【手続補正書】
【提出日】平成18年1月27日(2006.1.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反応チャンバに気相反応体の反復パルスを供給するように設計された反応体供給システム中の変化測定方法であって、
反応体源を提供し、
前記反応体源を反応チャンバに接続するためのガス流路システムを提供し、
バルブを切り換えることによって前記反応体源から気相反応体パルスを反応チャンバに導くように前記ガス流路システム内に設けられた該バルブを提供し、
気相反応体パルスを繰り返し導くための前記バルブを繰り返し切り換え、
前記反応チャンバの上流で且つ反応体源の下流の位置で前記ガス流路システムに接続されている第１のセンサ部を提供し、前記第１のセンサが、時間の関数としての反応体パルスの第１の特性パラメータの第１の信号表示を供給し、
前記反復反応体パルスの第１の信号から第１のカーブの形状を生成し、
反応チャンバに対して供給された反復反応体パルスの変化を表す、該第１のカーブの形状中における経時的変化をモニタリングすることを含む反応体供給システム中の変化測定方法。
【請求項２】
さらに、前記ガス流路システムに接続され、時間の関数としての反応体パルスの第２の特性パラメータの第２の信号表示を供給する第２のセンサ部を提供し、
前記反復反応体パルスの第２の信号からの第２のカーブの形状を生成し、
反応チャンバに対して供給された反復反応体パルスの変化を表す、該第２のカーブの形状中における変化を、連続する次の反応体パルスとの間の第２のカーブの形状変化を測定するために、第２のセンサ部によって得られた第２の信号の第２のカーブ形状をモニタリングすることを含む請求項１に記載の変化測定方法。
【請求項３】
第１のカーブの形状が大きく変化し、第２のカーブの実質的無変化である第１の状態と、第２のカーブの形状が大きく変化し、第１のカーブの実質的無変化である第２の状態と、第１のカーブと第２のカーブの形状が大きく変化する第３の状態とを判別することを含む請求項２に記載の変化測定方法。
【請求項４】
第１のカーブの形状を特定し、連続する反応体パルスについて第１のカーブに一定時間中大きな変化が生じたか否かを測定するためのパターン認識手法ソフトウェアを用いることを含む、請求項１に記載の変化測定方法。
【請求項５】
第１のカーブの形状変化が所定の値を超えた場合に、警告信号を発生させることを含む、請求項１に記載の変化測定方法。
【請求項６】
前記第１のセンサ部とバルブとの間に、パルス毎に所望の反応体容量が得られるように、第１のカーブの形状変化を検出した際にバルブを切り換えるための、フィードバック制御ループを提供することを含む、請求項１に記載の変化測定方法。
【請求項７】
前記第１のセンサ部が圧力センサである請求項１に記載の変化測定方法。
【請求項８】
前記反応体源が、液相または固相である反応体である請求項１に記載の変化測定方法。
【請求項９】
前記反応体源に対して、キャリアガス流路を通じて接続されたキャリアガス源を提供することを含む請求項８に記載の変化測定方法。
【請求項１０】
前記バルブを前記キャリアガス流路中の、反応体源の上流に設け、前記キャリアガス源からのキャリアガス・パルスを反応体源に導くために該バルブを切り換えることを含む請求項９に記載の変化測定方法。
【請求項１１】
前記第１のセンサ部が、キャリアガス・パルスの第１の特性パラメータを測定するように設けることを含む請求項９に記載の変化測定方法。
【請求項１２】
前記反応チャンバ内において、原子層成長が行われていることを特徴とする請求項１に記載の変化測定方法。
【請求項１３】
前記第１の特性パラメータが、バルブにおける振動を含むことを特徴とする請求項１に記載の変化測定方法。
【請求項１４】
反応チャンバに反復気相反応体を供給する装置であって、
反応体源と、
前記反応体源と反応チャンバとを接続するためのガス流路システムと、
前記ガス流路システム内に設けられたバルブであって、該バルブを切り換えることによって前記反応体源より気相反応体パルスを反応チャンバに導くためのバルブと、
前記反応チャンバの上流の位置で前記ガス流路システムに接続され、当該上流の位置における反応体パルスの第１の特性パラメータの第１の信号表示を時間の関数として供給する第１のセンサ部と、
