Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月10日(2006.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  
遊技盤に設けられた複数の入賞手段と、これら入賞手段に入賞した遊技球を夫々検知する複数の入賞検知手段と、各入賞検知手段が遊技球の入賞を検知したことを条件に入賞手段の種類別に設定された所定数の遊技球を払出し可能な払出手段とを備えた弾球遊技機であって、
各入賞検知手段で検知があった場合に前記所定数の遊技球を払出すべき遊技球としてその数を記憶する払出遊技球数記憶手段を設け、
前記払出遊技球数記憶手段に記憶がある場合はその記憶された遊技球数分の遊技球を前記払出手段を介して直ちに払出し、
前記払出手段による各回の払出しは、この弾球遊技機に接続されたカード式球貸し機を介して球貸しする際に払出手段から払出す単位払出し球数に等しい数に予め設定された設定個数を上限とし、払出遊技球数記憶手段に記憶された遊技球数が設定個数に満たない場合はその個数を払出し、また払出遊技球数記憶手段に記憶された遊技球数が設定個数以上の場合は設定個数を払出した後に記憶された遊技球数から設定個数を減算する、
ことを特徴とする弾球遊技機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】  請求項１の弾球遊技機は、遊技盤に設けられた複数の入賞手段と、これら入賞手段に入賞した遊技球を夫々検知する複数の入賞検知手段と、各入賞検知手段が遊技球の入賞を検知したことを条件に入賞手段の種類別に設定された所定数の遊技球を払出し可能な払出手段とを備えた弾球遊技機であって、各入賞検知手段で検知があった場合に所定数の遊技球を払出すべき遊技球としてその数を記憶する払出遊技球数記憶手段を設け、払出遊技球数記憶手段に記憶がある場合はその記憶された遊技球数分の遊技球を前記払出手段を介して直ちに払出し、払出手段による各回の払出しは、この弾球遊技機に接続されたカード式球貸し機を介して球貸しする際に払出手段から払出す単位払出し球数に等しい数に予め設定された設定個数を上限とし、払出遊技球数記憶手段に記憶された遊技球数が設定個数に満たない場合はその個数を払出し、また払出遊技球数記憶手段に記憶された遊技球数が設定個数以上の場合は設定個数を払出した後に記憶された遊技球数から設定個数を減算するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、前記払出手段による各回の払出しは予め設定された設定個数を上限とし、払出遊技球数記憶手段に記憶された遊技球数が設定個数に満たない場合はその個数を払出し、また払出遊技球数記憶手段に記憶された遊技球数が設定個数以上の場合は設定個数を払出した後に記憶された遊技球数から設定個数を減算する構成とする場合、払出遊技球数記憶手段に記憶した払出遊技球数情報に基づいて払出す遊技球数が設定個数に満たない場合は、直ちにその個数の遊技球が払出される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、払出す遊技球数が設定個数以上の場合は、その設定個数の遊技球が払出され、払出遊技球記憶手段に記憶している遊技球数から払出した設定個数だけ減算される。その後、前記と同様に、設定個数の遊技球の払出し又は設定個数未満の遊技球の払出しが実行され、払出すべき遊技球はためることなく、全て迅速に払出される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、前記弾球遊技機の設定個数はカード式球貸し機を介して球貸しする際に払出手段から払出す単位払出し球数に等しく設定された場合、払出手段から払出す設定個数は、カード式球貸し機により払出手段から払出される単位払出し球数（例えば、１００円分の球数）に等しいので、球貸し用に予め記憶している単位払出し球数制御コマンド等を用いて能率的に払出すことが可能となり、所定個数の払出し用に別途制御コマンドを設ける必要がなく、払出し制御を簡単化できる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
また、払出手段による各回の払出しは予め設定された設定個数を上限とし、払出遊技球数記憶手段に記憶された遊技球数が設定個数に満たない場合はその個数を払出すので、その設定個数に満たない払出すべき遊技球をためることなく迅速にまた遅延なしに払出すことができる。また、払出遊技球数記憶手段に記憶された遊技球数が設定個数以上の場合は設定個数を払出した後に記憶された遊技球数から設定個数を減算するので、払出手段による払出し制御が簡単化するうえ、設定個数を例えば２５個程度の大きな数に設定することにより、払出手段の払出し速度、払出し性能を著しく高め、払出しの遅延を解消するこ
とができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
さらに、弾球遊技機の前記設定個数はカード式球貸し機を介して球貸しする際に払出手段から払出す単位払出し球数に等しく設定されているため、前記設定個数ずつ払出す際に、球貸し用に予め記憶している単位払出し球数制御コマンドを用いて払出すことができるから、払出し制御を簡単化することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月10日(2006.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遊技盤に設けられた複数の入賞手段と、これら入賞手段に入賞した遊技球を夫々検知する複数の入賞検知手段と、各入賞検知手段が遊技球の入賞を検知したことを条件に入賞手段の種類別に設定された所定数の遊技球を払出し可能な払出手段とを備えた弾球遊技機であって、
各入賞検知手段で検知があった場合に前記所定数の遊技球を払出すべき遊技球としてその数を記憶する払出遊技球数記憶手段を設け、
前記払出遊技球数記憶手段に記憶がある場合はその記憶された遊技球数分の遊技球を前記払出手段を介して直ちに払出し、
前記払出手段による各回の払出しは、入賞手段の種類別の前記所定数よりも大きな数に予め設定された設定個数を上限とし、払出遊技球数記憶手段に記憶された遊技球数が設定個数に満たない場合はその個数を払出し、また払出遊技球数記憶手段に記憶された遊技球数が設定個数以上の場合は設定個数を払出した後に記憶された遊技球数から設定個数を減算する、
ことを特徴とする弾球遊技機
