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　平成　４年特許願第２８２１９３号「ウエハ処理装置及びウエハ処理方法」拒絶査定に対する審判事件［平成　６年　４月２２日出願公開、特開平　６−１１２３０３］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯・本件発明
　本件出願は、平成４年９月２９日の出願であって、その請求項１乃至３に係る発明は、平成１１年９月８日付け及び平成１４年４月２４日付け手続補正書により補正がされた明細書並びに平成１２年１１月２１日付け手続補正書により補正がされた図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至３に記載されたとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、次のとおりである。
「電極を具備し、ウエハを静電力で固定する静電チャックと、静電チャックを載置した支持台と、ウエハを静電チャックへと昇降させるための、接地されたプッシャーから成るウエハ処理装置を用いたウエハ処理方法であって、
　ウエハを静電チャックに固定するに際し、接地されたプッシャーをウエハに接触させながら、プッシャーを降下させてウエハを静電チャックに載置すると同時に、静電チャックの電極に直流電圧を印加し、次いで、プッシャーをウエハから外し、
　ウエハを静電チャックから解放するに際し、静電チャックの電極に印加していた直流電圧を遮断し、接地されたプッシャーをウエハに接触させ、次いで、プッシャーを上昇させてウエハを静電チャックから解放することを特徴とするウエハ処理方法。」
２　引用例  
（１）引用例１
　これに対して、当審における拒絶の理由に引用した本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平４−２５３３５６号公報（以下「引用例１」という。）には、
ａ　第３欄第１２−４０行に、
「【００１２】図１において被吸着体であるウエハ１を吸着保持する静電チャック１０は、上下２枚の絶縁層としてのポリイミドシート１２，１４の間に、導電層としての導電性シート１６を介在配置することで構成している。この静電チャック１０には、上面より下面に貫通する３つの穴１８（同図では２つのみ図示）が設けられ、後述するプッシャーピン４０を挿通可能としている。また、前記静電チャック１０における導電性シート１６には、図示しない給電経路を介してＤＣ電源が接続され、この導電性シート１６に高電圧を印加することで、後述する動作に従い前記ウエハ１と導電性シート１６との間にクーロン力を作用させ、ウエハ１を静電チャック１０に吸着保持するように構成している。
【００１３】前記静電チャック１０は、第１のサセプター２０の表面に載置固定される。この第１のサセプター２０は例えばアルミ製であり、その表面の静電チャック１０の周囲には、フォーカスリング２２を配設している。この第１のサセプター２０は、その下面側にて第２のサセプター２４に着脱自在に固定されている。この第２のサセプター２４は、同様にアルミ製であり、冷却ジャケット２６を内蔵することで、第１のサセプター２０および静電チャック１０を介してウエハ１を例えば−５０℃〜−１００℃程度に冷却している。尚、ウエハ１への熱伝導性を高めるために、第１のサセプター２０，第２のサセプター２４の間にガス例えばＨｅを導入し、さらに、ウエハ１と静電チャック１０との間にガス例えばＯ２を導入することも可能である。また、前記第１，第２のサセプター２０，２６の側面および底面を覆うように絶縁セラミック２８が設けられている。」と記載され、
ｂ　第４欄第３１−末行に、
「【００１８】プッシャーピン４０は、その先端４２が前記静電チャック１０の表面より上方に突出するように上下動可能である。このプッシャーピン４０の下側の固定端４４と、前記下部チャンバー３２との間には、ベローズ４６が設けられ、プッシャーピン４０の上下動経路を大気に対して気密構造としている。このプッシャーピン４０の固定端４４は、上下動プレート４８に連結され、この上下動プレート４８の駆動に伴って上下動可能である。前記上下動プレート４８は、駆動源例えばパルスモータ５０と結合され、このパルスモータ５０の回転力を例えばボールねじ構造等により直線駆動力に変換し、前記上下動プレート４８の上下動を可能としている。このパルスモータ５０に対しては、モータ駆動部５２からのパルスが入力され、このパルスにしたがってモータ５０が回転駆動される。プッシャーピン４０の下死点より何パルス後に、プッシャーピン４０の先端４２がウエハ１に接触するか否かが予め分っており、このパルス駆動により先端４２がウエハ１の裏面と接触した状態にて一旦停止され、その後ウエハ１を静電チャック１０より引き離すように押し上げ駆動される。」と記載され、
