(57)【要約】  本発明の気密パッケージは、パッケージ基体とガラス蓋とが封着材料層を介して気密封着された気密パッケージにおいて、パッケージ基体が、基部と基部上に設けられた枠部とを有し、パッケージ基体の枠部内に、内部素子が収容されており、パッケージ基体の枠部の頂部とガラス蓋の間に封着材料層が配されており、封着材料層の端部が、断面視で円弧状に側方に突き出ていることを特徴とする。
2018147210.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッケージ基体とガラス蓋とが封着材料層を介して気密封着された気密パッケージにおいて、
パッケージ基体が、基部と基部上に設けられた枠部とを有し、
パッケージ基体の枠部内に、内部素子が収容されており、
パッケージ基体の枠部の頂部とガラス蓋の間に封着材料層が配されており、
封着材料層の端部が、断面視で円弧状に側方に突き出ていることを特徴とする気密パッケージ。
【請求項２】
封着材料層の平均厚みを封着材料層の最大幅で除した値が０．００３以上であることを特徴とする請求項１に記載の気密パッケージ。
【請求項３】
封着材料層が、枠部の頂部の内側端縁から離間した位置に形成されると共に、枠部の頂部の外側端縁から離間した位置に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の気密パッケージ。
【請求項４】
封着材料層の平均厚みが８．０μｍ未満であると共に、封着材料層の最大幅が１〜１０００μｍであることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の気密パッケージ。
【請求項５】
封着材料層が、少なくともビスマス系ガラス粉末と耐火性フィラー粉末を含む複合粉末の焼結体であり、且つ、実質的にレーザー吸収材を含んでいないことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の気密パッケージ。
【請求項６】
パッケージ基体が、ガラス、ガラスセラミック、窒化アルミニウム、酸化アルミニウムの何れか、或いはこれらの複合材料であることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の気密パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気密パッケージに関し、具体的には、パッケージ基体とガラス蓋とが封着材料層を介して気密封着された気密パッケージに関する。
【背景技術】
【０００２】
気密パッケージは、一般的に、パッケージ基体と、光透過性を有するガラス蓋と、それらの内部に収容される内部素子と、を備えている。【０００３】
気密パッケージの内部に実装される深紫外ＬＥＤ素子等の内部素子は、周囲環境から浸入する水分により劣化する虞がある。従来まで、パッケージ基体とガラス蓋とを一体化するために、低温硬化性を有する有機樹脂系接着剤が使用されていた。しかし、有機樹脂系接着剤は、水分や気体を完全に遮蔽できないため、内部素子を経時的に劣化させる虞がある。【０００４】
一方、ガラス粉末と耐火性フィラー粉末を含む複合粉末を封着材料に用いると、封着部分が周囲環境の水分で劣化し難くなり、気密パッケージの気密信頼性を確保し易くなる。【０００５】
しかし、ガラス粉末は、有機樹脂系接着剤よりも軟化温度が高いため、封着時に内部素子を熱劣化させる虞がある。このような事情から、近年、レーザー封着が注目されている。レーザー封着によれば、封着すべき部分のみを局所的に加熱することが可能であり、内部素子を熱劣化させることなく、パッケージ基体とガラス蓋とを気密一体化することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−２３９６０９号公報
【特許文献２】特開２０１４−２３６２０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、レーザー封着された気密パッケージに過大なせん断応力がかかると、封着材料層がバルク破壊して、気密パッケージ内の気密信頼性を確保できないという問題が生じることがある。【０００８】
そこで、本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、その技術的課題は、封着材料層にせん断応力がかかっても、封着材料層がバルク破壊し難い気密パッケージを創案することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者等は、封着材料層の端部を円弧状に突出させることにより、上記技術的課題を解決し得ることを見出し、本発明として、提案するものである。すなわち、本発明の気密パッケージは、パッケージ基体とガラス蓋とが封着材料層を介して気密封着された気密パッケージにおいて、パッケージ基体が、基部と基部上に設けられた枠部とを有し、パッケージ基体の枠部内に、内部素子が収容されており、パッケージ基体の枠部の頂部とガラス蓋の間に封着材料層が配されており、封着材料層の端部が、断面視で円弧状に側方に突き出ていることを特徴とする。ここで、「円弧状」とは、完全な円弧に限られるものではなく、角部のない全体として丸みを帯びた凸形状を意味する。【００１０】
