【手続補正書】
【提出日】平成18年2月7日(2006.2.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】 チップのパッドの接続性をテストする接続性テストシステムであって、
パッド対として指定されている複数のパッドと、
パッド対の第１のパッドに関連した第１のテスト論理部であって、当該第１のパッドが第１の入力および第１の出力を有するような第１のテスト論理部と、
パッド対の第２のパッドに関連した第２のテスト論理部であって、当該第２のパッドが第２の入力および第２の出力を有するような第２のテスト論理部と、を備え、
前記第１の入力が前記第２の出力に結合され、前記第２の入力が前記第１の出力に結合されることを特徴とする接続性テストシステム。
【請求項２】複数のパッドのそれぞれが双方向性パッドであることを特徴とする請求項１に記載の接続性テストシステム。
【請求項３】複数のパッドのうちから選択されるあるパッドが入力パッドおよび出力パッドのいずれか一方であることを特徴とする請求項１に記載の接続性テストシステム。
【請求項４】複数のパッドがＯＤＤモードおよびＥＶＥＮモードでテストされ、前記第１のパッドがＯＤＤパッドと指定され、前記第２のパッドがＥＶＥＮパッドと指定されることを特徴とする請求項１に記載の接続性テストシステム。
【請求項５】複数のパッドの各パッドが出力ドライバと受信器とを有し、パッドに入力されるテスト信号が前記受信器によって受信され、該パッドから出力されるテスト信号が前記出力ドライバを介して送り出されることを特徴とする請求項４に記載の接続性テストシステム。
【請求項６】前記出力ドライバの状態が出力許可信号とＥＶＥＮおよびＯＤＤテスト信号との比較によって制御され、
前記ＯＤＤパッドの出力ドライバは前記ＥＶＥＮモードによるテスト時に出力状態に切り替えられ、前記ＥＶＥＮパッドの出力ドライバは前記ＯＤＤモードによるテスト時に出力状態に切り替えられることを特徴とする請求項５に記載の接続性テストシステム。
【請求項７】半導体素子のテスト装置であって、
第１のテスト論理部と、
前記第１のテスト論理部に結合された第１のパッドと、
第２のテスト論理部と、
前記第２のテスト論理部に結合された第２のパッドと、を備え、
前記第１のパッドが、該第１のパッドから信号を送り出す働きをする第１の出力ドライバと、該第１のパッドで信号を受信する働きをする第１の受信器と、を有し、
前記第２のパッドが、該第２のパッドから信号を送り出す働きをする第２の出力ドライバと、該第２のパッドで信号を受信する働きをする第２の受信器と、を有し、
前記第２の受信器が前記第１の出力ドライバに結合され、前記第１の受信器が前記第２の出力ドライバに結合されることを特徴とするテスト装置。
【請求項８】前記第１のパッドおよび前記第２のパッドは機能的に双方向性のパッドであることを特徴とする請求項７に記載のテスト装置。
【請求項９】前記第１のテスト論理部が、第１のＯＲゲートと、前記第１のＯＲゲートおよび前記第１の出力ドライバに結合された第１のＡＮＤゲートと、を備え、
前記第１のＯＲゲートが出力許可信号およびＥＶＥＮテスト信号のいずれか一方を受信し、
該ＥＶＥＮテスト信号によって、前記第１のＡＮＤゲートが、前記第１の出力ドライバに、前記第１のパッドからの出力信号として前記第２のパッドから受信した入力信号を送り出させることを特徴とする請求項８に記載のテスト装置。
【請求項１０】前記第１のテスト論理部が、さらに、第１のインバータと、前記第１のインバータおよび前記第１の出力ドライバに結合されたマルチプレクサと、を有し、
前記第１のインバータは前記入力信号を反転し、前記マルチプレクサは出力信号および反転入力信号のいずれか一方を前記第１の出力ドライバに送るように選択し、
前記マルチプレクサは、ＥＶＥＮテストモードによる前記第１のパッドのテスト時に前記反転入力信号を選択することを特徴とする請求項９に記載のテスト装置。
