(57)【要約】  焼結体からなる板状のワークを水蒸気処理するに際して当該ワークを載置するための治具。複数のワークが積層した状態で載置される底板と、前記底板の一方の面に立設されており、前記積層されたワークの位置決めをするガイド棒とを備えている。前記底板における前記ワークが載置される部分の近傍に、供給された水蒸気を下方に通過させる開口が形成されている。
2018135029.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
焼結体からなる板状のワークを水蒸気処理するに際して当該ワークを載置するための治具であって、
複数のワークが積層した状態で載置される底板と、
前記底板の一方の面に立設されており、前記積層されたワークの位置決めをするガイド棒と
を備えており、
前記底板における前記ワークが載置される部分の近傍に、供給された水蒸気を下方に通過させる開口が形成されている、ワーク載置用治具。
【請求項２】
前記開口は前記底板に複数形成されており、当該開口の面積の合計は、前記底板の面積の１４〜８５％である、請求項１に記載のワーク載置用治具。  
【請求項３】
前記ワークは円盤形状を呈しており、
前記ワークの内径面又は外径面が、他の部材と摺動する摺動面であり、
前記ガイド棒は、前記ワークの摺動面とは反対側の内径側又は外径側に立設されている、請求項１又は請求項２に記載のワーク載置用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明はワーク載置用治具に関する。
本出願は、２０１７年１月１８日出願の日本出願第２０１７−００６９０６号に基づく優先権を主張し、当該日本出願に記載された全ての記載内容を援用するものである。
【背景技術】
【０００２】
鉄系粉末材料を成形及び焼結することで得られる焼結体に対し比較的厳しい寸法精度が要求される場合、当該焼結体に対しサイジング処理が行われることがある。また、防錆性や耐摩耗性を向上させるために、サイジング処理後の焼結体に対しさらに水蒸気処理が行われることがある。【０００３】
水蒸気処理は、密閉型の炉内に配設された焼結体に対し高温の水蒸気を供給し、当該水蒸気と焼結体の表面の鉄を反応させて、四酸化三鉄（Ｆｅ３Ｏ４）からなる黒錆保護膜を当該焼結体の表面に形成する処理である。【０００４】
通常、水蒸気処理では炉内に複数の焼結体（以下、「ワーク」ともいう）が配設され、これら複数のワークが同時に処理される。従来、サイジング処理後のワークは、パンチングメタルからなる、上面が開放された箱状の容器内に並べられ、この容器を複数段（例えば、１０段程度）重ねたものを炉内に搬入し水蒸気処理を行っていた（例えば、特許文献１参照）。各容器には、ワークが３枚程度積層された状態で並べられていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１８８３０８号公報
【発明の概要】
【０００６】
本開示のワーク載置用治具は、焼結体からなる板状のワークを水蒸気処理するに際して当該ワークを載置するための治具であって、複数のワークが積層した状態で載置される底板と、前記底板の一方の面に立設されており、前記積層されたワークの位置決めをするガイド棒とを備えており、前記底板における前記ワークが載置される部分の近傍に、供給された水蒸気を下方に通過させる開口が形成されている。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本願発明のワーク載置用治具を用いることができるワークの一例を示す平面説明図である。
【図２】図１に示されるインナーロータを載置するワーク載置用治具の一実施形態の底板の平面説明図である。
【図３】図１に示されるインナーロータを載置するワーク載置用治具の一実施形態のリフター板の平面説明図である。
【図４】図１に示されるインナーロータを載置するワーク載置用治具の一実施形態の断面説明図である。
