【手続補正書】
【提出日】平成17年12月22日(2005.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するノズルに対応して設けられており、内部にインクが充填される複数の圧力室が並んで形成されてなる本体部と、
該本体部に対応する大きさを有し、振動可能な材料により形成されており、上記本体部に上記各圧力室を覆うように固定してあり、各圧力室に対向する部分が各圧力室の一の壁面を構成する振動膜と、
前記各圧力室と対応する前記振動膜上に並んで配設されており、前記振動膜を変形することにより前記圧力室内のインクを前記ノズルから吐出させる複数のインク吐出エネルギー発生部とを有し、
各インク吐出エネルギー発生部が、圧電体製の細長い小片形状のインク吐出エネルギー発生部本体と、該インク吐出エネルギー発生部本体の上面の個別電極とよりなるインクジェット記録ヘッドにおいて、
上記振動膜のうち、上記複数のインク吐出エネルギー発生部が並んで形成されているインク吐出エネルギー発生部形成領域とは異なる領域に、上記振動膜を補強するための圧電体製の補強用枠部が設けられていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記補強用枠部は、前記インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続している構成であることを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
インクを吐出するノズルに対応して設けられており、内部にインクが充填される複数の圧力室が並んで形成されてなる本体部と、
薄膜形成技術を用いて成膜されたものであり、該本体部に対応する大きさを有し、振動可能な材料により形成されており、上記本体部に上記各圧力室を覆うように固定してあり、各圧力室に対向する部分が各圧力室の一の壁面を構成する振動膜と、
薄膜形成技術を用いて形成されたものであり、前記各圧力室と対応する前記振動膜上に並んで配設されており、前記振動膜を変形することにより前記圧力室内のインクを前記ノズルから吐出させる複数のインク吐出エネルギー発生部とを有し、
各インク吐出エネルギー発生部が、圧電体製の細長い小片形状のインク吐出エネルギー発生部本体と、該インク吐出エネルギー発生部本体の上面の個別電極とよりなるインクジェット記録ヘッドにおいて、
上記振動膜のうち、上記複数のインク吐出エネルギー発生部が並んで形成されているインク吐出エネルギー発生部形成領域とは異なる領域に、上記インク吐出エネルギー発生部を形成する工程時に該インク吐出エネルギー発生部と同時に形成されたものであって、上記振動膜を補強するための圧電体製の補強用枠部が設けられていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記補強用枠部は、前記インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続している構成であることを特徴とする請求項３記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
上記補強用枠部は、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に沿って該インク吐出エネルギー発生部が並んでいる方向と同じ方向に延在しており、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続しているインク吐出エネルギー発生部並び方向帯部よりなる構成であることを特徴とする請求項１乃至４のうち何れか一項記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
上記補強用枠部は、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に沿って該インク吐出エネルギー発生部が並んでいる方向と同じ方向に延在しており、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続しており、上記インク吐出エネルギー発生部の両側に位置している二つのインク吐出エネルギー発生部並び方向帯部よりなる構成であることを特徴とする請求項１乃至４のうち何れか一項記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
上記補強用枠部は、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域のインク吐出エネルギー発生部の並んでいる方向の端側に、該インク吐出エネルギー発生部の長手方向と同じ方向に延在しており、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続しているインク吐出エネルギー発生部長手方向帯部よりなる構成であることを特徴とする請求項１乃至４のうち何れか一項記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
上記補強用枠部は、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に沿って該インク吐出エネルギー発生部が並んでいる方向と同じ方向に延在しており、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続しており、上記インク吐出エネルギー発生部の両側に位置している二つのインク吐出エネルギー発生部並び方向帯部と、且つ、インク吐出エネルギー発生部の並んでいる方向の両端の側に、該インク吐出エネルギー発生部の長手方向と同じ方向に延在しており、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続している二つのインク吐出エネルギー発生部長手方向帯部とよりなり、
該二つのインク吐出エネルギー発生部並び方向帯部と該二つのインク吐出エネルギー発生部長手方向帯部とが該インク吐出エネルギー発生部形成領域を囲んで枠状となっている構成であることを特徴とする請求項１乃至４のうち何れか一項記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
