(57)【要約】  ＡＴカットの水晶振動板ウエハは、水晶振動板の配列方向に沿って延びる支持部から水晶振動板側へ突出する複数の各基部の２つの角部が、各水晶振動板の２つの角部に、角部同士でそれぞれ連結されており、配列方向で隣合う２つの基部で１つの水晶振動板を支持している。
2018143006.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の水晶振動板が、前記複数の水晶振動板の配列方向に沿って延びる支持部にそれぞれ連結されたＡＴカットの水晶振動板のウエハであって、
前記複数の各水晶振動板は、ＡＴカットの水晶の結晶軸であるＸ軸に沿った辺とＺ´軸に沿った辺とから構成された平面視矩形状であり、
前記支持部は、前記配列方向に沿って一定間隔で前記水晶振動板側へ突出する複数の基部を備え、複数の各基部は、前記配列方向に沿って２つの第１角部をそれぞれ有し、
前記平面視矩形の前記水晶振動板の前記支持部に近接する側の一辺の両端の２つの角部を第２角部とし、
前記配列方向に沿って隣合う２つの前記基部の、前記２つの基部間で対向する側の第１角部と、前記水晶振動板の２つの前記第２角部とがそれぞれ連結され、かつ、前記基部の２つの第１角部の内、一方の第１角部は、前記配列方向に沿って隣合う２つの前記水晶振動板の内の一方の水晶振動板の前記第２角部に連結され、他方の第１角部は、前記隣合う２つの前記水晶振動板の内の他方の水晶振動板の前記第２角部に連結されている、
水晶振動板ウエハ。
【請求項２】
前記基部の前記第１角部と前記水晶振動板の前記第２角部とは、その頂点部分同士で連結されている、
請求項１に記載の水晶振動板ウエハ。
【請求項３】
前記基部の前記第１角部は、周端に向かって次第に薄肉となる第１テーパ部を有し、
前記水晶振動板の前記第２角部は、周端に向かって次第に薄肉となる第２テーパ部を有し、
前記基部の前記第１角部と前記水晶振動板の前記第２角部とは、前記第１テーパ部と前記第２テーパ部との間の薄肉部分で連結されている、
請求項１に記載の水晶振動板ウエハ。
【請求項４】
前記支持部から前記水晶振動板側へ突出する前記基部の形状が、平面視矩形状であって、突出端側の一辺の両端の２つの角部が、前記第１角部である、
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の水晶振動板ウエハ。
【請求項５】
ＡＴカットで水晶の結晶軸であるＸ軸に沿った辺とＺ´軸に沿った辺とから構成された平面視で矩形状の水晶振動板であって、
当該水晶振動板の周縁部は、前記矩形状の各辺に向かって次第に薄肉に形成されたテーパ部を備え、
前記矩形状の一辺の両端の２つの角部には、前記一辺に向かって次第に薄肉に形成された前記テーパ部と、前記一辺に隣接する隣接辺に向かって次第に薄肉に形成された前記テーパ部とが、不連続となる不連続面を有する、
水晶振動板。
【請求項６】
前記一辺の両端の前記２つの角部の頂点部分が、それぞれ前記不連続面となっている、
請求項５に記載の水晶振動板。
【請求項７】
前記テーパ部は、当該水晶振動板の一方の主面側から前記矩形状の各辺に向かって傾斜した第１傾斜面と、当該水晶振動板の他方の主面側から前記矩形状の各辺に向かって傾斜した第２傾斜面とをそれぞれ有し、
前記不連続面は、前記一辺に向かって次第に薄肉に形成されたテーパ部の前記第１傾斜面及び前記第２傾斜面の各一端と、前記隣接辺に向かって次第に薄肉に形成されたテーパ部の前記第１傾斜面及び前記第２傾斜面の各一端とによって区画されている、
請求項５に記載の水晶振動板。
【請求項８】
前記不連続面が、窪んでいる、
