(57)【要約】  本発明の課題は、インクの射出安定性を維持しながら、インクとともにヘッド内の気泡や異物等を効果的に除去できるインクジェット記録装置を提供することである。本発明のインクジェット記録装置２００は、圧力室１３Ａのインクを排出可能な個別連通流路１８と、当該個別連通流路１８からのインクが合流する共通流路１９と、を有するインクジェットヘッド１００等を備え、インクを射出する際の、単位時間当たりに最大のインク量を射出するノズル１１ａにおける、当該ノズル１１ａから射出される単位時間当たりのインク量Ｆｎと、個別連通流路１８から排出される単位時間当たりの平均インク流量Ｆｉとの関係が、（Ｆｎ／Ｆｉ）≦１０を満たし、かつ、共通流路１９の流路抵抗Ｒｃと、個別連通流路１８の合成抵抗Ｒｔとの関係が、（Ｒｃ／Ｒｔ）≦１０を満たす。
2018008397.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを射出する複数のノズルと、
前記複数のノズルの各々に連通して設けられ、前記ノズルから射出するインクを貯留する複数の圧力室と、
前記複数の圧力室の各々に対応して設けられ、前記圧力室内のインクに圧力を加える複数の圧力発生手段と、
前記複数の圧力室の各々、又は前記圧力室と前記ノズルとの間の連通路の各々から分岐して設けられ、前記圧力室のインクを排出可能な複数の個別連通流路と、
前記複数の個別連通流路が連結し、前記複数の個別連通流路から排出されたインクが合流する共通流路と、を有するインクジェットヘッドと、
前記圧力室から前記個別連通流路へのインクの循環流を発生させるためのインク供給手段と、を備え、
前記ノズルからインクを射出する際の、前記インクジェットヘッドに設けられたすべてのノズルのうち、単位時間当たりに最大のインク量を射出するノズルにおける、当該ノズルから射出される単位時間当たりのインク量Ｆｎと、前記個別連通流路から前記共通流路に排出される単位時間当たりの平均インク流量Ｆｉとの関係が、下記式（１）を満たし、かつ、
前記共通流路の流路抵抗Ｒｃと、当該共通流路に連結する前記複数の個別連通流路の合成抵抗Ｒｔとの関係が、下記式（２）を満たすインクジェット記録装置。
式（１）：（Ｆｎ／Ｆｉ）≦１０
式（２）：（Ｒｃ／Ｒｔ）≦１０
【請求項２】
前記共通流路は、当該共通流路の出口に近くなるにつれて流路抵抗が大きくなっている請求項１に記載のインクジェット記録装置。
【請求項３】
前記共通流路に連結する複数の個別連通流路のうち、当該共通流路の出口により近い位置に連結する前記個別連通流路は、より大きな流路抵抗を有する請求項１又は請求項２に記載のインクジェット記録装置。
【請求項４】
前記共通流路の出口は、前記複数のノズルの配列方向の両側に、それぞれ１つずつ設けられている請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載のインクジェット記録装置。
【請求項５】
前記共通流路の内面に面して設けられ、圧力により弾性変形して流路の容積を変更可能なダンパーを備える請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載のインクジェット記録装置。
【請求項６】
前記ダンパーは、前記複数のノズルが形成されているノズル基板により形成されている請求項５に記載のインクジェット記録装置。
【請求項７】
前記複数の圧力室の上部に、当該複数の圧力室に供給するインクを貯留するマニホールドが設けられている請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載のインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットヘッドに設けられた複数のノズルから、圧力室内に貯留するインクを射出して記録媒体に画像を形成するインクジェット記録装置が知られている。
このようなインクジェット記録装置では、インクジェットヘッド内に発生した気泡や混入した異物等によって、ノズルが詰まり、射出不良等の問題が生じる場合がある。また、インクの種類によっては、長時間使用しないままにしておくと、インク粒子の沈降等によってノズル付近のインク粘度が高まり、安定したインクの射出性能が得難い場合がある。【０００３】
そこで、ヘッド内に、圧力室のインクを循環可能な流路を備え、ヘッド内の気泡や異物等をインクとともにヘッドの外部に排出できるインクジェットヘッドが知られている（特許文献１及び２）。
例えば、特許文献１及び２には、ヘッド内部に、各圧力室からのインクを排出可能な個別連通流路（循環用流路）と、複数の個別連通流路が合流する共通流路と、共通流路のインクを排出可能なインク排出路と、を備えたインクジェットヘッドが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５３８５９７５号公報
【特許文献２】特許第５５９０３２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、インクジェットヘッドの小型化や画像の高解像度化のためノズルを高密度に配置することが求められている。しかし、本発明者が、従来の循環可能な流路（個別連通流路）を有するインクジェットヘッドにおいて、ノズルを高密度に配置する構成としたところ、個別連通流路ごとに、インクの循環流量が大きくばらつくことがわかった。【０００６】
インクの循環流量を増やすことで、圧力室内の気泡や異物等をより効率的に除去することができるが、インクの循環流量を増やすと、射出のエネルギー効率が落ちて射出速度の低下やインク滴量の減少が起きる。ここで、個別連通流路ごとのインクの循環流量がばらついていると、各ノズルからのインクの射出性能がばらつくことになってしまう。【０００７】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、インクの射出性能のばらつきを抑制しながら、インクとともにヘッドチップ内の気泡や異物等を効果的に除去できるインクジェット記録装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題の解決のために、請求項１に記載の発明は、インクジェット記録装置であって、
インクを射出する複数のノズルと、
前記複数のノズルの各々に連通して設けられ、前記ノズルから射出するインクを貯留する複数の圧力室と、
前記複数の圧力室の各々に対応して設けられ、前記圧力室内のインクに圧力を加える複数の圧力発生手段と、
前記複数の圧力室の各々、又は前記圧力室と前記ノズルとの間の連通路の各々から分岐して設けられ、前記圧力室のインクを排出可能な複数の個別連通流路と、
