Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月11日(2005.11.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  印刷データおよび当該印刷データに対して設定された第１の情報を受信する受信手段と、
前記受信手段により受信された前記印刷データの印刷を許可する第１の許可手段と、
前記受信手段により受信された前記印刷データを保存する保存手段と、
前記印刷データが前記保存手段に保存された後に、第２の情報を入力する入力手段と、
前記第２の情報が前記第１の情報に対応している場合、前記保存手段に保存されている前記印刷データの印刷を許可する第２の許可手段と
を有する印刷制御装置。
【請求項２】  前記第１の情報および前記第２の情報は、前記印刷データに関連するパスワードである請求項１に記載の印刷制御装置。
【請求項３】  前記第１の情報は前記印刷データの送信側の識別符号であり、前記第２の情報はパスワードであり、
前記印刷制御装置は、前記識別符号と前記パスワードとの対応表を登録する登録手段をさらに有し、
前記第２の許可手段は、前記対応表に基づいて、前記第２の情報が前記第１の情報に対応しているか否かを判断する請求項１に記載の印刷制御装置。
【請求項４】  前記第１の許可手段は、前記印刷データに対して所定の印刷条件が設定されていると判断した場合には、第３の情報の入力を促し、入力された当該第３の情報が前記第１の情報に対応しているときにのみ、前記受信手段により受信された前記印刷データの印刷を許可する請求項１〜３のいずれか１つに記載の印刷制御装置。
【請求項５】  印刷データおよび当該印刷データに対して設定された第１の情報を受信する受信ステップと、
前記受信ステップにおいて受信された前記印刷データの印刷を許可する第１の許可ステップと、
前記受信ステップにおいて受信された前記印刷データを保存手段に保存する保存ステップと、
前記印刷データが前記保存手段に保存された後に、第２の情報を入力する入力ステップと、
前記第２の情報が前記第１の情報に対応している場合、前記保存手段に保存されている前記印刷データの印刷を許可する第２の許可ステップと
を有する印刷制御方法。
【請求項６】  印刷データおよび当該印刷データに対して設定された第１の情報を受信する受信手順と、
前記受信手順において受信された前記印刷データの印刷を許可する第１の許可手順と、
前記受信手順において受信された前記印刷データが保存手段に保存された後に、第２の情報を入力する入力手順と、
前記第２の情報が前記第１の情報に対応している場合、前記保存手段に保存されている前記印刷データの印刷を許可する第２の許可手順と
をコンピュータに実行させるための印刷制御プログラム。
【請求項７】  請求項６に記載の印刷制御プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月5日(2005.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
参考例１ 泡持ち測定法（ＳＨＶ-Schaumhaftvermoegen- 法）
ビールの泡持ちを泡の立ち具合とガラス面への泡の付着性を測定し評価する方法である。即ち、ビール全量を一度に２０秒間平均してメスシリンダーに注ぎ込み、注ぎ込み終了３０分後のメスシリンダー壁に付着して残っている泡の量をプラニメーターを用いて測り、泡持ちを定量的に評価する。この際、泡持ちの単位はｃｍ2で表す（化学と生物、Vol.13, No.8, p.504-509 (1975)参照）。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月6日(2005.12.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  複数のノードを有するネットワークにおいてマルチキャスト・セッションの宛先ノードを識別するための方法であって、
関連するアドレスをそれぞれが有する複数の宛先ノード・エントリを含む循環型にリンクされたリストを形成するステップと、
最初の宛先ノード・エントリで前記リストに入るためのアドレスを識別するステップと、
前記リンクされたリストをトラバースするステップと、
前記最初の宛先ノード・エントリに達する前に前記トラバースするステップを終了するステップとを含む方法。
【請求項２】  前記マルチキャスト・セッションの前記識別された宛先ノードへの伝送に向けられたデータを受信するステップとをさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】  前記最初の宛先ノード・エントリが、前記受信したデータから判定される請求項２に記載の方法。
【請求項４】  前記受信したデータから判定された前記リストの少なくとも１つの宛先ノードが、前記マルチキャスト・セッションから除外される請求項２に記載の方法。
【請求項５】  前記受信したデータが、前記マルチキャスト・セッションから除外されるべき前記宛先ノードを識別する指示子を含む請求項４に記載の方法。
【請求項６】  前記指示子が、受信された前記データの送信元である宛先ノードを前記マルチキャスト・セッションから除外されるべき前記宛先ノードとして識別する請求項５に記載の方法。
【請求項７】  前記最初の宛先ノード・エントリが、予め定められている請求項１に記載の方法。
【請求項８】  前記マルチキャスト・セッションの前記識別された宛先ノードへの伝送に向けられたデータを入力ポートで受信し、前記最初の宛先ノード・エントリを前記入力ポートに基づいて判定するステップとをさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項９】  前記リストに入るための前記アドレスが、受信された前記データの送信元である前記宛先ノードである請求項１に記載の方法。
【請求項１０】  前記トラバースされる宛先ノード・エントリが、前記マルチキャスト・セッションの前記識別された宛先ノードである請求項１に記載の方法。
【請求項１１】  複数のマルチキャスト・セッションに関する宛先ノード・エントリが、リストの中でインターリーブされ、前記複数のマルチキャスト・セッションの各セッションに関する前記宛先ノード・エントリが、循環型にリンクされる請求項１に記載の方法。
【請求項１２】  各宛先ノード・エントリが、リンク情報を含み、前記リンクされたリストをトラバースする前記ステップが、各宛先ノード・エントリにおける前記リンク情報に従って前記リンクされたリストをトラバースするステップとを含む請求項１に記載の方法。
【請求項１３】  前記リンク情報が、各宛先ノード・エントリにおいて、別の宛先ノード・エントリをポイントして、前記複数の宛先ノード・エントリが循環型にリンクされるようにするポインタを含む請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】  複数のノードを有するネットワークにおいてマルチキャスト・セッションに関する宛先ノードを識別するための方法であって、
