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【手続補正書】
【提出日】平成18年6月28日(2006.6.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置及びその作製方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高さが最大値から最大値と最小値の差分の１／２を示す領域の占める割合が、２９〜７２％である表面形状を持つ結晶性半導体薄膜を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
請求項１において、前記結晶性半導体薄膜は、
炭素及び窒素の濃度が５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下且つ酸素の濃度が１．５×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下であり、
主たる配向面が｛１１０｝面であり、
隣接する結晶粒の間において、等価な結晶軸同士がなす回転角の絶対値が４°以内、又は前記等価な結晶軸に対して７０．５°の回転関係にある結晶軸同士がなす回転角の絶対値が４°以内であり、
膜厚が５〜４０ｎｍであることを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、前記結晶性半導体薄膜は、
炭素及び窒素の濃度が１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下且つ酸素の濃度が５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下であり、
主たる配向面が｛１１０｝面であり、
隣接する結晶粒の間において、等価な結晶軸同士がなす回転角の絶対値が４°以内、又は前記等価な結晶軸に対して７０．５°の回転関係にある結晶軸同士がなす回転角の絶対値が４°以内であり、
膜厚が５〜４０ｎｍであることを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
基板上に非晶質半導体薄膜を形成し、
第１熱処理を行い、前記非晶質半導体薄膜を結晶性半導体薄膜に変化させ、
前記結晶性半導体薄膜に対して還元雰囲気中で９００〜１２００℃の第２熱処理を行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項５】
基板上に非晶質半導体膜を形成し、
第１熱処理を行い、非晶質半導体薄膜を結晶性半導体薄膜に変化させ、
前記結晶性半導体薄膜に対して紫外光又は赤外光を照射して結晶性を改善させ、
前記結晶性半導体薄膜に対して還元雰囲気中で９００〜１２００℃の第２熱処理を行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項６】
請求項５において、
前記紫外光は、紫外光ランプまたはＸｅＣｌを励起ガスとするエキシマレーザーであることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項７】
請求項５において、
前記赤外光は、赤外光ランプであることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項８】
請求項６において、
前記エキシマレーザーのビーム形状は、線状または面状であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項９】
請求項４乃至請求項８のいずれか一項において、
前記非晶質半導体薄膜を形成する際に、前記非晶質半導体薄膜中の炭素及び窒素の濃度を５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下且つ酸素の濃度を１．５×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下に管理することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１０】
請求項４乃至請求項９のいずれか一項において、
前記非晶質半導体薄膜を形成する際に、前記非晶質半導体薄膜中の炭素及び窒素の濃度を１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下且つ酸素の濃度を５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下に管理することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１１】
請求項４乃至請求項１０のいずれか１項において、
前記第１熱処理は５００〜７００℃で行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１２】
請求項４乃至請求項１１のいずれか１項において、
前記第２熱処理はファーネスアニール処理であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１３】
請求項４乃至請求項１２のいずれか１項において、前記第２熱処理は酸素又は酸素化合物の濃度を１０ｐｐｍ以下とした還元雰囲気中で行われることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月6日(2006.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  処理室内に被処理体を載置して加熱するサセプタを設け、該サセプタと対向して処理ガスを供給するシャワーヘッドを設け、前記処理室の底部側に処理室内を減圧排気するための排気部を設けてなる枚葉式熱処理装置において、前記処理室の少なくとも内面を石英により形成すると共に、底部側隅部を流線形に形成したことを特徴とする枚葉式熱処理装置。
【請求項２】  前記処理室にその内面温度を加熱制御する加熱手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項３】  前記処理室が金属製の外容器と、この外容器の内側に収容された石英製の内容器とからなり、内容器の内外の圧力をバランスさせるための圧力バランス手段が設けられていることを特徴とする請求項１または２記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項４】  前記シャワーヘッドの少なくとも処理ガスと接する部分が石英により形成されていることを特徴とする請求項１記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項５】  前記シャワーヘッドに少なくとも処理ガスと接する部分を加熱制御する加熱手段が設けられていることを特徴とする請求項１または４記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項６】  