【手続補正書】
【提出日】平成18年11月14日(2006.11.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
除振台上に搭載されたステージ及びカウンターマスのうち少なくともいずれか一方の駆動による振動を制振する能動制振装置であって、
前記ステージ及びカウンターマスを搭載する除振台と、
前記除振台を支持し、該除振台の姿勢を制御するための除振台制御部と、
前記ステージおよびカウンターマスのうち少なくともいずれか一方を駆動制御の対象として選択し、該選択された対象に応じた制御モードを設定する設定手段と、
前記設定手段により設定された制御モードに従い、前記選択された対象を駆動制御するための制御目標値を、前記除振台制御部に入力する制御入力切替手段と、
を備えることを特徴とする能動制振装置。
【請求項２】
前記制御入力切替手段は、前記ステージを単独に駆動する制御モードが設定された場合には、該ステージを駆動するための制御目標値を前記除振台制御部に入力するために第１切替器を制御して、前記ステージの駆動に対応した制御ループを接続することを特徴とする請求項１に記載の能動制振装置。
【請求項３】
前記制御入力切替手段は、前記カウンターマスを単独に駆動する制御モードが設定された場合には、該カウンターマスを駆動するための制御目標値を前記除振台制御部に入力するために第２切替器を制御して、前記カウンターマスの駆動に対応した制御ループを接続することを特徴とする請求項１に記載の能動制振装置。
【請求項４】
前記制御入力切替手段は、前記ステージおよびカウンターマスを独立に駆動する制御モードが設定された場合には、該ステージおよびカウンターマスを駆動するための制御目標値を前記除振台制御部に入力するために、前記第１及び第２切替器を制御して、前記ステージの駆動に対応した制御ループおよび前記カウンターマスの駆動に対応した制御ループを接続することを特徴とする請求項２または３に記載の能動制振装置。
【請求項５】
前記制御入力切替手段は、前記ステージおよびカウンターマスを連動して駆動する制御モードが設定された場合には、該ステージの制御目標値を該カウンターマスを駆動するための制御部に入力するために第３切替器を制御して、前記ステージとカウンターマスとを連動して駆動するための制御ループを接続し、
前記第１および第２切替器を制御して、前記除振台制御部との接続を分離することを特徴とする請求項２または３に記載の能動制振装置。
【請求項６】
前記除振台制御部は、前記ステージを単独に駆動させる制御モードが設定された場合には、
前記除振台を支持し、該除振台の姿勢を制御するための第１制御量と、
前記第１切替器を介して入力される制御目標値に従い、前記ステージの振動を制振するための第２制御量と、
を該除振台の駆動部に出力することを特徴とする請求項２に記載の能動制振装置。
【請求項７】
前記除振台制御部は、前記カウンターマスを単独に駆動させる制御モードが設定された場合には、
前記除振台を支持し、該除振台の姿勢を制御するための第１制御量と、
前記第２切替器を介して入力される制御目標値に従い、前記カウンターマスの振動を制振するための第３制御量と、
を該除振台の駆動部に出力することを特徴とする請求項３に記載の能動制振装置。
【請求項８】
前記除振台制御部は、前記ステージ及びカウンターマスを独立に駆動させる制御モードが設定された場合には、
前記除振台を支持し、該除振台の姿勢を制御するための第１制御量と、
前記第１切替器を介して入力される制御目標値に従い、前記ステージの振動を制振するための第２制御量と、
前記第２切替器を介して入力される制御目標値に従い、前記カウンターマスの振動を制振するための第３制御量と、
を該除振台の駆動部に出力することを特徴とする請求項２または３に記載の能動制振装置。
【請求項９】
前記ステージ及びカウンターマスの各制御目標値に対して、周波数特性を付加するためのフィルタを有し、
該フィルタを介した前記各制御目標値は、前記付加された周波数特性による周波数領域で、前記除振台制御部の伝達関数に積分特性を付加することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の能動制振装置。
【請求項１０】
前記除振台制御部は、前記ステージ及びカウンターマスのうち少なくともいずれか一方の並進運動に伴う制御目標値により、該除振台の回転方向の振動を制御することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の能動制振装置。
【請求項１１】
露光装置であって、
基板を保持し、所定の位置に駆動して、所定の位置に位置決めする基板ステージと、
前記基板ステージの駆動による励振を制振する請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の能動制振装置と、
前記基板にパターンを投影する投影光学系と、
を含むことを特徴とする露光装置。
【請求項１２】
デバイス製造方法であって、
基板に感光剤を塗布する工程と、
前記基板を請求項１１に記載の露光装置によって露光する工程と、
