【手続補正書】
【提出日】平成18年4月24日(2006.4.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業物に対してそれぞれ作業を行う複数の装置と、
前記装置とネットワークを介して接続され、前記装置における作業結果データを保存することで前記作業結果データを前記装置が共有可能にするものであって、全ての装置に関する作業結果データおよび各装置に関する作業結果データを加工したデータを保存するファイルサーバと、
前記装置と接続され、それぞれの装置を制御する装置サーバと、
前記装置サーバとネットワークを介して接続され、前記装置に必要な作業情報を有しており、該当装置に必要な作業情報を前記装置サーバに提供するホストと、
を備え、液晶表示装置の製造に用いられる自動化システム。
【請求項２】
前記ファイルサーバに接続して前記ファイルサーバに保存されている作業結果データを出力可能であり、かつ前記作業結果データに基づく指示を受け付け可能なユーザインターフェース部をさらに備える、請求項１に記載の自動化システム。
【請求項３】
前記ホストによって制御され、前記作業物をそれぞれの装置に自動運送する自動運送装置をさらに備える、請求項１に記載の自動化システム。
【請求項４】
前記ホストと有線で連結され、前記ホストから命令を受け前記自動運送装置の動作を制御する自動運送コントローラをさらに備える、請求項３に記載の自動化システム。
【請求項５】
前記自動運送装置は複数の作業物を１つの搬送容器内に入れて搬送し、前記搬送容器は識別のための固有ＩＤである搬送容器ＩＤを有している、請求項３に記載の自動化システム。
【請求項６】
前記装置は、前記作業物に対する作業を進行するための作業台と、
前記作業物に対する作業の進行前又は進行後に前記作業物を置くための複数の作業待機所と、
前記作業物を前記作業待機所から前記作業台に移動させたり前記作業台から前記作業待機所に移動させるための搬送ロボットと、
を備える、請求項５に記載の自動化システム。
【請求項７】
前記作業台は前記作業物のＩＤを判読するための第１判読器を有し、
前記作業待機所は、前記搬送容器ＩＤを判読するための第２判読器と、前記自動運送装置と通信するための通信手段とを有する、請求項６に記載の自動化システム。
【請求項８】
前記装置は、作業経過を視覚的に表示可能な作業制御画面をさらに備える、請求項７に記載の自動化システム。
【請求項９】
前記作業物はウェーハであり、前記搬送容器はカセットである、請求項８に記載の自動化システム。
【請求項１０】
前記作業物はガラスであり、前記搬送容器はカセットである、請求項８に記載の自動化システム。
【請求項１１】
前記装置は、検査器と補修器とを含む、請求項９又は請求項１０に記載の自動化システム。
【請求項１２】
所定のパターンが形成されている基板を検査するための検査器を含み、前記検査器は基板の検査を行って未加工データと加工されたサマリデータとを含む検査結果データを生成する複数の装置と、
前記装置とネットワークを介して接続され、前記基板に対するそれぞれの装置における作業結果データを保存することで前記作業結果データを前記装置が共有可能にするものであって、全ての装置に関する未加工データおよび各装置に関する加工されたサマリデータを保存するファイルサーバと、
前記装置に接続され、それぞれの装置を制御する検査器サーバを含む複数の装置サーバと、
前記装置サーバとネットワークを介して接続され、データベースを有しており、前記基板の固有ＩＤである基板ＩＤに基づいて前記データベースを参照して該当装置に必要な作業情報を前記装置サーバに提供するホストと、
を備え、前期基板はガラスであるマイクロエレクトロニクスデバイスの自動化システム。
【請求項１３】
前記ファイルサーバに接続して前記ファイルサーバに保存されている作業結果データを出力可能であり、かつ前記作業結果データに基づく指示を受け付け可能なユーザインターフェース部をさらに備える、請求項１２に記載のマイクロエレクトロニクスデバイスの自動化システム。
【請求項１４】
前記ホストによって制御され、前記基板をそれぞれの装置に自動運送する自動運送装置をさらに備える、請求項１２に記載のマイクロエレクトロニクスデバイスの自動化システム。
【請求項１５】
前記ホストと有線で連結され、前記ホストから命令を受け前記自動運送装置の運送を制御する自動運送コントローラをさらに備える、請求項１４に記載のマイクロエレクトロニクスデバイスの自動化システム。
【請求項１６】
前記装置には、前記検査器からの検査結果に基づいて前記基板を補修するための補修器がさらに含まれる、請求項１２に記載のマイクロエレクトロニクスデバイスの自動化システム。
【請求項１７】
前記検査器は、前記基板に対する検査作業を遂行した後、検査結果データを前記ファイルサーバに保存し、
前記補修器は、前記検査結果データを前記ファイルサーバから読み出して補修作業に利用し、補修結果データを前記ファイルサーバに保存する、請求項１６に記載のマイクロエレクトロニクスデバイスの自動化システム。
【請求項１８】
前記検査器は、前記基板を検査した後、検査結果を加工しなかった未加工データと前記検査結果を加工したサマリデータとを前記検査結果データとして前記ファイルサーバに保存し、前記検査結果データ保存のイベントを前記検査器サーバに送信する、請求項１７に記載のマイクロエレクトロニクスデバイスの自動化システム。
【請求項１９】
前記未加工データは、不良座標データ及び／または不良内容データである、請求項１７に記載のマイクロエレクトロニクスデバイスの自動化システム。
