【手続補正書】
【提出日】平成18年3月10日(2006.3.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端が供給ロールに、他端が巻き取りロールに、それぞれ巻かれたシート状ワークの一部を固定する加工テーブルと、レーザを前記シート状ワーク上に位置決めして集光させるレーザ集光位置決め手段と、を備え、
前記加工テーブルと前記レーザ集光位置決め手段とを相対的に移動させて前記加工テーブルに固定された前記シート状ワークを加工し、加工が終了した場合は前記シート状ワークを長手方向に移動させて次の加工領域を前記加工テーブルに固定することを繰り返すレーザ加工機において、
前記レーザ集光位置決め手段を複数個設け、
前記レーザ集光位置決め手段を前記長手方向と直角の幅方向にずらせて配置し、前記シート状ワークを前記複数個前記加工テーブルに対して前記幅方向に並列に固定して、前記シート状ワークを加工をすることを特徴とするレーザ加工機。
【請求項２】
前記複数個のレーザ集光位置決め手段が、２個であり、１個のレーザ発振器から出力されたレーザを前記２個のレーザ集光位置決め手段のいずれか一方に供給するレーザ分配手段を設け、
このレーザ分配手段を介して供給するレーザにより前記シート状ワークを加工をすることを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工機。
【請求項３】
前記加工テーブルは、内部に複数個の中空部を有し、該複数個の中空部はそれぞれ真空源に接続させると共に、前記加工テーブルの表面に開口する複数個の孔に連通して、前記複数個のシート状ワークをそれぞれ前記加工テーブルに固定してなる、請求項１に記載のレーザ加工機。
【請求項４】
前記レーザ集光位置決め手段は、ガルバノスキャナ及びｆθレンズである、請求項１に記載のレーザ加工機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、シート状ワークの一部を固定する加工テーブルと、レーザを前記シート状ワーク上に位置決めして集光させるｆθレンズ等のレーザ集光位置決め手段と、を備え、加工テーブルとレーザ集光位置決め手段とを相対的に移動させて加工テーブル上のシート状ワークを加工し、加工が終了した場合はシート状ワークを長手方向に移動させて次の加工領域を加工することを繰り返すレーザ加工機に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
ＸＹテーブル１の上方には、レーザをワーク上に位置決めして集光させる２個のｆθレンズ４ａ、４ｂが配置されている。ｆθレンズ４ａ、４ｂはＸ座標が同一になるようにして配置され、間隔Ｌ１は調整可能である。シート状ワーク２は、幅方向の中心がｆθレンズ４ａ、４ｂの中心軸Ｏ１、Ｏ２に一致するようにしてＸＹテーブル１に固定されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
そして、レーザ発振器からのパルス状のレーザが例えば、図４の点Ａ１、Ａ２側からｆθレンズ４ａ、４ｂの大きさで定まる領域を加工し、当該領域の加工が終了すると、ＸＹテーブル１をＸ方向に移動させて、次の加工領域を加工する。そして、Ｘ方向の加工が終了すると、ＸＹテーブル１をＹ方向に移動させて次の加工領域を加工する。以下、プリント基板３の加工が終了するまで、上記の動作を繰り返す。そして、プリント基板３の加工が終了すると、シート状ワーク２の固定を解除し、シート状ワーク２をＹ方向に移動させて未加工のプリント基板３をｆθレンズ４ａ、４ｂに対して位置決めする。以下、シート状ワーク２の巻き終わりまで、上記の動作を繰り返す。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記のレーザ加工機の場合、ＸＹテーブル１上の２箇所で加工をするので、加工能率を向上させることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明は、一端が供給ロール（５０，５１）に、他端が巻き取りロール（５２，５３）に、それぞれ巻かれたシート状ワーク（２，２）の一部を固定する加工テーブル（１１）と、レーザを前記シート状ワーク上に位置決めして集光させるレーザ集光位置決め手段（４ａ，４ｂ）と、を備え、前記加工テーブルと前記レーザ集光位置決め手段とを相対的に移動させて前記加工テーブルに固定された前記シート状ワークを加工し、加工が終了した場合は前記シート状ワークを長手方向に移動させて次の加工領域を前記加工テーブルに固定することを繰り返すレーザ加工機において、前記レーザ集光位置決め手段（４ａ，４ｂ）を複数個設け、前記レーザ集光位置決め手段を前記長手方向と直角の幅方向にずらせて配置し、前記シート状ワークを前記複数個前記加工テーブルに対して前記幅方向に並列に固定して、前記シート状ワークを加工をすることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
