(57)【要約】【課題】フレーム部材を再使用するような場合でも、第２接着シートが邪魔になることを防止することができるシート貼付装置を提供すること。【解決手段】第１接着シートＡＳ１を介して半導体ウエハＷＦがフレーム部材ＲＦに支持された一体物ＵＰに第２接着シートＡＳ２を貼付するシート貼付装置ＥＡにおいて、第２接着シートＡＳ２を供給する供給手段１０と、供給手段１０で供給される第２接着シートＡＳ２に印刷を行う印刷手段２０と、印刷手段２０で印刷された第２接着シートＡＳ２を一体物ＵＰに貼付する貼付手段３０とを備え、印刷手段２０は、所定の情報ＩＦ１を入力する入力手段２１と、入力手段２１に入力された所定の情報ＩＦ１がセミフォントの書体で構成されたセミフォント書体情報ＩＦ２を第２接着シートＡＳ２に印刷する印刷機器２２とを備え、貼付手段３０は、セミフォント書体情報ＩＦ２が印刷された第２接着シートＡＳ２を一体物ＵＰにおける第１接着シートＡＳ１に貼付する。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
第１接着シートを介して半導体ウエハがフレーム部材に支持された一体物に第２接着シートを貼付するシート貼付装置において、
前記第２接着シートを供給する供給手段と、
前記供給手段で供給される前記第２接着シートに印刷を行う印刷手段と、
前記印刷手段で印刷された前記第２接着シートを前記一体物に貼付する貼付手段とを備え、
前記印刷手段は、所定の情報を入力する入力手段と、前記入力手段に入力された所定の情報がセミフォントの書体で構成されたセミフォント書体情報を前記第２接着シートに印刷する印刷機器とを備え、
前記貼付手段は、前記セミフォント書体情報が印刷された前記第２接着シートを前記一体物における前記第１接着シートに貼付することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記所定の情報と、前記第２接着シートに印刷された前記セミフォント書体情報との整合性を検証する検証手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記検証手段は、前記入力手段が兼用することを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記半導体ウエハには、前記第１接着シートが貼付された面の反対側の面に第３接着シートが貼付されており、
前記入力手段の前段で前記第３接着シートを前記半導体ウエハから剥離するシート剥離手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のシート貼付装置。
【請求項５】
前記一体物を支持する単一の支持テーブルを搬送する一体物搬送手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載のシート貼付装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、シート貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）に設けられた情報を読み取り、読み取った情報をラベルに印刷し、印刷したラベルをフレームに貼付する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１９−２１６７４号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたようなＩＤ貼付部７００（シート貼付装置）では、識別情報１６（情報）を印刷したラベル１７（第２接着シート）をフレーム１９（フレーム部材）に貼付する構成なので、フレーム部材から粘着テープ１８（第１接着シート）を取り外して当該フレーム部材を再使用するような場合、当該フレーム部材に貼付された第２接着シートが残っていて邪魔になるという不都合がある。
【０００５】
本考案の目的は、フレーム部材から第１接着シートを取り外して当該フレーム部材を再使用するような場合、第２接着シートが残っていて邪魔になることを防止することができるシート貼付装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案は、請求項に記載した構成を採用した。
【考案の効果】
【０００７】
本考案によれば、第２接着シートを一体物における第１接着シートに貼付するので、フレーム部材から第１接着シートを取り外して当該フレーム部材を再使用するような場合、第２接着シートが残っていて邪魔になることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本考案の実施形態に係るシート貼付装置の説明図。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
