(57)【要約】  液体材料を所望の高さの上方まで持ち上げること可能にしながら、従来よりも低圧で供給する事を可能とする液体材料供給装置を提供するために、液体材料が貯留される貯留容器と、前記貯留容器から液体材料が外部へと導出される導出管と、前記導出管と接続され、前記貯留容器から導出された所定量の液体材料が一時滞留する一時滞留部と、前記一時滞留部に一時滞留している液体材料に気体を接触させて、当該気体で上方へ押し上げて移送するように構成された圧送機構とを備えた。
2018110649.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体材料が貯留される貯留容器と、
前記貯留容器から液体材料が外部へと導出される導出管と、
前記導出管と接続され、前記貯留容器から導出された所定量の液体材料が一時滞留する一時滞留部と、
前記一時滞留部に一時滞留している液体材料に気体を接触させて、当該気体で上方へ押し上げて移送するように構成された圧送機構とを備えていることを特徴とする液体材料供給装置。
【請求項２】
前記貯留容器内へ気体を導入する導入管をさらに備え、
前記圧送機構が、
前記導入管から導入される気体により前記貯留容器内の液体材料の液面を加圧して、前記導出管が液体材料で実質的に満たされた状態で前記貯留容器から前記一時滞留部へ液体材料を移送する第１加圧ラインと、
前記第１加圧ラインによって前記一時滞留部へ液体材料が移送された後に前記導出管中の液体材料を当該導出管外へ移送する液戻しラインと、
前記液戻しラインによって液体材料が前記導出管内から当該導出管外へ移送された後に前記一時滞留部に一時滞留している液体材料の下端側の液面を気体で加圧して上方へ押し上げて移送する第２加圧ラインとを備えたものである請求項１記載の液体材料供給装置。
【請求項３】
前記導出管内へ前記一時滞留部に一時滞留している液体材料を移送するための気体を供給する気体供給管をさらに備えた請求項１又は２記載の液体材料供給装置。
【請求項４】
前記気体供給管が、前記導入管と前記導出管との間を接続するように設けられており、
前記圧送機構が、
前記導入管に設けられた第１バルブと、
前記気体供給管に設けられた第２バルブと、
少なくとも前記第１バルブと前記第２バルブの開閉を制御する制御部と、
前記導入管に設けられた所定の流量で気体を流す流量制御器とをさらに備え、
前記制御部が、前記第１バルブを閉止するとともに前記第２バルブを開放して、前記気体供給管から前記導出管内へ気体が供給されるように構成されている請求項３記載の液体材料供給装置。
【請求項５】
前記一時滞留部が、
液体材料が一時滞留する滞留室と、
前記滞留室の下端部に設けられた下端側バルブと、を備えたものである請求項１乃至４いずれかに記載の液体材料供給装置。
【請求項６】
請求項１乃至５いずれかに記載の液体材料供給装置と、
液体材料が気化される１又は複数の気化器と前記一時滞留部との間を接続する液体材料供給管とを備えたことを特徴とする材料ガス供給システム。
【請求項７】
液体材料供給管が、
一端が前記一時滞留部に接続される主配管と、
前記主配管から分岐して再び当該主配管に合流する１又は複数の分岐管と、を具備し、
前記分岐管に複数の気化器が接続されるように構成された請求項６記載の材料ガス供給システム。
【請求項８】
液体材料が貯留される貯留容器に貯留されている液体材料を導出管を介して貯留容器の外部へと導出し、前記導出管に接続された一時滞留部に所定量の液体材料を一時滞留させることと、
前記一時滞留部に一時滞留している液体材料に気体を接触させて、当該気体で上方へ押し上げて移送することを備えていることを特徴とする液体材料供給方法。
【請求項９】
液体材料を供給先へ供給する液体材料供給装置であって、
前記液体材料が貯留される貯留容器と、
前記貯留容器から前記供給先へ液体材料を供給する液体供給管と、
前記貯留容器から前記供給先へ液体材料が供給された後に前記液体供給管内に滞留する液体材料をパージするパージ機構と、を具備していることを特徴とする液体材料供給装置。
【請求項１０】
前記パージ機構が、
前記液体供給管内に滞留する液体材料を当該液体供給管の外部へ排液する排液ラインと、
前記排液ラインによって前記液体供給管内に滞留する液体材料を排液した後に、前記液体供給管内に気体を通気させる通気ラインと、を備えている請求項９記載の液体材料供給装置。
【請求項１１】
前記パージの完了条件を記憶するパージ完了条件記憶部と、
前記完了条件を満たした場合に前記パージが完了したと判断するパージ完了判断部と、をさらに具備している請求項１又は２のいずれかに記載の液体材料供給装置。
【請求項１２】
前記パージ完了条件記憶部が、前記通気ラインにおける所定の通気条件を前記完了条件として記憶しており、
前記パージ完了判断部が、前記通気ラインにおける通気条件が前記所定の通気条件を満たした場合に前記パージが完了したと判断するように構成されている請求項１１記載の液体材料供給装置。
【請求項１３】
前記通気ラインによって前記液体供給管内に気体を通気させた後に、前記液体供給管内に残留する液体材料の気化に伴って変動する値を測定する測定装置をさらに具備し、
前記パージ完了条件記憶部が、前記測定装置によって測定される測定値の閾値を前記完了条件として記憶しており、
前記パージ完了判断部が、前記測定装置によって測定された測定値が前記閾値に達した場合にパージが完了したと判断するように構成されている請求項１１記載の液体材料供給装置。
【請求項１４】
前記パージ機構が、前記通気ラインによって前記液体供給管内に気体を通気させた後に、前記液体供給管内を減圧する減圧ラインをさらに備え、
前記測定装置が、前記減圧ラインによって減圧された前記液体供給管内の圧力を測定するように構成されている請求項１３記載の液体材料供給装置。
【請求項１５】
前記測定装置が、複数の圧力センサを備えており、
前記複数の圧力センサが、それぞれ異なる圧力レンジを備えるものである請求項１４記載の液体材料供給装置。
【請求項１６】
前記排液ラインが、前記液体供給管の前記供給先に対して前記貯留容器側と反対側から当該液体供給管内に気体を供給し、前記液体供給管内に滞留する液体材料を前記貯留容器内に圧送するように構成されている請求項１０乃至１５のいずれかに記載の液体材料供給装置。
