【手続補正書】
【提出日】平成18年6月23日(2006.6.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの測定方向（ｘ）に沿って互いに移動する２つの物体の相対位置を測定する干渉式位置測定装置が、
−１つの光源（１），
−この光源（１）の後方に配置された１つの光学素子（２），
−この光源の後方に配置されたスケール格子（３），
−各１つの走査格子（４．１，４．２），
−検出面内に配置された１つの検出格子（５），
−少なくとも３つの空間方向に配置された複数の光電式検出素子（６．１，６．２，６．３）を有し、
光源（１）は、１本のビーム束を光学軸線（ＯＡ）の方向に放射し、
光学素子（２）は、光源（１）から放射されたビーム束を変形させ、
スケール格子（３）は、入射したビーム束を異なる空間方向に拡散する少なくとも第１の部分ビーム束（＋１）と第２の部分ビーム束（−１）とに分割し、各走査格子（４．１，４．２）は、第１の部分ビーム束（＋１）と第２の部分ビーム束（−１）のビーム経路内に配置されていて、この場合、各走査格子（４．１，４．２）は、第１の部分ビーム束（＋１）と第２の部分ビーム束（−１）を第３の部分ビーム束，第４の部分ビーム束，第５の部分ビーム束及び第６の部分ビーム束にさらに分割し、これらの部分ビーム束のうちの少なくとも２つの部分ビーム束（＋１，−１），（−１，＋１）が再び照射され、この場合、第１の物体に接合されているスケール格子（３）が、第２の物体に接合されている光源（１）と走査格子（４．１，４．２）とに対して相対移動するときに、周期的に変調された干渉縞パターンが、特定の空間的な干渉縞パターンの周期（ＰIF）で検出面内に形成され、
検出格子（５）は、この検出格子（５）に入射する光を少なくとも３つの異なる空間方向に分割し、
光電式検出素子（６．１，６．２，６．３）は、位相のずれている走査信号（Ｓ0  °，Ｓ120°，Ｓ240°）を検出する。
【請求項２】
少なくとも１つの測定方向（ｘ）に沿って互いに移動する２つの物体の相対位置を測定する干渉式位置測定装置が、
−１つの光源（１１），
−この光源（１１）の後方に配置された１つの光学素子（１２），
−この光源の後方に配置されたスケール格子（１３），
−各１つの走査格子（１４．１，１４．２），
−検出面（Ｄ）内に配置された周期的な１つの検出装置（１６）を有し、
光源（１１）は、１本のビーム束を光学軸線（ＯＡ）の方向に放射し、
光学素子（１２）は、光源（１１）から放射されたビーム束を変形させ、
スケール格子（１３）は、入射したビーム束を異なる空間方向に拡散する少なくとも第１の部分ビーム束（＋１）と第２の部分ビーム束（−１）とに分割し、各走査格子（１４．１，１４．２）は、第１の部分ビーム束（＋１）と第２の部分ビーム束（−１）のビーム経路内に配置されていて、この場合、各走査格子  （１４．１，１４．２）は、第１の部分ビーム束（＋１）と第２の部分ビーム束（−１）を第３の部分ビーム束，第４の部分ビーム束，第５の部分ビーム束及び第６の部分ビーム束にさらに分割し、これらの部分ビーム束のうちの少なくとも２つの部分ビーム束（＋１，−１），（−１，＋１）が再び照射され、この場合、第１の物体に接合されているスケール格子（１３）が、第２の物体に接合されている光源（１１）と走査格子（１４．１，１４．２）とに対して相対移動するときに、周期的に変調された干渉縞パターンが、特定の空間的な干渉縞パターンの周期（ＰIF）で検出面内に形成され、
周期的な検出装置（１６）は、位相のずれている走査信号（Ｓ0°，Ｓ90°，Ｓ180°，Ｓ270°）を検出し、多数の個別の検出素子（１６．１…１６．８）を有し、この場合、検出器の周期（ＰDEF ）が、空間的な干渉縞パターンの周期（ＰIF）に合わせられている。
【請求項３】
スケール格子（３；１３）は、位相格子として構成されていて、分割された第１の部分ビーム束（＋１）と第２の部分ビーム束（−１）は、±１の回折次数に対応する請求項１又は２に記載の干渉式位置測定装置。
【請求項４】
スケール格子（３；１３）は、デューティー比ηMG＝１：１及び位相差φMG＝180 °の位相格子として構成されている請求項３に記載の干渉式位置測定装置。
