【手続補正書】
【提出日】平成18年1月12日(2006.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】アクチュエータ、その製造方法、液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、液滴吐出装置、画像形成装置、マイクロポンプ及び光変調デバイス
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電力で変位する振動板と該振動板に空隙を介して対向する電極から構成され、前記空隙は犠牲層除去孔を用いた犠牲層プロセスで形成されたアクチュエータにおいて、前記振動板の短辺長は、１５０μｍ以下であることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記空隙は０.２〜２.０μｍであることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記犠牲層プロセスは、ドライエッチングにより行われることを特徴とする請求項１または２記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記空隙を形成するための犠牲層除去孔は、前記振動板と電極に挟まれた１つの前記空隙のみに連通していることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記犠牲層除去孔は、前記振動板の振動領域から１μｍ以上且つ前記振動板の短辺長の１／２以下の距離に形成されていることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記犠牲層除去孔は、前記振動板の対向する長辺に沿って互いに対向して形成されていることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項７】
隣接する前記犠牲層除去孔間の間隔は、前記振動板の短辺長以下の距離であることを特徴とする請求項１乃至６いずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項８】
前記犠牲層除去孔は、前記振動板の角部から前記振動板の短辺長の１／２以下の距離に形成されていることを特徴とする請求項１乃至７いずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記犠牲層除去孔が、前記振動板領域に形成されていることを特徴とする請求項１乃至４、７いずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
前記犠牲層除去孔の断面積は、０.１９μｍ2以上であることを特徴とする請求項１乃至９いずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１１】
前記犠牲層除去孔は、前記振動板を貫通していることを特徴とする請求項１乃至１０いずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１２】
前記犠牲層除去孔は、樹脂で封止されていることを特徴とする請求項１乃至１１いずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１３】
前記犠牲層除去孔は、前記振動板の構成膜の一部で封止されていることを特徴とする請求項１乃至１２いずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１４】
前記犠牲層除去孔は、前記振動板間の隔壁と接合される母材界面で封止されていることを特徴とする請求項１乃至１２いずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１５】
静電力で変位する振動板と該振動板に空隙を介して対向する電極から構成され、前記空隙を犠牲層プロセスで形成するアクチュエータの製造方法において、前記振動板の短辺長は、１５０μｍ以下に形成し、前記振動板の長辺に沿って設けられた犠牲層除去孔を用いてエッチングを行うことを特徴とするアクチュエータの製造方法。
【請求項１６】
前記空隙は０.２〜２.０μｍであることを特徴とする請求項１５記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項１７】
前記犠牲層プロセスは、ドライエッチングにより行われることを特徴とする請求項１５または１６記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項１８】
吐出室内の液体を加圧する請求項１乃至１４いずれかに記載のアクチュエータと、前記吐出室を形成する基板と、ノズル孔を有する基板を積層したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１９】
インク滴を吐出する請求項１８記載の液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したことを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項２０】
インク滴を吐出する請求項１８記載の液滴吐出ヘッドからなるインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２１】
請求項１乃至１４いずれかに記載のアクチュエータの振動板を変形させて液体を輸送することを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項２２】
請求項１乃至１４いずれかに記載のアクチュエータの振動板を変形させるとともにミラーを変形させて光の反射方向を変化させることを特徴とする光変調デバイス。
