【手続補正書】
【提出日】平成18年5月19日(2006.5.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  第１面の像を第２面上に形成する投影光学系において、
前記第１面の第１中間像を形成するための第１結像光学系と、少なくとも１つの凹面反射鏡を有し前記第１中間像からの光束に基づいて第２中間像を形成するための第２結像光学系と、前記第２中間像からの光束に基づいて最終像を前記第２面上に形成するための第３結像光学系とを備え、
前記凹面反射鏡の有効直径をＥｃとし、前記第２面上の投影視野の有効直径をＩｃとし、前記投影光学系の像側開口数をＮａとするとき、
Ｅｃ／（Ｎａ×Ｉｃ）＜１０
の条件を満足することを特徴とする投影光学系。
【請求項２】  前記第１面と前記第２面との距離をＬとし、前記第２面上の投影視野の有効直径をＩｃとし、前記投影光学系の像側開口数をＮａとするとき、
Ｌ／（Ｎａ×Ｉｃ）＜６３
の条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の投影光学系。
【請求項３】  第１面の像を第２面上に形成する投影光学系において、
前記第１面の第１中間像を形成するための第１結像光学系と、少なくとも１つの凹面反射鏡を有し前記第１中間像からの光束に基づいて第２中間像を形成するための第２結像光学系と、前記第２中間像からの光束に基づいて最終像を前記第２面上に形成するための第３結像光学系とを備え、
前記第１面と前記第２面との距離をＬとし、前記第２面上の投影視野の有効直径をＩｃとし、前記投影光学系の像側開口数をＮａとするとき、
Ｌ／（Ｎａ×Ｉｃ）＜６３
の条件を満足することを特徴とする投影光学系。
【請求項４】  前記第１結像光学系の光軸と前記第３結像光学系の光軸とがほぼ一致するように設定され、
前記第１結像光学系と前記第２結像光学系との間の光路中に配置された第１偏向鏡と、前記第２結像光学系と前記第３結像光学系との間の光路中に配置された第２偏向鏡とをさらに備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の投影光学系。
【請求項５】  前記凹面反射鏡の反射面の中心と前記第１結像光学系の光軸との距離をＨとし、前記第２面上の投影視野の有効直径をＩｃとし、前記投影光学系の像側開口数をＮａとするとき、
Ｈ／（Ｎａ×Ｉｃ）＜１５．５
の条件を満足することを特徴とする請求項４に記載の投影光学系。
【請求項６】  第１面の像を第２面上に形成する投影光学系において、
前記第１面の第１中間像を形成するための第１結像光学系と、少なくとも１つの凹面反射鏡を有し前記第１中間像からの光束に基づいて第２中間像を形成するための第２結像光学系と、前記第２中間像からの光束に基づいて最終像を前記第２面上に形成するための第３結像光学系と、前記第１結像光学系と前記第２結像光学系との間の光路中に配置された第１偏向鏡と、前記第２結像光学系と前記第３結像光学系との間の光路中に配置された第２偏向鏡とを備え、
前記第１結像光学系の光軸と前記第３結像光学系の光軸とがほぼ一致するように設定され、
前記凹面反射鏡の反射面の中心と前記第１結像光学系の光軸との距離をＨとし、前記第２面上の投影視野の有効直径をＩｃとし、前記投影光学系の像側開口数をＮａとするとき、
Ｈ／（Ｎａ×Ｉｃ）＜１５．５
の条件を満足することを特徴とする投影光学系。
【請求項７】  前記投影光学系は、少なくとも６つの非球面形状の光学面を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の投影光学系。
【請求項８】  前記第１結像光学系、前記第２結像光学系および前記第３結像光学系は、それぞれ少なくとも１つの非球面形状の光学面を有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の投影光学系。
【請求項９】  前記第１面の縮小像を前記第２面上に形成することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の投影光学系。
【請求項１０】  前記第１面に設定されたパターンを照明するための照明系と、前記パターンの像を前記第２面に設定された感光性基板上に形成するための請求項１乃至９のいずれか１項に記載の投影光学系とを備えていることを特徴とする露光装置。
【請求項１１】  前記感光性基板上における実効露光領域は、前記第３結像光学系の光軸から所定距離だけ離れた中心を有する矩形状の領域であることを特徴とする請求項１０に記載の露光装置。
【請求項１２】  前記第１面に設定されたパターンを照明し、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の投影光学系を介して前記パターンの像を前記第２面に設定された感光性基板上に投影露光することを特徴とする露光方法。
【請求項１３】  前記感光性基板上における実効露光領域は、前記第３結像光学系の光軸から所定距離だけ離れた中心を有する矩形状の領域であることを特徴とする請求項１２に記載の露光方法。