本発明の気密パッケージは、パッケージ基体が、基部と基部上に設けられた枠部とを有し、パッケージ基体の枠部の頂部とガラス蓋の間に封着材料層が配されている。このようにすれば、枠部内に深紫外ＬＥＤ素子等の内部素子を収容し易くなる。そして内部素子が経時的に劣化し難くなる。【００１１】
また、本発明の気密パッケージは、封着材料層の端部（内側端部及び／又は外側端部）が断面視で円弧状に側方に突き出ている。このようにすれば、気密パッケージにせん断応力がかかった時に、封着材料層がバルク破壊し難くなる。結果として、気密パッケージの気密信頼性を高めることができる。ここで、ガラス蓋に封着材料層を予め形成した上で、ガラス蓋側から押圧した状態で、ガラス蓋とパッケージ基体とをレーザー封着すると、封着材料層の端部を円弧状に突出させ易くなる。またパッケージ基体としてガラスセラミック、アルミナ、窒化アルミ等を用いると、レーザー封着時に封着材料層の濡れ性が適正化されて、封着材料層の端部を円弧状に突出させ易くなる。なお、封着材料層の端部は、通常、メニスカス形状（円弧状に凹んだ形状）、或いは枠部の頂部と封着材料層との封着幅（接触幅）よりもガラス蓋と封着材料層の封着幅の方が広い形状、つまりガラス蓋から枠部の頂部に向けて膨出した形状になっている。【００１２】
第二に、本発明の気密パッケージは、封着材料層の平均厚みを封着材料層の最大幅で除した値が０．００３以上であることが好ましい。このようにすれば、封着材料層に大きなせん断応力がかかっても、封着材料層がバルク破壊し難くなる。なお、「封着材料層の最大幅」は、通常、円弧状に突き出ている部分に対応する封着材料層の幅になる。【００１３】
第三に、本発明の気密パッケージは、封着材料層が、枠部の頂部の内側端縁から離間した位置に形成されると共に、枠部の頂部の外側端縁から離間した位置に形成されていることが好ましい。【００１４】
第四に、本発明の気密パッケージは、封着材料層の平均厚みが８．０μｍ未満であると共に、封着材料層の最大幅が１〜１０００μｍであることが好ましい。【００１５】
第五に、本発明の気密パッケージは、封着材料層が、少なくともビスマス系ガラス粉末と耐火性フィラー粉末を含む複合粉末の焼結体であり、且つ、実質的にレーザー吸収材を含んでいないことが好ましい。ビスマス系ガラスは、他のガラス系と比較して、レーザー封着の際に、パッケージ基体（特にセラミック基体）の表層に反応層を形成し易いという特長を有する。また、耐火性フィラー粉末は、封着材料層の機械的強度を高めることができ、且つ封着材料層の熱膨張係数を低下させることができる。ここで、「ビスマス系ガラス」とは、Ｂｉ２Ｏ３を主成分とするガラスを指し、具体的にはガラス組成中のＢｉ２Ｏ３の含有量が２５モル％以上のガラスを指す。【００１６】
第六に、本発明の気密パッケージは、パッケージ基体が、ガラス、ガラスセラミック、窒化アルミニウム、酸化アルミニウムの何れか、或いはこれらの複合材料であることが好ましい。【００１７】
以下、図面を参照しながら、本発明を説明する。図１（ａ）は、本発明の一実施形態を説明するための概略断面図であり、図１（ｂ）は、本発明の一実施形態の要部Ｆを拡大した概略断面図である。図１（ａ）から分かるように、気密パッケージ１は、パッケージ基体１０とガラス蓋１１とを備えている。また、パッケージ基体１０は、基部１２と、基部１２の外周端縁上に額縁状の枠部１３とを有している。そして、パッケージ基体１０の枠部１３内には、内部素子（例えば、深紫外ＬＥＤ素子）１４が収容されている。なお、パッケージ基体１０内には、内部素子（例えば、深紫外ＬＥＤ素子）１４と外部を電気的に接続する電気配線（図示されていない）が形成されている。【００１８】
封着材料層１５は、パッケージ基体１０の枠部１３の頂部とガラス蓋１１の内部素子１４側の表面との間に、枠部の頂部の全周に亘って配されている。また、封着材料層１５は、ビスマス系ガラスと耐火性フィラー粉末を含んでいるが、実質的にレーザー吸収材を含んでいない。そして、封着材料層１５の幅は、パッケージ基体１０の枠部１３の頂部の幅よりも小さく、更にガラス蓋１１の端縁から離間している。更に封着材料層１５の平均厚みは８．０μｍ未満になっている。【００１９】
図１（ｂ）から分かるように、封着材料層１５の内側端部１６が円弧状に突き出ており、封着材料層１５の外側端部１７が円弧状に突き出ている。言い換えると、封着材料層１５は、断面視でＸ方向に膨出している。そして、封着材料層１５の最大幅となる部分は、円弧状に突き出た部分（膨出部先端）に対応している。つまり円弧状に突き出た部分に対応する封着材料層１５の幅Ａは、枠部１３の頂部と封着材料層１５との封着幅Ｂ（接触幅）より大きく、且つガラス蓋１１と封着材料層１５との封着幅Ｃ（接触幅）より大きい。【００２０】
なお、枠部１３の頂部と封着材料層１５との封着幅Ｂ（接触幅）は、レーザー封着の精度の観点から、ガラス蓋１１と封着材料層１５との封着幅Ｃ（接触幅）よりも大きい方が好ましい。その一方で、枠部１３の頂部と封着材料層１５との封着幅Ｂ（接触幅）は、封着強度の観点から、ガラス蓋１１と封着材料層１５との封着幅Ｃ（接触幅）よりも小さい方が好ましい。【００２１】
