【手続補正書】
【提出日】平成17年11月11日(2005.11.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】      明細書
【発明の名称】    ディスク状記録媒体へのパターン形成方法およびパターン形成装置ならびにディスク状記録媒体
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ディスク基板上に、記録に有用なパターンを電子ビーム発射手段からの電子ビームで露光して形成するディスク状記録媒体へのパターン形成方法であって、電子ビーム発射手段からの電子ビームを用いて、前記ディスク基板の中心を検出し、この検出した中心を基準として前記パターンを形成することを特徴とするディスク状記録媒体へのパターン形成方法。
【請求項２】  パターン形成用の電子ビームとして、単位微小記録部の平面形状に対応した方形電子ビームを用いる請求項１のディスク状記録媒体へのパターン形成方法。
【請求項３】  ディスク基板上に、記録に有用なパターンを電子ビーム発射手段からの電子ビームで露光して形成するディスク状記録媒体へのパターン形成装置であって、電子ビーム発射手段からの電子ビームを用いて、前記ディスク基板の中心を検出する中心検出手段、この検出した中心を基準として電子ビーム発射手段からの電子ビームを用いてパターン状の露光を行うパターン形成手段を備えたディスク状記録媒体へのパターン形成装置。
【請求項４】  前記中心検出手段における電子ビーム発射手段と前記パターン形成手段における電子ビーム発射手段として同一の電子ビーム発射手段を用いた請求項３のディスク状記録媒体へのパターン形成装置。
【請求項５】  少なくともパターン形成手段における電子ビーム発射手段として、単位微小記録部の平面形状に対応した方形ビームを発射する電子ビーム発射手段を用いる請求項３または４のディスク状記録媒体へのパターン形成装置。
【請求項６】  請求項１または２のディスク状記録媒体へのパターン形成方法によって記録に有用なパターンが形成されたディスク状記録媒体。
【請求項７】  基板上に情報を磁気的に記録する磁性部材で形成され、同心円状またはスパイラル状に、周方向および半径方向に間隔をおかれて配置された多数の単位微小記録部と、前記基板上であって、各単位微小記録部間を埋める非磁性材料で形成された非記録部とを備え、前記パターンが前記単位微小記録部のパターンである請求項６のディスク状記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスク状記録媒体へのパターン形成方法およびパターン形成装置ならびにディスク状記録媒体に関し、さらに詳細には、コンピュータ周辺記憶装置に使用されるディスク状記録媒体へのパターンの形成方法、パターン形成装置およびディスク状記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンピュータの使用する記憶容量の増大に伴って、磁気記録装置の記憶容量はますます大容量化される傾向にある。面記録密度を向上するには、磁気ヘッドから発生する信号磁界によって形成される磁気ディスク媒体の磁気記録層中の記録磁区列をいかに微細化できるかがポイントである。
【０００３】
記録磁区を微細化する上では、磁気記録層に最近接する磁気ヘッドの先端部と磁気記録層との間隔を狭くすること、磁気ヘッド先端部から空間的に発散する磁界によるにじみ（フリンジング）を極力低減することなどが重要である。
【０００４】
また、磁気記録層を含む磁気ディスク媒体としては、低ノイズ化のため、薄膜の結晶微細化と低Ｂｒ化、そして結晶粒間の交換相互作用の低減が行われてきた。
【０００５】
媒体の結晶粒・異方性エネルギーの分散の制御、配向性の制御、交換結合の低減、そして磁化安定構造の採用により、媒体ノイズを制御することによって、磁化転移幅の低減化や記録にじみの低減を図ったり、記録磁区のサイドフリンジ低減を目的として互いに隣接する記録トラック部間に非磁性の材料で作られたガードバンド部材を具備した薄膜磁気ディスクの提案もなされている（特開平９−７４１９号公報参照）。
【０００６】
