(57)【要約】  熱硬化性樹脂層と熱可塑性樹脂層とを有する積層板からなる研磨治具であって；前記熱硬化性樹脂層が有機繊維集合体を含み、前記熱可塑性樹脂層が有機繊維集合体を含まず、かつ前記熱硬化性樹脂層が前記積層板の両表面に配置されてなる研磨治具。このとき、前記積層板が、前記熱硬化性樹脂層、前記熱可塑性樹脂層及び前記熱硬化性樹脂層をこの順序で有する３層構造体であることが好ましい。この研磨治具は、曲げ弾性率及び曲げ強度が高い。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱硬化性樹脂層と熱可塑性樹脂層とを有する積層板からなる研磨治具であって；
前記熱硬化性樹脂層が有機繊維集合体を含み、
前記熱可塑性樹脂層が有機繊維集合体を含まず、かつ
前記熱硬化性樹脂層が前記積層板の両表面に配置されてなることを特徴とする研磨治具。
【請求項２】
前記積層板が、前記熱硬化性樹脂層、前記熱可塑性樹脂層及び前記熱硬化性樹脂層をこの順序で有する３層構造体である請求項１に記載の研磨治具。
【請求項３】
前記熱硬化性樹脂層がエポキシ樹脂又はフェノール樹脂を含む請求項１又は２に記載の研磨治具。
【請求項４】
前記熱可塑性樹脂層が、ポリオレフィン、ポリエステル及びポリ（メタ）アクリレートからなる群から選択される少なくとも１種の重合体を含む請求項１〜３のいずれかに記載の研磨治具。
【請求項５】
前記有機繊維集合体を構成する繊維が、ポリアリレート繊維、アラミド繊維及びポリフェニレンサルファイド繊維からなる群から選択される少なくとも１種の繊維である請求項１〜４のいずれかに記載の研磨治具。
【請求項６】
前記有機繊維集合体が織布又は編地である請求項１〜５のいずれかに記載の研磨治具。
【請求項７】
前記積層板の総厚みが１００〜５０００μｍである請求項１〜６のいずれかに記載の研磨治具。
【請求項８】
前記積層板において、前記熱可塑性樹脂層の合計厚みが、前記熱硬化性樹脂層の合計厚みの０．２〜１０倍である請求項１〜７のいずれかに記載の研磨治具。
【請求項９】
前記積層板が３層構造体であり、表面の前記熱硬化性樹脂層の厚みがいずれも中心の前記熱可塑性樹脂層の０．０５〜５倍である請求項１〜８のいずれかに記載の研磨治具。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の研磨治具の製造方法であって；
前記有機繊維集合体に熱硬化性樹脂を含浸させてプリプレグを得る第１工程と、
第１工程で得られたプリプレグと熱可塑性樹脂からなるシートとを、前記プリプレグが両表面になるように重ね合わせて加熱加圧して積層板を得る第２工程と、
研磨される板状体を保持するための貫通孔を前記積層板に形成する第３工程とを備える研磨治具の製造方法。
【請求項１１】
請求項１〜９のいずれかに記載の研磨治具で板状体を保持して該板状体を研磨する研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱硬化性樹脂層と熱可塑性樹脂層とを有する積層板からなる研磨治具に関する。また本発明は、上記研磨治具の製造方法に関する。さらにまた本発明は、上記研磨治具を用いた研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハやハードディスク用のアルミニウム基板の製造工程には、これら板状体の表面を研磨する工程がある。この研磨工程では、板状体を保持するために研磨治具が用いられる。一般的に、研磨治具は複数の貫通孔を有し、板状体はこの貫通孔で保持される。そして、研磨治具を駆動させることにより板状体が研磨される。【０００３】
これまで本発明者らは、基材層と樹脂層とを有する積層板からなる研磨治具であって、前記基材層が、熱硬化性樹脂が含浸された有機繊維の集合体からなり、前記樹脂層が、前記有機繊維を含まない熱硬化性樹脂からなり、前記積層板が複数の基材層の間に樹脂層を有するとともに両表面に樹脂層を有する研磨治具を報告した（特許文献１）。しかしながら、この研磨治具を用いて板状体を研磨すると、研磨中に治具から繊維や異物が脱落して板状体にスクラッチを発生させてしまうという問題があった。しかも、製造コストが高く実用化は難しいものであった。【０００４】
このような問題を解決するために、本発明者らは、基材層と樹脂層とを有する積層板からなる研磨治具であって、前記基材層が、樹脂が含浸された有機繊維集合体からなり、前記樹脂層が、環状オレフィン重合体を含み前記有機繊維を含まず、前記積層板が複数の基材層の間に樹脂層を有するとともに両表面にも樹脂層を有する研磨治具を報告した（特許文献２）。この研磨治具は、特許文献１に記載の研磨治具に比べて、板状体にスクラッチを生じさせ難く、製造コストも抑えられたものであったが、用途によっては曲げ弾性率や強度が不十分となる場合があった。【０００５】
近年、研磨治具の性能や製造コストに対する要求は益々強まっており、曲げ弾性率や曲げ強度が高く、かつ安価に製造することのできる研磨治具が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２０１５／０５６６６４号
【特許文献２】国際公開第２０１５／１７０５５６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、曲げ弾性率及び曲げ強度が高く、かつ安価に製造することのできる研磨治具を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題は、熱硬化性樹脂層と熱可塑性樹脂層とを有する積層板からなる研磨治具であって；前記熱硬化性樹脂層が有機繊維集合体を含み、前記熱可塑性樹脂層が有機繊維集合体を含まず、かつ前記熱硬化性樹脂層が前記積層板の両表面に配置されてなることを特徴とする研磨治具を提供することによって解決される。【０００９】
このとき、前記積層板が、前記熱硬化性樹脂層、前記熱可塑性樹脂層及び前記熱硬化性樹脂層をこの順序で有する３層構造体であることが好ましい。【００１０】
前記熱可塑性樹脂層が、ポリオレフィン、ポリエステル及びポリ（メタ）アクリレートからなる群から選択される少なくとも１種の重合体を含むことが好ましい。また、前記熱硬化性樹脂層がエポキシ樹脂又はフェノール樹脂を含むことが好ましい。【００１１】
