【手続補正書】
【提出日】平成18年8月29日(2006.8.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
また、半導体装置の製造工程では、さまざまなプロセスガスを半導体の基板に作用させる工程が多々あり、真空ポンプは真空チャンバ内を真空にするのみならず、これらのプロセスガスを真空チャンバ内から排気するのにも使用される。
これらのプロセスガスは、排気される際に冷却されてある温度になると固体となり排気系に生成物を析出する場合がある。例えば、ターボ分子ポンプ内部では、多数のロータ翼が配設されたロータが毎分数万回転の高速回転を行っている。これらの回転部材に析出物が堆積すると、回転体のバランスの不釣合いが発生し、ロータ翼がターボ分子ポンプのケーシングの内周面に配設されたステータ翼に接触するなど不都合が生じる場合がある。
そのため、従来から真空ポンプの内部における堆積物の程度を検出することによって、未然に堆積物による不具合を防止する技術が下記の特許文献に開示されている。
【特許文献１】特開平６−３３０８８５号公報
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
保護用ベアリング５０は、シャフト１１をラジアル方向およびアキシャル方向の両方向に支持するアンギュラ玉軸受からなる転がり軸受である。保護用ベアリング５０は、シャフト１１と接触する内輪５１と、ステータ部に固定される外輪５２と、内輪５１と外輪５２との円形軌道の間に配設された複数のボール５３から構成された軸受をアキシャル方向に２列配列した複列軸受である。
保護用ベアリング５０は、内輪５１および外輪５２とボール５３との接触点を結ぶ直線が軸線方向に対して所定の角度（接触角）をなしている。保護用ベアリング５０は、他列の外輪５２同士が向かい合うように配設された正面組合せ（ＤＦ）と呼ばれる構成をとっている。
これらの保護用ベアリング４０、５０は、ターボ分子ポンプ１の起動時、停止時や、停電等により磁気軸受８、１２が正常に動作しない非常時（タッチダウン時）にシャフト１１を支持するための軸受である。従って、保護用ベアリング４０、５０は、シャフト１１が磁気軸受８、１２、２０によって支持されている間にシャフト１１と接触しないように、内輪４１、５１は、シャフト１１の外径よりも大きくなるように形成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
次に、回転抑止機構６０、７０について詳細に説明する。
図２（ａ）は、図１に示すＡ部の詳細図であり、（ｂ）は、図１に示すＢ部の詳細図である。
図２（ａ）を参照しながら回転抑止機構６０について説明する。
回転抑止機構６０は、回転側突起部８１とストッパ６１とから構成されている。
回転側突起部８１は、シャフト１１とロータ部２４との排気口１９側に形成される接合部に、フランジ状に設けらている。なお、回転側突起部８１を形成する側面のうち、排気口１９方向つまり保護用ベアリング４０と対向する面を面８１ａとし、外周側面を面８１ｂとする。ターボ分子ポンプ１の定常運転時において、面８１ａおよび面８１ｂはステータ部とは接触しないようになっている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
次に、図２（ｂ）を参照しながら回転抑止機構７０について説明する。
回転抑止機構７０は、回転側突起部９１とストッパ７１とから構成されている。
回転側突起部９１は、シャフト１１の径を変えることによって形成された２つの肩部（段部）から構成されている。この回転側突起部９１は、振れ規制部として機能する。
回転側突起部９１を構成する肩部のうち、排気口１９側（図面下側）に設けられたものを第１段部９２とし、吸気口６側（図面上側）に設けられたものを第２段部９３とする。  第１段部９２におけるシャフト１１の径は、第２段部９３におけるシャフトの径よりも小さくなるように形成されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
ストッパ７１は、保護用ベアリング５０の固定機構として機能するストッパ部７２と、回転側突起部９１との接触部を形成する固定側突起部７３とから構成されている。ストッパ７１は、磁気軸受２０の吸気口６側の端部に複数のボルト９４により取り付けられている。なお、ボルト９４のヘッド部は、取付後ストッパ部７２から突起しないようにストッパ部７２の内部に収められている。
