【事件の表示】
　平成　５年特許願第１６１２８０号「超硬質膜付工具及びその製造方法」拒絶査定に対する審判事件〔平成　６年　３月２２日出願公開、特開平　６−　７９５０３、請求項の数（５）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本件出願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯・本件出願の発明
　本件出願は、特許法第４１条第１項の規定に基づく優先権主張を伴う平成５年６月３０日（優先日：平成４年６月３０日　出願番号：特願平４−１７２１４３号）の出願であって、その請求項１〜５に係る発明（以下「本件発明１〜５」という。）は、平成１３年１０月１０日付手続補正書、平成１３年１１月１５日付手続補正書により補正された明細書及び願書に添付された図面の記載からみて、その請求項１〜５に記載された以下のとおりのものであると認める。
「【請求項１】気相合成法により作成され、膜厚が０．３〜１００μｍ、成長面の表面粗さが０．２μｍ以上のダイヤモンドまたは立方晶窒化硼素からなる超硬質膜を、該超硬質膜の前記成長面に気相合成法により作成され、厚み０．１〜５ｍｍのタングステン、タングステンと炭素との化合物のうち少なくとも一種からなる接合膜を介してろう付けによって工具本体上に接合してなることを特徴とする超硬質膜付工具。
【請求項２】接合膜と超硬質膜との間には、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ａｌ、Ｃｏ、Ａｕ、Ｐｒ、Ｍｇ、Ｃｕ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｔａ、Ａｇ及びそれらの炭化物、窒化物、ホウ化物のうち少なくとも一種からなる中間膜が介在されていることを特徴とする請求項１記載の超硬質膜付工具。
【請求項３】接合膜は、その超硬質膜側に炭化タングステン膜が形成されていることを特徴とする請求項１又は２のうちいずれかに記載の超硬質膜付工具。
【請求項４】シリコン等からなる基板の表面に、膜厚が０．３〜１００μｍ、成長面の表面粗さが０．２μｍ以上となるように、ダイヤモンドまたは立方晶窒化硼素からなる超硬質膜を気相合成法により作製し、該超硬質膜の成長面にタングステン、タングステンと炭素との化合物のうち少なくとも一種からなる接合膜を気相合成法により０．１〜５ｍｍの厚みに形成した後、前記基体を除去し、しかるのち前記接合膜を工具本体にろう付けによって接合することにより、前記超硬質膜を、前記接合膜を介して前記工具本体に取り付けることを特徴とする超硬質膜付工具の製造方法。
【請求項５】シリコン等からなる基板の表面に、膜厚が０．３〜１００μｍ、成長面の表面粗さが０．２μｍ以上となるように、ダイヤモンドまたは立方晶窒化硼素からなる超硬質膜を気相合成法により作製し、該超硬質膜の成長面にタングステン、タングステンと炭素との化合物のうち少なくとも一種からなる接合膜を気相合成法により０．１〜５ｍｍの厚みに形成した後、前記接合膜を工具本体にろう付けによって接合し、しかるのちに前記基体を除去し、前記超硬質膜を、前記接合膜を介して前記工具本体に取り付けることを特徴とする超硬質膜付工具の製造方法。」
　　
第２　原査定の拒絶の理由の概要
　原査定の拒絶の理由の概要は以下のとおりである。
　引用例１：特開昭６２−５７８０２号公報
　引用例２：特開平３−１４９１９０号公報
　引用例３：特開平３−１４２１０４号公報
　気相合成ダイヤモンドを工具本体にろう付けする際に、気相合成ダイヤモンドの成長面にＣＶＤ等により接合層を被覆し、当該接合層を介してろう付けするよう構成することは従来周知の技術手段にすぎない(例えば、特開平２−２７４００５号公報を参照)。
　また、接合層の厚さや表面粗さの数値限定については、当該数値限定に臨界的意義は認められず、当業者が実験的に適宜設定し得た程度の設計的事項にすぎないものと言える。
　さらに、タングステンとダイヤモンドとの接合性を向上させるために中間層を設けることは従来周知の技術手段にすぎない(例えば、特開昭６３−２４００２号公報、特開昭６３−１１１１０４号公報、特開平１−２７５７５９号公報を参照)。
