(57)【要約】      （修正有）【課題】本考案はマスク洗浄のための回転機構を提供し、特に、荷重回転と共にスプレー、気流を合わせることにより、回転洗浄機能を有する回転機構を示している。    【解決手段】その主な実施対象と範囲は、主にマスク、ウエハー或いは、高技術のプレート（光学平面）材料及び光学ガラス…などであり、表面の塵粒子或いは化学汚れ…などに対して、回転機構により生じる遠心力と噴射式の洗浄剤の相互作用により、徹底的に被洗浄物表面の汚れ（インクジェットインク）を除去でき、被洗浄物を元の表面光沢状態に回復させる。【選択図】図1
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
保護フレーム、設置台、ブッシング、上、下部芯、上部軸受け座、下部軸受け座、動力機構、心棒、往復の移動機構及び支持フレームから構成されるマスク洗浄のための回転機構であって、前記保護フレームは前記設置台の洗浄工程において、保護部材として用いられ、フレーム式の円形体であり、また、前記設置台は前記心棒と接合し、前記心棒により回転運動を行い、設置台がフォーク基部から構成され、各基部の外端には、位置決めピンが複数設けられ、被洗浄物を固定することができ、また、ブッシングは前記上、下部軸受け座の間に位置され、前記ブッシング内の穴に複数の溝が掘られ、前記心棒の溝構造に対応でき、前記往復の移動機構に上、下移動をさせるものであり、また、前記上、下部芯は前記上、下部軸受け座にそれぞれ位置され、前記心棒に前記心棒の回転中心角度の調整を行うように貫通させるものであり、また、前記上、下部軸受け座は固定の部材であり、前記心棒、前記ブッシング及び前記芯に固定されるものであり、また、動力機構は外部の動力方法により前記ブッシングと接合し、回転動力を前記ブッシングに伝達できるものであり、前記心棒の頂部が前記設置台と接合され、各部材を貫通することで、その後端が前記往復の移動機構により接続されるものであり、また、前記往復の移動機構は動力方法により前記心棒に立上げられ、前記心棒に上、下移動の運動をさせるものであることを特徴とするマスク洗浄のための回転機構。
【請求項２】
設置台の位置決めピンの頂部が耐酸、耐アルカリ性の位置決めフィルムで被覆可能であることを特徴とする請求項１に記載のマスク洗浄のための回転機構。
【請求項３】
動力機構が歯状ベルトによりブッシングに接続されることを特徴とする請求項１に記載のマスク洗浄のための回転機構。
【請求項４】
往復の移動機構と心棒の接合がベアリングにより心棒の後端に固定されることを特徴とする請求項１に記載のマスク洗浄のための回転機構。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案はマスク洗浄のための回転機構に係り、その設計目的の主旨は最新技術と理念によりマスク、ウエハー或いは、高技術のプレート（光学平面）材料及び光学ガラス…などの洗浄を行う特有の機構を提供するものである。
【背景技術】
【０００２】
ハイテク技術の新しさと変化に対する絶え間ない追求により、周辺設備もそれに伴い進歩してきた。相対する科学技術の技術条件を満たす必要以外に、絶えず改善することと市場競争の圧力の下で、周辺設備の組み合わせが成功するかどうかの重要な点の役割を果たしている。例を挙げると、パネルメーカーから簡単であると考えられているTFT-LCDガラス基盤の大型化がすでに主流になっているなかで、基礎製造工程は液晶パネルの低コスト要求を満足していない。従って、関連業者は相次いでインクジェットとRoll
to Roll製法を開発し、カラーフィルターの製造を行い、さらに偏光フィルター/位相差板/拡散フィルター…などを世の中に出し、一体化した光学技術はこれらの技術革新により部品の数、製造工程やコストを減らそうと試みられた。しかし、伝統と新世代の製造設備における異なり、例えば、立体式運搬設備、混合型長膜と洗浄設備の開発は、差し迫った生産設備以外の新規製造工程となり、製造工程と品質の優劣のキーポイントとなる。
【０００３】
しかし、本考案の技術範囲は新規製造工程の洗浄設備の開発考案に属し、すでに存在しすでに失敗している理念において、回転とスプレーを組み合わせ洗浄するが、動力機構の伝動、バランスと回転速度…などの条件に対し、多くの障害がある。回転速度についていえば、回転速度がいったん予定の速度に達すると、それに伴い自然に生じる振動問題、及び動力機構による直接伝動の振動問題が、回転安定度を大幅に低下させ、さらに高価な被洗浄物を破損させる。その上、被洗浄物の設置台の設計は上下移動運動が効果的に達成できず、被洗浄物の設置と取り外しが必要となる中で、回転洗浄の実施は相当困難であり、問題が絶えない。          
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
前述の事情に鑑み、本考案者は長年自動化精密工業設計の経験を積み、マスク洗浄のための回転機構を特に提供することで、現在業界が最も必要としている洗浄設備の問題点を解決する。且つこの設備はハイテク技術製品であるマスク、ウエハー或いは、高技術のプレート（光学平面）材料及び光学ガラス…などに対してのものであり、表面の塵粒子或いは化学汚れを徹底的に除去することができる。その理念と希望は確かに前述のように、回転バランス、ステージの上下往復運動と回転運動の三大特性に重点を置き、上記の特性について箇条書きで以下に述べる。
