(57)【要約】【課題】精度よくステージを駆動可能なジョイント機構、および測定器を提供する。【解決手段】測定器のステージ装置は、ステージが固定されるステージ取付部２５０に対して、第一支持軸２６０の軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在に設けられる支持部２７０と、この支持部２７０に設けられる第二支持軸２８０の軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在に設けられるフリクションバーが固定されるバー取付部２９０と、を備えた。これにより、フリクションバーにいかなる振動や力が加わったとしても、ステージにその振動や力が伝達するのを防止でき、ステージを精度よくフリクションバーの進退方向に移動させることができる。【選択図】図３
0003124884.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
軸方向に沿って進退自在に設けられる軸部材と、この軸部材の一端側に設けられ、前記軸部材の進退により移動可能な可動部材と、を連結するジョイント機構であって、
前記可動部材が取り付けられるとともに、内部に中空状の第一中空部を有し、この第一中空部に第一支持軸が設けられる可動部取付部と、
前記第一支持軸に、この第一支持軸の軸方向に沿って進退自在かつ第一支持軸を中心として回転自在に設けられるとともに、内部に中空状の第二中空部を有し、この第二中空部に前記第一支持軸と略交差する状態に配置される第二支持軸を備えた支持部材と、
前記第二支持軸に、この第二支持軸の軸方向に沿って進退自在かつ第二支持軸を中心として回転自在に設けられるとともに、前記軸部材が取り付けられる軸取付部と、
を備えたことを特徴としたジョイント機構。
【請求項２】
請求項１に記載のジョイント機構において、
前記可動部取付部は、第一中空部と外部とを連通する第一支持孔を備え、
前記第一支持軸は、前記第一支持孔にボール部材を介して設けられた
ことを特徴としたジョイント機構。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のジョイント機構であって、
前記支持部材は、前記第二中空部と外部とを連通する第二支持孔を備え、
前記第二支持軸は、前記第二支持孔にボール部材を介して設けられた
ことを特徴としたジョイント機構。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のジョイント機構であって、
前記第一支持軸および前記第二支持軸は互いに略直交する状態で配設された
ことを特徴としたジョイント機構。
【請求項５】
回転駆動される駆動ローラと
前記駆動ローラに当接され、この駆動ローラの回転により軸方向に進退自在な軸部材と、
前記軸部材の一端部に設けられ、被測定物を載置する可動部材と、
前記軸部材および前記可動部材を連結する請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のジョイント機構と、
前記可動部材に載置された前記被測定物を測定する測定手段と、
を具備したことを特徴とした測定器。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、軸部材と可動部材とを連結するジョイント機構、特に被測定物を載置する可動部材と、この可動部材を被測定物が測定される位置に移動させる軸部材と、を備えた測定器における軸部材および可動部材を連結するジョイント機構、およびこのジョイント機構を備えた測定器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、軸部材と、軸部材を支持する支持部材とを連結する部位において、軸部材の振動を防止するジョイント機構が知られている（例えば特許文献１および特許文献２参照）。
【０００３】
特許文献１に記載のものは、支持軸の上端に設けられる鍔部に、ボールが設けられ、このボールを介して軸受け片に支持軸が支持されている構成が採られている。
特許文献２に記載のものは、横梁に固定されるエアパッドに当接してスライドパッドが設けられ、さらにこのスライドパッドと支持軸との間に自動調心玉軸受が設けられた構成が採られている。このエアパッドは、スライドパッドと当接する面に複数のエア孔が設けられ、外部からエアが供給されることでスライドパッドとの間にエア膜が形成される。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１４８５８１号公報
