【手続補正書】
【提出日】平成18年6月30日(2006.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力された試験データに対する解析条件あるいは解析手順を含む解析操作の操作情報、または、該解析操作により得られた解析情報を、自動的に記録する半導体試験データ解析システムであって、
演算手段と、
前記試験データを解析対象データとして記憶する解析対象データ記憶手段と、
前記解析操作の操作情報と、前記解析操作により得られた解析情報との少なくとも一方を履歴データとして記憶する履歴データ記憶手段と、
前記解析操作により得られた解析情報を記憶するために、前記演算手段により作成される解析表示データを記憶する表示データ記憶手段と
を含んでなり、
新たな解析操作が指定されると、前記演算手段が、前記入力された試験データを、データベースまたはデータファイルから読み込み、解析対象データとして該試験データを前記解析対象データ記憶手段に記憶し、前記解析対象データと前記履歴データと前記表示データとのうちの少なくとも１つの情報を前記新たに指定された解析操作により処理する半導体試験データ解析システム。
【請求項２】
前記演算手段が、新たに指定された解析操作により、前記解析対象データを加工することを含み、該解析対象データを加工することが、フィルタリングまたは並べ替えをさらに実行することを含むことを特徴とする請求項１に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項３】
前記新たな解析操作の操作情報または前記解析情報に関連する解析対象データが、新たな解析対象データとして前記解析対象データ記憶手段にさらに記憶され、前記新たな解析操作の操作情報または解析情報に関連する履歴データが、新たな履歴データとして前記履歴データ記憶手段に記憶され、前記新たな解析操作の操作情報または解析情報に関連する表示データが、新たな表示データとして前記表示データ記憶手段に記憶されることを特徴とする請求項１に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項４】
データベースとデータファイルと前記解析対象データと前記履歴データと前記表示データとの少なくとも１つに関する操作情報または解析情報を、複製、合成、または統合して、新たな操作情報または解析情報を作成する請求項１に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項５】
表示装置と入力装置とをさらに含み、前記表示装置が、前記解析対象データ記憶手段に記憶されている解析対象データに関連するデータウィンドウと、前記履歴データ記憶手段に記憶されている履歴データに関連する履歴ウィンドウと、前記表示データ記憶手段に記憶されている表示データに関連する表示ウィンドウと、前記解析操作の操作情報または解析情報の表示もしくは特定を行う複数のアイコンとの少なくとも１つを表示するものである請求項１に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項６】
前記複数のアイコンが、
前記解析操作の操作情報に関連する選択を表示または選択を行うための手段と、
前記解析操作の解析情報に関連する選択を表示または選択を行うための手段と、
前記解析操作の操作情報に関連する選択を表示または選択を行うための手段と、
前記解析操作の解析情報に関連する選択を表示または選択を行うための手段との間の関連を表す指標を作成する手段と、
前記解析操作の解析情報を可視化するための選択を表示または選択を行うための手段と
の少なくとも１つを含む請求項５に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項７】
前記複数のアイコンのうちの１つのアイコンが特定されると、前記アイコンに関連する前記解析操作に後続する、解析対象データがさらに特定されるか、前記アイコンに関連する前記解析操作が自動的に再実行されるか、または、そのアイコンに関連するバッチ処理を開始し、
前記解析システムによって前記解析操作に関連する複数のアイコンがさらに特定されると、それぞれの該アイコンによってそれぞれ特定されるデータを、複製、合成、または統合するものである、請求項５に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項８】
前記解析システムによってデータの可視化に関連する複数の前記アイコンが互いに関連付けられると、１つのアイコンによって特定される解析操作により得られる解析情報と、別のアイコンによって特定される解析操作により得られる解析情報とが、同一のウィンドウ内に可視化されて表示されることを含む請求項５に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項９】
