(57)【要約】  適度な機械的強度と高い意匠性を有する耐摩耗層をその外周摺動面に有する車両用サスペンションの摺動部材及びその製造方法を提供する。車両用サスペンションの摺動部材の外周摺動面に、イオンプレーティング法により形成した膜厚０．７５〜１０μｍの有色の耐摩耗層（５）を有し、耐摩耗層（５）において、内周側から外周側に向かって紺色系酸化チタン層（７）とチタン中間層（８）と有色酸化チタン層（９）がこの順に積層されている。
2017217506.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両用サスペンションの摺動部材の外周摺動面に、イオンプレーティング法により形成された膜厚０．７５μｍ以上１０μｍ以下の有色の耐摩耗層が設けられており、
前記耐摩耗層は、前記摺動部材の内周側から外周側に向かってこの順に積層された紺色系酸化チタン層とチタン中間層と有色酸化チタン層を有する、車両用サスペンションの摺動部材。
【請求項２】
前記有色酸化チタン層が、膜厚０．１５μｍ以上０．１９μｍ以下の青緑系酸化チタン層である請求項１に記載の車両用サスペンションの摺動部材。
【請求項３】
車両用サスペンションの摺動部材の外周摺動面に、イオンプレーティング法により形成した膜厚０．７５μｍ以上１０μｍ以下の有色の耐摩耗層が設けられており、
前記耐摩耗層は、前記摺動部材の内周側から外周側に向かってこの順に積層された紺色系酸化チタン層とチタン中間層と有色酸化チタン層を有する、車両用サスペンションの摺動部材の製造方法であって、
前記イオンプレーティング法は、ＨＣＤ型イオンプレーティング装置を用い、前記有色酸化チタン層を形成する際の前記装置のビーム出力を１８０〜２８０Ａとし、かつ前記装置の真空槽内の酸素ガス分圧を８．１×１０−２Ｐａ以上１．２×１０−１Ｐａ以下の範囲に制御することを特徴とする車両用サスペンションの摺動部材の製造方法。
【請求項４】
前記有色酸化チタン層が、膜厚０．１５μｍ以上０．１９μｍ以下の青緑系酸化チタン層である請求項３に記載の車両用サスペンションの摺動部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、車両用サスペンションの摺動部材及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、車両用サスペンションの摺動部材の表面、例えば自動二輪車や自転車のフロントフォークに用いられるインナーチューブの表面には、摺動性や耐食性を向上させるために表面処理が施される。その表面処理で形成される被膜としては、硬質クロムメッキ被膜が一般的であった。また特殊な被膜として、いずれもイオンプレーティング法により形成される、金色を呈する窒化チタン被膜や、紺色又は茶色を呈する酸化チタン被膜が知られている（特許文献１）。【０００３】
インナーチューブ等の車両用サスペンションの摺動部材は、その外表面の一部が外部に露出している。このため、摺動部材にも意匠性が求められている。しかし、従来の硬質クロムメッキ被膜の色調は銀白色の金属光沢に限られ、意匠性に乏しいものであった。また、イオンプレーティング法により形成された窒化チタン被膜は、耐摩耗性、低摩擦抵抗性等に優れるとともに、金色を呈しその意匠性は高いが、色調は金色に限られておりバリエーションが欠けている。また酸化チタン被膜も、その色調は紺色か茶色に限られておりバリエーションが欠けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】日本国特許第３０２３５３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで本発明は、適度な機械的強度と高い意匠性を有する耐摩耗層をその外周摺動面に有する車両用サスペンションの摺動部材及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
