(57)【要約】  光学部品（５０）は、蛍光体基板（１１）を含む第１基板（１０）と、第１基板（１０）を支持し透光性基板（２１）を含む第２基板（２０）とを有している。透光性基板（２１）は、配向性をともなう多結晶構造を有している。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
蛍光体基板（１１）を含む第１基板（１０，１０ａ）と、
前記第１基板（１０，１０ａ）を支持し、透光性基板（２１）を含む第２基板（２０，２０ａ）と、
を備え、前記透光性基板（２１）は、配向性をともなう多結晶構造を有している、光学部品（５０，５０ａ，５０ｂ）。
【請求項２】
前記蛍光体基板（１１）は多結晶構造を有している、請求項１に記載の光学部品（５０，５０ａ，５０ｂ）。
【請求項３】
前記透光性基板（２１）の熱伝導率は、前記蛍光体基板（１１）の熱伝導率よりも高い、請求項１または２に記載の光学部品（５０，５０ａ，５０ｂ）。
【請求項４】
前記透光性基板（２１）の前記多結晶構造は、１０％以上９９％以下の配向度を有している、請求項１から３のいずれか１項に記載の光学部品（５０，５０ａ，５０ｂ）。
【請求項５】
前記第１基板（１０，１０ａ）と前記第２基板（２０，２０ａ）との間に接合層（３０，３０ａ，３０ｂ）をさらに備え、前記接合層（３０，３０ａ，３０ｂ）は、前記第１基板（１０，１０ａ）の前記第２基板（２０，２０ａ）に面する面に含まれる少なくとも１種類の元素と、前記第２基板（２０，２０ａ）の前記第１基板（１０，１０ａ）に面する面に含まれる少なくとも１種類の元素とを含む、請求項１から４のいずれか１項に記載の光学部品（５０，５０ａ，５０ｂ）。
【請求項６】
前記透光性基板（２１）の線膨張係数は、前記蛍光体基板（１１）の線膨張係数の±３０％以内である、請求項１から５のいずれか１項に記載の光学部品（５０，５０ａ，５０ｂ）。
【請求項７】
前記第１基板（１０ａ）は、前記第２基板に面する中間層（１３，２３）を含み、前記中間層（１３，２３）は、前記蛍光体基板（１１）の材料とは異なる材料からなる、請求項１から６のいずれか１項に記載の光学部品（５０ａ，５０ｂ）。
【請求項８】
照明装置（１００）であって、
光学部品（５０，５０ａ，５０ｂ）を備え、前記光学部品（５０，５０ａ，５０ｂ）は、
蛍光体基板（１１）を含む第１基板（１０，１０ａ）と、
前記第１基板（１０，１０ａ）を支持し、透光性基板（２１）を含む第２基板（２０，２０ａ）と、を含み、前記透光性基板（２１）は、配向性をともなう多結晶構造を有しており、前記照明装置（１００）はさらに
前記光学部品（５０，５０ａ，５０ｂ）の前記第１基板（１０，１０ａ）および前記第２基板（２０，２０ａ）の両方を通過する光を供する光源（９０）を備える、照明装置（１００）。
【請求項９】
前記光源（９０）はレーザを含む、請求項８に記載の照明装置（１００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部品および照明装置に関し、特に、蛍光体基板を有する光学部品と、当該光学部品を有する照明装置とに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
国際公開第２０１１／１４１３７７号（特許文献１）によれば、蛍光体を支持する支持体と、蛍光体への電磁放射を行う放射源とを有する車両用ヘッドライトモジュールが開示されている。支持体としては、多結晶アルミナセラミックスまたはサファイアが例示されている。いずれの材料も、高い耐熱性と高い熱伝導性とを有する点で、温度の上昇および温度分布のむらが生じやすい照明装置であるヘッドライトへの適用に適している。蛍光体としては、セリウム（Ｃｅ）でドーピングされたイットリウムアルミニウムガーネット（ＹＡＧ）が例示されている。放射源として青色発光レーザが例示されている。青色レーザ光は黄色蛍光体を通りその補色により白色光に変換される。これによりヘッドライトモジュールは白色光を放射することができる。【０００３】
特開２０１６−１１９３６１号公報（特許文献２）によれば、波長変換部材としての蛍光体を有する発光装置が開示されている。蛍光体として、バインダに分散された粉末形態のものを用いることができる。またこれに代わる態様として、単一の単結晶または単一の多結晶を用いることができ、その場合、蛍光体とバインダとの屈折率の差によって両者の界面で光の散乱が起きることを排除する効果が得られることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１１／１４１３７７号
