(57)【要約】  本発明は、フッ素化飽和炭化水素を高濃度で含有するドライエッチング用組成物について、保管中または使用中にフッ素化飽和炭化水素が分解するのを抑制することを目的とする。本発明のドライエッチング用組成物は、フッ素化飽和炭化水素を９９体積％以上含有するドライエッチング用組成物であって、アミン化合物を更に含有する。なお、ドライエッチング用組成物は、共沸組成物または共沸様組成物であることが好ましい。【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素化飽和炭化水素を９９体積％以上含有するドライエッチング用組成物であって、
アミン化合物を更に含有する、ドライエッチング用組成物。
【請求項２】
共沸組成物または共沸様組成物である、請求項１に記載のドライエッチング用組成物。
【請求項３】
前記フッ素化飽和炭化水素の沸点と、前記アミン化合物の沸点との差の絶対値が２５℃以下である、請求項１または２に記載のドライエッチング用組成物。
【請求項４】
前記アミン化合物が、炭素数が３以上５以下のアミンよりなる、請求項１〜３の何れかに記載のドライエッチング用組成物。
【請求項５】
前記フッ素化飽和炭化水素が、Ｃ３Ｈ７Ｆ、Ｃ３Ｈ６Ｆ２、Ｃ４Ｈ９Ｆ、Ｃ４Ｈ８Ｆ２、Ｃ５Ｈ１１ＦまたはＣ５Ｈ１０Ｆ２である、請求項１〜４の何れかに記載のドライエッチング用組成物。
【請求項６】
前記アミン化合物の濃度が０．０１体積％以上１体積％以下である、請求項１〜５の何れかに記載のドライエッチング用組成物。
【請求項７】
少なくとも内表面が、ステンレス鋼、マンガン鋼、炭素鋼またはクロムモリブデン鋼からなる容器に請求項１〜６の何れかに記載のドライエッチング用組成物を充填してなる、ドライエッチング用組成物充填済み容器。
【請求項８】
前記容器の内面の最大高さ（Ｒｍａｘ）が、２５μｍ以下である、請求項７に記載のドライエッチング用組成物充填済み容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ドライエッチング用組成物およびドライエッチング用組成物充填済み容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、２−フルオロブタンなどのフッ素化飽和炭化水素を高濃度で含有する組成物が、ドライエッチング用ガスとして用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１４／１３６８７７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、フッ素化飽和炭化水素を例えば９９体積％以上の高濃度で含有する組成物は、保管中または使用中にフッ素化飽和炭化水素が分解してフッ素化飽和炭化水素の濃度が低下することがあった。特に、フッ素化飽和炭化水素の分解は、フッ素化飽和炭化水素を高濃度で含有する組成物と、ステンレス鋼およびマンガン鋼などの金属、或いは、酸化アルミニウム、二酸化ケイ素、ゼオライト、陽イオン交換樹脂(プロトン型)などの固体酸とを接触させた際に起こり易かった。【０００５】
そのため、フッ素化飽和炭化水素を高濃度で含有する組成物について、保管中または使用中にフッ素化飽和炭化水素が分解するのを抑制することが求められていた。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで、本発明者は、フッ素化飽和炭化水素の分解を抑制することを目的として鋭意検討を行った。そして、本発明者は、フッ素化飽和炭化水素を高濃度で含有する組成物にアミン化合物を配合すれば、フッ素化飽和炭化水素が経時的に分解するのを抑制することができることを新たに見出し、本発明を完成させた。【０００７】