前記シャワーヘッドに近接して液体原料の気化器および流量制御弁等を含むガス供給源が設けられていることを特徴とする請求項１，４または５記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項７】 前記処理室は上部が開放された処理室本体と、この処理室本体の上部開放部を閉塞する蓋体とから構成され、前記処理室本体の内面にこれを被覆するように石英製の被覆部材が設けられ、この被覆部材の内面隅部が流線形に形成され、前記サセプタの外周面も、前記被覆部材の内面に対応して流線形に形成されていることを特徴とする請求項１記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項８】 前記処理室本体と前記被覆部材との間に抵抗発熱体が設けられていることを特徴とする請求項７記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項９】 前記外容器及び前記内容器はそれぞれ上部が開放された有底箱状に形成され、外容器の上縁部および内容器の上縁部にはそれぞれ外向きのフランジ部が形成されており、外容器のフランジ部の上面に内容器のフランジ部が載置され、内容器のフランジ部は外容器のフランジ部にフランジ押えにより固定されていることを特徴とする請求項３記載の枚葉式熱処理装置。
【請求項１０】 前記外容器の側壁と内容器の側壁との間には隙間が設けられており、この隙間に不活性ガスを供給して侵入処理ガスを希釈化する不活性ガス供給管が外容器に接続されていることを特徴とする請求項３または９記載の枚葉式熱処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項６記載の枚葉式熱処理装置は、前記シャワーヘッドに近接して液体原料の気化器および流量制御弁等を含むガス供給源が設けられていることを特徴とする。
請求項７記載の枚葉式熱処理装置は、前記処理室は上部が開放された処理室本体と、この処理室本体の上部開放部を閉塞する蓋体とから構成され、前記処理室本体の内面にこれを被覆するように石英製の被覆部材が設けられ、この被覆部材の内面隅部が流線形に形成され、前記サセプタの外周面も、前記被覆部材の内面に対応して流線形に形成されていることを特徴とする。
請求項８記載の枚葉式熱処理装置は、前記処理室本体と前記被覆部材との間に抵抗発熱体が設けられていることを特徴とする。
請求項９記載の枚葉式熱処理装置は、前記外容器及び前記内容器はそれぞれ上部が開放された有底箱状に形成され、外容器の上縁部および内容器の上縁部にはそれぞれ外向きのフランジ部が形成されており、外容器のフランジ部の上面に内容器のフランジ部が載置され、内容器のフランジ部は外容器のフランジ部にフランジ押えにより固定されていることを特徴とする。
請求項１０記載の枚葉式熱処理装置は、前記外容器の側壁と内容器の側壁との間には隙間が設けられており、この隙間に不活性ガスを供給して侵入処理ガスを希釈化する不活性ガス供給管が外容器に接続されていることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月14日(2005.11.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  接触片１３を設けたシャフト１２と、このシャフト１２を収納するハウジング１０とを具備し、前記シャフト１２の先端の進退軸部２３の進退に応じてシャフト１２に設けた接触片１３とハウジング１０内の端子１５とを接離してなるプッシュスイッチにおいて、前記シャフト１２と一体の接触片埋込部２５に、前記接触片１３の埋込部１７を、この埋込部１７から外部へ突出する個所に予め弧状部１９を形成して一体成形した後、この弧状部１９をＵ字形に曲げ加工したものを前記ハウジング１０内に組み込んでなることを特徴とするプッシュスイッチ。
【請求項２】  シャフト１２に一体に設けたばね係合突部２６とハウジング１０の内壁との間に、シャフト１２の進出を付勢するコイルばね１４を介在してハウジング１０に組み込み、ハウジング１０をカバー１１で被覆してなることを特徴とする請求項１記載のプッシュスイッチ。
【請求項３】  接触ばね部１６と、埋込部１７と、これらの接触ばね部１６と埋込部１７との連続する部分に形成した弧状部１９とを具備した接触片１３を形成する工程と、この接触片１３の埋込部１７部分をシャフト１２を成形するための金型に収納して接触片埋込部２５にてモールドし、かつ、進退軸部２３と摺動体部２４を一体に成形してシャフト１２を形成する工程と、前記接触片１３をシャフト１２に一体成形したものをハウジング１０に組み込む工程とからなることを特徴とするプッシュスイッチの製造方法。
【請求項４】  接触ばね部１６と、埋込部１７と、これらの接触ばね部１６と埋込部１７との連続する部分に形成した弧状部１９と、順次複数個を連結するための連結部１８とを具備した連鎖した接触片１３を形成する工程と、これらの接触片１３の埋込部１７部分をシャフト１２を成形するための金型に収納して接触片埋込部２５にてモールドし、かつ、進退軸部２３と摺動体部２４を一体に成形して連鎖したシャフト１２を形成する工程と、連鎖した接触片１３の連結部１８をカットし、それぞれ独立した接触片１３付きシャフト１２を形成する工程と、連鎖した端子１５をそれぞれのハウジング１０に一体成形する工程と、連鎖したハウジング１０を単品にカットする工程と、前記接触片１３をシャフト１２に一体成形したものをハウジング１０に組み込む工程とからなることを特徴とするプッシュスイッチの製造方法。
【請求項５】  接触ばね部１６と、埋込部１７と、これらの接触ばね部１６と埋込部１７との連続する部分に形成した弧状部１９と、順次複数個を連結するための連結部１８とを具備した連鎖した接触片１３を形成する工程と、これらの接触片１３の埋込部１７部分をシャフト１２を成形するための金型に収納して接触片埋込部２５にてモールドし、かつ、進退軸部２３と摺動体部２４を一体に成形して連鎖したシャフト１２を形成する工程と、連鎖した接触片１３の連結部１８をカットし、それぞれ独立した接触片１３付きシャフト１２を形成する工程と、前記シャフト１２に一体に設けたばね係合突部２６にシャフト１２の進退用のコイルばね１４を組み込む工程と、連鎖した端子１５をそれぞれのハウジング１０に一体成形する工程と、連鎖したハウジング１０を単品にカットする工程と、前記接触片１３を一体成形し、かつ、コイルばね１４を組み込んだシャフト１２を独立したハウジング１０に組み込む工程と、ハウジング１０にカバー１１を被せるように組み込む工程とからなることを特徴とするプッシュスイッチの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月20日(2006.7.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
