(57)【要約】  コンタクトプローブ検査装置の制御部（ＰＬＣ）は、パソコン（ＰＣ）に入力された位置データに基づいて駆動部（Ａ１、Ａ２）を制御して、ロードセル（ＬＳ）がコンタクトプローブ（Ｐ）の伸縮構造に負荷を印加できるように、コンタクトプローブ（Ｐ）に対するロードセル（ＬＳ）の相対的な位置を変化させる。
2018235234.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物に接触して伸縮し且つ当該伸縮の変位量に応じた荷重を測定するための伸縮構造を有するコンタクトプローブを、検査するコンタクトプローブ検査装置であって、
前記コンタクトプローブが配置されたピンボード治具を、支持する支持部と、
前記コンタクトプローブに接触した状態で、前記伸縮構造が予め設定された測定位置まで縮むように荷重を印加し、前記測定位置で印加している荷重を測定するロードセルと、
前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させるために、前記ロードセルの位置又は前記支持部の位置を変位させる駆動部と、
前記ロードセル及び前記駆動部を制御するとともに、前記ロードセルにより測定された測定荷重に基づいて、前記コンタクトプローブの状態を判断する制御部と、
検査予定の前記ピンボード治具における前記コンタクトプローブの位置が規定された位置データが入力されるようになっているパソコンと、を備え、
前記制御部は、前記パソコンに入力された前記位置データに基づいて前記駆動部を制御して、前記ロードセルが前記コンタクトプローブの前記伸縮構造に負荷を印加できるように、前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させることを特徴とするコンタクトプローブ検査装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記ピンボード治具のコンタクトプローブを用いて前記対象物の特性を測定する外部装置に、前記制御部が判断した前記コンタクトプローブの状態に関する情報データを送信することを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項３】
前記支持部により支持された前記ピンボード治具を撮像する撮像部をさらに備え、
前記制御部は、前記支持部における予め規定された基準位置と、前記撮像部により撮像されたピンボード治具の前記支持部における位置と、の間の差を取得し、前記差に基づいて、前記駆動部による前記ピンボード治具の変位量を調整する
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項４】
前記撮像部は、前記ロードセルに近接して配置され、前記ロードセルにより検査される前記前記コンタクトプローブの外観を撮像するようになっており、
前記制御部は、前記撮像部により撮像された前記コンタクトプローブの外観の画像に基づいて、前記コンタクトプローブの状態を判断する
ことを特徴とする請求項３に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項５】
前記撮像部は、前記支持部が載置されるテーブルのアライメント位置を撮像し、前記制御部は、前記撮像部により撮像された前記アライメント位置を基準として、前記駆動部により、前記支持部の位置を変位させる
ことを特徴とする請求項３に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項６】
前記制御部は、
前記測定位置で測定された前記測定荷重と、前記測定位置に対応して予め設定された上限閾値とを比較し、前記測定荷重が、前記上限閾値以上である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造がロックされた状態であると判断し、
前記測定位置で測定された前記測定荷重と、前記測定位置に対応して予め設定された前記上限閾値よりも低い下限閾値とを比較し、前記測定荷重が、前記下限閾値未満である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が壊れた状態、若しくは、前記ロードセルが前記コンタクトプローブに接触できていない状態であると判断し、
前記測定荷重が前記下限閾値以上、前記上限閾値未満である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が正常であると判断する
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項７】
前記制御部が判断した前記コンタクトプローブの状態を出力する出力部をさらに備えることを特徴とする請求項６に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項８】
前記制御部は、
前記コンタクトプローブの前記伸縮構造がロックされた状態と判断し、又は、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が壊れた状態であると判断した場合には、前記コンタクトプローブの交換が必要である旨の情報を前記出力部に出力させる
ことを特徴とする請求項７に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項９】
前記外部装置は、半導体製造工程における後工程に適用されるインサーキットテスタ又はファンクションテスタである
ことを特徴とする請求項２に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１０】
前記制御部は、
前記コンタクトプローブの測定された測定荷重の経時的な変化に基づいて、前記コンタクトプローブの交換期限を予測し、又は、前記コンタクトプローブの交換頻度を算出する
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１１】
前記駆動部は、
前記ピンボード治具を支持した前記支持部を第１の方向に駆動する第１のアクチュエータと、
前記ロードセルを前記第１の方向に直交する第２の方向及び前記第１及び第２の方向に直交する第３の方向に駆動する第２のアクチュエータと、を備える
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１２】
前記制御部による前記コンタクトプローブの状態の判断結果を記憶する記憶部Ｍをさらに備える
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１３】
前記出力部は、前記制御部が判断した前記コンタクトプローブの状態を表示する表示装置である
ことを特徴とする請求項７に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１４】
前記制御部は、前記ロードセルが前記コンタクトプローブに接触した状態で、前記コンタクトプローブの電気抵抗をさらに測定する
ことを特徴とする請求項６に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１５】
対象物に接触して伸縮し且つ当該伸縮の変位量に応じた荷重を測定するための伸縮構造を有するコンタクトプローブを、検査するコンタクトプローブ検査装置であって、前記コンタクトプローブが配置されたピンボード治具を、支持する支持部と、前記コンタクトプローブに接触した状態で、前記伸縮構造が予め設定された測定位置まで縮むように荷重を印加し、前記測定位置で印加している荷重を測定するロードセルと、前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させるために、前記ロードセルの位置又は前記支持部の位置を変位させる駆動部と、前記ロードセル及び前記駆動部を制御するとともに、前記ロードセルにより測定された測定荷重に基づいて、前記コンタクトプローブの状態を判断する制御部と、検査予定の前記ピンボード治具における前記コンタクトプローブの位置が規定された位置データが入力されるようになっているパソコンと、を備えたコンタクトプローブ検査装置の制御方法であって、
前記制御部により、前記パソコンに入力された前記位置データに基づいて前記駆動部を制御して、前記ロードセルが前記コンタクトプローブの前記伸縮構造に負荷を印加できるように、前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させる
ことを特徴とするコンタクトプローブ検査装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンタクトプローブ検査装置、及び、コンタクトプローブ検査装置の制御方法に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、インサーキットテスタ(ＩＣＴ)やファンクションテスタ(ＦＣＴ)で半導体基板等の基板（電子回路基板）を検査するために使用するピンボード治具には、基板の検査パッドや素子の位置に対応して、多数のコンタクトプローブが配置されている。【０００３】
このコンタクトプローブは、先端が伸縮して対象物に接触する伸縮構造を有し、当該対象物に接触して当該対象物の電気的特性等を検出するのに用いられる。【０００４】
このコンタクトプローブの伸縮構造は、寿命や外部からの負荷によって伸縮せずにロックする状態になる場合がある。【０００５】
このように当該伸縮構造がロックした状態でコンタクトプローブが基板に接触すると、基板上の部品やパターンを破壊する可能性がある。【０００６】
