(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付けるための荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を前記磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記磁気ヘッドを支持するヘッド搭載領域を有し、前記ロードビーム部に固着されるフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、本体領域と、前記本体領域の幅方向両側から先端側へ延び、両者の間に先端側へ開く凹部を画する一対の支持片であって、磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線を基準にして対称とされた一対の支持片とを有し、
前記荷重曲げ部は、前記一対の支持片に両持ち支持された弾性板を備え、
前記弾性板は、前記一対の支持片にそれぞれ当接され且つ固着される第１及び第２支持部当接領域と、前記凹部内において前記ロードビーム部に対して直接又は間接的に固着されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域と前記第１及び第２支持部当接領域との間をそれぞれ連結する第１及び第２延在領域とを有し、前記第１及び第２延在領域が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線回りに捩れ弾性変形することで前記荷重曲げ部として作用するように構成され、
前記ロードビーム部を形成するロードビーム基板のうち前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分は、前記ロードビーム部当接領域と略平行に延び且つ前記ロードビーム部当接領域に直接的又は間接的に固着される平行領域と、前記平行領域から磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った基端側曲げ線を介して先端側へ延びる中間領域と、前記中間領域から磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った先端側曲げ線を介して先端側へ延び且つ前記ヘッド搭載領域に当接するディンプルが設けられた先端領域とを含み、
前記先端側曲げ線は、磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し、前記荷重曲げ中心線と前記ディンプルとの間の中間点近傍に位置していることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記弾性板は、前記支持片におけるディスク面に近接する側の面に固着され、且つ、前記ロードビーム基板は、前記弾性板におけるディスク面とは反対側の面に固着されており、
前記ロードビーム基板は、前記平行領域を基準にして前記中間領域が先端側へ行くに従ってディスク面に近接するように前記基端側曲げ線において曲げられ、且つ、前記中間領域を基準にして前記先端領域が先端側へ行くに従ってディスク面から離間するように前記先端側曲げ線において曲げられていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
少なくとも一部が平面視において前記凹部内に位置するように前記ロードビーム基板に固着された平衡質量体を備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
少なくとも一部が平面視において前記凹部内に位置するように前記ロードビーム基板に固着された平衡質量体を備え、
前記弾性板は、前記支持片におけるディスク面に近接する側の面に固着され、且つ、前記平衡質量体は、前記弾性板におけるディスク面に近接する側の面に固着され、且つ、前記ロードビーム基板は、前記平衡質量体におけるディスク面に近接する側の面に固着されており、
前記ロードビーム基板は、前記平行領域を基準にして前記中間領域が先端側へ行くに従ってディスク面から離間するように前記基端側曲げ線において曲げられ、且つ、前記中間領域を基準にして前記先端領域が先端側へ行くに従ってディスク面に近接するように前記先端側曲げ線において曲げられていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記平衡質量体は、磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った折り曲げ部を有し、前記折り曲げ部より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記折り曲げ部において曲げられていることを特徴とする請求項３又は４に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記フレクシャ部を形成するフレクシャ基板は、前記ロードビーム基板に当接され且つ固着されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域から先端側へ延びる一対の支持片と、前記一対の支持片の自由端部に連結され、前記磁気ヘッドが搭載される前記ヘッド搭載領域と、前記ロードビーム部当接領域から前記ロードビーム基板を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の拡幅領域とを有し、
前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線は、磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し前記一対の拡幅領域とオーバーラップしないことを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
前記ロードビーム基板は、磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線を基準にして左右対称とされた平板状の本体部と前記本体部の両側縁に設けられた一対のフランジ部とを有し、
前記一対のフランジ部の自由端には、前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線と磁気ヘッドサスペンション長手方向同一位置に切り欠きが設けられていることを特徴とする請求項１から６の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項８】
前記ロードビーム基板は、磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線を基準にして左右対称とされた平板状の本体部と前記本体部の両側縁に設けられた一対のフランジ部とを有し、
前記ロードビーム基板には、前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線と磁気ヘッドサスペンション長手方向同一位置に前記本体部と前記一対のフランジ部との境界を跨ぐ貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータの読み出し及び書き込みを行う磁気ヘッドを支持するための磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ヘッドによって記録媒体に対してデータの読み出し及び書き込みを行うデータ記憶装置は、ノートブック型パーソナルコンピュータや携帯音楽プレーヤー等のモバイル機器においても広く利用されており、これに伴い、前記磁気ヘッドを支持する磁気ヘッドサスペンションにはより高い耐衝撃性が求められるようになってきている。
即ち、前記磁気ヘッドサスペンションには、前記データ記憶装置を作動状態のままで地面に落下させてしまった場合等において、磁気ヘッドがディスク面を損傷させることを可及的に防止することが望まれる。
【０００３】
例えば、作動中の前記データ記憶装置に前記磁気ヘッドをディスク面に近づける方向の衝撃力が加えられた場合には、前記磁気ヘッドと前記ディスク面との間に存する空気膜によって前記磁気ヘッドが前記ディスク面に衝突することをある程度は回避することができる。
しかしながら、作動中の前記データ記憶装置に前記磁気ヘッドを前記ディスク面から離間させる方向へ一定以上の大きさの衝撃力が加わると、前記磁気ヘッドが前記ディスク面から離間する方向に跳躍し、この跳躍の揺れ戻しの際に前記磁気ヘッドが前記ディスク面に衝突して、前記ディスク面及び前記磁気ヘッドが損傷する恐れがある。
従って、前記データ記憶装置の耐衝撃性を向上させるためには、外部から付加される衝撃力によって前記磁気ヘッドが跳躍動作を行うことを可及的に防止すること、逆に言うと、前記磁気ヘッドの跳躍動作が生じる衝撃力の加速度（限界加速度）を可及的に上げることが必要となる。
【０００４】
前記磁気ヘッドは、前記データ記憶装置に装着される磁気ヘッドサスペンションに支持されている。
詳しくは、前記磁気ヘッドサスペンションは、前記磁気ヘッドを前記ディスク面へ向けて押し付けるための荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を前記磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記磁気ヘッドが搭載されるヘッド搭載領域を有し、前記ロードビーム部に溶接されるフレクシャ部とを備えている。
【０００５】
例えば、前記荷重曲げ部によって発生される前記荷重を増加させることによって、前記限界加速度を引き上げることが可能となる。
しかしながら、前記荷重は、前記ディスク面上での前記磁気ヘッドの浮上高さを制御するために適切な範囲に設定する必要がある。従って、前記荷重を増加させることで前記限界加速度を引き上げるという方法には、自ずと限界がある。
【０００６】
また、前記ロードビーム部の質量を低減させることで衝撃力が加わった際に前記ロードビーム部に付加される慣性力を小さくすることによっても、前記限界加速度を引き上げることが可能である。
しかしながら、前記ロードビーム部の質量を低減させるためには、前記ロードビーム部の板厚を薄くしたり、前記ロードビーム部に孔を形成する必要があり、その結果、前記ロードビーム部の剛性が低下し、これにより、振動特性及びロード／アンロード特性が劣化するという問題がある。
【０００７】
衝撃力付加時における前記磁気ヘッドの跳躍動作を抑えるためのさらに他の構成として、前記ロードビーム部に、前記荷重曲げ部に接合される部分より基端側へ延びる延在部を設ける構成が提案されている（例えば、下記特許文献１〜４参照）。
