Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月6日(2006.11.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遊技機前面側に開放された筐体と、
遊技に関する各種制御を実施する制御基板装置と、
前記筐体内に固定された第１台座部材と、
前記制御基板装置を搭載し、前記第１台座部材に重ねた状態から回動軸部を中心に回動可能となるよう設けられた第２台座部材とを備え、
施錠解除手段の解錠操作によってのみ解錠可能であって施錠又は解錠により前記第２台座部材の回動を許容又は阻止する施錠部材を取り付けるための取付部を前記回動軸部から離れた位置に設けたことを特徴とする遊技機。
【請求項２】
前記第２台座部材と前記第１台座部材とを重ね合わせた時は前記第２台座部材からの前記制御基板装置の離脱が不可能であり、前記第２台座部材を前記第１台座部材に対して回動させた時に前記第２台座部材からの前記制御基板装置の離脱が可能となることを特徴とする請求項１に記載の遊技機。
【請求項３】
前記取付部を、前記第２台座部材又は当該第２台座部材に搭載した制御基板装置の回動先端側に設けたことを特徴とする請求項１又は２に記載の遊技機。
【請求項４】
前記第２台座部材上で前記制御基板装置をスライドさせることで、前記第２台座部材より前記制御基板装置を着脱可能とする構成とし、前記取付部を、前記第１，第２台座部材を重ね合わせた状態では前記スライドの障害となる位置に設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の遊技機。
【請求項５】
前記第２台座部材上で前記制御基板装置をスライドさせることで、前記第２台座部材の回動先端部より前記制御基板装置を着脱可能とする構成とし、前記取付部を、前記第１，第２台座部材を重ね合わせた状態では前記スライドの障害となるよう前記回動先端部に設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の遊技機。
【請求項６】
前記第１台座部材を前記筐体の内側背面部に固定し、前記第２台座部材上で前記制御基板装置をスライドさせることで、前記第２台座部材の回動先端部より前記制御基板装置を着脱可能とする構成とし、該制御基板装置のスライド方向に、前記第１，第２台座部材を重ね合わせた状態で前記スライドの障害となる障害部材を設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の遊技機。
【請求項７】
前記取付部として、前記第１台座部材に第１取付部を設け、さらに該第１台座部材に対して回動可能となる前記第２台座部材又は前記制御基板装置に第２取付部を設け、前記第１，第２台座部材を重ね合わせた状態では第１，第２取付部が重なるようにし、前記施錠部材を取り付ける際は、これら第１，第２取付部に係合するようにして取り付ける構成としたことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の遊技機。
【請求項８】
遊技機前面側に開放された筐体と、
遊技に関する各種制御を実施する制御基板装置と、
前記筐体内に固定された第１台座部材と、
前記制御基板装置を搭載し、前記第１台座部材に重ねた状態から回動軸部を中心に回動可能となるよう設けられた第２台座部材とを備え、
施錠解除手段の解錠操作によってのみ解錠可能であって施錠又は解錠により前記第２台座部材の回動を許容又は阻止する施錠部材を前記回動軸部から離れた位置に設けたことを特徴とする遊技機。
【請求項９】
前記第２台座部材と前記第１台座部材とを重ね合わせた時は前記第２台座部材からの前記制御基板装置の離脱が不可能であり、前記第２台座部材を前記第１台座部材に対して回動させた時に前記第２台座部材からの前記制御基板装置の離脱が可能となることを特徴とする請求項８に記載の遊技機。
【請求項１０】
前記施錠部材を、前記第２台座部材又は当該第２台座部材に搭載した制御基板装置の回動先端側に設けたことを特徴とする請求項８又は９に記載の遊技機。
【請求項１１】
前記第２台座部材上で前記制御基板装置をスライドさせることで、前記第２台座部材より前記制御基板装置を着脱可能とする構成とし、前記施錠部材を、前記第１，第２台座部材を重ね合わせた状態では前記スライドの障害となる位置に設けたことを特徴とする請求項８乃至１０のいずれかに記載の遊技機。
【請求項１２】
前記第２台座部材上で前記制御基板装置をスライドさせることで、前記第２台座部材の回動先端部より前記制御基板装置を着脱可能とする構成とし、前記施錠部材を、前記第１，第２台座部材を重ね合わせた状態では前記スライドの障害となるよう前記回動先端部に設けたことを特徴とする請求項８乃至１０のいずれかに記載の遊技機。
【請求項１３】
前記第１台座部材を前記筐体の内側背面部に固定し、前記第２台座部材上で前記制御基板装置をスライドさせることで、前記第２台座部材の回動先端部より前記制御基板装置を着脱可能とする構成とし、該制御基板装置のスライド方向に、前記第１，第２台座部材を重ね合わせた状態で前記スライドの障害となる障害部材を設けたことを特徴とする請求項８乃至１０のいずれかに記載の遊技機。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月7日(2006.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遊技に関する制御を司る制御基板を基板ボックス内に収容してなる制御基板装置と、制御基板装置が搭載されるものでありかつ遊技機本体に装着される台座装置とを備え、前記基板ボックスと前記台座装置とに跨るようにして、貼付後に剥がすことで痕跡を残す貼付片を貼付する構成とした遊技機において、
前記基板ボックスと前記台座装置とには、前記貼付片を貼付するための貼付面を囲むようにして囲い枠を設けたことを特徴とする遊技機。
【請求項２】
前記基板ボックスと前記台座装置とを結合状態で保持するための結合止め部を前記貼付片により覆い隠す構成としたことを特徴とする請求項１に記載の遊技機。
【請求項３】
分離可能な一対のケース体と、該一対のケース体内に収容される制御基板とを有する制御基板装置を遊技機本体に装着し、前記一対のケース体の両方に跨るようにして、貼付後に剥がすことで痕跡を残す貼付片を貼付する構成とした遊技機において、
前記一対のケース体には、前記貼付片を貼付するための貼付面を囲むようにして囲い枠を設けたことを特徴とする遊技機。
【請求項４】
前記囲い枠にて囲まれた貼付面を、前記貼付片の大きさに一致するよう形成したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の遊技機。
【請求項５】
前記囲い枠内において前記貼付片上には少なくともその周縁部に透明材料よりなる被覆層を設けたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の遊技機。
