Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月23日(2006.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】振動型駆動装置を備えたレンズ鏡筒
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  電気−機械エネルギー変換により振動が励起される振動体と、この振動体に圧接して駆動力を受ける駆動体と、この駆動体からレンズ駆動部材に摩擦により駆動力を伝達する動力伝達機構と、前記振動体を前記駆動体に圧接させるとともにこれら振動体および駆動体を介して前記動力伝達機構に摩擦を発生させるための加圧力を付与する加圧部材とを有して構成される振動型駆動装置を備えたレンズ鏡筒において、
前記振動体、駆動体および動力伝達機構を含む被加圧部材の前記加圧部材の加圧力に抗する方向への所定量を超える移動を、前記被加圧部材のうち少なくとも１つに当接して規制する規制部材を有することを特徴とするレンズ鏡筒。
【請求項２】  前記振動体が前記規制部材に当接することを特徴とする請求項１に記載のレンズ鏡筒。
【請求項３】  前記振動体は前記加圧部材の当接を受けるための振動吸収体を有しており、
前記振動吸収体が前記規制部材に当接することを特徴とする請求項２に記載のレンズ鏡筒。
【請求項４】  前記動力伝達機構が前記規制部材に当接することを特徴とする請求項１に記載のレンズ鏡筒。
【請求項５】  前記所定量が、前記加圧部材に加圧力の低下を生じさせない範囲の量に設定されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のレンズ鏡筒。
【請求項６】  前記加圧部材が弾性部材であり、
前記所定量が、前記加圧部材の弾性変形範囲内の量に設定されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のレンズ鏡筒。
【請求項７】  前記振動型駆動装置が円環形状に構成されているとともに、前記振動体のレンズ鏡筒本体に対する加圧方向への移動を許容しつつ回転を規制する回転規制部材を有しており、
前記所定量が、前記駆動体を前記回転規制部材に当接させない量に設定されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のレンズ鏡筒。
【請求項８】  前記振動型駆動装置を収容する固定部材を有しており、
前記規制部材が前記固定部材に設けられていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のレンズ鏡筒。
【請求項９】  前記振動型駆動装置を支持する支持部材を有しており、
前記規制部材が、前記支持部材に設けられていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のレンズ鏡筒。
【請求項１０】  前記振動型駆動装置を支持する支持部材に位置調節可能に取り付けられ、前記加圧部材の加圧力を調節するための加圧力調節部材を有しており、
前記規制部材が前記加圧力調節部材に設けられていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のレンズ鏡筒。
【請求項１１】  前記動力伝達機構は、
前記駆動体によって駆動される第１駆動部材と、
この第１駆動部材との間に遊星ローラを挟持し、マニュアル操作力によって駆動される第２駆動部材と、
前記遊星ローラを回転自在に支持し、前記第１駆動部材および第２駆動部材の選択的駆動により前記遊星ローラが公転することによって駆動され、前記レンズ駆動部材を駆動する出力部材とを有して構成されることを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載のレンズ鏡筒。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本願発明では、電気−機械エネルギー変換により振動が励起される振動体と、この振動体から摩擦により駆動力を受ける駆動体と、この駆動体からレンズ駆動部材に摩擦により駆動力を伝達する動力伝達機構と、振動体を駆動体に圧接させるとともにこれら振動体および駆動体を介して動力伝達機構に摩擦を発生させるための加圧力を付与する加圧部材とを有して構成される振動型駆動装置を備えたレンズ鏡筒において、振動体、駆動体および動力伝達機構を含む被加圧部材の加圧部材の加圧力に抗する方向への所定量を超える移動を、上記被加圧部材のうち少なくとも１つに当接して規制する規制部材を設けている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
これにより、レンズ鏡筒の落下等によって振動体や駆動体や動力伝達機構が加圧部材の加圧力方向と逆方向に移動して、弾性部材等からなる加圧部材を変形させた場合でも、移動量は加圧部材に加圧力の低下を生じさせない範囲若しくは加圧部材の弾性変形範囲内の量に確実に規制されるため、振動型駆動装置を備えたレンズ鏡筒の性能劣化を防止することが可能となる。なお、振動体に振動吸収体を取り付けて、この振動吸収体を規制部材に当接させるようにして、振動体と振動吸収体との間に配置された電歪素子の破損等を防止するのが望ましい。また、上記移動量を、駆動体を振動体の回転を規制する回転規制部材に当接させない範囲の量に設定して、駆動体の破損等を防止できるようにしてもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