この構成は、前記ロードビーム部のうち前記荷重曲げ部より先端側に位置する部分の質量と前記荷重曲げ部より基端側に位置する質量とを可及的に等しくすることにより、外部からの衝撃力印可時における前記磁気ヘッドの跳躍動作を抑えるものであり、前記ロードビーム部の剛性低下を招くことが無い点で有用である。
【０００８】
しかしながら、これらの特許文献に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記ロードビーム部は、前記支持部に片持ち支持された状態の前記荷重曲げ部の自由端部に接合されている。この構成では、衝撃力が付加された際に、前記ロードビーム部の支持点（即ち、前記ロードビーム部及び前記荷重曲げ部の接合点）がディスク面と直交する方向に大きく変動してしまう。
従って、前記各特許文献に記載の磁気ヘッドサスペンションは、前記ロードビーム部の剛性低下を招くという問題は生じないものの、前記限界加速度を十分には引き上げることができない。
【０００９】
さらに、前記磁気ヘッドサスペンションはアクチュエータの駆動に応じて前記磁気ヘッドをハードディスク等の記憶媒体上において径方向（シーク方向）へ高速移動させ、前記磁気ヘッドを目的のトラック上に正確に位置決めさせる部材であるから、振動特性、特に、前記ディスク面と平行なシーク方向の振動特性の精密な制御が望まれている。
即ち、磁気ヘッドサスペンションのＳＷＡＹモードの共振周波数が磁気ヘッドサスペンションの他のモードの共振周波数及びデータ記憶装置を構成するサスペンション以外の部品の共振周波数と一致することを回避する必要がある。
さらに、磁気ヘッドサスペンションの捩れモードの振動によって前記磁気ヘッドスライダがシーク方向に変位することを有効に防止又は低減することも望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平９−０８２０５２号公報
【特許文献２】特開平１１−０３９８０８号公報
【特許文献３】特開２００４−３４８８０４号公報
【特許文献４】特開２００５−１７４５０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、耐衝撃性を向上させるとともに、シーク方向の振動特性の精密な制御を行うことができる磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付けるための荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を前記磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記磁気ヘッドを支持するヘッド搭載領域を有し、前記ロードビーム部に固着されるフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、本体領域と、前記本体領域の幅方向両側から先端側へ延び、両者の間に先端側へ開く凹部を画する一対の支持片であって、磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線を基準にして対称とされた一対の支持片とを有し、前記荷重曲げ部は、前記一対の支持片に両持ち支持された弾性板を備え、前記弾性板は、前記一対の支持片にそれぞれ当接され且つ固着される第１及び第２支持部当接領域と、前記凹部内において前記ロードビーム部に対して直接又は間接的に固着されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域と前記第１及び第２支持部当接領域との間をそれぞれ連結する第１及び第２延在領域とを有し、前記第１及び第２延在領域が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線回りに捩れ弾性変形することで前記荷重曲げ部として作用するように構成され、前記ロードビーム部を形成するロードビーム基板のうち前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分は、前記ロードビーム部当接領域と略平行に延び且つ前記ロードビーム部当接領域に直接的又は間接的に固着される平行領域と、前記平行領域から磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った基端側曲げ線を介して先端側へ延びる中間領域と、前記中間領域から磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った先端側曲げ線を介して先端側へ延び且つ前記ヘッド搭載領域に当接するディンプルが設けられた先端領域とを含み、前記先端側曲げ線は、磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し、前記荷重曲げ中心線と前記ディンプルとの間の中間点近傍に位置している磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００１３】
上記構成の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記支持部の前記本体領域の幅方向両側から先端側へ延びた前記一対の支持片に、前記弾性板の第１及び第２支持部当接領域がそれぞれ当接された状態で固着される。また、前記一対の支持片によって画される凹部内において前記ロードビーム部と前記弾性板の前記ロードビーム部当接領域とが当接された状態で固着される。そして、前記弾性板の第１及び第２支持部当接領域とロードビーム部当接領域との間の第１及び第２延在領域が磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った荷重曲げ中心線回りに捩れ弾性変形することにより、前記弾性板が荷重曲げ部として作用し、前記磁気ヘッドをディスク面に向けて押し付ける荷重を発生させる。
また、前記ロードビーム部を形成する前記ロードビーム基板は、前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分において、磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った前記基端側曲げ線及び前記先端側曲げ線を介して曲げられており、前記基端側曲げ線を介して前記平行領域と前記中間領域とが区画され、前記先端側曲げ線を介して前記中間領域と前記先端領域とが画されている。前記平行領域は、前記弾性板の前記ロードビーム部当接領域と直接的又は間接的に固着され、前記先端領域には前記フレクシャ部の前記ヘッド搭載領域に当接するディンプルが設けられている。
ここで、前記先端側曲げ線は、磁気ヘッドサスペンションの長手方向位置に関して荷重曲げ中心線とディンプルとの間の中間点近傍に位置される。
【００１４】
本発明に係る前記磁気ヘッドサスペンションによれば、サスペンション幅方向両側に位置する前記第１及び第２支持部当接領域が前記支持部によって支持された前記弾性板が前記第１及び第２支持部当接領域と前記ロードビーム部当接領域との間の前記第１及び第２延在領域において荷重曲げ中心線回りに捩れ弾性変形することにより荷重曲げ部として作用するため、衝撃力が加えられた際に前記ロードビーム部と前記荷重曲げ部との接合点がディスク面に直交する方向に変動することを有効に防止することができる。従って、耐衝撃性を向上させることができる。
さらに、前記ロードビーム基板が荷重曲げ中心線より先端側に位置する前記基端側曲げ線及び前記先端側曲げ線の２箇所において曲げられている為、前記ロードビーム部基板の剛性を高めて前記磁気ヘッドサスペンションのＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させることができる。さらに、前記基端側曲げ線及び前記先端側曲げ線での曲げ角度を調整することにより、複数の捩れモードにおける前記磁気ヘッドスライダのシーク方向の変位量を調整でき、これにより、前記磁気ヘッドサスペンションのシーク方向に関する振動特性を向上させることができる。
また、前記先端側曲げ線が磁気ヘッドサスペンションの長手方向位置に関して荷重曲げ中心線とディンプルとの間の中間点近傍に位置されている為、前記先端側曲げ線における曲げ角度を大きくすることなく、前記ロードビーム基板の重心の前記ディスク面と直交するｚ方向位置を有効に変化させることができ、従って、前記先端側曲げ線での曲げ角度を小さくしつつ振動モードにおける前記ロードビーム基板の捩れ中心位置を所望位置に調整することができる。
【００１５】
第１の形態においては、前記弾性板は前記支持片におけるディスク面に近接する側の面に固着され、前記ロードビーム基板は前記弾性板におけるディスク面とは反対側の面に固着されており、前記ロードビーム基板は前記平行領域を基準にして前記中間領域が先端側へ行くに従ってディスク面に近接するように前記基端側曲げ線において曲げられ、且つ、前記中間領域を基準にして前記先端領域が先端側へ行くに従ってディスク面から離間するように前記先端側曲げ線において曲げられている。
【００１６】
この場合、前記弾性板は前記支持片の前記ディスク面に近接する側に位置され、且つ、前記ロードビーム基板は前記弾性板の前記ディスク面とは反対側に位置される。そして、前記ロードビーム基板の前記中間領域は、前記平行領域に対して先端側へ行くに従って前記ディスク面に近接するように前記基端側曲げ線において曲げられ、前記ロードビーム基板の前記先端領域は、前記中間領域に対して先端側へ行くに従ってディスク面から離間するように前記先端側曲げ線において曲げられている。即ち、前記ロードビーム基板は、前記基端側曲げ線において前記ディスク面から離間する方向に凸状とされ、且つ、前記先端側曲げ線において前記ディスク面に近接する方向に凸状とされている。
斯かる構成によれば、前記ロードビーム部の基端側を前記ディスク面から比較的離間した位置に取り付けつつ、前記ロードビーム基板の先端側を前記ディスク面に略平行な状態で前記平行領域より前記ディスク面に近接した位置に容易に配置させることができる。
【００１７】
好ましくは、少なくとも一部が平面視において前記凹部内に位置するように前記ロードビーム基板に固着された平衡質量体を備えることができる。
【００１８】
この場合、ロードビーム基板には、平衡質量体が固着される。このとき、平衡質量体の少なくとも一部は、支持部の凹部内に位置される。
これにより、磁気ヘッドサスペンションの可動領域（支持体を除いた領域）における重心を荷重曲げ中心線に可及的に近づけることができる。従って、外部からの衝撃が加わった場合でも、荷重曲げ中心線回りの振動を可及的に抑制することができ、耐衝撃性を向上させることができる。
【００１９】
第２形態においては、少なくとも一部が平面視において前記凹部内に位置するように前記ロードビーム基板に固着された平衡質量体が備えられる。