即ち、この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明のドライエッチング用組成物は、フッ素化飽和炭化水素を９９体積％以上含有するドライエッチング用組成物であって、アミン化合物を更に含有することを特徴とする。このように、フッ素化飽和炭化水素を高濃度で含有する組成物にアミン化合物を含有させれば、フッ素化飽和炭化水素が分解するのを抑制することができる。
なお、本発明において、フッ素化飽和炭化水素の濃度は、ガスクロマトグラフを用いて測定することができる。【０００８】
ここで、本発明のドライエッチング用組成物は、共沸組成物または共沸様組成物であることが好ましい。ドライエッチング用組成物が共沸組成物または共沸様組成物であれば、ドライエッチング用組成物を気化させて使用する際にフッ素化飽和炭化水素とアミン化合物との双方を良好に気化させ、使用中にドライエッチング用組成物の組成が変動するのを抑制することができる。
なお、本発明において、「共沸組成物」とは、液相と平衡にある気相が液相と同一の組成を示す混合物を意味し、「共沸様組成物」とは、液相と平衡にある気相が液相と類似の組成を示す混合物を意味する。【０００９】
また、本発明のドライエッチング用組成物は、前記フッ素化飽和炭化水素の沸点と、前記アミン化合物の沸点との差の絶対値が２５℃以下であることが好ましい。フッ素化飽和炭化水素の沸点とアミン化合物の沸点との差の絶対値が２５℃以下であれば、ドライエッチング用組成物を気体状態で使用する際にドライエッチング用組成物の組成が変動するのを抑制することができる。
なお、本発明において、フッ素化飽和炭化水素の沸点およびアミン化合物の沸点は、ＪＩＳ Ｋ２２５４に準拠して大気圧（１ａｔｍ）下で測定することができる。【００１０】
更に、本発明のドライエッチング用組成物は、前記アミン化合物が、炭素数が３以上５以下のアミンよりなることが好ましい。炭素数が３以上５以下のアミンは、取り扱いが容易であると共に、フッ素化飽和炭化水素の分解抑制効果に優れている。【００１１】
なお、本発明のドライエッチング用組成物が含有する前記フッ素化飽和炭化水素としては、特に限定されることなく、例えばＣ３Ｈ７Ｆ、Ｃ３Ｈ６Ｆ２、Ｃ４Ｈ９Ｆ、Ｃ４Ｈ８Ｆ２、Ｃ５Ｈ１１Ｆ、Ｃ５Ｈ１０Ｆ２が挙げられる。【００１２】
そして、本発明のドライエッチング用組成物は、前記アミン化合物の濃度が０．０１体積％以上１体積％以下であることが好ましい。アミン化合物の濃度が０．０１体積％以上１体積％以下であれば、フッ素化飽和炭化水素の分解を十分に抑制することができる。
なお、本発明において、アミン化合物の濃度は、ガスクロマトグラフを用いて測定することができる。【００１３】
ここで、上述したドライエッチング用組成物を、少なくとも内表面がステンレス鋼、マンガン鋼、炭素鋼またはクロムモリブデン鋼からなる容器に充填すれば、ドライエッチング用組成物充填済み容器を得ることができる。
ここで、前記容器の内面の最大高さ（Ｒｍａｘ）は、２５μｍ以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のドライエッチング用組成物によれば、保管中または使用中にフッ素化飽和炭化水素が分解するのを抑制することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
ここで、本発明のドライエッチング用組成物は、フッ素化飽和炭化水素を高濃度で含有する組成物であり、特に限定されることなく、例えば窒化シリコン膜を選択的にドライエッチングする際のドライエッチング用ガスとして特に好適に用いることができる。
【００１６】
（ドライエッチング用組成物）
本発明のドライエッチング用組成物は、フッ素化飽和炭化水素と、アミン化合物とを含有する。そして、本発明のドライエッチング用組成物は、アミン化合物を含有しているので、保管中または使用中にフッ素化飽和炭化水素が分解するのを抑制することができる。