前記有機繊維集合体を構成する繊維が、ポリアリレート繊維、アラミド繊維及びポリフェニレンサルファイド繊維からなる群から選択される少なくとも１種の繊維であることが好ましい。また、前記有機繊維集合体が織布又は編地であることが好ましい。【００１２】
前記積層板の総厚みが１００〜５０００μｍであることが好ましい。また、前記積層板において、前記熱可塑性樹脂層の合計厚みが、前記熱硬化性樹脂層の合計厚みの０．２〜１０倍であることが好ましい。【００１３】
前記積層板が３層構造体であり、表面の前記熱硬化性樹脂層の厚みがいずれも中心の前記熱可塑性樹脂層の０．０５〜５倍であることが好ましい。【００１４】
上記課題は、上記研磨治具の製造方法であって；前記有機繊維集合体に熱硬化性樹脂を含浸させてプリプレグを得る第１工程と、前記第１工程で得られたプリプレグと熱可塑性樹脂からなるシートとを、前記プリプレグが両表面になるように重ね合わせて加熱加圧して積層板を得る第２工程と、研磨される板状体を保持するための貫通孔を前記積層板に形成する第３工程とを備える研磨治具の製造方法を提供することによっても解決される。【００１５】
上記研磨治具で板状体を保持して該板状体を研磨する研磨方法が本発明の好適な実施態様である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、曲げ弾性率及び曲げ強度が高く、かつ安価に製造することのできる研磨治具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施例１における研磨治具の断面画像である。
【図２】実施例１における研磨治具の平面図である。
【図３】比較例１における研磨治具の断面画像である。
【図４】比較例２における樹脂治具の断面画像である。
【図５】比較例３における樹脂治具の断面画像である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明は、熱硬化性樹脂層と熱可塑性樹脂層とを有する積層板からなる研磨治具であって、熱硬化性樹脂層が有機繊維集合体を含み、熱可塑性樹脂層が有機繊維集合体を含まず、かつ熱硬化性樹脂層が積層板の両表面に配置されてなることを特徴とする研磨治具である。上記の構成を満足する研磨治具は、曲げ弾性率及び曲げ強度が高く、かつ安価に製造することができる。
【００１９】
本発明において、熱硬化性樹脂層が有機繊維集合体を含むことが重要である。研磨治具の両表面にこのような層が配置されることで、曲げ弾性率及び曲げ強度が向上する。
【００２０】
有機繊維集合体を構成する繊維が、ポリアリレート繊維、アラミド繊維及びポリフェニレンサルファイド繊維からなる群から選択される少なくとも１種の繊維であることが好ましい。中でも、Ａｌ、Ｍｇ、Ｔｉ、Ｓｉ等の金属の不純物が少なく、得られる研磨治具の強度に優れる点から、ポリアリレート繊維がより好ましい。
【００２１】
有機繊維集合体が織布又は編地であることが好ましい。織布である場合は、平織り、綾織り、絡み織り、もじり織り、多重織等が挙げられる。編地である場合は、ラッセル編、トリコット編、ミラニーズ編等が挙げられる。上記織布又は編地の目付は、通常、５ｇ／ｍ２以上であり、研磨治具の強度を向上させる観点から、３０ｇ／ｍ２以上であることが好ましい。一方、上記織布又は編地の目付重量は通常、５００ｇ／ｍ２以下である。より強度の高い製品が得られる観点から、有機繊維集合体が織布であることがより好ましい。
【００２２】
熱硬化性樹脂層がエポキシ樹脂又はフェノール樹脂を含むことが好ましい。中でも耐薬品性の観点から、エポキシ樹脂を含むことがより好ましい。エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂；フェノールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂などが例示される。熱硬化性樹脂は、一般的な硬化剤や硬化促進剤を含有してもよい。熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂である場合の硬化剤や硬化促進剤としては、アミン系化合物などが例示される。
【００２３】
本発明において、熱可塑性樹脂層が有機繊維集合体を含まないことが重要である。熱可塑性樹脂層に有機繊維集合体が含まれていると、当該熱可塑性樹脂層にヒゲが発生したり、熱可塑性樹脂層から有機繊維が脱落したりして、板状体に異物が付着したりスクラッチが発生したりする。このとき、本発明の効果を阻害しない範囲であれば、熱可塑性樹脂層に微量の有機繊維が含まれていてもかまわない。しかしながら、熱可塑性樹脂層におけるヒゲの発生や樹脂層からの有機繊維の脱落を完全に抑制する観点からは、熱可塑性樹脂層には有機繊維が全く含まれていない方が好ましい。
【００２４】
本発明において、前記熱可塑性樹脂層が、ポリオレフィン、ポリエステル及びポリ（メタ）アクリレートからなる群から選択される少なくとも１種の重合体を含むことが好ましい。中でも、ポリオレフィンがより好ましく、環状オレフィン重合体がさらに好ましい。
【００２５】
環状オレフィン重合体は、耐熱性、耐熱老化性、耐薬品性、耐侯性、耐溶剤性、誘電特性、剛性などに優れた重合体であり、環状オレフィン重合体を用いることによって、強度及び耐久性に優れた研磨治具を得ることができる。環状オレフィン重合体は、非晶性であることから、得られる研磨治具の寸法精度が良好である。また、環状オレフィン重合体は熱可塑性樹脂であるから、加熱することによって溶融させることができ、研磨治具の生産性が良好になる。
【００２６】
前記環状オレフィン重合体は、脂肪族環状骨格を有するオレフィン単量体のみを重合してなるものであっても構わないし、脂肪族環状骨格を有するオレフィン単量体と他の共重合可能な単量体との共重合体であってもよい。他の単量体の共重合量は通常、５０質量％未満であり、好適には３０質量％未満である。前記環状オレフィン重合体は、環状オレフィン重合体を主成分とし、他の成分を含有する樹脂組成物であっても構わない。主成分とは、通常、含有量が５０質量％以上である成分であり、好適には８０質量％以上である成分である。
