【手続補正書】
【提出日】平成18年6月12日(2006.6.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】      明細書
【発明の名称】  テーブル位置決め装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】  固定テーブルと、基準平面上を二次元的に移動可能な状態で前記固定テーブルによって支持されている移動テーブルと、この移動テーブルを前記基準平面上で移動させるための複数組のテーブル移動機構と、前記移動テーブルを前記固定テーブルにクランプするクランプ機構とを有するテーブル位置決め装置において、
前記移動テーブルの位置を検出するテーブル位置検出手段と、このテーブル位置検出手段の検出結果に基づき、前記テーブル移動機構および前記クランプ機構を駆動制御して前記移動テーブルを目標位置に位置決めする制御手段とを有し、
前記制御手段は、前記移動テーブルが前記目標位置に到ると、前記クランプ機構により前記移動テーブルに対して所定の大きさのクランプ力を与えて、当該移動テーブルを仮クランプ状態とし、当該仮クランプ状態で、前記移動機構により前記移動テーブルの位置決めを行なわせ、位置決め後には前記クランプ機構により前記移動テーブルが移動しない大きさのクランプ力を与えて、当該移動テーブルを本クランプ状態とすることを特徴とするテーブル位置決め装置。
【請求項２】  請求項１において、
前記制御手段は、前記移動テーブルに与えるクランプ力を漸増させるように、前記クランプ機構を制御することを特徴とするテーブル位置決め装置。
【請求項３】  請求項２において、
前記テーブル移動機構は第１ないし第３のテーブル移動機構を備えており、各テーブル移動機構は、前記移動テーブルを一方から弾性力で押しているプリロード機構と、前記移動テーブルを他方の側から押して前記弾性力に逆らって直線移動させることのできる直動機構とを備えていることを特徴とするテーブル位置決め装置。
【請求項４】  請求項３において、
前記直動機構は、前記制御手段によって駆動制御されるサーボモータと、このサーボモータによって回転駆動する回転カムとを備え、当該回転カムの回転運動が前記移動テーブルの直線運動に変換されることを特徴とするテーブル位置決め装置。
【請求項５】  請求項４において、
前記テーブル位置検出手段は、各回転カムによる前記移動テーブルの移動量を検出する３個の位置センサを備えていることを特徴とするテーブル位置決め装置。
【請求項６】  請求項５において、
前記移動テーブルは第１および第２の側面を備えており、
前記第１および第２のテーブル移動機構は、異なる位置において前記第１の側面を第１の方向に押すためのものであり、前記第３のテーブル移動機構は、前記第２の側面を第２の方向に押すためのものであり、
前記第１、第２および第３のテーブル移動機構における各回転カムの回転量を制御することにより、前記移動テーブルの直線移動および回転が可能となっていることを特徴とするテーブル位置決め装置。
【請求項７】  請求項１ないし６のうちのいずれかの項において、
前記固定テーブルの表面が前記基準平面であり、当該表面に前記移動テーブルが移動自在に乗っていることを特徴とするテーブル位置決め装置。
【請求項８】  請求項１ないし７のうちのいずれかの項において、
前記クランプ機構は、前記移動テーブルに形成されている貫通孔をその軸線方向に移動自在な状態で貫通しているピストンロッドと、前記ピストンロッドにおける前記貫通孔から突出している先端に固定されたテーブルクランプ部材と、前記ピストンロッドを固定テーブルの側に向けて常に弾性力によって押している付勢部材と、前記弾性力に逆らって前記ピストンロッドを固定テーブルの側に移動させるための油圧を作用させるために前記固定テーブル側に形成されている油圧室とを備えていることを特徴とするテーブル位置決め装置。
【請求項９】  固定テーブルと、基準平面上を二次元的に移動可能な状態で前記固定テーブルによって支持されている移動テーブルと、この移動テーブルを前記基準平面上で移動させるための複数組のテーブル移動機構と、前記移動テーブルを前記固定テーブルにクランプするクランプ機構とを有するテーブル位置決め装置において、
前記移動テーブルの位置を検出するテーブル位置検出手段と、このテーブル位置検出手段の検出結果に基づき、前記テーブル移動機構および前記クランプ機構を駆動制御して前記移動テーブルを目標位置に位置決めする制御手段とを有し、
