(57)【要約】      （修正有）【課題】表示装置に表示した拡大画像と基準線を観察することにより、埋込試験片のクランプ具に対応する位置を調整することができ、クランプ具を自動研磨仕上げ装置に装着する際、埋込試験片に対して精密に研磨仕上げを行うことができるＰＣＢ金属組織試験片操作システムを提供する。【解決手段】操作システムは、調整装置１と、クランプ具２と、撮像装置３と、表示装置４と、基準線生成モジュールと、自動研磨仕上げ装置とを備え、クランプ具は、調整装置に装着されると共に、埋込試験片を緊挟持し、撮像装置は、調整装置に向けて拡大画像を撮影すると共に、拡大画像を表示装置に表示させ、基準線生成モジュールは、表示装置の画面に少なくとも１本の基準線Ｌを生成させる。【選択図】図１
0003226093.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
基台枠を有する調整装置と、位置決めブロックと副クランプブロックとを有するクランプ具と、前記調整装置付近に設けられると共に、前記調整装置に向けて撮像を行って拡大画像を撮影するための撮像装置と、前記撮像装置に電気的に接続される表示装置と、前記表示装置に電気的に接続される基準線生成モジュールとを備えるＰＣＢ金属組織試験片操作システムであって、
前記基台枠によって作業空間が画定され、前記基台枠の頂部に昇降ネジレバーが螺着され、前記昇降ネジレバーは、また前記作業空間内に位置する昇降嵌合ブロックに連結され、前記作業空間内に、また縦方向と横方向に変位可能な可動ステージが設けられ、前記可動ステージが可動ステージ制御機構に連結され、
前記位置決めブロックの頂部と一側にそれぞれ上部嵌合溝と側部嵌合溝とが凹設され、前記位置決めブロックの底部からは主クランプブロックが凸出形成され、前記主クランプブロックに締付ネジレバーが螺着され、前記副クランプブロックの頂部からは副クランプブロック嵌合部が凸出形成され、前記副クランプブロックに、またネジ孔が開設され、前記副クランプブロック嵌合部は、前記位置決めブロックの前記側部嵌合溝に嵌入するために用いられると同時に、前記ネジ孔は、前記締付ネジレバーをロックするために供され、そして前記位置決めブロックの前記上部嵌合溝は、前記調整装置の前記昇降嵌合ブロックと互いに嵌合するために用いられ、
前記表示装置は、前記撮像装置によって撮影された拡大画像を表示させるために用いられ、
前記基準線生成モジュールは、前記表示装置の表示画面に少なくとも１本の基準線を生成させるために用いられることを特徴とするＰＣＢ金属組織試験片操作システム。
【請求項２】
前記クランプ具を装着するために供される自動研磨仕上げ装置をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のＰＣＢ金属組織試験片操作システム。
【請求項３】
前記自動研磨仕上げ装置は、研磨ステージを有し、前記研磨ステージは、少なくとも１つの研磨盤と、仕上げ盤とを含み、各当該研磨盤と前記仕上げ盤は、それぞれモータに連結され、前記研磨ステージ上に、また三軸駆動機構が設けられ、前記三軸駆動機構がチャックに連結され、前記チャックは、少なくとも１つのチャック嵌合ブロックを有し、当該チャック嵌合ブロックは、前記クランプ具の前記上部嵌合溝に嵌合するために用いられ、前記三軸駆動機構と各前記モータは、同時に制御モジュールに電気的に接続されることを特徴とする、請求項２に記載のＰＣＢ金属組織試験片操作システム。
【請求項４】
当該研磨盤と前記仕上げ盤の底面からは重量バランス部が凸出形成されることを特徴とする、請求項３に記載のＰＣＢ金属組織試験片操作システム。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、ＰＣＢ金属組織試験片操作システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
