【手続補正書】
【提出日】平成18年2月1日(2006.2.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】可干渉光源と、
周期的な光学パターンを有し、前記可干渉光源に対して相対的に変位するスケールと、
前記可干渉光源から出射され前記スケールを経由した光ビームを検出するための光検出器とを有する光学式エンコーダであって、
前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口と前記スケールとの距離をｚL、前記スケールと前記光検出器との距離をｚ２，前記スケールが有する前記周期的な光学パターンのピッチをｐ１としたときに、前記可干渉光源のスケール移動方向における光ビーム出射窓幅ＷＬｓは、ｐ１×（ｚL＋ｚ２）／（２×ｚ２）以下であることを特徴とする光学式エンコーダ。
【請求項２】可干渉光源と、
周期的な光学パターンを有し、前記可干渉光源に対して相対的に変位するスケールと、
前記可干渉光源から前記スケールを経由した光ビームを検出するための光検出器とを有する光学式エンコーダであって、
前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口と前記スケールとの距離をｚL、前記スケールと前記光検出器との距離をｚ２，前記スケールが有する前記周期的な光学パターンのピッチをｐ１、ｎを自然数としたときに、前記可干渉光源のスケール移動方向における光ビーム出射窓幅ＷＬｓは、おおよそｐ１×（２ｎ−１）×（ｚL＋ｚ２）／（２×ｚ２）で表されることを特徴とする光学式エンコーダ。
【請求項３】可干渉光源と、
周期的な光学パターンを有し、前記可干渉光源に対して相対的に変位するスケールと、
前記可干渉光源から出射され前記スケールを経由した光ビームを検出するための光検出器とを有する光学式エンコーダであって、
前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口と前記スケールとの距離をｚL、前記スケールと前記光検出器との距離をｚ２，前記スケールが有する前記周期的な光学パターンのピッチをｐ１、ｎを自然数としたときに、前記可干渉光源のスケール移動方向における光ビーム出射窓幅ＷＬｓは、ｐ１×（２ｎ−１．５）×（ｚL＋ｚ２）／（２×ｚ２）≦ＷＬｓ≦ｐ１×（２ｎ−０．５）×（ｚL＋ｚ２）／（２×ｚ２）の関係を満たすことを特徴とする光学式エンコーダ。
【請求項４】前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口と前記スケールとの距離ｚLと、前記スケールと前記光検出器との距離ｚ２が等しい。すなわちｚL＝ｚ２であることを特徴とする請求項３に記載の光学式エンコーダ。
【請求項５】前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口を複数有し、前記可干渉光源の実効的な複数の出射開口は、ｎを自然数としたとき前記光学パターンのピッチｐ１の（ｚL＋ｚ２）／ｚ２×ｎ倍の位置に、前記スケールの移動方向に複数の光ビーム出射窓を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一つに記載の光学式エンコーダ。
【請求項６】前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口から出射される前記光ビームの波長をl、ｎを整数としたときに、前記光学式エンコーダは、おおよそ、１／ｚL＋１／ｚ２＝l／（ｎ（ｐ１）2）の関係を満たすように構成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一つに記載の光学式エンコーダ。
【請求項７】前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口から出射された光ビームが前記スケールを経由して前記光検出器の受光面上に照射された時に形成される前記受光面上の光強度パターンの周期をｐ２としたときに、前記光検出器は、前記光強度パターンの所定の位相部分を検出する複数の受光部を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一つに記載の光学式エンコーダ。
【請求項８】前記光検出器の受光部は、前記光検出器の受光面上に形成される前記光強度パターンの周期ｐ２が、おおよそｐ１×（ｚ２＋ｚL）／ｚLである光強度パターンの所定の位相部分を検出可能に構成されていることを特徴とする請求項７に記載の光学式エンコーダ。
【請求項９】前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口は、前記可干渉光源の出射開口であることを特徴とする請求項８に記載の光学式エンコーダ。
【請求項１０】前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口は、前記可干渉光源と前記スケール間に配置された、前記光ビームが通過する光学素子の開口であることを特徴とする請求項８に記載の光学式エンコーダ。
