(57)【要約】帯電粒子（９２ｐ）及び（９２ｎ）を含み所定方向に流れる気体から帯電粒子（９２ｐ）及び（９２ｎ）を分離する粒子分離装置（１）であって、所定方向と異なる配列方向に配列された複数の第一電極要素（１２）を備える第一電極（１０）と、配列方向に配列された複数の第二電極要素（２２）を備え、第一電極（１０）と対向する第二電極（２０）と、帯電粒子（９２ｐ）及び（９２ｎ）を所定方向と異なる方向に搬送する搬送電界を第一電極（１０）と第二電極（２０）との間に生成する電位を、複数の第一電極要素（１２）及び複数の第二電極要素（２２）の各々に印加する電位印加回路（進行波生成回路（８））とを備える。
2017154803.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯電粒子を含み所定方向に流れる気体から前記帯電粒子を分離する粒子分離装置であって、
前記所定方向と異なる配列方向に配列された複数の第一電極要素を備える第一電極と、
前記配列方向に配列された複数の第二電極要素を備え、前記第一電極と対向する第二電極と、
前記帯電粒子を前記所定方向と異なる方向に搬送する搬送電界を前記第一電極と前記第二電極との間に生成する電位を、前記複数の第一電極要素及び前記複数の第二電極要素の各々に印加する電位印加回路とを備える
粒子分離装置。
【請求項２】
前記搬送電界は、前記配列方向に進行する進行波電界である
請求項１に記載の粒子分離装置。
【請求項３】
前記電位印加回路は、前記第一電極及び前記第二電極における前記配列方向の一方端を含む領域において、当該一方端に向かう進行波を生成し、前記第一電極及び前記第二電極における前記配列方向の他方端を含む領域において、当該他方端に向かう進行波を生成する
請求項２に記載の粒子分離装置。
【請求項４】
前記複数の第二電極要素の各々は、前記複数の第一電極要素の各々と対向する位置に配置され、
前記電位印加回路は、前記複数の第二電極要素の各々に、前記複数の第一電極要素のうち、対向する第一電極要素に印加する電位と等しい電位を印加する
請求項１〜３のいずれか１項に記載の粒子分離装置。
【請求項５】
前記第一電極は、前記配列方向に配列され、前記複数の第一電極要素の各々と対向する位置に配置される複数の第三電極要素をさらに備え、
前記電位印加回路は、前記搬送電界を前記複数の第三電極要素の周囲に生成する電位を、前記複数の第三電極要素の各々に印加する
請求項１〜４のいずれか１項に記載の粒子分離装置。
【請求項６】
前記第一電極は、前記複数の第一電極要素を覆う第一絶縁膜を備え、
前記第二電極は、前記複数の第二電極要素を覆う第二絶縁膜を備える
請求項１〜５のいずれか１項に記載の粒子分離装置。
【請求項７】
前記第一電極及び前記第二電極によって搬送された前記帯電粒子が導入される分離経路をさらに備える
請求項１〜６のいずれか１項に記載の粒子分離装置。
【請求項８】
前記気体から分離された前記帯電粒子が収容される収容部をさらに備え、
前記収容部は、前記粒子分離装置に対して着脱自在に取り付けられる
請求項１〜７のいずれか１項に記載の粒子分離装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の粒子分離装置を備える
換気装置。
【請求項１０】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の粒子分離装置を備える
空気清浄機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯電粒子を含み所定方向に流れる気体から当該帯電粒子を分離する粒子分離装置及び当該粒子分離装置を備える換気装置及び空気清浄機などの機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、大気汚染の深刻化による健康への影響に対する意識が高まっている。居住空間に供給する清浄空気を得るために、従来、濾紙を備えるフィルタを用いて外気を清浄化している。しかしながら、特に外気における微小な粒子の濃度が高い場合には、フィルタの目詰まりによる圧損の増大、捕集率の低下などの性能低下が短期間で発生するため、フィルタを頻繁に交換する必要がある。フィルタの交換作業は、小型の空気清浄機においては、比較的容易に行うことができる。しかしながら、換気システムにおいては、フィルタが天井裏などのアクセスが困難な場所に配置されることも多いため、フィルタの交換作業は容易ではない。【０００３】
そこで、フィルタに代わる微小粒子除去手段として、粒子分離装置の一種である電気集塵機が提案されている（例えば、特許文献１）。特許文献１に開示された電気集塵機では、粒子を正に帯電させ、帯電した粒子を負の電位が印加された集塵電極に吸着させる。このように、電気集塵機では、フィルタを用いる場合に生じる圧損の増大などの性能低下が抑制される。さらに、特許文献１に開示された電気集塵機では、集塵電極に吸着された粒子を進行波電界によって搬送することで電極から除去する。これにより、特許文献１に開示された電気集塵機では、ユーザによる集塵電極のクリーニング作業を不要にしようとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６０−９９３５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された電気集塵機においては、粒子に水分又は油分が含まれる場合には、粒子が集塵電極に粘着するため、当該粒子の搬送が困難である。【０００６】
そこで、本発明では、電極に粒子が付着することを抑制できる粒子分離装置などを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係る粒子分離装置の一態様は、帯電粒子を含み所定方向に流れる気体から前記帯電粒子を分離する粒子分離装置であって、前記所定方向と異なる配列方向に配列された複数の第一電極要素を備える第一電極と、前記配列方向に配列された複数の第二電極要素を備え、前記第一電極と対向する第二電極と、前記帯電粒子を前記所定方向と異なる方向に搬送する搬送電界を前記第一電極と前記第二電極との間に生成する電位を、前記複数の第一電極要素及び前記複数の第二電極要素の各々に印加する電位印加回路とを備える。【０００８】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る換気装置の一態様は、上記粒子分離装置を備える。【０００９】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る空気清浄機の一態様は、上記粒子分離装置を備える。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、電極に粒子が付着することを抑制できる粒子分離装置などを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、実施の形態に係る粒子分離装置の全体構成の概要を示すブロック図である。
【図２】図２は、実施の形態に係る粒子分離装置の全体構成の概要を示す側面図である。
【図３】図３は、実施の形態に係る粒子分離装置の全体構成の概要を示す外観斜視図である。
【図４】図４は、実施の形態に係る第一電極及び第二電極の構成を示す断面図である。
【図５】図５は、実施の形態に係る分離部による帯電粒子に対する作用の概要を示す斜視図である。
【図６】図６は、実施の形態に係る進行波生成回路の回路構成を示す概略回路図である。
【図７Ａ】図７Ａは、実施の形態に係る分離部の粒子分離動作時の第一のタイミングにおける動作の概要を示す断面図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、実施の形態に係る分離部の粒子分離動作時の第二のタイミングにおける動作の概要を示す断面図である。
【図７Ｃ】図７Ｃは、実施の形態に係る分離部の粒子分離動作時の第三のタイミングにおける動作の概要を示す断面図である。
【図８】図８は、実施の形態に係る第一電極と第二電極との間に生成される進行波電界におけるＹ軸方向の電界強度ＥＹの分布の概要を示すグラフである。
【図９】図９は、比較例に係る分離部の粒子分離動作時の第一のタイミングにおける動作の概要を示す断面図である。
【図１０】図１０は、比較例に係る第一電極と第二電極との間に生成される進行波電界におけるＹ軸方向の電界強度ＥＹの分布の概要を示すグラフである。
【図１１】図１１は、実施の形態に係る第一電極要素への印加電位の一例と、第一電極要素において発生する電界の概要とを示す断面図である。
【図１２】図１２は、実施の形態に係る進行波生成回路の各出力チャネルに出力される電位波形の一例を示すタイミングチャートである。
【図１３】図１３は、実施の形態に係る各第一電極要素に、図１２に示される電位を印加した場合における、第一電極要素間の電位差の波形の一例を示すタイミングチャートである。
【図１４】図１４は、実施の形態に係るインバータ回路の回路構成の一例を示す概略回路図である。
【図１５】図１５は、実施の形態に係るインバータ回路から出力される電位波形の一例を示すグラフである。
【図１６Ａ】図１６Ａは、実施の形態に係るインバータ回路の動作モードＭｏｄｅ１における状態を示す概略回路図である。
【図１６Ｂ】図１６Ｂは、実施の形態に係るインバータ回路の動作モードＭｏｄｅ２における状態を示す概略回路図である。
