(57)【要約】      （修正有）【課題】基板上に材料を堆積させるための堆積装置を提供する。【解決手段】材料を堆積させるための堆積装置は、フランジ１２０を有する処理チャンバを含む。堆積装置は、カソード駆動ユニット１３０を含む。カソード駆動ユニット１３０は、フランジ１２０に連結される。カソード駆動ユニット１３０は、支持部材１５０を含む。カソード駆動ユニット１３０は、絶縁装置を含む。絶縁装置の少なくとも一部は、支持部材１５０をフランジ１２０から隔てる。絶縁装置は、第１の絶縁部材２６２と、第１の絶縁部材２６２に隣接する第２の絶縁部材２６４とを含む。カソード駆動ユニット１３０は、第１の絶縁部材２６２と第２の絶縁部材２６４との間の第１のシール２１０を含む。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
基板上に材料を堆積させるための堆積装置であって、
フランジを有する処理チャンバと、
前記フランジに連結されたカソード駆動ユニットであって、
支持部材と、
絶縁装置であって、前記絶縁装置の少なくとも一部は前記支持部材を前記フランジから隔て、第１の絶縁部材と前記第１の絶縁部材に隣接する第２の絶縁部材とを備える、絶縁装置と、
前記第１の絶縁部材と前記第２の絶縁部材との間のシールと
を備えるカソード駆動ユニットと
を備える、堆積装置。
【請求項２】
前記支持部材は、前記カソード駆動ユニットの動作中は高電位にあるように構成されている、請求項１に記載の堆積装置。
【請求項３】
前記シールは、前記支持部材と前記フランジとの間の電気アークの形成を防止するように構成されている、請求項１又は２に記載の堆積装置。
【請求項４】
前記シールは、前記第１の絶縁部材と前記第２の絶縁部材との間の間隙を密閉する、請求項１から３のいずれか一項に記載の堆積装置。
【請求項５】
前記シールは、カソードアセンブリの回転軸を取り囲む帯状のシールである、請求項１から４のいずれか一項に記載の堆積装置。
【請求項６】
カソードアセンブリのためのカソード駆動ユニットであって、前記カソード駆動ユニットは、処理チャンバのフランジに連結されるように構成されており、
前記カソード駆動ユニットの動作中は高電位にあるように構成されている支持部材と、
絶縁装置であって、前記絶縁装置の少なくとも一部は前記支持部材を前記処理チャンバの前記フランジから隔てるように配置され、第１の絶縁部材と前記第１の絶縁部材に隣接する第２の絶縁部材とを備える、絶縁装置と、
前記第１の絶縁部材と前記第２の絶縁部材との間のシールと
を備える、カソード駆動ユニット。
【請求項７】
基板上に材料を堆積させるための堆積装置であって、
フランジを有する処理チャンバと、
前記フランジに連結されたカソード駆動ユニットであって、
支持部材と、
前記支持部材を前記フランジから隔てる第１の絶縁部材であって、前記フランジに面する第１の側面と前記支持部材に面する第２の側面とを有し且つ前記第１の側面から前記第２の側面へと延在する貫通孔を有する、第１の絶縁部材と、
前記第１の絶縁部材と前記フランジとの間のシールであって、前記貫通孔が前記シールから半径方向に外向きの位置に配置されている、シールと
を備えるカソード駆動ユニットと
を備える、堆積装置。
【請求項８】
前記支持部材は、前記カソード駆動ユニットの動作中は高電位にあるように構成されている、請求項７に記載の堆積装置。
【請求項９】
前記シールは、前記支持部材と前記フランジとの間の電気アークの形成を防止するように構成されている、請求項７又は８に記載の堆積装置。
【請求項１０】
前記シールは、カソードアセンブリの回転軸を取り囲む帯状のシールである、請求項７から９のいずれか一項に記載の堆積装置。
【請求項１１】
前記第１の絶縁部材は、前記貫通孔に配設された第１のファスナによって前記支持部材に留められる、請求項７から１０のいずれか一項に記載の堆積装置。
【請求項１２】
前記シールは、前記カソードアセンブリの前記回転軸に対して様々な距離を有する、請求項７から１１のいずれか一項に記載の堆積装置。
【請求項１３】
前記シールは第２のシールであり、前記カソード駆動ユニットは更に、
絶縁装置であって、前記第１の絶縁部材と、前記第１の絶縁部材に隣接する第２の絶縁部材とを含む、絶縁装置と、
前記第１の絶縁部材と前記第２の絶縁部材との間に配置された第１のシールと
を含む、請求項７から１２のいずれか一項に記載の堆積装置。
【請求項１４】
回転軸を有するカソードアセンブリのためのカソード駆動ユニットであって、前記カソード駆動ユニットは、処理チャンバのフランジに連結されるように構成されており、
前記カソード駆動ユニットの動作中は高電位にあるように構成されている支持部材と、
前記支持部材を前記処理チャンバの前記フランジから隔てるように配置された第１の絶縁部材であって、前記フランジに面するように構成された第１の側面と、前記支持部材に面する第２の側面とを有し且つ前記第１の側面から前記第２の側面へと延在する貫通孔を有する、第１の絶縁部材と、
前記第１の絶縁部材におけるシールであって、前記貫通孔が前記シールから半径方向に外向きの位置に配置されている、シールと
を備える、カソード駆動ユニット。
【請求項１５】
前記シールは第２のシールであり、前記カソード駆動ユニットは更に、
前記第１の絶縁部材と、前記第１の絶縁部材に隣接する第２の絶縁部材とを含む絶縁装置と、
前記第１の絶縁部材と前記第２の絶縁部材との間に配置された第１のシールと
を備える、請求項１４に記載のカソード駆動ユニット。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［０００１］本書に記載の実施形態は、ターゲットからのスパッタリングによる堆積プロセス等の層の堆積に関する。ある実施形態は特に、大面積基板上への層のスパッタリングに関する。本書に記載の実施形態は、具体的には、１又は複数のカソードアセンブリを含むスパッタ堆積装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
［０００２］多くの用途において、基板上に薄層を堆積させる必要がある。基板は、コーティング装置の１又は複数のチャンバでコーティングされ得る。基板は、蒸気堆積技法を用いて真空でコーティングされ得る。
【０００３】
［０００３］基板上に材料を堆積させるための幾つかの方法は既知である。例えば、基板は、物理的気相堆積（ＰＶＤ）プロセス、化学気相堆積（ＣＶＤ）プロセス、又はプラズマ化学気相堆積（ＰＥＣＶＤ）プロセスなどによってコーティングされ得る。プロセスは、コーティングされるべき基板が位置するプロセス装置やプロセスチャンバで実施される。装置には、堆積材料が供給される。複数の材料のみならず、さらにそれらの酸化物、窒化物、又は炭化物が、基板上の堆積に使用され得る。コーティングされた材料は、様々な用途や様々な技術分野で使用することができる。例えば、ディスプレイ用の基板は、物理的気相堆積（ＰＶＤ）プロセスによってコーティングされることが多い。さらなる用途には、絶縁パネル、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）パネル、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）付き基板、カラーフィルタなどが含まれる。
