(57)【要約】  複数のポンプ室を形成可能な複数のポンプ室形成凹部と、ポンプ室形成凹部毎に設けられ、それぞれ一端部が各ポンプ室形成凹部に接続された流入側連通溝及び流出側連通溝とを有する第１ケース体と、複数の流入側連通溝の他端部を互いに連通させると共に、吸気ポートに流体的に接続された流入側共同連通溝と、複数の流出側連通溝の他端部を互いに連通させると共に、排気ポートに流体的に接続された流出側共同連通溝とを有する第２ケース体と、第１ケース体及び第２ケース体によって挟持され、第１ケース体及び第２ケース体の開放面をそれぞれ覆うパッキン部材とを備えている。
2018037443.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸気ポート、排気ポート及び複数のポンプ室を有するポンプ本体と、該複数のポンプ室を所定の位相差で拡張及び収縮させる駆動機構とを備える多気筒式ダイヤフラムポンプであって、
前記ポンプ本体は、
前記複数のポンプ室を形成可能な複数のポンプ室形成凹部と、該ポンプ室形成凹部毎に設けられ、それぞれ一端部が各ポンプ室形成凹部に接続された流入側連通溝及び流出側連通溝とを有する第１ケース体と、
複数の前記流入側連通溝の他端部を互いに連通させると共に、前記吸気ポートに流体的に接続された流入側共同連通溝と、複数の前記流出側連通溝の他端部を互いに連通させると共に、前記排気ポートに流体的に接続された流出側共同連通溝とを有する第２ケース体と、
前記第１ケース体及び前記第２ケース体によって挟持され、該第１ケース体及び該第２ケース体の開放面をそれぞれ覆うパッキン部材と
を備え、
前記パッキン部材は、前記ポンプ室形成凹部毎に設けられ、各ポンプ室形成凹部と共に前記ポンプ室を形成可能なダイヤフラム部と、前記流入側連通溝毎に設けられ、各流入側連通溝の他端部と前記流入側共同連通溝とを隔てる流入側隔膜と、前記流出側連通溝毎に設けられ、各流出側連通溝の他端部と前記流出側共同連通溝とを隔てる流出側隔膜とを備えており、
前記流入側共同連通溝には、前記流入側隔膜毎に、各流入側隔膜と共に流入側逆止弁を構成する流入側弁座が形成されており、該流入側逆止弁は、前記流入側共同連通溝から各流入側連通溝に向かう方向の流体の流動を許容可能で、かつ、各流入側連通溝から前記流入側共同連通溝に向かう方向の流体の流動を阻止可能に構成されており、
前記流出側連通溝には、それぞれ、各流出側隔膜と共に流出側逆止弁を構成する流出側弁座が形成されており、該流出側逆止弁は、各流出側連通溝から前記流出側共同連通溝に向かう方向の流体の流動を許容可能で、かつ、前記流出側共同連通溝から各流出側連通溝に向かう方向の流体の流動を阻止可能に構成されている
ことを特徴とする多気筒式ダイヤフラムポンプ。
【請求項２】
前記流入側隔膜は、それぞれ、前記流入側連通溝の他端部と前記流入側共同連通溝とを連通する貫通孔を有しており、
前記流入側弁座は、それぞれ、前記流入側隔膜の前記貫通孔を閉塞可能な閉塞面を有しており、
前記閉塞面は、前記貫通孔よりも大きい面積を有し、前記流入側隔膜と略平行に設けられており、
前記流入側隔膜は、流体が通過不能となるよう前記閉塞面と密着する密着位置と、流体が前記貫通孔を介して通過可能となるよう前記閉塞面から離間する離間位置との間において変位可能な可撓性を有している
ことを特徴とする請求項１に記載の多気筒式ダイヤフラムポンプ。
【請求項３】
前記流入側弁座の前記閉塞面は、外縁部に向けて前記流入側隔膜から離間する方向に傾斜する傾斜面を有し、
前記流入側隔膜は、前記密着位置において前記閉塞面の前記傾斜面と密着し、前記離間位置において前記閉塞面の前記傾斜面から離間するよう構成されている
ことを特徴とする請求項２に記載の多気筒式ダイヤフラムポンプ。
【請求項４】
前記流出側隔膜は、それぞれ、前記流出側連通溝の他端部と前記流出側共同連通溝とを連通する貫通孔を有しており、
前記流出側弁座は、それぞれ、前記流出側隔膜の前記貫通孔を閉塞可能な閉塞面を有しており、
前記流出側弁座の前記閉塞面は、前記流出側隔膜の前記貫通孔よりも大きい面積を有し、前記流出側隔膜と略平行に設けられており、
前記流出側隔膜は、流体が通過不能となるよう前記流出側弁座の前記閉塞面と密着する密着位置と、流体が該流出側隔膜の前記貫通孔を介して通過可能となるよう前記流出側弁座の前記閉塞面から離間する離間位置との間において変位可能な可撓性を有している
ことを特徴とする請求項１乃至３いずれか１項に記載の多気筒式ダイヤフラムポンプ。
【請求項５】
前記流出側弁座の前記閉塞面は、外縁部に向けて前記流出側隔膜から離間する方向に傾斜する傾斜面を有し、
前記流出側隔膜は、前記密着位置において前記流出側弁座の前記閉塞面の前記傾斜面と密着し、前記離間位置において前記流出側弁座の前記閉塞面の前記傾斜面から離間するよう構成されている
ことを特徴とする請求項４に記載の多気筒式ダイヤフラムポンプ。
【請求項６】
前記ポンプ室は、所定の方向に沿ってＸ個（Ｘは二以上の整数）整列して形成されており、
前記駆動機構は、前記所定の方向に沿って伸びる回転軸と、前記回転軸を回転させる駆動源と、前記パッキン部材の前記ダイヤフラム部毎に設けられた往復動部材とを備え、
前記回転軸は、Ｘ個のクランク軸を備え、
前記クランク軸は、それぞれ、前記回転軸の中心軸から所定量偏心した偏心カム部と、軸方向の一端面に形成された係合突起と、軸方向の他端面に形成され、隣接する他のクランク軸の前記係合突起と係合可能に構成された係合凹部とを有しており、
前記往復動部材は、一端部が前記クランク軸の前記偏心カム部に連結され、他端部が前記パッキン部材の前記ダイヤフラム部に連結されており、該偏心カム部の回転動作を該ダイヤフラム部の往復動作に変換するよう構成されており、
前記係合突起及び前記係合凹部は、前記回転軸の中心軸を中心として、互いに周方向に「３６０／Ｘ」度位相をずらした位置に設けられている
