【手続補正書】
【提出日】平成18年5月29日(2006.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】可撓面状体の面に可撓性フィルムを保持し、該可撓性フィルムを、補強板の有機物層を有する面と一定間隙をもって対面させた後に、可撓面状体と可撓性フィルムを同時に補強板に押圧することにより、可撓性フィルムを補強板に移し替える可撓性フィルムのラミネート方法であって、可撓面状体が直径１５〜８０μｍの繊維で構成される可撓性の織物であり、かつ織物のメッシュ密度が１００メッシュ以上であることを特徴とする可撓性フィルムのラミネート方法。
【請求項２】前記有機物層は、可撓性フィルムが補強板から剥離可能である微粘着性を有するものであることを特徴とする請求項１記載の可撓性フィルムのラミネート方法。
【請求項３】前記可撓面状体の面への可撓性フィルムの保持は、液体の表面張力による接着、静電気吸着のいずれか少なくとも１つの手段によって行うことを特徴とする請求項１記載の可撓性フィルムのラミネート方法。
【請求項４】可撓面状体と、該可撓面状体に可撓性フィルムの面保持を行わせる保持ユニットと、可撓面状体に面保持された可撓性フィルムをステージに保持された補強板に一定間隙で対面させる対面保持機構と、可撓面状体と可撓フィルムを同時に補強板に押圧して可撓性フィルムを補強板に移し替える押圧機構とを有し、可撓面状体が直径１５〜８０μｍの繊維で構成される可撓性の織物であり、かつ織物のメッシュ密度が１００メッシュ以上であることを特徴とする可撓性フィルムのラミネート装置。
【請求項５】前記保持ユニットは、液体または静電気帯電を、前記可撓面状体と可撓性フィルムのいずれかに付与するものであることを特徴とする請求項４記載の可撓性フィルムのラミネート装置。
【請求項６】請求項１〜３のいずれか記載の可撓性フィルムのラミネート方法を使用して回路基板を製造することを特徴とする回路基板の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明は、（１）可撓面状体の面に可撓性フィルムを保持し、該可撓性フィルムを、補強板の有機物層を有する面と一定間隙をもって対面させた後に、可撓面状体と可撓性フィルムを同時に補強板に押圧することにより、可撓性フィルムを補強板に移し替える可撓性フィルムのラミネート方法であって、可撓面状体が直径１５〜８０μｍの繊維で構成される可撓性の織物であり、かつ織物のメッシュ密度が１００メッシュ以上であることを特徴とする可撓性フィルムのラミネート方法。
（２）前記有機物層は、可撓性フィルムが補強板から剥離可能である微粘着性を有するものであることを特徴とする上記（１）に記載の可撓性フィルムのラミネート方法。
（３）前記可撓面状体の面への可撓性フィルムの保持は、液体の表面張力による接着、静電気吸着のいずれか少なくとも１つの手段によって行うことを特徴とする上記（１）に記載の可撓性フィルムのラミネート方法。
（４）可撓面状体と、該可撓面状体に可撓性フィルムの面保持を行わせる保持ユニットと、可撓面状体に面保持された可撓性フィルムをステージに保持された補強板に一定間隙で対面させる対面保持機構と、可撓面状体と可撓フィルムを同時に補強板に押圧して可撓性フィルムを補強板に移し替える押圧機構とを有し、可撓面状体が直径１５〜８０μｍの繊維で構成される可撓性の織物であり、かつ織物のメッシュ密度が１００メッシュ以上であることを特徴とする可撓性フィルムのラミネート装置。
（５）前記保持ユニットは、液体または静電気帯電を、前記可撓面状体と可撓性フィルムのいずれかに付与するものであることを特徴とする上記（４）に記載の可撓性フィルムのラミネート装置。
（６）上記（１）〜（３）のいずれか記載の可撓性フィルムのラミネート方法を使用して電子回路基板を製造することを特徴とする回路基板の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
