(57)【要約】ガスレーザ装置（１）は、内部空間（１２）に封入されたガスを励起させることによりレーザ光を生成するガスレーザ管（１０）と、ガスレーザ管（１０）における軸方向の一端側に取り付けられる窓部材（２０）と、を備え、窓部材（２０）は、一軸性結晶である透過領域（２２）を有し、透過領域（２２）は、レーザ光が透過されるように構成され、透過領域（２２）を透過するレーザ光の光軸と、一軸性結晶の光学軸が略平行となるように窓部材（２０）がガスレーザ管（１０）に取り付けられる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部空間に封入されたガスを励起させることによりレーザ光を生成するガスレーザ管と、
前記ガスレーザ管における軸方向の一端側に取り付けられる窓部材と、
を備え、
前記窓部材は、一軸性結晶である透過領域を有し、
前記透過領域は、前記レーザ光が透過されるように構成され、
前記透過領域を透過する前記レーザ光の光軸と、前記一軸性結晶の光学軸が略平行となるように前記窓部材が前記ガスレーザ管に取り付けられる、ガスレーザ装置。
【請求項２】
前記窓部材は、前記透過領域を含む主面を有し、
前記主面の平面視における前記光学軸の方向を示す少なくとも一つのマークが前記窓部材に形成された、
請求項１に記載のガスレーザ装置。
【請求項３】
前記窓部材は、互いに対向する第１主面及び第２主面と、前記第１主面と前記第２主面の間に位置する側面とを有し、
前記少なくとも一つのマークは、前記窓部材の前記側面に形成された第１マーク及び第２マークを含む、
請求項２に記載のガスレーザ装置。
【請求項４】
前記第１主面又は前記第２主面の平面視において、前記第１マークが前記第２マークとは異なる位置に配置され、
前記側面の平面視において、前記第１マークが前記第１主面側に配置され、前記第２マークが前記第２主面側に配置される、
請求項３に記載のガスレーザ装置。
【請求項５】
前記第１マーク及び前記第２マークは、それぞれ、凹状、凸状及び凹凸状のいずれかの形状を有し、
前記ガスレーザ管は、前記第１マーク及び前記第２マークが嵌合されて取り付けられる取付部を有する、
請求項３又は４に記載のガスレーザ装置。
【請求項６】
前記レーザ光が前記窓部材に入射する入射角が、ブリュースタ角に略等しくなるように、前記窓部材が前記ガスレーザ管に位置決めされる、
請求項１から５のいずれか一項に記載のガスレーザ装置。
【請求項７】
前記一軸性結晶は人工水晶である、
請求項１から６のいずれか一項に記載のガスレーザ装置。
【請求項８】
前記窓部材は、円形平板状をなしている、
請求項１から７のいずれか一項に記載のガスレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスレーザ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウエハ上に電子回路パターンを露光する半導体露光装置においては、チャンバ内部に封入されたガスの励起により光を発生させ、所定の波長を有する照射光を照射するガスレーザが一般的に用いられている。例えば、特許文献１には、ガスが充填されるチャンバと、レーザが透過される第１及び第２ウィンドウを備えるガス放電チャンバが開示されている。当該構成においては、第１及び第２ウィンドウとして、フッ化カルシウムやフッ化マグネシウムが用いられている。また、特許文献２には、ブリュースタ窓に水晶が用いられたガスレーザ管が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１２８１５６号公報
