【手続補正書】
【提出日】平成18年3月29日(2006.3.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラスチック容器の外側に配置された外電極と、前記プラスチック容器の内側に配置された内電極と、前記プラスチック容器内を減圧する真空手段と、前記真空手段によって減圧された前記プラスチック容器の内側に炭素源の原料ガスを供給するガス供給手段と、前記ガス供給手段による前記原料ガスの供給後、前記外電極および前記内電極の間に電圧を印加してプラズマを発生させることにより前記プラスチック容器の内壁面に硬質炭素膜を形成する電源装置と、を備え、前記外電極は、前記プラスチック容器の底部に沿って配置される第１の電極と、前記プラスチック容器の胴部に沿って配置される第２の電極と、を備えるとともに、前記第１の電極の上端は前記プラスチック容器の上下端の中央位置よりも下方に位置付けられることを特徴とする炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置。
【請求項２】
前記電源装置は、前記第１の電極に前記第２の電極よりも高い電力を印加することを特徴とする請求項１に記載の炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置。
【請求項３】
前記外電極は、前記第２の電極の上方に設けられ、前記プラスチック容器の肩部に沿って配置される第３の電極を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置。
【請求項４】
プラスチック容器の外側に配置された外電極と、前記プラスチック容器の内側に配置された内電極と、前記プラスチック容器内を減圧する真空手段と、前記真空手段によって減圧された前記プラスチック容器の内側に炭素源の原料ガスを供給するガス供給手段と、前記ガス供給手段による前記原料ガスの供給後、前記外電極および前記内電極の間に電圧を印加してプラズマを発生させることにより前記プラスチック容器の内壁面に硬質炭素膜を形成する電源装置と、を備え、前記外電極は、前記プラスチック容器の底部に沿って配置される第１の電極と、前記プラスチック容器の胴部に沿って配置される第２の電極と、前記プラスチック容器の肩部に沿って配置される第３の電極と、を備えることを特徴とする炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置。
【請求項５】
前記電源装置は、前記第１の電極に前記第２の電極よりも高い電力を印加することを特徴とする請求項４に記載の炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置。
【請求項６】
プラスチック容器の外側に配置された外電極と、前記プラスチック容器の内側に配置された内電極と、前記プラスチック容器内を減圧する真空手段と、前記真空手段によって減圧された前記プラスチック容器の内側に炭素源の原料ガスを供給するガス供給手段と、前記ガス供給手段による前記原料ガスの供給後、前記外電極および前記内電極の間に電圧を印加してプラズマを発生させることにより前記プラスチック容器の内壁面に硬質炭素膜を形成する電源装置と、を備え、前記外電極は、前記プラスチック容器の底部に沿って配置される第１の電極と、該第１の外電極の上部に配置される第２の電極と、該第２の外電極の上部に配置される２以上の外電極と、を備えることを特徴とする炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置。
【請求項７】
プラスチック容器の底部に沿って該プラスチック容器の上下端の中央位置よりも下方に第１の外電極の上端が位置するように該第１の外電極を該プラスチック容器の外側に配置し、該プラスチック容器の胴部に沿って第２の外電極を該プラスチック容器の外側に配置し、該プラスチック容器の内側に内電極を配置し、該プラスチック容器内を排気した後、該プラスチック容器の内側に炭素源の原料ガスを供給し、前記第１の外電極と前記第２の外電極、及び前記内電極との間に電圧を印加してプラズマを発生させ、前記プラスチック容器の内壁面にＤＬＣ膜を形成させることを特徴とする炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法。
【請求項８】
容量結合により、前記第１の外電極よりも低い電力を前記第２の外電極に印加することを特徴とする請求項７記載の炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法。
【請求項９】
プラスチック容器の底部に沿って第１の外電極を該プラスチック容器の外側に配置し、該プラスチック容器の胴部に沿って第２の外電極を該プラスチック容器の外側に配置し、該プラスチック容器の肩部に沿って第３の外電極を該プラスチック容器の外側に配置し、該プラスチック容器の内側に内電極を配置し、該プラスチック容器内を排気した後、該プラスチック容器の内側に炭素源の原料ガスを供給し、前記第１の外電極、前記第２の外電極と前記第３の外電極、及び前記内電極との間に電圧を印加してプラズマを発生させ、前記プラスチック容器の内壁面にＤＬＣ膜を形成させることを特徴とする炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法。
【請求項１０】
プラスチック容器の底部に沿って第１の外電極を該プラスチック容器の外側に配置し、該プラスチック容器の外側に沿って該第１の外電極の上部に第２の外電極を配置し、該プラスチック容器の外側に沿って該第２の外電極の上部に２以上の外電極を配置し、該プラスチック容器の内側に内電極を配置し、該プラスチック容器内を排気した後、該プラスチック容器の内側に炭素源の原料ガスを供給し、前記第１の外電極、前記第２の外電極と前記第２の外電極の上部に配置した前記２以上の外電極、及び前記内電極との間に電圧を印加してプラズマを発生させ、前記プラスチック容器の内壁面にＤＬＣ膜を形成させることを特徴とする炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法。
【請求項１１】
容量結合により、前記第１の外電極よりも低い電力を前記第１の外電極以外の外電極に印加することを特徴とする請求項９又は１０記載の炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法。
【請求項１２】
プラスチックの表面に形成されるＤＬＣ膜であって、膜厚が５０〜４００Åで密度が１．２〜２．３ｇ／ｃｍ３の範囲にあることを特徴とするＤＬＣ膜。
