【手続補正書】
【提出日】平成18年9月13日(2006.9.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構及びＺ軸駆動機構により載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させ、上記載置台上に載置された被検査体とプローブカードのプローブとを接触させた後、上記載置台をオーバドライブさせて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法において、
上記載置台に上記被検査体を載置する工程と、
上記載置台上の上記被検査体の電極パッドと上記プローブとが接触するように上記Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構及びＺ軸駆動機構により上記載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させる工程と、
上記各駆動機構を同時に一括して制御することにより、上記プローブが上記電極パッド内に留まるように、上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせる工程と、を備えた
ことを特徴とするプローブ方法。
【請求項２】
上記各駆動機構を、コンピュータの指令信号に基づいて動作する仮想コントローラによって制御することを特徴とする請求項１に記載のプローブ方法。
【請求項３】
上記各駆動機構を、同一のプロトコルによる制御信号に基づいて制御することを特徴とする請求項１に記載のプローブ方法。
【請求項４】
Ｘ軸駆動機構及びＹ軸駆動機構とこれらの駆動機構と動作特性を異にするＺ軸駆動機構とを用いて載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させ、上記載置台上に載置された被検査体とプローブカードのプローブとを接触させた後、上記載置台をオーバドライブさせて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法において、
上記載置台に上記被検査体を載置する工程と、
上記載置台上の上記被検査体の電極パッドと上記プローブとが接触するように上記Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構及びＺ軸駆動機構により上記載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させる工程と、
コンピュータからの指令信号が付与される一つの仮想コントローラにより、上記各駆動機構を同一のプロトコルにより、同時に一括して制御することにより、上記プローブが上記電極パッド内に留まるように、上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせる工程と、を備えた
ことを特徴とするプローブ方法。
【請求項５】
上記仮想コントローラは、ソフト的に設定されることを特徴とすることを特徴とする請求項４に記載のプローブ方法。
【請求項６】
上記コンピュータからの指令信号は、オーバドライブされる載置台の目標位置及び各駆動機構により駆動される載置台のＸ、Ｙ、Ｚ方向の移動速度のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項４または請求項５に記載のプローブ方法。
【請求項７】
被検査体を載置する載置台と、この載置台をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向へそれぞれ移動させるＸ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構及びＺ軸駆動機構と、上記載置台の上方に配置され且つ上記被検査体に電気的に接触する複数のプローブを有するプローブカードとを備え、且つ、上記プローブの先端が上記被検査体の電極パッド内に留まるようにして、上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせるために、上記各駆動機構を同時に一括して制御する制御機構を備えたことを特徴とするプローブシステム。
【請求項８】
上記制御機構は、コンピュータネットワーク回線を介して接続された仮想コントローラを有することを特徴とする請求項７に記載のプローブシステム。
【請求項９】
上記各駆動機構は、同一のプロトコルによる制御信号に基づいて制御されることを特徴とする請求項７または請求項８に記載のプローブシステム。
【請求項１０】
被検査体を載置する載置台と、この載置台をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向へそれぞれ移動させる駆動機構と、上記載置台の上方に配置され且つ上記被検査体に電気的に接触する複数のプローブを有するプローブカードと、上記各駆動機構を介して上記載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させ、上記被検査体と上記プローブカードの複数のプローブを接触させた後、上記載置台をオーバドライブするように、各駆動機構を制御する制御機構と、を備え、
上記制御機構は、コンピュータと、上記コンピュータからの指令信号に基づいて動作する仮想コントローラと、を有し、且つ
上記仮想コントローラはソフト的に設定され、且つ、上記仮想コントローラは、上記載置台のオーバドライブ時に、上記プローブが上記被検査体の電極パッド内に留まるように、上記載置台を同一プロトコルに従って同時に一括して制御することを特徴とするプローブシステム。
【請求項１１】
