Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月19日(2006.10.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、明るさ絞りと、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
前記第１レンズ群を固定した状態で、前記第２レンズ群が無限遠距離の合焦時の位置に対して有限遠距離の合焦時の位置が像側に位置し、前記第３レンズ群が無限遠距離の合焦時の位置に対して有限遠距離の合焦時の位置が物体側に位置し、無限遠距離から有限遠距離へのフォーカシングの際に、前記第２レンズ群は像側のみに移動し、前記第３レンズ群は物体側のみに移動することで、無限遠距離から有限遠距離へのフォーカシングを行うことを特徴とする撮影レンズ系。
【請求項２】
前記第１レンズ群と前記第３レンズ群は非球面を有し、前記第１レンズ群における非球面は、少なくとも前記第１レンズ群における最も像面側の屈折面に配したことを特徴とする請求項１記載の撮影レンズ系。
【請求項３】
前記第３レンズ群の射出面から像面までの空気換算長をｆB 、撮影レンズ系のイメージサークル（直径）をＩＭとしたとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１又は２記載の撮影レンズ系。
ｆB ／ＩＭ＞１．５                                            ・・・（１）
【請求項４】
前記第２レンズ群の焦点距離をｆ2 、撮影レンズの全系の焦点距離をｆとしたとき、以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１から３の何れか１項記載の撮影レンズ系。
ｆ2 ／ｆ＞５．０                                              ・・・（２）
【請求項５】
前記明るさ絞りよりも像側に配される前記第３レンズ群が、物体側から順に、負の屈折力を有する３−１サブユニット、正の屈折力を有する３−２サブユニット、負の屈折力のレンズと正の屈折力のレンズを有する３−３サブユニットを有することを特徴とする請求項１から４の何れか１項記載の撮影レンズ系。
【請求項６】
前記第１レンズ群乃至前記第３レンズ群を保持する保持枠と、前記保持枠を撮影装置本体部に着脱可能とするマウント部とを備えたことを特徴とする請求項１から５の何れか１項記載の撮影レンズ系。
【請求項７】
請求項１から６の何れか１項記載の撮影レンズ系と、前記撮影レンズ系の像面側に配された撮像素子とを備えたことを特徴とする撮影装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成する本発明の撮影レンズ系は、物体側から順に、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、明るさ絞りと、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
前記第１レンズ群を固定した状態で、前記第２レンズ群が無限遠距離の合焦時の位置に対して有限遠距離の合焦時の位置が像側に位置し、前記第３レンズ群が無限遠距離の合焦時の位置に対して有限遠距離の合焦時の位置が物体側に位置し、無限遠距離から有限遠距離へのフォーカシングの際に、前記第２レンズ群は像側のみに移動し、前記第３レンズ群は物体側のみに移動することで、無限遠距離から有限遠距離へのフォーカシングを行うことを特徴とするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月26日(2006.4.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透過部及び反射部を有する表示用ドット領域が設けられた一対の基板と、
前記一対の基板間に配置された液晶層と、
前記反射部に設けられた反射膜と、
前記透過部に設けられた着色要素とを有し、
前記透過部の中心と前記着色要素の中心とを一致させたときに、該着色要素の外周縁は前記透過部の外周縁に対して２〜１０μｍの均一な寸法余裕をもって形成されると共に、該寸法余裕の分だけ前記反射部に張り出して形成されており、
前記反射部における前記着色要素は、張り出した領域にのみ形成されている
ことを特徴とする液晶表示装置。
【請求項２】
透過部及び反射部を有する表示用ドット領域が設けられた基材と、
前記反射部に設けられた反射膜と、
前記透過部に設けられた着色要素とを有し、
前記透過部の中心と前記着色要素の中心とを一致させたときに、該着色要素の外周縁は前記透過部の外周縁に対して２〜１０μｍの均一な寸法余裕をもって形成されると共に、該寸法余裕の分だけ前記反射部に張り出して形成されており、
前記反射部における前記着色要素は、張り出した領域にのみ形成されている
ことを特徴とするカラーフィルタ基板。
【請求項３】
請求項１記載の液晶表示装置を有することを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記の目的を達成するため、本発明に係る液晶表示装置は、透過部及び反射部を有する表示用ドット領域が設けられた一対の基板と、前記一対の基板間に配置された液晶層と、前記反射部に設けられた反射膜と、前記透過部に設けられた着色要素とを有し、前記透過部の中心と前記着色要素の中心とを一致させたときに、該着色要素の外周縁は前記透過部の外周縁に対して２〜１０μｍの均一な寸法余裕をもって形成されると共に、該寸法余裕の分だけ前記反射部に張り出して形成されており、前記反射部における前記着色要素は、張り出した領域にのみ形成されていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
次に、本発明に係るカラーフィルタ基板は、透過部及び反射部を有する表示用ドット領域が設けられた基材と、前記反射部に設けられた反射膜と、前記透過部に設けられた着色要素とを有し、前記透過部の中心と前記着色要素の中心とを一致させたときに、該着色要素の外周縁は前記透過部の外周縁に対して２〜１０μｍの均一な寸法余裕をもって形成されると共に、該寸法余裕の分だけ前記反射部に張り出して形成されており、前記反射部における前記着色要素は、張り出した領域にのみ形成されていることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月2日(2006.11.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
上記目的を達成する本発明の撮像装置は、撮像光学系と撮像素子とシャッターとを備
