(57)【要約】効率良く冷却することが可能な液体供給システムを提供する。内部にポンプ室Ｐ１、Ｐ２が備えられ、かつ流体の吸入口１３１ｂ及び送出口１３１ｃが設けられている容器と、前記吸入口１３１ｂから流入する液体を前記ポンプ室Ｐ１，Ｐ２に供給する供給通路１３１ｅ、１３１Ｘｃと、前記ポンプ室Ｐ１，Ｐ２から排出される液体を前記送出口１３１ｃへ導く排出通路１９０と、を有する液体供給システム１０であって、前記ポンプ室Ｐ１，Ｐ２内で前記液体と接する内壁の壁面１８０，１８１に、前記壁面１８０，１８１を構成する部材より熱伝導率の低い材料ＰＴＦＥによる熱抵抗層５００を形成したことを特徴とする液体供給システム。
2018143422.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にポンプ室が備えられ、かつ流体の吸入口及び送出口が設けられている容器と、前記吸入口から流入する液体を前記ポンプ室に供給する供給通路と、前記ポンプ室から排出される液体を前記送出口へ導く排出通路と、を有する液体供給システムであって、
前記液体供給システムにおいて前記液体と接する壁面に、前記壁面を構成する部材より熱伝導率の低い材料による熱抵抗層を形成したことを特徴とする液体供給システム。
【請求項２】
前記熱抵抗層は、被覆膜により形成される請求項１に記載の液体供給システム。
【請求項３】
前記被覆膜は、膜部材を複数並べて形成される請求項２に記載の液体供給システム。
【請求項４】
前記熱抵抗層は、前記ポンプ室内で前記液体と接する内壁面に設けられる請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体供給システム。
【請求項５】
前記熱抵抗層は、前記供給通路及び前記排出通路の内壁面に設けられる請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体供給システム。
【請求項６】
前記熱抵抗層が形成される前記壁面は金属材料で構成され、
前記熱抵抗層は、膜厚０．２ｍｍのＰＴＦＥにより形成される請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体供給システム。
【請求項７】
前記容器内において、鉛直方向に往復移動する軸部材と、
鉛直方向に並べて配置され、かつ前記軸部材の往復移動に伴って伸縮する第１ベローズ及び第２ベローズと、
を有し、前記ポンプ室は、
前記第１ベローズの外周面を囲む空間により形成される第１ポンプ室と、
前記第２ベローズの外周面を囲む空間により形成される第２ポンプ室と、
からなり、
前記熱抵抗層は、
前記第１ポンプ室内において前記第１ベローズの外周面を囲む空間の内壁面と、
前記第２ポンプ室内において前記第２ベローズの外周面を囲む空間の内壁面と、
に形成されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の液体供給システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を供給する液体供給システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
循環流路に対して液体を循環させる液体供給システムとして、ベローズにより形成されたポンプ室を有するベローズポンプを用いたものが知られている（特許文献１参照）。このシステムは、鉛直上下方向に並べられた２つのポンプ室を有し、各ポンプ室を構成するベローズは、アクチュエータによって上下方向に駆動される軸に固定され、軸の運動に連動して上下方向に伸縮する。【０００３】
ポンプ装置の全体は断熱のために真空容器に収容され、真空容器の上方にアクチュエータが設置される。ポンプ装置に外部から液体を供給する吸入管と、ポンプ装置からの液体を外部へ排出する送出管は、断熱のために外気からできるだけ離した位置でポンプ装置に接続することが望ましい。そのため、吸入管及び送出管は、真空容器の上方から真空容器内に入り、ポンプ装置より低い位置まで延び、Ｕ字形状でポンプ装置の底部の開口に接続される。ポンプ装置と接続される配管をこのような形状にすることで、外部からの熱に対する高い断熱性能が実現される。このような構成のベローズポンプは、液体窒素や液体ヘリウム等の超低温液体を超伝導機器等の被冷却装置に供給する用途で好適に用いられる。【０００４】
