(57)【要約】      （修正有）【課題】三次元構造を有する検査対象物の顕微鏡検査に適用できる顕微鏡用検査治具と、それを備えた顕微鏡装置を提供する。【解決手段】検査治具は作動モジュール１０と動力源２０を含む。作動モジュールは、アクチュエータ１０１とキャリア１０２を含む。アクチュエータは、検査対象物の表面に接触し、回転対象物を検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転させるように駆動する。キャリアはアクチュエータを載せる。動力源はアクチュエータと相互接続され、アクチュエータを回転駆動する。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡用検査治具であって
検査対象物の表面に接触し、前記検査対象物を、前記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動するアクチュエータと、前記アクチュエータが設けられるキャリアと、を有する作動モジュールと
前記アクチュエータと相互接続され、前記アクチュエータを駆動する動力源と、
を備える、
顕微鏡用検査治具。
【請求項２】
前記アクチュエータは、
前記検査対象物の外面に接触して前記検査対象物を乗せ、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する第１のローラ素子と、
前記検査対象物の表面に当接して前記検査対象物を支持するキャリアと、
それぞれ前記検査対象物の下に配置され、前記検査対象物の外面に接触し、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する一対の第２ローラ素子と、
前記検査対象物の周りに巻かれて前記検査対象物の外面に接触し、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動するテープと、
前記検査対象物に挿入されて前記検査対象物を自体回転運動させる回転シャフトと、
を有する、請求項１に記載の顕微鏡用検査治具。
【請求項３】
前記アクチュエータは、前記検査対象物の外面に直接接触し、前記アクチュエータと前記検査対象物の表面との間の摩擦力によって、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する、請求項１に記載の顕微鏡用検査治具。
【請求項４】
前記検査対象物に配置され、前記アクチュエータと前記検査対象物との間の摩擦力を増加させるように前記検査対象物に外力を加える補助素子をさらに含む、請求項３に記載の顕微鏡用検査治具。
【請求項５】
前記検査対象物上に延設される延長部材を備え、
前記アクチュエータは、前記延長部材に直接接触し、前記アクチュエータと前記延長部材との間の摩擦力によって、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する、請求項１または２に記載の顕微鏡用検査治具。
【請求項６】
前記動力源は、自在継手、連結ロッドまたはギアセットの少なくとも一つを含む連結部材を介して前記アクチュエータと相互接続される請求項１から５のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
【請求項７】
前記検査対象物に挿入され、前記検査対象物の前記幾何学的中心軸の方向を維持または変更するための制限素子と、
前記検査対象物上に配置され、前記検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するための制限素子と、を備え、
前記制限素子は、前記検査対象物を固定して前記検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するためのクランプである、
請求項１に記載の顕微鏡用検査治具。
【請求項８】
前記キャリアは、そのＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸方向の少なくとも１つに沿って移動する、請求項１に記載の顕微鏡用検査治具。
【請求項９】
顕微鏡装置であって、
放射源とレンズ群を含む放射部品と、
検査治具であって、
検査対象物の表面に接触し、前記検査対象物を、前記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動するアクチュエータと、前記アクチュエータを乗せるキャリアとを含む作動モジュールと、前記アクチュエータと相互接続されて、前記アクチュエータを駆動する動力源と、中に前記検査治具が配置される真空室と、を有する検査治具と、
を備え、
前記放射源はエネルギー源を放射し、前記レンズ群は前記エネルギー源を前記検査対象物に導く、
顕微鏡装置。
【請求項１０】
前記放射部品の動作を制御する制御システムと、前記制御システムと電気的に接続された信号検出システムと、を備え、
