【事件の表示】
上記当事者間の特許第２７０５０２３号発明「被処理物の酸化方法」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２７０５０２３号の訂正後の請求項１ないし２、７ないし９に記載された発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第２７０５０２３号の請求項１乃至１１に係る発明についての出願は、平成６年１１月２日（優先日平成５年１１月２６日　日本国）に特許出願され、平成９年１０月９日にその発明について特許の設定登録がなされたが、その後、本件特許に対し異議の申立てがなされ、平成１１年３月２５日付け訂正請求がなされ、平成１１年８月３１日付けで本件特許を維持する旨の異議の決定がなされ、同年９月１６日にその異議の決定が確定したものである。
  これに対して、ホーヤ・ショット株式会社から平成１２年１月１４日に請求項１、２及び７乃至１０に係る発明の特許に対し無効審判の請求がなされ、平成１２年５月１２日付け訂正請求がなされ、平成１３年１月３１日に口頭審理がなされ、その後書面審理とされたものである。
ＩＩ．訂正の適否
１．訂正の内容
  平成１２年５月１２日付け訂正の内容は、平成１１年３月２５日付けで訂正された本件特許明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに、すなわち訂正事項ａ及び訂正事項ｂのとおりに訂正するものである。
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の「請求項７」を削除する。
（２）訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項７の削除に伴い、「請求項８乃至請求項１１」の番号を繰り上げてそれぞれ「請求項７乃至請求項１０」とし、かつ請求項８で引用する「請求項７」を「請求項６」に、請求項９で引用する「請求項８」を「請求項７」に、請求項１０で引用する「請求項９」を「請求項８」に、それぞれ訂正する。
２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａは、請求項７を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当し、また、訂正事項ｂは、請求項７の削除に伴って請求項の番号を整理するものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当する。そして、これら訂正は、特許明細書に記載した事項の範囲内でなされたものであるから新規事項の追加に該当せず、当該訂正によって実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
３．むすび
　したがって、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号、以下「平成６年改正法」という）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１３４条第２項ただし書の規定及び特許法第１３４条第５項で準用する平成６年改正法による改正前の第１２６条第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
ＩＩＩ．本件訂正後の特許発明
　本件審判請求の対象となっている請求項１、２及び７乃至１０に係る発明については、請求項７を削除する上記訂正を認容することができるから、訂正後の本件発明は、請求項８以降の番号が繰り上げられた請求項１、２及び７乃至９に記載された事項により特定される次のとおりのものである（以下、それぞれ「本件訂正発明１、２及び７乃至９」という）。
「【請求項１】キセノンガスを封入した誘電体バリヤ放電ランプが合成石英ガラスからなる光取り出し窓を有する容器の中に内蔵され、この容器内に窒素ガスを流し、この誘電体バリヤ放電ランプから放射される真空紫外光を光取り出し窓を通して、酸素を含む流体に照射させて、光化学反応によってオゾンおよび活性酸化性分解物を生成せしめ、このオゾンおよび活性酸化性分解物を被処理物に接触させて酸化させることを特徴とする被処理物の酸化方法。
【請求項２】キセノンガスを封入した誘電体バリヤ放電ランプが合成石英ガラスからなる光取り出し窓を有する容器の中に内蔵され、この容器内に窒素ガスを流し、この誘電体バリヤ放電ランプから放射される真空紫外光を光取り出し窓を通して、酸素を含む流体に照射させて、光化学反応によってオゾンおよび活性酸化性分解物を生成せしめ、このオゾンおよび活性酸化性分解物を被処理物に接触させて酸化させるとともに、前記真空紫外光を当該被処理物にも照射させて、それらの協同作用で当該被処理物を酸化させることを特徴とする被処理物の酸化方法。
【請求項７】被処理物を酸化させる際に、被処理物の表層または当該被処理物の酸化物が気体として当該被処理物から除去されるように酸化することを特徴とする、請求項１から請求項６のいずれかに記載の被処理物の酸化方法。
【請求項８】誘電体バリヤ放電ランプの形状が、二重円筒型もしくは平面型であることを特徴とする、請求項１から請求項７のいずれかに記載の被処理物の酸化方法。
【請求項９】誘電体バリヤ放電ランプの真空紫外光の取出部は、合成石英ガラス、サファイヤ、アルカリ金属ハライド、もしくはアルカリ土類金属ハライドのうちから選択された材料から成ることを特徴とする、請求項８に記載の被処理物の酸化方法。」
ＩＶ．請求人の主張と証拠方法及び記載事項
１．請求人の主張
　請求人は、先ず、本件特許発明の特許性判断の基準日について次の（１）に示す主張をすると共に、証拠方法として下記２．の証拠を提出して、訂正前の本件請求項１、２及び７乃至１０に係る発明の特許は、次の（２）乃至（３）の理由により、無効とすべきである旨主張している。
（１）本件特許発明の特許性判断の基準日について
　本件の請求項１、２及び７乃至１０に係る発明に共通する「キセノンガスを封入した誘電体バリヤ放電ランプが合成石英ガラスからなる光取り出し窓を有する容器の中に内蔵され、この容器内に窒素ガスを流し、この誘電体バリヤ放電ランプから放射される真空紫外光を光取り出し窓を通して、」という構成の特に、「光取り出し窓を有する容器」や「この容器内に窒素ガスを流し」という構成は、国内優先権主張の基礎となった出願（特願平５−３１９２３８号、出願日平成５年１１月２６日）の明細書及び図面には何ら記載がなく、後の出願である特願平６−２９１９９９号の明細書及び図面に段落【００３４】や図１１等として新たに追加された内容のものであるから、当該構成を有する本件特許発明の特許性判断の基準日は、後の出願の出願日である平成６年１１月２日である。
（２）無効理由について
（２−１）無効理由１について
　本件特許発明の特許性判断の基準日が平成６年１１月２日であれば、甲第１号証乃至甲第３号証は本件特許出願前に公然と頒布された刊行物であると云えるから、本件請求項１、２及び７乃至１０に係る発明は、これら証拠と下記証拠方法に示す証拠に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
（２−２）無効理由２について
  仮に本件特許発明の特許性判断の基準日が平成５年１１月２６日であるとしても、本件請求項１、２及び７乃至１０に係る発明は、下記証拠方法に示す甲第４号証乃至甲第８号証、甲第１０号証乃至甲第１１号証に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
  なお、訂正前の請求項７に係る無効理由については、請求人自らが口頭審理の場で平成１２年５月１２日付けの上記訂正を認めると共にこの訂正により解消されたことをも認めた（第１回口頭審理調書参照）ので、その内容の記載は省略する。
２．証拠方法及び記載事項
　甲第１号証乃至甲第１３号証には、それぞれ次の事項が記載されている。
（１）甲第１号証：「光技術コンタクト」Ｖｏｌ．３２、Ｎｏ．２、（社）日本オプトメカトロニクス協会、Ｉ９９４年（平成６年）２月２０日発行、第３０頁乃至第３７頁
（ａ）「われわれは、誘電体バリア放電を励起源としたエキシマランプの実用化を目的にして、種々の検討を行っているが、本報告では、放電用ガスとしてキセノン、クリプトン／塩素およびキセノン／塩素を使用した中空円筒形誘電体バリア放電エキシマランプの特性および応用について報告する。」（第３０頁右欄第１２行乃至第１８行）
（ｂ）「まず、図１を使用して、誘電体バリヤ放電について簡単に説明する。放電ランプの構造は、２枚の誘電体、例えば石英ガラス板によって放電空間を形成し、石英ガラス板の外側に放電用の電極を設けた構成である。ランプとして使用する場合には、光を取り出すために、一つの電極を網状など光透過性にする。」（第３０頁右欄乃至第３１頁第２行）
（ｃ）「放電ランプの形状としては、２枚の円板状の誘電体を平行に配置することによって円板状の放電空間を形成した円板形、あるいは同軸中空円筒形（図２参照）が主に使用されている。・・・光り取り出し用の窓部材を有さない構造の放電ランプ装置も提案されている。」（第３１頁右欄第３３行乃至第３２頁左欄第６行）