図１には、本発明の第１実施形態である振動型駆動装置を備えたレンズ鏡筒を示している。１はフォーカスレンズ群、２は固定レンズ群である。３はフォーカスレンズ群１を保持し、案内筒５およびカム筒６に係合する駆動用コロ３ａを有する第１群鏡筒である。４は固定レンズ群２を保持する第２群鏡筒であり、第１群鏡筒３に一体的に保持される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、レンズ鏡筒の落下等によって振動体や駆動体や動力伝達機構が加圧部材の加圧力方向と逆方向に移動して、弾性部材等からなる加圧部材が変形した場合でも、その移動量は加圧部材に加圧力の低下を生じさせない範囲若しくは加圧部材の弾性変形範囲内の量に確実に規制されるため、振動型駆動装置を備えたレンズ鏡筒の性能劣化を防止できる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月27日(2006.2.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  レンズ鏡筒に着脱可能のフイルター操作装置であって、装置本体の外部からの操作によって前記装置本体の内部に設けたフイルターユニットを回転操作可能としたフイルター操作装置において、前記装置本体の外部と内部を遮断する隔壁を設け、該隔壁の外周部に外部からの操作による回転力を伝達する回転伝達部材を配置し、該隔壁の内周部に前記フイルターユニットを配置し、該回転伝達部材と該フイルターユニットは該隔壁を貫通する軸を有するギヤが少なくとも一つ設けたギヤ列によって回転伝達可能に結合されていることを特徴とするフイルター操作装置。
【請求項２】  該隔壁は凹部を有し、該凹部には該回転伝達部材が配置され、かつ該回転伝達部材の回転中心よりも光軸側に該凹部内から機器本体の外周部に貫通する穴が設けられていることを特徴とする請求項１記載のフイルター操作装置。
【請求項３】  請求項１または２に記載のフイルター操作装置を着脱可能に装着したことを特徴とするレンズ鏡筒。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、交換レンズ鏡筒に使用するフイルター操作装置およびフイルター操作装置を着脱可能に装着したレンズ鏡筒に関するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
本発明は、前述従来例の問題点に鑑み、外部からの操作によって偏光フイルターを回転調節可能にしても防滴性を備えることのできるフイルター操作装置およびレンズ鏡筒を提供することを目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前述の目的を達成するために、本発明は、装置本体の内部に回転可能な光学素子を有し、外周部には該内部と遮断する隔壁を有する凹部に該光学素子を回転させる回転伝達部材を軸支したものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【発明の実施の態様】
本発明は、レンズ鏡筒に着脱可能のフイルター操作装置であって、装置本体の外部からの操作によって前記装置本体の内部に設けたフイルターユニットを回転操作可能としたフイルター操作装置において、前記装置本体の外部と内部を遮断する隔壁を設け、該隔壁の外周部に外部からの操作による回転力を伝達する回転伝達部材を配置し、該隔壁の内周部に前記フイルターユニットを配置し、該回転伝達部材と該フイルターユニットは該隔壁を貫通する軸を有するギヤが少なくとも一つ設けたギヤ列によって回転伝達可能に結合されていることにより、雨が降った際にも回転伝達部材から機器本体の内周側に容易に水が流入するがなくなる。また、本発明は該隔壁は凹部を有し、該凹部には該回転伝達部材が配置され、かつ該回転伝達部材の回転中心よりも光軸側に該凹部内から機器本体の外周部に貫通する穴が設けられていることにより、雨が降った際に、該凹部の穴により凹部に水をためることなく水を抜くことができるので、該回転伝達部材の軸部からの毛細管現象による水の流入を阻止できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、レンズ鏡筒に着脱可能のフイルター操作装置であって、装置本体の外部からの操作によって前記装置本体の内部に設けたフイルターユニットを回転操作可能としたフイルター操作装置において、前記装置本体の外部と内部を遮断する隔壁を設け、該隔壁の外周部に外部からの操作による回転力を伝達する回転伝達部材を配置し、該隔壁の内周部に前記フイルターユニットを配置し、該回転伝達部材と該フイルターユニットは該隔壁を貫通する軸を有するギヤが少なくとも一つ設けたギヤ列によって回転伝達可能に結合されていることにより、雨が降った際にも回転伝達部材から機器本体の内周側に容易に水が流入しないようにすることができる。また、本発明では該隔壁は凹部を有し、該凹部には該回転伝達部材が配置され、かつ該回転伝達部材の回転中心よりも光軸側に該凹部内から機器本体の外周部に貫通する穴が設けられていることにより、雨が降った際に、該凹部の穴により凹部に水をためることなく水を抜くことができるので、該回転伝達部材の軸部からの毛細管現象による水の流入を阻止することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月10日(2005.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験室，低温室，高温室を各独立に設け、冷凍機を備えた冷凍装置により低温室内の気体を冷却するとともに、電気加熱器により高温室内の気体を加熱し、該加熱された気体と前記冷却された気体を交互に試験室に送り込んで試験室内に配置された試料を加熱冷却する冷熱衝撃試験装置において、低温試験中は高温室の電気加熱器の運転を、高温試験中は低温室の冷凍機の運転を制御することを特徴とする冷熱衝撃試験装置。
【請求項２】
請求項１において、高温試験中に前記試験室の目標温度と前記低温室との温度差及び前記試験室の目標温度への到達時間に基づいて前記冷凍機の運転を制御することを特徴とする冷熱衝撃試験装置。
【請求項３】
請求項２において、前記冷凍機の制御は低温室の測定温度及び測定時刻に基づいて前記冷凍装置の運転を制御することを特徴とする冷熱衝撃試験装置。
【請求項４】
請求項１において、低温試験中に前記試験室の目標温度と前記高温室との温度差及び前記試験室の目標温度への到達時間に基づいて前記電気加熱機の運転を制御することを特徴とする冷熱衝撃試験装置。
【請求項５】
請求項４において、前記の制御は高温室の測定温度及び測定時刻に基づいて前記電気加熱機の運転を制御することを特徴とする冷熱衝撃試験装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月8日(2005.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮影レンズと撮像素子とを有し、被写体画像データを出力する電子的撮像装置において、
