(57)【要約】【課題】  制約されたスペースの中ではこれらの取付けスペースが他のコンポーネントと干渉するなどの問題を解決するターボ分子ポンプ装置を提供する。【解決手段】  ターボ分子ポンプを主体とするポンプユニット１と電源ユニット２は一体化された構成となっている。しかも電源ユニット２の筐体外方には２つの平面２Ｆが形成され、各種ケーブル類の接続がこの２つの平面２Ｆにて接続されるよう構成されている。すなわち、１つの平面２Ｆには上位装置などとのインターフェースに使用する信号線ケーブル４が接続され、他方の平面２Ｆには電力入力用の動力ケーブル３が接続されている。ケーブルのコネクタは状況に応じて、ストレートタイプもＬ字形も使用される。【選択図】          図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ターボ分子ポンプを主体とするポンプユニットと、このターボ分子ポンプを制御するための電源ユニットを一体的に構成するとともに、前記ターボ分子ポンプの制御用の信号線ケーブルと電力供給用の動力線ケーブルの前記電源ユニットへの接続をこの電源ユニットに形成した２つの面の部位にて行わせるようにしたことを特徴とするターボ分子ポンプ装置。
【請求項２】
電源ユニットの２つの面における信号線ケーブルと動力線ケーブルの接続部位の間隔が、ターボ分子ポンプを主体とするポンプユニットの外径の範囲内に設定され、ターボ分子ポンプの制御用の信号線ケーブルと電力供給用の動力線ケーブルがターボ分子ポンプの外方に突出しないことを特徴とする請求項１記載のターボ分子ポンプ装置。
【請求項３】
信号線ケーブルと動力線ケーブルがターボ分子ポンプを主体とするポンプユニットの外径より小さい範囲内で導き出されるようポンプユニットには両ケーブルが接続される部位に対応して切欠が設けられていることを特徴とする請求項２記載のターボ分子ポンプ装置。
【請求項４】
電源ユニットがターボ分子ポンプを挟み込む形で両者が一体化され、電源ユニットの２面がそれぞれターボ分子ポンプの両側に配置されていることを特徴とする請求項１記載のターボ分子ポンプ装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は半導体製造装置あるいは液晶パネル製造装置などの反応装置に気密接合され、この反応装置の排気を行うターボ分子ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のターボ分子ポンプとしては、通常磁気軸受を使用して回転体を浮上させる磁気浮上方式のターボ分子ポンプが採用されている。従来における磁気浮上方式のターボ分子ポンプ装置は、ターボ分子ポンプを主体とするポンプユニットと、このポンプユニットへの動力（電力）を供給し、およびポンプを制御する電源ユニットとは別々に構成されている。したがってポンプユニットと電源ユニットとの間にはポンプユニットのモータおよび磁気浮上系の動力供給および信号制御系のケーブル類で接続されており、この構成は図５に示すとおりである。この場合、ポンプユニット１に接続されるのはポンプユニット１と電源ユニット２間を接続する動力線ケーブル３と制御用信号線ケーブル６が主となり、ポンプユニット１の上方位に連結される前記半導体製造装置など（以下単に上位装置Ｄという）とのインターフェースに使用するインターフェース用の信号線ケーブル４は電源ユニット２に接続される場合が多い（特許文献１参照）。
【０００３】
また、最近では図６に示すように、ポンプユニット１と電源ユニット２を一体化する構成も工夫されている。この場合は、ポンプユニット１と一体に構成された電源ユニット２に設けられた１つの面に、上位装置Ｄとのインターフェースに使用する信号線ケーブル４が接続される。これらの構成を簡略に図示すると図４に示すとおりで、電源ユニット２はポンプユニット１の側方に一体的に配設され、この状態を上方からみると図４の（Ｃ）に示すとおりである。動力線ケーブル３や信号線ケーブル４は電源ユニット２のある１つの面にコネクタ５にて接続されている。なお、図４の（Ａ）は正面から見た図であり、同じく（Ｂ）は側面から見た図である。
【特許文献１】特許第３１６５８５７号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
ターボ分子ポンプの上方に取付けられる上位装置Ｄは通常クリーンルーム内に設置されることが多い。しかしクリーンルーム内への設置はコストがかかるためにこの種の装置のコンパクト化が要求され、ターボ分子ポンプすなわちポンプユニット１の取付けスペースも制約される。
