【手続補正書】
【提出日】平成18年4月8日(2006.4.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】  明細書
【発明の名称】弾性表面波共振子及びこれを用いたラダー型弾性表面波フィルタ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成され、一方の櫛歯状電極の一部を構成する電極指と、他方の櫛歯状電極の一部を構成する電極指とが、１本ずつ交互に噛み合うように配置された内側ＩＤＴ電極と、
前記圧電基板上であって、前記内側ＩＤＴ電極の片端側または両端側の弾性表面波伝搬路上に形成され、一方の櫛歯状電極の一部を構成する複数の電極指から成る電極指群と、他方の櫛歯状電極の一部を構成する複数の電極指から成る電極指群とが、電極指群どうしが交互に噛み合うように配置され、前記内側ＩＤＴ電極と電気的に並列接続された外側ＩＤＴ電極と、を有する、弾性表面波共振子。
【請求項２】
前記外側ＩＤＴ電極は、前記内側ＩＤＴ電極の一端から前記内側ＩＤＴ電極を構成する電極指幅の整数倍の距離の９０％〜１１０％だけ離して配置された、請求項１に記載の弾性表面波共振子。
【請求項３】
前記内側ＩＤＴ電極と、前記外側ＩＤＴ電極との間に、さらに反射器電極が設けられた、請求項１または２記載の弾性表面波共振子。
【請求項４】
直列共振子と並列共振子とを有し、
前記直列共振子及び前記並列共振子の少なくとも一方に、請求項１乃至３記載のいずれかに記載の弾性表面波共振子を用いた、ラダー型弾性表面波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、携帯電話等の移動体通信機器に用いられる弾性表面波フィルタに関し、圧電基板上に１対の櫛歯状電極が互いに噛み合ったＩＤＴ電極（インターディジタルトランスデューサ）が複数形成された弾性表面波共振子及びこれを備えたラダー型弾性表面波フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電波を利用する電子機器のフィルタ，遅延線，発振器等の構成素子として多くの弾性表面波装置が用いられている。特に、小型・軽量でかつフィルタとしての急峻遮断性能が高い弾性表面波フィルタは、移動体通信分野において、携帯端末装置のＲＦ段及びＩＦ段のフィルタとして多用されるようになってきており、低損失かつ通過帯域外の遮断特性として、高い減衰特性と、広い帯域幅が要求されている。
【０００３】
携帯電話等のＲＦ段に用いるフィルタの１種には、同一圧電基板上に複数個の一端子対の弾性表面波共振子を配設し、この弾性表面波共振子を直並列に梯子状に接続したラダー型弾性表面波フィルタが知られている。このラダー型弾性表面波フィルタは小型であると共に低損失であり、急峻な減衰特性のフィルタが実現できるため、携帯電話等のＲＦ−弾性表面波フィルタとして広く使用されている。
【０００４】
このようなラダー型弾性表面波フィルタの場合、比帯域幅ＢＷ／ｆo（ＢＷ；通過帯域幅、ｆo；中心周波数）は、フィルタを構成する弾性表面波共振子の共振周波数ｆｒと反共振周波数ｆaの差であるΔｆ（＝ｆａ−ｆｒ）を共振周波数で規格化したものでほぼ決定される。
【０００５】
また近年、携帯電話システムの急激な変化に伴って、システム側の要求スペックもより厳しいものになってきているので、従来に比して広帯域でより矩形に近く、急峻性に優れた通過帯域特性を持つ弾性表面波フィルタが切望されている。
【０００６】