【特許文献２】特開２０１６−１１９３６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
発光装置においては、光が適度に散乱されることが望まれる場合がある。例えば、光源として青色レーザを用いたヘッドライトの場合、光の散乱が小さ過ぎると、散乱されなかった青色レーザ光の進行方向に沿って、白色光ではなく青みを帯びた光が強く放射されてしまう。このため、ヘッドライトからの照明光は、強い色むらを有してしまう。一方で、光の散乱が大き過ぎると、光の減衰が大きくなるので、照明光の出力が低下してしまう。【０００６】
蛍光体が、バインダ中に分散されたものか、多結晶のものか、あるいは単結晶のものかによって、光が散乱される程度は異なる。具体的には、光が散乱される程度は、バインダに分散された蛍光体の場合に大きく、多結晶蛍光体の場合に中程度であり、単結晶蛍光体の場合に小さい。これら３つのタイプの蛍光体から任意のものを選択することができるとは限らない。例えば、バインダに分散された蛍光体は、高温下において、内部量子効率が低下しやすく、特にバインダが有機物の場合はバインダが劣化しやすい。照明装置がヘッドライトおよびはプロジェクタ用光源のように高輝度のものである場合、温度が上昇しやすいので、バインダに分散された蛍光体は上記理由によって不適当な場合がある。一方、単結晶蛍光体は、内部量子効率の低下が３００℃程度の高温下でも比較的少ない。このため高輝度用途への適用が検討されている。しかしながら、単結晶蛍光体は一般に引き上げ法により作製されるため、大型結晶の作製が困難であり、また結晶の上下方向で添加活剤の濃度が異なるといった欠点を有している。一方、セラミックなどの多結晶は大型化は容易で、添加活剤の濃度差も生じにくい。また、最近では単結晶の温度特性および透過特性と遜色ないものも提案されている。このように、高輝度用途においては、光の散乱の程度を蛍光体のタイプの選択によって調整することは難しい。【０００７】
光が蛍光体だけでなくその支持体も通る場合、光の散乱は、蛍光体中だけでなく、それを機械的に保持する支持体中においても生じる。よって、蛍光体中での光の散乱の程度を十分に調整することができなくても、支持体中での光の散乱の程度を十分に調整することができれば、全体として、光の散乱の程度を最適化することができる。しかしながら従来技術においては、支持体の選択肢が、概して、光を大きく散乱させる多結晶か、光をあまり散乱させない単結晶かの２つに限られる。よって支持体中での光の散乱の程度を任意に調整することができない。【０００８】
本発明は以上のような課題を解決するためになされたものであり、その一の目的は、蛍光体を保持する支持体中における光の散乱の程度を任意に調整することができる光学部品を提供することである。また他の目的は、光源からの光を適度に散乱させることができる照明装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の光学部品は、蛍光体基板を含む第１基板と、第１基板を支持し透光性基板を含む第２基板とを有している。透光性基板は、配向性をともなう多結晶構造を有している。【００１０】
本発明の照明装置は光学部品および光源を有している。光学部品は、蛍光体基板を含む第１基板と、第１基板を支持し透光性基板を含む第２基板とを有している。透光性基板は、配向性をともなう多結晶構造を有している。光源は、光学部品の第１基板および第２基板の両方を通過する光を供する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の光学部品によれば、蛍光体基板は、配向性をともなう多結晶構造を有する透光性基板によって支持されている。これにより、透光性基板の配向性を調整することによって、光の散乱の程度を調整することができる。すなわち、蛍光体を支持する支持体中における光の散乱の程度を任意に調整することができる。【００１２】
本発明の照明装置によれば、光源からの光は、第１基板だけでなく第２基板も通過する。これにより、第２基板が有する透光性基板の配向性を調整することによって、照明装置における光の散乱の程度を調整することができる。【００１３】
この発明の目的、特徴、局面、および利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態１における光学部品を有する照明装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図２】図１の一部拡大図であって、光学部品における被支持基板と支持基板との間の接合層の近傍を概略的に示す部分断面図である。
