(57)【要約】  予冷に費やす時間を短くし、ポンプを稼働するまでに要する時間を短くすることのできる液体供給システムを提供する。  容器（１３０）は、第１ポンプ室（Ｐ１）及び第２ポンプ室（Ｐ２）を通る流路が形成される第１ケース部（１３１）と、第１ケース部（１３１）の外壁面を取り囲むように設けられる第２ケース部（１３２）と、を備えており、第１ケース部（１３１）と第２ケース部（１３２）との間の空間（第４空間Ｋ４）は、予冷用の超低温液体が流通可能に構成されていることを特徴とする。
2018143419.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にポンプ室が備えられ、かつ超低温液体の吸入口及び送出口を有する容器と、  前記容器内において、鉛直方向に往復移動する軸部材と、  前記軸部材の往復移動に伴って伸縮するベローズと、  前記ベローズの外周面を囲む空間により形成されるポンプ室と、を備える液体供給システムであって、  前記容器は、  前記ポンプ室を通る流路が形成される第１ケース部と、  第１ケース部の外壁面を取り囲むように設けられる第２ケース部と、を備えており、  前記第１ケース部と前記第２ケース部との間の空間は、予冷用の超低温液体が流通可能に構成されていることを特徴とする液体供給システム。
【請求項２】
前記第１ケース部と前記第２ケース部との間の空間は、予冷後に超低温液体が取り除かれて真空状態が保たれていることを特徴とする請求項１に記載の液体供給システム。
【請求項３】
前記第１ケース部の内部には、前記ポンプ室を通る流路とは別の密閉空間が設けられており、該密閉空間と、前記第１ケース部と前記第２ケース部との間の空間が繋がっていることを特徴とする請求項１または２に記載の液体供給システム。
【請求項４】
前記第２ケース部を取り囲む第３ケース部が設けられており、前記第２ケース部と前記第３ケース部との間には真空状態が保たれる密閉空間が形成されていることを特徴とする請求項１，２または３に記載の液体供給システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、超低温液体を供給する液体供給システムに関する。
【背景技術】
【０００２】  循環流路に対して液体窒素や液体ヘリウムなどの超低温液体を循環させるために、ベローズにより形成されたポンプ室を有する液体供給システムを利用した技術が知られている（特許文献１，２参照）。このような液体供給システムにおいては、ポンプ室を通る流路が液体により満たされていないとポンプを十分に動作させることはできない。従って、最初の起動時やメンテナンス後の起動時においては、予冷を行うことで、超低温液体が流路内で気化してしまわないようにする必要がある。そこで、液体供給システムを起動する前に、ポンプ室を通る流路に対して、超低温液体を強制的に流すことによって、当該流路を予め冷却している。【０００３】  しかしながら、従来構成においては、ポンプ室を通る流路に対して、直接、超低温液体を強制的に流すようにしており、当該流路を冷却し、ポンプを稼働できるまでに長時間を要していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１６／００６６４８号
【特許文献２】国際公開第２００６／００３８７１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  本発明の目的は、予冷に費やす時間を短くし、ポンプを稼働するまでに要する時間を短くすることのできる液体供給システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。