(57)【要約】      （修正有）【課題】成形容器から成形樹脂を抜き取ることができる成形樹脂抜き取り装置を提供する。【解決手段】第一、第二の半保持板２１ａ、２１ｂの側面を当接させ、第一、第二の半保持孔２２ａ、２２ｂを合致させて保持孔２２を形成する。成形容器４４を、保持孔２２に保持させた状態で、押し出しロッド１４を回転させ、降下させ、成形容器４４内の成形樹脂３５を押圧すると、成形樹脂３５が成形容器４４の内周面から剥離し、底板と共に押し出される。成形樹脂３５を打撃しないので、危険性がない。また、騒音もない。【選択図】図４
0003126060.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
左右二本の脚部と、
前記脚部の間に水平に配置された第一の半保持板と、
前記第一の半保持板と同じ高さであって前記左右の脚部にそれぞれ水平に形成された左右のガイド溝と、
前記左右のガイド溝に水平姿勢で挿入され、側面が前記第一の半保持板の側面に対し、密着と離間が可能な第二の半保持板と、
前記第一、第二の半保持板に形成され、前記第一、第二の半保持板表面に位置する部分の形状が半円形であり、前記第一、第二の半保持板の側面を密着させ、一枚の保持板を形成させると、前記保持板に円形の保持孔を出現させる第一、第二の半保持孔と、
前記貫通孔上に位置で鉛直に配置され、側面にねじ山が形成された押し出しロッドと、
前記第一、第二の半保持板上の位置で前記脚部に取り付けられた腕部と、
前記腕部に形成され、前記押し出しロッドを螺着させるねじ穴と、
を有し、前記押し出しロッドの回転により、前記押し出しロッドは鉛直方向に上下移動する押圧装置と、
筒状体と、
前記筒状体の一端に形成され、前記筒状体の外周側面よりも外側に突きだされた掛止部と、
前記筒状体の前記鍔部とは反対側の端部を蓋する蓋部とを有する成形容器と、
から成り、
前記成形容器の太さは、筒状体の部分では、前記保持孔の太さ以下であり、前記掛止部の部分では、前記保持孔の太さより大きくされた成形樹脂抜き取り装置。
【請求項２】
前記掛止部はリング状であり、前記筒状体の外周に環装された請求項１記載の成形樹脂抜き取り装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、研磨サンプルを封入した成形樹脂を抜き取る成形樹脂抜き取り装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子や配線基板等、微細な素子の断面を観察するために、研磨サンプルを樹脂中に封入し、成形した樹脂と一緒に研磨する方法は広く行なわれている。
【０００３】
図６の符号１３５は、円筒形の容器本体１４１内に充填され、研磨サンプルが封入された状態で硬化、成形された成形樹脂を示している。
この成形樹脂１３５を容器本体１４１から取り外すために、先ず、底板１４２を腕力で引っ張って取り去った後、ハンマー１５０により、露出した成形樹脂１３５の底面を何度も強く打撃し、衝撃によって成形樹脂１３５と容器本体１４１との間に隙間ができたところで、成形樹脂１３５を指などで強く押して抜き取っている。
断面検査装置は例えば下記公知技術文献がある。
【特許文献１】特開２００３−３２２５９９
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来の方法は指を殴打する危険があり、また、作業台等が傷ついてしまう。更にまた、腕力を必要とするため、女性に不向きである。
また、打撃による騒音も問題である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本考案は、左右二本の脚部と、前記脚部の間に水平に配置された第一の半保持板と、前記第一の半保持板と同じ高さであって前記左右の脚部にそれぞれ水平に形成された左右のガイド溝と、前記左右のガイド溝に水平姿勢で挿入され、側面が前記第一の半保持板の側面に対し、密着と離間が可能な第二の半保持板と、前記第一、第二の半保持板に形成され、前記第一、第二の半保持板表面に位置する部分の形状が半円形であり、前記第一、第二の半保持板の側面を密着させ、一枚の保持板を形成させると、前記保持板に円形の保持孔を出現させる第一、第二の半保持孔と、前記貫通孔上に位置で鉛直に配置され、側面にねじ山が形成された押し出しロッドと、前記第一、第二の半保持板上の位置で前記脚部に取り付けられた腕部と、前記腕部に形成され、前記押し出しロッドを螺着させるねじ穴と、を有し、前記押し出しロッドの回転により、前記押し出しロッドは鉛直方向に上下移動する押圧装置と、筒状体と、前記筒状体の一端に形成され、前記筒状体の外周側面よりも外側に突きだされた掛止部と、前記筒状体の前記鍔部とは反対側の端部を蓋する蓋部とを有する成形容器と、から成り、前記成形容器の太さは、筒状体の部分では、前記保持孔の太さ以下であり、前記掛止部の部分では、前記保持孔の太さより大きくされた成形樹脂抜き取り装置である。
