(57)【要約】色ムラが抑制された硬化膜を形成できる感光性組成物、硬化膜、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置を提供する。感光性組成物は、エチレン性不飽和基を有する化合物と、色材と、光重合開始剤とを含み、色材の含有量が感光性組成物の全固形分に対して５０質量％以上であり、エチレン性不飽和基を有する化合物の全質量中における、エチレン性不飽和基を有する重量平均分子量３０００以上の化合物の含有量が７０質量％以上である。【特許請求の範囲】
【請求項１】
エチレン性不飽和基を有する化合物と、色材と、光重合開始剤とを含む感光性組成物であって、
前記色材の含有量が、前記感光性組成物の全固形分に対して５０質量％以上であり、
前記エチレン性不飽和基を有する化合物の全質量中における、エチレン性不飽和基を有する重量平均分子量３０００以上の化合物Ａの含有量が７０質量％以上である、感光性組成物。
【請求項２】
前記エチレン性不飽和基を有する化合物の全質量中における、前記化合物Ａの含有量が９０質量％以上である、請求項１に記載の感光性組成物。
【請求項３】
前記化合物Ａは、エチレン性不飽和基を側鎖に有する繰り返し単位を含む、請求項１または２に記載の感光性組成物。
【請求項４】
前記エチレン性不飽和基を側鎖に有する繰り返し単位は、ビニル基、ビニロキシ基、アリル基、メタリル基、（メタ）アクリロイル基、スチリル基、シンナモイル基およびマレイミド基から選ばれる少なくとも１種の基を側鎖に有する、請求項３に記載の感光性組成物。
【請求項５】
前記化合物Ａは、更に、グラフト鎖を有する繰り返し単位を含む、請求項１〜４のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項６】
前記化合物Ａは、エチレン性不飽和基を有する繰り返し単位と、グラフト鎖を有する繰り返し単位とを含む、請求項１または２に記載の感光性組成物。
【請求項７】
前記グラフト鎖は、ポリエステル構造、ポリエーテル構造、ポリ（メタ）アクリル構造、ポリウレタン構造、ポリウレア構造およびポリアミド構造から選ばれる少なくとも１種の構造を含む、請求項５または６に記載の感光性組成物。
【請求項８】
前記グラフト鎖は、ポリエステル構造を含む、請求項５〜７のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項９】
前記グラフト鎖を有する繰り返し単位の重量平均分子量が１０００以上である、請求項５〜８のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項１０】
前記化合物Ａは、下記式（Ａ−１−１）で表される繰り返し単位と、下記式（Ａ−１−２）で表される繰り返し単位とを含む、請求項１〜９のいずれか１項に記載の感光性組成物；
【化１】
2018155104.tif 000047
式（Ａ−１−１）において、Ｘ１は繰り返し単位の主鎖を表し、Ｌ１は単結合または２価の連結基を表し、Ｙ１はエチレン性不飽和基を含む基を表す；
式（Ａ−１−２）において、Ｘ２は繰り返し単位の主鎖を表し、Ｌ２は単結合または２価の連結基を表し、Ｗ１はグラフト鎖を表す。
【請求項１１】
前記化合物Ａは、更に、酸基を有する繰り返し単位を含む、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項１２】
前記化合物Ａのエチレン性不飽和基量が０．２〜５．０ｍｍｏｌ／ｇである、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項１３】
前記化合物Ａの酸価が２０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇである、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか１項に記載の感光性組成物から得られる硬化膜。
【請求項１５】
請求項１４に記載の硬化膜を有するカラーフィルタ。
【請求項１６】
請求項１４に記載の硬化膜を有する固体撮像素子。
【請求項１７】
請求項１４に記載の硬化膜を有する画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性組成物に関する。より詳しくは、色材を含む感光性組成物に関する。また、本発明は、感光性組成物を用いた硬化膜、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話等の普及から、電荷結合素子（ＣＣＤ）イメージセンサなどの固体撮像素子の需要が大きく伸びている。ディスプレイや光学素子のキーデバイスとしてカラーフィルタが使用されている。【０００３】
カラーフィルタは、エチレン性不飽和基を有する化合物と、色材と、光重合開始剤とを含む感光性組成物などを用いて製造されている（特許文献１、２参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−７０６０１号公報
【特許文献２】特開２０１２−１７３６３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明者の検討によれば、エチレン性不飽和基を有する化合物と、色材と、光重合開始剤とを含む感光性組成物に関して、固形分中における色材濃度を高めるに伴い、得られる硬化膜に関して色ムラが生じやすくなることが分かった。【０００６】
よって、本発明の目的は、色ムラが抑制された硬化膜を形成できる感光性組成物、硬化膜、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者の検討によれば、後述する感光性組成物は、色ムラの抑制された硬化膜を形成できることを見出し、本発明を完成するに至った。本発明は以下を提供する。
＜１＞  エチレン性不飽和基を有する化合物と、色材と、光重合開始剤とを含む感光性組成物であって、
色材の含有量が、感光性組成物の全固形分に対して５０質量％以上であり、
エチレン性不飽和基を有する化合物の全質量中における、エチレン性不飽和基を有する重量平均分子量３０００以上の化合物Ａの含有量が７０質量％以上である、感光性組成物。
＜２＞  エチレン性不飽和基を有する化合物の全質量中における、化合物Ａの含有量が９０質量％以上である、＜１＞に記載の感光性組成物。
＜３＞  化合物Ａは、エチレン性不飽和基を側鎖に有する繰り返し単位を含む、＜１＞または＜２＞に記載の感光性組成物。
＜４＞  エチレン性不飽和基を側鎖に有する繰り返し単位は、ビニル基、ビニロキシ基、アリル基、メタリル基、（メタ）アクリロイル基、スチリル基、シンナモイル基およびマレイミド基から選ばれる少なくとも１種の基を側鎖に有する、＜３＞に記載の感光性組成物。
＜５＞  化合物Ａは、更に、グラフト鎖を有する繰り返し単位を含む、＜１＞〜＜４＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
＜６＞  グラフト鎖は、ポリエステル構造、ポリエーテル構造、ポリ（メタ）アクリル構造、ポリウレタン構造、ポリウレア構造およびポリアミド構造から選ばれる少なくとも１種の構造を含む、＜５＞に記載の感光性組成物。
＜７＞  グラフト鎖は、ポリエステル構造を含む、＜５＞に記載の感光性組成物。
＜８＞  グラフト鎖を有する繰り返し単位の重量平均分子量が１０００以上である、＜５＞〜＜７＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
＜９＞  化合物Ａは、エチレン性不飽和基を有する繰り返し単位と、グラフト鎖を有する繰り返し単位とを含む、＜１＞〜＜８＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
＜１０＞  化合物Ａは、下記式（Ａ−１−１）で表される繰り返し単位と、下記式（Ａ−１−２）で表される繰り返し単位とを含む、＜１＞〜＜９＞のいずれか１つに記載の感光性組成物；
【化１】
2018155104.tif 000002
式（Ａ−１−１）において、Ｘ１は繰り返し単位の主鎖を表し、Ｌ１は単結合または２価の連結基を表し、Ｙ１はエチレン性不飽和基を含む基を表す；
式（Ａ−１−２）において、Ｘ２は繰り返し単位の主鎖を表し、Ｌ２は単結合または２価の連結基を表し、Ｗ１はグラフト鎖を表す。
＜１１＞  化合物Ａは、更に、酸基を有する繰り返し単位を含む、＜９＞または＜１０＞に記載の感光性組成物。
＜１２＞  化合物Ａのエチレン性不飽和基量が０．２〜５．０ｍｍｏｌ／ｇである、＜１＞〜＜１１＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
＜１３＞  化合物Ａの酸価が２０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇである、＜１＞〜＜１２＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
＜１４＞  ＜１＞〜＜１３＞のいずれか１つに記載の感光性組成物から得られる硬化膜。
＜１５＞  ＜１４＞に記載の硬化膜を有するカラーフィルタ。
＜１６＞  ＜１４＞に記載の硬化膜を有する固体撮像素子。
＜１７＞  ＜１４＞に記載の硬化膜を有する画像表示装置。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、色ムラが抑制された硬化膜を形成できる感光性組成物を提供できる。また、色ムラが抑制された硬化膜、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置を提供できる。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基と共に置換基を有する基を包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光を意味するのみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含まれる。また、露光に用いられる光としては、一般的に、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の合計量をいう。
本明細書において、「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アリル」は、アリルおよびメタリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程を意味するだけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、重量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により測定したポリスチレン換算値として定義される。
【００１０】
＜感光性組成物＞
本発明の感光性組成物は、エチレン性不飽和基を有する化合物と、色材と、光重合開始剤とを含む感光性組成物であって、色材の含有量が、感光性組成物の全固形分に対して５０質量％以上であり、エチレン性不飽和基を有する化合物の全質量中における、エチレン性不飽和基を有する重量平均分子量３０００以上の化合物Ａの含有量が７０質量％以上であることを特徴とする。
【００１１】
本発明の感光性組成物によれば、色ムラの抑制された硬化膜を製造できる。このような効果が得られる理由としては次によるものであると推測される。感光性組成物中において、エチレン性不飽和基を有する化合物のエチレン性不飽和結合基が色材と相互作用して、色材とエチレン性不飽和基を有する化合物とが近接していると推測される。本発明の感光性組成物は、エチレン性不飽和基を有する化合物としてエチレン性不飽和基を有する重量平均分子量３０００以上の化合物Ａを含み、かつ、エチレン性不飽和基を有する化合物の全質量中における化合物Ａの含有量が７０質量％以上であるので、色材の近傍には化合物Ａが存在していると推測される。すなわち、色材は化合物Ａに包まれるようにして感光性組成物中に存在していると推測される。化合物Ａは分子量の高い化合物であるため、色材の近傍に化合物Ａが存在することによって色材同士の凝集が抑制されると推測される。また、色材の近傍で化合物Ａが硬化することにより、膜中における色材の凝集が抑制され、その結果色ムラの抑制された硬化膜を形成できたと推測される。
【００１２】
また、本発明の感光性組成物は、色材の含有量が、感光性組成物の全固形分に対して５０質量％以上であるので、所望の分光特性を維持しつつ薄膜化が可能である。このため、カラーフィルタなどの低背化を図ることができる。
【００１３】
以下に、本発明の感光性組成物を構成し得る各成分について説明する。
【００１４】
＜＜色材＞＞
本発明の感光性組成物は色材を含有する。本発明において、色材は、顔料であってもよく、染料であってもよい。顔料と染料とを併用してもよい。本発明で用いられる色材は、顔料を含むことが好ましい。また、色材中における顔料の含有量は、５０質量％以上であることが好ましく、７０質量％以上であることがより好ましく、８０質量％以上であることが更に好ましく、９０質量％以上であることが特に好ましい。また、色材は顔料のみであってもよい。
【００１５】
顔料としては、無機顔料、有機顔料が挙げられ、有機顔料であることが好ましい。顔料の平均粒径としては、２０〜３００ｎｍが好ましく、２５〜２５０ｎｍがより好ましく、３０〜２００ｎｍが更に好ましい。ここでいう「平均粒径」とは、顔料の一次粒子が集合した二次粒子についての平均粒径を意味する。また、顔料の二次粒子の粒径分布（以下、単に「粒径分布」ともいう。）は、（平均粒径±１００）ｎｍに入る二次粒子が全体の７０質量％以上、好ましくは８０質量％以上であることが好ましい。なお、二次粒子の粒径分布は、散乱強度分布を用いて測定することができる。また、一次粒子の平均粒径は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）あるいは透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）で観察し、粒子が凝集していない部分で粒子サイズを１００個計測し、平均値を算出することによって求めることができる。
【００１６】
有機顔料としては、例えば、以下に示すものが挙げられる。以下に示す有機顔料を１種単独で用いてもよく、２種以上を併用することができる。
カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４等（以上、黄色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３等（以上、オレンジ色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２６９，２７０，２７２，２７９等（以上、赤色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７，１０，３６，３７，５８，５９等（以上、緑色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １，１９，２３，２７，３２，３７，４２等（以上、紫色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，６０，６４，６６，７９，８０等（以上、青色顔料）。
【００１７】
また、緑色顔料として、１分子中のハロゲン原子数が平均１０〜１４個であり、臭素原子が平均８〜１２個であり、塩素原子が平均２〜５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることもできる。具体例としては、国際公開ＷＯ２０１５／１１８７２０公報に記載の化合物が挙げられる。
また、青色顔料として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開２０１２−２４７５９１号公報の段落００２２〜００３０、特開２０１１−１５７４７８号公報の段落００４７に記載の化合物などが挙げられる。
【００１８】
染料としては特に制限はなく、公知の染料が使用できる。化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリアリールメタン系、アントラキノン系、アントラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピロメテン系等の染料が使用できる。また、特開２０１２−１５８６４９号公報に記載のチアゾール化合物、特開２０１１−１８４４９３号公報に記載のアゾ化合物、特開２０１１−１４５５４０号公報に記載のアゾ化合物も好ましく用いることができる。また、黄色染料として、特開２０１３−５４３３９号公報の段落番号００１１〜００３４に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４−２６２２８号公報の段落番号００１３〜００５８に記載のキノフタロン化合物などを用いることもできる。
【００１９】
また、本発明において、色材として色素多量体を用いることもできる。色素多量体は、溶剤に溶解して用いられる染料であることが好ましいが、色素多量体は、粒子を形成していてもよく、色素多量体が粒子である場合は通常溶剤に分散した状態で用いられる。粒子状態の色素多量体は、例えば乳化重合によって得ることができ、特開２０１５−２１４６８２号公報に記載されている化合物および製造方法が具体例として挙げられる。色素多量体は、一分子中に、色素構造を２以上有するものであり、色素構造を３以上有することが好ましい。上限は、特に限定はないが、１００以下とすることもできる。一分子中に有する複数の色素構造は、同一の色素構造であってもよく、異なる色素構造であってもよい。
【００２０】
色素多量体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、２０００〜５００００が好ましい。下限は、３０００以上がより好ましく、６０００以上がさらに好ましい。上限は、３００００以下がより好ましく、２００００以下がさらに好ましい。
【００２１】