インバータ回路１１の出力側である発振トランス１２の２次側の一端にはコンデンサ１６を介して、赤色の放電灯１５ａ、緑色の放電灯１５ｂ、青色の放電灯１５ｃが直列に接続され、前記発振トランス１２の２次側及び放電灯１５ｃの他端は接地されている。更に、コントロール信号によってＯＮ−ＯＦＦ制御されるフォトカプラ１７を有するスイッチング回路１８が各放電灯１５ａ、１５ｂ、１５ｃに各別に並列に設けられている。スイッチング回路１８は、フォトカプラ１７として、フォトＭＯＳＦＥＴカプラを直列に接続している。赤色の放電灯１５ａのスイッチング回路１８は、一端をコンデンサ１６と直列に接続し、他端は赤色の放電灯１５ａと緑色の放電灯１５ｂとの間に接続している。又、緑色の放電灯１５ｂ、青色の放電灯１５ｃを夫々跨ぐ位置に、スイッチング回路１８が夫々接続されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
これにより、３本の赤色の放電灯１５ａ、緑色の放電灯１５ｂ、青色の放電灯１５ｃの内の前記ＯＦＦ状態となったフォトカプラ１７を有するスイッチング回路１８が接続された１本が順次点灯し、他の２本が消灯して、例えば赤色の放電灯１５ａが点灯している時には、緑色の放電灯１５ｂ及び青色の放電灯１５ｃは消灯し、緑色の放電灯１５ｂが点灯している時には、赤色の放電灯１５ａ及び青色の放電灯１５ｃは消灯するような高速スイッチング点灯が繰り返される。これによって、赤、緑、青が１フレームとなった３色カラーバックライトが構成される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明の実施の形態の放電灯駆動装置の回路図である。
【図２】
図１の放電灯駆動装置に入力されるコントロール信号のタイミング図である。
【図３】
図１の放電灯駆動装置にコントロール信号が入力されたときのランプ電圧波形図である。
【図４】
図１の放電灯駆動装置の赤色の放電灯、緑色の放電灯、青色の放電灯の内の１本の放電灯が点灯したときの状態を示す図である。
【図５】
図１の放電灯駆動装置に使用されているフォトカプラの他の例を示す図である。
【図６】
従来の放電灯駆動装置の回路である。
【図７】
図６の放電灯駆動装置に入力されるコントロール信号のタイミング図である。
【図８】
図６の放電灯駆動装置の赤色の放電灯、緑色の放電灯、青色の放電灯のうちの１本の放電灯が点灯したときの状態を示す図である。
【符号の説明】
１０  直流電源
１１  インバーター回路
１２  発振トランス
１５ａ、１５ｂ、１５ｃ  放電灯
１６  コンデンサ
１７、２０  フォトカプラ
１８  スイッチング回路
１９ａ、１９ｂ  分圧用抵抗（分圧素子）
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月31日(2006.3.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板にカソード導体を被着する工程と、
前記カソード導体にカーボンナノチューブ、フラーレン、ナノパーティクル、ナノカプセル及びカーボンナノホーンの中の少なくとも一つを含むペースト材料を被着してエミッタを形成する工程と、
前記エミッタの表面をドライエッチングによりエッチング処理する工程とを備えて成ることを特徴とする電子放出源の製造方法。
【請求項２】
絶縁基板にカソード導体を被着する工程と、
前記カソード導体に抵抗層を被着する工程と、
前記抵抗層にカーボンナノチューブ、フラーレン、ナノパーティクル、ナノカプセル及びカーボンナノホーンの中の少なくとも一つを含むペースト材料を被着してエミッタを形成する工程と、
前記エミッタの表面をドライエッチングによりエッチング処理する工程とを備えて成ることを特徴とする電子放出源の製造方法。
【請求項３】
前記ドライエッチングは、Ｈ２又はＯ２を含むエッチングガス、あるいは、ＣｘＨｙ系ガス又はＣｘＨｙＦｚ系ガスを含むエッチングガスを使用した反応性イオンエッチングであることを特徴とする請求項１又は２記載の電子放出源の製造方法。
【請求項４】
カソード導体とゲート電極間にエミッタを配設し、前記カソード導体とゲート電極間に電圧を印加することにより前記エミッタから電子を放出する電子放出源において、
前記エミッタは、カーボンナノチューブ、フラーレン、ナノパーティクル、ナノカプセル及びカーボンナノホーンの中の少なくとも一つを有するカーボン材料を、直接又は抵抗層を介して前記カソード導体に被着すると共に、前記カーボン材料をドライエッチングによってエッチング処理することにより形成したことを特徴とする電子放出源。
【請求項５】
電子放出源及び蛍光体が被着されたアノード電極を真空気密容器内に配設し、前記電子放出源から放出される電子を前記蛍光体に射突させることにより発光表示を行う蛍光発光型表示器において、
前記電子放出源として、請求項４記載の電子放出源を使用したことを特徴とする蛍光発光型表示器。
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月14日(2006.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
異なった色を発光する複数の放電領域に第１の電極と第２の電極を配置し、前記第１の電極と前記第２の電極との間に電圧を印加して放電を行わせる放電式表示パネルにおいて、一つの放電領域における前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔を、他の放電領域における前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔と異ならせることを特徴とする放電式表示パネル。
【請求項２】
請求項１記載の放電式表示パネルにおいて、
前記複数の放電領域のうち、第１の放電領域は赤色を発光する放電領域であり、第２の放電領域は青色を発光する放電領域であり、前記第２の放電領域内に配置された前記第１の電極と前記第２の電極との間の最近接間隔を、前記第１の放電領域内に配置された前記第１の電極と前記第２の電極との間の最近接間隔より狭くすることを特徴とする放電式表示パネル。
【請求項３】
請求項２記載の放電式表示パネルにおいて、
少なくとも前記第２の放電領域内において、前記第１の電極を前記第２の電極側に突出させて電極間の最近接間隔を狭めることを特徴とする放電式表示パネル。
【請求項４】
請求項２記載の放電式表示パネルにおいて、
前記第１の電極と前記第２の電極を互いに相手電極側に突出させて電極間の最近接間隔を狭めることを特徴とする放電式表示パネル。
【請求項５】
請求項１記載の放電式表示パネルにおいて、
前記各放電領域に配置された前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔を、各放電領域毎に異ならせることを特徴とする放電式表示パネル。
【請求項６】
請求項２記載の放電式表示パネルにおいて、
前記第１の電極と前記第２の電極はそれぞれ、Ｘ電極及びＹ電極であり、互いに略平行になるように配置されていることを特徴とする放電式表示パネル。
【請求項７】
基板上またはその上方に略平行に配置された第１の電極及び第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極を有し、異なる発光色の蛍光体が設けられた複数の放電領域と、前記第１の電極及び前記第２の電極に交差して配置され前記放電領域を区切る隔壁とを備え、前記一つの放電領域内に配置された前記第１の電極と前記第２の電極との間隔を、他の放電領域に配置された前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔と異ならせることを特徴とする放電式表示パネル。