前記弾性板は、前記支持片におけるディスク面に近接する側の面に固着され、前記平衡質量体は、前記弾性板におけるディスク面に近接する側の面に固着され、且つ、前記ロードビーム基板は、前記平衡質量体におけるディスク面に近接する側の面に固着される。
前記ロードビーム基板は、前記平行領域を基準にして前記中間領域が先端側へ行くに従ってディスク面から離間するように前記基端側曲げ線において曲げられ、且つ、前記中間領域を基準にして前記先端領域が先端側へ行くに従ってディスク面に近接するように前記先端側曲げ線において曲げられる。
【００２０】
この場合、前記弾性板は前記支持片のディスク面に近接する側に位置され、前記平衡質量体は少なくとも一部が前記凹部内に配置された状態で前記ディスク面とは反対側に位置され、前記ロードビーム基板は前記平衡質量体の前記ディスク面に近接する側に位置される。そして、前記ロードビーム基板の前記中間領域は、前記平行領域に対して先端側へ行くに従ってディスク面から離間するように前記基端側曲げ線において曲げられ、前記ロードビーム基板の前記先端領域は、前記中間領域に対して先端側へ行くに従って前記ディスク面に近接するように前記先端側曲げ線において曲げられている。即ち、前記ロードビーム基板は、前記基端側曲げ線において前記ディスク面に近接する方向に凸状とされ、且つ、前記先端側曲げ線において前記ディスク面から離間する方向に凸状とされる。
斯かる構成によれば、前記ロードビーム部の基端側をディスク面に比較的近接した位置に取り付けつつ、前記ロードビーム基板の先端側を前記ディスク面に略平行な状態で前記ディスク面から所定距離離間した位置に容易に配置させることができる。
【００２１】
より好ましくは、前記平衡質量体は、磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った折り曲げ部を有し、前記折り曲げ部より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記折り曲げ部において曲げられている。
斯かる構成によれば、外部からの衝撃力印可時に前記平衡質量体が前記荷重曲げ中心線回りに振動した場合であっても、前記平衡質量体が前記ディスク面に当接することを有効に防止することができる。
【００２２】
好ましくは、前記フレクシャ部を形成するフレクシャ基板は、前記ロードビーム基板に当接され且つ固着されるロードビーム部当接領域と、前記ロードビーム部当接領域から先端側へ延びる一対の支持片と、前記一対の支持片の自由端部に連結され、前記磁気ヘッドが搭載される前記ヘッド搭載領域と、前記ロードビーム部当接領域から前記ロードビーム基板を越えて磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延びる一対の拡幅領域とを有し、前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線は、磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し前記一対の拡幅領域とオーバーラップしないように構成されている。
【００２３】
斯かる構成によれば、前記一対の拡幅領域が前記ロードビーム基板を越えて磁気ヘッドサスペンションの幅方向外方へ延びているので、前記ロードビーム部の剛性を高めることができる。
さらに、前記ロードビーム基板の前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線が、磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し前記一対の拡幅領域とオーバーラップしない位置に設けられているので、前記一対の拡幅領域によって前記ロードビーム部の剛性を向上させつつ、前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線での前記ロードビーム基板の曲げ加工を安定して行うことができる。
【００２４】
好ましくは、前記ロードビーム基板は、磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線を基準にして左右対称とされた平板状の本体部と前記本体部の両側縁に設けられた一対のフランジ部とを有し、前記一対のフランジ部の自由端には、前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線と磁気ヘッドサスペンション長手方向同一位置に切り欠きが設けられる。
【００２５】
斯かる構成によれば、前記一対のフランジ部によって、前記ロードビーム部の剛性を高めることができる。さらに、前記一対のフランジ部には、前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線と磁気ヘッドサスペンション長手方向同一位置に位置する部分に自由端側に開く前記切り欠きが設けられているので、前記一対のフランジ部によって前記ロードビーム部の剛性を向上させつつ、前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線での前記ロードビーム基板の曲げ加工を安定して行うことができる。
【００２６】
好ましくは、前記ロードビーム基板は、磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線を基準にして左右対称とされた平板状の本体部と前記本体部の両側縁に設けられた一対のフランジ部とを有し、前記ロードビーム基板には、前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線と磁気ヘッドサスペンション長手方向同一位置に前記本体部と前記一対のフランジ部との境界を跨ぐ貫通孔が設けられる。
【００２７】
斯かる構成によれば、前記一対のフランジ部によって、前記ロードビーム部の剛性を高めることができる。さらに、前記ロードビーム基板には、前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線と磁気ヘッドサスペンション長手方向同一位置に前記本体部と前記一対のフランジ部との境界を跨ぐように前記貫通孔が設けられているので、前記一対のフランジ部によって前記ロードビーム部の剛性を向上させつつ、前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線での前記ロードビーム基板の曲げ加工を安定して行うことができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、弾性板の第１及び第２支持部当接領域とロードビーム部当接領域との間の第１および第２延在領域において、弾性板が荷重曲げ中心線回りに捩れ弾性変形することにより荷重曲げ部として作用するため、衝撃力が加えられた際に前記ロードビーム部と前記荷重曲げ部との接合点がディスク面に直交する方向に変動することを有効に防止することができる。従って、耐衝撃性を向上させることができる。
さらに、ロードビーム基板が荷重曲げ中心線より先端側に位置する基端側曲げ線及び先端側曲げ線の２箇所において曲げられている為、前記ロードビーム部基板の剛性を高めて前記磁気ヘッドサスペンションのＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させることができる。さらに、前記基端側曲げ線及び前記先端側曲げ線での曲げ角度を調整することにより、複数の捩れモードにおける前記磁気ヘッドスライダのシーク方向の変位量を調整でき、これにより、前記磁気ヘッドサスペンションのシーク方向に関する振動特性を向上させることができる。
また、前記先端側曲げ線が磁気ヘッドサスペンションの長手方向位置に関して荷重曲げ中心線とディンプルとの間の中間点近傍に位置されている為、前記先端側曲げ線における曲げ角度を大きくすることなく、前記ロードビーム基板の重心の前記ディスク面と直交するｚ方向位置を有効に変化させることができ、従って、前記先端側曲げ線での曲げ角度を小さくしつつ振動モードにおける前記ロードビーム基板の捩れ中心位置を所望位置に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１（ａ）及び図１（ｂ）は、本発明の第１実施形態に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図（ディスク面とは反対側から視た図）及び下面図である。
【図２】図２は、図１（ｂ）におけるＩＩ部拡大図である。
【図３】図３は、前記第１実施形態に係る磁気ヘッドサスペンションにおける弾性板の拡大下面図である。
【図４】図４は、図１に示す前記磁気ヘッドサスペンションの側面図である。
【図５】図５（ａ）及び図５（ｂ）は、前記第１実施形態に係る磁気ヘッドサスペンションにおける平衡質量体の下面図（前記ディスク面側から視た図）及び側面図である。
【図６】図６は、前記第１実施形態に係る磁気ヘッドサスペンションにおける先端側曲げ線の磁気ヘッドサスペンション長手方向位置と曲げ角度との関係を示すグラフであり、前記ロードビーム基板のうち前記先端側曲げ線が位置する部分の板厚方向高さを一定に固定した状態で前記先端側曲げ線の磁気ヘッドサスペンション長手方向位置を変化させた際に要求される前記先端側曲げ線でのロードビーム基板の曲げ角度を示している。
【図７】図７は、前記先端側曲げ線での前記ロードビーム基板の曲げ角度を一定に固定した状態で基端側曲げ線での前記ロードビーム基板の曲げ角度を変化させた際の前記磁気ヘッドサスペンションのＳＷＡＹモードの共振周波数の変化を表すグラフである。
【図８】図８は、前記基端側曲げ線での前記ロードビーム基板の曲げ角度を一定に固定した状態で前記先端側曲げ線での前記ロードビーム基板の曲げ角度を変化させた際の前記磁気ヘッドサスペンションのＳＷＡＹモードの共振周波数の変化を表すグラフである。
【図９】図９は、前記先端側曲げ線での前記ロードビーム基板の曲げ角度を一定に固定した状態で前記基端側曲げ線での前記ロードビーム基板の曲げ角度を変化させた際の前記磁気ヘッドサスペンションの捩れ系モードのゲインの変化を表すグラフである。
【図１０】図１０は、前記基端側曲げ線での前記ロードビーム基板の曲げ角度を一定に固定した状態で前記先端側曲げ線での前記ロードビーム基板の曲げ角度を変化させた際の前記磁気ヘッドサスペンションの捩れ系モードのゲインの変化を表すグラフである。
【図１１】図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は、本発明の第２実施形態に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図１２】図１２は、図１１に示す前記磁気ヘッドサスペンションの側面図である。