色素多量体が有する色素構造は、可視領域（好ましくは、波長４００〜７００ｎｍの範囲、より好ましくは４００〜６５０ｎｍの範囲）に吸収を有する色素化合物に由来する構造が挙げられる。例えば、トリアリールメタン色素構造、キサンテン色素構造、アントラキノン色素構造、シアニン色素構造、スクアリリウム色素構造、キノフタロン色素構造、フタロシアニン色素構造、サブフタロシアニン色素構造、アゾ色素構造、ピラゾロトリアゾール色素構造、ジピロメテン色素構造、イソインドリン色素構造、チアゾール色素構造、ベンズイミダゾール色素構造、ぺリノン色素構造、ジケトピロロピロール色素構造、ジイミニウム色素構造、ナフタロシアニン色素構造、リレン色素構造、ジベンゾフラノン色素構造、メロシアニン色素構造、クロコニウム色素構造、オキソノール色素構造などが挙げられる。
【００２２】
色素多量体は、式（Ａ）で表される繰り返し単位、式（Ｂ）で表される繰り返し単位、及び、式（Ｃ）で表される繰り返し単位の少なくとも一つを含んでなるか、又は式（Ｄ）で表されることが好ましい。
【化２】
2018155104.tif 000003
【００２３】
式（Ａ）中、Ｘ１は繰り返し単位の主鎖を表し、Ｌ１は単結合または２価の連結基を表し、Ｄ１は色素構造を表す。式（Ａ）についての詳細は、特開２０１３−２９７６０号公報の段落０１３８〜０１５２を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００２４】
式（Ｂ）中、Ｘ２は繰り返し単位の主鎖を表し、Ｌ２は単結合または２価の連結基を表し、Ｄ２はＹ２とイオン結合もしくは配位結合可能な基を有する色素構造を表し、Ｙ２はＤ２とイオン結合または配位結合可能な基を表す。式（Ｂ）の詳細については、特開２０１３−２９７６０号公報の段落０１５６〜０１６１を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００２５】
式（Ｃ）中、Ｌ３は単結合または２価の連結基を表し、Ｄ３は色素構造を表し、ｍは０または１を表す。式（Ｃ）の詳細については、特開２０１３−２９７６０号公報の段落０１６５〜０１６７を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００２６】
式（Ｄ）中、Ｌ４は（ｎ＋ｋ）価の連結基を表し、Ｌ４１およびＬ４２は、それぞれ独立に、単結合または２価の連結基を表し、Ｄ４は色素構造を表し、Ｐ４は置換基を表す；ｎは２〜１５を表し、ｋは０〜１３を表し、ｎ＋ｋは２〜１５を表す。ｎが２以上の場合、複数のＤ４は互いに異なっていても良く、同一であってもよい。ｋが２以上の場合、複数のＰ４は互いに異なっていても良く、同一であってもよい。
Ｌ４が表す（ｎ＋ｋ）価の連結基としては、特開２００８−２２２９５０号公報の段落番号００７１〜００７２に記載された連結基、特開２０１３−０２９７６０号公報の段落番号０１７６に記載された連結基などが挙げられる。
Ｐ４が表す置換基は、酸基、硬化性基等が挙げられる。硬化性基としては、エチレン性不飽和基、エポキシ基、オキサゾリン基、メチロール基等が挙げられる。エチレン性不飽和基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基等が挙げられる。酸基としては、カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基等が挙げられる。Ｐ４が表す置換基は、繰り返し単位を有する１価のポリマー鎖であってもよい。繰り返し単位を有する１価のポリマー鎖は、ビニル化合物由来の繰り返し単位を有する１価のポリマー鎖が好ましい。
Ｄ４が表す色素構造は、色素化合物が有する任意の原子を１個以上取り除いた構造であって、色素化合物の一部がＬ４１に結合していてもよい。また、主鎖または側鎖に色素構造（色素化合物が有する任意の原子を１個以上取り除いた構造）を有する繰り返し単位を含むポリマー鎖であってもよい。上記ポリマー鎖は、色素構造を含んでいれば特に定めるものではないが、（メタ）アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、および、（メタ）アクリル／スチレン系樹脂から選ばれる１種であることが好ましい。ポリマー鎖の繰り返し単位としては、特に定めるものではないが、式（Ａ）で表される繰り返し単位、式（Ｃ）で表される繰り返し単位などが挙げられる。また、ポリマー鎖を構成する全繰り返し単位中における、色素構造を有する繰り返し単位の合計は、５〜６０モル％であることが好ましく、１０〜５０モル％がより好ましく、２０〜４０モル％がさらに好ましい。
【００２７】
式（Ｄ）で表される色素多量体は、式（Ｄ−１）で表される構造が好ましい。
【化３】
2018155104.tif 000004
【００２８】
式（Ｄ−１）中、Ｌ４は（ｎ＋ｋ）価の連結基を表す。ｎは２〜１５を表し、ｋは０〜１３を表す。Ｄ４は、色素構造を表し、Ｐ４は、置換基を表す。Ｂ４１およびＢ４２は、それぞれ独立に、単結合、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＣＯ−、−ＮＲ−、−Ｏ２Ｃ−、−ＣＯ２−、−ＮＲＯＣ−、または、−ＣＯＮＲ−を表す。Ｒは、水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。Ｃ４１およびＣ４２は、それぞれ独立に、単結合または２価の連結基を表す。Ｓは、硫黄原子を表す。ｎが２以上の場合、複数のＤ４は互いに異なっていても良く、同一であってもよい。ｋが２以上の場合、複数のＰ４は互いに異なっていても良く、同一であってもよい。ｎ＋ｋは２〜１５を表す。
【００２９】
式（Ｄ−１）のＬ４、Ｄ４およびＰ４は、式（Ｄ）のＬ４、Ｄ４およびＰ４と同義である。
式（Ｄ−１）のＢ４１およびＢ４２は、単結合、−Ｏ−、−ＣＯ−、−Ｏ２Ｃ−、−ＣＯ２−、−ＮＲＯＣ−、または、−ＣＯＮＲ−が好ましく、単結合、−Ｏ−、−ＣＯ−、−Ｏ２Ｃ−または−ＣＯ２−がより好ましい。Ｒは、水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。
【００３０】
式（Ｄ−１）のＣ４１およびＣ４２が表す２価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基およびこれらを組み合わせた基が好ましい。アルキレン基の炭素数は、１〜３０が好ましく、１〜１０がより好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよい。アリーレン基の炭素数は、６〜３０が好ましく、６〜１２がより好ましい。
【００３１】
色素多量体としては、特開２０１１−２１３９２５号公報、特開２０１３−０４１０９７号公報、特開２０１５−０２８１４４号公報、特開２０１５−０３０７４２号公報等に記載されている化合物を用いることもできる。
【００３２】
色材の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して、５０質量％以上であり、５５質量％以上であることが好ましく、６０質量％以上であることがより好ましい。上限は、８０質量％以下とすることができる。
また、色材全量中における赤色色材の含有量が６０質量％以上である場合、より好ましくはさらに黄色色材を含み、赤色色材と黄色色材の合計量８０質量％以上である場合においては、赤色の着色層形成用の感光性組成物として好ましく用いることができる。また、色材全量中における緑色色材の含有量が６０質量％以上である場合、より好ましくはさらに黄色色材を含み、緑色色材と黄色色材の合計量８０質量％以上である場合においては、緑色の着色層形成用の感光性組成物として好ましく用いることができる。
また、色材全量中における青色色材の含有量が６０質量％以上である場合、より好ましくはさらに紫色色材を含み、青色色材と紫色色材の合計量８０質量％以上である場合においては、青色の着色層形成用の感光性組成物として好ましく用いることができる。
【００３３】
＜＜エチレン性不飽和基を有する化合物＞＞
本発明の感光性組成物は、エチレン性不飽和基を有する化合物を含有する。エチレン性不飽和基を有する化合物の全質量中における、エチレン性不飽和基を有する重量平均分子量３０００以上の化合物Ａ（以下、化合物Ａともいう）の含有量は、７０質量％以上であり、８０質量％以上であることが好ましく、８５質量％以上であることがより好ましく、９０質量％以上であることが更に好ましい。また、本発明の感光性組成物に用いられるエチレン性不飽和基を有する化合物は、実質的に化合物Ａのみで構成されていてもよい。エチレン性不飽和基を有する化合物が実質的に化合物Ａのみで構成されているとは、エチレン性不飽和基を有する化合物の全質量中における化合物Ａの含有量が９９質量％以上であることを意味し、９９．５質量％以上であることがより好ましく、化合物Ａのみで構成されていることが更に好ましい。
【００３４】
（化合物Ａ）
化合物Ａの重量平均分子量は、３０００以上であり、３０００〜５０，０００であることが好ましく、７０００〜４０，０００であることがより好ましく、１００００〜３００００であることが更に好ましい。化合物Ａの重量平均分子量が３０００以上であれば、色材などの分散性が良好であり、色ムラの抑制された硬化膜を形成し易い。本発明において、化合物Ａは、分散剤として用いることもできる。
【００３５】
化合物Ａが有するエチレン性不飽和基としては、ビニル基、ビニロキシ基、アリル基、メタリル基、（メタ）アクリロイル基、スチリル基、シンナモイル基およびマレイミド基が挙げられ、（メタ）アクリロイル基、スチリル基、マレイミド基が好ましく、（メタ）アクリロイル基がより好ましく、アクリロイル基が特に好ましい。（メタ）アクリロイル基は反応性が特に優れ、また、立体障害が小さいため、色材の近傍で硬化しやすく、本発明の効果がより顕著に得られる。
【００３６】
化合物Ａのエチレン性不飽和基量（以下、Ｃ＝Ｃ価ともいう）は、０．２〜５．０ｍｍｏｌ／ｇであることが好ましい。上限は、４．０ｍｍｏｌ／ｇ以下であることがより好ましく、３．０ｍｍｏｌ／ｇ以下であることが更に好ましい。下限は、０．３ｍｍｏｌ／ｇ以上であることがより好ましい。化合物ＡのＣ＝Ｃ価は、化合物Ａの固形分１ｇあたりのＣ＝Ｃ基のモル量を表した数値である。化合物ＡのＣ＝Ｃ価は、アルカリ処理によって化合物ＡからＣ＝Ｃ基部位（例えば、後述するＰ−１においてはメタクリル酸、Ｐ−２においてはアクリル酸）の低分子成分（ａ）を取り出し、その含有量を高速液体クロマトグラフィー（ＨＰＬＣ）により測定し、下記式から算出することができる。また、化合物ＡからＣ＝Ｃ基部位をアルカリ処理で抽出することができない場合においては、ＮＭＲ法（核磁気共鳴）にて測定した値を用いる。
化合物ＡのＣ＝Ｃ価［ｍｍｏｌ／ｇ］＝（低分子成分（ａ）の含有量［ｐｐｍ］／低分子成分（ａ）の分子量［ｇ／ｍｏｌ］）／（化合物Ａの秤量値［ｇ］×（化合物Ａの固形分濃度［質量％］／１００）×１０）
【００３７】
化合物Ａは、エチレン性不飽和基を側鎖に有する繰り返し単位を含むことが好ましく、下記式（Ａ−１−１）で表される繰り返し単位を含むことがより好ましい。また、化合物Ａにおいて、エチレン性不飽和基を有する繰り返し単位は、化合物Ａの全繰り返し単位中１０モル％以上含有することが好ましく、１０〜８０モル％含有することがより好ましく、２０〜７０モル％含有することが更に好ましい。
【化４】
2018155104.tif 000005
式（Ａ−１−１）において、Ｘ１は繰り返し単位の主鎖を表し、Ｌ１は単結合または２価の連結基を表し、Ｙ１はエチレン性不飽和基を有する基を表す。
【００３８】
式（Ａ−１−１）において、Ｘ１が表す繰り返し単位の主鎖としては、特に限定はない。公知の重合可能なモノマーから形成される連結基であれば特に制限ない。例えば、ポリ（メタ）アクリル系連結基、ポリアルキレンイミン系連結基、ポリエステル系連結基、ポリウレタン系連結基、ポリウレア系連結基、ポリアミド系連結基、ポリエーテル系連結基、ポリスチレン系連結基などが挙げられ、原料素材の入手性や製造適性の観点からポリ（メタ）アクリル系連結基、ポリアルキレンイミン系連結基が好ましく、（メタ）アクリル系連結基がより好ましい。
【００３９】
式（Ａ−１−１）において、Ｌ１が表す２価の連結基としては、アルキレン基（好ましくは炭素数１〜１２のアルキレン基）、アルキレンオキシ基（好ましくは炭素数１〜１２のアルキレンオキシ基）、オキシアルキレンカルボニル基（好ましくは炭素数１〜１２のオキシアルキレンカルボニル基）、アリーレン基（好ましくは炭素数６〜２０のアリーレン基）、−ＮＨ−、−ＳＯ−、−ＳＯ２−、−ＣＯ−、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、ＯＣＯ−、−Ｓ−およびこれらの２以上を組み合わせてなる基が挙げられる。アルキレン基、アルキレンオキシ基におけるアルキレン基、オキシアルキレンカルボニル基におけるアルキレン基は、直鎖状、分岐状、及び、環状のいずれでもよく、直鎖状または分岐状が好ましい。また、アルキレン基、アルキレンオキシ基におけるアルキレン基、オキシアルキレンカルボニル基におけるアルキレン基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、ヒドロキシル基、アルコキシ基などが挙げられ、製造適性の観点からヒドロキシル基が好ましい。
【００４０】
式（Ａ−１−１）において、Ｙ１が表すエチレン性不飽和基を有する基としては、ビニル基、ビニロキシ基、アリル基、メタリル基、（メタ）アクリロイル基、スチリル基、シンナモイル基およびマレイミド基から選ばれる少なくとも１種を含む基が挙げられ、（メタ）アクリロイル基、スチリル基、マレイミド基が好ましく、（メタ）アクリロイル基がより好ましく、アクリロイル基が更に好ましい。
【００４１】
式（Ａ−１−１）で表される繰り返し単位の具体例としては、下記式（Ａ−１−１ａ）で表される繰り返し単位、下記式（Ａ−１−１ｂ）で表される繰り返し単位などが挙げられる。
【化５】
2018155104.tif 000006
【００４２】
式（Ａ−１−１ａ）において、Ｒａ１〜Ｒａ３は、それぞれ独立して水素原子またはアルキル基を表し、Ｑ１ａは、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＮＨ−またはフェニレン基を表し、Ｌ１は、単結合または２価の連結基を表し、Ｙ１はラジカル重合性のエチレン性不飽和基を有する基を表す。Ｒａ１〜Ｒａ３が表すアルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜３がより好ましく、１が更に好ましい。Ｑ１ａは、−ＣＯＯ−または−ＣＯＮＨ−であることが好ましく、−ＣＯＯ−であることがより好ましい。
【００４３】
式（Ａ−１−１ｂ）において、Ｒａ１０およびＲａ１１は、それぞれ独立して水素原子またはアルキル基を表し、ｍ１は１〜５の整数を表し、Ｌ１は、単結合または２価の連結基を表し、Ｙ１はラジカル重合性のエチレン性不飽和基を有する基を表す。Ｒａ１０およびＲａ１１が表すアルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜３がより好ましい。
【００４４】
化合物Ａは、更にグラフト鎖を有する繰り返し単位を含むことが好ましい。化合物Ａがグラフト鎖を有する繰り返し単位を含むことにより、グラフト鎖による立体障害によって色材の凝集などをより効果的に抑制できる。化合物Ａは、グラフト鎖を有する繰り返し単位を、化合物Ａの全繰り返し単位中１．０〜６０モル％含有することが好ましく、１．５〜５０モル％含有することがより好ましい。
【００４５】
本発明において、化合物Ａにおけるグラフト鎖とは、繰り返し単位の主鎖から枝分かれして伸びるポリマー鎖のことを意味する。グラフト鎖の長さについては特に制限されないが、グラフト鎖が長くなると立体反発効果が高くなり、色材などの分散性を高めることができる。グラフト鎖としては、水素原子を除いた原子数が４０〜１００００であることが好ましく、水素原子を除いた原子数が５０〜２０００であることがより好ましく、水素原子を除いた原子数が６０〜５００であることが更に好ましい。
【００４６】
グラフト鎖は、ポリエステル構造、ポリエーテル構造、ポリ（メタ）アクリル構造、ポリウレタン構造、ポリウレア構造およびポリアミド構造から選ばれる少なくとも１種の構造を含むことが好ましく、ポリエステル構造、ポリエーテル構造およびポリ（メタ）アクリル構造から選ばれる少なくとも１種の構造を含むことがより好ましく、ポリエステル構造を含むことが更に好ましい。ポリエステル構造としては、下記の式（Ｇ−１）、式（Ｇ−４）または式（Ｇ−５）で表される構造が挙げられる。また、ポリエーテル構造としては、下記の式（Ｇ−２）で表される構造が挙げられる。また、ポリ（メタ）アクリル構造としては、下記の式（Ｇ−３）で表される構造が挙げられる。
【化６】
2018155104.tif 000007
上記式において、ＲＧ１およびＲＧ２は、それぞれアルキレン基を表す。ＲＧ１およびＲＧ２で表されるアルキレン基としては特に制限されないが、炭素数１〜２０の直鎖状又は分岐状のアルキレン基が好ましく、炭素数２〜１６の直鎖状又は分岐状のアルキレン基がより好ましく、炭素数３〜１２の直鎖状又は分岐状のアルキレン基が更に好ましい。
上記式において、ＲＧ３は、水素原子またはメチル基を表す。
上記式において、ＱＧ１は、−Ｏ−または−ＮＨ−を表し、ＬＧ１は、単結合または２価の連結基を表す。２価の連結基としては、アルキレン基（好ましくは炭素数１〜１２のアルキレン基）、アルキレンオキシ基（好ましくは炭素数１〜１２のアルキレンオキシ基）、オキシアルキレンカルボニル基（好ましくは炭素数１〜１２のオキシアルキレンカルボニル基）、アリーレン基（好ましくは炭素数６〜２０のアリーレン基）、−ＮＨ−、−ＳＯ−、−ＳＯ２−、−ＣＯ−、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、ＯＣＯ−、−Ｓ−およびこれらの２以上を組み合わせてなる基が挙げられる。
ＲＧ４は、水素原子または置換基を表す。置換基としては、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基等が挙げられる。
【００４７】
