(57)【要約】【課題】長尺フィルム積層板の両面にフォトレジストによるパターンを形成するための両面露光装置に使用する表裏の露光マスクにおいて、露光位置合わせのために積層板に基準穴を開口することなしに、長尺フィルム積層板の搬送方向に対して横あるいは斜めにマスクが相対的にずれていくことを防止する露光マスクを提供する。【解決手段】露光マスクはその長尺フィルム積層板側端部と平行する直線部を有する第１のアライメントマークが１つ以上設けられる。また、長尺フィルム積層板の両面にフォトレジストによるパターンを形成するための両面露光装置に使用する前記の露光マスクの場合には、表裏の露光マスクを重ね合わせたときに対面する露光マスクとの相対位置が識別可能な第２のアライメントマークを前記長尺フィルム積層板の露光エリアよりも外側に２つ以上設ける。【選択図】  図1
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
長尺フィルム積層板にフォトレジストによるパターンを形成するための露光装置に使用する露光マスクにおいて、前記露光マスクは前記長尺フィルム積層板側端部と平行する直線部を有する第１のアライメントマークが１つ以上設けられたことを特徴とする露光マスク。
【請求項２】
長尺フィルム積層板の両面にフォトレジストによるパターンを形成するための両面露光装置に使用する請求項１記載の露光マスクにおいて、表裏の露光マスクを重ね合わせたときに対面する露光マスクとの相対位置が識別可能な第２のアライメントマークを前記長尺フィルム積層板の露光エリアよりも外側に２つ以上設けられたことを特徴とする露光マスク。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、長尺フィルム積層板の両面にフォトレジストによるパターンを形成するための露光装置に使用する露光マスクに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば積層板に回路を形成するためのフォトレジストへのパターン露光におけるマスクの位置合わせ方法については、従来からマスクにアライメントマークを形成しておき、あらかじめ積層板に開口しておいた基準穴との位置合わせによって行なわれている。
【０００３】
例えば片面づつ露光する場合、特許文献１のような方法がある。これは図３に示す基準穴とアライメントマークとを画像処理によって位置合わせするもので、図３（１）は積層板３に開口された基準穴３１を示す。これに図３（２）のようにマスク２の光透過部に形成された光を透過しないアライメントマーク２１を形成しておき、図３（３）のように重ね合わせ、図示しないカメラでアライメントマーク２１の中心点と基準穴３１の中心点とのずれ量を読み取る。このアライメントマーク、基準穴、およびこれらを読み取るカメラを少なくとも２箇所用意しておく。積層板３は図示しないテーブルに載置されており、このテーブルはＸ方向、Ｙ方向、θ方向に移動可能で、これら複数個所で読み取られたずれ量を最小値にするようにテーブルを移動させて位置合わせする。そのときのアライメントマーク２１と基準穴３１は概ね図３（４）のようになり、積層板３とマスク２の位置合わせが達成される。この例では積層板の代わりにマスクを移動させて位置合わせしてもよい。また、両面同時に露光する場合は、これら機構を上下に備えればよい。
【０００４】
また、特許文献１の方法で両面同時露光する場合は、基準穴が最低４個所必要となるが、特許文献２では表裏の露光マスクを一旦位置合わせしておき、どちらか片方のマスクと積層板とを位置合わせし、その位置合わせに要した変位量をもう片方のマスクを移動させる方法が示されている。この場合の表裏の露光マスクの位置合わせは、図３と同じ方法で行なえばよい。このとき、図３（１）の３はもう片方のマスク、３１は白抜きのアライメントマークとなる。
【０００５】
しかし、特許文献１、特許文献２共、積層板に基準穴を開口する必要があった。
【０００６】
ところで、長尺フィルム積層板に穴を開口すると、その開口部から絶縁樹脂の破片などが飛散することがある。これがマスクに付着すると、回路を形成するためのフォトレジストへのパターン露光の場合はパターンの欠損をもたらす要因となる。従って、長尺フィルム積層板への基準穴開口は避けた方が好ましい。また層間導通穴がない長尺フィルム積層板などに露光する場合は、露光位置合わせのためだけにフィルム積層板に基準穴を開口することになる。このことは工数の増加にもなり、好ましい方法ではない。しかし、基準穴を用いないで表裏の露光マスクを位置合わせしただけで長尺フィルム積層板を連続で露光していくと、図４（１）のように長尺フィルム積層板にまっすぐに露光されていけばよいが、図４（２）のように斜めに露光されてしまうこともある。また、まっすぐであっても図４（３）のように長尺フィルム積層板の鉛直方向にずれて露光されてしまうこともある。ワークサイズに相当する送り量はサーボモーター等で誤差が少なく送ることができるが、長尺フィルム積層板の搬送方向に対して横あるいは斜めにマスクがずれていくことには、このままでは対応できなかった。
【０００７】
長尺フィルム積層板１がフレキシブル銅張積層板の場合、露光エリア５には製品部分６以外に積層等に使用するターゲット７も含まれる。長尺フィルム積層板１の搬送方向に対して横あるいは斜めにマスクがずれていくと、例え製品部分６が外れなくても、ターゲット７が長尺フィルム積層板から外れれば支障となってしまう。より効率的に製品を製造するためには、製品部分６のエリアをより大きくとることが好ましいが、その分ターゲット７を長尺フィルム積層板１の側端部近くに設けなければならず、長尺フィルム積層板１から外れるリスクが増すことになる。
