(57)【要約】  予冷に費やす時間を短くすることができ、効率的に液体供給することができる液体供給システムを提供する。  吸入口（１３０ｂ）から第１ポンプ室（Ｐ１）を通り送出口（１３０ｃ）に向けて超低温液体が流れる第１流路と、吸入口（１３０ｂ）から第２ポンプ室（Ｐ２）を通り送出口（１３０ｃ）に向けて超低温液体が流れる第２流路と、を備えると共に、第１流路において鉛直方向上方から下方に転じる位置の高さと、第２流路において鉛直方向上方から下方に転じる位置の高さが同一となるように構成されていることを特徴とする。
2018143421.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にポンプ室が備えられ、かつ超低温液体の吸入口及び送出口が設けられている容器と、  前記容器内において、鉛直方向に往復移動する軸部材と、  前記容器内において、鉛直方向に並べて配置され、かつ前記軸部材の往復移動に伴って伸縮する第１ベローズ及び第２ベローズと、  第１ベローズの外周面を囲む空間により形成される第１ポンプ室と、  第２ベローズの外周面を囲む空間により形成される第２ポンプ室と、を備える液体供給システムであって、  前記吸入口から第１ポンプ室を通り前記送出口に向けて超低温液体が流れる第１流路と、  前記吸入口から第２ポンプ室を通り前記送出口に向けて超低温液体が流れる第２流路と、を備えると共に、  前記第１流路において鉛直方向上方から下方に転じる位置の高さと、前記第２流路において鉛直方向上方から下方に転じる位置の高さが同一となるように構成されていることを特徴とする液体供給システム。
【請求項２】
前記第１ポンプ室が前記吸入口からの超低温液体を前記容器内に流すことを許容する第１弁と、前記容器内からの超低温液体を前記送出口へ流すことを許容する第３弁と、の間の空間により形成され、  前記第２ポンプ室が前記吸入口からの超低温液体を前記容器内に流すことを許容する第２弁と、前記容器内からの超低温液体を前記送出口へ流すことを許容する第４弁と、の間の空間により形成され、  前記第３弁と、前記第４弁がポンプ室上部に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体供給システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、超低温液体を供給する液体供給システムに関する。
【背景技術】
【０００２】  循環流路に対して液体窒素や液体ヘリウムなどの超低温液体を循環させるために、ベローズにより形成されたポンプ室を有する液体供給システムを利用した技術が知られている（特許文献１参照）。このような液体供給システムにおいては、ポンプ室を通る流路が液体により満たされていないとポンプを動作させることはできない。従って、最初の起動時やメンテナンス後の起動時においては、予冷を行うことで、超低温液体が流路内で気化してしまわないようにする必要がある。そこで、液体供給システムを起動する前に、ポンプ室を通る流路に対して、超低温液体を強制的に流すことによって、当該流路を予め冷却している。【０００３】  ここで、液体供給システムにおいては、２つのベローズを鉛直方向に並べて配置させ、２つのポンプ室を鉛直方向に並べて設ける技術が知られている（特許文献１参照）。この技術によれば、駆動源によって鉛直方向に往復移動する軸部材が、下降する際及び上昇する際のいずれにおいても、２つのポンプ室から交互に超低温液体を吐出させることができる。従来、このような液体供給システムにおいては、鉛直方向上方に配置されているポンプ室から送り出される液体の出口の高さと、鉛直方向下方に配置されているポンプ室から送り出される液体の出口の高さは異なっていた。つまり、前者に対して後者の方が低い位置に設けられていた。そのため、予冷する際に、超低温液体を強制的に流しても、後者の出口から超低温液体が排出され易いため、流路のうち、上方に位置する領域の温度を低下させるのに長時間要していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１６／００６６４８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  本発明の目的は、予冷に費やす時間を短くすることができ、効率的に液体供給することができる液体供給システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。