(57)【要約】  基板（２０１）の表面に、重合性化合物である成分（ａ１）と、前記成分（ａ１）１００重量部に対して含有量が０重量部以上０．１重量部未満である光重合開始剤である成分（ｂ１）とを含む硬化性組成物（２０２）の層を配置し、前記硬化性組成物（２０２）の層上に、重合性化合物である成分（ａ２）及び光重合開始剤である成分（ｂ２）を含む硬化性組成物（２０３）の液滴を離散的に滴下し、モールド（２０５）と前記基板（２０１）の間に前記硬化性組成物（２０２）及び前記硬化性組成物（２０３）の混合層をサンドイッチし、前記混合層を光（２０６）を照射することにより硬化させ、前記モールド（２０５）を硬化後の前記混合層から引き離す、前記基板（２０１）上のパターン形成方法。硬化性組成物（２０２）は、照度１．００ｍＷ／ｃｍ２、露光時間１００．０秒の条件で露光した際の前記重合性化合物（ａ１）の重合転化率が５０％以下である。
2017170684.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に、少なくとも重合性化合物である成分（ａ１）を含む硬化性組成物（Ａ１）からなる層を積層する第一積層工程（１）、  前記硬化性組成物（Ａ１）からなる層上に、少なくとも重合性化合物である成分（ａ２）及び光重合開始剤である成分（ｂ２）を含む硬化性組成物（Ａ２）の液滴を離散的に滴下する第二積層工程（２）、  パターンを有するモールドと前記基板の間に前記硬化性組成物（Ａ１）及び前記硬化性組成物（Ａ２）が部分的に混合してなる混合層をサンドイッチする型接触工程（３）、  前記混合層を前記モールド側から光を照射することにより硬化させる光照射工程（４）、  前記モールドを硬化後の前記混合層から引き離す離型工程（５）、を該順に有するパターン形成方法であって、  前記モールドと前記混合層とが接触する領域の周囲にも前記硬化性組成物（Ａ１）が積層されており、  前記硬化性組成物（Ａ１）の光重合開始剤である成分（ｂ１）の含有量が、前記重合性化合物である成分（ａ１）１００重量部に対して０重量部以上０．１重量部未満であり、  照度１．００ｍＷ／ｃｍ２、露光時間１００．０秒の条件で露光した際に前記重合性化合物である成分（ａ１）の重合転化率が５０％以下である、ことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項２】
前記硬化性組成物（Ａ１）が少なくとも増感剤である成分（ｃ１）を含む、または少なくとも非重合性化合物である成分（ｄ１）として水素供与体を含むことを特徴とする請求項１に記載のパターン形成方法。
【請求項３】
溶剤である成分（ｅ１）を除く前記硬化性組成物（Ａ１）の成分の組成物の重合転化率が、照度１．００ｍＷ／ｃｍ２、露光時間３．２秒の露光条件で露光した際に、３％以下であることを特徴とする請求項２に記載のパターン形成方法。
【請求項４】
前記硬化性組成物（Ａ１）が、前記増感剤である成分（ｃ１）として、ベンゾフェノン誘導体、チオキサントン誘導体、クマリン誘導体、からなる群より選択される少なくとも１種類の増感剤を含有することを特徴とする請求項３に記載のパターン形成方法。
【請求項５】
前記硬化性組成物（Ａ１）が、前記増感剤である成分（ｃ１）として、７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−イソプロピルチオキサントンから選択される少なくとも１種類の増感剤を含有することを特徴とする請求項３に記載のパターン形成方法。
【請求項６】
前記増感剤である成分（ｃ１）を有する前記硬化性組成物（Ａ１）において溶剤である成分（ｅ１）を除き前記重合性化合物である成分（ａ１）１００重量部に対して前記光重合開始剤である成分（ｂ２）０．５重量部を添加した硬化性組成物（Ａ１’）と、前記硬化性組成物（Ａ１）において前記増感剤である成分（ｃ１）と前記溶剤である（ｅ１）を除き前記重合性化合物である成分（ａ１）１００重量部に対して前記光重合開始剤である成分（ｂ２）０．５重量部を添加した硬化性組成物（Ａ１’’）の重合転化率が、照度１．００ｍＷ／ｃｍ２、露光時間３．２秒で露光した際に、硬化性組成物（Ａ１’）の重合転化率から硬化性組成物（Ａ１’’）の重合転化率を引いた値が正の値となることを特徴とする請求項１に記載のパターン形成方法。
【請求項７】
溶剤である成分（ｅ１）を除く前記硬化性組成物（Ａ１）の成分の合計重量に対して、前記増感剤である成分（ｃ１）の配合割合が０．０１重量％以上３重量％以下であることを特徴とする請求項２に記載のパターン形成方法。
【請求項８】
基板の表面に、少なくとも重合性化合物である成分（ａ１）を含む硬化性組成物（Ａ１）からなる層を積層する第一積層工程（１）、  前記硬化性組成物（Ａ１）からなる層上に、少なくとも重合性化合物である成分（ａ２）及び光重合開始剤である成分（ｂ２）を含む硬化性組成物（Ａ２）の液滴を離散的に滴下する第二積層工程（２）、  モールドと前記基板の間に前記硬化性組成物（Ａ１）及び前記硬化性組成物（Ａ２）が部分的に混合してなる混合層をサンドイッチする型接触工程（３）、  前記混合層を前記モールド側から光を照射することにより硬化させる光照射工程（４）、  前記モールドを硬化後の前記混合層から引き離す離型工程（５）、を該順に有するパターン形成方法であって、  前記モールドと前記混合層とが接触する領域の周囲にも前記硬化性組成物（Ａ１）が積層されており、  前記硬化性組成物（Ａ１）中の前記光重合開始剤である成分（ｂ１）の含有量が、前記重合性化合物である成分（ａ１）１００重量部に対して０重量部以上０．１重量部未満であり、  前記光照射工程（４）において照射される前記光が波長３５０ｎｍ以下の光を含まないことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項９】
前記光が波長３６５ｎｍまたは３７５ｎｍの単一波長光であることを特徴とする請求項８に記載のパターン形成方法。
【請求項１０】
前記重合性化合物である成分（ａ１）の重合転化率が３％となる露光量が１４０００ｍＪ／ｃｍ２以上となることを特徴とする請求項８に記載のパターン形成方法。
【請求項１１】
前記重合性化合物である成分（ａ１）が、少なくとも単官能性（メタ）アクリルモノマー及び多官能性（メタ）アクリルモノマーのいずれか一方であることを特徴とする請求項８〜１０に記載のパターン形成方法。
【請求項１２】
溶剤である成分（ｅ１）を除く前記硬化性組成物（Ａ１）の成分の組成物の表面張力が、溶剤である成分（ｅ２）を除く前記硬化性組成物（Ａ２）の成分の組成物の表面張力より高いことを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載のパターン形成方法。
【請求項１３】
溶剤である成分（ｅ１）を除く前記硬化性組成物（Ａ１）の成分の組成物の粘度が１ｍＰａ・ｓ以上１０００ｍＰａ・ｓ以下であり、かつ、溶剤である成分（ｅ２）を除く前記硬化性組成物（Ａ２）の成分の組成物の粘度が１ｍＰａ・ｓ以上１２ｍＰａ・ｓ以下であることを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載のパターン形成方法。
【請求項１４】
前記モールドの表面の材質が石英であることを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載のパターン形成方法。
【請求項１５】
前記型接触工程が、凝縮性ガスを含む雰囲気下で行われることを特徴とする、請求項１から１４のいずれか１項に記載のパターン形成方法。
【請求項１６】
請求項１から１５のいずれか１項に記載のパターン形成方法を有することを特徴とする加工基板の製造方法。
【請求項１７】
請求項１から１５のいずれか１項に記載のパターン形成方法を有することを特徴とする光学部品の製造方法。
【請求項１８】
請求項１から１５のいずれか一項に記載のパターン形成方法を有することを特徴とする石英モールドレプリカの製造方法。
【請求項１９】
前記パターンが、前記硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）の混合物の光硬化物によるナノサイズの凹凸パターンである、請求項１から１５のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【請求項２０】
基板上に前処理コーティングとなる液膜を形成し、前記液膜に対し液滴を付与することで液滴成分の基板面方向の広がりを促進するインプリント前処理コーティング材料であって、  重合性化合物である成分（ａ１）を少なくとも有し、  前記光重合開始剤である成分（ｂ１）の含有量が、前記重合性化合物である成分（ａ１）１００重量部に対して０重量部以上０．１重量部未満であり、  照度１．００ｍＷ／ｃｍ２、露光時間１００．０秒の条件で露光した際に前記重合性化合物（ａ１）の重合転化率が５０％以下である、ことを特徴とするインプリント前処理コーティング材料。
【請求項２１】
前記インプリント前処理コーティング材料が、増感剤として、ベンゾフェノン誘導体、チオキサントン誘導体、クマリン誘導体、からなる群より選択される少なくとも１種類の増感剤を含有することを特徴とする請求項２０に記載のインプリント前処理コーティング材料。
【請求項２２】
前記インプリント前処理コーティング材料が、増感剤として、７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−イソプロピルチオキサントンから選択される少なくとも１種類の増感剤を含有することを特徴とする請求項２０に記載のインプリント前処理コーティング材料。
【請求項２３】
請求項２０から２２のいずれか１項に記載のインプリント前処理コーティング材料と、インプリント前処理コーティング材料でコーティングされた基板に滴下するためのインプリントレジストと、を有するセット。
【請求項２４】
溶剤を除く前記インプリント前処理コーティング材料の成分の組成物の表面張力が、溶剤を除く前記インプリントレジストの成分の組成物の表面張力より高いことを特徴とする請求項２３に記載のセット。
【請求項２５】
請求項２３または２４のセットに用いるインプリントレジスト。
【請求項２６】
基板上に硬化性組成物を配置してインプリントを行うための前処理方法であって、請求項２０から２２のいずれか１項に記載のインプリント前処理コーティング材料を基板上にコーティングすることを特徴とする基板の前処理方法。
【請求項２７】
基板上にパターンを形成するためのパターン形成方法であって、請求項２０から２２のいずれか１項に記載のインプリント前処理コーティング材料がコーティングされた基板上にレジストを不連続に滴下する工程を有することを特徴とするパターン形成方法。  
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、パターン形成方法、加工基板の製造方法、光学部品の製造方法、回路基板の製造方法、電子部品の製造方法、インプリントモールドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  半導体デバイスやＭＥＭＳ等においては、微細化の要求が高まっており、微細加工技術として、光ナノインプリント技術が注目されている。【０００３】  光ナノインプリント技術では、表面に微細な凹凸パターンが形成されたモールド（型）を光硬化性組成物（レジスト）が塗布された基板（ウエハ）に押しつけた状態で光硬化性組成物を硬化させる。これにより、モールドの凹凸パターンを光硬化性組成物の硬化膜に転写し、パターンを基板上に形成する。光ナノインプリント技術によれば、基板上に数ナノメートルオーダーの微細な構造体を形成することができる。【０００４】  特許文献１に記載の光ナノインプリント技術を、図１を用いて説明する。まず、基板１０１上のパターン形成領域にインクジェット法を用いて、液状のレジスト１０２を離散的に滴下する（配置工程（１）、図１（ａ）〜（ｃ））。滴下されたレジスト１０２の液滴は液滴の広がる方向を示す矢印１０４で示すように基板１０１上に広がるが、この現象をプレスプレッドと呼ぶ（図１（ｃ））。次に、このレジスト１０２を、パターンが形成された、後述する照射光１０６に対して透明なモールド（型）１０５を用いて成形する（型接触工程（２）、図１（ｄ）および（ｄａ））。型接触工程においては、レジスト１０２の液滴が液滴の広がる方向を示す矢印１０４で示すように基板１０１とモールド１０５の間隙の全域へ広がる（図１（ｄ））。この現象をスプレッドと呼ぶ。また、型接触工程においては、レジスト１０２はモールド１０５上の凹部の内部へも液滴の広がる方向を示す矢印１０４で示すように毛細管現象により充填される（図１（ｄａ））。この充填現象をフィルと呼ぶ。スプレッドとフィルが完了するまでの時間を充填時間と呼ぶ。レジスト１０２の充填が完了した後、照射光１０６を照射してレジスト１０２を硬化させ（光照射工程、図１（ｅ））、その後、基板１０１をモールド１０５から引き離す（離型工程、図１（ｆ）および（ｆａ））。これらの工程を実施することにより、所定のパターン形状を有する光硬化膜１０７（図１（ｆ））が基板１０１上に形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許４７９１３５７号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】Ｓ．Ｒｅｄｄｙ，Ｒ．Ｔ．Ｂｏｎｎｅｃａｚｅ／Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，８２（２００５）６０−７０
【非特許文献２】Ｎ．Ｉｍａｉｓｈｉ／Ｉｎｔ．  Ｊ．  Ｍｉｃｒｏｇｒａｖｉｔｙ  Ｓｃｉ．Ｎｏ．３１  Ｓｕｐｐｌｅｍｅｎｔ  ２０１４  （Ｓ５−Ｓ１２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】  特許文献１に記載の光ナノインプリント技術においては、型接触開始からスプレッドとフィルが完了するまでの時間（充填時間）が長く、スループットが低い、という課題があった。【０００８】  そこで本発明者らは、充填時間が短い、つまり高スループットな光ナノインプリント技術（Ｓｈｏｒｔ  Ｓｐｒｅａｄ  Ｔｉｍｅ  Ｎａｎｏｉｍｐｒｉｎｔ  Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ、以下、ＳＳＴ−ＮＩＬ）を考案した。ＳＳＴ−ＮＩＬは、図２の模式断面図に示すように、  基板２０１上に、液状の硬化性組成物（Ａ１）２０２を積層する第一積層工程（１）、  前記硬化性組成物（Ａ１）２０２の層上に、硬化性組成物（Ａ２）２０３の液滴を離散的に積層する第二積層工程（２）、  パターンを有するモールド２０５と基板２０１の間に硬化性組成物（Ａ１）２０２と硬化性組成物（Ａ２）２０３が部分的に混合してなる層をサンドイッチする型接触工程（３）、  前記２種の硬化性組成物が部分的に混合してなる層をモールド２０５側から照射光２０６を照射することにより硬化させる光照射工程（４）、  モールド２０５を硬化後の硬化性組成物からなる層（パターン形状を有する硬化膜２０７）から引き離す離型工程（５）、を有する。【０００９】  ＳＳＴ−ＮＩＬにおいて、第二積層工程（２）から離型工程（５）までの一連の工程単位を「ショット」と称し、モールド２０５が硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３と接触する領域、つまり、基板２０１上でパターンが形成される領域を「ショット領域」と称する。  ＳＳＴ−ＮＩＬにおいては、離散的に滴下された硬化性組成物（Ａ２）２０３の液滴が、硬化性組成物（Ａ１）２０２の液膜上において液滴の方向を示す矢印２０４で示すように速やかに拡大するため、充填時間が短く、高スループットである。ＳＳＴ−ＮＩＬの詳しいメカニズムは後述する。【００１０】  本発明が解決しようとするＳＳＴ−ＮＩＬの課題を、図３の模式断面図を用いて説明する。図３（ａ）〜（ｃ）の工程（１）〜（３）は、図２（ｃ）〜（ｇ）における第二積層工程〜離型工程に対応し、図３（ｄ）の工程（４）は、後続のショットの第二積層工程に対応する。【００１１】  硬化性組成物（Ａ１）３０２は、基板３０１上にショット領域３０４より広い面積、例えば基板３０１全面に、例えばスピンコート法を用いて積層される。一方、硬化性組成物（Ａ２）３０３は当該ショット領域３０４に限定して、例えばインクジェット法を用いて離散的に積層される。【００１２】  照射光３０６はモールド３０８の背面（硬化性組成物（Ａ２）３０３と接触しない側）から照射されるが、この際、ショット領域３０４外に積層されている硬化性組成物（Ａ１）３０２にも漏れ光３０７が照射される。  ここで、ショット領域３０４に隣接する隣接ショット領域３０５の一部において、漏れ光３０７による硬化性組成物（Ａ１）３０２の硬化反応が進行し、漏れ光３０７で硬化した硬化性組成物（Ａ１）３０９が存在することが確認された。そして、漏れ光３０７で硬化した硬化性組成物（Ａ１）３０９上に滴下された硬化性組成物（Ａ２）３０３の液滴３１０の拡大が遅くなることがわかった。本発明者らは、一部の液滴の拡大が遅いことで、隣接��ョット領域３０５において未充填欠陥が生じるか、あるいは、未充填欠陥を発生させないために充填時間を長くする必要が生じ、結果として生産性が低下する、という課題を見出した。【００１３】  漏れ光３０７を発生させないために、遮光構造が設けられたモールド３０８を使用したり、漏れ光３０７が発生しない精密な光学系を適用したりするといった対策も考え得るが、モールド３０８や装置のコスト高をもたらす。
【課題を解決するための手段】
【００１４】  本発明は、高スループット、低コスト、かつ、基板の複数のショット領域を均一な精度で加工可能なＳＳＴ−ＮＩＬ技術を提供することを目的とする。【００１５】  本発明に係るパターン形成方法は、基板の表面に、少なくとも重合性化合物である成分（ａ１）を含む硬化性組成物（Ａ１）からなる層を積層する第一積層工程（１）、  前記硬化性組成物（Ａ１）からなる層上に、少なくとも重合性化合物である成分（ａ２）及び光重合開始剤である成分（ｂ２）を含む硬化性組成物（Ａ２）の液滴を離散的に滴下して積層する第二積層工程（２）、  パターンを有するモールドと前記基板の間に前記硬化性組成物（Ａ１）及び前記硬化性組成物（Ａ２）が部分的に混合してなる混合層をサンドイッチする工程（３）、  前記混合層を前記モールド側から光を照射することにより硬化させる光照射工程（４）、  前記モールドを硬化後の前記混合層から引き離す工程（５）、を該順に有するパターン形成方法であって、  前記モールドと前記混合層とが接触する領域の周囲にも前記硬化性組成物（Ａ１）が積層されており、  前記硬化性組成物（Ａ１）の前記光重合開始剤である成分（ｂ１）の含有量が、前記重合性化合物である成分（ａ１）１００重量部に対して０重量部以上０．１重量部未満であり、  照度１．００ｍＷ／ｃｍ２、露光時間１００．０秒の条件で露光した際に前記重合性化合物である成分（ａ１）の重合転化率が５０％以下である、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】  本発明によれば、高スループット、低コスト、かつ、基板の複数のショット領域を均一な精度で加工可能なパターン形成方法を提供することができる。【００１７】  本発明の他の特徴は、添付された図面を参照して各種実施の形態を例示する以下の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】光ナノインプリント技術の先行例を示す模式断面図である。
【図２】ＳＳＴ−ＮＩＬ技術を示す模式断面図である。
【図３】発明が解決しようとする課題を説明する模式断面図である。
【図４】光照射機構を備えた減衰全反射赤外分光測定装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】  以下、本発明の実施形態について適宜図面を参照しながら詳細に説明する。ただし、本発明は以下に説明する実施形態に限定されるものではない。また、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、以下に説明する実施形態に対して適宜変更、改良等が加えられたものも本発明の範囲に含まれる。なお、硬化性組成物（Ａ１）に含まれる成分（ａ）を成分（ａ１）と表記し、硬化性組成物（Ａ２）に含まれる成分（ａ）を成分（ａ２）と表記する。成分（ｂ）から成分（ｅ）についても同様である。
【００２０】  ［硬化性組成物］  本実施形態に係る硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）は、少なくとも重合性化合物である成分（ａ）を有する組成物である。本実施形態に係る硬化性組成物はさらに、光重合開始剤である成分（ｂ）、増感剤である成分（ｃ）、非重合性化合物である成分（ｄ）、溶剤である成分（ｅ）を含有してもよい。  また、本明細書において硬化膜とは、基板上で硬化性組成物を重合させて硬化させた膜を意味する。なお、硬化膜の形状は特に限定されず、表面にパターン形状を有していてもよい。  以下、各成分について、詳細に説明する。
【００２１】  ＜成分（ａ）：重合性化合物＞  成分（ａ）は重合性化合物である。ここで、本明細書において重合性化合物とは、光重合開始剤である成分（ｂ）から発生した重合因子（ラジカル等）と反応し、連鎖反応（重合反応）によって高分子化合物からなる膜を形成する化合物である。  このような重合性化合物としては、例えば、ラジカル重合性化合物が挙げられる。重合性化合物である成分（ａ）は、一種類の重合性化合物のみから構成されていてもよく、複数種類の重合性化合物で構成されていてもよい。
【００２２】  ラジカル重合性化合物としては、アクリロイル基またはメタクリロイル基を１つ以上有する化合物、すなわち、（メタ）アクリル化合物であることが好ましい。したがって、本実施形態に係る硬化性組成物は、成分（ａ）として（メタ）アクリル化合物を含むことが好ましく、成分（ａ）の主成分が（メタ）アクリル化合物であることがより好ましく、成分（ａ）の全てが（メタ）アクリル化合物であることが最も好ましい。なお、ここで記載する成分（ａ）の主成分が（メタ）アクリル化合物であるとは、成分（ａ）の９０重量％以上が（メタ）アクリル化合物であることを示す。
【００２３】  ラジカル重合性化合物が、アクリロイル基またはメタクリロイル基を１つ以上有する複数種類の化合物で構成される場合には、単官能（メタ）アクリルモノマーと多官能（メタ）アクリルモノマーを含むことが好ましい。これは、単官能（メタ）アクリルモノマーと多官能（メタ）アクリルモノマーを組み合わせることで、機械的強度が強い硬化膜が得られるからである。