【図１３】図１３（ａ）及び図１３（ｂ）は、本発明の第３実施形態に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び部分側面図である。
【図１４】図１４（ａ）及び図１４（ｂ）は、本発明の第４実施形態に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び部分側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
第１実施形態
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１（ａ）及び（ｂ）に、それぞれ、本発明の第１実施形態に係る磁気ヘッドサスペンション１の上面図（ディスク面とは反対側から視た図）及び下面図（前記ディスク面の側から見た図）を示す。また、図２に、図１（ｂ）におけるＩＩ部拡大図を示す。
【００３１】
本実施形態の磁気ヘッドサスペンション１は、図１及び図２に示すように、磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付けるための荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を磁気ヘッド１００に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する支持部１０と、前記磁気ヘッド１００を支持するヘッド搭載領域４３を有し、前記ロードビーム部３０に溶接又は接着等により固着されるフレクシャ部４０とを備えている。
【００３２】
前記支持部１０は、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持するための部材であり、比較的高い剛性を有するものとされる。
本実施形態においては、前記支持部１０は、図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、基端部がアクチュエータの回転中心に連結されるアームを有している。なお、これに代えて、前記支持部１０を、キャリッジアームの先端にスウェッジ加工により接合されるボス部を備えたベースプレートとすることも可能である。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００３３】
本実施形態において、前記支持部１０は、図１及び図２に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１の幅方向中央に先端側に開く凹部１３を画するように、幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片１２を有している。
即ち、前記支持部１０は、基端部が前記アクチュエータに直接又は間接的に連結される平板状の本体領域１１と、前記本体領域１１の先端部における幅方向両端側から先端側へ延びる前記一対の支持片１２とを有しており、前記一対の支持片１２の間に前記凹部１３が形成されている。
【００３４】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッド１００に伝達するための部材である。従って、所定の剛性が要求される。
前記ロードビーム部３０は、所定形状に成形されたロードビーム基板１３０によって形成されている。
【００３５】
前記ロードビーム基板１３０の板厚を前記荷重曲げ部２０を形成する下記弾性板６０や前記フレクシャ部４０を形成するフレクシャ基板１４０の板厚よりも厚くすることで前記ロードビーム部３０の剛性を確保することも可能であるし、これに加えて又はこれに代えて、前記ロードビーム基板１３０の両側縁にフランジ部３５を設けることによって前記ロードビーム基板１３０の厚みを前記フレクシャ基板１４０と同程度にしつつ前記ロードビーム部３０の剛性を確保することも可能である。
【００３６】
なお、本実施形態において、前記ロードビーム基板１３０は、図１に示すように、磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして左右対称とされた平板状の本体部１３０ａと前記本体部の両側縁に設けられた一対のフランジ部３５とを有している。このように、前記ロードビーム基板１３０の両側縁に前記フランジ部３５を設けることにより、前記ロードビーム部３０の剛性を確保しつつ前記ロードビーム基板１３０の板厚を可及的に薄くすることができる。
前記ロードビーム基板１３０は、例えば、厚さ０．０１５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度のステンレス板とされる。
【００３７】
前記ロードビーム部３０の先端部には、図１（ａ）に示すように、突起状のディンプル３１が設けられている。
前記ディンプル３１は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０４ｍｍ〜０．０８ｍｍ程度突出されている。このディンプル３１は、前記フレクシャ部４０における前記ヘッド搭載領域４３の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこのディンプル３１を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４３に伝達される。
【００３８】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッド１００を支持するための部材である。
本実施形態においては、前記フレクシャ部４０は、図１及び図２に示すように、前記磁気ヘッド１００を支持するヘッド搭載領域４３を有し、前記ロードビーム基板１３０に当接され且つ溶接又は接着等により固着されるフレクシャ基板１４０と、前記フレクシャ基板１４０に積層された絶縁層１５０と、前記絶縁層１５０に積層された導体層１５５とを一体的に有する配線一体型とされている。
【００３９】
前記フレクシャ基板１４０は、例えば、厚さ０．０１５ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板とされる。
詳しくは、前記フレクシャ基板１４０は、図１（ｂ）及び図２に示すように、前記ロードビーム基板１３０に当接され且つ適宜の溶接点５１において前記ロードビーム基板１３０に溶接されるロードビーム部当接領域１４１と、前記ロードビーム部当接領域１４１から先端側へ延びる一対の支持片１４２と、前記一対の支持片１４２の自由端部に連結され、前記磁気ヘッド１００が搭載される前記ヘッド搭載領域４３とを有している。
【００４０】
前記ヘッド搭載領域４３は、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッド１００を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４３の裏面には前記ディンプル３１が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４３は、前記ディンプル３１を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
【００４１】
本実施形態において、前記フレクシャ基板１４０は、図１（ｂ）及び図２に示すように、前記支持部１０に当接され且つ溶接又は接着等により固着される支持部当接領域１４４と、前記ロードビーム部当接領域１４１の幅方向両側から基端側へ延びて前記支持部当接領域１４４に連結される一対のブリッジ領域１４５とをさらに有している。本実施形態において、前記支持部当接領域１４４は、前記支持部１０に当接され且つ適宜の溶接点５２において溶接される。
前記一対のブリッジ領域１４５は、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部当接領域１４１と前記支持部当接領域１４４との間を連結するように前記凹部１３内に延びており、しかも前記磁気ヘッドサスペンション１の長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対称とされている。
【００４２】
前記磁気ヘッドサスペンション１は、図１及び図２に示すように、前記支持部１０における前記一対の支持片１２に両持ち支持された弾性板６０をさらに有しており、前記弾性板６０が前記荷重曲げ部２０として作用している。
【００４３】
図３に、本実施形態の磁気ヘッドサスペンション１における弾性板６０の拡大下面図を示す。
前記弾性板６０は、図３に示すように、前記一対の支持片１２にそれぞれ当接され且つ適宜の溶接点５３（図１（ｂ）参照）において溶接される第１及び第２支持部当接領域６１，６２と、前記凹部１３内において前記ロードビーム部３０に当接され且つ溶接又は接着等により固着されるロードビーム部当接領域６５と、前記ロードビーム部当接領域６５と前記第１及び第２支持部当接領域６１，６２との間をそれぞれ連結する第１及び第２延在領域７１，７２とを有している。
【００４４】
さらに、本実施形態の弾性板６０は、前記ロードビーム部当接領域６５が、磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し前記第１及び第２延在領域７１，７２に対応した中央領域６６に加えて、前記中央領域６６から先端側へ延びる先端領域６７を有している。
本実施形態において、前記ロードビーム部当接領域６５は、前記ロードビーム部３０に当接され且つ一対の溶接点２１において溶接され、当該一対の溶接点２１は、前記先端領域６７に位置されている。
即ち、前記弾性板６０は、前記ロードビーム部当接領域６５における前記先端領域６７に位置された前記一対の溶接点２１において、前記ロードビーム基板１３０及び前記フレクシャ基板１４０の双方に溶接されている。
【００４５】
前記弾性板６０は、前記第１及び第２延在領域７１，７２が磁気ヘッドサスペンション１の幅方向に沿った荷重曲げ中心線ＢＬ回りに捩れ弾性変形することで前記荷重を発生するように構成されている。
【００４６】
即ち、前記磁気ヘッド１００がディスク面の回転に伴う空気圧を受けて前記ディスク面上で浮上する状態における前記第１及び第２延在領域７１，７２の荷重曲げ中心線ＢＬ回りの捩れ弾性変形動作によって生じる前記弾性板６０の保有弾性が前記磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重として作用し、この押し付け荷重が前記空気圧とつり合うことで、前記磁気ヘッド１００は作動状態において前記ディスク面上で浮上する。
【００４７】