えた撮像装置において、前記シャッターを動作させるための入力部を有し、該入力部
が非接触型の検出器を備えることを特徴とするものである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
マイク１３を介して音を検出する方法には、次のようなものがある。
（１）所定の閾値を、予め設定しておく。そして、マイク１３で得られた音の大きさ          
が、予め設定してある閾値より大きい場合に、シャッターを動作させる。この時、音    の大きさで閾値を設定するのではなく、周波数で閾値を設定してもよい。
（２）所定の音声を、予め設定しておく。そして、マイク１３で得られた音声を解析    し、特定の言葉である場合にシャッターを動作させるようにする。すなわち、特定の    言葉を認識すると、撮像装置はシャッターを動作させる。例えば、この所定の音声と は、「チーズ！」、「シャッター！」等がある。このように、特定の言葉にすること    で、通常の会話や周りの雑音等で、誤動作することがないようにすることができる。    また、複数の言葉に、それぞれ特定の操作（動作）を設定することもできる。このよ    うにしておけば、シャッターを動作させるだけではなく、カメラ１０のズーム状態や    撮影モード、フラッシュのＯＮ／ＯＦＦの切り換え等も、音声で行うことができるよ    うになる。さらに、上記のような特定の言葉でも、音量が閾値以上の場合のみ各種動    作を行うように設定しておけば、より誤動作を防ぐことができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月23日(2006.10.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
測定管内の測定流体を通過する超音波信号に基づいて流量を求める超音波流量計であって、
超音波信号の伝搬状態から相関法を用い流速を検出する第１及び第２の流速測定手段と、
一方のトランスジューサから他方のトランスジューサに超音波を所定のパスを経由して送受信する送受信手段と、
前記送受信手段により得られた受信信号の強さ又は相関値から前記第１及び第２の流速測定手段の切換えを判定する判定手段と、
前記判定手段の出力に基づいて、前記第１の流速測定手段と前記第２の流速測定手段とを切換える切換え手段とを備える
ことを特徴とする超音波流量計。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
（１）測定管内の測定流体を通過する超音波信号に基づいて流量を求める超音波流量計であって、超音波信号の伝搬状態から相関法を用い流速を検出する第１及び第２の流速測定手段と、一方のトランスジューサから他方のトランスジューサに超音波を所定のパスを経由して送受信する送受信手段と、前記送受信手段により得られた受信信号の強さ又は相関値から前記第１及び第２の流速測定手段の切換えを判定する判定手段と、前記判定手段の出力に基づいて、前記第１の流速測定手段と前記第２の流速測定手段とを切換える切換え手段とを備えることを特徴とする超音波流量計。
（２）前記第１の流速測定手段は、上流側のトランスジューサから下流側のトランスジューサへ超音波を伝搬させ時間を計測し、下流側のトランスジューサから上流側のトランスジューサへ超音波を伝搬させ時間を計測し、その時間差から流速を求める伝搬時間差方式であり、前記第２の流速測定手段は、送信された超音波信号の流体中の気泡やパーティクル等の微粒子の反射信号を複数回測定しその受信信号の相関から流速を求める反射相関方式であることを特徴とする（１）に記載の超音波流量計。
（３）前記第２の流速測定手段は、上流側のトランスジューサ又は下流側のトランスジューサの何れかを使用するようにしたことを特徴とする（２）に記載の超音波流量計。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月23日(2006.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
プローブカードを保持部で保持するカードホルダと、このカードホルダを介して上記プローブカードをプローブ装置に取り付けるための固定部と、を備え、上記保持部は上記プローブカードの複数のプローブが臨む開口部を有するプローブカードの固定機構において、上記開口部の開口端から外周端に向けて延びる切り込み部を上記保持部の周方向に所定間隔を隔てて複数設けたことを特徴とするプローブカードの固定機構。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の請求項３に記載のプローブカードの固定機構は、プローブカードを保持部で保持するカードホルダと、このカードホルダを介して上記プローブカードをプローブ装置に取り付けるための固定部と、を備え、上記保持部は上記プローブカードの複数のプローブが臨む開口部を有するプローブカードの固定機構において、上記開口部の開口端から外周端に向けて延びる切り込み部を上記保持部の周方向に所定間隔を隔てて複数設けたことを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本実施形態のプローブカードの固定機構１０は、例えば図１に示すように、円形状のプローブカード１１を上面から支持する支持体１２と、支持体１２を保持するリング状カードホルダ１３と、カードホルダ１３の外周縁部をクランプし且つヘッドプレート１４の開口部に固定されたクランプ機構１５と、を備え、従来と同様にプローバ室（図示せず）に配置されている。プローバ室内にはメインチャック１６が配置され、メインチャック１６上に載置したウエハＷを水平方向（Ｘ、Ｙ方向）及び上下方向（Ｚ方向）に搬送する。この際、メインチャック１６は、極力ヘッドプレート１４の真下に達しない範囲で移動し、メインチャック１６からの放熱によってヘッドプレート１４を極力加熱しないようにしてある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
支持体１２は、例えば図１に示すようにプローブカード１１の中心を通り回路基板１１Ｂの直径と実質的に同一径の円盤形状またはハンドル形状（図２参照）に形成されている。つまり、支持体１２は、図２に示すように、回路基板１１Ｂの外径と実質的に同一径に形成されたリング部１２Ａと、その中心に形成されたハブ部１２Ｂと、これら両者を連結する複数のスポーク部１２Ｃとからなっている。そして、プローブカード１１及び支持体１２は、同図に示すように、複数のプローブ１１Ａの周囲に対称に配置されたネジ等からなる複数の締結部材１７によってカードカードホルダ１３に対して一体的に締結、固定され、これら両者１１、１２の外周縁部はカードホルダ１３に対して固定されずに自由状態になっている。尚、締結部材１７は、例えばハブ部１２Ｂの外周縁部に配置しても良く、また、各スポーク部１２Ｃの内端部に配置しても良い。
