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【手続補正書】
【提出日】平成18年4月5日(2006.4.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  リソグラフィー工程に於ける露光前加熱処理後のレジスト膜に於いて、レジスト膜の膜厚が、３５０ｎｍ以下であり、且つレジスト膜中に残留する溶剤量が、レジスト膜に対して２．００〜１０．０体積％の範囲内にあることを特徴とするレジスト膜。
【請求項２】  膜厚が、５０〜２００ｎｍの範囲内にあることを特徴とする請求項１に記載のレジスト膜。
【請求項３】  露光前加熱処理が、１００〜１３０℃、６０〜９０秒間の条件下で行われることを特徴とする請求項１又は２に記載のレジスト膜。
【請求項４】  （Ａ）単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂及び
（Ｂ）下記一般式（Ｉ）で表される、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物
を含有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のレジスト膜。
【化１】
2004361819.tif 000001
一般式（Ｉ）中、
Ｒ1は、アルキル基、脂環炭化水素基、水酸基、カルボキシル基、アルコキシ基又はハロゲン原子を表す。
ｙは、互いに独立に、０又は１〜５の整数を表す。ｙが２以上の整数の場合に、２個以上あるＲ1は、同じでも異なっていてもよい。
Ｑ1は、フッ素原子で置換されたアルキル基、フッ素原子で置換されたアリール基又はフッ素化アルキル基で置換されたアリール基を表す。
【請求項５】  基板上にレジスト組成物を塗布してレジスト膜を形成する工程と、該
レジスト膜を加熱する工程とを有し、該レジスト膜の膜厚が３５０ｎｍ以下であり、且つ露光前加熱処理後のレジスト膜中に残留する溶剤量が、該レジスト膜に対して２．００〜１０．０体積％の範囲内にあるレジスト膜を形成することを特徴とするレジスト膜の形成方法。
【請求項６】  前記加熱する工程を１００〜１３０℃で、６０〜９０秒間の条件下で行うことを特徴とする請求項５に記載のレジスト膜の形成方法。
【請求項７】  請求項１〜４のいずれかに記載のレジスト膜を露光、現像することを特徴とするパターン形成方法。
【請求項８】  請求項５又は６に従ってレジスト膜を形成した後に、該レジスト膜を露光、現像することを特徴とするパターン形成方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月31日(2006.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１１】  画像を表示させる指示を入力すると、表示手段の画面にその指示された画像を表示させる表示処理を含む複数の処理をマルチタスクで実行する１つのＣＰＵを備えた画像表示装置であって、
前記ＣＰＵは、画像を表示させる指示を入力すると、前記表示手段の画面にその指示された画像の低解像度画像を表示させる第１の画像表示処理と、該第１の画像表示処理の終了に連続して開始され、前記低解像度画像に替えてその指示された画像の高解像度画像を表示させる第２の画像表示処理とを表示処理タスクとして実行するものであり、
前記ＣＰＵに対し前記表示処理タスクが処理対象とする画像を次の画像に切り替える指示を与える指示手段を備え、
前記ＣＰＵは前記指示手段から指示が与えられると、そのとき前記低解像度画像の表示処理が途中であればその終了を待ってから、前記表示処理タスクが処理対象とする画像を次の画像に切り替える切替処理を行うことを特徴とする画像表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明では、画像を表示させる指示を入力すると、表示手段の画面にその指示された画像を表示させる表示処理を含む複数の処理をマルチタスクで実行する１つのＣＰＵを備えた画像表示装置であって、前記ＣＰＵは、画像を表示させる指示を入力すると、前記表示手段の画面にその指示された画像の低解像度画像を表示させる第１の画像表示処理と、該第１の画像表示処理の終了に連続して開始され、前記低解像度画像に替えてその指示された画像の高解像度画像を表示させる第２の画像表示処理とを表示処理タスクとして実行するものであり、前記ＣＰＵに対し前記表示処理タスクが処理対象とする画像を次の画像に切り替える指示を与える指示手段を備え、前記ＣＰＵは前記指示手段から指示が与えられると、そのとき前記低解像度画像の表示処理が途中であればその終了を待ってから、前記表示処理タスクで処理対象とする画像を次の画像に切り替える切替処理を行うことを要旨とする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月20日(2006.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  （Ａ）カルボキシル基を有する、活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物及び（Ｂ）酸分解性のアセタール基及び３級エステル基の少なくとも１種を有する酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有する感光性組成物。
【請求項２】  化合物（Ａ）がスルホニウム塩化合物であることを特徴とする請求項１に記載の感光性組成物。
【請求項３】  樹脂（Ｂ）が、単環または多環の脂環炭化水素構造を有する樹脂であることを特徴とする請求項１又は２に記載の感光性組成物。
【請求項４】  樹脂（Ｂ）が、主鎖または側鎖にフッ素原子を有する樹脂であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項５】  請求項１〜４のいずれかに記載の感光性組成物により感光性膜を形成し、当該感光性膜を露光、現像することを特徴とするパターン形成方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月1日(2006.6.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】 第一基板及び第二基板と、これらの基板の間隙を最小画素単位に区画すると共に該間隙の厚さ寸法を規定する隔壁と、前記基板及び前記隔壁によって形成される空間に充填される帯電粒子が分散された透明な分散媒と、を備えた電気泳動表示装置において、
前記第一基板が透明基板であり、
該第一基板における前記第二基板に対向する側の面に透明な第一電極を備え、