【特許文献２】特開平９−２１４０２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の通り、ウィンドウとして用いられる材料は様々であるが、当該ウィンドウはレーザ光が透過される部材であるため、当該ウィンドウにおいては光の損失が極力抑制され、光透過効率が高いことが好ましい。【０００５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、光透過効率が向上するガスレーザ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面に係るガスレーザ装置は、内部空間に封入されたガスを励起させることによりレーザ光を生成するガスレーザ管と、ガスレーザ管における軸方向の一端側に取り付けられる窓部材と、を備え、窓部材は、一軸性結晶である透過領域を有し、透過領域は、レーザ光が透過されるように構成され、透過領域を透過するレーザ光の光軸と、一軸性結晶の光学軸が略平行となるように窓部材がガスレーザ管に取り付けられる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、光透過効率が向上するガスレーザ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係るガスレーザ装置を模式的に示した図である。
【図２】図２は、本発明の一実施形態に係るガスレーザ装置の窓部材の主面の平面図である。
【図３Ａ】図３Ａは、一軸性結晶における複屈折性を説明するための図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、一軸性結晶における複屈折性を説明するための図である。
【図４】図４は、本発明の一実施形態に係るガスレーザ装置の窓部材の側面の平面図である。
【図５】図５は、図２のＶ−Ｖ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の構成要素は同一又は類似の符号で表している。図面は例示であり、各部の寸法や形状は模式的なものであり、本願発明の技術的範囲を当該実施形態に限定して解するべきではない。
【００１０】
図１及び図２を参照しつつ、本発明の一実施形態に係るガスレーザ装置について説明する。図１は、本発明の一実施形態に係るガスレーザ装置を模式的に示した図であり、図２は、本発明の一実施形態に係るガスレーザ装置の窓部材の主面の平面図である。なお、図１は、ガスレーザ装置１の断面を示した図である。
【００１１】
図１に示されるように、ガスレーザ装置１は、ガスレーザ管１０及び窓部材２０を備える。ガスレーザ装置１は、ガスレーザ管１０において生成されたレーザ光Ｌを窓部材２０を介して対象物に照射するための装置である。以下の説明においては、ガスレーザ装置１がエキシマレーザである場合を例として説明する。なお、ガスレーザ装置１は、図１に示される要素以外の要素を含んでいてもよい。
【００１２】
ガスレーザ装置１の用途は特に限定されないが、例えば、半導体露光装置に適用され、集積回路の製造におけるシリコンウエハ上の回路パターン形成のための露光に用いられる。あるいは、ワーク表面の物性を変化させる表面改質、電子部品等の接着やレジスト硬化等のキュアリング（光硬化）、ワーク表面に付着した有機物を除去するための光洗浄等に用いられてもよい。さらには、レーシック手術等の医療機器に適用されてもよい。
【００１３】
ガスレーザ管１０は、例えば軸方向に延在する管状をなす。なお、ガスレーザ管１０の外形形状は、例えば円柱状又は多角柱状である。ガスレーザ管１０と、後述する窓部材２０とで形成される内部空間１２には、ガスが封入されている。ガスが封入された状態において、例えばガスを励起させるシステム（不図示）により内部空間１２に放電が生じると、ガスが励起される。当該励起されたガスは、元の状態に戻ろうとするため、その際に放出されるエネルギーによりレーザ光Ｌが生成される。レーザ光Ｌは、その用途に応じて適宜様々であるが、具体的には例えば紫外光（例えば、波長４００ｎｍ以下）や深紫外光（例えば、波長１５０ｎｍ以上２００ｎｍ以下）である。なお、内部空間１２に充填されるガスは特に限定されないが、例えば、バッファーガス（ネオン又はヘリウム等）と、希ガス（クリプトン又はアルゴン等）と、ハロゲン（フッ素等）との混合ガスであってもよい。封入されるガスの種類や割合に応じて、発振波長を調整することができる。
【００１４】
