(57)【要約】  目的はロボットアーム機構に好適で、構成が簡素で且つ検出領域の広い近接センサ装置を提供することにある。  本実施形態に係る近接センサ装置は、接近した被検出体との間に静電容量を形成する検出電極１３と、静電容量を検出する検出部１７と、検出された静電容量に基づいて検出電極への被検出体の接近を判定する判定部１９とを具備し、検出電極はＵ字形又はＣ字形に湾曲するベース１４と、ベースの前面に配置され、ベースの前面に沿って湾曲する検出電極１３と、ベースの背面に配置され、ベースの背面に沿って湾曲するガード１５とを有する。
2017170305.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接近した被検出体との間に静電容量を形成する検出電極部と、
前記静電容量を検出する検出部と、
前記検出された静電容量に基づいて前記検出電極部への前記被検出体の接近を判定する判定部とを具備し、
前記検出電極部は、
Ｕ字形又はＣ字形に湾曲するベース板と、
前記ベース板の前面に配置され、前記ベースの前面に沿って湾曲する検出電極と、
前記ベース板の背面に配置され、前記ベースの背面に沿って湾曲するガード板とを有することを特徴とする近接センサ装置。
【請求項２】
前記検出電極は、導電性のワイヤの配線により構成されることを特徴とする請求項１記載の近接センサ装置。
【請求項３】
前記ワイヤは、前記ベースの前面にその外縁に沿って矩形に配線されることを特徴とする請求項２記載の近接センサ装置。
【請求項４】
前記ワイヤは、前記ベースの前面にその幅方向に往復する波形に配線されることを特徴とする請求項２記載の近接センサ装置。
【請求項５】
前記ワイヤは、前記ベースの前面に８の字に配線されることを特徴とする請求項２記載の近接センサ装置。
【請求項６】
前記ワイヤは、前記ベースの前面に連結円をなすように配線されることを特徴とする請求項２記載の近接センサ装置。
【請求項７】
前記ガードは、前記検出電極より広い幅を有することを特徴とする請求項１記載の近接センサ装置。
【請求項８】
前記ガードは、前記検出電極の背面と側面とを覆うよう断面コ字形を有することを特徴とする請求項１記載の近接センサ装置。
【請求項９】
前記ガードは、前記検出電極より狭い幅を有することを特徴とする請求項１記載の近接センサ装置。
【請求項１０】
接近した被検出体との間に静電容量を形成する検出電極部と、
前記静電容量を検出する検出部と、
前記検出された静電容量に基づいて前記検出電極部への前記被検出体の接近を判定する判定部とを具備し、
前記検出電極部は、
ベース板と、
前記ベース板の前面に配置される導電性のワイヤで構成される検出電極と、
前記ベース板の背面に配置されるガードとを有することを特徴とする近接センサ装置。
【請求項１１】
基台に旋回回転関節部を備えた支柱部が支持され、前記支柱部上には起伏回転関節部を備えた起伏部が載置され、前記起伏部には直動伸縮性のアーム部を備えた直動伸縮機構が設けられ、前記アーム部の先端にはエンドエフェクタを装着可能な手首部が装備されてなるロボットアーム機構において、
前記手首部には、近接センサ装置が装備され、
前記近接センサ装置は、
接近した被検出体との間に静電容量を形成する検出電極部と、
前記静電容量を検出する検出部と、
前記検出された静電容量に基づいて前記検出電極部への前記被検出体の接近を判定する判定部とを具備し、
前記検出電極部は、
Ｕ字形又はＣ字形に湾曲するベース板と、
前記ベース板の前面に配置され、前記ベースの前面に沿って湾曲する検出電極と、
前記ベース板の背面に配置され、前記ベースの背面に沿って湾曲するガード板とを有することを特徴とするロボットアーム機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は近接センサ装置及びロボットアーム機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から多関節ロボットアーム機構が産業用ロボットなど様々な分野で用いられている。発明者らが実用化した直動伸縮機構は、垂直多関節形のロボットアーム機構から肘関節を不要とさせることができ、安全柵を不要として作業員の近傍へロボットを設置することが可能となり、ロボットと作業員とが協働する環境が現実的となった。【０００３】