従来技術では、チタン層の表面に窒化チタン被膜を施し、その表面に酸化チタン被膜を施している。しかしこの従来技術では、摺動により一旦疵がつくと、該疵を起点に窒化チタン被膜と酸化チタン被膜との界面で被膜が剥離しやすいという問題があった。このような問題を解決するために本発明者らが鋭意検討した結果、窒化チタン被膜を、酸化チタン被膜及びチタン被膜からなる耐摩耗層に置き換えることを検討した。これにより、摺動により一旦疵がついても被膜が剥離し難くなり、且つ、意匠性を向上させることが可能になることを知見して、本発明を完成させた。【０００７】
本発明の一側面によれば、
車両用サスペンションの摺動部材の外周摺動面に、イオンプレーティング法により形成された膜厚０．７５μｍ以上１０μｍ以下の有色の耐摩耗層が設けられており、
前記耐摩耗層は、前記摺動部材の内周側から外周側に向かってこの順に積層された紺色系酸化チタン層とチタン中間層と有色酸化チタン層を有する、車両用サスペンションの摺動部材が提供される。【０００８】
上述した本発明の一側面において、前記有色酸化チタン層が、膜厚０．１５μｍ以上０．１９μｍ以下の青緑系酸化チタン層であってもよい。【０００９】
本発明の一側面によれば、
車両用サスペンションの摺動部材の外周摺動面に、イオンプレーティング法により形成した膜厚０．７５μｍ以上１０μｍ以下の有色の耐摩耗層が設けられており、
前記耐摩耗層は、前記摺動部材の内周側から外周側に向かってこの順に積層された紺色系酸化チタン層とチタン中間層と有色酸化チタン層を有する、車両用サスペンションの摺動部材の製造方法であって、
前記イオンプレーティング法は、ＨＣＤ型イオンプレーティング装置を用い、前記有色酸化チタン層を形成する際の前記装置のビーム出力を１８０〜２８０Ａとし、かつ前記装置の真空槽内の酸素ガス分圧を８．１×１０−２Ｐａ以上１．２×１０−１Ｐａ以下の範囲に制御することを特徴とする車両用サスペンションの摺動部材の製造方法が提供される。【００１０】
上述した本発明の一側面において、前記有色酸化チタン層が、膜厚０．１５μｍ以上０．１９μｍ以下の青緑系酸化チタン層であってもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、適度な機械的強度と高い意匠性を有する耐摩耗層をその外周摺動面に有する車両用サスペンションの摺動部材及びその製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施例による車両用サスペンションの摺動部材の断面図である。
【図２】本発明を実施するために使用するイオンプレーティング装置を示す図である。
【図３】密着性試験法を示す図である。
【図４】圧痕形状を示す写真であり、（ａ）は実施例１、（ｂ）は比較例１、（ｃ）は比較例２、（ｄ）は比較例３、（ｅ）は比較例４である。
【図５】実施例１の負荷荷重曲線である。
【図６Ａ】比較例１は負荷荷重曲線を示す。
【図６Ｂ】比較例２は負荷荷重曲線を示す。
【図７Ａ】比較例３の負荷荷重曲線を示す。
【図７Ｂ】比較例４の負荷荷重曲線を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて具体的に説明する。本発明において、「高度な意匠性」とは、干渉色を呈することを言う。本発明の実施例による車両用サスペンションの摺動部材１は、図１の断面説明図に示すように、筒状の摺動部材の母材２（鋼材３上に硬質クロムメッキ４が施されたもの）と、母材２の外周摺動面に設けられた、有色の耐摩耗層５を有する。この耐摩耗層５はイオンプレーティング法により形成されている。ここで、耐摩耗層５は、母材２上にチタンのアンダーコート層６を介して設けられている。耐摩耗層５は、内周側から外周側に向かって順次積層された紺色系酸化チタン層７とチタン中間層８と有色（黄色系、赤紫色系又は青緑系）酸化チタン層９を有している。
