【手続補正書】
【提出日】平成18年3月3日(2006.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象となるウエハ収納カセットを設置する設置台と、
前記設置台に設置される前記ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影して画像信号を出力する撮影装置と、
前記撮影装置からの画像信号にて表される画像に基づいて前記所定部位の実形状を表す実形状情報を生成する処理ユニットとを有し、
前記処理ユニットは、前記画像信号にて表される画像上において前記所定部位の形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理手段と、
前記画像処理手段にて得られた画像上形状情報から所定の変換情報を用いて前記実形状情報を生成する実形状情報生成手段とを有することを特徴とするウエハ収納カセットの検査装置。
【請求項２】
前記画像処理手段は、前記画像上に設定される画像座標系において前記所定部位の位置を表す画像上位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、
前記実形状情報生成手段は、前記変換情報を用いて前記画像上位置情報を所定の絶対座標系における実位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実位置情報に基づいた実形状情報を生成するようにしたことを特徴とする請求項１記載のウエハ収納カセットの検査装置。
【請求項３】
前記実形状情報生成手段にて用いられる変換情報は、前記所定部位の形状を表す実形状情報が既知となる基準ウエハ収納カセットから得られた前記画像上形状情報と前記既知となる実形状情報との関係に基づいて定められたものとなることを特徴とする請求項１または２記載のウエハ収納カセットの検査装置。
【請求項４】
収納されるウエハ周辺部を支える棚板部が側壁に垂直方向に配列されるように複数形成されたウエハ収納カセットを検査対象とし、
前記撮影装置にて撮影すべき前記所定部位を所定数の棚板部の所定部分としたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のウエハ収納カセットの検査装置。
【請求項５】
前記画像処理手段は、前記画像上に設定される画像座標系において各棚板部のウエハ支持面の位置を表す画像上ウエハ支持面位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、
前記実形状情報生成手段は、前記変換情報を用いて前記画像上ウエハ支持面位置情報を所定の絶対座標系における実ウエハ支持面位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実ウエハ支持面位置情報に基づいた実形状情報を生成するようにしたことを特徴とする請求項４記載のウエハ収納カセットの検査装置。
【請求項６】
前記実形状情報生成手段は、前記各棚板部に対する前記実ウエハ支持面位置情報に基づいて前記各棚板部の間隔を表す実形状情報を生成するようにしたことを特徴とする請求項５記載のウエハ収納カセットの検査装置。
【請求項７】
前記所定数の棚板部の所定部分を含む前記撮影装置の撮影領域を前記複数の棚板部の配列方向に移動させる撮影領域移動手段を有することを特徴とする請求項４乃至６のいずれかに記載のウエハ収納カセットの検査装置。
【請求項８】
前記撮影領域移動手段は、前記複数の棚板部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域をステップ的に移動させるようにしたことを特徴とする請求項７記載のウエハ収納カセットの検査装置。
【請求項９】
ロボットにより把持されるハンドリング部材を上面に備えたウエハ収納カセットを設置する設置台と、
前記設置台に設置されるウエハ収納カセットの前記ハンドリング部材を撮影して画像信号を出力する撮影装置と、
前記撮影装置からの画像信号にて表される画像に基づいて前記ハンドリング部の実形状情報を生成する処理ユニットとを有し、
前記処理ユニットは、前記画像信号にて表される画像上において前記ハンドリング部材の外形形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理手段と、
前記画処理手段にて得られた画像上形状情報から所定の変換情報を用いて前記ハンドリング部の実外形形状を表す実形状情報を生成する実形状情報生成手段とを有することを特徴とするウエハ収納カセットの検査装置。
【請求項１０】
検査対象となるウエハ収納カセットを設置台に設置する設置ステップと、
前記設置台に設置される前記ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影装置で撮影する撮影ステップと、
前記所定部位の撮影により前記撮影装置から出力される画像信号にて表される画像に基づいて前記所定部位の実形状を表す実形状情報を生成する処理ステップとを有し、
前記処理ステップは、前記画像信号にて表される画像上における前記所定部位の形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理ステップと、
前記画像処理ステップにて得られた画像上形状情報から所定の変換情報を用いて前記実形状情報を生成する実形状情報生成ステップとを有することを特徴とするウエハ収納カセットの検査方法。
【請求項１１】
前記画像処理ステップは、前記画像上に設定される画像座標系において前記所定部位の位置を表す画像上位置情報を前記画像上形状情報として生成し、
