Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月3日(2006.4.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  負の誘電異方性（Δε＜０）を有する、インデンおよび１，７−ジヒドロインダセンが、それぞれ一般式（Ｉ）および（ＩＩ）
【化１】
2004155755.tif 000001
式中、
Ｔは、各々の場合において互いに独立して、
【化２】
2004155755.tif 000002
であり、
Ａは、各々の場合において互いに独立して、１，４−フェニレンで、この＝ＣＨ−は、１つまたは２つの＝Ｎ−により置換されてよく、および互いに独立して、ハロゲン（−Ｆ、−Ｃｌ、−Ｂｒまたは−Ｉ）、−ＣＮ、−ＣＨ３、−ＣＨ２Ｆ、−ＣＨＦ２、−ＣＦ３、−ＯＣＨ３、−ＯＣＨ２Ｆ、−ＯＣＨＦ２または−ＯＣＦ３により、一置換から四置換されてもよく、１，４−シクロヘキシレン、１，４−シクロヘキセニレンまたは１，４−シクロヘキサジエニレンで、ここで−ＣＨ２−は、１つまたは２つの−Ｏ−または−Ｓにより、互いに独立して置換されてもよく、およびハロゲンにより一置換から多置換されてもよく、
Ｒは、各々の場合において、互いに独立して、水素、１〜１５個または２〜１５個の炭素原子をそれぞれ有するアルキル基、アルコキシ基、アルケニル基またはアルキニル基で、これらは無置換、−ＣＦ３より一置換され、またはハロゲンで少なくとも一置換され、加えてこれらの基中、１または２以上のＣＨ２は、ヘテロ原子が直接隣接しないように、それぞれ互いに独立して、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−または−ＯＣＯ−Ｏ−により置換されてよく、またはハロゲン、−ＣＮ、−ＳＣＮ、−ＮＣＳ、−ＳＦ５、−ＣＦ３、−ＯＣＦ３、−ＯＣＨＦ２もしくは−ＯＣＨ２Ｆであり、
Ｌは、水素またはハロゲンであり、
Ｘは、水素、１〜１５個または２〜１５個の炭素原子をそれぞれ有するアルキル基、アルコキシ基、アルケニル基またはアルキニル基で、これらは無置換、−ＣＦ３より一置換され、またはハロゲンで少なくとも一置換され、加えてこれらの基中、１または２以上のＣＨ２は、ヘテロ原子が直接隣接しないように、それぞれ互いに独立して−Ｏ−、−Ｓ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−または−ＯＣＯ−Ｏ−により置換されてよく、またはハロゲン、−ＣＮ、−ＳＣＮ、もしくは−ＮＣＳであり、
Ｙ、ＵおよびＷは、互いに独立して、水素、１〜１５個または２〜１５個の炭素原子をそれぞれ有するアルキル基、アルコキシ基、アルケニル基、アルキニル基で、これらは無置換、−ＣＦ３より一置換され、またはハロゲンで少なくとも一置換され、加えてこれらの基中、１または２以上のＣＨ２は、ヘテロ原子が直接隣接しないように、それぞれ互いに独立して−Ｏ−、−Ｓ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−または−ＯＣＯ−Ｏ−により置換されてよく、
Ｚは、各々の場合において、互いに独立して、単結合、−ＣＦ２Ｏ−、−ＯＣＦ２−、−ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＦ２ＣＦ２−、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−、−ＯＣ（Ｏ）−、−ＣＨ２Ｏ−、−ＯＣＨ２−、−ＣＦ＝ＣＨ−、−ＣＨ＝ＣＦ−、−ＣＦ＝ＣＦ−、−ＣＨ＝ＣＨ−または−Ｃ≡Ｃ−であり、
ｎおよびｍは、互いに独立して、０、１、２または３であり、
ｐおよびｑは、互いに独立して、０、１、２または３であり、
但し、式（Ｉ）において、
【化３】
2004155755.tif 000003
ならびにｐおよびｑがそれぞれ０である場合、Ｌ＝−Ｆである、
で表される、インデンまたは１，７−ジヒドロインダセン。
【請求項２】  一般式（Ｉ）および（ＩＩ）において、Ａが各々の場合において、互いに独立して、
【化４】
2004155755.tif 000004
で表されることを特徴とする、請求項１に記載のインデンまたは１，７−ジヒドロインダセン。
【請求項３】  一般式（Ｉ）および（ＩＩ）において、
Ｒが、各々の場合において、互いに独立して、それぞれ１〜７または２〜７個の炭素原子を有するアルキル基、アルコキシ基またはアルケニル基である、
ことを特徴とする、請求項１または２に記載のインデンまたは１，７−ジヒドロインダセン。
【請求項４】  一般式（Ｉ）および（ＩＩ）において、
Ｚが、各々の場合において、互いに独立して、単結合、−ＣＦ２Ｏ−、−ＯＣＦ２−、−ＣＦ２ＣＦ２−、−ＣＨ＝ＣＨ−、−ＣＦ＝ＣＨ−、−ＣＨ＝ＣＦ−または−ＣＦ＝ＣＦ−である、
ことを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載のインデンまたは１，７−ジヒドロインダセン。
【請求項５】  一般式（Ｉ）において、
Ｘが、水素、１〜７または２〜７個の炭素原子をそれぞれ有する、アルキル基、アルコキシ基またはアルケニル基、またはハロゲンであり、
Ｙが、水素、または１〜７または２〜７個の炭素原子をそれぞれ有する、アルキル基、アルコキシ基もしくはアルケニル基であり、および
ＵおよびＷが、水素であり、
および
ｎ＋ｐ＋ｑが、１または２である、
ことを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載のインデン。
【請求項６】  一般式（ＩＩ）において、
ＵおよびＷが、水素であり、および
ｍ＋ｎが、１または２である、
ことを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載のジヒドロインダセン。
【請求項７】  請求項１〜６のいずれかに記載のインデンおよび／または１，７−ジヒドロインダセンを少なくとも１つ含む、少なくとも２つの液晶化合物を含有する液晶媒体。
【請求項８】  請求項７に記載の液晶媒体を含有する電気光学的ディスプレイ素子。
【請求項９】  請求項１〜６のいずれかに記載のインデンまたは１，７−ジヒドロインダセンの、電気光学的ディスプレイ素子のための液晶媒体中における使用。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
例６
【化２８】
2004155755.tif 000005