【０００７】  すなわち、本発明の液体供給システムは、  内部にポンプ室が備えられ、かつ超低温液体の吸入口及び送出口が設けられている容器と、  前記容器内において、鉛直方向に往復移動する軸部材と、  前記容器内において、鉛直方向に並べて配置され、かつ前記軸部材の往復移動に伴って伸縮する第１ベローズ及び第２ベローズと、  第１ベローズの外周面を囲む空間により形成される第１ポンプ室と、  第２ベローズの外周面を囲む空間により形成される第２ポンプ室と、を備える液体供給システムであって、  前記吸入口から第１ポンプ室を通り前記送出口に向けて超低温液体が流れる第１流路と、  前記吸入口から第２ポンプ室を通り前記送出口に向けて超低温液体が流れる第２流路と、を備えると共に、  前記第１流路において鉛直方向上方から下方に転じる位置の高さと、第２流路において鉛直方向上方から下方に転じる位置の高さが同一となるように構成されていることを特徴とする。【０００８】  本発明によれば、第１流路において鉛直方向上方から下方に転じる位置の高さと、第２流路において鉛直方向上方から下方に転じる位置の高さが同一となるように構成されている。従って、予冷を行うために、吸入口から送出口に強制的に超低温液体を流す際に、第１流路を流れる液体の液面の高さと、第２流路を流れる液体の液面の高さを同等に保たせることができる。従って、いずれか一方の流路から液体が排出され易くなってしまい、他方の流路に液体が流れ難くなるということがなくなるため、予冷に費やす時間を短くすることができる。【０００９】  前記第１ポンプ室が前記吸入口からの超低温液体を前記容器内に流すことを許容する第１弁と、前記容器内からの超低温液体を前記送出口へ流すことを許容する第３弁と、の間の空間により形成され、  前記第２ポンプ室が前記吸入口からの超低温液体を前記容器内に流すことを許容する第２弁と、前記容器内からの超低温液体を前記送出口へ流すことを許容する第４弁と、の間の空間により形成され、  前記第３弁と、前記第４弁がポンプ室上部に配置されているとよい。【００１０】  これにより、ポンプ室内部を排出弁の高さまで液体で満たすことができ、ポンプ室内部の大部分を液体で満たせるため、予冷に費やす時間を短くすることができことができる。また、予冷時にポンプ室内部を液体で満たすことができるため、ポンプ室内に圧縮性流体である気体が残り難くすることができ、ポンプ駆動による液体供給を阻害することなく、効率よく行うことができる。
【発明の効果】
【００１１】  以上説明したように、本発明によれば、予冷に費やす時間を短くすることができ、効率的に液体供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は本発明の実施例に係る液体供給システムの概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】  以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【００１４】  （実施例）  図１を参照して、本発明の実施例に係る液体供給システムについて説明する。本実施例に係る液体供給システムは、例えば、超電導機器を超低温状態に維持させるために好適に用いられる。すなわち、超電導機器においては、超電導コイルなどを常時冷却させる必要がある。そこで、超電導コイルなどが備えられた被冷却装置に超低温液体（液体窒素や液体ヘリウム）を常時供給することで、被冷却装置は常時冷却される。より具体的には、被冷却装置を通る循環流路を設け、かつ、この循環流路中に本実施例に係る液体供給システムを取り付けることにより、超低温液体を循環させて、被冷却装置を常時冷却させることが可能となる。
