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【手続補正書】
【提出日】平成18年8月3日(2006.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報の保存方法であって、
前記情報には管理データが付与されており、
前記管理データに基づいて、種類の異なる第１の情報記録媒体、第２の情報記録媒体、第３の情報記録媒体のうち、少なくともいずれか一つの情報記録媒体に情報を保存することを特徴とする情報の保存方法。
【請求項２】
前記管理情報が、アクセス頻度に関する情報であることを特徴とする請求項１記載の情報の保存方法。
【請求項３】
前記アクセス頻度に関する情報が、３段階に分けられていることを特徴とする請求項２記載の情報の保存方法。
【請求項４】
前記アクセス頻度に関する情報が最も高い段階のものを第１の情報記録媒体に、前記アクセス頻度に関する情報が中段階のものを第２の情報記録媒体に、前記アクセス頻度に関する情報が最も低い段階のものを第３の情報記録媒体に保存する、ことを特徴とする請求項３記載の情報の保存方法。
【請求項５】
前記第１の情報記録媒体はハードディスクであり、前記第２の情報記録媒体は光ディスクであり、前記第３の情報記録媒体は磁気テープであることを特徴とする請求項１〜４記載の情報の保存方法。
【請求項６】
情報の保存方法であって、
前記情報には管理データが付与されており、
前記管理データに基づいて、種類の異なる第１の情報記録媒体、第２の情報記録媒体、第３の情報記録媒体のうち、少なくともいずれか一つの情報記録媒体に情報を保存する情報の保存方法において、
前記第１の情報記録媒体はハードディスクであり、前記第２の情報記録媒体は光ディスクであり、前記第３の情報記録媒体は磁気テープであり、
前記情報には管理データとして、情報データの書き換えに関する情報が付与されており、
前記情報データを書き換えに関する情報が書き換え不可の場合は、前記第２の情報記録媒体である光ディスクに記録し、
前記光ディスクが追記型光ディスクであることを特徴とする情報の保存方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月15日(2005.12.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板の回路図ＣＡＤデータを第１の標準フォーマットに変換するとともに、前記回路基板のレイアウト図ＣＡＤデータを第２の標準フォーマットに変換し、
前記第１の標準フォーマットに変換された回路図ＣＡＤデータに基づく回路図を回路図ビューアの画面上に表示するとともに、前記第２の標準フォーマットに変換されたレイアウト図ＣＡＤデータに基づくレイアウト図をレイアウト図ビューアの画面上に表示し、
前記回路図ビューア及び前記レイアウト図ビューアのいずれか一方の画面上で指定される回路要素を、当該画面上において特定の色で区別表示させるとともに、当該画面上で前記指定された回路要素を識別するための情報を他のビューア側に通知し、
前記通知を受けたビューア側の画面上において、前記通知された情報が示す回路要素に相当する要素を特定の色で区別表示させることを特徴とする情報表示方法。
【請求項２】
前記回路要素は、部品もしくは配線に相当する要素であるであることを特徴とする請求項１記載の情報表示方法。
【請求項３】
前記区別表示は、点灯もしくは点滅表示であることを特徴とする請求項１記載の情報表示方法。
【請求項４】
前記第１の標準フォーマットはＥＤＩＦ形式に相当するものであり、前記第２の標準フォーマットはＯＤＢ＋＋形式に相当するものであることを特徴とする請求項１記載の情報表示方法。
【請求項５】
前記回路図ビューアの画面上において、個々の回路要素の一覧の中における前記指定された回路要素と、前記回路図中における前記指定された回路要素に相当する要素とを、同時に区別表示させることを特徴とする請求項１記載の情報表示方法。
【請求項６】
前記レイアウト図中において、個々の部品の実装／非実装を区別する表示を行うことを特徴とする請求項１記載の情報表示方法。
【請求項７】
前記レイアウト図ＣＡＤデータに基づく２次元レイアウト図および３次元レイアウト図を別々の画面上に表示し、
前記指定された回路要素を、前記２次元レイアウト図および前記３次元レイアウト図の各画面上において同時に特定の色で区別表示させることを特徴とする請求項１記載の情報表示方法。
【請求項８】
前記３次元レイアウト図の中に表示される回路基板を構成する個々の層の間隔を可変にすることを特徴とする請求項７記載の情報表示方法。
【請求項９】
前記回路基板に関連する筐体構造図ＣＡＤデータを第３の標準フォーマットに変換し、
前記第３の標準フォーマットに変換された筐体構造図ＣＡＤデータに基づく筐体構造図を筐体構造図ビューアの画面上に表示し、
前記筐体構造図ビューアの画面上で指定される筐体部分を、当該画面上において特定の色で区別表示させるとともに、当該画面上で指定された筐体部分に関連する部品もしくは配線を識別するための情報をその他のビューア側に通知し、
他のビューアから情報の通知を受けた場合には、前記筐体構造図ビューアの画面上において、当該通知された情報が示す部品もしくは配線に関連する筐体部分を特定の色で区別表示させることを特徴とする請求項１記載の情報表示方法。
【請求項１０】
前記回路基板に関連する解析結果データを第４の標準フォーマットに変換し、
前記第４の標準フォーマットに変換された解析結果データを解析結果ビューアの画面上に表示し、
前記解析結果ビューアの画面上で指定される解析結果を、当該画面上において特定の色で区別表示させるとともに、当該画面上で指定された解析結果に関連する部品もしくは配線を識別するための情報をその他のビューア側に通知し、
他のビューアから情報の通知を受けた場合には、前記解析結果ビューアの画面上において、当該通知された情報が示す部品もしくは配線に関連する解析結果を特定の色で区別表示させることを特徴とする請求項１又は７に記載の情報表示方法。
【請求項１１】
回路基板の回路図ＣＡＤデータに基づく回路図を回路図ビューアの画面上に表示する第１の表示処理手段と、
前記回路基板のレイアウト図ＣＡＤデータに基づくレイアウト図をレイアウト図ビューアの画面上に表示する第２の表示処理手段と、
前記回路図ビューア及び前記レイアウト図ビューアのいずれか一方の画面上で指定される回路要素を、当該画面上において特定の色で区別表示させるとともに、当該画面上で指定された回路要素を識別するための情報を他のビューア側に通知し、一方、他のビューア側から当該通知を受けた場合には、通知された情報が示す回路要素に相当する要素を当該画面上において特定の色で区別表示させる処理手段と、
を具備することを特徴とする情報表示システム。
【請求項１２】
前記回路基板に関連する筐体構造図ＣＡＤデータに基づく筐体構造図を筐体構造図ビューアの画面上に表示する手段と、
