれない。しかし、Ｘ線源１２が基準線Ｌよりもセンターシール部１２０側で基準線Ｌから離れるほど、照射領域Ｓ２にセンターシール部１２０が多く含まれることになる。この場合、第２検出部分２２の検出領域のうち、センターシール部１２０を含む領域を、信号処理で除外すればよい。
【００３７】  また、第１検出部分２１はセンターシール部１２０の近傍に配置されていることが望ましい。同様に、第２検出部分２２は包装部１１０の近傍に配置されていることが望ましい。対象物を透過するＸ線を対象物の近傍で検出すれば外乱の影響を受けにくく、精度の高い異物検出を行うことができる。
【００３８】  図２（ａ）〜（ｃ）は、照射部および検出部の配置を説明する模式図である。  なお、図２（ａ）〜（ｃ）では、センターシール部１２０が包装部１１０の上側に設けられている場合を例示している。また、図２（ａ）〜（ｃ）では、センターシール部１２０に加え、エンドシール部１３０を有する包装体１００が示されている。エンドシール部１３０は、筒状の包装部１１０の開口端を幅方向Ｄ２に熱圧着した部分である。
【００３９】  図２（ａ）に示すように、照射部１０と検出部２０とは、包装体１００の幅方向Ｄ２に互いに対向するよう配置される。検出部２０のうち第１検出部分２１と照射部１０との間にはセンターシール部１２０が配置され、第２検出部分２２と照射部１０との間には包装部１１０が配置される。
【００４０】  図２（ｂ）に示す例では、包装体１００の長さ方向Ｄ１における第１検出部分２１の位置が、第２検出部分２２の位置と相違している。これにより、照射部１０から照射されるＸ線の照射領域Ｓ２には第１検出部分２１が含まれず、照射領域Ｓ１には第２検出部分２２が含まれない。したがって、第１検出部分２１および第２検出部分２２のいずれか一方が他方の検出領域の邪魔になることを防ぐことができる。
【００４１】  図２（ｃ）に示す例では、包装体１００の長さ方向Ｄ１における第１検出部分２１の位置が、第２検出部分２２の位置と一致している。なお、高さ方向Ｄ３における第１検出部分２１の位置は、第２検出部分２２の位置とは相違している。照射部１０のＸ線源１２の位置が、基準線Ｌの延長上に配置されている場合、包装体１００の長さ方向Ｄ１における第１検出部分２１の位置が、第２検出部分２２の位置と一致していても、第１検出部分２１および第２検出部分２２のいずれか一方が他方の検出領域の邪魔になることはない。
【００４２】  図３は、本実施形態に係る検査装置のブロック構成図である。  検査装置１は、照射部１０および検出部２０を制御する制御部２００を備える。制御部２００は、ドライバ１５を制御して照射部１０から照射されるＸ線の強度を調整する。制御部２００は、信号処理部２０１および判定部２０２を有する。制御部２００には、メモリ２１０および表示部２２０が接続される。
【００４３】  第１検出部分２１および第２検出部分２２で検出したＸ線に基づく信号はメモリ２１０に蓄積され、所望のタイミングで制御部２００の信号処理部２０１に送られる。信号処理部２０１は、メモリ２１０から送られた信号を処理して画像信号を構成する。すなわち、ラインセンサで取り込んだＸ線に基づく信号（ライン信号）を所定量結合して２次元画像とする。２次元画像はモニタである表示部２２０に出力される。
【００４４】  また、判定部２０２は、信号処理部２０１から出力された信号に基づいて異物の有無を判定する処理を行う。例えば、信号処理部２０１で所定の閾値を超える信号が検出された場合には、異物の可能性がある。判定部２０２は、異物の可能性のある信号の連続する面積や、パターンマッチングなどの処理を行い、異物であるか否かの判定を行う。判定結果は表示部２２０に出力される。
【００４５】  このような本実施形態に係る検査装置１では、照射部１０から照射されたＸ線が包装部１１０で遮られずにセンターシール部１２０に到達することから、センターシール部１２０を透過したＸ線を第１検出部分２１で検出することができる。これにより、包装部１１０や包装部１１０内の収容物に影響を受けずにセンターシール部１２０の異物を的確に検査することができる。
【００４６】（第２実施形態）  図４（ａ）〜（ｃ）は、第２実施形態に係る検査装置の構成例を示す模式図である。  図４（ａ）に示す構成例では、検出部２０に１つのラインセンサＬＳ１０が含まれる例である。１つのラインセンサＬＳ１０には第１検出部分２１および第２検出部分２２が含まれる。すなわち、１つのラインセンサＬＳ１０の検出領域を第１検出部分２１と第２検出部分２２とで分けて使用している。このような構成によれば、１つのラインセンサＬＳ１０によってセンターシール部１２０および包装部１１０の両方の異物検査を行うことができる。
