Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月8日(2005.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  高分子安定化液晶を用いた光学特性可変光学素子。
【請求項２】  下記の式（１）、（１２）、（１７）、（１８）、（１９）、（１９−５）又は（２０）のいずれかを満足する高分子安定化液晶を用いる光学特性可変光学素子。
２ｎｍ≦Ｄ≦λ
２ｎｍ≦Ｄ≦λ／５                            （１）
０．０１≦｜ｎO ′−ｎLC′｜≦１０            （１２）
Ｄ・ｔ≦λ・１５μｍ・（1.585 −1.45）2 ／（ｎU −ｎP ）2   （１７）
０．１≦ｆｆ≦０．９９９                      （１８）
４×１０-6［μｍ］2 ≦Ｄ・ｔ≦
λ・４５μｍ・（1.585 −1.45）2 ／（ｎU −ｎP ）2       （１９）
４×１０-6［μｍ］2 ≦Ｄ・ｔ≦
λ・４５０μｍ・（1.585 −1.45）2 ／（ｎU −ｎP ）2   （１９−５）
７ｎｍ≦Ｄ≦５００λ                          （２０）
ただしＤは前記液晶の高分子セルの平均の直径、λは使用する波長、ｎO ′は電磁場を印加した時の常光線の屈折率、ｎLC′は液晶分子の平均屈折率、ｔは液晶層の厚さ、ｆｆは高分子分散液晶層の体積に占める液晶分子の割合である。又ｎU 、ｎPはこれらの差の２乗（ｎU −ｎP）2が（ｎLC′−ｎP ）2と（ｎo ′−ｎP ）2 のうち、大きい方の値であり、そのうち、ｎP  は高分子セルを構成する高分子の屈折率である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
ここでｎo ′は常光線の屈折率で下記式（８）にて表わされる。
ｎo ′＝（ｎox＋ｎoy）／２                          （８）
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
以上は、ｎo ′≒１．４５、ｎLC′≒１．５８５の場合であったが、より一般的に定式化すると、Ｄ・ｔは下記式（１７）の範囲内であればよい。
Ｄ・ｔ≦λ・15μｍ・（ 1.585− 1.45 ）2 ／（ｎu −ｎP ）2   （１７）
ただし、（ｎu −ｎP ）2 は、（ｎLC′−ｎP ）2と（ｎo ′−ｎP ）2 のうち、大きい方である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
高分子分散液晶あるいは高分子分散液晶を作るために液晶分子１７として用いる事ができる液晶物質の例としては、ネマチック液晶のほかに、スメクチック液晶、カイラルコレステリック液晶、コレステリック液晶、スメクチックＣ*液晶、強誘電性液晶、反強誘電体液晶、トラン系液晶、ジフルオロスチルベン系低粘性化合物、バナナ型液晶等があり、これらの液晶を用いて本発明の光学特性可変光学素子を実現する事ができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
さらに、上記の可変焦点眼鏡３５において、交流電源１６は、電池を電源とする発振回路又はインバータ回路をもって構成することができる。この場合、電池としては、マンガン電池、リチウム電池、太陽電池、充電式電池の一種又は複数種を１つ以上フレーム３５ａに一体的に、すなわち内蔵したり、別体に設けてコードで接続したり、レンズ表面に設けたりあるいは内蔵電池と外部電池とを有するようにすることもできる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
ここで、ｎeは液晶分子長軸方向の偏光に対する屈折率、ｎoは液晶分子短軸方向の偏光に対する屈折率である。図５（Ｂ）にネマティック液晶５４の入射側の液晶分子に対応する屈折率楕円体を示す。ここで、ｘ軸及びｚ軸は、液晶分子の短軸方向、ｙ軸は液晶分子の長軸方向になっている。なおｎe＞ｎoとする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３７】
一方、光学系の性能を上げる為にはＰは小さい方がよいのであるが、一般に液晶はＰの値が小さくなると液晶の粘性が増し、電圧の変化に対する屈折率変化の応答速度が遅くなる。この点も考慮すると、Ｐの値は実験結果より、およそλより大きい方が良く、式（５−２８）、式（５−２９）、式（５−３０）、式（５−３８）、式（５−３９）等も考慮して、式（５−４）または式（５−４１）を満たすことが望ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４９】
又、図２５に示すように、駆動ユニット１５２を帽子１６０に取り付けてもよい。このとき、図２６に示すように帽子１６０と眼鏡３５とを分離できるように駆動ユニット１５２と眼鏡のフレーム３５ａから伸ばしたコード１５０とをコネクター１５０ａにてつなぐようにするとよい。また、帽子１６０には、駆動用電源を取り付けてもよく、この場合には電源として例えば太陽電池などを用いることもできる。この場合も、図２６に示したように、コード１５０にコネクター１５０ａを設け、帽子１６０と眼鏡３５とを分離できるようにすることが望ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９０】
一方、図３９に示すように分割電極毎に異なる電圧を加えると、液晶の配向は、場所により異なる屈折率の液晶となり、そのため可変焦点レンズ３１９は、ホログラムとして機能し、スイッチ１５−１、１５−２、・・・、１５−Ｎおよび可変抵抗１９−１、１９−２、・・・、１９−Ｎを適当に動作調整することにより、ＰＤＡ３０８あるいはコンピューター３２２からの情報を表示することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９８】
1999352445.tif 000001
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
