【手続補正書】
【提出日】平成18年1月13日(2006.1.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】          明細書
【発明の名称】      磁気転写装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】  情報信号を担持したマスター担体を位置決め保持するマスター固定台座と、転写を受けるスレーブ媒体を前記マスター担体に密着させる密着装置とを備え、
前記マスター担体は前記マスター固定台座ごと交換することを特徴とする磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報を担持したマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写を行う磁気転写装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
磁気転写は、転写パターンが形成されたマスター担体と転写を受ける磁気記録部を有するスレーブ媒体を密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報（例えばサーボ信号）に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである。
【０００３】
この磁気転写方法としては、例えば特開昭６３−１８３６２３号公報、特開平１０−４０５４４号公報、特開平１０−２６９５６６号公報等に開示されている。
【０００４】
ところで、上記磁気転写方法による磁気転写時に、マスター担体の繰り返し使用により、マスター担体の表面に塵埃が付着して汚染される。このマスター担体に付着する塵埃としては、周辺環境で発生しているもの、マスター担体とスレーブ媒体との接触により発生するマスター担体およびスレーブ媒体の削れカスなどがあげられる。
【０００５】
これらの塵埃がマスター担体に付着した状態で磁気転写を行うと、塵埃付着部を中心とし周辺に及ぶ範囲までマスター担体とスレーブ媒体の密着が確保できず、所定信号レベルのパターン転写ができずに磁気転写品質が低下する。記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題があった。
【０００６】
上記付着塵埃はマスター担体とスレーブ媒体の密着を繰り返すことで、そのマスター担体表面への付着力が助長され、以降の磁気転写したスレーブ媒体のすべてに同様またはそれ以上のパターン転写不良が生じ、多数の不良品の発生原因となる。さらに、これら付着物により、マスター担体表面を変形させ、正常な機能を損なう問題がある。
【０００７】
また、上記のような点から、特開2000−285637に見られるように、回転するクリーナディスクに取り付けたクリーナパッドを、マスター担体の表面に押し付けて付着した塵埃を除去するクリーニング技術が開示されている。また、洗浄によって付着物を除去することも考えられる。
【０００８】
また、スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場合には、このスレーブ媒体の片面または両面に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。この磁気転写における転写品質を高めるためには、スレーブ媒体とマスター担体とをいかに隙間なく密着させることが重要な課題である。つまり密着不良があると、磁気転写が起こらない領域が生じ、磁気転写が起こらないとスレーブ媒体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題がある。
【０００９】
磁気記録媒体においては一般に、情報量の増加と共に多くの情報を記録する大容量で安価で、さらに好ましくは短時間で必要な箇所が読み出せるような、いわゆる高速アクセスが可能な媒体が望まれている。それらの一例としてハードディスク、高密度フレキシブルディスクが知られ、その大容量を実現するためには、狭いトラック幅を正確に磁気ヘッドが走査し、高いＳ／Ｎ比で信号を再生する、いわゆるトラッキングサーボ技術が、大きな役割を担っている。ディスクの１周の中で、ある間隔でトラッキング用のサーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等が、いわるプリフォーマットとして記録されている。
【００１０】
磁気ヘッドはこのようなプリフォーマットの信号を読み取って自らの位置を修正することにより正確にトラック上を走行することが可能に設定されている。現在のプリフォーマットは、ディスクを専用のサーボライト装置を用いて１枚ずつまた１トラックずつ記録して作成される。
【００１１】
しかしながら、サーボライト装置は高価であり、またプリフォーマット作成に時間が掛かるために、この工程が製造コストの大きな部分を占めることになっており、その低コスト化が望まれている。
【００１２】
一方、１トラックずつプリフォーマットを書くのではなく、磁気転写方法によりそれを実現することが提案されている。この磁気転写方法としては、例えば特開昭６３−１８３６２３号公報、特開平１０−４０５４４号公報、特開平１０−２６９５６６号公報等に開示されている。この磁気転写は、マスター担体とスレーブ媒体を密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報（例えばサーボ信号）に対応する磁化パターンの転写を行うもので、マスター担体とスレーブ媒体との相対的な位置を変化させることなく静的に記録を行うことができ、正確なプリフォーマット記録が可能であり、しかも記録に要する時間も極めて短時間である。
【００１３】
また、スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状磁気記録媒体の場合には、このスレーブ媒体の片面または両面に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。その際、スレーブ媒体のトラック方向に磁界を印加するために、スレーブ媒体とマスター担体を密着したものまたは磁界を相対的に回転させて、円盤状のスレーブ媒体のトラック全周に磁化パターンを転写している。
【００１４】
この磁気転写を行う際の重要な課題の一つに、マスター担体とスレーブ媒体との位置決めを精度良く行うことがある。特に、ハードディスク等のスレーブ媒体では、磁気転写後にドライブ装置に取り付けられたときの回転中心と転写記録された磁化パターンの中心とが精度良く一致していなければならない。その際、マスター担体の作製においては、転写情報のパターンの形成中心と、マスター担体の形状中心とを精度良く一致させることは困難で、例えば、中央部に位置決め穴を開口させても、その加工精度が十分でない場合がある。
【００１５】
上記点から、特開平１１−１７５９７３号に見られるように、マスター担体とスレーブ媒体を密着させる際に、画像装置で両者の位置決めを行うものが知られている。具体的には、まず密着フランジにスレーブ媒体をセットした後、その上にパターンに対応して透明部分に形成したマーカーを有するマスター担体を載置し、画像装置でマーカーとスレーブ媒体との位置とが一致するように観察しつつマスター担体の位置調整を行ってから両者を密着させるようにしている。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、マスター担体のクリーニングを行う際には、このマスター担体を磁気転写装置より取り外し、各種方法で付着物の除去を行った後、再度装置に取り付ける必要があり、マスター担体の位置決め作業が煩雑で転写稼働率が低下する問題がある。
【００１７】
特に、マスター担体に形成したサーボパターン等の転写パターンは、記録容量の増大に応じて微細となり、そのパターンの中心位置とスレーブ媒体の回転中心とが精度良く一致しないと所定の機能を確保することができないことから、単純な位置決めでは精度不足となるため、例えば転写パターンを測定顕微鏡等で観察して転写装置への位置合わせを行うような煩雑な作業を必要としている。このように、マスター担体の取り外し、取付作業には時間がかかるため、生産性の低下を招いていた。
【００１８】
また、クリーニング後のマスター担体の運搬時や取付時に、空気中に浮遊している塵埃が付着したり、マスター担体を手や治具で保持することにより、手や治具に付着している塵埃がクリーニング後のマスター担体に付着し、転写不良が発生する恐れもある。
【００１９】
本発明はこのような問題に鑑みなされたもので、マスター担体の交換が容易に行えるようにして、転写稼働率を向上して生産性を高めるようにした磁気転写装置を提供することを目的とするものである。
【００２０】
また、従来の磁気転写装置においては、スレーブ媒体とマスター担体との密着性を高めるために、押圧手段により押圧力を印加してマスター担体に対してスレーブ媒体を押し付けると共に、両者の密着面のエアを吸引して密着面に残留するエアを低減している。
【００２１】
その際、マスター担体を固定する下側チャンバーと、マスター担体にスレーブ媒体を押し付ける上側チャンバーとを備え、下側チャンバーの上面と上側チャンバーの下面とをＯリング等のシール材を介して接触させて両チャンバーを密閉することが考えられる。この構成で、内部の真空度を上げると、シール材が潰れて押圧力も高くなってしまい、真空度と密着圧力が独立に制御できない。このため、最適な真空度と密着圧力を得ることができず、密着不良、マスター担体の耐久性劣化などの原因となっていた。
【００２２】
つまり、マスター担体に対するスレーブ媒体の押圧力が高くなると、マスター担体に転写情報に応じて形成された微細凹凸パターンが欠けやすく、耐久面で問題となる。また、真空度を下げると密着面にエアが残留しやすくなる。
【００２３】
本発明は上記点に鑑みてなされたものであり、スレーブ媒体とマスター担体との密着における密着圧力と真空度を最適状態として密着性を高めて良好な磁気転写が行えるようにした磁気転写装置を提供することを目的とするものである。
【００２４】
また、特開平７−７８３３７号には、マスター担体の背面全体を弾性体による圧接手段で均等な圧力で押圧してスレーブ媒体とマスター担体との密着性を高めるようにした技術が開示されているが、このような解決手段では、スレーブ媒体の全面を弾性体によって押圧しているので、密着に必要な押圧力が全体として大きくなり、装置が大型化するなどの問題を有する。
【００２５】
例えば、スレーブ媒体とマスター担体間の密着に必要な圧力は、１〜５０Ｎ／cm2（０．１〜５．０kg／cm2）であり、スレーブ媒体が３．５インチ型ディスクの場合には、この圧力を得るためには全体で７０〜３５４０Ｎ（７〜３５４kg）の押圧力が必要となる。この荷重に耐えるように磁気転写装置の強度設計を行わなければならず、装置が大型化する。また、例えばリング型ヘッド電磁石による磁界印加装置を使用して転写用磁界を印加する場合、前述のスレーブ媒体とマスター担体とを圧接させる密着装置の厚みが大きくなって、スレーブ媒体とマスター担体との密着面に対し転写用磁界を印加する磁極を接近して配設することが困難となり、漏れ磁界強度が大きくなって所定の磁界強度分布を印加することができずに転写不良の発生原因となる。
【００２６】
また、マスター担体に対しスレーブ媒体の全面を均等に押圧しても、実際には各種歪み、エアの残留等により全面を均等に密着させるのは困難であり、部分的に密着不良が発生し、転写不良を生起する。特に、転写情報はマスター担体の全面に均一に形成されるのではなく、後述の図７(Ｂ)に示すように、例えばサーボパターンＰの場合には略放射状に部分的に形成されるものであり、この転写パターンの部分で密着性が確保できていれば良好な磁気転写が行えることが判明した。
【００２７】
本発明はこのような問題に鑑みなされたもので、押圧力を過大とすることなく磁気転写におけるスレーブ媒体とマスター担体との密着圧を確保して密着性を高め転写信号品質を向上するようにした磁気転写用弾性押圧部材を提供することを目的とするものである。
【００２８】
また、上記のような磁気転写を行う際の重要な課題の一つに、マスター担体とスレーブ媒体との位置決めを精度良く行うことがある。特に、ハードディスク等のスレーブ媒体では、磁気転写後にドライブ装置に取り付けられたときの回転中心と転写記録された磁化パターンの中心とが精度良く一致していなければならず、これが大きくずれると、転写記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得らなくなる恐れがある。
【００２９】
マスター担体とスレーブ媒体との位置決めを行う場合に、マスター担体の中心穴と、スレーブ媒体の中心穴とを、ホルダに設けた中心ピンに嵌装することにより位置決めすることが、構造的に好適である。
【００３０】
上記のような位置決めの場合に、マスター担体とスレーブ媒体との中心位置がずれていると、前述のような問題のほかに、両者をホルダに収納して密着させるときに、スレーブ媒体あるいはマスター担体の中心穴が中心ピンに片当たりして、そのマスター担体またはスレーブ媒体を破損する恐れがある。また、マスター担体とスレーブ媒体との中心位置がずれていると、両者を密着させた際に、密着力が不均一に作用する可能性もあり、全周で均一な密着を得ることが困難となる。さらに、ずれたエッジ部が他方の端部に密着力により押し付けられて傷が発生し耐久性等の点で問題となる。
【００３１】
本発明はこのような問題に鑑みなされたもので、マスター担体とスレーブ媒体とを密着させて良好な磁気転写が行えるようにした磁気転写装置を提供することを目的とするものである。
【００３２】
また、上記のようなマスター担体の位置調整では、スレーブ媒体を交換して磁気転写を行う毎に、マスター担体とスレーブ媒体を画像装置を使用して位置決め動作を行うので、この位置決め動作に時間を要して磁気転写効率が低下する問題があった。
