【手続補正書】
【提出日】平成18年1月12日(2006.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  記録液（インク）を吐出するノズルに連通する液室に接して配設される振動板と、該振動板とギャップを介して相対向して配置される個別電極を搭載形成する支持基板とを有し、前記個別電極側に発生する静電力により前記振動板を変形させて前記記録液をノズルから吐出させて記録媒体に記録を行う静電型インクジェットヘッドであって、前記支持基板側には前記ヘッドの製造過程又はヘッドの製品使用段階において各ビットの前記個別電極にのったサージを前記支持基板側へ逃がすサージ回避構造が形成されることを特徴とする静電型インクジェットヘッド。
【請求項２】  前記サージ回避構造が、前記支持基板がシリコン（以下、Ｓｉと記載する）からなるとき、そのＳｉにＰＮ接合を設けたものからなり、そのＰ型あるいはＮ型のＳｉに前記個別電極が接続される構造からなることを特徴とする請求項１に記載の静電型インクジェットヘッド。
【請求項３】  前記ＰＮ接合の不純物濃度が、前記個別電極の駆動電圧の＋１０％以上のサージ電圧をカットできる値に設定されることを特徴とする請求項１又は２に記載の静電型インクジェットヘッド。
【請求項４】  前記サージ回避構造のＰＮ接合の構成がＰ+ 領域／Ｐ- 領域／Ｎ型支持基板あるいはＮ+ 領域／Ｎ- 領域／Ｐ型支持基板の順に構成され、前記Ｐ+ 領域あるいはＮ+ 領域のＳｉに前記個別電極が接続される構造からなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の静電型インクジェットヘッド。
【請求項５】  記録液を吐出するノズルに連通する液室に接して配設される振動板と、該振動板とギャップを介して相対向して配置される個別電極を搭載形成する支持基板とを有し、前記個別電極側に発生する静電力により前記振動板を変形させて前記記録液をノズルから吐出させて記録媒体に記録を行うと共に前記支持基板側には前記ヘッドの製造過程又はヘッドの製品使用段階において各ビットの前記個別電極にのったサージを前記支持基板側へ逃がすサージ回避構造が形成される静電型インクジェットヘッドの製造方法であって、支持基板上にシリコン酸化膜を成長させる第１の手順と、その表面に所望の電極パターン形成エリアに対応したレジストパターンを形成し所望の膜厚を残しエッチングする第２の手順と、前記レジストパターンを形成しているレジストを剥離し、前記シリコン酸化膜エッチングエリアに所望のレジストパターン形成し部分的にシリコン酸化膜をＳｉ面までエッチングにて除去する第３の手順と、この除去された部分に対応する前記支持基板に該支持基板と異なるＳｉの不純物を注入する第４の手順と、前記レジストパターンを形成しているレジストを剥離し個別電極材料をデポし個別電極のパターンニングを行う第５の手順と、前記不純物のイオン活性化を行い前記個別電極を前記支持基板側の前記不純物の領域にオーミックコンタクトする第６の手順と、これ等の表面に保護膜を形成する第７の手順と、前記保護膜上に適宜ギャップを介して振動板を配設する第８の手順と、前記振動板上に前記液室に対応する空間を介してノズル板を配設する第９の手順と、前記個別電極に電極部を連結する第１０の手順とを行うことを特徴とする静電型インクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】  請求項１乃至４のいずれかに記載の静電型インクジェットヘッドを備えていることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項７】  請求項６に記載のインクジェット記録装置を備えていることを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、以上の問題点を解決するもので、その１つ目の目的は静電型インクジェットヘッドにおいてサージ回避構造を支持基板側に設け、サージ許容電荷量を大幅に向上させてサージによる個別電極等の破壊を低減し、歩留まりを向上させ、信頼性の向上を図ることである。また、２つ目の目的はサージ回避構造を個別電極の製造過程に作ることにより、サージ対策効力をヘッドの製造過程及び製品の組み立て過程にまで広範囲に及ばせることである。また、３つ目の目的はシリコンのＰＮ接合の降伏電圧（ＶＢ）を用いることにより、クランプ電圧の設定を不純物濃度の調整によって再現性，制御性良く容易に行いヘッド特性を安定化させることである。