前記テーブル移動機構は少なくとも第１、第２および第３のテーブル移動機構を備えており、各テーブル移動機構は、前記移動テーブルを一方から弾性力で押しているプリロード機構と、前記移動テーブルを他方の側から押して前記弾性力に逆らって直線移動させることのできる直動機構とを備えており、
前記直動機構は、前記制御手段によって駆動制御されるサーボモータと、このサーボモータによって回転駆動する回転カムとを備え、当該回転カムの回転運動が前記移動テーブルの直線運動に変換されることを特徴とするテーブル位置決め装置。
【請求項１０】  請求項９において、
前記テーブル位置検出手段は、各回転カムによる前記移動テーブルの移動量を検出する３個の位置センサを備えていることを特徴とするテーブル位置決め装置。
【請求項１１】  請求項１０において、
前記移動テーブルは第１および第２の側面を備えており、
前記第１および第２のテーブル移動機構は、異なる位置において前記第１の側面を第１の方向に押すためのものであり、前記第３のテーブル移動機構は、前記第２の側面を第２の方向に押すためのものであり、
前記第１、第２および第３のテーブル移動機構における各回転カムの回転量を制御することにより、前記移動テーブルの直線移動および回転が可能となっていることを特徴とするテーブル位置決め装置。
【請求項１２】  固定テーブルの表面に形成されている基準平面上に移動自在に乗っている移動テーブルを前記固定テーブルにクランプするためのテーブルクランプ機構において、
前記移動テーブルに形成されている前記基準平面に直交する方向に延びる貫通孔と、この貫通孔を遊びのある状態で貫通しているピストンロッドと、前記貫通孔から突出している前記ピストンロッドの先端に固定されたテーブルクランプ部材と、前記ピストンロッドを固定テーブルの側に向けて常に弾性力によって押している付勢部材と、前記弾性力に逆らって前記ピストンロッドを固定テーブルの側に移動させるための油圧を作用させるために前記固定テーブル側に形成されている油圧室とを備えていることを特徴とするテーブルクランプ機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基準平面内で二次元的に移動可能な移動テーブルあるいは基準平面内で回転可能な移動テーブルを、高精度で、目標とする移動位置あるいは回転位置に位置決め可能なテーブル位置決め装置に関するものである。
【０００２】
また、本発明は、小型化および低コスト化に有利なテーブル移動機構を備えたテーブル位置決め装置に関するものである。
【０００３】
さらに、本発明は、位置ずれを起こすことなく移動テーブルをクランプするのに有利なテーブルクランプ機構に関するものである。
【０００４】
【従来の技術】
一般に、ＸＹテーブルは、固定盤上にＸ軸方向に直線往復移動可能なＸ軸テーブルが搭載され、このＸ軸テーブルの上にＹ軸方向に直線往復移動可能なＹ軸テーブルが搭載され、これらのテーブルをそれぞれ直動機構によって移動させることにより、二次元上の目標とする位置にテーブルを移動させるようにしている。
【０００５】
また、目標位置に至ったテーブルが移動することの無いように、クランプ機構によりテーブルを目標位置に固定するようになっている。テーブルを別の位置に移動する場合には、クランプ機構によるクランプ力を解除してテーブルを移動自在の状態に戻した後に、テーブルの移動が行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来のテーブル位置決め装置では、クランプ力を解除して移動自在の状態となっている移動テーブルを目標位置に位置決めし、しかる後にクランプ機構により、当該目標位置に移動テーブルを固定している。移動テーブルを目標位置に固定するために、大きなクランプ力を移動テーブルに加えると、このクランプ力によって移動テーブルに僅かながら位置ずれが発生する可能性が高い。しかしながら、この位置ずれに対する対策は、従来においては何ら提案されていない。
【０００７】
本発明の課題は、移動テーブルをクランプしてその位置を固定する際に発生する移動テーブルの位置ずれを回避可能なテーブル位置決め装置を提案することにある。
【０００８】
また、本発明の課題は、移動テーブルを基準平面上で移動させるためのテーブル移動機構を小型で廉価に構成することにある。
【０００９】