また、電源ユニット２に対してインターフェース用の信号線ケーブル４および動力線ケーブル３を取付ける場合、コネクタ５による接続部のスペースおよび配線時の曲げスペースが必要となるが、制約されたスペースの中ではこれらの取付けスペースが他のコンポーネントと干渉するなどの問題を有している。
特に、最近上位装置Ｄのインターフェースは多様化してきており、イーサネット（登録商標）、ＵＳＢ、デバイスネット等の複数のインターフェースを同時に備える必要も生まれ、接続面の取付けスペースが不足する問題が生じている。
【０００５】
本考案はこのような問題を解決するターボ分子ポンプ装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案が提供するターボ分子ポンプは上記課題を解決するために、ターボ分子ポンプを主体とするポンプユニットと電源ユニットを一体に構成するとともに、インターフェース用の信号線ケーブルおよび動力線ケーブルを接続する部位を電源ユニットにおける２つの面でそれぞれ別位の場所に設けたものである。
【０００７】
さらに本考案は、電源ユニットの２つの面の位置を調整して、電源コネクタとの接続部およびケーブル配線の一部がポンプユニットから突出しない構造としたものであるから、コネクタの接続部のスペースおよび配線時の曲げスペースを小さくできる。しかもコネクタの接続面が２面あることで、上位装置の多様なインターフェースの取付けに充足する。
【０００８】
また、電源ユニットがポンプユニットを挟み込む形で配設され、電源ユニットにおける２つの面にインターフェース用の信号線ケーブルおよび動力線ケーブルを接続する部位が構成される。したがって、ポンプユニットと電源ユニットを一体化する場合、上位装置などとのインターフェースに使用するインターフェース用の信号線ケーブル類および動力ケーブル類など種類の異なる複数のケーブルコネクタの取付けが必要であるが、コネクタの接続面が２つの面に分けられており、信号系、パワー系と接続先がそれぞれ異なるケーブルを分けた接続ができる。
【考案の効果】
【０００９】
ポンプユニットと電源ユニットを一体化することで、上位装置などとのインターフェースに使用する信号線ケーブル類および動力ケーブル類のケーブルコネクタの取付けが必要となるため、制約されたスペースの中にターボ分子ポンプを取付けることが可能となる。
また、コネクタの接続面のスペースを広く取れるため、多様なインターフェース信号コネクタを同時に使用できる。電気系すなわちパワー系のケーブルは他の装置にも供給されるため、周辺装置からサージノイズ等の影響を受けることも考えられる。ノイズ対策の効果を増すために、信号線ケーブル類とパワー系の動力ケーブル類を電源ユニットの異なる面に接続し分離することも可能である。配線経路の効率化が図られ、省スペース化が可能となる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１０】
本考案は、第１にターボ分子ポンプを主体とするポンプユニットと電源ユニットを一体に構成するとともに、インターフェース用の信号線ケーブルおよび動力線ケーブルを接続する部位を電源ユニットの２面に設けたものであり、第２に電源ユニットはポンプユニットを挟み込む形で配置され前記２つの面で信号線ケーブルおよび動力線ケーブルを接続する部位が構成されたものであり、この２つの特徴を備えたターボ分子ポンプ装置が最良の形態である。特に電源ユニットに設置するケーブル類の接続をするための部位を２面設ける場合の設置の仕方はターボ分子ポンプユニットと上位装置などとの関係を考慮しケーブル等が外方に突出しない形態が望まれる。以下、本考案について３個の実施例を挙げその構造を説明する。
【実施例１】
【００１１】
本考案が提供する第１の実施例の構造は図１に示されている。なお図１において（Ａ）は正面図であり、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は平面図である。
ターボ分子ポンプを主体とするポンプユニット１と電源ユニット２は一体化された構成となっている。しかも電源ユニット２の筐体外方には２つの平面２Ｆが形成され、各種ケーブル類の接続がこの２つの平面２Ｆにて接続されるよう構成されている。すなわち、この両平面２Ｆにケーブル接続部具体的にはコネクタ５の差込孔（図示せず）が設置されている。１つの平面２Ｆには上位装置Ｄ（図６）などとのインターフェースに使用する信号線ケーブル４が接続され、他方の平面２Ｆには電力入力用の動力線ケーブル３が接続されている。これら両方のケーブル３、４を接続するコネクタ５は二種類あり、状況に応じてストレートタイプのコネクタ５ＳとＬ字形のコネクタ５Ｌが使用される。この実施例１ではストレートタイプのコネクタ５Ｓのみが使用されている例が示されている。
