(57)【要約】  プローブピン（１）は、プランジャ（１０）と、コイルバネ（２０）と、接続部材（３０）とを備える。接続部材（３０）は、プランジャ（１０）の第３端部（１２）に面する第１端面（３２）と、コイルバネ（２０）の第４端部（２１）に面する第２端面（３３）とを有する。第１端面（３２）は、第３端部（１２）に点接触している。第３端部（１２）及び第１端面（３２）の少なくとも１つは、第３端部（１２）と第１端面（３２）との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。第２端面（３３）は、第４端部（２１）におけるコイルバネ（２０）の内径及び外径を拡げないように構成されている。そのため、プローブピン（１）は長い寿命を有する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有する第１端部と、前記第１端部とは反対側の第２端部とを有する筒体と、
接触端子部と、前記接触端子部とは反対側の第３端部とを有するプランジャとを備え、前記第３端部は前記筒体に収容され、かつ、前記接触端子部は前記第１端部から露出しており、前記プランジャは前記筒体に対して回転しながら前記筒体の長手方向に移動可能に構成されており、さらに、
前記プランジャを前記第１端部に向けて付勢するコイルバネを備え、前記コイルバネは前記第２端部と前記第３端部との間に配置され、前記コイルバネは、前記第３端部側の第４端部を有し、さらに、
前記第３端部と前記第４端部とを接続する接続部材とを備え、
前記接続部材は、前記第３端部に面する第１端面と、前記第４端部に面する第２端面とを有し、
前記第１端面は前記第３端部に点接触しており、
前記第３端部及び前記第１端面の少なくとも１つは、前記第３端部と前記第１端面との間の第１接触部において、第１球面の一部を含み、
前記第２端面は、前記第４端部における前記コイルバネの内径及び外径を拡げないように構成されている、プローブピン。
【請求項２】
前記第１端面は、前記第１接触部において、前記第１球面の前記一部を含み、
前記第３端部は、前記第１接触部において、第１平面を含む、請求項１に記載のプローブピン。
【請求項３】
前記第１端面は、前記第１接触部において、第１平面を含み、
前記第３端部は、前記第１接触部において、前記第１球面の前記一部を含む、請求項１に記載のプローブピン。
【請求項４】
前記第１端面及び前記第３端部は、前記第１接触部において、前記第１球面の前記一部を含む、請求項１に記載のプローブピン。
【請求項５】
前記接続部材は、前記第１端面を含む第１サブ接続部材と、前記第２端面を含む第２サブ接続部材とを含み、
前記第１サブ接続部材は、前記第１球面の前記一部を含む前記第１端面と、前記第２サブ接続部材に点接触する第３端面とを含み、
前記第３端面は、前記第１サブ接続部材と前記第２サブ接続部材との間の第２接触部において、第２球面の一部を含む、請求項２または請求項４に記載のプローブピン。
【請求項６】
前記第２サブ接続部材は、前記第２球面の前記一部に接触する第３球面の一部を含む、請求項５に記載のプローブピン。
【請求項７】
前記第２端面は、前記コイルバネの前記第４端部を収容する凹部を含む、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のプローブピン。
【請求項８】
前記凹部の深さは、前記コイルバネのピッチ以上である、請求項７に記載のプローブピン。
【請求項９】
前記凹部の深さは、前記コイルバネのピッチの２倍以上である、請求項７に記載のプローブピン。
【請求項１０】
前記第２端面は、少なくとも前記内径より内側から前記外径より外側まで延在する第２平面を含む、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のプローブピン。
【請求項１１】
前記接続部材は、前記第２平面から突出しかつ前記コイルバネ内に配置された突出部をさらに含み、
前記突出部の直径は前記コイルバネの前記内径よりも小さい、請求項１０に記載のプローブピン。
【請求項１２】
前記突出部の側面に設けられた１つ以上の窪みに前記コイルバネの一部が収容されている、請求項１１に記載のプローブピン。
【請求項１３】
前記第４端部は、導電性接合部材を用いて前記第２端面に接合されている、請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載のプローブピン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブピンに関する。
【背景技術】
【０００２】
特開２００９−１１５６５９号公報（特許文献１）及び特開２００２−２０２３２３号公報（特許文献２）は、筒体と、筒体に対して回転しながら筒体の長手方向に移動可能に構成されたプランジャと、プランジャを付勢するコイルバネとを備えるプローブピンを開示している。実開昭６１−９９０６０号公報（特許文献３）は、筒体と、筒体に対して回転しながら筒体の長手方向に移動可能に構成されたプランジャと、プランジャを付勢するコイルバネと、プランジャとコイルバネとの間に配置された球とを備えるプローブピンを開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１１５６５９号公報
【特許文献２】特開２００２−２０２３２３号公報
【特許文献３】実開昭６１−９９０６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１及び特許文献２に開示されたプローブピンでは、コイルバネは、プランジャに面接触している。コイルバネが伸び縮みしてプランジャが筒体の長手方向に移動する際にプランジャが筒体に対して回転する度に、プランジャはコイルバネにねじり力を加える。コイルバネに繰り返し作用するこのねじり力は、コイルバネを破断させる。そのため、特許文献１及び特許文献２に開示されたプローブピンは、短い寿命を有するプローブピンを有する。【０００５】
また、特許文献３に開示されたプローブピンでは、プランジャが被検査体の検査端子に押し当てられるときに、球の一部がコイルバネの内側に入り込み、球は、コイルバネの径方向にコイルバネを膨らませる。膨らんだコイルバネは筒体の内壁に擦れて、コイルバネは傷つくまたは破断する。そのため、特許文献３に開示されたプローブピンも、短い寿命を有するプローブピンを有する。【０００６】
本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、長い寿命を有するプローブピンを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のプローブピンは、筒体と、プランジャと、コイルバネと、接続部材とを備える。筒体は、開口を有する第１端部と、第１端部とは反対側の第２端部とを有する。プランジャは、接触端子部と、接触端子部とは反対側の第３端部とを有する。第３端部は筒体に収容され、かつ、接触端子部は第１端部から露出している。プランジャは、筒体に対して回転しながら筒体の長手方向に移動可能に構成されている。コイルバネは、プランジャを第１端部に向けて付勢する。コイルバネは、第２端部と第３端部との間に配置されている。コイルバネは、第３端部側の第４端部を有する。接続部材は、第３端部と第４端部とを接続する。接続部材は、第３端部に面する第１端面と、第４端部に面する第２端面とを有する。第１端面は、第３端部に点接触している。第３端部及び第１端面の少なくとも１つは、第３端部と第１端面との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。