前記信号検出システムは、前記エネルギー源と前記検査対象物が干渉した後に生成された信号を検出し、前記制御システムに送信する、
請求項９に記載の顕微鏡装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、顕微鏡用検査治具に関し、特に、三次元構造を有する検査対象物を検査するために適用できる検査治具、およびそれを備えた顕微鏡装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、光学顕微鏡または電子顕微鏡の検査プロセスでは、光ビームまたは荷電粒子ビームを検査対象物に透過させて検査するために、検査試料を薄片にスライスするように切断または研削などの方法がしばしば使用される。しかし、科学技術の発展と製造プロセスの進化に伴って、検査対象物の種類と検査の目的はより広範囲になり、たとえば、部品完成品の全体構造、または超高精度セラミックの詳細な構造を含むことがある。この場合、検査試料を薄片にスライスすれば、試料に損害や損傷が生じることは避けられない。また、検査対象物が三次元構造を持っているため、検査のターゲットは二次元平面に限定されない。そのため、三次元構造の検査に適した顕微鏡用検査治具を開発する必要がある。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
ここでは、顕微鏡により三次元構造を有する検査対象物が検査されるように検査対象物を固定および回転させる検査治具が提供される。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本考案の実施形態に係る検査治具は、作動モジュールと動力源を含む。作動モジュールは、アクチュエータとキャリアを含む。アクチュエータは、検査対象物の表面に接触し、回転対象物を検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転させるように駆動する。キャリアはアクチュエータを載せる。動力源はアクチュエータと相互接続され、アクチュエータを回転駆動する。本考案に係る検査治具は、三次元構造を有する検査対象物の顕微鏡検査に適用できる。
【０００５】
好ましくは、アクチュエータは、検査対象物の外面に接触して前記検査対象物を乗せ、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する第１のローラ素子と、検査対象物の表面に当接して前記検査対象物を支持するキャリアと、を含んでもよい。
【０００６】
好ましくは、アクチュエータは、それぞれ検査対象物の下に配置され、前記検査対象物の外面に接触し、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する一対の第２ローラ素子を含んでもよい。
【０００７】
好ましくは、アクチュエータは、検査対象物の周りに巻かれて前記検査対象物の外面に接触し、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動するテープを含む。
【０００８】
好ましくは、アクチュエータは、検査対象物の外面に直接接触し、前記アクチュエータと前記検査対象物の表面との間の摩擦力によって、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する。
【０００９】
好ましくは、本考案に係る検査冶具は、検査対象物に配置され、アクチュエータと前記検査対象物との間の摩擦力を増加させるように前記検査対象物に外力を加える補助素子をさらに含んでもよい。
【００１０】
本考案に係る検査治具は、検査対象物上に延設される延長部材をさらに含んでもよい。アクチュエータは、延長部材に直接接触し、前記アクチュエータと前記延長部材との間の摩擦力によって、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する。
【００１１】
好ましくは、アクチュエータは、検査対象物に挿入されて前記検査対象物を自体回転運動させる回転シャフトを含んでもよい。
【００１２】
好ましくは、本考案に係る検査冶具における動力源は、連結部材を介してアクチュエータと相互接続されることができる。連結部材は、自在継手、連結ロッドまたはギアセットを含んでもよい。
【００１３】
好ましくは、本考案に係る検査冶具は、検査対象物上に配置され、前記検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するための制限素子をさらに含んでもよい。
【００１４】
好ましくは、制限素子は、検査対象物を固定して前記検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するためのクランプであってもよい。
【００１５】
好ましくは、本考案に係る検査治具は、検査対象物に挿入されて、検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するための制限素子をさらに含んでもよい。
