【手続補正書】
【提出日】平成17年12月13日(2005.12.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャワーヘッドを支持する装置において、
上方を向いた面を有する棚と、
周囲リム、上面、下面、及び該上面と下面との間に延びる１つ以上のガスオリフィスを有するシャワーヘッドと、
を備え、
上記シャワーヘッドの上記リムは、下方を向いた面を含み、更に、
上記シャワーヘッドは、上記シャワーヘッドの上記リムの上記下方を向いた面が上記棚の上記上方を向いた面に載せられ且つ上記シャワーヘッドの上記リムが上記棚の上記上方を向いた面に沿って自由にスライドするように配置された装置。
【請求項２】
チャンバー内部を包囲するチャンバー壁を有する真空チャンバーを更に備え、
上記シャワーヘッドは上記チャンバー内部に配置され、更に、
上記棚は上記チャンバー壁に取り付けられる、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
チャンバー内部を包囲するチャンバー壁を有する真空チャンバーと、
上記チャンバー内部を向いた上記チャンバー壁の面を覆う誘電体ライナーと、
を備え、
上記シャワーヘッドは上記チャンバー内部に配置され、更に、
上記誘電体ライナーは上記棚を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
上記リムは上記シャワーヘッドの一体的部分である、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
上記シャワーヘッドは、長方形であり、更に、
上記リムは、上記シャワーヘッドに取り付けられた長方形フレームである、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
上記シャワーヘッドは、長方形であり、
上記リムは、長方形で４つの辺を有し、更に、
上記棚は、上記リムの４つの各辺に各々当接する４つの個別の部片を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
上記シャワーヘッドは円筒状であり、
上記リムは環状であり、更に、
上記棚は環状である、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
上記棚は１つの連続部片である、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
上記棚は複数の部片で構成され、更に、
上記棚の隣接部片が当接する、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
上記棚は、ギャップで分離された複数の部片で構成され、更に、
上記棚の隣接する部片間の上記ギャップは、その合成断面積が、上記シャワーヘッドの上記出口オリフィス各々の最も狭い部分の合成断面積の１／１０未満である、請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
チャンバー内部を包囲するチャンバー壁を有する真空チャンバーを更に備え、
上記チャンバー壁は１つ以上のガス入口オリフィスを含み、
上記シャワーヘッドは上記チャンバー内部に配置され、更に、
上記棚は複数の部片で構成され、
上記棚の各部片の外側部分は、上記チャンバー壁、上記シャワーヘッド及び上記棚の部片が、集合的に、上記チャンバー壁の上記ガス入口オリフィス及び上記シャワーヘッドの上記ガス出口オリフィスに流体連通する容積部を包囲するように、上記チャンバー壁に取り付けられ、更に、
上記棚の隣接部片は、上記ガス入口オリフィスにある量のガスを流すと、上記シャワーヘッドのガス出口オリフィスを経て流れるガスが、前記量のガスの少なくとも９０％となるように、充分に小さなギャップで分離される、請求項１に記載の装置。
【請求項１２】
上記シャワーヘッドの上記リムは、（ｉ）ソケット及び（ii）該ソケット内に転がり得るように取り付けられた滑走体を更に備え、