例えば、グラフト鎖がポリエステル構造を含む場合、１種類のポリエステル構造のみを含んでいてもよく、ＲＧ１が互いに異なるポリエステル構造を２種類以上含んでいてもよい。また、グラフト鎖がポリエーテル構造を含む場合、１種類のポリエーテル構造のみを含んでいてもよく、ＲＧ２が互いに異なるポリエーテル構造を２種類以上含んでいてもよい。また、グラフト鎖がポリ（メタ）アクリル構造を含む場合、１種類のポリ（メタ）アクリル構造のみを含んでいてもよく、ＲＧ３、ＱＧ１、ＬＧ１およびＲＧ４から選ばれる少なくとも１種が互いに異なるポリ（メタ）アクリル構造を２種類以上含んでいてもよい。
【００４８】
グラフト鎖の末端構造は、水素原子であってもよく、置換基であってもよい。置換基としては、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基等が挙げられる。なかでも、色材などの分散性向上の観点から、立体反発効果を有する基が好ましく、炭素数５〜２４のアルキル基又はアルコキシ基が好ましい。アルキル基およびアルコキシ基は、直鎖状、分岐状、及び、環状のいずれでもよく、直鎖状または分岐状が好ましい。
【００４９】
本発明において、グラフト鎖としては、下記式（Ｇ−１ａ）、式（Ｇ−２ａ）、式（Ｇ−３ａ）、式（Ｇ−４ａ）または式（Ｇ−５ａ）で表される構造であることが好ましい。
【化７】
2018155104.tif 000008
【００５０】
上記式において、ＲＧ１およびＲＧ２は、それぞれアルキレン基を表し、ＲＧ３は、水素原子またはメチル基を表し、ＱＧ１は、−Ｏ−または−ＮＨ−を表し、ＬＧ１は、単結合または２価の連結基を表し、ＲＧ４は、水素原子または置換基を表し、Ｗ１００は水素原子または置換基を表す。ｎ１〜ｎ５は、それぞれ独立して２以上の整数を表す。ＲＧ１〜ＲＧ４、ＱＧ１、ＬＧ１については、式（Ｇ−１）〜（Ｇ−５）で説明したＲＧ１〜ＲＧ４、ＱＧ１、ＬＧ１と同義であり、好ましい範囲も同様である。
【００５１】
式（Ｇ−１ａ）〜（Ｇ−５ａ）において、Ｗ１００は、置換基であることが好ましい。置換基としては、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基等が挙げられる。なかでも、色材などの分散性向上の観点から、立体反発効果を有する基が好ましく、炭素数５〜２４のアルキル基又はアルコキシ基が好ましい。アルキル基およびアルコキシ基は、直鎖状、分岐状、及び、環状のいずれでもよく、直鎖状または分岐状が好ましい。
【００５２】
式（Ｇ−１ａ）〜（Ｇ−５ａ）において、ｎ１〜ｎ５は、それぞれ２〜１００の整数が好ましく、２〜８０の整数がより好ましく、８〜６０の整数が更に好ましい。
【００５３】
なお、式（Ｇ−１ａ）において、ｎ１が２以上の場合における各繰り返し単位中のＲＧ１同士は、同一であってもよく、異なっていてもよい。また、ＲＧ１が異なる繰り返し単位を２種以上含む場合においては、各繰り返し単位の配列は特に限定は無く、ランダム、交互、及び、ブロックのいずれであってもよい。式（Ｇ−２ａ）〜式（Ｇ−５ａ）においても同様である。
【００５４】
グラフト鎖を有する繰り返し単位としては、下記式（Ａ−１−２）で表される繰り返し単位が挙げられる。
【化８】
2018155104.tif 000009
【００５５】
式（Ａ−１−２）におけるＸ２が表す繰り返し単位の主鎖としては、式（Ａ−１−１）のＸ１で説明した構造が挙げられ、好ましい範囲も同様である。式（Ａ−１−２）におけるＬ２が表す２価の連結基としては、アルキレン基（好ましくは炭素数１〜１２のアルキレン基）、アリーレン基（好ましくは炭素数６〜２０のアリーレン基）、−ＮＨ−、−ＳＯ−、−ＳＯ２−、−ＣＯ−、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、ＯＣＯ−、−Ｓ−およびこれらの２以上を組み合わせてなる基が挙げられる。式（Ａ−１−２）におけるＷ１が表すグラフト鎖としては、上述したグラフト鎖が挙げられる。
【００５６】
式（Ａ−１−２）で表される繰り返し単位の具体例としては、下記式（Ａ−１−２ａ）で表される繰り返し単位、下記式（Ａ−１−２ｂ）で表される繰り返し単位などが挙げられる。
【化９】
2018155104.tif 000010
【００５７】
式（Ａ−１−２ａ）において、Ｒｂ１〜Ｒｂ３は、それぞれ独立して水素原子またはアルキル基を表し、Ｑｂ１は、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＮＨ−またはフェニレン基を表し、Ｌ２は、単結合または２価の連結基を表し、Ｗ１はグラフト鎖を表す。Ｒｂ１〜Ｒｂ３が表すアルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜３がより好ましく、１が更に好ましい。Ｑｂ１は、−ＣＯＯ−または−ＣＯＮＨ−であることが好ましく、−ＣＯＯ−であることがより好ましい。
【００５８】
式（Ａ−１−２ｂ）において、Ｒｂ１０およびＲｂ１１は、それぞれ独立して水素原子またはアルキル基を表し、ｍ２は１〜５の整数を表し、Ｌ２は、単結合または２価の連結基を表し、Ｗ１はグラフト鎖を表す。Ｒｂ１０およびＲｂ１１が表すアルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜３がより好ましい。
【００５９】
化合物Ａにおいて、グラフト鎖を有する繰り返し単位の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１０００以上であることが好ましく、１０００〜１００００であることがより好ましく、１０００〜７５００であることが更に好ましい。なお、本発明において、グラフト鎖を有する繰り返し単位の重量平均分子量は、同繰り返し単位の重合に用いた原料モノマーの重量平均分子量から算出した値である。例えば、グラフト鎖を有する繰り返し単位は、マクロモノマーを重合することで形成できる。ここで、マクロモノマーとは、ポリマー末端に重合性基が導入された高分子化合物を意味する。マクロモノマーを用いてグラフト鎖を有する繰り返し単位を形成した場合においては、マクロモノマーの重量平均分子量がグラフト鎖を有する繰り返し単位に該当する。
【００６０】
化合物Ａは、エチレン性不飽和基を有する繰り返し単位と、グラフト鎖を有する繰り返し単位とを含むことが好ましい。また、化合物Ａは、エチレン性不飽和基を有する繰り返し単位を、化合物Ａの全繰り返し単位中１０〜８０モル％含有することが好ましく、２０〜７０モル％含有することがより好ましい。また、化合物Ａは、グラフト鎖を有する繰り返し単位を、化合物Ａの全繰り返し単位中１．０〜６０モル％含有することが好ましく、１．５〜５０モル％含有することがより好ましい。
【００６１】
化合物Ａは、更に酸基を有する繰り返し単位を含むことも好ましい。化合物Ａが更に酸基を有する繰り返し単位を含むことで、色材などの分散性をより向上できる。更には、現像性を向上させることもできる。酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基が挙げられる。
【００６２】
酸基を有する繰り返し単位としては、下記式（Ａ−１−３）で表される繰り返し単位が挙げられる。
【化１０】
2018155104.tif 000011
【００６３】
式（Ａ−１−３）におけるＸ３が表す繰り返し単位の主鎖としては、式（Ａ−１−１）のＸ１で説明した構造が挙げられ、好ましい範囲も同様である。
式（Ａ−１−３）におけるＬ３が表す２価の連結基としては、アルキレン基（好ましくは炭素数１〜１２のアルキレン基）、アルケニレン基（好ましくは炭素数２〜１２のアルケニレン基）、アルキレンオキシ基（好ましくは炭素数１〜１２のアルキレンオキシ基）、オキシアルキレンカルボニル基（好ましくは炭素数１〜１２のオキシアルキレンカルボニル基）、アリーレン基（好ましくは炭素数６〜２０のアリーレン基）、−ＮＨ−、−ＳＯ−、−ＳＯ２−、−ＣＯ−、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、ＯＣＯ−、−Ｓ−およびこれらの２以上を組み合わせてなる基が挙げられる。アルキレン基、アルキレンオキシ基におけるアルキレン基、オキシアルキレンカルボニル基におけるアルキレン基は、直鎖状、分岐状、及び、環状のいずれでもよく、直鎖状または分岐状が好ましい。また、アルキレン基、アルキレンオキシ基におけるアルキレン基、オキシアルキレンカルボニル基におけるアルキレン基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、ヒドロキシル基などが挙げられる。
式（Ａ−１−３）におけるＡ１が表す酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基が挙げられる。
【００６４】
式（Ａ−１−３）で表される繰り返し単位の具体例としては、下記式（Ａ−１−３ａ）で表される繰り返し単位、下記式（Ａ−１−３ｂ）で表される繰り返し単位などが挙げられる。
【化１１】
2018155104.tif 000012
【００６５】
式（Ａ−１−３ａ）において、Ｒｃ１〜Ｒｃ３は、それぞれ独立して水素原子またはアルキル基を表し、Ｑｃ１は、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＮＨ−またはフェニレン基を表し、Ｌ３は、単結合または２価の連結基を表し、Ａ１は酸基を表す。Ｒｃ１〜Ｒｃ３が表すアルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜３がより好ましく、１が更に好ましい。Ｑｃ１は、−ＣＯＯ−または−ＣＯＮＨ−であることが好ましく、−ＣＯＯ−であることがより好ましい。
【００６６】
式（Ａ−１−３ｂ）において、Ｒｃ１０およびＲｃ１１は、それぞれ独立して水素原子またはアルキル基を表し、ｍ３は１〜５の整数を表し、Ｌ３は、単結合または２価の連結基を表し、Ａ１は酸基を表す。Ｒｃ１０およびＲｃ１１が表すアルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜３がより好ましい。
【００６７】
式（Ａ−１−３ａ）で表される繰り返し単位としては、下記式（Ａ−１−３ａ−１）で表される繰り返し単位であることがより好ましい。
【化１２】
2018155104.tif 000013
式（Ａ−１−３ａ−１）において、Ｒｃ１〜Ｒｃ３は、それぞれ独立して水素原子またはアルキル基を表し、Ｑｃ１は、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＮＨ−またはフェニレン基を表し、Ｌ１０は、単結合またはアルキレン基を表し、Ｌ１１は、単結合、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＨ−、−ＣＯ−、−ＯＣＯ−または−ＣＯＯ−を表し、Ｒｃ４は、アルキレン基またはアリーレン基を表し、ｐは０〜５の整数を表す。ただし、ｐが０の場合、Ｌ１１が−ＣＯＯ−であるか、Ｌ１０およびＬ１１が単結合でかつＱｃ１が−ＣＯＯ−である。
【００６８】
式（Ａ−１−３ａ−１）において、Ｒｃ１〜Ｒｃ３が表すアルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜３がより好ましく、１が更に好ましい。Ｑｃ１は、−ＣＯＯ−または−ＣＯＮＨ−であることが好ましく、−ＣＯＯ−であることがより好ましい。
【００６９】
式（Ａ−１−３ａ−１）において、Ｌ１０が表すアルキレン基の炭素数は１〜１０であることが好ましく、１〜５であることがより好ましい。アルキレン基は、直鎖状、分岐状、及び、環状のいずれでもよく、直鎖状または分岐状が好ましく、直鎖状がより好ましい。Ｌ１０は単結合であることが好ましい。
【００７０】
式（Ａ−１−３ａ−１）において、Ｌ１１は、単結合または−ＯＣＯ−であることが好ましく、単結合であることがより好ましい。
【００７１】
式（Ａ−１−３ａ−１）において、Ｒｃ４は、アルキレン基であることが好ましい。アルキレン基の炭素数は、１〜１２であることが好ましく、１〜８であることがより好ましく、２〜８であることが更に好ましく、２〜６であることが特に好ましい。Ｒｃ４が表すアルキレン基は、直鎖状、分岐状、及び、環状のいずれでもよく、直鎖状または分岐状が好ましく、直鎖状がより好ましい。
【００７２】
式（Ａ−１−３ａ−１）において、ｐは０〜５の整数を表し、０〜３の整数であることが好ましく、０〜２の整数であることがより好ましい。
【００７３】
化合物Ａが、酸基を有する繰り返し単位を含む場合、化合物Ａは酸基を有する繰り返し単位を化合物Ａの全繰り返し単位中８０モル％以下含有することが好ましく、１０〜８０モル％含有することがより好ましい。
【００７４】
化合物Ａの酸価としては、２０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましい。上限は、１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることがより好ましい。下限は、３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることが好ましく、３５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることがより好ましい。化合物Ａの酸価が上記範囲であれば、特に優れた分散性が得られやすい。さらには、優れた現像性が得られやすい。
【００７５】
化合物Ａは、更に他の繰り返し単位を含んでいてもよい。例えば、化合物Ａが、グラフト鎖を有する繰り返し単位として、上述した式（Ａ−１−２ｂ）で表される繰り返し単位を含む場合においては、さらに下記式（Ａ−１−４ｂ）および／または式（Ａ−１−５ｂ）で表される繰り返し単位を含むことができる。
【００７６】
【化１３】
2018155104.tif 000014
【００７７】
式（Ａ−１−４ｂ）において、Ｒｄ１０およびＲｄ１１は、それぞれ独立して水素原子またはアルキル基を表し、ｍ４は１〜５の整数を表す。Ｒｄ１０およびＲｄ１１が表すアルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜３がより好ましい。
【００７８】
式（Ａ−１−５ｂ）において、Ｒｅ１０およびＲｅ１１は、それぞれ独立して水素原子またはアルキル基を表し、ｍ５は１〜５の整数を表し、Ｄｅ１はアニオン基を表し、Ｌｅ１は単結合または２価の連結基を表し、Ｗｅ１はグラフト鎖を表す。Ｒｅ１０およびＲｅ１１が表すアルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜３がより好ましい。Ｄｅ１が表すアニオン基としては、−ＳＯ３−、−ＣＯＯ−、−ＰＯ４−、−ＰＯ４Ｈ−などが挙げられる。Ｌｅ１が表す２価の連結基、Ｗｅ１が表すグラフト鎖としては、それぞれ、上述した式（Ａ−１−２）のＬ２、Ｗ１で説明したものが挙げられる。
【００７９】
また、化合物Ａは、他の繰り返し単位として、下記式（ＥＤ１）で示される化合物および／または下記式（ＥＤ２）で表される化合物（以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。）を含むモノマー成分に由来する繰り返し単位を含むことができる。
【００８０】
【化１４】
2018155104.tif 000015
【００８１】
式（ＥＤ１）中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数１〜２５の炭化水素基を表す。
【化１５】
2018155104.tif 000016
式（ＥＤ２）中、Ｒは、水素原子または炭素数１〜３０の有機基を表す。式（ＥＤ２）の具体例としては、特開２０１０−１６８５３９号公報の記載を参酌できる。
【００８２】
エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０３１７を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エーテルダイマーは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
【００８３】
化合物Ａの具体例としては以下が挙げられる。
【化１６】
2018155104.tif 000017
【表１】
2018155104.tif 000018
【表２】
2018155104.tif 000019
【表３】
2018155104.tif 000020
【表４】
2018155104.tif 000021
【表５】
2018155104.tif 000022
【表６】
2018155104.tif 000023
【化１７】
2018155104.tif 000024
【表７】
2018155104.tif 000025
【００８４】
また、化合物Ａのうち、グラフト鎖を有する繰り返し単位を含まない化合物の具体例としては、下記構造のポリマーなどが挙げられる。
【化１８】
2018155104.tif 000026
【００８５】
本発明において、エチレン性不飽和基を有する化合物として、エチレン性不飽和基を有する分子量３０００未満の化合物（以下、エチレン性不飽和基含有モノマーともいう）を用いることもできる。
エチレン性不飽和基含有モノマーとしては、ラジカルの作用により重合可能な化合物であることが好ましい。すなわち、エチレン性不飽和基含有モノマーは、ラジカル重合性モノマーであることが好ましい。エチレン性不飽和基含有モノマーは、エチレン性不飽和基を２個以上有する化合物であることが好ましく、エチレン性不飽和基を３個以上有する化合物であることが更に好ましい。エチレン性不飽和基含有モノマーにおけるエチレン性不飽和基の個数の上限は、たとえば、１５個以下が好ましく、６個以下がより好ましい。エチレン性不飽和基含有モノマーにおけるエチレン性不飽和基としては、ビニル基、スチリル基、アリル基、メタリル基、（メタ）アクリロイル基が好ましく、（メタ）アクリロイル基がより好ましい。エチレン性不飽和基含有モノマーは、３〜１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、３〜６官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましい。
【００８６】
