(57)【要約】【課題】被検物を真空下で検査する検査装置において検査所要時間を短縮する。【解決手段】主チャンバー１とロードロックチャンバー２の間で被検物を搬送する搬送経路１０中に設けた搬送機構４と、搬送機構４上の被検物を搬送経路１０外に退避させる退避手段（退避機構１１、１２）とをロードロックチャンバー２内に備える。このように構成することで、主チャンバー１内で１つの被検物を検査中にロードロックチャンバー２に次の被検物を搬入して待機させておき、検査が終わった直後に主チャンバー１とロードロックチャンバー２の間で被検物を交換することにより、主チャンバー１ではほとんど間を空けずに次の検査を始めることが可能となる。【選択図】          図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
内部が真空に維持される主チャンバーと前記主チャンバーに隣接するロードロックチャンバーとを備え、前記主チャンバーと前記ロードロックチャンバーとの間でＴＦＴアレイ基板を搬出入する搬送経路が形成されているＴＦＴアレイ検査装置において、前記搬送経路中にあって前記基板を搬送する搬送機構と、前記搬送機構上の前記基板を前記搬送経路外に退避させる退避手段とを前記ロードロックチャンバー内に備えたことを特徴とするＴＦＴアレイ検査装置。
【請求項２】
前記退避手段は前記搬送機構上の前記基板を前記搬送機構よりも下方に退避させるものであり、さらに前記退避手段により前記板状体が退避する退避経路から前記搬送機構を退避させる搬送機構退避手段を具備する請求項１に記載のＴＦＴアレイ検査装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、例えば液晶ディスプレイ等の製造工程においてガラス基板上に形成されたＴＦＴアレイの検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイを始めとするフラットパネルディスプレイは、その製造工程においてガラス基板上に形成されたＴＦＴアレイの検査を行う。検査は、真空チャンバー内で基板に電子線を照射し、基板から放出される二次電子を検出することにより行うのが一般的である。この検査を行うための装置としては、特許文献１にも記されているように、基板に電子ビームを照射するための主チャンバーと、この主チャンバーに基板を搬出入するためのロードロックチャンバーとを備えた装置が従来から用いられている。
【０００３】
図５は、このような従来の検査装置の概略構成と、被検物を検査のために装置に出し入れする過程を図示したものである。
まず、図５（１）を利用して概略構成を説明する。
同図において、１は内部が真空に保たれた主チャンバー、２は主チャンバー１に隣接して設けられ、外部と主チャンバー１との間で被検物の搬出入を仲介するためのロードロックチャンバーであり、３は被検物であるガラス基板である。ガラス基板３は、外部のローダ（図示しない）等により、外部との間のゲート弁６を介してロードロックチャンバー２に搬出入される。
【０００４】
ロードロックチャンバー２の内部に設けられた搬送機構４（図示例ではローラコンベア）は、受け入れたガラス基板３をゲート弁７を介して主チャンバー１に搬送し、主チャンバー１ではこれを搬送機構５が所定の検査位置まで移送し、また検査後はこれをゲート弁７を介してロードロックチャンバー２内の搬送機構４上に送り返す。即ち、図中に点線で示すように搬送機構４、５およびゲート弁７を連ねた被検物の搬送経路１０が形成されている。
ロードロックチャンバー２は、ゲート弁６および７を共に閉じた状態では内部気圧を大気圧から真空（主チャンバー１内とほぼ同じ真空圧）まで下げ、また大気圧に戻す、等の気圧調節が可能な構造であり、これにより大気圧下にあるガラス基板３を、主チャンバー１内の真空を破ることなく主チャンバー１内に持ち込み、或いはそこから取り出すことが可能となる。
【０００５】
次に、このように構成された検査装置にガラス基板３を搬出入する操作過程を図５に従って説明する。なお、以下の項目（１）、（２）……は図５における図（１）、（２）……にそれぞれ対応する。
（１）最初、ゲート弁６は開き、ゲート弁７は閉じた状態で、ロードロックチャンバー２の内部は大気圧、主チャンバー１内は所定の真空圧に保たれている状態にある。この状態で、検査を受けるガラス基板３が外部のローダ（図示しない）等によりロードロックチャンバー２内の搬送機構４上に移載され、その後、ゲート弁６を閉じ、ロードロックチャンバー２内を真空引きする。
【０００６】
（２）ロードロックチャンバー２の内部気圧が所定の真空圧に達すると、ゲート弁７を開き、ガラス基板３を主チャンバー１に搬送する。その後、ゲート弁７を閉じ、ガラス基板３を検査する。
（３）検査が終わるとゲート弁７を開き、検査済みのガラス基板３をロードロックチャンバー２に戻し、ゲート弁７を閉じる。
（４）ロードロックチャンバー２の内部気圧を大気圧に戻し、ゲート弁６を開いてガラス基板３を外部に搬出し、次工程に送る。