前記筐体構造図ビューアの画面上で指定される筐体部分を、当該画面上において特定の色で区別表示させるとともに、当該画面上で指定された筐体部分に関連する部品もしくは配線を識別するための情報をその他のビューア側に通知し、他のビューアから情報の通知を受けた場合には、前記筐体構造図ビューアの画面上において、当該通知された情報が示す部品もしくは配線に関連する筐体部分を特定の色で点灯もしくは点滅させる手段と、
を更に具備することを特徴とする請求項１１記載の情報表示システム。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月28日(2006.9.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原版と被転写基板とを接触又は近接させて、前記原版のパターンを前記被転写基板に転写する微細加工装置であって、
前記パターンが形成された前記原版を駆動する原版駆動手段、
前記被転写基板の位置決めを行うステージと、
アライメントマークが形成されているアライメント基板を駆動するアライメント駆動手段と、
前記ステージ上に配置されており、前記第１アライメントスコープと前記アライメントマーク、又は前記アライメントスコープに対して固定された基準マークと前記アライメントマーク、との間の位置ずれを計測すると共に、前記アライメントマークと前記原版との位置ずれを計測する第１アライメントスコープと、
前記アライメントマークと前記被転写基板との位置ずれを計測する第２アライメントスコープと、
を有することを特徴とする微細加工装置。
【請求項２】
前記第１アライメントスコープによる計測と、前記第２アライメントスコープによる計測とを行った後に、前記原版のパターンを前記被転写基板に転写することを特徴とする請求項１記載の微細加工装置。
【請求項３】
レジストが塗布された前記被転写基板に対して、前記原版のパターンを押し付けることにより、前記原版のパターンの前記被転写基板へのパターンの転写を行うことを特徴とする請求項２記載の微細加工装置。
【請求項４】
前記アライメント駆動手段は、前記アライメント基板を前記原版と前記被転写基板との間から退避させることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の微細加工装置。
【請求項５】
原版と被転写基板とを接触又は近接させて、前記原版のパターンを前記被転写基板に転写する微細加工装置において、
前記原版と前記被転写基板との相対的な位置合わせを行う補正駆動手段と、
前記原版と前記被転写基板との相対的な位置ずれを計測するアライメント計測手段と、を有し、
前記アライメント計測手段で計測した前記位置ずれを補正駆動手段で補正することを特徴とする微細加工装置。
【請求項６】
前記補正駆動手段は、アライメントマークを持つアライメント基板を位置決めするアライメント基板ステージと、前記原版を位置決めする原版ステージと、前記被転写基板を位置決めする基板ステージとを有しており、
前記アライメント計測手段は、前記アライメント基板を前記原版と前記被転写基板の間に搬送、回収する搬送手段と、前記基板ステージに搭載された第一のアライメントスコープと、前記基板ステージ上に設置された基準マーク台と、前記原版側に設置された第二のアライメントスコープとを有することを特徴とする請求項５記載の微細加工装置。
【請求項７】
原版及び被転写基板を用意する工程と、請求項１乃至６いずれかに記載の微細加工装置により前記原版のパターンを前記被転写基板に転写する工程とを有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項８】
パターンが形成された原版を駆動する原版駆動手段と、被転写基板の位置決めを行うステージと、アライメントマークが形成されているアライメント基板を駆動するアライメント駆動手段と、前記ステージ上に配置された第１アライメントスコープと、第２アライメントスコープとを備え、前記原版と前記被転写基板とを接触又は近接させて、前記原版のパターンを前記被転写基板に転写するる微細加工装置を用いた微細加工方法であって、
前記第１アライメントスコープと前記アライメントマーク、又は前記アライメントスコープに対して固定された基準マークと前記アライメントマーク、との間の位置ずれを計測する第１計測工程と、
前記アライメントマークと前記原版との位置ずれを計測する第２計測工程と、
前記アライメントマークと前記被転写基板との位置ずれを計測する第３計測工程と、
前記第１、２、３計測工程の終了後に、前記原版のパターンを前記被転写基板に転写する転写工程とを有することを特徴とする微細加工方法。
【請求項９】
前記第１、２、３計測工程と前記転写工程との間に、前記アライメント基板を前記原版と前記被転写基板との間から退避させる退避工程を有することを特徴とする請求項８記載の微細加工方法。
【請求項１０】
原版及び被転写基板を用意する工程と、クレーム８又は９に記載の微細加工方法により前記原版のパターンを前記被転写基板に転写する工程とを有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月26日(2006.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】配線構造および露光装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部に対する配線構造であって、
伝熱性、導電性及び可撓性を有する薄板部品であって、その一端が前記可動部に接続された薄板部品と、
前記薄板部品の他端が接続された固定部品と、
前記固定部品を冷却する冷却手段と、
を有することを特徴とする配線構造。
【請求項２】
前記冷却手段は、前記固定部品に接続された、冷媒供給ラインと冷媒回収ラインとを有する、ことを特徴とする請求項1に記載の配線構造。
【請求項３】
前記固定部品は、冷媒が流れる流路を有する、ことを特徴とする請求項１または２に記載の配線構造。
【請求項４】
前記薄板部品および前記固定部品からの熱輻射を遮る遮蔽板を有する、ことを特徴とする請求項1乃至３のいずれかに記載の配線構造。
【請求項５】
前記遮蔽板は、前記固定部品に密着している、ことを特徴とする請求項４に記載の配線構造。
【請求項６】
真空中で基板を露光する露光装置であって、
真空槽と、
前記真空槽内に配された可動部と
前記真空槽内に配された、伝熱性、導電性及び可撓性を有する薄板部品であって、その一端が前記可動部に接続された薄板部品と、
前記真空槽内に配され、かつ前記薄板部品の他端が接続された固定部品と、
前記固定部品を冷却する冷却手段と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項７】
前記冷却手段は、前記固定部品に接続された、冷媒供給ラインと冷媒回収ラインとを有する、ことを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】