エチレン性不飽和基含有モノマーの例としては、特開２０１３−２５３２２４号公報の段落番号００３３〜００３４の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エチレン性不飽和基含有モノマーとしては、エチレンオキシ変性ペンタエリスリトールテトラアクリレート（市販品としては、ＮＫエステルＡＴＭ−３５Ｅ；新中村化学工業（株）製）、ジペンタエリスリトールトリアクリレート（市販品としては、ＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３３０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート（市販品としては、ＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３２０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（市販品としては  ＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３１０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（市販品としては、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製、Ａ−ＤＰＨ−１２Ｅ；新中村化学工業（株）製）、およびこれらの（メタ）アクリロイル基が、エチレングリコール残基および／またはプロピレングリコール残基を介して結合している構造の化合物が挙げられる。またこれらのオリゴマータイプも使用できる。また、特開２０１３−２５３２２４号公報の段落番号００３４〜００３８の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、特開２０１２−２０８４９４号公報の段落番号０４７７（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の段落番号０５８５）に記載の重合性モノマー等が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、ジグリセリンＥＯ（エチレンオキシド）変性（メタ）アクリレート（市販品としてはＭ−４６０；東亞合成（株）製）、ペンタエリスリトールテトラアクリレート（新中村化学工業（株）製、Ａ−ＴＭＭＴ）、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート（日本化薬（株）製、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＨＤＤＡ）も好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。例えば、ＲＰ−１０４０（日本化薬（株）製）などが挙げられる。また、アロニックスＴＯ−２３４９（東亞合成（株）製）を用いることもできる。
【００８７】
エチレン性不飽和基含有モノマーは、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基等の酸基を有していてもよい。酸基を有するエチレン性不飽和基含有モノマーの市販品としては、アロニックスＭ−３０５、Ｍ−５１０、Ｍ−５２０（以上、東亞合成（株）製）などが挙げられる。酸基を有するエチレン性不飽和基含有モノマーの酸価は、０．１〜４０ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。下限は５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が好ましい。上限は、３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましい。
【００８８】
エチレン性不飽和基含有モノマーは、カプロラクトン構造を有する化合物であることも好ましい。カプロラクトン構造を有するエチレン性不飽和基含有モノマーとしては、分子内にカプロラクトン構造を有する限り特に限定されるものではないが、例えば、トリメチロールエタン、ジトリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、グリセリン、ジグリセロール、トリメチロールメラミン等の多価アルコールと、（メタ）アクリル酸及びε−カプロラクトンをエステル化することにより得られる、ε−カプロラクトン変性多官能（メタ）アクリレートが挙げられる。カプロラクトン構造を有するエチレン性不飽和基含有モノマーとしては、特開２０１３−２５３２２４号公報の段落番号００４２〜００４５の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。カプロラクトン構造を有するエチレン性不飽和基含有モノマーは、例えば、日本化薬（株）からＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＣＡシリーズとして市販されている、ＤＰＣＡ−２０、ＤＰＣＡ−３０、ＤＰＣＡ−６０、ＤＰＣＡ−１２０等、サートマー社製のエチレンオキシ鎖を４個有する４官能アクリレートであるＳＲ−４９４、イソブチレンオキシ鎖を３個有する３官能アクリレートであるＴＰＡ−３３０などが挙げられる。
【００８９】
エチレン性不飽和基含有モノマーとしては、特公昭４８−４１７０８号公報、特開昭５１−３７１９３号公報、特公平２−３２２９３号公報、特公平２−１６７６５号公報に記載されているウレタンアクリレート類や、特公昭５８−４９８６０号公報、特公昭５６−１７６５４号公報、特公昭６２−３９４１７号公報、特公昭６２−３９４１８号公報に記載されているエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類を用いることもできる。また、特開昭６３−２７７６５３号公報、特開昭６３−２６０９０９号公報、特開平１−１０５２３８号公報に記載されている分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることもできる。これらの市販品としては、ウレタンオリゴマーＵＡＳ−１０、ＵＡＢ−１４０（山陽国策パルプ社製）、ＵＡ−７２００（新中村化学工業（株）製）、ＤＰＨＡ−４０Ｈ（日本化薬（株）製）、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＡＨ−６００、Ｔ−６００、ＡＩ−６００（共栄社化学（株）製）などが挙げられる。
【００９０】
本発明の感光性組成物において、エチレン性不飽和基を有する化合物の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して、１０〜５０質量％であることが好ましい。下限は１２質量％以上であることが好ましく、１４質量％以上であることがより好ましい。上限は、４５質量％以下であることが好ましく、４０質量％以下であることがより好ましい。エチレン性不飽和基を有する化合物の含有量が上記範囲であれば、色ムラの抑制された硬化膜を製造し易い。
【００９１】
また、本発明の感光性組成物において、上記化合物Ａ（エチレン性不飽和基を有する重量平均分子量３０００以上の化合物）の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して、１０〜４５質量％であることが好ましい。下限は１２質量％以上であることが好ましく、１４質量％以上であることがより好ましい。上限は、４０質量％以下であることが好ましく、３５質量％以下であることがより好ましい。化合物Ａの含有量が上記範囲であれば、色ムラの抑制された硬化膜を製造し易い。また、化合物Ａは、エチレン性不飽和基を有する繰り返し単位と、グラフト鎖を有する繰り返し単位とを含む重量平均分子量３０００以上の化合物（以下、化合物ａともいう）を含むことが好ましく、前述の化合物ａを化合物Ａの全質量中に６０質量％以上含むことがより好ましく、７０質量％以上含むことが更に好ましい。この態様によれば、感光性組成物中における色材の分散性が良好で、色ムラがより抑制された硬化膜を製造し易い。
【００９２】
また、本発明の感光性組成物において、前述の化合物ａの含有量は、感光性組成物の全固形分に対して、１０〜４０質量％であることが好ましい。下限は１２質量％以上であることが好ましく、１４質量％以上であることがより好ましい。上限は、３５質量％以下であることが好ましく、３０質量％以下であることがより好ましい。上記化合物の含有量が上記範囲であれば、感光性組成物中における色材の分散性が特に良好で、色ムラがより抑制された硬化膜を製造し易い。
【００９３】
本発明の感光性組成物は、エチレン性不飽和基を有する化合物を色材１００質量部に対して２０〜８０質量部含有することが好ましい。下限は２２質量部以上であることが好ましく、２４質量部以上であることがより好ましい。上限は、７０質量部以下であることが好ましく、６０質量部以下であることがより好ましい。
また、本発明の感光性組成物は、上記化合物Ａを色材１００質量部に対して２０〜６０質量部含有することが好ましい。下限は２２質量部以上であることが好ましく、２４質量部以上であることがより好ましい。上限は、５５質量部以下であることが好ましく、５０質量部以下であることがより好ましい。
また、本発明の感光性組成物は、上記化合物ａを色材１００質量部に対して２０〜５５質量部含有することが好ましい。下限は２２質量部以上であることが好ましく、２４質量部以上であることがより好ましい。上限は、５０質量部以下であることが好ましく、４５質量部以下であることがより好ましい。
【００９４】
＜＜他の樹脂＞＞
本発明の感光性組成物は、エチレン性不飽和基を含まない樹脂（以下、他の樹脂ともいう）をさらに含有することができる。他の樹脂は、例えば、顔料などの粒子を組成物中で分散させる用途やバインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などの粒子を分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で樹脂を使用することもできる。
【００９５】
他の樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、２,０００〜２,０００,０００が好ましい。上限は、１,０００,０００以下が好ましく、５００,０００以下がより好ましい。下限は、３,０００以上が好ましく、５,０００以上がより好ましい。
【００９６】
他の樹脂としては、（メタ）アクリル樹脂、エポキシ樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂などが挙げられる。これらの樹脂から１種を単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。
【００９７】
他の樹脂は、酸基を有していてもよい。酸基としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシ基などが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。これら酸基は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。酸基を有する樹脂はアルカリ可溶性樹脂として用いることもできる。
【００９８】
酸基を有する樹脂としては、側鎖にカルボキシル基を有するポリマーが好ましい。具体例としては、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、ノボラック樹脂などのアルカリ可溶性フェノール樹脂、側鎖にカルボキシル基を有する酸性セルロース誘導体、ヒドロキシル基を有するポリマーに酸無水物を付加させた樹脂が挙げられる。特に、（メタ）アクリル酸と、これと共重合可能な他のモノマーとの共重合体が、アルカリ可溶性樹脂として好適である。（メタ）アクリル酸と共重合可能な他のモノマーとしては、アルキル（メタ）アクリレート、アリール（メタ）アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。アルキル（メタ）アクリレートおよびアリール（メタ）アクリレートとしては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、トリル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート等が挙げられる。ビニル化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Ｎ−ビニルピロリドン、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等が挙げられる。また他のモノマーは、特開平１０−３００９２２号公報に記載のＮ位置換マレイミドモノマー、例えば、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド等を用いることもできる。なお、これらの（メタ）アクリル酸と共重合可能な他のモノマーは１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
【００９９】
酸基を有する樹脂は、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート共重合体、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／他のモノマーからなる多元共重合体が好ましく用いることができる。また、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートを共重合したもの、特開平７−１４０６５４号公報に記載の、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体なども好ましく用いることができる。
【０１００】
酸基を有する樹脂は、上述した化合物Ａで説明したエーテルダイマーを含むモノマー成分に由来する繰り返し単位を含むポリマーであることも好ましい。
【０１０１】
酸基を有する樹脂は、下記式（Ｘ）で示される化合物に由来する繰り返し単位を含んでいてもよい。
【化１９】
2018155104.tif 000027
式（Ｘ）において、Ｒ１は、水素原子またはメチル基を表し、Ｒ２は炭素数２〜１０のアルキレン基を表し、Ｒ３は、水素原子またはベンゼン環を含んでもよい炭素数１〜２０のアルキル基を表す。ｎは１〜１５の整数を表す。
【０１０２】
酸基を有する樹脂については、特開２０１２−２０８４９４号公報の段落番号０５５８〜０５７１（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の段落番号０６８５〜０７００）の記載、特開２０１２−１９８４０８号公報の段落番号００７６〜００９９の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、酸基を有する樹脂は市販品を用いることもできる。
【０１０３】
酸基を有する樹脂の酸価は、３０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。下限は、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が好ましく、７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましい。上限は、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましい。
【０１０４】
酸基を有する樹脂としては、例えば下記構造の樹脂などが挙げられる。以下の構造式中、Ｍｅはメチル基を表す。
【化２０】
2018155104.tif 000028
【０１０５】
本発明の感光性組成物は、分散剤としての樹脂を含むこともできる。分散剤は、酸性分散剤（酸性樹脂）、塩基性分散剤（塩基性樹脂）が挙げられる。ここで、酸性分散剤（酸性樹脂）とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤（酸性樹脂）は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、酸基の量が７０モル％以上を占める樹脂が好ましく、実質的に酸基のみからなる樹脂がより好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）が有する酸基は、カルボキシル基が好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）の酸価は、４０〜１０５ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、５０〜１０５ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、６０〜１０５ｍｇＫＯＨ／ｇがさらに好ましい。また、塩基性分散剤（塩基性樹脂）とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤（塩基性樹脂）は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、塩基性基の量が５０モル％を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミノ基であることが好ましい。
【０１０６】
分散剤として用いる樹脂は、酸基を有する繰り返し単位を含むことが好ましい。分散剤として用いる樹脂が酸基を有する繰り返し単位を含むことにより、フォトリソグラフィ法によりパターン形成する際、画素の下地に発生する残渣をより低減することができる。
【０１０７】
分散剤として用いる樹脂は、グラフト共重合体であることも好ましい。グラフト共重合体は、グラフト鎖によって溶剤との親和性を有するために、顔料の分散性、及び、経時後の分散安定性に優れる。グラフト共重合体の詳細は、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号００２５〜００９４の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、グラフト共重合体の具体例は、下記の樹脂が挙げられる。以下の樹脂は酸基を有する樹脂（アルカリ可溶性樹脂）でもある。また、グラフト共重合体としては特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号００７２〜００９４に記載の樹脂が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【化２１】
