【手続補正書】
【提出日】平成17年11月28日(2005.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を載置する試料ステージと、
前記試料に荷電粒子線を照射する照射光学系と、
前記試料より発生する二次電子または反射電子を検出する検出器と、
前記試料に接触させるプローブと、
該プローブの駆動を制御するプローブ制御部と、
前記検出器からの信号を解析し、前記試料の表面と前記プローブ先端との高さを決定する解析装置と、
前記検出信号の画像を表示する表示装置とを備え、
前記表示装置は解析結果に基づいて前記試料の表面と前記プローブ先端との高さの情報を表示することを特徴とするプローブ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のプローブ装置において、前記解析装置は、前記試料の表面と前記プローブ先端との高さの関係を前記画像の輝度変化より決定することを特徴とするプローブ装置。
【請求項３】
請求項１に記載のプローブ装置において、前記表示装置に前記解析装置で決定された高さの数値を表示することを特徴とするプローブ装置。
【請求項４】
請求項１に記載のプローブ装置において、前記解析装置は前記高さに応じて前記プローブの駆動速度を算出することを特徴とするプローブ装置。
【請求項５】
請求項４に記載のプローブ装置において、前記算出結果を基に前記プローブを駆動させるプローブ制御装置を備えることを特徴とするプローブ装置。
【請求項６】
請求項４に記載のプローブ装置において、前記算出結果を基に前記プローブを手動で駆動させるプローブ操作装置を備えることを特徴とするプローブ装置。
【請求項７】
請求項１に記載のプローブ装置において、前記高さの情報に基づいて前記プローブを手動で駆動させるプローブ操作装置を備えることを特徴とするプローブ装置。
【請求項８】
請求項６に記載のプローブ装置において、プローブを操作するための入力装置を備えることを特徴とするプローブ装置。
【請求項９】
請求項８に記載のプローブ装置において、前記入力装置は、押しボタンまたはジョイスティックまたはマウスであることを特徴とするプローブ装置。
【請求項１０】
請求項１に記載のプローブ装置において、前記高さが予め設定した値に達したときに警告するブザーまたはインジケータを備えることを特徴とするプローブ装置。
【請求項１１】
請求項５に記載のプローブ装置において、前記試料の表面と前記プローブとの距離が所定の高さになったらプローブ駆動速度を遅くすることを特徴とするプローブ装置。
【請求項１２】
請求項４に記載のプローブ装置において、前記プローブを駆動させるプローブ制御装置と、前記プローブを手動で駆動させるプローブ操作装置とを備え、前記プローブ制御装置と前記プローブ操作装置とを前記算出結果に基づいて切り替えるスイッチを備えることを特徴とするプローブ装置。
【請求項１３】
請求項１に記載のプローブ装置において、前記プローブを駆動させるプローブ制御装置と、前記プローブを手動で駆動させるプローブ操作装置とを備え、前記プローブ制御装置と前記プローブ操作装置とを前記高さの情報に基づいて切り替えるスイッチを備えることを特徴とするプローブ装置。
【請求項１４】
試料を載置する試料ステージと、
前記試料に荷電粒子線を照射する照射光学系と、
前記試料より発生する二次電子または反射電子を検出する検出器と、
前記試料に接触させるプローブと、
該プローブの駆動を制御するプローブ制御部と、
前記検出器からの信号を解析し、前記試料の表面と前記プローブとの距離を決定する解析装置と、
前記検出信号の画像を表示する表示装置とを備え、
前記表示装置は解析結果に基づいて前記試料の表面と前記プローブとの距離の情報を表示することを特徴とするプローブ装置。
【請求項１５】  
試料及びプローブに荷電粒子ビームを照射し、荷電粒子ビーム照射によって放出された二次粒子又は反射粒子を検出して得られるプローブ像を含む試料像をモニターしながら前記プローブを試料に接近する方向に第一の速度で駆動する工程と、
前記試料像中の前記プローブ像近傍領域の輝度の低下を検知したとき前記プローブの駆動速度を前記第一の速度より小さな第二の速度に変更する工程とを含むことを特徴とするプローブ駆動方法。
【請求項１６】
