【手続補正書】
【提出日】平成18年1月31日(2006.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】インクジェットヘッド、画像形成装置、インクジェット記録装置、及びインクジェットヘッドの製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  加圧液室の壁面を形成する振動板と対向電極との間に静電力を発生させ、該振動板を変形して該振動板の復元力により液を加圧して液を吐出する静電型インクジェットヘッドであって、個別対向電極を形成する基板に駆動回路を構成する能動素子を形成したインクジェットヘッドにおいて、前記個別対向電極が高融点金属およびその化合物で形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】  加圧液室の壁面を形成する振動板と対向電極との間に静電力を発生させ、該振動板を変形して該振動板の復元力により液を加圧して液を吐出する静電型インクジェットヘッドであって、個別対向電極を形成する基板に駆動回路を構成する能動素子を形成したインクジェットヘッドにおいて、前記個別対向電極を形成する基板と同一のシリコン基板上の能動素子はＭＯＳトランジスタであることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】  請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記個別対向電極がポリシリコンで形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】  請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッド構造において、前記個別電極基板に薄膜半導体材料と駆動回路用の能動素子を形成することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】  請求項１乃至４のいずれか１項に記載したインクジェットヘッドを有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項６】  請求項１乃至４のいずれか１項に記載したインクジェットヘッドを有することを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項７】  個別対向電極を形成する基板に駆動能動素子を形成し、液室を形成する基板を接合した後、液室形成エッチングし振動板を製造することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の目的を達成するために、請求項１の発明では、加圧液室の壁面を形成する振動板と対向電極との間に静電力を発生させ、加圧液室の壁面を形成する振動板と対向電極との間に静電力を発生させ、該振動板を変形して該振動板の復元力により液を加圧して液を吐出する静電型インクジェットヘッドであって、個別対向電極を形成する基板に駆動回路を構成する能動素子を形成したインクジェットヘッドにおいて、前記個別対向電極が高融点金属およびその化合物で形成されていることを特徴とするインクジェットヘッドを提供するものである。
請求項２の発明では、加圧液室の壁面を形成する振動板と対向電極との間に静電力を発生させ、該振動板を変形して該振動板の復元力により液を加圧して液を吐出する静電型インクジェットヘッドであって、個別対向電極を形成する基板に駆動回路を構成する能動素子を形成したインクジェットヘッドにおいて、前記個別対向電極を形成する基板と同一のシリコン基板上の能動素子はＭＯＳトランジスタであることを特徴とするインクジェットヘッドを提供するものである。
請求項３の発明では、請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記個別対向電極がポリシリコンで形成されていることを特徴とするインクジェットヘッドを提供するものである。
請求項４の発明では、請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッド構造において、前記個別電極基板に薄膜半導体材料と駆動回路用の能動素子を形成することを特徴とするインクジェットヘッドを提供するものである。
請求項５、及び６の発明では、請求項１乃至４のいずれか１項に記載したインクジェットヘッドを有することを特徴とする画像形成装置、及びインクジェット記録装置を提供するものである。請求項７の発明では、個別対向電極を形成する基板に駆動能動素子を形成し、液室を形成する基板を接合した後、液室形成エッチングし振動板を製造することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法を提供するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【作用】
請求項１の発明によれば、加圧液室の壁面を形成する振動板と対向電極との間に静電力を発生させ、該振動板を変形して該振動板の復元力により液を加圧して液を吐出する静電型インクジェットヘッドであって、個別対向電極を形成する基板に駆動回路を構成する能動素子を形成したインクジェットヘッドにおいて、前記個別対向電極が高融点金属およびその化合物で形成されていることとする。
請求項２の発明によれば、加圧液室の壁面を形成する振動板と対向電極との間に静電力を発生させ、該振動板を変形して該振動板の復元力により液を加圧して液を吐出する静電型インクジェットヘッドであって、個別対向電極を形成する基板に駆動回路を構成する能動素子を形成したインクジェットヘッドにおいて、前記個別対向電極を形成する基板と同一のシリコン基板上の能動素子はＭＯＳトランジスタであることとする。
請求項３の発明によれば、請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記個別対向電極がポリシリコンで形成されていることとする。