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】  請求項１の弾球遊技機は、遊技盤に設けられた複数の入賞手段と、これら入賞手段に入賞した遊技球を夫々検知する複数の入賞検知手段と、各入賞検知手段が遊技球の入賞を検知したことを条件に入賞手段の種類別に設定された所定数の遊技球を払出し可能な払出手段とを備えた弾球遊技機であって、各入賞検知手段で検知があった場合に所定数の遊技球を払出すべき遊技球としてその数を記憶する払出遊技球数記憶手段を設け、払出遊技球数記憶手段に記憶がある場合はその記憶された遊技球数分の遊技球を払出手段を介して直ちに払出し、払出手段による各回の払出しは、入賞手段の種類別の所定数よりも大きな数に予め設定された設定個数を上限とし、払出遊技球数記憶手段に記憶された遊技球数が設定個数に満たない場合はその個数を払出し、また払出遊技球数記憶手段に記憶された遊技球数が設定個数以上の場合は設定個数を払出した後に記憶された遊技球数から設定個数を減算するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
弾球遊技機の遊技盤には、可変式入賞口、大入賞口、複数の普通入賞口を含む複数の入賞手段が設けられ、これら入賞手段の各々に入賞した遊技球は各入賞手段に設けた入賞検知手段で検知され、入賞手段の種類別に設定された所定数の遊技球が払出すべき遊技球としてその払出し球数が払出遊技球数記憶手段に記憶される。この払出遊技球数記憶手段に払出し球数の記憶がある場合、その払出し球数分の遊技球が払出手段を介して直ちに払出される。払出遊技球数記憶手段に記憶した払出遊技球数情報に基づいて払出す遊技球数が設定個数に満たない場合は、直ちにその個数の遊技球が払出される。また、払出す遊技球数が設定個数以上の場合は、その設定個数の遊技球が払出され、払出遊技球数記憶手段に記憶している遊技球数から払出した設定個数だけ減算される。
さらに、設定個数は、入賞手段の種類別の所定数よりも大きな数である場合には、１回の払出し個数を多くすることができるので、払出し回数を格段に少なくし、払出し制御を簡単化し、払出手段の払出し性能を高め、弾球遊技機の実稼働率を向上させることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
払出遊技球数記憶手段に記憶がある場合は、その記憶された遊技球数分の遊技球を払出手段を介して直ちに払出すので、払出手段による遊技球の払出しを迅速化し、払出し時期を早めて払出しの遅延を解消することができる。払出すべき遊技球数が記憶される毎に遊技球を直ちに払出すので、払出し制御を簡単化でき、入賞球を貯留する入賞球タンクを省略するなど遊技盤の裏側の入賞球排出系の構造を簡単化することができるとともに、基板やそのケース等の部品の取付けスペースを広くすることができる。
また、払出手段による各回の払出しは予め設定された設定個数を上限とし、払出遊技球数記憶手段に記憶された遊技球数が設定個数に満たない場合はその個数を払出すので、その設定個数に満たない払出すべき遊技球をためることなく迅速にまた遅延なしに払出すことができる。また、払出遊技球数記憶手段に記憶された遊技球数が設定個数を減算するので、払出手段による払出し制御が簡単化するうえ、設定個数を例えば２５個程度の大きな数に設定することにより、払出手段の払出し速度、払出し性能を著しく高め、払出しの遅延を解消することができる。
さらに、設定個数が、入賞手段の種類別の所定数よりも大きな数であるため、１回の払出し個数を多くすることができ、払出し回数を格段に少なくして払出し開始時の準備時間の合計を少なくし、払出手段の払出し速度、払出し性能を大幅に高め、払出しの遅延を解消でき、弾球遊技機の実稼働率を高めることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月5日(2006.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可変表示装置を有し、当該可変表示装置の表示結果が所定の表示結果となる場合に所定の遊技価値を付与可能な遊技機において、
前記可変表示装置の始動条件となる遊技球が入賞するための始動口と、
遊技者にとって有利な遊技状態に制御するか否かを決定可能な遊技状態決定手段とを含み、
該始動口に入賞することによって、前記可変表示装置の画像表示領域に第１領域と第２領域とを形成し、前記画像表示領域に前記表示結果を導出させるための可変表示制御を行う可変表示制御手段を含み、
前記可変表示制御手段は、前記第１領域に表示された識別情報の中から特定の識別情報を前記第２領域に移行し表示するための制御手段であって、前記画像表示領域内に前記第２領域の表示位置を変更する制御手段を含み、該制御手段は前記遊技状態決定手段によって第２領域の表示位置を変更することを含む、ことを特徴とする遊技機。
【請求項２】
前記第１領域に表示される識別情報は、スクロール状態で表示されることを特徴とする請求項１に記載の遊技機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するための本発明の要旨とするところは、次の各項の発明に存する。
［１］可変表示装置（３１０）を有し、当該可変表示装置（３１０）の表示結果が所定の表示結果となる場合に所定の遊技価値を付与可能な遊技機において、
前記可変表示装置（３１０）の始動条件となる遊技球が入賞するための始動口（２１）と、
遊技者にとって有利な遊技状態に制御するか否かを決定可能な遊技状態決定手段（１０１）とを含み、
該始動口（２１）に入賞することによって、前記可変表示装置（３１０）の画像表示領域に第１領域（３１１）と第２領域（３１２）とを形成し、前記画像表示領域に前記表示結果を導出させるための可変表示制御を行う可変表示制御手段（３００）を含み、
前記可変表示制御手段（３００）は、前記第１領域（３１１）に表示された識別情報の中から特定の識別情報を前記第２領域（３１２）に移行し表示するための制御手段であって、前記画像表示領域内に前記第２領域（３１２）の表示位置を変更する制御手段を含み、該制御手段は前記遊技状態決定手段（１０１）によって第２領域（３１２）の表示位置を変更することを含む、ことを特徴とする遊技機。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
［２］前記第１領域（３１１）に表示される識別情報は、スクロール状態で表示されることを特徴とする［１］に記載の遊技機。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき本発明を代表する実施の形態を説明する。
図１〜図１５は本発明の一実施の形態に係る遊技機を示している。
本実施の形態に係る遊技機は、遊技盤２上に遊技球（以下単に球という。）を打ち出す遊技を実行する遊技機本体１と、これに付設されプリペイドカードの挿入により球を貸し出すカードユニット（ＣＲ球貸機）ｂから成る。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
