【手続補正書】
【提出日】平成18年1月20日(2006.1.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】  複数のチップを有する解析用ウェハに対する不良解析システムであって、前記複数のチップはそれぞれ、Ｘ方向及びＹ方向で規定されるマトリクス状に配置された複数のメモリセルと前記複数のメモリセル中の不良メモリセルと置換可能な置換メモリセル群とを有し、前記置換メモリセル群はＸ方向及びＹ方向にそれぞれ所定のＸ方向置換能力及び所定のＹ方向置換能力で置換可能であり、
前記複数のチップそれぞれにおける前記複数のメモリセルの良／不良を検出して不良のメモリセルには不良ビット情報を付加したメモリセル試験結果を出力するメモリセル試験手段と、
前記メモリセル試験結果に基づき、前記Ｙ方向の不良を考慮した前記Ｘ方向置換能力によるＸ方向救済判定処理と前記Ｘ方向の不良を考慮した前記Ｙ方向置換能力によるＹ方向救済判定処理との連続処理及び致命不良集計処理とを含む致命不良自動抽出処理を実行するデータ解析手段とを備え、
前記Ｘ方向救済判定処理は、
(a) 前記複数のメモリセルを複数のＸ方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のＸ方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記不良ビット情報及び予め定められたＹ方向仮想置換能力に基づき、前記Ｙ方向の不良を考慮して良／不良を判定するステップと、
(b) 前記複数のＸ方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(a) で不良と判定された第１の数のＸ方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記Ｘ方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップとを含み、
前記Ｙ方向救済判定処理は、
(c) 前記複数のメモリセルを複数のＹ方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のＹ方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記不良ビット情報及び予め定められたＸ方向仮想置換能力に基づき、前記Ｘ方向の不良を考慮して良／不良を判定するステップと、
(d) 前記複数のＹ方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(c) で不良と判定された第２の数のＹ方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記Ｙ方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップとを含み、
前記致命不良集計処理は、
(e) 前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報のうち、前記Ｘ方向救済判定処理及び前記Ｙ方向救済判定処理で救済できなかったメモリセルの不良ビット情報である致命不良ビット情報を集計するステップを含む、
不良解析システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１３】  前記解析用ウェハにおけるパターン欠陥を含む欠陥領域を規定した欠陥領域情報を付与する欠陥領域情報付与手段をさらに備え、
前記致命不良集計処理は、
前記ステップ(e) の後、
(f) 前記欠陥領域情報付与手段より得た前記欠陥領域情報で規定される前記欠陥領域を、第１のレベルの前記致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第１の領域内に存在する第１のレベルの致命不良欠陥領域と、前記第１のレベルと異なる第２のレベルの前記致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第２の領域内に存在する第２のレベルの致命不良欠陥領域と、前記不良ビット情報から前記第１及び第２のレベルの前記致命不良ビット情報を除いた非致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第３の領域内に存在する非致命不良欠陥領域と、前記第１〜第３の領域内に存在しない無影響欠陥領域とに分類するステップをさらに含む、
請求項３あるいは請求項４に記載の不良解析システム。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１７】  複数のチップを有する解析用ウェハに対する致命不良抽出方法であって、前記複数のチップはそれぞれ、Ｘ方向及びＹ方向で規定されるマトリクス状に配置された複数のメモリセルと前記複数のメモリセル中の不良メモリセルと置換可能な置換メモリセル群とを有し、前記置換メモリセル群はＸ方向及びＹ方向にそれぞれ所定のＸ方向置換能力及び所定のＹ方向置換能力で置換可能であり、
(a) 前記複数のチップそれぞれにおける前記複数のメモリセルの良／不良を検出して不良のメモリセルには不良ビット情報を付加したメモリセル試験結果を得るステップと、
(b) 前記複数のメモリセルを複数のＸ方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のＸ方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報及び予め定められたＹ方向仮想置換能力に基づき、前記Ｙ方向の不良を考慮して良／不良を判定するステップと、
(c) 前記複数のＸ方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(b) で不良と判定された第１の数のＸ方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記Ｘ方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップと、
(d) 前記複数のメモリセルを複数のＹ方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のＹ方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報及び予め定められたＸ方向仮想置換能力に基づき、前記Ｘ方向の不良を考慮して良／不良を判定するステップと、
(e) 前記複数のＹ方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(d) で不良と判定された第２の数のＹ方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記Ｙ方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップと、
(f) 前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報のうち、前記ステップ(c) 及びステップ(e) で救済できなかったメモリセルの不良ビット情報である致命不良ビット情報を集計するステップと、
