【手続補正書】
【提出日】平成18年7月14日(2006.7.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルタの反射波長域にある第１の特定の波長λａの入射光を反射し、フィルタの透過波長域にある第２の特定の波長λｂの入射光を透過する特性のエッジフィルタとしての機能を有する多層膜を有する多層膜エッジフィルタ（以下、多層膜フィルタともいう）において、層Ｈと定義する屈折率が高い方の層である層Ｈと、層Ｌと定義する屈折率が低い方の層である層Ｌをそれぞれ単層膜と定義して、前記多層膜フィルタは層Ｈと層Ｌを交互に重ねてフィルタ機能を有するように形成されており、少なくとも波長が１３００ｎｍと１４８０ｎｍと１５００ｎｍの３種類の光は前記第２の特定の波長λｂに含まれるとともに波長が１５５０ｎｍの光は前記第１の特定の波長λａに含まれ、入射光線（以下、入射ビームともいう）が入射点における前記多層膜フィルタの入射面の面法線となす角をθとし、前記角度θがゼロでない値であるとして、入射ビームの入射点における前記多層膜フィルタの前記入射ビームに対して傾斜した入射面の面法線と入射方向を含む平面に対して垂直方向の偏波をＳ偏波、Ｓ偏波に直交する方向の偏波をＰ偏波とし、前記多層膜フィルタの入射面に入射する入射ビームを延長した直線が前記多層膜フィルタの出射面と交わる点を交点（Ｐ１）とし、同一の入射点に入射する波長がそれぞれ１３００ｎｍと１４８０ｎｍと１５００ｎｍの各Ｓ偏波とＰ偏波が前記多層膜フィルタを透過して前記多層膜フィルタの出射面から出射する出射点をそれぞれ出射点（１３００Ｓ），出射点（１３００Ｐ），出射点（１４８０Ｓ），出射点（１４８０Ｐ），出射点（１５００Ｓ），出射点（１５００Ｐ）とし、前記各出射点における各出射交線と出射面の面法線となす角をθ（０）とし、角θは入射ビームの進行方向を右にして入射面の面法線から入射ビームに反時計回りに測った鋭角の値を正の角とし、角θ（０）は出射ビームの進行方向を右にして出射面の面法線から出射ビームに反時計回りに測った鋭角の値を正の角として、前記入射点における入射面の面法線を含む直線が出射面と交わる点を交点（Ｐ０）とし、交点（Ｐ０）と交点（Ｐ１）と出射点（１３００Ｓ）と出射点（１３００Ｐ）と出射点（１４８０Ｓ）と出射点（１４８０Ｐ）と出射点（１５００Ｓ）と出射点（１５００Ｐ）を通る座標軸において、交点（Ｐ０）を座標原点として、交点（Ｐ０）から交点（Ｐ１）に向かう方向を座標軸の正の方向とするとき、出射点（１３００Ｓ）と出射点（１３００Ｐ）と出射点（１４８０Ｓ）と出射点（１４８０Ｐ）と出射点（１５００Ｓ）と出射点（１５００Ｐ）はすべて交点（Ｐ１）に関して交点（Ｐ０）と反対側に位置するとともに、交点（１）と各出射点の座標は全て正の値をとり、各座標の大小関係は、
交点（１）＜出射点（１３００Ｓ）＜出射点（１４８０Ｓ）＜出射点（１５００Ｓ）であるとともに、
交点（１）＜出射点（１３００Ｐ）＜出射点（１４８０Ｐ）＜出射点（１５００Ｐ）である
ことを特徴とする多層膜エッジフィルタ。
【請求項２】
請求項１に記載の多層膜エッジフィルタにおいて、前記多層膜フィルタの周囲媒質の屈折率をｎ（０）、層Lの屈折率をｎ（Ｌ）、層Hの屈折率をｎ（Ｈ）、前記多層膜を形成する層L全層の合計の物理厚さをｔ（Ｌ）、層H全層の合計の物理厚さをｔ（Ｈ）、入射光の波長λに依存して変化する係数をＡ（λ）とし、前記多層膜フィルタの媒質換算厚みＴを
Ｔ＝ｔ（Ｈ）・ｎ（０）／ｎ（Ｈ）＋ｔ（Ｌ）・ｎ（０）／ｎ（Ｌ）
とするとき、前記多層膜フィルタの多層膜に入射する入射ビームの光軸と前記入射ビームが前記多層膜フィルタの多層膜を透過して前記多層膜から出射する出射ビームの光軸との間に、
