【手続補正書】
【提出日】平成17年11月22日(2005.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
この真空吸着搬送装置１１には、各種制御信号を演算する図示しないマイクロプロセッサと制御プログラム、演算式およびデータテーブルなどが格納されるＲＯＭや一時的にデータを格納するＲＡＭなどの図示しないメモリとを有する装置コントローラ３０が設けられている。この装置コントローラ３０には、前述の空気圧シリンダ１６や電磁弁１８や各バルブ２３，２５のソレノイド２３ａ，２５ａおよび搬送ヘッド１５を移動させる図示しない電動モータが接続されており、これらの部材の動作はこの装置コントローラ３０により制御されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
この吸着検出装置３２は着脱路内圧力Ｐｉｎが正圧であるか負圧であるかを識別できるものであり、ワークＷの吸着を検出するため、吸着準備圧力Ｐｓｅｔを読み込み、これに所定の吸着検出値ΔＰｓｅｔを加えて吸着検出圧力Ｐｊを設定する。また、搬送開始後には、着脱路内圧力Ｐｉｎを基準圧力Ｐｓとして読み込み、これに所定の許容変動幅ΔＤを加えて落下検出レンジを設定するとともに、ワークＷの搬送中には、装置コントローラ３０からの指令を受けた時に落下判定を行なう。さらに、ワークＷの搬送終了後には、離脱圧力値Ｐｒｅｓｅｔが検出されれば、それはワークＷの離脱を意味するので吸着確認信号（Ａ信号）の出力を停止する。そして、ワークＷの吸着具１３からの離脱が検出されたときには、吸着検出圧力Ｐｊを所定の到達不可値Ｐｕに設定する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
この吸着検出装置３２による吸着準備圧力Ｐｓｅｔ、基準圧力Ｐｓや落下検出圧力Ｐｔの検出は、装置コントローラ３０から指令を受けた時に行なわれる。そして、ワークＷの吸着確認や落下判定の結果は、吸着検出装置３２から装置コントローラ３０に吸着確認信号（Ａ信号）や落下信号（Ｅ信号）として送信される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
図３は吸着具が部品供給ステージから実装基板までワークを吸着して搬送する際に吸着圧力センサにより検出される着脱路内圧力の変化を示すタイムチャートである。まず、真空供給用バルブ２３と真空破壊用バルブ２５とが共に閉じた状態とされているときには、着脱路内圧力ＰｉｎはＡ点からＨ点に示すように大気圧となっている。真空供給用バルブ２３が開位置とされて着脱路２８に負圧が供給されると、着脱路内圧力Ｐｉｎは大気圧よりも低下して負圧が高くなり、着脱路内圧力Ｐｉｎが吸着準備圧力ＰｓｅｔとなるＢ点に達すると平衡状態となる。Ｃ点において吸着具１３がワークＷに接触されて吸着動作が開始されると、着脱路内圧力Ｐｉｎは低下してＤ点に達し、ワークＷが吸着具１３に吸着される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
このような搬送中のワークＷの落下判定は、着脱路２８の負圧値が所定の許容変動幅ΔＤを越えて変化したことを検出することにより行なう。つまり、ワークＷが接触面２１に接して吸着されている限り、原理的には吸着具１３は閉塞状態にあるものとみなされることから着脱路２８の負圧値も変化しないはずである。ただし、使用上は漏れなどにより必ずしも安定しないため、所定の許容変動幅ΔＤを予め設定しておく。そして、吸着が確認されているときの着脱路内圧力である基準圧力ＰｓとワークＷを搬送中に検出される着脱路内圧力である落下検出圧力Ｐｔとの差分が、所定の許容変動幅ΔＤより小さい場合には吸着と判断し、より大きい場合には落下と判断する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