金属組織検鏡は、ＰＣＢ（Ｐｒｉｎｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ  ｂｏａｒｄ，プリント回路板）などの電子製品の製造品質を検査するために用いられている。金属組織検鏡を用いる場合には、まず、金属組織試験片を金型内に埋め込んでから、研磨、仕上げとマイクロエッチングなどを含むプリセット処理ステップを予め完了する必要がある。かかる処理を行うことにより試験者が金属組織試験片の所定位置の断面を顕微鏡を使って観察することが容易に行うことができ、正確な測定を行うことができる、という作業を行うことができる。
【考案の概要】
【０００３】
従来、既に埋め込まれた金属組織試験片に対して研磨仕上げを行う場合、常に試験者自身の経験技術に頼って完成せざるを得ないことが多かった。従って、研磨仕上げを行う過程において、研磨が深すぎて所要の位置を超えてしまうのを避けるように、試験者が試験片を観察するためには作業の一時中断を繰り返する必要があった。しかし、この種の方式では、時間と手間がかなりかかって効率が悪かった上、研磨精密度も比較的に不足しており、かつ試験者の不注意または経験不足のせいで、過研磨が生じてしまって試験片を新たに製作する必要があったため、労働力コストと時間コストをさらに増加してしまうおそれがあった。
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
従って、本考案の課題は、試験者にとって時間と労力をより省くことができることが可能な、金属組織検鏡のプリセット処理を完了する設備を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
そこで、本考案者は、本考案の前記目的を解決するために、鋭意検討を重ねたところ、後述の如く、調整装置と、クランプ具と、撮像装置と、表示装置と、基準線生成モジュールと、自動研磨仕上げ装置とを備えることにより、ＰＣＢ金属組織試験片操作システムを完成できることに着目し、かかる知見に基いて本考案に想到するに至った。
調整装置は、基台枠を有し、基台枠によって作業空間が画定され、基台枠の頂部に昇降ネジレバーが螺着され、昇降ネジレバーは、また作業空間内に位置する昇降嵌合ブロックに連結され、昇降ネジレバーを回転させると、昇降嵌合ブロックを上下に変位させるように制御することができ、作業空間内に、また縦方向と横方向に変位可能な可動ステージが設けられ、可動ステージが可動ステージ制御機構に連結され、可動ステージ制御機構は、可動ステージの変位を制御するために用いられる。
クランプ具は、位置決めブロックと副クランプブロックとを有し、位置決めブロックの頂部と一側にそれぞれ上部嵌合溝と側部嵌合溝とが凹設され、位置決めブロックの底部からは主クランプブロックが凸出形成され、主クランプブロックに締付ネジレバーが螺着され、副クランプブロックの頂部からは副クランプブロック嵌合部が凸出形成され、副クランプブロックに、またネジ孔が開設され、副クランプブロック嵌合部は、位置決めブロックの側部嵌合溝に嵌入するために用いられると同時に、ネジ孔は、締付ネジレバーをロックするために供され、それにより副クランプブロックと主クランプブロックとで埋込試験片を一緒に挟み込んで係止することができ、そして位置決めブロックの上部嵌合溝は、調整装置の昇降嵌合ブロックと互いに嵌合するために用いられる。
撮像装置は、調整装置付近に設けられると共に、調整装置に向けて撮像を行い、その撮像装置は、拡大画像を撮影するために用いられる。
表示装置は、撮像装置に電気的に接続され、その表示装置は、撮像装置によって撮影された拡大画像を表示させるために用いられる。
基準線生成モジュールは、表示装置に電気的に接続され、その基準線生成モジュールは、表示装置の表示画面に少なくとも１本の基準線を生成させるために用いられる。
自動研磨仕上げ装置は、研磨ステージを有し、研磨ステージは、少なくとも１つの研磨盤と、仕上げ盤とを含み、各当該研磨盤と仕上げ盤は、それぞれモータに連結されて駆動により回転され、研磨ステージ上に、また三軸駆動機構が設けられ、三軸駆動機構がチャックに連結され、チャックは、少なくとも１つのチャック嵌合ブロックを有し、当該チャック嵌合ブロックは、クランプ具の上部嵌合溝に嵌合するために用いられ、三軸駆動機構と各モータは、同時に制御モジュールに電気的に接続され、制御モジュールは、作業員が研磨と仕上げ作業のためのパラメータ値を設定するために供され、制御モジュールは、また設定したパラメータ値に基づき、三軸駆動機構と各モータの作動を自動制御して研磨仕上げを完了する。