ところで、常温環境下で組み立てられたりメンテナンスされたりしたベローズポンプを低温液体の供給に用いるべく稼働させる場合、まずポンプ装置の構成部材を常温から低温液体の温度まで冷却する工程が必要になる。構成部材の温度が高いとベローズ室内で低温液体が蒸発し、気液混合状態となり、ポンプが適切に作動しないからである。ポンプ装置を冷却する方法としては、ポンプ装置に低温液体を流し込んで構成部材と低温液体との間で熱交換を行わせ、徐々に構成部材の温度を下げていく方法がある。この方法では、ポンプ装置の底部から流入した低温液体は、まず下部のベローズポンプ室、次いで上部のベローズポンプ室、といったように徐々にポンプ装置内を満たしていき、低温液体の水位が上昇していく。しかしながら、この冷却方法でベローズポンプを稼働可能な温度まで冷却するためには長大な時間を要するという課題がある。【０００５】
その理由は、ポンプ装置内の低温液体の水位が低い状態では、ポンプ構成部材と低温液体との接液面積が小さいため、冷却工程の初期では冷却効率が低い。また、ポンプ構成部材の温度が高い状態では、低温液体が蒸発してポンプ室内にガスが滞留し、低温液体の流入を阻害する。また、２つのベローズポンプ室が上下に並べられた構成のため、上のポンプ室を第１ポンプ室、下のポンプ室を第２ポンプ室とすると、ポンプ装置に流し込まれた液体が第２ポンプ室の排出口から流出してしまい、第２ポンプ室の排出口の高さより上に水位が上昇しにくい。そのため、第２ポンプ室の排出口より上に第１ポンプ室がある場合、第１ポンプ室の冷却に時間がかかる。また、ポンプ構成部材は高吐出圧を得るために高剛性の金属材料が用いられるが、熱伝導率の高い金属の表面に低温液体が接すると、低温液体が気化して生じたガスにより金属の表面が覆われる。この現象は膜沸騰と呼ばれる。この金属表面に形成されるガス層が断熱層として作用し、低温液体とポンプ構成部材との熱伝達を阻害する。特許文献２には、ポンプ室の摺動箇所に摩擦抵抗の低減（摺動性の向上）を目的としてＰＴＦＥ（polytetrafluoroethylene）をコーティングした構成が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２０１６／００６６４８号
【特許文献２】特開２０１２−１９３６６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、効率良く冷却することが可能な液体供給システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
すなわち、本発明の液体供給システムは、
内部にポンプ室が備えられ、かつ流体の吸入口及び送出口が設けられている容器と、前記吸入口から流入する液体を前記ポンプ室に供給する供給通路と、前記ポンプ室から排出される液体を前記送出口へ導く排出通路と、を有する液体供給システムであって、
前記液体供給システムにおいて前記液体と接する壁面に、前記壁面を構成する部材より熱伝導率が低い材料による熱抵抗層を形成したことを特徴とする。【０００９】
本発明によれば、液体供給システムを構成する部材と流体との温度差が大きい状況（例えば、常温の液体供給システムに低温液体を流し込むことで冷却するような場合）において、熱抵抗層が形成された部位では、低温液体とシステム構成部材とが直接接触する場合と比較して、低温液体とシステム構成部材との間の熱伝導率が低い。そのため、接液している熱抵抗層表面からシステム構成部材の内部への温度勾配が大きくなる。すなわち、熱抵抗層表面の接液面と、熱抵抗層と構成部材との界面と、の間で大きな温度差が生じる。これにより、構成部材の内部の温度が比較的高い（例えば常温近傍）場合でも、接液している熱抵抗層表面の温度は比較的低い（例えば低温液体の温度近傍）状態となる。