Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月30日(2006.3.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】燃料噴射弁制御装置及び制御方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  気体燃料噴射装置の燃料噴射弁の電磁コイルに電流を流し、磁力により当該燃料噴射弁を駆動させて開閉制御すると共に、エンジン始動時に電圧を上げ当該電磁コイルに通常よりも大きい電流を流すことにより当該燃料噴射弁の駆動力を増加させる昇圧駆動制御を行うようにした燃料噴射弁制御装置において、
エンジン始動時に、エンジンの冷却水の温度とガス燃料の圧力の少なくとも１つを検出する手段によって検出された温度と圧力の少なくとも１つに基づいて、昇圧駆動により燃料噴射弁を駆動させる回数を算出する昇圧駆動回数算出手段を備え、
算出された回数によって燃料噴射弁を昇圧駆動させる燃料噴射弁制御装置。
【請求項２】  イグニッションスイッチがオフされた場合に燃料遮断弁が閉じてからエンジンが停止するまでの時間を算出して記憶する手段を更に備え、前記昇圧駆動回数算出手段は該温度と圧力の少なくとも１つ、及び前記エンジン停止までの時間に基づいて昇圧駆動により燃料噴射弁を駆動させる回数を算出する、請求項１に記載の燃料噴射弁制御装置。
【請求項３】  前記エンジン停止時に燃料遮断弁が閉じてからエンジンが停止するまでの時間は、この間に燃料が噴射された回数から算出する、請求項２に記載の燃料噴射弁制御装置。
【請求項４】  前記温度と圧力の少なくとも１つに基づいて算出された昇圧駆動回数と前記エンジン停止までの時間に基づいて算出された昇圧駆動回数との加算から実際の昇圧駆動回数を算出する、請求項２に記載の燃料噴射弁制御装置。
【請求項５】  エンジン回転数検出手段を備え、エンジン回転数が所定回数に達した場合、前記算出された回数にかかわらず昇圧駆動を終了するようにした、請求項１から４のいずれか１項に記載の燃料噴射弁制御装置。
【請求項６】  気体燃料噴射装置の燃料噴射弁の電磁コイルに電流を流し、磁力により当該燃料噴射弁を駆動させて開閉制御すると共に、エンジン始動時に電圧を上げ当該電磁コイルに通常よりも大きい電流を流すことにより当該燃料噴射弁の駆動力を増加させる昇圧駆動制御を行うようにした燃料噴射弁制御方法において、
エンジン始動時に、エンジンの冷却水の温度とガス燃料の圧力の少なくとも１つを検出する手段によって検出された温度と圧力の少なくとも１つに基づいて、昇圧駆動により燃料噴射弁を駆動させる回数を算出する昇圧駆動回数算出ステップを備え、
算出された回数によって燃料噴射弁を昇圧駆動させる燃料噴射弁制御方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス燃料用内燃機関に用いられる燃料噴射弁制御装置及び制御方法に関し、特に低温時に始動させる際に燃料によって固着した噴射弁を一気に剥がすための制御に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は上記問題を解決する燃料噴射弁制御装置及び制御方法を提供することを目的とするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月2日(2005.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の好ましい態様は、
Ａ）ディジタルデータ信号に応答するインクジェットプリンターを用意する工程、
Ｂ）上記プリンターに、上述のインクジェット記録要素を装填する工程、
Ｃ）上記プリンターに、水、湿潤剤、および水溶性染料を含んでなるインクジェットインク組成物を装填する工程、並びに
Ｄ）上記ディジタルデータ信号に応答して上記インクジェットインクを使用して当該画像受容層上に印刷する工程、
を含むインクジェット印刷方法に関する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
画像記録要素は、他の画像記録製品または画像記録装置の駆動機構もしくは移送機構と接触する場合があるので、例えば、界面活性剤、滑剤、艶消し粒子などの添加剤を、それらが重要な性質を悪化させない程度に添加してもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
インク吸収
インクジェット試料を Hewlett-Packard Deskjet 950Ｃプリンターに装填し、カラーパッチおよび画像からなる、予め集成されたディジタル画像を印刷した。印刷された試料を、プリンターから排出された直後に、高濃度にインクが塗られている領域において、指で擦った。即乾とは、プリントが指触乾燥状態であり、上記指によって擦る行為によって画像が汚れたり、損傷を受けたりしないこととして定義される。上記粒子が塗布後の乾燥時に合体して連続的なフィルムを形成する場合、インクは表面上で液滴を形成し、層に浸透しないであろうし、画像は光学的濃度が低く、擦ることによって容易に汚れるであろう。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
［１０］  Ａ）ディジタルデータ信号に応答するインクジェットプリンターを用意する工程、
Ｂ）前記プリンターに、［１］に記載のインクジェット記録要素を装填する工程、
Ｃ）前記プリンターに、水、湿潤剤、および水溶性染料を含んでなるインクジェットインク組成物を装填する工程、並びに
Ｄ）前記ディジタルデータ信号に応答して前記インクジェットインクを使用して当該画像受容層上に印刷する工程、
を含むインクジェット印刷方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月25日(2006.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遊技球を遊技機内から外部へ払い出す球払出口と、
遊技機の前面に設けられ、前記球払出口から払い出される前記遊技球を受ける球受皿と、を備えた遊技機の遊技球貯留タンクにおいて、
前記球払出口から前記球受皿へ連通する途上にある遊技球貯留タンクであって、
前記球払出口から払い出される前記遊技球を前記球受皿側に排出する傾斜面を有する通路部と、前記球受皿で受けきれない前記遊技球を一時貯留する貯留部と、を有し、
前記通路部は、第１傾斜面と第１傾斜面の上方に位置する第２傾斜面とからなり、
前記貯留部は前記第２傾斜面を仕切にして上空間部と下空間部の二層構造に形成され、前記上空間部は遊技球を前記下空間部側に落下させる所定数の分散穴を有することを特徴とする遊技機の遊技球貯留タンク。
【請求項２】