特別図柄表示装置３１０では、前記始動口２１への球の入賞に起因して、スロットマシンに見立てられた表示遊技が実行される。かかる表示遊技においては、特別図柄表示装置３１０の画像表示領域は、第１領域３１１とこれ以外の第２領域３１２とが使用され、第１領域３１１は各種図柄（識別情報）の可変表示が開始され、所定時間経過後に、第１領域３１１に可変表示された識別情報の中の特定のものが第２領域３１２の１つに移行表示された後に停止表示される。次に、第１領域３１１に可変表示された識別情報の中の特定のものが第２領域３１２の他の１つに移行表示された後に停止表示され、さらに、第１領域３１１に可変表示された識別情報の中の特定のものが第２領域３１２に移行した後停止表示されるように設定されている。
前記したように第２領域３１２は各図柄（識別情報）がそれぞれ停止する３つの領域から構成されている。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月24日(2006.7.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】      明細書
【発明の名称】  魚および海老の食いつきによる皮膚刺激水槽装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水を汲み入れ、該水中に魚を放って肌面を該魚に食いつかせることを特徴とする、皮膚刺激水槽装置。
【請求項２】
前記水は淡水である、請求項１に記載の皮膚刺激水槽装置。
【請求項３】
前記水は塩水である、請求項１に記載の皮膚刺激水槽装置。
【請求項４】
前記魚が養殖魚であることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれかに記載の皮膚刺激水槽装置。
【請求項５】
前記魚が淡水魚であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の皮膚刺激水槽装置。
【請求項６】
水を汲み入れ、該水中に海老を放って肌面を該海老に食いつかせることを特徴とする、皮膚刺激水槽装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、皮膚刺激を利用する装置に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
従来より、つぼを刺激する鍼や灸などの療法と共に、マッサージや乾布摩擦などによって皮膚を刺激し血行を促進させるのが、健康維持に非常に有効であることがよく知られている。ところが、マッサージや乾布摩擦などは人手で行うものであり、体力の弱い高齢者や障害者などには負担が大きくて、独力ではなかなか実行できないという問題があった。また、これらの方法では皮膚刺激が局所的に限られるため、逐次広い面積にわたって刺激しようとすれば長時間を要するという問題があった。
【０００３】
そこで本発明者は、比較的体力の弱い人でも手軽にできて効果のある皮膚刺激装置について鋭意検討を重ねた結果、本発明に至ったのである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明に係わる、魚の食いつきによる皮膚刺激装置の要旨とするところは、水を汲み入れ、該水中に魚を放って肌面を該魚に食いつかせることにある。
【０００５】
そして特に、魚に養殖魚が用いられたことにある。
【０００６】
そしてさらに、魚に淡水魚が用いられたことにある。
【０００７】
また、本発明に係わる、海老の食いつきによる皮膚刺装置の要旨とするところは、水を汲み入れ、該水中に海老を放って肌面を該海老に食いつかせることにある。
【０００８】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係わる魚の食いつきによる皮膚刺激法、及び、海老の食いつきによる皮膚刺激法の実施態様について、図面に基づいて詳しく説明する。
【０００９】
図1に示されるように、本発明では魚１０の放たれた水槽１２内に人１４が入り、魚10に肌面を食いつかせる。人１４は水槽内に身体を沈めているだけでよいので、高齢者や障害者などの体力の弱った人でも十分に実行できる。また、身体のどの部分にでも食いつかすことができるので、全身に対して効率良く皮膚刺激できる。
【００１０】
水槽12は、身体を沈められる大きさであれば良く、形状は特に限定されない。一般家庭で用いられている浴槽を使用すれば、どの家庭でも手軽に実行できて大変便利である。あるいは、営業用浴場などの一隅に比較的大きな水槽１２を設けて、多くの人々が利用できるようにされてもよい。魚１０が淡水魚であれば、水道水や溜水や川の水などをそのまま使用できる。海水魚であれば海水と同じ位の濃度の塩水を調合して用いる。
【００１１】
魚１０を得るには、購入してもよいし、養殖業者やレンタル業者などから借用してもよい。また、施療後の魚１０を水槽内にそのまま、又は別の場所に移して生きたまま保管し、再度使用することができる。
【００１２】
水槽１２内の魚１０は、肌面に付着している垢や、塩分などの分泌物や、諸々の汚れなどを好んで肌面に食いつく。より確実に食いつかせるには、予め肌面に魚１０の餌となる物を付けておいたり、肌面に食いつく習性を魚１０に予め教育しておくとよい。
【００１３】
本発明に用いられる魚１０の種類は特に限定されず、モツゴなどの草食魚、ハマチなどの肉食魚、コイなどの雑食魚、等々が用いられる。一般に、草食魚は軽く食いつくが、肉食魚は強く噛みつくので刺激が強い。ピラニアなどの鋭い歯には、プラスチック製のカバーなどを被せて安全性を高めることができる。また、魚１０の大きさも特に限定されない。魚１０の種類により最適値が異なるが、体長が１０ｃｍから３０ｃｍ位の魚が好ましく用いられる。
【００１４】
養殖魚は投入された餌に食いつく習性があるので肌面にも食いつきやすく、特に好ましく用いられる。例えば、タイ、ハマチ、ヒラメ、スズキ、アユ，コイなどが用いられるが、これらの例示に限定されない。
【００１５】
また、淡水魚を用いれば、水道水などをそのまま水槽に満たせばよいので、塩水を調合する手間が省けて大変便利である。水道水中の塩素濃度が高い場合にはキトサンなどを用いて脱塩素処理するのが好ましい。モツゴ、フナ、ハゼ、ワカサギ、ドジョウなどが好ましく用いられる。
【００１６】
また、本発明の別の実施態様では、魚１０に替えて種々の海老が用いられ、シバエビなどの海水性の海老、スジエビやヌマエビなどの淡水性の海老が好ましく用いられる。
【００１７】
