【手続補正書】
【提出日】平成18年10月4日(2006.10.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の間隔を設けて配置された複数の駆動電極が設けられた固定基板と、
この固定基板に対向して配置され、少なくとも、永久的に電気分極状態
とすることにより固定電荷を保持させるようにする加工処理であるエレ
クトレット加工が施された薄葉体で構成される移動子と、
この移動子に印加する電圧を変化させることにより、上記エレクトレッ
ト加工によって上記移動子に生じる固定電荷に作用させる静電気力を変
化させ、この静電気力により上記移動子を移動させて遮光するように制
御する駆動制御手段と、
を具備することを特徴とするシャッタ装置。
【請求項２】
上記移動子は、上記エレクトレット加工が施された薄葉体に更に薄型か
つ軽量の遮光膜が積層されて構成されることを特徴とする請求項１に記
載のシャッタ装置。
【請求項３】
上記移動子は、上記薄型かつ軽量の遮光膜に更に光を吸収する吸収部材
が積層されて構成されることを特徴とする請求項２に記載のシャッタ装置。
【請求項４】
上記薄型かつ軽量の遮光膜は、金属膜であることを特徴とする請求項２
又は請求項３に記載のシャッタ装置。
【請求項５】
上記移動子は、上記エレクトレット加工が施された薄葉体に更に上記エ
レクトレット加工が施された薄葉体よりも弾性率の大きな部材が積層さ
れて構成されることを特徴とする請求項１に記載のシャッタ装置。
【請求項６】
上記移動子は、局所的にエレクトレット加工が施されている薄葉体で構
成されることを特徴とする請求項１に記載のシャッタ装置。
【請求項７】
上記局所的にエレクトレット加工が施されている薄葉体は、所定の周期で
帯状にエレクトレット加工が施されている薄葉体であり、
上記固定基板は、上記所定の周期と同等若しくは上記所定の周期の整数
倍の周期で上記複数の駆動電極が帯状に設けられていることを特徴とす
る請求項６に記載のシャッタ装置。
【請求項８】
上記固定基板は、移動子の移動開始位置から所定の位置までの初動領域と
上記初動領域以外の駆動領域との２つの領域を有することを特徴とする
請求項１に記載のシャッタ装置。
【請求項９】
上記固定基板は、上記初動領域においては、第１のピッチ間隔で上記複数
の駆動電極が設けられており、
上記駆動領域においては、上記第１のピッチ間隔よりも広い第２のピッチ
間隔で上記複数の駆動電極が設けられていることを特徴とする請求項８に
記載のシャッタ装置。
【請求項１０】
上記固定基板は、上記初動領域においては、上記複数の駆動電極の幅が
それぞれ第１の幅であり、上記駆動領域においては、上記複数の駆動電極
の幅が上記第１の幅よりも広い第２の幅であることを特徴とする請求項９
に記載のシャッタ装置。
【請求項１１】
上記複数の駆動電極は、上記移動子の移動方向に対して垂直に、かつ所定
のピッチ間隔で上記固定基板に設けられており、
上記複数の駆動電極の総面積は、上記固定基板の上記複数の駆動電極が
設けられている面において、ほぼ最大の面積であることを特徴とする請求
項１に記載のシャッタ装置。
【請求項１２】
上記固定基板には、光を通過させる開口が更に設けられており、
上記複数の駆動電極は、上記固定基板の上記開口が設けられている位置
以外の位置に設けられていることを特徴とする請求項１１に記載のシャッ
タ装置。
【請求項１３】
上記駆動制御手段は、上記移動子の初動時においては上記移動子に印加
する電圧の周波数を所定の周波数より低い周波数とし、上記移動子の移動
とともに上記電圧の周波数を上記所定の周波数まで高くすることを特徴
とする請求項１ に記載のシャッタ機構。
【請求項１４】
上記駆動制御手段は、当該シャッタ装置の電源投入時に上記移動子の位置
を所定位置に移動させることを更に行うことを特徴とする請求項１に記載
のシャッタ装置。
【請求項１５】
上記固定基板上における、上記移動子の上記所定位置に対応する位置に
設けられた駆動電極には、電気容量の変化を検出する容量センサ手段が
接続されていることを特徴とする請求項１４に記載のシャッタ装置。
【請求項１６】
少なくとも上記移動子は、封止部材によって封止されて
いることを特徴とする請求項１に記載のシャッタ装置。
【請求項１７】
第１の所定の間隔を設けて配置された複数の駆動電極が設けられた第１
の固定基板と、この第１の固定基板に対向して配置された少なくともエ
レクトレット加工が施された薄葉体を含む第１の移動子とを有する第１の
シャッタ装置と、第２の所定の間隔を設けて配置された複数の駆動電極が
設けられた第２の固定基板と、
この第２の固定基板に対向して配置された少なくともエレクトレット加工
が施された薄葉体を含む第２の移動子とを有する第２のシャッタ装置と、
を具備し、上記第１のシャッタ装置の上記第１の移動子を先幕とし、上記