前記第１のセンサ部から第１のカーブの形状を取得し、かつ連続反応体パルス中の第１のカーブの形状中に生じる変化を一定時間モニタリングするように設定された診断および制御ユニットとを備えた反応体供給装置。
【請求項１５】
さらに、前記ガス流路システムに接続され、時間の関数としての反応体パルスの第２の特性パラメータの第２の信号表示を供給する第２のセンサ部であって、前記診断および制御ユニットが、該第２のセンサ部からの第２のカーブを取得し、連続する次の反応体パルス間の第２のカーブの形状変化を測定するような該第２のセンサ部を備えた請求項１４に記載の反応体供給装置。
【請求項１６】
第１のカーブの形状が大きく変化し、第２のカーブの実質的無変化である第１の状態と、第２のカーブの形状が大きく変化し、第１のカーブの実質的無変化である第２の状態と、第１のカーブと第２のカーブの形状が大きく変化する第３の状態とを判別するように、前記診断および制御ユニットが設定されている請求項１５に記載の反応体供給装置。
【請求項１７】
前記診断および制御ユニットが、第１のカーブの形状を特定し、連続する反応体パルスについて第１のカーブ中に大きな変化が生じたか否かを所定時間測定するためのパターン認識手法ソフトウェアを用いている請求項１４に記載の反応体供給装置。
【請求項１８】
診断および制御ユニットがアラームを含み、第１のカーブの形状変化が所定の値を超えた場合に、該アラームに警告信号を発生させるように設定されていることを含む請求項１４に記載の反応体供給装置。
【請求項１９】
第１のセンサ部とバルブとの間に、パルス毎に所望の反応体容量が得られるように、第１のカーブの形状変化を検出した際にバルブを切り換えるための、フィードバック制御ループを備えたことを特徴とする請求項１４に記載の反応体供給装置。
【請求項２０】
前記第１のセンサ部が圧力センサである請求項１４に記載の反応体供給装置。
【請求項２１】
前記反応体源が、液相または固相の反応体である請求項１４に記載の反応体供給装置。
【請求項２２】
前記反応体源に対して、キャリアガス流路を通じて接続されたキャリアガス源を備えた請求項２１に記載の反応体供給装置。
【請求項２３】
バルブがキャリアガス流路中の、反応体源の上流に設けられており、該バルブを切り換えることで前記キャリアガス源からのキャリアガス・パルスを反応体源に導く請求項２２に記載の反応体供給装置。
【請求項２４】
第１のセンサ部が、キャリアガス・パルスの第１の特性パラメータを測定するために設けられている請求項２２に記載の変化測定装置。
【請求項２５】
ＡＬＤシステムの反応チャンバに気相反応体の反復パルスを供給するように設計された反応体供給システム中の変化測定方法であって、
固相および／または液相の反応体および蒸気化手段よりなる反応体源を提供し、
前記反応体源を反応チャンバに接続し、前記反応チャンバにパージ・ガス源を接続するための流路システムを提供し、
前記ガス流路システム内に設けられたバルブであって、該バルブを切り換えることによって前記反応体源からの気相反応体パルスと、パージ・ガス源からのパージ・パルスを交互に反応チャンバに導くような少なくとも１つのバルブを提供し、
気相反応体パルスとパージ・パルスを交互に反復させるために前記バルブの切り替えを迅速に行い、
前記ガス流路システムに接続され、ガス流路システム内で第１の特性パラメータの第１の信号表示を供給する第１のセンサ部を提供し、
気相反応体パルス及びパージ・パルスが前記反応チャンバへ供給される間に、時間の関数としての第１の信号から、気相反応体パルスおよびパージ・パルスの反復による特性形状を有する第１のカーブの形状を生成し、
反応チャンバに対して供給された反復反応体パルスの変化を表す、前記第１のカーブの形状における変化をモニタリングし、
前記第１のカーブの形状の変化に基づいて、固相および／または液相の反応体および蒸気化手段を備える第２の反応体源と前記反応体源を取り替えることを含む反応体供給システム中の変化測定方法。
【請求項２６】
さらに、前記ガス流路システムに接続され、時間の関数としての反応体パルスの第２の特性パラメータの第２の信号表示を供給する第２のセンサ部を提供し、
時間の関数としての第２の信号から、気相反応体パルスおよびパージ・パルスの反復による特性形状を有する第１のカーブの形状を生成し、