【０００７】  すなわち、本発明の液体供給システムは、  内部にポンプ室が備えられ、かつ超低温液体の吸入口及び送出口を有する容器と、  前記容器内において、鉛直方向に往復移動する軸部材と、  前記軸部材の往復移動に伴って伸縮するベローズと、  前記ベローズの外周面を囲む空間により形成されるポンプ室と、を備える液体供給システムであって、  前記容器は、  前記ポンプ室を通る流路が形成される第１ケース部と、  第１ケース部の外壁面を取り囲むように設けられる第２ケース部と、を備えており、  前記第１ケース部と前記第２ケース部との間の空間は、予冷用の超低温液体が流通可能に構成されていることを特徴とする。【０００８】  本発明によれば、第１ケース部と第２ケース部との間の空間に、予冷用の超低温液体を流通させることで、第１ケース部内に備えられた流路を予め冷却させることができる。これにより、その後、当該流路に超低温液体を流すことで、短時間で当該流路を冷却させることができる。従って、ポンプを稼働するまでに要する時間を短くすることが可能となる。【０００９】  前記第１ケース部と前記第２ケース部との間の空間は、予冷後に超低温液体が取り除かれて真空状態が保たれているとよい。【００１０】  これにより、第１ケース部と第２ケース部との間の空間に断熱機能を持たすことができる。【００１１】  前記第１ケース部の内部には、前記ポンプ室を通る液体供給流路とは別の密閉空間が設けられており、該密閉空間と、前記第１ケース部と前記第２ケース部との間の空間が繋がっているとよい。【００１２】  前記第２ケース部を取り囲む第３ケース部が設けられており、前記第２ケース部と前記第３ケース部との間には真空状態が保たれる密閉空間が形成されているとよい。【００１３】  これにより、第２ケース部と第３ケース部との間の密閉空間に断熱機能を持たすことができる。【００１４】  従って、第１ケース部と第２ケース部との間に超低温液体を流通させる際に効率的に冷却を行わせることが可能となる。
【発明の効果】
【００１５】  以上説明したように、本発明によれば、予冷に費やす時間を短くし、ポンプを稼働するまでに要する時間を短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は本発明の実施例１に係る液体供給システムの概略構成図である。
【図２】図２は本発明の実施例２に係る液体供給システムの概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】  以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【００１８】  （実施例１）  図１を参照して、本発明の実施例１に係る液体供給システムについて説明する。本実施例に係る液体供給システムは、例えば、超電導機器を超低温状態に維持させるために好適に用いられる。すなわち、超電導機器においては、超電導コイルなどを常時冷却させる必要がある。そこで、超電導コイルなどが備えられた被冷却装置に超低温液体（液体窒素や液体ヘリウム）を常時供給することで、被冷却装置は常時冷却される。より具体的には、被冷却装置を通る循環流路を設け、かつ、この循環流路中に本実施例に係る液体供給システムを取り付けることにより、超低温液体を循環させて、被冷却装置を常時冷却させることが可能となる。
【００１９】  ＜液体供給システムの全体構成＞  図１は本発明の実施例１に係る液体供給システム全体の概略構成図であり、液体供給システム全体の概略構成を断面的に示した図である。なお、図１においては、中心軸線を含む面で切断した断面による概略構成を示している。
【００２０】  本実施例に係る液体供給システム１０は、液体供給システム本体（以下、システム本体１００と称する）と、システム本体１００が内部に設置される真空容器２００と、配管（吸入管３１０及び送出管３２０）とを備えている。吸入管３１０及び送出管３２０は、いずれも真空容器２００の外部から真空容器２００の内部に入り込み、システム本体１００に接続されている。真空容器２００の内部は密閉されており、真空容器２００の内部のうち、システム本体１００，吸入管３１０及び送出管３２０の外側の空間は真空状態が維持されている。これにより、この空間は断熱機能を備えている。液体供給システム１０は、通常、水平面上に設置される。液体供給システム１０が設置された状態において、図１における上方が鉛直方向上方となり、図１における下方が鉛直方向下方となる。
