(57)【要約】【課題】薄板で形成したプローブコンタクトであって、大電流用として支障なく測定し得るようにしたプローブコンタクトを提供する。【解決手段】プローブコンタクトをバネ性を有する金属薄板で形成し、該プローブコンタクトは、ニードル部の少なくとも接触部を除いて絶縁体被膜で被覆し、該ニードル部は、前後方向に弾性移動し得るように構成してなるプローブコンタクトにおいて、前記ニードル部先端に高融点金属薄板をロウ付けした。【選択図】  図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
プローブコンタクトをバネ性を有する金属薄板で形成し、該プローブコンタクトは、ニードル部の少なくとも接触部を除いて絶縁体被膜で被覆し、該ニードル部は、前後方向に弾性移動し得るように構成し、これを多数枚積層してなるプローブコンタクトにおいて、前記ニードル部先端に高融点金属薄板をロウ付けしたことを特徴とする大電流用積層プローブコンタクト。
【請求項２】
前記ロウ付け後、研磨してプローブ先端の位置を略一定に形成する請求項１記載のプローブ。
【請求項３】
前記高融点金属薄板が、モリブデン若しくはタングステンの薄板である請求項１又は２記載のプローブ。
【請求項４】
前記高融点金属薄板が、単結晶タングステンの薄板である請求項３に記載のプローブ。
【請求項５】
前記薄板は、銅、銅合金、タングステン又は焼き入れ帯鋼板から形成してなる請求項１〜４のいずれかに記載のプローブ。
【請求項６】
前記薄板の厚さが、０．１２ｍｍ〜０．６０ｍｍである請求項５に記載のプローブ。
【請求項７】
前記ニードル部後方の前記薄板にニードル部が前後方向に弾性移動し得る巾を有する切りこみを形成してニードル部を連設した細長い板体を形成する請求項１〜６のいずれかに記載のプローブ。
【請求項８】
前記切り込みは、下部が巾狭となる段部が形成され、該段部に下端が当接するように  Ｕ字状のバネを内装する請求項７記載のプローブ。
【請求項９】
前記細長い板体の前記切り込み下端部に面する部分は、切り込みを巾広に形成することにより、細く形成されている請求項７または８記載のプローブ。
【請求項１０】
前記大電流は、１Ａ〜２０Ａであり、通電時間は３秒〜０．１秒である請求項１〜９のいずれかに記載のプローブ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この考案は、大電流が流れる電子デバイス半導体を検査する積層プローブに係り、詳記すれば従来は大電流用として使用し得なかった薄板で形成した積層プローブで、大電流を支障なく測定し得るようにした大電流用積層プローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年自動車産業においては、車の各種機能の電子化が著しく進んできた。例えば、ハイブリッド車に搭載するエネルギーの電源には、従来にない大電流が流れる電源が搭載されている。
【０００３】
このような電子デバイス半導体を検査する大電流用プローブとしては、筒状本体と該筒状本体に嵌合するプランジャーとを具備したプローブ、及び本出願人が先に出願したクリップ方式のプローブ（特許文献１）等が知られていた。
【０００４】
しかしながら、０．１２ｍｍ〜０．６０ｍｍの薄板で形成した積層プローブコンタクトとしては、このような大電流用としては使用し得なかった。このような薄板で形成したのでは、２０Ａ程度の大電流が流れると瞬間的には１０００℃以上となるので、プローブが溶けてしまうからである。このような薄板は、好ましい弾性を有することからベリリウム銅が多く使用されているが、これは３００℃程度しかもたず、５００〜６００℃で溶けるので、大電流用プローブとしては到底使用し得なかった。
【特許文献１】特開２００５−９１１２６
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
この考案は、このような点に着目してなされたものであり、０．１２ｍｍ〜０．６０ｍｍの薄板で形成した積層プローブコンタクトであっても、大電流用として支障なく測定し得るようにした積層プローブコンタクトを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的に沿う本考案の構成は、プローブコンタクトをバネ性を有する金属薄板で形成し、該プローブコンタクトは、ニードル部の少なくとも接触部を除いて絶縁体被膜で被覆し、該ニードル部は、前後方向に弾性移動し得るように構成してなるプローブコンタクトにおいて、前記ニードル部先端に高融点金属薄板をロウ付けしたことを特徴とする。
【０００７】
前記ロウ付け後、ダイヤモンドで研磨して接合部分を平坦とし、プローブ先端の位置を略一定に形成すると良い（請求項２）。ロウ付けをすると、接合部分が若干盛り上がってくることと、高さが若干違ってくるからである。
【０００８】
前記高融点金属薄板としては、モリブデン又はタングステンの薄板とするのが好ましい（請求項３）。
【０００９】
前記高融点金属薄板としては、単結晶タングステンの薄板が特に好ましい（請求項４）。
【００１０】
前記薄板は、弾性を有することから、銅、銅合金、タングステン又は焼き入れ帯鋼板から形成するのが好ましい（請求項５）。
【００１１】
前記薄板の厚さを、０．１２ｍｍ〜０．６０ｍｍとするのが好ましい（請求項６）。
【００１２】
