【手続補正書】
【提出日】平成18年4月10日(2006.4.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
上述のように、プローブステーションシステム１０は、被検物５０の表面を観測してプローブ２４の位置決めを行うために走査型電子顕微鏡１２を位置づける。システム１０は被検物５０を支持する手段を備え、この手段にはキャリア／動作制御部１４と被検物５０を支持するためのチャックとが含まれる。チャック、プローブカードアダプタ、６以上のプログラマブルマニピュレータ、ステージおよびプラテン移送部とともに完全にコンフィギュレーションがなされたプローバ、および測定信号パスは、システムの要求に対して１２６以上の貫通接続コネクションを要し得る。ステージ表面およびプローブに対しては少なくとも５つの信号パスが用いられるが、必要な数がプローブカードベースのコネクションに対して用いられる。ケルビンプローブおよびプローブホルダ構成は相互接続部の２倍の数となり得る。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
観察および非観察位置間で顕微鏡１０４を上述のように自動的にシフトさせること、および同様に位置決めを行うことは望ましいものである。高解像顕微鏡は典型的にはかなり高価であり、重量もあり、移動させるのにも不便であるからである。図８においては、全体を参照符号２００で示す典型的な走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の模式図が示されている。ＳＥＭの作動を通じ、電子銃２０２は微細なタングステンワイヤフィラメントのようなフィラメントチップ２０４から、またはフィラメントチップ２０４に取り付けられた尖鋭なワイヤから、電子を放出する。放出された電子ビーム２０６はレンズ２０８および２１０により収束され、上部および下部の重偏向コイル（heavy deflection coil）２１２および２１４、およびレンズ２１６を介し、ＤＵＴ１１８上で偏向される。ＤＵＴ１１８の画像はＤＵＴ１１８上でビーム２０６から電子が散乱することによって形成され、電子コレクタ２２０を介して捕集される。カバーが真空封止を完全にしているＤＵＴ１１８の密ないし厚い部分は薄い部分より電子をさらに散乱し、より暗く表れる。ＳＥＭは、ＤＵＴ１１８の３次元像の精度の信頼性を損ない得る焦点深度に関し、対象の高解像画像を生成する性能がある。しかし、電子ビーム２０６の強度によっては、長く曝していたような場合にＤＵＴ１１８にしばしば損傷を与えること、および／または、顕微鏡１０４によって放出されるエネルギを通してシステムに導入されるノイズによってプローブステーション１００から取得されるプローブ読み取り量に悪影響すなわち歪みをもたらしたりすることがある。しかしながらこの事実は、ＳＥＭの走査をより長期間行うことでより高解像のノイズのない画像を得ることができるという事実と釣り合わされるべきである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０４】
ソケットステージアダプタ３２０は、図１０Ａおよび図１０Ｃに示したようなチャック用ハブアダプタ２７９と同様のハブアダプタを有している。ハブアダプタはハブ３１０に対しアダプタ３２０を確実に接続するために用いられ、これによってアダプタ３２０，キャリアがシステム１００に接続される。図示の形態では、アダプタ３２０はボルトによってハブ３１０に取り付けられる。ハブ３１０はそれ自体がシステム１００のシータ（theta）駆動部に接続され、これによってハブ３１０およびアダプタ３２０が必要または所望に応じ鉛直のハブ軸３１０ａに関して回転可能となる。シータ駆動部の種類は回転範囲（例えば０度〜３６０度）および分解能の違いに応じて選ばれる。好適な形態においては、駆動部３１１は０．７μｍの分解能で１００度の回動が可能なものである。しかし他の形態においては、３６０度の回転が可能でさらに分解能が高いシータ駆動部が望まれることもある。シータ駆動部３１１は、概してディスク形状の駆動部材３１１ａと、モータ３１０ｂと、光学微調整ノブ３１１ｃとを有する。駆動部材３１１ａはハブ３１０に係合してこれを回転させるのに用いられ、所望に応じてそこにキャリアが取り付けられる。シータはモータ３１１ｂにより自動的に、またはノブ３１１ｃにより手動で調整される。好適な実施形態では、シータ駆動部の粗調整および微調整を装置制御システム１００を用いて遠隔で行うことができ、さらに光学調整ノブ３１１ｃによってさらに微調整を行うことも可能である。他の形態では、チャンバ１９０の外に配設したコントローラによって遠隔シータ調整が行われるようにシステム１００が構成されていてもよい。また、シータ調整がチャンバ１９０内ですべて手動で行われるよう構成されていてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１５】