前記固定部品は、冷媒が流れる流路を有する、ことを特徴とする請求項６または７に記載の露光装置。
【請求項９】
前記真空槽内に配され、かつ前記薄板部品および前記固定部品からの熱輻射を遮る遮蔽板、を有することを特徴とする請求項６乃至８のいずれかに記載の露光装置。
【請求項１０】
前記遮蔽板は、前記固定部品に密着している、ことを特徴とする請求項９に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記可動部は、可動ステージである、ことを特徴とする請求項６乃至１０のいずれかに記載の露光装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、可動部に対する配線構造に関する。該配線構造は、例えば、真空中で基板を露光する露光装置における可動部に対する配線に適したものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の目的は、配線からの放出ガスおよび熱輻射を低減することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
上記目的を達成するために、本発明の配線構造は、可動部に対する配線構造であって、
伝熱性、導電性及び可撓性を有する薄板部品であって、その一端が前記可動部に接続された薄板部品と、
前記薄板部品の他端が接続された固定部品と、
前記固定部品を冷却する冷却手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
さらに、本発明の配線構造においては、前記冷却手段は、前記固定部品に接続された、冷媒供給ラインと冷媒回収ラインとを有する、ことを特徴とする。
さらに、本発明の配線構造においては、前記固定部品は、冷媒が流れる流路を有する、ことを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
さらに、本発明の配線構造においては、前記薄板部品および前記固定部品からの熱輻射を遮る遮蔽板を有する、ことを特徴とする。
さらに、本発明の配線構造においては、前記遮蔽板は、前記固定部品に密着している、ことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
さらに、本発明の露光装置は、真空中で基板を露光する露光装置であって、
真空槽と、
前記真空槽内に配された可動部と
前記真空槽内に配された、伝熱性、導電性及び可撓性を有する薄板部品であって、その一端が前記可動部に接続された薄板部品と、
前記真空槽内に配され、かつ前記薄板部品の他端が接続された固定部品と、
前記固定部品を冷却する冷却手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
さらに、本発明の露光装置においては、前記冷却手段は、前記固定部品に接続された、冷媒供給ラインと冷媒回収ラインとを有する、ことを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置においては、前記固定部品は、冷媒が流れる流路を有する、ことを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
さらに、本発明の露光装置は、前記真空槽内に配され、かつ前記薄板部品および前記固定部品からの熱輻射を遮る遮蔽板、を有することを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置においては、前記遮蔽板は、前記固定部品に密着している、ことを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置においては、前記可動部は、可動ステージである、ことを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明によれば、配線からの放出ガスおよび熱輻射を低減することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月13日(2006.1.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置の検査方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁膜上に電極を備える個々に孤立した回路パターンが形成された被検査基板の表面に一次電荷粒子ビームを１回または所定の間隔で複数回照射する工程と、
前記被検査基板上部の電界強度を制御する工程と、
前記一次電荷粒子ビームの照射により前記被検査基板から二次的に発生する電子信号を検出する工程と、
前記電子信号を画像として表示する工程と、
前記画像の情報からリーク不良を特定する工程とを有し、
前記一次荷電粒子ビームは１０ｐＡ以上１００ｎＡ以下であり、かつ前記電界強度は０ＭＶ／ｍ以上１０ＭＶ／ｍ以下であることを特徴とする半導体装置の検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置の検査方法において、
前記被検査基板における前記リーク不良の分布から前記リーク不良の原因となる製造工程を特定することを特徴とする半導体装置の検査方法。
【請求項３】
請求項１に記載の半導体装置の検査方法において、
前記被検査基板の温度を可変にし、前記電子信号の温度依存性から活性化エネルギーを求めて前記リーク不良の原因を特定することを特徴とする半導体装置の検査方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月6日(2006.9.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体セラミックス層と内部電極層とを積層してなる積層体にて形成され、
前記内部電極層は、前記積層体の異なる一側面に交互に導出される第１内部電極層と、前記積層体の積層方向の所定長さ寸法毎に前記積層体の略全断面に渡って形成され、前記積層体の少なくとも一側面に導出された第２内部電極層とからなる、ことを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項２】
前記第２内部電極層は複数形成され、互いに隣り合う前記第２内部電極層間には所定数の前記第１内部電極層が存在してなる、ことを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電素子。
【請求項３】
前記第２内部電極層の形成間隔が５ｍｍ以下である、ことを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の積層型圧電素子。
【請求項４】
前記積層体の前記第１内部電極層が露出した各側面において、それぞれ積層方向に隣り合う一対の第２内部電極層毎に、当該側面に露出した各第１内部電極層をまとめて電気的に接続する第１外部電極を備えた、ことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の積層型圧電素子。
