(57)【要約】      （修正有）【課題】流体吐出ナイフのメンテナンス作業を効率的に実施できる基板処理装置を提供する。【解決手段】実施形態に係る基板処理装置は、筐体を有し、筐体内には、基板を搬送する搬送ローラと、第１の流体吐出ナイフ１３ａおよび第２の流体吐出ナイフが設けられる。筐体の上部は、天井部１４および天板１５によって形成される。天井部１４は、略平行四辺形状の開口部を有する。この開口部は、第１のエアナイフ１３ａおよび第２のエアナイフの取り付け位置および大きさに対応して、第１のエアナイフ１３ａおよび第２のエアナイフが吊り下げ搬入可能な位置および大きさに設けられている。【選択図】図３
0003225512.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
天井部に開口部を有する筐体と、
前記筐体内に設けられ、基板を搬送する搬送ローラと、
前記筐体内に、前記基板の搬送方向に直交する方向に対して、平面視で傾斜して設けられ、前記搬送ローラに載置されて搬送される基板に対して、流体を吹き付ける流体吐出ナイフと、
前記開口部の蓋となる天板と、
を有し、
前記開口部は、平面視で、その長手方向は、前記筐体内に設置される流体吐出ナイフの設置角度と同じ角度に沿い、かつ少なくとも、前記筐体内に設置された状態の前記流体吐出ナイフの全体が含まれる大きさとされ、
前記天板を開けることで、前記天井部を開口可能な基板処理装置。
【請求項２】
前記開口部の形状は、略平行四辺形であることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記天井部と前記天板は、蝶番によって接続され、前記天板は、前記蝶番を中心に回転することで、前記天井部を開口させることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の基板処理装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置等に用いるガラス基板を搬送ローラ等により水平方向に搬送しながら処理をする基板処理装置においては、搬送される基板に対し、薬液、純水等の処理液をかけながらブラシ等を用いて洗浄を行う洗浄工程を経て、基板上の処理液を取り除く乾燥工程が実施される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１７６９８２号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、搬送される基板に対する処理液の供給に、アクアナイフが用いられたり、乾燥工程ではエアナイフが用いられたりすることがある。一例として、いずれのナイフも、スリット状の開口を長手方向に有する、スリットノズル等からなり、その開口から、アクアナイフでは処理液を、エアナイフでは気体を、それぞれ吐出されるものである。
【０００５】
近年、液晶表示装置は大型化してきており、それに伴い、基板処理装置も大型化している。また、大型化した基板全域を乾燥させるために、基板処理装置に搭載されるエアナイフなどのツールも大型化が必要となる。エアナイフが大型化すると、重量が増加し、人力での基板処理装置への搬入・取り付け、そして修理、交換などのメンテナンス作業が難しくなるため、クレーンなどを用いて吊り下げて基板処理装置上部から、基板処理装置内へ搬入することになる。この点は、アクアナイフについても同様である。以下、アクアナイフやエアナイフのように、スリット状の開口を有し、その開口から基板に向けて流体を吐出させるものを総称して、流体吐出ナイフと呼ぶ。
【０００６】
本考案は、特に流体吐出ナイフのメンテナンス作業を効率的に実施できる基板処理装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本考案の実施形態の基板処理装置は、
天井部に開口部を有する筐体と、
前記筐体内に設けられ、基板を搬送する搬送ローラと、
前記筐体内に、前記基板の搬送方向に直交する方向に対して、平面視で傾斜して設けられ、前記搬送ローラに載置されて搬送される基板に対して、流体を吹き付ける流体吐出ナイフと、
前記開口部の蓋となる天板と、
を有し、
前記開口部は、平面視で、その長手方向は、前記筐体内に設置される流体吐出ナイフの設置角度と同じ角度に沿い、かつ少なくとも、前記筐体内に設置された状態の前記流体吐出エアナイフの全体が含まれる大きさとされ、
