【手続補正書】
【提出日】平成18年1月6日(2006.1.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液滴吐出ヘッド及びその製造方法、インクジェット記録装置並びにマイクロアクチュエータ、画像形成装置、液滴吐出装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室と、この液室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させて前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極に前記振動板との間のギャップを形成する彫り込み部を形成したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極がポリシリコン層であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室と、この液室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させて前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極の表面に形成した保護絶縁膜に前記振動板との間のギャップを形成する彫り込み部を形成したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極がポリシリコン層、或いはタングステンシリサイド層、或いはチタンシリサイド層、或いはそれらの積層膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記保護絶縁膜がポリシリコン酸化膜又は高温酸化膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室と、この液室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させて前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板と電極との間のギャップを規定するギャップスペーサ部が前記電極と同じ層で形成されていること、加えて、前記電極に前記振動板との間のギャップを形成する彫り込み部を形成したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室と、この液室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させて前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極に前記振動板との間のギャップを形成する彫り込み部を形成したこと、加えて、前記電極の一部が前記振動板と電極との間のギャップを規定するギャップスペーサ部を兼ねていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極がポリシリコン層であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１、２、６乃至８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極の彫り込み部で形成されるギャップは断面形状でギャップ長０となる傾斜面を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室と、この液室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させて前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極の表面に保護絶縁膜を有し、前記振動板と電極との間のギャップを規定するギャップスペーサ部が前記電極とその表面の前記保護絶縁膜からなる電極層と同じ積層膜で形成されていること、加えて、前記保護絶縁膜に前記振動板との間のギャップを形成する彫り込み部を形成したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１１】
液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室と、この液室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させて前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極の表面に保護絶縁膜を有し、前記保護絶縁膜に前記振動板との間のギャップを形成する彫り込み部を形成したこと、加えて、前記電極及び保護絶縁膜の一部が前記振動板と電極との間のギャップを規定するギャップスペーサ部を兼ねていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１２】
請求項１０又は１１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極がポリシリコン層、或いはタングステンシリサイド層、或いはチタンシリサイド層、或いはそれらの積層膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１３】
請求項１０乃至１２のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記保護絶縁膜がポリシリコン酸化膜又は高温酸化膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１４】
請求項１０乃至１３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記保護絶縁膜が前記電極の側面にも形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１５】
請求項３乃至５、１０乃至１４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記保護絶縁膜が前記電極間の分離領域を埋めていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１６】
請求項３乃至５、１０乃至１５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記保護絶縁膜の彫り込み部で形成されるギャップは断面形状でギャップ長０となる傾斜面を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１７】
請求項１５又は１６に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極を各個別の電極に分離し、前記保護絶縁膜にて前記電極間の分離領域を埋め、前記保護絶縁膜の表面を研磨した後、前記彫り込み部が形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１８】
請求項１乃至１７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ギャップスペーサ部表面は表面ホモロジィ１ｎｍを越えない鏡面研磨がされていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１９】
請求項１乃至１８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板と電極との間のギャップ周囲が封止されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２０】
請求項１９に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ギャップ内圧が製造途中で大気圧にもどされる手段がとられていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２１】
請求項２０に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ギャップを大気に連通させるための連通路が、電極を外部に引き出すための電極引出し部以外の領域に設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２２】
請求項１、２、６乃至９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記電極の表面を研磨した後に前記彫り込み部を形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２３】
請求項３乃至５、１０乃至１６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記保護絶縁膜の表面を研磨した後に前記彫り込み部を形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２４】
請求項１、２、６乃至９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記電極に前記彫り込み部を形成した後、各個別の電極に分割することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２５】
請求項３乃至５、１０乃至１４、１６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記保護絶縁膜の表面に前記彫り込み部を形成した後、各個別の電極及び保護絶縁膜に分割することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２６】
請求項１５又は１６に記載の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記電極を各個別の電極に分離する工程と、前記保護絶縁膜にて前記電極間の分離領域を埋める工程と、前記保護絶縁膜の表面を研磨する工程を有し、これらの工程の後で前記彫り込み部を形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２７】
請求項１９に記載の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記ギャップ内圧を製造途中で大気圧に戻すことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２８】
請求項２０に記載の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記電極を外部に引き出すための電極引出し部以外の領域に設けられた前記ギャップを大気に連通させるための連通路を通じて前記ギャップ内圧を製造途中で大気圧に戻すことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２９】
液滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが前記請求項１乃至２１のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項３０】
液滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが前記請求項２２乃至２８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法で形成されていることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項３１】
振動板と、この振動板に対向する電極とを備え、前記振動板を静電力で変位させるマイクロアクチュエータにおいて、前記電極又はこの電極の表面に形成した保護絶縁膜に前記振動板と電極との間のギャップを形成する彫り込み部を形成したことを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項３２】
振動板と、この振動板に対向する電極とを備え、前記振動板を静電力で変位させるマイクロアクチュエータにおいて、前記振動板と電極との間のギャップを規定するギャップスペーサ部が前記電極又は電極と保護絶縁膜と同じ層であることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項３３】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置において、前記液滴吐出ヘッドが前記請求項１乃至２１のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
【請求項３４】
液滴を吐出する液滴吐出装置において、前記請求項１乃至２１のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液滴吐出装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は液滴吐出ヘッド及びその製造方法、インクジェット記録装置並びにマイクロアクチュエータ、画像形成装置、液滴吐出装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ギャップの精度を向上した液滴吐出ヘッド及びその製造方法、画像品質を向上したインクジェット記録装置、画像形成装置、並びに、ギャップ精度を向上したマイクロアクチュエータ、液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明に係るインクジェット記録装置は、液滴を吐出するインクジェットヘッドが本発明に係る液滴吐出ヘッドのいずれかである構成としたものである。また、本発明に係るインクジェット記録装置は、液滴を吐出するインクジェットヘッドが本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法のいずれかで形成されている構成としたものである。さらに、本発明に係る画像形成装置、液滴吐出装置は、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２２】
この本発明に係る液滴吐出装置を含む本発明に係る画像形成装置としての本発明に係るインクジェット記録装置について図３１及び図３２を参照して簡単に説明する。なお、図３１は同記録装置の機構部の概略斜視説明図、図３２は同機構部の側面説明図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３０】
なお、上記各実施形態においては、本発明に係る液滴吐出ヘッド及びマイクロアクチュエータとして静電型インクジェットヘッドに適用した例で説明したが、これに限るものではなく、例えば、インク以外の液滴、例えば、パターニング用の液体レジストを吐出する液滴吐出ヘッドにも適用でき、或いはマイクロアクチュエータとしてはマイクロモータのアクチュエータ部などにも適用することができる。また、前述したように、プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像記録装置（画像形成装置）に本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載することができ、また、画像形成装置などの液滴吐出装置に搭載することもできる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４８】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、インクジェットヘッドが本発明に係る液滴吐出ヘッド又は本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法で形成されたものであるので、滴吐出特性やインク滴着弾位置精度が向上し、画像品質が向上する。また、本発明に係る画像形成装置、本発明に係る液滴吐出装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えているので、滴吐出特性やインク滴着弾位置精度が向上する。