前記弾性板６０は、前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りの捩り動作によって前記荷重を発生し得るような部材によって形成される。前記弾性板６０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍ程度のステンレス板によって好適に形成される。
【００４８】
本実施形態において、前記弾性板６０の前記第１及び第２延在領域７１，７２は、前記磁気ヘッドサスペンション１がデータ記憶装置に実装される前の状態において、前記第１及び第２支持部当接領域６１，６２が前記一対の支持片１２によって前記ディスク面に略平行に保持された状態で、前記ロードビーム部当接領域６５における磁気ヘッドサスペンション長手方向先端側及び基端側が前記ディスク面に対して近接及び離間するように、前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りに捩り変形される。
【００４９】
かかる構成においては、前記一対の第１及び第２延在領域７１，７２が前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りに捩り戻されて所定の押し付け荷重を発生する状態で、前記磁気ヘッドサスペンション１がデータ記憶装置に実装される。そして、前記磁気ヘッド１００が前記ディスク面上に位置する状態で前記ディスク面の回転に伴う空気圧を受ける磁気ヘッドサスペンションの作動（ロード）時には、前記空気圧を受けた状態での前記一対の第１及び第２延在領域７１，７２の前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りの捩り戻り弾性変形によって生じる押し付け荷重が前記空気圧と釣り合うことで前記磁気ヘッド１００がディスク面上で浮上する。従って、前記押し付け荷重の制御を安定して行うことができる。
【００５０】
また、前記弾性板６０の前記ロードビーム当接領域６５に、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し、前記第１及び第２延在部７１，７２より先端側へ延びる前記先端領域６７を設け、前記先端領域６７を少なくとも前記一対の溶接点２１において前記ロードビーム基板１３０及び前記フレクシャ基板１４０の双方に溶接することにより、前記磁気ヘッドサスペンション１のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分のシーク方向の剛性をより効果的に向上させることができる。
【００５１】
本実施形態において、前記弾性板６０は、図１及び図２に示すように、前記支持部１０のディスク面側に位置している。
即ち、前記支持部当接領域６１，６２は、前記一対の支持片１２におけるディスク面側の下面に当接された状態で固着（本実施形態においては、溶接点５３において溶接固定）されている。
【００５２】
一方、前記ロードビーム基板１３０は、図１（ａ）に示すように、前記弾性板６０の前記ディスク面とは反対側に位置し、且つ、前記フレクシャ基板１４０は、図１（ｂ）及び図２に示すように、前記ロードビーム基板１３０及び前記弾性板６０の前記ディスク面側に位置している。
即ち、前記ロードビーム基板１３０の下面（前記ディスク面側の面）が前記弾性板６０における前記ロードビーム部当接領域６５の上面（前記ディスク面とは反対側の面）に当接されている。
一方、前記フレクシャ基板１４０の上面は、前記弾性板６０が存在しない領域においては前記ロードビーム基板１３０の下面（前記ディスク面側の面）に当接され、且つ、前記弾性板６０が存在する領域においては前記弾性板６０の下面（前記ディスク面側の面）に当接されている。
【００５３】
このように、本実施形態に係る磁気ヘッドサスペンション１においては、両端支持された状態の前記弾性板６０が前記荷重曲げ部２０として作用するように構成されており、これにより、下記効果を奏し得るようになっている。
【００５４】
即ち、従来の磁気ヘッドサスペンションにおける荷重曲げ部は、基端部がアーム等の支持部に支持され且つ自由端部においてロードビーム部を支持する片持ちバネ形態とされている。
かかる従来構成においては、外部からの衝撃力付加時に、ロードビーム部の支持点（即ち、ロードビーム部及び荷重曲げ部の接合点）がディスク面と直交する方向に大きく変動してしまう。従って、仮に、ロードビーム部を、剛性低下を招くことなく軽量化したり、及び／又は、ロードビーム部の支持点を基準にして該ロードビーム部の先端側及び基端側の質量平衡化を行ったとしても、衝撃力が加わった際に磁気ヘッドがディスク面に直交する方向に跳躍することを十分には抑えることはできない。
【００５５】
これに対し、本実施形態に係る磁気ヘッドサスペンション１においては、両端支持された前記弾性板６０が前記荷重曲げ部２０として作用するように構成されている。
かかる構成によれば、外部から衝撃力が付加された際に、前記ロードビーム部３０の支持点（即ち、前記ロードビーム基板１３０と前記弾性板６０との接合点）がディスク面と直交する方向に変動することを有効に防止でき、これにより、衝撃力が加わった際の前記磁気ヘッド１００の跳躍動作を抑え、前記磁気ヘッドサスペンション１の耐衝撃性を大幅に向上させることができる。
【００５６】
本実施形態において、前記第１及び第２延在領域７１，７２の先端側の辺及び基端側の辺は、図３に示すように、平面視においてそれぞれ先端側及び基端側に開く凹状とされる。より具体的には、前記第１及び第２延在領域７１，７２の先端側の辺及び基端側の辺は、平面視においてそれぞれ先端側及び基端側へ開く湾曲形状とされている。
かかる構成を備えることにより、前記第１及び第２延在領域７１，７２が荷重曲げ中心線ＢＬ回りに無理なく捩り弾性変形動作を行うことができ、これにより、荷重ばらつきの低減（荷重安定化）及びばね定数のばらつき低減（ばね定数安定化）を図ることができる。
【００５７】
さらに、本実施形態に係る磁気ヘッドサスペンション１においては、図１〜図３に示すように、前記弾性板６０における前記ロードビーム部当接領域６５のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分が、少なくとも前記長手方向中心線ＣＬを基準にして左右対称な一対の溶接点２１において、前記ロードビーム基板１３０及び前記フレクシャ基板１４０の双方に溶接されており、これにより、耐衝撃性の悪化を招くことなく、前記磁気ヘッドサスペンション１のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分のシーク方向（ディスク面と平行な方向）の剛性を高め、主共振モードである首振りモード（ＳＷＡＹモード）の共振周波数を向上させている。
【００５８】
即ち、前記ロードビーム基板１３０の板厚を厚くすることで前記磁気ヘッドサスペンション１のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分のシーク方向の剛性を高めることも可能であるが、この構成では、前記ロードビーム部３０の質量が増加し、これにより、耐衝撃性が悪化する。
【００５９】
これに対し、本実施形態においては、前記弾性板６０における前記ロードビーム部当接領域６５のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分と前記ロードビーム基板１３０と前記フレクシャ基板１４０とが、少なくとも前記長手方向中心線ＣＬを基準にして左右対称な一対の溶接点２１において、溶接されている。
かかる構成によれば、前記フレクシャ基板１４０が前記ロードビーム基板１３０の剛性を補強する補強部材としても作用することになり、従って、前記ロードビーム基板１３０の板厚を厚くすることなく、前記磁気ヘッドサスペンション１のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分のシーク方向の剛性を高めることができる。
【００６０】
本実施形態において、前記フレクシャ基板１４０は、図１及び図２に示すように、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し、前記ロードビーム基板１３０とともに前記弾性板６０に溶接される部分と前記ロードビーム部当接領域１４１の先端部分との間において前記ロードビーム部当接領域１４１から磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ前記ロードビーム基板１３０を越えて延びる一対の拡幅領域１４８であって、長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称とされた一対の拡幅領域１４８を有している。
前記一対の拡幅領域１４８を備えることにより、前記ロードビーム部３０に対する前記フレクシャ基板１４０によるシーク方向剛性補強効果をより向上させることができる。
【００６１】
前記一対の拡幅領域１４８は、例えば、一枚のシート材から複数の前記フレクシャ基板を成形する際に隣接するフレクシャ基板同士を繋ぐブリッジ部を利用して形成することができる。
即ち、通常、一枚のシート材から複数の前記フレクシャ基板を成形するが、その際、前記フレクシャ基板が変形することを防止するために、隣接するフレクシャ基板同士がブリッジ部で繋がれた状態のプリ成形体を形成し、その後に、前記ブリッジ部を切断して前記フレクシャ基板を形成する。
このような製造方法で前記フレクシャ基板を形成する場合において、好ましくは、切断された後の前記ブリッジ部によって前記拡幅領域１４８が形成されるように、前記プリ成形体を形成することができる。
かかる製造方法によれば、実質的に製造工程を増加させることなく、前記拡幅領域１４８を備えた前記フレクシャ基板１４０を得ることができる。
【００６２】
なお、本実施形態においては、前述の通り、前記ロードビーム基板１３０の両側縁に前記フランジ部３５が設けられているが、前記フランジ部３５は、図１（ａ）に示すように、前記ディスク面から離間する方向へ折り曲げられており、且つ、前記フレクシャ基板１４０は、図１（ｂ）及び図２に示すように、前記ロードビーム基板１３０におけるディスク面側の下面に当接されている。
従って、前記フランジ部３５に抵触することなく、前記フレクシャ基板１４０に前記拡幅領域１４８を備えることができる。
【００６３】
本実施形態に係る磁気ヘッドサスペンション１は、前記フレクシャ基板１４０と前記ロードビーム基板１３０との接合を強固にしつつ、前記弾性板６０が前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りに容易に捩り弾性変形動作を行えるように、さらに下記構成を備えている。
【００６４】
