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【手続補正書】
【提出日】平成18年2月23日(2006.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と、
前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、
前記ゲート電極に隣接して前記半導体基板の表面に形成された低濃度拡散層と、
前記ゲート電極から離れて前記半導体基板の表面に形成された高濃度拡散層と、
前記低濃度拡散層上に形成され、金属シリサイドの形成を阻止する金属シリサイドブロック層と、
前記低濃度拡散層上を除き、前記ゲート電極上及び前記高濃度拡散層上に形成された金属シリサイド層と、を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
半導体基板と、
前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、
前記ゲート電極の側壁に形成されたサイドウオールスペーサ絶縁膜と、
前記ゲート電極に隣接して前記半導体基板の表面に形成された低濃度拡散層と、
前記サイドウオールスペーサ絶縁膜から離れて前記半導体基板の表面に形成された高濃度拡散層と、
前記低濃度拡散層上を除き、前記ゲート電極上及び前記高濃度拡散層上に形成された金属シリサイド層と、を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
前記金属シリサイド層は、チタンシリサイド層であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の半導体装置。
【請求項４】
半導体基板上にゲート絶縁膜を介してゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極に隣接して前記半導体基板の表面に低濃度拡散層を形成する工程と、
前記ゲート電極から前記低濃度拡散層より離れて前記半導体基板の表面に高濃度拡散層を形成する工程と、
全面にシリサイドブロック層を形成する工程と、
前記ゲート電極及び前記高濃度拡散層上の前記シリサイドブロック層を選択的に除去して、前記ゲート電極及び前記高濃度拡散層の少なくとも一部を露出させる工程と、
全面に金属層を被着する工程と、
熱処理により前記ゲート電極及び前記高濃度拡散層と接触した前記金属層を反応させてシリサイド化し、前記ゲート電極上及び前記高濃度拡散層上に金属シリサイド層を形成する工程と、
前記シリサイドブロック層上のシリサイド化していない前記金属層を選択的に除去する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記シリサイドブロック層は、シリコン酸化膜から成ること特徴とする請求項４に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
半導体基板上にゲート絶縁膜を介してゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極に隣接して前記半導体基板の表面に低濃度拡散層を形成する工程と、
前記ゲート電極から前記低濃度拡散層より離れて前記半導体基板の表面に高濃度拡散層を形成する工程と、
前記ゲート電極上及び前記高濃度拡散層上に選択的に金属層を形成する工程と、
熱処理により前記ゲート電極及び前記高濃度拡散層と接触した前記金属層を反応させてシリサイド化し、前記ゲート電極上及び前記高濃度拡散層上に金属シリサイド層を形成する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記金属シリサイド層は、チタンシリサイド層であることを特徴とする請求項４、５、６のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
次に、図５（ｂ）に示すように、チタン層１０を選択的にエッチングすることにより、ゲート電極３の表面にチタン層１０ａを残し、Ｐ＋型拡散層６ａ，６ｂの表面にそれぞれチタン層１０ｂ，１０ｃを残し、それ以外の領域上のチタン層１０を除去する。その後、図５（ｃ）に示すように、熱処理を行うことにより、チタン層１０ａ，１０ｂ，１０ｃをシリサイド化し、チタンシリサイド層１１ａ，１１ｂ，１１ｃを形成する。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月21日(2006.9.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被照射面を照明する照明光学系において、
前記被照射面とフーリエ変換の関係となる面における有効光源分布を規定する開口絞りと、該開口絞りの開口の近傍に配置された検出器と、を有することを特徴とする照明光学系。
【請求項２】
前記開口絞りは、前記被照射面とフーリエ変換の関係となる面、または前記被照射面と実質的にフーリエ変換の関係となる面と共役な面に配置されることを特徴とする請求項１記載の照明光学系。
【請求項３】
前記被照射面の照明領域を規定する視野絞りと、該視野絞りの開口の近傍に配置された検出器と、を有することを特徴とする請求項１記載の照明光学系。
【請求項４】
被照射面を照明する照明光学系において、
前記被照射面の照明領域を規定する視野絞りと、該視野絞りからの光を前記被照射面に導く結像系と、を有し、
前記結像系は、その瞳面に配置された開口絞りと、該開口絞りの開口の近傍に配置された検出器と、を持つことを特徴とする照明光学系。
【請求項５】
前記視野絞りの開口の近傍に配置された検出器を有することを特徴とする請求項４記載の照明光学系。
【請求項６】
光源からの光で被照射面を照明する照明光学系において、
前記被照射面の照明領域を規定する視野絞りと、該視野絞りの開口の近傍に配置された検出器とを有し、
前記光源からの光は、２０ｎｍ乃至５ｎｍの波長の光であることを特徴とする照明光学系。
【請求項７】
被照射面を照明する照明光学系において、
前記被照射面の照明領域を規定する視野絞りと、該視野絞りの開口の近傍に配置された検出器と、該視野絞りからの光を前記被照射面に導く結像系と、を有し、
前記結像系は、多層膜ミラーを持つことを特徴とする照明光学系。
【請求項８】
被照射面を照明する照明光学系において、
前記被照射面の照明領域を規定する視野絞りと、該視野絞りの開口の近傍に配置された検出器と、を有し、
前記被照射面の照明領域は円弧形状であり、前記検出器は該円弧の両端近傍に対応する領域の光量を検出することを特徴とする照明光学系。
【請求項９】
前記視野絞りは、円弧形状の開口を持つ円弧スリットを有することを特徴とする請求項６〜８のいずれか一項記載の照明光学系。