【図１６Ｃ】図１６Ｃは、実施の形態に係るインバータ回路の動作モードＭｏｄｅ３における状態を示す概略回路図である。
【図１６Ｄ】図１６Ｄは、実施の形態に係るインバータ回路の動作モードＭｏｄｅ４における状態を示す概略回路図である。
【図１７】図１７は、変形例１に係る分離部の構成を示す断面図である。
【図１８】図１８は、変形例２に係る分離部の構成を示す断面図である。
【図１９】図１９は、変形例３に係る分離部の構成を示す断面図である。
【図２０】図２０は、変形例に係る換気装置の外観図である。
【図２１】図２１は、変形例に係る空気清浄機の外観図である。
【図２２】図２２は、変形例に係るエアコンディショナの外観図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される、数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態などは、一例であって本発明を限定する主旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
【００１３】
なお、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略又は簡略化する。
【００１４】
（実施の形態）
［１．全体構成］
まず、実施の形態に係る粒子分離装置の全体構成について図面を用いて説明する。
【００１５】
図１は、本実施の形態に係る粒子分離装置１の全体構成の概要を示すブロック図である。
【００１６】
図２は、本実施の形態に係る粒子分離装置１の全体構成の概要を示す側面図である。
【００１７】
図３は、本実施の形態に係る粒子分離装置１の全体構成の概要を示す外観斜視図である。
【００１８】
本実施の形態に係る粒子分離装置１は、帯電粒子を含み所定方向に流れる気体から帯電粒子を分離する装置である。粒子分離装置１は、例えば、換気装置の一部として換気システムにおける給気ダクト内などに設置され、流入する気体中の粒子９０の少なくとも一部を除去して、清浄化された気体を吐出する。本実施の形態では、気体として空気が用いられる。
【００１９】
図１に示されるように、粒子分離装置１は、機能的には、分離部２と、帯電部４と、電源回路６と、進行波生成回路８とを備える。
【００２０】
図２に示されるように、粒子分離装置１は、構造的には、分離部２及び帯電部４の他に、分離経路５４と、収容部５０と、排気経路５２とを備える。
【００２１】
なお、図２、図３及び以下で示される各図において、気体が流れる方向をＺ軸方向としている。本実施の形態では、Ｚ軸方向正向きに気体が流れる（図２の矢印５６、及び、図３の矢印参照）。また、Ｚ軸方向に垂直で、互いに直交する二つの方向をＸ軸方向及びＹ軸方向としている。また、図３に示される第一電極１０及び第二電極２０の配列方向をＸ軸方向としている。気体は、粒子分離装置１の外部に配置された送風機などによって、粒子分離装置１の内部に導入される。なお、送風機は粒子分離装置１の内部に配置されてもよい。
【００２２】
［１−１．帯電部］
帯電部４は、粒子分離装置１に流入する気体中の粒子９０を帯電させる帯電粒子生成部である。図１及び図３に示されるように、帯電部４は、高電位電極３０と低電位電極４０とを備える。帯電部４の高電位電極３０と低電位電極４０との間で、コロナ放電を発生させることにより、放電空間中を通過する粒子９０の大部分を正に帯電させる。このように、帯電部４は正に帯電した帯電粒子９２ｐを生成する。なお、帯電部４は、一部の粒子９０を、負に帯電させることによって、負に帯電した帯電粒子９２ｎを生成する。
【００２３】
高電位電極３０は、低電位電極４０より高い電位が印加され、低電位電極４０との間で放電を発生させる電極である。高電位電極３０は、例えばステンレス、タングステンなどで形成される。本実施の形態では、高電位電極３０は平板状の形状を有し、図３に示されるように、Ｚ軸方向正側に電界を集中させるための鋭角部が形成されている。なお、高電位電極３０の形状は図３に示される例に限定されない。例えば、高電位電極３０は、細線状の形状を有してもよい。
【００２４】
低電位電極４０は、高電位電極３０より低い電位が印加され、高電位電極３０との間で放電を発生させる電極である。低電位電極４０は、例えばステンレスなどで形成される。本実施の形態では、低電位電極４０は、図３に示されるように平板状の形状を有する。
【００２５】
高電位電極３０と低電位電極４０との間の距離は、例えば１０ｍｍ〜２０ｍｍ程度である。高電位電極３０には、例えば５ｋＶ〜１０ｋＶ程度の電位が印加され、低電位電極４０は接地される。
【００２６】
［１−２．分離部］
分離部２は、粒子分離装置１に流入する気体中の帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを気体から分離する要素機器である。本実施の形態では、分離部２には、帯電部４で帯電した帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを含む気体が導入される。図３に示されるように、分離部２は、第一電極１０及び第一電極１０に対向する第二電極２０を備える。また、図２に示されるように、分離部２には、分離した帯電粒子９２ｐ及び９２ｎが導入される分離経路５４と、少なくとも一部の帯電粒子９２ｐ及び９２ｎが除去された気体が導入される排気経路５２とが接続されている。
【００２７】
第一電極１０及び第二電極２０は、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを分離するための電界を生成する電極である。第一電極１０及び第二電極２０の構成について、図面を用いて詳細に説明する。
【００２８】
図４は、本実施の形態に係る第一電極１０及び第二電極２０の構成を示す断面図である。図４には、第一電極１０及び第二電極２０のＸＹ平面に平行な断面が示されている。
【００２９】
図４に示されるように、第一電極１０は、気体が流れる方向（Ｚ軸方向）と異なる配列方向に配列された複数の第一電極要素１２を備える。本実施の形態では、配列方向は、Ｙ軸方向である。
【００３０】
図４に示されるように、第一電極１０は、基板１４と、基板１４上に設けられた複数の第一電極要素１２と、基板１４上に設けられ、複数の第一電極要素１２を覆う第一絶縁膜１６とを備える。
【００３１】
基板１４は、第一電極１０の基材である。基板１４は、例えばセラミックス、ガラスエポキシなどを主成分として含むプリント基板である。
【００３２】
複数の第一電極要素１２は、第一電極１０の電極部を構成する導電性部材である。本実施の形態では、複数の第一電極要素１２は、基板１４上に形成された配線パターンである。複数の第一電極要素１２は例えば銅などの導電材料を主成分として含む。本実施の形態では、複数の第一電極要素１２は、線状の形状を有し、各第一電極要素１２のＹ軸方向の幅は、０．６ｍｍ程度であり、各第一電極要素１２間の間隔は、１．８ｍｍ程度である。また、各第一電極要素１２のＺ軸方向の長さ、及び、Ｘ軸方向の厚さは特に限定されない。例えば、各第一電極要素１２のＺ軸方向の長さは、第一電極１０の寸法などに応じて適宜決定されればよい。また、各第一電極要素１２のＸ軸方向の厚さは、複数の第一電極要素１２のＹ軸方向の幅、間隔などに基づいて適宜決定されればよい。なお、複数の第一電極要素１２のＹ軸方向の幅、及び、間隔も上記の寸法に限定されない。複数の第一電極要素１２に印加される電位などに基づいて適宜決定されてもよい。
【００３３】
第一絶縁膜１６は、複数の第一電極要素１２を覆う絶縁部材である。複数の第一電極要素１２が第一絶縁膜１６で覆われることにより、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎの電荷が複数の第一電極要素１２で失われることを抑制する。また、複数の第一電極要素１２が第一絶縁膜１６で覆われることにより、各第一電極要素１２に付着した粒子によって、隣り合う第一電極要素１２間における短絡が発生することを抑制できる。第一絶縁膜１６を形成する材料は、公知の絶縁材料の中から適宜選択される。
【００３４】
第二電極２０は、図４に示されるように、配列方向に配列された複数の第二電極要素２２を備え、第一電極１０と対向する。第二電極２０は、基板２４と、基板２４上に設けられた複数の第二電極要素２２と、基板２４上に設けられ、複数の第二電極要素２２を覆う第二絶縁膜２６とを備える。
【００３５】
第二電極２０の基板２４、複数の第二電極要素２２及び第二絶縁膜２６は、それぞれ、第一電極１０の基板１４、複数の第一電極要素１２及び第一絶縁膜１６と同様の構成を有するため、それらの構成の説明を省略する。
【００３６】
続いて、分離部２における作用の概要について説明する。
【００３７】
複数の第一電極要素１２及び複数の第二電極要素２２の各々に電位が印加されることによって、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを気体が流れる所定方向と異なる方向に搬送する搬送電界が第一電極１０と第二電極２０との間に生成される。
【００３８】
本実施の形態では、搬送電界は、複数の第一電極要素１２及び複数の第二電極要素２２の配列方向（Ｙ軸方向）に進行する進行波電界である。当該進行波電界の進行方向に帯電粒子９２ｐ及び９２ｎが搬送される。なお、進行波電界の進行方向と、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎの速度の方向とは完全に一致しなくてもよい。例えば、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎは、進行波電界の進行方向の速度成分だけでなく、気体の流れの方向の速度成分をも有してもよい。
