【手続補正書】
【提出日】平成17年12月22日(2005.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージに載置される観察体の観察部位に前記観察体に対峙される対物レンズの焦点を合わせるため、前記対物レンズの光軸方向に前記ステージ及び前記対物レンズのうち少なくとも一方を移動させて合焦制御を行う合焦制御手段と、
前記合焦制御手段による合焦制御に用いられる合焦制御パラメータを設定する合焦制御パラメータ設定手段と、
前記観察部位のパターン画像を取得する画像取得手段と、
前記画像取得手段により取得されたパターン画像を保存する画像保存手段と、
前記ステージ及び前記対物レンズのうち少なくとも一方を前記対物レンズの光軸に直交する方向に移動して前記観察体内の観察部位を第１の観察部位から第２の観察部位に変更する観察部位変更手段と、
前記画像取得手段によって取得された前記観察体内の第１の観察部位のパターン画像と第２の観察部位のパターン画像とを比較して、前記第１の観察部位及び前記第２の観察部位のパターンのうち少なくとも一方の欠陥を検出する検出手段と、
を有し、
前記第２の観察部位のパターン画像取得時の合焦制御に用いる合焦制御パラメータは、前記画像取得手段が前記第１の観察部位のパターン画像取得時の合焦制御により得られた標本情報に基づいて決定される、
ことを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２】
前記画像取得手段は、前記第２の観察部位のパターン画像取得時に前記合焦制御が失敗となったとき、前記合焦制御パラメータを初期値に変更し、この初期値である合焦制御パラメータに従って合焦制御を行い、前記第２の観察部位のパターン画像を取得する、
ことを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項３】
前記画像取得手段は、前記第２の観察部位のパターン画像取得時に前記合焦制御が失敗となったとき、前記第１の観察部位のパターン画像取得時に得られた合焦位置を、前記第２の観察部位の合焦位置とみなして、前記第２の観察部位のパターン画像を取得する、
ことを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項４】 
対物レンズを介してステージに載置される観察体を照明する照明手段と、
前記照明手段による照明条件を制御する照明制御手段と、
前記観察体における観察部位のパターン画像を取得する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像時の露出、ゲインのうち少なくとも一方を制御する撮像制御手段と、
前記画像取得手段により取得されたパターン画像を保存する画像保存手段と、
前記ステージ及び前記対物レンズのうち少なくとも一方を前記対物レンズの光軸に直交する方向に移動して前記観察体内の観察部位を第１の観察部位から第２の観察部位に変更する観察部位変更手段と、
前記画像取得手段によって取得された前記観察体内の第１の観察部位のパターン画像と前記第２の観察部位のパターン画像とを比較して、前記第１の観察部位及び前記第２の観察部位のパターンのうち少なくとも一方の欠陥を検出する検出手段と、
前記第１の観察部位のパターン画像及び前記第２の観察部位のパターン画像の撮像時における撮像条件が一致するよう前記照明制御手段及び前記撮像制御手段のうち少なくとも一方を制御する画像取得制御手段と、
を有することを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項５】
ステージに載置される観察体の検査画像を、前記観察体に対峙された対物レンズを介して取得し、基準画像と前記検査画像との比較によって前記観察体の欠陥検出を行う欠陥検査方法において、
前記ステージ及び前記対物レンズのうち少なくとも一方を前記対物レンズの光軸に直交する方向へ駆動して前記観察体の第１の観察部位へ移動し、
前記第１の観察部位に焦点を合わせるように第１の合焦制御パラメータに従って合焦制御を行い、
前記合焦制御により得られた標本情報に基づいて第２の合焦制御パラメータを決定し、
前記合焦制御によって合焦とされた前記第１の観察部位のパターン画像を取得し、
前記ステージ及び前記対物レンズのうち少なくとも一方を前記対物レンズの光軸に直交する方向へ駆動して前記観察位置を前記観察体内の第２の観察部位へ移動し、
前記第２の観察部位に焦点を合わせるように前記第２の合焦制御パラメータに従って合焦制御を行い、
前記合焦制御によって合焦とされた前記第２の観察部位のパターン画像を取得し、
