【手続補正書】
【提出日】平成18年7月5日(2006.7.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸を磁気浮上させる少なくとも一対のアキシャル磁気軸受と、該回転軸のアキシャル方向の浮上位置を検出する少なくとも一つのアキシャル変位センサと、該アキシャル変位センサの出力値に基づいて前記回転軸が所定位置で磁気浮上するように前記アキシャル磁気軸受の励磁電流を制御する磁気軸受制御装置とを備え、
前記回転軸の高温部位近傍に前記回転軸と同心円状のセンサターゲットを設け、該センサターゲットと対向する位置に前記アキシャル変位センサを配置したことを特徴とする磁気軸受装置。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気軸受装置において、前記アキシャル変位センサを複数設け、前記複数のアキシャル変位センサはそれぞれコイルを備え、該コイルのインピーダンスの変化に基づいて前記回転軸の変位を検出し、複数の前記コイルを前記回転軸の円周方向に沿って配列し、複数の前記コイルを並列及び／又は直列に接続したことを特徴とする磁気軸受装置。
【請求項３】
請求項１に記載の磁気軸受装置において、前記アキシャル変位センサはコイルを備え、該コイルのインピーダンスの変化に基づいて前記回転軸の変位を検出し、前記コイルの導線を前記回転軸の円周方向に沿って巻回したことを特徴とする磁気軸受装置。
【請求項４】
請求項１に記載の磁気軸受装置において、前記アキシャル変位センサを複数設け、前記複数のアキシャル変位センサを前記回転軸の円周方向に沿って配列し、前記複数のアキシャル変位センサの出力値を平均化する平均化装置を設けたことを特徴とする磁気軸受装置。
【請求項５】
請求項１に記載の磁気軸受装置において、前記アキシャル変位センサを複数設け、前記センサターゲットの前記回転軸の軸方向両側に、該センサターゲットを挟み込むように前記複数のアキシャル変位センサを配置したことを特徴とする磁気軸受装置。
【請求項６】
回転軸を磁気浮上させる少なくとも一対のアキシャル磁気軸受と、該回転軸のアキシャル方向の浮上位置を検出する少なくとも一つのアキシャル変位センサと、該アキシャル変位センサの出力値に基づいて前記回転軸が所定位置で磁気浮上するように前記アキシャル磁気軸受の励磁電流を制御する磁気軸受制御装置と、前記回転軸に取付けられた回転翼と、前記回転翼と対向するように配置された固定翼と、前記回転軸を回転駆動するモータとを備え、
前記回転軸の一方の端部近傍に前記回転翼と前記固定翼とを配置することにより排気部を構成するとともに、前記モータと前記アキシャル磁気軸受とを有する運動制御部を前記回転軸の他方の端部側に配置し、前記排気部の近傍に前記アキシャル変位センサを配置したことを特徴とするターボ型真空ポンプ。
【請求項７】
回転軸を磁気浮上させる少なくとも一対のアキシャル磁気軸受と、前記回転軸に取付けられた回転翼と、前記回転翼と対向するように配置された固定翼と、前記回転軸を回転駆動するモータとを備えたターボ型真空ポンプにおいて、
前記回転軸の一方の端部近傍に前記回転翼と前記固定翼とを配置することにより排気部を構成するとともに、前記回転軸の軸方向の位置を検出する第１のアキシャル変位センサと前記アキシャル磁気軸受とを前記回転軸の他方の端部近傍に配置することにより運動制御部を構成し、
前記排気部の近傍に前記回転軸の軸方向位置を検出する第２のアキシャル変位センサを配置したことと特徴とするターボ型真空ポンプ。
【請求項８】
請求項７に記載のターボ型真空ポンプにおいて、前記第１のアキシャル変位センサ及び前記第２のアキシャル変位センサの出力値に基づいて冷却機構により前記ターボ型真空ポンプの温度を制御することを特徴とするターボ型真空ポンプ。
【請求項９】