【図３】本発明の実施の形態２における光学部品の構成を概略的に示す断面図である。
【図４】図３の一部拡大図であって、被支持基板と支持基板との間の接合層の近傍を概略的に示す部分断面図である。
【図５】図３の光学部品の製造方法の第１工程を概略的に示す断面図である。
【図６】図３の光学部品の製造方法の第２工程を概略的に示す断面図である。
【図７】図３の光学部品の製造方法の第３工程を概略的に示す断面図である。
【図８】図３の光学部品の製造方法の第４工程を概略的に示す断面図である。
【図９】図４の変形例である。
【図１０】実施例および比較例の光学部品についての評価結果を示すグラフ図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
＜実施の形態１＞
（構成）
図１を参照して、照明装置１００は、光源９０と、波長変換部材５０（光学部品）とを有している。光源９０は、例えば半導体レーザである。波長変換部材５０は、蛍光体を用いることによって、光の波長を変換するものである。光源からの励起光９１は、波長変換部材５０を通過することによって、照明光９２に変換される。例えば、励起光９１は青色光または紫外光であり、照明光９２は白色光（励起光９１の透過光である青色光と、蛍光体によって波長変換された変換光である黄色光との合成光）である。
【００１６】
波長変換部材５０は、被支持基板１０（第１基板）と、被支持基板１０を機械的に保持する支持基板２０（第２基板）とを有している。照明装置１００が使用される際は、被支持基板１０および支持基板２０の両方を通過する光が、光源９０によって供される。被支持基板１０は蛍光体基板１１を含み、本実施の形態においては被支持基板１０は蛍光体基板１１である。支持基板２０は透光性基板２１を含み、本実施の形態においては支持基板２０は透光性基板２１である。
【００１７】
蛍光体基板１１は多結晶構造を有している。蛍光体基板１１は、ガラスまたは樹脂などのバインダを実質的に含有しないものであることが好ましい。すなわち、蛍光体基板１１は、多数の蛍光体粒子がバインダによって結合されているものではなく、多結晶構造自体が連続的に設けられることによって構成されたもの、典型的にはセラミックス、であることが好ましい。好ましくは、透光性基板２１の熱伝導率は、蛍光体基板１１の熱伝導率よりも高い。蛍光体基板１１は、例えば、Ｃｅなど添加活剤をドーピングされたＹＡＧから作られている。
【００１８】
透光性基板２１は、透光性を有する基板であり、好ましくは実質的に透明な基板である。透光性基板２１の直線透過率は、照明装置１００が利用する波長範囲において、厚み０．５ｍｍ当たり７０％程度以上が好ましい。透光性基板２１の厚みは、例えば１ｍｍ程度である。透光性基板２１は、水平方向（図中、横方向）において、実質的に一定の屈折率を有していることが好ましい。透光性基板２１は、実質的に気孔を有しないことが好ましい。気孔の観察は、例えば、５０００倍程度の顕微鏡観察によって行われる。観察される面が準備される際に脱粒が生じることを避けるために、観察される面は、イオンミリングを用いた研磨によって仕上げられることが好ましい。
【００１９】
透光性基板２１は、主成分としてアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）または窒化アルミニウムを含むことが好ましい。透光性基板２１の成分中、主成分が占める割合は、９９％以上が好ましく、９９．９９％以上がより好ましい。好ましくは、透光性基板２１の線膨張係数は、蛍光体基板１１の線膨張係数の±３０％以内である。ここで線膨張係数は面内方向（図中、横方向）のものである。
【００２０】
透光性基板２１は、セラミックス（焼結体）であり、配向性をともなう多結晶構造を有している。配向方向は、透光性基板２１の厚み方向（図中、縦方向）に沿っていることが好ましい。言い換えれば、配向方向は、被支持基板１０と支持基板２０との積層方向に沿っていることが好ましい。結晶の配向軸は、典型的には結晶学におけるｃ軸である。
【００２１】
透光性基板２１の多結晶構造の配向性は、１０％以上９９％以下の配向度を有していることが好ましい。配向度は、Ｘ線回折を用いたロットゲーリング法によって測定することができる。測定試料は、透光性基板２１のほぼ水平な断面（厚み方向にほぼ垂直な断面）を平滑に研磨することによって得られる。この研磨された面に対してＸ線が照射されることで、Ｘ線回折プロファイルが取得される。以下、透光性基板２１がアルミナから作られている場合について詳述する。
【００２２】