インクを吐出するノズルに対応して設けられており、内部にインクが充填される複数の圧力室が並んで形成されてなる本体部と、
該本体部に対応する大きさを有し、振動可能な材料により形成されており、上記本体部に上記各圧力室を覆うように固定してあり、各圧力室に対向する部分が各圧力室の一の壁面を構成する振動膜と、
前記各圧力室と対応する前記振動膜上に並んで配設されており、前記振動膜を変形することにより前記圧力室内のインクを前記ノズルから吐出させる複数のインク吐出エネルギー発生部とを有し、
各インク吐出エネルギー発生部が、圧電体製の細長い小片形状のインク吐出エネルギー発生部本体と、該インク吐出エネルギー発生部本体の上面の個別電極とよりなるインクジェット記録ヘッドにおいて、
上記各インク吐出エネルギー発生部本体を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状とした構成としたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】
インクを吐出するノズルに対応して設けられており、内部にインクが充填される複数の圧力室が並んで形成されてなる本体部と、
該本体部に対応する大きさを有し、振動可能な材料により形成されており、上記本体部に上記各圧力室を覆うように固定してあり、各圧力室に対向する部分が各圧力室の一の壁面を構成する振動膜と、
前記各圧力室と対応する前記振動膜上に並んで配設されており、前記振動膜を変形することにより前記圧力室内のインクを前記ノズルから吐出させる複数のインク吐出エネルギー発生部とを有し、
各インク吐出エネルギー発生部が、圧電体製の細長い小片形状のインク吐出エネルギー発生部本体と、該インク吐出エネルギー発生部本体の上面の個別電極とよりなるインクジェット記録ヘッドにおいて、
上記各個別電極を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状とした構成としたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項１１】
インクを吐出するノズルに対応して設けられており、内部にインクが充填される複数の圧力室が並んで形成されてなる本体部と、
該本体部に対応する大きさを有し、振動可能な材料により形成されており、上記本体部に上記各圧力室を覆うように固定してあり、各圧力室に対向する部分が各圧力室の一の壁面を構成する振動膜と、
前記各圧力室と対応する前記振動膜上に並んで配設されており、前記振動膜を変形することにより前記圧力室内のインクを前記ノズルから吐出させる複数のインク吐出エネルギー発生部とを有し、
各インク吐出エネルギー発生部が、圧電体製の細長い小片形状のインク吐出エネルギー発生部本体と、該インク吐出エネルギー発生部本体の上面の個別電極とよりなるインクジェット記録ヘッドにおいて、
上記各インク吐出エネルギー発生部本体を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状とすると共に、
上記各個別電極を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状とした構成としたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項１２】
請求項１乃至８のうち何れか一項記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、
上記各インク吐出エネルギー発生部本体を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状とした構成としたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項１３】
請求項１乃至８のうち何れか一項記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、
上記各個別電極を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状とした構成としたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項１４】
請求項１乃至８のうち何れか一項記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、
上記各インク吐出エネルギー発生部本体を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状とすると共に、
上記各個別電極を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状とした構成としたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項１５】
請求項１乃至１４のうち何れか一項記載のインクジェット記録ヘッドを備えてなる構成としたことを特徴とするプリンタ装置。
【請求項１６】
圧力室にインクが充填され、該圧力室の体積を変化させることでインクを吐出させるインクジェット記録ヘッドの駆動素子であって、
該駆動素子はターゲット基板に圧電体と振動膜とが薄膜形成技術を用いて積層形成されてなり、
該圧電体は、前記圧力室の体積を変化させるエネルギーを発生させるインク吐出エネルギー発生部と、該インク吐出エネルギー発生部の周囲を囲むように連続して設けられた補強用枠部からなることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの駆動素子。
【請求項１７】
圧力室にインクが充填され、該圧力室の体積を変化させることでインクを吐出させるインクジェット記録ヘッドの駆動素子であって、
該駆動素子はターゲット基板に圧電体と振動膜とが薄膜形成技術を用いて積層形成されてなり、
該圧電体は、前記圧力室の体積を変化させるエネルギーを発生させるインク吐出エネルギー発生部が略方形に形成され、該方形の角部の形状は応力を分散させる形状としたことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの駆動素子。
【請求項１８】