【請求項１０】
前記視野絞りは、複数の遮光板を持つマスキングブレードを有し、前記検出器は該遮光板に配置されていることを特徴とする請求項６〜９のいずれか一項記載の照明光学系。
【請求項１１】
マスクを照明する請求項１〜１０のいずれか一項記載の照明光学系と、該マスクのパターンを基板に投影する投影光学系とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項１２】
マスクを照明する請求項１〜５のいずれか一項記載の照明光学系と、該マスクのパターンを基板に投影する投影光学系とを有し、
前記開口絞りの開口近傍に配置された検出器の検出結果に基づいて、露光量制御を行う機構を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１３】
マスクを照明する請求項６〜１０のいずれか一項記載の照明光学系と、該マスクのパターンを基板に投影する投影光学系とを有し、
前記視野絞りの開口近傍に配置された検出器の検出結果に基づいて、露光量制御を行う機構を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１４】
マスクを照明する請求項３又は５記載の照明光学系と、該マスクのパターンを基板に投影する投影光学系とを有し、
前記開口絞りの開口近傍に配置された検出器と前記視野絞りの開口近傍に配置された検出器との検出結果に基づいて、露光量制御を行う機構を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１５】
請求項１４記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、該露光された基板を現像する工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての照明光学系は、被照射面を照明する照明光学系において、前記被照射面とフーリエ変換の関係となる面における有効光源分布を規定する開口絞りと、該開口絞りの開口の近傍に配置された検出器と、を有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月7日(2006.9.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
抵抗値を調整する回路を備える固体撮像装置であって、
前記回路は、
所定の長さおよび幅を持つポリシリコンまたは拡散層により形成された複数の単位抵抗を並列して配列するとともに、一筆書き状になるように電気的に接続された抵抗回路と、
前記抵抗回路の両端部を除く前記複数の単位抵抗の両端部、および、前記複数の単位抵抗のうちの端部に配置された１本の単位抵抗の上部を覆い、電気的に接続された単一の導電膜と、
前記抵抗回路と前記導電膜とを電気的に接続する少なくとも２点以上のコンタクトと
を備えることを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
抵抗値を調整する回路を備える固体撮像装置であって、
前記回路は、
所定の長さおよび幅を持つポリシリコンまたは拡散層により形成された複数の単位抵抗を並列して配列するとともに、一筆書き状になるように電気的に接続された抵抗回路と、
前記抵抗回路の両端部を除く前記複数の単位抵抗の両端部、および、前記複数の単位抵抗のうちの両端に配置された２本の単位抵抗の上部を覆い、電気的に接続された単一の導電膜と、
前記抵抗回路と前記導電膜とを電気的に接続する少なくとも２点以上のコンタクトと
を備えることを特徴とする固体撮像装置。
【請求項３】
前記複数の単位抵抗の間は、前記単位抵抗と同一の素材により電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記複数の単位抵抗の間は、前記導電膜とコンタクトとにより電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記コンタクトは２点存在し、共に前記抵抗回路の両端部を除く前記複数の単位抵抗の両端部に存在する
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記コンタクトは２点存在し、一方は前記抵抗回路の両端部を除く前記複数の単位抵抗の両端部に、他方は前記導電膜により全体が覆われた前記単位抵抗の上に形成される
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の固体撮像装置。
【請求項７】
前記コンタクトは２点存在し、共に前記導電膜により全体が覆われた２本の単位抵抗のそれぞれの上に形成される
ことを特徴とする請求項２に記載の固体撮像装置。
【請求項８】
前記抵抗回路は、複数の種類の長さを持つ単位抵抗で構成される
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の固体撮像装置。
【請求項９】
前記コンタクトの間の抵抗を前記導電膜により短絡することによって、抵抗値を微調整することを特徴とする請求項５〜７のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項１０】
抵抗値を調整する回路を備え、前記回路は、所定の長さおよび幅を持つポリシリコンまたは拡散層により形成された複数の単位抵抗を並列して配列するとともに、一筆書き状になるように電気的に接続された抵抗回路と、前記抵抗回路の両端部を除く前記複数の単位抵抗の両端部、および、前記複数の単位抵抗のうちの端部あるいは両端に配置された１本の単位抵抗の上部を覆い、電気的に接続された単一の導電膜と、前記抵抗回路と前記導電膜とを電気的に接続する少なくとも２点以上のコンタクトと、を備える固体撮像装置の調整方法であって、
前記コンタクトの間の抵抗を前記導電膜により短絡することによって、抵抗値を微調整することを特徴とする固体撮像装置の調整方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】固体撮像装置およびその調整方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は一体型ビデオカメラ等に利用できる固体撮像装置などに使用される、内部電圧調整装置などの抵抗値調整回路を備える固体撮像装置およびその調整方法に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