前記複数の個別連通流路が連結し、前記複数の個別連通流路から排出されたインクが合流する共通流路と、を有するインクジェットヘッドと、
前記圧力室から前記個別連通流路へのインクの循環流を発生させるためのインク供給手段と、を備え、
前記ノズルからインクを射出する際の、前記インクジェットヘッドに設けられたすべてのノズルのうち、単位時間当たりに最大のインク量を射出するノズルにおける、当該ノズルから射出される単位時間当たりのインク量Ｆｎと、前記個別連通流路から前記共通流路に排出される単位時間当たりの平均インク流量Ｆｉとの関係が、下記式（１）を満たし、かつ、
前記共通流路の流路抵抗Ｒｃと、当該共通流路に連結する前記複数の個別連通流路の合成抵抗Ｒｔとの関係が、下記式（２）を満たすものである。
式（１）：（Ｆｎ／Ｆｉ）≦１０
式（２）：（Ｒｃ／Ｒｔ）≦１０【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェット記録装置において、
前記共通流路は、当該共通流路の出口に近くなるにつれて流路抵抗が大きくなっているものである。【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のインクジェット記録装置において、
前記共通流路に連結する複数の個別連通流路のうち、当該共通流路の出口により近い位置に連結する前記個別連通流路は、より大きな流路抵抗を有するものである。【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載のインクジェット記録装置において、
前記共通流路の出口は、前記複数のノズルの配列方向の両側に、それぞれ１つずつ設けられているものである。【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載のインクジェット記録装置において、
前記共通流路の内面に面して設けられ、圧力により弾性変形して流路の容積を変更可能なダンパーを備えるものである。【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のインクジェット記録装置において、
前記ダンパーは、前記複数のノズルが形成されているノズル基板により形成されているものである。【００１４】
請求項７に記載の発明は、請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載のインクジェット記録装置において、
前記複数の圧力室の上部に、当該複数の圧力室に供給するインクを貯留するマニホールドが設けられているものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、インクの射出性能のばらつきを抑制しながら、インクとともにヘッド内の気泡や異物等を効果的に除去できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】インクジェット記録装置を示す概略図
【図２】ヘッドユニットの底面図
【図３Ａ】インクジェットヘッドの斜視図
【図３Ｂ】インクジェットヘッドの断面図
【図４】インクジェットヘッドの分解斜視図
【図５】ヘッドチップ及び配線基板を模式的に示す分解斜視図
【図６】ヘッドチップ内部のインクの流れを説明するための底面側からの斜視図
【図７】図６中の（VII）−（VII）線に沿う部分で切断した断面図
【図８】図６中の（VIII）−（VIII）線に沿う部分で切断した断面図
【図９Ａ】ノズル基板の平面図
【図９Ｂ】ノズル基板の変形例の平面図
【図９Ｃ】ノズル基板の変形例の平面図
【図９Ｄ】ノズル基板の変形例の平面図
【図１０】インク循環系を示す模式図
【図１１】他の実施形態に係るヘッドチップ断面の一部を拡大した断面図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照しながら、本発明の好ましい実施形態について説明する。但し、発明の範囲は図示例に限定されない。なお、本明細書では、説明の便宜上、図２において、インクジェットヘッド１００のノズル１１ａの配列方向である印字幅方向を左右方向とし、ノズル１１ａの下側で記録媒体の搬送される方向を前後方向とし、左右方向と前後方向の直交する方向を上下方向として説明する。また、図面の流路中の矢印は、インクの流れる方向を指す。
【００１８】
［インクジェット記録装置］
インクジェット記録装置２００は、図１に示すように、給紙部２１０と、画像記録部２２０と、排紙部２３０と、インク供給手段としてのインク循環系８（図１０参照）等を備える。インクジェット記録装置２００は、給紙部２１０に格納された記録媒体Ｍを画像記録部２２０に搬送し、画像記録部２２０で記録媒体Ｍに画像を形成し、画像が形成された記録媒体Ｍを排紙部２３０に搬送する。
【００１９】
給紙部２１０は、記録媒体Ｍを格納する給紙トレー２１１と、給紙トレー２１１から画像記録部２２０に記録媒体Ｍを搬送して供給する媒体供給部２１２とを有する。媒体供給部２１２は、内側が２本のローラーにより支持された輪状のベルトを備え、このベルト上に記録媒体Ｍを載置した状態でローラーを回転させることで記録媒体Ｍを給紙トレー２１１から画像記録部２２０へ搬送する。
【００２０】
画像記録部２２０は、搬送ドラム２２１と、受け渡しユニット２２２と、加熱部２２３と、ヘッドユニット２２４と、定着部２２５と、デリバリー部２２６等を有する。
【００２１】
搬送ドラム２２１は、円柱面をなしており、その外周面が記録媒体Ｍを載置させる搬送面となっている。搬送ドラム２２１は、その搬送面上に記録媒体Ｍを保持した状態で図１中の矢印の向きに回転することによって、記録媒体Ｍを搬送面に沿って搬送する。また、搬送ドラム２２１は、爪部及び吸気部（図示省略）を備え、爪部により記録媒体Ｍの端部を押さえ、かつ吸気部により記録媒体Ｍを搬送面に吸い寄せることで、搬送面上に記録媒体Ｍを保持している。
【００２２】
受け渡しユニット２２２は、給紙部２１０の媒体供給部２１２と搬送ドラム２２１との間の位置に設けられ、媒体供給部２１２から搬送された記録媒体Ｍの一端をスイングアーム部２２２ａで保持して取り上げ、受け渡しドラム２２２ｂを介して搬送ドラム２２１に引き渡す。
【００２３】
加熱部２２３は、受け渡しドラム２２２ｂの配置位置とヘッドユニット２２４の配置位置との間に設けられ、搬送ドラム２２１により搬送される記録媒体Ｍが所定の温度範囲内の温度となるように当該記録媒体Ｍを加熱する。加熱部２２３は、例えば、赤外線ヒーター等を有し、制御部（図示省略）から供給される制御信号に基づいて赤外線ヒーターに通電してヒーターを発熱させる。
【００２４】