2018155104.tif 000029
【０１０８】
また、本発明において、樹脂（分散剤）は、主鎖及び側鎖の少なくとも一方に窒素原子を含むオリゴイミン系分散剤を用いることも好ましい。オリゴイミン系分散剤としては、ｐＫａ１４以下の官能基を有する部分構造Ｘを有する構造単位と、原子数４０〜１０，０００の側鎖Ｙを含む側鎖とを有し、かつ主鎖及び側鎖の少なくとも一方に塩基性窒素原子を有する樹脂が好ましい。塩基性窒素原子とは、塩基性を呈する窒素原子であれば特に制限はない。オリゴイミン系分散剤については、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号０１０２〜０１６６の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。オリゴイミン系分散剤としては、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号０１６８〜０１７４に記載の樹脂を用いることができる。
【０１０９】
分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１１１（ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）、ソルスパース７６５００（日本ルーブリゾール（株）製）などが挙げられる。また、特開２０１４−１３０３３８号公報の段落番号００４１〜０１３０に記載された顔料分散剤を用いることもでき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、上述した酸基を有する樹脂などを分散剤として用いることもできる。
【０１１０】
本発明の感光性組成物が他の樹脂を含む場合、他の樹脂の含有量は、本発明の感光性組成物の全固形分に対し、３０質量％以下であることが好ましく、２０質量％以下であることがより好ましく、１０質量％以下であることが更に好ましい。また、本発明の感光性組成物は、他の樹脂を実質的に含まないこともできる。本発明の感光性組成物は、他の樹脂を実質的に含まない場合とは、本発明の感光性組成物の全固形分に対する他の樹脂の含有量が０．１質量％以下であることが好ましく、０．０５質量％以下であることがより好ましく、含有しないことが特に好ましい。
【０１１１】
＜＜光重合開始剤＞＞
本発明の感光性組成物は、光重合開始剤を含有する。光重合開始剤としては、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。光重合開始剤としては、光ラジカル重合開始剤であることが好ましい。
【０１１２】
光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物など）、アシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物などが挙げられる。光重合開始剤は、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、ホスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリールイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体、ハロメチルオキサジアゾール化合物および３−アリール置換クマリン化合物が好ましく、オキシム化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、および、アシルホスフィン化合物から選ばれる化合物がより好ましく、オキシム化合物が更に好ましい。光重合開始剤としては、特開２０１４−１３０１７３号公報の段落００６５〜０１１１の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１１３】
α−ヒドロキシケトン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１８４、ＤＡＲＯＣＵＲ−１１７３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−５００、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−２９５９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１２７（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。α−アミノケトン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３６９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９、及び、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９ＥＧ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。アシルホスフィン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−８１９、ＤＡＲＯＣＵＲ−ＴＰＯ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。
【０１１４】
オキシム化合物としては、例えば、特開２００１−２３３８４２号公報に記載の化合物、特開２０００−８００６８号公報に記載の化合物、特開２００６−３４２１６６号公報に記載の化合物を用いることができる。オキシム化合物の具体例としては、例えば、３−ベンゾイルオキシイミノブタン−２−オン、３−アセトキシイミノブタン−２−オン、３−プロピオニルオキシイミノブタン−２−オン、２−アセトキシイミノペンタン−３−オン、２−アセトキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、２−ベンゾイルオキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、３−（４−トルエンスルホニルオキシ）イミノブタン−２−オン、および２−エトキシカルボニルオキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オンなどが挙げられる。
【０１１５】
オキシム化合物としては、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１６５３−１６６０）、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１５６−１６２）、Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ａｎｄ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５年、ｐｐ．２０２−２３２）、特開２０００−６６３８５号公報、特開２０００−８００６８号公報、特表２００４−５３４７９７号公報、特開２００６−３４２１６６号公報に記載された化合物等を用いることもできる。市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０２、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０４（以上、ＢＡＳＦ社製）も好適に用いられる。また、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０４、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０９、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０５（常州強力電子新材料有限公司（ＣＨＡＮＧＺＨＯＵ  ＴＲＯＮＬＹ  ＮＥＷ  ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣ  ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ  ＣＯ．，ＬＴＤ）製）、アデカアークルズＮＣＩ−９３０、アデカオプトマーＮ−１９１９（特開２０１２−１４０５２号公報の光重合開始剤２）（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）を用いることができる。
【０１１６】
また上記以外のオキシム化合物として、カルバゾール環のＮ位にオキシムが連結した特表２００９−５１９９０４号公報に記載の化合物、ベンゾフェノン部位にヘテロ置換基が導入された米国特許第７６２６９５７号公報に記載の化合物、色素部位にニトロ基が導入された特開２０１０−１５０２５号公報および米国特許公開２００９−２９２０３９号に記載の化合物、国際公開ＷＯ２００９／１３１１８９号公報に記載のケトオキシム化合物、トリアジン骨格とオキシム骨格を同一分子内に含有する米国特許７５５６９１０号公報に記載の化合物、４０５ｎｍに極大吸収を有し、ｇ線光源に対して良好な感度を有する特開２００９−２２１１１４号公報に記載の化合物などを用いてもよい。好ましくは、例えば、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０２７４〜０３０６を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１１７】
本発明は、光重合開始剤として、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１４−１３７４６６号公報に記載の化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。
本発明は、光重合開始剤として、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開ＷＯ２０１５／０３６９１０号公報に記載の化合物ＯＥ−０１〜ＯＥ−７５が挙げられる。
【０１１８】
本発明は、光重合開始剤として、フッ素原子を有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１０−２６２０２８号公報に記載の化合物、特表２０１４−５００８５２号公報に記載の化合物２４、３６〜４０、特開２０１３−１６４４７１号公報に記載の化合物（Ｃ−３）などが挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１１９】
本発明は、光重合開始剤として、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１３−１１４２４９号公報の段落番号００３１〜００４７、特開２０１４−１３７４６６号公報の段落番号０００８〜００１２、００７０〜００７９に記載の化合物、特許４２２３０７１号公報の段落番号０００７〜００２５に記載の化合物、アデカアークルズＮＣＩ−８３１（（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。
【０１２０】
本発明において好ましく使用されるオキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【０１２１】
【化２２】
2018155104.tif 000030
【化２３】
2018155104.tif 000031
【０１２２】
オキシム化合物は、３５０ｎｍ〜５００ｎｍの波長領域に極大吸収波長を有する化合物が好ましく、３６０ｎｍ〜４８０ｎｍの波長領域に極大吸収波長を有する化合物がより好ましい。また、オキシム化合物は、３６５ｎｍおよび４０５ｎｍの吸光度が高い化合物が好ましい。
【０１２３】
オキシム化合物の３６５ｎｍまたは４０５ｎｍにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、１，０００〜３００，０００であることが好ましく、２，０００〜３００，０００であることがより好ましく、５，０００〜２００，０００であることが特に好ましい。化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いて測定することができる。例えば、紫外可視分光光度計（Ｖａｒｉａｎ社製Ｃａｒｙ−５  ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）にて、酢酸エチル溶媒を用い、０．０１ｇ／Ｌの濃度で測定することが好ましい。
【０１２４】
光重合開始剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対し０．１〜５０質量％が好ましく、０．５〜３０質量％がより好ましく、１〜２０質量％が更に好ましい。光重合開始剤の含有量が上記範囲であれば、良好な感度と良好なパターン形成性が得られる。本発明の感光性組成物は、光重合開始剤を、１種のみ含んでいてもよいし、２種以上含んでいてもよい。光重合開始剤を２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１２５】
＜＜溶剤＞＞
本発明の感光性組成物は、溶剤を含有することが好ましい。溶剤は有機溶剤が好ましい。溶剤は、各成分の溶解性や感光性組成物の塗布性を満足すれば特に制限はない。
【０１２６】
有機溶剤の例としては、例えば、以下の有機溶剤が挙げられる。エステル類として、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、酢酸シクロヘキシル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、アルキルオキシ酢酸アルキル（例えば、アルキルオキシ酢酸メチル、アルキルオキシ酢酸エチル、アルキルオキシ酢酸ブチル（例えば、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等））、３−アルキルオキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、３−アルキルオキシプロピオン酸メチル、３−アルキルオキシプロピオン酸エチル等（例えば、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル等））、２−アルキルオキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、２−アルキルオキシプロピオン酸メチル、２−アルキルオキシプロピオン酸エチル、２−アルキルオキシプロピオン酸プロピル等（例えば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル））、２−アルキルオキシ−２−メチルプロピオン酸メチル及び２−アルキルオキシ−２−メチルプロピオン酸エチル（例えば、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル等）、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等が挙げられる。エーテル類として、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート等が挙げられる。ケトン類として、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等が挙げられる。芳香族炭化水素類として、例えば、トルエン、キシレン等が好適に挙げられる。ただし溶剤としての芳香族炭化水素類（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある（例えば、有機溶剤全量に対して、５０質量ｐｐｍ以下、１０質量ｐｐｍ以下、あるいは１質量ｐｐｍ以下とすることができる）。
【０１２７】
有機溶剤は、１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。有機溶剤を２種以上組み合わせて用いる場合、特に好ましくは、上記の３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される２種以上で構成される混合溶液である。
【０１２８】
本発明において、有機溶剤は、過酸化物の含有率が０．８ｍｍｏｌ／Ｌ以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。また、金属含有量の少ない有機溶剤を用いることが好ましく、例えば有機溶剤の金属含有量は、１０質量ｐｐｂ以下であることが好ましい。必要に応じて有機溶剤の金属含有量がｐｐｔレベルのものを用いてもよく、そのような高純度溶剤は例えば東洋合成社が提供している（化学工業日報、２０１５年１１月１３日）。
【０１２９】
溶剤の含有量は、感光性組成物の全固形分が５〜８０質量％となる量が好ましい。下限は１０質量％以上が好ましい。上限は、６０質量％以下が好ましく、５０質量％以下がより好ましく、４０質量％以下がさらに好ましい。
【０１３０】
＜＜エポキシ基を有する化合物＞＞
本発明の感光性組成物は、エポキシ基を有する化合物（以下、エポキシ化合物ともいう）を含有することができる。エポキシ化合物は、エポキシ基を１分子内に１〜１００個有する化合物であることが好ましい。エポキシ基の下限は、２個以上がより好ましい。エポキシ基の上限は、例えば、１０個以下とすることもでき、５個以下とすることもできる。
【０１３１】
エポキシ化合物は、エポキシ当量（＝エポキシ化合物の分子量／エポキシ基の数）が５００ｇ／当量以下であることが好ましく、１００〜４００ｇ／当量であることがより好ましく、１００〜３００ｇ／当量であることが更に好ましい。
【０１３２】
