【事件の表示】
　平成４年特許願第３０３５７９号「製造工程管理システム」拒絶査定に対する審判事件［平成５年８月２７日出願公開、特開平５−２１６８９６］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯、本願発明
　本願は、特許法第４１条に基づく優先権主張を伴う平成４年１１月１３日（優先日、平成３年１１月１４日）の出願であって、その請求項１に係る発明は、平成１２年１２月２１日に補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。
　「【請求項１】製造工程情報と当該製造工程情報に対応するシミュレーション情報との対応関係を保持するコード変換テーブルと、
　当該コード変換テーブルを参照して、製造工程情報を対応するシミュレーション情報に変換するデータ変換部と、
　製造装置のレシピ情報から製造処理に関する物理量が記述されたレシピデータファイルを自動生成するレシピ情報変換部と、
　自動生成されたレシピデータファイルを参照して、前記シミュレーション情報に対してシミュレーション用の前記製造装置のレシピ情報を自動的に付加するレシピ情報付加部と、
　当該レシピ情報付加部によってシミュレーション用のレシピ情報が付加されたシミュレーション情報を用いてシミュレーションを実行するシミュレータと
を具備することを特徴とする製造工程管理システム。」
　
２．引用例
　これに対して、当審における拒絶の理由に引用された特開昭６３−２４９３２８号公報（以下、「引用例１」という。）の、「ＬＳＩを製造するためのウェハプロセスの流れ（プロセスフロー）としてあらかじめ設定された予定プロセスが、データベース１５に蓄積されている。ウェハ処理が開始されると、このプロセスフローがワークステーション１３のＣＲＴに表示され、人手あるいは装置制御ＣＰＵ１２を介して製造装置１１ａ…に直接レシピーが入力される。製造装置１１ａ…はこのレシピーに従って動作する。この時に製造装置１１ａが本当にどのような条件（プロセスデータ）で稼働したかを…データベース１５に蓄積する。…その結果ウェハプロセスに関するデータが該データベースに蓄積されることになる。」（第３頁右上欄末行〜同頁左下欄第１６行）、「シミュレーションシステム３０では、まず初めに処理管理システム１０のプロセスデータをＬＡＮで受信し、その内容をシミュレーションし、現実のプロセスを再現する。この時、ある１つのロットを考えると、処理が終了した工程に関しては現実の処理データを使用し、まだ処理されていない工程に関しては予定されている処理データを用いる。」（第３頁右下欄第７〜１４行）及び第１図の記載からみて、引用例１には、
　処理管理システム１０を構成する半導体製造工程ラインの製造装置１１ａが処理動作するための処理データ（予定プロセス及びレシピー）及び現実の処理データをそれらが蓄積された処理管理システム１０のデータベース１５から受信し、処理が終了した工程に関しては現実の処理データを使用し、まだ処理されていない工程に関しては製造装置１１ａが処理動作するための処理データを使用して、その処理内容をシミュレーションし、現実のプロセスを再現するシミュレーションシステム３０を具備する半導体製造システム
が記載されていると認められる。
　同じく引用された特開平１−２５７３３３号公報（以下、「引用例２」という。）の、「拡散炉システム２において拡散炉２６内での熱処理を実行する場合、与えられたレシピ番号に対応するシーケンスに基づく処理を行うが、…各レシピにおける基準値に、任意に設定し得る変数値を付加することがある。これは、例えば第９図に示した熱処理シーケンスの…如きものである。」（第３頁左上欄第１〜１１行）、「工程管理コンピュータ５では、所定のアルゴリズムにより当該バッチの処理されるべき洗浄レシピ番号、熱処理レシピ番号、使用拡散炉番号、及び各レシピにおける変数の有無、更に変数ありの場合にはその変数値をモジュール管理コンピュータ６へ送信する。」（第３頁右下欄第１３〜１８行）、「モジュール管理コンピュータ６は、当該バッチの変更された変数値を、同バッチに関する熱処理レシピ番号、洗浄レシピ番号、使用拡散炉番号と併せて登録管理し（Ｓ−１１）、洗浄機システムコントローラ７に対して移動開始を指示する（Ｓ−１２）。」（第４頁左上欄第１２〜１７行）、「洗浄機システムコントローラ７は、この指示を受信した後、指示に含まれている洗浄レシピ番号に基づくロットの洗浄処理と一定の搬送処理を実施する。」（第４頁右上欄第３〜６行）及び第１〜３、８、９図の記載からみて、引用例２には、
