(57)【要約】  本発明は、ケイ素を含む表面領域を簡便に、高選択的かつ高密度に修飾することができる基材表面の選択的修飾方法及び組成物の提供を目的とする。本発明は、ケイ素を含む第１領域を表層に有する基材を準備する工程と、上記基材の表面に、上記ケイ素と結合する第１官能基を含む基を主鎖又は側鎖の末端に有する第１重合体及び溶媒を含有する組成物を塗工する工程と、上記塗工工程により形成される塗膜を加熱する工程とを備える基材表面の選択的修飾方法である。上記第１領域は、ケイ素酸化物、ケイ素窒化物又はケイ素酸化物窒化物を含むことが好ましい。上記基材は、第１領域以外の領域であって、金属を含む第２領域をさらに有し、上記加熱工程の後に、上記塗膜のうち上記第２領域上に形成された部分をリンス液により除去する工程をさらに備えることが好ましい。
2018043305.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケイ素を含む第１領域を表層に有する基材を準備する工程と、
上記基材の表面に、上記ケイ素と結合する第１官能基を含む基を主鎖又は側鎖の末端に有する第１重合体及び溶媒を含有する組成物を塗工する工程と、
上記塗工工程により形成される塗膜を加熱する工程と
を備える基材表面の選択的修飾方法。
【請求項２】
上記第１領域が、ケイ素酸化物、ケイ素窒化物又はケイ素酸化物窒化物を含む請求項１に記載の選択的修飾方法。
【請求項３】
上記基材が、第１領域以外の領域であって、金属を含む第２領域をさらに有し、
上記加熱工程の後に、上記塗膜のうち上記第２領域上に形成された部分をリンス液により除去する工程
をさらに備える請求項１又は請求項２に記載の基材表面の選択的修飾方法。
【請求項４】
上記第１重合体のポリスチレン換算数平均分子量が、５００以上５０，０００以下である請求項１、請求項２又は請求項３に記載の基材表面の選択的修飾方法。
【請求項５】
上記第１官能基が、−ＳｉＲｘ（ＯＲ’）３−ｘであり、Ｒ及びＲ’が、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数１〜２０の１価の炭化水素基、ｘが０〜３の整数であるが、ただし、Ｒが複数存在する場合、複数のＲは同一でも異なっていてもよく、Ｒ’が複数存在する場合、複数のＲ’は同一でも異なっていてもよい請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基材表面の選択的修飾方法。
【請求項６】
上記第１重合体が、スチレン重合体、（メタ）アクリル重合体、エチレン重合体、シロキサン系重合体、又はこれらを組み合わせた共重合体である請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の基材表面の選択的修飾方法。
【請求項７】
上記第１重合体が、上記第１官能基を含む基を主鎖の一方の末端に有する請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の基材表面の選択的修飾方法。
【請求項８】
上記除去工程後の基材の表面に、アルコール、希酸、過酸化水素水、オゾン又はプラズマを接触させる工程
をさらに備える請求項３に記載の基材表面の選択的修飾方法。
【請求項９】
上記除去工程後の基材の表面に、ＣＶＤ法又はＡＬＤ法によりパターンを堆積させる工程
をさらに備える請求項３に記載の基材表面の選択的修飾方法。
【請求項１０】
上記除去工程後の基材の表面上の上記第１重合体をエッチングにより除去する工程
をさらに備える請求項３に記載の基材表面の選択的修飾方法。
【請求項１１】
基材表面の選択的修飾方法に用いられる組成物であって、
ケイ素と結合を形成する第１官能基を含む基を主鎖又は側鎖の末端に有する重合体と溶媒とを含有することを特徴とする組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材表面の選択的修飾方法及び組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスのさらなる微細化に伴い、３０ｎｍを切る微細パターンを形成する技術が要求されている。しかし、従来のリソグラフィーによる方法では、光学的要因等により技術的に困難になってきている。【０００３】
そこで、いわゆるボトムアップ技術を用いて微細パターンを形成することが検討されている。このボトムアップ技術としては、重合体の自己組織化を利用する方法の他、微細な領域を表層に有する基材を選択的に修飾する方法が検討されるようになってきている。この選択的修飾方法には、簡便かつ高選択的に表面領域を修飾することができる材料が必要であり、種々のものが検討されている。（特開２０１６−２５３５５号公報、特開２００３−７６０３６号公報、ＡＣＳ  Ｎａｎｏ，９，９，８７１０，２０１５、ＡＣＳ  Ｎａｎｏ，９，９，８６５１，２０１５、Ｓｃｉｅｎｃｅ，３１８，４２６，２００７及びＬａｎｇｍｕｉｒ，２１，８２３４，２００５参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−２５３５５号公報
【特許文献２】特開２００３−７６０３６号公報
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】ＡＣＳ  Ｎａｎｏ，９，９，８７１０，２０１５
【非特許文献２】ＡＣＳ  Ｎａｎｏ，９，９，８６５１，２０１５
【非特許文献３】Ｓｃｉｅｎｃｅ，３１８，４２６，２００７
【非特許文献４】Ｌａｎｇｍｕｉｒ，２１，８２３４，２００５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記従来の材料では、低分子材料ゆえ、既存プロセスでのスピンコート法では塗布できず、効率の悪いＬａｎｇｍｕｉｒ−Ｂｌｏｄｇｅｔｔ法を用いる必要があり、耐熱性に劣るという不都合がある。そのため、粘度が大きく、耐熱性を有する高分子材料を用いることが望ましい。一方で、高分子材料は立体障害が大きいため、効率よく基材表面を修飾することはできておらず、また、十分な選択性を簡単に見い出すことができる手法は未だ知られていない。【０００７】
本発明は、上述のような事情に基づいてなされたものであり、その目的は、ケイ素を含む表面領域を簡便に、高選択的かつ高密度に修飾することができる基材表面の選択的修飾方法及び組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するためになされた発明は、ケイ素を含む第１領域を表層に有する基材を準備する工程と、上記基材の表面に、上記ケイ素と結合する第１官能基を含む基を主鎖又は側鎖の末端に有する第１重合体及び溶媒を含有する組成物を塗工する工程と、上記塗工工程により形成される塗膜を加熱する工程とを備える基材表面の選択的修飾方法である。【０００９】
上記課題を解決するためになされた別の発明は、基材表面の選択的修飾方法に用いられる組成物であって、ケイ素と結合を形成する第１官能基を含む基を主鎖又は側鎖の末端に有する重合体と溶媒とを含有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の基材表面の選択的修飾方法及び組成物によれば、ケイ素を含む表面領域を簡便に、高選択的かつ高密度に修飾することができる。従って、当該基材表面の選択的修飾方法及び組成物は、今後ますます微細化が進行すると予想される半導体デバイスの加工プロセス等に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】ストライプ状基板を作製するための基板の断面図である。
