(57)【要約】【課題】着座面からのワークの浮き上り量を算出できる着座確認装置を提供すること。【解決手段】ワークＷが着座する着座面を有する工作機械であるＮＣ旋盤１００に適用される着座確認装置１であって、波長掃引光源１０と、光ファイバー２０と、ビート周波数を示す電気信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を出力する光干渉計３０と、光干渉計３０から出力された電気信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３に基づきビート周波数を測定することにより着座面１０１からのワークＷの浮き上り量を算出する演算装置４０と、を備えている。演算装置４０は、ビート周波数に基づき波長掃引光源１０とワークＷとの距離と、波長掃引光源１０とマスターワークＷｍとの距離である基準距離との差を算出することにより浮き上り量を算出する。【選択図】図１
0003227652.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ワークが着座する着座面を有する工作機械に適用される着座確認装置であって、
波長掃引光源と、
前記波長掃引光源が発する光及び前記着座面における前記ワークからの反射光が通過する光ファイバーと、
前記反射光と、前記波長掃引光源の参照光とを干渉させ、前記反射光の光周波数と前記参照光の光周波数との差周波数であるビート周波数を示す電気信号を出力する光干渉計と、
前記光干渉計から出力された前記電気信号に基づき前記ビート周波数を測定することにより前記着座面からの前記ワークの浮き上り量を算出する演算装置と、を備え、
前記演算装置は、
前記光ファイバーを通過する前記反射光の光周波数と前記参照光の光周波数との差周波数である前記ビート周波数に基づき前記波長掃引光源と前記ワークとの距離を算出し、前記距離と前記着座面にマスターワークが正常に着座している状態における前記波長掃引光源と前記マスターワークとの距離である基準距離との差を算出することにより前記浮き上り量を算出することを特徴とする着座確認装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、着座確認装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークが着座する着座面と、ワークを着座面に着座させた状態でワークを把持する把持部と、を有する工作機械が知られている。例えば、工作機械としては旋盤やフライス盤が挙げられる。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
着座面からのワークの浮き上りが発生している場合、着座面にワークを着座させ直すが、見かけ上、着座面にワークが着座しているように見えているとしても、着座面からワークが微小に浮き上がっていることが考えられる。そのため、着座面からのワークの浮き上り量を測定したいとの要望がある。
【０００４】
本考案の目的は、着座面からのワークの浮き上り量を算出できる着座確認装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決する着座確認装置は、ワークが着座する着座面を有する工作機械に適用される着座確認装置であって、波長掃引光源と、前記波長掃引光源が発する光及び前記着座面における前記ワークからの反射光が通過する光ファイバーと、前記反射光と、前記波長掃引光源の参照光とを干渉させ、前記反射光の光周波数と前記参照光の光周波数との差周波数であるビート周波数を示す電気信号を出力する光干渉計と、前記光干渉計から出力された前記電気信号に基づき前記ビート周波数を測定することにより前記着座面からの前記ワークの浮き上り量を算出する演算装置と、を備え、前記演算装置は、前記光ファイバーを通過する前記反射光の光周波数と前記参照光の光周波数との差周波数である前記ビート周波数に基づき前記波長掃引光源と前記ワークとの距離を算出し、前記距離と前記着座面にマスターワークが正常に着座している状態における前記波長掃引光源と前記マスターワークとの距離である基準距離との差を算出することにより前記浮き上り量を算出する。
【０００６】
これによれば、着座面に対してワークが着座している状態における波長掃引光源とワークとの距離と、着座面に対してマスターワークが正常に着座している状態における波長掃引光源とマスターワークとの距離である基準距離との差を算出することによりワークの着座面からの浮き上り量を算出できる。
【考案の効果】
【０００７】
本考案によれば、着座面からのワークの浮き上り量を算出できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】着座確認装置を示す概略図。
【図２】着座面を正面から見たときのＮＣ旋盤の正面図。
【図３】ビート周波数を示すグラフ。
【図４】ビート信号を示すグラフ。
【図５】（ａ）は、着座面にマスターワークが正常に着座しているときのビート信号を示すグラフ、（ｂ）は、着座面にワークが着座しているときのビート信号の一例を示すグラフ。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
以下、図１〜図４を参照して、着座確認装置の一実施形態について説明する。