ことを特徴とする請求項１乃至５いずれか１項に記載の多気筒式ダイヤフラムポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のポンプ室を有する多気筒式ダイヤフラムポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ポンプ室の一部を形成するダイヤフラムの往復動と、ポンプ室の流入側及び流出側にそれぞれ設けられる逆止弁との相互作用によって、一方向のみに流体を流動させるよう構成されたダイヤフラムポンプが広く知られている。特許文献１には、ダイヤフラムと弁体とを一体に形成することで薄型化させたマイクロダイヤフラムポンプが開示されている。【０００３】
ダイヤフラムポンプでは、ダイヤフラムの往復動の一方のみを逆止弁によって取り出す構造であるため、流体の流動に脈動が含まれる。このため、特許文献１のマイクロダイヤフラムポンプのような、単一のポンプ室によって流体を流動させる単気筒式ダイヤフラムポンプでは、流体の脈動によって流量精度が低下すると共に、動作音が大きいという問題がある。【０００４】
近年、このような脈動の影響を軽減させることが可能なダイヤフラムポンプとして、複数のポンプ室を有する多気筒式ダイヤフラムポンプが知られている（特許文献２）。特許文献２の多気筒式ダイヤフラムポンプは、複数のポンプ室にそれぞれ配されるポンプ装置を所定位相差で動作させ、これら複数のポンプ室から流出される流体を合流させて互いの脈動を打消し合わせることにより、流体の脈動を抑えるよう構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特表平０９−５０３５６９号公報
【特許文献２】特開２０１３−６４３７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、特許文献２の多気筒式ダイヤフラムポンプは、図１１（ａ）に示すように、上側ケース体１１０に、ポンプ室１０２から排気弁１０４に至る第１連通溝１１２と、吸入口１０６から吸気弁１０８の上流に至る第３連通溝１１４との両方を設け、下側ケース体１２０に、複数のポンプ室１０２からの流れを合流させる第２連通溝１２２を設けている。【０００７】
また、特許文献２の多気筒式ダイヤフラムポンプでは、上側ケース体１１０及び下側ケース体１２０とは別途に設けた機構部全体を覆う取付台１３０に吸気ポート１３２が形成されており、取付台１３０の内部空間１３４を、各ポンプ室１０２に流体を分配させるための流路としている。【０００８】
さらに、特許文献２の多気筒式ダイヤフラムポンプにおいて、排気弁１０４及び吸気弁１０８は、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示すように、片持ち状の舌片状リード弁１０４ａ，１０８ａが第１連通溝１１２全体を塞ぐことで作用する構成である。【０００９】
しかしながら、このような特許文献２の多気筒式ダイヤフラムポンプでは、吸入口１０６から吸気弁１０８の上流に至る第３連通溝１１４が上側ケース体１１０に設けられているため、吸気側のリード弁１０８ａは平面上でダイヤフラム１４０と干渉する所謂アンダーカット形状とならざるを得ず、それゆえ、ダイヤフラム１４０の構造が複雑になるという問題がある。加えて、このような構成を有する特許文献２の多気筒式ダイヤフラムポンプでは、取付台１３０の吸気ポート１３２から吸引された流体を複数のポンプ室１０２に分配するための流路を上側ケース体１１０に設けることが難しく、この流路の機能を取付台１３０に持たせる必要があるため、大型化すると共に、全体の気密を取ることが困難であるという問題がある。【００１０】
本発明は、上述した従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、薄型化することが可能で、かつ、簡易な構造とすることが可能な多気筒式ダイヤフラムポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するため、本発明に係る多気筒式ダイヤフラムポンプは、吸気ポート、排気ポート及び複数のポンプ室を有するポンプ本体と、該複数のポンプ室を所定の位相差で拡張及び収縮させる駆動機構とを備える多気筒式ダイヤフラムポンプであって、前記ポンプ本体は、前記複数のポンプ室を形成可能な複数のポンプ室形成凹部と、該ポンプ室形成凹部毎に設けられ、それぞれ一端部が各ポンプ室形成凹部に接続された流入側連通溝及び流出側連通溝とを有する第１ケース体と、複数の前記流入側連通溝の他端部を互いに連通させると共に、前記吸気ポートに流体的に接続された流入側共同連通溝と、複数の前記流出側連通溝の他端部を互いに連通させると共に、前記排気ポートに流体的に接続された流出側共同連通溝とを有する第２ケース体と、前記第１ケース体及び前記第２ケース体によって挟持され、該第１ケース体及び該第２ケース体の開放面をそれぞれ覆うパッキン部材とを備え、前記パッキン部材は、前記ポンプ室形成凹部毎に設けられ、各ポンプ室形成凹部と共に前記ポンプ室を形成可能なダイヤフラム部と、前記流入側連通溝毎に設けられ、各流入側連通溝の他端部と前記流入側共同連通溝とを隔てる流入側隔膜と、前記流出側連通溝毎に設けられ、各流出側連通溝の他端部と前記流出側共同連通溝とを隔てる流出側隔膜とを備えており、前記流入側共同連通溝には、前記流入側隔膜毎に、各流入側隔膜と共に流入側逆止弁を構成する流入側弁座が形成されており、該流入側逆止弁は、前記流入側共同連通溝から各流入側連通溝に向かう方向の流体の流動を許容可能で、かつ、各流入側連通溝から前記流入側共同連通溝に向かう方向の流体の流動を阻止可能に構成されており、前記流出側連通溝には、それぞれ、各流出側隔膜と共に流出側逆止弁を構成する流出側弁座が形成されており、該流出側逆止弁は、各流出側連通溝から前記流出側共同連通溝に向かう方向の流体の流動を許容可能で、かつ、前記流出側共同連通溝から各流出側連通溝に向かう方向の流体の流動を阻止可能に構成されていることを特徴とする。【００１２】