　したがって、この出願の請求項１〜５に係る発明は、その出願前日本国内において頒布された刊行物である引用例１〜３に記載された発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　なお、原査定で例示した「特開平２−２７４００５号公報」は、「マイクロ波電圧制御発信器」に関する刊行物であるから、「特開平２−２７４４０５号公報」の誤記である。
　
第３　引用例及び周知例記載の技術的事項
１　引用例１記載の技術的事項　
　引用例１には、切削工具として使用される硬質炭素被覆部品に関し、以下のとおり記載されている。
（１）特許請求の範囲
「気相より硬質炭素薄膜を基材表面に析出させて被覆した硬質炭素被覆部品において、該硬質炭素薄膜と基材との中間にＷ２Ｃを主成分とするＷとＣとの化合物薄膜が厚さ０．１μｍ以上存在することを特徴とする硬質炭素被覆部品。」
（２）第１頁左下欄第１２〜１６行
「本発明は硬質炭素被覆部品に関し、詳しくは低圧の気相からダイヤモンドを基材表面に析出されたダイヤモンド被覆部品において、ダイヤモンド被覆膜と基材との接着強度が改善された新規な硬質炭素被覆部品に関するものである。」
（３）第２頁右下欄第３〜６行
「該中間層の厚さとしては０．１μｍ以上５μ以下が好ましく、０．１μｍ以下では効果が認められなかつた。また５μ以上では特に効果に差が認められなかつた。」
（４）第２頁右下欄第７〜１１行
「本発明において上記の中間層を基材表面に形成する方法としては、例えばＷＦ６、ＣＨ４、Ｈ２混合気流中にて、５００〜１０００℃に加熱保持した基材表面にＷ２Ｃを析出被覆するいわゆる化学蒸着法（ＣＶＤ法）が一般である。」
（５）第２頁右下欄第１５行〜第３頁左上欄第３行
「本発明において上記中間層に接して硬質炭素被覆を形成するには、水素と炭化水素好ましくはメタン混合気流中に、外部よりμ波（３００ＭＨｚ以上の高周波、一般には２．４５ＧＨｚ）、ＲＦ（３００ＭＨｚ以下の高周波、一般には１３．５６ＭＨｚ、２７．１２ＭＨｚ）電界を加え、該混合気流をプラズマ化せしめ５００℃〜１２００℃に加熱した基材表面上に硬質炭素を被覆するプラズマＣＶＤ法が一般である。」
２　引用例２記載の技術的事項
　引用例２には、気相合成タイヤモンド工具の製造方法に関し、その特許請求の範囲に、以下のとおり記載されている。
「析出基体に、気相合成法により１５０〜５０００μｍの厚さにダイヤモンド膜を析出させ、該析出基体を除去して、ダイヤモンド膜を工具基体上にロウ付けすることを特徴とする気相合成ダイヤモンド工具の製造方法。」
３　引用例３記載の技術的事項
　引用例３には、タイヤモンド膜工具類及びその製造法に関し、その特許請求の範囲に、以下のとおり記載されている。
「１．ホウ素を含有する導電性ダイヤモンド膜を被覆してなるダイヤモンド膜工具類。・・・
３．ホウ素系ガスの存在下でプラズマＣＶＤ法により析出基板上にダイヤモンド膜を析出させ、このダイヤモンド膜の面を工具基体の表面にロウ付けして固定し、その後析出基板を除去してダイヤモンド膜を露出させることを特徴とするダイヤモンド膜工具類の製造法。・・・」　
４　特開平２−２７４４０５号公報（以下「周知例１」という。）記載の技術的事項
　周知例１には、切削用多結晶ダイヤモンド工具に関し、以下のとおり記載されている。
（１）特許請求の範囲
「（１）厚さ０．２ｍｍ以下０．５ｍｍ以上の多結晶ダイヤモンドが、超硬合金又は鋼に接合されたことを特徴とする切削用多結晶ダイヤモンド工具。
（２）多結晶ダイヤモンドが超高圧高温下で製造された焼結ダイヤモンドであることを特徴とする特許請求の範囲第１）項記載の切削用多結晶ダイヤモンド工具。
（３）多結晶ダイヤモンドが気相合成法で製造されたダイヤモンドであることを特徴とする特許請求の範囲第１）項記載の切削用多結晶ダイヤモンド工具。
（４）超硬合金または鋼に接合された結晶ダイヤモンド面にＴｉあるいはＴｉ化合物と鉄族金属の薄膜を付着させ、該面と超硬合金面を銀ロー、パラジウムローあるいはＮｉ鋼材で超硬合金または鋼と接合されたことを特徴とする特許請求の範囲２）項または第３）項記載の切削用多結晶ダイヤモンド工具。・・・」
（２）第３頁右下欄第１４行〜第４頁左上欄第５行
「マイクロ波プラズマＣＶＤ法（Ｎｏ．１）及びフィラメント法（Ｎｏ．２）によりＳｉ基板上に粒度１０μｍのダイヤモンドを０．１３０ｍｍの厚さに合成した。次にこれらの合成膜を王水で酸処理してＳｉ基板を取り除き、合成ダイヤモンド膜のみとし、一辺が５ｍｍの直角２等辺三角形に切り出した後、成長上面にＣＶＤ法により、ＴｉＣ　０．８μｍとスパタリング法によりＮｉ−Ｃｏ　２μｍを付着させ、第１図のように超硬合金にＮｉロー材を用いて接合し、刃先のくさび角を第１表のように加工した。」　　