入射Ｘ線方向と回折Ｘ線方向とのなす角度を２θとし、Ｘ線としてＣｕＫα線が用いられるとすると、Ｘ線回折プロファイルは、例えば、２θ＝２０°〜７０°の範囲で取得される。このプロファイルから、（ｈｋｌ）面の各々に対応する強度ＩＳ（ｈｋｌ）のデータが読み取られる。このデータから、ｃ面配向度が、以下のように算出される。
【００２３】
【数１】
2018135121.tif 000003
【００２４】
上記の式における強度比Ｐ０および強度比Ｐは、以下の式によって算出される。
【００２５】
【数２】
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【００２６】
【数３】
2018135121.tif 000005
【００２７】
強度比Ｐは、測定試料についての、ｃ面に対応する（００６）面の強度ＩＳ（００６）が、測定範囲のすべての（ｈｋｌ）についての強度ＩＳ（ｈｋｌ）の和で規格化されたものである。強度比Ｐ０は、無配向アルミナについての、ｃ面に対応する（００６）面の強度Ｉ０（００６）が、測定範囲のすべての（ｈｋｌ）についての強度Ｉ０（ｈｋｌ）の和で規格化されたものである。強度比Ｐ０は、無配向アルミナとしての標準α−アルミナについてのＪＣＰＤＳ（Ｊｏｉｎｔ  Ｃｏｍｍｉｔｔｅｅ  ｏｎ  Ｐｏｗｄｅｒ  Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ  Ｓｔａｎｄａｒｄｓ：粉末回折標準のための合同委員会）カードのＮｏ．４６−１２１２から算出することができる。なおＸ線回折装置としては、例えば、株式会社リガク製「ＲＩＮＴ−ＴＴＲ  ＩＩＩ」を用いることができ、Ｘ線源の設定条件としては、例えば、電圧５０ｋＶおよび電流３００ｍＡの条件を用いることができる。
【００２８】
通常の多結晶アルミナは、配向性を有しておらず、実質的に０％の配向度を有している。一方、意図的に配向性が付与される多結晶アルミナの配向度は、１％程度から１００％近くまで制御することができる。配向性を得るためには、例えば、板状アルミナ粒子を含む原材料を用いてのテンプレート粒成長（Ｔｅｍｐｌａｔｅｄ  Ｇｒａｉｎ  Ｇｒｏｗｔｈ：ＴＧＧ）法が用いられる。原材料中の、板状アルミナ粒子と、板状でない通常のアルミナ粒子との配合比を調整することによって、配向度を任意に調整することができる。なお板状アルミナ粒子の厚みは、高い配向度と、緻密性との両方を得るためには、１．５μｍ程度以上２０μｍ程度以下が好ましい。
【００２９】
図２を参照して、波長変換部材５０は、電子顕微鏡などによって微視的に観察されると、被支持基板１０と支持基板２０との間に接合層３０を有している。接合層３０は、被支持基板１０と支持基板２０との間の直接接合によって形成された界面層である。直接接合の際に原子の拡散が生じることから、接合層３０は、被支持基板１０の支持基板２０に面する面（図中、下面）に含まれる少なくとも１種類の元素と、支持基板２０の被支持基板１０に面する面（図中、上面）に含まれる少なくとも１種類の元素とを含む。特に本実施の形態においては、接合層３０は、蛍光体基板１１と透光性基板２１との間の直接接合によって形成された界面層である。このため接合層３０は、蛍光体基板１１に含まれる少なくとも１種類の元素と、透光性基板２１に含まれる少なくとも１種類の元素とを含む。接合層３０の厚みは非常に小さく、よって接合層３０はそれを透過する光の進行をほとんど妨げない。接合層３０の厚みは、１ｎｍ程度以上１００ｎｍ程度以下が好ましく、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下がより好ましい。
【００３０】
なお、接合層３０が存在していることから、厳密にいえば、蛍光体基板１１は、透光性基板２１によって接合層３０を介して支持されているといえる。
【００３１】
（効果）
本実施の形態の波長変換部材５０によれば、蛍光体基板１１は、配向性をともなう多結晶構造を有する透光性基板２１によって支持されている。これにより、透光性基板２１の配向性を調整することによって、光の散乱の程度を調整することができる。すなわち、蛍光体を支持する支持体中における光の散乱の程度を任意に調整することができる。
【００３２】
また本実施の形態においては、蛍光体基板１１は多結晶構造を有している。よって蛍光体基板１１は、蛍光体が単結晶の場合および蛍光体がバインダ中に分散される場合に比して、光を中程度に散乱する。この場合、蛍光体基板１１および透光性基板２１の全体による光の散乱を適度なものとするために、透光性基板２１が光を中程度散乱することが求められることがあり得る。本実施の形態によれば、透光性基板２１が、配向性をともなう多結晶構造を有する。これにより、透光性基板２１は、単結晶構造の場合および無配向多結晶構造の場合と比較して、光を中程度に散乱することができる。