【図５】図１に示されるアウターロータを載置するワーク載置用治具の一実施形態の底板の平面説明図である。
【図６】図１に示されるアウターロータを載置するワーク載置用治具の一実施形態のリフター板の平面説明図である。
【図７】図１に示されるアウターロータを載置するワーク載置用治具の一実施形態の断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
［本開示が解決しようとする課題］
しかし、従来の容器では、単にワークを容器の底板の上に並べていただけの状態であるので、当該容器を搬送する際にワーク同士がぶつかって、当該ワークに傷ができる恐れがあった。また、上の段の容器の底板の裏面と、下の段の最上段のワークの上面との間には、隙間ないしはデッドスペースができるので、炉内で一度に処理できるワークの量には限界があった。  
【０００９】
そこで、ワークを損傷させることなくワークの処理量を増やすことができるワーク載置用治具を提供することを目的としている。
【００１０】
〔本開示の効果〕
本開示によれば、ワークを損傷させることなくワークの処理量を増やすことができる。
【００１１】
〔本願発明の実施形態の説明〕
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。
本願発明の一態様に係るワーク載置用治具（以下、単に「治具」ともいう）は、
（１）焼結体からなる板状のワークを水蒸気処理するに際して当該ワークを載置するための治具であって、
複数のワークが積層した状態で載置される底板と、
前記底板の一方の面に立設されており、前記積層されたワークの位置決めをするガイド棒と
を備えており、
前記底板における前記ワークが載置される部分の近傍に、供給された水蒸気を下方に通過させる開口が形成されている。
【００１２】
本態様に係る治具は、当該治具の底板の上にワークを積層した状態で載置することができるので、従来の容器を用いた場合におけるデッドスペースをなくすることができ、ワークの処理量を増やすことができる。その際、積層されたワークは底板に立設されたガイド棒によってガイドないし位置決めされるので、搬送時にワーク同士がぶつかって当該ワークに傷がつくということがない。さらに、ワークが載置される底板部分の近傍には、供給された水蒸気を下方に通過させる開口が形成されているので、炉内における水蒸気の循環を良くすることができる。換言すれば、炉内で水蒸気が滞留するのを抑制ないし防止することができ、ワークに成膜不良が発生するのを防止することができる。
【００１３】
（２）上記（１）の治具において、前記開口は前記底板に複数形成されており、当該開口の面積の合計は、前記底板の面積の１４〜８５％であることが望ましい。この場合、水蒸気の循環を確保しつつ底板の重量を一定範囲内に抑えることができる。開口率を大きくすれば、その分、水蒸気の循環を良くすることができるが、一方において、底板の厚さを大きくして当該底板の強度を大きくする必要がある。
【００１４】
（３）上記（１）又は（２）の治具において、前記ワークは円盤形状を呈しており、
前記ワークの内径面又は外径面が、他の部材と摺動する摺動面であり、
前記ガイド棒は、前記ワークの摺動面とは反対側の内径側又は外径側に立設されているものとすることができる。この場合、ワークの摺動面とは反対側に、すなわちワークの内径側に摺動面がある場合は当該ワークの外径側に、ワークの外径側に摺動面がある場合は当該ワークの内径側にガイド棒が立設されるので、当該ガイド棒とワークの摺動面とが接触することがない。ガイド棒と接触したワークの部分では、成膜不良が発生する恐れがあるが、ワークの摺動面はガイド棒と接触することがないので、特に精度が要求される摺動面に成膜不良が発生するのを確実に防止することができる。
【００１５】
〔本願発明の実施形態の詳細〕
以下、本願発明の治具の実施形態を詳細に説明する。なお、本願発明はこれらの例示に限定されるものではなく、請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００１６】
