【手続補正書】
【提出日】平成18年9月13日(2006.9.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブ装置本体と、このプローブ装置本体の内部に取り付けられたコンタクタと、このコンタクタと上記プローブ装置本体の外側に配置されたテスタとの間の検査用信号の伝送路に配置され且つ複数の電子回路部を有するピンエレクトロニクスと、このピンエレクトロニクスと上記コンタクタを電気的に接続する取り替え可能なインターポーザと、上記ピンエレクトロニクスを冷却する冷却手段と、を備え、上記ピンエレクトロニクスの複数の電子回路部は、少なくとも一つの集積回路によって形成されていることを特徴とする高速測定対応プローブ装置。
【請求項２】
上記ピンエレクトロニクスの電子回路部は、コントローラ部、コンパレータ部及びドライバ部を含み、これらのコントローラ部、コンパレータ部及びドライバ部は少なくとも一つの集積回路によって形成されていることを特徴とする請求項１に記載の高速測定対応プローブ装置。
【請求項３】
上記ピンエレクトロニクスは、上パッケージ及び下パッケージと、を有し、上記冷却手段は、上記各パッケージの周縁部間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の高速測定対応プローブ装置。
【請求項４】
上記インターポーザは、その両面それぞれから突出する接触ピンを有することを特徴とする請求項１に記載の高速測定対応プローブ装置。
【請求項５】
上記ピンエレクトロニクスのドライバ部は、少なくとも一つの集積回路により形成されており、上記ドライバ部は、他の電子回路部よりも上記冷却手段に接近して配置されていることを特徴とする請求項２に記載の高速測定対応プローブ装置。
【請求項６】
上記ピンエレクトロニクスのコンパレータ部は、少なくとも一つの集積回路により形成されており、上記コンパレータ部は、他の電子回路部よりも上記インターポーザに接近して配置されていることを特徴とする請求項２に記載の高速測定対応プローブ装置。
【請求項７】
プローブ装置本体と、このプローブ装置本体の内部に取り付けられたコンタクタと、このコンタクタと上記プローブ装置本体の外側に配置されたテスタとの間の検査用信号の伝送路に配置され且つ複数の電子回路部を有するピンエレクトロニクスと、上記検査用信号を生成するための電子回路部を有するパターンジェネレータと、このパターンジェネレータと上記ピンエレクトロニクスとを電気的に接続するインターフェースボードと、上記ピンエレクトロニクスと上記コンタクタを電気的に接続する取り替え可能なインターポーザと、上記ピンエレクトロニクスを冷却する冷却手段と、を備え、上記ピンエレクトロニクスの複数の電子回路部は、少なくとも一つの集積回路によって形成されていることを特徴とする高速測定対応プローブ装置。
【請求項８】
上記パターンジェネレータの電子回路部は、少なくとも一つの集積回路によって形成されていることを特徴とする請求項７に記載の高速測定対応プローブ装置。
【請求項９】
上記ピンエレクトロニクスの電子回路部は、コントローラ部、コンパレータ部及びドライバ部を含み、これらのコントローラ部、コンパレータ部及びドライバ部は、少なくとも一つの集積回路によって形成されていることを特徴とする請求項７に記載の高速測定対応プローブ装置。
【請求項１０】
上記ピンエレクトロニクスのドライバ部は、少なくとも一つの集積回路によって形成されており、上記ドライバ部は、他の電子回路部よりも上記冷却手段に接近して配置されていることを特徴とする請求項７に記載の高速測定対応プローブ装置。
【請求項１１】
上記ピンエレクトロニクスのコンパレータ部は、少なくとも一つの集積回路により形成されており、上記コンパレータ部は、他の電子回路部よりも上記インターポーザに接近して配置されていることを特徴とする請求項９に記載の高速測定対応プローブ装置。
【請求項１２】
上記インターポーザは、その両面それぞれから突出する接触ピンを有することを特徴とする請求項７に記載の高速測定対応プローブ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載の高速測定対応プローブ装置は、プローブ装置本体と、このプローブ装置本体の内部に取り付けられたコンタクタと、このコンタクタと上記プローブ装置本体の外側に配置されたテスタとの間の検査用信号の伝送路に配置され且つ複数の電子回路部を有するピンエレクトロニクスと、このピンエレクトロニクスと上記コンタクタを電気的に接続する取り替え可能なインターポーザと、上記ピンエレクトロニクスを冷却する冷却手段と、を備え、上記ピンエレクトロニクスの複数の電子回路部は、少なくとも一つの集積回路によって形成されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