【００３３】
通常、１枚のマスター担体によって複数のスレーブ媒体に対して順次磁気転写を行うものであり、転写効率を高めるには、磁気転写装置に予めマスター担体をセットし、このマスター担体との密着位置にスレーブ媒体を搬送して両者を密着させた後に転写用磁界を印加することが好ましい。その際、ハードディスクのようなスレーブ媒体には、ドライブの回転軸に取り付けるための中心孔が設けられ、その中心位置と回転中心とを一致させるようにすることから、上記中心孔をスレーブ保持軸（位置決め軸）によって保持することで位置精度を確保できるものである。
【００３４】
本発明はこのような点に鑑みなされたもので、マスター担体とスレーブ媒体とを密着させて磁気転写する際の位置合わせを改善し、生産効率の高い磁気転写が行えるようにした磁気転写方法を提供することを目的とするものである。
【００３５】
また、上記転写用磁界を印加する際に、磁界印加装置は固定で密着させたマスター担体とスレーブ媒体を回転させる第１の方法と、密着させたマスター担体とスレーブ媒体は固定で磁界印加装置を回転させる第２の方法とが考えられる。
【００３６】
第２の方法は磁界印加装置が電磁石装置の場合など、磁界生成機構に加えて回転駆動機構を設けることになって装置が巨大化し、設備面、コスト面などで不利となる。この点、第１の方法では第２の方法の上記のような問題はないが、マスター担体とスレーブ媒体の密着状態で、マスター担体とスレーブ媒体をそれぞれ交換可能に保持して密着させる機構を一体的に回転させる際に、それぞれの回転軸の回転中心を精度良く一致させなければならない。
【００３７】
例えば、スレーブ媒体を保持した回転基盤に対して、マスター担体を保持した押圧基盤を接離移動させて、マスター担体とスレーブ媒体を密着させ、回転基盤と一体に押圧基盤を回転させる際に両者の回転中心にズレが発生していると、マスター担体とスレーブ媒体間に微小な滑りが発生し、精度の良い磁気転写が達成できない。また、スレーブ媒体とマスター担体との密着が強く、回転動作時にスレーブ媒体とマスター担体とに滑りが発生しない場合には、転写精度は維持できるが、回転中心のズレは装置の軸、軸受などの機械的な繰り返し変形で逃げることになり、駆動抵抗の増大、部品の摩耗、疲労による強度低下等の使用頻度による装置の耐久性等への影響が問題となる。
【００３８】
さらに、磁気転写においては、スレーブ媒体の片面または両面の記録面に、磁気転写用マスター担体の転写情報担持面を、両者の回転中心位置を正確に位置決めした状態で密着させる必要があり、その作業が簡易に行えることが望まれる。
【００３９】
本発明は上記点に鑑みてなされたものであり、スレーブ媒体とマスター担体との密着動作および回転動作を両者間の滑りおよび装置の変位を伴うことなく実現できるようにした磁気転写方法を提供することを目的とするものである。
【００４０】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気転写装置は、情報信号を担持したマスター担体を位置決め保持するマスター固定台座と、転写を受けるスレーブ媒体を前記マスター担体に密着させる密着装置とを備え、前記マスター担体は前記マスター固定台座ごと交換することを特徴とするものである。
【００４１】
前記密着装置は、転写位置でマスター固定台座に保持されたマスター担体に対しスレーブ媒体を押圧密着させる押え部材を備えている。
【００４２】
また、前記マスター固定台座を複数具備し、順次転写位置に移動させる搬送台をさらに備えることが望ましい。その際、各マスター固定台座は予めマスター担体を位置決め保持させてから搬送台にセットし、マスター固定台座ごとマスター担体を交換する。
【００４３】
前記マスター固定台座に保持したマスター担体の付着物を除去するクリーニング手段をさらに備えるのが好ましい。その際、マスター担体のクリーニング手段と同一または別体のクリーニング手段により、スレーブ媒体のクリーニングを行ってもよい。クリーニング手段は、超音波洗浄ヘッドを使用するのが好適であり、その他、超音波振動を与えた気体の吹き付け、イオン風（除電エア）・クリーンエアの吹き付けなどが適用できる。転写を行う直前のマスター担体およびスレーブ媒体をクリーニングし、必要に応じて点着直後のマスター担体をクリーニングする。
【００４４】
前記搬送台から取り出したマスター固定台座を、マスター担体と共に洗浄するクリーニング装置を設置してもよい。このクリーニング装置としては、超音波洗浄ヘッドによるメガソニック振動を与えた液体洗浄、超音波加振ヘッドによる洗浄槽の液中または気中で超音波振動洗浄、超音波振動を与えた気体の吹き付け、グライドヘッドによるグライドクリーニング、グライドクリーニング後の超音波洗浄、エキシマレーザー照射による焼却洗浄、プラズマクリーニングなどが使用できる。
【００４５】
なお、スレーブ媒体をホルダーに保持し、磁気転写する前工程でスレーブ媒体をホルダーと一緒にクリーニングするようにしてもよい。
【００４６】
また、本発明による磁気転写装置は、情報信号を担持したマスター担体に転写を受ける磁気記録部を有するスレーブ媒体を密閉状態で密着させる密着装置と、前記マスター担体にスレーブ媒体を押し付ける押圧力を印加する押圧手段と、前記密着装置の密閉空間を減圧して真空度を得る減圧手段と、転写用磁界を印加する磁界印加装置とを備え、磁気転写時の前記押圧手段の押圧力によるマスター担体とスレーブ媒体との密着圧力と、前記減圧手段による真空度とを独立に制御することを特徴とするものであることが望ましい。
【００４７】
このとき、先に真空度を制御した状態で、押圧力を制御するのが望ましい。例えば、真空度は排出エア量によって制御し、押圧力は上下チャンバーの位置で制御する。
【００４８】
なお、マスター担体とスレーブ媒体を密着させる際、周囲の真空度は５０〜１００kＰaに制御するのが好ましく、密着圧力は０．０１〜４９Ｎ／cm2（１〜５０００gf／cm2）に制御するのが好ましい。
【００４９】
また、本発明の他の磁気転写装置は、情報信号を担持したマスター担体に転写を受ける磁気記録部を有するスレーブ媒体を密閉状態で密着させる密着装置と、前記マスター担体にスレーブ媒体を押し付ける押圧力を印加する押圧手段と、前記密着装置の密閉空間を減圧して真空度を得る減圧手段と、転写用磁界を印加する磁界印加装置とを備え、前記密着装置は、下側チャンバーと、該下側チャンバーに相対的に接離移動可能な上側チャンバーと、両チャンバーの接離移動方向と平行な面に摺接して上側チャンバーと下側チャンバーの内部空間を密閉するシール材とを備えたことを特徴とするものであることが望ましい。
【００５０】
また、本発明の磁気転写用弾性押圧部材は、転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成されたマスター担体の情報担持面と、転写を受けるスレーブ媒体の片面とを密着させ、転写用磁界を印加して磁気転写を行う際に、前記スレーブ媒体の背面を押圧するものであって、前記スレーブ媒体の背面に接触する押圧面を、前記マスター担体の転写パターンとの密着部分を主に押圧する凹凸形状に形成したことを特徴とするものであることが望ましい。
【００５１】
このとき、前記弾性押圧部材は、内周の内リング部と、外周の外リング部と、該内リング部と外リング部を連結するマスター担体のサーボパターンに対応した複数の放射部とを、前記スレーブ媒体の背面に接触する押圧凸部に構成するのが好適である。
【００５２】
なお、磁気転写方法としては、基板上に転写する情報に対応した転写パターンを部分的に有するマスター担体と、転写を受ける磁気記録部を有するスレーブ媒体とを背面側から前記弾性押圧部材の凹凸形状の押圧面によって転写パターンに対応する部分を主に押圧して密着させて転写用磁界を印加し、マスター担体の転写パターンに対応した磁化パターンをスレーブ媒体に転写するものである。
【００５３】
磁気転写を行う際には、スレーブ媒体の磁化を、予め面内記録なら面内トラック方向に、また垂直記録なら垂直方向に初期直流磁化しておき、前記マスター担体と密着させてその初期直流磁化方向と略逆向きのトラック方向または垂直方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行うのが好適である。
【００５４】
また、本発明の磁気転写装置は、転写を受ける円盤状のスレーブ媒体の記録面に、転写情報に対応したパターンが形成された円盤状のマスター担体を対峙密着させてホルダに収納後に、転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、
前記マスター担体とスレーブ媒体とは、ホルダに設けられた中心ピンにより中心位置の位置合わせが行われ、前記マスター担体とスレーブ媒体との中心位置の偏心量が１００μｍ以下であることを特徴とするものであることが望ましい。
【００５５】
このとき、マスター担体のパターン中心位置と、スレーブ媒体の中心位置との偏心量を５０μｍ以下とするのが望ましい。
【００５６】
また、本発明による磁気転写方法は、転写情報に対応したパターンが形成された円盤状のマスター担体の情報担持面と転写を受ける円盤状の磁気記録媒体によるスレーブ媒体とを密着させて転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写方法において、前記スレーブ媒体の中心孔を位置決め保持するスレーブ保持軸の外周部に、前記マスター担体を位置調整可能に配置し、該マスター担体をそのパターンの中心位置を前記スレーブ保持軸の中心位置に位置合わせして固定した後、前記スレーブ保持軸にスレーブ媒体を供給してマスター担体とスレーブ媒体との位置決めを行うことを特徴とするものであることが望ましい。
【００５７】
その際、前記マスター担体のパターンを測定顕微鏡で観測し、該パターンの中心位置を前記スレーブ保持軸の中心位置に合わせるのが好ましい。また、前記マスター担体に前記パターンの形成と共に位置合わせ用のマークを設け、該マークを測定顕微鏡で観測し、前記パターンの中心位置を前記スレーブ保持軸の中心位置に合わせるようにしてもよい。
【００５８】
また、本発明の磁気転写方法を実施する磁気転写装置は、転写情報に対応したパターンが形成された円盤状のマスター担体の情報担持面と転写を受ける円盤状の磁気記録媒体によるスレーブ媒体とを密着させて転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、マスター担体側の第１の基盤と、スレーブ媒体側の第２の基盤と、第１の基盤の中心位置に設けられスレーブ媒体の中心孔を位置決め保持するスレーブ保持軸と、前記スレーブ保持軸の外周部の第１の基盤にＸＹ方向に位置調整可能に設けられたマスター保持部材とを備え、前記マスター保持部材を、保持したマスター担体のパターンの中心位置が前記スレーブ保持軸の中心位置と合致した状態で固定するものであることが望ましい。
【００５９】
前記第１の基盤を脱着可能に設け、該第１の基盤を転写位置から外して、前記マスター担体の位置合わせを行うのが好適である。その際、前記マスター担体のパターンまたは前記マークを測定顕微鏡で観測し、パターンの中心位置を前記スレーブ保持軸の中心位置に合わせるのが好ましい。
【００６０】
前記測定顕微鏡は、例えば、ＸＹ方向に移動可能なステージを備え、観察部を観測しつつ複数の点をプロットすると、近似円を描いて中心位置が求められるようになっているものを使用する。前記ステージ上に前記第１の基盤を載置し、そのマスター保持部材にマスター担体を保持させた後、スレーブ保持軸の中心位置を求め、同様にマスター担体のパターンまたはマークからパターンの中心位置を求め、両者が一致するようにマスター担体をスレーブ保持軸に対してＸＹ方向に位置調整する。
【００６１】
さらに、前記磁気転写装置は、前記のように位置合わせしたマスター担体とスレーブ媒体とを押圧密着させる加圧手段、密着したスレーブ媒体およびマスター担体に対して転写用磁界を印加する磁界印加手段などを備える。マスター保持部材に対するマスター担体の固定は吸引固定などによって行うのが好適である。
【００６２】
磁界印加手段は、電磁石装置または永久磁石装置が採用され、マスター担体とスレーブ媒体との密着部分の片側または両側から転写用磁界を印加し、マスター担体とスレーブ媒体を密着したものまたは転写用磁界を相対的に回転させて磁気転写を行う。
【００６３】
また、本発明による磁気転写方法は、情報信号を担持したマスター担体と転写を受けるスレーブ媒体である磁気記録媒体とを密着させて回転させつつ転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写方法において、前記マスター担体とスレーブ媒体とを加圧手段による押圧で密着させ、回転手段の回転駆動により前記マスター担体とスレーブ媒体とを一体に回転させる際に、前記加圧手段が回転方向の力成分を束縛しないことを特徴とするものであることが望ましい。
【００６４】
このとき、加圧手段は、スレーブ媒体またはマスター担体を接離方向に移動させて両者を密着させるものであり、スレーブ媒体およびマスター担体はそれぞれ押圧力を担持する基盤に保持するのが好ましい。また、回転手段は、スレーブ媒体とマスター担体とを密着した状態で一体に回転させるもので、両者の密着力で回転力を伝達するか、動力伝達機構で回転力を伝達するのが好ましい。
【００６５】
また、本発明の磁気転写方法を実施する磁気転写装置は、情報信号を担持したマスター担体と転写を受けるスレーブ媒体である磁気記録媒体とを密着させて回転させつつ転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、前記スレーブ媒体またはマスター担体を保持して回転駆動される回転基盤と、前記スレーブ媒体またはマスター担体に対してマスター担体またはスレーブ媒体を押圧する押圧基盤と、前記押圧基盤を保持して前記回転基盤に対して接離移動可能な加圧本体と、前記押圧基盤と加圧本体との間の回転方向の力成分を束縛しない押圧力伝達機構とを備えていることが望ましい。