ヘッドユニット２２４は、画像データに基づいて、記録媒体Ｍが保持された搬送ドラム２２１の回転に応じた適切なタイミングで記録媒体Ｍに対してインクを射出して画像を形成する。ヘッドユニット２２４は、インク射出面が搬送ドラム２２１に対向して所定の距離を置いて配置される。本実施形態のインクジェット記録装置２００では、例えば、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の４色のインクにそれぞれ対応する４つのヘッドユニット２２４が、記録媒体Ｍの搬送方向上流側からＹ，Ｍ，Ｃ，Ｋの色の順に所定の間隔で並ぶように配列されている。
【００２５】
ヘッドユニット２２４は、例えば、図２に示すように、前後方向に隣接する一対のインクジェットヘッド１００の組が、前後方向について異なる位置に千鳥状に配置されている。また、ヘッドユニット２２４は、画像の記録時には搬送ドラム２２１の回転軸に対する位置が固定されて用いられる。即ち、インクジェット記録装置２００は、ラインヘッドを用いた１パス描画方式の画像記録を行うインクジェット記録装置２００である。
【００２６】
定着部２２５は、搬送ドラム２２１のＸ方向の幅に亘って配置された発光部を有し、搬送ドラム２２１に載置された記録媒体Ｍに対して当該発光部から紫外線等のエネルギー線を照射して記録媒体Ｍ上に射出されたインクを硬化させて定着させる。定着部２２５の発光部は、搬送方向についてヘッドユニット２２４の配置位置の下流側かつデリバリー部２２６の受け渡しドラム２２６ａの配置位置の上流側に搬送面と対向して配置される。
【００２７】
デリバリー部２２６は、内側が２本のローラーにより支持された輪状のベルトを有するベルトループ２２６ｂと、記録媒体Ｍを搬送ドラム２２１からベルトループ２２６ｂに受け渡す円筒状の受け渡しドラム２２６ａとを有し、受け渡しドラム２２６ａにより搬送ドラム２２１からベルトループ２２６ｂ上に受け渡された記録媒体Ｍをベルトループ２２６ｂにより搬送して排紙部２３０に送出する。
【００２８】
排紙部２３０は、デリバリー部２２６により画像記録部２２０から送り出された記録媒体Ｐが載置される板状の排紙トレー２３１を有する。
【００２９】
［インクジェットヘッド］
本実施形態のインクジェットヘッド１００は、図３Ａ、Ｂ及び図４等に示すように、ヘッドチップ１と、ヘッドチップ１が配設された配線基板２と、配線基板２とフレキシブル基板３を介して接続された駆動回路基板４と、ヘッドチップ１内の圧力室１３Ａに供給するインクを貯留するマニホールド５と、内側にマニホールド５が収納された筐体６と、筐体６の底面開口を塞ぐように取り付けられたキャップ受板７と、筐体６に取り付けられたカバー部材９等を備えている（図３Ａ，Ｂ及び図４）。
なお、図３Ａでは、マニホールド５の図示を省略しており、図３Ｂ及び図４では、カバー部材９の図示を省略している。
また、本実施形態では、ヘッドチップ１のノズル１１ａの列数が２列である例について説明するが、ノズル１１ａの列数や配置は適宜変更可能であり、例えば、１列でもよく、３列以上であってもよい。
【００３０】
ヘッドチップ１は、左右方向に長尺な略四角柱状の部材であり、圧力室基板１２と、ノズル基板１１とによって構成されている。
【００３１】
圧力室基板１２には、圧力室１３Ａ、排出流路１３Ｂ及び共通流路１９等が設けられている（図５参照）。
圧力室１３Ａは、圧電材料によって形成された圧力発生手段としての隔壁１５により隔てられて形成されており、ノズル１１ａから射出するためのインクを貯留している。各圧力室１３Ａの内面には、隣接する圧力室１３Ａ間の隔壁１５を駆動するための駆動電極１４が設けられており、駆動電極１４に電圧が印加されると、隣接する圧力室１３Ａ間の隔壁１５部分がシェアモード型の変位を繰り返すことにより、圧力室１３Ａ内のインクに圧力が加えられる。
【００３２】
また、各圧力室１３Ａは、略矩形状の断面を有し上下方向に沿って形成されており、圧力室基板１２の上面に入口を有し、下面に出口を有している。また、各圧力室１３Ａは、複数の圧力室１３Ａ，…が互いに平行となるように、複数の圧力室１３Ａが左右方向に配列されるとともに、前後方向に２つの列をなすように配設されている。
【００３３】
排出流路１３Ｂは、圧力室１３Ａと同様に隔壁１５により隔てられて形成されており、上側（ノズル基板１１側とは反対側）に向かって、インクをインクジェットヘッド１００の外部に排出するための流路となっている。また、排出流路１３Ｂは、上下方向に沿って形成されており、圧力室基板１２の上面に出口を有し、下面に入口を有している。また、排出流路１３Ｂは、圧力室１３Ａ，…と互いに平行になるように並んで配設され、ヘッドチップ１の右端部付近に２つ配設されている。また、排出流路１３Ｂは、圧力室１３Ａよりも大きな容積を有するように設けることによって、インクの排出効率を高めることができる。
【００３４】
共通流路１９は、圧力室基板１２の下部部分に設けられており、圧力室１３Ａに連通する個別連通流路１８が複数連結し、その個別連通流路１８から流れてくるインクが合流する（図６及び図７等参照）。また、共通流路１９は、左右方向に平行となるようにノズル列毎に設けられており、共通流路の右端部付近で排出流路１３Ｂに連通している。また、共通流路１９を圧力室基板１２に設けることによって、流路の容積を大きくでき、ヘッドチップ１内のインクの循環量を増やすことができるため、気泡等を効果的に排出することができる。
【００３５】
ノズル基板１１は、ノズル１１ａ及び個別連通流路１８等が形成されている。また、ノズル基板１１には、圧力室基板１２に設けられた圧力室１３Ａ、排出流路１３Ｂ及び共通流路１９の下部に対応する位置に、それぞれ断面が同一形状となるように、ノズル基板１１にも圧力室１３Ａ、排出流路１３Ｂ及び共通流路１９が形成されている（図７及び図８等参照）。すなわち、圧力室１３Ａ、排出流路１３Ｂ及び共通流路１９の下側を塞ぐようにノズル基板１１が配設されており、圧力室基板１２とノズル基板１１とに跨って、これらの流路が形成されている。
【００３６】
ノズル基板１１には共通流路１９が形成されている。共通流路１９の下部部分は厚さが薄いため、圧力によりわずかに弾性変形して流路の容積を変更可能であり、ダンパー１１ｂとして機能する。
また、ノズル基板１１は、例えば、ポリイミド材料のプレートに対してレーザー加工する方法や、シリコン材料のプレートに対してエッチング加工する方法によって製造することができる。
【００３７】
ノズル１１ａは、ノズル基板１１における各圧力室１３Ａの下部に、厚さ方向（上下方向）に貫通して設けられており、圧力室１３Ａに貯留されたインクを射出するようになっている。なお、本実施形態においては、ノズル１１ａは左右方向に配列されるとともに、前後方向に２つの列をなしている。
【００３８】