図１は、本願発明のワーク載置用治具を用いることができるワークの一例である、内接型ギヤポンプのインナーロータＷ１及びアウターロータＷ２を示す平面説明図である。インナーロータＷ１及びアウターロータＷ２は、いずれも鉄系粉末材料を成形及び焼結することで得られる焼結体に対しサイジング処理を行い、さらに防錆性や耐摩耗性を向上させるために水蒸気処理を行うことで得ることができる。
【００１７】
インナーロータＷ１は、円盤形状を呈しており、中央には回転軸（図示せず）が圧入される丸孔１が形成されるとともに、その外径には、後述するアウターロータＷ２の内周歯と噛合する外周歯２が形成されている。インナーロータＷ１の外周歯２の外周面２ａ、すなわちインナーロータＷ１の外径面は、アウターロータＷ２の内周歯の内周面と摺動する摺動面である。
【００１８】
アウターロータＷ２は、円盤形状を呈しており、その内径面には、インナーロータＷ１の外周歯２と噛合する内周歯３が形成されている。アウターロータＷ２の内周歯３の内周面３ａ、すなわちアウターロータＷ２の内径面は、インナーロータＷ１の外周歯２の外周面２ａと摺動する摺動面である。
【００１９】
図２〜４は、図１に示されるインナーロータＷ１のような円盤形状を呈するワークであって、その外径面が摺動面とされるワークを水蒸気処理するに際して当該ワークを載置するための治具の一実施形態の説明図である。本願発明の一実施形態に係る治具１０は、図４に示されるように、底板１１と、リフター板１２と、ガイド棒１３とを備えている。図２は、底板１１の平面説明図であり、図３は、リフター板１２の平面説明図であり、図４は、前記底板１１、リフター板１２およびガイド棒１３が組み立てられた治具１０の断面面説明図であって、図２〜３に示される底板１１およびリフター板１２を組み合わせたときのＡ―Ａ線に沿った断面説明図である。底板１１、リフター板１２およびガイド棒１３は、一般的な鋼材、例えばＳＳ４１で作製することができる。
【００２０】
底板１１は、積層された状態のワークＷ（Ｗ１）を載置するための部材であり、本実施形態における底板１１は、矩形の箱形状を呈している。底板１１は、矩形の上板１４、当該上板１４と同じ形状の下板１５、および４枚の側板１６を備えている（図４参照）。側板１６は、矩形の上板１４および下板１５の長辺側の側板１６ａと、短辺側の側板１６ｂとで構成されている。本実施形態における側板１６は、上板１４の縁部を折り曲げ加工することで形成されている。折り曲げられた側板１６の先端部は、下板１５の縁部に溶着などで固定されている。なお、下板１５の縁部を折り曲げ加工することで側板１６を形成することもできる。さらには、側板１６を上板１４および下板１５とは別部材とし、当該側板１６を上板１４および下板１５に固着するようにしてもよい。
【００２１】
底板１１の上板１４および下板１５には、ガイド棒１３が挿入される開口である丸孔１７と、水蒸気処理のために供給される水蒸気を下方（ワークＷ（Ｗ１）が積層される方向を基準として、最上段のワークＷ（Ｗ１）から最下段のワークＷ（Ｗ１）へ向かう方向であって、図４において下に向かう方向。換言すれば、底板１１に立設されるガイド棒１３の先端から根元部に向かう方向。）に通過させる開口１８とが形成されている。上板１４の丸孔１７および開口１８と、下板１５の丸孔１７および開口１８とは、上板１４を下板１５上の所定位置に配置したときに上下方向（図４における上下方向）で互いに重なる位置に形成されている。
【００２２】
開口１８は、大きな丸孔からなる開口１８ａと、当該大きな丸孔よりも小径の丸孔からなる開口１８ｂと、長円状の開口１８ｃとで構成されている。図２では、分かりやすくするために、ガイド棒１３が挿入される開口である丸孔１７を黒塗りの丸で表現している。開口１８は、ワークＷ（Ｗ１）の周辺の水蒸気の流れを良くするために、底板１１における当該ワークＷが載置される部分ないし領域の近傍に規則的に形成されている。本実施形態では、開口１８とワークＷ（Ｗ１）とが上下方向（図４における上下方向）において一部重なっているが、重ならないように、開口１８の形状や配置を選定することもできる。