弾性表面波フィルタの通過帯域の急峻性は、やはり上記Δｆ（＝ｆａ−ｆｒ）で決定され、Δｆの小さい弾性表面波共振子を用いることにより、急峻性に優れた通過帯域特性が得られることが分かっている。比帯域幅および通過帯域の急峻性を決定するΔｆは、圧電基板の材料定数である電気機械結合係数と電極パターンの膜厚に大きく依存し、所望の比帯域幅を得るために最適な電気機械結合係数を有する圧電基板と電極膜厚の組み合わせを選択してフィルタを作製する必要がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、圧電基板の最適基板方位を見出すことは、ＳＡＷフィルタの開発の他に圧電基板の開発が加わることになり、完成までに非常に多大な開発期間を要し、顧客の要求に満足できなくなるという問題点があった。そこで、圧電基板は、やむを得ず一般的な基板・方位のものを採用し、電極構造で改善する方法が検討されていた。
【０００８】
また、電極構造は、上記の説明のとおり、梯子型（ラダー型）電極が有望視されているが、従来のラダー接続の弾性表面波装置は図６に示すとおり、直列腕を構成する弾性表面波共振子と、並列腕を構成する弾性表面波共振子とが、交互に信号線上に接続され、いわゆる梯子（ラダー）状に接続された構造が一般的に用いられている。
【０００９】
ところが、上記電極構造による電気特性の改善方法は、一般に各共振子のＩＤＴ電極対数、電極指周期、交差幅、反射器本数などを変更する程度であり、若干の改善は見られるものの、フィルタの要求仕様を満たすような改善は見られず、品質的に問題のあるＳＡＷ装置になってしまうという問題があった。
【００１０】
そこで本発明は、圧電基板・カット方位は従来の一般的な基板を使用した状態で、急峻性に優れた通過帯域特性を有し、品質的に良好なフィルタとすることが可能な弾性表面波共振子とこれを用いたラダー型弾性表面波フィルタを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の弾性表面波共振子は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成され、一方の櫛歯状電極の一部を構成する電極指と、他方の櫛歯状電極の一部を構成する電極指とが、１本ずつ交互に噛み合うように配置された内側ＩＤＴ電極と、前記圧電基板上であって、前記内側ＩＤＴ電極の片端側または両端側の弾性表面波伝搬路上に形成され、一方の櫛歯状電極の一部を構成する複数の電極指から成る電極指群と、他方の櫛歯状電極の一部を構成する複数の電極指から成る電極指群とが、電極指群どうしが交互に噛み合うように配置された外側ＩＤＴ電極と、を有し、前記内側ＩＤＴ電極と前記外側ＩＤＴ電極とが電気的に並列接続されたものである。
【００１２】
また、本発明の弾性表面波共振子は、上記構成において、前記外側ＩＤＴ電極は、前記内側ＩＤＴ電極の一端から前記内側ＩＤＴ電極を構成する電極指幅の整数倍の距離の９０％〜１１０％だけ離して配置されたものである。
【００１３】
また、本発明の弾性表面波共振子は、上記構成において、前記内側ＩＤＴ電極と、前記外側ＩＤＴ電極との間に、さらに反射器電極が設けられたものである。
【００１４】
また、本発明のラダー型弾性表面波フィルタは、直列共振子と並列共振子とを有し、前記直列共振子及び前記並列共振子の少なくとも一方に、本発明の弾性表面波共振子を用いたものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を模式的に示した図面に基づき詳細に説明する。
【００１６】
図１に本発明の弾性表面波フィルタの一部に使用する弾性表面波共振子の構造を表す。図中の１は不図示の圧電基板上に形成した本発明の弾性表面波共振子であり、一方の櫛歯状電極の一部を構成する１本の電極指と、他方の櫛歯状電極の一部を構成する１本の電極指とが、交互に噛み合うように配置された内側ＩＤＴ電極１と、これの弾性表面波伝搬路上の両側（または片側）に反射器電極２と、一方の櫛歯状電極の一部を構成する複数の電極指から成る電極指群と、他方の櫛歯状電極の一部を構成する複数の電極指から成る電極指群とが、電極指群どうしが交互に噛み合うように配置された外側ＩＤＴ電極３とからなっている。この実施形態では、外側ＩＤＴ３の電極指ピッチは内側ＩＤＴ電極１の２倍としている。また内側ＩＤＴ電極１に電気的に並列接続している。このように、例えば２本単位で交互に噛み合った外側ＩＤＴ電極３は、本来のＩＤＴ電極によって発生する共振特性の１／２の周波数帯域にて共振するため、通過帯域内では純粋な容量成分として働く。