リンク情報をそれぞれが含む循環型にリンクされた複数の宛先ノード・エントリを含むマルチキャスト・グループ・リストを形成するステップと、
前記マルチキャスト・セッションの前記宛先ノードへの伝送に向けられたデータを受信するステップと、
前記受信したデータから判定された最初の宛先ノード・エントリにおいて前記リストに入るステップと、
前記リンク情報に従って前記リストをトラバースするステップと、
前記トラバースするステップが、いつ前記最初の宛先ノード・エントリに戻るかを判定するステップと、および
前記最初の宛先ノードに達する前に前記トラバースするステップを終了するステップとを含む方法。
【請求項１５】  複数のノードを有するネットワークにおいてマルチキャスト・セッションの宛先ノードを識別するための装置であって、
関連する宛先アドレスおよびデータ伝送パラメータをそれぞれの内容が含む複数の宛先ノード・エントリを含む循環型にリンクされたリスト、
前記リストに入るための最初の宛先エントリを識別するため、また前記最初の宛先ノード・エントリに達するまで、前記リンクされたリストをトラバースするための処理エンジン、および
前記宛先ノード・エントリに達する前に前記トラバースするステップを終了する手段とを含む装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月22日(2005.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】  半導体基板に配置された共通ソース領域、セルソース領域及びドレイン領域と、
前記共通ソース領域及び前記セルソース領域の間の前記半導体基板上に配置された選択ゲート電極と、
前記セルソース領域及び前記ドレイン領域の間の半導体基板上に配置され、前記ドレイン領域と横方向に離隔された浮遊ゲートと、
前記浮遊ゲート及び前記ドレイン領域の間の前記半導体基板上に前記浮遊ゲートの側壁に形成された制御ゲート電極と、
前記制御ゲート電極及び前記浮遊ゲートの間に介されたトンネル酸化膜と、
前記トンネル酸化膜と少なくとも前記浮遊ゲートの側壁との間に介された側壁酸化膜と、
を含み、
前記トンネル酸化膜はＣＶＤ酸化膜であり、前記側壁酸化膜は熱酸化膜であることを特徴とする不揮発性メモリ素子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】  前記浮遊ゲート及び前記半導体基板の間、および前記選択ゲートと前記半導体基板との間に介された第１ゲート絶縁膜と、
前記トンネル酸化膜は前記選択ゲートと前記基板との間にも介されたことを特徴とする請求項１に記載の不揮発性メモリ素子。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】  前記制御ゲート電極は、
前記浮遊ゲート電極の側壁から拡張されて前記ドレイン領域の一部を覆うことを特徴とする請求項１に記載の不揮発性メモリ素子。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】  半導体基板の所定の領域に一方向に配置された活性領域と、
前記活性領域を横切り、前記活性領域を連結する共通ソースラインと、
一対の共通ソースラインの間に配置され、前記共通ソースラインに対して対称的に配置されたセルソース領域及びドレイン領域と、
前記共通ソースライン及び前記セルソースラインの間に配置されて前記活性領域の上部を横切る選択ゲート電極と、
前記セルソース領域及び前記ドレイン領域の間の前記活性領域上に配置され、前記ドレイン領域と横方向に離隔された浮遊ゲートと、
ｎ個の浮遊ゲート及びこれらと隣接したｎ個のドレイン領域の間の前記活性領域上において、前記浮遊ゲートの側壁に配置されて前記活性領域の上部を横切る制御ゲート電極と、
前記制御ゲートと前記ｎ個の浮遊ゲートとの間に介されたトンネル酸化膜、前記トンネル酸化膜と少なくとも前記ｎ個の浮遊ゲートの側壁との間に介された側壁酸化膜とを含むことを特徴とする不揮発性メモリ素子。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】  前記ｎ個の浮遊ゲート及びこれらと隣接した活性領域の間、および選択ゲートラインと活性領域との間に介された第１ゲート絶縁膜をさらに含み、
前記トンネル酸化膜は、前記選択ゲートと活性領域との間にも介されたことを特徴とする請求項６に記載の不揮発性メモリ素子。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上述の課題はスプリットゲート型不揮発性メモリ素子及びその製造方法により提供されることができる。この素子は、半導体基板上に形成された共通ソース領域、セルソース領域及びドレイン領域を含む。前記共通ソース領域及び前記セルソース領域の間の半導体基板上に選択ゲート電極が配置される。前記選択ゲート電極は前記活性領域の上部を横切る。前記ソース領域及び前記ドレイン領域の間の半導体基板上に浮遊ゲートが形成される。前記浮遊ゲートは前記ドレイン領域と横方向に離隔されて配置される。前記浮遊ゲート及び前記ドレイン領域の間の前記半導体基板上に制御ゲート電極が形成される。前記制御ゲート電極は前記浮遊ゲートの側壁に形成される。前記制御ゲート電極及び前記浮遊ゲートの間にトンネル酸化膜が介される。前記トンネル酸化膜と少なくとも前記浮遊ゲートの側壁との間に側壁酸化膜が介される。前記トンネル酸化膜はＣＶＤ酸化膜であり、前記側壁酸化膜は熱酸化膜である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
前記セル領域は半導体基板の所定の領域に一方向に配置された複数の活性領域を含む。前記活性領域を共通ソース領域が横切る。一対の前記共通ソース領域の間の活性領域内にセルソース領域及びドレイン領域が形成される。前記セルソース領域及び前記ドレイン領域は前記共通ソース領域に対して対称的に形成される。前記共通ソース領域及び前記セルソース領域の間の前記活性領域の上部を横切って選択ゲート電極が配置される。前記セルソース領域及び前記ドレイン領域の間の活性領域上に浮遊ゲートが配置され、前記浮遊ゲートは前記ドレイン領域から横方向に離隔されて配置される。前記浮遊ゲートの側壁に制御ゲート電極が配置され、前記制御ゲート電極は前記浮遊ゲートと前記ドレイン領域との間の前記活性領域の上部を横切る。前記浮遊ゲート及び前記制御ゲート電極の間にトンネル絶縁膜が介され、前記浮遊ゲート及び前記半導体基板の間、および前記選択ゲートと前記半導体基板との間には第１ゲート絶縁膜が介される。前記トンネル酸化膜は前記選択ゲートと前記基板との間にも介される。前記制御ゲート電極及び前記半導体基板の間と、前記選択ゲート電極と前記半導体基板のとの間には第２ゲート絶縁膜が介される。前記第２ゲート絶縁膜は前記浮遊ゲートの下部から延長された第１ゲート絶縁膜と前記浮遊ゲートの側壁から延長されたトンネル酸化膜で構成される。すなわち、前記第２ゲート絶縁膜の厚さは前記第１ゲート絶縁膜の厚さより厚い。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月15日(2006.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