前記第二基板における前記第一基板に対向する側の面に反射層を備え、
前記隔壁内に少なくともその一部が形成されてなる第二電極を備えた、
ことを特徴とする電気泳動表示装置。
【請求項２】  前記反射層は白色散乱層である、
ことを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示装置。
【請求項３】  前記第一電極が共通電極で、前記第二電極が画素電極である、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の電気泳動表示装置。
【請求項４】  前記第一電極が画素電極で、前記第二電極が共通電極である、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の電気泳動表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記事情を考慮してなされたものであり、第一基板及び第二基板と、これらの基板の間隙を最小画素単位に区画すると共に該間隙の厚さ寸法を規定する隔壁と、前記基板及び前記隔壁によって形成される空間に充填される帯電粒子が分散された透明な分散媒と、を備えた電気泳動表示装置において、
前記第一基板が透明基板であり、
該第一基板における前記第二基板に対向する側の面に透明な第一電極を備え、
前記第二基板における前記第一基板に対向する側の面に反射層を備え、
前記隔壁内に少なくともその一部が形成されてなる第二電極を備えた、
ことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月25日(2006.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
標本位置で互いに一致する内向角を有する一対の観察光軸上に配置された一対の対物レンズを有する実体顕微鏡において、
前記対物レンズと前記標本との間の前記観察光軸上に配置された半透明鏡と、
前記観察光軸に対して所定の角度に傾斜し、かつ前記標本を含む標本付近を通る一対の照明光軸上に配置された一対の光源と、
前記照明光軸上に配置され、前記光源から出射された照明光を前記標本上に集光する一対の照明レンズと、
前記照明レンズにより集光された前記照明光を前記半透明鏡に導く、又は前記照明レンズにより集光された前記照明光を直接前記標本に導くミラーと、
を具備したことを特徴とする実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
【請求項２】
前記半透明鏡と前記照明レンズと前記ミラーとは、前記対物レンズの先端部に取り付け取り外し可能な筐体内に設けたことを特徴とする請求項１記載の実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
【請求項３】
前記ミラーは、前記照明光軸に対して挿脱可能に設けられたことを特徴とする請求項１又は２記載の実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
【請求項４】
前記ミラーは、一端側を回転可能に設けた回転板の他端に設け、前記回転板の回転により前記ミラーを前記照明光軸に対して挿脱することを特徴とする請求項１又は２記載の実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
【請求項５】
前記ミラーは、スライド軸に設け、このスライド軸のスライド移動により前記ミラーを前記照明光軸上に対して挿脱することを特徴とする請求項１又は２記載の実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
【請求項６】
前記半透明鏡は、前記観察光軸に対して挿脱可能に設けられたことを特徴とする請求項１又は２記載の実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
【請求項７】
前記半透明鏡は、一端側を回転可能に設けた回転板の他端に設け、前記回転板の回転により前記半透明鏡を前記観察光軸に対して挿脱することを特徴とする請求項１又は２記載の実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
【請求項８】
前記ミラーを前記照明光軸に対して挿脱可能に設け、かつ前記半透明鏡を前記観察光軸に対して挿脱可能に設けたことを特徴とする請求項１又は２記載の実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
【請求項９】
前記ミラーと前記半透明鏡とは連動して前記照明光軸と前記観察光軸とに対して挿脱し、前記ミラーが前記照明光軸上に配置されると前記半透明鏡は前記観察光軸から外れ、前記ミラーが前記照明光軸から外れると前記半透明鏡は前記観察光軸上に配置されることを特徴とする請求項７記載の実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
【請求項１０】
前記筐体は、前記照明光を導入するための照明光導入部を備えることを特徴とする請求項２記載の実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
【請求項１１】
前記照明光導入部は、前記照明光を出射する一対の光ファイバの出射口保持部を含むことを特徴とする請求項１０記載の実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
【請求項１２】
前記一対の照明光軸は、互いに前記半透明鏡に対する内向角を有して前記対物レンズの焦点位置で合致することを特徴とする請求項１記載の実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明における半透明鏡は、観察光軸に対して挿脱可能に設けらることが好ましい。
本発明における半透明鏡は、一端側を回転可能に設けた回転板の他端に設け、回転板の回転により半透明鏡を観察光軸に対して挿脱することが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明におけるミラーを照明光軸に対して挿脱可能に設け、かつ半透明鏡を観察光軸に対して挿脱可能に設けることが好ましい。
本発明におけるミラーと半透明鏡とは連動して照明光軸と観察光軸とに対して挿脱し、ミラーが照明光軸上に配置されると半透明鏡は観察光軸から外れ、ミラーが照明光軸から外れると半透明鏡は観察光軸上に配置されることが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明において、筐体は、前記照明光を導入するための照明光導入部を備えることが好ましい。