【００２７】
環状オレフィン重合体は、重合体の主鎖又は側鎖に飽和炭化水素環構造を有する、非結晶性、透明性のものであり、具体的には、特開昭６３−２６４６４６号公報、特開昭６４−１７０５号公報、特開平１−１６８７２４号公報、特開平１−１６８７２５号公報などに開示されるノルボルネン環を有するモノマーの開環重合体及びその水素添加物、特開昭６０−１６８７０８号公報などに開示されるノルボルネン環を有するモノマーとα−オレフィン類との付加重合体、特開平６−１３６０５７号公報や、特開平７−２５８３６２号公報などに開示されている環状オレフィンや環状ジエンの付加重合体やその水素添加物、国際公開第２００６／０２５２９４号に開示されている環状オレフィン重合体と軟質共重合体とを含む樹脂組成物などをあげることができる。このような樹脂組成物は、例えば、冨士ベークライト株式会社から商標名「ｅ−ｍａｔｅＸ」の名称で、三井化学株式会社から商標名「アペル」、「トーパス」の名称で、日本ゼオン株式会社から商標名「ゼオネックス」、「ゼオノア」の名称で販売されており、市販品を容易に入手することが可能である。これらの市販品には、耐久性や成形性を改善するための添加剤が添加されていることも多いので、研磨時に異物が脱落することを防ぐ観点から添加剤を加える前の樹脂を使用して成形することが好ましい場合もある。また、触媒残渣や残存揮発分を特別に低減した樹脂を使用することが好ましい場合もある。
【００２８】
前記樹脂層が、環状オレフィン重合体と軟質共重合体とを含む樹脂組成物からなることが好ましい。研磨治具がこのような樹脂層を有することで、研磨治具の耐衝撃性や耐摩耗性をより向上させることができる。前記樹脂層が、特に、ガラス転移温度が６０〜２００℃の環状オレフィン重合体（Ａ）１００質量部、オレフィン、ジエン及び芳香族ビニル炭化水素からなる群から選択される少なくとも２種以上の単量体を重合してなり、ガラス転移温度が０℃以下である軟質共重合体（Ｂ）１〜５０質量部、ラジカル開始剤（Ｃ）０．００１〜１質量部、及びラジカル重合性の官能基を分子内に２個以上有する多官能化合物（Ｄ）０〜１質量部を溶融混練してなる樹脂組成物からなることがより好ましい。
【００２９】
以下、環状オレフィン重合体（Ａ）、軟質共重合体（Ｂ）、ラジカル開始剤（Ｃ）及びラジカル重合性の官能基を分子内に２個以上有する多官能化合物（Ｄ）について説明する。
【００３０】
まず、環状オレフィン重合体（Ａ）について説明する。本発明で用いられる環状オレフィン重合体（Ａ）は、ガラス転移温度が６０〜２００℃のものが好適である。研磨治具の耐熱性をより向上させる観点から、好適には８０℃以上であり、より好適には１００℃以上である。また、成形温度が高くなりすぎると分解のおそれがあるため、ガラス転移温度は２００℃以下であることが好ましい。本発明におけるガラス転移温度は、示差走査熱量計（ＤＳＣ）を用いて昇温速度１０℃／分で測定したガラス転移開始温度である。
【００３１】
環状オレフィン重合体（Ａ）のＭＦＲ（メルトフローレート：ＡＳＴＭ Ｄ１２３８に基づいて、２３０℃、２．１６ｋｇ荷重で測定）が０．１〜５００ｇ／１０分であることが好適である。ＭＦＲが０．１ｇ／１０分未満の場合には、溶融粘度が高すぎて、得られる樹脂組成物の溶融成形性が悪化するおそれがある。ＭＦＲは、より好適には０．５ｇ／１０分以上であり、さらに好適には１ｇ／１０分以上である。一方、ＭＦＲが５００ｇ／１０分を超える場合には、得られる樹脂組成物の力学強度が低下するおそれがある。ＭＦＲは、より好適には２００ｇ／１０分以下であり、さらに好適には１００ｇ／１０分以下である。
【００３２】
環状オレフィン重合体（Ａ）は、脂肪族環状骨格を有するオレフィン単量体を重合してなり、得られた重合体中に脂肪族環状骨格を有するものであればよく、その種類は限定されないが、環状オレフィン重合体（Ａ）が下記式［I］又は［II］で示される環状オレフィンを重合してなる重合体であることが好適である。
【００３３】
【化１】
2018025915.tif 000003
【００３４】
（上式[I]中、ｎは０又は１であり、ｍは０又は正の整数であり、ｑは０又は１であり、Ｒ1〜Ｒ18並びにＲa及びＲbは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又は炭化水素基であり、Ｒ15〜Ｒ18は互いに結合して単環又は多環を形成していてもよく、かつ該単環又は多環が二重結合を有していてもよく、またＲ15とＲ16とで、又はＲ17とＲ18とでアルキリデン基を形成していてもよい。）
【００３５】
【化２】
2018025915.tif 000004
【００３６】
（式[II]中、ｐ及びｑは０又は１以上の整数であり、ｍ及びｎは０、１又は２であり、Ｒ1〜Ｒ19はそれぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、脂肪族炭化水素基、脂環族炭化水素基、芳香族炭化水素基又はアルコキシ基であり、Ｒ9（又はＲ10）が結合している炭素原子と、Ｒ13又はＲ11が結合している炭素原子とは直接あるいは炭素数１〜３のアルキレン基を介して結合していてもよく、また、ｎ＝ｍ＝０のときＲ15とＲ12又はＲ15とＲ19とは互いに結合して単環又は多環の芳香族環を形成していてもよい。）
【００３７】
上記式［I］又は［II］で示される環状オレフィンを重合してなる重合体としては、以下に示す（ａ１）、（ａ２）、（ａ３）及び（ａ４）が好適なものとして例示される。
（ａ１）：エチレンと上記式［I］又は［II］で表される環状オレフィンとのランダム共重合体（エチレン−環状オレフィンランダム共重合体）
（ａ２）：上記式［I］又は［II］で表される環状オレフィンの開環重合体又は開環共重合体
（ａ３）：（ａ２）の水素化物
（ａ４）：（ａ１）、（ａ２）、又は（ａ３）のグラフト変性物
【００３８】
これらのうち、エチレン−環状オレフィンランダム共重合体（ａ１）、すなわち、エチレンと上記式［I］又は［II］で示される環状オレフィンとのランダム共重合体が好ましく用いられる。このようなエチレン−環状オレフィンランダム共重合体（ａ１）は、耐摩耗性に優れ、揮発成分の放出量が少ない樹脂組成物が得られることなどから、好適に使用される。