【特許文献２】特開２００５−２３０９４９号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記特許文献１に記載のようなボールのみを用いた従来のジョイント機構では、支持軸の回転方向に対して良好に振動を防止できるが、ラジアル方向に対しての力を逃がすことができないという問題が挙げられる。
また、特許文献２に記載のようなエアパッドを用いた構成では、エア膜により支持軸のラジアル方向の力による振動を防止できるが、支持軸の回転方向の力による振動を逃がすことができないという問題が挙げられる。
【０００６】
本考案は、精度よく可動部材を駆動可能なジョイント機構、および測定器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本考案のジョイント機構は、軸方向に沿って進退自在に設けられる軸部材と、この軸部材の一端側に設けられ、前記軸部材の進退により移動可能な可動部材と、を連結するジョイント機構であって、前記可動部材が取り付けられるとともに、内部に中空状の第一中空部を有し、この第一中空部に第一支持軸が設けられる可動部取付部と、前記第一支持軸に、この第一支持軸の軸方向に沿って進退自在かつ第一支持軸を中心として回転自在に設けられるとともに、内部に中空状の第二中空部を有し、この第二中空部に前記第一支持軸と略交差する状態に配置される第二支持軸を備えた支持部材と、前記第二支持軸に、この第二支持軸の軸方向に沿って進退自在かつ第二支持軸を中心として回転自在に設けられるとともに、前記軸部材が取り付けられる軸取付部と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
この考案によれば、可動部材取付部に対して支持部材が回動可能かつ第一支持軸の軸方向に沿って進退自在に設けられ、この支持部材に対して軸取付部が回動可能かつ第二支持軸の軸方向に沿って進退自在に設けられている。このため、軸部材がラジアル方向に振動した場合、支持部材および可動部取付部が第一支持軸および第二支持軸の軸心方向に沿って移動するため、振動が可動部材取付部および可動部材ステージに伝播しない。また、軸部材が回転方向に振動した場合でも、支持部材および軸取付部が第一支持軸および第二支持軸に回転自在に設けられているため、軸部材の振動を逃がすことができ、可動部材取付部および可動部材に伝播しない。したがって、軸部材の振動の可動部取付部および可動部材への伝播を良好に防止でき、可動部材の振動を防止することができる。よって、軸部材が振動したとしても、可動部材を精度よく移動させることができる。
また、可動部材取付部の内部の第一中空部に設けられる第一支持軸に支持部材が配置され、この支持部材の内部の第二中空部に設けられる第二支持軸に軸取付部が配置されているので、このジョイント機構の厚み寸法の増大を防止でき、小型化を図ることができる。
【０００９】
また、本考案のジョイント機構では、前記可動部取付部は、第一中空部と外部とを連通する第一支持孔を備え、前記第一支持軸は、前記第一支持孔にボール部材を介して設けられたことが好ましい。
この考案によれば、可動部取付部の第一支持孔にボール部材を介して第一支持軸が設けられている。これにより、第一支持軸が軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在となるので、この第一支持軸に設けられる支持部材も第一支持軸に沿って進退自在かつ第一支持軸を中心として回転自在となる。したがって、簡単な構成で支持部材を第一支持軸の軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在に支持することができる。
【００１０】
さらに、本考案のジョイント機構では、前記支持部材は、前記第二中空部と外部とを連通する第二支持孔を備え、前記第二支持軸は、前記第二支持孔にボール部材を介して設けられることが好ましい。
この考案によれば、支持部材の第二支持孔にボール部材を介して第二支持軸が設けられている。これにより、第二支持軸が軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在となるので、第二支持軸に取り付けられる軸取付部も第二支持軸に沿って進退自在かつ回転自在となる。したがって、簡単な構成で軸取付部を第二支持軸の軸方向に沿って進退自在かつ回転自在に支持することができる。
