【事件の表示】
　特許第２５５０４３０号に関する訂正審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．請求の要旨
　本件審判の請求の要旨は、特許第２５５０４３０号発明（平成２年９月６日特許出願、平成８年８月２２日設定登録）の明細書及び図面を審判請求書に添付した訂正明細書及び図面のとおりに訂正しようとするものである。
　上記訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１の記載は次のとおりである。
「コーティングすべき矩形状ワークのコーティング面に、コーティング材を吐出するスロットを有しており、該スロットの延出方向と直交する方向で、且つ該矩形状ワークの１辺と平行な方向へ該ワークとは相対的に直線移動されるスロットコータであって、該スロットを該矩形状ワークのコーティング面に所定のギャップをもって対向し、該矩形状ワークとの相対的な直線移動により該矩形状ワークの該コーティング面に、ほぼ一定の厚さとなるように該コーティング材からなる所定の膜厚の塗膜を形成するスロットコータと、該スロットコータに並設されており、該スロットコータによって該コーティング面に該コーティング材からなる該所定の膜厚の塗膜が形成された該矩形状ワークを、さらなるコーティング材が該コーティング面に供給されない状態で該コーティング面がほぼ水平状態になるように保持して高速回転させ、該コーティング材からなる該所定の膜厚の塗膜の厚みを調整するスピン型塗膜調整機構と、該所定の膜厚の塗膜が形成された該矩形状ワークを該スロットコータから該スピン型塗膜調整機構に搬送する搬送経路を覆うカバー部材と、を具備するコーティング装置。」（以下、「訂正発明」という。）
　
２．訂正の拒絶の理由
　一方、平成１３年７月１１日付けで通知した訂正の拒絶の理由の概要は、次のとおりである。
「訂正後の請求項１に係る発明は、本件特許の出願前に頒布された特開昭６３−２４６８２０号公報（昭和６３年１０月１３日発行。以下、「刊行物１」という。）、特開昭６３−１５６３２０号公報（昭和６３年６月２９日発行。以下、「刊行物２」という。）、米国特許第４，９３８，９９４号明細書（１９９０年７月３日発行。以下「刊行物３」という。）に記載された発明及び周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができたものではない。したがって、本件審判の請求は、特許法１３４条第５項において準用する、平成１１年法律第４１号（「平成６年法律第１１６号」の誤記と認める。）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる旧法第１２６条第３項の規定に違反するものである。」
　
３．刊行物記載の発明
（１）刊行物１には、
（イ）「この発明は、平板状物体（以下基板と略す）上に、感光性樹脂を少量で均一に塗布するための技術に関するものである。」（第１頁左下欄１３行〜１５行）、
（ロ）「従来ＬＳＩプロセスなどでは、感光性樹脂を均一に塗布する方法として、スピン塗布法が主流を占めている。・・・しかし、円形以外の基板、特に近年ではＴＦＴ　ＬＣＤなどに多用されている角型基板でスピン塗布を行なうと基板の隅々まで感光性樹脂を塗布するために、多量に滴下しなければならなかつた。」（第１頁右下欄４行〜１４行）、
（ハ）「この発明に係る半導体製造方法は、従来個別に用いられてきた、ロールコーター法、スピン塗布法の方法を組み合わせることによって、角型基板上に少量の感光性樹脂で隅々まで、かつ均一に塗布を行なえるようにしたものである。」（第２頁左上欄１６行〜２０行）、
（ニ）「この発明における・・・塗布方法とは、まず、最初にロールコーターを用いて、基板上の隅々まで感光性樹脂を塗布する。・・・次に、前記ロールコーターによって塗布した基板をすみやかに所定の回転数に回転させることによって、基板上の余分な感光性樹脂は取り除かれ、最終的に角型基板上に隅々までかつ均一に感光性樹脂を塗布できる。」（第２頁右上欄２行〜１１行）
と記載され、また、第３頁の図面には、
（ホ）「矩形の基板のコーティング面にコーティング材を塗布して塗膜を形成するロールコーターと、これに並設された、塗膜の膜厚を回転により調整するスピン塗布機とから構成されるコーティング装置において、コーティング材の塗布が、基板をロールの延出方向と直交する方向で、かつ、基板の一辺に平行な方向へロールコーターとは相対的に直線移動させることにより行われること、塗膜の膜厚の調整が、さらなるコーティング材が供給されない状態で、スピン塗布機を水平状態で回転させることにより行われること」が示されている。
