(57)【要約】【課題】  本考案のウェハーテストカードはあらゆるウェハーのダイスを電気的に試験することに応用することができる。【解決手段】  基板を含み、且つ前記基板に弾性の緩衝作用を持つ導電スプリング或いは導電スプリング針を複数有し、前記基板にテスト回路を有し、各導電スプリング或いは導電スプリング針は前記基板のテスト回路と電気的に接続すると共に、ウェハーテストカードのウェハーテストインタフェースを構成する。ウェハーテストを行う際に、ダイスが設置されるタッチパッドの高さが不均一であっても、ウェハーテストカードの導電スプリング或いは導電スプリング針はダイスのタッチパッドに確実に接触するので、それゆえ、好ましく安定した電気テストの結果を得ることができると共に、判断上の誤差を発生しないようにすることができる。【選択図】      図８
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
基板を含み、前記基板にテスト回路が設置されているウェハーテストカードであって、
前記基板の下端に複数個の導電スプリングを有し、前記基板のテスト回路に電気的に接続し、各導電スプリングにより構成されるウェハーテストカードダイスの接続パッドのテストプローブに接触することを特徴とするウェハーテストカード。
【請求項２】
基板を含み、前記基板にテスト回路が設置されているウェハーテストカードであって、前記基板に複数個の魚眼ピンホールを有する共に、各ピンホールには導電スプリング針を有し、前記導電スプリング針は一体となったスプリング部とピンを有し、且つ各導電スプリング針のスプリング部はそれに対応する魚眼ピンホール内部に嵌め込まれており、前記基板のテスト回路に電気的に接続し、各導電スプリング針のピン部はそれに対応する魚眼ピンホールから外部に伸びて自由エッジを形成し、導電スプリング針のスプリング部は弾性を有するため緩衝作用を有することを特徴とするウェハーテストカード。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案はウェハーテストカードに関し、特に導電スプリングによるウェハーテストインタフェースのウェハーテストカードを指す。
【背景技術】
【０００２】
ウェハーテストの目的は、例えば、図１の示すウェハー５０上のそれぞれのダイス６０に対して電気的テストを行い、ウェハー５０上のダイス６０の不合格品を取り除くことである。ウェハーテストの既存の技術は、現在の技術の内、ウェハープローブカードのプローブを用いてダイス上のタッチパッドに突き刺し電気的に接触させ、更にプローブの測定するテスト信号を自動テスト設備（ＡＴＥ）に送り分析、判断を行い、ウェハー上の各ダイスの電気テストの結果を得る。
【０００３】
ウェハープローブの既存構造の内の一つは、例えば、図２の示すカートリッジ式プローブカード１０であり、基板１１、基板１１の下部に接続する接続板１２、接続板１２上に複数設置されているカートリッジ式プローブ１３により構成されている。ウェハーテストを行う際、これらのカートリッジ式プローブカード１０は、可撓性（かとうせい、たわみフレキシビリティー）を有するカートリッジ式プローブ１３とダイス６０上のタッチパッド６１により電気的に接触し、それにより各ダイス６０の電気的テストを行うのに応用することができる。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、これらのカートリッジ式プローブカード１０には以下の欠点がある。
【０００５】
第一に、カートリッジ式プローブカード１０のカートリッジ式プローブ１３は金属線により作られており、かつそれは手製の装飾針によるもので、そのため各カートリッジ式プローブ１３の針の先端の平面度の差は大きく、同じ水平面上に保つことが難しい。
【０００６】
第二に、カートリッジ式プローブカード１０のカートリッジ式プローブ１３は角度を持って延び広がるカートリッジであり、そのためカートリッジ式プローブカード１０に設置するカートリッジ式プローブ１３の総数量には制限がある。そこで、ウェハーテストを行う際、カートリッジ式プローブカード１０はあらゆるウェハーの有するダイスに対して、電気的テストをバッチに行わねばならず、あらゆるウェハーの有するダイスに対して、一度に同時に電気的テストを行うことはできない。
【０００７】
