【手続補正書】
【提出日】平成18年1月12日(2006.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置、画像形成装置及び液滴を吐出する装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルと、ノズルが連通する吐出室と、吐出室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを有し、前記振動板を静電力で変形させて液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板を設ける第１基板と前記電極を設ける第２基板との間のスペーサ部の少なくとも接合面側にシリコン酸化膜を有し、このシリコン酸化膜が１０００℃以下の温度で軟化性を示す組成を持つことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
液滴を吐出するノズルと、ノズルが連通する吐出室と、吐出室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを有し、前記振動板を変形させて液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板を設ける第１基板と前記電極を設ける第２基板との間のスペーサ部の少なくとも接合面側にシリコン酸化膜を有し、このシリコン酸化膜には燐及び／又は硼素が含まれていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記スペーサ部の全体が前記燐及び／又は硼素が含まれているシリコン酸化膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板と電極の各対向側表面には燐及び／又は硼素が含まれているシリコン酸化膜を有しないことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項２乃至４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記シリコン酸化膜が燐及び硼素を含まないシリコン酸化膜上に硼素及び／又は燐を含むシリコン酸化膜を積層してなることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項２乃至４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記シリコン酸化膜が燐及び硼素を含まないシリコン酸化膜上に、燐及び／又は硼素を含むシリコン酸化膜、及び、硼素及び／又は燐を含むシリコン酸化膜を順次積層してなることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項２又は３に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記スペーサ部は、前記電極の上に形成したシリコン酸化膜で形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項７に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極の材料が硼素又は燐を不純物として含む多結晶シリコンであり、ギャップ層はこの多結晶シリコンの電極材料の上に形成されたシリコン酸化膜で形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項８に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ギャップ層は前記電極を形成する多結晶シリコンを酸化することで形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
液滴を吐出するノズルと、ノズルが連通する吐出室と、吐出室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを有し、前記振動板を静電力で変形させて液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板を設ける第１基板と前記電極を設ける第２基板との間のスペーサ部の少なくとも接合面側にシリコン酸化膜を有し、前記接合面にはダミー溝が形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１１】
請求項１０に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記シリコン酸化膜は、燐及び／又は硼素を含み、前記電極間の隔壁幅と略同じ幅にパターニングされていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１２】
液滴を吐出するノズルと、ノズルが連通する吐出室と、吐出室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを有し、前記振動板を静電力で変形させて液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板を設ける第１基板と前記電極を設ける第２基板とが接合され、前記第１基板の接合面の保護膜と前記電極の保護膜とが同じ層構造のシリコン酸化膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１３】
液滴を吐出するノズルと、ノズルが連通する吐出室と、吐出室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを有し、前記振動板を静電力で変形させて液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板を設ける第１基板と前記電極を設ける第２基板との間のスペーサ部の接合面側にシリコン酸化膜を有し、このシリコン酸化膜を形成する下地層上にダミー電極が形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１４】
請求項１３に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ダミー電極は前記電極と電気的に分離されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１５】
請求項１４に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記シリコン酸化膜の表面には前記振動板と前記電極との間に形成される振動室間又は空気溜まり室に連通する溝又は空間を有していることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１６】
請求項１乃至１５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記スペーサ部となるシリコン酸化膜中に存在する元素が共有結合性であり、その酸化物の電気陰性度が２．０以下であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１７】
液滴を吐出するノズルと、ノズルが連通する吐出室と、吐出室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを有し、前記振動板を静電力で変形させて液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板表面側には酸化硼素層上に不純物を含まないシリコン酸化膜を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１８】
液滴を吐出するノズルと、ノズルが連通する吐出室と、吐出室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを有し、前記振動板を静電力で変形させて液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板と前記電極との間に形成される振動室が密閉された空間であり、この空間が略真空状態であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１９】
請求項１乃至１６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する製造方法であって、前記シリコン酸化膜を形成した後、このシリコン酸化膜がリフロー性を示す温度以上で個別に熱処理を施し、このリフロー性を示す温度未満の温度で前記第１基板と第２基板とを加熱して接合することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２０】
請求項１乃至１６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する製造方法であって、前記シリコン酸化膜を形成した後、接合面となる表面の平坦化処理を行い、さらに第１基板と第２基板とを接合する際の接合温度以上の温度で個別に熱処理した後、第１基板と第２基板を加熱して接合することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２１】
請求項１乃至６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する製造方法であって、前記スペーサ部となるシリコン酸化膜に前記振動板と電極との間の振動室となるギャップを形成した後、前記電極を形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２２】
請求項１乃至１８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する製造方法であって、第１基板を第２基板に接合した後機械的な研磨研削によって第１基板を液室高さまで減じた後、熱処理を加えることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２３】
インクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが前記請求項１乃至１７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２４】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置において、前記液滴吐出ヘッドが前記請求項１ないし１７のいずれかの液滴吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
【請求項２５】
液滴吐出ヘッドを備えて液滴を吐出する装置において、前記液滴吐出ヘッドが前記請求項１ないし１７のいずれかの液滴吐出ヘッドであることを特徴とする液滴を吐出する装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置、画像形成装置及び液滴を吐出する装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、低コストで信頼性の高い液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びに低コストで信頼性の高いインクジェット記録装置、画像形成装置及び液滴を吐出する装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
本発明に係るインクジェット記録装置は、本発明に液滴吐出ヘッドをインク滴を吐出するインクジェットヘッドとして搭載したものである。
本発明に係る画像形成装置、液滴を吐出する装置は、本発明に液滴吐出ヘッドを搭載したものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２０２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２０２】
次に、本発明に係る液滴を吐出する装置を含む、本発明に係る画像形成装置としてのインクジェット記録装置について図５９及び図６０を参照して簡単に説明する。なお、図５９は同記録装置の機構部の概略斜視説明図、図６０は同機構部の側面説明図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２３４】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドをインク滴を吐出するインクジェットヘッドとして搭載したので、信頼性の高い記録装置が得られる。
本発明に係る画像形成装置、液滴を吐出する装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載したので、信頼性の高い装置が得られる。