【０００６】
また、ＰＣＢ金属組織試験片操作を行う場合、撮像装置により調整装置に向けて拡大画像を生成すると共に、その拡大画像を表示装置に表示させ、かつ基準線生成モジュールにより表示装置の画面に基準線を生成し、その後、クランプ具を利用して既に埋め込まれた金属組織試験片を挟み込むが、緊挟持しておらず、それからクランプ具を調整装置の昇降嵌合ブロックに装着することで、埋込試験片を可動ステージに接触させ、次いで表示装置に、また埋込試験片の拡大画像を表示させ、そして昇降ネジレバーを利用して昇降嵌合ブロックとクランプ具を基準位置まで調整した後、表示装置に表示した拡大画像と基準線を観察しながら可動ステージ制御機構を操作し、クランプ具で埋込試験片を緊挟持していないため、埋込試験片を可動ステージに伴って変位し、次いで埋込試験片を埋込試験片画像の所定位置に位置合わせて基準線まで調整した後、それから締付ネジレバーを緊締してクランプ具で埋込試験片を緊挟持すれば、いわゆる標定を完了する。
標定完了後、クランプ具を調整装置から取り外した状態で、自動研磨仕上げ装置のチャック嵌合ブロックに装着すると共に、制御モジュールに研磨と仕上げ作業のパラメータ値を入力し、そして研磨仕上げ作業を起動した後、制御モジュールにより三軸駆動機構を自動制御してチャックを順次に回転する各研磨盤と仕上げ盤付近まで駆動し、埋込試験片の研磨仕上げ作業を完了させる。 
【０００７】
かくして、本考案の要旨は、次の（１）〜（４）に記載の通りのものである。
【０００８】
（１）基台枠を有する調整装置と、位置決めブロックと副クランプブロックとを有するクランプ具と、前記調整装置付近に設けられると共に、前記調整装置に向けて撮像を行って拡大画像を撮影するための撮像装置と、前記撮像装置に電気的に接続される表示装置と、前記表示装置に電気的に接続される基準線生成モジュールとを備えるＰＣＢ金属組織試験片操作システムであって、
前記基台枠によって作業空間が画定され、前記基台枠の頂部に昇降ネジレバーが螺着され、前記昇降ネジレバーは、また前記作業空間内に位置する昇降嵌合ブロックに連結され、前記作業空間内に、また縦方向と横方向に変位可能な可動ステージが設けられ、前記可動ステージが可動ステージ制御機構に連結され、
前記位置決めブロックの頂部と一側にそれぞれ上部嵌合溝と側部嵌合溝とが凹設され、前記位置決めブロックの底部からは主クランプブロックが凸出形成され、前記主クランプブロックに締付ネジレバーが螺着され、前記副クランプブロックの頂部からは副クランプブロック嵌合部が凸出形成され、前記副クランプブロックに、またネジ孔が開設され、前記副クランプブロック嵌合部は、前記位置決めブロックの前記側部嵌合溝に嵌入するために用いられると同時に、前記ネジ孔は、前記締付ネジレバーをロックするために供され、そして前記位置決めブロックの前記上部嵌合溝は、前記調整装置の前記昇降嵌合ブロックと互いに嵌合するために用いられ、
前記表示装置は、前記撮像装置によって撮影された拡大画像を表示させるために用いられ、
前記基準線生成モジュールは、前記表示装置の表示画面に少なくとも１本の基準線を生成させるために用いられることを特徴とする、ＰＣＢ金属組織試験片操作システム。
【０００９】
（２）前記クランプ具を装着するために供される自動研磨仕上げ装置をさらに備えることを特徴とする前記（１）に記載のＰＣＢ金属組織試験片操作システム。
【００１０】
（３）前記自動研磨仕上げ装置は、研磨ステージを有し、前記研磨ステージは、少なくとも１つの研磨盤と、仕上げ盤とを含み、各当該研磨盤と前記仕上げ盤は、それぞれモータに連結され、前記研磨ステージ上に、また三軸駆動機構が設けられ、前記三軸駆動機構がチャックに連結され、前記チャックは、少なくとも１つのチャック嵌合ブロックを有し、当該チャック嵌合ブロックは、前記クランプ具の前記上部嵌合溝に嵌合するために用いられ、前記三軸駆動機構と各前記モータは、同時に制御モジュールに電気的に接続されることを特徴とする前記（２）に記載のＰＣＢ金属組織試験片操作システム。