第２端面は、第４端部におけるコイルバネの内径及び外径を拡げないように構成されている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のプローブピンでは、接続部材の第１端面はプランジャの第３端部に点接触するとともに、第３端部及び第１端面の少なくとも１つは、第３端部と第１端面との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。そのため、接続部材とプランジャとの間の第１接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャが筒体に対して回転する度にプランジャが接続部材を介してコイルバネに加えるねじり力は、大幅に減少され得る。さらに、第２端面は、第４端部におけるコイルバネの内径及び外径を拡げないように構成されている。そのため、プランジャが被検査体の検査端子に押し当てられるときに、接続部材がコイルバネの内側に入り込むことが防止される。コイルバネが筒体の内壁に擦れて、コイルバネが傷つくまたは破断することが防止される。こうして、本発明のプローブピンは、長い寿命を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態１に係るプローブピンの概略図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係るプローブピンの、図１に示される領域ＩＩにおける概略部分拡大断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係るプローブピンに含まれるプランジャの概略拡大斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係るプローブピンの、図３に示される断面線ＩＶ−ＩＶにおける概略断面図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係るプローブピンの製造方法における、コイルバネを接続部材に接合する工程を示す概略部分拡大断面図である。
【図６】本発明の実施の形態１に係るプローブピンの製造方法における、コイルバネを接続部材に接合する工程を示す概略部分拡大断面図である。
【図７】本発明の実施の形態１の第１変形例に係るプローブピンの概略図である。
【図８】本発明の実施の形態１の第２変形例に係るプローブピンの概略図である。
【図９】本発明の実施の形態２に係るプローブピンの概略図である。
【図１０】本発明の実施の形態２に係るプローブピンの、図９に示される領域Ｘにおける概略部分拡大断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態３に係るプローブピンの概略図である。
【図１２】本発明の実施の形態３に係るプローブピンの、図１１に示される領域ＸＩＩにおける概略部分拡大断面図である。
【図１３】本発明の実施の形態３の変形例に係るプローブピンの概略部分拡大断面図である。
【図１４】本発明の実施の形態４に係るプローブピンの概略図である。
【図１５】本発明の実施の形態４に係るプローブピンの、図１４に示される領域ＸＶにおける概略部分拡大断面図である。
【図１６】本発明の実施の形態４の変形例に係るプローブピンの概略図である。
【図１７】本発明の実施の形態４の変形例に係るプローブピンの、図１６に示される領域ＸＶＩＩにおける概略部分拡大断面図である。
【図１８】本発明の実施の形態４に係るプローブピンの製造方法の一工程を示す概略部分拡大断面図である。
【図１９】本発明の実施の形態４に係るプローブピンの製造方法における、図１８に示す工程の次工程を示す概略部分拡大断面図である。
【図２０】本発明の実施の形態５に係るプローブピンの概略図である。
【図２１】本発明の実施の形態５に係るプローブピンの、図２０に示される領域ＸＸＩにおける概略部分拡大断面図である。
【図２２】本発明の実施の形態６に係るプローブピンの概略図である。
【図２３】本発明の実施の形態６に係るプローブピンの、図２２に示される領域ＸＸＩＩＩにおける概略部分拡大断面図である。
【図２４】本発明の実施の形態７に係るプローブピンの概略図である。
【図２５】本発明の実施の形態７に係るプローブピンの、図２４に示される領域ＸＸＶにおける概略部分拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を説明する。なお、同一の構成には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。
【００１１】
実施の形態１．
図１から図４を参照して、実施の形態１に係るプローブピン１を説明する。本実施の形態のプローブピン１は、筒体３と、プランジャ１０と、コイルバネ２０と、接続部材３０とを備える。
【００１２】
筒体３は、第１開口４を有する第１端部５と、第１端部５とは反対側の第２端部６とを有する。第２端部６は、コイルバネ２０の第１の外径ｒ3よりも小さな直径を有する第２開口を有してもよい。筒体３は、筒体３の長手方向に沿って延在している。筒体３の長手方向は、第１端部５と第２端部６とを結ぶ方向である。筒体３は第１の内径ｒ1を有する。
【００１３】
図１及び図３に示されるように、プランジャ１０は、接触端子部１１と、接触端子部１１とは反対側の第３端部１２とを有する。第３端部１２は、筒体３に収容される。接触端子部１１は、筒体３の第１端部５から露出している。接触端子部１１は、プランジャ１０の先細の先端であってもよい。プランジャ１０は、筒体３の第１の内径ｒ1よりも小さな外径を有する。プランジャ１０の外径は、接続部材３０または第１サブ接続部材３１の第２の外径ｒ4に等しくてもよいし、異なってもよい。
【００１４】
プランジャ１０は、筒体３に対して回転しながら筒体３の長手方向に移動可能に構成されている。プランジャ１０が被検査体の検査端子（図示せず）に押し当てられるときに、プランジャ１０は、筒体３及び被検査体の検査端子に対して回転する。そのため、プランジャ１０の接触端子部１１は、検査端子の表面を覆う薄層（例えば、汚染物または酸化膜）を突き破って、検査端子に直接接触することができる。プランジャ１０は、筒体３に対して回転しながら筒体３の長手方向に移動可能に構成されているため、被検査体の検査端子とプランジャ１０との間の接触抵抗は低減され得て、被検査体はプローブピン１を用いて正確に検査され得る。プランジャ１０が被検査体の検査端子から離れるときも、プランジャ１０は、筒体３及び被検査体の検査端子に対して回転する。
【００１５】
図１、図３及び図４に示されるように、本実施の形態の第一の例では、筒体３は、第１凸部７と、第２凸部８とを含んでもよく、かつ、プランジャ１０は、第１凸部７に係合する第１らせん溝１６と、第２凸部８に係合する第２らせん溝１７とを有してもよい。第１凸部７及び第２凸部８は、筒体３の内壁９から突出している。第２凸部８は、第１凸部７と第２凸部８との間にプランジャ１０を挟んで、第１凸部７に対向するように配置されてもよい。そのため、プランジャ１０が筒体３の長手方向に移動するとき、プランジャ１０は、筒体３に対して回転する。第１凸部７は、筒体３の長手方向において、第２凸部８と同じ位置に配置されてもよいし、第２凸部８と異なる位置に配置されてもよい。
【００１６】
本実施の形態の第二の例では、プランジャ１０は、第１凸部７と、第２凸部８とを含んでもよく、かつ、筒体３は、第１凸部７に係合する第１らせん溝１６と、第２凸部８に係合する第２らせん溝１７とを有してもよい。本実施の形態の第三の例では、本実施の形態の第一の例及び第二の例において、第２凸部８と第２らせん溝１７とが省略されてもよい。
【００１７】
プランジャ１０は、プランジャ本体部１３と、ヘッド部１５と、プランジャ本体部１３とヘッド部１５との間のネック部１４とを含んでもよい。ネック部１４は、プランジャ本体部１３及びヘッド部１５よりも小さな直径を有している。プランジャ本体部１３は、その先端に、接触端子部１１を有する。プランジャ本体部１３は、第１凸部７に係合する第１らせん溝１６と、第２凸部８に係合する第２らせん溝１７とを有してもよい。ヘッド部１５は、第３端部１２を含む。ヘッド部１５は、第１凸部７と第２凸部８とに当接し得るように構成されており、プランジャ１０が筒体３から抜けることを防ぐ。