本発明に係る多気筒式ダイヤフラムポンプにおいて、前記流入側隔膜は、それぞれ、前記流入側連通溝の他端部と前記流入側共同連通溝とを連通する貫通孔を有しており、前記流入側弁座は、それぞれ、前記流入側隔膜の前記貫通孔を閉塞可能な閉塞面を有しており、前記閉塞面は、前記貫通孔よりも大きい面積を有し、前記流入側隔膜と略平行に設けられており、前記流入側隔膜は、流体が通過不能となるよう前記閉塞面と密着する密着位置と、流体が前記貫通孔を介して通過可能となるよう前記閉塞面から離間する離間位置との間において変位可能な可撓性を有することが好ましい。また、この場合において、前記流入側弁座の前記閉塞面は、外縁部に向けて前記流入側隔膜から離間する方向に傾斜する傾斜面を有し、前記流入側隔膜は、前記密着位置において前記閉塞面の前記傾斜面と密着し、前記離間位置において前記閉塞面の前記傾斜面から離間するよう構成されることが更に好ましい。【００１３】
また、本発明に係る多気筒式ダイヤフラムポンプにおいて、前記流出側隔膜は、それぞれ、前記流出側連通溝の他端部と前記流出側共同連通溝とを連通する貫通孔を有しており、前記流出側弁座は、それぞれ、前記流出側隔膜の前記貫通孔を閉塞可能な閉塞面を有しており、前記流出側弁座の前記閉塞面は、前記流出側隔膜の前記貫通孔よりも大きい面積を有し、前記流出側隔膜と略平行に設けられており、前記流出側隔膜は、流体が通過不能となるよう前記流出側弁座の前記閉塞面と密着する密着位置と、流体が該流出側隔膜の前記貫通孔を介して通過可能となるよう前記流出側弁座の前記閉塞面から離間する離間位置との間において変位可能な可撓性を有することが好ましい。また、この場合において、前記流出側弁座の前記閉塞面は、外縁部に向けて前記流出側隔膜から離間する方向に傾斜する傾斜面を有し、前記流出側隔膜は、前記密着位置において前記流出側弁座の前記閉塞面の前記傾斜面と密着し、前記離間位置において前記流出側弁座の前記閉塞面の前記傾斜面から離間するよう構成されることが更に好ましい。【００１４】
さらに、本発明に係る多気筒式ダイヤフラムポンプにおいて、前記ポンプ室は、所定の方向に沿ってＸ個（Ｘは二以上の整数）整列して形成されており、前記駆動機構は、前記所定の方向に沿って伸びる回転軸と、前記回転軸を回転させる駆動源と、前記パッキン部材の前記ダイヤフラム部毎に設けられた往復動部材とを備え、前記回転軸は、Ｘ個のクランク軸を備え、前記クランク軸は、それぞれ、前記回転軸の中心軸から所定量偏心した偏心カム部と、軸方向の一端面に形成された係合突起と、軸方向の他端面に形成され、隣接する他のクランク軸の前記係合突起と係合可能に構成された係合凹部とを有しており、前記往復動部材は、一端部が前記クランク軸の前記偏心カム部に連結され、他端部が前記パッキン部材の前記ダイヤフラム部に連結されており、該偏心カム部の回転動作を該ダイヤフラム部の往復動作に変換するよう構成されており、前記係合突起及び前記係合凹部は、前記回転軸の中心軸を中心として、互いに周方向に「３６０／Ｘ」度位相をずらした位置に設けられることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、薄型化することが可能で、かつ、簡易な構造とすることが可能な多気筒式ダイヤフラムポンプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る多気筒式ダイヤフラムポンプの概略構成を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ´線に沿った部分的な概略断面を示す部分断面図である。
【図３】下側ケース体をパッキン部材側から見た状態を示す平面斜視図である。
【図４】パッキン部材を上側ケース体側から見た状態を示す平面斜視図である。
【図５】上側ケース体をパッキン部材側から見た状態を示す底面斜視図である。
【図６】ポンプ室、吸気弁及び排気弁の概略構成を示す断面図である。
【図７】図７（ａ）は、本実施形態に係る逆止弁の自由状態（無負荷状態）を示す断面図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）の逆止弁に逆方向圧力が付与された状態を示す断面図である。
【図８】クランク軸の概略構成を示す斜視図である。
【図９】クランク軸の係合突起及び係合凹部の関係を示す図である。
【図１０】図１０（ａ）は、他の実施形態に係る逆止弁の自由状態（無負荷状態）を示す断面図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）の逆止弁に逆方向圧力が付与された状態を示す断面図である。
【図１１】図１１（ａ）は、特許文献２の多気筒式ダイヤフラムポンプにおける、ポンプ室並びに吸気側及び排気側の逆止弁の概略構成を示す断面図であり、図１１（ｂ）は、特許文献２の多気筒式ダイヤフラムポンプにおける、逆止弁の構造を示す図である。
【図１２】特許文献１の逆止弁の構造を示す断面図である。
【図１３】図１３（ａ）は、従来の他の逆止弁の構造を示す断面図であり、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）の逆止弁に逆方向圧力が付与された状態を示す図である。
【図１４】図１４（ａ）は、参考例に係るクランク軸を示す図であり、図１４（ｂ）は、他の参考例に係るクランク軸を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための好適な実施形態について、図１〜図９を用いて説明する。なお、以下の実施形態は、各請求項に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１８】
本実施形態に係る多気筒式ダイヤフラムポンプ１は、Ｘ個のポンプ要素を直線上に配置した多気筒ポンプである。なお、本出願において、Ｘは、二以上の整数を意味するものとする。また、本実施形態では、「Ｘ＝３」とした例、すなわち、３つのポンプ要素を直線上に配置した三気筒ポンプを例に挙げて説明する。
【００１９】
本実施形態に係る多気筒式ダイヤフラムポンプ１は、図１及び図２に示すように、吸気ポート１１、排気ポート１２及びＸ個（本実施形態では３つ）のポンプ室１３を有するポンプ本体１０と、ポンプ本体１０に取り付けられ、３つのポンプ室１３を所定の位相差で拡張及び収縮させる駆動機構５０とを備えている。
【００２０】