【００２４】  アクリロイル基またはメタクリロイル基を１つ有する単官能（メタ）アクリル化合物としては、例えば、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、フェノキシ−２−メチルエチル（メタ）アクリレート、フェノキシエトキシエチル（メタ）アクリレート、３−フェノキシ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−フェニルフェノキシエチル（メタ）アクリレート、４−フェニルフェノキシエチル（メタ）アクリレート、３−（２−フェニルフェニル）−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ＥＯ変性ｐ−クミルフェノールの（メタ）アクリレート、２−ブロモフェノキシエチル（メタ）アクリレート、２，４−ジブロモフェノキシエチル（メタ）アクリレート、２，４，６−トリブロモフェノキシエチル（メタ）アクリレート、ＥＯ変性フェノキシ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性フェノキシ（メタ）アクリレート、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、１−アダマンチル（メタ）アクリレート、２−メチル−２−アダマンチル（メタ）アクリレート、２−エチル−２−アダマンチル（メタ）アクリレート、ボルニル（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、４−ブチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、アクリロイルモルホリン、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、アミル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、イソアミル（メタ）アクリレート、へキシル（メタ）アクリレート、ヘプチル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ノニル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ウンデシル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、イソステアリル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）アクリレート、エトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、メトキシエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、ジアセトン（メタ）アクリルアミド、イソブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、ｔ−オクチル（メタ）アクリルアミド、ジメチルアミノエチル（メタ）���クリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、７−アミノ−３，７−ジメチルオクチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド等が挙げられるが、これらに限定されない。
【００２５】  上記単官能（メタ）アクリル化合物の市販品としては、アロニックス（登録商標）Ｍ１０１、Ｍ１０２、Ｍ１１０、Ｍ１１１、Ｍ１１３、Ｍ１１７、Ｍ５７００、ＴＯ−１３１７、Ｍ１２０、Ｍ１５０、Ｍ１５６（以上、東亞合成製）、ＭＥＤＯＬ１０、ＭＩＢＤＯＬ１０、ＣＨＤＯＬ１０、ＭＭＤＯＬ３０、ＭＥＤＯＬ３０、ＭＩＢＤＯＬ３０、ＣＨＤＯＬ３０、ＬＡ、ＩＢＸＡ、２−ＭＴＡ、ＨＰＡ、ビスコート＃１５０、＃１５５、＃１５８、＃１９０、＃１９２、＃１９３、＃２２０、＃２０００、＃２１００、＃２１５０（以上、大阪有機化学工業製）、ライトアクリレートＢＯ−Ａ、ＥＣ−Ａ、ＤＭＰ−Ａ、ＴＨＦ−Ａ、ＨＯＰ−Ａ、ＨＯＡ−ＭＰＥ、ＨＯＡ−ＭＰＬ、ＰＯ−Ａ、Ｐ−２００Ａ、ＮＰ−４ＥＡ、ＮＰ−８ＥＡ、エポキシエステルＭ−６００Ａ（以上、共栄社化学製）、ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＴＣ１１０Ｓ、Ｒ−５６４、Ｒ−１２８Ｈ（以上、日本化薬製）、ＮＫエステルＡＭＰ−１０Ｇ、ＡＭＰ−２０Ｇ（以上、新中村化学工業製）、ＦＡ−５１１Ａ、５１２Ａ、５１３Ａ（以上、日立化成製）、ＰＨＥ、ＣＥＡ、ＰＨＥ−２、ＰＨＥ−４、ＢＲ−３１、ＢＲ−３１Ｍ、ＢＲ−３２（以上、第一工業製薬製）、ＶＰ（ＢＡＳＦ製）、ＡＣＭＯ、ＤＭＡＡ、ＤＭＡＰＡＡ（以上、興人製）等が挙げられるが、これらに限定されない。  また、アクリロイル基またはメタクリロイル基を２つ以上有する多官能（メタ）アクリル化合物としては、例えば、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ，ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−へキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０−デカンジオールジ（メタ）アクリレート、１，３−アダマンタンジメタノールジ（メタ）アクリレート、トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリ（メタ）アクリレート、トリス（アクリロイルオキシ）イソシアヌレート、ビス（ヒドロキシメチル）トリシクロデカンジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシ）フェニル）プロパン、ＰＯ変性２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシ）フェニル）プロパン、ＥＯ，ＰＯ変性２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシ）フェニル）プロパン等が挙げられるが、これらに限定されない。
【００２６】  上記多官能（メタ）アクリル化合物の市販品としては、ユピマー（登録商標）ＵＶ  ＳＡ１００２、ＳＡ２００７（以上、三菱化学製）、ビスコート＃１９５、＃２３０、＃２１５、＃２６０、＃３３５ＨＰ、＃２９５、＃３００、＃３６０、＃７００、ＧＰＴ、３ＰＡ（以上、大阪有機化学工業製）、ライトアクリレート４ＥＧ−Ａ、９ＥＧ−Ａ、ＮＰ−Ａ、ＤＣＰ−Ａ、ＢＰ−４ＥＡ、ＢＰ−４ＰＡ、ＴＭＰ−Ａ、ＰＥ−３Ａ、ＰＥ−４Ａ、ＤＰＥ−６Ａ（以上、共栄社化学製）、ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＰＥＴ−３０、ＴＭＰＴＡ、Ｒ−６０４、ＤＰＨＡ、ＤＰＣＡ−２０、−３０、−６０、−１２０、ＨＸ−６２０、Ｄ−３１０、Ｄ−３３０（以上、日本化薬製）、アロニックス（登録商標）Ｍ２０８、Ｍ２１０、Ｍ２１５、Ｍ２２０、Ｍ２４０、Ｍ３０５、Ｍ３０９、Ｍ３１０、Ｍ３１５、Ｍ３２５、Ｍ４００（以上、東亞合成製）、リポキシ（登録商標）ＶＲ−７７、ＶＲ−６０、ＶＲ−９０（以上、昭和高分子製）等が挙げられるが、これらに限定されない。
【００２７】  なお、上述した化合物群において、（メタ）アクリレートとは、アクリレートまたはそれと同等のアルコール残基を有するメタクリレートを意味する。（メタ）アクリロイル基とは、アクリロイル基またはそれと同等のアルコール残基を有するメタクリロイル基を意味する。ＥＯは、エチレンオキサイドを示し、ＥＯ変性化合物Ａとは、化合物Ａの（メタ）アクリル酸残基とアルコール残基がエチレンオキサイド基のブロック構造を介して結合している化合物を示す。また、ＰＯは、プロピレンオキサイドを示し、ＰＯ変性化合物Ｂとは、化合物Ｂの（メタ）アクリル酸残基とアルコール残基がプロピレンオキサイド基のブロック構造を介して結合している化合物を示す。
【００２８】  重合性化合物である成分（ａ１）の硬化性組成物（Ａ１）における配合割合は、成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）の合計重量、すなわち溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１）の成分の合計重量に対して、５０重量％以上１００重量％以下であるとよい。また、好ましくは、８０重量％以上１００重量％以下であり、さらに好ましくは９０重量％より大きく１００重量％以下である。  重合性化合物である成分（ａ１）の硬化性組成物（Ａ１）における配合割合を、成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）の合計重量に対して５０重量％以上とすることにより、得られる硬化膜をある程度の機械的強度を有する硬化膜とすることができる。
【００２９】  重合性化合物である成分（ａ２）の硬化性組成物（Ａ２）における配合割合は、成分（ａ２）、成分（ｂ２）、成分（ｃ２）、成分（ｄ２）の合計重量、すなわち溶剤である成分（ｅ２）を除く硬化性組成物（Ａ２）の成分の合計重量に対して、５０重量％以上９９．９重量％以下であるとよい。また、好ましくは、８０重量％以上９９重量％以下であり、さらに好ましくは９０重量％より大きく９８重量％以下である。  重合性化合物である成分（ａ２）の硬化性組成物（Ａ２）における配合割合を、成分（ａ２）、成分（ｂ２）、成分（ｃ２）、成分（ｄ２）の合計重量に対して５０重量％以上とすることにより、得られる硬化膜をある程度の機械的強度を有する硬化膜とすることができる。
【００３０】  また、後述するように、硬化性組成物（Ａ１）は、成分（ｅ１）を含有することが好ましく、成分（ａ１）は溶剤である成分（ｅ１）を含む硬化性組成物（Ａ１）の成分の合計重量に対して、０．０１重量％以上１０重量％以下であるとよい。
【００３１】  ＜成分（ｂ）：光重合開始剤＞  成分（ｂ）は、光重合開始剤である。  本明細書において光重合開始剤は、所定の波長の光を感知して上記重合因子（ラジカル）を発生させる化合物である。具体的には、光重合開始剤は、光（赤外線、可視光線、紫外線、遠紫外線、Ｘ線、電子線等の荷電粒子線等、放射線）によりラジカルを発生する重合開始剤（ラジカル発生剤）である。  成分（ｂ）は、一種類の光重合開始剤で構成されていてもよく、複数種類の光重合開始剤で構成されていてもよい。
【００３２】  ラジカル発生剤としては、例えば、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−またはｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の置換基を有してもよい２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体；ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ’−テトラエチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４’−ジメチルアミノベンゾフェノン、４−クロロベンゾフェノン、４，４’−ジメトキシベンゾフェノン、４，４’−ジアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体；２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノ−プロパン−１−オン等のα―アミノ芳香族ケトン誘導体；２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ベンズアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２−メチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，１０−フェナンタラキノン、２−メチル−１，４−ナフトキノン、２，３−ジメチルアントラキノン等のキノン類；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル誘導体；ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン、プロピルベンゾイン等のベンゾイン誘導体；ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体；９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９’−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体；Ｎ−フェニルグリシン等のＮ−フェニルグリシン誘導体；アセトフェノン、３−メチルアセトフェノン、アセトフェノンベンジルケタール、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン等のアセトフェノン誘導体；チオキサントン、ジエチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−クロロチオキサントン等のチオキサントン誘導体；２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド等のアシルフォスフィンオキサイド誘導体；１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）等のオキシムエステル誘導体；キサントン、フルオレノン、ベンズアルデヒド、フルオレン、アントラキノン、トリフェニルアミン、カルバゾール、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、２−ヒドロ��シ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン等が挙げられるが、これらに限定されない。
【００３３】  上記ラジカル発生剤の市販品として、Ｉｒｇａｃｕｒｅ  １８４、３６９、６５１、５００、８１９、９０７、７８４、２９５９、ＣＧＩ−１７００、−１７５０、−１８５０、ＣＧ２４−６１、Ｄａｒｏｃｕｒ  １１１６、１１７３、Ｌｕｃｉｒｉｎ（登録商標）  ＴＰＯ、ＬＲ８８９３、ＬＲ８９７０（以上、ＢＡＳＦ製）、ユベクリルＰ３６（ＵＣＢ製）等が挙げられるが、これらに限定されない。
【００３４】  これらの中でも、成分（ｂ）は、アシルフォスフィンオキサイド系重合開始剤であることが好ましい。なお、上記の例のうち、アシルフォスフィンオキサイド系重合開始剤は、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイドなどのアシルフォスフィンオキサイド化合物である。
【００３５】  本発明において、硬化性組成物（Ａ１）は実質的に光反応性を有さないものとする。このために、光重合開始剤である成分（ｂ１）の硬化性組成物（Ａ１）における配合割合は、成分（ａ１）１００重量部に対して、０重量部以上０．１重量部未満とする。また、好ましくは、０重量部以上０．０１重量部以下であり、さらに好ましくは０重量部以上０．００１重量部以下である。  硬化性組成物（Ａ１）における成分（ｂ１）の配合割合を成分（ａ１）１００重量部に対して０．１重量部未満とすることにより、硬化性組成物（Ａ１）は実質的に光反応性を有さない。このため、前述のような漏れ光３０７（図３）による光硬化が生じず、隣接ショット領域３０５（図３）においても短い充填時間でも未充填欠陥が少ないパターンが得られるのである。当該ショットにおける硬化性組成物（Ａ１）の硬化反応については、後述する。
【００３６】  光重合開始剤である成分（ｂ２）の硬化性組成物（Ａ２）における配合割合は、成分（ａ２）、成分（ｂ２）、後述する成分（ｃ２）、成分（ｄ２）の合計重量、すなわち溶剤である成分（ｅ２）を除く硬化性組成物（Ａ２）の成分の合計重量に対して、０．１重量％以上５０重量％以下であるとよい。また、好ましくは、０．１重量％以上２０重量％以下であり、さらに好ましくは１重量％以上１０重量％以下である。  硬化性組成物（Ａ２）における成分（ｂ２）の配合割合を成分（ａ２）、成分（ｂ２）、成分（ｃ２）、成分（ｄ２）の合計重量に対して０．１重量％以上とすることにより、組成物の硬化速度が速くなり、反応効率を良くすることができる。また、成分（ｂ２）の配合割合を成分（ａ２）、成分（ｂ２）、成分（ｃ２）、成分（ｄ２）の合計重量に対して５０重量％以下とすることにより、得られる硬化膜をある程度の機械的強度を有する硬化膜とすることができる。
【００３７】＜成分（ｃ）：増感剤＞  本明細書において増感剤である成分（ｃ）は、光重合開始剤である成分（ｂ）と共存した場合には光重合開始剤である成分（ｂ）の光ラジカル発生を促進させる化合物であり、かつ増感剤である成分（ｃ）単独では実質的に光ラジカル重合を開始する能力を有さない化合物と定義する。
【００３８】  本発明においては、硬化性組成物（Ａ１）は増感剤である成分（ｃ１）を含有することが好ましい。なぜならば、光重合開始剤である成分（ｂ１）を実質的に含有しない硬化性組成物（Ａ１）の当該ショットにおける光硬化性を増感機構により高める事ができ、かつ、隣接ショット領域３０５（図３）においては漏れ光３０７（図３）による光硬化は生じないためである。硬化性組成物（Ａ１）の当該ショットにおける光硬化性の増感機構については後述する。
【００３９】  ここで、「増感剤である成分（ｃ）単独では実質的に光ラジカル重合を開始しない」、とは、「重合開始剤である成分（ｂ）を含有せず、重合性化合物である成分（ａ）と増感剤である成分（ｃ）を含有する硬化性組成物において、照度１．００ｍＷ／ｃｍ２、露光時間３．２秒の条件で露光した際に前記重合性化合物である成分（ａ）の重合転化率が３％以下」と定義する。重合転化率の測定方法は後述する。
【００４０】  また、本発明においては、ある添加量において上記条件を満足して増感剤として定義されても、それより多い添加量において上記条件から逸脱し、増感剤として定義されない場合もあることを留意すべきである。
【００４１】  増感剤である成分（ｃ）として、例えば、増感色素等が挙げられる。増感色素は、特定の波長の光を吸収することにより励起され、成分（ｂ）である光重合開始剤と相互作用する化合物である。なお、ここで記載する相互作用とは、励起状態の増感色素から成分（ｂ）である光重合開始剤へのエネルギー移動や電子移動等である。
【００４２】  増感色素の具体例としては、アントラセン誘導体、アントラキノン誘導体、ピレン誘導体、ペリレン誘導体、カルバゾール誘導体、ベンゾフェノン誘導体、チオキサントン誘導体、キサントン誘導体、クマリン誘導体、フェノチアジン誘導体、カンファキノン誘導体、アクリジン系色素、チオピリリウム塩系色素、メロシアニン系色素、キノリン系色素、ケトクマリン系色素、チオキサンテン系色素、キサンテン系色素、オキソノール系色素、シアニン系色素、ローダミン系色素、ピリリウム塩系色素等が挙げられるが、これらに限定されない。
【００４３】  上記増感剤である成分（ｃ）の市販品として、７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリン（東京化成工業）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（東京化成工業）、２−イソプロピルチオキサントン（東京化成工業）が挙げられる。
【００４４】  増感剤である成分（ｃ）は、一種類を単独で用いてもよいし、二種類以上を混合して用いてもよい。
【００４５】  増感剤である成分（ｃ１）の硬化性組成物（Ａ１）における配合割合は、成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）の合計重量、すなわち溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１）の成分の合計重量、に対して０．０１重量％以上１０重量％以下が好ましく、０．０１重量％以上３重量％以下が特に好ましい。増感剤である成分（ｃ１）の硬化性組成物（Ａ１）における配合割合が、成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）の合計重量に対して０．０１重量％より少ないと増感効果が不十分な場合があり、１０重量％より多いと増感剤である成分（ｃ１）だけで光重合を開始する場合がある。  増感剤である成分（ｃ２）の硬化性組成物（Ａ２）における配合割合は、成分（ａ２）、成分（ｂ２）、成分（ｃ２）、成分（ｄ２）の合計重量、すなわち溶剤である成分（ｅ２）を除く硬化性組成物（Ａ２）の成分の合計重量、に対して０．０１重量％以上１０重量％以下が好ましく、０．０１重量％以上３重量％以下が特に好ましい。増感剤である成分（ｃ２）の硬化性組成物（Ａ２）における配合割合が、成分（ａ２）、成分（ｂ２）、成分（ｃ２）、成分（ｄ２）の合計重量に対して０．０１重量％より少ないと増感効果が不十分な場合があり、１０重量％より多いと増感剤である成分（ｃ２）だけで光重合を開始する場合がある。
【００４６】  ＜成分（ｄ）：非重合性化合物＞  本実施形態に係る硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）は、前述した、成分（ａ）、成分（ｂ）、成分（ｃ）の他に、種々の目的に応じ、本発明の効果を損なわない範囲で、さらに非重合性化合物である成分（ｄ）を含有することができる。このような成分（ｄ）としては、（メタ）アクリロイル基などの重合性官能基を有さず、かつ、所定の波長の光を感知して上記重合因子（ラジカル）を発生させる能力を有さない化合物が挙げられる。例えば、水素供与体、内添型離型剤、界面活性剤、酸化防止剤、ポリマー成分、その他添加剤等が挙げられる。成分（ｄ）として前記化合物を複数種類含有してもよい。
【００４７】  水素供与体は、光重合開始剤である成分（ｂ）から発生した開始ラジカルや、重合成長末端のラジカルと反応し、より反応性が高いラジカルを発生する化合物である。光重合開始剤である成分（ｂ）が光ラジカル発生剤である場合に添加することが好ましい。
【００４８】  このような水素供与体の具体例としては、ｎ−ブチルアミン、ジ−ｎ−ブチルアミン、アリルチオ尿素、トリエチルアミン、トリエチレンテトラミン、４，４’−ビス（ジアルキルアミノ）ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、ペンチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、トリエタノールアミン、Ｎ−フェニルグリシンなどのアミン化合物、２−メルカプト−Ｎ−フェニルベンゾイミダゾール、メルカプトプロピオン酸エステル等のメルカプト化合物、ｓ−ベンジルイソチウロニウム−ｐ−トルエンスルフィネート等の硫黄化合物、トリ−ｎ−ブチルホスフィン等のリン化合物等が挙げられるが、これらに限定されない。
【００４９】  水素供与体は、一種類を単独で用いてもよいし二種類以上を混合して用いてもよい。また、水素供与体は、増感剤としての機能を有してもよい。
【００５０】  モールドとレジストとの間の界面結合力の低減、すなわち後述する離型工程における離型力の低減を目的として、硬化性組成物に内添型離型剤を添加することができる。本明細書において内添型とは、硬化性組成物の配置工程の前に予め硬化性組成物に添加されていることを意味する。
【００５１】  内添型離型剤としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤及び炭化水素系界面活性剤等の界面活性剤等を使用できる。なお、本発明において内添型離型剤は、重合性を有さないものとする。
