【手続補正書】
【提出日】平成18年1月18日(2006.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】マイクロアクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜からなる可動部分を変形させるマイクロアクチュエータにおいて、前記可動部分に、電気的に互いに絶縁分離された導電性を有する少なくとも２つの電極とこの電極間に形成した電気機械変換体とからなる構造体を設け、前記電気機械変換体を伸縮させて前記可動部分を変形させることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のマイクロアクチュエータにおいて、隣り合う前記電極には異なる電位が印加されることが可能であることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記構造体は前記可動部分に接合されていることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１又は２に記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記構造体は、前記可動部分に形成した電気機械変換材料をパターニングして前記電気機械変換体を形成した後に前記電極が形成されてなることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１又は２のいずれかに記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記構造体は、前記可動部分に形成した電極材料をパターニングして前記電極を形成した後に前記電気機械変換体が形成されてなることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記構造体は前記可動部分の面方向に積層され、かつ、前記可動部分の領域内にあることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記電気機械変換体の前記可動部分と直交する方向の厚さが１０μｍを越えないことを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記電気機械変換体の電界方向の厚さが０．１μｍ以上であることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記電気機械変換体が圧電体であることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項１０】
請求項９に記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記圧電体は前記電極間の電界方向と平行な方向に分極されていることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項１１】
請求項１ないし８のいずれかに記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記電気機械変換体が電歪体であることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記電極がポリシリコンから形成されていることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項１３】
請求項１ないし１１のいずれかに記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記電極が単結晶シリコンから形成されていることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれかに記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記電極には伝導型がｎ型又はｐ型の不純物原子を含むことを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれかに記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記可動部分と前記電極との間は電気的に分離されていることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項１６】
請求項１５に記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記可動部分と前記電極との間に絶縁膜が設けられていることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項１７】
請求項１６に記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記絶縁膜がシリコン酸化膜を含むことを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項１８】
液滴を吐出するノズルが連通する吐出室の少なくとも一方の壁面を構成する薄膜である振動板を有し、この振動板を変形させることで前記液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板を変形させるための前記請求項１ないし１７のいずれかに記載のマイクロアクチュエータを備えていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１９】
請求項１８に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、インクを供給するインクタンクが一体に設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２０】
インク滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載するインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが前記請求項１８又は１９に記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２１】
液滴吐出ヘッドを備えて画像を形成する画像形成装置において、前記液滴吐出ヘッドが請求項１８に記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
【請求項２２】
液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する装置において、前記液滴吐出ヘッドが請求項１８に記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はマイクロアクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、低コスト化を図れるマイクロアクチュエータ、このマイクロアクチュエータを備えることで高い吐出効率が得られる液滴吐出ヘッド、この液滴吐出ヘッドを備えることで高画質記録が可能インクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するインクジェットヘッドが本発明に係る液滴吐出ヘッドである構成としたものである。
本発明に係る画像形成装置、液滴を吐出する装置は、液滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１３】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載した液滴を吐出する装置を含む、画像形成装置としてのインクジェット記録装置の一例について図２１及び図２２を参照して説明する。なお、図２１は同記録装置の斜視説明図、図２２は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３５】
なお、上記実施形態においては、液滴吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドとして、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。また、マイクロアクチュエータを備えるマイクロデバイスとしては、マイクロポンプ、光学デバイス（光変調デバイス）以外にも、マイクロスイッチ（マイクロリレー）、マルチ光学レンズのアクチュエータ（光スイッチ）、マイクロ流量計、圧力センサなどにも適用することができる。また、前述したようにプリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像形成装置及び液滴を吐出する装置にも本発明を適用することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３８】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するインクジェットヘッドが本発明に係る液滴吐出ヘッドである構成としたので、高画質記録を行うことができる。
本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたので、高画質記録を行うことができる。
本発明に係る液滴を吐出する装置は、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたので、高い吐出効率で液滴を吐出できる。