【手続補正書】
【提出日】平成18年2月27日(2006.2.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  絶縁基板上に形成された光硬化型の感光層上に熱物体を接触させ感光層を加温する工程と、前記感光層を露光する工程を有する回路基板の形成方法。
【請求項２】  絶縁基板上に形成された光硬化型の感光層上に冷却体を接触させ感光層を冷却する工程と、前記感光層を露光する工程を有する回路基板の形成方法。
【請求項３】  絶縁基板上に形成された光硬化型の感光層上に発熱体を接触させ感光層を加温する工程と、前記感光層上にマスクフィルムを載置し露光する工程を有する回路基板の形成方法。
【請求項４】  絶縁基板上に形成された光分解型の感光層上に冷却体を接触させ感光層を冷却する工程と、前記感光層を露光する工程を有する回路基板の形成方法。
【請求項５】  絶縁基板上に形成された光分解型の感光層上に発熱体を接触させ感光層を加温する工程と、前記感光層を露光する工程を有する回路基板の形成方法。
【請求項６】  絶縁基板上に形成された光分解型の感光層上に冷却体を接触させ感光層を冷却する工程と、前記感光層上にマスクフィルムを載置し露光する工程を有する回路基板の形成方法。
【請求項７】  絶縁基板上の感光層に接触し部分的に加温する手段と、前記感光層を露光する手段を備えた回路形成装置。
【請求項８】  部分的に加温する手段の直前に感光層を冷却する手段を設けた請求項７に記載の回路形成装置。
【請求項９】  絶縁基板上の感光層に接触し部分的に加温する手段と、前記感光層上にマスクフィルムを載置する手段と、露光する手段を備えた回路形成装置。
【請求項１０】  絶縁基板上の感光層に接触し部分的に冷却する手段と、前記感光層を露光する手段を備えた回路形成装置。
【請求項１１】  部分的に冷却する手段の直前に感光層を加温する手段を設けた請求項１０に記載の回路形成装置。
【請求項１２】  絶縁基板上の感光層に接触し部分的に冷却する手段と、前記感光層上にマスクフィルムを載置する手段と、露光する手段を備えた回路形成装置。
【請求項１３】  マスクフィルムを載置する手段に位置決め機構を有する請求項９または請求項１２に記載の回路形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明の請求項２に記載の発明は、絶縁基板上に形成された光硬化型の感光層上に冷却体を接触させ感光層を冷却する工程と、前記感光層を露光する工程を有する回路基板の形成方法としたものであり、冷却体を接触させた部分の感光層を低温下し露光感度を低下させ、冷却体を接触させない感光層との露光感度に差を生じせしめるという作用を有する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
本発明の請求項３に記載の発明は、絶縁基板上に形成された光硬化型の感光層上に発熱体を接触させ感光層を加温する工程と、前記感光層上にマスクフィルムを載置し露光する工程を有する回路基板の形成方法としたものであり、発熱体の接触により感光層の露光感度を高めたのち、マスクフィルムを載置して露光することにより露光部および非露光部の区分を明確にすることで、露光速度および解像性を向上させることができるという作用を有する。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
本発明の請求項４に記載の発明は、絶縁基板上に形成された光分解型の感光層上に冷却体を接触させ感光層を冷却する工程と、前記感光層を露光する工程を有する回路基板の形成方法としたものであり、光分解型の感光層上に冷却体を接触させ、冷却することによって、感光層の低温部と非低温部で感度差を生じさせ、露光による反応を区分するとともに、光分解型の感光層における回路形成を効果的に行うという作用を有する。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
本発明の請求項５に記載の発明は、絶縁基板上に形成された光分解型の感光層上に発熱体を接触させ感光層を加温する工程と、前記感光層を露光する工程を有する回路基板の形成方法としたものであり、発熱体を接触させた部分の感光層を低温下し露光感度を向上させ、発熱体を接触させない感光層との露光感度に差を生じせしめるという作用を有する。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
本発明の請求項６に記載の発明は、絶縁基板上に形成された光分解型の感光層上に冷却体を接触させ感光層を冷却する工程と、前記感光層上にマスクフィルムを載置し露光する工程を有する回路基板の形成方法としたものであり、冷却体の接触により感光層の露光感度を低下させたのち、マスクフィルムを載置して露光することにより露光部および非露光部の区分を明確にすることで、露光速度および解像性を向上させることができるという作用を有する。
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
本発明の請求項７に記載の発明は、絶縁基板上の感光層に接触し部分的に加温する手段と、前記感光層を露光する手段を備えた回路形成装置としたものであり、この製造装置を用いて感光層を部分的に加温することによって、感光層に露光感度差を形成することができる装置を提供するということである。
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
本発明の請求項８に記載の発明は、部分的に加温する手段の直前に感光層を冷却する手段を設けた請求項７に記載の回路形成装置としたものであり、この製造装置を用いて、感光層を冷却し、部分的に加温することによって、加温部と低温状態の非加温部を生じさせ、感光層に露光感度差を形成することができる装置を提供するということである。
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
本発明の請求項９に記載の発明は、絶縁基板上の感光層に接触し部分的に加温する手段と、前記感光層上にマスクフィルムを載置する手段と、露光する手段を備えた回路形成装置としたものであり、加熱手段としての発熱体の接触により感光層の露光感度を高めたのち、マスクフィルムを載置して適正露光量よりも低い紫外線量で露光することによって、露光部および非露光部の区分を明確にし解像性を向上させることができ、さらに露光の生産性の向上を図ることのできる装置を提供するものである。
【手続補正５１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
本発明の請求項１０に記載の発明は、絶縁基板上の感光層に接触し部分的に冷却する手段と、前記感光層を露光する手段を備えた回路形成装置としたものであり、この製造装置を用いて、感光層に露光感度差を形成することができる装置を提供するということである。
【手続補正５２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
本発明の請求項１１に記載の発明は、部分的に冷却する手段の直前に感光層を加温する手段を設けた請求項１０に記載の回路形成装置としたものであり、この製造装置を用いて、感光層を加温し、部分的に冷却することによって、低温部と高温状態の非低温部を生じさせ、感光層に露光感度差を形成することができる装置を提供するということである。
【手続補正５３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
本発明の請求項１２に記載の発明は、絶縁基板上の感光層に接触し部分的に冷却する手段と、前記感光層上にマスクフィルムを載置する手段と、露光する手段を備えた回路形成装置としたものであり、冷却体の接触により感光層の露光感度を低下させたのち、マスクフィルムを載置して露光することにより露光部および非露光部の区分を明確にすることで、露光速度および解像性を向上させることができる装置を提供するものである。
【手続補正６３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
本発明の請求項１３に記載の発明は、マスクフィルムを載置する手段に位置決め機構を有する請求項９または請求項１２に記載の回路形成装置としたものであり、マスクフィルムと基板との相対位置を認識調整後、載置して露光することにより画像形成の位置精度を高め、露光部および非露光部の区分を明確にし、さらに露光速度および解像性を向上させることができる装置を提供するものである。