【００１８】
コイルバネ２０は、プランジャ１０を第１端部５に向けて付勢する。コイルバネ２０は、プランジャ１０を被検査体（図示せず）に向けて付勢する。コイルバネ２０は、筒体３の第２端部６とプランジャ１０の第３端部１２との間に配置されている。コイルバネ２０は、第３端部１２側の第４端部２１を有する。コイルバネ２０は、導電性材料で作られている。コイルバネ２０は、筒体３の第２端部６に接触している。コイルバネ２０は、筒体３の第２端部６に電気的に接続されている。図２に示されるように、コイルバネ２０は、第２の内径ｒ2と第１の外径ｒ3とを有する。
【００１９】
接続部材３０は、第１サブ接続部材３１を含む。接続部材３０または第１サブ接続部材３１は、第３端部１２と第４端部２１とを接続する。接続部材３０または第１サブ接続部材３１は、第３端部１２に面する第１端面３２と、第４端部２１に面する第２端面３３と、第１端面３２と第２端面３３とを接続する側面３５とを有する。接続部材３０または第１サブ接続部材３１は、コイルバネ２０の第１の外径ｒ3よりも大きく、かつ、筒体３の第１の内径ｒ1よりも小さな第２の外径ｒ4を有する。筒体３の長手方向に沿う側面３５の長さＬは、特に限定されないが、筒体３の第１の内径ｒ1よりも大きくてもよい。筒体３の長手方向に沿う側面３５の長さＬは筒体３の第１の内径ｒ1よりも大きいため、接続部材３０または第１サブ接続部材３１は、筒体３の長手方向に沿って安定的に移動し得る。
【００２０】
第２端面３３は、くぼんだ曲面（３３）であってもよい。第２端面３３は、コイルバネ２０の第４端部２１を収容する凹部３４を含んでもよい。コイルバネ２０の第４端部２１は接続部材３０の凹部３４に収容される。そのため、コイルバネ２０は、筒体３の長手方向に交差する方向においてコイルバネ２０と筒体３の内壁９との間に隙間が形成されるように、接続部材３０に支持され得る。凹部３４は、コイルバネ２０が接続部材３０に対して筒体３の長手方向に交差する方向に位置ずれすることを防ぐ。凹部３４は、コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することを防止することができる。凹部３４は、コイルバネ２０の付勢力が接続部材３０及びプランジャ１０に安定的に印加されることを可能にする。凹部３４はくぼんだ曲面（３３）であってもよい。凹部３４は、球面の一部であってもよい。凹部３４の深さｄ1は、コイルバネ２０のピッチｐ以上であってもよい。本実施の形態では、凹部３４の深さｄ1は、コイルバネ２０のピッチｐに等しい。
【００２１】
図２を参照して、コイルバネ２０の第４端部２１は、導電性接合部材５０を用いて接続部材３０の第２端面３３に接合されてもよい。導電性接合部材５０は、コイルバネ２０の第４端部２１を接続部材３０の第２端面３３に、強固にかつ低い接触抵抗で接合することができる。導電性接合部材５０は、コイルバネ２０が接続部材３０に対して位置ずれすることを防ぐ。コイルバネ２０の第４端部２１において、コイルバネ２０の素線は、傾斜した端面を有してもよい。コイルバネ２０の傾斜した端面は、コイルバネ２０と導電性接合部材５０との間の接合面積を増加させて、コイルバネ２０と導電性接合部材５０との間の接合を強固にすることができる。導電性接合部材５０は、特に限定されないが、錫（Ｓｎ）−銀（Ａｇ）系はんだ、錫（Ｓｎ）−銅（Ｃｕ）系はんだまたは錫（Ｓｎ）−ビスマス（Ｂｉ）系はんだのようなはんだであってもよい。
【００２２】
図５及び図６を参照して、コイルバネ２０を接続部材３０（第１サブ接続部材３１）に接合する工程を説明する。図５に示されるように、第１の治具６０の凹部６１の中に接続部材３０を配置する。第１の治具６０は、はんだ（５０）に接合せず、かつ、接続部材３０（第１サブ接続部材３１）よりも小さな熱膨張係数と優れた耐熱性とを有する材料で作られてもよい。第１の治具６０は、例えば、カーボンまたは石英で作られてもよい。それから、はんだペーストとコイルバネ２０の第４端部２１とが、接続部材３０の第２端面３３上に配置される。はんだペーストに代えて、はんだペレットとフラックスとが接続部材３０の第２端面３３上に配置されてもよい。続いて、はんだ（５０）の融点より高い温度ではんだ（５０）を加熱する。図６に示されるように、コイルバネ２０の第４端部２１は、はんだ（５０）を用いて接続部材３０の第２端面３３に接合される。
【００２３】
接続部材３０の第１端面３２は、プランジャ１０の第３端部１２に点接触している。第３端部１２及び第１端面３２の少なくとも１つは、第３端部１２と第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。特定的には、第３端部１２と第１端面３２との間の第１接触部において、第１端面３２は第１球面の一部を含み、かつ、第３端部１２は第１平面を含んでもよい。第１端面３２の第１球面は、第３端部１２の第１平面に接触してもよい。なお、本明細書において、「球面」は、完全な球面だけでなく、対向する面に点接触し得る曲面をも含む。
【００２４】
コイルバネ２０によって、接続部材３０（第１サブ接続部材３１）はプランジャ１０に付勢されているため、接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０との間の第１接触部において、接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０とは局所的に変形する。接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０とが局所的に変形することによって形成される、本実施の形態の接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０との間の第１接触部の面積は、第３端部１２及び第１端面３２が平面である比較例における接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０との間の第１接触部の面積よりも非常に小さい。本実施の形態のこの一例における接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０との間の第１接触部の面積は、上記比較例における接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０との間の第１接触部の面積の２００分の１以下である。
【００２５】
Hertzの接触理論から算出される、本実施の形態の一例における接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０との間の第１接触部の半径は、約１０．６μｍである。本実施の形態のプローブピン１では、接続部材３０（第１サブ接続部材３１）とプランジャ１０との間の第１接触部の面積は非常に小さいため、接続部材３０（第１サブ接続部材３１）の第１端面３２はプランジャ１０の第３端部１２に点接触していると見なすことができる。
【００２６】
このように、本実施の形態のプローブピン１では、接続部材３０（第１サブ接続部材３１）の第１端面３２はプランジャ１０の第３端部１２に点接触するとともに、第３端部１２及び第１端面３２の少なくとも１つは、第３端部１２と第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。そのため、接続部材３０とプランジャ１０との間の第１接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０が筒体３に対して回転する度にプランジャ１０が接続部材３０を介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。