【００２１】  システム本体１００は、駆動源となるリニアアクチュエータ１１０と、リニアアクチュエータ１１０により鉛直方向に往復移動する軸部材１２０と、容器１３０とを備えている。尚、リニアアクチュエータ１１０は任意の箇所に固定され、固定される箇所は容器１３０に固定されていてもよいし、他の図示しない箇所に固定されていてもよい。容器１３０は、第１ケース部１３１と、第１ケース部１３１の外壁面を取り囲むように設けられる第２ケース部１３２とを備えている。
【００２２】  軸部材１２０は、容器１３０の外部から、第１ケース部１３１の天井部に設けられた開口部１３１ａを介して容器内部に入り込むように設置されている。また、第１ケース部１３１の底部には、流体（超低温液体）の吸入口１３１ｂ及び送出口１３１ｃが設けられている。上記の吸入管３１０は吸入口１３１ｂが設けられた位置に接続され、送出管３２０は、送出口１３１ｃが設けられた位置に接続されている。
【００２３】  第１ケース部１３１の内部においては、複数の部材が備えられており、これら複数の部材により区画された複数の空間によって、複数のポンプ室と、液体の流路と、断熱用の真空室が形成されている。以下、この第１ケース部１３１の内部の構成について、より詳細に説明する。
【００２４】  軸部材１２０は、内部に中空部を有する軸本体部１２１と、軸本体部１２１の外周面側を囲むように設けられる円筒部１２２と、軸本体部１２１と円筒部１２２を連結する連結部１２３とを有している。また、円筒部１２２の上端には上端側外向きフランジ部１２２ａが設けられ、円筒部１２２の下端には下端側外向きフランジ部１２２ｂが設けられている。
【００２５】  第１ケース部１３１は、略円筒状の胴体部１３１Ｘと、底板部１３１Ｙとを備えている。また、胴体部１３１Ｘには、高さ方向の中央付近に設けられる第１内向きフランジ部１３１Ｘａと、上方に設けられる第２内向きフランジ部１３１Ｘｂとが設けられている。
【００２６】  胴体部１３１Ｘの内部においては、第１内向きフランジ部１３１Ｘａよりも下方に備えられ、軸方向に伸びる第１流路１３１Ｘｃが、周方向に間隔を空けて複数形成されている。また、胴体部１３１Ｘの内部には、第１流路１３１Ｘｃが設けられている領域よりも更に径方向外側において、軸方向に伸びる円筒状の空間で構成された第２流路１３１Ｘｄも設けられている。また、第１ケース部１３１の底部には、径方向外側に向かって伸び、第１流路１３１Ｘｃに繋がる流路１３１ｄが円周状に一様に形成されている。更に、第１ケース部１３１における底板部１３１Ｙには、径方向外側に向かって伸びる流路１３１ｅが円周状に一様に形成されている。つまり、これらの流路１３１ｄ及び流路１３１ｅは、中心軸線側から径方向外側に向かって、放射状に３６０°全ての方向に流体が流れ得るように構成されている。
【００２７】  また、容器１３０の内部には、軸部材１２０の往復移動に伴って伸縮する第１ベローズ１４１及び第２ベローズ１４２が設けられている。これらの第１ベローズ１４１及び第２ベローズ１４２は、鉛直方向に並べて配置されている。第１ベローズ１４１の上端側は軸部材１２０における円筒部１２２の上端側外向きフランジ部１２２ａに固定されており、第１ベローズ１４１の下端側は第１ケース部１３１の第１内向きフランジ部１３１Ｘａに固定されている。また、第２ベローズ１４２の上端側は第１ケース部１３１の第１内向きフランジ部１３１Ｘａに固定されており、第２ベローズ１４２の下端側は軸部材１２０における円筒部１２２の下端側外向きフランジ部１２２ｂに固定されている。そして、第１ベローズ１４１の外周面を囲む空間により第１ポンプ室Ｐ１が形成されており、第２ベローズ１４２の外周面を囲む空間により第２ポンプ室Ｐ２が形成されている。