その一方でロボットアーム機構が作業員の近傍に配置されるため高い安全性の確保が重要である。そのため可動部ごとに近接センサを装備させているものが多い。近接センサは感度距離が比較的短く、そのため不感領域を狭小化するためには位置や感度向きを変えて多くの近接センサを必要としていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第5435679号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
目的は、ロボットアーム機構に好適で、構成が簡易で且つ検出領域の広い近接センサ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本実施形態に係る近接センサ装置は、接近した被検出体との間に静電容量を形成する検出電極と、静電容量を検出する検出部と、検出された静電容量に基づいて検出電極への被検出体の接近を判定する判定部とを具備し、検出電極はＵ字形又はＣ字形に湾曲するベースと、ベースの前面に配置され、ベースの前面に沿って湾曲する検出電極と、ベースの背面に配置され、ベースの背面に沿って湾曲するガードとを有する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は、本実施形態に係るロボットアーム機構の外観を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１のロボットアーム機構の側面図である。
【図３】図３は、図１のロボットアーム機構の内部構成を示す図である。
【図４】図４は、図１のロボットアーム機構の構成を図記号表現により示す図である。
【図５】図５は、図１の近接センサ装置のセンサ本体を示す図である。
【図６】図６は、図５のセンサ本体の内部構造を示す図である。
【図７】図７は、図６の検出電極部を示す図である。
【図８】図８は、図５のセンサ本体のＡ−Ａ断面図である。
【図９】図９は、図１の近接センサ装置の構成を図である。
【図１０】図１０は、図６の検出電極部の他のワイヤ配線を示す図である。
【図１１】図１１は、図１０のワイヤ配線を多チャンネル化し、接近方向を識別するための近接センサ装置の構成を図である。
【図１２】図１２は、図６の検出電極部のワイヤを対象部の対表面に応じて螺旋状に配線した例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照しながら本実施形態に係る近接センサ装置を説明する。以下の説明では、本実施形態に係る近接センサ装置を備えるロボットアーム機構を例に説明する。このロボットアーム機構は、複数の関節部のうち一の関節部が直動伸縮機構で構成される。なお、本実施形態に係る近接センサ装置の特徴の一つは、その検出電極が導電性ワイヤで構成される点にある。これは、検出電極の配線の自由度を向上させ、複雑な構造物への電極の実装を実現する。そのため、本実施形態に係る近接センサ装置は、ロボットアーム機構以外の他の構造物、例えば自動車等に装備されてもよい。以下の説明において、略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
【０００９】
図１は本実施形態に係る近接センサ装置１０を装備するロボットアーム機構の外観を示している。図２は、図１のロボットアーム機構の側面図である。図３は、図１のロボットアーム機構の内部構造を示す側面図である。  
ロボットアーム機構は、基台１、旋回部（支柱部）２、起伏部４、アーム部５及び手首部６を備える。旋回部２、起伏部４、アーム部５及び手首部６は、基台１から順番に配設される。複数の関節部Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３，Ｊ４，Ｊ５，Ｊ６は基台１から順番に配設される。基台１には円筒体をなす旋回部２が典形的には鉛直に設置される。旋回部２は旋回回転関節部としての第１関節部Ｊ１を収容する。第１関節部Ｊ１はねじり回転軸ＲＡ１を備える。回転軸ＲＡ１は鉛直方向に平行である。旋回部２は下部フレーム２１と上部フレーム２２とを有する。下部フレーム２１の一端は第１関節部Ｊ１の固定部が接続される。下部フレーム２１の他端は基台１に接続される。下部フレーム２１は円筒形状のハウジング３１により覆われる。上部フレーム２２は第１関節部Ｊ１の回転部に接続され、回転軸ＲＡ１を中心に軸回転する。上部フレーム２２は円筒形状のハウジング３２により覆われる。第１関節部Ｊ１の回転に伴って下部フレーム２１に対して上部フレーム２２が回転し、それによりアーム部５は水平に旋回する。円筒体をなす旋回部２の内部中空には後述する直動伸縮機構としての第３関節部Ｊ３の第１、第２コマ列５１、５２が収納される。