また、ガスレーザ管１０は、後述する窓部材２０が取り付けられる取付部１４を備える。取付部１４は、後述する突起部１６ａ，１６ｂを有する。取付部１４の材料は、特に限定されないが、例えば弾性体、金属、ガラス又は水晶等である。ガスレーザ管１０の取付部１４と窓部材２０は、例えば、ろう材などの金属接合、ガラス接着、樹脂接着又はシロキサン結合などにより接合される。
【００１５】
窓部材２０は、ガスレーザ管１０の軸方向の少なくとも一端側に取り付けられている。窓部材２０は、ガスレーザ管１０の内部空間１２において生成されたレーザ光Ｌを透過させて出力する。窓部材２０は、ガスレーザ管１０の内部空間１２側の主面２０ａ（第１主面）と、主面２０ａに対向する外側の主面２０ｂ（第２主面）と、主面２０ａと主面２０ｂとの間に位置する側面２０ｃとを有する。
【００１６】
図２は、窓部材２０を内部空間１２側の主面２０ａ側から見た平面図である。図２に示されるように、窓部材２０は、例えば円形平板状をなしている。窓部材２０は、主面２０ａ又は主面２０ｂの平面視において、円形の中央付近に位置する透過領域２２と、透過領域２２の外側に位置する周辺領域２４とを有する。すなわち、透過領域２２はレーザ光Ｌが透過される領域であり、周辺領域２４は後述するマーク２６ａ，２６ｂが形成されたり、取付部１４が接合される領域である。なお、窓部材２０の形状は一例であり、円形平板状に限定されない。例えば窓部材２０は、主面の平面視における形状が円形状の代わりに多角形状であってもよく、また主面が平面の代わりに曲面であってもよい。
【００１７】
本実施形態において、窓部材２０は、光学軸（ｏｐｔｉｃ  ａｘｉｓ）を一方向のみ備える結晶（すなわち、一軸性結晶）によって構成される。一軸性結晶の例としては、人工水晶、天然水晶、石英、方解石、ジルコン等が挙げられるが、本明細書においては窓部材２０が人工水晶である構成を例として説明する。人工水晶は、他の材料（例えば合成石英ガラス）に比べて広い波長の範囲において高い透過率を有している。また、人工水晶は、レーザ光の波長が比較的短くエネルギーが強力な場合（例えば、深紫外光）であっても、光学的特徴が損なわれにくく劣化の進行が遅い。さらに、人工水晶は潮解性を有しないため、耐水性に優れる。従って、人工水晶はレーザ光を透過する窓部材として好適に機能する。なお、窓部材２０は人工水晶とは異なる材料により構成されてもよい。
【００１８】
図１に示されるように、窓部材２０は、入射されるレーザ光Ｌの光軸（ｏｐｔｉｃａｌ  ａｘｉｓ）と主面２０ａの法線とのなす角（すなわち、レーザ光Ｌの入射角）θが、ブリュースタ角と略等しくなるように取り付けられている。これにより、レーザ光ＬのＳ偏光成分は一部が主面２０ａにおいて反射されて反射光Ｒｓとなるが、Ｐ偏光成分は主面２０ａにおける反射率がゼロとなる。すなわち、Ｐ偏光成分は、理想的には反射光が発生せず、全てが透過される。ここで、窓部材２０を透過する光は、Ｓ偏光成分の透過光ＴｓとＰ偏光成分の透過光Ｔｐとの合計である。従って、入射角θがブリュースタ角と略等しければ、入射角θがブリュースタ角と異なる構成に比べて、窓部材２０における光透過効率が向上する。なお、窓部材２０は、入射角θがブリュースタ角と略等しくなるように取り付けられることが好ましいが、ブリュースタ角と等しくなくとも、Ｐ偏光成分の反射率が比較的小さくなるように取り付けられていればよい。
【００１９】
次に、図３Ａ及び図３Ｂを参照しつつ、窓部材２０の結晶方位について詳細に説明する。図３Ａ及び図３Ｂは、一軸性結晶における複屈折性を説明するための図である。具体的には、図３Ａ及び図３Ｂは、いずれも光Ｘが入射角αで結晶１００に入射した場合における光の反射及び透過の様子を示している。ここで、結晶１００は異方性を持つ結晶であり、光学軸Ｃを有するものとする。
【００２０】
まず、図３Ａに示されるように、結晶１００を透過する光Ｘの光軸が結晶１００の光学軸Ｃと平行でない場合、光Ｘは振動面が互いに直交している正常光と異常光とに分かれて伝搬する。これは、結晶１００の結晶構造上、光線の位相速度が伝搬方向に応じて異なることにより、正常光と異常光の屈折率が異なるためである。従って、正常光の透過光Ｔｏと異常光の透過光Ｔｅの光路は分離され、複屈折が生じる（図３Ａ参照）。これにより、入射光に対する透過光のエネルギーが減少し、すなわち結晶１００の光透過効率が低下する。なお、例えば結晶１００が水晶である場合、正常光の屈折率は異常光の屈折率より大きくなる。