【００５２】  フッ素系界面活性剤としては、パーフルオロアルキル基を有するアルコールのポリアルキレンオキサイド（ポリエチレンオキサイド、ポリプロピレンオキサイド等）付加物、パーフルオロポリエーテルのポリアルキレンオキサイド（ポリエチレンオキサイド、ポリプロピレンオキサイド等）付加物等が含まれる。なお、フッ素系界面活性剤は、分子構造の一部（例えば、末端基）に、ヒドロキシル基、アルコキシ基、アルキル基、アミノ基、チオール基等を有してもよい。
【００５３】  フッ素系界面活性剤としては、市販品を使用してもよい。市販品としては、例えば、メガファック（登録商標）Ｆ−４４４、ＴＦ−２０６６、ＴＦ−２０６７、ＴＦ−２０６８（以上、ＤＩＣ製）、フロラード  ＦＣ−４３０、ＦＣ−４３１（以上、住友スリーエム製）、サーフロン（登録商標）  Ｓ−３８２（ＡＧＣ製）、ＥＦＴＯＰ  ＥＦ−１２２Ａ、１２２Ｂ、１２２Ｃ、ＥＦ−１２１、ＥＦ−１２６、ＥＦ−１２７、ＭＦ−１００（以上、トーケムプロダクツ製）、ＰＦ−６３６、ＰＦ−６３２０、ＰＦ−６５６、ＰＦ−６５２０（以上、ＯＭＮＯＶＡ  Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ製）、ユニダイン（登録商標）ＤＳ−４０１、ＤＳ−４０３、ＤＳ−４５１（以上、ダイキン工業製）、フタージェント（登録商標）  ２５０、２５１、２２２Ｆ、２０８Ｇ（以上、ネオス製）等が挙げられる。
【００５４】  また、内添型離型剤は、炭化水素系界面活性剤でもよい。  炭化水素系界面活性剤としては、炭素数１〜５０のアルキルアルコールに炭素数２〜４のアルキレンオキサイドを付加した、アルキルアルコールポリアルキレンオキサイド付加物等が含まれる。  アルキルアルコールポリアルキレンオキサイド付加物としては、メチルアルコールエチレンオキサイド付加物、デシルアルコールエチレンオキサイド付加物、ラウリルアルコールエチレンオキサイド付加物、セチルアルコールエチレンオキサイド付加物、ステアリルアルコールエチレンオキサイド付加物、ステアリルアルコールエチレンオキサイド／プロピレンオキサイド付加物等が挙げられる。なお、アルキルアルコールポリアルキレンオキサイド付加物の末端基は、単純にアルキルアルコールにポリアルキレンオキサイドを付加して製造できるヒドロキシル基に限定されない。このヒドロキシル基が他の置換基、例えば、カルボキシル基、アミノ基、ピリジル基、チオール基、シラノール基等の極性官能基やアルキル基、アルコキシ基等の疎水性官能基に置換されていてもよい。
【００５５】  アルキルアルコールポリアルキレンオキサイド付加物は、市販品を使用してもよい。市販品としては、例えば、青木油脂工業製のポリオキシエチレンメチルエーテル（メチルアルコールエチレンオキサイド付加物）（ＢＬＡＵＮＯＮ  ＭＰ−４００、ＭＰ−５５０、ＭＰ−１０００）、青木油脂工業製のポリオキシエチレンデシルエーテル（デシルアルコールエチレンオキサイド付加物）（ＦＩＮＥＳＵＲＦ  Ｄ−１３０３、Ｄ−１３０５、Ｄ−１３０７、Ｄ−１３１０）、青木油脂工業製のポリオキシエチレンラウリルエーテル（ラウリルアルコールエチレンオキサイド付加物）（ＢＬＡＵＮＯＮ  ＥＬ−１５０５）、青木油脂工業製のポリオキシエチレンセチルエーテル（セチルアルコールエチレンオキサイド付加物）（ＢＬＡＵＮＯＮ  ＣＨ−３０５、ＣＨ−３１０）、青木油脂工業製のポリオキシエチレンステアリルエーテル（ステアリルアルコールエチレンオキサイド付加物）（ＢＬＡＵＮＯＮ  ＳＲ−７０５、ＳＲ−７０７、ＳＲ−７１５、ＳＲ−７２０、ＳＲ−７３０、ＳＲ−７５０）、青木油脂工業製のランダム重合型ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンステアリルエーテル（ＢＬＡＵＮＯＮ  ＳＡ−５０／５０  １０００Ｒ、ＳＡ−３０／７０  ２０００Ｒ）、ＢＡＳＦ製のポリオキシエチレンメチルエーテル（Ｐｌｕｒｉｏｌ（登録商標）  Ａ７６０Ｅ）、花王製のポリオキシエチレンアルキルエーテル（エマルゲンシリーズ）等が挙げられる。
【００５６】  これらの炭化水素系界面活性剤の中でも内添型離型剤としては、アルキルアルコールポリアルキレンオキサイド付加物であることが好ましく、長鎖アルキルアルコールポリアルキレンオキサイド付加物であることがより好ましい。
【００５７】  内添型離型剤は、一種類を単独で用いてもよいし、二種類以上を混合して用いてもよい。
【００５８】  非重合性化合物である成分（ｄ）の硬化性組成物における配合割合は、成分（ａ）、成分（ｂ）、成分（ｃ）、成分（ｄ）の合計重量、すなわち溶剤を除く硬化性組成物の成分の合計重量に対して、０重量％以上５０重量％以下であるとよい。また、好ましくは、０．１重量％以上５０重量％以下であり、さらに好ましくは０．１重量％以上２０重量％以下である。  成分（ｄ）の配合割合を成分（ａ）、成分（ｂ）、成分（ｃ）、成分（ｄ）の合計重量に対して５０重量％以下とすることにより、得られる硬化膜をある程度の機械的強度を有する硬化膜とすることができる。
【００５９】  ＜成分（ｅ）：溶剤＞  本実施形態に係る硬化性組成物は、溶剤である成分（ｅ）を含有していてもよい。成分（ｅ）としては、成分（ａ）、成分（ｂ）、成分（ｃ）、成分（ｄ）が溶解する溶剤であれば、特に限定はされない。好ましい溶剤としては常圧における沸点が８０℃以上２００℃以下の溶剤である。さらに好ましくは、エステル構造、ケトン構造、水酸基、エーテル構造のいずれかを少なくとも１つ有する溶剤である。具体的には、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、γ−ブチロラクトン、乳酸エチルから選ばれる単独、あるいはこれらの混合溶剤である。
【００６０】  本実施形態に係る硬化性組成物（Ａ１）は、成分（ｅ１）を含有することが好ましい。後述するように、基板上への硬化性組成物（Ａ１）の塗布方法としてスピンコート法が好ましいためである。
【００６１】  ＜硬化性組成物の配合時の温度＞  本実施形態の硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）を調製する際には、各成分を所定の温度条件下で混合・溶解させる。具体的には、０℃以上１００℃以下の範囲で行う。
【００６２】  ＜硬化性組成物の粘度＞  本実施形態に係る硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）は液体であることが好ましい。なぜならば、後述する型接触工程において、硬化性組成物（Ａ１）及び／または（Ａ２）のスプレッド及びフィルが速やかに完了する、つまり充填時間が短いからである。
【００６３】  本実施形態に係る硬化性組成物（Ａ１）の溶剤である成分（ｅ１）を除く成分の組成物の２５℃での粘度は、１ｍＰａ・ｓ以上１０００ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましい。また、より好ましくは、１ｍＰａ・ｓ以上５００ｍＰａ・ｓ以下であり、さらに好ましくは、１ｍＰａ・ｓ以上１５０ｍＰａ・ｓ以下である。  本実施形態に係る硬化性組成物（Ａ２）の溶剤である成分（ｅ２）を除く成分の組成物の２５℃での粘度は、１ｍＰａ・ｓ以上１００ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましい。また、より好ましくは、１ｍＰａ・ｓ以上５０ｍＰａ・ｓ以下であり、さらに好ましくは、１ｍＰａ・ｓ以上１２ｍＰａ・ｓ以下である。
【００６４】  硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）の粘度を１００ｍＰａ・ｓ以下とすることにより、硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）をモールドに接触する際に、スプレッド及びフィルが速やかに完了する（非特許文献１）。つまり、本実施形態に係る硬化性組成物を用いることで、光ナノインプリント法を高いスループットで実施することができる。また、充填不良によるパターン欠陥が生じにくい。  また、粘度を１ｍＰａ・ｓ以上とすることにより、硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）を基板上に塗布する際に塗りムラが生じにくくなる。さらに、硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）をモールドに接触する際に、モールドの端部から硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）が流出しにくくなる。
【００６５】  ＜硬化性組成物の表面張力＞  本実施形態に係る硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）の表面張力は、溶剤である成分（ｅ）を除く硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）の成分の組成物について２３℃での表面張力が、５ｍＮ／ｍ以上７０ｍＮ／ｍ以下であることが好ましい。また、より好ましくは、７ｍＮ／ｍ以上５０ｍＮ／ｍ以下であり、さらに好ましくは、１０ｍＮ／ｍ以上４０ｍＮ／ｍ以下である。ここで、表面張力が高いほど、例えば５ｍＮ／ｍ以上であると、毛細管力が強く働くため、硬化性組成物（Ａ１）及び／または（Ａ２）をモールドに接触させた際に、充填（スプレッド及びフィル）が短時間で完了する（非特許文献１）。  また、表面張力を７０ｍＮ／ｍ以下とすることにより、硬化性組成物を硬化して得られる硬化膜が表面平滑性を有する硬化膜となる。
【００６６】  本実施形態においては、溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１）の成分の組成物の表面張力が、溶剤である成分（ｅ２）を除く硬化性組成物（Ａ２）の成分の組成物の表面張力より高いことが好ましい。型接触工程前に、後述するマランゴニ効果により硬化性組成物（Ａ２）のプレスプレッドが加速され（液滴が広範囲に広がり）、後述する型接触工程中のスプレッドに要する時間が短縮され、結果として充填時間が短縮されるためである。
【００６７】  マランゴニ効果とは液体の表面張力の局所的な差に起因した自由表面移動の現象である（非特許文献２）。表面張力、つまり表面エネルギーの差を駆動力として、表面張力の低い液体が、より広い表面を覆うような拡散が生じる。つまり、基板全面に表面張力の高い硬化性組成物（Ａ１）を塗布しておき、表面張力の低い硬化性組成物（Ａ２）を滴下すれば、硬化性組成物（Ａ２）のプレスプレッドが加速されるのである。
【００６８】  ＜硬化性組成物の接触角＞  本実施形態に係る硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）の接触角は、溶剤である成分（ｅ）を除く硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）の成分の組成物について、基板表面及びモールド表面の双方に対して０°以上９０°以下であることが好ましい。接触角が９０°より大きいと、モールドパターンの内部や基板−モールドの間隙において毛細管力が負の方向（モールドと硬化性組成物間の接触界面を収縮させる方向）に働き、充填しない。０°以上３０°以下であることが特に好ましい。接触角が低いほど毛細管力が強く働くため、充填速度が速い(非特許文献１)。
【００６９】  ＜硬化性組成物に混入している不純物＞  本実施形態に係る硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）は、できる限り不純物を含まないことが好ましい。ここで記載する不純物とは、前述した成分（ａ）、成分（ｂ）、成分（ｃ）、成分（ｄ）及び成分（ｅ）以外のものを意味する。  したがって、本実施形態に係る硬化性組成物は、精製工程を経て得られたものであることが好ましい。このような精製工程としては、フィルタを用いた濾過等が好ましい。
【００７０】  フィルタを用いた濾過を行う際には、具体的には、前述した成分（ａ）、成分（ｂ）及び必要に応じて添加する添加成分を混合した後、例えば、孔径０．００１μｍ以上５．０μｍ以下のフィルタで濾過することが好ましい。フィルタを用いた濾過を行う際には、多段階で行ったり、多数回繰り返したりすることがさらに好ましい。また、濾過した液を再度濾過してもよい。孔径の異なるフィルタを複数用いて濾過してもよい。濾過に使用するフィルタとしては、ポリエチレン樹脂製、ポリプロピレン樹脂製、フッ素樹脂製、ナイロン樹脂製等のフィルタを使用することができるが、特に限定されるものではない。  このような精製工程を経ることで、硬化性組成物に混入したパーティクル等の不純物を取り除くことができる。これにより、パーティクル等の不純物によって、硬化性組成物を硬化した後に得られる硬化膜に不用意に凹凸が生じてパターンの欠陥が発生することを防止することができる。
【００７１】  なお、本実施形態に係る硬化性組成物を、半導体集積回路を製造するために使用する場合、製品の動作を阻害しないようにするため、硬化性組成物中に金属原子を含有する不純物（金属不純物）が混入することを極力避けることが好ましい。このような場合、硬化性組成物に含まれる金属不純物の濃度としては、１０ｐｐｍ以下が好ましく、１００ｐｐｂ以下にすることがさらに好ましい。
【００７２】  ＜硬化性組成物を硬化させるための光波長＞  前記マランゴニ効果は、本発明の前記硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）が液体状態で接触することで十分に効果を発現する。しかしながら前記硬化性組成物（Ａ１）を前記基板全面に塗布した後、前記硬化性組成物（Ａ２）を部分的に塗布し光照射を行う際に、漏れ光により、つまり当該ショット領域外へ光が拡散し、当該ショット領域外に塗布された前記硬化性組成物（Ａ１）の重合反応が進行してしまう場合がある。この重合反応は、前記硬化性組成物（Ａ１）が前記光重合開始剤を実質的に含有していなくても極めてわずかに起こる。前記硬化性組成物（Ａ１）の重合反応が進行し、硬化してしまった箇所は、前記硬化性組成物（Ａ２）を塗布した際に、マラゴンニ効果が十分に発現せず、プレスプレッドが不十分で未充填欠陥が生じてしまう。
【００７３】  本発明の発明者らは鋭意検討の結果、光重合開始剤を実質的に含有しない硬化性組成物（Ａ１）の極めてわずかな重合反応は、波長３５０ｎｍ以下の光によって引き起こされていることを見出した。特に芳香環を有する（メタ）アクリレートは、重合反応が進行する可能性が高い。一方で、波長３５０ｎｍ以下を含まない光、特に３６５ｎｍの単一波長光が照射された場合には本発明の硬化性組成物（Ａ１）重合反応が進行する可能性が低いことを見出した。
【００７４】  したがって、本発明に用いる硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）の混合物の硬化に用いる光は、前記硬化性組成物（Ａ１）が硬化しない光、つまり、波長３５０ｎｍ以下を含まない光が好ましく、３６５ｎｍや３７５ｎｍの単一波長光がさらに好ましい。なお単一波長光とは、分光強度分布のピークの半値幅が１０ｎｍ以下の光と定義する。
【００７５】  ＜硬化性組成物の重合転化率の評価＞  本発明で用いる硬化性組成物の、光照射による重合転化率は、例えば、図４に示すような光照射機構を備えた減衰全反射赤外分光測定装置４００を用いて測定することができる。ここで、重合転化率は、光重合反応に伴う成分（ａ）の重合性官能基の消失割合として定義することができる。なお、この割合は、重合性官能基が重合した割合と同義である。
【００７６】  図４の減衰全反射赤外分光測定装置４００において、硬化性組成物４０４は、図４の減衰全反射赤外分光測定装置４００に備えるダイヤモンドＡＴＲ結晶４０３と石英ガラス４０５との間に挟まれた態様で配置される。そして石英ガラス４０５から硬化性組成物４０４へ向けて照射光４０７が照射されることにより硬化性組成物４０４が硬化される。ここでダイヤモンドＡＴＲ結晶４０３に向けて赤外光４０１を照射する。そして、検出器４０２によりダイヤモンドＡＴＲ結晶４０３上に数μｍの範囲に生じるエバネッセント波４０６を検出して、硬化性組成物４０４の減衰全反射赤外分光スペクトルを、１秒あたり数枚以上数十枚以下取得する。これにより、光硬化中の硬化性組成物４０４の赤外分光スペクトルをリアルタイムで取得することができる。なお、任意の露光量における硬化性組成物４０４の重合転化率（％）は、下記式（１）に従って計算することができる。〔重合転化率（％）〕＝１００×（１−Ｐ２／Ｐ１）    （１）（式（１）において、Ｐ１は、光照射開始直後における成分（ａ）の重合性官能基に由来するピークのピーク強度（初期強度）を表し、Ｐ２は、任意の時間で露光した後における成分（ａ）の重合性官能基に由来するピークのピーク強度（初期強度）を表す。）
【００７７】  本発明においては、照度１ｍＷ／ｃｍ２の条件下において、重合転化率が５０％を超える最低露光量（ｍＪ／ｃｍ２）を半減露光量（ｍＪ／ｃｍ２）と定義し、硬化性組成物の重合速度の指標として用いる。半減露光量の値が大きいほど光重合が遅く、小さいほど速いことを意味する。
【００７８】  ［パターン形成方法］  次に、本実施形態に係るパターン形成方法について、図２の模式断面図を用いて説明する。
【００７９】  本実施形態に係るパターン形成方法は、光ナノインプリント方法の一形態である。本実施形態のパターン形成方法は、  基板２０１上に、前述の本実施形態の硬化性組成物（Ａ１）２０２を積層する第一積層工程（１）、  前記硬化性組成物（Ａ１）２０２の層上に、硬化性組成物（Ａ２）２０３を積層する第二積層工程（２）、  原型パターンを有するモールド２０５と基板２０１の間に硬化性組成物（Ａ１）２０２と硬化性組成物（Ａ２）２０３が部分的に混合してなる混合層をサンドイッチする型接触工程（３）、  前記混合層をモールド２０５側から照射光２０６を照射することにより硬化させる光照射工程（４）、  モールド２０５を硬化後の硬化性組成物からなるパターン形状を有する硬化膜２０７から引き離す離型工程（５）、を有する。
【００８０】  本実施形態に係るパターン形状を有する硬化膜の製造方法によって得られる硬化膜は、１ｎｍ以上１０ｍｍ以下のサイズのパターンを有する膜であることが好ましい。また、１０ｎｍ以上１００μｍ以下のサイズのパターンを有する膜であることがより好ましい。なお、一般に、光を利用してナノサイズ（１ｎｍ以上１００ｎｍ以下）のパターン（凹凸構造）を有する膜を作製するパターン形成技術は、光ナノインプリント法と呼ばれている。本実施形態に係るパターン形成方法は、光ナノインプリント法を利用している。  以下、各工程について説明する。
【００８１】  ＜第一積層工程（１）＞  本工程（第一積層工程）では、図２（ａ）及び（ｂ）に示す通り、前述した本実施形態に係る硬化性組成物（Ａ１）２０２を基板２０１上に積層（塗布）して塗布膜を形成する。硬化性組成物（Ａ１）２０２を基板２０１上に積層（塗布）して塗布膜を形成する際に、溶剤である成分（ｅ１）は揮発し、基板２０１上には溶剤である成分（ｅ１）を除いた硬化性組成物（Ａ１）２０２の成分の組成物のみ残存する。
【００８２】  硬化性組成物（Ａ１）２０２を配置する対象である基板２０１は、被加工基板であり、通常、シリコンウエハが用いられる。基板２０１上には、密着層を含む被加工層が形成されていてもよい。密着層は、塗布膜と基板２０１との密着性を向上させることにより、硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３の混合物の光重合後、モールド２０５をパターン形状を有する硬化膜２０７から分離する際のパターン形状を有する硬化膜２０７の欠陥の形成を低減する働きがある。密着層の厚さは通例、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下である。密着層に適した材料の例としては、米国特許第７，７５９，４０７号、同第８，３６１，５４６号、同第８，５５７，３５１号、同第８，８０８，８０８号、及び同第８，８４６，１９５号（それらは全て引用することにより本明細書の一部をなす）に開示されるものが挙げられる。一例では、密着層は、ＩＳＯＲＡＤ  ５０１、ＣＹＭＥＬ  ３０３ＵＬＦ、ＣＹＣＡＴ  ４０４０またはＴＡＧ  ２６７８（第四級アンモニウムによってブロックされたトリフルオロメタンスルホン酸）と、Ｅａｓｔｍａｎ（商標）ＰＭアセテート（Ｅａｓｔｍａｎ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｃｏｍｐａｎｙ製の２−（１−メトキシ）プロピルアセテートからなる溶媒）とを含む組成物から形成される。基板２０１及び被加工層の間にさらに他の層が形成されていてもよい。また、基板２０１として石英基板を用いれば、石英インプリントモールドのレプリカ（モールドレプリカ）を作製することができる。
【００８３】  ただし本発明において、基板２０１はシリコンウエハや石英基板に限定されるものではない。基板２０１は、アルミニウム、チタン−タングステン合金、アルミニウム−ケイ素合金、アルミニウム−銅−ケイ素合金、酸化ケイ素、窒化ケイ素等の半導体デバイス用基板として知られているものの中からも任意に選択することができる。  なお、使用される基板２０１（被加工基板）あるいは被加工層の表面は、シランカップリング処理、シラザン処理、有機薄膜の成膜、等の表面処理によって硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３との密着性を向上されていてもよい。
【００８４】  本実施形態において、硬化性組成物（Ａ１）２０２を基板２０１あるいは被加工層上に配置する方法としては、例えば、インクジェット法、ディップコート法、エアーナイフコート法、カーテンコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、エクストルージョンコート法、スピンコート法、スリットスキャン法等を用いることができる。本発明においては、スピンコート法が特に好ましい。
【００８５】  スピンコート法を用いて硬化性組成物（Ａ１）２０２を基板２０１あるいは被加工層上に配置する場合、必要に応じてベーク工程を実施し、溶剤である成分（ｅ１）を揮発させても良い。
【００８６】  なお、硬化性組成物（Ａ１）２０２の平均膜厚は、使用する用途によっても異なるが、例えば、０．１ｎｍ以上１０，０００ｎｍ以下であり、好ましくは１ｎｍ以上２０ｎｍ以下であり、特に好ましくは１ｎｍ以上１０ｎｍ以下である。
【００８７】  ＜第二積層工程（２）＞  本工程（第二積層工程）では、図２（ｃ）及び（ｄ）に示す通り、硬化性組成物（Ａ２）２０３の液滴を、前記硬化性組成物（Ａ１）２０２の層上に離散的に滴下して配置することが好ましい。配置方法としてはインクジェット法が特に好ましい。硬化性組成物（Ａ２）２０３の液滴は、モールド２０５上に凹部が密に存在する領域に対向する基板２０１上には密に、凹部が疎に存在する領域に対向する基板２０１上には疎に配置される。このことにより、後述する残膜を、モールド２０５上のパターンの疎密によらずに均一な厚さに制御することができる。