請求項５ないし７のいずれか一項に記載の水晶振動板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶振動デバイスに用いる水晶振動板と、複数の水晶振動板の集合体としての水晶振動板のウエハに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、各種電子機器の動作周波数の高周波化や、パッケージの小型化が進んでいる。そのような高周波化やパッケージの小型化に伴なって、例えば水晶振動子や水晶フィルタ等の水晶振動デバイスも高周波化やパッケージの小型化への対応が求められている。【０００３】
このような高周波化や小型化に対応した水晶振動デバイスの中には、製造過程において、フォトリソグラフィーとウェットエッチングなどの手法により、水晶振動板が連結部を介して支持体に複数支持された集合体として構成されたウエハが作成され、前記連結部から折り取ることで水晶振動板が個片化されるものがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−０９２５０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上述したような水晶振動板が複数支持された集合体からなる水晶振動板ウエハを、ウェットエッチングにより構成する場合、結晶軸（水晶振動板の方向）によってエッチングされる速度が異なる。例えば、ＡＴカット水晶振動板の場合、Ｚ軸からθ°（＝３５°１５′）ずれた新たな軸をＺ´軸と称し、Ｙ軸からθ°ずれた新たな軸をＹ´軸と称している。この時のウェットエッチングされる速度の早い順番は、Ｚ´＞＋Ｘ＞−Ｘ＞Ｙ´となり、エッチングされる速度が各結晶軸により異なる。【０００６】
このため、ウェットエッチングにより構成される水晶振動ウエハにおける各水晶振動板の連結部や水晶振動板の側壁は、結晶軸によって傾斜角度が異なるので、連結部における強度がばらつくことが多かった。つまり、連結部の強度が弱くなると、水晶振動板が生産途中で水晶振動板ウエハから脱落することがあった。逆に、連結部の強度が強すぎると、各水晶振動板を水晶振動板ウエハから折り取って個片化した際に、水晶振動板のチッピングやバリの発生などの外観不良を招くことがあった。【０００７】
このように従来ではウェットエッチングによるエッチングレートの違いによって、水晶振動板ウエハにおける各水晶振動板の連結部における強度がばらつきやすいという問題点があった。【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、水晶振動板ウエハにおける各水晶振動板の連結部における強度のばらつきを抑制して、水晶振動板が不要に脱落することなく、かつ容易に折り取って個片化することが可能な水晶振動板ウエハを提供することを目的とする。また、チッピングやバリの発生の少ない水晶振動板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明では、上記目的を達成するために、次のように構成している。【００１０】
すなわち、本発明に係る水晶振動板ウエハは、複数の水晶振動板が、前記複数の水晶振動板の配列方向に沿って延びる支持部にそれぞれ連結されたＡＴカットの水晶振動板のウエハであって、
前記複数の各水晶振動板は、ＡＴカットの水晶の結晶軸であるＸ軸に沿った辺とＺ´軸に沿った辺とから構成された平面視矩形状であり、
前記支持部は、前記配列方向に沿って一定間隔で前記水晶振動板側へ突出する複数の基部を備え、複数の各基部は、前記配列方向に沿って２つの第１角部をそれぞれ有し、
前記平面視矩形の前記水晶振動板の前記支持部に近接する側の一辺の両端の２つの角部を第２角部とし、
前記配列方向に沿って隣合う２つの前記基部の、前記２つの基部間で対向する側の第１角部と、前記水晶振動板の２つの前記第２角部とがそれぞれ連結され、かつ、前記基部の２つの第１角部の内、一方の第１角部は、前記配列方向に沿って隣合う２つの前記水晶振動板の内の一方の水晶振動板の前記第２角部に連結され、他方の第１角部は、前記隣合う２つの前記水晶振動板の内の他方の水晶振動板の前記第２角部に連結されている。【００１１】
