【手続補正書】
【提出日】平成17年12月2日(2005.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状のキャリアフィルム上に保持された長尺状のセラミックグリーンシートを用意する工程と、
前記長尺状のキャリアフィルムに保持された長尺状のセラミックグリーンシートを、回転可能であり、かつ前記セラミックグリーンシートを保持し得る保持ロールに保持しながら、前記セラミックグリーンシートから前記キャリアフィルムを剥離する工程と、
前記保持ロールに保持されているセラミックグリーンシートを、前記保持ロールから剥離し、積層部において積層し、マザーの積層体を得る工程と、
マザーの積層体から個々の積層セラミック電子部品単位の積層体を得るために、マザーの積層体を切断する工程と、
切断により得られた積層体を焼成する工程とを備える積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項２】
前記保持ロールにセラミックグリーンシートを保持しながら、該セラミックグリーンシートからキャリアフィルムを剥離する工程において、セラミックグリーンシートが保持ロールに先ず保持され、該セラミックグリーンシートが保持されている位置範囲内のいずれかの位置でキャリアフィルムの剥離が開始される、請求項１に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項３】
前記セラミックグリーンシートを保持し、前記キャリアフィルムを剥離し、積層のためにセラミックグリーンシートを前記保持ロールから剥離する各工程が、前記保持ロールの外周面において同時にまたは連続的に行なわれる、請求項１または２に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項４】
前記保持ロールがサクションロールまたは外周面が粘着性を有する粘着ロールである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項５】
前記セラミックグリーンシートの積層部における積層が、前記セラミックグリーンシートを積層部において保持ロールにより仮圧着し、しかる後、保持ロールから剥離することにより行なわれる、請求項１〜４のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項６】
前記セラミックグリーンシートが積層部で保持ロールから剥離されて積層された後に、前記保持ロール以外の圧着用ロールによりセラミックグリーンシート同士の仮圧着が行なわれる、請求項１〜５のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項７】
前記積層部が加熱されており、積層部において複数枚のセラミックグリーンシート同士が熱圧着される、請求項１〜６のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項８】
前記保持ロールに保持されているセラミックグリーンシートが冷却される、請求項１〜７のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項９】
１つの積層部に対し、複数の前記保持ロールが用いられる、請求項１〜８のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項１０】
前記複数の保持ロールのうち、奇数個目の保持ロールによる積層方向と、偶数個目の保持ロールによる積層方向とを１８０°異ならせる、請求項９に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項１１】
積層部における積層に際しての圧着力をＡ（Ｐａ）、積層後のグリーンシート同士の密着力をＢ（Ｐａ）、積層体を変形させる最低圧力をＣ（Ｐａ）としたときに、Ｃ＞Ａ＞Ｂとされている、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項１２】
前記積層部が、外周面上でセラミックグリーンシートが積層される積層ロールを有する、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項１３】
前記保持ロールの周速と、前記積層ロールの周速とが同一とされている、請求項１２に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項１４】
前記セラミックグリーンシートの長さ方向において、該セラミックグリーンシートのテンションが、セラミックグリーンシートを圧着する部分の曲率の上昇に応じて徐々に高められている、請求項１２または１３に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項１５】
前記積層部が、平板状の積層ステージを用いて構成されている、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項１６】
前記積層ステージが、セラミックグリーンシートの長さ方向に沿って移動されるように構成されており、該積層ステージの移動速度と、前記保持ロールの周速とが等しくされている、請求項１５に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項１７】
長尺状のキャリアフィルム上に保持された長尺状のセラミックグリーンシートを積層して積層体を得る積層セラミック電子部品の製造装置であって、
回転可能に設けられ、その外周面上でセラミックグリーンシートを保持する保持ロールと、
前記セラミックグリーンシートを介して前記保持ロールと外周面同士が当接するように回転可能に設けられ、前記保持ロールから前記セラミックグリーンシートをその外周面上に受け取るとともに、前記セラミックグリーンシートをその外周面上または外周面上に積層されたセラミックグリーンシート上に連続的に積層する積層ロールとを備える積層セラミック電子部品の製造装置。
