(57)【要約】      （修正有）【課題】ガラス板の切断面において、端面加工しても除去が難しい凹凸を有するガラス板を判別するガラス板の切断面検査装置を提供する。【解決手段】ガラス板の切断面検査装置は、ガラス板１２を配置するステージ２２と、ステージに配置するガラス板の切断面を撮像して画像データを取得するカメラ１４と、カメラをガラス板の切断面と平行な方向に移動させる駆動部１６と、カメラがガラス板の切断面を撮像するときのカメラの振動を抑える除振部１８とを有する。【選択図】図１
0003227876.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板を配置するステージと、
前記ステージに配置する前記ガラス板の切断面を撮像して画像データを取得するカメラと、
前記カメラを前記ガラス板の前記切断面と平行な方向に移動させる駆動部と、
前記カメラが前記ガラス板の前記切断面を撮像するときの前記カメラの振動を抑える除振部と、
を有することを特徴とする、ガラス板の切断面検査装置。
【請求項２】
前記除振部は、粘弾性体を有し、前記カメラと前記駆動部との間に設ける請求項１に記載のガラス板の切断面検査装置。
【請求項３】
前記カメラはフィルタを有する、請求項１または２に記載のガラス板の切断面検査装置。
【請求項４】
前記フィルタは、３８０ｎｍ以上、７５０ｎｍ以下の波長の光の透過率が５０％以上９５％以下である、請求項３に記載のガラス板の切断面検査装置。
【請求項５】
前記画像データに基づいて、前記ガラス板の前記切断面の凹凸形状を検出する形状検出手段を有する、請求項１〜４のいずれか一項に記載のガラス板の切断面検査装置。
【請求項６】
前記形状検出手段は、前記画像データの輝度のコントラストに基づき前記ガラス板の前記切断面の凹凸形状を検出する、請求項５に記載のガラス板の切断面検査装置。
【請求項７】
前記形状検出手段は、検出した前記切断面の凹凸形状に基づき、第１領域と第２領域とを検出し、
前記第１領域と前記第２領域に基づき前記ガラス板の前記切断面の良否を判別する判別手段を有する、請求項５または６に記載のガラス板の切断面検査装置。
【請求項８】
前記形状検出手段は、第１領域と第２領域との境界線を決め、
前記境界線に基づき前記ガラス板の前記切断面の良否を判別する判別手段を有する、請求項５または６に記載のガラス板の切断面検査装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、ガラス板の切断面検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス板を切断する方法の一つとして、スクライブホイールを備えたスクライバが使用される。スクライバとは、切断ホイールによって、基板の表面に分断用溝（以下、「スクライブライン」ともいう）を形成する装置である。ガラス板は、スクライバによって形成されたスクライブラインを中心に曲げること（以下、「ブレイク」ともいう）で分断される。
【０００３】
ガラス板を分断するとき、ガラス板の切断面に突起部や、割れや欠けといった凹凸が生じることがある。ガラス板の切断面に凹凸が存在すると、その凹凸から割れ等が発生するため、割れ等を防止するためにガラス板の切断面に対して研削や研磨といった端面加工が施される。
【０００４】
特許文献１には、ガラス板の端面加工時に発生する振動を抑制して、端面加工の精度を向上させる方法について記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１９−４２８９０号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、スクライバを用いてガラス板の表面にスクライブラインを形成した時の異常や、ガラス板をブレイク時の異常によって、ガラス板の切断面に、特許文献１に記載されるような端面加工を実施したとしても除去が困難な凹凸が発生することがある。ガラス板の切断面を端面加工しても除去できず、ガラス板の端面に凹欠陥が残留した場合、ガラス板の耐衝撃性が低下する。そのため、例えば、加工具がガラス板の端面に接触したり、押し当てられたとき、ガラス板が傷付く（以下、「損傷」という）おそれや、ガラス板が割れる（以下、「破損」という）おそれがある。ガラス板を用いた製造工程において、ガラス板が損傷または破損すると、ガラスの破片（以下、「カレット」ともいう）が生じ、製品の不良を起こすおそれがある。また、ガラス板を用いた製造工程においてガラス板が破損すると、製造ラインを停止して破片などを除去する必要があり、生産性が著しく低下する。