　上記（イ）〜（ホ）の記載からみて、刊行物１には、
「少量のコーティング材で均一に塗布するという」課題（以下、「刊行物１記載の課題」という）、及び、
「コーティングすべき矩形状基板のコーティング面に、該矩形状基板の１辺と平行な方向へ該基板とは相対的に直線移動されるロールコーターであって、該矩形状基板との相対的な直線移動により該矩形状基板の該コーティング面に、該コーティング材からなる所定の膜厚の塗膜を形成するロールコーターと、該ロールコーターに並設されており、該ロールコーターによって該コーティング面に該コーティング材からなる該所定の膜厚の塗膜が形成された該矩形状基板を、さらなるコーティング材が該コーティング面に供給されない状態で該コーティング面がほぼ水平状態になるように保持して高速回転させ、該コーティング材からなる該所定の膜厚の塗膜の厚みを調整するスピン塗布機と、を具備する、コーティング装置」の発明（以下、「刊行物１記載の発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
（２）刊行物２には、
（ヘ）「発明が解決しようとする問題点　従来のレジストコーターでは、・・・大面積基板表面上の全領域・・・にレジストを均一に塗布するには相当量・・・のレジストを要する。・・・レジストの価格は廉価というわけでわないためで（「わけではないためで」の誤記と認める。）、製造上に占めるコストは大面積基板の場合かなりの割合を占めるという問題点を有していた。　問題点を解決するための手段　本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、レジストの使用量を低減し、均一なレジスト薄膜を安価に形成することができる。」（第１頁右下欄１０行〜第２頁左上欄６行）、
（ト）「すなわち、線状の開口部を有する感光性レジスト供給手段と、板上の基板を保持し、上記基板を基板面内において回転させる回転手段と、上記基板をレジスト溶剤雰囲気中に保持する雰囲気保持手段とを有し、上記基板を回転させ且つレジスト供給手段の開口部よりレジストを上記基板に供給させたのち、上記基板を回転させることにより感光性レジスト薄膜を形成させる構造からなる。」（第２頁左上欄７行〜１４行）、
（チ）「作用　本発明にかかる線状の開口部を有する感光性レジスト供給手段を用い、低速にて回転する基板上の全面積にわたり感光性レジストを上記供給手段と基板との空隙を接近させ塗布させると、線状スリットのノズルを用いているので短時間で基板全体にレジストを濡れはじきなく供給することができ、加えてレジスト溶剤雰囲気中でのレジスト供給のためレジスト中に含まれる溶剤の揮発を防止できるので、基板全体にレジストを供給後、高速回転を加えることにより数ミクロン程度のレジスト薄膜を均一に形成できる。」（第２頁左上欄１５行〜第３頁右上欄６行）、
（リ）「たとえば、３５０ｍｍ角のガラス基板にポジレジストを１．５μｍ（マイクロメーター）の膜厚で塗布する場合例えば半密閉容器からなる雰囲気保持手段１５の底部にレジストを満たすと半密閉容器内にレジスト溶剤雰囲気が充満し、・・・開口部の幅１ｍｍ，長さ３５０ｍｍのノズルたる感光性レジスト供給手段１２と基板１３との間隔を１ｍｍとしノズルよりレジストを供給しつつ、回転手段１４を用いて基板１３を・・・低速にて回転させ、基板１３全体にレジストを塗布し・・・たのち、１５００ｒｐｍの高速回転にて６秒間保持すると、１．５μｍの膜厚の均一なレジスト薄膜が形成された。レジスト供給方法としてはレジストと基板との界面張力およびレジストの自重により、基板上にレジストを塗布することによりレジストの使用量を５ｃｃと従来の４分の１に低減することができた。」（第２頁右上欄２０行〜同頁左下欄１７行）
と記載され、
また、第１図及び第２図には、
（ヌ）「レジスト供給手段１２の開口部１１はスロット状であり、スロットと基板１３とは、所定のギャップを保って対向すること」が示されている。
　
（３）刊行物３には、
（ル）「本発明は全体として液体被覆法および液体被覆装置に関するものであり、更に詳しくいえば、・・・基板を予め測定された「パッチ」被覆する方法および装置に関するものであって、液体の単位面積当りの予め測定された体積を表面へ付着し、予め定めた形および所定の被覆厚さを液体層「パッチ」が有する。」（第１欄７行〜１４行）、
（ヲ）「プリント回路板の現在の製造方法においては、・・・回路板に過大な量の現像剤、エッチング剤または化学的除去剤を供給することにより全て行われる。」（第１欄４５行〜５０行）、