【００１７】
急峻な肩特性を持ったフィルタ特性を実現するために、本発明の弾性表面波フィルタでは、弾性表面波の伝搬特性を変えずに、並列に付加した、１本ずつ交互に噛み合っていない櫛歯状電極指からなるＩＤＴ電極（外側ＩＤＴ電極）の持つ静電容量によって、各弾性表面波共振子のΔｆを任意に制御することができる。これによりフィルタの通過帯域特性をより急峻にできる。
【００１８】
図１２は本発明の弾性表面波共振子の等価回路を説明するための図であり、外側ＩＤＴ電極で構成された付加容量Ｃｐ（１７）を接続した場合の電気的等価回路図である。ここで、共振周波数ｆｒ＝１／√（Ｌ１・Ｃ１）、反共振周波数ｆａ＝１／ｆｒ・√（１＋Ｃ１・（Ｃｏ＋Ｃｐ））で表すことができる。付加容量Ｃｐを増加させることによって、ｆａは低下するが、ｆｒは変化しない。ここで、１５は内側ＩＤＴ電極１と反射器２の等価的内部容量でＣ１、１６は内側ＩＤＴ電極１と反射器２の等価的並列容量Ｃｏ、１７は説明したように外側ＩＤＴ電極３で構成された付加容量Ｃｐ、１８は内側ＩＤＴ電極１と反射器２の等価的内部抵抗Ｒ、１９は内側ＩＤＴ電極１と反射器２の等価的内部インダクタンスＬ１である。このように、従来の弾性表面波共振子を構成する回路要素Ｃ１（１５）、Ｃo（１６）、Ｒ（１８）、Ｌ１（１９）に対して、これと並列にＣｐ（１７）＝外側ＩＤＴ電極（３）が加わることで反共振周波数ｆaのみを変化させることができる。
【００１９】
以上のように、外側ＤＴ電極によって付加した容量Ｃｐを増加させることによって、インピーダンス特性の共振周波数と反共振周波数との差Δｆを制御することができる。また、このようにして構成された弾性表面波共振子を、直列側もしくは並列側の共振子に少なくとも一箇所以上使用したラダー型フィルタを形成すればΔｆが小さくなり、これにより通過帯域特性の両側もしくは、どちらか片方の急峻性が向上する。
【００２０】
ここで、図９に示すように、直列共振子に本発明の弾性表面波共振子を用いた特性（１２）は、それを用いない特性（１１）に比べて通過帯域の高周波側の急峻性が向上していることがわかる。また図示していないが、並列共振子に本発明の弾性表面波共振子を用いた場合は、低周波側の急峻性が向上する。また図示していないが、直列共振子と並列共振子の両方に本発明の弾性表面波共振子を用いた場合は、通過帯域の高周波側、低周波側の両方の急峻性が向上する。
【００２１】
なお、フィルタの構成は例えば図５に示すように行なう。図５は２．５段Ｔ型ラダー型フィルタであり、直列共振子に本発明の外側ＩＤＴ電極３を弾性表面波共振子に付加した場合のラダー型弾性表面波フィルタを示したものである。
【００２２】
図７に従来の２．５段Ｔ型フィルタの例を示す。図７は２．５段Ｔ型フィルタであり、並列共振子に本発明の外側ＩＤＴ電極３を付加した場合の弾性表面波フィルタの例である。なお、４、５はパッケージの入出力パッドにワイヤーボンディングもしくはバンプボンディングによって接続される入出力電極であり、６はパッケージのグランドパッドにワイヤーボンディングもしくはバンプボンディングによって接続されるグランドの電極である。
【００２３】
また、本発明の外側ＩＤＴ電極は、すべての弾性表面波共振子に付加するのではなく、少なくとも１個の弾性表面波共振子に付加することで、弾性表面波共振子によって発生する減衰極の周波数を異なる設定にすることができ、減衰帯域幅を広くすることも可能である。
【００２４】
