【手続補正書】
【提出日】平成18年2月24日(2006.2.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体面上のパターンを像面上に拡大して投影する拡大投影光学系であって、
前記物体面側から光路順に、少なくとも１枚の正レンズからなる第１のレンズ群と、前記第１のレンズ群により形成される瞳のほぼ共役点に配置された第１のミラーと、前記第１のミラーから距離を隔てて前記物体面側に配置され、前記第１のミラーからの光線を前記像面側へ反射させる第２のミラーと、前記第２のミラーよりも前記像面側へ配置され、前記第２のミラーからの光線を前記像面上に結像させ、少なくとも１枚の正レンズからなる第２のレンズ群とを有し、
前記投影に寄与する有効像面領域は、光軸中心を含まない軸外の円弧状の領域であることを特徴とする拡大投影光学系。
【請求項２】
前記第２のミラーは、前記第１のレンズ群よりも前記像面側に配置されることを特徴とする請求項１記載の拡大投影光学系。
【請求項３】
前記第２のレンズ群は、前記第１のミラーよりも前記像面側に配置されることを特徴とする請求項１記載の拡大投影光学系。
【請求項４】
前記第１のミラーは、凹面ミラーであることを特徴とする請求項１記載の拡大投影光学系。
【請求項５】
前記第１のミラーの前記物体側近傍に、少なくとも１枚の負レンズを有する負レンズ群を配置したことを特徴とする請求項１記載の拡大投影光学系。
【請求項６】
前記第２のミラーの前記像面側近傍に、少なくとも１枚の正レンズを有する正レンズ群を配置したことを特徴とする請求項１記載の拡大投影光学系。
【請求項７】
前記第２のミラーは、凸面ミラーであることを特徴とする請求項１記載の拡大投影光学系。
【請求項８】
前記像面側は、テレセントリックであることを特徴とする請求項１記載の拡大投影光学系。
【請求項９】
前記物体面側は、テレセントリックであることを特徴とする請求項１記載の拡大投影光学系。
【請求項１０】
前記像側の開口数をＮＡとしたとき、
０．０５  ＜  ＮＡ  ＜０．１５
を満足することを特徴とする請求項１記載の拡大投影光学系。
【請求項１１】
前記拡大投影光学系の倍率をβとしたとき、
−３．０  ＜  β  ＜  −１．５
を満足することを特徴とする請求項１記載の拡大投影光学系。
【請求項１２】
前記第１のミラー、前記第２のミラーのうち、少なくとも１つが球面ミラーであることを特徴とする請求項１記載の拡大投影光学系。
【請求項１３】
前記第１のミラー、前記第２のミラーのうち、少なくとも１つが非球面ミラーであることを特徴とする請求項１記載の拡大投影光学系。
【請求項１４】
前記拡大投影光学系を構成するレンズは、少なくとも１つの非球面レンズを含むことを特徴とする請求項１記載の拡大投影光学系。
【請求項１５】
前記拡大投影光学系を構成するレンズは、少なくとも２種類の硝材からなることを特徴とする請求項１記載の拡大投影光学系。
【請求項１６】
請求項１乃至１５のうちいずれか一項記載の拡大投影光学系と、
前記物体面上にマスクのパターンを位置付けるべく当該マスクを保持するステージと、
前記像面上に感光層を位置付けるべく基板を保持するステージと、
前記拡大投影光学系の視野に対応する光により前記マスクを照明する照明装置と、
前記光で前記マスクを照明する状態で前記各ステージを同期して走査する手段とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項１７】
光源からの光で前記パターンを照明する照明光学系と、前記パターンからの光を前記像面上に投影する、請求項１乃至１５のいずれか一項記載の拡大投影光学系とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項１８】
前記拡大投影光学系は、前記パターンからの反射光を前記像面上に投影することを特徴とする請求項１７記載の露光装置。
【請求項１９】
請求項１６乃至１８のうちいずれか一項記載記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての拡大投影光学系は、物体面上のパターンを像面上に拡大して投影する拡大投影光学系であって、前記物体面側から光路順に、少なくとも１枚の正レンズからなる第１のレンズ群と、前記第１のレンズ群により形成される瞳のほぼ共役点に配置された第１のミラーと、前記第１のミラーから距離を隔てて前記物体面側に配置され、前記第１のミラーからの光線を前記像面側へ反射させる第２のミラーと、前記第２のミラーよりも前記像面側へ配置され、前記第２のミラーからの光線を前記像面上に結像させ、少なくとも１枚の正レンズからなる第２のレンズ群とを有し、前記投影に寄与する有効像面領域は、光軸中心を含まない軸外の円弧状の領域であることを特徴とする。
本発明の別の側面としての露光装置は、上述の拡大投影光学系と、前記物体面上にマスクのパターンを位置付けるべく当該マスクを保持するステージと、前記像面上に感光層を位置付けるべく基板を保持するステージと、前記拡大投影光学系の視野に対応する光により前記マスクを照明する照明装置と、前記光で前記マスクを照明する状態で前記各ステージを同期して走査する手段とを有することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としての露光装置は、光源からの光で前記パターンを照明する照明光学系と、前記パターンからの光を前記像面上に投影する、上述の拡大投影光学系とを有することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としてのデバイス製造方法は、上述の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とする。
【補正対象書類名】    明細書
【補正対象項目名】    ００６０
【補正方法】          削除
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
なお、請求項１において、「ほぼ共役点」とは、「共役点に完全に一致した状態」又は「共役点に完全に一致させようとして誤差を含んだ状態」を含むものとするが、共役点から１００ｍｍの範囲内であればずれても構わない。但し、ここでの１００ｍｍとは、光学系全長（本実施例においては２２６８ｍｍ）の約５％という意味であり、全長が変われば１００ｍｍという数字も変わる。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
また、請求項５における、第１のミラーの物体側近傍とに、少なくとも１枚の負レンズを有する負レンズ群を配置したという記載の「近傍」とは、第１のミラーから光学系全長の約７％という意味であり、第１のミラーから約１５０ｍｍ以内に負レンズ群を配置するのが好ましい。また、請求項６は請求項５と同様であり、第２のミラーから光学系全長の約７％の範囲内、すなわち第２のミラーから約１５０ｍｍ以内に正レンズ群を配置するのが好ましい。