【手続補正書】
【提出日】平成17年12月15日(2005.12.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】    【請求項１】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガスマニホールド最上壁を含むチャンバ壁と；  一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；一以上のガス注入マニホールド側壁を備えるサスペンションであって、各ガス注入マニホールド側壁の少なくとも一部が可撓性を有する、前記サスペンションと；を備え、  前記各ガス注入マニホールド側壁は、前記ガス分配プレートに接続された下部を有し、  前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げる為に、各ガス注入マニホールド側壁の上部は、前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続され、各壁の前記可撓性を有する部分は、前記ガス分配プレートの上にある、前記真空チャンバ。    【請求項２】  ガス注入マニホールドの側壁の数は、一つである、請求項１に記載の真空チャンバ。    【請求項３】  前記ガス分配プレートは、ほぼ矩形の周囲を有し、  前記ガス注入マニホールドの側壁の数は４つである、請求項１に記載の真空チャンバ。    【請求項４】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールドの最上壁を含むチャンバ壁と；  一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  一以上のガス注入マニホールドの側壁であって、各ガス注入マニホールドの側壁の少なくとも一部が可撓性を有する、前記側壁と；を備え、  各ガス注入マニホールドの側壁は、前記ガス分配プレートに接続された下部を有し、  前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げる為に、各側壁の前記可撓性を有する部分が前記ガス分配プレートの上にあるように、各ガス注入マニホールド側壁の上部が前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続され;  各ガス注入マニホールド側壁の前記可撓性を有する部分は、前記ガス分配プレートの熱膨張を適合させる為に十分な可撓性を有する、前記真空チャンバ。    【請求項５】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールドの最上壁を含む、チャンバ壁と；  一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；一以上のガス注入マニホールドの側壁であって、各ガス注入マニホールドの側壁の少なくとも一部は可撓性がある、前記側壁と；を備え、  各ガス注入マニホールドの側壁は、前記ガス分配プレートに接続された下部を有し；  前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げる為に、各壁の前記可撓性がある部分が前記ガス分配プレートの上にあるように、各ガス注入マニホールド側壁の上部が前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続され；  各ガス注入マニホールドの側壁の前記可撓性がある部分は、前記ガス分配プレートの熱膨張を適合させる為に十分に可撓性がある；前記真空チャンバ。    【請求項６】  真空チャンバにおいて：  少なくとも一つのガス注入オリフィスを有する注入マニホールドの最上壁を含むチャンバ壁と；  ４つの側面を備えたほぼ矩形であり、一以上のガス流出オリフィスを有する注入マニホールドの最上壁に面する表面を有するガス分配プレートと；  ４つの側壁を備えるサスペンションであって、各々が上部、下部、前記上部と前記下部との間に伸長する可撓性のある矩形シートを有する、前記サスペンションと；を備え、  前記４つの側面の各々の前記上部は、前記注入マニホールドの最上壁に接続され、  前記４つの側壁の各々の前記下部は、前記ガス分配プレートの前記４つの側面に対応する一つに隣接した前記ガス分配プレートに接続され、前記４枚の可撓性のある矩形シートは、間隙により互いに横に分離され、前記サスペンションは、前記注入マニホールドの最上壁の下に前記ガス分配プレートを吊り下げる、前記真空チャンバ。    【請求項７】  真空チャンバにおいて：  少なくとも一つのガス注入オリフィスを有するガスマニホールド最上壁を含むチャンバ壁と；  一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  ４つの側壁を備えるサスペンションと；を備え、  各側壁は、可撓性のある部分を含み；  各側壁は、前記サスペンションが前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げるように、前記ガスマニホールドの最上壁に接続された上部と、前記ガス分配プレートに接続された下部とを含み；  前記４つの側壁は、前記４つの側壁の可撓性のある部分が矩形横断部を共同で有するように位置決めされ；  前記４つの側壁は、間隙により横に分離されている；前記真空チャンバ。    