【００１１】
（４）当該研磨盤と前記仕上げ盤の底面からは重量バランス部が凸出形成されることを特徴とする前記（３）に記載のＰＣＢ金属組織試験片操作システム。
【考案の効果】
【００１２】
本考案は、前記の通りの構成からなり、従来のように、労働力を用いて埋込試験片の研磨仕上げ作業を完了する場合に比較的に時間と労力がかかるものに比べ、本考案は、予め埋込試験片を必要位置に標定することにより、自動研磨仕上げ装置の使用に合わせて、埋込試験片に対して精密な研磨仕上げを行うことができると共に、省時化と省力化の効果を達成できる。以上の観点から、本考案は、進歩性を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本考案の一実施形態に係るＰＣＢ金属組織試験片操作システムを示す斜視図である。
【図２】本考案の一実施形態に係るＰＣＢ金属組織試験片操作システムの調整装置とクランプ具を示す斜視図である。
【図３】本考案の一実施形態に係るＰＣＢ金属組織試験片操作システムの撮像装置、表示装置と基準線生成モジュールを示すブロック図である。
【図４】本考案の一実施形態に係るＰＣＢ金属組織試験片操作システムのクランプ具を調整装置に装着する態様を示す図である。
【図５】本考案の一実施形態に係るＰＣＢ金属組織試験片操作システムの調整装置によってクランプ具を基準位置に変位させる作動図である。
【図６】本考案の一実施形態に係るＰＣＢ金属組織試験片操作システムの標定実行時の作動図である。
【図７】本考案の一実施形態に係るＰＣＢ金属組織試験片操作システムの標定実行時の別の作動図である。
【図８】本考案の一実施形態に係るＰＣＢ金属組織試験片操作システムの自動研磨仕上げ装置を示す斜視図である。
【図９】本考案の一実施形態に係るＰＣＢ金属組織試験片操作システムの研磨盤が重量バランス部を有する態様を示す図である。
【考案を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面により、本考案をさらに具体的に説明する。もっとも、本考案は、かかる図面により限定されるものではない。
図１〜図３及び図８に示すように、本考案に係るＰＣＢ金属組織試験片操作システムは、埋込試験片Ｓに対して金属組織検鏡のプリセット処理を行う。操作システムは、調整装置１と、クランプ具２と、撮像装置３と、表示装置４と、基準線生成モジュール５と、自動研磨仕上げ装置６とを備える。
【００１５】
調整装置１は、基台枠１１を有し、基台枠１１によって作業空間１１１が画定され、基台枠１１の頂部に昇降ネジレバー１２が螺着され、昇降ネジレバー１２は、また作業空間１１１内に位置する昇降嵌合ブロック１３に連結され、昇降ネジレバー１２を回転させることにより、昇降嵌合ブロック１３を上下に変位させるように制御することができ、作業空間１１１内に、また縦方向と横方向に変位可能な可動ステージ１４が設けられ、可動ステージ１４が可動ステージ制御機構１５に連結され、可動ステージ制御機構１５は、複数個のノブを有し、異なるノブを回転させることにより、可動ステージ１４の変位を制御することができる。
【００１６】
クランプ具２は、位置決めブロック２１と副クランプブロック２６とを有し、位置決めブロック２１の頂部と一側にそれぞれ上部嵌合溝２２と側部嵌合溝２３とが凹設され、位置決めブロック２１の底部からは主クランプブロック２４が凸出形成され、主クランプブロック２４に締付ネジレバー２５が螺着され、副クランプブロック２６の頂部からは副クランプブロック嵌合部２７が凸出形成され、副クランプブロック２６に、またネジ孔２８が開設され、副クランプブロック嵌合部２７は、位置決めブロック２１の側部嵌合溝２３に嵌入するために用いられると同時に、ネジ孔２８は、締付ネジレバー２５をロックするために供され、それにより副クランプブロック２６と主クランプブロック２４とで埋込試験片Ｓを一緒に挟み込んで係止することができ、そして位置決めブロック２１の上部嵌合溝２２は、調整装置１の昇降嵌合ブロック１３と互いに嵌合するために用いられる。