【０００７】
ガラス板を用いた製造工程において前記のような不具合の原因となる凹欠陥を有するガラス板を低減するため、ガラス板の切断面において端面加工しても除去が難しい凹凸を有するガラス板を端面加工前に判別し、除去することが求められる。
【０００８】
本考案は、ガラス板の切断面において、端面加工しても除去が難しい凹凸を有するガラス板を判別する装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本考案に係るガラス板の切断面検査装置は、ガラス板を配置するステージと、前記ステージに配置する前記ガラス板の切断面を撮像して画像データを取得するカメラと、前記カメラを前記ガラス板の前記切断面と平行な方向に移動させる駆動部と、前記カメラが前記ガラス板の前記切断面を撮像するときの前記カメラの振動を抑える除振部と、を有することを特徴とする。
【００１０】
前記除振部は、粘弾性体を有し、前記カメラと前記駆動部との間に設けることが好ましい。
【００１１】
前記カメラはフィルタを有することが好ましい。
【００１２】
前記フィルタは、３８０ｎｍ以上７５０ｎｍ以下の波長の透過率が５０％以上９５％以下であることがより好ましい。
【００１３】
前記ガラス板の切断面検査装置は、前記画像データに基づいて、前記ガラス板の前記切断面の凹凸形状を検出する形状検出手段を有することが好ましい。
【００１４】
前記形状検出手段は、前記画像データの輝度のコントラストに基づき前記ガラス板の前記切断面の凹凸形状を検出することがより好ましい。
【００１５】
前記形状検出手段は、検出した前記切断面の凹凸形状に基づき、第１領域と第２領域とを検出し、前記第１領域と前記第２領域に基づき前記ガラス板の前記切断面の良否を判別する判別手段を有することが好ましい。
【００１６】
前記形状検出手段は、第１領域と第２領域との境界線を決め、前記境界線に基づき前記ガラス板の前記切断面の良否を判別する判別手段を有することが好ましい。
【考案の効果】
【００１７】
ガラス板の切断面において端面加工しても除去が難しい凹凸を有するガラス板を端面加工前に判別することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】ガラス板の切断面検査装置の斜視図
【図２】ガラス板の切断面検査装置の側面図
【図３】ガラス板の切断面検査装置の他の形態を示す斜視図
【図４】ガラス板の切断面の概念図
【図５】ガラス板の切断面の良否判断方法を示す図
【考案を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面に従って本考案に係るガラス板の切断面検査装置の好ましい実施の形態を詳説する。以下に示す実施形態は一例であり、本考案はこれらの実施形態に限定して解釈されるものではない。
【００２０】
ガラス板の切断面の良否は分断後のガラス板の切断面に基づいて判断できる。図４に示すように、ガラス板の切断面には第１領域３０と、第２領域３２が存在する。前記第１領域３０は、例えばスクライバのホイールがガラス板の表面に接触するとき、すなわち荷重が付加される過程で形成されるリブマークと呼ばれる断続的な破面が形成された凹凸を含む領域をいう。第２領域３２は、リブマークのような凹凸を含まない領域であり、第１領域３０と比較して平坦な面である。例えば、第２領域３２とは荷重負荷時に形成されたクラックが、負荷を除いた後に残留応力で再度進展することで形成される領域およびブレイク時に形成される領域を主に含む。
【００２１】
ガラス板の切断面検査装置は、ガラス板の切断面において、端面加工しても除去が難しい凹凸を有するガラス板を判別する。ガラス板の切断面検査装置は、切断面の凹凸形状をもとに、第１領域３０および第２領域３２を検出し、前記第１領域３０および前記第２領域３２に基づいてガラス板の切断面の良否を判断してもよい。また、スクライブラインやガラス板の端面の割れや欠けの有無を検出してもよい。