【請求項８】
請求項７記載の放電式表示パネルにおいて、
前記放電領域における放電は、異なる発光色の蛍光体を発光させるプラズマ放電であることを特徴とする放電式表示パネル。
【請求項９】
請求項７記載の放電式表示パネルにおいて、
少なくとも前記一つの放電領域内に配置された前記第１の電極を前記第２の電極方向に突出させ、その先端の電極と前記第２の電極との間の間隔を、他の放電領域内に配置された前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔と異ならせることを特徴とする放電式表示パネル。
【請求項１０】
異なった色を発光する複数の放電領域に第１の電極と第２の電極を配置し、前記第１の電極と前記第２の電極との間に駆動回路から出力される駆動電圧を印加して放電を行わせる放電式表示パネルにおいて、一つの放電領域における前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔を、他の放電領域における前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔と異ならせることを特徴とする表示装置。
【請求項１１】
請求項１０記載の表示装置において、
前記複数の放電領域のうち、第１の放電領域は赤色を発光する放電領域であり、第２の放電領域は青色を発光する放電領域であり、前記第２の放電領域内に配置された前記第１の電極と前記第２の電極との間の最近接間隔を、前記第１の放電領域内に配置された前記第１の電極と前記第２の電極との間の最近接間隔より狭くすることを特徴とする表示装置。
【請求項１２】
基板上またはその上方に略平行に配置された第１の電極及び第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極を有し、異なる発光色の蛍光体が設けられた複数の放電領域と、前記第１の電極及び前記第２の電極に交差して配置され、前記放電領域を区切る隔壁と、前記隔壁に対して略平行に配置された第３の電極と、前記第１の電極、前記第２の電極及び前記第３の電極に駆動電圧を印加するための駆動手段とを備え、前記一つの放電領域内に配置された前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔を、他の放電領域に配置された前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔と異ならせることを特徴とする表示装置。
【請求項１３】
請求項１２記載の表示装置において、
前記複数の放電領域における放電は、異なる発光色の蛍光体を発光させるプラズマ放電であることを特徴とする表示装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月13日(2006.7.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、識別記号Ｍは、分離された半導体チップ１が半導体基板１０内のどこに位置していたものなのかを特定するための第２識別部Ｍ２を含んでいるので、複数個の半導体チップ１とパッケージベース２とに分離して個々の半導体装置Ａ１を形成した後においても、対象とする半導体装置Ａ１の半導体チップ１が、半導体基板１０内においてどこに位置していたものなのかが容易に特定することができ、半導体チップ１あるいは半導体基板１０の不良品解析等を短時間で且つ容易に行うことも可能となる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
パッケージベース２の角部（４箇所）には、貫通孔２６を横断して半導体基板１０とパッケージ基板２０とを一体的に切断したので、個々の半導体装置Ａ２に分離した際に、貫通孔２６の一部がパッケージベース２の角部を切り欠いた状態の凹部３として残り、この凹部３が位置決め用の位置決め部として用いられる。また、パッケージベース２の他方の面２ａ（半導体チップ１に対向する面の裏面）には、受光部１４に対応する位置Ｄの外側部分の裏面側の位置で、且つ、矩形に形成されるパッケージベース２の辺部近傍となる位置に識別記号Ｍが付与されている。識別記号Ｍは、半導体装置Ａ２を外部基板（図示せず）に搭載する際の、半導体装置Ａ２の向きを特定するために用いられ、識別記号Ｍに基づいて、半導体装置Ａ２を適切な向きに設定した上で、凹部３に対して外部基板側に設けられるガイドピン（図示せず）を立てて半導体装置Ａ２の位置合わせを行う。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月13日(2006.7.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、切溝を形成する工程において、切溝を、第１の厚さを有する切刃にて半導体基板を切断することにより形成する一方、複数個の半導体チップとパッケージベースとに分離する工程において、第１の厚さより薄い第２の厚さを有する切刃にて半導体基板とパッケージ基板とを一体的に切断することが好ましい。このような構成を採用した場合、第１の厚さを有する切刃と第１の厚さより薄い第２の厚さを有する切刃とにより切断するという、極めて簡易な手法により、半導体装置を製造することができ、半導体装置の製造工程を簡略化することが可能となる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
（第３実施形態）
図１０は、本発明による半導体装置の第３実施形態を、製造工程順に説明する説明図である。図１０（ａ）に示されるように、シリコン等の半導体基板１０は、後に切断分離される多数個の半導体チップ１を含み、第１及び第２実施形態と同様に、受光部１５、ボンディングパッド１１、バンプ１３及び第１アライメントパターン１２が形成されている。先ず、この半導体基板１０を、図１０（ｂ）に示されるように、半導体基板１０より大きい面積を有した矩形のパッケージ基板２０上に搭載し、一体化する。パッケージ基板２０は、受光部１５が受光する光の波長に対して光学的に透明な、透光性ガラスからなり、第１及び第２実施形態と同様に、第１配線電極２１、第２アライメントパターン２２、第１目印パターン２３、第２配線電極２４及び第２目印パターン２５が形成されている。ここで、第１配線電極２１及び第２配線電極２４は、各請求項における外部接続用電極を構成している。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月13日(2006.7.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