（ｄ）「５．エキシマ光照射装置の特性
２０ワット型エキシマ光照射装置の外観を図６に、光出力特性を表２に示す。照射装置は電源部と照射ユニット部に分かれている。照射ユニットにはランプ１本と反射鏡を収納しており、照射口の大きさは１００×１００ｍｍで、照射ユニット内を窒素パ一ジする構成である。また、真空中や特殊なガス中における試料に照射を行う場合には、上記照射ユニットに別の処理ユニットを接続出来る構造になっている。」（第３３頁右欄乃至第３４頁左欄第２行）
（ｅ）「６．応用
６．１　光洗浄（ＵＶ／Ｏ３洗浄）
精密洗浄法の１つとして紫外線とオゾンを使用する光洗浄がある。従来は１８５ｎｍと２５４ｎｍ光を放射する低圧水銀灯が用いられてきた。原理を下記に示す。１８５ｎｍは空気中の酸素に吸収されオゾンを発生し、２５４ｎｍ光はオゾンに吸収され、活性な原子状酸素に分解する。一方１８５ｎｍのような短波長紫外線は有機物の結合を切断し、原子状酸素の酸化作用と切断の作用により、有機物は酸化分解揮発される。キセノンエキシマランプの放射紫外線の波長は中心波長１７２ｎｍで半値幅は１４ｎｍである。やはり大気中の酸素に吸収される。１７５ｎｍより短波長は直接原子状の酸素に分解すると報告されている。１７２ｎｍはまた１８５ｎｍ光と同様にＯ３を生成し、原子状の酸素を生成する経路も有する。１７２ｎｍでの酸素の吸収係数は１８５ｎｍでの１桁以上高く空気中で強度が１／ｅになるのがわずか３ｍｍである。この間でオゾン、原子状酸素を生成するので、いままで光源から数十ｍｍの距離で吸収され、オゾン、原子状の酸素を生成していた、低圧水銀ランプに比較し、管壁数ミリの距離では、本ランプのそれら生成濃度は１０倍以上であると考えられる。
　この効果と１７２ｎｍ光が１８５ｎｍ光より光子のエネルギーが大きいため、有機物の切断力が高いことと相まって、従来の低圧水銀ランプより、洗浄効果が高いと予想される。」（第３４頁右欄乃至第３５頁左欄）
（ｆ）「６．２プラスチックの表面改質
プラスチックを大気中または減圧状態での酸素雰囲気で照射し、１７２ｎｍという短波長でプラスチックの表面の結合を切断し、前章で説明したメカニズムで生成した、Ｏ３および原子状酸素の強力な酸化作用により、カルボニル基・・・など極性基をプラスチック表面に導入し、塗装のぬれをよくし、接着強度を上げる手法である。」（第３５頁右欄１３行乃至第２１行）
（２）甲第２号証：特開平６−２１０２８６号公報
（ａ）「被処理物と処理用流体を接触させて該被処理物を処理する方法において、被処理物と処理用流体に誘電体バリヤ放電ランプからの１種の紫外線照射を照射して処理する方法は、処理が不完全であったり、あるいは処理の速度あるいは処理効率が必ずしも十分ではないという問題があった。」（第２頁第２欄第４７行乃至第３頁第３欄第３行）
（ｂ）「誘電体バリヤ放電ランプが、気密な放電空間を有し、紫外線を透過する光取り出し窓部材を通して紫外線を放射する場合には、ｎｍ単位で表した波長範囲・・・１２０から１９０・・・の波長範囲の紫外線を放射させる事により、高効率、高品位の処理方法が達成される。なぜなら上記波長範囲の紫外線は、少なくとも、それぞれ主たる発光用ガスとして、・・・キセノン・・・を使用することにより、それぞれの混合ガスのエキシマ分子によって発光可能であるが、これらのガスを使用することにより、発光用ガスの劣化が少なく、かつ光取り出し窓部材の劣化が少ない状態を実現できるからである。」（第３頁第４欄段落【０００８】）
（ｃ）「【実施例】本発明の第１の実施例である水処理方法の概略図を図１に示す。・・・第１の実施例に使用した同軸円筒形誘電体バリヤ放電ランプの概略図を図２に示す。放電容器１３は石英ガラス製で内側管１４と外側管１５を同軸に配置して中空円筒状にしたものである。内側管１４と外側管１５は誘電体バリヤ放電ランプの誘電体バリヤと光取り出し窓部材を兼任しており、それぞれの外面に光を透過する金属網からなる電極１６、１７が設けられている。」（第３頁第４欄第４４行乃至第４頁第５欄第５行）
（ｄ）「第１の誘電体バリヤ放電ランプ６ａ、６ｂは、発光ガスの主成分としてキセノンガスが封入されており、１７２ｎｍ付近で最大値を有する１２０から１９０ｎｍの波長範囲の紫外線を放出する。」（第４頁第５欄第１９行乃至第２２行）
（ｅ）「処理用流体である酸素１が処理用流体供給口２から多孔質の泡発生器８を通して泡状にして反応容器５に供給され、被処理物供給□４から反応容器５に供給された被処理物である水３に混合される。該被処理物である水と処理用流体である酸素の混合物に、反応空間領域１０、１１において第２および第１の誘電体バリヤ放電ランプ７ａ、７ｂおよひ６ａ、６ｂからの紫外線が同時に照射される。第１の誘電体バリヤ放電ランプ６ａ、６ｂから放射される紫外線によって酸素から非常に活性である酸素原子とオゾンとが生成される。該オゾンは第２の誘電体バリヤ放電ランプ７ａ、７ｂから放射される紫外線と第１の誘電体バリヤ放電ランプ６ａ、６ｂら放射される紫外線によって活性酸素原子と酸素分子に分解されるが、第１の紫外線と第２の紫外線のオゾンによる吸収係数が異なるので、反応空間領域１０、１１の広い範囲において活性酸素原子が生成される。」（第４頁第５欄第２６行乃至第４２行）
（３）甲第３号証：特開平６−２１０２８７号公報
「本発明の第３の実施例は、第１の実施例において第２の誘電体バリヤ放電ランプの発光物質を第１の誘電体バリヤ放電ランプと同一にするか、あるいは第１、第２の誘電体バリヤ放電ランプの放電空間を同一にして、すなわち１個の誘電体バリヤ放電ランプにした構成を特徴とする。この実施例では、反応空間領域８、９において主にオゾンを生成し、被処理物とオゾンの混合ガスに対して反応空間領域１０、１１において紫外線を照射して、被処理物の処理を行うものである。この実施例の方法では、装置が簡単になるという利点が生じる。」（第５頁第８欄段落【００２０】）
（４）甲第４号証：「洗浄設計　ＵＶ／Ｏ３クリーニング」１９８１年秋季号、第３７頁乃至第４６頁
（ａ）「２．ＵＶ／Ｏ３クリーニングとは？
ＵＶ／Ｏ３クリーニングとは、紫外線（Ｕｌｔｒａ　Ｖｉｏｌｅｔ　ｒａｙ）による有機化合物の化学結合の切断効果とオゾンの強力な酸化効果とを組み合せることにより、有機質汚れを揮発性の物質（たとえば、炭酸ガス、水、窒素など）に分解除去する洗浄方法である。」（第３８頁左欄）
（ｂ）「Ｏ３とＯ３の分解生成時に生ずる原子状酸素は非常に強力な酸化剤である。
　つまり、ＵＶ／Ｏ３クリーニングは、極短波長の光（たとえば１８４．９ｎｍ）と酸素との反応によるＯ３発生と短波長の光（たとえば２５３．７ｎｍ）のもつ化学結合解離効果とを組み合せた、光化学的酸化分解プロセスである。」（第３９頁左欄第２行乃至第９行）
（５）甲第５号証：「洗浄設計　紫外放射とオゾンを利用した光洗浄装置」１９８７年夏季号、第１０頁乃至第１６頁
「これらから、光洗浄法の原理を要約すれば、紫外放射による有機物の化学結合の切断効果と、紫外放射により発生したオゾンと励起酸素原子の強力な酸化効果の組合わせにより、有機物を分解・気化して除去する方法と言えよう。」（第１２頁左欄）
（６）甲第６号証：特開平１−２２８５９０号公報
（ａ）「第１図は、本願発明のオゾン水活性化装置に使用される紫外線ランプ１の断面図を示す。発光管１１は、少なくとも１５０ｎｍ乃至１８０ｎｍ・・・の波長域に光の透過域を有する単結晶質もしくは多多晶質セラミックス製であるが、本実施例では、内径が６ｍｍであり、真空紫外域を良く透過する多結晶アルミナ管からなる。・・・この発光管１１の両端には、例えば、ニオブからなるキャップ１２が嵌着して封止している。キャップ１２には電極１３が取付けられており、その間隔（放電長）は８ｃｍである。電極１３はステンレス筒１４とその内部に配置されたタングステンコイル１５からなり、コイル１５には、エミッターとして、ＳｒＯ、ＢａＯおよびＣａＯの三元アルカリ土類酸化物が塗布されている。発光管１１内には、希ガスとしてキセノンガスまたはキセノンガスに数％の他の希ガスが混入したガスが封入される。」（第２頁下段右欄第６行乃至第３頁上段左欄第５行）
（ｂ）「次に、第４図は、本オゾン水活性化装置の実施例を示す。・・・ここで生成したオゾンを含む空気がパイプ６１で容器３に導かれる。容器３の底面には、微小な噴出孔が多数形成されたノズル６が配置されており、パイプ６１で導かれたオゾンはこのノズル６から水中に噴出して溶解し、水をオゾン水に転化する。」（第３頁上段右欄第１７行乃至下段左欄第１１行）
（７）甲第７号証：「応用物理」第５８巻第２号、応用物理学会発行、１９８９年２月１０発行、第２９８乃至第３０６頁、第３４２頁
（ａ）「光灰化は、紫外線のエネルギーにより有機物の化学結合を切断し、雰囲気の酸素との反応でＣＯ２、Ｈ２Ｏなどの低分子に変化させ、レジストの除去を行うとされているが、これだけでは、レジストの種類による灰化速度の違いなどに、充分な説明ができない。