【００３９】
このとき、エチレン−環状オレフィンランダム共重合体（ａ１）の原料として使用される上記式［I］又は［II］で示される環状オレフィンとしては、耐熱性や入手の容易性の点から好適なものとして、テトラシクロ［4.4.0.12,5.17,10］-3-ドデセン及びこれに炭化水素基が置換した誘導体が例示され、特に好適なものとしてテトラシクロ［4.4.0.12,5.17,10］-3-ドデセンが例示される。
【００４０】
エチレン−環状オレフィンランダム共重合体（ａ１）におけるエチレン含有率は４０〜８５モル％であることが、耐熱性や剛性などの点から好ましい。エチレン含有率はより好適には５０モル％以上である。また、エチレン含有率はより好適には７５モル％以下である。一方、環状オレフィンの含有量は１５〜６０モル％であることが好ましい。環状オレフィンの含有率はより好適には２５モル％以上である。また、環状オレフィンの含有率はより好適には５０モル％以下である。
【００４１】
次に、軟質共重合体（Ｂ）について説明する。軟質共重合体（Ｂ）のガラス転移温度は０℃以下であることが好ましい。ガラス転移温度は、好適には−１０℃以下であり、より好適には−２０℃以下である。また通常、ガラス転移温度は−１００℃以上である。またＸ線回析法により測定した結晶化度は、好適には０〜３０％であり、より好適には０〜２５％である。
【００４２】
軟質共重合体（Ｂ）のＭＦＲ（メルトフローレート：ＡＳＴＭ Ｄ１２３８に基づいて、２３０℃、２．１６ｋｇ荷重で測定）が０．０１〜２００ｇ／１０分であることが好適である。ＭＦＲが０．０１ｇ／１０分未満の場合には、溶融粘度が高すぎて、得られる樹脂組成物の溶融成形性が悪化するおそれがある。ＭＦＲは、より好適には０．０５ｇ／１０分以上であり、さらに好適には０．１ｇ／１０分以上である。一方、ＭＦＲが２００ｇ／１０分を超える場合には、得られる研磨治具の力学強度が低下するおそれがある。ＭＦＲは、より好適には１５０ｇ／１０分以下であり、さらに好適には１００ｇ／１０分以下である。また、１３５℃デカリン中で測定した極限粘度［η］が０．０１〜１０ｄｌ／ｇ、好ましくは０．０８〜７ｄｌ／ｇのものを使用するのが好ましい。
【００４３】
軟質共重合体（Ｂ）が、オレフィン、ジエン及び芳香族ビニル炭化水素からなる群から選択される少なくとも２種以上の単量体を重合してなるものであることが好ましい。このとき、軟質共重合体（Ｂ）としては、以下に示す（ｂ１）、（ｂ２）、（ｂ３）及び（ｂ４）が好適なものとして例示される。
（ｂ１）：エチレン及び炭素数が３〜２０のα−オレフィンからなる群から選択される少なくとも２種以上の単量体を重合してなる非晶性又は低結晶性の軟質共重合体
（ｂ２）：エチレンと、炭素数が３〜２０のα−オレフィンと、環状オレフィンとを重合してなる軟質共重合体
（ｂ３）：非共役ジエンと、エチレン及び炭素数が３〜２０のα−オレフィンからなる群から選択される少なくとも２種以上の単量体とを重合してなる軟質共重合体
（ｂ４）：芳香族ビニル炭化水素と共役ジエンとのランダム若しくはブロック共重合体又はその水素化物である軟質共重合体
【００４４】
次に、ラジカル開始剤（Ｃ）について説明する。ラジカル開始剤（Ｃ）としては、溶融混練時の加熱によって熱分解してラジカルを発生することのできるものであればよく、その種類は特に限定されない。過酸化物、アゾ化合物、レドックス開始剤などが挙げられる。しかしながら、金属を含有するものは、研磨治具中に金属残渣が混入するため好ましくない。また、アゾ化合物のように窒素元素を含有するものは、研磨治具から含窒素化合物が揮発するおそれがあり、好ましくない場合がある。したがって、有機過酸化物が好適に採用される。ラジカル開始剤（Ｃ）は、溶融混練時に適度な速度で分解することが好ましく、その１分間半減期温度は３０〜２５０℃であることが好適である。１分間半減期温度は、より好適には５０℃以上であり、２００℃以下である。
【００４５】
ラジカル開始剤（Ｃ）として使用される有機過酸化物としては、メチルエチルケトンパーオキシド、シクロヘキサノンパーオキシド等のケトンパーオキシド類；1,1−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）シクロヘキサン、2,2−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）オクタン等のパーオキシケタール類；t−ブチルヒドロパーオキシド、クメンヒドロパーオキシド、2,5−ジメチルヘキサン−2,5−ジヒドロキシパーオキシド、1,1,3,3−テトラメチルブチルヒドロパーオキシド等のヒドロパーオキシド類；ジ−ｔ−ブチルパーオキシド、2,5−ジメチル−2,5−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、2,5−ジメチル−2,5−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキシン−３等のジアルキルパーオキシド類；ラウロイルパーオキシド、ベンゾイルパーオキシド等のジアシルパーオキシド類；t−ブチルパーオキシアセテート、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、2,5−ジメチル−2,5−ビス（ベンゾイルパーオキシ）ヘキサン等のパーオキシエステル類等をあげることができる。
【００４６】
次に、ラジカル重合性の官能基を分子内に２個以上有する多官能化合物（Ｄ）について説明する。当該多官能化合物（Ｄ）としては、たとえばジビニルベンゼン、アクリル酸ビニル、メタクリル酸ビニル、トリアリールイソシアヌレート、ジアリールフタレート、エチレンジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレートなどをあげることができる。
【００４７】
そして、環状オレフィン重合体（Ａ）、軟質共重合体（Ｂ）、ラジカル開始剤（Ｃ）及び多官能化合物（Ｄ）を溶融混練することにより樹脂組成物を得ることができる。