請求項１７に記載のインクジェット記録ヘッドの駆動素子において、
前記応力を分散させる形状は、テーパ形状、円弧形状、階段形状のいずれかもくしは組み合わせであることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの駆動素子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、インクを吐出するノズルに対応して設けられており、内部にインクが充填される複数の圧力室が並んで形成されてなる本体部と、該本体部に対応する大きさを有し、振動可能な材料により形成されており、上記本体部に上記各圧力室を覆うように固定してあり、各圧力室に対向する部分が各圧力室の一の壁面を構成する振動膜と、前記各圧力室と対応する前記振動膜上に並んで配設されており、前記振動膜を変形することにより前記圧力室内のインクを前記ノズルから吐出させる複数のインク吐出エネルギー発生部とを有し、各インク吐出エネルギー発生部が、圧電体製の細長い小片形状のインク吐出エネルギー発生部本体と、該インク吐出エネルギー発生部本体の上面の個別電極とよりなるインクジェット記録ヘッドにおいて、上記振動膜のうち、上記複数のインク吐出エネルギー発生部が並んで形成されているインク吐出エネルギー発生部形成領域とは異なる領域に、上記振動膜を補強するための圧電体製の補強用枠部が設けられているものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、請求項２の発明は、前記補強用枠部は、前記インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続している構成としたものである。このように上記圧電体製の補強用枠部は、インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続しているものであることによって、振動膜がこれに発生している応力によって縮まろうとする挙動をインク吐出エネルギー発生部形成領域全体に亘って拘束し、よって、振動膜に亀裂が発生しないようになる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項３の発明は、インクを吐出するノズルに対応して設けられており、内部にインクが充填される複数の圧力室が並んで形成されてなる本体部と、薄膜形成技術を用いて成膜されたものであり、該本体部に対応する大きさを有し、振動可能な材料により形成されており、上記本体部に上記各圧力室を覆うように固定してあり、各圧力室に対向する部分が各圧力室の一の壁面を構成する振動膜と、薄膜形成技術を用いて形成されたものであり、前記各圧力室と対応する前記振動膜上に並んで配設されており、前記振動膜を変形することにより前記圧力室内のインクを前記ノズルから吐出させる複数のインク吐出エネルギー発生部とを有し、各インク吐出エネルギー発生部が、圧電体製の細長い小片形状のインク吐出エネルギー発生部本体と、該インク吐出エネルギー発生部本体の上面の個別電極とよりなるインクジェット記録ヘッドにおいて、上記振動膜のうち、上記複数のインク吐出エネルギー発生部が並んで形成されているインク吐出エネルギー発生部形成領域とは異なる領域に、上記インク吐出エネルギー発生部を形成する工程時に該インク吐出エネルギー発生部と同時に形成されたものであって、上記振動膜を補強するための圧電体製の補強用枠部が設けられているものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、請求項４の発明は、前記補強用枠部は、前記インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されておらず連続している構成としたものである。このように、上記圧電体製の補強用枠部は、インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続している構成であるため、振動膜がこれに発生している応力によって縮まろうとする挙動をインク吐出エネルギー発生部形成領域全体に亘って拘束し、よって、振動膜に亀裂が発生しないようになる。また、補強用枠部はインク吐出エネルギー発生部を形成するときに併せて形成されたものであり、工程の数は増えない。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項５の発明は、上記補強用枠部は、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に沿って該インク吐出エネルギー発生部が並んでいる方向と同じ方向に延在しており、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続しており、インク吐出エネルギー発生部並び方向帯部よりなる構成としたものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項６の発明は、上記補強用枠部は、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に沿って該インク吐出エネルギー発生部が並んでいる方向と同じ方向に延在しており、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続しており、上記インク吐出エネルギー発生部の両側に位置している二つのインク吐出エネルギー発生部並び方向帯部よりなる構成であるようにしたものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項７の発明は、上記補強用枠部は、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域のインク吐出エネルギー発生部の並んでいる方向の端側に、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続しているインク吐出エネルギー発生部の長手方向と同じ方向に延在しているインク吐出エネルギー発生部長手方向帯部よりなる構成であるようにしたものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続しているインク吐出エネルギー発生部長手方向帯部は、振動膜のうち、インク吐出エネルギー発生部の長手方向を補強して、亀裂がインク吐出エネルギー発生部本体の並び方向に発生することを防止する。