【００２７】
第２端面３３は、第４端部２１におけるコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）及び外径（第１の外径ｒ3）を拡げないように構成されている。具体的には、本実施の形態のプローブピン１では、コイルバネ２０の第４端部２１は、接続部材３０の第２端面３３に含まれる凹部３４に収容されている。そのため、プランジャ１０が被検査体の検査端子に押し当てられるときに、接続部材３０がコイルバネ２０の内側に入り込むことが防止される。コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することが防止される。プランジャ１０が被検査体の検査端子に押し当てられるときに、コイルバネ２０には筒体３の長手方向に沿う圧縮力が作用するだけであり、ねじり力はほとんど作用しない。そのため、コイルバネ２０が回転することが抑制される。コイルバネ２０の素線のねじれの態様が変化することが抑制される。コイルバネ２０によってプランジャ１０が付勢される力が変化することが抑制される。プランジャ１０が、一定の押圧力で、被検査体の検査端子（図示せず）に押し当てられる。プローブピン１は、長期間にわたって、一定の検査特性を有する。
【００２８】
筒体３、プランジャ１０及び接続部材３０は、導電性材料で作られている。筒体３、プランジャ１０及び接続部材３０は、２００ＧＰａ以上のヤング率を有する材料で作られてもよい。筒体３、プランジャ１０及び接続部材３０は、特に限定されないが、銅、鋼、ステンレス、炭素工具鋼鋼材（ＳＫ材）または高速度工具鋼鋼材（ＳＫＨ材）で作られてもよい。筒体３、プランジャ１０及び接続部材３０は、互いに同じ材料で作られてもよい。筒体３、プランジャ１０及び接続部材３０の表面は、１つ以上の導電層でコーティングされてもよい。１つ以上の導電層は、例えば、ニッケル層とニッケル層上の金層とであってもよいし、ニッケル層とニッケル層上の金−コバルト合金層とであってもよいし、ニッケル層とニッケル層上のパラジウム層とであってもよい。１つ以上の導電層は、プランジャ１０と被検査体の検査端子との間の接触抵抗及びプランジャ１０と接続部材３０との間の接触抵抗を低減させることができる。
【００２９】
プランジャ１０が被検査体の検査端子に押し当てられると、被検査体の検査端子は、プランジャ１０、接続部材３０及びコイルバネ２０を通じて、筒体３に電気的に接続される。こうして、本実施の形態のプローブピン１を用いて、被検査体の電気的特性は検査され得る。
【００３０】
図７を参照して、本実施の形態の第１変形例に係るプローブピン１ｂを説明する。本実施の形態の第１変形例のプローブピン１ｂは、本実施の形態のプローブピン１と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。本実施の形態の第１変形例のプローブピン１ｂのプランジャ本体部１３ｂは、本実施の形態のプランジャ本体部１３の第１らせん溝１６及び第２らせん溝１７に代えて、ねじられた平板１８を含んでもよい。筒体３の第１凸部７及び第２凸部８はねじられた平板１８に係合する。そのため、プランジャ１０ｂは、筒体３に対して回転しながら筒体３の長手方向に移動することができる。
【００３１】
図８を参照して、本実施の形態の第２変形例に係るプローブピン１ｃを説明する。本実施の形態の第２変形例のプローブピン１ｃは、本実施の形態の第１変形例のプローブピン１ｂと同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。本実施の形態の第２変形例のプローブピン１ｃでは、第１凸部７ｃは、筒体３ｃの長手方向において、第２凸部８と異なる位置に配置されている。特定的には、筒体３ｃの長手方向において、第１凸部７ｃは、第２凸部８よりも第１端部５側に配置されてもよい。本実施の形態の第２変形例の第１凸部７ｃ及び第２凸部８は、プランジャ１０ｂが筒体３ｃに対して筒体３ｃの長手方向に安定的に移動することを可能にする。
【００３２】
本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃの効果を説明する。
本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃは、筒体３，３ｃと、プランジャ１０，１０ｂと、コイルバネ２０と、接続部材３０とを備える。筒体３，３ｃは、開口を有する第１端部５と、第１端部５とは反対側の第２端部６とを有する。プランジャ１０，１０ｂは、接触端子部１１と、接触端子部１１とは反対側の第３端部１２とを有する。第３端部１２は筒体３，３ｃに収容され、かつ、接触端子部１１は第１端部５から露出している。プランジャ１０，１０ｂは、筒体３，３ｃに対して回転しながら筒体３，３ｃの長手方向に移動可能に構成されている。コイルバネ２０は、プランジャ１０，１０ｂを第１端部５に向けて付勢する。コイルバネ２０は、第２端部６と第３端部１２との間に配置されている。コイルバネ２０は、第３端部１２側の第４端部２１を有する。接続部材３０は、第３端部１２と第４端部２１とを接続する。接続部材３０は、第３端部１２に面する第１端面３２と、第４端部２１に面する第２端面３３とを有する。第１端面３２は、第３端部１２に点接触している。第３端部１２及び第１端面３２の少なくとも１つは、第３端部１２と第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。第２端面３３は、第４端部２１におけるコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）及び外径（第１の外径ｒ3）を拡げないように構成されている。
【００３３】
本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、接続部材３０とプランジャ１０，１０ｂとの間の第１接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０，１０ｂが筒体３，３ｃに対して回転する度にプランジャ１０，１０ｂが接続部材３０を介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。さらに、プランジャ１０，１０ｂが被検査体の検査端子に押し当てられるときに、接続部材３０がコイルバネ２０の内側に入り込むことが防止される。コイルバネ２０が筒体３，３ｃの内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することが防止される。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃは、長い寿命を有する。
【００３４】
本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、第３端部１２及び第１端面３２の少なくとも１つは、第３端部１２と第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。そのため、プランジャ１０，１０ｂの第３端部１２及び接続部材３０の第１端面３２の少なくとも１つが円錐の少なくとも一部を含む比較例のプローブピンよりも、本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、接続部材３０とプランジャ１０，１０ｂとが互いに擦れあうことに起因する接続部材３０及びプランジャ１０，１０ｂの摩耗が抑制され得る。さらに、本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、プランジャ１０，１０ｂに対する接続部材３０の傾きが変化しても、接続部材３０とプランジャ１０，１０ｂとの間の第１接触部の面積を実質的に一定に保つことができ、そのため、プランジャ１０，１０ｂが接続部材３０を介してコイルバネ２０に加えるねじり力を大幅に減少されたままに維持することができる。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃは、長い寿命を有する。