本発明において、照明光導入部は、前記照明光を出射する一対の光ファイバの出射口保持部を含むことが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明において、一対の照明光軸は、互いに半透明鏡に対する内向角を有して対物レンズの焦点位置で合致することが好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月29日(2006.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡本体に取り付けられた測距手段により対物レンズで観察する観察対象との距離を測定し、この測定された前記距離に基づいて前記対物レンズと前記観察対象を光軸方向に相対的に移動させ、この状態で前記対物レンズに対するオートフォーカスを実行して前記対物レンズのフォーカス位置を前記観察対象に合わせることを特徴とするオートフォーカス方法。
【請求項２】
前記対物レンズと前記観察対象を光軸方向に相対的に移動させて、前記対物レンズのフォーカス位置近傍に前記観察対象を移動させることを特徴とする請求項１記載のオートフォーカス方法。
【請求項３】
前記対物レンズのフォーカス位置近傍は、前記対物レンズの焦点深度範囲内であることを特徴とする請求項２記載のオートフォーカス方法。
【請求項４】
対物レンズにより観察する観察対象との距離を測定するため顕微鏡本体に取り付けられた測距手段と、
前記測距手段により測定された前記距離に基づいて前記対物レンズと前記観察対象との距離を相対的に移動させる第１のフォーカス制御手段と、
前記第１のフォーカス制御手段により前記対物レンズと前記観察対象との距離を相対的に移動させた状態で、前記対物レンズに対するオートフォーカスを実行して前記対物レンズのフォーカス位置に前記観察対象を合わせる第２のフォーカス制御手段と、
を具備したことを特徴とするオートフォーカス装置。
【請求項５】
前記第１のフォーカス制御手段は、前記対物レンズのフォーカス位置近傍に、前記観察対象を位置させることを特徴とする請求項４記載のオートフォーカス装置。
【請求項６】
前記第１のフォーカス制御手段は、前記対物レンズの焦点深度内に前記観察対象を位置させることを特徴とする請求項４記載のオートフォーカス装置。
【請求項７】
前記第１のフォーカス制御手段は、前記測距手段により測定された前記距離と前記対物レンズのフォーカス位置とに基づいて、前記対物レンズのフォーカス位置からの前記観察対象のずれ量を算出し、このずれ量に基づいて前記対物レンズと前記観察対象とを光軸方向に相対的に移動させ、前記対物レンズのフォーカス位置を前記対物レンズの焦点深度内に位置させることを特徴とする請求項４記載のオートフォーカス装置。
【請求項８】
前記顕微鏡本体に対して回転可能に設けられたレボルバに前記対物レンズが複数取り付けられ、
前記測距手段は、前記顕微鏡本体に対して取付部材を介して設けられ、前記レボルバの回転により選択される前記対物レンズに対して並設されることを特徴とする請求項４記載のオートフォーカス装置。
【請求項９】
前記測距手段は、非接触式の測距センサであることを特徴とする請求項４記載のオートフォーカス装置。
【請求項１０】
前記測距手段は、光学式の測距センサであることを特徴とする請求項４記載のオートフォーカス装置。
【請求項１１】
前記測距手段は、前記対物レンズに対して予め設定された高さ位置に設けられることを特徴とする請求項４記載のオートフォーカス装置。
【請求項１２】
前記測距手段は、前記対物レンズの光軸に対して所定の角度でかつ前記対物レンズの前記フォーカス位置を通る方向に光を照射する光照射部と、前記光照射部により光を照射されたときの前記観察対象からの反射光を受光する受光部とを有し、
前記受光部により受光された前記観察対象からの反射光の受光位置に基づいて前記観察対象との間の距離を求めることを特徴とする請求項４記載のオートフォーカス装置。
【請求項１３】
前記受光部は、ラインセンサであることを特徴とする請求項１２記載のオートフォーカス装置。
【請求項１４】
前記測距手段は、前記顕微鏡本体内に内蔵され、光を前記対物レンズを通して前記観察対象に照射し、かつ前記観察対象からの反射光を前記対物レンズを通して受光し、前記反射光の受光タイミングに基づいて前記観察対象との間の距離を求めることを特徴とする請求項４記載のオートフォーカス装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、顕微鏡本体に取り付けられた測距手段により対物レンズで観察する観察対象との距離を測定し、この測定された距離に基づいて対物レンズと観察対象を光軸方向に相対的に移動させ、この状態で対物レンズに対するオートフォーカスを実行して対物レンズのフォーカス位置を観察対象に合わせるオートフォーカス方法である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、対物レンズにより観察する観察対象との距離を測定するため顕微鏡本体に取り付けられた測距手段と、測距手段により測定された距離に基づいて対物レンズと観察対象との距離を相対的に移動させる第１のフォーカス制御手段と、第１のフォーカス制御手段により対物レンズと観察対象との距離を相対的に移動させた状態で、対物レンズに対するオートフォーカスを実行して対物レンズのフォーカス位置に観察対象を合わせる第２のフォーカス制御手段とを具備したオートフォーカス装置である。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月21日(2006.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  コンベア・システムに沿って運搬される一連の容器を形成し、充填し、密封する包装機械であって、
包装機械上の複数の停滞水表面にして、これら複数の停滞水表面を消毒する手段を有する停滞水表面と、
一連の容器を形成し、充填し、密封する包装機械の上部を該包装機械の底部から分離するテーブル面にして、複数のコーナを有するテーブル面と、
紫外線光源とを含み、
包装機械の少なくとも一部分を抗菌性ステンレス鋼で形成し、包装機械の少なくとも他の部分を、水と、紫外線光源から放出される紫外線光とで活性化される光半導体触媒で被覆し、この光半導体触媒が、活性化されると、少なくとも抗菌性ステンレス鋼で形成した部分および光半導体触媒で被覆した部分を消毒する、包装機械。