請求項８の発明は、上記補強用枠部は、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に沿って該インク吐出エネルギー発生部が並んでいる方向と同じ方向に延在しており、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続しており、上記インク吐出エネルギー発生部の両側に位置している二つのインク吐出エネルギー発生部並び方向帯部と、且つ、インク吐出エネルギー発生部の並んでいる方向の両端の側に、該インク吐出エネルギー発生部の長手方向と同じ方向に延在しており、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続している二つのインク吐出エネルギー発生部長手方向帯部とよりなり、該二つのインク吐出エネルギー発生部並び方向帯部と該二つのインク吐出エネルギー発生部長手方向帯部とが該インク吐出エネルギー発生部形成領域を囲んで枠状となっている構成であるようにしたものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
枠状となっている補強用枠部は、振動膜のうち、インク吐出エネルギー発生部の全周囲を補強し、亀裂がインク吐出エネルギー発生部本体の長手方向の延長方向に発生すること、及び亀裂がインク吐出エネルギー発生部本体の並び方向に発生することを防止する。請求項９の発明は、インクを吐出するノズルに対応して設けられており、内部にインクが充填される複数の圧力室が並んで形成されてなる本体部と、該本体部に対応する大きさを有し、振動可能な材料により形成されており、上記本体部に上記各圧力室を覆うように固定してあり、各圧力室に対向する部分が各圧力室の一の壁面を構成する振動膜と、前記各圧力室と対応する前記振動膜上に並んで配設されており、前記振動膜を変形することにより前記圧力室内のインクを前記ノズルから吐出させる複数のインク吐出エネルギー発生部とを有し、各インク吐出エネルギー発生部から、圧電体製の細長い小片形状のインク吐出エネルギー発生部本体と、該インク吐出エネルギー発生部本体の上面の個別電極とよりなるインクジェット記録ヘッドにおいて、上記各インク吐出エネルギー発生部本体を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状とした構成としたものである。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
振動膜にインク吐出エネルギー発生部の端部から延びる亀裂が発生することが防止される。請求項１０の発明は、インクを吐出するノズルに対応して設けられており、内部にインクが充填される複数の圧力室が並んで形成されてなる本体部と、該本体部に対応する大きさを有し、振動可能な材料により形成されており、上記本体部に上記各圧力室を覆うように固定してあり、各圧力室に対向する部分が各圧力室の一の壁面を構成する振動膜と、前記各圧力室と対応する前記振動膜上に並んで配設されており、前記振動膜を変形することにより前記圧力室内のインクを前記ノズルから吐出させる複数のインク吐出エネルギー発生部とを有し、各インク吐出エネルギー発生部が、圧電体製の細長い小片形状のインク吐出エネルギー発生部本体と、該インク吐出エネルギー発生部本体の上面の個別電極とよりなるインクジェット記録ヘッドにおいて、上記各個別電極を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状としたものである。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
振動膜にインク吐出エネルギー発生部の端部から延びる亀裂が発生することが防止される。請求項１１の発明は、インクを吐出するノズルに対応して設けられており、内部にインクが充填される複数の圧力室が並んで形成されてなる本体部と、該本体部に対応する大きさを有し、振動可能な材料により形成されており、上記本体部に上記各圧力室を覆うように固定してあり、各圧力室に対向する部分が各圧力室の一の壁面を構成する振動膜と、前記各圧力室と対応する前記振動膜上に並んで配設されており、前記振動膜を変形することにより前記圧力室内のインクを前記ノズルから吐出させる複数のインク吐出エネルギー発生部とを有し、各インク吐出エネルギー発生部が、圧電体製の細長い小片形状のインク吐出エネルギー発生部本体と、該インク吐出エネルギー発生部本体の上面の個別電極とよりなるインクジェット記録ヘッドにおいて、上記各インク吐出エネルギー発生部本体を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状とすると共に、上記各個別電極を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状としたものである。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
振動膜にインク吐出エネルギー発生部の端部から延びる亀裂が発生することが防止される。請求項１２の発明は、請求項１乃至８のうち何れか一項記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、上記各インク吐出エネルギー発生部本体を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状とした構成としたものである。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
振動膜にインク吐出エネルギー発生部の端部から延びる亀裂が発生することが防止される。請求項１３の発明は、請求項１乃至８のうち何れか一項記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、上記各個別電極を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状としたものである。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