この電子的撮像装置から被写体までの距離を測定する測距手段と、
上記撮影レンズのピント合わせ駆動を行うレンズ駆動手段と、
上記撮影レンズの可動範囲中の現在位置を検出するレンズ位置検出手段と、
上記撮影レンズが無限遠の被写体に合焦するように無限遠相当のレンズ位置を画定するための無限遠調整モードを含み、この電子的撮像装置の動作モードを設定するモード設定手段と、
上記撮影レンズのピント合わせに係る位置情報を少なくとも記憶する記憶手段と、
上記モード設定手段により、この装置が上記無限遠調整モードにあるとき、上記撮像素子の出力のコントラストが最大となるように上記レンズ駆動手段を制御すると共に、上記撮影レンズの可動範囲の一端である繰り込み当て付き位置からのレンズ位置を無限遠位置データとして上記記憶手段に記憶させ、上記無限遠調整モード以外のモードにあっては、上記測距手段の出力と上記記憶手段に記憶された上記無限遠位置データとに基いて上記レンズ駆動手段の駆動量を制御する制御手段と、
を具備したことを特徴とする電子的撮像装置。
【請求項２】
上記撮影レンズは、ズームレンズであって、上記無限遠位置データは焦点距離値毎に記憶することを特徴とする請求項１に記載の電子的撮像装置。
【請求項３】
上記測距装置は、上記撮影レンズの光軸とは異なる光軸を有することを特徴とする請求項１に記載の電子的撮像装置。
【請求項４】
外部装置が接続可能な通信端子を備え、上記モード設定手段はこの外部装置からの命令に従って上記無限遠調整モードの設定を行うことを特徴とする請求項１に記載の電子的撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明の第１の電子的撮像装置は、撮影レンズと撮像素子とを有し、被写体画像データを出力する電子的撮像装置において、この電子的撮像装置から被写体までの距離を測定する測距手段と、上記撮影レンズのピント合わせ駆動を行うレンズ駆動手段と、上記撮影レンズの可動範囲中の現在位置を検出するレンズ位置検出手段と、上記撮影レンズが無限遠の被写体に合焦するように無限遠相当のレンズ位置を画定するための無限遠調整モードを含み、この電子的撮像装置の動作モードを設定するモード設定手段と、上記撮影レンズのピント合わせに係る位置情報を少なくとも記憶する記憶手段と、上記モード設定手段により、この装置が上記無限遠調整モードにあるとき、上記撮像素子の出力のコントラストが最大となるように上記レンズ駆動手段を制御すると共に、上記撮影レンズの可動範囲の一端である繰り込み当て付き位置からのレンズ位置を無限遠位置データとして上記記憶手段に記憶させ、上記無限遠調整モード以外のモードにあっては、上記測距手段の出力と上記記憶手段に記憶された上記無限遠位置データとに基いて上記レンズ駆動手段の駆動量を制御する制御手段と、を具備したことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記の目的を達成するために本発明の第２の電子的撮像装置は、上記第１の電子的撮像装置において、上記撮影レンズはズームレンズであって、上記無限遠位置データは焦点距離値毎に記憶することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記の目的を達成するために本発明の第４の電子的撮像装置は、上記第１の電子的撮像装置において、外部装置が接続可能な通信端子をさらに備え、上記モード設定手段はこの外部装置からの命令のみに従って上記無限遠調整モードの設定を行うことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月30日(2006.3.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はフィンチューブ型熱交換器に係わり、特に少なくとも一部の放熱フィンが熱交換空気の流通方向に分割されて２列並列されているフィンチューブ型熱交換器に関する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
図１に示すように、本発明の第１の実施形態に係わるフィンチューブ型熱交換器１は、気流方向に配置された複数列の伝熱管２（２ａ、２ｂ）と、この複数列の伝熱管２に所定のピッチを有して重合された一体型フィン群３と、複数列の伝熱管２の各列毎に分割され重合された分割型フィン群４（４ａ、４ｂ）とが伝熱管２の延設方向に組合されて設けられている。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月16日(2005.12.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
【発明が解決しようとする課題】
上述した先発明に係る無段変速装置の場合、停車時若しくは極低速走行時に、この無段変速装置に組み込んだトロイダル型無段変速機の速度比調節を厳密に行なえる可能性がある。但し、運転者に違和感を与えない走行状態を実現する為の高精度の制御を低コストで行なう為には、出力軸３８、３８ａの回転速度を、安価なセンサにより求められる様にする必要がある。例えば、アクセル、ブレーキ両ペダルから足を離した状態で自動車を微速走行させる、所謂クリープ走行時に駆動輪に加えるトルクは、停止状態で大きく（最大に）し、車速が上昇するに従って急激に小さくする事が好ましい。更に、登坂路での停車時に、上記駆動輪に加えられたトルクが不足して車両が後退する様な状態では、上記出力軸３８、３８ａの逆方向への低速回転を関知して、この出力軸３８、３８ａから上記駆動輪に伝達するトルクを増大させる事が好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月14日(2006.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  容器本体上に、引張弾性率が２５０ＧＰａ以上の強化繊維束を有する繊維強化樹脂層が形成された圧力容器であって、前記強化繊維束が、引張弾性率の異なる複数種の強化繊維束を束ねてなり、その強化繊維束の少なくとも一部の引張弾性率が２９０ＧＰａ以上のものである圧力容器。