を備える致命不良抽出方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明にかかる請求項１記載の不良解析システムは、複数のチップを有する解析用ウェハに対する不良解析システムであって、前記複数のチップはそれぞれ、Ｘ方向及びＹ方向で規定されるマトリクス状に配置された複数のメモリセルと前記複数のメモリセル中の不良メモリセルと置換可能な置換メモリセル群とを有し、前記置換メモリセル群はＸ方向及びＹ方向にそれぞれ所定のＸ方向置換能力及び所定のＹ方向置換能力で置換可能であり、前記複数のチップそれぞれにおける前記複数のメモリセルの良／不良を検出して不良のメモリセルには不良ビット情報を付加したメモリセル試験結果を出力するメモリセル試験手段と、前記メモリセル試験結果に基づき、前記Ｙ方向の不良を考慮した前記Ｘ方向置換能力によるＸ方向救済判定処理と前記Ｘ方向の不良を考慮した前記Ｙ方向置換能力によるＹ方向救済判定処理との連続処理及び致命不良集計処理とを含む致命不良自動抽出処理を実行するデータ解析手段とを備え、前記Ｘ方向救済判定処理は、(a) 前記複数のメモリセルを複数のＸ方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のＸ方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記不良ビット情報及び予め定められたＹ方向仮想置換能力に基づき、前記Ｙ方向の不良を考慮して良／不良を判定するステップと、(b) 前記複数のＸ方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(a) で不良と判定された第１の数のＸ方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記Ｘ方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップとを含み、前記Ｙ方向救済判定処理は、(c) 前記複数のメモリセルを複数のＹ方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のＹ方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記不良ビット情報及び予め定められたＸ方向仮想置換能力に基づき、前記Ｘ方向の不良を考慮して良／不良を判定するステップと、(d) 前記複数のＹ方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(c) で不良と判定された第２の数のＹ方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記Ｙ方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップとを含み、前記致命不良集計処理は、(e) 前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報のうち、前記Ｘ方向救済判定処理及び前記Ｙ方向救済判定処理で救済できなかったメモリセルの不良ビット情報である致命不良ビット情報を集計するステップを含んでいる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項１３記載の不良解析システムは、前記解析用ウェハにおけるパターン欠陥を含む欠陥領域を規定した欠陥領域情報を付与する欠陥領域情報付与手段をさらに備え、前記致命不良集計処理は、前記ステップ(e) の後、(f) 前記欠陥領域情報付与手段より得た前記欠陥領域情報で規定される前記欠陥領域を、第１のレベルの前記致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第１の領域内に存在する第１のレベルの致命不良欠陥領域と、前記第１のレベルと異なる第２のレベルの前記致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第２の領域内に存在する第２のレベルの致命不良欠陥領域と、前記不良ビット情報から前記第１及び第２のレベルの前記致命不良ビット情報を除いた非致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第３の領域内に存在する非致命不良欠陥領域と、前記第１〜第３の領域内に存在しない無影響欠陥領域とに分類するステップをさらに含んでいる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
この発明に係る請求項１７記載の致命不良集計方法は、複数のチップを有する解析用ウェハに対する致命不良を抽出する方法であって、前記複数のチップはそれぞれ、Ｘ方向及びＹ方向で規定されるマトリクス状に配置された複数のメモリセルと前記複数のメモリセル中の不良メモリセルと置換可能な置換メモリセル群とを有し、前記置換メモリセル群はＸ方向及びＹ方向にそれぞれ所定のＸ方向置換能力及び所定のＹ方向置換能力で置換可能であり、(a) 前記複数のチップそれぞれにおける前記複数のメモリセルの良／不良を検出して不良のメモリセルには不良ビット情報を付加したメモリセル試験結果を得るステップと、(b) 前記複数のメモリセルを複数のＸ方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のＸ方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報及び予め定められたＹ方向仮想置換能力に基づき、前記Ｙ方向の不良を考慮して良／不良を判定するステップと、(c) 前記複数のＸ方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(b) で不良と判定された第１の数のＸ方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記Ｘ方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップと、(d) 前記複数のメモリセルを複数のＹ方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のＹ方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報及び予め定められたＸ方向仮想置換能力に基づき、前記Ｘ方向の不良を考慮して良／不良を判定するステップと、(e) 前記複数のＹ方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(d) で不良と判定された第２の数のＹ方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記Ｙ方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップと、(f) 前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報のうち、前記ステップ(c) 及びステップ(e) で救済できなかったメモリセルの不良ビット情報である致命不良ビット情報を集計するステップとを備えている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