【００１４】
内周側から外周側に向かってこの順に積層された紺色系酸化チタン層７とチタン中間層８と有色酸化チタン層９を一組の層構造（layer structure）と定義する。本発明における耐摩耗層５は、少なくとも一組の層構造を有していればよく、母材２との間に一組以上の層構造が設けられていてもよい。例えば、二組の層構造からなる耐摩耗層５は、紺色系酸化チタン層７とチタン中間層８と有色酸化チタン層９とが順次積層され、その上にさらに紺色系酸化チタン層７とチタン中間層８と有色酸化チタン層９とが順次積層されている。
【００１５】
あるいは、母材２と一組の層構造の間に、上記と異なる層が介在していてもよい。例えば、耐摩耗層５は、茶色系酸化チタン層の上に紺色系酸化チタン層７とチタン中間層８と有色酸化チタン層９とが順次積層された構成としてもよい。また、紺色系酸化チタン層７、チタン中間層８、有色酸化チタン層９、チタン中間層８、有色酸化チタン層９が順次積層されていてもよい。
なお、アンダーコート層６は母材２の材質によっては設けなくてもよい。図１においては、筒状の摺動部材を示したが、丸棒状の摺動部材の場合もある。
【００１６】
車両用サスペンションの摺動部材１としては、自動二輪車のフロントフォークのインナーチューブやリアサスペンションのピストンロッド、自転車のフロントフォークのインナーチューブ、自動車のショックアブソーバーのインナーチューブ等がある。
【００１７】
イオンプレーティング法は、放電によりイオン化した蒸発金属及び反応ガスが負に印加された母材２に対して適度な衝撃を繰り返しながら金属或いはセラミックスの被膜を形成する現象を利用した真空蒸着法である。真空蒸着法は、電気的に活性な蒸発金属が電場によるエネルギーを与えられることによって、母材２に良好に付着させる。これにより、密着性に優れた被膜を形成することができる。
【００１８】
かかるイオンプレーティング法により摺動部材の母材２の表面に形成される有色の耐摩耗層５（紺色系酸化チタン層７とチタン中間層８と有色酸化チタン層９）の膜厚は、０．７５〜１０μｍ、好ましくは１〜２μｍの範囲が望ましい。膜厚が０．７５μｍ未満では摩耗痕により意匠性が低下しやすい。一方、膜厚の上限は特に限定されるわけではないが、厚くする場合は紺色系酸化チタン層７のみを厚くすることになる。紺色系酸化チタン層７が厚くなるほど処理時間を要しコスト高となる。紺色系酸化チタン層７が極端に厚くなる（１０μｍを超える）と衝撃により剥離しやすくなる。１〜２μｍの範囲の膜厚が、十分な耐摩耗性を有しかつコスト的にも有利で実用的である。
【００１９】
耐摩耗層５において、十分な耐摩耗性を保持するため膜厚を所定厚以上（０．７５μｍ以上）確保しつつ、所望の色彩（黄色系、赤紫色系又は青緑系）を得るためにチタン中間層８は重要な役割を果たす。なお、車両用サスペンションの摺動部材の母材２の材質としては、靱性に優れる構造用合金鋼が一般的である。又は、図１に示したように、かかる構造用合金鋼３に硬質クロムメッキ４を施したものでもよい。その他、アルミニウム材、炭素繊維材などでもよい。
【００２０】