エポキシ化合物は、低分子化合物（例えば、分子量１０００未満）でもよいし、高分子化合物（ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅ）（例えば、分子量１０００以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が１０００以上）でもよい。エポキシ化合物の重量平均分子量は、２００〜１０００００が好ましく、５００〜５００００がより好ましい。重量平均分子量の上限は、１００００以下がさらに好ましく、５０００以下が一層好ましく、３０００以下がより一層好ましい。
【０１３３】
エポキシ化合物の市販品としては、例えば、ＥＨＰＥ３１５０（（株）ダイセル製）などが挙げられる。エポキシ化合物としては、特開２０１３−０１１８６９号公報の段落番号００３４〜００３６、特開２０１４−０４３５５６号公報の段落番号０１４７〜０１５６、特開２０１４−０８９４０８号公報の段落番号００８５〜００９２に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。
【０１３４】
本発明の感光性組成物がエポキシ化合物を含有する場合、エポキシ化合物の含有量は、感光性組成物の全固形分に対し、０．１〜４０質量％が好ましい。下限は、例えば０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、３０質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が更に好ましい。エポキシ化合物は、１種単独であってもよいし、２種以上を併用してもよい。エポキシ化合物を２種以上を併用する場合は、それらの合計が上記範囲となることが好ましい。
【０１３５】
＜＜硬化促進剤＞＞
本発明の感光性組成物は、パターンの硬度を向上させる目的や、硬化温度を下げる目的で、硬化促進剤を含んでもよい。硬化促進剤としては、チオール化合物などが挙げられる。
【０１３６】
チオール化合物としては、分子内に２個以上のメルカプト基を有する多官能チオール化合物などが挙げられる。多官能チオール化合物は、安定性、臭気、解像性、現像性、密着性等の改良を目的として添加してもよい。多官能チオール化合物は、２級のアルカンチオール類であることが好ましく、下記式（Ｔ１）で表される構造を有する化合物であることがより好ましい。
式（Ｔ１）
【化２４】
2018155104.tif 000032
（式（Ｔ１）中、ｎは２〜４の整数を表し、Ｌは２〜４価の連結基を表す。）
【０１３７】
上記式（Ｔ１）において、Ｌは炭素数２〜１２の脂肪族基であることが好ましい。上記式（Ｔ１）において、ｎが２であり、Ｌが炭素数２〜１２のアルキレン基であることがより好ましい。多官能チオール化合物の具体例としては、下記の構造式（Ｔ２）〜（Ｔ４）で表される化合物が挙げられ、式（Ｔ２）で表される化合物が好ましい。チオール化合物は１種を用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【０１３８】
【化２５】
2018155104.tif 000033
【０１３９】
また、硬化促進剤は、メチロール系化合物（例えば特開２０１５−３４９６３号公報の段落番号０２４６において、架橋剤として例示されている化合物）、アミン類、ホスホニウム塩、アミジン塩、アミド化合物（以上、例えば特開２０１３−４１１６５号公報の段落番号０１８６に記載の硬化剤）、塩基発生剤（例えば、特開２０１４−５５１１４号公報に記載のイオン性化合物）、イソシアネート化合物（例えば、特開２０１２−１５０１８０号公報の段落番号００７１に記載の化合物）、アルコキシシラン化合物（例えば、特開２０１１−２５３０５４号公報に記載のエポキシ基を有するアルコキシシラン化合物）、オニウム塩化合物（例えば、特開２０１５−３４９６３号公報の段落番号０２１６に酸発生剤として例示されている化合物、特開２００９−１８０９４９号公報に記載の化合物）などを用いることもできる。
【０１４０】
本発明の感光性組成物が硬化促進剤を含有する場合、硬化促進剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して０．３〜８．９質量％が好ましく、０．８〜６．４質量％がより好ましい。
【０１４１】
＜＜顔料誘導体＞＞
本発明の感光性組成物は、顔料誘導体を含有することが好ましい。顔料誘導体としては、発色団の一部分を、酸基、塩基性基またはフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。
【０１４２】
顔料誘導体を構成する発色団としては、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、フタロシアニン系骨格、アントラキノン系骨格、キナクリドン系骨格、ジオキサジン系骨格、ペリノン系骨格、ペリレン系骨格、チオインジゴ系骨格、イソインドリン系骨格、イソインドリノン系骨格、キノフタロン系骨格、スレン系骨格、金属錯体系骨格等が挙げられ、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、キノフタロン系骨格、イソインドリン系骨格およびフタロシアニン系骨格が好ましく、アゾ系骨格およびベンゾイミダゾロン系骨格がより好ましい。顔料誘導体が有する酸基としては、スルホ基、カルボキシル基が好ましく、スルホ基がより好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、三級アミノ基がより好ましい。顔料誘導体の具体例としては、例えば、特開２０１１−２５２０６５号公報の段落番号０１６２〜０１８３の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１４３】
本発明の感光性組成物が顔料誘導体を含有する場合、顔料誘導体の含有量は、顔料１００質量部に対し、１〜３０質量部が好ましく、３〜２０質量部がさらに好ましい。顔料誘導体は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【０１４４】
＜＜界面活性剤＞＞
本発明の感光性組成物は、界面活性剤を含有することが好ましい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用でき、塗布性をより向上できるという理由からフッ素系界面活性剤が好ましい。
【０１４５】
本発明の感光性組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで、塗布液として調製したときの液特性が向上し、塗布厚の均一性をより改善することができる。即ち、フッ素系界面活性剤を含有する感光性組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、塗布膜表面の界面張力が低下して、乾燥の均一性が向上する。このため、塗布ムラの少ない膜形成をより好適に行うことができる。
【０１４６】
フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３〜４０質量％が好ましく、より好ましくは５〜３０質量％であり、特に好ましくは７〜２５質量％である。フッ素含有率が上記範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、感光性組成物中における溶解性も良好である。
【０１４７】
フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１７７、Ｆ１４１、Ｆ１４２、Ｆ１４３、Ｆ１４４、Ｒ３０、Ｆ４３７、Ｆ４７５、Ｆ４７９、Ｆ４８２、Ｆ５５４、Ｆ７８０（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−３８２、ＳＣ−１０１、ＳＣ−１０３、ＳＣ−１０４、ＳＣ−１０５、ＳＣ−１０６８、ＳＣ−３８１、ＳＣ−３８３、Ｓ−３９３、ＫＨ−４０（以上、旭硝子（株）製）、ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、特開２０１５−１１７３２７号公報の段落番号００１５〜０１５８に記載の化合物、特開２０１１−１３２５０３号公報の段落番号０１１７〜０１３２に記載の化合物を用いることもできる。フッ素系界面活性剤としてブロックポリマーを用いることもでき、具体例としては、例えば特開２０１１−８９０９０号公報に記載された化合物が挙げられる。
【０１４８】
フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造で、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ（株）製のメガファックＤＳシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月２２日）（日経産業新聞、２０１６年２月２３日）、例えばメガファックＤＳ−２１が挙げられ、これらを用いてもよい。
【０１４９】
フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位とを含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができ、下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。
【化２６】
2018155104.tif 000034
上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは３，０００〜５０，０００であり、例えば、１４，０００である。
【０１５０】
フッ素系界面活性剤として、エチレン性不飽和結合を有する基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開２０１０−１６４９６５号公報の段落番号００５０〜００９０および段落番号０２８９〜０２９５に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、例えばＤＩＣ（株）製のメガファックＲＳ−１０１、ＲＳ−１０２、ＲＳ−７１８−Ｋ、ＲＳ−７２−Ｋ等が挙げられる。
【０１５１】
ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレートおよびプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニックＬ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２（ＢＡＳＦ社製）、テトロニック３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１（ＢＡＳＦ社製）、ソルスパース２００００（日本ルーブリゾール（株）製）、ＮＣＷ−１０１、ＮＣＷ−１００１、ＮＣＷ−１００２（和光純薬工業（株）製）、パイオニンＤ−６１１２、Ｄ−６１１２−Ｗ、Ｄ−６３１５（竹本油脂（株）製）、オルフィンＥ１０１０、サーフィノール１０４、４００、４４０（日信化学工業（株）製）などが挙げられる。
【０１５２】
カチオン系界面活性剤としては、オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮｏ．７５、Ｎｏ．９０、Ｎｏ．９５（共栄社化学（株）製）、Ｗ００１（裕商（株）製）等が挙げられる。
【０１５３】
アニオン系界面活性剤としては、Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）製）、サンデットＢＬ（三洋化成（株）製）等が挙げられる。
【０１５４】
シリコーン系界面活性剤としては、例えば、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング（株）製）、ＴＳＦ−４４４０、ＴＳＦ−４３００、ＴＳＦ−４４４５、ＴＳＦ−４４６０、ＴＳＦ−４４５２（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＫＰ３４１、ＫＦ６００１、ＫＦ６００２（以上、信越シリコーン株式会社製）、ＢＹＫ３０７、ＢＹＫ３２３、ＢＹＫ３３０（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。
【０１５５】
界面活性剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して、０．００１〜２．０質量％が好ましく、０．００５〜１．０質量％がより好ましい。界面活性剤は、１種のみを用いてもよいし、２種類以上を組み合わせてもよい。界面活性剤を２種類以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲であることが好ましい。
【０１５６】
＜＜シランカップリング剤＞＞
本発明の感光性組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応および／または縮合反応によってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられる。
【０１５７】
シランカップリング剤は、ビニル基、エポキシ基、スチリル基、メタクリル基、アミノ基、イソシアヌレート基、ウレイド基、メルカプト基、スルフィド基、および、イソシアネート基から選ばれる少なくとも１種の基と、アルコキシ基とを有するシラン化合物が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、例えば、Ｎ−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−６０２）、Ｎ−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−６０３）、Ｎ−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＥ−６０２）、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−９０３）、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＥ−９０３）、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−５０３）、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−４０３）等が挙げられる。シランカップリング剤の詳細については、特開２０１３−２５４０４７号公報の段落番号０１５５〜０１５８の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１５８】
本発明の感光性組成物がシランカップリング剤を含有する場合、シランカップリング剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して、０．００１〜２０質量％が好ましく、０．０１〜１０質量％がより好ましく、０．１〜５質量％が特に好ましい。本発明の感光性組成物は、シランカップリング剤を１種のみ含んでいてもよいし、２種以上含んでいてもよい。シランカップリング剤を２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１５９】
＜＜重合禁止剤＞＞
本発明の感光性組成物は、重合禁止剤を含有することができる。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩（アンモニウム塩、第一セリウム塩等）等が挙げられる。
本発明の感光性組成物が重合禁止剤を含有する場合、重合禁止剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して、０．０１〜５質量％が好ましい。本発明の感光性組成物は、重合禁止剤を１種類のみを含んでいてもよいし、２種類以上含んでいてもよい。重合禁止剤を２種類以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１６０】
＜＜紫外線吸収剤＞＞
本発明の感光性組成物は、紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤は、共役ジエン化合物、アミノブタジエン化合物、メチルジベンゾイル化合物、クマリン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物などを用いることができる。これらの詳細については、特開２０１２−２０８３７４号公報の段落番号００５２〜００７２、特開２０１３−６８８１４号公報の段落番号０３１７〜０３３４の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、ＵＶ−５０３（大東化学（株）製）などが挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としてはミヨシ油脂製のＭＹＵＡシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月１日）を用いてもよい。
【０１６１】
本発明の感光性組成物が紫外線吸収剤を含有する場合、紫外線吸収剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して、０．１〜１０質量％が好ましく、０．１〜５質量％がより好ましく、０．１〜３質量％が特に好ましい。また、紫外線吸収剤は、１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。紫外線吸収剤を２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１６２】
＜＜その他添加剤＞＞
本発明の感光性組成物には、必要に応じて、各種添加剤、例えば、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、凝集防止剤等を配合することができる。これらの添加剤としては、特開２００４−２９５１１６号公報の段落番号０１５５〜０１５６に記載の添加剤が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、酸化防止剤としては、例えばフェノール化合物、リン系化合物（例えば特開２０１１−９０１４７号公報の段落番号００４２に記載の化合物）、チオエーテル化合物などを用いることができる。市販品としては、例えば（株）ＡＤＥＫＡ製のアデカスタブシリーズ（ＡＯ−２０、ＡＯ−３０、ＡＯ−４０、ＡＯ−５０、ＡＯ−５０Ｆ、ＡＯ−６０、ＡＯ−６０Ｇ、ＡＯ−８０、ＡＯ−３３０など）が挙げられる。酸化防止剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。本発明の感光性組成物は、特開２００４−２９５１１６号公報の段落番号００７８に記載の増感剤や光安定剤、同公報の段落番号００８１に記載の熱重合防止剤を含有することができる。