窒素雰囲気下、２．０ｇ（７．２ｍｍｏｌ）のインデンを５０ｍｌのＴＨＦに溶解させ、その混合物を−７０℃に冷却する。この温度において、ｎ−ヘキサン中の１５％ブチルリチウム４．５ｍｌ（７．２ｍｍｏｌ）をバッチに加える。１時間後、１０ｍｌのＴＨＦに溶解した０．９ｍｌ（８．０ｍｍｏｌ）のホウ酸トリメチルを慎重に溶液に加える。バッチを１０℃にまで加熱し、加水分解する。反応混合物を２ＮのＨＣｌ溶液を用いて、酸性にする。水層をメチルｔｅｒｔ−ブチルエーテルを用いて抽出し、有機層を乾燥および濃縮する。残留物を更に精製することなく更に反応させる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
【化２９】
2004155755.tif 000006
窒素雰囲気下、１．３ｇ（５．０ｍｍｏｌ）のメタホウ酸ナトリウム八水和物を、２．０ｍｌの水に溶解させ、８３ｍｇのビス（トリフェニルホスフィン）パラジウム（ＩＩ）クロライド、５０μｌのヒドラジニウム水酸化物、１．１１ｇ（６．０ｍｍｏｌ）のｐ−ブロモエチルベンゼンを連続して加える。室温にて５分後、３．７５ｍｌのＴＨＦに溶解した２．２ｇ（６．０ｍｍｏｌ）のボロン酸をバッチに加え、その混合物を一夜還流する。水層をメチルｔｅｒｔ−ブチルエーテルで抽出して、有機層を水で洗浄し、乾燥して、濃縮する。精製はシリカゲルでの複式（ｍｕｌｔｉｐｌｅ）クロマトグラフィー（ヘプタン）により、行われる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月5日(2006.7.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
【従来の技術】
マイクロプロセッサやマイクロコントローラ技術の到来によって、数多くの製品が、他の方法では不可能な機能や特徴を組み込むことができるようになった。コントローラやコントローラ技術の小型で安価な性質や、これらの装置の機能を変更又は強化する際の容易さのために、互いに微妙に異なる機能を有する製品が消費者市場に溢れている。例えば、２つの異なる型の携帯電話、テレビリモコン、ビデオテープレコーダ、オーブン、あるいは、他のあらゆる消費者製品の操作は、ユーザの観点から見ると、微妙に異なり得る。実際、数多くの製造業者が、微妙な機能系列に沿って自社の製品を差別化し、機能が微妙に異なる型番の製品を異なるマーケティングチャネルに流通させている。製品は、本質的に同じであるが、製品の微妙な操作に関する側面が異なる。
【特許文献１】  米国特許第６０８４８７０号明細書
【特許文献２】  米国特許第５３２５２９１号明細書
【特許文献３】  米国特許第６１５４１５２号明細書
【特許文献４】  米国特許第５４１４６２６号明細書
【特許文献５】  米国特許公開公報２００２−００８７３５０明細書
【特許文献６】  米国特許第６４２１０４６号明細書
【特許文献７】  米国特許公開公報２００２−００１５０５６明細書
【特許文献８】  欧州特許公開公報第１０５０８３１号明細書
【特許文献９】  国際公開公報ＷＯ０１／７５７２９明細書
【特許文献１０】  米国特許第５７９４１６４号明細書
【特許文献１１】  スペイン特許公開公報第２１６５８０４号明細書
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月20日(2006.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
一列に配置されたくわえづめ（６，７，８）と、該各くわえづめ（６，７，８）の間の中間スペース（１１）を備え、さらに、前記くわえづめ（６，７，８）によって把持されている被印刷体枚葉紙（１５）の自由な枚葉紙縁（１６）をそのつど押さえるための押さえ具（１３）を備えているくわえづめ装置（４）において、
前記押さえ具（１３）が、前記中間スペース（１１）内へ突出するように配置されており、被印刷体枚葉紙（１５）を把持する際に前記くわえづめ（６，７，８）とともに位置調節できるように支持されていることを特徴とするくわえづめ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
特許文献２に記載されているくわえづめ装置は、単に、特許文献１と異なる従来技術であり、そのくわえづめ装置では、移動可能な枚葉紙台が、固定されているくわえづめ台同士の間の中間スペースの領域に配置されている。この枚葉紙台により、枚葉紙の縁部が中間スペース内で支えられて、所定の位置にて安定する。それによって、横に突き出す枚葉紙サイズの場合に枚葉紙コーナー部に皺ができたり、折れ曲がることが防止される。
【特許文献１】ドイツ特許出願公告明細書第１２３４７３８号
【特許文献２】欧州特許出願公開明細書第１０５７６２６Ａ１号
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
この目的は、冒頭に述べた種類に該当し請求項１の特徴を備えている、すなわち、押さえ具が、中間スペース内へ突出するように配置されており、被印刷体枚葉紙を把持する際にくわえづめとともに位置調節できるように支持されていることを特徴とするくわえづめ装置によって達成される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
それに応じて、第１および／または第２のくわえづめ装置は、一列に配置されたくわえづめと、各くわえづめの間の中間スペースを備え、さらに、くわえづめによって把持されている被印刷体枚葉紙の自由な枚葉紙縁を押さえるための押さえ具を備えており、押さえ具が、中間スペース内へ突出するように配置されており、被印刷体枚葉紙を把持する際にくわえづめとともに位置調節できるように支持されている。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月18日(2006.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】  前記酸性フッ化アンモニウムは、ＮＨ4ＭyＦz（ＨＦ）xの酸塩基化学量論組成式を有し、ここで、Ｍは元素周期表の第ＩＡ〜第ＶＡ族、第ＩＢ〜第ＶＩＩＢ族、及び第ＶＩＩＩ族又はこれらの混合から成る群から選ばれる金属であり、ｙは０〜１２であり、ｚは１〜１２であり、そしてｘは溶融物酸性度値である、請求項１記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１３】  請求項１〜１２のいずれかに記載された三フッ化窒素の製造装置であって、
混合領域、前記混合領域に流体連絡する反応領域、及び生成物の出口を含む反応器、