前記第２傾斜面は、前記第１斜面より通路長さが短いことを特徴とする請求項１に記載の遊技機の遊技球貯留タンク。
【請求項３】
前記第２傾斜面は前記遊技球貯留タンクの側面を基端として回動自在に支えられ、前記第２傾斜面を回動させると、前記第１傾斜面が露出する構造である、ことを特徴とする請求項１または２に記載の遊技機の遊技球貯留タンク。
【請求項４】
前記貯留部は、その側面に前記貯留部内部を透かして見る第１の光透過部を有し、前記球受皿は、前記第１の光透過部を介して前記貯留部内部が見られる第２の光透過部を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の遊技機の遊技球貯留タンク。
【請求項５】
前記遊技機は、遊技球を遊技領域に投入実行したにも係わらず出来ずに返却される遊技球であるファール球を排出するファール球排出通路を有し、前記遊技球貯留タンクは前記ファール球排出通路と連結し、前記ファール球を前記貯留部側に受容させるファール球収容口を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の遊技機の遊技球貯留タンク。
【請求項６】
前記ファール球排出通路は、前記第１傾斜面と連結され、
前記ファール球収容口は、前記第１傾斜面に設けられていることを特徴とする請求項５に記載の遊技機の遊技球貯留タンク。
【請求項７】
前記遊技球貯留タンクは、前記第２傾斜面を含む上蓋部を有し、
前記上蓋部は、遊技球貯留タンク本体の側面と前記上蓋部の側面との枢支部を基端として回動自在に支えられ、前記上蓋部を回動させて開放すると、前記第１傾斜面が露出する構造である、
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の遊技機の遊技球貯留タンク。
【請求項８】
前記分散穴は、前記第２傾斜面の下流部と、前記第２傾斜面の長手方向の側面部に少なくとも設けられている
ことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の遊技機の遊技球貯留タンク。
【請求項９】
前記遊技球貯留タンクは、前記遊技機本体の表枠に設けられた収納部に対して着脱自在である、
ことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の遊技機の遊技球貯留タンク。
【請求項１０】
前記遊技球貯留タンクを前記収納部に対し装着する際、前記遊技球貯留タンクと前記収納部との間に弾性部材を設け、
前記弾性部材は、導電性部材で構成され、
前記遊技球貯留タンクは、前記弾性部材を介してアース接地する
ことを特徴とする請求項９に記載の遊技機の遊技球貯留タンク。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の遊技機の遊技球貯留タンクは、前述の技術的課題を解決するために以下のように構成されている。
すなわち、本発明の遊技機の遊技球貯留タンクは、遊技球を遊技機内から外部へ払い出す球払出口と、遊技機の前面に設けられ、前記球払出口から払い出される前記遊技球を受ける球受皿と、を備えた遊技機の遊技球貯留タンクにおいて、前記球払出口から払い出される前記遊技球を前記球受皿側に排出する傾斜面を有する通路部と、前記球受皿で受けきれない前記遊技球を一時貯留する貯留部と、を有し、前記通路部は、第１傾斜面と第１傾斜面の上方に位置する第２傾斜面とからなり、前記貯留部は前記第２傾斜面を仕切にして上空間部と下空間部の二層構造に形成され、前記上空間部は遊技球を前記下空間部側に落下させる所定数の分散穴を有することを特徴とする。また、前記第２傾斜面は、前記第１斜面より通路長さが短い、ことも特徴とする。更に、前記分散穴は、前記第２傾斜面の下流部と、前記第２傾斜面の長手方向の側面部に少なくとも設けられていることも特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
更にまた、本発明の遊技球貯留タンクにおいて、前記遊技機は、遊技球を遊技領域に投入実行したにも係わらず出来ずに返却される遊技球であるファール球を排出するファール球排出通路を有し、前記遊技球貯留タンクは前記ファール球排出通路と連結し、前記ファール球を前記貯留部側に受容させるファール球収容口を有することを特徴とする。また、前記ファール球排出通路は、前記第１傾斜面と連結され、前記ファール球収容口は、前記第１傾斜面に設けられていることも特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
更にまた、本発明の遊技球貯留タンクにおいて、前記遊技球貯留タンクは、前記遊技機本体の表枠に設けられた収納部に対して着脱自在であることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
更にまた、本発明の遊技球貯留タンクにおいて、前記遊技球貯留タンクを前記収納部に対し装着する際、前記遊技球貯留タンクと前記収納部との間に弾性部材を設け、前記弾性部材は、導電性部材で構成され、前記遊技球貯留タンクは、前記弾性部材を介してアース接地することを特徴とする。この構成によれば、遊技球貯留タンクと前記弾性部材は導電性部材で形成し、弾性部材が自己放電容易状態（例えば、静電容量の大きな金属）になっていれば、遊技球貯留タンク内で生じた静電気を放電する機能を果たす。なお、弾性部材
は、静電容量が大きなものと接続していればよいが、アースできる接地部材を設ける構成としてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月21日(2006.7.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遊技盤と上記遊技盤の表面を被う透過窓との間で遊技球を弾発させて、遊技する弾球遊技機において、
上記遊技盤及び上記透過窓の間に配置され、少なくとも上記透過窓を圧接することで、上記遊技盤の外周部と上記透過窓の外周部との間にできる隙間を密閉する隙間密閉部材を有することを特徴とする弾球遊技機。
【請求項２】
上記隙間密閉部材は、その横断面が三つ叉形状をしており、当該三つ叉の３つの筋のうち二つの筋で上記透過窓をその外側寄りの箇所と内側寄りの箇所の二箇所で密着し、残りの筋が上記遊技盤の外周部に固定されていることを特徴とする請求項１記載の弾球遊技機。
【請求項３】
上記隙間密閉部材は、上記遊技盤の外周部に設けられ上記遊技球の行き先を誘導する円形状の誘導レールに沿ってその下方に位置するレール飾りに取り付けられていることを特徴とする請求項１または２記載の弾球遊技機。
【請求項４】
上記レール飾りには複数の貫通孔が設けられ、上記隙間密閉部材の上記残りの筋には上記複数の貫通孔と嵌合する複数の突起部が設けられ、上記複数の貫通孔と上記複数の突起部とを嵌合することで、上記隙間密閉部材が上記遊技盤に固定されることを特徴とする請求項３記載の弾球遊技機。