1999352445.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月9日(2005.12.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】回路基板のＧＮＤ接続方法およびそれを採用した表示装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  回路基板上における筐体とのＧＮＤ接続箇所を複数持ち、その接続箇所と回路基板上のＧＮＤとをチップ部品の実装のみを介することによって回路基板全体と筐体とがＧＮＤ接続されてなることを特徴とする回路基板のＧＮＤ接続方法。
【請求項２】  前記筐体と１つのＧＮＤ接続箇所につき複数個のチップ部品が備えられてなる請求項１記載の回路基板のＧＮＤ接続方法。
【請求項３】  前記チップ部品が０Ω抵抗である請求項２記載の回路基板のＧＮＤ接続方法。
【請求項４】  表示信号を発生するシステム側と電気的に接続され、かつ、信号用ＧＮＤ以外のシールド用ＧＮＤとなる外皮導体を持つインターフェースコネクタを搭載する液晶表示装置において、回路基板上における液晶表示装置の筐体との接続部分と、前記コネクタにおけるシールドＧＮＤに電気的に接続されるコネクタ補強用パッドとが導体パターンおよび第１のチップ部品実装で接続され、前記筐体との接続部分と回路基板上のＧＮＤとを第２のチップ部品の実装のみを介することによって回路基板全体と前記筐体とがＧＮＤ接続されてなることを特徴とする回路基板のＧＮＤ接続方法。
【請求項５】  前記筐体との１つのＧＮＤ接続箇所につき複数個の前記第２のチップ部品が設けられてなる請求項４記載の回路基板のＧＮＤ接続方法。
【請求項６】  前記第２のチップ部品が０Ω抵抗である請求項５記載の回路基板のＧＮＤ接続方法。
【請求項７】  請求項１、２、３、４、５または６記載の回路基板のＧＮＤ接続方法を採用した表示装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１にかかわる回路基板のＧＮＤ接続方法は、回路基板上における筐体とのＧＮＤ接続箇所を複数持ち、その接続箇所と回路基板上のＧＮＤとをチップ部品の実装のみを介することによって回路基板全体と筐体とがＧＮＤ接続されてなることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の請求項２にかかわる回路基板のＧＮＤ接続方法は、前記筐体と１つのＧＮＤ接続箇所につき複数個のチップ部品が備えられてなる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の請求項３にかかわる回路基板のＧＮＤ接続方法は、前記チップ部品が０Ω抵抗である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の請求項４にかかわる回路基板のＧＮＤ接続方法は、表示信号を発生するシステム側と電気的に接続され、かつ、信号用ＧＮＤ以外のシールド用ＧＮＤとなる外皮導体を持つインターフェースコネクタを搭載する液晶表示装置において、回路基板上における液晶表示装置の筐体との接続部分と、前記コネクタにおけるシールドＧＮＤに電気的に接続されるコネクタ補強用パッドとが導体パターンおよび第１のチップ部品実装で接続され、前記筐体との接続部分と回路基板上のＧＮＤとを第２のチップ部品の実装のみを介することによって回路基板全体と前記筐体とがＧＮＤ接続されていることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の請求項５にかかわる回路基板のＧＮＤ接続方法は、前記筐体との１つのＧＮＤ接続箇所につき複数個の前記第２のチップ部品が設けられている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の請求項６にかかわる回路基板のＧＮＤ接続方法は、前記第２のチップ部品が０Ω抵抗である。なお、本明細書中で使用される「０Ω抵抗」とは、両電極間が導電体で接続され短絡されている状態におけるこの電極間の抵抗をいうものとする。
本発明の請求項７にかかわる表示装置は、請求項１、２、３、４、５または６記載の回路基板のＧＮＤ接続方法を採用した表示装置である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【発明の効果】
請求項１〜７に係わる発明によれば、導体パターンを変更した回路基板を再試作することなくＥＭＩレベル低減の最適化が行え、開発費用・期間短縮化が図れる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月10日(2006.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、内側リーフバルブ９４と外側リーフバルブ９５を挟む、小径リーフバルブ９２の側の第２のリーフバルブ９３Ａと、ワッシャ９９の側の第２のリーフバルブ９３Ｂでは、小径リーフバルブ９２の側の第２のリーフバルブ９３Ａの方が、外側リーフバルブ９５が内側リーフバルブ９４より厚い分だけ撓み易くなるように構成される。本実施形態では、第２のリーフバルブ９３Ａを１枚のリーフバルブにて構成し、第２のリーフバルブ９３Ｂを複数枚のリーフバルブにて構成することにより、第２のリーフバルブ９３Ａの方を撓み易くしている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2004324817.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月24日(2006.8.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
バルブボディ３３に設けられた油路３４は、吸込み側にラインフィルタ４２を有したエンジン駆動式のオイルポンプ４３と配管４４を介して連通している。そして、オイルポンプ４３によって潤滑油を潤滑系としての油路３４、３０、３１の順に圧送し、パワーローラ１０のラジアルニードルベアリング８及びパワーローラベアリング１１に潤滑油を供給するとともに、入出力ディスク２，３のトラクション面に供給したり、パワーローラ１０のトラクション面に潤滑油を供給するようになっている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