【００１５】  ＜液体供給システムの全体構成＞  図１は本発明の実施例に係る液体供給システム全体の概略構成図であり、液体供給システム全体の概略構成を断面的に示した図である。なお、図１においては、中心軸線を含む面で切断した断面による概略構成を示しているが、説明の便宜上、中心軸線に対して左側と右側では断面位置の位相をずらしている。より具体的には、中心軸線より左側には第１ポンプ室を通る第１流路が明確になる位置の断面的な構成を示し、中心軸線より右側には第２ポンプ室を通る第２流路が明確になる位置の断面的な構成を示している。
【００１６】  本実施例に係る液体供給システム１０は、液体供給システム本体（以下、システム本体１００と称する）と、システム本体１００が内部に設置される真空容器２００と、配管（吸入管３１０及び送出管３２０）とを備えている。吸入管３１０及び送出管３２０は、いずれも真空容器２００の外部から真空容器２００の内部に入り込み、システム本体１００に接続されている。真空容器２００の内部は密閉されており、真空容器２００の内部のうち、システム本体１００，吸入管３１０及び送出管３２０の外側の空間は真空状態が維持されている。これにより、この空間は断熱機能を備えている。液体供給システム１０は、通常、水平面上に設置される。液体供給システム１０が設置された状態において、図１における上方が鉛直方向上方となり、図１における下方が鉛直方向下方となる。
【００１７】  システム本体１００は、駆動源となるリニアアクチュエータ１１０と、リニアアクチュエータ１１０により鉛直方向に往復移動する軸部材１２０と、容器１３０とを備えている。尚、リニアアクチュエータ１１０は任意の箇所に固定され、固定される箇所は容器１３０に固定されていてもよいし、他の図示しない箇所に固定されていてもよい。軸部材１２０は、容器１３０の外部から、容器１３０の天井部に設けられた開口部１３０ａを介して容器内部に入り込むように設置されている。また、容器１３０の底部（鉛直方向下方）には、流体（超低温液体）の吸入口１３０ｂ及び送出口１３０ｃが設けられている。上記の吸入管３１０は吸入口１３０ｂが設けられた位置に接続され、送出管３２０は、送出口１３０ｃが設けられた位置に接続されている。
【００１８】  容器１３０の内部においては、複数の部材が備えられており、これら複数の部材により区画された複数の空間によって、複数のポンプ室と、液体の流路と、断熱用の真空室が形成されている。以下、この容器１３０の内部の構成について、より詳細に説明する。
【００１９】  軸部材１２０は、内部に中空部を有する軸本体部１２１と、軸本体部１２１の外周面側を囲むように設けられる円筒部１２２と、軸本体部１２１と円筒部１２２を連結する連結部１２３とを有している。また、円筒部１２２の上端には上端側外向きフランジ部１２２ａが設けられ、円筒部１２２の下端には下端側外向きフランジ部１２２ｂが設けられている。
【００２０】  容器１３０は、略円筒状の胴体部１３０Ｘと、底板部１３０Ｙとを備えている。また、胴体部１３０Ｘには、高さ方向の中央付近に設けられる第１内向きフランジ部１３０Ｘａと、上方に設けられる第２内向きフランジ部１３０Ｘｂとが設けられている。
【００２１】  胴体部１３０Ｘの内部には、第１内向きフランジ部１３０Ｘａよりも下方に設けられ、軸方向に伸びる第１流路１３０Ｘｃが周方向に間隔を空けて複数形成されている。また、胴体部１３０Ｘの内部には、第１内向きフランジ部１３０Ｘａよりも上方に設けられ、軸方向に伸びる第２流路１３０Ｘｄが周方向に間隔を空けて複数形成されている。更に、胴体部１３０Ｘの内部には、第１流路１３０Ｘｃが設けられている領域よりも更に径方向外側において、軸方向に伸びる円筒状の空間で構成された第３流路１３０Ｘｅも設けられている。また、容器１３０の底部には、径方向外側に向かって伸び、第１流路１３０Ｘｃに繋がる流路１３０ｄが円周状に一様に形成されている。更に、容器１３０における底板部１３０Ｙには、径方向外側に向かって伸びる流路１３０ｅが円周状に一様に形成されている。つまり、これらの流路１３０ｄ及び流路１３０ｅは、中心軸線側から径方向外側に向かって、放射状に３６０°全ての方向に流体が流れ得るように構成されている。