上記シャワーヘッドリムの上記下方を向いた面は、上記滑走体の面を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項１３】
上記棚は、（ｉ）ソケット及び（ii）該ソケット内に転がり得るように取り付けられた滑走体を更に備え、
上記棚の上記上方を向いた面は、上記滑走体の面を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項１４】
上記シャワーヘッドの上記リムは下方に延びるリップを更に備え、上記リムの前記下方を向いた面は上記下方に延びるリップの面であり、更に、
上記棚は、上記棚の前記上方を向いた面の半径方向内方に配置された上方に延びるリップを更に備えた、請求項１に記載の装置。
【請求項１５】
上記シャワーヘッドリムの上記下方に延びるリップは、ソケット及び該ソケット内に転がり得るように取り付けられた滑走体を更に備え、
上記シャワーヘッドリムの上記下方を向いた面は、上記滑走体の面を含む、請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
上記上方に延びるリップは高さにより特徴付けられ、更に、
上記下方に延びるリップは、上記上方に延びるリップの高さより大きな高さにより特徴付けられる、請求項１４に記載の装置。
【請求項１７】
少なくとも１つのガス入口オリフィスを有するガス入口マニホールド最上壁と、
上部及び下部を有するハンガーと、
を更に備え、上記上部は、上記ガス入口マニホールド最上壁に取り付けられ、更に、
上記棚は上記ハンガーの下部に取り付けられる、請求項１に記載の装置。
【請求項１８】
上記ガス入口マニホールド最上壁、上記ハンガー、上記棚、上記シャワーヘッドリム、及び上記シャワーヘッドは、各々、導電性であって、上記ガス入口マニホールド最上壁と上記シャワーヘッドとの間に導電性接続を与えるように一緒に直列に取り付けられる、請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
シャワーヘッドを支持する装置において、
少なくとも１つのガス入口オリフィスを有するガス入口マニホールド最上壁と、
１つ以上のガスオリフィスを有するシャワーヘッドと、
１つ以上のハンガーを含む第１ハンガー層であって、各ハンガーが上部及び下部を含み、各ハンガーの上記上部が上記ガス入口マニホールド最上壁に取り付けられるような第１ハンガー層と、
スロット内でスライドできるピンを各々含む複数のスライドジョイントと、
を備え、
上記第１ハンガー層の各ハンガーの上記下部は、上記第１ハンガー層の各ハンガーと上記シャワーヘッドとの間に相対的なスライド移動を可能にすると共に、上記第１ハンガー層のハンガーで上記シャワーヘッドを支持するように、少なくとも１つのスライドジョイントにより上記シャワーヘッドに取り付けられる装置。
【請求項２０】
各スライドジョイントの上記ピンは、１つの上記ハンガーの上記下部に取り付けられてそこから下方に延び、更に、
各スライドジョイントの上記スロットは、上記シャワーヘッドに形成される、請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
各ピンは、それがスライドする上記スロットの横断巾より広い肩部を含み、
上記シャワーヘッドは、上記ピンの上記肩部に載せられる、請求項２０に記載の装置。
【請求項２２】
各スライドジョイントの上記ピンは、上記シャワーヘッドに取り付けられてそこから上方に延び、更に、
各スライドジョイントの上記スロットは、１つの上記ハンガーの上記下部に形成される、請求項１９に記載の装置。
【請求項２３】
各スロットは、そのスロットが形成された上記ハンガーの上記下部においてスロット側壁により境界定めされ、
各ピンは、それがスライドする上記スロットの横断巾より広い肩部を含み、
各ピンの上記肩部は、それがスライドする上記スロットの上記側壁に載せられる、請求項２２に記載の装置。
【請求項２４】