（ワ）「本発明の特定の目的は、個々の表面または基板の上に、単位面積当り制御された量の液体の層を所定の形および所定の厚さで付着する、予め測定された「パッチ」被覆を行う・・・装置を得ることである。」（第１欄６４行〜第２欄２行）、
（カ）「本発明の特徴は、種々のプリント回路板処理液体を過剰に供給する必要なしに、それらの処理液体をプリント回路板に被覆するために、被覆方法を採用できることである。」（第２欄１０行〜１３行）、
（ヨ）「本発明の・・・装置は、単位面積当り制御された量の液体を、所定厚さで、四辺形の予め測定された液体「パッチ」で個々の、増分基板に付着するものである。・・・液体含有室は、出口開口部を有する液体付着器スロットへ流体的に連結される。基板が液体付着器スロットの出口開口部に近接して位置させられていると、・・・被覆「パッチ」を開始し、液体ビードを形成して、制御された体積流量の液体を液体付着器のスロットを通じて送る。・・・液体連結ビードが基板で形成されると、付着器スロットの出口開口部から出る液体の制御される体積流量が、付着器と基板の間の相対的な動きに組合わされて、基板表面に液体被覆を付着させる。」（第２欄２１行〜４２行）、
（タ）「「予め計量された被覆」という用語は、被覆すべき基板の表面から距離ｘだけ隔てられている被覆付着器内に制御された体積流量の液体被覆を送りこむのである。」（第３欄２４行〜２８行）、
（レ）「予め計量される被覆プロセスでは、除去すべき過剰な液体がない」（第３欄６２行〜６３行）、
（ソ）「被覆装置１０は液体付着器１２を有する。この液体付着器１２は液体含有室１４と位置ぎめピストン１８により支持される付着器スロット１６とを含む。」（第４欄１９行〜２２行）、
（ツ）「第２に、位置ぎめピストン１８が間隙ストップ調節ねじ２０に対して下向し、被覆液体付着器１２を、付着器スロットの出口開口部５１と銅被覆ラミネート５０との間に形成された所定の被覆間隙「ｘ」へ向って下方へ動かす。この被覆間隙は１ｃｍに等しいか、それより狭い。これは、・・・カーテン被覆装置とは対照的である。」（第５欄１１行〜２１行）
と記載されている。
　
４．対比
　訂正発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「矩形状基板」及び「スピン塗布機」は、それらの機能からみてそれぞれ、前者の「矩形状ワーク」及び「スピン型塗膜調整機構」に相当する。
　そして、訂正明細書の、
「（発明が解決しようとする課題）・・・スピンコータでは、ガラス基板７０上に所定の厚さにコーティング材を塗布するためには、必要とされるコーティング材量の数十倍のコーティング材を・・・供給する必要がある。・・・このため、高価なコーティング材が多量に浪費され、経済性がきわめて悪いという問題がある。」（第２頁１１行〜１８行）、「本発明はこのような問題を解決するものであり、その目的は、ワークにコーティング材を所定の厚さにコーティングする際に、必要とされるコーティング材の量を大幅に低減させることができ・・・るコーティング装置を提供することにある。」（第２頁２５行〜２９行）、
「（発明の効果）本発明のコーティング装置は、・・・使用されるコーティング材の量を大幅に低減することができ、経済性が著しく向上する。・・・コーティング材が塗布されたワークは、スピン式塗膜調整機構により、精密に調整され、コーティング面の全体にわたってコーティング材の厚さを均一にすることができる。」（第８頁２２行〜２８行）
の記載からみて、訂正発明が解決しようとする課題は、「少量のコーティング材でワーク上に均一な塗膜を形成すること」であるものと認められる。
　してみると、両者は、
「少量のコーティング材でワーク上に均一な塗膜を形成する」という課題で共通するとともに、
「コーティングすべき矩形状ワークのコーティング面に、該矩形状ワークの１辺と平行な方向へ該ワークとは相対的に直線移動されるコータであって、該矩形状ワークとの相対的な直線移動により該矩形状ワークの該コーティング面に、該コーティング材からなる所定の膜厚の塗膜を形成するコータと、該コータに並設されており、該コータによって該コーティング面に該コーティング材からなる該所定の膜厚の塗膜が形成された該矩形状ワークを、さらなるコーティング材が該コーティング面に供給されない状態で該コーティング面がほぼ水平状態になるように保持して高速回転させ、該コーティング材からなる該所定の膜厚の塗膜の厚みを調整するスピン型塗膜調整機構と、を具備するコーティング装置」で一致し、以下の点で相違する。
【相違点１】コータが、前者では、ほぼ一定の厚さとなるように塗膜を形成するスロットコータであるのに対して、後者ではロールコータである点。