本発明に係る水晶振動板ウエハによると、複数の水晶振動板の配列方向に沿って延びる支持部から水晶振動板側へ突出する基部の第１角部と、水晶振動板の第２角部とが、角部同士で連結されているので、例えば、水晶振動板の一辺に沿って一定領域に亘って連結される構成に比べて、エッチングレートの相違等による影響を低減して、連結部における強度のばらつきを抑制することができる。また、水晶振動板ウエハから水晶振動板を折り取る際に、角部に応力が集中し、容易に破断できると共に、角部のみで破断が完結し、破断が周囲に広がるのを抑制することができる。【００１２】
つまり、本発明に係る水晶振動板ウエハによれば、連結部における強度のばらつきを抑制することがきるので、水晶振動板が生産途中で水晶振動板ウエハから脱落するのを低減することができる。更に、水晶振動板ウエハから水晶振動板を折り取って個片化する際にも角部で容易に破断して、チッピングやバリの発生を抑えることができ、外観不良を招くのを低減することができる。【００１３】
前記基部の前記第１角部と前記水晶振動板の前記第２角部とは、その頂点部分同士で連結されているのが好ましい。【００１４】
この構成によれば、支持部から水晶振動板側へ突出する基部の第１角部と、水晶振動板の第２角部とが、角部の頂点部分同士で連結されているので、水晶振動板ウエハから水晶振動板を折り取る際に、角部の頂点部分に応力が集中し、一層容易に破断できると共に、破断を頂点部分の狭い領域で完結させることができる。【００１５】
前記基部の前記第１角部は、周端に向かって次第に薄肉となる第１テーパ部を有し、前記水晶振動板の前記第２角部は、周端に向かって次第に薄肉となる第２テーパ部を有し、前記基部の前記第１角部と前記水晶振動板の前記第２角部とは、前記第１テーパ部と前記第２テーパ部との間の薄肉部分で連結されているのが好ましい。【００１６】
この構成によれば、前記基部の前記第１角部と前記水晶振動板の前記第２角部とは、前記第１テーパ部と前記第２テーパ部との間の薄肉部分で連結されているので、水晶振動板ウエハから水晶振動板を折り取る際に、第１テーパ部と前記第２テーパ部との間の強度的に弱い薄肉部分で容易に破断することができる。【００１７】
前記支持部から前記水晶振動板側へ突出する前記基部の形状が、平面視矩形状であって、突出端側の一辺の両端の２つの角部が、前記第１角部であるのが好ましい。【００１８】
この構成によれば、平面視矩形状の基部の第１角部と平面視矩形の水晶振動板の第２角部とは、直角な角部同士で連結されているので、水晶振動板ウエハから水晶振動板を折り取る際に、直角な角部同士の連結部分で一層容易に破断することができる。【００１９】
本発明に係る水晶振動板は、ＡＴカットで水晶の結晶軸であるＸ軸に沿った辺とＺ´軸に沿った辺とから構成された平面視で矩形状の水晶振動板であって、
当該水晶振動板の周縁部は、前記矩形状の各辺に向かって次第に薄肉に形成されたテーパ部を備え、
前記矩形状の一辺の両端の２つの角部には、前記一辺に向かって次第に薄肉に形成された前記テーパ部と、前記一辺に隣接する隣接辺に向かって次第に薄肉に形成された前記テーパ部とが、不連続となる不連続面を有する。【００２０】
本発明に係る水晶振動板によると、平面視で矩形状の水晶振動板の一辺の両端の角部は、前記一辺に向かって次第に薄肉に形成されたテーパ部と、前記一辺に隣接する隣接辺に向かって次第に薄肉に形成されたテーパ部とが、不連続となる不連続面であり、この一辺の両端の角部における不連続面は、当該水晶振動板を水晶振動板ウエハから折り取って個片化した際の破断面である。このように各辺に向かって薄肉となるテーパ部が交差する角部で折り取られた破断面は、矩形状の辺の部分で折り取られた水晶振動板の破断面に比べて、チッピングやバリの発生が抑制されたものとなる。【００２１】