ＩＤＴ電極１と外側ＩＤＴ電極３の間に反射器電極２を設けることが、最も共振特性を劣化させずにΔｆだけを制御することができる方法であるが、図３に示すような反射器電極２を用いないようにしてもよく、この場合は共振特性は若干劣化するがフィルタサイズを大幅に削減できるというメリットがある。これは、弾性表面波が外側ＩＤＴ電極で大部分反射するからである。
【００２５】
なお、図４に示すように、反射器電極２を外側ＩＤＴ電極３の外側に配置した場合、弾性表面波は外側ＩＤＴ電極３の外側にほとんど漏れないため、共振特性は図３の場合とほぼ同様となる。ただし、フィルタサイズが大きくなるというデメリットもある。
【００２６】
ここで、従来のラダー型フィルタを構成する弾性表面波共振子（ＩＤＴ電極１、反射器電極２）の弾性表面波伝搬路の延長線上（もしくは間に）に、外側ＩＤＴ電極３を近接して配置しても、それぞれで発生する共振周波数が異なるため影響を及ぼすことはない。
【００２７】
このため、本発明の弾性表面波共振子を使用すると、余分な基板スペースを必要としないため、チップサイズの小型化ができる。
【００２８】
なお、本発明に係る弾性表面波共振子の別の構造として、図１に示すように外側ＩＤＴ電極を２本単位で交互に噛み合わせる方法以外に、図１３に示すように３本単位で交互に噛み合わせる場合、図１４に示すように４本単位で交互に噛み合わせる場合など、交互に噛み合わせる単位数で様々な形態が考えられる。これらは外側ＩＤＴ電極にて発生する不要共振の周波数を変更し、容量を微調整することができる。
【００２９】
また、本発明によれば、従来のＩＤＴ電極に並列に外側ＩＤＴ電極が付加されていることで、印加電力が分散され、付加されていない場合のＩＤＴ電極に比べて、電極指１本当たりにかかる電力は低減される。結果として耐電力特性に優れた弾性表面波フィルタを作製することができる。
【００３０】
また、本発明によれば、電極のパターニング時に焦電効果等によって発生する静電気による電極破壊も、電力が分散されるため発生しにくくなる。
【００３１】
また、従来のＩＤＴ容量付弾性表面波共振子のように電極指ピッチを単純に変更して共振周波数を異ならせた構造であると、１チップ内で電極線幅および電極間スペースが異なる。このため、どちらかの線幅にあわせたプロセス条件で作製すると、もう一つのＩＤＴ電極線幅の方の微細加工時の電極作製精度が悪く再現性に欠けるが、本発明に係る外側ＩＤＴ電極であれば、電極線幅はＩＤＴ電極の電極線幅と９０％〜１１０％の範囲で等しいためこのような問題は起きにくい。以上の理由から、より好適には１００％が良い。
【００３２】
また、外側ＩＤＴ電極の線幅が、本来の弾性表面波フィルタを構成する弾性表面波共振子の内側ＩＤＴ電極線幅の９０％〜１１０％でほぼ同一とすることにより、電極作製時の線幅制御が単一のプロセス条件に固定でき再現性に優れるという点から、高歩留りを実現できるという特徴を持っている。なお、より好適には内側ＩＤＴ電極線幅の９７％〜１０３％であることが望ましい。
【００３３】
また、本弾性表面波フィルタは外側ＩＤＴ電極を、本来の弾性表面波フィルタを構成する弾性表面波共振子の片側に配置しても動作するが、より好適には両側に配置することで、その効果が倍になる。
【００３４】
また、外側ＩＤＴ電極が、本来の弾性表面波フィルタを構成する弾性表面波共振子の両端から内側ＩＤＴ電極線幅の整数倍の距離の９０％〜１１０％だけ離して配置することで、この外側ＩＤＴ電極と本来の弾性表面波フィルタを構成する弾性表面波共振子との間に弾性表面波の相互干渉が発生せず、通過帯域内に細かなリップルが生じない。より好適には内側ＩＤＴ電極線幅の９７％〜１０３％であることが望ましい。
【００３５】
また、外側ＩＤＴ電極が、２本以上の単位で交互に噛み合っている理由は、例えば２本にすることで、該外側ＩＤＴ電極の電極指ピッチを２倍にでき、これによって発生する共振を内側ＩＤＴ電極によって発生する共振の１／２の周波数領域に移動させることで、直接、フィルタの通過特性に影響を与えないようにするためである。このため、影響を与えないために３本や４本やそれ以上の単位でこれを構成してもよい。なお、好適にはチップサイズの関係から２本であることが望ましい。