【請求項５】
前記第２内部電極層は前記第１外部電極と電気的に接続されていない、請求項４に記載の積層型圧電素子。
【請求項６】
前記第１外部電極を複数備え、
前記積層体の各側面の第１外部電極どうしを電気的に接続する一対の第２外部電極を備えた、ことを特徴とする請求項４または請求項５のいずれかに記載の積層型圧電素子。
【請求項７】
圧電体セラミックス層と内部電極層とを積層してなる積層体にて形成され、前記内部電極層が、前記積層体の異なる一側面に交互に導出される第１内部電極層と、前記積層体の積層方向の所定の長さ寸法毎に前記積層体の略全断面に渡って形成され、前記積層体の少なくとも一側面に導出された第２内部電極層とからなる積層型圧電素子を得る工程と、
前記第２内部電極層間に電界を印加して、積層体全体のドメインの向きを略積層方向に配向してなる全体分極を行う工程と、
前記第１内部電極層を介し前記積層体に電界を印加して層間分極を行う工程と、
を含む積層型圧電素子の製造方法。
【請求項８】
前記第２内部電極層は複数形成され、互いに隣り合う前記第２内部電極層間には所定数の前記第１電極層が存在してなる、ことを特徴とする請求項７に記載の積層型圧電素子の製造方法。
【請求項９】
前記積層体の前記第１内部電極層が露出した各側面において、それぞれ積層方向に隣り合う一対の第２内部電極層毎に、当該側面に露出した各第１内部電極層をまとめて電気的に接続する第１外部電極を形成する工程を含む、ことを特徴とする積層型圧電素子の製造方法。
【請求項１０】
前記第１外部電極を形成する工程においては、前記第１外部電極は前記第２内部電極層と電気的に接続しないように形成される、ことを特徴とする請求項９に記載の積層型圧電素子の製造方法。
【請求項１１】
前記第１外部電極を形成する工程においては複数の前記第１外部電極が形成され、
前記積層体の各側面の第１外部電極どうしを電気的に接続する一対の第２外部電極を形成する工程を含む、ことを特徴とする請求項９または請求項１０のいずれかに記載の積層型圧電素子の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月27日(2006.2.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の第１の電極を備える半導体装置を第２の電極を備えた基板に前記第１の電極と第２の電極とを導通させて実装する半導体装置の実装方法であって、
前記第１の電極上にバンプを形成する工程と、
前記バンプ上に導電性粒子を散布して前記導電性粒子を前記バンプの表面に埋め込む工程と、
前記バンプ間に散布された導電性粒子を除去する工程と、
前記基板における前記半導体装置の実装位置に接着材を配置する工程と、
前記半導体装置のバンプと前記接着材とを対向させた状態で前記半導体装置と基板とを位置合わせして加熱または紫外線照射しながら圧接し、前記半導体装置を前記基板に接着する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の実装方法。
【請求項２】
前記バンプを金（Ａｕ）により構成することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の実装方法。
【請求項３】
前記接着材が導電性粒子を含有することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の実装方法。
【請求項４】
前記バンプ上の導電性粒子を押圧して前記バンプ内に押し込む工程を有することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の実装方法。
【請求項５】
複数の第１の電極を備える半導体装置を第２の電極を備えた電気光学装置用基板に前記第１の電極と第２の電極とを導通させて実装する電気光学装置の製造方法であって、
前記第１の電極上にバンプを形成する工程と、
前記バンプ上に導電性粒子を散布して前記導電性粒子を前記バンプの表面に埋め込む工程と、
前記バンプ間に散布された導電性粒子を除去する工程と、
前記電気光学装置用基板における前記半導体装置の実装位置に接着材を配置する工程と、
前記半導体装置のバンプと前記接着材とを対向させた状態で前記半導体装置と電気光学装置用基板とを位置合わせして加熱または紫外線照射しながら圧接し、前記半導体装置を前記電気光学装置用基板に接着する工程と、
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項６】
前記バンプを金（Ａｕ）により構成することを特徴とする請求項５に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
前記接着材が導電性粒子を含有することを特徴とする請求項５に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
前記バンプ上の導電性粒子を押圧して前記バンプ内に押し込む工程を有することを特徴とする請求項５に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
複数の第１の電極を備える半導体装置と第２の電極を備えた電気光学装置用基板とを備え、
前記第１の電極上に設けられたバンプと前記第２の電極とが接着材により接着されるとともに、前記バンプ上にのみ埋め込まれた導電性粒子を介して前記第１の電極と前記第２の電極とが導通した状態で前記半導体装置が電気光学装置用基板に実装されてなること
を特徴とする電気光学装置。
【請求項１０】
前記バンプが金（Ａｕ）より構成されることを特徴とする請求項９に記載の電気光学装置。
【請求項１１】
前記接着材が導電性粒子を含有することを特徴とする請求項９に記載の電気光学装置。
【請求項１２】
請求項９〜請求項１１のいずれか一項に記載の電気光学装置を有することを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、複数の第１の電極を備える半導体装置を第２の電極を備えた基板に前記第１の電極と第２の電極とを導通させて実装する半導体装置の実装方法であって、前記第１の電極上にバンプを形成する工程と、前記バンプ上に導電性粒子を散布して前記導電性粒子を前記バンプの表面に埋め込む工程と、前記バンプ間に散布された導電性粒子を除去する工程と、前記基板における前記半導体装置の実装位置に接着材を配置する工程と、前記半導体装置のバンプと前記接着材とを対向させた状態で前記半導体装置と基板とを位置合わせして加熱または紫外線照射しながら圧接し、前記半導体装置を前記基板に接着する工程と、を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、複数の第１の電極を備える半導体装置を第２の電極を備えた電気光学装置用基板に前記第１の電極と第２の電極とを導通させて実装する電気光学装置の製造方法であって、前記第１の電極上にバンプを形成する工程と、前記バンプ上に導電性粒子を散布して前記導電性粒子を前記バンプの表面に埋め込む工程と、前記バンプ間に散布された導電性粒子を除去する工程と、前記電気光学装置用基板における前記半導体装置の実装位置に接着材を配置する工程と、前記半導体装置のバンプと前記接着材とを対向させた状態で前記半導体装置と電気光学装置用基板とを位置合わせして加熱または紫外線照射しながら圧接し、前記半導体装置を前記電気光学装置用基板に接着する工程と、を有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月3日(2006.7.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