そこで、本発明は、配線パターンの変更をしなくてもコンタクトの変更による抵抗値の微調整を可能にして回路定数の精度を上げること、および、固体撮像装置など光の乱反射が問題になるデバイスに対して最小限のＡＬ配線膜の面積で乱反射要因を増加させることなく回路定数の精度を上げることができる抵抗値調整回路を備える固体撮像装置およびその調整方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記の目的を達成するために、本発明に係る固体撮像装置は抵抗値を調整する回路を備え、前記回路は、粗調部分と微調部分を直列に接続していることを特徴とする。
また、前記回路は、所定の長さおよび幅を持つポリシリコンまたは拡散層により形成された複数の単位抵抗を並列して配列するとともに一筆書き状になるように電気的に接続された抵抗回路と、抵抗回路の両端部を除く複数の単位抵抗の両端部および複数の単位抵抗のうちの端部に配置された１本の単位抵抗の上部を覆い電気的に接続された単一の導電膜と、抵抗回路と導電膜とを電気的に接続する少なくとも２点以上のコンタクトとを備えることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、前記回路は、所定の長さおよび幅を持つポリシリコンまたは拡散層により形成された複数の単位抵抗を並列して配列するとともに一筆書き状になるように電気的に接続された抵抗回路と、抵抗回路の両端部を除く複数の単位抵抗の両端部および複数の単位抵抗のうちの両端に配置された２本の単位抵抗の上部を覆い電気的に接続された単一の導電膜と、抵抗回路と導電膜とを電気的に接続する少なくとも２点以上のコンタクトとを備えることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月29日(2006.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体にストロボ光を照射して該被写体を撮像して得られた各色の画像信号のホワイトバランスを調整するホワイトバランス調整方法において、
ストロボ発光前の被写体輝度を取得し、
前記取得した被写体輝度が、低輝度発光領域と、日中シンクロ領域と、前記低輝度発光領域と前記日中シンクロ領域との間の境界領域とのうちのいずれの領域に属するかを判別し、
前記取得した被写体輝度が前記低輝度領域の場合にはストロボ光に対応した第１のホワイトバランス補正値により前記各色の画像信号のホワイトバランスを調整し、
前記取得した被写体輝度が前記日中シンクロ領域の場合には日中シンクロに対応した第２のホワイトバランス補正値により前記各色の画像信号のホワイトバランスを調整し、
前記取得した被写体輝度が前記境界領域の場合には前記第１のホワイトバランス補正値と前記第２のホワイトバランス補正値との中間の第３のホワイトバランス補正値により前記各色の画像信号のホワイトバランスを調整する、
ことを特徴とするホワイトバランス調整方法。
【請求項２】
前記第２のホワイトバランス補正値は、前記ストロボ光の色温度に対応して設定した第１のホワイトバランス補正値と、日中シンクロの周囲光の色温度に対応して設定したホワイトバランス補正値とを所定の比率で混合した値であることを特徴とする請求項１に記載のホワイトバランス調整方法。
【請求項３】
前記第３のホワイトバランス補正値は、前記取得した被写体輝度の高低に応じて前記第１のホワイトバランス補正値から前記第２のホワイトバランス補正値まで連続して変化する値であることを特徴とする請求項１又は２に記載のホワイトバランス調整方法。
【請求項４】
被写体にストロボ光を照射して該被写体を撮像して得られた各色の画像信号のホワイトバランスを調整可能なカメラにおいて、
ストロボ発光前の被写体輝度を取得する手段と、
前記取得した被写体輝度が、低輝度発光領域と、日中シンクロ領域と、前記低輝度発光領域と前記日中シンクロ領域との間の境界領域とのうちのいずれの領域に属するかを判別する手段と、
前記取得した被写体輝度が前記低輝度領域の場合にはストロボ光に対応した第１のホワイトバランス補正値により前記各色の画像信号のホワイトバランスを調整し、前記取得した被写体輝度が前記日中シンクロ領域の場合には日中シンクロに対応した第２のホワイトバランス補正値により前記各色の画像信号のホワイトバランスを調整し、前記取得した被写体輝度が前記境界領域の場合には前記第１のホワイトバランス補正値と前記第２のホワイトバランス補正値との中間の第３のホワイトバランス補正値により前記各色の画像信号のホワイトバランスを調整する手段と、
を備えたことを特徴とするカメラ。
【請求項５】
前記第２のホワイトバランス補正値は、前記ストロボ光の色温度に対応して設定した第１のホワイトバランス補正値と、日中シンクロの周囲光の色温度に対応して設定したホワイトバランス補正値とを所定の比率で混合した値であることを特徴とする請求項４に記載のカメラ。
【請求項６】
前記第３のホワイトバランス補正値は、前記取得した被写体輝度の高低に応じて前記第１のホワイトバランス補正値から前記第２のホワイトバランス補正値まで連続して変化する値であることを特徴とする請求項４又は５に記載のカメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、被写体にストロボ光を照射して該被写体を撮像して得られた各色の画像信号のホワイトバランスを調整するホワイトバランス調整方法において、ストロボ発光前の被写体輝度を取得し、前記取得した被写体輝度が、低輝度発光領域と、日中シンクロ領域と、前記低輝度発光領域と前記日中シンクロ領域との間の境界領域とのうちのいずれの領域に属するかを判別し、前記取得した被写体輝度が前記低輝度領域の場合にはストロボ光に対応した第１のホワイトバランス補正値により前記各色の画像信号のホワイトバランスを調整し、前記取得した被写体輝度が前記日中シンクロ領域の場合には日中シンクロに対応した第２のホワイトバランス補正値により前記各色の画像信号のホワイトバランスを調整し、前記取得した被写体輝度が前記境界領域の場合には前記第１のホワイトバランス補正値と前記第２のホワイトバランス補正値との中間の第３のホワイトバランス補正値により前記各色の画像信号のホワイトバランスを調整することを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記第２のホワイトバランス補正値は、前記ストロボ光の色温度に対応して設定した第１のホワイトバランス補正値と、日中シンクロの周囲光の色温度に対応して設定したホワイトバランス補正値とを所定の比率で混合した値であることを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、請求項４に記載の発明は、被写体にストロボ光を照射して該被写体を撮像して得られた各色の画像信号のホワイトバランスを調整可能なカメラにおいて、ストロボ発光前の被写体輝度を取得する手段と、前記取得した被写体輝度が、低輝度発光領域と、日中シンクロ領域と、前記低輝度発光領域と前記日中シンクロ領域との間の境界領域とのうちのいずれの領域に属するかを判別する手段と、前記取得した被写体輝度が前記低輝度領域の場合にはストロボ光に対応した第１のホワイトバランス補正値により前記各色の画像信号のホワイトバランスを調整し、前記取得した被写体輝度が前記日中シンクロ領域の場合には日中シンクロに対応した第２のホワイトバランス補正値により前記各色の画像信号のホワイトバランスを調整し、前記取得した被写体輝度が前記境界領域の場合には前記第１のホワイトバランス補正値と前記第２のホワイトバランス補正値との中間の第３のホワイトバランス補正値により前記各色の画像信号のホワイトバランスを調整する手段とを備えたことを特徴としている。