【００４７】  図４（ｂ）に示す構成例では、検出部２０に３つのラインセンサＬＳ１、ＬＳ２およびＬＳ３が含まれる例である。また、この構成例では、照射部１０のＸ線源１２が基準線Ｌから離れて配置されている。
【００４８】  ラインセンサＬＳ１はセンターシール部１２０の近傍に配置され、センターシール部１２０を透過するＸ線を検出する。ラインセンサＬＳ２は包装部１１０の近傍であって高さ方向Ｄ３に配置される。ラインセンサＬＳ３は包装部１１０の近傍であって幅方向Ｄ２に配置される。
【００４９】  照射部１０から照射されるＸ線は、基準線Ｌから離れた位置より包装体１００に向けて照射される。Ｘ線の照射領域はセンターシール部１２０から包装部１１０の広い範囲をカバーしている。これにより、ラインセンサＬＳ１ではセンターシール部１２０を透過したＸ線を検出し、ラインセンサＬＳ２およびＬＳ３では包装部１１０を透過したＸ線を検出することができる。特に、ラインセンサＬＳ２およびＬＳ３は包装部１１０に沿ってＬ字型に配置されているため、包装部１１０の広い範囲で透過するＸ線を検出することができる。
【００５０】  図４（ｃ）に示す構成例では、検出部２０に１つのラインセンサＬＳ２０が含まれる例である。また、この構成例では、照射部１０のＸ線源１２が基準線Ｌから離れて配置されている。
【００５１】  ラインセンサＬＳ２０は、高さ方向Ｄ３および幅方向Ｄ２のそれぞれに対して斜めに配置される。１つのラインセンサＬＳ２０には第１検出部分２１および第２検出部分２２が含まれる。この構成例では、基準線Ｌから離れた位置より包装体１００に斜めにＸ線が照射される。そして、センターシール部１２０を透過したＸ線はラインセンサＬＳ２０の第１検出部分２１で検出され、包装部１１０を透過したＸ線はラインセンサＬＳ２０の第２検出部分２２で検出される。
【００５２】  ラインセンサＬＳ２０を斜めに配置することで、Ｘ線が包装部１１０を斜めに透過して第２検出部分２２まで到達する。これにより、包装部１１０を透過するＸ線の透過長が、包装部１１０の幅方向Ｄ２に透過する場合に比べて短くなり、検出精度を高めることができる。
【００５３】（第３実施形態）  第３実施形態に係る検査装置は、第１実施形態や第２実施形態の検査装置において、検出部２０の検出データに含まれるノイズをキャンセルすることにより、精度の高い検査を実現する。なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
【００５４】  第３実施形態に係る検査装置は、図５に示すように、第１実施形態又は第２実施形態の検査装置の構成に加え、第２検出部２０Ａを備える。第２検出部２０Ａは、搬送方向Ｄｔに沿って検出部２０に隣接する位置に、照射部１０からのＸ線が検出素子に入射しないように設けられる。ここで、「照射部１０からのＸ線が検出素子に入射しないように」とは、例えば、第２検出部２０Ａを照射部１０によるＸ線照射領域の範囲外（つまりＸ線が照射されない領域）に、配置するとよい。あるいは、第２検出部２０Ａの配置位置がＸ線照射領域の内外いずれに関わらず、照射部１０からのＸ線が検出素子に入射しないようにＸ線を遮蔽する遮蔽部材を設けてもよい。なお、ノイズキャンセルの精度は、第２検出部２０Ａが検出部２０に近いほど高まる。このため、第２検出部２０Ａは検出部２０に近い位置に配置されることが好ましい。第２検出部２０Ａには照射部１０からのＸ線が照射されない位置にあるので、第２検出部２０Ａが検出するＸ線は、照射部１０からのＸ線が包装体１００を透過したものではなく、散乱や外乱等に起因するノイズと考えられる。
【００５５】  第２検出部２０Ａで検出したＸ線に基づく信号はメモリ２１０に蓄積され、所望のタイミングで制御部２００の信号処理部２０１に送られる。信号処理部２０１は、メモリ２１０から送られた信号を処理して画像信号を構成する。このとき、信号処理部２０１は、検出部２０で検出したＸ線に基づく信号から、第２検出部２０Ａで検出したＸ線に基づく信号を差し引くことによりノイズをキャンセルしたライン信号とする。そして、ノイズをキャンセルしたライン信号を所定量結合して２次元画像とする。２次元画像はモニタである表示部２２０に出力される。このような構成により、第３実施形態の検査装置では、ノイズを低減した２次元画像を得ることが可能となる。なお、なお、ノイズのキャンセルは検出部２０及び第２検出部２０Ａが出力するアナログ信号に対して行ってもよいし、アナログ信号をＡＤ変換機によりデジタル信号としてから行ってもよい。