【請求項５】
上記隙間密閉部材が、弾性体からなることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の弾球遊技機。
【請求項６】
上記隙間密閉部材は、二分割以上に分割されていることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の弾球遊技機。
【請求項７】
上記隙間密閉部材の上記透過窓と密着する二つの筋のうち外側寄り箇所の筋が内側寄り箇所の筋よりも上記透過窓側に長く、上記透過窓で上記遊技盤を被うと、上記外側寄り箇所の筋が上記内側寄り箇所の筋よりも先に上記透過窓に押圧されることを特徴とする請求項２乃至６の何れかに記載の弾球遊技機。
【請求項８】
遊技盤と上記遊技盤の表面を被う透過窓との間で遊技球を弾発させて、遊技する弾球遊技機に取り付け可能な弾球遊技機の隙間密閉部材であって、
上記遊技盤及び上記透過窓の間に配置され、少なくとも上記透過窓を圧接することで、上記遊技盤の外周部と上記透過窓の外周部との間にできる隙間を密閉することを特徴とする弾球遊技機の隙間密閉部材。
【請求項９】
上記隙間密閉部材は、その横断面が三つ叉形状をしており、当該三つ叉の３つの筋のうち二つの筋で上記透過窓をその外側寄りの箇所と内側寄りの箇所の二箇所で密着し、残りの筋が上記遊技盤の外周部に固定されていることを特徴とする請求項８記載の弾球遊技機の隙間密閉部材。
【請求項１０】
上記遊技盤の外周部には上記遊技球の行き先を誘導する円形状の誘導レールを有するとともに、この誘導レールに沿ってかつその下方に位置するレール飾りが設けられ、このレール飾りに取り付けられていることを特徴とする請求項８または９記載の弾球遊技機の隙間密閉部材。
【請求項１１】
上記レール飾りへの上記隙間密閉部材の取り付けは、上記レール飾りに複数の貫通孔を設け、上記隙間密閉部材の上記残りの筋に上記複数の貫通孔と嵌合する複数の突起部を設け、上記複数の貫通孔と上記複数の突起部とを嵌合することで、上記隙間密閉部材を上記遊技盤に固定することを特徴とする請求項８乃至１０の何れかに記載の弾球遊技機の隙間密閉部材。
【請求項１２】
上記隙間密閉部材が、弾性体からなることを特徴とする請求項８乃至１１の何れかに記載の弾球遊技機の隙間密閉部材。
【請求項１３】
上記隙間密閉部材は、二分割以上に分割されることを特徴とする請求項８乃至１２の何れかに記載の弾球遊技機の隙間密閉部材。
【請求項１４】
上記隙間密閉部材の上記透過窓と密着する二つの筋のうち外側寄り箇所の筋が内側寄り箇所の筋よりも上記透過窓側に長く、上記透過窓で上記遊技盤を被うと、上記外側寄り箇所の筋が上記内側寄り箇所の筋よりも先に上記透過窓に押圧されることを特徴とする請求項８乃至１３の何れかに記載の弾球遊技機の隙間密閉部材。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月21日(2006.6.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遊技者の操作に応じて変化する遊技状況を検出する遊技状況検出手段と、
前記遊技状況検出手段の検出結果に基づいて種々の抽選を行う主制御手段と、
前記主制御手段の抽選結果に基づいて第１演出装置を制御する第１補助制御手段と、
前記主制御手段の抽選結果に基づいて第２演出装置を制御する第２補助制御手段とを備えた遊技機において、
前記主制御手段と前記第１補助制御手段と前記第２補助制御手段とを別々に構成し、
前記主制御手段は前記抽選により遊技態様を決定すると共に、
その決定された遊技態様情報を含む遊技態様情報コマンドを前記第１補助制御手段へ送信し、
前記第１補助制御手段は、前記主制御手段から受け取った前記遊技態様情報コマンドに基づいて前記第１演出装置の演出制御内容を決定して前記第１演出装置を制御すると共に、
その決定された演出制御内容に即して第２演出装置を制御するための演出コマンドを前記第２補助制御手段へ送信し、
前記第２補助制御手段は、前記第１補助制御手段から受け取った前記演出コマンドに基づいて第２演出装置を制御することを特徴とする遊技機。
【手続補正書】
【提出日】平成17年1月14日(2005.1.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  長尺の被着体にその被着体の形状及び（又は）サイズに合わせて粘着テープを連続して貼付するための貼付治具であって、
該貼付治具に前記粘着テープを受け入れかつ保持するテープ保持部と、
前記テープ保持部から案内されてきた粘着テープを前記被着体のテープ被着面に圧着して貼付するテープ貼付部と、
前記貼付治具を前記被着体に沿って連続して案内する治具ガイド部とを組み合わせて含んでなるとともに、
前記テープ保持部が、前記粘着テープ又は前記被着体の幅に合わせるための可動機構を有しており、前記テープ貼付部が、前記粘着テープ又は前記被着体の幅に合わせるための可動機構を有しており、かつ前記治具ガイド部が、前記治具ガイド部と前記テープ貼付部の間の間隙を調整する可動機構を有していることを特徴とする粘着テープの貼付治具。
【請求項２】  前記テープ保持部の可動機構と前記テープ貼付部の可動機構が共通していることを特徴とする請求項１に記載の粘着テープの貼付治具。
【請求項３】  前記テープ貼付部が、該テープ貼付部と前記被着体との位置関係を調整可能な可動機構をさらに有していることを特徴とする請求項１又は２に記載の粘着テープの貼付治具。
【請求項４】  前記可動機構が、付勢手段を備えたスライド機構からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の粘着テープの貼付治具。
【請求項５】  前記テープ貼付部が、円筒形部材からなる少なくとも１個の貼付ヘッドを有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の粘着テープの貼付治具。
【請求項６】  前記貼付治具が、長手方向に延在するとともに、その途中でテープ貼付面の形状及び（又は）サイズが変動した長尺の被着体の形状及び（又は）サイズに合わせて粘着テープを貼付するのに適当であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の粘着テープの貼付治具。
