【手続補正書】
【提出日】平成18年1月16日(2006.1.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】インクジェットヘッドとその製造方法及び画像形成装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  インク室の一部分を形成する振動板を脚部を介して圧電素子に接着剤で接合し、圧電素子により振動板を変位させてインク室の圧力を高めてノズルからインク滴を噴射させるインクジェットヘッドにおいて、
振動板の圧電素子側の露出した面に接着剤で濡れない処理をしたことを特徴とするインクジェットプヘッド。
【請求項２】  インク室の一部分を形成する振動板を脚部を介して圧電素子に接着剤で接合し、圧電素子により振動板を変位させてインク室の圧力を高めてノズルからインク滴を噴射させるインクジェットヘッドにおいて、
振動板の圧電素子側の脚部の取付け部を除いた面と脚部の側面に接着剤で濡れない処理をしたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】  インク室の一部分を形成する振動板を脚部を介して圧電素子に接着剤で接合し、圧電素子により振動板を変位させてインク室の圧力を高めてノズルからインク滴を噴射させるインクジェットヘッドにおいて、
振動板の圧電素子側の全面に接着剤で濡れない処理をして脚部を取り付けたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】  インク室の一部分を形成する振動板を脚部を介して圧電素子に接着剤で接合し、圧電素子により振動板を変位させてインク室の圧力を高めてノズルからインク滴を噴射させるインクジェットヘッドにおいて、
圧電素子と接合する部分が拡径した脚部を振動板と一体に形成し、振動板の脚部の取付け部を除いた面と脚部の側面に接着剤で濡れない処理をしたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】  上記接着剤で濡れない処理は撥水処理である請求項１乃至４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】  上記接着剤で濡れない処理をポリ四ふっ化エチレン樹脂あるいはポリエチレンの樹脂皮膜で行なう請求項１乃至４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】  インク室の一部分を形成する振動板を脚部を介して圧電素子に接着剤で接合し、圧電素子により振動板を変位させてインク室の圧力を高めてノズルからインク滴を噴射させるインクジェットヘッドの製造方法において、
振動板に脚部となる脚部材を積層し、脚部材の上面にマスクパターンを形成し、脚部材をエッチングにより加工して脚部形状を形成し、マスクパターン側から液状の撥水処理剤で撥水処理して撥水層を形成した後マスクパターンを除去することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】  インク室の一部分を形成する振動板を脚部を介して圧電素子に接着剤で接合し、圧電素子により振動板を変位させてインク室の圧力を高めてノズルからインク滴を噴射させるインクジェットヘッドの製造方法において、
振動板に脚部となる脚部材を積層し、脚部材の上面にマスクパターンを形成し、脚部材を加工して脚部形状を形成し、マスクパターンを除去してから脚部の上面にレジスト層を形成し、レジスト層側から液状の撥水処理剤で撥水処理して撥水を形成した後レジスト層を除去することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項９】  インク室の一部分を形成する振動板を脚部を介して圧電素子に接着剤で接合し、圧電素子により振動板を変位させてインク室の圧力を高めてノズルからインク滴を噴射させるインクジェットヘッドの製造方法において、
圧電素子と接合する部分が拡径した脚部を振動板と一体に形成し、脚部側から液状の撥水処理剤で撥水処理して撥水層を形成した後、異方性エッチングによって脚部の圧電素子との接合面の撥水層を取り除くことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】  請求項１乃至６のいずれかに記載のインクジェットヘッドを有することを特徴とする画像形成装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はインクジェットプリンタに使用するインクジェットヘッドとその製造方法及び画像形成装置、特にヘッド特性の安定化に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット記録方式の画像形成装置はインクジェットヘッドを記録紙上に接触することなく記録することができると共に記録プロセスが非常に単純であることやカラー記録にも適することなどから注目されている。このインクジェット記録方式として種々の方式が提案されているが、現在では記録信号が入力されたときのみインクを吐出するいわゆるドロップオンデマンド方式が主流になっている。このドロップオンデマンド方式の中にはバブルジェット方式とピエゾアクチュエータ方式がある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