【００２２】  また、容器１３０の内部には、軸部材１２０の往復移動に伴って伸縮する第１ベローズ１４１及び第２ベローズ１４２が設けられている。これらの第１ベローズ１４１及び第２ベローズ１４２は、鉛直方向に並べて配置されている。第１ベローズ１４１の上端側は軸部材１２０における円筒部１２２の上端側外向きフランジ部１２２ａに固定されており、第１ベローズ１４１の下端側は容器１３０の第１内向きフランジ部１３０Ｘａに固定されている。また、第２ベローズ１４２の上端側は容器１３０の第１内向きフランジ部１３０Ｘａに固定されており、第２ベローズ１４２の下端側は軸部材１２０における円筒部１２２の下端側外向きフランジ部１２２ｂに固定されている。そして、第１ベローズ１４１の外周面を囲む空間により第１ポンプ室Ｐ１が形成されており、第２ベローズ１４２の外周面を囲む空間により第２ポンプ室Ｐ２が形成されている。
【００２３】  また、容器１３０の内部には、軸部材１２０の往復移動に伴って伸縮する第３ベローズ１５１及び第４ベローズ１５２も設けられている。第３ベローズ１５１の上端側は容器１３０の天井部に固定されており、第３ベローズ１５１の下端側は軸部材１２０に固定されている。これにより、容器１３０に設けられた開口部１３０ａが塞がれている。第４ベローズ１５２の上端側は容器１３０に設けられた第２内向きフランジ部１３０Ｘｂに固定されており、第４ベローズ１５２の下端側は軸部材１２０における連結部１２３に固定されている。そして、軸部材１２０の軸本体部１２１の内部の中空部により形成される第１空間Ｋ１と、第３ベローズ１５１の外周面側及び第４ベローズ１５２の内周面側などにより形成される第２空間Ｋ２と、第１ベローズ１４１及び第２ベローズ１４２の内周面側に形成される第３空間Ｋ３は繋がっている。これら第１空間Ｋ１と第２空間Ｋ２と第３空間Ｋ３により形成される空間は密閉されている。本実施例では、これらにより形成される密閉空間は真空状態が維持されており、断熱機能を備えている。
【００２４】  更に、容器１３０の内部には、４つの逆止弁１６０（取り付けられた位置に応じて、適宜、第１逆止弁（第１弁）１６０Ａ，第２逆止弁（第２弁）１６０Ｂ，第３逆止弁（第３弁）１６０Ｃ及び第４逆止弁（第４弁）１６０Ｄと称する）が設けられている。これらの逆止弁１６０は、いずれも、軸部材１２０と同軸上に設けられた環状の部材により構成されている。また、これらの逆止弁１６０は、いずれも径方向内側から外側に向かう流体の流れは許容し、径方向外側から内側に向かう流体の流れを止めるように構成されている。
【００２５】  第１逆止弁１６０Ａと第３逆止弁１６０Ｃは、第１ポンプ室Ｐ１を通る流路上に設けられている。これら第１逆止弁１６０Ａ及び第３逆止弁１６０Ｃは、第１ポンプ室Ｐ１によるポンプ作用によって流れる流体の逆流を止める役割を担っている。より具体的には、第１ポンプ室Ｐ１に対して、上流側に第１逆止弁１６０Ａが設けられ、下流側に第３逆止弁１６０Ｃが設けられている。更に具体的には、第１逆止弁１６０Ａは、容器１３０の底部に形成された流路１３０ｄ上に設けられている。また、第３逆止弁１６０Ｃは、容器１３０に設けられた第２内向きフランジ部１３０Ｘｂの付近に形成される流路上に設けられている。具体的には、第３逆止弁１６０Ｃは、第１ポンプ室Ｐ１の上部に設けられる。ポンプ室の上部とは、ポンプ室として機能する領域において鉛直方向中央から上側、或いは、第１ポンプ室Ｐ１に存在する気体を排出し第１ポンプ室Ｐ１を液体で満たすことができる位置である。
【００２６】  そして、第２逆止弁１６０Ｂと第４逆止弁１６０Ｄは、第２ポンプ室Ｐ２を通る流路上に設けられている。これら第２逆止弁１６０Ｂ及び第４逆止弁１６０Ｄは、第２ポンプ室Ｐ２によるポンプ作用によって流れる流体の逆流を止める役割を担っている。より具体的には、第２ポンプ室Ｐ２に対して、上流側に第２逆止弁１６０Ｂが設けられ、下流側に第４逆止弁１６０Ｄが設けられている。更に具体的には、第２逆止弁１６０Ｂは、容器１３０の底板部１３０Ｙに形成された流路１３０ｅ上に設けられている。また、第４逆止弁１６０Ｄは、第１内向きフランジ部１３０Ｘａの付近から第２流路１３０Ｘｄに繋がる流路上に設けられている。具体的には、第４逆止弁１６０Ｄは、第２ポンプ室Ｐ２の上部に設けられる。ポンプ室の上部とは、ポンプ室として機能する領域において鉛直方向中央から上側、或いは、第２ポンプ室Ｐ２に存在する気体を排出し第２ポンプ室Ｐ２を液体で満たすことができる位置である。この第２流路１３０Ｘｄの出口は、第３逆止弁１６０Ｃから流体が流出する高さと同じ位置に設けられている。