請求項４の発明によれば、請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッド構造において、前記個別電極基板に薄膜半導体材料と駆動回路用の能動素子を形成することとする。
請求項５、及び６の発明によれば、請求項１乃至４のいずれか１項に記載したインクジェットヘッドを有する画像形成装置、及びインクジェット記録装置を主要な特徴とする。
請求項７の発明によれば、個別対向電極を形成する基板に駆動能動素子を形成し、液室を形成する基板を接合した後、液室形成エッチングし振動板を製造するインクジェットヘッドの製造方法を最も主要な特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施の形態に係るインクジェットヘッド、画像形成装置、インクジェット記録装置を詳細に説明する。
なお、本発明の対象とするインクジェットヘッドは、対向電極と加圧液室に面する振動板に電圧を印加し、静電力で振動板を変位し、次に静電力を開放することで振動板の復元力により液室を加圧しインクを吐出する静電型インクジェットであり、本発明では個別電極を高融点金属やその化合物で形成することでプロセス温度との整合を図っている。
また、個別電極と同一基板にそれぞれ駆動素子を形成することを特徴としている。
〔実施例１〕
図１は、本発明のインクジェットヘッドにｎチャネルＭＯＳトランジスタを用いた場合の構造図を示す。１はシリコン基板である。ｎ形拡散層２、ゲート酸化膜３、ポリシリコンゲート電極４で、紙面に向かって右側に駆動用ＭＯＳトランジスタ５が構成されている。また同様に左側に、ｎ形拡散層２、ゲート酸化膜３、ポリシリコンゲート電極４で、放電用ＭＯＳトランジスタ６が構成されている。
インクを吐出したいビットでは電極７に、駆動信号が伝達され駆動用ＭＯＳトランジスタ５のゲート電圧が上昇し、ＭＯＳトランジスタ５が導通状態になる。直流電源からの電圧が個別対向電極８に供給され充電されることによって振動板９は変形し、加圧液室１０の体積が増大し、共通液室１１から流体抵抗１２を介して加圧液室１０へとインクが供給される。
次に駆動用ＭＯＳトランジスタ５のゲート電圧を下げＯＦＦ状態にする。そして、放電用ＭＯＳトランジスタ６のゲートに信号電圧を印加し、該ＭＯＳトランジスタを導通状態にし、個別対向電極８と振動板９間に充電した電荷を放電する。
この放電によって振動板９は元の位置に復元し、加圧液室１０に充填されているインクを加圧し、インクがノズル１３から吐出することになる。
１４は振動板９と個別対向電極８との間に設けられたギャップ、１５は隔壁、１６はパッシベーション酸化膜である。ここでは、ｎチャネルＭＯＳデバイスを用いた例で説明したが、ＰチャネルＭＯＳデバイスでも同様に製造できる。
また、個別対向電極８として高融点金属の化合物であるＴｉＮを使用したが、ＷやＷシリサイドでも製造可能である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明のインクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法および当該ヘッドを用いた画像形成装置（インクジェット記録装置）によれば、以下のような効果を得ることができる。
即ち、請求項１の発明によれば、インク液室の壁面を形成する振動板と対向電極との間に静電力を発生させ、該振動板を変形して該振動板の復元力により液を加圧して液を吐出する静電型インクジェットヘッドであって、個別対向電極を形成する基板に駆動回路を構成する能動素子を形成したインクジェットヘッドにおいて、前記個別対向電極が高融点金属およびその化合物で形成されていることとしたので、インクジェットヘッドの基板上に高い電圧用の駆動能動素子があるため、駆動用集積回路出力は低い電圧でよく、駆動回路のコストを低減できるインクジェットヘッドを提供することができる。
請求項２の発明は、請求項１のインクジェットヘッドにおいて、個別対向電極と同一のシリコン基板上にＭＯＳトランジスタを構成することとしたので、少なくとも一つの高電圧駆動電源はいるが、各ビットのゲート素子に加える信号電圧は低い電圧でよく駆動集積回路のコストを低減できるインクジェットヘッドを提供することができる。
請求項３の発明は、請求項１または請求項２のインクジェットヘッドにおいて、個別対向電極がポリシリコンで形成されていることとしたので、インクジェットヘッド基板にシリコンを使用する場合、能動素子やゲート素子を工程数が他のデバイスより短いＭＩＳトランジスタ構造とすることで容易に形成できコストが低減できるインクジェットヘッドを提供することができる。
請求項４の発明は、請求項１または請求項２のインクジェットヘッド構造において個別電極基板に薄膜半導体材料と駆動回路用の能動素子を形成することとしたので、個別対向電極を高融点金属やその化合物とすることで直接接合や能動素子のプロセス温度に適応できるインクジェットヘッドを提供することができる。
請求項５、及び６の発明は、請求項１乃至４のいずれか１項に記載したインクジェットヘッドを有する画像形成装置を主要な特徴としたので、高速印刷のためにビット数を増加しても駆動電圧を低めることで駆動回路のコストを低減でき、画像形成装置のコストを押さえることができる画像形成装置、及びインクジェット記録装置を提供することができる。
請求項７の発明は、個別対向電極を形成する基板に駆動能動素子を形成し、液室を形成する基板を接合して、液室形成エッチングし振動板を製造するインクジェットヘッドの製造方法を最も主要な特徴としたので、普及した半導体製造方法で個別電極基板を製造の後、液室と振動板を製造するため、アルカリイオンに影響受けやすい半導体製造工程とアルカリイオンを含む液室形成工程を完全に分離できるインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。