【００１７】
撮像装置３は、調整装置１付近に設けられると共に、調整装置１に向けて撮像を行い、その撮像装置３は、拡大画像を撮影するために用いられる。
表示装置４は、撮像装置３に電気的に接続され、その表示装置４は、撮像装置３によって撮影された拡大画像を表示させるために用いられる。
基準線生成モジュール５は、表示装置４に電気的に接続され、その基準線生成モジュール５は、表示装置４の表示画面に少なくとも１本の基準線Ｌを生成させるために用いられる。
【００１８】
自動研磨仕上げ装置６は、研磨ステージ６１を有し、研磨ステージ６１は、３つの研磨盤６１１と、仕上げ盤６１２とを含み、各当該研磨盤６１１と仕上げ盤６１２は、それぞれモータ６１３に連結されて駆動により回転され、粒度の異なる３つの当該研磨盤６１１を用いてそれぞれ粗研磨、中研磨、細研磨と段階的研磨を行うことができ、研磨ステージ６１上に、また三軸駆動機構６２が設けられ、三軸駆動機構６２がチャック６３に連結され、チャック６３は、少なくとも１つのチャック嵌合ブロック６３１を有し、当該チャック嵌合ブロック６３１は、クランプ具２の上部嵌合溝２２に嵌合するために用いられ、三軸駆動機構６２と各モータ６１３は、同時に制御モジュール６４に電気的に接続され、制御モジュール６４は、作業員が作業のためのパラメータ値を設定するために供される設定パネルを有し、制御モジュール６４は、また設定したパラメータ値に基づき、三軸駆動機構６２と各モータ６１３の作動を自動制御する。
【００１９】
図１〜図３及び図８に示すように、昇降嵌合ブロック１３、副クランプブロック嵌合部２７と当該チャック嵌合ブロック６３１は、いずれも鳩尾ブロック状に形成され、上部嵌合溝２２と側部嵌合溝２３は、いずれも鳩尾溝状に形成される。
【００２０】
図１〜図３に示すように、ＰＣＢなどの電子製品から切り取って製作した金属組織試験片に対して金属組織検鏡を行う前に、まず、順次に埋め込み、研磨と仕上げなどのプリセット処理を行う必要があることは一般的に知られる如くであり、ここでの埋込試験片Ｓとは、既に金型内に埋め込まれた金属組織試験片（重点ではないため、ここでは金属組織試験片が金型内に埋め込まれた状態を詳細に図示しない）を指し、なお、以下では、如何にして本システムを使用して埋め込み後の処理作業を完了するかを詳述する。
【００２１】
図４に示すように、まず、クランプ具２の副クランプブロック嵌合部２７を側部嵌合溝２３に嵌入すると共に、締付ネジレバー２５をネジ孔２８内にロックすることで、主クランプブロック２４と副クランプブロック２６とで埋込試験片Ｓを軽く挟み込むが、埋込試験片Ｓをまだ緊挟持していない状態にあり、そして位置決めブロック２１の上部嵌合溝２２と調整装置１の昇降嵌合ブロック１３を互いに嵌合させ、嵌合後、クランプ具２を昇降嵌合ブロック１３の横方向に沿って撮像装置３によって撮像可能な位置までスライド移動させ、表示装置４に金属組織試験片の拡大画像を表示させて出力する。
【００２２】
図５に示すように、表示装置４に金属組織試験片の拡大画像を表示させて出力することを確認した後、それから昇降ネジレバー１２を回転させて昇降嵌合ブロック１３とクランプ具２を共に基準位置まで変位させると共に、埋込試験片Ｓを可動ステージ１４に接触させる。
【００２３】
図６と図７に示すように、埋込試験片Ｓを可動ステージ１４に接触させた後、可動ステージ制御機構１５の各個のノブを回転させて可動ステージ１４の縦方向と横方向へのスライド移動を制御することができ、しかもクランプ具２の主クランプブロック２４と副クランプブロック２６とで単に埋込試験片Ｓを挟み込むが、緊挟持していないと共に、クランプ具２自体も既に昇降嵌合ブロック１３に嵌合して位置決めされるので、埋込試験片Ｓを可動ステージ１４に伴ってクランプ具２に対応してスライド移動させることができ、この時、表示装置４は、同時に金属組織試験片の拡大画像と基準線生成モジュール５によって生成された基準線Ｌを表示させるので、金属組織試験片の画像が表示画面中の上下左右に移動することを観察することにより、作業員が基準線Ｌを基準にして埋込試験片Ｓを所要の位置まで調整することができ、例を挙げて言えば、基準線Ｌは、上から下に順次に３本生成され、下部から上部への３本の基準線Ｌは、後続に粗研磨、中研磨と細研磨を行う時にそれぞれ到達すべき位置を示す線である。そのため、作業員が金属組織試験片の観察しようとする位置を最上方の基準線Ｌに位置合わせることで、後続に３つの研磨と仕上げを完了した後、金属組織試験片の観察しようとする断面を露出させて埋込試験片Ｓを所要の位置まで調整した後、作業員は、工具を用いて締付ネジレバー２５を緊締することで、クランプ具２で埋込試験片Ｓを緊挟持することができ、そしてこのような過程は、標定と称される。