ここで、フッ素化飽和炭化水素が分解するのを抑制することができる理由は、明らかではないが、アミン化合物が、ドライエッチング用組成物の保管中または使用中にドライエッチング用組成物が接触する部材の表面に存在するルイス酸に吸着することにより、ルイス酸を触媒としたフッ素化飽和炭化水素の分解反応（例えば、脱ＨＦ反応）が発生するのを抑制するためにフッ素化飽和炭化水素の分解が抑制されると推察される。なお、ルイス酸を表面に有する部材としては、特に限定されることなく、例えば、ステンレス鋼およびマンガン鋼などの金属からなる部材、酸化アルミニウム、二酸化ケイ素、ゼオライト、陽イオン交換樹脂(プロトン型)などの固体酸からなる部材が挙げられる。
【００１７】
＜フッ素化飽和炭化水素＞
本発明のドライエッチング用組成物が含有するフッ素化飽和炭化水素としては、飽和炭化水素の水素原子の一部がフッ素原子で置換された構造を有する化合物であれば特に限定されることなく、ドライエッチング用に適した既知のフッ素化飽和炭化水素を用いることができる。
なお、本発明のドライエッチング用組成物は、通常、１種類のフッ素化飽和炭化水素のみを含有するが、２種類以上のフッ素化飽和炭化水素を含有していてもよい。
【００１８】
具体的には、フッ素化飽和炭化水素としては、好ましくは炭素数が３以上５以下のフッ素化飽和炭化水素が挙げられる。炭素数が３以上のフッ素化飽和炭化水素は、アミン化合物による分解抑制効果が大きい（即ち、アミン化合物無しでは分解反応を起こし易い）からである。また、炭素数が６以上のフッ素化飽和炭化水素は、沸点が高く、ドライエッチング用ガスとして使用し難いからである。
中でも、アミン化合物による分解抑制効果が大きい（即ち、アミン化合物無しでは分解反応を起こし易い）フッ素化飽和炭化水素としては、例えばＣ３Ｈ７Ｆ、Ｃ３Ｈ６Ｆ２、Ｃ４Ｈ９Ｆ、Ｃ４Ｈ８Ｆ２、Ｃ５Ｈ１１Ｆ、Ｃ５Ｈ１０Ｆ２などのフッ素化飽和炭化水素が挙げられる。
【００１９】
ここで、分子式がＣ３Ｈ７Ｆのフッ素化飽和炭化水素としては、１−フルオロプロパン、２−フルオロプロパンが挙げられ、分子式がＣ３Ｈ６Ｆ２のフッ素化飽和炭化水素としては、１，１−ジフルオロプロパン、１，２−ジフルオロプロパン、２，２−ジフルオロプロパンが挙げられる。
また、分子式がＣ４Ｈ９Ｆのフッ素化飽和炭化水素としては、１−フルオロブタン、２−フルオロブタン、１−フルオロ−２−メチルプロパンおよび２−フルオロ−２−メチルプロパンが挙げられ、分子式がＣ４Ｈ８Ｆ２のフッ素化飽和炭化水素としては、１，４−ジフルオロブタン、２，２−ジフルオロブタン、２，３−ジフルオロブタンが挙げられる。
更に、分子式がＣ５Ｈ１１Ｆのフッ素化飽和炭化水素としては、１−フルオロペンタン、２−フルオロペンタン、３−フルオロペンタン、１−フルオロ−２−メチルブタン、１−フルオロ−３−メチルブタン、２−フルオロ−２−メチルブタン、２−フルオロ−３−メチルブタンおよび１−フルオロ−２，２−ジメチルプロパンが挙げられ、分子式がＣ５Ｈ１０Ｆ２のフッ素化飽和炭化水素としては、１，５−ジフルオロペンタン、２，２−ジフルオロペンタン、３，３−ジフルオロペンタン、２，３−ジフルオロペンタン、２，４−ジフルオロペンタンが挙げられる。
【００２０】
上述した中でも、アミン化合物による分解抑制効果が特に大きいフッ素化飽和炭化水素としては、分子末端の炭素原子にフッ素原子が結合していないフッ素化飽和炭化水素が挙げられる。具体的には、アミン化合物による分解抑制効果が特に大きいフッ素化飽和炭化水素としては、例えば、２−フルオロプロパン、２，２−ジフルオロプロパン、２−フルオロブタン、２−フルオロ−２−メチルプロパン、２，２−ジフロオロブタン、２，３−ジフルオロブタン、２−フルオロペンタン、３−フルオロペンタン、２−フルオロ−２−メチルブタン、２−フルオロ−３−メチルブタン、２，２−ジフルオロペンタン、３，３−ジフルオロペンタン、２，３−ジフルオロペンタン、２，４−ジフルオロペンタンが挙げられる。
【００２１】