【００１６】
好ましくは、キャリアは、そのＸ軸、Ｚ軸、およびＺ軸方向の少なくとも１つに沿って移動することができる。
【００１７】
本考案に係る別の実施形態は、放射部品と検査治具を含む顕微鏡装置を提供する。放射部品は放射源とレンズ群を含む。検査治具は作動モジュールと動力源を含む。作動モジュールは、アクチュエータと、前記アクチュエータを乗せるキャリアとを含む。アクチュエータは、検査対象物の表面に接触し、前記検査対象物を、前記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動する。動力源は、アクチュエータと相互接続されて、前記アクチュエータを駆動する。放射源はエネルギー源を放射し、レンズ群は前記エネルギー源を前記検査対象物に導く。
【００１８】
本考案に係る別の実施形態は、放射部品と検査治具を含む顕微鏡装置を提供する。放射部品は放射源とレンズ群を含む。検査治具は、作動モジュール、動力源および真空室を含む。作動モジュールは、アクチュエータと、前記アクチュエータを乗せるキャリアとを含む。アクチュエータは、検査対象物の表面に接触し、前記検査対象物を、前記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動する。動力源は、アクチュエータと相互接続されて、前記アクチュエータを駆動する。真空室の中には、検査治具が配置される。放射源はエネルギー源を放射し、レンズ群は前記エネルギー源を前記検査対象物に導く。
【００１９】
本考案に係る別の実施形態は、顕微鏡装置の検査方法を提供し、以下のステップを含む：顕微鏡装置の検査治具に検査対象物を提供する；前記顕微鏡装置を駆動して、エネルギー源を検査対象物へ放射させる；エネルギー源が検査対象物の表面における複数の検査対象点を走査するように前記検査対象物を回転駆動する。検査治具はアクチュエータと動力源を含み、前記アクチュエータは検査対象物の表面に接触し、アクチュエータと検査対象物の表面との間の摩擦力によって、検査対象物を前記検査対象物の幾何学的中心軸に対して自体回転運動させるように駆動し、動力源は、アクチュエータと相互接続されて前記アクチュエータを駆動する。
【００２０】
以下は、本考案によって達成される目的、技術的内容、特徴および効果をより容易に理解するために、添付の図面と合わせて、特定の実施形態を詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本考案の第１実施形態に係る検査治具の概略側面斜視図である。
【図２】本考案の第２実施形態に係る検査治具の概略側面斜視図である。
【図３】本考案の第３実施形態に係る検査治具の概略側面斜視図である。
【図４】本考案の第４実施形態に係る検査治具の概略側面図である。
【図５】本考案の第５実施形態に係る検査治具の概略側面斜視図である。
【図６】本考案の第６実施形態に係る検査治具の概略側面斜視図である。
【図７】本考案の第７実施形態に係る検査治具の概略側面斜視図である。
【図８】本考案の第８実施形態に係る検査治具の概略側面斜視図である。
【図９】本考案の第９実施形態に係る検査治具の概略側面斜視図である。
【図１０】本考案の第１０実施形態に係る検査治具の概略側面斜視図である。
【図１１】本考案の第１１実施形態に係る検査治具の概略側面斜視図である。
【図１２】図１１の概略正面図である。
【図１３】本考案に係る検査治具を備えた顕微鏡の第１実施形態のブロック図である。
【図１４】本考案に係る検査治具を備えた顕微鏡の第２実施形態のブロック図である。
【図１５】本考案の実施形態に係る検査方法の概略図である。
【図１６】本考案の別の実施形態に係る検査方法の概略図である。
【考案を実施するための形態】
【００２２】
以下、本考案の実施形態を詳細に説明し、図面と併せて例示する。これらの詳細な説明に加えて、本考案は、他の実施形態でも広く実施することができる。実施形態のいずれかの容易な置換、修正、および同等の変更は、特許請求の範囲により定められる本考案の範囲に含まれる。本明細書の説明では、読者が本考案をより完全に理解できるようにするために、多くの特定の詳細を提供するが、特定の詳細の一部または全部を省略する場合でも本考案を実施することができる。さらに、本考案を不必要に制限することを避けるために、周知の手順や素子などは詳細に説明されていない。図面中の同一または類似の素子は、同一または類似の符号で表される。特に、図面は説明のみを目的としており、素子の実際サイズまたは数量を表すものではないことに注意すべきである。
【００２３】