前記一辺の両端の前記２つの角部の頂点部分が、それぞれ前記不連続面となっているのが好ましい。【００２２】
この構成によれば、当該水晶振動板を水晶振動板ウエハから折り取って個片化した際の破断面である不連続面は、角部の頂点部分であるので、この角部の頂点部分で当該水晶振動板を、水晶振動板ウエハから容易に折り取ることができるので、チッピングやバリの発生を一層抑制することができる。【００２３】
前記テーパ部は、当該水晶振動板の一方の主面側から前記矩形状の各辺に向かって傾斜した第１傾斜面と、当該水晶振動板の他方の主面側から前記矩形状の各辺に向かって傾斜した第２傾斜面とをそれぞれ有し、前記不連続面は、前記一辺に向かって次第に薄肉に形成されたテーパ部の前記第１傾斜面及び前記第２傾斜面の各一端と、前記隣接辺に向かって次第に薄肉に形成されたテーパ部の前記第１傾斜面及び前記第２傾斜面の各一端とによって区画されているのが好ましい。【００２４】
この構成によれば、平面視で矩形状の水晶振動板の一辺に向かって薄肉となるテーパ部を構成する第１傾斜面及び第２傾斜面と、前記一辺に隣接する隣接辺に向かって薄肉となるテーパ部を構成する第１傾斜面及び第２傾斜面とが、交差する角部の不連続面では、前記一辺の前記第１傾斜面及び前記第２傾斜面の、破断によって生じた各一端と、前記隣接辺の前記第１傾斜面及び前記第２傾斜面の、破断によって生じた各一端とによって、四角形状の破断面である不連続面が区画される。【００２５】
前記不連続面が、窪んでいるのが好ましい。【００２６】
この構成によれば、当該水晶振動板を水晶振動板ウエハから折り取って個片化した際の破断面である不連続面は、窪んだバリのない破断面となる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、水晶振動板ウエハの基部と複数の各水晶振動板とが、角部同士で連結されているので、例えば、水晶振動板の一辺に沿って一定領域に亘って連結される構成に比べて、エッチングレートの相違等による影響を低減して連結部における強度のばらつきを抑制することができる。これによって、例えば連結部における強度が弱くなり過ぎて、水晶振動板が生産途中で水晶振動板ウエハから脱落するのを低減することができる。更に、水晶振動板ウエハから水晶振動板を折り取って個片化する際に、角部で容易に破断して、チッピングやバリの発生を抑えることができる。【００２８】
また、水晶振動板は、平面視で矩形状の各辺に向かって薄肉となるテーパ部が交差する角部で折り取られるので、その破断面である不連続面は、矩形状の辺の部分で折り取られた水晶振動板の破断面に比べて、チッピングやバリの発生が抑制されたものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は本発明の一実施形態に係る水晶振動板ウエハの一部の概略構成を示した平面図である。
【図２】図２は図１の破線で囲まれた部分を拡大した図である。
【図３】図３は図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図４】図４は本発明の一実施形態に係る水晶振動板の概略構成を示した平面図である。
【図５】図５は図４のＢ方向から見た部分を拡大して示す一部斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下に示す実施形態では、水晶振動デバイスとして水晶振動子に本発明を適用した場合について説明する。
【００３１】
