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【手続補正書】
【提出日】平成18年1月25日(2006.1.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  被検体を載置するステージと、前記ステージに対して相対的に移動可能で、この相対移動方向と直交する方向に平行なライン照明光を発するライン照明手段と、このライン照明光によるライン照明領域からの反射光を取り込んで、前記被検体の画像を取得する撮像手段とを有する画像取込み装置において、
前記ライン照明領域からの反射光を、所定の角度で偏向して前記撮像装置に導く偏向手段と、
を備えることを特徴とする画像取込み装置。
【請求項２】 前記偏向手段は、前記被検体からの反射光を、前記ライン照明手段側に折り返す方向に偏向させることを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置。
【請求項３】  前記偏向手段により折り返される前記反射光が前記撮像手段に入射するまでの撮像光路は、前記ステージに対して平行に配置されることを特徴とする請求項２記載の画像取込み装置。
【請求項４】  前記ライン照明手段を、前記被検体に対する入射角θ２及び反射角θ１がθ２＝θ１の関係を持つように設定し、干渉光を前記撮像手段に取込むことを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置。
【請求項５】  前記ライン照明手段を、前記被検体に対する入射角θ２及び反射角θ１がθ２≠θ１の関係を持つように設定し、回折光を前記撮像手段に取込むことを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置。
【請求項６】  前記ライン照明手段は、前記ライン照明領域を回動中心として前記被検体に対するライン照明の照射角度を調整可能であることを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置。
【請求項７】  前記ステージが設けられるベース部と、該ベース部に立設される支柱と、該支柱に対して延出して設けられる支持アームと、を有し、
前記支持アームの一端部に前記偏向手段が配置され、他端に前記撮像手段が配置されることを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置。
【請求項８】  前記ライン照明手段は、前記ベース上で前記被検体を跨ぐように設けられた門型の支柱間に配置されることを特徴とする請求項７記載の画像取込み装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】 被検体を載置するステージと、ステージに対して相対的に移動可能で、この相対移動方向と直交する方向に平行なライン照明光を発するライン照明手段と、このライン照明光によるライン照明領域からの反射光を取り込んで、被検体の画像を取得する撮像手段とを有する画像取込み装置において、ライン照明領域からの反射光を、所定の角度で偏向して撮像装置に導く偏向手段と、を備えるを特徴とする画像取込み装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
この結果、本発明によれば、被検体である被検査基板の大型化に伴って被検体と撮像手段との光路長が長くなっても光路を偏向手段で偏向することで、光路が占めるスペースを小さくでき、小型な画像取込み装置を実現できる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また請求項２記載の発明は、偏向手段は、被検体からの反射光を、ライン照明手段側に折り返す方向に偏向させることを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置である。
また、請求項３記載の発明は、偏向手段により折り返される反射光が撮像手段に入射するまでの撮像光路は、前記ステージに対して平行に配置されることを特徴とする請求項２記載の画像取込み装置である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、請求項４記載の発明は、ライン照明手段を、被検体に対する入射角θ２及び反射角θ１がθ２＝θ１の関係を持つように設定し、干渉光を撮像手段に取込むことを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置である。
また、請求項５記載の発明は、ライン照明手段を、被検体に対する入射角θ２及び反射角θ１がθ２≠θ１の関係を持つように設定し、回折光を撮像手段に取込むことを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、請求項６記載の発明は、ライン照明手段は、ライン照明領域を回動中心として標本に対するライン照明の照射角度を調整可能であることを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置である。
また、請求項７記載の発明は、前記ステージが設けられるベース部と、該ベース部に立設される支柱と、該支柱に対して延出して設けられる支持アームと、を有し、支持アームの一端部に偏向手段が配置され、の他端に撮像手段が配置されることを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置である。
また、請求項８記載の発明は、ライン照明手段は、前記ベース上で前記被検体を跨ぐように設けられた門型の支柱間に配置されることを特徴とする請求項７記載の画像取込み装置である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
これらの結果、本発明によれば、被検体ごとに最適な欠陥画像を得るための光学条件を任意に設定でき、良質な画像の取り込みができるとともに、取り扱い操作を簡単にできる。また、装置の上部スペースに光学系をコンパクトに支持できるので、さらに装置の小型化に寄与できる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月16日(2006.3.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段を反転可能に支持する第１の支持手段と、
前記基板保持手段を水平位置から所定の角度に起倒可能に支持する第２の支持手段と、
前記第２の支持手段により前記基板保持手段を前記水平位置に戻した状態で、前記基板保持手段を跨いで前記基板保持手段の両側に沿って移動可能に設けられた門型の観察部支持手段と、