図１を参照すると、本考案の実施形態に係る顕微鏡用検査治具は、作動モジュール１０と動力源２０とを含む。作動モジュール１０は、アクチュエータ１０１とキャリア１０２を含む。アクチュエータ１０１は、検査対象物１１の表面に接触し、検査対象物１１を検査対象物１１の幾何学的中心軸Ａに対して自体回転運動させるように駆動する。動力源２０は、アクチュエータ１０１と相互接続されて、アクチュエータ１０１を駆動して回転させることができる。また、アクチュエータ１０１は、キャリア１０２上に乗せられる。図１に示されるキャリア１０２は、アクチュエータ１０１よりも大きい基部であるが、本考案はこれに限定されない。また、キャリア１０２は、アクチュエータ１０１の一部であってもよく、アクチュエータ１０１を動力源２０または他の構成素子と接続するための接続部材として使用されてもよく、または作動モジュール１０全体を移動させるための移動素子として使用されてもよい。
【００２４】
引き続き図１を参照すると、本実施形態では、アクチュエータ１０１は、第１のローラ素子１１１およびサポーター１１２を含むことができる。第１のローラ素子１１１は、検査対象物１１の下に配置され、検査対象物１１を支持し、検査対象物１１の外面に直接接触し、検査対象物１１を自体回転させるように駆動する。サポーター１１２も検査対象物１１の下に配置され、第１のローラ素子１１１とは検査対象物１１の反対側にそれぞれ配置され、検査対象物１１を支持することもできる。
【００２５】
別の実施形態では、図１および図２を参照すると、アクチュエータ１０１は、それぞれ検査対象物１１の下に配置される、検査対象物１１の外面に直接接触して検査対象物１１を自体回転させるように駆動する、一対の第２のローラ素子１１３を含むことができる。ここで、検査対象物１１の表面は、検査対象物１１の構造（検査対象物の検査される部分または検査されない部分であってもよい）の表面であってもよいし、一時的に検査対象物１１に着脱可能に固定された構造の表面であってもよい。図３を参照すると、本考案に係る検査治具は、検査対象物１１上に延設される延長部材３０をさらに含んでよい。アクチュエータ１０１は、延長部材３０に直接接触し、アクチュエータ１０１と延長部材３０との間の摩擦力によって、検査対象物１１を自体回転運動させるように駆動する。
【００２６】
引き続き図１および図２を参照すると、第２のローラ素子１１３は、検査対象物１１を駆動および支持する機能を同時に実行することができる。動力源２０は、接続部材４０を介して第２のローラ素子１１３に接続され、第２のローラ素子１１３を駆動する。あるいは、本実施形態において、アクチュエータ１０１は、他のサポーター１１２をさらに備えてもよい。このサポーター１１２は、適切な位置に配置される。例えば、サポーター１１２は、一対の第２のローラ素子１１３の間に配置される。
【００２７】
したがって、図１に示す実施形態によれば、検査対象物１１および第１のローラ素子１１１は、それぞれの中心軸を回転軸として回転する。それぞれの回転軸は平行であるが同一軸ではない。よって、本考案の検査治具は、異軸回転という方式で、検査対象物を自体回転させることができる。図２の検査対象物１１および一対の第２のローラ素子１１１も、それぞれの中心軸を回転軸として回転するため、異軸回転という態様でもある。しかしながら、本考案はこれに限定されるものではなく、図４に示すように、検査対象物１１およびアクチュエータ１０１は、非平行且つ同一軸ではないそれぞれの中心軸を回転軸として回転することもできる。図４では、アクチュエータ１０１の第１のローラ素子１１３は、検査対象物１１の外側表面に接触して検査対象物１１を支持し、検査対象物１１を自体回転させるように駆動する。そのうち、検査対象物１１の幾何学的中心軸Ａと第１のローラ素子１１３の中心軸Ｂは平行ではない。
【００２８】
さらに別の実施形態では、図５を参照すると、アクチュエータは、検査対象物１１の外面に巻き付けられて検査対象物１１を自体回転運動させるように駆動するためのテープ１１４を含むことができる。別の実施形態では、図６を参照すると、アクチュエータは、検査対象物１１を自体回転させるように検査対象物１１に挿入できる回転シャフト１１５を含むことができる。これによって、接続部材４０を省略することができる。このうち、アクチュエータとしての回転シャフト１１５は、検査対象物１１の内面に直接接触し、回転シャフト１１５と検査対象物１１との摩擦力によって、検査対象物１１を自体回転させるように駆動する。これによって、図６に示す実施形態によれば、検査対象物１１および回転シャフト１１５は、検査対象物１１の幾何学的中心軸を回転軸として回転運動する。そのうち、検査対象物１１の幾何学的中心軸と回転シャフト１１５の回転軸は同一軸であるため、本考案に係る検査治具は、同軸回転という方式で検査対象物を回転させることができる。
【００２９】
上記実施形態では、アクチュエータが検査対象物に直接接触して検査対象物を回転させるように駆動するが、別の実施形態では、本考案の検査治具は、検査対象物を保持するための保持素子（図示せず）をさらに含んでもよい。アクチュエータは保持素子に直接接触し、検査対象物を自体回転運動させるように間接的に駆動する。
【００３０】