【請求項８】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールドの最上壁を含むチャンバ壁と；  一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  一以上の側壁を備えるサスペンションであって、各側壁の少なくとも一部は、可撓性がある前記サスペンションと；を備え、  各側壁の下部は、各側壁の可撓性のある部分が前記ガス分配プレートに隣接するように、前記ガス分配プレートに接続され；  各側壁の上部は、各々の側壁の前記可撓性のある部分が前記ガス注入マニホールドの最上壁に接し前記サスペンションが前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げるように、前記最上壁に接続される、前記真空チャンバ。    【請求項９】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールド最上壁を含むチャンバ壁と；  一以上のガス流出オリフィスを有する分配プレートと；  一以上のガス注入マニホールドの側壁と；を備え、  各ガス注入マニホールドの側壁は、前記ガス分配プレートに接続された下部を有し；  各ガス注入マニホールドの側壁の上部は、前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げるように、前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続され；各ガス注入マニホールドの側壁の少なくとも一部は、少なくとも１．７度で各側壁を湾曲させるほど十分に可撓性がある、前記真空チャンバ。    【請求項１０】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入最上壁を含むチャンバ壁と；  一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  一以上のガス注入マニホールドの側壁と；を備え、  各ガス注入マニホールドの側壁は、前記ガス分配プレートに接続された下部を有し；  各ガス注入マニホールドの側壁の上部は、前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げるように、前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続され；  各側壁の少なくとも一部は、少なくとも１％だけ前記ガス分配プレートが膨張できるように、十分に可撓性がある、前記真空チャンバ。    【請求項１１】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールドの最上壁を含むチャンバ壁と；  一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  一以上のガス注入マニホールドの側壁と；を備え、  各ガス注入マニホールドの側壁は、前記ガス分配プレートに接続された下部を有し；  各ガス注入マニホールドの側壁の上部は、前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げるように、前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続され；各側壁の少なくとも一部は、前記側壁の少なくとも１％だけ前記ガス分配プレートが膨張させる為に前記側壁の前記可撓性のある部分を十分に曲げるのに実質的な力を要しないように、十分に可撓性がある、前記真空チャンバ。    【請求項１２】  真空チャンバにおいて：  一以上の注入オリフィスを有するガス注入マニホールドの最上壁を含むチャンバ壁と；４つの側面と一以上のガス流出オリフィスを有する矩形ガス分配プレートと；  ４枚の可撓性シートを備えるサスペンションと；を備え、  前記４枚のシートの各々の下部は、前記ガス分配プレートの前記４つの側面の一つに隣接した前記ガス分配プレートに接続され；  各シートの上部は、前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げるように、前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続される、前記真空チャンバ。    【請求項１３】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールドの最上壁を含むチャンバ壁と；  第１表面および第２表面、前記第１表面から前記第２表面まで伸長する一以上のガス流出オリフィス、前記第１表面及び第２表面とは異なる複数の側面を有するガス分配プレートと；  複数の側壁を備えるサスペンションであって、各側壁は可撓性シートを含み、側壁の数は、前記ガス分配プレートの側面の数に等しい、前記サスペンションと；を備え、  各側壁の下部は、前記ガス分配プレートの前記側面の対応する一つに隣接した前記ガス分配プレートに接続され；  各側壁の上部は、前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に前記ガス分配プレートを吊り下げるように、前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続される、前記真空チャンバ。    