【００２２】
図１は、本考案の一実施形態に係るガラス板の切断面検査装置１０を示す概念図である。
【００２３】
（ガラス板）
ガラス板はブレイクされた切断面を有するガラス板であればよく、ガラス板の組成および用途は限定されない。ガラス板の用途としては、たとえば液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）ディスプレイパネル等のＦＰＤ（ＦｌａｔＰａｎｅｌＤｉｓｐｌａｙ）用のガラス板（以下、「ディスプレイ用ガラス板」という）や、高周波デバイス用ガラス板、情報記録媒体用ガラス板、半導体デバイス用ガラス板、調光積層体用ガラス板、車両窓ガラス用ガラス板、音響用振動板用ガラス板が挙げられる。ディスプレイ用ガラス板である場合、アルミノシリケートガラス、アルミノボロシリケートガラス、又はソーダライムガラスからなるガラス板が好ましい。
【００２４】
ガラス板はサイズが大きいほど、ガラス板の切断面検査装置１０による切断面の検査および判定を生産性高く実施できるため好ましい。ガラス板のサイズは、少なくとも一辺が２４００ｍｍ以上のガラス板、例えば、長辺２４００ｍｍ以上、短辺２１００ｍｍ以上のガラス板により好ましく、少なくとも一辺が３０００ｍｍ以上のガラス板、例えば、長辺３０００ｍｍ以上、短辺２８００ｍｍ以上のガラス板にさらに好ましく、少なくとも一辺が３２００ｍｍ以上のガラス板、例えば、長辺３２００ｍｍ以上、短辺２９００ｍｍ以上のガラス板に特に好ましく、少なくとも一辺が３３００ｍｍ以上のガラス板、例えば、長辺３３００ｍｍ以上、短辺２９５０ｍｍ以上のガラス板に最も好ましい。
【００２５】
ガラス板の厚さは厚みが０．７ｍｍ以下が軽量化が達成できるため好ましい。本考案の無アルカリガラスは、厚みが０．６５ｍｍ以下がより好ましく、０．５５ｍｍ以下がさらに好ましく、０．４５ｍｍ以下が好ましく、最も好ましくは０．４ｍｍ以下である。厚みを０．１ｍｍ以下、あるいは０．０５ｍｍ以下とすることもできる。ただし、自重たわみを防ぐ観点からは、厚みは０．１ｍｍ以上が好ましく、０．２ｍｍ以上がより好ましい。
【００２６】
（ステージ）
ガラス板１２はステージ２２に対して水平方向に配置してもよいし、垂直方向に配置してもよい。ガラス板１２をステージ２２に対して水平方向に配置する場合、ステージ２２は、配置面を略水平にして設けられる。また、前記ステージ２２は、水平方向に対して傾斜できる構造としてもよい。ステージ２２が水平方向に対して傾斜できるため、作業者がガラス板１２を移動させる作業が容易になり、作業効率が向上する。そのため、ステージ２２の傾斜角度は水平方向に対して１°以上が好ましく、５°以上がより好ましく、１０°以上がさらに好ましい。一方で、ステージ２２の傾斜角度が大きすぎると、ガラス板１２が自重で動くため危険である。そのため、ステージ２２の傾斜角度は水平方向に対して３０°以下が好ましく、２５°以下がより好ましく、２０°以下がさらに好ましい。
【００２７】
ガラス板１２を垂直方向に配置する場合、ステージ２２にはガラス板１２の支持機構が設けられる。支持機構はガラス板１２を垂直方向に支持できれば特に限定されず、たとえばステージ２２上にガラス板１２を挟持する溝を設ける構造とする。ガラス板１２はステージ２２に対して傾いて支持されていてもよいが、ガラス板１２が撓むため、ステージ２２に対して９０°であることが好ましい。
【００２８】
前記ステージ２２は、ガラス板１２と当接する面に、真空ポンプに接続された多数の微小孔２４を設けてもよい。ガラス板１２を前記ステージ２２の所定位置に配置しガラス板１２の切断面２６を検査するとき、前記ガラス板１２が前記所定位置からずれるおそれがある。そのため、ガラス板１２を保持する必要があるが、クランプ機構等でガラス板１２を固定する方法とすると着脱作業等に時間がかかり、作業効率が低下する。そこで、前記ステージ２２のガラス板１２と当接する面に、真空ポンプに接続された多数の微小孔２４を設けることで、ガラス板１２を瞬時に吸着保持できる。これにより、ガラス板１２を容易に保持及び保持の解除ができるため作業効率が向上する。前記微小孔２４の形、大きさは特に限定されず、要求される保持力に合わせて調整できる。
【００２９】