即ち、図２に示すように、前記フレクシャ基板１４における前記ロードビーム部当接領域１４１の基端側は、磁気ヘッドサスペンション幅方向中央において前記荷重曲げ中心線ＢＬより基端側へ延びる中央基端側延在部１４１ａと、前記一対のブリッジ領域１４５にそれぞれつながるように磁気ヘッドサスペンション幅方向両側から基端側へ延びる一対の移行部１４１ｂであって、前記長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対称とされた一対の移行部１４１ｂとを有している。
【００６５】
かかる構成において、前記中央基端側延在部１４１ａは、図２に示すように、前記長手方向中心線ＣＬを基準にして対称配置された一又は複数の溶接点２５（図示の形態においては長手方向中心線ＣＬ上に位置する一つの溶接点２５）において前記ロードビーム基板１３０及び前記弾性板６０の双方に溶接されており、これにより、前記フレクシャ基板１４０と前記ロードビーム基板１３０とを強固に接合させている。
【００６６】
さらに、前記フレクシャ基板１４０における前記ロードビーム当接領域１４１の基端側は、図２に示すように、前記中央基端側延在部１４１ａと前記一対の移行部１４１ｂとの間の部分１４１ｃが平面視において基端側へ開く凹状とされており、且つ、前記凹状の先端側が前記荷重曲げ中心線ＢＬ上若しくは前記荷重曲げ中心線より先端側に位置されている。
かかる構成によれば、前記弾性板６０の前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りの捩り弾性変形動作に対して、前記フレクシャ基板１４０の剛性が悪影響を及ぼすことを可及的に防止することができる。
【００６７】
図４に、前記磁気ヘッドサスペンション１の側面図を示す。
本実施形態においては、前記ロードビーム基板１３０のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分は、図１、図２及び図４に示すように、前記弾性板６０における前記ロードビーム部当接領域６５と略平行に延びる平行領域１３１ａと、前記平行領域１３１ａから先端側へ延びる中間領域１３１ｂと、前記中間領域１３１ｂから先端側へ延びる先端領域１３１ｃとを有している。
【００６８】
前記平行領域１３１ａは、前記ロードビーム部当接領域６５に対して略平行となるように該ロードビーム部当接領域６５に適宜の前記溶接点２１において直接的又は間接的に溶接されている。
前記中間領域１３１ｂは、前記平行領域１３１ａから磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った基端側曲げ線Ｌ１を介して先端側へ延びている。
前記先端領域１３１ｃは、前記中間領域１３１ｂから磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った先端側曲げ線Ｌ２を介して先端側へ延び且つ前記ヘッド搭載領域４３に当接する前記ディンプル３１が設けられている。
即ち、本実施の形態においては、前記ロードビーム基板１３０は、前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する前記基端側曲げ線Ｌ１及び前記先端側曲げ線Ｌ２の２カ所で折り曲げられている。
【００６９】
なお、前記ロードビーム基板１３０は、図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、さらに、前記先端領域１３１ｃから先端側へ延びるリフトタブ領域１３３を有している。
前記リフトタブ領域１３３は、前記磁気ヘッドサスペンション１のロード／アンロードの切換を行う際に使用される。即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１の非作動（アンロード）時に、前記磁気ヘッドスライダ１００が前記ディスク面の外方に位置するように前記磁気ヘッドサスペンションがシーク方向へ移動する際に、前記リフトタブ領域１３３がデータ記憶装置におけるランプに係合する。かかる構成により、前記磁気ヘッドサスペンション１のアンロード時における耐衝撃性をアップさせることができる。
【００７０】
本実施形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１は、図１及び図２に示すように、前記荷重曲げ中心線ＢＬより基端側に位置し且つ平面視において少なくとも一部が前記凹部１３内に位置するように前記ロードビーム基板１３０に固着された平衡質量体２００をさらに備えている。
詳しくは、前記ロードビーム基板１３０は、さらに、記荷重曲げ中心線ＢＬより基端側に位置する基端領域１３２を有しており、前記平衡質量体２００は、前記荷重曲げ中心線ＢＬより基端側に位置し且つ平面視において前記凹部１３内に位置するように前記ロードビーム基板１３０の前記基端領域１３２に溶接によって固着されている。
これにより、磁気ヘッドサスペンション１の可動領域（支持部１０を除く領域）における重心を荷重曲げ中心線ＢＬに可及的に近づけることができる。即ち、前記荷重曲げ部２０として作用する前記弾性板６０に支持される部材の荷重曲げ中心線ＢＬを基準にした先端側及び基端側の質量平衡化を図ることができる。従って、外部からの衝撃が加わった場合でも、荷重曲げ中心線ＢＬ回りの振動を可及的に抑制することができる。
【００７１】
詳しくは、前記平衡質量体２００は、前記ロードビーム基板１３０における前記基端領域１３２の上面に当接された状態で適宜の溶接点５５，５６において溶接されるロードビーム部当接領域２１０と、前記ロードビーム部当接領域２１０から前記凹部１３内において基端側へ延びる基端側延在領域２２０とを有している。
【００７２】
本実施形態においては、前記平衡質量体２００の前記ロードビーム部当接領域２１０は、図２に示すように、前記長手方向中央線ＣＬを基準にして対称に配置された一対の先端側溶接点５５において前記ロードビーム基板１３０及び前記弾性板６０の双方に溶接され、且つ、前記一対の先端側溶接点５５より基端側において前記長手方向中央線ＣＬを基準にして対称に配置された一対の基端側溶接点５６において前記ロードビーム基板１３０に溶接されている。
前記平衡質量体２００は、例えば、厚さ０．０５ｍｍ〜０．４ｍｍ程度の金属板によって形成され得る。
【００７３】
前述の通り、前記ロードビーム基板１３０には、幅方向両側に上方を向くように折り曲げられた一対のフランジ部３５が設けられている。従って、前記平衡質量体２００の前記ロードビーム部当接領域２１０は、前記一対のフランジ部３５の間において前記ロードビーム基板１３０の上面に当接された状態で溶接固定されており、これにより、前記平衡質量体２００と前記ロードビーム基板１３０との接続部分において一定の剛性が確保されている。
【００７４】
図５（ａ）及び図５（ｂ）に、それぞれ、前記平衡質量体２００の下面図（前記ディスク面側から視た図）及び側面図を示す。
前記平衡質量体２００は、図１、図２及び図５に示すように、磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った折り曲げ部２０５を有し、前記折り曲げ部２０５より基端側の領域が基端側へ行くに従って前記ディスク面から離間するように前記折り曲げ部２０５において曲げられている。
【００７５】
即ち、前記平衡質量体２００は、前記磁気ヘッドサスペンション１の幅方向に沿った前記折り曲げ部２０５において折り曲げられており、当該折り曲げ部２０５より基端側の領域が基端側へ行くに従ってディスク面から離間している。
これにより、外部からの衝撃により前記磁気ヘッドサスペンション１が荷重曲げ中心線ＢＬ回りに揺動しても、前記平衡質量体２００がディスク面に当接することを有効に防止することができる。
【００７６】
本実施形態において、前記平衡質量体２００は、図５（ｂ）に示すように、前記折り曲げ部２０５を含む領域が他の領域に比して薄くなっている。
かかる構成によれば、前記折り曲げ部２０５での前記平衡質量体２００の曲げ加工を安定的に行うことができる。
前記折り曲げ部２０５を含む領域を薄くする方法としては、例えば、前記平衡質量体２００における前記折り曲げ部２０５に対応する部分の少なくとも一方側の面（本実施形態においてはディスク面側の面）をエッチングすることにより、容易に行うことができる。
【００７７】
本実施形態において、前記弾性板６０は、図１、図２及び図４に示すように、前記支持片１２におけるディスク面に近接する側の面に固着され、且つ、前記ロードビーム基板１３０は、前記弾性板６０におけるディスク面とは反対側の面に固着されている。
また、前記ロードビーム基板１３０は、前記平行領域１３１ａを基準にして前記中間領域１３１ｂが先端側へ行くに従ってディスク面に近接するように前記基端側曲げ線Ｌ１において曲げられ、且つ、前記中間領域１３１ｂを基準にして前記先端領域１３１ｃが先端側へ行くに従ってディスク面から離間するように前記先端側曲げ線Ｌ２において曲げられている。
即ち、本実施の形態においては、前記基端側曲げ線Ｌ１は前記ディスク面から離間する方向に凸状とされ、且つ、先端側曲げ線Ｌ２は前記ディスク面に近接する方向に凸状とされている。
【００７８】
このように、前記ロードビーム基板１３０のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分を前記基端側曲げ線Ｌ１及び先端側曲げ線Ｌ２の２箇所において曲げることにより、前記ロードビーム部基板１３０の剛性を高めて前記磁気ヘッドサスペンションのＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させることができ、さらに、複数の捩れモードにおける捩れ中心線の位置を調整でき、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション１のシーク方向に関する振動特性を向上させることができる。
【００７９】
なお、本実施形態においては、前記平行領域１３１ａ及び前記先端領域１３１ｃは、ディスク面と略平行に配置され、前記中間領域１３１ｂは、先端側へ行くに従ってディスク面に近接するように配置されている。
特に、前記平行領域１３１ａがディスク面と略平行となるように構成すれば、ＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させることができる。
【００８０】
さらに、本実施の形態においては、前記先端側曲げ線Ｌ２は、磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し、前記荷重曲げ中心線ＢＬと前記ディンプル３１との間の中間点近傍に位置している。即ち、図４に示すように、荷重曲げ中心線ＢＬとディンプル３１との距離をＬとした場合に、前記先端側曲げ線Ｌ２と前記荷重曲げ中心線ＢＬとの距離が約Ｌ／２となるように前記先端側曲げ線Ｌ２の磁気ヘッドサスペンション長手方向位置が設定されている。
【００８１】