ポンプ本体１０は、図２に示すように、板状の下側ケース体（第１ケース体）２０と、下側ケース体２０の上面に積層される板状のパッキン部材３０と、パッキン部材３０の上面に積層され、下側ケース体２０と共にパッキン部材３０を挟持する上側ケース体（第２ケース体）４０とを備えている。ポンプ本体１０は、扁平な略矩形板状の全体形状を有している。
【００２１】
下側ケース体２０は、合成樹脂等からなる扁平な矩形板状の部材であり、図２、図３及び図６に示すように、パッキン部材３０と対向する側の面（すなわち、上面）に、ポンプ室形成凹部２１と、流入側連通溝２２と、流出側連通溝２３とが、それぞれＸ個（本実施形態では３つ）ずつ形成されている。これらポンプ室形成凹部２１、流入側連通溝２２及び流出側連通溝２３は、射出成形等によって下側ケース体２０に一体として成形されることが生産性の観点から好ましいが、これに限定されず、切削加工等によって形成することも可能である。下側ケース体２０の上面は、パッキン部材３０に密接した際にシール面となるよう構成されている。
【００２２】
ポンプ室形成凹部２１は、図２、図３及び図６に示すように、それぞれ、パッキン部材３０の後述するダイヤフラム部３１と整合する位置に形成された凹状空間であり、ダイヤフラム部３１と共にポンプ室１３を形成するよう構成されている。
【００２３】
流入側連通溝２２は、図３及び図６に示すように、ポンプ室形成凹部２１からパッキン部材３０のダイヤフラム部３１の投影面の外側に向けて形成された凹状の溝であり、ポンプ室形成凹部２１毎に設けられている。流入側連通溝２２の遠位端部（他端部）には、後述する吸気弁１４の下流空間２４を形成可能な凹部２２ａが形成されている。流入側連通溝２２は、図６に示すように、一端部がポンプ室形成凹部２１に流体的に接続され、他端部がパッキン部材３０の後述する流入側隔膜３２を介して上側ケース体４０の後述する流入側共同連通溝４２に流体的に接続されている。そして、流入側連通溝２２は、図６に示すように、その開放面がパッキン部材３０によって塞がれることにより、流入側共同連通溝４２からポンプ室形成凹部２１に向かう流路が形成されるよう構成されている。
【００２４】
流出側連通溝２３は、図３及び図６に示すように、ポンプ室形成凹部２１からパッキン部材３０のダイヤフラム部３１の投影面の外側かつ流入側連通溝２２と略反対の方向に向けて形成された凹状の溝であり、ポンプ室形成凹部２１毎に設けられている。流出側連通溝２３の遠位端部（他端部）は、後述する排気弁１５の上流空間２５を形成するよう構成されている。流出側連通溝２３は、図６に示すように、一端部がポンプ室形成凹部２１に流体的に接続され、他端部がパッキン部材３０の後述する流出側隔膜３３を介して上側ケース体４０の後述する流出側共同連通溝４３に流体的に接続されている。そして、流出側連通溝２３は、図６に示すように、その開放面がパッキン部材３０によって塞がれることにより、ポンプ室形成凹部２１から流出側共同連通溝４３に向かう流路が形成されるよう構成されている。
【００２５】
流出側連通溝２３には、図３、図６及び図７に示すように、それぞれ、パッキン部材３０の後述する流出側隔膜３３と共に排気弁１５を構成する流出側弁座２６が形成されている。流出側弁座２６は、それぞれ、パッキン部材３０の後述する流出側隔膜３３の貫通孔３３ａと整合する位置において、流出側隔膜３３の貫通孔３３ａに向かって突出して形成された円柱状の突起である。
【００２６】
流出側弁座２６は、それぞれ、流出側隔膜３３と略平行に設けられ、流出側隔膜３３の貫通孔３３ａを閉塞可能な閉塞面２６ａを有している。閉塞面２６ａは、その外縁部に、中央部よりも流出側隔膜３３から離間する方向に傾斜する傾斜面２７を有する形状、例えば、中央部よりも外縁部が低い球面状（図６参照）、切頭円錐状（図７参照）又は円錐状（図示せず）に形成されている。また、流出側弁座２６の閉塞面２６ａは、流出側隔膜３３の貫通孔３３ａよりも大きい面積を有しており、傾斜面２７が流出側隔膜３３の内周縁部と当接することで、貫通孔３３ａを閉塞するよう構成されている。
【００２７】
流出側弁座２６の周面には、図３に示すように、径方向外側に向けて突出したリブ２６ｂが、周方向に所定の間隔をおいて複数（本実施形態では周方向に１２０度の間隔をおいて３つ）形成されている。リブ２６ｂは、パッキン部材３０の流出側隔膜３３の外周縁に内接可能に構成されており、これにより、流出側隔膜３３の貫通孔３３ａと閉塞面２６ａの中心の相対位置を位置決めするよう構成されている。
【００２８】
パッキン部材３０は、ゴム等の柔軟性を有する材料からなる薄板状のシール部材であり、下側ケース体２０及び上側ケース体４０によって挟持された際に、下側ケース体２０の開放面（上面）及び上側ケース体４０の開放面（下面）をそれぞれ覆うよう構成されている。パッキン部材３０における下側ケース体２０及び上側ケース体４０との接触面は、下側ケース体２０及び上側ケース体４０に密接した際にシール面となるよう構成されている。この接触面には、シール効果を高めるためにビード状の凸部を設けることが好ましいが、これに限定されるものではない。
【００２９】
パッキン部材３０は、図２、図４及び図６に示すように、Ｘ個（本実施形態では３つ）のポンプ室形成凹部２１と整合する位置に設けられたＸ個（本実施形態では３つ）のダイヤフラム部３１と、下側ケース体２０のＸ個（本実施形態では３つ）の流入側連通溝２２の遠位端部（他端部）と整合する位置に設けられたＸ個（本実施形態では３つ）の流入側隔膜３２と、下側ケース体２０のＸ個（本実施形態では３つ）の流出側連通溝２３の遠位端部（他端部）と整合する位置に設けられたＸ個（本実施形態では３つ）の流出側隔膜３３とが、平面方向に並列して一体的に形成されている。
【００３０】
ダイヤフラム部３１は、図２及び図６に示すように、それぞれ、下側ケース体２０のポンプ室形成凹部２１との間においてポンプ室１３を形成可能に構成されている。このダイヤフラム部３１は、図４に示すように、ポンプ室１３に対して進退する部位である楕円状の可動部３１ａと、可動部３１ａの周囲を囲むように設けられ、弾性変形することにより可動部３１ａの進退移動を許容する可撓性を有する可撓部３１ｂとを有している。可動部３１ａは、図２及び図６に示すように、駆動手段５０の後述する往復動部材５５と連結されており、往復動部材５５の往復動に伴ってポンプ室１３に対して進退するよう構成されている。