【請求項１１】前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口から出射された前記光ビームが通過する光学素子は、前記スケールの移動方向に短軸を有するスリットであることを特徴とする請求項１０に記載の光学式エンコーダ。
【請求項１２】前記スリットは、前記スケールの移動方向に複数の開口部を有し、前記複数の開口部は、前記光検出器のピッチｐ２の略整数倍の位置に配置されていることを特徴とする請求項１１に記載の光学式エンコーダ。
【請求項１３】前記スリットは前記スケールの移動方向に複数の開口部を有し、前記複数の開口部は前記スケールの移動方向に前記スケールのピッチｐ１の略整数倍の位置に配置されていることを特徴とする請求項１１乃至１２のいずれか一つに記載の光学式エンコーダ。
【請求項１４】前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口から出射された前記光ビームが通過する光学素子は、円形の開口であることを特徴とする請求項１０に記載の光学式エンコーダ。
【請求項１５】前記円形の開口は、前記スケールの移動方向に複数の開口部を有し、前記複数の開口部は前記光検出器のピッチｐ２の略整数倍の位置に配置されていることを特徴とする請求項１４に記載の光学式エンコーダ。
【請求項１６】前記円形の開口は、前記スケールのパターン面と平行な面内で、前記スケールの移動方向と直交する方向に複数配置されていることを特徴とする請求項１４乃至１５のいずれか一つに記載の光学式エンコーダ。
【請求項１７】前記可干渉光源と前記スケールとの間に配置された、前記光ビームが通過する光学素子は前記可干渉光源から出射された光ビームが、前記スケールによって反射された後、前記光検出器の実効的な受光感度を有する領域に向かう光路を遮らないように配置されていることを特徴とする請求項１０乃至１６のいずれか一つに記載の光学式エンコーダ。
【請求項１８】前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口と前記スケール間に、前記光ビームが通過する光学素子と、更には前記光ビームのビーム拡がり角を所定の値にする光学素子とを有することを特徴とする請求項１０乃至１７のいずれか一つに記載の光学式エンコーダ。
【請求項１９】可干渉光源と、前記可干渉光源から出射された光ビームの所定の部分を通過させる光学素子と、周期的な光学パターンを有し、前記可干渉光源に対して相対的に変位するスケールと、前記可干渉光源から出射され前記スケールを経由した光ビームを検出するための光検出器とを有する光学式エンコーダの、前記光検出器の受光面上に形成される光強度パターンの周期ｐ２に応じた出力信号レベルの調整方法であって、
（ｉ）前記光検出器の前記受光面上に形成される光強度パターンを検出するステップと、
（ｉｉ）前記光検出器により検出される光強度パターンの周期ｐ２に応じた出力信号のレベルを確認するステップと、
（ｉｉｉ）前記出力信号のレベルが所定の範囲に含まれるか否かを判断するステップと、
（ｉｖ）前記出力信号のレベルが前記所定の信号レベルの範囲に含まれない場合には、前記光学素子から前記スケールまでの距離を変化させるステップと、
を具備し、
前記（ｉ）から（ｉｖ）までの各ステップを繰り返して実行することを特徴とする、出力信号レベルの調整方法。
【請求項２０】可干渉光源と、
周期的な光学パターンを有し、前記可干渉光源に対して相対的に変位するスケールと、
前記可干渉光源から出射され前記スケールを経由した光ビームを検出するための光検出器を有する光学式エンコーダであって、
前記可干渉光源と前記スケール間に、前記光ビームのビーム拡がり角を所定の値にする光学素子を有することを特徴とする光学式エンコーダ。
【請求項２１】前記可干渉光源と、前記スケールと、前記光検出器とは、タルボットイメージを検出可能な所定の位置関係に配置されていることを特徴とする請求項２０に記載の光学式エンコーダ。
【請求項２２】前記可干渉光源と前記スケールとの距離をｚ１、前記スケールと前記光検出器との距離をｚ２、前記スケールが有する前記周期的な光学パターンのピッチをｐ１、前記可干渉光源から出射される前記光ビームの波長をl、ｎを整数としたときに、前記光学式エンコーダは、おおよそ、１／ｚ１＋１／ｚ２＝l／（ｎ（ｐ１）2）の関係を満たすように構成されていることを特徴とする請求項２０に記載の光学式エンコーダ。
【請求項２３】前記可干渉光源から出射された光ビームが前記スケールを経由して前記光検出器の受光面上に照射された時に形成される前記受光面上の前記光強度パターンの周期をｐ２としたときに、前記光検出器は、前記光強度パターンの所定の位相部分を検出する複数の受光部を有することを特徴とする請求項２０乃至２２のいずれか一つに記載の光学式エンコーダ。