前記反応器の前記混合領域に流体連絡するフッ素ガス供給物の供給手段、
前記反応器の前記混合領域に流体連絡する液体酸性フッ化アンモニウム供給物の供給手段、
前記反応器の前記混合領域に流体連絡する作動流体蒸気の供給手段、および
前記反応器の前記混合領域の上流の前記作動流体蒸気の供給手段に流体連絡して作動可能に配置された少なくとも１つのノズル、
を含む装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月18日(2006.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
図３に示すレンズデータにおいて、Ｒｉはスクリーン側から順番に並んだ各レンズの曲率半径（ｍｍ）、Ｄｉはスクリーン側から順番に並んだ各レンズ面の間の距離（ｍｍ）、Ｎｄｉはスクリーン側から順番に並んだ各レンズの屈折率（ｄ線）、νｄｉはスクリーン側から順番に並んだ各レンズのアッベ数（ｄ線）を示す。ＩＮＦは平面であることを示す。以降に示す他の実施例におけるレンズデータも同様である。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月9日(2006.3.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】レンズユニット製造方法及びレンズユニット
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】少なくとも２つのレーザ光を、レンズ支持部材に載置されたレンズの外周部と前記レンズ支持部材との双方にそれぞれ照射することで、前記外周部及び前記レンズ支持部材の一部をそれぞれ溶解させ、前記溶解した前記レンズ支持部材で前記レンズ外周部を覆い、
前記溶解したレンズ支持部材を硬化させて前記レンズと前記レンズ支持部材とを固定すること
を特徴とするレンズユニット製造方法。
【請求項２】レーザ光の照射位置が、前記レンズの中心から点対称な位置であること
を特徴とする請求項１記載のレンズユニット製造方法。
【請求項３】レーザ光が２つであり、
前記レーザ光の照射位置が、前記レンズの中心から対称な２箇所であること
を特徴とする請求項２記載のレンズユニット製造方法。
【請求項４】レーザ光の照射位置をレンズ外周部に沿って動かすことで、レンズの周囲全体にレーザ光を照射すること
を特徴とする請求項１から３いずれか記載のレンズユニット製造方法。
【請求項５】  請求項１から４いずれか記載のレンズユニット製造方法により製造されたこと
を特徴とするレンズユニット。
【請求項６】レンズとレンズ支持部材とから構成されるレンズユニットであって、
レンズ外周部は全て前記レンズ支持部材で覆われ、
前記レンズにおいて、中心から対称な位置の歪量が同一であること
を特徴とするレンズユニット。
【請求項７】レンズ外周部を覆うレンズ支持部材が、レーザ光によって溶解されたものであること
を特徴とする請求項６記載のレンズユニット。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レンズユニットの製造を行うレンズユニット製造方法及びレンズユニットに関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、本発明のレンズユニットの製造方法は、少なくとも２つのレーザ光を、レンズ支持部材に載置されたレンズの外周部と前記レンズ支持部材との双方にそれぞれ照射することで、前記外周部及び前記レンズ支持部材の一部をそれぞれ溶解させ、前記溶解した前記レンズ支持部材で前記レンズ外周部を覆い、前記溶解したレンズ支持部材を硬化させて前記レンズと前記レンズ支持部材とを固定することを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、少なくとも２つのレーザ光を、レンズ支持部材に載置されたレンズの外周部と前記レンズ支持部材との双方にそれぞれ照射することで、前記外周部及び前記レンズ支持部材の一部をそれぞれ溶解させ、前記溶解した前記レンズ支持部材で前記レンズ外周部を覆い、前記溶解したレンズ支持部材を硬化させて前記レンズと前記レンズ支持部材とを固定することで、熱変形に伴う位置ずれおよび残留応力を緩和でき、制度の高いレンズ製造が実現できる。また、複数個所に同時にレーザ光を照射するため、タクトを減少させることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月13日(2006.1.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】    【請求項１】  薄膜トランジスタを形成した第１の基板とカラーフィルタを形成した第２の基板とを液晶層を介在させて対向させた液晶パネルで構成した液晶表示装置であって、  前記第１の基板上にはゲート線に接続されたゲート電極と、前記ゲート電極を覆うゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に形成された半導体層と、前記半導体層上に形成されてドレイン線を介して映像信号が供給されるドレイン電極と、前記半導体層上に形成されて画素電極に接続するソース電極とを有し、  前記画素電極と前記ソース電極との間に絶縁膜が形成され、前記画素電極は前記絶縁膜に開けられたコンタクトホールを介して前記ソース電極と接続され、  前記ソース電極は前記ゲート線の延在方向に延びて前記画素電極の端部と重なって配置され、前記ソース電極の下に前記ゲート絶縁膜を挟んで保持容量電極が配置され、 前記ソース電極は、前記保持容量電極の端部を覆っており、前記ゲート線の延在方向に長さを測った場合、前記保持容量電極は前記ソース電極よりも小さく、前記ゲート線の延在方向に対して直交する方向に長さを測った場合、前記保持容量電極は前記ソース電極よりも小さいことを特徴とする液晶表示装置。    【請求項２】  薄膜トランジスタを形成した第１の基板とカラーフィルタを形成した第２の基板とを液晶層を介在させて対向させた液晶パネルで構成した液晶表示装置であって、  画素電極は対向する２本のドレイン線と対向する２本のゲート線で囲まれた領域に形成され、  前記第１の基板上には、前記ゲート線に接続されたゲート電極と、前記ゲート電極を覆うゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に形成された半導体層と、前記半導体層上に形成されてドレイン線を介して映像信号が供給されるドレイン電極と、前記半導体層上に形成されて前記画素電極に接続するソース電極とからなる薄膜トランジスタが形成され、  前記画素電極と前記ソース電極との間に絶縁膜が形成され、前記画素電極は絶縁膜に開けられたコンタクトホールを介して前記ソース電極と接続され、  前記ソース電極は前記薄膜トランジスタを構成するゲート電極と対向するゲート線まで延在され、前記対向するゲート線と前記ソース電極とで保持容量を形成し、 前記ソース電極は前記画素電極が形成された前記領域の配向境界上を通って対向するゲート線まで延在することを特徴とする液晶表示装置。    