【請求項７】  前記貼付治具が、自動車のサッシュフレーム等に粘着フィルムを貼付するのに適当であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の粘着テープの貼付治具。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月18日(2005.11.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  機械を通るチューブ状バッグ材料に係合するように概ね進行方向に回転駆動される一対のジョーであって、バッグ材料に横シールを形成して製品が入った個別のバッグを形成する一対のジョーと、各ジョーを支持する駆動部材であって、反対の回転方向に同期して駆動される駆動部材と、チューブ状バッグ材料にシール係合中に製品が少なくとも実質的にジョーの間に来ないようにするアセンブリーであって、製品がバッグ材料に沿って通過するようにする第１の動作構成と、第２の動作構造とを有し、前記第２の構造内にあるときにバッグ材料に係合して製品が少なくとも実質的にシール中にジョーの間に来ないようにし、前記駆動部材に取り付けられ、回転するバッグ材料の屈曲および閉鎖部材であって、前記バッグ材料を閉鎖し、かつ前記シールを形成するときに製品が少なくとも実質的にジョーの間に来ないようにするように前記方向に対して横方向に屈曲するバッグ材料屈曲および閉鎖部材を含むアセンブリーとを含む回転式包装機。
【請求項２】  前記屈曲および閉鎖部材が前記チューブ状バッグ材料を屈曲および閉鎖する一対のバー部材と、各バー部材用の屈曲器ブラケットであって、それぞれが駆動部材の個々の部材上にバー部材の関連付けられた一つを取り付けるブラケットとを含み、ブラケットが各バー部材と個々の駆動部材のジョーとの間の相対移動に備え、バー部材がチューブ状バッグ材料に係合したときに各バー部材がその関連付けられたジョーに対して移動することを特徴とする請求項１記載の回転式包装機。
【請求項３】  バー部材がチューブ状バッグ材料を一つの横方向と、前記一つの方向と反対の横方向に屈曲することを特徴とする請求項２記載の回転式包装機。
【請求項４】  バー部材がバッグ材料を閉じるように形作られ、前記機械はシールに先立ち前記方向においてバー部材の下流にあるバッグ材料を係合してバッグ材料をストリップするストリッパであって、各駆動部材がその上にバー部材の一つとストリッパの一つを取り付けるように駆動部材に取り付けられたストリッパをさらに含むことを特徴とする請求項２記載の回転式包装機。
【請求項５】  バー部材が駆動部材の個々の部材に対して角運動するように各屈曲器ブラケットがその個々の駆動部材に回転可能に取り付けられ、前記機械はさらにストリッパを支持する一対のストリッパ・ブラケットであって、ストリッパがそれらの個々の駆動部材に対して角運動するようにそれぞれが駆動部材の個々の部材に取り付けられたストリッパ・ブラケットを含むことを特徴とする請求項４記載の回転式包装機。
【請求項６】  前記機械が各駆動部材に固定された取り付け部材であって、ストリッパ・ブラケットと屈曲器ブラケットが取り付け部材の個々の部材に回転可能に取り付けられている取り付け部材を含むことを特徴とする請求項５記載の回転式包装機。
【請求項７】  前記機械が各駆動部材に固定された取り付け部材であって、ストリッパ・ブラケットと屈曲器ブラケットが取り付け部材の個々の部材に回転可能に取り付けられている取り付け部材を含むことを特徴とする請求項６記載の回転式包装機。
【請求項８】  バー部材の一方には長手方向に伸びた突起が設けられ、他方のバー部材には長手方向に伸びた、突起が受容される窪みが設けられ、バッグ材料が屈曲されることを特徴とする請求項７記載の回転式包装機。
【請求項９】  バー部材の一方が長手方向に伸びる窪みを含み、他方のバー部材が前記窪みに受容されるように長手方向に伸びた突起を含み、前記バッグ材料が、バッグ材料の方向に離間された三つの位置において横方向に変更されることを特徴とする請求項３記載の回転式包装機。
【請求項１０】  バー部材の一方が他方のバー部材に対してバッグ材料方向において上流にあることを特徴とする請求項３記載の回転式包装機。
【請求項１１】  屈曲および閉鎖部材がチューブ状バッグ材料を係合してチューブ状バッグ材料を閉鎖する一対の閉鎖部材と、閉鎖部材の下流にあるチューブ状バッグ材料に係合し、チューブ状バッグ材料を横方向に屈曲する屈曲部材とを含むことを特徴とする請求項１記載の回転式包装機。
【請求項１２】  屈曲および閉鎖部材が一対のバー部材であり、各バー部材が駆動部材のそれぞれの部材に取り付けられ、前記バー部材の一つが長手方向に伸びる窪みを有し、他方のバー部材がバッグと共に窪みに受容される長手方向に伸びる突起を有し、バッグ材料の屈曲と閉鎖を生じることを特徴とする請求項１記載の回転式包装機。
【請求項１３】  前記バー部材から前記方向において下流にあるそのバッグ材料を係合する、駆動部材に回転可能に取り付けられたストリッパをさらに含むことを特徴とする請求項１２記載の回転式包装機
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2003205916.tif 000001
【図２】
2003205916.tif 000002
【図３】
2003205916.tif 000003
【図４】
2003205916.tif 000004
【図５】
2003205916.tif 000005
【図６】
2003205916.tif 000006
【図７】
2003205916.tif 000007
【図８】
2003205916.tif 000008
【図９】
2003205916.tif 000009
【図１０】
2003205916.tif 000010
【図１１】
2003205916.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月5日(2005.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  クレーンの動力回路及び制御回路の信号を入出力するコントローラと、コントローラにおけるクレーンの制御状態を送信する送信装置と、送信装置からの信号を受信する受信装置と、受信装置に送信されたクレーンの制御状態を電気回路図として表示する表示装置とを備えたことを特徴とするクレーンの制御モニター装置。
【請求項２】  表示装置が、表示した電気回路図の所定の回路を指定することにより、その回路のより詳細な内容を展開して表示することを特徴とする請求項１記載のクレーンの制御モニター装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月11日(2006.10.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品が搭載された基板を鉛フリーはんだによってフローはんだ付けするためのフローはんだ付け装置であって、
基板を予備加熱するための第１の予備加熱器と、
前記第１の予備加熱器によって予備加熱された基板の下面にフラックスを塗布するためのフラクサーと、
前記フラックスが塗布された基板を再度予備加熱するための第２の予備加熱器と、
前記第２の予備加熱器によって予備加熱された基板の下面を鉛フリーはんだによってフローはんだ付けするためのはんだ付け機と、