この場合、前記複数個のレーザ集光位置決め手段（４ａ，４ｂ）が２個（４ａ，４ｂ）であり、１個のレーザ発振器から出力されたレーザを前記２個のレーザ集光位置決め手段のいずれか一方に供給するレーザ分配手段（２３）を設け、このレーザ分配手段を介して供給するレーザにより前記シート状ワークを加工をすることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
長さが加工テーブルの移動ストロークに等しいなどの長いプリント基板でも、複数のプリント基板を同時に加工ができるので、加工するプリント基板の長さの制限が少なく、シート状ワークの位置決め制御が容易である。また、シート状ワークの加工テーブルに対する位置決め回数を減らすことができるので加工能率を向上させることができる。さらに、プリント基板の長さに合わせてｆθレンズ等のレーザ集光位置決め手段の間隔を変える必要がないので、段取り作業も容易である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
図１に示すように、レーザ加工機Ａのベッド１０上にはＸＹテーブル１が配置されており、該ＸＹテーブル１は、ベッド１０上を水平なＸ、Ｙ方向に移動自在である。ＸＹテーブル１上には加工テーブル１１が載置されている。上記ベッド１０には門形のコラム１２が固定されており、該コラム１２にはレーザ発振器２０が載置されている。レーザ発振器２０の光軸上にはレーザの光路を第１の光路２１または第２の光路２２に切り替える音響光学素子２３が配置されている。第１の光路２１上にはミラー２４および１対のガルバノスキャナ２５とｆθレンズ４ａとからなるレーザ集光位置決め部４１が配置されている。また、第２の光路２２上にはミラー２６、２７および１対のガルバノスキャナ２８とｆθレンズ４ｂとからなるレーザ集光位置決め部４２が配置されている。なお、ガルバノスキャナ２５，２８及びｆθレンズ４ａ，４ｂは、それぞれレーザ加工テーブル１１上のワーク２に位置決めして集光するものであり、レーザ集光位置決め手段であるレーザ集光位置決め部４１，４２を構成する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
レーザ加工機Ａの一側（図１の右側）には未加工のシート状ワーク２が巻かれた２個の供給ロール５０、５１を回転自在に支持するワーク供給装置Ｂが配置され、レーザ加工機Ａの他側（図１の左側）には加工が終了したシート状ワーク２を巻き取る２個の巻き取りロール５２、５３を回転自在に支持する巻き取り装置Ｃが配置されている。なお、シート状ワーク２の搬送手段はよく知られた技術であるので、図示が省略されている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
次に、本発明の動作を説明する。加工に先立ち、シート状ワーク２の一方の幅方向の中心がｆθレンズ４ａの中心軸Ｏ１と一致し、かつ、最初の加工領域の端部がＡ１になるようにして加工テーブル１１に配置し、中空部１１ａを負圧にしてシート状ワークを加工テーブル１１に固定する。同様に、他方のシート状ワーク２の幅方向の中心がｆθレンズ４ｂの中心軸Ｏ２と一致し、かつ、最初の加工領域の端部がＡ２になるようにして加工テーブル１１に配置し、中空部１１ｂを負圧にしてシート状ワーク２を加工テーブル１１に固定する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
次に、加工を開始する。レーザ発振器２０から出力されたレーザは、音響光学素子２３により光路を交互に変更されてミラー２４またはミラー２６、２７を介して１対のガルバノスキャナ２５またはガルバノスキャナ２８に入射する。そして、それぞれＸＹ方向に位置決めされ、ｆθレンズ４ａまたはｆθレンズ４ｂを通過してそれぞれプリント基板３を加工する。従って、加工テーブル１１上に２本のシート状ワーク２，２が載置されている場合は、２本のワーク２，２がほぼ同時に加工されるが、例え、加工テーブル１１の一方にだけシート状ワーク２が載置されている場合であっても、シート状ワーク２の加工を行うことができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
なお、この実施形態では、シート状ワーク２をテーブルに吸着させて固定するようにしたが、機械的なクランプユニットを用いて固定するようにしてもよい。また、ｆθレンズ４ａ、４ｂをＹ方向にもずらして配置したが、Ｙ方向に一致させてもよい。また、この実施形態では１つのレーザをｆθレンズ４ａ、４ｂに照射するようにしたが、複数のレーザを照射するようにしてもよい。なお、レーザ分配手段として音響光学素子２３を用いたが、これに代えてビームスプリッタを用いてもよい。更に、レーザ集光位置決め手段としてｆθレンズを用いたが、これに限ることはなく、集束レンズ等の他のものでもよく、またレーザ集光位置決め手段及びワークは、２個に限らず、３個以上の複数個でもよい。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
２  シート状ワーク
３  プリント基板
４ａ  レーザ集光位置決め手段（ｆθレンズ）
４ｂ  レーザ集光位置決め手段（ｆθレンズ）
１１  加工テーブル
２３  レーザ分配手段（音響光学素子）
５０，５１  供給ロール
５２，５３  巻き取りロール