【００２３】
開口１８の種類（本実施形態では３種類の開口が採用されている）、数、大きさおよび配置は、本願発明において特に限定されるものではなく、水蒸気の循環し易さ、ワークの形状や大きさ、底板の強度などを考慮して、適宜選定することができる。開口１８の総面積（底板に形成される複数の開口の各面積を合計した面積）は、大きいほど水蒸気の循環を良くすることができるが、大きすぎると底板の強度が低下することから、底板の面積に対して、通常、１４〜８５％が目安であり、好ましくは、１６〜８０％である。
【００２４】
本実施形態では、図２において上下に隣接して形成された一対の丸孔１７に挿入される一対のガイド棒１３によって、ワークＷ（Ｗ１）の摺動面と反対側の内径側がガイドないし位置決めされる。すなわち、本実施形態では、隣接する一対のガイド棒１３がワークＷ（Ｗ１）の丸孔１に挿入される。このため、ガイド棒１３がワークＷ（Ｗ１）の摺動面と当接することがないので、摺動面とガイド棒１３との接触による当該摺動面の成膜不良を防止することができる。
なお、ワークＷ（Ｗ１）の内径側をガイドないし位置決めするガイド棒の数は、２本に限定されず、１本であってもよいし、３本以上であってもよい。
【００２５】
一対のガイド棒１３は、図２〜４に示される例では、矩形の底板１１の短辺方向に６列、長辺方向に７列または８列配設されている。すなわち、短辺方向に６対、長辺方向に７対または８対のガイド棒１３が配設されている。１枚の底板１１の上に４５対のガイド棒１３が配設されており、１段で４５枚のワークＷ（Ｗ１）を並べて配設することができる。底板１１の上にｎ段のワークＷ（Ｗ１）を積層する場合、合計４５×ｎ枚のワークＷ（Ｗ１）を当該底板１１の上に載置することができる。
【００２６】
本実施形態におけるガイド棒１３は、断面円形の中実の棒部材からなっており、その先端部には、先細のテーパ部１３ａと、このテーパ部１３ａの小径側端部に接続された細径部１３ｂとが形成されている。細径部１３ｂの先端はドーム状になるように曲面加工されている。テーパ部１３ａおよび細径部１３ｂを形成することで、ガイド棒１３の先端部をワークＷ（Ｗ１）の丸孔１に挿入する作業を容易に行うことができる。
なお、水蒸気の回りをよくするために、中実の棒部材に代えて、周壁に複数の孔ないし開口が形成された中空の棒部材を用いることもできる。
【００２７】
ガイド棒１３は、前記先端部と反対側の根元部を底板１１の上板１４の丸孔１７、および、下板１５において当該丸孔１７に対応する位置に形成さている丸孔に挿入し、根元部の先端周縁と下板の丸孔の周縁部とを、例えばタップ溶接することで、底板１１に立設することができる。
【００２８】
本実施形態では、底板１１の上に、図３に示されるようなリフター板１２が配設されている。ワークＷ（Ｗ１）は、このリフター板１２の上に載置される。本明細書において、「ワークが載置される」とは、底板の上に直接にワークが載置される場合だけでなく、本実施形態のように、リフター板という他の部材を介して間接的に底板の上に載置される場合も含む趣旨である。
【００２９】
リフター板１２は、底板１１と同様にＳＳ４１などの鋼材で作製することができる。リフター板１２は、底板１１とは異なり、１枚の板材からなっている。リフター板１２は、平面視で底板１１とほぼ同じ大きさの矩形状を呈しており、当該底板１１の丸孔１７および開口１８（１８ａ，１８ｂ，１８ｃ）が形成された位置に対応する位置に、それぞれ開口２０および開口２１（２１ａ，２１ｂ，２１ｃ）が形成されている。換言すれば、リフター板１２を底板１１の上に重ねて配設したときに、底板１１の丸孔１７および開口１８ａ，１８ｂ，１８ｃと、リフター板１２の開口２０および開口２１ａ，２１ｂ，２１ｃとが上下でほぼ一致して貫通するように、当該開口２０および開口２１ａ，２１ｂ，２１ｃの位置、大きさおよび形状が設定されている。ただし、本実施形態では、ガイド棒１３が挿入される丸孔１７およびその近傍の小径の丸孔からなる開口１８ｂについては、底板１１では、それらが互いに別々に形成されているが、リフター板１２では、前記丸孔１７および開口１８ｂに対応する開口２０および開口２１ｂが一体となり１つのほぼ十字形状の開口２２として形成されている。