さらに、本発明の課題は、クランプ時における移動テーブルの位置ずれが起こりにくいクランプ機構を提案することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、固定テーブルと、基準平面内を二次元的に移動可能な状態で前記固定テーブルによって支持されている移動テーブルと、この移動テーブルを前記平面上で移動させるための複数組のテーブル移動機構と、前記移動テーブルを前記固定テーブルにクランプするクランプ機構とを有するテーブル位置決め装置において、前記移動テーブルの位置を検出するテーブル位置検出手段と、このテーブル位置検出手段の検出結果に基づき、前記移動機構および前記クランプ機構を駆動制御して前記移動テーブルを目標位置に位置決めする制御手段とを有し、前記制御手段は、前記移動テーブルが前記目標位置に到ると、前記クランプ機構により前記移動テーブルに対して所定の大きさのクランプ力を与えて、当該移動テーブルを仮クランプ状態とし、当該仮クランプ状態で、前記移動機構により前記移動テーブルの位置決めを行なわせ、位置決め後には前記クランプ機構により前記移動テーブルが移動しない大きさのクランプ力を与えて、当該移動テーブルを本クランプ状態とすることを特徴としている。
【００１１】
ここで、前記制御手段は、前記移動テーブルに与えるクランプ力を漸増させるように、前記クランプ機構を制御することが望ましい。
【００１２】
本発明のテーブル位置決め装置では、移動テーブルを仮クランプした状態でその位置決めを行うようにしている。すなわち、移動テーブルを固定する際に、直ちに大きなクランプ力を加えるのではなく、小さなクランプ力を加え、この状態で、最終固定する寸前まで位置決め制御を続行し、これにより最小の位置誤差で高精度の位置決めを実現している。従って、クランプ力を加える際に発生する移動テーブルの位置ずれが防止、あるいは抑制される。
【００１３】
本発明において、前記テーブル移動機構は、第１、第２および第３のテーブル移動機構を有する構成とすることができ、この場合、各テーブル移動機構を、前記移動テーブルを一方から弾性力で押しているテーブル押さえ部材と、前記移動テーブルを他方の側から押して前記弾性力に逆らって直線移動させることのできる直動機構とを備えた構成とすることができる。
【００１４】
また、前記直動機構は、前記制御手段によって駆動制御されるサーボモータと、このモータによって回転駆動する回転カムとを備え、この回転カムのカム面が前記移動テーブルに押し付けられており、回転カムの回転運動が前記移動テーブルの直線運動に変換される構成のものとすることができる。
【００１５】
この場合には、前記テーブル位置検出手段は、各回転カムによる前記移動テーブルの移動量を検出する３個の位置センサを備えていることが望ましい。
【００１６】
また、この場合には、前記移動テーブルは第１および第２の側面を備えており、前記第１および第２のテーブル移動機構は、異なる位置において前記第１の側面を第１の方向に押すためのものであり、前記第３のテーブル移動機構は、前記第２の側面を第２の方向に押すためのものであり、前記第１ないし第３のテーブル移動機構における各回転カムの回転量を制御することにより、前記移動テーブルの直線移動および回転が可能となっていることが望ましい。
【００１７】
本発明におけるテーブル移動機構は回転カムにより構成されているので、小型化、低コスト化を実現できる。また、各テーブル移動機構によるテーブル移動量を位置センサにより検出しているので、各テーブル移動機構の回転カムの回転に対する直線性は必ずしも高精度を必要としない。
【００１８】
次に、本発明においては、前記固定テーブルの表面により前記基準平面が規定され、ここに前記移動テーブルが移動自在に乗せられた構成とすることができる。
【００１９】
この場合、前記クランプ機構は、前記固定テーブルの側から前記移動テーブルに形成されている貫通孔を軸線方向に移動自在な状態で貫通しているピストンロッドと、前記ピストンロッドにおける前記移動テーブルの貫通孔から突出している先端に固定されたテーブルクランプ部材と、前記ピストンロッドを固定テーブルの側に向けて常に弾性力によって押している付勢部材と、前記弾性力に逆らって前記ピストンロッドを固定テーブルの側に移動させるための油圧を作用させるために前記固定テーブル側に形成された油圧室とを備えた構成のものとすることができる。
【００２０】
この構成のクランプ機構は、微少なストロームでクランプ、アンクランプが可能であり、クランプ時のテーブル位置ずれが少ない。また、クランプ力を増減する制御が簡単にできる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して本発明を適用したテーブル位置決め装置の実施例を詳細に説明する。