また、本発明のドライエッチング用組成物中のフッ素化飽和炭化水素の濃度は、９９体積％以上であれば適宜に調整することができるが、９９．５０体積％以上であることが好ましく、９９．８０体積％以上であることがより好ましく、９９．８５体積％以上であることが更に好ましく、９９．９０体積％以上であることが特に好ましい。
【００２２】
＜アミン化合物＞
アミン化合物としては、第一級アミン、第二級アミンおよび第三級アミンからなる群より選択される任意のアミン化合物を用いることができる。
具体的には、アミン化合物としては、メチルアミン、エチルアミン、エチレンイミン、ｎ−プロピルアミン、イソプロピルアミン、シクロプロピルアミン、アゼチジン、１−メチルアジリジン、ｎ−ブチルアミン、イソブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、ｎ−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミン、２−エチルヘキシルアミン、ｎ−ノニルアミン、ｎ−デシルアミン、ベンジルアミン、シクロヘキシルアミン、アニリン、ジメチルアミン、ジエチルアミン、エチルメチルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジ−ｎ−ブチルアミン、ジ−ｔ−ブチルアミン、ジ−ｎ−ペンチルアミン、トリメチルアミン、ジメチルエチルアミン、トリエチルアミン、トリ−ｎ−プロピルアミン、トリイソプロピルアミン、アザシクロブタン、ピロリジン、ピペリジン、ヘキサメチレンイミン、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、テトラメチレンジアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチルエチレンジアミン、ピリジン、２−メチルピリジン、３−メチルピリジン、４−メチルピリジン等が挙げられる。
なお、アミン化合物は、一種類を単独で用いてもよいし、二種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【００２３】
中でも、アミン化合物としては、炭素数が３以上５以下のアミン化合物が好ましく、炭素数が３または４のアミン化合物がより好ましい。炭素数が３以上５以下のアミン化合物は、取り扱いが容易であるからである。また、炭素数が５以下のアミン化合物は、ルイス酸などに吸着し易く、フッ素化飽和炭化水素の分解抑制効果に優れているからである。
【００２４】
また、取り扱い性の観点からは、アミン化合物は、常温常圧下で液体であることが好ましい。具体的には、大気圧（１ａｔｍ）下において、アミン化合物の融点は、１０℃以下であることが好ましく、０℃以下であることがより好ましい。また、大気圧（１ａｔｍ）下において、アミン化合物の沸点は、２５℃以上であることが好ましく、３０℃以上であることがより好ましく、５０℃以下であることが好ましく、４０℃以下であることがより好ましい。
【００２５】
なお、上述したフッ素化飽和炭化水素の沸点と、アミン化合物の沸点との差の絶対値は、２５℃以下であることが好ましく、２０℃以下であることがより好ましく、１０℃以下であることが更に好ましい。フッ素化飽和炭化水素の沸点と、アミン化合物の沸点との差の絶対値が小さければ、ドライエッチング用組成物の使用温度においてフッ素化飽和炭化水素とアミン化合物との双方を良好に気化させ、使用中にドライエッチング用組成物の組成が変動するのを抑制することができるからである。
【００２６】
また、本発明のドライエッチング用組成物中のアミン化合物の濃度は、通常、１体積％以下であり、０．０１体積％以上１体積％以下であることが好ましく、０．０１体積％以上０．１５体積％以下であることがより好ましく、０．０１体積％以上０．１体積％以下であることが更に好ましい。アミン化合物の濃度が０．０１体積％以上であれば、フッ素化飽和炭化水素の分解を十分に抑制することができるからである。また、アミン化合物の濃度が１体積％以下であれば、フッ素化飽和炭化水素の分解を十分に抑制しつつ、ドライエッチング用組成物中のフッ素化飽和炭化水素の濃度を十分に高めることが可能になるからである。