【００３５】
本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、第１端面３２は、第３端部１２と第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含み、かつ、第３端部１２は、第３端部１２と第１端面３２との間の第１接触部において、第１平面を含んでもよい。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、接続部材３０とプランジャ１０，１０ｂとの間の第１接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０，１０ｂが筒体３，３ｃに対して回転する度にプランジャ１０，１０ｂが接続部材３０を介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃは、長い寿命を有する。
【００３６】
本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、第２端面３３は、コイルバネ２０の第４端部２１を収容する凹部３４を含んでもよい。そのため、コイルバネ２０は、筒体３，３ｃの長手方向に交差する方向においてコイルバネ２０と筒体３，３ｃの内壁９との間に隙間が形成されるように、接続部材３０に支持され得る。凹部３４は、コイルバネ２０が接続部材３０に対して筒体３，３ｃの長手方向に交差する方向に位置ずれすることを防ぐ。凹部３４は、コイルバネ２０が筒体３，３ｃの内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することを防止することができる。凹部３４は、コイルバネ２０の付勢力が接続部材３０及びプランジャ１０，１０ｂに安定的に印加されることを可能にする。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃは、長い寿命を有する。
【００３７】
本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、凹部３４の深さｄ1は、コイルバネ２０のピッチ以上であってもよい。そのため、コイルバネ２０が接続部材３０に対して位置ずれすることなく、コイルバネ２０は繰り返し伸び縮みすることができる。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃは、長い寿命を有する。
【００３８】
本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃでは、第４端部２１は、導電性接合部材５０を用いて第２端面３３に接合されてもよい。導電性接合部材５０は、コイルバネ２０の第４端部２１を接続部材３０の第２端面３３に、強固にかつ低い接触抵抗で接合することができる。導電性接合部材５０は、コイルバネ２０が接続部材３０に対して位置ずれすることを防ぐ。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１，１ｂ，１ｃは、長い寿命を有する。
【００３９】
実施の形態２．
図９及び図１０を参照して、実施の形態２に係るプローブピン１を説明する。本実施の形態のプローブピン１は、実施の形態１のプローブピン１と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。
【００４０】
接続部材３０または第１接合サブ部材は、第３端部１２に面する第１端面３２と、第４端部２１に面する第２端面３３とを有する。接続部材３０または第１サブ接続部材３１は、第３端部１２に面する第１端面３２と、第４端部２１に面する第２端面３３と、第１端面３２と第２端面３３とを接続する側面３５とを有する。第２端面３３は、平面と矩形上の凹部３４とを有する。凹部３４の深さは、コイルバネ２０のピッチの２倍以上である。
【００４１】
本実施の形態のプローブピン１の効果は、実施の形態１のプローブピン１の効果に加えて、以下の効果を奏する。本実施の形態のプローブピン１では、凹部３４の深さは、コイルバネ２０のピッチの２倍以上である。そのため、コイルバネ２０が接続部材３０または第１接合サブ部材に対して位置ずれすることなく、コイルバネ２０は繰り返し伸び縮みすることができる。凹部３４は、コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することを防止することができる。本実施の形態のプローブピン１は、長い寿命を有する。
【００４２】
実施の形態３．
図１１及び図１２を参照して、実施の形態３に係るプローブピン１ｅを説明する。本実施の形態のプローブピン１ｅは、実施の形態１のプローブピン１と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。
【００４３】
本実施の形態のプローブピン１ｅでは、接続部材３０ｅまたは第１サブ接続部材３１ｅの第２端面３３ｅは、少なくともコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）より内側からコイルバネ２０の外径（第１の外径ｒ3）より外側まで延在する第２平面（３３ｅ）を含む。そのため、プランジャ１０が被検査体の検査端子に押し当てられるときに、接続部材３０ｅまたは第１サブ接続部材３１ｅがコイルバネ２０の内側に入り込むことが防止される。コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することが防止される。
【００４４】
本実施の形態のプローブピン１ｅでは、接続部材３０ｅまたは第１サブ接続部材３１ｅは、第２平面（３３ｅ）から突出しかつコイルバネ２０内に配置された突出部３６をさらに含む。突出部３６の直径ｒ5は、コイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）よりも小さい。突出部３６は、コイルバネ２０の内側に挿入される。コイルバネ２０は、接続部材３０ｅまたは第１サブ接続部材３１ｅの突出部３６に支持される。コイルバネ２０は、導電性接合部材５０を用いて、接続部材３０ｅまたは第１サブ接続部材３１ｅの突出部３６に接合されてもよい。第２平面（３３ｅ）からの突出部３６の高さｈは、コイルバネ２０のピッチｐ以上であってもよく、コイルバネ２０のピッチｐの２倍以上であってもよい。
【００４５】
図１３を参照して、突出部３６の側面３５に１つ以上の窪み３７が設けられてもよい。１つ以上の窪み３７に、コイルバネ２０の第４端部２１を含むコイルバネ２０の一部が収容されている。コイルバネ２０の第４端部２１を含むコイルバネ２０の一部が、突出部３６の側面３５に設けられた１つ以上の窪み３７に係合している。窪み３７は、接続部材３０ｅまたは第１サブ接続部材３１ｅと導電性接合部材５０との接触面積を増加させて、導電性接合部材５０による接続部材３０ｅまたは第１サブ接続部材３１ｅとコイルバネ２０との間の接合強度を増加させる。
【００４６】
本実施の形態のプローブピン１ｅは、実施の形態１のプローブピン１と同様の効果を奏するが、以下の点で主に異なる。
【００４７】
本実施の形態のプローブピン１ｅでは、接続部材３０ｅの第２端面３３ｅは、少なくともコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）より内側からコイルバネ２０の外径（第１の外径ｒ3）より外側まで延在する第２平面（３３ｅ）を含んでもよい。そのため、プランジャ１０が被検査体の検査端子に押し当てられるときに、接続部材３０ｅがコイルバネ２０の内側に入り込むことが防止される。コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することが防止される。本実施の形態のプローブピン１ｅは、長い寿命を有する。