前記観察部支持手段に対して水平方向に移動可能に設けられた観察部と、
前記第２の支持手段により前記被検査基板を保持した前記基板保持手段を観察に適した角度に起こした状態で、前記被検査基板に照明光を照射するマクロ照明手段とを具備したことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記第１の支持手段は、前記第２の支持手段による前記基板保持手段の回転中心に直交する方向に沿った軸を中心に前記基板保持手段を反転させる方向に回転させることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記第１の支持手段は、前記基板保持手段を垂直に立ち上げた状態で反転させることを特徴とする請求項２記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記第１の支持手段は、前記第２の支持手段による前記基板保持手段の回転中心に平行な軸を中心に前記基板保持手段を反転させることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記マクロ照明手段は、前記被検査基板を部分的にマクロ照明することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記マクロ照明手段は、前記被検査基板に対して照明角度をマクロ観察に適した角度に調整可能にしたことを特徴とする請求項１又は５記載の基板検査装置。
【請求項７】
前記基板保持手段は、前記被検査基板を基準位置に位置決めする位置決め手段と、前記被検査基板上の欠陥部の座標位置を検出する位置座標検出手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項８】
前記基板保持手段は、前記被検査基板を基準位置に位置決めする位置決め手段と、前記被検査基板上の欠陥部の座標位置を検出する位置座標検出手段を備え、
前記位置座標検出手段により検出されたマクロ観察時の各欠陥部の位置座標に基づいて、前記観察部支持手段と観察部を移動制御し、前記水平位置に戻された前記基板保持手段に保持された前記被検査基板上の欠陥部に前記観察部の光軸を合わせてミクロ観察することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の基板検査装置は、被検査基板を保持する基板保持手段と、前記基板保持手段を反転可能に支持する第１の支持手段と、前記基板保持手段を水平位置から所定の角度に起倒可能に支持する第２の支持手段と、前記第２の支持手段により前記基板保持手段を前記水平位置に戻した状態で、前記基板保持手段を跨いで前記基板保持手段の両側に沿って移動可能に設けられた門型の観察部支持手段と、前記観察部支持手段に対して水平方向に移動可能に設けられた観察部と、前記第２の支持手段により前記被検査基板を保持した前記基板保持手段を観察に適した角度に起こした状態で、前記被検査基板に照明光を照射するマクロ照明手段とにより構成している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月16日(2006.3.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  被検査基板を保持する複数の基板保持部を並設した基板保持手段と、
前記複数の基板保持部に移動して前記基板保持部に保持された前記被検査基板を検査する基板検査手段と、
前記複数の基板保持部に沿って移動可能に設けられ、前記基板検査手段により検査が終了した検査終了基板と検査されていない未検査基板を受け渡す基板搬送手段とを備えたことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】  前記基板搬送手段は、前記複数の基板保持部のうち前記基板検査手段による検査が終了した側に移動して、前記検査終了基板を前記基板保持部より搬出し、前記未検査基板を搬入することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】  前記基板搬送手段は、前記基板検査手段により前記未検査基板を検査している間に、前記基板検査手段により検査された前記検査終了基板が保持された基板保持部側に移動し、前記検査終了基板を前記基板保持部より搬出し、前記未検査基板を搬入することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項４】  前記基板搬送手段は、前記被検査基板を収納するカセットと前記複数の基板保持部の間を移動可能に設けられることを特徴とする請求項１乃至３記載の基板検査装置。
【請求項５】  前記複数の基板保持部は、前記基板搬送手段により搬入された前記未検査基板を位置決めする位置決め手段をそれぞれ備え、前記基板検査手段により基板保持部に保持された前記未検査基板を検査している間に、別の基板保持部に搬入された前記未検査基板を位置決め手段により位置決めすることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項６】  前記複数の基板保持部は、前記被検査基板を支持して昇降するリフト機構をそれぞれ備え、前記基板検査手段により基板保持部に保持された前記未検査基板を検査している間に、別の基板保持部に保持された検査終了基板をリフト機構により上昇させて前記基板搬送手段により受け取るとともに、前記未検査基板を前記基板搬送手段により前記リフト機構に受け渡した後に、この受け渡された未検査基板を前記リフト機構により下降させて前記別の基板保持部上に受け渡すことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項７】  前記被検査基板を支持して昇降するリフト機構、前記基板搬送手段により搬入された前記未検査基板を位置決めする位置決め手段及び前記位置決め手段により位置決めされた前記未検査基板を吸着保持する基板吸着保持手段をそれぞれ備え、前記基板検査手段により基板保持部に保持された前記未検査基板を検査している間に、別の基板保持部で前記リフト機構を上下移動させて前記検査終了基板を前記基板搬送手段に受け渡すとともに未検査基板を前記基板搬送手段から前記リフト機構を介して前記別の基板保持部に前記未検査基板を受け渡し、前記位置決め手段により位置決めして前記別の基板保持部に吸着保持することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項８】前記基板搬送手段は、前記未検査基板又は前記検査終了基板を搬入と搬出を行なう一対の搬送アームを備え、一方の搬送アームで前記基板保持部にある検査終了基板を受け取り、他方の搬送アームで未検査基板を前記基板保持部に受け渡すことを特徴とする請求項１乃至７記載の基板検査装置。