【００２７】
＜ドライエッチング用組成物の性状＞
そして、本発明のドライエッチング用組成物は、共沸組成物または共沸様組成物であることが好ましい。ドライエッチング用組成物が共沸組成物または共沸様組成物であれば、ドライエッチング用組成物を気化させてドライエッチングに使用する際に、ドライエッチング用組成物の組成が使用中に変動するのを抑制することができるからである。
なお、ドライエッチング用組成物は、組成物中に含まれている成分の種類および濃度などの組み合わせを適宜に選択することにより共沸組成物または共沸様組成物とすることができる。
【００２８】
＜調製方法＞
そして、本発明のドライエッチング用組成物は、特に限定されることなく、上述したフッ素化飽和炭化水素とアミン化合物とを既知の方法で混合して調製することができる。
【００２９】
なお、本発明のドライエッチング用組成物には、フッ素化飽和炭化水素およびアミン化合物以外の成分を配合してもよいが、本発明のドライエッチング用組成物は、フッ素化飽和炭化水素とアミン化合物のみを混合して調製することが好ましい。即ち、本発明のドライエッチング用組成物は、フッ素化飽和炭化水素、アミン化合物、および、ドライエッチング用組成物を調製する際に不可避的に混入する不純物のみを含有することが好ましい。
【００３０】
そして、調製した本発明のドライエッチング用組成物は、特に限定されることなく、例えば、少なくとも内表面が金属（例えば、ステンレス鋼、マンガン鋼、炭素鋼、クロムモリブデン鋼など）からなる容器等に充填して保管することができる。この際、本発明のドライエッチング用組成物はアミン化合物を含有しているので、保管中のフッ素化飽和炭化水素の分解が抑制される。
なお、少なくとも内表面が金属からなる容器とは、少なくとも容器の内表面部分が、ステンレス鋼、マンガン鋼、炭素鋼またはクロムモリブデン鋼などの金属からなる容器であればよく、必ずしも容器全体が金属からなるものでなくてもよいという意味である。また、少なくとも内表面が金属からなる容器の内面には、バレル研磨処理などの研磨処理が施されていてもよい。更に、容器の内面の最大高さ（Ｒｍａｘ）は、好ましくは２５μｍ以下、より好ましくは５μｍ以下である。容器の内面の最大高さ（Ｒｍａｘ）の下限値は特にないが、通常は１μｍ以上である。容器の内面の最大高さは、表面粗さ測定装置を用いて測定することができる。
【実施例】
【００３１】
以下、本発明について実施例に基づき具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。なお、以下の説明において、量を表す「％」および「部」は、特に断らない限り、質量基準である。
そして、実施例および比較例において、フッ素化飽和炭化水素、アミン化合物およびその他の化合物の濃度、並びに、ドライエッチング用組成物の安定性は、下記の方法で測定および評価した。【００３２】
＜フッ素化飽和炭化水素、アミン化合物およびその他の化合物の濃度＞
調製したドライエッチング用組成物について、ガスクロマトグラフィーによりフッ素化飽和炭化水素の濃度、アミン化合物の濃度およびその他の化合物の濃度を測定した。
なお、濃度の測定に使用した装置（ガスクロマトグラフ）および条件は以下のとおりである。
・装置：Ａｇｉｌｅｎｔ（登録商標）７８９０Ａ（アジレント社製）
・カラム：ジーエルサイエンス社製、製品名「Ｉｎｅｒｔ Ｃａｐ（登録商標）１」、長さ６０ｍ、内径０．２５ｍｍ、膜厚１．５μｍ
・カラム温度：４０℃で２０分間保持
・インジェクション温度：８０℃
・キャリヤーガス：窒素
・スプリット比：４０／１
・検出器：ＦＩＤ
＜ドライエッチング用組成物の安定性＞