【００６６】
押圧力伝達機構は、ボールベアリング等を介して圧接したスラストベアリング構造で構成するか、加圧エアを噴出したエアギャップで構成するのが好適である。これに応じて、押圧基盤が回転基盤と一体に密着力または回転力伝達機構により回転し、加圧本体が回転方向に固定とするのが好ましい。回転力伝達機構が回転基盤と押圧基盤との位置決めを兼ねてもよい。回転基盤の回転軸を回転駆動する機構を設けて回転基盤を介して押圧基盤を回転させる。
【００６７】
その際、回転基盤にスレーブ媒体またはマスター担体を位置決め保持し、押圧基盤にマスター担体またはスレーブ媒体を位置決め保持し、回転基盤と押圧基盤との間に両者の位置決め手段が設置され、これにより、スレーブ媒体とマスター担体との位置決めを行うのが好ましい。
【００６８】
また、本発明の磁気転写装置は、前記スレーブ媒体を位置決め保持した回転基盤または押圧基盤に位置決めピンまたは位置決め穴を設け、押圧基盤または回転基盤に保持したマスター担体に位置決め穴または位置決めピンを設けてなる位置決め機構を設置するのが好ましい。
【００６９】
その際、マスター担体をスレーブ媒体より大きく設け、スレーブ媒体との密着部分以外の部分に、スレーブ媒体を保持した回転基盤または押圧基盤と、マスター担体との位置決め機構を配置することができる。また、中心部にスレーブ媒体を保持する回転基盤または押圧基盤と、マスター担体との位置決め機構を配置することができる。位置決め機構は、一方が位置決めピンで他方が位置決め穴であり、位置決めピンの先端をテーパー状にするのが好ましい。位置決めピンは外周部の複数のピン、または、中心部の１つのピンとすることが好ましい。
【００７０】
前記転写用磁界を印加する磁界印加装置としては、電磁石装置または永久磁石装置が使用されるが、磁界強度等の条件を設定調整する点からは電磁石装置を使用するのが好ましい。磁界印加装置はスレーブ媒体の半径方向に延びる範囲にトラック方向と平行に磁界を発生させ、スレーブ媒体とマスター担体を密着させたものを回転させて、円盤状のスレーブ媒体の全面に磁化パターンを転写する。
【００７１】
前記スレーブ媒体の片面にマスター担体を密着させて片面逐次転写を行う場合と、スレーブ媒体の両面にそれぞれマスター担体を密着させて両面同時転写を行う場合とがある。片面逐次転写は、回転基盤にスレーブ媒体（またはマスター担体）を保持し、押圧基盤にマスター担体（またはスレーブ媒体）を保持する。両面同時転写は、回転基盤に第１のマスター担体を保持し、押圧基盤に第２のマスター担体を保持し、両者間にスレーブ媒体を挟持する。これにより、スレーブ媒体の片面または両面にマスター担体を密着させ、その片側または両側に磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。
【００７２】
なお、上記磁気転写方法としては、最初にスレーブ媒体をトラック方向に直流磁化する初期磁化を施し、このスレーブ媒体と転写する情報に対応する微細凹凸パターンに磁性層が形成されたマスター担体とを密着させてスレーブ媒体面の初期直流磁化方向と略逆向きの方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行うものが好ましい。前記情報としてはサーボ信号が好適である。
【００７３】
【発明の効果】
上記のような本発明によれば、マスター担体を位置決め保持するマスター固定台座と、スレーブ媒体をマスター担体に密着させる密着装置とを備え、マスター担体をマスター固定台座ごと交換するようにしたことにより、マスター担体のみを交換する際の密着装置に対する位置決めが不要となり、マスター担体の交換時間を短縮できるため転写稼働効率が高まり、生産性が向上する。
【００７４】
また、マスター固定台座を複数具備し、順次転写位置に移動させる搬送台をさらに備えた場合には、マスター担体交換時の効率がより一層高まり、磁気転写の稼働効率が向上できる。
【００７５】
さらに、マスター固定台座に保持したマスター担体の付着物を除去するクリーニング手段をさらに備えると、転写を行う直前のマスター担体のクリーニングが行え、マスター固定台座の交換時や、運搬過程でのマスター担体表面へ付着した塵埃を除去でき、転写時の塵埃の付着を最小限にし、転写不良を防ぐことができ、品質の安定した磁気転写が実施でき信頼性の向上を図ることができる。
【００７６】
一方、搬送台から取り出したマスター固定台座を、マスター担体と共に洗浄するクリーニング装置をさらに備えると、上記のような付着物の除去による転写不良の防止と共に、交換時およびクリーニング時にマスター担体の脱着を行わないことで同様に作業効率が高められる。
【００７７】
また、本発明において、密着装置によりマスター担体とスレーブ媒体とを密閉状態で密着させ、押圧手段によりマスター担体にスレーブ媒体を押し付ける押圧力を印加し、減圧手段により密閉空間を減圧して真空度を得る際に、押圧手段の押圧力によるマスター担体とスレーブ媒体との密着圧力と減圧手段による真空度とを独立に制御するようにした場合、最適な密着条件が得られ、マスター担体とスレーブ媒体の密着を全面にわたって完全にし、密着不良に起因する信号抜けの発生を防止して転写ムラなどのない良好な転写を実現することができると共に、真空度が上がっても押圧力が高くなりすぎることがなく、マスター担体の耐久性劣化を防止でき、真空度を上げることができて密着面に残留するエアをなくすことができる。
【００７８】
特に、密閉空間からエアを排出して先に真空度を制御した状態で、マスター担体とスレーブ媒体を密着させて密着圧力を制御すると、両者の密着面にエアが残留することなく、さらに密着性が高まり、転写品位を高めることができる。
【００７９】
また、密着装置が相対的に接離移動可能な下側チャンバーと上側チャンバーの接離移動方向と平行な面に摺接して両チャンバーの内部空間を密閉するシール材を備えたものでは、密着圧力と真空度の独立制御が簡易な構成で容易に行える。
【００８０】
さらに、マスター担体、スレーブ媒体、必要に応じて配設したスレーブ媒体を押圧する弾性材の厚みを変更する場合にも、密着装置の上下チャンバーなどの形態を変更せずにこれに対応でき、磁気転写時の真空度、圧力を独立に制御することが可能である。
【００８１】
また、本発明において、マスター担体と密着させるスレーブ媒体の背面を押圧する弾性押圧部材の押圧面をマスター担体の転写パターンとの密着部分を主に押圧する凹凸形状に形成した場合、全体としての押圧力を低減しつつ必要な密着部分の圧力を確保することができ、また、弾性押圧部材の凹部に相当する部分の圧力が低くエアの逃げ道となってさらに密着性の向上が得られ、密着不良に起因する信号抜けの発生を防止して転写信号品位を高め信頼性を向上することができる。
【００８２】
つまり、転写情報が例えばサーボ信号の場合には、マスター担体に形成される転写パターンの面積は全面積の１０％以下であり、この転写パターンに対応して弾性押圧部材の押圧面における凹凸形状の押圧面積をスレーブ媒体の全面積の１０％に形成した場合には、スレーブ媒体とマスター担体との密着圧力を５０Ｎ／cm2（５．０kg／cm2）とするのに必要な全体の押圧力は、スレーブ媒体が３．５インチ型ディスクのときには、３５４Ｎ（３５．４kg）と全面押圧の場合の１／１０に軽減でき、強度確保するための各部品の厚み等が小さくなり、装置のコンパクト化が図れる。さらに、スレーブ媒体とマスター担体との密着面に対し、磁界印加装置における磁極を接近して配設でき、漏れ磁界強度が小さくなり所定の磁界強度分布を有する転写用磁界を印加して良好な磁気転写が行える。
【００８３】
また、本発明において、円盤状のスレーブ媒体とマスター担体を対峙密着させて磁気転写を行う際に、両者の中心位置をホルダに設けた中心ピンにより位置合わせし、このマスター担体とスレーブ媒体との中心位置の偏心量が１００μｍ以下となるようにした場合、均一な全面密着が得られて、片当たりによる破損防止、および端部の傷付きが防止できて耐久性の向上が図れる。
【００８４】
特に、マスター担体のパターン中心位置とスレーブ媒体の中心位置との中心位置の偏心量を５０μｍ以下とすると、高い転写精度を確保することができる。
【００８５】
また、本発明において、スレーブ媒体の中心孔を位置決め保持するスレーブ保持軸の外周部にマスター担体を位置調整可能に配置し、このマスター担体をそのパターンの中心位置をスレーブ保持軸の中心位置に合わせて固定した後、スレーブ保持軸にスレーブ媒体を供給してマスター担体とスレーブ媒体との位置決めを行うこととした場合、スレーブ媒体をドライブ装置に取り付けた際の回転中心となるスレーブ保持軸の中心位置とマスター担体に形成したパターンの中心位置とを精度良く一致させることができ、信頼性が高まると共に、スレーブ媒体をスレーブ保持軸に供給することによりマスター担体との位置決めが行え、スレーブ媒体の供給毎の位置決めが不要となって生産効率の高い磁気転写が行える。
【００８６】
また、マスター担体のパターンを測定顕微鏡で観測し、該パターンの中心位置をスレーブ保持軸の中心位置に合わせるようにすると、精度の良い位置合わせが容易に行える。
【００８７】
マスター担体にパターンの形成と共に位置合わせ用のマークを設けると、マスター担体の位置合わせにおける基準設定が簡易で、測定顕微鏡による位置調整作業が容易となる。
【００８８】
また、磁気転写装置は、マスター担体側の第１の基盤と、スレーブ媒体側の第２の基盤と、スレーブ媒体の中心孔を位置決め保持するスレーブ保持軸と、スレーブ保持軸の外周部のＸＹ方向に位置調整可能なマスター保持部材とを備えたことにより、前述のようなスレーブ媒体とマスター担体との正確な位置決めが容易に行え、生産効率の高い磁気転写が実現できる。
【００８９】
第１の基盤を脱着可能に設け、転写位置から外してマスター担体の位置合わせを行うようにすると、位置合わせ作業が測定顕微鏡等を利用して容易に行える。
【００９０】
また、本発明において、マスター担体とスレーブ媒体とを密着させて回転させつつ転写用磁界を印加し磁気転写を行う際に、マスター担体とスレーブ媒体との押圧における回転方向の力成分を束縛しないようにした場合、回転側と押圧側との中心ズレを発生することなく、マスター担体とスレーブ媒体は一体に回転して精度の良い磁気転写が達成でき、装置にも繰り返し変形を生じることなく耐久性の向上が図れる。
【００９１】
また、スレーブ媒体を位置決め保持した基盤と、このスレーブ媒体に密着させるマスター担体とを位置決め機構で位置決めすると、両者の中心位置決めが簡略化でき、精度の良い磁気転写が効率よく行える。
【００９２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は一実施形態に係る磁気転写装置の概略機構図である。
【００９３】
図１に示す磁気転写装置１は、情報信号を担持したマスター担体３を保持する下側のマスター固定台座１１に対し、転写位置でマスター担体３上に転写を受ける磁気記録部を有するスレーブ媒体２を中心位置を合わせた状態で押圧密着させる上側の押え部材１２を有する密着装置５と、前記マスター固定台座１１を複数具備し、順次転写位置に移動させる搬送台６と、マスター固定台座１１に保持したマスター担体３の付着物を除去するクリーニング手段７とを備える。さらに磁気転写装置１は、図示していないが、密着装置５に密着力を印加する押圧手段と、密着装置５を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加装置とを備えている。
【００９４】
そして、マスター担体３は各マスター固定台座１１に予め位置決め保持され、このマスター固定台座１１を複数搬送台６にセットし、マスター担体３を交換する際には搬送台６よりマスター固定台座１１ごと交換するように設けられている。
【００９５】
搬送台６（インデックステーブル）は、円盤状のテーブル１３の中心部が回転軸１４に保持され、テーブル１３には３カ所に前記マスター固定台座１１の保持部１５を有し、不図示の回転駆動手段により転写位置、交換位置、クリーニング位置に順次移動される。なお、搬送台６における保持部１５の数は３カ所に限定されるものではない。
【００９６】
上記クリーニング位置に設置されたクリーニング手段７は、超音波加振した液体または気体をマスター担体３表面に吹き付ける超音波洗浄ヘッド１６を備え、搬送台６の回転により転写位置の直前のクリーニング位置に移動したマスター固定台座１１に保持されたマスター担体３のクリーニングを行い、付着物を除去する。なお、このクリーニング手段としては、イオン風（除電エア）・クリーンエアを吹き付けるものでもよい。クリーニングがウェットプロセスの場合には、ＩＰＡ液またはＩＰＡの蒸気の使用や乾燥風の吹き付け等により乾燥が行われる。
【００９７】
マスター固定台座１１は円盤状で、マスター担体３の外径より大きい円形状の上面１１ａを有し、この上面１１ａの中央部にマスター担体３の下面を吸着などにより保持する。上側の押え部材１２も同様に円盤状で、スレーブ媒体２の外径より大きい下面１２ａを有し、この押え部材１２が上下方向にマスター固定台座１１に対して接離移動可能であり、スレーブ媒体２をマスター担体３上に押圧して密着させるようになっている。なお、押え部材１２の下面１２ａにシート状の弾性材を取り付け、この弾性材を介してスレーブ媒体２を押圧してもよい。
【００９８】
また、マスター固定台座１１の底面および押え部材１２の上面には、回転軸部１１ｂ，１２ｂが突設されている。このマスター固定台座１１および押え部材１２は磁気転写時には図示しない回転機構に連係されて一体に回転駆動される。
【００９９】
不図示の押圧手段は加圧シリンダを備え、その押圧ロッドの先端が密着装置５の押え部材１２に所定の押圧荷重を印加する。なお、押圧状態で密着装置５は回転するために、押え部材１２の回転軸部１２ｂに押圧力が作用するようになっている。