【請求項２３】  インク滴を吐出する請求項１８記載の液滴吐出ヘッドからなるインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２４】  インク滴を吐出する請求項１８記載の液滴吐出ヘッドからなるインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とする画像形成装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はアクチュエータ、その製造方法、液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、液滴吐出装置、画像形成装置、マイクロポンプ及び光変調デバイスに関し、さらに詳しくは、静電気力により振動板を振動させるアクチュエータにおいて、個別電極と振動板間の間隙を犠牲層プロセスによって形成し、各アクチュエータの特性のバラツキが少なく、低電圧駆動が可能なアクチュエータ、その製造方法、及びアクチュエータの応用製品である液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、液滴吐出装置、画像形成装置、マイクロポンプ及び光変調デバイスに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明は前記課題に鑑みてなされたものであり、従来技術では困難であった高精度、高密度、且つ高い信頼性を有するアクチュエータを得ることができ、比較的簡単に低電圧駆動が可能で、インク吐出効率が高く、高画質印字が可能な液滴吐出ヘッド、この液滴吐出ヘッドを一体化したインクカートリッジ、この液滴吐出ヘッドを搭載したインクジェット記録装置、液滴吐出装置、画像形成装置及びこのアクチュエータを用いたマイクロポンプ、光変調デバイスを提供することを目的とする。
また、静電気力により振動板を振動させるアクチュエータにおいて、個別電極と振動板間の間隙を犠牲層プロセスによって形成し、犠牲層除去孔の構成を最適化することによって各アクチュエータの特性のバラツキが少なく、低電圧駆動が可能なアクチュエータ、その製造方法、及びアクチュエータの応用製品である液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、液滴吐出装置、画像形成装置マイクロポンプ及び光変調デバイスを提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
請求項２０、２３あるいは２４の発明は、インク滴を吐出する請求項１８記載の液滴吐出ヘッドからなるインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置、液滴吐出装置、画像形成装置であることを特徴とし、これにより、製造不良が減少し、低コスト化を図ることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
（第７実施例）（請求項２０）（請求項２３）（請求項２４）
次に、本発明のインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例について説明する。本第７実施例ではインクジェット記録装置について説明するが、液滴吐出装置や画像形成装置についても同様に適用可能である。
図１５は、第７実施例のインクジェット記録装置の要部を示す斜視図、図１６は、図１５に示すインクジェット記録装置の機構部の側断面図である。
第７実施例のインクジェット記録装置は、記録装置本体４１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ５３、キャリッジに搭載した本発明を実施したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド５４、記録ヘッド５４へインクを供給するインクカートリッジ５５等で構成される印字機構部４２等を収納し、装置本体４１の下方部には前方側から多数枚の用紙４３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）４４を抜き差し自在に装着することができ、また用紙４３を手差しで給紙するための手差しトレイ４５を開倒することができ、給紙カセット４４或いは手差しトレイ４５から給送される用紙４３を取り込み、印字機構部４２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ４６に排紙する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
（請求項１７）
請求項１７の発明は、請求項１５または１６記載のアクチュエータの製造方法において、前記犠牲層プロセスは、ドライエッチングにより行われるので、加工精度が良く、エッチング後の洗浄、乾燥が必要なく、空隙寸法のバラツキの少ないアクチュエータを作製することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９９】
（請求項１８）
振動板を駆動するアクチュエータと、吐出室を形成する基板と、ノズル孔を有する基板を積層してなる液滴吐出ヘッドにおいて、前記アクチュエータは請求項１〜１４記載のアクチュエータであるので、請求項１〜１４記載のアクチュエータの効果に加え、性能バラツキが少なく、高精度で高信頼性を具備した液滴吐出ヘッドを低コストで提供することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
（請求項１９）
請求項１８記載の液滴吐出ヘッドをインクジェットヘッドとして用い、このインクジェットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したので、製造不良が減少し、低コスト化を図ることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
（請求項２０）（請求項２３）（請求項２４）
インクジェット記録装置、液滴吐出装置あるいは画像形成装置に、請求項１８記載の液滴吐出ヘッドを搭載したので、製造不良が減少し、低コスト化を図ることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０２】
（請求項２１）
請求項１〜１４記載のアクチュエータを用い、電極間に働く静電力によって前記振動板を変形させるので、小型であり、低消費電力のマイクロポンプを低コストで提供することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０３】
（請求項２２）
請求項１〜１４記載のアクチュエータを用い、電極間に働く静電力によって前記振動板を変形させるので、小型であり、低消費電力の光変調デバイスを低コストで提供することができる。