個別連通流路１８は、ノズル基板１１の上部部分に、圧力室１３Ａと共通流路１９とを連通するように設けられている（図７及び図９Ａ等参照）。なお、個別連通流路１８は、各圧力室１３Ａと共通流路１９とを連通していればよく、ノズル基板１１ではなく圧力室基板１２に設けても、両方に跨って設けてもよい。
【００３９】
ヘッドチップ１の上面には、図４及び図５に示すように、配線基板２が配設され、配線基板２の前後方向に沿った両縁部に、駆動回路基板４と接続された２つのフレキシブル基板３が配設されている。
【００４０】
配線基板２は、左右方向に長尺な略矩形板状に形成されており、その略中央部に開口部２２を有している。配線基板２の左右方向及び前後方向の各幅は、ヘッドチップ１よりもそれぞれ大きく形成されている。
【００４１】
開口部２２は、左右方向に長尺な略矩形状に形成されており、配線基板２にヘッドチップ１が取り付けられた状態においては、ヘッドチップ１における各圧力室１３Ａの入口と、排出流路１３Ｂの出口とを上側に露出させるようになっている。また、開口部２２の前後方向側の縁部には、ヘッドチップ１の駆動電極１４からヘッドチップ１の上面に引き出された電極（図示省略）に接続される電極部２１が所定数配設されている（図５）。
【００４２】
フレキシブル基板３は、図５に示すように、駆動回路基板４と配線基板２の電極部２１とを電気的に接続させる複数の配線３１，…を有している。これにより、駆動回路基板４からの信号が、配線３１及び電極部２１を介して、ヘッドチップ１の各圧力室１３Ａ内の駆動電極１４に印加される。
【００４３】
また、配線基板２の外縁部には、マニホールド５の下端部が接着により取り付け固定されている。即ち、マニホールド５は、ヘッドチップ１の圧力室１３Ａの入口側（上側）に配置され、配線基板２を介してヘッドチップ１と連結されている。
【００４４】
マニホールド５は、樹脂により成形されてなる部材であり、ヘッドチップ１の圧力室１３Ａの上部に設けられ、圧力室１３Ａに導入されるインクを貯留するものである。具体的には、図３Ｂ等に示すように、マニホールド５は、左右方向に長尺に形成されており、インク貯留部５１を構成する中空状の本体部５２と、インク流路を構成する第１〜第４インクポート５３〜５６とを備えている。また、インク貯留部５１は、インク中のゴミを除去するためのフィルタＦによって、上側の第１液室５１ａと下側の第２液室５１ｂの２つ区画されている。
【００４５】
第１インクポート５３は、第１液室５１ａの右側上端部に連通されており、インク貯留部５１へのインクを導入に用いられる。また、第１インクポート５３の先端部には、第１ジョイント８１ａが外挿されている。
第２インクポート５４は、第１液室５１ａの左側上端部に連通されており、第１液室５１ａ内の気泡を除去するために用いられる。また、第２インクポート５４の先端部には、第２ジョイント８１ｂが外挿されている。
第３インクポート５５は、第２液室５１ｂの左側上端部に連通されており、第２液室５１ｂ内の気泡を除去するために用いられる。また、第３インクポート５５の先端部には、第３ジョイント８２ａが外挿されている。
第４インクポート５６は、ヘッドチップ１の排出流路１３Ｂに連通する排出用液室５７に連通されており、ヘッドチップ１から排出されたインクが、第４インクポート５６を通して、インクジェットヘッド１００の外部に排出される。
【００４６】
筐体６は、例えば、アルミニウムを材料としてダイキャスト法により成形されてなる部材であり、左右方向に長尺に形成されている。また、筐体６は、その内側にヘッドチップ１、配線基板２及びフレキシブル基板３が取り付けられたマニホールド５を収納可能に形成されてなり、当該筐体６の底面が開放されている。また、筐体６の両端部には、当該筐体６をプリンタ本体側に取り付けるための取付用孔６８がそれぞれ形成されている。
【００４７】
キャップ受板７は、その略中央部に左右方向に長尺なノズル用開口部７１が形成されており、ノズル基板１１がノズル用開口部７１を介して露出するようにして、筐体６の底面開口を塞ぐように取り付けられている。
【００４８】
［インクジェットヘッド内の流路設計］
本実施形態のインクジェット記録装置２００に備えられたインクジェットヘッド１００は、ノズル１１ａからインクを射出する際の、インクジェットヘッド１００に設けられたすべてのノズル１１ａのうち、単位時間当たりに最大のインク量を射出するノズル１１ａにおける、当該ノズル１１ａから射出される単位時間当たりのインク量Ｆｎと、個別連通流路１８から共通流路１９に排出される単位時間当たりの平均インク流量Ｆｉとの関係が、下記式（１）を満たすように構成されている。
式（１）：（Ｆｎ／Ｆｉ）≦１０
【００４９】
ここで、本明細書において、「インクジェットヘッド１００に設けられたすべてのノズル１１ａのうち、単位時間当たりに最大のインク量を射出するノズル１１ａにおける、当該ノズル１１ａから射出される単位時間当たりのインク量Ｆｎ」とは、インクジェットヘッド１００に設けられているすべてのノズル１１ａについて、それぞれ単位時間（秒）あたりに射出されるインク量（Ｌ／ｓ）を各ノズル１１ａについて算出し、その中で最大のものを意味している。
また、各ノズル１１ａにおける単位時間（秒）あたりに射出されるインク量（Ｌ／ｓ）は、駆動周波数（Ｈｚ）と射出されるインク滴（Ｌ）との積によって算出することができる。なお、多数のノズル１１ａ（例えば、２５６個等）が設けられたインクジェットヘッド１００でインクを射出する際には、ほとんどの場合、最大駆動周波数（Ｈｚ）でインクを射出するノズル１１ａが少なくとも１つは存在するので、Ｆｎを最大駆動周波数（Ｈｚ）と射出されるインク滴（Ｌ）との積としてもよい。
【００５０】
また、本明細書において、「個別連通流路１８から共通流路１９に排出される単位時間当たりの平均インク流量Ｆｉ」とは、インクジェットヘッド１００内の各個別連通流路１８から共通流路１９に排出される単位時間（秒）当たりのインク流量（Ｌ／ｓ）の平均値を意味している。具体的には、共通流路１９からインクジェットヘッド１００の外部に排出される単位時間（秒）当たりのインク流量（Ｌ／ｓ）を、個別連通流路１８の数で割ることによって算出することができる。
【００５１】
そして、式（１）を満たすということは、Ｆｎ（Ｌ／ｓ）の１０分の１以上のインクが、個別連通流路１８から共通流路１９に排出されているということを意味する。
このように、本実施形態にインクジェットヘッド１００では、個別連通流路１８から排出される単位時間当たりのインク流量が多くなるように設計されているため、ヘッド内の気泡をインクとともに効果的に除去することができる。効果については、後述する実施例１で確認した。
【００５２】