【請求項３】  請求項２において、前記ソース電極は前記画素電極の形成された前記領域中を通って前記対向するゲート線まで延在することを特徴とする液晶表示装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月30日(2006.1.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】偏光分離光学系、投射型表示光学系、投射型画像表示装置および画像表示システム
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  照明光学系からの偏光光を反射型画像表示素子に導くとともに、前記画像表示素子からの偏光光を検光して投射光学系に導く偏光分離膜を有する偏光分離光学系であって、
P偏光とS偏光の前記偏光分離膜における位相差をδとするとき、
１２０°≦｜δ｜≦１８０°
なる条件を満足する構造を有することを特徴とする偏光分離光学系。
【請求項２】  前記偏光分離膜は、この偏光分離膜に、前記偏光分離膜の法線に対して角度θをもって入射する光に対して、前記偏光分離膜におけるP偏光の反射率をＲｐとするとき、
Ｒｐ＞０％
なる条件を満たすことを特徴とする請求項１に記載の偏光分離光学系。
但し、前記入射角度θは、前記照明光学系から前記偏光分離膜に至る光軸と前記偏光分離膜の法線とのなす角をα、前記照明光学系から前記偏光分離膜に至る光軸に対する前記偏光分離膜への光束の最大入射角度をψとするとき、
α−ψ≦θ≦α＋ψ
である。
【請求項３】  前記偏光分離膜は、前記照明光学系の光軸に対して傾いて設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の偏光分離光学系。
【請求項４】  前記偏光分離膜と前記画像表示素子との間に１／４波長板が設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の偏光分離光学系。
【請求項５】  照明光学系からの偏光光を反射型画像表示素子に導くとともに、前記画像表示素子からの偏光光を検光して投射光学系に導く偏光分離膜を有する偏光分離光学系であって、
前記偏光分離膜は、この偏光分離膜に、前記偏光分離膜の法線に対して角度θをなす方向から入射して前記偏光分離膜で反射される偏光光の偏光方向を、前記偏光分離膜とこの偏光分離膜への偏光光の入射方向との幾何学的な関係で決まるＳ偏光の向きよりも、前記偏光分離膜での反射で偏光方向が変化しない方向から入射したＳ偏光の向きに近づける構造を有することを特徴とする偏光分離光学系。
【請求項６】  前記偏光分離膜と前記画像表示素子との間に１／４波長板が設けられていることを特徴とする請求項５に記載の偏光分離光学系。
【請求項７】  前記入射角度θは、前記照明光学系から前記偏光分離膜に至る光軸に対して直交する面と前記偏光分離膜とのなす角度よりも小さい角度であることを特徴とする請求項５に記載の偏光分離光学系。
【請求項８】  照明光学系と、
前記照明光学系からの光を変調する画像形成素子と、
請求項１から７のいずれかに記載の偏光分離光学系と、
前記偏光分離光学系からの光を被投射面に投射する投射光学系とを有することを特徴とする投射型表示光学系。
【請求項９】  請求項８に記載の投射型表示光学系を有することを特徴とする投射型画像表示装置。
【請求項１０】  請求項９に記載の投射型画像表示装置と、
前記画像表示素子に原画を表示させるための画像情報を前記投射型画像表示装置に供給する画像情報供給装置とを有することを特徴とする画像表示システム。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月27日(2005.12.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  光を入射する入光面とその反対側に位置し入射した光を出射する出光面とを有しており、前記入光面には２つのプリズム面から構成されるプリズム列が互いに並列に複数配列され、該２つのプリズム面の少なくとも一方が非単一平面からなり、前記プリズム列を構成する一方のプリズム面の頂部振り分け角αが２〜２５度で他方のプリズム面の頂部振り分け角βが３３〜４０度であり、前記頂部振り分け角αと前記頂部振り分け角βとの差｜α−β｜が８〜３５度であることを特徴とする光偏向素子。
【請求項２】  前記非単一平面は、複数の平面および／または凸曲面からなり、前記出光面に近い側に位置する平面または凸曲面ほど傾斜角が大きいことを特徴とする請求項１に記載の光偏向素子。
【請求項３】  一次光源と、該一次光源から発せられた光が入射する光入射面を有し且つ入射した光を導光し且つ導光された光を出射する光出射面を有する導光体と、該導光体の前記光出射面に対向して前記入光面が位置するように配置された請求項１または２のいずれかに記載の光偏向素子とを備えていることを特徴とする光源装置。
【請求項４】  前記光偏向素子は、前記プリズム列の頂部振り分け角αの前記プリズム面が前記一次光源に近い側に配置され、前記プリズム列の頂部振り分け角βの前記プリズム面が前記一次光源から遠い側に配置されていることを特徴とする、請求項３に記載の光源装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、上記目的を達成するものとして、光を入射する入光面とその反対側に位置し入射した光を出射する出光面とを有しており、前記入光面には２つのプリズム面から構成されるプリズム列が互いに並列に複数配列され、該２つのプリズム面の少なくとも一方が非単一平面からなり、前記プリズム列を構成する一方のプリズム面の頂部振り分け角αが２〜２５度で他方のプリズム面の頂部振り分け角βが３３〜４０度であり、前記頂部振り分け角αと前記頂部振り分け角βとの差｜α−β｜が８〜３５度であることを特徴とする光偏向素子が提供される。なお、本発明において、非単一平面とは、単一曲面、複数の平面、複数の曲面、１つ以上の平面と１つ以上の曲面との組合せからなる面をいう。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月1日(2006.2.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
