【手続補正書】
【提出日】平成17年11月21日(2005.11.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷用マスクとして印刷パターン用の貫通開口部が形成されたメタルマスク又はプラスチックマスクを有するマスク版を製造するためのマスク版製造方法において、
プラスチック板からなるマスク材を、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定したものと、互いに径が異なる複数のドリルを有するドリル機構とを用意しておき、該マスク枠に固定された該マスク材と、任意のドリルとにおけるドリル軸線方向と直交する方向の相対位置を変化させて、該任意のドリルの該マスク材に対する貫通位置を調整しながら、該任意のドリルにより上記貫通開口部を形成する工程で、各ドリルの先端と、該ドリル機構に装着した該マスク材との最大離間距離を、該マスク材が固定されている該マスク枠の高さよりも大きく変化させ得るように、ドリル軸線方向における各ドリル、該マスク材又は両者の移動範囲を設定することを特徴とするマスク版製造方法。
【請求項２】
印刷用マスクとして印刷パターン用の貫通開口部が形成されたメタルマスク又はプラスチックマスクを有するマスク版を製造するためのマスク版製造方法において、
プラスチック板からなるマスク材を、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定したものと、互いに径が異なる複数のポンチ及びダイスを有するパンチプレス機構とを用意しておき、該マスク枠に固定された該マスク材と、任意のポンチとにおけるポンチ軸線方向と直交する方向の相対位置を変化させて、該任意のポンチの該マスク材に対する貫通位置を調整しながら、該任意のポンチにより上記貫通開口部を形成する工程で、各ポンチの先端と、該パンチプレス機構に装着した該マスク材との最大離間距離を、該マスク材が固定されている上記マスク枠の高さよりも大きく変化させ得るように、ポンチ軸線方向における各ポンチ、該マスク材又は両者の移動範囲を設定することを特徴とするマスク版製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２のマスク版製造方法において、
上記最大離間距離に応じて、各ドリル又は各ポンチの軸線方向におけるストローク範囲を調整することを特徴とするマスク版製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１の発明は、印刷用マスクとして印刷パターン用の貫通開口部が形成されたメタルマスク又はプラスチックマスクを有するマスク版を製造するためのマスク版製造方法において、プラスチック板からなるマスク材を、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定したものと、互いに径が異なる複数のドリルを有するドリル機構とを用意しておき、該マスク枠に固定された該マスク材と、任意のドリルとにおけるドリル軸線方向と直交する方向の相対位置を変化させて、該任意のドリルの該マスク材に対する貫通位置を調整しながら、該任意のドリルにより上記貫通開口部を形成する工程で、各ドリルの先端と、該ドリル機構に装着した該マスク材との最大離間距離を、該マスク材が固定されている該マスク枠の高さよりも大きく変化させ得るように、ドリル軸線方向における各ドリル、該マスク材又は両者の移動範囲を設定することを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
このマスク版製造方法においては、マスク材を、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定してから、ドリルにより、該マスク材に印刷パターン用の貫通開口部を形成する。このため、既に貫通開口部が形成されているプラスチックマスクを、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定することにより生ずる該貫通開口部の変形や位置ずれを解消することができる。
また、マスク枠と、該マスク枠に直接あるいは薄膜を介して固定されたマスク材とからなる版用部材を大量生産しておくことで、接着剤の塗布・乾燥工程などの長時間を要する工程を予め済ませておくことができる。
また、このマスク版製造方法においては、マスク材に対するドリルの貫通位置を調整することができなかったり、マスク材の周縁部に貫通開口部を形成することができなかったりするという不具合を解消することができる。例えば、各ドリルの先端とドリル機構に装着したマスク材とを、マスク枠の高さよりも大きく離間させることができないと、上記貫通位置を調整する際に、ドリルをマスク枠に引っかけてしまうおそれがある。具体的な一例としては、マスク枠を水平移動させて該マスク枠に固定されるマスク材の上記貫通位置を調整する場合において、ドリル先端の下方を通過させるようにマスク枠を水平移動させると、該ドリル先端をマスク枠に引っかけてしまう。このため、水平方向において、任意のドリルをマスク枠の外側に位置させている場合には、該ドリルをマスク枠の内側に位置させることができず、上記貫通位置を調整することができなくなる。