上記スライドジョイントは、上記シャワーヘッドの周囲付近に分布した位置において上記シャワーヘッドに取り付けられる、請求項１９に記載の装置。
【請求項２５】
上記シャワーヘッドは長手軸により特徴付けられ、更に、
各スロットは、上記シャワーヘッドの長手軸に垂直の向きに最も長い寸法を有する、請求項１９に記載の装置。
【請求項２６】
上記第１ハンガー層の各ハンガーの上記上部は、上記ガス入口マニホールド最上壁に直接取り付けられる、請求項１９に記載の装置。
【請求項２７】
上記第１ハンガー層の各ハンガーの上記上部は、上記ガス入口マニホールド最上壁にスライド可能に取り付けられる、請求項１９に記載の装置。
【請求項２８】
上記第１ハンガー層の各ハンガーの上記上部は、上記第１ハンガー層の各ハンガーと上記ガス入口マニホールド最上壁との間に相対的移動を許容する１つ以上のスライドジョイントにより上記ガス入口マニホールド最上壁に取り付けられる、請求項１９に記載の装置。
【請求項２９】
１つ以上のハンガーを含む第２ハンガー層を更に備え、
上記第２層の各ハンガーは、上記第１層のハンガーの１つ及び上記ガス入口マニホールド最上壁に取り付けられて、それらの間に配置され、
上記第２層の各ハンガーは、上部及び下部を含み、
上記第２層の各ハンガーの上記上部は、上記ガス入口マニホールド最上壁に取り付けられ、更に、
上記第２層の各ハンガーの上記下部は、上記第２ハンガー層の各ハンガーと上記第１層の対応ハンガーとの間に相対的スライド移動を許容すると共に、上記第２ハンガー層のハンガーで上記第１ハンガー層のハンガーを支持するように、少なくとも１つのスライドジョイントにより上記第１層のハンガーの対応するハンガーの上部に取り付けられる、請求項１９に記載の装置。
【請求項３０】
シャワーヘッドを支持する装置において、
少なくとも１つのガス入口オリフィスを有するガス入口マニホールド最上壁と、
１つ以上のガスオリフィスを有するシャワーヘッドと、
１つ以上のハンガーを含む第１ハンガー層であって、各ハンガーが上部及び下部を含み、各ハンガーの上記下部が上記シャワーヘッドに取り付けられる第１ハンガー層と、
スロット内でスライドできるピンを各々含む複数のスライドジョイントと、
を備え、
上記第１ハンガー層の各ハンガーの上記上部は、上記第１ハンガー層の各ハンガーと上記ガス入口マニホールド最上壁との間に相対的なスライド移動を許容すると共に、上記ガス入口マニホールド最上壁で上記第１ハンガー層のハンガーを支持するように、少なくとも１つのスライドジョイントにより上記ガス入口マニホールド最上壁に取り付けられる装置。
【請求項３１】
シャワーヘッドを支持する装置において、
少なくとも１つのガス入口オリフィスを有するガス入口マニホールド最上壁と、
１つ以上のガスオリフィスを有するシャワーヘッドと、
３本以上の柔軟なワイヤであって、該ワイヤが上記ガス入口マニホールド最上壁から上記シャワーヘッドを懸架するように上記ガス入口マニホールド最上壁と上記シャワーヘッドとの間に各々取り付けられるワイヤと、
を備えた装置。
【請求項３２】
上記ガス入口マニホールド最上壁と上記シャワーヘッドとの間に取り付けられた１つ以上の柔軟性シートを更に備え、該シートは、上記ガス入口マニホールド最上壁と上記シャワーヘッドとの間に延びる容積部を取り巻くように配置され、更に、該容積部は、上記少なくとも１つのガス入口オリフィス及び上記シャワーヘッドのガスオリフィスに流体連通する、請求項３１に記載の装置。
【請求項３３】
上記柔軟性ワイヤは前記容積部の外側に配置される、請求項３２に記載の装置。
【請求項３４】
上記柔軟性ワイヤは前記容積部内に配置される、請求項３２に記載の装置。
【請求項３５】
上記ガス入口マニホールド最上壁、上記ワイヤ及び上記シャワーヘッドは、各々、導電性で、上記ガス入口マニホールド最上壁と上記シャワーヘッドとの間に導電性接続を与えるように一緒に直列に取り付けられる、請求項３１に記載の装置。
【請求項３６】
シャワーヘッドを支持する装置において、
少なくとも１つのガス入口オリフィスを有するガス入口マニホールド最上壁と、