【００１１】
そして、本考案のジョイント機構では、前記第一支持軸および前記第二支持軸は互いに略直交する状態で配設されることが好ましい。
この考案によれば、第一支持軸と第二支持軸とが互いに略直交する状態で配設されているので、軸部材がラジアル方向に対していかなる方向に振動し変位したとしても、また、いかなる回転方向に振動したとしても、その振動を良好に逃がすことができる。したがって、可動部取付部および可動部材の振動をより確実に防止することができる。
【００１２】
本考案の測定器は、回転駆動される駆動ローラと前記駆動ローラに当接され、この駆動ローラの回転により軸方向に進退自在な軸部材と、前記軸部材の一端部に設けられ、被測定物を載置する可動部材と、前記軸部材および前記可動部材を連結する請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のジョイント機構と、前記可動部材に載置された前記被測定物を測定する測定手段と、を具備したことを特徴とする。
【００１３】
この考案によれば、軸部材と可動部材とが上記のようなジョイント機構により接続されているため、軸部材の移動により可動部材を誤差なく精度よく移動させることが可能となる。したがって、測定器における可動部材の移動精度が向上し、測定精度も向上させることができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本考案に係る一実施の形態の測定器を図面に基づいて説明する。図１は、本考案の一実施の形態に係る測定器の概略を模式的に示すブロック図である。図２は、本実施の形態に係るステージ装置の概略を示す斜視図である。図３は、本実施の形態のジョイント機構としてのフローティングユニットの概略を示す断面図である。
【００１５】
図１において、１００は、測定器であり、この測定器１００は、可動部材としてのステージ２１０に載置された被測定物、例えばエレクトロデバイス、精密金型、非球面レンズ金型、MEMS（Micro Electro Mechanical System）を構成する機械要素部品、センサー、アクチュエータ、電子回路などの各部品などの微細形状を精密に測定する高精度測定器である。この測定器１００は、測定手段としてのカメラ装置１１０と、制御部１２０と、ステージ装置２００と、などを備えている。
【００１６】
カメラ装置１１０は、ステージ装置２００のステージ２１０に対向して設けられている。このカメラ装置１１０は、ステージ２１０のステージ面に対向するレンズ１１１を備え、このレンズ１１１に入光された光を図示しない画像変換手段により画像データに変換し、適宜制御部１２０に出力する。
【００１７】
制御部１２０は、カメラ装置１１０およびステージ装置２００のフリクションユニット２３０に電気的に接続されている。そして、制御部１２０は、カメラ装置１１０を制御して、ステージ２１０に載置された被測定物の画像を取得する。また、制御部１２０は、フリクションユニット２３０を制御してステージ装置２００のステージ２１０を移動させる制御をする。
さらに、制御部１２０は、図示しない入出力端子に接続され、この入出力端子を介して例えばパーソナルコンピュータなどの図示しない外部機器に接続されている。そして、制御部１２０は、入出力端子を介して外部機器にカメラ装置１１０にて認識した画像データを出力したり、外部機器から入力されるカメラ装置１１０やステージ装置２００を駆動させる旨の命令情報などを取得したりする。
【００１８】
ステージ装置２００は、図２に示すように、可動部材としてのステージ２１０と、軸部材としてのフリクションバー２２０と、フリクションユニット２３０と、ジョイント機構としてのフローティングユニット２４０と、などを備えている。
【００１９】
ステージ２１０は、例えば板状に形成され、上面に前記したような被測定物が載置されるステージ面が形成されている。このステージ２１０の一側面には、フローティングユニット２４０を介してフリクションバー２２０が接続されている。そして、ステージ２１０は、フリクションバー２２０の移動により、所定方向に移動する。
また、ステージ２１０の下面側には、図示しない車輪を備えた移動補助部が設けられ、ステージ２１０の移動を補助している。なお、移動補助部に車輪が設けられず、例えばステージ２１０の移動方向に沿って、摺動溝が形成され、摺動溝に摺接する摺接部を備えた構成などとしてもよい。