高面記録密度化においては、記録層の垂直方向に磁化容易軸を持つ垂直磁気記録や膜面内のトラック方向に磁化容易軸を有する横手磁気記録などがあり、通常の長手記録と比べ反磁界による減磁が小さいため、より高密度な記録が期待されている。また、基板上の有機膜やＳｉ系膜である非磁性膜面上に物理的な凹凸を設け、凹部内に磁性薄膜を埋め込み単位微小記録部としたいわゆるパターンメディアを用いた磁気ディスク媒体が提案されている。
【０００７】
上記のようなパターンメディアを用いた磁気ディスク媒体（符号２００で示した）としては、図６および図７に示したように、ディスク状の基板２０２、この基板２０２上に情報を磁気的に記録する磁性部材で形成され、同心円状に、周方向および半径方向に間隔を置いて配置した多数の単位微小記録部２０４と、前記基板上であって各単位微小記録部間を埋める非磁性材料で形成された非記録部２０６とを備える磁気ディスク媒体としてがある。図６に示されたものにあっては、前記単位微小記録部２０４が、長軸と短軸とを有する長方体形状であり、その長軸方向が基板の円周方向に配置されており、図７に示したものにあっては、前記単位微小記録部２０４がほぼ立体形状のものである。このような単位微小記録部を有する磁気ディスク媒体においては、各単位微小記録部が非磁性材料によって隔てられ、個々に独立しているため、隣合う単位微小記録部同士のフリンジングが解消された。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記したパターンメディア構造のものでは、ディスク状記録媒体がコンピュータ周辺記憶装置に組み込まれる前に磁気記録がなされる部位として予め上記単位微小記録部が形成されるため、この単位微小記録部の形成位置がディスク状記録媒体の回転中心を基準として正確に配置されていなければならないという新たな問題が生じた。すなわち、単位微小記録部の形成位置がディスク状記録媒体の回転中心を基準として形成されていない場合には、上記単位微小記録部に実際に書き込みを行い、あるいはこの単位微小記録部から読み出しを行う際にトラックオフとなってしまうおそれが生じた。
【０００９】
具体的には、磁気ディスク媒体２００の中心と形成するメディアパターン２３０が相違すると、図５のようになる。これにより、磁気ディスク媒体２００の中心Ｃｌとメディアパターン２３０の中心Ｃ２が△τずれる。例えば、△τがわずか５μｍだとしても、目標としているトラック間隔が１．０μｍ程度であるので、５トラック分ずれてしまったこととなり、これでは、動作時に完全にオフトラックとなる
【００１０】
そこで、本発明は、上記のパターンメディア構造を採用するために、上記のような問題を解消することのできるディスク状記録媒体へのパターン形成方法およびパターン形成装置ならびにディスク状記録媒体を提供することを目的とするものである。
【００１１】
なお、従来構造においては、磁気ディスク媒体の全表面に均一に磁気記録（データ部、サーボ部）部が存在し、サーボトラックライター（ＳＴＷ）に組み込み後の最初の書込みで磁気記録部が形成されるので、上記のパターンメディア構造に特有の問題はない。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、下記（１）〜（７）により達成される。
（１）  ディスク基板上に、記録に有用なパターンを電子ビーム発射手段からの電子ビームで露光して形成するディスク状記録媒体へのパターン形成方法であって、電子ビーム発射手段からの電子ビームを用いて、前記ディスク基板の中心を検出し、この検出した中心を基準として前記パターンを形成することを特徴とするディスク状記録媒体へのパターン形成方法。
（２）  パターン形成用の電子ビームとして、単位微小記録部の平面形状に対応した方形電子ビームを用いる上記（１）のディスク状記録媒体へのパターン形成方法。
（３）  ディスク基板上に、記録に有用なパターンを電子ビーム発射手段からの電子ビームで露光して形成するディスク状記録媒体へのパターン形成装置であって、電子ビーム発射手段からの電子ビームを用いて、前記ディスク基板の中心を検出する中心検出手段、この検出した中心を基準として電子ビーム発射手段からの電子ビームを用いてパターン状の露光を行うパターン形成手段を備えたディスク状記録媒体へのパターン形成装置。
（４）  前記中心検出手段における電子ビーム発射手段と前記パターン形成手段における電子ビーム発射手段として同一の電子ビーム発射手段を用いた上記（３）のディスク状記録媒体へのパターン形成装置。
