【手続補正書】
【提出日】平成18年6月27日(2006.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
(a) 共振器(60)を形成するために互いに並列に電気接続されて、前記共振器(60)の高電圧端子(64)と低電圧端子(66)にそれぞれインダクタとキャパシタの第１，第２端部が電気接続される前記インダクタ(62)とキャパシタ(88,82) と、
(b) 前記共振器(60)の低電圧端子(66)において前記インダクタ(62)に直接連結された無線周波(RF)入力カップリング(70)と、
(c) 前記共振器(60)の高電圧端子(64)に連結された高電圧電極(72)とを備えていることを特徴とする、所定の周波数において共振可能な共振回路。
【請求項２】
前記共振器(60)の低電圧端子(66)に配置された前記インダクタ(62)のコネクタパッド(78)を更に含み、このコネクタパッドに接続する前記入力カップリング(70)の位置が、この入力カップリングにＲＦ信号を供給するＲＦ入力源の位置に関連して前記共振器(60)のインピーダンスがマッチングするように選択されていることを特徴とする請求項１記載の共振回路。
【請求項３】
前記コネクタパッド(78)に接続する前記入力カップリング(70)の位置が、前記インダクタの製造許容範囲内に適合するために、変化できるように構成されていることを特徴とする請求項２記載の共振回路。
【請求項４】
前記インダクタは、中空の円筒コイルであることを特徴とする請求項３記載の共振回路。
【請求項５】
中空の円筒コイルは、水で冷却されていることを特徴とする請求項４記載の共振回路。
【請求項６】
中空の円筒コイルは、コイルループ間に所定の距離を維持するためにスペーサ要素(67)を備えていることを特徴とする請求項５記載の共振回路。
【請求項７】
前記高電圧電極(72)は、加速されるべきイオンビームが通過できる通路(74)を有することを特徴とする請求項１記載の共振回路。
【請求項８】
(a) 長手軸線(92)を有する固定位置のインダクタ(62)と、キャパシタ(88,82) が互いに並列に電気接続されて共振器（60）を形成し、前記インダクタとキャパシタの各第１，第２端部が、前記共振器(60)の高電圧端子(64)と低電圧端子(66)にそれぞれ電気接続されている、インダクタ(62)とキャパシタ(88,82) と、
(b) 前記インダクタ(62)に連結された無線周波(RF)入力カップリング(70)と、
(c) 前記共振器(60)の高電圧端子(64)に連結された高電圧電極(72)と、
(d) 前記インダクタ(62)のコイル内で前記長手軸線(92)に沿って移動可能なプランジャー(90)を有して、前記インダクタ(62)のインダクタンスを変えるための第１同調機構と、
(e) 前記キャパシタ(88,82) のキャパシタンスを変えるための第２同調機構とを含み、
前記第１同調機構は、前記インダクタ(62)のインダクタンスを変えることによって共振回路の微調整を行い、前記第２同調機構は、前記キャパシタ(88,82) のキャパシタンスを変えることによって共振回路の粗調整を行うことを特徴とする、所定の周波数において共振可能な共振回路。
【請求項９】
前記キャパシタ(88,82) により与えられる共振器の第２同調機構は、
(a) 前記コイルインダクタ(68)の一端部に連結された金属要素(88)と、
(b) コイルハウジング(68)の一部分(82)とを含み、前記金属要素(88)の位置は、前記キャパシタ(88,82) のキャパシタンスを変えるために、前記ハウジングの一部分(82)に対して移動可能であることを特徴とする請求項８記載の共振回路。
【請求項１０】
前記金属要素は、前記共振器の高電圧端子(64)に接続され、前記ハウジングの一部分(82)は、電気的にアースされ、前記金属要素(88)は、前記長手軸線(92)に沿って移動可能であることを特徴とする請求項９記載の共振回路。
【請求項１１】
(a) 長手軸線(92)を有する固定位置のインダクタ(62)と、キャパシタ(88,82) が互いに並列に電気接続されて共振器（60）を形成し、前記インダクタとキャパシタの各第１，第２端部が、前記共振器(60)の高電圧端子(64)と低電圧端子(66)にそれぞれ電気接続されている、インダクタ(62)とキャパシタ(88,82) と、