ｃ　第５欄第１３行−第６欄第１８行に、
「【００２１】反応室へのウエハ１の搬入は、上部チャンバー３０に設けられているゲールバルブ（図示せず）を開放し、搬送アームによってウエハ１を静電チャック１０の上方に配置する。その後、パルスモータ駆動によりプッシャーピン４０が静電チャック１０の上方に突出駆動され、このプッシャーピン４０の先端４２にウエハ１が載置される。その後パルスモータ５０を逆回転駆動し、プッシャーピン４０を下方に押し下げ駆動することで、ウエハ１を静電チャック１０上に配置できる。このようにしてウエハ１のセッテングが終了した後に、対向電極へのＲＦパワーの印加，エッチングガスの導入，永久磁石の回転駆動による水平磁場の形成等により、プラズマエッチング工程が開始されることになる。また、静電チャック１０の導電性シート１６に対して高電圧を印加し、一方ウエハ１はプラズマを通して上部チャンバー３０と導通するので接地させることができ、ウエハ１，導電性シート１６間にクーロン力に作用させて静電チャック１０表面にウエハ１を吸着保持できる。
【００２２】プラズマエッチングが終了すると、各種の稼動が停止され、すなわちプラズマの生成が解除され、さらに静電チャック１０の導電性シート１６に対する高電圧の印加が解除される。そして、この後にプッシャーピン４０の押し上げ駆動が開始される。
【００２３】このプッシャーピン４０の押し上げ駆動に際して、まずモータ駆動部５０により所定数のパルスがパルスモータ５０に入力される。この所定数のパルスとは、プッシャーピン４０の先端４２が、静電チャック１０に載置されているウエハ１の裏面に接触するまでの駆動に要するパルスである。この際のプッシャーピン４０の押し上げ駆動の間は、プッシャーピン４０の除電経路途中に配置されているスイッチ６０はＯＦＦされている。そして、上記のパルス駆動によりプッシャーピン４０の先端４２がウエハ１の裏面と接触した位置にて、プッシャーピン４０の押し上げ駆動が停止され、その後スイッチ６０がＯＮされる。ここで、前記ウエハ１には電荷が残留し、かつ、電気的にフローティング状態にあるので帯電状態が維持されている。そこで、スイッチ６０をＯＮすることにより、プッシャーピン４０，固定端４４，上下動プレート４８およびスイッチ６０を経由することでウエハ１の除電経路を構成する。従って、ウエハ１に蓄積されている電荷は上記除電経路を経由して除去され、ウエハ１のチャージアップが解消されることになる。このようなウエハ１の除電動作後に、再度モータ駆動部５２よりパルスモータ５０に向けてパルスが入力され、ウエハ１を搬送アームに受け渡す位置までプッシャーピン４０を押し上げ駆動することになる。この際、ウエハ１は予めチャージアップが解消されているので、ウエハ１と静電チャック１０との間には何等の吸着力も作用せず、プッシャーピン４０の押し上げ駆動によりウエハ１を静電チャック１０より円滑に引き離すことが可能となる。従って、静電チャック１０には何等のダメージも生ずることはない。」と記載されていると認められる。
ｄ　引用例１には、ウエハ１を静電チャック１０上に載置するに際し、その載置後、プッシャーピン４０をウエハ１から外すことについて明記されていない。
　ところが、引用例１には、前記ｃのとおり、ウエハ１を静電チャック１０から解放するに際し、プッシャーピン４０の先端４２が、静電チャック１０に載置されているウエハ１の裏面に接触するまでプッシャーピン４０を押し上げることが記載されており、このことより、この解放の動作が始まる前は、プッシャーピン４０は、ウエハ１から外れているものであり、これは、ウエハ１を静電チャック１０上に載置する際に行われているものと認められる。即ち、ウエハ１を静電チャック１０上に載置するに際し、ウエハ１が静電チャック１０上に載置され、次いで、プッシャーピン４０がウエハ１から外されるものと認められる。
　以上のとおりであるので、引用例１には、本件発明の構成に沿って整理した次の発明が記載されていると認められる。
　導電性シート１６を具備し、ウエハ１を静電力で固定する静電チャック１０と、静電チャック１０を載置した第１サセプター２０及び第２サセプター２４と、ウエハ１を静電チャック１０へと昇降させるための、スイッチ６０がＯＮされることにより接地されるプッシャーピン４０から成るプラズマエッチング装置を用いたプラズマエッチング方法であって、