【０１００】
磁気転写を行う際には、スレーブ媒体２の磁化を、予め面内記録なら面内トラック方向に、また垂直記録なら垂直方向に初期直流磁化しておく。このスレーブ媒体２をマスター担体３と密着させ、初期直流磁化方向と略逆向きのトラック方向または垂直方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行う。
【０１０１】
スレーブ媒体２は、両面または片面に磁気記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。
【０１０２】
マスター担体３は剛体による円盤状ディスクに形成されている。このマスター担体３は、基板上に形成された微細凹凸パターンに軟磁性体が被覆されてなり、この面がスレーブ媒体２に密着される転写パターンが形成された転写情報担持面となる。これと反対側の面がマスター固定台座１１に保持される。
【０１０３】
マスター担体３の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われる。軟磁性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体３が使用される。
【０１０４】
転写用磁界および初期磁界を印加する不図示の磁界印加装置は、面内記録の場合には、例えば、リング型ヘッド電磁石を上下両側に配設し、上下で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。密着装置５を回転させて、スレーブ媒体２とマスター担体３の全面に転写用磁界を印加する。磁界印加装置を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装置は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。また、垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電磁石または永久磁石を密着装置５の上下に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、密着装置５を移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【０１０５】
前記磁気転写装置１の転写位置すなわち密着装置５の部分には、図２に示すように、クリーニング手段８を配設して、転写を行う直前のマスター担体３をクリーニングしてもよい。また、点着直後のマスター担体３をクリーニングしてもよい。
【０１０６】
図２におけるクリーニング手段８は、転写位置の近傍に、超音波洗浄ヘッド１７が密着装置５に対して進退移動可能に設けられている。超音波洗浄ヘッド１７は、前述と同様に超音波加振した液体または気体を洗浄面に吹き付けるもの、または、イオン風（除電エア）・クリーンエアを吹き付けるものである。そして、上側の押え部材１２が開いた状態でマスター固定台座１１に保持されたマスター担体３上に移動してそのクリーニングを行い、クリーニング後には待避位置に移動するようになっている。
【０１０７】
さらに、マスター担体３に密着する直前のスレーブ媒体２をクリーニングしてもよい。スレーブ媒体２のクリーニングは、マスター担体３のクリーニング手段８と同一または別体のクリーニング手段により行う。
【０１０８】
上記磁気転写装置１では、同じマスター担体３により複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を行うものであり、まず各マスター固定台座１１にそれぞれマスター担体３を位置を合わせて保持させておき、この複数のマスター固定台座１１を搬送台６にセットする。そして、転写位置に移動させる前にクリーニング手段７によってマスター固定台座１１に保持したマスター担体３のクリーニングを行う。搬送台６の回転によりクリーニング後のマスター固定台座１１を転写位置に移動させ、押え部材１２をマスター固定台座１１から離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を中心位置を合わせてセットした後、密着装置５の押え部材１２をマスター固定台座１１に接近移動させ、押圧手段によりスレーブ媒体２とマスター担体３とを所定の押圧力で押圧密着させる。図２のクリーニング手段８を備えたものでは、この密着の直前のマスター担体３（およびスレーブ媒体２）をクリーニングする。
【０１０９】
その後、密着装置５の上下面に磁界印加装置を接近させ、密着装置５を回転させつつ磁界印加装置によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、マスター担体３の転写パターンに応じた磁化パターンをスレーブ媒体２の磁気記録部に転写記録する。
【０１１０】
上記磁気転写時に印加された転写用磁界は、マスター担体３の転写パターンにおけるスレーブ媒体２と密着した軟磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は反転しない結果、スレーブ媒体２にはマスター担体３の転写パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。
【０１１１】
そして、所定回数の磁気転写が行われたとき、転写後のマスター担体３またはスレーブ媒体２の表面に塵埃等が付着するなどの異常が発生したとき、転写不良が発生したときなどには、搬送台６を回転駆動してクリーニング後の新たなマスター固定台座１１を転写位置に移動させて、上記と同様に次の磁気転写を継続して行う。なお、１回の磁気転写ごとに搬送台６を回転して、マスター担体３を取り替えてもよい。
【０１１２】
転写位置から待機位置に移動されたマスター固定台座１１は、その状態に応じて搬送台６から取り外して交換する。交換時には、マスター固定台座１１ごと取り外して、新たなマスター担体３を保持したマスター固定台座１１をセットする。また、そのままクリーニング手段７によるクリーニングで再使用可能な場合には交換しない。
【０１１３】
取り外したマスター固定台座１１は、別途設置した不図示のクリーニング装置により、マスター担体３をマスター固定台座１１ごとクリーニングしてもよい。このクリーニング装置は、前述の図１のクリーニング手段７に代えて設置するか、併設して両者でクリーニングを行うようにしてもよい。
【０１１４】
このクリーニング装置により、例えば、洗浄槽の洗浄液中にマスター担体３を保持したままのマスター固定台座１１を浸漬し、超音波加振ヘッドによって洗浄液を超音波加振し、マスター担体３の表面の付着物を洗浄除去する。そのほか、超音波洗浄ヘッドによるメガソニック振動を与えた液体洗浄、超音波加振ヘッドによる気中での超音波振動洗浄、超音波振動を与えた気体の吹き付け、グライドヘッドによるグライドクリーニング、グライドクリーニング後の超音波洗浄、エキシマレーザー照射による焼却洗浄、プラズマクリーニングなどが使用できる。
【０１１５】
なお、スレーブ媒体２を不図示のホルダーに保持し、磁気転写する前工程でスレーブ媒体２をホルダーと一緒にクリーニングするようにしてもよい。
【０１１６】
本実施の形態によれば、搬送台６にそれぞれマスター担体３を位置決め保持したマスター固定台座１１を複数具備し、順次クリーニング手段７，８によってクリーニングしたマスター担体３を転写位置に移動させて磁気転写を行い、磁気転写後のマスター固定台座１１ごとマスター担体３を交換するために、マスター担体３の交換が容易で交換作業の効率が高く、生産性が向上すると共に、転写を行う直前のマスター担体３のクリーニングにより転写不良を防ぐことができ、良好な磁気転写が実施できる。さらに、搬送台６から取り出したマスター固定台座１１を、マスター担体３と共に洗浄する場合でも、交換時およびクリーニング時にマスター担体３の脱着を行わないことで作業効率が高められる。
【０１１７】
次に、本発明の別の実施の形態を詳細に説明する。図３は一実施形態にかかる磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図である。図４は密着装置の断面図である。なお、各図は模式図であり各部の寸法は実際とは異なる比率で示している。
【０１１８】
図３に示す磁気転写装置２０は、下側チャンバー３１と上側チャンバー３２とを備え、内部に図４のようにスレーブ媒体２２、マスター担体２３、弾性材２４を配置して中心位置を合わせた状態でスレーブ媒体２２とマスター担体２３とを密着させる密着装置２５と、密着装置２５を加圧する押圧手段２６と、密着装置２５内のエアを排出して内部を減圧状態とする減圧手段２７（図４参照）と、密着装置２５を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加装置２８とを備える。そして、減圧手段２７による密着装置２５内の真空度と、押圧手段２６によるスレーブ媒体２２とマスター担体２３との押圧力とを独立に制御する。
【０１１９】
密着装置２５の下側チャンバー３１は円盤状で、マスター担体２３の外径より大きい円形状の上面３１ａを有し、この上面３１ａの中央部にマスター担体２３の下面を吸着などにより保持する。上側チャンバー３２は円盤状で、スレーブ媒体２２の外径より大きい下面３２ａを有し、この下面３２ａにシート状の弾性材２４が取り付けられ、この弾性材２４の下面にスレーブ媒体２２を保持する。上側チャンバー３２が上下方向に下側チャンバー３１に対して接離移動可能であり、スレーブ媒体２２をマスター担体２３上に押圧して密着させるようになっている。なお、スレーブ媒体２２はマスター担体２３上にセットするようにしてもよい。
【０１２０】
下側チャンバー３１の外周には上方に突出する鍔部３１ｂが、上側チャンバー３２の外周には下方に突出する鍔部３２ｂがそれぞれ設けられている。上側チャンバー３２の鍔部３２ｂの外周面の径は、下側チャンバー３１の鍔部３１ｂの内周面の径より小さく、下側チャンバー３１の鍔部３１ｂの内周側に、上側チャンバー３２の鍔部３２ｂが挿入可能に設けられている（逆の大小関係にあってもよい）。そして、上側チャンバー３２の鍔部３２ｂの外周にＯリングによるシール材３３が装着され、このシール材３３は上側チャンバー３２を下側チャンバー３１側に移動させた際に、下側チャンバー３１の鍔部３１ｂの内周面に摺接して、接離移動方向（軸方向）と平行な面同士のシールを行って両チャンバー３１，３２間の内部空間を密閉する。シール材３３は下側チャンバー３１に装着してもよい。
【０１２１】
上記シール材３３により内部空間を密閉した状態で、下側チャンバー３１と上側チャンバー３２との接離移動が可能に設けられている。また、スレーブ媒体２２、マスター担体２３、弾性材２４の厚みが変化してスレーブ媒体２２とマスター担体２３との密着高さが変更しても、密閉状態を確保できる。
【０１２２】
下側チャンバー３１の底面および上側チャンバー３２の上面には、回転軸部３１ｃ，３２ｃが突設されている。この下側チャンバー３１および上側チャンバー３２は図示しない回転機構に連係されて一体に回転駆動される。
【０１２３】
また、下側チャンバー３１の鍔部３１ｂより内周側でマスター担体２３より外周部の上面３１ａには減圧手段２７の排気口２７ａが開口されている。この排気口２７ａに連通するエア通路２７ｂが下側チャンバー３１内に形成され、回転軸部３１ｃを通して外部に導出され、不図示の真空ポンプに接続されている。この減圧手段２７によるエアの排出により、上側チャンバー３２と下側チャンバー３１とで形成される密閉空間を５０〜１００kＰaの所定の真空度に制御する。
【０１２４】
図３に示すように、押圧手段２６は加圧シリンダ３４を備え、その押圧ロッド３５の先端が密着装置２５の上側チャンバー３２に所定の押圧荷重を印加する。なお、押圧状態で密着装置２５は回転するために、上側チャンバー３２の回転軸部３２ｃに押圧力が作用するように受け部材３６が配設されている。この押圧手段２６による押圧力は、スレーブ媒体２２とマスター担体２３とが０．０１〜４９Ｎ／cm2（１〜５０００gf／cm2）の密着圧力となるように、前記真空度の制御とは独立して最適値に制御する。
【０１２５】
磁気転写を行う際には、スレーブ媒体２２の磁化を、予め面内記録なら面内トラック方向に、また垂直記録なら垂直方向に初期直流磁化しておく。このスレーブ媒体２２をマスター担体２３と密着させ、初期直流磁化方向と略逆向きのトラック方向または垂直方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行う。
【０１２６】
スレーブ媒体２２は、両面または片面に磁気記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。
【０１２７】
マスター担体２３は剛体による円盤状ディスクに形成されている。このマスター担体２３は、基板上に形成された微細凹凸パターンに軟磁性体が被覆されてなり、この面がスレーブ媒体２２に密着される転写パターンが形成された転写情報担持面となる。これと反対側の面が下側チャンバー３１に真空吸着保持される。
【０１２８】
マスター担体２３の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われる。軟磁性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体２３が使用される。
【０１２９】
弾性材２４はスレーブ媒体２２の背面（上面）に接触して押圧するもので、弾性特性を有する材料により円盤状に形成され、上側チャンバー３２に保持される。弾性特性を有する材料としては、シリコンゴム、ポリウレタンゴム、フッ素ゴム、ブタジエンゴム、テフロン（登録商標）ゴム、バイトンゴムなど一般的なゴムや、スポンジゴム等の発泡樹脂などが使用できる。
【０１３０】