前記天板を開けることで、天井部を開口可能であることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本考案の実施形態に係る基板処理装置の概略平面図。
【図２】本考案の実施形態に係る基板処理装置の概略正面図。
【図３】図１に示す基板処理装置における筐体を上方から見た平面図。
【図４】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、それぞれ、図３におけるＡ−Ａ線断面図、Ｂ−Ｂ線断面図、Ｃ−Ｃ線断面図、Ｄ−Ｄ線断面図。
【図５】本考案の実施形態の変形例に係る、基板処理装置における筐体を上方から見た平面図。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
以下、本考案の一実施の形態について、図１から図４に基づいて説明する。
【００１０】
図１は、本考案の実施形態に係る基板処理装置の概略平面図である。図２は、本考案の実施形態に係る基板処理装置の概略正面図である。図１に示すエアナイフを用いた基板処理装置１０は筐体１０ａを有し、この筐体１０ａの内部には、矩形状の基板１１を所定方向に搬送する搬送ローラ１２が複数、所定間隔で設けられている。搬送ローラ１２は、図示しない駆動源によって回転可能に設けられた、フラットタイプローラである。また、搬送ローラ１２は、搬送される基板１１に対して、後述の第２のエアナイフ１３ｂから噴射される圧縮気体が当たるように、第２のエアナイフ１３ｂに対応する位置は分断して設けられている。
【００１１】
筐体１０ａ内にはさらに、搬送ローラ１２で形成される搬送路の上方および下方に、第１のエアナイフ１３ａおよび第２のエアナイフ１３ｂが互いに対向するように設けられている。第１のエアナイフ１３ａおよび第２のエアナイフ１３ｂは、吐出口としてスリット状の開口を有し、図１に示されるように基板１１の搬送方向Ａ１に直交する方向に対して、平面視で、例えば３０度から５０度程度（設置角度θ）、上流側に傾斜して設けられる。第１のエアナイフ１３ａおよび第２のエアナイフ１３ｂは、図示しない高圧気体供給源に接続され、搬送ローラ１２に載置されて搬送される基板１１の上面および下面に対して、それぞれ圧縮気体を噴射し、前工程での処理の際等に付着した処理液を吹き飛ばして、乾燥させる。また、第１のエアナイフ１３ａおよび第２のエアナイフ１３ｂは、圧縮気体の噴射方向が搬送方向上流になるよう、図２において傾斜して設けられる。
【００１２】
基板１１は、搬送ローラ１２に載置され、搬送方向Ａ１に従って搬送される。基板１１は、搬送されながら、第１のエアナイフ１３ａおよび第２のエアナイフ１３ｂから圧縮気体の噴射を受ける。このとき、第１のエアナイフ１３ａおよび第２のエアナイフ１３ｂは、前述のとおり、平面視で傾斜し、かつ搬送方向上流に向けて圧縮気体を噴射するため、基板１１に付着した処理液は、図１における左上から右下方向に向けて順に押し流され、基板の右下隅部周辺に集められた後、吹き飛ばされる。
【００１３】
次に、基板処理装置１０における筐体１０ａの上部について説明する。
【００１４】
図３は、基板処理装置１０における筐体１０ａを上方から見た平面図である。基板処理装置１０の上部は、天井部１４および天板１５によって形成される。天井部１４は、略平行四辺形状の開口部１６を有する。この開口部１６は、第１のエアナイフ１３ａおよび第２のエアナイフ１３ｂの取り付け位置および大きさに対応して、第１のエアナイフ１３ａおよび第２のエアナイフ１３ｂが吊り下げ搬入可能な位置および大きさに設けられている。すなわち、開口部１６の条件としては、図３に示すように、開口部１６の領域は、平面視で、その長手方向は、基板処理装置１０に設置されるエアナイフ１３ａ、１３ｂの設置角度、つまり基板１１の搬送方向Ａ１に対するエアナイフ１３ａ、１３ｂの傾斜角度と同じ角度に沿い、かつ少なくとも、基板処理装置１０に設置された状態のエアナイフ１３ａ、１３ｂの全体が含まれる大きさとされる。具体的には、開口部１６を通して、エアナイフ１３ａ、１３ｂを水平状態で基板処理装置１０に搬出、搬入できる大きさとされる。
【００１５】