【０００４】
［０００４］ＰＶＤプロセスにおいては、堆積材料は、ターゲットに固相で存在し得る。エネルギー粒子をターゲットに衝突させることによって、ターゲット材料の原子、すなわち堆積されるべき材料の原子がターゲットから放出される。ターゲット材料の原子は、コーティングされるべき基板上に堆積される。ＰＶＤプロセスにおいては、スパッタ材料、すなわち基板上に堆積されるべき材料は、様々な方法で構成されてもよい。例えば、ターゲットは、堆積されるべき材料から製作してもよいし、堆積されるべき材料が固定されるバッキング要素（ｂａｃｋｉｎｇ  ｅｌｅｍｅｎｔ）を有してもよい。堆積されるべき材料を含むターゲットは、堆積チャンバの予め決められた位置で支持又は固定される。回転可能なターゲットが使用される場合、ターゲットは、回転シャフト、又はシャフトとターゲットとを接続する接続要素に接続される。
【０００５】
［０００５］セグメント化された平面、モノリシックの平面及び回転ターゲットが、スパッタリングに使用され得る。カソードの形状寸法及び設計により、回転ターゲットは、通常、平面ターゲットよりも活用度が高く、動作時間が長い。回転ターゲットの使用は通常、耐用年数を延長させ、コストを削減する。
【０００６】
［０００６］スパッタリングは、マグネトロンスパッタリングとして実行され得る。マグネトロンスパッタリングでは、スパッタリング条件を改善するため、プラズマを閉じ込めるように磁石アセンブリが利用される。プラズマの閉じ込めは、基板上に堆積されるべき材料の粒子分布を調節するために利用され得る。
【０００７】
［０００７］堆積装置は、それが電気部品、機械部品、又は他の種類の部品であれ、複数の異なる部品を有する複雑なシステムである。堆積装置の１又は複数の部品の故障は、堆積された層の品質を損ない得る、あるいは装置の損傷又は破損につながり得る。したがって、堆積装置の設計を改善する継続的な必要性が存在する。
【考案の概要】
【０００８】
［０００８］一実施形態によれば、基板上に材料を堆積させるための堆積装置が提示される。堆積装置は、フランジを有する処理チャンバを含む。堆積装置は、カソード駆動ユニットを含む。カソード駆動ユニットは、フランジに連結される。カソード駆動ユニットは、支持部材を含む。カソード駆動ユニットは、絶縁装置を含む。絶縁装置の少なくとも一部は、支持部材をフランジから隔てる。絶縁装置は、第１の絶縁部材と、第１の絶縁部材に隣接する第２の絶縁部材とを含む。カソード駆動ユニットは、第１の絶縁部材と第２の絶縁部材との間に配置された第１のシールを含む。
【０００９】
［０００９］更なる実施形態によれば、カソードアセンブリのためのカソード駆動ユニットが提示される。カソード駆動ユニットは、処理チャンバのフランジに連結されるように構成される。カソード駆動ユニットは、カソード駆動ユニットの動作中は高電位にあるように構成された支持部材を含む。カソード駆動ユニットは、絶縁装置を含む。絶縁装置の少なくとも一部は、支持部材を処理チャンバのフランジから隔てるように配置される。絶縁装置は、第１の絶縁部材と、第１の絶縁部材に隣接する第２の絶縁部材とを含む。カソード駆動ユニットは、第１の絶縁部材と第２の絶縁部材との間に配置された第１のシールを含む。
【００１０】
［００１０］更なる実施形態によれば、基板上に材料を堆積させるための堆積装置が提示される。堆積装置は、フランジを有する処理チャンバを含む。堆積装置は、カソード駆動ユニットを含む。カソード駆動ユニットは、フランジに連結される。カソード駆動ユニットは、支持部材を含む。カソード駆動ユニットは、支持部材を処理チャンバのフランジから隔てる第１の絶縁部材を含む。第１の絶縁部材は、フランジに面する第１の側面と、支持部材に面する第２の側面とを有する。第１の絶縁部材は、第１の側面から第２の側面へと延在する貫通孔を有する。カソード駆動ユニットは、第１の絶縁部材とフランジとの間のシールを有する。第１の絶縁部材とフランジとの間のシールは、本書において、また図面において、カソード駆動ユニットの第２のシールとして称され、示される。貫通孔は、第２のシールから半径方向に外向きの位置に配置される。
【００１１】
［００１１］更なる実施形態によれば、回転軸を有するカソードアセンブリのためのカソード駆動ユニットが提示される。カソード駆動ユニットは、処理チャンバのフランジに連結されるように構成される。カソード駆動ユニットは、カソード駆動ユニットの動作中は高電位にあるように構成されている支持部材を含む。カソード駆動ユニットは、支持部材を処理チャンバのフランジから隔てるように配置された第１の絶縁部材を含む。第１の絶縁部材は、フランジに面するように構成された第１の側面と、支持部材に面する第２の側面とを有する。第１の絶縁部材は、第１の側面から第２の側面へと延在する貫通孔を有する。カソード駆動ユニットは、第１の絶縁部材においてシールを含む。貫通孔は、シールから半径方向に外向きの位置に配置されている。
【００１２】
［００１２］当業者にとって完全で有効な開示は、添付の図の参照を含む本明細書の残りの部分でより具体的に提示される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本書に記載の実施形態に係る堆積装置を示す図である。
【図２】本書に記載の実施形態に係る第１のシールを含むカソード駆動ユニットを示す図である。
【図３】本書に記載の実施形態に係る第１のシールを含むカソード駆動ユニットを示す図である。
【図４】本書に記載の実施形態に係る第２のシールを含むカソード駆動ユニットを示す図である。
【図５】本書に記載の実施形態に係る第２のシールを含むカソード駆動ユニットを示す図である。
【図６】本書に記載の実施形態に係る第１のシールと第２のシールとを含むカソード駆動ユニットを示す図である。
【考案を実施するための形態】
【００１４】
［００１３］様々な実施形態をこれより詳細に参照し、それらの実施形態の一又は複数の例を図に示す。図面に関する以下の説明の中で、同じ参照番号は同じ部品を指している。概括的には、個々の実施形態に関して、相違のみを説明する。各実施例は、単なる説明として提示されており、限定を意味するものではない。さらに、一実施形態の一部として図示あるいは説明される特徴は、他の実施形態で用いてもよく、或いは他の実施形態と併用してもよい。それにより、さらに別の実施形態が生み出される。説明には、上記修正例及び変形例が含まれるように意図される。
【００１５】
［００１４］図面は、正寸で描かれていない概略図である。図面の幾つかの要素は、本開示の態様を強調する目的で、及び／又は提示を明快にする目的で、誇張された寸法を有し得る。
【００１６】
［００１５］本書に記載の実施形態は、基板上に材料を堆積させるための堆積装置に関する。堆積プロセス又はコーティングプロセスでは、ターゲット材料の層が基板上に堆積される。基板は、材料を用いてコーティングされる。「コーティングプロセス」及び「堆積プロセス」という用語は、本書において同義的に使用される。