【００２１】
一方、図３Ｂに示されるように、結晶１００を透過する光Ｘの光軸が結晶１００の光学軸Ｃと平行である場合、結晶１００における正常光と異常光の屈折率は等しくなる。従って、正常光と異常光の光路は分離せず、正常光の透過光Ｔｏと異常光の透過光Ｔｅとが等しい光路で透過される。これにより、入射光に対する透過光のエネルギーが増大し、すなわち結晶１００の光透過効率が向上する。このように、透過光の損失を抑制するためには、透過光の分離が生じないか、あるいは分離が生じても分離幅が小さいことが望ましい。
【００２２】
この点、本実施形態においては、窓部材２０の人工水晶の光学軸Ｃと、窓部材２０を進行するレーザ光Ｌの光軸とのなす角が小さくなるように窓部材２０が取り付けられる。より好適には、図１に示されるように、光学軸Ｃと窓部材２０を進行するレーザ光Ｌの光軸とが略平行となるように窓部材２０が取り付けられることが好ましい。これにより、窓部材２０における正常光と異常光の分離が抑制される。従って、窓部材２０の光透過効率を向上させることができる。なお、窓部材２０が水晶である場合、光学軸Ｃは水晶の結晶軸におけるＺ軸と同様の方向である。
【００２３】
上述の通り、本実施形態によれば、窓部材２０の光学軸Ｃが窓部材２０を透過するレーザ光の光軸と略平行となるように窓部材２０が設けられている。これにより、透過光の分離が抑制され、窓部材２０の光透過効率を向上させることができる。
【００２４】
また、特許文献１に開示されるように窓部材がフッ化カルシウムやフッ化マグネシウムからなる場合、フッ化物材料は吸湿性や潮解性を有するため、耐水性が不十分であり得る。この点、本実施形態によれば、窓部材２０が人工水晶からなるため、特許文献１に開示される構成に比べて耐水性を向上させることができる。
【００２５】
なお、上記実施形態では、窓部材２０の全体が一軸性結晶により構成される例が示されているが、窓部材２０のうち少なくとも透過領域が一軸性結晶であればよく、透過領域を除く周辺領域は、レーザ光を実質的に透過しない材質又は反射する材質であってもよい。
【００２６】
また、窓部材２０の主面２０ａのいずれかの領域に反射部材が設けられることにより、ガスレーザ管１０の内部空間１２においてレーザ光を反射させてもよい。これにより、ガスレーザ管１０の内部空間１２で生成されたレーザ光と、反射部材において反射された反射光とが窓部材２０を透過するため、より効果的に光照射を行うことができる。
【００２７】
また、図１では図示が省略されているが、ガスレーザ管１０の入射側も窓部材２０と同様の窓部材が設けられていてもよい。この場合、入射側の窓部材も、窓部材２０と同様に、ガスレーザ装置の外部から入射されるレーザ光の光軸と、当該窓部材の光学軸とが略平行となるように窓部材が取り付けられることが好ましい。
【００２８】
次に、図１、図２、図４及び図５を参照しつつ、上述の人工水晶の取り付けの一態様について説明する。図４は、本発明の一実施形態に係るガスレーザ装置の窓部材の側面の平面図であり、図５は、図２のＶ−Ｖ線断面図である。具体的には、図４は、図２に示される矢印の方向から見た窓部材２０の側面の平面視である。
【００２９】
図５に示されるように、本実施形態においては、窓部材２０の側面２０ｃに、光学軸Ｃの方向を示す凹状のマーク２６ａ（第１マーク），２６ｂ（第２マーク）が形成されている。マーク２６ａ，２６ｂの形成方法は特に限定されないが、例えば窓部材２０のＸ線回折分析を行って光学軸の結晶方位を計測し、当該光学軸の方向に基づいて窓部材２０に切欠きを施すことにより形成することができる。
【００３０】
図２に示されるように、一方のマーク２６ａは、窓部材２０の主面２０ａの平面視において、他方のマーク２６ｂとは異なる位置に配置されている。例えば本実施形態では、マーク２６ａ，２６ｂは、それぞれ、主面２０ａの周辺領域２４において、主面２０ａの中心を介して対向する位置（すなわち、主面２０ａの円の直径の位置）に配置されている。例えば、マーク２６ａとマーク２６ｂとを結んだ線は、主面２０ａの平面視における光学軸Ｃの方向と平行であることを示している。