天板１４は、開口部１６を塞ぐもので、天井部１４の開口部に対応した大きさの略平行四辺形状に設けられ、天井部１４の開口部における蓋となる。なお、図４に示すように、天井部１４の開口部の淵部は、天板１５を載置できるように、段差形状を有し、開口部１６の大きさは天板１５より一回り小さく設けられる。
【００１６】
基板処理装置１０に設置された第１のエアナイフ１３ａおよび第２のエアナイフ１３ｂを筐体１０ａの外に取り出して修理や交換する際には、天板１５を取り外すことで、天井部１４を開口させる。天板１５を取り外したことによって生じた天井部１４の開口部１６を通して、第１のエアナイフ１３ａおよび第２のエアナイフ１３ｂをクレーン等で吊り下げ、搬出や搬入を行い、所定の位置に取り付ける。第１のエアナイフ１３ａおよび第２のエアナイフ１３ｂの取り付け後は、天板１５を天井部１４の開口部に戻し、基板処理装置の組み立てが完了する。
【００１７】
本実施形態によれば、搬送される基板に対して処理を施すエアナイフの搬出・搬入を容易にすることができる。
【００１８】
また、天井部１４には、エアナイフ１３ａ、１３ｂに対向する部分に前述した条件を満たす開口部１６を設けるものであって、天井部の全体を開閉するものではない。これにより、基板処理装置内の気密性を保持するために、天井部と天板が接している領域（天井部における開口部の淵部と、天板における淵部に対向する位置）にシール材を設ける場合、天井部の全体を開閉する構成に比べ、淵部の面積（長さ）が小さくなるため、使用するシール材の量を減らすことができる。
（実施形態の変形例）
次に、本実施形態の変形例について説明する。図５は、本実施形態の変形例に係る、基板処理装置における筐体を上方から見た平面図である。なお、上述の本実施形態である基板処理装置１０と、同一部分は、同一記号で示し、その説明は省略する。
【００１９】
本実施形態の変形例において、上述の実施形態との違いは、天井部１４と天板１５に蝶番１７を設けたことである。天板１５は、蝶番１７に支持されて、蝶番１７を軸に回転することで、開閉が可能となる。
【００２０】
本実施形態の変形例においても、搬送される基板に対して処理を施すエアナイフの搬出・搬入を容易にすることができる。
【００２１】
なお、上記した２つの実施形態においては、搬送ローラ１２はフラットローラタイプとして説明したが、複数のローラが１本のシャフトに保持されているタイプのローラでもよい。
【００２２】
また、基板に対して圧縮気体を噴射して乾燥させるエアナイフを有する基板処理装置として説明したが、エアナイフに限らず、例えば、基板に対して処理液を吐出することで基板へ処理を行う公知のアクアナイフも含めた流体吐出ナイフを有する基板処理装置に適用できる。
【００２３】
また、天井１４および天板１５の形状は、図３に示すような形状に限らず、エアナイフなどのツールを搬出・搬入できる大きさに開口可能であれば、その形状は問わない。
【００２４】
また、天板１５の取り外しを簡易にするため、天板１５に持ち手を設けるようにしてもよい。
【００２５】
また、上記変形例において、蝶番１７を設けると説明したが、図５のようにその数は２つに限らず、天板１５を支持可能な数に適宜変更することができる。
【００２６】
以上、本考案のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、考案の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、考案の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行なうことができる。これら実施形態やその変形は、考案の範囲や要旨に含まれるとともに、実用新案登録請求の範囲に記載された考案とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００２７】
１０    基板処理装置
１０ａ  筐体
１１    基板
１２    搬送ローラ
１３ａ  第１のエアナイフ
１３ｂ  第２のエアナイフ
１４    天井部
１５    天板
１６    開口部
１７    蝶番
【図１】
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【図２】
0003225512.tif 000004
【図３】
0003225512.tif 000005
【図４】
0003225512.tif 000006
【図５】
0003225512.tif 000007