１つ以上のガスオリフィスを有するシャワーヘッドと、
３本以上のロッドと、
を備え、各ロッドは、その第１端が上記ガス入口マニホールド最上壁に取り付けられると共に、その第２端が上記シャワーヘッドに取り付けられて、上記シャワーヘッドを上記ガス入口マニホールド最上壁から懸架するようにされ、更に、
各ロッドは、少なくとも１つの関節ジョイントを含むようにされた装置。
【請求項３７】
各ロッドは、上記第１端と第２端との間に延びる中央部を含み、更に、
各ロッドの上記少なくとも１つの関節ジョイントは、上記ロッドの中央部と上記ガス入口マニホールド最上壁との間で上記ロッドの上記第１端に配置される、請求項３６に記載の装置。
【請求項３８】
各ロッドは、上記第１端と第２端との間に延びる中央部を含み、更に、
各ロッドの上記少なくとも１つの関節ジョイントは、上記ロッドの中央部と上記シャワーヘッドとの間で上記ロッドの上記第２端に配置される、請求項３６に記載の装置。
【請求項３９】
上記ガス入口マニホールド最上壁と上記シャワーヘッドとの間に取り付けられた１つ以上の柔軟性シートを更に備え、該シートは、上記ガス入口マニホールド最上壁と上記シャワーヘッドとの間に延びる容積部を取り巻くように配置され、更に、該容積部は、上記少なくとも１つのガス入口オリフィス及び上記シャワーヘッドのガスオリフィスに流体連通する、請求項３６に記載の装置。
【請求項４０】
上記柔軟性ロッドは前記容積部の外側に配置される、請求項３９に記載の装置。
【請求項４１】
上記柔軟性ロッドは前記容積部内に配置される、請求項３９に記載の装置。
【請求項４２】
上記ガス入口マニホールド最上壁、上記ロッド及び上記シャワーヘッドは、各々、導電性で、上記ガス入口マニホールド最上壁と上記シャワーヘッドとの間に導電性接続を与えるように一緒に直列に取り付けられる、請求項３６に記載の装置。
【請求項４３】
シャワーヘッドを支持する装置において、
１つ以上のガス出口オリフィスを有するシャワーヘッドと、
少なくとも１つのガスオリフィスを有する支持部材と、
上記支持部材と上記シャワーヘッドとの間に取り付けられたスペーサであって、該スペーサ、上記支持部材及び上記シャワーヘッドの組合せで、上記支持部材のガスオリフィスから上記シャワーヘッドのガス出口オリフィスへガスを流し得るときに通る容積部を包囲するように配置されたスペーサと、
を備え、上記支持部材は、上記シャワーヘッドより高い熱膨張係数を有するようにされた装置。
【請求項４４】
少なくとも１つのガス入口オリフィスを有するガス入口マニホールド最上壁と、
上記ガス入口マニホールドの上記ガス入口オリフィスと上記支持部材の上記ガスオリフィスとの間に接続されたガスコンジットと、
を更に備えた請求項４３に記載の装置。
【請求項４５】
上記ガス入口マニホールド最上壁、上記ガスコンジット、上記支持部材、上記スペーサ及び上記シャワーヘッドは、各々、導電性であって、上記ガス入口マニホールド最上壁と上記シャワーヘッドとの間に導電性接続を与えるように一緒に直列に取り付けられる、請求項４４に記載の装置。
【請求項４６】
各スペーサの上記第２端は、上記シャワーヘッドの周囲付近で上記シャワーヘッドに取り付けられる、請求項４３に記載の装置。
【請求項４７】
上記シャワーヘッドは長方形であり、更に、
上記スペーサは、開いた中央部を有する長方形フレームを備えた、請求項４３に記載の装置。
【請求項４８】
上記シャワーヘッドは、長方形で４辺を有し、更に、
上記スペーサは、上記シャワーヘッドの４つの各辺に隣接して各々取り付けられた４つのスペーサセグメントを備えた、請求項４３に記載の装置。
【請求項４９】
シャワーヘッドを支持する装置において、
１つ以上のガス出口オリフィスを有するシャワーヘッドと、
少なくとも１つのガスオリフィスを有するヒーターと、
上記ヒーターと上記シャワーヘッドとの間に取り付けられたスペーサであって、該スペーサ、上記ヒーター及び上記シャワーヘッドの組合せで、上記ヒーターの上記ガスオリフィスから上記シャワーヘッドの上記ガス出口オリフィスへガスを流し得るときに通る容積部を包囲するように配置されたスペーサと、