図１に示すように、本実施形態において、着座確認装置１は、工作機械であるＮＣ旋盤１００に適用されている。ＮＣ旋盤１００は、ワークＷが着座する着座面１０１と、着座面１０１に着座させたワークＷを把持する把持部としての複数の爪部１０２と、着座面１０１及び複数の爪部１０２と一体回転する主軸ユニット１０３と、を有している。着座面１０１に直交する方向は、主軸ユニット１０３の軸方向であり、着座面１０１に沿う方向は、主軸ユニット１０３の径方向である。なお、図１に示す着座面１０１は、概略図であり、詳細な説明は後述する。
【００１０】
図２に示すように、複数の爪部１０２は、主軸ユニット１０３の回転方向において等間隔に配置されている。本実施形態において、爪部１０２は、３つ設けられている。複数の爪部１０２は、主軸ユニット１０３の回転方向において１２０度おきに配置されている。なお、回転方向は、図２中の左回り方向であっても、右回り方向であってもよい。
【００１１】
図１及び図２に示すように、複数の爪部１０２は、図示しない回転シリンダにより主軸ユニット１０３の径方向に動作する。複数の爪部１０２は、ワークＷを把持しないときには主軸ユニット１０３の径方向外側に移動し、ワークＷを把持するときには主軸ユニット１０３の径方向内側に移動する。
【００１２】
図２に示すように、ＮＣ旋盤１００は、ワークＷを載置するための支持台１０４を有している。支持台１０４は、複数の爪部１０２に囲まれている。支持台１０４は、主軸ユニット１０３に設けられた基台部１０５と、基台部１０５から突出する複数の柱部１０６と、を有している。本実施形態において、柱部１０６は、３つ設けられている。複数の柱部１０６は、主軸ユニット１０３の回転方向において１２０度おきに配置されている。複数の柱部１０６それぞれは、主軸ユニット１０３の回転方向において、隣り合う爪部１０２の中間に配置されている。複数の爪部１０２及び複数の柱部１０６は、主軸ユニット１０３の回転方向において所定間隔をおいて配置されている。複数の柱部１０６は、複数の爪部１０２が主軸ユニット１０３の径方向に移動したときに爪部１０２の移動に干渉しない位置に配置されている。
【００１３】
複数の柱部１０６の基台部１０５とは反対側に位置する端部には、着座面１０１が形成されている。着座面１０１を正面から見たとき、着座面１０１は、主軸ユニット１０３の回転方向において、複数箇所存在する。
【００１４】
複数の柱部１０６それぞれには、貫通孔１０６ａが形成されている。貫通孔１０６ａは、柱部１０６の軸線方向に延びている。貫通孔１０６ａは、着座面１０１に開口している。貫通孔１０６ａは、着座面１０１から主軸ユニット１０３に到るまで延びている。
【００１５】
図１に示すように、着座確認装置１は、波長を連続的に変化させた光を発生させる波長掃引光源１０と、複数の光ファイバー２０と、光干渉計３０と、演算装置４０と、分岐カプラー５０と、サーキュレータ６０と、を備えている。
【００１６】
本実施形態において、光ファイバー２０は、６つ採用されている。複数の光ファイバー２０それぞれを、第１光ファイバー２１、第２光ファイバー２２、第３光ファイバー２３、第４光ファイバー２４、第５光ファイバー２５、及び第６光ファイバー２６とする。
【００１７】
波長掃引光源１０と分岐カプラー５０とは、第１光ファイバー２１により接続されている。分岐カプラー５０とサーキュレータ６０とは、第２光ファイバー２２により接続されている。分岐カプラー５０と光干渉計３０とは、第３光ファイバー２３により接続されている。サーキュレータ６０と光干渉計３０とは、第４光ファイバー２４により接続されている。なお、第１〜第４光ファイバー２１〜２４の第１端及び第２端の接続態様の詳細は省略する。
【００１８】
第５光ファイバー２５の第１端は、サーキュレータ６０に接続され、第５光ファイバー２５の第２端は、ロータリージョイント１０７に接続されている。第５光ファイバー２５の第２端は、ロータリージョイント１０７の内部に位置している。
【００１９】
第６光ファイバー２６の第１端は、ロータリージョイント１０７に接続され、第６光ファイバー２６の第２端は、ＮＣ旋盤１００の主軸ユニット１０３に入り込んでいる。第６光ファイバー２６の第２端は、着座面１０１に位置している。第６光ファイバー２６の第１端は、ロータリージョイント１０７の内部において、第５光ファイバー２５の第２端と対向している。第６光ファイバー２６の第１端と、第５光ファイバー２５の第２端とは、光の授受が行える程度に近接している。第６光ファイバー２６は、主軸ユニット１０３とともに一体的に回転する。第６光ファイバー２６は、主軸ユニット１０３が回転しても第６光ファイバー２６の第１端及び第２端の位置が変わらないようにＮＣ旋盤１００の内部に延びている。
【００２０】
第６光ファイバー２６の第２端は、３つに分岐している。第６光ファイバー２６の第２端の３つの分岐した部分をそれぞれ第１分岐ファイバー２６１、第２分岐ファイバー２６２、及び第３分岐ファイバー２６３とする。第１分岐ファイバー２６１、第２分岐ファイバー２６２、及び第３分岐ファイバー２６３は、第６光ファイバー２６の分岐部２６ａから分岐している。分岐部２６ａは、第１分岐ファイバー２６１、第２分岐ファイバー２６２、及び第３分岐ファイバー２６３をつなぐ部分である。第１分岐ファイバー２６１、第２分岐ファイバー２６２、及び第３分岐ファイバー２６３は、全て長さが異なる。なお、第1〜第３分岐ファイバー２６１〜２６３の長さとは、分岐部２６ａから着座面１０１に位置する先端までの長さである。本実施形態では、第１分岐ファイバー２６１の長さＨ１は、第２分岐ファイバー２６２の長さＨ２よりも短い。第２分岐ファイバー２６２の長さＨ２は、第３分岐ファイバー２６３の長さＨ３よりも短い。なお、第１分岐ファイバー２６１、第２分岐ファイバー２６２、及び第３分岐ファイバー２６３は、複数の分岐ファイバーの一例である。