第三に、カートリッジ式プローブカード１０の各カートリッジ式プローブ１３の針の先端の平面度の差が大きいため、ウェハーテストを行う際、各カートリッジ式プローブ１３の張りの先端がダイスのタッチパッド(pad)に突き刺さる針の深さが異なり、判断上の誤差が生じやすく、ひいてはダイスのタッチパッド(pad)が受ける圧力が大きすぎるために壊れてしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
既存のカートリッジ式プローブカードの欠点を克服するため、本考案の主な目的は、ウェハーテストカードがあらゆるウェハーのダイスを一度に同時に電気的に試験することに応用することができることを示すことであり、その構造は、基板と前記基板の下部に接続する導電弾性スプリングにより構成され、その内、前記基板にテスト回路を有し、かつ設置された導電スプリングは対応するウェハーのダイスのタッチパッドの位置により前記基板の印刷テスト回路と電気的に接続すると共に、ウェハーテストカードの各導電スプリングがウェハーテストカードのテストプローブを構成する。ウェハーテストを行う際に、前述のウェハーテストカードは導電スプリングをウェハーテストインタフェースとし、ダイス上のタッチパッドに接触し、ダイスの電気的特性をテストすることができ、たとえダイスが有するタッチパッドの高さが異なっても、導電スプリングの弾性クッション効果により、ダイスのタッチパッドに確実に接触することができるので、判断上の誤差を発生せず、それゆえ、ウェハーテストを行う際、好ましく安定した電気テストの結果を得ることができる。
【０００９】
本考案のもう一つの主な目的は、ウェハーテストカードを提供することで、その構造は基板を含み、前記基板にテスト回路が設置されており、前記基板に複数個の魚眼ピンホール、導電スプリング針を有している。前記導電スプリング針は一体となったスプリング部とピン部を有し、且つ各導電スプリング針のスプリング部はそれに対応する魚眼ピンホール内部に嵌め込まれており、かつ前記基板のテスト回路に電気的に接続している。各導電スプリング針のピン部はそれに対応する魚眼ピンホールから外部に伸びて自由エッジを形成し、導電スプリング針のスプリング部により弾性の緩衝作用を有する。ウェハーテストを行う際、ウェハーテストカードの導電スプリング針のピン部が弾性の緩衝作用を有するため、導電スプリング針のピン部はダイスのタッチパッドに確実に接触することができるので、特にうまく電気的に接触し、ウェハーテストの判断上好ましく安定した電気テストの結果を得ることができ、またダイスのタッチパッドが受ける圧力が大きすぎるために壊れてしまうということがない。
【考案の効果】
【００１０】
本考案の示すウェハーテストカード２０には二種類の具体的実施例があり、あらゆるウェハーのダイスに対して電気的テストを行うことができ、特にあらゆるウェハーの有するダイスに対して一度に同時に電気的テストを行うことができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１１】
第一の具体的実施例の示すウェハーテストカード２０は、図３、図４の示すように、基板３０と前記基板３０の下部に設置された導電スプリング４０を含む。その内、前述の基盤３０はテスト回路（図は省略）を有し、電気的テストのウェハー上のダイスに応用することができる。
【００１２】
図４と図５が示すように、基板３０の下部に設置された各導電スプリング４０は台頭するウェハー上の各ダイス６０のタッチパッド６１の位置により前記基板３０のテスト回路（図は省略）と電気的に接続し、かつ各導電スプリング４０は導電を有し、弾性クッション効果を有する。そのため、ウェハーテストを行う際、本考案のウェハーテストカード２０は導電スプリング４０をウェハーテストのインターフェイスとし、あらゆるウェハーのダイス６０に対して一度に同時に電気的テストを行うことができる。
【００１３】
図５が示すように、ウェハーテストを行う際、本考案のウェハーテストカード２０は対応する各導電スプリング４０により各ダイス６０上の各タッチパッド６１に接触し、かつ電気接触を行い、更に測定したテスト信号を前述の基板３０のテスト回路によって自動テスト設備（ＡＴＥ）に送り分析、判断を行い、各ダイス６０の電気テストの結果を得る。
【００１４】
