【手続補正書】
【提出日】平成18年10月3日(2006.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバに結合するように適応された第一側面、ファクトリ・インタフェースに結合するように適応された第二側面、該第１側面および該第２側面に結合する第３側面を持ったチャンバ本体と、
該チャンバ本体内に形成されたＮ個の垂直に積み重ねられた基板搬送チャンバ（ここで、Ｎは２より大きい整数である）であって、前記垂直に積み重ねられた基板搬送チャンバの少なくとも一つは、前記基板搬送チャンバの少なくとも一つの側壁で配置された通気ポートおよびポンプポートを有する、前記基板搬送チャンバと、
各々の内壁によって隣接の基板搬送チャンバが分けられ、環境的に分離されている、Ｎ−１個の内壁と、
該基板搬送チャンバの各々の内部に配置された少なくとも一つのアライメント機構であって、該基板搬送チャンバの各々の内部に配置された該アレイメント機構の各々は、該第３側面の平面と同一平面軸の周りに回転可能である、前記アレイメント機構と、
を含む、ロードロックチャンバ。
【請求項２】
該チャンバ本体がワンピース材料から作られている、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項３】
該第一側面と第二側面の少なくとも１つがワンピース材料から該内壁と共に作られてチャンバサブアセンブリを形成し、該チャンバサブアセンブリの該第一側面又は第二側面の部分がそれに密封されて結合されている、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項４】
該チャンバ本体が
各々の部分が少なくとも１つの基板搬送チャンバを含んでいる複数のモジュラー部分であって、該モジュラー部分が垂直に積み重ねられている、前記モジュラー部分
を更に含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項５】
該基板搬送チャンバの内容積が約１０００立方リットル以下である、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項６】
該基板搬送チャンバの各々が、該本体と隔置された関係で該基板搬送チャンバ内に配置された基板を維持するように適応された複数の固定基板支持体を更に含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項７】
該基板搬送チャンバの各々が、平面積が少なくとも２.７平方メートルである基板を収容するように適応されている、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項８】
該基板搬送チャンバの各々が
該チャンバ本体の内壁、最上部又は底部の少なくとも１つに配置された又はそれと一体的に形成された冷却プレート
を更に含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項９】
該冷却プレートが
熱伝達流体が貫通して流れるように適応された複数の通路
を更に含んでいる、請求項８記載のロードロックチャンバ。
【請求項１０】
該基板搬送チャンバの各々が
該本体と隔置された関係で該基板搬送チャンバ内に配置された基板を維持するように適応された複数の固定基板支持体と、
該冷却プレートを通って配置された該基板支持体の少なくとも１つと、
該冷却プレートに結合し且つ該基板支持体の遠位端に相対して該冷却プレートの上昇を制御するように適応されたアクチュエータと
を更に含んでいる、請求項８記載のロードロックチャンバ。
【請求項１１】
該基板搬送チャンバの各々が
該基板搬送チャンバの最上部又は底部の少なくとも１つに配置されたヒータ
を更に含んでいる、請求項１０記載のロードロックチャンバ。
【請求項１２】
該基板搬送チャンバの各々が
該基板搬送チャンバの最上部又は底部の少なくとも１つに配置されたヒータ
を更に含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項１３】
少なくとも一つの該アライメント機構が、
該基板搬送チャンバの少なくとも反対の角に配置され且つ該基板搬送チャンバ内の予め決められた向きに水平に該基板を整列するように適応された第２アライメント機構と第１アライメント機構を更に含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項１４】
該基板搬送チャンバの各々が
通気ポートとポンプポート
を更に含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項１５】