【００５６】（第４実施形態）  第４実施形態に係る検査装置は、第３実施形態に係る検査装置と同様に、検出部２０の検出データに含まれるノイズをキャンセルすることにより、精度の高い検査を実現する。なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
【００５７】  第４実施形態に係る検査装置は、第１実施形態又は第２実施形態の検査装置と同様の構成を有する。図６に示したように、第４実施形態に係る検査装置では、検出部２０のラインセンサＬＳは、搬送方向における検出素子の幅Ｗ分だけ移動する都度の撮像タイミングでＸ線の線量を１００％の露光量で検出し、搬送方向における検出素子の幅Ｗの２分の１だけ撮像タイミングから位相がずれたノイズ検出タイミングでＸ線の線量を撮像タイミングとは異なる露光量（例えば０％）で検出する。なお、撮像タイミング及びノイズ検出タイミングでの露光量は上記に限定されず、両者で露光量が異なっていればよい。なおノイズ検出タイミングと撮像タイミングとの位相差は、搬送方向における検出素子の幅Ｗの２分の１以外でも構わない。
【００５８】  検出部２０で検出したＸ線に基づく信号（すなわち、撮像タイミングで検出したＸ線に基づく信号及びノイズ検出タイミングで検出したＸ線に基づく信号）はメモリ２１０に蓄積され、所望のタイミングで制御部２００の信号処理部２０１に送られる。信号処理部２０１は、メモリ２１０から送られた信号を処理して画像信号を構成する。このとき、信号処理部２０１は、撮像タイミングで検出したＸ線に基づく信号からノイズ検出タイミングで検出したＸ線に基づく信号を差し引くことによりノイズをキャンセルしたライン信号とする。上述したように、撮像タイミングとノイズ検出タイミングとは、搬送方向における検出素子の幅の２分の１に相当する位相差があるため、ノイズをキャンセルする際にはこの位相差を踏まえた演算によりノイズをキャンセルするとよい。例えば、Ｎ番目のラインに対応するノイズはＮ番目のラインから前後２分の１位相ずれた２つのノイズ検出タイミングで検出したＸ線に基づく信号の平均とするとよい。信号処理部２０１は、上記のようにしてノイズをキャンセルした信号ライン信号を所定量結合して２次元画像とする。２次元画像はモニタである表示部２２０に出力される。このような構成により、第４実施形態の検査装置では、ノイズを低減した２次元画像を得ることが可能となる。
【００５９】（第５実施形態）  第５実施形態に係る検査装置は、第３実施形態及び第４実施形態に係る検査装置と同様に、検出部２０の検出データに含まれるノイズをキャンセルすることにより、精度の高い検査を実現する。なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
【００６０】  第５実施形態に係る検査装置は、図７に示したように、検出部２０が有するラインセンサＬＳが、撮像用検出素子２３と、ノイズ検出素子２４とを備える。その他は第１実施形態又は第２実施形態の検査装置と同様の構成を有する。図７に示したように、第５実施形態に係る検査装置では、検出部２０のラインセンサにおける直線状に並んだ複数の検出素子の一部をＸ線が当たらないように遮蔽されたノイズ検出素子２４（図中で網掛けにより示された箇所）とする。ラインセンサの検出素子のうちノイズ検出素子２４を除いたものが撮像用検出素子２３となる。撮像用検出素子２３とノイズ検出素子２４とは、直線状の配列方向（搬送方向と直交する方向）において、交互に配置されるとよい。なお、撮像用検出素子２３とノイズ検出素子２４との（面積又は素子数における）比率は、例えば１対１とするとよいが、必ずしもこれに限定されない。