δ（２）＝Ａ（λ）・Ｔ・ｔａｎθ
の軸シフトを与え、前記多層膜フィルタを１３００ｎｍと１４８０ｎｍと１５００ｎｍの光を透過する光波長選択回路に用いた場合、前記多層膜フィルタの入射側の光路と出射側の光路の間の軸シフトδ（２）の値として、λが１４８０ｎｍの時の値を用いた場合に、λが１３００ｎｍの時の値を用いた場合やλが１５００ｎｍの時の値を用いた場合よりも良好な損失特性とＰＤＬ特性を有する光波長選択回路を構成することができることを特徴とする多層膜エッジフィルタ。
【請求項３】
フィルタの反射波長域にある第１の特定の波長λａの入射光を反射し、フィルタの透過波長域にある第２の特定の波長λｂの入射光を透過する特性のエッジフィルタとしての機能を有する多層膜を有する多層膜エッジフィルタ（以下、多層膜フィルタともいう）において、層Ｈと定義する屈折率が高い方の層である層Ｈと、層Ｌと定義する屈折率が低い方の層である層Ｌをそれぞれ単層膜と定義して、前記多層膜フィルタは層Ｈと層Ｌを交互に重ねてフィルタ機能を有するように形成されており、少なくとも波長が１３００ｎｍと１４８０ｎｍと１５００ｎｍの３種類の光は前記第２の特定の波長λｂに含まれるとともに波長が１５５０ｎｍの光は前記第１の特定の波長λａに含まれ、前記多層膜フィルタの周囲媒質の屈折率をｎ（０）、層Lの屈折率をｎ（Ｌ）、層Hの屈折率をｎ（Ｈ）、前記多層膜を形成する層L全層の合計の物理厚さをｔ（Ｌ）、層H全層の合計の物理厚さをｔ（Ｈ）、入射光線（以下、入射ビームともいう）が入射点における前記多層膜フィルタの入射面の面法線となす角をθとし、入射ビームの入射点における前記多層膜フィルタの前記入射ビームに対して傾斜した入射面の面法線と入射方向を含む平面に対して垂直方向の偏波をＳ偏波、Ｓ偏波に直交する方向の偏波をＰ偏波として、入射光の波長が１３００ｎｍのＳ偏波に対して０．０５８〜０．０７５の値を取り、入射光の波長が１４８０ｎｍのＳ偏波に対して０．４０〜０．５０の値を取り、入射光の波長が１５００ｎｍのＳ偏波に対して０．６０〜０．９０の値を取り、入射光の波長が１３００ｎｍのＰ偏波に対して０．０６０〜０．０９０の値を取り、入射光の波長が１４８０ｎｍのＰ偏波に対して０．３８〜０．４８の値を取り、入射光の波長が１５００ｎｍのＰ偏波に対して０．５５〜０．７３の値を取るように入射光の波長λに依存して変化する係数をＡ（λ）とし、前記多層膜フィルタの媒質換算厚みＴを
Ｔ＝ｔ（Ｈ）・ｎ（０）／ｎ（Ｈ）＋ｔ（Ｌ）・ｎ（０）／ｎ（Ｌ）
とするとき、
前記多層膜フィルタの多層膜に入射する入射ビームの光軸と前記入射ビームが前記多層膜フィルタの多層膜を透過して前記多層膜から出射する出射ビームの光軸との間に、
δ（２）＝Ａ（λ）・Ｔ・ｔａｎθ
の軸シフトを与えるように、前記角度θで前記多層膜フィルタの多層膜に入射した前記第２の特定の波長λｂの入射ビームが、前記多層膜フィルタの多層膜を透過して前記多層膜から出射することを特徴とする多層膜エッジフィルタ。
【請求項４】
請求項３に記載の多層膜エッジフィルタにおいて、ｐを自然数として、前記多層膜フィルタを透過させて利用する光信号が波長の異なる複数種類の信号であるとき、それらの各波長をλ１，λ２，λ３，・・・λｐとし、前記Ａ（λ）は、Ａ（λ１）〜Ａ（λｐ）の平均値を当該多層膜フィルタの係数Ａ（λ）として取り扱ったことを特徴とする多層膜エッジフィルタ。
【請求項５】
請求項３または４に記載の多層膜エッジフィルタにおいて、入射光の波長λに依存して変化する係数をＧ（λ）とし、前記Ｇ（λ）が、入射光の波長が１５５０ｎｍのＳ偏波に対して０．４７〜０．９１の値を取り、Ｐ偏波に対して０．６５〜０．９６の値を取る係数であるとして、