ファイル変換部（変換手段）１０４２は、解像度プログレッシブ機能（静止画像の解像度を段階的に変換する機能）または画質プログレッシブ機能（静止画像の画質を段階的に変換する機能）を有する静止画像ファイル（例えば、JPEG-2000ファイル）の解像度または画質を、コントローラ２０２が要求する解像度または画質に変換する機能を有する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
デジタルインターフェース（受信手段、送信手段）１０５は、ＩＥＥＥ１３９４−１９９５規格またはその拡張規格に準拠したデジタルインターフェースである。また、デジタルインターフェース１０８は、ＩＥＣ６１８８３−１規格で規定されたＦＣＰ（Function Control Protocol）を処理する機能を有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
operand[10]は、コントローラ２０２が要求するファイルのファイルタイプ（第２のデータ）を格納するfile＿typeフィールドである。このfile＿typeフィールドに格納されるファイルタイプの一例を図３に示す。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
スケーラビリティタイプが画質である場合、スケーラビリティタイプは１16である。scalability＿valueフィールドには、スケーラビリティのレベルを示すスケーラビリティバリュー（第３のデータ）が格納される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
operand[12]は、後述するfile＿pathフィールドのデータサイズ（単位はバイト）を格納するfile＿path＿lengthフィールドである。operand[13]以降は、コントローラ２０２が要求するファイルのパス名（第１のデータ）を格納するfile＿pathフィールドである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
ステップＳ５０１：デジタルインターフェース１０５は、受信したSEND FILE CONTROLコマンドを制御部１０４３に供給する（受信工程）。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
ステップＳ５１２：制御部１０４３は、SEND FILE CONTROLコマンドからコントローラ２０２が要求するスケーラビリティバリューを検出する。
選択部１０４１は、コントローラ２０２が要求するファイルをファイル変換部１０４２に供給する。コントローラ２０２が要求するスケーラビリティバリューがＭ（Ｍは１以上の整数）である場合、ファイル変換部１０４２は、コントローラ２０２が要求するJPEG-2000ファイルの画像サイズを１／Ｍに変換する（変換工程）。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
ステップＳ５１３：デジタルインターフェース１０５は、１／Ｍの画像サイズに変換されたJPEG-2000ファイルを外部装置２００に送信する（送信工程）。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
ステップＳ５１４：制御部１０４３は、SEND FILE CONTROLコマンドからコントローラ２０２が要求するスケーラビリティバリューを検出する。コントローラ２０２が要求するスケーラビリティバリューがＮ（Ｎは１以上の整数）である場合、ファイル変換部１０４２は、コントローラ２０２が要求するJPEG-2000ファイルの画質を１／Ｎに変換する（変換工程）。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
ステップＳ５１５：デジタルインターフェース１０５は、１／Ｎの画質に変換されたJPEG-2000ファイルを外部装置２００に送信する（送信工程）。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月14日(2006.7.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
静止画データ(VOB)およびN(ただし、Nは１以上の整数)枚の静止画データ(VOB)を静止画グループ(VOBG)として管理する静止画グループ管理情報(VOBGI)を記録媒体に記録する記録方法であって、
前記静止画グループ管理情報(VOBGI)中に該静止画グループ(VOBG)内の時間的に最初に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(F_RECTM)と最後に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(L_RECTM)が記録されており、
新たな静止画データを前記記録媒体に記録するときに、前記静止画グループ管理情報(VOBGI)に記録された最初に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(F_RECTM)を該静止画データの記録時刻(RECTM)に置き換えることを特徴とする記録方法。
【請求項２】
請求項１に記載の記録方法において、
前記静止画データの記録時刻(RECTM)と前記最初に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(F_RECTM)とを比較し、該静止画データの記録時刻(RECTM)が前記静止画グループ管理情報(VOBGI)に記録された最初に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(F_RECTM)よりも時間的に過去のときに、前記静止画グループ管理情報(VOBGI)に記録された最初に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(F_RECTM)を該静止画データの記録時刻(RECTM)に置き換えることを特徴とする記録方法。
【請求項3】
静止画データ(VOB)およびN(ただし、Nは１以上の整数)枚の静止画データ(VOB)を静止画グループ(VOBG)として管理する静止画グループ管理情報(VOBGI)を記録媒体に記録する記録装置であって、
前記静止画グループ管理情報(VOBGI)中に該静止画グループ(VOBG)内の時間的に最初に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(F_RECTM)と最後に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(L_RECTM)が記録されており、
