(57)【要約】      （修正有）【課題】ウェハーテストカードはウェハーの全てのダイスを電気的に試験することに応用することが可能であり、基板と前記基板の下端に導電弾性ゴムを設ける。【解決手段】基板はテスト回路を設け、前記導電弾性ゴムに絶縁のソフトゴム層を有し前記ソフトゴム層は導電弾性群でマトリックスによる導電弾性ゴムを設置し、且つ導電弾性マトリックスと前記基板のテスト回路を設けることにより電気的に接続し、前記ウェハーテストカードが導電ゴムの導電弾性マトリックスをウェハーテストのインタフェースとし、ウェハーテストの過程を行なう過程で、ウェハーテストの導電弾性マトリックスはダイスでのタッチペッドに確かに接触すると共に、好ましく安定的な電気テストの結果を得ることができる。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
テスト回路を設ける基板で前記基板の下端に導電弾性ゴムを設けることを含むウェハーテストカードであって、
前記導電弾性ゴムに絶縁のソフトゴム層を有し前記ソフトゴム層は導電弾性群でマトリックスによる導電弾性ゴムを設置し、前記導電弾性ゴムは導電弾性マトリックスと前記基板のテスト回路により電気的に接続することを特徴とするウェハーテストカード。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は特に導電弾性ゴムをウェハーテストのインターフェースとするウエハーテストカードに関連するものである。
【背景技術】
【０００２】
ウェハーテストの目的は、図１のウェハー（５０）の各ダイス（６０）に電気的試験を行い、ウェハー（５０）にある不合格なダイス（６０）を淘汰する。従来のウェハーテスト技術では、ウェハープローカードのプローブをダイスのタッチパッド（pad）に差し込んで電気的に接続し、プローブが測定したテスト信号を自動テスト設備（ＡＴＥ）に送り分析判断を行なった後、ウェハーの各ダイスの電気的試験の結果を導き出す。
【０００３】
図２では、ウェハープローブカードの従来型構造でのカートリッジ式プローブカード（１０）は、基板（１１）、前記基板（１１）下端に連接する接続板（１２）及び前記接続板（１２）に設置したカートリッジ式プローブ（１３）で構成される。ウェハーテストを行なう際、当該カートリッジ式プローブカード（１０）は可撓を有するカートリッジ式プローブ（１３）とダイス（６０）のタッチパッド（６１）で電気的に接続することで、各ダイス（６０）をテストする電気的特性テストに応用可能である。
【０００４】
然しながら、この種のカートリッジ式プローブカード（１０）には下記の欠点がある。第一点、カートリッジ式プローブカード（１０）のカートリッジ式プローブ（１３）は金属線から成り手製で針を装着しているので、各カートリッジ式プローブ（１３）の針先端平面度の落差が大きく同様な水平を維持し難い。第二点、カートリッジ式プローブカード（１０）のカートリッジ式プローブ（１３）は側面方向に伸びたカートリッジを備えている必要があるので、カートリッジ式プローブカード（１０）がカートリッジ式プローブ（１３）を設置する総数量が制限される。このためウェハーテストを行なう際、カートリッジ式プローブカード（１０）はウェハー全体の全てのダイスに対して、数回に分けて電気的特性テストを行なわねばならず、ウェハー全体の全てのダイスに対して、一回で同時に電気的特性テストを完結させることが出来ない。第三点、  カートリッジ式プローブカード（１０）の各カートリッジ式プローブ（１３）における針先端平面度に落差があるため、ウェハーテストを行なう際に各カートリッジ式プローブ（１３）の針先端がダイスのタッチパッド（pad）に刺さる深度が一定せず、識別に誤差を生じ易くなり、ダイスのタッチパッド（pad）が過大な圧力で損壊する恐れすらある。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
本考案の主な目的は、従来型のカートリッジ式プローブカードの欠陥を克服するため、ウェハー全体の全てのダイスに対して一回で同時に電気的特性テストを完結させることが可能なウェハーテストカードを掲示することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