【０１６３】
用いる原料等により感光性組成物中に金属元素が含まれることがあるが、欠陥発生抑制等の観点で、感光性組成物中の第２族元素（カルシウム、マグネシウム等）の含有量は５０質量ｐｐｍ以下であることが好ましく、０．０１〜１０質量ｐｐｍがより好ましい。また、感光性組成物中の無機金属塩の総量は１００質量ｐｐｍ以下であることが好ましく、０．５〜５０質量ｐｐｍがより好ましい。
【０１６４】
本発明の感光性組成物の含水率は、通常３質量％以下であり、０．０１〜１．５質量％が好ましく、０．１〜１．０質量％の範囲であることがより好ましい。含水率は、カールフィッシャー法にて測定することができる。
【０１６５】
本発明の感光性組成物は、膜面状（平坦性など）の調整、膜厚の調整などを目的として粘度を調整して用いることができる。粘度の値は必要に応じて適宜選択することができるが、例えば、２５℃において０．３ｍＰａ・ｓ〜５０ｍＰａ・ｓが好ましく、０．５ｍＰａ・ｓ〜２０ｍＰａ・ｓがより好ましい。粘度の測定方法としては、例えば、東機産業製  粘度計  ＲＥ８５Ｌ（ローター：１°３４’×Ｒ２４、測定範囲０．６〜１２００ｍＰａ・ｓ）を使用し、２５℃に温度調整を施した状態で測定することができる。
【０１６６】
本発明の感光性組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収納容器として、原材料や組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を６種６層の樹脂で構成する多層ボトルや６種の樹脂を７層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては例えば特開２０１５−１２３３５１号公報に記載の容器が挙げられる。
【０１６７】
本発明の感光性組成物は、カラーフィルタにおける着色層形成用の感光性組成物として好ましく用いることができる。着色層としては、例えば、赤色着色層、緑色着色層、青色着色層、マゼンタ色着色層、シアン色着色層、イエロー色着色層などが挙げられる。
【０１６８】
本発明の感光性組成物を液晶表示装置用途のカラーフィルタとして用いる場合、カラーフィルタを備えた液晶表示素子の電圧保持率は、７０％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましい。高い電圧保持率を得るための公知の手段を適宜組み込むことができ、典型的な手段としては純度の高い素材の使用（例えばイオン性不純物の低減）や、組成物中の酸性官能基量の制御が挙げられる。電圧保持率は、例えば特開２０１１−００８００４号公報の段落０２４３、特開２０１２−２２４８４７号公報の段落０１２３〜０１２９に記載の方法等で測定することができる。
【０１６９】
＜感光性組成物の調製方法＞
本発明の感光性組成物は、前述の成分を混合して調製できる。感光性組成物の調製に際しては、全成分を同時に溶剤に溶解および／または分散して感光性組成物を調製してもよいし、必要に応じて、各成分を適宜２つ以上の溶液または分散液としておいて、使用時（塗布時）にこれらを混合して感光性組成物を調製してもよい。
【０１７０】
また、感光性組成物の調製に際して、顔料を分散させるプロセスを含むことが好ましい。顔料を分散させるプロセスにおいて、顔料の分散に用いる機械力としては、圧縮、圧搾、衝撃、剪断、キャビテーションなどが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ボールミル、ペイントシェーカー、マイクロフルイダイザー、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散などが挙げられる。またサンドミル（ビーズミル）における顔料の粉砕においては、径の小さいビーズを使用する、ビーズの充填率を大きくする事等により粉砕効率を高めた条件で処理することが好ましい。また、粉砕処理後にろ過、遠心分離などで粗粒子を除去することが好ましい。また、顔料を分散させるプロセスおよび分散機は、「分散技術大全、株式会社情報機構発行、２００５年７月１５日」や「サスペンション（固／液分散系）を中心とした分散技術と工業的応用の実際  総合資料集、経営開発センター出版部発行、１９７８年１０月１０日」、特開２０１５−１５７８９３号公報の段落番号００２２に記載のプロセス及び分散機を好適に使用出来る。また顔料を分散させるプロセスにおいては、ソルトミリング工程にて粒子の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、処理条件等は、例えば特開２０１５−１９４５２１号公報、特開２０１２−０４６６２９号公報の記載を参酌できる。
【０１７１】
感光性組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、フィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂、ナイロン（例えばナイロン−６、ナイロン−６，６）等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン樹脂（高密度および／または超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む）等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）およびナイロンが好ましい。
【０１７２】
フィルタの孔径は、０．０１〜７．０μｍ程度が適しており、好ましくは０．０１〜３．０μｍ程度、より好ましくは０．０５〜０．５μｍ程度である。
【０１７３】
また、フィルタとしては、ファイバ状のろ材を用いたフィルタを用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられる。ファイバ状のろ材を用いたフィルタとしては、具体的にはロキテクノ社製のＳＢＰタイプシリーズ（ＳＢＰ００８など）、ＴＰＲタイプシリーズ（ＴＰＲ００２、ＴＰＲ００５など）、ＳＨＰＸタイプシリーズ（ＳＨＰＸ００３など）のフィルタカートリッジが挙げられる。
【０１７４】
フィルタを使用する際、異なるフィルタを組み合わせてもよい。その際、各フィルタでのろ過は、１回のみでもよいし、２回以上行ってもよい。
例えば、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社（ＤＦＡ４２０１ＮＸＥＹなど）、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社（旧日本マイクロリス株式会社）または株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
また、第１のフィルタでのろ過は、分散液のみで行い、他の成分を混合した後で、第２のフィルタでろ過を行ってもよい。第２のフィルタとしては、第１のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。
【０１７５】
＜硬化膜＞
本発明の硬化膜は、上述した本発明の感光性組成物から得られる硬化膜である。本発明の硬化膜は、カラーフィルタの着色層として好ましく用いることができる。
硬化膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。例えば、膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上がさらに好ましい。
【０１７６】
＜カラーフィルタ＞
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。
本発明のカラーフィルタは、上述した本発明の硬化膜を有する。本発明のカラーフィルタにおいて、硬化膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上が更に好ましい。本発明のカラーフィルタは、ＣＣＤ（電荷結合素子）やＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）などの固体撮像素子や画像表示装置などに用いることができる。
【０１７７】
＜パターン形成方法＞
次に、本発明の感光性組成物を用いたパターン形成方法について説明する。パターン形成方法としては、本発明の感光性組成物を用いて支持体上に感光性組成物層を形成する工程と、フォトリソグラフィ法またはドライエッチング法により、感光性組成物層に対してパターンを形成する工程と、を含む。
【０１７８】
フォトリソグラフィ法によるパターン形成は、感光性組成物を用いて支持体上に感光性組成物層を形成する工程と、感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、未露光部を現像除去してパターンを形成する工程と、を含むことが好ましい。必要に応じて、感光性組成物層をベークする工程（プリベーク工程）、および、現像されたパターンをベークする工程（ポストベーク工程）を設けてもよい。また、ドライエッチング法によるパターン形成は、感光性組成物を用いて支持体上に感光性組成物層を形成し、感光性組成物層を硬化して硬化物層を形成する工程と、硬化物層上にフォトレジスト層を形成する工程と、露光および現像することによりフォトレジスト層をパターニングしてレジストパターンを得る工程と、レジストパターンをエッチングマスクとして硬化物層をドライエッチングしてパターンを形成する工程とを含むことが好ましい。以下、各工程について説明する。
【０１７９】
＜＜感光性組成物層を形成する工程＞＞
感光性組成物層を形成する工程では、感光性組成物を用いて、支持体上に感光性組成物層を形成する。
【０１８０】
支持体としては、特に限定は無く、用途に応じて適宜選択できる。例えば、ガラス基板、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の固体撮像素子（受光素子）が設けられた固体撮像素子用基板、シリコン基板等が挙げられる。また、これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
【０１８１】
支持体上への感光性組成物の適用方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の方法を用いることができる。
【０１８２】
支持体上に形成した感光性組成物層は、乾燥（プリベーク）してもよい。低温プロセスによりパターンを形成する場合は、プリベークを行わなくてもよい。プリベークを行う場合、プリベーク温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１１０℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。プリベーク温度を１５０℃以下で行うことにより、例えば、イメージセンサの光電変換膜を有機素材で構成した場合において、これらの特性をより効果的に維持することができる。プリベーク時間は、１０秒〜３００秒が好ましく、４０〜２５０秒がより好ましく、８０〜２２０秒がさらに好ましい。乾燥は、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。
【０１８３】
（フォトリソグラフィ法でパターン形成する場合）
＜＜露光工程＞＞
次に、感光性組成物層をパターン状に露光する（露光工程）。例えば、感光性組成物層に対し、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。露光に際して用いることができる放射線（光）としては、ｇ線、ｉ線等の紫外線が好ましく（特に好ましくはｉ線）用いられる。照射量（露光量）は、例えば、０．０３〜２．５Ｊ／ｃｍ２が好ましく、０．０５〜１．０Ｊ／ｃｍ２がより好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が１９体積％以下の低酸素雰囲気下（例えば、１５体積％、５体積％、または、実質的に無酸素）で露光してもよく、酸素濃度が２１体積％を超える高酸素雰囲気下（例えば、２２体積％、３０体積％、または、５０体積％）で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常１０００Ｗ／ｍ２〜１０００００Ｗ／ｍ２（例えば、５０００Ｗ／ｍ２、１５０００Ｗ／ｍ２、または、３５０００Ｗ／ｍ２）の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度１０体積％で照度１００００Ｗ／ｍ２、酸素濃度３５体積％で照度２００００Ｗ／ｍ２などとすることができる。
【０１８４】
＜＜現像工程＞＞
次に、未露光部を現像除去してパターンを形成する。未露光部の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、露光工程における未露光部の感光性組成物層が現像液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。
現像液としては、下地の固体撮像素子や回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。
現像液の温度は、例えば、２０〜３０℃が好ましい。現像時間は、２０〜１８０秒が好ましい。また、残渣除去性を向上するため、現像液を６０秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。
【０１８５】
現像液としては、アルカリ剤を純水で希釈したアルカリ性水溶液が好ましく使用される。アルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス（２−ヒドロキシエチル）アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの無機アルカリ性化合物が挙げられる。アルカリ性水溶液のアルカリ剤の濃度は、０．００１〜１０質量％が好ましく、０．０１〜１質量％がより好ましい。また、現像液には、界面活性剤をさらに含んでいてもよい。界面活性剤の例としては、上述した界面活性剤が挙げられ、ノニオン系界面活性剤が好ましい。現像液は、移送や保管の便宜などの観点より、一旦濃縮液として製造し、使用時に必要な濃度に希釈してもよい。希釈倍率は特に限定されないが、例えば１．５〜１００倍の範囲に設定することができる。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、現像後純水で洗浄（リンス）することが好ましい。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、現像後、純水で洗浄（リンス）することが好ましい。
【０１８６】
現像後、乾燥を施した後に加熱処理（ポストベーク）を行うこともできる。ポストベークは、膜の硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理である。ポストベークを行う場合、ポストベーク温度は、例えば１００〜２４０℃が好ましい。膜硬化の観点から、２００〜２３０℃がより好ましい。ポストベーク後の膜のヤング率は０．５〜２０ＧＰａが好ましく、２．５〜１５ＧＰａがより好ましい。また、硬化膜が形成される支持体が、有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子や、有機素材で構成された光電変換膜を有するイメージセンサなどを含む場合においては、ポストベーク温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１００℃以下が更に好ましく、９０℃以下が特に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができる。ポストベークは、現像後の膜（硬化膜）を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
【０１８７】
硬化膜は高い平坦性を有することが好ましい。具体的には、表面粗さＲａが１００ｎｍ以下であることが好ましく、４０ｎｍ以下であることがより好ましく、１５ｎｍ以下であることが更に好ましい。下限は規定されないが、例えば０．１ｎｍ以上であることが好ましい。表面粗さの測定は、例えばＶｅｅｃｏ社製のＡＦＭ（原子間力顕微鏡）  Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ３１００を用いて測定することができる。
また、硬化膜上の水の接触角は適宜好ましい値に設定することができるが、典型的には、５０〜１１０°の範囲である。接触角は、例えば接触角計ＣＶ−ＤＴ・Ａ型（協和界面科学（株）製）を用いて測定できる。
【０１８８】
各パターン（画素）の体積抵抗値は高いことが望まれる。具体的には、画素の体積抵抗値は１０９Ω・ｃｍ以上であることが好ましく、１０１１Ω・ｃｍ以上であることがより好ましい。上限は規定されないが、例えば１０１４Ω・ｃｍ以下であることが好ましい。画素の体積抵抗値は、例えば超高抵抗計５４１０（アドバンテスト社製）を用いて測定することができる。
【０１８９】
（ドライエッチング法でパターン形成する場合）
ドライエッチング法でのパターン形成は、感光性組成物を支持体上などに塗布して形成した感光性組成物層を硬化して硬化物層を形成し、次いで、この硬化物層上にパターニングされたフォトレジスト層を形成し、次いで、パターニングされたフォトレジスト層をマスクとして硬化物層に対してエッチングガスを用いてドライエッチングするなどの方法で行うことができる。
【０１９０】