【００２８】  また、容器１３０の内部には、軸部材１２０の往復移動に伴って伸縮する第３ベローズ１５１及び第４ベローズ１５２も設けられている。第３ベローズ１５１の上端側は第１ケース部１３１の天井部に固定されており、第３ベローズ１５１の下端側は軸部材１２０に固定されている。これにより、第１ケース部１３１に設けられた開口部１３１ａが塞がれている。第４ベローズ１５２の上端側は第１ケース部１３１に設けられた第２内向きフランジ部１３１Ｘｂに固定されており、第４ベローズ１５２の下端側は軸部材１２０における連結部１２３に固定されている。
【００２９】  そして、軸部材１２０の軸本体部１２１の内部の中空部により形成される第１空間Ｋ１と、第３ベローズ１５１の外周面側及び第４ベローズ１５２の内周面側などにより形成される第２空間Ｋ２と、第１ベローズ１４１及び第２ベローズ１４２の内周面側に形成される第３空間Ｋ３は繋がっている。
【００３０】  また、第１ケース部１３１には、第１ポンプ室Ｐ１を通る流路、及び第２ポンプ室Ｐ２を通る流路が形成されている。また、第２ケース部１３２は、第１ケース部１３１の外壁面を取り囲むように設けられている。そして、第１ケース部１３１と第２ケース部１３２との間には、環状の第４空間Ｋ４が形成されている。この第４空間Ｋ４も、第１空間Ｋ１，第２空間Ｋ２及び第３空間Ｋ３と繋がっているのが望ましい。これら第１空間Ｋ１と第２空間Ｋ２と第３空間Ｋ３と第４空間Ｋ４により形成される空間は密閉可能に構成されている。
【００３１】  更に、容器１３０の内部には、４つの逆止弁１６０（取り付けられた位置に応じて、適宜、第１逆止弁１６０Ａ，第２逆止弁１６０Ｂ，第３逆止弁１６０Ｃ及び第４逆止弁１６０Ｄと称する）が設けられている。これらの逆止弁１６０は、いずれも、軸部材１２０と同軸上に設けられた環状の部材により構成されている。また、これらの逆止弁１６０は、いずれも径方向内側から外側に向かう流体の流れは許容し、径方向外側から内側に向かう流体の流れを止めるように構成されている。
【００３２】  第１逆止弁１６０Ａと第３逆止弁１６０Ｃは、第１ポンプ室Ｐ１を通る流路上に設けられている。これら第１逆止弁１６０Ａ及び第３逆止弁１６０Ｃは、第１ポンプ室Ｐ１によるポンプ作用によって流れる流体の逆流を止める役割を担っている。より具体的には、第１ポンプ室Ｐ１に対して、上流側に第１逆止弁１６０Ａが設けられ、下流側に第３逆止弁１６０Ｃが設けられている。更に具体的には、第１逆止弁１６０Ａは、第１ケース部１３１の底部に形成された流路１３１ｄ上に設けられている。また、第３逆止弁１６０Ｃは、第１ケース部１３１に設けられた第２内向きフランジ部１３１Ｘｂの付近に形成される流路上に設けられている。
【００３３】  そして、第２逆止弁１６０Ｂと第４逆止弁１６０Ｄは、第２ポンプ室Ｐ２を通る流路上に設けられている。これら第２逆止弁１６０Ｂ及び第４逆止弁１６０Ｄは、第２ポンプ室Ｐ２によるポンプ作用によって流れる流体の逆流を止める役割を担っている。より具体的には、第２ポンプ室Ｐ２に対して、上流側に第２逆止弁１６０Ｂが設けられ、下流側に第４逆止弁１６０Ｄが設けられている。更に具体的には、第２逆止弁１６０Ｂは、第１ケース部１３１の底板部１３１Ｙに形成された流路１３１ｅ上に設けられている。また、第４逆止弁１６０Ｄは、第１ケース部１３１の第１内向きフランジ部１３１Ｘａの付近に設けられている。
【００３４】  ＜液体供給システム全体の動作説明＞  液体供給システム全体の動作について説明する。リニアアクチュエータ１１０によって、軸部材１２０が下降する際においては、第１ベローズ１４１は縮み、第２ベローズ１４２は伸びる。このとき、第１ポンプ室Ｐ１の流体圧力は低くなるため、第１逆止弁１６０Ａは弁が開き、第３逆止弁１６０Ｃは弁が閉じた状態となる。これにより、液体供給システム１０の外部から吸入管３１０により送られる流体（矢印Ｓ１０参照）は、吸入口１３１ｂから容器１３０内に吸入されて、第１逆止弁１６０Ａを通り抜けていく（矢印Ｓ１１参照）。そして、第１逆止弁１６０Ａを通り抜けた流体は、第１ケース部１３１における胴体部１３１Ｘの内部の第１流路１３１Ｘｃを通り、第１ポンプ室Ｐ１へと送られる。また、第２ポンプ室Ｐ２の流体圧力は高くなるため、第２逆止弁１６０Ｂは弁が閉じ、第４逆止弁１６０Ｄは弁が開いた状態となる。これにより、第２ポンプ室Ｐ２内の流体は、第４逆止弁１６０Ｄを通り抜けて、胴体部１３１Ｘの内部の第２流路１３１Ｘｄへと送られる（矢印Ｔ１２参照）。その後、流体は、送出口１３１ｃを通り、送出管３２０により液体供給システム１０の外部へと送出される。