本論文は、光灰化について、・・・ノボラック系フォトレジストを中心に、若干の検討を行ったので報告する。また、比較的高速にレジスト除去が行えるＯ３雰囲気での光灰化が、最近報告されているが、本論文では、光灰化の基本的な特性とメカニズムを検討するために、Ｎ２およびＯ２雰囲気での光灰化について報告する。」（第２９９頁左欄）
（ｂ）「２．１装置概要
Ｆｉｇ．１に実験装置の概要を示す。装置はステンレス製で、反応チャンバーとランプハウスに分かれている。ランプハウスの紫外線光源には、１８４．９ｎｍなどに輝線を持つ、１１０およひ５００Ｗの低圧水銀灯を使用した。酸素による紫外線の吸収を防ぐために、ランプハウスにはＮ２ガスを流した。ランプハウスと反応チャンバーは合成石英板で隔てられ、紫外線は、この合成石英窓を通して反応チャンバー内に導入され、サンプル面に垂直に照射するようにした。反応チャンバーは、ロータリーポンプで排気して、Ｏ２ガス、あるいはＮ２ガスを導入し、マスフローコントローラにより、５００ｍｌ／ｍｉｎ程度の一定流量で流れるようにした。」（第２９９頁「２．実験」の項）
（ｃ）「同時にレジスト表面では、１８４．９、２５３．７ｎｍの紫外線、および熱によって、雰囲気のＯ２がオゾンＯ３や酸素ラジカルＯ＊の生成分解を繰り返しているために、レジスト内に生成しているラジカルがこれと結合し、架橋反応を妨げ、相対的に切断反応が増加してレジストが低分子量化し、除去されていくと考えられる。」（第３０５頁右欄「３．３．４　考察」の項）
（ｄ）「ポジ型ノボラック系フォトレジストの光灰化速度は、Ｏ２雰囲気では実用的とは言えない。しかし、レジスト表面の活性な酸素の存在が大きく作用していると考えられるので、Ｏ３雰囲気での光灰化のように、活性な酸素を効率よく生成し、効果的にレジスト表面にアタックさせることにより、さらに高速化が可能であると考えられる。」（第３０６頁「４．　むすび」の項）
（８）甲第８号証：特開昭６０−２１２２２６号公報
（ａ）「第１図は、本発明の実施例に使用される装置の断面図を示すが、照射室１は図示略の装置箱に内蔵されて二重構造をなし、発生したオゾンが外部に漏洩しないようになっている。照射室１内の上方には紫外線ランプ２としてＵ字状の３５０Ｗ高出力低圧水銀灯が２本配設され、その背部にミラー３が配設され、紫外線ランプ２の光は下方に向けて照射される。」（第２頁上段右欄１９行乃至下段左欄第６行）
（ｂ）「次に、被処理体５の上方の位置に石英ガラス板７が配設されており、被処理体５と紫外線ランプ２とを区画しているが、」（第２頁下段左欄第１４行乃至第１６行）
（ｃ）「しかして、被処理体５の近傍に処理用ガスが供給され、紫外線ランプ２を含む空間か減圧され、もしくは更に窒素ガスが注入される。そして、紫外線ランプ２が点灯されると紫外線は被処理体５の表面に照射され、表面に付着していた有機汚染物は分解されて洗浄などの処理がなされる。」（第３頁上段左欄第９行乃至第１４行）
（ｄ）「窒素ガスのように不活性であって紫外線を吸収しないガスの注入孔１４が設けられている。」（第２頁下段右欄第７行乃至第９行）
（９）甲第９号証の１：「広辞苑第三版」岩波書店発行、１９８８年１０月１１日、第１１３７頁
「じゅうてん（充填）：つめてふさぐこと。」
（１０）甲第９号証の２：「新明解国語辞典第四版」三省堂発行、１９９６年２月１日、第５７３頁
「じゅうてん（充填）：ある効果が現れるように、空間・（空所）がふさがるほど何かを一杯詰めること。」
（１１）甲第９号証の３：「新明解国語辞典第三版」三省堂発行、１９８７年１２月１５日、第５２３頁
「じゅうてん（充填）：ある効果が現れるように、空間・（空所）がふさがるほど何かを一杯詰めること。」
（１２）甲第９号証の４：「新明解国語辞典第五版」三省堂発行、１９９７年１２月１０日、第６３７頁
「じゅうてん（充填）：ある効果が現れるように、空間（空所）がふさがるほど何かを一杯詰めること。」
（１３）甲第１０号証：特開平５−１１７０６１号公報
（ａ）「この発明は、繊維、不織物、織物或いはシートによって形成される基体２の表面２Ｓの洗浄及び改良方法に関する。この表面２Ｓの洗浄或るいは改良のための反応基は、６０nmから３５０nmの波長を有する紫外光線をガス分子に照射することによって形成される。このように形成される反応基は、基体２の表面２Ｓを反応させる。」（第２頁段落【０００６】）
（ｂ）「この発明の表面処理方法によれば、基体表面が耐熱性を持たない材料で形成される場合であっても、基体表面は、この発明の表面処理方法による洗浄或いは改良が可能である。この方法によれば、洗浄作用ばかりでなく、表面の薄い有機体の層を取り除くことも可能である。」（第２頁段落【０００７】）
（ｃ）「６０ｎｍから１００ｎｍ、或いは１０７ｎｍから１６５ｎｍの波長を有する紫外線は、それぞれ、ヘリウムガスやアルゴンガスにより製造することができる。また、１６０ｎｍから１９０ｎｍの波長を有する紫外線は、キセノンガスを充填された高出力放射器３を使って製造することができ、この場合の最大波長は、１７２ｎｍとなる。フッ化アルゴン或いはフッ化クリプトンガスを充填すると、それぞれ、１８０ｎｍから２００ｎｍ、或いは２４０ｎｍから２５５ｎｍの波長を有する紫外線を製造することができる。３００ｎｍから３２０ｎｍの波長を有する紫外線は、キセノンガスと塩素ガスの混合ガスを充填した高出力放射器３を使って製造することができ、また、２２２ｎｍの波長を有する紫外線は、クリプトンガスと塩素ガスとの混合ガスを使用することにより製造することができる。また、この高出力放射器３は、準波動方式で駆動される。」（第３頁段落【００１１】）
（ｄ）「反応装置１に配置された基体２が、その全表面にわたって表面処理される場合には、高出力放射器３が基体表面２Ｓと同じ範囲の放射領域に使用される。空気、酸素、アンモニア、塩素、フッ素、塩化水素、フッ化水素或いは他のガスは、紫外放射による光束によって反応基に粘着されるが、これはフィードパイプから伝えることができる。基体２は、例えばポリカーボネイト／スチレンポリマー混合体（ＰＣ／ＡＢＳ）によって製造される。高出力放射器３には、キセノンガスが充填される。電子の衝撃のために、励起されたキセノン原子によりキセノン放電が起こり、その結果、エキサイマー放射が形成される。製造された紫外線は、１７２ｎｍの波長を有する。・・・紫外線による酸素分子の分裂の間、とても反応の良い破砕生成物であるＯ（ ３Ｐ）及びＯ（ １Ｄ）は、全基体表面或いは表面の吸収層が反応することにより製造される。その上、反応性に富み、基体２表面で反応するオゾンは、酸素分子の酸素原子の反応により形成される。」（第３頁段落【００１２】）
（１４）甲第１０号証の２：欧州特許第０２５４１１１号明細書
甲第１０号証の記載の中で「高出力紫外線放射器３」を説明するために引用された文献であり、「高出力紫外線放射器３」の説明内容は甲第１０号証の３の記載内容と同じ。
（１５）甲第１０号証の３：米国特許第４、８３７、４８４号明細書
（ａ）「高出力放射器は、一方の側に位置して空冷される金属電極８及び誘電体９に覆われた放電空間１２を含み、その放電空間１２が不活性ガスで充填され、誘電体９と他方の電極が放電空間１２から離間して対面し、無声放電により発生された放射線に対して透光性である。」（フロント頁の「要約」の項訳文）
（ｂ）「紫外線高出力放射器として、プレート４は紫外線に透光性である、例えば水晶又はサファイアからなる。非常に短い波長の放射の場合には、その物質は、例えばフッ化マグネシウム、フッ化カルシウムが適している。・・・誘電体プレート４と金属電極１は、１〜１０ｍｍの典型的な間隙幅を有する放電空間５の境界を形成している。誘電体プレート４の表面上には、放電空間５から離間して、ワイヤ網６を配置している。」（第３欄第３０行乃至第４１行訳文）
（１６）甲第１１号証：特開平１−１４４５６０号公報
（ａ）「第１図に示されているパネル形紫外線高出力放射器は実質的に、２つの水晶又はサファイアプレート１と２とから成り、・・・これらの水晶又はサファイアプレート１と２の外側表面は、比較的網目の荒いワイヤ網５と６を備え、ワイヤ網５と６はそれぞれ、パネル形紫外線高出力放射器の第１又は第２の電極を形成している。」（第４頁上段右欄第１５行乃至下段左欄第６行）
（ｂ）「フラット形放射器は例えば、ドライクリーニング工場等の排気ガス用煙突の中に紫外線パネルとして吊下げて、溶剤の残留物（例えばクロール炭水化物）を破壊するために使用される。」（第５頁上段右欄第１７行乃至第２０行）
（１７）甲第１２号証の１：特開平６−１４０３５０号公報
（ａ）「本発明の半導体製造装置は、複数のウェハを石英ボートに水平に搭載して縦型炉芯管に下方向から入炉させ、ウェハの酸化、拡散処理を行う際、縦型炉芯管の炉口部に窒素ガスパージノズルを設け、入炉中のウェハと平行方向に窒素ガスを吹き出し、ウェハ間に残存する空気を除去する構造を備えている。」（第２頁段落【０００４】）
（ｂ）「本実施例の縦型拡散炉は、石英管３の炉口に装備された窒素ガスパージノズル１からウェハ２と水平方向に窒素ガスをパージさせることにより、入炉中のウェハ間に残存する空気を除去することができる。窒素ガスパージノズル１は石英管３の炉口周辺に複数の窒素ガス吹出し口を有し、石英ボート４に水平間隔に搭載されている入炉中のウェハ２に向けて窒素ガスを吹きつける構造となっている。」（第２頁段落【０００７】）