また、本発明は、前記掛止部はリング状であり、前記筒状体の外周に環装された成形樹脂抜き取り装置である。
【考案の効果】
【０００６】
押圧ロッドを回転させて成形樹脂を抜くので、腕力が不要である。
成形樹脂を打撃しないので危険性が無く、騒音も生じない。
また、３０秒程度で一個の成形樹脂を抜くことができ、作業効率が大幅に向上する。
本考案の成形樹脂抜き取り装置は軽量、コンパクトなので可搬である。
【考案を実施するための最良の形態】
【０００７】
図１は、本考案の成形樹脂抜き取り装置を構成する押圧装置１０であり、台座１１上に左脚部１２Ｌと右脚部１２Ｒがそれぞれ鉛直に立設されている。
左右脚部１２Ｌ、１２Ｒは、例えば樹脂の厚板であり、所定間隔を開け、互いに向き会って平行に配置されている。
左右脚部１２Ｌ、１２Ｒの対面する表面には、同じ幅の左ガイド溝１７Ｌと右ガイド溝１７Ｒが同じ高さに形成されている。左右ガイド溝１７Ｌ、１７Ｒは水平に配置されている。
【０００８】
図１の符号２１ａ、２１ｂは、板状の第一、第二の半保持板であり、図２(ａ)に示されている。
第一、第二の半保持板２１ａ、２１ｂは略四角形状であり、一辺を切り欠く位置に、表面の開口形状が半円形の第一、第二の半保持孔２２ａ、２２ｂがそれぞれ形成されている。第一、第二の半保持孔２２ａ、２２ｂは、半円形の弦が第一、第二の半保持板２１ａ、２１ｂの一辺と重複する向きに形成されている。
【０００９】
また、第一、第二の半保持孔２２ａ、２２ｂは、それぞれ第一、第二の半保持板２１ａ、２１ｂの一辺の中央に形成されており、従って、第一、第二の半保持孔２２ａ、２２ｂの弦が一致するように、第一、第二の半保持板２１ａ、２１ｂの側面を当接させると、図２(ｂ)に示すように、第一、第二の半保持孔２２ａ、２２ｂが合致し、円形の保持孔２２が出現し、中央に円形の保持孔２２が形成されるようになっている。同図符号２１は、中央に保持孔２２を有し、側面が当接された第一、第二の半保持板２１ａ、２１ｂによって形成される一枚の保持板を示している。
【００１０】
第一、第二の半保持板２１ａ、２１ｂの厚みは、左右ガイド溝１７Ｌ、１７Ｒの溝幅よりも小さくされており、第一、第二の半保持孔２２ａ、２２ｂが形成された辺の直線の長さは、左右ガイド溝１７Ｌ、１７Ｒの底面間の距離、即ち左ガイド溝１７Ｌの底面と右ガイド溝１７Ｒの底面の間の距離よりも小さく、且つ、左ガイド溝１７Ｌの開口付近と右ガイド溝１７Ｒの開口付近の間の距離よりも大きくされている。
【００１１】
従って、第一、第二の半保持板２１ａ、２１ｂは、第一、第二の半保持孔２２ａ、２２ｂが形成された辺とは垂直な辺を左右ガイド溝１７Ｌ、１７Ｒの底面に向き合わせ、第一、第二の半保持孔２２ａ、２２ｂが形成された辺又はそれと平行な辺を左右ガイド溝１７Ｌ、１７Ｒの下端に乗せて左右ガイド溝１７Ｌ、１７Ｒ内に挿入可能であり、第一の半保持板２１ａは、第一の半保持孔２２ａが形成された辺を手前に向けて挿入され、第二の半保持板２１ｂは、第二の半保持孔２２ｂが形成された辺を奥側にして挿入されており、従って、第一、第二の半保持板２１ａ、２１ｂは、第一、第二の半保持孔２２ａ、２２ｂが合致する向きで左右ガイド溝１７Ｌ、１７Ｒに挿入されている。
【００１２】
第一、第二の半保持板２１ａ、２１ｂは、一方が左右ガイド溝１７Ｌ、１７Ｒに挿入された状態で、左右脚部１２Ｌ、１２Ｒに固定されており、他方が左右ガイド溝１７Ｌ、１７Ｒに対して挿入抜去が自在に構成されている。ここでは、第一の半保持板２１ａが左右脚部１２Ｌ、１２Ｒに固定されている。
【００１３】
第一、第二の半保持板２２ａ、２２ｂによって形成される保持孔２２の上方位置には、押し出しロッド１４が鉛直に配置されている。押し出しロッド１４の中心軸線１８は鉛直である。
【００１４】
左右脚部１２Ｌ、１２Ｒの上部には、腕部１３が掛け渡されている。腕部１３には、ねじ穴１６が形成されている。押し出しロッド１４の外周側面にはねじ山が形成されており、押し出しロッド１４は、このねじ穴１６に螺着されている。
【００１５】
腕部１３は、左右脚部１２Ｌ、１２Ｒに固定されており、押し出しロッド１４を、その中心軸線１８を中心に回転させると、中心軸線１８に沿って、鉛直に上下移動するように構成されている。
【００１６】