【００３９】
ここで、分離部２による帯電粒子９２ｐ及び９２ｎに対する作用の概要について図面を用いて説明する。
【００４０】
図５は、本実施の形態に係る分離部２による帯電粒子９２ｐ及び９２ｎに対する作用の概要を示す斜視図である。
【００４１】
図５に示されるように、帯電部４において帯電した帯電粒子９２ｐ及び９２ｎは、矢印５６で示される気体が流れる向き（Ｚ軸方向正向き）に分離部２に導入される。本実施の形態では、分離部２の第一電極１０と第二電極２０との間に、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを搬送する搬送電界として、Ｙ軸方向負向きに進行する進行波電界が形成されている。したがって、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎは、進行波電界によって、Ｙ軸方向負向きに力を受け、気体の流れる向きと異なる向き（Ｙ軸方向負向き）に搬送される。これにより、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎが気体から分離される。
【００４２】
進行波電界が進行する向きは、特に限定されないが、本実施の形態では鉛直方向下向き（Ｙ軸方向負向き）である。これにより、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを、収容部５０に収容する場合に、収容部５０に収容された帯電粒子９２ｐ及び９２ｎが分離部２側へ再飛散することを、重力によって抑制できる。
【００４３】
［１−３．電源回路］
電源回路６は、帯電部４と、進行波生成回路８とに電位を印加する回路である。本実施の形態では、帯電部４の高電位電極３０及び低電位電極４０にそれぞれ高電位及び低電位を印加する。また、電源回路６が進行波生成回路８に印加する電位は、帯電部４の高電位電極３０に印加する電位とは異なってもよい。例えば、電源回路６は、帯電部４に印加する電位をトランスなどで変圧して進行波生成回路８に印加してもよい。
【００４４】
電源回路６は、例えば商用交流電源などの系統電源（不図示）から電力が供給される。電源回路６は、トランスなどによって、供給された電力の電圧を変換し、当該変換された電圧を出力する。
【００４５】
［１−４．進行波生成回路］
進行波生成回路８は、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを所定方向と異なる方向に搬送する搬送電界を第一電極１０と第二電極２０との間に生成する電位を、複数の第一電極要素１２及び複数の第二電極要素２２の各々に印加する電位印加回路である。
【００４６】
本実施の形態では、搬送電界は、複数の第一電極要素１２及び複数の第二電極要素２２の配列方向に進行する進行波電界である。これにより、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを所定方向と異なる方向に搬送することができる。
【００４７】
本実施の形態では、進行波生成回路８は、第一電極１０及び第二電極２０の各々において進行波を生成させる電位であって、周期的に変動する電位を複数の第一電極要素１２及び複数の第二電極要素２２の各々に印加する回路である。以下、進行波生成回路８の詳細について図面を用いて説明する。
【００４８】
図６は、本実施の形態に係る進行波生成回路８の回路構成を示す概略回路図である。図６には、進行波生成回路８から電位が印加される第一電極１０及び第二電極２０、並びに、電源回路６から供給される電位に対応する直流電圧源６２も併せて示されている。
【００４９】
図６に示されるように、進行波生成回路８は、第一電極１０の複数の第一電極要素１２ａ〜１２ｄ、及び、第二電極２０の複数の第二電極要素２２ａ〜２２ｄに電位を印加する回路であり、信号発生回路９とインバータ回路８０ａ〜８０ｄとを備える。
【００５０】
複数の第一電極要素１２ａ〜１２ｄは、それぞれ、複数の第一電極要素１２のうちインバータ回路８０ａ〜８０ｄから電位が印加される電極である。同様に、複数の第二電極要素２２ａ〜２２ｄは、それぞれ、複数の第二電極要素２２のうちインバータ回路８０ａ〜８０ｄから電位が印加される電極である。複数の第一電極要素１２は、第一電極要素１２ａ〜１２ｄを各一つずつ備える第一電極要素セット毎に一列に配列されている。当該第一電極要素セット内においては、第一電極要素１２ａ〜１２ｄが、第一電極要素１２ａ、第一電極要素１２ｂ、第一電極要素１２ｃ及び第一電極要素１２ｄの順に配列されている。同様に、複数の第二電極要素２２は、第二電極要素２２ａ〜２２ｄを各一つずつ備える第二電極要素セット毎に一列に配列されている。当該第二電極要素セット内においては、第二電極要素２２ａ〜２２ｄが、第二電極要素２２ａ、第二電極要素２２ｂ、第二電極要素２２ｃ及び第二電極要素２２ｄの順に配列されている。
【００５１】
信号発生回路９は、インバータ回路８０ａ〜８０ｄの各々に入力する信号を生成する回路である。信号発生回路９は、インバータ回路８０ａ〜８０ｄの各々に信号を出力することにより、インバータ回路８０ａ〜８０ｄの各々の出力電位と出力タイミングとを決定する回路である。
【００５２】
インバータ回路８０ａ〜８０ｄは、それぞれ、信号発生回路９から入力される信号に基づいた出力電位と出力タイミングとで、複数の第一電極要素１２ａ〜１２ｄ及び複数の第二電極要素２２ａ〜２２ｄに電位を印加する回路である。インバータ回路８０ａ〜８０ｄは、第一電位、第一電位より高電位の第二電位、及び、第二電位より高電位の第三電位を周期的に印加する。例えば、第一電位として０［Ｖ］、第二電位として２．５［ｋＶ］、第三電位として５．０［ｋＶ］を用いることができる。インバータ回路８０ａ〜８０ｄは、それぞれ、進行波生成回路８の出力チャネルＣＨ１〜ＣＨ４に対応する。インバータ回路８０ａ〜８０ｄの具体的な回路構成については後述する。
【００５３】
［１−５．分離経路］
分離経路５４は、第一電極１０及び第二電極２０によって搬送された帯電粒子９２ｐ及び９２ｎが導入される経路である。本実施の形態では、分離経路５４は、図２に示されるように、分離部２（すなわち第一電極１０及び第二電極２０）に対してＹ軸方向負側に配置されている。
【００５４】
分離経路５４の構成は、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎの少なくとも一部が気体の少なくとも一部から分離されて導かれる経路であれば特に限定されない。例えば、分離経路５４に、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎだけでなく気体の一部も導かれてもよい。また、本実施の形態では、分離経路５４は、第一電極１０及び第二電極２０に対してＹ軸方向（複数の第一電極要素１２などの配列方向）に配置されたが、分離経路５４の配置位置はこれに限定されない。分離経路５４は、第一電極１０及び第二電極２０に対して帯電粒子９２ｐ及び９２ｎが搬送される方向に配置されればよい。
【００５５】
分離経路５４として、例えば、ダクトなどを用いることができる。
【００５６】
［１−６．収容部］
収容部５０は、気体から分離された帯電粒子９２ｐ及び９２ｎが収容される容器である。収容部５０は、図２に示されるように、第一電極１０及び第二電極２０に対してＹ軸方向負側に配置されている。本実施の形態では、収容部５０は、分離経路５４のＹ軸方向負側に、粒子分離装置１に対して着脱自在に取り付けられる。これにより、収容部５０に収容された帯電粒子９２ｐ及び９２ｎ、並びに、粒子９０を容易に廃棄することができる。
【００５７】
収容部５０の構成は、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎ、並びに、粒子９０を収容できれば、特に限定されない。収容部５０として、例えば有底筒状の金属製の容器を用いることができる。
【００５８】
［１−７．排気経路］
排気経路５２は、分離部２に対して気体が流れる方向に配置され、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎの少なくとも一部が分離された気体が導入される経路である。本実施の形態では、排気経路５２は、図２に示されるように、分離部２（すなわち、第一電極１０及び第二電極２０）に対してＺ軸方向正側に配置されている。
【００５９】
排気経路５２の構成は、気体を分離部２から粒子分離装置１の外部に導くことができれば、特に限定されない。排気経路５２として、例えば、ダクトを用いてもよい。
【００６０】
［２．動作］
次に、本実施の形態に係る粒子分離装置１の動作について説明する。
【００６１】
粒子分離装置１において、帯電部４の高電位電極３０は、電源回路６から高電位が印加され、低電位電極４０は接地される。これにより、帯電部４においてコロナ放電を発生させて、帯電部４に流入する気体中の粒子９０を正又は負に帯電させる。
【００６２】
続いて、帯電部４で帯電した帯電粒子９２ｐ及び９２ｎは、分離部２に導かれる。以下、分離部２における動作について説明する。
【００６３】