【００２２】
（全体構成）
図１は、本例のテーブル位置決め装置の平面構成図である。この図に示すように、テーブル位置決め装置１は、基準固定テーブル２と、このテーブル表面に形成された基準平面３に移動自在の状態で乗せられている移動テーブル４とを有している。また、移動テーブル４を基準平面３のＹ軸方向に直線移動させるための第１および第２のサーボ駆動機構５Ａ、５Ｂと、移動テーブル４をＸ軸方向に直線移動させるための第３のサーボ駆動機構５Ｃを有している。さらに、各サーボ機構５Ａ、５Ｂおよび５Ｃによるテーブル移動量を検出するために、第１、第２および第３の位置センサ６Ａ、６Ｂおよび６Ｃを有している。さらには、移動テーブル４をクランプして基準固定テーブル２の側に固定するための４つのクランプ機構８Ａ、８Ｂ、８Ｃおよび８Ｄを有している。
【００２３】
移動テーブル４は一定の厚さの矩形板であり、その第１の側面４ａの両端部分がそれぞれ第１および第２のサーボ駆動機構５Ａ、５ＢによってＹ軸方向に押され、第１の側面に直交する第２の側面４ｂの中央部分が第３のサーボ駆動機構５ＣによってＸ軸方向に押されるようになっている。また、第１の側面４ａに対峙している第３の側面４ｃの側においては、移動テーブル４に対する各サーボ駆動機構５Ａ、５Ｂの作用点に対峙する側面位置を弾性力により常に押しているプリロード機構７Ａ、７Ｂが配置されている。同様に、第２の側面４ｂに対峙している第４の側面４Ｄの側においても、移動テーブル４に対するサーボ駆動機構５Ｃの作用点に対峙する側面位置を弾性力により常に押しているプリロード機構７Ｃが配置されている。これにより、固定テーブル上に移動自在の状態で乗っている移動テーブル４の移動が拘束されている。
【００２４】
（サーボ駆動機構）
図２はサーボ駆動機構５Ａを示す側面図および上面図である。他のサーボ駆動機構も同一構成であるので、それらの説明は省略する。
【００２５】
本例のサーボ駆動機構５Ａは、サーボモータ５１と、その出力側に連結されている減速機５２と、減速機出力軸５３に偏心状態で取り付けられている回転カム円盤５４Ａ（回転カム）を備えている。回転カム円盤５４Ａの外周面に形成されているカム面５４ａは移動テーブル４の側面４ａに接触している。すなわち、移動自在な状態の移動テーブル４の側面４ａは、反対側からプリロード機構７Ａによる弾性力によって常にカム面５４ａに押し付けられた状態とされている。
【００２６】
回転カム円盤５４Ａを回転させると、その回転角に応じて、移動テーブルとの接触点５５ＡがＸ軸方向に向けて所定のストロークで往復直線運動する。例えば、図２（ｃ）に示すように、回転カム円盤５４Ａの１回転毎に１ストローク分だけ往復直線運動を行う。カム面の輪郭形状を変更することにより、回転カム円盤の回転に伴う接触点５５Ａのストローク量、周期が変わる。
【００２７】
ここで、本例では３組のサーボ駆動機構５Ａ、５Ｂ、５Ｃを、図１に示すように配置してある。従って、これらサーボ駆動機構５Ａないし５Ｃの回転カム円盤５４Ａないし５４Ｃの移動テーブルに対する接触点５５Ａないし５５Ｃの移動量を調整することにより、移動テーブル４をＸ軸およびＹ軸方向の任意の位置に移動させることができる。また、移動テーブル４を基準平面上において回転させることもできる。
【００２８】
（クランプ機構）
次に、図３はクランプ機構８Ａを示す断面図である。他のクランプ機構８Ｂ、８Ｃ、８Ｄも同一構造であるので、それらの説明は省略する。この図に示すように、本例のクランプ機構８Ａは、シリンダチューブ８１、ピストン８２およびシリンダカバー８３からなる油圧シリンダ部８０と、ピストンロッド８４、皿ばね８５、ばね間座８６およびロッドガイド８７からなるテーブルクランプ部９０とで構成されている。
【００２９】
詳細に説明すると、固定テーブル２に開けた基準平面３に直交する貫通孔はその裏面側が大径孔２１とされ、表面側が小径孔２２とされ、これらの境界には円環状段差面２３が形成されている。また、移動テーブル４の側にも、小径孔２２に対して同軸状態で、基準平面３に直交する貫通孔４１が形成されている。
【００３０】
固定テーブル側の大径孔２１の側からは円筒状のロッドガイド８７が小径孔２２に挿入され、その一端に形成した大径フランジ８７ａが円環状段差面２３に当接している。このロッドガイド８７の内側を、ピストンロッド８４が摺動自在の状態で延び、更に移動テーブル側の貫通孔４１を貫通し、ロッド先端が当該移動テーブル表面４０１から突出している。このロッド先端には、テーブルクランプ座９１が取付けられ、ナット９２によって当該ロッド先端に固定されている。テーブルクランプ座９１の取付け位置は、円筒状間座９２の軸長を変更することにより調整できる。