振動膜にインク吐出エネルギー発生部の端部から延びる亀裂が発生することが防止される。請求項１４の発明は、請求項１乃至８のうち何れか一項記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、上記各インク吐出エネルギー発生部本体を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状とすると共に、上記各個別電極を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状とした構成としたものである。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
振動膜にインク吐出エネルギー発生部のの端部から延びる亀裂が発生することが防止される。請求項１５の発明は、請求項１乃至１４のうち何れか一項記載のインクジェット記録ヘッドを備えてなる構成としたものである。振動膜への亀裂の発生が防止され、よって、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを実現出来る。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
請求項１６の発明は、圧力室にインクが充填され、該圧力室の体積を変化させることでインクを吐出させるインクジェット記録ヘッドの駆動素子であって、該駆動素子はターゲット基板に圧電体と振動膜とが薄膜形成技術を用いて積層形成されてなり、該圧電体は、前記圧力室の体積を変化させるエネルギーを発生させるインク吐出エネルギー発生部と、該インク吐出エネルギー発生部の周囲を囲むように連続して設けられた補強用枠部からなるものである。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
インク吐出エネルギー発生部の周囲を囲むように連続して設けられた補強用枠部は、インク吐出エネルギー発生部の全周囲の部分の振動膜を補強する。請求項１７の発明は、圧力室にインクが充填され、該圧力室の体積を変化させることでインクを吐出させるインクジェット記録ヘッドの駆動素子であって、該駆動素子はターゲット基板に圧電体と振動膜とが薄膜形成技術を用いて積層形成されてなり、該圧電体は、前記圧力室の体積を変化させるエネルギーを発生させるインク吐出エネルギー発生部が略方形に形成され、該方形の角部の形状は応力を分散させる形状としたものである。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
インク吐出エネルギー発生部の方形の角部の形状を応力を分散させる形状としたことによって、振動膜にインク吐出エネルギー発生部の方形の角部から延びる亀裂が発生することが防止される。請求項１８の発明は、請求項１７に記載のインクジェット記録ヘッドの駆動素子において、前記応力を分散させる形状は、テーパ形状、円弧形状、階段形状のいずれかもくしは組み合わせであるようにしたものである。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、次に述べる種々の効果を実現することができる。請求項１記載の発明によれば、振動膜のうち、複数のインク吐出エネルギー発生部が並んで形成されているインク吐出エネルギー発生部形成領域とは異なる領域に、振動膜を補強するための圧電体製の補強用枠部が設けられている。また、請求項２記載の発明によれば、前記補強用枠部は、前記インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続している構成としたものであるため、圧電体製の補強用枠部が、振動膜がこれに発生している応力によって縮まろうとする挙動をインク吐出エネルギー発生部形成領域全体に亘って拘束し、よって、振動膜に亀裂が発生しないように出来る。このことによって、振動膜を使用することによって低消費電力化及び高解像度化を図ることが出来ると共に、振動膜に亀裂が発生しないようにすることによってインクジェット記録ヘッドの信頼性を向上させることが出来る。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
請求項３の発明によれば、薄膜形成技術を用いて成膜された振動膜のうち、上記複数のインク吐出エネルギー発生部が並んで形成されているインク吐出エネルギー発生部形成領域とは異なる領域に、上記インク吐出エネルギー発生部を形成する工程時に該インク吐出エネルギー発生部と同時に形成されたものであって、振動膜を補強するための圧電体製の補強用枠部が設けてある。また、請求項４の発明によれば、この  補強用枠部がインク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続している構成としたものであるため、圧電体製の補強用枠部は、振動膜がこれに発生している応力によって縮まろうとする挙動をインク吐出エネルギー発生部形成領域全体に亘って拘束し、よって、振動膜に亀裂が発生しないように出来る。このことによって、振動膜を使用することによって低消費電力化及び高解像度化を図ることが出来ると共に、振動膜に亀裂が発生しないようにすることによってインクジェット記録ヘッドの信頼性を向上させることが出来る。また、補強用枠部はインク吐出エネルギー発生部を形成するときに併せて形成されたものであり、工程の数は増えないように出来、量産に適している。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
請求項５の発明は、補強用枠部として、インク吐出エネルギー発生部形成領域に沿って該インク吐出エネルギー発生部が並んでいる方向と同じ方向に延在しており、上記インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続しているインク吐出エネルギー発生部並び方向帯部よりなる構成であるため、インク吐出エネルギー発生部並び方向帯部が、振動膜のうち、該インク吐出エネルギー発生部が並んでいる方向を補強し、よって、亀裂がインク吐出エネルギー発生部本体の長手方向の延長方向に発生することを防止出来る。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