また、分離部２において、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを気体の流れる所定方向と異なる方向に搬送する搬送電界を第一電極１０と第二電極２０との間に生成する電位が、進行波生成回路８から複数の第一電極要素１２及び複数の第二電極要素２２の各々に印加される。
【００６４】
本実施の形態では、進行波生成回路８は、複数の第一電極要素１２及び複数の第二電極要素２２の各々に、第一電位、第一電位より高電位の第二電位、及び、第二電位より高電位の第三電位を周期的に印加する。そして、進行波生成回路８は、複数の第一電極要素１２のうち第二電位が印加されている第一電極要素１２と隣り合う二つの第一電極要素１２のうちの一方には第一電位を印加し、他方には第三電位を印加する。同様に、進行波生成回路８は、複数の第二電極要素２２のうち第二電位が印加されている第二電極要素２２と隣り合う二つの第二電極要素２２のうちの一方には第一電位を印加し、他方には第三電位を印加する。
【００６５】
進行波生成回路８によって、以上のように第一電極１０及び第二電極２０に電位が印加される場合の動作について図面を用いて説明する。
【００６６】
図７Ａは、本実施の形態に係る分離部２の粒子分離動作時の第一のタイミングにおける動作の概要を示す断面図である。
【００６７】
図７Ｂは、本実施の形態に係る分離部２の粒子分離動作時の第二のタイミングにおける動作の概要を示す断面図である。
【００６８】
図７Ｃは、本実施の形態に係る分離部２の粒子分離動作時の第三のタイミングにおける動作の概要を示す断面図である。
【００６９】
なお、図７Ａ〜図７Ｃにおいて、破線の矢印はＹ軸方向負向きの電気力線を示し、点線の矢印はＹ軸方向正向きの電気力線を示す。また、図７Ａ〜図７Ｃには、第一電極１０と第二電極２０との間に導入された帯電粒子９２ｐ及び９２ｎも併せて示されている。なお、図７Ａ〜図７Ｃにおいて、各帯電粒子に付された実線の矢印によって、各帯電粒子が搬送される向きを示している。
【００７０】
本実施の形態では、図７Ａ〜図７Ｃに示されるように、複数の第一電極要素１２ａ〜１２ｄ及び複数の第二電極要素２２ａ〜２２ｄの各々には、０［Ｖ］、＋Ｖａ［Ｖ］及び＋２Ｖａ［Ｖ］（Ｖａ＞０）の電位が周期的に繰り返し印加される。これにより、第一電極１０及び第二電極２０は、帯電粒子９２ｐ及び帯電粒子９２ｎを搬送する進行波電界を生成することができる。
【００７１】
また、本実施の形態では、複数の第二電極要素２２ａ〜２２ｄの各々は、複数の第一電極要素１２ａ〜１２ｄの各々と対向する位置に配置される。そして、電位印加回路である進行波生成回路８は、複数の第二電極要素２２ａ〜２２ｄの各々に、複数の第一電極要素１２ａ〜１２ｄのうち、対向する第一電極要素に印加する電位と等しい電位を印加する。より具体的には、第一電極要素１２ａは、対向する第二電極要素２２ａと同電位を印加される。他の第一電極要素１２ｂ〜１２ｄについても同様に、それぞれ、対向する第二電極要素２２ｂ〜２２ｄと同電位を印加される。
【００７２】
具体的には、まず、第一のタイミングにおいて、図７Ａに示されるように、進行波生成回路８の出力チャネルＣＨ１〜ＣＨ４からは、それぞれ、＋２Ｖａ［Ｖ］、＋Ｖａ［Ｖ］、０［Ｖ］及び＋Ｖａ［Ｖ］の電位が出力される。つまり、第一電極要素１２ａ〜１２ｄには、それぞれ＋２Ｖａ［Ｖ］、＋Ｖａ［Ｖ］、０［Ｖ］及び＋Ｖａ［Ｖ］の電位が印加される。また、第二電極要素２２ａ〜２２ｄには、それぞれ＋２Ｖａ［Ｖ］、＋Ｖａ［Ｖ］、０［Ｖ］及び＋Ｖａ［Ｖ］の電位が印加される。
【００７３】
これにより、第一電極１０と第二電極２０との間にＹ軸方向の電界が発生する（図７Ａの破線及び点線の矢印参照）。これにより、図７Ａに実線の矢印で示されるように、第一電極１０の第一電極要素１２ａと第一電極要素１２ｂとの間、及び、第一電極要素１２ｂと第一電極要素１２ｃとの間に位置する帯電粒子９２ｐ及び９２ｎは、それぞれＹ軸方向負向き及びＹ軸方向正向きに搬送される。一方、第一電極１０の第一電極要素１２ｃと第一電極要素１２ｄとの間、及び、第一電極要素１２ｄと第一電極要素１２ａとの間に位置する帯電粒子９２ｐ及び９２ｎは、それぞれＹ軸方向正向き及びＹ軸方向負向きに搬送される。
【００７４】
次に、上記第一のタイミングに続く第二のタイミングにおいて、図７Ｂに示されるように、進行波生成回路８の出力チャネルＣＨ１〜ＣＨ４からは、それぞれ、＋Ｖａ［Ｖ］、＋２Ｖａ［Ｖ］、＋Ｖａ［Ｖ］及び０［Ｖ］の電位が出力される。つまり、第一電極要素１２ａ〜１２ｄには、それぞれ＋Ｖａ［Ｖ］、＋２Ｖａ［Ｖ］、＋Ｖａ［Ｖ］及び０［Ｖ］の電位が印加される。また、第二電極要素２２ａ〜２２ｄには、それぞれ＋Ｖａ［Ｖ］、＋２Ｖａ［Ｖ］、＋Ｖａ［Ｖ］及び０［Ｖ］の電位が印加される。
【００７５】
これにより、第一のタイミングと同様に、第一電極１０と第二電極２０との間にＹ軸方向の電界が発生する（図７Ｂの破線及び点線の矢印参照）。ただし、電界は、Ｙ軸方向負向きに進行している。これにより、図７Ｂに実線の矢印で示されるように、第一電極１０の第一電極要素１２ａと第一電極要素１２ｂとの間、及び、第一電極要素１２ｄと第一電極要素１２ａとの間に位置する帯電粒子９２ｐ及び９２ｎは、それぞれＹ軸方向正向き及びＹ軸方向負向きに搬送される。一方、第一電極１０の第一電極要素１２ｂと第一電極要素１２ｃとの間、及び、第一電極要素１２ｃと第一電極要素１２ｄとの間に位置する帯電粒子９２ｐ及び９２ｎは、それぞれＹ軸方向負向き及びＹ軸方向正向きに搬送される。
【００７６】
図７Ａ及び図７Ｂに示されるように、第一のタイミングでＹ軸方向負向きに搬送された帯電粒子９２ｐ及び９２ｎは、第二タイミングでもＹ軸方向負向きに搬送される。また、第一のタイミングでＹ軸方向正向きに搬送された帯電粒子９２ｐ及び９２ｎの少なくとも一部は、第二タイミングでＹ軸方向負向きに搬送される。
【００７７】
次に、上記第二のタイミングに続く第三のタイミングにおいて、図７Ｃに示されるように、進行波生成回路８の出力チャネルＣＨ１〜ＣＨ４からは、それぞれ、０［Ｖ］、＋Ｖａ［Ｖ］、＋２Ｖａ［Ｖ］及び＋Ｖａ［Ｖ］の電位が出力される。つまり、第一電極要素１２ａ〜１２ｄには、それぞれ０［Ｖ］、＋Ｖａ［Ｖ］、＋２Ｖａ［Ｖ］及び＋Ｖａ［Ｖ］の電位が印加される。また、第二電極要素２２ａ〜２２ｄには、それぞれ、０［Ｖ］、＋Ｖａ［Ｖ］、＋２Ｖａ［Ｖ］及び＋Ｖａ［Ｖ］の電位が出力される。
【００７８】
これにより、第一及び第二のタイミングと同様に、第一電極１０と第二電極２０との間にＹ軸方向の電界が発生する（図７Ｃの破線及び点線の矢印参照）。ただし、電界は、Ｙ軸方向負向きに進行している。これにより、図７Ｃに実線の矢印で示されるように、第一電極１０の第一電極要素１２ａと第一電極要素１２ｂとの間、及び、第一電極要素１２ｂと第一電極要素１２ｃとの間に位置する帯電粒子９２ｐ及び９２ｎは、それぞれＹ軸方向正向き及びＹ軸方向負向きに搬送される。一方、第一電極１０の第一電極要素１２ｃと第一電極要素１２ｄとの間、及び、第一電極要素１２ｄと第一電極要素１２ａとの間に位置する帯電粒子９２ｐ及び９２ｎは、それぞれＹ軸方向負向き及びＹ軸方向正向きに搬送される。
【００７９】
図７Ｂ及び図７Ｃに示されるように、第二のタイミングでＹ軸方向負向きに搬送された帯電粒子９２ｐ及び９２ｎは、第三タイミングでもＹ軸方向負向きに搬送される。また、第二のタイミングでＹ軸方向正向きに搬送された帯電粒子９２ｐ及び９２ｎの少なくとも一部は、第三タイミングでＹ軸方向負向きに搬送される。
【００８０】
以上のように、第一電極１０と第二電極２０との間において、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎをＹ軸方向負向きに搬送することができる。ここで、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎが含まれる気体は、Ｚ軸方向正向きに流れており、気体の流れは進行波電界によって影響されないことから、気体から帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを分離することができる。しかも、本実施の形態に係る粒子分離装置１においては、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを複数の第一電極要素１２及び複数の第二電極要素２２の配列方向（Ｙ軸方向）に搬送する。つまり、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを第一電極１０及び第二電極２０の主面と平行な方向に搬送する。このため、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎが第一電極１０及び第二電極２０に付着することを抑制できる。したがって、第一電極１０及び第二電極２０のクリーニング作業を軽減することができる。
【００８１】
続いて、本実施の形態に係る進行波電界の特性について説明する。
【００８２】
上述のとおり、本実施の形態では、複数の第二電極要素２２ａ〜２２ｄの各々は、複数の第一電極要素１２〜１２ｄの各々と対向する位置に配置される。そして、電位印加回路である進行波生成回路８は、複数の第二電極要素２２ａ〜２２ｄの各々に、複数の第一電極要素１２ａ〜１２ｄのうち、対向する第一電極要素に印加する電位と等しい電位を印加する。
【００８３】
これにより、本実施の形態に係る分離部２においては、第一電極１０と第二電極２０との間のほぼ領域において、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを搬送するために十分強い進行波電界を発生させている。この効果について図面を用いて比較例と対比しながら説明する。
