【手続補正書】
【提出日】平成18年1月11日(2006.1.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一電極を有する振動板と、この振動板に対向する第二電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させる静電アクチュエータにおいて、前記振動板の面形状が略長方形状であって、この振動板における第一電極を振動板短手方向の中央部に形成し、この第一電極の短手方向の長さが前記第二電極の短手方向の長さよりも短いことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
第一電極領域を有する振動板と、この振動板に対向する第二電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させる静電アクチュエータにおいて、前記振動板の面形状が略長方形状であって、この振動板における第一電極領域を振動板短手方向の中央部に形成し、この第一電極領域の短手方向の長さが前記第二電極の短手方向の長さよりも短いことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項３】
第一電極を有する振動板と、この振動板に対向する第二電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させる静電アクチュエータにおいて、前記振動板の面形状が略長方形状であって、この振動板における第一電極を振動板長手方向の中央部に形成し、この第一電極の長手方向の長さが前記第二電極の長手方向の長さよりも短いことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項４】
第一電極領域を有する振動板と、この振動板に対向する第二電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させる静電アクチュエータにおいて、前記振動板の面形状が略長方形状であって、この振動板における第一電極領域を振動板長手方向の中央部に形成し、この第一電極領域の長手方向の長さが前記第二電極の長手方向の長さよりも短いことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項５】
第一電極を有する振動板と、この振動板に対向する第二電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させる静電アクチュエータにおいて、前記振動板の面形状が略長方形状であって、この振動板における第一電極を振動板短手方向及び長手方向の中央部に形成し、この第一電極の短手方向及び長手方向の長さが前記第二電極の短手方向及び長手方向の長さよりもいずれも短いことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項６】
第一電極領域を有する振動板と、この振動板に対向する第二電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させる静電アクチュエータにおいて、前記振動板の面形状が略長方形状であって、この振動板における第一電極領域を振動板短手方向及び長手方向の中央部に形成し、この第一電極領域の短手方向及び長手方向の長さが前記第二電極の短手方向及び長手方向の長さよりもいずれも短いことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項７】
請求項２、４、６のいずれかに記載の静電アクチュエータにおいて、前記振動板の第一電極領域が他の領域よりも電気抵抗値を小さくする不純物のドーピング領域であることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項８】
請求項７に記載の静電アクチュエータにおいて、前記不純物が砒素、燐、硼素のいずれかであることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項９】
液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する流路と、この流路の壁面を形成し、第一電極を有する振動板と、この振動板に対向する第二電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させて前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の面形状が略長方形状であって、この振動板における第一電極を振動板短手方向の中央部に形成し、この第一電極の短手方向の長さが前記第二電極の短手方向の長さよりも短いことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する流路と、この流路の壁面を形成し、第一電極領域を有する振動板と、この振動板に対向する第二電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させて前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の面形状が略長方形状であって、この振動板における第一電極領域を振動板短手方向の中央部に形成し、この第一電極領域の短手方向の長さが前記第二電極の短手方向の長さよりも短いことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１１】
液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する流路と、この流路の壁面を形成し、第一電極を有する振動板と、この振動板に対向する第二電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させて前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の面形状が略長方形状であって、この振動板における第一電極を振動板長手方向の中央部に形成し、この第一電極の長手方向の長さが前記第二電極の長手方向の長さよりも短いことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１２】
液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する流路と、この流路の壁面を形成し、第一電極領域を有する振動板と、この振動板に対向する第二電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させて前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の面形状が略長方形状であって、この振動板における第一電極領域を振動板長手方向の中央部に形成し、この第一電極領域の長手方向の長さが前記第二電極の長手方向の長さよりも短いことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１３】
液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する流路と、この流路の壁面を形成し、第一電極を有する振動板と、この振動板に対向する第二電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させて前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の面形状が略長方形状であって、この振動板における第一電極を振動板短手方向及び長手方向の中央部に形成し、この第一電極の短手方向及び長手方向の長さが前記第二電極の短手方向及び長手方向の長さよりもいずれも短いことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１４】
液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する流路と、この流路の壁面を形成し、第一電極領域を有する振動板と、この振動板に対向する第二電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させて前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の面形状が略長方形状であって、この振動板における第一電極領域を振動板短手方向及び長手方向の中央部に形成し、この第一電極領域の短手方向及び長手方向の長さが前記第二電極の短手方向及び長手方向の長さよりもいずれも短いことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１５】
請求項１０、１２、１４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の第一電極領域が他の領域よりも電気抵抗値を小さくする不純物のドーピング領域であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１６】
請求項９乃至１５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板がシリコンで形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１７】
請求項１５に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記不純物が砒素、燐、硼素のいずれかであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１８】
請求項１０、１２、１４、１７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記第一電極領域の抵抗値は他の領域の抵抗値に対して一桁以上低い抵抗値であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１９】
請求項１８に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記第一電極領域のシート抵抗値が５０Ω／□未満であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２０】
請求項１０、１２、１４、１７乃至１９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する方法において、前記不純物のドーピングをイオン注入で行うことを特徴とする特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２１】
請求項２０に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記不純物のイオン注入後炉体アニール装置で活性化処理を施すことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２２】
請求項２０に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記不純物のイオン注入後ランプアニール装置で活性化処理を施すことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２３】
請求項２０乃至２２のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記不純物の注入エネルギーが５０〜１２０ｋｅｖ、注入ドーズ量が１×１０15〜１×１０16ｃｍ-2の範囲内であることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２４】
請求項２１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記炉体アニール装置の活性化温度を８００℃以上とすることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２５】
請求項２２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記炉体アニール装置の活性化温度を１０００℃以上とすることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２６】
インクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが前記請求項９乃至１９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２７】
液滴吐出ヘッドを備えた画像形成装置において、前記液滴吐出ヘッドが前記請求項９乃至１９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
【請求項２８】
液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する装置において、前記液滴吐出ヘッドが前記請求項９乃至１９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする液滴を吐出する装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置、画像形成装置及び液滴を吐出する装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、振動板の変位効率を高めた静電型アクチュエータ、静電型液滴吐出ヘッドを提供するとともに、その液滴吐出ヘッドの製造方法を提供し、更に低消費電力のインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インクジェットヘッドとして上記本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたものである。
本発明に係る画像形成装置、液滴を吐出する装置は、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。図１は本発明に係る液滴を吐出する装置を含む、本発明に係る画像形成装置としてのインクジェット記録装置の機構部の概略斜視説明図、図２は同機構部の側面説明図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
なお、上記実施形態においては、本発明に係る静電アクチュエータを静電型インクジェットヘッドに適用した例で説明したが、マイクロモータのアクチュエータ部などにも適用することができ、また、液滴吐出ヘッドとしてはインクジェットヘッド以外にも液体レジストを吐出させるヘッドなどとしても用いることができる。また、前述したようにプリンタ、ファクシミリ、プロッタ等の画像形成装置及び液滴を吐出する装置にも本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
本発明に係るインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを用いたので、低電圧駆動が可能になって、消費電力を低減することができる。