前記第１の観察部位のパターン画像と前記第２の観察部位のパターン画像とを比較して、前記第１の観察部位及び前記第２の観察部位のパターンのうち少なくとも一方の欠陥を検出する、
ことを特徴とする欠陥検査方法。
【請求項６】
ステージに載置される観察体の検査画像を、前記観察体に対峙された対物レンズを介して取得し、基準画像と前記検査画像との比較によって前記観察体の欠陥検出を行う欠陥検査方法において、
前記ステージ及び前記対物レンズのうち少なくとも一方を前記対物レンズの光軸に直交する方向へ駆動して前記観察体の第１の観察部位へ移動し、
前記第１の観察部位に焦点を合わせるように合焦制御を行い、
前記観察体に対する照明の照明情報を取得し、
前記第１の観察部位のパターン画像を取得し、
前記第１の観察部位の撮像時における撮像情報を取得し、前記第１の観察部位を撮像してパターン画像を取得するとともに、この画像取得時における前記観察体への照明条件及び前記撮像条件のうち少なくとも一方を含む画像取得情報を取得し、
前記観察体の観察位置を前記観察体内の第２の観察部位へ移動させるように前記ステージ及び前記対物レンズのうち少なくとも一方を駆動し、
前記第２の観察部位に焦点を合わせるように合焦制御を行い、
前記取得した画像取得情報に基づいて、前記第１の観察部位の撮像時と同一の条件で撮像して前記第２の観察部位のパターン画像を取得し、
前記第１の観察部位のパターン画像と前記第２の観察部位のパターン画像とを比較して、前記第１の観察部位及び前記第２の観察部位のパターンのうち少なくとも一方の欠陥を検出する、
ことを特徴とする欠陥検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】 請求項１に係る本願発明は、ステージに載置される観察体の観察部位に観察体に対峙される対物レンズの焦点を合わせるため、対物レンズの光軸方向にステージ及び対物レンズのうち少なくとも一方を移動させて合焦制御を行う合焦制御手段と、合焦制御手段による合焦制御に用いられる合焦制御パラメータを設定する合焦制御パラメータ設定手段と、観察部位のパターン画像を取得する画像取得手段と、画像取得手段により取得されたパターン画像を保存する画像保存手段と、ステージ及び対物レンズのうち少なくとも一方を対物レンズの光軸に直交する方向に移動して観察体内の観察部位を第１の観察部位から第２の観察部位に変更する観察部位変更手段と、画像取得手段によって取得された観察体内の第１の観察部位のパターン画像と第２の観察部位のパターン画像とを比較して、第１の観察部位及び第２の観察部位のパターンのうち少なくとも一方の欠陥を検出する検出手段と、を有し、第２の観察部位のパターン画像取得時の合焦制御に用いる合焦制御パラメータは、画像取得手段が第１の観察部位のパターン画像取得時の合焦制御により得られた標本情報に基づいて決定される欠陥検査装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記の構成によれば、第１の観察部位に対して行った合焦制御により得られた標本情報を基に、第２の観察部位に対する合焦制御に用いられる合焦制御パラメータとして、合焦速度及び合焦精度を向上させるのに最適な合焦制御パラメータを設定することができるので、欠陥検出精度及びスループットを飛躍的に向上させることができる。尚、標本情報とは、例えば、合焦位置や標本からの反射光に応じた光量等である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、請求項２に係る本願発明は、画像取得手段は、第２の観察部位のパターン画像取得時に合焦制御が失敗となったとき、合焦制御パラメータを初期値に変更し、この初期値である合焦制御パラメータに従って合焦制御を行い、第２の観察部位のパターン画像を取得する構成である。
上記構成によれば、第２の観察部位に対する合焦制御が失敗したときは、初期値である合焦制御パラメータに従って再び合焦制御が行われるので、欠陥検出をより確実に行うことが可能になる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、請求項３に係る本願発明は、画像取得手段は、第２の観察部位のパターン画像取得時に合焦制御が失敗となったとき、第１の観察部位のパターン画像取得時に得られた合焦位置を、第２の観察部位の合焦位置とみなして、第２の観察部位のパターン画像を取得する構成である。
上記構成によれば、第２の観察部位に対する合焦制御が失敗したときは、第１の観察部位の合焦位置を検査対象部位の合焦位置とみなして検査対象部位のパターン画像が取得されるので、検査対象部位のパターン画像を確実に取得することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