　ウエハ１を静電チャック１０に固定するに際し、プッシャーピン４０をウエハ１に接触させながら、プッシャーピン４０を降下させてウエハ１を静電チャック１０に載置し、次いで、静電チャック１０の導電性シート１６に直流電圧を印加し、プッシャーピン４０をウエハ１から外し、
　ウエハ１を静電チャック１０から解放するに際し、静電チャック１０の導電性シート１６に印加していた直流電圧を遮断し、プッシャーピン４０をウエハ１に接触させ、スイッチ６０をＯＮしてプッシャーピン４０を接地し、次いで、プッシャーピン４０を上昇させてウエハ１を静電チャック１０から解放するプラズマエッチング方法。
（２）引用例２
　また、同刊行物である特開平３−２９１３８９号公報（以下「引用例２」という。）には、
ａ　第３頁右上欄第１１行−右下欄第５行に、
「なお、ここで、ウェハ１８が試料台１１に配置されて保持され、処理が行われた後、ウェハ１８を試料台１１から外すまでの工程を第４図により説明する。
　まず、スイッチ２９によって導電板バネ２５をアース電位にし（これをステップ３１に示す。）、この状態で搬送装置によりウェハ１８を試料台１１上に配置する（これをステップ３２に示す。）。なお、ウェハ１８の配置の詳しくは図示を省略した搬送手段によって真空処理室内にウェハ１８が搬入され、該搬入されたウェハ１８を押上ピン１４が上昇することで受け取り、搬送手段が逃げた後押上ピン１４が下降してウェハ１８を試料台１１上に配置する。これにより、ウェハ１８が試料台１１上に配置されると、ウェハ１８裏面に導電板バネ２５が接触する。
　次に、制御装置３０によって切換スイッチ２３を操作し、直流電源装置２２によって試料台１１に負電圧を印加し、ウェハ１８を試料台１１上に静電吸着させる（これをステップ３３に示す。）。
　・・・
そして、・・・導電板バネ２５をスイッチ２９を切って電気的にフローティング状態にし（これをステップ３６に示す。）、プラズマを発生させてエッチング処理を開始する（これをステップ３７に示す。）。
　その後、・・・再びスイッチ２９によって導電板バネ２５をアース電位にする（これをステップ４０に示す。）。」と記載され、
ｂ　第４頁左上欄末行−右上欄第５行に、
「次に、本発明の他の実施例を第５図および第６図により説明する。
　本図において前記第１図ないし第３図と同符号は同一部材を示し説明を省略する。本図が第１図および第２図と異なる点は、導電板バネ２５を押上ピン１４の上端部に設けた点である。」と記載されている。
ｃ　また、引用例２には、第５及び６図に示されたプラズマ処理装置の他の実施例について、どのようなタイミングで押上ピン１４の上端部に設けた導電板バネ２５がスイッチ２９によってアース電位にされるのか、即ち、接地されるのか明記されていないが、前記ｂより、第１及び２図に示されたプラズマ処理装置の第１の実施例における導電板バネ２５と同様なタイミングで接地されるものであると認められる。
　したがって、前記他の実施例の押上ピン１４は、ウェハ１８に接触させながら降下させて、ウェハ１８を試料台１１に載置するときに、その上端部に設けた導電板バネ２５が接地されているものと認められる。
　以上のとおりであるので、引用例２には、次の発明が記載されていると認められる。
　ウェハ１８を試料台１１に固定するに際し、接地された導電板バネ２５を上端部に設けた押上ピン１４をウェハ１８に接触させながら、押上ピン１４を降下させてウェハ１８を試料台１１に載置するプラズマ処理方法。
３　対比
　本件発明と引用例１に記載された発明とを対比すると、引用例１に記載された発明の「導電性シート」、「第１サセプター及び第２サセプター」、「プッシャーピン」、「プラズマエッチング装置」及び「プラズマエッチング方法」は、本件発明の「電極」、「支持台」、「プッシャー」、「ウエハ処理装置」及び「ウエハ処理方法」にそれぞれ相当していると認められる。
　また、ウエハを静電チャックに固定するに際し、引用例１に記載された発明では、プッシャーを降下させてウエハを静電チャックに載置し、次いで、静電チャックの電極に直流電圧を印加し、プッシャーをウエハから外しているが、これは、プッシャーを降下させてウエハを静電チャックに載置し、静電チャックの電極に直流電圧を印加し、プッシャーをウエハから外していることに限り、本件発明のプッシャーを降下させてウエハを静電チャックに載置すると同時に、静電チャックの電極に直流電圧を印加し、次いで、プッシャーをウエハから外していることに一致していると認められる。
　また、ウエハを静電チャックから解放するに際し、引用例１に記載された発明では、プッシャーをウエハに接触させ、スイッチをＯＮしてプッシャーを接地しているが、これは、プッシャーをウエハに接触させ、ウエハの残留電荷を除去していることに限り、本件発明の接地されたプッシャーをウエハに接触させることに一致していると認められる。