【請求項１４】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールドの最上壁を含むチャンバ壁と；  ４つの側面と一以上のガス流出オリフィスを有する矩形のガス分配プレートと；  ４つの可撓性シートを備えるサスペンションと；を備え、  前記４枚のシートの各々の下部は、前記ガス分配プレートの前記４つの側面の、それぞれの一つに接続され；  各シートの上部は、前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げるように、前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続される、前記真空チャンバ。    【請求項１５】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールドの最上壁を含むチャンバ壁と；  第１表面及び第２表面、前記第１表面及び第２表面とは異なる複数の側面を有���るガス分配プレートであって、前記ガス分配プレートは、前記第１表面から前記第２表面まで伸長する一以上のガス流出オリフィスを有する、前記ガス分配プレートと；複数の側壁を備えるサスペンションであって、各側壁は、可撓性シートを含み、側壁の数は、前記ガス分配プレートの側面の数と等しい、前記サスペンションと；を備え、  各側壁の下部は、前記ガス分配プレートの前記側面に対応する一つに接続され；  各側壁の上部は、前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げるように、前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続される、前記真空チャンバ。    【請求項１６】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールド最上壁を含むチャンバ壁と；  一以上のガス流出オリフィスを有する分配プレートと；  一以上の側壁を備えるサスペンションであって、各側壁は可撓性シートを含む、前記サスペンションと；を備え、  各側壁の下部は、前記ガス分配プレートに接続され；  各側壁の上部は、前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げるように、前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続される、前記真空チャンバ。    【請求項１７】  真空チャンバにおいて：  前記ガス分配プレートは、ほぼ矩形の横断面を有し；  前記側壁の数が４つであり；  各側壁がほぼ矩形である、請求項１６記載の真空チャンバ。    【請求項１８】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールドの最上壁を含むチャンバ壁と；  一以上の流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  一以上の可撓性シートを備えるサスペンションであって、各シートが、フランジを形成するようにシートの下端部付近に湾曲を含む、前記サスペンションと；を備え、  各シートの前記フランジは、前記ガス分配プレートに接続され；  各シートの上部は、前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げるように、前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続される、前記真空チャンバ。    【請求項１９】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールドの最上壁を含むチャンバ壁と；  一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  一以上の側壁を備えるサスペンションであって、少なくとも各側壁の一部は可撓性がある、前記サスペンションと；を備え、  各側壁の上部は、前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続され；  前記ガス分配プレートは、一以上の溝を含み；  各側壁の下部は、前記ガス分配プレートの前記溝の一つに取り付けられる、前記真空チャンバ。    【請求項２０】  真空チャンバにおいて：  前記ガス分配プレートは、４つの側面を含み；  前記ガス分配プレートの前記４つの側面は、前記溝の一つを含み；  前記サスペンションは、前記側壁の４つを備え；  前記４つの側壁の各々の前記下部は、前記ガス分配プレートの前記４つの側面の対応する一つの溝内に取り付けられる、請求項１９記載の真空チャンバ。    