さらに、腕部５１ｄ及び５１ｅには、上述のように固定環（支持環）２２の環状部２２ｆ（図４）とＣＣＤホルダ２１に固定されたＡＦガイド軸５２、５３が摺動可能に嵌まる位置にガイド孔５１ａ及び５１ｂが設けられている。すなわち、ＡＦレンズ枠５１の主案内をするＡＦガイド軸５２及び副案内をするＡＦガイド軸５３が、それぞれ、固定環２２の環状部２２ｆの外側であって撮影光軸Ｚ１について対向する位置（上記可動レンズ群との非干渉位置）に配置されている。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月6日(2006.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】鏡筒機構およびカメラ
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】第１の光学ユニットと該第１の光学ユニットとは異なる第２の光学ユニットとの間に配置され、前記第１及び前記第２の光学ユニットの光軸方向の相対移動に連動して伸縮する蛇腹手段を有し、
前記蛇腹手段は、前記第１の光学ユニットに固定されるとともに前記第２の光学ユニットにより規制され、正面からみた前記第２の光学ユニットの内側の形状に合わせた形状であって、
前記第２の光学ユニットにより規制される前記蛇腹手段は、前記第２の光学ユニットに対してクリアランスを有して光軸方向に移動可能であり、かつ、前記蛇腹手段が圧縮された場合と伸張された場合とで前記第２の光学ユニットの異なる規制部にて規制されることを特徴とする鏡筒機構。
【請求項２】前記第２の光学ユニットは、該第２の光学ユニットが備えるカムピンの先端部が外筒に設けられたカム及び案内溝に係合案内されて光軸方向に直進するものであり、該第２の光学ユニットの前記異なる規制部のうちの一方は、該第２の光学ユニットの内周側に突出した先端側の部分であり、前記規制部のうちの他方は、前記カムピンの後端部が内周側に突出した部分であることを特徴とする請求項１に記載の鏡筒機構。
【請求項３】前記第１及び第２の光学ユニットは、焦点距離を変更する際に光軸方向に相対移動させられるものであり、前記第１及び第２の光学ユニットが共に前記外筒内に収納された初期状態から焦点距離が広角側に設定された場合は、前記初期状態時の位置より、前記第１の光学ユニットは前記蛇腹手段の端部が前記カムピンの後端部の内周側に突出した部分に突き当たるまで前記外筒内において後方側に移動し、前記第２の光学ユニットは前記外筒に対して前方に繰り出され、焦点距離が望遠側に設定された場合は、前記第２の光学ユニットは前記外筒に対して前方に繰り出されたままで、前記蛇腹手段の端部が前記第２の光学ユニットの内周側に突出した先端側の部分に突き当たるまで前方側に移動することを特徴とする請求項１又は２に記載の鏡筒機構。
【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載の鏡筒機構を具備したことを特徴とするカメラ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する利用分野】本発明は、遮光や防塵機能を果たす蛇腹手段を有する、カメラ等に搭載される鏡筒機構およびカメラの改良に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
（発明の目的）本発明の目的は、遮光や防塵機能を損なうことなく蛇腹手段を小型にし、小型化を達成することのできる鏡筒機構を提供しようとするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、本発明は、第１の光学ユニットと該第１の光学ユニットとは異なる第２の光学ユニットとの間に配置され、前記第１及び前記第２の光学ユニットの光軸方向の相対移動に連動して伸縮する蛇腹手段を有し、前記蛇腹手段が、前記第１の光学ユニットに固定されるとともに前記第２の光学ユニットにより規制され、正面からみた前記第２の光学ユニットの内側の形状に合わせた形状であって、前記第２の光学ユニットにより規制される前記蛇腹手段が、前記第２の光学ユニットに対してクリアランスを有して光軸方向に移動可能であり、かつ、前記蛇腹手段が圧縮された場合と伸張された場合とで前記第２の光学ユニットの異なる規制部にて規制される鏡筒機構とするものである。
また、本発明は、上記鏡筒機構を具備したカメラとするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、遮光や防塵機能を損なうことなく蛇腹手段の光軸方向の長さを短くし、小型化を達成することができる鏡筒機構またはカメラを提供できるものである。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月26日(2006.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＥｕドープされたＣｓＢｒ型刺激性燐光体スクリーン又はパネルの製造方法において、製造工程のうちの少なくとも一つの間又は後に、ｍｍ２あたり少なくとも１０×１０−３Ｊのエネルギーを有する１５０ｎｍから３００ｎｍまでの範囲の紫外線を放出する放射線源からのエネルギーで放射線露光処理が与えられることを特徴とする製造方法。
【請求項２】
前記刺激性燐光体スクリーン又はパネルがＣｓＢｒ：Ｅｕ刺激性燐光体を含む結合剤非含有貯蔵燐光体スクリーン又はパネルであり、前記スクリーン又はパネルは以下の工程を含む方法によって調製される請求項１に記載の製造方法：
−  前記ＣｓＢｒをＥｕＸ′２，ＥｕＸ′３及びＥｕＯＸ′（ただしＸ′はＦ，Ｃｌ，Ｂｒ及びＩからなる群から選択されるハロゲン化物である）からなる群から選択されるユーロピウム化合物の１０−３〜５ｍｏｌ％と混合する；
−  前記混合物を蒸着のための状態にもたらす；そして
−  物理蒸着、熱蒸着、化学蒸着、電子線蒸着、無線周波数蒸着及びパルス化レーザー蒸着からなる群から選択される方法によって支持体上に前記混合物を蒸着させる。
【請求項３】
前記刺激性燐光体スクリーン又はパネルが結合剤非含有貯蔵燐光体スクリーン又はパネルであり、前記方法が以下の工程：