【請求項２４】前記スケールと前記光検出器との距離をｚ２、前記スケールが有する前記周期的な光学パターンのピッチをｐ１、前記光ビームのビーム拡がり角を所定の値にする光学素子を通過した光ビームの拡がり角から算出される仮想的な点光源の位置から前記スケールまでの距離をｚ４としたときに、前記光検出器の受光部は、前記光検出器の受光面上に形成される光強度パターンの周期ｐ２が、おおよそ（ｚ２＋ｚ４）／ｚ４×ｐ１である光強度パターンの所定の位相部分を検出可能に構成されていることを特徴とする請求項２０乃至２３のいずれか一つに記載の光学式エンコーダ。
【請求項２５】前記光ビームのビーム拡がり角を所定の値にする光学素子は、レンズであることを特徴とする請求項２０乃至２４のいずれか一つに記載の光学式エンコーダ。
【請求項２６】前記レンズは、凹レンズであることを特徴とする請求項２５に記載の光学式エンコーダ。
【請求項２７】前記レンズは、複数のレンズによって構成される光学系であることを特徴とする請求項２５に記載の光学式エンコーダ。
【請求項２８】前記レンズは、前記スケールの移動方向にのみ光学作用を有するシリンドリカルレンズであることを特徴とする請求項２５に記載の光学式エンコーダ。
【請求項２９】前記レンズは、前記スケールの移動方向では前記光ビームのビーム拡がり角を凹レンズ的に広げる作用を有し、前記スケールの移動方向とは直交し、前記スケールパターンと平行な面内においては前記光ビームのビーム拡がり角を凸レンズ的に集光する作用を有することを特徴とする請求項２５に記載の光学式エンコーダ。
【請求項３０】可干渉光源と、周期的な光学パターンを有し、前記可干渉光源に対して相対的に変位するスケールと、前記可干渉光源から出射され前記スケールを経由した光ビームを検出するための光検出器とを有する光学式エンコーダの、前記光検出器の受光面上に形成される光強度パターンの周期ｐ２に応じた出力信号レベルの調整方法であって、
（ｉ）前記可干渉光源から出射された光ビームのビーム拡がり角を所定の値に設定するステップと、
（ｉｉ）前記設定されたビーム拡がり角から仮想的な点光源の位置を算出するステップと、
（ｉｉｉ）前記光検出器の前記受光面上に形成される光強度パターンを検出するステップと、
（ｉｖ）前記光検出器により検出される光強度パターンの周期ｐ２に応じた出力信号のレベルを確認するステップと、
（ｖ）前記出力信号のレベルが所定の範囲に含まれるか否かを判断するステップと、
（ｖｉ）前記出力信号のレベルが所定の信号レベルの範囲に含まれる場合には調整を終了し、前記出力信号のレベルが前記所定の信号レベルの範囲に含まれない場合には、前記算出された仮想的な点光源の位置から前記スケールまでの距離を変化させるステップと、
を具備し、
前記（ｉｉｉ）から（ｖｉ）までの各ステップを繰り返して実行することを特徴とする出力信号レベルの調整方法。
【請求項３１】前記光ビームのビーム拡がり角を所定の値にする光学素子は、前記可干渉光源から出射された光ビームが、前記スケールによって反射された後、前記光検出器の実効的な受光感度を有する領域に向かう光路を遮らないように配置されていることを特徴とする請求項２０乃至３０のいずれか一つに記載の光学式エンコーダ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】上記の目的を達成させるために、第一の発明は、可干渉光源と、周期的な光学パターンを有し、前記可干渉光源に対して相対的に変位するスケールと、前記可干渉光源から前記スケールを経由した光ビームを検出するための光検出器とを有する光学式エンコーダであって、前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口と前記スケールとの距離をｚL、前記スケールと前記光検出器との距離をｚ２，前記スケールが有する前記周期的な光学パターンのピッチをｐ１としたときに、前記可干渉光源のスケール移動方向における光ビーム出射窓幅ＷＬｓは、ｐ１×（ｚL＋ｚ２）／（２×ｚ２）以下である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、第２の発明は、可干渉光源と、周期的な光学パターンを有し、前記可干渉光源に対して相対的に変位するスケールと、前記可干渉光源から前記スケールを経由した光ビームを検出するための光検出器とを有する光学式エンコーダであって、前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口と前記スケールとの距離をｚL、前記スケールと前記光検出器との距離をｚ２，前記スケールが有する前記周期的な光学パターンのピッチをｐ１、ｎを自然数としたときに、前記可干渉光源のスケール移動方向における光ビーム出射窓幅ＷＬｓは、おおよそｐ１×（２ｎ−１）×（ｚL＋ｚ２）／（２×ｚ２）で表される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、第３の発明は、可干渉光源と、周期的な光学パターンを有し、前記可干渉光源に対して相対的に変位するスケールと、前記可干渉光源から出射され前記スケールを経由した光ビームを検出するための光検出器とを有する光学式エンコーダであって、前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口と前記スケールとの距離をｚL、前記スケールと前記光検出器との距離をｚ２，前記スケールが有する前記周期的な光学パターンのピッチをｐ１、ｎを自然数としたときに、前記可干渉光源のスケール移動方向における光ビーム出射窓幅ＷＬｓは、ｐ１×（２ｎ−１．