【００２０】
フリクションバー２２０は、断面略矩形状に形成された長手状の棒状部材である。このフリクションバー２２０の一端側には、前記したように、フローティングユニット２４０を介してステージ２１０が接続されている。一方、フリクションバー２２０の他端側は、フリクションユニット２３０に挿通されている。そして、フリクションバー２２０は、このフリクションユニット２３０から伝達される駆動力により、軸方向に沿って進退自在に設けられている。
【００２１】
フリクションユニット２３０は、ケース体２３１と、ケース体２３１内部に格納される駆動ローラ２３２と、駆動ローラ２３２を回転駆動させる図示しないモータとを備えている。ケース体２３１のステージ２１０と対向する面には、フリクションバー２２０を挿通する挿通孔が設けられている。駆動ローラ２３２は、長手状の筒状部材であり、ケース体２３１の挿通孔と略同一高さ位置に軸心を中心として回転自在に配設され、例えば上側一端部にてフリクションバー２２０の下端面と当接している。この時、駆動ローラ２３２は、回転方向とフリクションバー２２０の軸心方向とが略一致するように、フリクションバー２２０の軸心方向と略直交する状態に配置されている。
モータは、前記したように制御部１２０に接続され，この制御部１２０から入力される電気信号に応じて駆動し、駆動ローラ２３２を回転駆動させる。
【００２２】
フローティングユニット２４０は、ステージ２１０とフリクションバー２２０の一端部とを連結する。このフローティングユニット２４０は、図３に示すように、可動部取付部としてのステージ取付部２５０と、第一支持軸２６０と、支持部材としての支持部２７０と、第二支持軸２８０と、軸取付部としてのバー取付部２９０と、を備えている。
【００２３】
ステージ取付部２５０は、例えば金属部材などによりステージ２１０側およびフリクションバー２２０側が開口する略矩形枠状に形成されている。このステージ取付部２５０のステージ２１０側の開口には、ステージ２１０の一側面が当接されて、例えばねじ止め、接着剤などにより固定されている。なお、ステージ取付部の枠内周部が本考案の第一中空部を構成している。
また、このステージ取付部２５０の枠を構成する互いに対向する二辺の略中心位置には、それぞれ枠内周部と外周部を連通する第一支持孔２５１が形成されている。これらの第一支持孔２５１には、ボール部材としての第一ベアリング２５２を介して、それぞれ第一支持軸２６０が挿通されている。すなわち、第一支持孔２５１には、第一ベアリング２５２を介して、第一支持軸２６０が第一支持孔２５１の軸方向に沿って進退自在かつ回転自在に設けられている。
【００２４】
第一支持軸２６０は、上記のようにステージ取付部２５０の互いに対向する二辺に設けられる２つの第一支持孔２５１に対応してそれぞれ設けられている。したがって、これらの第一支持軸２６０は、同軸上に配置される。これらの第一支持軸２６０のステージ取付部２５０の内周側の一端部は、それぞれ支持部２７０の互いに対向する辺に連結されている。
【００２５】
支持部２７０は、上記ステージ取付部２５０と同様に、例えば金属性部材によりステージ２１０側およびフリクションバー２２０側が開口する略矩形枠状に形成されており、ステージ取付部２５０の枠内周側に所定の寸法だけ離隔した位置に配設されている。この時、支持部２７０は、枠の各辺がステージ取付部２５０の枠各辺に略平行するように配設されている。また、支持部２７０の枠外周面とステージ取付部２５０の枠内周面との隙間寸法は、ステージ取付部２５０の枠厚み寸法よりも小さい寸法に形成されている。これにより、支持部２７０が第一支持軸２６０の軸方向に沿って進退した際に、第一支持軸２６０が第一支持孔２５１から抜け落ちることがない。なお、この支持部２７０の枠内周部が本考案の第二中空部を構成する。
そして、この支持部２７０には、ステージ取付部２５０の第一支持孔２５１に対向する位置にそれぞれ第一支持軸連結孔２７１が形成されている。この第一支持軸連結孔２７１は、第一支持軸２６０の一端側が挿通されて連結固定されている。
【００２６】
また、支持部２７０の第一支持軸連結孔２７１が形成されない互いに対向する二辺の略中心位置には、それぞれ内外を連通する第二支持孔２７２が形成されている。これらの第二支持孔２７２には、ボール部材としての第二ベアリング２７３を介して、第二支持軸２８０が挿通されている。すなわち、第二支持孔２７２には、第二ベアリング２７３を介して、第二支持軸２８０が第二支持孔２７２の軸方向に沿って進退自在かつ回転自在に設けられている。