【００４８】
軟質共重合体（Ｂ）の配合量は、環状オレフィン重合体（Ａ）１００質量部に対して１〜５０質量部であることが好ましい。軟質共重合体（Ｂ）の配合量が１質量部未満の場合には、耐摩耗性の改善が不十分になり、好適には５質量部以上である。一方、軟質共重合体（Ｂ）の配合量が５０質量部を超える場合には、得られる積層板の剛性が低下し、研磨治具としての使用が困難になる場合があり、好適には２５質量部以下である。
【００４９】
ラジカル開始剤（Ｃ）の配合量は、環状オレフィン重合体（Ａ）１００質量部に対して０．００１〜１質量部であることが好ましい。ラジカル開始剤（Ｃ）の配合量が０．００１質量部未満の場合には、架橋反応が十分に進行せず耐摩耗性の改善が不十分になり、好適には０．０１質量部以上である。一方、ラジカル開始剤（Ｃ）の配合量が１質量部を超える場合には耐汚染性が悪化するおそれがあり、好適には０．５質量部以下である。
【００５０】
多官能化合物（Ｄ）の配合量は、環状オレフィン重合体（Ａ）１００質量部に対して０〜１質量部であることが好ましい。多官能化合物（Ｄ）の配合は任意であり、配合しなくても良いが、効率的に架橋反応を進行させるためには配合させるほうが好ましい。その場合の好適な配合量は０．００１質量部以上であり、より好適には０．０１質量部以上である。一方、多官能化合物（Ｄ）の配合量が１質量部を超える場合には耐汚染性が悪化するおそれがあり、好適には０．５質量部以下である。
【００５１】
本発明で用いられる環状オレフィン重合体（Ａ）は、基材層との接着性の観点から、酸変性環状オレフィン重合体であることが好ましい。このような酸変性環状オレフィン重合体は、所望の酸変性量になるように環状オレフィン重合体（Ａ）に変性剤を配合してグラフト重合させ製造することもできるし、予め高変性率の変性物を調製し、次いでこの変性物と未変性の環状オレフィン重合体とを混合することにより製造することもできる。このとき、樹脂層に含まれる重合体における、不飽和カルボン酸単位又はその無水物に由来する単位の含有量が０．１〜５質量％であることが好ましい。当該含有量が０．１質量％未満の場合、基材層と優れた接着性が得られないおそれがあり、０．２質量％以上であることがより好ましい。一方、当該含有量が５質量％を超えると耐汚染性が劣るおそれがあり、３質量％以下であることがより好ましい。
【００５２】
変性剤としては、通常不飽和カルボン酸類が用いられ、具体的には、（メタ）アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、テトラヒドロフタル酸、イタコン酸、シトラコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、エンドシス−ビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボン酸（ナジック酸）などの不飽和カルボン酸、さらにこれら不飽和カルボン酸の誘導体たとえば不飽和カルボン酸無水物、不飽和カルボン酸ハライド、不飽和カルボン酸アミド、不飽和カルボン酸イミド、不飽和カルボン酸のエステル化合物などが挙げられる。
【００５３】
不飽和カルボン酸の誘導体として、より具体的には、無水マレイン酸、無水シトラコン酸、塩化マレニル、マレイミド、マレイン酸モノメチル、マレイン酸ジメチル、グリシジルマレエートなどが挙げられる。
【００５４】
これらの変性剤のうちでも、α，β−不飽和ジカルボン酸及びα，β−不飽和ジカルボン酸無水物、例えばマレイン酸、ナジック酸及びこれら酸の無水物が好ましく用いられる。これらの変性剤は、２種以上組み合わせて用いることもできる。
【００５５】
次に本発明における積層板の厚み及び層構成について説明する。本発明は、熱硬化性樹脂層と熱可塑性樹脂層とを有する積層板からなる研磨治具であって、前記熱硬化性樹脂層が前記積層板の両表面に配置されてなることを特徴とするものである。
【００５６】
積層板の総厚みは１００〜５０００μｍであることが好ましい。総厚みが１００μｍ未満であると研磨治具の強度や耐久性が低下するおそれがある。総厚みは２００μｍ以上であることがより好ましい。一方、総厚みが５０００μｍを超えると製造コストが上昇するおそれがある。総厚みは３０００μｍ以下であることがより好ましい。ここで、積層板の総厚みを厚くする方法として、熱硬化性樹脂層及び／又は熱可塑性樹脂層を厚くする方法が挙げられる。しかしながら、製造コストの観点から、熱硬化性樹脂層を厚くするよりも熱可塑性樹脂層を厚くすることが好ましい。
【００５７】
熱硬化性樹脂層の合計厚みと、熱可塑性樹脂層の合計厚みとの関係について、切断面からの繊維脱落防止の観点からは、熱可塑性樹脂層の合計の厚みが大きい方が好ましい。一方、研磨治具の強度の観点からは、熱硬化性樹脂層の合計の厚みが大きい方が好ましい。これらのバランスの観点から、積層板において、熱可塑性樹脂層の合計厚みが、熱硬化性樹脂層の合計厚みの０．２倍以上であることが好ましく、０．４倍以上であることがより好ましく、０．６倍以上であることがさらに好ましい。熱可塑性樹脂層の合計厚みが、熱硬化性樹脂層の合計厚みの１０倍以下であることが好ましく、６倍以下であることがより好ましく、４倍以下であることがさらに好ましく、３倍以下であることが特に好ましい。
【００５８】
本発明における積層板の層構成は、熱硬化性樹脂層が積層板の両表面に配置されていれば特に限定されないが、例えば、以下に示す３層構造体、５層構造体、７層構造体などが挙げられる。ここで、ＴＳは熱硬化性樹脂層であり、ＴＰは熱可塑性樹脂層を示す。
３層構造体：ＴＳ／ＴＰ／ＴＳ
５層構造体：ＴＳ／ＴＰ／ＴＳ／ＴＰ／ＴＳ
７層構造体：ＴＳ／ＴＰ／ＴＳ／ＴＰ／ＴＳ／ＴＰ／ＴＳ
【００５９】
上記の中でも、積層板が、熱硬化性樹脂層、熱可塑性樹脂層及び熱硬化性樹脂層をこの順序で有する３層構造体（ＴＳ／ＴＰ／ＴＳ）であることが好ましい。ここで、研磨治具を曲げようとする外力が加わると、その外力に反発する力として両側の熱硬化性樹脂層にそれぞれ圧縮応力と引張応力が生じる。圧縮応力及び引張応力が生じる層を、曲げ弾性率及び曲げ強度の高い有機繊維集合体を含む熱硬化性樹脂層とすることで研磨治具の曲げ弾性率及び曲げ強度が向上する。