【００８８】  本発明においては、本工程（第二積層工程）で配置された硬化性組成物（Ａ２）２０３の液滴は、前述のように、表面エネルギー（表面張力）の差を駆動力とするマランゴニ効果により、液滴の広がる方向を示す矢印２０４で示す向きに速やかに広がる（プレスプレッド）（図２（ｃ）及び（ｄ））。本発明の発明者らはプレスプレッドの過程において、硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３が部分的に混合することを見出した。硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３の部分的な混合の結果、硬化性組成物（Ａ２）２０３の光重合開始剤である成分（ｂ２）が硬化性組成物（Ａ１）２０２にも移行し、硬化性組成物（Ａ１）２０２が初めて光反応性を獲得するのである。  ここで、硬化性組成物（Ａ１）２０２が増感剤である成分（ｃ１）を含む場合、硬化性組成物（Ａ２）２０３から移行してきた光重合開始剤である成分（ｂ２）が増感剤である成分（ｃ１）により増感されるため、当該ショットにおける硬化性組成物（Ａ１）２０２の光硬化性が向上する。
【００８９】  ＜型接触工程（３）＞  次に、図２（ｅ）に示すように、前工程（第一及び第二積層工程）で形成された硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３が部分的に混合してなる液体の層にパターン形状を転写するための原型パターンを有するモールド２０５を接触させる。これにより、モールド２０５が表面に有する微細パターンの凹部に硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３が部分的に混合してなる液体が充填（フィル）されて、モールド２０５の微細パターンに充填（フィル）された液膜となる。
【００９０】  モールド２０５としては、次の工程（光照射工程）を考慮して光透過性の材料で構成されたモールド２０５を用いるとよい。モールド２０５を構成する材料の材質としては、具体的には、ガラス、石英、ＰＭＭＡ、ポリカーボネート樹脂等の光透過性樹脂、透明金属蒸着膜、ポリジメチルシロキサン等の柔軟膜、光硬化膜、金属膜等が好ましい。ただし、モールド２０５を構成する材料の材質として光透過性樹脂を使用する場合は、硬化性組成物に含まれる成分に溶解しない樹脂を選択する必要がある。熱膨張係数が小さくパターン歪みが小さいことから、モールド２０５を構成する材料の材質は、石英であることが特に好ましい。
【００９１】  モールド２０５が表面に有する微細パターンは、４ｎｍ以上２００ｎｍ以下のパターン高さを有することが好ましい。  パターン高さが低いほど、離型工程においてモールド２０５をレジストの光硬化膜から引き剥がす力、すなわち離型力が低く、また、離型に伴ってレジストパターンがひきちぎられてマスク側に残存する離型欠陥数が少ない。モールド２０５を引き剥がす際の衝撃によるレジストパターンの弾性変形で隣接レジストパターン同士が接触し、レジストパターンが癒着あるいは破損する場合があるが、パターン幅に対してパターン高さが２倍程度以下（アスペクト比２以下）であると、それらの不具合を回避できる可能性が高い。一方、パターン高さが低過ぎると、基板２０１（被加工基板）の加工精度が低い。
【００９２】  モールド２０５には、硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３とモールド２０５の表面との剥離性を向上させるために、硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３とモールド２０５との型接触工程である本工程の前に表面処理を行っておいてもよい。表面処理の方法としては、モールド２０５の表面に離型剤を塗布して離型剤層を形成する方法が挙げられる。ここで、モールド２０５の表面に塗布する離型剤としては、シリコーン系離型剤、フッ素系離型剤、炭化水素系離型剤、ポリエチレン系離型剤、ポリプロピレン系離型剤、パラフィン系離型剤、モンタン系離型剤、カルナバ系離型剤等が挙げられる。例えば、ダイキン工業（株）製のオプツール（登録商標）ＤＳＸ等の市販の塗布型離型剤も好適に用いることができる。なお、離型剤は、一種類を単独で用いてもよいし、二種類以上を併用して用いてもよい。これらの中でも、フッ素系及び炭化水素系の離型剤が特に好ましい。
【００９３】  本工程（型接触工程）において、図２（ｅ）に示すように、モールド２０５と硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３とを接触させる際に、硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３に加える圧力は特に限定はされない。該圧力は０ＭＰａ以上１００ＭＰａ以下とするとよい。また、該圧力は０ＭＰａ以上５０ＭＰａ以下であることが好ましく、０ＭＰａ以上３０ＭＰａ以下であることがより好ましく、０ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下であることがさらに好ましい。
【００９４】  本発明では、前工程（第二積層工程）において硬化性組成物（Ａ２）２０３の液滴のプレスプレッドが進行しているため、本工程における硬化性組成物（Ａ２）２０３のスプレッドは速やかに完了する。硬化性組成物（Ａ２）２０３の液滴間境界領域においては、スプレッドが最後に完了し、かつ硬化性組成物（Ａ１）２０２の濃度が高いが、前述のように硬化性組成物（Ａ１）２０２の接触角が低いため、この領域においてもフィルが速やかに完了する。
【００９５】  以上のように、本工程において硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３のスプレッド及びフィルが速やかに完了するため、モールド２０５と硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３を接触させる時間を短く設定できる。つまり短時間で多くのパターン形成工程を完了でき、高い生産性を得られることが、本発明の効果の一つである。接触させる時間は、特に限定はされないが、例えば０．１秒以上６００秒以下とすると良い。また、該時間は０．１秒以上３秒以下であることが好ましく、０．１秒以上１秒以下であることが特に好ましい。０．１秒より短いと、スプレッド及びフィルが不十分となり、未充填欠陥と呼ばれる欠陥が多発する傾向がある。
【００９６】  本工程は、大気雰囲気下、減圧雰囲気下、不活性ガス雰囲気下のいずれの条件下でも行うことができるが、酸素や水分による硬化反応への影響を防ぐことができるため、減圧雰囲気や不活性ガス雰囲気とすることが好ましい。不活性ガス雰囲気下で本工程を行う場合に使用することができる不活性ガスの具体例としては、窒素、二酸化炭素、ヘリウム、アルゴン、各種フロンガス等、あるいはこれらの混合ガスが挙げられる。大気雰囲気下を含めて特定のガスの雰囲気下で本工程を行う場合、好ましい圧力は、０．０００１気圧以上１０気圧以下である。
【００９７】  型接触工程は、凝縮性ガスを含む雰囲気（以下、「凝縮性ガス雰囲気」と称する）下で行ってもよい。本明細書において凝縮性ガスとは、モールド２０５上に形成された微細パターンの凹部、及びモールド２０５と基板２０１との間隙に、硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３と一緒に雰囲気中のガスが充填されたとき、充填時に発生する毛細管圧力で凝縮して液化するガスのことを指す。なお凝縮性ガスは、型接触工程で硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３とモールド２０５とが接触する前は雰囲気中に気体として存在する（図１（ｄ）及び（ｄａ）参照）。  凝縮性ガス雰囲気下で型接触工程を行うと、微細パターンの凹部に充填されたガスが硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３により発生する毛細管圧力により液化することで気泡が消滅するため、充填性が優れる。凝縮性ガスは、硬化性組成物（Ａ１）２０２及び／または硬化性組成物（Ａ２）２０３に溶解してもよい。
【００９８】  凝縮性ガスの沸点は、型接触工程の雰囲気温度以下であれば限定はされないが、−１０℃〜２３℃が好ましく、さらに好ましくは１０℃〜２３℃である。この範囲であれば、充填性がさらに優れる。  凝縮性ガスの型接触工程の雰囲気温度での蒸気圧は、型接触工程で押印するときのモールド圧力以下であれば制限がないが、０．１〜０．４ＭＰａが好ましい。この範囲であれば、充填性がさらに優れる。雰囲気温度での蒸気圧が０．４ＭＰａより大きいと、気泡の消滅の効果を十分に得ることができない傾向がある。一方、雰囲気温度での蒸気圧が０．１ＭＰａよりも小さいと、減圧が必要となり、装置が複雑になる傾向がある。
【００９９】  型接触工程の雰囲気温度は、特に制限がないが、２０℃〜２５℃が好ましい。
【０１００】  凝縮性ガスとして、具体的には、トリクロロフルオロメタン等のクロロフルオロカーボン（ＣＦＣ）、フルオロカーボン（ＦＣ）、ハイドロクロロフルオロカーボン（ＨＣＦＣ）、１，１，１，３，３−ペンタフルオロプロパン（ＣＨＦ２ＣＨ２ＣＦ３、ＨＦＣ−２４５ｆａ、ＰＦＰ）等のハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）、ペンタフルオロエチルメチルエーテル（ＣＦ３ＣＦ２ＯＣＨ３、ＨＦＥ−２４５ｍｃ）等のハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）等のフロン類が挙げられる。  これらのうち、型接触工程の雰囲気温度が２０℃〜２５℃での充填性が優れるという観点から、１，１，１，３，３−ペンタフルオロプロパン（２３℃での蒸気圧０．１４ＭＰａ、沸点１５℃）、トリクロロフルオロメタン（２３℃での蒸気圧０．１０５６ＭＰａ、沸点２４℃）、及びペンタフルオロエチルメチルエーテルが好ましい。さらに、安全性が優れるという観点から、１，１，１，３，３−ペンタフルオロプロパンが特に好ましい。
【０１０１】  凝縮性ガスは、一種類を単独で用いてもよいし、二種類以上を混合して用いてもよい。またこれら凝縮性ガスは、空気、窒素、二酸化炭素、ヘリウム、アルゴン等の非凝縮性ガスと混合して用いてもよい。凝縮性ガスと混合する非凝縮性ガスとしては、充填性の観点から、ヘリウムが好ましい。ヘリウムはモールド２０５を透過することができる。そのため、型接触工程でモールド２０５上に形成された微細パターンの凹部に硬化性組成物（Ａ１）２０２及び／または硬化性組成物（Ａ２）２０３と一緒に雰囲気中のガス（凝縮性ガス及びヘリウム）が充填されたとき、凝縮性ガスが液化するとともにヘリウムはモールド２０５を透過する。
【０１０２】  ＜光照射工程（４）＞  次に、図２（ｆ）に示すように、硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３が部分的に混合してなる混合層に対し、モールド２０５を介して照射光２０６を照射する。より詳細には、モールド２０５の微細パターンに充填された硬化性組成物（Ａ１）２０２及び／または硬化性組成物（Ａ２）２０３に、モールド２０５を介して照射光２０６を照射する。これにより、モールド２０５の微細パターンに充填された硬化性組成物（Ａ１）２０２及び／または硬化性組成物（Ａ２）２０３は、照射される照射光２０６によって硬化してパターン形状を有する硬化膜２０７となる。
【０１０３】  ここで、モールド２０５の微細パターンに充填された硬化性組成物（Ａ１）２０２及び／または硬化性組成物（Ａ２）２０３に照射する照射光２０６は、硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３の感度波長に応じて選択される。具体的には、硬化性組成物（Ａ１）２０２が硬化しない光、つまり、波長３５０ｎｍ以下を含まない光を適宜選択して使用することが好ましく、３６５ｎｍや３７５ｎｍの単一波長光がさらに好ましい。  これらの中でも、照射光２０６は、紫外光が特に好ましい。これは、硬化助剤（光重合開始剤）として市販されているものは、紫外光に感度を有する化合物が多いからである。ここで紫外光を発する光源としては、例えば、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、低圧水銀灯、Ｄｅｅｐ−ＵＶランプ、炭素アーク灯、ケミカルランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ＫｒＦエキシマレーザ、ＡｒＦエキシマレーザ、Ｆ２エキシマレーザ、レーザーダイオード（例えばＬ３７５Ｐ７０ＭＬＤ（ＴＨＯＲＬＡＢＳ製））等が挙げられるが、超高圧水銀灯が特に好ましい。また使用する光源の数は１つでもよいしまたは複数であってもよい。また、光照射を行う際には、モールド２０５の微細パターンに充填された硬化性組成物（Ａ１）２０２及び／または硬化性組成物（Ａ２）２０３の全面に行ってもよく、一部領域にのみ行ってもよい。
【０１０４】  また、光照射は、基板２０１上の全領域に断続的に複数回行ってもよいし、全領域に連続照射してもよい。さらに、第一の照射過程で一部領域Ａを照射し、第二の照射過程で領域Ａとは異なる領域Ｂを照射してもよい。
【０１０５】  光照射工程（４）においては、前述のように漏れ光、つまり当該ショット領域外への光の拡散が、モールド２０５及び装置のコストの制約上不可避である。  本発明においては、重合開始剤成分（ｂ１）を実質的に含有しない（０．１重量％未満）ため、硬化性組成物（Ａ１）２０２は単独では光照射によって硬化しない。このため、当該ショットから発生した漏れ光によって隣接ショット領域上の硬化性組成物（Ａ１）２０２が硬化することはない。このため、隣接ショットにおいてもその全域で短い充填時間で未充填欠陥の少ないパターンを形成することができるのである。
【０１０６】  一方で、当該ショットにおいては、前述のように硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３の部分的な混合の結果、硬化性組成物（Ａ２）２０３の光重合開始剤である成分（ｂ２）が硬化性組成物（Ａ１）２０２にも移行し、硬化性組成物（Ａ１）２０２が光反応性を得るため、硬化性組成物（Ａ１）２０２及び硬化性組成物（Ａ２）２０３はいずれも、照射される照射光２０６によって硬化してパターン形状を有する硬化膜２０７となるのである。
【０１０７】  ＜離型工程（５）＞  次に、パターン形状を有する硬化膜２０７とモールド２０５と引き離す。本工程（離型工程）では、図２（ｇ）に示すように、パターン形状を有する硬化膜２０７とモールド２０５とを引き離し、工程（４）（光照射工程）において、モールド２０５上に形成された微細パターンの反転パターンとなるパターン形状を有する硬化膜２０７が自立した状態で得られる。なお、パターン形状を有する硬化膜２０７の凹凸パターンの凹部にも硬化膜が残存するが、この膜のことを残膜１０８（図１（ｆａ）参照）と呼ぶこととする。
【０１０８】  なお、型接触工程を凝縮性ガス雰囲気下で行った場合、離型工程でパターン形状を有する硬化膜２０７とモールド２０５とを引き離す際に、パターン形状を有する硬化膜２０７とモールド２０５とが接触する界面の圧力が低下することに伴って凝縮性ガスが気化する。これにより、パターン形状を有する硬化膜２０７とモールド２０５とを引き離すために必要な力である離型力を低減させる効果を奏する傾向がある。
【０１０９】  パターン形状を有する硬化膜２０７とモールド２０５とを引き離す方法としては、引き離す際にパターン形状を有する硬化膜２０７の一部が物理的に破損しなければ特に限定されず、各種条件等も特に限定されない。例えば、基板２０１（被加工基板）を固定してモールド２０５を基板２０１から遠ざかるように移動させて剥離してもよい。もしくは、モールド２０５を固定して基板２０１をモールド２０５から遠ざかるように移動させて剥離してもよい。あるいは、これらの両方を正反対の方向へ引っ張って剥離してもよい。
【０１１０】  以上の工程（１）〜工程（５）を有する一連の工程（製造プロセス）によって、所望の凹凸パターン形状（モールド２０５の凹凸形状に因むパターン形状）を、所望の位置に有する硬化膜を得ることができる。  本実施形態のパターン形状を有する膜の製造方法では、工程（１）で基板２０１表面の大部分に硬化性組成物（Ａ１）２０２を一括して積層し、工程（２）〜工程（５）からなる繰り返し単位（ショット）を、同一基板上で繰り返して複数回行うことができる。また、工程（１）〜工程（５）を同一基板上で繰り返して複数回行ってもよい。工程（１）〜工程（５）あるいは工程（２）〜工程（５）からなる繰り返し単位（ショット）を複数回繰り返すことで、基板２０１（被加工基板）の所望の位置に複数の所望の凹凸パターン形状（モールド２０５の凹凸形状に因むパターン形状）を有する硬化膜を得ることができる。
【０１１１】  工程（１）〜工程（５）を経て得られた、パターン形状を有する硬化膜２０７をマスクとして、基板２０１（被加工基板）あるいは基板２０１（被加工基板）上の被加工層をエッチングなどの加工手段を用いてパターン状に加工し、加工基板を得ることができる。また、パターン形状を有する硬化膜２０７上にさらに被加工層を成膜した後に、エッチングなどの加工手段を用いてパターン転写を行っても良い。このようにして、パターン形状を有する硬化膜２０７のパターン形状に基づく回路構造を基板２０１上に形成することができる。これにより、半導体素子等で利用される回路基板を製造することができる。また、この回路基板と回路基板の回路制御機構などとを接続することにより、ディスプレイ、カメラ、医療装置などの電子機器を形成することもできる。ここでいう半導体素子とは、例えば、ＬＳＩ、システムＬＳＩ、ＤＲＡＭ、ＳＤＲＡＭ、ＲＤＲＡＭ、Ｄ−ＲＤＲＡＭ、ＮＡＮＤフラッシュ等が挙げられる。
【０１１２】  工程（１）〜工程（５）を経て得られた、パターン形状を有する硬化膜２０７を回折格子や偏光板などの光学部材（光学部材の一部材として用いる場合を含む）として利用し、光学部品を得ることもできる。このような場合、少なくとも、基板２０１と、この基板２０１上のパターン形状を有する硬化膜２０７と、を有する光学部品とすることができる。
【０１１３】  また、基板２０１として石英基板を用いて、工程（１）〜工程（５）を経てパターン形状を有する硬化膜２０７を作製し、エッチングなどの加工手段を用いてパターン転写を行って石英インプリントモールドの石英レプリカ（モールドレプリカ）を作製することもできる。
【０１１４】［インプリント前処理コーティング材料、及びインプリントレジストのセット］  上述した本発明の別の側面は、基板上に前処理コーティングとなる液膜を形成し、液膜に対しインプリントレジストの液滴を付与することで液滴成分の基板面方向の広がりを促進するインプリント前処理コーティング材料を提供するものである。  すなわち、本発明は、基板上に前処理コーティングとなる液膜を形成し、前記液膜に対し硬化性組成物（Ａ２）からなる液滴を付与することで液滴成分の基板面方向の広がりを促進する硬化性組成物（Ａ１）からなるインプリント前処理コーティング材料であって、重合性化合物である成分（ａ１）を少なくとも有し、前記光重合開始剤である成分（ｂ１）含有量が、前記重合性化合物である成分（ａ１）１００重量部に対して０重量部以上０．１重量部未満であり、照度１．００ｍＷ／ｃｍ２、露光時間１００．０秒の条件で露光した際に前記重合性化合物である成分（ａ１）の重合転化率が５０％未満である、ことを特徴とするインプリント前処理コーティング材料を、包含する。
【０１１５】  特に、溶剤を除くインプリント前処理コーティング材料の成分の組成物の表面張力が、溶剤を除くインプリントレジストの成分の組成物の表面張力より高いことが好ましい。  これにより、液膜に対し液滴を付与することで液滴成分の基板面方向の広がりが促進され、好適なインプリントを実現することができる。
【０１１６】  特に、インプリントレジストと、インプリント前処理コーティング材料とを組み合わせたセットとして提供されることが好ましい。  すなわち、溶剤を除く前記インプリント前処理コーティング材料の成分の組成物の表面張力が、溶剤を除く前記インプリントレジストの成分の組成物の表面張力より高い、という関係で組み合わせたセットとして提供することで、好適なインプリントを実現する。
【０１１７】  さらに、溶剤を除くインプリント前処理コーティング材料の成分の組成物の表面張力と、溶剤を除くインプリントレジストの成分の組成物の表面張力の差が、１ｍＮ／ｍ以上２５ｍＮ／ｍ以下である組み合わせのセットであるとより好ましい。
【０１１８】  また、本発明の別の側面は、インプリント前処理コーティング材料を基板上にコーティングすることで、インプリントを行うための好適な基板の前処理方法をも提供するものである。
【０１１９】  加えて本発明は、基板上にパターンを形成するためのパターン形成方法をも包含するものである。インプリント前処理コーティング材料がコーティングされた基板上にレジストを不連続に滴下する工程を有することで、レジスト成分の基板面方向の広がりが促進され、インプリントに要する時間を短縮することができる。
【実施例】