新たな静止画データを前記記録媒体に記録するときに、前記静止画グループ管理情報(VOBGI)に記録された最初に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(F_RECTM)を該静止画データの記録時刻(RECTM)に置き換えることを特徴とする記録装置。
【請求項４】
請求項３に記載の記録装置において、
前記静止画データの記録時刻(RECTM)と前記最初に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(F_RECTM)とを比較し、該静止画データの記録時刻(RECTM)が前記静止画グループ管理情報(VOBGI)に記録された最初に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(F_RECTM)よりも時間的に過去のときに、前記静止画グループ管理情報(VOBGI)に記録された最初に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(F_RECTM)を該静止画データの記録時刻(RECTM)に置き換えることを特徴とする記録装置。
【請求項５】
静止画データ(VOB)およびN(ただし、Nは１以上の整数)枚の静止画データ(VOB)を静止画グループ(VOBG)として管理する静止画グループ管理情報(VOBGI)を記録媒体に記録する記録方法であって、
前記静止画グループ管理情報(VOBGI)中に該静止画グループ(VOBG)内の時間的に最初に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(F_RECTM)と最後に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(L_RECTM)が記録されており、
新たな静止画データを前記記録媒体に記録するときに、前記静止画グループ管理情報(VOBGI)に記録された最後に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(L_RECTM)を該静止画データの記録時刻(RECTM)に置き換えることを特徴とする記録方法。
【請求項６】
請求項５に記載の記録方法において、
該静止画データの記録時刻(RECTM)と前記最後に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(L_RECTM)とを比較し、該静止画データの記録時刻(RECTM)が前記静止画グループ管理情報(VOBGI)に記録された最後に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(L_RECTM)よりも時間的に未来のときに、前記静止画グループ管理情報(VOBGI)に記録された最後に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(L_RECTM)を該静止画データの記録時刻(RECTM)に置き換えることを特徴とする記録方法。
【請求項７】
静止画データ(VOB)およびN(ただし、Nは１以上の整数)枚の静止画データ(VOB)を静止画グループ(VOBG)として管理する静止画グループ管理情報(VOBGI)を記録媒体に記録する記録装置であって、
前記静止画グループ管理情報(VOBGI)中に該静止画グループ(VOBG)内の時間的に最初に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(F_RECTM)と最後に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(L_RECTM)が記録されており、
新たな静止画データを前記記録媒体に記録するときに、前記静止画グループ管理情報(VOBGI)に記録された最後に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(L_RECTM)を該静止画データの記録時刻(RECTM)に置き換えることを特徴とする記録装置。
【請求項８】
請求項７に記載の記録装置において、
該静止画データの記録時刻(RECTM)と前記最後に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(L_RECTM)とを比較し、該静止画データの記録時刻(RECTM)が前記静止画グループ管理情報(VOBGI)に記録された最後に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(L_RECTM)よりも時間的に未来のときに、前記静止画グループ管理情報(VOBGI)に記録された最後に記録された静止画データ(VOB)の記録時刻(L_RECTM)を該静止画データの記録時刻(RECTM)に置き換えることを特徴とする記録装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月31日(2006.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  被写体を撮像して画像情報を出力する撮像手段と、前記画像情報を符号化する画像情報符号化手段と、符号化された前記画像情報を記録する画像情報記録手段と、前記撮像手段により撮影された画像情報を表示する画像情報表示手段とを備えた撮像装置において、複数の撮影モードを選択するモード選択手段を更に備え、前記撮像手段により撮影された画像情報を前記画像情報記録手段に記録する場合、前記モード選択手段により選択されたモード毎に異なるフォルダに格納することを特徴とする撮像装置。
【請求項２】  前記画像情報を前記モード選択手段により選択されたモード毎に異なるフォルダに格納する際、該格納するフォルダが存在しない場合、新たにフォルダを作成して該フォルダに格納することを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】  前記撮影モードは、静止している被写体を撮影する静止画モード、動いている被写体を撮影する動画モード、被写体の音声を録音する音声モード及び前記静止画モードと音声モードを組合わせたモードであることを特徴とする請求項１又は２に記載の撮像装置。
【請求項４】  被写体を撮像して画像情報を出力する撮像手段と、前記画像情報を符号化する画像情報符号化手段と、符号化された前記画像情報を記録する画像情報記録手段と、前記撮像手段により撮影された画像情報を表示する画像情報表示手段とを備えた撮像装置において、機能の異なる複数のレリーズスイッチを更に備え、前記撮像手段により撮影された画像情報を前記画像情報記録手段に記録する場合、前記複数のレリーズスイッチ毎に異なる撮影モードが設定されることを特徴とする撮像装置。
【請求項５】  前記複数のレリーズスイッチは、静止している被写体を撮影する際に押される静止画用レリーズスイッチと動いている被写体を撮影する際に押される動画用レリーズスイッチにより構成され、前記静止画用レリーズスイッチが押された場合は、前記撮像手段により静止画として前記画像情報記録手段に記録され、前記動画用レリーズスイッチが押された場合は、前記撮像手段により動画として前記画像情報記録手段に記録されることを特徴とする請求項４に記載の撮像装置。