【請求項５】
走査格子（４．１，４．２；１４．１，１４．２）は、位相格子として構成されていて、分割された第３の部分ビーム束，第４の部分ビーム束，第５の部分ビーム束及び第６の部分ビーム束はそれぞれ、±１の回折次数に対応する請求項１又は２に記載の干渉式位置測定装置。
【請求項６】
走査格子（４．１，４．２；１４．１，１４．２）は、デューティー比ηMG＝１：１及び位相差φMG＝180 °の位相格子として構成されていて、スケール格子の目盛周期（ＴＰMG）よりも小さい走査格子の目盛周期（ＴＰAG）を有することを特徴とする請求項４に記載の干渉式位置測定装置。
【請求項７】
走査格子（４．１，４．２；１４．１，１４．２）は、走査板（４；１４）上に一緒に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載に干渉式位置測定装置。
【請求項８】
走査板（４；１４）は、走査格子（４．１，４．２；１４．１，１４．２）を有する領域の外側で不透過に構成されている請求項６に記載の干渉式位置測定装置。
【請求項９】
走査格子（４．１，４．２；１４．１，１４．２）は、スケール格子（３；１３）から距離ａ1 に配置されていて、このスケール格子（３；１３）によって分割された第１部分ビーム束（＋１）と第２部分ビーム束（−１）が、走査格子（３；１３）内に空間的に分離され相前後して少なくとも存在する請求項１又は２に記載の干渉式位置測定装置。
【請求項１０】
スケール格子（３）は、光学素子（２）によって変形されたビーム束のビームのくびれ部分の領域内に配置されている請求項１又は２に記載の干渉式位置測定装置。
【請求項１１】
検出格子（５）は、位相格子として構成されていて、この検出格子（５）は、入射する光を少なくとも０．の回折次数と±２．の回折次数とに分割する請求項１に記載に干渉式位置測定装置。
【請求項１２】
デューティー比ηDG＝１：２又はηDG＝２：１及び位相差120 °又は240 °の位相格子として構成されていて、空間的な干渉縞パターンの周期（ＰIF）の２倍に相当する検出格子の目盛周期（ＴＰDG）を有する請求項１１に記載の干渉式位置測定装置。
【請求項１３】
隣接した検出素子（１６．１，…１６．８）がそれぞれ、90°だけ位相のずれている走査信号（Ｓ0°，Ｓ90°，Ｓ180°，Ｓ270°）を出力するように、検出器の周期（ＰDET ）が空間的な縞パターンの周期（ＰIF）に合わせられている請求項２に記載の干渉式位置測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
まず第１に、特にロータリー式の位置測定装置として構成した場合、大きい公差がスケール格子を有する部分板の位置に対して実現される点が本発明の解決手段の利点である。同時に、大きい取付公差が、半径方向と接線方向の双方に存在する。この位置測定装置の取付け時の経費を大幅に低減することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
汚れにくさに関する要求も、実現されたいわゆるシングルスパン走査に基づいて満たされている。このことは、スケール格子が場合によっては汚れたときに、全ての生成された位相のシフトしている走査信号が常に均一に影響され、それ故により大きい誤差が信号の再処理で生じないことを意味する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
図４中には概略的にしか示されていない周期的な検出装置１６をより詳しく説明するため、図５を参照のこと。図５は、この検出装置１６の一部を平面図で示す。この周期的な検出装置１６は、多数の個別の光電式の検出素子１６．１，１６．２…，を有する。これらの検出素子１６．１，１６．２…は、一定の間隔ｄで互いに隣接して配置されている。方向ｘへの検出器の周期性ＰSET が、位相の等しい走査信号を出力する検出素子１６．１，１６．２，…，の電気伝導的な接続から得られる。すなわち、検出素子１６．１が、検出素子１６．５とも位相の等しい走査信号Ｓ0°を出力し、検出素子１６．２が、検出素子１６．６とも位相の等しい走査信号Ｓ90°を出力する等々である。