５　特開昭６３−２４００２号公報（以下「周知例２」という。）記載の技術的事項
　周知例２には、ダイヤモンド等の焼結体を超合金母材に接合する技術に関し、その特許請求の範囲に以下のとおり記載されている。
「（１）ダイヤモンドおよび／または高圧相型窒化硼素を２０容量％以上含有する焼結体部に超硬合金母材が直接にまたは中間接合層を介して接合されている工具用硬質焼結体であって、
　前記焼結体部の表面が、厚さ０．１μｍ以上２０μｍ以下の周期律表ＩＶａ、ＶａおよびＶＩａ族の元素からなる群より選ばれた１種または２種以上の金属もしくは該金属の炭化物またはＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕのうちのいずれかの薄膜で少なくとも部分的に被覆されることにより、該焼結体部がろう付け可能にされていることを特徴とする、工具用硬質焼結体。・・・」　　
６　特開昭６３−１１１１０４号公報（以下「周知例３」という。）記載の技術的事項
　周知例３には、焼結ダイヤモンド層とＷＣ−Ｃｏ系超硬合金質支持層とを中間層を介して一体化する技術に関し、その特許請求の範囲に以下のとおり記載されている。
「１．本質的にダイヤモンド−ダイヤモンド結合によって結合された焼結ダイヤモンド層とＷＣ−Ｃｏ系超硬合金質支持層とが、厚さ０．５−２０μｍに中間層を介して一体化され、かつこの中間層は本質的に周期律表第４ａ、５ａ、６ａ属金属の炭化物、窒化物、炭窒化物、硼化物から選ばれた少くとも１種の、鉄属金属に対して濡れ性の小さい化合物、及びこの化合物粒子の間隙または粒子集合体の外周又は不連続部分に沿って存在する少量の鉄属金属から成ることを特徴とする複合焼結体。・・・」
７　特開平１−２７５７５９号公報（以下「周知例４」という。）記載の技術的事項
　周知例４には、ダイヤモンド薄膜付き超硬合金製の工具に関し、その特許請求の範囲に以下のとおり記載されている。
「（１）超硬合金と、原料ガス中の濃度が２モル％以上である炭素源ガスを含有する原料ガスを励起して得られたガスを、前記超硬合金上のIV a、V a、およびVI a族金属ならびにＳｉよりなる群から選択される少なくとも一種の金属で形成され、かつ、その厚みが０．０５〜１μｍの範囲内にある層に、接触させることにより形成されてなる中間層と、前記中間層上に形成され、かつ、その厚みが０．２〜１００μｍであるダイヤモンド薄膜とからなることを特徴とするダイヤモンド薄膜付き超硬合金。
（２）前記超硬合金における金属種と、前記中間層における金属種とが同種である前記請求項１に記載のダイヤモンド薄膜付き超硬合金。
（３）前記超硬合金における金属種の主成分がタングステンであり、前記中間層中における金属種の主成分がタングステンである前記請求項１または前記請求項２に記載のダイヤモンド薄膜付き超硬合金。・・・
（６）前記請求項１から前記請求項５までのいずれかに記載のダイヤモンド薄膜付き超硬合金を備えてなることを特徴とする工具。
（７）超硬合金上にIV a、V a、およびVI a族金属ならびにＳｉよりなる群から選択される少なくとも一種の金属で形成されると共にその厚みが０．０５〜１μｍの範囲内にある中間層に、原料ガス中の濃度が２モル％以上である炭素源ガスを含有する原料ガスを励起して得られたガスを接触させることにより、その厚みが０．２〜１００μｍであるダイヤモンド薄膜を形成することを特徴とするダイヤモンド薄膜付き超硬合金の製造方法。」
　
第４　当審の判断
１　本件発明１について
　本件発明１は、ダイヤモンドまたは立方晶窒化硼素等の超硬質膜を工具本体にろう付けするという技術を前提にしたものであって、ダイヤモンドまたは立方晶窒化硼素からなる超硬質膜にタングステン、タングステンと炭素との化合物のうち少なくとも一種からなる接合膜を形成し、該接合膜を介して工具本体にろう付けするものであり、その接合膜の厚みを０．１〜５ｍｍとすることにより、ろう付け時の取り扱いを容易にし、かつ、強度を向上させ、また、接合膜が形成される超硬質膜の成長面の表面粗さを０．２μｍ以上とすることにより、超硬質膜と接合膜間の接合強度を高め、剥離が生じないようにしたものである。