また、Ｆｉ（Ｌ／ｓ）は、流路設計やヘッド内のインク圧を調整することによって、適宜調整することができる。具体的には、個別連通流路１８の流路断面積を大きくすることや、インク循環系８によって導入するインク量を増やすことによって、Ｆｉ（Ｌ／ｓ）を増やすことができる。
また、本実施形態ではＦｉがＦｎの１０分の１以上となるように「Ｆｎ／Ｆｉ」が１０以下であればよい。しかし、個別連通流路１８の流路断面積を大きくするなどしてＦｉを大きくすると、圧力室１３Ａから発生するノズル１１ａから液滴を射出するためのエネルギーが個別連通流路１８に逃げてしまい、射出のエネルギー効率が落ちて射出速度低下やインク滴量減少などを引き起こすおそれがあるので、「Ｆｎ／Ｆｉ」は１以上であることが好ましい。
【００５３】
また、インクジェットヘッド１００は、共通流路１９の流路抵抗Ｒｃと、当該共通流路１９に連結する複数の個別連通流路１８の合成抵抗Ｒｔとの関係が、下記式（２）を満たすように構成されている。
式（２）：（Ｒｃ／Ｒｔ）≦１０
ここで、本明細書において、「共通流路１９の流路抵抗Ｒｃ」とは、図９Ａに示しているように、個別連通流路１８が連結された共通流路１９の流路部分１９ａについての流路抵抗であると定義する。つまり、図９Ａで説明すると、共通流路１９のインクの流れる方向（右方向）に向かって、最も左端部に設けられた個別連通流路１８の連結部分の位置から、最も右端部に設けられた個別連通流路１８の連結部分の位置までの流路部分の流路抵抗を指す。
式（２）を満たすことにより、インクとともにヘッド内の気泡や異物等を効果的に除去するという効果を得つつ、インクの射出性能のばらつきを抑制できる。効果については、後述する実施例２で確認した。
【００５４】
上記式（１）を満たすように個別連通流路１８から排出されるインク流量が多くなるように構成すると、射出のエネルギー効率が落ちて射出速度低下やインク滴量減少が起きる。さらに個別連通流路１８ごとのインク排出量がばらついていると、各ノズル１１ａからのインクの射出性能がばらつくことになってしまう。
ここで、上記式（２）を満たすように、共通流路１９及び個別連通流路１８を構成すると、各ノズル１１ａからのインクの射出性能のばらつきを抑制することができる。すなわち、各ノズル１１ａからのインクの射出性能のばらつきを抑制しながら、インクとともにヘッド内の気泡や異物等を効果的に除去できる効果を得ることができた。これは、個別連通流路１８の共通流路１９に連結する位置によっては、共通流路１９の流路抵抗の影響を受け、個別連通流路１８から共通流路１９へのインクの流れやすさが異なるためであると考えられる。例えば、図９Ａに示したように、個別連通流路１８を並列して並べた場合、流路形状はそれぞれ同じであっても、共通流路１９の流路抵抗が大きくインクが流れにくいと、共通流路１９の出口からより遠い位置の個別連通流路１８の方が、相対的にインクが流れにくくなる。したがって、個別連通流路１８ごとのインク排出量がばらつくものと考えられる。
そして、本実施形態のインクジェットヘッド１００では、上記式（２）を満たすように構成することで、個別連通流路１８ごとのインク排出量のばらつきを抑えられたため、インクの射出安定性が向上したものと考えられる。
【００５５】
ここで、各流路における流路抵抗の計算方法について説明する。
流路抵抗Ｒは、流路形状が直方体である場合には、流路の幅をｗ（ｍ）、流路の高さをｈ（ｍ）、流路の長さをｌ（ｍ）、インクの流体粘度をη（Ｐａ・ｓ）としたとき、流路抵抗Ｒ＝８ηｌ（ｈ＋ｗ）２／（ｈｗ）３と計算することができる。
また、流路形状が円柱形状である場合には、流路の直径をｄ（ｍ）、流路の高さをｌ（ｍ）、インクの流体粘度をη（Ｐａ・ｓ）としたとき、流路抵抗Ｒ＝１２８ηｌ／πｄ４と計算することができる。
また、その他の形状の場合、例えば、テーパ形状の場合は、テーパ形状の長さ方向に直方体として細分化して積分することによって計算することができる。
【００５６】
次に、個別連通流路１８の合成抵抗Ｒｔについて説明する。
まず、複数の個別連通流路１８が、共通流路１９に並列して連結しているため（図９Ａ参照）、共通流路１９に連結する複数の個別連通流路１８の合成抵抗をＲｔは、これらの各共通流路１９の流路抵抗の逆数の和によって求めることができる。
具体的には、例えば、ｎ個（ｎは２以上の整数）の個別連通流路１８が、共通流路１９に並列して連結している場合、ｎ個の個別チャネルの流路抵抗をそれぞれＲｉ(１)、Ｒｉ（２）、…、Ｒｉ（ｎ）とすると、合成抵抗をＲｔは、下記式により算出することができる。
１／Ｒｔ＝（１／Ｒｉ（１））＋（１／Ｒｉ（２））＋・・・＋（１／Ｒｉ（ｎ））
【００５７】
また、上記式（１）及び式（２）を満たすように、各流路が構成されていれば、構成は適宜変更可能である。
例えば、共通流路１９が、共通流路１９の出口に近くなるにつれて流路抵抗が大きくなるように構成してもよい。その一例としては、図９Ｂに示すように、共通流路１９の断面積を出口方向に向かって徐々に小さくする構成が挙げられる。
また、共通流路１９に連結する複数の個別連通流路１８のうち、当該共通流路１９の出口により近い位置に連結する個別連通流路１８が、より大きな流路抵抗を有するように構成してもよい。その一例としては、図９Ｃに示すように、共通流路１９の出口により近い位置に連結する個別連通流路１８を、断面積をより小さくする構成が挙げられる。
図９Ｂ及び図９Ｃの構成では、共通流路１９の流路抵抗の影響をより受けやすい、共通流路１９の出口からより遠い位置に連結した個別連通流路１８において、インクがより流れやすくなる構成である。したがって、共通流路１９の流路抵抗の影響を受けることによる、個別連通流路１８ごとのインク排出量のばらつきを抑えることができ、ノズル１１ａごとの射出性能のばらつきを抑制することができる。
【００５８】
また、共通流路１９の出口を、図９Ｄに示すように、流路の両側に設けるように構成してもよい。このように、出口を二箇所設けることで、図９Ｂや図９Ｃの場合のような共通流路１９の出口からより遠い位置に連結される個別連通流路１８の数を減らすことができるので、個別連通流路１８ごとのインク排出量のばらつきを抑えることができる。そして、ノズル１１ａごとの射出性能のばらつきを抑制することができる。
【００５９】
［インク循環系］
インク循環系８は、インクジェットヘッド１００内の圧力室１３Ａから個別連通流路１８へのインクの循環流を発生させるためのインク供給手段である。インク循環系８は、供給用サブタンク８１、循環用サブタンク８２及びメインタンク８３等によって構成されている（図１０）。
【００６０】
供給用サブタンク８１は、マニホールド５のインク貯留部５１に供給するためのインクが充填されており、インク流路８４によって第１インクポート５３に接続されている。
