【手続補正書】
【提出日】平成18年1月18日(2006.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロアクチュエータ、マイクロポンプ、光学デバイス、画像形成装置、液滴を吐出する装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する単一又は複数のノズル孔と、前記ノズル孔のそれぞれに連通する吐出室と、前記吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板とを備え、前記振動板を変形させることによって液に圧力を加え液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板は絶縁性薄膜であり、この振動板の両面、または、片方の面に電気的に互いに絶縁分離された導電性を有する構造体からなる少なくとも２つの電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記振動板を変形させることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
液滴を吐出する単一又は複数のノズル孔と、前記ノズル孔のそれぞれに連通する吐出室と、前記吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板とを備え、前記振動板を変形させることによって液に圧力を加え液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板は絶縁性薄膜であり、この振動板の両面、または、片方の面に導電性を有する構造体からなる少なくとも１つの電極を設けるとともに、固定部に前記電極に所定の間隔を置いて対向する電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記振動板を変形させることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板を形成する絶縁性薄膜は絶縁膜の積層膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板を形成する絶縁性薄膜を構成する絶縁膜は引張り応力を有していることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項４に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記引張り応力を有する絶縁膜は窒化シリコン膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記窒化シリコン膜の厚さが１０ｎｍ〜９００ｎｍの範囲内であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記窒化シリコン膜には不純物原子が含まれていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１乃至３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板を形成する絶縁性薄膜が有機樹脂膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項９に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記有機樹脂膜がポリイミド膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
液滴を吐出する単一又は複数のノズル孔と、前記ノズル孔のそれぞれに連通する吐出室と、前記吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板とを備え、前記振動板を変形させることによって液に圧力を加え液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板はシリコンとこのシリコンの吐出室と反対側の面に設けた絶縁性薄膜の積層膜であり、この振動板の前記絶縁性薄膜の面に電気的に互いに絶縁分離された導電性を有する構造体からなる少なくとも２つの電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記振動板を変形させることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１１】
液滴を吐出する単一又は複数のノズル孔と、前記ノズル孔のそれぞれに連通する吐出室と、前記吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板とを備え、前記振動板を変形させることによって液に圧力を加え液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板はシリコンとこのシリコンの吐出室と反対側の面に設けた絶縁性薄膜の積層膜であり、この振動板の前記絶縁性薄膜の面に導電性を有する構造体からなる少なくとも１つの電極を設けるとともに、固定部に前記電極に所定の間隔を置いて対向する電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記振動板を変形させることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１２】
請求項１０又は１１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板のシリコンには伝導型がｎ型又はｐ型の不純物原子が含まれていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１３】
液滴を吐出する単一又は複数のノズル孔と、前記ノズル孔のそれぞれに連通する吐出室と、前記吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板とを備え、前記振動板を変形させることによって液に圧力を加え液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板は主たる層とシリコンエッチングに対して選択性を有する膜とからなり、この振動板の両面、または、片方の面に電気的に互いに絶縁分離された導電性を有する構造体からなる少なくとも２つの電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記振動板を変形させることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１４】
液滴を吐出する単一又は複数のノズル孔と、前記ノズル孔のそれぞれに連通する吐出室と、前記吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板とを備え、前記振動板を変形させることによって液に圧力を加え液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板は主たる層とシリコンエッチングに対して選択性を有する膜とからなり、この振動板の両面、または、片方の面に導電性を有する構造体からなる少なくとも１つの電極を設けるとともに、固定部に前記電極に所定の間隔を置いて対向する電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記振動板を変形させることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１５】
液滴を吐出する単一又は複数のノズル孔と、前記ノズル孔のそれぞれに連通する吐出室と、前記吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板とを備え、前記振動板を変形させることによって液に圧力を加え液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板はシリコンエッチングに対してエッチング選択性を有する膜／主たる層／電極材料のエッチングに対して選択性を有する膜とからなり、この振動板の両面、または、片方の面に電気的に互いに絶縁分離された導電性を有する構造体からなる少なくとも２つの電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記振動板を変形させることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１６】