【０００８】
基準穴を開口しないで長尺フィルム積層板に連続で両面同時露光する方法としては、例えば特許文献３の実施例に示される方法がある。これは、表裏の露光マスクを位置合わせするとともに、表の露光マスクには別に位置合わせマークを形成しておきこのマークを露光する。この露光されたマークの位置を読み取り、ずれ許容範囲内で露光されているかを判定するものである。しかし、フォトレジストの種類によっては露光前後のコントラストの差が小さく読み取れない場合もある。
【特許文献１】実開昭６２−６９２４３号公報
【特許文献２】特開昭６２−２１１６５７号公報
【特許文献３】特開平２−３０７０号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００９】
本考案は、長尺フィルム積層板の両面にフォトレジストによるパターンを形成するための両面露光装置に使用する表裏の露光マスクにおいて、露光位置合わせのために積層板に基準穴を開口することなしに、長尺フィルム積層板の搬送方向に対して横あるいは斜めにマスクが相対的にずれていくことを防止する露光マスクを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この課題を解決するため本考案は、長尺フィルム積層板にフォトレジストによるパターンを形成するための露光装置に使用する露光マスクにおいて、前記露光マスクは前記長尺フィルム積層板側端部と平行する直線部を有する第１のアライメントマークが１つ以上設けられたことを特徴とする露光マスクである。
【００１１】
および、長尺フィルム積層板の両面にフォトレジストによるパターンを形成するための両面露光装置に使用する前記の露光マスクにおいて、表裏の露光マスクを重ね合わせたときに対面する露光マスクとの相対位置が識別可能な第２のアライメントマークを前記長尺フィルム積層板の露光エリアよりも外側に２つ以上設けられたことを特徴とする露光マスクである。
【考案の効果】
【００１２】
本考案によって、長尺フィルム積層板の両面にフォトレジストによるパターンを形成するための露光装置に使用する露光マスクにおいて、露光位置合わせのために積層板に基準穴を開口することなしに、長尺フィルム積層板の搬送方向に対して横あるいは斜めに露光マスクが相対的にずれていくことを防止することが可能となった。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１に本考案の概略図を、図２に本考案の長尺フィルム積層板側端部と平行する直線部を有する第１のアライメントマークの拡大図をそれぞれ示す。
【００１４】
まず、従来と同じように表の露光マスク３と対面する裏の露光マスク２との位置合わせを、マスクの長尺フィルム積層板の露光エリアよりも外側に形成したそれぞれのアライメントマーク２１，３１で行なう。
【００１５】
次に、あらかじめ感光性フォトレジストを塗布またはラミネートした長尺フィルム積層板１を、表裏の露光マスクの間に通す。
【００１６】
Ａ部の第１のアライメントマーク４は図２のように、長尺フィルム積層板１の側端部と平行する直線部４１を有し、その鉛直方向４２とを囲む白抜きとなっている。もう片方のマスクのこの部分も、第１のアライメントマークが透過光で識別可能なように白抜きされている。この長尺フィルム積層板１の側端部と直線部４１との距離Ｂを識別して、一定間隔に保持しながら表裏の露光マスクおよび長尺フィルム積層板の位置合わせを行なう。このとき、距離Ｂと鉛直方向４２の長さを同一としておけば、モニター時の視認性が良く好ましい。例えば図２（２）のように長尺フィルム積層板１の側端部が離れていると、図２（１）のように距離Ｂへ位置合わせを行なう。
【００１７】
距離Ｂはカメラでモニターし得るスケールであれば特に規定はないが、１ｍｍくらいが好ましい。また、鉛直方向４２は３ｍｍくらいあれば良い。
【００１８】
この第１のアライメントマーク４によって、図４（３）のように長尺フィルム積層板の鉛直方向にずれて露光されてしまうことは防止できる。露光機が図４（２）のように斜めに露光されてしまうことが無視できる機構を備えていれば、この第１のアライメントマーク４は１箇所あれば良い。しかし、図４（２）のように斜めに露光されてしまうことが懸念される場合は、もう１箇所追加することが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本考案に係るアライメントマークの配置を示す説明図。
【図２】本考案に係る第２のアライメントマークを示す説明図。
【図３】従来の積層板とマスク、あるいは表裏の露光マスクの位置合わせ方法を示す説明図。
【図４】従来の両面露光での不具合事例を示す説明図。
【符号の説明】
【００２０】
１：長尺フィルム積層板
２：マスク
３：マスク又は積層板
４：第１のアライメントマーク
５：露光エリア
６：製品部分
７：ターゲット
２１：第２のアライメントマーク
３１：第２のアライメントマーク又は基準穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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