５）×（ｚL＋ｚ２）／（２×ｚ２）≦ＷＬｓ≦ｐ１×（２ｎ−０．５）×（ｚL＋ｚ２）／（２×ｚ２）の関係を満たす。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、第４の発明は、第３の発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口と前記スケールとの距離ｚLと、前記スケールと前記光検出器との距離ｚ２が等しい。すなわちｚL＝ｚ２である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、第５の発明は、第１から第４のいずれかの発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口を複数有し、前記可干渉光源の実効的な複数の出射開口は、ｎを自然数としたときに前記光学パターンのピッチｐ１の（ｚL＋ｚ２）／ｚ２×ｎ倍の位置に、前記スケールの移動方向に複数の光ビーム出射窓を有する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、第６の発明は、第１から第５のいずれかの発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口から出射される前記光ビームの波長をl、ｎを整数としたときに、前記光学式エンコーダは、おおよそ、１／ｚL＋１／ｚ２＝l／（ｎ（ｐ１）2）の関係を満たすように構成されている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
また、第７の発明は、第１から第６のいずれかの発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口から出射された光ビームが前記スケールを経由して前記光検出器の受光面上に照射された時に形成される前記受光面上の光強度パターンの周期をｐ２としたときに、前記光検出器は、前記光強度パターンの所定の位相部分を検出する複数の受光部を有する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、第８の発明は、第７の発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記光検出器の受光部は、前記光検出器の受光面上に形成される前記光強度パターンの周期ｐ２が、おおよそｐ１×（ｚ２＋ｚL）／ｚLである光強度パターンの所定の位相部分を検出可能に構成されている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、第９の発明は、第８の発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記可干渉光源の実効的なビーム出射開口は、前記可干渉光源の出射開口である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
また、第１０の発明は、第８の発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記可干渉光源の実効的なビーム出射開口は、前記可干渉光源と前記スケール間に配置された、前記光ビームが通過する光学素子の開口である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
また、第１１の発明は、第１０の発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記可干渉光源の実効的なビーム出射開口から出射された前記光ビームが通過する光学素子は、前記スケールの移動方向に短軸を有するスリットである。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
また、第１２の発明は、第１１の発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記スリットは、前記スケールの移動方向に複数の開口部を有し、前記複数の開口部は、前記光検出器のピッチｐ２の略整数倍の位置に配置されている。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
また、第１３の発明は、第１１から第１２のいずれかの発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記スリットは前記スケールの移動方向に複数の開口部を有し、前記複数の開口部は前記スケールのピッチｐ１の略整数倍の位置に配置されている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