液滴を吐出する単一又は複数のノズル孔と、前記ノズル孔のそれぞれに連通する吐出室と、前記吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板とを備え、前記振動板を変形させることによって液に圧力を加え液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板はシリコンエッチングに対してエッチング選択性を有する膜／主たる層／電極材料のエッチングに対して選択性を有する膜とからなり、この振動板の両面、または、片方の面に導電性を有する構造体からなる少なくとも１つの電極を設けるとともに、固定部に前記電極に所定の間隔を置いて対向する電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記振動板を変形させることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１７】
請求項１３乃至１６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記シリコンエッチングに対してエッチング選択性を有する膜がシリコン酸化膜又はシリコン窒化膜とシリコン酸化膜の積層膜であること特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１８】
請求項１５又は１６に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極材料のエッチングに対してエッチング選択性を有する膜がシリコン酸化膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１９】
請求項１３乃至１８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記主たる層が引張り応力を有していることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２０】
請求項１３乃至１９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記主たる層が窒化シリコン膜又はシリコンであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２１】
請求項１３乃至２０のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の厚みが５μｍ以下であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２２】
インク滴を吐出する液滴吐出ヘッドとこの液滴吐出ヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジにおいて、前記液滴吐出ヘッドが請求項１乃至２１のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項２３】
インク滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが請求項１乃至２１のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド又は請求項２２に記載のインクカートリッジであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２４】
可動部分を変形させるマイクロアクチュエータであって、前記可動部分が絶縁性薄膜からなり、この前記可動部分の両面、または、片方の面に電気的に互いに絶縁分離された導電性を有する構造体からなる少なくとも２つの電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記可動部分を変形させることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項２５】
可動部分を変形させるマイクロアクチュエータであって、前記可動部分が絶縁性薄膜からなり、前記可動部分の両面、または、片方の面に導電性を有する構造体からなる少なくとも１つの電極を設けるとともに、固定部に前記可動部分の電極に所定の間隔を置いて対向する電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記可動部分を変形させることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項２６】
可動部分の変形によって液体を輸送するマイクロポンプであって、前記可動部分が絶縁性薄膜からなり、前記可動部分の両面、または、片方の面に電気的に互いに絶縁分離された２つの電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記可動部分を変形させることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項２７】
可動部分に形成したミラーの変位によって光の反射方向を変化させる光学デバイスであって、前記可動部分が絶縁性薄膜からなり、前記可動部分の両面、または、片面に電気的に互いに絶縁分離された２つの電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記可動部分を変形させることを特徴とする光学デバイス。
【請求項２８】
液滴吐出ヘッドを備えて画像を形成する画像形成装置において、前記液滴吐出ヘッドが請求項１ないし２１のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
【請求項２９】
液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する装置において、前記液滴吐出ヘッドが請求項１ないし２１のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする液滴を吐出する装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロアクチュエータ、マイクロポンプ、光学デバイス、画像形成装置、液滴を吐出する装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、低コストで、滴吐出効率が高く、高画質印字が可能な液滴吐出ヘッド、このヘッドを一体化したインクカートリッジ、高画質記録が可能なインクジェット記録装置、低コストで、駆動効率が高いマイクロアクチュエータ、マイクロポンプ、光学デバイス、高画質記録が可能な画像形成装置、滴吐出効率が高い液滴を吐出する装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するインクジェットヘッドが本発明に係る液滴吐出ヘッド又はインクカートリッジであるものである。
本発明に係る画像形成装置、液滴を吐出する装置は、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５３】
本発明に係るインクジェットヘッド又はインクカートリッジを搭載した、本発明に係る液滴を吐出する装置を含む画像形成装置としてのインクジェット記録装置の一例について図３７及び図３８を参照して説明する。なお、図３７は同記録装置の斜視説明図、図３８は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７４】
なお、上記実施形態においては、液滴吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドとして、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。また、マイクロアクチュエータは、マイクロポンプ、光学デバイス（光変調デバイス）以外にも、マイクロスイッチ（マイクロリレー）、マルチ光学レンズのアクチュエータ（光スイッチ）、マイクロ流量計、圧力センサなどにも適用することができる。また、前述したようにプリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像形成装置及び液滴を吐出する装置にも本発明を適用することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９１】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、インク滴を吐出するインクジェットヘッドとして本発明に係る液滴吐出ヘッド又はインクカートリッジを搭載するので、装置の低コスト化を図れる。本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたので、低コスト化を図ることができる。本発明に係る液滴を吐出する装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたので、低コスト化を図れる。