【００１７】
［００１６］本書に記載の実施形態に係る堆積装置は、垂直配向の基板上に堆積させるように構成され得る。「垂直配向の」という用語は、基板と、厳密な垂直方向との間に、例えば最大１０°あるいは１５°までもの角度が存在し得る、厳密な垂直度からわずかな偏差で配置された基板を含み得る。
【００１８】
［００１７］あるいは、堆積装置は、水平配向の基板上に堆積させるように構成され得る。「水平配向の」という用語は、基板と、厳密な水平方向との間に、例えば最大１０°あるいは１５°までもの角度が存在し得る、厳密な水平度からわずかな偏差で配置された基板を含み得る。例えば、堆積装置は、ウェブ塗布装置又は建築用ガラス塗布装置であってよい。
【００１９】
［００１８］本書に記載の実施形態に係る堆積装置は、大面積基板上に堆積させるように構成され得る。
【００２０】
［００１９］本書に記載の基板は、大面積基板であり得る。本書で使用する「基板」という用語は、一般的にディスプレイ製造に使用される基板を含む。例えば、本書に記載の基板は、典型的にはＬＣＤ（液晶ディスプレイ）、ＯＬＥＤパネルなどに使用される基板であってよい。例えば、大面積基板は、約０．６７ｍ２の基板（０．７３×０．９２ｍ）に対応するＧＥＮ４．５、約１．４ｍ２の基板（１．１ｍ×１．３ｍ）に対応するＧＥＮ５、約２．８ｍ２の基板（１．８５ｍ×１．５ｍ）に対応するＧＥＮ６、約４．２９ｍ２の基板（１．９５ｍ×２．２ｍ）に対応するＧＥＮ７．５、約５．７ｍ２の基板（２．２ｍ×２．５ｍ）に対応するＧＥＮ８．５、又は約８．７ｍ２の基板（２．８５ｍ×３．０５ｍ）に対応するＧＥＮ１０であってもよい。ＧＥＮ１１及びＧＥＮ１２などのさらに次の世代及びそれに相当する基板面積を同様に実装することが可能である。
【００２１】
［００２０］本書で使用する「基板」という用語は具体的には、例えばウエハ、サファイアなどの透明結晶体のスライス、又はガラス板のような実質的非フレキシブル基板を含む。具体的には、基板は、ガラス基板及び／又は透明基板であってよい。本開示はこれらに限定されず、「基板」という用語は、例えば、ウェブ又はホイル等のフレキシブル基板も包含し得る。「実質的非フレキシブル」という用語は、「フレキシブル」と区別して理解される。具体的には、０．５ｍｍ以下の厚さを有するガラス板などの実質的非フレキシブル基板も、ある程度の可撓性を有することがあり、実質的非フレキシブル基板の可撓性は、フレキシブル基板と比較して低くなる。
【００２２】
［００２１］本書に記載の実施形態に係る堆積装置は、１又は複数のカソードアセンブリ、具体的には複数のカソードアセンブリを含み得る。「カソードアセンブリ」は、スパッタ堆積プロセスなどのコーティングプロセスでカソードとして使用されるように適合されたアセンブリとして理解されるべきである。
【００２３】
［００２２］本書に記載のカソードアセンブリは、回転カソードアセンブリであってよい。カソードアセンブリは、ターゲット、具体的には回転ターゲットを含み得る。回転ターゲットは、カソードアセンブリの回転軸の周りで回転可能であり得る。回転ターゲットは、曲面、例えば円筒面を有し得る。回転ターゲットは、シリンダ又はチューブの軸である回転軸の周りで回転し得る。カソードアセンブリは、バッキングチューブを含み得る。コーティングプロセス中に基板上に堆積されるべき材料を含有し得るターゲットを形成するターゲット材料は、バッキングチューブ上に装着され得る。あるいは、ターゲット材料は、バッキングチューブ上に設けられずに、チューブの形であってよい。
【００２４】
［００２３］本書に記載のカソードアセンブリは、磁石アセンブリを含み得る。磁石アセンブリは、カソードアセンブリ内に配置され得る。磁石アセンブリは、ターゲット材料によって取り囲まれ得る。磁石アセンブリは、カソードアセンブリによってスパッタされるターゲット材料が基板の方へスパッタされるように、配置され得る。磁石アセンブリは、磁場を生成し得る。磁場が原因で、スパッタ堆積プロセス中に、磁場近傍に１又は複数のプラズマ領域が形成され得る。カソードアセンブリ内の磁石アセンブリの位置は、スパッタ堆積プロセス中に、ターゲット材料がカソードアセンブリから離れてスパッタされる方向に影響する。磁石アセンブリは、カソードアセンブリの動作中、具体的には堆積プロセス中に移動するように構成され得る。
【００２５】
［００２４］動作中に、冷却されていないカソードアセンブリ、具体的にはカソードアセンブリの冷却されていない磁石アセンブリは、イオンが照射されたターゲット材料によって磁石アセンブリが取り囲まれていることに起因して、高温になり得る。結果的な衝突は、カソードアセンブリの加熱につながり得る。磁石アセンブリを適切な動作温度に維持するために、カソードアセンブリ、具体的にはターゲットアセンブリ及び磁石アセンブリの冷却が行われ得る。
【００２６】
［００２５］本書に記載の実施形態に係る堆積装置は、真空堆積のために構成され得る。堆積装置は、処理チャンバ、具体的には真空チャンバを含み得る。本書に記載のカソードアセンブリ、又はカソードアセンブリの少なくとも一部は、処理チャンバに配置され得る。
【００２７】
［００２６］本書に記載の実施形態に係る堆積装置は、カソード駆動ユニットを含み得る。カソード駆動ユニットは、カソードアセンブリを駆動するように構成され得る。具体的には、カソード駆動ユニットは、カソードアセンブリのターゲットの回転を駆動するように構成され得る。カソード駆動ユニットは、処理チャンバの壁部分、例えば処理チャンバのフランジに装着され得る。カソードアセンブリは、カソード駆動ユニットに装着され得る。
【００２８】
［００２７］図１に、例示の実施形態に係る堆積装置１００を示す。堆積装置１００は、フランジ１２０を有する処理チャンバ１１０を含む。カソード駆動ユニット１３０は、フランジ１２０に接続される。カソード駆動ユニット１３０は、カソードアセンブリ１４０を支持する。カソード駆動ユニット１３０は、回転軸の周りでカソードアセンブリ１４０の回転を駆動させ、カソードアセンブリに冷却剤を供給して、カソードアセンブリ１４０を冷却するように構成され得る。カソード駆動ユニット１３０は、例えばアルミニウムでできた支持部材１５０を含む。カソード駆動ユニット１３０の動作中、例えば堆積プロセス中に、支持部材１５０は高電位にあり、フランジ１２０は低電位にある。具体的には、フランジは接地されていてよい。カソード駆動ユニット１３０は、高電位支持部材１５０を低電位フランジ１２０から隔てる絶縁装置１６０を含む。
【００２９】
［００２８］図２に、カソード駆動ユニット１３０の一例を示す。図２に示すカソード駆動ユニット１３０は、図１に示す堆積装置１００に含まれていてよい。絶縁装置１６０は、第１の絶縁部材２６２、及び第１の絶縁部材２６２に隣接する第２の絶縁部材２６４を含む。第１の絶縁部材２６２は、例えば、１又は複数の動的真空シールを含み得る。第１の絶縁部材２６２は、処理チャンバ１１０内部から交換可能であってよい。第２の絶縁部材２６４は、カソード駆動ユニット１３０を処理チャンバ１１０へ接続するように構成され得る。
【００３０】