【請求項２】  前記強化繊維束は、破断伸度が２．２％以下のものと、破断伸度が２．２％より大きいものとからなる、請求項１記載の圧力容器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の要旨は、容器本体上に、引張弾性率が２５０ＧＰａ以上の強化繊維束を有する繊維強化樹脂層が形成された圧力容器であって、前記強化繊維束が、引張弾性率の異なる複数種の強化繊維束を束ねてなり、その強化繊維束の少なくとも一部の引張弾性率が２９０ＧＰａ以上のものである圧力容器にある。
そして、前記強化繊維束は、破断伸度が２．２％以下のものと、破断伸度が２．２％より大きいものとからなることが好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月8日(2006.2.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面を照射して基板面に対してマクロ検査を行う欠陥検査装置において、
前記基板の上方に回動可能に設けられた第１の反射ミラーと、
前記第１の反射ミラーの反射面に対向して回動可能に設けられた前記第１の反射ミラーより小さい第２の反射ミラーと、
前記第１の反射ミラーと前記第２の反射ミラーとの間を連結し、前記第１の反射ミラーの回動に追従して前記第２の反射ミラーの反射面を前記第１の反射ミラーの反射面に向ける追従手段と、
前記第１の反射ミラーの回動軸に対して平行に配置され、前記第２の反射ミラーに照明光を照射する照明光源と、
を具備することを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２】
前記第２の反射ミラーは、前記照明光源の出射光軸上に配置され、前記照明光源から出射された照明光を斜め上方に反射させることを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項３】
前記第１の反射ミラーと前記基板との間には、前記第１の反射ミラーで反射された照明光を収束させて前記基板の表面を照射する集光光学系が配置されることを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項４】
前記照明光源と前記第２の反射ミラーは、前記装置本体の壁面に対してほぼ平行で且つ水平になるように配置され、前記照明光源及び前記第２の反射ミラーを前記照明光源の出射光軸方向に移動可能に設け、前記第２の反射ミラーで反射した照明光を前記第１の反射ミラーを介して前記基板の表面に対して走査することを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項５】
前記照明光源及び前記第２の反射ミラーは、前記装置本体の正面に対して左右方向に２組配置され、前記第１の反射ミラーは、前記各第２の反射ミラーの各反射光路に対応させて左右方向に２個配置されることを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項６】
前記第１の反射ミラーは、前記第１の反射ミラーの両側に設けられた回動部材により装置本体に回動自在に支持され、前記回動部材に支持された前記第１の反射ミラーを回動させる駆動手段を有することを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項７】
前記回動部材は、二等辺三角形状に形成され、その底辺が前記第１の反射ミラーの両端にそれぞれ固定され、その頂点部が前記装置本体に回動自在に支持されることを特徴とする請求項６記載の欠陥検査装置。
【請求項８】
前記追従手段は、前記第１の反射ミラーを回動自在に支持する回動部材と、前記第２の反射ミラーに設けられた回転軸を支持する支柱部材と、前記回転軸に固定具を介して固定される振りレバーと、前記振りレバーにばね部材を介して連結さられ装置本体に回動自在に設けられた駆動レバーと、前記回動部材と前記駆動レバーとの間を連結する連結棒とからなることを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この本発明は、基板の表面を照射して基板面に対してマクロ検査を行う欠陥検査装置において、
前記基板の上方に回動可能に設けられた第１の反射ミラーと、前記第１の反射ミラーの反射面に対向して回動可能に設けられた前記第１の反射ミラーより小さい第２の反射ミラーと、前記第１の反射ミラーと前記第２の反射ミラーとの間を連結し、前記第１の反射ミラーの回動に追従して前記第２の反射ミラーの反射面を前記第１の反射ミラーの反射面に向ける追従手段と、前記第１の反射ミラーの回動軸に対して平行に配置され、前記第２の反射ミラーに照明光を照射する照明光源とを備えて欠陥検査装置を構成した。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記構成によれば、第２の反射ミラーを第１の反射ミラーの回動動作に連動して照明光源の光軸が第１の反射ミラーの回動に追従されるように連結することにより、第１の反射ミラー及び第２の反射ミラーの動作制御を簡単な構成で実現できる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月13日(2006.2.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
給水を電気的に開閉する電動開閉弁と、この電動開閉弁に開閉を指示して給水の開始・停止を行う第１操作部と、タイマー時間の設定を行う第２操作部と、第２操作部によって設定したタイマー時間を経過すると前記電動開閉弁に指示して自動的に止水させるタイマー機能を有する制御部と、タイマー時間を表示する時間表示部と、を有し、
前記制御部は、タイマー時間の最長設定時間を設け、前記最長設定時間より短い時間から長い時間へ上回るタイマー時間の設定操作を行う場合に、通常のタイマー時間の設定操作とは異なる特別な操作を要求することを特徴とする自動給水装置。
【請求項２】
前記第２操作部は、タイマー時間の設定時間を増加および減少させるスイッチを有し、前記特別な操作とは、設定停止時間が設定されている状態で、少なくともそれらのいずれかのスイッチを一定時間以上押し続ける操作であることを特徴とする請求項１記載の自動給水装置。
【請求項３】