【請求項９】前記基板検出手段は、前記複数の基板保持部を並設した方向に沿って移動可能に設けられた門柱型の支持部と、この支持部に前記被検査基板上での前記支持部の移動方向と直交する方向に移動可能に設けられた観察ユニットとを有することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項１０】前記基板検出手段は、前記複数の基板保持部を並設した方向と直交する方向に沿って移動可能に設けられた門柱型の支持部と、この支持部に前記被検査基板上での前記支持部の移動方向と直交する方向に移動可能に設けられた観察ユニットとを有することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の基板検査装置は、被検査基板を保持する複数の基板保持部を並設した基板保持手段と、前記複数の基板保持部に移動して前記基板保持部に保持された前記被検査基板を検査する基板検査手段と、前記複数の基板保持部に沿って移動可能に設けられ、前記基板検査手段により検査が終了した検査終了基板と検査されていない未検査基板を受け渡す基板搬送手段とを備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月5日(2006.7.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】センサに受光された２像の位相差を検出する焦点検出手段と、前記センサ上に光束分割された焦点検出対象像が細線であるかどうかを判定する細線判定手段とを有する自動焦点調節装置において、前記細線判定手段により焦点検出対象像が細線であると判定された場合とそうでない場合とで、焦点調節レンズが合焦位置に達するまでの焦点調節処理を異ならせる焦点調節制御手段を有することを特徴とする自動焦点調節装置。
【請求項２】前記焦点調節制御手段は、前記細線判定手段により焦点検出対象像が細線であると判定された場合は、前記焦点検出手段の補正処理を行わない焦点検出対象像の位相差がゼロもしくはゼロ付近になる位置を目標位置とする第１のレンズ駆動を行い、該第１のレンズ駆動終了後、前記焦点検出手段の補正処理を行った後の合焦位置を目標位置とする第２のレンズ駆動を行うことを特徴とする請求項１記載の自動焦点調節装置。
【請求項３】前記焦点調節制御手段は、前記第１のレンズ駆動の目標位置に前記焦点調節レンズが達していたならば該第１のレンズ駆動を終了させ、該第１のレンズ駆動の目標位置に前記焦点調節レンズが達していなければ該第１のレンズ駆動を繰り返すことを特徴とする請求項２記載の自動焦点調節装置。
【請求項４】前記焦点調節制御手段は、前記第１のレンズ駆動の駆動回数に制限を設け、該制限回数に達した場合は、該第１のレンズ駆動の目標位置に前記焦点調節レンズが達していなくても、該第１のレンズ駆動を強制的に終了させることを特徴とする請求項３記載の自動焦点調節装置。
【請求項５】前記焦点調節制御手段は、前記第２のレンズ駆動を１回終了したら、該第２のレンズ駆動の目標位置に前記焦点調節レンズが達していなくても合焦したと見なすことを特徴とする請求項２，３又は４記載の自動焦点調節装置。
【請求項６】前記焦点調節制御手段は、合焦の可否にかかわらず焦点検出対象を追って前記焦点調節レンズの駆動を続けるオートフォーカスモードである場合は、焦点検出対象像が細線であるかどうかにかかわらず、像が細線でないと判定された場合に行われる焦点調節を行うことを特徴とする請求項１記載の自動焦点調節装置。
【請求項７】焦点検出対象が動体であるかどうかを判定する動体判定手段を有し、前記焦点調節制御手段は、前記動体判定手段により焦点検出対象が動体であると判定された場合は、焦点検出対象像が細線であるかどうかにかかわらず、像が細線でないと判定された場合に行われる焦点調節を行うことを特徴とする請求項１又は６記載の自動焦点調節装置。
【請求項８】焦点検出を補助する為の補助光手段を有し、前記焦点調節制御手段は、前記補助光手段の使用時は、焦点検出対象像が細線であるかどうかにかかわらず、像が細線でないと判定された場合に行われる焦点調節を行うことを特徴とする請求項１，６又は７記載の自動焦点調節装置。
【請求項９】前記細線判定手段により細線でないと判定された場合は、前記補正処理を行った位相差に基づくレンズ駆動を行うことを特徴とする請求項２記載の自動焦点調節装置。
【請求項１０】請求項１〜９の何れかに記載の自動焦点調節装置を有することを特徴とするカメラ。
【請求項１１】センサ手段にて受光された２つの像の位相差を相関演算して焦点状態を検出する焦点検出手段と、該焦点検出手段により検出された焦点状態に応じて焦点調節レンズを駆動する自動焦点調節装置を有するカメラにおいて、前記相関演算による位相差に対して移動差の誤差補正を行うこと無しに演算された位相差情報に基づいて前記焦点調節レンズを駆動してピント合わせを行い、その後相関演算による位相差に対して誤差補正処理を行って、該誤差補正処理された情報に基づいて前記焦点調節レンズを駆動してピント合わせを行うことを特徴とするカメラ。
【請求項１２】前記誤差補正を行うこと無しに演算された位相差情報に基づいてのレンズ駆動は、前記演算された位相差が合焦と判定される状態になるまで繰り返し行い、また前記誤差補正処理を行った上での情報に基づくレンズ駆動は予め決められた回数だけ行うことを特徴とする請求項１１記載のカメラ。
【請求項１３】前記予め決められた回数は、１回であることを特徴とする請求項１２記載のカメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成するために、請求項１記載の本発明は、センサに受光された２像の位相差を検出する焦点検出手段と、前記センサ上に光束分割された焦点検出対象像が細線であるかどうかを判定する細線判定手段とを有する自動焦点調節装置において、前記細線判定手段により焦点検出対象像が細線であると判定された場合とそうでない場合とで、焦点調節レンズが合焦位置に達するまでの焦点調節処理を異ならせる焦点調節制御手段を有する自動焦点調節装置とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
同じく上記第１の目的を達成するために、請求項１０記載の本発明は、請求項１〜９の何れかに記載の自動焦点調節装置を有するカメラとするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