従って、熱抵抗層表面において低温液体の沸騰が穏やかに進行する。沸騰が穏やかに進行するため、熱抵抗層表面に生じる沸騰した液体のガスによる気泡が細かくなる。これにより、熱抵抗層表面に大きな気泡によるガス層が形成されることが抑制される。熱抵抗層表面に断熱効果を示すガス層が形成されにくくなるため、ガス層によって液体と構成部材との熱伝導が阻害されにくくなる。従って、低温液体と構成部材との間の熱交換が効率良く行われる。従って、低温液体を流し込むことにより液体供給システムを効率良く冷却することができる。本発明によれば、常温環境下にある液体供給システムを冷却する工程に要する時間を短縮できるので、システムの設置作業やメンテナンス作業の工数増加を抑制できる。また、冷却工程における低温液体の消費量を抑制できる。【００１０】
前記熱抵抗層は、被覆膜により形成されてもよい。
これにより、簡易な構成で熱抵抗層を形成することができる。【００１１】
前記被覆膜は、膜部材を複数並べて形成されてもよい。
これにより、単一の膜ではなく複数の膜部材により被覆膜が形成されるため、被覆膜に生じる熱収縮等に起因する応力が大きくなることを抑制できる。従って、被覆膜が壁面から剥離することを抑制できる。【００１２】
前記熱抵抗層は、前記ポンプ室内で前記液体と接する内壁面に設けられてもよい。
これにより、熱抵抗層が設けられたポンプ室の内壁面では、低温液体の沸騰が穏やかに進行する。よって、ポンプ室の内壁面には、沸騰した低温気体のガスによる大きな気泡が形成されにくくなり、内壁面にガス層が形成されることを抑制できる。従って、低温液体とポンプ室の構成部材との熱交換がより効率良く行われる。従って、低温液体を流し込むことによりポンプ室を効率良く冷却することができる。本発明によれば、ポンプ室を効率的に冷却することができるため、ポンプ室に低温液体のガスが滞留する状況を早期に解消でき、液体供給システムの稼働のための冷却工程に要する時間を短縮することができる。【００１３】
前記熱抵抗層は、前記供給通路及び前記排出通路の内壁面に設けられてもよい。
これにより、液体供給システムを構成する部材をより効率良く冷却することができる。【００１４】
前記熱抵抗層が形成される壁面は金属材料で構成され、
前記熱抵抗層は、膜厚０．２ｍｍのＰＴＦＥにより形成されるとよい。
実験により、金属材料で構成される壁面に膜厚０．２ｍｍのＰＴＦＥにより熱抵抗層を形成すると、熱抵抗層を形成しない場合よりも約２倍の冷却速度が得られた。【００１５】
本発明は、ベローズポンプを備える液体供給システムに適用できる。すなわち、
前記容器内において、鉛直方向に往復移動する軸部材と、
鉛直方向に並べて配置され、かつ前記軸部材の往復移動に伴って伸縮する第１ベローズ及び第２ベローズと、
を有し、前記ポンプ室は、
前記第１ベローズの外周面を囲む空間により形成される第１ポンプ室と、
前記第２ベローズの外周面を囲む空間により形成される第２ポンプ室と、
からなり、
前記熱抵抗層は、
前記第１ポンプ室内において前記第１ベローズの外周面を囲む空間の内壁面と、
前記第２ポンプ室内において前記第２ベローズの外周面を囲む空間の内壁面と、
に形成される構成としてもよい。【００１６】
このような構成の液体供給システムによれば、第１ポンプ室内及び第２ポンプ室内の壁面において低温液体が穏やかに沸騰するため、断熱効果を有するガス層が壁面に形成されるのを抑制でき、低温液体による第１ポンプ室及び第２ポンプ室の冷却を効率良く行うことができる。従って、液体供給システムを稼働させるための冷却工程に要する時間を短縮することができる。【００１７】
なお、上記各構成は、可能な限り組み合わせて採用し得る。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、本発明の液体供給システムは、効率良く冷却することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は本発明の実施例に係る液体供給システムの概略構成図である。
【図２】図２は本発明の実施例に係る熱抵抗層の作用を説明する模式図である。