【００３１】
ピストンロッド８４の下端には同軸状態で大径のピストン８２が一体形成されており、このピストン８２とロッドガイドの大径フランジ８７ａの間に、皿ばね８５が圧縮状態で装着されている。従って、ピストンロッド８４は常に、下方向（固定テーブル側）に引っ張られている。
【００３２】
ピストン８２と固定テーブルの大径孔２１の間には、円筒状のシリンダチューブ８１が配置され、大径孔２１の開口はシリンダカバー８３によって封鎖されている。また、ピストン８２は回り止めピン８９によってシリンダカバー８３の側に連結され、上下方向にのみ移動可能となっている。ピストン８２の端面とシリンダカバー８３の内側端面との間には、油圧室８８が区画形成されている。この油圧室８８には、外部の油圧源（図示せず）から油圧を供給可能となっている。
【００３３】
この構成のクランプ機構８Ａにおいて、油圧室８８に油圧を加えることにより、皿ばね８５によるばね力に逆らって、ピストン８２を上方（移動テーブル側）に突出させることができる。この結果、ピストンロッド先端に固定されているテーブルクランプ座９１が移動テーブル４の表面４０１から離れて、移動テーブル４がアンクランプ状態になる。図３にはこの状態を示してある。
【００３４】
油圧を解除すると、皿ばね８５のばね力によってピストン８２は下方（固定テーブル裏面側）に押し込まれる。この結果、ピストンロッド先端のテーブルクランプ座９１の端面９１ａが移動テーブル表面４０１に押し付けられて、移動テーブル４のクランプ状態が形成される。
【００３５】
ここで、油圧室８８に加える油圧量を調整することにより、ピストンロッド先端のテーブルクランプ座９１による移動テーブル４のクランプ力を調整できる。本例では、後述のように、移動テーブル４を移動可能な程度のクランプ力で拘束した仮クランプ状態を形成可能となっている。
【００３６】
次に、図４はテーブル位置決め装置１の制御系の概略ブロック図である。この図に示すように、制御系は、マイクロコンピュータからなる制御装置１００を中心に構成されている。各サーボ駆動機構５Ａないし５Ｃは、制御装置１００の制御の下に、３軸コントロールボード１０１および各ドライバ１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃを介して駆動制御される。ここで、制御装置１００では、そのＲＯＭに格納されている制御プログラムに従って、各位置センサ６Ａないし６Ｃからの位置情報に基づき、移動テーブル４を外部から設定される目標位置に位置決め制御する。
【００３７】
図５は、移動テーブル４の位置決め動作を示す概略フローチャートである。このフローチャートに従って説明すると、外部から移動テーブルを所定の目標位置に位置決めさせるための指令が入力されると（ステップＳＴ１）、各クランプ機構８Ａないし８Ｄの油圧室８８に油圧を供給して、移動テーブル４をアンクランプ状態にする（ステップＳＴ２）。この結果、移動テーブル４は各サーボ駆動機構５Ａないし５Ｃによって基準平面３上を移動可能になる。
【００３８】
この後は、３組のサーボ駆動機構５Ａないし５Ｃを駆動して、移動テーブル４を目標位置に向けて移動させる（ステップＳＴ３）。移動テーブル４が目標位置に至ったことが、３組の位置センサ６Ａないし６Ｃにより検出されると、各サーボ駆動機構５Ａないし５Ｃに加えている油圧を徐々に低下させる（ステップＳＴ４、５）。詳しくは、各位置センサ６Ａないし６Ｃのフィードバック信号を合成し、得られた合成信号と、外部から入力された位置指令信号との誤差あるいは偏差を求め、当該誤差が予め定めた値以下になると、油圧を徐々に低下させる。この結果、移動テーブル４は、アンクランプ状態から、その移動が完全に阻止される大きなクランプ力が作用する本クランプ状態に向けて徐々に移行していく。
【００３９】
このような仮クランプ状態においても、各位置センサ６Ａないし６Ｃからフィードバックされる位置情報に基づき、各サーボ駆動機構５Ａないし５Ｃが駆動されて、移動テーブル４を目標位置から位置ずれすることのないように、位置決め制御が継続される（ステップＳＴ６）。最終的に、移動テーブル４は目標位置に精度良く位置決めされ、本クランプ状態となる（ステップＳＴ７）。
【００４０】