【００１０】
旋回部２の上部には起伏回転関節部としての第２関節部Ｊ２を収容する起伏部４が設置される。第２関節部Ｊ２は曲げ回転関節である。第２関節部Ｊ２の回転軸ＲＡ２は回転軸ＲＡ１に垂直である。起伏部４は、第２関節部Ｊ２の固定部（支持部）としての一対のサイドフレーム２３を有する。一対のサイドフレーム２３は、上部フレーム２２に連結される。一対のサイドフレーム２３は、鞍形形状のカバー３３により覆われる。一対のサイドフレーム２３にモータハウジングを兼用する第２関節部Ｊ２の回転部としての円筒体２４が支持される。円筒体２４の周面には、送り出し機構２５が取り付けられる。送り出し機構２５は円筒形状のカバー３４により覆われる。鞍形カバー３３と円筒カバー３４との間の間隙は断面Ｕ字形状のＵ字蛇腹カバー１４により覆われる。Ｕ字蛇腹カバー１４は、第２関節部Ｊ２の起伏動に追従して伸縮する。送り出し機構２５は、ドライブギア５６、ガイドローラ５７及びローラユニット５８を保持する。円筒体２４の軸回転に伴って送り出し機構２５は回動し、送り出し機構２５に支持されたアーム部５が上下に起伏する。
【００１１】
第３関節部Ｊ３は直動伸縮機構により提供される。直動伸縮機構は発明者らが新規に開発した構造を備えており、可動範囲の観点でいわゆる従来の直動関節とは明確に区別される。第３関節部Ｊ３のアーム部５は屈曲自在であるが、中心軸（伸縮中心軸ＲＡ３）に沿ってアーム部５の根元の送り出し機構２５から前方に送り出されるときには屈曲が制限され、直線的剛性が確保される。アーム部５は後方に引き戻されるときには屈曲が回復される。アーム部５は第１コマ列５１と第２コマ列５２とを有する。第１コマ列５１は屈曲自在に連結された複数の第１コマ５３からなる。第１コマ５３は略平板形に構成される。第１コマ５３は端部箇所のヒンジ部で屈曲自在に連結される。第２コマ列５２は複数の第２コマ５４からなる。第２コマ５４は横断面コ字形の溝状体又はロ字形の筒状体に構成される。第２コマ５４は底板端部箇所のヒンジ部で屈曲自在に連結される。第２コマ列５２の屈曲は、第２コマ５４の側板の端面どうしが当接する位置で制限される。その位置では第２コマ列５２は直線的に配列する。第１コマ列５１の先頭の第１コマ５３と、第２コマ列５２の先頭の第２コマ５４とは結合コマ５５により接続される。例えば、結合コマ５５は第１コマ５３と第２コマ５４とを合成した形状を有している。
【００１２】
第１、第２コマ列５１，５２は送り出し機構２５のローラユニット５８を通過する際にローラ５９により互いに押圧されて接合する。接合により第１、第２コマ列５１，５２は直線的剛性を発揮し、柱状のアーム部５を構成する。ローラユニット５８の後方にはドライブギア５６がガイドローラ５７とともに配置される。ドライブギア５６は図示しないモータユニットに接続される。モータユニットは、ドライブギア５６を回転させるための動力を発生する。後述するが、第１コマ５３の内側の面、換言すると、第２コマ５４と接合する側の面の幅中央には連結方向に沿ってリニアギアが形成されている。複数の第１コマ５３が直線状に整列されたときに隣合うリニアギアは直線状につながって、長いリニアギアを構成する。ドライブギア５６はガイドローラ５７に押圧された第１コマ５３のリニアギアに噛み合わされる。直線状につながったリニアギアはドライブギア５６とともにラックアンドピニオン機構を構成する。ドライブギア５６が順回転するとき第１、第２コマ列５１，５２はローラユニット５８から前方に送り出される。ドライブギア５６が逆回転するとき第１、第２コマ列５１，５２はローラユニット５８の後方に引き戻される。引き戻された第１、第２コマ列５１，５２はローラユニット５８とドライブギア５６との間で分離される。分離された第１、第２コマ列５１，５２はそれぞれ屈曲可能な状態に復帰する。屈曲可能な状態に復帰した第１、第２コマ列５１，５２は、ともに同じ方向（内側）に屈曲し、旋回部２の内部に鉛直に収納される。このとき、第１コマ列５１は第２コマ列５２に略平行にほぼ揃った状態で収納される。