(b) 前記共振器(60)の低電圧端子(66)において前記インダクタ(62)に直接連結された無線周波(RF)入力カップリング(70)と、
(c) 前記共振器(60)の高電圧端子(64)に連結された高電圧電極(72)と、
(d) 前記インダクタ(62)のコイル内で前記長手軸線(92)に沿って移動可能なプランジャー(90)を有して、前記インダクタ(62)のインダクタンスを変えるための第１同調機構とを備えていることを特徴とする、所定の周波数において共振可能な共振回路。
【請求項１２】
前記高電圧電極(72)は、加速されるべきイオンビームが通過できる通路(74)を有することを特徴とする請求項１１記載の共振回路。
【請求項１３】
前記インダクタは、中空の円筒コイルであることを特徴とする請求項１１記載の共振回路。
【請求項１４】
中空の円筒コイルは、水で冷却されていることを特徴とする請求項１３記載の共振回路。
【請求項１５】
前記固定位置のコイルインダクタ(62)が、コイルループ間に所定の距離を維持するためにスペーサ要素(67)を備えていることを特徴とする請求項１１記載の共振回路。
【請求項１６】
前記長手軸線(92)に沿ってプランジャー(90)を双方向に移動するための調整用サーボモータをさらに含むことを特徴とする請求項１１記載の共振回路。
【請求項１７】
前記長手軸線(92)に沿うプランジャー(90)の位置に対するフィードバックを与えるための線形位置エンコーダ(101) をさらに含むことを特徴とする請求項１６記載の共振回路。
【請求項１８】
前記共振器(60)の低電圧端子(66)に配置された前記インダクタ(62)のコネクタパッド(78)を更に含み、このコネクタパッドに接続する前記入力カップリング(70)の位置が、この入力カップリングにＲＦ信号を供給するＲＦ入力源の位置に関連して前記共振器(60)のインピーダンスがマッチングするように選択されていることを特徴とする請求項１１記載の共振回路。
【請求項１９】
前記コネクタパッド(78)に接続する前記入力カップリング(70)の位置が、前記インダクタの製造許容範囲内に適合するために、変化できるように構成されていることを特徴とする請求項１８記載の共振回路。
【請求項２０】
前記キャパシタ(88,82) のキャパシタンスを変えるための第２同調機構をさらに含み、前記第１同調機構は、前記インダクタ(62)のインダクタンスを変えることによって共振回路の微調整を行い、前記第２同調機構は、前記キャパシタ(88,82) のキャパシタンスを変えることによって共振回路の粗調整を行うことを特徴とする請求項１１記載の共振回路。
【請求項２１】
前記キャパシタ(88,82) により与えられる前記第２同調機構は、
(a) 前記コイルインダクタ(68)の一端部に連結された金属要素(88)と、
(b) コイルハウジング(68)の一部分(82)とを含み、
前記金属要素(88)の位置は、前記キャパシタ(88,82) のキャパシタンスを変えるために、前記ハウジングの一部分(82)に対して移動可能であることを特徴とする請求項２０記載の共振回路。
【請求項２２】
前記金属要素は、前記共振器の高電圧端子(64)に接続され、前記ハウジングの一部分(82)は、電気的にアースされ、前記金属要素(88)は、前記長手軸線(92)に沿って移動可能であることを特徴とする請求項２１記載の共振回路。
【請求項２３】
(a) 長手軸線(92)を有する固定位置のインダクタ(62)と、キャパシタ(88,82) が互いに並列に電気接続されて共振器（60）を形成し、前記インダクタとキャパシタの各第１，第２端部が、前記共振器(60)の高電圧端子(64)と低電圧端子(66)にそれぞれ電気接続されている、インダクタ(62)とキャパシタ(88,82) であって、前記固定位置のコイルインダクタ(62)が、コイルループ間に所定の距離を維持するためにスペーサ要素(67)を備えているものと、
(b) 前記インダクタ(62)に連結された無線周波(RF)入力カップリング(70)と、
(c) 前記共振器(60)の高電圧端子(64)に連結され、イオンビームを加速するための高電圧電極(72)と、
(d) 前記固定位置のインダクタ(62)のコイル内で前記長手軸線(92)に沿って移動可能なプランジャー(90)を有して、前記インダクタ(62)のインダクタンスを変えるための第１同調機構とを備えていることを特徴とする、所定の無線周波数(RF)において共振可能な共振回路。