耐摩耗層５の内の最外層をなす酸化チタン被膜９は有色（黄色系、赤紫色系又は青緑系）を呈する。イオンプレーティング法による処理条件、特に、イオンプレーティング装置の真空槽内への酸素ガスの導入量とビーム出力を適宜コントロールすることにより、酸化チタン被膜９を所望の色彩に着色できる。ビーム出力（１８０〜２８０Ａ、好ましくは２００〜２６０Ａ）に応じて酸素ガス導入量を調整し、真空槽内の酸素ガス分圧が８．１×１０−２〜１．２×１０−１Ｐａ、好ましくは９．７×１０−２〜１．１×１０−１Ｐａの範囲になるように制御する。酸素ガス分圧が１．２×１０−１Ｐａを越えると透明感が増して多色となり、所望の色彩が得られ難い、或いはイオンプレーティング装置の性能によりコーティング処理が困難となる場合がある。酸素ガス分圧が８．１×１０−２Ｐａ未満では彩度、明度共に下がり暗くなり、所望の色彩が得られ難い。ビーム出力が１８０Ａ未満では処理に長時間を要し生産性が低下する。ビーム出力が、２８０Ａを越えると蒸着レートが大きくなり部材表面各部位の膜厚がばらついて色むらになり、製品価値が下がる。
【００２１】
具体的には、黄色系、赤紫色系又は青緑系の色彩の酸化チタン被膜９を得るには、例えば、ビーム出力が２６０Ａの時は、酸素ガス分圧を１．１×１０−１Ｐａに制御する。ビーム出力が２００Ａの時は、酸素ガス分圧を９．７×１０−２Ｐａに制御する。
【００２２】
酸素ガス導入段階で酸化チタン被膜９の色調は黄色、赤色、青色へと順次変化し、再び黄色、赤色、青色へと変化し、これを何回か繰り返す。しかし、色調は繰り返す毎に明度、彩度、色相は変わっていく。そこで、酸化チタン被膜９が所望の色彩になった時点でシャッターを閉じ、蒸着を終了する。
【００２３】
酸化チタン被膜９の膜厚は０．０５〜０．３μｍ程度であるが、得たい色彩によって目標とする膜厚は異なる。青緑系の酸化チタン被膜９は、その膜厚が０．１５〜０．１９μｍ、好ましくは０．１６〜０．１８μｍの範囲にある。膜厚が０．１９μｍを越えると黄緑〜黄色となって、青緑系の色彩が得られず、膜厚が０．１５μｍ未満では赤紫色系となって青緑系の色彩が得られない。
【００２４】
本発明に使用するＨＣＤ（Hollow Cathode Discharge）型イオンプレーティング装置１０の概要を図２に示す。図２において、真空槽１１内に被覆処理対象物であるワーク１２が配置されている。蒸発させるべき金属であるＴｉ原料１３を受ける水冷銅ハース１４がワーク１２の下方に配置されている。ハース１４の直上にはＴｉ原料１３を溶融、蒸発させる中空陰極型の電子銃（ホローカソード）１５が設けられている。ホローカソード１５にＡｒガス導入管１６が接続されている。ハース１４とホローカソード１５との間には、電子ビームを集束してＴｉ原料１３に照射するための集束コイル１７が配置されている。
【００２５】
符号１８は反応ガスＯ2を導入するための導入管であり、符号１９はワーク１２にバイアス電圧を印加するための直流バイアス電源、符号２０はホローカソード１５とハース１４間に高周波を重畳させた直流を流す直流電源、符号２１は排気口である。真空槽１１内には、ワーク１２を加熱するためのヒータ２２が設けられている。ワーク１２と中空陰極型の電子銃１５との間にシャッター２３が設けられている。
【００２６】
上記の装置を用いてインナーチューブの外周摺動面上に耐摩耗層を被覆する工程の一例を示す。先ず、ワークたる硬質クロムメッキを施した構造用合金鋼製のインナーチューブ母材の汚れや油脂を除去する。さらに、外周面上の酸化膜を除去する前処理を行う。かかる前処理を施したワーク１２を真空槽１１内の図示しない治具に取り付け、ハース１４にＴｉ原料１３を装入する。
【００２７】
かかる前準備が完了したならば、真空槽１１内を３００℃以上（３００〜３２０℃程度）に加熱しながら７．７×１０−３Ｐａ程度以下の圧力に減圧し、ワークが所定温度に達してから一定時間（３０〜６０分程度）温度を保持する。なお、加熱温度は、ワークの材質の金属組織や機械強度が変化しない温度であれば、これ以上の温度であってもよい。
【００２８】
次いで、高純度のアルゴンガスを真空槽１１内に導入し、４．６７×１０−２Ｐａ程度の圧力下で、ワーク１２に５００Ｖ程度の負電圧を印加し、イオンボンバード処理によるワーク表面のクリーニングを行う。