以上、本発明に係わる皮膚刺激法について詳細に説明してきたが、本発明は上述の引用・例示に限定されず、魚や海老の種類や大きさ、水槽の材質や形状や大きさ、水槽内に満たされる水の種類などにつき、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々なる改良、修正、変化を加えた態様で実施し得るものである。
【００１８】
本発明の実施例を以下に詳しく説明する。
【００１９】
実施例１
約０．５ｍ３の家庭用浴槽に水道水を満たし、養殖して体長が２０ｃｍ位のコイを１０匹放流した。そして、身体を特に洗わずに浴槽内に沈め、１５分間じっとしていたところ、コイが身体中のいたるところに食いつき大変爽快な気分になれた。
【００２０】
実施例２
実施例１において、コイの代わりに、琵琶湖での網漁で得たスジエビを約２００匹用いた他は、実施例１と同様にして施療した。
【００２１】
【発明の効果】
本発明に係わる、魚や海老の食いつきによる皮膚刺法によれば、水槽に身体を沈めているだけで魚や海老が勝手に食いつくので、比較的体力の弱った高齢者や障害者でも簡単に実行できる。また、全身にわたり食いつくので、皮膚刺激の効率が非常に良く短時間で施療できる。
【００２２】
そして特に、養殖魚が用いられれば、餌に食いつく習性があるため肌面に対しても良く食いつくので好都合である。
【００２３】
そしてまた特に、淡水魚が用いられれば、水道水や溜水や川水などをそのまま使用できるので大変便利である。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明に係わる魚の食いつきによる皮膚刺激装置の一例を説明する模式図である。
【符号の説明】
１０：魚
１２：水槽
１４：人
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月10日(2006.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
電子スピン共鳴測定法（ＥＳＲ、ＥＰＲとも称する）に用いるスピントラップ剤において、ピロリジン環を有するニトロン化合物としてはＤＭＰＯ（5,5-Dimethyl-1-pyrroline N-oxide）が最も汎用されている。ＤＭＰＯと比較してスピンアダクトの半減期が長いＤＥＰＭＰＯ(5-Diethoxyphosphoryl-5-methyl-1-pyrroline N-oxide：特表平８−５０１８０８、 Frejaville C. et al., Journal of Medicinal Chemistry Vol.38 258-265(1995))は、ジエチル亜リン酸（ Diethylphosphite ）を原料として得られる中間体のピロリジン化合物ＤＥＰＭＰＨ（Diethyl(2-methyl-2-pyrroridin-2-yl)phosphonate :Pietri S. et al., European Journal of Biochemistry Vol.254 254-256(1998) ) を介して合成が行われている。しかしながらＤＥＰＭＰＯはＤＭＰＯに比べ非常に高価格であるためにＤＭＰＯのようには普及していない。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
亜リン酸に結合するエチルアルコ−ルのような直鎖型低級アルコ−ル、例えば、ＤＥＰＭＰＯの原料であるジエチル亜リン酸（Diethyl phosphite、Diethyl hydrogen phosphite 或いは Phosphonic acid diethyl ester と称する）は、安定性に欠けることが知られ、例えば、ジオ−ル類と加熱すると交換反応が起き、容易にエチルアルコ−ルが脱離し、より安定な環状フォスファイト構造を形成することが報告されている（Oswald A.A., Canadian of Journal Chemistry Vol.37 1498-1504(1959)、Barbati S. et al., Synthesis Vol.12 2036-2040 (1999)）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明において、一般式（１）における好適な組合せ例としては、低級アルキル基において、通常はメチル基が好ましいが、脂溶性を高めるためには炭素数の多いアルキル基、例えばｔ−ブチル基などを選択することが出来る。水溶性を付加するにはカルボキシル基またはその塩が適している。生体内における代謝を利用してカルボキシル基に変換したい場合にはアルコキシカルボニル基或いはカルバモイル基を選択するのがよい。分子中の水素原子は、用途に応じて原料中間体あるいは目的物の各段階で文献記載の変換法（Pou S.et al., Journal of Organic Chemistry Vol.55 4438-4443 (1990)、Karoui H. et al., Journal of Organic Chemistry Vol.64 1471-1477 (1999)、Clement J.-L. et al., Organic Biomolecular Chemistry Vol.1 1591-1597 (2003) など）に準じて目的の部位に重水素原子の導入を行うことが可能である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の新規ピロリジン誘導体の合成に用いる好適なピロリン誘導体は、文献記載の方法（Kloetz M.C. et al., Journal of American Chemisrty Vol.69  2271-2275 (1947)、Evans G.G., Journal of American Chemisrty Vol.73 5230-5234 (1951) 、Bonnett R. et al., Journal of Chemical Society 2087-2093 (1959) 、Gutteridge N.J.A. et al., Journal of Chemical Society (C) 122-125(1971) 、Frejaville C. et al., Journal of Chemical Society Chemical Communications 1793-1794 (1994)、Clement J.L. et al., Organic Biomolecule Chemistry Vol.1 1591-1595(2003)、Dehnel A. et al., Journal of Organic Chemisrty Vol.53 1566-1567(1988) ほか）に準じて合成できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