【００１２】
なお、本考案による第１の実施例では信号線ケーブル４としてインターフェース信号をまとめて表しているが、上位装置Ｄ（図６）のインターフェースは多様化しており、シリアル通信および接点信号の他、イーサネット（登録商標）、ＵＳＢ、デバイスネット等の複数のインターフェースを同時に備える場合もあり、これらに対応できるようになっている。
【実施例２】
【００１３】
本考案による第２の実施例は図２に示すとおりである。この図２において（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は図１と同様それぞれの方向から示した図である。この実施例では、電源ユニット２の２つの面がそれぞれ、ターボ分子ポンプを主体とするポンプユニット１の外径の大きさの範囲内に位置し、インターフェースに使用する信号線ケーブル４と電力供給用の動力線ケーブル３がターボ分子ポンプの外方に突出しないものである。この実施例は、たとえば上位装置Ｄ（図６）またはターボ分子ポンプ、その他周辺コンポーネント用の冷却水配管、ガス配管、制御用の圧縮空気などが複雑に配置されていて、これらに干渉しないためにターボ分子ポンプに接続されるケーブル類は原則的にポンプからとび出ないことが要求されるわけで、第２の実施例はこの要望に対応する構造になっている。ターボ分子ポンプを主体とするポンプユニット１には、インターフェース用の信号線ケーブル４と動力線ケーブル３が接続される部位に対応する位置に切欠１Ｋが設けられている。またストレート形コネクタ５Ｓが使用されている。
【実施例３】
【００１４】
図３は本考案による第３の実施例の構造を示している。この図３において（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は図１と同様それぞれの方向から示した図である。この第３の実施例は電源ユニット２がポンプユニット１を挟み込む形で配置されているところに特徴があり、その状態でポンプユニット１と電源ユニット２が一体化の構成をなしている。コネクタ５Ｌの接続面は２つの平面２Ｆに分けられており、１つの面には上位装置Ｄなどとのインターフェースに使用する信号線ケーブル４を、もう一面には電力入力用の動力ケーブル３が接続されている構成である。この実施例３の場合はＬ字形のコネクタ５Ｌのみが使用されている例が示されている。
【００１５】
本考案が提供するターボ分子ポンプ装置の特徴は上記詳述したとおりであるが、本考案は上記ならびに図示例に限定されるものではなく、種々の変形例を挙げることができる。
本考案はターボ分子ポンプを主体とするポンプユニットと電源ユニットを一体化したものを基本とするが、特に電源ユニットの筐体形状は図示例に限定されない。特に本考案は電源ユニットにケーブル接続のため２つの面を形成することを条件とするが、この２面の配置は図示例のように対称配置に限定されない。
【００１６】
すなわち、各実施例では筐体をＵ字形にし、あるいはポンプユニットを挟持する形にしてその両側の対称部位に平面を形成した例を示しているが、必ずしも対称配置ではなく、たとえば電源ユニットの筐体形状がＵ字形の場合、コネクタ５Ｓ、５Ｌの接続面をそれぞれのＵ字形の両方の端面に特定せず、一つの面はＵ字形の中央に位置する曲折部に設定するようにしてもよい。また、電源ユニットの筐体形状はＵ字形のみならず、Ｌ字形でもよい。本考案はこれらすべての変形例を包含する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本考案による第１の実施例を示す図である。
【図２】本考案による第２の実施例を示す図である。
【図３】本考案による第３の実施例の構造を示す図である。
【図４】従来の構造を簡略に示す図である。
【図５】従来技術の構成示す図である。
【図６】ポンプユニットと電源ユニットを一体化した構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【００１８】
１  ポンプユニット
１Ｋ  切欠
２  電源ユニット
２Ｆ  平面
３  動力線ケーブル
４  信号線ケーブル
５  コネクタ
５Ｌ  コネクタ
５Ｓ  コネクタ
６  制御用信号線ケーブル
Ｄ  上位装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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