上記第２の目的を達成するために、請求項１１記載の本発明は、センサ手段にて受光された２つの像の位相差を相関演算して焦点状態を検出する焦点検出手段と、該焦点検出手段により検出された焦点状態に応じて焦点調節レンズを駆動する自動焦点調節装置を有するカメラにおいて、前記相関演算による位相差に対して移動差の誤差補正を行うこと無しに演算された位相差情報に基づいて前記焦点調節レンズを駆動してピント合わせを行い、その後相関演算による位相差に対して誤差補正処理を行って、該誤差補正処理された情報に基づいて前記焦点調節レンズを駆動してピント合わせを行うカメラとするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2000266993.tif 000001
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2000266993.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月5日(2006.7.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】位相差による焦点検出を行う焦点検出装置であって、対を成す複数画素より成るセンサと、該センサ上に光束分割された２像の相関変化量および前記２像のそれぞれの隣接画素の出力差分をもとにして、焦点検出対象像が前記センサの画素ピッチに近い細線であるかどうかを判定する判定手段とを有することを特徴とする焦点検出装置。
【請求項２】焦点検出対象像が細線であるかどうかを判定する条件に対して、前回の判定結果を基にヒステリシスを付与することを特徴とする請求項１記載の焦点検出装置。
【請求項３】焦点検出対象像が細線であると見なした場合は、使用者に対して警告を行う警告手段を有することを特徴とする請求項１記載の焦点検出装置。
【請求項４】第１のセンサ部と第２のセンサ部とに対してそれぞれの像を受光させ、２像の相関演算を行うことでピント合わせの情報を得るオートフォーカスカメラにおいて、前記第１のセンサ部から出力される画素間の出力差のうち所定の値よりも大きな出力差を示す各出力差個々に応じた値の加算値と、前記出力差のうち前記所定値よりも小さな出力差を示す各出力差個々に応じた値の加算値との差に応じて、像が相関演算に適した像であるか否かを評価する評価手段を有することを特徴とするオートフォーカスカメラ。
【請求項５】前記評価手段は、前記画素間の出力差のうち前記所定値よりも大きな出力差を示す各出力差個々に応じた値の加算値に応じた値からの、前記出力差のうち前記所定値よりも小さな出力差を示す各出力差個々に応じた値の加算値に応じた値の減算値に応じた値が、所定値よりも大きいと判定することで、像が相関演算に適さない像であると評価することを特徴とする請求項４記載のオートフォーカスカメラ。
【請求項６】第１のセンサ部と第２のセンサ部とに対してそれぞれの像を受光させ、２像の相関演算を行うことでピント合わせの情報を得るオートフォーカスカメラにおいて、前記第１のセンサ部から出力される画素間の出力差のうち所定の値よりも大きな出力差を示す各出力差個々に応じた値の加算値に応じた値からの、前記出力差のうち前記所定値よりも小さな出力差を示す各出力差個々に応じた値の加算値に応じた値の減算値を求めると共に、前記第２のセンサ部から出力される画素間の出力差のうち所定の値よりも大きな出力差を示す各出力差個々に応じた値の加算値に応じた値からの、前記出力差のうち前記所定値よりも小さな出力差を示す各出力差個々に応じた値の加算値に応じた値の減算値を求め、前記２つの減算値に応じた値のうち、大きな値の減算値に応じた値に基づいて像が相関演算に適した像であるか否かを評価する評価手段を有することを特徴とするオートフォーカスカメラ。
【請求項７】前記評価手段は、前記２つの減算値に応じた値のうち大きな値の減算値に応じた値が所定値よりも大きいと判定することで、像が相関演算に適さない像であると評価することを特徴とする請求項６記載のオートフォーカスカメラ。
【請求項８】前記第１のセンサ部の像と前記第２のセンサ部の像を画素単位でシフトさせた時における２像の相関変化量が所定の値よりも大きな時は、前記評価手段の評価にかかわらず、相関演算に適した像であると判定する判定手段を有することを特徴とする請求項４ないし７の何れかに記載のオートフォーカスカメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成するために、請求項１記載の本発明は、位相差による焦点検出を行う焦点検出装置であって、対を成す複数画素より成るセンサと、該センサ上に光束分割された２像の相関変化量および前記２像のそれぞれの隣接画素の出力差分をもとにして、焦点検出対象像が前記センサの画素ピッチに近い細線であるかどうかを判定する判定手段とを有する焦点検出装置とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、上記第３の目的を達成するために、請求項４記載の本発明は、第１のセンサ部と第２のセンサ部とに対してそれぞれの像を受光させ、２像の相関演算を行うことでピント合わせの情報を得るオートフォーカスカメラにおいて、前記第１のセンサ部から出力される画素間の出力差のうち所定の値よりも大きな出力差を示す各出力差個々に応じた値の加算値と、前記出力差のうち前記所定値よりも小さな出力差を示す各出力差個々に応じた値の加算値との差に応じて、像が相関演算に適した像であるか否かを評価する評価手段を有するオートフォーカスカメラとするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
同じく上記第３の目的を達成するために、請求項６記載の本発明は、第１のセンサ部と第２のセンサ部とに対してそれぞれの像を受光させ、２像の相関演算を行うことでピント合わせの情報を得るオートフォーカスカメラにおいて、前記第１のセンサ部から出力される画素間の出力差のうち所定の値よりも大きな出力差を示す各出力差個々に応じた値の加算値に応じた値からの、前記出力差のうち前記所定値よりも小さな出力差を示す各出力差個々に応じた値の加算値に応じた値の減算値を求めると共に、前記第２のセンサ部から出力される画素間の出力差のうち所定の値よりも大きな出力差を示す各出力差個々に応じた値の加算値に応じた値からの、前記出力差のうち前記所定値よりも小さな出力差を示す各出力差個々に応じた値の加算値に応じた値の減算値を求め、前記２つの減算値に応じた値のうち、大きな値の減算値に応じた値に基づいて像が相関演算に適した像であるか否かを評価する評価手段を有するオートフォーカスカメラとするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
