【手続補正書】
【提出日】平成18年2月20日(2006.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉されたチャンバ内において、２枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
前記チャンバに連結され、チャンバ内を真空引きするポンプと、
このポンプと前記チャンバとを連結した配管に設けられたバルブを制御して、前記配管の吸入抵抗を変化させる制御手段と
を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記吸入抵抗が大から小となるように前記バルブを制御することを特徴とする請求項１記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項３】
密閉されたチャンバ内において、２枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
前記チャンバに連結され、チャンバ内を真空引きするポンプと、
前記２枚の基板が貼り合わされた後に、前記チャンバ内に開口した復帰口につらなる復帰用バルブを制御して、チャンバ内へ流入する気体の流入抵抗が大から小になるように変化させる制御手段と
を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記２枚の基板の貼り合わせに先立ち、前記チャンバと前記ポンプとを連結した配管に設けられたバルブを制御して、前記配管の吸入抵抗を大から小に変化させることを特徴とする請求項３記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記２枚の基板の貼り合わせに先立ち、前記ポンプを制御して前記ポンプの吸入能力を小から大に変化させることを特徴とする請求項３記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項６】
密閉されたチャンバ内において、２枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
前記チャンバに連結され、チャンバ内を真空引きするポンプと、
このポンプの排出バルブを制御して前記ポンプの吸入能力を変化させる制御手段と
を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記吸入能力が小から大となるように前記ポンプの排出バルブを制御するように構成されたことを特徴とする請求項６記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項８】
密閉されたチャンバ内において、２枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
前記チャンバに連結され、チャンバ内を真空引きする複数のポンプと、
これら複数のポンプと前記チャンバとをそれぞれ連結した配管に設けられたバルブを制御して前記ポンプの吸入能力を変化させる制御手段と
を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。
【請求項９】
密閉されたチャンバ内において、２枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
前記チャンバに連結され、チャンバ内を真空引きするポンプと、
チャンバ内の圧力を検出する圧力検出器と、
前記ポンプによる前記チャンバ内の真空引き開始からの経過時間とその経過時間に対応する前記チャンバ内の圧力目標値との関係を記憶した記憶部と、
前記圧力検出器からの圧力検出値と前記記憶部に記憶した圧力目標値とを比較する比較部と、
前記比較部の比較結果に基づいて前記ポンプと前記チャンバとを連結した配管に設けられたバルブを制御して前記配管の吸入抵抗を変化、または前記ポンプを制御して前記ポンプの吸入能力を変化させる制御部とを備えたことを特徴とする基板貼り合わせ装置。
【請求項１０】
前記記憶部に記憶したチャンバ内の真空引き開始からの経過時間とその経過時間に対応するチャンバ内の圧力目標値との関係は、予め設定された圧力範囲内での時間経過に対する圧力変化の割合が、前記設定された圧力範囲外での時間経過に対する圧力変化の割合に比べて小さくなる関係であることを特徴とする請求項９記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項１１】
前記圧力範囲は、１０００Ｐａから４００Ｐａの範囲であることを特徴とする請求項１０記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項１２】
前記制御手段は、前記２枚の基板が貼り合わされた後に、前記チャンバ内に開口した復帰口につらなる復帰用バルブを制御して、チャンバ内へ流入する気体の流入抵抗を大から小に変化させることを特徴とする請求項６〜１１のいずれかに記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項１３】
前記チャンバは、前記復帰口からチャンバ内に向けた気体の流れ方向を変化させるルーバー機構を設けたことを特徴とする請求項３〜５および１２のいずれかに記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項１４】