【０１２０】  以下、実施例により本発明をより詳細に説明するが、本発明の技術的範囲は以下に説明する実施例に限定されるものではない。なお、以下に使用される「部」及び「％」は特に示さない限りすべて重量基準である。【０１２１】  （実施例１）  （１）硬化性組成物（Ａ１−１）の調製  下記に示される成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）、成分（ｅ１）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、実施例１の硬化性組成物（Ａ１−１）を調製した。  （１−１）成分（ａ１）：合計１００重量部  トリメチロールプロパントリアクリレート（アルドリッチ製、略称ＴＭＰＴＡ）：１００重量部  （１−２）成分（ｂ１）：合計０重量部  成分（ｂ１）は添加しなかった。  （１−３）成分（ｃ１）：合計０重量部  成分（ｃ１）は添加しなかった。  （１−４）成分（ｄ１）：合計０重量部  成分（ｄ１）は添加しなかった。  （１−５）成分（ｅ１）：合計３３０００重量部  プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（東京化成工業製、略称ＰＧＭＥＡ）：３３０００重量部【０１２２】  （２）硬化性組成物（Ａ１−１）の重合転化率の評価  溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１）の成分の組成物、すなわち成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、及び成分（ｄ１）の混合物、を調製した。その組成物を約１０μＬとり、これを減衰全反射赤外分光装置上のダイヤモンドＡＴＲ結晶上に滴下して塗布膜を形成した。次に、厚さ１ｍｍの石英ガラスを、形成した塗布膜上にかぶせた。【０１２３】  次に、石英ガラス上から、超高圧水銀ランプを備えたＵＶ光源から出射された光を塗布膜に照射した。なお、ＵＶ光源から出射された光は、塗布膜に到達するまでに、後述する干渉フィルタと、石英ガラスと、をこの順で通過した。干渉フィルタとしてＶＰＦ−２５Ｃ−１０−１５−３６５００（シグマ光機製）を使用し、照射光である紫外光の波長を３６５ｎｍの単一波長光とし、照度を１．０ｍＷ／ｃｍ２とした。さらに、この光照射の際に、硬化性組成物（Ａ１）を構成する上記成分（ａ１）に含まれるアクリル基の減少速度（成分（ａ）の重合反応の反応速度）を、以下に示す方法で評価した。【０１２４】  塗布膜への光照射を開始したのと同時に、減衰全反射赤外分光スペクトルの測定を開始し、光照射を続けながら１秒あたり２．７回測定しデータを取得した。ここで成分（ａ１）のアクリル基に由来する８１０ｃｍ−１のピークの面積強度は、露光時間１００．０秒において、光照射開始直後の初期値の５０％より大きい、つまり、重合転化率が５０％未満である（半減露光量が１００ｍＪ／ｃｍ２より大きい）ことがわかった。このことから、硬化性組成物（Ａ１−１）はＵＶ光に対する反応性が低く、硬化性組成物（Ａ１−１）は単独では漏れ光では硬化しないことがわかった。【０１２５】  （３）硬化性組成物（Ａ１−１）の粘度の測定  円錐平板方式回転型粘度計ＲＥ−８５Ｌ（東機産業製）を用いて、溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、８４．７ｍＰａ・ｓであった。【０１２６】  （４）硬化性組成物（Ａ１−１）の表面��力の測定  自動表面張力計ＤＹ−３００（協和界面化学製）を用い、白金プレートを用いたプレート法により、２５℃における溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３５．５ｍＮ／ｍであった。なお、測定は、測定回数５回、白金プレートのプリウェット浸漬距離０．３５ｍｍの条件で行った。１回目の測定値を除いて、２回目から５回目の測定値の平均値を表面張力とした。【０１２７】  （５）硬化性組成物（Ａ２−１）の調製  下記に示される成分（ａ２）、成分（ｂ２）、成分（ｃ２）、成分（ｄ２）、成分（ｅ２）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、実施例１の硬化性組成物（Ａ２−１）を調製した。  （５−１）成分（ａ２）：合計９４重量部  イソボルニルアクリレート（共栄社化学製、商品名：ＩＢ−ＸＡ）：９重量部  ベンジルアクリレート（大阪有機化学工業製、商品名：Ｖ＃１６０）：３８重量部  ネオペンチルグリコールジアクリレート（共栄社化学製、商品名：ＮＰ−Ａ）：４７重量部  （５−２）成分（ｂ２）：合計３重量部  Ｉｒｇａｃｕｒｅ６５１（ＢＡＳＦ製）：３重量部  （５−３）成分（ｃ２）：合計０重量部  成分（ｃ２）は添加しなかった。  （５−４）成分（ｄ２）：合計０重量部  成分（ｄ２）は添加しなかった。  （５−５）成分（ｅ２）：合計０重量部  成分（ｅ２）は添加しなかった。【０１２８】  （６）硬化性組成物（Ａ２−１）の重合転化率の評価  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で硬化性組成物（Ａ２−１）の重合転化率を評価した。露光時間８．９秒で重合転化率が５０％以上となる（半減露光量が８．９ｍＪ／ｃｍ２）ことがわかった。【０１２９】  （７）硬化性組成物（Ａ２−１）の表面張力の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で硬化性組成物（Ａ２−１）の表面張力の測定を行ったところ、３３．４ｍＮ／ｍであった。【０１３０】  （８）光ナノインプリントプロセス  スピンコーターを用いて硬化性組成物（Ａ１−１）をシリコン基板上に塗布することで、５〜１０ｎｍ程度の厚さの硬化性組成物（Ａ１−１）の膜を得ることができる。【０１３１】  硬化性組成物（Ａ１−１）の膜の上に、インクジェット法を用いて硬化性組成物（Ａ２−１）の１ｐＬの液滴を離散的に配置することができる。液滴量は、例えば、硬化膜の平均膜厚が５０ｎｍ程度になる量とする。このとき、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−１）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−１）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−１）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０１３２】  第二積層工程及び型接触工程において、硬化性組成物（Ａ１−１）と硬化性組成物（Ａ２−１）が混合し、硬化性組成物（Ａ２−１）から光重合開始剤成分（ｂ２）が硬化性組成物（Ａ１−１）に移行することで硬化性組成物（Ａ１−１）も光重合性を獲得する。そして光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−１）と硬化性組成物（Ａ２−１）の混合物は良好に硬化するのである。【０１３３】  また、硬化性組成物（Ａ１−１）の照度１．００ｍＷ／ｃｍ２、露光時間１００．０秒の条件で露光した際の重合転化率が５０％未満であることから、当該インプリントショットから発生した漏れ光による隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−１）の硬化が進まない。つまり、隣接ショット領域においても光ナノインプリントプロセスを当該ショット領域と同様の生産性と精度で実施することが可能である。【０１３４】（実施例２）  （１）〜（４）硬化性組成物（Ａ１−２）について  実施例１と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ１−２）として用いた。【０１３５】  （５）硬化性組成物（Ａ２−２）の調製  下記に示される成分（ａ２）、成分（ｂ２）、成分（ｃ２）、成分（ｄ２）、成分（ｅ２）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、実施例２の硬化性組成物（Ａ２−１）を調製した。  （５−１）成分（ａ２）：合計９４重量部  実施例１と同様とした。  （５−２）成分（ｂ２）：合計３重量部  Ｉｒｇａｃｕｒｅ９０７（ＢＡＳＦ製）：３重量部  （５−３）成分（ｃ２）：合計０重量部  実施例１と同様とした。  （５−４）成分（ｄ２）：合計０重量部  実施例１と同様とした。  （５−５）成分（ｅ２）：合計０重量部  実施例１と同様とした。【０１３６】  （６）硬化性組成物（Ａ２−２）の重合転化率の評価  実施例１と同様に硬化性組成物（Ａ２−２）の重合転化率を評価した。露光時間８．３秒で重合転化率が５０％以上となる（半減露光量が８．３ｍＪ／ｃｍ２）ことがわかった。【０１３７】  （７）硬化性組成物（Ａ２−２）の表面張力の測定  実施例１と同様に硬化性組成物（Ａ２−２）の表面張力の測定を行ったところ、３３．４ｍＮ／ｍであった。【０１３８】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−２）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−２）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−２）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０１３９】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−２）と硬化性組成物（Ａ２−２）の混合物は良好に硬化する。【０１４０】  実施例１と同様に、当該インプリントショットから発生した漏れ光による隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−２）の硬化が進まない。つまり、隣接ショット領域においても光ナノインプリントプロセスを当該ショット領域と同様の生産性と精度で実施することが可能である。【０１４１】（実施例３）  （１）〜（４）硬化性組成物（Ａ１−３）について  実施例１と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ１−３）として用いた。【０１４２】  （５）硬化性組成物（Ａ２−３）の調製  下記に示される成分（ａ２）、成分（ｂ２）、成分（ｃ２）、成分（ｄ２）、成分（ｅ２）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、実施例３の硬化性組成物（Ａ２−３）を調製した。  （５−１）成分（ａ２）：合計９４重量部  実施例１と同様とした。  （５−２）成分（ｂ２）：合計３重量部  Ｉｒｇａｃｕｒｅ３６９（ＢＡＳＦ製）：３重量部  （５−３）成分（ｃ２）：合計０重量部  実施例１と同様とした。  （５−４）成分（ｄ２）：合計０重量部  実施例１と同様とした。  （５−５）成分（ｅ２）：合計０重量部実施例���と同様とした。【０１４３】  （６）硬化性組成物（Ａ２−３）の重合転化率の評価  実施例１と同様に硬化性組成物（Ａ２−３）の重合転化率を評価した。露光時間２．４秒で重合転化率が５０％以上となる（半減露光量が２．４ｍＪ／ｃｍ２）ことがわかった。【０１４４】  （７）硬化性組成物（Ａ２−３）の表面張力の測定  実施例１と同様に硬化性組成物（Ａ２−３）の表面張力の測定を行ったところ、３３．４ｍＮ／ｍであった。【０１４５】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−３）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−３）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−３）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０１４６】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−３）と硬化性組成物（Ａ２−３）の混合物は良好に硬化する。【０１４７】  実施例１と同様に、当該インプリントショットから発生した漏れ光による隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−３）の硬化が進まない。つまり、隣接ショット領域においても光ナノインプリントプロセスを当該ショット領域と同様の生産性と精度で実施することが可能である。【０１４８】（実施例４）  （１）硬化性組成物（Ａ１−４）の調製  下記に示される成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）、成分（ｅ１）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、実施例４の硬化性組成物（Ａ１−４）を調製した。  （１−１）成分（ａ１）：合計１００重量部  ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート（新中村化学製、略称ＤＣＰＤＡ）：１００重量部  （１−２）成分（ｂ１）：合計０重量部  成分（ｂ１）は添加しなかった。  （１−３）成分（ｃ１）：合計０重量部  成分（ｃ１）は添加しなかった。  （１−４）成分（ｄ１）：合計０重量部  成分（ｄ１）は添加しなかった。  （１−５）成分（ｅ１）：合計３３０００重量部  プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（東京化成工業製、略称ＰＧＭＥＡ）：３３０００重量部【０１４９】  （２）硬化性組成物（Ａ１−４）の重合転化率の評価  実施例１と同様の方法で硬化性組成物（Ａ１−４）の重合転化率の評価を行った。重合転化率が５０％未満である（半減露光量が１００ｍＪ／ｃｍ２より大きい）ことがわかった。このことから、硬化性組成物（Ａ１−４）はＵＶ光に対する反応性が低く、硬化性組成物（Ａ１−４）は単独では漏れ光では硬化しないことがわかった。【０１５０】  （３）硬化性組成物（Ａ１−４）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−４）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、１２６ｍＰａ・ｓであった。【０１５１】  （４）硬化性組成物（Ａ１−４）の表面張力の測定  実施例１と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−４）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３９．２ｍＮ／ｍであった。【０１５２】  （５）硬化性組成物（Ａ２−４）の調製  下記に示される成分（ａ２）、成分（ｂ２）、成分（ｃ２）、成分（ｄ２）、成分（ｅ２）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、実施例１の硬化性組成物（Ａ２−１）を調製した。  （５−１）成分（ａ２）：合計９４重量部  イソボルニルアクリレート（共栄社化学製、商品名：ＩＢ−ＸＡ）：９重量部  ベンジルアクリレート（大阪有機化学工業製、商品名：Ｖ＃１６０）：３８重量部  ネオペンチルグリコールジアクリレート（共栄社化学製、商品名：ＮＰ−Ａ）：４７重量部  （５−２）成分（ｂ２）：合計３重量部  Ｄａｒｏｃｕｒ（登録商標）ＴＰＯ（ＢＡＳＦ製、略称ＴＰＯ）：３重量部  （５−３）成分（ｃ２）：合計０重量部  成分（ｃ２）は添加しなかった。  （５−４）成分（ｄ２）：合計０重量部  成分（ｄ２）は添加しなかった。  （５−５）成分（ｅ２）：合計０重量部  成分（ｅ２）は添加しなかった。【０１５３】  （６）硬化性組成物（Ａ２−４）の重合転化率の評価  実施例１と同様の方法で硬化性組成物（Ａ２−４）の重合転化率を評価した。露光時間３．７秒で重合転化率が５０％以上となる（半減露光量が３．７ｍＪ／ｃｍ２）ことがわかった。【０１５４】  （７）硬化性組成物（Ａ２−４）の表面張力の測定  実施例１と同様の方法で硬化性組成物（Ａ２−４）の表面張力の測定を行ったところ、３３．４ｍＮ／ｍであった。【０１５５】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−４）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−４）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−４）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０１５６】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−４）と硬化性組成物（Ａ２−４）の混合物は良好に硬化する。【０１５７】  実施例１と同様に、当該インプリントショットから発生した漏れ光による隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−４）の硬化が進まない。つまり、隣接ショット領域においても光ナノインプリントプロセスを当該ショット領域と同様の生産性と精度で実施することが可能である。【０１５８】（実施例５）  （１）硬化性組成物（Ａ１−５）の調製  下記に示される成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）、成分（ｅ１）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、実施例５の硬化性組成物（Ａ１−５）を調製した。  （１−１）成分（ａ１）：合計１００重量部  ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート（新中村化学製、略称ＤＣＰＤＡ）：１００重量部  （１−２）成分（ｂ１）：合計０重量部  成分（ｂ１）は添加しなかった。  （１−３）成分（ｃ１）：合計０．５重量部  ７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリン（東京化成工業、略称ＥＡＭＣ）：合計０．５重量部  （１−４）成分（ｄ１）：合計０重量部  成分（ｄ１）は添加しなかった。  （１−５）成分（ｅ１）：合計３３０００重量部  プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（東京化成工業製、略称ＰＧＭＥＡ）：３３０００重量部【０１５９】  （２）硬化性組成物（Ａ１−５）の重合転化率の評価  （２−１）隣接ショットにおける光硬化性の評価  実施例１と同様に硬化性組成物（Ａ１−５）の重合転化率の評���を行った。ただし、露光時間は、３．２秒及び１００．０秒の２通りを行った。露光時間３．２秒では、重合転化率は３％未満であることがわかった。このことにより、ＥＡＭＣは硬化性組成物（Ａ１−５）において実質的に光重合を開始する能力を有さないことが確認された。【０１６０】  また、露光時間１００．０秒では、重合転化率が５０％未満である（半減露光量が１００ｍＪ／ｃｍ２より大きい）ことがわかった。このことから、硬化性組成物（Ａ１−５）はＵＶ光に対する反応性が低く、硬化性組成物（Ａ１−５）は単独では漏れ光では硬化しないことがわかった。【０１６１】  （２−２）当該ショットにおける増感効果の評価  増感効果の評価は、以下に示す模擬硬化性組成物（Ａ１’）及び模擬硬化性組成物（Ａ１’’）の重合転化率を比較評価することで行った。  模擬硬化性組成物（Ａ１’）：増感剤である成分（ｃ１）を有する前記硬化性組成物（Ａ１−５）から溶剤である成分（ｅ１）を除き前記重合性化合物である成分（ａ１）１００重量部に対して光重合開始剤である成分（ｂ２）としてＴＰＯ０．５重量部を添加した。  模擬硬化性組成物（Ａ１’’）：前記硬化性組成物（Ａ１−５）から増感剤である成分（ｃ１）と溶剤である成分（ｅ１）を除き前記重合性化合物である成分（ａ１）１００重量部に対して光重合開始剤である成分（ｂ２）としてＴＰＯ０．５重量部を添加した。【０１６２】  硬化性組成物（Ａ１’）の重合転化率から硬化性組成物（Ａ１’’）の重合転化率を引いた値を増感効果の値とした。なお増感効果の値が正の方向に大きくなることは、増感作用がより強く働いていることを意味する。【０１６３】  なお、光重合開始剤である成分（ｂ２）の添加は、硬化性組成物（Ａ１）及び（Ａ２）が積層された際の硬化性組成物（Ａ２）から硬化性組成物（Ａ１）への光重合開始剤である成分（ｂ２）の移行を模擬している。【０１６４】  実施例１と同様に硬化性組成物（Ａ１’）及び（Ａ１’’）の重合転化率の評価を行った。ただし、露光時間は、３．２秒で行った。硬化性組成物（Ａ１’）の重合転化率は２５％であり、硬化性組成物（Ａ１’’）の重合転化率は０％であった。この結果から増感効果を計算したところ＋２５ポイントであった。このことにより、ＥＡＭＣが硬化性組成物（Ａ１−５）において増感効果を有することが確認された。【０１６５】  （３）硬化性組成物（Ａ１−５）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−５）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、１２６ｍＰａ・ｓであった。【０１６６】  （４）硬化性組成物（Ａ１−５）の表面張力の測定  実施例１と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−５）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３９．２ｍＮ／ｍであった。【０１６７】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−５）について  実施例４と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−５）として用いた。【０１６８】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−５）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−５）の表面張力より高い��で、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−５）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０１６９】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−５）と硬化性組成物（Ａ２−５）の混合物は良好に硬化する。【０１７０】  実施例１と同様に、当該インプリントショットから発生した漏れ光による隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−５）の硬化が進まない。つまり、隣接ショット領域においても光ナノインプリントプロセスを当該ショット領域と同様の生産性と精度で実施することが可能である。【０１７１】（実施例６）  （１）硬化性組成物（Ａ１−６）の調製  下記に示される成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）、成分（ｅ１）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、実施例６の硬化性組成物（Ａ１−６）を調製した。  （１−１）成分（ａ１）：合計１００重量部  ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート（新中村化学製、略称ＤＣＰＤＡ）：１００重量部  （１−２）成分（ｂ１）：合計０重量部  成分（ｂ１）は添加しなかった。  （１−３）成分（ｃ１）：合計０．５重量部  ４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（東京化成工業、略称ＥＡＢ）：０．５重量部  （１−４）成分（ｄ１）：合計０重量部  成分（ｄ１）は添加しなかった。  （１−５）成分（ｅ１）：合計３３０００重量部  プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（東京化成工業製、略称ＰＧＭＥＡ）：３３０００重量部【０１７２】  （２）硬化性組成物（Ａ１−６）の重合転化率の評価  （２−１）隣接ショットにおける光硬化性の評価  実施例５と同様の方法で硬化性組成物（Ａ１−６）の重合転化率の評価を行った。露光時間３．２秒では、重合転化率は３％未満であることがわかった。このことにより、ＥＡＢは硬化性組成物（Ａ１−６）において実質的に光重合を開始する能力を有さないことが確認された。【０１７３】  また、露光時間１００．０秒では、重合転化率が５０％未満である（半減露光量が１００ｍＪ／ｃｍ２より大きい）ことがわかった。