給水を電気的に開閉する電動開閉弁と、この電動開閉弁に開閉を指示して給水の開始・停止を行う第１操作部と、タイマー時間の設定を行う第２操作部と、第２操作部によって設定したタイマー時間を経過すると前記電動開閉弁に指示して自動的に止水させるタイマー機能を有する制御部と、タイマー時間を表示する時間表示部と、を有し、
前記制御部は、前記タイマー時間の設定時間を変更させる第２操作部の受け付けを拒否する設定を可能としたことを特徴とする自動給水装置。
【請求項４】
前記第２操作部の受け付けを拒否する設定は、第１操作部を一定時間以上押し続けることで行い、第１操作部を押した時に電動開閉弁を開として給水状態とし、第１操作部を押しつづけて設定が完了した時に、電動開閉弁を閉として、吐水状態を変化させる制御手段を有していることを特徴とする請求項３に記載の自動給水装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の給水装置では、給水を電気的に開閉する電動開閉弁と、この電動開閉弁に開閉を指示して給水の開始・停止を行う第１操作部と、タイマー時間の設定を行う第２操作部と、第２操作部によって設定したタイマー時間を経過すると前記電動開閉弁に指示して自動的に止水させるタイマー機能を有する制御部と、タイマー時間を表示する時間表示部と、を有し、前記制御部は、タイマー時間の最長設定時間を設け、前記最長設定時間より短い時間から長い時間へ上回るタイマー時間の設定操作を行う場合に、通常のタイマー時間の設定操作とは異なる特別な操作を要求することを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
このような構成にすることによって、住宅用などの小さな浴槽を使用している場合は、通常操作では最長設定時間以上の設定にならず、誤って長時間の設定をして浴槽からオーバーフローするような心配がない。最長設定時間については住宅用での使用を考慮して設定することが望ましい。これにより、同じ仕様の給水装置で公衆浴場などの大きな浴槽と住宅用の小さな浴槽との使い分けが可能となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、第２操作部は、タイマー時間の設定時間を増加および減少させるスイッチを有し、前記特別な操作とは、設定停止時間が設定されている状態で、少なくともそれらのいずれかのスイッチを一定時間以上押し続ける操作であることを特徴としている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の別実施形態の給水装置では、給水を電気的に開閉する電動開閉弁と、この電動開閉弁に開閉を指示して給水の開始・停止を行う第１操作部と、タイマー時間の設定を行う第２操作部と、第２操作部によって設定したタイマー時間を経過すると前記電動開閉弁に指示して自動的に止水させるタイマー機能を有する制御部と、タイマー時間を表示する時間表示部と、を有し、前記制御部は、前記タイマー時間の設定時間を変更させる第２操作部の受け付けを拒否する設定を可能としたことを特徴としている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
なお、前記第２操作部の受け付けを拒否する設定は、第１操作部を一定時間以上押し続けることで行い、第１操作部を押した時に電動開閉弁を開として給水状態とし、第１操作部を押しつづけて設定が完了した時に、電動開閉弁を閉として、吐水状態を変化させる制御手段を有していることを特徴としている。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月15日(2006.3.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
ばねを支持して該ばねと共に周方向に可動な支持要素（１２）と接触するように配された軸方向スラスト軸受を形成するころがり軸受（９）を有し、該ころがり軸受が、装置に加えられた荷重を伝達する上方キャップ（１８）と接触する上軌道輪（１３）と、上記支持要素（１２）と接触する下軌道輪（１４）とを有し、上記装置はユニット組立体を形成するために支持要素を軸方向で保持する手段を有し、シール手段と環状部材（２０）がシールリップ（２０ｄ）と支持要素での保持をもたらす部分とをそれぞれ有しているサスペンションスラスト軸受装置において、環状部材が上方キャップへの保持をもたらす部分を有し、シールリップ（２０ｄ）が保持部分とは別途に設けられていることを特徴とするサスペンションスラスト軸受装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の一つの視点によると、サスペンションスラスト軸受装置は、ばねを支持して該ばねと共に周方向に可動な支持要素と接触するように配された軸方向スラスト軸受を形成するころがり軸受を有する形式をなす。該ころがり軸受は、主として軸方向力を車輌のシャーシに直接又は間接に結合された他の要素へ伝達する上方キャップと接触する上軌道輪と、ばねのための上方支持要素と接触する下軌道輪とを有している。上記装置はユニット組立体を形成するために支持要素を軸方向で保持する手段を有している。上記装置は、シールリップと、上方キャップでの保持をもたらす手段と支持要素での保持をもたらす手段とを有し、シールリップは保持部分とは別に形成されている。環状部材は、軸方向での保持、動的シールそして静的シールの三つの機能をもつ。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月10日(2006.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】帯電部材及び帯電部材の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  導電性基体上に、少なくとも導電性を有する弾性抵抗層、被覆抵抗層が順次積層された帯電部材において、該弾性抵抗層と該被覆抵抗層との界面近傍に、平均粒径が５μｍ以上、２００μｍ以下の粒子が偏在していることを特徴とする帯電部材。
【請求項２】  前記粒子が有機高分子である請求項１に記載の帯電部材。
【請求項３】  前記被覆抵抗層の平均厚さが０．５μｍ以上５０μｍ以下である請求項１又は２に記載の帯電部材。
【請求項４】  前記帯電部材表面の十点平均表面粗さ（Ｒｚ）が０．１μｍ以上１０μｍ以下である請求項１〜３のいずれかに記載の帯電部材。