以下に本発明の環状フォスファイトが付与されたピロリジン誘導体を原料化合物として用いて合成が可能なニトロン誘導体を例示する。新規ニトロン誘導体は、本発明のピロリジン誘導体を用いて文献記載に記載の合成法（Mathieu C. et al., Free Radical Biology & Medicine Vol.22 803-806 (1997)、Frejaville C. et al., Journal of Chemical Society Chemical Communications 1793-1794(1994) 、Clement J.-L. et al., Organic Biomolecular Chemistry Vol.1 1591-1597 (2003) 、Moigne F.L. et al., Journal of Organic Chemistry Vol.59 3365-3367 (1994)、Barbati S. et al., Synthesis Vol.12 2036-2040 (1999)、Janzen E.G. et al., Journal of Organic Chemistry Vol.60 5441-5445 (1995)など) に準じて合成することが可能である。
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月23日(2006.8.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
実施例に記載の方法。
【請求項２】
50重量％〜95重量％の重合アクリロニトリルモノマーと、５重量％〜50重量％の重合オレフィン性不飽和モノマーとを含有する溶融加工性均質マルチポリマーであって、該マルチポリマーは溶融加工性であり、かつ該マルチポリマー鎖中に比較的均一なモノマー分布を含有する、マルチポリマー。
【請求項３】
前記アクリロニトリルおよび前記オレフィン性不飽和モノマーが、アクリロニトリルモノマーおよびオレフィン性不飽和モノマーの短配列の状態で、重合した鎖全体にランダムに内部分散し、その結果、溶媒または可塑剤、あるいは水の非存在下で溶融加工性である熱的に安定な溶融加工性均質マルチポリマーとなっている、請求項２に記載のマルチポリマー。
【請求項４】
前記オレフィン性不飽和モノマーが、アクリレート、メタクリレート、アクリルアミド、メタクリルアミド、アクリルアミド誘導体、メタクリルアミド誘導体、ビニルエステル、ビニルエーテル、ビニルアミド、ビニルケトン、スチレン、ハロゲン含有モノマー、イオン性モノマー、酸含有モノマー、塩基含有モノマー、オレフィンおよびこれらの組み合わせからなる群から選択される、請求項２に記載のマルチポリマー。
【請求項５】
前記アクリレートが、Ｃ１〜Ｃ１２アルキルアクリレート、Ｃ１〜Ｃ１２アリールアクリレート、およびＣ１〜Ｃ１２環式アクリレート、これらの官能性誘導体、およびこれらの組み合わせからなる群から選択され;そして前記メタクリレートが、Ｃ１〜Ｃ１２アルキルメタクリレート、Ｃ１〜Ｃ１２アリールメタクリレート、およびＣ１〜Ｃ１２環式メタクリレート、これらの官能性誘導体、およびこれらの組み合わせからなる群から選択され;そして前記アクリルアミドおよびメタクリルアミドが、アクリルアミド、N-置換アルキル誘導体およびN-置換アリール誘導体、メタクリルアミド、N-メチルアクリルアミド、N,N-ジメチルアクリルアミドおよびこれらの組み合わせからなる群から選択され;そして前記ビニルエステルが、ビニルアセテート、ビニルプロピオネート、ビニルブチレート、およびこれらの組み合わせからなる群から選択され;そして前記ビニルエーテルが、Ｃ１〜Ｃ８ビニルエーテル、エチルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、およびこれらの組み合わせからなる群から選択され;そして前記ビニルアミドが、ビニルピロリドンおよびこれらの組み合わせからなる群から選択され;そして前記ビニルケトンが、Ｃ１〜Ｃ８ビニルケトン、エチルビニルケトン、ブチルビニルケトン、およびこれらの組み合わせからなる群から選択され;そして前記スチレンが、メチルスチレン、スチレン、置換スチレン、多置換スチレンおよびこれらの組み合わせからなる群から選択され;そして前記ハロゲン含有モノマーが、塩化ビニル、臭化ビニル、フッ化ビニル、塩化ビニリデン、臭化ビニリデン、フッ化ビニリデン、ハロゲン置換プロピレンモノマーおよびこれらの組み合わせからなる群から選択され;そして前記イオン性モノマーが、ビニルスルホン酸ナトリウム、スチレンスルホン酸ナトリウム、メタリルスルホン酸ナトリウム、アクリル酸ナトリウム、メタクリル酸ナトリウム、およびこれらの組み合わせからなる群から選択され；そして前記酸含有モノマーが、アクリル酸、メタクリル酸、ビニルスルホン酸、イタコン酸、およびこれらの組み合わせからなる群から選択され；そして前記塩基含有モノマーが、ビニルピリジン、2-アミノエチル-N-アクリルアミド、3-アミノプロピル-N-アクリルアミド、2-アミノエチルアクリレート、2-アミノエチルメタクリレートおよびこれらの組み合わせからなる群から選択され；そして前記オレフィンが、イソプレン、ブタジエン、Ｃ２〜Ｃ８直鎖α-オレフィンおよびＣ２〜Ｃ８分枝α-オレフィン、プロピレン、エチレン、イソブチレン、ジイソブチレン、1-ブテンおよびこれらの組み合わせからなる群から選択される、請求項４に記載のマルチポリマー。
【請求項６】
前記アクリレートが、メチルアクリレート、エチルアクリレート、フェニルアクリレート、ブチルアクリレート、イソボルニルアクリレート、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-クロロエチルアクリレート、2-エチルヘキシルアクリレートおよびこれらの組み合わせからなる群から選択され；そして前記メタクリレートが、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、フェニルメタクリレート、ブチルメタクリレート、イソボルニルメタクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、2-クロロエチルメタクリレート、2-エチルヘキシルメタクリレートおよびこれらの組み合わせからなる群から選択される、請求項４に記載のマルチポリマー。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月14日(2005.11.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】 
