【手続補正書】
【提出日】平成18年2月28日(2006.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を流す流路に、該流路に流れる流体の質量流量を検出して流量信号を出力する質量流量検出手段と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって質量流量を制御する流量制御弁機構とを設け、外部から入力される流量設定信号と前記流量信号とに基づいて前記流量制御弁機構を制御する制御手段を設けてなる質量流量制御装置において、
前記流路に、該流路を開閉する検定用バルブ部と、所定の容量を有する検定用タンク部と、前記流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段とをそれぞれ設け、前記検定用バルブと前記検定用タンク部と前記圧力検出手段とを用いて質量流量検定動作を行うように制御する検定制御手段を備えるように構成したことを特徴とする質量流量制御装置。
【請求項２】
前記検定用タンク部の近傍には、温度検出を行う温度検出手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載の質量流量制御装置。
【請求項３】
前記検定制御手段は、基準測定時の流体の圧力変化を記憶する基準用データメモリと、検定時の流体の圧力変化を記憶する検定用データメモリとを有することを特徴とする請求項１または２記載の質量流量制御装置。
【請求項４】
前記検定制御手段には、警報手段が接続されており、前記検定制御手段は検定結果が所定の範囲外の時には前記警報手段を駆動させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の質量流量制御装置。
【請求項５】
前記検定制御手段は、前記検定結果に基づいて前記質量流量検出手段を校正することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の質量流量制御装置。
【請求項６】
前記検定用タンク部は、前記流路の途中に設けられていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の質量流量制御装置。
【請求項７】
前記検定制御手段には、検定結果を表示する表示手段が接続されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の質量流量制御装置。
【請求項８】
前記流路には、零点測定の時に該流路の出口側を開閉する零点測定用バルブ部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の質量流量制御装置。
【請求項９】
前記検定用バルブ部と前記零点測定用バルブ部は、前記質量流量制御手段を挟んで互いに反対側に設けられることを特徴とする請求項８記載の質量流量制御装置。
【請求項１０】
前記検定用バルブ部と前記零点測定用バルブ部の内の少なくともいずれか一方は、弁口となる流体入口部と流体出口部とを有する流体溜め室と、
前記流体入口部に着座して該流体入口部を閉じるために屈曲変形可能になされた全閉用ダイヤフラムと、
前記全閉用ダイヤフラムを前記流体入口部に向けて押圧するための押圧手段と、
よりなることを特徴とする請求項８または９記載の質量流量制御装置。
【請求項１１】
前記全閉用ダイヤフラムは、平面形状、或いは略球殻の一部の形状になされていることを特徴とする請求項１０記載の質量流量制御装置。
【請求項１２】
前記押圧手段は、前記全閉用ダイヤフラムを挟んで前記流体溜め室とは反対側に設けられた作動空間と、
前記作動空間内へ加圧気体を給排することができる弁機構と、
よりなることを特徴とする請求項１０または１１記載の質量流量制御装置。
【請求項１３】
前記弁機構は三方弁よりなることを特徴とする請求項１２記載の質量流量制御装置。
【請求項１４】
前記零点測定用バルブ部は、前記流量制御弁機構に対して対向する位置に配置されていることを特徴とする請求項８乃至１３のいずれかに記載の質量流量制御装置。
【請求項１５】
前記検定制御手段は、前記検定用バルブ部と前記零点測定用バルブ部とを完全に閉じることによって前記流路に流れる流体を完全に遮断して零点測定を行なうことを特徴とする請求項８乃至１４のいずれかに記載の質量流量制御装置。
【請求項１６】
前記検定用バルブ部と前記検定用タンク部と前記圧力検出手段は、前記質量流量検出手段及び前記流量制御弁機構よりも上流側に設けられることを特徴とする請求項１乃至１５のいずれかに記載の質量流量制御装置。
【請求項１７】
前記検定用バルブ部は前記流路の最上流側に設けられ、前記零点測定用バルブ部は前記流路の最下流側に設けられることを特徴とする請求項１６記載の質量流量制御装置。
【請求項１８】
前記検定用バルブ部と前記検定用タンク部と前記圧力検出手段は、前記質量流量検出手段及び前記流量制御弁機構よりも下流側に設けられることを特徴とする請求項１乃至１５のいずれかに記載の質量流量制御装置。
【請求項１９】
前記検定用バルブ部と前記検定用タンク部と前記圧力検出手段の内、前記検定用バルブは最上流側に位置されていることを特徴とする請求項１乃至１８のいずれかに記載の質量流量制御装置。
【請求項２０】
請求項１に係る質量流量制御装置の検定方法において、
検定流量を設定する工程と、
流路に検定用の流体を安定的に流す工程と、
前記流れる流体の圧力と検定用タンク部の温度とを検出してそれぞれ初期圧力と初期温度とする工程と、
検定用バルブ部を閉じて流路を遮断する工程と、
前記検定用バルブ部を閉じた後に前記検定用タンク部から流出する流体の圧力変化を測定する工程と、
前記測定された圧力変化と予め求められた基準圧力変化特性とに基づいて検定結果を求める工程と、