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月30日(2006.8.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体が放射する赤外線を吸収し電気信号に変換する複数の素子を有する非冷却赤外線撮像素子を備えた非冷却赤外線カメラにおいて、
この非冷却赤外線撮像素子の内部発熱の要因となる各種信号のうち、少なくとも一つ以上の各種信号を上記非冷却赤外線撮像素子に供給した待機状態にしておき、上記非冷却赤外線カメラからの映像信号の出力を開始する映像信号出力開始信号により、上記待機中に非冷却赤外線撮像素子に供給している信号以外を起動して、上記映像信号を出力することを特徴とする非冷却赤外線カメラ。
【請求項２】
赤外光学系と、この赤外光学系の結像面に位置し、被写体が放射する赤外線を吸収し電気信号に変換する複数の素子を有する非冷却赤外線撮像素子と、この非冷却赤外線撮像素子にバイアス電圧を印加するバイアス電圧源と、上記非冷却赤外線撮像素子に素子用電源を印加する撮像素子電源と、上記非冷却赤外線撮像素子の夫々の素子から信号を読み出すためのクロックを発生させる素子駆動クロック生成回路と、上記非冷却赤外線撮像素子から読み出される各画素電圧信号を増幅して表示する増幅及び表示処理回路と、を備え、
上記非冷却赤外線撮像素子の内部発熱の要因となる各種信号のうち、少なくとも一つ以上の各種信号を上記非冷却赤外線撮像素子に供給した待機状態にしておき、上記非冷却赤外線カメラからの映像信号の出力を開始する映像信号出力開始信号により、上記待機中に非冷却赤外線撮像素子に供給している信号以外を起動して、上記映像信号を出力することを特徴とする非冷却赤外線カメラ。
【請求項３】
上記非冷却赤外線撮像素子の内部発熱の要因となる各種信号は、上記バイアス電圧源から上記上記非冷却赤外線撮像素子に供給されるバイアス電圧、上記撮像素子電源から上記上記非冷却赤外線撮像素子に供給される素子電源、上記素子駆動クロック生成回路から上記非冷却赤外線撮像素子に供給される素子駆動クロックの何れかであることを特徴とする、請求項２に記載の非冷却赤外線カメラ。
【請求項４】
更に、上記非冷却赤外線撮像素子に熱的に接続した熱電素子と、上記非冷却赤外線撮像素子を構成する検知素子と熱的に接続した素子温度センサと、上記熱電素子に接続し上記非冷却赤外線撮像素子を略一定温度に維持する熱電素子制御回路とを備え、
上記撮像中に上記非冷却赤外線撮像素子の内部発熱の要因となる各種信号のうち、少なくとも一つ以上の各種信号を上記非冷却赤外線撮像素子に供給すると共に上記熱電素子により略一定温度に維持した待機状態にしておき、上記映像信号出力開始信号により、上記待機中に非冷却赤外線撮像素子に供給している信号以外を起動して、上記映像信号を出力することを特徴とする、請求項２または請求項３に記載の非冷却赤外線カメラ。
【請求項５】
上記非冷却赤外線撮像素子の内部発熱の要因となる各種信号は、上記バイアス電圧源から上記上記非冷却赤外線撮像素子に供給されるバイアス電圧、上記撮像素子電源から上記上記非冷却赤外線撮像素子に供給される素子電源、上記素子駆動クロック生成回路から上記非冷却赤外線撮像素子に供給される素子駆動クロックの何れかであることを特徴とする、請求項４に記載の非冷却赤外線カメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
この発明による非冷却赤外線カメラは、被写体が放射する赤外線を吸収し電気信号に変換する複数の素子を有する非冷却赤外線撮像素子を備え、この非冷却赤外線撮像素子の内部発熱の要因となる各種信号のうち、少なくとも一つ以上の各種信号を上記非冷却赤外線撮像素子に供給した待機状態にしておき、上記非冷却赤外線カメラからの映像信号の出力を開始する映像信号出力開始信号により、上記待機中に非冷却赤外線撮像素子に供給している信号以外を起動して、上記映像信号を出力する様にしたものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
この発明によれば、映像出力が必要な時刻までの間、撮像素子電源、バイアス電圧源、素子駆動クロック生成回路に限定して電源を供給し、素子電源、バイアス電圧、素子駆動クロックを加えることにより非冷却赤外線撮像素子を動作状態にして待機するようにし、映像信号出力開始時には非冷却赤外線撮像素子が熱平衡に近い状態になるようにしたため、映像信号出力開始直後から固定パタ−ンノイズが少ない良好な映像が得られ、かつ、待機中の消費電力も少ない非冷却赤外線カメラが得られる効果がある。
また、映像出力が必要な時刻までの間、撮像素子電源、バイアス電圧源、素子駆動クロック生成回路、熱電素子駆動回路に限定して電源を供給し、熱電素子を用いて非冷却赤外線撮像素子を動作状態のままマクロに見て一定温度に維持しながら待機し、映像信号出力開始時には非冷却赤外線撮像素子が熱平衡に近い状態になるようにしたため、映像信号出力までの待機時間が短い場合でも映像信号出力開始直後から固定パタ−ンノイズが少ない良好な映像が得られ、かつ、待機中の消費電力が少ない非冷却赤外線カメラが得られる効果がある。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月13日(2006.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無線端末と無線通信によって接続される少なくとも３つ以上の基地局がネットワークを介して測位サーバに接続されており、
前記基地局は、前記基地局の何れか一つ又は前記無線端末から送信された信号の到達時間情報を前記測位サーバに送信し、
前記測位サーバは、前記基地局から受信した信号の到達時間情報に基づいて、前記無線端末の位置を測定する測位システムにおいて、
前記基地局は、複数の通信方法によって前記無線端末からの信号を受信し、該、複数の通信方法によって受信された信号に基づき信号到達時間情報を作成することを特徴とする測位システム。
【請求項２】
前記基地局は、前記複数の通信方法で受信した複数の信号それぞれの信号到達時間情報を前記測位サーバに送信し、
前記測位サーバは、前記基地局から受信した複数の通信方法で受信した複数の信号到達時間情報の複数の組み合わせについて前記無線端末の位置を計算し、該複数の計算結果から最も誤差の小さい結果のものを選択することを特徴とする請求項１に記載の測位システム。
【請求項３】
前記基地局は、前記無線端末からの受信信号強度が最も強くなるように通信方法を選択して、前記無線端末からの信号を受信することを特徴とする請求項１に記載の側位システム。