図７において、まず実施の第１の形態と同様、ラインセンサの２像の最大相関変化量差MAXDERを求める（＃６０１）。ここで前回の細線判定結果として細線フラグfragＳをチェックし（＃６０２）、“１”ならばMAXDERからヒステリシス分であるΔＭを差し引き（＃６０３）、“０”ならばΔＭを加え（＃６０４）、しきい値ＭＫと比較し（＃６０５）、ＭＫ以上なら細線ではないと判定して、図８のステップ＃６０６へ移行し、細線フラグfragＳを“０”にして、このサブルーチンを終了する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１又は２記載の本発明によれば、焦点検出対象像が、センサの画素ピッチに近く、焦点検出誤差を生じ易い細い幅のものであるかどうかを判定することができる焦点検出装置を提供できるものである。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月21日(2006.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】レンズ鏡筒及びレンズ鏡筒の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも可動レンズを有する複数のレンズ保持枠がガイド軸に保持され、上記可動レンズが上記ガイド軸に沿って光軸方向に移動可能にされるようにしたレンズ鏡筒において、
上記ガイド軸が一端側を主鏡筒の一側壁面に圧入支持されて貫通するようにした第１の軸受け機構と、
上記ガイド軸がその他端側を上記主鏡筒の他側壁面に形成した受け座上に位置決めされて貫通すると共に、上記ガイド軸を軸押えアームで上記受け座に保持するようにした第２の軸受け機構と、
から構成され、
上記第１の軸受け機構及び第２の軸受け機構をそれぞれ貫通して上記主鏡筒の一側壁面及び他側壁面から突出する上記ガイド軸を利用して上記主鏡筒の光軸上の前部及び／又は後部に補助鏡筒を位置決めし組付けるようにしたことを特徴とするレンズ鏡筒。
【請求項２】
請求項１記載のレンズ鏡筒において、
上記第２の軸受け機構から貫通突出する上記ガイド軸に補助鏡筒を圧入支持し、上記主鏡筒の他側壁面から突出する突軸に補助鏡筒を位置決めするようにしたことを特徴とするレンズ鏡筒。
【請求項３】
請求項１記載のレンズ鏡筒において、
上記補助鏡筒が前玉レンズのためのレンズ鏡筒及び撮像素子のための鏡筒であることを特徴とするレンズ鏡筒。
【請求項４】
少なくとも可動レンズを有する複数のレンズ保持枠をガイド軸によって上記可動レンズの光軸方向へ移動可能に保持し、
上記ガイド軸の一端側を第１の軸受け機構によって主鏡筒の一側壁面に支持すると共に、上記ガイド軸の他端側を、上記主鏡筒に設けた受け座と軸押えアームを有する第２の軸受け機構で保持し、
上記第１の軸受け機構及び第２の軸受け機構をそれぞれ貫通して上記主鏡筒の一側壁面及び他側壁面から突出する上記ガイド軸を利用して上記主鏡筒の光軸上の前部及び／又は後部に補助鏡筒を位置決めして組付けるようにしたことを特徴とするレンズ鏡筒の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばビデオカメラ等のズームレンズ機構に適用されるレンズ鏡筒及びそのレンズ鏡筒の製造方法に関し、詳しくは可動レンズを有する複数のレンズ保持枠のガイド軸を利用して、レンズ保持枠やレンズ鏡筒、前玉レンズ及び撮像素子の光軸のセンター出しを容易に行えるようにしたものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するため、本発明によるレンズ鏡筒は、複数のレンズ保持枠が保持されるガイド軸の一端側を主鏡筒の一側壁面に圧入支持して貫通するようにし、ガイド軸の他端側を主鏡筒の他側壁面に形成した受け座上に位置決めして貫通すると共に、ガイド軸を軸押えフレームで受け座に保持するようにし、主鏡筒の壁面から突き出るガイド軸を利用して補助鏡筒を光軸センターに位置決めして組付けるようにしたものである。
また、本発明のレンズ鏡筒の製造方法は、少なくとも可動レンズを有する複数のレンズ保持枠をガイド軸によって可動レンズの光軸方向へ移動可能に保持し、ガイド軸の一端側を第１の軸受け機構によって主鏡筒の一側壁面に支持すると共に、ガイド軸の他端側を、主鏡筒に設けた受け座と軸押えアームを有する第２の軸受け機構で保持し、第１の軸受け機構及び第２の軸受け機構をそれぞれ貫通して主鏡筒の一側壁面及び他側壁面から突出するガイド軸を利用して主鏡筒の光軸上の前部及び／又は後部に補助鏡筒を位置決めして組付けるようにしたことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によるレンズ鏡筒及びレンズ鏡筒の製造方法によれば、複数のレンズ保持枠が保持されるガイド軸の一端側を主鏡筒の一側壁面に圧入支持して貫通するようにし、ガイド軸の他端側を主鏡筒の他側壁面の受け座上に位置決めされて貫通すると共に、ガイド軸を軸押えフレームで受け座に保持するようにし、貫通突出するガイド軸を利用して主鏡筒の前部及び／又は後部に補助鏡筒を位置決めして組付けるようにしたことによって、ガイド軸を軸基準にして複数のレンズ保持枠や、レンズ鏡筒の前後部に組付けられる補助鏡筒の光軸センターへの位置出しを正確且つ容易に行え、高い光学性能を得ることができるといった効果がある。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月14日(2006.3.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】 入射光束を複数の光束に分割し、該複数の光束をそれぞれの光路に配置された固体撮像素子へ導く色分解プリズムにおいて、第１の光束を反射する反射面を備えた第１プリズムと、第２の光束を反射する反射面を備えた第２プリズムとを有し、以下の条件を満たすことを特徴とする色分解プリズム。
δ＋ｔａｎ−１（ｈ／６Ｌ）≦θ２
δ＝ｓｉｎ−１（１／ｎ）
ただし、ｎは第２プリズムの屈折率。ｈは前記第２の光束の光路に配置される固体撮像素子の、前記第２プリズムの入射光軸と反射光軸を含む面内での有効撮像寸法。Ｌは、前記固体撮像素子の有効撮像範囲中央点から前記第２のプリズムの反射面までの距離。θ２は前記第２プリズムの頂角。
【請求項２】 θ２≦δ＋ｔａｎ−１（ｈ／３Ｌ）を満たすことを特徴とする請求項１に記載の色分解プリズム。
【請求項３】 前記第２プリズムの反射面は青反射ダイクロイック膜を有することを特徴とする請求項１または２に記載の色分解プリズム。
【請求項４】  前記第１プリズムの反射面は赤反射ダイクロイック膜を有することを特徴とする請求項１乃至３に記載の色分解プリズム。
【請求項５】 第３の光束を透過する第３プリズムを有することを特徴とする請求項１乃至４に記載の色分解プリズム。
