【手続補正書】
【提出日】平成18年3月8日(2006.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペーストを収納した収納筒と基板との相対移動により、前記収納筒に収納されたペーストを前記基板面に塗布するペースト塗布装置において、
前記基板を載置し、その載置した基板をＹ軸方向に移動可能とするＹ軸移動テーブルと、
前記Ｙ軸方向に移動可能に構成され、かつＸ軸方向に伸延したヘッド機構の本体部と、
この本体部を前記Ｙ軸方向に移動させるＹ軸移動機構と、
前記本体部に設けられ、前記本体部の伸延方向に移動可能な前記収納筒と、
この収納筒を前記本体部の伸延方向に移動させるＸ軸移動機構と
を具備することを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項２】
前記Ｙ軸移動機構は、前記Ｙ軸移動テーブルの外側に、前記Ｙ軸方向に伸延して配置されてなることを特徴とする請求項１記載のペースト塗布装置。
【請求項３】
前記本体部には前記収納筒が複数個設けられ、
これら複数個の収納筒は、前記Ｘ軸移動機構により前記本体部の伸延方向に各別に移動可能としたことを特徴とする請求項１または２に記載のペースト塗布装置。
【請求項４】
前記複数個の収納筒は、前記Ｘ軸移動機構により前記本体部の伸延方向において互いに反対方向に移動して前記基板に前記ペーストを塗布することができるように構成されていることを特徴とする請求項３に記載のペースト塗布装置。
【請求項５】
前記Ｙ軸移動テーブルと前記Ｙ軸移動機構とを制御する制御器をさらに有し、
この制御器は、前記収納筒による前記基板へのペースト塗布に際し、前記基板と前記収納筒とを前記Ｙ軸方向における相反する方向に移動させるように、前記Ｙ軸移動テーブルと前記Ｙ軸移動機構とを制御することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のペースト塗布装置。
【請求項６】
複数個の前記ヘッド機構を前記Ｙ軸移動機構に併設してなることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のペースト塗布装置。
【請求項７】
前記Ｘ軸移動機構または前記Ｙ軸移動機構にリニアモータを用いたことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のペースト塗布装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたもので、ペーストを収納した収納筒と基板との相対移動により、前記収納筒に収納されたペーストを前記基板面に塗布するペースト塗布装置において、前記基板を載置し、その載置した基板をＹ軸方向に移動可能とするＹ軸移動テーブルと、前記Ｙ軸方向に移動可能に構成され、かつＸ軸方向に伸延したヘッド機構の本体部と、この本体部を前記Ｙ軸方向に移動させるＹ軸移動機構と、前記本体部に設けられ、前記本体部の伸延方向に移動可能な前記収納筒と、この収納筒を前記本体部の伸延方向に移動させるＸ軸移動機構とを具備することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
すなわち、制御器５は、ＲＡＭあるいはＲＯＭで構成され、塗布データや塗布制御プログラムが記憶された記憶部５１と、この記憶部５１に記憶されたデータ及び制御プログラムを読み出し、キーボート６ｂあるいはモニタディスプレイ６ａ上のタッチパネルから入力された塗布条件に基づく演算を行ってＹ軸移動テーブル７、Ｙ軸移動機構８１，８２、及びヘッド機構４に対する制御データを算出するＣＰＵ５２と、このＣＰＵ５２で算出された制御データを受けて、個々の制御信号を生成し、生成した制御信号を対応する各ドライバ５３１〜５３５に供給するように接続されたコントローラ５４１〜５４５とで構成されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
すなわち、Ｙ軸方向の塗布描画は、Ｙ軸移動テーブル７とＹ軸移動機構８１，８２とにより実行され、このＹ軸移動テーブル７とＹ軸移動機構８１，８２との駆動制御により、装置全体のＹ軸方向の動作ストロークの縮小が可能である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