対物レンズを介してステージに載置される観察体を照明する照明手段と、照明手段による照明条件を制御する照明制御手段と、観察体における観察部位のパターン画像を取得する撮像手段と、撮像手段による撮像時の露出、ゲインのうち少なくとも一方を制御する撮像制御手段と、画像取得手段により取得されたパターン画像を保存する画像保存手段と、ステージ及び前記対物レンズのうち少なくとも一方を前記対物レンズの光軸に直交する方向に移動して前記観察体内の観察部位を第１の観察部位から第２の観察部位に変更する観察部位変更手段と、画像取得手段によって取得された観察体内の第１の観察部位のパターン画像と第２の観察部位のパターン画像とを比較して、第１の観察部位及び第２の観察部位のパターンのうち少なくとも一方の欠陥を検出する検出手段と、第１の観察部位のパターン画像及び第２の観察部位のパターン画像の撮像時における撮像条件が一致するよう照明制御手段及び撮像制御手段のうち少なくとも一方を制御する画像取得制御手段と、を有する欠陥検査装置である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
上記構成によれば、第１の観察部位の画像取得時における画像取得情報を基に、第２の観察部位の画像取得時の撮像条件を最適に調整できるので、理想的なパターンマッチングを行うことができ、欠陥検出精度及びスループットを飛躍的に向上させることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、請求項５に係る本願発明は、ステージに載置される観察体の検査画像を、観察体に対峙された対物レンズを介して取得し、基準画像と検査画像との比較によって観察体の欠陥検出を行う欠陥検査方法において、ステージ及び対物レンズのうち少なくとも一方を対物レンズの光軸に直交する方向へ駆動して観察体の第１の観察部位へ移動し、第１の観察部位に焦点を合わせるように第１の合焦制御パラメータに従って合焦制御を行い、合焦制御により得られた標本情報に基づいて第２の合焦制御パラメータを決定し、合焦制御によって合焦とされた前記第１の観察部位のパターン画像を取得し、ステージ及び対物レンズのうち少なくとも一方を対物レンズの光軸に直交する方向へ駆動して観察位置を観察体内の第２の観察部位へ移動し、第２の観察部位に焦点を合わせるように第２の合焦制御パラメータに従って合焦制御を行い、合焦制御によって合焦とされた第２の観察部位のパターン画像を取得し、第１の観察部位のパターン画像と第２の観察部位のパターン画像とを比較して、第１の観察部位及び第２の観察部位のパターンのうち少なくとも一方の欠陥を検出する欠陥検査方法である。
上記方法によれば、第１の観察部位に対して行った合焦制御により得られた標本情報を基に、第２の観察部位に対する合焦制御に用いられる第２の合焦制御パラメータとして、合焦速度及び合焦精度を向上させるのに最適な合焦制御パラメータを設定することができるので、欠陥検出精度及びスループットを飛躍的に向上させることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、請求項６に係る本願発明は、ステージに載置される観察体の検査画像を、観察体に対峙された対物レンズを介して取得し、基準画像と検査画像との比較によって観察体の欠陥検出を行う欠陥検査方法において、ステージ及び対物レンズのうち少なくとも一方を対物レンズの光軸に直交する方向へ駆動して観察体の第１の観察部位へ移動し、第１の観察部位に焦点を合わせるように合焦制御を行い、観察体に対する照明の照明情報を取得し、第１の観察部位のパターン画像を取得し、第１の観察部位の撮像時における撮像情報を取得し、第１の観察部位を撮像してパターン画像を取得するとともに、この画像取得時における前記観察体への照明条件及び撮像条件のうち少なくとも一方を含む画像取得情報を取得し、観察体の観察位置を観察体内の第２の観察部位へ移動させるようにステージ及び対物レンズのうち少なくとも一方を駆動し、第２の観察部位に焦点を合わせるように合焦制御を行い、取得した画像取得情報に基づいて、第１の観察部位の撮像時と同一の条件で撮像して第２の観察部位のパターン画像を取得し、第１の観察部位のパターン画像と第２の観察部位のパターン画像とを比較して、第１の観察部位及び第２の観察部位のパターンのうち少なくとも一方の欠陥を検出する欠陥検査方法である。
上記方法によれば、第１の観察部位の画像取得時における画像取得情報を基に、第２の観察部位の画像取得時の照明条件や撮像条件を最適に調整できるので、理想的なパターンマッチングを行うことができ、欠陥検出精度及びスループットを飛躍的に向上させることができる。