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、前記第２のホワイトバランス補正値は、前記ストロボ光の色温度に対応して設定した第１のホワイトバランス補正値と、日中シンクロの周囲光の色温度に対応して設定したホワイトバランス補正値とを所定の比率で混合した値であることを特徴としている。
また、請求項６に記載の発明は、請求項４又は５に記載の発明において、前記第３のホワイトバランス補正値は、前記取得した被写体輝度の高低に応じて前記第１のホワイトバランス補正値から前記第２のホワイトバランス補正値まで連続して変化する値であることを特徴としている。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月11日(2006.5.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
特に、本実施の形態では、上記したようにモールド樹脂４から陽極リード２および陰極
リード３が露出しておらず、そのモールド樹脂４に設けられた接続ホール５，６において
陽極リード２および陰極リード３が部分的に露出している電解コンデンサ１０の構造的特
徴に基づき、その電解コンデンサ１０の実装面積を可能な限り小さくして集積度を著しく
高めることができる。なぜなら、モールド樹脂からリードが導出されて露出している従来
の電解コンデンサでは、例えば、半田付け処理を使用して電解コンデンサをプリント基板
に実装する際に、リードおよびその周囲に半田が供給される結果、実質的な実装面積は半
田を含む分だけ実際の寸法面積よりも大きくなってしまうが、接続ホール５，６におい
て陽極リード２および陰極リード３が部分的に露出している本実施の形態の電解コンデン
サ１０では、接続ホール５，６およびその周囲にのみ半田が供給される結果、その半田を
含んだ上でも実質的な実装面積は上記した従来の場合よりも小さくなるからである。この
場合には、特に、半田の供給量によっては電解コンデンサ１０の実質的な実装面積を寸法
面積に等しくすることもできる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
なお、本実施の形態では、図１０に示したように、接続ホール５，６にあらかじめ金属
や合金等よりなる接続端子７，８を埋設するようにしたが、必ずしもこれに限られるもの
ではなく、例えば、接続端子７，８に関する一連の材質候補を上記したように、それらの
接続端子７，８の材質は自由に変更可能である。具体的には、例えば、図１４に示したよ
うに、半田よりなる接続端子７，８を埋設したり、あるいは図１５に示したように、半田
ボールよりなる接続端子７，８を埋設するようにすれば、電解コンデンサ２０を使用する
使用者は、必要に応じて半田や半田ボールを溶融させることにより、導電材４０を別途使
用せずに図１２および図１３に示した場合と同様にプリント基板３０に電解コンデンサ２
０を実装することができる。この場合には、特に、例えば、半田や半田ボールよりなる接
続端子７，８が接続ホール５，６から部分的に突出するようにすれば、その突出した箇所
がリフロー時に溶融しやすくなるため、プリント基板３０に電解コンデンサ２０を容易に
実装することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月8日(2006.5.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光センサ部と垂直転送レジスタとが形成され、前記受光センサ部と前記垂直転送レジスタとの間に、読み出しゲート部が形成されて撮像領域が構成され、
前記撮像領域において、前記受光センサ部を除く領域が遮光膜で覆われ、
前記遮光膜が、前記受光センサ部に蓄積された信号電荷を、前記垂直転送レジスタに読み出すための読み出し電極を兼ね、
前記信号電荷の読み出し時以外は、前記遮光膜に、前記読み出しゲート部の表面に反転層が形成されるような電圧が印加され、
前記信号電荷の読み出し時は、前記遮光膜に、前記反転層が消去されるような電圧が印加される
ことを特徴とする固体撮像素子。
【請求項２】
前記読み出しゲート部がＮ型の半導体領域から形成され、前記信号電荷の読み出し時以外は、前記遮光膜に、前記読み出しゲート部の表面に反転層が形成されるような負電圧が印加され、前記信号電荷の読み出し時は、前記反転層が消去されるような正電圧が印加されることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項３】
前記読み出しゲート部がＰ型の半導体領域から形成され、前記信号電荷の読み出し時以外は、前記遮光膜に、読み出しゲート部の表面に反転層が形成されるような正電圧が印加され、前記信号電荷の読み出し時は、前記反転層が消去されるような負電圧が印加されることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項４】
受光センサ部と垂直転送レジスタとの間に読み出しゲート部が形成されて撮像領域が構成され、
前記撮像領域において前記受光センサ部を除く領域が遮光膜で覆われている固体撮像素子の駆動方法であって、
前記信号電荷の読み出し時に前記遮光膜に電圧を印加し、
前記受光センサ部に蓄積された信号電荷を前記垂直転送レジスタに読み出す
ことを特徴とする固体撮像素子の駆動方法。
【請求項５】
前記信号電荷の読み出し時に前記遮光膜に印加する電圧は前記反転層が消去されるような電圧であり、前記信号電荷の読み出し時以外は、前記遮光膜に前記読み出しゲート部の表面に反転層が形成される電圧が印加されることを特徴とする請求項４に記載の固体撮像素子の駆動方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】固体撮像素子及びその駆動方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、固体撮像素子及びその駆動方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