また、第１４の発明は、第１０の発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口から出射された前記光ビームが通過する光学素子は、円形の開口である。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、第１５の発明は、第１４の発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記円形の開口は、前記スケールの移動方向に複数の開口部を有し、前記複数の開口部は前記光検出器のピッチｐ２の略整数倍の位置に配置されている。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
また、第１６の発明は、第１４から第１５のいずれかの発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記円形の開口は、前記スケールのパターン面と平行な面内で、前記スケールの移動方向と直交する方向に複数配置されている。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また、第１７の発明は、第１０から第１６のいずれかの発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記可干渉光源と前記スケールとの間に配置された、前記光ビームが通過する光学素子は前記可干渉光源から出射された光ビームが、前記スケールによって反射された後、前記光検出器の実効的な受光感度を有する領域に向かう光路を遮らないように配置されている。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
また、第１８の発明は、第１０から第１７のいずれかの発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記可干渉光源の実効的な光ビーム出射開口と前記スケール間に、前記光ビームが通過する光学素子と、更には前記光ビームのビーム拡がり角を所定の値にする光学素子とを有する。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
また、第１９の発明は、可干渉光源と、前記可干渉光源から出射された光ビームの所定の部分を通過させる光学素子と、周期的な光学パターンを有し、前記可干渉光源に対して相対的に変位するスケールと、前記可干渉光源から出射され前記スケールを経由した光ビームを検出するための光検出器とを有する光学式エンコーダの、前記光検出器の受光面上に形成される光強度パターンの周期ｐ２に応じた出力信号レベルの調整方法であって、（ｉ）前記光検出器の前記受光面上に形成される光強度パターンを検出するステップと、（ｉｉ）前記光検出器により検出される光強度パターンの周期ｐ２に応じた出力信号のレベルを確認するステップと、（ｉｉｉ）前記出力信号のレベルが所定の範囲に含まれるか否かを判断するステップと、（ｉｖ）前記出力信号のレベルが前記所定の信号レベルの範囲に含まれない場合には、前記光学素子から前記スケールまでの距離を変化させるステップと、
を具備し、前記（ｉ）から（ｉｖ）までの各ステップを繰り返して実行する。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
また、第２０の発明は、可干渉光源と、周期的な光学パターンを有し、前記可干渉光源に対して相対的に変位するスケールと、前記可干渉光源から出射され前記スケールを経由した光ビームを検出するための光検出器を有する光学式エンコーダであって、前記可干渉光源と前記スケール間に、前記光ビームのビーム拡がり角を所定の値にする光学素子を有する。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
また、第２１の発明は、第２０の発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記可干渉光源と、前記スケールと、前記光検出器とは、タルボットイメージを検出可能な所定の位置関係に配置されている。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
また、第２２の発明は、第２０の発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記可干渉光源と前記スケールとの距離をｚ１、前記スケールと前記光検出器との距離をｚ２、前記スケールが有する前記周期的な光学パターンのピッチをｐ１、前記可干渉光源から出射される前記光ビームの波長をl、ｎを整数としたときに、前記光学式エンコーダは、おおよそ、１／ｚ１＋１／ｚ２＝l／（ｎ（ｐ１）2）の関係を満たすように構成されている。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