従って、ラインフィルタ４２を有したエンジン駆動式のオイルポンプ４３から配管４４を介して潤滑油が圧送されると、下部バルブボディ３３ｂの油路３４、３０、３１の順に導かれる。このとき、油路３４，３０，３１の途中にあったゴミ、バリ、鉄粉等の異物はメッシュフィルタ４７または磁石部材４８によって捕捉され、潤滑油とともにパワーローラ１０のラジアルニードルベアリング８、パワーローラベアリング１１や入出力ディスク２，３、パワーローラ１０のトラクション面に異物が供給されることはなく、パワーローラベアリング１１等への異物の噛み込みを防止し、パワーローラベアリング１１等の寿命を延ばすことができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
図５(ｃ)は第４の実施形態の変形例２を示し、変位軸９の空洞部４５の入口４５ａには第１の実施形態と同様のメッシュフィルタ４７が設けられている。さらに、変位軸９の空洞部４５の内部には第１の実施形態と同様の磁石部材４８が設けられている。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月8日(2005.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上述のように構成され作用するトロイダル型無段変速機の場合、稼動時に、パワーローラ８，８が大きな荷重を受けつつ高速回転するので、パワーローラ８，８のラジアルニードル軸受２５，２５およびスラスト転がり軸受３２，３２の耐久性を確保するために、これらのラジアルニードル軸受２５，２５およびスラスト転がり軸受３２，３２に十分な潤滑油を送り込む必要がある。また、外輪３０，３０とトラニオン６，６との間に配置されたスラストニードル軸受２７，２７にも十分な潤滑油を送り込む必要がある。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
このパワーローラ７０は、入力側ディスク２および出力側ディスク４と接するトラクション面７０ａを有し、入力側ディスク２と出力側ディスク４との間に傾転自在に転接されている。パワーローラ７０とトラニオン５０との間には、パワーローラ７０に加わるスラスト方向の荷重を支承しつつ、パワーローラ７０の回転を許容するスラスト軸受（スラスト軸受）７２が設けられている。このスラスト玉軸受７２は、複数個の玉２９と、保持器２８と、円環状の外輪７３とから構成されている。スラスト玉軸受７２の内輪軌道は、パワーローラ７０の大端面７０ｂに、外輪軌道は外輪７３の内側面７３ａにそれぞれ形成されている。また、外輪７３は、変位軸６７と一体に形成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2004324710.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月20日(2006.3.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
一方、前記第三の遊星歯車式変速ユニット３０を構成する為の第二のキャリア６０を、前記出力軸２４ａの基端部（図６の左端部）に結合固定している。そして、この第二のキャリア６０と上記第一のリング歯車５８とを、前記低速用クラッチ２６ａを介して結合している。又、上記伝達軸３２の先端寄り（図６の右端寄り）部分に第三の太陽歯車６１を固設している。又、この第三の太陽歯車６１の周囲に、第二のリング歯車６２を配置し、この第二のリング歯車６２と前記ケーシング３５等の固定の部分との間に、前記高速用クラッチ２７ａを設けている。更に、上記第二のリング歯車６２と上記第三の太陽歯車６１との間に配置した複数組の遊星歯車６３、６４を、上記第二のキャリア６０に回転自在に支持している。これら各遊星歯車６３、６４は、互いに噛合すると共に、上記第二のキャリア６０の径方向に関して内側に設けた遊星歯車６３を上記第三の太陽歯車６１に、同じく外側に設けた遊星歯車６４を上記第二のリング歯車６２に、それぞれ噛合している。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
この様に構成する押圧装置１０ａの押圧力の発生時には、上記入力回転軸１ａの中心部に設けた給油通路７９及びこの給油通路７９と入力回転軸１ａの外周面とを連通させた各給油孔８０、８０を通じて、上記第一、第二の油圧室６７、６８に油圧を導入する。そして、この油圧に基づき、上記第一のピストン部材７０により入力側ディスク２ａを軸方向に押圧する事に加えて、この入力側ディスク２ａを直接同方向に押圧する。この結果、これら入力側ディスク２ａ、２ｂの内側面（入力側面４７、４７）及び出力側ディスク５ｂの内側面（出力側面４８、４８）と各パワーローラ６、６の周面４６、４６との転がり接触部（トラクション部）に、適正な押し付け力が付与される。上記第一、第二の油圧室６７、６８は、力の伝達方向に関して、上記入力側回転軸１ａと上記入力側ディスク２ａとの間に、互いに並列に設けている。従って、上記第一、第二の油圧室６７、６８（を構成する第一、第二のシリンダ部材６９、７１）の直径を小さく抑えつつ、上記押し付け力を十分に大きくできる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
そして、上記入力回転軸１ａと連結板４２とを上記治具８３により支持すると共に、上記入力回転軸１ａの他端寄り部（図６、１３の右端寄り部）にローディングナット８５を所定のトルクで緊締した状態で、上記皿板ばね８１の弾性力に基づいて上記一方の入力側ディスク２ａが所定の位置まで押圧されているか（所定の位置に存在するか）否かを調べる。即ち、上記図１３に示す様に、上記第一のシリンダ筒７４の開口縁と第一のピストン部材７０の他側面との距離Ｘが、所定の値か否かを測定する。そして、この距離Ｘが所定の値でない場合には、上記治具８３を取り外すと共に、上述した図１０の状態（入力回転軸１ａに第一のシリンダ部材６９を外嵌固定した状態）まで分解し、上記第一の油圧室６７内に設けるシム板８２の厚さを変える（違う厚さのシム板８２に交換する）。そして、上記図１３に示す状態まで再度仮組立をし、上記距離Ｘが所定の値になるまで、分解、再組立、距離Ｘの測定を繰り返す。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2004324778.tif 000001
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2004324778.tif 000002
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