【００２９】
次に、Ｔａ製ホローカソード１５にアルゴンガスを導入し点火する（電流は３００Ａ程度）。ハース１４中のチタン１３が溶解されチタンが蒸発し、安定化したのち電流を３６０Ａ程度に上げる。一定時間（３〜５分程度）保持することによってハース１４に収められているチタン１３の表面の酸化物等の不純物を飛ばし除去する。ここまでの処理工程では、不純物がワーク１２に蒸着するのを防ぐため、ハース１４とワーク１２との間のシャッター２３を閉じておく。なお、上述において示した温度、圧力、電圧、電流値等の数値は一例を示したものであって、上記の数値に限られるものではない。
【００３０】
次いで、シャッター２３を開け、先ず、チタンのみ蒸発させ、チタンのみをワーク１２に蒸着させてアンダーコート層６を形成させ、密着性の向上を図る。アンダーコート層６の厚さは０．０５〜０．２μｍ程度が、密着性の向上の点で好ましい。ビーム出力は３２０〜３６０Ａで任意の時間（１〜３分程度）行う。
【００３１】
チタンをアンダーコートしたのち、反応ガス導入管１８から酸素ガスを導入し、酸化チタンの被膜７を形成する。この時の処理条件として、ビーム出力３２０〜３６０Ａ，酸素ガス分圧を５．６×１０−２〜７．３×１０−２Ｐａ、バイアス電圧を４０Ｖ、加熱温度を３００〜３２０℃、蒸着時間を１５〜３０分とする。酸素ガス導入初期段階では、被膜７の色調は黄色、赤色、青色と順次変化し、再び黄色、赤色、青色と変化し、これを何回か繰り返すが、被膜７の膜厚が大きくなるにつれて次第に色調が濁ってきて紺色系の色調を呈するようになり、以後は膜厚が大きくなっても色調は一定となる。
【００３２】
所定時間に達したところで、酸素ガスの導入を中止し、ビーム出力を２００〜２６０Ａに下げてアンダーコート層と同様にチタンのみ任意の時間（１〜２分程度）０．０５〜０．２μｍ程度蒸着させて、中間チタン層を形成する。この工程は、次に蒸着させる有色の色彩の彩度、明度、色相の調整として必要であり、この工程によって所望の色彩を得ることができる。
【００３３】
次いで、再び酸素ガスを導入（酸素ガス分圧を８．１×１０−２〜１．２×１０−１Ｐａ、好ましくは９．７×１０−２〜１．１×１０−１Ｐａ）し、ビーム出力を１８０〜２８０Ａ、好ましくは２００〜２６０Ａとし、酸化チタンの被膜を蒸着させていく。ここでも、酸素ガス導入初期段階では、色調は黄色、赤色、青色と順次変化し、再び黄色、赤色、青色と変化する。
今回、得ようとする青緑系はこの色彩変化の２周目の青色から３周目の黄色に変化する途中の段階であり、所望の色彩に達したところでシャッターを閉じ蒸着を終了する。
【００３４】
ワークたる硬質クロムメッキ４を施した構造用合金鋼製の母材２上に、表１に示す処理条件でイオンプレーティング処理を行って実施例１、比較例１〜４の試料を作製し、耐久性試験、膜厚、意匠性判定等を行った。表１にはその結果も併せて示す。表１において、ビーム出力、ガス分圧は、最外層の酸化チタン被膜又は窒化チタン被膜を形成する際の処理条件を示してある。
【００３５】
【表１】
2017217506.tif 000003
【００３６】
ここで、耐久性の試験は、次のような微小硬度試験機による密着力（耐剥離性）で評価した。すなわち、図３に概略を示す微小硬度試験機（アントンパール社製、ナノインデンテーションテスター）２５を用い、三角錐形状のベルコビッチ圧子２６を５０ｍＮ（ミリニュートン）の荷重（Ｆｚ）で試料２７に押し込み、圧子２６により生じた圧痕周辺状態を観察し、剥がれのないことが確認され、そして負荷荷重曲線が滑らかな２次曲線であれば合格とした。
【００３７】