【００４８】
本実施の形態のプローブピン１ｅでは、接続部材３０ｅは、第２平面（３３ｅ）から突出しかつコイルバネ２０内に配置された突出部３６をさらに含んでもよい。突出部３６の直径ｒ5は、コイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）よりも小さい。コイルバネ２０は、接続部材３０ｅまたは第１サブ接続部材３１ｅの突出部３６に支持される。突出部３６は、コイルバネ２０が、筒体３の長手方向に交差する方向においてコイルバネ２０と筒体３の内壁９との間に隙間が形成されるように、接続部材３０ｅに支持され得ることを可能にする。突出部３６は、コイルバネ２０が接続部材３０ｅに対して筒体３の長手方向に交差する方向に位置ずれすることを防ぐ。突出部３６は、コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することを防止することができる。突出部３６は、コイルバネ２０の付勢力が接続部材３０ｅ及びプランジャ１０に安定的に印加されることを可能にする。
【００４９】
本実施の形態のプローブピン１ｅでは、突出部３６の側面３５に設けられた１つ以上の窪み３７にコイルバネ２０の一部が収容されてもよい。コイルバネ２０は、より強固に接続部材３０ｅに支持され得る。本実施の形態の変形例のプローブピン１ｅは、長い寿命を有する。
【００５０】
実施の形態４．
図１４及び図１５を参照して、実施の形態４に係るプローブピン１ｆを説明する。本実施の形態のプローブピン１ｆは、実施の形態１のプローブピン１と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。
【００５１】
接続部材３０ｆまたは第１サブ接続部材３１ｆは、第３端部１２に面する第１端面３２ｆと、第４端部２１に面する第２端面３３ｆとを有する。接続部材３０ｆまたは第１サブ接続部材３１ｆは、第３端部１２に面する第１端面３２ｆと、第４端部２１に面する第２端面３３ｆと、第１端面３２ｆと第２端面３３ｆとを接続する側面３５とを有する。第１端面３２ｆは、第１平面（３２ｆ）を含む。第２端面３３ｆは、第２平面（３３ｆ）を含む。
【００５２】
第２端面３３ｆは、第４端部２１におけるコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）及び外径（第１の外径ｒ3）を拡げないように構成されている。具体的には、第２平面（３３ｆ）は、少なくともコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）より内側からコイルバネ２０の外径（第１の外径ｒ3）より外側まで延在する。そのため、プランジャ１０ｆが被検査体の検査端子に押し当てられるときに、接続部材３０ｆまたは第１サブ接続部材３１ｆがコイルバネ２０の内側に入り込むことが防止される。コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することが防止される。
【００５３】
プランジャ１０ｆは、接触端子部１１と、接触端子部１１とは反対側の第３端部１２ｆとを有する。第３端部１２ｆは、第１球面の一部を含む。具体的には、プランジャ１０ｆのヘッド部１５ｆを球面形状に機械加工することによって、第１球面の一部を含む第３端部１２ｆが形成されてもよい。
【００５４】
本実施の形態のプローブピン１ｆでは、第１端面３２ｆは、第３端部１２ｆと第１端面３２ｆとの間の第１接触部において、第１平面（３２ｆ）を含み、かつ、第３端部１２ｆは、第３端部１２ｆと第１端面３２ｆとの間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。第１端面３２ｆは第１球面の一部を含む第３端部１２ｆに点接触するため、接続部材３０ｆとプランジャ１０ｆとの間の第１接触部の面積は大幅に減少され得る。そのため、プランジャ１０ｆが筒体３に対して回転する度にプランジャ１０ｆが接続部材３０ｆを介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。
【００５５】
図１６及び図１７を参照して、本実施の形態の変形例に係るプローブピン１ｇを説明する。本実施の形態の変形例のプローブピン１ｇは、本実施の形態のプローブピン１ｆと同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。本実施の形態の変形例のプローブピン１ｇでは、プランジャ１０ｇは、ヘッド部１５に接合されるプランジャサブ部材１９をさらに備える。プランジャサブ部材１９は、第３端部１２ｆを含む。第３端部１２ｆは、第１球面の一部を含む。プランジャサブ部材１９は、特に限定されないが、半球形状を有してもよいし、球形状を有してもよい。プランジャサブ部材１９は、導電性材料で構成されてもよい。プランジャサブ部材１９は、プランジャ本体部１３と同じ材料で構成されてもよい。プランジャサブ部材１９は、導電性接合部材５２を用いて、ヘッド部１５の平坦な表面に接合されてもよい。
【００５６】
図１８及び図１９を参照して、プランジャサブ部材１９をヘッド部１５に接合する工程を説明する。図１８に示されるように、第２の治具６３の凹部６４の中にプランジャサブ部材１９を配置する。第２の治具６３は、はんだ（５２）に接合せず、かつ、プランジャサブ部材１９よりも小さな熱膨張係数と優れた耐熱性とを有する材料で作られてもよい。第２の治具６３は、例えば、カーボンまたは石英で作られてもよい。それから、はんだペーストとヘッド部１５とが、プランジャサブ部材１９上に配置される。はんだペーストに代えて、はんだペレットとフラックスとがプランジャサブ部材１９上に配置されてもよい。続いて、はんだ（５２）の融点より高い温度ではんだ（５２）を加熱する。図１９に示されるように、プランジャサブ部材１９は、はんだ（５２）を用いてヘッド部１５に接合される。
【００５７】
本実施の形態及びその変形例のプローブピン１ｆ，１ｇの効果は、実施の形態１のプローブピン１の効果に加えて、以下の効果を奏する。
【００５８】
本実施の形態及びその変形例のプローブピン１ｆ，１ｇでは、第１端面３２ｆは、第３端部１２ｆと第１端面３２ｆとの間の第１接触部において、第１平面（３２ｆ）を含み、かつ、第３端部１２ｆは、第３端部１２ｆと第１端面３２ｆとの間の第１接触部において、第１球面の一部を含んでもよい。そのため、接続部材３０ｆとプランジャ１０ｆ，１０ｇとの間の第１接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０ｆ，１０ｇが筒体３に対して回転する度にプランジャ１０ｆ，１０ｇが接続部材３０ｆを介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１ｆ，１ｇは、長い寿命を有する。
【００５９】
本実施の形態及びその変形例のプローブピン１ｆ，１ｇでは、第２端面３３ｆは、少なくともコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）より内側からコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）より外側まで延在する第２平面（３３ｆ）を含んでもよい。そのため、プランジャ１０ｆ，１０ｇが被検査体の検査端子に押し当てられるときに、接続部材３０ｆがコイルバネ２０の内側に入り込むことが防止される。コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することが防止される。本実施の形態及びその変形例のプローブピン１ｆ，１ｇは、長い寿命を有する。
【００６０】
実施の形態５．