前記実形状情報生成ステップは、前記変換情報を用いて前記画像上位置情報を所定の絶対座標系における実位置情報に変換する座標変換ステップを有し、前記実位置情報に基づいた実形状情報を生成することを特徴とする請求項１０記載のウエハ収納カセットの検査方法。
【請求項１２】
前記実形状情報生成ステップにて用いられる変換情報を取得する変換情報取得ステップを有し、
前記変換情報取得ステップは、前記所定部位の形状を表す実形状情報が既知となる基準ウエハ収納カセットに対して前記設置ステップ、前記撮影ステップ及び画像処理ステップを実施して前記基準ウエハ収納カセットにおける前記所定部位の画像上形状情報を生成する第一のステップと、
前記画像上形状情報と前記既知となる実形状情報との関係に基づいて前記変換情報を生成する第二のステップとを有することを特徴とする請求項１０または１１記載のウエハ収納カセットの検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
検査対象となるウエハ収納カセットを設置する設置台と、前記設置台に設置される前記ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影して画像信号を出力する撮影装置と、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像に基づいて前記所定部位の実形状を表す実形状情報を生成する処理ユニットとを有し、前記処理ユニットは、前記画像信号にて表される画像上において前記所定部位の形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理手段と、前記画像処理手段にて得られた画像上形状情報から所定の変換情報を用いて前記実形状情報を生成する実形状情報生成手段とを有する構成となる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、前記画像上に設定される画像座標系において前記所定部位の位置を表す画像上位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段が、前記変換情報を用いて前記画像上位置情報を所定の絶対座標系における実位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実位置情報に基づいた実形状情報を生成するように構成することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、前記画像上に設定される画像座標系において各棚板部のウエハ支持面の位置を表す画像上ウエハ支持面位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段が、前記変換情報を用いて前記画像上ウエハ支持面位置情報を所定の絶対座標系における実ウエハ支持面位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実ウエハ支持面位置情報に基づいた実形状情報を生成するように構成することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記実形状情報生成手段が、前記各棚板部に対する前記実ウエハ支持面位置情報に基づいて前記各棚板部の間隔を表す実形状情報を生成するように構成することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、ロボットにより把持されるハンドリング部材を上面に備えたウエハ収納カセットを設置する設置台と、前記設置台に設置されるウエハ収納カセットの前記ハンドリング部材を撮影して画像信号を出力する撮影装置と、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像に基づいて前記ハンドリング部の実形状情報を生成する処理ユニットとを有し、前記処理ユニットは、前記画像信号にて表される画像上において前記ハンドリング部材の外形形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理手段と、前記画処理手段にて得られた画像上形状情報から所定の変換情報を用いて前記ハンドリング部の実外形形状を表す実形状情報を生成する実形状情報生成手段とを有する構成となる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査方法は、検査対象となるウエハ収納カセットを設置台に設置する設置ステップと、前記設置台に設置される前記ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影装置で撮影する撮影ステップと、前記所定部位の撮影により前記撮影装置から出力される画像信号にて表される画像に基づいて前記所定部位の実形状を表す実形状情報を生成する処理ステップとを有し、前記処理ステップは、前記画像信号にて表される画像上における前記所定部位の形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理ステップと、前記画像処理ステップにて得られた画像上形状情報から所定の変換情報を用いて前記実形状情報を生成する実形状情報生成ステップとを有する構成となる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査方法は、前記画像処理ステップが、前記画像上に設定される画像座標系において前記所定部位の位置を表す画像上位置情報を前記画像上形状情報として生成し、前記実形状情報生成ステップが、前記変換情報を用いて前記画像上位置情報を所定の絶対座標系における実位置情報に変換する座標変換ステップを有し、前記実位置情報に基づいた実形状情報を生成する構成とすることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９６】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査方法は、前記実形状情報生成ステップにて用いられる変換情報を取得する変換情報取得ステップを有し、前記変換情報取得ステップが、前記所定部位の形状を表す実形状情報が既知となる基準ウエハ収納カセットに対して前記設置ステップ、前記撮影ステップ及び画像処理ステップを実施して前記基準ウエハ収納カセットにおける前記所定部位の画像上形状情報を生成する第一のステップと、前記画像上形状情報と前記既知となる実形状情報との関係に基づいて前記変換情報を生成する第二のステップとを有する構成とすることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１６】
図１０において、この駆動制御回路３０３は、位置制御部３０３１、モータ駆動部３０３２、位置情報設定部３０３３、位置検出部３０３４及び比較部３０３５を有する。位置制御部３０３１は、処理ユニット３００から供給される位置指令情報に基づいてリフタ装置１２０の目標駆動量に対応する目標位置情報を出力すると共に駆動制御信号を出力する。モータ駆動部３０３２は、位置制御部３０３１からの駆動制御信号に基づいてリフタ装置１２０の駆動源となるモータ１２５に対して駆動パルス信号を出力する。位置情報設定部３０３３は、位置制御部３０３１から出力される目標位置情報を取得して保持する。位置検出部３０３４は、センサ１２６からのモータ１２５の実際の駆動量に対応した検出位置情報（例えば、モータ１２５の駆動量に対応したパルス数）を取得する。比較部３０３５は、位置情報設定部３０３３に設定された目標位置情報と位置検出部３０３４にて取得される検出位置情報とを比較し、その比較結果を位置制御部３０３１に供給する。位置制御部３０３１は、比較部３０３５からの比較結果に基づいて駆動制御信号の出力制御を行う。そして、前記目標位置情報と前記検出位置情報とが一致すると、位置制御部３０３１は、その際の比較部３０３５での比較結果に基づいて駆動制御信号の出力を停止する。その結果、リフタ装置１２０のモータ１２５が停止する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１８】
処理ユニット３００は、図１１乃至図１３に示す手順に従って処理を行う。なお、各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）から得られる画像信号に対する処理は同じであるので、以下、各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）を撮影装置と総称して説明する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２２】
以下、同様にして、処理ユニット３００は、撮影領域Ｅｋがスロットピッチずつ移動するように撮影装置を移動させ、各撮影領域Ｅｋにて得られる画像データを順次所定のメモリに格納する（Ｓ２〜Ｓ５）。この過程で、内部カウンタｋがＮ−１に達すると、図１４に示すように、棚板部１３１（Ｎ−１）とそれに隣接する最上位の棚板部１３１（Ｎ）を含む（スロットＳＬN-1を含む）撮影領域ＥN-1を撮影する撮影装置からの画像信号に基づいた画像データが所定のメモリに格納される（Ｓ２、Ｓ３）。そして、内部カウンタｋがＮ−１に達したとの判定により（Ｓ４でＹＥＳ）、処理ユニット３００は、一連の処理を終了させる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３１】
なお、図１４に示すように、隣接する２つの棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）を含む撮影領域Ｅkがスロットピッチずつ移動することから、２番目の棚板部１３１（２）からＮ−１番目の棚板部１３１（Ｎ−１）のそれぞれについては画像上ウエハ支持面位置データｙkが２つずつ得られる。これに対応して、棚板部１３１（２）から棚板部１３１（Ｎ−１）のそれぞれについて実ウエハ支持面位置データＹkも２つずつ得られる。従って、棚板部１３１（２）から棚板部１３１（Ｎ−１）については、それら２つの実ウエハ支持面位置データＹkの平均値を用いてウエハ支持面の間隔ΔＹk+1が演算される（式（５）参照）。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３３】
前述した処理は、第一のカメラユニット２０１（１）、第二のカメラユニット２０１（２）、第三のカメラユニット２０１（３）及び第四のカメラユニット２０１（４）からの画像信号のそれぞれに対して実行される。従って、前述した処理の結果、図１６に示すように、左ウエハ支持体１３Ｌの前端部分の画像から隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＡＺ１（Ｙ１）と、各間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５の総和ＡＺ２６（ΣΔＹk）とが得られ、また、左ウエハ支持体１３Ｌの後端部分の画像から隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＢＺ２〜ＢＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＢＺ１と、各間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５の総和ＢＺ２６（ΣΔＹk）とが得られる。更に、右ウエハ支持体１３Ｒについても同様に、前端部分及び後端部分のそれぞれの画像から、隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＣＺ２〜ＣＺ２５、ＤＺ２〜ＤＺ２５と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＣＺ１、ＤＺ１と、各間隔ＣＺ２〜ＣＺ２５、ＤＺ２〜ＤＺ２５の総和ＣＺ２６、ＤＺ２６とが得られる。なお、図１６に示す例では、各ウエハ支持体１３Ｌ、１３Ｒがそれぞれ２５個（Ｎ＝２５）の棚板部を有する構造となっている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３７】
