【事件の表示】
　平成　９年特許願第２２６０６１号「静電吸着装置およびそれを用いた電子線描画装置」拒絶査定に対する審判事件〔平成１１年３月９日出願公開、特開平１１−　６７８８４、請求項の数（５）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本件出願の請求項１乃至請求項５に係る発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯・本件発明
　本件出願は、平成９年８月２２日の特許出願であって、その請求項１乃至請求項５に係る発明（以下「本件発明１乃至本件発明５」という。）は、願書に添付した明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１乃至請求項５に記載された事項により特定されるとおりの以下のものであると認める。　
「【請求項１】　試料を保持する部材が誘電体より成り、この誘電体上の試料の表面に接触して該試料を接地する接地電極を備え、この接地電極と前記誘電体側に設けた電極との間に直流電圧を印加して前記試料・誘電体間に静電力を発生させ、この静電力により前記試料を前記誘電体上に吸着する静電吸着装置において、
　前記接地電極以外に、前記誘電体上の前記試料の表面に接触する抵抗測定用の電極が配置され、
　この抵抗測定用電極と前記接地電極の間の抵抗値を測定する抵抗測定回路と、
　この抵抗測定値から前記試料の接地具合を判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする静電吸着装置。
【請求項２】　試料を保持する部材が誘電体より成り、この誘電体上の試料の表面に接触して該試料を接地する接地電極を備え、この接地電極と前記誘電体側に設けた電極との間に直流電圧を印加して前記試料・誘電体間に静電力を発生させ、この静電力により前記試料を前記誘電体上に吸着する静電吸着装置において、
　前記接地電極以外に、前記誘電体上の前記試料の表面に接触する電位測定用の電極が配置され、
　この電位測定用電極を用いて前記直流電圧印加時の試料の表面電位を測定する電位測定回路と、
　この電位測定値から前記試料の接地具合を判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする静電吸着装置。
【請求項３】　試料を保持する部材が誘電体より成り、この誘電体上の試料の表面に接触して該試料を接地する接地電極を備え、この接地電極と前記誘電体側に設けた電極との間に直流電圧を印加して前記試料・誘電体間に静電力を発生させ、この静電力により前記試料を前記誘電体上に吸着する静電吸着装置において、
　請求項１における前記抵抗測定用電極と前記抵抗測定回路と前記判定手段と、請求項２における前記電位測定用電極と前記電位測定回路と前記判定手段とを備え、且つ前記抵抗測定用電極及び前記電位測定用電極が兼用されており、
　この兼用電極が前記抵抗測定回路と前記電位測定回路に対して切替可能に接続されていることを特徴とする静電吸着装置。
【請求項４】　前記試料が電子線照射対象であり、電子線を照射する場合には、その電子線照射に際して前記抵抗測定用電極又は前記電位測定用電極又は前記抵抗測定用・電位測定用の兼用電極が接地電位に切替接続される構成としてある請求項１又は請求項２又は請求項３記載の静電吸着装置。
【請求項５】　移動機構を有するステージ上に半導体ウエハを載置して電子線描画を行う電子線描画装置において、
　請求項１又は請求項２又は請求項３又は請求項４記載の静電吸着装置が半導体ウエハを保持する機構を構成し、このうち前記誘電体が前記ステージ上に設置され、電子線描画に際して前記抵抗測定用電極又は前記電位測定用電極又は前記抵抗測定用・電位測定用の兼用電極を用いて前記半導体ウエハの接地具合を検査するよう設定されていることを特徴とする電子線描画装置。」
第２　引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である実願平３−６５６７９号（実開平５−２０３３１号）のＣＤ−ＲＯＭ（以下「引用例１」という。）及び特開平６−４５２１４号公報（以下「引用例２」という。）には、それぞれ以下の発明が記載されていると認める。
１　引用例１
　試料を保持する部材が誘電体より成り、この誘電体上の試料の表面に接触して該試料を接地する接地電極を備え、この接地電極と前記誘電体側に設けた電極との間に直流電圧を印加して前記試料・誘電体間に静電力を発生させ、この静電力により前記試料を前記誘電体上に吸着する静電吸着装置において、
　誘電体の吸着面に計測ポートと接地ポートとを取り付け、計測ポートより計測した電荷の値をコントローラで最適電荷値と比較して、マッチングＢＯＸに指令を与え、接地ポートを介してマッチングＢＯＸ内の各端子の何れかにより接地を行うことにより、誘電体上に吸着される試料の堆積電荷をコントロールする静電吸着装置。
２　引用例２ 
　試料を保持する部材が誘電体より成り、試料と誘電体側に設けた電極との間に直流電圧を印加して前記試料・誘電体間に静電力を発生させ、この静電力により前記試料を前記誘電体上に吸着する静電吸着装置において、
　電圧を印加したとき試料・誘電体間に形成される静電容量に流れる電流の波形の形状から誘電体に対する試料の吸着状態を判断する機能を備えた静電吸着装置。
第３　対比・判断
１　本件発明１及び本件発明２について
　本件発明１及び本件発明２と引用例１及び引用例２記載の発明とをそれぞれ対比すると、各引用例記載の発明は、その前提部分における構成については本件発明１及び本件発明２と一致又は部分的に共通するものの、いずれも本件発明１及び本件発明２の特徴部分における構成、すなわち、本件発明１の「前記接地電極以外に、前記誘電体上の前記試料の表面に接触する抵抗測定用の電極が配置され、この抵抗測定用電極と前記接地電極の間の抵抗値を測定する抵抗測定回路と、この抵抗測定値から前記試料の接地具合を判定する判定手段と、を備えたこと」という構成（以下「構成Ａ」という。）及び本件発明２の「前記接地電極以外に、前記誘電体上の前記試料の表面に接触する電位測定用の電極が配置され、この電位測定用電極を用いて前記直流電圧印加時の試料の表面電位を測定する電位測定回路と、この電位測定値から前記試料の接地具合を判定する判定手段と、を備えたこと」という構成（以下「構成Ｂ」という。）を備えていない。
　そして、本件発明１は、構成Ａを備えることにより、明細書記載の「試料の裏面に絶縁物が形成されている場合であっても、試料と接地電極間の導通状態（接地状態）を検査でき、ひいては試料が正常に静電吸着されるかどうか検査でき、静電吸着時において吸着不良の検出信頼性を向上させる。」という効果を奏するものであり、また、本件発明２は、構成Ｂを備えることにより、明細書記載の「試料と接地電極間の導通状態（接地状態）ひいては試料が正常に静電吸着されるかどうか検査できるほかに、試料の電子線照射（例えば電子線描画や電子顕微鏡における電子線走査）に支障となる電位が発生しているか否かを検査可能にして、電子線描画精度や電子顕微鏡の測定精度を維持することができる。」という効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１及び本件発明２は、引用例１及び引用例２記載の発明に基づいて容易に想到し得たものであるとすることはできない。
２  本件発明３乃至本件発明５について
　本件発明３乃至本件発明５は、それぞれ本件発明１又は本件発明２を直接的又は間接的に引用するものであるから、本件発明１及び本件発明２と同様引用例１及び引用例２記載の発明に基づいて容易に想到し得たものであるとすることはできない。
第４　むすび
　以上のとおりであるので、本件出願については、原査定の拒絶の理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
　また、他に本件出願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。