また、前記ステージ２２のガラス板１２と当接する面に、気体を噴出する多数の微小孔２４を設けてもよい。前記微小孔２４から気体を噴出することで、前記ステージ２２と前記ガラス板１２との間に空気の層が生じるため、ガラス板１２を容易に移動できる。
【００３０】
（カメラ）
カメラ１４は、ガラス板１２の切断面２６の画像データを取得する。前記カメラ１４としては、マシンビジョンカメラを使用してもよい。前記マシンビジョンカメラに使われる撮像素子は特に限定されないが、感度が高く画素が多いＣＣＤイメージセンサであることが好ましい。ＣＣＤイメージセンサを有するマシンビジョンカメラを用いることで、第１領域３０と第２領域３２を高い精度で判別できる。
【００３１】
（駆動部）
駆動部１６は前記カメラ１４とガラス板１２の切断面２６とを相対移動させる。駆動部１６は、前記カメラ１４を前記ガラス板１２の切断面２６に対して平行な方向に移動させる機構とすることが好ましい。前記カメラ１４をガラス板１２の切断面２６に対して平行な方向に移動させる機構とすることで、移動させる対象が小さく、簡便な機構となる。
【００３２】
駆動部１６を構成するモータは特に限定されないが、振動を抑制する機構を有していることが好ましい。たとえばＡＣサーボモータである場合、前記ＡＣサーボモータに供給される正弦波電流の振幅値が、周期的に大小を繰り返す電流アンバランスに起因する振動を抑制する制御機構を有するものや、モータの偏心による振動を抑制するためのカップリングを有することが好ましい。
【００３３】
（除振部）
除振部１８は、ガラス板１２の切断面２６を撮像するときのカメラ１４の振動を抑える。ガラス板１２の切断面２６を撮像する際、カメラ１４が振動している場合、画像がぶれてしまう場合がある。画像がぶれた場合、ガラス板１２の切断面２６の第１領域３０および第２領域３２を判別することが困難となる。特に、カメラ１４とガラス板１２の切断面２６とを、前記切断面２６と平行な方向に相対移動させる場合、相対移動時に生じる振動により画像がぶれやすい。しかし、除振部１８を備えた場合、前記カメラ１４の振動の影響を受けることなく撮影することができ、ガラス板１２の切断面２６を精度よく撮像できる。このように、除振部１８を設けることで、大きいサイズのガラス板１２の切断面２６を検査する場合であって、前記ガラス板１２と前記カメラ１４とを相対移動させて撮影する場合であっても、精度良く撮像できる。
【００３４】
前記除振部１８は、アクティブ型の除振部でもよいが、パッシブ型の除振部であることが好ましい。アクティブ型の除振部とは、振動を抑制する手段であって、制振対象であるカメラ１４の振動や位置情報を検知するセンサと、前記カメラ１４の振動や位置情報の変化を小さくするように動作するアクチュエータとを有するものをいう。また、パッシブ型の除振部とは、振動を抑制する手段であって、制振対象であるカメラ１４の振動や位置情報を検知するセンサおよび制振対象であるカメラ１４を動作させるアクチュエータが無いものをいう。
【００３５】
パッシブ型の除振部とすることで、簡易な構造とすることができる。また、パッシブ型の除振部の中でも、粘弾性体をカメラ１４と駆動部１６との間に設ける機構が好ましい。これにより、より簡易な構造にすることができる。
【００３６】
前記粘弾性体の素材は特に限定されず、抑制対象となる振動の振幅や周波数に合わせて選択する。前記粘弾性体としては、たとえばフェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂などの樹脂素材や、シリコーンゴム、ウレタンゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、ブタジエンゴム、ニトリルゴム、イソプレンゴム、アクリルゴムなどの常温でゴム状弾性の挙動を有するゴム素材を用いることができる。
【００３７】
（フィルタ）
フィルタ２０は撮像対象である切断面２６とカメラ１４との間に介在させることが好ましい。フィルタ２０は、カメラ１４のレンズに入射する光が、レンズに入射する前にフィルタ２０を通過する位置にあればよい。そのため、フィルタ２０の位置はカメラレンズに近いほど好ましい。
【００３８】
フィルタ２０とは前記カメラ１４のレンズに入射する光を、一定の条件に基づいて選別、加工または排除する装置や機能をいう。
【００３９】
