(57)【要約】【課題】筐体外部へのノイズの漏洩を防止しつつ筐体内部の温度を的確に検知する。【解決手段】熱伝導性の良好な銅製の導電性部材３をステンレス製の筐体１の壁面に貫通させて筐体１の内部と外部とを熱的に接続するとともに、導電性部材３の短片部３ｂと筐体１の外面とを密着させて電気的に接続し、両者を同電位に保つ。温度センサ６は筐体１の外部にあって導電性部材３の短片部３ｂの温度を検知する。導電性部材３はノイズを外部に伝えないためＩＣＰ光源部２から放射されるノイズは筐体１により良好に遮蔽される。また、導電性部材３の短片部３ｂの温度は筐体１内部の温度を的確に反映するので、温度センサ６により筐体１内部の温度を検知できる。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ノイズ源となるユニットをシールド用の金属製筐体内部に配設した分析装置であって、該筐体内部の温度を検知する温度検知手段を有する装置において、
前記温度検知手段は、前記筐体内部と外部とを熱的に接続するとともに前記筐体と同電位になるように該筐体と電気的に接続された導電性部材と、前記筐体の外部において前記導電性部材の温度を検出する温度センサと、から成ることを特徴とする分析装置。
【請求項２】
前記ユニットが高周波誘導プラズマ発光部であるＩＣＰ分析装置であることを特徴とする請求項１に記載の分析装置。
【請求項３】
前記筐体はステンレスから成り、前記導電性部材は銅から成るものであることを特徴とする請求項１又は２に記載の分析装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、ＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma：誘導結合プラズマ）分析装置におけるＩＣＰ光源などのノイズ源となる構成要素を有する分析装置に関し、さらに詳しくは、そうしたノイズ源近傍の温度を検知する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣＰ発光分光分析装置では、液体試料をネブライザで霧化させアルゴンガスなどのキャリアガスに乗せてＩＣＰ光源部のプラズマトーチへと運ぶ一方、このプラズマトーチの外周に配設した誘導コイルに高周波電力を供給しトーチに導入されたガスをプラズマ状態にする。このプラズマ炎中を上記霧化された試料が通過すると、試料分子（又は原子）は加熱・励起されて発光する。この発光光をＩＣＰ光源部から取り出して分光器により波長分散させて検出器で検出することにより発光スペクトルを取得し、その発光スペクトルに現れているスペクトル線（輝線スペクトル）の波長から試料に含まれる元素の定性分析（同定）を、スペクトル線の強度からその元素の定量分析を行う（例えば特許文献１など参照）。
【０００３】
上記のようなＩＣＰ発光分光分析装置や類似の構成のＩＣＰ光源を用いたＩＣＰ質量分析装置では、ＩＣＰ光源部の誘導コイルに大きな高周波電力が供給されるため、高周波ノイズを周囲に放射するノイズ源となる。こうしたノイズはこの装置の電子回路に混入して誤動作等を引き起こす原因となるばかりでなく、周囲に配置された他の電子機器の誤動作等の原因にもなり得る。そこで従来より、ノイズが周囲に漏洩しないようにノイズ源であるＩＣＰ光源部を金属製の筐体内部に収納して電磁的なシールドを施している。
【０００４】
一方、ＩＣＰ光源部で生成されるプラズマ炎は非常な高温となり、冷却手段は備えるものの、ＩＣＰ光源部が上記のように密閉された筐体内部に配設されると筐体内空間の温度は高くなる。この温度が高くなり過ぎると筐体内部に配置された樹脂製の部品が溶解する等のおそれがあるため、筐体内部の温度を監視し、温度が規定値以上に上がった場合には誘導コイルへの高周波電力の供給を停止する等の安全対策が必要となる。
【０００５】