【請求項１１】前記第２のテスト論理部が、第２のＯＲゲートと、前記第２のＯＲゲートおよび前記第２の出力ドライバに結合された第２のＡＮＤゲートと、を備え、
前記第２のＯＲゲートが出力許可信号およびＯＤＤテスト信号のいずれか一方を受信し、
該ＯＤＤテスト信号によって、前記第２のＡＮＤゲートが、前記第２の出力ドライバに、前記第２のパッドからの出力信号として前記第１のパッドから受信した入力信号を送り出させることを特徴とする請求項８に記載のテスト装置。
【請求項１２】前記第２のテスト論理部が、さらに、第２のインバータと、前記第２のインバータおよび前記第２の出力ドライバに結合されたマルチプレクサと、を有し、
前記第２のインバータは前記入力信号を反転し、前記マルチプレクサは出力信号および反転入力信号のいずれか一方を前記第２の出力ドライバに送るように選択し、
前記マルチプレクサは、ＯＤＤテストモードによる前記第１のパッドのテスト時に前記反転入力信号を選択することを特徴とする請求項１１に記載のテスト装置。
【請求項１３】前記第１のパッドが出力パッドとして機能し、前記第２のパッドが双方向性パッドとして機能することを特徴とする請求項７に記載のテスト装置。
【請求項１４】前記第１の出力ドライバに結合された第１のインバータと、
前記第１の出力ドライバに結合されたマルチプレクサと、
前記マルチプレクサに結合された第２のインバータと、を備え、
前記第１のインバータは、ＯＤＤテスト信号を受信し、
前記マルチプレクサは、ＥＶＥＮテスト信号、第１の出力信号、前記第２のパッドからの入力信号を受信し、
ＥＶＥＮテストモードにある時、前記第１のインバータは、前記第１の出力ドライバが信号を出力するよう、前記ＯＤＤテスト信号を反転し、前記第２のインバータは、前記第２のパッドから受信した入力信号を反転させ、前記マルチプレクサは、前期ＥＶＥＮテスト信号によって、前記第１のパッドからの出力信号として、前記第１の出力ドライバを介して、前記第２のパッドから受信した反転入力信号を送り出すように構成されることを特徴とする請求項１３に記載のテスト装置。
【請求項１５】前記第１のパッドが入力パッドとして機能し、前記第２のパッドが双方向性パッドとして機能的することを特徴とする請求項７に記載のテスト装置。
【請求項１６】前記第１のテスト論理部が、前記第１の出力ドライバに結合するＥＶＥＮテスト信号を備え、
前期ＥＶＥＮテスト信号が“Ｈｉｇｈ”出力の場合、前記第１の出力ドライバが、前記第１のパッドからの出力信号として前記第２のパッドから受信した入力信号を送り出すことを特徴とする請求項１５に記載のテスト装置。
【請求項１７】チップのパッドの入力および出力接続性をテストする接続性テスト方法であって、
２つのパッドからなるパッド対を指定するステップと、
第１の入力信号を前記パッド対の第１のパッドに供給するステップと、
前記第１の入力信号を反転して、第１の反転信号を発生するステップと、
前記パッド対の第２のパッドで前記第１の反転信号を受信するステップと、
前記第２のパッドの出力信号として前記第１の反転信号を読み取るステップと、を有することを特徴とする接続性テスト方法。
【請求項１８】前記パッド対をＯＤＤテストモードに切り替えるステップと、
前記第１のパッドに対して、該第１のパッドを出力パッドとして構成するような第１のテスト信号および第２のテスト信号を供給するステップと、
前記第２のパッドに対して第２の入力信号を供給するステップと、
前記第２の入力信号を反転して、第２の反転信号を発生するステップと、
前記第１のパッドにおいて前記第２の反転信号を受信するステップと、
前記第１のパッドの出力信号として前記第２の反転信号を読み取るステップと、
前記第１のパッドの出力信号と前記第２の入力信号とを比較するステップと、を有することを特徴とする請求項１７に記載の接続性テスト方法。