種々のマニピュレータを用いることに加え、システム１００はまた種々のプローブ２５６を用いることができる。例えば、マニピュレータ２５２ａ〜２５２ｄは図１４に示されたトライアキシャルプローブの一つを用いることもできるし、また図５Ａ、図５Ｄ、図５Ｈ〜図５Ｊ、図１２Ａ〜図１２Ｃおよび図１３Ａ〜図１３Ｃに示した同軸プローブやＲＦ／Microwaveプローブなどのような、種々異なるプローブのいずれかを用いることも可能である。上述のように、プローブアセンブリ１０６もまた、テストの間ＤＵＴ１１８に対しテスト信号を供給および取得するために用いられるプローブ２５６を含んでいる。プローブ２５６はマニピュレータアーム３６４の下側部材３６８にマウントされ、マニピュレータ２５２ａ〜２５２ｄについて上述した手順に従って位置決めされる。光学プロービングに対しては、ガード導体およびシールド（すなわちグランド）導体によって囲まれた中心導体を含むトライアキシャルプローブを用いることができる。プローブステーション１００のトライアキシャル構造は、キャリア２５０およびプローブ２５６などのコンポーネントを含め、ノイズを最小化する。そしてＤＵＴ１１８を外部のＥＭＩからシールドするとともに、被覆ガード層により外部の干渉および寄生コンデンサの効果が低減されることで、ＤＵＴ１１８のより正確なテストが可能となる。図１４のトライアキシャルプローブは模式的に示したトライアキシャルリードすなわちケーブル２７５に接続されている。図１４のトライアキシャルケーブル２７５はシールド（ないし外側）ライン３８２、ガード（ないし中間）ライン３８４、および信号（すなわち内側）ライン３８６を有し、これらは絶縁在により互いに電気的に絶縁されている。この模式図では、３つの導電ライン３８２、３８４および３８６をより明確に示すためにリード３８０の絶縁層すなわち外装（sheathing）は除外されている。リード２７５はねじ付きのスタブコネクタ（stub connector）３８８によってプローブ２５６に接続される。スタブコネクタ３８８は概して円筒形状であり、外側部分３９０、中間部分３９２および内側部分３９４を含む３つの導体を有している。これらもまた絶縁材によって相互に電気的に絶縁されている。コネクタ３８８へのトライアキシャルリード３７５の接続により、導体３９０、３９２および３９４はシールドライン３８２、ガードライン３８４および信号ライン３８６に電気的に接続される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２１】
係止部を設け、プローブ２５６が凹部４２６に十分に挿入されたことをユーザが容易に判断できるようにすることができる。例えばリップを凹部４２６の底部に設け、ありフランジ部４２４が結合凹部４２６の上部から底部まで完全にスライドするのを妨げるようにしてもよい。他の形態では、ばね付勢された球体およびソケットのような戻り止め機構を用い、プローブ２５６がアーム３６４に十分に取り付けられたことをユーザが容易に判断できる補助とすることができる。図示の形態では、凹部４２６の表面に突起（lug）４２５が設けられ、プローブの後端側チャネル４２７に案内されて、突起４２５がリップ４２９に係合するとそれ以上プローブが挿入されないようにしている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２３】
図１６に示すプローブの他の形態をシステム１００に用いることもできる。これは表面電荷の量および／またはプローブの露出した絶縁表面をシールドすることによって生じる遅れを低減することができる。このプローブ５９０は同軸またはトライアキシャルシステム構成のいずれにも適用することができ、導体６００の延長部（ないしはクラッド）を有すること以外は、図５Ｉ〜図５Ｊ、図１２Ｂ〜図１２Ｃおよび図１３Ｂ〜図１３Ｃについて上述したプローブと同様である。特に、プローブチップ６１２はプローブ５９０の開口６１０によって形成される通路内に挿入され、これによってプローブチップ６１２および内側導体５９４間の電気的接続を行わせている。上述のように、同心開口６１０によって形成される通路は、外側導体６００および中間導体６０２と第１絶縁部６０６および第２絶縁部６０８とを通り、プローブ５９０から延在するプローブチップの角度（すなわち接触の角度）を決定する。プローブチップ６１２は、導体６００および６０２から電気的に絶縁されるとともに、好ましくは右または左に３０度の接触角度、もしくはプローブ５９０から鉛直方向下方に真っ直ぐに延在させることで９０度の接触角度となるよう傾けられる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４３】
アダプタ４７１はまた、図１５Ａ〜図１５Ｆに示すように、アダプタによりカード４７２を保持したままカード４７２の回動または調整を行うことができるように構成されている。好適な形態では、この回動はリング部分４７１ａによって達成される。リング部分４７１ａは、アダプタをプラテン２５８に接続するための安定すなわち静止した外側リムを有するとともに、カード保持部部分４７１ｂが接続される可動の内側リムとを有している。カード４７２および内側リムの回動はシータ調整機構４７８によって制御される。シータ調整機構４７８は、そのノブ４７８ａの旋回によりアダプタ４７１の外側リム内で内側リムの回動を生じさせる。ノブ４７８ａは歯車伝動機構を作動させ、これはノブの回転をアダプタ４７１の内側リムの運動に変換する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４８】
図２５Ａの２５Ｂ−２５Ｂ線に沿った断面図である図２５Ｂにおいて、カプリング７１０を介しリードスクリュ７０８に接続されたモータ７０６を有するＹ軸ステージ駆動部が示されている。ナット７１２は取付けブラケット７１２ａを介してベッド７００に接続され、スクリュ７０８が螺合する。ベッド７００は下側にガイド部材７００ａを有し、その上を上側のスライド部材７００ｂが移動する。取付けブラケット７１２ａはナット７１２を上側部材７００ｂに接続している。そして、回転するスクリュ７０８に沿ったナット７１２の直線移動により、Ｙ方向に延在するスクリュ軸７０８ａに沿って上側部材７００ｂが移動する。モータ７０６の出力シャフト７０６ａが回転するとリードスクリュ７０８が回転し、モータ７０６に接近する方向または遠ざかる方向のいずれかに、スクリュ７０８に沿ってナットを移動させる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５５】