はんだ付けされた基板を冷却するための冷却機と、
基板を移動するコンベアとを備え、
前記第１及び第２の予備加熱器によって、前記はんだ付け装置によるはんだ付け前に、基板の下面と上面との温度差が所定の範囲内になるように設定される、フローはんだ付け装置。
【請求項２】
前記第１及び第２の予備加熱器によって、さらに、基板の上面温度が所定の範囲内になるように設定される、請求項１に記載のフローはんだ付け装置。
【請求項３】
電子部品が搭載された基板を鉛フリーはんだによってフローはんだ付けするためのフローはんだ付け方法であって、
基板の下面にフラックスを塗布し、
基板の下面と上面との温度差が所定の範囲内になるように、前記フラックスが塗布された基板を加熱し、
加熱された基板の下面を鉛フリーはんだによってフローはんだ付けし、
はんだ付けされた基板を冷却する、
ステップを有するフローはんだ付け方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月19日(2006.10.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原版および基板を移動させながら前記基板を露光する走査露光装置であって、
前記原版からの光を前記基板に投影する投影光学系と、
前記基板を保持し、かつ移動するステージと、
前記投影光学系の光軸の方向における前記基板の位置を計測する計測手段と、
前記光軸に直交する方向に関する前記ステージの駆動状態に基づいて制限値を設定し、前記計測手段による計測結果に基づいて、該制限値以下に制限された、前記光軸の方向に関する前記ステージの駆動信号を生成し、かつ前記駆動信号により前記ステージの移動を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする走査露光装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記ステージのフォーカス駆動及びレベリング駆動のうちの少なくとも一方のための駆動信号を生成することを特徴とする請求項１に記載の走査露光装置。
【請求項３】
前記駆動状態は、前記ステージの速度、加速度、ジャーク、及び位置のうちの少なくとも１つであることを特徴とする請求項１又は２に記載の走査露光装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記基板上のショット毎に前記制限値を設定することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の走査露光装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記制御手段により前記ステージが駆動制御されている際の、前記計測手段による計測結果を用いて、前記制限値を学習することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の走査露光装置。
【請求項６】
原版および基板を移動させながら前記基板を露光する走査露光装置であって、
前記原版からの光を前記基板に投影する投影光学系と、
前記原版を保持し、かつ移動するステージと、
前記投影光学系の光軸の方向における前記原版の位置を計測する計測手段と、
前記光軸に直交する方向に関する前記ステージの駆動状態に基づいて制限値を設定し、前記計測手段による計測結果に基づいて、該制限値以下に制限された、前記光軸の方向に関する前記ステージの駆動信号を生成し、かつ前記駆動信号により前記ステージの移動を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする走査露光装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の走査露光装置を用いて基板を露光するステップを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】走査露光装置及びデバイス製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、走査露光装置及びデバイス製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記の目的を達成するための本発明による走査露光装置は以下の構成を備える。すなわち、
原版および基板を移動させながら前記基板を露光する走査露光装置であって、
前記原版からの光を前記基板に投影する投影光学系と、
前記基板を保持し、かつ移動するステージと、
前記投影光学系の光軸の方向における前記基板の位置を計測する計測手段と、
前記光軸に直交する方向に関する前記ステージの駆動状態に基づいて制限値を設定し、前記計測手段による計測結果に基づいて、該制限値以下に制限された、前記光軸の方向に関する前記ステージの駆動信号を生成し、かつ前記駆動信号により前記ステージの移動を制御する制御手段とを備える。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明によれば、上記の走査露光装置を用いて基板を露光するステップを有するデバイス製造方法が提供される。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月28日(2006.7.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
上下２枚の弾性プレートが塩化ビニル樹脂の薄板で、上下プレート間の周縁部を含む所定位置に隙間形成部材を介設し、全体をカバーで覆ったことを特徴とする請求項１記載の荷重センサー。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月12日(2006.9.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
端子部を有する電子部品の処理方法であって、銅を主成分とし、かつ、表面が樹脂で被覆された被覆線から成る端子部に、希ガス、酸素及びフッ素を含むガスの混合ガスを用いて発生させたプラズマを照射するに際して、希ガスの比率を９０％以上９９．９％以下とすることを特徴とする電子部品の処理方法。
【請求項２】
フッ素を含むガスがＣＦ4またはＳＦ6である請求項１記載の電子部品の処理方法。
【請求項３】
端子部を有する電子部品の処理方法であって、銅を主成分とし、かつ、表面が樹脂で被覆された被覆線から成る端子部に、希ガス、酸素及びフッ素を含むガスの混合ガスを用いて発生させたプラズマを照射するに際して、端子部を誘電体製筒に挿入しつつ、誘電体製筒を挟んで相対する２つの電極間に電力を供給してプラズマを発生させることを特徴とする電子部品の処理方法。
【請求項４】