2004324778.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月23日(2006.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パワーショベルのアームの先端部で回動動作するバケットとの間で被挟持物を挟持可能なアタッチメントであって、
アタッチメント基部と、
前記アームの基部から前記先端部を見る方向に前記アタッチメント基部から延びる挟持部と
を具備し、
前記アタッチメント基部は、着脱可能に、且つ、本アタッチメントと前記アームとが相対的に移動しないように前記アームに固定される
パワーショベルのアタッチメント。
【請求項２】
前記アームは、前記アームの長手方向に突き出す凸形状のアーム側嵌合構造を備え、
前記アタッチメント基部は、前記アーム側嵌合構造と嵌合するアタッチメント側嵌合構造を備える
請求項１記載のパワーショベルのアタッチメント。
【請求項３】
前記アームは、前記アームの長手方向に後退する凹形状のアーム側嵌合構造を備え、
前記アタッチメント基部は、前記アーム側嵌合構造と嵌合するアタッチメント側嵌合構造を備える
請求項１記載のパワーショベルのアタッチメント。
【請求項４】
パワーショベルのアームの先端部で回動動作するバケットとの間で被挟持物を挟持可能なアタッチメントであって、
アタッチメント基部と、
前記アタッチメント基部から延びる挟持部と
を具備し、
前記アタッチメント基部は、本アタッチメントが前記アームに対して回動可能なように前記アームに取り付けられ、
前記アームは、その長手方向に延びるアーム側接合面を備え、
本アタッチメントは、前記アタッチメント基部が備えるアタッチメント側接合面と前記アーム側接合面とが接合し、前記挟持部が前記アタッチメント基部に対して前記先端部側に配置される回動位置において、前記アームに固定される
パワーショベルのアタッチメント。
【請求項５】
前記アタッチメント基部は、挿脱可能な固定ピンにより前記アームに固定される
請求項１乃至４から選択される１請求項のパワーショベルのアタッチメント。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月8日(2006.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本実施形態にかかる前記空冷式４サイクルエンジン２は、リコイルスターター１４０を操作して始動させると、前記クランクシャフト６が回転し、前記ファンロータ４０が回転駆動され、前記空冷式４サイクルエンジン２に向かって冷却風が送られる。この冷却風の一部Ａは前記開口４４を介して抽気され、前記オイルパン３６の下方の前記空間Ｓの中を通り抜け、該空間Ｓの上方に位置する前記オイルパン３６内に収容された潤滑油Ｌを、また、下方に位置する前記燃料タンク４２内の燃料を強制的に冷却して、前記リコイルスタータ１４０の下方の出口１１１から流出する。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月28日(2006.3.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
さらに、外装材において凸条の延長方向と直交する方向の両端に設けられた凸条に形成される分断溝について、外装材を固定するために用いられる固定金具の幅より小さい溝幅を有するように形成することによって、固定金具が分断溝の位置に設けられた場合であっても、分断溝の両側で凸条を係止することができ、外装材を確実に固定することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月22日(2006.2.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ＬＥＤが片面に実装された基板の当該面に給電端子を有する着脱可能なＬＥＤ照明光源と、
前記基板のうち前記ＬＥＤが実装されていない基板裏面と接触する熱伝導部材と、
前記基板裏面と前記熱伝導部材とを押圧しながら前記給電端子に接続される少なくとも１つのコネクタと、
前記コネクタを介して前記ＬＥＤ照明光源と電気的に接続される点灯回路と、
を備えたＬＥＤ照明装置。
【請求項２】  前記基板のうち前記ＬＥＤが実装されている基板面の一端側に給電電極が形成されており、
前記基板において前記ＬＥＤが実装されている光出射領域の中心位置が前記基板の中心位置からずれている請求項１に記載のＬＥＤ照明装置。
【請求項３】  前記基板裏面と前記熱伝導部材との間の接触面積は、前記基板において前記ＬＥＤが実装されている光出射領域の面積に等しいか、それ以上である請求項１に記載のＬＥＤ照明装置。
【請求項４】  前記点灯回路に対して外部から電気エネルギーを供給するための給電ソケットを更に有している請求項１から３のいずれかに記載のＬＥＤ照明装置。
【請求項５】  前記給電ソケットは、電球用口金である請求項４に記載のＬＥＤ照明装置。
【請求項６】  前記コネクタに接続された状態の前記ＬＥＤ照明光源から出た光を透過するカバーを備えている請求項４または５に記載のＬＥＤ照明装置。
【請求項７】  前記ＬＥＤ照明光源の固定および取り外しが可能な受容部と、
前記ＬＥＤが前記受容部から外れることを防止する脱落防止手段とを備えており、
前記脱落防止手段は、人間の指で前記受容部から前記ＬＥＤ照明光源を取り外すことが可能なように動作する、請求項１から３のいずれかに記載のＬＥＤ照明装置。
【請求項８】  前記基板のうち前記ＬＥＤが実装されている基板面の形状は略長方形であり、
前記受容部は、前記ＬＥＤ照明光源をスライドさせるように案内するガイドを有しており、
前記受容部に固定された前記ＬＥＤ照明光源は前記コネクタからの給電を受けるとともに、前記ＬＥＤ照明光源の前記基板裏面が前記受容部と接触する請求項７に記載のＬＥＤ照明装置。
【請求項９】  前記ＬＥＤ照明光源を前記受容部に固定する固定部を有する稼動機構を備え、
前記受容部に固定された前記ＬＥＤ照明光源は前記コネクタからの給電を受けるとともに、前記ＬＥＤ照明光源の前記基板裏面が前記受容部と接触する請求項７に記載のＬＥＤ照明装置。
【請求項１０】  前記基板のうち前記ＬＥＤが実装されていない基板裏面からの熱を放熱させる手段を備えている請求項１から３のいずれかに記載されたＬＥＤ照明装置。
【請求項１１】  基板と、前記基板の片面に実装されたＬＥＤとを備えたＬＥＤ照明光源であって、
前記基板のうち前記ＬＥＤが実装されている前記基板片面の一端側に、当該ＬＥＤ照明光源が取り付けられるＬＥＤ照明装置のコネクタによって前記基板片面から基板裏面への方向に押圧されて前記コネクタに接続される給電端子が設けられているＬＥＤ照明光源。