この後、上述と同様の条件で充電を行った後、０．５ｍＡ／ｃｍ2の放電電流で１．０Ｖになるまで放電させて、放電時間から０．５ｍＡ／ｃｍ2放電時の放電容量を求めた。また、上述と同様の条件で充電を行った後、９．０ｍＡ／ｃｍ2の放電電流で１．０Ｖになるまで放電させ、放電時間から９．０ｍＡ／ｃｍ2放電時の放電容量を求めた。そして、０．５ｍＡ／ｃｍ2放電時の放電容量に対する９．０ｍＡ／ｃｍ2放電時の放電容量の比率（％）を負荷特性として求めると、下記の表１に示すような結果となった。
【表１】
2005108611.tif 000001
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
同様に、５μｍの第１黒鉛粒子（α）と１５μｍの第２黒鉛粒子（β）を用いて極板ｃ
１を作製し、５μｍの第１黒鉛粒子（α）と２０μｍの第２黒鉛粒子（β）を用いて極板ｃ２を作製した。また、１８μｍの第１黒鉛粒子（α）を用いるとともに、１５μｍの第２黒鉛粒子（β）を用いて極板ｄ１を作製し、２０μｍの第２黒鉛粒子（β）を用いて極板ｄ２を作製し、２３μｍの第２黒鉛粒子（β）を用いて極板ｄ３を作製し、３５μｍの第２黒鉛粒子（β）を用いて極板ｄ４を作製し、４５μｍの第２黒鉛粒子（β）を用いて極板ｄ５を作製し、５０μｍの第２黒鉛粒子（β）を用いて極板ｄ６を作製した。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
ついで、これらの各セルＢ１〜Ｂ２，Ｃ１〜Ｃ２，Ｄ１〜Ｄ６，Ｅ１〜Ｅ２，Ｆ１〜Ｆ３を用いて、上述と同様にして初期効率および負荷特性を求めると、下記の表２に示すような結果が得られた。
【表２】
2005108611.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月29日(2006.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
箱体により形成した本体の上面を拡散性のある透過部材により構成すると共に発光面とし、該箱体の内部にＬＥＤ素子を光源として用いたＬＥＤ照明装置において、ＬＥＤ素子は所定方向に光を放射するＬＥＤ素子であって、ＬＥＤ素子から発せられる所定方向への光の放射方向がＬＥＤ照明装置の発光面と略平行になるようにＬＥＤ素子を配置し、前記ＬＥＤ照明装置の発光面と略対向した前記箱体の底部に第１の反射部材を備え、前記ＬＥＤ素子から発せられる所定方向への光の放射方向と略対向した位置に第２の反射部材を備えたことを特徴とするＬＥＤ照明装置。
【請求項２】
前記ＬＥＤ素子を所定方向にピークの光を放射するＬＥＤ素子としたことを特徴とする請求項１記載のＬＥＤ照明装置。
【請求項３】
前記ＬＥＤ素子は所定方向にピークの光を放射するＬＥＤ素子であって、ＬＥＤ素子から発せられるピークの光の放射方向が、ＬＥＤ照明装置の発光面に対しＬＥＤ照明装置の発光面から見て後ろ側に傾斜するようＬＥＤ素子が配置されたことを特徴とする請求項１記載のＬＥＤ照明装置。
【請求項４】
前記ＬＥＤ素子が少なくとも２つ以上のＬＥＤ素子であって、前記ＬＥＤ素子と略対向する前記第２の反射部材との距離が略同距離になるよう各々のＬＥＤ素子を配置したことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のＬＥＤ照明装置。
【請求項５】
前記ＬＥＤ素子とＬＥＤ照明装置の発光面との間に拡散性のある透過部材、又は遮光部材を設けたことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか記載のＬＥＤ照明装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月29日(2006.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電池を収納する電池収納室と、
該電池収納室内に設けられ、前記電池収納室内に収納された前記電池と接触する接触部を有する電池接片とを備えた電子機器であって、
前記電池切片は、回動する腕部と、前記腕部の回動軸に対して直交する向きに延びる半円形状の前記接触部とを有することを特徴とする電子機器。
【請求項２】
前記接触部は、前記腕部の一部が折り曲げられて形成されていることを特徴とする請求項１に記載の電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の電子機器は、電池を収納する電池収納室と、電池収納室内に設けられ、電池収納室内に収納された電池と接触する接触部を有する電池接片とを備え、電池接片は、回動する腕部と、該腕部の回動軸に対して直交する向きに延びる半円形状の接触部とを有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明によれば、電池を電池収納室内に収納したときに、電池切片の腕部が回動することで、接触部を電池の電極部に対して摺動させることができる。これによって、電池の表面に生じた酸化被膜や汚れ等を良好に取り除くことができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
電池接片３は、図１（Ｂ）や図２に示すように１枚の弾性を有する金属板材を曲げ形成することによって作製されており、腕部３ａを有している。また、腕部３ａには、電池２のマイナス電極と接触する接触部３ｂが形成されている。接触部３ｂは、図２（Ｂ）に示すように、腕部３ａの側縁における一部を、後述する腕部３ａの回動軸ｘに直交する方向（ｚ方向）に折り曲げ形成することによって腕部３ａの上面から突出するようになっており、この接触部３ｂの先端は、半円状に形成されている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
さらに、腕部３ａの先端部３ｄは、電池の挿入方向に折り曲げられており、腕部３ａが弾性変形しながら回動したときに、腕部３ａの一定量以上の回動を制限することにより電池接片３が塑性変形するのを防ぐ。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