【００２７】  ＜液体供給システム全体の動作説明＞  液体供給システム全体の動作について説明する。リニアアクチュエータ１１０によって、軸部材１２０が下降する際においては、第１ベローズ１４１は縮み、第２ベローズ１４２は伸びる。このとき、第１ポンプ室Ｐ１の流体圧力は低くなるため、第１逆止弁１６０Ａは弁が開き、第３逆止弁１６０Ｃは弁が閉じた状態となる。これにより、液体供給システム１０の外部から吸入管３１０により送られる流体（矢印Ｓ１０参照）は、吸入口１３０ｂから容器１３０内に吸入されて、第１逆止弁１６０Ａを通り抜けていく（矢印Ｓ１１参照）。そして、第１逆止弁１６０Ａを通り抜けた流体は、容器１３０における胴体部１３０Ｘの内部の第１流路１３０Ｘｃを通り、第１ポンプ室Ｐ１へと送られる。また、第２ポンプ室Ｐ２の流体圧力は高くなるため、第２逆止弁１６０Ｂは弁が閉じ、第４逆止弁１６０Ｄは弁が開いた状態となる。これにより、第２ポンプ室Ｐ２内の流体は、第４逆止弁１６０Ｄを通り抜けていく（矢印Ｔ１２参照）。そして、第４逆止弁１６０Ｄを通り抜けた流体は、胴体部１３０Ｘの内部の第２流路１３０Ｘｄを通り抜けて、第３流路１３０Ｘｅへと送られる（矢印Ｔ１３参照）。その後、流体は、送出口１３０ｃを通り、送出管３２０により液体供給システム１０の外部へと送出される。
【００２８】  そして、リニアアクチュエータ１１０によって、軸部材１２０が上昇する際においては、第１ベローズ１４１は伸び、第２ベローズ１４２は縮む。このとき、第１ポンプ室Ｐ１の流体圧力は高くなるため、第１逆止弁１６０Ａは弁が閉じ、第３逆止弁１６０Ｃは弁が開いた状態となる。これにより、第１ポンプ室Ｐ１内の流体は、第３逆止弁１６０Ｃを通り抜けて（矢印Ｔ１１参照）、胴体部１３０Ｘの内部に設けられた第３流路１３０Ｘｅへと送られる。その後、流体は、送出口１３０ｃを通り、送出管３２０により液体供給システム１０の外部へと送出される。また、第２ポンプ室Ｐ２の流体圧力は低くなるため、第２逆止弁１６０Ｂは弁が開き、第４逆止弁１６０Ｄは弁が閉じた状態となる。これにより、液体供給システム１０の外部から吸入管３１０により送られる流体（矢印Ｓ１０参照）は、吸入口１３０ｂから容器１３０内に吸入されて、第２逆止弁１６０Ｂを通り抜けていく（矢印Ｓ１２参照）。そして、第２逆止弁１６０Ｂを通り抜けた流体は、第２ポンプ室Ｐ２へと送られる。
【００２９】  以上のように、本実施例に係る液体供給システム１０においては、軸部材１２０が下降する際及び上昇する際のいずれにおいても、吸入管３１０側から送出管３２０側に流体を流すことができる。従って、いわゆる脈動を抑制することができる。
【００３０】  ここで、吸入口１３０ｂから第１ポンプ室Ｐ１を通り送出口１３０ｃに向けて超低温液体が流れる流路を第１流路と称し、吸入口１３０ｂから第２ポンプ室Ｐ２を通り送出口１３０ｃに向けて超低温液体が流れる流路を第２流路と称する。第１流路は、上記の説明から明らかなように、吸入口１３０ｂから進入した超低温流体が、矢印Ｓ１１方向に流れた後に、矢印Ｔ１１方向に流れていき、送出口１３０ｃへと流れていく流路である。また、第２流路は、吸入口１３０ｂから進入した超低温流体が、矢印Ｓ１２方向に流れた後に、矢印Ｔ１２方向及び矢印Ｔ１３方向へと流れていき、送出口１３０ｃへと流れていく流路である。
【００３１】  本実施例においては、第１流路において鉛直方向上方から下方に転じる位置の高さ（矢印Ｔ１１参照）と、第２流路において鉛直方向上方から下方に転じる位置の高さ（矢印Ｔ１３参照）が同一となるように構成されている。
【００３２】  液体供給システム１０が駆動している場合における流体の流れをまとめると次の通りである。軸部材１２０が下降する際においては、第１流路のうち第１ポンプ室Ｐ１よりも上流側では流体が流れ、下流側は流体が流れない。また、第２流路のうち第２ポンプ室Ｐ２よりも下流側では流体が流れ、上流側は流体が流れない。これに対して、軸部材１２０が上昇する際においては、第１流路のうち第１ポンプ室Ｐ１よりも下流側では流体が流れ、上流側は流体が流れない。また、第２流路のうち第２ポンプ室Ｐ２よりも上流側では流体が流れ、下流側は流体が流れない。