上記コンピュータからの指令信号は、オーバドライブする載置台の目標位置及び各駆動機構により駆動する載置台のＸ、Ｙ及びＺ方向の移動速度のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項１０に記載のプローブシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載のプローブ方法は、Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構及びＺ軸駆動機構により載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させ、上記載置台上に載置された被検査体とプローブカードのプローブとを接触させた後、上記載置台をオーバドライブさせて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法において、上記載置台に上記被検査体を載置する工程と、上記載置台上の上記被検査体の電極パッドと上記プローブとが接触するように上記Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構及びＺ軸駆動機構により上記載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させる工程と、上記各駆動機構を同時に一括して制御することにより、上記プローブが上記電極パッド内に留まるように、上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせる工程と、を備えたことを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明の請求項２に記載のプローブ方法は、請求項１に記載の発明において、上記各駆動機構を、コンピュータの指令信号に基づいて動作する仮想コントローラによって制御することを特徴とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の請求項３に記載のプローブ方法は、請求項１に記載の発明において、上記各駆動機構を、同一のプロトコルによる制御信号に基づいて制御することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項４に記載のプローブ方法は、Ｘ軸駆動機構及びＹ軸駆動機構とこれらの駆動機構と動作特性を異にするＺ軸駆動機構とを用いて載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させ、上記載置台上に載置された被検査体とプローブカードのプローブとを接触させた後、上記載置台をオーバドライブさせて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法において、上記載置台に上記被検査体を載置する工程と、上記載置台上の上記被検査体の電極パッドと上記プローブとが接触するように上記Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構及びＺ軸駆動機構により上記載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させる工程と、コンピュータからの指令信号が付与される一つの仮想コントローラにより、上記各駆動機構を同一のプロトコルにより、同時に一括して制御することにより、上記プローブが上記電極パッド内に留まるように、上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせる工程と、を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項５に記載のプローブ方法は、請求項４に記載の発明において、上記仮想コントローラは、ソフト的に設定されることを特徴とすることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項６に記載のプローブ方法は、請求項４または請求項５に記載の発明において、上記コンピュータからの指令信号は、オーバドライブされる載置台の目標位置及び各駆動機構により駆動される載置台のＸ、Ｙ、Ｚ方向の移動速度のうち少なくとも一つを含むことを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明の請求項７に記載のプローブシステムは、被検査体を載置する載置台と、この載置台をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向へそれぞれ移動させるＸ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構及びＺ軸駆動機構と、上記載置台の上方に配置され且つ上記被検査体に電気的に接触する複数のプローブを有するプローブカードとを備え、且つ、上記プローブの先端が上記被検査体の電極パッド内に留まるようにして、上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせるために、上記各駆動機構を同時に一括して制御する制御機構を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項８に記載のプローブシステムは、請求項７に記載の発明において、上記制御機構は、コンピュータネットワーク回線を介して接続された仮想コントローラを有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項９に記載のプローブシステムは、請求項７または請求項８に記載の発明において、上記各駆動機構は、同一のプロトコルによる制御信号に基づいて制御されることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１０に記載のプローブシステムは、被検査体を載置する載置台と、この載置台をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向へそれぞれ移動させる駆動機構と、上記載置台の上方に配置され且つ上記被検査体に電気的に接触する複数のプローブを有するプローブカードと、上記各駆動機構を介して上記載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させ、上記被検査体と上記プローブカードの複数のプローブを接触させた後、上記載置台をオーバドライブするように、各駆動機構を制御する制御機構と、を備え、上記制御機構は、コンピュータと、上記コンピュータからの指令信号に基づいて動作する仮想コントローラと、を有し、且つ上記仮想コントローラはソフト的に設定され、且つ、上記仮想コントローラは、上記載置台のオーバドライブ時に、上記プローブが上記被検査体の電極パッド内に留まるように、上記載置台を同一プロトコルに従って同時に一括して制御することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１１に記載のプローブシステムは、請求項１０に記載の発明において、上記コンピュータからの指令信号は、オーバドライブする載置台の目標位置及び各駆動機構により駆動する載置台のＸ、Ｙ及びＺ方向の移動速度のうち少なくとも一つを含むことを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
【発明の効果】
本発明によれば、動作特性が相違する駆動機構が混在していても各駆動機構を分割して駆動させる必要がなく、スループットを高めることができるプローブ方法及びプローブシステムを提供することができる。