密閉されたチャンバ内において、２枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、
前記チャンバ内に前記２枚の基板を間隔をなして対向配置する第１の工程と、
この第１の工程の後に、前記チャンバに連結されたポンプを所定の吸入能力で作動させ前記チャンバ内の真空引きを開始する第２の工程と、
この第２の工程による真空引き開始後の所定時間経過後又は前記チャンバ内の圧力が所定の圧力に達したときに、前記ポンプと前記チャンバとを連結した配管に設けられたバルブを制御して前記配管の吸入抵抗をより小さくする第３の工程と、
この第３の工程の後に、前記チャンバ内で対向配置した前記２枚の基板を貼り合わせる第４の工程と、
この第４の工程の後に、前記チャンバ内に開口した復帰口につらなる復帰用バルブを制御し、気体が所定の流入抵抗を受けて前記チャンバ内へ流入して前記チャンバ内の圧力が大気圧に向けて移行するように操作する第５の工程と、
この第５の工程の後に、貼り合わされた前記２枚の基板を前記チャンバ内から取り出す第６の工程と
を有することを特徴とする基板貼り合わせ方法。
【請求項１５】
密閉されたチャンバ内において、２枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、
前記チャンバ内に前記２枚の基板を、間隔をなして対向配置する第１の工程と、
この第１の工程の後に、前記チャンバに連結されたポンプを所定の吸入能力で作動させ前記チャンバ内の真空引きを開始する第２の工程と、
この第２の工程による真空引き開始後の所定時間経過後又は前記チャンバ内の圧力が所定の圧力に達したときに、前記ポンプの吸入能力がより大きくなるように、前記ポンプの排出バルブ、または前記ポンプと前記チャンバとを連結した配管に設けられたバルブを制御する第３の工程と、
この第３の工程の後に、前記チャンバ内で対向配置した前記２枚の基板を貼り合わせる第４の工程と、
この第４の工程の後に、前記チャンバ内に開口した復帰口につらなる復帰用バルブを制御し、気体が所定の流入抵抗を受けて前記チャンバ内へ流入して前記チャンバ内の圧力が大気圧に向けて移行するように操作する第５の工程と、
この第５の工程の後に、貼り合わされた前記２枚の基板を前記チャンバ内から取り出す第６の工程と
を有することを特徴とする基板貼り合わせ方法。
【請求項１６】
密閉されたチャンバ内において、２枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、
前記チャンバ内に前記２枚の基板を、間隔をなして対向配置する第１の工程と、
この第１の工程の後に、前記チャンバに連結されたポンプを所定の吸入能力で作動させ前記チャンバ内の真空引きを開始する第２の工程と、
この第２の工程による真空引き開始後の前記チャンバ内の圧力を所定時間間隔で検出し、検出した圧力検出値と前記チャンバ内の真空引き開始からの経過時間とその経過時間に対応するチャンバ内の圧力目標値との関係から求めた圧力目標値とを比較し、この比較の結果に応じて前記ポンプと前記チャンバとを連結した配管に設けられたバルブを制御して前記配管の吸入抵抗を変化、または前記ポンプを制御して前記ポンプの吸入能力を変化させる第３の工程と、
この第３の工程の後に、前記チャンバ内で対向配置した前記２枚の基板を貼り合わせる第４の工程と、
この第４の工程の後に、前記チャンバ内に開口した復帰口につらなる復帰用バルブを制御し、気体が所定の流入抵抗を受けて前記チャンバ内へ流入して前記チャンバ内の圧力が大気圧に向けて移行するように操作する第５の工程と、
この第５の工程の後に、貼り合わされた前記２枚の基板を前記チャンバ内から取り出す第６の工程と
を有することを特徴とする基板貼り合わせ方法。
【請求項１７】
前記チャンバ内の真空引き開始からの経過時間とその経過時間に対応するチャンバ内の圧力目標値との関係は、予め設定された圧力範囲内での時間経過に対する圧力変化の割合が、前記設定された圧力範囲外での時間経過に対する圧力変化の割合に比べて小さくなる関係であることを特徴とする請求項１６記載の基板貼り合わせ方法。
【請求項１８】
前記圧力範囲は、１０００Ｐａから４００Ｐａの範囲であることを特徴とする請求項１７記載の基板貼り合わせ方法。
【請求項１９】
前記第５の工程は、前記復帰用バルブを制御して、チャンバ内へ流入する気体の流入抵抗を大から小に変化させることを特徴とする請求項１４〜１８のいずれかに記載の基板貼り合わせ方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
【課題を解決するための手段】
上記従来の課題を解決するために、本発明は、密閉されたチャンバ内において、２枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、前記チャンバに連結され、チャンバ内を真空引きするポンプと、このポンプと前記チャンバとを連結した配管に設けられたバルブを制御して、前記配管の吸入抵抗を変化させる制御手段とを具備することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