【図３】図３は本発明の実施例に係る熱抵抗層の構成例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【００２１】
（実施例）
図１及び図２を参照して、本発明の実施例に係る液体供給システムについて説明する。本実施例に係る液体供給システムは、例えば、超電導機器を超低温状態に維持させるために好適に用いることができる。すなわち、超電導機器においては、超電導コイルなどを常時冷却させる必要がある。そこで、超電導コイルなどが備えられた被冷却装置に超低温の液体（液体窒素や液体ヘリウム）を常時供給することで、被冷却装置は常時冷却される。より具体的には、被冷却装置を通る循環流路を設け、かつ、この循環流路中に本実施例に係る液体供給システムを取り付けることにより、超低温の液体を循環させて、被冷却装置を常時冷却させることが可能となる。
【００２２】
＜液体供給システムの全体構成＞
図１は本発明の実施例に係る液体供給システム全体の概略構成図であり、液体供給システム全体の概略構成を断面的に示した図である。本実施例に係る液体供給システム１０は、液体供給システム本体（以下、システム本体１００と称する）と、システム本体１００が内部に設置される真空容器２００と、配管（吸入管３１０及び送出管３２０）とを備えている。吸入管３１０及び送出管３２０は、いずれも真空容器２００の外部から真空容器２００の内部に入り込み、システム本体１００に接続されている。真空容器２００の内部は密閉されており、真空容器２００の内部のうち、システム本体１００，吸入管３１０及び送出管３２０の外側の空間は真空状態が維持されている。これにより、この空間は断熱機能を備えている。液体供給システム１０は、通常、水平面上に設置される。液体供給システム１０が設置された状態において、図１における上方が鉛直方向上方となり、図１における下方が鉛直方向下方となる。
【００２３】
システム本体１００は、駆動源となるリニアアクチュエータ１１０と、リニアアクチュエータ１１０により鉛直方向に往復移動する軸部材１２０と、容器１３０とを備えている。なお、リニアアクチュエータ１１０は任意の箇所に固定され、固定される箇所は容器１３０でもよいし、他の図示しない箇所でもよい。容器１３０は、ケース部１３１を備えている。軸部材１２０は、容器１３０の外部から、ケース部１３１の天井部に設けられた開口部１３１ａを介して容器内部に入り込むように設置されている。また、ケース部１３１の底部には、流体の吸入口１３１ｂ及び送出口１３１ｃが設けられている。上記の吸入管３１０は吸入口１３１ｂが設けられた位置に接続され、送出管３２０は、送出口１３１ｃが設けられた位置に接続されている。
【００２４】
ケース部１３１の内部においては、複数の部材が備えられており、これら複数の部材により区画された複数の空間によって、複数のポンプ室と、液体の流路と、断熱用の真空室が形成されている。以下、このケース部１３１の内部の構成について、より詳細に説明する。
【００２５】
軸部材１２０は、内部に中空部を有する軸本体部１２１と、軸本体部１２１の外周面側を囲むように設けられる円筒部１２２と、軸本体部１２１と円筒部１２２を連結する連結部１２３とを有している。また、円筒部１２２の上端には上端側外向きフランジ部１２２ａが設けられ、円筒部１２２の下端には下端側外向きフランジ部１２２ｂが設けられている。
【００２６】
ケース部１３１は、略円筒状の胴体部１３１Ｘと、底板部１３１Ｙとを備えている。また、胴体部１３１Ｘには、高さ方向の中央付近に設けられる第１内向きフランジ部１３１Ｘａと、上方に設けられる第２内向きフランジ部１３１Ｘｂとが設けられている。
【００２７】