［００２９］図２に示すように、間隙２５０は、第１の絶縁部材２６２と第２の絶縁部材２６４との間に存在し得る。図２に示す間隙２５０は、概略的に誇張して描かれている。実際には、第１の絶縁部材２６２と第２の絶縁部材２６４との間の間隙は、図２に示す間隙２５０よりも大幅に狭いものであり得る。具体的には、第１の絶縁部材２６２は、第２の絶縁部材２６４と近接触していてよい。
【００３１】
［００３０］例えば、堆積装置１００の保守中、カソードアセンブリ１４０を新たなカソードアセンブリに交換中、あるいはカソードアセンブリ１４０のターゲットの交換中に、液体及び／又は導電材料がフランジ１２０及び絶縁装置１６０へ達する可能性がある。例えば、液体は、カソードアセンブリの保守又は交換中に、フランジ１２０上にスパッタされたわずかな量の冷却剤であり得る。導電材料は、堆積プロセス中に、フランジ上に堆積されたターゲット材料の導電粒子を含み得る。液体及び／又は導電粒子は、例えば保守中に、フランジ１２０から、第１の絶縁部材２６２と第２の絶縁部材２６４との間の間隙２５０の中へ移動し得る。本書に記載の実施形態によれば、第１のシール２１０は、第１の絶縁部材２６２と第２の絶縁部材２６４との間に配置される。第１のシール２１０は、第１の絶縁部材２６２と第２の絶縁部材２６４との間の間隙２５０を密閉する。第１のシール２１０は、固定型真空シールであってよい。第１のシール２１０により、液体及び／又は導電粒子が、間隙２５０を介してフランジ１２０から支持部材１５０へ移動することが防止される。第１のシール２１０により、液体及び／又は導電粒子が支持部材１５０に達することが防止される。
【００３２】
［００３１］図３に、例示のカソード駆動ユニット１３０の一部を示す。実線矢印３１０は、フランジ１２０から、第１の絶縁部材２６２と第２の絶縁部材２６４との間の間隙の中へ移動している液体粒子及び／又は導電粒子の潜在的な軌道を示す。第１のシール２１０により、液体及び／又は導電粒子が間隙を通って支持部材１５０へ移動することが防止される。第１のシール２１０により、液体及び／又は導電粒子が支持部材１５０に達することが防止される。
【００３３】
［００３２］図３の点線矢印は、第１のシール２１０を含まないカソード駆動ユニットの液体及び／導電粒子の潜在的な軌道を示す。点線矢印３２０によって示すように、第１のシール２１０が存在しない場合、液体及び／又は導電粒子は、間隙を通って移動し続けることができ、支持部材１５０に達する。液体及び／又は導電粒子によって、導電経路が形成される。導電経路により、低電位フランジ１２０が高電位支持部材１５０に接続される。フランジ１２０と支持部材１５０との間に、電気アークが形成される。つまり、第１のシール２１０により、フランジ１２０と支持部材１５０との間の電気アークの形成が防止される。
【００３４】
［００３３］こうしたことから、一実施形態によれば、基板上に材料を堆積させるための堆積装置１００が提示される。堆積装置１００は、フランジ１２０を有する処理チャンバ１１０を含む。堆積装置１００は、カソード駆動ユニット１３０を含む。カソード駆動ユニット１３０は、カソードアセンブリ１４０のためのカソード駆動ユニットであってよい。カソード駆動ユニット１３０は、フランジ１２０に連結される。カソード駆動ユニット１３０は、支持部材１５０を含む。カソード駆動ユニット１３０は、絶縁装置を含む。絶縁装置の少なくとも一部により、フランジ１２０から支持部材１５０が隔てられる。絶縁装置は、第１の絶縁部材２６２、及び第１の絶縁部材２６２に隣接する第２の絶縁部材２６４を含む。カソード駆動ユニット１３０は、第１の絶縁部材２６２と第２の絶縁部材２６４との間に配置された第１のシール２１０を含む。
【００３５】
［００３４］更なる実施形態によれば、カソードアセンブリ１４０のためのカソード駆動ユニット１３０が提示される。カソード駆動ユニット１３０は、処理チャンバ１１０のフランジ１２０に連結されるように構成される。カソード駆動ユニット１３０は、カソード駆動ユニット１３０の動作中は高電位にあるように構成された支持部材１５０を含む。カソード駆動ユニット１３０は、絶縁装置を含む。絶縁装置の少なくとも一部は、支持部材１５０を処理チャンバ１１０のフランジ１２０から隔てるように配置される。絶縁装置は、第１の絶縁部材２６２、及び第１の絶縁部材２６２に隣接する第２の絶縁部材２６４を含む。カソード駆動ユニット１３０は、第１の絶縁部材２６２と第２の絶縁部材２６４との間に配置された第１のシール２１０を含む。
【００３６】
［００３５］本書に記載の実施形態は、第１のシール２１０を有することによって、間隙２５０を介して支持部材１５０とフランジ１２０との間に延在する電気アークの形成を防止し得るという利点を提供する。支持部材１５０とフランジ１２０との間の短絡が防止され得る。それらの観点から、本書に記載の実施形態は、カソード駆動ユニット１３０の機能不全、及びそれらへの損傷を回避することを可能にする。
【００３７】
［００３６］本書に記載のカソード駆動ユニット１３０は、電力をカソードアセンブリ１４０に供給するように構成され得る。カソード駆動ユニット１３０は、カソードアセンブリ１４０に電力を供給するための電源を含み得る、又は電源に接続可能であり得る。付加的に又は代替的に、カソード駆動ユニット１３０は、水又は冷却剤をカソードアセンブリ１４０に、及び／又は冷却剤を受け入れるための容積に供給するように構成され得る。カソード駆動ユニット１３０は、水又は冷却剤をカソードアセンブリ１４０に供給するための水又は冷却剤供給部を含み得る、又はそれらに接続可能であり得る。付加的に又は代替的に、カソード駆動ユニット１３０は、カソードアセンブリ１４０のターゲットの回転を駆動するように構成され得る。カソード駆動ユニット１３０は、ターゲットの回転を駆動するためのアクチュエータを含み得る。カソード駆動ユニットは、上述した機能のいずれかの組み合わせを実施するように構成され得る。
【００３８】
［００３７］本書に記載のカソード駆動ユニット１３０は、端受け又はカソード駆動ブロックとも称され得る。
【００３９】
［００３８］本書に記載の支持部材１５０は、カソード駆動ユニット１３０の動作中、例えば堆積プロセス中にカソード駆動ユニット１３０がカソードアセンブリ１４０を駆動している間は高電位にあるように構成され得る。本書に記載の高電位は、４００Ｖ以上、具体的には１０００Ｖ以上、又は更に具体的には１５００Ｖ以上の電位であり得る。例えば、支持部材１５０は、堆積中は、４００Ｖから６００Ｖ、及び着火電圧として最大１５００Ｖの電位を有し得る。
【００４０】
［００３９］処理チャンバ１１０のフランジ１２０は、堆積プロセス中は低電位にあるように構成され得る。具体的には、フランジ１２０が処理チャンバ１１０の一部であるため、フランジは、堆積プロセス中は、ほぼ接地電位にあり得る。
【００４１】
［００４０］本書に記載の第１のシール２１０は、支持部材１５０とフランジ１２０との間の電気アークの形成を防止するように構成され得る。第１のシール２１０は、第１の絶縁部材２６２及び第２の絶縁部材２６４と接触し得る。第１のシール２１０は、第１の絶縁部材２６２と第２の絶縁部材２６４との間の間隙２５０を密閉し得る。第１のシール２１０は、液体、例えば冷却剤、又は導電粒子、例えば酸化インジウム錫（ＩＴＯ）等の導電性ターゲット材料が間隙を介して支持部材１５０に達することを防止し得る。第１のシール２１０は、間隙を介して支持部材１５０をフランジ１２０と接続する電気アークの形成を防止するように構成され得る。