【請求項１７】
前記請求項９乃至１６のいずれかに記載の液体材料供給装置と、
前記液体材料供給装置によって液体材料を供給する供給先であって、その液体材料を気化して材料ガスを生成する少なくとも一つの気化器と、を具備していることを特徴とする材料ガス供給システム。
【請求項１８】
貯留容器に貯留された液体材料を液体供給管を介して供給先へ供給した後に当該液体供給管に滞留する液体材料をパージする液体供給管のパージ方法であって、
前記液体供給管内に滞留する液体材料を排液することと、
前記排液後に前記液体供給管内に気体を通気させることと、を備えることを特徴とする液体材料管のパージ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造等に用いられる液体材料を気化器等へ供給する液体材料供給装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセスでは、バブラー等の気化器に液体材料を供給するために液体材料供給装置が用いられている。例えば特許文献１に示されるように液体材料が貯留されているタンク内にキャリアガスを導入管から導入して液体材料の液面を加圧することで導出管から液体材料を圧送して、前記気化器まで液体材料を供給する事が行われている。【０００３】
ところで、床面の近くに設置されている液体材料供給装置や気化器を接続する配管は工場内の他の機器やそれをつなぐ配管との干渉を避ける必要がある。このため、このような配管は接続元の液体材料供給装置からまず垂直方向に延ばした後に天井において水平方向に這わせ、接続先の気化器の近くまで到達すると垂直方向に下ろして接続することが行われている。【０００４】
さらに、床面から天井までは例えば１０ｍ程度の高さがあるので、液体材料による液柱がその高さまで形成されるように液体材料供給装置は液体材料に対して圧力を加えている。【０００５】
しかしながら、上記のような高圧状態となった液体材料を気化器に供給することは難しくなりつつある。これは腐食性の液体材料を気化させる用途が増えるにつれて、耐食性はあるものの耐圧強度が金属製の気化器に劣る石英製の気化器が用いられつつあることに起因する。すなわち、従来の金属製の気化器と同様の圧力で液体材料を供給すると、石英製の気化器は破損に至る可能性が考えられる。【０００６】
さらに、貯留容器から気化器まで導かれる配管として金属製の配管を使用した場合には、当該配管を介して当該気化器へ液体材料を供給した後に、配管内に滞留する腐食性の液体材料を放置しておくと、配管内の腐食が進行し、比較的短周期で工場内に張り巡らせた配管を代えなければならないという問題が生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許５１５５８９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は上述したような問題を鑑みてなされたものであり、液体材料を所望の高さの上方まで持ち上げること可能にしながら、従来よりも低圧で供給する事を可能とする液体材料供給装置を提供する事を目的とする。また、本発明は、配管の寿命を延ばす事を更なる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、本発明に係る液体材料供給装置は、液体材料が貯留される貯留容器と、前記貯留容器から液体材料が外部へと導出される導出管と、前記導出管と接続され、前記貯留容器から導出された所定量の液体材料が一時滞留する一時滞留部と、前記一時滞留部に一時滞留している液体材料に気体を接触させて、当該気体で上方へ押し上げて移送するように構成された圧送機構とを備えていることを特徴とする。【００１０】
また、本発明に係る液体材料供給方法は、液体材料が貯留される貯留容器に貯留されている液体材料を導出管を介して貯留容器の外部へと導出し、前記導出管に接続された一時滞留部に所定量の液体材料を一時滞留させることと、前記一時滞留部に一時滞留している液体材料に気体を接触させて、当該気体で上方へ押し上げて移送することを備えていることを特徴とする。【００１１】
このようなものであれば、前記一時滞留部にある所定量の液体材料だけを気体により圧力をかけて上方に移送するので、例えば従来のように前記貯留容器のある場所から天井までの配管中を全て液密にして移送している場合と比較して液体材料を圧送するのに必要となる圧力を小さくできる。【００１２】
このため、石英製の気化器等の耐圧強度の低い機器に対して従来よりも低圧の液体材料を供給できるので、破損が起こる可能性を大幅に低減できる。【００１３】
前記貯留容器に貯留されている液体材料から気化器等の他の機器に供給しなくてはならない最小限の量だけを前記一時滞留部に滞留させ、当該一時滞留部にある液体材料だけを気体により加圧して上方に移送できるようにするには、前記貯留容器内へ気体を導入する導入管をさらに備え、前記圧送機構が、前記導入管から導入される気体により前記貯留容器内の液体材料の液面を加圧して、前記導出管が液体材料で実質的に満たされた状態で前記貯留容器から前記一時滞留部へ液体材料を移送する第１加圧ラインと、前記第１加圧ラインによって前記一時滞留部へ液体材料が移送された後に前記導出管中の液体材料を当該導出管外へ移送する液戻しラインと、前記液戻しラインによって液体材料が前記導出管内から当該導出管外へ移送された後に前記一時滞留部に一時滞留している液体材料の下端側の液面を気体で加圧して上方へ押し上げて移送する第２加圧ラインとを備えたものであればよい。【００１４】
ここで、本明細書において「ライン」とは複数の流体機器の集合体であり、液体材料又は気体をある場所から別の箇所へと流す機能を有する概念のものである。また、「管」とは「ライン」の一部を構成するものである。【００１５】
前記一時滞留部に滞留している液体材料に対して直接気体を供給できるようにするには、前記導出管内へ前記一時滞留部に一時滞留している液体材料を移送するための気体を供給する気体供給管をさらに備えたものであればよい。【００１６】