【００２７】
第二支持軸２８０は、上記したように、第一支持軸２６０と略直交する状態に、支持部２７０の第二支持孔２７２に挿通され、軸方向に沿って進退自在かつ回転自在に設けられている。また、この第二支持軸２８０は、バー取付部２９０を連通し、略中心位置においてこのバー取付部２９０を固定している。
【００２８】
バー取付部２９０は、断面略矩形状に形成され、支持部２７０の枠内周側に、枠内周面から所定寸法だけ離隔した位置に配置されている。
このバー取付部２９０の支持部２７０の第二支持孔２７２に対向する位置には、第二支持軸連通孔２９１が設けられている。この第二支持軸連通孔２９１は、一方の第二支持孔２７２に対向する側から他方の第二支持孔に対向する側までを連通する状態に形成され、この第二支持軸連通孔２９１に第二支持軸２８０が連通されて固定されている。
また、バー取付部２９０と支持部２７０との隙間寸法は、支持部２７０の枠厚み寸法よりも小さく形成されている。これにより、バー取付部２９０が第二支持軸２８０の軸方向に沿って進退した際に、第二支持軸２８０が第二支持孔２７２から抜け落ちることがない。
さらに、バー取付部２９０のフリクションバー２２０側の端面には、フリクションバー２２０が当接されて例えばねじ止め、接着剤などにより固定されている。
【００２９】
〔測定器の動作〕
次に、上記測定器１００の動作におけるステージ装置２００の動作について説明する。
【００３０】
測定器１００を起動させて、例えば制御部１２０からステージ装置２００にステージ２１０を移動させる旨の要求信号が入力されると、ステージ装置２００は、この要求信号に応じてフリクションユニット２３０のモータを駆動させて駆動ローラ２３２を回転駆動させる。
これにより、駆動ローラ２３２に当接するフリクションバー２２０が、駆動ローラ２３２の回転方向に応じて、軸方向に沿って進退移動し、ステージ２１０もフリクションバー２２０の移動に応じて進退移動する。
【００３１】
この時、フリクションバー２２０が軸を中心とした径方向、すなわちラジアル方向に対して振動した場合、フローティングユニット２４０の支持部２７０およびバー取付部２９０が第一支持軸２６０および第二支持軸２８０の軸心方向に沿って移動する。
例えば、フリクションバー２２０が第一支持軸２６０の軸方向に沿って振動した場合、支持部２７０が第一支持軸２６０に沿って進退移動する。また、フリクションバー２２０が第二支持軸２８０の軸方向に沿って振動した場合、バー取付部２９０が第二支持軸２８０に沿って進退移動する。さらに、フリクションバー２２０が第一支持軸２６０の軸方向および第二支持軸２８０の軸方向の間のラジアル方向に振動した場合でも、支持部２７０およびバー取付部２９０がそれぞれ第一支持軸２６０および第二支持軸２８０の軸方向に沿って移動し、振動が逃がされる。これにより、フリクションバー２２０の振動がステージ取付部２５０およびステージ２１０に伝達されない。
【００３２】
さらには、フリクションバー２２０のフリクションユニット２３０側の端部が変位するなどして、回転方向の力が加わった場合、フローティングユニット２４０の支持部２７０およびバー取付部２９０が第一支持軸２６０および第二支持軸２８０を中心として回転移動する。
例えば、フリクションバー２２０の駆動ローラ２３２との当接面が駆動ローラ２３２の軸方向にずれるなどして、フリクションバー２２０に回転方向の力が加わった場合、バー取付部２９０が第二支持軸２８０を中心として回転する。また、フリクションバー２２０が駆動ローラ２３２の周面から離隔するなどして、フリクションバー２２０に回転方向の力が加わった場合、支持部２７０が第一支持軸２６０を中心として回転する。さらに、フリクションバー２２０が駆動ローラ２３２の軸方向にずれるとともに、駆動ローラ２３２の周面からも離隔するなどした場合、支持部２７０が第一支持軸２６０を中心として回転するとともに、バー取付部２９０が第二支持軸２８０を中心として回転して、回転力が逃がされる。これにより、フリクションバー２２０の回転力が逃がされ、ステージ取付部２５０およびステージ２１０にその力が伝達されない。
【００３３】
〔実施の形態の作用効果〕
上述した第１実施形態によれば、以下のような作用効果を奏することができる。