第２のシャッタ装置の上記第２の移動子を後幕としたフォーカルプレンシ
ャッタを構成することを特徴とするシャッタ装置。
【請求項１８】
上記先幕と上記後幕を共に同位相で駆動させる駆動制御手段を更に具備
することを特徴とする請求項１７に記載のシャッタ装置。
【請求項１９】
少なくとも上記第１の移動子及び上記第２の移動子は、封止部材によって
封止されていることを特徴とする請求項１７に記載のシャッタ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記の目的を達成するために、本発明の第１の態様によるシャッタ装置は、所定の間隔を設けて配置された複数の駆動電極が設けられた固定基板と、この固定基板に対向して配置され、少なくとも、永久的に電気分極状態とすることにより固定電荷を保持させるようにする加工処理であるエレクトレット加工が施された薄葉体を含む移動子と、この移動子に印加する電圧を変化させることにより、上記エレクトレット加工によって上記移動子に生じる固定電荷に作用させる静電気力を変化させ、この静電気力により上記移動子を移動させて遮光するように制御する駆動制御手段とを具備する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、上記の目的を達成するために、本発明の第８の態様によるシャッタ装置は、第１の態様において、上記固定基板は、上記移動子の移動開始位置から所定位置までの初動領域と上記初動領域以外の駆動領域との２つの領域を有する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、上記の目的を達成するために、本発明の第９の態様によるシャッタ装置は、第８の態様において、上記固定基板は、上記初動領域においては、第１のピッチ間隔で上記複数の駆動電極が設けられており、上記駆動領域においては、上記第１のピッチ間隔よりも広い第２のピッチ間隔で上記複数の駆動電極が設けられている。また、駆動電極に一定の周波数の電圧を印加して移動子を駆動させる場合、移動子が動き始めるときの電圧の周波数が高いと、移動子の実際の駆動が間に合わず移動子が脱調してしまう。第９の態様においては、この脱調を防ぐことができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、上記の目的を達成するために、本発明の第１０の態様によるシャッタ装置は、第９の態様において、上記固定基板は、上記初動領域においては、上記複数の駆動電極の幅がそれぞれ第１の幅であり、上記駆動領域においては、上記複数の駆動電極の幅が上記第１の幅よりも広い第２の幅である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
この第１０の態様においては、全ての駆動電極の幅を等しくせず、初動領域における駆動電極の幅を、駆動電極のピッチ間隔と共に狭くすることによって、初動領域での駆動電極のピッチ間隔をより狭くできる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、上記の目的を達成するために、本発明の第１１の態様によるシャッタ装置は、第１の態様において、上記複数の駆動電極は、上記移動子の移動方向に対して垂直に、かつ所定のピッチ間隔で上記固定基板に設けられており、上記複数の駆動電極の総面積は、上記固定基板の上記複数の駆動電極が設けられている面において、ほぼ最大の面積である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
この第１１の態様においては、固定基板上に設ける複数の駆動電極の総面積が、ほぼ最大となるように複数の駆動電極を設けることにより、移動子の駆動力をより大きくすることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、上記の目的を達成するために、本発明の第１２の態様によるシャッタ装置は、第１１の態様において、上記固定基板には、光を通過させる開口が更に設けられており、上記複数の駆動電極は、上記固定基板の上記開口が設けられている位置以外の位置に設けられている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
この第１２の態様においては、固定基板に光が透過する開口を設けた場合に、この開口以外の領域の駆動電極の面積を大きくとることにより、初動時においては、移動子が開口部を通過しているときよりも駆動に必要な静電気力を発生させる駆動電極領域が広くなる。このため、移動子の初動時に大きな駆動力を得ることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