このようにして、当コンタクトプローブの伸縮構造がロックした状態で基板の検査に使用すれば、当該基板に不良が発生する原因となる。【０００７】
一方、コンタクロプローブは、検査する対象の基板によっては、１つのピンボード治具に対して数百本も配置されるため、人の手による検査は難しい。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明は、伸縮構造を有するコンタクトプローブの状態をロードセルで検査する位置を、ピンボード治具毎に対応して自動的に調整することが可能なコンタクトプローブ検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様に係る実施形態に従ったコンタクトプローブ検査装置は、       
対象物に接触して伸縮し且つ当該伸縮の変位量に応じた荷重を測定するための伸縮構造を有するコンタクトプローブを、検査するコンタクトプローブ検査装置であって、
前記コンタクトプローブが配置されたピンボード治具を、支持する支持部と、
前記コンタクトプローブに接触した状態で、前記伸縮構造が予め設定された測定位置まで縮むように荷重を印加し、前記測定位置で印加している荷重を測定するロードセルと、
前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させるために、前記ロードセルの位置又は前記支持部の位置を変位させる駆動部と、
前記ロードセル及び前記駆動部を制御するとともに、前記ロードセルにより測定された測定荷重に基づいて、前記コンタクトプローブの状態を判断する制御部と、
検査予定の前記ピンボード治具における前記コンタクトプローブの位置が規定された位置データが入力されるようになっているパソコンと、を備え、
前記制御部は、前記パソコンに入力された前記位置データに基づいて前記駆動部を制御して、前記ロードセルが前記コンタクトプローブの前記伸縮構造に負荷を印加できるように、前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させる
ことを特徴とする。【００１０】
前記コンタクトプローブ検査装置において、
前記制御部は、前記ピンボード治具のコンタクトプローブを用いて前記対象物の特性を測定する外部装置に、前記制御部が判断した前記コンタクトプローブの状態に関する情報データを送信することを特徴とする。【００１１】
前記コンタクトプローブ検査装置において、
前記支持部により支持された前記ピンボード治具を撮像する撮像部をさらに備え、
前記制御部は、前記支持部における予め規定された基準位置と、前記撮像部により撮像されたピンボード治具の前記支持部における位置と、の間の差を取得し、前記差に基づいて、前記駆動部による前記ピンボード治具の変位量を調整する
ことを特徴とする。【００１２】
前記コンタクトプローブ検査装置において、
前記撮像部は、前記ロードセルに近接して配置され、前記ロードセルにより検査される前記前記コンタクトプローブの外観を撮像するようになっており、
前記制御部は、前記撮像部により撮像された前記コンタクトプローブの外観の画像に基づいて、前記コンタクトプローブの状態を判断する
ことを特徴とする。【００１３】
前記コンタクトプローブ検査装置において、
前記撮像部は、前記支持部が載置されるテーブルのアライメント位置を撮像し、前記制御部は、前記撮像部により撮像された前記アライメント位置を基準として、前記駆動部により、前記支持部の位置を変位させる
ことを特徴とする。【００１４】
前記コンタクトプローブ検査装置において、
前記制御部は、
前記測定位置で測定された前記測定荷重と、前記測定位置に対応して予め設定された上限閾値とを比較し、前記測定荷重が、前記上限閾値以上である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造がロックされた状態であると判断し、
前記測定位置で測定された前記測定荷重と、前記測定位置に対応して予め設定された前記上限閾値よりも低い下限閾値とを比較し、前記測定荷重が、前記下限閾値未満である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が壊れた状態、若しくは、前記ロードセルが前記コンタクトプローブに接触できていない状態であると判断し、
前記測定荷重が前記下限閾値以上、前記上限閾値未満である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が正常であると判断する
ことを特徴とする。【００１５】
前記コンタクトプローブ検査装置において、
前記制御部が判断した前記コンタクトプローブの状態を出力する出力部をさらに備えることを特徴とする。【００１６】
前記コンタクトプローブ検査装置において、
前記制御部は、
前記コンタクトプローブの前記伸縮構造がロックされた状態と判断し、又は、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が壊れた状態であると判断した場合には、前記コンタクトプローブの交換が必要である旨の情報を前記出力部に出力させる
ことを特徴とする。【００１７】
前記コンタクトプローブ検査装置において、
前記外部装置は、半導体製造工程における後工程に適用されるインサーキットテスタ又はファンクションテスタである
ことを特徴とする。【００１８】
前記コンタクトプローブ検査装置において、
前記制御部は、
前記コンタクトプローブの測定された測定荷重の経時的な変化に基づいて、前記コンタクトプローブの交換期限を予測し、又は、前記コンタクトプローブの交換頻度を算出する
ことを特徴とする。【００１９】
前記コンタクトプローブ検査装置において、
前記駆動部は、
前記ピンボード治具を支持した前記支持部を第１の方向に駆動する第１のアクチュエータと、
前記ロードセルを前記第１の方向に直交する第２の方向及び前記第１及び第２の方向に直交する第３の方向に駆動する第２のアクチュエータと、を備える
ことを特徴とする。【００２０】
前記コンタクトプローブ検査装置において、
前記制御部による前記コンタクトプローブの状態の判断結果を記憶する記憶部Ｍをさらに備える
ことを特徴とする。【００２１】
前記コンタクトプローブ検査装置において、
前記出力部は、前記制御部が判断した前記コンタクトプローブの状態を表示する表示装置である
ことを特徴とする。【００２２】
前記コンタクトプローブ検査装置において、
前記制御部は、前記ロードセルが前記コンタクトプローブに接触した状態で、前記コンタクトプローブの電気抵抗をさらに測定する
ことを特徴とする。【００２３】
本発明の一態様に係る実施形態に従ったコンタクトプローブ検査装置の制御方法は、
対象物に接触して伸縮し且つ当該伸縮の変位量に応じた荷重を測定するための伸縮構造を有するコンタクトプローブを、検査するコンタクトプローブ検査装置であって、前記コンタクトプローブが配置されたピンボード治具を、支持する支持部と、前記コンタクトプローブに接触した状態で、前記伸縮構造が予め設定された測定位置まで縮むように荷重を印加し、前記測定位置で印加している荷重を測定するロードセルと、前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させるために、前記ロードセルの位置又は前記支持部の位置を変位させる駆動部と、前記ロードセル及び前記駆動部を制御するとともに、前記ロードセルにより測定された測定荷重に基づいて、前記コンタクトプローブの状態を判断する制御部と、検査予定の前記ピンボード治具における前記コンタクトプローブの位置が規定された位置データが入力されるようになっているパソコンと、を備えたコンタクトプローブ検査装置の制御方法であって、
前記制御部により、前記パソコンに入力された前記位置データに基づいて前記駆動部を制御して、前記ロードセルが前記コンタクトプローブの前記伸縮構造に負荷を印加できるように、前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させる
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の一態様に係るコンタクトプローブ検査装置は、対象物に接触して伸縮し且つ当該伸縮の変位量に応じた荷重を測定するための伸縮構造を有するコンタクトプローブを、検査するコンタクトプローブ検査装置であって、コンタクトプローブが配置されたピンボード治具を、支持する支持部と、コンタクトプローブに接触した状態で、伸縮構造が予め設定された測定位置まで縮むように荷重を印加し、測定位置で印加している荷重を測定するロードセルと、コンタクトプローブに対するロードセルの相対的な位置を変化させるために、ロードセルの位置又は支持部の位置を変位させる駆動部と、ロードセル及び駆動部を制御するとともに、ロードセルにより測定された測定荷重に基づいて、コンタクトプローブの状態を判断する制御部と、検査予定のピンボード治具におけるコンタクトプローブの位置が規定された位置データが入力されるようになっているパソコンと、を備える。【００２５】
そして、制御部は、パソコンに入力された位置データに基づいて駆動部を制御して、ロードセルがコンタクトプローブの伸縮構造に負荷を印加できるように、コンタクトプローブに対するロードセルの相対的な位置を変化させる。【００２６】
これにより、本発明に係るコンタクトプローブ検査装置は、伸縮構造を有するコンタクトプローブの状態をロードセルで検査する位置を、ピンボード治具毎に対応して自動的に調整することができる。【００２７】