【請求項６】  前記複数のレリーズスイッチ毎に異なる撮影モードが設定され、該撮影モード毎に異なるフォルダに前記画像情報が格納されることを特徴とする請求項４又は５に記載の撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明はかかる課題を解決するために、請求項１は、被写体を撮像して画像情報を出力する撮像手段と、前記画像情報を符号化する画像情報符号化手段と、符号化された前記画像情報を記録する画像情報記録手段と、前記撮像手段により撮影された画像情報を表示する画像情報表示手段とを備えた撮像装置において、複数の撮影モードを選択するモード選択手段を更に備え、前記撮像手段により撮影された画像情報を前記画像情報記録手段に記録する場合、前記モード選択手段により選択されたモード毎に異なるフォルダに格納することを特徴とする。
従来の撮像装置は、静止画だけでなく動画、音声、音声付き静止画など、複数の撮影モード撮影された撮影画像を同一のフォルダに保管していた。そのため、再生時も撮影順に再生されるため、いろいろなモードで記録したファイルが混在し、静止画だけを見たい場合などは、それ以外のファイルをスキップする作業が必要になる。
また、多数の静止画ファイルの中から数少ない動画ファイルを探すのも非常に面倒である。また、いろいろなモードで撮影したファイルが混在していると、ファイルの管理も煩雑となる。
そこで、撮影モードを選択できるモード選択手段を更に備え、それにより選択されたモード毎に異なるフォルダを作成して記録するようにすれば、少なくともモード単位に画像を検索することができる。
かかる発明によれば、複数の撮影モードを選択するモード選択手段を更に備え、前記撮像手段により撮影された画像情報を前記画像情報記録手段に記録する場合、前記モード選択手段により選択されたモード毎に異なるフォルダに格納するため、画像の検索を迅速に行うことができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
請求項２は、前記画像情報を前記モード選択手段により選択されたモード毎に異なるフォルダに格納する際、該格納するフォルダが存在しない場合、新たにフォルダを作成して該フォルダに格納することも本発明の有効な手段である。
初めての撮影モードが選択された場合は、そのモードに対応するフォルダは存在しない。そのような場合は、撮像装置内に予め決められたフォルダ名を自動的に作成される。
そして、新しく作成されたフォルダに画像データが格納される。
かかる技術手段によれば、格納するフォルダが存在しない場合、新たにフォルダを作成して該フォルダに格納するため、フォルダ作成の手間が省け、操作性を高めることができる。
請求項３は、前記撮影モードは、静止している被写体を撮影する静止画モード、動いている被写体を撮影する動画モード、被写体の音声を録音する音声モード及び前記静止画モードと音声モードを組み合わせたモードであることも本発明の有効な手段である。撮影モードには大きく分けて静止画モードと動画モードがある。
その他に被写体の音声を録音する音声モードと音声付の静止画を作成するモードがある。これらのモードはユーザが任意に選択することができ、選択されたモード信号が自動的にフォルダ選択信号として機能する。
かかる技術手段によれば、前記撮影モードは、静止している被写体を撮影する静止画モード、動いている被写体を撮影する動画モード、被写体の音声を録音する音声モード及び前記静止画モードと音声モードを組み合わせたモードであるので、被写体のあらゆる動作に対応することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
請求項４は、被写体を撮像して画像情報を出力する撮像手段と、前記画像情報を符号化する画像情報符号化手段と、符号化された前記画像情報を記録する画像情報記録手段と、前記撮像手段により撮影された画像情報を表示する画像情報表示手段とを備えた撮像装置において、機能の異なる複数のレリーズスイッチを更に備え、前記撮像手段により撮影された画像情報を前記画像情報記録手段に記録する場合、前記複数のレリーズスイッチ毎に異なる撮影モードが設定されることを特徴とする。
従来の撮像装置では、レリーズスイッチは１種類である。そのため、レリーズスイッチだけでは撮影モードを識別することができなかった。
そこで、機能の異なる複数のレリーズスイッチを用意して、どのモードで撮影するかをどのレリーズスイッチが押されたかで判断するようにすれば、更に操作性が高くなる。
かかる技術手段によれば、複数のレリーズスイッチを更に備え、前記撮像手段により撮影された画像情報を前記画像情報記録手段に記録する場合、前記複数のレリーズスイッチ毎に異なる撮影モードが設定されるため、１つの動作で撮影とモード設定が可能となり、操作性を更に高めることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月3日(2006.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一次荷電粒子ビームを試料に照射する手段と、該試料から発生する二次電子または後方散乱電子を検出する検出手段と、該検出手段からの信号に基づき画像を形成して記憶する画像記憶手段と、該一次荷電粒子ビームの照射条件および該二次電子または後方散乱電子の検出条件を決定する手段と、該一次荷電粒子ビームの照射条件および該二次電子や後方散乱電子の検出条件をもとに、該一次荷電粒子ビームが照射されている該試料の部位の電気抵抗や電気容量をパラメータとして検出される二次電子や後方散乱電子の数を算出し、検査されるべき該画像の二次電子や後方散乱電子の信号量と該二次電子や後方散乱電子の数とを比較して、その比較結果より、該試料の部位の電気抵抗や電気容量を決定する手段とを具備してなることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
回路パターンが形成された試料を搭載する試料台と、一次荷電粒子ビームを該試料に照射することにより、該試料から発生する二次電子や後方散乱電子を検出する検出器と、該検出器からの信号に基づき検査されるべき画像を形成して記憶するための画像記憶部と、検査されるべき該画像を他の同一の回路パターンの画像と比較するための比較演算回路と、その比較結果から該試料の回路パターン上の欠陥部を判別するための演算回路と、該試料台に負の電圧を印加するための電源と、該電源により印加される電圧を制御するための制御回路と、該一次荷電粒子ビームの照射条件および該二次電子や後方散乱電子の検出条件をもとに、該欠陥部の電気抵抗や電気容量をパラメータとして検出される二次電子や後方散乱電子の数を算出し、該欠陥部の画像の二次電子や後方散乱電子の信号量と該二次電子や後方散乱電子の数とを比較し、その比較結果より、該欠陥部の回路パターンの電気抵抗や電気容量を決定するための演算部と、該電気抵抗や該電気容量の値を該欠陥部の画像と共に表示するモニター部とを具備してなることを特徴とする検査装置。
