【手続補正書】
【提出日】平成18年2月2日(2006.2.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】    【請求項１】基板を処理する為の研磨物において：ポリマーサポート部と；前記ポリマーサポート部上に配置された基板を研磨するように適合された表面を有する本体と；前記本体内に少なくとも一部が埋め込まれた少なくとも一つの導電素子であって、導電材、導電性充填材、又は、これらの組合せで被覆されたファイバを備える、前記導電素子と；を備える、研磨物。    【請求項２】前記ファイバは、ポリアミド、ナイロン・ポリマー、ポリウレタン、ポリエステル、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリマーを含むジエン、ポリスチレン、ポリアクリルニトリル系繊維・エチレン・スチレン、アクリルポリマー、更に、その組合せの群から選ばれる重合材料を備え、前記導電材は、金属、カーボン材、導電性セラミック材、金属非有機材、又は、これらの組合せを備え、前記導電性充填材は、カーボンパウダー、カーボンファイバ、カーボンナノチューブ、カーボンナノフォーム、カーボンエーロゲル、グラファイト、導電性ポリマー、導電性ファイバ、導電材で被覆された誘電性又は導電性粒子、導電材で被覆された誘電性充填材、導電性非有機粒子、導電性セラミック粒子、これらの組合せを備える、請求項１記載の研磨物。    【請求項３】前記本体は、ポリエステル、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリフェニレン・スルフィド、ウレタンで含浸されたフェルトファイバ、更に、これらの組合せの群からのポリマー材を備える、請求項１記載の研磨物。    【請求項４】前記導電材で被覆された前記ファイバは、核形成材料や、前記ファイバと前記導電材との間に配置された接着材を更に備える、請求項１記載の研磨物。    【請求項５】研磨物は、上部に配置された金を持つポリアミドファイバとポリウレタン接着材内に置かれたグラファイトとを備えるか、ポリウレタン又はシリコーン内に配置されたグラファイト、カーボンナノチューブ、カーボンファイバ、これらの組合せを備える、請求項１記載の研磨物。    【請求項６】前記本体は、複数の溝または穿孔を備え、これらは、少なくとも一部が内部に形成されている、請求項１記載の研磨物。    【請求項７】前記導電性充填材は、カーボンベースの材料または導電性粒子を備える、請求項１記載の研磨物。    【請求項８】前記カーボンベースの材料は、カーボンパウダー、カーボンファイバ、カーボンナノチューブ、カーボンナノフォーム、カーボンエーロゲル、グラファイト又はこれらの組合せを含み、前記導電性粒子は、導電性材料で被覆された誘電性または導電性粒子、導電性材料で被覆された誘電性充填材、導電性非有機粒子、導電性セラミック粒子、又はこれらの組合せを備える、請求項７記載の研磨物。    【請求項９】前記導電性材料は、貴金属、カーボンベースの材料、導電性セラミック材料、金属非有機化合物、またはこれらの組合せを備える、請求項８記載の研磨物。    【請求項１０】少なくとも一つの導電素子は、導電性材料で被覆されたファイバの混交組織を備え、前記導電素子は、本体を構成する、請求項１記載の研磨物。    【請求項１１】前記本体は、前記研磨物を電源に接続する為のコネクタを備える、請求項１記載の研磨物。    【請求項１２】前記本体は、サポート部上に配置された研磨部を備え、少なくとも一つの導電素子が前記導電性研磨部上に配置される、請求項１記載の研磨物。    【請求項１３】前記物品を前記電源に接続する為のコネクタは、前記研磨部と前記サポート部との間に配置され、少なくとも一つの導電素子と電気的に結合されている、請求項１１記載の研磨物。    【請求項１４】少なくとも一つの導電素子は、導電材、導電性充填材、又は、その組合せ、接着材で被覆されたファイバ複合体を備え、前記複合体は、少なくとも部分的に前記本体内に埋め込まれている、請求項１記載の研磨物。    【請求項１５】前記接着材は、エポキシ樹脂、シリコーン、ウレタン樹脂、ポリイミド、ポリアミド、フルオロポリマー、そのフッ化誘導体、それらの組合せから選ばれたポリマーベースの結合剤を備えるか、又は、前記接着材は、ポリウレタン、充填剤を混ぜ合わせられたポリウレタン、ポリカーボネート、ポリフェニレン・スルフィド（ＰＰＳ）、エチレン−プロピレン−ジエン−メチレン（ＥＰＤＭ）、テフロンポリマー、ポリエスチレン、これらの組合せを備える。請求項１４記載の研磨物。    【請求項１６】少なくとも一つの導電素子は、研磨物の本体内に形成された溝内に配置された導電部材に結合されている、請求項１記載の研磨物。    