【００３３】  ＜予冷＞  予冷について説明する。背景技術の中で説明した通り、超低温液体を循環させるためには、最初の起動時やメンテナンス後の起動時において、流路を予冷することで、超低温液体が流路内で気化してしまわないようにする必要がある。予冷の場合には、外部の駆動源によって、上記の第１流路及び第２流路に対して、超低温液体を強制的に流すことになる。そのため、第１逆止弁１６０Ａ，第２逆止弁１６０Ｂ，第３逆止弁１６０Ｃ及び第４逆止弁１６０Ｄは、いずれも弁が開いた状態となる。つまり、第１流路と第２流路には、上流側から下流側全域に亘って、同時に超低温液体が流れる。
【００３４】  ＜本実施例に係る液体供給システムの優れた点＞  本実施例に係る液体供給システム１０によれば、第１流路において鉛直方向上方から下方に転じる位置の高さ（矢印Ｔ１１参照）と、第２流路において鉛直方向上方から下方に転じる位置の高さ（矢印Ｔ１３参照）が同一となるように構成されている。従って、予冷を行うために、吸入口１３０ｂから送出口１３０ｃに強制的に超低温液体を流す際に、第１流路を流れる液体の液面の高さと、第２流路を流れる液体の液面の高さを同等に保たせることができる。従って、いずれか一方の流路から液体が排出され易くなってしまい、他方の流路に液体が流れ難くなるということがなくなるため、予冷に費やす時間を短くすることができる。
【００３５】  （その他）  第１流路と第２流路の構成については上記実施例に示した構成に限られることはない。例えば、上記実施例で示した第１流路及び第２流路に対して、容器１３０に設けられた第２内向きフランジ部１３０Ｘｂの内部に、流体（超低温液体）を迂回させるルート（図１中の点線で示す矢印Ｔ１４参照）を設けることで、予冷の際に第２内向きフランジ部１３０Ｘｂも冷却させておくことができる。これにより、より一層、早期にシステム内部を冷却させることができる。
【００３６】  また、上記実施例で示した構成において、流体（超低温液体）の流れ方を逆にすることもできる。つまり、送出口１３０ｃを吸入口、送出管３２０を吸入管、吸入口１３０ｂを送出口、吸入管３１０を送出管として、第１流路及び第２流路における流体の流れ方を逆にすることもできる。ただし、上記実施例の場合には、４か所の逆止弁１６０は、いずれも径方向内側から外側に向かう流体の流れは許容し、径方向外側から内側に向かう流体の流れを止めるように構成されていた。これに対して、流体の流れ方を逆にする場合には、４か所の逆止弁１６０は、いずれも径方向外側から内側に向かう流体の流れは許容し、径方向内側から外側に向かう流体の流れを止めるように構成する必要がある。以上のように構成した場合でも、上記実施例の場合と同様の効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００３７】  １０  液体供給システム  １００  システム本体  １１０  リニアアクチュエータ  １２０  軸部材  １２１  軸本体部  １２２  円筒部  １２２ａ  上端側外向きフランジ部  １２２ｂ  下端側外向きフランジ部  １２３  連結部  １３０  容器  １３０ａ  開口部  １３０ｂ  吸入口  １３０ｃ  送出口  １３０ｄ  流路  １３０ｅ  流路  １３０Ｘａ  第１内向きフランジ部  １３０Ｘｂ  第２内向きフランジ部  １３０Ｘｃ  第１流路  １３０Ｘｄ  第２流路  １３０Ｘｅ  第３流路  １３０Ｙ  底板部  １４１  第１ベローズ  １４２  第２ベローズ  １５１  第３ベローズ  １５２  第４ベローズ  １６０  逆止弁  １６０Ａ  第１逆止弁  １６０Ｂ  第２逆止弁  １６０Ｃ  第３逆止弁  １６０Ｄ  第４逆止弁  ２００  真空容器  ３１０  吸入管  ３２０  送出管  Ｐ１  第１ポンプ室  Ｐ２  第２ポンプ室
【図１】
2018143421.tif 000003
【国際調査報告】
2018143421.tif 000004
2018143421.tif 000005