これらの、別方向のラインを考慮した救済判定を行うステップ（ステップＳ６９ａ，Ｓ６９ｂ，Ｓ７０ａ及びＳ７０ｂ）の内容に関しては後に詳述する。上述したＸライン優先あるいはＹライン優先で行う処理が終了するとステップＳ７１に移行する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０３】
一方、ステップＳ８５で０未満であると判定されれば、レベルＮでは救済不可能と判断し、ステップＳ８６Ｂで、不良ピクセルのある場所をレベルＮの不良発生場所（致命不良ビット情報）としてデータ解析用ＥＷＳ２内の所定の記憶部に記憶し、不良ピクセル内の不良ビット情報を消去し、次のＸライン置換対象エリアを検証するためステップＳ８７に進む。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１８】
＜効果＞
このように、実施の形態２の不良解析システムは、実施の形態１と同様、ＬＳＩテスタ１にてウェハの電気的テストを行った結果と取り込んで、データ解析用ＥＷＳ２上で図２２及び図２３〜図２５で示した処理を自動的に実行することにより、予め定められたＺ種類の仮想設定置換能力に基づく致命不良抽出を自動的に行うことができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３０】
すなわち、ステップＳ１４９の処理は、不良ピクセルのある場所を「レベル０」の救済不可不良発生場所（致命不良ビット情報）としてデータ解析用ＥＷＳ２内の所定の記憶部に記憶し、Ｙ（ｂｘ、ｂｙ）で表現されるＹライン置換対象エリア内の不良ビット情報を消去し、次のＹライン置換対象エリアを検証するためステップＳ１５３に進ませる処理である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３１】
また、ステップＳ１５１の処理は、Ｙ（ｂｘ、ｂｙ）で表現されるＹライン置換対象エリア全体を「レベルＮ（Ｎはｂ−α，ａ−βの大きい方）」の救済不可不良発生場所（致命不良ビット情報）としてデータ解析用ＥＷＳ２内の所定の記憶部に記憶し、このＹライン置換対象エリア内の不良ビット情報を消去し、次のＹライン置換対象エリアを検証するためステップＳ１５３に進ませる処理である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３２】
＜効果＞
このように、実施の形態３の不良解析システムは、実施の形態１と同様、ＬＳＩテスタ１にてウェハの電気的テストを行った結果と取り込んで、データ解析用ＥＷＳ２上で図２６及び図２７〜図３０及び図３１で示した処理を自動的に実行することにより、従来、人間が手作業で行っていた致命不良抽出を自動的に行うことができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５２】
＜＜実施の形態８＞＞
図３７は、この発明の実施の形態８である致命不良自動抽出方法における致命不良集計処理の出力結果を示す説明図である。図３７で示した出力結果は、図２２及び図２３で示した実施の形態２の全体処理のステップＳ７６あるいは図２６及び図２７で示した実施の形態３の全体処理のステップＳ１１７による１ウェハ当たりの致命不良の集計処
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６４】
＜＜実施の形態１０＞＞
図４０は、この発明の実施の形態１０である致命不良自動抽出方法における致命不良集計処理における分類方法を示す説明図である。図４０で示した分離方法は、図２２及び図２３で示した実施の形態２の全体処理のステップＳ７６あるいは図４０で示した実施の形態３の全体処理のステップＳ１１７による１ウェハ当たりの致命不良の集計処理の出力結果の分離方法である。なお、実施の形態１０の不良解析システムのハードウェア構成は図３８で示した実施の形態９の構成と同様である。
理の出力結果に相当する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１８８】
ＷＴデータベース３には、解析用ウェハ上の複数のチップの電気的試験による良否判定を行うウェハテスト（ＷＴ）の結果が蓄積されている。ＷＴは置換用のメモリセルによる置き換えが可能か否かを含めて行われるため、ＷＴで不良と判定されたチップは置換用メモリセルでの救済不可能な致命不良を有するチップである。また、ＷＴではファンクション不良、スタンバイ電流異常不良等のカテゴリ別のテストが行われる。このようなＷＴ情報が蓄積されたＷＴデータベース３はコネクタ１２によって、ＬＳＩテスタ１、データ解析用ＥＷＳ２との間にネットワークを構築している。なお、他の構成は図１と同様であるため、説明は省略する。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９２】
なお、ステップＳ１８における判断基準は、(1)不良チップのみを対象とする、(2)不良チップの中で特定のカテゴリ（ファンクション不良、スタンバイ電流異常不良等）に属する不良チップのみを対象とする、(3)複数のカテゴリのいずれかに属する不良チップのみを対象とする等の基準が考えられ、実施の形態１５では、これら判断基準に該当するチップに対してのみ致命不良自動抽出を行うようにしている。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１２】
請求項１３記載の不良解析システムのデータ解析手段における致命不良集計処理は、(f) 欠陥領域情報付与手段より得た欠陥領域情報で規定される欠陥領域を、第１のレベルの致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第１の領域内に存在する第１のレベルの致命不良欠陥領域と、第１のレベルと異なる第２のレベルの致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第２の領域内に存在する第２のレベルの致命不良欠陥領域と、不良ビット情報から第１及び第２のレベルの致命不良ビット情報を除いた非致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第３の領域内に存在する非致命不良欠陥領域と、第１〜第３の領域内に存在しない無影響欠陥領域とに分類するステップを含むため、欠陥領域を第１及び第２のレベルの致命不良ビット情報との関係において分類することができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】  チップ平面上におけるＹライン置換対象エリアを示す説明図である。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2000298998.tif 000001
【手続補正２０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2000298998.tif 000002
【手続補正２１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３０】
2000298998.tif 000003
【手続補正２２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３８】
2000298998.tif 000004
【手続補正２３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５０】
2000298998.tif 000005