（１８）甲第１２号証の２：特開平６−１３００３０号公報
「この発明によればアンモニアガス電極を検出端とする自動アンモニア測定装置において、測定セル上部の気相部にパージガス流通口を設け、測定セル等の検水流通系統の洗浄液流通による洗浄工程期間中、測定セルの気相部を清浄空気等の活性ガスでパージしてアンモニアガス電極と洗浄液から発生するガスとの接触を遮断しているので、洗浄液として高い洗浄能力をそなえた塩酸または硝酸のような揮発性の酸の濃厚水溶液の使用が可能となる。」（第３頁段落【００１５】）
（１９）甲第１３号証：「エキシマ光照射装置　技術資料」ＵＳＨＩＯ電機株式会社発行、９６−６−２０００ＳＥ、第１頁乃至第６頁
甲第１号証の第３４頁に記載の「型式ＵＥＲ２０−１７２」と型式番号が同じ「エキシマ光照射装置」の外観図が第５頁及び第６頁に示されており、この外観図には「薄型合成石英ガラスからなる光取り出し窓」が図示されている。
Ｖ．被請求人の反論と証拠方法及び記載事項
１．被請求人の反論 
（１）本件特許発明の特許性判断の基準日に対して
　本件特許発明の「光取り出し窓を有する容器」や「この容器内に窒素ガスを流し」という構成は、国内優先権主張の基礎となった出願（特願平５−３１９２３８号）の明細書及び図面の特に段落【００１５】と図１に記載されているから、本件特許発明の特許性判断の基準日は、先の出願の出願日である平成５年１１月２６日である。
　すなわち、「光取り出し窓を有する容器」については、先の明細書の段落【００１５】に「真空紫外光を良く透過する材料、例えば合成石英ガラスでの板５で電極を覆って」や「前記石英ガラスは、真空紫外光の取出部も兼ねているので、」と記載されているから、図１の「合成石英ガラス５」は「光取り出し窓」を兼ねる部材であることが明らかである。
　そうすると、本件特許発明の「合成石英ガラスからなる光取り出し窓を有する容器」という構成は、少なくとも光取り出し窓の部材が「合成石英ガラス」であることを意味し、その実施態様として図１に示す「合成石英ガラスの板５」からなる容器と、図１１に示す「金属容器３０に合成石英ガラスからなる光取り出し窓３１を設けた平板型容器３４」の両者を包含するものであるから、「光取り出し窓を有する容器」は、先の明細書の段落【００１５】と図１に記載されている。
　また、「この容器内に窒素ガスを流し」についても、先の明細書に「空所４には窒素ガスを充填してある。」と記載されており、そして「窒素ガスを流す」ことは、乙第１号証や乙第２号証から明らかな如く、「窒素ガスを充填する」ための一実施の形態として自明の事実であるから、先の明細書の「空所４に窒素ガスを充填してある」とは「空所４に窒素ガスを流す」ことを含むことは明らかである。
（２）無効理由に対して
（２−１）無効理由１に対して
　本件特許発明の特許性判断の基準日が仮に後の出願の出願日である平成６年１１月２日であるとしても、少なくとも本件請求項１に係る発明は、甲第１号証、甲第２号証及び甲第１０号証等から容易に発明をすることができないものであるから、その他の本件発明も容易に発明をすることができないものである。
　すなわち、甲第１号証に記載の「エキシマ光照射装置」には、「合成石英ガラスからなる光取り出し窓部材」は存在しない。また請求人は、甲第１号証の「光取り出し用の窓部材を有さない構造の放電ランプ装置も提案されている」との記載を根拠に、光取り出し用の窓部材を有さない放電ランプ装置が提案されている事実は「光取り出し用の窓部材を有する放電ランプ装置」が一般的であることを意味していることであると主張しているが、甲第１号証の上記記載で引用する文献、すなわち光取り出し用の窓部材を有さない放電ランプ装置に関する乙第３号証乃至乙第５号証の記載に基づいて「取り出し用の窓部材を有する放電ランプ装置」を想定したとしても、想定される「放電ランプ装置」は本件訂正発明１のランプ構造と全く相違するものであるから、本件訂正発明１は、甲第１号証や甲第２号証、甲第１０号証から当業者が容易に発明をすることができたものではなく、その他の本件訂正発明も当業者が容易に発明をすることができたものではない。
（２−２）無効理由２に対して
　本件特許発明の特許性判断の基準日は、先の出願の出願日である平成５年１１月２６日であることが明らかであり、また本件訂正発明１、２及び７乃至９は、甲第４号証乃至甲第８号証、甲第１０号証乃至甲第１１号証に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
２．証拠方法及び記載事項
　乙第１号証乃至第５号証には、それぞれ次の事項が記載されている。
乙第１号証：特開昭６１−２４８２４９号公報
（ａ）「窒素ガスを充填するためのチャンバ」（第１頁左欄）
（ｂ）「窒素ガスを窒素ガスチャンバ１内に流す。」（第４頁下段右欄）
乙第２号証：特開昭５３−７１５７０号公報
（ａ）「上記容器内及び筒体部内に窒素Ｎ２ガス等の不活性ガスを充填せしめ、」（第１頁左欄）
（ｂ）「そして、上記供給口４から窒素Ｎ２ガス等の不活性ガスを供給し、・・・上記不活性ガスで充満して、」（第２頁下段右欄）
乙第３号証：Ｐ．Ｂｅｒｇｏｎｚｏ ｅｔ ａｌ．，Ａｐｐｌ．Ｓｕｒｆａｃｅ Ｓｃｉｅｎｃｅ，５４（１９９２）ｐ４２４〜４２９
「Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ｏｆ ａ ｎｏｖｅｌ ｌａｒｇｅ ａｒｅａ ｅｘｃｉｍｅｒ ｌａｍｐ ｆｏｒ ｄｉｒｅｃｔ ｐｈｏｔｏ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍｓ」
「したがって、光成膜プロセスをセンシテイブにするのではなく、直接成膜する目的でウインドウレス放電ランプが開発された。しかしながら、光子生成に使われるイオン化した原子が成膜した薄膜中に存在することがある。エキシマレーザ技術の近年の進歩は、成膜に新しい技術を引き起こしている。しかしながら、エキシマレーザは極めて高価で、動作させるにもコストを要する。そして、極めて限られた範囲しか処理できない。この論文では、誘電体バリア放電ランプに基づいて、新規な大面積可変波長エキシマランプを記述する。」（第４２５頁左欄第１１行乃至第２３行訳文）
乙第４号証：Ｈ．Ｅｓｒｏｍ，Ａｐｐｌ.．Ｓｕｒｆａｃｅ ｓｃｉｅｎｃｅ，５４（１９９２）ｐ４４０〜４４４
「Ｍｅｔａｌ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｗｉｔｈ ａ ｗｉｎｄｏｗｌｅｓｓＶＵＶ ｅｘｃｉｍｅｒ ｓｏｕｒｃｅ」
「２．窓なし真空紫外光光源
２．１．電極の構成
真空紫外光の放射は、特殊な不平衡状態のガス放電中における希ガス、すなわち、アルゴン、クリプトン、キセノンのエキシマ形成に基づいておこる。何人かによって報告されているように、これら希ガスエキシマが、瞬間的に連続して、約０．１〜１バールの圧力範囲において、無声放電（誘電体バリア放電）の中で得られる。波長は１７２ｎｍにピークを有するキセノンエキシマ放射は、まだ高純度石英窓を通して透過可能であるけれども、もっと短い波長にピークを有するクリプトン、アルゴンからのエキシマ放射は、弗化マグネシウム、弗化カルシウム、弗化リチウムのようなより高価な窓材を使わなければならない。このような窓材は高価であり、所望の大きさで利用することはできない。そして、最も重要なことは、放射のダメージを受けるということである。このことは、カラーセンターの形成を招き、結果としてＵＶ透過率を低下させてしまう。
　このような問題は、図１に示す構造により解決できる。断面円筒状のガラス容器の中に１．５ｃｍ径の２つのガラスチューブが平行に配置する。これらのガラスチューブは、チューブ間に無声放電を形成するための誘電体として機能する。２つの金属電極は、各々ガラスチューブの中に埋設され、１．２５ｋＨｚで動作する交流高電圧電源に接続される。ガラスチューブ間は約０．４ｃｍである。電極を冷却することなしに、長さ１５ｃｍの２つのガラスチューブ間に２０Ｗまで消費することができた。
　照射される基板は、同じ容器の中に仕切窓を設けることなしに配置される。そして、真空紫外光は減衰することなく、また、窓汚れという問題を伴うことなく照射を達成することができる。」（第４４０頁右欄下から第１５行乃至第４４１頁右欄第９行訳文）
乙第５号証：Ｕ．ｋｏｇｅｌｓｃｈａｔｚ，Ａｐｐｌ．Ｓｕｒｆａｃｅ ｓｃｉｅｎｃｅ，５４（１９９２）ｐ４１０〜４２３
「Ｓｉｌｅｎｔ‐ｄｉｓｃｈａｒｇｅ ｄｒｉｖｅｎ ｅｘｃｉｍｅｒＵＶ ｓｏｕｒｃｅｓ ａｎｄ ｔｈｅｉｒ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ」
「完全に異なる電極形態がこの会議において初めに紹介される。