【請求項１２】  前記基板の中心位置は、前記基板において前記ＬＥＤが実装されている光出射領域の中心位置からずれている請求項１１に記載のＬＥＤ照明光源。
【請求項１３】  前記基板が長方形形状であって、当該長方形形状の角が丸まっている、請求項１２に記載のＬＥＤ照明光源。
【請求項１４】  前記基板の一部に、切り欠き、マーク、凹凸の中から選択される少なくとも１つが形成されている、請求項１２に記載のＬＥＤ照明光源。
【請求項１５】  前記ＬＥＤは、前記基板にフリップチップボンディングで直接実装されている、請求項１２に記載のＬＥＤ照明光源。
【請求項１６】  前記ＬＥＤは、面実装素子またはチップ型素子として組み込まれる、請求項１２に記載のＬＥＤ照明光源。
【請求項１７】  請求項１２から１６のいずれかに記載のＬＥＤ照明光源における給電端子を前記ＬＥＤが実装されている面から裏面へ押圧しながら接続するコネクタと、
前記コネクタを介して前記ＬＥＤ照明光源と電気的に接続される点灯回路と、
を備えたＬＥＤ照明装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月20日(2006.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、並びに（Ｃ）光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、
（Ｃ）成分が（Ｃ１）ヘキサアリールビスイミダゾール化合物、（Ｃ２）アリールグリシン系化合物、及び（Ｃ５）アルキルアミノ基を有するベンゾフェノン化合物若しくはクマリン化合物を含み、かつ
感光性樹脂組成物の、高圧水銀灯全波長の活性光線照射により、濃度領域０．００〜２．００、濃度ステップ０．０５、タブレットの大きさ２０ｍｍ×１８７ｍｍ、各ステップの大きさが３ｍｍ×１２ｍｍである４１段ステップタブレットの、濃度１．００の２１段が硬化する露光量をＥ０ｍＪ／ｃｍ２とし、感光性樹脂組成物を４０Ｗの無紫外白色灯下で２時間放置した後の感光性樹脂組成物の、高圧水銀灯全波長の活性光線照射により４１段ステップタブレットの２１段が硬化する露光量をＥ１ｍＪ／ｃｍ２とした時に下記式（１）：
【数１】
2005309442.tif 000001
を満足することを特徴とするレーザー走査露光用感光性樹脂組成物。
【請求項２】
（Ｃ２）成分が、一般式（II）
【化１】
2005309442.tif 000002
式中、Ｒ1は水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基を表す、
で示される化合物である請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
さらに（Ｃ４）有機ハロゲン系化合物を含有する請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
（Ｂ）成分がビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物を必須成分とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
（Ａ）バインダーポリマーが、スチレン又はスチレン誘導体を必須の共重合成分とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分の配合量が、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、（Ａ）成分が４０〜８０重量部、（Ｂ）成分が２０〜６０重量部及び（Ｃ）成分が０．０１〜２０重量部であり、（Ｃ１）成分、（Ｃ２）成分及び（Ｃ５）成分の配合量が、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、（Ｃ１）成分が１〜１０重量部、（Ｃ２）成分が０．０１〜３重量部及び（Ｃ５）成分が０．０１〜５重量部である請求項１〜５のいずれか１項記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥してなる感光性エレメント。
【請求項８】
請求項７記載の感光性エレメントを、回路形成用基板上に感光性樹脂組成物層が密着するようにして積層し、活性光線を画像状に照射し、露光部を光硬化させ、未露光部を現像により除去することを特徴とするレジストパターンの製造法。
【請求項９】
請求項８記載のレジストパターンの製造法により、レジストパターンの製造された回路形成用基板をエッチング又はめっきすることを特徴とするプリント配線板の製造法。
【請求項１０】
回路形成用基板上に感光性樹脂組成物層が密着するようにして積層し、ＵＶ（紫外線）レーザーで走査露光し、露光部を光硬化させ、未露光部を現像により除去することを特徴とするレジストパターンの製造法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月6日(2006.4.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
上記のようにＩＣカード１０に新規にファイルを作成する場合、発行者は、発行者ＩＤ以外からのアクセスに対して、当該ファイルへのアクセス（ここでは、コピー／譲渡）を制限することができる。即ち、発行者（ファイルの作成者）は、発行者以外の者がファイルのコピー／譲渡を実行できるか否かを制限するファイルのアクセス制御リストをファイル作成時に設定することができる。なお、上記のアクセス動作のうち、コピーはクーポン券の発行に相当する。特別な場合を除き、コピーは「不可」と設定される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
例えば、図４に示すように、ファイルのアクセス制御リスト１８Ｂには、ファイル１、ファイル２、ファイル３など各ファイルごとの、コピーを許可するか否かを示す情報、譲渡を許可するか否かを示す情報、及び発行者ＩＤ情報が格納される。このファイルのアクセス制御リスト１８Ｂは、アクセス制御リスト記憶部１８に記憶される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2005309779.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月15日(2005.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】画像表示装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各画素電極毎にスイッチング素子を有する液晶パネルと、