【００４２】
［００４１］本書に記載の第１のシール２１０は、固定型シールであってよい。第１のシール２１０は、カソードアセンブリ１４０のターゲットと共に回転するようには構成されていない。第１のシール２１０は、第１の絶縁部材２６２、第２の絶縁部材２６４、支持部材１５０及び／又はフランジ１２０に対して固定されていてよい。
【００４３】
［００４２］本書に記載の第１のシール２１０は、帯状の第１のシールであってよい。第１のシール２１０は、Ｏリングであり得る。第１のシール２１０は、カソードアセンブリ１４０の回転軸２９０を取り囲み得る。
【００４４】
［００４３］本書に記載の絶縁装置は、支持部材１５０に装着され得る。絶縁装置、又はそれらの少なくとも一部は、支持部材１５０の上に配置され得る。第１の絶縁部材２６２は、支持部材１５０の上に配置され、支持部材１５０を処理チャンバ１１０のフランジ１２０から隔て得る。
【００４５】
［００４４］本書に記載の第１の絶縁部材２６２は、第１の面を有し得る。第２の絶縁部材２６４は、第１の面に面する第２の面を有し得る。第１のシール２１０は、第１の面と第２の面との間に配置され得る。第１の面と第２の面とは、合わせ面であり得る。第１のシール２１０は、第１の面と第２の面に接触し得る。
【００４６】
［００４５］本書に記載の第１の絶縁部材２６２は、例えば１又は複数のファスナによって支持部材１５０に留められ得る。
【００４７】
［００４６］本書に記載の第１の絶縁部材２６２及び／又は第２の絶縁部材２６４は、支持部材１５０に対して固定されていてよい。つまり、第１の絶縁部材２６２及び／又は第２の絶縁部材２６４は、カソードアセンブリ１４０のターゲットと共に回転しなくてよい。第１の絶縁部材２６２及び／又は第２の絶縁部材２６４は、互いに対して固定されていてよい。第１の絶縁部材２６２及び／又は第２の絶縁部材２６４は、フランジ１２０に対して固定されるように構成され得る。
【００４８】
［００４７］本書に記載の第１の絶縁部材２６２は、１又は複数のファスナによってフランジ１２０に留められ得る。
【００４９】
［００４８］本書に記載の絶縁装置は、カソードアセンブリ１４０の回転軸２９０を取り囲み得る。第１の絶縁部材２６２は、回転軸２９０を取り囲み得る。第２の絶縁部材２６４は、回転軸２９０を取り囲み得る。
【００５０】
［００４９］本書に記載のカソードアセンブリ１４０は、スパッタカソードアセンブリであってよい。本書に記載のカソード駆動ユニット１３０は、スパッタカソードアセンブリのためのカソード駆動ユニットであり得る。本書に記載の堆積装置１００は、スパッタ堆積装置であり得る。
【００５１】
［００５０］本書に記載のカソード駆動ユニット１３０は、カソードアセンブリを冷却する冷却剤を受け入れるための容積を含み得る。例えば、カソードアセンブリ１４０の保守又は交換中に、冷却剤の液体粒子が絶縁装置に達し得る。第１のシール２１０は、第１の絶縁部材２６２と第２の絶縁部材２６４との間の間隙を介して冷却剤が支持部材１５０に流入するのを防止するように構成され得る。支持部材１５０とフランジ１２０との間の電気アークの形成が防止され得る。
【００５２】
［００５１］本書に記載の支持部材１５０は、カソード駆動ユニット１３０の１又は複数の部品を支持する及び／又は収容するように構成され得る。支持部材１５０は、カソード駆動ユニット１３０の１又は複数のシャフト、例えば本書に記載の第１のシャフト６１０及び／又は第２のシャフト６２０を支持し得る。支持部材１５０は、本書に記載の第１の絶縁部材２６２及び／又は第２の絶縁部材２６４を支持し得る。支持部材１５０は、カソードアセンブリを支持するためのベアリングを支持し得る。
【００５３】
［００５２］本書に記載の支持部材１５０は、導電性材料、例えばアルミニウムを含み得る、あるいはこれらでできていてよい。
【００５４】
［００５３］本書に記載の第１の絶縁部材２６２及び／又は第２の絶縁部材２６４は、絶縁材料、例えばポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）を含み得る、あるいはこれらでできていてよい。
【００５５】
［００５４］本書に記載の第１のシール２１０は、弾性材料、例えばニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）、フッ化炭素ゴム（ＦＫＭ）等を含み得る、あるいはこれらでできていてよい。
【００５６】
［００５５］本書に記載の処理チャンバ１１０は、真空チャンバであり得る。
【００５７】
［００５６］本書に記載の実施形態に係る堆積装置１００は、カソードアセンブリ１４０を含み得る。カソードアセンブリ１４０は、カソード駆動ユニット１３０に装着され得る。カソードアセンブリ１４０、又はそれらの少なくとも一部は、処理チャンバ１１０に配置され得る。
【００５８】
［００５７］本書に記載の実施形態に係る堆積装置１００は、カソード駆動ユニットのアレーを含み得る。カソード駆動ユニットのアレーは、２つ、３つ、４つ、５つ、６つ又はそれ以上のカソード駆動ユニット、例えば１６個のカソード駆動ユニットを含み得る。カソード駆動ユニットのアレーは、ほぼ線形のアレーであり得る。カソード駆動ユニットのアレーのカソード駆動ユニットは、ほぼラインに沿って配置され得る。
【００５９】
［００５８］本書に記載のフランジ１２０は、処理チャンバ１１０の壁部分に配設され得る。処理チャンバ１１０は、複数のフランジを含み得る。複数のフランジは、２つ、３つ、４つ、５つ、６つ又はそれ以上のフランジを含み得る。カソード駆動ユニットのアレーの各カソード駆動ユニットは、複数のフランジのそれぞれのフランジに連結され得る。
【００６０】
［００５９］処理チャンバ１１０は、カソードアセンブリのアレーを含み得る。カソードアセンブリのアレーは、２つ、３つ、４つ、５つ、６つ又はそれ以上のカソードアセンブリを含み得る。カソードアセンブリのアレーの各カソードアセンブリは、カソード駆動ユニットのアレーのそれぞれのカソード駆動ユニットによって支持され得る。カソードアセンブリのアレーは、ほぼ線形のアレーであり得る。カソードアセンブリのアレーのカソードアセンブリは、ほぼラインに沿って配置され得る。
【００６１】
［００６０］カソード駆動ユニットのアレーの各カソード駆動ユニットは、本書に記載のカソード駆動ユニット１３０と同様のものであり得る。カソード駆動ユニットのアレーの各カソード駆動ユニットは、複数のフランジのそれぞれのフランジに連結され得る。各カソード駆動ユニットは、カソード駆動ユニットの動作中は高電位にあるように構成された支持部材を含み得る。各カソード駆動ユニットは、支持部材の上に配置された絶縁装置を含み得る。絶縁装置の少なくとも一部により、支持部材がフランジから隔てられ得る。絶縁装置は、第１の絶縁部材と、第１の絶縁部材に隣接する第２の絶縁部材とを含み得る。各カソード駆動ユニットは、第１の絶縁部材と第２の絶縁部材との間に配置された第１のシールを含み得る。