　多くの放電ギャップが、ガラス、石英、セラミックスのチューブの中に埋設され、平行に配置された円筒状電極間で生じる（図６）。すべての電極は、隣り合った電極間で交流高電圧が供給されるよう交流高圧電源の一の極性に接続される。そして、エキシマ形成ガスの中で放電が生ずると、多数の放電ギャップがかなり広い範囲にわたって、平面ＵＶ光源を実現する。大きな弗化マグネシウム窓を使った反応容器か、あるいは窓を使わない内部ランプの形態は、特別な用途で使われる。反応ガスとして、アルゴン、クリプトン、キセノンを使うと、基板は、図７に示すようなスペクトルのエキシマ放射を直接受けることができ、中間の窓部材を使う必要がなくなる。」（第４１４頁左欄下から第１５行乃至右欄第４行訳文）
ＶＩ．当審の判断
（１）本件特許発明の特許性判断の基準日について
　本件特許発明の特許性判断の基準日について検討するに、先ず本件特許発明の「光取り出し窓を有する容器」や「この容器内に窒素ガスを流し」という事項に関する後の明細書及び図面すなわち本件特許明細書及び図面の記載箇所と、これら事項に関連する国内優先権主張の基礎となった出願（特願平５−３１９２３８号）の明細書及び図面（以下、「先の明細書及び図面」という）の記載箇所とを摘示すると、次のとおりである。
（本件特許明細書及び図面の記載箇所）
（ｉ）「光取り出し窓を有する容器」に関する記載箇所
（ａ）「図１１には、誘電体バリア放電ランプを含むランプ装置について示す。このランプ装置は、図１における平行平板型の放電容器１の替わりに、図７に示した誘電体バリヤ放電ランプと類似の構造の二重円筒型誘電体バリヤ放電ランプ３３ａ、３３ｂ、３３ｃを内蔵して、図１における合成石英ガラスの板５で覆う替わりに、光反射板を兼ねた金属容器３０に合成石英ガラスからなる光取り出し窓３１を設けた平板型容器３４を設置した構成である。」（段落【００３４】）
（ｂ）「この実施例においては、高価な合成石英ガラス板を多数使用することがないので、安価に平板状光源装置が得られるという利点が生じる。」（段落【００３４】）
（ｉｉ）「この容器内に窒素ガスを流し」に関する記載箇所
（ｃ）「また、空所４に１分間あたり数リットルの窒素ガスを流すことにより、電極２０ａ、２０ｂ、２０ｃの保護に加えて、空所４における真空紫外光の吸収が無くなるので、実質的な平板状光源装置が得られた。」（段落【００３４】）
（ｉｉｉ）関連の図面は「図１１」
（先の明細書及び図面の記載箇所）
（ｉ）「光取り出し窓を有する容器」に関連する記載箇所
（ａ）「真空紫外光の取出部の全部もしくは一部が、合成石英ガラス、サファイヤ、アルカリ金属ハライドもしくはアルカリ土類金属ハライドのうちから選択された材料が良いことが言える。」（段落【０００８】）
（ｂ）「図１は、本発明に使用する誘電体バリヤ放電ランプの一例の説明図である。図において、１は、合成石英ガラスで作られた放電容器であって、寸法形状は、内寸法で１０ｃｍ×１０ｃｍ×０．６ｃｍの平行平板形である。」（段落【００１５】）
（ｃ）「前記石英ガラスは、真空紫外光の取出部も兼ねているので、」（段落【００１５】）
（ｄ）「本発明においては、上記ランプを酸化雰囲気中で使用することになるので、特に、真空紫外光を良く透過する材料、例えば合成石英ガラスでの板５で電極を覆って、」（段落【００１５】）
（ｅ）「したがって、少なくとも当該光の取出部が前記波長域の光を透過する構造になっていれば良く、かつその取出部の材料としては、合成石英ガラスに限定されることなく、サファイヤ、アルカリ金属ハライドやアルカリ土類金属ハライドの単結晶でも良い。そして、放電容器の当該紫外光を取り出さない部分には、反射コートを設けたり、反射コートを兼ねた電極を設けても良い。」（段落【００３２】）
（ｉｉ）「この容器内に窒素ガスを流し」に関連する記載箇所
（ｆ）「空所４には窒素ガスを充填してある。」（段落【００１５】）
（ｉｉｉ）関連の図面は「図１」
（対比・判断）
　本件特許発明の「光取り出し窓を有する容器」や「この容器内に窒素ガスを流し」という事項は、これら事項に関する本件特許明細書及び図面と先の明細書及び図面との上記記載箇所を対比すれば明らかな如く、後の出願明細書及び図面（本件特許明細書及び図面）に追加された「新たな実施例」（段落【００３４】や図１１に記載された実施例）によって導入された技術的事項である。また、図１１と図１に示された実施例同志を対比しても、両者はその構造が別異のものであるから、「光取り出し窓を有する容器」や「この容器内に窒素ガスを流し」については、さらに次の理由からみても先の明細書及び図面には示唆されていないと云うべきである。
「光取り出し窓を有する容器」について
　「光取り出し窓」という用語は、先の明細書及び図面にはなく、本件特許明細書の段落【００３４】で用いられた用語であり、そして、この「光取り出し窓」の「窓」とは、一般には「採光または通風の目的で、壁または屋根を貫いて設けた孔」（「広辞苑」（株）岩波書店発行）という意味であると認められる。
　ところで、本件特許発明の「光取り出し窓を有する容器」については、本件特許明細書の段落【００３４】に「図１における合成石英ガラスの板５で覆う替わりに」（上記（ａ）参照）設けられたと明記されており、その構造も、図１１から明らかな如く、窓の部分以外の構造が「光反射板を兼ねた金属容器３０」であると共に「光取り出し窓３１」の部分が容器の一部を貫いて設けられた「孔」に合成石英ガラスが嵌め込まれた構造であるから、図１に示された板５が兼用するような構造のものではない。そして、「光取り出し窓を有する容器」がこのような構造であるからこそ、本件特許明細書の段落【００３４】には「高価な合成石英ガラス板を多数使用することがないので、安価に平板状光源装置が得られるという利点が生じる。」（上記（ｂ）参照）という新たな効果が記載されているものと認められる。
　然るに、先の明細書及び図面の上記記載を総合すれば、先の明細書及び図１には、「合成石英ガラスの板５で電極を覆う」こと、また電極を覆う合成石英ガラス製板５が「真空紫外光の取出部も兼ねている」ことが記載されているだけであり、そこには容器の一部に「孔」すなわち「窓」を設けるという技術思想は示唆されていない。
　そうすると、本件特許発明の「光取り出し窓を有する容器」は、段落【００３４】や図１１によって、合成石英ガラス板５で覆う図１に示された実施例に替わるものとして新たに追加されたいわゆる「新たな実施例」というべきものである。そして、本件特許発明はこの新たな実施例の追加によって「高価な合成石英ガラスの使用を制限することができる」という先の明細書及び図面の記載から予想することができない新たな効果を奏することと認められるから、「光取り出し窓を有する容器」については、先の明細書及び図面には何ら示唆されていないとするのが相当であると云える。
「この容器内に窒素ガスを流し」について
　本件特許発明の「窒素ガスを流し」について、その意味するところを口頭審理の場で被請求人に確認したところ、「窒素ガスを流し続ける」ことであるとの回答が得られている（口頭審理調書参照）から、「空所を充填するために窒素ガスを流す」という意味とは異なり、「空所が充填された後も窒素ガスを流し続ける」という意味と解するのが相当と認められる。
　そこで、このような解釈に立って、先の明細書の段落【００１５】の記載をみると、そこには「空所４には窒素ガスを充填してある。」と記載されているだけであり、そしてこの「充填」の意味は、甲第９号証の１乃至甲第９号証の４から明らかなように「空間・（空所）がふさがるほど何かを一杯詰めること」と解するのが常識であるから、先の明細書には「窒素ガスを空所に一杯詰める」ことが記載されているのであって、「窒素ガスを空所に流し続ける」ことまで示唆されているとは云えない。このことは、同じ段落【００１５】中で「容器の内部にはキセノンを充填し」と表現されている（なお、他の段落【００２４】でも「放電空間２１にキセノンが充填されている」と表現されている）ことからも裏付けられていると云える。何故なら、キセノンガスは高価なガスであるから、「キセノンを充填し」については「キセノンを一杯詰める」と解するのが自然であってこれを「キセノンを流し続ける」と解することに技術上無理があるからであり、そして同一段落中で使われている「充填」という用語の意味を「一杯詰める」と「流し続ける」とに使い分ける合理的な理由も見当たらないからである。
　してみると、本件特許発明の「光取り出し窓を有する容器」や「この容器内に窒素ガスを流し」については、先の明細書及び図面には何ら示唆されていないとするのが相当であると云える。
（被請求人の主張について）
　被請求人は、先の明細書の段落【００１５】の「前記石英ガラスは、真空紫外光の取出部も兼ねているので、」という記載を根拠に、図１の「合成石英ガラス５」は「光取り出し窓」を兼ねる部材であるならば、「合成石英ガラスからなる光取り出し窓を有する容器」という構成は、少なくとも光取り出し窓の部材が「合成石英ガラス」であることを意味しその実施態様として図１に示す「合成石英ガラスの板５」からなる容器と、図１１に示す「金属容器３０に合成石英ガラスからなる光取り出し窓３１を設けた平板型容器３４」の両者を包含するものであるから、「光取り出し窓を有する容器」は、先の明細書の段落【００１５】と図１に記載されていると主張している。