前記基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
すなわち、除振台上に搭載されたステージ及びカウンターマスのうち少なくともいずれか一方の駆動による振動を制振する能動制振装置は、
前記ステージ及びカウンターマスを搭載する除振台と、
前記除振台を支持し、該除振台の姿勢を制御するための除振台制御部と、
前記ステージおよびカウンターマスのうち少なくともいずれか一方を駆動制御の対象として選択し、該選択された対象に応じた制御モードを設定する設定手段と、
前記設定手段により設定された制御モードに従い、前記選択された対象を駆動制御するための制御目標値を、前記除振台制御部に入力する制御入力切替手段と、
を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記制御入力切替手段は、前記ステージを単独に駆動する制御モードが設定された場合には、該ステージを駆動するための制御目標値を前記除振台制御部に入力するために第１切替器を制御して、前記ステージの駆動に対応した制御ループを接続することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記制御入力切替手段は、前記カウンターマスを単独に駆動する制御モードが設定された場合には、該カウンターマスを駆動するための制御目標値を前記除振台制御部に入力するために第２切替器を制御して、前記カウンターマスの駆動に対応した制御ループを接続することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記制御入力切替手段は、前記ステージおよびカウンターマスを独立に駆動する制御モードが設定された場合には、該ステージおよびカウンターマスを駆動するための制御目標値を前記除振台制御部に入力するために、前記第１及び第２切替器を制御して、前記ステージの駆動に対応した制御ループおよび前記カウンターマスの駆動に対応した制御ループを接続することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記制御入力切替手段は、前記ステージおよびカウンターマスを連動して駆動する制御モードが設定された場合には、該ステージの制御目標値を該カウンターマスを駆動するための制御部に入力するために第３切替器を制御して、前記ステージとカウンターマスとを連動して駆動するための制御ループを接続し、前記第１および第２切替器を制御して、前記除振台制御部との接続を分離することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記除振台制御部は、前記ステージを単独に駆動させる制御モードが設定された場合には、
前記除振台を支持し、該除振台の姿勢を制御するための第１制御量と、
前記第１切替器を介して入力される制御目標値に従い、前記ステージの振動を制振するための第２制御量と、
を該除振台の駆動部に出力することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記除振台制御部は、前記カウンターマスを単独に駆動させる制御モードが設定された場合には、
前記除振台を支持し、該除振台の姿勢を制御するための第１制御量と、
前記第２切替器を介して入力される制御目標値に従い、前記カウンターマスの振動を制振するための第３制御量と、
を該除振台の駆動部に出力することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記除振台制御部は、前記ステージ及びカウンターマスを独立に駆動させる制御モードが設定された場合には、
前記除振台を支持し、該除振台の姿勢を制御するための第１制御量と、
前記第１切替器を介して入力される制御目標値に従い、前記ステージの振動を制振するための第２制御量と、
前記第２切替器を介して入力される制御目標値に従い、前記カウンターマスの振動を制振するための第３制御量と、
を該除振台の駆動部に出力することを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記ステージ及びカウンターマスの各制御目標値に対して、周波数特性を付加するためのフィルタを有し、
該フィルタを介した前記各制御目標値は、前記付加された周波数特性による周波数領域で、前記除振台制御部の伝達関数に積分特性を付加することを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記除振台制御部は、前記ステージ及びカウンターマスのうち少なくともいずれか一方の並進運動に伴う制御目標値により、該除振台の回転方向の振動を制御することを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、本発明にかかる露光装置は、
基板を保持し、所定の位置に駆動して、所定の位置に位置決めする基板ステージと、
前記基板ステージの駆動による励振を制振する能動制振装置と、
前記基板にパターンを投影する投影光学系と、
を含むことを特徴とする。