斯かる構成によれば、前記先端側曲げ線Ｌ２における曲げ角度を大きくすることなく、前記ロードビーム部３０の重心の前記ディスク面と直交するｚ方向位置を有効に変化させることができ、従って、前記先端側曲げ線Ｌ２での曲げ角度を小さくしつつ振動モードにおける前記ロードビーム部３０の捩れ中心位置を所望位置に調整することができる。
さらに、前記構成によれば、前記先端側曲げ線Ｌ２における曲げに起因して前記磁気ヘッド搭載領域４３が前記ディスク面に対して大きく傾くことを防止でき、前記ディンプル３１と前記磁気ヘッド搭載領域４３とが離間することを有効に防止できる。
【００８２】
好ましくは、前記基端側曲げ線Ｌ１及び前記先端側曲げ線Ｌ２は、図１に示すように、磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し前記一対の拡幅領域１４８とオーバーラップしない位置に設けられる。
斯かる構成によれば、前記一対の拡幅領域これにより、前記ロードビーム部３０の剛性を確保しつつ、前記ロードビーム部３０の曲げ加工の安定化が可能となっている。
【００８３】
本実施の形態においては、図１に示すように、前記基端側曲げ線Ｌ１は、磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し、前記弾性板６０における前記ロードビーム部当接領域６５と前記フレクシャ基板１４０における前記一対の拡幅領域１４８との間に位置し、且つ、前記先端側曲げ線Ｌ２は前記一対の拡幅領域１４８より磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し先端側に位置している。
【００８４】
なお、本実施形態においては、前記基端側曲げ線Ｌ１は、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し前記一対の拡幅領域１４８と前記ロードビーム部当接領域１４１との間に位置しているが、これに代えて、前記基端側曲げ線Ｌ１を前記一対の拡幅領域１４８より磁気ヘッドサスペンション長手方向先端側に位置させることも可能である。
【００８５】
さらに、本実施の形態においては、前述の通り、前記基端側曲げ線Ｌ１は前記ディスク面とは反対側に凸状とされ且つ前記先端側曲げ線Ｌ２は前記ディスク面に近接する方向に凸状とされている。斯かる構成によれば、前記ロードビーム部３０の基端側をディスク面から離間させつつ、前記先端領域１３１ｃをディスク面に略平行な姿勢で前記平行領域１３１ａよりディスク面に近接させることができる。
【００８６】
ここで、前記基端側曲げ線Ｌ１及び前記先端側曲げ線Ｌ２に関する解析結果について説明する。
本解析においては、前記荷重曲げ中心線ＢＬと前記ディンプル３１との間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離をＬとし、前記先端側曲げ線Ｌ２と前記荷重曲げ中心線ＢＬとの間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離をａＬ（ａは係数）としている。
又、前記弾性板６０における荷重曲げ中心線ＢＬと前記ディンプル３１の頂点との高さ（厚み）方向距離を０．０２４Ｌとしている。
【００８７】
まず、前記先端側曲げ線Ｌ２の磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関する解析について説明する。
図６に、前記ロードビーム基板１４０における前記先端側曲げ線Ｌ２の板厚方向の高さ（前記ディスク面と直交する方向の高さ）を一定に固定した状態での前記先端側曲げ線Ｌ２の磁気ヘッドサスペンション長手方向位置と曲げ角度との関係図を示す。
【００８８】
本実施形態の磁気ヘッドサスペンション１においては、前記先端側曲げ線Ｌ２と荷重曲げ中心線ＢＬとの間の距離ａＬが０．７４Ｌを超えると、前記先端側曲げ線Ｌ２が前記フレクシャ基板１４０と前記ロードビーム基板１３０との溶接点５１より先端側に位置することとなる。この場合には、前記ディンプル３１が前記ヘッド搭載領域４３に対して離間する可能性が生じ、前記ヘッド搭載領域４３の傾き制御が困難となる。さらに、前記先端側曲げ線Ｌ２の折り曲げ角度が５°を超えると、前記フランジ部３５の歪みが大きくなり成型性が不安定となる。
【００８９】
以上より、前記先端側曲げ線Ｌ２と荷重曲げ中心線ＢＬとの間の距離ａＬが０．７４Ｌ以下且つ先端側曲げ線Ｌ２の曲げ角度が５°以下という条件を満足する係数ａの範囲は、０．３１≦ａ≦０．７４となる。従って、前記「中間点近傍」の語は、この範囲を含むものである。
より好ましくは、ａ＝０．５とすることにより、前記先端側曲げ線Ｌ２での小さい曲げ角度で、前記ロードビーム基板１３０の捩れ中心線の上下位置を大きく変位させることができる。
【００９０】
以下に、前記基端側曲げ線Ｌ１及び前記先端側曲げ線Ｌ２での曲げ角度とＳＷＡＹ方向の共振周波数及び捩れ係モードのゲインとの関係を有限要素法を用いて解析した結果について説明する。
本解析においては、前記荷重曲げ中心線ＢＬと前記ディンプル３１との間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離Ｌを６．０３８ｍｍとして、前記ロードビーム基板１３０の板厚を０．０２ｍｍとした。又、前記先端側曲げ線Ｌ２と前記荷重曲げ中心線ＢＬとの間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離ａＬは２．９９３ｍｍとし、前記弾性板６０のうち前記荷重曲げ中心線ＢＬが位置する部分と前記ディンプル３１の頂点との高さ（厚み）方向距離は０．１４５ｍｍとした。
【００９１】
図７に、前記先端側曲げ線Ｌ２での曲げ角度を３．０°に固定した状態で前記基端側曲げ線Ｌ１での曲げ角度を変化させた際の前記磁気ヘッドサスペンション１のＳＷＡＹモードの共振周波数変化を示す。
又、図８に、前記基端側曲げ線Ｌ１での曲げ角度を３．５°に固定した状態で前記先端側曲げ線Ｌ２での曲げ角度を変化させた際の前記磁気ヘッドサスペンションのＳＷＡＹモードの共振周波数変化のグラフを示す。
さらに、図９に、前記先端側曲げ線Ｌ２での曲げ角度を３．０°に固定した状態で前記基端側曲げ線Ｌ１での曲げ角度を変化させた際の前記磁気ヘッドサスペンションの捩れ系モードのゲイン変化を示す。
又、図１０に、前記基端側曲げ線Ｌ１での曲げ角度を３．５°に固定した状態で前記先端側曲げ線Ｌ２での曲げ角度を変化させた際の前記磁気ヘッドサスペンション変化に対する捩れ系モードのゲイン変化のグラフを示す。
【００９２】
なお、図９及び図１０に示すゲイン変化は、ＳＷＡＹモードによる影響分を差し引いた状態を示している。
また、図９及び図１０に示す１次捩れモードは、前記弾性板６０付近を支点として前記ロードビーム部３０全体が磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線ＣＬ回りに捩れる捩れモードを意味している。
２次捩れモードは、磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線ＣＬ回りの捩れモードのうち前記ロードビーム部３０の長手方向中央付近に節（節を境に捩れ方向が反転する）を有し且つ前記支持部１０の磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線ＣＬ回りの捩れ方向とロードビーム部３０の基端側の捩れ方向とが逆位相となる捩れモードを意味している。
又、捩れ３次モードは、磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線ＣＬ回りの捩れモードのうち前記ロードビーム部３０の長手方向中央付近に節（節を境に捩れ方向が反転する）を有し且つ前記支持部１０の磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線ＣＬ回りの捩れ方向とロードビーム部３０の基端側の捩れ方向とが同位相となる捩れモードを意味している。
【００９３】
図７及び図８に示すように、前記基端側曲げ線Ｌ１及び／又は前記先端側曲げ線Ｌ２における曲げ角度の変化に応じてＳＷＡＹモードの共振周波数が変化する。このことから、前記基端側曲げ線Ｌ１及び／又は前記先端側曲げ線Ｌ２の曲げ角度を調整することにより、ＳＷＡＹモードの共振周波数をコントロールし得ることが理解される。
つまり、前記曲げ角度を調整することにより、前記磁気ヘッドサスペンション１のＳＷＡＹモードの共振周波数と他のモードの共振周波数及び／又はデータ記憶装置を構成する磁気ヘッドサスペンション１以外の部品の共振周波数とが一致することを回避させ得ることが理解される。
【００９４】
また、図９及び図１０から、１次捩れモードのゲインを低く抑えるためには、前記基端側曲げ線Ｌ１における曲げ角度が３．５°〜４．５°且つ前記先端側曲げ線Ｌ２における曲げ角度が１．０°〜３．０°の範囲が好適であることが理解される。
同様に、２次捩れモードのゲインを低く抑えるためには、前記先端側曲げ線Ｌ２における曲げ角度を大きくすることが好適であることが理解される。なお、２次捩れモードは、前記基端側曲げ線Ｌ１における曲げ角度には依存しない結果となった。
また、３次捩れモードについては、１次及び２次捩れモードに比して前記基端側曲げ線Ｌ１及び前記先端側曲げ線Ｌ１，Ｌ２における曲げ角度変化によるゲインの変化は少なかった。
【００９５】
以上より、１次及び２次捩れモードのゲインを同時に低く抑えるためには、前記基端側曲げ線Ｌ１における曲げ角度が３．５°〜４．５°且つ前記先端側曲げ線Ｌ２における曲げ角度が２．５°〜３．０°の範囲が好適である。
【００９６】
第２実施形態
次に、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの第２実施形態について説明する。
図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に、本発明の第２実施形態に係る磁気ヘッドサスペンション２の上面図及び下面図を示し、図１２に図１１の磁気ヘッドサスペンション２の側面図を示す。なお、図中、前記第１実施形態と同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００９７】
本実施形態の磁気ヘッドサスペンション２においては、図１１及び図１２に示すように、前記弾性板６０が前記支持片１２におけるディスク面に近接する側の面に固着され、前記平衡質量体２００が前記弾性板６０におけるディスク面に近接する側の面に固着され、且つ、前記ロードビーム基板１３０が前記平衡質量体２００におけるディスク面に近接する側の面に固着された状態で、前記平行領域１３１ａを基準にして前記中間領域１３１ｂが先端側へ行くに従ってディスク面から離間するように前記基端側曲げ線Ｌ１において曲げられ、且つ、前記中間領域１３１ｂを基準にして前記先端領域１３１ｃが先端側へ行くに従ってディスク面に近接するように前記先端側曲げ線Ｌ２において曲げられている。