当該構造は基板と前記基板下端に連接する導電弾性ゴムで構成され、前記導電弾性ゴムは絶縁ソフトゴム層を具備し、前記絶縁ソフトゴム層は導電弾性群でマトリックスによる導電弾性マトリックスを設置し、これに対応する導電弾性マトリックスと前記基板の印刷電気回路とを電気的に接続させる。ウェハーテストを行なう際、前記ウェハーテストカードは導電弾性ゴムの導電弾性マトリックスをウェハーテストのインタフェースとし、ウェハーテストカードにおける導電弾性ゴムの導電弾性マトリックスがダイスのタッチパッドに接触すると、絶縁ソフトゴム層に保護され、導電弾性の弾性緩衝作用によってダイスのタッチパッド（pad）が過大な圧力で損壊しないようにできる。
【考案の効果】
【０００７】
ウェハーテストを行なう際、好ましく安定的な電気テストの結果を得ることができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【０００８】
本考案によるウェハーテストカード（２０）は、図３並びに図４のとおり、基板（３０）及び前記基板（３０）下端に導電弾性ゴム（４０）を設けることを含む。前記基板（３０）にテスト電気回路（３１）を設け、ウェハーのダイスの電気的テストに応用する。
【０００９】
前記導電弾性ゴム（４０）は絶縁ソフトゴム層（４１）を具備し、前記絶縁ソフトゴム層（４１）は導電弾性群でマトリックスにより構成された導電弾性マトリックス（４５）を設けている。導電弾性ゴム（４０）の各導電弾性は導電特性並びに弾性緩衝作用があり、何れも絶縁ソフトゴム層（４１）でカバーされ保護されている。故に、前記導電弾性ゴム（４０）の導電弾性マトリックス（４５）は外圧による歪み若しくは彎曲が発生せず、長期に渡り重複使用しても元来の機能を維持できる。
【００１０】
図４では、本考案によるウェハーテストカード（２０）が導電弾性ゴム（４０）を基板（３０）下部に設けて、導電弾性ゴム（４０）が、これに対応する導電弾性マトリックス（４５）と前記基板（３０）のテスト電気回路（３１）で電気的に接続する。このため本考案によるウェハーテストカード（２０）でウェハーテストを行なう際、導電弾性ゴム（４０）の導電弾性マトリックス（４５）をウェハーテストのインタフェースとする。特に、本考案でのウェハーテストカード（２０）はウェハー全体の全てのダイス（６０）に対して一回で同時に電気的特性テストを完結させることが可能である。
【００１１】
ウェハーテストを行なう際、本考案によるウェハーテストカード（２０）は導電弾性ゴム（４０）の導電弾性マトリックス（４５）でウェハー全体の全てのダイス（６０）のタッチパッド（６１）に接触させ、電気的に接触した後、さらに導電弾性マトリックス（４５）で測定せられたテスト信号を前記基板（３０）のテスト電気回路（３１）を通じて、自動テスト設備（ＡＴＥ）に送信し分析判断を行ない、各ダイス（６０）の電気的特性テストの結果を導き出す。また、ダイス（６０）に設置されたタッチパッド（６１）の高さが不揃いでも、導電弾性ゴム（４０）の弾性緩衝作用により導電弾性マトリックス（４５）がダイス（６０）のタッチパッド（６１）に確実に接触し、ダイス（６０）のタッチパッド（６１）が過大な圧力で損壊しないようにできる以外に、識別面においても誤差発生を回避できるので、ウェハーテストを行なう際好ましく安定的な電気テストの結果を得ることができる。
【００１２】
上記掲示内容は本考案の好ましい実施例であり、本考案の目的及び効果は等価若しくは均等を構成し、前記事項に習熟している技術者が簡単に行なえる手直し、補正、改良又は変化は、須らく本考案の範囲内であり、ここで主張する特許範囲をカバーするものとする。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】はウェハーの従来の構造概略図。
【図２】は従来型カートリッジ式プローブカードの構造概略図で、カートリッジ式プローブがウェハーテストを行なう際、テスト誤差が発生し易いことを説明している。
【図３】は本考案のウェハーテストカード構造概略図である。
【図４】は図３でのウェハーテストカードがウェハー全体のダイスに対し電気的テストを行なう断面構造の部分拡大図。
【符号の説明】
【００１４】
１０  カートリッジ式プローブカード
１１  基板
１２  接続板
１３  カートリッジ式プローブ
２０  ウェハーテストカード
３０  基板
４０  導電弾性ゴム
４１  絶縁ソフトゴム層
４５  導電弾性マトリックス
５０  ウェハー
６０  ダイス
６１  タッチペッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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