したがって、例えば、ピンボード治具はさまざまな基板に合わせて多数の種類があり、それぞれコンタクトプローブの位置が異なるが、コンタクトプローブの位置が記録されたファイルをインポートすることで簡易に装置の設定ができる。【００２８】
特に、ＩＣＴやＦＣＴでピンボード治具を使用する前に、本コンタクトプローブ検査装置で検査することにより、コンタクトプローブの状態を確認し、ロックされた状態のプローブを検出し、事前に交換等の対処することで基板の破壊を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は、第１の実施形態に係るコンタクトプローブ検査装置１００の構成の一例を示す図である。
【図２】図２は、図１に示すコンタクトプローブ検査装置１００の構成を含むシステムの一例を示すブロック図である。
【図３】図３は、図１に示すコンタクトプローブ検査装置１００のロードセルＬＳ近傍の外観の一例を示す外観写真である。
【図４Ａ】図４Ａは、コンタクトプローブ検査装置１００で検査されるピンボード治具ＰＢ２の斜視図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、図４Ａに示すピンボード治具ＰＢ２の正面図である。
【図４Ｃ】図４Ｃは、コンタクトプローブ検査装置１００にセットする向きの、図４Ａに示すピンボード治具ＰＢ２の正面図である。
【図４Ｄ】図４Ｄは、コンタクトプローブ検査装置１００にセットする向きの、図４Ａに示すピンボード治具ＰＢ２の側面図である。
【図５Ａ】図５Ａは、コンタクトプローブ検査装置１００で検査されるピンボード治具ＰＢ１の斜視図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、図５Ａに示すピンボード治具ＰＢ１の正面図である。
【図５Ｃ】図５Ｃは、コンタクトプローブ検査装置１００にセットする向きの、図５Ａに示すピンボード治具ＰＢ１の正面図である。
【図５Ｄ】図５Ｄは、コンタクトプローブ検査装置１００にセットする向きの、図５Ａに示すピンボード治具ＰＢ１の側面図である。
【図６】図６は、コンタクトプローブＰの測定位置と、当該測定位置で印加している荷重と、上限閾値と、下限閾値との関係の一例を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明に係る実施形態について図面に基づいて説明する。
【第１の実施形態】
【００３１】
図１は、第１の実施形態に係るコンタクトプローブ検査装置１００の構成の一例を示す図である。また、図２は、図１に示すコンタクトプローブ検査装置１００の構成を含むシステムの一例を示すブロック図である。また、図３は、図１に示すコンタクトプローブ検査装置１００のロードセルＬＳ近傍の外観の一例を示す外観写真である。なお、図１の例では、コンタクトプローブ検査装置１００は、ピンボード治具ＰＢ１に配置されたコンタクトプローブＰを検査する状態になっている。また、図１の例では、記憶部Ｍ、出力部Ｄ、及び操作部ＯＰは、省略されている。
【００３２】
また、図４Ａは、コンタクトプローブ検査装置１００で検査されるピンボード治具ＰＢ２の斜視図である。また、図４Ｂは、図４Ａに示すピンボード治具ＰＢ２の正面図である。また、図４Ｃは、コンタクトプローブ検査装置１００にセットする向きの、図４Ａに示すピンボード治具ＰＢ２の正面図である。また、図４Ｄは、コンタクトプローブ検査装置１００にセットする向きの、図４Ａに示すピンボード治具ＰＢ２の側面図である。
【００３３】
また、図５Ａは、コンタクトプローブ検査装置１００で検査されるピンボード治具ＰＢ１の斜視図である。また、図５Ｂは、図５Ａに示すピンボード治具ＰＢ１の正面図である。また、図５Ｃは、コンタクトプローブ検査装置１００にセットする向きの、図５Ａに示すピンボード治具ＰＢ１の正面図である。また、図５Ｄは、コンタクトプローブ検査装置１００にセットする向きの、図５Ａに示すピンボード治具ＰＢ１の側面図である。
【００３４】
また、図６は、コンタクトプローブＰの測定位置と、当該測定位置で印加している荷重と、上限閾値と、下限閾値との関係の一例を示す図である。
【００３５】
ここで、第１の実施形態に係るコンタクトプローブ検査装置１００は、対象物に接触して伸縮し且つ当該伸縮の変位量に応じた荷重を測定するための伸縮構造を有するコンタクトプローブＰを、検査するようになっている。
【００３６】
このコンタクトプローブ検査装置１００は、例えば、図１、２に示すように、支持部Ｈ１、Ｈ２と、ロードセルＬＳと、駆動部Ａ１、Ａ２と、制御部ＰＬＣと、記憶部Ｍと、出力部Ｄと、撮像部Ｃ（カメラ）と、パソコンＰＣと、操作部ＯＰと、を備える。
【００３７】
そして、支持部Ｈ１は、コンタクトプローブＰが配置されたピンボード治具ＰＢ１（図５Ａ〜図５Ｄ）を、支持するようになっている。
【００３８】
また、もう一つの支持部Ｈ２は、コンタクトプローブＰが配置されたピンボード治具ＰＢ２（図４Ａ〜図４Ｄ）を、支持するようになっている。
【００３９】
これらの支持部Ｈ１、Ｈ２の何れか一方に、ピンボード治具ＰＢ１、ＰＢ２の何れか一方が配置されて、検査されるようになっている。
【００４０】
なお、図１の例では、コンタクトプローブ検査装置１００は、ピンボード治具ＰＢ１に配置されたコンタクトプローブＰを検査する状態になっている。
【００４１】
ここで、コンタクトプローブＰは、対象物に先端（プランジャー）で接触して伸縮し且つ当該伸縮の変位量に応じた荷重を測定するための伸縮構造（バレル）を有する。そして、例えば、当該伸縮構造（バレル）を収納するソケットに収納され、当該ソケットがピンボード治具ＰＢ１に接続されることで、コンタクトプローブＰがピンボード治具に配置される。
【００４２】
なお、コンタクトプローブＰは、例えば、ピンボード治具ＰＢ１の主面ＰＢ１ａに垂直な方向に伸縮構造が伸縮するように、各ピンボード治具ＰＢ１、ＰＢ２に配置されている（図１）。なお、図４Ａ〜図４Ｄ、図５Ａ〜図５Ｄでは、コンタクトプローブＰは省略されている。
【００４３】
また、図１に示すように、ロードセルＬＳは、駆動部Ａ１、Ａ２の第２のアクチュエータＡ２に固定されている。このロードセルＬＳは、コンタクトプローブＰに接触した状態で、伸縮構造が予め設定された測定位置まで縮むように荷重を印加し、測定位置で印加している荷重を測定するようになっている。
【００４４】
また、駆動部Ａ１、Ａ２は、コンタクトプローブＰに対するロードセルＬＳの相対的な位置を変化させるために、ロードセルＬＳ及び支持部の位置の位置を変位させるようになっている。
【００４５】
この駆動部Ａ１、Ａ２は、第１のアクチュエータＡ１と、第２のアクチュエータＡ２と、を備える。
【００４６】
そして、第１のアクチュエータＡ１は、ピンボード治具ＰＢ１を支持した支持部Ｈ１を（ピンボード治具を支持していない支持部Ｈ２を含めて）第１の方向Ｙに駆動するようになっている。
【００４７】
なお、ピンボード治具ＰＢ２が支持部Ｈ２により支持されている場合には、この第１のアクチュエータＡ１は、ピンボード治具ＰＢ２を支持した支持部Ｈ２を（ピンボード治具を支持していない支持部Ｈ１を含めて）第１の方向Ｙに駆動する。
【００４８】
また、第２のアクチュエータＡ２は、ロードセルＬＳ及び撮像部Ｃを第１の方向Ｙに直交する第２の方向Ｘ及び第１及び第２の方向Ｙ、Ｘに直交する第３の方向Ｚに駆動するようになっている。
【００４９】
このように、駆動部Ａ１、Ａ２は、第１、第２のアクチュエータＡ１、Ａ２により、コンタクトプローブＰに対するロードセルＬＳの相対的な位置を変化させるようになっている。
【００５０】
また、図２に示す操作部ＯＰは、ユーザの操作入力を受け付けて、例えば、制御部ＰＬＣに当該操作入力に応じた指令（コンタクトプローブＰの検査を開始や中止する命令や、テーブルＴのアライメント位置の調整を指示する指令等）を出力するようになっている。
【００５１】
また、図１、図２に示す制御部ＰＬＣは、既述の操作部ＯＰから出力された指令に応じて、所定の動作を実行するようになっている。
【００５２】
例えば、制御部ＰＬＣは、測定位置でコンタクトプローブＰの伸縮構造に印加した荷重を測定するために、ロードセルＬＳ及び第１、第２の駆動部Ａ１、Ａ２を制御するようになっている。
【００５３】
この制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳにより測定位置で測定された測定荷重と、当該測定位置に対応して予め設定された閾値とを比較し、この比較結果に基づいて、コンタクトプローブＰの状態を判断するようになっている。
【００５４】
例えば、制御部ＰＬＣは、測定位置で測定された測定荷重と、当該測定位置に対応して予め設定された上限閾値ＴＨａとを比較し、測定荷重が、上限閾値ＴＨａ以上である場合には、コンタクトプローブＰの伸縮構造がロックされた状態であると判断するようになっている。
【００５５】
さらに、制御部ＰＬＣは、測定位置で測定された測定荷重と、当該測定位置に対応して予め設定された上限閾値ＴＨａよりも低い下限閾値ＴＨｂとを比較し、測定荷重が、下限閾値ＴＨｂ未満である場合には、コンタクトプローブＰの伸縮構造が壊れた（バネが壊れた）状態、若しくは、ロードセルＬＳがコンタクトプローブＰに接触できていない（当該コンタクトプローブＰ自体がピンボード治具ＰＢ１に配置されていない）状態であると判断するようになっている。
【００５６】
さらに、制御部ＰＬＣは、測定荷重が下限閾値ＴＨｂ以上、上限閾値ＴＨａ未満である場合には、コンタクトプローブＰの伸縮構造が正常であると判断するようになっている。
【００５７】