【請求項６】 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の色分解プリズムを有することを特徴とする撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
この反射による影響は、図８（Ａ）の様な第２プリズム内の光路を通って、固体撮像素子１０１１Ｒに再入射することでゴーストとなって生じることが分かった。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
点Ｐ３、点Ｐ６においては、入射角度が大きくなるため、全反射がより起こりやすくなる傾向にあり問題はないが、点Ｐ４、点Ｐ５においては、逆に入射角度が小さくなるため、全反射条件を満足せず、ここで干渉縞が生じる原因となっていた。この干渉を伴ったゴーストは、被写体が低輝度の時にはそれ程目立つことはないが、被写体が高輝度の時には、モニター画面上で図１０の様に観察されることになる。つまり、干渉縞は画面（撮像素子）上で上下の対干渉縞が生じ、またこの対の干渉縞が互いに重ねって観察されて、非常に画質を損なうものであった。更に、このゴースト光の干渉は、色分解プリズムのようにゴーストが出る色光の波長域が狭くなればなるほど、より顕著に観測されることになる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【課題を解決するための手段】
本発明にかかる色分解プリズムは、入射光束を複数の光束に分割し、該複数の光束をそれぞれの光路に配置された固体撮像素子へ導く色分解プリズムにおいて、第１の光束を反射する反射面を備えた第１プリズムと、第２の光束を反射する反射面を備えた第２プリズムとを有し、以下の条件を満たすことを特徴とする。
δ＋ｔａｎ−１（ｈ／６Ｌ）≦θ２
δ＝ｓｉｎ−１（１／ｎ）
ただし、ｎは第２プリズムの屈折率。ｈは前記第２の光束の光路に配置される固体撮像素子の、前記第２プリズムの入射光軸と反射光軸を含む面内での有効撮像寸法。Ｌは、前記固体撮像素子の有効撮像範囲中央点から前記第２のプリズムの反射面までの距離。θ２は前記第２プリズムの頂角。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
図中ｈは固体撮像素子の断面図内有効撮像寸法であり、第２プリズムの入射光軸と射出光軸とを含む面内での固体撮像素子の有効寸法を示す。Ｌは、固体撮像素子の有効部中央点Ｃｅと面７との距離である。図２における実施例では、第２プリズムの頂角θ２は、θ２＝δ＋ｔａｎ−１（ｈ／６Ｌ）という関係を設定している。ただし、δ＝ｓｉｎ−１（１／ｎ）で、ｎはプリズムの屈折率である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
この条件は、図２に示すように、固体撮像素子で反射された光線のうち、反射面６に入射角度βｒがδに等しい角度で入射する光線（ゴースト光）が、固体撮像素子の中央点Ｃｅよりｈ／３離れた位置に到達することを意味している。そして、Ｃｅよりｈ／３以内に到達する光線は、βｒ＞δの条件を満足するため、常に全反射となり、ゴースト光による干渉縞を起こさない。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
この実施例のプリズムにて高輝度被写体像を撮影したときのモニター画面を、図３に示す。図１０と比較すると高輝度被写体像の周りの干渉縞が見えなくなり、すっきりすることが分かる。干渉縞ゴーストは、モニターの上（または、下）よりモニター高さの１／６の範囲しか観察されず、画質の低下を抑制できる。この様に、本実施例によれば、固体撮像素子の反射光が起因する色分解プリズム系の、ゴースト光による干渉縞を相当改善させることが可能となる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
図４は、先の実施例と同様に高輝度被写体が、モニタ画面中央にあるときの様子を示しているが、この実施例においては、完全に干渉縞ゴーストをなくすことが可能となる。この条件は、先の実施例おいて生じていた干渉縞ゴーストの位置を画面外に移動させるように設定したことを意味している。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
【発明の効果】
本発明によれば、画質を著しく低下させる干渉縞ゴーストを効果的に抑制する効果が得られる。特に、第２プリズムの反射面が波長選択性の光学薄膜である光束分割プリズムを有した撮像装置に有効である。
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月29日(2006.8.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  湯通水路、水通水路、混合水通水路、湯側シート部、水側シート部、前記湯側シート部、水側シート部間の位置に応じ、前記湯通水路、水通水路より供給される湯水の混合比を決定するスプール状の混合弁、湯水混合水の温度に依存し前記混合弁を駆動する感温駆動素子より成り、前記湯通水路、水通水路、混合水通水路の一部を構成するユニット本体を、前記スプール状の混合弁の内周部に配設し、前記湯通水路、水通水路は前記スプール状の混合弁の内周部から外周部へ通じ、前記スプール状の混合弁外周部において混合水通水路と連通して構成されることを特徴とする湯水混合弁
【請求項２】  湯通水路、水通水路、混合水通水路、湯側シート部、水側シート部、前記湯側シート部、水側シート部間の位置に応じ、前記湯通水路、水通水路より供給される湯水の混合比を決定するスプール状の混合弁、湯水混合水の温度に依存し前記混合弁を駆動する感温駆動素子より成り、前記湯側シート部、水側シート部が別体であり、前記湯側シート部と水側シート部の距離が組立て時に微調整可能であることを特徴とする湯水混合弁。
【請求項３】  湯通水路、水通水路、混合水通水路、湯側シート部、水側シート部、前記湯側シート部、水側シート部間の位置に応じ、前記湯通水路、水通水路より供給される湯水の混合比を決定するスプール状の混合弁、前記混合弁の両端に位置し湯水混合水の温度に依存し前記混合弁を駆動する感温駆動素子およびバイアスばねより成り、前記感温駆動素子と前記バイアスばねの位置関係を同軸上に配置しないことを特徴とする湯水混合弁。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】  湯通水路、水通水路、混合水通水路、湯側シート部、水側シート部、前記湯側シート部、水側シート部間の位置に応じ、前記湯通水路、水通水路より供給される湯水の混合比を決定するスプール状の混合弁、湯水混合水の温度に依存し前記混合弁を駆動する感温駆動素子より成り、前記湯通水路、水通水路、混合水通水路の一部を構成するユニット本体を、前記スプール状の混合弁の内周部に配設し、前記湯通水路、水通水路は前記スプール状の混合弁の内周部から外周部へ通じ、前記スプール状の混合弁外周部において混合水通水路と連通して構成する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