【請求項３】
所定のパターンが形成された基板表面の領域を一次荷電粒子ビームで走査する手段と、該一次荷電粒子ビームの照射により該パターンの領域から発生する二次電子や後方散乱電子の信号を検出する手段と、検出された該二次電子や後方散乱電子の信号から該パターンの領域の画像を形成する手段と、電気抵抗や電気容量が既知の標準パターンに一次荷電粒子ビームを走査させる手段と、該一次荷電粒子ビームの照射により該標準パターンの領域から発生する二次電子や後方散乱電子の信号を検出する手段と、検出された該二次電子や後方散乱電子の信号から該標準パターンの領域の画像を形成する手段と、該パターン画像と該標準パターン画像を比較することによって、その比較結果より、該画像中のパターンの電気特性の良否を判定する手段を含んでなることを特徴とする荷電粒子ビームによる検査装置。
【請求項４】
請求項３に記載の検査装置において、該比較結果より、該画像中のパターンの電気抵抗や電気容量を決定する手段を含んでなることを特徴とする検査装置。
【請求項５】
請求項３に記載の検査装置において、前記基板は、ｐｎ接合部やショットキー接合部を持つ回路パターン領域が形成された構造を有することを特徴とする検査装置。
【請求項６】
請求項１から３のいずれか一項に記載の検査装置において、前記荷電粒子ビームは、電子ビームであることを特徴とする検査装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月1日(2005.12.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
この発明は、インターポーザおよびその製造方法に関し、特に、貫通孔内でボイド（隙間）が生じない、インターポーザおよびその製造方法に関する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、シリコン基板を用いて貫通孔を形成する場合は、貫通孔の中央部が凸状であり、表面または裏面から内部へ向かうほど、径が広がっているため、シード層を貫通孔の内部に設けようとしても、内部まで十分にシード層を形成できなかった。そのため、シード層からメッキ等により導電層を成長させても、導電層が十分に成長せず、貫通孔７１の内部に、導電層の存在しない、いわゆる「ボイド」７２が形成され、貫通孔７１が断線したり、加工精度が悪いという問題があった。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
この発明は、上記のような課題に鑑みてなされたもので、製造工程が簡単で、かつ貫通孔の内部にボイドが生じない、インターポーザおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
その結果、製造工程が簡単で、貫通孔の内部にボイドが生じない、インターポーザを提供できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
その結果、製造工程が簡単で、かつ貫通孔の内部にボイドが生じない、インターポーザの製造方法を提供できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
次いで、絶縁膜の上であって、貫通孔１９，１６の内部および、貫通孔１９，１６に隣接する、表面１１および裏面１５にスパッタリングで、メッキ層のシードとなるシード層１３，１７を形成する（図１（Ｃ））。このとき、貫通孔１９，１６は、従来のように、内部に向かって広くなっていないため、シード層１３，１７は、容易に貫通孔１９，１６の内部およびそれに連続する表面１１および裏面１５の開口部の周辺に形成される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
次に、このシード層１３，１７を基に貫通孔１９に対して、電界または、無電解メッキを行ない、Ｃｕ等の導電層１４を形成する（図１（Ｄ））。その結果、貫通孔１９の内部にボイドの生じない導電層を有するインターポーザを簡単な製造工程で形成できる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
この発明に係るインターポーザの製造方法は、貫通孔に導電層を形成するときに、その内部に途切れることなく導電層を形成できるため、製造工程が簡単で、かつ貫通孔の内部にボイドが生じないインターポーザの製造方法として、有利に利用されうる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2006024652.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月1日(2005.12.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
この発明は、インターポーザおよびその製造方法に関し、特に、貫通孔内でボイド（隙間）が生じない、インターポーザおよびその製造方法に関する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
従来のインターポーザは上記のように構成されていた。シリコン基板を用いて貫通孔を形成する場合は、貫通孔の中央部が凸状であり、表面または裏面から内部へ向かうほど、径が広がっているため、シード層を貫通孔の内部に設けようとしても、内部まで十分にシード層を形成できなかった。そのため、シード層からメッキ等により導電層を成長させても、導電層が十分に成長せず、貫通孔７１の内部に、導電層の存在しない、いわゆる「ボイド」７２が形成される、という問題があった。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
この発明は、上記のような課題に鑑みてなされたもので、製造工程が簡単で、かつ貫通孔の内部にボイドが生じない、インターポーザおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
その結果、製造工程が簡単で、かつ貫通孔の内部にボイドが生じない、インターポーザが提供できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
この発明の他の局面においては、インターポーザの製造方法は、基板の一方面側の貫通孔の開口部にシード層を形成し、そのシード層から、基板の他方面側にメッキ層を形成して貫通孔を埋める。貫通孔の基板の一方面側から他方面側へ確実にメッキによる導電層が形成されるため、貫通孔の内部にボイドが生じない。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
その結果、製造工程が簡単で、かつ貫通孔の内部にボイドが生じない、インターポーザの製造方法が提供できる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
このように、この実施の形態によれば、貫通孔１３の内部に凸状の孔が形成されていても、内部にボイドが生じることなく、貫通孔１３をＣｕの導電層とすることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