図１は本発明の一実施形態に係る水晶振動板ウエハの一部の概略構成を示した平面図であり、図２は図１の破線で囲まれた部分を拡大した図であり、図３は図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【００３２】
この実施形態の水晶振動板ウエハ１００は、圧電基板となる複数の水晶振動板１０がマトリックス状に配置されて一体化された平面視矩形の集合体である。
【００３３】
この水晶振動板ウエハ１００は、水晶の結晶軸であるＸ軸に沿った辺とＺ´軸に沿った辺とで構成されたＡＴカットで平面視矩形状の複数の水晶振動板１０と、水晶振動板１０の配列方向（図１の上下方向）であるＺ´軸に沿って互いに平行に延びて、複数の水晶振動板１０をそれぞれ支持する複数（図１では３つ）の支持部１１１と、前記配列方向に直交する方向（図１の左右方向）であるＸ軸に沿って延びて複数の支持部１１１を連結する枠部１１２とを備えている。なお、図１では、複数の支持部１１１の一端側（図１の下方側）を連結する枠部１１２のみを示しているが、複数の支持部１１１の他端側（図１の上方側）も図示しない枠部１１２によって連結されている。
【００３４】
これらは、フォトリソグラフィー技術を用いて水晶ウエハをフッ化水素、フッ化アンモニウムなどのフッ化系のエッチング液でウェットエッチングすることで形成される。
【００３５】
なお、ＡＴカットは、人工水晶の３つの結晶軸である電気軸（Ｘ軸）、機械軸（Ｙ軸）、および光学軸（Ｚ軸）のうち、Ｚ軸に対してＸ軸周りに３５°１５′だけ傾いた角度で切り出す加工手法である。ＡＴカット水晶振動板１０では、Ｘ軸は水晶の結晶軸に一致する。Ｙ´軸およびＺ´軸は、水晶の結晶軸のＹ軸およびＺ軸からそれぞ３５°１５′傾いた軸に一致する。Ｙ´軸方向およびＺ´軸方向は、ＡＴカット水晶振動板１０を切り出すときの切り出し方向に相当する。
【００３６】
水晶振動板ウエハ１００の複数の各支持部１１１は、前記配列方向であるＺ´軸に沿って一定間隔で水晶振動板１０側へ突出する複数の基部１１３をそれぞれ備えている。各基部１１３は、枠部１１２に連設された前記配列方向の両端の基部１１３を除いて、平面視矩形状に突出している。この基部１１３の突出端側の第１辺１１５は、Ｚ´軸に沿って延びており、この第１辺１１５の両端に、２つの第１角部１１３ａ，１１３ｂをそれぞれ有している。前記第１辺１１５の両端にそれぞれ隣接する第２辺１１６及び第３辺１１７は、第１辺１１５に直交し、Ｘ軸に沿って延びている。
【００３７】
複数の基部１１３は、水晶振動板１０の配列方向であるＺ´軸に沿って隣合う２つの基部１１３，１１３（例えば、図１の破線で囲まれた部分に近接する基部１１３1，１１３2）の、両基部１１３，１１３（１１３1，１１３2）間で対向する側の第１角部１１３ｂ，１１３ａが、各水晶振動板１０の後述する第１辺１１の両端の角部である第２角部１１ａ，１１ｂとそれぞれ頂点部分で連結されている。
【００３８】
各基部１１３（例えば、図１の上記基部１１３2）の第１辺１１５の両端の２つの第１角部１１３ａ，１１３ｂの内の一方の第１角部１１３ａが、Ｚ´軸に沿って隣合う２つの水晶振動板１０，１０（図１の破線で囲まれた部分に近接する水晶振動板１０1，１０2）の一方の水晶振動板１０（１０1）の第２角部１１ｂに連結され、他方の第１角部１１３ｂが、他方の水晶振動板１０（１０2）の第２角部１１ａに連結されている。
【００３９】
なお、水晶振動板ウエハ１００において、Ｚ´軸に沿って隣合う基部１１３の間、及び、水晶振動板１０の第２角部１１ａ，１１ｂを除く周囲は、水晶振動板１０を支持していない貫通領域４００となっている。
【００４０】