【請求項４】
前記基地局は、前記無線端末からの信号を受信する所定の回数毎に通信方法を変更することを特徴とする請求項１に記載の測位システム。
【請求項５】
前記複数の通信方法は、前記基地局が信号を受信する際のアンテナ指向性が異なるものを含むことを特徴とする請求項１から４の何れか一つに記載の測位システム。
【請求項６】
前記複数の通信方法は、前記基地局が受信する信号の偏波が異なるものを含むことを特徴とする請求項１から４の何れか一つに記載の測位システム。
【請求項７】
前記複数の通信方法は、前記基地局が受信する信号の周波数が異なるものを含むことを特徴とする請求項１から４の何れか一つに記載の測位システム。
【請求項８】
無線端末と無線通信によって接続される少なくとも３つ以上の基地局がネットワークに接続されており、
前記基地局の何れか一つ又は前記無線端末から送信された信号の各基地局における到達時間情報に基づいて、前記無線端末の位置を測定する測位方法であって、
前記無線端末からの信号を、複数の通信方法によって受信する第１のステップと、
該複数の通信方法によって受信された信号に基づき信号到達時間情報を作成する第２のステップと、
を実行することを特徴とする測位方法。
【請求項９】
前記第２のステップは、前記複数の通信方法で受信した複数の信号それぞれの信号到達時間情報を作成することを特徴とし、
前記複数の信号到達時間情報の複数の組み合わせについて前記無線端末の位置を計算する第３のステップと、
該複数の計算結果から、最も誤差の少ない結果のものを選択する第４のステップと、
を実行することを特徴とする請求項８に記載の測位方法。
【請求項１０】
前記第２のステップは、前記無線端末からの受信信号強度が最も強くなるように通信方法を選択して実行されることを特徴とする請求項８に記載の測位方法。
【請求項１１】
前記第２のステップは、前記無線端末からの信号を受信する所定の回数毎に通信方法を変更して実行されることを特徴とする請求項８に記載の測位方法。
【請求項１２】
前記複数の通信方法は、前記基地局が信号を受信する際のアンテナ指向性が異なるものを含むことを特徴とする特徴とする請求項８から１１の何れか一つに記載の測位方法。
【請求項１３】
前記複数の通信方法は、前記基地局が受信する信号の偏波が異なるものを含むことを特徴とする特徴とする請求項８から１１の何れか一つに記載の測位方法。
【請求項１４】
前記複数の通信方法は、前記基地局が受信する信号の周波数が異なるものを含むことを特徴とする特徴とする請求項８から１１の何れか一つに記載の測位方法。
【請求項１５】
無線端末と無線通信によって接続される少なくとも３つ以上の基地局に接続され、
複数の通信方法で受信された複数の信号それぞれの信号到達時間情報を前記基地局から受信し、該複数の信号到達時間情報に基づいて、前記無線端末の位置を測定する測位サーバであって、
前記基地局から受信した複数の信号到達時間情報の複数の組み合わせについて、前記無線端末の位置の計算を行う位置計算部と、
前記位置計算部の計算結果に基づいて、前記複数の計算結果から最も位置測定誤差が少ない結果のものを選択する状態選択部と、
を備えたことを特徴とする測位サーバ。
【請求項１６】
前記複数の通信方法は、前記基地局が信号を受信する際のアンテナ指向性が異なるものを含むことを特徴とする請求項１５に記載の測位サーバ。
【請求項１７】
前記複数の通信方法は、前記基地局が受信する信号の偏波が異なるものを含むことを特徴とする請求項１５に記載の測位サーバ。
【請求項１８】
前記複数の通信方法は、前記基地局が受信する信号の周波数が異なるものを含むことを特徴とする請求項１５に記載の測位サーバ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
測位サーバ２０は、全ての基地局３０から測位準備完了を受信すると、まず、基地局３０ａに対して測位信号を送信するよう指示を送る。基地局３０ａはこの指示を受けて測位信号を他の基地局（３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ）及び無線端末１０に対して送信する。基地局３０ａは測位信号を送信した時刻を、基地局３０ｂ、３０ｃ、３０ｄは測位信号を受信した時刻を、それぞれ記憶する。なお、この測位信号は、複数の信号を所定回数送信する。各基地局３０は、複数の信号それぞれについてアンテナ３１の指向性を変更して受信し、その受信時刻を記憶する。例えば、３回の測位信号を送信する場合は、３回の信号それぞれに対して指向性を変更し、受信する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
以上のように構成された第３の実施の形態の測位システムでは、基地局３０側で最も受信信号強度が大きくなるような指向性、偏波、周波数等を選択することで、無線端末１０の位置測定誤差を小さくすることができると共に、測位サーバ２０の位置計算の際の負荷を低減することが出来る。
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月27日(2006.10.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路パターンが形成されたウェハを帯電させる手段と、
該帯電したウェハ近傍の電位強度を観測する手段と、
該観測された電位強度の変化から、前記回路パターンの大きさまたは前記回路パターンの繰返し周期より長い距離にわたる変化を検出することにより、前記回路パターンに存在する電気的欠陥の有無を判別する手段と
を備えていることを特徴とするパターン欠陥検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載のパターン欠陥検査装置において、
前記帯電したウェハ近傍の電位強度を観測する手段として、電子源からの電子ビームを２次元的な広がりを有する、前記回路パターンの繰り返し周期のサイズより大きい面積を持つ面状電子ビームとして試料表面に照射する第１の電子光学系と、
前記ウェハの帯電電位を、前記照射された面状電子ビームが前記ウェハには接触せずにウェハ近傍で反射する程度の大きさに制御する手段と、
該鏡面反射した電子ビームを結像させて、前記電子ビームの照射領域の拡大像を形成するための第２の電子光学系と、
前記面状電子ビームによる照射領域を前記ウェハ上で移動させる手段と、
前記拡大像を電気的な画像信号に変換して検出する画像信号検出手段と、
検出された画像信号強度と設定された閾値とを比較して回路パターン欠陥の有無と位置と
を判定する信号処理手段とを備えたことを特徴とするパターン欠陥検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載のパターン欠陥検査装置において、