項２に記載の高速測定対応プローブ装置は、請求項１に記載の発明において、上記ピンエレクトロニクスの電子回路部は、コントローラ部、コンパレータ部及びドライバ部を含み、これらのコントローラ部、コンパレータ部及びドライバ部は少なくとも一つの集積回路によって形成されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項３に記載の高速測定対応プローブ装置は、請求項１に記載の発明において、上記ピンエレクトロニクスは、上パッケージ及び下パッケージと、を有し、上記冷却手段は、上記各パッケージの周縁部間に配置されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項４に記載の高速測定対応プローブ装置は、請求項２に記載の発明において、上記ピンエレクトロニクスのドライバ部は、少なくとも一つの集積回路により形成されており、上記ドライバ部は、他の電子回路部よりも上記冷却手段に接近して配置されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項５に記載の高速測定対応プローブ装置は、請求項２に記載の発明において、上記ピンエレクトロニクスのドライバ部は、少なくとも一つの集積回路により形成されており、上記ドライバ部は、他の電子回路部よりも上記冷却手段に接近して配置されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項６に記載の高速測定対応プローブ装置は、請求項２に記載の発明において、上記ピンエレクトロニクスのコンパレータ部は、少なくとも一つの集積回路により形成されており、上記コンパレータ部は、他の電子回路部よりも上記インターポーザに接近して配置されていることを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の請求項７に記載の高速測定対応プローブ装置は、プローブ装置本体と、このプローブ装置本体の内部に取り付けられたコンタクタと、このコンタクタと上記プローブ装置本体の外側に配置されたテスタとの間の検査用信号の伝送路に配置され且つ複数の電子回路部を有するピンエレクトロニクスと、上記検査用信号を生成するための電子回路部を有するパターンジェネレータと、このパターンジェネレータと上記ピンエレクトロニクスとを電気的に接続するインターフェースボードと、上記ピンエレクトロニクスと上記コンタクタを電気的に接続する取り替え可能なインターポーザと、上記ピンエレクトロニクスを冷却する冷却手段と、を備え、上記ピンエレクトロニクスの複数の電子回路部は、少なくとも一つの集積回路によって形成されていることを特徴とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の請求項８に記載の高速測定対応プローブ装置は、請求項７に記載の発明において、上記パターンジェネレータの電子回路部は、少なくとも一つの集積回路によって形成されていることを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明の請求項９に記載の高速測定対応プローブ装置は、請求項７に記載の発明において、上記ピンエレクトロニクスの電子回路部は、コントローラ部、コンパレータ部及びドライバ部を含み、これらのコントローラ部、コンパレータ部及びドライバ部は、少なくとも一つの集積回路によって形成されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１０に記載の高速測定対応プローブ装置は、請求項７に記載の発明において、上記ピンエレクトロニクスのドライバ部は、少なくとも一つの集積回路によって形成されており、上記ドライバ部は、他の電子回路部よりも上記冷却手段に接近して配置されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１１に記載の高速測定対応プローブ装置は、請求項９に記載の発明において、上記ピンエレクトロニクスのコンパレータ部は、少なくとも一つの集積回路により形成されており、上記コンパレータ部は、他の電子回路部よりも上記インターポーザに接近して配置されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１２に記載の高速測定対応プローブ装置は、請求項７に記載の発明において、上記インターポーザは、その両面それぞれから突出する接触ピンを有することを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
【発明の効果】
本発明によれば、高速化されたＧＨｚ帯のデバイスであっても信頼性の高い検査を確実に行うことができる高速測定対応プローブ装置を提供することができる。