ここで、本考案に記載のアクチュエータは、検査対象物の表面に直接または間接に接触して、アクチュエータと検査対象物との間の摩擦力によって検査対象物を自体回転させるように駆動するため、両者間の摩擦力が検査対象物を回転駆動するために必要な条件であることに留意されたい。あるいは、アクチュエータは、検査対象物の内側と直接または間接に接触して、アクチュエータと検査対象物との間の摩擦力によって、検査対象物を自体回転運動させるように駆動してもよい。本考案の別の実施形態によれば、図７を参照すると、本考案の検査治具は、検査対象物１１に配置される、検査対象物１１に外力を加えることによってアクチュエータ１０１と検査対象物１１との間の摩擦力を増加させるための補助部材５０をさらに含んでよい。図７に示す補助部材５０は単なる例示であり、補助部材５０の位置および形態は必要に応じて調整することができる。アクチュエータ１０１と検査対象物１１との間の摩擦を増加させることができるものであればよい。
【００３１】
本考案の実施形態では、動力源２０は、図２および図３に示すように、接続部材４０を介してアクチュエータ１０１に接続されてもよい。接続部材４０は、例えば、自在継手、連結ロッドまたはギアセットであってよいが、本考案はそれに限らない。接続部材４０は、動力源２０とアクチュエータ１０１を接続できる任意の素子であってよい。したがって、すべての部材が限られたスペースに配置されている場合、アクチュエータ１０１と動力源２０との間の接続は、接続部材４０による接続によって、より柔軟に位置を配置することができる。例えば、検査治具のすべての部材が限られたサイズであるキャリア１０２上に乗せられ時、接続部材４０は、接続および位置調整という役割を果たすことができる。よって、本考案に係る検査治具によっては、部材の配置がより柔軟になる。
【００３２】
本考案の目的は、三次元構造の検査に適した顕微鏡用検査治具を開発することである。上記実施形態では、検査対象物を自体回転させるように駆動することによって、一定の幾何学的中心軸の方向で、検査対象物の各向きにおける三次元構造を検査できる。別の実施形態では、キャリア１０２は、検査対象物の位置を変更するために移動してもよい。例えば、キャリア１０２は、そのＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸方向の少なくとも１つに沿って移動することができる。
【００３３】
別の実施形態では、本考案に係る検査治具は、検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更できる制限素子をさらに含むことができる。換言すれば、検査対象物の軸中心方向Ａと検査ビームまたは電子ビームの方向Ｃとの間の角度を固定または変更できる。図８および図９を参照すると、制限素子６０および制限素子６１は、アクチュエータと同等であり、検査対象物１１の表面に接触し、検査対象物１１を、検査対象物１１の幾何学的中心軸Ａに対して自体回転運動させるように駆動するとともに、検査対象物１１の幾何学的中心軸Ａと検査ビームまたは電子ビームの方向Ｃとの間の角度を固定または変更する。また、制限素子６０および制限素子６１は、検査対象物１１上にそれぞれ配置され、検査対象物１１の幾何学的中心軸Ａの方向を維持または変更できる。それは、検査対象物を固定するクランプ（図８を参照）であってもよいし、検査対象物１１の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するための検査対象物１１に挿入される挿入素子（図９を参照）であってもよい。図８および図９に示すように、制限素子６０および制限素子６１は、検査対象物１１の幾何学的中心軸Ａとビーム／電子ビームの方向Ｃとの間の角度α（９０度〜０度）を変化させることによって、幾何学的中心軸Ａが変化したときの検査対象物１１の各向きにおける三次元構造が検査される。
【００３４】
本考案に係る検査治具により検査される検査対象物の幾何学的中心軸の方向は、上記実施形態に限定されない。本考案の他の実施形態では、図１０に示すように、検査対象物の幾何学的中心軸Ａの方向は、ビーム／電子ビームの方向Ｃと平行であり、すなわち、検査対象物の幾何学的中心軸Ａと光ビーム／電子ビームの方向Ｃとの間の角度αは０度であってもよい。ここで分かるように、本考案に係る検査治具は、三次元構造を有する検査対象物を検査するために適用でき、好ましくは、異なる幾何学的中心軸の方向の下で検査対象物の各向きにける三次元構造を検査するために適用できることもできる。
【００３５】
一方、他の実施形態によれば、図１１および図１２に示すように、本考案に係る検査治具の接続部材の中心軸と検査対象物との間の距離は可変であり、好ましくは、本考案に係る検査治具の連結ロッドの中心軸と検査対象物との間の距離は可変である。ここで、本考案に係る検査治具の動力源２０は、連結ロッド４０を介してアクチュエータ１０１に接続される。よって、アクチュエータ１０１は、検査対象物を自体回転させるように駆動することができる。再び図１２を参照すると、これは図１１の方向Ｅから見た検査治具の正面図であり、連結ロッド４０の中心軸と検査対象物１１の幾何学的中心軸との間の距離Ｄは調整可能である。すなわち、距離Ｄは、必要に応じて増減することができる。これによって、本考案に係る検査治具の使用の柔軟性を改善できる。