【００３１】
流入側隔膜３２は、図４に示すように、それぞれ、パッキン部材３０の一部が上面から下面に向けて肉薄かつ円状に形成されると共に、その略中央部に貫通孔３２ａが形成されることにより形成された円環状の隔膜である。流入側隔膜３２は、図６に示すように、下側ケース体２０の流入側連通溝２２の遠位端部（他端部）と上側ケース体４０の後述する流入側共同連通溝４２とを隔てるように、流入側連通溝２２毎に設けられている。また、貫通孔３２ａは、それぞれ、対応する流入側連通溝２２の遠位端部（他端部）と流入側共同連通溝４２とを連通するよう構成されている。
【００３２】
流出側隔膜３３は、図４、図６及び図７に示すように、それぞれ、パッキン部材３０の一部が下面から上面に向けて肉薄かつ円状に形成されると共に、その略中央部に貫通孔３３ａが形成されることにより形成された円環状の隔膜である。流出側隔膜３３は、図６及び図７に示すように、下側ケース体２０の流出側連通溝２３の遠位端部（他端部）と上側ケース体４０の後述する流出側共同連通溝４３とを隔てるように、流出側連通溝２３毎に設けられている。また、貫通孔３３ａは、それぞれ、対応する流出側連通溝２３の遠位端部（他端部）と流出側共同連通溝４３とを連通するよう構成されている。
【００３３】
流入側隔膜３２及び流出側隔膜３３は、それぞれ、その自由状態（流体圧が負荷されていない状態）において、貫通孔３２ａ，３３ａ近傍で流入側弁座４６又は流出側弁座２６の閉塞面４６ａ，２６ａに接するよう構成されている（図７（ａ）参照）。また、流入側隔膜３２及び流出側隔膜３３は、それぞれ、流体が通過不能となるよう流入側弁座４６又は流出側弁座２６の閉塞面４６ａ，２６ａの傾斜面２７と密着する密着位置（図７（ｂ）参照）と、流体が貫通孔３２ａ，３３ａを介して通過可能となるよう閉塞面４６ａ，２６ａの傾斜面２７から離間する離間位置との間において変位可能な可撓性を有している。
【００３４】
上側ケース体４０は、合成樹脂等からなる扁平な矩形板状の部材であり、図５に示すように、パッキン部材３０と対向する側の面（すなわち、下面）に、パッキン部材３０の外形に沿った形状の収容凹部４０ａが形成されており、この収容凹部４０ａ内にパッキン部材３０を密着して収容可能に構成されている。収容凹部４０ａの内面は、パッキン部材３０に密接した際にシール面となるよう構成されている。
【００３５】
上側ケース体４０の収容凹部４０ａには、図２、図５及び図６に示すように、Ｘ個（本実施形態では３つ）の駆動機構通過孔４１と、１つの流入側共同連通溝４２と、１つの流出側共同連通溝４３とが形成されている。また、上側ケース体４０は、流入側共同連通溝４２と整合する位置に吸気ポート１１を有すると共に、流出側共同連通溝４３と整合する位置に排気ポート１２を有している。これら収容凹部４０ａ、駆動機構通過孔４１、流入側共同連通溝４２、流出側共同連通溝４３、吸気ポート１１及び排気ポート１２は、射出成形等によって上側ケース体４０に一体として成形されることが生産性の観点から好ましいが、これに限定されず、切削加工等によって形成することも可能である。
【００３６】
駆動機構通過孔４１は、図２、図５及び図６に示すように、それぞれ、上側ケース体４０の上面から下面に向けて貫通する孔であり、パッキン部材３０のダイヤフラム部３１と整合する位置に形成されている。駆動機構通過孔４１は、駆動機構５０の後述する往復動部材５５が貫通可能な径及び形状を有している。
【００３７】
流入側共同連通溝４２は、図５及び図６に示すように、下側ケース体２０の３つの流入側連通溝２２の遠位端部（他端部）と整合する位置に亘って延在する凹状の溝である。流入側共同連通溝４２は、Ｘ個（本実施形態では３つ）の吸気弁１４の上流空間を相互に連通させると共に、吸気ポート１１に流体的に接続されている。そして、流入側共同連通溝４２は、図６に示すように、その開放面がパッキン部材３０によって塞がれることにより、吸気ポート１１から流入した流体を各吸気弁１４を介して３つの流入側連通溝２２に向けて流動させる流路が形成されるよう構成されている。
【００３８】
流入側共同連通溝４２には、図５及び図６に示すように、パッキン部材３０の３つ流入側隔膜３２と整合する位置にそれぞれ、各流入側隔膜３２と共に吸気弁（流入側逆止弁）１４を構成する流入側弁座４６が形成されている。流入側弁座４６は、下側ケース体２０の流出側弁座２６と同様に、それぞれ、流入側隔膜３２の貫通孔３２ａを閉塞可能な閉塞面４６ａと、流入側隔膜３２の外周縁に内接可能に構成されたリブ４６ｂとを有する円柱状の突起である。なお、本実施形態において、流入側弁座４６の閉塞面４６ａ及びリブ４６ｂは、流出側弁座２６の閉塞面２６ａ及びリブ２６ｂと同様の構成を有するため、その説明を省略する。
【００３９】
流出側共同連通溝４３は、図５及び図６に示すように、下側ケース体２０の３つの流出側連通溝２３の遠位端部（他端部）と整合する位置に亘って延在する凹状の溝である。流出側共同連通溝４３は、Ｘ個（本実施形態では３つ）の排気弁１５の下流空間を相互に連通させると共に、排気ポート１２に流体的に接続されている。そして、流出側共同連通溝４３は、図６に示すように、その開放面がパッキン部材３０によって塞がれることにより、排気弁１５を介して３つの流出側連通溝２３から流出した流体を排気ポート１２に向けて流動させる流路が形成されるよう構成されている。
【００４０】
本実施形態に係る多気筒式ダイヤフラムポンプ１では、図６に示すように、パッキン部材３０の３つの流入側隔膜３２がそれぞれ弁体として機能し、各流入側隔膜３２に対応して設けられた上側ケース体４０の流入側弁座４６の閉塞面４６ａが弁座として機能することにより、吸気弁（流入側逆止弁）１４が構成されている。吸気弁１４は、流入側共同連通溝４２から各流入側連通溝２２に向かう方向の流体の流動を許容可能で、かつ、各流入側連通溝２２から流入側共同連通溝４２に向かう方向の流体の流動を阻止可能に構成されている。
