【手続補正書】
【提出日】平成18年4月21日(2006.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  光学素子を含む第１可動部と、第１固定部と、
前記第１固定部に対して前記第１可動部を駆動する第１駆動手段と、
前記第１可動部の前記第１固定部に対する位置を計測する第１計測手段と、
前記第１可動部の基準構造体に対する変位を計測する第２計測手段と、
前記第２計測手段の計測結果に基づいて、前記第１駆動手段を制御する第１補償器とを有し、
前記第１計測手段の計測結果に基づいて、前記第１駆動手段、前記第２計測手段及び前記第１補償器を用いて前記光学素子の位置決めを行うことを特徴とする光学素子位置決め装置。
【請求項２】  前記光学素子を含む光学系の波面収差を計測する波面収差計測手段を有し、前記波面収差計測手段の計測結果に基づいて、前記光学素子の位置決めを行うことを特徴とする請求項１記載の光学素子位置決め装置。
【請求項３】  前記第１駆動手段、前記第２計測手段及び前記第１補償器が、前記第１計測手段の計測結果に基づいて前記光学素子の位置決めを行った後、前記波面収差計測手段の計測結果に基づいて前記光学素子の位置決めを行うことを特徴とする請求項２記載の光学素子位置決め装置。
【請求項４】  前記第１計測手段が静電容量センサを有することを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の光学素子位置決め装置。
【請求項５】  前記第１計測手段が渦電流式センサを有することを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の光学素子位置決め装置。
【請求項６】  前記第１計測手段が差動トランス式変位センサを有することを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の光学素子位置決め装置。
【請求項７】  第１の光学素子を含む第１可動部と、第１固定部と、前記第１固定部に対して前記第１可動部を駆動する第１駆動手段と、第２の光学素子を含む第２可動部と、第２固定部と、前記第２固定部に対して前記第２可動部を駆動する第２駆動手段と、前記第１可動部と前記第２可動部の間の相対変位を計測する第３計測手段と、前記第３計測手段の計測情報を基に、前記第１駆動手段を制御する第１補償器と、前記第３計測手段の計測情報を基に、前記第２駆動手段を制御する第２補償器とを有し、前記第１補償器と前記第２補償器とを用いて、前記第１光学素子及び前記第２光学素子の位置決めを行うことを特徴とする光学素子位置決め装置。
【請求項８】  前記第１光学素子及び前記第２光学素子を含む光学系の波面収差を計測する波面収差計測手段を有し、前記波面収差計測手段の計測結果に基づいて、前記第１光学素子及び前記第２光学素子の位置決めを行うことを特徴とする請求項７記載の光学素子位置決め装置。
【請求項９】  前記第３計測手段が、前記第１可動部と前記第２可動部との第１の方向に関する相対位置を３箇所以上において計測する第４計測手段と、前記第１可動部と前記第２可動部との前記第１の方向と垂直な第２の方向に関する相対位置を２箇所以上において計測する第５計測手段と、前記第１可動部と前記第２可動部との前記第１の方向及び前記第２の方向の両者に対して垂直な第３の方向に関する相対位置を１箇所以上において計測する第６計測手段とを有していることを特徴とする請求項７又は８記載の光学素子位置決め装置。
【請求項１０】  前記第１の方向が前記光学素子の光軸方向と一致していることを特徴とする請求項９記載の光学素子位置決め方法。
【請求項１１】  前記第４計測手段及び前記第５計測手段が、前記第１可動部に固定された第１ミラーと、前記第２可動部に固定された偏光ビームスプリッタと、前記第２可動部に固定された第２ミラーと、前記偏光ビームスプリッタと前記第１ミラーとの間及び前記偏光ビームスプリッタと前記第２ミラーの間に配置された１／４λ板と、前記偏光ビームスプリッタに対して前記第１ミラーの反対側に設けたレーザ光源とディテクタと、前記偏光ビームスプリッタに対して前記第２ミラーの反対側に設けたコーナーキューブとを有することを特徴とする請求項９又は１０いずれかに記載の光学素子位置決め装置。
【請求項１２】  前記第４計測手段及び前記第５計測手段が、基準構造体に固定されたバーミラーと、前記第１可動部に固定された第１偏光ビームスプリッタと、前記第１可動部に固定された第１ミラーと、前記第１偏光ビームスプリッタと前記第１ミラー及び前記バーミラーとの間にそれぞれ設けた１／４λ板と、前記第１偏光ビームスプリッタに対して前記第１ミラーの反対側に設けた第１レーザ光源と第１ディテクタと、前記第１偏光ビームスプリッタに対して前記バーミラーの反対側に設けた第１コーナーキューブと、前記第２可動部に固定された第２偏光ビームスプリッタと、前記第２可動部に固定された第２ミラーと、前記第２偏光ビームスプリッタと前記第２ミラー及び前記バーミラーとの間にそれぞれ設けた１／４λ板と、前記第２偏光ビームスプリッタに対して前記第２ミラーの反対側設けた第２レーザ光源と第２ディテクタと、前記第２偏光ビームスプリッタに対して前記バーミラーの反対側に設けた第２コーナーキューブと、を有することを特徴とする請求項９乃至１１いずれかに記載の光学素子位置決め装置。