【００３６】
本考案の別の実施形態によれば、上記の検査治具を含む顕微鏡装置が提供される。図１３を参照すると、検査中に検査対象物を真空室内に入れる必要のない顕微鏡は、放射部品７０１、検査治具７０２、制御システム７０３、および信号検出システム７０４を含む。上記の実施形態で説明したように、検査対象物１１は、検査治具７０２に設置され、放射部品７０１から放射された、干渉した後に所望の信号（画像信号など）を形成できるエネルギーを受ける。この信号は信号検出システム７０４によって検出されることができる。次に、放射部品７０１は、放射源７１１およびレンズ群７２１を含む。放射源７１１は、可視光または不可視光など、検査対象物１１に作用するエネルギーまたは物質を放射するエネルギー源として機能する。レンズ群７２１は、複数の光学素子を備えて、可視光または不可視光を通過させて、検査対象物１１との干渉後に検出できる信号を形成する。さらに、制御システム７０３は、放射部品７０１および信号検出システム７０４に接続されて、放射部品７０１から放射されるエネルギーの量および検出される信号の処理を制御することができる。しかしながら、制限なしに、制御システム７０３は、検査治具７０２の作動速度または他の部材の動作も制御することができる。
【００３７】
図１４を参照すると、図１４は、検査中に真空室内に入れた検査対象物を検査する顕微鏡を示すという点で図１３とは異なる。ここで、図１４の顕微鏡は、真空システム７０５および真空室７０６をさらに含む。真空システム７０５は、真空室７０６を制御して、検査に必要な真空または低圧環境を維持しながら、検査対象物１１および検査治具を真空室７０６内に入れる。図１４の実施形態では、放射源７１１によって放射されたエネルギー源は、例えば、電子ビームであるが、これに限定されない。よって、本考案の減少したサイズの検査治具７０６は、真空室７０６などのスペースに制約のある環境に配置することができる。
【００３８】
本考案の別の実施形態は、以下のステップを含む顕微鏡装置の検査方法を提供する。顕微鏡装置の検査治具上に検査対象物を提供する；検査対象物にエネルギー源を放射するように顕微鏡装置を駆動する；および、エネルギー源が検査対象物の表面上の複数の検査対象点を走査するように、検査対象物を駆動して回転させる。そのうち、検査治具は上記の実施形態で開示したものと同じであるため、その部材構造の詳細は繰り返さない。図１５（ａ）を参照すると、検査対象物１１は、その幾何学的中心軸Ａ方向に対して自体回転運動を行うことができる。よって、検査ビームまたは電子ビーム（エネルギー源）は検査対象物１１の表面における複数の検査対象点ｄ１を走査することができる。一つの実施形態によれば、エネルギー源は、検査対象物の表面で環状軌跡を有する複数の検査対象点ｄ１を走査することができる。検査対象物の幾何学的中心軸Ａの方向が固定される場合、複数の検査対象点から幾何学的中心軸Ａまでの距離は同じである。検査対象物１１を移動させようとする場合、例えば、本考案に係る検査治具のキャリア１０２を介して検査対象物１１の位置を変化させる時、図１５（ｂ）に示すように、エネルギー源は、検査対象物の表面で別の環状軌跡を有する複数の検査対象点ｄ２を走査することができる。上記によれば、本考案に係る検査方法は、検査対象物を自体回転させるように駆動することによって、複数回または複数の軸方向に検査対象物を移動させるような複雑で遅い方法を使用せず、検査対象物の同一表面における複数の検査対象位置を迅速かつ容易に連続検出することができる。
【００３９】
なお、検査対象物１１の幾何学的中心軸Ａの方向は、必要に応じて調整することができる。好ましくは、上記の実施形態で説明した制限素子を介して幾何学的中心軸Ａの方向を維持または変更できるが、これには限らない。幾何学的中心軸Ａの方向は、図１５に示すように、検査ビームまたは電子ビームの方向Ｃ（即ちエネルギー源の放射方向）に平行または略平行にすることができる。幾何中心軸Ａの方向は、図１６に示すように、検査ビームまたは電子ビームの方向Ｃに垂直または略垂直にすることもできる。図１６（ａ）を参照すると、検査対象物１１がその幾何学的中心軸Ａの方向に対して自体回転運動を実行できるため、検査ビームまたは電子ビーム（エネルギー源）は、検査対象物１１の表面における複数の検査対象点ｄ３を走査することができる。一実施形態によれば、エネルギー源は、検査対象物の表面で環状軌跡を有する複数の検査対象点ｄ３を走査することができる。検査対象物の幾何学的中心軸Ａの方向が固定されている場合、複数の検査対象点から幾何学的中心軸Ａとの間の距離は同じである。例えば、図１６（ｂ）に示すように、検査対象物１１を移動させようとする場合、本考案に係る検査治具のキャリア１０２を介して検査対象物１１の位置を変化させる時、エネルギー源は、検査対象物の表面上で別の環状軌跡を有する複数の検査対象点ｄ４を走査することができる。なお、本考案に係る検査治具は、三次元構造を検査するための光学的検査に適用し、電子顕微鏡が使用される場合、真空室内で適用できる。