【００３０】
リフター板１２は、図示しない駆動機構によりガイド棒１３の軸方向に沿って昇降自在である。リフター板１２の上へのワークＷ（Ｗ１）の載置を開始するとき当該リフター板１２は、図４において、２点鎖線で示される上昇位置にある。この上昇位置では、リフター板１２の上面１２ａから４ｃｍ程度ガイド棒１３の先端部が突出した状態にある。この状態で、図示しないハンドリング装置などを用いて、順次、ワークＷ（Ｗ１）がリフター板１２の上に配設される。より詳細には、リフター板１２の上面１２ａから突出しているガイド棒１３の先端部がワークＷ（Ｗ１）の丸孔１に挿入されるように、当該ワークＷ（Ｗ１）がリフター板１２の上に配設される。
【００３１】
１段目のワークＷ（Ｗ１）の配設が完了すると、リフター板１２は、前記駆動機構により当該ワークＷ（Ｗ１）の厚さ分だけ下降する。ワークＷ（Ｗ１）の厚さが１０ｍｍであるとすると、リフター板１２は１０ｍｍだけ下降する。これにより、ガイド棒１３の先端部は、１段目のワークＷ（Ｗ１）の上面から、前述した上昇位置にあるときと同じ距離だけ突出した状態となる。ついで、１段目のワークＷ（Ｗ１）と同様にして、２段目のワークＷ（Ｗ１）が順次配設される。以後、同様にして、３段目、４段目、・・・、ｎ段目のワークＷ（Ｗ１）が配設される。
【００３２】
所定段数ｎのワークＷ（Ｗ１）がリフター板１２の上に載置されると、ワークＷ（Ｗ１）が載置された治具１０は水蒸気処理のための炉内に搬入され、当該炉内で水蒸気処理が行われる。水蒸気処理が完了したワークＷ（Ｗ１）は、治具１０に載置された状態で次工程、例えば検査工程に移送される。その際、本実施形態にかかわる治具１０は、当該治具１０の底板の上にリフター板１２を介してワークＷ（Ｗ１）を積層した状態で載置することができるので、従来の容器を用いた場合におけるデッドスペースをなくすることができ、ワークＷ（Ｗ１）の処理量を増やすことができる。具体的に、従来の容器を用いた場合と比較して、処理量を３０〜４０％増やすことができる。
【００３３】
また、本実施形態に係る治具１０では、積層されたワークＷ（Ｗ１）は底板１１に立設されたガイド棒１３によってガイドないし位置決めされるので、搬送時にワークＷ（Ｗ１）同士がぶつかって当該ワークＷ（Ｗ１）に傷がつくということがない。さらに、ワークＷ（Ｗ１）が載置される底板１１部分の近傍には、供給された水蒸気を下方に通過させる開口１８が形成されているので、炉内における水蒸気の循環を良くすることができる。換言すれば、炉内で水蒸気が滞留するのを抑制ないし防止することができ、ワークＷ（Ｗ１）に成膜不良が発生するのを防止することができる。
【００３４】
図５〜７は、図１に示されるアウターロータＷ２のような円盤形状を呈するワークであって、その内径面が摺動面とされるワークを水蒸気処理するに際して当該ワークを載置するための治具の一実施形態の説明図である。本願発明の一実施形態に係る治具３０は、前述した治具１０と同様に底板３１と、リフター板３２と、ガイド棒３３とを備えている（図７参照）。図５は、底板３１の平面説明図であり、図６は、リフター板３２の平面説明図であり、図７は、前記底板３１、リフター板３２およびガイド棒３３が組み立てられた治具３０の断面説明図であって、図５〜６に示される底板３１およびリフター板３２を組み合わせたときのＢ―Ｂ線に沿った断面説明図である。底板３１、リフター板３２およびガイド棒３３は、一般的な鋼材、例えばＳＳ４１で作製することができる。  
【００３５】