【請求項６】
前記囲い枠の付け根部付近を湾曲状に凹ませたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の遊技機。
【請求項７】
前記囲い枠内の貼付面を、両端部が凹み、中央部が膨らんだ断面略円形状に形成したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の遊技機。
【請求項８】
前記囲い枠の付け根部付近における凹み部分において前記貼付片上に透明材料よりなる被覆層を設けたことを特徴とする請求項６又は７に記載の遊技機。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月8日(2006.11.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カプセル状の筐体と、
生体内を撮像する撮像手段と、
前記筐体の外表面に設けられて生体組織に電流を流す電極と、
前記撮像手段の作動と前記電極に電流を流す作動とをそれぞれ制御する制御部と、を備えたことを特徴とするカプセル型医療装置。
【請求項２】
前記電極が、前記生体組織に電気刺激を与える電気刺激手段であることを特徴とする請求項１に記載のカプセル型医療装置。
【請求項３】
前記制御部が、前記撮像手段の作動と前記電極に電流を流す作動とをそれぞれ別々のタイミングで作動させることを特徴とする請求項１又は２に記載のカプセル型医療装置。
【請求項４】
前記制御部が、前記撮像手段の作動と前記電極に電流を流す作動とを同じタイミングで作動させることを特徴とする請求項１又は２に記載のカプセル型医療装置。
【請求項５】
前記制御部が、前記電極に電流を流す作動を行わせた後、所定時間経過後に前記撮像手段を作動させることを特徴とする請求項１又は２に記載のカプセル型医療装置。
【請求項６】
前記電極が、前記筐体の軸方向に対して一端側及び他端側の外表面にそれぞれ配されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のカプセル型医療装置。
【請求項７】
前記一端側及び他端側の電極が、それぞれ前記筐体の軸線を挟んで対向する位置に対をなして配されると共に、一端側の電極が他端側の電極に対して軸線を中心として略９０度回転した位置に配されていることを特徴とする請求項６に記載のカプセル型医療装置。
【請求項８】
前記電極が、光学的に透明な透明電極であることを特徴とする請求項１又は２に記載のカプセル型医療装置。
【請求項９】
生体外に配された体外装置との間で制御信号を無線通信する無線通信手段を備え、
前記制御部が、前記制御信号に基づいて作動することを特徴とする請求項２に記載のカプセル型医療装置。
【請求項１０】
生体外に配された体外装置との間で無線通信する無線通信手段を備え、
前記制御部が、前記体外装置に配されていることを特徴とする請求項２に記載のカプセル型医療装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記の目的を達成するために、この発明は以下の手段を提供している。
請求項１に係る発明は、カプセル状の筐体と、生体内を撮像する撮像手段と、前記筐体の外表面に設けられて生体組織に電流を流す電極と、前記撮像手段の作動と前記電極に電流を流す作動とをそれぞれ制御する制御部と、を備えたカプセル型医療装置を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載のカプセル型医療装置において、前記電極が、前記生体組織に電気刺激を与える電気刺激手段であるカプセル型医療装置を提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項３に係る発明は、請求項１又は２に記載のカプセル型医療装置において、前記制御部が、前記撮像手段の作動と前記電極に電流を流す作動とをそれぞれ別々のタイミングで作動させるカプセル型医療装置を提供する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項４に係る発明は、請求項１又は２に記載のカプセル型医療装置において、前記制御部が、前記撮像手段の作動と前記電極に電流を流す作動とを同じタイミングで作動させるカプセル型医療装置を提供する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項５に係る発明は、請求項１又は２に記載のカプセル型医療装置において、前記制御部が、前記電極に電流を流す作動を行わせた後、所定時間経過後に前記撮像手段を作動させるカプセル型医療装置を提供する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項６に係る発明は、請求項１又は２に記載のカプセル型医療装置において、前記電極が、前記筐体の軸方向に対して一端側及び他端側の外表面にそれぞれ配されているカプセル型医療装置を提供する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項７に係る発明は、請求項６に記載のカプセル型医療装置において、前記一端側及び他端側の電極が、それぞれ前記筐体の軸線を挟んで対向する位置に対をなして配されると共に、一端側の電極が他端側の電極に対して軸線を中心として略９０度回転した位置に配されているカプセル型医療装置を提供する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項８に係る発明は、請求項１又は２に記載のカプセル型医療装置において、前記電極が、光学的に透明な透明電極であるカプセル型医療装置を提供する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項９に係る発明は、請求項２に記載のカプセル型医療装置において、生体外に配された体外装置との間で制御信号を無線通信する無線通信手段を備え、前記制御部が、前記制御信号に基づいて作動するカプセル型医療装置を提供する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項１０に係る発明は、請求項２に記載のカプセル型医療装置において、生体外に配された体外装置との間で無線通信する無線通信手段を備え、前記制御部が、前記体外装置に配されているカプセル型医療装置を提供する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
このように、本実施形態のカプセル型医療装置１によれば、タイミングコントローラ６が、撮像手段３と電気刺激手段５とをそれぞれ別々のタイミングで作動させるので、生体組織に電気刺激を与えている最中に、撮像画像を取得することはない。つまり、確実に停止した状態、若しくは、小腸等の蠕動運動のような遅い速度で移動しているときにのみ撮像を行うので、ブレ等がない良好な撮像画像を得ることができる。従って、その後、メモリ１２に記録されている撮像画像に基づいて被検者の健康状態を検査する際に、その信頼性を向上することができる。