【００４０】
要約すると、本考案に係る顕微鏡用検査治具は、三次元構造の顕微鏡検査に適用できる。従来の検査方法は、検査対象物を薄片にスライスするため、検査対象物に損傷を与えるだけでなく、その検査のターゲットも平面に限られてしまう。一方、本考案に係る検査治具は、検査対象物の完全な構造を維持しながら検査を行うことができるので、部品完成品の歩留まり検査に適用できる。また、本考案に係る検査治具は、アクチュエータまたは制限素子の駆動により、検査対象物を回転または光ビーム／電子ビームとの角度を変化させるため、検査対象物の外観の各側面を検査することができるので、従来の検査方法では三次元構造を検査できないという欠点を改善する。
【００４１】
上記の実施形態は、本考案の技術的思想および特徴を説明するためのものだけであり、当業者が本考案の内容を理解して実施できるようにすることを目的とするが、本考案の特許範囲を制限するものではない。すなわち、本考案で開示された趣旨に従って行われたすべての同等の変更または修正は、依然として本考案の特許範囲に含まれるべきである。
【符号の説明】
【００４２】
１０  作動モジュール
１１  検査対象物
２０  動力源
３０  延長部材
４０  接続部材
５０  補助部材
６０、６１  制限素子
１０１  アクチュエータ
１０２  キャリア
１１１  第１のローラ素子
１１２  サポーター
１１３  第２のローラ素子
１１４  テープ
１１５  回転シャフト
Ａ  幾何学的中心軸
Ｂ  アクチュエータの中心軸方向
Ｃ  検査ビームまたは電子ビームの方向
Ｄ  距離
Ｅ  観測方向
ｄ１、ｄ４、ｄ３、ｄ４  検査対象点
α  角度
７０１  放射部品
７０２  検査治具
７０３  制御システム
７０４  信号検出システム
７０５  真空システム
７０６  真空室
７１１  放射源
７２１  レンズ群
［項目１］
顕微鏡用検査治具であって
検査対象物の表面に接触し、上記検査対象物を、上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動するアクチュエータと、上記アクチュエータが設けられるキャリアと、を有する作動モジュールと、
上記アクチュエータと相互接続され、上記アクチュエータを駆動する動力源と、
を備える、
顕微鏡用検査治具。
［項目２］
上記アクチュエータは、
上記検査対象物の外面に接触して上記検査対象物を乗せ、上記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する第１のローラ素子と、
上記検査対象物の表面に当接して上記検査対象物を支持するキャリアと、
を有する、項目１に記載の顕微鏡用検査治具。
［項目３］
上記アクチュエータは、
それぞれ上記検査対象物の下に配置され、上記検査対象物の外面に接触し、上記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する一対の第２ローラ素子を有する、項目１に記載の顕微鏡用検査治具。
［項目４］
上記アクチュエータは、
上記検査対象物の周りに巻かれ、上記検査対象物の外面に接触し、上記検査対象物を自体回転運動させるように駆動するテープを有する、項目１に記載の顕微鏡用検査治具。
［項目５］
上記アクチュエータは、上記検査対象物の外面に直接接触し、上記アクチュエータと上記検査対象物の表面との間の摩擦力によって、上記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する、項目１から４のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
［項目６］
上記検査対象物に配置され、上記アクチュエータと上記検査対象物との間の摩擦力を増加させるように上記検査対象物に外力を加える補助素子をさらに備える、項目５に記載の顕微鏡用検査治具。
［項目７］
上記検査対象物上に延設される延長部材をさらに備え、
上記アクチュエータは、上記延長部材に直接接触し、上記アクチュエータと上記延長部材との間の摩擦力によって、上記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する、項目１から６のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
［項目８］
上記アクチュエータは、
上記検査対象物に挿入され、上記検査対象物を自体回転運動させる回転シャフトを有する、項目１から７のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
［項目９］