上述した電池室１の構成において、電池２を電池室１内に装填して電池蓋６を閉めていくと、電池接片３は電池２に押し込まれて弾性変形する。このとき、電池接片３の腕部３ａは、その基端部（電池接片３の曲げ部分）を軸に回動し（ｘ軸周りに回動し）、腕部３ａに形成された接触部３ｂは、腕部３ａの回動に伴って電池２の電極面に対して−ｙ方向に摺動する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
ここで、電池接片３の接触部３ｂの先端は、上述したように半円状に形成されているため、接触部３ｂおよび電池２の電極部の接触面積を小さくでき、接触部３ｂが電池２の電極部に対してｙ方向に移動する際の摩擦力を低減できる。しかも、電池接片３は弾性変形しているため、接触部３ｂは、電池２の電極面に対してある程度の付勢力をもった状態で摺動することにより、電池２の電極面に生じた酸化被膜や汚れ等を効率良く擦り取ることができ、電池２の導通不良が発生するのを防止することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
第１の腕部９ａの先端には、電池２の電極部と接触する接触部９ｂが、第１の腕部９ａの回動軸ｘに直交する方向（ｚ方向）に折り曲げ形成されており、第２の腕部９ｃの先端には、電池２の電極部と接触する２つの接触部９ｄが、第２の腕部９ｃの回動軸ｘに直交する方向（ｚ方向）に折り曲げ形成されている。これらの接触部９ｂ、９ｄは、この幅が先端側に向かって狭くなるように形成されている。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
次に、電池蓋６を閉じていくと、電池蓋６が電池２を押し込むことにより、電池２が−ｚ方向に移動していく。このとき、電池２が電池接片９の腕部９ａ、９ｃを押し込むことにより、腕部９ａ、９ｃを弾性変形させる。すなわち、第１の腕部９ａは、屈曲した部分を中心としてｘ軸周り一方向に回動し、第２の腕部９ｃは、屈曲した部分を中心としてｘ軸周り他方向に回動する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
また、上述した実施例では電池接片の腕部を曲げ形成して、この腕部を電池の収納動作に応じて回転させるようにしたが、各実施例における腕部に相当する電池接片を設け、この腕部を電池に対して付勢した状態で回動させる構成であればいかなる構成であってもよい。すなわち、この構成によって電池の表面に生じた酸化被膜や油汚れ等を除去することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2005108667.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月11日(2006.5.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を導入する試料導入部と、
前記試料導入部から導入された前記試料をイオン化するイオン源と、
前記イオン源で生成されたイオンを質量分析するイオントラップ型質量分析計と、
化学物質のデータベースを有し前記質量分析計で取得された質量スペクトル情報に基づき所望の化学物質の有無を判定するデータ処理装置と、
複数のプリカーサイオンの共鳴周波数を含まず、他のイオンの共鳴周波数を含み、周波数毎に異なる振幅を有する高周波信号を、前記質量分析計を構成する電極に印加して、前記複数のプリカーサイオンの選択の制御を行なう手段と、
前記複数のプリカーサイオンの共鳴周波数毎に個別に設定される振幅を有し、前記複数のプリカーサイオンの共鳴周波数を重畳した高周波信号を、前記質量分析計を構成する電極に印加して、前記複数のプリカーサイオンの解離の制御を行なう手段とを有し、
前記複数のプリカーサイオンを選択し、選択された前記複数のプリカーサイオンを解離させて得られる複数のフラグメントイオンの質量スペクトルを取得し、得られた前記複数のフラグメントイオンの質量スペクトルに基づき前記所望の化学物質の有無を判定することを特徴とする質量分析装置。
【請求項２】
請求項１に記載の質量分析装置において、前記複数のプリカーサイオンの選択及び解離において、予め登録された複数の分析条件を順次切り替えて測定を繰り返す制御を行なう手段を有することを特徴とする質量分析装置。
【請求項３】
試料をイオン化する工程と、
イオン化された前記試料をイオントラップにトラップする工程と、
異なるm/zを有する複数のプリカーサイオンを選択する工程と、
前記選択されたイオン以外のイオンを前記イオントラップから排出し、前記選択されたイオンを前記イオントラップに残す工程と、
前記選択されたイオンを解離する工程と、
前記解離されたイオンの質量スペクトルを分析する工程とを有することを特徴とする化学物質分析方法。
【請求項４】
請求項３に記載の化学物質分析方法において、前記複数のプリカーサイオンの選択及び解離する工程において、予め登録された複数の分析条件を順次切替えることを特徴とする化学物質分析方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月19日(2006.5.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に荷電粒子線を照射し走査する照射光学系と、
前記荷電粒子線の照射により前記試料より発生する二次荷電粒子を検出する検出器と、
前記検出器で検出された二次荷電粒子像を表示する表示手段と、
前記試料にガスを吹き付ける手段と、
前記荷電粒子線の走査領域を指定できる入力手段と、
前記照射光学系を少なくとも制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記入力された前記荷電粒子線の走査領域を基に前記荷電粒子線のビーム電流値、及び前記ガスの吹き付けによる成膜速度または成膜時間を算出し、当該算出結果を基に前記照射光学系を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項２】
試料に荷電粒子線を照射し走査する照射光学系と、
前記荷電粒子線の照射により前記試料より発生する二次荷電粒子を検出する検出器と、
前記検出器で検出された二次荷電粒子像を表示する表示手段と、
前記試料にガスを吹き付ける手段と、
前記荷電粒子線の走査領域を指定できる入力手段と、
前記照射光学系を少なくとも制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記入力された前記荷電粒子線の走査領域を基に前記荷電粒子線のビーム電流値、及び前記ガスの吹き付けによるエッチング速度またはエッチング時間を算出し、当該算出結果を基に前記照射光学系を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項３】