水晶振動板ウエハ１００では、支持部１１１から水晶振動板１０側へ突出する基部１１３の第１角部１１３ａ，１１３ｂと、水晶振動板１０の第２角部１１ａ，１１ｂとが、角部同士で連結されているので、例えば、水晶振動板の一辺に沿って一定領域に亘って連結される構成に比べて、エッチングレートの相違による影響を低減することができ、連結部における強度のばらつきを抑制することができる。これによって、例えば連結部における強度が弱過ぎて、水晶振動板１０が生産途中で水晶振動板ウエハ１００から脱落するのを低減することができる。
【００４１】
また、支持部１１１から水晶振動板１０側へ突出する各基部１１３は、比較的大きいので、例えば、落下などの衝撃が加わっても支持部１１１から水晶振動板１０の方へ伝わる衝撃を、比較的大きな基部１１３で緩和することができる。
【００４２】
更に、水晶振動板１０の配列方向に沿って隣合う２つの基部１１３，１１３によって、１つの水晶振動板１０を支持すると共に、各基部１１３は、その２つの第１角部１１３ａ，１１３ｂの内の一方の第１角部１１３ａによって、隣合う２つの水晶振動板１０，１０の一方の水晶振動板１０を支持し、他方の第１角部１１３ｂによって、他方の水晶振動板１０を支持するので、支持部１１１から水晶振動板１０へ伝わる応力を、各基部１１３によって隣合う２つの水晶振動板１０にそれぞれ分散させて、１つの水晶振動板１０へ応力が集中するのを抑制することができる。
【００４３】
したがって、水晶振動板１０が生産途中で水晶振動板ウエハ１００から脱落するのを一層効果的に抑制することができる。
【００４４】
各基部１１３は、図２に示すように、周端に向かって水晶結晶面が露出するように次第に薄肉となる第１テーパ部１１４を有している。この第１テーパ部１１４は、図３の断面図に示すように、基部１１３の表面側から周端に向かって傾斜した第１傾斜面１１４ａと、基部１１３の裏面側から周端に向かって傾斜した第２傾斜面１１４ｂとをそれぞれ有している。この傾斜面１１４ａ，１１４ｂは、水晶をフッ化系のエッチング液でウェットエッチングした際に、水晶の結晶軸のエッチングレート差により自然に生じる傾斜面（結晶面）である。
【００４５】
図４は、水晶振動板ウエハ１００から後述のようにして折り取られた水晶振動板１０の概略構成を示す平面図である。
【００４６】
水晶振動板１０は、ＡＴカットで、平面視矩形状の直方体形状であり、長辺がＸ軸に沿って平行に、短辺がＺ´軸に沿って平行になるように構成されている。
【００４７】
平面視矩形状の水晶振動板１０は、水晶振動板ウエハ１００の支持部１１１に近接する側の短辺である上記第１辺１１と、この第１辺１１に対向する平行な第４辺１４と、第１辺１１にそれぞれ隣接する長辺である第２辺１２と第３辺１３とを有している。
【００４８】
水晶振動板ウエハ１００から折り取られる前の状態では、水晶振動板１０の第１辺１１の両端の角部である第２角部１１ａ，１１ｂが、図２に示すように、水晶振動板ウエハ１００の隣合う基部１１３（１１３1），１１３（１１３2）の対向する側の第１角部１１３ｂ，１１３ａとそれぞれ連結されている。
【００４９】
本実施形態の水晶振動板１０は、高周波化対応のいわゆる逆メサ構造のものを例にしている。水晶振動板１０の両主面の中央に、平面視矩形の凹部が形成されている。この水晶振動板１０は、その板面中央の薄肉の振動部２１と、振動部２１の外周に形成された厚肉の外枠部２２と、振動部２１の周囲と外枠部２２とをつなぐ段差壁２３とを有している。
【００５０】
水晶振動板１０の一方の主面である表面の凹部の内部中央付近には、第１励振電極３１が形成され、水晶振動板１０の他方の主面である裏面の凹部の内部中央付近には、第２励振電極３２が形成される。第１励振電極３１と第２励振電極３２とは、図示しない外部電極と電気機械的に接合するために、第１引出電極３３と第２引出電極３４とによって振動部２１から段差壁２３を経由して外枠部２２の一部へとそれぞれ延出されている。
【００５１】