また、上記気密パッケージ１は、次のようにして作製することができる。まず封着材料層１５と枠部１３の頂部が接するように、封着材料層１５が予め形成されたガラス蓋１１をパッケージ基体１０上に載置する。続いて、押圧治具を用いてガラス蓋１１を押圧しながら、ガラス蓋１１側から封着材料層１５に沿って、レーザー照射装置１８から出射したレーザー光Ｌを照射する。これにより、封着材料層１５が軟化流動し、パッケージ基体１０の枠部１３の頂部の表層と反応することで、パッケージ基体１０とガラス蓋１１が気密一体化されて、気密パッケージ１の気密構造が形成される。また軟化流動中に封着材料層１５が上方から押圧されて、封着材料層１５の内側端部１６と外側端部１７が円弧状に突出する。なお、ガラス蓋１１上に封着材料層１５を予め形成する代わりに、パッケージ基体１０の枠部１３の頂部上に、予め封着材料層１５を形成することもできる
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】（ａ）は、本発明の一実施形態を説明するための概略断面図であり、（ｂ）は、本発明の一実施形態の要部を拡大した概略断面図である。
【図２】マクロ型ＤＴＡ装置で測定した時の複合粉末の軟化点を示す模式図である。
【図３】実施例に係る封着材料層の内側端部の形状を示す断面顕微鏡写真である。
【図４】実施例に係る封着材料層の外側端部の形状を示す断面顕微鏡写真である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明の気密パッケージは、上記の通り、パッケージ基体とガラス蓋とが封着材料層を介して気密封着された気密パッケージにおいて、パッケージ基体が、基部と基部上に設けられた枠部とを有し、パッケージ基体の枠部内に、内部素子が収容されており、パッケージ基体の枠部の頂部とガラス蓋の間に封着材料層が配されており、封着材料層の端部が、断面視で円弧状に側方に突き出ていることを特徴とする。以下、本発明の気密パッケージについて、詳細に説明する。
【００２４】
本発明の気密パッケージにおいて、パッケージ基体は、基部と基部上に設けられた枠部とを有する。このようにすれば、パッケージ基体の枠部内に深紫外ＬＥＤ素子等の内部素子を収容し易くなる。パッケージ基体の枠部は、パッケージ基体の外側端縁領域に沿って、額縁状に形成されていることが好ましい。このようにすれば、デバイスとして機能する有効面積を拡大することができる。また深紫外ＬＥＤ素子等の内部素子をパッケージ基体の枠部内に収容し易くなり、且つ配線接合等も行い易くなる。
【００２５】
枠部の頂部における封着材料層が配される領域の表面の表面粗さＲａは１．０μｍ未満であることが好ましい。この表面の表面粗さＲａが大きくなると、レーザー封着の精度が低下し易くなる。ここで、「表面粗さＲａ」は、例えば、触針式又は非接触式のレーザー膜厚計や表面粗さ計により測定することができる。
【００２６】
枠部の頂部の幅は、好ましくは１００〜３０００μｍ、２００〜１５００μｍ、特に３００〜９００μｍである。枠部の頂部の幅が狭過ぎると、封着材料層と枠部の頂部との位置合わせが困難になる。一方、枠部の頂部の幅が広過ぎると、デバイスとして機能する有効面積が小さくなる。
【００２７】
パッケージ基体は、ガラス、ガラスセラミック、窒化アルミニウム、酸化アルミニウムの何れか、或いはこれらの複合材料（例えば、窒化アルミニウムとガラスセラミックを一体化したもの）であることが好ましい。ガラスは、封着材料層と反応層を形成し易いため、レーザー封着で強固な封着強度を確保することができる。ガラスセラミックは、封着材料層との濡れ性を適正化し易く、封着材料層の端部に円弧状の突出部が形成され易いという特長がある。更にサーマルビアを容易に形成し得るため、気密パッケージが過度に温度上昇する事態を適正に防止することができる。窒化アルミニウムと酸化アルミニウムは、封着材料層との濡れ性を適正化し易く、封着材料層の端部に円弧状の突出部が形成され易いという特長がある。更に放熱性が良好であるため、気密パッケージが過度に温度上昇する事態を適正に防止することができる。
【００２８】
ガラスセラミック、窒化アルミニウム、酸化アルミニウムは、黒色顔料が分散されている（黒色顔料が分散された状態で焼結されてなる）ことが好ましい。このようにすれば、パッケージ基体が、封着材料層を透過したレーザー光を吸収することができる。その結果、レーザー封着の際にパッケージ基体の封着材料層と接触する箇所が加熱されるため、封着材料層とパッケージ基体の界面で反応層の形成を促進することができる。
【００２９】
黒色顔料が分散されているパッケージ基体は、照射すべきレーザー光を吸収する性質を有すること、つまり厚み０．５ｍｍ、照射すべきレーザー光の波長（８０８ｎｍ）における全光線透過率が１０％以下（望ましくは５％以下）であることが好ましい。このようにすれば、パッケージ基体と封着材料層の界面で封着材料層の温度が上がり易くなる。
【００３０】
パッケージ基体の基部の厚みは０．１〜２．５ｍｍ、特に０．２〜１．５ｍｍが好ましい。これにより、気密パッケージの薄型化を図ることができる。
【００３１】
パッケージ基体の枠部の高さ、つまりパッケージ基体から基部の厚みを引いた高さは、好ましくは１００〜２０００μｍ、特に２００〜９００μｍである。このようにすれば、内部素子を適正に収容しつつ、気密パッケージの薄型化を図り易くなる。
【００３２】