【請求項１】  Ａｌ２Ｏ３の分子式で表される物質を主成分とし、ＳｉＯ３、Ｆｅ２Ｏ３、ＣａＯ・ＭｇＯおよびＫ２Ｏ・Ｎａ２Ｏの各分子式で表される物質からなる多数の所定径のボール（１１）が収容された、横設された円筒状の中空室（２２）と、 
前記中空室の上方に配置され下端が前記中空室に連通する箱筒状の上部中空室（２３）と、 
前記中空室の底部付近において先端を前記中空室の周面に開口して前記中空室の円周の接線方向に沿って配設された、熱風発生源からの熱風を供給するための熱風供給路（２４）と、 
前記上部中空室と前記熱風供給路との間において先端を前記中空室の周面に開口して突立して配設された、含水物質を前記中空室内に供給するための含水物質供給路（２５）と、 
前記上部中空室の一方の側面に突設された、乾燥された前記含水物質を取り出すための取出口（２６）と 
を具備した含水物質の乾燥装置。 
【請求項２】  前記Ａｌ２Ｏ３の分子式で表される物質の化合比が７０〜９８パーセントの範囲にある請求項１記載の含水物質の乾燥装置。 
【請求項３】  前記ボールの径が１．５〜６．０ミリメートルであり、その収容数が３０００〜６５０００個である請求項１または２記載の含水物質の乾燥装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月22日(2005.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明に係るＥＧＲ冷却システムにおける排気ガス回収配管路に酸化触媒金属をコーティングし担持させた例を示す拡大縦断面図である。
【図２】
平板状の金属帯箔と波板状の金属帯箔を渦巻状に巻回して相互の当接点をろう付けし管内部に挿設した例を示す図で、（ａ）は拡大縦断面図、（ｂ）は拡大横断面図である。
【図３】
１枚の波板状の金属帯箔を管内部に挿設した例を示す図で、（ａ）は拡大縦断面図、（ｂ）は拡大横断面図である。
【図４】
同上のＥＧＲ冷却システムにおけるＥＧＲクーラに酸化触媒を担持させる方法を例示したもので、（ａ）は多管式ＥＧＲクーラの伝熱管群の内面に酸化触媒をコーティングした例を示す一部拡大断面図、（ｂ）は多板式ＥＧＲクーラ伝熱板群に表面に酸化触媒をコーティングした例を示す一部拡大断面図である。
【図５】
本発明の対象とするＥＧＲ冷却システムの一例を示す概略図である。
【図６】
同上のＥＧＲ冷却システムにおける多管式のＥＧＲクーラの一例を示す一部破断平面図である。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月6日(2006.9.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エンド・キャップとモータ軸とを有するモータに搭載するためのエンコーダ・アセンブリ（10）であって、
前記エンド・キャップに装着されるエンコーダ底板（26）と、
前記エンコーダ底板に隣接し、一体化された機械的停止手段（22A、22B、22C）を有するエンコーダ・ハウジング（22）と、
符号化モジュールを備え、前記エンコーダ・ハウジングに取付けられる印刷回路基板（20）と、
コード板を搭載し、前記モータ軸に装着されるこしき（24）と、
前記符号化モジュール側に向く側面を有し、前記こしきの隣に位置するエンコーダ・カバー（12）と、
縁に沿って分散配置され、前記エンコーダ・カバーに接続されるばね（１６１、１６２、１６３）を有する中心部品（14）と、
前記符号化モジュール側に向く前記側面に前記中心部品上に配置され、前記機械的停止手段に当接する少なくとも一つの突起（１８１、１８２、１８３）とを含む、エンコーダ・アセンブリ。
【請求項２】
３以上の自然数をMとするとき、前記中心部品（14）が、M個の辺を有する多角形である、請求項１に記載のエンコーダ・アセンブリ。
【請求項３】
前記ばね（１６１、１６２、１６３）が片持ち梁であり、該片持ち梁の各々が前記多角形の頂点に位置する、請求項２に記載のエンコーダ・アセンブリ。
【請求項４】
前記中心部品（14）が円形であり、前記ばねが円形ばねである、請求項２に記載のエンコーダ・アセンブリ。
【請求項５】
前記突起（１８１、１８２、１８３）がピンである、請求項１に記載のエンコーダ・アセンブリ。
【請求項６】
エンド・キャップとモータ軸とを有するモータに搭載するためのエンコーダ・アセンブリであって、
前記エンド・キャップに装着されるエンコーダ底板（26）と、
前記エンコーダ底板に隣接し、一体化された機械的停止手段を有するエンコーダ・ハウジング（22）と、
符号化モジュールを備え、前記エンコーダ・ハウジングに取付けられる印刷回路基板（20）と、
コード板を搭載し、前記モータ軸に装着されるこしき（24）と、
前記符号化モジュール側に向く側面を有し、前記こしきの隣に位置するエンコーダ・カバー（12）と、
縁に沿って分散配置され、前記エンコーダ・カバーに当接するばねを有する中心部品（14）と、
前記符号化モジュール側に向く前記側面に前記中心部品上に配置され、前記機械的停止手段に当接する少なくとも一つの突起（１８１、１８２、１８３）とを含む、エンコーダ・アセンブリ。
【請求項７】
３以上の自然数をMとするとき、前記中心部品がM個の辺を有する多角形である、請求項６に記載のエンコーダ・アセンブリ。
【請求項８】
前記ばね（１６１、１６２、１６３）が片持ち梁であり、該片持ち梁の各々が前記多角形の頂点に位置する、請求項７に記載のエンコーダ・アセンブリ。
【請求項９】
前記中心部品（14）が円形であり、前記ばねが円形ばねである、請求項７に記載のエンコーダ・アセンブリ。
【請求項１０】
前記突起（１８１、１８２、１８３）がピンである、請求項６に記載のエンコーダ・アセンブリ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
別の従来技術では、図１、図２に示すように、カムに接続された機械的な装着手段を用いている。組立中は機械的装着手段にコード板を押し当て、そのあとカムを動かして該手段をコード板から離す。エンコーダの動作中は、コード板は自由に回転しなければならないから、据え付け後は間隙制御に使った機械的装着手段をすべて除去しなければならない。この製造方法は詰め物を使う前述の方法に比べ短時間ですむが、やはり動作中に必要とされない余分なカム部品を要する。図２に示すシステムではエンコーダの底部に設けたカムとハウジングとの間の接続が悪くなり、発光装置／検出装置の位置不整を生じ、それがエンコーダの性能に影響してしまう。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、エンコーダの稼動時に必要な部品のほかに更に付加部品を必要とせず、短時間でできるコード板と発光装置／検出装置間の間隙設定技術が求められる。また、その間隙設定機構はハウジングかエンコーダ・カバーに組み込まれ、エンコーダのハウジングと底部とが固定接触されるようになるのがよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【発明の実施の形態】