各基板搬送チャンバの該ポンプポートが単一ポンプに結合されている、請求項１４記載のロードロックチャンバ。
【請求項１６】
各基板搬送チャンバの該ポンプポートがそれぞれのポンプに結合されている、請求項１４記載のロードロックチャンバ。
【請求項１７】
該内壁が、
基板搬送ロボットのエンドエフェクタの少なくとも一部を受容するように適応されている、該第一側面と第二側面との間に通っている複数の溝
を更に含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項１８】
該アライメント機構が、
該チャンバ本体内に形成された凹部（recess）まで該第３側面を通って伸びているシャフトと、
該凹部から該チャンバ本体内に伸びる該シャフトに結合されたレバーと、
該レバーの一端に結合された２つのローラと、
該チャンバ本体内に配置された基板の隣接エッジに対して該ロータを押し付けるように適合され、該第３壁の外側で該シャフトに結合されたアクチュエータと
を更に含んでいる、請求項１３記載のロードロックチャンバ。
【請求項１９】
該アライメント機構が、
該チャンバ本体に結合され、そこを通過するシャフトを有するハウジングと、
該チャンバ本体から真空漏れを防止する為に該ハウジングとシャフト間に配置されたシールと、
を更に含んでいる、請求項１８記載のロードロックチャンバ。
【請求項２０】
該シャフトが回転できるように該チャンバ本体に結合されている、請求項１８記載のロードロックチャンバ。
【請求項２１】
該基板搬送チャンバの各々が
幅が少なくとも２０００ｍｍより広い２つの基板アクセスポート
を更に含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項２２】
真空チャンバに結合させるために適応された第一側面とファクトリ・インタフェースに結合させるために適応された第二側面を持ったチャンバ本体と、
該チャンバ本体内に形成された第一チャンバと、
該チャンバ本体の該第一側面を通って形成された第一基板アクセスポートを選択的に密封している該チャンバ本体に結合され且つ該第一チャンバに結合された第一スリットバルブと、
該チャンバ本体の該第二側面を通って形成された第二基板アクセスポートを選択的に密封している該チャンバ本体に結合され且つ該第一チャンバに結合された第二スリットバルブと、
該チャンバ本体内に形成され且つ水平壁によって該第一チャンバから分離された少なくとも第二チャンバと、
該チャンバ本体の該第一側面を通って形成され且つ該第二チャンバに結合された第三基板アクセスポートを選択的に密封している第三スリットバルブと、
該第二チャンバに結合された第四基板アクセス支持体を選択的に密封している該チャンバ本体に結合された第四スリットバルブと、
該第一チャンバと第二チャンバの上の該チャンバ本体内に形成され且つ第二水平壁によって該第二チャンバから分けられた第三チャンバと、
該第三チャンバに結合された第五基板アクセスポートを選択的に密封している該チャンバ本体に結合された第五スリットバルブと、
該第三チャンバに結合された第六基板アクセスポートを選択的に密封している該チャンバ本体に結合された第六スリットバルブと、
各チャンバ内に配置された少なくとも２つのアライメント機構であって、該アライメント機構の各々は、該チャンバ本体の壁と同一平面にある回転軸を有する、該アライメント機構と、
を含む、ロードロックチャンバ。
【請求項２３】
Ｎ個（ここで、Ｎは３より大きい整数）のチャンバが、単一基板を受容するために該チャンバ本体内に形成されている、請求項２１記載のロードロックチャンバ。
【請求項２４】
該第一チャンバに流体で結合された第一圧力管理システムと、
該第二チャンバに流体で結合された第二圧力管理システムと、を更に含み、
該第一圧力管理システムと第二圧力管理システムは、独立して制御可能である、請求項２２記載のロードロックチャンバ。
【請求項２５】
該第一圧力管理システムが
排気口を通って該第一チャンバに結合された通気バルブと、
ポンピングポートを通って該第一チャンバに結合されたポンプと
を更に含んでいる、請求項２４記載のロードロックチャンバ。
【請求項２６】
該基板搬送チャンバの各々に配置された輻射ヒータ
を更に含んでいる、請求項２１記載のロードロックチャンバ。
【請求項２７】
該基板搬送チャンバの各々に配置された冷却プレート
を更に含んでいる、請求項２１記載のロードロックチャンバ。
【請求項２８】
大型基板処理システムであって：
搬送チャンバと；
該搬送チャンバ内に配置された搬送ロボットと；
該搬送チャンバに結合された複数の処理チャンバと；
該搬送チャンバに結合された複数の垂直に積み重ねられた単一基板ロードロックチャンバであって、該搬送チャンバ内で単一体を形成し、