前記液晶パネルの複数の走査線を駆動する走査線駆動回路と、
前記液晶パネルの複数の信号線を駆動する信号線駆動回路と、
前記液晶パネルの駆動を制御するコントロール回路と、
信号処理回路とを少なくとも備える画像表示装置において、
前記信号処理回路は、反転関係にある一対の映像信号を、前記信号線駆動回路に出力することを特徴とする画像表示装置。
【請求項２】
各画素電極毎にスイッチング素子を有する液晶パネルと、
前記液晶パネルの複数の走査線を駆動する走査線駆動回路と、
前記液晶パネルの複数の信号線を駆動する信号線駆動回路と、
前記液晶パネルの駆動を制御するコントロール回路と、
信号処理回路とを少なくとも備える画像表示装置において、
前記信号処理回路は、前記画素電極に対向して設けられた対向電極の電位を基準として対称性を有する一対の映像信号を、前記信号線駆動回路に出力することを特徴とする画像表示装置。
【請求項３】
各画素電極毎にスイッチング素子を有する液晶パネルと、
前記液晶パネルの複数の走査線を駆動する走査線駆動回路と、
前記液晶パネルの複数の信号線を駆動する信号線駆動回路と、
前記液晶パネルの駆動を制御するコントロール回路と、
信号処理回路とを少なくとも備える画像表示装置において、
前記信号処理回路は、相互に反転関係にある複数対の映像信号を、前記信号線駆動回路に出力することを特徴とする画像表示装置。
【請求項４】
各画素電極毎にスイッチング素子を有する液晶パネルと、
前記液晶パネルの複数の走査線を駆動する走査線駆動回路と、
前記液晶パネルの複数の信号線を駆動する信号線駆動回路と、
前記液晶パネルの駆動を制御するコントロール回路と、
信号処理回路とを少なくとも備える画像表示装置において、
前記信号処理回路は、前記画素電極に対向して設けられた対向電極の電位を基準として対称性を有する一対の映像信号を、前記信号線駆動回路に複数出力することを特徴とする画像表示装置。
【請求項５】
各画素電極毎にスイッチング素子を有する液晶パネルと、
前記液晶パネルの複数の走査線を駆動する走査線駆動回路と、
前記液晶パネルの複数の信号線を駆動する信号線駆動回路と、
前記液晶パネルの駆動を制御するコントロール回路と、
信号処理回路とを少なくとも備える画像表示装置において、
前記信号処理回路は、少なくとも１つの第１の映像信号と少なくとも１つの第２の映像信号を前記信号線駆動回路に出力し、
前記第１の映像信号は、奇数番目の前記信号線に印加され、
前記第２の映像信号は、偶数番目の前記信号線に印加され、
前記第１の映像信号と前記第２の映像信号は、１フレーム期間毎に信号電位の極性が反転され、
前記第１の映像信号は前記第２の映像信号と反転関係にあることを特徴とする画像表示装置。
【請求項６】
請求項５において、前記信号線駆動回路および前記走査線駆動回路は、前記画素電極に対向して設けられた対向電極の電位を基準として、水平方向については隣接する前記画素電極同士の信号電位の極性を反転させ、さらに前記各画素電極の信号電位の極性を１フレーム期間毎に反転させることを特徴とする画像表示装置。
【請求項７】
各画素電極毎にスイッチング素子を有する液晶パネルと、
前記液晶パネルの複数の走査線を駆動する走査線駆動回路と、
前記液晶パネルの複数の信号線を駆動する信号線駆動回路と、
前記液晶パネルの駆動を制御するコントロール回路と、
信号処理回路とを少なくとも備える画像表示装置において、
前記信号処理回路は、少なくとも１つの第１の映像信号と少なくとも１つの第２の映像信号を前記信号線駆動回路に出力し、
前記第１の映像信号は、奇数番目の前記信号線に印加され、
前記第２の映像信号は、偶数番目の前記信号線に印加され、
前記第１の映像信号と前記第２の映像信号は、１水平走査期間毎に信号電位の極性が反転され、
前記第１の映像信号は前記第２の映像信号と反転関係にあることを特徴とする画像表示装置。
【請求項８】
請求項７において、前記信号線駆動回路および前記走査線駆動回路は、前記画素電極に対向して設けられた対向電極の電位を基準として、水平方向については隣接する前記画素電極同士の信号電位の極性を反転させ、垂直方向については、１画素毎に信号電位の極性を反転させ、さらに前記各画素電極の信号電位の極性を１フレーム期間毎に反転させることを特徴とする画像表示装置。
【請求項９】
各画素電極毎にスイッチング素子を有する液晶パネルと、
前記液晶パネルの複数の走査線を駆動する走査線駆動回路と、
前記液晶パネルの複数の信号線を駆動する信号線駆動回路と、
前記液晶パネルの駆動を制御するコントロール回路と、
信号処理回路とを少なくとも備える画像表示装置において、
前記信号処理回路は、複数の映像信号線を介して前記信号線駆動回路と接続され、前記複数の映像信号線とそれぞれ接続されている同数個のＤ／Ａ変換回路を有することを特徴とする画像表示装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか一において、前記液晶パネルは透過型の液晶パネルであり、且つ前記画像表示装置は投写用光源を備えた投写型の表示手段であることを特徴とする画像表示装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月30日(2005.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
図１４，図１５及び図１６は駆動アームと駆動ラックとを示す平面説明図であり、図１４はトレイ収納状態を、図１５はトレイ前動直前の状態を、また、図１６はトレイ引き出し状態を、それぞれ示している。尚、上記図１４〜図１６では、図面の簡略化のためにサブトレイ７１の図示は省略されている。
