【手続補正書】
【提出日】平成18年2月21日(2006.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体面上のパターンを像面上に投影する反射型投影光学系であって、
前記像面から光路を辿って２番目のミラーに集光光束が入射すると共に、当該ミラーの近軸倍率が−０．１４以下であることを特徴とする反射型投影光学系。
【請求項２】
物体面上のパターンを像面上に縮小投影する反射型投影光学系であって、
前記像面から光路を辿って２番目のミラーに集光光束が入射すると共に、当該集光光束の周辺光線のなす角が、前記反射型投影光学系の開口数が０．２５以上の場合に３度以上であることを特徴とする反射型投影光学系。
【請求項３】
前記反射型投影光学系は、６枚以上のミラーを有することを特徴とする請求項１又は２記載の反射型投影光学系。
【請求項４】
前記像面から光路を辿って３番目のミラーは、最も有効径が大きいことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の反射型投影光学系。
【請求項５】
前記反射型投影光学系を構成するミラーはすべてＥＵＶ光を反射する多層膜を有する非球面ミラーであることを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか一項記載の反射型投影光学系。
【請求項６】
前記物体面上に配置された反射型マスクからの反射光を投影することを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか一項記載の反射型投影光学系。
【請求項７】
前記物体面側が非テレセントリックであることを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか一項記載の反射型投影光学系。
【請求項８】
物体面上のパターンを像面上に縮小投影する反射型投影光学系であって、
前記物体面から前記像面にかけて光路に沿って、第１のミラー、第２のミラー、第３のミラー、第４のミラー、第５のミラー、第６のミラーの順に光を反射する６枚のミラーを有し、
前記第１のミラーが凸面形状又は平面形状を有しており、前記第５のミラーには集光光束が入射することを特徴とする反射型投影光学系。
【請求項９】
前記第５のミラーの近軸倍率は、−０．１４以下であることを特徴とする請求項８記載の反射型投影光学系。
【請求項１０】
前記反射型投影光学系の開口数が０．２５以上の場合に、前記集光光束の周辺光のなす角が３度以上であることを特徴とする請求項８又は９記載の反射型投影光学系。
【請求項１１】
前記像面から光路を辿って２番目のミラーの近軸倍率が−３０以上、−０．４以下であることを特徴とする請求項１乃至１０のうちいずれか一項記載の反射型投影光学系。
【請求項１２】
前記第５のミラーの近軸倍率が、−３０以上、−０．４以下であることを特徴とする請求項８記載の反射型投影光学系。
【請求項１３】
前記投影光学系の開口数が０．２５以上の場合に、前記集光光束の周辺光線のなす角が９度以上であることを特徴とする請求項１乃至１２のうちいずれか一項記載の反射型投影光学系。
【請求項１４】
前記物体面側から前記像面側にかけて順に、前記第２のミラー、前記第１のミラー、前記第４のミラー、前記第６のミラー、前記第３のミラー、前記第５のミラーが配置されており、前記第４のミラーと前記第３のミラーとの間に中間像を形成することを特徴とする請求項８記載の反射型投影光学系。
【請求項１５】
前記中間像を前記第４のミラーと前記第６のミラーとの間に形成することを特徴とする請求項１４記載の反射型投影光学系。
【請求項１６】
前記中間像を前記第６のミラーと前記第６のミラーとの間に形成することを特徴とする請求項１４記載の反射型投影光学系。
【請求項１７】
請求項１乃至１６のうちいずれか一項記載の反射型投影光学系と、
前記物体面上にマスクのパターンを位置付けるべく当該マスクを保持するマスクステージと、
前記像面上に感光層を位置付けるべく被処理体を保持するウェハステージと、
前記ＥＵＶ光で前記マスクを照明する状態で前記マスクステージ及び前記ウェハステージを同期して走査する手段とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項１８】
光源からの光で前記パターンを照明する照明光学系と、前記パターンからの光を前記像面上に投影する、請求項１乃至１６のうちいずれか一項記載の反射型投影光学系とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項１９】
前記反射型投影光学系は、前記パターンからの反射光を前記像面上に投影することを特徴とする請求項１８記載の露光装置。
【請求項２０】
請求項１７乃至１９のうちいずれか一項記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての反射型投影光学系は、物体面上のパターンを像面上に投影する反射型投影光学系であって、前記像面から光路を辿って２番目のミラーに集光光束が入射すると共に、当該ミラーの近軸倍率が−０．１４以下であることを特徴とする。本発明の別の側面としての反射型投影光学系は、物体面上のパターンを像面上に縮小投影する反射型投影光学系であって、前記像面から光路を辿って２番目のミラーに集光光束が入射すると共に、当該集光光束の周辺光線のなす角が、前記反射型投影光学系の開口数が０．２５以上の場合に３度以上であることを特徴とする。本発明の更に別の側面としての反射型投影光学系は、物体面上のパターンを像面上に縮小投影する反射型投影光学系であって、前記物体面から前記像面にかけて光路に沿って、第１のミラー、第２のミラー、第３のミラー、第４のミラー、第５のミラー、第６のミラーの順に光を反射する６枚のミラーを有し、前記第１のミラーが凸面形状又は平面形状を有しており、前記第５のミラーには集光光束が入射することを特徴とする。本発明の更に別の側面としての露光装置は、上述の反射型投影光学系と、前記物体面上にマスクのパターンを位置付けるべく当該マスクを保持するマスクステージと、前記像面上に感光層を位置付けるべく被処理体を保持するウェハステージと、前記ＥＵＶ光で前記マスクを照明する状態で前記マスクステージ及び前記ウェハステージを同期して走査する手段とを有することを特徴とする。本発明の更に別の側面としての露光装置は、光源からの光で前記パターンを照明する照明光学系と、前記パターンからの光を前記像面上に投影する、上述の反射型投影光学系とを有することを特徴とする。本発明の更に別の側面としてのデバイス製造方法は、上述の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】削除
【補正の内容】