【００６２】
［００６１］図４に、本書に記載のカソード駆動ユニット１３０の一例を示す。図４に示すカソード駆動ユニット１３０は、図１に示す堆積装置１００に含まれていてよい。図４に示すカソード駆動ユニット１３０は、支持部材１５０と第１の絶縁部材２６２とを含む。第１の絶縁部材２６２は、フランジ１２０に面する第１の側面４２２と、支持部材１５０に面する第２の側面４２４とを有する。第１の絶縁部材２６２には、貫通孔４３０が配設されている。貫通孔４３０は、第１の側面４２２から第２の側面４２４へと延在する。図４に示すように、貫通孔４３０は、第１の絶縁部材２６２を支持部材１５０に固定する第１のファスナ４３２を含み得る。
【００６３】
［００６２］図４に示すカソード駆動ユニット１３０は、第１の絶縁部材２６２とフランジ１２０との間に配置された第２のシール４１０を含む。第２のシール４１０は、第１の絶縁部材２６２とフランジ１２０との間の間隙４５０を密閉する。図４に示す間隙４５０は、概略的に誇張して描かれている。実際には、第１の絶縁部材２６２とフランジ１２０との間の間隙は、図４に示す間隙よりも大幅に狭いものであり得る。具体的には、第１の絶縁部材２６２は、フランジ１２０と近接触していてよい。本書に記載の第２のシールは、カソード駆動ユニットとフランジとの間の間隙を密閉し得る。
【００６４】
［００６３］例えば、堆積装置１００の保守中、又はカソードアセンブリ１４０を新たなカソードアセンブリに交換中に、液体及び／又は導電物質が、上述したようにフランジ１２０に達する可能性がある。液体及び／又は導電粒子は、第１の絶縁部材２６２とフランジ１２０との間の間隙４５０の中を移動し得る。第２のシール４１０が存在しない場合、液体及び／又は導電粒子は、間隙４５０を通り、貫通孔４３０を通って移動し、支持部材１５０に達することが可能になる。貫通孔４３０を介して、電気アークが低電位フランジ１２０と高電位支持部材１５０との間に形成される。本書に記載の実施形態によれば、第２のシール４１０は、貫通孔４３０の位置から半径方向に内向きの位置で、間隙４５０を密閉する。第２のシール４１０は、液体及び／又は導電粒子が貫通孔４３０に達し得る前に、間隙４５０を通って移動する液体及び／又は導電粒子を遮断する。第２のシール４１０は、液体及び／又は導電粒子が貫通孔４３０を介してフランジ１２０から支持部材１５０へ移動することを防止する。フランジ１２０と支持部材１５０との間の電気アークの形成が回避され得る。
【００６５】
［００６４］上記の観点から、更なる実施形態によれば、基板上に材料を堆積させるための堆積装置１００が提示される。堆積装置１００は、フランジ１２０を有する処理チャンバ１１０を含む。堆積装置１００は、カソード駆動ユニット１３０を含む。カソード駆動ユニット１３０は、回転軸２９０を有するカソードアセンブリ１４０のためのカソード駆動ユニットであってよい。カソード駆動ユニット１３０は、フランジ１２０に連結される。カソード駆動ユニット１３０は、支持部材１５０を含む。支持部材１５０は、カソード駆動ユニット１３０の動作中は高電位にあるように構成され得る。カソード駆動ユニット１３０は、支持部材１５０を処理チャンバ１１０のフランジ１２０から隔てる第１の絶縁部材２６２を含む。第１の絶縁部材２６２は、フランジに面する第１の側面４２２と、支持部材１５０に面する第２の側面４２４とを有する。第１の絶縁部材２６２は、第１の側面４２２から第２の側面４２４へと延在する貫通孔４３０を有する。カソード駆動ユニット１３０は、第１の絶縁部材２６２とフランジ１２０との間のシールを有する。第１の絶縁部材２６２とフランジ１２０との間のシールは、本書において、及び図面において、カソード駆動ユニット１３０の第２のシール４１０として称され、また示される。貫通孔４３０は、第２のシール４１０から半径方向に外向きの位置に配置される。
【００６６】
［００６５］更なる実施形態によれば、回転軸２９０を有するカソードアセンブリ１４０のためのカソード駆動ユニット１３０が提示される。カソード駆動ユニット１３０は、処理チャンバ１１０のフランジ１２０に連結されるように構成される。カソード駆動ユニット１３０は、カソード駆動ユニット１３０の動作中は高電位にあるように構成された支持部材１５０を含む。カソード駆動ユニット１３０は、支持部材１５０を処理チャンバ１１０のフランジ１２０から隔てるように配置された第１の絶縁部材２６２を含む。第１の絶縁部材２６２は、フランジ１２０に面するように構成された第１の側面４２２と、支持部材１５０に面する第２の側面４２４とを有する。第１の絶縁部材２６２は、第１の側面４２２から第２の側面４２４へと延在する貫通孔４３０を有する。カソード駆動ユニット１３０は、第１の絶縁部材２６２において、シール、すなわち本書に記載の第２のシール４１０を含む。貫通孔４３０は、シールから半径方向に外向きの位置に配置される。
【００６７】
［００６６］第２のシール４１０を貫通孔４３０から半径方向に内向きの位置に配設することによって、間隙４５０を介した支持部材１５０とフランジ１２０との間に延在する電気アークの形成が防止され得る。支持部材１５０とフランジ１２０との間の短絡が、防止され得る。それらの観点から、本書に記載の実施形態は、カソード駆動ユニット１３０の機能不全、及びそれらへの損傷を回避することを可能にする。
【００６８】
［００６７］更に、貫通孔４３０から半径方向に内向きの位置に第２のシール４１０を配設することによって、貫通孔４３０を形成するための余分な空間が得られる。第１の絶縁部材２６２を支持部材１５０に固定するのにより大きい、すなわちより強いファスナを使用することができるように、より大きい貫通孔４３０を配設することが可能である。それらの観点から、第１の絶縁部材２６２の支持部材１５０への留め付けの改善を得ることができる。
【００６９】
［００６８］本書に記載の実施形態は、カソードアセンブリ１４０の回転軸２９０に対する半径方向の距離である半径方向の距離の概念を含む。貫通孔４３０が第２のシール４１０から半径方向に外向きの位置に配置されているということは、第２のシール４１０の一部が貫通孔４３０と、カソードアセンブリ１４０の回転軸２９０との間にあるとして理解され得る。貫通孔４３０から回転軸２９０までの半径方向の距離は、第２のシール４１０の一部から回転軸２９０までの半径方向の距離よりも長くてよい。
【００７０】
［００６９］本書に記載の第２のシール４１０は、固定型真空シールであり得る。第２のシール４１０は、支持部材１５０とフランジ１２０との間の電気アークの形成を防止するように構成され得る。第２のシール４１０は、第１の絶縁部材２６２とフランジ１２０と接触し得る。第２のシール４１０は、カソード駆動ユニット１３０とフランジ１２０との間、具体的には第１の絶縁部材２６２とフランジ１２０との間の間隙４５０を密閉し得る。第２のシール４１０は、液体、例えば冷却剤又は導電粒子、例えばＩＴＯ等の導電性ターゲット材料が間隙を介して貫通孔４３０に達することを防止し得る。第２のシール４１０は、液体又は導電粒子が貫通孔４３０を介して支持部材１５０に達することを防止するように構成され得る。第２のシール４１０は、貫通孔４３０を介して支持部材１５０をフランジ１２０に接続する電気アークの形成を防止するように構成され得る。