ここで、例えば、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳにより、コンタクトプローブＰの伸縮構造が予め設定された第１の測定位置ｍＰ１まで縮むように第１の荷重を印加し、第１の測定位置で印加している荷重（すなわち、第１の荷重）を測定した第１の測定荷重ＭＬ１を取得するようになっている（図６）。
【００５８】
その後、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳにより、コンタクトプローブＰの伸縮構造が第１の測定位置ｍＰ１と異なる第２の測定位置ｍＰ２まで縮むように第２の荷重を印加し、第２の測定位置ｍＰ２で印加している荷重（すなわち、第２の荷重）を測定した第２の測定荷重ＭＬ２を取得するようになっている（図６）。
【００５９】
その後、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳにより、コンタクトプローブＰの伸縮構造が第１、２の測定位置ｍＰ１、ｍＰ２と異なる第３の測定位置ｍＰ３まで縮むように第３の荷重を印加し、第２の測定位置ｍＰ３で印加している荷重（すなわち、第３の荷重）を測定した第３の測定荷重ＭＬ３を取得するようになっている（図６）。
【００６０】
その後、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳにより、コンタクトプローブＰの伸縮構造が第１、２、３の測定位置ｍＰ１、ｍＰ２、ｍＰ３と異なる第４の測定位置ｍＰ４まで縮むように第４の荷重を印加し、第４の測定位置ｍＰ４で印加している荷重（すなわち、第４の荷重）を測定した第４の測定荷重ＭＬ４を取得するようになっている（図６）。
【００６１】
このように、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳからコンタクトプローブＰに印加する荷重を段階的に増加させて、各測定位置において印加している荷重を測定した第１〜第４の測定荷重ＭＬ１〜ＭＬ４を取得する（図６）。
【００６２】
その後、制御部ＰＬＣは、測定した第１ないし第４の測定荷重ｍＰ１、ｍＰ２、ｍＰ３、ｍＰ４に基づいて、コンタクトプローブＰの状態を判断するようになっている。
【００６３】
なお、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳからコンタクトプローブＰに印加する荷重を段階的に減少させて、各測定位置において印加している荷重を測定した第１〜第４の測定荷重ＭＬ１〜ＭＬ４を取得するようにしてもよい。
【００６４】
これにより、伸縮構造を有するコンタクトプローブの状態を自動的に検査することができる。
【００６５】
特に、ＩＣＴやＦＣＴでピンボード治具を使用する前に、本コンタクトプローブ検査装置で検査することにより、コンタクトプローブの状態を確認し、ロックされた状態のプローブを検出し、事前に交換等の対処することで基板の破壊を防ぐことができる。
【００６６】
さらに、コンタクトプローブ1本につき任意位置で複数個所の荷重を計測することができ、それぞれに閾値を設定し、判断すること、またそれらの計測値や判定データを蓄積することができる。
【００６７】
なお、制御部ＰＬＣは、第１の測定荷重ＭＬ１と、第１の測定位置ｍＰ１に対応して予め設定された第１の閾値とを比較し、且つ第２の測定荷重ＭＬ２と、第２の測定位置ｍＰ２に対応して予め設定された第２の閾値とを比較し、この２つの比較結果に基づいて、コンタクトプローブＰの状態を判断するようにしてもよい。
【００６８】
さらに、制御部ＰＬＣは、上記２つの比較結果と、第３の測定荷重ＭＬ３と、第３の測定位置ｍＰ３に対応して予め設定された第３の閾値とを比較し、且つ第４の測定荷重ＭＬ４と、第４の測定位置ｍＰ４に対応して予め設定された第４の閾値とを比較したさらに２つの結果とに基づいて、コンタクトプローブＰの状態を判断するようにしてもよい。
【００６９】
また、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳ及び駆動部を制御して、ピンボード治具ＰＢ１に配置された複数のコンタクトプローブＰに対して測定位置で印加した荷重をそれぞれ測定し、測定されたそれぞれの測定荷重に基づいて、複数のコンタクトプローブＰの状態をそれぞれ判断するようになっている。
【００７０】
このように、制御部ＰＬＣは、１つのピンボード治具ＰＢ１に配置された複数のコンタクトプローブＰを連続して検査するようにしてもよい。
【００７１】
ここで、図１、２に示す撮像部Ｃは、ロードセルＬＳに近接して配置され、ロードセルＬＳで検査されるコンタクトプローブＰの外観を撮像するようになっている。既述のように、当該撮像部ＣとロードセルＬＳとは、駆動部Ａ１、Ａ２により、一緒に連動して（同期して）変位するようになっている。
【００７２】
そして、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳで検査した測定荷重の情報と、この撮像部Ｃにより撮像されたコンタクトプローブＰの外観の画像に基づいて、コンタクトプローブＰの状態を判断するようになっている。
【００７３】
例えば、制御部ＰＬＣは、コンタクトプローブＰの伸縮構造がロックされた状態であるか否か、コンタクトプローブＰの伸縮構造が壊れた（バネが壊れた）状態であるか否か、若しくは、ロードセルＬＳがコンタクトプローブＰに接触できていない（当該コンタクトプローブＰ自体がピンボード治具ＰＢ１に配置されていない）状態であるか否か等を、撮像部Ｃにより撮像されたコンタクトプローブＰの外観の画像に基づいて判断する。
【００７４】
この撮像部Ｃは、さらに、支持部Ｈ１により支持されたピンボード治具ＰＢ１を撮像するようになっている。なお、撮像部Ｃは、もう一つの支持部Ｈ２により支持されたピンボード治具ＰＢ２を撮像するようにしてもよい。
【００７５】
そして、制御部ＰＬＣは、例えば、支持部Ｈ１における予め規定された基準位置と、撮像部Ｃにより撮像されたピンボード治具ＰＢ１の支持部における位置と、の間の差を取得し、当該差に基づいて、駆動部Ａ１、Ａ２によるコンタクトプローブＰの変移量を調整するようになっている。
【００７６】
なお、この撮像部Ｃは、コンタクトプローブＰ、ピンボード治具ＰＢ１、又は、テーブルＴのアライメント位置Ｔａを、順次撮像できるように、その撮像方向が切り替えられるようになっている。
【００７７】
さらに、撮像部Ｃは、支持部Ｈ１、Ｈ２が載置されるテーブルＴのアライメント位置Ｔａ（図１では、一例として、テーブルＴの端部近傍にアライメント位置Ｔａが位置している）を撮像するようにしてもよい。
【００７８】
そして、制御部ＰＬＣは、撮像部Ｃにより撮像された当該アライメント位置を基準として、駆動部A１、A２により、当該アライメント位置が予め設定された所定位置に配置されるように、支持部Ｈ１の位置を変移させるようにしてもよい。
【００７９】
これにより、制御部ＰＬＣは、正確に測定が可能な所定位置で、コンタクトプローブＰに印加させる荷重を測定して、より正確な測定荷重を得ることができる。
【００８０】
特に、コンタクトプローブＰの外観を撮像するための撮像部Ｃを、アライメント調整のために用いることで、装置の簡略化を図ることができる。
【００８１】
また、制御部ＰＬＣは、ピンボード治具ＰＢ１のコンタクトプローブＰを用いて対象物（半導体基板等）の特性を測定する外部装置１０に、コンタクトプローブＰの状態に関する情報データを送信するようになっている。
【００８２】
なお、この外部装置１０は、半導体製造工程における後工程に適用される検査装置（インサーキットテスタ(ＩＣＴ)やファンクションテスタ(ＦＣＴ)）である。
【００８３】
これにより、当該外部装置１０でピンボード治具ＰＢ１のコンタクトプローブＰを用いて対象物（半導体基板等）の特性を測定する際に、コンタクトプローブ検査装置１００から送信された情報データに基づいて、必要な対応（測定結果の修正や、コンタクトプローブＰの交換、使用禁止等）を実行することができる。
【００８４】
また、パソコンＰＣは、検査予定のピンボード治具ＰＢ１におけるコンタクトプローブＰの位置が規定された位置データ（外部ファイルＦに含まれるデータ）が入力されるようになっている。
【００８５】
そして、制御部ＰＬＣは、パソコンＰＣに入力された位置データに基づいて駆動部（第１、第２のアクチュエータＡ１、Ａ２）を制御して、ロードセルＬＳがコンタクトプローブＰの伸縮構造に負荷を印加できるように、コンタクトプローブＰに対するロードセルＬＳの相対的な位置を変化させるようになっている。
【００８６】
このように、ピンボード治具ＰＢ１、ＰＢ２は、検査対象である、さまざまな基板に合わせて多数の種類がある。すなわち、ピンボード治具ＢＰ１、ＢＰ２は、それぞれコンタクトプローブＰの位置が異なるが、パソコンＰＣは、コンタクトプローブＰの位置が記録された外部ファイルＦをインポートすることで簡易に装置の設定ができる。
【００８７】
なお、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳがコンタクトプローブＰに接触した状態で、コンタクトプローブＰの電気抵抗をさらに測定するようにしてもよい。
【００８８】
そして、制御部ＰＬＣは、既述のコンタクトプローブＰの測定荷重の情報と当該電気抵抗とに基づいて、コンタクトプローブＰの状態を判断するようにしてもよい。
【００８９】
これにより、より詳細に、コンタクトプローブＰの状態を判断することができる。
【００９０】