【図２】選択的表面修飾の評価に用いたストライプ状基板の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、当該基材表面の選択的修飾方法（以下、単に、「選択的修飾方法」という）の実施の形態について詳説する。
【００１３】
＜選択的修飾方法＞
当該選択的修飾方法は、ケイ素を含む第１領域（以下、「領域（Ｉ）」ともいう）を表層に有する基材を準備する工程（以下、「準備工程」ともいう）と、上記基材の表面に、上記ケイ素と結合する第１官能基（以下、「官能基（Ａ）」ともいう）を含む基（以下、「基（Ｉ）」ともいう）を主鎖又は側鎖の末端に有する第１重合体（以下、「［Ａ］重合体」ともいう）及び溶媒（以下、「［Ｂ］溶媒」ともいう）を含有する組成物（以下、「組成物（Ｉ）」ともいう）を塗工する工程（以下、「塗工工程」ともいう）と、上記塗工工程により形成される塗膜を加熱する工程（以下、「加熱工程」ともいう）とを備える。当該選択的修飾方法は、上記基材が、領域（Ｉ）以外の領域であって、金属を含む第２領域（以下、「領域（ＩＩ）」ともいう）をさらに有し、加熱工程の後に、上記塗膜のうち上記領域（ＩＩ）上に形成された部分をリンス液により除去する工程（以下、「除去工程」ともいう）をさらに備えることが好ましい。
【００１４】
当該選択的修飾方法は、例えば
上記除去工程後の基材の表面に、アルコール、希酸、オゾン又はプラズマを接触させる工程（以下、「接触工程」ともいう）、上記除去工程後の基材の表面に、ＣＶＤ法又はＡＬＤ法によりパターンを堆積させる工程（以下、「堆積工程」ともいう）、上記除去工程後の基材の表面上の上記［Ａ］重合体をエッチングにより除去する工程（以下、「エッチング工程」ともいう）等をさらに備えてもよい。以下、各工程について説明する。
【００１５】
［準備工程］
本工程では、ケイ素を含む領域（Ｉ）を表層に有する基材を準備する。領域（Ｉ）としては、ケイ素元素を含む限り、特に限定されない。
【００１６】
領域（Ｉ）中におけるケイ素の含有形態としては、例えばケイ素単体、ケイ素酸化物、ケイ素窒化物、ケイ素酸化物窒化物等が挙げられる。
【００１７】
ケイ素酸化物としては、例えばＳｉＯ２等が挙げられる。
ケイ素窒化物としては、例えばＳｉＮｘ、Ｓｉ３Ｎ４等が挙げられる。
ケイ素酸化物窒化物としては、例えばＳｉＯＮ等が挙げられる。
【００１８】
基材の表層には、通常、領域（Ｉ）以外の領域であって、金属を含む領域（ＩＩ）を有する。
【００１９】
金属としては、金属元素であれば特に限定されない。金属としては、例えば銅、鉄、亜鉛、コバルト、アルミニウム、チタン、スズ、タングステン、ジルコニウム、チタン、タンタル、ゲルマニウム、モリブデン、ルテニウム、金、銀、白金、パラジウム、ニッケル等が挙げられる。これらの中で、銅、コバルト、タングステン及びタンタルが好ましい。
【００２０】
領域（ＩＩ）中における金属の含有形態としては、例えば金属単体、合金、導電性窒化物、金属酸化物、シリサイド等が挙げられる。
【００２１】
金属単体としては、例えば銅、鉄、コバルト、タングステン、タンタル等の金属の単体等が挙げられる。
合金としては、例えばニッケル−銅合金、コバルト−ニッケル合金、金−銀合金等が挙げられる。
導電性窒化物としては、例えば窒化タンタル、窒化チタン、窒化鉄、窒化アルミニウム等が挙げられる。
金属酸化物としては、例えば酸化タンタル、酸化アルミニウム、酸化鉄、酸化銅等が挙げられる。
シリサイドとしては、例えば鉄シリサイド、モリブデンシリサイド等が挙げられる。これらの中で、金属単体、合金、導電性窒化物及びシリサイドが好ましく、金属単体及び導電性窒化物がより好ましく、銅単体、コバルト単体、タングステン単体、タンタル単体及び窒化タンタルがさらに好ましい。
【００２２】
基材の表層における領域（Ｉ）及び／又は領域（ＩＩ）の存在形状としては特に限定されず、例えば平面視で面状、点状、ストライプ状等が挙げられる。領域（Ｉ）及び領域（ＩＩ）の大きさは特に限定されず、適宜所望の大きさの領域とすることができる。
【００２３】
基材の形状としては、特に限定されず、板状（基板）、球状等、適宜所望の形状とすることができる。
【００２４】
［塗工工程］
本工程では、上記基材の表面に、組成物（Ｉ）を塗工する。
【００２５】
組成物（Ｉ）の塗工方法としては、例えばスピンコート法等が挙げられる。
【００２６】
［組成物（Ｉ）］
組成物（Ｉ）は、［Ａ］重合体及び［Ｂ］溶媒を含有する。組成物（Ｉ）は、［Ａ］重合体及び［Ｂ］溶媒以外に他の成分を含有していてもよい。
【００２７】
（［Ａ］重合体）
［Ａ］重合体は、基（Ｉ）を主鎖又は側鎖の末端に有する重合体である。「主鎖」とは、重合体の原子鎖のうち最も長いものをいう。「側鎖」とは、重合体の原子鎖のうち主鎖以外のものをいう。表面修飾する［Ａ］重合体の密度をより高める観点から、［Ａ］重合体は、基（Ｉ）を主鎖の末端に有していることが好ましく、主鎖の一方の末端に有していることがより好ましい。
【００２８】
基（Ｉ）は、ケイ素と結合する官能基（Ａ）を含む基である。官能基（Ａ）は、ケイ素と結合する官能基である。この結合としては、例えば化学結合であり、共有結合、イオン結合、配位結合等が挙げられる。これらの中で、ケイ素−官能基間の結合力がより大きい観点から、共有結合が好ましい。
【００２９】
官能基（Ａ）としては、ケイ素と共有結合等する官能基などが挙げられ、例えば−ＳｉＲｘ（ＯＲ’）３−ｘ、−ＳｉＲｙ（ＯＲ’）２−ｙ−等が挙げられる。Ｒ及びＲ’は、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数１〜２０の１価の炭化水素基である。ｘは、０〜３の整数である。ｙは、０〜２の整数である。ただし、Ｒが複数存在する場合、複数のＲは同一でも異なっていてもよく、Ｒ’が複数存在する場合、複数のＲ’は同一でも異なっていてもよい。
【００３０】
Ｒ及びＲ’で表される炭素数１〜２０の１価の炭化水素基としては、例えば炭素数１〜２０の１価の鎖状炭化水素基、炭素数３〜２０の１価の脂環式炭化水素基、炭素数６〜２０の１価の芳香族炭化水素基等が挙げられる。
【００３１】
Ｒとしては、水素原子、鎖状炭化水素基及び芳香族炭化水素基が好ましく、水素原子、アルキル基及びアリール基がより好ましく、水素原子及びメチル基がさらに好ましい。
Ｒ’としては、水素原子及びアルキル基が好ましく、水素原子及びメチル基がより好ましい。
ｘとしては、０、１及び３が好ましい。ｙとしては、０及び２が好ましい。
【００３２】
官能基（Ａ）としては、ＯＨが結合するケイ素原子を含む基、トリアルコキシシリル及びＨが結合するケイ素原子を含む基が好ましく、ヒドロキシジメチルシリル基、トリメトキシシリルメチル基及びジメチルシリル基がより好ましい。
【００３３】
［Ａ］重合体としては、例えばスチレン重合体、（メタ）アクリル重合体、エチレン重合体、シロキサン系重合体、これらを組み合わせた共重合体（例えば、ランダム共重合体、グラジエント（組成傾斜）共重合体、グラフト共重合体、ブロック共重合体）等が挙げられる。
【００３４】
スチレン重合体は、置換又は非置換のスチレンに由来する構造単位を有する。
