【手続補正書】
【提出日】平成18年6月2日(2006.6.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】チャンバ装置、これを備えたワーク処理設備および有機ＥＬ装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ワーク処理をドライエアーの雰囲気中で行うことを要するワーク処理装置を収容するチャンバ装置であって、
前記ワーク処理装置を収容するチャンバルームと、
ドライエアー供給設備に連なると共に前記チャンバルーム内にドライエアーを給気する給気流路と、
前記給気流路に介設した給気量調整手段と、
前記チャンバルーム内のドライエアーを排気する排気流路と、
前記排気流路に介設した排気量調整手段と、
前記チャンバルーム内の水分濃度を検出する水分濃度検出手段と、
前記水分濃度検出手段の検出結果に基づいて、前記チャンバルーム内の水分濃度が一定になるように前記給気量調整手段および前記排気量調整手段を制御する給排気制御手段と、備えたことを特徴とするチャンバ装置。
【請求項２】  前記給気流路には、ドライエアーを前記チャンバルーム内に給気する給気ファンが介設されていることを特徴とする請求項１に記載のチャンバ装置。
【請求項３】  前記排気流路には、前記チャンバルーム内のドライエアーを排気する排気ファンが介設されていることを特徴とする請求項１または２に記載のチャンバ装置。
【請求項４】  前記チャンバルーム内の圧力を検出する圧力検出手段と、
前記圧力検出手段の検出結果に基づいて、前記チャンバルーム内の圧力が正圧を維持するように前記排気ファンを制御するファン制御手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項３に記載のチャンバ装置。
【請求項５】  前記給気流路に介設した圧力逃がし弁と、
前記チャンバルーム内の圧力を検出する圧力検出手段と、
前記圧力検出手段の検出結果に基づいて、前記チャンバルーム内の圧力が一定値以上になったときに前記圧力逃がし弁を開弁する逃がし弁制御手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のチャンバ装置。
【請求項６】  前記給気流路と前記排気流路とを連通すると共に、排気の一部を給気側に戻すリターン流路を、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のチャンバ装置。
【請求項７】  前記給気流路に介設されドライエアーの温度を調整する温度調整装置と、
前記チャンバルーム内の温度を検出する温度検出手段と、
前記温度検出手段の検出結果に基づいて、前記チャンバルーム内の温度が一定になるように前記温度調整装置を制御する温度制御手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のチャンバ装置。
【請求項８】  前記温度調整装置は、上流側に位置するクーラーと下流側に位置すると共に前記温度制御手段により制御されるヒーターとを有し、
前記ヒーターは、前記クーラーによりいったん冷却されたドライエアーを昇温することを特徴とする請求項７に記載のチャンバ装置。
【請求項９】  前記給気流路に連なると共に前記チャンバルームに開口した給気口と、
前記排気流路に連なると共に前記チャンバルームに開口した排気口と、を更に備え、
前記給気口は前記チャンバルームの上部に開口し、前記排気口は前記チャンバルームの下部に開口していることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のチャンバ装置。
【請求項１０】  前記チャンバルームの天井部には、前記給気口に連なると共に下面を開放したフィルタチャンバと、前記フィルタチャンバの下面開放部に装着したフィルタと、が設けられていることを特徴とする請求項９に記載のチャンバ装置。
【請求項１１】  前記チャンバルームを貫通して、前記ワーク処理装置で発生する塵埃を排気する塵埃排気流路を、更に備え、
前記塵埃排気流路の下流端は、前記給気流路に接続されていることを特徴とする請求項１０に記載のチャンバ装置。
【請求項１２】  前記塵埃排気流路には、塵埃排気ファンが介設されていることを特徴とする請求項１１に記載のチャンバ装置。
【請求項１３】  請求項１ないし１２のいずれかに記載のチャンバ装置と、前記チャンバ装置に収容した前記ワーク処理装置と、を備えたことを特徴とするワーク処理設備。
【請求項１４】  前記ワーク処理装置が、有機ＥＬ装置の製造装置であることを特徴とする請求項１３に記載のワーク処理設備。
【請求項１５】  前記有機ＥＬ装置の製造装置が、ワークである基板に対し、発光機能材料を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に走査し、前記発光機能材料を選択的に吐出して前記基板上の多数の画素領域に有機ＥＬ機能層を形成する液滴吐出装置を有していることを特徴とする請求項１４に記載のワーク処理設備。
【請求項１６】  請求項１３、１４または１５に記載のワーク処理設備により製造されたことを特徴とする有機ＥＬ装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワーク処理をドライエアーの雰囲気中で行うことを要するワーク処理装置を、チャンバルーム内に収容するチャンバ装置、これを備えたワーク処理設備および有機ＥＬ装置に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、単純な構造で、チャンバルーム内を安定且つ新鮮なドライエアーの雰囲気に維持することができるチャンバ装置、これを備えたワーク処理設備および有機ＥＬ装置を提供することを課題としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明のチャンバ装置は、ワーク処理をドライエアーの雰囲気中で行うことを要するワーク処理装置を収容するチャンバ装置であって、ワーク処理装置を収容するチャンバルームと、ドライエアー供給設備に連なると共にチャンバルーム内にドライエアーを給気する給気流路と、給気流路に介設した給気量調整手段と、チャンバルーム内のドライエアーを排気する排気流路と、排気流路に介設した排気量調整手段と、チャンバルーム内の水分濃度を検出する水分濃度検出手段と、水分濃度検出手段の検出結果に基づいて、チャンバルーム内の水分濃度が一定になるように給気量調整手段および排気量調整手段を制御する給排気制御手段と、備えたことを特徴とする。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０７】
【発明の効果】
以上のように、本発明のチャンバ装置によれば、常に新鮮なドライエアーの給気とそれに見合う雰囲気の排気とを行うようにしているため、チャンバルーム内を安定で且つ管理された新鮮なドライエアーの雰囲気に維持することができる。したがって、常に良好な環境下でワーク処理等を行うことができる。