また、電極４は透明電極であるので、撮像手段３は、電極４の設置位置に係わらず、確実に良好な撮像画像を得ることができる。そのため、電極４の設置位置の制限がなくなるので、設計の自由度が向上する。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月7日(2006.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遊技に関する制御を司る制御基板を基板ボックスに収容してなる制御基板装置と、該制御基板装置を搭載する台座装置とを備え、前記制御基板装置を、遊技機前面側に開放された筐体の内側背面部に装着し、前記基板ボックスには、結合処理により当該基板ボックスを開放不能とするとともに結合後の結合解除処理により痕跡を残した状態で当該基板ボックスを開放可能とする結合部を設けた遊技機において、
前記台座装置は、
前記筐体の背面部に固定された第１台座部材と、
前記制御基板装置を搭載するものでありかつ前記第１台座部材に重なるようにして設けられた第２台座部材と、
前記第１台座部材に対して前記第２台座部材が回動可能となるようこれら両台座部材を連結する回動連結部とを備え、
前記結合部を前記回動連結部側に設けたことを特徴とする遊技機。
【請求項２】
前記結合部を、前記回動連結部と前記制御基板との間の領域に設けたことを特徴とする請求項１に記載の遊技機。
【請求項３】
前記筐体の前面開放部から見て正面となる基板ボックスの表面部に前記結合部を設置したことを特徴とする請求項１又は２に記載の遊技機。
【請求項４】
前記結合部を複数個設置する構成とし、これら複数個の結合部を前記第２台座部材の回動軸に沿って一列に連設したことを特徴とする請求項３に記載の遊技機。
【請求項５】
前記結合部は、前記基板ボックスと前記第２台座部材とに設けた結合体に対して結合処理を施すことで前記基板ボックスを開放不能とするものであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の遊技機。
【請求項６】
前記第２台座部材上で前記制御基板装置をスライドさせることで、第２台座部材の回動先端部側より制御基板装置を着脱可能としたことを特徴とする請求項５に記載の遊技機。
【請求項７】
遊技に関する制御を司る制御基板装置と、該制御基板装置を搭載する台座装置とを備え、前記制御基板装置を、遊技機前面側に開放された筐体の内側背面部に装着した遊技機において、
前記台座装置は、
前記筐体の背面部に固定された第１台座部材と、
前記制御基板装置を着脱可能に搭載するものでありかつ前記第１台座部材に重なるようにして設けられた第２台座部材と、
前記第１台座部材に対して前記第２台座部材が回動可能となるようこれら両台座部材を連結する回動連結部とを備え、
前記制御基板装置と前記第２台座部材には、結合処理により制御基板装置を第２台座部材から離脱不能とするとともに結合後の結合解除処理により痕跡を残した状態で制御基板装置を第２台座部材から離脱可能とする結合部を設け、該結合部を前記回動連結部側に配置したことを特徴とする遊技機。
【請求項８】
前記結合部を、前記回動連結部と前記制御基板装置の制御基板との間の領域に設けたことを特徴とする請求項７に記載の遊技機。
【請求項９】
前記筐体の前面開放部から見て正面となる制御基板装置の表面部に前記結合部を設置したことを特徴とする請求項７又は８に記載の遊技機。
【請求項１０】
前記結合部を複数個設置する構成とし、これら複数個の結合部を前記第２台座部材の回動軸に沿って一列に連設したことを特徴とする請求項９に記載の遊技機。
【請求項１１】
前記制御基板装置は長辺部と短辺部とを有する矩形状をなし、該制御基板装置の一方の短辺部に、前記台座装置の回動連結部を設けたことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに記載の遊技機。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月10日(2006.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の図柄列を備え、各図柄列において複数種類の図柄を変動表示可能な表示部を備えた可変表示装置を具備し、
所定の契機に基づいて前記表示部の各図柄列において確定停止表示するべき図柄を決定するとともに、前記表示部において図柄を変動表示させ、所定時間後に、前記確定停止表示するべき図柄を確定停止表示させる遊技機であって、
遊技者により操作可能な確定操作手段を設けるとともに、
前記所定時間よりも短い規定時間以内に前記確定操作手段が操作された場合に、前記複数の図柄列のうちの第１図柄列において、前記確定停止表示するべき図柄を前記操作から一定時間以内に即座に確定的に表示させ、その後、残りの図柄列において、図柄を停止表示又はほぼ停止表示させる構成とし、
前記第１図柄列における少なくとも１つの図柄は、残りの図柄列における図柄のうち複数種類の図柄としての意義を有する特殊図柄として構成したうえで、
前記残りの図柄列にて図柄が停止表示又はほぼ停止表示された状態において、
前記第１図柄列にて確定停止表示された特殊図柄と、
前記残りの全ての図柄列にて停止表示又はほぼ停止表示された図柄とが同意義である場合、
前記残りの図柄列において図柄を再び変動表示させた後、
前記第１図柄列において確定停止表示された特殊図柄と同意義の図柄で確定停止表示させることができる構成としたことを特徴とする遊技機。
【請求項２】
複数の図柄列を備え、各図柄列において複数種類の図柄を変動表示可能な表示部を備えた可変表示装置を具備し、
所定の契機に基づいて前記表示部の各図柄列において停止表示するべき図柄を決定するとともに、前記表示部において図柄を変動表示させ、所定時間後に、前記停止表示するべき図柄を停止表示させる遊技機であって、
遊技者により操作可能な確定操作手段を設けるとともに、
前記所定時間よりも短い規定時間以内に前記確定操作手段が操作された場合に、前記複数の図柄列のうちの第１図柄列において、前記停止表示するべき図柄を前記操作から一定時間以内に即座に停止表示させる構成とし、
前記第１図柄列における少なくとも１つの図柄は、残りの図柄列における図柄のうち複数種類の図柄としての意義を有する特殊図柄として構成したうえで、
前記所定の契機に基づいて、前記第１図柄列において停止表示するべき図柄が前記特殊図柄であり、かつ、前記残りの図柄列において停止表示するべき図柄が、前記第１図柄列にて停止表示される特殊図柄と同意義の図柄であることが決定された場合には、
前記第１図柄列において前記特殊図柄が停止表示された後、前記残りの図柄列において、前記第１図柄列にて停止表示された特殊図柄と同意義の図柄のうちのいずれかを停止表示可能に構成するとともに、
前記停止表示された図柄が、前記残りの図柄列において停止表示するべき図柄とは異なる場合に、当該残りの図柄列において図柄を再び変動表示させ、前記停止表示するべき図柄を最終的に停止表示する再変動表示手段を備えることを特徴とする遊技機。
