【手続補正書】
【提出日】平成18年7月27日(2006.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
３つの第１の溝を有する光学部材を保持する保持装置であって、
前記光学部材を前記第１の溝を介して支持する第１の支持部材と、
前記第１の溝に対応する３つの第２の溝を有し、前記第２の溝を介して前記第１の支持部材を支持する第２の支持部材とを有することを特徴とする保持装置。
【請求項２】
前記第１の溝が半径方向に沿った直線上の溝であることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項３】
前記３つの第１の溝又はその延長線が１点で交わることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項４】
前記３つの第２の溝又はその延長線が１点で交わることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項５】
前記３つの第１の溝又は前記３つの第２の溝のうち少なくとも一方が螺旋状の形状を有していることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項６】
前記３つの第１の溝のうち一の第１の溝又はその延長線が他の第１の溝又はその延長線と交わる点と、前記一の第１の溝又はその延長線が残りの第１の溝又はその延長線と交わる点とが異なることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項７】
前記３つの第２の溝のうち一の第２の溝又はその延長線が他の第２の溝又はその延長線と交わる点と、前記一の第２の溝又はその延長線が残りの第２の溝又はその延長線と交わる点とが異なることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項８】
前記１点は、前記光学部材の中心であることを特徴とする請求項３記載の保持装置。
【請求項９】
前記１点は、前記光学部材の中心以外の点であることを特徴とする請求項３記載の保持装置。
【請求項１０】
前記３つの第２の溝又はその延長線が１点で交わることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項１１】
前記３つの第１の溝がお互いに１２０度をなし、前記３つの第２の溝がお互いに１２０度をなしていることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項１２】
前記第１の溝及び前記第２の溝は断面がＶ字形状であることを特徴とする請求項１記載の保持装置。
【請求項１３】
前記断面Ｖ字形状が９０°の角度であることを特徴とする請求項１２に記載の保持装置。
【請求項１４】
前記第１の支持部材が真球体形状を有することを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項１５】
前記第１の支持部材が、前記第１の溝及び第２の溝に沿って転動可能であることを特徴とする請求項２に記載の保持装置。
【請求項１６】
前記光学部材の中心から前記光学部材の半径の６０％乃至７０％離れた位置において、前記光学部材と前記第１の支持部材とが接触することを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項１７】
外周に３つの球面形状の凸部を有する光学部材を保持する保持装置であって、
前記光学部材の半径方向に沿う方向に前記球面形状の凸部を載置するための断面略Ｖ字形状の溝を有し、当該溝を介して前記光学部材を保持する保持部材を有することを特徴とする保持装置。
【請求項１８】
前記保持部材は、前記光学部材の半径方向に移動可能であることを特徴とする請求項１７に記載の保持装置。
【請求項１９】
前記３つの球面形状の凸部は、前記光学部材の中心に関して１２０度のピッチで配置されることを特徴とする請求項１７に記載の保持装置。
【請求項２０】
前記溝を構成する２つの支持平面の各々を、当該支持平面に対して垂直方向に駆動する駆動機構を更に有することを特徴とする請求項１７に記載の保持装置。
【請求項２１】
前記凸部は、断面Ｖ字形状の孔を有し、当該孔を介して前記球面に圧力を付加する圧力付加手段を更に有することを特徴とする請求項１７に記載の保持装置。
【請求項２２】
外周に３つのＶ字形状の凸部を有する光学部材を保持する保持装置であって、
前記Ｖ字形状の凸部を挟むように接触する２つの球面部を有し、当該球面部を介して前記光学部材を保持する保持部材を有することを特徴とする保持装置。
【請求項２３】
前記保持部材は、前記光学部材の半径方向に沿う方向に移動可能であることを特徴とする請求項２２に記載の保持装置。
【請求項２４】
前記３つのＶ字形状の凸部は、前記光学部材の中心に関して１２０度のピッチで配置されることを特徴とする請求項２２記載の保持装置。
【請求項２５】
前記光学部材は、ミラーであることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項２６】
請求項２に記載の保持装置を備え、当該保持装置に保持された光学部材を介してマスク又はレチクルに形成されたパターンを被処理体に露光する光学系を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２７】
請求項３に記載の保持装置を備え、当該保持装置に保持された光学部材を介してマスク又はレチクルに形成されたパターンを被処理体に露光する光学系を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２８】
請求項１７に記載の保持装置を備え、当該保持装置に保持された光学部材を介してマスク又はレチクルに形成されたパターンを被処理体に露光する光学系を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２９】
請求項２２に記載の保持装置を備え、当該保持装置に保持された光学部材を介してマスク又はレチクルに形成されたパターンを被処理体に露光する光学系を有することを特徴とする露光装置。
【請求項３０】
請求項２６に記載の露光装置を用いて被処理体を投影露光するステップと、
投影露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項３１】
請求項２７に記載の露光装置を用いて被処理体を投影露光するステップと、
投影露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項３２】
請求項２８に記載の露光装置を用いて被処理体を投影露光するステップと、
投影露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項３３】
請求項２９に記載の露光装置を用いて被処理体を投影露光するステップと、
投影露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の更に別の側面としての保持装置は、３つの第１の溝又はその延長線が１点で交わることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の更に別の側面としての保持装置は、３つの第２の溝又はその延長線が１点で交わることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の更に別の側面としての保持装置は、上記の１点が光学部材の中心であることを特徴とする請求項３記載の保持装置。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の更に別の側面としての保持装置は、上記の１点が光学部材の中心以外の点であることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の更に別の側面としての保持装置は、３つの第２の溝又はその延長線が１点で交わることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の更に別の側面としての保持装置は、断面Ｖ字形状が９０°の角度であることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
本発明の更に別の側面としての露光装置は、上記の保持装置を備え、当保持装置に保持された光学部材を介してマスク又はレチクルに形成されたパターンを被処理体に露光する光学系を有することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
本発明の更に別の側面としてのデバイス製造方法は、上記の露光装置を用いて被処理体を投影露光するステップと、投影露光された被処理体を現像するステップとを有することを特徴とする。上述の露光装置の作用と同様の作用を奏するデバイス製造方法の請求項は、中間及び最終結果物であるデバイス自体にもその効力が及ぶ。また、かかるデバイスは、ＬＳＩやＶＬＳＩなどの半導体チップ、ＣＣＤ、ＬＣＤ、磁気センサー、薄膜磁気ヘッドなどを含む。