【請求項２１】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールドの最上壁を含むチャンバ壁と；  第１表面及び第２表面、前記第１表面から前記第２表���まで伸長する一以上のガス流出オリフィス、前記第１表面及び第２表面とは異なる一以上の側面を有するガス分配プレートであって、各側面が溝を含む、前記ガス分配プレートと；  一以上の可撓性シートを備えるサスペンションであって、各シートは、フランジを形成するようにシートの下端部付近に湾曲を含む、前記サスペンションと；を備え、  各シートの前記フランジは、前記フランジの少なくとも一部が前記ガス分配プレートの前記溝の一つの中にあるように、前記ガス分配プレートに接続され；  各シートの上部は、前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げるように、前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続される；前記真空チャンバ。    【請求項２２】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールドの最上壁を含むチャンバ壁と；  第１表面、第２表面、前記第１表面から前記第２表面まで伸長する一以上のガス流出オリフィス、前記第１表面及び第２表面とは異なる４つの側面を有する矩形ガス分配プレートであって、各側面は溝を含む、前記矩形ガス分配プレートと；  ４つの可撓性シートを備えるサスペンションであって、各シートは、フランジを形成するようにシートの下端部付近で湾曲を含む、前記サスペンションと；を備え、  前記４つのフランジの各々は、前記フランジの少なくとも一部が前記４つの側面の、前記それぞれの一つの内部にあるように、前記ガス分配プレートの前記４つの側面の、それぞれの一つに接続され；  各シートの上部は、前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げるように、前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続される、前記真空チャンバ。    【請求項２３】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールドの最上壁を含むチャンバ壁と；  一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  第１端部、第２端部、前記第１端部から前記第２端部まで伸長する縁部を備える、第１側壁と；  第１端部、第２端部、前記第１端部から前記第２端部まで伸長する縁部を備える、第２側壁と；を備え、  各側壁の前記第１端部は、前記ガス分配プレートに接続され；  各側壁の前記第２端部は、前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下で吊り下げるように、前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続され；  前記第１シートは、前記第１シートの側部は、前記第１クリーズと前記第１シートの前記縁部との間で伸びるように、前記第１シートの前記第１端部と前記第１シートの前記第２端部との間で伸長する前記第１クリーズに沿って第１角度で湾曲を含み；  前記第２シートは、前記第２シートの側部は、前記第２クリーズと前記第２シートの前記縁部との間に伸びるように、前記第２シートの前記第１端部と前記第２シートの前記第２端部との間に伸長する第２クリーズに沿って第２角度で湾曲を含み；  前記第１シートの前記縁部が前記第２シートの前記縁部に隣接し、前記第１シートの前記側部が前記第２シートの前記側部と同一平面であるように、前記第１側壁と第２側壁が位置決めされる、前記真空チャンバ。    【請求項２４】  前記第１角度と前記第２角度が４５度である、請求項２３に記載の真空チャンバ。    【請求項２５】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールドの最上壁を含むチャンバ壁と；  一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  第１側壁および第２側壁を含む複数の側壁を備えるサスペンションであって：（ｉ）各側壁は、第１端部、第２端部、前記側壁の前記第２端部および前記第１端部の間に伸長する縁部を含み；（ｉｉ）各側壁の前記第１端部は、前記第１側壁の前記縁部と前記第２側壁の前記縁部が隣接し間隙により分離されるように、前記ガス分配プレートに接続され；（ｉｉｉ）各側壁の前記第２端部は、前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げるように、前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続される；前記サスペンションと；  内部材と外部材が、双方を２等分する細長い接合部に沿って共に結合されたカバーと；を備え、  前記カバーの前記接合部が前記間隙内にあり、前記第１側壁及び前記サスペンションの前記第１側壁と第２側壁の一部が、前記カバーの前記内部材と外部材との間にあるように、前記カバーが位置決めされる、前記真空チャンバ。    【請求項２６】  前記カバーの前記内部材と外部材は、互いに、かつ、前記第１側壁および第２側壁に十分に近く、ガスが前記間隙を通って流れることを妨げる、請求項２５記載の真空チャンバ。    