【００６１】  検出部２０で検出したＸ線に基づく信号（すなわち、撮像用検出素子２３で検出したＸ線に基づく信号及びノイズ検出素子２４で検出したＸ線に基づく信号）はメモリ２１０に蓄積され、所望のタイミングで制御部２００の信号処理部２０１に送られる。信号処理部２０１は、メモリ２１０から送られた信号を処理して画像信号を構成する。このとき、信号処理部２０１は、撮像用検出素子２３で検出したＸ線に基づく信号からノイズ検出素子２４で検出したＸ線に基づく信号を差し引くことによりノイズをキャンセルしたライン信号とする。上述したように、撮像用検出素子２３とノイズ検出素子２４とは、ラインセンサの検出素子の配列方向における位置が異なっているため、ノイズをキャンセルする際にはこの位置の差を踏まえた演算によりノイズをキャンセルするとよい。例えば、ある撮像用検出素子２３に対応するノイズは当該撮像用検出素子２３に隣接する２つのノイズ検出素子２４で検出したＸ線に基づく信号の平均とするとよい。信号処理部２０１は、上記のようにしてノイズをキャンセルした信号ライン信号を所定量結合して２次元画像とする。２次元画像はモニタである表示部２２０に出力される。このような構成により、第５実施形態の検査装置では、ノイズを低減した２次元画像を得ることが可能となる。
【００６２】（適用例）  図８は、本実施形態に係る検査装置の適用例を示す模式図である。  図８に示す適用例では、シート材ＳＴを筒状にしてセンターシール部１２０を熱圧着する部分に本実施形態に係る検査装置１が設けられている。
【００６３】  シート材ＳＴを筒状にして包装体１００を形成するには、シート材ＳＴを搬送方向Ｄｔに送りながら筒状に湾曲させ、互いに向かい合った両側端部ＳＴＳを閉じ合わせる。一対の加熱ローラＨＲの間に重ね合わされた両側端部ＳＴＳが送り込まれることで両側端部ＳＴＳは熱圧着され、センターシール部１２０となる。
【００６４】  加熱ローラＨＲの搬送方向Ｄｔの下流側にはガイドプレートＧＰが設けられる。熱圧着されたセンターシール部１２０がガイドプレートＧＰに沿って送られることで、センターシール部１２０は徐々に倒されて、やがて包装部１１０の表面に沿って押し付けられる。
【００６５】  このようにしてシート材ＳＴの搬送方向Ｄｔに連続的にセンターシール部１２０が形成され、包装体１００が形成されていく。本実施形態に係る検査装置１は、一対の加熱ローラＨＲによってセンターシール部１２０が形成される位置から、ガイドプレートＧＰによってセンターシール部１２０が倒される位置までの間に設けられる。
【００６６】  一対の加熱ローラＨＲとガイドプレートＧＰとの間では、センターシール部１２０が包装部１１０に対して立ち上がった状態である。この位置において、センターシール部１２０を間にして照射部１０と検出部２０とを幅方向Ｄ２に対向するよう配置する。これにより、センターシール部１２０が形成された後、倒される前にセンターシール部１２０に対して幅方向Ｄ２にＸ線を照射することができる。したがって、包装部１１０と重なることなくセンターシール部１２０を透過するＸ線を検出して、センターシール部１２０の異物を検査することができる。
【００６７】  センターシール部１２０を熱圧着で形成する際には長さ方向Ｄ１に包装体１００が連続的に送られる。この際、センターシール部１２０に異物を噛み込むことがあっても、本実施形態に係る検査装置１によってその異物を的確に検出することが可能となる。
【００６８】  以上説明したように、本実施形態に係る検査装置１によれば、包装体におけるセンターシール部の異物を的確に検査することが可能となる。
【００６９】  なお、上記に本実施形態およびその変形例および適用例を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、Ｘ線源１２が基準線Ｌと同じ高さ、または基準線Ｌに対して包装部１１０とは反対側に配置される例を示したが、Ｘ線源１２を基準線Ｌよりも僅かに包装部１１０側に配置してもよい。また、前述の各実施形態またはその変形例および適用例に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものや、各実施形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
【符号の説明】
【００７０】１…検査装置１０…照射部１１…筐体１２…Ｘ線源１３…スリット１５…ドライバ２０…検出部２１…第１検出部分２２…第２検出部分１００…包装体１１０…包装部１２０…センターシール部１３０…エンドシール部２００…制御部２０１…信号処理部２０２…判定部２１０…メモリ２２０…表示部Ｄ１…長さ方向Ｄ２…幅方向Ｄ３…高さ方向Ｄｔ…搬送方向ＧＰ…ガイドプレートＨＲ…加熱ローラＬ…基準線ＬＳ１，ＬＳ２，ＬＳ３，ＬＳ１０，ＬＳ２０…ラインセンサＳ１，Ｓ２…照射領域ＳＴ…シート材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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