【請求項３】
前記第１図柄列における図柄の変動表示中において、当該第１図柄列において順次表示される図柄の配列順序に関し、不規則性を付与したことを特徴とする請求項１又は２に記載の遊技機。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月20日(2006.1.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
注文を受けた景品を遊技場に出荷する問屋に設置される問屋サーバと、該問屋サーバにネットワークを介して接続され、遊技者の余り玉に関する情報を管理する余り玉管理装置と、前記余り玉管理装置とネットワークを介して接続される遊技者端末を有する景品仕入システムに用いられる余り玉管理装置であって、
遊技者ごとに前記遊技者の余り玉数から求めた余り金額を記憶する手段と、
景品と前記景品の交換金額を対応させて記憶する手段と、
前記景品の中から、前記遊技者の余り金額で交換可能な景品を選択する手段と、
選択した景品に関する情報を前記遊技者端末に送信する手段と、
前記遊技者端末から当該遊技者の余り金額を前記景品に交換することを約束する情報を受信する手段と、
交換すると約束された景品を仕入れ計画に登録する手段と、
前記仕入れ計画に従って前記問屋サーバに注文情報を送信する注文手段と
を有することを特徴とする遊技場における余り玉管理装置。
【請求項２】
景品を遊技場に出荷する問屋に設置された問屋サーバに接続される遊技機の余り玉管理装置であって、
遊技者ごとの遊技者情報を記憶する第１の記憶手段と、
前記遊技者の余り玉数と、前記遊技者が交換した景品に関する情報を含む履歴情報を記憶する第２の記憶手段と、
前記余り玉数を余り金額に換算する余り金額算出手段と、
前記遊技者ごとの余り金額を合計して、前記遊技場全体が管理する余り金額の総額を求める手段と、
前記履歴情報から、景品ごとに交換率を求める手段と、
前記景品を、前記余り金額の総額に前記交換率を乗じて求めた数だけ、仕入れ計画に登録する手段と、
前記仕入れ計画に従って前記問屋サーバに注文情報を送信する注文手段と
を有することを特徴とする遊技場における余り玉管理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の余り玉管理装置であって、
前記仕入れ計画に登録された注文景品が予め定めた量を越えたか否か判定する一括仕入手段を有し、
前記注文手段は、前記一括仕入手段により仕入れ計画に登録された注文景品が予め定めた量を越えたと判定された場合に、前記仕入れ計画に従って前記問屋サーバに注文情報を送信する機能を有する
ことを特徴とする遊技場における余り玉管理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月15日(2006.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体の周囲を回転しながらＸ線を曝射するＸ線源と、被検体を挟んでＸ線源と対向して配置され被検体を透過したＸ線量を検出するＸ線検出器と、Ｘ線検出器に検出されたＸ線量に基づき被検体の断層像を再構成する画像再構成手段と、撮影条件を入力する操作手段と、断層像を表示する表示手段とを備えたＸ線ＣＴ装置において、被検体のＣＴ値分布基準モデルデータを格納した記憶装置と、前記被検体の二次元画像データを取得する被検体二次元像撮影装置と、被検体のＣＴ値分布基準モデルデータと取得した前記二次元画像データとから被検体仮想スキャノグラムデータを算出するスキャン計画装置と、そ備えることを特徴とするＸ線ＣＴ装置。
【請求項２】
被検体の周囲を回転しながらＸ線を曝射するＸ線源と、被検体を挟んでＸ線源と対向して配置され被検体を透過したＸ線量を検出するＸ線検出器と、撮影条件を入力する操作手段と、この入力した撮影条件に従って、前記Ｘ線源から曝射されて前記Ｘ線検出器で検出した透過Ｘ線データに基づいて断層像を再構成する画像再構成装置と、この画像再構成装置によって再構成した断層像を表示する表示装置とを備えたＸ線ＣＴ装置において、被検体の三次元的基準被検体ＣＴ値モデルデータを格納した記憶装置と、被検体の二次元画像を撮影する被検体二次元画像撮影装置と、前記三次元的基準被検体ＣＴ値モデルデータから算出した基準被検体スキャノグラムデータと前記被検体二次元画像撮影装置で撮影した被検体の前記被検体二次元画像データとに基づいて被検体仮想スキャノグラムデータを得て、この被検体仮想スキャノグラムデータから被検体の断層像撮影位置および断層像撮影範囲を本スキャン前に計画すると共に、三次元的基準被検体ＣＴ値モデルデータと被検体仮想スキャノグラムデータから三次元的被検体ＣＴ値モデルを算出し、この三次元的被検体ＣＴ値モデルに基づいて推定断層画像ノイズ、推定平均被曝線量、推定総被曝、推定被曝線量分布、部位やスキャナ回転位相に対応した推奨Ｘ線管電流変化パターン、推奨Ｘ線管電圧などの推定項目および推奨項目を算出して前記表示装置に表示するスキャン計画装置と、を設けたことを特徴とするＸ線ＣＴ装置。
【請求項３】
上記操作手段は、前記計画装置で得られて表示装置に表示された推定項目及び推奨項目に関連したスキャン条件を入力するものとした請求項２のＸ線ＣＴ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
Ｘ線管電流ＩとパスＴとの関係は数３の如く表される。
【数３】
2005143948.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月14日(2006.11.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検眼の測定を行う測定手段と、
該測定手段を被検眼に対して上下左右前後方向に移動させる移動手段と、
該移動手段に上下左右方向のうち少なくとも１方向の移動を指示する指示手段と、
該指示手段の指示に応じて前記移動手段によって前記測定手段が移動している状態で、照明光源を被検眼に照明することよって得られる角膜反射輝点を含む被検眼の前眼部像に基づいて、前記測定手段と被検眼との前後方向の位置合わせ制御を行う制御手段と、
を有することを特徴とする眼科装置。
【請求項２】
前記測定手段の前後方向への移動を指示する第２の指示手段を有し、前記制御手段によって前後方向の位置合わせ制御が行われている場合に、前記制御手段は前記第２の指示手段の指示に基づく前記測定手段の駆動を禁止することを特徴とする請求項１に記載の眼科装置。
【請求項３】