【請求項２７】  真空チャンバにおいて：一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールドの最上壁を含むチャンバ壁と；  一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  第１側壁及び第２側壁を含む複数の側壁を備えるサスペンションであって、（ｉ）各側壁は、第１端部、第２端部、前記側壁の前記第２端部および前記第１端部の間に伸長する縁部を含み；（ｉｉ）各側壁の前記第１端部は、前記第１側壁の前記縁部と前記第２側壁の前記縁部が隣接し間隙により分離されるように、前記ガス分配プレートに接続され；（ｉｉｉ）各側壁の前記第２端部は、前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げるように、前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続される；前記サスペンションと；  横部材により前記第１平行部材および第２平行部材が接合されたカバーと；を備え、  前記カバーの前記第１平行部材及び第２平行部材の間に前記間隙があり、前記２つの平行部材の各々が前記間隙をまたぎ、前記第１側壁の一部と前記第２側壁の一部が前記２つの平行部材の間にあるように前記カバーが位置決めされる、前記真空チャンバ。    【請求項２８】  前記カバーの前記２つの平行部材は、互いに、かつ、前記第１側壁及び第２側壁に十分に近く、ガスが前記間隙を通って流れることを妨げる、請求項２７記載の真空チャンバ。    【請求項２９】  真空チャンバにおいて：  一以上のガス注入オリフィスを有するガス注入マニホールドの最上壁を含むチャンバ壁と；  一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  第１可撓性部分を有する第１側壁、第２可撓性部分を有する第２側壁を含む複数の側壁を備えるサスペンションであって、各側壁の下端部は、前記第１可撓性部分及び第２可撓性部分は間隙により分離されるように前記ガス分配プレートに接続され、各側壁の上端部は、前記ガス分配プレートを前記ガス注入マニホールドの最上壁の下に吊り下げるように前記ガス注入マニホールドの最上壁に接続される、前記サスペンションと；  前記ガス分配プレートに接続され、前記間隙に隣接して位置決めされた柱と；を備える、前記真空チャンバ。    【請求項３０】  ガスを投与する為の装置において：  下面、上面、前記上面および前記下面間に伸長する一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  一以上の側壁を備えるサスペンションであって、少なくとも各側壁の一部が可撓性を有する、前記サスペンションと；を備え、  各側壁は、各側壁の前記可撓性のある部分が前記ガス分配プレートの前記上面の上方にあるように、前記ガス分配プレートに接続される、前記装置。    【請求項３１】  側壁の数は、一つである、請求項３０に記載の装置。    【請求項３２】  前記ガス分配プレートは、ほぼ矩形の周囲を有し；  前記サスペンションは、前記側壁の４つを備える；請求項３０に記載の装置。    【請求項３３】  ガスを投与する為の装置において：  下面、上面、前記上面及び前記下面の間に伸長する一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  一以上の側壁を備えるサスペンションであって、各側壁の少なくとも一つは、可撓性を有する、前記サスペンションと；を備え、  各側壁は、各側壁の前記可撓性のある部分が前記ガス分配プレートの前記上面の上方に伸びるように、前記ガス分配プレートに接続され；  各側壁の前記可撓性のある部分は、前記ガス分配プレートの熱膨張を適合させるほど十分に可撓性がある；前記装置。    【請求項３４】  ガスを投与する為の装置において：  下面、上面、前記上面及び前記下面の間に伸長する一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  一以上の側壁を備えるサスペンションであって、各側壁の少なくとも一部が可撓性を有する前記サスペンションと；を備え、  各側壁は、各側壁の前記可撓性のある部分が前記ガス分配プレートの上方で直交する方向に伸びるように、前記ガス分配プレートに接続され；  各側壁の前記可撓性のある部分は、前記ガス分配プレートの熱膨張を適合させるほど十分に可撓性がある；前記装置。    【請求項３５】  ガスを投与する為の装置において：  ４つの側面を備えたほぼ矩形であり、一以上のガス流出オリフィスが貫通したガス分配プレートと；  ４つの側壁を備えたサスペンションであって、各々が上部、下部、前記上部及び前記下部の間に伸長する可撓性のある矩形シートを備える前記サスペンションと；を備え、  前記４つの側壁の各々の前記下部は、前記４つの可撓性のある矩形シートは、間隙により互いに横に分離されるように、前記ガス分配プレートの前記４つの側面の対応する一つに隣接した前記ガス分配プレートに接続される；前記装置。    【請求項３６】  ガスを投与する為の装置において：  一以上のガス流出オリフィスが貫通したガス分配プレートと；  ４つの側壁を備えたサスペンションであって、各側壁の少なくとも一部が可撓性がある、前記サスペンションと；を備え、  各側壁の下部は、前記４つの側壁を位置決めし、前記４つの側壁の前記可撓性のある部分が集合的に矩形横断面を有し前記４つの側壁の前記���撓性のある部分が間隙により互いに横に分離されるように、前記ガス分配プレートに接続される；前記装置。    