以上をくり返し、次々にガラス基板３を検査する。
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−００５３６４号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００８】
上記のように、従来の検査装置では、被検物の搬出入の都度ロードロックチャンバー内部の気圧を調整する必要があり、これに時間を要するため、被検物１点当たりの検査所要時間が長くなることが問題であった。具体的な数値例を挙げると、ＴＦＴアレイの検査の場合、主チャンバーにおける正味の検査時間は３分程度であるのに対し、圧力調整とゲート弁の開閉を含め被検物の搬入、搬出にそれぞれ１分ほどの時間が掛かり、結局被検物１点当たりの検査所要時間は約５分掛かることになる。
本考案はこのような事情に鑑みてなされたものであり、製造工程中で被検物を真空下で検査する検査装置において、検査所要時間を短縮することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本考案は、上記課題を解決するために、主チャンバーとロードロックチャンバーの間で被検物を搬送する搬送経路中に設けた搬送機構と、その搬送機構上の被検物を搬送経路外に退避させる退避手段とをロードロックチャンバー内に備える。
このように構成することで、主チャンバー内で１つの被検物を検査中にロードロックチャンバーに次の被検物を搬入して待機させておき、検査が終わった直後に主チャンバーとロードロックチャンバーの間で被検物を交換することにより、主チャンバーではほとんど間を空けずに次の検査を始めることが可能となる。
【考案の効果】
【００１０】
本考案は上記のように構成されているので、主チャンバーにおける検査とロードロックチャンバーにおける気圧調整を伴う被検物の搬出入とを同時に並行して進行させることができるので、被検物１点当たりの検査所要時間を大幅に短縮することができ、効率の高い検査装置を提供できる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１１】
本考案が提供する検査装置は次のような特徴を有する。即ち、第１の特徴は被検物を搬送する搬送機構を搬送経路中に設けた点にあり、第２の特徴は前記搬送機構上の被検物を前記搬送経路外に退避させる退避手段を設けた点である。
従って、最良の形態の基本的な構成は、上記の２点を具備する検査装置である。
【実施例１】
【００１２】
図１は本考案の一実施例装置の概略構成を示す。
同図において、図５に示す従来例と同一の構成要素については同符号を付すことにより再度の説明を省く。本実施例装置が図５に示す従来例と相違する点は、被検物を搬送経路１０外に退避させる２基の退避機構１１および１２をロードロックチャンバー２内に備えたことである。なお、本実施例は、被検物がガラス製品であることからその脆性を考慮して、パレット３１および３２に被検物を積載して取り扱うように構成されている。
【００１３】
退避機構１１は、被検物を積載した（または積載しない）パレット３１を下から支持して搬送機構４の下方に退避させる。また、退避機構１２は、被検物を積載した（または積載しない）パレット３２を吊上げて搬送機構４の上方に退避させる。この例では退避機構１１、１２は、それぞれ４本の腕（図ではそれぞれ片側の２本のみが見えている）の先端に設けた鉤部１１ａ、１２ａをそれぞれパレット３１、３２の下縁部に掛けてこれを支持するように構成されている。なお、図には示されていないが、パレット３１、３２の下縁部の鉤部１１ａ、１２ａと係合する部位に溝等を設けて位置決め精度を高めると共にずれ防止を図ることは設計事項として容易に考えられる。
【００１４】
９は、被検物を本装置に搬出入するために本装置の前方に設けたローダである。ここでは一例として天井走行式のフォークリフト型のものを模式的に示した。これは、フォーク状の２本のアーム９ａ上に被検物を載せて持ち上げ、さらに前後に（図では左右に）移動して被検物をロードロックチャンバー２に出し入れするものである。但し、ローダ９は外部装置であって、本考案の構成に直接関わるものではない。
なお、本考案では検査装置内に同時に２つの被検物が存在するので、以下、これらをガラス基板３ａおよびガラス基板３ｂとして区別する。
【００１５】
図２は搬送機構４の構成例を示す平面図である。
搬送機構４は、同図に示すように、レール状に平行に設けられた１対のローラコンベア４１、４２で構成され、被検物を積載した（または積載しない）パレット３１または３２は、両ローラコンベア４１、４２間に橋架された状態で搬送される。両ローラコンベア４１、４２は、例えばエアシリンダ４３、４４を介して連結されており、このエアシリンダ４３、４４を作動させることにより両ローラコンベア４１、４２を水平方向（図では上下方向）に移動させて両者の間隔を拡げることができる。図２に鎖線で示す位置まで両ローラコンベア４１、４２を移動させ、その間隔をパレット３１または３２の幅よりも広くすることにより、パレット３１または３２が下方（図では紙面に垂直方向）に退避するための退避経路が確保される。