前記制御手段は前記移動手段の移動に対応して、前記角膜反射輝点を検出するための被検眼の前記前眼部像の走査領域を変更することを特徴とする請求項１に記載の眼科装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記測定手段を被検眼に対して上下左右前後方向に位置合わせを行うモードを有し、該モードに切換えるモード切換手段を有することを特徴とする請求項１に記載の眼科装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明に係る眼科装置は、被検眼の測定を行う測定手段と、該測定手段を被検眼に対して上下左右前後方向に移動させる移動手段と、該移動手段に上下左右方向のうち少なくとも１方向の移動を指示する指示手段と、該指示手段の指示に応じて前記移動手段によって前記測定手段が移動している状態で、照明光源を被検眼に照明することよって得られる角膜反射輝点を含む被検眼の前眼部像に基づいて、前記測定手段と被検眼との前後方向の位置合わせ制御を行う制御手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月10日(2006.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受信アンテナを介して受信した電波を増幅する増幅手段と、
上記増幅手段によって増幅され伝送経路を介して供給される上記電波を再放射する再放射アンテナを有する再放射部と、
上記増幅手段から上記伝送経路を介して上記再放射アンテナに供給される上記電波、及び上記再放射アンテナで反射され上記増幅手段に戻る上記電波の戻り成分を減衰させる減衰手段と
を具えることを特徴とする電波中継装置。
【請求項２】
上記減衰手段は上記再放射アンテナの給電点近傍に設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の電波中継装置。
【請求項３】
上記増幅手段と上記再放射部とを接続する上記伝送経路に着脱用接続端子を具える
ことを特徴とする請求項１に記載の電波中継装置。
【請求項４】
上記電波は、ＧＰＳ電波である
ことを特徴とする請求項１に記載の電波中継装置。
【請求項５】
受信アンテナを介して受信され、伝送経路を介して供給される電波を再放射する再放射アンテナを有する再放射部と、
上記受信アンテナから上記伝送経路を介して供給される上記電波を増幅し、上記再放射アンテナに供給する増幅手段と
を具え、
上記増幅手段を上記再放射アンテナの給電点近傍に設置する
ことを特徴とする電波中継装置。
【請求項６】
上記増幅手段と上記再放射部とを接続する上記伝送経路に着脱用接続端子を具える
ことを特徴とする請求項５に記載の電波中継装置。
【請求項７】
上記電波は、ＧＰＳ電波である
ことを特徴とする請求項５に記載の電波中継装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
かかる課題を解決するため第１の発明においては、受信アンテナを介して受信した電波を増幅する増幅手段と、記増幅手段によって増幅され伝送経路を介して供給される電波を再放射する再放射アンテナを有する再放射部と、増幅手段から伝送経路を介して再放射アンテナに供給される電波、及び再放射アンテナで反射され増幅手段に戻る電波の戻り成分を減衰させる減衰手段とを電波中継装置に設けた。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
増幅手段から伝送経路を介して再放射アンテナに供給される電波、及び当該再放射アンテナで反射され伝送経路を介して増幅手段に戻る電波の戻り成分を減衰手段でそれぞれ減衰させるようにしたことにより、再放射アンテナで反射されて増幅手段に戻る電波の戻り成分を大幅に低減して伝送経路に発生する定在波を減少させ、不要輻射の回り込みによる発振を防止することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また第２の発明においては、受信アンテナを介して受信され、伝送経路を介して供給される電波を再放射する再放射アンテナを有する再放射部と、受信アンテナから伝送経路を介して供給される電波を増幅し、再放射アンテナに供給する増幅手段とを電波中継装置に設け、増幅手段を再放射アンテナの給電点近傍に設置するようにした。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
受信した電波を増幅する増幅手段を、再放射アンテナの給電点近傍に設けたことにより、再放射アンテナの不整合によって伝送経路に発生する定在波の発生線路長を短縮して不要輻射を低減し、当該不要輻射の回り込みによる発振を防止することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
上述のように本発明によれば、受信アンテナを介して受信した電波を増幅する増幅手段と、記増幅手段によって増幅され伝送経路を介して供給される電波を再放射する再放射アンテナを有する再放射部と、増幅手段から伝送経路を介して再放射アンテナに供給される電波、及び再放射アンテナで反射され増幅手段に戻る電波の戻り成分を減衰させる減衰手段とを電波中継装置に設けたことにより、再放射アンテナで反射されて増幅手段に戻る電波の戻り成分を大幅に低減して伝送経路に発生する定在波を減少させ、不要輻射の回り込みによる発振を防止して、確実に電波の中継を行い得る電波中継装置を実現することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また本発明によれば、受信アンテナを介して受信され、伝送経路を介して供給される電波を再放射する再放射アンテナを有する再放射部と、受信アンテナから伝送経路を介して供給される電波を増幅し、再放射アンテナに供給する増幅手段とを電波中継装置に設け、増幅手段を再放射アンテナの給電点近傍に設置するようにしたことにより、再放射アンテナの不整合によって発生する定在波の発生線路長を短縮して不要輻射を低減し、当該不要輻射の回り込みによる発振を防止して、確実に電波の中継を行い得る電波中継装置を実現することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月23日(2006.10.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
所定の監視域を撮像して得られた映像を視認し、問題が生じた場合には、その旨を通報して当該監視域を警備する警備システムであって、
上記監視域を撮像可能に設置されるとともに、当該監視域の音声を取得する音声取得手段及び音声を出力する音声出力手段が付設された監視カメラと、
上記監視カメラによって撮像されて得られた映像及び取得された音声を記憶する監視サーバと、
当該警備システムの利用契約を行った利用者が所持する端末機であり、上記監視カメラとの間で双方向通信を行うことが可能とされる携帯端末機と、
所定の公的機関及び／又は民間機関の通報集中管理センタに設けられる通報集中管理サーバと、
上記通報集中管理サーバ以外に当該利用者が任意に設定した通報先に設けられる端末機とを備え、
上記監視カメラは、上記監視域を常時撮像して得られる映像をフレーム単位又は時間単位で比較して当該監視域の変化の有無を検出し、当該監視域に変化があった場合には、当該監視域の映像及び音声を上記携帯端末機に対して送信するとともに、上記携帯端末機からの指示に応じて所定の音声を出力し、
