【手続補正書】
【提出日】平成17年11月11日(2005.11.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】放射線検出装置及びその駆動方法、光電変換装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  放射線を電気信号に変換する変換素子と、
前記変換素子に接続された信号転送用素子と、
前記変換素子に一定電位を印加してリセット動作を行うリセット用素子と
を含む画素を複数有しており、
前記信号転送用素子及び前記リセット用素子は、前記変換素子の同一電極に接続されていることを特徴とする放射線検出装置。
【請求項２】  前記信号転送用素子とリセット用素子とが薄膜トランジスタからなることを特徴とする請求項１に記載の放射線検出装置。
【請求項３】  前記信号転送用素子及び前記リセット用素子と、前記変換素子との間に平坦化膜を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の放射線検出装置。
【請求項４】  前記画素が行列状に配置されており、所定の１行における前記信号転送用素子による転送動作が、当該行の前に前記転送動作を終了した１行の前記リセット用素子によるリセット動作の間に実行されるように前記信号転送用素子と前記リセット用素子とを駆動させる駆動回路を有することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の放射線検出装置。
【請求項５】  所定行の前記画素の前記信号転送用素子と、前行の前記画素の前記リセット用素子とが同一の駆動用配線に接続されていることを特徴とする請求項４に記載の放射線検出装置。
【請求項６】  前記変換素子は、電極層、絶縁層、半導体層、キャリアブロッキング層を含む構成であり、前記信号転送用素子と同一層構成であることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の放射線検出装置。
【請求項７】  前記変換素子は、非単結晶シリコンを用いて構成されたものであることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の放射線検出装置。
【請求項８】  前記変換素子は、放射線を可視光に変換するＣｓＩ又はＧＯＳの波長変換部材を有することを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の放射線検出装置。
【請求項９】  前記変換素子は、放射線を直接電荷に変換する部材から構成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の放射線検出装置。
【請求項１０】  放射線を検出する検出手段と、検出された信号を転送する転送手段と、検出部に電位を印加して信号をリセットするリセット手段とによる画素が行列状に配置されてなる放射線検出装置の駆動方法であって、所定の１行における前記画素の前記信号転送動作を、当該行の前に前記信号転送動作を終えた１行の前記信号リセット動作の間に実行することを特徴とする放射線検出装置の駆動方法。
【請求項１１】  所定の１行における前記信号転送動作と、当該行の前に前記信号読み出し動作を終えた１行の前記信号リセット動作とを同時に処理することを特徴とする請求項１０に記載の放射線検出装置の駆動方法。
【請求項１２】  光を電気信号に変換する変換素子と、
前記変換素子に接続された信号転送用素子と、
前記変換素子に一定電位を印加してリセット動作を行うリセット用素子と
を含む画素を複数有しており、
前記信号転送用素子及び前記リセット用素子は、前記変換素子の同一電極に接続されていることを特徴とする光電変換装置。
【請求項１３】  前記信号転送用素子とリセット用素子とが薄膜トランジスタからなることを特徴とする請求項１２に記載の光電変換装置。
【請求項１４】  前記信号転送用素子及び前記リセット用素子と、前記変換素子との間に平坦化膜を有することを特徴とする請求項１２又は１３に記載の光電変換装置。
【請求項１５】  前記画素が行列状に配置されており、所定の１行における前記信号転送用素子による転送動作が、当該行の前に前記転送動作を終了した１行の前記リセット用素子によるリセット動作の間に実行されるように前記信号転送用素子と前記リセット用素子とを駆動させる駆動回路を有することを特徴とする請求項１２から１４のいずれか１項に記載の光電変換装置。
【請求項１６】  所定行の前記画素の前記信号転送用素子と、前行の前記画素の前記リセット用素子とが同一の駆動用配線に接続されていることを特徴とする請求項１５に記載の光電変換装置。