前記ニードル部後方の前記薄板に、ニードル部が前後方向に弾性移動し得る巾を有する切りこみを形成して、ニードル部を連設した細長い板体を形成するのが好ましい（請求項７）。
【００１３】
前記切り込みに、下部が巾狭となる段部を形成し、該段部に下端が当接するようにＵ字状のバネを内装することによって、使用目的に応じて、バネ圧を調整することができる（請求項８）。
【００１４】
前記細長い板体の前記切り込み下端部に面する部分は、切り込みを巾広に形成することによって、細長く形成するのが、プローブの耐久性の点から好ましい（請求項９）。
【００１５】
本考案においては、薄板の厚さを、０．１２ｍｍ〜０．６０ｍｍとした場合に、大電流は、通常１Ａ〜３０Ａ程度で、通電時間は、３秒〜０．１秒程度で検査するのが好ましい（請求項９）。３０Ａ以上１００Ａ程度の大電流であっても、薄板の厚さを、０．６０ｍｍ以上とするとか、通電時間を１秒以下とすることにより、支障なく検査をすることができる。
【考案の効果】
【００１６】
本考案によれば、従来大電流用としては使用し得なかった薄板で形成した積層プローブコンタクトが、大電流用として支障なく使用し得るという絶大な効果を奏する。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本考案の好ましい実施の形態を、添付図面に基づいて詳細に説明する。
【００１８】
図１は、本考案のコンタクトプローブを示す側面図であり、コンタクトプローブ１は、薄板に形成し、先端ニードル部２の後方には、切込み３を形成してニードル部２を連設した細長い板体４を形成し、先端ニードル部２には、前記ニードル部先端に高融点金属薄板５をロウ付けにより接合した例を示す。尚、図中１３はロウ付け部であり、６はリード線取付け用の端子部である。
【００１９】
ロウ付け方法自体は、公知の方法によって行えば良い。また、ロウ付けすることによって、ロウ付け部分が若干盛り上がることと、ニードル部の長さが若干異なるようになることから、ロウ付け後、ダイヤモンド砥石で研磨して接合部分を平坦とし、プローブ先端の位置を略一定に形成している。
【００２０】
前記高融点金属薄板としては、モリブデン（融点約２５００℃）又はタングステン（融点約３０００℃）を効果的に使用することができるが、モリブデンであると高電流で若干侵される場合が生じるので、特にタングステンを使用するのが好ましい。
【００２１】
しかしながら、タングステンは、使用により先端が磨耗すると多孔質の面が出てくるが、この面の孔にゴミなどが入り込むと検査の障害となり得ることが判明した。そのため、本考案者は、タングステンを単結晶化した薄板をロー付けすることを想到したが、このものは磨り減っても多孔質の面が出ることは無くなるので、大電流に対して優れた耐性を有すると共に、検査の障害も生じないことを見出した。タングステンを単結晶化すること自体は、公知の方法によって行えばよい。
【００２２】
ニードル部２後方の切込み３は、段部７に形成され、多数枚積層した段部７でＵ字形のバネ（図示せず）を保持して、弾性力により、ニードル部を正位置に復帰させるようにしている。このように構成すると、積層プローブの使用目的に応じて、Ｕ字形のバネの強さを選択することができ、使用目的に応じて最適のバネ力とすることができる。
【００２３】
板体４下端部の面する切込み３は、大きくなっているので、板体４下端部８はその分細く形成されている。このように形成することによって、ニードル部の移動がスムーズになるので、プローブの耐久性が向上する。
【００２４】
コンタクトプローブ１は、ロウ付けした金属薄板５の先端ニードル部を除いて、厚さ約０．０１ｍｍ〜０．０５ｍｍのフッ素樹脂［テフロン（登録商標)］の絶縁体被膜が形成されている。金属薄板５のニードル部は絶縁体被膜が形成されていないが、隣接するニードル部は、絶縁体被膜層の厚さだけ離れているので、接触する恐れは無い。
【００２５】
本考案のコンタクトプローブ１を形成する薄板は、弾性を有することから、銅、銅合金、タングステンまたは焼き入れ帯鋼板から形成するのが好ましい。
【００２６】
コンタクトプローブ１には、貫通孔９，１０，１１，１２が形成されている。上記貫通孔には、積層用ガイドピンが嵌挿され、ガイドピンの一端は、積層したコンタクトプローブを収容する枠体に係止され、ガイドピンの他端は、枠体にボルトで螺合締め付け固定することによって、多数枚積層したコンタクトプローブとすることができる。
【００２７】
薄板の厚さが、０．１２〜０．６０ｍｍとした本考案の積層プローブは、２０Ａ程度の大電流で、通電時間１秒程度で使用するのに適している。２０Ａ以上１００Ａ程度の大電流を検査する場合は、薄板の厚さを厚く（場合によっては０．６０ｍｍ以上）としたり、通電時間を１／２秒、１／１０秒というように１秒以下に短くすれば支障なく使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本考案の一実施例を示す側面図である。
【符号の説明】
【００２９】
１              コンタクトプローブ
２              先端ニードル部
３              切込み
４              細長い板体
５              高融点金属薄板
６              リード線取付け用端子部
７              段部
８              板体下端部
９，10，11，12  貫通孔
【図１】
0003125156.tif 000003