第１引出電極３３は、第１励振電極３１を水晶振動板１０の外枠部２２を経て第１辺１１の一端部である第２角部１１ａ付近のみに延出している。すなわち、第１引出電極３３は、第１辺１１の両端部にある２つの第２角部１１ａ，１１ｂの内の１つの角部１１ａに延出している。
【００５２】
第２引出電極３４は、第２励振電極３２を水晶振動板１０の外枠部２２を経て第１辺１１の他端部である第２角部１１ｂ付近のみに延出している。すなわち、第２引出電極３４は、第１辺１１の両端部にある２つの第２角部１１ａ，１１ｂの内の１つの角部１１ｂに延出している。
【００５３】
水晶振動板１０の周縁部は、平面視矩形状の各辺１１〜１４に向かって水晶結晶面が露出するように、次第に薄肉に形成されたテーパ部１５を備えている。各テーパ部１５は、図３に示すように、当該水晶振動板１０の表面側から各辺１１〜１４に向かって傾斜した第１傾斜面１５ａと、当該水晶振動板１０の裏面側から各辺１１〜１４に向かって傾斜した第２傾斜面１５ｂとをそれぞれ有している。この傾斜面１５ａ，１５ｂは、水晶をフッ化系のエッチング液でウェットエッチングした際に、水晶の結晶軸のエッチングレート差により自然に生じる傾斜面（結晶面）である。
【００５４】
この実施形態の水晶振動板ウエハ１００では、上記のように、水晶振動板１０の配列方向であるＺ´軸に沿って隣合う基部１１３，１１３の第１角部１１３ａ，１１３ｂと、水晶振動板１０の第１辺１１の両端の第２角部１１ｂ，１１ａとがそれぞれ連結されている。
【００５５】
この連結部において、隣合う基部１１３，１１３の第１角部１１３ａ，１１３ｂの第１テーパ部１１４，１１４と、水晶振動板１０の第１辺１１の両端の第２角部１１ｂ，１１ａのテーパ部（第２テーパ部）１５，１５との間の境界には、図３に示すように、薄肉となる谷部２０１，２０２が表裏面にそれぞれ形成される。各谷部２０１，２０２は、各基部１１３，１１３の第１角部１１３ａ，１１３ｂ及び水晶振動板１０の第２角部１１ｂ，１１ａの頂点部分に形成されている。このように各基部１１３の第１テーパ部１１４と、水晶振動板１０の各テーパ部１５とは、谷部２０１，２０２付近の薄肉部分で連結されている。
【００５６】
この谷部２０１，２０２は、最も薄肉の領域であり周囲に比べて機械強度的にも弱い領域となるため、水晶振動板ウエハ１００から水晶振動板１０を折り取る際に、この谷部２０１，２０２に沿って破断される。
【００５７】
本実施形態の水晶振動板ウエハ１００では、各基部１１３の第１角部１１３ａ，１１３ｂの第１テーパ部１１４，１１４と、水晶振動板１０の第１辺１１の両端の第２角部１１ｂ，１１ａのテーパ部１５，１５との間の境界の薄肉である谷部２０１，２０２の部分で折り取られることで、複数の水晶振動板１０が得られる。
【００５８】
得られた水晶振動板１０は、薄肉の谷部２０１，２０２の部分で破断されることで、第１辺１１の両端の各第２角部１１ａ，１１ｂは、第１辺１１のテーパ部１５の傾斜面と、第１辺１１に隣接する隣接辺である第２辺１２及び第３辺１３の各テーパ部１５，１５の傾斜面とが、破断によって不連続となった不連続面１６ａ，１６ｂとなる。
【００５９】
図４のＢ方向から見た部分を拡大して示す図５では、不連続面１６ａ，１６ｂの内、一方の第２角部１１ａの不連続面１６ａを代表的に示している。
【００６０】
この図５に示される不連続面１６ａは、第１辺１１のテーパ部１５と、第１辺１１に隣接する第２辺１２のテーパ部１５とが交差する部分である。この不連続面１６ａは、第１辺１１のテーパ部１５の第１傾斜面１５ａ及び第２傾斜面（１５ｂ）の各一端１５ａｅ，（１５ｂｅ）と、第２辺１２のテーパ部１５の第１傾斜面１５ａ及び第２傾斜面（１５ｂ）の各一端１５ａｅ，（１５ｂｅ）とによってそれぞれ区画された略平行四辺形状となっている。なお、図５では、水晶振動板１０の表面側から各辺１１，１２に向かって傾斜した第１傾斜面１５ａの一端１５ａｅのみが示されている。