上述した第２実施形態においても第１実施形態と同様の作用効果を奏し、パッケージベース２の角部に容易に位置決めのための位置決め部を設けることができ、パッケージベース２に位置合わせのための凹部３が形成された半導体装置Ａ４を容易に製造することも可能となる。また、製造された半導体装置Ａ４も、この凹部３を基準として、半導体装置Ａ４の搭載位置、搭載方向等の位置合わせを行え、外部基板（図示せず）への半導体装置Ａ４を搭載する際の位置合わせ精度を向上させることが可能となる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１…半導体チップ、２…パッケージベース、３，４，５…凹部、１０…半導体基板、１１…ボンディングパッド、１２…第１アライメントパターン、１４…受光部、２０…パッケージ基板、２１…第１配線電極、２２…第２アライメントパターン、２３…第２配線電極、２５…貫通孔、３０…間隙、３１…アンダーフィル樹脂、４０…ガイドピン、Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５…半導体装置、Ｃ…切断軌跡、Ｄ…パッケージ基板（パッケージベース）の受光部に対応する位置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月10日(2006.4.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
α-オレフィンとしては、エチレン、プロピレン、ブテン-1、イソブチレン、ペンテン、ヘプテン、オクテン、デセン、ドデセン等のC2〜C12のα-オレフィンが用いられ、好ましくはC2〜C4のα-オレフィンが用いられる。また、アルキル(メタ)アクリレートとしては、メチルアクリレート、エチルアクリレート、n-ブチルアクリレート、第3ブチルアクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート、オクチルアクリレート、デシルアクリレート、ドデシルアクリレート等のC1〜C12のアルキル基、好ましくはC1〜C4のアルキル基を有するアクリレート、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、n-ブチルメタクリレート、第3ブチルメタクリレート、2-エチルヘキシルメタクリレート、オクチルメタクリレート、デシルメタクリレート、ドデシルメタクリレート等のC1〜C12のアルキル基、好ましくはC1〜C4のアルキル基を有するメタクリレートが用いられる。アルコキシアルキル(メタ)アクリレートとしては、メトキシエチルアクリレート、エトキシエチルアクリレート、メトキシブチルアクリレート、エトキシブチルアクリレート、メトキシエチルメタクリレート、エトキシエチルメタクリレート、メトキシブチルメタクリレート、エトキシブチルメタクリレート等のC1〜C2のアルコキシル基とC2〜C4のアルキル基を有するアルコキシアルキル(メタ)アクリレートが用いられる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
本発明の組成物には、アクリルゴム／ポリアミド系熱可塑性エラストマーとポリエステル系熱可塑性エラストマーおよびポリアミド系熱可塑性エラストマーの少くとも一種との相溶性を向上させるような相溶化剤や各種の添加剤、例えば酸化防止剤、安定剤、粘着付与剤、離型剤、顔料、難燃剤等を添加することができる。更に、強度、剛性の向上のため、微粒子状の補強成分や短繊維等を添加することもできる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月23日(2006.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
最近の電気防食の施工事例を見ると電気防食だけでなく、外ケーブルや炭素繊維を用いた強度補強やビニロン繊維を用いたコンクリート剥落防止と併用する場合が多くなってきている。本発明は、コンクリート構造物に電気防食を施す場合に、併せてコンクリート構造の補強やコンクリート剥落防止などのために、コンクリート外面に被覆を施す場合に、被覆の剥落防止と共に、電気防食の効果が滅殺する現象を防止する技術を提供することを目的とする。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月6日(2005.12.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
男性用下着パンツの前身ごろの内側に、着用時に男性器とその周辺の皮膚との間に布を介在させ感触的及び保健衛生的に改善を目的とするもので、その布の形状と設置に関し、縦割れ対２辺（多重辺による対２辺を含む、以下同じ）を構成した縦割布（図１）を、左右側面を開放して上下部分のみを縫合或いは接着（ボタン或いは面ファスナー等での着脱式接着含む、以下同じ）じ（図２）、男性器根元との接辺は、その縦割れ辺によって行う男性用フレキシブル下着パンツ、及びパンツ類一般に対してその目的を持って付加する縦割布。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】男性用下着パンツの前身ごろ内側へ設置し、男性器とその周辺の皮膚との間に介在させる布について、その布辺の形状を、２枚の布を並べるか少し重ねて縦割れ対２辺を構成（図１ａ，ｂ）し、或いは１枚の布を折り曲げるか２枚の布で布辺をＶ状に構成（図３ａ，ｂ）して、尚又、そのＶ状辺の場合はその底点を縫合接着等せず可変式にして、男性器根元との接辺は、そのフレキシブルな縦割れ対２辺或いはＶ状辺によって行う。
尚、上記の縦割れ対２辺及びＶ状辺は、各１辺でなく各数辺とすることも可である。
上記の布の設置について、縦割布の場合は、左右側を開放し、対２辺は上下に長く設定する。Ｖ状布の場合は、左右上側に出来る限り広く開放して設定する。そのため縫合もしくは接着は上下部分のみとする。
尚又、身体差に見合ったより良いフィッティングの調整を本人が行えるように、その上部分の接着は面ファスナー等の位置可変可能な接着にする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】本人の手の随時の挿入は必須であり、その時は、身体と縦割布或いはＶ状布の間は当然挿入可能であるが、縦割布の場合、パンツ前身ごろと縦割布の間にも、上下部分以外を縫合等せずに開放してある布の左右側面から片手或いは両手を挿入する。Ｖ状布の場合、パンツ前身ごろとＶ状布の間にも、上記左右側面に加えて上面からも片手或いは両手を挿入する。