【００３５】
置換スチレンとしては、例えばα−メチルスチレン、ｏ−、ｍ−、ｐ−メチルスチレン、ｐ−ｔ−ブチルスチレン、２，４，６−トリメチルスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｐ−ｔ−ブトキシスチレン、ｏ−、ｍ−、ｐ−ビニルスチレン、ｏ−、ｍ−、ｐ−ヒドロキシスチレン、ｍ−、ｐ−クロロメチルスチレン、ｐ−クロロスチレン、ｐ−ブロモスチレン、ｐ−ヨードスチレン、ｐ−ニトロスチレン、ｐ−シアノスチレン等が挙げられる。
【００３６】
（メタ）アクリル重合体は、（メタ）アクリル酸又は（メタ）アクリル酸エステルに由来する構造単位を有する。
【００３７】
（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば
（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル等の（メタ）アクリル酸アルキルエステル；
（メタ）アクリル酸シクロペンチル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸１−メチルシクロペンチル、（メタ）アクリル酸２−エチルアダマンチル、（メタ）アクリル酸２−（アダマンタン−１−イル）プロピル等の（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル；
（メタ）アクリル酸フェニル、（メタ）アクリル酸ナフチル等の（メタ）アクリル酸アリールエステル；
（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシアダマンチル、（メタ）アクリル酸３−グリシジルプロピル、（メタ）アクリル酸３−トリメチルシリルプロピル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチル等の（メタ）アクリル酸置換アルキルエステルなどが挙げられる。
【００３８】
エチレン系重合体は、置換又は非置換のエチレンに由来する構造単位を有する。
【００３９】
置換エチレンとしては、例えば
プロペン、ブテン、ペンテン等のアルケン；
ビニルシクロペンタン、ビニルシクロヘキサン等のビニルシクロアルカン；
シクロペンテン、シクロヘキセン等のシクロアルケン；
４−ヒドロキシ−１−ブテン、ビニルグリシジルエーテル、ビニルトリメチルシリルエーテル等が挙げられる。
【００４０】
シロキサン系重合体は、−Ｓｉ−Ｏ−結合を含む構造単位を有する。
【００４１】
−Ｓｉ−Ｏ−結合を含む構造単位としては、例えば
メチルハイドロジェンシロキサン単位等のアルキルハイドロジェンシロキサン単位；
ジメチルシロキサン単位等のジアルキルシロキサン単位；
メチルメトキシシロキサン単位等のアルキルアルコキシシロキサン単位；
ジメトキシシロキサン単位等のジアルコキシシロキサン単位等が挙げられる。
【００４２】
［Ａ］重合体としてはスチレン重合体及び（メタ）アクリル重合体、シロキサン系重合体が好ましく、スチレン重合体がより好ましく、ポリスチレン及びポリｔ−ブチルスチレンがさらに好ましい。
【００４３】
［Ａ］重合体の数平均分子量（Ｍｎ）の下限としては、５００が好ましく、２，０００がより好ましく、４，０００がさらに好ましく、５，０００が特に好ましい。上記Ｍｎの上限としては、５０，０００が好ましく、３０，０００がより好ましく、１５，０００がさらに好ましく、８，０００が特に好ましい。
【００４４】
［Ａ］重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）のＭｎに対する比（Ｍｗ／Ｍｎ、分散度）の上限としては、５が好ましく、２がより好ましく、１．５がより好ましく、１．３が特に好ましい。上記比の下限としては、通常１であり、１．０５が好ましい。
【００４５】
［Ａ］重合体の含有量の下限としては、組成物（Ｉ）における全固形分に対して、８０質量％が好ましく、９０質量％がより好ましく、９５質量％がさらに好ましい。上記含有量の上限としては、例えば１００質量％である。「全固形分」とは、［Ｂ］溶媒以外の成分の総和をいう。
【００４６】
（［Ｂ］溶媒）
［Ｂ］溶媒としては、少なくとも［Ａ］重合体及び他の成分を溶解又は分散可能な溶媒であれば特に限定されない。
【００４７】
［Ｂ］溶媒としては、例えばアルコール系溶媒、エーテル系溶媒、ケトン系溶媒、アミド系溶媒、エステル系溶媒、炭化水素系溶媒等が挙げられる。
【００４８】
アルコール系溶媒としては、例えば
４−メチル−２−ペンタノール、ｎ−ヘキサノール等の炭素数１〜１８の脂肪族モノアルコール系溶媒；
シクロヘキサノール等の炭素数３〜１８の脂環式モノアルコール系溶媒；
１，２−プロピレングリコール等の炭素数２〜１８の多価アルコール系溶媒；
プロピレングリコールモノメチルエーテル等の炭素数３〜１９の多価アルコール部分エーテル系溶媒などが挙げられる。
【００４９】
エーテル系溶媒としては、例えば
ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジペンチルエーテル、ジイソアミルエーテル、ジヘキシルエーテル、ジヘプチルエーテル等のジアルキルエーテル系溶媒；
テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン等の環状エーテル系溶媒；
ジフェニルエーテル、アニソール（メチルフェニルエーテル）等の芳香環含有エーテル系溶媒などが挙げられる。
【００５０】
ケトン系溶媒としては、例えば
アセトン、メチルエチルケトン、メチル−ｎ−プロピルケトン、メチル−ｎ−ブチルケトン、ジエチルケトン、メチル−ｉｓｏ−ブチルケトン、２−ヘプタノン（メチル−ｎ−ペンチルケトン）、エチル−ｎ−ブチルケトン、メチル−ｎ−ヘキシルケトン、ジ−ｉｓｏ−ブチルケトン、トリメチルノナノン等の鎖状ケトン系溶媒；
シクロペンタノン、シクロヘキサノン、シクロヘプタノン、シクロオクタノン、メチルシクロヘキサノン等の環状ケトン系溶媒；
２，４−ペンタンジオン、アセトニルアセトン、アセトフェノン等が挙げられる。
【００５１】
アミド系溶媒としては、例えば
Ｎ，Ｎ’−ジメチルイミダゾリジノン、Ｎ−メチルピロリドン等の環状アミド系溶媒；
Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルホルムアミド、アセトアミド、Ｎ−メチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルプロピオンアミド等の鎖状アミド系溶媒などが挙げられる。
【００５２】
エステル系溶媒としては、例えば
酢酸ｎ−ブチル、乳酸エチル等のモノカルボン酸エステル系溶媒；
プロピレングリコールアセテート等の多価アルコールカルボキシレート系溶媒；
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の多価アルコール部分エーテルカルボキシレート系溶媒；
γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン等のラクトン系溶媒；
シュウ酸ジエチル等の多価カルボン酸ジエステル系溶媒；
ジメチルカーボネート、ジエチルカーボネート、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等のカーボネート系溶媒などが挙げられる。