液体材料を前記貯留容器から前記一時滞留部まで移送する圧送手段と、前記一時滞留部に滞留している所定の液体材料のみを気化器等までに移送する圧送手段を共通化できるようにするには、前記気体供給管が、前記導入管と前記導出管との間を接続するように設けられており、前記圧送機構が、前記導入管に設けられた第１バルブと、前記気体供給管に設けられた第２バルブと、前記導入管に設けられた所定の流量で気体を流す流量制御器とをさらに備え、前記制御部が、前記第１バルブを閉止するとともに前記第２バルブを開放して、前記気体供給管から前記導出管内へ気体が供給されるように構成されていればよい。【００１７】
簡単な構成で所定量の液体材料を一時滞留させられるようにするとともに、所定の液体材料の下端側に気体を導入して上方へ移送しやすくするには、前記一時滞留部が、液体材料が一時滞留する滞留室と、前記滞留室の下端部に設けられた下端側バルブと、を備えたものであればよい。【００１８】
本発明に係る液体材料供給装置と、液体材料が気化される１又は複数の気化器と前記一時滞留部との間を接続する液体材料供給管とを備えたことを特徴とする材料ガス供給システムであれば、低圧で液体材料を前記気化器に供給することができるので、液体材料が腐食性のものであり、前記気化器が石英製で耐圧強度の低いものに適したシステムにすることができる。【００１９】
複数の気化器が接続される配管であっても、残っている液体材料等をパージできるようにするには、液体材料供給管が、一端が前記一時滞留部に接続される主配管と、前記主配管から分岐して再び当該主配管に合流する１又は複数の分岐管と、を具備し、前記分岐管に複数の気化器が接続されるように構成されたものであればよい。【００２０】
また、本発明は、液体材料を供給先へ供給する液体材料供給装置であって、前記液体材料が貯留される貯留容器と、前記貯留容器から前記供給先へ液体材料を供給する液体供給管と、前記貯留容器から前記供給先へ液体材料が供給された後に前記液体供給管内に滞留する液体材料をパージするパージ機構と、を具備していることを特徴とするものである。【００２１】
このようなものであれば、貯留容器から液体供給管を介して供給先へ液体材料を供給した後に、その液体供給管内に滞留する液体材料をパージすることができる。これにより、パージ作業を実施することにより、液体供給管内に液体材料が長期間滞留されることが防止でき、液体供給管の寿命が延びる。【００２２】
また、前記液体材料供給装置において、前記パージ機構が、前記液体供給管内に滞留する液体材料を当該液体供給管の外部へ排液する排液ラインと、前記排液ラインによって前記液体供給管内に滞留する液体材料を排液した後に、前記液体供給管内に気体を通気させる通気ラインと、を備えているものであってもよい。【００２３】
このようなものであれば、液体供給管内に滞留する液体材料を外部に排水した後に、その液体供給管内に気体を通過させるため、液体供給管内に付着して残留する液体材料が気体によって気化させることができる。これにより、液体供給管内に付着した液滴による腐食も防止でき、さらに液体供給管の寿命を延ばすことができる。【００２４】
また、前記液体材料供給装置において、前記パージの完了条件を記憶するパージ完了条件記憶部と、前記完了条件を満たした場合に前記パージが完了したと判断するパージ完了判断部と、をさらに具備しているものであってもよい。【００２５】
このようなものであれば、予め試験等によって液体供給管内から液体材料が許容できる程度にパージされる条件を特定し、その特定した条件を完了条件としてパージ完了条件記憶部に記憶しておけば、パージ不足を防止できる。また、必要最低限のパージを最短時間で実施することができ、作業効率が向上する。【００２６】
また、この場合、前記パージ完了条件記憶部が、前記通気ラインにおける所定の通気条件を前記完了条件として記憶し、前記パージ完了判断部が、前記通気ラインにおける通気条件が前記所定の通気条件を満たした場合に前記パージが完了したと判断するように構成してもよい。【００２７】
さらに、前記通気ラインによって前記液体供給管内に気体を通気させた後に、前記液体供給管内に残留する液体材料の気化に伴って変動する値を測定する測定装置をさらに具備し、前記パージ完了条件記憶部が、前記測定装置によって測定される測定値の閾値を前記完了条件として記憶し、前記パージ完了判断部が、前記測定装置によって測定された測定値が前記閾値に達した場合にパージが完了したと判断するように構成してもよい。この場合、前記パージ機構が、前記通気ラインによって前記液体供給管内に気体を通気させた後に、前記液体供給管内を減圧する減圧ラインをさらに備え、前記測定装置が、前記減圧ラインによって減圧された前記液体供給管内の圧力を測定するように構成してもよい。【００２８】
前記測定装置が、前記減圧ラインによって減圧された前記液体供給管内の圧力を測定するように構成してもよい。【００２９】
なお、前記測定装置として圧力センサを使用する場合には、それぞれ異なる測定レンジを備える複数の圧力センサを備えればよい。このようにすれば、測定装置によって減圧ラインで減圧された液体供給管内の圧力を測定する場合に、測定レンジの高い圧力センサから順番に使用することにより、圧力センサの破損を防止できる。詳述すると、通気ラインによる通気が不十分な状態で減圧ラインによって減圧した液体供給管内の圧力を測定しようとすると、液体供給管内は、気化した液体材料によって圧力が上昇を測定する。このため、その液体供給管内の圧力を、測定レンジが低い、例えば、真空計で測定すると、測定レンジを越えてしまい真空計が破損する。このため、最初に測定レンジが比較的高い圧力センサで測定してある程度の圧力を把握した上で、その圧力に合ったレンジの圧力センサで測定すれば、圧力センサの破損を防止できる。【００３０】
また、前記排液ラインが、前記液体供給管の前記供給先に対して前記貯留容器側と反対側から当該液体供給管内に気体を供給し、前記液体供給管内に滞留する液体材料を前記貯留容器内に圧送するように構成されているものであってもよい。【００３１】
このようなものであれば、液体供給管内に滞留する液体材料を貯留容器に戻して再利用できる。【００３２】