転写用磁界および初期磁界を印加する磁界印加装置２８は、面内記録の場合には、例えば、スレーブ媒体２２の半径方向に延びるギャップ３７を有するコア３８にコイル３９が巻き付けられたリング型ヘッド電磁石が上下両側に配設されてなり、上下で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。密着装置２５を回転させて、スレーブ媒体２２とマスター担体２３の全面に転写用磁界を印加する。磁界印加装置２８を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装置２８は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。
【０１３１】
また、垂直記録の場合の磁界印加装置２８は、極性の異なる電磁石または永久磁石を密着装置２５の上下に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、密着装置２５を移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【０１３２】
上記磁気転写装置２０では、同じマスター担体２３により複数のスレーブ媒体２２に対する磁気転写を行うものであり、まず下側チャンバー３１および上側チャンバー３２にマスター担体２３および弾性材２４を位置を合わせて保持させておく。そして、上側チャンバー３２と下側チャンバー３１とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２２を中心位置を合わせてセットした後、押圧手段２６を駆動して上側チャンバー３２を下側チャンバー３１に接近移動させる。
【０１３３】
そして、上側チャンバー３２のシール材３３が下側チャンバー３１の鍔部３１ｂの内周面に摺接して、スレーブ媒体２２およびマスター担体２３を収容した両チャンバー３１，３２の内部空間を密閉する。スレーブ媒体２２とマスター担体２３とが押圧状態となる前に、減圧手段２７により密閉空間のエア排出を行って減圧し、内部を所定の真空度とした後に、さらに上側チャンバー３２を下降作動する。押圧手段２６による押圧力を印加して、スレーブ媒体２２の背面を弾性材２４を介して押圧してマスター担体２３と所定の密着圧力で密着させる。
【０１３４】
その後、密着装置２５の上下面に上下の磁界印加装置２８を接近させ、密着装置２５を回転させつつ磁界印加装置２８によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、マスター担体２３の転写パターンに応じた磁化パターンをスレーブ媒体２２の磁気記録部に転写記録する。
【０１３５】
上記磁気転写時に印加された転写用磁界は、マスター担体２３の転写パターンにおけるスレーブ媒体２２と密着した軟磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は反転しない結果、スレーブ媒体２２にはマスター担体２３の転写パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。
【０１３６】
本実施の形態によれば、両チャンバー３１，３２内を密閉状態とし、内部を所定の真空度に減圧して密着面に残留するエアを排出した後、所定押圧力を独立に加圧し、マスター担体２３とスレーブ媒体２２を密着させるために、最適な真空度と圧力による密着が行えて密着性を高めることができ、密着不良に伴う転写不良を防止して良好な磁気転写を行うことができる。
【０１３７】
次に、本発明のさらに別の実施の形態を詳細に説明する。図５は一実施形態にかかる磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図である。図６は密着装置の分解斜視図、図７は一つの実施形態の弾性押圧部材およびマスター担体の平面図である。なお、各図は模式図でありその厚み等は実際の寸法とは異なる比率で示している。
【０１３８】
図５に示す磁気転写装置４０は、下側圧接部材４８と上側圧接部材４９とを備え、内部に図６のようにスレーブ媒体４２、マスター担体４３、弾性押圧部材４４を配置して中心位置を合わせた状態で密着させる密着装置４５と、密着装置４５を加圧する加圧装置４６と、密着装置４５を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加装置４７とを備える。
【０１３９】
磁気転写を行う際には、スレーブ媒体４２の磁化を、予め面内記録なら面内トラック方向に、また垂直記録なら垂直方向に初期直流磁化しておく。このスレーブ媒体４２をマスター担体４３と密着させ、初期直流磁化方向と略逆向きのトラック方向または垂直方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行う。
【０１４０】
スレーブ媒体４２は、両面または片面に磁気記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用され、中心孔４２ａが開口されている。その磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。
【０１４１】
マスター担体４３は、中心孔４３ａが開口された剛体による円環状ディスクに形成されている。このマスター担体４３は、基板上に形成された微細凹凸パターンに軟磁性体が被覆されてなり、この面がスレーブ媒体４２に密着される転写パターンが形成された転写情報担持面４３ｂである。これと反対側の面が下側圧接部材４８に真空吸着保持される。
【０１４２】
マスター担体４３の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われる。軟磁性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体４３が使用される。
【０１４３】
転写情報がサーボ信号の場合は、マスター担体４３の情報担持面４３ｂには、図７(Ｂ)に示すように、中心部から等間隔でほぼ放射方向（図示の場合は、若干湾曲している）に延びる細幅の領域にサーボパターンＰ（転写パターン）が部分的に形成されている。このサーボパターンＰの部分がスレーブ媒体４２との密着が要求される部分であり、磁気転写によりサーボパターンＰに対応する磁化パターンをスレーブ媒体４２に転写記録する。
【０１４４】
弾性押圧部材４４はスレーブ媒体４２の背面（上面）に接触して押圧するもので、弾性特性を有する材料により円盤状に形成され、上側圧接部材４９に保持される。この弾性押圧部材４４のスレーブ媒体４２の背面と接する押圧面４４ａの形状は、図７(Ａ)に示すように、マスター担体４３の前記サーボパターンＰに対応して該パターンＰの部分を主に押圧する凹凸形状に設けられている。
【０１４５】
前記押圧面４４ａは、内周の内リング部５０と、外周の外リング部５１と、内リング部５０と外リング部５１を連結するマスター担体４３のサーボパターンＰに対応した複数の放射部５２とが、スレーブ媒体４２に接触する押圧凸部に形成される。その他の部分は凹部５３（裏面に貫通していてもよい）に形成され、スレーブ媒体４２とは接触しない。
【０１４６】
弾性押圧部材４４の材料は、圧力印加時に押圧面積が過剰に増大しない程度の弾性特性を有している。具体的材料としては、シリコンゴム、ポリウレタンゴム、フッ素ゴム、ブタジエンゴム、テフロン（登録商標）ゴム、バイトンゴムなど一般的なゴムや、スポンジゴム等の発泡樹脂などが使用できる。
【０１４７】
密着装置４５の下側圧接部材４８は、マスター担体４３の大きさに対応した円形状の吸着面４８ａを有し、その表面が平坦に仕上げられている。この吸着面４８ａには、吸気孔がほぼ均等に開口している（多孔質面でもよい）。図示していないが、この吸気孔には内部から下側圧接部材４８の外部に導出された吸気通路を経て真空ポンプに接続されて吸引され、吸着面４８ａに密着されたマスター担体４３の底面を真空吸着し、好ましくはマスター担体４３の平坦性を吸着面４８ａに沿わせて矯正する。上側圧接部材４９の下面は、弾性押圧部材４４を保持する支持面４９ａに設けられている。
【０１４８】
下側圧接部材４８および上側圧接部材４９の外形は円盤状で、上側圧接部材４９が軸方向に移動可能に設けられて加圧装置４６によって接離移動すると共に、互いに所定の圧力で圧接される。外周には鍔部４８ｂ，４９ｂを有し、閉作動時には上下の圧接部材４８，４９の鍔部４８ｂ，４９ｂが当接して内部を密閉状態に保持する。下側圧接部材４８の中心部には、マスター担体４３およびスレーブ媒体４２の中心孔４３ａ，４２ａに係合して位置決めするピン４８ｃが形成されている。上側圧接部材４９の支持面４９ａには、不図示の位置決め機構により弾性押圧部材４４が、マスター担体４３のサーボパターンＰの位置と放射部５２の位置とを合わせて保持される。また、下側圧接部材４８および上側圧接部材４９は図示しない回転機構に連係されて一体に回転駆動される。
【０１４９】
図５に示すように、加圧装置４６は加圧シリンダ５４を備え、その押圧ロッド５５の先端が密着装置４５の上側圧接部材４９に所定の押圧荷重を印加する。この押圧力は、スレーブ媒体４２とマスター担体４３におけるサーボパターンＰ近傍の密着圧力が、各部で１〜５０Ｎ／cm2（０．１〜５．０kg／cm2）の適正値となるように、接触面積に基づいて設定される。なお、押圧状態で密着装置４５は回転するために、上側圧接部材４９の中心軸部４９ｃに押圧力が作用するように受け部材５６が配設されている。
【０１５０】
転写用磁界および初期磁界を印加する磁界印加装置４７は、面内記録の場合には、例えば、スレーブ媒体４２の半径方向に延びるギャップ５７を有するコア５８にコイル５９が巻き付けられたリング型ヘッド電磁石が上下両側に配設されてなり、上下で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。密着装置４５を回転させて、スレーブ媒体４２とマスター担体４３の全面に転写用磁界を印加する。磁界印加装置４７を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装置４７は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。
【０１５１】
また、垂直記録の場合の磁界印加装置４７は、極性の異なる電磁石または永久磁石を密着装置４５の上下に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、密着装置４５を移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【０１５２】
上記磁気転写装置４０では、同じマスター担体４３により複数のスレーブ媒体４２に対する磁気転写を行うものであり、まず下側圧接部材４８および上側圧接部材４９にそれぞれ中心位置を合わせてマスター担体４３および弾性押圧部材４４をそれぞれのパターン位置を合わせて保持させておく。そして、上側圧接部材４９と下側圧接部材４８とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体４２を中心位置を合わせてセットした後、加圧装置４６を駆動して上側圧接部材４９を下側圧接部材４８に接近させて閉作動し、スレーブ媒体４２の背面に弾性押圧部材４４を接触させて、その押圧面４４ａの凸部で主にサーボパターンＰ近傍を押圧してマスター担体４３と密着させる。その後、密着装置４５の上下面に上下の磁界印加装置４７を接近させ、密着装置４５を回転させつつ磁界印加装置４７によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、マスター担体４３の転写パターンに応じた磁化パターンをスレーブ媒体４２の磁気記録部に転写記録する。
【０１５３】
上記磁気転写時に印加された転写用磁界は、マスター担体４３の転写パターンにおけるスレーブ媒体４２と密着した軟磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は反転しない結果、スレーブ媒体４２にはマスター担体４３の転写パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。
【０１５４】
本実施の形態によれば、マスター担体４３にスレーブ媒体４２を密着させる際に、凹凸形状の押圧面４４ａを有する弾性押圧部材４４によって、スレーブ媒体４２の背面の主に転写パターン部分を押圧するため、この密着が必要な転写パターンの部分での密着性を高め、密着不良に伴う転写不良を防止して良好な磁気転写を行うことができると共に、全体としての押圧力を低くすることができ、装置のコンパクト化が得られる。
【０１５５】
次に、本発明のさらに別の実施の形態を詳細に説明する。図８は本発明の一つの実施の形態にかかる磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図である。図９はホルダの分解斜視図である。
【０１５６】
図８および図９に示す磁気転写装置６０は面内記録方式により両面同時転写を行うものであり、円盤状のスレーブ媒体６２の上下に、円盤状のマスター担体６３，６４を対峙密着させたホルダ６１を回転させつつ、このホルダ６１の上下に配設した磁界印加装置６５（電磁石装置）によって転写用磁界を印加して、マスター担体６３，６４に担持した情報を磁気的にスレーブ媒体６２の両面に同時に転写記録する。
【０１５７】
ホルダ６１は、シリンダ構造の下ホルダ６８と上ホルダ６９とを備え、内部空間に、転写を受けるスレーブ媒体６２と、スレーブ媒体６２の下側記録面にサーボ信号等の情報を転写する下側マスター担体６３と、スレーブ媒体６２の上側記録面にサーボ信号等の情報を転写する上側マスター担体６４とを交換可能に収納する。下ホルダ６８は、下側マスター担体６３を吸着保持して平坦性を矯正する下側吸着部材６６を備え、上ホルダ６９は、上側マスター担体６４を吸着保持して平坦性を矯正する上側吸着部材６７（下側吸着部材６６と同構成）を備える。スレーブ媒体６２の両面に下側マスター担体６３と上側マスター担体６４とが、中心位置を合わせた状態で圧接され、対峙密着される。ここで対峙密着とは、接触密着、ごく僅かな隙間を空けて対峙することの双方の何れかを指すものとする。