前記画像信号検出手段として位置敏感性の検出器を備えたことを特徴とするパターン欠陥検査装置。
【請求項４】
請求項２に記載のパターン欠陥検査装置において、
前記第２の電子光学系は、前記回路パターンの大きさまたは前記回路パターンの繰返し周期より長い距離にわたって変化する電位分布によって反射された該電子ビームのみを選択する結像手段と絞りを備え、
前記画像信号検出手段として、前記選択された電子ビームを位置敏感性なく検出する検出器を備えたことを特徴とするパターン欠陥検査装置。
【請求項５】
請求項２に記載のパターン欠陥検査装置において、
前記ウェハを帯電させる手段が、電子線を照射する手段ないし紫外線から軟X線までの範囲内の波長を有する電磁波を照射する手段であることを特徴とするパターン欠陥検査装置。
【請求項６】
第１の走査型電子顕微鏡と、
第２の走査型電子顕微鏡と、
前記第１の走査型電子顕微鏡を制御する第１の制御機構と、
前記第２の走査型電子顕微鏡を制御する第２の制御機構と、
前記第１の制御機構と第２の制御機構との間でデータ通信を行なうための伝送路と、
前記第１の走査型電子顕微鏡で観測した試料を前記第２の走査型電子顕微鏡へ真空状態を保持しつつ搬送する搬送手段とを有し、
前記第１の走査電子顕微鏡は、
微細な回路パターンが形成されたウェハを保持する試料ステージと、
該ウェハを帯電させる手段と、
該帯電したウェハ近傍の電位強度を観測する手段と、
該観測された電位強度の変化から、前記回路パターンの大きさまたは前記回路パターンの繰返し周期より長い距離にわたる変化を検出することにより、前記回路パターンに存在する電気的欠陥の有無と前記ウェハ上での位置を特定する手段とを有し、
該特定された電気的欠陥の位置情報を前記第２の走査電子顕微鏡へ伝送し、
検査された前記ウェハを前記第２の走査電子顕微鏡へ搬送し、
前記伝送された位置情報をもとに、前記欠陥の存在位置及びその近傍を前記第２の走査型顕微鏡で観察することを特徴とするパターン欠陥検査装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月27日(2006.4.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モノクロ画像形成に対応した黒感光体と、カラー画像形成に対応して前記黒感光体と共に並列配置された非黒感光体を同一速度同一位相で回転駆動し、モノクロ、カラーの両方の画像形成が可能な画像形成装置において、
前記黒感光体及び非黒感光体にそれぞれ位相検出用部材を配設し前記各々の位相検出部材の有無を検出することにより黒位相信号及び非黒位相信号を出力する黒位相検出手段及び非黒位相検出手段と、
前記各々の位相検出手段の位相検出時間を同時に計測開始し黒位相信号及び非黒位相信号がそれぞれ変化するまでの時間を計測して計時値を得る黒位相用計時手段及び非黒位相計時手段と、
前記各々の位相検出手段が計測開始時における前記黒位相信号及び非黒位相信号のそれぞれの信号値を記憶するとともに、前記それぞれの計時値及び信号値に基づいて前記黒感光体及び非黒感光体の回転位相差を所定の許容範囲内に調整する位相一致化制御手段とを備えたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記位相一致化制御手段は、前記黒位相信号を基準として前記非黒位相信号の信号値が前記黒位相信号の信号値に一致するように前記黒感光体及び非黒感光体の回転位相差を所定の許容範囲内に調整するものであることを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記位相一致化制御手段は、前記非黒位相信号を基準として前記黒位相信号の信号値が前記非黒位相信号の信号値に一致するように前記黒感光体及び非黒感光体の回転位相差を所定の許容範囲内に調整するものであることを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記黒感光体及び非黒感光体にそれぞれ配設される前記位相検出用部材は、それぞれ、前記黒感光体及び前記非黒感光体がそれぞれ半回転するごとに前記黒位相検出手段及び非黒位相検出手段がそれぞれ検出する前記黒位相信号及び非黒位相信号をそれぞれ変化させる配置で前記黒感光体及び前記非黒感光体にそれぞれ配設されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記黒位相信号及び非黒位相信号は、前記位相一致化制御手段に割り込み信号として入力されることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項１に記載の画像形成装置は、モノクロ画像形成に対応した黒感光体と、カラー画像形成に対応して前記黒感光体と共に並列配置された非黒感光体を同一速度同一位相で回転駆動し、モノクロ、カラーの両方の画像形成が可能な画像形成装置において、前記黒感光体及び非黒感光体にそれぞれ位相検出用部材を配設し前記各々の位相検出部材の有無を検出することにより黒位相信号及び非黒位相信号を出力する黒位相検出手段及び非黒位相検出手段と、前記各々の位相検出手段の位相検出時間を同時に計測開始し黒位相信号及び非黒位相信号がそれぞれ変化するまでの時間を計測して計時値を得る黒位相用計時手段及び非黒位相計時手段と、前記各々の位相検出手段が計測開始時における前記黒位相信号及び非黒位相信号のそれぞれの信号値を記憶するとともに、前記それぞれの計時値及び信号値に基づいて前記黒感光体及び非黒感光体の回転位相差を所定の許容範囲内に調整する位相一致化制御手段とを備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項２に記載の画像形成装置は、請求項１に記載の画像形成装置において、前記位相一致化制御手段は、前記黒位相信号を基準として前記非黒位相信号の信号値が前記黒位相信号の信号値に一致するように前記黒感光体及び非黒感光体の回転位相差を所定の許容範囲内に調整するものであることを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項３に記載の画像形成装置は、請求項１に記載の画像形成装置において、前記位相一致化制御手段は、前記非黒位相信号を基準として前記黒位相信号の信号値が前記非黒位相信号の信号値に一致するように前記黒感光体及び非黒感光体の回転位相差を所定の許容範囲内に調整するものであることを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項４に記載の画像形成装置は、請求項１ないし３のいずれかに記載の画像形成装置において、前記黒感光体及び非黒感光体にそれぞれ配設される前記位相検出用部材は、それぞれ、前記黒感光体及び前記非黒感光体がそれぞれ半回転するごとに前記黒位相検出手段及び非黒位相検出手段がそれぞれ検出する前記黒位相信号及び非黒位相信号をそれぞれ変化させる配置で前記黒感光体及び前記非黒感光体にそれぞれ配設されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の画像形成装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月10日(2006.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体のナビ装置との通信に基づき、該ナビ装置を通じて該移動体に情報を提供するナビサーバであって、
