【手続補正書】
【提出日】平成18年1月18日(2006.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液滴吐出ヘッド及びその製造方法、インクカートリッジ並びにインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルが連通する液流路を形成する流路形成部材と、前記液流路の壁面を形成する振動板及びこの振動板にギャップをおいて対向する個別電極とを有するアクチュエータ基板とを備え、前記振動板を静電力で変形させることで前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の液流路側表面に液に対して耐腐食性を有する耐腐食性膜が形成されるとともに、この耐腐食性膜を構成する材料で前記振動板と個別電極との間に形成される空隙に通じる空隙封止孔が封止されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記空隙封止孔の少なくとも一部が前記振動板に形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記空隙封止孔は前記空隙を形成するために使用された孔であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記耐腐食性膜を構成する材料は前記空隙内へ浸入することなしに空隙封止孔内に充填されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記空隙封止孔は平面形状で角が円弧である略多角形状であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記空隙封止孔は大きさの異なる同心の２つの孔から構成され、前記空隙まで貫通していない外孔と、この外孔に連続して前記空隙まで貫通した内孔で構成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記空隙封止孔は、前記空隙側の開口の一辺、又は、半径が２０μｍを超えない大きさであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記空隙封止孔はアクチュエータ基板の支持基板に平行な面に形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記耐腐食性膜は有機樹脂系膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項９に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記有機樹脂系膜はポリイミド又はポリベンゾオキサゾールであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１１】
請求項１０に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記有機樹脂系膜は回転塗布法によって形成されたものであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１２】
請求項１０に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記有機樹脂系膜は真空蒸着法によって形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１３】
請求項１ないし１２のいずれかにおいて、前記個別電極及びこれと一体の電極配線部は電圧入力パッド部以外が前記耐腐食性膜で被覆されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する製造方法であって、前記振動板を形成する振動板部材と個別電極間の空隙を空隙形成孔を通じて犠牲層エッチングにより形成する空隙形成工程と、前記振動板部材上に耐腐食性膜を形成すると同時に前記空隙形成孔を前記耐腐食性膜により封止する工程とを含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
インクジェットヘッドとこのインクジェットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジにおいて、前記インクジェットヘッドが前記請求項１ないし１３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項１６】
インク滴を吐出して画像を記録するインクジェット記録装置において、前記請求項１ないし１３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド又は請求項１４に記載のインクカートリッジを搭載することを特徴とするインクジェト記録装置。
【請求項１７】
液滴吐出ヘッドを備えた画像形成装置において、前記請求項１ないし１３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【請求項１８】
液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する装置において、前記請求項１ないし１３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液滴を吐出する装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は液滴吐出ヘッド及びその製造方法、インクカートリッジ並びにインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、低コストで、液体による腐食及び外界からの影響を防止した安定した滴吐出特性が得られる長期信頼性の高い液滴吐出ヘッド及びその製造方法、ヘッド一体型のインクカートリッジを提供するとともに、長期信頼性に優れ、安定した画像品質が得られるインクジェット記録装置、この液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置、液滴を吐出する装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するインクジェットヘッドとして本発明に係る液滴吐出ヘッド又は本発明に係るインクカートリッジを搭載したものである。また、本発明に係る画像形成装置及び液滴を吐出する装置は、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えている構成としたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
次に、本発明に係る液滴を吐出する装置を含む、画像形成装置としてのインクジェット記録装置の機構の一例について図１０及び図１１を参照して説明する。なお、図１０は同記録装置の斜視説明図、図１１は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９９】
なお、上記実施形態においては、液滴吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドとして、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。また、マイクロポンプなどの液体を輸送するマイクロデバイスにも適用することができる。また、前述したようにプリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像形成装置及び液滴を吐出する装置にも本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０４】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、インク滴を吐出するインクジェットヘッドとして本発明に係る液滴吐出ヘッド又は本発明に係るインクカートリッジを搭載したので、高い信頼性で高画質記録を行うことができる。本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えているので、高い信頼性で高画質記録が可能になる。また、本発明に係る液滴を吐出する装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えているので、安定した液滴吐出を行うことができる。