【００８４】
図８は、本実施の形態に係る第一電極１０と第二電極２０との間に生成される進行波電界におけるＹ軸方向の電界強度ＥＹの分布の概要を示すグラフである。図８のグラフの縦軸はＹ軸方向の電界強度ＥＹを示し、横軸はＹ軸方向の位置を示す。図８の実線、破線及び点線のグラフは、それぞれ、図７Ａに示されるＸ軸座標がＸａ、Ｘｂ及びＸｃである位置における電界強度分布を示す。
【００８５】
図９は、比較例に係る分離部２ａの粒子分離動作時の第一のタイミングにおける動作の概要を示す断面図である。図９に示される比較例に係る分離部２においては、第一電極１０の複数の第一電極要素１２ａ〜１２ｄだけに電位を印加することで、進行波電界を生成している。
【００８６】
図１０は、比較例に係る第一電極１０と第二電極２０との間に生成される進行波電界におけるＹ軸方向の電界強度ＥＹの分布の概要を示すグラフである。図１０のグラフの縦軸はＹ軸方向の電界強度ＥＹを示し、横軸はＹ軸方向の位置を示す。図１０の実線、破線及び点線のグラフは、それぞれ、図９に示されるＸ軸座標がＸａ、Ｘｂ及びＸｃである位置における電界強度分布を示す。
【００８７】
本実施の形態に係る分離部２においては、図７Ａ〜図７Ｃに示されるように、第一電極１０及び第二電極２０の両方によって進行波電界を生成する。しかも、第一電極１０及び第二電極２０の各々が生成するＹ軸方向の電界が互いに強め合う。このため、図８に示されるように、第一電極１０及び第二電極２０付近の位置（例えばＸ＝Ｘａ）だけでなく、第一電極１０及び第二電極２０から離れた位置（Ｘ＝Ｘｃ）においても、Ｙ軸方向の電界が比較的強い。一方、第一電極１０及び第二電極２０において生成されるＸ軸方向の電界成分は、互いに打ち消し合う。これにより、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎのＸ軸方向における搬送を抑制することができるため、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎが第一電極１０又は第二電極２０に付着することを抑制できる。
【００８８】
一方、比較例に係る分離部２ａにおいては、図９に示されるように第一電極１０だけで進行波電界を生成している。そのため、第一電極１０から離れるほど電界が弱くなる。例えば、図１０に示されるように、第一電極１０から離れた位置（Ｘ＝Ｘｃ）における進行波電界は非常に弱い。また、本比較例においては、Ｘ軸方向の電界成分によって、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎがＸ軸方向に搬送され、第一電極１０又は第二電極２０に付着することがある。
【００８９】
以上のように、本実施の形態に係る粒子分離装置１の第一電極１０と第二電極２０との間のより多くの領域において、強い進行波電界を発生することができる。したがって、第一電極１０と第二電極２０との間のより多くの領域において帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを搬送することができる。つまり、本実施の形態に係る粒子分離装置１においては、より多くの帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを気体から分離できる。
【００９０】
続いて、以上で述べた、本実施の形態に係る第一電極要素１２ａ〜１２ｄ及び第二電極要素２２ａ〜２２ｄに印加される電位の時間変化について、図面を用いて説明する。なお、第一電極要素１２ａ〜１２ｄに印加される電位と、第二電極要素２２ａ〜２２ｄに印加される電位とは同様であるため、以下では第一電極要素１２ａ〜１２ｄに印加される電位だけを説明する。また、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎの搬送態様は、同様であるため以下では、帯電粒子９２ｐだけについて説明する。
【００９１】
図１１は、本実施の形態に係る第一電極要素１２ａ〜１２ｄへの印加電位の一例と、第一電極要素１２ａ〜１２ｄにおいて発生する電界の概要とを示す断面図である。図１１には、隣り合う第一電極要素間の電位差Ｖ１〜Ｖ４も併せて示されている。なお、電位差Ｖ１は、第一電極要素１２ｂと第一電極要素１２ａとの間の電位差を、電位差Ｖ２は、第一電極要素１２ｃと第一電極要素１２ｂとの間の電位差を、電位差Ｖ３は、第一電極要素１２ｄと第一電極要素１２ｃとの間の電位差を、電位差Ｖ４は、第一電極要素１２ａと第一電極要素１２ｄとの間の電位差を、それぞれ表す。図１１に示される例は、図７Ａに示される第一のタイミングにおける電位印加動作と同様である。
【００９２】
ここで、進行波電界を生成するために、進行波生成回路８の出力チャネルＣＨ１〜ＣＨ４に出力させる電位の時間変化について、図面を用いて説明する。
【００９３】
図１２は、本実施の形態に係る進行波生成回路８の各出力チャネルに出力される電位波形の一例を示すタイミングチャートである。
【００９４】
図１３は、本実施の形態に係る各第一電極要素に、図１２に示される電位を印加した場合における、第一電極要素間の電位差の波形の一例を示すタイミングチャートである。
【００９５】
なお、図１１に示される第一電極要素１２ａ〜１２ｄへの電位印加状態は、図１２及び図１３の時刻ｔ１から時刻ｔ２までの状態に対応する。
【００９６】
図１２に示されるように、進行波生成回路８は、各出力チャネルから、第一電極要素１２ａ〜１２ｄの各々に、第一電位（０［Ｖ］）、第二電位（＋Ｖａ［Ｖ］）、第三電位（＋２Ｖａ［Ｖ］）、第二電位（＋Ｖａ［Ｖ］）、第一電位（０［Ｖ］）の順に周期的に電位を印加する。このように、進行波生成回路８は、四つの電位位相からなる周期的な電位を印加している。また、各電位が印加される期間は等しい。つまり、図１２に示されるように、四つの電位位相とも９０度（＝３６０度／４位相）の位相角に相当する期間にわたって印加される。
【００９７】
図１２に示されるような電位を各第一電極要素に印加する場合、図１３に示されるように、時刻ｔ１から時刻ｔ２までの期間においては、電位差Ｖ１及びＶ２が正（＋Ｖａ［Ｖ］）となる。つまり、帯電粒子９２ｐをＹ軸方向負向きに搬送できるＹ軸方向負向きの電界は、第一電極要素１２ａから第一電極要素１２ｃまでの範囲に生成される。また、時刻ｔ２から時刻ｔ３までの期間においては、電位差Ｖ２及びＶ３が正（＋Ｖａ［Ｖ］）となる。つまり、Ｙ軸方向負向きの電界は、第一電極要素１２ｂから第一電極要素１２ｄまでの範囲に生成される。また、時刻ｔ３から時刻ｔ４までの期間においては、電位差Ｖ３及びＶ４が正（＋Ｖａ［Ｖ］）となる。つまり、Ｙ軸方向負向きの電界は、第一電極要素１２ｃから第一電極要素１２ａまでの範囲に生成される。
【００９８】
以上のように、帯電粒子９２ｐをＹ軸方向負向きに搬送できるＹ軸方向負向きの電界は、第一電極要素１２ａから第一電極要素１２ｃまでの範囲からＹ軸方向負向きに進行する。これにより、帯電粒子９２ｐを進行波電界に合わせてＹ軸方向負向きに搬送することができる。なお、帯電粒子９２ｎについても帯電粒子９２ｐと同様である。
【００９９】
また、進行波生成回路８は、第一電極要素１２ａ〜１２ｄのうち第二電位（＋Ｖａ［Ｖ］）が印加されている第一電極要素１２ｂと隣り合う二つの第一電極要素１２ａ及び１２ｃのうち第一電極要素１２ｃには第一電位（０［Ｖ］）を印加し、第一電極要素１２ａには第三電位（＋２Ｖａ［Ｖ］）を印加する。つまり、第一電極要素１２ｂに印加される第二電位は、第一電極要素１２ｂと隣り合う第一電極要素１２ａに印加される第三電位より低く、第一電極要素１２ｃに印加される第一電位より高い。このため、第一電極要素１２ｂにおいては、第一電極要素１２ａ及び１２ｃに印加される電位によって電位勾配が生成される。つまり、第一電極要素１２ｂの上面（Ｘ軸方向負側の面）の上方におけるＹ軸方向の電界強度が増大される。したがって、本実施の形態では、第一電極要素１２ｂの上面における、帯電粒子９２ｐをＹ軸方向負向きに搬送するための静電気力を増大させることができる。これにより、本実施の形態では、第一電極要素１２ｂ上に留まる帯電粒子９２ｐを低減することができる。また、電界はＹ軸方向負向きに進行するため、他の第一電極要素１２ａ、１２ｃ及び１２ｄにおいても、同様に、電極上に留まる帯電粒子９２ｐを低減することができる。なお、以上では、第一電極１０について説明したが、第二電極２０においても同様の効果が奏される。
【０１００】
［３．インバータ回路の回路構成］
次に、本実施の形態に係る進行波生成回路８におけるインバータ回路８０ａ〜８０ｄの具体的な回路構成について説明する。
【０１０１】
図１４は、本実施の形態に係るインバータ回路８０の回路構成の一例を示す概略回路図である。なお、図１４には、電源回路６からインバータ回路８０に印加される直流電圧に対応する直流電圧源６２も併せて示されている。
【０１０２】
インバータ回路８０ａ〜８０ｄは、いずれも図１４に示されるインバータ回路８０と同一の回路構成を有する。
【０１０３】
図１４に示されるように、インバータ回路８０は、直流電圧源６２から直流電圧が印加され、第一電位、第一電位より高電位の第二電位、及び、第二電位より高電位の第三電位を周期的に出力端子８９に印加する。
【０１０４】
インバータ回路８０は、主に、スイッチング素子８１〜８４と、ダイオード８６と、コンデンサ８８とを備える。