このことから、硬化性組成物（Ａ１−６）はＵＶ光に対する反応性が低く、硬化性組成物（Ａ１−６）は単独では漏れ光では硬化しないことがわかった。【０１７４】  （２−２）当該ショットにおける増感効果の評価  実施例５と同様の方法で硬化性組成物（Ａ１−６）に含有される増感剤の増感効果の評価を行った。模擬硬化性組成物（Ａ１’）の重合転化率は２８％であり、模擬硬化性組成物（Ａ１’’）の重合転化率は０％であった。この結果から増感効果を計算したところ＋２８ポイントであった。このことにより、ＥＡＢが硬化性組成物（Ａ１−６）において増感効果を有することが確認された。【０１７５】  （３）硬化性組成物（Ａ１−６）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−６）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、１２６ｍＰａ・ｓであった。【０１７６】  （４）硬化性組成物（Ａ１−６）の表面張力の測定  実施例１と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−６）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３９．２ｍＮ／ｍであった。【０１７７】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−６）について  実施例４と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−６）として用いた。【０１７８】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−６）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−６）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−６）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０１７９】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−６）と硬化性組成物（Ａ２−６）の混合物は良好に硬化する。【０１８０】  実施例１と同様に、当該インプリントショットから発生した漏れ光による隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−６）の硬化が進まない。つまり、隣接ショット領域においても光ナノインプリントプロセスを当該ショット領域と同様の生産性と精度で実施することが可能である。【０１８１】（実施例７）  （１）硬化性組成物（Ａ１−７）の調製  下記に示される成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）、成分（ｅ１）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、実施例７の硬化性組成物（Ａ１−７）を調製した。  （１−１）成分（ａ１）：合計１００重量部  ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート（新中村化学製、略称ＤＣＰＤＡ）：１００重量部  （１−２）成分（ｂ１）：合計０重量部  成分（ｂ１）は添加しなかった。  （１−３）成分（ｃ１）：合計０．５重量部  ２−イソプロピルチオキサントン（東京化成工業、略称ＩＴＸ）：０．５重量部  （１−４）成分（ｄ１）：合計０重量部  成分（ｄ１）は添加しなかった。  （１−５）成分（ｅ１）：合計３３０００重量部  プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（東京化成工業製、略称ＰＧＭＥＡ）：３３０００重量部【０１８２】  （２）硬化性組成物（Ａ１−７）の重合転化率の評価  （２−１）隣接ショットにおける光硬化性の評価  実施例５と同様の方法で硬化性組成物（Ａ１−７）の重合転化率の評価を行った。露光時間３．２秒では、重合転化率は３％未満であることがわかった。このことにより、ＩＴＸは硬化性組成物（Ａ１−７）において実質的に光重合を開始する能力を有さないことが確認された。【０１８３】  また、露光時間１００．０秒では、重合転化率が５０％未満である（半減露光量が１００ｍＪ／ｃｍ２より大きい）ことがわかった。このことから、硬化性組成物（Ａ１−７）はＵＶ光に対する反応性が低く、硬化性組成物（Ａ１−７）は単独では漏れ光では硬化しないことがわかった。【０１８４】  （２−２）当該ショットにおける増感効果の評価  実施例５と同様の方法で硬化性組成物（Ａ１−７）に含有される増感剤の増感効果の評価を行った。模擬硬化性組成物（Ａ１’）の重合転化率は２６％であり、模擬硬化性組成物（Ａ１’’）の重合転化率は０％であった。この結果から増感効果を計算したところ＋２６ポイントであった。このことにより、ＩＴＸが硬化性組成物（Ａ１−７）において増感効果を有することが確認された。【０１８５】  （３）硬化性組成物（Ａ１−７）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−７）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、１２６ｍＰａ・ｓであった。【０１８６】  （４）硬化性組成物（Ａ１−７）の表面張力の測定  実施例１と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−７）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３９．２ｍＮ／ｍであった。【０１８７】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−７）について  実施例４と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−７）として用いた。【０１８８】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−７）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−７）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−７）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０１８９】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−７）と硬化性組成物（Ａ２−７）の混合物は良好に硬化する。【０１９０】  実施例１と同様に、当該インプリントショットから発生した漏れ光による隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−７）の硬化が進まない。つまり、隣接ショット領域においても光ナノインプリントプロセスを当該ショット領域と同様の生産性と精度で実施することが可能である。【０１９１】（実施例８）  （１）硬化性組成物（Ａ１−８）の調製  下記に示される成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）、成分（ｅ１）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、実施例８の硬化性組成物（Ａ１−８）を調製した。  （１−１）成分（ａ１）：合計１００重量部  ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート（新中村化学製、略称ＤＣＰＤＡ）：１００重量部  （１−２）成分（ｂ１）：合計０重量部  成分（ｂ１）は添加しなかった。  （１−３）成分（ｃ１）：合計１重量部    ７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリン（東京化成工業、略称ＥＡＭＣ）：１重量部  （１−４）成分（ｄ１）：合計０重量部  成分（ｄ１）は添加しなかった。  （１−５）成分（ｅ１）：合計３３０００重量部  プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（東京化成工業製、略称ＰＧＭＥＡ）：３３０００重量部【０１９２】  （２）硬化性組成物（Ａ１−８）の重合転化率の評価  （２−１）隣接ショットにおける光硬化性の評価  実施例５と同様の方法で硬化性組成物（Ａ１−８）の重合転化率の評価を行った。露光時間３．２秒では、重合転化率は３％未満であることがわかった。このことにより、ＥＡＭＣは硬化性組成物（Ａ１−８）において実質的に光重合を開始する能力を有さないことが確認された。【０１９３】  また、露光時間１００．０秒では、重合転化率が５０％未満である（半減露光量が１００ｍＪ／ｃｍ２より大きい）ことがわかった。このことから、硬化性組成物（Ａ１−８）はＵＶ光に対する反応性が低く、硬化性組成物（Ａ１−８）は単独では漏れ光では硬化しないことがわかった。【０１９４】  （２−２）当該ショットにおける増感効果の評価  実施例５と同様の方法で硬化性組成物（Ａ１−８）に含有される増感剤の増感効果の評価を行った。模擬硬化性組成物（Ａ１���）の重合転化率は２６％であり、模擬硬化性組成物（Ａ１’’）の重合転化率は０％であった。この結果から増感効果を計算したところ＋２６ポイントであった。このことにより、ＥＡＭＣが硬化性組成物（Ａ１−８）において増感効果を有することが確認された。【０１９５】  （３）硬化性組成物（Ａ１−８）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−８）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、１２６ｍＰａ・ｓであった。【０１９６】  （４）硬化性組成物（Ａ１−８）の表面張力の測定  実施例１と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−８）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３９．２ｍＮ／ｍであった。【０１９７】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−８）について  実施例４と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−８）として用いた。【０１９８】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−８）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−８）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−８）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０１９９】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−８）と硬化性組成物（Ａ２−８）の混合物は良好に硬化する。【０２００】  実施例１と同様に、当該インプリントショットから発生した漏れ光による隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−８）の硬化が進まない。つまり、隣接ショット領域においても光ナノインプリントプロセスを当該ショット領域と同様の生産性と精度で実施することが可能である。【０２０１】（実施例９）  （１）硬化性組成物（Ａ１−９）の調製  下記に示される成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）、成分（ｅ１）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、実施例９の硬化性組成物（Ａ１−９）を調製した。  （１−１）成分（ａ１）：合計１００重量部  ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート（新中村化学製、略称ＤＣＰＤＡ）：１００重量部  （１−２）成分（ｂ１）：合計０重量部  成分（ｂ）は添加しなかった。  （１−３）成分（ｃ１）：合計３重量部  ７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリン（東京化成工業、略称ＥＡＭＣ）：３重量部  （１−４）成分（ｄ１）：合計０重量部  成分（ｄ）は添加しなかった。  （１−５）成分（ｅ１）：合計３３０００重量部  プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（東京化成工業製、略称ＰＧＭＥＡ）：３３０００重量部【０２０２】  （２）硬化性組成物（Ａ１−９）の重合転化率の評価  （２−１）隣接ショットにおける光硬化性の評価  実施例５と同様の方法で硬化性組成物（Ａ１−９）の重合転化率の評価を行った。露光時間３．２秒では、重合転化率は３％未満であることがわかった。このことにより、ＥＡＭＣは硬化性組成物（Ａ１−９）において実質的に光重合を開始する能力を有さないことが確認された。【０２０３】  また、露光時間１００．０秒では、重合転化率が５０％未満である（半減露光量が１００ｍＪ／ｃｍ２より大きい）こと���わかった。このことから、硬化性組成物（Ａ１−９）はＵＶ光に対する反応性が低く、硬化性組成物（Ａ１−９）は単独では漏れ光では硬化しないことがわかった。【０２０４】（２−２）当該ショットにおける増感効果の評価  実施例５と同様の方法で硬化性組成物（Ａ１−９）に含有される増感剤の増感効果の評価を行った。模擬硬化性組成物（Ａ１’）の重合転化率は２８％であり、模擬硬化性組成物（Ａ１’’）の重合転化率は０％であった。この結果から増感効果を計算したところ＋２８ポイントであった。このことにより、ＥＡＭＣが硬化性組成物（Ａ１−９）において増感効果を有することが確認された。【０２０５】  （３）硬化性組成物（Ａ１−９）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−９）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、１２６ｍＰａ・ｓであった。【０２０６】  （４）硬化性組成物（Ａ１−９）の表面張力の測定  実施例１と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−９）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３９．２ｍＮ／ｍであった。【０２０７】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−９）について  実施例４と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−９）として用いた。【０２０８】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−９）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−９）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−９）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０２０９】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−９）と硬化性組成物（Ａ２−９）の混合物は良好に硬化する。【０２１０】  実施例１と同様に、当該インプリントショットから発生した漏れ光による隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−９）の硬化が進まない。つまり、隣接ショット領域においても光ナノインプリントプロセスを当該ショット領域と同様の生産性と精度で実施することが可能である。【０２１１】（実施例１０）  （１）硬化性組成物（Ａ１−１０）の調製  下記に示される成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）、成分（ｅ１）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、実施例１０の硬化性組成物（Ａ１−１０）を調製した。  （１−１）成分（ａ１）：合計１００重量部  ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート（新中村化学製、略称ＤＣＰＤＡ）：１００重量部  （１−２）成分（ｂ１）：合計０重量部  成分（ｂ１）は添加しなかった。  （１−３）成分（ｃ１）：合計０．１重量部  ４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（東京化成工業、略称ＥＡＢ）：０．１重量部  （１−４）成分（ｄ１）：合計０重量部  成分（ｄ１）は添加しなかった。  （１−５）成分（ｅ１）：合計３３０００重量部  プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（東京化成工業製、略称ＰＧＭＥＡ）：３３０００重量部【０２１２】  （２）硬化性組成物（Ａ１−１０）の重合転化率の評価  （２−１）隣接ショットにおける光硬化性の評価  実施例５と同様の方法で硬化���組成物（Ａ１−１０）の重合転化率の評価を行った。露光時間３．２秒では、重合転化率は３％未満であることがわかった。このことにより、ＥＡＢは硬化性組成物（Ａ１−１０）において実質的に光重合を開始する能力を有さないことが確認された。【０２１３】  また、露光時間１００．０秒では、重合転化率が５０％未満である（半減露光量が１００ｍＪ／ｃｍ２より大きい）ことがわかった。このことから、硬化性組成物（Ａ１−１０）はＵＶ光に対する反応性が低く、硬化性組成物（Ａ１−１０）は単独では漏れ光では硬化しないことがわかった。【０２１４】  （２−２）当該ショットにおける増感効果の評価  実施例５と同様の方法で硬化性組成物（Ａ１−１０）に含有される増感剤の増感効果の評価を行った。模擬硬化性組成物（Ａ１’）の重合転化率は２５％であり、模擬硬化性組成物（Ａ１’’）の重合転化率は０％であった。この結果から増感効果を計算したところ＋２５ポイントであった。このことにより、ＥＡＢが硬化性組成物（Ａ１−１０）において増感効果を有することが確認された。【０２１５】  （３）硬化性組成物（Ａ１−１０）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１０）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、１２６ｍＰａ・ｓであった。【０２１６】  （４）硬化性組成物（Ａ１−１０）の表面張力の測定  実施例１と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１０）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３９．２ｍＮ／ｍであった。【０２１７】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−１０）について  実施例４と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−１０）として用いた。【０２１８】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−１０）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−１０）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−１０）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０２１９】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−１０）と硬化性組成物（Ａ２−１０）の混合物は良好に硬化する。【０２２０】  実施例１と同様に、当該インプリントショットから発生した漏れ光による隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−１０）の硬化が進まない。つまり、隣接ショット領域においても光ナノインプリントプロセスを当該ショット領域と同様の生産性と精度で実施することが可能である。【０２２１】（実施例１１）  （１）硬化性組成物（Ａ１−１１）の調製  下記に示される成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）、成分（ｅ１）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、実施例１１の硬化性組成物（Ａ１−１１）を調製した。  （１−１）成分（ａ１）：合計１００重量部  ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート（新中村化学製、略称ＤＣＰＤＡ）：１００重量部  （１−２）成分（ｂ１）：合計０重量部  成分（ｂ１）は添加しなかった。  （１−３）成分（ｃ１）：合計０．０５重量部  ４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（東京化成��業、略称ＥＡＢ）：合計０．０５重量部  （１−４）成分（ｄ１）：合計０重量部  成分（ｄ１）は添加しなかった。  （１−５）成分（ｅ１）：合計３３０００重量部  プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（東京化成工業製、略称ＰＧＭＥＡ）：３３０００重量部【０２２２】  （２）硬化性組成物（Ａ１−１１）の重合転化率の評価  （２−１）隣接ショットにおける光硬化性の評価  実施例５と同様の方法で硬化性組成物（Ａ１−１１）の重合転化率の評価を行った。露光時間３．２秒では、重合転化率は３％未満であることがわかった。このことにより、ＥＡＢは硬化性組成物（Ａ１−１１）において実質的に光重合を開始する能力を有さないことが確認された。【０２２３】  また、露光時間１００．０秒では、重合転化率が５０％未満である（半減露光量が１００ｍＪ／ｃｍ２より大きい）ことがわかった。このことから、硬化性組成物（Ａ１−１１）はＵＶ光に対する反応性が低く、硬化性組成物（Ａ１−１１）は単独では漏れ光では硬化しないことがわかった。【０２２４】（２−２）当該ショットにおける増感効果の評価  実施例４と同様の方法で硬化性組成物（Ａ１−１１）に含有される増感剤の増感効果の評価を行った。模擬硬化性組成物（Ａ１’）の重合転化率は９％であり、模擬硬化性組成物（Ａ１’’）の重合転化率は０％であった。