【００３３】
なお蛍光体基板１１は多結晶構造を有するものに限定されるわけではない。透光性基板２１の多結晶構造が有する配向性を調整することによって光の散乱の程度を調整することができるという効果は、蛍光体基板１１の構成を問わず、得られるものである。よって変形例として、蛍光体基板１１は、単結晶構造を有するものであってもよい。この場合、透光性基板２１の配向度を小さくすることによって、光の散乱が不足しないようにすることができる。他の変形例として、蛍光体基板１１は、バインダ中に分散されたものであってもよい。この場合、透光性基板２１の配向度を小さくすることによって、光の散乱が過剰にならないようにすることができる。
【００３４】
好ましくは、透光性基板２１の熱伝導率は、蛍光体基板１１の熱伝導率よりも高い。これにより、蛍光体基板１１で発生した熱の排熱を促進することができる。よって、発熱により蛍光体基板１１の温度が上昇することによる性能の劣化を抑制することができる。
【００３５】
好ましくは、透光性基板２１の多結晶構造は、１０％以上９９％以下の配向度を有している。これにより、透光性基板２１における光の散乱の程度を、透光性基板２１の多結晶構造が無配向の場合に比して十分に小さく、かつ透光性基板２１が単結晶の場合に比して十分に大きくすることができる。なお、透光性基板２１の熱伝導度を高める観点では、配向度が９０％以上であることが好ましい。
【００３６】
接合層３０は、被支持基板１０の支持基板２０に面する面に含まれる少なくとも１種類の元素と、支持基板２０の被支持基板１０に面する面に含まれる少なくとも１種類の元素とを含む。このような接合層３０は、前述したように、直接接合によって形成することができる。直接接合が用いられることにより、被支持基板１０から支持基板２０への熱伝導が接合部において阻害されることが抑制される。
【００３７】
なお変形例として、被支持基板１０と支持基板２０との接合に、直接接合以外の方法が用いられてもよい。その場合、上記接合層３０とは異なる、接合のための層が設けられる。
【００３８】
好ましくは、透光性基板２１の線膨張係数は、蛍光体基板１１の線膨張係数の±３０％以内である。これにより、熱膨張の差異に起因した蛍光体基板１１の割れの発生を防止することができる。特に、蛍光体基板１１の厚みが１００μｍ程度以下かつ透光性基板２１の厚みが１ｍｍ以上のように両者の厚みの相異が大きい場合、顕著な効果が得られる。
【００３９】
本実施の形態の照明装置１００によれば、光源９０からの光は、被支持基板１０だけでなく支持基板２０も通過する。これにより、支持基板２０が有する透光性基板２１の配向性を調整することによって、照明装置１００における光の散乱の程度を調整することができる。散乱の程度が過小でないことによって、励起光９１のうち散乱されなかった成分が特定の方向（図１における上方）へ強く放射されることが避けられる。このため照明光９２の色むらが抑制される。特に、光源９０としてレーザが用いられた場合は一般に色むらが発生しやすいので、上記効果が顕著である。一方、散乱の程度が過大でないことによって、光の過度な減衰が避けられる。このため、散乱に起因しての照明光９２の出力低下が抑制される。以上から、色むらを抑制しつつ出力を高めることができる。
【００４０】
＜実施の形態２＞
（構成）
図３を参照して、本実施の形態の波長変換部材５０ａ（光学部品）は、被支持基板１０（図１）に代わり、被支持基板１０ａ（第１基板）を有している。被支持基板１０ａは、支持基板２０に面する中間層１３を含む。よって蛍光体基板１１は、透光性基板２１によって中間層１３を介して支持されている。中間層１３は、蛍光体基板１１の材料とは異なる材料からなる。中間層１３は、透光性を有する層であり、好ましくは実質的に透明である。好ましくは、中間層１３の厚みは、１μｍ以下である。好ましくは、中間層１３の熱伝導率は、蛍光体基板１１の熱伝導率よりも高い。中間層１３の材料は、好ましくは酸化物であり、例えば、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）または五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）である。
【００４１】