また、制御部ＰＬＣは、コンタクトプローブＰの測定された測定荷重の経時的な変化に基づいて、コンタクトプローブＰの交換期限（寿命）を予測し、又は、コンタクトプローブＰの交換頻度を算出するようにしてもよい。
【００９１】
例えば、コンタクトプローブＰの伸縮構造は、バネ機構を含んでおり、当該バネ機構が経時的な変化により、劣化すると、同じ測定位置でも荷重が減少して、所望の伸縮を実現できない場合がある。この場合、コンタクトプローブＰの交換期限が必要になる。そこで、この測定荷重の経時的な変化とコンタクトプローブＰの伸縮構造の劣化の相関関係から、コンタクトプローブＰの交換期限（寿命）を予測し、又は、コンタクトプローブＰの交換頻度を算出することができると考えられる。
【００９２】
このように、コンタクトプローブＰの荷重を測定することができるので、寿命の予測や交換頻度の参考データとすることができる。
【００９３】
また、図２に示す記憶部Ｍは、制御部ＰＬＣによるコンタクトプローブＰの状態の判断結果、予測されたコンタクトプローブＰの交換期限（寿命）、算出されたコンタクトプローブＰの交換頻度等を記憶するようになっている。この記憶部Mは、例えば、ＮＡＮＤ型フラッシュメモリ等の不揮発性メモリである。
【００９４】
そして、図１、図２に示す出力部Ｄは、制御部ＰＬＣが判断したコンタクトプローブＰの状態（判断結果）、予測されたコンタクトプローブＰの交換期限（寿命）、算出されたコンタクトプローブＰの交換頻度等を出力するようになっている。
【００９５】
特に、制御部ＰＬＣは、コンタクトプローブＰの伸縮構造がロックされた状態と判断し、又は、コンタクトプローブＰの伸縮構造が壊れた（バネが壊れた）状態であると判断した場合には、コンタクトプローブＰの交換が必要である旨の情報を出力部Ｄに出力させるようになっている。
【００９６】
この出力部Ｄは、例えば、制御部ＰＬＣが判断したコンタクトプローブＰの状態（判断結果）、予測されたコンタクトプローブＰの交換期限（寿命）、算出されたコンタクトプローブＰの交換頻度等を表示する表示装置である。
【００９７】
これにより、ユーザは、この出力部Ｄの表示を確認することにより、制御部ＰＬＣが判断したコンタクトプローブＰの状態（判断結果）、予測されたコンタクトプローブＰの交換期限（寿命）、算出されたコンタクトプローブＰの交換頻度等を認識して、必要な対応を実行することができる。
【００９８】
次に、以上のような構成を有するコンタクトプローブ検査装置１００の制御方法の一例について、説明する。
【００９９】
既述のように、図１、図２に示す制御部ＰＬＣは、既述の操作部ＯＰから出力された指令に応じて、所定の動作を実行する。
【０１００】
例えば、制御部ＰＬＣは、測定位置でコンタクトプローブＰの伸縮構造に印加した荷重を測定するために、ロードセルＬＳ及び第１、第２の駆動部Ａ１、Ａ２を制御する。特に、既述のように、制御部ＰＬＣは、パソコンＰＣに入力された位置データに基づいて駆動部（第１、第２のアクチュエータＡ１、Ａ２）を制御して、ロードセルＬＳがコンタクトプローブＰの伸縮構造に負荷を印加できるように、コンタクトプローブＰに対するロードセルＬＳの相対的な位置を変化させる。
【０１０１】
そして、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳにより測定位置で測定された測定荷重と、当該測定位置に対応して予め設定された閾値とを比較し、この比較結果に基づいて、コンタクトプローブＰの状態を判断する。
【０１０２】
例えば、制御部ＰＬＣは、測定位置で測定された測定荷重と、当該測定位置に対応して予め設定された上限閾値ＴＨａとを比較し、測定荷重が、上限閾値ＴＨａ以上である場合には、コンタクトプローブＰの伸縮構造がロックされた状態であると判断する。
【０１０３】
さらに、制御部ＰＬＣは、測定位置で測定された測定荷重と、当該測定位置に対応して予め設定された上限閾値ＴＨａよりも低い下限閾値ＴＨｂとを比較し、測定荷重が、下限閾値ＴＨｂ未満である場合には、コンタクトプローブＰの伸縮構造が壊れた（バネが壊れた）状態、若しくは、ロードセルＬＳがコンタクトプローブＰに接触できていない（当該コンタクトプローブＰ自体がピンボード治具ＰＢ１に配置されていない）状態であると判断する。
【０１０４】
さらに、制御部ＰＬＣは、測定荷重が下限閾値ＴＨｂ以上、上限閾値ＴＨａ未満である場合には、コンタクトプローブＰの伸縮構造が正常であると判断する。
【０１０５】
より詳しくは、例えば、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳにより、コンタクトプローブＰの伸縮構造が予め設定された第１の測定位置ｍＰ１まで縮むように第１の荷重を印加し、第１の測定位置で印加している荷重（すなわち、第１の荷重）を測定した第１の測定荷重ＭＬ１を取得する（図６）。
【０１０６】
その後、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳにより、コンタクトプローブＰの伸縮構造が第１の測定位置ｍＰ１と異なる第２の測定位置ｍＰ２まで縮むように第２の荷重を印加し、第２の測定位置ｍＰ２で印加している荷重（すなわち、第２の荷重）を測定した第２の測定荷重ＭＬ２を取得する（図６）。
【０１０７】
その後、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳにより、コンタクトプローブＰの伸縮構造が第１、２の測定位置ｍＰ１、ｍＰ２と異なる第３の測定位置ｍＰ３まで縮むように第３の荷重を印加し、第２の測定位置ｍＰ３で印加している荷重（すなわち、第３の荷重）を測定した第３の測定荷重ＭＬ３を取得する（図６）。
【０１０８】
その後、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳにより、コンタクトプローブＰの伸縮構造が第１、２、３の測定位置ｍＰ１、ｍＰ２、ｍＰ３と異なる第４の測定位置ｍＰ４まで縮むように第４の荷重を印加し、第４の測定位置ｍＰ４で印加している荷重（すなわち、第４の荷重）を測定した第４の測定荷重ＭＬ４を取得する（図６）。
【０１０９】
このように、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳからコンタクトプローブＰに印加する荷重を段階的に増加させて、各測定位置において印加している荷重を測定した第１〜第４の測定荷重ＭＬ１〜ＭＬ４を取得する（図６）。
【０１１０】
その後、制御部ＰＬＣは、測定した第１ないし第４の測定荷重ｍＰ１、ｍＰ２、ｍＰ３、ｍＰ４に基づいて、コンタクトプローブＰの状態を判断する。
【０１１１】
なお、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳからコンタクトプローブＰに印加する荷重を段階的に減少させて、各測定位置において印加している荷重を測定した第１〜第４の測定荷重ＭＬ１〜ＭＬ４を取得するようにしてもよい。
【０１１２】
これにより、伸縮構造を有するコンタクトプローブの状態を自動的に検査することができる。
【０１１３】
なお、既述のように、制御部ＰＬＣは、ロードセルＬＳで検査した測定荷重の情報と、撮像部Ｃにより撮像されたコンタクトプローブＰの外観の画像に基づいて、コンタクトプローブＰの状態を判断するようにしてもよい。
【０１１４】
そして、例えば、既述のように、制御部ＰＬＣは、コンタクトプローブＰの測定された測定荷重の経時的な変化に基づいて、コンタクトプローブＰの交換期限（寿命）を予測し、又は、コンタクトプローブＰの交換頻度を算出する。
【０１１５】
特に、制御部ＰＬＣは、コンタクトプローブＰの伸縮構造がロックされた状態と判断し、又は、コンタクトプローブＰの伸縮構造が壊れた（バネが壊れた）状態であると判断した場合には、コンタクトプローブＰの交換が必要である旨の情報を出力部Ｄに出力させる。
【０１１６】
そして、ユーザは、この出力部Ｄの表示を確認することにより、制御部ＰＬＣが判断したコンタクトプローブＰの状態（判断結果）、予測されたコンタクトプローブＰの交換期限（寿命）、算出されたコンタクトプローブＰの交換頻度等を認識して、必要な対応を実行することができる。
【０１１７】
さらに、既述のように、制御部ＰＬＣは、ピンボード治具ＰＢ１のコンタクトプローブＰを用いて対象物（半導体基板等）の特性を測定する外部装置１０に、得られたコンタクトプローブＰの状態に関する情報データを送信する。
【０１１８】
これにより、当該外部装置１０でピンボード治具ＰＢ１のコンタクトプローブＰを用いて対象物（半導体基板等）の特性を測定する際に、コンタクトプローブ検査装置１００から送信された情報データに基づいて、必要な対応（測定結果の修正や、コンタクトプローブＰの交換、使用禁止等）を実行することができる。
【０１１９】
以上のように、本発明の一態様に係るコンタクトプローブ検査装置は、対象物に接触して伸縮し且つ当該伸縮の変位量に応じた荷重を測定するための伸縮構造を有するコンタクトプローブを、検査するコンタクトプローブ検査装置であって、コンタクトプローブが配置されたピンボード治具を、支持する支持部Ｈと、コンタクトプローブに接触した状態で、伸縮構造が予め設定された測定位置まで縮むように荷重を印加し、測定位置で印加している荷重を測定するロードセルＲと、コンタクトプローブに対するロードセルの相対的な位置を変化させるために、ロードセルの位置又は支持部の位置を変位させる駆動部Ａ１、Ａ２と、ロードセル及び駆動部を制御するとともに、ロードセルにより測定された測定荷重に基づいて、コンタクトプローブの状態を判断する制御部ＰＬＣと、検査予定のピンボード治具におけるコンタクトプローブの位置が規定された位置データが入力されるようになっているパソコンＰＣと、を備える。