【請求項２】  請求項１による包装機械において、前記コンベア・システムが、包装機械上で一連のカートンを運搬する間に少なくとも１つのコンベア・チェーンを所定の方向に維持するための複数のコンベア・ガイド・レールを含み、これら複数のコンベア・ガイド・レールの各々を抗菌性ステンレス鋼で形成するか、或いは水と、紫外線光源から放出される紫外線光とで活性化される光半導体触媒で被覆する、包装機械。
【請求項３】  請求項１による包装機械であって、消毒のための手段を有する複数の受け台をさらに含み、これら複数の受け台の各々を一端で前記テーブル面に連接する、包装機械。
【請求項４】  コンベア・システムに沿って運搬される一連の容器を形成し、充填し、密封する包装機械であって、
一連の容器を形成し、充填し、密封する包装機械の上部を該包装機械の底部から分離するテーブル面にして、複数のコーナを有するテーブル面と、
充填ステーションおよび上部密封ステーションを含む衛生ゾーンにして、光半導体触媒で被覆した複数の停滞水表面を有する衛生ゾーンと、
光半導体触媒を活性化するための紫外線光源とを含み、
包装機械の、少なくとも衛生ゾーン内の部分を抗菌性ステンレス鋼で形成した、包装機械。
【請求項５】  請求項４による包装機械において、前記コンベア・システムが、包装機械上で一連のカートンを運搬する間に少なくとも１つのコンベア・チェーンを所定の方向に維持するための複数のコンベア・ガイド・レールを含み、これら複数のコンベア・ガイド・レールの各々を光半導体触媒で被覆する、包装機械。
【請求項６】  請求項４による包装機械において、包装機械の少なくとも一部分は光半導体触媒を一体化したプラスチック材料で形成する、包装機械。
【請求項７】  コンベア・システムに沿って運搬される一連の容器を形成し、充填し、密封する包装機械であって、
一連の容器を形成し、充填し、密封する包装機械の上部を該包装機械の底部から分離するテーブル面にして、複数のコーナを有するテーブル面と、
充填ステーションおよび上部密封ステーションを含み、かつ抗菌性ステンレス鋼で構成した複数の停滞水表面を有する衛生ゾーンにして、包装機械の少なくとも該衛生ゾーンの部分が水および紫外線光によって活性化される光半導体触媒で被覆される衛生ゾーンと、
光半導体触媒を活性化するための紫外線光源とを含む、包装機械。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月26日(2005.12.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  プラスチッククロージャーであって、
キャップ内部を画成する周辺部スカート(32)をもつベース(30)と、該スカート上の、該クロージャーと容器とを固定するための手段(34)とを有するキャップ(22)と、
該ベースの内部にその場で圧縮成形されたライナー(20a、20bまたは20c)を含み、
該ライナーが
(1) マトリックスポリマー物質の層とバリヤーポリマー物質の層の多数の交互層であって、該ライナーを介する、ガス、水蒸気および香気の透過に対して抵抗性であって、合計して少なくとも９個の、該マトリックスポリマー物質と該バリヤーポリマー物質との交互層、及び
(2) 反応性結合又は非−反応性接着のメカニズムにより該マトリックスポリマー物質を該バリヤーポリマー物質に結合させるための熱可塑性樹脂を含む相容化剤物質であって、該マトリックスポリマー層、該バリヤーポリマー層、又は該マトリックスとバリヤーポリマー物質の層の間の別の層に含まれる該相容化剤物質
を含む、プラスチッククロージャー。
【請求項２】  該ライナーにおいて、該バリヤー物質が６〜３５重量％の範囲内にあり、該相容化剤物質が約６〜２０重量％の範囲内にあり、残部が該マトリックスポリマー物質からなる、請求項１記載のクロージャー。
【請求項３】  該マトリックスポリマー物質が熱可塑性エラストマー、軟質オレフィンポリマー及びこれらの混合物からなる群から選ばれる、請求項１又は２記載のクロージャー。
【請求項４】  該マトリックスポリマー物質が、スチレンブロックコポリマーおよびエラストマーアロイからなる群から選ばれる熱可塑性エラストマーである、請求項３記載のクロージャー。
【請求項５】  該マトリックスポリマーが、１００未満のショアＡ硬度を有するオレフィンポリマーである、請求項３又は４記載のクロージャー。
【請求項６】  該オレフィンポリマーが、メタロセンポリエチレン、エチレン−プロピレンゴム、エチレンコポリマー、及びそれらの混合物からなる群から選ばれる、請求項５記載のクロージャー。
【請求項７】  該マトリックスポリマー物質が、45〜95のショアＡ硬度および30,000〜100,000psi（約2109-7030kg/cm2、206.9-689.5MPa)の曲げ弾性率を有する熱可塑性エラストマーである、請求項１〜６のいずれか１項に記載のクロージャー。
【請求項８】  該バリヤー物質が、EVOH、結晶性、半結晶性又はアモルファスナイロン、アクリロニトリルコポリマー、EVOHとアモルファスナイロンとのブレンド、EVOHまたはナイロンとクレーとのナノコンポジット、EVOHとアイオノマーとのブレンド、アクリロニトリル−環状オレフィンコポリマーおよびこれらのブレンドからなる群から選ばれる、請求項１〜７のいずれか１項に記載のクロージャー。
【請求項９】  該相容化剤物質が、無水マレイン酸グラフトポリマー、エチレン酢酸ビニルグラフトポリマー、エチレンメチルアクリレート、アイオノマーおよびこれらのブレンドからなる群から選ばれる請求項１〜８のいずれか１項に記載のクロージャー。
【請求項１０】  該バリヤーポリマー物質がEVOHまたはナイロンを含み、かつ該マトリックスポリマー物質がEVAを含む、請求項１〜９のいずれか１項に記載のクロージャー。
【請求項１１】  該マトリックスポリマー物質が、本質的に１種以上のマトリックスポリマーと該相容からなる群から選ばれる剤物質とのブレンドからなる、請求項４に記載のクロージャー。
【請求項１２】  該ライナーが、少なくとも３３個のマトリックスとバリヤーポリマー物質との交互層からなる、請求項１〜１１のいずれか１項に記載のクロージャー。
【請求項１３】  該ライナーが、１２９個のマトリックスとバリヤーポリマー物質との交互層からなる、請求項16に記載のクロージャー。
【請求項１４】  該ライナーが、９４以下のショアＡ硬度を有する、請求項１〜１２のいずれか１項に記載のクロージャー。
【請求項１５】  該ライナーが脂肪酸アミド、脂肪酸エステル、マイクロクリスタリンワックス、ポリエチレングリコール、一級アミド、二級アミド、二級−ビスアミド、およびこれらの混合物からなる群から選ばれる潤滑剤を含む、請求項１〜１４のいずれか１項記載のクロージャー。
【請求項１６】  該潤滑剤が該ライナーの０．５〜１．５重量％の範囲である、請求項１５記載のクロージャー。