端子部を有する電子部品の処理方法であって、銅を主成分とし、かつ、表面が樹脂で被覆された被覆線から成る端子部に、希ガス、酸素及びフッ素を含むガスの混合ガスを用いて発生させたプラズマを照射するに際して、内管及び外管から成る２重の誘電体製筒を用いて、内管または外管の一方から希ガスを吹き出し、他の一方から酸素およびフッ素を含むガスを含むガスを吹き出すとともに、外管を挟んで相対する２つの電極間に電力を供給してプラズマを発生させることを特徴とする電子部品の処理方法。
【請求項５】
フッ素を含むガスがＣＦ4またはＳＦ6である請求項４記載の電子部品の処理方法。
【請求項６】
端子部を有する電子部品の処理装置であって、誘電体製筒と、誘電体製筒を挟んで相対する２つの電極と、誘電体製筒内にガスを供給するガス供給装置と、２つの電極間に電力を供給する電源とを備えたことを特徴とする電子部品の処理装置。
【請求項７】
端子部を有する電子部品の処理装置であって、内管及び外管から成る２重の誘電体製筒と、内管に第１のガスを供給する第１のガス供給装置と、外管に第２のガスを供給する第２のガス供給装置と、外管を挟んで相対する２つの電極と、２つの電極間に電力を供給する電源とを備えたことを特徴とする電子部品の処理装置。
【請求項８】
はんだメッキ漕と、はんだメッキ槽を加熱するヒーターとを備えた請求項６または７記載の電子部品の処理装置。
【請求項９】
はんだメッキ漕と、はんだメッキ漕を加熱するヒーターと、はんだ噴流装置を備えた請求項６または７記載の電子部品の処理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月16日(2006.10.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
銅を含む導電体で形成される配線を形成する工程と、
前記配線上を覆うように第１の絶縁膜を形成する工程と、
前記第１の絶縁膜上に第２の絶縁膜を形成する工程と、
前記第２の絶縁膜に前記第１の絶縁膜に達する第１の孔を形成する工程と、
前記第１の絶縁膜の前記第１の孔から露出する部分を除去することにより、前記配線に達する第２の孔を前記第１の絶縁膜に形成するとともに、前記第２の孔の壁面を前記第１の孔の壁面よりも外周側に削る工程と、
前記第１および第２の孔によって露出した前記配線表面をスパッタにより部分的に除去し、前記第２の孔の前記壁面全面に前記配線表面から除去された除去物を付着させる工程と、
前記第１および第２の孔内を導電膜で埋める工程とを備える、半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記スパッタは、アルゴンを用いて行なわれ、０℃以上１００℃以下の温度で行なわれることを特徴とする、請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記スパッタは、０℃以上５０℃以下の温度で行なわれることを特徴とする、請求項２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記第１および第２の孔内を洗浄する工程をさらに備えることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記スパッタは、アルゴンおよび水素を用いて行なわれることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
銅を含む導電体で形成される配線と、
前記配線上を覆うように形成された第１の絶縁膜と、
前記第１の絶縁膜上を覆うように形成された第２の絶縁膜とを備え、
前記第１の絶縁膜および前記第２の絶縁膜には前記配線に達する接続孔が形成されており、前記第１の絶縁膜における前記接続孔の口径は前記第２の絶縁膜における前記接続孔の口径よりも大きくなっており、さらに
前記第１の絶縁膜における前記接続孔の壁面全面に付着した銅を含む物質を備えた、半導体装置。
【請求項７】
銅を含む導電体で形成される配線を形成する工程と、
前記配線上を覆うように第１の絶縁膜を形成する工程と、
前記第１の絶縁膜上に第２の絶縁膜を形成する工程と、
前記第２の絶縁膜に前記第１の絶縁膜に達する第１の孔を形成する工程と、
前記第１の絶縁膜の前記第１の孔によって露出する部分を除去することにより、前記配線に達する第２の孔を前記第１の絶縁膜に形成する工程と、
前記第２の孔が形成されることにより露出した前記配線を洗浄処理することにより、前記第１の孔の壁面よりも外周部に削られた凹部を前記配線に形成する工程と、
前記凹部に対してスパッタによりエッチング処理を行なうことにより、露出した前記配線表面から除去された除去物を前記第２の孔の壁面全面に付着させる工程と、
前記第１および第２の孔内を導電膜で埋める工程とを備える、半導体装置の製造方法。
【請求項８】
前記スパッタは、アルゴンを用いて行なわれ、０℃以上１００℃以下の温度で行なわれることを特徴とする、請求項７に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項９】
前記スパッタは、０℃以上５０℃以下の温度で行なわれることを特徴とする、請求項８に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
前記スパッタは、アルゴンおよび水素を用いて行なわれることを特徴とする、請求項７〜９のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１１】
前記第１および第２の孔内を導電膜で埋める工程は、
前記第１及び第２の孔の壁面にバリアメタルを成膜する工程と、
前記バリアメタル上に銅を含む導電膜を形成する工程とを有することを特徴とする、請求項７〜１０のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の一の局面に従う半導体装置の製造方法は以下の工程を備えている。銅を含む導電体で形成される配線が形成される。配線上を覆うように第１の絶縁膜が形成される。第１の絶縁膜上に第２の絶縁膜が形成される。第２の絶縁膜に第１の絶縁膜に達する第１の孔が形成される。第１の孔から露出する部分を除去することにより、配線に達する第２の孔が第１の絶縁膜に形成されるとともに、第２の孔の壁面が第１の孔の壁面よりも外周側に削られる。第１および第２の孔によって露出した配線表面をスパッタにより部分的に除去し、第２の孔の壁面全面に配線表面から除去された除去物が付着される。第１および第２の孔内が導電膜で埋められる。