【００４１】
また、同様に、本実施形態に係る多気筒式ダイヤフラムポンプ１では、図６及び図７に示すように、パッキン部材３０の３つの流出側隔膜３３がそれぞれ弁体として機能し、各流出側隔膜３３に対応して設けられた下側ケース体２０の流出側弁座２６の閉塞面２６ａが弁座として機能することにより、排気弁（流出側逆止弁）１５が構成されている。排気弁１５は、それぞれ、各流出側連通溝２３から流出側共同連通溝４３に向かう方向の流体の流動を許容可能で、かつ、流出側共同連通溝４３から各流出側連通溝２３に向かう方向の流体の流動を阻止可能に構成されている。
【００４２】
ここで、流入側隔膜３２及び流出側隔膜３３は、図７（ａ）に示すように、それぞれ、貫通孔３２ａ，３３ａの内周縁部が閉塞面４６ａ，２６ａに接触して微少量押し上げられるよう配置されている。このため、隔膜３２，３３には、それぞれ、その自由状態（流体圧が負荷されていない状態）において予圧が与えられている。また、この自由状態においては、閉塞面４６ａ，２６ａの傾斜面２７により、隔膜３２，３３と閉塞面４６ａ，２６ａの外周縁部との間に隙間が形成されている。
【００４３】
このような構成を有することにより、吸気弁１４及び排気弁１５では、それぞれ、順方向に流体が流れようとした際に、流体が隔膜３２，３３と閉塞面４６ａ，２６ａとの間の隙間を通って最も可撓性が高い中央部、すなわち貫通孔３２ａ，３３ａの内周縁部に至るため、小さな圧力で隔膜３２，３３を持ち上げて流体を通過させることができる。一方、吸気弁１４及び排気弁１５では、それぞれ、逆方向に流体が流れようとした際に、隔膜３２，３３が流体の圧力により押し下げられるが、図７（ｂ）に示すように、流体の圧力を剛性の高い閉塞面４６ａ，２６ａの外周縁部で受け止めることが可能となるため、高い逆方向圧力にも耐えることができる。
【００４４】
駆動機構５０は、図１及び図２に示すように、ポンプ本体１０の長手方向に沿って伸びる回転軸５２と、回転軸５２を回転させる駆動モータ（駆動源）５１と、パッキン部材３０のダイヤフラム部３１毎に設けられた往復動部材（クランクロッド）５５とを備え、複数の往復動部材５５を所定位相差で往復駆動するスライダークランク機構である。駆動機構５０は、ポンプ本体１０の長手方向に沿って回転軸５２が延在することとなるよう、上側ケース体４０の上面に取り付けられたＬ字状の支持部材５６ａ〜５６ｃによって支持されている。
【００４５】
回転軸５２は、図１及び図２に示すように、駆動モータ５１の出力軸５１ａにカップリング５６を介して連結された主軸５３と、主軸５３の周囲に同軸となるよう固定されたＸ個（本実施形態では３つ）のクランク軸５４とを備えている。
【００４６】
クランク軸５４は、それぞれ、図８に示すように、回転軸５２（主軸５３）の中心軸５２ａと同軸の円筒状に形成された基部５４ａと、回転軸５２（主軸５３）の中心軸５２ａから所定量偏心した円筒状に形成された偏心カム部５４ｂと、軸方向の一端面（基部５４ａの端面）に形成された係合突起５４ｃと、軸方向の他端面（偏心カム部５４ｂの端面）に形成された係合凹部５４ｄとを有している。
【００４７】
偏心カム部５４ｂは、図１、図２、図８及び図９に示すように、主軸５３を嵌入させる取付孔が、主軸５３の中心軸５２ａからずれた位置に形成されており、これにより、駆動モータ５１による回転運動を径方向への往復運動（往復動部材５５の上下運動）に変換するよう構成されている。
【００４８】
係合凹部５４ｄは、隣接する他のクランク軸５４の係合突起５４ｃと係合可能に構成されている。各クランク軸５４において、係合突起５４ｃ及び係合凹部５４ｄは、図９に示すように、回転軸５２（主軸５３）の中心軸５２ａを中心として、互いに周方向にθ度（「θ＝３６０／Ｘ」）位相をずらした位置、本実施形態では１２０度位相をずらした位置に設けられている。このような構成を備えることにより、回転軸５２は、図８に示すように、クランク軸５４の係合突起５４ｃが隣接する他のクランク軸５４の係合凹部５４ｄに係合するよう、３つのクランク軸５４を主軸５３上に順次挿入し、必要に応じて止めねじや接着等の種々の固定手段（図示せず）で固定するだけで、３つのクランク軸５４の偏心カム部５４ｂが互いに所定の位相差となるよう、自動的かつ正確に組み立てることが可能に構成されている。
【００４９】
往復動部材５５は、図２に示すように、それぞれ、一端部（上端部）がクランク軸５４の偏心カム部５４ｂにベアリング５７を介して連結され、他端部（下端部）がパッキン部材３０のダイヤフラム部３１に連結されている。往復動部材５５は、このように偏心カム部５４ｂ及びダイヤフラム部３１に連結されることにより、偏心カム部５４ｂの回転動作をダイヤフラム部３１の往復動作に変換し、ダイヤフラム部３１をポンプ室１３に対して繰り返し進退させるよう構成されている。
【００５０】
次に、本実施形態に係る多気筒式ダイヤフラムポンプ１の動作について説明する。まず、駆動モータ５１に通電することでカップリング５６を介して回転軸５２に回転力が伝えられる。ここで、回転軸５２の主軸５３には、３つのクランク軸５４が固定されており、これら３つのクランク軸５４の偏心カム部５４ｂは同方向に１２０度ずつ位相をずらして設けられている。このため、回転軸５２の回転に伴い、回転軸５２に取り付けられた３つの往復動部材５５が１２０度の位相差で駆動され、３つのポンプ室１３が１２０度の位相差で拡張及び収縮される。
【００５１】
各ポンプ室１３の容積が縮小して押し出された流体は、流出側連通溝２３とパッキン部材３０とで形成された流路を経て排気弁１５の上流空間２５に至り、排気弁１５を押し上げて流出側共同連通溝４３とパッキン部材３０とで形成された流路に流入される。そして、３つのポンプ室１３から１２０度の位相差で流出された流体が流出側共同連通溝４３で合流され、整流された状態で排気ポート１２に至る。この際、各吸気弁１４は、流入側連通溝２２を経て吸気弁１４の下流空間２４に至った流体の圧力によって閉塞状態が維持されるため、流体が流入側共同連通溝４２に逆流することはない。
【００５２】