ガラス蓋として、種々のガラスが使用可能である。例えば、無アルカリガラス、アルカリホウケイ酸ガラス、ソーダ石灰ガラスが使用可能である。なお、ガラス蓋は、複数枚のガラス板を貼り合わせた積層ガラスであってもよい。
【００３３】
ガラス蓋の内部素子側の表面に機能膜を形成してもよく、ガラス蓋の外側の表面に機能膜を形成してもよい。特に機能膜として反射防止膜が好ましい。これにより、ガラス蓋の表面で反射する光を低減することができる。
【００３４】
ガラス蓋の厚みは、好ましくは０．１ｍｍ以上、０．２〜２．０ｍｍ、０．４〜１．５ｍｍ、特に０．５〜１．２ｍｍである。ガラス蓋の厚みが小さいと、気密パッケージの強度が低下し易くなる。一方、ガラス蓋の厚みが大きいと、気密パッケージの薄型化を図り難くなる。
【００３５】
ガラス蓋と封着材料層の熱膨張係数差は５０×１０−７／℃未満、４０×１０−７／℃未満、特に３０×１０−７／℃以下が好ましい。この熱膨張係数差が大き過ぎると、封着部分に残留する応力が不当に高くなり、気密パッケージの気密信頼性が低下し易くなる。
【００３６】
封着材料層は、レーザー光を吸収することにより軟化変形して、パッケージ基体の表層に反応層を形成し、パッケージ基体とガラス蓋とを気密一体化する機能を有している。
【００３７】
封着材料層の端部（内側端部及び／又は外側端部）が、断面視で円弧状に側方に突出しており、好ましくは封着材料層の内側端部及び外側端部が円弧状に突き出ている。このようにすれば、気密パッケージにせん断応力がかかった時に、封着材料層がバルク破壊し難くなる。結果として、気密パッケージの気密信頼性を高めることができる。
【００３８】
枠部の頂部と封着材料層との平均封着幅（平均接触幅）に対する封着材料層の最大突出幅（内側端部の最大膨出幅と外側端部の最大膨出幅の合計）は０．２μｍ以上（図１（ｂ）におけるＡ−Ｂ）、特に０．５μｍ以上が好ましく、ガラス蓋と封着材料層との平均封着幅（平均接触幅）に対する最大突出幅（内側端部の最大膨出幅と外側端部の最大膨出幅の合計）は０．２μｍ以上（図１（ｂ）におけるＡ−Ｃ）、特に０．５μｍ以上が好ましい。このようにすれば、気密パッケージにせん断応力がかかった時に、封着材料層がバルク破壊し難くなる。結果として、気密パッケージの気密信頼性を的確に高めることができる。
【００３９】
枠部の頂部と封着材料層との平均封着幅（平均接触幅）に対する封着材料層の内側端部の最大突出幅（内側端部の最大膨出幅）は０．１μｍ以上、０．３μｍ以上、特に０．５μｍ以上が好ましく、ガラス蓋と封着材料層との平均封着幅（平均接触幅）に対する内側端部の最大突出幅（内側端部の最大膨出幅）は０．１μｍ以上、０．３μｍ以上、特に０．５μｍ以上が好ましい。このようにすれば、気密パッケージの内部にせん断応力がかかった時に、封着材料層がバルク破壊し難くなる。結果として、気密パッケージの気密信頼性を的確に高めることができる。
【００４０】
枠部の頂部と封着材料層との平均封着幅（平均接触幅）に対する封着材料層の外側端部の最大突出幅（外側端部の最大膨出幅）は０．１μｍ以上、０．３μｍ以上、特に０．５μｍ以上が好ましく、ガラス蓋と封着材料層との平均封着幅（平均接触幅）に対する外側端部の最大突出幅（外側端部の最大膨出幅）は０．１μｍ以上、０．３μｍ以上、特に０．５μｍ以上が好ましい。このようにすれば、気密パッケージの外部にせん断応力がかかった時に、封着材料層がバルク破壊し難くなる。結果として、気密パッケージの気密信頼性を的確に高めることができる。
【００４１】
封着材料層は、枠部との接触位置が枠部の頂部の内側端縁から離間するように形成されると共に、枠部の頂部の外側端縁から離間するように形成することが好ましく、枠部の頂部の内側端縁から５０μｍ以上、６０μｍ以上、７０〜２０００μｍ、特に８０〜１０００μｍ離間した位置に形成されることが更に好ましい。枠部の頂部の内側端縁と封着材料層の離間距離が短過ぎると、レーザー封着の際に、局所加熱で発生した熱が逃げ難くなるため、冷却過程でガラス蓋が破損し易くなる。一方、枠部の頂部の内側端縁と封着材料層の離間距離が長過ぎると、気密パッケージの小型化が困難になる。また枠部の頂部の外側端縁から５０μｍ以上、６０μｍ以上、７０〜２０００μｍ、特に８０〜１０００μｍ離間した位置に形成されていることが好ましい。枠部の頂部の外側端縁と封着材料層の離間距離が短過ぎると、レーザー封着の際に、局所加熱で発生した熱が逃げ難くなるため、冷却過程でガラス蓋が破損し易くなる。一方、枠部の頂部の外側端縁と封着材料層の離間距離が長過ぎると、気密パッケージの小型化が困難になる。
【００４２】
封着材料層は、ガラス蓋との接触位置がガラス蓋の端縁から５０μｍ以上、６０μｍ以上、７０〜１５００μｍ、特に８０〜８００μｍ離間するように形成されていることが好ましい。ガラス蓋の端縁と封着材料層の離間距離が短過ぎると、レーザー封着の際に、ガラス蓋の端縁領域において、ガラス蓋の内部素子側の表面と外側の表面の表面温度差が小さく大きくなり、ガラス蓋が破損し易くなる。
【００４３】
封着材料層は、枠部の頂部の幅方向の中心線上に形成されている、つまり枠部の頂部の中央領域に形成されていることが好ましい。このようにすれば、レーザー封着の際に、局所加熱で発生した熱が逃げ易くなるため、ガラス蓋が破損し難くなる。なお、枠部の頂部の幅が充分に大きい場合は、枠部の頂部の幅方向の中心線上に封着材料層を形成しなくてもよい。
