【手続補正書】
【提出日】平成18年3月23日(2006.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  第１の配列方向及び該第１の配列方向と直交する第２の配列方向に沿ってマトリックス状に配列された複数の圧力室内にそれぞれ充填されたインクを、印字データに応じて選択的にインクノズルから噴射するインクジェット記録ヘッドに適用され、前記複数の圧力室にそれぞれ連通する複数のインクノズルが形成されたノズルプレートであって、
レーザビームの照射により前記インクノズルを形成する際の前記レーザビームの有効照射エリアの形状及び広さに応じて、前記複数のインクノズルの前記第１の配列方向に沿ったピッチを選択的に粗密に設定し、
前記レーザビームによる前記インクノズルの形成時に、前記第１の配列方向に沿って前記有効照射エリアに含むことができる前記インクノズルの個数を最大化したことを特徴とするノズルプレート。
【請求項２】  第１の配列方向及び該第１の配列方向と直交する第２の配列方向に沿ってマトリックス状に配列された複数の圧力室内にそれぞれ充填されたインクを、印字データに応じて選択的にインクノズルから噴射するインクジェット記録ヘッドに適用され、前記複数の圧力室にそれぞれ連通する複数のインクノズルが形成されたノズルプレートであって、
レーザビームの照射により前記インクノズルを形成する際の前記レーザビームの有効照射エリアの形状及び広さに応じて、前記複数のインクノズルの前記第１の配列方向及び前記第２の配列方向に沿ったピッチをそれぞれ選択的に粗密に設定し、
前記レーザビームによる前記インクノズルの形成時に、前記有効照射エリアに含むことができる前記インクノズルの個数を最大化したことを特徴とするノズルプレート。
【請求項３】  前記複数のインクノズルのピッチを、該複数のインクノズルが前記複数の圧力室の中心に対してそれぞれ幾何学的に対称的な配置となるように、設定したことを特徴とする請求項１又は２記載のノズルプレート。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、第１の配列方向及び該第１の配列方向と直交する第２の配列方向に沿って配列された複数のインクノズルから画像信号に応じて選択的にインクを噴射させるインクジェット記録ヘッドに部品として適用され、複数のインクノズルが形成されるノズルプレートに関するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
一方、上記のようなノズルプレートを製造するためのレーザ加工装置では、例えば、エキシマレーザ発振器から出射されたエキシマレーザビームを加工テーブル上に載置された樹脂基板に集光してインクノズルを形成する。またレーザ加工装置では、エキシマレーザ発振器と加工テーブルとの間にエキシマレーザビームの断面を整形するマスク、このマスクを通過したエキシマレーザビームを光源像として樹脂基板上に結像するための結像光学系が配置される。マスクは、通過するエキシマレーザビームの断面をインクノズルの断面に対応する形状に整形すると共に、エキシマレーザビームの照射エリアのうち有効照射エリアのみから選択的にインクノズル加工用エキシマレーザビームを取り出す機能を有している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る請求項１記載のノズルプレートは、第１の配列方向及び該第１の配列方向と直交する第２の配列方向に沿ってマトリックス状に配列された複数の圧力室内にそれぞれ充填されたインクを、印字データに応じて選択的にインクノズルから噴射するインクジェット記録ヘッドに適用され、前記複数の圧力室にそれぞれ連通する複数のインクノズルが形成されたノズルプレートであって、レーザビームの照射により前記インクノズルを形成する際の前記レーザビームの有効照射エリアの形状及び広さに応じて、前記複数のインクノズルの前記第１の配列方向に沿ったピッチを選択的に粗密に設定し、前記レーザビームによる前記インクノズルの形成時に、前記第１の配列方向に沿って前記有効照射エリアに含むことができる前記インクノズルの個数を最大化したことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項１記載のノズルプレートによれば、レーザビームの照射によりインクノズルを形成する際のレーザビームの有効照射エリアの形状及び広さに応じて、複数のインクノズルの第１の配列方向に沿ったピッチを選択的に粗密に設定し、レーザビームによる前記インクノズルの形成時に、第１の配列方向に沿って有効照射エリアに含むことができるインクノズルの個数を最大化したことより、ノズルプレートの加工素材とる基板へ１回のレーザビームの照射により形成できるインクノズルの個数を増加できるので、１枚のノズルプレートを製造するために必要となる基板へのレーザビームの照射回数及び時間をそれぞれ減少できる。