【０１２０】
そして、制御部は、パソコンに入力された位置データに基づいて駆動部を制御して、ロードセルがコンタクトプローブの伸縮構造に負荷を印加できるように、コンタクトプローブに対するロードセルの相対的な位置を変化させる。
【０１２１】
これにより、本発明に係るコンタクトプローブ検査装置は、伸縮構造を有するコンタクトプローブの状態をロードセルで検査する位置を、ピンボード治具毎に対応して自動的に調整することができる。
【０１２２】
したがって、例えば、ピンボード治具はさまざまな基板に合わせて多数の種類があり、それぞれコンタクトプローブの位置が異なるが、コンタクトプローブの位置が記録されたファイルをインポートすることで簡易に装置の設定ができる。
【０１２３】
特に、ＩＣＴやＦＣＴでピンボード治具を使用する前に、本コンタクトプローブ検査装置で検査することにより、コンタクトプローブの状態を確認し、ロックされた状態のプローブを検出し、事前に交換等の対処することで基板の破壊を防ぐことができる。
【０１２４】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【０１２５】
１００  コンタクトプローブ検査装置
Ｈ１、Ｈ２  支持部
ＬＳ  ロードセル
Ａ１、Ａ２  駆動部
ＰＬＣ  制御部
Ｍ  記憶部
Ｄ  出力部
Ｃ  撮像部（カメラ）
ＰＣ  パソコン
ＯＰ  操作部
【図１】
2018235234.tif 000003
【図２】
2018235234.tif 000004
【図３】
2018235234.tif 000005
【図４Ａ】
2018235234.tif 000006
【図４Ｂ】
2018235234.tif 000007
【図４Ｃ】
2018235234.tif 000008
【図４Ｄ】
2018235234.tif 000009
【図５Ａ】
2018235234.tif 000010
【図５Ｂ】
2018235234.tif 000011
【図５Ｃ】
2018235234.tif 000012
【図５Ｄ】
2018235234.tif 000013
【図６】
2018235234.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月2日(2018.8.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物に接触して伸縮し且つ当該伸縮の変位量に応じた荷重を測定するための伸縮構造を有する複数のコンタクトプローブを、検査するコンタクトプローブ検査装置であって、
前記コンタクトプローブが配置されたピンボード治具を、支持する支持部と、
前記コンタクトプローブに接触した状態で、前記伸縮構造が予め設定された測定位置まで縮むように荷重を印加し、前記測定位置で印加している荷重を測定するロードセルと、
前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させるために、前記ロードセルの位置又は前記支持部の位置を変位させる駆動部と、
前記ロードセル及び前記駆動部を制御するとともに、前記ロードセルにより測定された測定荷重に基づいて、前記コンタクトプローブの状態を判断する制御部と、
検査予定の前記ピンボード治具における前記コンタクトプローブの位置が規定された位置データが入力されるようになっているパソコンと、
前記支持部により支持された前記ピンボード治具を撮像する撮像部と、を備え、
前記制御部は、
前記支持部における予め規定された基準位置と、前記撮像部により撮像されたピンボード治具の前記支持部における位置と、の間の差を取得し、前記差に基づいて、前記駆動部による前記ピンボード治具の変位量を調整し、
前記パソコンに入力された前記位置データに基づいて前記駆動部を制御して、前記ロードセルが前記コンタクトプローブの前記伸縮構造に負荷を印加できるように、前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させ、
前記測定位置で測定された前記測定荷重と、前記測定位置に対応して予め設定された上限閾値とを比較し、前記測定荷重が、前記上限閾値以上である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造がロックされた状態であると判断し、
前記測定位置で測定された前記測定荷重と、前記測定位置に対応して予め設定された前記上限閾値よりも低い下限閾値とを比較し、前記測定荷重が、前記下限閾値未満である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が壊れた状態、若しくは、前記ロードセルが前記コンタクトプローブに接触できていない状態であると判断し、
前記測定荷重が前記下限閾値以上、前記上限閾値未満である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が正常であると判断するものであり、
前記制御部は、
前記ロードセルから前記複数のコンタクトプローブのうちの１本の第１のコンタクトプローブに印加する荷重を段階的に増加、又は、減少させて、各測定位置において印加している荷重を測定した複数の測定荷重を取得し、その後、測定した複数の測定荷重に基づいて、前記第１のコンタクトプローブの状態を判断することを特徴とするコンタクトプローブ検査装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記ピンボード治具のコンタクトプローブを用いて前記対象物の特性を測定する外部装置に、前記制御部が判断した前記コンタクトプローブの状態に関する情報データを送信することを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項３】
（削除）
【請求項４】
前記撮像部は、前記ロードセルに近接して配置され、前記ロードセルにより検査される前記前記コンタクトプローブの外観を撮像するようになっており、
前記制御部は、前記撮像部により撮像された前記コンタクトプローブの外観の画像に基づいて、前記コンタクトプローブの状態を判断する
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項５】
前記撮像部は、前記支持部が載置されるテーブルのアライメント位置を撮像し、前記制御部は、前記撮像部により撮像された前記アライメント位置を基準として、前記駆動部により、前記支持部の位置を変位させる
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項６】
（削除）
【請求項７】
前記制御部が判断した前記コンタクトプローブの状態を出力する出力部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項８】
前記制御部は、
前記コンタクトプローブの前記伸縮構造がロックされた状態と判断し、又は、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が壊れた状態であると判断した場合には、前記コンタクトプローブの交換が必要である旨の情報を前記出力部に出力させる
ことを特徴とする請求項７に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項９】
前記外部装置は、半導体製造工程における後工程に適用されるインサーキットテスタ又はファンクションテスタである
ことを特徴とする請求項２に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１０】
前記制御部は、
前記コンタクトプローブの測定された測定荷重の経時的な変化に基づいて、前記コンタクトプローブの交換期限を予測し、又は、前記コンタクトプローブの交換頻度を算出する
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１１】
前記駆動部は、
前記ピンボード治具を支持した前記支持部を第１の方向に駆動する第１のアクチュエータと、
前記ロードセルを前記第１の方向に直交する第２の方向及び前記第１及び第２の方向に直交する第３の方向に駆動する第２のアクチュエータと、を備える
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１２】
前記制御部による前記コンタクトプローブの状態の判断結果を記憶する記憶部Ｍをさらに備える
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１３】
前記出力部は、前記制御部が判断した前記コンタクトプローブの状態を表示する表示装置である
ことを特徴とする請求項７に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１４】
前記制御部は、前記ロードセルが前記コンタクトプローブに接触した状態で、前記コンタクトプローブの電気抵抗をさらに測定する
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１５】