【００２１】
図２に示すように、第１分岐ファイバー２６１、第２分岐ファイバー２６２、及び第３分岐ファイバー２６３それぞれは、３つの柱部１０６の貫通孔１０６ａそれぞれに挿通されている。第１分岐ファイバー２６１、第２分岐ファイバー２６２、及び第３分岐ファイバー２６３それぞれの先端は、着座面１０１から外部に向けて突出しないように配置されている。なお、図２に示す貫通孔１０６ａは、説明の都合上、内径を誇張して記載しており、第１分岐ファイバー２６１、第２分岐ファイバー２６２、及び第３分岐ファイバー２６３が挿通でき、且つ貫通孔１０６ａを通じて主軸ユニット１０３に異物等が侵入しない程度の内径である。
【００２２】
このように構成された着座確認装置１において、波長掃引光源１０が発する光は、分岐カプラー５０により分岐され、第２光ファイバー２２及び第３光ファイバー２３を通過する。第３光ファイバー２３を通過する光は、一般的に参照光と呼ばれる。参照光は、光干渉計３０に入力される。
【００２３】
第２光ファイバー２２を通過した光は、サーキュレータ６０を通過して第５光ファイバー２５に到り、ロータリージョイント１０７の内部に到る。第５光ファイバー２５の第２端に到った光は、第６光ファイバー２６の第１端で受光され、第６光ファイバー２６の第１分岐ファイバー２６１、第２分岐ファイバー２６２、及び第３分岐ファイバー２６３に到る。第１分岐ファイバー２６１、第２分岐ファイバー２６２、及び第３分岐ファイバー２６３を通過した光は、着座面１０１に着座しているワークＷにより反射され、第１分岐ファイバー２６１、第２分岐ファイバー２６２、及び第３分岐ファイバー２６３に再び受光される。ワークＷにより反射した光は、一般的に反射光と呼ばれる。第１分岐ファイバー２６１、第２分岐ファイバー２６２、及び第３分岐ファイバー２６３それぞれが受光する反射光は、第６光ファイバー２６の第１端から第５光ファイバー２５に受光され、サーキュレータ６０に至る。サーキュレータ６０は、第５光ファイバー２５を通過した反射光を第４光ファイバー２４に通過させる。第４光ファイバー２４を通過した反射光は、光干渉計３０に入力される。そのため、光ファイバー２０は、着座面１０１に延びるとともに波長掃引光源１０が発する光及び着座面１０１におけるワークＷからの反射光が通過する。また、光ファイバー２０は、着座面１０１の複数箇所それぞれに向けて延びるとともに長さが異なる複数の分岐ファイバーとしての第１分岐ファイバー２６１、第２分岐ファイバー２６２、及び第３分岐ファイバー２６３を有している。
【００２４】
光干渉計３０は、反射光と参照光とを干渉させることにより干渉光を生成する。光干渉計３０において、干渉光を生成したとき、反射光の光周波数と参照光の光周波数との差周波数を示す電気信号が発生する。光干渉計３０は、差周波数を示す電気信号を出力する。差周波数とはビート周波数である。
【００２５】
本実施形態では、反射光は、第１分岐ファイバー２６１を通過する反射光、第２分岐ファイバー２６２を通過する反射光、及び第３分岐ファイバー２６３を通過する反射光の３つが存在する。
【００２６】
図１及び図３に示すように、光干渉計３０は、第１分岐ファイバー２６１を通過する反射光の光周波数Ｖａと参照光の光周波数Ｖｒとの差周波数であるビート周波数を示す第１ビート周波数ｆ１を示す電気信号Ｓ１を出力する。また、光干渉計３０は、第２分岐ファイバー２６２を通過する反射光の光周波数Ｖｂと参照光の光周波数Ｖｒとの差周波数であるビート周波数を示す第２ビート周波数ｆ２を示す電気信号Ｓ２を出力する。さらに、光干渉計３０は、第３分岐ファイバー２６３を通過する反射光の光周波数Ｖｃと参照光の光周波数Ｖｒとの差周波数を示す第３ビート周波数ｆ３を示す電気信号Ｓ３を出力する。すなわち、光干渉計３０は、第１分岐ファイバー２６１、第２分岐ファイバー２６２、及び第３分岐ファイバー２６３それぞれを通過する反射光の光周波数Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃと参照光の光周波数Ｖｒとの差周波数であるビート周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３を示す電気信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を出力する。
【００２７】
図１に示すように、演算装置４０には、電気信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３が入力される。演算装置４０は、プログラムを記憶するメモリと、プログラムを実行するプロセッサとを備える電子装置である。
【００２８】
図４に示すように、演算装置４０は、電気信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３それぞれをフーリエ変換することによりビート信号を得る。電気信号Ｓ１をフーリエ変換することにより得られるビート信号のうちピークを迎える信号を第１信号Ｂ１とし、電気信号Ｓ２をフーリエ変換することにより得らえるビート信号のうちピークを迎える信号を第２信号Ｂ２とし、電気信号Ｓ３をフーリエ変換することにより得られるビート信号のうちピークを迎える信号を第３信号Ｂ３とする。第１ビート周波数ｆ１は、電気信号Ｓ１から得られたビート信号のうち信号強度がピークを迎える第１信号Ｂ１が発生したときのビート周波数である。第２ビート周波数ｆ２は、電気信号Ｓ２から得られたビート信号のうち信号強度がピークを迎える第２信号Ｂ２が発生したときのビート周波数である。第３ビート周波数ｆ３は、電気信号Ｓ３から得られたビート信号のうち信号強度がピークを迎える第３信号Ｂ３が発生したときのビート周波数である。