【００４４】
封着材料層の平均厚みは、好ましくは８．０μｍ未満、特に１．０μｍ以上、且つ６．０μｍ未満である。封着材料層の平均厚みが小さい程、封着材料層とガラス蓋の熱膨張係数が不整合である時に、レーザー封着後に封着部分に残留する応力を低減することができる。またレーザー封着の精度を高めることもできる。なお、上記のように封着材料層の平均厚みを規制する方法としては、複合粉末ペーストを薄く塗布する方法、封着材料層の表面を研磨処理する方法が挙げられる。
【００４５】
封着材料層の最大幅は、好ましくは１μｍ以上、且つ２０００μｍ以下、１０μｍ以上、且つ１０００μｍ以下、５０μｍ以上、且つ８００μｍ以下、特に１００μｍ以上、且つ６００μｍ以下である。封着材料層の最大幅を狭くすると、封着材料層を枠部の端縁から離間させ易くなるため、レーザー封着後に封着部分に残留する応力を低減し易くなる。更にパッケージ基体の枠部の幅を狭くすることができ、デバイスとして機能する有効面積を拡大することができる。一方、封着材料層の最大幅が狭過ぎると、封着材料層に大きなせん断応力がかかると、封着材料層がバルク破壊し易くなる。更にレーザー封着の精度が低下し易くなる。
【００４６】
封着材料層の平均厚みを封着材料層の最大幅で除した値は、好ましくは０．００３以上、０．００５以上、０．０１〜０．１、特に０．０２〜０．０５である。封着材料層の平均厚みを封着材料層の最大幅で除した値が小さ過ぎると、封着材料層に大きなせん断応力がかかると、封着材料層がバルク破壊し易くなる。一方、封着材料層の平均厚みを封着材料層の最大幅で除した値が大き過ぎると、レーザー封着の精度が低下し易くなる。
【００４７】
封着材料層の表面粗さＲａは、好ましくは０．５μｍ未満、０．２μｍ以下、特に０．０１〜０．１５μｍである。また、封着材料層の表面粗さＲＭＳは、好ましくは１．０μｍ未満、０．５μｍ以下、特に０．０５〜０．３μｍである。このようにすれば、パッケージ基体と封着材料層の密着性が向上し、レーザー封着の精度が向上する。ここで、「表面粗さＲＭＳ」は、例えば、触針式又は非接触式のレーザー膜厚計や表面粗さ計により測定することができる。なお、上記のように封着材料層の表面粗さＲａ、ＲＭＳを規制する方法としては、封着材料層の表面を研磨処理する方法、耐火性フィラー粉末の粒度を小さくする方法が挙げられる。
【００４８】
封着材料層は、少なくともガラス粉末と耐火性フィラー粉末を含む複合粉末の焼結体からなることが好ましい。ガラス粉末は、レーザー封着の際にレーザー光を吸収し、軟化変形して、パッケージ基体とガラス蓋とを気密一体化する成分である。耐火性フィラー粉末は、骨材として作用し、封着材料の熱膨張係数を低下させつつ、機械的強度を高める成分である。なお、封着材料層には、ガラス粉末と耐火性フィラー粉末以外にも、光吸収特性を高めるために、レーザー吸収材を含んでいてもよい。
【００４９】
複合粉末として、種々の材料が使用可能である。その中でも、封着強度を高める観点から、ビスマス系ガラス粉末と耐火性フィラー粉末を含む複合粉末を用いることが好ましい。複合粉末として、５５〜９５体積％のビスマス系ガラス粉末と５〜４５体積％の耐火性フィラー粉末を含有する複合粉末を用いることが好ましく、６０〜８５体積％のビスマス系ガラス粉末と１５〜４０体積％の耐火性フィラー粉末を含有する複合粉末を用いることが更に好ましく、６０〜８０体積％のビスマス系ガラス粉末と２０〜４０体積％の耐火性フィラー粉末を含有する複合粉末を用いることが特に好ましい。耐火性フィラー粉末を添加すれば、封着材料層の熱膨張係数が、ガラス蓋とパッケージ基体の熱膨張係数に整合し易くなる。その結果、レーザー封着後に封着部分に不当な応力が残留する事態を防止し易くなる。一方、耐火性フィラー粉末の含有量が多過ぎると、ガラス粉末の含有量が相対的に少なくなるため、封着材料層の表面平滑性が低下して、レーザー封着の精度が低下し易くなる。
【００５０】
複合粉末の軟化点は、好ましくは５１０℃以下、４８０℃以下、特に４５０℃以下である。複合粉末の軟化点が高過ぎると、封着材料層の表面平滑性を高め難くなる。複合粉末の軟化点の下限は特に設定されないが、ガラス粉末の熱的安定性を考慮すると、複合粉末の軟化点は３５０℃以上が好ましい。ここで、「軟化点」は、マクロ型ＤＴＡ装置で測定した際の第四変曲点であり、図２中のＴｓに相当する。
【００５１】
ビスマス系ガラスは、ガラス組成として、モル％で、Ｂｉ２Ｏ３  ２８〜６０％、Ｂ２Ｏ３  １５〜３７％、ＺｎＯ  １〜３０％含有することが好ましい。各成分の含有範囲を上記のように限定した理由を以下に説明する。なお、ガラス組成範囲の説明において、％表示はモル％を指す。
【００５２】
Ｂｉ２Ｏ３は、軟化点を低下させるための主要成分である。Ｂｉ２Ｏ３の含有量は、好ましくは２８〜６０％、３３〜５５％、特に３５〜４５％である。Ｂｉ２Ｏ３の含有量が少な過ぎると、軟化点が高くなり過ぎて、軟化流動性が低下し易くなる。一方、Ｂｉ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、レーザー封着の際にガラスが失透し易くなり、この失透に起因して、軟化流動性が低下し易くなる。