この結果から増感効果を計算したところ＋９ポイントであった。このことにより、ＥＡＢが硬化性組成物（Ａ１−１１）において増感効果を有することが確認された。【０２２５】  （３）硬化性組成物（Ａ１−１１）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１１）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、１２６ｍＰａ・ｓであった。【０２２６】  （４）硬化性組成物（Ａ１−１１）の表面張力の測定  実施例１と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１１）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３９．２ｍＮ／ｍであった。【０２２７】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−１１）について  実施例４と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−１１）として用いた。【０２２８】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−１１）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−１１）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−１１）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０２２９】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−１１）と硬化性組成物（Ａ２−１１）の混合物は良好に硬化する。【０２３０】  実施例１と同様に、当該インプリントショットから発生した漏れ光による隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−１１）の硬化が進まない。つまり、隣接ショット領域においても光ナノインプリントプロセスを当該ショット領域と同様の生産性と精度で実施することが可能である。【０２３１】（実施例１２）  （１）硬化性組成物（Ａ１−１２）の調製  実施例１と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ１−１２）として用いた。【０２３２】  （２）硬化性組成物（Ａ１−１２）の波長３６５ｎｍでの露光量評価  溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１２）の成分の組成物を調製した。この組成物を約１０μＬとり、これを減衰全反射赤外分光装置上のダイヤモンドＡＴＲ結晶上に滴下して塗布膜を形成した。次に、厚さ１ｍｍの石英ガラスを、形成した塗布膜上にかぶせた。【０２３３】  次に、石英ガラス上から、超高圧水銀ランプを備えたＵＶ光源から出射された光を塗布膜に照射した。なお、ＵＶ光源から出射された光は、塗布膜に到達するまでに、後述する干渉フィルタと、石英ガラスと、をこの順で通過した。干渉フィルタとしてＨＧ０３６５（朝日分光株式会社）を使用し、照射光である紫外光の波長を３６５ｎｍの単一波長光とし、照度を１１４．０ｍＷ／ｃｍ２とした。さらに、この光照射の際に、硬化性組成物（Ａ１）を構成する上記成分（ａ１）に含まれるアクリル基の減少速度（成分（ａ１）の重合反応の反応速度）を、以下に示す方法で評価した。【０２３４】  塗布膜への光照射を開始したのと同時に、減衰全反射赤外分光スペクトルの測定を開始し、光照射を続けながら１秒あたり２．７回測定しデータを取得した。ここで成分（ａ１）のアクリル基に由来する８１０ｃｍ−１のピークの面積強度から、重合転化率が３％となるのに必要な露光量は１４０００ｍＪ／ｃｍ２以上であった、つまり、重合反応が実質的に進行しないことが確認された。このことから、硬化性組成物（Ａ１−１２）は３６５ｎｍのＵＶ光に対する反応性が低く、硬化性組成物（Ａ１−１２）は単独では漏れ光では硬化しないことがわかった。【０２３５】  （３）硬化性組成物（Ａ１−１２）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１２）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、８４．７ｍＰａ・ｓであった。【０２３６】  （４）硬化性組成物（Ａ１−１２）の表面張力の測定  実施例１と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１２）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３５．５ｍＮ／ｍであった。【０２３７】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−１２）について  実施例４と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−１２）として用いた。【０２３８】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−１２）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−１２）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−１２）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０２３９】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−１２）と硬化性組成物（Ａ２−１２）の混合物は良好に硬化する。【０２４０】  実施例１と同様に、当該インプリントショットから発生した漏れ光による隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−１２）の硬化が進まない。つまり、隣接ショット領域においても光ナノインプリントプロセスを当該ショット領域と同様の生産性と精度で実施することが可能である。【０２４１】（実施例１３）  （１）硬化性組成物（Ａ１−１３）の調製  実施例４と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ１−１３）として用いた。【０２４２】  （２）硬��性組成物（Ａ１−１３）の波長３６５ｎｍでの露光量評価  実施例１２と同様に溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１３）の成分の組成物の波長３６５ｎｍでの露光量を評価した。【０２４３】  重合転化率が３％となるのに必要な露光量は１４０００ｍＪ／ｃｍ２以上であった。つまり、重合反応が実質的に進行しないことが確認された。このことから、硬化性組成物（Ａ１−１３）は３６５ｎｍのＵＶ光に対する反応性が低く、硬化性組成物（Ａ１−１３）は単独では漏れ光では硬化しないことがわかった。【０２４４】  （３）硬化性組成物（Ａ１−１３）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１３）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、１２６ｍＰａ・ｓであった。【０２４５】  （４）硬化性組成物（Ａ１−１３）の表面張力の測定  実施例１と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１３）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３９．２ｍＮ／ｍであった。【０２４６】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−１３）について  実施例４と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−１３）として用いた。【０２４７】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−１３）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−１３）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−１３）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０２４８】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−１３）と硬化性組成物（Ａ２−１３）の混合物は良好に硬化する。【０２４９】  実施例１と同様に、当該インプリントショットから発生した漏れ光による隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−１３）の硬化が進まない。つまり、隣接ショット領域においても光ナノインプリントプロセスを当該ショット領域と同様の生産性と精度で実施することが可能である。【０２５０】（実施例１４）  （１）硬化性組成物（Ａ１−１４）の調製  下記に示される成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）、成分（ｅ１）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、実施例１４の硬化性組成物（Ａ１−１４）を調製した。  （１−１）成分（ａ１）：合計１００重量部  ポリエチレングリコール＃２００ジアクリレート（新中村工業株式会社、略称４ＥＧＤＡ）：１００重量部  （１−２）成分（ｂ１）：合計０重量部  成分（ｂ１）は添加しなかった。  （１−３）成分（ｃ１）：合計０重量部  成分（ｃ１）は添加しなかった。  （１−４）成分（ｄ１）：合計０重量部  成分（ｄ１）は添加しなかった。  （１−５）成分（ｅ１）：合計３３０００重量部  プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（東京化成工業製、略称ＰＧＭＥＡ）：３３０００重量部【０２５１】  （２）硬化性組成物（Ａ１−１４）の波長３６５ｎｍでの露光量評価  実施例１２と同様に溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１４）の成分の組成物の波長３６５ｎｍでの露光量を評価した。【０２５２】  重合転化率が３％となるのに必要な露光量は１４０００ｍＪ／ｃｍ２以上であった。つまり、重合反応が実質的に進行しないことが確認された。このことから、硬化性組成物（Ａ１−１４）は３６５ｎｍのＵＶ光に対する反応性が低く、硬化性組成物（Ａ１−１４）は単独では漏れ光では硬化しないことがわかった。【０２５３】  （３）硬化性組成物（Ａ１−１４）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１４）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、１７．７ｍＰａ・ｓであった。【０２５４】  （４）硬化性組成物（Ａ１−１４）の表面張力の測定  実施例１と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１４）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３９．７ｍＮ／ｍであった。【０２５５】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−１４）について  実施例４と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−１４）として用いた。【０２５６】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−１４）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−１４）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−１４）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０２５７】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−１４）と硬化性組成物（Ａ２−１４）の混合物は良好に硬化する。【０２５８】  実施例１と同様に、当該インプリントショットから発生した漏れ光による隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−１４）の硬化が進まない。つまり、隣接ショット領域においても光ナノインプリントプロセスを当該ショット領域と同様の生産性と精度で実施することが可能である。【０２５９】（実施例１５）  （１）硬化性組成物（Ａ１−１５）の調製  下記に示される成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）、成分（ｅ１）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、実施例１５の硬化性組成物（Ａ１−１５）を調製した。  （１−１）成分（ａ１）：合計１００重量部  ポリエチレングリコール＃２００ジアクリレート（新中村化学製、略称４ＥＧＤＡ）：７５重量部  ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート（新中村化学製、略称ＤＣＰＤＡ）：２５重量部  （１−２）成分（ｂ１）：合計０重量部  成分（ｂ１）は添加しなかった。  （１−３）成分（ｃ１）：合計０重量部  成分（ｃ１）は添加しなかった。  （１−４）成分（ｄ１）：合計０重量部  成分（ｄ１）は添加しなかった。  （１−５）成分（ｅ１）：合計３３０００重量部  プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（東京化成工業製、略称ＰＧＭＥＡ）：３３０００重量部【０２６０】（２）硬化性組成物（Ａ１−１５）の波長３６５ｎｍでの露光量評価  実施例１２と同様に溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１５）の成分の組成物の波長３６５ｎｍでの露光量を評価した。【０２６１】  重合転化率が３％となるのに必要な露光量は１４０００ｍＪ／ｃｍ２以上であった。つまり、重合反応が実質的に進行しないことが確認された。このことから、硬化性組成物（Ａ１−１５）は３６５ｎｍ��ＵＶ光に対する反応性が低く、硬化性組成物（Ａ１−１５）は単独では漏れ光では硬化しないことがわかった。【０２６２】  （３）硬化性組成物（Ａ１−１５）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１５）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、２２．５ｍＰａ・ｓであった。【０２６３】  （４）硬化性組成物（Ａ１−１５）の表面張力の測定  実施例１と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１５）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３９．２ｍＮ／ｍであった。【０２６４】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−１５）について  実施例４と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−１５）として用いた。【０２６５】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−１５）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−１５）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−１５）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０２６６】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−１５）と硬化性組成物（Ａ２−１５）の混合物は良好に硬化する。  実施例１と同様に、当該インプリントショットから発生した漏れ光による隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−１５）の硬化が進まない。つまり、隣接ショット領域においても光ナノインプリントプロセスを当該ショット領域と同様の生産性と精度で実施することが可能である。【０２６７】（比較例０）  （１）〜（３）硬化性組成物（Ａ１−０´）について  比較例０において、硬化性組成物（Ａ１）は使用しなかった。【０２６８】  （４）〜（６）硬化性組成物（Ａ２−０´）  実施例１と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−０´）として用いた。【０２６９】  （７）光ナノインプリントプロセス  硬化性組成物（Ａ２−０´）を固体表面である基板表面に直接滴下するとマランゴニ効果は発現しない。つまり、プレスプレッドの促進効果が得られず、硬化性組成物（Ａ２−０´）の液滴の拡大は、本発明の実施例と比較して遅い。【０２７０】  固体表面である基板表面はＵＶ光に対する反応性はないため、当該インプリントショットから発生した漏れ光による影響を受けずに、隣接部分においても光ナノインプリントプロセスを同様の精度で実施することが可能である。【０２７１】（比較例１）  （１）硬化性組成物（Ａ１−１´）の調製  下記に示される成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）、成分（ｅ１）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、比較例１の硬化性組成物（Ａ１−１´）を調製した。  （１−１）成分（ａ１）：合計１００重量部  １，６−へキサンジオールジアクリレート（大阪有機化学製、略称ＨＤＯＤＡ）：１００重量部  （１−２）成分（ｂ１）：合計３重量部  Ｉｒｇａｃｕｒｅ３６９（ＢＡＳＦ製）：３重量部  （１−３）成分（ｃ１）：合計０重量部  成分（ｃ１）は添加しなかった。  （１−４）成分（ｄ１）：合計０重量部成分（ｄ１）は添加しなかった。  （１−５）成分（ｅ１）：合計３３０００重量部  プロピレングリ��ールモノメチルエーテルアセテート（東京化成工業製、略称ＰＧＭＥＡ）：３３０００重量部【０２７２】  （２）硬化性組成物（Ａ１−１´）の重合転化率の評価  実施例１と同様に硬化性組成物（Ａ１−１´）の重合転化率を評価した。露光時間０．６秒で重合転化率が５０％以上となる（半減露光量が０．６ｍＪ／ｃｍ２）ことがわかった。【０２７３】  （３）硬化性組成物（Ａ１−１´）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１´）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、５．９１ｍＰａ・ｓであった。【０２７４】  （４）硬化性組成物（Ａ１−１´）の表面張力の測定  実施例１と同様に溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−１´）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３４．９ｍＮ／ｍであった。【０２７５】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−１´）  実施例１と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−１´）として用いた。【０２７６】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−１´）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−１´）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−１´）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０２７７】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−１´）と硬化性組成物（Ａ２−１´）の混合物は良好に硬化する。【０２７８】  本比較例においては、当該インプリントショットから発生した漏れ光により、隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−１´）が硬化する。つまり、隣接ショットにおいてインプリントを行う場合、隣接部分の漏れ光が照射された部分は硬化性組成物（Ａ１−１´）が固体の膜となっているため、その上に配置される硬化性組成物（Ａ２−１´）に対してマランゴニ効果が発現せず、液滴の拡大が遅い。このため、漏れ光の影響を受けた隣接ショットは場所によって充填時間が長い部分があり、光ナノインプリントプロセスの生産性及び／または精度が低い。【０２７９】（比較例２）  （１）硬化性組成物（Ａ１−２´）の調製  下記に示される成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）、成分（ｅ１）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、比較例２の硬化性組成物（Ａ１−２´）を調製した。  （１−１）成分（ａ１）：合計１００重量部  １，６−へキサンジオールジアクリレート（大阪有機化学製、略称ＨＤＯＤＡ）：１００重量部  （１−２）成分（ｂ１）：合計３重量部  Ｉｒｇａｃｕｒｅ９０７（ＢＡＳＦ製）：３重量部  （１−３）成分（ｃ１）：合計０重量部  成分（ｃ１）は添加しなかった。  （１−４）成分（ｄ１）：合計０重量部成分（ｄ１）は添加しなかった。  （１−５）成分（ｅ１）：合計３３０００重量部  プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（東京化成工業製、略称ＰＧＭＥＡ）：３３０００重量部【０２８０】  （２）硬化性組成物（Ａ１−２´）の重合転化率の評価  実施例１と同様に硬化性組成物（Ａ１−２´）の重合転化率を評価した。露光時間１．２秒で重合転化率が５０％以上となる（半減露光量が１．２ｍＪ／ｃｍ２）ことがわかった。【０２８１】  （３）硬化性組成物（Ａ１−２´）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−２´）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、５．