【００５３】
炭化水素系溶媒としては、例えば
ｎ−ペンタン、ｎ−ヘキサン等の炭素数５〜１２の脂肪族炭化水素系溶媒；
トルエン、キシレン等の炭素数６〜１６の芳香族炭化水素系溶媒等が挙げられる。
【００５４】
これらの中で、エステル系溶媒が好ましく、多価アルコール部分エーテルカルボキシレート系溶媒がより好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートがさらに好ましい。組成物（Ｉ）は、［Ｂ］溶媒を１種又は２種以上含有していてもよい。
【００５５】
（他の成分）
組成物（Ｉ）は、［Ａ］重合体及び［Ｂ］溶媒以外に他の成分を含有していてもよい。他の成分としては、例えば界面活性剤等が挙げられる。組成物（Ｉ）は、界面活性剤を含有することで、基材表面への塗工性を向上させることができる。
【００５６】
［組成物（Ｉ）の調製方法］
組成物（Ｉ）は、例えば［Ａ］重合体、［Ｂ］溶媒及び必要に応じて他の成分を所定の割合で混合し、好ましくは０．４５μｍ程度の細孔を有する高密度ポリエチレンフィルター等で濾過することにより調製することができる。組成物（Ｉ）の固形分濃度の下限としては、０．１質量％が好ましく、０．５質量％がより好ましく、０．７質量％がさらに好ましい。上記固形分濃度の上限としては、３０質量％が好ましく、１０質量％がより好ましく、３質量％がさらに好ましい。
【００５７】
［加熱工程］
本工程では、上記塗工工程により形成される塗膜を加熱する。これにより、基材表層の金属（Ａ）と、組成物（Ｉ）の［Ａ］重合体の官能基（Ａ）との結合形成が促進され、基材表面の領域（Ｉ）に、［Ａ］重合体を含む塗膜（以下、「塗膜（Ｉ）」ともいう）が積層される。
【００５８】
加熱の手段としては、例えばオーブン、ホットプレート等が挙げられる。加熱の温度の下限としては、８０℃が好ましく、１００℃がより好ましく、１３０℃がさらに好ましい。加熱の温度の上限としては、４００℃が好ましく、３００℃がより好ましく、２００℃がさらに好ましい。加熱の時間の下限としては、１０秒が好ましく、１分がより好ましく、２分がさらに好ましい。加熱の時間の上限としては、１２０分が好ましく、１０分がより好ましく、５分がさらに好ましい。
【００５９】
形成される塗膜（Ｉ）の平均厚みは、組成物（Ｉ）における［Ａ］重合体の種類及び濃度、並びに加熱工程における加熱温度、加熱時間等の条件を適宜選択することで、所望の値にすることができる。塗膜（Ｉ）の平均厚みの下限としては、０．１ｎｍが好ましく、１ｎｍがより好ましく、３ｎｍがさらに好ましい。上記平均厚みの上限としては、例えば２０ｎｍである。
【００６０】
［除去工程］
本工程では、塗膜（Ｉ）のうち領域（ＩＩ）上に形成された部分を除去する。これにより、加熱工程後のケイ素と結合していない［Ａ］重合体を含む部分が除去され、領域（Ｉ）の部分が選択的に修飾された基材が得られる。
【００６１】
除去工程における除去は、通常、加熱工程後の基材を、リンス液でリンスすることにより行う。リンス液としては、通常、有機溶媒が用いられ、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の多価アルコール部分エーテルカルボキシレート系溶媒、イソプロパノール等のモノアルコール系溶媒などが用いられる。
【００６２】
以上により、金属を含む表面領域を簡便に、高選択的かつ高密度に修飾することができる。得られた基材は、例えば以下の工程を行うことにより、種々処理することができる。
【００６３】
［接触工程］
本工程では、上記除去工程後の基材の表面に、アルコール、希酸、過酸化水素水、オゾン又はプラズマを接触させる。これにより、領域（ＩＩ）に形成された空気酸化膜層を除去することができる。この希酸としては、特に限定されるわけではないが、例えば希塩酸、希硫酸、希硝酸、希クエン酸、希シュウ酸、希マレイン酸、希酢酸、希イソ酪酸、希２−エチルヘキサン酸等が挙げられる。
【００６４】
［堆積工程］
本工程では、上記除去工程後の基材の表面に、ＣＶＤ（化学的気相蒸着）法又はＡＬＤ（原子層堆積）法によりパターンを堆積させる。これにより、［Ａ］重合体で被覆されていない領域（ＩＩ）に、選択的にパターンを形成することができる。
【００６５】
［エッチング工程］
本工程では、上記除去工程後の基材の表面上の上記［Ａ］重合体をエッチングにより除去する。
【００６６】
エッチングの方法としては、例えばＣＦ４、Ｏ２ガス等を用い、各層のエッチングレートの差等を利用するケミカルドライエッチング、有機溶媒、フッ酸等の液体のエッチング液を用いたケミカルウェットエッチング（湿式現像）等の反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）；スパッタエッチング、イオンビームエッチング等の物理的エッチングなどの公知の方法が挙げられる。これらの中で、反応性イオンエッチングが好ましく、ケミカルドライエッチング及びケミカルウェットエッチングがより好ましい。
【００６７】
ケミカルドライエッチングの前に、必要に応じて放射線を照射してもよい。放射線としては、エッチングにより除去する部分がポリメタクリル酸メチルブロックを含む重合体である場合には、ＵＶ照射等を用いることができる。また、酸素プラズマ処理を用いることもできる。上記ＵＶ照射又は酸素プラズマ処理により、ポリメタクリル酸メチルブロックが分解されるため、よりエッチングされ易くなる。
【００６８】
ケミカルウェットエッチングに用いられる有機溶媒としては、例えば
ｎ−ペンタン、ｎ−ヘキサン、ｎ−ヘプタン等のアルカン；
シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン等のシクロアルカン；
酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸ｉ−ブチル、プロピオン酸メチル等の飽和カルボン酸エステル；
アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルｎ−ペンチルケトン等のケトン；
メタノール、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、４−メチル−２−ペンタノール等のアルコールなどが挙げられる。これらの溶媒は、単独で使用してもよく２種以上を併用してもよい。
【実施例】
【００６９】
以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。各物性値の測定方法を下記に示す。【００７０】
［Ｍｗ及びＭｎ］
重合体のＭｗ及びＭｎは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により東ソー社のＧＰＣカラム（「Ｇ２０００ＨＸＬ」２本、「Ｇ３０００ＨＸＬ」１本及び「Ｇ４０００ＨＸＬ」１本）を使用し、以下の条件により測定した。
溶離液：テトラヒドロフラン（和光純薬工業社）
流量：１．０ｍＬ／分
試料濃度：１．０質量％
試料注入量：１００μＬ
カラム温度：４０℃
検出器：示差屈折計
標準物質：単分散ポリスチレン【００７１】
［１３Ｃ−ＮＭＲ分析］
１３Ｃ−ＮＭＲ分析は、核磁気共鳴装置（日本電子社の「ＪＮＭ−ＥＸ４００」）を使用し、測定溶媒としてＣＤＣｌ３を用いて行った。重合体における各構造単位の含有割合は、１３Ｃ−ＮＭＲで得られたスペクトルにおける各構造単位に対応するピークの面積比から算出した。【００７２】