　しかしながら、被請求人の上記主張は、先の明細書の段落【００１５】の記載の「真空紫外光の取出部」が「光取り出し窓」を意味するという前提に立つもののようであるが、先の明細書や図１に示された「取出部」は、容器の一部の板５を意味するだけであり、容器の一部に孔を設けたいわゆる「窓」構造を意味するとする何らの示唆もないから、被請求人の上記主張は採用することができない。
　また、被請求人は、「この容器内に窒素ガスを流し」についても、先の明細書の段落【００１５】の「空所４には窒素ガスを充填してある。」という記載を根拠に、「窒素ガスを充填する」とは、乙第１号証や乙第２号証から明らかな如く、充填のための一実施の形態として「窒素ガスを流す」ことを含むことも自明の事実であるから、先の明細書の「空所４に窒素ガスを充填してある」という記載には「空所４に窒素ガスを流す」ことが含まれることは明らかであると主張している。
　しかしながら、先の明細書の「充填」という用語が充填のために「窒素ガスを流す」ことを含むとしても、この場合の「窒素ガスを流す」とは、せいぜい空所４の充填が完了するまで窒素ガスを流すという意味だけであり、空所が充填された後も「窒素ガスを流し続ける」ことまで意味するとは解せないことは上述したとおりであるから、被請求人の上記主張は採用することができない。
　因みに、被請求人が根拠とする乙第１号証及び乙第２号証を検討すると、乙第１号証に記載された窒素ガス、酸素ガスの「充填」の例は、窒素ガス、酸素ガスによる「処理チャンバ内の充填」に関するものであり、これは、本件特許発明では窒素ガス源１４や酸素ガス源１５から流れる窒素ガスと酸素ガスの混合ガスによる「処理室７内の充填」に関する場合に該当し「空所４の充填」の場合には該当しない。そして、先の明細書でも、この酸素含有混合ガスによる「処理室７内の充填」の場合には、「処理室７には、酸素もしくは酸素を含有するガスの酸化性流体入口１０と排出口１１とが設けられており」（段落【００１６】及び図２参照）という記載中の「流体」という表現から明らかなように、酸素含有混合ガスは「ガスを流す」という意味合いで表現されており、空所４の窒素ガスによる「充填」の場合とは明らかに区別されていると云えるから、乙第１号証は、「処理室７内の充填」の解釈の根拠となり得ても「空所４の充填」の解釈の根拠とはなり得ないと云うべきである。
　また、乙第２号証について検討すると、乙第２号証の第２頁下段右欄第７行乃至第１１行の記載によれば「ランプ１を収納する容器２及び光の通過する筒体部３」の特に「筒体部３」は、その下端部６が開口７となっており、窒素ガス等の不活性ガスを開口７から吹出すように構成されているから、このような構成のランプ１の場合には「不活性ガスで充満して」とは、ランプ１を収納する容器２及び光の通過する筒体部３を不活性ガスで充満するために「不活性ガスを流し続ける」と解することができるが、しかしながら、先の明細書及び図１に記載の放電ランプの場合には、ガスを吹出す開口部に相当するものが見当たらないから、乙第２号証は、本件のランプの「空所４の充填」の解釈の根拠とはなり得ないと云うべきである。
（むすび）
　以上のとおり、国内優先権主張の基礎となった出願（特願平５−３１９２３８号）の明細書及び図面には、「光取り出し窓を有する容器」や「この容器内に窒素ガスを流し」という事項について示唆されているとは云えないから、これら事項を構成要件とする本件特許発明の特許性判断の基準日は、これら事項が追加された後の出願の出願日である平成６年１１月２日であると認める。
（２）無効理由について
（２−１）無効理由１について
（対比・判断）
　本件訂正発明の特許性の判断に際しては、上述したとおり、その判断の基準日が平成６年１１月２日であると認められるから、請求人が提出した証拠方法の甲第１号証乃至甲第３号証は、本件出願前に頒布された刊行物であると認められる。
　そこで、これら証拠を検討すると、甲第１号証には、「キセノンガスを使用した誘電体バリヤ放電エキシマランプの特性と応用」に関し、
（イ）「キセノンエキシマランプの放射紫外線の波長は中心波長１７２ｎｍで半値幅は１４ｎｍである。やはり大気中の酸素に吸収される。１７５ｎｍより短波長は直接原子状の酸素に分解すると報告されている。１７２ｎｍはまた１８５ｎｍ光と同様にＯ３を生成し、原子状の酸素を生成する経路も有する。」（上記（ｅ）参照）と記載されているから、「放射紫外線を酸素を含む流体に照射させて、光化学反応によってオゾン（Ｏ３）と活性酸化性分解物（原子状の酸素）を生成せしめ」ることが記載されていると云える。
（ロ）また、甲第１号証の上記（ｅ）の記載によれば、「光洗浄」の応用例として「１８５ｎｍのような短波長紫外線は有機物の結合を切断し、原子状酸素の酸化作用と切断の作用により、有機物は酸化分解揮発される。」と記載され、キセノンエキシマランプの放射紫外線は「洗浄効果が高いと予想される。」とも記載されている。そして、この「光洗浄」とは酸化作用を利用したものであるから、甲第１号証には、キセノンエキシマランプの放射紫外線によって生成された「オゾンおよび活性酸化性分解物を被処理物に接触させて酸化させる」ことが記載されていると云える。
（ハ）さらに、上記（ｄ）の記載と図６によれば、その具体的なエキシマ光照射装置では、照射口を有する照射ユニットに放電ランプが収納され、その照射ユニット内が窒素でパージされていることが明らかである。
　そうすると、甲第１号証には、上記（イ）乃至（ハ）の記載を総合すれば「キセノンガスを封入した誘電体バリヤ放電ランプが照射ユニットの容器の中に収納され、この照射ユニット内が窒素でパージされ、この誘電体バリヤ放電ランプから照射ユニットの照射口を通して放射される真空紫外光を酸素を含む流体に照射させて、光化学反応によってオゾンおよび活性酸化性分解物を生成せしめ、このオゾンおよび活性酸化性分解物を被処理物に接触させて酸化させることを特徴とする被処理物の酸化方法。」の発明（以下、「甲第１発明」という）が記載されていると云える。
（ｉ）本件訂正発明１について
　本件訂正発明１と甲第１発明とを対比すると、両者は、「被処理物の酸化方法」に係る点で共通し、その構成をみても「キセノンガスを封入した誘電体バリヤ放電ランプが容器の中に内蔵され、この誘電体バリヤ放電ランプから放射される真空紫外光を酸素を含む流体に照射させて、光化学反応によってオゾンおよび活性酸化性分解物を生成せしめ、このオゾンおよび活性酸化性分解物を被処理物に接触させて酸化させることを特徴とする被処理物の酸化方法。」の点で一致し、次の相違点１乃至相違点３の点で相違するだけであると云える。
相違点１：本件訂正発明１は、放電ランプが内蔵される「容器」が「合成石英ガラスからなる光取り出し窓を有する容器」であるのに対し、甲第１発明は、「照射口を有する照射ユニットの容器」である点
相違点２：本件訂正発明１は、容器内に「窒素ガスを流す（流し続ける）」のに対し、甲第１発明は、容器内を「窒素でパージする」点
相違点３：本件訂正発明１は、真空紫外光を「光取り出し窓を通して」照射するのに対し、甲第１発明は「照射ユニットの照射口を通して」照射する点
　次に、これら相違点１乃至相違点３について検討する。
（相違点１について）
　「合成石英ガラスからなる光取り出し窓」については、例えば甲第７号証のＦｉｇ．１や甲第８号証の第１図に示されているとおり、紫外線放電ランプにおける周知の手段である。また、甲第１号証の上記（ｃ）の「光取り出し用の窓部材を有さない構造の放電ランプ装置も提案されている」という記載によれば、取りも直さず「光取り出し窓を有する放電ランプ」は既に提案されていることが明らかである。
　そうすると、紫外線放電ランプ装置において、「合成石英ガラスからなる光取り出し窓」自体は周知の手段であると云えるから、誘電体バリヤ放電ランプに係る甲第１発明の場合でもその「照射口」を「合成石英ガラスからなる光取り出し窓」とする程度のことは当業者が容易に想到することができた設計的な事項と云うべきである。
（相違点２について）
　本件訂正発明１の「窒素ガスを流す」目的は、真空紫外光の吸収防止や電極の保護であるが、甲第１発明の「窒素でパージ」の目的も紫外光の吸収防止であることは例えば甲第７号証や甲第８号証等の記載からも明らかである。また、一般に「窒素でパージ」する場合には、窒素ガスを流し続けることも通常行われていることであり（要すれば甲第１２号証の１及び甲第１２号証の２参照）、このことは例えば甲第７号証のＦｉｇ．１の紫外線放電ランプ装置のランプハウス内に窒素ガスが流し続けられている事実からも窺い知ることができる。そして、窒素ガスを流せば容器内に収納されている電極が保護されることも当業者が容易に予想することができる効果であるから、この相違点２も、格別の創作力を要することなく周知事項に基づいて当業者が容易に想到することができたことと云うべきである。
（相違点３について）
　この相違点３は、上記相違点１に付随したものであり、「合成石英ガラスからなる光取り出し窓」を設けることが容易であれば、この「光取り出し窓」を通して真空紫外光を照射することも当然の成り行きであるから、この点には実質的な差異はないと云える。