【００５３】
Ｂ２Ｏ３は、ガラス形成成分として必須の成分である。Ｂ２Ｏ３の含有量は、好ましくは１５〜３７％、１９〜３３％、特に２２〜３０％である。Ｂ２Ｏ３の含有量が少な過ぎると、ガラスネットワークが形成され難くなるため、レーザー封着の際にガラスが失透し易くなる。一方、Ｂ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、ガラスの粘性が高くなり、軟化流動性が低下し易くなる。
【００５４】
ＺｎＯは、耐失透性を高める成分である。ＺｎＯの含有量は、好ましくは１〜３０％、３〜２５％、５〜２２％、特に５〜２０％である。ＺｎＯの含有量が上記範囲外になると、ガラス組成の成分バランスが崩れて、かえって耐失透性が低下し易くなる。
【００５５】
上記成分以外にも、例えば、以下の成分を添加してもよい。
【００５６】
ＳｉＯ２は、耐水性を高める成分である。ＳｉＯ２の含有量は、好ましくは０〜５％、０〜３％、０〜２％、特に０〜１％である。ＳｉＯ２の含有量が多過ぎると、軟化点が不当に上昇する虞がある。またレーザー封着の際にガラスが失透し易くなる。
【００５７】
Ａｌ２Ｏ３は、耐水性を高める成分である。Ａｌ２Ｏ３の含有量は０〜１０％、０．１〜５％、特に０．５〜３％が好ましい。Ａｌ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、軟化点が不当に上昇する虞がある。
【００５８】
Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏは、耐失透性を低下させる成分である。よって、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏの含有量は、それぞれ０〜５％、０〜３％、特に０〜１％未満が好ましい。
【００５９】
ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯは、耐失透性を高める成分であるが、軟化点を上昇させる成分である。よって、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの含有量は、それぞれ０〜２０％、０〜１０％、特に０〜５％が好ましい。
【００６０】
ビスマス系ガラスの軟化点を下げるためには、ガラス組成中にＢｉ２Ｏ３を多量に導入する必要があるが、Ｂｉ２Ｏ３の含有量を増加させると、レーザー封着の際にガラスが失透し易くなり、この失透に起因して軟化流動性が低下し易くなる。特に、Ｂｉ２Ｏ３の含有量が３０％以上になると、その傾向が顕著になる。この対策として、ＣｕＯを添加すれば、Ｂｉ２Ｏ３の含有量が３０％以上であっても、耐失透性の低下を効果的に抑制することができる。更にＣｕＯを添加すれば、レーザー封着時のレーザー吸収特性を高めることができる。ＣｕＯの含有量は、好ましくは０〜４０％、１〜４０％、５〜３５％、１０〜３０％、特に１３〜２５％である。ＣｕＯの含有量が多過ぎると、ガラス組成の成分バランスが損なわれて、かえって耐失透性が低下し易くなる。また封着材料層の全光線透過率が低くなり過ぎて、パッケージ基体と封着材料層の境界領域を局所加熱し難くなる。
【００６１】
Ｆｅ２Ｏ３は、耐失透性とレーザー吸収特性を高める成分である。Ｆｅ２Ｏ３の含有量は、好ましくは０〜１０％、０．１〜５％、特に０．４〜２％である。Ｆｅ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、ガラス組成の成分バランスが崩れて、かえって耐失透性が低下し易くなる。
【００６２】
ＭｎＯは、レーザー吸収特性を高める成分である。ＭｎＯの含有量は、好ましくは０〜２５％、特に５〜１５％である。ＭｎＯの含有量が多過ぎると、耐失透性が低下し易くなる。
【００６３】
Ｓｂ２Ｏ３は、耐失透性を高める成分である。Ｓｂ２Ｏ３の含有量は、好ましくは０〜５％、特に０〜２％である。Ｓｂ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、ガラス組成の成分バランスが崩れて、かえって耐失透性が低下し易くなる。
【００６４】
ガラス粉末の平均粒径Ｄ５０は、好ましくは１５μｍ未満、０．５〜１０μｍ、特に１〜５μｍである。ガラス粉末の平均粒径Ｄ５０が小さい程、ガラス粉末の軟化点が低下する。ここで、「平均粒径Ｄ５０」は、レーザー回折法により体積基準で測定した値を指す。
【００６５】
耐火性フィラー粉末として、コーディエライト、ジルコン、酸化錫、酸化ニオブ、リン酸ジルコニウム系セラミック、ウイレマイト、β−ユークリプタイト、β−石英固溶体から選ばれる一種又は二種以上が好ましく、特にβ−ユークリプタイト又はコーディエライトが好ましい。これらの耐火性フィラー粉末は、熱膨張係数が低いことに加えて、機械的強度が高く、しかもビスマス系ガラスとの適合性が良好である。
【００６６】
耐火性フィラー粉末の平均粒径Ｄ５０は、好ましくは２μｍ未満、特に０．１μｍ以上、且つ１．５μｍ未満である。耐火性フィラー粉末の平均粒径Ｄ５０が大き過ぎると、封着材料層の表面平滑性が低下し易くなると共に、封着材料層の平均厚みが大きくなり易く、結果として、レーザー封着の精度が低下し易くなる。
【００６７】