【００３６】
なお、反射器を具備しない構造であっても、共振特性の特に共振周波数と反共振周波数の差を急峻にする効果は備えている。
【００３７】
【実施例】
次に、本発明をより具体化した弾性表面波フィルタを試作した実施例について説明する。
【００３８】
４２°ＹカットＬｉＴａＯ３単結晶から成る基板上に、Ａｌ（９８ｗｔ％）−Ｃｕ（２ｗｔ％）による電極パターンを形成した。このパターン作製には、縮小投影露光機（ステッパー）、およびＲＩＥ（Reactive Ion Etching）装置によりパターニングを行なった。
【００３９】
まず、基板材料であるタンタル酸リチウムウエハをアセトン・ＩＰＡ等の有機溶剤によって超音波洗浄し、有機成分を洗浄した。次に、クリーンオーブンによって充分に基板乾燥を行なった後、電極の成膜を行なった。電極成膜には、スパッタ装置を使用し、Ａｌ−Ｃｕの合金材料を成膜した。この電極膜厚は約０．２μｍとした。
【００４０】
次にフォトレジストを約０．５μｍ厚みにスピンコートによってコーティングし、縮小投影露光装置（ステッパー）により、所望のパターニングを行なった。
【００４１】
次に、現像装置にて不要部分のフォトレジストをアルカリ系現像液で溶解させ、所望パターンを表出させた。
【００４２】
次に、ＲＩＥ装置により、Ａｌ−Ｃｕ電極の露出した部分のエッチングを行ない、電極のパターンニングを終了した。この後、保護膜の作製工程に移る。ＳｉＯ２をＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）装置にて成膜し、その後、再度フォトリソグラフィによってレジストのパターニングを行ない、ＲＩＥ装置等でワイヤーボンディング用パッド部のＳｉＯ２エッチングを行ない、保護膜パターンを完成した。
【００４３】
次に、圧電基板をダイシング線に沿って切断し、弾性表面波フィルタ素子ごとに分割した。そして、各弾性表面波フィルタ素子をダイボンド装置にてピックアップし、Ｓｉ樹脂を主成分とする樹脂でＳＭＤ（表面実装型）パッケージ内にダイボンドした。この後、２００℃の温度でＳｉ樹脂を乾燥・硬化した。ＳＭＤパッケージは、３ｍｍ角の積層タイプを用いた。次に、３０μｍφＡｕワイヤーをＳＭＤパッケージのパッド部と弾性表面波フィルタ素子上のＡｌパッド上にボールボンディングした後、リッドをパッケージにかぶせ、封止機にて溶接封止して完成した。なお、弾性表面波フィルタ素子上の接地用電極パターンは各々分離して配線し、Ａｕボールボンディングにてパッケージ上のグランドパッドに電気的に導通をとった。
【００４４】
なお、ラダー型弾性表面波フィルタを構成する弾性表面波共振子は、ＩＤＴ電極の対数（本数の１／２）が４０〜１２０対、交差幅が１０〜３０λ（λは弾性表面波の波長）で、弾性表面波の波長λは直列と並列で違えてあるが、概略２μｍとした。ここで、反射電極本数は直列共振子、並列共振子とも２０本とした。
【００４５】
フィルタ構成の例は図５、７に示す通りである。図５では直列共振子が３個、並列共振子が２個で構成される２．５段Ｔ型の例であり、直列共振子に本発明の弾性表面波共振子を使用している。図７は並列共振子に本発明の弾性表面波共振子を使用している例である。なお、図６は従来の弾性表面波フィルタの例であり、同じく直列共振子が３個、並列共振子が２個で構成される２．５段Ｔ型の例である。
【００４６】
図８は、本発明の弾性表面波共振子のインピーダンス特性８と位相特性１０であり、７と９は従来の弾性表面波共振子のインピーダンス特性と位相特性である。７のΔｆ＝７３．５ＭＨｚであったのに対して、８のΔｆ＝６６．５ＭＨｚであり、Δｆを９．５％減少させることができた。
【００４７】