図３は本発明のエンコーダに用いるコード板アセンブリの一実施例の展開図である。図４はエンコーダ・カバーの底面を示す図である。コード板アセンブリ１０は図示しないモータのモータ軸に搭載される。エンコーダ・カバー１２は中心に位置する間隙設定機構を擁する。この間隙設定機構は中心部品１４を擁し、中心部品１４の縁に沿って分散配置したばねがエンコーダ・カバー１２に中心部品１４を接続している。中心部品１４はさらに少なくとも一個の突起１８1，１８2及び１８3を備える。突起１８1，１８2及び１８3は所望の離間距離に対応している。中心部品１４は三角形で、各頂点にそれぞれ一個の片持ち梁型ばね１６1，１６2及び１６3を備えるのが好ましい。所望の離間距離は三本のピン（一般には突起である）１８1，１８2及び１８3の長さに対応する。発光装置／検出装置を備えた符号化モジュールを擁する印刷回路板２０がエンコーダ・カバー１２とエンコーダ・ハウジング２２との間に介装される。エンコーダ・ハウジング２２には一体化された機械的停止手段２２A、２２B及び２２Cが設けられる。こしき付きコード板２４はエンコーダ・ハウジング２２とエンコーダ底板２６の間に位置決めされる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
エンコーダの装着時にエンコーダ・カバー１２の三角形部品（中心部品）１４は一体化停止手段２２A、２２B及び２２Cに突き当たるまで下方に押し付けられる。三角形部品（中心部品）１４の底部から延伸する三本のピン（突起）１８1，１８2及び１８3は、こしき付きコード板に接触し、それを図示しない前記軸上の正しい位置に押し出す。止めねじ付きこしきを使う場合は、止めねじを締めている間、コード板を三本のピン１８1，１８2及び１８3に押し付けるように上方へ押しておく。つぎに、三角形部品１４が解放され、ともにモールドされたばね要素が位置決めピン１８1，１８2及び１８3をコード板２４から離れるように引き上げる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月9日(2005.11.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内輪と外輪と転動体と前記内外輪の回転速度に対応した信号を出力する回転速度検出手段とを備えた転がり軸受において、前記回転速度検出手段を検査する検査装置であって、
前記内輪と外輪とのうち一方を回転させる回動手段と、
前記回転速度検出手段から出力される回転速度に応じた信号を周波数分析する周波数分析手段と、
前記周波数分析手段によって得られたスペクトル分布において、前記回転速度検出手段と内外輪の回転速度とに対応するメインスペクトルの振幅と、このメインスペクトルの近傍に位置するサイドローブスペクトルの振幅と、に基いて、前記回転速度検出手段と回動手段それぞれの異常の有無を判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記判定手段は、前記メインスペクトルの振幅が第１の所定値より小さいか否かを判定し、前記メインスペクトルの振幅が前記第１の所定値より小さい場合、前記回転速度検出手段に不具合ありと判定するメインスペクトル判定部を備えることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記判定手段は、前記サイドローブスペクトルの振幅が第２の所定値より大きいか否かを判定し、前記サイドローブスペクトルの振幅が前記第２の所定値より大きい場合、前記回動手段に不具合ありと判定するサイドローブスペクトル判定部を備えることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
前記判定手段は、
前記メインスペクトルの振幅が第１の所定値より小さいか否かを判定し、前記メインスペクトルの振幅が前記第１の所定値より小さい場合、前記回転速度検出手段に不具合ありと判定するメインスペクトル判定部と、
前記サイドローブスペクトルの振幅が第２の所定値より大きいか否かを判定し、前記サイドローブスペクトルの振幅が前記第２の所定値より大きい場合、前記回動手段に不具合ありと判定するサイドローブスペクトル判定部と
を備えることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項５】
前記回転速度検出手段は、円環状に形成されてこの周方向に沿って複数の透孔が等間隔に設けられ、前記内輪と外輪とのどちらか一方に固定されるトーンホイールを有し、
前記第１の所定値は、前記トーンホイールの複数の透孔のうち一つのみを塞いで得られるメインスペクトルの振幅とすることを特徴とする請求項２または請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記第２の所定値は、前記回動手段によって回転される前記内輪または外輪の回転速度の変化が最小となる制御ゲインを求め、この制御ゲインで回動手段を制御した時の回転むらによるサイドローブスペクトルの振幅とすることを特徴とする請求項３または請求項４に記載の検査装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月14日(2005.11.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】パターン欠陥検査方法及びその装置並びにフォトマスクの検査方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  被検査体を撮像して得られる被検査データと予め設定された基準パターンとを比較して前記被検査体上の欠陥を検査するパターン欠陥検査方法において、
前記欠陥検査を行う検査エリア内に設定された複数の領域ごとにそれぞれ検出感度を可変して前記欠陥の検査を行うことを特徴とするパターン欠陥検査方法。
【請求項２】  被検査体を撮像して得られる被検査データと予め設定された基準パターンとを比較して前記被検査体上の欠陥を検査するパターン欠陥検査装置において、
前記欠陥検査を行っている位置を示す位置データが前記欠陥検査を行う検査エリア内に設定された複数の領域のうちいずれの領域にあるかを判定し、この判定された前記領域に応じた検出感度を選択する判定切替え手段、を具備したことを特徴とするパターン欠陥検査装置。
【請求項３】  被検査体を撮像してその被検査パターンデータを取得する画像入力手段と、
