【手続補正書】
【提出日】平成18年1月18日(2006.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びその製造方法、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロポンプ、光学デバイス、画像形成装置、液滴を吐出する装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
変形可能な振動板とこれに空隙を介して対向する電極とを備え、前記振動板を静電力で変形させる静電型アクチュエータにおいて、前記振動板と電極との間の空隙は犠牲層エッチングにより形成され、犠牲層を除去するための犠牲層除去孔は前記空隙に入り込まない状態の封止材で封止されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の静電型アクチュエータにおいて、前記犠牲層除去孔の平面形状が、多角形、円、又は楕円であり、その断面積は１０μｍ２以下であることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の静電型アクチュエータにおいて、前記犠牲層除去孔の厚さは０．１μｍ以上であることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の静電型アクチュエータにおいて、前記封止材は前記振動板を構成する膜の一部であることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項５】
請求項４に記載の静電型アクチュエータにおいて、前記振動板を構成する膜は大気中で形成できる樹脂膜であることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項６】
請求項５に記載の静電型アクチュエータにおいて、前記樹脂膜はポリベンゾオキサドール（ＰＢＯ）膜であることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の静電型アクチュエータにおいて、前記振動板の前記樹脂膜を成膜する膜の表面にフッ素を有することを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項８】
請求項５又は６に記載の静電型アクチュエータにおいて、前記振動板の前記樹脂膜を成膜する膜の表面にプラズマ処理が施されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項９】
請求項７に記載の静電型アクチュエータを製造する方法において、前記振動板の前記樹脂膜を成膜する膜の表面をフッ素化合物ガスに晒すことを特徴とする静電型アクチュエータの製造方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の静電型アクチュエータの製造方法において、前記フッ素化合物ガスに二弗化キセノン（ＸｅＦ２）ガスを用いることを特徴とする静電型アクチュエータの製造方法。
【請求項１１】
請求項８に記載の静電型アクチュエータを製造する方法において、前記振動板の前記樹脂膜を成膜する膜の表面に六弗化硫黄（ＳＦ６）ガスでプラズマ処理を施すことを特徴とする静電型アクチュエータの製造方法。
【請求項１２】
液滴を吐出するノズルが連通する加圧液室内の液体を静電型アクチュエータで加圧して前記液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、請求項１ないし１１のいずれかに記載の静電型アクチュエータを備えていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１３】
インク滴を吐出する液滴吐出ヘッドとこの液滴吐出ヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジにおいて、前記液滴吐出ヘッドが請求項１２に記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項１４】
インク滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが請求項１２に記載の液滴吐出ヘッド又は請求項１３に記載のインクカートリッジの液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項１５】
流路の液体を静電型アクチュエータで加圧して前記液体を輸送するマイクロポンプにおいて、請求項１ないし１１のいずれかに記載の静電型アクチュエータを備えていることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項１６】
光を反射するミラーを静電型アクチュエータで変形させて前記光の反射方向を変化させる光学デバイスにおいて、請求項１ないし１１のいずれかに記載の静電型アクチュエータを備えていることを備えていることを特徴とする光学デバイス。
【請求項１７】
液滴吐出ヘッドを備えた画像形成装置において、前記請求項１２に記載の液滴吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【請求項１８】
液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する装置において、前記請求項１２に記載の液滴吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液滴を吐出する装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びその製造方法、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロポンプ、光学デバイス、画像形成装置、液滴を吐出する装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、安定した動作特性が得られる静電型アクチュエータ、安定した滴吐出特性が得られて高画質記録が可能な液滴吐出ヘッド、この液滴吐出ヘッドを一体化したインクカートリッジ、この液滴吐出ヘッド又はインクカートリッジを搭載したインクジェット記録装置、及びこのアクチュエータを用いたマイクロポンプ、光学デバイス、この液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置、液滴を吐出する装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッド、または本発明に係るインクカートリッジを搭載したものである。本発明に係る画像形成装置及び液滴を吐出する装置は、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えている構成としたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを搭載した本発明に係る液滴を吐出する装置を含む、画像形成装置としてのインクジェット記録装置の機構の一例について図１４及び図１５を参照して説明する。なお、図１４は同記録装置の斜視説明図、図１５は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１４】
なお、上記実施形態においては、液滴吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドとして、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。また、静電型アクチュエータを備えるマイクロデバイスとして、マイクロポンプ、光学デバイス（光変調デバイス）、マイクロスイッチ（マイクロリレー）、マルチ光学レンズのアクチュエータ（光スイッチ）、マイクロ流量計、圧力センサなどにも適用することができる。また、前述したようにプリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像形成装置及び液滴を吐出する装置にも本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１９】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、インク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッド、または本発明に係るインクカートリッジを搭載したので、高画質記録が可能になる。本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えているので、高画質記録が可能になる。また、本発明に係る液滴を吐出する装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えているので、安定した液滴吐出を行うことができる。