−  ＥｕドープされたＣｓＢｒ型貯蔵燐光体を与えるか又はＥｕドープされたＣｓＢｒ型燐光体のための燐光体前駆体を組合わせる；そして
−  前記燐光体を支持体上に真空蒸着する
を含む請求項１又は２に記載の製造方法において、前記真空蒸着工程の間、前記支持体が５０℃≦Ｔ≦３００℃であるような温度Ｔに維持されること、及び前記真空蒸着が最大３ＰａのＡｒ圧を有するＡｒ雰囲気で行われることを特徴とする製造方法。
【請求項４】
前記放射線露光処理が以下の工程によって行われる請求項１〜３のいずれか一項記載の製造方法：
前記偏差を補償するために可変性エネルギー量を発する工程により前記放射線源を用いてスクリーン又はパネルを走査することにより一点ずつスピード均質性からの偏差を補償する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ＥｕドープされたＣｓＢｒ型刺激性燐光体スクリーン又はパネルの製造方法
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月26日(2005.12.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  物体側から順に、明るさ絞り、第１正レンズ、第２負レンズ、第３正レンズの順に配置され、次の条件式を満たすことを特徴とする結像光学系。
１．５＜ｄ／（ｆ・tan θ）＜３．０                    ・・・（１）
ただし、ｄは結像光学系の明るさ絞り面から像面までの光軸に沿って測った距離、θは結像光学系の最大入射角、ｆは全系の焦点距離である。
【請求項２】  前記第３正レンズはプラスチックからなることを特徴とする請求項１記載の結像光学系。
【請求項３】  前記プラスチックはアモルファスポリオレフィン系の材料からなることを特徴とする請求項２記載の結像光学系。
【請求項４】  次の条件式を満たすことを特徴とする請求項１から３の何れか１項記載の結像光学系。
１．８＜ｄ／（ｆ・tan θ）＜２．８                ・・・（１−１）
【請求項５】  物体側から順に、明るさ絞り、像側に凸面を向けた第１正メニスカスレンズ、第２負レンズ、第３正レンズの順に配置され、次の条件式を満たすことを特徴とする結像光学系。
−５．０＜ｆ2-3 ／ｆ＜−０．５                        ・・・（２）
ただし、ｆ2-3 は第２負レンズと第３正レンズの合成焦点距離、ｆは全系の焦点距離である。
【請求項６】  次の条件式を満たすことを特徴とする請求項５記載の結像光学系。
−３．５＜ｆ2-3 ／ｆ＜−０．８                    ・・・（２−１）
【請求項７】  次の条件式を満たすことを特徴とする請求項１から６の何れか１項記載の結像光学系。
０．１＜ｆ1 ／ｆ3 ＜０．７                            ・・・（３）
ただし、ｆ1 は第１正レンズの焦点距離、ｆ3 は第３正レンズの焦点距離である。
【請求項８】  次の条件式を満たすことを特徴とする請求項７記載の結像光学系。
０．２＜ｆ1 ／ｆ3 ＜０．５８                      ・・・（３−１）
【請求項９】  次の条件式を満たすことを特徴とする請求項１から８の何れか１項記載の結像光学系。
−０．６＜ｆ2 ／ｆ3 ＜−０．１                        ・・・（４）
ただし、ｆ2 は第２負レンズの焦点距離、ｆ3 は第３正レンズの焦点距離である。
【請求項１０】  次の条件式を満たすことを特徴とする請求項９記載の結像光学系。
−０．５＜ｆ2 ／ｆ3 ＜−０．１５                  ・・・（４−１）
【請求項１１】  次の条件式を満たすことを特徴とする請求項１から１０の何れか１項記載の結像光学系。
１．４５＜ｎavg ＜１．７０                            ・・・（５）
ただし、ｎavg は第１正レンズ〜第３正レンズのｄ線の屈折率の平均値である。
【請求項１２】  次の条件式を満たすことを特徴とする請求項１１記載の結像光学系。
１．５＜ｎavg ＜１．６５                          ・・・（５−１）
【請求項１３】  次の条件式を満たすことを特徴とする請求項１から１２の何れか１項記載の結像光学系。
１．０＜（ｒ1f＋ｒ1r）／（ｒ1f−ｒ1r）＜１．７        ・・・（６）
ただし、ｒ1fは第１正レンズの物体側近軸曲率半径、ｒ1rは第１正レンズの像側近軸曲率半径である。
【請求項１４】  次の条件式を満たすことを特徴とする請求項１３記載の結像光学系。
１．１＜（ｒ1f＋ｒ1r）／（ｒ1f−ｒ1r）＜１．６    ・・・（６−１）
【請求項１５】  第１正レンズは次の条件式を満たす非球面を少なくとも１面有することを特徴とする請求項１から１４の何れか１項記載の結像光学系。
０．０１＜｜（ｒ1s＋ｒ1a）／（ｒ1s−ｒ1a）−１｜＜１００
・・・（７）
ただし、ｒ1sは第１正レンズの非球面の近軸曲率半径、ｒ1aは第１正レンズの非球面を考慮した曲率半径の中の光学有効範囲内で近軸曲率半径との差が最も変化したときの値である。
【請求項１６】  次の条件式を満たすことを特徴とする請求項１５記載の結像光学系。
０．０５＜｜（ｒ1s＋ｒ1a）／（ｒ1s−ｒ1a）−１｜＜１０
・・・（７−１）
【請求項１７】  第２負レンズは次の条件式を満たす非球面を少なくとも１面有することを特徴とする請求項１から１６の何れか１項記載の結像光学系。
０．０１＜｜（ｒ2s＋ｒ2a）／（ｒ2s−ｒ2a）−１｜＜１００
・・・（８）
ただし、ｒ2sは第２負レンズの非球面の近軸曲率半径、ｒ2aは第２負レンズの非球面を考慮した曲率半径の中の光学有効範囲内で近軸曲率半径との差が最も変化したときの値である。
【請求項１８】  次の条件式を満たすことを特徴とする請求項１７記載の結像光学系。
０．１＜｜（ｒ2s＋ｒ2a）／（ｒ2s−ｒ2a）−１｜＜５
・・・（８−１）
【請求項１９】  次の条件式を満たすことを特徴とする請求項１から１０の何れか１項記載の結像光学系。
１０°＜α＜４０°                                    ・・・（９）
ただし、αは最大像高における主光線の像面への入射角度である。
【請求項２０】  次の条件式を満たすことを特徴とする請求項１９記載の結像光学系。
１５°＜α＜３５°                                ・・・（９−１）