【０１５８】
下ホルダ６８および上ホルダ６９の一方または両方が軸方向に移動可能に設けられて図示しない開閉機構によって開閉作動される。また、上記ホルダ６１は、下ホルダ６８と上ホルダ６９との摺接によって形成される内部空間のエアを真空吸引し、内部を減圧状態として、上記スレーブ媒体６２と上下のマスター担体６３，６４との密着力を得る不図示の真空吸引手段を備える。
【０１５９】
図示のスレーブ媒体６２は、中心部にドライブ装置の回転支軸に装着するための中心穴６２ａが開口されたハードディスクであり、円盤状のベースの両面に磁性層が形成された記録面を有する。
【０１６０】
また、下ホルダ６８の中心部には、スレーブ媒体６２の中心穴６２ａを基準として位置決めする中心ピン６８ｂが立設されている。この中心ピン６８ｂにより下側のマスター担体６３の位置決めをも行うものであり、下側マスター担体６３の中心部には、この中心ピン６８ｂが嵌装する位置決め用の中心穴６３ａが開口されている。
【０１６１】
上側マスター担体６４の上ホルダ６９への位置決めは、上ホルダ６９の中心部に上記の中心ピン６８ｂと同様な不図示の中心ピンが設けられ、上側マスター担体６４の中心穴６４ａに嵌装して位置決めが行われる。さらに、下ホルダ６８と上ホルダ６９との位置決めによって、下側マスター担体６３と上側マスター担体６４との中心位置を合わせる位置決め機構が設けられる。
【０１６２】
上記のような下ホルダ６８に設けられた中心ピン６８ｂによる位置合わせにおいて、図１０に示すように、下側マスター担体６３の中心位置６３ｃとスレーブ媒体６２の中心位置６２ｃとの偏心量ｄが、１００μｍ以下となるように設定されている。上側マスター担体６４とスレーブ媒体６２の中心位置の偏心量も同様に１００μｍ以下となるように設定されている。
【０１６３】
また、望ましくは、マスター担体６３，６４に形成されたパターンの中心位置と、スレーブ媒体６２の回転中心位置との偏心量が、５０μｍ以下となるように設定されている。
【０１６４】
前記スレーブ媒体６２は、磁気転写を行う際には、その磁化を、予め面内記録なら面内トラック方向に、また垂直記録なら垂直方向に初期直流磁化しておく。このスレーブ媒体６２をマスター担体６３，６４と密着させた磁気転写時には、初期直流磁化方向と略逆向きのトラック方向または垂直方向に転写用磁界を印加する。
【０１６５】
前記下側マスター担体６３および上側マスター担体６４は、前述のように円環状ディスクに形成され、その片面に前記スレーブ媒体６２の記録面に密着される磁性体のパターンによる転写情報担持面を有し、これと反対側の面が下側吸着部材６６および上側吸着部材６７に真空吸着保持される。
【０１６６】
マスター担体６３，６４は、基板上に形成された微細凹凸パターンに軟磁性体が被覆されて転写パターンが形成されてなる。マスター担体６３，６４の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われる。軟磁性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体が使用される。
【０１６７】
下側吸着部材６６（上側吸着部材６７も同様）は、マスター担体６３の大きさに対応した円盤状に設けられ、その表面が中心線平均表面粗さＲａが０．０１〜０．１μｍ程度の平面度に平坦に仕上げられた吸着面６６ａに形成されている。この吸着面６６ａには、直径約２ｍｍ以下の吸引孔６６ｂが約２５〜１００個ほぼ均等に開口している。図示していないが、この吸引孔６６ｂには吸着部材６６の内部から下ホルダ６８の外部に導出された吸引通路を経て真空ポンプに接続されて吸引され、吸着面６６ａに密着されたマスター担体６３の背面を真空吸着し、該マスター担体６３の平坦性を吸着面６６ａに沿わせて矯正する。
【０１６８】
下ホルダ６８および上ホルダ６９は円盤状で、下ホルダ６８の外周には上方に突出する鍔部６８ａが、上ホルダ６９の外周には下方に突出する鍔部６９ａがそれぞれ設けられている。詳細には図示していないが、上ホルダ６９の鍔部６９ａの外周面の径は、下ホルダ６８の鍔部６８ａの内周面の径より小さく、下ホルダ６８の鍔部６８ａの内周側に、上ホルダ６９の鍔部６９ａが挿入可能に設けられている（逆の大小関係にあってもよい）。そして、上ホルダ６９の鍔部６９ａの外周にＯリング等による不図示のシール材が装着され、このシール材は上ホルダ６９を下ホルダ６８側に移動させた際に、下ホルダ６８の鍔部６８ａの内周面に摺接して、接離移動方向（軸方向）と平行な面同士のシールを行って両ホルダ６８，６９間の内部空間を密閉する。シール材は下ホルダ６８に装着してもよい。
【０１６９】
ホルダ６１は、上記内部空間を密閉した状態で、下ホルダ６８と上ホルダ６９との接離移動が可能なシリンダ構造に設けられ、スレーブ媒体６２、マスター担体６３，６４の厚みが変化してスレーブ媒体６２とマスター担体６３，６４との密着高さが変更しても、密閉状態を確保できる。この下ホルダ６８および上ホルダ６９は図示しない回転機構に連係されて一体に回転駆動される。
【０１７０】
また、ホルダ６１の内面には、内部空間に開口する真空吸引手段の吸引口を備えている。この吸引口に連通するエア通路が下ホルダ６８または上ホルダ６９内に形成され、外部に導出されて真空ポンプに接続される。この真空吸引手段によるエアの真空吸引により、ホルダ６１内の内部空間を所定の真空度に制御する。
【０１７１】
磁気転写時には、上記真空吸引に伴う圧力により、上ホルダ６９と下ホルダ６８とが互いに接近するように移動させて、上下のマスター担体６３，６４の情報担持面とスレーブ媒体６２の磁気記録面とを対峙密着させ、このマスター担体６３，６４とスレーブ媒体６２との密着状態で、磁界印加装置６５により転写用磁界を印加してサーボ信号等の情報を磁気的に転写記録する。なお、密着力の印加方式は、上記のような真空吸引方式に加えて、またはこれに代えて、外部からの機械的な圧力印加方式が採用可能である。
【０１７２】
転写用磁界および初期磁界を印加する磁界印加装置６５は、面内記録の場合には、例えば、スレーブ媒体６２の半径方向に延びるギャップを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石が上下両側に配設されてなり、上下で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。ホルダ６１を回転させて、スレーブ媒体６２とマスター担体６３の全面に転写用磁界を印加する。磁界印加装置６５を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装置６５は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。
【０１７３】
また、垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電磁石または永久磁石をホルダ６１の上下に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、ホルダ６１を移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【０１７４】
上記のような磁気転写装置６０による磁気転写工程を説明する。この磁気転写装置６０では、同じマスター担体６３，６４により複数のスレーブ媒体６２に対する磁気転写を繰り返し行うものであり、まずホルダ６１の下ホルダ６８および上ホルダ６９の下側吸着部材６６および上側吸着部材６７にそれぞれ中心位置を合わせて下側マスター担体６３および上側マスター担体６４をそれぞれ真空吸着して保持させておく。
【０１７５】
そして、上ホルダ６９と下ホルダ６８とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体６２を中心位置を合わせてセットした後、上ホルダ６９を下ホルダ６８に接近移動させる閉作動を行い、両ホルダ６８，６９の鍔部６８ａ，６９ａの嵌合摺接により、ホルダ６１の内部空間を密閉する。真空吸引手段により内部空間のエア排出を行って減圧し、所定の真空度とする。これにより、上ホルダ６９は真空度に応じて作用する外力（大気圧）による圧力で、下ホルダ６８に向けて上下のマスター担体６３，６４でスレーブ媒体６２を挟むよう密着力を加え、均一に所定の密着圧力で密着させる。
【０１７６】
その後、ホルダ６１の上下面に上下の磁界印加装置６５を接近させ、ホルダ６１を回転させつつ磁界印加装置６５によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加する。この印加された転写用磁界は、マスター担体６３，６４の転写パターンにおけるスレーブ媒体６２と密着した軟磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は反転しない結果、スレーブ媒体２にはマスター担体６３，６４の転写パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。
【０１７７】
本実施の形態によれば、スレーブ媒体６２の両面に上下のマスター担体６３，６４を対峙密着させるホルダ６１による密着構造において、スレーブ媒体６２の中心位置とマスター担体６３，６４の中心位置との偏心量を１００μｍ以下となるように設けたことにより、マスター担体６３，６４とスレーブ媒体６２との接触領域で均一な密着力による全面密着を実現でき、局所的な密着力印加が防止でき、エッジの片当たりによる傷発生も防止できた。さらに、マスター担体６３，６４のパターン中心とスレーブ媒体６２との精度の良い位置合わせにより、所望の性能が得られるパターンの転写信号が記録できる。
【０１７８】
以下、本発明のさらに別の実施の形態を詳細に説明する。図１１は本発明の一つの実施の形態にかかる磁気転写方法を実施する磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図である。図１２は密着状態における要部の断面図、図１３はマスター担体の位置調整を測定顕微鏡により行う際の概略機構図、図１４および図１５はマスター担体の位置調整過程を示す平面図、図１６は密着前状態の要部断面図である。なお、各図は模式図でありその厚み等は実際の寸法とは異なる比率で示している。
【０１７９】
図１１に示す磁気転写装置７０は、第１の基盤７６（回転台）と第２の基盤７７（押圧部材）との間に、図１２に示すように転写を受ける円盤状の磁気記録媒体によるスレーブ媒体７２と、サーボ信号等の転写情報に対応したパターンが形成された円盤状のマスター担体７３の情報担持面とを不図示の加圧手段（プレス機構）により押圧密着させ、上下に配置した磁界印加手段７５により転写用磁界を印加するものである。マスター担体７３は下側の第１の基盤７６の上部に配置され、スレーブ媒体７２はマスター担体７３の上側で、第２の基盤７７の下部に配置される。
【０１８０】
下側の第１の基盤７６は、ベース部材９３の上部の中心位置にスレーブ媒体７２の中心孔７２aを位置決めするスレーブ保持軸９４を備えると共に、このスレーブ保持軸９４の外周部にマスター担体７３を保持するマスター保持部材９５を備えている。マスター保持部材９５は、スレーブ保持軸９４に対してＸＹ方向に位置調整可能に設けられる。
【０１８１】
そして、マスター担体７３を保持したマスター保持部材９５を、後述のように、マスター担体７３に形成されたパターン８６（図１４参照）の中心位置がスレーブ保持軸９４の中心位置に合致するように予め調整して固定しておき、このマスター担体７３上に供給するスレーブ媒体７２を、その中心孔７２aとスレーブ保持軸９４との嵌合により位置決めし、マスター担体７３とスレーブ媒体７２との位置決めを行う。
【０１８２】
スレーブ媒体７２は、両面に磁気記録層が形成されたハードディスク等の円盤状磁気記録媒体である。このスレーブ媒体７２を保持するスレーブ保持軸９４は突起状に形成され、その外径はスレーブ媒体７２の中心孔７２aとほぼ同径に形成され、その位置決めによりスレーブ媒体７２の中心位置をスレーブ保持軸９４の中心基準位置に一致するように保持する。スレーブ保持軸９４のマスター担体７３上面よりの突出量はスレーブ媒体７２の厚さより小さく（第２の基盤７７の中心部に凹部が形成されている場合は大きくてもよい）形成されている。
【０１８３】
一方、マスター担体７３はスレーブ保持軸９４の外径より大きい内孔７３ａを有する円環ディスク状に形成され、詳細は示していないが、その片面（図で上面）に磁性層による微細凹凸パターン８６が円環状トラックに対応して同心円状に形成された転写情報担持面を有し、これと反対側の面（図で下面）がマスター保持部材９５の上面に保持される。
【０１８４】
前記第１の基盤７６のベース部材９３は円盤状に形成され、その上面中心部にスレーブ保持軸９４がマスター保持部材９５の中央を上下に貫通して立設され、スレーブ保持軸９４の外周部のベース部材９３上にはマスター保持部材９５が、例えば直交２方向に設けられたガイド９６によりＸ方向移動部とＹ方向移動部とが重ねられてＸＹ方向に移動可能に配設され、それぞれの方向の移動量が不図示の調整機構により調整可能であると共に、調整後には移動不能に固定可能である。このマスター保持部材９５の上面にマスター担体７３をエアの吸引等によって保持する。例えば、マスター保持部材９５の上面に多数の吸引孔が開口され、エア吸引力によって載置されたマスター担体７３を吸引固定する。
【０１８５】
第１の基盤７６は、磁気転写位置より脱着可能に設けられ、図１３に示す測定顕微鏡８０に移載して、マスター保持部材９５に保持したマスター担体７３のパターン８６の中心位置がスレーブ保持軸９４の中心位置と合致するように調整する。なお、第１の基盤７６は、不図示の回転駆動手段によって回転駆動される。