胴体部１３１Ｘの内部には、第１内向きフランジ部１３１Ｘａよりも下方に備えられ、軸方向に延びる第１流路１３１Ｘｃが、周方向に間隔を空けて複数形成されている。また、胴体部１３１Ｘの内部には、第１流路１３１Ｘｃが設けられている領域よりも更に径方向外側において、軸方向に伸びる円筒状の空間で構成された第２流路１３１Ｘｄも設けられている。また、ケース部１３１の底部には、径方向外側に向かって伸び、第１流路１３１Ｘｃに繋がる流路１３１ｄが円周状に一様に形成されている。更に、ケース部１３１における底板部１３１Ｙには、径方向外側に向かって伸びる流路１３１ｅが円周状に一様に形成されている。つまり、これらの流路１３１ｄ及び流路１３１ｅは、中心軸線側から径方向外側に向かって、放射状に３６０°全ての方向に液体が流れ得るように構成されている。
【００２８】
また、容器１３０の内部には、軸部材１２０の往復移動に伴って伸縮する第１ベローズ１４１及び第２ベローズ１４２が設けられている。これらの第１ベローズ１４１及び第２ベローズ１４２は、鉛直方向に並べて配置されている。第１ベローズ１４１の上端側は軸部材１２０における円筒部１２２の上端側外向きフランジ部１２２ａに固定されており、第１ベローズ１４１の下端側はケース部１３１の第１内向きフランジ部１３１Ｘａに固定されている。また、第２ベローズ１４２の上端側はケース部１３１の第１内向きフランジ部１３１Ｘａに固定されており、第２ベローズ１４２の下端側は軸部材１２０における円筒部１２２の下端側外向きフランジ部１２２ｂに固定されている。そして、第１ベローズ１４１の外周面を囲む空間により第１ポンプ室Ｐ１が形成されており、第２ベローズ１４２の外周面を囲む空間により第２ポンプ室Ｐ２が形成されている。
【００２９】
また、容器１３０の内部には、軸部材１２０の往復移動に伴って伸縮する第３ベローズ１５１及び第４ベローズ１５２も設けられている。第３ベローズ１５１の上端側はケース部１３１の天井部に固定されており、第３ベローズ１５１の下端側は軸部材１２０に固定されている。これにより、ケース部１３１に設けられた開口部１３１ａが塞がれている。第４ベローズ１５２の上端側はケース部１３１に設けられた第２内向きフランジ部１３１Ｘｂに固定されており、第４ベローズ１５２の下端側は軸部材１２０における連結部１２３に固定されている。そして、軸部材１２０の軸本体部１２１の内部の中空部により形成される第１空間Ｋ１と、第３ベローズ１５１の外周面側及び第４ベローズ１５２の内周面側などにより形成される第２空間Ｋ２と、第１ベローズ１４１及び第２ベローズ１４２の内周面側と円筒部１２２の外周面側により形成される第３空間Ｋ３は繋がっている。これら第１空間Ｋ１と第２空間Ｋ２と第３空間Ｋ３により形成される空間は密閉されている。本実施例では、これらにより形成される密閉空間は真空状態が維持されており、断熱機能を備えている。
【００３０】
更に、容器１３０の内部には、４つの逆止弁１６０（取り付けられた位置に応じて、適宜、第１逆止弁１６０Ａ，第２逆止弁１６０Ｂ，第３逆止弁１６０Ｃ及び第４逆止弁１６０Ｄと称する）が設けられている。また、第１逆止弁１６０Ａと第２逆止弁１６０Ｂは、第１ポンプ室Ｐ１及び第２ポンプ室Ｐ２を介してリニアアクチュエータ１１０とは反対側（鉛直方向下方側）に配置されている。そして、第３逆止弁１６０Ｃと第４逆止弁１６０Ｄは、第１逆止弁１６０Ａと第２逆止弁１６０Ｂよりも鉛直方向上方側に配置されている。
【００３１】
また、第１逆止弁１６０Ａと第３逆止弁１６０Ｃは、第１ポンプ室Ｐ１を通る流路上に設けられている。これら第１逆止弁１６０Ａ及び第３逆止弁１６０Ｃは、第１ポンプ室Ｐ１によるポンプ作用によって流れる流体の逆流を止める役割を担っている。より具体的には、第１ポンプ室Ｐ１に対して、上流側に第１逆止弁１６０Ａが設けられ、下流側に第３逆止弁１６０Ｃが設けられている。更に具体的には、第１逆止弁１６０Ａは、ケース部１３１の底部に形成された流路１３１ｄ上に設けられている。また、第３逆止弁１６０Ｃは、ケース部１３１に設けられた第２内向きフランジ部１３１Ｘｂの付近に形成される流路上に設けられている。
【００３２】
そして、第２逆止弁１６０Ｂと第４逆止弁１６０Ｄは、第２ポンプ室Ｐ２を通る流路上に設けられている。これら第２逆止弁１６０Ｂ及び第４逆止弁１６０Ｄは、第２ポンプ室Ｐ２によるポンプ作用によって流れる流体の逆流を止める役割を担っている。より具体的には、第２ポンプ室Ｐ２に対して、上流側に第２逆止弁１６０Ｂが設けられ、下流側に第４逆止弁１６０Ｄが設けられている。更に具体的には、第２逆止弁１６０Ｂは、ケース部１３１の底板部１３１Ｙに形成された流路１３１ｅ上に設けられている。また、第４逆止弁１６０Ｄは、ケース部１３１の第１内向きフランジ部１３１Ｘａの付近に形成された流路上に設けられている。