上記の可撓性の織物としては、ポリエステル、ポリプロピレン、液晶ポリマーまたはステンレス繊維をメッシュ状に織ったものが好適に採用できる。また、織物に感光性塗膜等を使用して開口部と閉口部を形成することは適宜許される。フィルム４を基板６に貼り合わせるために可撓性の織物を介してフィルム４をスキージや小径ロール等で基板６面に加圧するが、繊維の直径が大き過ぎる場合や織物のメッシュ密度が小さ過ぎる場合は、織りの構造に対応して繊維が配置されていない部分を中心に微細な気泡を噛みやすい。気泡の噛み込みは、フィルムの表面平坦性を阻害し、パターニング精度低下の原因となる他、気泡の膨張、収縮によりフィルムが変形するおそれがある。また、可撓性織物を構成する繊維の直径は１５〜８０μｍの範囲であることが好ましく、２０〜４０μｍの範囲であることがさらに好ましい。可撓性織物のメッシュ密度は、１００メッシュ以上であることが好ましい。メッシュ密度は、１インチあたりの糸数である。繊維が太過ぎると、加えられた力が繊維の間隙部分に伝わりにくい、また、繊維の変形によって実際にフィルムに伝わる力が減少すること等から、微細な気泡を噛み込む可能性があると考えられる。メッシュ密度が小さ過ぎた場合は、繊維の間隙が拡がるので加えられた力が繊維の間隙部分に伝わりにくいと推定される。一方、メッシュ密度が大きすぎると、静電気吸着を利用する場合、静電気吸着後の除電が不十分になり、フィルム４と織物２の離れが悪くなりやすく、フィルム４が有機物層７から剥離することがある。また、液体の表面張力を利用する場合、フィルム４と織物２間に液体を供給してスキージを移動させてしごく際に、余剰の液体が織物の間隙を通して逃げにくく、フィルムの保持力不足やフィルムの滑りの原因になることがある。真空吸着を利用する場合は、真空吸引不足でフィルムの保持力不足やフィルムの滑りの原因になることがある。したがって、織物のメッシュ密度は、２００メッシュ未満であることが好ましく、１９０メッシュ未満であることがさらに好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
比較例２
スクリーン紗２を繊維直径９０μｍ、メッシュ密度１５０としたこと以外は、実施例１と同様にして再剥離剤層７を設けたガラス板６にポリイミドフィルム４を貼り合わせた。測長機ＳＭＩＣ−８００（ソキア（株））にて、ガラス板に貼り合わされたポリイミドフィルムの四つの角の相対位置を測定し、貼り合わせ前と比較したところ、四つの角の互いの距離の変化は±５μｍ（辺と平行方向で０．００２％以内）にあり、歪みは非常に小さく良好であった。スクリーンの織物の構造に対応した１００μｍ程度の微小な気泡の噛み込みがあった。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
比較例３
スクリーン紗２を繊維直径３４μｍ、メッシュ密度７０としたこと以外は、実施例１と同様にして再剥離剤層７を設けたガラス板６にポリイミドフィルム４を貼り合わせた。測長機ＳＭＩＣ−８００（ソキア（株））にて、ガラス板に貼り合わされたポリイミドフィルムの四つの角の相対位置を測定し、貼り合わせ前と比較したところ、四つの角の互いの距離の変化は±５μｍ（辺と平行方向で０．００２％以内）にあり、歪みは非常に小さく良好であった。スクリーンの織物の構造に対応した１５０μｍ程度の微小な気泡の噛み込みがあった。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
比較例４
スクリーン紗２を繊維直径１０μｍ、メッシュ密度５００としたこと以外は、実施例１と同様にして再剥離剤層７を設けたガラス板６にポリイミドフィルム４を貼り合わせた。貼り合わせ作業を繰り返すとスキージの角に当たる部分でスクリーン破れが発生した。また、スクリーン２を上昇させる際にポリイミドフィルムの端部が再剥離剤層からめくれることがあった。良好に貼り合わせられたものについて、測長機ＳＭＩＣ−８００（ソキア（株））にて、ガラス板に貼り合わされたポリイミドフィルムの四つの角の相対位置を測定し、貼り合わせ前と比較したところ、四つの角の互いの距離の変化は±５μｍ（辺と平行方向で０．００２％以内）にあり、歪みは非常に小さく良好であった。また、気泡の噛み込みは見られなかった。