反応チャンバに対して供給された反復反応体パルス中の変化を表す、該第２のカーブの形状中における変化をモニタリングすることを含む請求項２５に記載の変化測定方法。
【請求項２７】
前記第１のパラメータが圧力に関し、前記第２のパラメータがマスフローレートであることを特徴とする請求項２６に記載の変化測定方法。
【請求項２８】
第１のカーブの形状が大きく変化し、第２のカーブの実質的無変化である第１の状態と、第２のカーブの形状が大きく変化し、第１のカーブの実質的無変化である第２の状態と、第１のカーブと第２のカーブの形状が大きく変化する第３の状態とを判別することをさらに含む請求項２７に記載の変化測定方法。
【請求項２９】
第１のカーブの形状を特定し、連続する反応体パルスについて第１のカーブに一定時間中大きな変化が生じたか否かを測定するためのパターン認識手法ソフトウェアを用いることをさらに含む請求項２５に記載の変化測定方法。
【請求項３０】
第１のカーブの形状変化が所定の値を超えた場合に、警告信号を発生させることをさらに含む請求項２９に記載の変化測定方法。
【請求項３１】
前記第１のセンサ部とバルブとの間に、パルス毎に所望の反応体容量が得られるように、第１のカーブの形状変化を検出した際にバルブを切り換えるための、フィードバック制御ループを提供することをさらに含む請求項２９に記載の変化測定方法。
【請求項３２】
前記第１のセンサ部が圧力センサである請求項２５に記載の変化測定方法。
【請求項３３】
前記ガス流路システム中にバルブを提供し、反応体源の上流に設けら、前記キャリアガス源からのキャリアガス・パルスを反応体源に導くために該バルブを切り換えることを含む請求項２５に記載の変化測定方法。
【請求項３４】
さらに、第１のセンサ部をキャリアガス・パルスの圧力を測定するように設けた請求項３３に記載の変化測定方法。
【請求項３５】
ＡＬＤシステム内の第１の反応体源中の反応体の量についての変化測定方法であって、
該ＡＬＤシステム中の反応体源容器に接続された流路における圧力をモニタリングし、
第１の反応体パルスおよび第２の反応体パルスを供給する少なくとも第１のＡＬＤサイクル中と、前記第１の反応体パルスおよび第２の反応体パルスを供給する第１のＡＬＤサイクルとは異なる時間の少なくとも第２のＡＬＤサイクル中とに、モニタリングされた前記圧力に相当する圧力の信号を生成し、
前記第１のＡＬＤサイクル中の少なくともある時間にわたる圧力の信号のパターンと、少なくとも前記第２のＡＬＤサイクル中の少なくともある時間にわたる圧力の信号のパターンとを比較し、
前記第１のＡＬＤサイクルと前記第２のＡＬＤサイクルとの圧力の信号のパターンに重大な変化が生じているか否かを判断し、これによって、前記第１の反応体源中の前記第１の反応体の量を測定することを含む反応体供給システム中の変化測定方法。
【請求項３６】
前記反応体源容器が、気相反応体と、該気相反応体に接続した非気相反応体を含んでいる請求項３５に記載の変化測定方法。
【請求項３７】
さらに、第１のＡＬＤサイクルと少なくとも第２のＡＬＤサイクルとの間の圧力のパターンの変化に少なくとも１部は基づいて、反応体容器中の非気相反応体が使い尽くされたか否かを測定することを含む請求項３５に記載の変化測定方法。
【請求項３８】
さらに、第１のＡＬＤサイクルと第２のＡＬＤサイクルとの間の圧力のパターンの変化に、少なくとも１部は基づいて、前記ＡＬＤシステム中のバルブまたは流路について、ダメージを受けているかあるいは消耗しているかを測定することを含む請求項３５に記載の変化測定方法。
【請求項３９】
さらに、前記ＡＬＤシステムの流路中における第２の特性パラメータをモニタリングし、少なくとも第１のＡＬＤサイクル中の該第２の特性パラメータを第２のＡＬＤサイクル中の第２の特性パラメータのパターンと比較することを含む請求項３５に記載の変化測定方法。
【請求項４０】
前記特性パラメータが、反応体源容器の下流に設けられた伝達センサからの電流または電圧センサを含んでいる請求項４０に記載の変化測定方法。
【請求項４１】
前記特性パラメータが、流路中においてバルブを反復して切り換える際の振動を含む請求項４０に記載の変化測定方法。
【請求項４２】
前記振動が音を含んでいる請求項４１に記載の変化測定方法。