複数層を成す各基準パターンを格納する基準パターン格納手段と、前記画像入力手段により取得された前記被検査パターンデータの検査エリア内における欠陥検査位置を示す位置データが前記検査エリア内に設定された複数の領域のうちいずれの領域にあるかを判定し、この判定された前記領域に応じた検出感度を選択する判定切替え手段と、
前記画像入力手段により取得された前記被検査パターンデータと前記基準パターン格納手段に格納されている前記各層ごとの各基準パターンとをそれぞれ比較し、前記判定切替え手段により選択された前記検出感度を用いて前記被検査体上の欠陥を検査するデータ比較手段と、
を具備したことを特徴とするパターン欠陥検査装置。
【請求項４】  前記判定切替え手段は、前記欠陥検査を行っている位置を示す前記位置データと前記検査エリア内に設定された複数の前記領域を示す各座標とをそれぞれ比較し、前記欠陥検査を行っている位置が当該領域内であるか否かを判定する前記各領域別の複数の検査エリア判定回路と、
この検査エリア判定回路により判定された領域に応じた欠陥判定しきい値を選択するセレクタと、
を有することを特徴とする請求項２又は３記載のパターン欠陥検査装置。
【請求項５】  前記画像入力手段により取得される前記被検査パターンデータが前記検査エリア内に設定された少なくとも２つの前記領域に跨がる場合、前記判定切替え手段は、前記被検査パターンデータが跨がる少なくとも２つの領域に対応した少なくとも２つの検出感度を選択する機能を有することを特徴とする請求項２又は３記載のパターン欠陥検査装置。
【請求項６】  フォトマスクを撮像して得られる被検査データと予め設定された基準パターンとを比較して前記フォトマスクを検査するフォトマスクの検査方法において、
前記フォトマスクを検査する検査エリア内に設定された複数の領域ごとにそれぞれ検出感度を可変して前記検査を行うことを特徴とするフォトマスクの検査方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばフォトマスク等に形成されたパターンを撮像して得られる被検査データと、このフォトマスクを描画したＣＡＤデータから展開した設計パターンのデータとを比較してフォトマスク上の欠陥を検査するパターン欠陥検査方法及びその装置並びにフォトマスクの検査方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明は、欠陥として影響度の小さい欠陥の検出感度を低下して欠陥検査ができるパターン欠陥検査方法及びその装置並びにフォトマスクの検査方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項５によれば、請求項２又は３記載のパターン欠陥検査装置において、画像入力手段により取得される被検査パターンデータが検査エリア内に設定された少なくとも２つの領域に跨がる場合、判定切替え手段は、被検査パターンデータが跨がる少なくとも２つの領域に対応した少なくとも２つの検出感度を選択する機能を有する。
請求項６によれば、フォトマスクを撮像して得られる被検査データと予め設定された基準パターンとを比較してフォトマスクを検査するフォトマスクの検査方法において、フォトマスクを検査する検査エリア内に設定された複数の領域ごとにそれぞれ検出感度を可変して検査を行うフォトマスクの検査方法である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、欠陥として影響度の小さい欠陥の検出感度を低下して欠陥検査ができるパターン欠陥検査方法及びその装置並びにフォトマスクの検査方法を提供できる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月10日(2005.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】小さな１つの基板上に該基板よりも十分に薄い薄膜を部分的に成膜し、光加熱オングストローム法により該基板の基板自体の部分の熱拡散率Ｄ1と該基板の薄膜成膜部分の見かけの熱拡散率Ｄ12を測定し、その測定値を基に該薄膜の熱伝導率を算出することを特徴とする光加熱オングストローム法による基板上の薄膜の熱伝導率測定方法。
【請求項２】上記薄膜の熱伝導率κ2を（ｄ1／ｄ2）Ｃ1[Ｄ12−Ｄ1]又は（ｄ1／ｄ2）κ1[Ｄ12−Ｄ1]の式（ｄ1は基板の厚さ、ｄ2は薄膜の厚さ、Ｃ1は基板の体積あたりの比熱容量、κ1は基板の熱伝導率）から算出することを特徴とする請求項１に記載の光加熱オングストローム法による基板上の薄膜の熱伝導率測定方法。
【請求項３】板状若しくは円柱状の基板上に部分的に該基板の厚さよりも十分に薄い薄膜を成膜し、該薄膜上を含む基板上全面に受光薄膜を成膜したことを特徴とする光加熱オングストローム法による基板上の薄膜の熱伝導率測定方法に使用する試料。
【請求項４】上記基板上で上記薄膜の境目又は該基板の厚味を介して対向した位置に熱電対を設けたことを特徴とする請求項３に記載の光加熱オングストローム法による基板上の薄膜の熱伝導率測定方法に使用する試料。
【請求項５】上記基板上の上記薄膜の境目から遠い位置であって該境目を介して対称の位置にそれぞれ熱電対を設けたことを特徴とする請求項３に記載の光加熱オングストローム法による基板上の薄膜の熱伝導率測定方法に使用する試料。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明では、小さな１つの基板上に該基板よりも十分に薄い薄膜を部分的に成膜し、光加熱オングストローム法により該基板の基板自体の部分の熱拡散率Ｄ1と該基板の薄膜成膜部分の見かけの熱拡散率Ｄ12を測定し、その測定値を基に該薄膜の熱伝導率を算出することにより、上記の目的を達成するようにした。該薄膜の熱伝導率κ2は、（ｄ1／ｄ2）Ｃ1[Ｄ12−Ｄ1]又は（ｄ1／ｄ2）κ1[Ｄ12−Ｄ1]の式（ｄ1は基板の厚さ、ｄ2は薄膜の厚さ、Ｃ1は基板の体積あたりの比熱容量、κ1は基板の熱伝導率）から算出される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図３に基づき説明すると、同図に於いて、符号１はホウケイ酸ガラスなどからなる厚さ３０μｍ程度の基板２の表面に、スパッタリングや蒸着などの成膜方法によりほぼ均一な例えば３０００Åの厚さで電気的絶縁性の薄膜３を部分的に形成すると共に、該基板２が露出した表面および該薄膜３の表面を覆う受光薄膜４としてビスマスを均一な厚さで形成し、該基板２の裏面であって該薄膜３と基板表面との境目５に該基板２の厚さを介して対向する位置に熱電対６を設けた試料を示す。該薄膜３は、実態に適合するように、例えば半導体デバイスを形成する薄膜と同一の組成で同一の厚さに形成される。また、受光薄膜４は、光透過率が小さく、熱伝導率が基板と同等かそれ以下の材料を用いることが好ましい。