【請求項２０】
前記検査器により前記ファイルサーバに保存された検査結果データを利用し、前記基板に対する検査内容を視覚的に出力可能な肉眼検査装置をさらに備える、請求項１２に記載のマイクロエレクトロニクスデバイスの自動化システム。
【請求項２１】
前記検査結果データは不良座標データを含み、
前記肉眼検査装置は前記不良座標データに自動的に移動して前記検査結果データの視覚的出力を行う、請求項２０に記載のエレクトロニクスデバイスの自動化システム。
【請求項２２】
前記装置と前記ファイルサーバ、前記ファイルサーバと前記装置サーバ及び前記装置サーバと前記ホストは、それぞれＴＣＰ／ＩＰ方式で連結される請求項１２に記載のマイクロエレクトロニクスデバイスの自動化システム。
【請求項２３】
前記装置と前記装置サーバとは、ＳＥＣＳ（Semiconductor Equipment Communication Standard）通信方式で接続される、請求項１２に記載のマイクロエレクトロニクスデバイスの自動化システム。
【請求項２４】
前記基板はウェーハである、請求項１２〜２３のいずれか１つに記載のマイクロエレクトロニクスデバイスの自動化システム。
【請求項２５】
(a)第１装置にローディングされた作業物を認識する段階と、
(b)前記作業物に対する前記第１装置における作業の命令を制御部から受信する段階と、
(c)前記第１装置を含む複数の装置にオンラインで連結され前記作業物に対する装置の作業結果データを保存しているファイルサーバから、前記第１装置の作業に必要な前工程で生成された第１作業結果データを読み出す段階と、
(d)前記前工程の第１作業結果データを利用して前記作業物に対する作業を前記第１装置で遂行する段階と、
(e)前記第１装置において生成された第２作業結果データと前記第２作業結果データを加工したデータを前記ファイルサーバに保存する段階と、
を含み、前記作業物はガラスである工程制御方法。
【請求項２６】
前記前工程の装置は検査器であり、前記第１装置は補修器である、請求項２５に記載の工程制御方法。
【請求項２７】
前記作業物はウェーハである、請求項２６に記載の工程制御方法。
【請求項２８】
基板に対してそれぞれの作業を行う装置と、前記装置を制御する制御部と、前記基板をそれぞれの装置に自動運送する自動運送装置とを含む自動化システムの制御方法において、
(a)前記基板を第１装置にローディングする段階と、
(b)前記第１装置で前記基板に対する作業を行い、前記装置にネットワークを介して接続され、前記装置に接続され前記装置により生成される作業結果データおよび前記作業結果データを加工したデータを格納し前記装置の作業結果データを共有するためのファイルサーバに前記第１装置の第１作業結果データを保存する段階と、
(c)前記第１装置から前記基板をアンローディングする段階と、
(d)前記基板を第２装置に搬送し前記第２装置にローディングする段階と、
(e)前記第２装置における作業実行前に前記第１作業結果データを前記ファイルサーバから読み出し、作業実行時に前記第１作業結果データを利用して前記基板に対する作業を実行し、作業実行後に第２作業結果データを前記ファイルサーバに保存する段階と、
(f)前記第２装置から前記基板をアンローディングする段階と、
を含み、前記基板はガラスである自動化システムの制御方法。
【請求項２９】
前記(a)段階は、
(i)前記第１装置が制御部に前記基板を要請するメッセージを送信する段階と、
(ii)前記制御部が自己のデータベースを検索して前記第１装置で実行されなければならない基板を探し出し、探し出した基板を第１装置にローディングするように前記自動運送装置に命令する段階と、
(iii)第１装置にローディングされると、前記第１装置が基板のＩＤを読み出した後にローディング完了を制御部に報告する段階と、
を含む請求項２８に記載の自動化システムの制御方法。
【請求項３０】
前記(b)段階は、
(i)制御部が前記基板ＩＤに基づいた情報によって前記第１装置が作業可能な状態であるか否かを判断し、作業可能な状態であれば前記第１装置の作業実行に必要な作業情報と共に作業開始命令を前記第１装置に送信する段階と、
(ii)前記第１装置が前記基板に対する作業を実行し、前記第１作業結果データをファイルサーバに保存した後に制御部に作業完了を報告する段階と、
を含む請求項２９に記載の自動化システムの制御方法。
【請求項３１】
前記(c)段階は、
(i)前記制御部が前記ファイルサーバから前記第１作業結果データを読み出して前記第１作業結果データを加工し、前記自動運送装置に前記基板のアンローディングを命令する段階と、
(ii)前記自動運送装置が、作業が完了した基板を前記第１装置からアンローディングする段階と、
(iii)アンローディングが完了すると、前記第１装置が前記制御部にアンロード完了を報告する段階と、
を含む請求項３０に記載の自動化システムの制御方法。
【請求項３２】
前記(d)段階は、
(i)制御部が前記ファイルサーバに保存された前記第１作業結果データの保存位置と、前記第２装置で遂行する第２作業結果データを保存する位置とを前記第２装置に知らせる段階と、
(ii)前記第２装置が前記第１作業結果データを前記ファイルサーバから読み出して作業を実行し、第２作業結果データを前記ファイルサーバに保存する段階と、
を含む請求項３１に記載の自動化システムの制御方法。
【請求項３３】
前記第１装置は検査器であり、前記第２装置は補修器である、請求項３２に記載の自動化システムの制御方法。
【請求項３４】
前記基板はウェーハである、請求項３３に記載の自動化システムの制御方法。