【００７１】
［００７０］本書に記載の第２のシール４１０は、第１の絶縁部材２６２の第１の側面４２２に配置され得る。
【００７２】
［００７１］本書に記載の貫通孔４３０は、第１の絶縁部材２６２を支持部材１５０に留めるための第１のファスナ４３２を受け入れるように構成され得る。第１の絶縁部材２６２は、貫通孔４３０に配設された第１のファスナ４３２によって支持部材１５０に留められ得る。
【００７３】
［００７２］本書に記載の第１の絶縁部材２６２は、第１の絶縁部材２６２の第１の側面４２２から第１の絶縁部材２６２の第２の側面４２４へと延在する複数の貫通孔を有し得る。複数の貫通孔の各貫通孔は、第２のシール４１０から半径方向に外向きの位置に配置され得る。各貫通孔は、第１の絶縁部材２６２を支持部材１５０に留めるためのそれぞれの第１のファスナを受け入れるように構成され得る。第１の絶縁部材２６２は、複数の貫通孔に配設された複数の第１のファスナによって支持部材１５０に留められ得る。
【００７４】
［００７３］本書に記載の第１の絶縁部材２６２は、第３の面を有し得る。第３の面は、第１の絶縁部材２６２の第１の側面４２２上にあってよい。フランジ１２０は、第３の面に面する第４の面を有し得る。第２のシール４１０は、第３の面と第４の面との間に配置され得る。
【００７５】
［００７４］本書に記載の第２のシール４１０は、固定型シールであり得る。第２のシール４１０は、第１の絶縁部材２６２、第２の絶縁部材２６４、支持部材１５０及び／又はフランジ１２０に対して固定されていてよい。
【００７６】
［００７５］本書に記載の第２のシール４１０は、帯状のシールであり得る。第２のシール４１０は、Ｏリングタイプのシール、具体的には、カソードアセンブリの回転軸２９０に対して様々な距離を有するＯリングタイプのシールであり得る。第２のシール４１０は、カソードアセンブリ１４０の回転軸２９０を取り囲み得る。第２のシール４１０は、カソード駆動ユニット１３０の、本書に記載の第１のシャフト６１０を取り囲み得る。第１のシール２１０は、カソード駆動ユニット１３０の、本書に記載の第２のシャフト６２０を取り囲み得る。
【００７７】
［００７６］図５に、例示のカソード駆動ユニット１３０の上面図を示す。
【００７８】
［００７７］本書に記載の第１の絶縁部材２６２は、第２のファスナによってフランジ１２０に留められるように構成され得る。例えば図５に示すように、第２のファスナが第１の絶縁部材２６２の開口部５１０に配設され得る。第２のファスナ及び／又は開口部５１０は、第２のシール４１０から半径方向に内向きの位置にあり得る。第２のファスナが第２のシール４１０から半径方向に内向きの位置に配置されているということは、第２のファスナが第２のシール４１０の一部とカソードアセンブリの回転軸２９０との間に配置されているとして理解すべきである。第２のファスナから回転軸２９０までの半径方向の距離は、第２のシール４１０の一部から回転軸２９０までの半径方向の距離よりも短くてよい。
【００７９】
［００７８］本書に記載の第１の絶縁部材２６２は、複数の第２のファスナによってフランジ１２０に留められるように構成され得る。各第２のファスナは、第２のシール４１０から半径方向に内向きの位置にあり得る。
【００８０】
［００７９］本書に記載の第２のシール４１０は、例えば図５に示すように、カソードアセンブリ１４０の回転軸２９０に対して様々な距離、具体的には異なる半径方向の距離を有し得る。第２のシール４１０の第１の部分は、回転軸２９０から第１の半径方向の距離だけ間隔を置いて配置され得る。第２のシール４１０の第２の部分は、回転軸２９０から第１の半径方向の距離よりも短い第２の半径方向の距離だけ間隔を置いて配置され得る。第２のシール４１０の第３の部分は、回転軸２９０から第２の半径方向の距離よりも長い第３の半径方向の距離だけ間隔を置いて配置され得る。
【００８１】
［００８０］本書に記載の第２のシール４１０は、ニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）、フッ化炭素ゴム（ＦＫＭ）等の弾性材料を含み得る、あるいは弾性材料でできていてよい。
【００８２】
［００８１］本書に記載のカソード駆動ユニット１３０は、本書に記載の第１のシール２１０、本書に記載の第２のシール４１０、あるいは第１のシール２１０及び第２のシール４１０の両方を含み得る。
【００８３】
［００８２］本書に記載のカソード駆動ユニット１３０は、絶縁装置を含み得る。絶縁装置は、本書に記載したように、第１の絶縁部材２６２と、第１の絶縁部材２６２に隣接する第２の絶縁部材２６４とを含み得る。第１の絶縁部材２６２は、フランジ１２０に面する第１の側面４２２と、支持部材１５０に面する第２の側面４２４とを有し得る。第１の絶縁部材２６２は、第１の側面４２２から第２の側面４２４へと延在する貫通孔４３０を有し得る。カソード駆動ユニット１３０は、本書に記載の第１のシール２１０を含み得る。第１のシール２１０は、第１の絶縁部材２６２と第２の絶縁部材２６４との間に配置され得る。代替的に又は付加的に、カソード駆動ユニット１３０は、本書に記載の第２のシール４１０を含み得る。第２のシール４１０は、第１の絶縁部材２６２の第１の側面４２２に配置され得る。貫通孔４３０は、第２のシール４１０から半径方向に外向きの位置に配置される。
【００８４】
［００８３］図６に、本書に記載の実施形態に係る堆積装置１００を示す。堆積装置１００は、本書に記載の第１のシール２１０と第２のシール４１０とを含むカソード駆動ユニット１３０を含む。
【００８５】
［００８４］本書に記載のカソード駆動ユニット１３０は、第１のシャフト６１０を含み得る。第１のシャフト６１０は、例えば図６に示すように、カソード駆動ユニット１３０に装着されたカソードアセンブリ１４０に電力を供給するためのものであってよい。第１のシャフト６１０は、カソードアセンブリ１４０のターゲットの回転を駆動するように構成され得る。第１のシャフト６１０は、ターゲット、例えばチューブ状のターゲットに接続され得る。第１のシャフト６１０は、電源、具体的には高電位電源に接続され得る。第１のシャフト６１０は、カソード駆動ユニット１３０の動作中は高電位で配設されるように構成され得る。
【００８６】
［００８５］第１のシャフト６１０は、カソードアセンブリ１４０の回転軸２９０と同じ方向に延在し得る。絶縁装置、第１の絶縁部材２６２及び／又は第２の絶縁部材２６４は、第１のシャフト６１０を取り囲み得る。第１のシール２１０は、第１のシャフト６１０を取り囲み得る。
【００８７】
［００８６］本書に記載のカソード駆動ユニット１３０は、例えば図６に示すように、第２のシャフト６２０を含み得る。第２のシャフト６２０は、カソードアセンブリ１４０の磁石アセンブリを配向する及び／又は位置調整するように構成され得る。磁石アセンブリを配向する及び／又は位置調整することによって、ターゲット材料がターゲットから放射されるスパッタ方向が確保され得る。第２のシャフト６２０は、磁石アセンブリに接続され得る。磁石アセンブリは、スパッタリング中は固定されていてよい、あるいは可動であってよい。例えば、磁石アセンブリは、基板が固定されている間に、「ウォッブル」（＋／−３０°の角度を上回る移動）し得る。
