【手続補正書】
【提出日】平成18年2月10日(2006.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記第１チャンバー４は、図１および図４に示すように、略密閉型の略箱状体であり、その天井部には、上記第１搬送室３の出口３６（図３参照）からフィルム１０ａを導入する導入口４５が形成されており、その底部には、その導入されたフィルム１０ａを上記第２ガス遮断室５に排出する排出口４６が形成されている。また、第１チャンバー４の内部には、図示の左右に２個の電極群が対設しており、対設する各側の電極群は、複数（図では、５本）の丸棒状の電極４１が隙間をあけて平行に並べられて略平面状に形成されている。丸棒状の電極４１の長手方向は、第１チャンバー４の手前側の壁面から奥側の壁面に延びており、各側の電極群では、丸棒状の電極４１が縦（上下）に整列している。さらに、第１チャンバー４は、対設する電極群の間隔を開け、フィルム１０ａの装着や第１チャンバー４の内部のメンテナンス等をし易くするため、上記ガイドレールＲに沿って、図示の左右に手動で分割されるようになっている。そして、第１チャンバー４は、分割されていない状態では、分割面が気密に当接している。なお、図において、４３は手動分割するための把手である。また、第１チャンバー４の左右に分割された少なくとも一方の部材は、奥側の壁面部分において、大気圧プラズマに用いるガスの供給源と接続されており（図６参照：図６において、４７はその接続部分）、そのガスを対設する電極群の間に噴出できるよう、図５〜図７に示すように、上下に隣り合う丸棒状の電極４１と電極４１との隙間に対応する電極群の後方（図６および図７では、左方）に、ガスの噴出口４２が多数形成され、それら噴出口４２と上記接続部分４７（図６参照）との間に、それらを連通させる流通路４８（図６および図７参照）が形成されている。そして、その噴出口４２から電極４１間の隙間を通して電極群の間にガスを噴出することにより、第１チャンバー４内をそのガス雰囲気にするようになっている。そして、図１および図４に示すように、上記導入口４５から導入されたフィルム１０ａは、対設する電極群の間を通って走行して、排出口４６に導かれるようになっている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記第２ガス遮断室５は、図１および図８に示すように、略密閉型の略箱状体であり、上記第１チャンバー４および第２チャンバー６の下部に配置されている。そして、第２ガス遮断室５の天井部には、上記第１チャンバー４の排出口４６（図４参照）からフィルム１０ａを導入する入口５５と、その導入されたフィルム１０ａを第２チャンバー６に排出する出口５６とが形成されている。また、第２ガス遮断室５の内部には、２本の自由回転可能な遮断ローラ５１が平行に設けられ、これら２本の遮断ローラ５１の間に、モーター等の駆動源５３により回転駆動される駆動ローラ５２が設けられている。そして、各遮断ローラ５１および駆動ローラ５２は、第２ガス遮断室５の手前側の壁面から奥側の壁面に延びている。また、第２ガス遮断室５の内周部では、天井部から各遮断ローラ５１に向かってそれぞれ１枚以上の遮断板が各遮断ローラ５１に沿って突設されており、各遮断板の先端と各遮断ローラ５１の外周面との隙間が０．２ｍｍ程度に設定されている。その隙間は、上記遮断板の突出量を調節することにより、適宜変えることができるようになっている。さらに、第２ガス遮断室５の内周部では、図示の下側左右角部に、斜板が手前側の壁面から奥側の壁面に延びており、各斜板と各遮断ローラ５１の外周面との隙間が狭く（１ｍｍ〜１０ｍｍ程度）設定されている。さらに、第２ガス遮断室５の内周部では、天井部および底部から駆動ローラ５２に向かって遮断部材が駆動ローラ５２に沿って突設されており、下側の遮断部材の先端面と駆動ローラ５２の外周面との隙間が０．２ｍｍ程度に設定され、上側の遮断部材の先端面と駆動ローラ５２の外周面との隙間も狭く（１ｍｍ〜１０ｍｍ程度）設定されている。上下各遮断部材と駆動ローラ５２の外周面との各隙間も、上記遮断部材の突出量を調節することにより、適宜変えることができるようになっている。そして、上記入口５５から導入されたフィルム１０ａは、各遮断ローラ５１と駆動ローラ５２との間を各遮断ローラ５１の外周面および駆動ローラ５２の外周面と接した状態で走行して、出口５６に導かれるようになっており、そのフィルム１０ａの走行により、各遮断ローラ５１が連れ回り、フィルム１０ａに帯同するガスが殆ど遮断されるとともに、フィルム１０ａの走行方向が転換するようになっている。すなわち、各遮断ローラ５１の外周面および駆動ローラ５２の外周面は、フィルム１０ａに接し、それ以外の第２ガス遮断室５の内壁面や上記遮断板や斜板や遮断部材等には接しないようになっている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
上記第２チャンバー６は、上記第１チャンバー４と同様のものである。すなわち、上記第２チャンバー６は、図１および図４に示すように、略密閉型の略箱状体であり、その底部には、上記第２ガス遮断室５の出口５６（図８参照）からフィルム１０ａを導入する導入口６５が形成されており、その天井部には、その導入されたフィルム１０ａを上記第２搬送室７に排出する排出口６６が形成されている。また、第２チャンバー６の内部には、図示の左右に２個の電極群が対設しており、対設する各側の電極群は、複数（図では、５本）の丸棒状の電極６１が隙間をあけて平行に並べられて略平面状に形成されている。丸棒状の電極６１の長手方向は、第２チャンバー６の手前側の壁面から奥側の壁面に延びており、各側の電極群では、丸棒状の電極６１が縦（上下）に整列している。さらに、第２チャンバー６は、対設する電極群の間隔を開け、フィルム１０ａの装着や第２チャンバー６の内部のメンテナンス等をし易くするため、上記ガイドレールＲに沿って、図示の左右に手動で分割されるようになっている。そして、第２チャンバー６は、分割されていない状態では、分割面が気密に当接している。なお、図において、６３は手動分割するための把手である。また、第２チャンバー６の左右に分割された少なくとも一方の部材は、奥側の壁面部分において、大気圧プラズマに用いるガスの供給源と接続されており（図６参照：図６において、６７はその接続部分）、そのガスを対設する電極群の間に噴出できるよう、図５〜図７に示すように、上下に隣り合う丸棒状の電極６１と電極６１との隙間に対応する電極群の後方（図６および図７では、左方）に、ガスの噴出口６２が多数形成され、それら噴出口６２と上記接続部分６７（図６参照）との間に、それらを連通させる流通路６８（図６および図７参照）が形成されている。そして、その噴出口６２から電極６１間の隙間を通して電極群の間にガスを噴出することにより、第２チャンバー６内をそのガスの雰囲気にするようになっている。そして、図１および図４に示すように、上記導入口６５から導入されたフィルム１０ａは、対設する電極群の間を通って走行して、排出口６６に導かれるようになっている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
そして、それにつづく第１搬送室３では、第１チャンバー４から大気圧プラズマに用いているガスが入り込んできている状態になっている。しかも、上記第１ガス遮断室２に設けられた遮断ローラ２１や遮断板の作用により、外部の空気が殆ど入り込んでいない状態になっている。また、上述したように、第１チャンバー４と第２ガス遮断室５とが接している状態では、その接している部分が外部の空気と気密状態にある。これらのため、第１チャンバー４内では、ガス雰囲気が殆ど変わらず、所望する処理効果を得ることができる。