【００２４】
図８に示すように、標定完了後、クランプ具２を調整装置１から取り外した状態で、それからクランプ具２の上部嵌合溝２２と自動研磨仕上げ装置６のチャック嵌合ブロック６３１を嵌合させ、そして作業員が制御モジュール６４に、粗研磨値、中研磨値や細研磨値などを含む研磨と仕上げ作業のパラメータ値を制御することができ、設定が完了して作業を起動した後、制御モジュール６４により三軸駆動機構６２を制御してチャック６３を移動させるように駆動することで、チャック６３で埋込試験片Ｓを順次に粗研磨盤６１１、中研磨盤６１１、細研磨盤６１１と仕上げ盤６１２付近に持ち込むと共に、パラメータ値に基づいて順次に粗研磨、中研磨、細研磨と仕上げ作業を自動的に完了させる。なお、事前に既に標定を介して埋込試験片Ｓを所要の位置に緊挟持させたので、設定した適切なパラメータ値に合わせて、金属組織試験片を精密研磨することができ、研磨が深すぎる状況の発生を回避することができる。
【００２５】
図８と図９に示すように、このほかに自動研磨仕上げ装置６の研磨盤６１１と仕上げ盤６１２の底面外縁からループ状の重量バランス部６１４が凸出形成されることで、研磨盤６１１と仕上げ盤６１２の底面を回動させる時、本来、軸受けと９０度の角度を持つ離心ベクトル力を下向きに傾斜させると、９０度の角度よりも小さい離心ベクトル力が得られ、このようにして軸受けボールを回動させる時、隙間が下向きに集中することが避けられない。しかるに、こうして研磨盤６１１と仕上げ盤６１２は、異なる研磨圧力を受けても、安定な研磨基準面（図中、研磨盤６１１のみを例として挙げる）を保持することができる。
【００２６】
本考案のＰＣＢ金属組織試験片操作システムによれば、その利点は、標定を介して埋込試験片を所要の位置に緊挟持すると共に、自動研磨仕上げ機の使用に合わせて研磨仕上げを行った後、金属組織試験片を精密に所定の位置まで研磨することができ、研磨が深すぎる状況の発生を回避できると共に、省時化と省力化の効果を有するということである。
【符号の説明】
【００２７】
１     調整装置
１１    基台枠
１１１   作業空間
１２    昇降ネジレバー
１３    昇降嵌合ブロック
１４    可動ステージ
１５    可動ステージ制御機構
２     クランプ具
２１    位置決めブロック
２２    上部嵌合溝
２３    側部嵌合溝
２４    主クランプブロック
２５    締付ネジレバー
２６    副クランプブロック
２７    副クランプブロック嵌合部
２８    ネジ孔
３     撮像装置
４     表示装置
５     基準線生成モジュール
６     自動研磨仕上げ装置
６１    研磨ステージ
６１１   研磨盤
６１２   仕上げ盤
６１３   モータ
６１４   重量バランス部
６２    三軸駆動機構
６３    チャック
６３１   チャック嵌合ブロック
６４    制御モジュール
Ｓ      埋込試験片
Ｌ     基準線
【図１】
0003226093.tif 000003
【図２】
0003226093.tif 000004
【図３】
0003226093.tif 000005
【図４】
0003226093.tif 000006
【図５】
0003226093.tif 000007
【図６】
0003226093.tif 000008
【図７】
0003226093.tif 000009
【図８】
0003226093.tif 000010
【図９】
0003226093.tif 000011