【００１３】
アーム部５の先端には手首部６が取り付けられる。手首部６は第４〜第６関節部Ｊ４〜Ｊ６を装備する。第４〜第６関節部Ｊ４〜Ｊ６はそれぞれ直交３軸の回転軸ＲＡ４〜ＲＡ６を備える。第４関節部Ｊ４は伸縮中心軸ＲＡ３と略一致する第４回転軸ＲＡ４を中心としたねじり回転関節であり、この第４関節部Ｊ４の回転によりエンドエフェクタは揺動回転される。第５関節部Ｊ５は第４回転軸ＲＡ４に対して垂直に配置される第５回転軸ＲＡ５を中心とした曲げ回転関節であり、この第５関節部Ｊ５の回転によりエンドエフェクタは前後に傾動回転される。第６関節部Ｊ６は第４回転軸ＲＡ４と第５回転軸ＲＡ５とに対して垂直に配置される第６回転軸ＲＡ６を中心としたねじり回転関節であり、この第６関節部Ｊ６の回転によりエンドエフェクタは軸回転される。
【００１４】
第４関節部Ｊ４は、回転軸ＲＡ４を中心線とする円筒体をなしており、この第４関節部Ｊ４の先端に第４関節部Ｊ４の円筒体と中心線が直交するよう円筒体をなす第５関節部Ｊ５の固定部６１が取り付けられる。第５関節部Ｊ５の固定部６１にはその両端を跨いた状体でＵ字形又はＣ字形のアーム６２が回転自在に支持される。このアーム６２の先端内側には第６関節部Ｊ６の固定部をなす円筒体６３が取り付けられる。
【００１５】
手首部６のＵ字形のアーム６２にはその外周を覆うように典形的にはＵ字形の近接センサ装置１０のセンサ本体１１が装備される。なおセンサ本体１１はＣ字形であることは否定されない。近接センサ装置１０は、そのセンサ本体１１に被検出体として典形的には作業員（人間）の指、腕、胴体等が接近したとき、その接近を検出する。近接センサ装置１０の詳細は後述する。
【００１６】
エンドエフェクタ（手先効果器）は、手首部６の第６関節部Ｊ６の回転部下部に設けられたアダプタ７に取り付けられる。エンドエフェクタはロボットが作業対象（ワーク）に直接働きかける機能を持つ部分であり、例えば把持部、真空吸着部、ナット締め具、溶接ガン、スプレーガンなどのタスクに応じて様々なツールが存在する。エンドエフェクタは、第１、第２、第３関節部Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３により任意位置に移動され、第４、第５、第６関節部Ｊ４，Ｊ５，Ｊ６により任意姿勢に配置される。特に第３関節部Ｊ３のアーム部５の伸縮距離の長さは、基台１の近接位置から遠隔位置までの広範囲の対象にエンドエフェクタを到達させることを可能にする。第３関節部Ｊ３はそれを構成する直動伸縮機構により実現される直線的な伸縮動作とその伸縮距離の長さとが従前の直動関節と異なる特徴的な点である。
【００１７】
図４はロボットアーム機構の構成を図記号表現により示している。ロボットアーム機構において、根元３軸を構成する第１関節部Ｊ１と第２関節部Ｊ２と第３関節部Ｊ３とにより３つの位置自由度が実現される。また、手首３軸を構成する第４関節部Ｊ４と第５関節部Ｊ５と第６関節部Ｊ６とにより３つの姿勢自由度が実現される。図４に示すように、第１関節部Ｊ１の回転軸ＲＡ１は鉛直方向に設けられる。第２関節部Ｊ２の回転軸ＲＡ２は水平方向に設けられる。第２関節部Ｊ２は第１関節部Ｊ１に対して回転軸ＲＡ１と回転軸ＲＡ１に直交する軸との２方向に関してオフセットされる。第２関節部Ｊ２の回転軸ＲＡ２は、第１関節部Ｊ１の回転軸ＲＡ１には交差しない。第３関節部Ｊ３の移動軸ＲＡ３は回転軸ＲＡ２に対して垂直な向きに設けられる。第３関節部Ｊ２は第２関節部Ｊ２に対して回転軸ＲＡ１と回転軸ＲＡ１に直交する軸との２方向に関してオフセットされる。第３関節部Ｊ３の回転軸ＲＡ３は、第２関節部Ｊ２の回転軸ＲＡ２には交差しない。複数の関節部Ｊ１−Ｊ６の根元３軸のうちの一つの曲げ関節部を直動伸縮関節部Ｊ３に換装し、第１関節部Ｊ１に対して第２関節部Ｊ２を２方向にオフセットさせ、第２関節部Ｊ２に対して第３関節部Ｊ３を２方向にオフセットさせることにより、本実施形態に係るロボット装置のロボットアーム機構は、特異点姿勢を構造上解消している。