　したがって、両者は、次の点で一致している。
　電極を具備し、ウエハを静電力で固定する静電チャックと、静電チャックを載置した支持台と、ウエハを静電チャックへと昇降させるための、プッシャーから成るウエハ処理装置を用いたウエハ処理方法であって、
　ウエハを静電チャックに固定するに際し、プッシャーをウエハに接触させながら、プッシャーを降下させてウエハを静電チャックに載置し、静電チャックの電極に直流電圧を印加し、プッシャーをウエハから外し、
　ウエハを静電チャックから解放するに際し、静電チャックの電極に印加していた直流電圧を遮断し、プッシャーをウエハに接触させ、ウエハの残留電荷を除去し、次いで、プッシャーを上昇させてウエハを静電チャックから解放するウエハ処理方法。
　しかし、両者は、次の点で相違している。
（１）相違点１
　プッシャーを降下させてウエハを静電チャックに載置し、静電チャックの電極に直流電圧を印加し、プッシャーをウエハから外して、ウエハを静電チャックに固定するに際し、本件発明では、接地されたプッシャーをウエハに接触させながら、プッシャーを降下させてウエハを静電チャックに載置すると同時に、静電チャックの電極に直流電圧を印加し、次いで、プッシャーをウエハから外しているのに対して、引用例１に記載された発明では、プッシャーが接地されているのか明らかでなく、また、ウエハを静電チャックに載置すること、静電チャックの電極に直流電圧を印加すること及びプッシャーをウエハから外すことのタイミングが明らかでない点。
（２）相違点２
　プッシャーをウエハに接触させ、ウエハの残留電荷を除去して、ウエハを静電チャックから解放するに際し、本件発明では、接地されたプッシャーをウエハに接触させることにより、ウエハの残留電荷を除去しているのに対し、引用例１に記載された発明では、プッシャーをウエハに接触させ、スイッチをＯＮしてプッシャーを接地することにより、ウエハの残留電荷を除去している点。
４　当審の判断
（１）相違点１について
　引用例２には、前記２（２）のとおりの発明が記載されており、引用例２に記載された発明の「試料台」及び「プラズマ処理方法」は、「静電チャック」及び「ウエハ処理方法」と表現することができ、また、「接地された導電板バネ２５を上端部に設けた押上ピン１４」は、「接地されたプッシャー」と表現することができるので、引用例２には次の発明が記載されていることになると認められる。
　ウエハを静電チャックに固定するに際し、接地されたプッシャーをウエハに接触させながら、プッシャーを降下させてウエハを静電チャックに載置するウエハ処理方法。
　したがって、引用例１及び２に記載された発明は、技術分野が一致するので、引用例１に記載された発明において、ウエハを静電チャックに固定するに際し、引用例２に記載された発明を採用し、接地されたプッシャーをウエハに接触させながら、プッシャーを降下させてウエハを静電チャックに載置することに、困難性はない。
　また、ウエハを静電チャックに固定するに際し、静電チャックの電極にどのタイミングで直流電圧を印加するかは、必要に応じて適宜決定する設計的事項であって、その印加タイミングをウエハが静電チャックに載置されると同時とすることに、格別の困難性はない。
　また、プッシャーは、ウエハが静電チャックに載置され、次いで、ウエハから外れるものであり、また、ウエハが静電チャックに載置されると同時に、静電チャックの電極に直流電圧が印加されるのであるから、プッシャーをウエハから外すタイミングは、その直流電圧の印加に次いでとなるものと認められる。
（２）相違点２について
　プッシャーをウエハに接触させ、ウエハの残留電荷を除去するに際し、プッシャーをウエハに接触する前に接地しておくか、接触してから接地するかは、必要に応じて適宜決定する設計的事項であり、引用例１に記載された発明において、ウエハに接触させてから接地しているプッシャーをウエハに接触する前から接地しておくように変更することに、格別の困難性はない。
（３）本件発明の効果について
　本件発明の効果は、引用例１及び２に記載された発明から予測しうる程度のものであって、格別のものではない。
５　むすび
　したがって、本件発明は、本件出願前に日本国内において頒布された引用例１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　以上のとおりであるので、本件出願の請求項２及び３に係る発明について判断するまでもなく、本件出願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。