【相違点２】ワーク上への塗膜の形成が、前者では、スロットがワークのコーティング面と所定のギャップをもって対向した状態で行われるのに対して、後者では、ロールとコーティング面との間にギャップがない状態で行われる点。
【相違点３】コータからスピン型塗膜調整機構に搬送する搬送経路に、前者では搬送経路を覆うカバー部材を備えるのに対して、後者では、搬送経路及びそれを覆うカバー部材について明らかではない点。
　
５．当審の判断
　上記相違点１〜３及び訂正発明の奏する作用効果について、以下検討する。
　
【相違点１について】
　刊行物２の「発明が解決しようとする問題点」及び「問題点を解決するための手段」の記載からみて、刊行物２記載の発明は、少量のコーティング材でワーク上に均一な塗膜を形成するという訂正発明及び刊行物１記載の発明と同一の課題を解決しようとするものである。
　そして、刊行物２記載のレジスト供給手段１２の開口部はスロット状であり、このスロット状の開口部１１から３５０ｍｍ角の基板（訂正発明の「矩形状ワーク」に相当、以下、括弧内は訂正発明の相当する部材を意味する。）上にレジスト（コーティング材）を供給し塗膜を形成するものであるから、刊行物２記載の発明のレジストコーター（コーティング装置）はスロットコータの一種にほかならない。また、この種スロットコータが、ほぼ一定の厚さとなるように塗膜を形成するものであることは、技術常識である。
　したがって、刊行物２には、少量のコーティング材でワーク上に均一な塗膜を形成するという、刊行物１記載の発明及び訂正発明と共通する課題を、ワーク上に所定のギャップをもって対向するスロットコータを用いてワーク上に塗膜を形成することにより達成することが明確に示されているから、上記共通の課題を解決するため、刊行物１記載の発明におけるロールコータを、刊行物２記載のほぼ一定の厚さとなるように塗膜を形成するスロットコータに置き換えることは、当業者にとって、容易に想到することができたものというべきである。
　なお、訂正発明のスロットコータと刊行物２記載のスロットコータでは、塗膜の形成に際し、前者では、スロットがその延出方向と直交する方向で、かつ、矩形状ワークの一辺と平行な方向へワークとは相対的に直線移動されるのに対し、後者では、ワークが回転する点で相違するが、刊行物２には、スロットとワークのコーティング面を１ｍｍのギャップで対向させたスロットとワークとの間の界面張力を利用することが記載されているところ（上記の摘記事項（リ）参照）、この１ｍｍという微小間隔に働く界面張力及び自重は、界面を形成するコータ及びワークの相対的な運動の態様にかかわらずかならず働くから、上記相違点があるからといって、刊行物２において回転しながらコーティング材を塗布するとされていることにより、刊行物１におけるロールコータを刊行物２記載のスロットコータと置き換えることが阻害されるものではない。
（本件特許に係る無効審判（平成９年審判第１１８１６号）の審決取消請求事件である、平成１１年（行ケ）第２４６号の判決参照）
　
　また、刊行物３の「液体の単位面積当りの予め測定された体積を表面へ付着し、・・・所定の被覆厚さを液体層「パッチ」が有する。」との記載からみて（上記の摘記事項（ル）参照）、刊行物３記載の発明は、少量のコーティング材でワーク上に塗膜を形成するという訂正発明及び刊行物１記載の発明と同様の課題を解決しようとするものと認められる。
　そして、刊行物３記載の発明の「パッチ被覆装置」は、被覆液体（コーティング材）を吐出するスロットを有しており、該スロットの延出方向と直交する方向で、且つ該四辺形基板（矩形状ワーク）の１辺と平行な方向へ該基板（矩形状ワーク）とは相対的に直線移動され、該スロットを該四辺形基板（矩形状ワーク）のコーティング面に所定の被覆間隙（ギャップ）をもって対向し、該四辺形基板（矩形状ワーク）との相対的な直線移動により該四辺形基板（矩形状ワーク）の該コーティング面に被覆液体（コーティング材）からなる所定の膜厚の塗膜を形成するものであるから、訂正発明の「スロットコータ」というべきものである。
  したがって、刊行物３にも、少量のコーティング材でワーク上に塗膜を形成するという、刊行物１記載の発明及び訂正発明と共通する課題を、ワーク上に所定のギャップをもって対向するスロットコータを用いてワーク上に塗膜を形成することにより達成することが明確に示されているから、上記共通の課題を解決するため、刊行物１記載の発明におけるロールコータを、刊行物３記載のほぼ一定の厚さに塗膜を形成するスロットコータに置き換えることは、当業者にとって、容易に想到することができたものというべきである。