図４を参照して、本実施の形態の波長変換部材５０ａは、接合層３０（図２）に代わり接合層３０ａを有している。接合層３０ａは、被支持基板１０ａと支持基板２０との間の直接接合によって形成された界面層である。このため接合層３０ａは、被支持基板１０ａの支持基板２０に面する面（図中、下面）に含まれる少なくとも１種類の元素と、支持基板２０の被支持基板１０ａに面する面（図中、上面）に含まれる少なくとも１種類の元素とを含む。特に本実施の形態においては、接合層３０ａは、中間層１３と透光性基板２１との間の直接接合によって形成された界面層である。このため接合層３０ａは、中間層１３に含まれる少なくとも１種類の元素と、透光性基板２１に含まれる少なくとも１種類の元素とを含む。接合層３０ａが存在していることから、厳密にいえば、蛍光体基板１１は、透光性基板２１によって中間層１３および接合層３０ａを介して支持されているといえる。上記以外については、接合層３０ａは接合層３０（図２）に類したものである。
【００４２】
なお、上記以外の構成については、上述した実施の形態１の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
【００４３】
（製造方法）
波長変換部材５０ａの製造方法について、図５〜図８を参照しつつ、以下に説明する。
【００４４】
図５を参照して、蛍光体基板１１上（図中、下面上）に中間層１３が形成される。これにより、蛍光体基板１１および中間層１３を有する被支持基板１０ａが得られる。また、支持基板２０としての透光性基板２１が準備される。被支持基板１０ａおよび支持基板２０が真空チャンバ４０中へ搬送される。被支持基板１０ａの中間層１３の表面と、支持基板２０の表面との各々へ、粒子線生成装置４１から粒子線４２が照射される。これにより、両表面が、直接接合に適したものとなる。例えば、粒子線生成装置４１はイオンガンであり、粒子線４２はイオンビームである。イオンビームは、典型的には、アルゴン（Ａｒ）イオンビームである。なお、粒子線に代わり、プラズマが照射されてもよい。
【００４５】
さらに図６を参照して、上記１対の表面が互いに接触させられる。そして、被支持基板１０ａと支持基板２０とが荷重４４によって互いに押し付けられる。これにより被支持基板１０ａと支持基板２０とが直接接合によって互いに接合される。接合時の温度は、常温であってもよく、常温より高い温度であってもよい。高温、特に８００℃程度以上の温度、が用いられると、物質の拡散が特に有意に促進される。このため、接合されることになる表面の平滑性が、常温の場合よりは、厳しく求められない。このため、高い接合温度が許容されるならば、それを用いることで、コストを低減したり、歩留まりを高めたりすることができる。
【００４６】
図７を参照して、必要に応じて、蛍光体基板１１の厚みが研磨４６によって低減される。図８を参照して、上記接合によって得られた被支持基板１０ａおよび支持基板２０の積層体から、ダイシングライン４８に沿って、１つ以上の波長変換部材５０ａが切り出される。
【００４７】
以上により、波長変換部材５０ａ（図３）が得られる。なお中間層１３を形成することなく上記製造方法が行われれば、波長変換部材５０（図１：実施の形態１）が得られる。
【００４８】
（効果）
本実施の形態によっても、前述した実施の形態１とほぼ同様の効果が得られる。
【００４９】
さらに、本実施の形態によれば、被支持基板１０ａは、支持基板２０に面する中間層１３を含み、この中間層１３は、蛍光体基板１１の材料とは異なる材料からなる。これにより、被支持基板１０ａの支持基板２０に面する面の材料を、支持基板２０との接合に適した材料とすることができる。これにより、被支持基板１０ａと支持基板２０との接合が容易となり、特に、材料の組み合わせが重要な接合である直接接合が容易となる。なお中間層１３の材料は透光性基板２１の材料と同じであってもよく、その場合、直接接合がより容易となる。
【００５０】
（変形例）
図９を参照して、変形例の波長変換部材５０ｂ（光学部品）は、支持基板２０（図３）に代わり支持基板２０ａ（第２基板）を有している。支持基板２０ａは、被支持基板１０ａに面する中間層２３を含む。よって蛍光体基板１１は、透光性基板２１によって中間層１３および中間層２３を介して支持されている。中間層２３は、透光性基板２１の材料とは異なる材料からなる。中間層２３は、透光性を有する層であり、好ましくは実質的に透明である。好ましくは、中間層２３の厚みは、１μｍ以下である。好ましくは、中間層２３の熱伝導率は、蛍光体基板１１の熱伝導率よりも高い。中間層２３の材料は、好ましくは酸化物であり、例えば、アルミナまたは五酸化タンタルである。
【００５１】