本考案のシート貼付装置ＥＡは、第１接着シートＡＳ１を介してウエハＷＦがフレーム部材としてのリングフレームＲＦに支持された一体物ＵＰに第２接着シートＡＳ２を貼付する装置であって、第２接着シートＡＳ２を供給する供給手段１０と、供給手段１０で供給される第２接着シートＡＳ２に印刷を行う印刷手段２０と、印刷手段２０で印刷された第２接着シートＡＳ２を一体物ＵＰに貼付する貼付手段３０と、所定の情報ＩＦ１と、第２接着シートＡＳ２に印刷されたセミフォント書体情報ＩＦ２との整合性を検証する検証手段４０と、入力手段２１の前段で第３接着シートＡＳ３をウエハＷＦから剥離するシート剥離手段５０と、一体物ＵＰを支持する単一の支持テーブル６２を搬送する一体物搬送手段６０とを備えている。
なお、本実施形態のウエハＷＦには、第１接着シートＡＳ１が貼付された面の反対側の面に、当該ウエハＷＦに関する所定の情報ＩＦ１が設けられているとともに、当該反対側の面に第３接着シートＡＳ３が貼付されている。
【００１１】
供給手段１０は、第２接着シートＡＳ２が帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１２と、剥離縁１３Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから第２接着シートＡＳ２を剥離する剥離手段としての剥離板１３と、駆動機器としての回動モータ１４Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１４Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１４と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１４Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１５とを備えている。
【００１２】
印刷手段２０は、所定の情報ＩＦ１を入力する入力手段２１と、入力手段２１に入力された所定の情報ＩＦ１がセミフォントの書体で構成されたセミフォント書体情報ＩＦ２を第２接着シートＡＳ２に印刷する印刷機器２２とを備えている。
入力手段２１は、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等からなる検知機器２１Ａを備えている。
印刷機器２２は、サーマルヘッド２２Ａを備えている。
なお、セミフォント（ＳＥＭＩＦｏｎｔ）とは、セミＯＣＲフォント（ＳＥＭＩ  ＯＣＲ  Ｆｏｎｔ）としても知られ、半導体業界においてウエハＷＦにマーキングするために使用される字体（書体）のことであり、セミ企画（ＳＥＭＩ規格）によって承認された特定のものである。
【００１３】
貼付手段３０は、駆動機器としての直動モータ３１と、その出力軸３１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面３２Ａを有する保持部材３２とを備え、セミフォント書体情報ＩＦ２が印刷された第２接着シートＡＳ２を一体物ＵＰにおける第１接着シートＡＳ１に貼付する構成となっている。
【００１４】
検証手段４０は、入力手段２１が兼用する構成となっている。
【００１５】
シート剥離手段５０は、保持手段としての帯状の剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ５１と、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ５２と、駆動機器としての直動モータ５３の出力軸５３Ａに回転可能に支持された剥離ローラ５４と、駆動機器としての回動モータ５５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ５５Ｂとで剥離用テープＰＴを挟み込む駆動ローラ５５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ５５Ｂとの間に存在する剥離用テープＰＴに常に所定の張力を付与して当該剥離用テープＰＴを回収する回収手段としての回収ローラ５６とを備えている。
【００１６】
一体物搬送手段６０は、駆動機器としてのリニアモータ６１と、そのスライダ６１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面６２Ａを有する支持テーブル６２とを備えている。
【００１７】
以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、図１（Ａ）に示すように、先頭の第２接着シートＡＳ２の繰出方向先端部がサーマルヘッド２２Ａの印刷位置ＰＰの右方所定位置に到達すると、回動モータ１４Ａの駆動を停止する。