【００１８】
図５（ａ）は近接センサ装置１０のセンサ本体１１の斜視図、図５（ｂ）はセンサ本体１１の平面図である。図６はセンサ本体１１の構造を示している。近接センサ装置１０は、作業員の胴体、腕、手指等の接地導体たる被検出体のセンサ本体１１への接近により生じる静電容量の変化に基づいて被検出体のセンサ本体１１への接近を検出する静電容量型が採用される。センサ本体１１はＵ字形に湾曲された薄い板状体である。センサ本体１１はＣ字形であってもよい。センサ本体１１の両端それぞれには手首部６のＵ字形のアーム６２に装着するためのネジ孔１２が設けられる。センサ本体１１は、樹脂などの不導体（絶縁体）として非導電性材料でＵ字形に成形された板状体としてのベース１４を有する。ベース１４の前面には、このベース１４の前面形状に沿ってＵ字形に湾曲された導体としての検出電極１３が装着される。ベース１４の背面には、その背面側の接地導体の移動等による静電容量変化の誤検出を除去するために、ベース１４の背面形状に沿ってＵ字形に湾曲された導体板として導電性を有する遮蔽板（ガード）１５が装着される。
【００１９】
図７（ａ）に示すように検出電極１３は導体板よりも軽量化を実現するために導電性ワイヤの配線で構成される。ワイヤ１３はベース１４の前面にその外縁に沿って周設される。ワイヤ１３の配線形状は典型的には長軸が湾曲した矩形をなす。検出距離は例えば１乃至３ｃｍの範囲である。矩形の短軸長によっては、その短軸方向に感度領域の谷が生じることがある。この感度領域の谷を軽減するように、図７（ｂ）に示すようにワイヤ１３はベース１４の前面にその幅全域にわたって往復する波形に配線されても良い。また図７（ｃ）に示すようにワイヤ１３はベース１４の前面にツイスト形、つまり８の字を連続的に描くように配線されてもよい。また図７（ｄ）に示すようにワイヤ１３はベース１４の前面に連結円をなすように配線されてもよい。
【００２０】
さらには図７（ｅ）に示すようにそれぞれ矩形に配線された複数のワイヤ１３−１，１３−２がＵ字形に配列されてもよい。一方のワイヤ１３−１はベース１４の前面の左側に、他方のワイヤ１３−２は右側にそれぞれ分離して配線される。
【００２１】
図８は図５のＡ−Ａ断面図である。図８（ａ）に示すように典型的にはベース１４の背面のガード１５が、矩形に配線されたワイヤ１３の背面全体を覆うようにガード１５の幅が、矩形に配線されたワイヤ１３の短軸よりも長く、且つガード１５の長さはワイヤ１３の長軸と等価又は長い。図８（ｂ）に示すようにワイヤ１３がその前方に感度が集中するように、ガード１５が、矩形に配線されたワイヤ１３の背面全体、さらに側面も覆うように断面コ字形に構成されても良い。また図８（ｃ）に示すようにワイヤ１３がその前方に感度をもち、さらに側方には図８（ａ）の場合よりも広く感度を持つように、ガード１５の幅がワイヤ１３の矩形の短軸長よりも短くても良い。
【００２２】
図９（ａ）に示すように容量検出回路１７は、接近した作業員の指等の接地導体としての被検出体Ｐと検出電極１３との間に形成された静電容量（対接地容量）Ｃを検出する。容量検出回路１７はスイッチドキャパシタ動作により静電容量Ｃを検出する。判定部１８は容量検出回路１７で検出された静電容量Ｃの変化から被検出体Ｐの検出電極１３への接近を判定する。静電容量Ｃは感度領域内に被検出体Ｐが存在しない状態では小さく、感度領域内に被検出体Ｐが存在する状態では増大する。判定部１８は静電容量Ｃが所定の値以上になることにより、被検出体Ｐの接近を判定する。判定部１８の判定結果は例えばロボット装置の制御部に送られ、例えば緊急停止制御に用いられる。緊急停止制御としては制御上停止させても良いし、所定期間だけ所定速度まで減速してその後停止させる、など様々な停止制御が採用される。
【００２３】
図７（ｅ）に示したようにそれぞれ矩形に配線された複数、例えば互いに電気的に分離させた２本のワイヤ１３−１，１３−２をＵ字形に配列するとき、図９（ｂ）に示すように、ワイヤ１３−１，１３−２に対して個々に容量検出回路１７−１，１７−２を接続して個別に容量検出し、その検出結果に従って判定部１９でワイヤ１３−１，１３−２のいずれに被検出体Ｐが接近したかを識別する事ができる。つまり、被検出体Ｐが左右いずれの方向から接近したかを２チャンネルで判別することができ、制御部において例えば被検出体の接近を検知したときにその被検出体から離反する方向に微小距離だけ手首部６を移動させるいわゆる退避動作をさせる事が可能となる。