上述した点に鑑み、本発明は、ブルーミング特性を確保すると共に読み出し電圧も低くすることができ、且つ微細化されても、スミア特性を確保することができる構成の固体撮像素子及びその駆動方法を提供するものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明に係る固体撮像素子は、受光センサ部と垂直転送レジスタとが形成され、受光センサ部と垂直転送レジスタとの間に、読み出しゲート部が形成されて撮像領域が構成され、撮像領域において、受光センサ部を除く領域が遮光膜で覆われ、遮光膜が、受光センサ部に蓄積された信号電荷を、垂直転送レジスタに読み出すための読み出し電極を兼ね、信号電荷の読み出し時以外は、遮光膜に、読み出しゲート部の表面に反転層が形成されるような電圧が印加され、信号電荷の読み出し時は、遮光膜に、反転層が消去されるような電圧が印加される構成とする。
本発明の固体撮像素子の駆動方法は、受光センサ部と垂直転送レジスタとの間に読み出しゲート部が形成されて撮像領域が構成され、撮像領域において受光センサ部を除く領域が遮光膜で覆われている固体撮像素子を駆動する際に、信号電荷の読み出し時に遮光膜に電圧を印加し、受光センサ部に蓄積された信号電荷を垂直転送レジスタに読み出す。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の固体撮像素子によれば、撮像領域において、受光センサ部を除く領域が遮光膜で覆われ、遮光膜が、受光センサ部に蓄積された信号電荷を、垂直転送レジスタに読み出すための読み出し電極を兼ね、信号電荷の読み出し時以外は、遮光膜に、読み出しゲート部の表面に反転層が形成されるような電圧が印加され、信号電荷の読み出し時は、遮光膜に、反転層が消去されるような電圧が印加される構成とするので、信号電荷の読み出し時以外では、反転層により、受光センサ部から垂直転送レジスタへの信号電荷の流出を抑えることができ、信号電荷の読み出し時では、反転層が消去されて、低い電圧で信号電荷を読み出すことができる。これにより、読み出し電圧を低減することが可能になる。
本発明の固体撮像素子の駆動方法によれば、撮像領域において受光センサ部を除く領域が遮光膜で覆われている固体撮像素子を駆動する際に、信号電荷の読み出し時に遮光膜に電圧を印加し、受光センサ部に蓄積された信号電荷を垂直転送レジスタに読み出すので、信号電荷の読み出し時以外では、受光センサ部から垂直転送レジスタへの信号電荷の流出を抑えることができ、信号電荷の読み出し時では、低い電圧で信号電荷を読み出すことができ、読み出し電圧を低減することが可能になる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月3日(2006.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
近年、主にガスメータ，水道メータ，電力量メータ等の検針に無線を利用する自動検針システムでは、無線データ伝送システムが普及してきている。図８−１，８−２に、このような無線を利用したシステムの例を示す。
図８−１，８−２ではデータ端末であるメータ３１、このメータ３１に接続された無線子機３２、公衆回線に接続された無線親機３３および検針センター３６等で構成され、無線子機３２がメータ３１の検針データを定期的、または検針センター３６からの指示により、無線親機３３に無線にてデータを伝送する。無線親機３３に伝送された検針データは、図８−１に示す回線端末機（ＮＣＵ）３４を経由し、公衆の電話回線やＰＨＳ（簡易型携帯電話）回線３５などを利用して、ガス会社や電力会社の検針センター３６に集められ、検針が自動的に行なわれる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
さらに、図１０に示すように、上記のような無線による隔測検針と同様、無線技術を用いて製品に取り付けられた当該製品の情報を示す無線タグが発信する無線を、無線端末装置（小型無線親機）にて受信する方式の、商品の在庫，物流の管理システムも普及し始めている。なお、図１０のＧＳは商品展示棚、ＴＧは無線商品タグ、ＴＤは無線端末装置を示す。したがって、この無線商品タグも一種のデータ端末と考えることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、アンテナ特性の確認試験として、見通しのよい広場にて無線端末装置（無線親機）と、データ端末（無線子機）を設置したガスメータ間の距離を変え、その通信成功率の様子を調べた。その結果を、図５に示す。点線がこの発明による測定結果で、実線が従来例による測定結果である。この発明によるものの方が、従来例のものより通信距離（１００％通信成功率の距離）が長くなっていることが分かる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月13日(2006.4.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面を有する表示部と、
前記表示部に内蔵され、前記前面より露出される表示画面と、
前記表示画面の１辺に互いに離間して前記前面に配置される第１及び第２のマイクロホンと、
前記表示画面の１辺とは異なる他辺に前記第１及び第２のマイクロホンの何れか一方と互いに離間して前記前面に配置される第３のマイクロホンと、
前記第１および第２のマイクロホンまたは前記第１および第３のマイクロホンの２つの組み合わせのうちの一方の組み合わせの２つのマイクロホンを用いて、ノイズキャンセリングを含む音声入力処理を実行する音声入力手段と
を具備することを特徴とする電子機器。
【請求項２】
前記表示部に取り付けられる本体を有し、
前記表示部は前記表示画面を前記本体に向けて重ねられる第１の状態と、前記表示画面を外方に露出して前記本体に重ねられる第２の状態において使用可能であることを特徴とする請求項１記載の電子機器。
【請求項３】
前記表示部を前記本体に接続するヒンジ機構を有し、
前記ヒンジ機構は、
前記表示部を前記本体に対して回動可能にする回動軸と、
前期表示部を前記本体に対して起立させた状態で旋回可能にする旋回軸と、
を具備することを特徴とする請求項２記載の電子機器。
【請求項４】
前記表示画面の１辺が下端となる第３の状態と、前記表示画面の他辺が下端となる第４の状態との何れかの状態を検出する検出手段と、
前記第３の状態の場合、前記第１及び第２のマイクロホンを選択し、前記第４の状態の場合、前記第１及び第３のマイクロホンを選択する選択手段と
をさらに具備し、
前記音声入力手段は、前記選択手段によって選択された２つのマイクロホンを用いることを特徴とする請求項１記載の電子機器。
【請求項５】
前記検出手段は、重力の方向を検知する重力センサであることを特徴とする請求項４記載の電子機器。
【請求項６】
スイッチをさらに具備し、