演算手段と、解析対象データ記憶手段と、履歴データ記憶手段と、表示データ記憶手段とを含む半導体試験データ解析システムにおいて実施される半導体試験データ解析方法であって、
前記試験データを前記演算手段によって演算するステップと、
前記解析対象データ記憶手段に入力された試験データを解析データとして記憶するステップと、
該入力された解析操作の操作情報と、前記解析操作により得られた解析情報とのいずれかを履歴データとして前記履歴データ記憶手段に記憶するステップと、
前記解析操作により得られた解析情報を表示するために、前記演算手段により作成される解析表示データを表示データ記憶手段に記憶するステップと、
新たな解析操作が指定されると、前記演算手段が、前記入力された試験データを前記解析操作に従って処理し、データベースとデータファイルと前記解析対象データと前記履歴データと前記表示データとのうちの少なくとも１つに関する操作情報または解析情報を、複製、合成、または統合して、新たな操作情報または解析情報を作成するステップと
を含んでなる半導体試験データ解析方法をコンピュータに実行させるためのコンピュータプログラム。
【請求項１０】
入力された試験データに対する解析条件あるいは解析手順を含む解析操作の操作情報と、該解析操作により得られた解析情報とを、前記解析操作中に自動的に記録する半導体試験データ解析システムであって、
演算手段と、
前記試験データを解析対象データとして記憶する解析対象データ記憶手段と、
前記解析操作の操作情報と、前記解析操作により得られた解析情報との少なくともいずれかを履歴データとして記憶する履歴データ記憶手段と、
前記解析操作の操作情報と前記解析操作により得られた解析情報とを記憶し、前記演算手段により作成される解析表示データを記憶する表示データ記憶手段と、
前記解析対象データ記憶手段に記憶されている前記解析対象データに関連するデータウィンドウと、前記履歴データ記憶手段に記憶されている履歴データに関連する履歴ウィンドウと、前記表示データ記憶手段に記憶されている表示データに関連する表示ウィンドウと、前記解析操作の操作情報または解析情報の表示または特定を行うための複数のアイコンとのうちの少なくとも１つを表示する表示装置であって、該複数のアイコンが、前記解析操作の解析対象データに関連する表示または特定を行う手段と、前記解析操作の解析情報に関連する表示または特定を行う手段と、前記解析操作の解析対象データに関連する表示または特定を行う手段と、前記解析操作の解析情報に関連する表示または特定を行う手段との間における関連付けを表す指標を作成する手段と、前記解析操作の解析情報を可視化するための表示または特定を行う手段とのいずれかを含むものである、表示装置と
を含んでなり、
新たな解析操作が指定されると、該新たな解析操作により処理された少なくとも１つの情報に関連して新たに作成された解析対象データ、履歴データ、または、解析表示データを表示するために、前記演算手段が、前記入力された試験データと前記解析対象データと前記履歴データと前記解析表示データとを該新たな解析操作により処理するものである、
半導体試験データ解析システム。
【請求項１１】
演算手段と、解析対象データ記憶手段と、履歴データ記憶手段と、表示データ記憶手段とを含んでなる半導体試験データ解析システムにおいて実施される半導体試験データ解析方法であって、
前記試験データを前記演算手段によって演算するステップと、
前記解析対象データ記憶手段に入力された試験データを解析対象データとして記憶するステップと、
該入力された解析操作の操作情報と、前記解析操作により得られた解析情報とのいずれかを履歴データとして前記履歴データ記憶手段に記憶するステップと、
前記解析操作の操作情報と前記解析操作により得られた解析情報とを表示するために、前記演算手段により作成される解析表示データを表示データ記憶手段に記憶するステップと、
前記入力装置から操作情報または解析操作の解析情報を入力するステップと、
前記解析対象データ記憶手段に記憶されている前記解析対象データに関連するデータウィンドウと、前記履歴データ記憶手段に記憶されている履歴データに関連する履歴ウィンドウと、前記表示データ記憶手段に記憶されている表示データに関連する表示ウィンドウと、前記解析操作の操作情報または解析情報の表示または特定を行うための複数のアイコンとのうちの少なくとも１つを表示装置に表示するステップであって、該複数のアイコンが、前記解析操作の解析対象データに関連する表示または特定を行う手段を生成するステップと、前記解析操作の解析情報に関連する表示または特定を行う手段を生成するステップと、前記解析操作の解析対象データに関連する表示または特定を行う手段と、前記解析操作の解析情報に関連する表示または特定を行う手段との間における関連付けを表す指標を作成する手段を生成するステップと、前記解析操作の解析情報を可視化するための表示または特定を行う手段を生成するステップとのいずれかにより生成されるものである、表示するステップと