【０１８６】
第２の基盤７７は第１の基盤７６と同等の円盤状に形成され、この第２の基盤７７は加圧手段を構成し、不図示の昇降機構により上下移動可能に設置され、シリンダ等により発生された押圧力が不図示の機構により加えられる。
【０１８７】
図１３に示す測定顕微鏡８０は、ベース８１の上面に対して垂直に支柱８２が立設され、この支柱８２に光学系による観察部８３が上下移動可能に設けられる。ベース８１の上面には、ＸＹ方向に移動可能なステージ８４を備え、ハンドル８５の操作によってＸ方向およびＹ方向に移動操作が行えるようになっている。図示していないが、ステージ８４には移動量検出手段が設置され、その検出に基づき演算部（パソコン）で各種演算が行え、表示部で座標表示等が行える。
【０１８８】
上記ステージ８４上に前記第１の基盤７６を載置し、観察部８３で観測しつつステージ８４の移動操作を行い、視野の基点にマスター担体７３のパターン８６の複数の基準点８６a（図１４参照）またはマーク８８（図１７参照）をプロットすると、近似円を描いて中心位置が演算され、その座標が表示部に表示される。また、スレーブ保持軸９４の中心位置を同様に測定し、その座標が表示部に表示される。なお。両者の座標の偏位量が表示できるものが位置合わせを行う上で好ましい。
【０１８９】
測定顕微鏡８０によるマスター担体７３の位置決めを、図１４および図１５に基づき説明する。まず、図１４に示すように、マスター担体７３をマスター保持部材９５の上面に手作業等により載置した状態では、マスター担体７３のパターン８６の中心位置はスレーブ保持軸９４の中心位置とずれて（図１４の場合は左下方にずれて）偏心状態にある。そして、測定顕微鏡８０のステージ８４上に第１の基盤７６を載置し、観察部８３による観察とステージ８４の操作により、スレーブ保持軸９４の中心位置を求め、同様にマスター担体７３のパターン８６における例えば外周のトラックの複数フレームの始点信号を基準点８６aとしてプロットしパターン８６の中心位置を求め、両者が一致するようにマスター保持部材９５をＸ方向およびＹ方向（図の場合は右上方向）に位置調整し、この操作を繰り返して、図１５に示すように両者の中心位置が合致した状態でマスター保持部材９５を固定する。
【０１９０】
なお、上記パターン８６の一部を基準点８６aとして観測する代わりに、図１７に示すように、マスター担体７３にパターン８６の形成と共に位置合わせ用のマーク８８を設け、このマーク８８を測定顕微鏡８０で観測し、パターン８６の中心位置を求めるようにしてもよい。マーク８８は、例えば、パターン８６の外部における同心円上の複数点に形成する。
【０１９１】
図１１の磁界印加手段７５は、スレーブ媒体７２およびマスター担体７３の半径方向に延びるギャップ９０を有するコア９１にコイル９２が巻き付けられた電磁石装置８９，８９が上下両側に配設されてなり、上下で同じ方向にトラック方向と平行な転写用磁界を印加する。なお、磁界印加手段７５としては、電磁石装置に代えて永久磁石装置で構成してもよく、片側のみに配設するようにしてもよい。
【０１９２】
磁界印加時には、スレーブ媒体７２およびマスター担体７３を一体に回転させつつ磁界印加手段７５によって転写用磁界を印加し、マスター担体７３の転写情報をスレーブ媒体７２のトラック全周に転写記録する。転写用磁界を回転移動させるように設けてもよい。また、磁界印加手段７５は、第１の基盤７６と第２の基盤７７との開閉動作を許容するように、電磁石装置８９が待避移動するように設けられる。
【０１９３】
上記のような磁気転写装置７０の動作すなわち磁気転写方法を説明する。まず、図１６に示すように、第２の基盤７７が上昇移動した密着前の状態において、第１の基盤７６のマスター保持部材９５に前述のようにして予めマスター担体７３をそのパターン８６の中心をスレーブ保持軸９４の中心と位置合わせして保持した後、このマスター担体７３上にスレーブ媒体７２を搬入し、その中心孔７２aをスレーブ保持軸９４に嵌合させて載置する。このスレーブ保持軸９４による位置決めによって、スレーブ媒体７２の回転中心とマスター担体７３のパターン８６の中心位置とが精度良く位置決めされる。
【０１９４】
その後、加圧手段により第２の基盤７７を下降作動させ、第２の基盤７７の押圧面がスレーブ媒体７２の上面に当接し、このスレーブ媒体７２を押圧してその下面（磁気記録面）をマスター担体７３の上面（情報担持面）に所定の圧力で密着させる。続いて、両側の電磁石装置８９，８９を接近させ、第１の基盤７６および第２の基盤７７を略１回転させつつこの電磁石装置８９，８９によって転写用磁界を印加して、マスター担体７３の転写情報に応じた磁化パターンをスレーブ媒体７２の記録面に記録する。
【０１９５】
磁気転写が終了した後には、第２の基盤７７を開作動して押圧力を解放し、転写後のスレーブ媒体７２をマスター担体７３から外し、取り出し搬送する。その後、別工程でスレーブ媒体７２を反転後スレーブ保持軸９４に再セットし、スレーブ媒体７２の反対面にマスター担体７３を密着させて同様に磁気転写を行う。
【０１９６】
また、図１８に示すように両面同時転写を行うようにしてもよい。下側の第１の基盤７６は前記と同様に、ベース部材９３の上部の中心位置にスレーブ媒体７２の中心孔７２aを位置決めするスレーブ保持軸９４を備えると共に、このスレーブ保持軸９４の外周部に下側のマスター担体７３を保持するマスター保持部材９５を備え、そのパターンの中心位置がスレーブ保持軸９４の中心位置に合致して固定されている。スレーブ保持軸９４の中心部には位置決め穴９４ａが設けられている。
【０１９７】
一方、上側の第２の基盤７７は、ベース部材９７の下部の中心位置に前記スレーブ保持軸９４の位置決め穴９４ａに挿入されて位置決めする位置決めピン９８を備えると共に、この位置決めピン９８の外周部に上側のマスター担体７４を保持するマスター保持部材９９を備え、そのパターンの中心位置が位置決めピン９８の中心位置に合致して固定されている。
【０１９８】
そして、磁気転写時には、第１の基盤７６のマスター保持部材９５に保持された下側のマスター担体７３上にスレーブ媒体７２を搬入し、その中心孔７２aをスレーブ保持軸９４に嵌合させて載置し、スレーブ媒体７２の回転中心と下側のマスター担体７３とが位置決めされる。その後、第２の基盤７７を下降作動させ、その位置決めピン９８をスレーブ保持軸９４の位置決め穴９４ａに嵌合させ、第２の基盤７７のマスター保持部材９９に保持された上側のマスター担体７４と、スレーブ媒体７２の回転中心とが位置決めされる。そして、スレーブ媒体７２の下面および上面に上下のマスター担体７３，７４の情報担持面をそれぞれ所定の圧力で密着させ、転写用磁界を印加して、マスター担体７３，７４の転写情報に応じた磁化パターンをスレーブ媒体７２の両面に同時に記録する。
【０１９９】
前記スレーブ媒体７２には予め初期磁化を行っておく。この初期磁化は、スレーブ媒体７２の保磁力以上の磁界強度部分をトラック方向位置で少なくとも１カ所以上有する磁界強度分布の磁界を、好ましくは、スレーブ媒体７２の保磁力以上の磁界強度部分をトラック方向位置で一方向のみで有しており、逆方向の磁界強度はいずれのトラック方向位置でのスレーブ媒体７２の保磁力未満である磁界強度分布の磁界を、トラック方向の一部分で発生させ、スレーブ媒体７２あるいは磁界をトラック方向に回転させることにより全トラックの初期磁化（直流消磁）を行う。
【０２００】
また、転写用磁界は、上記初期磁化のトラック方向とは逆方向のトラック方向に印加するものであり、最適転写磁界強度範囲（スレーブ媒体７２の保磁力の０．６〜１．３倍）の最大値を越える磁界強度がトラック方向のいずれにも存在せず、最適転写磁界強度範囲内の磁界強度となる部分が１つのトラック方向で少なくとも１カ所以上有する。さらに、これと逆向きのトラック方向の磁界強度がスレーブ媒体７２の記録面全領域においていずれのトラック方向位置においても最適転写磁界強度範囲未満である。
【０２０１】
本実施の形態によれば、磁気転写を行う際に、予めマスター担体７３をそのパターン８６の中心位置とスレーブ保持軸９４の中心位置と一致させて保持し、その上にスレーブ媒体７２を搬送し、スレーブ保持軸９４に位置決め保持してマスター担体７３と密着させて両者の位置決めを行うことにより、スレーブ媒体７２の中心位置と転写された磁化パターン８６の中心位置とが精度良く合致し、磁気転写後のスレーブ媒体７２をドライブ装置に装着した際の回転中心との位置精度が高くできる。一度位置決め固定したマスター担体７３に対する複数のスレーブ媒体７２の供給が、位置決め精度を確保しつつ効率よく行え、良好な磁気転写を効率よく継続することができ、生産効率の向上が図れる。
【０２０２】
なお、前記実施の形態ではマスター保持部材９５がＸＹ方向に移動可能であるが、マスター保持部材が固定式の場合には、マスター担体７３を直接移動させて位置合わせを行うようにしてもよい。
【０２０３】
以下、本発明のさらに別の実施の形態を詳細に説明する。図１９は本発明の一つの実施の形態における磁気転写方法を実施する磁気転写装置の概要を示す断面図、図２０は加圧本体の平面図である。なお、各図は模式図であり各部の寸法は実際とは異なる比率で示している。
【０２０４】
図１９の片面逐次転写を行う磁気転写装置１００において、磁気転写時には、後述の初期直流磁化を行った後のスレーブ媒体１０２（磁気記録媒体）のスレーブ面（磁気記録面）を、マスター担体１０３の情報担持面に接触させ、加圧手段１０４により所定の押圧力で密着させる。このスレーブ媒体１０２とマスター担体１０３との密着状態で、回転手段１０５によりスレーブ媒体１０２およびマスター担体１０３を回転させつつ、磁界印加装置１０６により転写用磁界を印加してサーボ信号等の磁化パターンをスレーブ媒体１０２に転写記録する。この磁気転写において、マスター担体１０３とスレーブ媒体１０２とを回転手段１０５の回転駆動により密着状態で回転させる際に、加圧手段１０４が回転方向の力成分を束縛しないで押圧力を印加してなる。
【０２０５】
スレーブ媒体１０２は、両面に磁気記録層が形成されたハードディスク、フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体である。スレーブ媒体１０２には予め初期磁化を行っておく。この初期磁化は、スレーブ媒体１０２の保磁力Ｈcs以上の磁界強度部分をトラック方向位置で少なくとも１カ所以上有する磁界強度分布の磁界を、好ましくは、スレーブ媒体１０２の保磁力Ｈcs以上の磁界強度部分をトラック方向位置で一方向のみで有しており、逆方向の磁界強度はいずれのトラック方向位置でのスレーブ媒体１０２の保磁力未満である磁界強度分布の磁界を、トラック方向の一部分で発生させ、スレーブ媒体１０２あるいは磁界をトラック方向に回転させることにより全トラックの初期磁化（直流消磁）を行う。
【０２０６】
図１９において下側のスレーブ媒体１０２は、回転手段１０５における円盤状の回転基盤１５１の上面に保持されている。回転基盤１５１は底面中心部に回転軸１５２が設けられ、回転軸１５２は軸受部材１５３により回転自在に支持される。この回転軸１５２には、不図示のスプロケットに駆動モータによる回転力がタイミングベルト、チェーン等の伝達部材を介して伝達されるか、ラック／ピニオンギヤを使用した機構等により回転力が伝達され、または、回転力を直結したモーター、ロータリーアクチュエータ（エア、油圧）等により回転力が伝達され、これにより回転基盤１５１は磁気転写時に所定速度で略１回転する。
【０２０７】
上側のマスター担体１０３はディスク状に形成され、その片面に磁性層による微細凹凸パターンが形成された転写情報担持面を有し、この情報担持面をスレーブ媒体１０２に密着させる。これと反対側の面が、加圧手段１０４における円盤状の押圧基盤１４１の下面に保持され、この押圧基盤１４１によりマスター担体１０３がスレーブ媒体１０２に対して押圧される。
【０２０８】
押圧基盤１４１の上部には加圧本体１４２が配設され、この加圧本体１４２に押圧基盤１４１が保持されて前記回転基盤１５１に対して接離移動可能に上下方向に移動される。そして、加圧本体１４２と押圧基盤１４１との間の回転方向の力成分を束縛しない押圧力伝達機構１４３が設置されている。
【０２０９】
加圧本体１４２は、円板部１４２aの外周に下側に延びる周壁４２ｂが設けられ、この周壁１４２ｂの下端部には内側に突出する係止部１４２cが形成されている。加圧本体１４２の上部にはロッド１４２ｄが取り付けられ、不図示の昇降機構に連係されて上下移動可能に形成されている。この加圧本体１４２の底面には、押圧力伝達機構１４３を構成する複数のボールベアリング１４３ａが埋設されている。加圧本体１４２の円板部１４２aの底面側で係止部１４２cの上部に押圧基盤１４１が配設され、押圧基盤１４１は加圧本体１４２の上動時には係止部１４２cに保持されて一体に移動し、下降した密着時には押圧基盤１４１の上面にボールベアリング１４３ａが圧接してスラストベアリングとなり、押圧力を伝達する。
【０２１０】
上記加圧本体１４２は回転方向には固定であり、ボールベアリング１４３ａの回転により押圧基盤１４１が回転基盤１５１と一体に回転することが許容される。加圧時には、係止部１４２cは押圧基盤１４１から離れているように、押圧基盤１４１が加圧本体１４２内で若干上下動できるように設けられている。
【０２１１】
図２０に示すように、加圧本体１４２の上面には磁界印加装置１０６のヘッド部が挿入される凹部１４２ｅが形成され、マスター担体１０３とスレーブ媒体１０２の密着面に接近して、磁界を印加するようになっている。凹部１４２ｅに対応する底面部には、上記ボールベアリング１４３ａを配設しないのが好ましい。ボールベアリング１４３ａはスプリングを備え、出没移動して全てのボールベアリング１４３ａが押圧基盤１４１の上面に接触して均等に押圧するように設けるのが好ましい。
【０２１２】