前記フィルタ２０としては、光減衰フィルタが好ましい。光減衰フィルタとは可視光領域（３８０ｎｍ以上、７５０ｎｍ以下の波長域をいう）の光を一様に減衰させる機能を有するフィルタをいう。ガラス板１２の切断面２６に反射した光がカメラ１４のレンズに入射した場合、取得した画像データ全体の明度が高くなりすぎて、切断面２６の凹凸を正確に判別できなくなるおそれがある。そこで、光減衰フィルタを有するカメラ１４を用いることで、画像データ全体の明度を調整し、第１領域３０と第２領域３２を判別できる。
【００４０】
前記光減衰フィルタの可視光領域の光の透過率は撮影環境に合わせて調整できるが、９５％以下が好ましく、９０％以下がより好ましく、８５％以下がより好ましく、８０％以下がさらに好ましい。透過率の下限値は、５０％以上が好ましく、６０％以上がより好ましく、７０％以上がさらに好ましい。
【００４１】
前記フィルタ２０として、偏光フィルタを用いてもよい。一般的に、ガラス板１２の表面に対して垂直な方向から撮影すれば、光の屈折による影響はない。しかし、切断面２６には微小な凹凸が存在しているため、例え垂直な方向から撮影しても、光の屈折の影響を受ける。そこで、カメラ１４に偏光フィルタを取り付けて撮影することで、切断面２６の微小な凹凸による光の屈折の影響を抑制することが可能となり、切断面２６の凹凸を正確に判別できる。前記フィルタ２０は１種類である必要は無く、複数のフィルタ２０を組み合わせて使用してもよい。
【００４２】
（形状検出手段）
本考案に記載のガラス板の切断面検査装置１０は、取得した前記ガラス板１２の切断面２６の画像データに基づいて、凹凸形状を検出する形状検出手段を有することが好ましい。切断面２６の凹凸形状を検出することで、端面加工を実施したとしても除去が困難な凹凸を検出できる。切断面２６の凹凸の検出方法としては、画像データの輝度のコントラストに基づいて決定することが好ましい。切断面２６に凹凸が存在している場合、前記凹凸の輝度が低くなったり高くなったりするため（切断面２６の輝度の差が大きくなるため）、切断面２６に存在する凹凸を検出できる。
【００４３】
本考案に記載のガラス板の切断面検査装置１０は、取得した前記ガラス板１２の切断面２６の画像データに基づいて、凹凸形状を検出し、第１領域３０および第２領域３２を検出する形状検出手段と、第１領域３０および第２領域３２に基づき切断面２６の良否判断をする判別手段とを有することが好ましい。
【００４４】
ガラス板１２の切断面２６に生じる第１領域３０には、例えばリブマークと呼ばれる断続的な破面を有する凹凸が形成されているが、第２領域３２は第１領域３０と比較して凹凸が少なく、平坦な面である。そのため、切断面２６の凹凸形状を検出することで、第１領域３０と第２領域３２とを判別できる。
【００４５】
（第１領域と第２領域との判別方法）
ガラス板１２の切断面２６の凹凸形状は、取得した画像データの輝度のコントラストに基づいて判断することが好ましい。第１領域３０はリブマークによる凹凸形状を有しており、輝度のコントラストが不規則である。一方で第２領域３２は第１領域３０と比較して凹凸が少なく平坦であるため、輝度のコントラストの変化も小さい。そのため、切断面２６の凹凸形状によって生じる輝度のコントラストを検出することで、第１領域３０と第２領域３２とを明確に判別できる。
【００４６】
また、取得した画像データを二値化処理して第１領域３０と第２領域３２とを判断してもよい。二値化処理する場合、二値化処理前に平滑化フィルタやメディアンフィルタなどのノイズ除去を行ってもよい。
【００４７】
（ガラス板の切断面の良否の判別方法）
第１の切断面の良否の判断方法は、図５に示すように第１領域３０と第２領域３２との境界線３４に基づいて実施してもよい。ガラス板１２の表面にスクライブラインを形成した場合、ガラス板１２の表面に、スクライブホイールが常にガラス板１２に一定の圧力で接触していれば、ブレイク後にガラス板１２の切断面２６に形成された第１領域３０と第２領域３２との境界線３４が、スクライブラインが形成されたガラス板１２の表面（以下、「スクライブライン形成面」という）に対して略平行になり、割れや欠けなどの不良が発生しにくい。しかし、ガラス板１２に対するスクライブホイールの圧力が一定でなければ、前記境界線３４がスクライブライン形成面３６に対して平行にならず、ガラス板１２の端部に割れや欠けなどの凹凸が発生することがある。