【発明の効果】  湯通水路、水通水路、混合水通水路、湯側シート部、水側シート部、前記湯側シート部、水側シート部間の位置に応じ、前記湯通水路、水通水路より供給される湯水の混合比を決定するスプール状の混合弁、湯水混合水の温度に依存し前記混合弁を駆動する感温駆動素子より成り、前記湯通水路、水通水路、混合水通水路の一部を構成するユニット本体を、前記スプール状の混合弁の内周部に配設し、前記湯通水路、水通水路は前記スプール状の混合弁の内周部から外周部へ通じ、前記スプール状の混合弁外周部において混合水通水路と連通して構成されるため、従来と同様のユニット外径寸法でも、スプール状の混合弁の外径を大きく、弁ストロークを小さくできることで、良好な温度調整性能が得られる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
湯通水路、水通水路、混合水通水路、湯側シート部、水側シート部、前記湯側シート部、水側シート部間の位置に応じ、前記湯通水路、水通水路より供給される湯水の混合比を決定するスプール状の混合弁、湯水混合水の温度に依存し前記混合弁を駆動する感温駆動素子より成り、前記湯側シート部、水側シートが別体であり、前記湯側シート部と水側シートの距離が組立て時に微調整可能であるため、弁ストロークのばらつきを小さくすることができ、ユニット部の圧力損失や温度調整性能のばらつきも小さくできる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月16日(2006.3.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  光切断線の引かれた被測定物を撮像して光切断法に基づき被測定物を三次元測定する被測定物の測定方法において、
光切断開始位置からｔ１のピッチで順次光切断線を引いて被測定物を撮像し、
前記光切断開始位置からｔ１のピッチより短いｔ２のピッチに相当する距離分だけ光切断開始位置をずらせ、そのずれた光切断開始位置からｔ１のピッチで順次光切断線を引いて被測定物を撮像し、
前記光切断開始位置を順次ずらせて撮像することを複数回数行い、
前記撮像された複数の画像からｔ１のピッチで引かれた複数の光切断線による高さデータを取得することを特徴とする被測定物の測定方法。
【請求項２】  前記ｔ１のピッチがｔ２のピッチの整数倍であることを特徴とする請求項１に記載の被測定物の測定方法。
【請求項３】  前記撮像された画像から、光切断位置にほぼ高さデータの１／２を加えた位置を中心として前記ｔ１のピッチに等しい幅の画像データを光切断位置データと共に取出して各光切断線ごとに二値化処理することを特徴とする請求項１または２に記載の被測定物の測定方法。
【請求項４】  光切断線の引かれた被測定物を撮像して光切断法に基づき被測定物を三次元測定する被測定物の測定装置において、
光切断開始位置からｔ１のピッチで順次光切断線を引く手段と、
前記光切断線が引かれた被測定物を撮像する手段とを設け、
光切断開始位置からｔ１のピッチで順次光切断線を引いて被測定物を撮像し、
前記光切断開始位置からｔ１のピッチより短いｔ２のピッチに相当する距離分だけ光切断開始位置をずらせ、そのずれた光切断開始位置からｔ１のピッチで順次光切断線を引いて被測定物を撮像し、
前記光切断開始位置を順次ずらせて撮像することを複数回数行い、
前記撮像された複数の画像からｔ１のピッチで引かれた複数の光切断線による高さデータを取得することを特徴とする被測定物の測定装置。
【請求項５】  前記ｔ１のピッチがｔ２のピッチの整数倍であることを特徴とする請求項４に記載の被測定物の測定装置。
【請求項６】  前記撮像された画像から、光切断位置にほぼ高さデータの１／２を加えた位置を中心として前記ｔ１のピッチに等しい幅の画像データを光切断位置データと共に取出して各光切断線ごとに二値化処理することを特徴とする請求項４または５に記載の被測定物の測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、光切断線の引かれた被測定物を撮像して光切断法に基づき被測定物を三次元測定する被測定物の測定方法及び装置において、光切断開始位置からｔ１のピッチで順次光切断線を引いて被測定物を撮像し、前記光切断開始位置からｔ１のピッチより短いｔ２のピッチに相当する距離分だけ光切断開始位置をずらせ、そのずれた光切断開始位置からｔ１のピッチで順次光切断線を引いて被測定物を撮像し、前記光切断開始位置を順次ずらせて撮像することを複数回数行い、前記撮像された複数の画像からｔ１のピッチで引かれた複数の光切断線による高さデータを取得することを特徴としている。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月13日(2006.3.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
広がり角を調整された補助光１１は前記電子レベル用標尺１を照射するが、連続に照射される必要はない。受光素子即ちＣＣＤリニアセンサ１５が受光を感知できる入射光量があれば良い。受光素子がＣＣＤであれば入射光量は「電荷を蓄積する時間」と「入射光の照度」の積となる。光源が出力の高いＬＤであれば数ミリ秒のパルス発光で十分である。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月16日(2006.3.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  超硬合金基材と被膜とから成る被覆切削工具インサートであって、
前記超硬合金基材は、ＷＣと、４〜７ｗｔ％のコバルトと、ＩＶｂ及びＶｂ群の金属で形成される６〜９ｗｔ％の立方晶炭化物とからなり、
前記超硬合金基材は、厚みが２０μｍ〜５０μｍの間にあるバインダ相豊富表面領域を有し
前記被膜は、３〜１５μｍの厚みを有する超硬合金基材と隣り合う第１のＴｉ（Ｃ、Ｎ）層と、３〜１５μｍの厚みを有する前記第１の層と隣り合うα−Ａｌ２Ｏ３からなるアルミナ層と、前記アルミナ層と隣り合う１〜１０μｍの厚みを有するＴｉ（Ｃ、Ｎ）またはＴｉ（Ｃ、Ｏ、Ｎ）の次の外側層と、を含み