（５）  少なくともパターン形成手段における電子ビーム発射手段として、単位微小記録部の平面形状に対応した方形ビームを発射する電子ビーム発射手段を用いる上記（３）または（４）のディスク状記録媒体へのパターン形成装置。
（６）  上記（１）または（２）のディスク状記録媒体へのパターン形成方法によって記録に有用なパターンが形成されたディスク状記録媒体。
（７）  基板上に情報を磁気的に記録する磁性部材で形成され、同心円状またはスパイラル状に、周方向および半径方向に間隔をおかれて配置された多数の単位微小記録部と、前記基板上であって、各単位微小記録部間を埋める非磁性材料で形成された非記録部とを備え、前記パターンが前記単位微小記録部のパターンである上記（６）のディスク状記録媒体。
【００１３】
【作用・効果】
本発明においては、記憶装置に組み込んだ際にディスク状記録媒体の回転中心に実質的に一致するディスク中心を予め検知し、このディスク中心を基準として単位微小記録部を形成しているため、例えばディスク状記録媒体の回転中心周りの同心円上に正確に単位微小記録部列が配置されるので、動作時（書き込み、読み出し時）の、オフトラックが防止できる。
【００１４】
また、中心検出用の電子ビームとパターン形成用の電子ビームを同じ電子銃により発射するようにすれば、電子銃間の位置合わせを行う必要がなくなり、パターン成形の精度がさらに向上する。
【００１５】
さらに、電子ビームとして、単位微小記録部の平面形状に対応した方形ビームを用いれば、電子ビーム照射を短時間で行うことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
＜ディスク状記録媒体＞
本発明において対象となるディスク状記録媒体としては、磁気ディスク媒体、光磁気ディスク媒体、光ディスク媒体等が挙げられる。
【００１７】
磁気ディスク媒体としては、上記図６および７を参照して説明した構造の磁気ディスク媒体であっても良いが、以下に説明する構造の磁気ディスク媒体であることが好ましい。
【００１８】
図１にこの磁気ディスク媒体の一部の構造の斜視図を示した。
磁気ディスク媒体１１０は、ディスク状の基板１１２、この基板上に情報を磁気的に記録する磁性部材で形成され、同心円状またはスパイラル状に、周方向および半径方向に間隔を置いて配置された多数の多数の単位微小記録部１１４と、上記基板１１２上であって、各単位微小記録部１１４間を埋める非磁性材料で形成された非記録部１１６とを備えている。以上の構造により、各単位微小記録部１１４は、それぞれほぼ完全に磁気的に孤立した状態となり、上記の隣合う単位微小記録部同士のフリンジングを防止することができる。なお、本発明のパターン形成方法および装置により、この単位微小記録部１１４のパターンが形成される。
【００１９】
上記単位微小記録部１１４は、長軸と単軸とを有する形状を備え、例えば図１に示したような直方体状や楕円回転体をほぼ半分に切断した形状が好ましく、その長軸方向が磁気ディスク半径方向に配置され、その単軸方向が磁気ディスクの円周方向に配置されていることが好ましい。この単位微小記録部の配置構造により媒体周方向（トラック方向）線記録密度が向上し、データの転送レートが向上する。
【００２０】
各単位微小記録部１１４は、単磁区構造のものであることが好ましい。これにより、単位微小記録部を構成する結晶粒径を大きくすることができるので、熱擾乱による磁化の劣化を抑えることができ、また、単磁区構造のため磁化のスイッチング速度も高速化することができる。このように、単位微小記録部を単磁区構造のものとした場合、その磁化容易軸は該単位微小記録部の長軸方向に配置される。単粒微小記録部の形状磁気異方性を利用して磁化容易抽を長軸方向に誘起させることができるためである。
【００２１】
上記単位微小記録部１１４は、その長軸の長さが０．１〜１．０μm 、単軸の長さが０．０５〜０．５μm 、厚さが１０〜１００ｎｍ程度に設定され、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅまたはその合金である磁性材料で形成されることが好ましく、この磁性材料としては、具体的には、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ、ＣｏＣｒ、ＮｉＦｅ等が挙げられる。