また波長変換部材５０ｂは、接合層３０ａ（図４）に代わり、接合層３０ｂを有している。接合層３０ｂは、被支持基板１０ａと支持基板２０ａとの間の直接接合によって形成された界面層である。このため接合層３０ｂは、被支持基板１０ａの支持基板２０ａに面する面（図中、下面）に含まれる少なくとも１種類の元素と、支持基板２０ａの被支持基板１０ａに面する面（図中、上面）に含まれる少なくとも１種類の元素とを含む。特に本実施の形態においては、接合層３０ｂは、中間層１３と中間層２３との間の直接接合によって形成された界面層である。このため接合層３０ｂは、中間層１３に含まれる少なくとも１種類の元素と、中間層２３に含まれる少なくとも１種類の元素とを含む。接合層３０ｂが存在していることから、厳密にいえば、蛍光体基板１１は、透光性基板２１によって中間層１３と中間層２３と接合層３０ｂとを介して支持されているといえる。上記以外については、接合層３０ｂは接合層３０ａ（図４）に類したものである。
【００５２】
本変形例によっても、実施の形態２とほぼ同様の効果が得られる。なお中間層２３の材料は中間層１３の材料と同じであってもよく、その場合、直接接合がより容易となる。
【実施例】
【００５３】
波長変換部材５０ａ（図３）の実施例１〜３と、その比較例１および２とについての検討結果を、以下の表にまとめる。なお、表中の「総合評価」は、照明光９２（図１）の出力が２２００ｌｍ以上、かつ、照明光９２に色むらがみられない場合に「合格」とされ、そうでない場合に「不合格」とされた。【００５４】
【表１】
2018135121.tif 000006
【００５５】
以下、各例について詳述する。【００５６】
（実施例１）
蛍光体基板１１（図５）として、Ｃｅ原子がドーピングされた多結晶ＹＡＧセラミック基板（神島化学工業株式会社製）が準備された。蛍光体基板１１上に、中間層１３（図５）として、厚み０．５μｍのアルミナ層がスパッタ法によって成膜された。得られた層は、表面粗さＲａ０．５ｎｍを有していた。また支持基板２０（図５）として、厚み１ｍｍ、配向度６０％および直線透過率７０％を有する透明アルミナ基板が準備された。アルミナ層と透明アルミナ基板とが直接接合された。具体的には、まず、両者の表面にアルゴンイオンビームが照射された。次に、真空中、常温下で、両者が接触させられ、そして荷重４４（図６）が加えられた。すなわち、直接接合が行われた。顕微鏡観察によれば、接合面に気泡はみられなかった。次に、研磨４６（図７）によって、蛍光体基板１１の厚みが、誤差±０．２５μｍ以内で１００μｍまで低減された。研磨４６は、光学研磨の精度で行われた。具体的には、グラインダー研削、ラップおよび化学機械研磨（ＣＭＰ）が順に行われた。次に、ダイシング装置を用いて３ｍｍ角のサイズで波長変換部材５０ａ（図３）が切り出された。得られた波長変換部材５０ａには、欠けもクラックもみられなかった。【００５７】
光源９０（図１）として、出力１０Ｗ、波長４５０ｎｍのＧａＮ系青色レーザ装置が準備された。これを用いて生成された励起光９１（図１）が波長変換部材５０ａ（図１）へ照射された。この光が波長変換部材５０ａを通過することによって得られた照明光９２（図１）について、その出力および色むらが評価された。上記の表に示したように、出力は２８００ｌｍであり、色むらはみられなかった。よって波長変換部材５０ａは合格と判定された。【００５８】
なお、照明光９２の出力の測定は、日本工業規格(ＪＩＳ：Ｊａｐａｎｅｓｅ  Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ  Ｓｔａｎｄａｒｄｓ）における「ＪＩＳ  Ｃ  ７８０１」の規定に沿って行われた。具体的には、波長変換部材５０ａからの全光束の時間平均によって測定された。全光束の測定は，積分球（球形光束計）を用いて行われた。被測定光源と、全光束が値づけられた標準光源とが、同じ位置で点灯され、両者の比較によって測定が行われた。【００５９】
色むらは、輝度分布測定装置を用いて得られた色度図によって評価された。色度図において、測定結果が、中央値ｘ：０．３４４７±０．００５、ｙ：０．３５５３±０．００５の範囲にある場合は色むらがないと判定され、それ以外の場合は色むらがあると判定された。【００６０】
（実施例２）
支持基板２０（図５）として、配向度１０％および直線透過率５０％を有する透明アルミナ基板が準備された。これ以外の製造条件は、実施例１と同じとされた。実施例１と同様、接合面に気泡はみられず、また、得られた波長変換部材５０ａには、欠けもクラックもみられなかった。上記の表に示したように、波長変換部材５０ａからの照明光９２（図１）の出力は２２００ｌｍであり、色むらはみられなかった。よって波長変換部材５０ａは合格と判定された。【００６１】