【００３５】  そして、リニアアクチュエータ１１０によって、軸部材１２０が上昇する際においては、第１ベローズ１４１は伸び、第２ベローズ１４２は縮む。このとき、第１ポンプ室Ｐ１の流体圧力は高くなるため、第１逆止弁１６０Ａは弁が閉じ、第３逆止弁１６０Ｃは弁が開いた状態となる。これにより、第１ポンプ室Ｐ１内の流体は、第３逆止弁１６０Ｃを通り抜けて（矢印Ｔ１１参照）、胴体部１３１Ｘの内部の第２流路１３１Ｘｄへと送られる。その後、流体は、送出口１３１ｃを通り、送出管３２０により液体供給システム１０の外部へと送出される。また、第２ポンプ室Ｐ２の流体圧力は低くなるため、第２逆止弁１６０Ｂは弁が開き、第４逆止弁１６０Ｄは弁が閉じた状態となる。これにより、液体供給システム１０の外部から吸入管３１０により送られる流体（矢印Ｓ１０参照）は、吸入口１３１ｂから容器１３０内に吸入されて、第２逆止弁１６０Ｂを通り抜けていく（矢印Ｓ１２参照）。そして、第２逆止弁１６０Ｂを通り抜けた流体は、第２ポンプ室Ｐ２へと送られる。
【００３６】  以上のように、本実施例に係る液体供給システム１０においては、軸部材１２０が下降する際及び上昇する際のいずれにおいても、吸入管３１０側から送出管３２０側に流体を流すことができる。従って、いわゆる脈動を抑制することができる。
【００３７】  ＜予冷＞  予冷について説明する。背景技術の中で説明した通り、超低温液体を循環させるためには、最初の起動時やメンテナンス後の起動時において、容器全体を予冷することで、超低温液体が流路内で気化してしまわないようにする必要がある。そこで、本実施例においては、ポンプ室（第１ポンプ室Ｐ１及び第２ポンプ室Ｐ２）を通る流路に超低温液体を流す前に、第１ケース部１３１と第２ケース部１３２との間に形成される第４空間Ｋ４に超低温液体を流通させるようにしている。以下、予冷の手順に従って、より詳細に説明する。
【００３８】  第４空間Ｋ４には、予冷用の流体を導入するための第１配管４１０と、予冷用の流体を排出するための第２配管４２０が接続されている。なお、これら第１配管４１０及び第２配管４２０は図１に示す断面の位置にはなく、別の位置に設けられているため、図１では点線で示している。予冷を行う場合には、まず、第４空間Ｋ４の内部及び真空容器２００及び吸入管３１０から送出管３２０まで至る流路が排気された後に、第４空間Ｋ４の内部及び吸入管３１０から送出管３２０まで至る流路内に、沸点が予冷用の超低温液体の温度以下であるガスが導入される。第４空間Ｋ４の内部及び吸入管３１０から送出管３２０まで至る流路内に当該ガスが充填された後、第４空間Ｋ４内に、第１配管４１０から超低温液体が導入される。このとき、第２配管４２０は開放されて、内部のガスを第４空間Ｋ４より排出している。
【００３９】  容器１３０が冷却された後に、不図示の排出用のポンプ（ドライポンプなど）によって、超低温液体は第２配管４２０から排出される。なお、超低温液体は、気化され、かつ熱交換器を通ることで室温に近い温度になった後に、大気へと放出される。また、超低温液体が液体のまま大気に放出されないように、排気流路内において、熱交換器よりも下流側に超低温液体を溜めることのできるチャンバを設けるのが望ましい。また、排気流路内の流体圧力が異常に高くなってしまうことを防止するために、圧力を逃がす弁を設けるのが望ましい。
【００４０】  以上のように、第４空間Ｋ４が冷却された後に、超低温液体が排出されることにより、第４空間Ｋ４は真空状態となる。なお、上記の通り、第１空間Ｋ１，第２空間Ｋ２及び第３空間Ｋ３は、第４空間Ｋ４と繋がっていてもよい。この場合、これら第１空間Ｋ１，第２空間Ｋ２及び第３空間Ｋ３についても、上記の予冷工程によって、冷却された後に真空状態となる。