【００１８】
次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、支持テーブル６２上に一体物ＵＰを載置すると、一体物搬送手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面６２Ａでの一体物ＵＰの吸着保持を開始する。その後、一体物搬送手段６０がリニアモータ６１を駆動し、支持テーブル６２を左方へ移動させ、図１（Ｂ）中実線で示すように、第３接着シートＡＳ３の左端部が剥離ローラ５４の最下部直下に到達すると、リニアモータ６１の駆動を停止する。次に、シート剥離手段５０が直動モータ５３を駆動し、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、剥離ローラ５４を下降させて剥離用テープＰＴを第３接着シートＡＳ３の左端部に貼付する。そして、シート剥離手段５０および一体物搬送手段６０が回動モータ５５Ａおよびリニアモータ６１を駆動し、支持テーブル６２を左方へ移動させるとともに、その移動速度に合わせて剥離用テープＰＴを繰り出す。これにより、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、第３接着シートＡＳ３がウエハＷＦから剥離され、剥離された第３接着シートＡＳ３は、剥離用テープＰＴと共に回収ローラ５６方向に送られる。次いで、第３接着シートＡＳ３全体がウエハＷＦから剥離されると、シート剥離手段５０が直動モータ５３を駆動し、剥離ローラ５４を初期位置に復帰させた後、回動モータ５５Ａの駆動を停止する。
【００１９】
その後、ウエハＷＦに設けられている所定の情報ＩＦ１が検知機器２１Ａの検知位置に到達すると、印刷手段２０が検知機器２１Ａを駆動し、当該所定の情報ＩＦ１を読み取って読み取った所定の情報ＩＦ１を印刷機器２２へ出力する。印刷機器２２に所定の情報ＩＦ１が入力されると、供給手段１０、印刷手段２０および貼付手段３０が回動モータ１４Ａ、サーマルヘッド２２Ａおよび図示しない減圧手段を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、原反ＲＳを繰り出す。この際、サーマルヘッド２２Ａは、印刷機器２２に入力された所定の情報ＩＦ１をセミフォントの書体で構成されたセミフォント書体情報ＩＦ２を、印刷位置ＰＰを通過する先頭の第２接着シートＡＳ２に印刷する。次に、先頭の第２接着シートＡＳ２に次ぐ次の第２接着シートＡＳ２の繰出方向先端部が、サーマルヘッド２２Ａの印刷位置ＰＰの右方所定位置に到達すると、回動モータ１４Ａの駆動を停止する。これにより、図１（Ｄ）に示すように、セミフォント書体情報ＩＦ２が印刷された第２接着シートＡＳ２（以下、「印刷済第２接着シートＡＳ２」ともいう）が保持部材３２に吸着保持される。
【００２０】
そして、図１（Ｄ）に示すように、一体物ＵＰにおける第１接着シートＡＳ１の表出部が保持部材３２の直下に位置すると、一体物搬送手段６０がリニアモータ６１の駆動を停止する。次いで、貼付手段３０が直動モータ３１を駆動し、保持部材３２を下降させ、図１（Ｄ）中二点鎖線で示すように、印刷済第２接着シートＡＳ２を第１接着シートＡＳ１に押圧した後、図示しない減圧手段の駆動を停止して保持部材３２を初期位置に復帰させ、印刷済第２接着シートＡＳ２を第１接着シートＡＳ１に貼付する。その後、一体物搬送手段６０がリニアモータ６１を駆動し、支持テーブル６２を右方へ移動させ、図１（Ｅ）に示すように、印刷済第２接着シートＡＳ２が検知機器２１Ａの検知位置に到達すると、検証手段４０が検知機器２１Ａを駆動し、印刷済第２接着シートＡＳ２に印刷されているセミフォント書体情報ＩＦ２を読み取る。検知機器２１Ａがセミフォント書体情報ＩＦ２を読み取ると、検証手段４０が当該セミフォント書体情報ＩＦ２と所定の情報ＩＦ１との整合性を検証し、それらが整合しているか否かの検証結果を他の装置に出力する。
【００２１】
次いで、一体物搬送手段６０がリニアモータ６１を駆動し、支持テーブル６２を左方へ移動させ、当該支持テーブル６２が貼付手段３０の左方所定位置に到達すると、リニアモータ６１の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面６２Ａでの一体物ＵＰの吸着保持を解除する。その後、使用者または図示しない搬送手段が、印刷済第２接着シートＡＳ２が貼付された一体物ＵＰを次工程に搬送すると、一体物搬送手段６０がリニアモータ６１を駆動し、支持テーブル６２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。なお、使用者または図示しない搬送手段は、検証手段４０が出力した検証結果を基に、検証合格とされた一体物だけを正規の次工程に搬送し、検証不合格とされた一体物は、検証不合格工程に搬送する。検証の合否は、例えば、モニターに表示させたり、ブザーやベル等の音を発したりして使用者に通知したり、電気信号によって図示しない搬送手段に信号を送ったりする図示しない通知手段を採用してもよい。