傾斜／チルト動作制御機構５４２はプラットフォーム５４４の下方のハウジング１０２の底面上で間隔をおいて配置した３つのベアリングピボット７２２、７２４および７２６を含んでいる。好適な形態では、ピボット７２２および７２４はモータ駆動される支持バー７２２ｂおよび７２４ｂを有し、対応する下側ガイド部材部分を、互いに独立して昇降させる。第３のピボット、すなわちピボット７２６は固定されたピボットすなわちジンバルであり、対応する下側ガイド部材部分を上昇および／または下降させることはできない。ピボット７２２および７２４はモータ駆動されるものであるが、プラットフォーム５４４およびそれに接続されたコンポーネントを所望の方法でチルト／傾斜させる目的に対してピボット７２６をモータ駆動する必要はない。例えば、システムオペレータが図２４Ｂに示すプラットフォーム５４４を左下がりにチルトすることを望むのであれば、オペレータはただピボット７２２および７２４の支持バーを下降させれば足りる。あるいは、システムオペレータがプラットフォーム５４４を右下がりにチルトすることを望むのであれば、ピボット７２２および７２４の支持バーを所望のチルト量が得られるまで上昇させればよい。ピボット７２２、７２４および７２６は三角形に配置されているので、望みのままにチルト／傾斜を行うことができる。このような構成で、いずれか２つのピボットがチルトや傾けを可能にする軸を形成することができる。モータ７２２ａおよび７２４ａの作動を選択することで、プラットフォーム５４４をどの軸に関してチルトさせるかが決定される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９０】
従って、テストが所望されている導体パス表示の位置すなわち端子まで、オペレータはマウスを用い、スクリーン上でカーソル５９８のクリックアンドドラッグを行うことができる。このカーソル移動により、プローブステーション１００に対し様々な異なった移動を行わせることができる。例えば、ユーザが一つのダイから他のダイへとカーソルをクリックアンドドラッグすることで、プローブ２５６を一つのダイから他のダイへと移動させ、新たなダイのプロービングおよび分析が可能となる。あるいは、ユーザが一つのプローブ位置から他へとカーソルをクリックアンドドラッグすることで、選択されたプローブ２５６を特定のダイの一つの位置から同じダイの他の位置へと移動させることが可能となる。好適な形態では、オペレータないしユーザは、移動を行わせるのに先立ち、その者が望む移動のタイプをソフトウェアにより選択することができる。例えば、ユーザが単一のプローブを一つの位置から他の位置へと移動させることを望むのであれば、その者が移動させることを望んでいるプローブ上にカーソル５９８を位置づけ、続いてマウス入力ボタンをクリックしてホールドし、そしてそのプローブについて所望する新たなテスト位置にカーソル５９８が達するまでマウスをドラッグする。マウス入力ボタンが解放されれば、ソフトウェアは選択されたプローブをその新たな位置に移動させる。あるいは、ユーザがダイの切り替えを望んでいること、または現在のダイ上でカーソル５９８の位置づけを望んでいることをその者が指示し、プロービングすべき所望のダイまでカーソルをクリックアンドドラッグするようにすることもできる。マウス入力ボタンが解放されると、ソフトウェアは当該所望のダイをプロービングのために高解像顕微鏡１０４の下に位置づける。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９１】
クリックアンドドラッグ型の入力プロセスについて説明したが、所望の移動が実現されるものであれば他の入力プロセスを用いることもできる。例えば、単にカーソル５９８をテストを所望するダイに位置づけてマウス入力部をクリックまたはダブルクリックすることで、一つのダイから他への移動を行わせるようにすることもでき、これによって選択されたダイが高解像顕微鏡１０４の下に位置づけられるようになる。同様に、同じダイ上で一つの位置から他の位置へとプローブ移動を行わせる場合には、移動させることを望むプローブ上でのクリック、またはどのプローブを移動させるかについてメニュからの選択を行い、カーソル５９８をそのプローブの新たな所望位置に移動させ、そしてそのカーソル位置でマウス入力のクリックまたはダブルクリックを行うようにすることができる。これにより、当該選択されたプローブを新たな所望位置に移動させることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２Ａ】
2003309153.tif 000001
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２２Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２２Ａ】
2003309153.tif 000002
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２４Ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２４Ｃ】
2003309153.tif 000003