耐火性フィラー粉末の９９％粒径Ｄ９９は、好ましくは５μｍ未満、４μｍ以下、特に０．３μｍ以上、且つ３μｍ以下である。耐火性フィラー粉末の９９％粒径Ｄ９９が大き過ぎると、封着材料層の表面平滑性が低下し易くなると共に、封着材料層の平均厚みが大きくなり易く、結果として、レーザー封着の精度が低下し易くなる。ここで、「９９％粒径Ｄ９９」は、レーザー回折法により体積基準で測定した値を指す。
【００６８】
封着材料層は、光吸収特性を高めるために、更にレーザー吸収材を含んでもよいが、レーザー吸収材は、ビスマス系ガラスの失透を助長する作用を有する。よって、封着材料層中のレーザー吸収材の含有量は、好ましくは１０体積％以下、５体積％以下、１体積％以下、０．５体積％以下、特に実質的に含有しないこと（０．１体積％以下）が好ましい。ビスマス系ガラスの耐失透性が良好である場合は、レーザー吸収特性を高めるために、レーザー吸収材を１体積％以上、特に３体積％以上導入してもよい。なお、レーザー吸収材として、Ｃｕ系酸化物、Ｆｅ系酸化物、Ｃｒ系酸化物、Ｍｎ系酸化物及びこれらのスピネル型複合酸化物等が使用可能である。
【００６９】
封着材料層の熱膨張係数は、好ましくは５５×１０−７〜９５×１０−７／℃、６０×１０−７〜８２×１０−７／℃、特に６５×１０−７〜７６×１０−７／℃である。このようにすれば、封着材料層の熱膨張係数がガラス蓋やパッケージ基体の熱膨張係数に整合して、せん断応力により封着材料層がバルク破壊し難くなる。なお、「熱膨張係数」は、３０〜３００℃の温度範囲において、ＴＭＡ（押棒式熱膨張係数測定）装置で測定した値である。
【００７０】
封着材料層は、種々の方法により形成可能であるが、その中でも、複合粉末ペーストの塗布、焼結により形成することが好ましい。そして、複合粉末ペーストの塗布は、ディスペンサーやスクリーン印刷機等の塗布機を用いることが好ましい。このようにすれば、封着材料層の寸法精度（封着材料層の幅の寸法精度）を高めることができる。ここで、複合粉末ペーストは、複合粉末とビークルの混合物である。そして、ビークルは、通常、溶媒と樹脂を含む。樹脂は、ペーストの粘性を調整する目的で添加される。また、必要に応じて、界面活性剤、増粘剤等を添加することもできる。
【００７１】
複合粉末ペーストは、通常、三本ローラー等により、複合粉末とビークルを混練することにより作製される。ビークルは、通常、樹脂と溶剤を含む。ビークルに用いる樹脂として、アクリル酸エステル（アクリル樹脂）、エチルセルロース、ポリエチレングリコール誘導体、ニトロセルロース、ポリメチルスチレン、ポリエチレンカーボネート、ポリプロピレンカーボネート、メタクリル酸エステル等が使用可能である。ビークルに用いる溶剤として、Ｎ、Ｎ’−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、α−ターピネオール、高級アルコール、γ−ブチルラクトン（γ−ＢＬ）、テトラリン、ブチルカルビトールアセテート、酢酸エチル、酢酸イソアミル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ベンジルアルコール、トルエン、３−メトキシ−３−メチルブタノール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレンカーボネート、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、Ｎ−メチル−２−ピロリドン等が使用可能である。
【００７２】
複合粉末ペーストは、パッケージ基体の枠部の頂部上に塗布してもよいが、ガラス蓋の外周端縁領域に沿って、額縁状に塗布することが好ましい。このようにすれば、パッケージ基体への封着材料層の焼き付けが不要になり、深紫外ＬＥＤ素子等の内部素子の熱劣化を抑制することができる。
【００７３】
本発明の気密パッケージを製造する方法としては、ガラス蓋側から封着材料層に向けてレーザー光を照射し、封着材料層を軟化変形させることにより、パッケージ基体とガラス蓋とを気密封着して、気密パッケージを得ることが好ましい。この場合、ガラス蓋をパッケージ基体の下方に配置してもよいが、レーザー封着の効率の観点から、ガラス蓋をパッケージ基体の上方に配置することが好ましい。
【００７４】
レーザーとして、種々のレーザーを使用することができる。特に、半導体レーザー、ＹＡＧレーザー、ＣＯ２レーザー、エキシマレーザー、赤外レーザーは、取扱いが容易な点で好ましい。
【００７５】
レーザー封着を行う雰囲気は特に限定されず、大気雰囲気でもよく、窒素雰囲気等の不活性雰囲気でもよい。
【００７６】
レーザー封着を行う際に、１００℃以上、且つ内部素子の耐熱温度以下の温度でガラス蓋を予備加熱すると、レーザー封着の際にサーマルショックによるガラス蓋の破損を抑制し易くなる。またレーザー封着直後に、ガラス蓋側からアニールレーザーを照射すると、サーマルショックや残留応力によるガラス蓋の破損を更に抑制し易くなる。
【００７７】
ガラス蓋を押圧した状態でレーザー封着を行うことが好ましい。これにより、レーザー封着の際に、封着材料層の端部を円弧状に突出させ易くなる。
【実施例】
【００７８】
以下、実施例に基づいて、本発明を詳細に説明する。なお、以下の実施例は、単なる例示である。本発明は、以下の実施例に何ら限定されない。【００７９】