前記ナビ装置との通信に基づき、前記移動体の位置および目的位置を含む走行情報を認識する走行情報認識手段と、
該走行情報認識手段により認識された該移動体の走行情報の一部または全部に基づき、該移動体の通行ルートを推定するルート推定手段と、
該走行情報認識手段により認識された該移動体の走行情報の一部または全部に基づき、該ルート推定手段により推定されたルートから、該走行情報認識手段により走行情報として認識された該移動体の位置または該推定ルートの始点を基準として、所定種類の道路に該当する部分、または所定距離内にある範囲若しくは該移動体が所定時間内に到達すると予測される範囲に含まれる部分を対象部分として抽出する対象部分抽出手段と、
該推定ルートのうち該対象部分抽出手段により抽出された対象部分の道路交通情報に応じた簡易図形情報を作成する簡易図形情報作成手段と、
該簡易図形情報作成手段により作成された簡易図形情報を該移動体のナビ装置に提供する情報提供手段とを備えていることを特徴とするナビサーバ。
【請求項２】
前記走行情報認識手段により認識された前記移動体の走行情報の一部または全部に基づき、前記ナビ装置に提供されるとともに、該ナビ装置への情報提供のための引金条件を設定する引金条件設定手段を備え、
該ナビ装置により該引金条件が満たされたと判断されたとき、前記走行情報認識手段が該ナビ装置との通信によって該移動体の走行情報を認識し、前記ルート推定手段が該移動体のルートを推定し、かつ、前記情報提供手段が該移動体のナビ装置に前記情報を提供することを特徴とする請求項１記載のナビサーバ。
【請求項３】
前記引金条件設定手段が、前記移動体が所定位置に到達したことを、前記引金条件として設定することを特徴とする請求項２記載のナビサーバ。
【請求項４】
前記走行情報認識手段により前記移動体の走行情報として認識された自動車の位置が一般道路にあり、かつ、前記ルート推定手段により推定された該自動車のルートに高速道路が含まれる場合、前記引金条件設定手段が、該自動車が該高速道路の入口、または該入口手前の所定位置に到達したことを前記引金条件として設定することを特徴とする請求項２または３記載のナビサーバ。
【請求項５】
前記ルート推定手段により推定される自動車のルートのうち前記対象部分抽出手段により抽出された対象部分に高速道路が含まれている場合、前記情報管理手段が該高速道路のインターチェンジごとの予測走行所要時間および交通規制情報のうち一方または両方を前記ナビ装置に提供することを特徴とする請求項１，２，３または４記載のナビサーバ。
【請求項６】
ナビサーバとの通信に基づいて道路交通情報を表示するナビ装置であって、
請求項１，２，３，４または５記載のナビサーバから情報を受信したとき、それまで表示されていた情報に替えてまたは加えて該受信情報を表示することを特徴とするナビ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
前記課題を解決するための本発明のナビサーバは、移動体のナビ装置との通信に基づき、該ナビ装置を通じて該移動体に情報を提供するナビサーバであって、前記ナビ装置との通信に基づき、前記移動体の位置および目的位置を含む走行情報を認識する走行情報認識手段と、該走行情報認識手段により認識された該移動体の走行情報の一部または全部に基づき、該移動体の通行ルートを推定するルート推定手段と、該走行情報認識手段により認識された該移動体の走行情報の一部または全部に基づき、該ルート推定手段により推定されたルートから、該走行情報認識手段により走行情報として認識された該移動体の位置または該推定ルートの始点を基準として、所定種類の道路に該当する部分、または所定距離内にある範囲若しくは該移動体が所定時間内に到達すると予測される範囲に含まれる部分を対象部分として抽出する対象部分抽出手段と、該推定ルートのうち該対象部分抽出手段により抽出された対象部分の道路交通情報に応じた簡易図形情報を作成する簡易図形情報作成手段と、該簡易図形情報作成手段により作成された簡易図形情報を該移動体のナビ装置に提供する情報提供手段とを備えていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明のナビサーバによれば、移動体の走行情報の一部又は全部に基づいて推定される当該移動体のルートのうち「対象部分」の「道路交通情報」に応じた「簡易図形情報」がナビ装置に提供され、この簡易図形情報がナビ装置を目にしたユーザの視覚を通じて容易に認識され得る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
移動体のルートは、当該移動体の走行情報の一部又は全部に基づいて推定されるので、推定精度が高められる。これにより、移動体が目的位置に迅速且つ確実に辿り着く観点から、ナビ装置に提供される道路交通情報に応じた簡易図形情報の価値が高められる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、推定ルートのうち、対象部分、すなわち、移動体の位置等を基準として、所定種類の道路に該当する部分、又は所定距離内にある範囲若しくは該移動体が所定時間内に到達すると予測される範囲に含まれる部分の道路交通情報に応じた簡易図形情報がナビ装置に提供される。これにより、移動体が目的位置に迅速且つ確実に辿り着くため等の観点から過不足のない適量の簡易図形情報がナビ装置に提供され得る。さらに、ナビ装置に提供される簡易図形情報の情報量が制限される分、情報通信や情報処理にかかるナビ装置の負担が軽減される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月17日(2006.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物体を載置するための載置面であって、光学研磨された載置面と、
前記載置面に設けられた穴と、
前記載置面と交差し、前記穴の載置面側を面取りした面取部とを備えた透明な光学装置用ステージであって、