請求項７に記載のターボ型真空ポンプにおいて、前記第１のアキシャル変位センサ及び前記第２のアキシャル変位センサの出力値に基づいて警報動作を行うことを特徴とするターボ型真空ポンプ。
【請求項１０】
請求項７に記載のターボ型真空ポンプにおいて、前記運動制御部はハウジング内に収容され、前記ハウジングを構成する材料は、前記回転軸を構成する材料の線膨張係数以上に大きい線膨張係数を有していることを特徴とするターボ型真空ポンプ。
【請求項１１】
請求項７に記載のターボ型真空ポンプにおいて、前記回転翼及び前記固定翼をそれぞれ複数設け、前記複数の回転翼と前記複数の固定翼との間に形成される隙間は、前記第２のアキシャル変位センサから離れるに従って大きくなるように設定されていることを特徴とするターボ型真空ポンプ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
前記アキシャル磁気軸受が機能しないときに前記回転軸を支持する保護ベアリング及び／又は前記アキシャル磁気軸受を前記回転軸の高温部位近傍に配置してもよい。
これにより、回転軸をアキシャル方向に支持する保護ベアリングを回転軸の高温部位近傍に配置することにより、回転軸が熱膨張した場合であっても、回転軸と保護ベアリングとの接触を防止することができる。また、本発明によれば、上記アキシャル磁気軸受を回転軸の高温部位近傍に配置することにより、アキシャル磁気軸受と回転軸に取付けられた磁気軸受ターゲット間の隙間をよりいっそう狭く設定することができる。これにより、アキシャル磁気軸受の駆動コイルに流す電流を減少させて消費電力を低減することができ、駆動コイルの径や巻回数を減らしてアキシャル磁気軸受の小型化を図ることが可能となる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
上記ターボ型真空ポンプにおいて、前記アキシャル磁気軸受が機能しないときに前記回転軸を支持する保護ベアリング及び／又は前記アキシャル磁気軸受を前記排気部の近傍に配置してもよい。
これにより、回転軸をアキシャル方向に支持する保護ベアリングを回転軸の高温部位近傍に配置することにより、回転軸が熱膨張した場合であっても、回転軸と保護ベアリングとの接触を防止することができる。また、一般に、吸気口と排気口との圧力差が大きい広帯域ターボ型真空ポンプでは、上記圧力差に起因して回転軸にアキシャル方向の大きな力が作用する。本発明によれば、アキシャル磁気軸受を高温部位近傍に配置することにより、アキシャル磁気軸受と回転軸に取付けられた磁気軸受ターゲット間の隙間をよりいっそう狭く設定することができる。その結果としてアキシャル磁気軸受は、上記アキシャル方向の力に対応した磁気吸引力を発生することができる。さらに、アキシャル磁気軸受の駆動コイルに流す電流を減少させて消費電力を低減することができ、駆動コイルの径や巻回数を減らしてターボ型真空ポンプの小型化を図ることが可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、上記ターボ型真空ポンプにおいて、前記アキシャル変位センサを複数設け、前記複数のアキシャル変位センサはそれぞれコイルを備え、該コイルのインピーダンスの変化に基づいて前記回転軸の変位を検出し、複数の前記コイルを前記回転軸の円周方向に沿って配列し、複数の前記コイルを並列及び／又は直列に接続してもよい。
また、前記アキシャル変位センサはコイルを備え、該コイルのインピーダンスの変化に基づいて前記回転軸の変位を検出し、前記コイルの導線を前記回転軸の円周方向に沿って巻回してもよい。
また、前記アキシャル変位センサを複数設け、前記複数のアキシャル変位センサを前記回転軸の円周方向に沿って配列し、前記複数のアキシャル変位センサの出力値を平均化する平均化装置を設けてもよい。
また、前記アキシャル変位センサを複数設け、センサターゲットの前記回転軸の軸方向両側に、該センサターゲットを挟み込むように前記複数のアキシャル変位センサを配置してもよい。