９１ｍＰａ・ｓであった。【０２８２】  （４）硬化性組成物（Ａ１−２´）の表面張力の測定  実施例１と同様に溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−２´）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３４．９ｍＮ／ｍであった。【０２８３】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−２´）  実施例１と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−２´）として用いた。【０２８４】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−２´）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−２´）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−２´）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０２８５】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−２´）と硬化性組成物（Ａ２−２´）の混合物は良好に硬化する。【０２８６】  本比較例においては、当該インプリントショットから発生した漏れ光により、隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−２´）が硬化する。つまり、隣接ショットにおいてインプリントを行う場合、隣接部分の漏れ光が照射された部分は硬化性組成物（Ａ１−２´）が固体の膜となっているため、その上に配置される硬化性組成物（Ａ２−２´）に対してマランゴニ効果が発現せず、液滴の拡大が遅い。このため、漏れ光の影響を受けた隣接ショットは場所によって充填時間が長い部分があり、光ナノインプリントプロセスの生産性及び／または精度が低い。【０２８７】（比較例３）  （１）硬化性組成物（Ａ１−３´）の調製  下記に示される成分（ａ１）、成分（ｂ１）、成分（ｃ１）、成分（ｄ１）、成分（ｅ１）を配合し、これを０．２μｍの超高分子量ポリエチレン製フィルタでろ過し、比較例３の硬化性組成物（Ａ１−３´）を調製した。  （１−１）成分（ａ１）：合計１００重量部  １，６−へキサンジオールジアクリレート（大阪有機化学製、略称ＨＤＯＤＡ）：１００重量部  （１−２）成分（ｂ１）：合計３重量部  Ｉｒｇａｃｕｒｅ６５１（ＢＡＳＦ製）：３重量部  （１−３）成分（ｃ１）：合計０重量部  成分（ｃ１）は添加しなかった。  （１−４）成分（ｄ１）：合計０重量部  成分（ｄ１）は添加しなかった。  （１−５）成分（ｅ１）：合計３３０００重量部  プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（東京化成工業製、略称ＰＧＭＥＡ）：３３０００重量部【０２８８】  （２）硬化性組成物（Ａ１−３´）の重合転化率の評価  実施例１と同様に硬化性組成物（Ａ１−３´）の重合転化率を評価した。露光時間７．５秒で重合転化率が５０％以上となる（半減露光量が７．５ｍＪ／ｃｍ２）ことがわかった。【０２８９】  （３）硬化性組成物（Ａ１−３´）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−３´）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、５．９１ｍＰａ・ｓであった。【０２��０】  （４）硬化性組成物（Ａ１−３´）の表面張力の測定  実施例１と同様に溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−３´）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３４．９ｍＮ／ｍであった。【０２９１】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−３´）  実施例１と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−３´）として用いた。【０２９２】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−３´）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−３´）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−３´）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０２９３】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−３´）と硬化性組成物（Ａ２−３´）の混合物は良好に硬化する。【０２９４】  本比較例においては、当該インプリントショットから発生した漏れ光により、隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−３´）が硬化する。つまり、隣接ショットにおいてインプリントを行う場合、隣接部分の漏れ光が照射された部分は硬化性組成物（Ａ１−３´）が固体の膜となっているため、その上に配置される硬化性組成物（Ａ２−３´）に対してマランゴニ効果が発現せず、液滴の拡大が遅い。このため、漏れ光の影響を受けた隣接ショットは場所によって充填時間が長い部分があり、光ナノインプリントプロセスの生産性及び／または精度が低い。【０２９５】（比較例４）  （１）硬化性組成物（Ａ１−４´）の調製  実施例１と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ１−４´）として用いた。【０２９６】  （２）硬化性組成物（Ａ１−４´）の波長３１３ｎｍでの露光量評価    干渉フィルタをＨＧ０３１３（朝日分光株式会社）に変更し波長を３１３ｍにし、照度を７４．０ｍＷ／ｃｍ２に変更した以外は、実施例１２と同様に溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−４´）の成分の組成物の露光量を評価した。【０２９７】  塗布膜への光照射を開始したのと同時に、減衰全反射赤外分光スペクトルの測定を開始し、光照射を続けながら１秒あたり２．７回測定しデータを取得した。ここで成分（ａ１）のアクリル基に由来する８１０ｃｍ−１のピークの面積強度から、重合転化率が３％となるのに必要な露光量は１３３２０ｍＪ／ｃｍ２であり１４０００ｍＪ／ｃｍ２以下であった。このことから、硬化性組成物（Ａ１−４´）は、３６５ｎｍと比較して、３１３ｎｍのＵＶ光に対する反応性が高く、硬化性組成物（Ａ１−４´）は単独で漏れ光により硬化する可能性が高いことがわかった。【０２９８】  （３）硬化性組成物（Ａ１−４´）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−４´）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、８４．７ｍＰａ・ｓであった。【０２９９】  （４）硬化性組成物（Ａ１−４´）の表面張力の測定  実施例１と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−４´）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３５．５ｍＮ／ｍであった。【０３００】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−４´）について  比較例０と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−４´）として用いた。【０３０１】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−４´）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−４´）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−４´）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０３０２】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−４´）と硬化性組成物（Ａ２−４´）の混合物は良好に硬化する。【０３０３】  本比較例においては、当該インプリントショットから発生した漏れ光により、隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−４´）が硬化する。つまり、隣接ショットにおいてインプリントを行う場合、隣接部分の漏れ光が照射された部分は硬化性組成物（Ａ１−４´）が固体の膜となっているため、その上に配置される硬化性組成物（Ａ２−４´）に対してマランゴニ効果が発現せず、液滴の拡大が遅い。このため、漏れ光の影響を受けた隣接ショットは場所によって充填時間が長い部分があり、光ナノインプリントプロセスの生産性及び／または精度が低い。【０３０４】（比較例５）  （１）硬化性組成物（Ａ１−５´）の調製  実施例４と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ１−５´）として用いた。【０３０５】  （２）硬化性組成物（Ａ１−５´）の高照度露光評価比較例４と同様に溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−５´）の成分の組成物の波長３１３ｎｍで露光量を評価した。【０３０６】  塗布膜への光照射を開始したのと同時に、減衰全反射赤外分光スペクトルの測定を開始し、光照射を続けながら１秒あたり２．７回測定しデータを取得した。ここで成分（ａ１）のアクリル基に由来する８１０ｃｍ−１のピークの面積強度から、重合転化率が３％となるのに必要な露光量は５１２０ｍＪ／ｃｍ２であり１４０００ｍＪ／ｃｍ２以下であった。このことから、硬化性組成物（Ａ１−５´）は、３６５ｎｍと比較して、３１３ｎｍのＵＶ光に対する反応性が高く、硬化性組成物（Ａ１−５´）は単独で漏れ光により硬化する可能性が高いことがわかった。【０３０７】  （３）硬化性組成物（Ａ１−５´）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−５´）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、１２６ｍＰａ・ｓであった。【０３０８】  （４）硬化性組成物（Ａ１−５´）の表面張力の測定  実施例４と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−５´）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３９．２ｍＮ／ｍであった。【０３０９】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−５´）について  比較例０と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−５´）として用いた。【０３１０】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−５´）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−５´）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−５´）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０３１１】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−５´）と硬化性組成物（Ａ２−５´）の混���物は良好に硬化する。【０３１２】  本比較例においては、当該インプリントショットから発生した漏れ光により、隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−５´）が硬化する。つまり、隣接ショットにおいてインプリントを行う場合、隣接部分の漏れ光が照射された部分は硬化性組成物（Ａ１−５´）が固体の膜となっているため、その上に配置される硬化性組成物（Ａ２−５´）に対してマランゴニ効果が発現せず、液滴の拡大が遅い。このため、漏れ光の影響を受けた隣接ショットは場所によって充填時間が長い部分があり、光ナノインプリントプロセスの生産性及び／または精度が低い。【０３１３】  （比較例６）  （１）硬化性組成物（Ａ１−６´）の調製  実施例１４と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ１−６´）として用いた。【０３１４】  （２）硬化性組成物（Ａ１−６´）の高照度露光評価比較例４と同様に溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−６´）の成分の組成物の波長３１３ｎｍで露光量を評価した。【０３１５】  塗布膜への光照射を開始したのと同時に、減衰全反射赤外分光スペクトルの測定を開始し、光照射を続けながら１秒あたり２．７回測定しデータを取得した。ここで成分（ａ１）のアクリル基に由来する８１０ｃｍ−１のピークの面積強度から、重合転化率が３％となるのに必要な露光量は６１３４ｍＪ／ｃｍ２であり１４０００ｍＪ／ｃｍ２以下であった。このことから、硬化性組成物（Ａ１−６´）は、３６５ｎｍと比較して、３１３ｎｍのＵＶ光に対する反応性が高く、硬化性組成物（Ａ１−６´）は単独で漏れ光により硬化することがわかった。【０３１６】  （３）硬化性組成物（Ａ１−６´）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−６´）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、１７．７ｍＰａ・ｓであった。【０３１７】  （４）硬化性組成物（Ａ１−６´）の表面張力の測定  実施例４と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−６´）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３９．７ｍＮ／ｍであった。【０３１８】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−６´）について  比較例０と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−６´）として用いた。【０３１９】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−６´）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−６´）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−６´）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０３２０】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−６´）と硬化性組成物（Ａ２−６´）の混合物は良好に硬化する。【０３２１】  本比較例においては、当該インプリントショットから発生した漏れ光により、隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−６´）が硬化する。つまり、隣接ショットにおいてインプリントを行う場合、隣接部分の漏れ光が照射された部分は硬化性組成物（Ａ１−６´）が固体の膜となっているため、その上に配置される硬化性組成物（Ａ２−６´）に対してマランゴニ効果が発現せず、液滴の拡大が遅い。このため、漏れ光の影響を受けた隣接シ���ットは場所によって充填時間が長い部分があり、光ナノインプリントプロセスの生産性及び／または精度が低い。【０３２２】（比較例７）  （１）硬化性組成物（Ａ１−７´）の調製  実施例１５と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ１−７´）として用いた。【０３２３】  （２）硬化性組成物（Ａ１−７´）の高照度露光評価比較例４と同様に溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−７´）の成分の組成物の波長３１３ｎｍで露光量を評価した。【０３２４】  塗布膜への光照射を開始したのと同時に、減衰全反射赤外分光スペクトルの測定を開始し、光照射を続けながら１秒あたり２．７回測定しデータを取得した。ここで成分（ａ１）のアクリル基に由来する８１０ｃｍ−１のピークの面積強度から、重合転化率が３％となるのに必要な露光量は５２１２ｍＪ／ｃｍ２であり１４０００ｍＪ／ｃｍ２以下であった。このことから、硬化性組成物（Ａ１−７´）は、３６５ｎｍと比較して、３１３ｎｍのＵＶ光に対する反応性が高く、硬化性組成物（Ａ１−７´）は単独で漏れ光により硬化することがわかった。【０３２５】  （３）硬化性組成物（Ａ１−７´）の粘度の測定  硬化性組成物（Ａ１−１）と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−７´）の成分の組成物の２５℃における粘度を測定したところ、２２．５ｍＰａ・ｓであった。【０３２６】  （４）硬化性組成物（Ａ１−７´）の表面張力の測定  実施例４と同様の方法で溶剤である成分（ｅ１）を除く硬化性組成物（Ａ１−７´）の成分の組成物の表面張力の測定を行ったところ、３９．２ｍＮ／ｍであった。【０３２７】  （５）〜（７）硬化性組成物（Ａ２−７´）について  比較例０と同様の組成物を硬化性組成物（Ａ２−７´）として用いた。【０３２８】  （８）光ナノインプリントプロセス  実施例１と同様に、下層に配置されている硬化性組成物（Ａ１−７´）の表面張力は、その上層に滴下される硬化性組成物（Ａ２−７´）の表面張力より高いので、マランゴニ効果が発現し、硬化性組成物（Ａ２−７´）の液滴の拡大（プレスプレッド）は速やかである。【０３２９】  実施例１と同様に、光照射工程において硬化性組成物（Ａ１−７´）と硬化性組成物（Ａ２−７´）の混合物は良好に硬化する。【０３３０】  本比較例においては、当該インプリントショットから発生した漏れ光により、隣接部分の硬化性組成物（Ａ１−７´）が硬化する。つまり、隣接ショットにおいてインプリントを行う場合、隣接部分の漏れ光が照射された部分は硬化性組成物（Ａ１−７´）が固体の膜となっているため、その上に配置される硬化性組成物（Ａ２−７´）に対してマランゴニ効果が発現せず、液滴の拡大が遅い。このため、漏れ光の影響を受けた隣接ショットは場所によって充填時間が長い部分があり、光ナノインプリントプロセスの生産性及び／または精度が低い。【０３３１】  （実施例及び比較例のまとめ）  実施例１〜１５及び比較例０〜７の組成表を表１及び表２に、実施例及び比較例の結果を表３から表５にまとめて示す。【０３３２】
【表１】
2017170684.tif 000003
【０３３３】
【表２】
2017170684.tif 000004
【０３３４】
【表３】
2017170684.tif 000005
【０３３５】
【表４】
2017170684.tif 000006
【０３３６】
【表５】
2017170684.tif 000007
【０３３７】  表３において、プレスプレッドの評価は比較例０を基準とした相対評価とした。つまり、比較例０より速い速度であれば「速い」とし、比較例０と同程度あるいは比較例０より遅い速度であれば「遅い」とした。実施例１〜１１及び比較例１〜３のプレスプレッドは、比較例０、つまり硬化性組成物（Ａ１）を使用しない場合よりも、マランゴニ効果のため速い。【０３３８】  実施例１〜１１、比較例０では隣接ショットへの漏れ光の影響はない。比較例１〜３では影響があり、未充填欠陥が多い、充填時間が長いなどの問題が生じる。  以上のように、実施例１〜１１において、高速なプレスプレッドを隣接ショットへの影響なしに得られることが示された。【０３３９】  また、表５において硬化性組成物（Ａ１）に増感剤である成分（ｃ１）を添加した実施例５〜１１については、増感剤である成分（ｃ１）を除いた組成と比較した場合に重合転化率が高くなることが示された。  表４において実施例１２〜１５、比較例４〜７ついて実施例１〜１１と同様にプレスプレッド及び隣接ショットへの影響を評価した。実施例１２〜１５では、プレスプレッド及び隣接ショットへの影響も良好であることが示された。対して比較例４〜７は、プレスプレッドは良好ながら、隣接ショットへの漏れ光の影響があることが示された。【０３４０】  以上、本実施形態の方法を用いることで、高スループットかつ高い精度で光ナノインプリントパターンを形成できることが示された。【０３４１】  この出願は２０１６年３月３１日に出願された米国特許出願番号６２／３１５，７３０及び２０１７年３月８日に出願された米国特許出願番号１５／４５３，５０４からの優先権を主張するものであり、それらの内容を引用してこの出願の一部とするものである。
【符号の説明】
【０３４２】１０１  基板１０２  レジスト１０４  液滴の広がる方向を示す矢印１０５  モールド１０６  照射光１０７  パターン形状を有する硬化膜１０８  残膜２０１  基板（被加工基板）２０２  硬化性組成物（Ａ１）２０３  硬化性組成物（Ａ２）２０４  液滴の広がる方向を示す矢印２０５  モールド２０６  照射光２０７  パターン形状を有する硬化膜３０１  基板３０２  硬化性組成物（Ａ１）３０３  硬化性組成物（Ａ２）３０４  ショット領域３０５  隣接ショット領域３０６  照射光３０７  漏れ光３０８  モールド３０９  漏れ光で硬化した硬化性組成物（Ａ１）３１０  漏れ光で硬化した硬化性組成物（Ａ１）上に滴下された硬化性組成物（Ａ２）の液滴４００  減衰全反射赤外分光測定装置４０１  赤外光４０２  検出器４０３  ダイヤモンドＡＴＲ結晶４０４  硬化性組成物４０５  石英ガラス４０６  エバネッセント波４０７  照射光 
【図１】
2017170684.tif 000008
【図２】
2017170684.tif 000009
【図３】
2017170684.tif 000010
【図４】
2017170684.tif 000011
【国際調査報告】
2017170684.tif 000012
2017170684.tif 000013
2017170684.tif 000014
2017170684.tif 000015
2017170684.tif 000016
2017170684.tif 000017