請求項６の発明は、補強用枠部として、インク吐出エネルギー発生部形成領域に沿って該インク吐出エネルギー発生部が並んでいる方向と同じ方向に延在しており、インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続しており、上記インク吐出エネルギー発生部の両側に位置している二つのインク吐出エネルギー発生部並び方向帯部を設けた構成であるため、インク吐出エネルギー発生部の両側に配された二つのインク吐出エネルギー発生部並び方向帯部が振動膜のうちインク吐出エネルギー発生部が並んでいる方向をより強固に補強し、よって、亀裂がインク吐出エネルギー発生部本体の長手方向の延長方向に発生することを防止出来る。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
請求項７の発明は、補強用枠部は、インク吐出エネルギー発生部形成領域のインク吐出エネルギー発生部の並んでいる方向の端側に、インク吐出エネルギー発生部の長手方向と同じ方向に延在しており、インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続しているインク吐出エネルギー発生部長手方向帯部よりなる構成であるため、インク吐出エネルギー発生部長手方向帯部によって、振動膜のうち、インク吐出エネルギー発生部の長手方向を補強して、亀裂がインク吐出エネルギー発生部本体の並び方向に発生することを防止出来る。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
請求項８の発明は、補強用枠部が、二つのインク吐出エネルギー発生部並び方向帯部と該二つのインク吐出エネルギー発生部長手方向帯部とがインク吐出エネルギー発生部形成領域を囲んで、インク吐出エネルギー発生部形成領域に対応する範囲内では分断されていずに連続していて枠状となっている構成であるため、枠状となっている補強用枠部によって、振動膜のうち、インク吐出エネルギー発生部の全周囲を補強し、亀裂がインク吐出エネルギー発生部本体の長手方向の延長方向に発生することを防止出来る。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
請求項９及び請求項１２の発明は、各インク吐出エネルギー発生部本体を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状とした構成としたものであるため、応力が集中し易いインク吐出エネルギー発生部本体の端部に応力が集中しにくくなって、振動膜にインク吐出エネルギー発生部の端部から延びる亀裂が発生することを防止出来る。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
請求項１２の発明は、補強用枠部を更に有しているため、振動膜に亀裂が発生することを更に確実に防止出来る。請求項１０及び１３の発明は、各個別電極を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状としたものであるため、応力が集中し易いインク吐出エネルギー発生部本体の端部に応力が集中しにくくなって、振動膜にインク吐出エネルギー発生部の端部から延びる亀裂が発生することを防止出来る。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
請求項１３の発明は、補強用枠部を更に有しているため、振動膜に亀裂が発生することを更に確実に防止出来る。請求項１１及び請求項１４の発明は、各インク吐出エネルギー発生部本体を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状とすると共に、各個別電極を、その端部の形状を、応力集中が発生しにくい形状とした構成としたものであるため、応力が集中し易いインク吐出エネルギー発生部本体の端部に応力が、請求項９の発明及び請求項１０の発明に比べて集中しにくくなって、振動膜にインク吐出エネルギー発生部の端部から延びる亀裂が発生することを防止出来る。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
請求項１４の発明は、補強用枠部を更に有しているため、振動膜に亀裂が発生することを更に確実に防止出来る。請求項１５の発明は、請求項１乃至１４のうち何れか一項記載のインクジェット記録ヘッドを備えてなる構成としたものであるため、振動膜への亀裂の発生が防止され、よって、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを実現出来る。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
請求項１６の発明は、圧力室にインクが充填され、該圧力室の体積を変化させることでインクを吐出させるインクジェット記録ヘッドの駆動素子であって、該駆動素子はターゲット基板に圧電体と振動膜とが薄膜形成技術を用いて積層形成されてなり、該圧電体は、前記圧力室の体積を変化させるエネルギーを発生させるインク吐出エネルギー発生部と、該インク吐出エネルギー発生部の周囲を囲むように連続して設けられた補強用枠部からなるものであるため、インク吐出エネルギー発生部の周囲を囲むように連続して設けられた補強用枠部がインク吐出エネルギー発生部の全周囲の部分の振動膜を補強して、振動膜への亀裂の発生が防止されたインクジェット記録ヘッドの駆動素子を実現出来る。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
請求項１７の発明は、インク吐出エネルギー発生部の方形の角部の形状を応力を分散させる形状としたため、振動膜にインク吐出エネルギー発生部の方形の角部から延びる亀裂が発生することが防止出来、振動膜への亀裂の発生が防止されたインクジェット記録ヘッドの駆動素子を実現出来る。請求項１８の発明は、応力を分散させる形状が、テーパ形状、円弧形状、階段形状のいずれかもくしは組み合わせであるため、振動膜にインク吐出エネルギー発生部の方形の角部から延びる亀裂が発生することが防止出来、振動膜への亀裂の発生が防止されたインクジェット記録ヘッドの駆動素子を実現出来る。