対象物に接触して伸縮し且つ当該伸縮の変位量に応じた荷重を測定するための伸縮構造を有する複数のコンタクトプローブを、検査するコンタクトプローブ検査装置であって、前記コンタクトプローブが配置されたピンボード治具を、支持する支持部と、前記コンタクトプローブに接触した状態で、前記伸縮構造が予め設定された測定位置まで縮むように荷重を印加し、前記測定位置で印加している荷重を測定するロードセルと、前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させるために、前記ロードセルの位置又は前記支持部の位置を変位させる駆動部と、前記ロードセル及び前記駆動部を制御するとともに、前記ロードセルにより測定された測定荷重に基づいて、前記コンタクトプローブの状態を判断する制御部と、検査予定の前記ピンボード治具における前記コンタクトプローブの位置が規定された位置データが入力されるようになっているパソコンと、前記支持部により支持された前記ピンボード治具を撮像する撮像部と、を備えたコンタクトプローブ検査装置の制御方法であって、
前記制御部により、
前記支持部における予め規定された基準位置と、前記撮像部により撮像されたピンボード治具の前記支持部における位置と、の間の差を取得し、前記差に基づいて、前記駆動部による前記ピンボード治具の変位量を調整し、
前記パソコンに入力された前記位置データに基づいて前記駆動部を制御して、前記ロードセルが前記コンタクトプローブの前記伸縮構造に負荷を印加できるように、前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させ、
前記測定位置で測定された前記測定荷重と、前記測定位置に対応して予め設定された上限閾値とを比較し、前記測定荷重が、前記上限閾値以上である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造がロックされた状態であると判断し、
前記測定位置で測定された前記測定荷重と、前記測定位置に対応して予め設定された前記上限閾値よりも低い下限閾値とを比較し、前記測定荷重が、前記下限閾値未満である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が壊れた状態、若しくは、前記ロードセルが前記コンタクトプローブに接触できていない状態であると判断し、
前記測定荷重が前記下限閾値以上、前記上限閾値未満である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が正常であると判断するものであり、
前記制御部は、
前記ロードセルから前記複数のコンタクトプローブのうちの１本の第１のコンタクトプローブに印加する荷重を段階的に増加、又は、減少させて、各測定位置において印加している荷重を測定した複数の測定荷重を取得し、その後、測定した複数の測定荷重に基づいて、前記第１のコンタクトプローブの状態を判断する
ことを特徴とするコンタクトプローブ検査装置の制御方法。
【手続補正書】
【提出日】平成31年1月23日(2019.1.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物に接触して伸縮し且つ当該伸縮の変位量に応じた荷重を測定するための伸縮構造を有する複数のコンタクトプローブを、検査するコンタクトプローブ検査装置であって、
前記コンタクトプローブが配置されたピンボード治具を、支持する支持部と、
前記コンタクトプローブに接触した状態で、前記伸縮構造が予め設定された測定位置まで縮むように荷重を印加し、前記測定位置で印加している荷重を測定するロードセルと、
前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させるために、前記ロードセルの位置又は前記支持部の位置を変位させる駆動部と、
前記ロードセル及び前記駆動部を制御するとともに、前記ロードセルにより測定された測定荷重に基づいて、前記コンタクトプローブの状態を判断する制御部と、
検査予定の前記ピンボード治具における前記コンタクトプローブの位置が規定された位置データが入力されるようになっているパソコンと、
前記支持部により支持された前記ピンボード治具を撮像する撮像部と、を備え、
前記制御部は、
前記支持部における予め規定された基準位置と、前記撮像部により撮像されたピンボード治具の前記支持部における位置と、の間の差を取得し、前記差に基づいて、前記駆動部による前記ピンボード治具の変位量を調整し、
前記パソコンに入力された前記位置データに基づいて前記駆動部を制御して、前記ロードセルが前記コンタクトプローブの前記伸縮構造に負荷を印加できるように、前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させ、
前記測定位置で測定された前記測定荷重と、前記測定位置に対応して予め設定された上限閾値とを比較し、前記測定荷重が、前記上限閾値以上である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造がロックされた状態であると判断し、
前記測定位置で測定された前記測定荷重と、前記測定位置に対応して予め設定された前記上限閾値よりも低い下限閾値とを比較し、前記測定荷重が、前記下限閾値未満である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が壊れた状態、若しくは、前記ロードセルが前記コンタクトプローブに接触できていない状態であると判断し、
前記測定荷重が前記下限閾値以上、前記上限閾値未満である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が正常であると判断するものであり、
前記制御部は、
前記ロードセルから前記複数のコンタクトプローブのうちの１本の第１のコンタクトプローブに印加する荷重を段階的に増加、又は、減少させて、各測定位置において印加している荷重を測定した複数の測定荷重を取得し、その後、測定した複数の測定荷重に基づいて、前記第１のコンタクトプローブの状態を判断することを特徴とするコンタクトプローブ検査装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記ピンボード治具のコンタクトプローブを用いて前記対象物の特性を測定する外部装置に、前記制御部が判断した前記コンタクトプローブの状態に関する情報データを送信することを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項３】
前記撮像部は、前記ロードセルに近接して配置され、前記ロードセルにより検査される前記前記コンタクトプローブの外観を撮像するようになっており、
前記制御部は、前記撮像部により撮像された前記コンタクトプローブの外観の画像に基づいて、前記コンタクトプローブの状態を判断する
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項４】
前記撮像部は、前記支持部が載置されるテーブルのアライメント位置を撮像し、前記制御部は、前記撮像部により撮像された前記アライメント位置を基準として、前記駆動部により、前記支持部の位置を変位させる
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項５】
前記制御部が判断した前記コンタクトプローブの状態を出力する出力部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項６】
前記制御部は、
前記コンタクトプローブの前記伸縮構造がロックされた状態と判断し、又は、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が壊れた状態であると判断した場合には、前記コンタクトプローブの交換が必要である旨の情報を前記出力部に出力させる
ことを特徴とする請求項５に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項７】
前記外部装置は、半導体製造工程における後工程に適用されるインサーキットテスタ又はファンクションテスタである
ことを特徴とする請求項２に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項８】
前記制御部は、
前記コンタクトプローブの測定された測定荷重の経時的な変化に基づいて、前記コンタクトプローブの交換期限を予測し、又は、前記コンタクトプローブの交換頻度を算出する
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項９】
前記駆動部は、
前記ピンボード治具を支持した前記支持部を第１の方向に駆動する第１のアクチュエータと、
前記ロードセルを前記第１の方向に直交する第２の方向及び前記第１及び第２の方向に直交する第３の方向に駆動する第２のアクチュエータと、を備える
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１０】
前記制御部による前記コンタクトプローブの状態の判断結果を記憶する記憶部Ｍをさらに備える
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１１】
前記出力部は、前記制御部が判断した前記コンタクトプローブの状態を表示する表示装置である
ことを特徴とする請求項５に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１２】
前記制御部は、前記ロードセルが前記コンタクトプローブに接触した状態で、前記コンタクトプローブの電気抵抗をさらに測定する
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１３】