【００２２】
上記基板１１２は、アルミ合金、ガラスまたはシリコン等よりなり、使用時の１〜２万回転／分に耐えうる必要があり、その厚みは５００〜１０００μm 程度である。
【００２３】
上記非記録部１１６は、上記基板１１２の表面の上記単位微小記録部１１４以外の全表面を被うものであり、該単位微小記録部１１４と同一厚みとされる。換言すれば、磁気ディスク媒体１１０は、上記基板１１２の全面に設けられた非記録部１１６の層に形成された所定パターンの多数の凹部に上記単位微小記録部１１４が配置された構造となっている。
【００２４】
上記非記録部１１６を構成する非磁性材料としては、ＳｉＯ2、Ａｌ2０3、ＴｉＯ2等の酸化物、Ｓｉ3Ｎ4、ＡｌＮ、ＴｉＮ等の窒化物、ＴｉＣ等の炭化物、ＢＮ等の硼化物、およびＣ系、ＣＨ系、ＣＦ系のうちいずれかの重合化合物等が用いられる。
【００２５】
＜磁気ディスク媒体と磁気ヘッドとの関係］＞
以上のような構造の磁気ディスク媒体と磁気ヘッドとの動作時の関係は、以下のようになる。
【００２６】
磁気ヘッド１４０は、図１に示すように、磁気ギャップ１４２を挟んで磁気回路を形成する上部磁性薄膜１４４および下部磁性薄膜１４６と、上記磁気回路と交差する導体（図示せず）とを備え、上記ギャップ線１４２ａの方向が上記磁気ディスク媒体の円周方向に配置される。
【００２７】
光磁気ディスク媒体、光媒体としては、記録用あるいはトラッキング用のグルーブ等の凹凸を備えるものであるならいずれの構造のものであってもよい。このグルーブ等が、本発明のパターン形成方法および装置により形成される。
【００２８】
次に、本発明によるディスク状記録媒体へのパターン形成装置の一例について説明する。本発明のパターン形成においては、ディスク中心の検出と、実際のパターン形成の両者において電子ビームを使用する。電子ビーム露光装置は、例えば図２に示した構造のものとして構成される。
【００２９】
＜電子ビーム露光装置＞
本電子ビーム露光装置は、大きく分けて、電子照射系（電子光学系）Ｅ、テーブル機構部Ｔ、制御部Ｃの３つに分かれる。
【００３０】
電子照射系Ｅの内部は真空に保たれていて、電子ビーム１８を発射する電子ビーム発射手段である電子銃１、電子ビーム１８の焦点を合わせる電磁レンズ２、電子ビーム１８のオン・オフを行うブランキング電極３、電子ビーム１８の偏向を行う偏向電極４よりなる。符号８は、電子照射系Ｅに電圧、電流を供給する電源である。
【００３１】
上記電子銃としては、電子ビームのビーム径が２０nm〜０．１μｍ程度の通常の電子銃や、上記単位微小記録部の平面形状に対応あるいは実質的に一致したスポット形状を有する電子ビームを発射する電子ビーム発射手段を用いることが好ましい。
【００３２】
特に、パターン形成においては、後者の電子ビーム発射手段を用いることが好ましい。小さいビームスポット（例えば、０．１μm Φ）をＸ−Ｙ方向に偏向走査して単位微小記録部の部位を露光しようとすると、極めて多数回の露光を必要となり、露光速度が遅いという問題が生じる。例えば、１０×１０μｍのパターンを０．１μｍΦのビームで一点一点塗りつぶすとなると１００×１００＝１０，０００回の露光を必要とすることになる。
【００３３】
そこで、上記したような太い電子ビーム（例えば、方形電子ビーム）でパターン形成を行うと極めて時間の短縮となる。上記方形電子ビームの発生並びに制御については、特開昭５２−５１８７１号（理化学研究所）に述べられている。
【００３４】
他の矩形電子ビームの発生方法についても、特開昭５２−１０３９６７号に述べられている。
【００３５】
以上の方法では、３つのケースが考えられる。
その１：細い電子ビーム径（２０nm〜０．１μm Φ）で中心位置を検出して、その電子ビームでパターンを形成する。
その２：細い電子ビーム径（２０nm〜０．１μm Φ）で中心位置を検出して、別の矩形電子ビーム（０．２×０．４μm の方形）でパターンを形成する。
その３：矩形電子ビーム（０．２×０．４μm の方形）で中心位置を検出して、その矩形ビームでパターンを形成する。
【００３６】
その１のケースは問題ないが、その２とその３のケースでビーム径などが問題になるが、以下のように解決する。
その２のケースでは、細い電子ビームと矩形電子ビームの相対位置を予め補正値として位置座標を補正すればよい。