まずビスマス系ガラス粉末を９０．０質量％、耐火性フィラー粉末を１０．０質量％の割合で混合して、複合粉末を作製した。ここで、ビスマス系ガラス粉末の平均粒径Ｄ５０を１．０μｍ、９９％粒径Ｄ９９を２．５μｍとし、耐火性フィラー粉末の平均粒径Ｄ５０を１．０μｍ、９９％粒径Ｄ９９を２．５μｍとした。なお、ビスマス系ガラスは、ガラス組成として、モル％で、Ｂｉ２Ｏ３  ３９％、Ｂ２Ｏ３  ２３．７％、ＺｎＯ  １４．１％、Ａｌ２Ｏ３  ２．７％、ＣｕＯ  ２０％、Ｆｅ２Ｏ３  ０．６％を含有している。また耐火性フィラー粉末はβ-ユークリプタイトである。【００８０】
得られた複合粉末につき、熱膨張係数を測定したところ、その熱膨張係数は、７１×１０−７／℃であった。なお、熱膨張係数は、押棒式ＴＭＡ装置で測定したものであり、その測定温度範囲は３０〜３００℃である。【００８１】
次に、上記複合粉末を用いて、ホウケイ酸ガラスからなるガラス蓋（縦４．０ｍｍ×横４．０ｍｍ×厚み０．１５ｍｍ）の端縁から約１００μｍ離間した位置に、額縁状の封着材料層を形成した。詳述すると、まず粘度が約１００Ｐａ・ｓ（２５℃、Ｓｈｅａｒ  ｒａｔｅ：４）になるように、上記の複合粉末、ビークル及び溶剤を混練した後、更に三本ロールミルで粉末が均一に分散するまで混錬して、ペースト化し、複合粉末ペーストを得た。ビークルにはグリコールエーテル系溶剤にエチルセルロース樹脂を溶解させたものを使用した。次に、ガラス蓋の外周端縁に沿って、スクリーン印刷機により上記の複合粉末ペーストを額縁状に印刷した。更に、大気雰囲気下にて、１２０℃で１０分間乾燥した後、大気雰囲気下にて、５００℃で１０分間焼成することにより、封着材料層をガラス蓋上に形成した。【００８２】
また、ガラスセラミックからなるパッケージ基体（縦４．０ｍｍ×横４．０ｍｍ×基部厚み０．８ｍｍ）を用意した。パッケージ基体の外周端縁上には、枠部が額縁状に形成されている。そして、パッケージ基体の表面粗さＲａは０．１〜１．０μｍであった。なお、ガラスセラミックは、ガラス粉末と耐火性フィラー粉末を含むグリーンシートの積層体を焼結させて形成されたものである。【００８３】
最後に、パッケージ基体の枠部の頂部と封着材料層が接触するように、パッケージ基体とガラス蓋を積層配置した。その後、押圧治具を用いてガラス蓋を押圧しながら、ガラス蓋側から封着材料層に向けて、波長８０８ｎｍ、出力４Ｗ、照射径φ０．５ｍｍの半導体レーザーを照射速度１５ｍｍ／秒で照射して、封着材料層を軟化変形させることにより、パッケージ基体とガラス蓋とを気密一体化して、気密パッケージを得た。なお、封着材料層の平均厚みは５．０μｍ、封着材料層の最大幅は２００μｍであった。【００８４】
得られた気密パッケージについて、イオンミリングにより封着材料層の端部の断面を露出させた。封着材料層の内側端部の形状を示す断面顕微鏡写真を図３に示し、また封着材料層の外側端部の形状を示す断面顕微鏡写真を図４に示す。なお、図３、４では、上方にガラス蓋、下方にパッケージ基体の枠部の頂部が配置されている。図３、４から分かるように、得られた気密パッケージにおいて、封着材料層の内側端部が断面視で円弧状に突き出ており、封着材料層の外側端部も円弧状に突き出ていた。よって、得られた気密パッケージは、せん断応力により封着材料層がバルク破壊し難いものと考えられる。【００８５】
得られた気密パッケージについて、レーザー封着後のクラックと気密信頼性を評価した。まず光学顕微鏡で封着部分を観察したところ、クラックの発生は認められなかった。次に、得られた気密パッケージに対して、高温高湿高圧試験：ＨＡＳＴ試験（Ｈｉｇｈｌｙ  Ａｃｃｅｌｅｒａｔｅｄ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  ａｎｄ  Ｈｕｍｉｄｉｔｙ  Ｓｔｒｅｓｓ  ｔｅｓｔ）を行った後、封着材料層の近傍を観察したところ、変質、クラック、剥離等が全く認められなかった。なお、ＨＡＳＴ試験の条件は、１２１℃、湿度１００％、２ａｔｍ、２４時間である。
【産業上の利用可能性】
【００８６】
本発明の気密パッケージは、センサーチップ、深紫外ＬＥＤ素子等の内部素子が実装された気密パッケージに好適であるが、それ以外にも圧電振動素子や樹脂中に量子ドットを分散させた波長変換素子等を収容する気密パッケージ等にも好適に適用可能である。
【符号の説明】
【００８７】
１  気密パッケージ
１０  パッケージ基体
１１  ガラス蓋
１２  基部
１３  枠部
１４  内部素子（例えば、深紫外ＬＥＤ素子）
１５  封着材料層
１６  封着材料層の内側端部
１７  封着材料層の外側端部
１８  レーザー照射装置
Ｌ  レーザー光
【図１】
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【図２】
2018147210.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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2018147210.tif 000008
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