各チャンバは、該チャンバ内の基板を中央にするように適合された回転アライメント機構を更に含み、該アライメント機構は、該チャンバ壁と同一平面の軸の周りを回転する、
大面積基板処理システム。
【請求項２９】
複数のロードロックチャンバ内の圧力を制御する方法であって、
第一ロードロックチャンバを通気するとともにそこから第一基板を搬送するステップであって、その通気と搬送によって第一期間が区切られている、前記ステップと、
該第一期間の少なくとも一部の間に、第二基板を含有する第二ロードロックチャンバを排気するためにポンプを作動させるステップと、
該第二ロードロックチャンバから第三ロードロックチャンバへ該ポンプの入口を切り換えるステップと、
該第二基板が該第二ロードロックチャンバから真空搬送チャンバへ搬送されるとともに、第三基板を含有する該第三ロードロックチャンバを排気するために該ポンプを作動させるステップと
を含む、前記方法。
【請求項３０】
ロードロックチャンバであって：
各チャンバは、平面積が少なくとも２．７平方メートルである基板を収容するようｂに適応されている、請求項５記載のロードロックチャンバ。
【請求項３１】
ロードロックチャンバであって：
各チャンバは、平面積が少なくとも２．７平方メートルである基板を収容するように適応されている、請求項２１記載のロードロックチャンバ。
【請求項３２】
該アライメント機構は、該チャンバの側壁を通って伸びる、ほぼ垂直なシャフトを更に含む、請求項２８記載のシステム。
【請求項３３】
該アライメント機構は：
該チャンバの側壁を通って伸びるシャフトと；
該チャンバ内で該シャフトに結合されるレバーアームと；
該チャンバ外で該シャフトに結合され、該レバーアームの回転位置を制御するアクチュエータと；
を更に含む、請求項２８記載のシステム。
【請求項３４】
該アライメント機構は：
該シャフトに対し平行な回転軸を持ち、該レバーアームから伸びる２つのローラであって、該レバーアームが回転するとき、該基板の側面付近に接触するように構成された、該ローラを更に含む、請求項２８記載のシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
[0041]図５は、第一基板搬送チャンバ２２０内の予め決められた位置へ基板１１０を押し付けるために用いることができるアライメント機構５００の一実施態様を示しているチャンバ本体２１２の部分断面図である。第二アライメント機構（図示されていない）は、図示された機構５００と呼応して動作する第一基板搬送チャンバ２２０の反対の角に配置される。場合によっては、一アライメント機構５００は、第一基板搬送チャンバ２２０の各角に配置されてもよい。一方の基板搬送チャンバ２２２、２２６は、基板を整列させるために同様に備えられる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
[0042]例えば、アライメント装置５００は、基板支持体２４４上に大気中のロボット１３６によって配置された基板１１０の堆積位置と基板支持体２４４に関係する基板１１０の予め決められた（即ち、設計された）位置との間の位置の不正確さを修正することができる。基板配置を調整するために大気中のロボット１３６を使う従来の修正法に依存しないロードロックチャンバ１００内のアライメント機構５００によって基板１１０の位置が整列されたことにより、高可撓性と低システムコストが可能になる。例えば、ロードロックチャンバ１００が基板支持体２４４上の基板位置により許容されるので、アライメント機構５００を持った基板搬送チャンバ２８０は、ロードロックチャンバ１００と使用者供給ファクトリ・インタフェース１１２との間に適合性が大きくなり、よってファクトリ・インタフェースプロバイダーによって生じる非常に正確なロボット及び/又は修正ロボット動作アルゴリズムの要求が減少する。更に、大気中のロボット１３６の基準を設計した位置の精度が落ちるにつれて、低コストのロボットを使うことができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
[0043]図５の実施態様においては、アライメント機構は、レバー５０８の第一端５０６に結合した２つのローラ５０２、５０４を含んでいる。側壁３０２を通って形成されたスロット５１８まで伸びているレバー５０８は、ピン５１０の周りを旋回する。アクチュエータ５１２は、レバー５０８に結合し、ローラ５０２、５０４は基板１１０の隣接エッジ５１４、５１６に対して押し付けることができる。アクチュエータ５１２は、例えば、空気シリンダは、一般的には、チャンバ本体２１２の外部に位置している。ハウジング５２０は、スロット５１８の上に密封して配置され、ベローズ又は真空漏れがなくアクチュエータ５１２をレバー５０８を結合することを容易にする他の適切なシール５２２を含んでいる。アライメント機構５００と反対側のアライメント機構（図示されていない）は、第一基板搬送チャンバ２２０内の予め決められた位置に基板を配置するために呼応して作動する。使うことができる他の基板アライメント機構は、２００２年３月８日出願の米国特許出願第１０/０９４,１５６号や２００２年９月２２日出願の米国特許出願第１０/０８４,７６２号に記載され、これらの開示内容はすべて本明細書に全体で援用されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