【００６０】
積層板が３層構造体である場合において、表面の熱硬化性樹脂層の厚みがいずれも中心の熱可塑性樹脂層の０．０５倍以上であることが好ましく、０．１倍以上であることがより好ましく、０．２倍以上であることがさらに好ましい。表面の熱硬化性樹脂層の厚みに対して中心の熱可塑性樹脂層の厚みを厚くすることでより外側に熱硬化性樹脂層が配置されることになる。熱硬化性樹脂層をより外側に配置することで、高弾性率の熱硬化性樹脂層によって曲げによる研磨治具表面の伸縮を効果的に拘束できるので研磨治具の曲げ弾性率及び曲げ強度がより向上する。表面の熱硬化性樹脂層の厚みがいずれも中心の熱可塑性樹脂層の５倍以下であることが好ましく、３倍以下であることがより好ましく、２倍以下であることがさらに好ましく、１．５倍以下であることが特に好ましい。
【００６１】
本発明の研磨治具の製造方法としては特に限定されないが、有機繊維集合体に熱硬化性樹脂を含浸させてプリプレグを得る第１工程と、第１工程で得られたプリプレグと熱可塑性樹脂からなるシートとを、前記プリプレグが両表面になるように重ね合わせて加熱加圧して積層板を得る第２工程と、研磨される板状体を保持するための貫通孔を前記積層板に形成する第３工程とを備える製造方法が好適である。
【００６２】
まず、第１工程において、有機繊維の集合体に熱硬化性樹脂を含浸させプリプレグを得る。有機繊維の集合体は上述したものを用いることができる。
【００６３】
このとき、得られる研磨治具の強度や耐久性の観点から、厚みが１０〜３００μｍである有機繊維集合体を用いることが好ましい。当該集合体の厚みは、２０μｍ以上であることがより好ましい。一方、集合体の厚みが３００μｍを超えると集合体の製造が困難になるおそれがあるし、柔軟性が不足してプリプレグを製造するのが困難になる場合がある。集合体の厚みは２００μｍ以下であることがより好ましい。
【００６４】
有機繊維集合体に熱硬化性樹脂を含浸させてプリプレグを製造する方法は特に限定されない。有機繊維集合体を容器内の熱硬化性樹脂に浸漬する方法や、有機繊維集合体の表面に熱硬化性樹脂を塗布する方法などが例示される。このとき、熱硬化性樹脂を溶媒に溶解させて得られた溶液を用いることが好ましい。浸漬時間や塗布量は、熱硬化性樹脂層が所望の厚みになるように適宜設定することができる。中でも、有機繊維集合体を容器内の熱硬化性樹脂に浸漬することが好ましい。次の第２工程でプリプレグと、熱可塑性樹脂からなるシートとを重ね合わせて加熱加圧して積層板とするため、第２工程までは熱硬化性樹脂が半硬化状態であることが好ましい。
【００６５】
次に第２工程において、第１工程で得られたプリプレグと熱可塑性樹脂からなるシートとを、前記プリプレグが両表面になるように重ね合わせて加熱加圧して積層板を得る。このとき、用いるプリプレグ及びシートの枚数は特に限定されない。例えば、上述した３層構造体を得る場合、プリプレグが両表面に配置されていればよく、中心のシートの枚数は特に限定されない。
【００６６】
本発明の製造方法では、用いる熱可塑性樹脂からなるシートの厚さや枚数を変えることで、積層板の総厚みを任意に変えることができる。プリプレグよりもシートの方が安価な場合が多いので、本発明の製造方法は、コスト面でメリットが大きい。
【００６７】
次に、第３工程において、研磨される板状体を保持するための貫通孔を積層板に形成する。積層板に孔を１つ又は複数個形成することで研磨治具を得ることができる。形成方法は特に限定されず、ルーターマシンなどを用いて積層板に貫通孔を形成すればよい。このとき、積層板を所定の寸法や形状に成形したり、必要に応じて駆動用のギヤを形成したりしてもよい。
【００６８】
本発明の研磨治具で板状体を保持して該板状体を研磨する。本発明の研磨治具は、曲げ弾性率及び曲げ強度が高い。そのため研磨治具の破損を防ぎながら、異物の脱落を防ぐことができる。また、板状体に異物が付着したりスクラッチが発生したりするのを抑制することができる。研磨される板状体は特に限定されず、半導体ウェハ、ハードディスク用のアルミニウムディスクやガラスディスク、液晶表示用のガラス基板などが例示される。
【実施例】
【００６９】
［材料］
（ポリアリレート繊維織布（ＷＦ））
ポリアリレート繊維織布は、株式会社クラレ製「ベクトラン ＨＴ−０２３５」（目付：６２ｇ／ｍ２、厚み：１１６μｍ）である。以下の説明において、このポリアリレート繊維織布を「ＷＦ」と略記することがある。【００７０】
（エポキシ含浸織布（ＷＰ））
熱硬化性樹脂としてのビスフェノールＡ型エポキシ樹脂と、硬化剤としてのアミン系化合物とをトルエン、メタノール及びメチルセロソルブの混合溶媒に加えて溶解させてワニスを調製した。【００７１】
上記ワニスを容器に入れ、ポリアリレート繊維織布「ベクトラン ＨＴ−０２３５」を容器内のワニスに浸漬した。その後、ポリアリレート繊維織布を乾燥してワニスを半硬化させてエポキシ含浸織布（プリプレグ）を得た。得られたエポキシ含浸織布におけるエポキシ樹脂の含有率（Ｒｃ）は５８質量％であった。以下、このエポキシ含浸織布を「ＷＰ」と略記することがある。【００７２】
（不織布（ＮＦ））
不織布はクラレクラフレックス株式会社製の不織布「ベクルス MBBK150FZSO」（目付：１５０ｇ／ｍ２、厚み：３２３μｍ、密度：０．４６ｇ／ｃｍ３）である。この「ベクルス MBBK150FZSO」は、メルトブロー成形法により製造した不織布であり、熱圧着して得られたものであり、接着剤を含まない。以下の説明において、この不織布を「ＮＦ」と略記することがある。【００７３】
（エポキシ含浸不織布（ＮＰ））
熱硬化性樹脂としてのビスフェノールＡ型エポキシ樹脂と、硬化剤としてのアミン系化合物とをトルエン、メタノール及びメチルセロソルブの混合溶媒に加えて溶解させてワニスを調製した。【００７４】
上記ワニスを容器に入れ、不織布「ベクルス MBBK150FZSO」を容器内のワニスに浸漬した。その後、不織布を乾燥してワニスを半硬化させてエポキシ含浸不織布を得た。以下、このエポキシ含浸不織布を「ＮＰ」と略記することがある。【００７５】
（樹脂シート（Ｓ））