言い換えると、図２は、被検物の退避経路から搬送機構４を退避させる搬送機構退避手段の一例を示したものである。
【００１６】
図３は、図１に示す実施例装置の動作過程を図示したものであり、図４は図３の続きである。
以下、図３および図４に従って、上記のように構成された本実施例装置にガラス基板３ａ、３ｂを搬出入する過程を説明する。なお、図３および図４においては、図１で示したローダ９は省略されているが、同様のものが外部とロードロックチャンバー２との間の搬出入に用いられるものとする。また、以下の（１）〜（８）は、図３および図４に示された（１）〜（８）に対応する。
（１）最初、ゲート弁６は開き、ゲート弁７は閉じた状態で、パレット３１、３２は共に搬送経路１０の外にあり、ロードロックチャンバー２の内部は大気圧、主チャンバー１内は所定の真空圧に保たれている状態にある。この状態で、検査を受けるガラス基板３ａが外部のローダ（図１の９）等によりロードロックチャンバー２内のパレット３１上に移載される。
【００１７】
（２）その後、ゲート弁６を閉じ、ロードロックチャンバー２内を真空引きし、内部気圧を所定の真空圧に調整すると共に、退避機構１１によりガラス基板３ａをパレット３１と共に搬送機構４上に持ち上げ、搬送経路１０中に置く（この際、図２に例示するような搬送機構退避手段が作動してパレット３１の上方への通過を可能にする）。
（３）ゲート弁７を開き、ガラス基板３ａをパレット３１と共に主チャンバー１内の搬送機構５上に搬送する。その後、ゲート弁７を閉じ、このガラス基板３ａを検査する。検査は、前述したように、ガラス基板３ａを電子線で走査し、基板から放出される二次電子を検出することにより行われる。
（４）この検査中に、ロードロックチャンバー２の内部気圧を大気圧に戻し、ゲート弁６を開き、次に検査すべきガラス基板３ｂを外部のローダ（図１の９）等からパレット３２上に移載する。その後、ゲート弁６を閉じ、ロードロックチャンバー２内を真空引きする。
（５）主チャンバー１におけるガラス基板３ａの検査が終わるとゲート弁７を開き、検査済みのガラス基板３ａをパレット３１と共に搬送機構５上から搬送機構４上に移す。
【００１８】
（６）退避機構１１によりガラス基板３ａをパレット３１と共に下方に退避させ、上方にあったガラス基板３ｂをパレット３２と共に退避機構１２により降下させ、搬送機構４上に載置し、搬送経路１０中に位置させる。
（７）搬送機構４上のガラス基板３ｂをパレット３２と共に主チャンバー１に送り、搬送機構５上に移す。その後、ゲート弁７を閉じ、ガラス基板３ｂを、前記ガラス基板３ａの場合と同様に検査する。
（８）この検査中にロードロックチャンバー２の内部気圧を大気圧に戻し、ゲート弁６を開いてパレット３２上からガラス基板３ａを外部に搬出し、次工程に送る。
以下、同様にして次々に被検物を搬出入しながら検査を行う。
【００１９】
なお、被検物のサイズや性状によっては被検物をパレット３１等に積載せずに直接取り扱うようにしてもよい。また、実施例１は被検物を上下方向に退避させるように構成した例であるが、水平方向に、即ち図１において紙面に垂直方向に、退避させるように構成することもできる。この場合は、搬送機構退避手段が不要となるから構造的には簡単化できるが、反面、搬送機構４の両側に幅広い退避スペースが必要となるので、装置の設置床面積が大きくなる欠点がある。
【産業上の利用可能性】
【００２０】
本考案は、例えば液晶ディスプレイ等の製造工程においてガラス基板上に形成されたＴＦＴアレイの検査に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本考案の一実施例装置の概略構成を示す図である。
【図２】実施例装置（図１）の一部分の構成例を示す図である。
【図３】実施例装置（図１）の動作過程を示す図である。
【図４】図３に続く実施例装置の動作過程を示す図である。
【図５】従来装置の概略構成と動作過程を示す図である。
【符号の説明】
【００２２】
１  主チャンバー
２  ロードロックチャンバー
３  ガラス基板
３ａ  ガラス基板
３ｂ  ガラス基板
４  搬送機構
５  搬送機構
６  ゲート弁
７  ゲート弁
９  ローダ
９ａ  アーム
１０  搬送経路
１１  退避機構
１１ａ  鉤部
１２  退避機構
１２ａ  鉤部
３１  パレット
３２  パレット
４１  ローラコンベア
４２  ローラコンベア
４３  エアシリンダ
４４  エアシリンダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
0003119201.tif 000006
【図５】
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