【００２９】
ビート周波数は、波長掃引光源１０から着座面１０１までの光路長に比例するため、第１信号Ｂ１、第２信号Ｂ２、及び第３信号Ｂ３は、第１ビート周波数ｆ１、第２ビート周波数ｆ２、及び第３ビート周波数ｆ３の順に信号強度のピークが発生することにより得られる。演算装置４０は、信号Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３を得たとき、信号Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３それぞれが発生している第１ビート周波数ｆ１、第２ビート周波数ｆ２、及び第３ビート周波数ｆ３を得る。すなわち、演算装置４０は、電気信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３をフーリエ変換することにより第１ビート周波数ｆ１、第２ビート周波数ｆ２、及び第３ビート周波数ｆ３を測定する。
【００３０】
以下、着座面１０１からのワークＷの浮き上り量の算出について説明する。なお、波長掃引光源１０から第１分岐ファイバー２６１に対向するワークＷまでの距離を距離Ｌ１とし、波長掃引光源１０から第２分岐ファイバー２６２に対向するワークＷまでの距離を距離Ｌ２とし、波長掃引光源１０から第３分岐ファイバー２６３に対向するワークＷまでの距離を距離Ｌ３とする。
【００３１】
演算装置４０は、測定した第１ビート周波数ｆ１、第２ビート周波数ｆ２、及び第３ビート周波数ｆ３を以下の式に代入することにより波長掃引光源１０からワークＷまでの距離を算出する。
【００３２】
Ｌ１＝ｆ１＊（ｃ／ｎ）／２＊（ΔＦ／Ｔｓ）…式１
Ｌ２＝ｆ２＊（ｃ／ｎ）／２＊（ΔＦ／Ｔｓ）…式２
Ｌ３＝ｆ３＊（ｃ／ｎ）／２＊（ΔＦ／Ｔｓ）…式３
ｃ…光の速度、ｎ…光ファイバーの屈折率、ΔＦ…掃引幅（図３に示す）、Ｔｓ…掃引時間
演算装置４０には、波長掃引光源１０から図１に示すマスターワークＷｍまでの距離が予め記憶されている。マスターワークＷｍとは、着座面１０１に対してワークＷが正常に着座した状態を示すために使用される治具である。演算装置４０には、波長掃引光源１０から第１分岐ファイバー２６１に対向するマスターワークＷｍまでの距離Ｌａと、波長掃引光源１０から第２分岐ファイバー２６２に対向するマスターワークＷｍまでの距離Ｌｂと、波長掃引光源１０から第３分岐ファイバー２６３に対向するマスターワークＷｍまでの距離Ｌｃとが記憶されている。距離Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃは、着座面１０１に対してマスターワークＷｍが正常に着座している状態における波長掃引光源１０からワークＷまでの理想的な距離を示している。なお、距離Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃは、請求項上の基準距離である。
【００３３】
演算装置４０は、距離Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３を算出した後、次式に距離Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３を代入して着座面１０１に対するワークＷの浮き上り量を算出する。第１分岐ファイバー２６１が設けられる着座面１０１からのワークＷの浮き上り量を浮き上り量Ｆ１とし、第２分岐ファイバー２６２が設けられる着座面１０１からのワークＷの浮き上り量を浮き上り量Ｆ２とし、第３分岐ファイバー２６３が設けられる着座面１０１からのワークＷの浮き上り量を浮き上り量Ｆ３とする。演算装置４０は、着座面１０１の複数箇所それぞれにおけるワークＷの浮き上り量Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３を算出する。
【００３４】
Ｆ１＝Ｌ１−Ｌａ…式４
Ｆ２＝Ｌ２−Ｌｂ…式５
Ｆ３＝Ｌ３−Ｌｃ…式６
演算装置４０は、距離Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３と基準距離である距離Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃとの差を算出することにより浮き上り量Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３を算出する。演算装置４０は、浮き上り量Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に基づきワークＷが着座面１０１に正常に着座してるか否かを判断している。演算装置４０は、浮き上り量Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３が所定値以上である場合、ワークＷが着座面１０１に正常に着座していないと判断し、浮き上り量Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３が所定値未満である場合、ワークＷが着座面１０１に正常に着座していると判断する。所定値とは、予め着座確認装置１を採用する作業者が所望する値であり、数値については適宜変更できる。なお、着座確認装置１には、演算装置４０によりワークＷが着座面１０１に正常に着座していないと判断された場合、その旨を音声により報知する報知部としてのスピーカ等を追加してもよい。