一方、各ポンプ室１３の容積が拡大して吸引された場合、流体は、吸気ポート１１から流入側共同連通溝４２とパッキン部材３０とで形成された流路を経て各吸気弁１４の上流空間に至り、各吸気弁１４を押し下げて各流入側連通溝２２とパッキン部材３０とで形成された流路を通り、各ポンプ室１３
に至る。この際、各排気弁１５は、流出側連通溝２３を経て排気弁１５の上流空間２５に至った流体の圧力によって閉塞状態が維持されるため、流体が流出側共同連通溝４３に逆流することはない。
【００５３】
以上のとおり、本実施形態に係る多気筒式ダイヤフラムポンプ１では、３つのポンプ室１３が１２０度の位相差で拡張及び収縮されるため、流入側共同連通溝４２にて合流された吸気と、流出側共同連通溝４３で合流された排気とのいずれにおいても、３相が合成された脈動の少ない流れを得ることができる。
【００５４】
以上の多気筒式ダイヤフラムポンプ１によれば、下側ケース体（第１ケース体）２０に、吸気弁１４の下流空間２４に繋がる流入側連通溝２２と、排気弁１５の上流空間２５に繋がる流出側連通溝２３とを設け、上側ケース体（第２ケース体）４０に、吸気弁１４の上流空間に繋がる流入側共同連通溝４２と、排気弁１５の下流空間に繋がる流出側共同連通溝４３とを設けることにより、パッキン部材３０の形状を略平面状の形状とすることができるため、成形が容易となり、また、複数のポンプ要素の流量を結合するマニホールドの機能を上側ケース体（第２ケース体）４０の中に組み込むことができる。これにより、気筒数に関わらず、一対のケース体２０，４０でパッキン部材３０を挟むだけで、脈動が少ない多気筒ポンプを構成することが可能となるため、多気筒ポンプの構造を著しく簡素化及び薄型化することが可能となる。
【００５５】
また、本実施形態に係る多気筒式ダイヤフラムポンプ１では、吸気弁１４及び排気弁１５が、貫通孔３２ａ，３３ａを有する隔膜３２，３３と、この貫通孔３２ａ，３３ａを閉塞する閉塞面４６ａ，２６ａを有する弁座４６，２６とにより構成され、この閉塞面４６ａ，２６ａが、中央部よりも外周縁が低い傾斜面２７を有することにより、弁体よりも上流側の流路形状の設計の自由度を高めつつ、最低動作圧を低くすることができ、かつ、高い逆耐圧性能を備え、大流量にも適用可能であるという利点を有する。
【００５６】
すなわち、特許文献１に記載の従来の逆止弁は、図１２に示すように、ゴム等の柔軟部材で構成された板材２１０に貫通孔２１２を設け、その貫通孔２１２に当接する閉塞面２２０を上流側流路２２２より突出させ、順方向流動時は隔膜２１４を押し上げて流動を許容し、逆方向時は隔膜２１４が閉塞面２２０に押し付けられることで流動を阻止するよう構成されている。このような構成を有する従来の逆止弁では、逆方向の流動を流動開始の瞬間にも完全に阻止するため、閉塞方向に予圧がかけられる必要がある。そして、この予圧により、隔膜２１４の固定部近傍が、平坦面である閉塞面２２０の最外周で当接するようになる。しかしながら、このような構成では、隔膜２１４の固定部近傍の可撓性が小さいため、最低動作圧を低くすることができないという問題がある。これに対し、最低動作圧を低くするために、図１３（ａ）に示すように、閉塞面２２０´の径を貫通孔２１２より少し大きい程度にし、閉塞面２２０´が貫通孔２１２の中央近傍に当接するよう構成することが考えられる。しかしながら、このような構成とした場合には、図１３（ｂ）に示すように、逆方向に高い圧力が付与された際に貫通孔２１２が拡開して、閉塞面２２０´がめり込み、動作不能になるという問題が生じる。このように、最低動作圧を下げるためには材料及び形状で隔膜２１４を動きやすくすることが求められる一方で、逆方向圧力に耐えるためには剛性が必要という矛盾をはらんでいる。このため、特許文献１に記載の従来の逆止弁は、大流量、大圧力の用途に用いることができず、マイクロポンプ等の微小流量小圧力に用途が限定されるという問題がある。
【００５７】
また、特許文献２の多気筒式ダイヤフラムポンプでは、図１１（ｂ）に示すように、弁１０４，１０８に至る連通溝１１２，１１４の配置が、リード弁１０４ａ，１０８ａの根元１０４ｂ，１０８ｂと連通溝１１２，１１４とが交差する位置及び方向に限定されるという問題がある。加えて、特許文献２の多気筒式ダイヤフラムポンプに用いられているリード弁１０４ａ，１０８ａは、その根元１０４ｂ，１０８ｂの可撓性を得ることが難しく、それゆえ、根元１０４ｂ，１０８ｂにおける閉塞が不十分になるという問題がある。また、根元１０４ｂ，１０８ｂ部分の気密を得るためには、非常に微妙な押し付け力の調整が必要であるため、弁１０４，１０８の上流側に連通溝１１２，１１４を設けて流路を構成することに相当の制約と困難性があるという問題がある。
【００５８】
これに対し、本実施形態に係る吸気弁１４及び排気弁１５によれば、順方向の流動時においては、流体が可撓性の高い隔膜３２，３３の中央部を押し上げるため、最低動作圧を低く設定することができる。また、本実施形態に係る吸気弁１４及び排気弁１５によれば、逆方向に流動しようとした際には、隔膜３２，３３と閉塞面４６ａ，２６ａとの接点が流体の圧力に応じて剛性の高い周縁部に移動するため、高い逆耐圧を得ることができる。これにより、本実施形態に係る吸気弁１４及び排気弁１５は、大容量かつ高圧のポンプにおいても適用可能であるという利点を有する。また、本実施形態に係る吸気弁１４及び排気弁１５は、弁体よりも上流側の流路を形成する溝の形状の設計の自由度を高めることができるため、逆止弁を備える装置全体の構造を簡素化することが可能であるという利点も有する。さらに、本実施形態に係る吸気弁１４及び排気弁１５は、閉塞面４６ａ，２６ａに傾斜面２７が形成されることにより、貫通孔３２ａ，３３ａと閉塞面４６ａ，２６ａとの間に若干の位置ずれが生じた場合であっても、隔膜３２，３３に対する閉塞面４６ａ，２６ａの密着性を維持し、閉塞面４６ａ，２６ａによって貫通孔３２ａ，３３ａを閉塞することが可能となるため、気密性を確保することができる。
【００５９】