ドライエッチング用組成物の安定性は、アルミナセラミック製のフィルター（ピュアロンジャパン社製、型式：ＰＤＦ−３−０２ＳＷ・ＰＣ０７）およびマスフローコントローラー（堀場エステック社製、ＭＯＤＥＬ：ＳＥＣ−２５１１Ｘ）を設けたＳＵＳ−３１６製配管で組成物充填容器とガスクロマトグラフとを連結してなる安定性評価装置を用いて評価した。
具体的には、調製したドライエッチング用組成物を組成物充填容器に充填した後、アルミナセラミック製のフィルターをヒーターで５０℃に加熱した状態でドライエッチング用組成物を組成物充填容器からガスクロマトグラフへと流し、フィルターを通過してガスクロマトグラフへと流入したドライエッチング用組成物中のフッ素化飽和炭化水素の濃度を測定した。そして、調製したドライエッチング用組成物中のフッ素化飽和炭化水素の濃度（Ｃ０）と、ガスクロマトグラフへと流入したドライエッチング用組成物中のフッ素化飽和炭化水素の濃度（Ｃ１）とを比較し、フッ素化飽和炭化水素の分解の有無を確認した。
なお、組成物充填容器としては、マンガン鋼製の容器（内面のＲｍａｘ：２５μｍ以下）を用いた。また、フッ素化飽和炭化水素の濃度（Ｃ１）の測定に使用したガスクロマトグラフおよび条件は以下のとおりである。
・ガスクロマトグラフ：Ａｇｉｌｅｎｔ（登録商標）７８９０Ａ（アジレント社製）
・カラム：ジーエルサイエンス社製、製品名「Ｉｎｅｒｔ Ｃａｐ（登録商標）１」、長さ６０ｍ、内径０．２５ｍｍ、膜厚１．５μｍ
・カラム温度：４０℃で２０分間保持
・インジェクション温度：８０℃
・キャリヤーガス：窒素
・スプリット比：４０／１
・検出器：ＦＩＤ【００３３】
（実施例１〜３）
フッ素化飽和炭化水素としての２−フルオロブタンと、表１に示すアミン化合物とを混合してドライエッチング用組成物（不可避的に混入した不純物を含む）を調製した。そして、ドライエッチング用組成物について、含有されている化合物の濃度を測定すると共に、安定性を評価した。結果を表１に示す。【００３４】
（比較例１）
アミン化合物を使用することなく、２−フルオロブタンおよび不可避的に混入した不純物のみからなるドライエッチング用組成物を用いた以外は実施例１と同様にして、測定および評価を行った。結果を表１に示す。【００３５】
（比較例２〜３）
アミン化合物を使用することなく、フッ素化飽和炭化水素としての２−フルオロブタンと、表１に示すその他の化合物とを混合してドライエッチング用組成物（不可避的に混入した不純物を含む）を調製した。そして、ドライエッチング用組成物について、含有されている化合物の濃度を測定すると共に、安定性を評価した。結果を表１に示す。【００３６】
【表１】
2017159544.tif 000002
【００３７】
（実施例４）
フッ素化飽和炭化水素としての２，２−ジフルオロブタンと、表２に示すアミン化合物とを混合してドライエッチング用組成物（不可避的に混入した不純物を含む）を調製した。そして、ドライエッチング用組成物について、含有されている化合物の濃度を測定すると共に、安定性を評価した。結果を表２に示す。【００３８】
（比較例４）
アミン化合物を使用することなく、２，２−ジフルオロブタンおよび不可避的に混入した不純物のみからなるドライエッチング用組成物を用いた以外は実施例４と同様にして、測定および評価を行った。結果を表２に示す。【００３９】
（比較例５）
アミン化合物を使用することなく、フッ素化飽和炭化水素としての２，２−ジフルオロブタンと、表２に示すその他の化合物とを混合してドライエッチング用組成物（不可避的に混入した不純物を含む）を調製した。そして、ドライエッチング用組成物について、含有されている化合物の濃度を測定すると共に、安定性を評価した。結果を表２に示す。【００４０】
【表２】
2017159544.tif 000003
【００４１】
（実施例５〜６）