その３のケースでは、矩形ビームの中心位置を補正値として位置座標を補正すればよい。
【００３７】
テーブル機構部Ｔは、電子照射系Ｅと共に防振架台７に配置される。このテーブル機構部Ｔは、上記防振架台７上にＸ−Ｙ方向に移動可能に取り付けられ、試料（本発明のディスク状記録媒体）１１０を載せるテーブル１７、このテーブル１７を移動するモータ６、テーブル１７の移動量を測定するレーザ干渉計５を備えている。レーザ干渉計５は、マイケルソン干渉計の原理よりなるものであって、Ｘ方向とＹ方向の両方に設ける。レーザ干渉による測長と電子ビームの偏向での補正方法については、ＩＣ製作に応用した例として実公昭４７−３４９６０号に述べられている。本発明でもこの考えを使用する。
【００３８】
制御部Ｃは、パターン・データなどを記憶する磁気テープ装置１３、他のデータを記憶する磁気ディスク装置１４、表示用のコンソールＣＲＴ１５とグラフィック・ディスプレイ１６、操作パネル１１、テーブル機構部との信号のやりとりを行う制御インタフェース９、およびこれらの全体を制御するＣＰＵ１２を備えている。
【００３９】
＜ディスク状記録媒体の製造方法＞
次に、本発明のパターン形成方法を備えたディスク状記録媒体の製造方法について説明する。以下の説明においては、ディスク状記録媒体として、図１に示した構造の磁気ディスク媒体を代表させて説明する。本製造方法においては、ディスク基板の中心を検出することから行われるが、ここでは、説明の都合上ディスク基板の中心の検出が完了した時点から説明する。
【００４０】
まず、図３（ａ）に示すように、シリコン等の基板１１２上に下地層としてＡｕ、Ｔｉ、Ｃｒ等の薄い金属層１２０、最終的には非記録部１１６となるＳｉＯ2層１２２、非記録部をエッチングする際のマスクとなるクロム層１２４、およびフォトレジストであるＰＭＭＡ層１２６を形成する。
【００４１】
次に、図３（ｂ）に示すように、図２に説明した電子ビーム装置で、フォトレジスト層１２６を単位微小記録部１１４の形成配置パターンとなるように電子ビーム１８を照射する。パターン形成方法は、細い電子ビームで所望の面積を走査するか、太い方形電子ビームで一度に行う（図示せず）。作業の効率化からは、上記したように太い方形電子ビームを用いることが好ましい。なお、このパターン形成に先立って、後述するように図３（ａ）の磁気ディスク媒体の中間体のディスク中心を検出する。
【００４２】
次に、図３（ｃ）に示すように、電子ビーム照射領域のクロム層１２４を湿式エッチングする。このエッチング溶液としては、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）とメタイソプチルケトンの混合溶剤などを用いる。
【００４３】
次に、図３（ｄ）に示すように、ＳｉＯ2層１２２を反応牲イオンエッチングで凹部１３０を形成する。その際、金属メッキ層１２０が露出するまで行う。続いて、図３（ｅ）に示すように、上記金属メッキ層１２０を利用して、電気メッキ方により、Ｃｏ等の磁性材料１３２で上記の凹却１３０を埋める。このとき、上記磁性材料１３２が上記凹部１３０よりオーバーする程度までメッキを行う。
【００４４】
最後に、図３（ｆ）に示すように、機械的化学的研磨により、上記磁性材料１３２のオーバー部分を研磨し、単位微小記録部１１４を形成するとともに、全表面を極めて平坦な表面となして磁気ディスク媒体１１０を完成する。
【００４５】
次に、ディスク中心の検出について説明する。
＜ディスク中心の検出＞
まず、図３（ａ）に示す磁気ディスク媒体１１０の中間体（以下のディスク中心の検出の説明においては、この中間体を単に磁気ディスク媒体と称する）基板を電子ビーム装置のテーブル１７に固定する。
【００４６】
次に、テーブル１７を移動して磁気ディスク媒体１１０の内周円が電子ビーム１８の走査範囲にくるように移動し、電子ビーム１８で磁気ディスク媒体１１０の内周を走査（複数回）する。そのとき出る反射電子をフォトマル（二次電子増倍管：図示せず）で検知して磁気ディスク媒体の内周円上の１点の位置Ｘ１，Ｙ１を計測する。同じようにテーブル１７を移動して、磁気ディスク媒体の内周円上の別の１点の位置Ｘ２，Ｙ２を計測する。次に、同じようにテーブル１７を移動して、磁気ディスクの内周円上のさらに別の１点の位置Ｘ３，Ｙ３を計測する。このように、最低限３回行うことによって、磁気ディスク媒体１１０の内周円上の３点の位置を求め、この同一円周上の３点の位置から計算によりディスク中心の位置座標（Ｘｉｎ、Ｙｉｎ）を求める。計測位置を増やすと測定精度は向上するが、測定時間が増大するので、上述した各位置（Ｘｉ，Ｙｉ：ｉ＝１〜３）の測定回数と計測位置の数は、トータル的に最小になるようにする。