【請求項３７】  ガスを投与する装置において：  下面、上面、前記上面及び前記下面の間に伸長する一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  一以上の側壁を備えるサスペンションと；を備え、  各側壁は、前記ガス分配プレートに接続され；  各側壁の少なくとも一部は、少なくとも１．７度で各側壁の湾曲を許容する為に十分に可撓性がある；前記装置。    【請求項３８】  ガスを投与する為の装置において：  下面、上面、前記上面及び前記下面の間に伸長する一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  一以上の側壁を備えるサスペンションと；を備え、  各側壁は、前記ガス分配プレートに接続され；  各側壁の少なくとも一部は、少なくとも１％だけ前記ガス分配プレートの膨張を許容するように十分に可撓性がある；前記装置。    【請求項３９】  ガスを投与する為の装置において：  下面、上面、前記上面及び前記下面の間に伸長する一以上のガス流出オリフィスを有するガス分配プレートと；  一以上の側壁を備えるサスペンションと；を備え、  各側壁は、前記ガス分配プレートに接続され；  各側壁の少なくとも一部は、少なくとも１％だけ前記ガス分配プレートの膨張を許容する為に、前記側壁の前記可撓性のある部分を湾曲するのに実質的な力を要しないように、十分に可撓性がある；前記装置。    【請求項４０】  ガスを投与する為の装置において：  一以上のガス流出オリフィスが貫通した矩形ガス分配プレートであって、前記ガス分配プレートは４つの側面を含む、前記ガス分配プレートと；  ４つの可撓性シートを備えるサスペンションと；を備え、  前記４つのシートの各々の下部は、前記ガス分配プレートの前記４つの側面の、それぞれの一つに接続される；前記装置。    【請求項４１】  ガスを投与する為の装置において：  第１表面、第２表面、前記第１表面及び第２表面とは異なる複数の側面を有するガス分配プレートであって、前記ガス分配プレートは、一以上のガス流出オリフィスが貫通し、各ガス流出オリフィスは、前記第１表面から前記第２表面まで伸長する、前記ガス分配プレートと；  複数の側壁を備えるサスペンションであって、各側壁は、可撓性シートを含み、側壁の数は、前記ガス分配プレートの側面の数に等しい、前記サスペンションと；を備え、  各側壁の下部は、前記ガス分配プレートの前記側面の対応する一つに接続される；前記装置。    【請求項４２】  ガスを投与する為の装置において：  一以上のガス流出オリフィスが貫通した矩形ガス分配プレートであって、４つの側面を含む、前記ガス分配プレートと；  ４つの可撓性シートを備えるサスペンションと；を備え、  前記４つのシートの各々の一つの下部は、前記ガス分配プレートの前記４つの側面の、それぞれの一つに隣接した前記ガス分配プレートに接続される；前記装置。    【請求項４３】  ガスを投与する為の装置において：  第１表面及び第２表面、前記第１表面及び第２表面とは異なる複数の側面を有するガス分配プレートであって、前記ガス分配プレートは、一以上のガス流出オリフィスが貫通し、各ガス流出オリフィスは、前記第１表面から��記第２表面まで伸長する、前記ガス分配プレートと；  複数の側壁を備えるサスペンションであって、各側壁は、可撓性シートを含み、側壁の数は、前記ガス分配プレートの側面の数に等しい、前記サスペンションと；を備え、  各側壁の下部は、前記ガス分配プレートの前記側面に対応する一つに隣接するガス分配プレートに接続される、前記装置。    【請求項４４】  ガスを投与する為の装置において：  一以上のガス流出オリフィスが貫通したガス分配プレートと；  一以上の側壁を備えるサスペンションと；を備え、  各側壁は、前記ガス分配プレートに接続され；  各側壁は、可撓性シートを含む、前記装置。    【請求項４５】  前記ガス分配プレートは、ほぼ矩形の横断面を有し；  側壁の数は、４つであり；  各側壁の前記シートは、ほぼ矩形である、請求項４４に記載の装置。    【請求項４６】  ガスを投与する為の装置において：  一以上のガス流出オリフィスが貫通したガス分配プレートと；  一以上の可撓性シートを備えるサスペンションであって、各シートは、フランジを形成するようにシートの一端付近に湾曲を含む、前記サスペンションと；を備え、各フランジは、前記ガス分配プレートに接続される；前記装置。    【請求項４７】  ガスを投与する為の装置において：  第１表面、第２表面、前記第１表面及び第２表面とは異なる一以上の側面を有し、前記ガス分配プレートは、一以上のガス流出オリフィスが貫通し、各ガス流出オリフィスは、前記第１表面から前記第２表面まで伸び、各側面は溝を含む、前記ガス分配プレートと；  一以上の可撓性シートを備えるサスペンションであって、各シートは、フランジを形成するようにシートの一端付近に湾曲を含む、前記サスペンションと；を備え、  各フランジは、前記フランジの少なくとも一部が前記ガス分配プレートの前記溝の内部にあるように、前記ガス分配プレートに接続される、前記装置。    