【請求項１８】
前記保持ロールと外周面同士が前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートを介して当接するように回転可能に設けられ、その外周面上で前記キャリアフィルムを保持して、前記保持ロールに保持された前記セラミックグリーンシートから前記キャリアフィルムを剥離する剥離ロールをさらに備える、請求項１７に記載の積層セラミック電子部品の製造装置。
【請求項１９】
長尺状のキャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシートを積層して積層体を得る積層セラミック電子部品の製造装置であって、
回転可能に設けられ、その外周面上でセラミックグリーンシートを保持する保持ロールと、
前記セラミックグリーンシートを介して前記保持ロールの外周面とその主面とが当接するように設けられ、前記保持ロールから前記セラミックグリーンシートをその主面上に受け取るとともに、前記セラミックグリーンシートをその主面上または主面上に積層されたセラミックグリーンシート上に積層する積層テーブルとを備える積層セラミック電子部品の製造装置。
【請求項２０】
前記セラミックグリーンシート及び前記キャリアフィルムを介して前記保持ロールと外周面同士が当接するように回転可能に設けられ、その外周面上で前記キャリアフィルムを保持して、前記保持ロールに保持された前記セラミックグリーンシートから前記キャリアフィルムを剥離する剥離ロールをさらに備える、請求項１９に記載の積層セラミック電子部品の製造装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法のさらに他の特定の局面によれば、前記積層ステージが、セラミックグリーンシートの長さ方向に沿って移動されるように構成されており、該積層ステージの移動速度と、前記保持ロールの周速とが等しくされている。
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造装置のある広い局面によれば、長尺状のキャリアフィルム上に保持された長尺状のセラミックグリーンシートを積層して積層体を得る積層セラミック電子部品の製造装置であって、回転可能に設けられ、その外周面上でセラミックグリーンシートを保持する保持ロールと、前記セラミックグリーンシートを介して前記保持ロールと外周面同士が当接するように回転可能に設けられ、前記保持ロールから前記セラミックグリーンシートをその外周面上に受け取るとともに、前記セラミックグリーンシートをその外周面上または外周面上に積層されたセラミックグリーンシート上に連続的に積層する積層ロールとを備える積層セラミック電子部品の製造装置が提供される。
この製造装置のある特定の局面では、前記保持ロールと外周面同士が前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートを介して当接するように回転可能に設けられ、その外周面上で前記キャリアフィルムを保持して、前記保持ロールに保持された前記セラミックグリーンシートから前記キャリアフィルムを剥離する剥離ロールがさらに備えられている。
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造装置の他の広い局面によれば、長尺状のキャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシートを積層して積層体を得る積層セラミック電子部品の製造装置であって、回転可能に設けられ、その外周面上でセラミックグリーンシートを保持する保持ロールと、前記セラミックグリーンシートを介して前記保持ロールの外周面とその主面とが当接するように設けられ、前記保持ロールから前記セラミックグリーンシートをその主面上に受け取るとともに、前記セラミックグリーンシートをその主面上または主面上に積層されたセラミックグリーンシート上に積層する積層テーブルとを備える積層セラミック電子部品の製造装置が提供される。
この製造装置のある特定の局面では、前記セラミックグリーンシート及び前記キャリアフィルムを介して前記保持ロールと外周面同士が当接するように回転可能に設けられ、その外周面上で前記キャリアフィルムを保持して、前記保持ロールに保持された前記セラミックグリーンシートから前記キャリアフィルムを剥離する剥離ロールがさらに備えられている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
積層ステージが、セラミックグリーンシートの長さ方向に沿って構成されており、該積層ステージの移動速度と、保持ロールの周速とが等しくされている場合には、保持ロールを回転させつつ、保持ロールを効率よくセラミックグリーンシートを積層ステージにおいて積層することができる。
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造装置では、回転可能に設けられ、その外周面でセラミックグリーンシートを保持する保持ロールと、前記保持ロールからセラミックグリーンシートを受け取るように設けられた上記積層ロールまたは積層テーブルを備えるため、本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法に従って積層セラミック電子部品を製造することが可能となる。すなわち、積層に先立ち、フィルムをセラミックグリーンシートから分離し、しかる後、セラミックグリーンシートを積層することができ、セラミックグリーンシートのみを積層ロールまたは積層テーブルにおいて積層することが可能となる。よって、高精度であって、信頼性に優れた積層セラミック電子部品を製造することが可能となる。
本発明の製造装置において、上記剥離ロールがさらに備えられている場合には、積層に先立ち、セラミックグリーンシートからキャリアフィルムを容易にかつ確実に剥離することができる。