【００３３】
＜液体供給システム全体の動作説明＞
液体供給システム全体の動作について説明する。リニアアクチュエータ１１０によって、軸部材１２０が下降する際においては、第１ベローズ１４１は縮み、第２ベローズ１４２は伸びる。このとき、第１ポンプ室Ｐ１の流体圧力は低くなるため、第１逆止弁１６０Ａは弁が開き、第３逆止弁１６０Ｃは弁が閉じた状態となる。これにより、液体供給システム１０の外部から吸入管３１０により送られる流体（矢印Ｓ１０参照）は、吸入口１３１ｂから容器１３０内に吸入されて、第１逆止弁１６０Ａを通り抜けていく（矢印Ｓ１１参照）。そして、第１逆止弁１６０Ａを通り抜けた流体は、ケース部１３１における胴体部１３１Ｘの内部の第１流路１３１Ｘｃを通り、第１ポンプ室Ｐ１へと送られる。また、第２ポンプ室Ｐ２の流体圧力は高くなるため、第２逆止弁１６０Ｂは弁が閉じ、第４逆止弁１６０Ｄは弁が開いた状態となる。これにより、第２ポンプ室Ｐ２内の流体は、第４逆止弁１６０Ｄを通り抜けて、胴体部１３１Ｘの内部の第２流路１３１Ｘｄへと送られる（矢印Ｔ１２参照）。その後、流体は、送出口１３１ｃを通り、送出管３２０により液体供給システム１０の外部へと送出される。
【００３４】
そして、リニアアクチュエータ１１０によって、軸部材１２０が上昇する際においては、第１ベローズ１４１は伸び、第２ベローズ１４２は縮む。このとき、第１ポンプ室Ｐ１の流体圧力は高くなるため、第１逆止弁１６０Ａは弁が閉じ、第３逆止弁１６０Ｃは弁が開いた状態となる。これにより、第１ポンプ室Ｐ１内の流体は、第３逆止弁１６０Ｃを通り抜けて（矢印Ｔ１１参照）、胴体部１３１Ｘの内部の第２流路１３１Ｘｄへと送られる。その後、流体は、送出口１３１ｃを通り、送出管３２０により液体供給システム１０の外部へと送出される。また、第２ポンプ室Ｐ２の流体圧力は低くなるため、第２逆止弁１６０Ｂは弁が開き、第４逆止弁１６０Ｄは弁が閉じた状態となる。これにより、液体供給システム１０の外部から吸入管３１０により送られる流体（矢印Ｓ１０参照）は、吸入口１３１ｂから容器１３０内に吸入されて、第２逆止弁１６０Ｂを通り抜けていく（矢印Ｓ１２参照）。そして、第２逆止弁１６０Ｂを通り抜けた流体は、第２ポンプ室Ｐ２へと送られる。
【００３５】
以上のように、本実施例に係る液体供給システム１０においては、軸部材１２０が下降する際及び上昇する際のいずれにおいても、吸入管３１０側から送出管３２０側に流体を流すことができる。従って、いわゆる脈動を抑制することができる。
【００３６】
＜液体供給システムの冷却＞
本実施例に係る液体供給システム１０を、液体窒素や液体ヘリウム等の超低温液体の循環に使用する場合、常温環境下にある液体供給システム１０を、稼働前に作動流体である低温液体と同程度の温度まで冷却する必要がある。本実施例では、システム稼働時に流通させる低温液体と同じ液体をシステム冷却用に用いる。なお、システム冷却用の液体と、システム稼働時に流通させる液体とは異なるものであってもよい。
【００３７】
システム冷却は、吸入管３１０から低温流体を流し込み、液体供給システム１０の構成部材であるケース部１３１等と低温液体との間で熱交換を行わせ、徐々に構成部材の温度を下げていくことで行う。本実施例では、容器１００の底部に吸入口１３１ｂ及び送出口１３１ｃが設けられているため、冷却工程において流し込まれた低温液体は、まず第２ポンプ室Ｐ２、次いで第１ポンプ室Ｐ１の順に徐々にシステム内を満たしていき、低温液体の水位が上昇していく。水位の上昇に伴い、冷却用の低温液体と熱交換する構成部材が増加していき、システムの下部から上部へと冷却が進んでいく。
【００３８】
＜熱抵抗層＞