循環用サブタンク８２は、マニホールド５の排出用液室５７から排出されたインクが充填されており、インク流路８５によって第４インクポート５６に接続されている。
また、供給用サブタンク８１と循環用サブタンク８２は、ヘッドチップ１のノズル面（以下、「位置基準面」ともいう。）に対して、上下方向（重力方向）に異なる位置に設けられている。これによって、当該位置基準面と供給用サブタンク８１の水頭差による圧力Ｐ１と、当該位置基準面と循環用サブタンク８２との水頭差による圧力Ｐ２が生じている。
また、供給用サブタンク８１と循環用サブタンク８２は、インク流路８６で接続されている。そして、ポンプ８８によって加えられた圧力によって、循環用サブタンク８２から供給用サブタンク８１にインクを戻すことができる。
【００６１】
メインタンク８３は、供給用サブタンク８１に供給するためのインクが充填されており、インク流路８７によって供給用サブタンク８１に接続されている。そして、ポンプ８９によって加えられた圧力によって、メインタンク８３から供給用サブタンク８１にインクを供給することができる。
【００６２】
また、各サブタンク内のインク充填量と、各サブタンクの上下方向（重力方向）の位置とを適宜変更することによって、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２を調整することができる。そして、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２の圧力差によって、適宜の循環流速で、インクジェットヘッド１００内のインクを循環できる。これにより、ヘッドチップ１内に発生した気泡を除去し、ノズル１１ａの詰まりや、射出不良等を抑制することができる。
【００６３】
なお、インク循環系８の一例として、水頭差によってインクの循環を制御する方法を説明したが、インクの循環流を発生できる構成であれば、当然適宜変更可能である。
【００６４】
［他の実施形態のインクジェットヘッド］
上記で説明した実施形態に係るインクジェットヘッド１００では、シェアーモードタイプのヘッドチップ１を備えたインクジェットヘッド１００を説明したが、他のタイプのヘッドチップ１にも本発明の技術を適用することができる。以下、その一例として、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術を利用して、複数の層を並列に積み重ねて製造されたヘッドチップ１を備えた他の実施形態のインクジェットヘッド１００について説明する。
なお、以下の説明では他の実施形態のインクジェットヘッド１００の主要部のみを説明し、本実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【００６５】
ヘッドチップ１は、下側から順にノズル基板１１、共通流路基板７０、中間基板２０、圧力室基板１２、スペーサー基板４０、配線基板２及び接着層６０が積層一体化されることによって構成されている（図１１参照）。図１１は、ヘッドチップ１内の一部の拡大図であり、ヘッドチップ１内に、同一の構成が多数形成されている。
【００６６】
ノズル基板１１には、ノズル１１ａと、ノズル１１ａと連通しノズル１１ａよりも径の大きな大径部１０１と、大径部１０１から分岐して設けられインクの循環に使用される個別流路１０２と、が形成されている。また、ノズル基板１１は、ＳＯＩ基板によって製造されており、異方性エッチングにより高精度に加工されて形成されている。
【００６７】
共通流路基板７０は、例えば、シリコン基板であり、上下方向に貫通する大径部７０１と、絞り部７０２と、共通流路１９とが形成されている。共通流路１９には、絞り部７０２を介して個別流路１０２から流れてきたインクが合流する。
【００６８】
また、共通流路基板７０には、共通流路１９の上面に面して、圧力により弾性変形して流路の容積を変更可能なダンパー７０４が形成されている。ダンパー７０４は、例えば、厚さ１〜５０μｍからなるＳｉ基板からなり、ダンパー７０４の上面には空気室２０３が形成されている。
【００６９】
中間基板２０は、ガラス製の基板であり、中間基板２０には、上下方向に貫通する連通孔２０１と、ダンパー７０４の上面部分に対応する位置に空気室２０３が形成されている。また、本明細書では、圧力室１３Ａとノズル１１ａの間の流路を連通路７２といい、図１１に示した例では、連通路７２は、連通孔２０１、大径部７０１及び大径部１０１を合わせた流路のことである。
【００７０】
圧力室基板１２は、圧力室層１２１と振動板３２からなる。圧力室層１２１は、例えば、シリコン製の基板であり、圧力室層１２１には、ノズル１１ａから射出されるインクが貯留される圧力室１３Ａが形成されている。また、圧力室層１２１には、圧力室１３Ａと連通する連通孔３１２が、当該圧力室層１２１を上下方向に貫通しつつ前後方向に延在するように形成されている。振動板３２は、圧力室１３Ａの開口を覆うように圧力室層１２１の上面に積層され、圧力室１３Ａの上壁部を構成している。
【００７１】
スペーサー基板４０は、例えば、４２アロイにより構成された基板であり、圧力発生手段としての圧電素子４２等を収容するための空間部４１を形成する隔壁層である。圧電素子４２には、上面及び下面に２つの電極４２１，４２２が設けられており、このうち下面側の電極４２２が振動板３２に接続されている。また、スペーサー基板４０には、空間部４１とは別に上下方向に貫通する貫通孔４０１が設けられている。
【００７２】
配線基板２は、例えば、シリコン製の基板であるインターポーザ５１０を備えている。インターポーザ５１０の下面には、２層の絶縁層５２０，５３０が被覆され、上面には、同じく絶縁層５４０が被覆されている。そして、絶縁層５２０，５３０のうち下方に位置する絶縁層５３０が、スペーサー基板４０の上面に積層されている。
インターポーザ５１０には、上方向に貫通するスルーホール５１１が形成されており、このスルーホール５１１には、貫通電極５５０が挿通されている。貫通電極５５０の下端には、水平方向に延在する配線５６０の一端が接続されており、この配線５６０の他端には、圧電素子４２上面の電極４２１上に設けられたスタッドバンプ４２３が、空間部４１内に露出した半田５６１を介して接続されている。また、貫通電極５５０の上端には、個別配線５７０が接続されており、個別配線５７０は水平方向に延在されている。
また、インターポーザ５１０には、スペーサー基板４０の貫通孔４０１と連通して上方向に貫通するインレット５１２が形成されている。なお、絶縁層５２０、５３０、５４０のうち、インレット５１２近傍を被覆する各部分は、インレット５１２よりも大きい開口径となるように形成されている。
【００７３】