図１４に示されるように、駆動ラック３１が後端位置に位置しており、トレイ６１が、ディスク装置１内部のターンテーブル４５の配設位置に対応した位置（第１位置）にある状態で、上記電動モータ２１が駆動されて所定方向へ回転させられると、前述のようにその駆動力が駆動ラック３１に伝達され、該駆動ラック３１が前方へスライドさせられる。駆動ラック３１の第１ピン３１ｐが係合している駆動アーム３２のガイド溝３２ｇは、前後方向へ延びる前後直線部Ｇｓと、この前後直線部Ｇｓの前端部から斜め外側前方に延びる斜方部Ｇｎとで構成されている。上記第１ピン３１pが前後直線部Ｇｓに位置している間は、駆動ラック３１が前動しても、駆動アーム３２に動力が伝達されることはなく、従って、駆動アーム３２が回動させられることはない。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４】  トレイ収納状態における駆動アームと駆動ラックとを示す平面説明図である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】  トレイ前動直前の状態における駆動アームと駆動ラックとを示す平面説明図である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６】  トレイ引き出し状態における駆動アームと駆動ラックとを示す平面説明図である。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月23日(2006.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  位相シフトマスクと、ある波長の光を生成することが可能な照射源とを用いたフォトリソグラフィシステムのための遮光アパチャであって、
該波長の該光の第１の部分を遮光する第１の物体であって、該第１の物体は、該フォトリソグラフィシステムの瞳孔面と該光のゼロ次部分とに配置されている、第１の物体と、
該第１の物体から分離された第２の物体であって、該第２の物体は、該波長の該光の第２の部分を遮光し、該第２の物体は、該瞳孔面と、該フォトリソグラフィシステムとともに用いられるレチクルのパターンのピッチの関数である位相誤差に対応する該光の分数次部分とに配置されている、第２の物体と
を備え、
該位相シフトマスクは、該位相シフトマスクの表面に形成された凹部および該表面上に形成された凸部のうちの少なくとも１つを有している、遮光アパチャ。
【請求項２】  前記第１の物体は、第１の面積を有しており、前記瞳孔面における前記光の前記ゼロ次部分は、第２の面積を有しており、該第１の面積は、該第２の面積以上である、請求項１に記載の遮光アパチャ。
【請求項３】  前記第１の物体は、第１の形状を有しており、前記瞳孔面における前記光の前記ゼロ次部分は、第２の形状を有しており、該第１の形状は、該第２の形状に実質的に対応する、請求項２に記載の遮光アパチャ。
【請求項４】  前記第１の面積は、前記フォトリソグラフィシステムの調整レンズの開口数の関数である、請求項２に記載の遮光アパチャ。
【請求項５】  前記第１の面積は、前記フォトリソグラフィシステムの前記光の部分的コヒーレンスの関数である、請求項２に記載の遮光アパチャ。
【請求項６】  フォトリソグラフィシステムであって、
ある波長の光が位相シフトマスクを通過するようにすることが可能な照射源と、
該位相シフトマスクからの該光を瞳孔面に収束させることが可能な第１の調整レンズと、
該瞳孔面に配置されている遮光アパチャであって、該光のゼロ次部分において該波長の該光の第１の部分を遮光する第１の物体と、該第１の物体から分離された第２の物体であって、該フォトリソグラフィシステムとともに用いられるレチクルのパターンのピッチの関数である位相誤差に対応する該光の分数次部分において該波長の該光の第２の部分を遮光する第２の物体とを有する遮光アパチャと、
該瞳孔面からフォトレジストに該光をリダイレクトすることが可能な第２の調整レンズと
を備え、
該位相シフトマスクは、該位相シフトマスクの表面に形成された凹部および該表面上に形成された凸部のうちの少なくとも１つを有している、フォトリソグラフィシステム。
【請求項７】  前記第１の物体は、第１の面積を有しており、前記光の前記ゼロ次部分は、第２の面積を有しており、該第１の面積は、該第２の面積以上である、請求項６に記載のフォトリソグラフィシステム。
【請求項８】  前記第１の物体は、第１の形状を有しており、前記光の前記ゼロ次部分は、第２の形状を有しており、該第１の形状は、該第２の形状に実質的に対応する、請求項７に記載のフォトリソグラフィシステム。
【請求項９】  前記第１の面積は、前記第１の調整レンズの開口数の関数である、請求項８に記載のフォトリソグラフィシステム。
【請求項１０】  前記第１の面積は、前記第１の調整レンズと前記瞳孔面との間の前記光の部分的コヒーレンスの関数である、請求項８に記載のフォトリソグラフィシステム。
【請求項１１】  位相シフトマスクと、ある波長の光を生成することが可能な照射源とを用いたフォトリソグラフィシステムにおいて、撮像性能を向上させる方法であって、
該方法は、
（１）瞳孔面の部分であって、該位相シフトマスクからの該光の位相誤差部分が収束する部分を特定するステップと、
（２）該瞳孔面の該特定された部分に遮光アパチャを配置するステップと
を包含し、
該アパチャは、該波長の該光の第１の部分を遮光する第１の物体と、該第１の物体から分離された第２の物体であって、該波長の該光の第２の部分を遮光する第２の物体とを有しており、該第１の物体は、該瞳孔面と該光のゼロ次部分とに配置されており、該第２の物体は、該瞳孔面と、該フォトリソグラフィシステムとともに用いられるレチクルのピッチの関数である特定の位相誤差に対応する該光の分数次部分とに配置されており、
該位相シフトマスクは、該位相シフトマスクの表面に形成された凹部および該表面上に形成された凸部のうちの少なくとも１つを有している、方法。
【請求項１２】  前記アパチャの面積は、前記瞳孔面の前記部分の面積に対応する、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】  前記アパチャの形状は、前記瞳孔面の前記部分の形状に対応する、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】  フォトリソグラフィシステムにおいて、撮像性能を向上させる方法であって、
該方法は、
（１）ある波長を有する光がレチクルを通過する際に、該波長を有する該光の位相誤差部分を生成するように構成されたパターンを有する位相シフトマスクを有するレチクルを選択するステップであって、該位相誤差部分は、瞳孔面における遮光アパチャに収束するように構成されている、ステップと、
（２）該波長を有する該光が該レチクルを通過するようにするステップと
を包含し、