【請求項１７】  該潤滑剤が該ライナーの０．５重量％の量で存在する、請求項１６記載のクロージャー。
【請求項１８】  請求項１〜１７のいずれか１項に記載のプラスチッククロージャーの製造方法であって、
(a) ベース(30)とキャップ内部を画成する周辺部スカート(32)と、クロージャーと容器とを固定するための該スカート上の手段(34)とを有するキャップ(22)を用意し、
(b) ガスの透過に抵抗性のある、マトリックスポリマー物質とバリヤーポリマー物質との多数の交互層、及び該層を互いに接着させる相容化剤ポリマーから実質的になる押出しペレット(20)を該キャップ内に置き、及び
(c) 該ペレットを該ベース上でその場で圧縮成形して、ライナー(20a、20b または20c)を形成することを含む、上記方法。
【請求項１９】  該マトリックスポリマー物質が、本質的に、１種以上のマトリックスポリマーと、相容化剤物質とのブレンドからなる、請求項１８記載の方法。
【請求項２０】  該マトリックスポリマーと相容化剤物質とのブレンドが、溶融粘度において、５倍を超えないで、該バリヤーポリマー物質と異なっている、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】  該相容化剤物質を、押出し前に、該マトリックスポリマーおよびバリヤーポリマー物質の一方または両者と配合する、請求項１８記載の方法。
【請求項２２】  該マトリックスポリマー物質、該バリヤーポリマー物質および該相容化剤物質を、別々の層として押出す、請求項１８記載の方法。
【請求項２３】  バリヤーポリマー物質およびマトリックスポリマー物質の層が、相互に交互配列され、かつ一つの該相容化剤物質の層が、各バリヤー物質層と各マトリックスポリマー物質層との間に設けられている、請求項２２に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月26日(2005.12.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  キャップ内部を画成する周辺部スカート(32)をもつベース(30)と、該スカート上の、該クロージャーと容器とを固定するための手段(34)とを有するプラスチックキャップ(22)と、該ベースの内部にその場で圧縮成形されたライナー(20a、20bまたは20c)を含み、該ライナーが、本質的にマトリックスポリマー全体に渡り分配され且つ該ベースと実施的に平衡に配向した、別々の重なりあったバリヤーポリマーのプレートレットの分散体を含むマトリックスポリマーのライナー本体を含む、プラスチッククロージャー。
【請求項２】  該ライナーが、該マトリックスポリマーと該バリヤープレートレットとの間の接着を促進する相容化剤を含む、請求項１記載のライナー。
【請求項３】  該マトリックスポリマーが、熱可塑性エラストマー、軟質オレフィンポリマー、およびその混合物からなる群から選ばれる、請求項１又は２記載のクロージャー。
【請求項４】  該マトリックスポリマーが、ショアＡ硬度４５〜９５および曲げ弾性率30,000〜100,000psi（約2109〜7030kg/cm2）を有する熱可塑性エラストマーである、請求項３記載のクロージャー。
【請求項５】  該マトリックスポリマーが、スチレンブロックコポリマーおよび弾性ポリマーアロイからなる群から選択される、請求項３記載のクロージャー。
【請求項６】  該マトリックスポリマーが、１００未満のショアＡ硬度を有するオレフィンポリマーである、請求項３記載のクロージャー。
【請求項７】  該オレフィンポリマーが、メタロセンポリエチレン、エチレン−プロピレンゴム、エチレンコポリマー、およびその混合物からなる群から選ばれる、請求項６記載のクロージャー。
【請求項８】  該バリヤー物質が、EVOH、ナイロン、アクリロニトリルコポリマー、EVOHとアモルファスナイロンとのブレンド、EVOHとアイオノマーとのブレンド、アクリロニトリル−環状オレフィンコポリマー、およびこれらのブレンドからなる群から選ばれる、請求項１〜７のいずれか１項記載のクロージャー。
【請求項９】  該相容化剤が、無水マレイン酸グラフトポリマー、エチレン酢酸ビニルグラフトポリマー、エチレンメチルアクリレート、アイオノマーおよびこれらのブレンドからなる群から選ばれる、請求項１〜８のいずれか１項記載のクロージャー。
【請求項１０】  該バリヤー物質がEVOHを含み、かつ該マトリックスポリマーがEVA またはポリプロピレン／ブチルゴムを含む、請求項１〜９のいずれか１項記載のクロージャー。
【請求項１１】  該バリヤー物質が、約２０〜６０重量％の範囲内にあり、かつ該相容化剤が、約１〜１０重量％の範囲内にあり、残部が該マトリックスポリマーからなる、請求項１０に記載のクロージャー。
【請求項１２】  該バリヤー物質が、約２０〜６０重量％の範囲内にあり、該相容化剤が、約１〜１０重量％の範囲内にあり、残部が該マトリックスポリマーからなる、請求項１〜１１のいずれか１項記載のクロージャー。
【請求項１３】  該ライナーが、９４未満のショアＡ硬度を有する、請求項１〜１２のいずれか１項記載のクロージャー。
【請求項１４】  該ライナーが、約０．５〜２．０重量％の量で、潤滑剤を含む、請求項１〜１３の何れか１項記載のクロージャー。
【請求項１５】  該潤滑剤が約１重量％の量で存在する、請求項１４に記載のクロージャー。
【請求項１６】  該潤滑剤が、脂肪酸アミド、脂肪酸エステル、マイクロクリスタリンワックス、ポリエチレングリコール、一級アミド、二級アミド、二級−ビスアミド、およびこれらの混合物からなる群から選ばれる、請求項１５に記載のクロージャー。
【請求項１７】  プラスチッククロージャーの製造方法であって、
(a) ベース(30)とキャップ内部を画成する周辺部スカート(32)と、クロージャーと容器とを固定するための該スカート上の手段(34)とを有するクロージャーキャップ(22)を用意する工程、
(b) ペレット(20)を形成し、ここで該ペレットは本質的にマトリックスポリマー、バリヤーポリマー、および該マトリックスポリマーとバリヤーポリマーとの間の付着を促進する相容化剤のブレンドからなる工程、及び
(c) 該ペレットを該ベース上でその場で圧縮成形して、ライナー(20a、20b または20c)を形成し、ここで圧縮成形由来の熱および圧力が、該ポリマーを、該ディスクと本質的に平行に配向した別々のプレートレットに成形する工程
を含む、上記方法。