下記の環状オレフィン重合体（ａ）１００質量部、エチレン・プロピレンランダム共重合体（ｂ）１１質量部、ラジカル開始剤（ｃ）０．０２２質量部及び多官能化合物（ｄ）０．０２２質量部を押出機で溶融混練して樹脂組成物を得た。当該樹脂組成物は、冨士ベークライト株式会社から「ＦＢ−０４２２Ｘ１」の名称で市販されているものである。【００７６】
・環状オレフィン重合体（ａ）
エチレンとテトラシクロ［4.4.0.12,5.17,10]-3-ドデセン（以下「ＴＣＤ−３」と略すことがある）とのランダム共重合体（エチレン−ＴＣＤ−３ランダム共重合体）。１３Ｃ−ＮＭＲで測定したＴＣＤ−３含有量が７７．８質量％（３８ｍｏｌ％）、エチレン含量が２２．２質量％（６２ｍｏｌ％）、１３５℃のデカリン中で測定した極限粘度[η]が０．６０ｄｌ／ｇ、ガラス転移温度（Ｔｇ）が１０５℃である。ＭＦＲ（ＡＳＴＭ Ｄ１２３８に基づいて２３０℃、２．１６ｋｇ荷重で測定）は８．２ｇ／１０分である。ＴＣＤ−３の構造式は、上記式[I]において、ｎ＝０、ｍ＝１かつＲ７、Ｒ８、Ｒ９、Ｒ１０、Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１３、Ｒ１４、Ｒ１５、Ｒ１６、Ｒ１７、Ｒ１８が水素原子の場合である。【００７７】
・軟質共重合体（ｂ）
三井化学株式会社製エチレン−プロピレンランダム共重合体「Ｐ−０８８０」。エチレン含量が８０ｍｏｌ％、極限粘度[η]が２．５ｄｌ／ｇ、ガラス転移温度（Ｔｇ)が−５４℃である。ＭＦＲ（ＡＳＴＭ Ｄ１２３８に基づいて、２３０℃、２．１６ｋｇ荷重で測定）が０．４ｇ／１０分、密度が０．８６７ｇ／ｃｍ３、Ｘ線回折法により測定した結晶化度が約１０％である。【００７８】
・ラジカル開始剤（ｃ）
日本油脂株式会社製「パーヘキシン２５Ｂ」。２，５−ジメチル−２，５−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキシン−３を主成分（９０％以上）とする。１分間半減期温度は１９４．３℃である。【００７９】
・多官能化合物（ｄ）
ジビニルベンゼン【００８０】
そして、上記樹脂組成物、２，５−ジメチル−２，５−ジ−（ｔ−ブチルパーオキシン）−ヘキシン−３、無水マレイン酸を混合して混合物を得た。この混合物における上記樹脂組成物の含有量は９８．５質量％であり、２，５−ジメチル−２，５−ジ−（ｔ−ブチルパーオキシン）の含有量は０．５質量％であり、無水マレイン酸の含有量は１．０質量％であった。混合物を二軸押出機（株式会社日本製鋼所製「ＴＥＸ３０α」）に投入して溶融混練して反応させた後、ペレット化してペレットを得た。２，５−ジメチル−２，５−ジ−（ｔ−ブチルパーオキシン）−ヘキシン−３は日本油脂株式会社製の「パーヘキシン２５Ｂ」であった。【００８１】
得られたペレットを押出機に投入して製膜を行い、厚さが、１．０ｍｍ、０．５５ｍｍ、０．５０ｍｍ、０．３５ｍｍ及び０．１１ｍｍの樹脂シートを作製した。以下、樹脂シートを「Ｓ」と略記することがある。また、記号Ｓとともに記載した数値は樹脂シートの厚さ（ｍｍ）を示すものである。【００８２】
［評価］
（曲げ特性の評価）
JIS K7171に準拠して、得られた積層板の曲げ特性を測定した。具体的には、株式会社島津製作所製「AG-10TB」を用いて、得られた積層板を１．０ｍｍ×２５ｍｍ×２０ｍｍ（厚さ×幅×長さ）に切断して１０枚の試験片を得た。そして、これらの試験片を用いて、２５℃において、試験速度１ｍｍ／ｍｉｎ、支点間距離１６ｍｍの条件で曲げ強度（ＭＰａ）及び曲げ弾性率（ＭＰａ）を測定し、１０枚の平均値を求めた。プリプレグ又はポリアリレート繊維織布を用いて作製した積層板については、織布の織り方向の曲げ特性とバイアス方向の曲げ特性をそれぞれ測定した。また、不織布を用いて作製した積層板については、流れ方向の曲げ特性と、その方向に垂直な方向の曲げ特性をそれぞれ測定した。ここで、不織布の流れ方向とは、不織布を製造する際の設備の流れ方向（Machine Direction：ＭＤ）のことをいう。【００８３】
実施例１
プレスプレートの間に、エポキシ含浸織布（ＷＰ）、エポキシ含浸織布（ＷＰ）、樹脂シート（Ｓ０．５０）、エポキシ含浸織布（ＷＰ）、エポキシ含浸織布（ＷＰ）をこの順序で重ねた。すなわち、プレスプレートの間に挟まれたシートは、上から順に、ＷＰ／ＷＰ／Ｓ０．５０／ＷＰ／ＷＰである。そして、最上面と最下面に離型フィルムを配置した。これを１セットとして、５セット重ねてプレスした。加圧を開始し、プレス圧力が１．５ＭＰａになったことを確認した後、このプレス圧力を保持したままプレスプレートを加熱した。プレスプレートの温度が１３０℃に達したことを確認したのち、そのプレス圧力及び温度で１時間プレスした。その後、プレス圧力を７．５ＭＰａにするとともに冷却水でプレスプレートを冷却した。【００８４】
得られた積層板の断面を、レーザー顕微鏡を用いて観察した。図１は、積層板の断面画像である。図１において、ＷＰa及びＷＰｂはいずれも２枚のエポキシ含浸織布（ＷＰ）が接着された熱硬化性樹脂層を示し、Ｓaは樹脂シートからなる熱可塑性樹脂層を示す。図１に示すように、得られた積層板はプリプレグからなる熱硬化性樹脂層と樹脂シートからなる熱可塑性樹脂層で構成される多層構造（ＷＰa／Ｓa／ＷＰｂ）を有するものであった。【００８５】
積層板の厚みを測定したところ、厚みは１０２３μｍであった。各層の厚さは以下の通りである。
ＷＰa：２８４μｍ
Ｓa：４９４μｍ
ＷＰｂ：２４５μｍ【００８６】
上述した方法に従って、得られた積層板の曲げ特性を測定した。結果を表１に示す。【００８７】
また、得られた積層板を、ルーターマシンを用いて加工して研磨治具を作製した。得られた研磨治具１の平面図を図２に示す。図２に示すように、研磨治具１は、外周に駆動用のギヤ２を有するとともに、研磨される板状体を保持するための貫通孔３を５つ有する。【００８８】
そして、得られた研磨治具を研磨装置に装着し板状体を貫通孔で保持して、研磨治具を水平に駆動させて板状体を６分間研磨した。本試験で研磨される板状体は、厚み１．２７ｍｍのアルミニウム基板である。また、本試験で用いた研磨材は株式会社フジミインコーポレーテッド製の「ディスクライト」であった。【００８９】
ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ社製のウェハ検査装置「Ｃａｎｄｅｌａ ７１００」を用いて、研磨後のアルミニウム基板の研磨面に存在するスクラッチを確認した。その結果、アルミニウム基板の研磨面にはスクラッチは確認されなかった。また、上記の装置を用いて、研磨後のアルミニウム基板の研磨面に異物が付着しているか否かを確認した。その結果、アルミニウム基板の研磨面で確認された異物はわずかであった。【００９０】
比較例１
プレスプレートに、順に、樹脂シート（Ｓ０．１１）、ポリアリレート繊維織布（ＷＦ）、樹脂シート（Ｓ０．１１）、ポリアリレート繊維織布（ＷＦ）、樹脂シート（Ｓ０．３５）、ポリアリレート繊維織布（ＷＦ）、樹脂シート（Ｓ０．１１）、ポリアリレート繊維織布（ＷＦ）、樹脂シート（Ｓ０．１１）を重ねた。すなわち、プレスプレートの間に挟まれたシートは、上から順に、Ｓ０．１１／ＷＦ／Ｓ０．１１／ＷＦ／Ｓ０．３５／ＷＦ／Ｓ０．１１／ＷＦ／Ｓ０．１１である。そして、最上面と最下面に離型フィルムを配置した。これを１セットとして、５セット重ねてプレスした。加圧を開始し、プレス圧力が３．５ＭＰａになったことを確認した後、このプレス圧力を保持したままプレスプレートを加熱した。プレスプレートの温度が１８０℃に達したことを確認したらすぐに、プレス圧力を７．５ＭＰａにするとともに冷却水でプレスプレートを冷却した。プレスプレートの温度が室温に戻ったら加圧を停止して、プレスプレートから積層板を取り出した。【００９１】
得られた積層板の断面を、レーザー顕微鏡を用いて観察した。図３は、積層板の断面画像である。図３に示すように、熱可塑性樹脂からなるシートの中にポリアリレート繊維織布（ＷＦ）が埋まっていた。積層板の厚みは８７６μｍであった。また、上述した方法に従って、得られた積層板の曲げ特性を測定した。結果を表１に示す。【００９２】
比較例２
プレスプレートに、順に、樹脂シート（Ｓ０．１１）、不織布（ＮＦ）、不織布（ＮＦ）、樹脂シート（Ｓ０．５５）、不織布（ＮＦ）、不織布（ＮＦ）、樹脂シート（Ｓ０．１１）を重ねた。すなわち、プレスプレートの間に挟まれたシートは、上から順に、Ｓ０．１１／ＮＦ／ＮＦ／Ｓ０．５５／ＮＦ／ＮＦ／Ｓ０．１１である。そして、最上面と最下面に離型フィルムを配置した。これを１セットとして、５セット重ねてプレスした。加圧を開始し、プレス圧力が３．５ＭＰａになったことを確認した後、このプレス圧力を保持したままプレスプレートを加熱した。プレスプレートの温度が１８０℃に達したことを確認したらすぐに、プレス圧力を７．５ＭＰａにするとともに冷却水でプレスプレートを冷却した。プレスプレートの温度が室温に戻ったら加圧を停止して、プレスプレートから積層板を取り出した。【００９３】
得られた積層板の断面を、レーザー顕微鏡を用いて観察した。図４は、研磨治具の断面画像である。図４において、Ｓｂ、Ｓｃ及びＳｄは樹脂シートからなる層を示し、Ｆａ及びＦｂはいずれも２枚の不織布からなる層を示す。図４に示すとおり、得られた積層板は基材層と樹脂層とが積層された多層構造（Ｓｂ／ＮＦａ／Ｓｃ／ＮＦｂ／Ｓｄ）を有するものである。【００９４】
積層板の厚みを測定したところ、厚みは９６５μｍであった。各層の厚さは以下の通りである。
Ｓｂ：４９μｍ
ＮＦａ：１９６μｍ
Ｓｃ：４４８μｍ
ＮＦｂ：２０６μｍ
Ｓｄ：６６μｍ【００９５】
また、上述した方法に従って、得られた積層板の曲げ特性を測定した。結果を表１に示す。【００９６】
比較例３
プレスプレートの間に、エポキシ含浸織布（ＷＰ）を８枚重ねた。そして、最上面と最下面に離型フィルムを配置した。これを１セットとして、５セット重ねてプレスした。加圧を開始し、プレス圧力が１．５ＭＰａになったことを確認した後、このプレス圧力を保持したままプレスプレートを加熱した。プレスプレートの温度が１３０℃に達したことを確認したのち、そのプレス圧力及び温度で１時間プレスした。その後、プレス圧力を７．５ＭＰａにするとともに冷却水でプレスプレートを冷却した。【００９７】
得られた積層板の断面を、レーザー顕微鏡を用いて観察した。図５は、積層板の断面画像である。図５に示すように、得られた積層板は織布が熱硬化性樹脂層に埋もれていた。積層板の厚みは１０５１μｍであった。また、上述した方法に従って、得られた積層板の曲げ特性を測定した。結果を表１に示す。【００９８】
比較例４
プレスプレートの間に、樹脂シート（Ｓ１）を１枚置いた。そして、最上面と最下面に離型フィルムを配置した。これを１セットとして、１５セット重ねてプレスした。加圧を開始し、プレス圧力が３．５ＭＰａになったことを確認した後、このプレス圧力を保持したままプレスプレートを加熱した。プレスプレートの温度が１２０℃に達したことを確認したのち、そのプレス圧力及び温度で１時間プレスした。その後、プレス圧力を７．５ＭＰａにするとともに冷却水でプレスプレートを冷却した。また、上述した方法に従って、得られた板の曲げ特性を測定した。結果を表１に示す。【００９９】
比較例５
プレスプレートの間に、エポキシ含浸不織布（ＮＰ）を８枚重ねた。そして、最上面と最下面に離型フィルムを配置した。これを１セットとして、５セット重ねてプレスした。加圧を開始し、プレス圧力が２．５ＭＰａになったことを確認した後、このプレス圧力を保持したままプレスプレートを加熱した。プレスプレートの温度が１３０℃に達したことを確認したのち、そのプレス圧力及び温度で１時間プレスした。その後、プレス圧力を２．５ＭＰａにするとともに冷却水でプレスプレートを冷却した。また、上述した方法に従って、得られた積層板の曲げ特性を測定した。結果を表１に示す。【０１００】
【表１】
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【符号の説明】
【０１０１】
１  研磨治具
２  ギヤ
３  貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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