フッ素化飽和炭化水素としての１−フルオロブタンと、表３に示すアミン化合物とを混合してドライエッチング用組成物（不可避的に混入した不純物を含む）を調製した。そして、ドライエッチング用組成物について、含有されている化合物の濃度を測定すると共に、安定性を評価した。結果を表３に示す。【００４２】
（比較例６）
アミン化合物を使用することなく、１−フルオロブタンおよび不可避的に混入した不純物のみからなるドライエッチング用組成物を用いた以外は実施例５と同様にして、測定および評価を行った。結果を表３に示す。【００４３】
【表３】
2017159544.tif 000004
【００４４】
（実施例７）
フッ素化飽和炭化水素としての２−フルオロペンタンと、表４に示すアミン化合物とを混合してドライエッチング用組成物（不可避的に混入した不純物を含む）を調製した。そして、ドライエッチング用組成物について、含有されている化合物の濃度を測定すると共に、安定性を評価した。結果を表４に示す。【００４５】
（比較例７）
アミン化合物を使用することなく、２−フルオロペンタンおよび不可避的に混入した不純物のみからなるドライエッチング用組成物を用いた以外は実施例７と同様にして、測定および評価を行った。結果を表４に示す。【００４６】
【表４】
2017159544.tif 000005
【００４７】
（実施例８）
フッ素化飽和炭化水素としての２−フルオロプロパンと、表５に示すアミン化合物とを混合してドライエッチング用組成物（不可避的に混入した不純物を含む）を調製した。そして、ドライエッチング用組成物について、含有されている化合物の濃度を測定すると共に、安定性を評価した。結果を表５に示す。【００４８】
（比較例８）
アミン化合物を使用することなく、２−フルオロプロパンおよび不可避的に混入した不純物のみからなるドライエッチング用組成物を用いた以外は実施例８と同様にして、測定および評価を行った。結果を表５に示す。【００４９】
【表５】
2017159544.tif 000006
【００５０】
表１〜５より、アミン化合物を配合した実施例１〜８のドライエッチング用組成物では、フッ素化飽和炭化水素の分解が抑制されることが分かる。【００５１】
（実施例９〜１８および比較例９〜１４）
表６に示す組成のドライエッチング用組成物（不可避的に混入した不純物を含む）を調製した。また、表６に示す材質のガス充填容器（内面のＲｍａｘ：２５μｍ以下）を準備した。
次に、準備したガス充填容器にドライエッチング用組成物を充填し、温度５５℃で３０日間静置した。そして、静置後のフッ素化飽和炭化水素の濃度をガスクロマトグラフで測定し、フッ素化飽和炭化水素の分解量を算出した。結果を表６に示す。
なお、フッ素化飽和炭化水素の濃度の測定に使用したガスクロマトグラフおよび条件は以下のとおりである。
・ガスクロマトグラフ：Ａｇｉｌｅｎｔ（登録商標）７８９０Ａ（アジレント社製）
・カラム：ジーエルサイエンス社製、製品名「Ｉｎｅｒｔ Ｃａｐ（登録商標）１」、長さ６０ｍ、内径０．２５ｍｍ、膜厚１．５μｍ
・カラム温度：４０℃で２０分間保持
・インジェクション温度：８０℃
・キャリヤーガス：窒素
・スプリット比：４０／１
・検出器：ＦＩＤ【００５２】
以下に示す表６中、
「ＳＵＳ」は、ステンレス鋼を示し
「Ｍｎ」はマンガン鋼を示し
「ＣｒＭｏ」はクロムモリブデン鋼を示す。【００５３】
【表６】
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【００５４】
表６より、アミン化合物を配合した実施例９〜１８のドライエッチング用組成物では、フッ素化飽和炭化水素の分解が抑制されることが分かる。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明のドライエッチング用組成物によれば、保管中または使用中にフッ素化飽和炭化水素が分解するのを抑制することができる。
【国際調査報告】
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