集束された荷電粒子を所定の走査周期で試料上に走査する荷電粒子線照射光学系と、該荷電粒子線の走査像を表示する表示装置と、前記荷電粒子線照射光学系を制御する制御手段と、前記試料を載置する試料ステージと、前記試料に堆積ガスを吹き付ける手段と、膜堆積率の走査周期依存性情報が格納された記憶手段と、当該依存性情報と該光学系の設定値から成膜速度を推定する手段と、推定された成膜速度を表示する手段とを備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項４】
請求項３に記載の荷電粒子線装置において，
前記荷電粒子線の走査領域を設定する手段と，設定した該走査領域に対する該成膜速度が最大となる前記荷電粒子線照射光学系の設定を選択する手段を具備してなることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項５】
試料表面へ堆積ガスを吹き付け，さらに荷電粒子線照射光学系により集束した荷電粒子
線を走査して試料表面に成膜する方法において，デポレートの走査周期の依存性情報から
成膜速度を推定し，荷電粒子線の走査間隔とビーム滞在時間を所定の間隔に保ち走査を行う成膜方法。
【請求項６】
荷電粒子照射光学系により荷電粒子線を集束して試料に照射し、かつ前記試料に堆積ガスを吹き付けることにより成膜を行う荷電粒子成膜装置と、該荷電粒子成膜装置の制御装置とを備えた荷電粒子線装置であって、
前記制御装置が前記成膜装置に対して、
前記試料表面に堆積ガスを吹き付ける動作と、
当該堆積ガスのデポレートの走査周期の依存性から成膜速度を推定する動作と、
前記試料に照射される前記荷電粒子線の走査間隔とビーム滞在時間とを所定の間隔に保ちつつ当該試料上に前記荷電粒子線を走査する動作とを実行させることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項７】
請求項６に記載の荷電粒子装置において、
前記制御装置は、
前記デポレートの走査周期の依存性情報から，予め設定された走査領域に対する成膜速度を推定する動作と、
前記荷電粒子線のビーム電流とプローブサイズとが所望の値になるように、前記成膜装置内部の照射光学系を制御する動作とを実行させることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項８】
集束された荷電粒子を所定の走査周期で試料上に走査する荷電粒子線照射光学系と、試料の荷電粒子線の走査像を表示する表示装置と，該光学系を制御する制御手段と，該試料を載置する試料ステージと，上記試料にエッチングガスを吹き付ける手段と、複数の物質に対する加工体積率の走査周期の依存性情報が格納された記憶手段と，該情報と該光学系の設定値から，該試料の構成物質間の深さ方向のエッチング速度差を推定する手段と，推定された該エッチング速度差を表示する手段とを備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項９】
請求項８に記載の荷電粒子線装置において，
該荷電粒子の走査領域を設定する手段と，設定した走査領域に対して所望のエッチング速度差を得る該光学系の設定のうち，最大のビーム電流を得る該光学系の設定を選択する手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１０】
試料表面へエッチングガスを吹き付け，さらに荷電粒子線照射光学系により集束した荷電粒子線を走査して試料を選択エッチングする方法において，各構成物質に対するエッチングレートの走査周期の依存性情報からエッチング速度差を推定し，荷電粒子線の走査間隔とビーム滞在時間を一定に保ち走査を行う選択エッチング方法。
【請求項１１】
試料に荷電粒子線を照射し走査する照射光学系と、
前記荷電粒子線の照射により前記試料より発生する二次荷電粒子を検出する検出器と、
前記検出器で検出された二次荷電粒子像を表示する表示手段と、
前記試料にガスを吹き付ける手段と、
前記荷電粒子線の走査領域を指定できる入力手段と、
前記照射光学系を少なくとも制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記入力された前記荷電粒子線の走査領域を基に前記ガスの吹き付けによる成膜速度、成膜時間または前記荷電粒子線のビーム電流値を算出し、当該算出結果を前記表示手段に照射条件として表示し、前記入力手段を介して選択された当該照射条件を基に前記照射光学系を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月6日(2005.12.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
出力電力制御回路と、
前記出力電力制御回路の出力電圧を検出する出力電圧検出手段と、
放電ランプ駆動電流を検出する駆動電流検出手段と、
前記出力電圧検出手段と前記駆動電流検出手段の検出結果に基づいて前記出力電力制御回路を制御する演算処理回路と、
前記演算処理回路に電力を供給する電源とを有する放電ランプ点灯装置であって、
少なくとも放電ランプ点灯開始直後の高圧発生期間に、前記演算処理回路の動作を停止させることを特徴とする放電ランプ点灯装置。
【請求項２】
請求項１記載の放電ランプ点灯装置において、
少なくとも放電ランプ点灯開始直後の高圧発生期間に、前記演算処理回路への電源供給を停止することにより、前記演算処理回路の動作を停止させることを特徴とする放電ランプ点灯装置。
【請求項３】
請求項１記載の放電ランプ点灯装置において、
前記演算処理回路はマイクロコンピュータであって、
少なくとも放電ランプ点灯開始直後の高圧発生期間に、前記マイクロコンピュータをスリープモードとすることを特徴とする放電ランプ点灯装置。
【請求項４】
出力電力制御回路と、
前記出力電力制御回路の出力電圧を検出する出力電圧検出手段と、
放電ランプの駆動電流を検出する駆動電流検出手段と、
前記出力電圧検出手段と前記駆動電流検出手段の検出結果に基づいて前記出力電力制御回路を制御する演算処理回路と、
前記演算処理回路に電力を供給する電源とを有する放電ランプ点灯装置であって、
前記出力電圧検出手段の検出結果に基づいて前記放電ランプ点灯装置の動作を制御するアナログ保護回路と、
前記出力電流検出手段の検出結果に基づいて前記放電ランプの出力電流を制限する出力電流制限回路とを有し、
前記出力電圧検出手段の検出結果と前記出力電流検出手段の検出結果とに基づいて前記演算処理回路により前記出力電力制御回路を制御すると共に、前記アナログ保護回路と前記出力電流制限回路とにより前記出力電力制御回路を制御することを特徴とする放電ランプ点灯装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４の何れか一に記載の放電ランプ点灯装置であって、
出力電圧制限回路を有し、
前記出力電圧検出手段の検出結果に基づいて前記出力電圧を所定値以下に制御するように構成したことを特徴とする放電ランプ点灯装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項６の何れか一項に記載の放電ランプ点灯装置であって、