【００４１】  このように、第４空間Ｋ４（本実施例においては、第１空間Ｋ１，第２空間Ｋ２及び第３空間Ｋ３も含む）が冷却されることにより、第１ポンプ室Ｐ１を通る流路、及び第２ポンプ室Ｐ２を通る流路が冷却される。これにより、これらの流路に超低温液体を流し込むことで、超低温液体が気化されてしまうことが抑制される。従って、当該流路に超低温液体を流すことで、短時間で当該流路は冷却されるため、ポンプを稼働するまでに要する時間を短くすることが可能となる。なお、ポンプを稼働後（つまり、リニアアクチュエータ１１０によって軸部材１２０の往復移動を開始させた後）に、第４空間Ｋ４から超低温液体を排出させて、真空状態にしてもよい。
【００４２】  ＜本実施例に係る液体供給システムの優れた点＞  本実施例に係る液体供給システム１０によれば、第１ケース部１３１と第２ケース部１３２との間の空間（第４空間Ｋ４）に、予冷用の超低温液体を流通させることで、第１ケース部１３１内に備えられた流路を予め冷却させることができる。これにより、その後、当該流路に超低温液体を流すことで、短時間で当該流路を冷却させることができる。従って、ポンプを稼働するまでに要する時間を短くすることが可能となる。
【００４３】  また、本実施例においては、第４空間Ｋ４は、予冷後に超低温液体が取り除かれて真空状態が保たれるように構成されている。従って、第４空間Ｋ４に断熱機能を持たすことができる。
【００４４】  更に、本実施例においては、第１ケース部１３１の内部には、第１ポンプ室Ｐ１及び第２ポンプ室Ｐ２を通る流路とは別の密閉空間（第１空間Ｋ１，第２空間Ｋ２及び第３空間Ｋ３）が設けられている。そして、これらの密閉空間と第４空間Ｋ４は繋がっている。従って、予冷の際においては、第１空間Ｋ１，第２空間Ｋ２及び第３空間Ｋ３についても冷却されるため、第１ポンプ室Ｐ１及び第２ポンプ室Ｐ２を通る流路をより確実に冷却させることができる。また、第１空間Ｋ１，第２空間Ｋ２及び第３空間Ｋ３についても断熱機能を発揮させることができる。
【００４５】  （実施例２）  図２には、本発明の実施例２が示されている。上記実施例１では、第１ケース部の外壁面を取り囲むように第２ケース部が設けられる構成を示した。本実施例においては、この第２ケース部を更に取り囲む第３ケース部が設けられる構成を示す。第３ケース部に関する構成以外の構成および作用については実施例１と同一なので、同一の構成部分については同一の符号を付して、その説明は適宜省略する。
【００４６】  図２は本発明の実施例２に係る液体供給システム全体の概略構成図であり、液体供給システム全体の概略構成を断面的に示した図である。なお、図２においては、中心軸線を含む面で切断した断面による概略構成を示している。本実施例に係る液体供給システム１０においては、第３ケース部１３３に関する構成のみが、上記実施例１の場合と異なっている。その他の構成については、上記実施例１に係る液体供給システム１０と同一の構成であるので、その説明は適宜省略する。
【００４７】  本実施例に係る容器１３０は、第１ケース部１３１と、第１ケース部１３１の外壁面を取り囲むように設けられる第２ケース部１３２と、第２ケース部１３２を取り囲む第３ケース部１３３とを備えている。そして、実施例１の場合と同様に、第１ケース部１３１には、第１ポンプ室Ｐ１を通る流路、及び第２ポンプ室Ｐ２を通る流路が形成されている。また、第２ケース部１３２は、第１ケース部１３１の外壁面を取り囲むように設けられている。そして、第１ケース部１３１と第２ケース部１３２との間には、環状の第４空間Ｋ４が形成されている。この第４空間Ｋ４は、第１空間Ｋ１，第２空間Ｋ２及び第３空間Ｋ３と繋がっているのが望ましい。そして、これら第１空間Ｋ１と第２空間Ｋ２と第３空間Ｋ３と第４空間Ｋ４により形成される空間は密閉可能に構成されている。