前記被膜の合計厚みは３０μｍ未満であり、前記第１のＴｉ（Ｃ、Ｎ）層の厚みは前記アルミナ層の厚みの１〜３倍以内であり、且つＴｉ（Ｃ、Ｎ）またはＴｉ（Ｃ、Ｏ、Ｎ）の次の外側層の厚みが、前記第１のＴｉ（Ｃ、Ｎ）層と前記アルミナ層との厚みの０．１〜１．２倍以内である
ことを特徴とする被覆切削工具インサート。
【請求項２】  前記基材が、４．５〜６ｗｔ％のコバルトを含有することを特徴とする請求項１記載の被覆切削工具インサート。
【請求項３】  前記基材が、ＩＶｂ及びＶｂ群の金属、チタン、タンタル及びニオブで形成される６．０〜８．５ｗｔ％の立方晶炭化物とからなることを特徴とする請求項１記載の被覆切削工具インサート。
【請求項４】  前記基材が、タンタルとニオブの比率がｗｔ％で１．０〜２．５の範囲にあり、且つチタンとニオブの比率がｗｔ％で０．５〜１．５の範囲にあることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の被覆切削工具インサート。
【請求項５】  前記バインダ相豊富表面領域のバインダ相の含有量が、平均バインダ相含有量の最大で１．２〜３倍であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の被覆切削工具インサート。
【請求項６】  前記基材のバインダ相中のタングステン量に依存するＳ値が０．８０〜０．９４の範囲内にあることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の被覆切削工具インサート。
【請求項７】  前記基材中のＷＣ相の平均中断長さが、０．５〜０．９の間であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の被覆切削工具インサート。
【請求項８】  前記超硬合金基材と前記第１の層との間にＴｉＮ層が存在し、該ＴｉＮ層の厚みが０．５〜３μｍであることを特徴とする請求項１に記載の被覆切削工具インサート。
【請求項９】  前記第１の層が、Ｔｉ（Ｃ、Ｏ、Ｎ）の結合層で終結する化学蒸着法のＴｉ（Ｃ、Ｎ）、中温化学蒸着法のＴｉ（Ｃ，Ｎ）またはそれらの組合せから成ることを特徴とする請求項１に記載の被覆切削工具インサート。
【請求項１０】  前記Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）の頂上に蒸着されたＴｉＮの任意の相があり、該ＴｉＮの任意の相の厚みが０．５〜３μｍであることを特徴とする請求項１に記載の被覆切削工具インサート。
【請求項１１】  バインダ相豊富表面領域と被膜とを有する超硬合金基材を含み、前記基材がバインダ相と、ＷＣと、立方晶炭窒化物相からなる被覆切削工具インサートの製造方法であって、
ＷＣと、４〜７ｗｔ％のＣｏと、周期律表のＩＶｂ及びＶｂ群からの金属で形成された６〜９ｗｔ％の立方晶炭化物とからなる粉末混合物を形成して、窒素を、ＩＶｂ及びＶｂ群からなる金属のｗｔ％あたり、１．７〜５．５ｗｔ％の量を、粉末を通してまたは焼結工程或いはそれらの双方の組合せを通して、添加する工程、
圧縮剤とタングステン金属または炭素ブロックと前記粉末を混合し、所望のＳ値を達成する工程、
前記混合物を所望の特性を有する粉末材料に混練してスプレー乾燥をする工程、
前記粉末材料を１３５０〜１５００℃で制御された雰囲気中で加圧して焼結し、引き続き冷却する工程、
縁丸めを含む従来の後焼結処理を適用する工程、および
化学蒸着法または中温化学蒸着法によって硬質耐磨耗性被膜を添付する工程、
を特徴とする被覆切削工具インサートの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月17日(2006.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  超硬合金製本体と被膜とから成り低合金鋼、中合金鋼の高速フライス加工および硬化鋼のフライス加工に特に適した切削工具インサートであって、
上記超硬合金本体の組成が、Ｃｏ：７．９〜８．６wt％、ＴａおよびＮｂの立方晶炭化物：合計で０．５〜２．１wt％、Ｔａwt％の対Ｎｂwt％比：１．０〜１２．０、残部：平均切片長０．４〜０．９μｍのＷＣであり、バインダ相がＳ値０．８１〜０．９５に対応するＷを含み、
上記被膜が、下記：
ＴｉＣxＮyＯz 最内層：０．７≦ｘ＋ｙ＋ｚ≦１であって、等軸粒であり、総厚さ＜１μｍ、
ＴｉＣxＮyＯz 層：０．７≦ｘ＋ｙ＋ｚ≦１であって、厚さ０．５〜７μｍであり、柱状粒である、および
少なくとも１層のＡｌ2Ｏ3層：実質的にκ相から成り、Ｘ線回折で求まる少量のα相を任意に含み、厚さ０．２〜５μｍ、
の各層を備えていることを特徴とする切削工具インサート。
【請求項２】  ＴｉＣxＮyＯz、ＨｆＣxＮyＯz、ＺｒＣxＮyＯz、またはこれらの混合物のいずれかから成り、０．７≦ｘ＋ｙ＋ｚ≦１．２である外層を更に備えていることを特徴とする請求項１記載の切削工具インサート。
【請求項３】  超硬合金製本体と被膜とから成り低合金鋼、中合金鋼の高速フライス加工および硬化鋼のフライス加工に特に適した切削工具インサートの製造方法であって、
上記超硬合金本体の組成が、Ｃｏ：７．９〜８．６wt％、ＴａおよびＮｂの立方晶炭化物：合計で０．５〜２．１wt％、Ｔａwt％の対Ｎｂwt％比：１．０〜１２．０、残部：平均切片長０．４〜０．９μｍのＷＣであり、バインダ相がＳ値０．８１〜０．９５に対応するＷを含み、
上記超硬合金に、下記：
ＴｉＣxＮyＯz 最内層：０．７≦ｘ＋ｙ＋ｚ≦１であって、等軸粒であり、総厚さ＜１μｍ、
ＴｉＣxＮyＯz 層：０．７≦ｘ＋ｙ＋ｚ≦１であって、厚さ０．５〜７μｍであり、柱状粒である、および
少なくとも１層のＡｌ2Ｏ3層：実質的にκ相から成り、Ｘ線回折で求まる少量のα相を任意に含み、厚さ０．２〜５μｍ、
の各層を備えている被膜を堆積させることを特徴とする切削工具インサートの製造方法。
【請求項４】  ＴｉＣxＮyＯz、ＨｆＣxＮyＯz、ＺｒＣxＮyＯz、またはこれらの混合物のいずれかから成り、０．７≦ｘ＋ｙ＋ｚ≦１．２である外層を更に堆積させることを特徴とする請求項３記載の方法。
【請求項５】  請求項１または２記載の切削工具インサートを用いて、鋼を乾式高速フライス加工または硬化鋼を乾式フライス加工する方法であって、切削速度を７５〜４００ｍ／ｍｉｎとし、切削速度とインサート形状とに応じて平均切りくず厚さ０．０４〜０．２ｍｍとすることを特徴とするフライス加工方法。
【請求項６】  請求項３または４記載の方法により製造された切削工具インサートを用いて、鋼を乾式高速フライス加工または硬化鋼を乾式フライス加工する方法であって、切削速度を７５〜４００ｍ／ｍｉｎとし、切削速度とインサート形状とに応じて平均切りくず厚さ０．０４〜０．２ｍｍとすることを特徴とするフライス加工方法。