対象物に接触して伸縮し且つ当該伸縮の変位量に応じた荷重を測定するための伸縮構造を有する複数のコンタクトプローブを、検査するコンタクトプローブ検査装置であって、前記コンタクトプローブが配置されたピンボード治具を、支持する支持部と、前記コンタクトプローブに接触した状態で、前記伸縮構造が予め設定された測定位置まで縮むように荷重を印加し、前記測定位置で印加している荷重を測定するロードセルと、前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させるために、前記ロードセルの位置又は前記支持部の位置を変位させる駆動部と、前記ロードセル及び前記駆動部を制御するとともに、前記ロードセルにより測定された測定荷重に基づいて、前記コンタクトプローブの状態を判断する制御部と、検査予定の前記ピンボード治具における前記コンタクトプローブの位置が規定された位置データが入力されるようになっているパソコンと、前記支持部により支持された前記ピンボード治具を撮像する撮像部と、を備えたコンタクトプローブ検査装置の制御方法であって、
前記制御部により、
前記支持部における予め規定された基準位置と、前記撮像部により撮像されたピンボード治具の前記支持部における位置と、の間の差を取得し、前記差に基づいて、前記駆動部による前記ピンボード治具の変位量を調整し、
前記パソコンに入力された前記位置データに基づいて前記駆動部を制御して、前記ロードセルが前記コンタクトプローブの前記伸縮構造に負荷を印加できるように、前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させ、
前記測定位置で測定された前記測定荷重と、前記測定位置に対応して予め設定された上限閾値とを比較し、前記測定荷重が、前記上限閾値以上である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造がロックされた状態であると判断し、
前記測定位置で測定された前記測定荷重と、前記測定位置に対応して予め設定された前記上限閾値よりも低い下限閾値とを比較し、前記測定荷重が、前記下限閾値未満である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が壊れた状態、若しくは、前記ロードセルが前記コンタクトプローブに接触できていない状態であると判断し、
前記測定荷重が前記下限閾値以上、前記上限閾値未満である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が正常であると判断するものであり、
前記制御部は、
前記ロードセルから前記複数のコンタクトプローブのうちの１本の第１のコンタクトプローブに印加する荷重を段階的に増加、又は、減少させて、各測定位置において印加している荷重を測定した複数の測定荷重を取得し、その後、測定した複数の測定荷重に基づいて、前記第１のコンタクトプローブの状態を判断する
ことを特徴とするコンタクトプローブ検査装置の制御方法。
【請求項１４】
対象物に接触して伸縮し且つ当該伸縮の変位量に応じた荷重を測定するための伸縮構造を有するコンタクトプローブを、検査するコンタクトプローブ検査装置であって、
前記コンタクトプローブが配置されたピンボード治具を、支持する支持部と、
前記コンタクトプローブに接触した状態で、前記伸縮構造が予め設定された測定位置まで縮むように荷重を印加し、前記測定位置で印加している荷重を測定するロードセルと、
前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させるために、前記ロードセルの位置又は前記支持部の位置を変位させる駆動部と、
前記ロードセル及び前記駆動部を制御するとともに、前記ロードセルにより測定された測定荷重に基づいて、前記コンタクトプローブの状態を判断する制御部と、
検査予定の前記ピンボード治具における前記コンタクトプローブの位置が規定された位置データが入力されるようになっているパソコンと、
前記ロードセルに近接して配置され、前記支持部により支持された前記ピンボード治具を撮像する撮像部と、を備え、
前記制御部は、前記支持部における予め規定された基準位置と、前記撮像部により撮像されたピンボード治具の前記支持部における位置と、の間の差を取得し、前記差に基づいて、前記駆動部による前記ピンボード治具の変位量を調整し、
前記制御部は、前記パソコンに入力された前記位置データに基づいて前記駆動部を制御して、前記ロードセルが前記コンタクトプローブの前記伸縮構造に負荷を印加できるように、前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させ、
前記制御部は、
前記測定位置で測定された前記測定荷重と、前記測定位置に対応して予め設定された上限閾値とを比較し、前記測定荷重が、前記上限閾値以上である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造がロックされた状態であると判断し、
前記測定位置で測定された前記測定荷重と、前記測定位置に対応して予め設定された前記上限閾値よりも低い下限閾値とを比較し、前記測定荷重が、前記下限閾値未満である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が壊れた状態、若しくは、前記ロードセルが前記コンタクトプローブに接触できていない状態であると判断し、
前記測定荷重が前記下限閾値以上、前記上限閾値未満である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が正常であると判断し、
前記撮像部は、前記ロードセルにより検査される前記コンタクトプローブの外観を撮像するようになっており、
前記制御部は、前記撮像部により撮像された前記コンタクトプローブの外観の画像に基づいて、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造がロックされた状態であるか否か、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が壊れた状態であるか否か、若しくは、前記ロードセルが前記コンタクトプローブに接触できていない状態であるか否かを判断する
ことを特徴とするコンタクトプローブ検査装置。
【請求項１５】
対象物に接触して伸縮し且つ当該伸縮の変位量に応じた荷重を測定するための伸縮構造を有するコンタクトプローブを、検査するコンタクトプローブ検査装置であって、前記コンタクトプローブが配置されたピンボード治具を、支持する支持部と、前記コンタクトプローブに接触した状態で、前記伸縮構造が予め設定された測定位置まで縮むように荷重を印加し、前記測定位置で印加している荷重を測定するロードセルと、前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させるために、前記ロードセルの位置又は前記支持部の位置を変位させる駆動部と、前記ロードセル及び前記駆動部を制御するとともに、前記ロードセルにより測定された測定荷重に基づいて、前記コンタクトプローブの状態を判断する制御部と、検査予定の前記ピンボード治具における前記コンタクトプローブの位置が規定された位置データが入力されるようになっているパソコンと、前記ロードセルに近接して配置され、前記支持部により支持された前記ピンボード治具を撮像する撮像部と、を備えたコンタクトプローブ検査装置の制御方法であって、
前記制御部により、前記支持部における予め規定された基準位置と、前記撮像部により撮像されたピンボード治具の前記支持部における位置と、の間の差を取得し、前記差に基づいて、前記駆動部による前記ピンボード治具の変位量を調整し、
前記制御部により、前記パソコンに入力された前記位置データに基づいて前記駆動部を制御して、前記ロードセルが前記コンタクトプローブの前記伸縮構造に負荷を印加できるように、前記コンタクトプローブに対する前記ロードセルの相対的な位置を変化させ、
前記制御部により、
前記測定位置で測定された前記測定荷重と、前記測定位置に対応して予め設定された上限閾値とを比較し、前記測定荷重が、前記上限閾値以上である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造がロックされた状態であると判断し、
前記測定位置で測定された前記測定荷重と、前記測定位置に対応して予め設定された前記上限閾値よりも低い下限閾値とを比較し、前記測定荷重が、前記下限閾値未満である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が壊れた状態、若しくは、前記ロードセルが前記コンタクトプローブに接触できていない状態であると判断し、
前記測定荷重が前記下限閾値以上、前記上限閾値未満である場合には、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が正常であると判断し、
前記撮像部により、前記ロードセルにより検査される前記コンタクトプローブの外観を撮像するようになっており、
前記制御部により、前記撮像部により撮像された前記コンタクトプローブの外観の画像に基づいて、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造がロックされた状態であるか否か、前記コンタクトプローブの前記伸縮構造が壊れた状態であるか否か、若しくは、前記ロードセルが前記コンタクトプローブに接触できていない状態であるか否かを判断する
ことを特徴とするコンタクトプローブ検査装置の制御方法。
【国際調査報告】
2018235234.tif 000015
2018235234.tif 000016
2018235234.tif 000017
2018235234.tif 000018