更に、撮影する部位は、各ウエハ支持体１３Ｌ、１３Ｒの前後部分の４箇所に限られることはない。各ウエハ支持体１３Ｌ、１３Ｒそれぞれの前端部分だけを、あるいは後端部分だけを撮影するようにしてもよい。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４０】
処理ユニット３００は、所定のタイミング、例えば、前述した左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状の検査に先立って、ウエハ収納カセット１０のハンドリング部材１５の実形状を検査する。具体的には、左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状の検査と同様に、キャリブレーションモードでの処理及び検査モードでの処理が行われる。キャリブレーションモードでの処理では、ハンドリング部材の実形状データ（所定ポイントの絶対座標系Ｘ−Ｙでの座標値）が既知となる基準ウエハ収納カセットの当該ハンドリング部材がカメラユニット２０３にて撮影され、そのカメラユニット２０３から出力される画像信号に対応した画像データの取り込みがなされる（図１１の手順参照）。そして、その画像データから得られる画像上形状データ（所定ポイントの画素座標系ｘ−ｙでの座標値）と前記既知となる実形状データとの関係から相関データが演算される（図１２参照）。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４５】
また、背面壁５５には、左背面ウエハ支持体５４Ｌと、この左背面ウエハ支持体５４Ｌと右側壁５２との間に位置する右背面ウエハ支持体５４Ｒが形成されている。左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒのそれぞれは、垂直方向に所定の間隔を持って配列された後述するような構造となる複数のＶ溝支持部を備えている。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５３】
撮影装置における第一のカメラユニット２０４（１）及び第一の照明器２０５（１）は、撮影台１２１上において図２２に示すように配置される。レンズ部２０４ａ、コンバータ２０４ｂ及びカメラ本体２０４ｃ（例えば、ＣＣＤカメラ）にて構成される第一のカメラユニット２０４（１）のレンズ部２０４ａ及びカメラ本体２０４ｃのウエハ収納カセット５０からの距離の調整、第一のカメラユニット２０４（１）の光軸の角度Ａの調整等により、第一のカメラユニット２０４（１）がウエハ収納カセット５０における左ウエハ支持体５３Ｌの前端部分（図１９参照）の所定範囲（計測部）を撮影できるように配置される。また、第一の照明器２０５（１）のウエハ収納カセット５０からの距離の調整及びその光軸の角度の調整（ウエハ収納カセット５０の中心軸に略平行）等により、第一の照明器２０５（１）が第一のカメラユニット２０４（１）の撮影領域を照らすように配置される。なお、ウエハ収納カセット５０の背後の所定位置には第一のカメラユニット２０４（１）にて得られる左ウエハ支持体５３Ｌの前端部分の画像と背景とのコントラストが明瞭にするためのスクリーン６０（例えば、白系の色）が配置される。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５４】
第二のカメラユニット２０４（２）及び第二の照明器２０５（２）は、図２３に示すように配置される。レンズ部２０４ａ及びカメラ本体２０４ｃのウエハ収納カセット５０からの距離の調整、第二のカメラユニット２０４（２）の光軸の角度Ａの調整等により、第二のカメラユニット２０４（２）がミラー１５２ａに映し出される像を撮影できるように配置される。ミラー１５２ａは、その角度α及び左背面ウエハ支持体５４Ｌとの距離ｍが第二のカメラユニット２０４（２）の前記位置及び向きの調整に対応して調整され、左背面ウエハ支持体５４Ｌの両側端部分（図２０に示す各Ｖ溝支持部５４０（ｋ）における第一の棚板部５４１ａ（ｋ）及び第一の溝部５４２ａ（ｋ）側の部分と、第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）及び第二の溝部５４２ｂ（ｋ）側の部分）の所定範囲（計測部）の像を第二のカメラユニット２０４（２）に導くように配置される。また、第二の照明器２０５（２）のウエハ収納カセット５０からの距離の調整及びその光軸の調整等により、第二の照明器２０５（２）がミラー１５２ａに映し出される左背面ウエハ支持体５４Ｌの所定範囲を照らすように配置される。なお、ウエハ収納カセット５０の側方の所定位置には第二のカメラユニット２０４（２）にて得られる左背面ウエハ支持体５４Ｌの両側端部分の画像と背景とのコントラストを明瞭にするためのスクリーン６１（例えば、黒系の色）が配置される。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５５】