また、全てのドリルをマスク枠の内側に位置させており、且つ、マスク枠に直接固定したマスク材の周縁部に貫通開口部を形成する場合には、マスク枠の水平移動時に、任意のドリルの周囲にあるドリルをマスク枠に引っかけてしまうおそれがある。そして、このようにドリルを引っかけると、任意のドリルを上記貫通位置の上方に位置させることができず、マスク材の周縁部に貫通開口部を形成することができなくなる。このような場合には、マスク材及びマスク枠の寸法を大きくして、マスク材の周縁部に貫通開口部を形成しないようにする必要がある。そこで、このマスク版製造方法においては、各ドリルの先端と、ドリル機構に装着したマスク材との最大離間距離を、マスク枠の高さよりも大きく変化させ得るように、ドリル軸線方向における各ドリル、マスク材又は両者の移動範囲を設定する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項２の発明は、印刷用マスクとして印刷パターン用の貫通開口部が形成されたメタルマスク又はプラスチックマスクを有するマスク版を製造するためのマスク版製造方法において、プラスチック板からなるマスク材を、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定したものと、互いに径が異なる複数のポンチ及びダイスを有するパンチプレス機構とを用意しておき、該マスク枠に固定された該マスク材と、任意のポンチとにおけるポンチ軸線方向と直交する方向の相対位置を変化させて、該任意のポンチの該マスク材に対する貫通位置を調整しながら、該任意のポンチにより上記貫通開口部を形成する工程で、各ポンチの先端と、該パンチプレス機構に装着した該マスク材との最大離間距離を、該マスク材が固定されている上記マスク枠の高さよりも大きく変化させ得るように、ポンチ軸線方向における各ポンチ、該マスク材又は両者の移動範囲を設定することを特徴とするものである。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
このマスク版製造方法においては、マスク材を、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定してから、パンチプレスにより、該マスク材に印刷パターン用の貫通開口部を形成する。このため、既に貫通開口部が形成されているプラスチックマスクを、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定することにより生ずる該貫通開口部の変形や位置ずれを解消することができる。
また、マスク枠と、該マスク枠に直接あるいは薄膜を介して固定されたマスク材とからなる版用部材を大量生産しておくことで、接着剤の塗布・乾燥工程などの長時間を要する工程を予め済ませておくことができる。
また、このマスク版製造方法においては、マスク材に対するポンチの貫通位置を調整することができなかったり、マスク材の周縁部に貫通開口部を形成することができなかったりするという不具合を解消することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項３の発明は、請求項１又は２のマスク版製造方法において、上記最大離間距離に応じて、各ドリル又は各ポンチの軸線方向におけるストローク範囲を調整することを特徴とするものである。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
【発明の効果】
請求項１乃至３の発明によれば、既に貫通開口部が形成されているメタルマスク又はプラスチックマスクをマスク枠に固定することにより生ずる該貫通開口部の変形や位置ずれを解消し得るので、製造後のマスク版におけるメタルマスク又はプラスチックマスクの貫通開口部の変形や位置ずれを低減することができるという優れた効果がある。
また、接着剤の塗布・乾燥工程などの長時間を要する工程を予め済ませておくことができるので、発注から納品までのリードタイムを短縮して生産性を向上させることがきるという優れた効果がある。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
また、請求項１乃至３の発明によれば、マスク材に対するドリル又はポンチの貫通位置を調整し得なかったり、マスク材の周縁部に貫通開口部を形成し得なかったりという不具合を解消することができるので、該貫通位置を確実に調整し、且つ、マスク枠及びマスク材の寸法の拡大化を回避することができるという優れた効果がある。
また、マスク枠及びマスク材の寸法の拡大化を回避することができるので、版用部材を印刷装置のワーク寸法規格に対応させることができるという優れた効果がある。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
また、請求項３の発明によれば、各ドリル又は各ポンチをマスク材に対して確実に貫通させ得るので、マスク材に対して印刷パターンを確実に形成することができるという優れた効果がある。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】削除
【補正の内容】