これに対してピエゾアクチュエータ方式は、例えば特公昭６０−８９５３号公報に示されているように、液室を形成する容器の壁面にノズルを形成し、このノズルに対向して液室内に圧電素子を配設し、この圧電素子を駆動することによってノズル領域に動圧を生じさせてインクを液滴化してノズルから飛翔させる方式（以下、第１方式という）と、例えば特開平３−１０８４６号公報に示されているように、加圧液室を構成する壁面を変形可能な弾性壁とし、この弾性壁の外側に圧電素子を設け、この圧電素子を用いて加圧液室の壁面を変形させてその内容積を変化させることにより、加圧液室内のインクに圧力を与えて液滴化してノズルから飛翔させる方式（以下、第２方式という）がある。このピエゾアクチュエータ方式では圧電素子前面のノズル領域あるいは加圧液室のパルス的な圧力上昇が必要であり、圧電素子に印加される電圧波形は数μsec〜数１０μsecの立ち上がり時間に設定され、インクの補給は圧電素子の変位を元に戻すことによって行われる。このピエゾアクチュエータ方式の内の液室内に圧電素子を配設する第１の方式においては、圧電素子がインクに直接接触するという問題があるが、加圧液室を設けて圧電素子により加圧液室の変形可能な壁面を変形させる第２の方式においては、圧電素子がインクに直接接触せず、圧電素子の発熱も無視できるため、使用するインク種類の制約がないという利点がある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
この発明はかかる短所を改善し、弾性壁に圧電素子を接合したときの接着剤による弾性壁の剛性の変化を防止して安定したヘッド特性を得ることができるインクジェットヘッドとその製造方法及び画像形成装置を提供することを目的とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
この発明に係る第４のインクジェットヘッドは、圧電素子と接合する部分が拡径した脚部を振動板と一体に形成し、振動板の脚部の取付け部を除いた面と脚部の側面に接着剤で濡れない処理をしたことを特徴とする。上記接着剤で濡れない処理は撥水処理であることが望ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、接着剤で濡れない処理をポリ四ふっ化エチレン樹脂あるいはポリエチレンの樹脂皮膜で行なっても良い。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
この発明の画像形成装置は、上記インクジェットヘッドのいずれかを有することを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、撥水層２８と脚部２６を有する振動板８の他の製造方法を図５の工程図を参照して説明する。図５（ａ）に示すように、合成樹脂からなる振動板８に金属材料からなる脚部材２９をあらかじめ積層しておき、脚部材２９上にレジスト層のマスクパターン３０を通常のフォトリゾグラフィ工程を用いて形成する。次ぎに、（ｂ）に示すように、ウエットエッチングを用いて脚部材２９をエッチングして脚部２６を形成する。その後、（ｃ）に示すようにマスクパターン３０を除去し、（ｄ）に示すように、脚部２６の上部に転写により新たにレジスト層３１を形成する。そして、（ｅ）に示すように、レジスト層３１と脚部２６の前面及び振動板８の上面に液状の撥水剤を塗布し撥水層２８を形成する。その後、（ｆ）に示すように、レジスト層３１を除去して撥水層２８と脚部２６を有する振動板８を得る。このように撥水処理時に専用のレジスト層３１を形成するから、レジストの選択の自由度が大きく、特に剥離時の撥水層２８へのダメージを軽減できる。さらに、円錐台状の脚部２６の形成の方法としてエッチング以外の切削等他の加工方法を適応することができ、加工の適応範囲を広くすることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
【発明の効果】
この発明は以上説明したように、振動板の圧電素子側の露出した面に接着剤で濡れない処理をしたから、圧電素子と脚部を接着剤で接合するときに、接着剤が脚部の側面を伝わって振動板の露出した面に付着することを防ぐことができ、振動板の剛性が局部的に高くなることを防止して、安定したヘッド特性を得ることができ、良質な画像を安定して形成することができる。