接着層６０は、配線基板２の上面に配設された個別配線５７０を覆いつつ、インターポーザ５１０の絶縁層５４０の上面に積層されている。また、ヘッドチップ１の上部に設けられたマニホールド（図示省略）から、ヘッドチップ１の最上層に形成されたインク供給口６０１を通してヘッドチップ１内にインクが供給される。
【００７４】
また、以上のような他の実施形態のヘッドチップ１は、上述した絞り部７０２と個別流路１０２を合わせた流路が、本実施形態で示した個別連通流路１８に対応する。そして、当該ヘッドチップ１においても、上述した式（１）及び（２）を満たすような流路構成とすることによって、本実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００７５】
［本発明の技術的効果］
以上説明したように、本発明のインクジェット記録装置２００は、複数の圧力室１３Ａの各々、又は圧力室１３Ａとノズル１１ａとの間の連通路７２の各々から分岐して設けられ、圧力室１３Ａのインクを排出可能な複数の個別連通流路１８と、複数の個別連通流路１８が連結し、当該個別連通流路１８から排出されたインクが合流する共通流路１９と、を有するインクジェットヘッド１００と、圧力室１３Ａから個別連通流路１８へのインクの循環流を発生させるためのインク循環系８と、を備える。また、ノズル１１ａからインクを射出する際の、インクジェットヘッド１００に設けられたすべてのノズル１１ａのうち、単位時間当たりに最大のインク量を射出するノズル１１ａにおける、当該ノズル１１ａから射出される単位時間当たりのインク量Ｆｎと、個別連通流路１８から共通流路１９に排出される単位時間当たりの平均インク流量Ｆｉとの関係が、下記式（１）を満たし、かつ、共通流路１９の流路抵抗Ｒｃと、当該共通流路１９に連結する前記複数の個別連通流路１８の合成抵抗Ｒｔとの関係が、下記式（２）を満たすように構成されている。
式（１）：（Ｆｎ／Ｆｉ）≦１０
式（２）：（Ｒｃ／Ｒｔ）≦１０
上記式（１）及び（２）を満たすような流路構成とすることによって、インクの射出安定性を維持しながら、インクとともにヘッド内の気泡や異物等を効果的に除去できる。
【００７６】
また、本実施形態のインクジェット記録装置２００は、共通流路１９が、当該共通流路１９の出口に近くなるにつれて流路抵抗が大きくなっていることが好ましい。これにより、個別連通流路１８ごとのインク排出量のばらつきを抑えることができ、ノズル１１ａごとの射出性能のばらつきを抑制することができる。
【００７７】
また、本実施形態のインクジェット記録装置２００は、共通流路１９に連結する複数の個別連通流路１８のうち、共通流路１９の出口により近い位置に連結する個別連通流路１８が、より大きな流路抵抗を有することが好ましい。これにより、個別連通流路１８ごとのインク排出量のばらつきを抑えることができ、ノズル１１ａごとの射出性能のばらつきを抑制することができる。
【００７８】
また、本実施形態のインクジェット記録装置２００は、共通流路１９の出口が、複数のノズル１１ａの配列方向の両側に、それぞれ１つずつ設けられていることが好ましい。これにより、個別連通流路１８ごとのインク排出量のばらつきを抑えることができ、ノズル１１ａごとの射出性能のばらつきを抑制することができる。
【００７９】
また、本実施形態のインクジェット記録装置２００は、共通流路１９の内面に面して設けられ、圧力により弾性変形して流路の容積を変更可能なダンパー１１ｂを備えることが好ましい。また、当該ダンパー１１ｂが、複数のノズル１１ａが形成されているノズル基板１１により形成されていることが好ましい。これにより、共通流路１９の圧力変動を抑えることができ、圧力変更による射出性能への影響を抑制することができる。
【００８０】
また、本実施形態のインクジェット記録装置２００は、複数の圧力室１３Ａの上部に、複数の圧力室１３Ａに供給するインクを貯留するマニホールド５が設けられていることが好ましい。これにより、インクの供給を上部でまとめて行う構成とできるため、インクジェットヘッド１００をより小型化することができる。
【００８１】
［その他］
以上で説明した本発明の実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。すなわち、本発明の範囲は、上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【００８２】
例えば、インクジェット記録装置２００として、ラインヘッドを用いた１パス描画方式のインクジェット記録装置２００を説明したが、スキャン方式のインクジェット記録装置２００であってもよい。
【００８３】
また、本実施形態では、ヘッドチップ１内部のインクを、インク循環系８によって、インクを循環させることしたが、排出流路１３Ｂのインクを循環させずに吐き捨てる構成としてもよく、循環又は吐き捨てかを選択できる構成としてもよい。
【００８４】
また、ヘッドチップ１の圧力室１３Ａ及び排出流路１３Ｂを、ヘッドチップの上下面で開口するストレートタイプとして説明したが、ヘッドチップ１の下面で開口するとともに、上方に向かうに従って湾曲し、ヘッドチップ１の側面で開口する形状としても良い。
【実施例】
【００８５】
以下、実施例をあげて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。【００８６】
［実施例１］
＜流路設計の検討＞
個別連通流路１８から共通流路１９に排出される単位時間当たりのインク流量を多くすると、ノズル１１ａ毎の射出性能のばらつきが増大する。これは、個別連通流路１８に流れるインク流量が多くなるほど、射出のエネルギー効率が落ちて射出速度低下やインク滴量減少が起きるが、インクの循環流量がばらついていると射出性能のばらつきとなるからである。そこで、以下に示すインクジェット記録装置１−１〜１−５により、気泡等の除去性能及びインクの射出安定性の評価を行った。【００８７】
＜インクジェット記録装置１−１〜１−５の準備＞
ノズル１１ａからインクを射出する際の、インクジェットヘッド１００に設けられたすべてのノズル１１ａのうち、単位時間（秒）当たりに最大のインク量を射出するノズル１１ａにおける、当該ノズル１１ａから射出される単位時間当たりのインク量Ｆｎ（Ｌ／ｓ）と、個別連通流路１８から共通流路１９に排出される単位時間当たりの平均インク流量Ｆｉ（Ｌ／ｓ）との比を変更した際に、射出性能のばらつきに与える影響を評価した。
具体的には、図１〜９Ａに示すようなインクジェット記録装置２００及びインクジェットヘッド１００の構成において、以下の表１に示すようなＦｎ（ｎＬ／ｓ）及びＦｉ（ｎＬ／ｓ）となるように、インクジェットヘッド１００の流路設計及びインク圧を調整したインクジェット記録装置１−１〜１−５を準備した。
また、本実施例では、全ノズル１１ａを最大駆動周波数４０ｋＨｚで駆動した。【００８８】