[0044]図６-図７は、アライメント機構６００の他の実施態様の断面図である。アライメント機構６００は、上記のアライメント機構５００と同様に作動するように構成されている。アライメント機構６００は図６に一つだけ示されているが、アライメント機構６００は、チャンバ本体２１２の反対の角に配置された他のアライメント機構（図示されていない）と呼応して作動する。場合によっては、チャンバ本体２１２のそれぞれの角は、アライメント機構を含むことができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
[0045]アライメント機構６００は、一般的は、チャンバ本体２１２を通って配置されたシャフト６０４によってアクチュエータ６０８と結合した内部レバー６０２を含んでいる。図６-図７に示された実施態様においては、アクチュエータ６０８は、外部レバー６０６によってシャフト６０４に結合している。外部レバー６０６は、チャンバ本体２１２の外部壁に画成された溝７０２内に伸びたシャフト６０４のポスト７２０に結合している。アクチュエータ６０８は、モータ、リニアアクチュエータ又はシャフト６０４に回転運動を与えるのに適した他のデバイスであってもよい。内部レバー６０２は、シャフト６０４と回転し、よって予め決められた位置へ基板１１０（想像線で示された）を押し付けるためにレバー６０２から伸びている一組のローラ５０２、５０４が移動する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
【図１】大面積基板を処理するための処理システムの一実施態様の平面図である。
【図２】多重チャンバのロードロックチャンバの一実施態様の側断面図である。
【図３】図２の切断線３-３に沿って切ったロードロックチャンバの断面図である。
【図３Ａ】図３Ａは、共有する真空ポンプを持った図２のロードロックチャンバである。
【図４Ａ】図４Ａは、図３のロードロックチャンバの部分断面図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、図３のロードロックチャンバの部分断面図である。
【図５】アライメント機構の一実施態様である。
【図６】アライメント機構の他の実施態様の断面図である。
【図７】アライメント機構の他の実施態様の断面図である。
【図８】ロードロックチャンバの他の実施態様である。
【図９】従来技術の慣用のデュアルスロット二基板ロードロックチャンバの一実施態様である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
１００…ロードロックチャンバ、１０８…搬送チャンバ、１１０…基板、１１２…ファクトリ・インタフェース、１３２…プロセスチャンバ、１３４…デュアルブレード真空ロボット、１３６…大気中のロボット、１３８…基板貯蔵カセット、１４０…ベイ、１５０…プロセスシステム、２０２…側壁、２０６…側壁、２０８…底部、２１０…最上部、２１２…チャンバ本体、２１４…水平内壁、２１８…溶接部、２２０、２２２、２２４…基板搬送チャンバ、２２６、２２８…スリットバルブ、２３０、２３２…基板アクセスポート、２３４、２３６…アクセスポート、２４２…アクチュエータ、２４４…基板支持体、３０２…側壁、３０４…真空ポート、３０６…ベントポート、３１０、３１２…バルブ、２８０…基板搬送チャンバ、アライメント装置…５００、５０２、５０４…ローラ、５０６…第一端、５０８…レバー、５１２…アクチュエータ、５１４、５１６…エッジ、５２０…ハウジング、５２２…シール、６００…アライメント機構、６０４…シャフト、６０６…外部レバー、６０８…アクチュエータ、６１６…ファスナ、７０２…溝、７０６…ブシュ、７０８…穴、７１０…フランジ、７１２…ブシュ、７１４…シール、７１６…ワッシャ、７１８…保持リング、７２０…ポスト、８００…ロードロックチャンバ、８０２…基板搬送チャンバ、８０４、８０６…基板搬送チャンバ、８１０…冷却プレート、８１４…冷却流体源、８１６…アクチュエータ、８１８…アパーチャ、８２０…接続ロッド、８２２…チャンバ本体、８２６…ハウジング、８２８…ベローズ、８３０…加熱素子、８３２…電源。