上記動力源は、自在継手、連結ロッドまたはギアセットの少なくとも一つを含む連結部材を介して上記アクチュエータと相互接続される、項目１から８のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
［項目１０］
上記検査対象物上に配置され、上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するための制限素子をさらに備える、項目１から９のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
［項目１１］
上記制限素子は、上記検査対象物を固定し、上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するためのクランプである、項目１０に記載の顕微鏡用検査治具。
［項目１２］
上記検査対象物に挿入され、上記検査対象物の上記幾何学的中心軸の方向を維持または変更するための制限素子をさらに備える、項目１から１１のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
［項目１３］
上記キャリアは、そのＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸方向の少なくとも１つに沿って移動する、項目１から１２のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
［項目１４］
顕微鏡装置であって、
放射源とレンズ群を含む放射部品と、
検査対象物の表面に接触し、上記検査対象物を、上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動するアクチュエータと、上記アクチュエータを乗せるキャリアと、を含む作動モジュールと、上記アクチュエータと相互接続され、上記アクチュエータを駆動する動力源と、を有する検査治具と、
を備え、
上記放射源はエネルギー源を放射し、上記レンズ群は上記エネルギー源を上記検査対象物に導く、
顕微鏡装置。
［項目１５］
上記放射部品の動作を制御する制御システムと、上記制御システムと電気的に接続された信号検出システムと、をさらに備え、
上記信号検出システムは、上記エネルギー源と上記検査対象物が干渉した後に生成された信号を検出して、上記制御システムに送信する、
項目１４に記載の顕微鏡装置。
［項目１６］
顕微鏡装置であって、
放射源とレンズ群を含む放射部品と、
検査治具であって
検査対象物の表面に接触し、上記検査対象物を、上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動するアクチュエータと、上記アクチュエータを乗せるキャリアとを含む作動モジュールと、上記アクチュエータと相互接続され、上記アクチュエータを駆動する動力源と、中に上記検査治具が配置される真空室と、を有する検査治具と、
を備え、
上記放射源はエネルギー源を放射し、上記レンズ群は上記エネルギー源を上記検査対象物に導く、
顕微鏡装置。
［項目１７］
上記放射部品の動作を制御する制御システムと、上記制御システムと電気的に接続された信号検出システムと、をさらに備え、
上記信号検出システムは、上記エネルギー源と上記検査対象物が干渉した後に生成された信号を検出し、上記制御システムに送信する、
項目１６に記載の顕微鏡装置。
［項目１８］
顕微鏡装置の検査方法であって、
上記顕微鏡装置の検査治具に検査対象物を提供するステップと、
上記顕微鏡装置を駆動して、エネルギー源を上記検査対象物へ放射させるステップと、
上記エネルギー源が上記検査対象物の表面における複数の検査対象点を走査するように上記検査対象物を回転駆動するステップと、
を備え、
上記検査治具は、上記検査対象物の表面に接触し、上記検査対象物の表面との間の摩擦力によって、上記検査対象物を上記検査対象物の幾何学的中心軸に対して自体回転運動させるように駆動するアクチュエータと、上記アクチュエータと相互接続され、上記アクチュエータを駆動する動力源と、を有する、顕微鏡装置の検査方法。
［項目１９］
上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向は、上記エネルギー源の放射方向と平行または略平行である、項目１８に記載の顕微鏡装置の検査方法。
［項目２０］
上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向は、上記エネルギー源の放射方向と垂直または略垂直である、項目１８または１９に記載の顕微鏡装置の検査方法。
［項目２１］
上記検査対象物の幾何学的中心軸が固定されている場合、上記複数の検査対象点から上記幾何学的中心軸までの距離は同じである、項目１８から２０のいずれか一項に記載の顕微鏡装置の検査方法。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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