上記携帯端末機は、上記監視カメラから送信された上記監視域の映像及び音声を受信すると、所定の表示手段を介して映像を表示するとともに、所定の出力手段を介して音声を出力し、上記利用者の操作に応じて、第三者による上記監視サーバに記憶されている映像及び音声の視聴を許可する旨を示す許可通知信号を少なくとも上記監視サーバに対して送信し、
上記監視サーバは、上記携帯端末機から許可通知信号を受信すると、記憶している映像及び音声の上記通報集中管理サーバ及び／又は上記端末機による視聴を可能とすること
を特徴とする警備システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上述した目的を達成する本発明にかかる警備システムは、所定の監視域を撮像して得られた映像を視認し、問題が生じた場合には、その旨を通報して当該監視域を警備する警備システムであって、上記監視域を撮像可能に設置されるとともに、当該監視域の音声を取得する音声取得手段及び音声を出力する音声出力手段が付設された監視カメラと、上記監視カメラによって撮像されて得られた映像及び取得された音声を記憶する監視サーバと、当該警備システムの利用契約を行った利用者が所持する端末機であり、上記監視カメラとの間で双方向通信を行うことが可能とされる携帯端末機と、所定の公的機関及び／又は民間機関の通報集中管理センタに設けられる通報集中管理サーバと、上記通報集中管理サーバ以外に当該利用者が任意に設定した通報先に設けられる端末機とを備え、上記監視カメラは、上記監視域を常時撮像して得られる映像をフレーム単位又は時間単位で比較して当該監視域の変化の有無を検出し、当該監視域に変化があった場合には、当該監視域の映像及び音声を上記携帯端末機に対して送信するとともに、上記携帯端末機からの指示に応じて所定の音声を出力し、上記携帯端末機は、上記監視カメラから送信された上記監視域の映像及び音声を受信すると、所定の表示手段を介して映像を表示するとともに、所定の出力手段を介して音声を出力し、上記利用者の操作に応じて、第三者による上記監視サーバに記憶されている映像及び音声の視聴を許可する旨を示す許可通知信号を少なくとも上記監視サーバに対して送信し、上記監視サーバは、上記携帯端末機から許可通知信号を受信すると、記憶している映像及び音声の上記通報集中管理サーバ及び／又は上記端末機による視聴を可能とすることを特徴としている。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月25日(2006.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】  請求項２記載の半導体集積回路装置において、
前記静電気放電保護手段が、
アノードに第１の電源電圧が供給され、カソードに第２の電源電圧が供給される第１のダイオードと、
一方の接続部が前記第２のインバータにおける出力部と接続され、他方の接続部が前記第１のトランジスタにおけるゲートに接続された第１の抵抗と、
カソードが前記第１のトランジスタにおけるゲートに接続され、アノードが基準電位に接続された第２のダイオードと、
一方の接続部が前記第１のインバータの出力部に接続され、他方の接続部が前記第３のトランジスタにおけるゲートに接続された第２の抵抗と、
カソードが前記第３のトランジスタにおけるゲートに接続され、アノードが基準電位に接続された第３のダイオードとよりなることを特徴とする半導体集積回路装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
さらに、本発明の半導体集積回路装置は、前記静電気放電保護手段が、アノードに第１の電源電圧が供給され、カソードに第２の電源電圧が供給される第１のダイオードと、一方の接続部が前記第２のインバータにおける出力部と接続され、他方の接続部が第１のトランジスタにおけるゲートに接続された第１の抵抗と、カソードが第１のトランジスタにおけるゲートに接続され、アノードが基準電位に接続された第２のダイオードと、一方の接続部が第１のインバータの出力部に接続され、他方の接続部が第３のトランジスタにおけるゲートに接続された第２の抵抗と、カソードが第３のトランジスタにおけるゲートに接続され、アノードが基準電位に接続された第３のダイオードとよりなるものである。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月25日(2006.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置及び半導体装置の作製方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板上に非晶質半導体膜を形成する工程と、
前記非晶質半導体膜を熱処理して、結晶質半導体膜を形成する工程と、
前記結晶質半導体膜をパターニングして、薄膜トランジスタの半導体層と、マーカーとを形成する工程と、
を有し、
前記結晶質半導体膜を形成する工程以降において、前記ガラス基板の温度を前記熱処理の基板温度よりも高くしないことを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項２】
ガラス基板上に非晶質半導体膜を形成する工程と、
前記非晶質半導体膜を熱処理して、結晶質半導体膜を形成する工程と、
前記結晶質半導体膜をパターニングして、薄膜トランジスタの半導体層と、第１のマーカーとを形成する工程と、
前記結晶質半導体膜上に形成された導電膜をエッチングして、前記薄膜トランジスタのゲート電極と、第２のマーカーとを形成する工程と、
を有し、
前記結晶質半導体膜を形成する工程以降において、前記ガラス基板の温度を前記熱処理の基板温度よりも高くしないことを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、
前記熱処理の温度は５００℃以上であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項４】
請求項１又は請求項２において、
前記熱処理の温度は５５０℃以上であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項５】
半導体層を有する薄膜トランジスタと、
マーカーと、を有し、
前記半導体層及び前記マーカーは、ガラス基板上に形成された結晶質半導体膜を用いて形成されたものであることを特徴とする半導体装置。
【請求項６】
半導体層と、前記半導体層上のゲート電極とを有する薄膜トランジスタと、
第１のマーカーと、
第２のマーカーと、を有し、
前記半導体層及び前記第１のマーカーは、ガラス基板上に形成された結晶質半導体膜を用いて形成されたものであり、
前記ゲート電極及び前記第２のマーカーは、前記結晶質半導体膜上に形成された導電膜を用いて形成されたものであることを特徴とする半導体装置。
【請求項７】
請求項５において、
