【手続補正書】
【提出日】平成18年1月25日(2006.1.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記第２ガス遮断室５は、図１および図６に示すように、略密閉型の略箱状体であり、上記第１チャンバー４および第２チャンバー６の下部に配置されている。そして、第２ガス遮断室５の天井部には、上記第１チャンバー４の排出口４６（図５参照）からフィルム１０ａを導入する入口５５と、その導入されたフィルム１０ａを第２チャンバー６に排出する出口５６とが形成されている。また、第２ガス遮断室５の内部には、２本の自由回転可能な遮断ローラ５１が平行に設けられ、これら２本の遮断ローラ５１の間に、モーター等の駆動源５３により回転駆動される駆動ローラ５２が設けられている。そして、各遮断ローラ５１および駆動ローラ５２は、第２ガス遮断室５の手前側の壁面から奥側の壁面に延びている。また、第２ガス遮断室５の内周部では、天井部から各遮断ローラ５１に向かってそれぞれ１枚以上（図７では、２枚）の遮断板（突設体：板状体）５７が各遮断ローラ５１に沿って突設されており、各遮断板５７の先端と各遮断ローラ５１の外周面との隙間Ｄ2 （図７参照）が０．２ｍｍ程度に設定されている。その隙間Ｄ2 は、遮断ローラ５１に沿う所定の位置で、上記遮断板５７の突出量を調節することにより、適宜変えることができるようになっている。これにより、遮断ローラ５１が撓んでも、その撓みに対応して上記隙間Ｄ2 を調節することができるようになっている。さらに、第２ガス遮断室５の内周部では、図示の下側左右角部に、斜板５８が手前側の壁面から奥側の壁面に延びており、各斜板５８と各遮断ローラ５１の外周面との隙間Ｄ3 （図７参照）が狭く設定されている（フィルム１０ａに接触してフィルム１０ａを傷つけることがない間隔であればよい）。さらに、第２ガス遮断室５の内周部では、天井部から駆動ローラ５２に向かって上側遮断部材５９ａが駆動ローラ５２に沿って突設されており、底部から駆動ローラ５２に向かって下側遮断部材（突設体）５９ｂが駆動ローラ５２に沿って突設されている。上記上側遮断部材５９ａの先端面は、平面に形成されており、下側遮断部材５９ｂの先端面は、対面する駆動ローラ５２の外周面に沿った曲面に形成されている。そして、下側遮断部材５９ｂの先端面と駆動ローラ５２の外周面との隙間Ｄ4 （図７参照）が０．２ｍｍ程度に設定され、上側遮断部材５９ａの先端面と駆動ローラ５２の外周面との隙間Ｄ5 （図７参照）も狭く設定されている（フィルム１０ａに接触してフィルム１０ａを傷つけることがない間隔であればよい）。それら隙間Ｄ4 ，Ｄ5 も、駆動ローラ５２に沿う所定の位置で、上記下側遮断部材５９ｂ，上側遮断部材５９ａの突出量を調節することにより、適宜変えることができるようになっている。これにより、駆動ローラ５２が撓んでも、その撓みに対応して上記隙間Ｄ4 ，Ｄ5 を調節することができるようになっている。そして、上記入口５５から導入されたフィルム１０ａは、各遮断ローラ５１と駆動ローラ５２との間を各遮断ローラ５１の外周面および駆動ローラ５２の外周面と接した状態で走行して、出口５６に導かれるようになっており、そのフィルム１０ａの走行により、各遮断ローラ５１が連れ回り、フィルム１０ａに帯同するガスが殆ど遮断されるとともに、フィルム１０ａの走行方向が転換す���ようになっている。すなわち、各遮断ローラ５１の外周面および駆動ローラ５２の外周面は、フィルム１０ａに接し、それ以外の第２ガス遮断室５の内壁面，斜板５８，上側遮断部材５９ａ等には接しないようになっている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
上記第３ガス遮断室８は、図１に示すように、略密閉型の略箱状体であり、その天井部には、第２チャンバー６の排出口６６（図５参照）から第２搬送室７を介して連通し第２搬送室７の出口７６（図４参照）からフィルム１０ａを導入する入口が形成されており、その底部には、その導入されたフィルム１０ａを排出する出口が形成されている。そして、第３ガス遮断室８の内部では、上記入口側に、上記第１ガス遮断室２と同様にして、平行に対設される左右２本一組の自由回転可能な遮断ローラ８１が設けられ、上記出口側に、１本の自由回転可能なガイドローラ８２が設けられている。そして、各遮断ローラ８１およびガイドローラ８２は、第３ガス遮断室８の手前側の壁面から奥側の壁面に延びている。また、第３ガス遮断室８の内周部では、図３に示すように、図示の左右の各壁部から各遮断ローラ８１に向かってそれぞれ１枚以上（図３では、２枚）の遮断板（突設体：板状体）８７が各遮断ローラ８１に沿って突設されており、各遮断板８７の先端と各遮断ローラ８１の外周面との隙間Ｄ1 が０．２ｍｍ程度に設定されている。その隙間Ｄ1 は、遮断ローラ８１に沿う所定の位置で、上記遮断板８７の突出量を調節することにより、適宜変えることができるようになっている。これにより、遮断ローラ８１が撓んでも、その撓みに対応して上記隙間Ｄ1 を調節することができるようになっている。さらに、図１において、第３ガス遮断室８は、一組の遮断ローラ８１の間隔を開け、フィルム１０ａの装着や第３ガス遮断室８の内部のメンテナンス等をし易くするため、上記ガイドレールＲに沿って、図示の左右に手動で分割されるようになっている。そして、第３ガス遮断室８は、分割されていない状態では、分割面が気密に当接している。なお、図において、８３は手動分割するための把手である。そして、上記入口から導入されたフィルム１０ａは、２本の遮断ローラ８１の間を各遮断ローラ８１と接した状態で走行するとともに、ガイドローラ８２の外周面に接した状態で走行して、上記出口に導かれるようになっており、そのフィルム１０ａの走行により、各遮断ローラ８１が連れ回り、フィルム１０ａに帯同するガスが殆ど遮断されるようになっている。すなわち、各遮断ローラ８１の外周面およびガイドローラ８２の外周面は、フィルム１０ａに接し、それ以外の第３ガス遮断室８の内壁面等には接しないようになっている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
このような大気圧プラズマによる表面処理等において、上記第１ガス遮断室２では、フィルム１０ａに帯同して外部の空気が入口２５から入り込むが、その入口２５側に設けられた２本の遮断ローラ２１により、そのフィルム１０ａに帯同する空気が殆ど遮断される。すなわち、上記入口２５から導入されたフィルム１０ａは、２本の遮断ローラ２１が連れ回るようにその２本の遮断ローラ２１の間を走行するため、その２本の遮断ローラ２１が障壁となってフィルム１０ａに帯同する空気が殆ど遮断される。しかも、第１ガス遮断室２の内周部では、図３に示す左右部で、各遮断板２７の先端と各遮断ローラ２１の外周面との隙間Ｄ1 を０．２ｍｍ程度に設定することにより、フィルム１０ａに帯同する空気以外の空気も殆ど遮断されるようになっている。特に、図３に示すように、２枚の遮断板２７が隙間をあけて対向している場合には、空気が進入しようとしても、上記隙間で乱流になるため、空気は２枚の遮断板２７を通過に難く、空気遮断構造として非常に有効である。これは、遮断板２７が３枚以上設けられ、遮断板２７同士が隙間をあけて対向している場合も同様である。