【０１０５】
インバータ回路８０は、二つのハーフブリッジ回路と、当該二つのハーフブリッジ回路を接続するチャージポンプ回路とを備える。より詳しくは、インバータ回路８０は、スイッチング素子８１及び８２から構成される前段のハーフブリッジ回路と、スイッチング素子８３及び８４から構成される後段のハーフブリッジ回路とを備える。また、ダイオード８６及びコンデンサ８８から構成されるチャージポンプ回路によって、これらのハーフブリッジ回路が接続されている。
【０１０６】
スイッチング素子８１〜８４は、入力される信号に基づいてオン状態及びオフ状態に切り替えられる素子である。本実施の形態では、スイッチング素子８１〜８４として、ＭＯＳＦＥＴ（Ｍｅｔａｌ−Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｆｉｅｌｄ−Ｅｆｆｅｃｔ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）が用いられる。
【０１０７】
スイッチング素子８１は、ドレイン端子がノードＮ１に接続され、ソース端子がスイッチング素子８２のドレイン端子及びコンデンサ８８の一方の電極にノードＮ３において接続される。なお、ノードＮ１には、ダイオード８６のアノード電極が接続され、直流電圧源６２から高電位が印加される。また、ゲート端子には、ゲート駆動回路から駆動信号Ｓ１が入力される。
【０１０８】
スイッチング素子８２は、ドレイン端子がノードＮ３に接続され、ソース端子が接地される。また、ゲート端子には、ゲート駆動回路から駆動信号Ｓ２が入力される。
【０１０９】
スイッチング素子８３は、ドレイン端子が、ダイオード８６のカソード電極及びコンデンサ８８の他方の電極とノードＮ２において接続され、ソース端子が出力端子８９に接続される。また、ゲート端子には、ゲート駆動回路から駆動信号Ｓ３が入力される。
【０１１０】
スイッチング素子８４は、ドレイン端子が出力端子８９に接続され、ソース端子がノードＮ３に接続される。また、ゲート端子には、ゲート駆動回路から駆動信号Ｓ４が入力される。
【０１１１】
［４．インバータ回路の動作］
続いて、図１４に示されるインバータ回路８０の動作について図面を用いて説明する。
【０１１２】
図１５は、本実施の形態に係るインバータ回路８０から出力される電位波形の一例を示すグラフである。
【０１１３】
図１５に示されるように、インバータ回路８０は、四つの動作モードＭｏｄｅ１〜Ｍｏｄｅ４を繰り返す。インバータ回路８０は、動作モードＭｏｄｅ１においては０［Ｖ］の電位を出力し、動作モードＭｏｄｅ２においては＋Ｖａ［Ｖ］の電位を出力し、動作モードＭｏｄｅ３においては＋２Ｖａ［Ｖ］の電位を出力し、動作モードＭｏｄｅ４においては＋Ｖａ［Ｖ］の電位を出力する。
【０１１４】
以下、インバータ回路８０の各動作モードについて図面を用いて説明する。
【０１１５】
［Ｍｏｄｅ１］
まず、インバータ回路８０の動作モードＭｏｄｅ１について図面を用いて説明する。
【０１１６】
図１６Ａは、本実施の形態に係るインバータ回路８０の動作モードＭｏｄｅ１における状態を示す概略回路図である。
【０１１７】
図１６Ａに示されるように、動作モードＭｏｄｅ１においては、各ゲート駆動回路ら、スイッチング素子８１及び８３の各ゲート端子にＬレベルの駆動信号が入力され、スイッチング素子８１及び８３はオフ状態に維持される。また、各ゲート駆動回路から、スイッチング素子８２及び８４の各ゲート端子にＨレベルの駆動信号が入力され、スイッチング素子８２及び８４はオン状態に維持される。
【０１１８】
これにより、出力端子８９は、接地電位０［Ｖ］と同電位となる。一方、コンデンサ８８には、直流電圧源６２の出力電位＋Ｖａ［Ｖ］が印加される。これにより、コンデンサ８８には、ノードＮ３の電位を基準として、＋Ｖａ［Ｖ］の電位が印加されるまで充電される。
【０１１９】
［Ｍｏｄｅ２］
続いて、インバータ回路８０の動作モードＭｏｄｅ２について図面を用いて説明する。
【０１２０】
図１６Ｂは、本実施の形態に係るインバータ回路８０の動作モードＭｏｄｅ２における状態を示す概略回路図である。
【０１２１】
図１６Ｂに示されるように、動作モードＭｏｄｅ２においては、各ゲート駆動回路から、スイッチング素子８１及び８４の各ゲート端子にＬレベルの駆動信号が入力され、スイッチング素子８１及び８４はオフ状態に維持される。また、各ゲート駆動回路から、スイッチング素子８２及び８３の各ゲート端子にＨレベルの駆動信号が入力され、スイッチング素子８２及び８３はオン状態に維持される。
【０１２２】
これにより、出力端子８９には、直流電圧源６２の出力電位＋Ｖａ［Ｖ］が印加される。
【０１２３】
［Ｍｏｄｅ３］
続いて、インバータ回路８０の動作モードＭｏｄｅ３について図面を用いて説明する。
【０１２４】
図１６Ｃは、本実施の形態に係るインバータ回路８０の動作モードＭｏｄｅ３における状態を示す概略回路図である。
【０１２５】
図１６Ｃに示されるように、動作モードＭｏｄｅ３においては、各ゲート駆動回路から、スイッチング素子８１及び８３の各ゲート端子にＨレベルの駆動信号が入力され、スイッチング素子８１及び８３はオン状態に維持される。また、各ゲート駆動回路から、スイッチング素子８２及び８４の各ゲート端子にＬレベルの駆動信号が入力され、スイッチング素子８２及び８４はオフ状態に維持される。
【０１２６】
以上のように、スイッチング素子８１がオン状態に維持されることにより、ノードＮ３の電位が直流電圧源６２の出力電位＋Ｖａ［Ｖ］になる。そして、スイッチング素子８３がオン状態となることにより、ノードＮ３の電位＋Ｖａ［Ｖ］とコンデンサ８８に印加されていた電位＋Ｖａ［Ｖ］とが足し合わされた電位＋２Ｖａ［Ｖ］が、出力端子８９に印加される。なお、このとき、ダイオード８６により、直流電圧源６２への電流の逆流が防止される。
【０１２７】
［Ｍｏｄｅ４］
続いて、インバータ回路８０の動作モードＭｏｄｅ４について図面を用いて説明する。
【０１２８】
図１６Ｄは、本実施の形態に係るインバータ回路８０の動作モードＭｏｄｅ４における状態を示す概略回路図である。
【０１２９】
図１６Ｄに示されるように、動作モードＭｏｄｅ４においては、各ゲート駆動回路から、スイッチング素子８１及び８４の各ゲート端子にＨレベルの駆動信号が入力され、スイッチング素子８１及び８４はオン状態に維持される。また、各ゲート駆動回路から、スイッチング素子８２及び８３の各ゲート端子にＬレベルの駆動信号が入力され、スイッチング素子８２及び８３はオフ状態に維持される。
【０１３０】
以上のように、スイッチング素子８１がオン状態に維持されることにより、ノードＮ３の電位が直流電圧源６２の出力電位＋Ｖａ［Ｖ］になる。そして、スイッチング素子８４がオン状態となることにより、出力端子８９には、ノードＮ３の電位と同じく直流電圧源６２の出力電位＋Ｖａ［Ｖ］が印加される。
【０１３１】
以上のように、インバータ回路８０は、動作モードＭｏｄｅ１〜Ｍｏｄｅ４を繰り返すことにより、図１５に示されるような電位波形を出力することができる。つまり、進行波生成回路８は、第一電位（０［Ｖ］）と、直流電圧源６２から印加される第二電位（＋Ｖａ［Ｖ］）と、第二電位の約２倍の第三電位（＋２Ｖａ［Ｖ］）とを出力することができる。
【０１３２】
［５．まとめ］
以上のように、本実施の形態に係る粒子分離装置１は、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを含み所定方向に流れる気体から帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを分離する。粒子分離装置１は、所定方向と異なる配列方向に配列された複数の第一電極要素１２を備える第一電極１０と、配列方向に配列された複数の第二電極要素２２を備え、第一電極１０と対向する第二電極２０とを備える。粒子分離装置１は、さらに、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを所定方向と異なる方向に搬送する搬送電界を第一電極１０と第二電極２０との間に生成する電位を、複数の第一電極要素１２及び複数の第二電極要素２２の各々に印加する電位印加回路（進行波生成回路８）を備える。
【０１３３】
これにより、第一電極１０と第二電極２０との間において、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを配列方向（Ｙ軸方向）に搬送することができる。したがって、所定方向（Ｚ軸方向）に流れる気体から帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを分離することができる。しかも、粒子分離装置１においては、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを第一電極１０及び第二電極２０の主面と平行な方向に搬送する。このため、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎが第一電極１０及び第二電極２０に付着することを抑制できる。また、本実施の形態に係る粒子分離装置１では、気体の流れの方向と、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎの搬送方向とが異なるため、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎの捕集が容易である。