まず、Ｙ軸移動機構８１，８２及びＸ軸移動機構４５を駆動させて、収納筒４１を領域Ａに対する塗布パターンの塗布開始位置の直上に、収納筒４２を領域Ｂに対する塗布パターンの塗布開始位置の直上にそれぞれ位置付けする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
次に、収納筒４１，４２のノズルからペーストを吐出させつつ、Ｙ軸移動テーブル７及びＸ軸移動機構４５を駆動させて、領域Ａ，Ｂに所望の塗布パターンでペーストを塗布する。塗布パターンの終端位置でノズルからのペーストの吐出を停止させるとともに、Ｙ軸移動テーブル７及びＸ軸移動機構４５の駆動を停止させ、領域Ａ，Ｂへの塗布を終える。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
この後、Ｙ軸移動テーブル７、Ｙ軸移動機構８１，８２及びＸ軸移動機構４５を駆動させて、収納筒４１を領域Ｄに対する塗布パターンの塗布開始位置の直上に、収納筒４２を領域Ｃに対する塗布パターンの塗布開始位置の直上にそれぞれ位置付ける。なおここで、収納筒４１を領域Ａから領域Ｄに、収納筒４２を領域Ｂから領域Ｃにそれぞれ移動させるために収納筒４１，４２と基板３とをＹ軸方向に相対移動させるときは、Ｙ軸移動テーブルとＹ軸移動機構８１，８２とを相反する方向（図２において、Ｙ軸移動テーブル７は上方向、Ｙ軸移動機構８１，８２は下方向）に同時に駆動させる。このようにすることで、Ｙ軸移動テーブル７とＹ軸移動機構８１，８２との合成速度で収納筒４１，４２と基板３とを相対移動させることができるので、単一の移動手段による場合に比較し、収納筒４１、４２を次の塗布開始位置へ短時間で移動させることができ、ペーストの塗布作業能率を向上させることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
次に、収納筒４１，４２のノズルからペーストを吐出させつつ、Ｙ軸移動テーブル７及びＸ軸移動機構４５を駆動させて領域Ｄ，Ｃに所望の塗布パターンでペーストを塗布する。塗布パターンの終端位置でノズルからのペーストの吐出を停止させるとともに、Ｙ軸移動テーブル７及びＸ軸移動機構４５の駆動を停止させ、領域Ｄ，Ｃへの塗布を終える。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
さらにまた、この実施の形態では、Ｙ軸移動機構８１，８２には送りねじ機構を、また収納筒４１，４２の移動にはリニアモータを採用した例を示したが、Ｙ軸移動機構８１，８２にリニアモータを、また収納筒４１，４２の移動に送りねじ機構を採用する等、任意の移動機構を適宜採用しても同様な効果を得ることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
したがって、ペーストを収納した収納筒４１，４２側のＹ軸方向への移動距離は短くなり、移動機構における機械的負荷も小さくなり、摩耗等による金属粉の発生も抑制され、高品質なペーストパターン形成を実現することができる。
なお、Ｙ軸移動テーブル７を搭載した架台１内には、電源回路等が組み込み収納されるとともに、制御器５には、モニタディスプレイ６ａ及びキーボード６ｂが接続されていて、作業員は、キーボード６ｂの操作により、基板３へのペースト塗布作業を調整操作することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
なお、実施の形態では、塗布パターンの描画中は、収納筒４１，４２と基板３とをＹ軸移動テーブル７とＸ軸移動機構４５にて相対移動させる例で説明したが、Ｙ軸移動テーブル７とＸ軸移動機構４５に加え、Ｙ軸移動機構８１，８２を同時に用いるようにしてもよい。この場合、Ｙ軸方向への移動の際に、Ｙ軸移動テーブル７とＹ軸移動機構８１，８２とを相反する方向に同時に駆動させるようにすれば、単一の移動手段にてＹ軸方向の移動を行った場合に比較し、各移動装置（Ｙ軸移動テーブル７とＹ軸移動機構８１，８２）による移動距離を短くでき、また収納筒４１，４２と基板３との相対移動速度が同じであれば、各移動装置の移動速度を低減させることができるので、各移動装置の機械的負荷が軽減でき、機械的負荷に起因する振動等の発生が抑制され、高精度で高速な塗布操作を実現することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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