【手続補正書】
【提出日】平成17年11月14日(2005.11.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】静電浮上搬送装置および静電浮上搬送装置付ロボット
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】搬送手段の把持部に接続され、かつ絶縁基板からなる電極プレートと、前記電極プレート上に複数に分割配置された静電浮上用電極と、前記静電浮上用電極と対向する被搬送物と、前記静電浮上用電極と前記被搬送物とのギャップを検出する変位センサと、前記静電浮上用電極へ印加する電圧を制御する制御器と、前記被搬送物を間に介して前記静電浮上用電極の反対側に設けられ、かつ前記被搬送物を支持するステージとを備え、前記各々の変位センサの検出信号に基づいて前記静電浮上用電極への印加電圧を制御することにより、前記被搬送物を静電吸引力を用いて浮上・搬送させる静電浮上搬送装置において、
前記電極プレート上に設けた静電浮上用電極の外縁部または前記ステージ上の前記被搬送物が支持される位置の外縁部の少なくとも何れか一方に、前記被搬送物を浮上させる際の前記静電浮上用電極と前記被搬送物間のギャップを予め設定するための突起を設けたことを特徴とする静電浮上搬送装置。
【請求項２】前記搬送手段の把持部と前記電極プレートとの間に、圧縮方向の力を伝達せずに引張方向の力のみを伝達する張力伝達手段を設けた請求項１に記載の静電浮上搬送装置。
【請求項３】前記張力伝達手段は、略コ字状断面を有した係合部を備える第１ジグと、前記第１ジグの係合部と係合するＴ字状断面を有する第２ジグとからなる継手で構成してあり、前記第１ジグと前記第２ジグの何れか一方を前記搬送手段の把持部に、他方を前記電極プレートに接続した請求項２に記載の静電浮上搬送装置。
【請求項４】前記搬送手段の把持部と前記電極プレートとの間に、弾性部材を設けた請求項１に記載の静電浮上搬送装置。
【請求項５】  前記電極プレートを別体の支持プレートにより固定すると共に、前記支持プレートと前記突起を一体成形した請求項１から４までの何れか１項に記載の静電浮上搬送装置。
【請求項６】前記ステージの内部に弾性部材を挿設した請求項１から５までの何れか１項に記載の静電浮上搬送装置。
【請求項７】請求項１〜６の何れか１項に記載の静電浮上搬送装置と、前記静電浮上搬送装置の静電浮上用電極を先端部に装着したマニピュレータと、を備えたことを特徴とする静電浮上搬送装置付ロボット。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、シリコンウエハや液晶用ガラス基板などの被搬送物を、静電吸引力により非接触に浮上させて搬送する静電浮上搬送装置および静電浮上搬送装置付ロボットに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来技術では、被搬送物を多関節のロボットに保持された電極プレートにより何度も繰り返して非接触で浮上搬送させると、被搬送物と静電浮上用電極間の初期ギャップがばらついてしまい、ひどいときには最大数１００μｍ程度変化してしまう。これは、被搬送物と静電浮上用電極間の初期ギャップの繰り返し精度がロボットを制御する際の位置決め精度に依存しているためであり、このような初期ギャップのばらつきに伴って、被搬送物が浮上を開始する際の浮上開始電圧も最大数１００Ｖ変化してしまう。その結果、この初期ギャップが狭くなると、バイアス電圧を加えた瞬間に被搬送物が急速に浮上し静電浮上用電極に接触してしまうという問題が発生した。また、逆にこの初期ギャップが広いと、制御器にかかる制御電圧が不足するため被搬送物が浮上しないという問題が発生していた。このように上記の静電浮上搬送装置で被搬送物を繰り返し浮上制御を行うと確実な浮上搬送を行うことができないという問題があった。
そこで本発明は、被搬送物を繰り返し搬送する際、ロボット制御時の位置決め精度に依存することなく、被搬送物と静電浮上用電極間の初期ギャップを一定に保つことができると共に、確実で安定した浮上搬送が可能な静電浮上搬送装置および静電浮上搬送装置付ロボットを提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、請求項１記載の本発明は、搬送手段の把持部に接続され、かつ絶縁基板からなる電極プレートと、前記電極プレート上に複数に分割配置された静電浮上用電極と、前記静電浮上用電極と対向する被搬送物と、前記静電浮上用電極と前記被搬送物とのギャップを検出する変位センサと、前記静電浮上用電極へ印加する電圧を制御する制御器と、前記被搬送物を間に介して前記静電浮上用電極の反対側に設けられ、かつ前記被搬送物を支持するステージとを備え、前記各々の変位センサの検出信号に基づいて前記静電浮上用電極への印加電圧を制御することにより、前記被搬送物を静電吸引力を用いて浮上・搬送させる静電浮上搬送装置において、前記電極プレート上に設けた静電浮上用電極の外縁部または前記ステージ上の前記被搬送物が支持される位置の外縁部の少なくとも何れか一方に、前記被搬送物を浮上させる際の前記静電浮上用電極と前記被搬送物間のギャップを予め設定するための突起を設けたことを特徴とするものである。
また、請求項２記載の本発明は、請求項１に記載の静電浮上搬送装置において、前記搬送手段の把持部と前記電極プレートとの間に、圧縮方向の力を伝達せずに引張方向の力のみを伝達する張力伝達手段を設けたものである。
また、請求項３記載の本発明は、請求項２に記載の静電浮上搬送装置において、前記張力伝達手段は、略コ字状断面を有した係合部を備える第１ジグと、前記第１ジグの係合部と係合するＴ字状断面を有する第２ジグとからなる継手で構成してあり、前記第１ジグと前記第２ジグの何れか一方を前記搬送手段の把持部に、他方を前記電極プレートに接続したものである。
また、請求項４記載の本発明は、請求項１に記載の静電浮上搬送装置において、前記搬送手段の把持部と前記電極プレートとの間に、弾性部材を設けたものである。
また、請求項５記載の本発明は、請求項１から４までの何れか１項に記載の静電浮上搬送装置において、前記電極プレートを別体の支持プレートにより固定すると共に、前記支持プレートと前記突起を一体成形したものである。
また、請求項６記載の本発明は、請求項１から５までの何れか１項に記載の静電浮上搬送装置において、前記ステージの内部に弾性部材を挿設したものである。
また、請求項７記載の本発明は、請求項１から６までの何れか１項に記載の静電浮上搬送装置と、前記静電浮上搬送装置の静電浮上用電極を先端部に装着したマニピュレータと、を備えた静電浮上搬送装置付ロボットを特徴としたものである。
上記手段により、被搬送物を繰り返し搬送しても、初期ギャップが常に一定にセッテイングされるため、初期ギャップが狭くなり、バイアス電圧を加えた瞬間に被搬送物が急速に浮上し静電浮上用電極に接触してしまうという問題や、初期ギャップが広くなり、制御電圧が不足し被搬送物が浮上しないという問題が発生せず、確実な浮上搬送がおこなえる。