上記のような安全対策を採るためには筐体内部の温度を測定する必要があり、従来、図３に示すような構成が用いられている。図３はＩＣＰ光源部２の周囲の概略構成図である。ＩＣＰ光源部２は密閉可能な金属製の筐体１の内部に配置されており、筐体１の内部には温度センサ６が設置されている。この温度センサ６による検知信号を受けてＩＣＰ光源部２の動作を制御する制御回路７は筐体１の外部に設置され、温度センサ６と制御回路７とは筐体１の壁面を貫通するケーブル線８により電気的に接続されている。
【０００６】
上記構成において、筐体１自体はＩＣＰ光源部２から放出される高周波ノイズを良好に遮蔽するものの、ノイズの一部はケーブル線８を伝って筐体１の外部に漏洩し周囲に影響を与えることがある。そのため、従来、例えばケーブル線８にノイズフィルタ９を取り付けてノイズを低減することが行われているが、その低減効果は十分ではない。
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−２５３５４０号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００８】
本考案は上記課題を解決するために成されたものであり、その目的とするところは、筐体内部に配置されたノイズ源からのノイズの漏洩を防止しつつ筐体内部の温度を確実に検知することができるようにした分析装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために成された本考案は、ノイズ源となるユニットをシールド用の金属製筐体内部に配設した分析装置であって、該筐体内部の温度を検知する温度検知手段を有する装置において、
前記温度検知手段は、前記筐体内部と外部とを熱的に接続するとともに前記筐体と同電位になるように該筐体と電気的に接続された導電性部材と、前記筐体の外部において前記導電性部材の温度を検出する温度センサと、から成ることを特徴としている。
【００１０】
ここで、「筐体内部と外部とを熱的に接続」した状態とは、典型的には、熱伝導性の良好である導電性部材の少なくとも一部が筐体内部に露出し、同じ導電性部材の他の部分の少なくとも一部が筐体外部に露出した状態である。
【００１１】
また、上記導電性部材が「筐体と同電位になるように該筐体と電気的に接続された」状態とは、典型的には、導電性を有する筐体と上記導電性部材とが電気抵抗が無視できる程度の面積で以て直接的に密着している、或いは電気抵抗が無視できる導電性の高い他の部材で以て連結されている状態である。
【００１２】
本考案に係る分析装置は各種の分析装置に適用可能であるが、具体的には、前記ユニットが高周波誘導プラズマ発光部であるＩＣＰ分析装置に有用である。
【考案の効果】
【００１３】
本考案に係る分析装置において、導電性部材と筐体とは同電位となっているため、導電性部材を設けても筐体のシールド効果は損なわれず、ノイズ源となるユニットから放射されたノイズを良好に遮蔽し、このノイズが外部に漏洩することを防止することができる。これにより、当該分析装置の電子回路はもちろんのこと、周囲に設置された他の電子機器の誤動作等の不具合を回避することができる。
【００１４】
一方、導電性部材は筐体の内部と外部とを熱的に接続しているため、外部の温度センサで検知される温度は筐体内部の温度とは全く同一ではないにしても、筐体内部の温度に良好に追従するためこれを正確に反映したものとなる。したがって、温度センサの検知温度により筐体内部の温度を精度よく推定でき、実質的に筐体内部の温度検知が可能となる。
【００１５】
なお、金属製筐体の熱伝導性が導電性部材の熱伝導性と同等或いは良過ぎると、温度センサによる検知温度は筐体内部空間の温度を反映したものではなく筐体自体の温度を反映したものとなる。そこで、導電性部材は熱伝導性が良好で、筐体はこれよりも熱伝導性が劣るものであり、その差が大きいことが望ましい。具体的な一例を挙げると、筐体はステンレスから成り、導電性部材は銅から成るものとするとよい。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１６】