また、この共振子を直列腕に用いた場合のフィルタ特性は図９となった。従来のフィルタ特性１１に比べて、本発明のフィルタ特性１２は周波数急峻性が向上し斜線部の仕様線（−３０ｄＢの部分）での周波数マージンが約８ＭＨｚ増加した。なお、測定器はネットワークアナライザを用いて行ない、Ｓパラメータ測定をした。フィルタ特性測定には専用のテストフィクスチャを用いた。
【００４８】
本発明の弾性表面波フィルタでは、弾性表面波共振子に並列に外側ＩＤＴ電極を追加することで、比較的容易に共振子特性のΔｆを変えることができる。
【００４９】
図１０は本発明の弾性表面波共振子において、図１の構成で付加した外側ＩＤＴ電極３の本数を変化した場合のインピーダンス特性１３と位相特性１４を示したグラフである。
【００５０】
外側ＩＤＴ電極の本数は０、１０、２０、４０、８０本である。これをΔｆの変化で散布図に書き直したのが図１１に示すグラフである。外側ＩＤＴ電極の本数の増加とほぼ比例してΔｆが減少することがわかった。
【００５１】
なお、実験に用いたラダー型弾性表面波フィルタを構成するＩＤＴ電極および外側ＩＤＴ電極の１本の線幅は、概略０．５μｍとした。また、ＩＤＴ電極の交差幅はＷ＝１０λ（λは弾性表面波の波長：概略２μｍ）とした。
【００５２】
また、外側ＩＤＴ電極を、本来の弾性表面波フィルタを構成する弾性表面波共振子の両端に配置することで、片側に配置した場合に比べて弾性表面波共振子全体として対称な構造となる。これにより、異常な共振モードの発生が押さえられ、不要な帯域内リップルを防ぐことができる。
【００５３】
また、外側ＩＤＴ電極が、本来の弾性表面波フィルタを構成する弾性表面波共振子の両端からＩＤＴ電極線幅の整数倍の距離の９０％〜１１０％だけ離して配置することによって、異常な共振モードの発生が押さえられ、不要な帯域内リップルを防ぐことができる。
【００５４】
また、他の実施例として、図１３のようにＩＤＴ電極を３本単位で交互に噛み合っている櫛歯状電極指からなる外側ＩＤＴ電極を付加した弾性表面波共振子、図１４のような４本単位で交互に噛み合っている櫛歯状電極指からなる外側ＩＤＴ電極を付加した弾性表面波共振子があり、それぞれの弾性表面波共振子で発生する不要共振を１／３の周波数、１／４の周波数に移動させることができた。ただし、チップサイズが最小でΔｆを制御することができるのは２本単位である。チップサイズを優先させる設計の場合は２本単位とすべきである。このため、本構造は要求される周波数特性によって適宜変更し実施する必要がある。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の弾性表面波共振子は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成され、一方の櫛歯状電極の一部を構成する電極指と、他方の櫛歯状電極の一部を構成する電極指とが、１本ずつ交互に噛み合うように配置された内側ＩＤＴ電極と、前記圧電基板上であって、前記内側ＩＤＴ電極の片端側または両端側の弾性表面波伝搬路上に形成され、一方の櫛歯状電極の一部を構成する複数の電極指から成る電極指群と、他方の櫛歯状電極の一部を構成する複数の電極指から成る電極指群とが、電極指群どうしが交互に噛み合うように配置された外側ＩＤＴ電極と、を有し、前記内側ＩＤＴ電極と前記外側ＩＤＴ電極とが電気的に並列接続されたものである。これにより、圧電基板・カット方位及び電極膜厚を変えずに、急峻性に優れた通過帯域特性を有するラダー型弾性表面波フィルタを提供することができる。
【００５６】
また、１本ずつ交互に噛み合っていない櫛歯状電極指からなるＩＤＴ電極（外側ＩＤＴ電極）を内側ＩＤＴ電極に並列に付加したことで印加電力が分散され、結果として耐電力特性に優れる弾性表面波フィルタを提供できる。
【００５７】