図２０及び図２１を参照して、実施の形態５に係るプローブピン１ｈを説明する。本実施の形態のプローブピン１ｈは、実施の形態１のプローブピン１と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。
【００６１】
本実施の形態のプローブピン１ｈに含まれる接続部材３０または第１サブ接続部材３１は、実施の形態１の接続部材３０または第１サブ接続部材３１と同じ構成を備えている。接続部材３０または第１サブ接続部材３１の第１端面３２は、第１球面の一部を含む。
【００６２】
本実施の形態のプローブピン１ｈに含まれるプランジャ１０ｇは、実施の形態４の変形例のプランジャ１０ｇと同じ構成を備えている。プランジャ１０ｇの第３端部１２ｆは、第１球面の一部を含む。第３端部１２ｆに含まれる第１球面の一部は、第１端面３２に含まれる第１球面の一部に接触する。第３端部１２ｆに含まれる第１球面の一部の曲率半径は、第１端面３２に含まれる第１球面の一部の曲率半径と同じであってもよいし、異なってもよい。
【００６３】
本実施の形態のプローブピン１ｈでは、接続部材３０の第１端面３２とプランジャ１０ｇの第３端部１２ｆとの間の第１接触部は、第１端面３２に含まれる第１球面の一部と第３端部１２ｆに含まれる第２球面の一部との間の接触部である。そのため、本実施の形態の接続部材３０とプランジャ１０ｇとの間の第１接触部の面積は、実施の形態１の接続部材３０とプランジャ１０ｇとの間の第１接触部の面積よりも、約３０％減少する。プランジャ１０ｇが筒体３に対して回転する度にプランジャ１０ｇが接続部材３０を介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、さらに減少され得る。
【００６４】
本実施の形態のプローブピン１ｈの効果は、実施の形態１のプローブピン１の効果に加えて、以下の効果を奏する。
【００６５】
本実施の形態のプローブピン１ｈでは、第１端面３２及び第３端部１２ｆは、第３端部１２ｆと第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。接続部材３０とプランジャ１０ｇとの間の第１接触部は、第１端面３２に含まれる第１球面の一部と第３端部１２ｆに含まれる第２球面の一部との間の接触部である。そのため、接続部材３０とプランジャ１０ｇとの間の第１接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０ｇが筒体３に対して回転する度にプランジャ１０ｇが接続部材３０を介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。本実施の形態のプローブピン１ｈは、長い寿命を有する。
【００６６】
実施の形態６．
図２２及び図２３を参照して、実施の形態６に係るプローブピン１ｉを説明する。本実施の形態のプローブピン１ｉは、実施の形態１のプローブピン１と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。
【００６７】
本実施の形態のプローブピン１ｉに含まれる接続部材３０ｉは、第１端面３２を含む第１サブ接続部材３１ｉと、第２端面３３ｉを含む第２サブ接続部材４０とを含む。第１サブ接続部材３１ｉは、第１端面３２と、第２サブ接続部材４０に点接触する第３端面３８とを含む。第１端面３２は、第３端部１２と第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。第１端面３２に含まれる第１球面の一部は、プランジャ１０の第３端部１２に点接触している。第３端面３８は、第１サブ接続部材３１ｉと第２サブ接続部材４０との間の第２接触部において、第２球面の一部を含む。第３端面３８に含まれる第２球面の一部は、第２サブ接続部材４０の第４端面４１に点接触している。第１サブ接続部材３１ｉは、例えば、球の形状を有してもよい。第１サブ接続部材３１ｉは、導電性を有する。第１サブ接続部材３１ｉは、筒体３及びプランジャ１０と同じ材料で作られてもよい。
【００６８】
第２サブ接続部材４０は、実施の形態４の接続部材３０ｆまたは第１サブ接続部材３１ｆと同じ構成を備えてもよい。第２端面３３ｉは、第２平面（３３ｉ）を含んでもよい。第２平面（３３ｉ）は、少なくともコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）より内側からコイルバネ２０の外径（第１の外径ｒ3）より外側まで延在する。第２端面３３ｉは、第４端部２１におけるコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）及び外径（第１の外径ｒ3）を拡げないように構成されている。第１サブ接続部材３１ｉに点接触する第２サブ接続部材４０の第４端面４１は、平面（４１）を含んでもよい。第４端面４１は、第３端面３８に含まれる第２球面の一部に接触している。第２サブ接続部材４０は、導電性を有する。第２サブ接続部材４０は、筒体３、プランジャ１０及び第１サブ接続部材３１ｉと同じ材料で作られてもよい。
【００６９】
本実施の形態のプローブピン１ｉでは、第１サブ接続部材３１ｉは、プランジャ１０に点接触し、かつ、第１サブ接続部材３１ｉは、第２サブ接続部材４０に点接触している。第１サブ接続部材３１ｉとプランジャ１０との間の第１接触部の面積及び第２サブ接続部材４０と第１サブ接続部材３１ｉとの間の第２接触部の面積は大幅に減少され得る。そのため、プランジャ１０が筒体３に対して回転する度にプランジャ１０が接続部材３０ｉを介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。
【００７０】
本実施の形態のプローブピン１ｉの効果は、実施の形態１のプローブピン１の効果に加えて、以下の効果を奏する。
【００７１】
本実施の形態のプローブピン１ｉでは、第２端面３３ｉは、少なくともコイルバネ２０の内径（第２の内径ｒ2）より内側からコイルバネ２０の外径（第１の外径ｒ3）より外側まで延在する第２平面（３３ｉ）を含んでもよい。そのため、プランジャ１０が被検査体の検査端子に押し当てられるときに、接続部材３０ｉ（第２サブ接続部材４０）がコイルバネ２０の内側に入り込むことが防止される。コイルバネ２０が筒体３の内壁９に擦れて、コイルバネ２０が傷つくまたは破断することが防止される。本実施の形態のプローブピン１ｉは、長い寿命を有する。
【００７２】
本実施の形態のプローブピン１ｉでは、接続部材３０ｉは、第１端面３２を含む第１サブ接続部材３１ｉと、第２端面３３ｉを含む第２サブ接続部材４０とを含む。第１サブ接続部材３１ｉは、第１球面の一部を含む第１端面３２と、第２サブ接続部材４０に点接触する第３端面３８とを含む。第３端面３８は、第１サブ接続部材３１ｉと第２サブ接続部材４０との間の第２接触部において、第２球面の一部を含む。そのため、第１サブ接続部材３１ｉとプランジャ１０との間の第１接触部の面積及び第２サブ接続部材４０と第１サブ接続部材３１ｉとの間の第２接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０が筒体３に対して回転する度にプランジャ１０が接続部材３０ｉを介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。本実施の形態のプローブピン１ｉは、長い寿命を有する。
【００７３】
実施の形態７．
図２４及び図２５を参照して、実施の形態７に係るプローブピン１ｊを説明する。本実施の形態のプローブピン１ｊは、実施の形態１のプローブピン１と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。
【００７４】