【請求項２１】  物体側から、明るさ絞り、像側に凸面を向けた第１正レンズ、像側に凹面を向けた第２負レンズ、第３正レンズの順に配置された結像光学系、及び、その像側に配された撮像素子を有し、前記明るさ絞りは、光軸が通過する開口形状が固定されており、かつ、開口部の外周面を像面側程光軸に近づくように、最軸外光束の入射角以上の傾斜角で傾斜させたことを特徴とする撮像装置。
【請求項２２】  物体側から、明るさ絞り、像側に凸面を向けた第１正レンズ、像側に凹面を向けた第２負レンズ、第３正レンズの順に配置された結像光学系、及び、その像側に配された撮像素子を有し、前記結像光学系と前記撮像素子を保持しかつ前記明るさ絞りを同一樹脂材で一体成形したレンズ枠を備えたことを特徴とする撮像装置。
【請求項２３】  物体側から、明るさ絞り、像側に凸面を向けた第１正レンズ、像側に凹面を向けた第２負レンズ、第３正レンズの順に配置された結像光学系、及び、その像側に配された撮像素子を有し、前記結像光学系を保持するレンズ枠を備え、少なくとも前記第１正レンズ、第３正レンズの各々の外周に、物体側程光軸に近づくよう傾斜させた傾斜部を設け、前記レンズ枠に前記傾斜部が当接していることを特徴とする撮像装置。
【請求項２４】  物体側から、明るさ絞り、像側に凸面を向けた第１正レンズ、像側に凹面を向けた第２負レンズ、第３正レンズの順に配置された結像光学系、及び、その像側に配された撮像素子を有し、前記結像光学系を保持するレンズ枠を備え、前記第１正レンズの形状が入射側から見たときに円形であり、前記第３正レンズの形状が、入射側から見たときに撮像素子の有効撮像領域の短辺方向に対応する方向の長さが有効撮像領域の長辺方向に対応する長さよりも短いことを特徴とする撮像装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月17日(2006.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】雲台およびカメラシステム
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  被駆動体に連結し、前記被駆動体を第１の回転軸周りに回転させる第１の駆動源と、
前記第１の回転軸上であって、前記被駆動体に対して前記第１の駆動源側とは反対側に配置された第２の駆動源と、
前記第１の駆動源および前記第２の駆動源を保持し、前記第１の回転軸と直交する第２の回転軸周りに回転可能な雲台本体と、
この雲台本体を回転可能に支持する支持手段と、
前記第２の駆動源における前記第１の回転軸周りの回転を前記第２の回転軸周りの回転に変換する変換手段とを有することを特徴とする雲台。
【請求項２】  被駆動体を収納し、第１の回転軸周りに回転可能な雲台本体と、
この雲台本体を回転可能に支持する支持手段と、
この支持手段内に収納され、前記雲台本体を前記第１の回転軸周りに回転させる第１の駆動源と、
前記雲台本体内に収納され、前記第１の回転軸上に配置された第２の駆動源と、
前記被駆動体に連結しており、前記第２の駆動源における前記第１の回転軸周りの回転を、前記第１の回転軸と直交する前記第２の回転軸周りの回転に変換する変換手段とを有することを特徴とする雲台。
【請求項３】  前記第１の駆動源および前記第２の駆動源は、前記第２の回転軸の両側におけるモーメントが略等しくなるように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の雲台。
【請求項４】  前記被駆動体は、前記第１の回転軸および前記第２の回転軸が直交する位置に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の雲台。
【請求項５】  前記第１の駆動源および前記第２の駆動源が、駆動信号の入力により振動を励起する振動体と、この振動体に加圧接触し、前記振動体からの振動を受けて回転可能な回転体と、この回転体を前記振動体に付勢する付勢手段とを有する振動型駆動ユニットであることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の雲台。
【請求項６】  前記付勢手段が、２つの振動型駆動ユニットにおける前記回転体の双方を付勢することを特徴とする請求項５に記載の雲台。
【請求項７】  前記付勢手段が、回転が阻止された固定部材を介して前記回転体の双方を付勢することを特徴とする請求項６に記載の雲台。
【請求項８】  請求項１から７のいずれかに記載の雲台と、
前記被駆動体に搭載されるカメラとを有することを特徴とするカメラシステム。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被駆動体を互いに直交する２つの回転軸周りに回転させる機構を有する雲台および、この雲台を用いたカメラシステムに関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【課題を解決するための手段】
本願第１の発明である雲台は、被駆動体に連結し、被駆動体を第１の回転軸周りに回転させる第１の駆動源と、第１の回転軸上であって、被駆動体に対して第１の駆動源側とは反対側に配置された第２の駆動源と、第１の駆動源および第２の駆動源を保持し、第１の回転軸と直交する第２の回転軸周りに回転可能な雲台本体と、この雲台本体を回転可能に支持する支持手段と、第２の駆動源における第１の回転軸周りの回転を第２の回転軸周りの回転に変換する変換手段とを有することを特徴とする。
本願第１の発明によれば、第１の駆動源および第２の駆動源を同軸上（第１の回転軸上）に配置しているため、従来技術に比べて雲台の小型化（第２の回転軸方向の小型化）を図ることができる。また、雲台本体が第２の回転軸周りに回転するときに第１の駆動源および第２の駆動源の移動軌跡が略重複するため、動作スペースを含めた雲台の大きさを従来技術よりも小さくすることができる。
さらに、上記の配置構成であっても変換手段を設けることで、第１の駆動源および第２の駆動源を用いて被駆動体を互いに直交する回転軸（第１および第２の回転軸）周りに回転させることができる。
本願第２の発明である雲台は、被駆動体を収納し、第１の回転軸周りに回転可能な雲台本体と、雲台本体を回転可能に支持する支持手段と、支持手段内に収納され、雲台本体を第１の回転軸周りに回転させる第１の駆動源と、雲台本体内に収納され、第１の回転軸上に配置された第２の駆動源と、被駆動体に連結しており、第２の駆動源における第１の回転軸周りの回転を、第１の回転軸と直交する第２の回転軸周りの回転に変換する変換手段とを有することを特徴とする。