【請求項１７】少なくとも一つの導電素子は、前記導電部材の周りに同心上に配置された導電材で被覆された一以上のコイル状ファイバ、前記導電部材の周りに同心上に配置された導電材で被覆されたファイバの混交組織、一以上の金属、銅線、または、金の棒上に同心上に配置されたフォイル、または、導電性接着材で被覆された金属や、これらの組合せを備える、請求項１６記載の研磨物。    【請求項１８】前記本体は、導電材、導電性充填材、これらの組合せ、更に、上部に配置される結合剤を備える、請求項１記載の研磨物。    【請求項１９】基板を処理する為の研磨物において：ポリマーサポート部と；前記ポリマーサポート部上に配置された前記基板を研磨するように適合された導電面を少なくとも有する本体であって、前記本体は導電性フォイルを備える、前記本体と；を備える、前記研磨物。    【請求項２０】前記導電性フォイルは、銅、ニッケル、コバルト、金、プラチナ、パラジウム、イリジウム、レニウム、ロジウム、レニウム、ルテニウム、オスミウム、その組合せの群から選択された金属製フォイルを備える、請求項１９記載の研磨物。    【請求項２１】前記導電性フォイルは、非金属の導電性フォイルシートを備える、請求項１９記載の研磨物。    【請求項２２】前記導電性フォイルは、相互に接続された導電性メッシュワイヤやストライプのワイヤフレーム、スクリーンまたはメッシュを備える、請求項１９記載の研磨物。    【請求項２３】前記導電性フォイルは、金属製フォイル上に配置された導電性結合材料を更に備える、請求項１９記載の研磨物。    【請求項２４】前記導電性フォイルは、穿孔されている、請求項１９記載の研磨物。    【請求項２５】前記導電性フォイルは、電源に結合されている、請求項１９記載の研磨物。    【請求項２６】ポリマーサポート部は、ポリウレタン、充填剤を混ぜ合わせられたポリウレタン、ポリカーボネート、ポリフェニレン・スルフィ���（ＰＰＳ）、テフロン（商標）ポリマー、ポリエスチレン、エチレン−プロピレン−ジエン−メチレン（ＥＰＤＭ）、これらの組合せの群から選択された絶縁性ポリマー材を備える、請求項１９記載の研磨物。    【請求項２７】基板を処理する為の研磨物において：ポリマーサポート部と；前記ポリマーサポート部上に配置された前記基板を研磨するように適合された表面を有する本体と；前記導電材で被覆された混交ファイバのファブリックを備える本体と；を備える、研磨物。    【請求項２８】前記導電材で被覆された混交ファイバのファブリックは、ファブリックを形成する為に混交された導電材で被覆された複数のファイバ、導電材で被覆されているファブリックを形成する為に混交された複数のファイバ、又は、これらの組合せを備える、請求項２７記載の研磨物。    【請求項２９】前記導電材で被覆されたファイルは、核形成材料や、前記ファイバと前記導電材との間に配置された接着材を更に備える、請求項２７記載の研磨物。    【請求項３０】前記研磨物は、銅で被覆されたナイロン製ファイバを備える、請求項２７記載の研磨物。    【請求項３１】前記混交されたファイバのファブリックは、穿孔され、混交され、これらを通る流動性電解液流の為に、通路やそれらの組合せを形成する、請求項２７記載の研磨物。    【請求項３２】前記ファイバは、ポリアミド、ナイロン・ポリマー、ポリウレタン、ポリエステル、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリマーを含むジエン、ポリスチレン、ポリアクリルニトリル系繊維・エチレン・スチレン、アクリルポリマー、更に、その組合せの群から選ばれる重合材料を備え、前記導電材は、金属、カーボン材、導電性セラミック材、金属非有機材、又は、これらの組合せを備える、請求項２７記載の研磨物。    【請求項３３】前記、導電面は、約５０Ω−ｃｍ以下の抵抗率を有する、請求項２８記載の研磨物。    【請求項３４】前記研磨物は、ショア（Ｄ形）硬さスケールにおいて、約１００以下の硬さを有する、請求項２７記載の研磨物。    【請求項３５】前記本体は、前記導電素子上に配置された金属製フォイルを更に備える、請求項２７記載の研磨物。    【請求項３６】前記金属製フォイルは、複数の穿孔、複数の溝、これらの組合せを備える、請求項３５記載の研磨物。    【請求項３７】ポリマーサポート部は、ポリウレタン、充填剤を混ぜ合わせられたポリウレタン、ポリカーボネート、ポリフェニレン・スルフィド（ＰＰＳ）、テフロン（商標）ポリマー、ポリエスチレン、エチレン−プロピレン−ジエン−メチレン（ＥＰＤＭ）、これらの組合せの群から選択された絶縁性ポリマー材を備える、請求項２７記載の研磨物。