【００３５】
次に、本実施形態の作用を説明する。
波長掃引式において、波長掃引光源１０からワークＷまでの距離Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３は、ビート周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３と、光の速度ｃと、光ファイバーの屈折率ｎと、波長掃引式の波長掃引光源１０の掃引幅ΔＦと、掃引時間Ｔｓとにより決められる。光の速度ｃ、光ファイバーの屈折率ｎ、波長掃引式の波長掃引光源１０の掃引幅ΔＦ、及び掃引時間Ｔｓは、波長掃引光源１０からワークＷまでの距離Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３を算出する前に予め確認することができる。そのため、波長掃引光源１０からワークＷまでの距離は、ビート周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３を測定することにより算出できる。
【００３６】
本実施形態では、着座面１０１対してワークＷが着座している状態における波長掃引光源１０とワークＷとの距離Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３と、着座面１０１に対してマスターワークＷｍが正常に着座している状態における波長掃引光源１０とマスターワークＷｍとの距離Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃとの差を算出することにより着座面１０１からのワークＷの浮き上り量Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３が算出される。
【００３７】
次に、本実施形態の効果を説明する。
（１）着座面１０１対してワークＷが着座している状態における波長掃引光源１０とワークＷとの距離Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３と、着座面１０１に対してマスターワークＷｍが正常に着座している状態における波長掃引光源１０とマスターワークＷｍとの距離Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃとの差を算出することにより着座面からのワークＷの浮き上り量Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３を算出できる。
【００３８】
（２）第１分岐ファイバー２６１、第２分岐ファイバー２６２、及び第３分岐ファイバー２６３それぞれに対してビート周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３が測定されている。ビート周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３を測定することにより、着座面１０１の複数箇所それぞれにおける着座面１０１からのワークＷの浮き上り量Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３を算出できる。そのため、着座面１０１の複数箇所それぞれからのワークＷの浮き上り量Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３によってワークＷが浮き上がっている着座面１０１の箇所を特定することができ、且つワークＷが着座面１０１に正常に着座しているか否かを判断することができる。
【００３９】
なお、本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
・演算装置４０は、マスターワークＷｍが着座面１０１に着座しているときのビート信号のグラフと、ワークＷが着座面１０１に着座しているときのビート信号のグラフとを比較して浮き上り量Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３を算出してもよい。
【００４０】
図５（ａ）に示すように、演算装置４０は、マスターワークＷｍが着座面１０１に着座しているときの電気信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３それぞれをフーリエ変換することによりビート信号Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃを得る。演算装置４０は、ビート信号Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃを得たとき、ビート信号Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃそれぞれが発生しているビート周波数ｆａ，ｆｂ，ｆｃを得る。ビート周波数ｆａ，ｆｂ，ｆｃは、距離Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃと比例する。そのため、ビート周波数ｆａ，ｆｂ，ｆｃに対する信号強度を示すビート信号Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃのグラフは、距離Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃに対する信号強度を示すビート信号Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃのグラフに置き換えることができる。演算装置４０には、距離Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃに対する信号強度を示すビート信号Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃのグラフが予め記憶されている。