【００６１】
他方の第２角部１１ｂの不連続面１６ｂも一方の第２角部１１ａの不連続面１６ａと同様である。
【００６２】
上記のように水晶振動板ウエハ１００の各基部１１３の第１角部１１３ａ，１１３ｂの第１テーパ部１１４，１１４と、水晶振動板１０の第１辺１１の両端の第２角部１１ｂ，１１ａのテーパ部１５，１５との間の境界の谷部２０１，２０２の部分で折り取るので、谷部２０１，２０２に応力を集中させて、谷部２０１，２０２の部分で容易に破断することができる。また、谷部２０１，２０２の部分で破断が完結し、水晶振動板１０の端部である第２角部１１ａ，１１ｂの周囲の各辺１１〜１３や基部１１３の端部である第１角部１１３ａ，１１３ｂの周囲の各辺１１５〜１１７に破断が不要に広がるのを抑制することができる。
【００６３】
これによって、水晶振動板１０に、チッピングやバリが発生するのが抑制され、外観不良が低減される。
【００６４】
水晶振動板１０の第２角部１１ａ，１１ｂの不連続面１６ａ，１６ｂは、内方へ窪んだ破断面となっており、バリのない破断面となる。
【００６５】
以上のように構成された水晶振動板１０は、図示しないパッケージ体に収納され、導電性樹脂接着剤や金属バンプやろう材などの導電性接合材により必要な電気機械的な接続がなされた後に気密封止されることで水晶振動デバイスの完成となる。
【００６６】
水晶振動板１０では、第２角部１１ａ，１１ｂの破断面である不連続面１６ａ，１６ｂを、個片化された水晶振動板１０の方向を示す目印とすることができる。
【００６７】
また、不連続面１６ａ，１６ｂの部位に、水晶振動板１０の表裏面を引き回すための引出電極を形成する場合には、その引出電極は、断線が生じにくい構成とすることができる。
【００６８】
また、導電性樹脂接着剤を用いて水晶振動板１０を保持接合した場合には、不連続面１６ａ，１６ｂで導電性樹脂接着剤が這い上がりやすくなり、この導電性樹脂接着剤の這い上がり部分によって、水晶振動板１０の安定した接続が行え、接着強度が得られる。
【００６９】
なお、本実施形態の水晶振動板１０では、水晶振動板の表裏主面に凹部が形成された、いわゆるバイ逆メサ形状のものを開示しているが、プラノ逆メサ形状のものでもよく、平板形状のものでもよく、メサ形状のものにも適用できる。
【００７０】
また、本発明は、上記の水晶振動子に限らず、水晶フィルタ、水晶発振器などの水晶振動デバイスにも適用できる。
【００７１】
なお、上記に示した本発明の実施形態はいずれも本発明を具体化した例であって、本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
【符号の説明】
【００７２】
１０                水晶振動板
１１                第１辺
１１ａ，１１ｂ      第２角部
１５                テーパ部（第２テーパ部）
１５ａ              第１傾斜面
１５ｂ              第２傾斜面
１６ａ，１６ｂ      不連続面
１００              水晶振動板ウエハ
１１１              支持部
１１２              枠部
１１３              基部
１１３ａ，１１３ｂ  第１角部
１１４              第１テーパ部
１１４ａ            第１傾斜面
１１４ｂ            第２傾斜面
１１５              第１辺
２０１，２０２      谷部  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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