【００４８】
そのため、ガラス板１２の切断面２６の良否は、ガラス板１２の切断面２６の凹凸形状に基づいて第１領域３０と第２領域３２を検出し、前記第１領域３０と前記第２領域３２の境界線３４と、スクライブライン形成面３６の平行度によって、ガラス板１２の切断面２６の良否を判断することが好ましい。境界線３４とスクライブライン形成面３６の平行度はたとえば以下の方法で算出できる。スクライブライン形成面３６から、ガラス板１２の内部方向に所定距離離れた基準線Ｂを設定する。次に設定した基準線Ｂと境界線３４との距離Ｄを所定間隔毎に検出する。前記測定した距離Ｄの平均値をもって、前記境界線３４とスクライブライン形成面３６との平行度とする。
【００４９】
前記距離Ｄの測定領域は、ガラス板１２の切断面２６の一部の領域で測定しても、全部の領域で測定してもよいが、良否判定の信頼性が向上することからガラス板１２の切断面２６の全部の領域で測定することが好ましい。すなわち、例えばガラス板１２の切断面２６が一辺２２００ｍｍである場合、前記切断面２６を例えば１０ｍｍ間隔としたとき、２２０箇所測定することになる。この時の測定の間隔は、狭い方が測定される距離Ｄの数が増え、信頼性が向上するため好ましい。そのため、前記測定間隔は１０ｍｍ以下が好ましく、５ｍｍ以下がより好ましく、３ｍｍ以下がさらに好ましく、１ｍｍ以下が特に好ましい。
【００５０】
測定した距離Ｄの平均値は、ガラス板１２の１辺における切断面の全部の領域の距離Ｄを用いて算出してガラス板１２の切断面２６の良否を判断してもよい。より精度高くガラス板１２の切断面２６を評価したい場合、例えば、連続する５〜２０個の距離Ｄの値を用いて各領域毎の平均値を算出し、各領域毎に算出した各平均値を用いて切断面２６の良否を判断してもよい。
【００５１】
また、前記平行度の基準は距離Ｄの平均値以外に、距離Ｄの標準偏差を用いてもよく、併用してもよい。
【００５２】
距離Ｄの平均値を平行度として用いた場合、前記平行度が予め設定された閾値の範囲内にある場合に良と判断し、前記閾値の範囲外である場合に否と判断する。また、例えば、距離Ｄの平均値を平行度として用いた場合において、前記平行度が閾値の範囲外であるとき、スクライバの規定よりも高い圧力で押し当てている、または低い圧力で押し当てていることが原因であると推察でき、前記距離Ｄの平均値に基づいてスクライブライン形成時の条件を変更（フィードバック制御）できる。
【００５３】
また、距離Ｄの標準偏差を平行度として用いた場合においても同様に、前記平行度が予め設定された閾値の範囲内にある場合に良と判断し、前記閾値の範囲外である場合に否と判断する。距離Ｄの標準偏差を平行度として用いた場合において、前記平行度が閾値の範囲外であるとき、スクライバを押し当てる圧力が不安定であることが原因であると推察でき、前記距離Ｄの標準偏差に基づいてスクライブライン形成時の条件を変更（フィードバック制御）できる。
【００５４】
第２の切断面の良否の判断方法は、前記第１領域３０の面積に基づいて判断する方法である。スクライバをスクライブライン形成面３６に押し当てるとき、押し当てる圧力が高すぎると割れや欠けなどの不良の原因となる。この時、スクライバを高い圧力で押し当てているため、第１領域３０の面積も大きくなる。また、スクライバをガラス板１２に押し当てる圧力が低すぎると、ガラス板１２をうまくブレイクできず、ガラス板１２の端面に割れや欠けなどの凹凸が生じる。この場合、スクライバを低い圧力で押し当てているため、第１領域３０の面積は小さくなる。
【００５５】
このように、スクライバの押し当てる圧力と第１領域３０との面積とは相関関係があるため、第１領域３０の面積を算出することで、ガラス板１２の表面に正常にスクライブラインが形成されたかを判断できる。そこで、第１領域３０の面積が所定範囲内かどうかを判断することで、切断面２６の良否を判断できる。このとき、第１領域３０の面積以外に、第２領域３２の面積で判断してもよい。第２領域３２の面積でも切断面２６の良否を判断できる。また、第１領域３０の面積と第２領域３２の面積との面積比で切断面２６の良否を判断してもよい。
【００５６】