この発明に係るインターポーザの製造方法は、通孔の基板の一方面側から他方面側へ確実にメッキによる導電層が形成されるため、貫通孔の内部にボイドが生じないインターポーザの製造方法として有利に利用されうる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月9日(2006.8.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
以上説明したように、本発明によれば、加速電圧が８６ｋＶ以下の所定の加速電圧の電子線を照射して所望とする領域のカーボンナノチューブに欠陥が生成された状態としたので、所望とする領域のカーボンナノチューブを選択的に特性の劣化した状態とすることができるようになり、不要な部分にカーボンナノチューブが形成されても、半導体装置の動作や特性に影響が出難い状態が得られるようになる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月15日(2005.12.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【特許請求の範囲】
【請求項１】一端部が最初に口部となるひだ付き筒状体の他端部を閉鎖して底部閉鎖部とし、前記一端部から内容物を充填した後に前記一端部を封緘するようにした紙袋において、
前記底部閉鎖部が、前記ひだ付き筒状体の前記他端部を少なくとも１回以上折り曲げ、この折曲げ部を開封テープ付きの当て紙で包囲固定して形成され、開封時には前記当て紙を前記開封テープを用いて引き破って前記底部閉鎖部を開き、２度目以降の使用時にはこの開封した前記底部閉鎖部から内容物を充填した後にこの他端部を再封緘する再封緘手段が当該他端部に設けられていることを特徴とする複数回使用可能な紙袋。
【請求項２】 前記底部閉鎖部を開いた後の前記紙袋の２度目以降の使用時に内容物充填口となった前記底部閉鎖部を再閉鎖する前記再封緘手段が、前記ひだ付き筒状体の前記他端部における一方の壁部に、ほぼ全幅に亘り貼り付けられた締結用バンドからなることを特徴とする請求項１に記載の複数回使用可能な紙袋。
【請求項３】 前記紙袋の最初の使用時における前記底部閉鎖部が、前記再封緘手段としての前記ひだ付き筒状体の両側縁部から突出する前記締結用バンドの端部を前記ひだ付き筒状体の前記他端部壁面に折り重ね、この他端部を前記締結用バンドと共に少なくとも１回以上折り曲げ、この折曲げ部を開封テープ付きの当て紙で包囲固定して形成され、前記紙袋の２度目以降の使用時には、開封した前記底部閉鎖部から内容物を充填した後にこの開封端部を１回若しくはそれ以上折り曲げて前記締結用バンドの両端同士を縛ることでこの折曲げ部を絞って閉鎖することを特徴とする請求項２に記載の複数回使用可能な紙袋。
【請求項４】 前記底部閉鎖部を開いた後の前記紙袋の２度目以降の使用時に内容物充填口となった前記底部閉鎖部を再閉鎖する前記再封緘手段が、前記ひだ付き筒状体の前記他端部における一方の壁部に、ほぼ全幅に亘り貼り付けられた締結用バンドからなり、前記紙袋の最初の使用時における前記底部閉鎖部が、前記ひだ付き筒状体の両側縁部から突出する前記締結用バンドの端部を前記ひだ付き筒状体の前記他端部壁面に折り重ね、この他端部を前記締結用バンドと共に少なくとも１回以上折り曲げ、この折曲げ部を開封テープ付きの当て紙で包囲固定して形成され、前記紙袋の２度目以降の使用時には、開封した前記底部閉鎖部から内容物を充填した後にこの開封端部を１回若しくはそれ以上折り曲げて前記締結用バンドの両端同士を縛ることでこの折曲げ部を絞って閉鎖することを特徴とする請求項１に記載の複数回使用可能な紙袋。
【請求項５】 前記ひだ付き筒状体が２層で形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の複数回使用可能な紙袋。
【請求項６】 前記ひだ付き筒状体の前記他端部が直線切り又は階段切りで形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の複数回使用可能な紙袋。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するため、この発明では、一端部が最初に口部となるひだ付き筒状体の他端部を閉鎖して底部閉鎖部とし、前記一端部から内容物を充填した後に前記一端部を封緘するようにした紙袋において、前記底部閉鎖部が、前記ひだ付き筒状体の前記他端部を少なくとも１回以上折り曲げ、この折曲げ部を開封テープ付きの当て紙で包囲固定して形成され、開封時には前記当て紙を前記開封テープを用いて引き破って前記底部閉鎖部を開き、２度目以降の使用時にはこの開封した前記底部閉鎖部から内容物を充填した後にこの他端部を再封緘する再封緘手段が当該他端部に設けられていることを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
またこの発明では、前記底部閉鎖部を開いた後の前記紙袋の２度目以降の使用時に内容物充填口となった前記底部閉鎖部を再閉鎖する前記再封緘手段が、前記ひだ付き筒状体の前記他端部における一方の壁部に、ほぼ全幅に亘り貼り付けられた締結用バンドからなることを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
またこの発明では、前記紙袋の最初の使用時における前記底部閉鎖部が、前記再封緘手段としての前記ひだ付き筒状体の両側縁部から突出する前記締結用バンドの端部を前記ひだ付き筒状体の前記他端部壁面に折り重ね、この他端部を前記締結用バンドと共に少なくとも１回以上折り曲げ、この折曲げ部を開封テープ付きの当て紙で包囲固定して形成され、前記紙袋の２度目以降の使用時には、開封した前記底部閉鎖部から内容物を充填した後にこの開封端部を１回若しくはそれ以上折り曲げて前記締結用バンドの両端同士を縛ることでこの折曲げ部を絞って閉鎖することを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
またこの発明では、前記底部閉鎖部を開いた後の前記紙袋の２度目以降の使用時に内容物充填口となった前記底部閉鎖部を再閉鎖する前記再封緘手段が、前記ひだ付き筒状体の前記他端部における一方の壁部に、ほぼ全幅に亘り貼り付けられた締結用バンドからなり、前記紙袋の最初の使用時における前記底部閉鎖部が、前記ひだ付き筒状体の両側縁部から突出する前記締結用バンドの端部を前記ひだ付き筒状体の前記他端部壁面に折り重ね、この他端部を前記締結用バンドと共に少なくとも１回以上折り曲げ、この折曲げ部を開封テープ付きの当て紙で包囲固定して形成され、前記紙袋の２度目以降の使用時には、開封した前記底部閉鎖部から内容物を充填した後にこの開封端部を１回若しくはそれ以上折り曲げて前記締結用バンドの両端同士を縛ることでこの折曲げ部を絞って閉鎖することを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
