【手続補正書】
【提出日】平成18年10月4日(2006.10.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンタクタと、ボードに取り付けられた保持体と、この保持体の内側にコンタクタを保持する複数のラッチ機構と、これらのラッチ機構で保持された上記コンタクタを、真空吸着力により上記保持体内に固定する吸着固定機構とを備えたことを特徴とするコンタクタの保持機構。
【請求項２】
上記ボードは、検査装置のパフォーマンスボードであることを特徴とする請求項１に記載のコンタクタの保持機構。
【請求項３】
上記保持体は、リング状に形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のコンタクタの保持機構。
【請求項４】
上記ラッチ機構は、ラッチボールと、これらのラッチボールをそれぞれ弾力的に支持する弾性部材とを有し、上記コンタクタは、その周面に上記ラッチボールが嵌合する複数の凹部を有することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のコンタクタの保持機構。
【請求項５】
上記ラッチ機構は、突出及び退避し得る複数のラッチ部材と、これらのラッチ部材をそれぞれ突出及び退避させるラッチ操作部材とを有し、上記コンタクタは、その周面に上記複数のラッチ部材と係合する複数の係合部を有することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のコンタクタの保持機構。
【請求項６】
上記コンタクタは、その周面に複数の鈎状突起を有し、上記ラッチ機構は、上記コンタクタの複数の鈎状突起と係合するラッチ部材と、これらのラッチ部材を上記鈎状突起から退避させて上記コンタクタを解放するラッチ操作部材とを有することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のコンタクタの保持機構。
【請求項７】
上記ラッチ機構は、上記コンタクタを下面から支持するラッチ部材と、これらのラッチ部材を上記コンタクタの下面から退避させて上記コンタクタを解放するラッチ操作部材とを有することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のコンタクタの保持機構。
【請求項８】
上記パフォーマンスボードと上記コンタクタとの間を電気的に接続するインターフェースボードを上記保持体内に設けたことを特徴とする請求項２〜請求項７のいずれか１項に記載のコンタクタの保持機構。
【請求項９】
請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載のコンタクタの保持機構と、この保持機構との間で上記コンタクタを受け渡しする受け渡し機構とを備え、上記受け渡し機構は、少なくとも一つの上記コンタクタを吸着保持する保持部と、この保持部を先端部分に有し且つ移動可能に設けられたアームとを有することを特徴とするコンタクタの自動交換機構。
【請求項１０】
上記保持部は、上記コンタクタを着脱可能に保持するように構成されていることを特徴とする請求項９に記載のコンタクタの自動交換機構。
【請求項１１】
上記保持部は、コンタクタを真空吸着力により着脱可能に保持するように構成されていることを特徴とする請求項１０に記載のコンタクタの自動交換機構。
【請求項１２】
上記保持部は、その旋回方向に従って円弧状に形成されていることを特徴とする請求項１０に記載のコンタクタの自動交換機構。
【請求項１３】
上記アームは、旋回及び昇降可能に設けられていることを特徴とする請求項９〜請求項１２のいずれか１項に記載のコンタクタの自動交換機構。
【請求項１４】
検査装置のコンタクタと、パフォーマンスボードに固定され保持体でコンタクタを保持するための手段と、上記保持体の内側に上記コンタクタを保持する複数のラッチ手段と、上記各ラッチ手段で保持された上記コンタクタを真空吸着力により上記保持体の内側に固定する吸着固定手段と、を備えたことを特徴とするコンタクタの保持機構。
【請求項１５】
コンタクタの保持機構と、この保持機構との間で上記コンタクタを受け渡しする受け渡し機構とを備え、上記保持機構は、パフォーマンスボードに固定されたリング状の保持体と、この保持体の内側に上記コンタクタを保持するラッチ機構と、このラッチ機構で保持された上記コンタクタを真空吸着力により上記保持体の内側に固定する吸着固定機構とを有し、また、上記受け渡し機構は、少なくとも一つの上記コンタクタを真空吸着力により吸着可能に保持する保持部を先端部分に有し且つ旋回及び昇降可能に設けられたアームを有しており、更に、上記パフォーマンスボードと上記コンタクタとの間を電気的に接続するために上記保持体内にインターフェースボードを設けたことを特徴とするコンタクタの自動交換機構。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載のコンタクタの保持機構は、コンタクタと、ボードに取り付けられた保持体と、この保持体の内側にコンタクタを保持する複数のラッチ機構と、これらのラッチ機構で保持された上記コンタクタを、真空吸着力により上記保持体内に固定する吸着固定機構とを備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項２に記載のコンタクタの保持機構は、請求項１に記載の発明において、上記ボードは、検査装置のパフォーマンスボードであることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項３に記載のコンタクタの保持機構は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上記保持体は、リング状に形成されていることを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、本発明の請求項４に記載のコンタクタの保持機構は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記ラッチ機構は、ラッチボールと、これらのラッチボールをそれぞれ弾力的に支持する弾性部材とを有し、上記コンタクタは、その周面に上記ラッチボールが嵌合する複数の凹部を有することを特徴とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明の請求項５に記載のコンタクタの保持機構は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記ラッチ機構は、突出及び退避し得る複数のラッチ部材と、これらのラッチ部材をそれぞれ突出及び退避させるラッチ操作部材とを有し、上記コンタクタは、その周面に上記複数のラッチ部材と係合する複数の係合部を有することを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明の請求項６に記載のコンタクタの保持機構は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記コンタクタは、その周面に複数の鈎状突起を有し、上記ラッチ機構は、上記コンタクタの複数の鈎状突起と係合するラッチ部材と、これらのラッチ部材を上記鈎状突起から退避させて上記コンタクタを解放するラッチ操作部材とを有することを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の請求項７に記載のコンタクタの保持機構は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記ラッチ機構は、上記コンタクタを下面から支持するラッチ部材と、これらのラッチ部材を上記コンタクタの下面から退避させて上記コンタクタを解放するラッチ操作部材とを有することを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の請求項８に記載のコンタクタの保持機構は、請求項２〜請求項７のいずれか１項に記載の発明において、上記パフォーマンスボードと上記コンタクタとの間を電気的に接続するインターフェースボードを上記保持体内に設けたことを特徴とするものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明の請求項９に記載のコンタクタの自動交換機構は、請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載のコンタクタの保持機構と、この保持機構との間で上記コンタクタを受け渡しする受け渡し機構とを備え、上記受け渡し機構は、少なくとも一つの上記コンタクタを吸着保持する保持部と、この保持部を先端部分に有し且つ移動可能に設けられたアームとを有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１０に記載のコンタクタの自動交換機構は、請求項９に記載の発明において、上記保持部は、上記コンタクタを着脱可能に保持するように構成されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１１に記載のコンタクタの自動交換機構は、請求項１０に記載の発明において、上記保持部は、コンタクタを真空吸着力により着脱可能に保持するように構成されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１２に記載のコンタクタの自動交換機構は、請求項１０に記載の発明において、上記保持部は、その旋回方向に従って円弧状に形成されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１３に記載のコンタクタの自動交換機構は、請求項９〜請求項１２のいずれか１項に記載の発明において、上記アームは、旋回及び昇降可能に設けられていることを特徴とするものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の請求項１４に記載のコンタクタの保持機構は、検査装置のコンタクタと、パフォーマンスボードに固定され保持体でコンタクタを保持するための手段と、上記保持体の内側に上記コンタクタを保持する複数のラッチ手段と、上記各ラッチ手段で保持された上記コンタクタを真空吸着力により上記保持体の内側に固定する吸着固定手段と、を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１５に記載のコンタクタの自動交換機構は、コンタクタの保持機構と、この保持機構との間で上記コンタクタを受け渡しする受け渡し機構とを備え、上記保持機構は、パフォーマンスボードに固定されたリング状の保持体と、この保持体の内側に上記コンタクタを保持するラッチ機構と、このラッチ機構で保持された上記コンタクタを真空吸着力により上記保持体の内側に固定する吸着固定機構とを有し、また、上記受け渡し機構は、少なくとも一つの上記コンタクタを真空吸着力により吸着可能に保持する保持部を先端部分に有し且つ旋回及び昇降可能に設けられたアームを有しており、更に、上記パフォーマンスボードと上記コンタクタとの間を電気的に接続するために上記保持体内にインターフェースボードを設けたことを特徴とするものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
【発明の効果】
本発明によれば、例えばバンプ型等のプローブが多数形成されたコンタクタ自体を着脱可能に保持することができると共に検査精度を高めることができるコンタクタの保持機構を提供することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
また、本発明によれば、コンタクタの保持機構に対してコンタクタを自動的に交換することができ、ひいては検査のスループットを高めることができるコンタクタの自動交換機構を提供することができる。