　してみると、相違点１乃至相違点３は、いずれも例えば甲第１号証、甲第７号証及び甲第８号証にみられる周知事項に基づいて当業者が容易に想到することができたものであると云える。
　したがって、本件訂正発明１は、甲第１号証に記載された発明と周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとするのが相当であるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
（ｉｉ）本件訂正発明２について
　本件訂正発明２は、本件訂正発明１の構成に加え「前記真空紫外光を当該被処理物にも照射させて、それらの協同作用で当該被処理物を酸化させること」という構成を有するものである。
　そこで、この構成について検討すると、甲第２号証の上記（ａ）や（ｅ）の記載によれば、誘電体バリヤ放電ランプからの紫外線を被処理物と処理用流体の両方に照射させそれらの協同作用で酸化処理することは本件出願前公知の事項であるから、上記構成も甲第２号証の記載から当業者が容易に想到することができたことであると云える。
　してみると、本件訂正発明２は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明と周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとするのが相当であるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
（ｉｉｉ）本件訂正発明７について
　本件訂正発明７は、本件訂正発明１又は２の酸化方法に関し、「被処理物を酸化させる際に、被処理物の表層または当該被処理物の酸化物が気体として当該被処理物から除去されるように酸化する」と限定するものである。
　そこで、この構成について検討すると、甲第１号証の上記（ｅ）の「短波長紫外線は有機物の結合を切断し、原子状酸素の酸化作用と切断の作用により、有機物は酸化分解揮発される。」という記載によれば、「光洗浄（ＵＶ／Ｏ３洗浄）」では酸化物が気体として分解揮発されることが明らかである。また、この事実については、例えば甲第４号証、甲第５号証及び甲第７号証にも記載されているから、上記構成は、紫外光を利用した周知の酸化処理を限定したにすぎないものであると云える。
　してみると、本件訂正発明７は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明と周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとするのが相当であるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
（ｉｖ）本件訂正発明８について
　本件訂正発明８は、本件訂正発明１、２又は７の「誘電体バリヤ放電ランプ」に関し、その形状が「二重円筒型もしくは平面型」であると限定するものであるが、この形状も周知のものである（要すれば甲第１号証、甲第２号証、甲第３号証、甲第１０号証の３、甲第１１号証等参照）。
　してみると、本件訂正発明８は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明と周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとするのが相当であるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
（ｖ）本件訂正発明９について
　本件訂正発明９は、本件訂正発明１、２、７又は８の「誘電体バリヤ放電ランプの真空紫外光の取出部」に関し、その材料を「合成石英ガラス、サファイヤ、アルカリ金属ハライド、もしくはアルカリ土類金属ハライドのうちから選択された材料から成る」と限定するものであるが、この材料が紫外光の透過性材料として周知のものである（要すれば甲第１号証、甲第７号証、甲第８号証、甲第１０号証の３、甲第１１号証等参照）。
　してみると、本件訂正発明９も、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明と周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとするのが相当であるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
（被請求人の主張について）
　被請求人は、光取り出し用の窓部材を有さない放電ランプ装置に関する乙第３号証乃至乙第５号証を提出して、これら証拠に記載の「取り出し用の窓部材を有さない放電ランプ装置」から「光取り出し窓を有する放電ランプ」を想定したとしても、導かれる「放電ランプ装置」は本件訂正発明１のランプ構造と全く相違するものである。
　そうすると、甲第１号証の上記（ｃ）の「光り取り出し用の窓部材を有さない構造の放電ランプ装置も提案されている。」という記載から「窓部材を有する構造の放電ランプ」が一般的であるとしても、本件訂正発明１を想到することができないことは明らかであると主張している。
　しかしながら、「光取り出し窓」の容易想到性については甲第１号証の上記（ｃ）の記載のみを根拠として判断しているわけではなく、甲第７号証及び甲第８号証をも根拠としているから、被請求人の上記主張は採用することができない。
　また、被請求人の上記主張は、乙第３号証乃至乙第５号証に記載の「取り出し用の窓部材を有さない放電ランプ装置」の図を根拠に、この図示された「窓部材を有さない放電ランプ装置」から直接的に「窓部材を有する構造の放電ランプ」を導こうとするものであるが、乙第３号証乃至乙第５号証に記載された内容は、従来の「窓部材を有する構造」では不都合な問題点があるからそれを改善するために「取り出し用の窓部材を有さない放電ランプ装置」を提案するというものであるから、改善策が施された乙第３号証乃至乙第５号証の記載内容（特に図）からでは、改善前の従来の「窓部材を有する放電ランプ」を直接的に導くことができないのはむしろ当然であると云うべきである。
　したがって、被請求人の上記主張は採用することができない。
（請求人の主張について）
　請求人は、新たに甲第１３号証を提出して、この証拠の第５頁及び第６頁には、甲第１号証の第３４頁に記載の「型式ＵＥＲ２０−１７２」と型式番号が同じ「エキシマ光照射装置」の外観図が示されており、この外観図によれば「型式ＵＥＲ２０−１７２」の「エキシマ光照射装置」は「薄型合成石英ガラスからなる光取り出し窓」を備えていることが明らかであるとして、次のような主張をしている。
　すなわち、請求人は、「型式ＵＥＲ２０−１７２」のエキシマ光照射装置が甲第１号証に掲載されたということは、甲第１号証が平成６年２月１５日印刷され平成６年２月２０日発行されたという事実を考慮すれば、「型式ＵＥＲ２０−１７２」のエキシマ光照射装置は、本件訂正発明の特許性判断の基準日である平成６年１１月２日以前に公然と販売され公知であったことを窺い知ることができるから、被請求人に尋問すればこの事実が判明するはずであると主張している。
　しかしながら、一般的な装置の場合、型式番号が同じであってもマイナーチェンジによって細部が変更されている場合もあり、甲第１号証に記載の「型式ＵＥＲ２０−１７２」のエキシマ光照射装置が甲第１３号証に記載のような構造の装置として本件出願前に公然と販売されたとする証拠はない。また、これを裏付ける証拠があればその証拠の提出は請求人側にあると云うべきである。
　もっとも、仮にそのような証拠が提出されたとしても、甲第１３号証自体は平成１３年３月３０日付けで提出されたものであり、しかも主引例（甲第１号証）の記載内容の解釈に大きく影響を与えるものであるから、そのような証拠は遅れて提出された証拠として却下されるべきものである。
　したがって、甲第１３号証を根拠とする請求人の上記主張は、いずれにしても採用することができない。
（２−２）無効理由２について
（対比・判断）
　本件訂正発明の特許性判断の基準日については、上述のとおりであるが、請求人は、この基準日を先の出願の出願日である平成５年１１月２６日であるとした場合の無効理由についても主張しているから、以下、この無効理由２についても検討する。
　甲第７号証の特にＦｉｇ．１には、紫外線光源として低圧水銀灯を使用した「レジストの光灰化」に係る実験装置の概要が図示され、そしてこの装置の概要によれば、
（イ）「紫外線光源の低圧水銀灯が「Ｑｕａｒｔｚ　ｗｉｎｄｏｗ」（合成石英窓）を有するランプハウスの中に内蔵され、このランプハウスに窒素ガスを流し、この低圧水銀灯から放射される紫外光を「Ｑｕａｒｔｚ　ｗｉｎｄｏｗ」を通して、反応チャンバー内に導入させる」装置であることは明らかである。
　また、甲第７号証の上記（ｃ）の「同時にレジスト表面では、１８４．９、２５３．７ｎｍの紫外線、および熱によって、雰囲気のＯ２がオゾンＯ３や酸素ラジカルＯ＊の生成分解を繰り返している」という記載によれば、甲第７号証に記載の「光灰化」でも、紫外線によって酸素がオゾンと酸素ラジカル（活性酸化性分解物に相当）の生成分解が行われているから、