＜［Ａ］重合体の合成＞
［合成例１］
５００ｍＬの３口フラスコ反応容器を減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、蒸留脱水処理を行ったＴＨＦ１２０ｇを注入し、−７８℃まで冷却した。このＴＨＦにｓｅｃ−ブチルリチウム（ｓｅｃ−ＢｕＬｉ）の１Ｎシクロヘキサン溶液を２．３８ｍＬ（２．３１ｍｍｏｌ）注入し、さらに、重合禁止剤除去のためシリカゲルによる吸着濾別と蒸留脱水処理とを行ったスチレン１３．３ｍＬ（０．１１５ｍｏｌ）を３０分かけて滴下注入し、重合系が橙色であることを確認した。この滴下注入のとき、反応溶液の内温が−６０℃以上にならないように注意した。滴下終了後に３０分間熟成した。次に、末端停止剤としてメタノール１ｍＬを注入し重合末端の停止反応を行った。この反応溶液を室温まで昇温し、得られた反応溶液を濃縮して溶媒をメチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）で置換した。その後、シュウ酸２質量％水溶液１，０００ｇを注入撹拌し、静置後、下層の水層を取り除いた。この操作を３回繰り返し、Ｌｉ塩を除去した。その後、超純水１，０００ｇを注入撹拌し、下層の水層を取り除いた。この操作を３回繰り返しシュウ酸を除去した後、溶液を濃縮してメタノール５００ｇ中に滴下することで重合体を析出させ、ブフナーロートにて固体を回収した。この固体を６０℃で減圧乾燥させることで白色の重合体（Ａ−１）１１．７ｇを得た。この重合体（Ａ−１）は、Ｍｗが５，６００、Ｍｎが５，３００、Ｍｗ／Ｍｎが１．０６であった。【００７３】
［合成例２］
５００ｍＬの３口フラスコ反応容器を減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、蒸留脱水処理を行ったＴＨＦ１２０ｇを注入し、−７８℃まで冷却した。このＴＨＦにｓｅｃ−ブチルリチウム（ｓｅｃ−ＢｕＬｉ）の１Ｎシクロヘキサン溶液を２．３８ｍＬ（２．３０ｍｍｏｌ）注入し、さらに、重合禁止剤除去のためシリカゲルによる吸着濾別と蒸留脱水処理とを行ったスチレン１３．３ｍＬ（０．１１５ｍｏｌ）を３０分かけて滴下注入し、重合系が橙色であることを確認した。この滴下注入のとき、反応溶液の内温が−６０℃以上にならないように注意した。滴下終了後に３０分間熟成した。次に、末端停止剤としての４−クロロメチル−２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラン０．３２ｍＬ（２．３０ｍｍｏｌ）を注入し重合末端の停止反応を行った。つぎに、１Ｎの塩酸水溶液を１０ｇ加え、６０℃で２時間加熱撹拌を行い、加水分解反応を行い、末端基としてジオール構造を有する重合体を得た。この反応溶液を室温まで冷却し、得られた反応溶液を濃縮して溶媒をＭＩＢＫで置換した。その後、シュウ酸２質量％水溶液１，０００ｇを注入撹拌し、静置後、下層の水層を取り除いた。この操作を３回繰り返し、Ｌｉ塩を除去した。その後、超純水１，０００ｇを注入撹拌し、下層の水層を取り除いた。この操作を３回繰り返し、シュウ酸を除去した後、溶液を濃縮してメタノール５００ｇ中に滴下することで重合体を析出させ、ブフナーロートにて固体を回収した。この固体を６０℃で減圧乾燥させることで白色の重合体（Ａ−２）１１．３ｇを得た。この重合体（Ａ−２）は、Ｍｗが５，３００、Ｍｎが４，９００、Ｍｗ／Ｍｎが１．０８であった。【００７４】
［合成例３］
５００ｍＬの３口フラスコ反応容器を減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、蒸留脱水処理を行ったＴＨＦ１２０ｇを注入し、−７８℃まで冷却した。このＴＨＦにｓｅｃ−ブチルリチウム（ｓｅｃ−ＢｕＬｉ）の１Ｎシクロヘキサン溶液を２．３８ｍＬ（２．３０ｍｍｏｌ）注入し、さらに、重合禁止剤除去のためシリカゲルによる吸着濾別と蒸留脱水処理とを行ったスチレン１３．３ｍＬ（０．１１５ｍｏｌ）を３０分かけて滴下注入し、重合系が橙色であることを確認した。この滴下注入のとき、反応溶液の内温が−６０℃以上にならないように注意した。滴下終了後に３０分間熟成したのち、二酸化炭素を吹き込み、さらにメタノール１．０ｇを加え重合末端の停止反応を行った。この反応溶液を室温まで冷却し、得られた反応溶液を濃縮して溶媒をＭＩＢＫで置換した。その後、シュウ酸２質量％水溶液１，０００ｇを注入撹拌し、静置後、下層の水層を取り除いた。この操作を３回繰り返し、Ｌｉ塩を除去した。その後、超純水１，０００ｇを注入撹拌し、下層の水層を取り除いた。この操作を３回繰り返し、シュウ酸を除去した後、溶液を濃縮してメタノール５００ｇ中に滴下することで重合体を析出させ、ブフナーロートにて固体を回収した。この固体を６０℃で減圧乾燥させることで白色の重合体（Ａ−３）１１．６ｇを得た。この重合体（Ａ−３）は、Ｍｗが５，３００、Ｍｎが４，９００、Ｍｗ／Ｍｎが１．０８であった。【００７５】
［合成例４］
５００ｍＬの３口フラスコ反応容器を減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、蒸留脱水処理を行ったＴＨＦ１２０ｇを注入し、−７８℃まで冷却した。このＴＨＦにｓｅｃ−ブチルリチウム（ｓｅｃ−ＢｕＬｉ）の１Ｎシクロヘキサン溶液を２．４７ｍＬ（２．４０ｍｍｏｌ）注入し、さらに、重合禁止剤除去のためのシリカゲルによる吸着濾別と蒸留脱水処理とを行ったスチレン１３．３ｍＬ（０．１１５ｍｏｌ）を３０分かけて滴下注入し、重合系が橙色であることを確認した。この滴下注入のとき、反応溶液の内温が−６０℃以上にならないように注意した。滴下終了後に１２０分間熟成した。さらにジメチルシロキサン１．０ｇ（４．５０ｍｍｏｌ）を加え、さらにメタノール１ｍＬを注入し重合末端の停止反応を行った。この反応溶液を室温まで昇温し、得られた反応溶液を濃縮して溶媒をＭＩＢＫで置換した。その後、その後、超純水１，０００ｇを注入撹拌し、下層の水層を取り除いた。この操作を５回繰り返した後、溶液を濃縮してメタノール５００ｇ中に滴下することで重合体を析出させ、ブフナーロートにて固体を回収した。この固体を６０℃で減圧乾燥させることで白色の重合体（Ａ−４）１１．２ｇを得た。この重合体（Ａ−４）は、Ｍｗが６，２００、Ｍｎが６，０００、Ｍｗ／Ｍｎが１．０４であった。【００７６】
［合成例５］
５００ｍＬの３口フラスコ反応容器を減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、蒸留脱水処理を行ったＴＨＦ１２０ｇを注入し、０℃まで冷却した。このＴＨＦにｓｅｃ−ブチルリチウム（ｓｅｃ−ＢｕＬｉ）の１Ｎシクロヘキサン溶液を２．４７ｍＬ（２．４０ｍｍｏｌ）注入し、１，３，５，７−テトラメチルシクロテトラシロキサン２７．６ｇ（０．１１５ｍｏｌ）を加えて、氷冷下、１２０分間熟成した。次に、メタノール１ｍＬを注入し重合末端の停止反応を行った。この反応溶液を室温まで昇温し、得られた反応溶液を濃縮して溶媒をＭＩＢＫで置換した。その後、その後、超純水１，０００ｇを注入撹拌し、下層の水層を取り除いた。この操作を５回繰り返した後、溶液を濃縮してメタノール５００ｇ中に滴下することで重合体を析出させ、ブフナーロートにて固体を回収した。この固体を６０℃で減圧乾燥させることで白色の重合体（Ａ−５）２６．９ｇを得た。この重合体（Ａ−５）は、Ｍｗが７，６００、Ｍｎが６，６００、Ｍｗ／Ｍｎが１．１５であった。【００７７】