（駆動条件）
使用したインクの流体粘度：１０（ｍＰａ・ｓ）
射出液滴量：１３ｐＬ
駆動周波数：４０ｋＨｚ
共通流路の形状：１ｍｍ×０．２ｍｍ×７２ｍｍ（縦×横×長さ）
共通流路の流路抵抗Ｒｃ：１．０×１０１２（Ｐａ・ｓ／ｍ３）
個別連通流路の形状：４０ｕｍ×４０ｕｍ×１００ｕｍ（縦×横×長さ）
個別連通流路の合成抵抗Ｒｔ：４．９×１０１０（Ｐａ・ｓ／ｍ３）
共通流路に連結された個別連通流路数：２５６個
ヘッド内のインク圧（ＩＮ−ＯＵＴ圧力差）：１０ｋＰa
「ヘッド内のインク圧」は、ＩＮポートである第１インクポート５３と、ＯＵＴポートである第４インクポート５６との圧力差によって算出した。【００８９】
＜気泡等の除去性能の評価＞
気泡等の除去性能の評価方法としては、まずインクジェット記録装置１−１〜１−５に、泡が混入された同一のインクをそれぞれ導入し、圧力室内１３Ａを泡のある状態にした。その後、脱泡したインクを上述した駆動条件で射出した。このとき、圧力室１３Ａの気泡を個別連通流路１８からインクとともに除去することによって、各ノズル１１ａにおけるインクの射出不良を抑えることができるかを評価した。【００９０】
上述した駆動条件で、５分間射出後、射出不良のノズルがあるかを検出した。ここで、射出不良があるか否かは、記録媒体上に、ノズルのインク射出不良を検出するためのテスト画像を形成し、当該画像を読み取ることによって、射出不良の有無を検出した。
そして、射出不良のノズル数をカウントすることによって、以下のように気泡等の除去性能を評価した。ノズル２５６個分を測定し、以下の基準によって評価を行った。
◎：ノズル２５６個中、射出不良のノズル数が０個
○：ノズル２５６個中、射出不良のノズル数が１〜２個
△：ノズル２５６個中、射出不良のノズル数が３〜１０個
×：ノズル２５６個中、射出不良のノズル数が１０個以上【００９１】
＜インクの射出安定性の評価＞
インクの射出安定性の評価としては、各ノズルから射出されたインク滴の射出速度を測定し、循環流量が０の場合との差分を算出することで、循環流量に起因するノズル１１ａごとの射出性能のばらつきを評価することによって行った。
インク滴の射出速度は、測定方法は特に限られないが、本実施形態では、インクジェット液滴観察用ストロボスコープ（ＪｅｔＳｃｏｐｅ、（株）マイクロジェット社製）を用いてノズル１１ａから空中に放出されたインク滴の飛翔状態を観測し、インクジェット液滴自動測定システム（ＪｅｔＭｅａｓｕｒｅ、（株）マイクロジェット社製）を用いて、インク滴の射出速度を計算した。【００９２】
この方法では、駆動条件を変えずに、ストロボ光源の発光タイミング（ディレイタイム）を調整することができるため、例えば、ディレイタイムｔ＝ｔ１におけるインク滴の観察画面上の座標（Ｘ１，Ｙ１）と、ディレイタイムｔ＝ｔ２におけるインク滴の観察画面上の座標（Ｘ２，Ｙ２）によって、以下式（Ａ１）によって射出速度Ｖを算出することができる。【００９３】
【数１】
2018008397.tif 000003
【００９４】
そして、各ノズル（２５６個）におけるインクの射出速度の差分を算出し、その平均値を基準として、インクの射出速度のばらつきを用いて、以下の基準によってインクの射出安定性を評価した。
◎：全ノズルにおいて、インクの射出速度差分のばらつきが、±０．５％以内
○：全ノズルにおいて、インクの射出速度差分のばらつきが、±１．０％以内
△：全ノズルにおいて、インクの射出速度差分のばらつきが、±２．０％以内
×：全ノズルにおいて、インクの射出速度差分のばらつきが、±２．０％を超える【００９５】
【表１】
2018008397.tif 000004
【００９６】
表１に示した結果からも分かるとおり、「Ｆｎ／Ｆｉ」が１０以下となる場合、気泡等の除去性能が高くなる一方、インクの射出安定性が低下することが分かった。【００９７】
［実施例２］
＜インクジェット記録装置２−１〜２−１４の準備＞
実施例１で使用したインクジェット記録装置１−３及び１−５について、共通流路１９の流路抵抗Ｒｃと、共通流路１９に連結する個別連通流路１８の合成抵抗Ｒｔとを、表２に記載するような流路抵抗となるように、共通流路１９と個別連通流路１８の流路形状を変更し、インクジェット記録装置２−１〜２−１４を準備した。そして、気泡等の除去性能及びインクの射出安定性の評価を行った。これらの評価は、実施例１と同様の方法で行った。なお、ヘッド内のインク圧（ＩＮ−ＯＵＴ圧力差）を調整することで、Ｆｉを調整した。【００９８】
【表２】
2018008397.tif 000005
【００９９】
表２に示した結果からも分かるとおり、「Ｆｎ／Ｆｉ」が１０以下であり、かつ「Ｒｃ／Ｒｔ」が１０以下となる場合に、インクの射出安定性を維持しながら、インクとともにヘッド内の気泡等を効果的に除去できることが分かった。
【産業上の利用可能性】
【０１００】
本発明は、インクジェット記録装置に利用することができる。
【符号の説明】
【０１０１】
１      ヘッドチップ
５      マニホールド
８      インク循環系（インク供給手段）
１１    ノズル基板
１１ａ  ノズル
１１ｂ  ダンパー
１３Ａ  圧力室
１５    隔壁（圧力発生手段）
１８    個別連通流路
１９    共通流路
７２    連通路
１００  インクジェットヘッド
２００  インクジェット記録装置
【図１】
2018008397.tif 000006
【図２】
2018008397.tif 000007
【図３Ａ】
2018008397.tif 000008
【図３Ｂ】
2018008397.tif 000009
【図４】
2018008397.tif 000010
【図５】
2018008397.tif 000011
【図６】
2018008397.tif 000012
【図７】
2018008397.tif 000013
【図８】
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【図９Ａ】
2018008397.tif 000015
【図９Ｂ】
2018008397.tif 000016
【図９Ｃ】
2018008397.tif 000017
【図９Ｄ】
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【図１０】
2018008397.tif 000019
【図１１】
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【国際調査報告】
2018008397.tif 000021
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