また、回転基盤１５１と押圧基盤１４１は、スレーブ媒体１０２およびマスター担体１０３より外側部分に配設された位置決め機構１０７によって中心位置決めがなされる。図示の場合には、回転基盤１５１に複数の位置決めピン１７１が立設され、押圧基盤１４１には位置決め穴１７２が開口され、両者の係合によりスレーブ媒体１０２とマスター担体１０３との中心位置決めが行われる。また、この位置決め機構１０７を介して回転基盤１５１の回転力が押圧基盤１４１に伝達される。スレーブ媒体１０２とマスター担体１０３の密着力によっても回転力が伝達される。位置決めピン１７１の先端は、テーパー形状に設けられ、位置決め穴１７２への係合が誘い込まれる。
【０２１３】
転写用磁界を印加する磁界印加装置１０６は、回転基盤１５１と押圧基盤１４１との間に密着保持されたスレーブ媒体１０２およびマスター担体１０３の半径方向に延びるヘッド部を有するコアにコイルが巻き付けられた電磁石装置または永久磁石装置が片側または上下両側に配設されてなり、トラック方向と平行に前記初期磁界と略反対方向に転写用磁界を印加する。なお、磁界印加装置１０６は、加圧本体１４２の昇降移動に対し、それと干渉しない位置に待避移動するように設けられている。
【０２１４】
転写用磁界は、最適転写磁界強度範囲（スレーブ媒体１０２の保磁力Ｈcsの０．６〜１．３倍）の最大値を越える磁界強度がトラック方向のいずれにも存在せず、最適転写磁界強度範囲内の磁界強度となる部分が１つのトラック方向で少なくとも１カ所以上有する。さらに、これと逆向きのトラック方向の磁界強度がスレーブ媒体１０２の記録面全領域においていずれのトラック方向位置においても上記強度範囲の最小値未満である。
【０２１５】
上記磁気転写装置１００による磁気転写は、まず、予めマスター担体１０３を位置決め固定している押圧基盤１４１と共に加圧本体１４２を上昇移動させ、回転基盤１５１との間にスレーブ媒体１０２の脱着作業用の空間を形成した状態で、回転基盤１５１の上面にスレーブ媒体１０２を中心位置を位置決めした状態でセットする。続いて、加圧本体１４２を下降移動させ、押圧基盤１４１と回転基盤１５１とを位置決め機構１０７によって位置決めを行いつつ、スレーブ媒体１０２の記録面にマスター担体１０３の転写情報担持面を、押圧力伝達機構１４３を介して作用する所定の押圧力で密着させる。次に、駆動モータを起動して回転軸１５２を駆動し、回転基盤１５１と共に位置決め機構１０７を介して連結している押圧基盤１４１を一体に回転駆動する。これと同時に磁界印加装置１０６によって転写用磁界を印加して、マスター担体１０３の転写情報担持面に形成されているサーボ信号等の転写情報をスレーブ媒体１０２の記録面に磁気的に転写記録する。
【０２１６】
本実施の形態によれば、転写用磁界を印加する際の回転時には、加圧手段１０４における押圧基盤１４１はボールベアリング１４３ａによる押圧力伝達機構１４３の作用で回転方向の力成分が拘束されず、押圧基盤１４１は押圧力を作用しつつ加圧本体１４２とは独立して回転基盤１５１の回転中心を中心として回転する。これにより、回転による駆動負荷を加圧本体１４２側に与えることなく、また、スレーブ媒体１０２とマスター担体１０３との間に滑りを生じることなく一体に回転させて、精度良く磁気転写を行うことができる。
【０２１７】
図２１は他の実施の形態による押圧力伝達機構１４４を有する磁気転写装置１００の要部断面図である。
【０２１８】
本実施の形態では、押圧力伝達機構１４４はエアギャップにより構成される。押圧基盤１４１は前記と同様に構成され、加圧本体１４２の円板部１４２aと係止部１４２cとの間に保持される。加圧本体１４２の円板部１４２aの底面には、多数のエア噴出孔１４４ａが開口されている。円板部１４２aの内部にはエア噴出孔１４４ａに連通するエア通路１４４ｂが設けられ、このエア通路１４４ｂは外部に導出されて不図示の加圧源に接続されて圧縮エアが供給されるようになっている。
【０２１９】
押圧基盤１４１は下降した加圧時には、加圧本体１４２のエア噴出孔１４４ａから押圧基盤１４１の上面に向けて噴出された加圧エアによって離間して、加圧本体１４２と押圧基盤１４１との間にエアギャップを形成した状態で押圧力を伝達する。回転方向には固定された加圧本体１４２に対して、押圧基盤１４１が回転基盤１５１と一体に回転することが、エアギャップによる非接触滑動で許容される。その他は図１９と同様に構成され、同様に磁気転写が行われる。
【０２２０】
本実施の形態においても、転写用磁界を印加する際の回転時には、加圧手段１０４における押圧基盤１４１は、加圧エアの噴出で形成されたエアギャップによる押圧力伝達機構１４４の作用で、加圧本体１４２に対して回転方向の力成分が束縛されず、押圧基盤１４１は押圧力を作用しつつ加圧本体１４２とは独立して回転基盤１５１の回転中心を中心として回転する。これにより、回転による駆動負荷を加圧本体１４２側に与えることなく、また、スレーブ媒体１０２とマスター担体１０３との間に滑りを生じることなく一体に回転させて、精度良く磁気転写を行うことができる。
【０２２１】
次に、図２２は他の実施の形態によるスレーブ媒体１０２とマスター担体１０３との位置決め機構１０８を有する回転基盤１５１および押圧基盤１４１を示す図、図２３はマスター担体１０３の平面図である。
【０２２２】
本実施の形態の回転基盤１５１および押圧基盤１４１の基本構造は図１９と同様である。押圧基盤１４１に保持されたマスター担体１０３は、回転基盤１５１に保持されるスレーブ媒体１０２の外径より大きく形成され、スレーブ媒体１０２との密着部分の外側部分に、回転基盤１５１とマスター担体１０３との位置決め機構１０８が配置されている。
【０２２３】
スレーブ媒体１０２を位置決め保持する回転基盤１５１に４本の位置決めピン１８１が立設され、マスター担体１０３に４つの位置決め穴１８２（図２３参照）が設けられて位置決め機構１０８が設置されている。位置決めピン１８１の先端は、テーパー形状に設けられ、位置決め穴１８２への係合が誘い込まれる。
【０２２４】
本実施形態によれば、密着動作時には、回転基盤１５１の位置決めピン１８１がマスター担体１０３の位置決め穴１８２に挿入され、回転基盤１５１すなわちスレーブ媒体１０２とマスター担体１０３との位置決めが行われる。これにより、図１９に示した位置決め機構１０７に対して、押圧基盤１４１とマスター担体１０３との精密な位置決めが不要となり、組付精度の簡略化が図れる。
【０２２５】
図２４はさらに他の実施の形態の位置決め機構１０９を有する回転基盤１５１および押圧基盤１４１を示す図である。
【０２２６】
本実施の形態の回転基盤１５１および押圧基盤１４１の基本構造は図１９と同様である。回転基盤１５１の中心部に、回転基盤１５１とマスター担体１０３との位置決め機構１０９が配置されている。回転基盤１５１の中心部には径の大きい位置決めピン１９１が立設され、マスター担体１０３の中心部には位置決め穴１９２が設けられて位置決め機構１０９が設置されている。位置決めピン１９１はスレーブ媒体１０２の中心孔を貫通して突出する。位置決めピン１９１の先端は、テーパー形状に設けられ、位置決め穴１９２への係合が誘い込まれる。なお、回転基盤１５１の位置決めピン１９１にスレーブ媒体１０２の中心孔を挿通することによって、スレーブ媒体１０２の位置決めを行うようにしてもよい。
【０２２７】
本実施形態によれば、加圧動作時には、回転基盤１５１の中心位置決めピン１９１がマスター担体１０３の位置決め穴１９２に挿入され、回転基盤１５１すなわちスレーブ媒体１０２とマスター担体１０３との位置決めが行われる。これにより、図２２と同様に、押圧基盤１４１とマスター担体１０３との精密な位置決めが不要となり、組付精度の簡略化が図れる。さらに、位置決めピン１９１によってスレーブ媒体１０２の位置決めを行うとさらに簡略化が図れる。
【０２２８】
なお、前記各実施の形態とは逆に、回転基盤１５１にマスター担体１０３を、押圧基盤１４１にスレーブ媒体１０２を保持するようにしてもよい。これらの基盤１５１，１４１に対するスレーブ媒体１０２およびマスター担体１０３の固定は、エア吸引による吸着固定などにより行われ、そのための吸引通路が形成される。また、マスター担体１０３は転写パターン以外の部分に小孔を開口してスレーブ媒体１０２との密着部分のエアを吸引し、密着表面間にエアが残留しないようにするのが好ましい。
【０２２９】
また、前記各実施の形態のように、スレーブ媒体１０２の片面にマスター担体１０３を密着させて片面逐次転写を行う場合と、スレーブ媒体１０２の両面にそれぞれマスター担体１０３を密着させて両面同時転写を行う場合とがある。片面逐次転写の場合は、回転基盤１５１にスレーブ媒体１０２（またはマスター担体１０３）を、押圧基盤１４１にマスター担体１０３（またはスレーブ媒体１０２）を保持して密着させて転写用磁界を印加する。片面転写後に、スレーブ媒体１０２の反対面を反対面用のパターンを有するマスター担体１０３に密着させて転写用磁界を印加する。また、両面同時転写の場合は、回転基盤１５１に第１のマスター担体１０３を、押圧基盤１４１に第２のマスター担体１０３をそれぞれ保持し、両マスター担体１０３，１０３間にスレーブ媒体１０２を挟持して両面に密着させて転写用磁界を印加する。
【０２３０】
本発明における磁気転写は、基本的に、スレーブ媒体１０２に初期磁界をトラック方向の一方向に印加して予め初期磁化(直流消磁)を行う。その後、このスレーブ媒体１０２のスレーブ面（磁気記録面）とマスター担体１０３の基板の微細凹凸パターンに磁性層が被覆されてなる情報担持面とを密着させ、スレーブ媒体１０２のトラック方向に前記初期磁界とは逆方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行う。その結果、スレーブ媒体１０２のスレーブ面（トラック）にはマスター担体１０３の情報担持面の磁性層の密着凸部と凹部空間との形成パターンに応じた磁化パターンを転写記録する。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明の一つの実施の形態にかかる磁気転写装置の概略図
【図２】
他の実施形態における密着装置部分の概略図
【図３】
本発明の別の実施の形態による磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図
【図４】
密着装置の断面図
【図５】
本発明のさらに別の実施の形態にかかる磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図
【図６】
密着装置の分解斜視図
【図７】
本発明のさらに別の実施形態の弾性押圧部材およびマスター担体の平面図
【図８】
本発明のさらに別の実施の形態に係る磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図
【図９】
図８のホルダの分解斜視図
【図１０】
中心位置の偏心量を示す説明図
【図１１】
本発明のさらに別の実施の形態による磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図
【図１２】
密着状態における磁気転写装置の要部断面図
【図１３】
マスター担体の位置調整を行う測定顕微鏡の概略機構図
【図１４】
マスター担体の位置調整前の状態を示す概略平面図
【図１５】
マスター担体の位置調整後の状態を示す概略平面図
【図１６】
密着前状態における磁気転写装置の要部断面図
【図１７】
他の形態のマスター担体を示す平面図
【図１８】
他の実施の形態による磁気転写装置の密着前状態における要部断面図
【図１９】
本発明のさらに別の実施の形態による磁気転写方法を実施する磁気転写装置の概略断面図
【図２０】
図１９における加圧本体の平面図
【図２１】
他の実施の形態による押圧力伝達機構を有する磁気転写装置の要部断面図
【図２２】
他の実施の形態の位置決め機構を有する回転基盤および押圧基盤を示す図
【図２３】
図２２におけるマスター担体の平面図
【図２４】
さらに他の実施の形態の位置決め機構を有する回転基盤および押圧基盤を示す図
【符号の説明−３】
1,20,40,60,70,100    磁気転写装置
2,22,42,62,72,102    スレーブ媒体
3,23,43,63,64,73,103    マスター担体
5,25,45    密着装置
6    搬送台
7,8    クリーニング手段
11    マスター固定台座
12    押え部材
13    テーブル
14,152    回転軸
15    保持部
24    弾性材
26    押圧手段
27    減圧手段
28,47,65,106    磁界印加装置
31    下側チャンバー
32    上側チャンバー
33    シール材
43b    情報担持面
44    弾性押圧部材
44a    押圧面
46    加圧装置
48，49    圧接部材
50    内リング部
51    外リング部
52    放射部
53    凹部
61    ホルダ
62a,63a,64a        中心穴
65    磁界印加装置
68    下ホルダ
68b    中心ピン
69    上ホルダ
72a    中心孔
75    磁界印加手段
76    第１の基盤
77    第２の基盤
80    測定顕微鏡
83    観察部
84    ステージ
86    パターン
86a   基準点
88    マーク
89    電磁石装置
93    ベース部材
94    スレーブ保持軸
95    マスター保持部材
104    加圧手段
105    回転手段
107〜109    位置決め機構
141    押圧基盤
142    加圧本体
142a   円板部
142c   係止部
143,144   押圧力伝達機構
143a   ボールベアリング
144a   エア噴出孔
151    回転基盤
171,181,191    位置決めピン
172,182,192    位置決め穴