前記検出手段は、前記スイッチの操作を監視して、前記第３の状態および前記第４の状態の何れかの状態を検出することを特徴とする請求項４記載の電子機器。
【請求項７】
画像の下端側が前記表示画面の１辺側に位置する第１の向きと、画像の下端側が前記表示画面の他辺側に位置する第２の向きとで前記表示装置上に画像を表示可能な画像表示手段と、
前記画像表示手段によって画像が第１の向きで表示されている場合、前記第１および第２のマイクロホンを選択し、前記画像表示手段によって画像が第２の向きで表示されている場合、前記第１および第３のマイクロホンを選択する選択手段と
をさらに具備し、
前記音声入力手段は、前記選択手段により選択された２つのマイクロホンを用いることを特徴とする請求項１記載の電子機器。
【請求項８】
前記表示画面の１辺が下端となる第３の状態と、前記表示画面の他辺が下端となる第４の状態との何れかの状態を検出する検出手段と、
前記表示装置上の画像の向きを前記第１の向きと前記第２の向きとの間で切り換えるスイッチと、
をさらに具備し、
前記選択手段は、前記検出手段の検出結果に基づき、前記第３の状態と前記第４の状態との間で切り換わったことを認識し、かつ、この認識した方向と一致する方向へ、前記画像の向きを前記第１の向きと前記第２の向きとの間で切り換える指示が前記スイッチにより行われたことを認識した場合に、選択するマイクロホンを切り換えることを特徴とする請求項７記載の電子機器。
【請求項９】
前記検知手段は、重力の方向を検知する重力センサであることを特徴とする請求項８記載の電子機器。
【請求項１０】
前面を有する表示部と、前記表示部に内蔵され、前記前面より露出される表示画面と、前記表示画面の１辺に互いに離間して前記前面に配置される第１及び第２のマイクロホンと、前記表示画面の１辺とは異なる他辺に前記第１及び第２のマイクロホンの何れか一方と互いに離間して前記前面に配置される第３のマイクロホンとを具備する電子機器の音声入力方法であって、
前記表示画面の１辺が下端となる第３の状態と、前記表示画面の他辺が下端となる第４の状態との何れかの状態を検出し、
前記第３の状態の場合、前記第１及び第２のマイクロホンを選択し、前記第４の状態の場合、前記第１及び第３のマイクロホンを選択し、
前記選択した２つのマイクロホンを用いて、ノイズキャンセリングを含む音声入力処理を実行する
ことを特徴とする音声入力方法。
【請求項１１】
前面を有する表示部と、前記表示部に内蔵され、前記前面より露出される表示画面と、前記表示画面の１辺に互いに離間して前記前面に配置される第１及び第２のマイクロホンと、前記表示画面の１辺とは異なる他辺に前記第１及び第２のマイクロホンの何れか一方と互いに離間して前記前面に配置される第３のマイクロホンと、画像の下端側が前記表示画面の１辺側に位置する第１の向きと、画像の下端側が前記表示画面の他辺側に位置する第２の向きとで前記表示装置上に画像を表示可能な画像表示手段とを具備する電子機器の音声入力方法であって、
前記画像表示手段によって画像が第１の向きで表示されている場合、前記第１および第２のマイクロホンを選択し、前記画像表示手段によっての画像が第２の向きで表示されている場合、前記第１および第３のマイクロホンを選択し、
前記選択した２つのマイクロホンを用いて、ノイズキャンセリングを含む音声入力処理を実行する
ことを特徴とする音声入力方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前述した目的を達成するために、この発明の電子機器は、前面を有する表示部と、前記表示部に内蔵され、前記前面より露出される表示画面と、前記表示画面の１辺に互いに離間して前記前面に配置される第１及び第２のマイクロホンと、前記表示画面の１辺とは異なる他辺に前記第１及び第２のマイクロホンの何れか一方と互いに離間して前記前面に配置される第３のマイクロホンと、前記第１および第２のマイクロホンまたは前記第１および第３のマイクロホンの２つの組み合わせのうちの一方の組み合わせの２つのマイクロホンを用いて、ノイズキャンセリングを含む音声入力処理を実行する音声入力手段とを具備することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月14日(2006.8.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放送信号を受信し復調するチューナ部と、
基地局と通信を行うことにより他の移動局と通話を行う移動通信部と、
前記チューナ部と前記移動通信部とへ電源を供給する電池部と、
前記チューナ部が前記放送信号を受信している時に、前記移動通信部が前記基地局からの着信を受けた時、前記放送信号の受信のための前記電池部からの電源供給を削減するべく制御する制御部とを具備することを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記チューナ部が前記放送信号を受信している時に前記移動通信部が前記基地局からの着信を受けた時、前記電池部からの前記チューナ部への電源供給を中止するべく制御することを特徴とする請求項１記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記チューナ部が前記放送信号を受信している時に前記移動通信部が前記基地局からの着信を受け、所定期間が経過する前に通話するべく操作された時、前記電池部からの前記チューナ部への電源供給を中止するべく制御することを特徴とする請求項１記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記チューナ部は、前記放送信号を１３セグメントで復調する１３セグメントデコーダと１セグメントで復調する１セグメントデコーダとを有しており、前記制御部は、前記移動通信部が前記基地局からの着信を受けた時、１３セグメントデコーダから１セグメントデコーダへ変更することで前記電池部の電源供給を削減するべく制御することを特徴とする請求項１記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記チューナ部は、前記放送信号を１３セグメントで復調する１３セグメントデコーダと１セグメントで復調する１セグメントデコーダとを有しており、前記制御部は、前記チューナ部が前記放送信号を受信している時に前記移動通信部が前記基地局からの着信を受けた時、１３セグメントデコーダから１セグメントデコーダへ変更することを提案する画面表示を行い、これを了解する操作信号を受ければ１３セグメントデコーダから１セグメントデコーダへ変更することで前記電池部の電源供給を削減するべく制御することを特徴とする請求項１記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記チューナ部で復調された放送信号に応じた映像を表示する表示部を更に有しており、前記制御部は、前記チューナ部が前記放送信号を受信している時に前記移動通信部が前記基地局からの着信を受けた時、前記表示部の輝度を低下させることで前記電池部の電源供給を削減するべく制御することを特徴とする請求項１記載の情報処理装置。