特に、ウェハーテストを行う際に、ダイス６０が有するタッチパッド６１の高さが異なっても、本考案のウェハーテストカード２０の導電スプリング４０の弾性クッション効果により、本考案のウェハーテストカード２０の導電スプリング４０はダイス６０のタッチパッド６１に確実に接触することができるので、優れて電気的に接触し、ウェハーテストを行う際、好ましく安定した電気テストの結果を得ることができ、ダイス６０のタッチパッド６１が受ける圧力が大きすぎるために壊れてしまうということがない。
【００１５】
第二の具体的実施例の示すウェハーテストカード７０は、図６、図７の示すように、基板８０一つと導電スプリング針９０を複数個含む。その内、上述の基板８０はテスト回路（図は省略）を有し、ウェハーテストのウェハー上のダイスに応用できる。
【００１６】
図７と図８が示すのは、前記基板８０に複数個の魚眼ピンホール８５を有する共に、設置された各魚眼ピンホール８５の位置は、あらゆるウェハー上の各ダイス６０のタッチパッド６１に対応する。
【００１７】
各導電スプリング針９０は導電を有し、一体となったスプリング部９１とピン部９５を有する。各導電スプリング針９０のスプリング部９１は基板８０の魚眼ピンホール８５内部に嵌め込まれており、また前記基板８０のテスト回路（図は省略）に電気的に接続する。また、各導電スプリング針９０のピン部９５は、基板８０の魚眼ピンホール８５から外部に伸びて自由エッジを形成し、かつ基板８０の魚眼ピンホール８５内部に嵌め込まれており、弾性の緩衝作用を有する。
【００１８】
そこで、ウェハーテストを行う際、本考案のウェハーテストカード７０は導電スプリング９０をウェハーテストのインターフェイスとし、あらゆるウェハーのダイス６０に対して一度に同時に電気的テストを行うことができる。
【００１９】
図８が示すのは、ウェハーテストを行う際、本考案のウェハーテストカード７０は対応する各導電スプリング針９０のピン部９５が各ダイス６０上の各タッチパッド６１に接触し、かつ電気接触を行い、更に測定したテスト信号を前述の基板７０のテスト回路によって自動テスト設備（ＡＴＥ）に送り分析、判断を行い、各ダイス６０の電気テストの結果を得る。
【００２０】
ウェハーテストを行う際に、ダイス６０が有するタッチパッド６１の高さが異なっても、本考案のウェハーテストカード７０の導電スプリング針９０のピン部９５の弾性クッション効果により、本考案のウェハーテストカード２０の導電スプリング針９０のピン部９５はダイス６０のタッチパッド６１に確実に接触することができるので、優れて電気的に接触し、ウェハーテストを行う際、好ましく安定した電気テストの結果を得ることができ、ダイス６０のタッチパッド６１が受ける圧力が大きすぎるために壊れてしまうということがない。
【００２１】
以上に提示した内容は、本考案の好ましい具体的実施例であり、どれも本考案の創作目的と達成なしうる効果を示したもので、あらゆる同等の効果や装飾を含み、かつこの分野に精通した技術者が成し得る簡単な改善、修飾、改良、変化などはすべて本考案の主張する特許申請範囲に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】ウェハーの既存の構造概略図である。
【図２】既存のカートリッジ式プローブカードの構造概略図であり、これらのカートリッジ式プローブがウェハーテストを行う際テスト誤差が発生しやすいことを説明する。
【図３】本考案のウェハーテストカードの第一の具体的実施例の構造概略図である。
【図４】図３の４−４断面線の断面構造部分拡大図である。
【図５】図３の示すウェハーテストカードを使用したウェハー上のダイスに対して電気的テストを行う断面構造部分拡大図である。
【図６】本考案のウェハーテストカードの第二の具体的実施例の構造概略図である。
【図７】図６の７−７断面線の断面構造部分拡大図である。
【図８】図６の示すウェハーテストカードを使用したウェハー上のダイスに対して電気的テストを行う断面構造部分拡大図である。
【符号の説明】
【００２３】
１０  カートリッジ式プローブ
１１  基板
１２  接続板
１３  カートリッジ式プローブ
２０  ウェハーテストカード
３０  基板
４０  導電弾性スプリング
５０  ウェハー
６０  ダイス
６１  タッチパッド
７０  ウェハーテストカード
８０  基板
８５  魚眼ピンホール
９０  導電弾性スプリング針
９１  弾性スプリング部
９５  ピン部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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