【００３１】
また、図５に示されるように、一方のマーク２６ａは主面２０ａ側の側面２０ｃに配置され、他方のマーク２６ｂは主面２０ｂ側の側面２０ｃに配置されている。これにより、マーク２６ａ，２６ｂは、窓部材２０の主面２０ａの法線に対する光学軸Ｃの傾き角φの方向を示す。具体的には、マーク２６ａ，２６ｂは、図５に示される断面の平面視において、窓部材２０の主面２０ａの法線を基準とした光学軸Ｃの傾き角φが反時計回りであるか時計回りであるかを示す。本実施形態では、図５に示される断面の平面視において、マーク２６ａとマーク２６ｂとを結んだ線が、窓部材２０の主面２０ａの法線を基準として反時計回りの方向に傾いているため、光学軸Ｃも反時計回りに傾いていることを示している。なお、傾き角φの一具体例としては、例えばレーザ光の波長が１９３ｎｍの場合には、当該傾き角φが３０．８６±０．１度となるように窓部材２０が水晶結晶から切り出される。
【００３２】
また、図１に示されるように、窓部材２０の凹状のマーク２６ａ，２６ｂに対応するように、取付部１４には凸状の突起部１６ａ，１６ｂが形成されている。このように、窓部材２０のマーク２６ａ，２６ｂと取付部１４の突起部１６ａ，１６ｂが嵌合されることにより、窓部材２０が取付部１４に取り付けられるとともに、レーザ光Ｌの光軸に対して窓部材２０の光学軸Ｃの方向が所定の方向となるように窓部材２０が位置決めされる。
【００３３】
上述の通り、マーク２６ａ，２６ｂは、光学軸Ｃの３次元空間上での方向を示す目印としての機能を備えるとともに、取付部１４に取り付けられることにより窓部材２０の角度及び方向を一意に決める位置決め機構としての機能を備える。これにより、ガスレーザ装置１の製造時において、窓部材２０の光学軸Ｃが所定の方向となるように窓部材２０を取付部１４に取り付ける工程での利便性が向上する。また、マーク２６ａ，２６ｂ及び突起部１６ａ，１６ｂを備えない構成に比べて、凹状のマーク２６ａ，２６ｂが突起部１６ａ，１６ｂと嵌合されたときの窓部材２０と取付部１４との接合強度が増大する。従って、ガスが封入されるガスレーザ管１０の気密性が向上する。なお、マークの形状は例示であり、これに限定されない。例えば、マークは凹状の代わりに凸状又は凹凸状であってもよく、取付部の形状もマークに対応して凸状の代わりに凹状又は凹凸状であってもよい。また、窓部材２０又は取付部１４にそれぞれ形成されるマーク及び突起部は２つに限られず、１つ又は３つ以上であってもよい。
【００３４】
以上のとおり、本発明の各実施形態に係るガスレーザ装置１は、上述したいずれか１つ又は複数の組み合わせによる以下の構成及び作用効果を有する。
【００３５】
本実施形態に係るガスレーザ装置は、内部空間に封入されたガスを励起させることによりレーザ光を生成するガスレーザ管と、ガスレーザ管における軸方向の一端側に取り付けられる窓部材と、を備え、窓部材は、一軸性結晶である透過領域を有し、透過領域は、レーザ光が透過されるように構成され、透過領域を透過するレーザ光の光軸と、一軸性結晶の光学軸が略平行となるように窓部材がガスレーザ管に取り付けられる。
【００３６】
これによれば、窓部材２０の光学軸Ｃと窓部材２０を透過するレーザ光の光軸とが略平行となる。従って、透過光の分離が抑制され、窓部材２０の光透過効率を向上させることができる。
【００３７】
上記構成において、窓部材は、透過領域を含む主面を有し、主面の平面視における光学軸の方向を示す少なくとも一つのマークが窓部材に形成されてもよい。
【００３８】
これによれば、ガスレーザ装置１の製造時において、窓部材２０の光学軸Ｃが所定の方向となるように窓部材２０を取付部１４に取り付ける工程での利便性が向上する。
【００３９】
上記構成において、窓部材は、互いに対向する第１主面及び第２主面と、第１主面と第２主面の間に位置する側面とを有し、少なくとも一つのマークは、窓部材の側面に形成された第１マーク及び第２マークを含んでもよい。