　一方、引用例１には、ダイヤモンドの超硬質膜と工具の基材の間に、Ｗ２Ｃを主成分とするＷとＣの化合物薄膜（本件発明１の「接合膜」に相当する。）を０．１μｍ以上の厚みで存在させることが記載されているものの、該化合物薄膜は、ＣＶＤ法により工具の基材に形成されるものであって、ろう付により接合されるものではなく、また、その厚みも本件発明１の厚み０．１〜５ｍｍとは大きく異なる。さらに、該化合物薄膜と接する超硬質膜の表面の粗さについては何等記載されていない。
　引用例２、３には、ダイヤモンド膜を工具基体にろう付けにより接合すること及びろう付による接合の前後において、ダイヤモンド膜を形成させた基板を除去することが記載されているにすぎず、ダイヤモンド膜と工具基体の間に接合膜を形成すること、その接合膜の厚み及び接合膜と接するダイヤモンド膜の表面の粗さについては何等記載されていない。
　周知例１には、ダイヤモンド膜を工具基体に接合する際に、ダイヤモンド膜に薄膜（本件発明１の「接合膜」に相当する。）を付着させ、該薄膜と工具基体をろう付けすることが記載されているが、該薄膜はＴｉあるいはＴｉ化合物と鉄族金属の薄膜であって、タングステン、タングステンと炭素との化合物のうち少なくとも一種からなるものではなく、また、その厚みも３μｍに満たないものであって本件発明１の厚み０．１〜５ｍｍと大きく異なる。また、該薄膜と接するダイヤモンド膜の表面の粗さについても何等記載されていない。
　周知例２〜４は、タングステンとダイヤモンドとの接合性を向上させるために中間層（本件発明２の「中間膜」に相当する。）を設けることは従来周知の技術手段であることを示すために提示されたものであり、本件発明１の構成である接合膜の厚み及び超硬質面の成長面の表面粗さについて、何等記載されていない。　
　
　結局、引用例１〜３及び周知例１〜４のそれぞれには、本件発明１と一部重なる構成を有しているものが記載されているものの、本件発明１の特徴である接合膜の厚みを０．１〜５ｍｍとし、超硬質面の成長面の表面粗さを０．２μｍ以上としたものは記載も示唆もされていない。
　また、接合膜の厚み及び超硬質面の成長面の表面粗さを、本件発明１と同程度にすることが、当業者に自明な事項であるとも、当業者にとって設計的事項であるともいえない。
　
　そして、本件発明１は、接合膜の厚みを０．１〜５ｍｍとすること及び接合膜が形成される超硬質膜の成長面の表面粗さを０．２μｍ以上とすることにより、ろう付け時の取り扱いを容易にし、かつ、強度を向上させ、さらに、超硬質膜と接合膜間の接合強度を高め、剥離が生じないようにするという引用例１〜３及び周知例１〜４記載のものにない格別の効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１が、引用例１〜３及び周知例１〜４記載の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
２　本件発明２、３について
　本件発明２、３は、本件発明１に従属し、さらに技術的限定を加えたものであるから、本件発明１が、引用例１〜３及び周知例１〜４記載の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない以上、本件発明２、３も、引用例１〜３及び周知例１〜４記載の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
３　本件発明４、５について
　本件発明４、５は、請求項４、５の記載からみて、本件発明１の超硬質膜付工具を製造する方法ということができ、接合膜の厚みを０．１〜５ｍｍとし、超硬質膜の成長面の表面粗さを０．２μｍ以上にするという点を含め、本件発明１の構成を全て備えたものである。
　したがって、本件発明１が、引用例１〜３及び周知例１〜４記載の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない以上、本件発明４、５も、引用例１〜３及び周知例１〜４記載の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。　
　
第５　むすび
　上記のとおりであるから、本件出願については、原査定の拒絶の理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
　また、他に本件出願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。