また、本発明に係る材料ガス供給システムは、前記パージ機構を具備する液体材料供給装置と、前記液体材料供給装置によって液体材料を供給する供給先であって、その液体材料を気化して材料ガスを生成する少なくとも一つの気化器と、を具備していることを特徴とするものである。【００３３】
また、本発明に係る液体材料管のパージ方法は、貯留容器に貯留された液体材料を液体供給管を介して供給先へ供給した後に当該液体供給管に滞留する液体材料をパージする液体供給管のパージ方法であって、前記液体供給管内に滞留する液体材料を排液することと、前記排液後に前記液体供給管内に気体を通気させることと、を備えることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００３４】
このように本発明に係る液体材料供給装置によれば、前記一時滞留部にある所定量の液体材料を気体により上方へ移送するように構成されているので、液体材料の重量自体を小さくして上昇に必要となる圧力を低減できる。したがって、例えば気化器等の機器に低圧の液体材料を供給することが可能となる。また、本発明に係る液体材料供給装置は、パージ機構を具備しているので、貯留容器から供給先へ液体材料を供給した後に、液体供給管から液体材料をパージすることができる。これにより、液体供給管内に液体材料が長期間滞留することを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施形態１に係る液体材料供給装置、及び、材料ガス供給システムを示す模式図。
【図２】同実施形態における液体材料供給装置の動作を示す模式図。
【図３】同実施形態における材料ガス供給システム内のパージ動作について示す模式図。
【図４】本発明の別の実施形態における圧送機構の構成例を示す模式図。
【図５】本発明の実施形態２に係る材料ガス供給システム内のパージ動作について示す模式図。
【図６】同実施形態に係る材料ガス供給システム内のパージ動作について示す模式図。
【図７】同実施形態に係る材料ガス供給システム内のパージ動作について示す模式図。
【符号の説明】
【００３６】
２００・・・材料ガス供給システム
１００・・・液体材料供給装置
１    ・・・貯留容器
２    ・・・一時滞留室
３    ・・・気化器
４    ・・・圧送機構
４１  ・・・第１加圧ライン
４Ｒ  ・・・液戻しライン
４２  ・・・第２加圧ライン
Ｃ    ・・・制御部
Ｃ１  ・・・パージ完了条件記憶部
Ｃ２  ・・・パージ完了判断部
Ｃ３  ・・・排液完了判断部
Ｐ１  ・・・導入管
Ｐ２  ・・・気体供給管
Ｐ３  ・・・導出管
Ｖ１  ・・・第１バルブ
Ｖ２  ・・・第２バルブ
ＰＳ  ・・・測定装置
【発明を実施するための形態】
【００３７】
本発明の一実施形態に係る液体材料供給装置１００、及び、材料ガス供給システム２００について各図を参照しながら説明する。＜実施形態１＞  本実施形態の材料ガス供給システム２００は、半導体製造プロセスにおいて例えば成膜チャンバ等へ各種材料ガスを供給するために用いられるものである。本実施形態では例えば腐食性を有するＰＯＣｌ３やＨＦ、ＴＥＯＳ等のガスをチャンバの複数ヶ所から供給するように構成してある。
【００３８】
前記材料ガス供給システム２００は、図１に示すように液体材料を気化してチャンバ内に導入される材料ガスを生成する複数の気化器３（以下、「供給先」ともいう）と、各気化器３に原料となる液体材料を適宜供給する液体材料供給装置１００とを備えている。なお、各気化器３と例えば成膜チャンバの成分ガス導入口との間も配管で接続されているが、図１では簡単のためにそのような配管と成膜チャンバの表記を省力している。前記複数の気化器３、及び、液体材料供給装置１００は、例えばオペレータが調整作業等を行いやすいようにそれぞれ工場内の例えば床面から１〜２ｍ程度の高さまでに設置してある。一方、前記複数の気化器３と液体材料供給装置１００との間を接続する配管の一部は工場において床面から１０ｍ程度離れた天井を這うようにしてある。すなわち、配管は接続元である液体材料供給装置１００からまず垂直方向へ延び、天井まで到達すると水平方向に延びて、接続先である前記複数の気化器３の近傍で再び垂直方向に下ろされて各気化器３に接続されるようにしてある。このようにして液体材料供給装置１００と前記複数の気化器３以外の機器やその他の配管等の物理的な干渉が生じにくくしてある。
【００３９】
前記複数の気化器３は工場内の床面に設置された複数段のラック内に収容され、上下方向に積層して配置してある。各段にある複数の気化器３が１つの配管を共有して取り付けて気化器群が形成してある。各気化器３は、主配管Ｍ１から分岐する複数の分岐管Ｍ２さらにそれぞれ接続される。前記主配管Ｍ１は前記液体材料供給装置１００の天面部分に一端が接続されて、工場の天井近傍を通り、一度最下段に配置された気化器３の近傍へ下ろされる。また前記主配管Ｍ１はその最下段から最上段まで再び上方に延びており、天井を通って前記液体材料供給装置１００のパージガス導入配管に他端が接続される。前記分岐管Ｍ２は前記主配管Ｍ１から分岐して再び当該主配管Ｍ１に合流するようにループ状の配管となっている。なお、各分岐管Ｍ２及び各気化器群は上下方向に並列に設けてある。前記主配管Ｍ１と前記分岐管Ｍ２の両端はそれぞれ三方弁３Ｖで接続してあるとともに、各分岐管Ｍ２に対して各気化器３も三方弁３Ｖで接続してある。すなわち、主配管Ｍ１上に設けられた三方弁３Ｖの開閉を制御することで前記分岐管Ｍ２内に液体材料やパージ用のガスが導入されないようにして他の分岐管Ｍ２に供給することができる。また、分岐管Ｍ２に設けられている各三方弁３Ｖの開閉を制御することで、気化器群の中の一部のみに液体材料を供給したり、全ての気化器３を閉止して前記分岐管Ｍ２内をパージガスが通過できるようにしたりもできる。また、前記気化器３は腐食性の液体材料を取り扱えるように耐食性のある石英製にしてある。
【００４０】
液体材料供給装置１００は、窒素等の気体（以下、加圧ガスとも言う）により液体材料に圧力をかけて圧送して各気化器３に液体材料を供給するものである。この液体材料供給装置１００は、液体材料が貯留される貯留容器１と、前記貯留容器１内に貯留されている液体材料を前記気化器３へと移送する圧送機構４と、各種余剰ガスや液体材料の切り替え時等に配管中の液体材料を外部へパージするための排気機構（以下、「パージ機構」ともいう）とを備えている。