（ロ）「紫外線を酸素を含む流体に照射させて、光化学反応によってオゾンおよび活性酸化性分解物を生成せしめ、このオゾンおよび活性酸化性分解物を被処理物に接触させて酸化させている」ことも明らかである。
　そうすると、甲第７号証には、上記（イ）及び（ロ）の記載を総合すると、「低圧水銀灯が合成石英ガラスからなる光取り出し窓を有する容器の中に内蔵され、この容器内に窒素ガスを流し、この低圧水銀灯から放射される紫外光を光取り出し窓を通して、酸素を含む流体に照射させて、光化学反応によってオゾンおよび活性酸化性分解物を生成せしめ、このオゾンおよび活性酸化性分解物を被処理物に接触させて酸化させることを特徴とする被処理物の酸化方法。」の発明（以下、「甲第７発明」という）が記載されていると云える。
（ｉ）本件訂正発明１について
　本件訂正発明１と甲第７発明とを対比すると、両者は、共に「紫外光を利用した被処理物の酸化方法」に係り、紫外光を酸素に照射させてオゾンと活性酸化性分解物を生成する点を特徴とするものであるから、「紫外光の光源が合成石英ガラスからなる光取り出し窓を有する容器の中に内蔵され、この容器内に窒素ガスを流し、この紫外光の光源から放射される紫外光を光取り出し窓を通して、酸素を含む流体に照射させて、光化学反応によってオゾンおよび活性酸化性分解物を生成せしめ、このオゾンおよび活性酸化性分解物を被処理物に接触させて酸化させることを特徴とする被処理物の酸化方法。」という点で一致し、次の点で相違するのみである。
相違点：本件訂正発明１は、紫外光の光源が「キセノンを封入した誘電体バリヤ放電ランプ」であるのに対し、甲第７発明は、その光源が「低圧水銀灯」である点
　次に、この相違点について検討すると、「キセノンを封入した誘電体バリヤ放電ランプ」については、例えば甲第１０号証、甲第１０号証の３及び甲第１１号証に記載されているとおり、本件出願前に既に公知のものである。
　また、この「キセノンを封入した誘電体バリヤ放電ランプ」から放射される紫外光は、甲第１０号証の上記（ｄ）の「電子の衝撃のために、励起されたキセノン原子によりキセノン放電が起こり、その結果、エキサイマー放射が形成される。製造された紫外線は、１７２ｎｍの波長を有する。・・・紫外線による酸素分子の分裂の間、とても反応の良い破砕生成物であるＯ（ ３Ｐ）及びＯ（ １Ｄ）は、全基体表面或いは表面の吸収層が反応することにより製造される。」という記載によれば、本件訂正発明１と同様、酸素に照射されて「オゾンと活性酸化性分解物」を生成させることが明らかであり、この「オゾンと活性酸化性分解物」が「とても反応の良い」破砕生成物であることも明示されている。
　さらに、この「キセノンを封入した誘電体バリヤ放電ランプ」から放射される紫外光は、甲第１０号証の上記（ａ）及び（ｂ）や甲第１１号証の上記（ｂ）の記載によれば、「光洗浄」や「表面の薄い有機体の層を取り除くこと」（甲第１０号証の上記（ｂ）参照）にも利用されることが明らかであるから、これら記載を総合すれば、甲第１０号証乃至甲第１１号証には、本件特許明細書の段落【００１４】に示す本件訂正発明１の第１の特徴について記載されていると云える。また、本件特許明細書の段落【００１４】や段落【００３７】に記載された本件訂正発明１のいわゆる「処理スピードの加速化」という効果についても、１７２ｎｍの紫外線による破砕生成物が「とても反応の良い」ものであれば「キセノンを封入した誘電体バリヤ放電ランプ」から放射される紫外光を酸化処理や光洗浄に使用すると処理スピードが速くなることも当業者であれば容易に予想することができることと云える。
　そうであるならば、甲第７号証の記載内容も、そのランプの紫外光に違いはあるものの、紫外光を酸素に照射させてオゾンと活性酸化性分解物を生成させ、これら生成物を酸化処理に利用するという「被処理物の酸化方法」に係る点では甲第１０号証乃至甲第１１号証の記載内容と共通するものであり、またこれら証拠の間にその適用を阻害する何らの要因も見当たらないから、甲第７発明の紫外光の光源である「低圧水銀灯」に替えて、その処理スピードの向上が予想される「キセノンを封入した誘電体バリヤ放電ランプ」を使用することは当業者であれば容易に想到することができたと云うべきである。
　してみると、本件訂正発明１は、甲第７発明の「低圧水銀灯」に替えて甲第７号証、甲第１０号証乃至甲１１号証に記載された「キセノンを封入した誘電体バリヤ放電ランプ」を使用することにより当業者が容易に発明をすることができたものとするのが相当であるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
（ｉｉ）本件訂正発明２について
　本件訂正発明２は、本件訂正発明１の構成に加え「前記真空紫外光を当該被処理物にも照射させて、それらの協同作用で当該被処理物を酸化させること」という構成を有するものである。
　そこで、この構成について検討すると、甲第７号証の上記（ｂ）の「紫外線は、この合成石英窓を通して反応チャンバー内に導入され、サンプル面に垂直に照射するようにした。」という記載によれば、甲第７発明でも紫外光は被処理物（サンプル面）に照射されていることが明らかである。
　また、光灰化と共通する処理として周知の「光洗浄」でも、例えば甲第４号証の上記（ａ）や甲第５号証の記載から明らかなように、紫外線の照射とオゾンや活性酸化性分解物との協同作用で処理することは周知の事項であるから、低圧水銀灯に替えて「キセノンを封入した誘電体バリヤ放電ランプ」を導入した場合でも、「真空紫外光を被処理物にも照射させて、それらの協同作用で被処理物を酸化させる」ことは当業者であれば容易に想到することができたことと云える。
　してみると、本件訂正発明２は、甲第７号証、甲第１０号証乃至甲１１号証に記載された発明と周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとするのが相当であるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
（ｉｉｉ）本件訂正発明７について
　本件訂正発明７は、本件訂正発明１又は２の酸化方法に関し、「被処理物を酸化させる際に、被処理物の表層または当該被処理物の酸化物が気体として当該被処理物から除去されるように酸化する」とさらに限定するものである。
　そこで、この構成について検討すると、甲第７号証に記載の「光灰化」でも「高分子の主鎖構造が切断され、低分子量化し、熱によって揮発する光分解灰化型のレジストと考えられる。」（第３０１頁右欄）と記載されているように、気体として除去されていることが明らかである。また、甲第４号証の上記（ａ）の記載や甲第５号証の記載にも「ＵＶ／Ｏ３クリーニングとは揮発性の物質に分解・気化して除去する洗浄法」と記載されているように、紫外光による光灰化や光洗浄では、気体として除去することは周知の事項であり、「キセノンを封入した誘電体バリヤ放電ランプ」からの真空紫外光の場合でも同様の処理を行うことができることは当業者であれば容易に予想することができるから、低圧水銀灯に替えて「キセノンを封入した誘電体バリヤ放電ランプ」を導入した場合でも、その酸化処理を「気体として被処理物から除去されるように酸化する」ことは当業者であれば容易に想到することができたことと云える。
　してみると、本件訂正発明７は、甲第７号証、甲第１０号証乃至甲１１号証に記載された発明と周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとするのが相当であるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
（ｉｖ）本件訂正発明８及び９について
　これら発明は、誘電体バリヤ放電ランプの形状や真空紫外光の取出部の材料をさらに限定するものであるが、このような限定の形状については、例えば甲第１０号証の３及び甲第１１号証によって公知である。また、真空紫外光の取出部の材料についても、例えば甲第１１号証にも例示されているし、一般の紫外光放電装置の材料としても周知である。
　してみると、本件訂正発明８及び９も、甲第７号証、甲第１０号証乃至甲１１号証に記載された発明と周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとするのが相当であるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
（３）結論
　以上のとおり、本件訂正後の請求項１、２及び７乃至９に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
ＶＩＩ．むすび
　したがって、本件訂正後の請求項１、２及び７乃至９に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、特許法第１２３条第１項第２号の規定により無効とすべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。