を備えた装置。
【請求項５０】
少なくとも１つのガス入口オリフィスを有するガス入口マニホールド最上壁と、
上記ガス入口マニホールドの上記ガス入口オリフィスと上記ヒーターの上記ガスオリフィスとの間に接続されたガスコンジットと、
を更に備えた、請求項４９に記載の装置。
【請求項５１】
上記ガス入口マニホールド最上壁、上記ガスコンジット、上記ヒーター、上記スペーサ及び上記シャワーヘッドは、各々、導電性であって、上記ガス入口マニホールド最上壁と上記シャワーヘッドとの間に導電性接続を与えるように一緒に直列に取り付けられる、請求項５０に記載の装置。
【請求項５２】
各スペーサの第２端は、上記シャワーヘッドの周囲付近で上記シャワーヘッドに取り付けられる、請求項４９に記載の装置。
【請求項５３】
上記シャワーヘッドは、長方形であり、更に、
上記スペーサは、開いた中央部を有する長方形フレームを備えた、請求項４９に記載の装置。
【請求項５４】
上記シャワーヘッドは、長方形で４辺を有し、更に、
上記スペーサは、上記シャワーヘッドの４つの各辺に隣接して各々取り付けられた４つのスペーサセグメントを備えた、請求項４９に記載の装置。
【請求項５５】
上記ヒーターは本体に埋め込まれた電気加熱素子を備えた、請求項４９に記載の装置。
【請求項５６】
上記ヒーターは、高温流体を圧送できる１つ以上のチャンネルを有する本体を備えた、請求項４９に記載の装置。
【請求項５７】
シャワーヘッドを支持する為の装置であって：
一以上のガス出口用オリフィスを有するシャワーヘッドと；
ガス流路を与えるガス導管と；
を備え、
上記シャワーヘッドの重量の一部を支持し、上記ガス導管のガス流路を上記シャワーヘッドの上記ガス出口用オリフィスに結合する為、上記ガス導管は、上記シャワーヘッドに接続されている、上記装置。
【請求項５８】
真空チャンバーの最上壁を更に備え、上記ガス導管は、上記最上壁から上記シャワーヘッドを懸架する為に、上記最上部壁と上記シャワーヘッドとの間に接続されている、請求項５７記載の装置。
【請求項５９】
ガス入口マニホールド最上壁を有する真空チャンバーを更に備え、
上記シャワーヘッドは、上記真空チャンバー内部に位置決めされ、
上記ガス導管は、上記最上壁から上記シャワーヘッドを懸架する為に上記最上壁と前記上記シャワーヘッドとの間に接続されている、請求項５７記載の装置。
【請求項６０】
少なくとも一つのガスオリフィスを有する支持部材を更に備え、
上記支持部材は、上記ガス導管と上記シャワーヘッドの前記一以上の出口オリフィスとの間にガスプレナムを形成する為に、上記シャワーヘッドの上記少なくとも一つのガスオリフィスを通って上記シャワーヘッドの上記ガス出口オリフィスの上記ガス流路を上記シャワーヘッドの上記ガス導管オリフィスに結合する為に、上記ガス導管と上記シャワーヘッドとの間に接続されている、請求項５７記載の装置。
【請求項６１】
上記支持部材は、上記ガス導管が上記支持部材を通って上記シャワーヘッドの上記重量の少なくとも一部を支持するように、上記ガス導管と上記シャワーヘッドとの間に接続されている、請求項６０記載の装置。
【請求項６２】
上記ガス導管は、上記支持部材の上向き面の上記中央に接続されている、請求項６０記載の装置。
【請求項６３】
ガス入口マニホールド最上壁を有する真空チャンバーを更に備え、
上記シャワーヘッドは、上記真空チャンバー内部に位置決めされ、
上記ガス導管は、上記最上壁から上記シャワーヘッドを懸架する為に、上記最上壁と上記支持部材との間に接続されている、請求項６０記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2005256172.tif 000001
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2005256172.tif 000002
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2005256172.tif 000003