【００４１】
前記貯留容器１に対しては、加圧ガスを当該貯留容器１内において液体材料の充填されていない上方部分に導入するための導入管Ｐ１と、前記貯留容器１内において液体材料の内部に一端が導入され、加圧された液体材を当該貯留容器１外へ導出するための導出管Ｐ３とが設けてある。
【００４２】
前記導入管Ｐ１に対しては、窒素ガス源と接続されており、当該導入管Ｐ１上には流れる気体の流量を制御する流量制御器ＭＦＣ（マスフローコントローラ）が設けてある。
【００４３】
前記導出管Ｐ３に対しては前記貯留容器１から導出された所定量の液体材料を一時的に滞留させるための一時滞留部２が接続してある。この一時滞留部２は、前記導出管Ｐ３の垂直方向上側に接続してある配管内の容積を利用して形成した一時滞留室ＴＶと、一時滞留室ＴＶの下端部に設けられた下端側バルブと、一時滞留室ＴＶの上端側に設けられた上端側バルブと、を備えたものである。すなわち、前記下端側バルブと前記上端側バルブとの間で規定される容積内に収容可能な量の液体材料を一時的に滞留させ、その後に気化器３へ供給できるようにしてある。ここで一時滞留室ＴＶの容積は前記気化器３に供給するのに必要な量に設定してある。
【００４４】
さらに、前記貯留容器１の近傍において前記導入管Ｐ１と前記導出管Ｐ３との間には前記導入管Ｐ１を流れる加圧ガスが前記貯留容器１を迂回して前記一時滞留部２に一時滞留している液体材料に直接到達させるための気体供給管Ｐ２が設けてある。
【００４５】
前記圧送機構４は、前記貯留容器１から導出された液体材料の一部を前記一時滞留部２に一時的に滞留させ、その後前記一時滞留部２に滞留している液体材料の下端側を加圧ガスで押圧して上方へ移送し、各気化器３へ供給するように構成してある。すなわち、前記液体材料供給装置１００から前記気化器３に送出される液体材料の上流側と下流側については気体で占められるようにしてあり、下流側の気体の圧力が上流側よりも高圧となるように構成してある。
【００４６】
より具体的には、前記圧送機構４は少なくとも３種類の液体材料の動きを実現できるように第１加圧ライン４１と、液戻しライン４Ｒと、第２加圧ライン４２と、を備えている。前記圧送機構４は前記第１加圧ライン４１、前記液戻しライン４Ｒ、前記第２加圧ライン４２をこの順番で動作させることにより前記一時滞留部２に一時滞留している液体材料だけを天井近傍まで持ち上げた上で前記気化器３に圧送する。この圧送機構４は、各ラインを構成する配管上に設けられた複数のバルブと、各バルブの開閉を制御する制御部Ｃとを備えており、各バルブの開閉の組み合わせを変更することで３つの動作を実現する。本実施形態では前記導入管Ｐ１において前記貯留容器１の外側近傍に設けられた第１バルブＶ１と、前記気体供給管Ｐ２に設けられた第２バルブＶ２と、前記導出管Ｐ３において前記貯留容器１の外側近傍に設けられた第３バルブＶ３と、前記一時滞留部２を形成する下端側バルブＶＬ、及び、上端側バルブＶＵと、が前記制御部Ｃにより予め設定されたシーケンスにしたがって開閉される。
【００４７】
前記第１加圧ライン４１は、前記導入管Ｐ１から導入される加圧ガスにより前記貯留容器１内の液体材料の液面を加圧して、前記導出管Ｐ３が液体材料で実質的に満たされた状態で前記貯留容器１から前記一時滞留部２へ液体材料を移送するものである。本実施形態では、前記導入管Ｐ１、前記貯留容器１、前記導出管Ｐ３、前記一時滞留部２をこの順番で液体材料が移動するように前記第１加圧ライン４１は構成してある。
【００４８】
前記液戻しライン４Ｒは、前記第１加圧ライン４１によって前記一時滞留部２へ液体材料が移送された後に前記導出管Ｐ３中の液体材料を当該導出管Ｐ３外へ移送するものである。本実施形態では、前記第１加圧ライン４１により前記一時滞留部２の少なくとも一部、前記導出管Ｐ３の内部に液体材料が満たされた状態から、当該導出管Ｐ３内にある液体材料の一部が前記貯留容器１内へ戻される。
【００４９】
前記第２加圧ライン４２は、前記液戻しライン４Ｒによって液体材料が前記導出管Ｐ３内から当該導出管Ｐ３外へ移送された後に前記一時滞留部２に一時滞留している液体材料の下端側の液面を気体で加圧して上方へ押し上げて移送するものである。本実施形態では、前記導入管Ｐ１内を流れる加圧ガスが前記貯留容器１を経由せずに前記気体導入管Ｐ１から前記導出管Ｐ３内へ加圧ガスを導入されるようにしてある。
【００５０】
前記排気機構は、前記導入管Ｐ１から分岐するパージガス供給管Ｐ４、前記主配管Ｍ１、前記分岐管Ｍ２、前記一時滞留部２、前記導出管Ｐ３、前記気体導入管Ｐ１、前記導入管Ｐ１、前記導入管Ｐ１から分岐し吸引ポンプＰＰが設けられた排気管Ｐ６の順番で気体を流し、液体材料や余剰ガス等を外部へと排出するためのものである。前記パージガス供給管Ｐ４には、液体材料を送出する際には閉止される第４バルブＶ４が設けてあり、前記導入管Ｐ１と前記排気管Ｐ６との分岐点の近傍に第５バルブＶ５が設けてある。さらに、前記排気管Ｐ６には排気のオンオフを制御するための第６バルブＶ６が設けてある。
【００５１】
前記制御部Ｃは、例えばＣＰＵ、メモリ、入出力手段、Ａ／Ｄ・Ｄ・Ａコンバータ等を備えたコンピュータであって、前記メモリに格納されている制御プログラムに基づいて前記流量制御器ＭＦＣ、各バルブを制御して、液体材料の圧送や配管内のパージを制御する。
【００５２】
次に各気化器３への液体材料の圧送時における液体材料供給装置１００の動作について図２を参照しながら説明する。なお、図２は図１における圧送機構４に関連する機構や配管を簡略化した表記にしている。
【００５３】
図２（ａ）に示すように初期状態においては第１〜第５バルブＶ５、一時滞留部２を形成する下端側バルブＶＬ、及び、上端側バルブＶＵは閉止されている。この状態から図２（ｂ）に示されるように前記導入管Ｐ１により液体材料が貯留されている前記貯留容器１内に加圧ガスを導入するために第５バルブＶ５、第１バルブＶ１、第３バルブＶ３、下端側バルブＶＬがそれぞれ開放されて、前記第１加圧ライン４１がまず形成される。
【００５４】