また、第２３の発明は、第２０から第２２の発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記可干渉光源から出射された光ビームが前記スケールを経由して前記光検出器の受光面上に照射された時に形成される前記受光面上の前記光強度パターンの周期をｐ２としたときに、前記光検出器は、前記光強度パターンの所定の位相部分を検出する複数の受光部を有する。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
また、第２４の発明は、第２０から第２３のいずれかの発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記スケールと前記光検出器との距離をｚ２、前記スケールが有する前記周期的な光学パターンのピッチをｐ１、前記光ビームのビーム拡がり角を所定の値にする光学素子を通過した光ビームの拡がり角から算出される仮想的な点光源の位置から前記スケールまでの距離をｚ４としたときに、前記光検出器の受光部は、前記光検出器の受光面上に形成される光強度パターンの周期ｐ２が、おおよそ（ｚ２＋ｚ４）／ｚ４×ｐ１である光強度パターンの所定の位相部分を検出可能に構成されている。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
また、第２５の発明は、第２０から第２４のいずれかの発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記光ビームのビーム拡がり角を所定の値にする光学素子は、レンズである。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
また、第２６の発明は、第２５の発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記レンズは、凹レンズである。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
また、第２７の発明は、第２５の発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記レンズは、複数のレンズによって構成される光学系である。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
また、第２８の発明は、第２５の発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記レンズは、前記スケールの移動方向にのみ光学作用を有するシリンドリカルレンズである。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
また、第２９の発明は、第２５の発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記レンズは、前記スケールの移動方向では前記光ビームのビーム拡がり角を凹レンズ的に広げる作用を有し、前記スケールの移動方向とは直交し、前記スケールパターンと平行な面内においては前記光ビームのビーム拡がり角を凸レンズ的に集光する作用を有する。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
また、第３０の発明は、可干渉光源と、周期的な光学パターンを有し、前記可干渉光源に対して相対的に変位するスケールと、前記可干渉光源から出射され前記スケールを経由した光ビームを検出するための光検出器とを有する光学式エンコーダの、前記光検出器の受光面上に形成される光強度パターンの周期ｐ２に応じた出力信号レベルの調整方法であって、（ｉ）前記可干渉光源から出射された光ビームのビーム拡がり角を所定の値に設定するステップと、（ｉｉ）前記設定されたビーム拡がり角から仮想的な点光源の位置を算出するステップと、（ｉｉｉ）前記光検出器の前記受光面上に形成される光強度パターンを検出するステップと、（ｉｖ）前記光検出器により検出される光強度パターンの周期ｐ２に応じた出力信号のレベルを確認するステップと、（ｖ）前記出力信号のレベルが所定の範囲に含まれるか否かを判断するステップと、（ｖｉ）前記出力信号のレベルが所定の信号レベルの範囲に含まれる場合には調整を終了し、前記出力信号のレベルが前記所定の信号レベルの範囲に含まれない場合には、前記算出された仮想的な点光源の位置から前記スケールまでの距離を変化させるステップと、を具備し、前記（ｉｉｉ）から（ｖｉ）までの各ステップを繰り返して実行する。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
また、第３１の発明は、第２０から第３０のいずれかの発明に係る光学式エンコーダにおいて、前記光ビームのビーム拡がり角を所定の値にする光学素子は、前記可干渉光源から出射された光ビームが、前記スケールによって反射された後、前記光検出器の実効的な受光感度を有する領域に向かう光路を遮らないように配置されている。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】削除
【補正の内容】