該遮光アパチャは、該波長を有する該光の第１の部分を遮光する第１の物体と、該第１の物体から分離された第２の物体であって、該波長を有する該光の第２の部分を遮光する第２の物体とを有しており、該第１の物体は、該瞳孔面と該光のゼロ次部分とに配置されており、該第２の物体は、該瞳孔面と、該フォトリソグラフィシステムとともに用いられるレチクルのピッチの関数である特定の位相誤差に対応する該光の分数次部分とに配置されており、
該位相シフトマスクは、該位相シフトマスクの表面に形成された凹部および該表面上に形成された凸部のうちの少なくとも１つを有している、方法。
【請求項１５】  （３）前記レチクルを通過した前記光を用いてフォトレジストを露光するステップをさらに包含する、請求項１４に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月11日(2006.5.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  結像光学系の収差を評価する方法において、
前記結像光学系の収差を像面座標と瞳座標との関数として一般的に表す収差多項式を設定する工程と、
前記結像光学系の像面における複数点について前記結像光学系の波面収差を測定する測定工程と、
前記測定工程で得られた前記波面収差を瞳座標の関数としての所定の多項式で近似する近似工程と、
前記近似工程で得られた前記所定の多項式における各項の係数に基づいて前記収差多項式の各項の係数を決定する工程とを含むことを特徴とする評価方法。
【請求項２】  前記所定の多項式はツェルニケ多項式を含むことを特徴とする請求項１に記載の評価方法。
【請求項３】  前記収差多項式は、前記結像光学系の光軸に関する回転対称収差成分、偏芯収差成分、およびアス収差成分のうちの少なくとも１つの収差成分を含むように設定されることを特徴とする請求項１または２に記載の評価方法。
【請求項４】  前記収差多項式は、前記偏芯収差成分および前記アス収差成分のうちの少なくとも１つの収差成分を含むように設定されることを特徴とする請求項３に記載の評価方法。
【請求項５】  前記回転対称収差成分は、前記像面座標および前記瞳座標における回転に対する不変量の冪級数として表現されることを特徴とする請求項３または４に記載の評価方法。
【請求項６】  前記偏芯収差成分は、前記像面座標および前記瞳座標における座標の一次依存成分と、前記回転に対する不変量の冪級数との積として表現されることを特徴とする請求項５に記載の評価方法。
【請求項７】  前記アス収差成分は、前記像面座標および前記瞳座標における座標の二次依存成分で且つ座標の回転に対して１８０度の周期関数である成分と、前記回転に対する不変量の冪級数との積を含むことを特徴とする請求項５に記載の評価方法。
【請求項８】  前記決定する工程は、前記近似工程で得られた前記所定の多項式における各項の係数の像面内分布を前記像面座標の関数としての所定の多項式で近似する第２の近似工程を含むことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の記載の評価方法。
【請求項９】  請求項１乃至８のいずれか１項に記載の評価方法により得られた前記結像光学系の収差情報に基づいて前記結像光学系を光学調整することを特徴とする調整方法。
【請求項１０】  所定のパターンを感光性基板に投影露光するための投影光学系として、請求項９に記載の調整方法により光学調整された結像光学系を備えていることを特徴とする露光装置。
【請求項１１】  請求項９に記載の調整方法により光学調整された結像光学系を用いて、所定のパターンの像を感光性基板上に投影露光することを特徴とする露光方法。
【請求項１２】  結像光学系の像面における複数点について測定された波面収差に基づいて前記結像光学系の収差を評価する方法において、
前記結像光学系の収差を像面座標と瞳座標との関数として一般的に表す収差多項式を設定する工程と、
前記測定された波面収差を瞳座標の関数としての所定の多項式で近似する近似工程と、
前記近似工程で得られた前記所定の多項式における各項の係数に基づいて前記収差多項式の各項の係数を決定する工程とを含むことを特徴とする評価方法。
【請求項１３】  前記所定の多項式はツェルニケ多項式を含むことを特徴とする請求項１２に記載の評価方法。
【請求項１４】  前記収差多項式は、前記結像光学系の光軸に関する回転対称収差成分、偏芯収差成分、およびアス収差成分のうちの少なくとも１つの収差成分を含むように設定されることを特徴とする請求項１２または１３に記載の評価方法。
【請求項１５】  前記収差多項式は、前記偏芯収差成分および前記アス収差成分のうちの少なくとも１つの収差成分を含むように設定されることを特徴とする請求項１４に記載の評価方法。
【請求項１６】  前記回転対称収差成分は、前記像面座標および前記瞳座標における回転に対する不変量の冪級数として表現されることを特徴とする請求項１４または１５に記載の評価方法。
【請求項１７】  前記偏芯収差成分は、前記像面座標および前記瞳座標における座標の一次依存成分と、前記回転に対する不変量の冪級数との積として表現されることを特徴とする請求項１６に記載の評価方法。
【請求項１８】  前記アス収差成分は、前記像面座標および前記瞳座標における座標の二次依存成分で且つ座標の回転に対して１８０度の周期関数である成分と、前記回転に対する不変量の冪級数との積を含むことを特徴とする請求項１６に記載の評価方法。
【請求項１９】  前記決定する工程は、前記近似工程で得られた前記所定の多項式における各項の係数の像面内分布を前記像面座標の関数としての所定の多項式で近似する第２の近似工程を含むことを特徴とする請求項１２乃至１８のいずれか１項に記載の評価方法。
【請求項２０】  請求項１乃至１９のいずれか１項に記載の評価方法を実行するプログラムが記録されていることを特徴とする記録媒体。
【請求項２１】  結像光学系の像面における複数点について測定された波面収差に基づいて前記結像光学系の収差を評価するプログラムであって、コンピューターを、
前記結像光学系の収差を像面座標と瞳座標との関数として一般的に表す収差多項式を設定する手段と、
前記測定された波面収差を瞳座標の関数としての所定の多項式で近似する近似手段と、
前記近似手段で得られた前記所定の多項式における各項の係数に基づいて前記収差多項式の各項の係数を決定する手段として機能させることを特徴とするプログラム。
【請求項２２】  前記決定する手段は、前記近似手段で得られた前記所定の多項式における各項の係数の像面内分布を前記像面座標の関数としての所定の多項式で近似する第２の近似手段を含むことを特徴とする請求項２１に記載のプログラム。