図２（ｂ）に示されるように流量制御器ＭＦＣから所定流量の加圧ガスが前記貯留容器１内に導入されるので、当該貯留容器１内の液面が下方に押圧されることで、前記導出管Ｐ３から前記一時滞留部２内に至る液体材料の液柱が形成される。すなわち、第１加圧ライン４１により前記貯留容器１の近傍までの高さまでは配管内に液体材料が満たされた状態の圧送が行われる。
【００５５】
この状態から図２（ｃ）に示されるように第５バルブＶ５が閉止されて加圧ガスの導入が停止されるとともに、下端側バルブＶＬが閉止されて前記一時滞留室ＴＶ内に所定量の液体材料が閉じ込められる。この際、第６バルブＶ６は開放されて前記貯留容器１の近傍における導入管Ｐ１内の気体が前記排気管Ｐ６を介して外部へと排気され、低圧の状態に戻される。
【００５６】
次に図２（ｄ）に示されるように前記導入管Ｐ１上の前記第５バルブＶ５、及び、前記気体導入管Ｐ１上にある前記第２バルブＶ２が開放されて加圧ガスが前記導出管Ｐ３内において前記下端側バルブＶＬの下方へと導入される。この際、加圧ガスの圧力により前記導出管Ｐ３内の液体材料は前記貯留容器１内へ一部戻される。
【００５７】
その後、図２（ｅ）に示されるように前記導入管Ｐ１の第１バルブＶ１と前記排気管Ｐ６の第６バルブＶ６がそれぞれ開放されて、前記貯留容器１内及び前記導出管Ｐ３内が大気開放されて低圧状態となる。
【００５８】
さらに図２（ｆ）に示されるように前記導入管Ｐ１の第１バルブＶ１と前記導出管Ｐ３の第３バルブＶ３と前記排気管Ｐ６の２つの第６バルブＶ６がそれぞれ閉止されて、その他のバルブが開放されることにより前記流量制御器ＭＦＣから加圧ガスが前記気体供給管Ｐ２内を経由して前記導出管Ｐ３における前記第３バルブＶ３よりも上方の空間に供給され、前記一時滞留室ＴＶ内に一時滞留している液体材料の下端が上方へと押圧される。この際、前記流量制御器ＭＦＣにより実現される流量、流速は前記一時滞留部２に一時滞留している液体材料が配管内を隙間なく密閉した状態で進行していくように設定してある。
【００５９】
この結果、図２（ｇ）に示されるように前記一時滞留部２内の所定量の液体材料は上流側と下流側が気体に挟まれた状態で前記気化器３へと圧送される。
【００６０】
このように本実施形態の液体材料供給装置１００によれば、前記一時滞留部２において所定量分だけに分離された液体材料に対して加圧ガスにより圧力をかけて工場の天井の高さまで上方へ圧送するようにしてあるので、例えば従来のように前記貯留容器１のある場所から天井までの配管中の全てに液体材料を満たした状態で移送している場合と比較して液体材料の重量が小さくして圧送に必要となる圧力を小さくできる。
【００６１】
このため、腐食性の液体材料に対応させて前記気化器３が石英で形成しても、前記気化器３にかかる圧力を従来よりも小さくして、破損が起こる可能性を大幅に低減できる。
【００６２】
また、本実施形態のような前記第１加圧ライン４１、前記液戻しライン４Ｒ、前記第２加圧ライン４２が各バルブの開閉の切り替えにより切り替えられるようにすることにより、１つの窒素源で２種類の加圧方法を実現できる。このため、前記液体材料供給装置１００としての構成を簡単なものにできる。
【００６３】
次にパージ時における動作について説明する。
【００６４】
前記制御部Ｃは前記液体材料供給装置１００において、前記導入管Ｐ１の第１バルブＶ１と前記導出管Ｐ３の第３バルブＶ３については閉止して、前記貯留容器１内へは気体が通過しないようにする。一方、その他のバルブについては開放されるとともに、各気化器３の三方弁３Ｖについては気化器３内へは加圧ガスが流入しないように閉止するとともに前記分岐管Ｍ２内へは加圧ガスが通過できるように開放する。また、前記主配管Ｍ１と前記分岐管Ｍ２との間に設けられた三方弁３Ｖについては主配管Ｍ１と分岐管Ｍ２との間で加圧ガスが通過できるように開放される。
【００６５】
このように各バルブの開閉が制御されると、図３に示されるように前記導入管Ｐ１において流量制御器ＭＦＣから供給される窒素ガスは、パージガスとしてパージガス供給管Ｐ４をまず流れて主配管Ｍ１の他端側へと流入し、最上部にある分岐管Ｍ２から一段ずつ下方へ下がりながらつづら折り状に流れていくことになる。前記分岐管Ｍ２は前記主配管Ｍ１に対してＵ字状に接続されており、行き止まりが存在しないように構成してあるのでパージガスは分岐管Ｍ２内に滞留することなく、再び前記主配管Ｍ１内へと戻る。つまり、前記分岐管Ｍ２内に残っていた残留物をさらに下流の成膜チャンバ等に流すことなく、前記液体材料供給装置１００側へと流して排出することができる。このため、パージにより成膜チャンバが不純物等で汚染されることがなく、より短時間での液体材料等の段取り替えが可能となる。なお、全ての分岐管Ｍ２を通過したパージガスは前記主配管Ｍ１の一端側から前記一時滞留部２、前記導出管Ｐ３、前記気体供給管Ｐ２前記導入管Ｐ１をこの順で経由して、前記排気管Ｐ６から外部へと排出される。
【００６６】
＜実施形態２＞  本実施形態は、前記実施形態１に係る材料ガス供給システム２００におけるパージ機構の変形例であり、前記実施形態１に係る材料ガス供給システム２００と同様の構成を備えている。但し、本実施形態においては、前記実施形態１と異なり、主配管Ｍ１及び各分岐管Ｍ２を含めて液体材料供給装置１００とする。また、本実施形態においては、貯留容器１から気化器３へ液体材料を供給する配管、具体的には、導出管Ｐ３、主配管Ｍ１及び各分岐管Ｍ２をまとめて液体供給管Ｐ０と表現する。なお、本実施形態に係るパージ機構は、各配管として金属製の配管等の腐食し易い配管を使用した場合に、特に有効である。
【００６７】
そして、本実施形態に係る液体材料供給装置１００は、前記実施形態１に係る液体材料供給装置１００の構成に加えて、パージ機構５と、液体供給管Ｐ０内の圧力を測定するための測定装置と、パージ機構５によるパージの完了条件を記憶するパージ完了条件記憶部Ｃ１と、完了条件を満たした場合にパージが完了したと判断するパージ完了判断部Ｃ２と、を備えている。以下、これらの構成を詳細に説明する。
【００６８】