前記角度θで前記多層膜フィルタの多層膜に入射した前記第１の特定の波長λａの入射ビームが、前記多層膜フィルタの多層膜の表面から、
Ｄ＝０．５ｎ（０）（ｔ（Ｌ）／ｎ（Ｌ）＋ｔ（Ｈ）／ｎ（Ｈ））Ｇ（λ）
で与えられる周囲媒質からの延長で測る見かけの深さ（媒質換算深さ）Ｄの深さから反射したと見なされるように、前記多層膜から出射することを特徴とする多層膜エッジフィルタ。
【請求項６】
請求項３〜５のいずれか１項に記載の多層膜エッジフィルタにおいて、前記係数Ａ（λ）が、入射光の波長が１３００ｎｍのＳ偏波に対して０．０６７〜０．０６９の値を取り、入射光の波長が１４８０ｎｍのＳ偏波に対して０．４２〜０．５０の値を取り、入射光の波長が１５００ｎｍのＳ偏波に対して０．６２５〜０．９００の値を取り、入射光の波長が１３００ｎｍのＰ偏波に対して０．０６０〜０．０９０の値を取り、入射光の波長が１４８０ｎｍのＰ偏波に対して０．３８〜０．４６の値を取り、入射光の波長が１５００ｎｍのＰ偏波に対して０．５６〜０．７３の値を取り、前記係数Ｇ（λ）が、入射光の波長λが１５５０ｎｍのＳ偏波に対して０．５７〜０．７９の範囲の値であり、入射光の波長λが１５５０ｎｍのＰ偏波に対して０．６７〜０．９６の範囲の値であることを特徴とする多層膜エッジフィルタ。
【請求項７】
請求項５または６に記載の多層膜エッジフィルタにおいて、ｑを自然数として、前記多層膜フィルタを反射させて利用する光信号が波長の異なる複数種類の信号であるとき、それらの各波長をλ１，λ２，λ３，・・・λｑとし、前記Ｇ（λ）は、Ｇ（λ１）〜Ｇ（λｑ）の平均値を当該多層膜フィルタの係数Ｇ（λ）として取り扱ったことを特徴とする多層膜エッジフィルタ。
【請求項８】
請求項３〜７のいずれか１項に記載の多層膜エッジフィルタにおいて、前記多層膜フィルタが基板を有していないことを特徴とする多層膜エッジフィルタ。
【請求項９】
請求項３〜７のいずれか１項に記載の多層膜エッジフィルタにおいて、前記多層膜フィルタが基板を有しており、その基板がフッ素化ポリイミド薄膜であることを特徴とする多層膜エッジフィルタ。
【請求項１０】
請求項９に記載の多層膜エッジフィルタにおいて、前記多層膜フィルタの基板の厚みが５μｍであることを特徴とする多層膜エッジフィルタ。
【請求項１１】
請求項３〜１０のいずれか１項に記載の多層膜エッジフィルタにおいて、前記多層膜フィルタの使用される環境での、入射光の好ましい入射角度θが６°〜１０°であることを特徴とする多層膜エッジフィルタ。
【請求項１２】
請求項３〜１１のいずれか１項に記載の多層膜エッジフィルタにおいて、前記多層膜フィルタの透過光に対する前記係数Ａ（λ）の代表値として、波長λが１４８０ｎｍのときの値を用いたことを特徴とする多層膜エッジフィルタ。
【請求項１３】
請求項３〜１２のいずれか１項に記載の多層膜エッジフィルタにおいて、多層膜フィルタを代表する前記係数Ａ（λ）とＧ（λ）の値として、Ｓ偏波に対する前記係数Ａ（λ）とＧ（λ）の各値とＰ偏波に対する前記係数Ａ（λ）とＧ（λ）の各値の平均値を用いたことを特徴とする多層膜エッジフィルタ。
【請求項１４】
請求項３〜１２のいずれか１項に記載の多層膜エッジフィルタにおいて、多層膜フィルタを代表する前記係数Ａ（λ）とＧ（λ）の値として、Ｓ偏波に対する前記係数Ａ（λ）とＧ（λ）の値とＰ偏波に対する前記係数Ａ（λ）とＧ（λ）の値の、Ｓ偏波とＰ偏波の入射光における偏波状況に応じた加重平均値を用いたことを特徴とする多層膜エッジフィルタ。