【請求項４８】  ガスを投与する為の装置において：  第１表面、第２表面、前記第１表面及び第２表面とは異なる４つの側面を有する矩形ガス分配プレートであって、前記ガス分配プレートは、一以上のガス流出オリフィスが貫通し、各ガス流出オリフィスは、前記第１表面から前記第２表面まで伸び；各側面は溝を含む、前記ガス分配プレートと；  ４つの可撓性シートを備えるサスペンションであって、フランジを形成する為にシートの一端付近に湾曲を含む、前記サスペンションと；を備え、  前記４つのフランジの各々は、前記フランジの少なくとも一つが前記４つの側面の前記それぞれの一つの溝内にあるように、前記ガス分配プレートの前記４つの側面の、それぞれの一つに接続される；前記装置。    【請求項４９】  ガスを投与する為の装置において：  一以上のガス分配流出オリフィスが貫通したガス分配プレートと；  一以上の側壁を備えるサスペンションであって、各側壁の少なくとも一部は可撓性のある、前記サスペンションと；を備え、  前記ガス分配プレートは、一以上の溝を含み；  各側壁の下部は、前記ガス分配プレートの前記溝の一つの内部に取り付けられる；前記装置。    【請求項５０】  前記ガス分配プレートは、４つの側面を含み；  前記ガス分配プレートの前記４つの側面の各々は、前記溝の一つを含み；  前記サスペンションは、前記側壁の４つを備え；  前記４つの側壁の各々の前記下部は、前記ガス分配プレートの前記４つの側面に対応する一つの溝内で取り付けられる；請求項４９記載の装置。    【請求項５１】  ガスを投与する為の装置において：  一以上のガス流出オリフィスが貫通したガス分配プレートと；  第１端部、第２端部、前記第１端部から前記第２端部まで伸長する縁部を有する第１シートを備える第１側壁と；  第１端部、第２端部、前記第１端部から前記第２端部まで伸長する縁部を有する第２シートを備える第２側壁と；を備え、  各側壁の前記第１端部は、前記ガス分配プレートに接続され；  前記第１シートは、前記第１シートの側部が前記第１クリーズと前記第１シートの前記縁部との間に伸びるように、前記第１シートの前記第１端部と前記第１シートの前記第２端部との間に伸長する第１クリーズに沿って第１角度での湾曲を含み；  前記第２シートは、前記第２シートの側部が前記第２クリーズと前記第２シートの前記縁部との間に伸びるように、前記第２シートの前記第１端部と前記第２シートの前記第２端部との間に伸長する第２クリーズに沿って第２角度での湾曲を含み；  前記第１シートの前記縁部は、前記第２シートの前記縁部に隣接し、前記第１シートの前記側部は前記第２シートの前記側部と同一平面になるように、前記第１側壁及び第２側壁が位置決めされる；前記装置。    【請求項５２】  前記第１角度と前記第２角度が４５度である、請求項５１に記載の装置。    【請求項５３】  ガスを投与する為の装置において：  一以上のガス流出オリフィスが貫通したガス分配プレートと；  第１側壁及び第２側壁を含む複数の側壁を備えるサスペンションであって：（ｉ）第１端部、第２端部、前記第１端部及び前記第２端部の間に伸長する縁部を含む各側壁と、（ｉｉ）前記第１側壁の前記縁部と前記第２側壁の前記縁部が、隣接し、かつ、隙間により分離されるように、各側壁の前記第１端部が前記ガス分配プレートに接続される、前記サスペンションと；  内部材と外部材を有するカバーであって、前記内部材と前記外部材の双方を２等分する細長い接合部に沿って、これらが接合される、前記カバーと；を備え、  前記カバーの前記接合部は、前記隙間内にあり、前記サスペンションの前記第１側壁及び第２側壁の一部は、前記カバーの前記内部材と前記外部材の間にあるように、前記カバーが位置決めされる、前記装置。    【請求項５４】  ガスが前記隙間を通過することを妨げるように、前記カバーの前記内部材と外部材は、互いに、かつ、前記第１側壁及び第２側壁に十分に密接している、請求項５３に記載の装置。    【請求項５５】  一以上のガス流出オリフィスが貫通したガス分配プレートと；  第１側壁及び第２側壁を含む複数の側壁を備えるサスペンションであって：（ｉ）第１端部、第２端部、前記第１端部及び前記第２端部の間に伸長する縁部を含む各側壁と、（ｉｉ）前記第１側壁の前記縁部と前記第２側壁の前記縁部が、隣接し、かつ、隙間により分離されるように、各側壁の前記第１端部が前記ガス分配プレートに接続される、前記サスペンションと；  横断部材により接合された第１平行部材及び第２平行部材を有するカバーと；を備え、  前記隙間が前記カバーの前記第１平行部材及び第２平行部材の間にあり、前記２つの平行部材の各々が前記隙間をまたぎ、前記第２側壁の一部と前記第２側壁の一部が前記２つの平行部材の間にあるように、前記カバーが位置決めされる、前記装置。    【請求項５６】  前記隙間を前記ガスが通過することを妨げるように、前記カバーの前記２つの平行部材は、互いに、かつ、前記第１側壁及び第２側壁に十分に密接している、請求項５５に記載の装置。    【請求項５７】  ガスを投与する為の装置において：  一以上のガス流出オリフィスが貫通したガス分配プレートと；  第１可撓性部分を有する第１側壁、第２可撓性部分を有する第２側壁を含む複数の側壁を備えるサスペンションであって、各側壁の下端部は、前記第１可撓性のある部分及び第２可撓性のある部分が隙間により分離されるように、前記ガス分配プレートに接続される、前記サスペンションと；  前記ガス分配プレートに接続され、前記隙間に隣接して位置決めされる、柱と；を備える、前記装置。