前記面取り部が光学研磨されている光学装置用ステージ。
【請求項２】
請求項１に記載の光学装置用ステージを備えた光学装置。
【請求項３】
カラーフィルタ基板に光を照射する光源と、
前記カラーフィルタ基板を透過した前記光源からの光を検出する検出器と、
前記カラーフィルタ基板が載置される載置面に穴が形成された透明なステージとを備えた欠陥検査装置であって、
前記ステージは、前記載置面と交差し、前記穴の載置面側を面取りした面取部を有し、
前記面取り部が光学研磨されている欠陥検査装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月22日(2006.5.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
しかし、染料を使用する感熱記録材料は可逆性、不可逆性を問わず、長時間の光暴露による印字画像、あるいは地肌部の劣化が問題になっている。この問題に対して、これまで様々な取り組みがされており、多くの場合、染料を含む感熱記録層の上部に紫外線等の特定波長の光を吸収する層を設けることで対処されているが、更に過酷な条件では、いっそうの改良を求められている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
「感熱記録層の添加剤」
また、感熱層あるいは可逆性感熱層の発色感度及び消色温度を調節するための添加剤として、熱可融性物質を感熱層中に含有させることができる。かかる熱可融性物質としては６０℃〜２００℃の融点を有するものが好ましく、特に８０℃〜１８０℃の融点を有するものが好ましい。また、一般の感熱記録紙に用いられている増感剤を使用することもできる。例えば、Ｎ−ヒドロキシメチルステアリン酸アミド、ステアリン酸アミド、パルミチン酸アミドなどのワックス類、２−ベンジルオキシナフタレン等のナフトール誘導体、ｐ−ベンジルビフェニル、４−アリルオキシビフェニル等のビフェニル誘導体、１，２−ビス（３−メチルフェノキシ）エタン、２，２′−ビス（４−メトキシフェノキシ）ジエチルエーテル、ビス（４−メトキシフェニル）エーテル等のポリエーテル化合物、炭酸ジフェニル、シュウ酸ジベンジル、シュウ酸ビス（ｐ−メチルベンジル）エステル等の炭酸またはシュウ酸ジエステル誘導体等を併用して添加することができるが、これらに限定されるものではない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
＜中間層Ｊ  （紫外線吸収層）＞
１０％ポリビニルアルコール水溶液（ＮＭ１１）                      ３８部
紫外線遮断剤（日本無機化学工業社製、Ｓ−３０１８）                ７０部
２０％ステアリン酸亜鉛分散液（固形）                                ２部
水                                                                ５０部
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
＜中間層Ｋ（無機酸化物が分散状態にある紫外線吸収層）＞
ＺＳ−３０３（住友化学社製、超微粒子酸化亜鉛、有効固形分３０％）１００部
ＬＲ−２５２８（三菱レーヨン社製、熱硬化性アクリルポリオール、有効固形分５０％）                                                                  ４０部
コロネートＨＬ                                                    １０部
２−ブタノン                                                      ７５部
の組成からなる紫外線吸収層塗液。
これを、所定の固形分塗抹量になるように塗抹し、６０℃で２４時間乾燥・硬膜を行った。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
「実施例及び比較例の評価」
実施例と比較例を比較すると、実施例では地肌濃度の変化はどれも２００％以下、印字濃度の変化は８０％以上であるのに対して、比較例では比較例２を除いて地肌濃度アップが２００％以上、印字濃度の低下が８０％以下になっており、基材の酸素透過率が１０００ｃｍ3／ｍ2・２４ｈｒ・ａｔｍ以下であり、かつ感熱記録層の上部に無機酸化物の薄膜層が設られている場合には、良好な耐光性が得られることが分かる。
比較例２は耐光性の目安では良好な結果を示しているが、これは酸素遮断層が高分子のなかでは良好な酸素遮断能を持つＰＶＡ樹脂であることに起因する。ただし、ＰＶＡで十分な酸素遮断能を確保するためには、層厚を十分確保する必要があり、本比較例２の様に６ｇ／ｍ2のＰＶＡ層を設けると、感熱記録材料の多大な感度低下を引き起こしてしまう。実際印字感度を評価すると、比較例１では０．４５ｍＪ／ｄｏｔのエネルギーで飽和濃度に達するが、比較例２では０．６ｍＪ／ｄｏｔ必要であり、著しい感度低下が確認できた。
一方、無機酸化物による酸素遮断層は２００オングストロームと薄いため、印字感度には影響を及ぼさない。実際、実施例１の印字感度は０．４５ｍＪ／ｄｏｔで有り、酸素遮断層を設けない比較例１と変わらないことが確認できた。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
また、比較例４と比較例５を比較すると、何れも実施例６の耐光性よりも劣ることが解る。ただし、実施例５と実施例６では実施例５の方が良好な結果であり、紫外線吸収能のある中間層だけでは不十分ではあるが、無機酸化物の蒸着膜と併用することで、より高い耐光性を得られることがわかる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月25日(2005.11.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  検査試料表面に明視野照明光を投光する明視野照明投光光学系と、検査試料表面に暗視野照明光を投光する暗視野照明投光光学系と、検査試料表面に対して両照明光を異なるタイミングで個別に投光するように切換える照明光切換手段と、該切換手段により照明される前記検査試料の明視野照明像及び暗視野照明像を撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた暗視野画像と明視野画像とを相対的に減算処理した減算処理画像を生成する画像生成手段と、該生成された画像を表示する表示手段と、を備えることを特徴とする表面検査装置。
