(57)【要約】      （修正有）【課題】ガラス板に割れやクラック等を発生させることなくガラス板の保持力を充分に高くでき、ガラス板を蛇行させることなく安定して搬送できるガラス板搬送装置を提供する。【解決手段】ガラス板搬送装置１０は、ガラス板Ｇの下面側の第１ローラ１６およびガラス板の上面側の第２ローラ１８によって、ガラス板を厚さ方向に挟み込んだ状態で搬送する。第１表層部および第２表層部との間に挟んだガラス板は、Ｐｔ／Ｗｔが１００［ｋＰａ／ｍ］以上で保持され、第２ローラの軸方向中央部の保持圧は１０ｋＰａ以上である。【選択図】図１
0003225709.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
第１表面と第２表面とを有するガラス板を、前記第２表面を上方に向けて水平方向に搬送するガラス板搬送装置であって、
前記ガラス板搬送装置は、
前記第１表面に接触する第１表層部と、第１シャフトと、を有する第１ローラと、
前記第１ローラの上方に配置され、前記第２表面に接触する第２表層部と、第２シャフトと、を有する第２ローラと、
を備え、
前記第１表層部と前記第２表層部との間に挟んだ前記ガラス板は、下記のＰｔ／Ｗｔが１００［ｋＰａ／ｍ］以上で保持され、
前記Ｐｔ／Ｗｔは、前記第１ローラ及び前記第２ローラの軸方向中央部で測定する第１保持圧Ｐ１と、前記第１ローラ及び前記第２ローラの軸方向一端部で測定する第２保持圧Ｐ２と、前記第１ローラ及び前記第２ローラの軸方向他端部で測定する第３保持圧Ｐ３との合計値Ｐｔ（Ｐｔ＝Ｐ１＋Ｐ２＋Ｐ３）を、前記第１保持圧Ｐ１の測定長さＷ１、前記第２保持圧Ｐ２の測定長さＷ２、前記第３保持圧Ｐ３の測定長さＷ３の合計値Ｗｔ（Ｗｔ＝Ｗ１＋Ｗ２＋Ｗ３）で除した値であって、
前記第１保持圧Ｐ１は１０ｋＰａ以上である
ことを特徴とするガラス板搬送装置。
【請求項２】
前記第１保持圧Ｐ１、前記第２保持圧Ｐ２および前記第３保持圧Ｐ３は、下記の式（１）および（２）を満たす請求項１に記載のガラス板搬送装置。
０．３≦Ｐ１／Ｐ２≦１．２・・・（１）
０．３≦Ｐ１／Ｐ３≦１．２・・・（２）
【請求項３】
前記第２ローラは凸クラウン形状を有する、請求項１または２に記載のガラス板搬送装置。
【請求項４】
前記第１ローラは凹クラウン形状を有する、請求項３に記載のガラス板搬送装置。
【請求項５】
前記第１ローラは凸クラウン形状を有する、請求項１または２に記載のガラス板搬送装置。
【請求項６】
前記第２ローラは凹クラウン形状を有する、請求項５に記載のガラス板搬送装置。
【請求項７】
第１表面と第２表面とを有するガラス板を、前記第２表面を上方に向けて水平方向に搬送するガラス板搬送装置であって、
前記ガラス板搬送装置は、
前記第１表面に接触する第１表層部と第１シャフトとを有する第１ローラと、
前記第１ローラの上方に配置され、前記第２表面に接触する第２表層部と第２シャフトを有する第２ローラと、
を備え、前記第２ローラは凸クラウン形状を有する
ことを特徴とするガラス板搬送装置。
【請求項８】
前記第１ローラは凹クラウン形状を有する、請求項７に記載のガラス板搬送装置。
【請求項９】
ガラス板の搬送時において、前記第２ローラの軸方向中央部はガラス板と当接する、請求項７または８に記載のガラス板搬送装置。
【請求項１０】
ガラス板の搬送時において、前記第２ローラは、ガラス板の搬送方向に直交する方向のガラス板の幅長さ全域で当接する、請求項９に記載のガラス板搬送装置。
【請求項１１】
第１表面と第２表面とを有するガラス板を、前記第２表面を上方に向けて水平方向に搬送するガラス板搬送装置であって、
前記ガラス板搬送装置は、
前記第１表面に接触する第１表層部と第１シャフトとを有する第１ローラと、
前記第１ローラの上方に配置され、前記第２表面に接触する第２表層部と第２シャフトを有する第２ローラと、
を備え、前記第１ローラは凸クラウン形状を有する
ことを特徴とするガラス板搬送装置。
【請求項１２】
前記第２ローラは凹クラウン形状を有する、請求項１１に記載のガラス板搬送装置。
【請求項１３】
ガラス板の搬送時において、前記第２ローラの軸方向中央部はガラス板と当接する、請求項１１または１２に記載のガラス板搬送装置。
【請求項１４】
ガラス板の搬送時において、前記第２ローラは、ガラス板の搬送方向に直交する方向のガラス板の幅長さ全域で当接する、請求項１３に記載のガラス板搬送装置。
【請求項１５】
前記第２ローラの撓み量は、前記第１ローラの撓み量より大きい、請求項１〜１４のいずれか一項に記載のガラス板搬送装置。
【請求項１６】
第１表面と第２表面とを有するガラス板を、前記第２表面を上方に向けて水平方向に搬送するガラス板搬送装置であって、
前記ガラス板搬送装置は、
前記第１表面に接触する第１表層部と第１シャフトとを有する第１ローラと、
前記第１ローラの上方に配置され、前記第２表面に接触する第２表層部と第２シャフトを有する第２ローラと、
を備え、前記第２ローラの撓み量は、前記第１ローラの撓み量より大きい
ことを特徴とするガラス板搬送装置。
【請求項１７】
ガラス板の搬送時において、前記第２ローラの軸方向中央部はガラス板と当接する、請求項１６に記載のガラス板搬送装置。
【請求項１８】
ガラス板の搬送時において、前記第２ローラは、ガラス板の搬送方向に直交する方向のガラス板の幅長さ全域で当接する、請求項１７に記載のガラス板搬送装置。
【請求項１９】
前記第１表層部および前記第２表層部は、樹脂製である請求項１〜１８のいずれか一項に記載のガラス板搬送装置。
【請求項２０】
前記第１表層部および前記第２表層部は、硬度が３０〜７０である請求項１〜１９のいずれか一項に記載のガラス板搬送装置。
【請求項２１】
前記第１表層部および前記第２表層部は、算術平均粗さＲａが１５μｍ以下である請求項１〜２０のいずれか一項に記載のガラス板搬送装置。
【請求項２２】
前記ガラス板の搬送方向に直交する方向の前記ガラス板の幅長さは１５００ｍｍ以上である、請求項１〜２１のいずれか一項に記載のガラス板搬送装置。
【請求項２３】
請求項１〜２２のいずれか一項に記載のガラス板搬送装置と、