【００９８】
即ち、前記支持片１２のディスク面に近接する側の面と前記弾性板６０のディスク面とは反対側の面とが固着され、前記弾性板６０のディスク面に近接する側の面と前記平衡質量体２００のディスク面とは反対側の面とが固着され、前記平衡質量体２００のディスク面に近接する側の面と前記ロードビーム基板１３０のディスク面とは反対側の面とが固着されている。
なお、本実施形態においては、前記平衡質量体２００は、少なくとも一部が前記凹部１３内に位置された状態で、前記弾性板６０と溶接点５７，５８において溶接されている。
【００９９】
そして、前記ロードビーム基板１３０の前記中間領域１３１ｂは、前記平行領域１３１ａに対して先端側へ行くに従ってディスク面から離間するように前記基端側曲げ線Ｌ１において曲げられ、前記ロードビーム基板１３０の前記先端領域１３１ｃは、前記中間領域１３１ｂに対して先端側へ行くに従ってディスク面に近接するように先端側曲げ線Ｌ２において曲げられている。
【０１００】
即ち、本実施の形態においては、前記基端側曲げ線Ｌ１は前記ディスク面に近接する方向に凸状とされ、且つ、前記先端側曲げ線Ｌ２は前記ディスク面から離間する方向に凸状とされている。
なお、本実施形態において、前記平行領域１３１ａ及び前記先端領域１３１ｃは、ディスク面に略平行に配置され、前記中間領域１３１ｂは、先端側へ行くに従ってディスク面から離間するように配置されている。
【０１０１】
このように、前記基端側曲げ線Ｌ１を前記ディスク面に近接する側に凸状とし且つ前記先端側曲げ線Ｌ２を前記ディスク面とは離間する側に凸状とすることにより、前記ロードビーム部３０の基端側をディスク面に近接させつつ、前記先端領域１３１ｃをディスク面に略平行な姿勢で前記平行領域１３１ａよりディスク面から離間させることができる。
【０１０２】
なお、前記支持部１０、弾性板６０、ロードビーム基板１３０及び平衡質量体２００の上下方向位置（即ち、前記ディスク面と直交するｚ方向に関する位置）と基端側曲げ線Ｌ１及び先端側曲げ線Ｌ２での曲げ方向との組み合わせは、前記第１及び第２実施形態における組み合わせ以外にも採用することができる。
【０１０３】
即ち、前記弾性板６０が前記支持片１２における前記ディスク面から離間する側の面に固着され、前記ロードビーム基板１３０が前記弾性板６０における前記ディスク面から離間する側の面に固着され、前記平衡質量体２００が前記ロードビーム基板１３０における前記ディスク面から離間する側の面に固着された磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記ロードビーム基板１３０を、前記平行領域１３１ａを基準にして前記中間領域１３１ｂが先端側へ行くに従ってディスク面に近接するように前記基端側曲げ線Ｌ１において曲げ、且つ、前記中間領域１３１ｂを基準にして前記先端領域１３１ｃが先端側へ行くに従ってディスク面から離間するように前記先端側曲げ線Ｌ２において曲げることができる。
【０１０４】
あるいは、前記弾性板６０が前記支持片１２における前記ディスク面に近接する側又は前記ディスク面から離間する側の面に固着され、前記ロードビーム基板１３０が前記弾性板６０におけるディスク面から離間する側の面に固着され、且つ、前記平衡質量体２００が前記ロードビーム基板１３０におけるディスク面から離間する側の面に固着された磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記支持片１２を先端側へ行くに従ってディスク面に近接するように（即ち、前記平行領域１３１ａが先端側へ行くに従ってディスク面に近接するように）前記支持片１２を基端部及び先端部の間で磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った支持部曲げ線において曲げ、さらに、前記ロードビーム基板１３０を、前記平行領域１３１ａを基準にして前記中間領域１３１ｂが先端側へ行くに従ってディスク面から離間するように前記基端側曲げ線Ｌ１において曲げ、且つ、前記中間領域１３１ｂを基準にして前記先端領域１３１ｃが先端側へ行くに従ってディスク面に近接するように前記先端側曲げ線Ｌ２において曲げることも可能である。
【０１０５】
第３実施形態
続いて、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの第３実施形態について説明する。
図１３（ａ）及び図１３（ｂ）に、本発明の第３実施形態に係る磁気ヘッドサスペンション３の上面図及び部分側面図を示す。なお、図中、前記第１及び第２実施形態と同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１０６】
本実施形態の磁気ヘッドサスペンション３は、図１３に示すように、前記一対のフランジ部３５の自由端に前記基端側曲げ線Ｌ１及び前記先端側曲げ線Ｌ２と磁気ヘッドサスペンション長手方向同一位置において切り欠き３５ｃが設けられている点において、前記第１実施形態の磁気ヘッドサスペンション１と相違している。
【０１０７】
即ち、図１３に示すように、前記左右一対のフランジ部３５は、前記基端側曲げ線Ｌ１及び前記先端側曲げ線Ｌ２と交差する箇所の自由端に、前記切り欠き３５ｃを有している。
斯かる構成によれば、前記フランジ部３５が備えられた前記ロードビーム基板１３０の前記基端側曲げ線Ｌ１及び前記先端側曲げ線Ｌ２での曲げ加工を容易に行うことができる。
【０１０８】
第４実施形態
さらに、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの第４実施形態について説明する。
図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に、本発明の第４実施形態に係る磁気ヘッドサスペンション４の上面図及び部分側面図を示す。なお、図中、前記第１及び第２実施形態と同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１０９】
本実施形態の磁気ヘッドサスペンション４は、１４に示すように、前記ロードビーム基板１３０が前記基端側曲げ線Ｌ１及び前記先端側曲げ線Ｌ２と磁気ヘッドサスペンション長手方向同一位置に前記ロードビーム基板１３０の本体部１３０ａと前記一対のフランジ部３５との境界を跨ぐように配置された貫通孔３５ｈを有している点において、前記第１実施形態の磁気ヘッドサスペンション１と相違している。
【０１１０】
即ち、前記貫通孔３５ｈは、前記ロードビーム基板１３０の本体部１３０ａと前記一対のフランジ部３５との境界線が前記基端側曲げ線Ｌ１及び前記先端側曲げ線Ｌ２と交差する位置において、前記境界線を跨ぐように配置されている。なお、前記貫通孔３５ｈを有する前記ロードビーム基板１３０は、前記ロードビーム基板１３０を形成するプレート部材に前記貫通孔３５ｈを形成し、その後に前記フランジ部３５を折り曲げられることにより形成される。
斯かる構成によれば、前記フランジ部３５が備えられた前記ロードビーム基板１３０の前記基端側曲げ線Ｌ１及び前記先端側曲げ線Ｌ２での曲げ加工を容易に行うことができる。
【０１１１】
以上、本発明に係る実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変更、修正が可能である。
例えば、前記第３及び第４実施形態における前記切り欠き３５ｃ及び／又は前記貫通孔３５ｈは、前記第２実施形態における前記ロードビーム基板１３０に適用することも可能である。
【符号の説明】
【０１１２】
１，２，３，４        磁気ヘッドサスペンション
１０                  支持部
１１                  本体領域
１２                  支持片
１３                  凹部
２０                  荷重曲げ部
３０                  ロードビーム部
３１                  ディンプル
３５                  フランジ部
３５ｃ                切り欠き
３５ｈ                貫通孔
４０                  フレクシャ部
４３                  ヘッド搭載領域
６０                  弾性板
６１                  第１支持部当接領域
６２                  第２支持部当接領域
６５                  ロードビーム部当接領域
７１                  第１延在領域
７２                  第２延在領域
１００                磁気ヘッド
１３０                ロードビーム基板
１３０ａ              本体部
１３１ａ              平行領域
１３１ｂ              中間領域
１３１ｃ              先端領域
１４０                フレクシャ基板
１４１                ロードビーム部当接領域
１４２                支持片
１４８                拡幅領域
２００                平衡質量体
２０５                折り曲げ部
ＢＬ                  荷重曲げ中心線
ＣＬ                  磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線
Ｌ１                  基端側曲げ線
Ｌ２                  先端側曲げ線
【図１】
0004535512.tif 000002
【図２】
0004535512.tif 000003
【図３】
0004535512.tif 000004
【図４】
0004535512.tif 000005
【図５】
0004535512.tif 000006
【図６】
0004535512.tif 000007
【図７】
0004535512.tif 000008
【図８】
0004535512.tif 000009
【図９】
0004535512.tif 000010
【図１０】
0004535512.tif 000011
【図１１】
0004535512.tif 000012
【図１２】
0004535512.tif 000013
【図１３】
0004535512.tif 000014
【図１４】
0004535512.tif 000015