本発明の他の局面に従う半導体装置の製造方法は以下の工程を備えている。銅を含む導電体で形成される配線が形成される。配線上を覆うように第１の絶縁膜が形成される。第１の絶縁膜上に第２の絶縁膜が形成される。第２の絶縁膜に前記第１の絶縁膜に達する第１の孔が形成される。第１の絶縁膜の第１の孔によって露出する部分を除去することにより、配線に達する第２の孔が第１の絶縁膜に形成される。第２の孔が形成されることにより露出した配線を洗浄処理することにより、第１の孔の壁面よりも外周部に削られた凹部が配線に形成される。凹部に対してスパッタによりエッチング処理を行なうことにより、露出した配線表面から除去された除去物が第２の孔の壁面全面に付着される。第１および第２の孔内が導電膜で埋められる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月20日(2006.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原版および基板を走査しながら原版を介して前記基板の露光を行う走査露光装置であって、
前記原版からの光を前記基板に投影する投影光学系と、
前記基板を保持し、かつ移動するステージと、
前記投影光学系の光軸の方向における、前記基板の表面の位置を計測する計測手段と、
前記計測手段により計測された位置に基づいて、前記表面の近似面を算出する第１算出手段と、
前記露光中において、前記計測手段により計測された位置に基づいて、前記光軸の方向における前記ステージの目標位置を算出し、かつ前記目標位置に基づいて、前記光軸の方向における前記ステージの位置を制御する制御手段とを有し、
前記制御手段は、前記光軸の方向における前記近似面の位置を前記目標位置に加算するフィードフォワード制御を行う、ことを特徴とする走査露光装置。
【請求項２】
前記計測手段により計測された位置と、該位置に基づいて前記第１算出手段により算出された近似面とに基づいて、前記露光中において前記計測手段により計測された位置を補正するための補正データを算出する第２算出手段を有する、ことを特徴とする請求項１に記載の走査露光装置。
【請求項３】
前記近似面を、前記光軸の方向に直交する面内の位置に関する多項式で表現したことを特徴とする請求項１に記載の走査露光装置。
【請求項４】
前記多項式の次数および項数の少なくとも一方が変更可能であることを特徴とする請求項３に記載の走査露光装置。
【請求項５】
前記近似面に基づいて、前記投影光学系の像面の形状を変更する変更手段を有することを特徴とする請求項１に記載の走査露光装置。
【請求項６】
前記第１算出手段は、前記表面のゾーン毎に前記近似面を算出することを特徴とする請求項１に記載の走査露光装置。
【請求項７】
前記ゾーンのレイアウトを指定する指定手段を有することを特徴とする請求項６に記載の走査露光装置。
【請求項８】
前記第１算出手段は、ショット毎に前記近似面を算出することを特徴とする請求項１に記載の走査露光装置。
【請求項９】
前記第１算出手段は、サンプルショット毎に前記近似面を算出することを特徴とする請求項１に記載の走査露光装置。
【請求項１０】
前記第１算出手段は、前記サンプルショットの前記近似面に基づいて、前記サンプルショット以外のショットの近似面を求めることを特徴とする請求項９に記載の走査露光装置。
【請求項１１】
前記近似面の情報を記録する記録手段を有することを特徴とする請求項１に記載の走査露光装置。
【請求項１２】
前記記録手段に記録された近似面の情報に基づいて、エラーを報知する報知手段を有することを特徴とする請求項１１に記載の走査露光装置。
【請求項１３】
前記第１算出手段は、前記基板のロットのうち最初の基板を含む一部の基板に関して、前記近似面を算出することを特徴とする請求項１に記載の走査露光装置。
【請求項１４】
前記露光中において前記計測手段により計測された位置に基づいて、前記ロットのうち次に露光される基板に関し、前記第１算出手段による前記近似面の算出を行うことを特徴とする請求項１３に記載の走査露光装置。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれかに記載の走査露光装置を用いて基板を露光するステップを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明は、原版および基板を走査しながら原版を介して前記基板の露光を行う走査露光装置であって、前記原版からの光を前記基板に投影する投影光学系と、前記基板を保持し、かつ移動するステージと、前記投影光学系の光軸の方向における、前記基板の表面の位置を計測する計測手段と、前記計測手段により計測された位置に基づいて、前記表面の近似面を算出する第１算出手段と、前記露光中において、前記計測手段により計測された位置に基づいて、前記光軸の方向における前記ステージの目標位置を算出し、かつ前記目標位置に基づいて、前記光軸の方向における前記ステージの位置を制御する制御手段とを有し、前記制御手段は、前記光軸の方向における前記近似面の位置を前記目標位置に加算するフィードフォワード制御を行う、ことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明は、前記計測手段により計測された位置と、該位置に基づいて前記第１算出手段により算出された近似面とに基づいて、前記露光中において前記計測手段により計測された位置を補正するための補正データを算出する第２算出手段を有することを特徴としてもよい。また、前記近似面を、前記光軸の方向に直交する面内の位置に関する多項式で表現したことを特徴とすることができる。また、前記多項式の次数および項数の少なくとも一方が変更可能であることを特徴とすることができ、前記近似面に基づいて、前記投影光学系の像面の形状を変更する変更手段を有することを特徴とすることもできる。前記第１算出手段は、前記表面のゾーン毎に前記近似前記表面のを算出するものであることが好ましく、前記ゾーンのレイアウトを指定する指定手段を有することを特徴としてもよい。前記第１算出手段は、ショット毎に前記近似面を算出することを特徴としてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、前記第１算出手段は、サンプルショット毎に前記近似面を算出するものであっても、前記サンプルショットの前記近似面に基づいて、前記サンプルショット以外のショットの近似面を求めるものであってもよい。また、本発明は、前記近似面の情報を記録する記録手段を有することが好ましく、前記記録手段に記録された前記近似面の情報に基づいて、エラーを報知する報知手段を有することが好ましい。前記第１算出手段は、前記基板のロットのうち最初の基板を含む一部の基板に関して、前記近似面を算出することを特徴としてもよい。前記露光中において前記計測手段により計測された位置に基づいて、前記ロットのうち次に露光される基板に関し、前記第１算出手段による前記近似面の算出を行うことを特徴とすることもできる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明に係るデバイス製造方法は、上記いずれかの走査露光装置を用いて基板を露光するステップを有することを特徴とすることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明によれば、走査露光方式におけるフォーカス追従性能を向上させることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月2日(2005.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボンディング対象に対しボンディング作業を行うボンディングヘッド部と、ボンディングヘッド部を任意の位置に移動させる移動機構とを含むボンディング装置であって、