【０１３４】
また、本実施の形態に係る粒子分離装置１において、搬送電界は、配列方向に進行する進行波電界であってもよい。
【０１３５】
これにより、進行波とともに帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを搬送することができる。
【０１３６】
また、本実施の形態に係る粒子分離装置１において、複数の第二電極要素２２の各々は、複数の第一電極要素１２の各々と対向する位置に配置され、電位印加回路（進行波生成回路８）は、複数の第二電極要素２２の各々に、複数の第一電極要素１２のうち、対向する第一電極要素１２に印加する電位と等しい電位を印加してもよい。
【０１３７】
これにより、第一電極１０と第二電極２０との間のほぼ領域において、強い進行波電界を発生させることができる。したがって、本実施の形態に係る粒子分離装置１においては、より多くの帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを気体から分離できる。
【０１３８】
また、本実施の形態に係る粒子分離装置１において、第一電極１０は、複数の第一電極要素１２を覆う第一絶縁膜１６を備え、第二電極２０は、複数の第二電極要素２２を覆う第二絶縁膜２６を備えてもよい。
【０１３９】
これにより、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎの電荷が複数の第一電極要素１２及び複数の第二電極要素２２で失われることを抑制する。また、複数の第一電極要素１２及び複数の第二電極要素２２がそれぞれ第一絶縁膜１６及び第二絶縁膜２６で覆われることにより、各電極要素に付着した粒子によって、隣り合う電極要素間において短絡が発生することを抑制できる。
【０１４０】
また、本実施の形態に係る粒子分離装置１において、第一電極１０及び第二電極２０によって搬送された帯電粒子９２ｐ及び９２ｎが導入される分離経路５４をさらに備えてもよい。
【０１４１】
これにより、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを所望の経路に導くことができる。
【０１４２】
また、本実施の形態に係る粒子分離装置１において、気体から分離された帯電粒子９２ｐ及び９２ｎが収容される収容部５０をさらに備え、収容部５０は、粒子分離装置１に対して着脱自在に取り付けられてもよい。
【０１４３】
これにより、捕集された粒子を容易に廃棄することができる。
【０１４４】
（変形例など）
以上、本発明に係る粒子分離装置１について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。
【０１４５】
例えば、上記実施の形態に係る分離部２は、第一電極１０の一方の主面だけに複数の第一電極要素１２を備え、第二電極２０の一方の主面だけに複数の第二電極要素２２を備えたが、分離部２の構成はこれに限定されない。例えば、分離部２の第一電極１０及び第二電極２０は、他の電極要素をさらに備えてもよい。以下、このような分離部の一例である変形例１に係る分離部について、図面を用いて説明する。
【０１４６】
図１７は、本変形例に係る分離部１０２の構成を示す断面図である。
【０１４７】
図１７に示されるように、本変形例に係る分離部１０２は、複数の第一電極１１０及び複数の第二電極１２０を備える。複数の第一電極１１０及び複数の第二電極１２０は、Ｘ軸方向に交互に配置されている。
【０１４８】
複数の第一電極１１０の各々は、複数の第一電極要素１２に加えて、配列方向に配列され、複数の第一電極要素１２の各々と対向する位置に配置される複数の第三電極要素３２をさらに備える。また、電位印加回路である進行波生成回路８は、搬送電界を複数の第三電極要素３２の周辺に生成する電位を、複数の第三電極要素３２の各々に印加する。
【０１４９】
複数の第二電極１２０の各々は、複数の第二電極要素２２に加えて、配列方向に配列され、複数の第二電極要素２２の各々と対向する位置に配置される複数の第四電極要素４２をさらに備える。また、電位印加回路である進行波生成回路８は、搬送電界を複数の第四電極要素４２の周辺に生成する電位を、複数の第四電極要素４２の各々に印加する。
【０１５０】
以下、より詳しく、本変形例に係る分離部１０２について説明する。
【０１５１】
複数の第一電極１１０の各々は、第一主面１１１及び第一主面１１１に背向する第二主面１１２を有する。また、複数の第一電極１１０の各々は、複数の第一電極要素１２を第一主面１１１側に備え、複数の第三電極要素３２を第二主面１１２側に備える。複数の第一電極１１０の各々において、複数の第一電極要素１２の各々は、複数の第三電極要素３２の各々と対向する。複数の第一電極要素１２の各々には、上記実施の形態と同様に電位が印加される。また、複数の第三電極要素３２の各々には、対向する第一電極要素１２と同程度の電位が印加される。
【０１５２】
複数の第二電極１２０の各々は、第三主面１２１及び第三主面１２１に背向する第四主面１２２を有する。また、複数の第二電極１２０の各々は、複数の第二電極要素２２を第三主面１２１側に備え、複数の第四電極要素４２を第四主面１２２側に備える。複数の第二電極１２０の各々において、複数の第二電極要素２２の各々は、複数の第四電極要素４２の各々と対向する。複数の第二電極要素２２の各々には、上記実施の形態と同様に電位が印加される。また、複数の第四電極要素４２の各々には、対向する第二電極要素２２と同程度の電位が印加される。
【０１５３】
以上のような分離部１０２においては、第一電極１１０及び第二電極１２０の両面に電極要素を備え、第一電極１１０及び第二電極１２０の両面において、強い搬送電界を生成することができる。したがって、分離部１０２における粒子分離処理能力を向上できる。
【０１５４】
また、上記実施の形態に係る分離部２では、複数の第一電極要素１２は、第一電極１０の一方の主面だけに配置されたが、複数の第一電極要素１２が第一電極１０の両主面に配置されてもよい。以下、このような分離部の一例である変形例２について図面を用いて説明する。
【０１５５】
図１８は、本変形例に係る分離部２０２の構成を示す断面図である。
【０１５６】
図１８に示されるように、本変形例に係る分離部２０２は、複数の第一電極２１０及び複数の第二電極２２０を備える。複数の第一電極２１０及び複数の第二電極２２０は、Ｘ軸方向に交互に配置されている。
【０１５７】
複数の第一電極２１０の各々は、第一主面２１１及び第一主面２１１に背向する第二主面２１２を有する。複数の第一電極２１０の各々は、実施の形態に係る第一電極１０と同様に、配列方向（Ｙ軸方向）に配列された複数の第一電極要素１２ａ〜１２ｄを備える。ただし、複数の第一電極２１０の各々においては、第一主面２１１及び第二主面２１２の両方に、交互に第一電極要素１２ａ〜１２ｄが配置される。
【０１５８】
複数の第二電極２２０の各々は、第三主面２２１及び第三主面２２１に背向する第四主面２２２を有する。複数の第二電極２２０の各々は、実施の形態に係る第二電極２０と同様に、配列方向（Ｙ軸方向）に配列された複数の第二電極要素２２ａ〜２２ｄを備える。ただし、複数の第二電極２２０の各々においては、第三主面２２１及び第四主面２２２の両方に、交互に第二電極要素２２ａ〜２２ｄが配置される。
【０１５９】
図１８に示される例では、複数の第一電極１０の各々は、第一主面２１１に第一電極要素１２ｂ及び１２ｄを備え、第二主面２１２に第一電極要素１２ａ及び１２ｃを備える。本変形例に係る複数の第一電極２１０においても、実施の形態に係る第一電極１０と同様に、第一電極要素１２ａ〜１２ｄに電位を印加することによって、進行波電界を生成することができる。しかも、本変形例に係る第一電極２１０では、第一電極２１０の両主面付近において、同程度の強度の進行波電界を生成することができる。したがって、第一電極２１０の両主面付近において帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを搬送することができる。また、本変形例に係る第一電極２１０では、一方の主面において隣り合う第一電極要素の間隔を広くとることができる。このため、隣り合う第一電極要素間における短絡の発生を抑制することができる。
【０１６０】
本変形例の第二電極２２０についても第一電極２１０と同様である。
【０１６１】
また、上記実施の形態及び各変形例に係る分離部では、複数の第一電極要素１２は、第一電極の主面に配置されたが、複数の第一電極要素１２が第一電極の内部に配置されてもよい。以下、このような分離部の一例である変形例３について図面を用いて説明する。
【０１６２】
図１９は、本変形例に係る分離部３０２の構成を示す断面図である。
【０１６３】
図１９に示されるように、本変形例に係る分離部３０２は、複数の第一電極３１０及び複数の第二電極３２０を備える。複数の第一電極３１０及び複数の第二電極３２０は、Ｘ軸方向に交互に配置されている。
【０１６４】
本変形例に係る複数の第一電極３１０の各々は、上記実施の形態に係る第一電極１０と同様に、配列方向（Ｙ軸方向）に配列された複数の第一電極要素１２ａ〜１２ｄを備える。ただし、複数の第一電極３１０の各々においては、図１９に示されるように、その内部に第一電極要素１２ａ〜１２ｄが配置される。より具体的には、第一電極要素１２ａ〜１２ｄは、第一電極３１０の厚さ方向（Ｘ軸方向）の略中央に配置される。
【０１６５】