押し出しロッド１４の下端には押圧ヘッド１５が配置されている。押圧ヘッド１５が保持孔２２の上方に位置する状態から、押し出しロッド１４を回転させ、押圧ヘッド１５を降下させると、押圧ヘッド１５は、第一、第二の半保持孔２２ａ、２２ｂによって形成された保持孔２２を通過し、保持板２１を貫通するように構成されている。
【００１７】
図３(ｃ)は、本考案の成形樹脂抜き取り装置を構成する成形容器４３であり、図３(ａ)の容器本体４１が、図３(ｂ)の底板４２上に乗せられて構成されている。容器本体４１の下端は、底板４２表面の溝４８に嵌め込まれている。
【００１８】
容器本体４１は、円筒形状の筒状体３２と、筒状体３２の一端に位置し、筒状体の側面よりも外側に突き出された掛止部３３とを有している。掛止部３３はリング状であり、筒状体３２の外周側面に環着している。
【００１９】
容器本体４１の内部に研磨サンプルを配置し、樹脂溶液を注入し、固化させると、図３(ｄ)に示すように、容器本体４１の内部に、研磨サンプルが封入された成形樹脂３５が得られる。成形樹脂３５は、容器本体４１の内周面と底板４２の表面に接着しており、簡単には取れない。同図符号４４は、成形樹脂３５が容器本体４１内に位置する状態の成形容器を示している。
【００２０】
保持孔２２の直径は、筒状体３２の外径と同じか、それよりも少し小さくされており、従って、筒状体３２は、保持孔２２の内部に落とし込むことが可能である。
他方、掛止部３３は、掛止部３３の外径は、保持孔２２上部の形よりも大きくされており、保持孔２２の外周に張り出すように形成されている。
【００２１】
従って、掛止部３３を上方に向け、成形容器４４を上方から保持孔２２内に挿入すると、掛止部３３が保持孔２２の開口の周囲に乗り、図４に示すように、成形容器４４が保持孔２２内で保持された状態になる。
【００２２】
第二の半保持板２１ｂを左右脚部１２Ｌ、１２Ｒの間から抜去しておき、成形容器４４を第一の半保持孔２２ａに嵌め込んだ状態で、第二の半保持板２１ｂを左右ガイド溝１７Ｌ、１７Ｒに挿入し、第二の半保持孔２１ｂの側面を、成形容器４４の側面に密着させてもよい。
【００２３】
その状態で、押し出しロッド１４上端の把手部１９を持って押し出しロッド１４を回転させ、押圧ヘッド１５をゆっくり降下させると、押圧ヘッド１５は成形樹脂３５の上部に当接される。そして、押圧ヘッド１５が更に降下されると、成形樹脂３５が上部から押圧される。容器本体４１は掛止部３３によって保持板２１に掛止されており、成形樹脂３５が押圧されると、成形樹脂３５と容器本体４１との間に剪断応力が加わる。
【００２４】
筒状体３２の内径は、掛止部３３の方が小さく、底板４２に嵌め込まれた方が大きくされており、成形樹脂３５は、直径の小さい方から大きい方に向けて押圧されるので、剪断応力によって容器本体４１の内周側面から分離し、下方に移動すると、底板４２がはずれ、成形樹脂３５が底板４２と共に、容器本体４１から落下、若しくは押し出される。
残った容器本体４１は、第二の半保持板２１ｂを左右脚部１２Ｌ、１２Ｒの間から抜去すると、簡単に取り外すことができる。
【００２５】
図５は、成形樹脂３５が取り出された状態を示している。
成形樹脂３５を、研磨機に装填し、研磨サンプルと共に研磨すると、研磨サンプルの断面を観察することができる。
なお、上記実施例では、第一、第二の半保持板２１ａ、２１ｂのうち、一方を左右ガイド溝１７Ｌ、１７Ｒに挿入した状態で、左右脚部１２Ｌ、１２Ｒに固定していたが、溝に挿入しなくても左右脚部１２Ｌ、１２Ｒに固定すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本考案の成形樹脂抜き取り装置を説明するための図
【図２】（ａ）、（ｂ）：それに用いられる半保持板を説明するための図
【図３】(ａ)：容器本体  (ｂ)：底板  (ｃ)：容器本体と底板を組み立てた成形容器  (ｄ)：成形樹脂が配置された成形容器
【図４】成形容器が装填された成形樹脂抜き取り装置
【図５】成形樹脂を抜き取った状態
【図６】従来の成形樹脂抜き取り方法を説明するための図
【符号の説明】
【００２７】
１０……成形樹脂抜き取り装置
１６……ねじ穴
１７Ｌ、１７Ｒ……ガイド溝
１２Ｌ、１２Ｒ……脚部
２１ａ、２１ｂ……第一、第二の半保持板
２２……保持孔
２２ａ、２２ｂ……第一、第二の半保持孔
３２……筒状体
３３……掛止部
【図１】
0003126060.tif 000003
【図２】
0003126060.tif 000004
【図３】
0003126060.tif 000005
【図４】
0003126060.tif 000006
【図５】
0003126060.tif 000007
【図６】
0003126060.tif 000008