【請求項５】  前記導電性を有する弾性抵抗層がスポンジ体である請求項１〜４のいずれかに記載の帯電部材。
【請求項６】  導電性を有する弾性抵抗層の素材となる成形体を形成する工程と、成形体表面に粒子を被覆する工程と、型内で成形体を発泡・硬化させて粒子を表面近傍に偏在させる工程と、成形体を被覆抵抗層の素材で被覆する工程と、を有することを特徴とする帯電部材の製造方法。
【請求項７】  型内面に粒子を設ける工程と、型内に弾性抵抗層の素材となる成形体を挿入する工程と、成形体を硬化させ粒子を表面近傍に偏在させる工程と、被覆抵抗層の素材を被覆する工程と、を有することを特徴とする帯電部材の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザービームプリンターや複写機等の電子写真装置に使用される帯電部材及び該帯電部材の製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、離型剤による被帯電体の劣化、砥石の目詰まりによる研磨性の悪化、粒子の分散不良等がなく、高画質、高耐久が求められる電子写真装置にも好適に用いることができる帯電部材及び該帯電部材の製造方法を提供することである。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月10日(2006.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】導電性部材、その製造方法、プロセスカートリッジ及び電子写真装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ２３℃／６０％ＲＨの環境下で、硬度（Ａｓｋｅｒ−Ｃ）が３０°以上９０°以下であり、かつ静摩擦係数が１．０以下、動摩擦係数が０．５以下である導電性部材において、
該導電性部材の電気抵抗値Ｒ（Ω）が、１５℃／１０％ＲＨの環境下で、
直流電圧１０Ｖを印加した時に５×１０8Ω以下で、
直流電圧５００Ｖを印加した時に１×１０4Ω以上であり、
かつ該導電性部材表面の算術平均粗さをＲａ（μｍ）、十点平均粗さをＲｚ（μｍ）とした時に、Ｒａ≧０．０５μｍかつＲｚ≦１０μｍ
であることを特徴とする導電性部材。
【請求項２】  少なくとも、支持体と、支持体の上方又は外側に設けられた高分子化合物を主体としてなる弾性を有する層（弾性層）と、弾性層の上方又は外側に形成された高分子化合物を主体としてなる１つ以上の層（被覆層）とを有し、
該導電性部材の電気抵抗値Ｒ（Ω）と被覆層のうち最も上方又は外側の層（表面層）のみを有さない状態における電気抵抗値Ｒ1（Ω）とが、直流電圧５００Ｖを印加した時に温度１５〜３０℃かつ相対湿度１０〜８０％の範囲において、０．０１≦（Ｒ／Ｒ1）≦１０００の関係にある請求項１に記載の導電性部材。
【請求項３】  前記表面層が、フッ素系高分子化合物、シリコーン系高分子化合物、アクリル系高分子化合物、ウレタン系高分子化合物、オレフィン系化合物及びエチレンオキサイド含有高分子化合物からなる群より選ばれた少なくとも１種を含有する請求項１又は２に記載の導電性部材。
【請求項４】  前記表面層が、反応部位を有する高分子化合物によって形状を付与された後、活性エネルギー線を照射することによって反応させて形成された請求項１〜３のいずれかに記載の導電性部材。
【請求項５】  前記導電性部材の表面が、化学的あるいは物理的な表面処理を施された請求項１〜４のいずれかに記載の導電性部材。
【請求項６】  前記弾性層が発泡体である請求項１〜５のいずれかに記載の導電性部材。
【請求項７】  前記発泡体の表面に非発泡部を有する請求項１〜６のいずれかに記載の導電性部材。
【請求項８】  少なくとも、電圧を印加した帯電装置によって電子写真感光体を帯電する帯電手段と、露光によって静電潜像を形成する手段と、該静電潜像をトナーにて可視化する現像手段とを有する電子写真装置において、帯電装置に用いられる請求項１〜７のいずれかに記載の導電性部材が、電子写真感光体を所定の極性及び電位に帯電する帯電部材であることを特徴とする電子写真装置。
【請求項９】  前記帯電部材が電子写真感光体と接触する請求項８に記載の電子写真装置。
【請求項１０】  前記電子写真感光体の最外層の膜厚が０．００５μｍ以上２５μｍ以下である請求項８又は９に記載の電子写真装置。
【請求項１１】  前記現像剤中のトナーが略球状である請求項８〜１０のいずれかに記載の電子写真装置。
【請求項１２】  前記接触現像方式を有する請求項８〜１１のいずれかに記載の電子写真装置。
【請求項１３】  帯電装置、電子写真感光体、現像装置とを共に一体に支持し、帯電装置に用いられる導電性部材として請求項１〜７のいずれかに記載の導電性部材を使用した電子写真装置に着脱自在あることを特徴とするプロセスカートリッジ。
【請求項１４】  前記導電性部材を再利用した請求項１３に記載のプロセスカートリッジ。
【請求項１５】  請求項１〜７のいずれかに記載の導電性部材の弾性層は外径規制部材の存在した状態で発泡することによって形成し、被覆層は塗料を塗工後連続的にエネルギーを付与することで形成することを特徴とする導電性部材の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複写機、プリンター及びファックス等の電子写真装置に用いられる導電性部材、その製造方法、プロセスカートリッジ及び電子写真装置に関するものであり、特には、電子写真装置の電子写真感光体を帯電する用途に好適に用いられるものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、上述のような問題に鑑みなされたものであり、高画質化に適し、より高機能な電子写真装置にも好適に用いることができる導電性部材及びその製造方法を提供することである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、本発明の別の目的は、高解像度（概ね６００ｄｐｉ以上で、特には１２００ｄｐｉ以上）の電子写真装置や、高速（概ねプロセススピードが９０ｍｍ／ｓｅｃ．以上で、特には１２０ｍｍ／ｓｅｃ．以上）／低速（概ねプロセススピードが９０ｍｍ／ｓｅｃ．以下で、特には６０ｍｍ／ｓｅｃ．