温度検出用のサーミスタを有し、
所定温度以上を検出したときに前記放電ランプへの電源供給を停止すると共に、主電源を一度遮断するまで前記放電ランプへの電源供給の停止を継続させることを特徴とする放電ランプ点灯装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項７の何れか一項に記載の放電ランプ点灯装置であって、
放電ランプ駆動状態からランプ消灯状態へ移行する際に、通常駆動時の５０％以下の電力である超低電力で放電ランプを駆動する超低電力駆動状態を経由すると共に、
前記放電ランプ駆動状態から前記超低電力駆動状態への移行期間が０．５秒以上であることを特徴とする放電ランプ点灯装置。
【請求項８】
請求項７に記載の放電ランプ点灯装置であって、
前記超低電力駆動状態が所定時間経過した後に、ランプ消灯状態へ移行することを特徴とする放電ランプ点灯装置。
【請求項９】
請求項１乃至請求項９の何れか一項に記載の放電ランプ点灯装置であって、
不揮発性メモリを有し、
前記不揮発性メモリへの設定データの書き込みと読み出しを、前記演算処理回路経由で前記放電ランプ点灯装置外部から制御することを特徴とする放電ランプ点灯装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月25日(2006.8.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動電源を供給する電池部と、
前記電池部の内部インピーダンスの変化に基づいて前記電池部の劣化度合いを判定する劣化度合い判定手段と、
前記劣化度合い判定手段による判定結果に基づいて前記電池部の劣化度合いを通知する表示手段と、
を有することを特徴とする電子機器。
【請求項２】
前記電池部が二次電池を用いた電池部であることを特徴とする請求項１記載の電子機器。
【請求項３】
前記電池部が一次電池を用いた電池部であることを特徴とする請求項１記載の電子機器。
【請求項４】
前記電池部の温度を測定する温度測定手段を有し、前記劣化度合い判定手段は前記温度測定手段による測定結果に対応して前記劣化度合いの判定を行なうことを特徴とする請求項１記載の電子機器。
【請求項５】
前記温度測定手段による測定結果が電池部の動作に影響する温度低下を示す場合に、その旨を前記表示手段によって表示することを特徴とする請求項４記載の電子機器。
【請求項６】
前記劣化度合い判定手段は、電子機器の動作がＯＦＦしている状態での電池電圧測定によって電池電圧そのものを測定するとともに、電子機器が動作中で定電流負荷が想定される状態での電池電圧測定によって内部インピーダンスの変化を測定し、その測定結果から電池部の劣化度合いを判定することを特徴とする請求項１記載の電子機器。
【請求項７】
駆動電源を供給する電池部を有する電子機器の制御方法であって、
前記電池部の内部インピーダンスの変化に基づいて前記電池部の劣化度合いを判定する劣化度合い判定ステップと、
前記劣化度合い判定ステップによる判定結果に基づいて前記電池部の劣化度合いを通知する表示ステップと、
を有することを特徴とする電子機器の制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】電子機器及びその制御方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、電池駆動式の電子機器及びその制御方法に関し、特にその電池残量を監視するための構成に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
そこで本発明は、特殊な装置や手法を用いることなく、電子機器が通常使用される状態で、電源電池の劣化度合いをユーザに伝えることができ、電池の使用や廃棄を適正に取り扱うことが可能な電子機器及びその制御方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上述の目的を達成するため、本発明にかかる電子機器は、駆動電源を供給する電池部と、前記電池部の内部インピーダンスの変化に基づいて前記電池部の劣化度合いを判定する劣化度合い判定手段と、前記劣化度合い判定手段による判定結果に基づいて前記電池部の劣化度合いを通知する表示手段とを有することを特徴とする。
また本発明にかかる電子機器の制御方法は、駆動電源を供給する電池部を有する電子機器の制御方法であって、前記電池部の内部インピーダンスの変化に基づいて前記電池部の劣化度合いを判定する劣化度合い判定ステップと、前記劣化度合い判定ステップによる判定結果に基づいて前記電池部の劣化度合いを通知する表示ステップとを有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明にかかる電子機器及びその制御方法によれば、電池部の内部インピーダンスの変化に基づいて電池部の劣化度合いを判定し、その判定結果を表示によってユーザに通知することから、特殊な装置や手法を用いることなく、電子機器が通常使用される状態で、電源電池の劣化度合いをユーザに伝えることができ、電池の使用や廃棄についてユーザに適正な取り扱いを促すことができる効果がある。
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月24日(2006.4.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
＜ラミネート電池の製造＞
まず、実施例及び比較例に共通のラミネート電池の製造工程について説明まず。まず、正極活物質としてはＬｉＭｎ2Ｏ4に代表されるスピネル型マンガン酸リチウム及びＬｉＣｏＯ2に代表されるコバルト酸リチウムを一定量混合したものを用い、この混合正極活物質に炭素導電剤、グラファイトを所定量混合した後でフッ素樹脂系結着剤と一定の割合で混合して正極合剤とし、アルミニウム箔の両面に塗着し、乾燥後圧延して極板とした。なお、マンガン酸リチウム或いはコバルト酸リチウムに異種元素を添加したものも同様の効果が得られる正極活物質として使用できる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月28日(2005.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
（実施例７．１〜７．６）
これらの実施例７．１〜７．６においては、上記の実施例１における非水電解液の作製において、溶媒に用いるスルホラン（ＳＬ）とジメチルカーボネート（ＤＭＣ）との体積比を変更し、ＳＬとＤＭＣとの体積比を、実施例７．１では１：９９に、実施例７．２では３：９７に、実施例７．３では５：９５に、実施例７．４では４０：６０に、実施例７．５では５０：５０に、実施例７．６では７０：３０にし、それ以外は、上記の実施例１の場合と同様にして、実施例７．１〜７．６の各リチウム二次電池を作製した。