【００４８】  第３ケース部１３３は、第２ケース部１３２の外壁面を取り囲むように設けられている。更に、第３ケース部１３３の天井部は、第１ケース部１３１の天井部及び第２ケース部１３２の天井部との間に隙間を空けた状態で、これらを覆うように構成されている。なお、第３ケース部１３３の天井部には、開口部１３３ａが設けられている。軸部材１２０は、この開口部１３３ａを介して、容器１３０の外部から容器内部に入り込むように設けられている。更に、第３ケース部１３３の上部には、軸部材１２０の往復移動に伴って伸縮する第５ベローズ１５３が設けられている。この第５ベローズ１５３の上端側は軸部材１２０に固定され、第５ベローズ１５３の下端側は第３ケース部１３３に固定されている。これにより、開口部１３３ａが塞がれている。
【００４９】  以上のように構成される第３ケース部１３３によって、第２ケース部１３２と第３ケース部１３３との間には密閉空間（第５空間Ｋ５）が形成される。そして、この第５空間Ｋ５は、真空状態が保たれるように構成されている。従って、この第５空間Ｋ５は断熱機能が発揮される。
【００５０】  液体供給システム全体の動作、及び予冷手順については、上記実施例１の場合と同一であるので、その説明は省略する。
【００５１】  以上のように構成される本実施例に係る液体供給システム１０についても、上記実施例１の場合と同様の効果を得ることができる。また、本実施例においては、第５空間Ｋ５により断熱機能が発揮される。従って、予冷の際に、第４空間Ｋ４などを、より効率よく冷却させることができる。また、予冷に用いる空間が高温部（大気）に接することによる凍結の防止することができる。具体的には、第１ケース部１３１の天井部及び第２ケース部１３２の天井部の上部が、断熱機能を有する第５空間Ｋ５により覆われているため、予冷の際に、第１ケース部１３１の天井部及び第２ケース部１３２の天井部の辺りが凍結してしまうことを防止できる。
【００５２】  （その他）  上記実施例１及び実施例２に示す構成において、予冷のために用いられる第２配管４２０を、第４空間Ｋ４の内部にまで配置させて、その第２配管４２０の開口部を第４空間Ｋ４内の上方に位置させる構成を採用するのが望ましい。これにより、予冷の際に、第４空間Ｋ４内の上方にガスが滞留してしまい、超低温液体が充填され難いといった不具合の発生を抑制することができる。
【符号の説明】
【００５３】  １０  液体供給システム  １００  システム本体  １１０  リニアアクチュエータ  １２０  軸部材  １２１  軸本体部  １２２  円筒部  １２２ａ  上端側外向きフランジ部  １２２ｂ  下端側外向きフランジ部  １２３  連結部  １３０  容器  １３１  第１ケース部  １３１ａ  開口部  １３１ｂ  吸入口  １３１ｃ  送出口  １３１ｄ  流路  １３１ｅ  流路  １３１Ｘ  胴体部  １３１Ｘａ  第１内向きフランジ部  １３１Ｘｂ  第２内向きフランジ部  １３１Ｘｃ  第１流路  １３１Ｘｄ  第２流路  １３２  第２ケース部  １３３  第３ケース部  １３３ａ  開口部  １４１  第１ベローズ  １４２  第２ベローズ  １５１  第３ベローズ  １５２  第４ベローズ  １５３  第５ベローズ  １６０  逆止弁  １６０Ａ  第１逆止弁  １６０Ｂ  第２逆止弁  １６０Ｃ  第３逆止弁  １６０Ｄ  第４逆止弁  ２００  真空容器  ３１０  吸入管  ３２０  送出管  ４１０  第１配管  ４２０  第２配管  Ｐ１  第１ポンプ室  Ｐ２  第２ポンプ室
【図１】
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【図２】
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【国際調査報告】
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