このように、本例では、徐々に移動テーブル４に加えるクランプ力を増加させながら、移動テーブル４の位置決めを行っている。従って、移動テーブル４が完全にクランプされた状態においては、当該移動テーブル４は位置ずれすることなく、精度良く目標位置に位置決めされた状態になる。よって、従来のように、移動テーブルに加えるクランプ力によって当該移動テーブルが目標位置から僅かにずれてしまい、精度の高い位置決めができないという弊害を解消できる。
【００４１】
また、本例のサーボ駆動機構５Ａないし５Ｃは、回転カム式のものを３組用いて、移動テーブル４を基準平面３上において移動あるいは回転させることができるようにしている。また、それぞれのサーボ駆動機構５Ａないし５Ｃによる移動テーブル４の移動量を位置センサ６Ａないし６Ｃによりフィードバックさせるようにしている。従って、本例によれば、従来のようなＸ軸ステージおよびＹ軸ステージが積層された構造のステージ機構、各ステージをプッシュロッド等の直動機構によって直線移動させる機構に比べて、小型かつ廉価な構造で、しかも、精度良く移動テーブルの位置決め動作を行わせることができる。
【００４２】
これに加えて、本例のクランプ機構８Ａないし８Ｄはストローク量が僅かであり、クランプ時の移動テーブル４の位置ずれが起こりにくいという利点がある。また、クランプ力を増減することが簡単にできるという利点もある。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のテーブル位置決め装置では、移動テーブルが目標位置に至った後に当該移動テーブルをクランプするのではなく、目標位置あるいはその近傍に至った位置から、移動テーブルを仮クランプ状態にし、この状態で、移動テーブルを目標位置に到るように微少移動、あるいは目標位置からずれないように位置決め制御を行っている。
【００４４】
従って、移動テーブルにクランプ力を加える際に発生する当該移動テーブルの位置ずれを回避あるいは抑制できる。よって、精度の高い位置決めを実現できる。
【００４５】
また、本発明では、少なくとも３組の回転カム式のテーブル移動機構を用いると共に、各テーブル移動機構によるテーブル移動量をフィードバックしているので、小型で廉価なテーブル位置決め装置を実現できる。
【００４６】
さらに、本発明のクランプ機構は、弾性力によってピストンロッドを移動テーブルに押し付けることによりクランプ状態を形成し、油圧を加えることにより当該クランプ状態をアンクランプ状態に切り換えるようにしている。また、ピストンロッドのストロークを微少としてある。従って、移動テーブルの仮クランプ状態を簡単に形成でき、しかも、クランプ時における移動テーブルの位置ずれが起こりにくいという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明を適用したテーブル位置決め装置の平面構成図である。
【図２】
図１の装置のサーボ駆動機構を示す側面図、上面図および回転カムの回転角に対するテーブル接触点のストロークを示すグラフである。
【図３】
図１の装置におけるクランプ機構を示す縦断面図である。
【図４】
図１の装置の制御系を示す概略ブロック図である。
【図５】
図１の装置におけるテーブル位置決め動作の概略フローチャートである。
【符号の説明】
１  テーブル位置決め装置
２  固定テーブル
３  基準平面
４  移動テーブル
４ａないし４ｄ  テーブル側面
４１  貫通孔
４０１  テーブル表面
５Ａないし５Ｃ  サーボ駆動機構
５４Ａないし５４Ｃ  回転カム円盤
５５Ａないし５５Ｃ  接触点
６Ａないし６Ｃ  位置センサ
７Ａないし７Ｃ  プリロード機構
８Ａないし８Ｄ  クランプ機構
８２  ピストン
８４  ビストンロッド
８５  皿ばね
８８  油圧室
９１  テーブルクランプ座
１００  制御装置
１０１  ３軸コントロールボード
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2001116868.tif 000001
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2001116868.tif 000002
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2001116868.tif 000003
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2001116868.tif 000004