を含んでなり、
新たな解析操作が指定されると、該新たな解析操作により処理された少なくとも１つの情報に関連して新たに作成された解析対象データ、履歴データ、または、解析表示データを表示するために、前記演算手段が、前記入力された試験データと前記解析対象データと前記履歴データと前記解析表示データとを該新たな解析操作により処理するものである、
半導体試験データ解析方法。
【請求項１２】
入力された試験データに対する解析条件あるいは解析手順を含む解析操作の操作情報と、該解析操作により得られた解析情報とを自動的に記録する半導体試験データ解析システムにおける表示方法であって、該半導体試験データ解析システムは処理手段および表示手段を含んでおり、
第１のアイコンとして、第１の解析操作の第１の解析対象データを表示するステップと、
第２のアイコンとして、前記第１の解析操作の第１の操作情報を表示するステップと、
前記第１の操作情報が前記第１の解析操作の処理に関連しているものであって、第１の矢印として、前記第１のアイコンと前記第２のアイコンとの間の関係を表す第１の指標を表示するステップと、
第３のアイコンとして、前記第１の解析操作の第２の操作情報を表示するステップと、
前記第２の操作情報が前記第１の解析操作のデータの可視化に関連しており、前記アイコンのいずれかの解析条件が変化すると、前記第１の解析操作が自動的に再実行されるものであって、第２の矢印として、前記第２のアイコンと前記第３のアイコンとの間の関係を表す第２の指標を表示するステップと
を含んでなる、半導体試験データ解析システムにおける表示方法。
【請求項１３】
入力された試験データに対する解析条件あるいは解析手順を含む解析操作の操作情報と、該解析操作により得られた解析情報とを自動的に記録する半導体試験データ解析システムにおける表示方法であって、該半導体試験データ解析システムは処理手段および表示手段を含んでおり、
第１のアイコンとして、第１の解析操作の第１の解析対象データを表示するステップと、
第２のアイコンとして、前記第１の解析操作の第１の操作情報を表示するステップと、
前記第１の操作情報が前記第１の解析操作の処理に関連しているものであって、第１の矢印として、前記第１のアイコンと前記第２のアイコンとの間の関係を表す第１の指標を表示するステップと、
第３のアイコンとして、前記第１の解析操作の第２の操作情報を表示するステップと、
前記第２の操作情報が前記第１の解析操作のデータの可視化に関連するものであって、第２の矢印として、前記第２のアイコンと前記第３のアイコンとの間の関係を表す第２の指標を表示するステップと、
第４のアイコンと第５のアイコンと半透明に表示された第３の矢印として、前記第２のアイコンと前記第３のアイコンと前記第１の解析操作の前記第２の矢印とをコピーするステップと、
第６のアイコンとして、第２の解析対象データを表示するステップと、
前記第４のアイコンと前記第５のアイコンと前記第６のアイコンと前記第３の矢印と前記第４の矢印とを含む第２の解析操作を表示するように、第４の矢印として、前記第６のアイコンと前記第４のアイコンとの間の関係を表す第３の指標を表示するステップと
を含んでなる、半導体試験データ解析システムにおける表示方法。
【請求項１４】
入力された試験データに対する解析条件あるいは解析手順を含む解析操作の操作情報と、該解析操作により得られた解析情報とを自動的に記録する半導体試験データ解析システムにおける表示方法であって、該半導体試験データ解析システムは処理手段および表示手段を含んでおり、
第１のアイコンとして、第１の解析操作の第１の解析対象データを表示するステップと、
第２のアイコンとして、前記第１の第１の解析操作の第１の操作情報を表示するステップと、
前記第１の操作情報が前記第１の解析操作の処理に関連しているものであって、第１の矢印として、前記第１のアイコンと前記第２のアイコンとの間の関係を表す第１の指標を表示するステップと、
第３のアイコンとして、前記第１の解析操作の第２の操作情報を表示するステップと、
前記第２の操作情報が前記第１の解析操作のデータの可視化に関連するものであって、第２の矢印として、前記第２のアイコンと前記第３のアイコンとの間の関係を表す第２の指標を表示するステップと、
第７のアイコンと第８のアイコンと第９のアイコンと、該第７のアイコンから該第８のアイコンへと接続された第５の矢印と、該第８のアイコンから第３の解析操作の該第９のアイコンへと接続された第６の矢印とを表示するステップと、
該第９のアイコンが、対応する少なくとも１つの軸の間の単位系に互換性があることを前記表示装置上で可視化して示すものであって、前記第３のアイコンから前記第９のアイコンへと接続された第７の矢印を表示するステップと
を含んでなる、半導体試験データ解析システムにおける表示方法。