【請求項１３】
プラスチックの表面に形成されるＤＬＣ膜であって、膜厚が５０〜４００Åで密度が１．２〜１．５９ｇ／ｃｍ３の範囲にあることを特徴とするＤＬＣ膜。
【請求項１４】
前記ＤＬＣ膜の水素含量が１６〜５２水素原子％の範囲にあることを特徴とする請求項１２又は１３に記載のＤＬＣ膜。
【請求項１５】
内壁面にＤＬＣ膜が形成されたプラスチック容器であって、前記ＤＬＣ膜の膜厚が５０〜４００Åで密度が１．２〜２．３ｇ／ｃｍ３の範囲にあることを特徴とするプラスチック容器。
【請求項１６】
内壁面にＤＬＣ膜が形成されたプラスチック容器であって、前記ＤＬＣ膜の膜厚が５０〜４００Åで密度が１．２〜１．５９ｇ／ｃｍ３の範囲にあることを特徴とするプラスチック容器。
【請求項１７】
前記ＤＬＣ膜の水素含量が１６〜５２水素原子％の範囲にあることを特徴とする請求項１５又は１６に記載のプラスチック容器。
【請求項１８】
請求項１、２、３、４、５又は６に記載の炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置を使用して製造したことを特徴とする炭素膜コーティングプラスチック容器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ＤＬＣ膜、プラスチック容器および炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置並びにその容器の製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
さらに本発明に係る炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置は、プラスチック容器の外側に配置された外電極と、前記プラスチック容器の内側に配置された内電極と、前記プラスチック容器内を減圧する真空手段と、前記真空手段によって減圧された前記プラスチック容器の内側に炭素源の原料ガスを供給するガス供給手段と、前記ガス供給手段による前記原料ガスの供給後、前記外電極および前記内電極の間に電圧を印加してプラズマを発生させることにより前記プラスチック容器の内壁面に硬質炭素膜を形成する電源装置と、を備え、前記外電極は、前記プラスチック容器の底部に沿って配置される第１の電極と、該第１の外電極の上部に配置される第２の電極と、該第２の外電極の上部に配置される２以上の外電極と、を備えることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明に係る炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法は、本発明に係る炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置を使用して、プラスチック容器の内壁面にＤＬＣ膜を形成させることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明に係るＤＬＣ膜は、プラスチックの表面に形成されるＤＬＣ膜であって、膜厚が５０〜４００Åで密度が１．２〜２．３ｇ／ｃｍ３の範囲にあることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
ここで、本発明に係るＤＬＣ膜は、膜厚が５０〜４００Åで密度が１．２〜１．５９ｇ／ｃｍ３の範囲にある場合を包含する。前記ＤＬＣ膜の水素含量が１６〜５２水素原子％の範囲にあることが好ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
この発明では、ＤＬＣ膜の膜厚が５０〜４００Åの範囲にあるので、酸素透過度を効果的に低下させつつ、ＤＬＣ膜の着色に起因する透明性の低下を防止できる。また、圧縮応力に起因するＤＬＣ膜のクラックの発生が防止されるため、酸素バリア性の低下を防止できるとともに、ＤＬＣ膜の形成に必要な蒸着時間が短縮されるため、生産性が向上する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明に係るプラスチック容器は、内壁面にＤＬＣ膜が形成されたプラスチック容器であって、前記ＤＬＣ膜の膜厚が５０〜４００Åで密度が１．２〜２．３ｇ／ｃｍ３の範囲にあることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
ここで、本発明に係るプラスチック容器は、ＤＬＣ膜の膜厚が５０〜４００Åで密度が１．２〜１．５９ｇ／ｃｍ３の範囲にある場合を包含する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
さらに本発明に係るプラスチック容器では、前記ＤＬＣ膜の水素含量が１６〜５２水素原子％の範囲にあることが好ましい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
この発明では、ＤＬＣ膜の膜厚が５０〜４００Åの範囲にあるので、酸素透過度を効果的に低下させつつ、ＤＬＣ膜の着色に起因する透明性の低下を防止できる。また、圧縮応力に起因するＤＬＣ膜のクラックの発生が防止されるため、酸素バリア性の低下を防止できるとともに、ＤＬＣ膜の形成に必要な蒸着時間が短縮されるため、生産性が向上する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
本発明に係るプラスチック容器は、本発明に係る炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置を使用して製造したことを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
本発明に係るＤＬＣ膜によれば、ＤＬＣ膜の膜厚が５０〜４００Åの範囲にあるので、酸素透過度を効果的に低下させつつ、ＤＬＣ膜の着色に起因する透明性の低下を防止できる。また、圧縮応力に起因するＤＬＣ膜のクラックの発生が防止されるため、酸素バリア性の低下を防止できるとともに、ＤＬＣ膜の形成に必要な蒸着時間が短縮されるため、生産性が向上する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
本発明に係るプラスチック容器によれば、ＤＬＣ膜の膜厚が５０〜４００Åの範囲にあるので、酸素透過度を効果的に低下させつつ、ＤＬＣ膜の着色に起因する透明性の低下を防止できる。また、圧縮応力に起因するＤＬＣ膜のクラックの発生が防止されるため、酸素バリア性の低下を防止できるとともに、ＤＬＣ膜の形成に必要な蒸着時間が短縮されるため、生産性が向上する。