搬送中の前記ガラス板に液体を供給する液体供給部と、
前記第１表面および前記第２表面に接触して前記第１表面および前記第２表面の付着物を除去する洗浄部と、
を備えるガラス板洗浄装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、ガラス板搬送装置、及びガラス板洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）ディスプレイパネル等のＦＰＤ（ＦｌａｔＰａｎｅｌＤｉｓＰｌａｙ）に用いられるガラス板は、図１５に示す複数の工程を経ることにより製造される。
【０００３】
すなわち、ガラス板製造工程５０は、成形工程５２、研磨工程５４、スラリー洗浄工程５６、洗剤洗浄工程５８、純水洗浄工程６２、純水リンス工程６４、乾燥工程６６、検査工程６８、および梱包工程７２を有する。
【０００４】
成形工程５２は、溶融ガラスから帯状の板ガラスを成形する工程と、帯状の板ガラスを所定の矩形状サイズのガラス板に切断する工程を含む。
ガラス板は、研磨工程５４から検査工程６８に至るまで、コンベアによって連続搬送されながら各工程にて所定の処理が施される。そして、検査工程６８を経たガラス板は、梱包工程７２にてパレット等に梱包されて出荷される。
【０００５】
また、ガラス板は、研磨工程５４以降から乾燥工程６６に至るまで、洗浄水、スラリー溶液、洗剤、純水等の液体が塗布され、洗浄部、例えばディスクブラシなど、を用いて洗浄される。
【０００６】
ＦＰＤ（ＦｌａｔＰａｎｅｌＤｉｓＰｌａｙ）に用いられるガラス板は、表面に電気回路が形成されるため、極微小な疵および汚れであっても製品不良の原因となる。そのため、このようなガラス板には極めて高い表面特性が求められており、ガラス板表面の付着物を充分に除去する必要がある。
【０００７】
従来のガラス板搬送装置は、ガラス板の下面に当接された円柱形状の第１ローラ群が回転駆動されることにより、前記ガラス板を水平状態で水平方向に搬送している。前記第１ローラ群の上方には、第２ローラ群が配置されており、前記第１ローラ群と前記第２ローラ群との間で前記ガラス板を挟み込むことで、洗浄中のガラス板の蛇行を防止している（特許文献１参照）。
【０００８】
しかし、従来よりも高い表面特性を有するガラス板を得るために、ガラス板洗浄工程において、洗浄部をガラス板に強く接触させると、洗浄中にガラス板が蛇行し、洗浄部がガラス表面に適切に接触できなくなり、ガラス板表面の付着物が充分に除去できない問題があった。また、洗浄部をガラス板に強く接触させると、ガラス板が搬送路の側壁に衝突し割れ等が発生するおそれもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１５−３０５７０
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【００１０】
ガラス板洗浄工程において洗浄部をガラス板に従来より強く接触させてガラス板表面の付着物を充分に除去する必要がある。
【００１１】
本願考案者らは、洗浄部をガラス板に従来より強く接触させてもガラス板の蛇行を防止できる方法を検討した結果、従来のガラス板搬送装置は、図１２に示すように、ガラス板Ｇの上方に配置されたローラ１８がガラス板Ｇの端部にのみ当接しているため、ガラス板Ｇが蛇行しやすいことを見出した。すなわち、従来のガラス板搬送装置において、第１ローラ１６と第２ローラ１８との間に挟まれたガラス板Ｇは、ローラ１６、１８の両端部でのみ保持されていたのでガラス板Ｇの保持力が充分ではなかった。そのため、従来のガラス板搬送装置では洗浄部を強く接触させるとガラス板Ｇが蛇行してしまい、洗浄部を強く接触できずにいた。また、ガラス板Ｇの保持力を高くするために、第２ローラをガラス板に強く押し付けた場合、ガラス板Ｇの端部に局所的に高い圧力がかかり、ガラス板に割れやクラック等が発生するおそれもあった。
【００１２】
本考案は、ガラス板に割れやクラック等を発生させることなくガラス板の保持力を充分に高くでき、ガラス板を蛇行させることなく安定して搬送できるガラス板搬送装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本考案に係るガラス板搬送装置は、第１表面と第２表面とを有するガラス板を、前記第２表面を上方に向けて水平方向に搬送するガラス板搬送装置であって、前記ガラス板搬送装置は、前記第１表面に接触する第１表層部と、第１シャフトと、を有する第１ローラと、前記第１ローラの上方に配置され、前記第２表面に接触する第２表層部と、第２シャフトと、を有する第２ローラと、を備え、前記第１表層部と前記第２表層部との間に挟んだ前記ガラス板は、下記のＰｔ／Ｗｔが１００［ｋＰａ／ｍ］以上で保持され、前記Ｐｔ／Ｗｔは、前記第１ローラ及び前記第２ローラの軸方向中央部で測定する第１保持圧Ｐ１と、前記第１ローラ及び前記第２ローラの軸方向一端部で測定する第２保持圧Ｐ２と、前記第１ローラ及び前記第２ローラの軸方向他端部で測定する第３保持圧Ｐ３との合計値Ｐｔ（Ｐｔ＝Ｐ１＋Ｐ２＋Ｐ３）を、前記第１保持圧Ｐ１の測定長さＷ１、前記第２保持圧Ｐ２の測定長さＷ２、前記第３保持圧Ｐ３の測定長さＷ３の合計値Ｗｔ（Ｗｔ＝Ｗ１＋Ｗ２＋Ｗ３）で除した値であって、前記第１保持圧Ｐ１は１０ｋＰａ以上であることを特徴とする。
第２ローラ中央部とガラス板が当接しているため、ガラス板に高い保持圧を加えても、局所的に高い圧力がかかることがなく、ガラス板の割れやクラック等が生じない。
【００１４】
好ましくは、前記第１保持圧Ｐ１、前記第２保持圧Ｐ２および前記第３保持圧Ｐ３は同程度の保持圧である。具体的には、前記第１保持圧Ｐ１、第２保持圧Ｐ２および第３保持圧Ｐ３は、下記の（１）および（２）を満たす。
０．３≦Ｐ１／Ｐ２≦１．２・・・（１）
０．３≦Ｐ１／Ｐ３≦１．２・・・（２）
ガラス板の保持圧がローラ表層部の場所によらず均一であることによって、ガラス板に局所的に高い圧力がかからず、ガラス板の面内において品質が均一になる。
【００１５】
また、好ましくは、前記第２ローラは凸クラウン形状を有する。
【００１６】