次いで、ステップＳ４において吸着動作が行なわれて吸着具１３の接触面２１がワークＷに接触すると、Ｃ点からＤ点に向けて着脱路内圧力Ｐｉｎが低下することになる。ステップＳ５は吸着検出工程となっており、着脱路内圧力Ｐｉｎと吸着検出圧力Ｐｊとを比較して着脱路内圧力Ｐｉｎが吸着検出圧力Ｐｊ以下である、つまりＰｉｎ＜Ｐｊと判断されるとワークＷの吸着が検出され、ステップＳ６にて吸着検出装置３２から装置コントローラ３０へ吸着確認信号（Ａ信号）が出力される。そして、装置コントローラ３０が吸着確認信号（Ａ信号）を受信した後、ステップＳ７において装置コントローラ３０により搬送動作が開始され、ワークＷは吸着具１３に吸着された状態で搬送されることになる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
この搬送中には吸着具１３からのワークＷの落下判定を行なわれる。この落下判定を行なうには、比較のための基準圧力Ｐｓと落下検出圧力Ｐｔが吸着検出装置３２に読み込まれている必要がある。ここで、基準圧力Ｐｓは、ワークＷが吸着されているが、搬送は開始されない状態のもとで、吸着検出装置３２が基準圧力読込み命令（Ｐｓ信号）を受信した時に吸着圧力センサ３１を用いて読み込まれる。一方、落下検出圧力Ｐｔは、吸着検出装置３２が落下検出圧力読込み命令（Ｐｔ信号）を受信した時に吸着圧力センサ３１を用いて読み込まれる。落下検出圧力読込み命令（Ｐｔ信号）は、搬送中に装置コントローラ３０によって定期的に送信される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
差分計算の結果が許容変動幅ΔＤの範囲内にない場合、即ち落下検出圧力Ｐｔの負圧が落下検出レンジの上限値以上であると判定された場合には、落下信号（Ｅ信号）が吸着検出装置３２から装置コントローラ３０へ出力される（ステップＳ１３）。一方、ワークＷの落下が検出されず、ステップＳ１４においてワークＷの搬送終了が確認されたら、真空供給用バルブ２３が閉位置とされるとともに真空破壊用バルブ２５が開位置とされて着脱路２８内に正圧が供給される（ステップＳ１５）。そして、着脱路内圧力Ｐｉｎが上昇してステップＳ１６にて着脱路内圧力Ｐｉｎが離脱圧力値Ｐｒｅｓｅｔとなったこと、つまりＰｉｎ＞Ｐｒｅｓｅｔが検出されるとそれはワークＷの離脱を意味するので、ステップＳ１７にて吸着確認信号（Ａ信号）がＯＦＦされる。次いで、ワークＷの離脱が検出されると、ステップＳ１８にて吸着検出装置３２のメモリ内の吸着検出圧力Ｐｊの値は到達不可値Ｐｕに書き換えられる。同時に搬送ヘッド１５は再び部品供給ステージ１２まで移動されてルーティンはステップＳ１にリターンされる。ステップＳ１，Ｓ２を経てステップＳ３にて再び吸着検出圧力Ｐｊが設定されるまでの間、吸着検出圧力Ｐｊは到達不可値Ｐｕに維持されることになる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
図６はワーク搬送中に吸着ユニット内で圧力変化があった場合の吸着検出方法の説明図である。図示するように、例えばＤ１点で圧力変動操作があって着脱路内圧力ＰｉｎがＤ２点で示す負圧値にまで低下した場合には、再度基準圧力Ｐｓを読み込むことで新たな落下検出レンジを設定する。これは、Ｄ３点で圧力変動操作があって着脱路２８内の負圧値がＤ４点まで低下した場合も同様である。このように、圧力変動操作がある度に前回の落下検出レンジを新たな落下検出レンジに書き換え、ワークＷの落下を判断する。これにより、開閉用バルブ３５（ａ）〜３５（ｄ）の１つが開いた場合、複数個開いた場合や、元圧の変動などにともない着脱路２８への供給負圧力が落下検出レンジを越えて低下した場合でも、このような供給負圧力の低下と、ワークＷの落下による負圧力の低下を区別するので、ワークＷの落下のみを正しく検出する。なお、図示する場合にあっては吸着具１３の負圧値が段階的に低下する場合のみを示しているが、負圧値が上昇して変化する場合にも当然に適用が可能である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
また、ワークＷの落下判定のタイミングは装置コントローラ３０を操作することにより自由に変更することができる。たとえば、ワークＷが実装基板１４上に搭載されたか否かを判定する場合には、ワークＷを実装基板１４上に搭載する直前に落下検出圧力読み込み信号Ｐｔを吸着検出装置３２に送って落下判定を行なえば良い。一方、ワークＷの落下検出後（Ｅ信号受信後）には直ちに搬送を中止させたいのであれば、所定の周期で落下検出圧力Ｐｔを送信して周期的に落下判定を行ない、Ｅ信号受信後は直ちに搬送を中止させても良い。