この結果、多数のインクノズルが形成されたノズルプレートの生産性を向上させると共に、ノズルプレートを形成するために必要となるトータルエネルギーを減少できるので、ノズルプレートの製造コストを低減できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明に係る請求項２記載のノズルプレートは、第１の配列方向及び該第１の配列方向と直交する第２の配列方向に沿ってマトリックス状に配列された複数の圧力室内にそれぞれ充填されたインクを、印字データに応じて選択的にインクノズルから噴射するインクジェット記録ヘッドに適用され、前記複数の圧力室にそれぞれ連通する複数のインクノズルが形成されたノズルプレートであって、レーザビームの照射により前記インクノズルを形成する際の前記レーザビームの有効照射エリアの形状及び広さに応じて、前記複数のインクノズルの前記第１の配列方向及び前記第２の配列方向に沿ったピッチをそれぞれ選択的に粗密に設定し、前記レーザビームによる前記インクノズルの形成時に、前記有効照射エリアに含むことができる前記インクノズルの個数を最大化したことを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項２記載のノズルプレートによれば、レーザビームの照射によりインクノズルを形成する際のレーザビームの有効照射エリアの形状及び広さに応じて、複数のインクノズルの第１の配列方向及び第２の配列方向に沿ったピッチをそれぞれ選択的に粗密に設定し、レーザビームによる前記インクノズルの形成時に、有効照射エリアに含むことができるインクノズルの個数を最大化したことにより、請求項１記載のノズルプレートと比較して、更にノズルプレートの加工素材とる基板へ１回のレーザビームの照射により形成できるインクノズルの個数を増加できるので、１枚のノズルプレートを製造するために必要となる基板へのレーザビームの照射回数及び時間をそれぞれ減少できる。この結果、多数のインクノズルが形成されたノズルプレートの生産性を向上させると共に、ノズルプレートを形成するために必要となるエネルギーを減少できるので、ノズルプレートの製造コストを低減できる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項３記載のノズルプレートによれば、複数のインクノズルのピッチを、該複数のインクノズルが前記複数の圧力室の中心に対してそれぞれ幾何学的に対称に配置すれば、複数のインクノズルの第１の配列方向又は第１の配列方向及び第２の配列方向に沿ったピッチをそれぞれ選択的に粗密に設定しても、各圧力室内のインク圧力の変化がインクノズルに対して均一に作用するので、各インクノズルから噴射されるインク滴の速度、量等を安定化できる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
ここで、ノズルプレート４２に形成されたインクノズル４４は、連通路４５側の開口端からノズルプレート４２表面における開口端へ向って内径が徐々に狭くなるテーパ状の貫通穴として形成されている。また各インクノズル４４は、第２の配列方向である副走査方向と平行に直線的に配列されると共に、第１の配列方向である主走査方向に対して微小角度α傾いた方向に沿って直線的に配列されている。この微小角度αを調整することにより、同一の行に含まれる各インクノズル４４の副走査方向に沿った位置を僅かづつずらせて印字画像の画素密度を調整することが可能になる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
このとき、樹脂基板５２は、Ｘ−Ｙ軸方向に沿って所定の基準位置に位置合せされつつ、加工テーブル１４上に載置される。また加工テーブル１４の載置面には、負圧供給用の吸引溝（図示省略）が開口しており、レーザ加工装置１０は、樹脂基板５２が加工テーブル１４上に載置されると、樹脂基板５２の下面に吸引溝を通して負圧を作用させることで、樹脂基板５２を加工テーブル１４上の基準位置に吸着固定する。