底板３１は、積層された状態のワークＷ（Ｗ２）を載置するための部材であり、図２に示される底板１１と同様に、矩形の箱形状を呈している。底板３１は、矩形の上板３４、当該上板３４と同じ形状の下板３５、および４枚の側板３６を備えている。側板３６は、矩形の上板３４および下板３５の長辺側の側板３６ａと、短辺側の側板３６ｂとで構成されている。本実施形態における側板３６は、上板３４の縁部を折り曲げ加工することで形成されている。折り曲げられた側板３６の先端部は、下板３５の縁部に溶着などで固定されている。
【００３６】
底板３１の上板３４および下板３５には、ガイド棒３３が挿入される開口である丸孔３７と、水蒸気処理のために供給される水蒸気を下方に通過させる開口３８とが形成されている。上板３４の丸孔３７および開口３８と、下板１５の丸孔３７および開口３８とは、上板３４を下板３５上の所定位置に配置したときに上下方向（図７における上下方向）で互いに重なる位置に形成されている。
【００３７】
開口３８は、大きな丸孔からなる開口３８ａと、当該大きな丸孔よりも小径の丸孔からなる開口３８ｂと、長円状の開口３８ｃとで構成されている。図５では、分かりやすくするために、ガイド棒３３が挿入される開口である丸孔３７を黒塗りの丸で表現している。開口３８は、ワークＷ（Ｗ２）の周辺の水蒸気の流れを良くするために、底板３１における当該ワークＷ（Ｗ２）が載置される部分ないし領域の近傍に規則的に形成されている。本実施形態では、開口３８とワークＷ（Ｗ２）とが上下方向（図７における上下方向）において一部重なっているが、重ならないように、開口３８の形状や配置を選定することもできる。
【００３８】
本実施形態では、開口３８ａを中心として、その周囲に４つの長円状の開口３８ｃが等間隔で形成されており、隣接する２つの開口３８ｃの間に２つの開口３８ｂが径方向に並んで形成されている。なお、開口３８の種類（本実施形態では３種類の開口が採用されている）、数、大きさおよび配置は、本願発明において特に限定されるものではなく、水蒸気の循環し易さ、ワークの形状や大きさ、底板の強度などを考慮して、適宜選定することができる。
【００３９】
本実施形態では、図５において、径方向に並んで形成された２つの開口３８ｂの径方向外側の開口３８ｂのさらに径方向外側に形成された丸孔３７に挿入されるガイド棒３３によって、ワークＷ（Ｗ２）の外径側がガイドないし位置決めされる。すなわち、本実施形態では、円周上に配置された４本のガイド棒３３の内側にワークＷ（Ｗ２）が配設される。なお、ワークＷ（Ｗ２）の外径側をガイドないし位置決めするガイド棒の数は、４本に限定されず、３本であってもよいし、５本以上であってもよい。ガイド棒３３の配置は、隣接するガイド棒３３の間をワークＷ（Ｗ２）が通過することがないように選定する必要がある。
【００４０】
４本で１組のガイド棒３３は、図５〜７に示される例では、矩形の底板３１の短辺方向に５列、長辺方向に６列または７列配設されている。すなわち、短辺方向に５組、長辺方向に６組または７組のガイド棒３３が配設されている。１枚の底板３１の上に３３組のガイド棒３３が配設されており、１段で３３枚のワークＷ（Ｗ２）を並べて配設することができる。底板３１の上にｎ段のワークＷ（Ｗ２）を積層する場合、合計３３×ｎ枚のワークＷ（Ｗ１）を当該底板３１の上に載置することができる。
【００４１】
本実施形態におけるガイド棒３３も、図２〜４に示される実施形態におけるガイド棒１１と同様に断面円形の中実の棒部材からなっており、その構成および底板への固定方法は、ガイド棒１１と同様である。したがって、簡単のため、当該ガイド棒３３についての説明は省略する。  
【００４２】