本願第２の発明によれば、雲台本体の回転軸上（第１の回転軸上）に、第１の駆動源および第２の駆動源が配置されているため、雲台が動作するときにも２つの駆動源の位置が大きく変化することはなく、動作スペースを含めた雲台の大きさをより小さくすることができる。
また、上記配置構成であっても変換手段を設けることで、第１の駆動源および第２の駆動源を用いて被駆動体を互いに直交する回転軸（第１および第２の回転軸）周りに回転させることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月5日(2006.1.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
図４は実施例に係るベルト振動測定結果及び発音評価結果を示すグラフ図であり、図４（ａ）、図４（ｂ）は夫々時系列のベルト振動速度波形と騒音レベル波形を示し、図４（ｃ）はベルト振動速度と騒音レベルの周波数スペクトル、およびこのベルト振動速度と騒音レベルのコヒーレンス関数を示す。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、図８は本発明に係るベルト駆動装置を示す概略図であり、図８（ａ）はベルト駆動装置全体を示し、図８（ｂ）はベルトの断面を示す。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】
実施例に係るベルト振動測定方法及び発音評価方法を示すブロック図である。
【図２】
実施例に係るベルト振動測定方法及び発音評価方法を示すフロー図である。
【図３】
実施例に係るベルトの振動測定原理を示す概略図である。
【図４】
実施例に係るベルト振動測定結果及び発音評価結果を示すグラフ図であり、図４（ａ）、図４（ｂ）は夫々時系列のベルト振動速度波形と騒音レベル波形を示し、図４（ｃ）はベルト振動速度と騒音レベルの周波数スペクトル、および振動速度と騒音レベルのコヒーレンス関数を示す。
【図５】
従来例に係るベルトの微小滑りの測定結果を示すグラフ図であり、図５（ａ）は微小滑りのない状態を示し、図５（ｂ）は微小滑りのある状態を示す。
【図６】
従来例に係るベルト振動測定方法を示す概略図である。
【図７】
従来例に係るベルト振動測定結果及び発音評価結果を示すグラフ図であり、図７（ａ）は時系列のベルト振動速度波形と騒音レベル波形を示し、図７（ｂ）は図７（ａ）の周波数スペクトルと、ベルト振動速度と騒音レベルのコヒーレンス関数を示す。
【図８】
本発明に係るベルト駆動装置を示す概略図であり、図８（ａ）はベルト駆動装置全体を示し、図８（ｂ）はベルトの断面を示す。
【符号の説明】
１  ベルト
２  プーリ
３  光ドップラー式振動測定器
４  マイクロフォン
５  ＦＦＴアナライザ
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月25日(2006.1.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  被計測物とセンサ間の静電容量の変化を検出して当該センサと被計測物間の距離を計測する装置であって、
第１のセンサ及び第２のセンサと、
前記第１及び第２のセンサの電流若しくは電圧に変化を与えて計測状態とする計測手段とを備え、
前記計測手段は、前記第１のセンサが計測状態の時には前記第２のセンサに与える電流若しくは電圧の変化をゼロにすることを特徴とする計測装置。
【請求項２】  前記第１及び第２のセンサは前記被計測物との間の静電容量の変化を検知するプローブ電極を有し、
前記計測手段は、前記プローブ電極に電気的に接続されて前記各センサの計測結果を出力するアンプと、前記各センサの計測可能な状態を制御するコントローラとを備え、
前記アンプは第１の端子と第２の端子とを持ち、
前記第１の端子に前記プローブ電極が接続され、
前記第１の端子と第２の端子の間に前記プローブ電極を含む閉回路が接続されていることを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
【請求項３】  前記計測手段は、前記第１のセンサの計測時には前記第２のセンサの電流若しくは電圧をゼロにすることを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
【請求項４】  前記第１のセンサと前記第２のセンサは、同一の被計測物を計測することを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
【請求項５】  前記第１のセンサと前記第２のセンサは、異なる被計測物を計測することを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
【請求項６】  前記被計測物を移動可能に搭載するターゲット可動ステージと、当該ターゲット可動ステージを駆動制御するターゲットステージ制御部とを更に備えることを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
【請求項７】  前記第１のセンサ及び前記第２のセンサの少なくとも１つを移動可能に搭載するセンサ可動ステージと、当該センサ可動ステージを駆動制御するセンサステージ制御部とを更に備えることを特徴とする請求項１又は５に記載の計測装置。
【請求項８】  前記計測手段は、前記第１のセンサ及び前記第２のセンサの少なくとも１つと前記被計測物との相対的な位置を変化させながら計測を行うことを特徴とする請求項６又は７に記載の計測装置。
【請求項９】  前記計測手段は、前記ターゲット可動ステージ及び前記センサ可動ステージの少なくとも１つの位置座標に応じて各センサの電流若しくは電圧を決定することを特徴とする請求項８に記載の計測装置。
【請求項１０】  前記プローブ電極がアース部に対して絶縁されて当該プローブ電極を保持する導電性の保持部材が前記アース部に短絡されている、若しくは前記プローブ電極が前記アース部に接続されていることを特徴とする請求項２に記載の計測装置。
【請求項１１】  前記被計測物は半導体であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項１２】  請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の計測装置を備え、前記被計測物が半導体ウエハ及び転写パターンの少なくとも１つが形成された原版であることを特徴とする半導体製造装置。
【請求項１３】  前記半導体ウエハと前記転写原版間の距離を３００μｍ以下に近接させて転写を行うことを特徴とする請求項１２に記載の半導体製造装置。