【請求項１８】  該工程(b)が、該バリヤーポリマーを、該マトリックスポリマー内で、実質的に均一に、別々の粒子の不連続相として分散させるように、該ペレットを形成する工程を含む、請求項１７に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月21日(2006.8.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の回転軸を中心に揺動する第一の可動板と、前記第一の可動板を揺動可能に支持する第一の弾性支持部と、前記第一の弾性支持部を固定する支持基板と、前記第一の可動板から離間した位置に配置される第一の磁界発生手段と、第二の回転軸を中心に揺動する第二の可動板と、前記第二の可動板を揺動可能に支持し、第一の可動板に固定される第二の弾性支持部とを備える揺動装置であって、
前記第一の可動板に第一のコイルが、前記第二の可動板を周回する様に、設けられ、前記第二の可動板に第二の磁界発生手段が設けられていることを特徴とする揺動装置。
【請求項２】
前記第一の弾性支持部は同一軸上に配置され且つ前記第一の可動板の両脇に配置されている一対の弾性支持体であることを特徴とする請求項１に記載の揺動装置。
【請求項３】
前記第二の弾性支持部は同一軸上に配置され且つ前記第二の可動板の両脇に配置されている一対の弾性支持体であることを特徴とする請求項１に記載の揺動装置。
【請求項４】
前記第一のコイルが四角形状に前記第二の可動板を周回していることを特徴とする請求項１に記載の揺動装置。
【請求項５】
前記第一の可動板上に更に第二のコイルが設置され、前記第一の可動板が第二のコイルの内周部に第一の開口を有し、前記第一の磁界発生手段のＮ極とＳ極とが、前記第一の可動板に略垂直な方向に前記第一の可動板から離間した位置に前記第一の開口を挟んで配置されることを特徴とする請求項１に記載の揺動装置。
【請求項６】
前記第一の可動板上に更に前記第二のコイルと第三のコイルとが前記第一の回転軸を挟んで設置され、前記第一の可動板が第三のコイルの内周部に更に第二の開口を有し、更に第三の磁界発生手段のＮ極とＳ極とが、前記第一の可動板に略垂直な方向に前記第一の可動板から離間した位置に前記第二の開口を挟んで配置されることを特徴とする請求項５に記載の揺動装置。
【請求項７】
前記第１のコイルに前記第二の可動板のねじれ共振周波数の周波数成分を含む電流を印加し、前記第二のコイルまたは前記第三のコイルに、前記第一の可動板のねじれ共振周波数成分を含む電流を印加することを特徴とする請求項６に記載の揺動装置。
【請求項８】
請求項１乃至７の何れかに記載の揺動装置を用いた光偏向器であって、前記第二の可動板には入射光を偏向させる偏向部が設けられていることを特徴とする光偏向器。
【請求項９】
光源と、前記光源から発せられた光を偏向させる請求項８に記載の光偏向器を有することを特徴とする画像表示装置。
【請求項１０】
光源と、前記光源から発せられた光を偏向させる請求項８に記載の光偏向器と、前記光偏向器により偏向された光が投影される感光性材料とを有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項１１】
請求項１乃至７の何れかに記載の揺動装置または請求項１２に記載の光偏向器を作製する方法であって、基板から可動板と弾性支持部と支持基板を形成する工程と、第一の可動板にコイルを形成する工程と、第二の可動板に第二の磁界発生手段を形成する工程と、支持基板に第一の磁界発生手段を形成する工程とを少なくとも有することを特徴とする揺動装置または光偏向器の作製方法
【請求項１２】
前記基板から可動板と弾性支持部と支持基板を形成する工程は、反応性イオンエッチング或いはアルカリ溶液を用いたエッチングを含んでなされることを特徴とする請求項１１に記載の揺動装置または光偏向器の作製方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月11日(2006.5.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する端面を備え、一方の端面から入射した光を他方の端面まで導き射出する導光手段と、
前記導光手段における前記一方の端面の側に配置され、複数の光源によって構成された光源部と、を備え、
前記一方の端面の外形と前記他方の端面の外形とが実質的に等しく、
前記一方の端面から入射した前記光源部からの光が前記導光手段内で混合されて前記他方の端面に導かれるとともに、前記導光手段における光の入射側から出射側までの距離をＬ、前記光源部における隣接する光源間の距離をＰ、光源から放出される光の強度が当該光の光軸上の強度の１／２になる位置の光軸からの角度をθとすると、Ｌ≧Ｐ／（ｔａｎθ）の関係を満たすように構成されてなることを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記複数の光源は複数の発光ダイオードであることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記導光手段は、中空の導光体からなる請求項１に記載の光源装置。
【請求項４】
前記光源部と前記導光手段の光の入射端面の間に空気層が介在されてなる請求項１に記載の光源装置。
【請求項５】
前記中空の導光体において、前記光源部側から光が入射する端面及び光が出射する端面以外の少なくとも一端面の導光手段内部側の面が金属反射面である請求項３記載の光源装置。
【請求項６】
前記導光体が、複数の平坦な反射面で構成され、前記導光体が多角柱形状を有する請求項３記載の光源装置。
【請求項７】
前記光源部は、それぞれ三原色光を発光し面状に配置された複数の光源を有し、
各色を発光する光源を同時或いは順次点灯する回路が設けられている請求項１に記載の光源装置。
【請求項８】
前記光源部は、単色光を発光し面状に配置された複数の光源を有し、前記導光手段の入射面又は出射面に対向して、前記単色光を白色光へ変換する蛍光フィルムが配置されてなる請求項１に記載の光源装置。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか一項に記載の光源装置と、
前記導光手段における前記他方の端面の側に配置され、前記光源から射出された光を変調する光変調素子と、
前記光変調素子によって変調された光を投写するレンズと、を備えるプロジェクタ。
【請求項１０】
前記導光手段における光が出射する端面の外形面積と前記光変調素子の表示面の外形面積とが実質的に同様である請求項９に記載のプロジェクタ。
【請求項１１】
前記レンズからの光が投写されるスクリーンをさらに備えたことを特徴とする請求項９に記載のプロジェクタ。
【請求項１２】
請求項１に記載の光源装置を複数備えたプロジェクタであって、前記光源装置は、各原色の波長領域の光を射出可能に構成されるものであり、該光源装置と前記導光手段の光の出射する端面に対向して配置され、前記導光手段から射出された光を変調可能に構成された光変調素子と、からなる特定色変調ユニットを原色に対応させて備え、各特定色変調ユニットから射出された光を合成可能に構成された色合成手段と、この色合成手段により合成された射出光の光路上に配置された投写レンズと、を備えるプロジェクタ。