［合成例６］
５００ｍＬの３口フラスコ反応容器を減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、蒸留脱水処理を行ったテトラヒドロフラン１２０ｇを注入し、−７８℃まで冷却した。その後、このテトラヒドロフランにｓｅｃ−ブチルリチウム（ｓｅｃ−ＢｕＬｉ）の１Ｎシクロヘキサン溶液を２．３７ｍＬ（２．３０ｍｍｏｌ）注入し、その後、重合禁止剤除去のためシリカゲルによる吸着濾別と蒸留脱水処理とを行ったスチレン１３．３ｍＬ（０．１１５ｍｏｌ）を３０分かけて滴下注入し、重合系が橙色であることを確認した。この滴下注入のとき、反応溶液の内温が−６０℃以上にならないように注意した。滴下終了後に３０分間熟成した。その後、末端停止剤としてクロロメチルトリメトキシシラン０．３５ｍＬ（２．３０ｍｍｏｌ）を注入し重合末端の停止反応を行った。この反応溶液を室温まで昇温し、得られた反応溶液を濃縮して溶媒をメチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）で置換した。その後、超純水１，０００ｇを注入撹拌し、下層の水層を取り除いた。この操作を５回繰り返し、Ｌｉ塩を除去した後、溶液を濃縮してメタノール５００ｇ中に滴下することで重合体を析出させ、ブフナーロートにて固体を回収した。この固体を６０℃で減圧乾燥させることで白色の重合体（Ａ−６）１１．８ｇを得た。この重合体（Ａ−６）は、Ｍｗが６，０００、Ｍｎが５，８００、Ｍｗ／Ｍｎが１．０４であった。【００７８】
［合成例７］
５００ｍＬの３口フラスコ反応容器を減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、蒸留脱水処理を行ったＴＨＦ１２０ｇを注入し、−７８℃まで冷却した。このＴＨＦにｓｅｃ−ブチルリチウム（ｓｅｃ−ＢｕＬｉ）の１Ｎシクロヘキサン溶液を２．３７ｍＬ（２．３０ｍｍｏｌ）注入し、さらに、重合禁止剤除去のためのシリカゲルによる吸着濾別と蒸留脱水処理とを行ったスチレン１３．３ｍＬ（０．１１５ｍｏｌ）を３０分かけて滴下注入し、重合系が橙色であることを確認した。この滴下注入のとき、反応溶液の内温が−６０℃以上にならないように注意した。滴下終了後に１２０分間熟成した。次に、クロロジメチルシラン０．２５ｍＬ（２．３０ｍｍｏｌ）を加え、重合末端の停止反応を行った。この反応溶液を室温まで昇温し、得られた反応溶液を濃縮して溶媒をＭＩＢＫで置換した。その後、超純水１，０００ｇを注入撹拌し、下層の水層を取り除いた。この操作を５回繰り返した後、溶液を濃縮してメタノール５００ｇ中に滴下することで重合体を析出させ、ブフナーロートにて固体を回収した。この固体を６０℃で減圧乾燥させることで白色の重合体（Ａ−７）１１．２ｇを得た。この重合体（Ａ−７）は、Ｍｗが５，２００、Ｍｎが５，０００、Ｍｗ／Ｍｎが１．０４であった。【００７９】
［合成例８］
５００ｍＬの３口フラスコ反応容器を減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、蒸留脱水処理を行ったテトラヒドロフラン１２０ｇを注入し、−７８℃まで冷却した。その後、このテトラヒドロフランにｓｅｃ−ブチルリチウム（ｓｅｃ−ＢｕＬｉ）の１Ｎシクロヘキサン溶液を２．５７ｍＬ（２．５０ｍｍｏｌ）注入し、その後、重合禁止剤除去のためシリカゲルによる吸着濾別と蒸留脱水処理とを行ったｔｅｒｔ−ブチルスチレン１３．７ｍＬ（０．０７４８ｍｏｌ）を３０分かけて滴下注入し、重合系が橙色であることを確認した。この滴下注入のとき、反応溶液の内温が−６０℃以上にならないように注意した。滴下終了後に３０分間熟成した。この後、末端停止剤としてクロロメチルトリメトキシシラン０．３８ｍＬ（２．５０ｍｍｏｌ）を注入し重合末端の停止反応を行った。この反応溶液を室温まで昇温し、得られた反応溶液を濃縮して溶媒をメチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）で置換した。その後、超純水１，０００ｇを注入撹拌し、下層の水層を取り除いた。この操作を５回繰り返し、Ｌｉ塩を除去した後、溶液を濃縮してメタノール５００ｇ中に滴下することで重合体を析出させ、ブフナーロートにて固体を回収した。この重合体を６０℃で減圧乾燥させることで白色の重合体（Ａ−８）１１．８ｇを得た。この重合体（Ａ−８）は、Ｍｗが４，８００、Ｍｎが４，５００、Ｍｗ／Ｍｎが１．０７であった。【００８０】
［合成例９］
５００ｍＬの３口フラスコ反応容器を減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、蒸留脱水処理を行ったＴＨＦ１２０ｇを注入し、−７８℃まで冷却した。このＴＨＦに１，１−ジフェニルエチレン１．０２ｍＬ（７．１９ｍｍｏｌ）、塩化リチウムの１Ｍテトラヒドロフラン溶液９．５９ｍＬ（４．７９ｍｍｏｌ）及びｓｅｃ−ブチルリチウム（ｓｅｃ−ＢｕＬｉ）の１Ｎシクロヘキサン溶液を２．４７ｍＬ（２．４０ｍｍｏｌ）注入し、さらに、重合禁止剤除去のためのシリカゲルによる吸着濾別と蒸留脱水処理とを行ったメタクリル酸メチル１２．７ｍＬ（０．１２０ｍｏｌ）を３０分かけて滴下注入し、重合系が橙色であることを確認した。この滴下注入のとき、反応溶液の内温が−６０℃以上にならないように注意した。滴下終了後に１２０分間熟成した。次に１Ｎエチレンオキサイドトルエン溶液２．４０ｍＬ（２．４０ｍｍｏｌ）を加え、さらに、メタノール１ｍＬを注入し重合末端の停止反応を行った。この反応溶液を室温まで昇温し、得られた反応溶液を濃縮して溶媒をＭＩＢＫで置換した。その後、シュウ酸２質量％水溶液１，０００ｇを注入撹拌し、静置後、下層の水層を取り除いた。この操作を３回繰り返し、Ｌｉ塩を除去した。その後、超純水１，０００ｇを注入撹拌し、下層の水層を取り除いた。この操作を３回繰り返し、シュウ酸を除去した後、溶液を濃縮してメタノール５００ｇ中に滴下することで重合体を析出させ、ブフナーロートにて固体を回収した。この固体を６０℃で減圧乾燥させることで白色の重合体（Ａ−９）１１．２ｇを得た。この重合体（Ａ−９）は、Ｍｗが５，２００、Ｍｎが５，０００、Ｍｗ／Ｍｎが１．０４であった。【００８１】
［合成例１０］
５００ｍＬの３口フラスコ反応容器を減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、蒸留脱水処理を行ったＴＨＦ１２０ｇを注入し、−７８℃まで冷却した。このＴＨＦに１，１−ジフェニルエチレン１．０２ｍＬ（７．１９ｍｍｏｌ）、塩化リチウムの１Ｍテトラヒドロフラン溶液９．５９ｍＬ（４．７９ｍｍｏｌ）及びｓｅｃ−ブチルリチウム（ｓｅｃ−ＢｕＬｉ）の１Ｎシクロヘキサン溶液を２．４７ｍＬ（２．４０ｍｍｏｌ）注入し、さらに、重合禁止剤除去のためのシリカゲルによる吸着濾別と蒸留脱水処理とを行ったメタクリル酸メチル１２．７ｍＬ（０．１２０ｍｏｌ）を３０分かけて滴下注入し、重合系が橙色であることを確認した。この滴下注入のとき、反応溶液の内温が−６０℃以上にならないように注意した。滴下終了後に１２０分間熟成した。さらに、ジメチルシロキサン１．０ｇ（４．５０ｍｍｏｌ）を加え、さらにメタノール１ｍＬを注入し重合末端の停止反応を行った。この反応溶液を室温まで昇温し、得られた反応溶液を濃縮して溶媒をＭＩＢＫで置換した。その後、シュウ酸２質量％水溶液１，０００ｇを注入撹拌し、静置後、下層の水層を取り除いた。この操作を３回繰り返し、Ｌｉ塩を除去した。その後、超純水１，０００ｇを注入撹拌し、下層の水層を取り除いた。この操作を３回繰り返し、シュウ酸を除去した後、溶液を濃縮してメタノール５００ｇ中に滴下することで重合体を析出させ、ブフナーロートにて固体を回収した。この重合体を６０℃で減圧乾燥させることで白色の重合体（Ａ−１０）１１．２ｇを得た。この重合体（Ａ−１０）は、Ｍｗが６，２００、Ｍｎが６，０００、Ｍｗ／Ｍｎが１．０４であった。【００８２】