【請求項１３】  前記第４計測手段及び前記第５計測手段が、基準構造体に固定されたバーミラーと、前記第１可動部に固定された第１ミラーと、前記第２可動部に固定された偏光ビームスプリッタと、前記偏光ビームスプリッタと前記第１ミラー及び前記バーミラーとの間にそれぞれ設けた１／４λ板と、前記偏光ビームスプリッタに対して前記第１ミラーの反対側に設けたレーザ光源と、前記偏光ビームスプリッタに対して前記バーミラーの反対側に設けたディテクタと、を有することを特徴とする請求項９乃至１２いずれかに記載の光学素子位置決め装置。
【請求項１４】  前記第４計測手段及び前記第５計測手段が、前記第１可動部に固定されたプリズムと、前記第２可動部に固定された偏光ビームスプリッタと、前記第２可動部に固定されたミラーと、前記第２可動部に固定された傾斜ミラーと、前記偏光ビームスプリッタと前記ミラーとの間に設けた１／４λ板と、前記プリズムと前記傾斜ミラーとの間に設けた１／４λ板と、前記偏光ビームスプリッタに対してミラーの反対側設けたディテクタと、前記偏光ビームスプリッタに対して前記プリズムの反対側に設けたレーザ光源と、を有することを特徴とする請求項９乃至１３いずれかに記載の光学素子位置決め装置。
【請求項１５】  前記第２計測手段がレーザ干渉計、エンコーダ、静電容量センサ、渦電流式センサ、差動トランス式変位センサのいずれかを有することを特徴とする請求項１乃至６いずれかに記載の光学素子位置決め装置。
【請求項１６】  前記第３計測手段がエンコーダ、静電容量センサ、渦電流式センサ、差動トランス式変位センサのいずれかを有することを特徴とする請求項７乃至１４いずれかに記載の光学素子位置決め装置。
【請求項１７】  前記第１駆動手段及び前記第２駆動手段の少なくとも一方がリニアモータ及び６軸微動機構を含むことを特徴とする請求項１乃至１６いずれかに記載の光学素子位置決め装置。
【請求項１８】  前記第１駆動手段及び前記第２駆動手段の少なくとも一方が電磁石アクチュエータ及び６軸微動機構を含むことを特徴とする請求項１乃至１７いずれかに記載の光学素子位置決め装置。
【請求項１９】  前記第１駆動手段及び前記第２駆動手段の少なくとも一方が圧電素子及び６軸微動機構を含むことを特徴とする請求項１乃至１７いずれかに記載の光学素子位置決め装置。
【請求項２０】  前記光学素子を冷却する冷却手段を有し、該冷却手段を前記第１固定部及び前記第２固定部の少なくとも一方に設けることを特徴とする請求項１乃至１９いずれかに記載の光学素子位置決め装置。
【請求項２１】  前記冷却手段がペルチェ素子を有することを特徴とする請求項２０記載の光学素子位置決め装置。
【請求項２２】  前記第１可動部と前記第１固定部との間及び前記第２可動部と前記第２固定部との間の少なくとも一方に真空隔壁を有することを特徴とする請求項１乃至２１いずれかに記載の光学素子位置決め装置。
【請求項２３】  前記真空隔壁の前記第１可動部側の空間及び前記真空隔壁の前記第２可動部側の空間の少なくとも一方が真空であることを特徴とする請求項２２記載の光学素子位置決め装置。
【請求項２４】  前記真空隔壁に電解研磨されたアルミニウム、電解研磨されたステンレス、チタン、セラミックス、フッ素系樹脂、およびガラスのいずれかを用いることを特徴とする請求項２２又は２３記載の光学素子位置決め装置。
【請求項２５】  前記第１可動部を包含する鏡筒を有し、該鏡筒の開口部を差動排気する、あるいは該鏡筒の開口部にパージガスを流すことを特徴とする請求項１乃至２４いずれかに記載の光学素子位置決め装置。
【請求項２６】  前記パージガスはヘリウムであることを特徴とする請求項２５記載の光学素子位置決め装置。
【請求項２７】  前記第１可動部を包含する鏡筒を有し、該鏡筒の開口部にフィルタを有することを特徴とする請求項１乃至２６いずれかに記載の光学素子位置決め装置。
【請求項２８】  前記フィルタにポリプロピレン、ジルコニウム、ボロン、シリコン、窒化シリコン、ベリリウムのいずれかを用いることを特徴とする請求項２７記載の光学素子位置決め装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、精密な位置決め装置、特に半導体や液晶デバイスを製造する工程において使用する露光装置の光学素子（レンズ或いはミラーなど）の位置決め装置に関する。光学素子の位置決めは、原版（例えばマスク或いはレチクルなど）の像を基板（たとえばウエハ）に投影露光する際に、より正確な結像関係が得られるように行うものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本出願に係る発明は、可動部を基準構造体に対して高精度に位置決め制御することを例示的目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０５】
【発明の効果】
本発明によれば、可動部を基準構造体に対して高精度に位置決め制御することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１０
【補正方法】削除
【補正の内容】