実施例１の他、比較例として、窒化チタンの単層膜（比較例１）、酸化チタン（紺色）の単層膜（比較例２）、酸化チタン（青緑）の単層膜（比較例３）と、窒化チタンの上に酸化チタン（青緑）を重ねた膜（比較例４）の圧痕写真（図４）と負荷荷重曲線（図５〜図７Ｂ）を併せて示した。なお、実施例１、比較例１〜４のそれぞれについて、３ヶ所の測定結果（圧痕写真３枚、負荷荷重曲線）を示してある。圧痕写真は一辺が９μｍである。負荷荷重曲線における横軸は押し込み深さを示す。
図４において、（ａ）のコラムに縦に並んだ３つの写真は、実施例１の圧痕形状を示す写真である。図４において、（ｂ）のコラムに縦に並んだ３つの写真は、比較例１の圧痕形状を示す写真である。図４において、（ｃ）のコラムに縦に並んだ３つの写真は、比較例２の圧痕形状を示す写真である。図４において、（ｄ）のコラムに縦に並んだ３つの写真は、比較例３の圧痕形状を示す写真である。図４において、（ｅ）のコラムに縦に並んだ３つの写真は、比較例４の圧痕形状を示す写真である。
図５は実施例１の負荷荷重曲線を示し、図６Ａは比較例１の負荷荷重曲線を示し、図６Ｂは比較例２の負荷荷重曲線を示し、図７Ａは比較例３の負荷荷重曲線を示し、図７Ｂは比較例４の負荷荷重曲線を示す。
【００３８】
これらの結果から分かるように、窒化チタンの単層膜（比較例１）、酸化チタン（紺色）の単層膜（比較例２）、酸化チタン（青緑）の単層膜（比較例３）は、圧痕部分に剥離がなく良好である（図４の（ｂ）〜（ｄ））。
酸化チタン（青緑）単層膜（比較例３）は微小硬度試験機による剥離試験の結果は良好であるが（図４の（ｄ））、膜厚が薄いため摩耗痕によりクロムメッキ層が露出して意匠性を損ねる（表１）。もっとも、このように薄い膜厚であっても機能性は損なわれていない。
【００３９】
また、窒化チタンの上に酸化チタン（青緑）を重ねた膜（比較例４）は、微小硬度試験機による試験結果の写真（図４の（ｅ））から明らかなように、圧痕部分に剥離が生じていて実用には適さない。また、負荷荷重曲線が滑らかな２次曲線となっておらず（図７Ｂ）不良である。
【００４０】
実施例１による酸化チタン（紺色）の上にチタン中間層と酸化チタン（青緑）を重ねた膜は、圧痕部分に剥離が生じない（図４の（ａ））。青緑色と紺色は互いに似た色彩である。このため、実施例１の耐摩耗層において、摩耗痕により酸化チタン（青緑）膜から酸化チタン（紺色）膜が露出しても、露出した酸化チタン（紺色）膜の部分は酸化チタン（青緑）膜から目立ちにくい。また、実施例１の耐摩耗層は所望の色彩（青緑系）を有する。このように実施例１の耐摩耗層は極めて意匠性に優れていた。また、負荷荷重曲線も滑らかな２次曲線となっており、良好である（図５）。また、このように薄い膜厚であっても機能的には問題ない。
【００４１】
最外層の酸化チタン被膜を形成する際の処理条件として、ビーム出力を種々変化させて試料を作製し、評価した結果を表２に示す。
【００４２】
【表２】
2017217506.tif 000004
【００４３】
表２の結果から分かるように、ビーム出力が１８０Ａ未満の比較例５（１７０Ａ）では、処理に長時間を要し生産性に劣るものであった。ビーム出力が１８０Ａ〜２８０Ａの実施例２〜実施例５では良好であった。ビーム出力が２８０Ａを越える比較例６（２９０Ａ）では、色むらを有し不良であった。
【００４４】
最外層の酸化チタン被膜を形成する際の処理条件として、酸素ガス分圧を種々変化させて試料を作製し、評価した結果を表３に示す。
【００４５】
【表３】
2017217506.tif 000005
【００４６】
表３の結果から分かるように、酸素ガス分圧が８．１×１０−２Ｐａ未満の比較例７（８．０×１０−２Ｐａ）では、明度が低く（暗く）不良であった。酸素ガス分圧が８．１×１０−２Ｐａ〜１．２×１０−１Ｐａの実施例６〜実施例９では明度及び彩度ともに良好であった。酸素ガス分圧が１．２×１０−１Ｐａを越える比較例８（１．３×１０−１Ｐａ）では、試験に用いたイオンプレーティング装置の性能上コーティング不可であった。