図１〜図３を参照して、本実施例に係る熱抵抗層について説明する。図２（Ａ）は、図１のＡ部の拡大図である。図２（Ｂ）は、図２（Ａ）において熱抵抗層が存在しない場合を示す比較例である。図２（Ａ）は、簡単のため第１ベローズ１４１及び第１ポンプ室Ｐ１の内壁１３１Ｘｅの部分のみを示す。図３は熱抵抗層の被覆方法の例を示す図である。
【００３９】
第１ポンプ室Ｐ１は、第１ベローズ１４１の外周面と、第１ベローズ１４１に対向する内壁１３１Ｘｅの壁面１８０と、により囲まれる空間である。内壁１３１Ｘｅは、第１ポンプ室Ｐ１を流れる液体と接し、かつ、ケース部１３１の一部であり、システム本体１００を構成する部材と熱交換する。内壁１３１Ｘｅの壁面１８０には、図２（Ａ）に示すように、熱抵抗層５００が設けられている。本実施例では、内壁１３１Ｘｅは金属材料で形成され、熱抵抗層５００は、金属材料より熱伝導率の低いＰＴＦＥの膜を壁面１８０に被覆することにより形成される。ＰＴＦＥの膜厚は０．２ｍｍである。なお、熱抵抗層５００は接着剤により本体１００を構成する部材に接着されていてもよいし、他の弾性部材の弾性力により本体１００を構成する部材に固定されていてもよい。
【００４０】
第２ポンプ室Ｐ２においても、同様の熱抵抗層が設けられる。すなわち、第２ポンプ室Ｐ２において、第２ベローズ１４２に対向する内壁１３１Ｘｆの壁面１８１には、ＰＴＦＥの被覆膜が熱抵抗層として設けられる。
【００４１】
本実施例では、ＰＴＦＥによる被覆膜で構成される熱抵抗層５００を、図３（Ｂ）に示すように、複数のＰＴＦＥによる比較的小さいサイズの矩形の膜部材６００をタイル状に内壁面に並べて形成する。これにより、熱収縮等に起因する応力が大きくなることを抑制でき、被覆膜が内壁面から剥離することを抑制できる。なお、図３（Ａ）に示すように、単一の膜部材６０１によりＰＴＦＥによる被覆膜を形成し熱抵抗層５００を構成しても良い。また、複数の膜部材を並べて被覆膜を形成する場合、各膜部材の形状は図３（Ｂ）に示すような矩形に限らない。
【００４２】
＜本実施例に係る液体供給システムの優れた点＞
図２（Ｂ）は、金属材料で形成される内壁面にＰＴＦＥの被覆膜による熱抵抗層が形成されていない場合を示す。金属は熱伝導率が高いため、システム冷却時に常温の金属と超低温の液体とが接触すると、内壁面において低温液体が急激に沸騰し、発生したガスにより大きな気泡５０２が生じ、内壁面にガス層が形成されてしまう。また、気泡が移動し、ガス層がない箇所で再度接液しても、熱伝導率が高いため、内壁の内部の熱が直ぐに金属表面に伝わり、再度大きな気泡５０２が生じてしまい、常に内壁面にガス層が形成されてしまう。このガス層が断熱効果を有し、低温液体と内壁との熱伝導を阻害するため、金属材料で形成される内壁等のシステム構成部材の冷却に時間がかかってしまう。
【００４３】
本実施例では、図２（Ａ）に示すように、金属で構成される内壁１３１Ｘｅの壁面１８０に熱抵抗層５００としてＰＴＦＥの被覆膜を形成した。ＰＴＦＥは熱伝導率が金属より低い。そのため、接液している熱抵抗層５００の表面１８０ａから金属の構成部材である内壁１３１Ｘｅの内部への温度勾配が大きくなる。すなわち、金属と比較してＰＴＦＥの方が内壁１３１Ｘｅの持つ熱を緩やかに、少しずつ接液面に伝える。これにより、内壁１３１Ｘｅの温度が比較的高い（例えば常温近傍）場合でも、接液している熱抵抗層５００の表面１８０ａの温度は比較的低い（例えば低温液体の温度近傍）状態となる。従って、内壁１３１Ｘｅと低温液体とで少しずつ熱交換が行われ、熱抵抗層５００の表面１８０ａにおいて低温液体の沸騰が穏やかに進行する。沸騰が穏やかに進行するため、熱抵抗層５００の表面１８０ａに生じる沸騰した液体のガスによる気泡５０１は細かくなる。
【００４４】
これにより、図２（Ｂ）に示すような金属表面に直接接液する場合のように、大きな気泡５０２によるガス層が形成されることが抑制される。熱抵抗層５００の表面１８０ａに断熱効果を示すガス層が形成されにくくなるため、ガス層によって液体と構成部材との熱伝導が阻害されにくくなる。従って、低温液体と構成部材との間の熱交換が効率良く行われる。従って、低温液体を流し込むことによるシステム冷却を効率良く行うことができる。よって、常温環境下にある液体供給システムを稼働のために冷却するための工程に要する時間を短縮でき、システムの設置作業やメンテナンス作業の工数増加を抑制できる。また、冷却工程における低温液体の消費量を抑制できる。第２ポンプ室Ｐ２においても、同様の熱抵抗層が設けられることにより、内壁面にガス層が生じることを抑制でき、低温液体と構成部材との間の効率の良い熱交換が可能となる。