このように、本発明によれば、制御手段がポンプとチャンバとを連結した配管に設けられたバルブを制御して、配管の吸入抵抗を変化させるので、急激な真空引きが緩和され、埃や塵の舞い上がりを抑制することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、本発明は、密閉されたチャンバ内において、２枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、前記チャンバに連結され、チャンバ内を真空引きするポンプと、前記２枚の基板が貼り合わされた後に、前記チャンバ内に開口した復帰口につらなる復帰用バルブを制御して、チャンバ内へ流入する気体の流入抵抗が大から小になるように変化させる制御手段とを具備することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
このように、本発明によれば、基板の貼り合わせ後における、チャンバ内の大気圧への復帰操作に際し、復帰用バルブの制御により、チャンバ内に流入する気体の流入抵抗を大から小に変化させるので、チャンバ内は大気圧に向けて緩やかに復帰し、チャンバ内の塵や埃の舞い上がりを軽減させることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
また、本発明は、密閉されたチャンバ内において、２枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、前記チャンバ内に前記２枚の基板を間隔をなして対向配置する第１の工程と、この第１の工程の後に、前記チャンバに連結されたポンプを所定の吸入能力で作動させ前記チャンバ内の真空引きを開始する第２の工程と、この第２の工程による真空引き開始後の所定時間経過後又は前記チャンバ内の圧力が所定の圧力に達したときに、前記ポンプと前記チャンバとを連結した配管に設けられたバルブを制御して前記配管の吸入抵抗をより小さくする第３の工程と、この第３の工程の後に、前記チャンバ内で対向配置した前記２枚の基板を貼り合わせる第４の工程と、この第４の工程の後に、前記チャンバ内に開口した復帰口につらなる復帰用バルブを制御し、気体が所定の流入抵抗を受けて前記チャンバ内へ流入して前記チャンバ内の圧力が大気圧に向けて移行するように操作する第５の工程と、この第５の工程の後に、貼り合わされた前記２枚の基板を前記チャンバ内から取り出す第６の工程とを有することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
このように本発明によれば、第２の工程による真空引き開始後の所定時間経過後又はチャンバ内の圧力が所定の圧力に達したときに、ポンプとチャンバとを連結した配管に設けられたバルブを、配管の吸入抵抗がより小さくなるように変化させ、はじめの排気流量を小さく抑えるように制御するので、チャンバ内における埃や塵の舞い上がりを抑制し、基板の表示面への付着を軽減することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
また、本発明は、密閉されたチャンバ内において、２枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、前記チャンバに連結され、チャンバ内を真空引きするポンプと、このポンプの排出バルブを制御して前記ポンプの吸入能力を変化させる制御手段とを具備することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
このように、本発明によれば、チャンバ内を真空引きするポンプの排出バルブを制御して前記ポンプの吸入能力を変化させる制御手段を有し、その制御手段によりポンプの吸入能力を変化させるので、チャンバ内の急激な真空引きを緩和して、埃や塵の舞い上がりを抑制することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
また、本発明は、密閉されたチャンバ内において、２枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、前記チャンバ内に前記２枚の基板を、間隔をなして対向配置する第１の工程と、この第１の工程の後に、前記チャンバに連結されたポンプを所定の吸入能力で作動させ前記チャンバ内の真空引きを開始する第２の工程と、この第２の工程による真空引き開始後の所定時間経過後又は前記チャンバ内の圧力が所定の圧力に達したときに、前記ポンプの吸入能力がより大きくなるように、前記ポンプの排出バルブ、または前記ポンプと前記チャンバとを連結した配管に設けられたバルブを制御する第３の工程と、この第３の工程の後に、前記チャンバ内で対向配置した前記２枚の基板を貼り合わせる第４の工程と、この第４の工程の後に、前記チャンバ内に開口した復帰口につらなる復帰用バルブを制御し、気体が所定の流入抵抗を受けて前記チャンバ内へ流入して前記チャンバ内の圧力が大気圧に向けて移行するように操作する第５の工程と、この第５の工程の後に、貼り合わされた前記２枚の基板を前記チャンバ内から取り出す第６の工程とを有することを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
このように本発明によれば、第２の工程による真空引き開始後の所定時間経過後又はチャンバ内の圧力が所定の圧力に達したときに、ポンプの吸入能力がより大きくなるように制御するので、はじめの排気流量を小さく抑えてチャンバ内における埃や塵の舞い上がりを抑制し、基板の表示面への付着を軽減することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2003315808.tif 000001