従来のガラス板搬送装置において、第１ローラは、前記第１ローラの自重および上方に載置されたガラス板および第２ローラの重さによって撓んでいる。第２ローラもまた、自重によって撓むが、第２ローラにかかる力は自重のみであるため、第１ローラよりも撓み量が小さい。そのため、従来のガラス板搬送装置では第２ローラ中央部とガラス板が当接しない。一方で第２ローラが凸クラウン形状となっている場合、前記第２ローラ中央部とガラス板が当接することができ、ガラス板の保持力が向上する。
【００１７】
さらに好ましくは、前記第１ローラが凹クラウン形状である。
【００１８】
前記第１ローラをさらに凹クラウン形状とすることで、前記第２ローラが、前記ガラス板の幅長さの全域で均一に当接するため、ガラス板の保持力が向上する。また、前記第２ローラがガラス板の幅長さの全域で均一に当接するため、ガラス板の面内において品質が均一になる。
【００１９】
また、好ましくは、前記第１ローラは凸クラウン形状である。
【００２０】
前記第１ローラをさらに凸クラウン形状とし、前記第１ローラ及び前記第２ローラが均一に当接するよう調節できる。これにより、ガラス板の面内において品質が均一になる。
【００２１】
本考案に係るガラス板搬送装置は、第１表面と第２表面とを有するガラス板を、前記第２表面を上方に向けて水平方向に搬送するガラス板搬送装置であって、前記ガラス板搬送装置は、前記第１表面に接触する第１表層部と第１シャフトとを有する第１ローラと、前記第１ローラの上方に配置され、前記第２表面に接触する第２表層部と第２シャフトを有する第２ローラと、を備え、前記第２ローラは凸クラウン形状を有することを特徴とする。
【００２２】
好ましくは、前記第１ローラは凹クラウン形状を有する。
【００２３】
また、好ましくは、ガラス板の搬送時において、前記第２ローラの軸方向中央部はガラス板と当接する。
【００２４】
さらに好ましくは、ガラス板の搬送時において、前記第２ローラは、ガラス板の搬送方向に直交する方向のガラス板の幅長さ全域で当接する。
【００２５】
本考案に係るガラス板搬送装置は、第１表面と第２表面とを有するガラス板を、前記第２表面を上方に向けて水平方向に搬送するガラス板搬送装置であって、前記ガラス板搬送装置は、前記第１表面に接触する第１表層部と第１シャフトとを有する第１ローラと、前記第１ローラの上方に配置され、前記第２表面に接触する第２表層部と第２シャフトを有する第２ローラと、を備え、前記第１ローラは凸クラウン形状を有することを特徴とする。
【００２６】
好ましくは、前記第２ローラは凹クラウン形状を有する。
【００２７】
また、好ましくは、ガラス板の搬送時において、前記第２ローラの軸方向中央部はガラス板と当接する。
【００２８】
さらに好ましくは、ガラス板の搬送時において、前記第２ローラは、ガラス板の搬送方向に直交する方向のガラス板の幅長さ全域で当接する。
【００２９】
また、好ましくは前記第２ローラの撓み量は、前記第１ローラの撓み量より大きい。
【００３０】
本考案に係るガラス板搬送装置は、第１表面と第２表面とを有するガラス板を、前記第２表面を上方に向けて水平方向に搬送するガラス板搬送装置であって、前記ガラス板搬送装置は、前記第１表面に接触する第１表層部と第１シャフトとを有する第１ローラと、前記第１ローラの上方に配置され、前記第２表面に接触する第２表層部と第２シャフトを有する第２ローラと、を備え、前記第２ローラの撓み量は、前記第１ローラの撓み量より大きいことを特徴とする。
【００３１】
また、好ましくは、ガラス板の搬送時において、前記第２ローラの軸方向中央部はガラス板と当接する。
【００３２】
さらに好ましくは、ガラス板の搬送時において、前記第２ローラは、ガラス板の搬送方向に直交する方向のガラス板の幅長さ全域で当接する。
【００３３】
また、好ましくは、前記第１表層部および前記第２表層部は、樹脂製である。ローラ表層部が樹脂製であることにより、ローラ表層部の静止摩擦係数が向上し、ガラス板の保持力が向上する。
【００３４】
また、好ましくは、前記第１表層部および前記第２表層部は、硬度が３０〜７０である。
【００３５】
また、好ましくは、前記第１表層部および前記第２表層部は、算術平均粗さＲａが１５μｍ以下である。算術平均粗さＲａが小さければ、ガラス板とローラとの接触面積が大きくなり、ガラス板の保持力が向上する。
【００３６】
また、好ましくは、前記ガラス板の搬送方向に直交する方向のガラス板の幅長さは１５００ｍｍ以上である。ガラス板が大きいほど、従来のガラス板搬送装置ではガラス板の幅長さの全域で当接することが困難になる。一方、本考案に係るガラス板搬送装置は、第２ローラがガラス板の幅長さの全域で当接しているため、ガラス板が大きくても蛇行せず搬送できるという格段の効果が発揮される。
【００３７】
本考案に係るガラス板洗浄装置は、前記ガラス板搬送装置と、搬送中の前記ガラス板に液体を供給する液体供給部と、前記第１表面および前記第２表面に接触して前記第１表面および前記第２表面の付着物を除去する洗浄部と、を備えることを特徴とする。
【００３８】
ガラス板は前記ガラス板搬送装置によって搬送され、洗浄部を用いて第１表面および第２表面の付着物を除去する。ガラス板洗浄装置に備えられた前記ガラス板搬送装置は、ガラス板を高い保持圧で保持するため、洗浄部を強く接触させてもガラス板が蛇行しない。そのため、ガラス板表面の付着物を充分に除去することができる。
【考案の効果】
【００３９】
本考案によれば、ガラス板に割れやクラック等を発生させることなくガラス板の保持力を充分に高くでき、ガラス板を蛇行させることなく安定して搬送できるガラス板搬送装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】ガラス板搬送装置の斜視図
【図２】ガラス板搬送装置の第１ローラおよび第２ローラの側面図
【図３】第１表層部と第２表層部における中央部および両端部での保持圧の測定領域の説明図
【図４】第１のローラ形態を示した正面図
【図５】ローラの凸クラウン形状の説明図
【図６】第１のローラ形態の他の実施形態を示す正面図
【図７】ローラの凹クラウン形状の説明図