【００４５】
（その他）
本実施例では、熱抵抗層が、第１ポンプ室Ｐ１及び第２ポンプ室Ｐ２をそれぞれ構成する内壁１３１Ｘｅ及び内壁１３１Ｘｆそれぞれの壁面１８０及び壁面１８１に設けられる例を説明したが、熱抵抗層は、システム本体１００の構成部材と熱交換し、かつ低温液体と接する部位であれば、その他のどの部分に設けられていても良い。例えば、ポンプ室に液体を導く流路の内壁面にも熱抵抗層が設けられてもよい。具体的には、第１ポンプ室Ｐ１の入口４０１に接続される供給通路の内壁面、第１ポンプ室Ｐ１の出口４０２に接続される排出通路の内壁面、第２ポンプ室Ｐ２の入口４０３に接続される供給通路の内壁面、第２ポンプ室Ｐ２の出口４０４に接続される排出通路の内壁面にも、熱抵抗層としてＰＴＦＥの被覆膜が設けられてもよい。また、本実施例では熱抵抗層としてＰＴＦＥを設ける例を説明したが、熱抵抗層を形成する材料は、冷却対象であるポンプ室等の内壁面を構成する材料（例えば金属）より熱伝導率が低い材料であれば、ＰＴＦＥに限定されない。
【００４６】
本実施例では、ベローズの外周面を囲むポンプ室が２つ鉛直方向上下（ベローズ伸縮方向）に直列に配置されたベローズポンプを有する液体供給システムに本発明を適用した例を説明したが、本発明が適用可能な液体供給システムはこれに限定されない。本発明は流体を吸入して送出するポンプ一般に適用でき、ポンプ室において液体と接する内壁面のうち、ポンプ室（又は液体供給システム本体）の構成部材と熱交換する部位に接液面積を増加させる表面積増加構造を設けることにより、上述した実施例と同等の効果が得られる。
【００４７】
本実施例においては、真空容器２００の内部のうち、システム本体１００，吸入管３１０及び送出管３２０の外側を真空状態にして断熱機能を備えさせる構成を採用している。また、本実施例においては、第１空間Ｋ１と第２空間Ｋ２と第３空間Ｋ３により形成される密閉空間を真空状態にして断熱機能を備えさせる構成を採用している。しかしながら、これらの空間にも超低温液体を流すことで、循環流路を流れる流体の温度を低温に維持させることも可能である。
【符号の説明】
【００４８】
１０  液体供給システム
１００  システム本体
１１０  リニアアクチュエータ
１２０  軸部材
１２１  軸本体部
１２２  円筒部
１２２ａ  上端側外向きフランジ部
１２２ｂ  下端側外向きフランジ部
１２３  連結部
１３０  容器
１３１  ケース部
１３１ａ  開口部
１３１ｂ  吸入口
１３１ｃ  送出口
１３１ｄ  流路
１３１ｅ  流路
１３１Ｘ  胴体部
１３１Ｘａ  第１内向きフランジ部
１３１Ｘｂ  第２内向きフランジ部
１３１Ｘｃ  第１流路
１３１Ｘｄ  第２流路
１３１Ｘｅ  内壁
１３１Ｘｆ  内壁
１３１Ｙ  底板部
１４１  第１ベローズ
１４２  第２ベローズ
１５１  第３ベローズ
１５２  第４ベローズ
１６０  逆止弁
１６０Ａ  第１逆止弁
１６０Ｂ  第２逆止弁
１６０Ｃ  第３逆止弁
１６０Ｄ  第４逆止弁
１８０  壁面
１８０ａ  熱抵抗層の表面
１８１  壁面
１９０  内壁面
２００  真空容器
３１０  吸入管
３２０  送出管
４０１  第１ポンプ室入口
４０２  第１ポンプ室出口
４０３  第２ポンプ室入口
４０４  第２ポンプ室出口
５００  熱抵抗層
５０１  気泡
５０２  気泡
６００  膜部材
６０１  膜部材
Ｐ１  第１ポンプ室
Ｐ２  第２ポンプ室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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