［合成例１１］
５００ｍＬの３口フラスコ反応容器を減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、蒸留脱水処理を行ったＴＨＦ１２０ｇを注入し、−７８℃まで冷却した。このＴＨＦに１，１−ジフェニルエチレン１．０２ｍＬ（７．１９ｍｍｏｌ）、塩化リチウムの１Ｍテトラヒドロフラン溶液９．５９ｍＬ（４．７９ｍｍｏｌ）、ｓｅｃ−ブチルリチウム（ｓｅｃ−ＢｕＬｉ）の１Ｎシクロヘキサン溶液を２．４７ｍＬ（２．４０ｍｍｏｌ）注入し、さらに、重合禁止剤除去のためのシリカゲルによる吸着濾別と蒸留脱水処理とを行ったメタクリル酸メチル１２．７ｍＬ（０．１２０ｍｏｌ）を３０分かけて滴下注入し、重合系が橙色であることを確認した。この滴下注入のとき、反応溶液の内温が−６０℃以上にならないように注意した。滴下終了後に１２０分間熟成した。つぎにクロロメチルトリメトキシシラン０．３６ｍＬ（２．４０ｍｍｏｌ）を加え、重合末端の停止反応を行った。この反応溶液を室温まで昇温し、得られた反応溶液を濃縮して溶媒をＭＩＢＫで置換した。その後、超純水１，０００ｇを注入撹拌し、下層の水層を取り除いた。この操作を５回繰り返した後、溶液を濃縮してメタノール５００ｇ中に滴下することで重合体を析出させ、ブフナーロートにて固体を回収した。この固体を６０℃で減圧乾燥させることで白色の重合体（Ａ−１１）１１．２ｇを得た。この重合体（Ａ−１１）は、Ｍｗが５，２００、Ｍｎが５，０００、Ｍｗ／Ｍｎが１．０４であった。【００８３】
［合成例１２］
５００ｍＬの３口フラスコ反応容器を減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、蒸留脱水処理を行ったＴＨＦ１２０ｇを注入し、−７８℃まで冷却した。このＴＨＦに１，１−ジフェニルエチレン１．０２ｍＬ（７．１９ｍｍｏｌ）、塩化リチウムの１Ｍテトラヒドロフラン溶液９．５９ｍＬ（４．７９ｍｍｏｌ）及びｓｅｃ−ブチルリチウム（ｓｅｃ−ＢｕＬｉ）の１Ｎシクロヘキサン溶液を２．４７ｍＬ（２．４０ｍｍｏｌ）注入し、さらに、重合禁止剤除去のためのシリカゲルによる吸着濾別と蒸留脱水処理とを行ったメタクリル酸メチル１２．７ｍＬ（０．１２０ｍｏｌ）を３０分かけて滴下注入し、重合系が橙色であることを確認した。この滴下注入のとき、反応溶液の内温が−６０℃以上にならないように注意した。滴下終了後に１２０分間熟成した。つぎにクロロジメチルシラン０．２７ｍＬ（２．４０ｍｍｏｌ）を加え、重合末端の停止反応を行った。この反応溶液を室温まで昇温し、得られた反応溶液を濃縮して溶媒をＭＩＢＫで置換した。その後、超純水１，０００ｇを注入撹拌し、下層の水層を取り除いた。この操作を５回繰り返した後、溶液を濃縮してメタノール５００ｇ中に滴下することで重合体を析出させ、ブフナーロートにて固体を回収した。この固体を６０℃で減圧乾燥させることで白色の重合体（Ａ−１２）１１．２ｇを得た。この重合体（Ａ−１２）は、Ｍｗが５，２００、Ｍｎが５，０００、Ｍｗ／Ｍｎが１．０４であった。【００８４】
［合成例１３］
５００ｍＬの３口フラスコ反応容器を減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、蒸留脱水処理を行ったＴＨＦ１２０ｇを注入し、−７８℃まで冷却した。このＴＨＦにｓｅｃ−ブチルリチウム（ｓｅｃ−ＢｕＬｉ）の１Ｎシクロヘキサン溶液を２．３８ｍＬ（２．３１ｍｍｏｌ）注入し、さらに、重合禁止剤除去のためシリカゲルによる吸着濾別と蒸留脱水処理とを行ったスチレン１３．３ｍＬ（０．１１５ｍｏｌ）を３０分かけて滴下注入し、重合系が橙色であることを確認した。この滴下注入のとき、反応溶液の内温が−６０℃以上にならないように注意した。滴下終了後に３０分間熟成した。次に、末端停止剤としてペンタメチルクロロジシラン０．３９ｍＬ（２．０１ｍｍｏｌ）を注入し重合末端の停止反応を行った。この反応溶液を室温まで昇温し、得られた反応溶液を濃縮して溶媒をＭＩＢＫで置換した。その後、シュウ酸２質量％水溶液１，０００ｇを注入撹拌し、静置後、下層の水層を取り除いた。この操作を３回繰り返し、Ｌｉ塩を除去した。その後、超純水１，０００ｇを注入撹拌し、下層の水層を取り除いた。この操作を３回繰り返しシュウ酸を除去した後、溶液を濃縮してメタノール５００ｇ中に滴下することで重合体を析出させ、ブフナーロートにて固体を回収した。この固体を６０℃で減圧乾燥させることで白色の重合体（Ａ−１３）１１．７ｇを得た。この重合体（Ａ−１３）は、Ｍｗが５，６００、Ｍｎが５，３００、Ｍｗ／Ｍｎが１．０６であった。【００８５】
［合成例１４］
５００ｍＬの３口フラスコ反応容器を減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、蒸留脱水処理を行ったＴＨＦ１２０ｇを注入し、−７８℃まで冷却した。このＴＨＦにｓｅｃ−ブチルリチウム（ｓｅｃ−ＢｕＬｉ）の１Ｎシクロヘキサン溶液を２．３８ｍＬ（２．３１ｍｍｏｌ）注入し、さらに、重合禁止剤除去のためシリカゲルによる吸着濾別と蒸留脱水処理とを行ったスチレン１３．３ｍＬ（０．１１５ｍｏｌ）を３０分かけて滴下注入し、重合系が橙色であることを確認した。この滴下注入のとき、反応溶液の内温が−６０℃以上にならないように注意した。滴下終了後に３０分間熟成した。次に、４−トリメチルシリルスチレン１ｍＬ（５．６ｍｍｏｌ）を加え、ブロック共重合を行い、末端停止剤としてメタノール１ｍＬを注入し重合末端の停止反応を行った。この反応溶液を室温まで昇温し、得られた反応溶液を濃縮して溶媒をＭＩＢＫで置換した。その後、シュウ酸２質量％水溶液１，０００ｇを注入撹拌し、静置後、下層の水層を取り除いた。この操作を３回繰り返し、Ｌｉ塩を除去した。その後、超純水１，０００ｇを注入撹拌し、下層の水層を取り除いた。この操作を３回繰り返しシュウ酸を除去した後、溶液を濃縮してメタノール５００ｇ中に滴下することで重合体を析出させ、ブフナーロートにて固体を回収した。この固体を６０℃で減圧乾燥させることで白色の重合体（Ａ−１４）１１．８ｇを得た。この重合体（Ａ−１４）は、Ｍｗが５，５００、Ｍｎが５，３００、Ｍｗ／Ｍｎが１．０４であった。【００８６】
［合成例１５］