（実施例３）
支持基板２０（図５）として、配向度９９％および直線透過率８４％を有する透明アルミナ基板が準備された。これ以外の製造条件は、実施例１と同じとされた。実施例１および２と同様、接合面に気泡はみられず、また、得られた波長変換部材５０ａには欠けもクラックもみられなかった。上記の表に示したように、波長変換部材５０ａからの照明光９２（図１）の出力は２５５０ｌｍであり、色むらはみられなかった。よって波長変換部材５０ａは合格と判定された。【００６２】
（比較例１）
支持基板２０（図５）を構成する透光性基板として、実施例１〜３では配向性多結晶アルミナが用いられたが、本比較例では、厚み方向に沿ったｃ軸を有する単結晶サファイアが用いられた。このため本比較例における透光性基板のｃ面配向度は１００％といえる。単結晶サファイアの直線透過率は８５％であった。これ以外の製造条件は、実施例１と同じとされた。実施例１〜３と同様、接合面に気泡はみられず、また、得られた波長変換部材には、欠けもクラックもみられなかった。上記の表に示したように、波長変換部材からの照明光の出力は２５００ｌｍであり、色むらがみられた。色むらがあることによって、この波長変換部材は不合格と判定された。【００６３】
（比較例２）
支持基板２０（図５）を構成する透光性基板として、実施例１〜３では配向性多結晶アルミナが用いられたが、本比較例では、無配向性アルミナが用いられた。このため本比較例における透光性基板のｃ面配向度は０％といえる。無配向性アルミナの直線透過率は４５％であった。これ以外の製造条件は、実施例１と同じとされた。上記各例と同様、接合面に気泡はみられず、また、得られた波長変換部材には、欠けもクラックもみられなかった。上記の表に示したように、波長変換部材からの照明光の出力は２０００ｌｍであり、色むらはみられなかった。出力の不足によって、この波長変換部材は不合格と判定された。【００６４】
（その他の実施例）
上記に加えて、配向度２０％、５０％および７０％を有する透明アルミナ基板が用いられた実施例についても、上記と同様の検討が行われた。図１０のグラフにそれらの評価結果がまとめられている。【００６５】
（上記例に対する検討）
比較例１においては、波長変換部材からの照明光に色むらがみられた。その理由は、比較例１において透光性基板として単結晶サファイアが用いられたために、光の散乱が不足したためと考えられる。これに対して他の例では、光が十分に散乱されたために色むらの発生が抑制されたと考えられる。よって色むらの発生を避けるためには、透光性基板として、単結晶サファイアではなく多結晶アルミナを用いることが好ましいと考えられる。【００６６】
比較例２においては、波長変換部材からの照明光の出力が不足した。その理由は、比較例２において透光性基板として無配向性の多結晶アルミナが用いられたために、光の散乱が過剰であったためと考えられる。これに対して他の例では、光が過剰に散乱されなかったために照明光の出力の低減が抑制されたと考えられる。よって照明光の出力の低減を抑制するためには、透光性基板の多結晶構造が配向性を有することが好ましいと考えられる。【００６７】
以上のように、透光性基板２１が、配向性をともなう多結晶構造を有していることによって、光の散乱の過不足が避けられたと考えられる。そしてそれによって、色むらの発生を避けることができ、かつ、照明光９２の出力の低減を抑制することができたと考えられる。【００６８】
この発明は詳細に説明されたが、上記した説明は、すべての局面において、例示であって、この発明がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この発明の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。
【符号の説明】
【００６９】
１０，１０ａ  被支持基板（第１基板）
１１  蛍光体基板
１３，２３  中間層
２０，２０ａ  支持基板（第２基板）
２１  透光性基板
３０，３０ａ，３０ｂ  接合層
４０  真空チャンバ
４１  粒子線生成装置
５０，５０ａ，５０ｂ  波長変換部材（光学部品）
９０  光源
９１  励起光
９２  照明光
１００  照明装置
【図１】
2018135121.tif 000007
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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