【請求項１７】  前記変換素子は、電極層、絶縁層、半導体層、キャリアブロッキング層を含む構成であり、前記信号転送用素子と同一層構成であることを特徴とする請求項１２から１６のいずれか１項に記載の光電変換装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
図４は、本実施形態のＸ線検出装置における１画素の平面図であり、符号は図１と同様のものは同様の符号を付してある。
図中、転送用TFT１２とリセット用TFT１９は駆動配線、信号配線などのレイアウト上、画素対角位置に配置している。図１３に図４のＡ−Ａ断面図を、図１４に図４のＢ−Ｂ断面図をそれぞれ示す。１１が光電変換素子、１２が信号転送用TFT、１９がリセット用TFTである。この図から明らかなように、光電変換素子の下電極３０３と、信号転送用TFTのソース・ドレイン電極の一方及びリセット用のソース・ドレイン電極の一方とが接続された構成、すなわち、信号転送用TFTとリセット用TFTが光電変換素子の同一電極に接続された構成となっている。このような構成にすることにより好適なリセット動作を行なうことが可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
続いて、図６（ａ）に示すように、転送TFTのSD電極２４、リセットTFTのSD電極２５、信号線１４、バイアス配線１５、リセット配線２１としてアルミ薄膜（膜厚１μｍ程度）をスパッタにより成膜し、フォトリソグラフィーによりパターン形成する。
次に、転送TFT及びリセットTFTのギャップ部のｎ+膜をRIEで除去する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
［実施態様３］
前記信号転送用素子及びセット用素子と、前記変換素子との間に平坦化膜を有することを特徴とする実施態様１又は２に記載の放射線検出装置。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
［実施態様４］
前記画素が行列状に配置されており、所定の１行における前記信号転送用素子による転送動作が、当該行の前に前記転送動作を終了した１行の前記リセット用素子によるリセット動作の間に実行されるように前記信号転送用素子と前記リセット用素子とを駆動させる駆動回路を有することを特徴とする実施態様１から３のいずれか１項に記載の放射線検出装置。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
［実施態様５］
所定行の前記画素の前記信号転送用素子と、前行の前記画素の前記リセット用素子とが同一の駆動用配線に接続されていることを特徴とする実施態様４に記載の放射線検出装置。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
［実施態様６］
前記変換素子は、電極層、絶縁層、半導体層、キャリアブロッキング層を含む構成であり、前記信号転送用素子と同一層構成であることを特徴とする実施態様１から５のいずれか１項に記載の放射線検出装置。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
［実施態様１１］
所定の１行における前記信号転送動作と、当該行の前に前記信号読み出し動作を終えた１行の前記信号リセット動作とを同時に処理することを特徴とする実施態様１０に記載の放射線検出装置の駆動方法。
［実施態様１２］
光を電気信号に変換する変換素子と、
前記変換素子に接続された信号転送用素子と、
前記変換素子に一定電位を印加してリセット動作を行うリセット用素子と
を含む画素を複数有しており、
前記信号転送用素子及び前記リセット用素子は、前記変換素子の同一電極に接続されていることを特徴とする光電変換装置。
［実施態様１３］
前記信号転送用素子とリセット用素子とが薄膜トランジスタからなることを特徴とする実施態様１２に記載の光電変換装置。
［実施態様１４］
前記信号転送用素子及び前記リセット用素子と、前記変換素子との間に平坦化膜を有することを特徴とする実施態様１２又は１３に記載の光電変換装置。
［実施態様１５］
前記画素が行列状に配置されており、所定の１行における前記信号転送用素子による転送動作が、当該行の前に前記転送動作を終了した１行の前記リセット用素子によるリセット動作の間に実行されるように前記信号転送用素子と前記リセット用素子とを駆動させる駆動回路を有することを特徴とする実施態様１２から１４のいずれか１項に記載の光電変換装置。
［実施態様１６］
所定行の前記画素の前記信号転送用素子と、前行の前記画素の前記リセット用素子とが同一の駆動用配線に接続されていることを特徴とする実施態様１５に記載の光電変換装置。
［実施態様１７］
前記変換素子は、電極層、絶縁層、半導体層、キャリアブロッキング層を含む構成であり、前記信号転送用素子と同一層構成であることを特徴とする実施態様１２から１６のいずれか１項に記載の光電変換装置。