（１）測定器１００のステージ装置２００では、ステージ２１０が固定されるステージ取付部２５０に対して、支持部２７０が第一支持軸２６０の軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在に設けられ、この支持部２７０に対して、フリクションバー２２０が固定されるバー取付部２９０が第二支持軸２８０の軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在に設けられている。
このため、フリクションバー２２０がラジアル方向に振動した場合には、支持部２７０およびバー取付部２９０がそれぞれ第一支持軸２６０および第二支持軸２８０に沿って移動し、振動がステージ２１０に伝達するのを防止できる。また、フリクションバー２２０に回転方向の力が加わった場合には、支持部２７０およびバー取付部２９０がそれぞれ第一支持軸２６０および第二支持軸２８０を中心として回転し、回転力がステージ２１０に伝達するのを防止できる。したがって、フリクションバー２２０の移動時にいかなる振動や力が加わったとしても、ステージ２１０にその振動や力が伝達するのを防止でき、ステージ２１０を精度よくフリクションバー２２０の進退方向に移動させることができる。したがって、ステージ２１０上に載置された被測定物をカメラ装置１１０にて精密に測定することができる。
また、ステージ取付部２５０および支持部２７０が枠状に形成され、ステージ取付部２５０の内周側に支持部２７０が設けられ、支持部２７０の内周側にバー取付部２９０が設けられている。このため、フローティングユニット２４０の厚み寸法の増大を抑えることができ、小型化に対応させることができる。
【００３４】
（２）第一支持軸２６０は、ステージ取付部２５０に設けられる第一支持孔２５１に、第一ベアリング２５２を介して挿通されている。このため、第一支持軸２６０を容易にステージ取付部２５０に対して進退自在かつ回転自在に取り付けることができる。したがって、支持部２７０をこの第一支持軸２６０に固定することにより、この支持部２７０を簡単な構成で第一支持軸２６０の軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在に支持することができる。
【００３５】
（３）第二支持軸２８０は、支持部２７０に設けられる第二支持孔２７２に、第二ベアリング２７３を介して挿通されている。このため、第二支持軸２８０を容易に支持部２７０に対して進退自在かつ回転自在に取り付けることができる。したがって、バー取付部２９０をこの第二支持軸２８０に固定することにより、このバー取付部２９０を簡単な構成で第二支持軸２８０の軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在に支持することができる。
【００３６】
（４）第一支持軸２６０と、第二支持軸２８０とは、互いに略直交する状態で配設されている。このため、フリクションバー２２０がラジアル方向のいかなる方向に振動して変位したとしても、また、いかなる方向に回転力が加わったとしても、これらの振動や回転力を逃がすことできる。すなわち、フリクションバー２２０が、第一支持軸２６０の軸方向および第二支持軸２８０の軸方向の間のいかなる方向に振動した場合でも、第一支持軸２６０および第二支持軸２８０が軸方向に進退することにより、容易にこの振動を逃がすことができる。また、フリクションバー２２０の駆動ローラ２３２との当接位置が駆動ローラ２３２の軸方向に変位し、かつ駆動ローラ２３２の周面から離れる方向に変位したとしても、支持部２７０およびバー取付部２９０が第一支持軸２６０および第二支持軸２８０を中心として回転することにより、容易にこの変位により振動を逃がすことができる。したがって、ステージ２１０の振動をより確実に防止することができ、より精度よくステージ２１０を移動させることができる。
【００３７】
［実施の形態の変形］
以上、本考案について好適な実施の形態を挙げて説明したが、本考案は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、本考案の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設計の変更が可能である。
【００３８】