前記パージ機構５は、圧送機構４によって貯留容器１から液体供給管Ｐ０を介して気化器３へ液体材料を供給した後に、気化器３へ供給されることなく、液体供給管Ｐ０内に滞留した液体材料を当該液体供給管Ｐ０外へパージするように構成してある。
【００６９】
具体的には、パージ機構５は、少なくとも液体供給管Ｐ０から液体材料をパージするための３つの動作を実現できるように、排液ライン５１、通気ライン５２、及び、減圧ライン５３、を備えている。そして、パージ機構５は、排液ライン５１、通気ライン５２、及び、減圧ライン５３、をこの順番で動作させることにより、液体供給管Ｐ０内に滞留する液体材料をパージする。
【００７０】
なお、パージ機構５は、各ラインを構成する配管上に設けられた複数のバルブと、各バルブの開閉を制御する制御部Ｃ´と、を備えている。そして、制御部Ｃ´によって各バルブの開閉の組み合わせを変更することによって３つの動作を実現する。具体的には、本実施形態においては、液体供給管Ｐ０に設けられた第１バルブＶ１、第５バルブＶ５、各三方弁３Ｖ、及び、分岐管Ｍ２に接続される各気化器３に対応させて設けられる三方弁３Ｖ´と、気体供給管Ｐ２に設けられた第２バルブＶ２と、導出管Ｐ３に設けられた第３バルブＶ３、下端側バルブＶＬ、及び、上端側バルブＶＵと、パージガス供給管Ｐ４に設けられた第４バルブＶ４と、排気管Ｐ６の大気開放される配管に設置される第６バルブＶ６と、排気管Ｐ６の吸引ポンプＰＰが接続される配管に配置される第６バルブＶ６´、が制御部Ｃ´により予め設定されたシーケンスに従って開閉される。
【００７１】
前記排液ライン５１は、液体供給管Ｐ０内へパージガス供給管Ｐ４から供給されるガス（気体）を導入し、液体供給管Ｐ０内に滞留する液体材料を圧送して貯留容器１内へ排液するものである。従って、本実施形態においては、パージガス供給管Ｐ４、液体供給管Ｐ０、貯留容器１、及び、排気管Ｐ６、が連通するように構成されている。
【００７２】
前記通気ライン５２は、排液ライン５１によって排液された液体供給管Ｐ０内へ再度パージガス供給管Ｐ４から供給されるガス（気体）を導入し、液体供給管Ｐ０内に残留する液体材料を気化させた状態で液体材料供給装置１００の外部へ排気するものである。従って、本実施形態においては、パージガス供給管Ｐ４、液体供給管Ｐ０、気体供給管Ｐ２、及び、排気管Ｐ６、が連通するように構成されている。
【００７３】
前記減圧ライン５３は、通気ライン５１によって通気された液体供給管Ｐ０内を減圧するためのものである。従って、本実施形態においては、閉止された第４バルブＶ４から伸びるパージガス供給管Ｐ４、液体供給管Ｐ０、気体供給管Ｐ２、及び、排気管Ｐ６、が連通するように構成されており、排気管Ｐ２は、吸引ポンプＰＰが接続された配管が連通する。
【００７４】
前記制御部Ｃ´は、例えばＣＰＵ、メモリ、入出力手段、Ａ／Ｄ・Ｄ・Ａコンバータ等を備えたコンピュータであって、前記メモリに格納されている制御プログラムに基づいて流量制御器ＭＦＣ、各バルブ、測定装置ＰＳ等を制御して、配管内のパージを制御する。
【００７５】
前記測定装置ＰＳは、測定可能な測定レンジが異なる二つの圧力センサＰＳ１，ＰＳ２を備えており、各圧力センサＰＳ１，ＰＳ２は、排気管Ｐ６に接続されている。なお、二つの圧力センサＰＳ１，ＰＳ２のうち一方は真空計である。
【００７６】
前記パージ完了条件記憶部Ｃ１は、パージ機構５によるパージの完了条件を記憶するものであり、例えば、制御部Ｃ´が備えるメモリの一部に設けられる。なお、完了条件としては、測定装置ＰＳによって測定される圧力値の閾値が記憶される。詳述すると、液体供給管Ｐ０内が十分にパージされていない状態では、液体供給管Ｐ０内に残留する液体材料が気化し、測定装置ＰＳによって測定される圧力値が上昇する。そこで、液体供給管Ｐ０内が許容可能な程度にパージされた状態において、測定装置によって測定される圧力値を閾値とし、完了条件として設定する。
【００７７】
前記パージ完了判断部Ｃ２は、減圧ライン５３によって減圧された液体供給管Ｐ０内の圧力を測定装置ＰＳによって測定し、その圧力値がパージ完了条件記憶部Ｃ１に記憶された閾値以下になった場合に、パージが完了したと判断するものであり、例えば、制御部Ｃ´に設けられる。なお、パージ完了判断部が、パージが完了したと判断した場合には、パージ機構５によるパージ動作が停止される。
【００７８】
次に、本実施形態に係る液体材料供給装置１００のパージ動作について図５〜図７を参照しながら説明する。なお、図５〜図７において、白抜きのバルブは、開放状態を示し、黒塗りのバルブは、閉止状態を示している。
【００７９】
例えば、圧送機構４によって最下段の分岐管Ｍ２に接続される気化器３に対して液体材料が供給された後に、制御部Ｃ´に対してパージ開始信号が入力されると、制御部Ｃ´は、図５に示すように、第１バルブＶ１、第３バルブＶ３、第４バルブＶ４、下端側バルブＶＬ、上端側バルブＶＵ、及び、第６バルブＶ６、を開放すると共に、第２バルブＶ２、第５バルブＶ５、及び、第６バルブＶ６´、を閉止する。さらに、液体供給管Ｐ０の主配管Ｍ１が最下段の分岐管Ｍ２のみと連通するように各三方弁３Ｖ及び各三方弁３Ｖ´を制御する。これにより、排液ライン５１が形成される。そして、パージガス供給管Ｐ４から供給されるガスによって液体供給管Ｐ０内に滞留する液体材料を圧送して貯留容器１内へ排液する。
【００８０】
なお、貯留容器１へ排液されている間は、貯留容器１内の液体材料に揺れが生じ、貯留容器１へ排液が完了すると、貯留容器１内に生じていた揺れが治まる。これを利用し、貯留容器１にロードセルを設置し、制御部Ｃ´に対し、ロードセルによる測定値が安定した場合に、液体供給管Ｐ０から貯留容器１へ液体材料の排液が完了したと判断する排液完了判断部Ｃ３を設け、排液が完了したか否かを判断する。
【００８１】
次に、排液完了判断部Ｃ３によって排液が完了したと判断された場合には、制御部Ｃ´は、図６に示すように、排液ライン５１が形成された状態から、第２バルブＶ２、を開放すると共に、第１バルブＶ１、及び、第３バルブＶ３、を閉止する。これにより、通気ライン５２が形成される。そして、パージガス供給管Ｐ４から供給されるガスが液体供給管Ｐ０内を通過する。これにより、液体供給管Ｐ０内に残留する液体材料が気化して液体材料供給装置１００の外部へ排気される。