以下）のように２種以上のプロセススピードを有する電子写真装置においても良好な画像を長期にわたって得ることができる導電性部材、該導電性部材を有するプロセスカートリッジ及び電子写真装置を提供することである。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月5日(2006.7.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群、負の屈折力を有する第２レンズ群、正の屈折力を有する第３レンズ群、正の屈折力を有する第４レンズ群を備え、広角端から望遠端への変倍時に前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の間隔が増大し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群の間隔が変化する構成のズームレンズにおいて、
前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群中の少なくとも一つのレンズ面に回折光学面を有し、
広角端において最大像高に至る主光線が前記回折光学面を通過するときに前記回折光学面の法線となす角度は１０度以下であり、前記回折光学面の有効径をＣ、広角端におけるレンズ系全体の焦点距離をｆｗとしたときに、
０．２＜Ｃ／ｆｗ＜５．０
の条件を満たすことを特徴とするズームレンズ。
【請求項２】
前記回折光学面は光軸に対して回転対称な構造であることを特徴とする請求項１記載のズームレンズ。
【請求項３】
前記回折光学面が前記第３レンズ群中のいずれかのレンズ面若しくは前記第２レンズ群中の物体側に凸なレンズ面に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のズームレンズ。
【請求項４】
広角端における像面から前記回折光学面までの光軸上の距離をＬとしたときに、
１．０＜Ｌ／ｆｗ＜２０．０
の条件を満たすことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のズームレンズ。
【請求項５】
広角端におけるバックフォーカスをＢｆｗ、最大像高をＹ０としたときに、
１．３＜Ｂｆｗ／Ｙ０＜１０．０
の条件を満たすことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のズームレンズ。
【請求項６】
ズーミング中に前記第１レンズ群と前記第３レンズ群とが固定であり、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２、前記第３レンズ群の焦点距離をｆ３としたときに、
０．０５＜｜ｆ２／ｆ３｜＜１．０
の条件を満たすことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のズームレンズ。
【請求項７】
前記第４レンズ群は、少なくとも１組の貼り合わせレンズを有し、前記貼り合わせレンズのうち最も物体側の貼り合わせレンズのｄ線に対する屈折率差をΔＮとしたときに、次式
０．２＜ΔＮ
の条件を満足することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のズームレンズ。
【請求項８】
前記回折光学面を有する回折光学素子の最も物体側に位置する面から最終面までの光軸上の厚さをｄとしたときに、次式
０．０５＜ｄ／ｆｗ＜１．５
の条件を満足することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のズームレンズ。
【請求項９】
前記第２レンズ群は、少なくとも１組の貼り合わせレンズを有していることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のズームレンズ。
【請求項１０】
前記第３レンズ群は、凸レンズと凹レンズで構成される貼り合わせレンズを有していることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のズームレンズ。
【請求項１１】
前記第３レンズ群は、物体側から順に、両凸レンズと凹メニスカスレンズとで構成されることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載のズームレンズ。
【請求項１２】
前記回折光学面は、前記第３レンズ群の前記凹メニスカスレンズの最も像側のレンズ面に形成されていることを特徴とする請求項１１に記載のズームレンズ。
【請求項１３】
前記第４レンズ群は、回折光学面を有することを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載のズームレンズ。
【請求項１４】
近距離物体への合焦は、前記第１レンズ群で行われることを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載のズームレンズ。
【請求項１５】
近距離物体への合焦は、前記第４レンズ群で行われることを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載のズームレンズ。
【請求項１６】
前記回折光学面は、アッベ数が６５以下の光学ガラスレンズのレンズ面上に形成されることを特徴とする請求項１〜１５のいずれかに記載のズームレンズ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、広角端における像面から回折光学面までの光軸上の距離をＬとしたときに、１．０＜Ｌ／ｆｗ＜２０．０の条件を満たすようになっていることが好ましい。このような構成であれば、回折光学素子の製造が容易になるとともに、色収差の補正を十分に行うことが可能となる。
また、本発明に係るズームレンズにおいては、広角端におけるバックフォーカスをＢｆｗ、最大像高をＹ０としたときに、１．３＜Ｂｆｗ／Ｙ０＜１０．０の条件を満たすことが好ましい。このような構成であれば、レンズ系を大型化させることなく、またシェーディングを発生させることなく、電子画像機器用のズームレンズとしては十分な大きさのバックフォーカスを確保することが可能となる。