ストッパ部７２は、保護用ベアリング５０を支持する支持部材であり、円環状の部材で構成されている。ストッパ部７２と磁気軸受２０とによって外輪５２を挟持することで、保護用ベアリング５０が固定されるようになっている。
なお、ストッパ部７２において、面９３ａと対向する面を面７２ａとする。
固定側突起部７３は、ストッパ部７２内周における吸気口６側（図面上方側）端部に、中心方向へ突出するように形成されている。なお、固定側突起部７３を形成する側面のうち、面９２ｂと対向する面を面７３ｂとする。
また、固定側突起部７３は、第２段部９３と対向する面がストッパ部７２の面７２ａと同一平面上に存在するように形成されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
ところで、保護用ベアリング４０、５０は、シャフト１１を接触させることによって支持するため摩耗してしまう。保護用ベアリング４０、５０の摩耗が進行するに従い内輪４１、５１の内径が増大する。内輪４１、５１の内径が増大してしまうと、内輪４１、５１とシャフト１１との間に設けられている遊びの間隔が増大する。内輪４１、５１とシャフト１１との間に設けられている遊びの間隔が増大してしまうと、支持対象であるシャフト１１の振れ量（振動量）が増大する。
保護用ベアリング４０、５０の内輪４１、５１の内径は、経時的に摩耗する摩耗量を考慮した値となっている。そして、通常は、例えば定期的に保護用ベアリング４０、５０、の交換を行うなどのメンテナンスを実行し、保護用ベアリング４０、５０の摩耗により発生する不具合を防止している。
しかしながら、長期間メンテナンスが行われない場合などには、保護用ベアリング４０、５０の摩耗量が設計時に考慮されていた値を超えるおそれがある。そして、過度に摩耗が進行してしまうと次のような不具合が生じるおそれがある。
磁気軸受８、１２において、電磁石とシャフト１１との間のギャップが保てなくなり、シャフト１１と電磁石とが接触してしまう。
また、モータ１０においては、電磁石とシャフト１１側に設けられた永久磁石との間のギャップが保てなくなり、永久磁石と電磁石とが接触してしまう。
ターボ分子ポンプ部Ｔにおいては、ロータ翼２１とステータ翼との空間距離が保てなくなり、ロータ翼２１とステータ翼とが接触してしまう。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
続いて、制御装置４８は、異常状態の発生期間の積算値（積算時間）と、予め設定されている設定時間との比較を行う（ステップ１４）。設定時間は、モータ１０の駆動を停止させる条件を決定付ける要素であり、例えば、１０分、２０分、３０分など、任意に設定することができる。
設定時間との比較の結果、異常状態の発生期間の積算値（積算時間）が設定時間以下であると判断された場合（ステップ１４；Ｎ）、制御装置４８はステップ１１の処理を再度行う。
一方、設定時間との比較の結果、異常状態の発生期間の積算値（積算時間）が設定時間を超えていると判断された場合（ステップ１４；Ｙ）、制御装置４８は、モータ１０の駆動を停止させる処理を行い（ステップ１５）、ターボ分子ポンプ１の動作を終了する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
このように本実施形態では、ストッパ６１またはストッパ７１と回転部の一部との接触を、ステップ１２の処理に示したように、モータ１０の駆動電流に基づいて検出するようにしている。しかし、ストッパ６１またはストッパ７１と回転部の一部との接触を検出する方法、つまり接触検出手段は、これに限られるものではない。例えば、接触センサ、振動センサ、ＡＥ（アコースティックエミッション）センサ等を用いて検出するようにしてもよい。
接触センサは、接触部に働く押圧力を検知したり、空隙（ギャップ）の幅を測定することなどにより接触状態を検出するセンサである。振動センサは、接触時に固体間に生じる特有の周波数帯域の振動を検出することによって接触状態を検出するセンサである。ＡＥセンサは、固体が変形する時などに発生する音（弾性波）を検出することによって固体間の接触状態を検出するセンサである。