試料及びプローブに第一の角度から荷電粒子ビームを照射し、荷電粒子ビーム照射によって放出された二次粒子又は反射粒子を検出して得られるプローブ像を含む試料像上で、前記プローブの先端位置と試料上の特定位置との間の第一の距離を求める工程と、
試料及び前記プローブに前記第一の角度と異なる第二の角度から荷電粒子ビームを照射し、荷電粒子ビーム照射によって放出された二次粒子又は反射粒子を検出して得られるプローブ像を含む試料像上で、前記プローブの先端位置と試料上の前記特定位置との間の第二の距離を求める工程と、
前記第一及び第二の角度と前記第一及び第二の距離とに基づいて試料と前記プローブ間の距離を算出する工程と、
前記算出された試料と前記プローブ間の距離に応じて前記プローブを試料の方向に駆動する工程とを含むことを特徴とするプローブ駆動方法。
【請求項１７】
試料を載置する試料台と、
前記試料に荷電粒子ビームを照射する荷電粒子光学系と、
前記荷電粒子ビームの照射によって試料から放出された二次粒子又は試料から反射された反射粒子を検出する検出器と、
前記試料の表面に接触させるプローブと、
前記プローブの駆動を制御するプローブ制御装置と、
前記検出器による検出情報を画像として表示する表示装置と、
前記検出器による検出情報を解析する検出情報解析装置とを有し、
前記プローブ制御装置は前記検出情報解析装置の解析結果に基づいて前記プローブ駆動装置を制御することを特徴とするプローブ装置。
【請求項１８】  
請求項１７に記載のプローブ装置において、前記検出情報解析装置は前記画像中のプローブ近傍領域の輝度変化を検出することを特徴とするプローブ装置。
【請求項１９】
請求項１７に記載のプローブ装置において、前記プローブを試料方向に第一の速度で駆動中に前記検出情報解析装置が前記プローブ近傍領域の輝度の減少を検知したとき、前記プローブの試料方向への駆動速度を前記第一の速度より小さな第二の速度に変更することを特徴とするプローブ装置。
【請求項２０】
請求項１７に記載のプローブ装置において、前記プローブ制御装置は、前記プローブを試料方向に第一の速度で駆動中に前記検出情報解析装置が前記プローブ近傍領域の輝度の減少を検知したとき、前記プローブの試料方向への駆動速度を前記第一の速度より小さな第二の速度に変更し、前記プローブを試料方向に前記第二の速度で駆動中に前記検出情報解析装置が前記プローブ近傍領域の所定の輝度変化を検知したとき、前記プローブの駆動を停止することを特徴とするプローブ装置。
【請求項２１】  
請求項１７に記載のプローブ装置において、前記検出情報解析装置は、荷電粒子ビームを前記プローブ及び試料表面に対して異なる複数の角度から照射して得られる複数の画像における前記プローブの先端位置と試料の特定位置の座標を基にプローブと試料間の距離を算出することを特徴とするプローブ装置。
【請求項２２】
請求項１７に記載のプローブ装置において、試料の一部を分離した摘出試料を別の部材に移し変えるためのプローブと、前記摘出試料を固定する試料ホルダを保持する試料ホルダ保持具とを備えることを特徴とするプローブ装置。
【請求項２３】
請求項１７に記載のプローブ装置において、前記表示装置に試料表面に対する前記プローブの距離の情報を表示することを特徴とするプローブ装置。
【請求項２４】
試料を載置する可動の試料台と、
試料に荷電粒子ビームを照射する荷電粒子光学系と、
前記荷電粒子ビームの照射によって試料から放出された二次粒子又は試料から反射された反射粒子を検出する検出器と、
前記検出器による検出情報を画像として表示する表示装置と、
前記試料の表面に機械的に接触させるプローブと、
前記プローブの駆動を制御するプローブ制御装置と、
予め前記プローブを試料に接触させて得られたプローブ先端座標を記録するプローブ基準座標記録装置とを有し、
前記プローブ制御装置は前記プローブ基準座標記録装置の記録座標と前記プローブを接触させるべき試料上の座標を基に前記プローブの駆動距離と速度とを制御することを特徴とするプローブ装置。
【請求項２５】
試料を載置する可動の試料台と、
試料に荷電粒子ビームを照射する荷電粒子光学系と、
前記荷電粒子ビームの照射によって試料から放出された二次粒子又は試料から反射された反射粒子を検出する検出器と、
前記検出器による検出情報を画像として表示する表示装置と、
前記試料の表面に機械的に接触させる複数のプローブと、
前記プローブを試料表面に平行に移動させる際にプローブ毎に互いに異なる固有の試料表面までの距離範囲内で移動させるプローブ制御装置とを含むことを特徴とするプローブ装置。