【００４０】
これによれば、窓部材２０の側面２０ｃに形成されたマーク２６ａ，２６ｂにより、光学軸Ｃの方向が示される。従って、窓部材２０の光学軸Ｃが所定の方向となるように窓部材２０を取付部１４に取り付ける工程での利便性が向上する。
【００４１】
上記構成において、第１主面又は第２主面の平面視において、第１マークが第２マークとは異なる位置に配置され、側面の平面視において、第１マークが第１主面側に配置され、第２マークが第２主面側に配置されてもよい。
【００４２】
これによれば、マーク２６ａとマーク２６ｂとを結んだ線が主面２０ａの平面視における光学軸Ｃの方向と平行であることが示される。また、窓部材２０の主面２０ａの法線を基準とした光学軸Ｃの傾き角φが反時計回りであるか時計回りであるかが示される。従って、窓部材２０の光学軸Ｃが所定の方向となるように窓部材２０を取付部１４に取り付ける工程での利便性が向上する。
【００４３】
上記構成において、第１マーク及び第２マークは、それぞれ、凹状、凸状及び凹凸状のいずれかの形状を有し、ガスレーザ管は、第１マーク及び第２マークが嵌合されて取り付けられる取付部を有してもよい。
【００４４】
これによれば、マーク２６ａ，２６ｂが突起部１６ａ，１６ｂと嵌合されたときの窓部材２０と取付部１４との接合強度が増大する。従って、ガスが封入されるガスレーザ管１０の気密性が向上する。
【００４５】
上記構成において、レーザ光が窓部材に入射する入射角が、ブリュースタ角に略等しくなるように、窓部材がガスレーザ管に位置決めされてもよい。
【００４６】
これによれば、レーザ光のうちＰ偏光成分は、窓部材２０において反射光が発生せず、全てが透過される。従って、入射角θがブリュースタ角と異なる構成に比べて、窓部材２０の光透過効率を向上させることができる。
【００４７】
上記構成において、一軸性結晶は人工水晶であってもよい。
【００４８】
これによれば、窓部材２０が比較的広い波長の範囲において高い透過率を有し、光透過効率が向上する。また、レーザ光の波長が比較的短くエネルギーが強力な場合であっても、光学的特徴が損なわれにくく劣化の進行が遅い。さらに、人工水晶は潮解性を有しないため、耐水性に優れる。
【００４９】
なお、上記構成において窓部材の構成は特に限定されないが、窓部材は、例えば円形平板状をなしていてもよい。
【００５０】
なお、上記実施形態では、窓部材２０の側面２０ｃにマーク２６ａ，２６ｂが形成される例を説明したが、変形例としてマークは窓部材の主面に形成されていてもよい。また、マークは必ずしも備えられていなくてもよい。
【００５１】
なお、以上説明した各実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更又は改良され得るととともに、本発明にはその等価物も含まれる。即ち、各実施形態に当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、各実施形態が備える各要素及びその配置、材料、条件、形状、サイズなどは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、各実施形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
【符号の説明】
【００５２】
１…ガスレーザ装置、１０…ガスレーザ管、１２…内部空間、１４…取付部、１６ａ，１６ｂ…突起部、２０…窓部材、２０ａ，２０ｂ…主面、２０ｃ…側面、２２…透過領域、２４…周辺領域、２６ａ，２６ｂ…マーク、１００…結晶
【図１】
2018179642.tif 000003
【図２】
2018179642.tif 000004
【図３Ａ】
2018179642.tif 000005
【図３Ｂ】
2018179642.tif 000006
【図４】
2018179642.tif 000007
【図５】
2018179642.tif 000008
【国際調査報告】
2018179642.tif 000009
2018179642.tif 000010