【図８】第２のローラ形態を示した正面図
【図９】第２のローラ形態の他の実施形態を示す正面図
【図１０】ローラの撓み量の説明図
【図１１】第３のローラ形態を示した正面図
【図１２】従来のローラを用いたガラス板搬送装置の説明図
【図１３】ガラス板洗浄装置の斜視図
【図１４】図１３に示したガラス板洗浄装置の側面図
【図１５】ガラス板製造方法の説明図
【考案を実施するための形態】
【００４１】
以下、本考案に係るガラス板搬送装置の好ましい実施形態について説明する。
【００４２】
＜ガラス板搬送装置の構成＞
図１に示すガラス板搬送装置１０は、ガラス板Ｇを水平状態で搬送方向Ａに搬送する装置であり、ガラス板Ｇの第１表面１２に当接される第１ローラ１６と、第１ローラ１６の上方に配置され、かつガラス板Ｇの第２表面１４に当接されて第１ローラ１６との間でガラス板Ｇを厚さ方向に挟み込む第２ローラ１８とを備える。ガラス板Ｇの第１表面１２は下面であり、ガラス板Ｇの第２表面１４は上面である。第１ローラ１６は下ローラであり、第２ローラ１８は上ローラである。
【００４３】
＜第１ローラおよび第２ローラ＞
図２に示すように、第１ローラ１６は、駆動部（不図示）からの動力を第１ローラ１６に伝達し、回転駆動させるための第１シャフト２２と、ガラス板Ｇの第１表面１２に当接する第１表層部２６とを有する。第２ローラ１８は、回転させるための第２シャフト２４と、ガラス板Ｇの第２表面１４に当接する第２表層部２８とを有する。第２ローラ１８には、回転駆動手段が接続されていても、接続されていなくてもよい。回転駆動手段が接続されていない場合、第２ローラ１８は、ガラス板Ｇの第２表面１４との間の摩擦抵抗により、ガラス板Ｇの搬送に追従して、ガラス板Ｇを搬送方向Ａに送る方向に回転される。なお、第２ローラ１８に回転駆動手段を接続することも可能である。ガラス板Ｇのサイズが大きくなった際に、第２ローラ１８に回転駆動手段を接続し、第２ローラ１８を駆動させ、ガラス板Ｇの搬送力を高めることができる。第２ローラ１８の回転駆動手段は限定されない。例えば、第２ローラ１８の第２シャフト２４にベルトを取り付け、動力を伝達する方法や、隣接する第２ローラ１８の端部同士を、ギヤを介して連結させ、ギヤに回転動力を加えることにより第２ローラ１８を回転させる回転駆動手段であってもよい。
【００４４】
第１シャフト２２、第２シャフト２４、第１表層部２６および第２表層部２８は、それぞれ独立して素材を選択してよい。すなわち、すべて同じ素材で構成されていても、すべて異なる素材で構成されていてもよい。また、第１シャフト２２と第１表層部２６との間および第２シャフト２４と第２表層部２８との間に、中間層を設けてもよい。
【００４５】
＜第１シャフトおよび第２シャフト＞
第１シャフト２２および第２シャフト２４の素材は、カーボン、金属部材または樹脂が用いられる。第１シャフト２２および第２シャフト２４は、内部が充填されていても、中空構造であってもよい。ローラ１６、１８を回転駆動させるための消費電力を抑えるため、中空構造であることが好ましい。金属部材は特に限定されず、例えば炭素鋼や特殊鋼が用いられる。炭素鋼とは、鉄に少量の炭素（Ｃ）を含有させた素材である。特殊鋼とは、鉄に炭素（Ｃ）の他に、クロム（Ｃｒ）、マンガン（Ｍｎ）、ニッケル（Ｎｉ）、モリブデン（Ｍｏ）、バナジウム（Ｖ）等の金属元素を、単独または複数含有させた素材である。
【００４６】
第１シャフト２２および第２シャフト２４に用いられる樹脂は特に限定されず、ニトリル樹脂、シリコン樹脂、フッ素樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、イソプレン樹脂、スチレン樹脂、ブタジエン樹脂、ブチル樹脂等があげられる。
【００４７】
前記第１シャフト２２および第２シャフト２４は機械的強度が高く、防錆性を有する材料が好ましい。そのため、鉄に少量の炭素及び金属元素を含有する特殊鋼が好ましく、さらにクロム（Ｃｒ）を１１％以上含有したステンレスがより好ましい。
【００４８】
第１表層部２６と第２表層部２８との間に挟んだガラス板Ｇは、Ｐｔ／Ｗｔが１００［ｋＰａ／ｍ］以上で保持される。第１表層部２６と第２表層部２８とが、高い保持圧でガラス板Ｇを保持できるので、洗浄部をガラス板Ｇに従来より強く接触させてもガラス板Ｇの蛇行を防止でき、ガラス板Ｇ表面の付着物を充分に除去できる。前記Ｐｔ／Ｗｔは、１５０［ｋＰａ／ｍ］以上が好ましく、２００［ｋＰａ／ｍ］以上がより好ましく、２５０［ｋＰａ／ｍ］以上がさらに好ましく、１０００［ｋＰａ／ｍ］以下が好ましく、８００［ｋＰａ／ｍ］以下がより好ましく、６００［ｋＰａ／ｍ］以下がさらに好ましい。
【００４９】
前記Ｐｔ／Ｗｔは、前記第１ローラ及び前記第２ローラの軸方向中央部で測定する第１保持圧Ｐ１と、前記第１ローラ及び前記第２ローラの軸方向一端部で測定する第２保持圧Ｐ２と、前記第１ローラ及び前記第２ローラの軸方向他端部で測定する第３保持圧Ｐ３との合計値Ｐｔ（Ｐｔ＝Ｐ１＋Ｐ２＋Ｐ３）を、前記第１保持圧Ｐ１の測定長さＷ１、前記第２保持圧Ｐ２の測定長さＷ２、前記第３保持圧Ｐ３の測定長さＷ３の合計値Ｗｔ（Ｗｔ＝Ｗ１＋Ｗ２＋Ｗ３）で除した値である。
【００５０】
ここで、前記第１ローラ及び前記第２ローラの軸方向一端部並びに前記第１ローラ及び前記第２ローラの軸方向他端部とは、図３に示すように、ローラ表層部の一端部Ａから他端部Ｂまでの長さＷ［ｍ］であった場合、一端部ＡからＷａ［ｍ］以上Ｗｂ［ｍ］以下およびＷｃ［ｍ］以上Ｗｄ［ｍ］以下の距離にある範囲をいう。また、前記第１ローラ及び前記第２ローラの軸方向中央部とは、ローラ表層部の一端部ＡからＷｅ［ｍ］以上Ｗｆ［ｍ］以下の距離にある範囲をいう。ここで、Ｗａ、Ｗｂ、Ｗｃ、Ｗｄ、Ｗｅ、Ｗｆは以下の（３）〜（８）を満たす。
Ｗａ＝０．０５・・・（３）
Ｗｂ＝０．４５・・・（４）
Ｗｃ＝Ｗ−０．４５・・・（５）
Ｗｄ＝Ｗ−０．０５・・・（６）
Ｗｅ＝Ｗ／２−０．２・・・（７）
Ｗｆ＝Ｗ／２＋０．２・・・（８）
【００５１】
Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３は、第１保持圧Ｐ１、第２保持圧Ｐ２、第３保持圧Ｐ３の測定長さである。すなわち、Ｗ１、Ｗ２およびＷ３の測定長さは、それぞれ（Ｗｆ−Ｗｅ）［ｍ］、（Ｗｂ−Ｗａ）［ｍ］および（Ｗｄ−Ｗｃ）［ｍ］であり、Ｗ１＝Ｗ２＝Ｗ３＝０．４０［ｍ］である。
【００５２】
前記保持圧Ｐ１は１０［ｋＰａ］以上である。また、前記保持圧Ｐ１は５０［ｋＰａ］以上が好ましく、１００［ｋＰａ］以上がさらに好ましく、１０００［ｋＰａ］以下が好ましく、８００［ｋＰａ］以下がより好ましく、６００［ｋＰａ］以下がさらに好ましい。第２ローラ１８がガラス板Ｇの幅長さの全域Ｗｇで当接していることによってガラス板Ｇの保持力が向上する。また、第２ローラ１８の中央部がガラス板Ｇに当接しているため、前記第２ローラ１８を強く押し付けた際に、ガラス板Ｇの端部に局所的に高い圧力がかからず、ガラス板Ｇの割れやクラックを防止できる。
【００５３】
ガラス板Ｇの保持圧を調整する方法は、例えば以下の方法が考えられる。例えば、第２ローラ１８の質量を大きくすることで、ガラス板Ｇの保持圧を大きくすることができる。また、第２ローラ１８に加圧機構を設けてもよい。前記加圧機構で、第２ローラ１８を第１ローラ１６に向かって押し込むことで、ガラス板Ｇの保持圧を大きくすることができる。また、前記加圧機構は第１ローラ１６に設けてもよい。第１ローラ１６を第２ローラ１８に向かって押し込むことで、ガラス板Ｇの保持圧を大きくすることができる。
【００５４】
前記Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３に関して、Ｐ１とＰ２の比（Ｐ１／Ｐ２）は０．３以上が好ましく、０．５以上がより好ましく、０．７以上がさらに好ましく、１．５以下が好ましく、１．２以下がより好ましい。また、Ｐ１とＰ３の比（Ｐ１／Ｐ３）は０．３以上が好ましく、０．５以上がより好ましく、０．７以上がさらに好ましく、１．５以下が好ましく、１．２以下がより好ましい。比が１に近いほどガラス板を均一な保持圧で保持し、ガラス板Ｇに局所的に高い圧力がかかることを防止できるので、ガラス板Ｇをより安定に搬送でき、ガラス板Ｇの面内で品質を均一にできる。
【００５５】
＜第１のローラ形態＞
図４は、第１のローラ形態のガラス板搬送装置１０の正面図である。
【００５６】
＜第１のローラ形態のガラス板搬送装置＞
図４において、第１ローラ１６は円柱形状で図示されているが、これに限定されない。第１ローラ１６は凸クラウン形状でも凹クラウン形状でもよい。第１ローラ１６はガラス板Ｇを搬送方向Ａに搬送するために、搬送方向Ａに対して直行して配置されている。第１ローラ１６の上方には、ガラス板Ｇの第２表面に当接されて第１ローラ１６との間でガラス板Ｇを厚さ方向に挟み込む第２ローラ１８が配置されている。
本明細書中において、凸クラウン形状のローラとは、図５に示すように、ローラ表層部における中心部での直径Ｒ１がローラ表層部における端での直径Ｒ２に対して１００μｍ以上（Ｒ１−Ｒ２≧１００μｍ）であるローラのことをいう。ローラ表層部における中心部の直径Ｒ１、ローラ表層部における端での直径Ｒ２に対して１００μｍ以上であれば、ローラの表面形状は問わず、例えばサイン曲線、２次関数曲線などが考えられる。
本明細書中において、凹クラウン形状のローラとは、図７に示すようにローラ表層部における端でのＲ２がローラ表層部における中心部での直径Ｒ１に対して、１００μｍ以上（Ｒ２−Ｒ１≧１００μｍ）であるローラのことをいう。ローラ表層部における端での直径Ｒ２がローラ表層部における中心部での直径Ｒ１に対して１００μｍ以上であればローラの表面形状は問わず、例えばサイン曲線、２次関数曲線などが考えられる。
本明細書中において、円柱形状のローラとは、ローラ表層部の中心部の直径Ｒ１とローラ表層部の端での直径Ｒ２の差が１００μｍ未満（｜Ｒ１−Ｒ２｜＜１００μｍ）のローラをいう。
本明細書中において、ローラ表層部における中心部とは、ローラ表層部の一端部Ａからの距離がＷ／２である位置をいう。また、ローラ表層部における端とは、ローラ表層部の一端部Ａからの距離が０である位置をいう。
【００５７】
第１のローラ形態において、第２ローラ１８は凸クラウン形状である。第２ローラ１８を凸クラウン形状とすることにより、第２ローラ１８の中央部および端部においてガラス板Ｇが当接するため、ガラス板Ｇを安定に保持できる。これにより、洗浄部をガラス板に従来より強く接触させてもガラス板Ｇの蛇行を防止できる。また、ガラス板Ｇの端部に局所的に高い圧力がかかり、ガラス板に割れやクラック等が発生することも防止できる。
【００５８】
図６は、第２ローラ１８が凸クラウン形状であり、さらに第１ローラ１６が凹クラウン形状であるガラス板搬送装置である。第２ローラ１８を凸クラウン形状にし、さらに第１ローラ１６を凹クラウン形状にしてもよい。これによって、第２ローラ１８をガラス板Ｇの幅長さＷｇの全域に均一に当接するように調整できる。
【００５９】
＜第２のローラ形態＞
図８は、第２のローラ形態のガラス板搬送装置１０を示した図である。
【００６０】
第１ローラ１６を凸クラウン形状とすることが好ましい。第１ローラ１６を凸クラウン形状とすることで、円柱形状のローラと比較して、第１ローラ１６の中央部がガラス板Ｇの中央部を押し上げる。そのため、第２ローラ１８の中央部とガラス板Ｇが当接し、ガラス板Ｇの保持力が飛躍的に向上し、ガラス板Ｇの蛇行を防止できる。
【００６１】
図８は、第２ローラ１８は円柱形状として図示されているが、これに限定されない。第２ローラは凸クラウン形状でも凹クラウン形状でもよい。また、図９に示すように、第１ローラ１６を凸クラウン形状とし、さらに第２ローラ１８を凹クラウン形状としてもよい。これによって、第２ローラ１８がガラス板Ｇの幅長さＷｇの全域において、均一に当接するように調整することができる。
【００６２】
＜第３のローラ形態＞
図１１は、第３のローラ形態のガラス板搬送装置１０を示した図である。
【００６３】