【請求項２】  請求項１の表面検査装置において、前記照明光切換手段は明視野照明光と暗視野照明光を連続して交互に投光するように切換える手段であり、前記画像生成手段は前記減算処理画像を連続的に生成する手段であることを特徴とする表面検査装置。
【請求項３】  請求項１の表面検査装置において、前記撮像手段により得られる明視野画像と暗視野画像とをそれぞれ取り込むフレームメモリを有し、前記画像生成手段は該フレームメモリに取り込まれた２画像から画像を生成することを特徴とする表面検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とする。
（１）  検査試料表面に明視野照明光を投光する明視野照明投光光学系と、検査試料表面に暗視野照明光を投光する暗視野照明投光光学系と、検査試料表面に対して両照明光を異なるタイミングで個別に投光するように切換える照明光切換手段と、該切換手段により照明される前記検査試料の明視野照明像及び暗視野照明像を撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた暗視野画像と明視野画像とを相対的に減算処理した減算処理画像を生成する画像生成手段と、該生成された画像を表示する表示手段と、を備えることを特徴とする。
（２）  （１）の表面検査装置において、前記照明光切換手段は明視野照明光と暗視野照明光を連続して交互に投光するように切換える手段であり、前記画像生成手段は前記減算処理画像を連続的に生成する手段であることを特徴とする。
（３）  （１）の表面検査装置において、前記撮像手段により得られる明視野画像と暗視野画像とをそれぞれ取り込むフレームメモリを有し、前記画像生成手段は該フレームメモリに取り込まれた２画像から画像を生成することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月28日(2005.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】ウェハを載置し、この載置されたウェハを少なくとも所定角度回転可能にしたウェハ載置手段と、
前記ウェハの中心方向に延出される複数のウェハ保持部を有し、前記ウェハを前記複数のウェハ保持部により前記ウェハ載置手段に載置されたウェハの一方面を吸着保持するとともに、該ウェハを回動させてウェハの一方面の観察を可能にしたウェハ保持手段と、
前記ウェハの一方面を観察の後、前記ウェハ保持手段による再度の一方面の観察を行う際に、前記ウェハの一方面の未検査領域と重ならない位置を前記ウェハ保持部が保持するよう制御する制御手段とを具備したことを特徴とするウェハ検査装置。
【請求項２】前記制御手段は、前記ウェハの一方面を観察の後、このウェハを前記ウェハ載置手段に載置した状態で、該ウェハ載置手段を所定角度回転させるよう制御することを特徴とする請求項１に記載のウェハ検査装置。
【請求項３】前記制御手段は、前記ウェハの一方面の観察の後に再度ウェハを前記ウェハ載置手段に載置させ、該ウェハを前記ウェハ載置手段により所定角度回転させるとともに前記ウェハ保持手段を回動させることを特徴とする請求項１または２に記載のウェハ検査装置。
【請求項４】 前記制御手段は、前記ウェハ載置手段を前記ウェハ保持部の幅寸法より大きい移動量が得られる回転角度で回転させることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のウェハ検査装置。
【請求項５】前記制御手段は、前記ウエハの一方面の観察が２回目であるか判断を行う機能を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のウェハ検査装置。
【請求項６】前記載置手段は、前記ウェハのマクロ観察を可能とするため旋回動作および所定角度の回転動作を行うことを特徴とする請求項１から５に記載のウェハ検査装置。
【請求項７】 前記ウェハ保持手段は、前記ウェハ載置手段に載置されたウェハの裏面から前記複数のウェハ保持部により吸着保持することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のウェハ検査装置。
【請求項８】複数のウェハを保持したウェハ保持体から所望するウェハを取り出すウェハ搬送手段を備えることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のウェハ検査装置
【請求項９】複数のウェハを保持したウェハ保持体から所望するウェハを取り出し、
前記取り出されたウェハをセンターテーブルへ受け渡し、
前記センターテーブルへ受け渡されたウェハを複数のウェハ保持部により前記ウエハの裏面を吸着保持し、この保持されたウェハを裏面観察のために回動し、
前記回動されたウェハを表面に戻した状態で前記センターテーブルに受け渡し、
前記センターテーブルへ受け渡された前記ウェハの裏面の未検査領域と重ならない位置を前記複数のウェハ保持部が保持するよう前記センターテーブルを所定角度回転し、
前記所定角度回転されたウェハを前記複数のウェハ保持部により裏面を吸着保持し、
この保持されたウェハの裏面を観察するために再度回動することを特徴とするウェハ検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、ウェハを載置し、この載置されたウェハを少なくとも所定角度回転可能にしたウェハ載置手段と、前記ウェハの中心方向に延出される複数のウェハ保持部を有し、前記ウェハを前記複数のウェハ保持部により前記ウェハ載置手段に載置されたウェハの一方面を吸着保持するとともに、該ウェハを回動させてウェハの一方面の観察を可能にしたウェハ保持手段と、前記ウェハの一方面を観察の後、前記ウェハ保持手段による再度の一方面の観察を行う際に、前記ウェハの一方面の未検査領域と重ならない位置を前記ウェハ保持部が保持するよう制御する制御手段とにより構成している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
また、本発明は、複数のウェハを保持したウェハ保持体から所望するウェハを取り出し、前記取り出されたウェハをセンターテーブルへ受け渡し、前記センターテーブルへ受け渡されたウェハを複数のウェハ保持部により前記ウエハの裏面を吸着保持し、この保持されたウェハを裏面観察のために回動し、前記回動されたウェハを表面に戻した状態で前記センターテーブルに受け渡し、前記センターテーブルへ受け渡された前記ウェハの裏面の未検査領域と重ならない位置を前記複数のウェハ保持部が保持するよう前記センターテーブルを所定角度回転し、前記所定角度回転されたウェハを前記複数のウェハ保持部により裏面を吸着保持し、この保持されたウェハの裏面を観察するために再度回動することを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】