　半導体製造（洗浄及び熱処理）システム制御方法において、バッチに関する熱処理レシピ番号、洗浄レシピ番号、使用拡散炉番号と併せて当該バッチの変更された変数値をモジュール管理コンピュータ６で登録管理し、システムコントローラ７、８が前記モジュール管理コンピュータ６からの指示を受けて、予め記憶するレシピから前記指示に含まれているレシピ番号に対応したレシピを読出し、前記指示に含まれている情報（変数値）とレシピの情報とを合成した情報を用いて製造処理を実施すること
が記載されていると認められる。
　
３．本願請求項１に係る発明と引用例１に記載された発明との対比
　本願請求項１に係る発明（以下、「前者」という。）と引用例１に記載された発明（以下、「後者」という。）とを対比すると、後者の「処理管理システム１０のデータベース１５に蓄積された半導体製造工程ラインの製造装置１１ａが処理動作するための処理データ（予定プロセス及びレシピー）」、「シミュレーションシステム３０が受信した製造装置１１ａが処理動作するための処理データ」、「シミュレーションシステム３０」、「半導体製造システム」は、その機能からみて、前者の「製造工程情報」、「シミュレーション情報」、「シミュレータ」、「製造工程管理システム」にそれぞれ相当しており、両者は、「製造工程情報から得られるシミュレーション情報を用いてシミュレーションを実行するシミュレータを具備する製造工程管理システム」である点で一致し、以下の点で相違している。
（１）前者は、製造工程情報と当該製造工程情報に対応するシミュレーション情報との対応関係を保持するコード変換テーブルと、当該コード変換テーブルを参照して、製造工程情報を対応するシミュレーション情報に変換するデータ変換部とを具備しているのに対して、後者は、そのようなコード変換テーブルとデータ変換部とを具備していない点。
（２）前者は、製造装置のレシピ情報から製造処理に関する物理量が記述されたレシピデータファイルを自動生成するレシピ情報変換部と、自動生成されたレシピデータファイルを参照して、前記シミュレーション情報に対してシミュレーション用の前記製造装置のレシピ情報を自動的に付加するレシピ情報付加部とを具備し、当該レシピ情報付加部によってシミュレーション用のレシピ情報が付加されたシミュレーション情報を用いているのに対して、後者は、予定プロセスとレシピーとが個別にデータベース１５に蓄積されるものか不明であり、前者のようなレシピ情報変換部とレシピ情報付加部とを具備していない点。
　
４．当審の判断
　相違点（１）について検討する。
　情報処理において、ある形式で記述された情報を利用側に適合する記述形式の情報に変換して利用することが周知であり、また、情報を変換テーブルを用いて変換することも慣用手段であるから、後者において、前者のようなコード変換テーブルとデータ変換部とを用いて記述コードを変換するようにすることは、当業者が必要に応じて適宜になし得たことである。
　相違点（２）について検討する。
　引用例２に、半導体製造システム制御方法において、レシピ情報を予め記憶しておき、入力された製造工程情報（受けた指示）に前記レシピ情報を合成し、合成した情報を処理に用いることが記載されており、処理のための情報の中で予め定められており（変更が予定されない）入手可能な情報を入手し予め記憶しておくことは、半導体製造における処理に限らずシミュレーションの処理にも適用される事項であるから、上記引用例２に記載された技術事項を後者に適用して、製造装置のレシピ情報からシミュレーション用のレシピ情報を生成して予め記憶しておき、その後の製造工程情報から得られたシミュレーション情報に対してシミュレーション用のレシピ情報を付加し、付加されたシミュレーション情報を用いてシミュレーションを実行するようにすることは、当業者が容易になし得たことである。さらに、情報をデータファイルの形で記億することが慣用手段であるから、製造装置のレシピ情報からシミュレーション用のレシピ情報を生成して予め記憶する際に、製造装置のレシピ情報から製造処理に関する物理量が記述されたレシピデータファイルを自動生成するレシピ情報変換部を用いることも、適用に伴い当業者が適宜に採用し得た設計的事項にすぎない。
　そして、本願発明の効果は、引用例１、２に記載された発明及び周知の技術手段の効果から予測できた程度のものである。
　
５．まとめ
　以上のとおりであるので、本願発明は、引用例１、２に記載された発明及び周知の技術手段に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。