本発明の更なる目的は、上記静電型インクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置および、このようなインクジェット記録装置を備えた画像形成装置を提供することにある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明の請求項５に記載の静電型インクジェットヘッドの製造方法は記録液を吐出するノズルに連通する液室に接して配設される振動板と、該振動板とギャップを介して相対向して配置される個別電極を搭載形成する支持基板とを有し、前記個別電極側に発生する静電力により前記振動板を変形させて前記記録液をノズルから吐出させて記録媒体に記録を行うと共に前記支持基板側には前記ヘッドの製造過程又はヘッドの製品使用段階において各ビットの前記個別電極にのったサージを前記支持基板側へ逃がすサージ回避構造が形成される静電型インクジェットヘッドの製造方法であって、
支持基板上にシリコン酸化膜を成長させる第１の手順と、その表面に所望の電極パターン形成エリアに対応したレジストパターンを形成し所望の膜厚を残しエッチングする第２の手順と、前記レジストパターンを形成しているレジストを剥離し、前記シリコン酸化膜エッチングエリアに所望のレジストパターン形成し部分的にシリコン酸化膜をＳｉ面までエッチングにて除去する第３の手順と、この除去された部分に対応する前記支持基板に該支持基板と異なるＳｉの不純物を注入する第４の手順と、前記レジストパターンを形成しているレジストを剥離し個別電極材料をデポし個別電極のパターンニングを行う第５の手順と、前記不純物のイオン活性化を行い前記個別電極を前記支持基板側の前記不純物の領域にオーミックコンタクトする第６の手順と、これ等の表面に保護膜を形成する第７の手順と、前記保護膜上に適宜ギャップを介して振動板を配設する第８の手順と、前記振動板上に前記液室に対応する空間を介してノズル板を配設する第９の手順と、前記個別電極に電極部を連結する第１０の手順とを行うことを特徴とする。
これにより、通常の製造技術によって静電型インクジェットヘッドが容易に作られ、個別電極と支持基板側とのオーミックコンタクトを容易に形成することができ、サージを安定にクランプするクランプ電圧の設定が可能になり、ヘッドの安定化が図れる。
さらに、請求項６に記載のインクジェット記録装置は、請求項１乃至４のいずれかに記載の静電型インクジェットヘッドを備えていることを特徴とする。また請求項７に記載の画像形成装置は、請求項６に記載のインクジェット記録装置を備えていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【発明の効果】
以上のように、請求項１乃至５に記載された静電型インクジェットヘッドに係る発明によれば、破壊防止、特に製造過程でのサージ破壊に強くなり、あるいは個別電極と振動板の間に過電流が流れることによる振動板の固着防止ができヘッドの製造歩留まりの向上、コストダウン、信頼性向上ができる。また、シリコンのＰＮ接合ダイオードの降伏電圧（ＶＢ）を用いることでクランプ電圧の設定が不純物濃度で再現性、制御性よく容易に行うことができるため安定生産が可能になる。また、駆動電圧以上の電圧が個別電極に印加されると個別電極周りの絶縁層の弱い部分から短絡がはじまる。即ち、本発明によれば、クランプ電圧を駆動電圧に近づけることが可能となり、その確率が低くなり弱い部分の破壊が減少する。これにより製造歩留まり向上、コストダウン、信頼性向上が可能になる。また、個別電極材料の金属あるいは金属窒化物とＰＮ接合ダイオードとのオーミックコンタクトを容易にとることができ、安定なクランプ電圧の設定が可能となりヘッド特性を安定させることができる。
また、請求項６の発明によれば、請求項１乃至４のいずれかに記載され、上記したとおりの種々の優れた特性を有する静電型インクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置が提供される。さらに請求項７の発明によれば、請求項６に記載の高性能インクジェット記録装置を備えた画像形成装置が提供される。