【００４７】
ディスク基板の内周円と外周円が、精度良く同心円になっている場合あるいはこれに近い場合には、同様に、磁気ディスク媒体１１０の外周円上の少なくとも３点の位置を計測することによって、磁気ディスク媒体１１０の外周より求めたディスク中心の位置座標（Ｘｏｕｔ、Ｙｏｕｔ）を求め、これをパターン形成の際の中心としても良い。
【００４８】
＜テーブルの位置計測精度＞
３インチの磁気ディスク１１０の直径は、メートル法で表すと約８（７．６２）ｃｍである。
【００４９】
従って、レーザ光の可干渉距離が最低８ｃｍ必要となり、これは現在の技術では計測可能な領域である。
【００５０】
また、波長（λ）０．６μm のレーザ光をレーザ干渉計１７に使用すると、λ／２毎に干渉縞が現れることになり、これだけでλ／２、つまり、０．３μm の測定精度が得られる。
【００５１】
それを更に改良した、電子ビーム露光時の精密位置測定の例として、同じようにレーザ干渉計を使用することによって、１０×１０ｃｍにわたって、±０．０３μm の精度で可能との技術は、米国特許３，９００，７３７号（’７５）に既に開示されている。
【００５２】
すると、８ｃｍ×８ｃｍの面鏡内を、Ｘ方向、Ｙ方向とも±０．０３μm の測定精度で計測でき、それを電子ビーム１８の偏向制御にフィードバックすることによって、磁気ディスク１１０の中心と磁気デスク１１０上に描かれるパターン中心の誤差は、±０．０３μｍ程度となる。位置のずれ、つまりテーブル１７に載せた磁気ディスク媒体１１０とこれから形成しようとするパターンの誤差、を電子ビーム１８の偏向制御にフィードバックしてパターンを形成する方法は、前記実公昭４７−３４９６０号に述べられている。
【００５３】
磁気ディスク１１０の中心が求ると、その中心を基準として磁気ディスク１１０にメディアパターン１３０を形成する。すなわち、上記図３の（ｂ）のプロセスでは、求めたディスク中心を基準にメディアパターン１３０を作成する。
【００５４】
本発明においては、測定されたディスク中心と、形成されたメディアパターンの中心のずれを上記したように、±０．０３μｍ程度までにとどめることができるので、目標とするトラック幅が１．０μｍ程度であっても正確なトラッキングができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明のディスク状記録媒体の一例である磁気ディスク媒体の部分拡大斜視図である。
【図２】
本発明で用いて望ましい電子ビーム露光装置の概略説明図である。
【図３】
図１に示した磁気ディスク媒体の製造方法の一例を説明する説明図である。
【図４】
本発明に使用する磁気ディスク媒体のパターン形成の例を示す平面図である。
【図５】
ディスクの中心とパターン中心がずれていた場合の状態を説明する平面図である。
【図６】
磁気ヘッドと、長手記録の円周方向に磁化容易軸を持つ単位微小記録部を備えるパターンメディアの一部の拡大斜視図である。
【図７】
磁気ヘッドと、垂直磁気記録用の単位微小記録部を備えるパターンメディアの一部の拡大斜視図である。
【符号の説明】
Ｅ  電子照射系
Ｔ  テーブル機構部
Ｃ  制御部
１  電子銃
２  電磁レンズ
３  ブランキング電極
４  偏向電極
５  レーザ干渉計
６  モータ
７  防振架台
８  電源
９  制御インターフェイス
１０  電子照射系
１１  操作パネル
１２  ＣＰＵ
１３  磁気テープ装置
１４  磁気ディスク装置
１５  コンソールＣＲＴ
１６  グラフィックディスプレイ
１７  テーブル
１８  電子ビーム
１１０、２００  磁気ディスク媒体
１１２、２０２  基板
１１４、２０４  単位微小記録部
１１６、２０６  非記録部
１２０  金属層
１２２  ＳｉＯ2
１２４  クロム層
１２６  レジスト（ＰＭＭＡ）層
１３０  凹部
１３２  磁性材料
１４０  磁気ヘッド
１４２  磁気ギャップ
１４２ａ  磁気ギャップ線
１４４  上部磁性薄膜
１４６  下部磁性薄膜
２３０  メディアパターン