【請求項１３】
請求項１に記載の光源装置を複数備えたプロジェクタであって、前記光源装置は、白色光を出射するものであり、該光源装置と前記導光手段の光の出射する端面に対向して配置され、前記導光手段から射出された光を変調する光変調素子と、各原色の波長領域の光を透過可能に構成されたフィルタと、からなる特定色変調ユニットを原色に対応させて備え、各特定色変調ユニットから射出された光を合成可能に構成された色合成手段と、この色合成手段により合成された射出光の光路上に配置された投写レンズと、を備えるプロジェクタ。
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月29日(2006.8.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機成分と無機微粒子を含むポジ型感光性ペーストであって、有機成分として少なくともアルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤を含有し、無機微粒子として少なくともガラス転移点が４００〜６００℃の範囲であるガラス粉末を含有することを特徴とするポジ型感光性ペースト。
【請求項２】
有機成分と無機微粒子を含むポジ型感光性ペーストであって、有機成分として少なくともアルカリ可溶基が酸またはアルカリで脱離する基で保護されているアルカリ可溶性樹脂を含み、かつ光酸発生剤または光塩基発生剤のいずれかを含有し、無機微粒子として少なくともガラス転移点が４００〜６００℃の範囲であるガラス粉末を含有することを特徴とするポジ型感光性ペースト。
【請求項３】
前記光酸発生剤として、ジアゾナフトキノン化合物を含む請求項１または２に記載のポジ型感光性ペースト。
【請求項４】
さらに紫外線吸収剤を含有する請求項１〜３のいずれかに記載のポジ型感光性ペースト。
【請求項５】
溶媒を除いた有機成分の平均屈折率と無機微粒子の平均屈折率の差が０．２以下である請求項１〜４のいずれかに記載のポジ型感光性ペースト。
【請求項６】
無機微粒子として、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔの中から選ばれる導電性粉末のうち少なくとも１種を含む請求項１〜５のいずれかに記載のポジ型感光性ペースト。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載のポジ型感光性ペーストを用いるパターンの形成方法。
【請求項８】
ペースト塗布膜に露光光を照射し、露光マスクをペースト塗布膜に対して相対的に移動させた後、再度露光光を照射することを特徴とする請求項７に記載のパターン形成方法。
【請求項９】
ペースト塗布膜に露光光を照射しながら、露光マスクをペースト塗布膜に対して相対的に移動することを特徴とする請求項７に記載のパターン形成方法。
【請求項１０】
露光マスク開口部の露光光透過率が部分的に異なる露光マスクを介して露光を行い、部分的に高さの異なるパターンを形成する請求項７に記載のパターンの形成方法。
【請求項１１】
請求項７〜１０のいずれかに記載のパターンの形成方法を用いるプラズマディスプレイの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月25日(2006.8.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、像担持体と、前記像担持体を帯電するための帯電部材と、前記像担持体をクリーニングするためのクリーニング手段と、記憶部とを有するカートリッジであって、前記記憶部が、画像形成が行われる転写材の搬送間隔が異なる複数の画像形成装置の各々に前記カートリッジが装着された場合の記録枚数に対応する情報を各々記憶する記憶領域を有する前記カートリッジを着脱可能に装着するための装着部と、
前記記憶部に記憶された情報に応じて前記カートリッジの交換時期を判断する制御部とを有し、
前記制御部は、前記記憶部の記憶領域に記憶されている、自身における記録枚数に対応する情報と、前記カートリッジが他の画像形成装置に装着された場合の記録枚数に対応する情報を換算した情報とに基づいて前記カートリッジの交換時期を判断することを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記自身における記録枚数に対応する情報と、前記カートリッジが他の画像形成装置に装着された場合の記録枚数に対応する情報を換算した情報とに基づいて、前記カートリッジの交換時期を判断するための情報を演算することを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記カートリッジの前記記憶部には、前記複数の画像形成装置の各々に前記カートリッジが装着される場合の記録枚数の上限を示す閾値に関する情報を各々記憶する記憶領域をさらに有し、
前記制御部は、前記カートリッジの交換時期を判断するための情報と前記閾値に関する情報とを比較して、カートリッジが交換時期に到達したか否かを判断することを特徴とする請求項２に記載の画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
まず、カートリッジメモリ部を説明する。メモリ部にはデータを記憶する為の記憶素子Ｍと記憶素子Ｍに対してデータを読み出し及び書き込みを制御するメモリ制御部２０とを有している。記憶素子Ｍとしては不揮発性のメモリであればよく、例えばＮＶＲＡＭ、ＥＥＰＲＯＭ、ＦｅＲＡＭなどを用いることが可能である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
なお、上記実施例１〜３においては、カートリッジの寿命（交換時期）を判定するための通紙記録枚数をカートリッジのメモリに記憶させることを例にあげて説明したが、カートリッジの寿命（交換時期）を判定するための使用量に関する情報であれば、通紙記録枚数以外の情報を用いてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月25日(2006.8.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可視領域にスペクトルを有する第１のレーザ光を試料上で走査して蛍光を励起する第１の走査光学系と、
試料からの蛍光を前記第１のレーザ光の光路から分離する第１ダイクロイックミラーと、第１ダイクロイックミラーで分離された蛍光を検出する光検出器と、
