【手続補正書】
【提出日】平成18年4月5日(2006.4.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  少なくとも２種類の分散の異なる材質からなる複数個の回折格子を有し、使用波長領域全域で特定次数の回折効率を高めた回折光学素子であって、間隔を隔てて積層された２つの回折格子の対応する格子部のエッジを該格子部の並び方向に互いにずらしたことを特徴とする回折光学素子。
【請求項２】  少なくとも２種類の分散の異なる材質からなる複数個の回折格子を有し、使用波長領域全域で特定次数の回折効率を高めた回折光学素子であって、間隔を隔てて積層された２つの回折格子の対応する格子部のピッチを互いに異ならせたことを特徴とする回折光学素子。
【請求項３】  少なくとも２種類の分散の異なる材質からなる複数個の回折格子を有し、少なくとも２つの波長で最大光路長差が波長の整数倍になるようにした回折光学素子であって、間隔を隔てて積層された２つの回折格子の対応する格子部のエッジを該格子部の並び方向に互いにずらしたことを特徴とする回折光学素子。
【請求項４】  少なくとも２種類の分散の異なる材質からなる複数個の回折格子を有し、少なくとも２つの波長で最大光路長差が波長の整数倍になるようにした回折光学素子であって、間隔を隔てて積層された２つの回折格子の対応する格子部のピッチを互いに異ならせたことを特徴とする回折光学素子。
【請求項５】  前記２つの回折格子は、それぞれ格子ピッチが変化しており、前記２つの回折格子の対応する格子部間のエッジのずれは、格子部の格子ピッチが小さくなるにつれて大きくなっていることを特徴とする請求項１又は３の回折光学素子。
【請求項６】  前記複数個の回折格子の基板から数えて第Ｌ番目の回折格子を構成する材質の入射光束側の任意の波長λでの屈折率をｎ１Ｌ、射出側の屈折率をｎ２Ｌ、入射光束の格子面法線とのなす各をθＬ、格子ピッチをＰ、第Ｌ番目の回折格子の格子厚をｄＬ、第Ｌ番目の回折格子と第（Ｌ＋１）番目の回折格子の間隔をＤＬとしたとき、第（Ｌ＋１）番目の回折格子の格子部と第Ｌ番目の回折格子の格子部のエッジ部間の位置ずれΔｘＬは
０＜ΔｘＬ≦2 （（ｄＬ/2) ＋ＤＬ)*tan αL+1
αL+1＝sin-1((n1L*sinθＬ- （ｎ１Ｌ- ｎ２Ｌ）ｄ１/P)/n2L)
を満たすことを特徴とする請求項１〜４いずれかの回折光学素子。
【請求項７】  前記回折光学素子はその光通路面内で複数のエリアを有し、該複数のエリア中、一部のエリアの積層されている格子部のエッジを互いにずらしていることを特徴とする請求項１〜４いずれかの回折光学素子。
【請求項８】  前記回折格子の格子部の格子エッジのずれは該格子部の特定位置での格子ピッチの幅を変化させて実現していることを特徴とする請求項１〜４いずれかの回折光学素子。
【請求項９】  前記格子部のエッジ又はピッチが互いにずれている格子部を有する２つの回折格子を、空気層を介して、対面させたものより成ることを特徴とする請求項１〜４いずれかの回折光学素子。
【請求項１０】  前記使用波長領域は波長４５０ｎｍ〜６５０ｎｍの範囲であり、特定次数の回折効率を９５％以上となるように高めていることを特徴とする請求項１〜４いずれかの回折光学素子。
【請求項１１】  請求項１〜１０のいずれかの回折光学素子を用いたことを特徴とする光学系。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明の回折光学素子は、少なくとも２種類の分散の異なる材質からなる複数個の回折格子を有し、使用波長領域全域で特定次数の回折効率を高めた回折光学素子であって、間隔を隔てて積層された２つの回折格子の対応する格子部のエッジを該格子部の並び方向に互いにずらしたことを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項２の発明の回折光学素子は、少なくとも２種類の分散の異なる材質からなる複数個の回折格子を有し、使用波長領域全域で特定次数の回折効率を高めた回折光学素子であって、間隔を隔てて積層された２つの回折格子の対応する格子部のピッチを互いに異ならせたことを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
請求項３の発明の回折光学素子は、少なくとも２種類の分散の異なる材質からなる複数個の回折格子を有し、少なくとも２つの波長で最大光路長差が波長の整数倍になるようにした回折光学素子であって、間隔を隔てて積層された２つの回折格子の対応する格子部のエッジを該格子部の並び方向に互いにずらしたことを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
請求項４の発明の回折光学素子は、少なくとも２種類の分散の異なる材質からなる複数個の回折格子を有し、少なくとも２つの波長で最大光路長差が波長の整数倍になるようにした回折光学素子であって、間隔を隔てて積層された２つの回折格子の対応する格子部のピッチを互いに異ならせたことを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
請求項５の発明は、請求項１又は３の発明において、前記２つの回折格子は、それぞれ格子ピッチが変化しており、前記２つの回折格子の対応する格子部間のエッジのずれは、格子部の格子ピッチが小さくなるにつれて大きくなっていることを特徴としている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項６の発明は、請求項１から４のいずれか１項の発明において、前記複数個の回折格子の基板から数えて第Ｌ番目の回折格子を構成する材質の入射光束側の任意の波長λでの屈折率をｎ１Ｌ、射出側の屈折率をｎ２Ｌ、入射光束の格子面法線とのなす各をθＬ、格子ピッチをＰ、第Ｌ番目の回折格子の格子厚をｄＬ、第Ｌ番目の回折格子と第（Ｌ＋１）番目の回折格子の間隔をＤＬとしたとき、第（Ｌ＋１）番目の回折格子の格子部と第Ｌ番目の回折格子の格子部のエッジ部間の位置ずれΔｘＬは
０＜ΔｘＬ≦2 （（ｄＬ/2) ＋ＤＬ)*tan αL+1
αL+1＝sin-1((n1L*sinθＬ- （ｎ１Ｌ- ｎ２Ｌ）ｄ１/P)/n2L)
を満たすことを特徴としている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
請求項７の発明は、請求項１から４のいずれか１項の発明において、前記回折光学素子はその光通路面内で複数のエリアを有し、該複数のエリア中、一部のエリアの積層されている格子部のエッジを互いにずらしていることを特徴としている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
請求項８の発明は、請求項１から４のいずれか１項の発明において、前記回折格子の格子部の格子エッジのずれは該格子部の特定位置での格子ピッチの幅を変化させて実現していることを特徴としている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
請求項９の発明は、請求項１から４のいずれか１項の発明において、前記格子部のエッジ又はピッチが互いにずれている格子部を有する２つの回折格子を、空気層を介して、対面させたものより成ることを特徴としている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
請求項１０の発明は、請求項１から４のいずれか１項の発明において、前記使用波長領域は波長４５０ｎｍ〜６５０ｎｍの範囲であり、特定次数の回折効率を９５％以上となるように高めていることを特徴としている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
請求項１１の発明の光学系は、請求項１〜１０のいずれかの回折光学素子を用いたことを特徴としている。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】