また、本発明に係るズームレンズにおいては、ズーミング中に第１レンズ群と第３レンズ群とが固定であり、第２レンズ群の焦点距離をｆ２、第３レンズ群の焦点距離をｆ３としたときに、０．０５＜｜ｆ２／ｆ３｜＜１．０の条件を満たすことが好ましい。このような構成であれば、変倍時における球面収差及びコマ収差の変動を小さくして良好な結像性能を得ることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、前記第４レンズ群は、少なくとも１組の貼り合わせレンズを有し、前記貼り合わせレンズのうち最も物体側の貼り合わせレンズのｄ線に対する屈折率差をΔＮとしたときに、次式  ０．２＜ΔＮ  の条件を満足する構成であることが好ましい。
さらに、前記回折光学面を有する回折光学素子の最も物体側に位置する面から最終面までの光軸上の厚さをｄとしたときに、次式  ０．０５＜ｄ／ｆｗ＜１．５  の条件を満足する構成であることが好ましい。
さらに、前記第２レンズ群は、少なくとも１組の貼り合わせレンズを有している構成であることが好ましい。
さらに、前記第３レンズ群は、凸レンズと凹レンズで構成される貼り合わせレンズを有している構成であることが好ましい。
さらに、前記第３レンズ群は、物体側から順に、両凸レンズと凹メニスカスレンズとで構成されるのが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
さらに、前記回折光学面は、前記第３レンズ群の前記凹メニスカスレンズの最も像側のレンズ面に形成されているのが好ましい。
さらに、前記第４レンズ群は、回折光学面を有する構成であることが好ましい。
さらに、近距離物体への合焦は、前記第１レンズ群で行われる構成であることが好ましい。
さらに、近距離物体への合焦は、前記第４レンズ群で行われる構成であることが好ましい。
さらに、前記回折光学面は、アッベ数が６５以下の光学ガラスレンズのレンズ面上に形成されるのが好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月27日(2006.1.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの射出光を被測定体の物体面上又は像面上に集光させる集光光学系と、前記被測定体の像面上又は物体面上に曲率中心が配置された反射光学系と、干渉縞を観察するための検出光学系とを有し、前記被測定体の波面収差を測定する測定装置であって、
前記光源は、Ｆ２レーザーであることを特徴とする測定装置。
【請求項２】
被測定体の波面収差を測定する測定方法であって、
前記被測定体に照射するＦ２レーザーのスペクトル幅を減少させるように、当該Ｆ２レーザーのガス圧を変化させるステップと、
スペクトル幅を減少させた前記Ｆ２レーザーを前記被測定体に照射するステップとを有することを特徴とする測定方法。
【請求項３】
前記Ｆ２レーザーのガス圧は、１００ｋＰａ以上、５００ｋＰａ以下であることを特徴とする請求項２記載の測定方法。
【請求項４】
前記Ｆ２レーザーのスペクトル幅は、０．７ｐｍ以下であることを特徴とする請求項２記載の測定方法。
【請求項５】
被測定体の波面収差を測定する測定方法であって、
前記被検出体に照射されるＦ２レーザーのガス圧を変更するステップと、
前記ガス圧に基づいて、前記Ｆ２レーザーの中心波長を算出するステップと、
前記算出ステップで算出された前記Ｆ２レーザーの中心波長と前記被測定体の波面収差敏感度に基づいて、測定される前記被測定体の波面収差を補正するステップとを有することを特徴とする測定方法。
【請求項６】
前記補正ステップは、
前記算出ステップで算出された前記中心波長と基準波長との波長差を求めるステップと、
前記波長差と前記被測定体の前記波面収差敏感度から補正値を求めるステップと、
前記測定される前記被測定体の波面収差から前記補正値を減算するステップとを有することを特徴とする請求項５記載の測定方法。
【請求項７】
被測定体の波面収差を測定する測定装置であって、
所定のスペクトル幅を有する光を射出する光源と、
前記被測定体の波面収差を干渉縞として検出する検出光学系と、
前記光源から射出される光の前記スペクトル幅を調整する調整手段とを有することを特徴とする測定装置。
【請求項８】
前記光は、Ｆ２レーザーであることを特徴とする請求項７記載の測定装置。
【請求項９】
前記調整手段は、前記検出光学系が前記干渉縞を検出できるように、前記スペクトル幅を調整することを特徴とする請求項７記載の測定装置。
【請求項１０】
前記調整手段は、前記光のガス圧を変化させることで前記スペクトル幅を調整することを特徴とする請求項７記載の測定装置。
【請求項１１】
所定のスペクトル幅を有する光を射出する光源を有する露光装置を調整する調整方法であって、
前記スペクトル幅を調整して波面収差を求めるステップと、
前記スペクトル幅を調整する前の状態を示すように波面収差を補正するステップとを有することを特徴とする調整方法。
【請求項１２】
露光時に所定のスペクトル幅を有する光を用いてマスクに形成されたパターンを照明し、当該パターンを光学系を介して被処理体に露光する露光方法であって、
前記光の前記所定のスペクトル幅を前記露光時よりも狭帯域化するステップと、
前記狭帯域化したスペクトル幅の光を用いて前記光学系の波面収差を測定するステップと、
前記狭帯域化したスペクトル幅の光の中心波長と前記光学系の波面収差敏感度から前記測定された波面収差に補正をかけるステップと、
前記補正がかけられた波面収差が低減するように、前記光学系を調整するステップと、
前記狭帯域化したスペクトル幅の光を前記所定のスペクトル幅に戻すステップとを有することを特徴とする露光方法。
【請求項１３】
光学素子から構成される投影光学系を介してマスクに形成されたパターンを被処理体に露光する露光装置であって、
請求項１、７乃至１０のうちいずれか一項記載の測定装置と、
前記測定装置が測定した前記投影光学系の波面収差に基づいて、前記光学素子を駆動する駆動手段とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項１４】
請求項１３記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体に所定のプロセスを行うステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】削除
【補正の内容】