フォトレジスト層は、硬化物層上にポジ型またはネガ型の感光性組成物を塗布し、これを乾燥させることによりフォトレジスト層を形成することが好ましい。フォトレジスト層の形成に用いる感光性組成物としては、ポジ型の感光性組成物が好ましく用いられる。ポジ型の感光性組成物としては、紫外線（ｇ線、ｈ線、ｉ線）、ＫｒＦ線、ＡｒＦ線等を含む遠紫外線、電子線、イオンビームおよびＸ線等の放射線に感応する感光性組成物が好ましい。上述のポジ型の感光性組成物は、ＫｒＦ線、ＡｒＦ線、ｉ線、Ｘ線）に感応する感光性組成物が好ましく、微細加工性の観点からＫｒＦ線に感応する感光性組成物がより好ましい。ポジ型の感光性組成物としては、特開２００９−２３７１７３号公報や特開２０１０−１３４２８３号公報に記載のポジ型レジスト組成物が好適に用いられる。フォトレジスト層の形成において、露光は、ＫｒＦ線、ＡｒＦ線、ｉ線、Ｘ線などで行うことが好ましく、ＫｒＦ線、ＡｒＦ線、Ｘ線などで行うことがより好ましく、ＫｒＦ線で行うことが更に好ましい。
【０１９１】
＜固体撮像素子＞
本発明の固体撮像素子は、上述した本発明の硬化膜を有するカラーフィルタを備える。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明のカラーフィルタを備え、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
【０１９２】
基板上に、固体撮像素子（ＣＣＤ（電荷結合素子）イメージセンサ、ＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）イメージセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、カラーフィルタを有する構成である。更に、デバイス保護膜上であってカラーフィルタの下（基板に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各着色画素を形成する硬化膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各着色画素に対して低屈折率であることが好ましい。このような構造を有する撮像装置の例としては、特開２０１２−２２７４７８号公報、特開２０１４−１７９５７７号公報に記載の装置が挙げられる。本発明の固体撮像素子を備えた撮像装置は、デジタルカメラや、撮像機能を有する電子機器（携帯電話等）の他、車載カメラや監視カメラ用としても用いることができる。
【０１９３】
＜画像表示装置＞
本発明の硬化膜を有するカラーフィルタは、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの、画像表示装置に用いることができる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木昭夫著、（株）工業調査会、１９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田龍男編集、（株）工業調査会、１９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
【実施例】
【０１９４】
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は、質量基準である。【０１９５】
＜重量平均分子量の測定＞
化合物Ａおよび樹脂の重量平均分子量は、以下の条件に従って、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）によって測定した。
カラムの種類：ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺＭ−Ｈと、ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ４０００と、ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ２０００とを連結したカラム
展開溶媒：テトラヒドロフラン
カラム温度：４０℃
流量（サンプル注入量）：１．０μＬ（サンプル濃度０．１質量％）
装置名：東ソー（株）製  ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ
検出器：ＲＩ（屈折率）検出器
検量線ベース樹脂：ポリスチレン樹脂【０１９６】
＜酸価の測定方法＞
化合物Ａおよび樹脂の酸価は、固形分１ｇあたりの酸性成分を中和するのに要する水酸化カリウムの質量を表したものである。化合物Ａおよび樹脂の酸価は次のようにして測定した。すなわち、測定サンプルをテトラヒドロフラン／水＝９／１（質量比）混合溶媒に溶解し、電位滴定装置（商品名：ＡＴ−５１０、京都電子工業製）を用いて、得られた溶液を、２５℃にて、０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液で中和滴定した。滴定ｐＨ曲線の変曲点を滴定終点として、次式により酸価を算出した。
Ａ＝５６．１１×Ｖｓ×０．５×ｆ／ｗ
Ａ：酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）
Ｖｓ：滴定に要した０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液の使用量（ｍＬ）
ｆ：０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液の力価
ｗ：測定サンプル質量（ｇ）（固形分換算）【０１９７】
＜Ｃ＝Ｃ価の測定＞
化合物ＡのＣ＝Ｃ価は、化合物Ａの固形分１ｇあたりのＣ＝Ｃ基のモル量を表したものであり、アルカリ処理により化合物ＡからＣ＝Ｃ基部位（例えば、上記の化合物Ａの具体例で示したＰ−１においてはメタクリル酸、Ｐ−２においてはアクリル酸）の低分子成分（ａ）を取り出し、その含有量を高速液体クロマトグラフィー（ＨＰＬＣ）により測定し、その測定値に基づいて下記式からＣ＝Ｃ価を算出した。具体的には、測定サンプル０．１ｇをテトラヒドロフラン／メタノール混合液（５０ｍＬ／１５ｍＬ）に溶解させ、４ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液１０ｍＬを加え、４０℃で２時間反応させた。反応液を４ｍｏｌ／Ｌメタンスルホン酸水溶液１０．２ｍＬで中和し、その後、イオン交換水５ｍＬとメタノール２ｍＬを加えた混合液を１００ｍＬメスフラスコに移液し、メタノールでメスアップすることでＨＰＬＣ測定サンプルを調製し、以下の条件で測定した。なお、低分子成分（ａ）の含有量は別途作成した低分子成分（ａ）の検量線から算出し、Ｃ＝Ｃ価は下記式より算出した。
（Ｃ＝Ｃ価算出式）
Ｃ＝Ｃ価［ｍｍｏｌ／ｇ］＝（低分子成分（ａ）含有量［ｐｐｍ］  ／低分子成分（ａ）の分子量［ｇ／ｍｏｌ］）／（調液ポリマーの秤量値［ｇ］×（ポリマー液の固形分濃度［％］／１００）×１０）
（ＨＰＬＣ測定条件）
測定機器：  Ａｇｉｌｅｎｔ−１２００
カラム：  Ｐｈｅｎｏｍｅｎｅｘ製  Ｓｙｎｅｒｇｉ  ４ｕ  Ｐｏｌａｒ−ＲＰ  ８０Ａ，２５０ｍｍ×４．６０ｍｍ（内径）＋ガードカラム
カラム温度：４０℃
分析時間：１５分
流速：１．０ｍＬ／ｍｉｎ（最大送液圧力：１８２ｂａｒ）
注入量：５μｌ
検出波長：２１０ｎｍ
溶離液：テトラヒドロフラン（安定剤不含ＨＰＬＣ用）／バッファー溶液（リン酸０．２ｖｏｌ％およびトリエチルアミン０．２ｖｏｌ％を含有するイオン交換水溶液）＝５５／４５（ｖｏｌ％）
＜分散液の調製＞
下記の表に記載の成分を混合したのち、そこへ直径０．３ｍｍのジルコニアビーズ２３０質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて５時間分散処理を行った。次いで、ジルコニアビーズをろ過により分離して分散液を調製した。【０１９８】
【表８】
2018155104.tif 000035
【０１９９】
＜感光性組成物の調製＞
下記の表に記載の成分を混合して、感光性組成物を調製した。なお、下記の表中の色材濃度の値は、感光性組成物の全固形分中における色材の含有量の値である。また、化合物Ａの含有量の値は、エチレン性不飽和基を有する化合物の全質量中における、エチレン性不飽和基を有する重量平均分子量３０００以上の化合物の含有量の値である。
【表９】
2018155104.tif 000036
【０２００】
上記表に記載の成分は以下の通りである。
（色材）
ＰＲ２５４  ：  Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４
ＰＲ２６４  ：  Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２６４
ＰＹ１３９  ：  Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １３９
ＰＹ１５０  ：  Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １５０
ＰＹ１８５  ：  Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １８５
ＰＢ１５：６  ：  Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６
ＰＶ２３  ：  Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２３
ＰＧ３６  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６
ＰＧ５８  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ５８
Ｂ−１：下記構造の化合物（色素多量体、Ｍｗ＝１２０００、主鎖の繰り返し単位に併記した数値はモル比である。）
【化２７】
2018155104.tif 000037
Ｂ−２：下記構造の化合物（色素多量体、Ｍｗ＝１３２００、主鎖の繰り返し単位に併記した数値はモル比である。）
【化２８】
2018155104.tif 000038
Ｂ−３：下記構造の化合物（色素多量体、Ｍｗ＝１３２００、主鎖の繰り返し単位に併記した数値はモル比である。）
【化２９】
2018155104.tif 000039
Ｂ−４：下記構造の化合物（色素多量体（キサンテン骨格／メタクリル酸／メタクリル酸とグリシジルメタクリレートの付加体のモル比＝５／６／６であり、メタクリル酸由来の繰り返し単位と、メタクリル酸とグリシジルメタクリレートの付加体由来の繰り返し単位の平均個数が１２個）、Ｍｗ＝１１６００）
【化３０】
2018155104.tif 000040
【０２０１】
（顔料誘導体）
誘導体１：下記構造の化合物。
【化３１】
2018155104.tif 000041
【０２０２】
（分散剤、樹脂）
Ｐ−１、Ｐ−２、Ｐ−６、Ｐ−７、Ｐ−８、Ｐ−１５、Ｐ−１６、Ｐ−２０、Ｐ−２２、Ｐ−２４：上述した化合物Ａの具体例として挙げたＰ−１、Ｐ−２、Ｐ−６、Ｐ−７、Ｐ−８、Ｐ−１５、Ｐ−１６、Ｐ−２２、Ｐ−２４。これらはいずれもエチレン性不飽和基を有する繰り返し単位と、グラフト鎖を有する繰り返し単位とを含む重量平均分子量３０００以上の化合物である。
分散剤１：下記構造の樹脂。主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。Ｍｗ＝２０，０００。
【化３２】
2018155104.tif 000042
分散剤２：下記構造の樹脂。主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。Ｍｗ＝２４，０００。
【化３３】
2018155104.tif 000043
Ｄ１：下記構造の樹脂。主鎖に付記した数値はモル比である。Ｍｗ＝３０，０００。
Ｄ２：下記構造の樹脂。主鎖に付記した数値はモル比である。Ｍｗ＝１１，０００。Ｄ２は、エチレン性不飽和基を有する繰り返し単位を含む重量平均分子量３０００以上の化合物である。
【化３４】
2018155104.tif 000044
【０２０３】
（重合性化合物）
Ｅ１：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ（日本化薬（株）製）
Ｅ２：ＮＫエステル  Ａ−ＴＭＭＴ（新中村化学工業（株）製）（分子量：３５２）
Ｅ３：ＮＫエステル  Ａ−ＤＰＨ−１２Ｅ（新中村化学工業（株）製）
重合性化合物Ｅ１〜Ｅ３は、いずれもエチレン性不飽和基を有する分子量３０００未満の化合物である。【０２０４】
（光重合開始剤）
Ｆ１：ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ０２  （ＢＡＳＦ製）
Ｆ２：ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ３６９  （ＢＡＳＦ製）
Ｆ３：ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ０１  （ＢＡＳＦ製）
（界面活性剤）
Ｈ１：下記混合物（Ｍｗ＝１４０００）の１質量％ＰＧＭＥＡ溶液。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。
【化３５】
2018155104.tif 000045
（重合禁止剤）
Ｉ１：ｐ−メトキシフェノール
（添加剤）
Ｊ１：ＥＨＰＥ−３１５０（（株）ダイセル製、エポキシ化合物）
（溶剤）
ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
ＣＨＮ：シクロヘキサノン【０２０５】
＜色ムラの評価＞
ガラス基板上にＣＴ−４０００（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を膜厚が０．１μｍとなるようにスピンコート法で塗布し、ホットプレートを用いて２２０℃で１時間加熱して下地層を形成した。この下地層付きのガラス基板上に各感光性組成物をスピンコート法で塗布し、その後、ホットプレートを用いて１００℃で２分間加熱して、下記表に記載の膜厚を有する感光性組成物層（以下、単に「組成物層」ともいう。）を得た。
この組成物層に対して、３６５ｎｍの波長の光を照射し、露光量５００ｍＪ／ｃｍ２にて露光を行った。次いで、ホットプレートを用いて２２０℃で３００秒間ポストベークを行い、膜を形成した。この膜が形成されたガラス基板（評価用基板）を用いて輝度分布を下記方法で解析し、平均からのずれが±１０％以上である画素数をもとに色ムラの評価を行った。
輝度分布の測定方法について説明する。評価用基板を光学顕微鏡の観測レンズと光源との間に設置して光を観測レンズに向けて照射し、その透過光状態をデジタルカメラが設置された光学顕微鏡ＭＸ−５０（オリンパス社製）を用いて観察した。膜表面の撮影は、任意に選択した５つの領域に対して行った。撮影画像の輝度を０〜２５５までの２５６階調の濃度分布として数値化して保存した。この画像から輝度分布を解析し、平均からのズレが±１０％を超える画素数にて色ムラを評価した。評価基準は以下の通りである。
５：平均からのズレが±１０％を超える画素数が１０００以下である。
４：平均からのズレが±１０％を超える画素数が１０００を越え３０００以下である。
３：平均からのズレが±１０％を超える画素数が３０００を越え５０００以下である。
２：平均からのズレが±１０％を超える画素数が５０００を超え１５０００以下である。
１：平均からのズレが±１０％を超える画素数が１５０００を超える。【０２０６】
＜密着性の評価＞
シリコンウエハ上にＣＴ−４０００（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を膜厚が０．１μｍとなるようにスピンコート法で塗布し、ホットプレートを用いて２２０℃で１時間加熱して下地層を形成した。この下地層付きのシリコンウエハ上に各感光性組成物をスピンコート法で塗布し、その後、ホットプレートを用いて１００℃で２分間加熱して、下記表に記載の膜厚を有する組成物層を得た。
この組成物層に対して、ｉ線ステッパーＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用し、一辺１．１μｍの正方ピクセルがそれぞれ基板上の４ｍｍ×３ｍｍの領域に配列されたマスクパターンを介し、３６５ｎｍの波長の光を照射し、露光量５００ｍＪ／ｃｍ２にて露光を行った。
露光後の組成物層に対し、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドの０．３質量％水溶液を用い、２３℃で６０秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにて水を用いてリンスを行い、更に純水にて水洗いを行った。次いで、水滴を高圧のエアーで飛ばし、シリコンウエハを自然乾燥させたのち、ホットプレートを用いて２２０℃で３００秒間ポストベークを行い、パターンを形成した。得られたパターンについて、光学顕微鏡を用いて観察し、全パターン中密着しているパターンをカウントした。密着性は下記評価基準に基づいて評価した。
５：すべてのパターンが密着している。
４：密着しているパターンが、全パターンの９０％以上１００％未満である。
３：密着しているパターンが、全パターンの８０％以上９０％未満である。
２：密着しているパターンが、全パターンの７０％以上８０％未満である。
１：密着しているパターンが、全パターンの７０％未満である。
【表１０】
2018155104.tif 000046
【０２０７】
上記表に示すように、実施例の感光性組成物を用いることによって色ムラの少ない硬化膜を製造することができた。さらには、この硬化膜は基板との密着性にも優れていた。また、実施例１〜３、８〜１１、１７、１９の感光性組成物から得られた硬化膜は、赤色着色層として好ましい分光特性を有していた。また、実施例４、５、１２、１８の感光性組成物から得られた硬化膜は、緑色着色層として好ましい分光特性を有していた。また、実施例６、７、１３〜１６の感光性組成物から得られた硬化膜は、青色着色層として好ましい分光特性を有していた。また、重合性化合物を含まない実施例２、３、５、７〜１８の感光性組成物においては、より薄膜で、カラーフィルタとしての分光特性に優れた硬化膜を作製することができた。これらの実施例は、カラーフィルタの低背化やクロストーク抑制の観点で優れていた。
【国際調査報告】
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