【請求項７】
放送信号を受信し復調するチューナ部と、
基地局と通信を行うことにより他の移動局と通話を行う移動通信部と、
前記チューナ部が前記放送信号を受信しておらず、前記移動通信部が前記基地局と通信を行っていない時、前記放送信号の番組を示す電子番組情報を取得する取得部と、
を具備することを特徴とする情報処理装置。
【請求項８】
前記取得部は、前記チューナ部が受信し復調した放送信号から前記電子番組情報を抽出することを特徴とする請求項７記載の情報処理装置。
【請求項９】
前記取得部は、前記移動通信部が前記基地局と通信を行うことで前記電子番組情報を取得することを特徴とする請求項７記載の情報処理装置。
【請求項１０】
一つの電源からの供給により、放送信号を受信して復調し、更に、基地局と通信を行うことにより他の移動局と通話を行う場合、前記放送信号を受信している時に前記基地局からの着信を受けた時、前記放送信号の受信のための電源供給を削減するべく制御することを特徴とする情報処理方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月11日(2006.9.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示部と、テレビ放送を受信するテレビ受信部と、テレビ受信および通話処理に関する制御を行う制御部とを備えた携帯電話機であって、
前記制御部が、テレビ放送受信中に着信がある場合に、前記テレビ受信部の出力による前記表示部のテレビ画面表示を継続させつつ、前記テレビ受信部のテレビ音声の出力を中断し、通話モードに移行させるように構成されたことを特徴とする携帯電話機。
【請求項２】
前記制御部が、着信がある場合に、前記表示部の表示領域を第１の部分および第２の部分に分割し、前記第１の部分に前記テレビ受信部によるテレビ画面を表示し、前記第２の部分に発信者の情報を表示させることを特徴とする請求項１に記載の携帯電話機。
【請求項３】
前記携帯電話機は折り畳み可能であり、前記制御部が、折り畳んだ状態でテレビ放送受信中に、着信があり、かつ、携帯電話機が開かたとき、テレビ音声の出力を中断し、通話モードに移行させることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の携帯電話機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
地上ディジタル放送を受信できる携帯電話機において、テレビ視聴中に着信があったときテレビ受信を止めて携帯電話機を通話可能な状態（通話モード）にしなければならなかった。
本発明は斯かる課題を解決するためになされたもので、テレビ視聴中に着信があったときにテレビ画面表示を継続させつつ音声の出力を中断し、通話モードに移行することができる携帯電話機を提供することを目的とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明によれば、テレビ視聴中に着信があったときに、テレビ画像を表示させつつ通話を行うことが可能である。また、画面を分割しテレビ画面と発信者情報を同時に表示することも可能である。本発明は、テレビ受信機能付き携帯電話機の操作性を著しく向上させるものである。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月28日(2006.9.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
デジタル化された画像データを処理する第１の画像処理手段と、
前記第１の画像処理手段により処理された画像データを一時保存する保存手段と、
前記保存手段から読み出した画像データを処理する第２の画像処理手段と、
前記第１の画像処理手段及び前記第２の画像処理手段とは異なる画像処理を行う第３の画像処理手段と、
前記第３の画像処置手段の接続を、前記第１の画像処理手段の直後の前記保存手段の前または前記第２の画像処理手段の直後のいずれかに変更する接続変更手段とを有することを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
前記接続変更手段は、前記第３の画像処理手段の前記第１の画像処理手段への接続と、前記第２の画像処理手段との接続を排他的に行うことを特徴とする請求項１記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記第１及び第２の画像処理手段は、少なくとも画像データの解像度変換機能を有し、
前記第３の画像処理手段は、画像データの２値化機能を有することを特徴とする請求項１記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記第１及び第２の画像処理手段は、少なくともカラー画像データをグレー画像データに変換する機能を有し、
前記第３の画像処理手段は、画像データの２値化機能を有することを特徴とする請求項１記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記第３の画像処理手段は、画像のエッジ強調機能を更に有することを特徴とする請求項３又は４記載の画像処理装置。
【請求項６】
入力される高解像度の多値画像データを一旦保存手段に保存した後に出力する画像処理装置の制御方法であって、
多値画像データを２値化する２値化手段を１つ準備し、
出力する画像データとして多値画像データが必要でない場合は、前記２値化手段を前記保存手段の前に接続し、出力する画像データとして多値画像データが必要である場合は、前記２値化手段を前記保存手段の後に接続するよう制御することを特徴とする画像処理装置の制御方法。
【請求項７】
前記画像処理装置は解像度を変換する解像度変換手段を更に備え、
出力する画像データとして多値画像データが必要でない場合は、前記解像度変換手段と２値化手段とを前記保存手段の前に接続するよう制御することを特徴とする請求項６記載の画像処理装置の制御方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月13日(2006.9.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
線膨張係数がゼロとなる温度が存在する材料を含む光学部材を冷却する冷却装置であって、
前記光学部材の被検出部の温度を検出する温度検出機構と、
前記光学部材の被冷却部を冷却する冷却機構と、