【００８２】
なお、通気ライン５２による通気条件、具体的には、液体供給管Ｐ０に流されるガスの流量、通気時間、又は、通気回数等は、制御部Ｃ´のメモリに予め設定されており、その設定された通気条件に従って通気ライン５２による液体供給管Ｐ０への通気が実施される。
【００８３】
次に、通気ライン５２による通気が完了すると、制御部Ｃ´は、図６に示すように、通気ライン５２が形成された状態から、第６バルブＶ６´、を開放すると共に、第４バルブＶ４、及び、第６バルブＶ６、を閉止する。これにより、減圧ライン５３が形成される。そして、吸気ポンプＰＰによって液体供給管Ｐ０内が減圧される。
【００８４】
なお、減圧ライン５３による減圧条件、具体的には、減圧時間等は、制御部Ｃ´のメモリに予め設定されており、その設定された減圧条件に従って減圧ライン５３による液体供給管Ｐ０への減圧が実施される。
【００８５】
次に、減圧ライン５３による減圧が完了すると、制御部Ｃ´は、第６バルブＶ６´を閉止する。これにより、液体供給管Ｐ０の上流側及び下流側が閉じられた状態となる。
【００８６】
次に、パージ完了判断部Ｃ２は、圧力センサＰＳ１（測定レンジが高いセンサ）から圧力値を取得し、その圧力値が、圧力センサＰＳ２（測定レンジが低いセンサ）で測定できる値でない場合には、再度通気ライン５２による通気を開始する。一方、圧力センサＰＳ２で測定できる値である場合には、圧力センサＰＳ２による測定を開始する。続いて、パージ完了判断部Ｃ２は、圧力センサＰＳ２から圧力値を取得し、その圧力値が、パージ完了条件記憶部Ｃ１に記憶された閾値以下である場合には、バージ動作が完了したと判断してパージ動作を終了する。一方、パージ完了条件記憶部Ｃ１に記憶された閾値を越えている場合に、再度通気ライン５２による通気を開始する。
【００８７】
そして、以降は、パージ完了判断部Ｃ２がパージ動作が完了したと判断するまで、通気ライン５２による通気、減圧ライン５３による減圧、測定装置による測定、を繰り返して実施する。
【００８８】
なお、パージ完了条件記憶部Ｃ１に記憶する完了条件としては、例えば、予め試験等によって液体供給管Ｐ０内の液体材料が許容可能な程度にパージするために必要な通気ラインによる通気条件を測定しておき、その所定の通気条件を完了条件として設定してもよい。この場合には、測定装置を設置する必要がなくなる。また、通気ライン５２による通気が実施されると、液体供給管Ｐ０内における液体材料の気化が減少し、液体供給管Ｐ０内の材料ガス濃度が低下するため、これを利用して、液体供給管Ｐ０内の材料ガス濃度に基づき完了条件を設定してもよい。この場合には、測定装置として圧力センサではなく濃度センサを設置すればよい。
【００８９】
また、排液完了判断部Ｃ３は、流量制御装置ＭＦＣの流量センサによって測定させる流量値に基づいて判断するものであってもよい。詳述すると、排液ライン５１による排液時において、液体供給管Ｐ０内に液体材料が滞留している間は、流量制御装置ＭＦＣから導出されるガスによって液体材料が圧送されるため、流量制御装置ＭＦＣの流量センサによって測定される測定流量が設定流量よりも低くなる。一方、液体供給管Ｐ０内の液体材料が貯留容器１内へ排出されると、流量制御装置ＭＦＣの流量センサによって測定される測定流量が設定流量に近づく。これを利用し、流量制御装置ＭＦＣの流量センサの測定流量が設定流量に所定範囲内に近づいた場合に、液体供給管Ｐ０から貯留容器１へ液体材料の排液が完了したと判断するようにしてもよい。
【００９０】
なお、本実施形態に係るパージ機構５は、前記実施形態１に係る圧送機構４以外の方法、例えば、従来の方法で貯留容器１に貯留された液体材料を気化器３へ圧送するものにも適用することができる。
【００９１】
＜その他の実施形態＞  前記実施形態では、１つの窒素源を加圧ガス、パージガスとして使用したり、前記第１加圧ライン、前記第２加圧ラインでの別々の加圧方法を実現したりしていたが、例えば複数の窒素源を用意して、前記実施形態と同様に一時滞留部に滞留している液体材料の下方を気体により加圧して圧送を行ってもよい。より具体的には、図４に示されるように、前記気体供給管を無くして、前記導出管に対して導入管に設けられているのとは別の窒素源及び流量制御器が設けられた第２加圧配管を取りつけて一時滞留部に一時滞留している液体材料を気化器へと導出するようにしてもよい。
【００９２】
前記一時滞留部については前記導出管に接続されていればよく、必ずしも前記導出管の上方に配置されていなくてもよい。例えば前記貯留容器に対して前記一時滞留部がほぼ同じ高さに設けられていてもよい。そのような一時滞留部に接続されている液体材料供給管が例えば上方に延びるように設けられており、圧送機構により一時滞留部にある液体材料に対して気体が接触し、当該気体で一時滞留部から液体材料供給管へ液体材料が圧送されて上方へ移送するようにしてもよい。すなわち、本発明の効果を享受できるようにするには、前記一時滞留部にある液体材料が加圧ガス等の気体で下方から上方へと加圧されて圧送されるようなものであればよい。また、上端側バルブを省略して、下端側バルブだけで一時滞留室を配管内に規定して一時滞留部を構成しても構わない。
【００９３】
また、加圧ガスは窒素ガスに限られず、例えばその他の希ガス等であっても構わない。本発明に係る液体材料供給装置により液体材料が供給される気化器は石英製のものに限られず、例えばステンレス等の金属製、ＰＦＡやＰＴＥＦＥ等の樹脂製であっても構わない。加えて本発明に係る液体材料供給装置は、気化器以外に液体材料を所定量供給するために用いても構わない。
【００９４】
その他、本発明の趣旨に反しない限りにおいて様々な変形や実施形態の組み合わせを行っても構わない。
【産業上の利用可能性】
【００９５】
本発明によれば、体材料の重量自体を小さくして上昇に必要となる圧力を低減でき、例えば気化器等の機器に低圧の液体材料を供給することが可能な液体材料供給装置を提供できる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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