【請求項１４】  前記第１面に設定されたパターンを照明し、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の投影光学系を介して前記パターンの像を前記第２面に設定された感光性基板上に投影露光し、該感光性基板を現像することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１５】  前記感光性基板上における実効露光領域は、前記第３結像光学系の光軸から所定距離だけ離れた中心を有する矩形状の領域であることを特徴とする請求項１４に記載のデバイス製造方法。
【請求項１６】  第１面と第２面とを光学的に共役にする投影光学系であって、
前記第１面と前記第２面との間の光路中に配置される第１結像光学系と、前記第１結像光学系と前記第２面との間の光路中に配置されて少なくとも１つの凹面反射鏡を有する第２結像光学系と、前記第２結像光学系と前記第２面との間の光路中に配置される第３結像光学系とを備え、
前記第１結像光学系と前記第２結像光学系との間の光路中に前記第１面と光学的に共役な面を形成すると共に、前記第２結像光学系と前記第３結像光学系との間の光路中に前記第１面と光学的に共役な面を形成し、
前記凹面反射鏡の有効直径をＥｃとし、前記第２面上の視野または投影視野の有効直径をＩｃとし、前記投影光学系の前記第２面側の開口数をＮａとするとき、
Ｅｃ／（Ｎａ×Ｉｃ）＜１０
の条件を満足することを特徴とする投影光学系。
【請求項１７】  前記第１面と前記第２面との距離をＬとし、前記第２面上の視野または投影視野の有効直径をＩｃとし、前記投影光学系の前記第２面側の開口数をＮａとするとき、
Ｌ／（Ｎａ×Ｉｃ）＜６３
の条件を満足することを特徴とする請求項１６に記載の投影光学系。
【請求項１８】  第１面と第２面とを光学的に共役にする投影光学系であって、
前記第１面と前記第２面との間の光路中に配置される第１結像光学系と、前記第１結像光学系と前記第２面との間の光路中に配置されて少なくとも１つの凹面反射鏡を有する第２結像光学系と、前記第２結像光学系と前記第２面との間の光路中に配置される第３結像光学系とを備え、
前記第１結像光学系と前記第２結像光学系との間の光路中に前記第１面と光学的に共役な面を形成すると共に、前記第２結像光学系と前記第３結像光学系との間の光路中に前記第１面と光学的に共役な面を形成し、
前記第１面と前記第２面との距離をＬとし、前記第２面上の視野または投影視野の有効直径をＩｃとし、前記投影光学系の前記第２面側の開口数をＮａとするとき、
Ｌ／（Ｎａ×Ｉｃ）＜６３
の条件を満足することを特徴とする投影光学系。
【請求項１９】  前記第１結像光学系の光軸と前記第３結像光学系の光軸とがほぼ一致するように設定され、
前記第１結像光学系と前記第２結像光学系との間の光路中に配置された第１偏向鏡と、前記第２結像光学系と前記第３結像光学系との間の光路中に配置された第２偏向鏡とをさらに備えていることを特徴とする請求項１６乃至１８のいずれか１項に記載の投影光学系。
【請求項２０】  前記凹面反射鏡の反射面の中心と前記第１結像光学系の光軸との距離をＨとし、前記第２面上の視野または投影視野の有効直径をＩｃとし、前記投影光学系の前記第２面側の開口数をＮａとするとき、
Ｈ／（Ｎａ×Ｉｃ）＜１５．５
の条件を満足することを特徴とする請求項１９に記載の投影光学系。
【請求項２１】  第１面と第２面とを光学的に共役にする投影光学系であって、
前記第１面と前記第２面との間の光路中に配置される第１結像光学系と、前記第１結像光学系と前記第２面との間の光路中に配置されて少なくとも１つの凹面反射鏡を有する第２結像光学系と、前記第２結像光学系と前記第２面との間の光路中に配置される第３結像光学系と、前記第１結像光学系と前記第２結像光学系との間の光路中に配置された第１偏向鏡と、前記第２結像光学系と前記第３結像光学系との間の光路中に配置された第２偏向鏡とを備え、
前記第１結像光学系と前記第２結像光学系との間の光路中に前記第１面と光学的に共役な面を形成すると共に、前記第２結像光学系と前記第３結像光学系との間の光路中に前記第１面と光学的に共役な面を形成し、
前記第１結像光学系の光軸と前記第３結像光学系の光軸とがほぼ一致するように設定され、
前記凹面反射鏡の反射面の中心と前記第１結像光学系の光軸との距離をＨとし、前記第２面上の視野または投影視野の有効直径をＩｃとし、前記投影光学系の前記第２面側の開口数をＮａとするとき、
Ｈ／（Ｎａ×Ｉｃ）＜１５．５
の条件を満足することを特徴とする投影光学系。
【請求項２２】  前記投影光学系の第１面側の開口数よりも第２面側の開口数の方が大きく設定されていることを特徴とする請求項１６乃至２１のいずれか１項に記載の投影光学系。
【請求項２３】  前記第１面の縮小像を前記第２面上に形成することを特徴とする請求項２２に記載の投影光学系。
【請求項２４】  前記投影光学系は、少なくとも６つの非球面形状の光学面を有することを特徴とする請求項１６乃至２３のいずれか１項に記載の投影光学系。
【請求項２５】  前記第１結像光学系、前記第２結像光学系および前記第３結像光学系は、それぞれ少なくとも１つの非球面形状の光学面を有することを特徴とする請求項１６乃至２４のいずれか１項に記載の投影光学系。