さらに、本実施形態に係る多気筒式ダイヤフラムポンプ１では、駆動機構５０の回転軸５２がＸ個のクランク軸５４を有し、各クランク軸５４の係合突起５４ｃ及び係合凹部５４ｄが「３６０／Ｘ」度位相をずらした位置に設けられている。このため、本実施形態に係る多気筒式ダイヤフラムポンプ１は、クランク軸５４の係合突起５４ｃが隣接する他のクランク軸５４の係合凹部５４ｄに係合するよう、Ｘ個のクランク軸５４を主軸５３上に順次挿入するだけで、Ｘ個のクランク軸５４の偏心カム部５４ｂが互いに所定の位相差となるよう、自動的かつ正確に組み立てることが可能であるという利点を有する。
【００６０】
すなわち、直線上に配置した複数のポンプ要素を所定の位相差で動作させるための他の構成として、例えば、図１４（ａ）に示すような、主軸３１０そのものに所定位相差の偏心部３１２を一体に形成する構成や、図１４（ｂ）に示すような、主軸４１０に所定位相差の凹部４１２を形成し、この凹部４１２に偏心部を備えたクランク軸の固定ねじを対応させる構成等が考えられる。しかしながら、これら図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に示す構成では、いずれも、その加工に特殊な工程が必要となり、高価格化するおそれがあると共に、真直軸に比べて剛性が落ちるという問題がある。また、図１４（ｂ）に示す構成では、その組立が煩雑であるという問題がある。これに対し、本実施形態に係る多気筒式ダイヤフラムポンプ１では、主軸５３が真直軸であるため、高い剛性を確保することができると共に、係合突起５４ｃが隣接する他のクランク軸５４の係合凹部５４ｄに係合するよう主軸５３にクランク軸５４を順次挿入するだけで組み立てることができるため、簡単かつ安価に製造することができる。
【００６１】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明の技術的範囲は、上述した実施形態に記載の範囲には限定されない。上記各実施形態には、多様な変更又は改良を加えることが可能である。
【００６２】
例えば、上述した実施形態では、３つのポンプ要素を直線上に配置した三気筒ポンプを例に挙げて説明したが、これに限定されず、２つのポンプ要素を直線上に配置した二気筒ポンプであるとしても良いし、４つ以上のポンプ要素を直線上に配置した四気筒以上のポンプであるとしても良い。
【００６３】
上述した実施形態では、Ｘ個のポンプ要素を直線上に配置するものとして説明したが、これに限定されず、Ｘ個のポンプ要素は任意の位置に配置することが可能である。
【００６４】
上述した実施形態では、上側ケース体４０に吸気ポート１１及び排気ポート１２の双方が設けられるものとして説明したが、これに限定されず、吸気ポート１１及び排気ポート１２の双方又はいずれか一方を下側ケース体２０に設ける構成としても良い。なお、下側ケース体２０に吸気ポート１１を設ける場合には、下側ケース体２０におけるパッキン部材３０の貫通穴３４（図４参照）と整合する位置に吸気ポート１１を設け、下側ケース体２０に排気ポート１２を設ける場合には、下側ケース体２０におけるパッキン部材３０の貫通穴３５（図４参照）と整合する位置に排気ポート１２を設ければ良い。
【００６５】
上述した実施形態では、流入側共同連通溝４２に１つの吸気ポート１１が設けられ、流出側共同連通溝４３に１つの排気ポート１２が設けられるものとして説明したが、これらのポートは単数に限られず、必要に応じて複数設けることも可能である。
【００６６】
上述した実施形態では、吸気ポート１１及び排気ポート１２が円筒状に形成され、チューブ等が接続されるものとして図示乃至説明したが、これに限定されず、吸気ポート１１及び排気ポート１２の形状及び構成は任意に変更可能である。例えば、真空ポンプの場合には、流出側共同連通溝４３に円筒状の排気ポート１２が設けられる構成に代えて、流出側共同連通溝４３が直接大気に開放される構成とすることも可能である。また、例えば、圧送ポンプの場合には、流入側共同連通溝４２に円筒状の吸気ポート１１が設けられる構成に代えて、流入側共同連通溝４２が直接大気に開放される構成とすることも可能である。
【００６７】
上述した実施形態では、弁座４６，２６の閉塞面４６ａ，２６ａが、中央部よりも隔膜３２，３３から離間する方向に傾斜する傾斜面２７を有するものとして説明したが、これに限定されず、図１０（ａ）に示すように、平滑な閉塞面２６´としても良い。このように、閉塞面２６´を平滑面とする場合には、隔膜３３´の上流側の面と閉塞面２６´との間に隙間が形成されるよう弁座２６´の高さを低くすると共に、隔膜３３´の貫通孔３３ａ´近傍を閉塞面２６´に向けて傾斜させる構成とすることが好ましい。このような構成を有する逆止弁１５´によっても、上述した実施形態と同様に、順方向に流体が流れようとした際には、流体が隔膜３３´と閉塞面２６´との間の隙間を通って最も可撓性が高い中央部、すなわち貫通孔３３ａ´の内周縁部に至るため、小さな圧力で隔膜３３´を持ち上げて流体を通過させることができ、また、逆方向に流体が流れようとした際には、図１０（ｂ）に示すように、剛性の高い隔膜３３´の外周縁部が閉塞面２６´に押し付けられるため、高い逆方向圧力にも耐えることができる。
【符号の説明】
【００６８】
１  多気筒式ダイヤフラムポンプ、１０  ポンプ本体、１１  吸気ポート、１２  排気ポート、１３  ポンプ室、２０  下側ケース体（第１ケース体）、２１  ポンプ室形成凹部、２２  流入側連通溝、２３  流出側連通溝、２６  流出側弁座、２６ａ  閉塞面、２７  傾斜面、３０  パッキン部材、３１  ダイヤフラム部、３２  流入側隔膜、３２ａ  貫通孔、３３  流出側隔膜、３３ａ  貫通孔、４０  上側ケース体（第２ケース体）、４２  流入側共同連通溝、４３  流出側共同連通溝、４６  流入側弁座、４６ａ  閉塞面、５０  駆動機構、５１  駆動モータ（駆動源）、５２  回転軸、５４  クランク軸、５４ｂ  偏心カム部、５４ｃ  係合突起、５４ｄ  係合凹部、５５  往復動部材（クランクロッド）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【国際調査報告】
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