例えば、上記実施の形態では、ステージ取付部２５０と支持部２７０との隙間寸法がステージ取付部２５０の厚み寸法よりも小さく形成される例を示したが、これに限られない。すなわち、ステージ取付部２５０と支持部２７０との隙間寸法は、支持部２７０が第一支持軸２６０に沿って進退した際に、第一支持軸２６０が第一支持孔２５１から抜け落ちない寸法であればよく、例えば、第一支持軸２６０の長さ寸法を長くするなどすれば、ステージ取付部２５０と支持部２７０との隙間寸法がステージ取付部２５０の厚み寸法よりも大きく形成されていてもよい。同様に、支持部２７０とバー取付部２９０との隙間寸法も、第二支持軸２８０が第二支持孔２７２から抜け落ちない寸法であればよく、例えば第二支持軸２８０の長寸法を長くして、支持部２７０とバー取付部２９０との隙間寸法が支持部２７０の厚み寸法よりも大きく形成された構成であってもよい。
【００３９】
また、上記実施の形態では、フローティングユニット２４０のステージ取付部２５０および支持部２７０が略矩形枠状に形成され、バー取付部２９０が断面略矩形状に形成された例を示したが、これに限定されない。例えば、ステージ取付部２５０および支持部２７０が、略円形枠状に形成され、バー取付部２９０が略円板状に形成された構成としてもよい。
【００４０】
さらに、ステージ取付部２５０は、フリクションバー２２０側の支持部２７０の移動範囲内のみが開口した略箱状に形成され、ステージ２１０側が開口されず、全面がステージ２１０に当接された構成としてもよい。
【００４１】
さらには、第一支持軸２６０がステージ取付部２５０に軸方向に沿って進退自在かつ回転自在に設けられた例を示したが、第一支持軸２６０がステージ取付部２５０に固定され、支持部２７０が例えばベアリングなどを介して第一支持軸２６０の軸方向に進退自在かつ回転自在に設けられる構成としてもよい。同様に、第二支持軸２８０が支持部２７０に固定され、バー取付部２９０がベアリングなどを介して第二支持軸２８０の軸方向に沿って進退自在かつ回転自在に設けられる構成としてもよい。
【００４２】
そして、上記実施の形態では、ステージ２１０に被測定物を載置し、カメラ装置１１０にて被測定物を測定する測定器１００のステージ装置２００に本考案のジョイント機構であるフローティングユニット２４０を設ける構成を示したが、これに限定されず、例えば、本体に対してトレイが進退する搬送装置におけるトレイおよびトレイを可動させるバーのジョイント部など、軸部材により可動部材を進退させる構成であればいかなる装置に適用してもよい。
【００４３】
本考案を実施するための最良の構成などは、以上の記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ、説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
したがって、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれるものである。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本考案は、軸部材と可動部材とを連結するジョイント機構、特に被測定物を載置するステージと、このステージを被測定物が測定される位置に移動させるフリクションバーと、を連結するジョイント機構を備えた測定器に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本考案の一実施の形態に係る測定器の概略を模式的に示すブロック図。
【図２】本実施の形態に係るステージ装置の概略を示す斜視図。
【図３】本実施の形態のジョイント機構としてのフローティングユニットの概略を示す断面図。
【符号の説明】
【００４６】
１００…測定器、１１０…測定手段としてのカメラ装置、２１０…可動部材としてのステージ、２２０…軸部材としてのフリクションバー、２３２…駆動ローラ、２４０…ジョイント機構としてのフローティングユニット、２５０…可動部取付部としてのステージ取付部、２５１…第一支持孔、２５２…ボール部材としての第一ベアリング、２６０…第一支持軸、２７０…支持部材としての支持部、２７２…第二支持孔、２７３…ボール部材としての第二ベアリング、２８０…第二支持軸、２９０…軸取付部としてのバー取付部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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