本変形例に係る複数の第二電極３２０の各々は、上記実施の形態に係る第二電極２０と同様に、配列方向（Ｙ軸方向）に配列された複数の第二電極要素２２ａ〜２２ｄを備える。ただし、複数の第二電極３２０の各々においては、図１９に示されるように、その内部に第二電極要素２２ａ〜２２ｄが配置される。より具体的には、第二電極要素２２ａ〜２２ｄは、第二電極３２０の厚さ方向（Ｘ軸方向）の略中央に配置される。
【０１６６】
本変形例に係る第一電極３１０においても、上記実施の形態に係る第一電極１０と同様に、第一電極要素１２ａ〜１２ｄに電位を印加することによって、進行波電界を生成することができる。しかも、本変形例に係る第一電極３１０では、第一電極３１０の両主面付近において、同程度の強度の進行波電界を生成することができる。したがって、第一電極３１０の両主面付近において帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを搬送することができる。また、本変形例に係る第一電極３１０では、絶縁性の基板１４の内部に複数の第一電極要素１２ａ〜１２ｄが配置されるため、第一絶縁膜１６を設ける必要がない。
【０１６７】
本変形例の第二電極３２０についても第一電極３１０と同様である。
【０１６８】
また、進行波生成回路８によって生成する進行波の構成は、上記実施の形態の構成に限定されない。例えば、進行波生成回路８は、所定方向に配列された複数の第一電極要素１２を備える第一電極１０における当該所定方向の一方端を含む領域において、当該一方端に向かう進行波を生成し、第一電極１０における当該所定方向の他方端を含む領域において、当該他方端に向かう進行波を生成してもよい。このような構成例は、各第一電極要素１２に印加する電位のパターンを適宜設定することにより実現できる。上記構成例は、所定方向としてＸ軸方向を採用する場合、つまり、第一電極１０及び第二電極２０を、それぞれＺＸ平面に平行に（水平に）配置し、複数の第一電極要素１２をＸ軸方向に配列する場合に特に効果的である。上記構成例によれば、例えばＸ軸方向正向きだけに帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを搬送する場合より、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎの搬送距離を短くできるため、効率的な搬送を実現できる。
【０１６９】
また、上記の実施の形態に係る粒子分離装置１では、複数の第一電極要素１２に第一電位、第二電位及び第三電位の三値の電位を印加する構成を採用したが、複数の第一電極要素１２に印加する電位の値の個数は、三つに限定されない。複数の第一電極要素１２に、四値以上の電位を周期的に印加してもよい。例えば、複数の第一電極要素１２に、第一電位、第一電位より高電位の第二電位、第二電位より高電位の第三電位及び第三電位より高電位の第四電位を周期的に印加してもよい。この場合、進行波生成回路は、複数の第一電極要素１２の各々に、例えば、第一電位、第二電位、第三電位、第四電位、第三電位、第二電位、第一電位の順に周期的に電位を印加する。
【０１７０】
なお、複数の第二電極要素２２に印加する電位についても同様である。
【０１７１】
また、上記の実施の形態に係る粒子分離装置１においては、複数の第一電極要素１２及び複数の第二電極要素２２にステップ状に変化する電位（つまり、矩形波状の電位）を印加したが、必ずしもステップ状に変化する電位を印加しなくてもよい。例えば、一つの電位から他の電位に時間的に漸増又は漸減するような波形の電位（つまり、台形波状の電位など）を複数の第一電極要素１２及び複数の第二電極要素２２に印加してもよい。また、「第一電位、第二電位及び第三電位を周期的に印加する」との記載は、ステップ状に変化する電位を印加する構成だけを意味する記載ではない。上述の一つの電位から他の電位に漸増又は漸減するような時間波形の電位を印加する構成も、上記記載に含まれる。
【０１７２】
また、粒子分離装置１において、進行波生成回路８は、複数の第一電極要素１２及び複数の第二電極要素２２のうち第二電位が印加される第一電極要素１２及び第二電極要素２２を浮遊電位に維持してもよい。
【０１７３】
これにより、浮遊電位に維持される第一電極要素１２及び第二電極要素２２は、それぞれ、隣り合う二つの第一電極要素１２及び二つの第二電極要素２２の各電位の中間程度の第二電位に維持される。
【０１７４】
なお、上記実施の形態及び変形例に係る粒子分離装置は、様々な機器に利用することができる。例えば、本発明の一態様は、図２０に示すような換気装置としても実現することができる。図２０は、本変形例に係る換気装置の外観図である。図２０に示す換気装置は、例えば、内部に上記実施の形態及び変形例に係る粒子分離装置を備え、換気システムにおいて用いられる。
【０１７５】
また、例えば、本発明の一態様は、図２１に示すような空気清浄機としても実現することができる。図２１は、本変形例に係る空気清浄機の外観図である。図２１に示す空気清浄機は、例えば、内部に上記実施の形態及び変形例に係る粒子分離装置を備える。
【０１７６】
また、例えば、本発明の一態様は、図２２に示すようなエアコンディショナとしても実現することができる。図２２は、本変形例に係るエアコンディショナの外観図である。図２２に示すエアコンディショナは、例えば、内部に上記実施の形態及び変形例に係る粒子分離装置を備える。
【０１７７】
また、上記実施の形態では、複数の第一電極要素１２及び複数の第二電極要素２２の各々に電位を印加する電位印加回路として、進行波生成回路８を用いたが、電位印加回路は、進行波生成回路８に限定されない。電位印加回路は、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを所定方向と異なる方向に搬送する搬送電界を第一電極１０と第二電極２０との間に生成する電位を、複数の第一電極要素１２及び複数の第二電極要素２２の各々に印加できる回路であればよい。
【０１７８】
また、粒子分離装置１において、帯電部４を備えなくてもよい。例えば、第一絶縁膜１６及び第二絶縁膜２６に粒子９０を接触させることで発生する静電気によって、粒子９０を帯電させてもよい。
【０１７９】
なお、粒子分離装置１において、収容部５０を備えなくてもよい。例えば、分離経路５４によって、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを外気に放出してもよい。さらに、粒子分離装置１は、分離経路５４及び収容部５０を備えなくてもよい。例えば、粒子分離装置１から、帯電粒子９２ｐ及び９２ｎを直接外気に放出してもよい。
【０１８０】
その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態、又は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
【符号の説明】
【０１８１】
１  粒子分離装置
２、１０２、２０２、３０２  分離部
８  進行波生成回路（電位印加回路）
１０、１１０、２１０、３１０  第一電極
１２、１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ  第一電極要素
１６  第一絶縁膜
２０、１２０、２２０、３２０  第二電極
２２、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ  第二電極要素
２６  第二絶縁膜
５０  収容部
５４  分離経路
９２ｐ、９２ｎ  帯電粒子
【図１】
2017154803.tif 000003
【図２】
2017154803.tif 000004
【図３】
2017154803.tif 000005
【図４】
2017154803.tif 000006
【図５】
2017154803.tif 000007
【図６】
2017154803.tif 000008
【図７Ａ】
2017154803.tif 000009
【図７Ｂ】
2017154803.tif 000010
【図７Ｃ】
2017154803.tif 000011
【図８】
2017154803.tif 000012
【図９】
2017154803.tif 000013
【図１０】
2017154803.tif 000014
【図１１】
2017154803.tif 000015
【図１２】
2017154803.tif 000016
【図１３】
2017154803.tif 000017
【図１４】
2017154803.tif 000018
【図１５】
2017154803.tif 000019
【図１６Ａ】
2017154803.tif 000020
【図１６Ｂ】
2017154803.tif 000021
【図１６Ｃ】
2017154803.tif 000022
【図１６Ｄ】
2017154803.tif 000023
【図１７】
2017154803.tif 000024
【図１８】
2017154803.tif 000025
【図１９】
2017154803.tif 000026
【図２０】
2017154803.tif 000027
【図２１】
2017154803.tif 000028
【図２２】
2017154803.tif 000029
【国際調査報告】
2017154803.tif 000030
2017154803.tif 000031
2017154803.tif 000032
2017154803.tif 000033