また、上記の目的を達成するために、本発明の第１３の態様によるシャッタ装置は、第１の態様において、上記駆動制御手段は、上記移動子の初動時においては上記移動子に印加する電圧の周波数を所定の周波数より低い周波数とし、上記移動子の移動とともに上記電圧の周波数を上記所定の周波数まで高くする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
この第１３の態様においては、移動子の初動時には、低周波で駆動させることによって、移動子の脱調を防ぐことができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、上記の目的を達成するために、本発明の第１４の態様によるシャッタ装置は、第１の態様において、上記駆動制御手段は、当該シャッタ装置の電源投入時に上記移動子の位置を所定位置に移動させることを更に行う。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
この第１４の態様においては、電源投入時に常に所定位置に移動子を移動させることによって、移動子の制御性をあげることができると共に、この所定位置から駆動することにより、駆動の効率を増加させることができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
また、上記の目的を達成するために、本発明の第１５の態様によるシャッタ装置は、第１４の態様において、上記固定基板上における、上記移動子の上記所定位置に対応する位置に設けられた駆動電極には、電気容量の変化を検出する容量センサ手段が接続されている。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
この第１５の態様においては、駆動電極と移動子との間の電気容量の変化を検出することによって、移動子の位置検出を行うことができるので、電源投入時に移動子を所定位置に正確に移動させることができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
また、上記の目的を達成するために、本発明の第１６の態様によるシャッタ装置は、第１の態様において、少なくとも上記移動子は、封止部材によって封止されている。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
この第１６の態様においては、移動子が封止された構造により、エレクトレット加工が施された薄葉体が、湿度や温度等の影響を受けることを防ぐことができる。これにより、移動子の駆動の際に湿度や温度によって駆動力が小さくなることを防止することができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、上記の目的を達成するために、本発明の第１７の態様によるシャッタ装置は、第１の所定の間隔を設けて配置された複数の駆動電極が設けられた第１の固定基板と、この第１の固定基板に対向して配置された少なくともエレクトレット加工が施された薄葉体で構成される第１の移動子とを有する第１のシャッタ装置と、第２の所定の間隔を設けて配置された複数の駆動電極が設けられた第２の固定基板と、この第２の固定基板に対向して配置された少なくともエレクトレット加工が施された薄葉体を含む第２の移動子とを有する第２のシャッタ装置とを具備し、上記第１のシャッタ装置の上記第１の移動子を先幕とし、上記第２のシャッタ装置の上記第２の移動子を後幕としたフォーカルプレンシャッタ
を構成する。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
この第１７の態様においては、薄型で低電圧駆動可能なフォーカルプレンシャッタ装置を構成することができる。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また、上記の目的を達成するために、本発明の第１８の態様によるシャッタ装置は、第１７の態様において、上記先幕と上記後幕を共に同位相で駆動させる駆動制御手段を更に具備する。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
この第１８の態様においては、２つの移動子の駆動電圧を同位相で駆動させることにより、露光ムラを防ぐことができる。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
また、上記の目的を達成するために、本発明の第１９の態様によるシャッタ装置は、第１７の態様において、少なくとも上記第１の移動子及び上記第２の移動子は、封止部材によって封止されている。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
この第１９の態様においては、第１の移動子及び第２の移動子の駆動の際に、湿度や温度によって駆動力が小さくなることを防止することができる。