本実施の形態のプローブピン１ｊに含まれるプランジャ１０ｇは、実施の形態４の変形例のプランジャ１０ｇと同じ構成を備えている。プランジャ１０ｇの第３端部１２ｆは、第１球面の一部を含む。第３端部１２ｆに含まれる第１球面の一部は、接続部材３０ｉ（第１サブ接続部材３１ｉ）の第１端面３２に含まれる第１球面の一部に接触する。第３端部１２ｆに含まれる第１球面の一部の曲率半径は、第１端面３２に含まれる第１球面の一部の曲率半径と同じであってもよいし、異なってもよい。
【００７５】
本実施の形態のプローブピン１ｊに含まれる接続部材３０ｉは、実施の形態６の接続部材３０ｉと同じ構成を備えている。第１端面３２を含む第１サブ接続部材３１ｉと、第２端面３３を含む第２サブ接続部材４０ｊとを含む。第１サブ接続部材３１ｉは、第１端面３２と、第２サブ接続部材４０ｊに点接触する第３端面３８とを含む。第１端面３２は、第３端部１２ｆと第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。第１端面３２に含まれる第１球面の一部は、第３端部１２ｆに含まれる第１球面の一部に点接触している。第３端面３８は、第１サブ接続部材３１ｉと第２サブ接続部材４０ｊとの間の第２接触部において、第２球面の一部を含む。第３端面３８に含まれる第２球面の一部は、第２サブ接続部材４０ｊに含まれる第３球面の一部に点接触している。第１サブ接続部材３１ｉは、例えば、球の形状を有してもよい。第１サブ接続部材３１ｉは、導電性を有する。第１サブ接続部材３１ｉは、筒体３及びプランジャ１０ｇと同じ材料で作られてもよい。
【００７６】
第２サブ接続部材４０ｊは、実施の形態１の接続部材３０または第１サブ接続部材３１と同じ構成を備えてもよい。第２サブ接続部材４０ｊは、第１サブ接続部材３１ｉに点接触する第４端面４１ｊと、コイルバネ２０の第４端部２１に面する第２端面３３と、第４端面４１ｊと第２端面３３とを接続する側面３５とを有する。第２サブ接続部材４０ｊの第４端面４１ｊは、第１サブ接続部材３１ｉと第２サブ接続部材４０ｊとの間の第２接触部において、第３球面の一部を含む。第４端面４１ｊに含まれる第３球面の一部は、第３端面３８に含まれる第２球面の一部に接触している。第２サブ接続部材４０ｊは、導電性を有する。第２サブ接続部材４０ｊは、筒体３、プランジャ１０ｇ及び第１サブ接続部材３１ｉと同じ材料で作られてもよい。
【００７７】
本実施の形態のプローブピン１ｊでは、第１サブ接続部材３１ｉは、プランジャ１０ｇに点接触し、かつ、第１サブ接続部材３１ｉは、第２サブ接続部材４０ｊに点接触している。そのため、第１サブ接続部材３１ｉとプランジャ１０ｇとの間の第１接触部の面積及び第２サブ接続部材４０ｊと第１サブ接続部材３１ｉとの間の第２接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０ｇが筒体３に対して回転する度にプランジャ１０ｇが接続部材３０ｉを介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。
【００７８】
第２サブ接続部材４０ｊは、コイルバネ２０の第１の外径ｒ3よりも大きく、かつ、筒体３の第１の内径ｒ1よりも小さな第２の外径ｒ4を有する。筒体３の長手方向に沿う側面３５の長さＬは、特に限定されないが、筒体３の第１の内径ｒ1よりも大きくてもよい。
【００７９】
第２端面３３は、くぼんだ曲面（３３）であってもよい。第２端面３３は、コイルバネ２０の第４端部２１を収容する凹部３４を含んでもよい。凹部３４はくぼんだ曲面であってもよい。凹部３４は、球面の一部であってもよい。凹部３４の深さｄ1は、コイルバネ２０のピッチｐ以上であってもよい。本実施の形態では、凹部３４の深さｄ1は、コイルバネ２０のピッチｐに等しい。
【００８０】
本実施の形態のプローブピン１ｊの効果は、実施の形態１のプローブピン１の効果に加えて、以下の効果を奏する。
【００８１】
本実施の形態のプローブピン１ｊでは、第１端面３２及び第３端部１２ｆは、第３端部１２ｆと第１端面３２との間の第１接触部において、第１球面の一部を含む。接続部材３０ｉとプランジャ１０ｇとの間の第１接触部は、第１端面３２に含まれる第１球面の一部と第３端部１２ｆに含まれる第２球面の一部との間の接触部である。そのため、接続部材３０ｉとプランジャ１０ｇとの間の第１接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０ｇが筒体３に対して回転する度にプランジャ１０ｇが接続部材３０ｉを介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。本実施の形態のプローブピン１ｊは、長い寿命を有する。
【００８２】
本実施の形態のプローブピン１ｊでは、接続部材３０ｉは、第１端面３２を含む第１サブ接続部材３１ｉと、第２端面３３を含む第２サブ接続部材４０ｊとを含む。第１サブ接続部材３１ｉは、第１球面の一部を含む第１端面３２と、第２サブ接続部材４０ｊに点接触する第３端面３８とを含む。第３端面３８は、第１サブ接続部材３１ｉと第２サブ接続部材４０ｊとの間の第２接触部において、第２球面の一部を含む。そのため、第１サブ接続部材３１ｉと第２サブ接続部材４０ｊとの間の第２接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０ｇが筒体３に対して回転する度にプランジャ１０ｇが接続部材３０ｉを介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。本実施の形態のプローブピン１ｊは、長い寿命を有する。
【００８３】
本実施の形態のプローブピン１ｊでは、第２サブ接続部材４０ｊは、第１サブ接続部材３１ｉの第３端面３８に含まれる第２球面の一部に接触する第３球面の一部を含む。第１サブ接続部材３１ｉと第２サブ接続部材４０ｊとの間の第２接触部は、第１サブ接続部材３１ｉに含まれる第２球面の一部と第２サブ接続部材４０ｊに含まれる第３球面の一部との間の接触部である。そのため、第１サブ接続部材３１ｉと第２サブ接続部材４０ｊとの間の第２接触部の面積は大幅に減少され得る。プランジャ１０ｇが筒体３に対して回転する度にプランジャ１０ｇが接続部材３０ｉを介してコイルバネ２０に加えるねじり力は、大幅に減少され得る。本実施の形態のプローブピン１ｊは、長い寿命を有する。
【００８４】
今回開示された実施の形態１−７及びそれらの変形例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。矛盾のない限り、今回開示された実施の形態１−７及びそれらの変形例の少なくとも２つを組み合わせてもよい。本発明の範囲は、上記した説明ではなく請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。
【符号の説明】
【００８５】
１，１ｂ，１ｃ，１ｅ，１ｆ，１ｇ，１ｈ，１ｉ，１ｊ  プローブピン、３，３ｃ  筒体、４  第１開口、５  第１端部、６  第２端部、７，７ｃ  第１凸部、８  第２凸部、９  内壁、１０，１０ｂ，１０ｆ，１０ｇ  プランジャ、１１  接触端子部、１２，１２ｆ  第３端部、１３，１３ｂ  プランジャ本体部、１４  ネック部、１５，１５ｆ  ヘッド部、１６  第１らせん溝、１７  第２らせん溝、１８  ねじられた平板、１９  プランジャサブ部材、２０  コイルバネ、２１  第４端部、３０，３０ｅ，３０ｆ，３０ｉ，３０ｊ  接続部材、３１，３１ｅ，３１ｆ，３１ｉ，３１ｊ  第１サブ接続部材、３２，３２ｆ，３２ｊ  第１端面、３３，３３ｅ，３３ｆ，３３ｉ  第２端面、３４  凹部、３５  側面、３６  突出部、３８  第３端面、４０，４０ｊ  第２サブ接続部材、４１，４１ｊ  第４端面、５０，５２  導電性接合部材、６０  第１の治具、６１，６４  凹部、６３  第２の治具。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【国際調査報告】
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