本実施形態においても、底板３１の上に、図６に示されるようなリフター板３２が配設されている。ワークＷ（Ｗ２）は、このリフター板３２の上に載置される。リフター板３２は、底板３１と同様にＳＳ４１などの鋼材で作製することができる。リフター板３２は、底板３１とは異なり、１枚の板材からなっている。リフター板３２は、平面視で底板３１とほぼ同じ大きさの矩形状を呈しており、当該底板３１の丸孔３７および開口３８（３８ａ，３８ｂ，３８ｃ）が形成された位置に対応する位置に、それぞれ丸孔４０および開口４１（４１ａ，４１ｂ，４１ｃ）が形成されている。換言すれば、リフター板３２を底板３１の上に重ねて配設したときに、底板３１の丸孔３７および開口３８ａ，３８ｂ，３８ｃと、リフター板３２の丸孔４０および開口４１ａ，４１ｂ，４１ｃとが上下でほぼ一致して貫通するように、当該丸孔４０および開口４１ａ，４１ｂ，４１ｃの位置、大きさおよび形状が設定されている。ただし、本実施形態では、大径の丸孔からなる開口３８ａおよび小径の丸孔からなる開口３８ｂについては、底板３１では、それらが互いに別々に形成されているが、リフター板３２では、前記開口３８ａおよび開口３８ｂに対応する開口４１ａおよび４１ｂが一体となり１つの開口４２として形成されている。
【００４３】
リフター板３２は、図２〜４に示される実施形態と同様に、図示しない駆動機構によりガイド棒３３の軸方向に沿って昇降自在である。リフター板３２を用いたワークＷ（Ｗ２）の搭載方法は、図２〜４に示される実施形態と同様であるので、簡単のため、その説明を省略する。
【００４４】
本実施形態においても、治具３０の底板の上にリフター板３２を介してワークＷ（Ｗ２）を積層した状態で載置することができるので、従来の容器を用いた場合におけるデッドスペースをなくすることができ、ワークＷ（Ｗ２）の処理量を増やすことができる。具体的に、従来の容器を用いた場合と比較して、処理量を３０〜４０％増やすことができる。
【００４５】
また、本実施形態に係る治具３０では、積層されたワークＷ（Ｗ２）は底板３１に立設されたガイド棒３３によってガイドないし位置決めされるので、搬送時にワークＷ（Ｗ２）同士がぶつかって当該ワークＷ（Ｗ２）に傷がつくということがない。さらに、ワークＷ（Ｗ２）が載置される底板３１部分の近傍には、供給された水蒸気を下方に通過させる開口３８が形成されているので、炉内における水蒸気の循環を良くすることができる。換言すれば、炉内で水蒸気が滞留するのを抑制ないし防止することができ、ワークＷ（Ｗ２）に成膜不良が発生するのを防止することができる。
【００４６】
〔その他の変形例〕
本願発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、請求の範囲内において種々の変更が可能である。
例えば、前述した実施形態では、ガイド棒として断面円形の中実の棒部材を用いているが、他の断面形状の棒部材を用いることもできる。また、中実の部材ではなく、中空の円筒体または角筒体を用いることもできる。
【００４７】
また、前述した実施形態では、底板として上板、下板および側板からなる箱形状の部材を採用しているが、１枚の板状部材で底板を構成することもできる。
【符号の説明】
【００４８】
１  ：丸孔
２  ：外周歯
２ａ：外周面
３  ：内周歯
３ａ：内周面
１０  ：治具
１１  ：底板
１２  ：リフター板
１３  ：ガイド棒
１３ａ：テーパ部
１３ｂ：細径部
１４  ：上板
１５  ：下板
１６  ：側板
１６ａ：側板
１６ｂ：側板
１７  ：丸孔
１８  ：開口
１８ａ：開口
１８ｂ：開口
１８ｃ：開口
２０  ：開口
２１  ：開口
２１ａ：開口
２１ｂ：開口
２１ｃ：開口
２２  ：開口
３０  ：治具
３１  ：底板
３２  ：リフター板
３３  ：ガイド棒
３４  ：上板
３５  ：下板
３６  ：側板
３６ａ：側板
３６ｂ：側板
３７  ：丸孔
３８  ：開口
３８ａ：開口
３８ｂ：開口
３８ｃ：開口
４０  ：丸孔
４１  ：開口
４１ａ：開口
４１ｂ：開口
４１ｃ：開口
４２  ：開口
Ｗ  ：ワーク
Ｗ１：インナーロータ
Ｗ２：アウターロータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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