５００ｍＬの３口フラスコ反応容器を減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、蒸留脱水処理を行ったＴＨＦ１２０ｇを注入し、−７８℃まで冷却した。このＴＨＦにｓｅｃ−ブチルリチウム（ｓｅｃ−ＢｕＬｉ）の１Ｎシクロヘキサン溶液を２．３８ｍＬ（２．３１ｍｍｏｌ）注入し、さらに、重合禁止剤除去のためシリカゲルによる吸着濾別と蒸留脱水処理とを行ったスチレン１３．３ｍＬ（０．１１５ｍｏｌ）を３０分かけて滴下注入し、重合系が橙色であることを確認した。この滴下注入のとき、反応溶液の内温が−６０℃以上にならないように注意した。滴下終了後に３０分間熟成した。次に、１，１−ジフェニルエチレン０．９８ｍＬ（６．９１ｍｍｏｌ）を加え暗褐色を呈することを確認した。つぎにＮ，Ｎ−ジメチルアミノエチルメタクリレ−ト１．０ｍＬ（６．０４ｍｍｏｌ）を加え、ブロック共重合を１時間行い、末端停止剤としてメタノール１ｍＬを注入し重合末端の停止反応を行った。この反応溶液を室温まで昇温し、得られた反応溶液を濃縮して溶媒をＭＩＢＫで置換した。その後、シュウ酸２質量％水溶液１，０００ｇを注入撹拌し、静置後、下層の水層を取り除いた。この操作を３回繰り返し、Ｌｉ塩を除去した。その後、超純水１，０００ｇを注入撹拌し、下層の水層を取り除いた。この操作を３回繰り返しシュウ酸を除去した後、溶液を濃縮してメタノール５００ｇ中に滴下することで重合体を析出させ、ブフナーロートにて固体を回収した。この固体を６０℃で減圧乾燥させることで白色の重合体（Ａ−１５）１１．９ｇを得た。この重合体（Ａ−１５）は、Ｍｗが５，６００、Ｍｎが５，３００、Ｍｗ／Ｍｎが１．０６であった。【００８７】
［合成例１６］
５００ｍＬの３口フラスコ反応容器を減圧乾燥した後、窒素雰囲気下、蒸留脱水処理を行ったＴＨＦ１２０ｇを注入し、−７８℃まで冷却した。このＴＨＦにｓｅｃ−ブチルリチウム（ｓｅｃ−ＢｕＬｉ）の１Ｎシクロヘキサン溶液を２．３８ｍＬ（２．３１ｍｍｏｌ）注入し、さらに、重合禁止剤除去のためシリカゲルによる吸着濾別と蒸留脱水処理とを行ったスチレン１３．３ｍＬ（０．１１５ｍｏｌ）を３０分かけて滴下注入し、重合系が橙色であることを確認した。この滴下注入のとき、反応溶液の内温が−６０℃以上にならないように注意した。滴下終了後に３０分間熟成した。次に、末端停止剤としてＮ，Ｎ−ジメチルアミノシリルクロライド０．３５ｍＬ（２．３１ｍｍｏｌ）を注入し重合末端の停止反応を行った。この反応溶液を室温まで昇温し、イソプロパノール５００ｇ中に滴下することで重合体を析出させる操作を３回行い、ブフナーロートにて固体を回収した。この固体を６０℃で減圧乾燥させることで白色の重合体（Ａ−１６）１１．７ｇを得た。この重合体（Ａ−１６）は、Ｍｗが５，６００、Ｍｎが５，１００、Ｍｗ／Ｍｎが１．１０であった。【００８８】
＜組成物の調製＞
［調製例１］
［Ａ］重合体としての（Ａ−１）１．２ｇに、［Ｂ］溶媒としてのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）９８．８ｇを加え、撹拌したのち、０．４５μｍの細孔を有する高密度ポリエチレンフィルターにて濾過することにより、組成物（Ｓ−１）を調製した。【００８９】
［調製例２〜１６］
下記表１に示す種類及び含有量の各成分を用いた以外は、調製例１と同様にして、組成物（Ｓ−２）〜（Ｓ−１６）を調製した。【００９０】
【表１】
2018043305.tif 000003
【００９１】
＜評価＞
上記調製した組成物を、下記方法に従い、評価した。
［実施例１〜１７、２１〜２５、比較例１及び２並びに参考例１〜６］
酸化ケイ素基板は、イソプロパノールにて表面処理を行った。８インチの基板（銅基板、コバルト基板、タングステン基板、タンタル基板、タンタル窒化膜基板）を５質量％シュウ酸水溶液に浸漬させたのち、窒素フローにて乾燥させ、表面の酸化被膜を除去した。
次に、トラック（東京エレクトロン社の「ＴＥＬＤＳＡ  ＡＣＴ８」）を用いて、上記調製した組成物を１，５００ｒｐｍにてスピンコートし、１５０℃で１８０秒間焼成した。この基板をＰＧＭＥＡにて剥離し、未反応の重合体を除去した。基板上に形成された選択的表面修飾材は、エリプソメータの膜厚測定結果より、０ｎｍ〜５ｎｍ程度であった。次に、表面の接触角値を、接触角計（協和界面科学社のＤｒｏｐ  ｍａｓｔｅｒ  ＤＭ−５０１）を用いて測定した。さらに、膜厚を元に［Ａ］重合体（ブラシ）の存在密度σ（ｃｈａｉｎｓ／ｎｍ２）を下記式（１）により算出した。
σ＝ｄ×Ｌ×ＮＡ×１０−２１／Ｍｎ・・・（１）
ｄ：［Ａ］重合体の密度（ｇ／ｃｍ３）、Ｌ：膜の平均厚み（ｎｍ）、ＮＡ：アボガドロ数、Ｍｎ：［Ａ］重合体の数平均分子量
金属基板及び酸化ケイ素基板のそれぞれについて、基板表面に形成された重合体膜の平均厚み（ｎｍ）、接触角値（°）、重合体（ブラシ）密度（ｃｈａｉｎｓ／ｎｍ２）及び組成物の塗布性について表２にそれぞれ示す。表２中の「−」は基材表面の選択性が示されておらず、重合体の存在密度を算出しなかったことを示す。
組成物の塗布性については、目視で観察し、以下の基準で評価した。
Ａ：塗布性は良好である
Ｂ：多少はじきが認められる
Ｃ：塗布が困難である【００９２】
【表２】
2018043305.tif 000004
【００９３】
＜銅−シリコンオキサイドからなるストライプ基板上での選択的表面修飾の評価＞
［実施例１８〜２０、２６〜２８、比較例３及び参考例７］
図１に示す８インチ基板（Ｃｕ−ＥＰＣ：１０，０００Å／Ｃｕ−Ｓｅｅｄ：１，０００Å／ＴａＮ  Ｂａｒｒｉｅｒ  Ｌａｙｅｒ：２５０Å／シリコンオキサイド（酸化ケイ素）：５，０００Å／シリコンウエハ、０．１８μｍトレンチ）をＣＭＰスラリーにて研磨し、図２のように銅とシリコンオキサイドがストライプ状に並ぶ基板を作成した。次にこの基板を５質量％シュウ酸水溶液に浸漬させたのち、窒素フローにて乾燥させ、表面の酸化被膜を除去した。
この基板にトラック（東京エレクトロン社の「ＴＥＬＤＳＡ  ＡＣＴ８」）を用いて、上記調製した組成物を１，５００ｒｐｍにてスピンコートし、１５０℃で１８０秒間焼成した。この基板をＰＧＭＥＡにて剥離し、未反応の重合体を除去した。次に、走査型プローブ顕微鏡（日立ハイテクサイエンス社、Ｓ−ｉｍａｇｅ（顕微鏡ユニット）及びＮａｎｏＮａｖｉＲｅａｌ（コントロールステーション））にて表面を観察し、凹凸より被覆部の膜厚を算出した。
銅−シリコンオキサイドストライプ基板上のシリコンオキサイド、銅のそれぞれの領域上に形成された重合体の塗膜の平均厚み（ｎｍ）を表３にそれぞれ示した。表３中の「ＮＤ」は、厚みが小さく、検出できなかったことを示す。【００９４】
【表３】
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【００９５】
表２及び表３の結果から、実施例の基材表面の選択的修飾方法によれば、ケイ素を含む表面領域を簡便に、高選択的かつ高密度に修飾できることが示された。
【産業上の利用可能性】
【００９６】
本発明の基材表面の選択的修飾方法及び組成物によれば、ケイ素を含む表面領域を簡便に、高選択的かつ高密度に修飾することができる。従って、当該基材表面の選択的修飾方法及び組成物は、今後ますます微細化が進行すると予想される半導体デバイスの加工プロセス等に好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００９７】
１  シリコンウエハ
２  Ｃｕ−ＥＰＣ
３  Ｃｕ−ｓｅｅｄ
４  ＴａＮ
５  シリコンオキサイド
【図１】
2018043305.tif 000006
【図２】
2018043305.tif 000007
【国際調査報告】
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