さらに、電極のパターニング時に焦電効果等によって発生する静電気に起因するところの電極破壊も、印加電力が分散されるため発生しにくい優れた弾性表面波フィルタを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明の弾性表面波共振子の構造を示す平面図である。
【図２】
従来の弾性表面波共振子の構造を示す平面図である。
【図３】
本発明の別の実施例の弾性表面波共振子の構造を示す平面図である。
【図４】
本発明の弾性表面波共振子の構造を示す平面図である。
【図５】
本発明の弾性表面波共振子を直列腕に用いたラダー型弾性表面波フィルタの構造を示す平面図である。
【図６】
従来の弾性表面波共振子を用いたラダー型弾性表面波フィルタの構造を示す平面図である。
【図７】
本発明の弾性表面波共振子を並列腕に用いたラダー型弾性表面波フィルタの構造を示す平面図である。
【図８】
本発明の弾性表面波共振子のインピーダンス特性と位相特性を示すグラフである。
【図９】
本発明の弾性表面波共振子を用いたラダー型弾性表面波フィルタの周波数特性を示すグラフである。
【図１０】
本発明の弾性表面波共振子の外側ＩＤＴ電極の本数を変化させた場合のインピーダンス特性と位相特性を示すグラフである。
【図１１】
本発明の弾性表面波共振子の外側ＩＤＴ電極の本数を変化させた場合のΔｆの変化を示すグラフである。
【図１２】
本発明の弾性表面波共振子の等価回路を示すグラフである。
【図１３】
本発明の弾性表面波共振子の別の実施例の構造を示す平面図である。
【図１４】
本発明の弾性表面波共振子の別の実施例の構造を示す平面図である。
【符号の説明】
１：ＩＤＴ電極（内側ＩＤＴ電極）
２：反射器電極
３：２本単位で交互に噛み合った櫛歯状電極指からなるＩＤＴ電極（外側ＩＤＴ電極）
４：入力電極
５：出力電極
６：グランド電極
７：従来の弾性表面波共振子のインピーダンス特性
８：本発明の弾性表面波共振子のインピーダンス特性
９：従来の弾性表面波共振子の位相特性
１０：本発明の弾性表面波共振子の位相特性
１１：従来の弾性表面波共振子を用いた弾性表面波フィルタの周波数特性
１２：本発明の弾性表面波共振子を用いた弾性表面波フィルタの周波数特性
１３：本発明の弾性表面波共振子の外側ＩＤＴ電極の本数を変化した場合のインピーダンス特性
１４：本発明の弾性表面波共振子の外側ＩＤＴ電極の本数を変化した場合の位相特性
１５：従来の弾性表面波共振子の等価的内部容量Ｃ１
１６：従来の弾性表面波共振子の等価的並列容量Ｃo
１７：本発明の弾性表面波共振子の等価的内部容量Ｃｐ
１８：従来の弾性表面波共振子の等価的内部抵抗Ｒ
１９：従来の弾性表面波共振子の等価的内部インダクタＬ１
２０：３本単位で交互に噛み合った櫛歯状電極指からなるＩＤＴ電極（外側ＩＤＴ電極）
２１：４本単位で交互に噛み合った櫛歯状電極指からなるＩＤＴ電極（外側ＩＤＴ電極）
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2004007093.tif 000001
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2004007093.tif 000002
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2004007093.tif 000003
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2004007093.tif 000004
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
2004007093.tif 000005
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４】
2004007093.tif 000006