【００２４】
このように本実施形態による近接センサ装置のセンサ本体はＵ字形の検出電極を備えているので、この検出電極に対して前方はもちろん左又は右といった多方向からの接近に対して感度を持つ事ができる。多数のセンサ装置、少なくとも多数の検出電極を位置及び方向を違えながら手首部等に装備する従来の構造に比べて非常に簡易な構造で実現する事ができる。しかも本実施形態では検出電極をワイヤの配線で実装しており、その構造の簡易さ、組み立て工数の削減、そしてセンサ本体の軽量化を実現し得る。さらに従来のように多数の検出電極に対して個々に容量検出回路及び判定部を設ける必要がなく、一系統の容量検出回路及び判定部でもって多方向からの接近を検出することができる。
【００２５】
上述では、ワイヤをＵ字形又はＣ字形に配線することで正面と左右の両側と合計３方向の接近に対して感度を持たせる事ができるものであった。しかし、図１０に例示するように、ワイヤを十字形に配線し、水平垂直それぞれについてのＵ字形又はＣ字形に湾曲させることにより、正面と左右、さらに上下を加えて合計５方向の接近に対して感度を持たせるようにしてもよい。
【００２６】
また図１１に示すように、図１０に例示した十字形に配線したワイヤを複数に分割して、正面ワイヤ１３−１、左右ワイヤ１３−２，１３−３、上下ワイヤ１３−４，１３−５を設けて、これらを電気的に分離して、各静電容量変化を容量検出回路１７−１〜１７−５で個別に検出することにより、正面、左右、上下の合計５方向の接近を区別して検知する事ができる。判定部１８は５方向の接近を区別して接近信号を出力することができる。つまり近接センサ装置を多チャンネル化、図１１の例では５チャンネル化することができる。５チャンネル化された接近信号を供給された制御部は、上述したような５方向に対して個別に退避動作をさせる事が可能となる。さらに制御部は、５方向の接近を区別した接近信号を用いた関節動作制御を、ダイレクトティーチング制御に適用することができる。例えば、作業者が自身の手をある方向から近接センサ本体１１に接近させたとき、制御部は、そのときの手首部６の最大５方向の移動成分から、作業者が接近させた方向の移動成分を排除して（ゼロ値にして）、残りの方向に関する移動成分を継続させることにより、作業者はリモコン等を操作することなく自身の手で手首部６を誘導しながら所望の軌道を教示することができる。
【００２７】
また検出電極１３は導電性ワイヤで構成されることを重要な特徴の一つとしている。導電性ワイヤであればその形状の自由度は板状又は箔状の電極よりも高い。従って外部との接触が危惧される様々な構造物、例えば図１２に例示するようにアーム１４の外周に螺旋状に巻きつけて配線させることもできるし、またロボットアーム機構の複雑な外形に沿って任意に湾曲させてその外表面に導電性ワイヤを配線させる事も可能である。
【００２８】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００２９】
１０…近接センサ装置、１１…センサ本体、１３…検出電極、１４…ベース、１５…ガード。
【図１】
2017170305.tif 000003
【図２】
2017170305.tif 000004
【図３】
2017170305.tif 000005
【図４】
2017170305.tif 000006
【図５】
2017170305.tif 000007
【図６】
2017170305.tif 000008
【図７】
2017170305.tif 000009
【図８】
2017170305.tif 000010
【図９】
2017170305.tif 000011
【図１０】
2017170305.tif 000012
【図１１】
2017170305.tif 000013
【図１２】
2017170305.tif 000014
【国際調査報告】
2017170305.tif 000015
2017170305.tif 000016
2017170305.tif 000017
2017170305.tif 000018