移動機構は、
第１モータと、
第１モータの駆動軸に取り付けられ、架台に平行な面内で回転する第１駆動アームと、
第１駆動アームに回転自在に支持される第１可動アームと、
第２モータと、
第２モータの駆動軸に取り付けられ、架台に平行な面内で回転する第２駆動アームと、
第２駆動アームに回転自在に支持される第２可動アームと、
を含み、
ボンディングヘッド部に第１可動アームが固定され、第２可動アームが軸支されることを特徴とするボンディング装置。
【請求項２】
請求項１に記載のボンディング装置において、
第１可動アームの回転中心と第１可動アームがボンディングヘッド部に固定される固定点とを結ぶ直線と、第２可動アームの回転中心と第２可動アームがボンディングヘッド部に軸支される軸支点とを結ぶ直線との交点が、ボンディングヘッド部の重心位置に略一致することを特徴とするボンディング装置。
【請求項３】
請求項１に記載のボンディング装置において、
ボンディングヘッド部は架台に対し流体圧により支持されることを特徴とするボンディング装置。
【請求項４】
請求項１に記載のボンディング装置において、
架台は、ボンディングヘッド部を吊り下げて支持する吊り下げ架台であることを特徴とするボンディング装置。
【請求項５】
請求項１に記載のボンディング装置において、
第１駆動アームの回転角度を検出する第１センサと、
第２駆動アームの回転角度を検出する第２センサと、
第１センサの検出データ及び第２センサの検出データに基づき、ボンディングヘッド部の位置を架台に対する直交座標系の位置として算出する位置算出手段と、
算出された直交座標系の位置に基づいてボンディングヘッド部の位置制御を行う制御手段と、
を備えることを特徴とするボンディング装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
上記構成により、第１モータ及び第２モータについて、それぞれの駆動軸の運動を第１駆動アーム及び第２駆動アームの先端の運動に拡大する。このことで、以下に示すように、モータの推力（出力）を上げても加速度の頭打ちが生ぜず、より高速化を図ることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、上記構成の少なくとも１つにより、第１モータの回転角度及び第２モータの回転角度から、ボンディングヘッド部の位置を架台に対する直交座標系の位置として算出する。したがって、その変換データを用いることで、従来の直交座標系における位置決め制御プログラム等をそのまま利用できる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
第１駆動アーム１３４は、駆動軸ＯＥに取り付け固定され、駆動軸ＯＥの駆動に伴いＸＹ平面に平行な面内で回転される部材で、その先端の回転中心ＲＥにおいて第１可動アーム１３６を回転自在に支持する部材である。第１駆動アーム１３４は、軽量高剛性の材質、例えば炭素繊維強化樹脂（ＣＲＦＰ）等を成形して得ることができる。なお、第１駆動アーム１３４は、駆動軸ＯＥに対し非対称形となるので、駆動軸ＯＥに対し、第１駆動アーム１３４の延びる側と反対側にバランスウエイトを設けることが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
第２可動アーム１４６は、第２駆動アーム１４４の先端に設けられた回転中心ＲＳを中心としてＸＹ平面内で移動可能な部材で、材質は第２駆動アーム１４４と同じものを用いることができる。第２可動アーム１４６の他端は、ボンディングヘッド部１２０に設けられた軸支端１４８に接続される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
ここで、第１モータによる推力の方向と第２モータによる推力の方向との交点の軌跡をみると、ほぼボンディングヘッド部の重心に一致することがわかった。すなわち、図７の例のように、ボンディングヘッド部の移動範囲に比べて、回転中心ＲＳ，ＲＥからボンディングヘッド部までの距離、すなわちアームの長さを十分大きく取るときには、第１可動アーム部の回転中心ＲＥとボンディングヘッド部における固定点とを結ぶ直線と、第２可動アーム部の回転中心ＲＳとボンディングヘッド部における軸支点とを結ぶ直線との交点の軌跡を、ボンディングヘッド部の重心位置に略一致させることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月6日(2005.12.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
また、この種の導体組成物は、プリント基板やセラミック基板等の実装基板における表面配線、内層配線およびビア導体を形成するために用いられている。
【特許文献１】特開２０００−３１９６２２号公報
【特許文献２】特開２００２−２９９８３３号公報
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月18日(2006.10.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスエポキシ基板またはフェノール樹脂基板の低熱伝導率絶縁物質からなる絶縁基板の同一面上に配線パターンを形成し、この配線パターンの各電極部に、抵抗発熱素子および温度ヒューズ素子を互いに熱的結合状態を維持してはんだ固着した保護回路であって、前記抵抗発熱素子はチップ抵抗を用い、このチップ抵抗と温度ヒューズ素子とを前記絶縁基板上の狭い空間に搭載して樹脂材で気密封着したことを特徴とする抵抗付き温度ヒュ−ズ。
【請求項２】
前記温度ヒューズ素子は動作温度１３４±５℃を有する低融点可溶合金をセラミックパッケージした合金型温度ヒューズ、または感温ペレットを金属ケース内に収容して気密封着した感温ペレット型温度ヒューズであって、前記チップ抵抗に近接して空間配置したことを特徴とする請求項１に記載の抵抗付き温度ヒューズ。
【請求項３】
前記保護回路は電池パック用充放電制御回路として構成され、この制御回路が検知する異常電圧により前記抵抗発熱素子を自己発熱させ、発熱による温度上昇を感知して前記温度ヒューズ素子を溶断させることを特徴とする請求項１または２に記載の抵抗付き温度ヒュ−ズ。