【事件の表示】
　平成４年特許願第３４２０２８号「インクジェット記録ヘッドの製造方法」拒絶査定に対する審判事件［平成６年７月５日出願公開、特開平６−１８３００５］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成４年１２月２２日の出願であって、その請求項１乃至４に係る発明は、平成１３年７月９日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１乃至４に記載されたとおりのものであり、その請求項１は次のとおりである（以下、「本願発明」という）。
「液体吐出用のオリフィスに連通して前記液体中に熱エネルギーを与えて該液体中に膜沸騰現象による気泡を形成させる熱作用部と、発熱抵抗層と、該発熱抵抗層に通電するための一対の電極を有し前記熱エネルギーを発生する電気熱変換体と、該電気熱変換体を被覆し、前記熱作用部を形成する上部保護層と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
　基板上に、前記発熱抵抗層と前記一対の電極とからなる電気熱変換体を形成する工程と、
　前記一対の電極の部分で生じる段差部を含む該電気熱変換体上に、前記上部保護層少なくともＴＥＯＳ（テトラエチルオルソシリケート）を含有する原料ガスを用いてプラズマＣＶＤ法又は常圧ＣＶＤ法による層を被覆工程と、
　を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。」
　
２．引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された、特開平２−２８６２４７号公報（以下、「引用例」という）には、次の事項が記載されている（記載中、「・・・」は中略を示す）。
　ａ．「本発明は・・・インクジェットプリンタに関する。」（１頁右下欄５〜６行）、
　ｂ．「第２図に基づいて、本発明を好適に実現するバブルジェットによるインク噴射の原理を説明する。・・・ヒータ３が加熱され・・・隣接インク層に沸騰現象が起き・・・隣接インク層が瞬時に気化し、沸騰膜を作り、この気泡４が生長し・・・オリフィスよりインク柱が生長し始め・・・インク２が押し出され・・・気泡４が・・・冷却されて収縮を開始し始め・・・インク柱にくびれが生じ・・・インク柱の先端部は液滴になり記録紙の方向へ・・・飛翔している。」（５頁左上欄１０行〜左下欄３行）、
　ｃ．「第１図（ａ）は記録ヘッドのオリフィス側から見た正面部分図、第１図（ｂ）は、第１図（ａ）に一点鎖線Ｘ−Ｘで示す部分で切断した場合の切断部分図である。図中、１３は基板、１４は蓋基板、１５はオリフィス、１６は液吐出部、１７は熱作用部、１８は熱発生部、１９は熱作用面、２０は下部層、２１は発熱抵抗層、２２は保護層、２３、２４は電極、２５は流路壁を示し、・・・液吐出部１６は、・・・オリフィスと、熱発生部１８より発生される熱エネルギーが液体に作用し気泡を発生し、・・・急激な状態変化を引き起こす所である熱作用部１７を有している。熱作用部１７は、熱発生部１８の上部に位置し、熱発生部１８の液体と接触する熱作用面１９をその底面としている。熱発生部１８は、基板１３上に設けられた下部層２０、該下部層２０上に設けられた発熱抵抗層２１、該発熱抵抗層２１には、熱を発生させる為に該発熱抵抗層２１に通電するための電極２３、２４がその表面に設けられている。電極２３は、各液吐出部の熱発生部に共通の電極であり、電極２４は、各液吐出部の熱発生部を選択的に発熱させる為の選択電極であって、液吐出部の流路に沿って設けられている。」（５頁左下欄１５行〜６頁左上欄３行）、
　ｄ．「保護層２２に要求される特性は、発熱抵抗層２１で発生された熱を記録液体に効果的に伝達することを妨げずに、記録液体や、気泡消滅時の衝撃力より発熱抵抗層２１を保護するということである。保護層２２を構成する材料として有用なものには、たとえば酸化シリコン・・・等があげられ、これらは、電子ビーム蒸着やスパッタリング、ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法、気相成長法等の薄膜形成手法を用いて形成することができる。」（６頁右下欄９〜１９行）、
等が記載され、第１図には、保護層２２が、一対の電極２３と電極２４と、両電極間の発熱抵抗層２１とを、両電極の部分で生じる段差部も含めて覆っている様子が記載されている。
　これらの記載を対比のためにまとめると、引用例には次の発明が記載されている（以下、「引用発明」という）。