またこの発明では、前記ひだ付き筒状体が２層で形成されていることを特徴としている。勿論、ひだ付筒状体を２層以上で形成しても良い。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
またこの発明では、前記ひだ付き筒状体の前記他端部が直線切り又は階段切りで形成されていることを特徴としている。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月28日(2006.7.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
（剥離強度）
１．成膜試料を10mm×10mm×2mm(イットリウム化合物膜の厚さを含む) の厚さに切断する。
２．切断した試料をアセトンにて5 分超音波洗浄する。
３．エポキシ系接着剤付きのAlスタッドピン（フォトテクニカ社製）を用意する。この接着領域は、直径φ５．２ｍｍの円形をなしている。
４．イットリウム化合物膜にスタッドピンを接触させ、150 ℃で1 時間加熱処理して、スタッドピンとイットリウム化合物膜とをエポキシ系接着剤で接着固定する。
５．引張試験装置の上部チャック部および及び下部チャック部にスタッドピン及び積層体を固定する。オートグラフにて、スタッドピンと積層体とを０．５ｍｍ／分の速度で引張り、イットリウム化合物膜が剥がれるまで引き上げる。膜がはがれたときの荷重および接着面積から接着強度を計算する（剥離強度＝剥離荷重／ピンの接着面積）。この時、接着剤の部位ではがれた試料の値については、測定値としない。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
（表面粗さ）
膜の表面の中心線平均表面粗さＲａは4.3 μｍであった。
（うねり）
膜の表面うねりはＷａは、2.2 μｍであった。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月18日(2006.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】インクジェットヘッド及びその製造方法並びに該インクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置、液滴吐出装置および画像形成装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  インク液滴を吐出するノズル孔を有するノズル板と、前記ノズル孔に連通し少なくとも一方の壁が振動板によって形成された吐出室を有する吐出室基板と、前記振動板と対向する位置に電極を有する電極基板とからなり、前記振動板と前記電極間に振動室が形成され、前記振動板を静電気力により変形させるインクジェットヘッドにおいて、前記振動室と外部を連通する連通孔が酸化膜により封止されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】  インク液滴を吐出するノズル孔を有するノズル板と、前記ノズル孔に連通し少なくとも一方の壁が振動板によって形成された吐出室を有する吐出室基板と、前記振動板と対向する位置に電極を有する電極基板とからなり、前記振動板と前記電極間に振動室が形成され、前記振動板を静電気力により変形させるインクジェットヘッドの製造方法において、前記振動室と外部を連通する連通孔を酸化封止することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】  前記振動室と外部を連通する連通孔を酸化封止するとき、前記電極の保護層となる酸化膜を同時に形成することを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】  前記振動室と外部を連通する連通孔を酸化封止するとき、前記吐出室のインクと接触する領域に酸化膜を同時に形成することを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】  前記振動室と外部を連通する連通孔を熱酸化により封止することを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】  前記振動室と外部を連通する連通孔をＣＶＤ法による酸化膜で封止することを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】  前記振動室と外部を連通する連通孔のある領域を選択的に酸化膜により封止することを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】  請求項１に記載のインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項９】  請求項１に記載のインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】  請求項１に記載のインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とする画像形成装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は記録を必要とする時にのみインク液滴を吐出し、記録紙面に付着させるインク・オン・デマンド方式のインクジェット記録装置、液滴吐出装置および画像形成装置のインクジェットヘッド及びその製造方法に関し、さらに詳しくは、振動板と電極間に形成される振動室と外部を連通する連通孔を酸化膜により封止した信頼性の高いインクジェットヘッド及びその製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来例に示したインクジェットヘッドにおける振動室の封止は、特開平−６−７１８８２号公報に示されるように熱硬化型あるいは光硬化型の樹脂を用いて行われている。しかし、この方法では接着剤が固まるときに、接着剤から気体が発生し、また接着剤が硬化収縮することにより、振動板が変形を起こしインク液滴の吐出が安定しなかったり、特性が経時的に変化してしまうという問題があった。
本発明は、このような問題点を解決しようとするもので、封止剤から発生する気体あるいは封止が硬化収縮することによる振動板の変形が生じないインクジェットヘッド及びその製造方法並びに該インクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置、液滴吐出装置および画像形成装置を提供することを目的とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
第７の技術手段は、第２の技術手段のインクジェットヘッドの製造方法において、前記振動室と外部を連通する連通孔のある領域を選択的に酸化膜により封止することを特徴とする。
第８、９および１０の技術手段は、第１の技術手段のインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置、液滴吐出装置および画像形成装置であることを特徴とする。