を有することを特徴とする質量流量制御装置の検定方法。
【請求項２１】
前記検定結果を表示手段に表示することを特徴とする請求項２０記載の質量流量制御装置の検定方法。
【請求項２２】
前記検定結果が所定の許容範囲外の時には警報手段により警報を発することを特徴とする請求項２０または２１記載の質量流量制御装置の検定方法。
【請求項２３】
前記検定結果に基づいて質量流量検出手段を自動的に校正することを特徴とする請求項２０乃至２２のいずれかに記載の質量流量制御装置の検定方法。
【請求項２４】
前記検定結果を求める工程における上部基準圧力と下部基準圧力は予め定められていることを特徴とする請求項２０乃至２３のいずれかに記載の質量流量制御装置の検定方法。
【請求項２５】
前記検定流量を種々変更することを特徴とする請求項２０乃至２４のいずれかに記載の質量流量制御装置の検定方法。
【請求項２６】
前記検定流量を設定する工程の前に、前記流路に流れる流体の流れを完全に遮断して零点測定を行なう零点測定工程を行なうことを特徴とする請求項２０乃至２５のいずれかに記載の質量流量制御装置の検定方法。
【請求項２７】
前記零点測定工程は、前記検出用バルブ部と前記零点測定用バルブ部の内の少なくとも検定用バルブ部を全閉することを特徴とする請求項２６記載の質量流量制御装置の検定方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項１に係る発明は、流体を流す流路に、該流路に流れる流体の質量流量を検出して流量信号を出力する質量流量検出手段と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって質量流量を制御する流量制御弁機構とを設け、外部から入力される流量設定信号と前記流量信号とに基づいて前記流量制御弁機構を制御する制御手段を設けてなる質量流量制御装置において、前記流路に、該流路を開閉する検定用バルブ部と、所定の容量を有する検定用タンク部と、前記流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段とをそれぞれ設け、前記検定用バルブと前記検定用タンク部と前記圧力検出手段とを用いて質量流量検定動作を行うように制御する検定制御手段を備えるように構成したことを特徴とする質量流量制御装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また例えば請求項６に規定するように、前記検定用タンク部は、前記流路の途中に設けられている。
また例えば請求項７に規定するように、前記検定制御手段には、検定結果を表示する表示手段が接続されている。
また例えば請求項８に規定するように、前記流路の出口側には、零点測定の時に該流路を開閉する零点測定用バルブ部が設けられている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
図示するように、この質量流量制御装置４０は、液体や気体等の流体を流す流体通路、例えばガス管４の途中に介設されて、この質量流量（以下、単に「流量」とも称す）を制御するようになっている。尚、このガス管４の一端に接続される半導体製造装置内は例えば真空引きされている。この質量流量制御装置４０は、質量流量制御本体４０Ａと、本発明の特徴とする質量流量の検定を行う検定本体４０Ｂとよりなる。具体的には、この質量流量制御装置４０は、例えばステンレススチール等により成形された流路６を有しており、この流体入口６Ａが上記ガス管４の上流側に接続され、流体出口６Ｂがガス管４の下流側に接続される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
上記質量流量制御本体４０Ａは、ここでは図１３を参照して説明した従来装置と全く同じ構造となっており、例えば質量流量検出手段８、流量制御弁機構１０及び例えばマイクロコンピュータ等よりなる制御手段１８を備えている。上記質量流量検出手段８は、バイパス管１２、センサ管１４、センサ回路１６等を有しており、ここで検出した流量信号Ｓ１を上記制御手段１８に向けて出力するようになっている。上記流量制御弁機構１０は、流量制御弁２０、これを駆動するアクチュエータ２６、このアクチュエータ２６に向けてバルブ駆動電圧Ｓ２を出力するバルブ駆動回路２８等を有している。そして、上記制御手段１８は、これへ例えばホストコンピュータ等の外部より入力される流量設定信号Ｓ０で示される流量と上記流量信号Ｓ１で示される流量とが一致するように上記流量制御弁２０の弁開度を例えばＰＩＤ制御法で制御し得るようになっている。尚、図示例では、上記流量制御弁機構１０は上記質量流量検出手段８の下流側に設定されているが、これを上記質量流量検出手段８の上流側に位置させるようにしてもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
一方、図示例では上記検定本体４０Ｂは、上記質量流量制御本体４０Ａの上流側に設置されている。この検定本体４０Ｂは、上記流路６に、この流路６を開閉する検定用バルブ部４２と、所定の容量を有する検定用タンク部４４と、流体である上記ガスの圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段４６と、上記検定用バルブ部４２と上記検定用タンク部４４と上記圧力検出手段４６とを用いて質量流量検定動作を行うように制御する例えばマイクロコンピュータ等よりなる検定制御手段４８とを共に備えている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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