【手続補正書】
【提出日】平成18年1月17日(2006.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】高一致性抗反射コーティング組成物
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）分子量（ＭＷ）が約２５，０００以上であるポリマーを含む抗反射組成物の層を基板に適用する段階；
（ｂ）抗反射組成物層の上に感光性耐食膜組成物の層を適用する段階；および
（ｃ）感光性耐食膜層を活性化放射線に露光し、露光した感光性耐食膜層を現像する段階を含む、形状を有する基板上に感光性耐食膜起伏影像を形成する方法。
【請求項２】  
感光性耐食膜組成物層を適用する前に抗反射層を熱的に硬化させる請求項１記載の方法。
【請求項３】
ポリマーが分子量（ＭＷ）約４０，０００以上、好ましくは分子量（ＭＷ）約５０，０００以上、より好ましくは分子量（ＭＷ）約６０，０００以上、さらにより好ましくは分子量（ＭＷ）約７０，０００以上である、請求項１記載の方法。
【請求項４】
ポリマーがアントラセン単位を含む請求項１記載の方法。
【請求項５】
抗反射組成物が、シリコンの局所酸化（ＬＯＣＯＳ）法によって形成された幅０．８ミクロンおよび中央部の深度２ミクロンの傾斜断面を有する段差特徴に関して約０．６０以上のＤＯＣを示し、好ましくは約０．６４以上のＤＯＣ、さらにより好ましくは約０．７０以上のＤＯＣを示す、請求項１記載の方法。
【請求項６】
抗反射組成物が架橋剤をさらに含む請求項１記載の方法。
【請求項７】
感光性耐食膜組成物が化学増幅陽画型耐食膜である請求項１記載の方法。
【請求項８】
感光性耐食膜を約２５０ｎｍ未満または約２００ｎｍ未満の波長を有する放射線に露光する請求項１記載の方法。
【請求項９】
１）分子量（ＭＷ）約２５，０００以上であるポリマーを含む抗反射組成物のコーティング層と
２）感光性耐食膜のコーティング層とをその上に有する基板を含む、コーティングされた基板。
【請求項１０】
基板が、マイクロエレクトロニクスウェーハ、平面パネルディスプレイ基板、または光学エレクトロニクス基板である、請求項９記載のコーティングされた基板。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、オーバーコーティングした感光性耐食膜層への基板からの露光放射線の反射を減少させる組成物に関する。より詳しく述べると、本発明は、基礎となる基板に関して非常に一致するコーティング層として適用することができる抗反射コーティング組成物に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
このように、新規抗反射性コーティング組成物を有することが望ましいと考えられる。基板形状の上に適用する場合においても、高一致性コーティング層として適用できる抗反射組成物を有することが特に望ましいと考えられる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、高一致性抗反射コーティング組成物を提供することを課題とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明のＡＲＣは、基板表面に適用すると極めて優れた一致性を示すことが意外にも判明した。例えば、本発明のＡＲＣは垂直および傾斜した段差のような実質的な形状を極めて均一にコーティングする、すなわち形状に対して実質的に一定の厚さのコーティング層を提供することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、本発明に係る方法においては、（２）感光性耐食膜組成物層を適用する前に抗反射層を熱的に硬化させる、上記（１）記載の方法であることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
【発明の実施の形態】
上記のように、本発明の抗反射組成物は高分子量ポリマーを含む。高分子量ポリマーは適用されたＡＲＣコーティング層に対して実質的な一致性を付与することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
コーティング層の一致性を測定する一つの手段は、「一致度」または「ＤＯＣ」と称され、所定の段差形状に対して、本明細書において（段差中央部でのコーティング基板の高さより低い段差から少なくとも５ミクロンの距離でのコーティング基板の高さ）を（段差の高さ）で除したものに等しいと定義する。ＤＯＣ計算のための関係を、傾斜段差１２（ＬＯＣＯＳ技法によって形成することができる）およびＡＲＣ層１４を有する基板１０を示す図面の図１にさらに示す。図１では、ｙをｘで除した値、すなわちｙ／ｘの値はコーティングのＤＯＣに等しい。本明細書で用いられる「一致度」または「ＤＯＣ」という用語は、図１に示し、直前で述べたｙ／ｘの値を指す。当業者によって理解されているように、所定のコーティング組成物に対するＤＯＣ値は、所定の基板段差の高さおよび広さ、またはその他の特徴に応じて変化することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
本発明の抗反射組成物の樹脂結合成分の濃度は、比較的広い範囲内で変化してもよく、一般に、樹脂結合剤は抗反射組成物の乾燥成分の総量の約５０〜９５重量百分率の濃度において用いられ、より典型的には、総乾燥成分（溶媒担体を除く全ての成分）の約６０〜９０重量百分率の濃度を用いる。高分子量材料がその他の低分子量ポリマーと共に存在するポリマー混和物を用いる場合、高分子量材料は、一致性の増強を示すために、例えば、高分子量材料がＡＲＣにおける総ポリマー百分率の約２〜３重量％となるようなかなり少ない量で存在してもよい。しかし、より典型的には高分子量材料は、ＡＲＣに存在する総ポリマーの少なくとも約１０重量百分率を表し、さらにより典型的には高分子量材料は、ＡＲＣに存在する総ポリマーの少なくとも約２０〜５０重量百分率を表すと考えられる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
本発明の抗反射組成物と共に用いるために好ましい陰画型耐食膜組成物としては、酸に対する暴露により硬化、架橋または固まる材料と感光性酸生成剤との混合物が含まれる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
抗反射層は、感光性耐食膜組成物を抗反射組成物の上に適用する前に硬化することが好ましい。硬化条件は抗反射組成物の成分によって変化するであろう。このように、組成物が酸または熱酸生成剤を含まない場合、硬化温度および条件は、酸または酸生成化合物を含む組成物の条件よりも厳密ではないと考えられる。典型的な硬化条件は、約１２０℃〜２２５℃で約０．５〜４０分である。硬化条件は、抗反射組成物コーティング層を、アルカリ水溶性現像液と共に感光性耐食膜溶媒に対して実質的に不溶性にすることが好ましい。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
そのような硬化後、感光性耐食膜を抗反射組成物の表面に適用する。抗反射組成物の適用の場合のように、感光性耐食膜はスピン、浸漬、メニスカス、またはローラーコーティングのような標準的な手段によって適用することができる。適用後、感光性耐食膜コーティング層を加熱して、好ましくは耐食膜層が不粘着となるまで溶媒を除去することによって、典型的に乾燥させる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０２】
【発明の効果】
本発明により、特に深部ＵＶ適用を目的とした抗反射性コーティング組成物（「ＡＲＣ」）としての用途に適した新規吸光組成物である、高一致性抗反射コーティング組成物が提供された。