第１ローラ１６及び第２ローラ１８が円柱形状である場合、第２ローラ１８の撓み量Ｂ２は第１ローラ１６の撓み量Ｂ１よりも大きい。これによって、第２ローラ１８の中央部がガラス板Ｇに当接できる。この第２ローラ１８の撓み量Ｂ２を第１ローラ１６の撓み量Ｂ１よりも大きくする手法は、円柱形状のローラに対して単独で利用してもよいし、上記＜第１のローラ形態＞または上記＜第２のローラ形態＞と併用してもよい。
ここで、本明細書中において撓み量Ｂは、図１０に示すように、ローラの自重や、押圧機構等により外部から印加された荷重によって、ローラ表層部の中心部がどれだけ撓んでいるかを意味している。撓み量Ｂは、例えばダイヤルゲージを用いて測定される。まず、ローラ表層部の中心部が撓まないよう、ローラのシャフト端部および中央部を支持体の上に配置する。次に、前記ローラ表層部の中心部にダイヤルゲージを配置し、ゼロ点とする。その後、ローラ中央部の支持体のみを取り外し、ローラシャフト端部の支持体のみを残し、ローラの撓み量Ｂを前記ダイヤルゲージで測定する。
【００６４】
第２ローラ１８の撓み量Ｂ２を第１ローラ１６の撓み量Ｂ１よりも大きくする方法は、例えば以下の方法が考えられる。第一の方法は、第２ローラ１８を第１ローラ１６よりも撓みやすい材料、すなわちヤング率の低い材料を用いることである。第２の方法は、第２ローラ１８の上方に押圧機構を配置し、第２ローラ１８を押圧する方法である。第３の方法は、第２ローラ１８の断面二次モーメントを下げることで、撓みやすくする方法である。断面二次モーメントを下げる方法は、例えば第２シャフト２４の内部を中空にする方法が考えられる。これらの方法は、それぞれを単独で用いても、組み合わせて用いてもよい。
【００６５】
図１１は、第２ローラ１８の撓み量Ｂ２が第１ローラ１６の撓み量Ｂ１よりも大きい状態で、第２ローラ１８とガラス板Ｇを相対的に近づけた図である。第２ローラ１８が第１ローラ１６よりも撓んでいるため、ガラス板Ｇが第２ローラ１８の中央部と当接できる。その結果、ガラス板Ｇの保持力が大幅に向上し、ガラス板Ｇの蛇行を防止できる。
【００６６】
第１表層部２６および第２表層部２８は、樹脂製が好ましい。樹脂としては、例えばニトリル樹脂、シリコン樹脂、フッ素樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、イソプレン樹脂、スチレン樹脂、ブタジエン樹脂、ブチル樹脂等があげられる。樹脂を用いることで、ガラス板の保持力が飛躍的に向上する。前記樹脂の中でも特にウレタン樹脂が好ましい。
【００６７】
ローラ表層部の硬度は、３０以上が好ましく、４０以上がより好ましく、７０以下が好ましく、６０以下がより好ましい。表層部の硬度とは、旧ＪＩＳ  Ｋ  ６３０１に則った硬度である。
表層部の硬度が小さすぎるとガラス板Ｇの保持力が低下し、大きすぎてもまたガラス板Ｇの保持力が低下する。
【００６８】
ローラ表層部の算術平均粗さＲａは、１５［μｍ］以下が好ましく、１０［μｍ］以下がより好ましく、５［μｍ］以下がさらに好ましい。ローラ表層部の算術平均粗さＲａが小さいほど、ガラス板Ｇとローラとの接触面積が大きくなりガラス板Ｇの保持力が向上する。
【００６９】
本考案のガラス板搬送装置は、大型基板として使用するガラス板に好適である。大型基板とは、例えば少なくとも一辺が１５００ｍｍ以上のガラス板、具体的な例としては、長辺１８００ｍｍ以上、短辺１５００ｍｍ以上のガラス板に好適である。
本考案のガラス板搬送装置に用いられるガラス板は、少なくとも一辺が２０００ｍｍ以上のガラス板、例えば、長辺２４００ｍｍ以上、短辺２１００ｍｍ以上のガラス板により好ましく、少なくとも一辺が３０００ｍｍ以上のガラス板、例えば、長辺３０００ｍｍ以上、短辺２８００ｍｍ以上のガラス板にさらに好ましく、少なくとも一辺が３２００ｍｍ以上のガラス板、例えば、長辺３２００ｍｍ以上、短辺３０００ｍｍ以上のガラス板に特に好ましく、少なくとも一辺が３５００ｍｍ以上のガラス板、例えば、長辺３８００ｍｍ以上、短辺３３００ｍｍ以上のガラス板に最も好ましい。
本考案のガラス板搬送装置に用いられるガラス板は、厚みが０．７ｍｍ以下が好ましい。ガラス板を薄くすることで、軽量化が達成できる。本考案のガラス板は、厚みが０．６５ｍｍ以下がより好ましく、０．５５ｍｍ以下がさらに好ましく、０．４５ｍｍ以下が好ましく、最も好ましくは０．４ｍｍ以下である。厚みを０．１ｍｍ以下、あるいは０．０５ｍｍ以下とすることもできる。ただし、自重たわみを防ぐ観点からは、厚みは０．１ｍｍ以上が好ましく、０．２ｍｍ以上がより好ましい。
【００７０】
＜実施形態のガラス板洗浄装置＞
図１３は、ガラス板洗浄装置３０の一例を示した斜視図である。
【００７１】
なお、ガラス板洗浄装置３０は図４のガラス板搬送装置１０にディスクブラシ３２、３４を搭載することにより構成された装置であるが、図４のガラス板搬送装置１０に限定されず、図６、８、９、１１に示したガラス板搬送装置１０に洗浄部としてのディスクブラシ３２、３４を搭載して実施形態のガラス板洗浄装置３０としてもよい。また、前記洗浄部はウレタン製のスポンジでもよい。
【００７２】
ガラス板洗浄装置３０は、ガラス板搬送装置１０、ガラス板Ｇの第１表面１２を洗浄するディスクブラシ３２、ガラス板Ｇの第２表面１４を洗浄するディスクブラシ３４、液体をガラス板Ｇの第１表面１２に向けて噴射する下段液体供給部３６、及び液体をガラス板Ｇの第２表面１４に向けて噴射する上段液体供給部３８を備える。ディスクブラシは、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）のブラシで、外径７０〜１００ｍｍの円柱形状である。ディスクブラシの回転（自転）速度は、１００〜５００ｒｐｍとすることが好ましい。
【００７３】
液体は、図１５に示す工程に応じて、酸化セリウム等を含有するスラリー、洗浄剤（アルカリ性または酸性）および純水のうち、いずれか１つの液体を噴射する。例えば、液体として、有機ホスホン酸、ポリカルボン酸塩、芳香族スルホン酸、及びアミン−アルキレンオキサイド付加物を含む水系洗浄剤を使用すれば、研磨後のガラス板Ｇの表面に残留及び／または付着した酸化セリウム等からなる研磨砥粒を、良好に分散して除去することができ、ガラス板Ｇの平坦性を損なうこともない。
【００７４】