【００２２】
以上のような実施形態によれば、第２接着シートＡＳ２を一体物ＵＰにおける第１接着シートＡＳ１に貼付するので、リングフレームＲＦから第１接着シートＡＳ１を取り外して当該リングフレームＲＦを再使用するような場合でも、第２接着シートＡＳ２が邪魔になることを防止することができる。
【００２３】
本考案における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、第２接着シートを供給可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【００２４】
供給手段１０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が第２接着シートＡＳ２とされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を第２接着シートＡＳ２としてもよいし、帯状の接着シート基材をウエハＷＦに貼付する構成でもよいし、第２接着シートＡＳ２を剥離シートＲＬから剥離する際、原反ＲＳに所定の張力が付与されるように回動モータ１４Ａのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ１１やガイドローラ１２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから当該原反ＲＳを引き出すように支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートＲＬを回収してもよいし、剥離シートＲＬを回収しなくてもよいし、剥離シートＲＬが仮着されていない第２接着シートＡＳ２を繰り出してもよい。
【００２５】
印刷手段２０は、第２接着シートＡＳ２に１次元コードや２次元コードの他、任意の図形をセミフォント書体情報ＩＦ２と共に印刷してもよいし、セミフォント書体情報ＩＦ２と共に着色を施してもよいし、第２接着シートＡＳ２を移動させることなくまたは移動させつつ、印刷機器２２を移動させてセミフォント書体情報ＩＦ２を第２接着シートＡＳ２に印刷してもよいし、第２接着シートＡＳ２および印刷機器２２の両方を移動させることなくセミフォント書体情報ＩＦ２を第２接着シートＡＳ２に印刷してもよい。
入力手段２１は、上位コンピュータやその他の制御機器等の他の出力手段から出力された所定の情報ＩＦ１を入力するものでもよいし、第３接着シートＡＳ３を透過してウエハＷＦに設けられた所定の情報ＩＦ１を読み取ってもよいし、第３接着シートＡＳ３が貼付されていない位置に設けられた所定の情報ＩＦ１を読み取る構成でもよい。
印刷機器２２は、モノクロプリンタやカラープリンタであってもよいし、例えば、サーマルプリンタ、インクジェットプリンタ、ドットインパクトプリンタ、転写プリンタ、レーザ印刷機、凸版印刷器、凹版印刷機、グラビア印刷機、スクリーン印刷器等の他、刻印を施すもの等どのようなものであってもよい。
【００２６】
貼付手段３０は、印刷済第２接着シートＡＳ２を移動させることなくまたは移動させつつ、一体物ＵＰを移動させて第１接着シートＡＳ１に印刷済第２接着シートＡＳ２を貼付してもよいし、ウエハＷＦに対する前後、左右いずれの方向に印刷済第２接着シートＡＳ２を貼付する構成でもよいし、ウエハＷＦの周囲全体に印刷済第２接着シートＡＳ２を貼付する構成でもよいし、第１接着シートＡＳ１におけるウエハＷＦが貼付されている面の反対側の面に印刷済第２接着シートＡＳ２を貼付する構成でもよいし、１つの一体物ＵＰに対して１枚または複数枚の印刷済第２接着シートＡＳ２を貼付する構成でもよいし、直動モータ３１および保持部材３２の代わりに、押圧手段としての押圧ローラを採用し、移動する一体物ＵＰに合わせて印刷済第２接着シートＡＳ２を供給し、当該印刷済第２接着シートＡＳ２を押圧ローラで第１接着シートＡＳ１に押圧して貼付する構成でもよく、この場合、一体物ＵＰを移動させることなくまたは移動させつつ、貼付手段３０等を移動させて第１接着シートＡＳ１に印刷済第２接着シートＡＳ２を貼付してもよい。
【００２７】