【００４１】
図５（ｂ）に示すように、演算装置４０は、図４で説明したように、ビート周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３に対する信号強度を示す信号Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３を得ることによりビート周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３を得る。本変更例において、演算装置４０は、ビート周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３に対する信号強度を示す信号Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３を示すグラフを、距離Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３に対する信号強度を示す信号Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３を示すグラフに置き換える。
【００４２】
演算装置４０は、予め記憶されている距離Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃに対する信号強度を示すビート信号Ｂａ，Ｂｂ，Ｂｃのグラフと、距離Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３に対する信号強度を示す信号Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３を示すグラフとを比較する。演算装置４０は、グラフの比較により浮き上り量Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３を算出してもよい。
【００４３】
・演算装置４０は、浮き上り量Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３と所定値との比較によりワークＷが着座面１０１に正常に着座しているか否かを判断していたが、これに限らない。例えば、上記したビート周波数ｆａ，ｆｂ，ｆｃとビート周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３との比較によってワークＷが着座面１０１に正常に着座しているか否かを判断してもよい。
【００４４】
・演算装置４０は、ワークＷが着座面１０１に正常に着座しているか否かを判断することに限らない。例えば、着座確認装置１に、演算装置４０により算出された浮き上り量Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３を表示するディスプレイ等を用意し、ディスプレイに表示された浮き上り量Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３を作業者が見て、ワークＷが着座面１０１に正常に着座しているか否かを作業者が判断してもよい。
【００４５】
・複数の分岐ファイバーとして第１分岐ファイバー２６１、第２分岐ファイバー２６２、第３分岐ファイバー２６３の３つが採用されていたが、４つ以上採用してもよいし、２つ及び１つのみ採用してもよい。
【００４６】
・着座確認装置１は、ＮＣ旋盤１００に適用されていたが、例えばフライス盤に適用されてもよく、着座確認装置１は、着座面１０１を有する工作機械であれば適用先は適宜変更してもよい。
【符号の説明】
【００４７】
１…着座確認装置、１０…波長掃引光源、２０…光ファイバー、３０…光干渉計、４０…演算装置、１０１…着座面、２６１…第１分岐ファイバー、２６２…第２分岐ファイバー、２６３…第３分岐ファイバー、Ｗ…ワーク、Ｗｍ…マスターワーク、ｆ１…第１ビート周波数、ｆ２…第２ビート周波数、ｆ３…第３ビート周波数、ｆａ，ｆｂ，ｆｃ…ビート周波数、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３…電気信号、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ…距離、Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ，Ｖｒ…光周波数、Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３…浮き上り量。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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