ディスクブラシ３４は、隣接する２本の第２ローラ１８間に、ガラス板Ｇの搬送方向Ａに対して直交する方向に所定の間隔を持って配列される。ディスクブラシ３２も同様に、隣接する２本のローラ間に、ガラス板Ｇの搬送方向Ａに対して直交する方向に所定の間隔を持って配列される。
【００７５】
ディスクブラシ３２、３４は、ガラス板Ｇの第１表面１２および第２表面１４に対して直交する鉛直方向の回転軸を有し、ディスクブラシ３２、３４のブラシ部分がガラス板Ｇの第１表面１２および第２表面１４に当接される。なお、上記実施形態は、ディスクブラシ３２、３４を前記回転軸によって自転させる構成であるが、ガラス板Ｇの表面に対して直交する鉛直方向の公転軸（不図示）によって公転させる形態でもよい。また、前記回転軸と前記公転軸の２本の軸によって自転及び公転させる形態であってもよい。
【００７６】
これによって、搬送中のガラス板Ｇの第１表面１２及び第２表面１４の全面が複数のディスクブラシ３２、３４によって擦られる。各ディスクブラシ３２、３４は、そのブラシ部分がガラス板Ｇの第１表面１２及び第２表面１４に押圧された状態で回転され、これによって、ガラス板Ｇの第１表面１２及び第２表面１４に付着した付着物が確実に除去される。
【００７７】
ディスクブラシ３２、３４による洗浄中において、ガラス板搬送装置１０のＰｔ／Ｗｔが高いため、ディスクブラシ３２、３４の押圧力及び回転力を強くして洗浄力を高めても、ガラス板Ｇは蛇行せず、安定して搬送される。
【００７８】
また、各ディスクブラシ３２、３４には、ガラス板Ｇの第１表面１２及び第２表面１４に対する高さを調整する調整手段（不図示）が備えられている。この調整手段によって、任意の高さ位置に各ディスクブラシ３２、３４を配置できる。つまり、ガラス板Ｇの第１表面１２及び第２表面１４に押圧されるディスクブラシ３２、３４のブラシ先端の位置を微調整できる。
【００７９】
前記調整手段としては、下段に配置された各ディスクブラシ３２の高さを第１ローラ１６の高さに合わせて調整した後、その各ディスクブラシ３２の高さを基準にして上段に配置された各ディスクブラシ３４の高さを、ガラス板Ｇの厚さに相当する分だけ上方に位置させることが好ましい。
【００８０】
なお、実施形態では、洗浄部としてディスクブラシ３２、３４を例示したが、これに限定されるものではなく、ガラス板Ｇの搬送方向Ａに対して直交方向に回転軸を有するローラ状のブラシまたはスポンジであってもよい。
【００８１】
＜ガラス板製造方法＞
ＦＰＤに用いられるガラス板製造方法は、少なくとも図１５に示す複数の工程を有する。具体的には、ガラス板製造工程５０は、成形工程５２、研磨工程５４、スラリー洗浄工程５６、洗剤洗浄工程５８、純水洗浄工程６２、純水リンス工程６４、乾燥工程６６、検査工程６８および梱包工程７２を有する。各工程間に別工程があってもよい。
また、本考案のガラス板搬送装置が用いられる工程は、洗浄工程に限定されない。洗浄工程以外の成形工程５２、研磨工程５４、乾燥工程６６および検査工程６８で用いてもよい。
成形工程５２は、溶融ガラスから帯状の板ガラスを成形する工程と、帯状の板ガラスを所定の矩形状サイズのガラス板に切断する工程を含む。
スラリー洗浄工程５６は、ガラス板表面に酸化セリウム等を含むスラリーを供給しながら、洗浄部でガラス板表面を洗浄する。スラリーを供給しながら、ガラス板表面を研磨することで、前記ガラス板表面に残っているスラリー残渣を除去できる。前記スラリー洗浄工程５６の前に、前洗浄工程を設けてもよい。前記前洗浄工程は、高圧シャワー洗浄が好ましい。
【００８２】
洗剤洗浄工程５８は、ガラス板表面に洗浄剤を供給しながら、洗浄部でガラス板表面を洗浄する。洗浄剤としては、例えば、有機ホスホン酸、ポリカルボン酸塩、芳香族スルホン酸、及びアミン−アルキレンオキサイド付加物を含む水系洗浄剤が好ましい。前記水系洗浄剤を使用することで、ガラス表面に残留している酸化セリウム等からなる研磨砥粒を、除去することができる。前記洗剤洗浄工程５８の前に、前洗浄工程を設けてもよい。前記前洗浄工程は、高圧シャワー洗浄が好ましい。
【００８３】
純水洗浄工程６２は、ガラス板表面に純水を供給しながら、洗浄部、例えばディスクブラシ、でガラス板表面を洗浄する。これにより、前記洗剤洗浄工程５８で使用された洗浄剤を、純水に置換できる。前記純水洗浄工程６２の前に、前洗浄工程を設けてもよい。前記前洗浄工程は、高圧シャワー洗浄が好ましい。
【００８４】
純水リンス工程６４によって、ガラス板表面に残留する微量の薬品を除去できる。前記純水リンス工程は、複数回設けてもよい。リンス工程を複数設けることで、ガラス板の表面に残留する微量の薬品を精度よく除去できる。
【００８５】
乾燥工程６６にて、リンス工程で用いた純水を乾燥させ、検査工程６８を経た後に、梱包工程７２にてパレット等に梱包されて出荷される。
【００８６】
＜実施例＞
以下、実施例について説明するが、本考案はこれら実施例に限定されない。以下において、例１および２は実施例であり、例３は比較例である。
ガラス板Ｇとして、長辺（搬送方向Ａに平行な方向の長さ）が１８００ｍｍ、短辺（搬送方向Ａに垂直な方向の長さ）が１５００ｍｍ、厚さが０．５ｍｍのガラス板を用意した。第１ローラおよび第２ローラの表層部は、硬度が５０のウレタンで作製した。
例３は第１ローラ１６および第２ローラ１８が円柱形状のローラを用いている。例１および２は、第１ローラは円柱形状のローラであり、第２ローラ１８はクラウン量の異なる凸クラウン形状のローラを用いている。
ここで、クラウン量とは、ローラ表層部の中心部での直径Ｒ１と、ローラ表層部の端での直径Ｒ２の差（Ｒ１−Ｒ２）のことをいう。また、例で用いた第２ローラの質量は同じになるよう作製した。
【００８７】
表１に示す例１〜例３の各ローラを具備するガラス板洗浄装置３０を用いて、ガラス板を作製した。前記ガラス板Ｇを、酸化セリウムを含むスラリーを用いて研磨した。研磨した前記ガラス板Ｇを、例１〜３の各ローラを具備するガラス板洗浄装置３０およびディスクブラシ３２、３４を用いて、酸化セリウムを含むスラリーで洗浄した。その後、洗浄液を用いて高圧シャワー洗浄し、さらに洗浄液を前記ガラス板Ｇに塗布しながら、ディスクブラシ３２、３４で洗浄した。次に、純水を用いて高圧シャワー洗浄し、さらに純水を前記ガラス板Ｇに塗布しながらディスクブラシ３２、３４で洗浄した。最後に純水を用いて、リンスを２回行い、前記ガラス板Ｇを乾燥させることでガラス板を得た。その後、前記ガラス板の面内パーティクル量を測定した。