前記マーカーは、水平方向の指標となる形状と垂直方向の指標となる形状を含むことを特徴とする半導体装置。
【請求項８】
請求項６において、
前記第１のマーカー及び前記第２のマーカーは、水平方向の指標となる形状と垂直方向の指標となる形状を含むことを特徴とする半導体装置。
【請求項９】
請求項５乃至請求項８のいずれか一において、
前記結晶質半導体膜は、非晶質半導体膜を熱処理して形成されたものであることを特徴とする半導体装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
結晶化工程に次いで、基板温度が高温になる工程はソース、ドレインに添加された不純物の活性化であるが、５００〜５５０℃の基板温度で不純物活性化を行うことが可能であり、また熱活性化の代わりにエキシマレーザによるレーザー活性化を用いることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
マーカー５２１は矩形状に内部が抜き取られた部分５２１ａと、水平方向の指標となるマーカー５２１ｂと垂直方向の指標となるマーカー５２１ｃとでなる。マーカー５２１と矩形状のパターン５２２が列状に交互に配置されている。このように行列状に配置されたマーカー５２１において、マーカー５２１ｂや５２１ｃピッチの変化を測定することにより、垂直方向及び水平方向の基板の変形量を計測することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
さらに図９に示すように、配線２５３〜２５９の形成と同時に、アライメントマーカー部５１１〜５１６に、Ｔｉ膜でなるアライメントマーカー５４１、５４２を形成する。アライメントマーカー５４１、５４２はシリコンでなるマーカー５２１、５２２を同じパターン、同じ配列で形成される。さらに、Ｔｉ膜でなるマーカー５４４がマーカー５２１、５２２、マーカー５３１、５３２と重なって形成される。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月23日(2006.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  以下の工程からなる半導体集積回路装置の製造方法；
（ａ）二酸化シリコン換算膜厚が５nm未満の膜厚を有し、酸化シリコンを主要な成分とする単一絶縁膜またはそれと他の絶縁膜とを含む複合絶縁膜からなるゲート絶縁膜を、ウエハの第１の主面上のシリコン表面に形成する工程、
（ｂ）前記ゲート絶縁膜上に、多結晶シリコンを主要な構成要素とする中間層を介することなく、高融点金属を主要な成分とするメタル膜を形成した後、前記メタル膜をパターニングしてメタルゲート電極を形成する工程、
（ｃ）水分／水素分圧比が前記高融点金属を実質的に酸化せず、シリコンを酸化するような割合に設定された水分と水素とを含むガス雰囲気中において、前記メタルゲート電極が形成された前記第１の主面に対して熱処理を行なうことによって、前記メタルゲート電極直下の前記ゲート絶縁膜を酸化することにより、前記ゲート絶縁膜中の欠陥を修復する工程。
【請求項２】  請求項１記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記高融点金属は、モリブデンまたはタングステンであることを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項３】  請求項２記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記ゲート絶縁膜の二酸化シリコン換算膜厚は、４nm未満であることを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項４】  請求項２記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記ゲート絶縁膜の二酸化シリコン換算膜厚は、３nm未満であることを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項５】  以下の工程からなる半導体集積回路装置の製造方法；
（ａ）二酸化シリコン換算膜厚が５nm未満の膜厚を有し、窒化シリコンを主要な成分とする単一絶縁膜またはそれと他の絶縁膜とを含む複合絶縁膜からなるゲート絶縁膜を、ウエハの第１の主面上のシリコン表面に形成する工程、
（ｂ）前記ゲート絶縁膜上に、多結晶シリコンを主要な構成要素とする中間層を介することなく、高融点金属を主要な成分とするメタル膜を形成した後、前記メタル膜をパターニングしてメタルゲート電極を形成する工程、
（ｃ）水分／水素分圧比が前記高融点金属を実質的に酸化せず、シリコンを酸化するような割合に設定された水分と水素とを含むガス雰囲気中において、前記メタルゲート電極が形成された前記第１の主面に対して熱処理を行なうことによって、前記メタルゲート電極直下の前記ゲート絶縁膜を酸化することにより、前記ゲート絶縁膜中の欠陥を修復する工程。
【請求項６】  請求項５記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記高融点金属は、モリブデンまたはタングステンであることを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項７】  請求項６記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記水分と水素とを含むガスは、さらに窒素またはアンモニアガスを含むことを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項８】  以下の工程からなる半導体集積回路装置の製造方法；
（ａ）二酸化シリコン換算膜厚が５nm未満の膜厚を有し、二酸化シリコンよりも誘電率が大きい金属酸化物を主要な成分とする単一絶縁膜またはそれと他の絶縁膜とを含む複合絶縁膜からなるゲート絶縁膜を、ウエハの第１の主面上のシリコン表面に形成する工程、
（ｂ）前記ゲート絶縁膜上に、多結晶シリコンを主要な構成要素とする中間層を介することなく、高融点金属を主要な成分とするメタル膜を形成した後、前記メタル膜をパターニングしてメタルゲート電極を形成する工程、
（ｃ）水分／水素分圧比が前記高融点金属を実質的に酸化せず、シリコンを酸化するような割合に設定された水分と水素とを含むガス雰囲気中において、前記メタルゲート電極が形成された前記第１の主面に対して熱処理を行なうことによって、前記メタルゲート電極直下の前記ゲート絶縁膜を酸化することにより、前記ゲート絶縁膜中の欠陥を修復する工程。