第三のカメラユニット２０４（３）及びミラー１５２ｂは、第二のカメラユニット２０４（２）及びミラー１５２ａと同様にして（図２３参照）、右背面ウエハ支持体５４Ｒの両側端部分の所定範囲を撮影できるようにそれぞれ配置される。第二の照明器２０５（２）は、前述したようにミラー１５２ａに映し出される左背面ウエハ支持体５４Ｌの所定範囲を照らすと共に、ミラー１５２ａと同様にミラー１５２ｂが映し出す右背面ウエハ支持体５４Ｒの所定範囲を照らすように配置される。また、第四のカメラユニット２０４（４）は、第一のカメラユニット２０４（１）と同様にして（図２２参照）、ウエハ収納カセット５０における右ウエハ支持体５３Ｒの前端部分を撮影できるように配置され、第三の照明器２０５（３）は、第一の照明器２０５（１）と同様にして（図２２参照）、右ウエハ支持体５３Ｒの前端部分を照らすように配置される。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６２】
左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒについては、各撮影領域Ｅk（図２４参照）から得られた画像データに基づいて、各Ｖ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）の各棚板部５４１ａ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ）、５４１ａ（ｋ＋１）、５４１ｂ（ｋ＋１）の上面における所定ポイントの画素座標系ｘ−ｙにおけるｙ座標値（ｙak、ｙbk、ｙak+1、ｙbk+1）が画像上形状データとして得られる。また、各Ｖ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）の各溝線５４３ａ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）、５４３ｂ（ｋ＋１）の画素座標系ｘ−ｙでのｙ座標値（ｙavk，ｙbvk、ｙavk+1、ｙbvk+1）が画像上形状データとして得られる。そして、隣接する第一の棚板部５４１ａ（ｋ）、５４１ａ（ｋ＋１）の上面のｙ座標値（ｙak、ｙak+1）、隣接する第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ＋１）の上面のｙ座標値（ｙbk、ｙbk+1）、隣接する第一の溝部５４２ａ（ｋ）、５４２ａ（ｋ）の溝線５４３ａ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）のｙ座標値（ｙavk、ｙavk+1）、及び隣接する第二の溝部５４２ｂ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ＋１）の溝線５４３ｂ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ＋１）のｙ座標値（ｙbvk、ｙbvk+1）のそれぞれが対応する相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）のｃ、ｄを用いて絶対座標系Ｘ−ＹでのＹ座標値（Ｙak、Ｙak+1）、（Ｙbk、Ｙbk+1）、（Ｙavk、Ｙavk+1）、（Ｙbvk、Ｙbvk+1）に変換され（前記式（２）、（４）参照）、これらのＹ座標値（Ｙak、Ｙak+1）、（Ｙbk、Ｙbk+1）、（Ｙavk、Ｙavk+1）、（Ｙbvk、Ｙbvk+1）が実形状データとして得られる。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６４】
前述した処理の結果、図２５に示すように、前記第一の実施の形態と同様に、左ウエハ支持体５３Ｌの前端部分の画像から隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＡＺ１（Ｙ１）と、各間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５の総和ＡＺ２６（ΣΔＹk）とが得られ、また、右ウエハ支持体５３Ｒの前端部分の画像から隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＤＺ２〜ＤＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＤＺ１（Ｙ１）と、各間隔ＤＺ２〜ＤＺ２５の総和ＤＺ２６（ΣΔＹk）とが得られる。更に、左背面ウエハ支持体５４Ｌの画像から、隣接する２つのＶ溝支持部における棚板部の上面の間隔ＢＺ２〜ＢＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＢＺ１（Ｙ1）と、各間隔ＢＺ２〜ＢＺ２５の総和ＢＺ２６（ΣΔＹk）とが得られ、隣接する２つのＶ溝支持部における溝線の間隔ＥＺ２〜ＥＺ２５（ΔＹvk）と、一番目の溝線の水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＥＺ１（Ｙv1）と、各間隔ＥＺ２〜ＥＺ２５の総和ＥＺ２６（ΣΔＹvk）とが得られる。また、右背面ウエハ支持体５４Ｒの画像から、前記と同様に、隣接する２つＶ溝支持部における棚板部の上面の間隔ＣＺ２〜ＣＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＣＺ１（Ｙ1）と、各間隔ＣＺ２〜ＣＺ２５の総和ＣＺ２６（ΣΔＹk）とが得られ、隣接する２つのＶ溝支持部における溝線の間隔ＦＺ２〜ＦＺ２５（ΔＹvk）と、一番目の溝線の水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＦＺ１（Ｙv1）と、各間隔ＦＺ２〜ＦＺ２５の総和ＦＺ２６（ΣΔＹvk）とが得られる。