尚又、その上部分は縫合でなく接着を面ファスナー等の位置可変式接着にしてある場合、人体差に見合ったより良いフィッティングの調整を本人が行う。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】縦割布、及びＶ状布のパンツへの接着について、それぞれの上部を面ファスナー等の位置調整可能な接着とすることによって、各布辺の疲労や各人体差に見合ったフィッティングの調整を、本人がより良く行うことができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月17日(2006.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】前記熱交換装置は、前記燃料電池の空気流通路の出口に接続され放熱を行う排気側放熱器と、前記排気側放熱器の出口に膨張機を介して接続され吸熱を行う吸熱器とを含み、前記吸熱器の吸熱により車室内の冷房を行う請求項１〜３のいずれかに記載の空気調和装置。【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】前記熱交換装置は、第１及び第２の流路と、熱交換器と、前記第１及び第２の流路を択一的に前記熱交換器と前記燃料電池の空気流通路の出口との間に接続させる流路切替手段とを含み、前記第１の流路は、前記燃料電池から排出されるガスを排気側放熱器及び膨張機を介して前記熱交換器に導入して前記熱交換器に吸熱を起こさせるものであり、前記第２の流路は、前記燃料電池から排出されるガスを直接に前記熱交換器に導入して前記熱交換器に放熱を起こさせるものであり、前記熱交換器の吸熱又は放熱により車室内の空調を行う請求項１〜３のいずれかに記載の空気調和装置。【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】前記熱交換装置は、前記燃料電池の空気流通路の出口に接続され放熱を行う排気側放熱器と、前記排気側放熱器の出口に膨張機を介して接続され吸熱を行う吸熱器とを含み、前記吸熱器の吸熱により車室内の冷房を行うようにしてもよい。【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】前記熱交換装置は、第１及び第２の流路と、熱交換器と、前記第１及び第２の流路を択一的に前記熱交換器と前記燃料電池の空気流通路の出口との間に接続させる流路切替手段とを含み、前記第１の流路は、前記燃料電池から排出されるガスを排気側放熱器及び膨張機を介して前記熱交換器に導入して前記熱交換器に吸熱を起こさせるものであり、前記第２の流路は、前記燃料電池から排出されるガスを直接に前記熱交換器に導入して前記熱交換器に放熱を起こさせるもであり、前記熱交換器の吸熱又は放熱により車室内の空調を行うようにしてもよい。【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】この空気調和装置においては、排気側放熱器１２の出口に膨張器１４を介して熱交換器１５が接続されている。熱交換器１５は車室内に連通し得る部屋に配される。燃料電池１の空気流通路３の出口からは例えば８０℃で３気圧のガスが排気される。このガスは排気側放熱器１２に導入されて放熱し、例えば３０℃で３気圧のガスになる。このガスは膨張機１４を経て例えば−１０℃で１気圧のガスになる。このガスは、熱交換器１５が吸熱器として働くことで吸熱し、例えば２０℃で１気圧のガスとして排気される。この時、熱交換器１５での吸熱により車室内の冷房を行うことができる。この場合、排気側放熱器１２、膨張機１４、及び熱交換器１５を合わせて熱交換装置と呼ぶ。【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】この空気調和装置は、さらに、排気側放熱器１２及び膨張機１４を含む第１の流路１６に対し並列な第２の流路１７と、第１及び第２の流路１６，１７を択一的に熱交換器１５と燃料電池１の空気流通路３の出口との間に接続させる流路切替手段１８とを含んでいる。第１の流路１６は、上述したように、燃料電池１から排出されるガスを排気側放熱器１２及び膨張機１４を介して熱交換器１５に導入してその熱交換器１５に吸熱を起こさせるものである。第２の流路１７は、燃料電池１から排出されるガスを直接に熱交換器１５に導入してその熱交換器１５に放熱を起こさせるものである。なお熱交換器１５は車室内に連通し得る部屋に配されている。【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】なお膨張機１４で仕事を外部に取り出すように構成することもできる。【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】１  燃料電池２  アノード室３  空気流通路６  給気側放熱器７  圧縮機１２  排気側放熱器１４  膨張機 １５  熱交換器１６  第１の流路１７  第２の流路１８  流路切替手段
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月11日(2006.7.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ハウジングと、そのハウジングに揺動自在に取り付けられる内歯歯車を有する揺動体と、その内歯歯車に噛み合う爪を左右両側に有する翼部材を備えるシャンクと、そのシャンクに所定の角度の範囲で回転可能に備えられる切り換え部材と、その切り換え部材に形成される孔と、その孔内に備えられるプッシュピンと、その孔内に備えられるものであって前記プッシュピンを介して前記翼部材の爪を前記内歯歯車に接触させる方向に前記翼部材を押圧するためのばねとを有するラチェットレンチにおいて、前記プッシュピンの前記孔の内部側への移動に抗するための弾性部材を前記孔の内部に備えたことを特徴とするラチェットレンチ。
【請求項２】  前記ばねの中心軸に沿った空間に前記弾性部材を備えたことを特徴とする請求項１記載のラチェットレンチ。
【請求項３】  前記プッシュピンが一端閉鎖の筒状の形状をしており、そのプッシュピンの筒状の内部空間に前記ばねの一端を装着し、前記弾性部材を棒状としたことを特徴とする請求項２記載のラチェットレンチ。
【請求項４】  前記プッシュピンに前記ばねや前記弾性部材に対向する対向面を有し、その対抗面の中央に突出ピンを形成し、前記弾性部材を筒状とし、その筒状の弾性部材の内部空間に前記突出ピンを嵌合させたことを特徴とする請求項２記載のラチェットレンチ。
【請求項５】  前記ばねの外側に筒状の弾性部材を備えたことを特徴とする請求項１記載のラチェットレンチ。
【請求項６】  前記プッシュピンが一端閉鎖の筒状の形状をしており、そのプッシュピンの筒状の内部空間に前記ばねの一端と前記筒状の弾性部材の一端を装着したことを特徴とする請求項５記載のラチェットレンチ。
【請求項７】  前記プッシュピンが一端閉鎖の筒状の形状をしており、そのプッシュピンの筒状の内部空間に前記ばねの一端を装着し、前記筒状の弾性部材を前記プッシュピンの筒状部の自由先端側においてその筒状部と同軸方向に配置したことを特徴とする請求項５記載のラチェットレンチ。
【請求項８】  前記プッシュピンの筒状部の自由端に段部を形成し、前記筒状の弾性部材に前記筒状部の段部と嵌合する段部を形成したことを特徴とする請求項７記載のラチェットレンチ。
【請求項９】  前記プッシュピンの筒状部の自由端に段部を形成し、前記筒状の段部のうち長手方向に突出する突出部の外側面または内側面に前記筒状の弾性部材を嵌合させたことを特徴とする請求項７記載のラチェットレンチ。
【請求項１０】  前記プッシュピンに前記ばねや前記筒状の弾性部材に対向する対向面を形成し、その対抗面の中央に突出ピンを形成し、前記ばねの内部空間に前記突出ピンを嵌合させたことを特徴とする請求項５記載のラチェットレンチ。