【請求項９】  請求項８記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記金属酸化物を構成する金属は、チタン、ジルコニウム、またはハフニウムであることを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項１０】  請求項８記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記金属酸化物を構成する金属は、タンタルであることを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項１１】  請求項８記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記金属酸化物を構成する金属は、アルミニウムであることを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項１２】  請求項８記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記金属酸化物は、ＡＢＯ3型の広義のペロブスカイト型構造を含む高誘電体であって、動作温度において常誘電相にあるものであることを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項１３】  請求項１２記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記高誘電体は、ＢＳＴであることを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項１４】  以下の工程からなる半導体集積回路装置の製造方法；
（ａ）二酸化シリコン換算膜厚が５nm未満の膜厚を有し、酸化シリコンを主要な成分とする単一絶縁膜またはそれと他の絶縁膜とを含む複合絶縁膜からなるゲート絶縁膜を、ウエハの第１の主面上のシリコン表面に形成する工程、
（ｂ）前記ゲート絶縁膜上に高融点金属窒化膜からなる導電性バリア膜を形成する工程、
（ｃ）前記導電性バリア膜上に、多結晶シリコンを主要な構成要素とする中間層を介することなく、第１の高融点金属を主要な成分とするメタル膜を形成する工程、
（ｄ）前記導電性バリア膜および前記メタル膜をパターニングすることによって、ゲート電極を形成する工程、
（ｅ）水分／水素分圧比が前記高融点金属および前記導電性バリア膜を実質的に酸化せず、シリコンを酸化するような割合に設定された水分と水素とを含むガス雰囲気中において、前記ゲート電極が形成された前記第１の主面に対して熱処理を行なうことによって、前記ゲート電極直下の前記ゲート絶縁膜を酸化することにより、前記ゲート絶縁膜中の欠陥を修復する工程。
【請求項１５】  請求項１４記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記第１の高融点金属は、タングステンであることを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項１６】  請求項１５記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記導電性バリア膜は、窒化チタンを主要な成分として含むことを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項１７】  請求項１６記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記水分と水素とを含むガスは、さらに窒素またはアンモニアガスを含むことを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月17日(2006.2.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】帯域監視方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
特定種類のパケットを前記特定種類以外のパケットよりも優先して転送するネットワークにおける帯域監視方法であって、
前記特定種類のパケットが前記パケットの送信元と契約されている契約帯域に違反していないかを監視し、
入力パケットが前記特定種類のパケットであるか否かを判断し、
前記特定種類のパケットが契約帯域に違反しておらず、かつ、前記入力パケットが前記特定種類のパケットでない場合に、前記入力パケットを前記特定種類のパケットとして送信することを特徴とする帯域監視方法。
【請求項２】
前記入力パケットは、ヘッダを有しており、前記ヘッダ内の値に基づいて前記パケットが前記特定種類のパケットであるか否かを判断することを特徴とする請求項１に記載の帯域監視方法。
【請求項３】
前記特定種類のパケットが契約帯域に違反しておらず、かつ、前記入力パケットのヘッダ内の値が前記特定種類のパケットを示す値でない場合に、前記ヘッダ内の値を前記特定種類のパケットを示す値に再設定することを特徴とする請求項２に記載の帯域監視方法。
【請求項４】
前記ヘッダは優先度フィールドを有しおり、前記優先度フィールドの値により前記入力パケットが前記特定種類のパケットであるか否かを判断することを特徴とする請求項２に記載の帯域監視方法。
【請求項５】
前記特定種類以外のパケットに対しては第１のバケツの深さを有するリーキーバケットアルゴリズムを使用し、前記特定種類のパケットに対しては、前記第１のバケツの深さとは異なる第２のバケツの深さを有するリーキーバケットアルゴリズムを使用することにより、前記パケットの送信元と契約されている契約帯域に違反していないかを監視することを特徴とする請求項１に記載の帯域監視方法。
【請求項６】
特定種類のパケットを前記特定種類以外のパケットよりも優先して転送するネットワークにおける帯域監視方法であって、
前記特定種類のパケットが前記パケットの送信元と契約されている契約帯域に違反していないかを監視し、
入力パケットが前記特定種類のパケットであるか否かを判断し、
前記特定種類のパケットが使用している帯域が前記契約帯域より小さい第１の帯域以下であり、かつ、前記入力パケットが前記特定種類のパケットでない場合に、前記入力パケットを前記特定種類のパケットとして送信することを特徴とする帯域監視方法。
【請求項７】
前記特定種類のパケットが使用している帯域が前記第１の帯域を越えており、かつ、前記入力パケットが前記特定種類のパケットでない場合に、前記入力パケットは前記特定種類以外のパケットとして送信することを特徴とする請求項６に記載の帯域監視方法。
【請求項８】
前記特定種類のパケットが使用している帯域が前記契約帯域を越えており、かつ、前記入力パケットが前記特定種類のパケットである場合に、前記入力パケットを前記特定種類以外のパケットとして送信することを特徴とする請求項６に記載の帯域監視方法。
【請求項９】
前記特定種類以外のパケットに対しては第１のバケツの深さを有するリーキーバケットアルゴリズムを使用し、前記特定種類のパケットに対しては、前記第１のバケツの深さとは異なる第２のバケツの深さを有するリーキーバケットアルゴリズムを使用することにより、前記パケットの送信元と契約されている契約帯域に違反していないかを監視することを特徴とする請求項６に記載の帯域監視方法。