【００４７】
耐摩耗層の総膜厚の下限値を検証するため、耐摩耗層の膜厚が０．７０μｍ、０．７５μｍとなる試料を作製した。
チタン中間層と有色酸化チタン層との合計膜厚が０．２０μｍの時の色調は青緑系を示した。従って、耐摩耗層の総膜厚が０．７０μｍとなるには紺色系酸化チタン層は０．５０μｍ、総膜厚が０．７５μｍとなるには紺色系酸化チタン層は０．５５μｍとなる。そこで、紺色系酸化チタン層が０．５０μｍ、０．５５μｍとなる試料を作製して評価した。その結果を表４に示す。
【００４８】
【表４】
2017217506.tif 000006
【００４９】
表４の結果から分かるように、紺色系酸化チタン層の膜厚が０．５０μｍの比較例９では、色調が紺色系ではなくブラウン気味であった。このため、摩耗痕がブラウン色となり、青緑系の地にブラウン色の摩耗痕は目立ち意匠性に劣るものであった。
一方、紺色系酸化チタン層の膜厚が０．５５μｍの実施例１０では、紺色系の色調を呈した。このため、摩耗痕が紺色となり、青緑系の地に紺色系の摩耗痕は目立ち難く、意匠性を大きく低下させるものではなかった。
【００５０】
最外層をなす有色酸化チタン層の色調と膜厚との関係を調べるため試験した結果を表５に示す。
【００５１】
【表５】
2017217506.tif 000007
【００５２】
上記においては、色調は黄色、赤色、青色と順次変化し、再び黄色、赤色、青色と変化する、と概略を説明したが、より詳細には、表５の結果から分かるように、膜厚の変化に応じて色調も目まぐるしく変化している様子が分かる。このように目まぐるしく色調が変化していく中で、所望の色調となったところで処理をストップして所望の色調の製品を得る。この内、青緑系の色調は０．１５〜０．１９μｍ、好ましくは０．１６〜０．１８μｍの範囲が好ましいと言える。この範囲は２周目の青色から３周目の黄色へと変化する途中の段階のものである。
【００５３】
なお、上記の処理工程において、ワークを回転したり、左右に動かしたりして、ワークに蒸着する酸化膜の膜厚が全ての部分で均一になるように調整するのが望ましい。また、蒸発源から飛散するＴｉの量が一定でないと、再現性のある色調を得難いので、バッチ毎のＴｉ飛散量が一定になるように、ハース内のＴｉ量を毎回調整することが望ましい。
【００５４】
本出願は、2016年6月17日出願の日本特許出願（特願2016-120468）および2017年4月26日出願の日本特許出願（特願2017-87733）に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明によれば、適度な機械的強度と高い意匠性を有する酸化チタン被膜をその外周摺動面に有する車両用サスペンションの摺動部材及びその製造方法が提供される。
【符号の説明】
【００５６】
１  車両用サスペンションの摺動部材
２  母材
３  鋼材（構造用合金鋼）
４  硬質クロムメッキ
５  耐摩耗層
６  アンダーコート層
７  紺色系酸化チタン層
８  チタン中間層
９  有色酸化チタン層
１０  ＨＣＤ型イオンプレーティング装置
１１  真空槽
１２  ワーク
１３  Ｔｉ原料
１４  ハース
１５  中空陰極型の電子銃（ホローカソード）
１６  Ａｒガス導入管
１７  集束コイル
１８  反応ガス導入管
１９  直流バイアス電源
２０  直流電源
２１  排気口
２２  ヒータ
２３  シャッター
２５  微小硬度試験機
２６  ベルコビッチ圧子
２７  試料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【国際調査報告】
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