検証手段４０は、入力手段２１が兼用することなく、例えば、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、検知機器２１Ａとは別に、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等からなる検証機器４１を備えていてもよいし、所定の情報ＩＦ１とセミフォント書体情報ＩＦ２との整合性を検証する際、検証対象となるセミフォント書体情報ＩＦ２を印刷するために、先に読み取った所定の情報ＩＦ１を使用して検証を行ってもよいし、検証の段階で再度読み取った所定の情報ＩＦ１を使用しもよいし、検知機器２１Ａがセミフォント書体情報ＩＦ２と所定の情報ＩＦ１とを同時に読み取り、それらの整合性を検証してもよいし、例えば、検証の合否を表示するモニター、検証の合否を音で知らせるスピーカまたは、検証の合否を電気信号によって図示しない搬送手段やその他の装置に出力する信号出力器等の合否通知手段を採用してもよいし、本考案のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
【００２８】
シート剥離手段５０は、第３接着シートＡＳ３に貼付した剥離用テープＰＴや、第３接着シートＡＳ３をチャックシリンダ等の駆動機器で保持し、ウエハＷＦとの相対移動で当該第３接着シートＡＳ３を剥離する構成でもよいし、本考案のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
【００２９】
一体物搬送手段６０は、剥離用テープＰＴを第３接着シートＡＳ３に貼付する際、所定の情報ＩＦ１を入力手段２１で読み取る際、印刷済第２接着シートＡＳ２を第１接着シートＡＳ１に貼付する際、または、セミフォント書体情報ＩＦ２を検証手段４０で読み取る際において、一体物ＵＰの移動を停止させてもよいし、停止させなくてもよいし、本考案のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
【００３０】
所定の情報ＩＦ１は、ウエハＷＦ、第１接着シートＡＳ１またはリングフレームＲＦのうち少なくとも１つに直接印刷されていたり刻印されていたりしていてもよいし、その他の接着シートやプレート等の被印刷体に印刷されたり刻印されたりしたものを介して間接的に設けられていてもよいし、セミフォントで構成されたものでもよいし、明朝体またはゴシック体等の書体で構成されたものでもよいし、１次元コードや２次元コードの他、任意の図形等で構成されたものでもよいし、例えば、ウエハＷＦにおける第１接着シートＡＳ１が貼付された面や、その側面に設けられていてもよいし、第１接着シートＡＳ１におけるウエハＷＦが貼付された面やその反対側の面に設けられていてもよいし、リングフレームＲＦにおける第１接着シートＡＳ１が貼付された面やその反対側の面または、その側面等に設けられていてもよく、どの位置に設けられていてもよい。
所定の情報ＩＦ１およびセミフォント書体情報ＩＦ２は、ウエハＷＦに関する情報だけではなく、例えば、ウエハＷＦ、第１接着シートＡＳ１およびリングフレームＲＦのうち少なくとも１つに関する情報でもよいし、ウエハＷＦ、第１接着シートＡＳ１またはリングフレームＲＦ以外の情報でもよく、その内容は、ウエハＷＦ、第１接着シートＡＳ１およびリングフレームＲＦのうち少なくとも１つの製造日、製造場所、ロットナンバー、使用条件、扱い条件、使用期限等、どのような情報でもよい。
ウエハＷＦは、第３接着シートＡＳ３が貼付されていなくてもよい。
フレーム部材は、環状でもよいし、環状でなくてもよい。
【００３１】
本考案における第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３、ウエハＷＦおよびフレーム部材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３、ウエハＷＦおよびフレーム部材は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、ウエハＷＦとしては、例えば、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハであってもよい。なお、第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００３２】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００３３】
ＥＡ    シート貼付装置
１０    供給手段
２０    印刷手段
２１    入力手段
２２    印刷機器
３０    貼付手段
４０    検証手段
５０    シート剥離手段
６０    一体物搬送手段
６２    支持テーブル
ＡＳ１  第１接着シート
ＡＳ２  第２接着シート
ＡＳ３  第３接着シート
ＩＦ１  所定の情報
ＩＦ２  セミフォント書体情報
ＲＦ    リングフレーム（フレーム部材）
ＵＰ    一体物
ＷＦ    半導体ウエハ
【図１】
0003224633.tif 000003