【請求項１１】  前記弾性部材が前記ばねを内部にモールドした中実の筒状としたことを特徴とする請求項１記載のラチェットレンチ。
【請求項１２】  前記弾性部材が前記ばねを内部にモールドした中空の筒状としたことを特徴とする請求項１記載のラチェットレンチ。
【請求項１３】  前記弾性部材が前記ばねの外側を覆うようにモールドした筒状としたことを特徴とする請求項１記載のラチェットレンチ。
【請求項１４】  前記弾性部材をゴムとしたことを特徴とする請求項１乃至１３記載のラチェットレンチ。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月18日(2006.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】記録ヘッド（５２）の移動範囲内で且つ記録ヘッド（５２）の作図範囲外にガイド穴（６６）を設け、該ガイド穴（６６）にスライド自在にキャップ（１０８）を弾発配置し、前記記録ヘッド（５２）のノズル（５２ａ）を前記キャップ（１０８）で密閉するようにしたインクジェットプリンタにおけるキャッピング機構において、前記キャップ（１０８）を、ゴムその他の同効材からなるキャップ本体（６７）と金属製のキャップ補強板（６９）（７１）とより構成し、前記キャップ補強板（６９）（７１）間に前記キャップ本体（６７）を挟圧配置し、前記キャップ補強板（６９）（７１）を互いに固定し、該キャップ補強板（６９）（７１）を前記ガイド穴（６６）にスライド自在に嵌合したことを特徴とするインクジェットプリンタにおけるキャッピング機構。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明は、記録ヘッド（５２）の移動範囲内で且つ記録ヘッド（５２）の作図範囲外にガイド穴（６６）を設け、該ガイド穴（６６）にスライド自在にキャップ（１０８）を弾発配置し、前記記録ヘッド（５２）のノズル（５２ａ）を前記キャップ（１０８）で密閉するようにしたインクジェットプリンタにおけるキャッピング機構において、前記キャップ（１０８）を、ゴムその他の同効材からなるキャップ本体（６７）と金属製のキャップ補強板（６９）（７１）とより構成し、前記キャップ補強板（６９）（７１）間に前記キャップ本体（６７）を挟圧配置し、前記キャップ補強板（６９）（７１）を互いに固定し、該キャップ補強板（６９）（７１）を前記ガイド穴（６６）にスライド自在に嵌合したものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
【発明の効果】
本発明は上述の如く構成したので、ゴムキャップをスムーズにガイド穴に沿って昇降させることができ、ゴムキャップを記録ヘッドに正確に密着させることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月8日(2006.1.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】インクジェット記録装置及び画像形成装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数色のインク滴を吐出する記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置において、各色のインク滴を着弾させる検出用媒体と、この検出用媒体上の各色のインクを個別的に検知する検知手段とを備えていることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェット記録装置において、前記検知手段の検知結果に基づいて前記検出媒体上のインクの濃度を検出してインク切れを判別することを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項３】
請求項１に記載のインクジェット記録装置において、前記検知手段の検知結果に基づいて前記検出媒体上のインクの有無を検出してインク切れを判別することを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載のインクジェット記録装置において、前記検出用媒体がロール状媒体であることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載のインクジェット記録装置において、前記検出用媒体を前記記録ヘッドの待機領域側に配置していることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれかに記載のインクジェット記録装置において、前記検出用媒体を前記記録ヘッドのホーム位置と反対側に配置していることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載のインクジェット記録装置において、前記検出用媒体にインク滴を吐出するタイミングを記憶する手段を備えていることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項８】
請求項２乃至８のいずれかに記載のインクジェット記録装置において、前回のインク切れ判別を行った後に使用した色のインクについてのみインク滴を吐出させてインク切れの判別を行うことを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項９】
複数色の滴を吐出する記録ヘッドを備えた画像形成装置において、各色の滴を着弾させる検出用媒体と、この検出用媒体上の各色の滴を個別的に検知する検知手段とを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインクジェット記録装置及び画像形成装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、用紙の美観を損なうことなく、インク補給方式を問わず、インク切れを検出可能なインクジェット記録装置及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
さらに、インク切れの判別は、前回のインク切れ判別を行った後に使用した色のインクについてのみインク滴を吐出させて行うことが好ましい。
本発明に係る画像形成装置は、各色の滴を着弾させる検出用媒体と、この検出用媒体上の各色の滴を個別的に検知する検知手段とを備えている構成とした。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。図１は本発明を適用した本発明に係る画像形成装置としてのインクジェット記録装置の機構部の模式的構成図、図２は同記録装置の記録ヘッドの正面斜視図、図３は同記録装置の検知手段の斜視説明図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