前記温度検出機構の検出結果に基づいて、前記光学部材の光入射領域の変形量が許容範囲内に収まるように、前記冷却機構を制御する制御部とを有することを特徴とする冷却装置。
【請求項２】
前記温度検出機構の検出結果に基づいて、前記光入射領域の変形量を許容範囲内に収めるための、前記被冷却部の目標温度を導出する導出手段を有しており、該導出手段により導出された目標温度に従って、前記冷却機構が前記被冷却部を冷却することを特徴とする請求項１記載の冷却装置。
【請求項３】
前記温度検出機構が前記光学部材上の複数個所の被検出部の温度を検出し、前記複数箇所の温度の差に基づいて、前記光入射領域の変形量を許容範囲内に収めるための、前記被冷却部の目標温度を導出する導出手段を有しており、該導出手段により導出された目標温度に従って、前記冷却機構が前記被冷却部を冷却することを特徴とする請求項１記載の冷却装置。
【請求項４】
前記光入射領域に入射する光の強度を検出する強度検出機構と、該強度検出機構による検出結果と前記温度検出機構による検出結果とに基づいて、前記被冷却部の目標温度を導出する導出手段を有しており、
該導出手段により導出された目標温度に従って、前記冷却機構が前記被冷却部を冷却することを特徴とする請求項１記載の冷却装置。
【請求項５】
前記光入射領域を含む光入射面内の複数点の変形量を測定する変形測定機構と、該変形測定機構による測定結果と前記温度検出機構による検出結果とに基づいて、前記被冷却部の目標温度を導出する導出手段を有しており、
該導出手段により導出された目標温度に従って、前記冷却機構が前記被冷却部を冷却することを特徴とする請求項１記載の冷却装置。
【請求項６】
光源からの光でレチクルを照明する照明光学系と、前記レチクルからの光を被露光体に導く投影光学系と、前期照明光学系又は前記投影光学系が有する光学素子のうち少なくとも１つの光学素子を冷却する、請求項１乃至５のいずれかに記載の冷却装置とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項７】
前記露光装置が複数の光学素子を有しており、前記温度検出機構の検出結果に基づいて、前記複数の光学素子同士の間隔を調整する駆動機構を有していることを特徴とする請求項６記載の露光装置。
【請求項８】
前記露光装置がある光軸にそって配置された複数の光学素子を有しており、前記温度検出機構の検出結果に基づいて、該複数の光学素子の少なくとも１つを前記光軸方向に駆動する駆動機構を有していることを特徴とする請求項６記載の露光装置。
【請求項９】
請求項６乃至８のいずれかに記載の露光装置で前記被露光体を露光する工程と、前記露光された被露光体を現像する工程とを有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項１０】
線膨張係数がゼロとなる温度が存在する材料を含む光学部材を冷却する冷却方法であって、
前記光学部材の被検出部の温度を検出する温度検出工程と、
前記温度検出工程で検出された温度に基づいて、前記光学部材の光入射領域の変形量が許容範囲内に収まるような、被冷却部の温度を導出する導出工程と、
前記被冷却部の温度が、前記導出工程により導出された前記被冷却部の温度となるように、前記被冷却部を冷却する冷却工程とを有することを特徴とする冷却方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての冷却装置は、線膨張係数がゼロとなる温度が存在する材料を含む光学部材を冷却する冷却装置であって、前記光学部材の被検出部の温度を検出する温度検出機構と、前記光学部材の被冷却部を冷却する冷却機構と、前記温度検出機構の検出結果に基づいて、前記光学部材の光入射領域の変形量が許容範囲内に収まるように、前記冷却機構を制御する制御部とを有することを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月27日(2006.9.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）半導体ウエハの主面に、回路および複数の第１の電極パッドを有する製品形成領域を複数形成する工程と、
（ｂ）前記製品形成領域のそれぞれに、前記第１の電極パッドよりも配列ピッチが広い複数の第２の電極パッドを、再配線を介して再配置する工程と、
（ｃ）前記複数の第２の電極パッドに複数のバンプ電極をそれぞれ形成する工程と、
（ｄ）前記複数の製品形成領域のうち、互いに隣り合う製品形成領域の間をダイシングすることで、複数の半導体装置を取得する工程と、
（ｅ）前記複数の半導体装置をそれぞれテストする工程と、
（ｆ）前記複数の半導体装置のそれぞれに複数の粉砕状ドライアイスを吹き付けて洗浄する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置の製造方法において、
前記バンプ電極は、Ｐｂフリー材で形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載の半導体装置の製造方法において、
前記粉砕状ドライアイスは、０．１ｍｍ乃至０．３ｍｍの粒径サイズからなることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１に記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｅ）工程では、前記半導体装置をソケットに装着し、前記ソケット内に設けられた複数のコンタクトピンに前記半導体装置の前記バンプ電極を圧接することによって行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｅ）工程は、バーンイン工程であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ａ）工程乃至（ｃ）工程はクリーンルームで行い、前記（ｄ）工程乃至（ｆ）工程は非クリーンルームで行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項７】
請求項１に記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｄ）工程の前にプローブ検査を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項８】
請求項１に記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｆ）工程の後、
（ｇ）前記半導体装置の最終外観検査を行う工程と、
（ｈ）前記半導体装置を梱包する工程と、
（ｉ）前記半導体装置を出荷する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。