「液体吐出用のオリフィス１５に連通して前記液体中に熱エネルギーを与えて該液体中に膜沸騰現象による気泡を形成させる熱作用部１７と、発熱抵抗層２１と、該発熱抵抗層２１に通電するための一対の電極２３，２４を有し前記熱エネルギーを発生する熱発生部１８と、該熱発生部１８を被覆し、前記熱作用部１７を形成する保護層２２と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、基板１３上に、前記発熱抵抗層２１と前記一対の電極２３，２４とからなる熱発生部１８を形成する工程と、前記一対の電極２３，２４の部分で生じる段差部を含む該熱発生部１８上に、前記保護層２２としてプラズマＣＶＤ法又はＣＶＤ法による層を被覆する工程と、を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。」
　
３．対比
　本願発明と引用発明とを対比するに、引用発明の「熱発生部１８」と「保護層２２」はそれぞれ本願発明の「電気熱変換体」と「上部保護層」に対応し、引用発明の「ＣＶＤ法」には上記記載事項ｄからみて最も一般的なものの一つである「常圧ＣＶＤ法」も含まれると認められるから、両者は「液体吐出用のオリフィスに連通して前記液体中に熱エネルギーを与えて該液体中に膜沸騰現象による気泡を形成させる熱作用部と、発熱抵抗層と、該発熱抵抗層に通電するための一対の電極を有し前記熱エネルギーを発生する電気熱変換体と、該電気熱変換体を被覆し、前記熱作用部を形成する上部保護層と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、基板上に、前記発熱抵抗層と前記一対の電極とからなる電気熱変換体を形成する工程と、前記一対の電極の部分で生じる段差部を含む該電気熱変換体上に、前記上部保護層としてプラズマＣＶＤ法又は常圧ＣＶＤ法による層を被覆する工程と、を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。」である点において一致し、次の点で相違する。
　＜相違点＞プラズマＣＶＤ法又は常圧ＣＶＤ法について、本願発明が少なくともＴＥＯＳを含有する原料ガスを用いているのに対して、引用発明は何を用いているのか定かでない点。
　
４．当審の判断
　上記相違点について検討するに、引用発明は上記記載事項ｄからみて保護層２２即ち上部保護層の材料の具体例として酸化シリコンを含むものであるが、酸化シリコンの薄膜をＴＥＯＳを含有する原料ガスを用いたプラズマＣＶＤ法あるいは常圧ＣＶＤ法により形成することは周知である（例えば、特開平４−３１８１７４号公報（段落０００２等）、特開平３−２８５０７８号公報（２頁右上欄等）、特開平２−１６３３７９号公報（２頁右上欄等）等参照）。
　これらの周知技術は半導体デバイスの成膜技術に係るものであるが、半導体デバイスの成膜技術をインクジェット記録ヘッドに適用することは普通一般に行われていることであるから（例えば、特開平４−２４７９７３号公報（段落０００４等）、特開平４−２１４３５５号公報（段落０００３等）、特開平２−２０６５５８号公報（５頁左下欄後段等）等参照）、該周知技術を引用発明に適用し、引用発明のプラズマＣＶＤ法又は常圧ＣＶＤ法にＴＥＯＳを含有する原料ガスを用いることは、当業者ならば容易に想到し得ることであり、上記相違点は当業者が容易になし得た設計の変更である。
　請求人は、電極の部分で生じる段差部を被覆したときの膜質の不均一に起因する熱ストレスの部分集中によるクラックの発生に係る問題点とその解消は本願発明のインクジェット記録ヘッドに特有の課題であり、ＴＥＯＳを含有する原料ガスを用いたＣＶＤ法による成膜技術が半導体分野で知られているとしても、該課題解決に効果的に利用できるかどうか判断することは当業者といえども困難であるから、該課題について示唆のない引用発明に適用することやそれによる作用効果を予測することは容易でない旨主張している。
　しかし、引用発明のプラズマＣＶＤ法又は常圧ＣＶＤ法における原料ガスにＴＥＯＳを含有する原料ガスを適用することが当業者にとって容易であることは、上述したように、課題や作用効果の如何に拘わらないことである。
　さらにいえば、インクジェット記録ヘッドにおいて、電極の部分で生じる段差部の上部保護層による被覆が不十分になり易いためにクラックが発生し易いという問題点の解消は周知の課題であり（例えば、特開平２−１０３１５０号公報（発明が解決しようとする課題の項等）、特開昭６１−１３５７５３号公報（２頁右上欄後段〜右下欄前段等）等参照）、しかも、ＴＥＯＳを含有する原料ガスを用いたＣＶＤ法による成膜によれば膜質が良好となり段差部の被覆性が良くなることも周知であるから（例えば、特開平３−２８５０７８号公報（２頁右上欄〜右下欄等）、特開平２−１６３３７９号公報２頁左上欄〜左下欄等）、特開平４−９４５３９号公報（１頁右下欄〜２頁左上欄等）等参照）、本願発明の作用効果も予測できないというほどのものではない。
　これらのことから、請求人の上記主張は理由のないものであり採用できない。
　
５．むすび
　したがって、本願発明は、引用例に記載された発明及び周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。