なお、上記実施形態ではマークセンサ２５を色数分設けているが、マークセンサ２５を１個にして、検出用媒体２１の搬送方向の異なる位置にインク切れ検出用マークを印字して、順次マークセンサ２５で各色のマークを検知することによって各色のインク切れを検知するようにすることもできる。さらに、検出用媒体にインク切れ検出マークを印字するようにしているが、検出用媒体に着弾させるインク滴で特に定まったマークを印字しないでもよい。また、本発明は前述したプリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像形成装置（画像記録装置）に適用することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るインクジェット記録装置及び画像形成装置によれば、各色のインク滴又は滴を着弾させる検出用媒体と、この検出用媒体上の各色のインク又は滴を個別的に検知する検知手段とを備えたので、カラーインクジェット記録装置ないし画像形成装置において記録に用いる用紙の美観を損なうことがなく、しかも、インクカートリッジ補給方式以外の補給方式を用いたものにも適用することが可能なインク切れ検出を行うことができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月16日(2006.1.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置、液滴吐出装置及び画像形成装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  インク液滴を吐出する複数のノズル孔と、該ノズル孔の各々に連通する加圧液室と、該加圧液室の少なくとも一方の壁を構成する振動板とからなるインク液室基板と、前記振動板に対向してある隙間をもって設けられた個別電極と、該個別電極が配設されている電極基板と、該電極基板の表面に前記個別電極に電圧を印加する個別電極パット領域を有し、前記振動板と個別電極との隙間に駆動電圧を印加し、前記振動板を静電力により変形させる静電型アクチュエータを具備したインクジェットヘッドにおいて、前記個別電極パッド領域において、前記振動板と個別電極との隙間の開口部を前記電極基板及び前記インク液室基板と同程度の熱膨張率を示す絶縁性樹脂材料にて塞いだことを特徴としたインクジェットヘッド。
【請求項２】  請求項１において、前記振動板と個別電極との隙間に前記振動板の動作によって圧力変動が生じることのないように、圧力変動防止機構を設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】  請求項２において、前記圧力変動防止機構が前記振動板と個別電極との隙間から前記電極基板を通して前記個別電極を配した面と対向する面への貫通孔からなることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】  請求項２において、前記圧力変動防止機構が前記振動板と個別電極との隙間から前記振動板を有する前記インク液室基板の前記振動板と対向する面への貫通孔からなることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】  インク液滴を吐出する複数のノズル孔と、該ノズル孔の各々に連通する加圧液室と、該加圧液室の少なくとも一方の壁を構成する振動板と、該振動板に対向してギャップスペーサの隙間をもって設けられた個別電極と、該個別電極が配設されている電極基板とを有し、前記振動板と個別電極との隙間に駆動電圧を印加し、前記振動板を静電力により変形させる静電型アクチュエータを具備したインクジェットヘッドの製造方法において、前記電極基板の表面に前記振動板と個別電極との対向間隔である前記隙間を保持するギャップスペーサを形成し、前記電極基板の表面に前記個別電極を引き出す方向と交差する方向に整列して前記個別電極を複数列形成し、前記振動板と前記電極基板を張り合わせ、前記隙間に連通する圧力変動防止用の貫通孔を形成するとともに、前記個別電極から前記電極基板の表面まで電極を引き出すための電極基板側パッド領域を開口し、該電極基板側パッド領域へ選択的にパッドメタルを成膜し、前記ギャップスペーサを有していない開口部を絶縁性材料にて塞ぎ、前記電極基板上に形成された複数のアクチュエータを個々に切り分けることを特徴としたインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】  請求項１乃至４いずれかのインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項７】  請求項１乃至４いずれかのインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】  請求項１乃至４いずれかのインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とする画像形成装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッド及びその製造方法並びに該インクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置、液滴吐出装置及び画像形成装置、より詳細には、微細加工技術，マイクロマシンニング技術を用いたオンディマンド式インクジェットプリンタ用ヘッド及びその製造方法並びに該インクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置、液滴吐出装置及び画像形成装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項５は、インク液滴を吐出する複数のノズル孔と、該ノズル孔の各々に連通する加圧液室と、該加圧液室の少なくとも一方の壁を構成する振動板と、該振動板に対向して、少なくとも２つの面からなるギャップスペーサの隙間をもって設けられた個別電極と、該個別電極が配設されている電極基板とを有し、電気的に絶縁された前記振動板と個別電極との隙間に駆動電圧を印加し、前記振動板を静電力により変形させる静電型アクチュエータを具備したインクジェットヘッドの製造方法において、前記電極基板の表面に前記振動板と個別電極との対向間隔である前記隙間を保持するギャップスペーサを形成し、前記電極基板の表面に前記個別電極を引き出す方向と交差する方向に整列して前記個別電極を複数列形成し、前記振動板と前記電極基板を張り合わせ、該電極基板又は液室基板を通して前記隙間に連通する圧力変動防止用の貫通孔を形成し、前記個別電極から前記電極基板の表面まで電極を引き出すための電極基板側パッド領域を開口し、該電極基板側パッド領域へ選択的にパッドメタルを成膜し、前記ギャップスペーサを有していない開口部を絶縁性材料にて塞ぎ、前記電極基板上に形成された複数のアクチュエータを個々に切り分けることを特徴としたものである。
請求項６は、請求項１乃至４いずれかのインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置であることを特徴とする。
請求項７は、請求項１乃至４いずれかのインクジェットヘッドを搭載した液滴吐出装置であることを特徴とする。
請求項８は、請求項１乃至４いずれかのインクジェットヘッドを搭載した画像形成装置であることを特徴とする。