【００８８】
［００８７］第２のシャフト６２０は、カソードアセンブリ１４０の回転軸２９０と同じ方向に、及び／又は第１のシャフト６１０へと延在し得る。第１のシャフト６１０は、第２のシャフト６２０の少なくとも一部を取り囲み得る。第１のシャフト６１０は、外側シャフトであり得る。第２のシャフト６２０は、内側シャフトであり得る。第１のシャフト６１０は、第２のシャフト６２０とほぼ同心であり得る。絶縁装置、第１の絶縁部材２６２及び／又は第２の絶縁部材２６４は、第２のシャフト６２０を取り囲み得る。第１のシール２１０は、第２のシャフト６２０を取り囲み得る。
【００８９】
［００８８］本書に記載のカソード駆動ユニット１３０は、カソードアセンブリ１４０を支持するためのベアリングを含み得る。カソードアセンブリ１４０は、ベアリングにおいてカソード駆動ユニット１３０に装着され得る。ベアリングは、カソード駆動ユニット１３０の動作中は高電位にあるように構成され得る。ベアリングは、カソードアセンブリ１４０の第１のシャフト６１０と接触し得る。ベアリングは、支持部材１５０と接触し得る又は支持部材１５０によって支持され得る。
【００９０】
［００８９］第１のシャフト６１０は、高電位電源に接続されるように構成される。第１のシャフト６１０とベアリングとの間の接触、及びベアリングと支持部材１５０との間の接触を考慮すると、第１のシャフト６１０の高電位は、ベアリングを介して支持部材１５０に伝導される。それらの観点から、支持部材１５０は、カソード駆動ユニット１３０の動作中にも高電位にある。
【００９１】
［００９０］上記は本開示の実施形態を対象としているが、本開示の他の実施形態及び更なる実施形態を、それらの基本範囲を逸脱せずに考案することが可能であり、それらの範囲は、以下の実用新案登録請求の範囲によって決定される。
【図１】
0003228198.tif 000003
【図２】
0003228198.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【手続補正書】
【提出日】令和2年7月9日(2020.7.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
基板上に材料を堆積させるための堆積装置であって、
フランジを有する処理チャンバと、
前記フランジに連結されたカソード駆動ユニットであって、
支持部材と、
絶縁装置であって、前記絶縁装置の少なくとも一部は前記支持部材を前記フランジから隔て、第１の絶縁部材と前記第１の絶縁部材に隣接する第２の絶縁部材とを備える、絶縁装置と、
前記第１の絶縁部材と前記第２の絶縁部材との間のシールと
を備えるカソード駆動ユニットと
を備える、堆積装置。
【請求項２】
前記支持部材は、前記カソード駆動ユニットの動作中は高電位にあるように構成されている、請求項１に記載の堆積装置。
【請求項３】
前記シールは、前記支持部材と前記フランジとの間の電気アークの形成を防止するように構成されている、請求項１又は２に記載の堆積装置。
【請求項４】
前記シールは、前記第１の絶縁部材と前記第２の絶縁部材との間の間隙を密閉する、請求項１から３のいずれか一項に記載の堆積装置。
【請求項５】
前記シールは、カソードアセンブリの回転軸を取り囲む帯状のシールである、請求項１から４のいずれか一項に記載の堆積装置。
【請求項６】
カソードアセンブリのためのカソード駆動ユニットであって、前記カソード駆動ユニットは、処理チャンバのフランジに連結されるように構成されており、
前記カソード駆動ユニットの動作中は高電位にあるように構成されている支持部材と、
絶縁装置であって、前記絶縁装置の少なくとも一部は前記支持部材を前記処理チャンバの前記フランジから隔てるように配置され、第１の絶縁部材と前記第１の絶縁部材に隣接する第２の絶縁部材とを備える、絶縁装置と、
前記第１の絶縁部材と前記第２の絶縁部材との間のシールと
を備える、カソード駆動ユニット。
【請求項７】
基板上に材料を堆積させるための堆積装置であって、
フランジを有する処理チャンバと、
前記フランジに連結されたカソード駆動ユニットであって、
支持部材と、
前記支持部材を前記フランジから隔てる第１の絶縁部材であって、前記フランジに面する第１の側面と前記支持部材に面する第２の側面とを有し且つ前記第１の側面から前記第２の側面へと延在する貫通孔を有する、第１の絶縁部材と、
前記第１の絶縁部材と前記フランジとの間のシールであって、前記貫通孔が前記シールから半径方向に外向きの位置に配置されている、シールと
を備えるカソード駆動ユニットと
を備える、堆積装置。
【請求項８】
前記支持部材は、前記カソード駆動ユニットの動作中は高電位にあるように構成されている、請求項７に記載の堆積装置。
【請求項９】
前記シールは、前記支持部材と前記フランジとの間の電気アークの形成を防止するように構成されている、請求項７又は８に記載の堆積装置。
【請求項１０】
前記第１の絶縁部材は、前記貫通孔に配設された第１のファスナによって前記支持部材に留められる、請求項７から９のいずれか一項に記載の堆積装置。
【請求項１１】
前記シールは、カソードアセンブリの回転軸を取り囲む帯状のシールである、請求項７から１０のいずれか一項に記載の堆積装置。
【請求項１２】
前記シールは、前記カソードアセンブリの前記回転軸に対して様々な距離を有する、請求項１１に記載の堆積装置。
【請求項１３】
前記シールは第２のシールであり、前記カソード駆動ユニットは更に、
絶縁装置であって、前記第１の絶縁部材と、前記第１の絶縁部材に隣接する第２の絶縁部材とを含む、絶縁装置と、
前記第１の絶縁部材と前記第２の絶縁部材との間に配置された第１のシールと
を含む、請求項７から１２のいずれか一項に記載の堆積装置。
【請求項１４】
回転軸を有するカソードアセンブリのためのカソード駆動ユニットであって、前記カソード駆動ユニットは、処理チャンバのフランジに連結されるように構成されており、
前記カソード駆動ユニットの動作中は高電位にあるように構成されている支持部材と、
前記支持部材を前記処理チャンバの前記フランジから隔てるように配置された第１の絶縁部材であって、前記フランジに面するように構成された第１の側面と、前記支持部材に面する第２の側面とを有し且つ前記第１の側面から前記第２の側面へと延在する貫通孔を有する、第１の絶縁部材と、
前記第１の絶縁部材におけるシールであって、前記貫通孔が前記シールから半径方向に外向きの位置に配置されている、シールと
を備える、カソード駆動ユニット。
【請求項１５】
前記シールは第２のシールであり、前記カソード駆動ユニットは更に、
前記第１の絶縁部材と、前記第１の絶縁部材に隣接する第２の絶縁部材とを含む絶縁装置と、
前記第１の絶縁部材と前記第２の絶縁部材との間に配置された第１のシールと
を備える、請求項１４に記載のカソード駆動ユニット。