第１ダイクロイックミラーと光検出器との間に配置され前記第１のレーザ光を遮断し所望の蛍光を透過する測光フィルタと、
紫外または赤外領域にスペクトルを有する第２のレーザ光を試料上の特定の部位に導入するための第２の走査光学系と、
第１ダイクロイックミラーと光検出器との間に配置され前記第２のレーザ光の透過を制限する吸収フィルタとを備えたことを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。
【請求項２】
請求項２試料を観察するための第１のレーザ光を試料上で走査する第１の走査光学系と、
試料からの光を前記第１のレーザ光の光路から分岐する第１光分岐素子と、
第１光分岐素子で分離された試料からの光を検出する光検出器と、
試料を刺激または操作するための第２のレーザ光を試料上の特定の部位に照射するための第２の走査光学系と、
第１光分岐素子と光検出器との間に配置され、所望の観察光を透過する第１の機能及び第２のレーザ光の透過を制限する第２の機能を有する波長選択素子とを備えたことを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。
【請求項３】
前記波長選択素子は、前記第１の機能を有する第１の干渉フィルタと、前記第２の機能を有する第２の干渉フィルタであり、
前記光検出器と前記第１の干渉フィルタが複数設けられ、
これらの光検出器に向けて試料からの光を分光する第２光分岐素子を第１光分岐素子と光検出器との間に備え、
前記第２の干渉フィルタは、第１光分岐素子と第２光分岐素子との間に配置され、
前記第１の干渉フィルタは、それぞれの光検出器と第２光分岐素子との間に配置されることを特徴とする請求項２記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項４】
前記光検出器と前記測光フィルタが複数設けられ、これらの光検出器に向けて試料からの蛍光を分光する第２ダイクロイックミラーを前記第１ダイクロイックミラーと光検出器との間に備え、前記吸収フィルタは、前記第１ダイクロイックミラーと前記第２ダイクロイックミラーとの間に配置され、前記測光フィルタはそれぞれの光検出器と前記第２ダイクロイックミラーとの間に配置されることを特徴とする請求項１に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項５】
前記第２のレーザ光の波長を切り換える波長切り換え部と、この第２のレーザ光の波長に応じて前記吸収フィルタを切り換えるフィルタ切り換え部とを備えることを特徴とする請求項１に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項６】
前記第２の走査光学系は、前記第１の走査光学系を備えた走査型レーザ顕微鏡本体に対して着脱可能であることを特徴とする請求項１又は２に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項７】
前記測光フィルタは、前記第１のレーザ光の透過率が０．０１％以下であり、前記吸収フィルタは、前記第２のレーザ光の透過率が０．０１％以下であることを特徴とする請求項１に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項８】
前記波長選択素子は、干渉フィルタであることを特徴とする請求項２に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項９】
前記波長選択素子は、前記第１の機能を有する第１の干渉フィルタと、前記第２の機能を有する第２の干渉フィルタであることを特徴とする請求項８に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項１０】
前記第２のレーザ光の波長を切り換える波長切り換え部と、この第２のレーザ光の波長に応じて前記第２の干渉フィルタを切り換えるフィルタ切り換え部とを備えたことを特徴とする請求項９に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項１１】
前記波長選択素子は、前記第１の機能を有する第１干渉フィルタ膜と、前記第２の機能を有する第２干渉フィルタ膜を有することを特徴とする請求項８に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項１２】
前記波長選択素子は、前記第２のレーザ光の透過率が０．０１％以下であることを特徴とする請求項２に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項１３】
前記波長選択素子は、前記第１の機能を有する第１の干渉フィルタと、前記第２の機能を有する第２の干渉フィルタであることを特徴とする請求項１２に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項１４】
前記波長選択素子は、基板の一方の面に前記第１の機能を果たす第１の干渉フィルタ膜を持ち、他方の面に前記第２の機能を果たす第２の干渉フィルタ膜を持つ干渉フィルタであることを特徴とする請求項１２に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項１５】
前記第２レーザ光は、紫外光または赤外光であることを特徴とする請求項１２に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項１６】
前記第２レーザ光は、紫外光または赤外光であることを特徴とする請求項２に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項１７】
前記波長選択素子は、前記第１の機能を有する第１の干渉フィルタと、前記第２の機能を有する第２の干渉フィルタであることを特徴とする請求項１６に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項１８】
前記光検出器と前記第１の干渉フィルタが複数設けられ、これらの光検出器に向けて試料からの光を分光する第２光分岐素子を前記第１光分岐素子と前記光検出器との間に備え、前記第２の干渉フィルタは、前記第１光分岐素子と前記第２光分岐素子との間に配置され、前記第１の干渉フィルタは、それぞれの光検出器と第２光分岐素子との間に配置されることを特徴とする請求項１７に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項１９】
所望の観察光は、前記第１のレーザ光で励起された蛍光であることを特徴とする請求項２に記載の走査型レーザ顕微鏡。