　なお、請求人は、「刊行物３はパッチを形成した時点で最終目的の形及び厚さになっているのですから、訂正発明のように塗膜の厚みを調整するスピン型塗膜調整機構は不要です。・・・したがいまして、刊行物１のロールコータを刊行物３に置き換えることはできません。」と主張している（平成１３年９月１７日付け意見書第６頁２５行〜第７頁１行）。なるほど、刊行物３には、予め測定された体積のコーティング材を予め定めた形及び厚さのパッチとして矩形状ワークに塗布すること、及び、予め計量される被覆プロセスでは除去すべき過剰な液体がないことが記載されている（上記の摘記事項（ル）、（レ）参照）。しかしながら、ワーク上に形成された塗膜の厚みがより均一である方が望ましいことは当業者にとって自明のことであるから、上記の記載は、刊行物３記載のスロットコータでワークに塗膜を形成した後、スピン型塗膜調整機構によって塗膜の厚みを調整することが不必要であることを窺わせるものの、さらに、スピン型塗膜調整機構によって塗膜の厚みを調整することを阻害することまで意味しているということはできない。したがって、上記請求人の主張は採用できない。
　
【相違点２について】
　相違点２は、単にスロットコータとロールコータとの塗布手法の違いを反映したものにすぎない。刊行物１記載のロールコータを刊行物２、３記載のスロットコータに置き換える際、スロットとワークとを所定のギャップをもって対向させることは、スロットコータの原理上、当然のことであり、そのような構成を採用することに当業者が格別の創意を要するものではない。
（本件特許に係る無効審判（平成９年審判第１１８１６号）の審決取消請求事件である、平成１１年（行ケ）第２４６号の判決参照）
　
【相違点３について】
　刊行物１記載の発明は、ロールコータによってワークにコーティング材を塗布した後、ロールコータに並設されたスピン型塗膜調整機構によって塗膜の厚みを調整するものであるから、何らかの手段によって、ワークをロールコータからスピン型塗膜調整機構へ移し替えていることは明らかである。そして、そのワークの移し替え手段として、例えば、訂正明細書第２図に記載の移載アームのような機械的搬送手段を用いることは、本件特許の出願前斯界では周知の事項であるから、刊行物１記載の発明において、ワークをコータからスピン型塗膜調整機構に搬送する搬送経路を設けることは、当業者が容易になし得ることであると認められる。
　ところで、カバー部材の作用に関して、訂正明細書第８頁１７行〜２１行には、「スロットコータ１０により樹脂が塗布された後のガラス基板７０は、カバー部材５０にて覆われた溶剤雰囲気内を搬送されるために、搬送中に塗布されたコーティング材が乾燥することによって、コーティング材の粘度が高くなるおそれがなく」と記載されている。しかしながら、コーティング材の塗布環境にカバー材を設けて、該塗布環境を一定の溶剤濃度雰囲気に保持し、コーティング材の乾燥、粘度上昇を防止することは、半導体製造等のコーティング技術分野において本件特許の出願前周知の技術である（必要なら、刊行物２の上記摘記事項（ト）及び（チ）の「雰囲気保持手段」、並びに、特開昭６０ー１５２０２９号公報の特許請求の範囲、第２頁左上欄５行〜９行及び第３〜４図に記載の「カバー」を、それぞれ参照）。
  してみれば、上記周知の技術と同一の技術分野に属する刊行物１記載の発明において、ワークをコータからスピン型塗膜調整機構に搬送する搬送経路を設けるに際して、コーティング材の塗布環境である、コータからスピン型塗膜調整機構に至る搬送経路を、一定の溶剤濃度雰囲気に保持するために、該搬送経路を覆うカバー部材を設けることは、当業者が容易になし得ることであるといわざるを得ない。
　
【作用効果について】
  そして、訂正発明は、少量のコーティング材で厚さを均一にし得る等の作用効果を奏していると認められるが、このような作用効果は、刊行物１〜３記載の発明と共通するものであるから、当業者が予測可能な範囲内のものであって、格別なものではない。
　したがって、訂正発明は、刊行物１記載の発明、刊行物２又は３記載の発明、及び、上記周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
　
６．むすび
　以上のとおりであるから、本件審判の請求は、特許法第１３４条第５項において準用する、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる旧法第１２６条第３項の規定に違反するものである。
　よって、結論のとおり審決する。