本考案に係る分析装置の一実施例としてＩＣＰ発光分光分析装置について説明する。図１は本実施例のＩＣＰ発光分光分析装置におけるＩＣＰ光源部２の周囲の概略構成図、図２は筐体１の一部の斜視図であり、既に説明した図３と同一の構成要素には同一符号を付している。
【００１７】
内部にＩＣＰ光源部２が配設された筐体１はステンレス製であって密閉可能である。筐体１の１つの壁面には後述する導電性部材３が挿入可能な程度の開口４が形成されており、図２に示すように、その開口４に略Ｌ字板状の導電性部材３の長片部３ａを挿入することで、長片部３ａの大部分を筐体１内部に突出させる。導電性部材３の短片部３ｂを筐体１の外面に密着させ、例えば図示しないネジ等で導電性部材３を筐体１に固定する。導電性部材３は銅製であり、上記のように短片部３ｂと筐体１外面とが広く密着することで両者は電気的に接続される。
【００１８】
また、銅は非常に熱伝導性が良好な金属であって、これにより導電性部材３は長片部３ａが突出している筐体１内部と短片部３ｂが露出している筐体１外部とを熱的に接続している。このとき、筐体１は金属製であるものの、銅に比べて熱伝導性が遙かに劣るステンレス製であるため、熱的には筐体１は該筐体１内部空間と外部とを遮蔽するものと考えることができ、導電性部材３と筐体１との熱的接続も殆ど無視できる。
【００１９】
温度センサ６は筐体１の外部にあって導電性部材３の短片部３ｂの温度を検知するように設置されており、当然のことながら、温度センサ６の検知信号は筐体１外部においてケーブル線を介して制御回路７に送られる。
【００２０】
プラズマ炎を生成するためにＩＣＰ光源部２の誘導コイルに高周波電力が供給されると、ＩＣＰ光源部２はノイズ源となって高周波ノイズを周囲に放射する。しかしながら、ＩＣＰ光源部２は導電性を有する筐体１内部に収納されており、内部に突出している導電性部材３も筐体１と同電位であって電磁的には筐体１と一体であるから、ノイズを遮蔽して外部への漏洩を防止する。また、ＩＣＰ光源部２の動作に伴って筐体１内部の温度は上昇するが、前述のように導電性部材３の熱伝導性は非常に良好なので、筐体１外部に露出した短片部３ｂの温度は筐体１内部空間の温度に良好に追従する。これにより、温度センサ６による検知温度は筐体１内部空間の温度を的確に反映したものとなり、例えば制御回路７において温度センサ６による検知温度を判定することで筐体１内部の温度上昇が過度であることを認識し、必要に応じて高周波電力の供給を停止する等の適宜の安全対策をとることができる。
【００２１】
なお、筐体１や導電性部材３の材質は上記記載のものに限らず、またそれらの形状も上記記載のものに限らない。
【００２２】
上記実施例は本考案をＩＣＰ発光分光分析装置のＩＣＰ光源部に利用したが、ノイズの発生源となる他のユニットにも本考案は適用可能である。例えば、ＩＣＰ発光分光分析装置や質量分析装置などで高周波電力を供給するための高周波電源は同様にノイズ源となり得るが、こうしたものにも本考案を適用することができる。また、ＮＭＲ(Nuclear Magnetic Resonance）等の低温超伝導磁石等による磁場中で高周波信号を照射するような分析装置でも有用である。
【００２３】
また、上記実施例は本考案の一例であり、上記記載以外においても本考案の趣旨の範囲で適宜変更や修正を行うことができることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本考案の一実施例であるＩＣＰ発光分光分析装置におけるＩＣＰ光源部の周囲の概略構成図。
【図２】本実施例のＩＣＰ発光分光分析装置における筐体の一部の斜視図。
【図３】従来のＩＣＰ発光分光分析装置におけるＩＣＰ光源部の周囲の概略構成図。
【符号の説明】
【００２５】
１…筐体
２…ＩＣＰ光源部
３…導電性部材
３ａ…長片部
３ｂ…短片部
４…開口
６…温度センサ
７…制御回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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