洗浄時のディスクブラシ３２、３４の押し込み量は、ガラス板Ｇとディスクブラシ３２、３４が蛇行開始するまで相対的に近づけた後、その位置からディスクブラシ３４を相対的に０．３ｍｍ遠ざけた状態とした。
【００８８】
例１〜例３での、ガラス板の面内パーティクル量の評価を表１に示した。また、ローラ表層部の硬度とガラス板の保持力の関係を表２に示した。それぞれの測定項目は、以下の方法で測定した。
【００８９】
＜本考案のガラス板搬送装置のガラス板の保持圧の測定＞
ガラス板Ｇの保持圧は面圧計（メーカ：ＴＥＣＨＳＴＯＭＥＣｏ．，Ｌｔｄ．製）を用いて測定した。面圧計で用いる面圧測定シートのサイズは長辺が４００ｍｍ、短辺が１００ｍｍであり、面内に４００点の測定点を有している。前記面圧測定シートの長辺と前記第２ローラ１８の軸長が平行になるように、前記面圧測定シートを配置した。前記面圧測定シートの上から第２ローラ１８を当接した。前記第１ローラ及び前記第２ローラの軸方向一端部で測定する第２保持圧Ｐ２と、前記第１ローラ及び前記第２ローラの軸方向他端部で測定する第３保持圧Ｐ３および前記第１ローラ及び前記第２ローラの軸方向中央部で測定する第１保持圧Ｐ１を測定し、それらの圧力の合計値Ｐｔ（Ｐ１＋Ｐ２＋Ｐ３）［ｋＰａ］を求めた。Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３は、それぞれ、前記面圧シート内の各測定点で測定した保持圧の合計値である。ここで、第２ローラ１８に加圧はしておらず、前記第２ローラ１８にかかる力は自重のみである。
前記圧力の合計値Ｐｔを前記第１保持圧Ｐ１測定長さＷ１［ｍ］、前記第２保持圧Ｐ２測定長さＷ２［ｍ］、前記第３保持圧Ｐ３測定長さＷ３［ｍ］の合計値Ｗｔ（Ｗ１＋Ｗ２＋Ｗ３）［ｍ］で除することで、Ｐｔ／Ｗｔ（Ｐｔ／Ｗｔ）［ｋＰａ／ｍ］を求めた。
【００９０】
＜面内パーティクル量＞
面内パーティクル量はパーティクルカウンターを用いて、０．３［μｍ］以上のパーティクル数を測定した。同条件で作製したガラス板を３枚準備し、前記３枚のガラス板の面内パーティクル量を測定し、それらの平均値を前記条件でのガラス板の面内パーティクル量とした。面内パーティクル量評価は、ガラス板の面内のパーティクル量が、６００個未満をＡ、６００個以上１０００個未満をＢ、１０００個以上をＣとした。
【００９１】
＜ローラ表層部の硬度の測定＞
ローラ表層部の硬度は、デュロメータ（株式会社テクロック製、型式：ＧＳ−７０６Ｇ）を用いて測定した。測定方法は、旧ＪＩＳ  Ｋ  ６３０１に記載の方法で測定した。
【００９２】
次に、ガラス板Ｇの保持力を測定した。所定の硬度（３０、４０、５０、６０）で作製したウレタン製の第１ローラ１６および第２ローラ１８を用意した。第１ローラ１６を２本並べ、第１表層部２６およびガラス板Ｇの第１表面１２に対して、純水を塗布した後、前記２本の第１ローラ１６の上にガラス板Ｇを載置した。次に、ガラス板Ｇの上方から第２ローラ１８を載置し、ガラス板Ｇを保持した。その後、ガラス板Ｇを牽引し、ガラス板Ｇが滑動した時の力、すなわち最大静止摩擦力を取得した。
【００９３】
ローラ表層部の算術平均粗さＲａは、レーザー顕微鏡を用いて測定した。第１表層部２６で４点測定し、その平均値を前記第１表層部の算術平均粗さＲａとした。
【００９４】
＜結果＞
表１に関して、例３では、Ｐ１は０ｋＰａであった。これは、図１２に示すように、ガラス板Ｇと、第２ローラ１８の中央部とが当接していないことを意味している。一方で、例１および例２では第２ローラ１８の中央部で圧力が印加されており、ガラス板ＧのＰｔ／Ｗｔ［ｋＰａ／ｍ］が飛躍的に向上した。
また、Ｐｔ／Ｗｔ［ｋＰａ／ｍ］が高いガラス板搬送装置を用いたものほど、ガラス板の面内パーティクルの評価が良い。これは、前記Ｐｔ／Ｗｔが高いほど、ガラス板Ｇとディスクブラシ３２、３４の接触状態を強くでき、ガラス板表面の付着物を充分に除去できるからである。
【表１】
0003225709.tif 000003
【００９５】
表２に関して、ローラ表層部の硬度が５０のローラが、最もガラス板の保持力が高かかった。ローラ表層部としては、ローラ表層部の硬度が３０〜７０が適している。
【表２】
0003225709.tif 000004
【００９６】
以上、本開示に係るガラス板搬送装置及びガラス板洗浄装置の実施形態について説明したが、本開示は上記実施形態などに限定されない。実用新案登録請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更、修正、置換、付加、削除、および組み合わせが可能である。それらについても当然に本開示の技術的範囲に属する。
【符号の説明】
【００９７】
Ａ…搬送方向、Ｂ…撓み量、Ｇ…ガラス板、Ｗ…ローラ表層部の軸長方向の長さ、Ｗｇ…搬送方向に直交する方向のガラス板の幅長さ、Ｗ１…第１保持圧Ｐ１の測定長さ、Ｗ２…第２保持圧Ｐ２の測定長さ、Ｗ３…第３保持圧Ｐ３の測定長さ、１０…ガラス板搬送装置、１２…第１表面、１４…第２表面、１６…第１ローラ、１８…第２ローラ、２２…第１シャフト、２４…第２シャフト、２６…第１表層部、２８…第２表層部、３０…ガラス板洗浄装置、３２…ディスクブラシ、３４…ディスクブラシ、３６…下段液体供給部、３８…上段液体供給部、５０…ガラス板製造工程、５２…成形工程、５４…研磨工程、５６…スラリー洗浄工程、５８…洗剤洗浄工程、６２…純水洗浄工程、６４…純水リンス工程、６６…乾燥工程、６８…検査工程、７２…梱包工程
【図１】
0003225709.tif 000005
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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