また、入力層と出力層を備えたニューラルネットワークを有するガラス板の切断面の良否レベル算出装置を用いて、前記ガラス板１２の切断面２６の良否を判断してもよい。
【００５７】
前記良否レベル算出装置は、入力層と出力層を備え、ガラス板１２の切断面２６から所定間隔毎に距離Ｄを検出する検出部と、前記入力層の入力データを画像データから得られる距離Ｄとし、前記出力層の出力データをガラス板１２の切断面２６の良否が否である可能性とするニューラルネットワークと、前記入力データおよび前記出力データの実績値を教師データとして前記ニューラルネットワークを学習させる機械学習部と、前記機械学習部にて学習させたニューラルネットワークに、距離Ｄを入力し、前記画像データから得られる距離Ｄに基づいて切断面２６の良否の可能性を推定する推定部と、を備える。前記良否レベル算出装置において算出された、ガラス板１２の切断面２６の良否が否である確率に対して予め設定された閾値に基づいて、前記ガラス板１２の切断面２６の良否を判断してもよい。
【００５８】
このような良否レベル算出装置を用いることで、距離Ｄの平均値や標準偏差以外に、距離Ｄの分布によってもガラス板１２の切断面２６の良否を判断できる。
【００５９】
また、前記良否レベル算出装置は入力データとして、距離Ｄ以外にさらに第１領域３０および第２領域３２の面積を含んでいてもよい。ガラス板１２の切断面２６の良否と相関のあるデータをさらに含めることで、良否判断の信頼性がより一層高められる。
【００６０】
（変形例）
図３は本考案の第２の実施形態を示した概念図である。
【００６１】
図３を参照すると、本考案の第２の実施例に係るガラス板の切断面検査装置１０も、ガラス板１２を配置するステージ２２と、前記ステージ２２に配置するガラス板１２の切断面２６を撮像して画像データを取得するカメラ１４と、前記カメラ１４をガラス板１２の切断面２６と平行な方向に移動させる駆動部１６と、前記カメラ１４がガラス板１２の切断面２６を撮像するときのカメラ１４の振動を抑える除振部１８と、を有する。
【００６２】
ただし、図１で説明した方式との差異点は、図１ではガラス板１２が横になった状態でステージ２２に配置されるのに対し、図３ではガラス板１２が縦になった状態でステージ２２に配置される点である。また、ガラス板１２が縦になった状態で配置されるため、ガラス板１２を固定するための固定部２８を有している。
【００６３】
固定部２８は、ガラス板１２が縦になった状態で保持できればよく、たとえばガラス板１２をクランプして固定できる。
【００６４】
（ガラス基板の製造方法）
ガラス基板の製造方法は、前記ガラス板の切断面検査装置１０による検査工程を含むガラス基板の製造方法である。前記ガラス基板の製造方法は、スクライバを用いてガラス板１２の表面にスクライブラインを形成するスクライブライン形成工程と、前記スクライブラインを中心にガラス板１２に曲げ応力を加えることでガラス板１２を分断する分断工程と、前記切断面検査装置１０による検査工程と、ガラス板１２の切断面２６を研削や研磨する端面加工工程と、を有する。
【００６５】
前記検査工程は、端面加工工程より前に行われる。前記検査工程を、端面加工工程より前に行うことで、端面加工で除去することが困難な凹凸を有するガラス板１２を事前に判別し、前記ガラス板１２を事前に除去することが可能になる。
【００６６】
以上の説明は、本考案の技術思想を例示的に説明したものに過ぎず、本考案が属する技術分野において、通常の知識を有する者であれば、本考案の本質的な特性から外れない範囲で様々な修正及び変形が可能になる。したがって、本考案に開示された実施例は、本考案の技術思想を限定するためのものではなく説明するためのものであり、これらの実施例によって本考案の技術思想の範囲が限定されるものではない。
【符号の説明】
【００６７】
１０…ガラス板の切断面検査装置、１２…ガラス板、１４…カメラ、１６…駆動部、１８…除振部、２０…フィルタ、２２…ステージ、２４…微小孔、２６…切断面、２８…固定部、３０…第１領域、３２…第２領域、３４…境界線、３６…スクライブライン形成面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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