１．       
全体の回転機構を有する回転バランス効果は、予定速度の規格上限で実施でき、設置台と被洗浄物を、安定した回転方式で生じる遠心力により、塵粒子或いは洗浄液を徹底的に除去することができ、高効率洗浄の目的を達成することができる。
２．       
設置台は上下移動運動機能を有し、上向きに移動することで被洗浄物を設置或いは取り外し、下向きに移動することで被洗浄物を回転洗浄することができ、洗浄操作の便利性と安全性を高めることができる。
３．       
本考案の回転機構の回転速度がもたらす気流を利用して、噴射された化学洗浄剤を効率的に再度ミスト化させることができ、洗浄機能を高め表面の塵粒子を高速除去することができる。
４．
本考案全体のコントロール操作は最短時間内で設置、洗浄され、「修正業務」を完全に取り除くことができる。特に人による操作を排除し、全自動化操作モデルとなる。  
【考案を実施するための最良の形態】
【０００５】
まず図１、２に示すように、本考案の機構は主に、保護フレーム（１）、設置台（２）、ブッシング（３）、上、下部芯（４）、上部軸受け座（５）、下部軸受け座（６）、動力機構（７）、心棒（８）、往復の移動機構（９）及び支持フレーム（１０）から構成され、設置台（２）は心棒（８）と接合し、設置台（２）で直接回転運動を行い、上記設置台（２）がフォーク基部（２１）から構成され、各基部（２１）の外端には、位置決めピン（２２）が複数設けられ、位置決めピンの頂部が耐酸、耐アルカリ性の位置決めフィルム（２２１）で被覆可能であり、被洗浄物の表面を固定することができる。    
【０００６】
次に図６に示すように、設置台（２）が洗浄工程の際、保護フレーム（１）内に設置され、心棒（８）により連動される。延伸された保護フレーム（１）の底部に上部軸受け座（５）が設置され、上部軸受け座（５）内に上部芯（４）が組み合わされ、心棒（８）を上部芯（４）に貫かせ前記設置台（２）と接続できる。それから、前記上軸受け座（５）と下部軸受け座（６）の間に精密に組み合わせられたブッシング（３）が位置され、上記ブッシング（３）は外縁ギア（３１）を有し、動力機構（７）の歯状ベルト（７１）と噛み合わせることができ、ブッシング（３）内の穴は心棒（８）に掘られた噛み合わせ用の溝構造（３２）に対応し、心棒（８）の構造形態が相互にかみ合い動力を伝達させるようにさせる。図４に示すとおりである。  
【０００７】
図４に示すように、前記の心棒（８）がブッシング（３）内の穴の溝構造（８１）と対応するように掘られている。従って、心棒（８）は回転機能以外に、滑動できるブッシング（３）内で、設置台が必要とする上下移動運動を可能にさせる。それから、図５に示すように、ブッシング（３）の下方に一組の下部軸受け座（６）が位置され、下部軸受け座（６）内に下部芯（４）を再度設置し、上、下部芯（４）間の心棒の中心角度を修正し、設置台（２）が回転する際のバランス効果を具体的に補助するものである。
【０００８】
図３に示すように、心棒（８）後端に位置し往復の移動機構（９）の押し棒（９１）により接続され、その接続端はベアリング（９２）により心棒（８）端に組み合わせられ、心棒（８）の回転機能に影響を及ぼさない。これにより往復の移動機構（９）は二組の対応する気圧シリンダー（９３）により押し棒（９１）に連接され、再度心棒（８）で連動する。従って、往復の移動機構（９）の上下移動運動によって、設置台（２）に上下移動運動をさせることができる。図７に示すとおりである。                
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本考案に係る実施例を示す傾斜の略図。
【図２】本考案に係る各部品を示す分解構造の略図。
【図３】本考案に係る全体断面を示す略図。
【図４】図３に係るケース部の拡大構造を示す略図。
【図５】本考案に係る心棒とブッシング間の断面構造を示す略図。
【図６】本考案に係る上方からの平面構造を示す略図。
【図７】本考案に係る断面構造によりを示される運動状態の略図。
【符号の説明】
【００１０】
１        保護フレーム
２        設置台
２１      基部
２２      位置決めピン
２２１    フィルム
３        ブッシング
３１      外縁ギア
３２      溝構造
４        芯
５        上部軸受け座
６        下部軸受け座
７        動力機構
７１      歯状ベルト
８        心棒
８１      溝構造
９        往復の移動機構
９１      押し棒
９２      ベアリング
９３      気圧シリンダー
１０      支持フレーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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