【事件の表示】
　平成　８年特許願第１８３６７３号「印刷回路基板の通電検査用のプローブ装置」拒絶査定に対する審判事件〔平成　９年　７月３１日出願公開、特開平　９−１９６９６８、請求項の数（３）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
１．出願の経緯、本願発明
　この出願は、平成８年７月１２日（パリ条約による優先権主張　１９９５年１２月３０日　（ＫＲ）大韓民国）の出願であって、その請求項１〜３に係る発明は、平成１１年４月２日付手続補正で補正された明細書及び図面の記載からみて、その請求項１〜３に記載された次のとおりのものである。(以下「本願発明１」〜「本願発明３」という。)
　
「【請求項１】　電子部品を印刷回路基板と結合させる結合部と接触し通電検査を行うプローブアセンブリと、前記プローブアセンブリが直線運動をするように駆動するための第１駆動手段と、前記プローブアセンブリの直線運動を案内するためのガイドとを含む印刷回路基板の通電検査用のプローブ装置において、
　前記プローブアセンブリはその先端で前記結合部と接触し通電検査による信号を検出するためのプローブチップと、
　前記プローブチップの後端に結合され前記プローブチップが前記結合部に接触する時、前記プローブチップに加えられる接触力を測定するための力センサーと、
　前記プローブチップが前記結合部に接触する時の前記プローブチップの位置を測定するための位置センサーと、
　前記測定された接触力と前記プローブチップの位置により前記プローブチップの位置を調整するための位置調整手段とを含み、
　前記位置調整手段は所定の位置に固定されレーザービームを放出するための光源と、
　前記レーザービームの光経路に沿って移動可能に設けられ前記光源から放出されたレーザービームを前記位置センサーの方に反射するための移動鏡と、
　前記測定された接触力と前記プローブチップの位置に応答し制御可能に印加される電流により移動し、前記移動鏡を前記光経路に沿って移動させるための移動コイルとを含み、
　前記移動コイルが移動することにより、前記移動コイルに延設された前記プローブチップの位置を調整することを特徴とする印刷回路基板の通電検査用のプローブ装置。
【請求項２】　前記位置調整手段は前記移動鏡と前記移動コイルが内部に設けられる胴体と、前記光源と前記移動鏡との間の光経路上に設けられ前記光源から放出されるレーザービームを前記移動鏡に反射させるための固定鏡とを更に含み、
　前記位置センサーは前記胴体に隣接して位置し、
　前記胴体には前記移動鏡から反射されるレーザービームが前記位置センサーに伝達されるように孔が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の印刷回路基板の通電検査用のプローブ装置。
【請求項３】　前記結合部に対する前記プローブアセンブリの傾斜角度を調整するための第２駆動手段を更に含むことを特徴とする請求項１または２に記載の印刷回路基板の通電検査用のプローブ装置。」
　
２．原査定の理由の概要
　原査定の拒絶の理由の概要は、本願発明１〜３は、特開平７−９２２９７号公報(以下「刊行物１」という。)，特開平６−１４０４７９号公報(以下「刊行物２」という。)，特開平４−２９６９号公報(以下「刊行物３」という。)，特開平６−４８８１号公報(以下「刊行物４」という。)に記載された発明に基いて当業者が容易に発明することができた発明であるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というにある。
　
３．刊行物
　上記刊行物１〜４には、下記の記載がある。
　
３−１．刊行物１
「【請求項１】　回路基板の検査位置に接触するプローブピンと、前記プローブピンを回路基板に平行なＸ−Ｙ平面上で移動させるＸ−Ｙ移動テーブルと、前記プローブピンを前記Ｘ−Ｙ平面に垂直なＺ軸方向に摺動させるプローブピン摺動機構と、を含み回路基板の所望の検査位置にプローブピンを接触させて電気的検査を行う回路基板の検査装置において、
　前記プローブピンを前記Ｚ軸に対する角度が調整可能なプローブピン傾斜機構と、
　前記プローブピンの先端方向を前記Ｚ軸の周囲を所望の角度だけ回動させるプローブピン回動機構と、
　を有することを特徴とする回路基板の検査装置。」(公報第１欄第２〜１３行)
「【０００１】
【産業上の利用分野】
　本発明は回路基板の検査装置及び検査方法、特に検査対象に対して検査ピンを最適姿勢で接触させて電気的検査を行う回路基板の検査装置及び検査方法に関する。」(公報第１欄第２９〜３３行)
「【００１２】プローブピン１は保持ブロック２に保持され、図示しない検査機器やオシロスコープに電気的に接続されている。保持ブロック２は回転軸３ａを中心に回動するスライドテーブル３に固定されてる。スライドテーブル３はスライドベース３ｂと該スライドベース３ｂのレール３ｃ上を摺動するスライドベッド３ｄとから構成され、プローブピン１を保持している保持ブロック２がスライドベッド３ｄの摺動（上下方向）に伴って移動する。また、プローブピン１はスプリング２ａによって下方向に付勢され、回路基板の検査位置にプローブピン１が接触した時に適正な接触圧力を発生するように成っている。
【００１３】スライドベッド３ｄには該スライドベッド３ｄを略上下に摺動させるためのリンク機構４（本実施例では３節のリンク機構）が接続されている。また、リンク機構４の他端にはリンク駆動用モータ５が接続されている。このリンク駆動用モータ５はベース６から突出したモータブラケット６ａに固定されている。そして、リンク機構４によってリンク駆動用モータ５の回転運動はベース６に固定されたガイドブロック７に沿って略上下方向に摺動する往復運動に変換される。従って、リンク駆動用モータ５にパルスモータ等を用いた場合、リンク駆動用モータ５に供給するパルス量を制御することによってスライドベッド３ｄの移動に伴うプローブピン１の移動量を正確にコントロールすることができる。」(公報第３欄第１７〜４１行)
「プローブピン１ａが接触可能状態になった後、リンク駆動モータ（図１参照）を駆動してプローブピン１ａを降下させて先端部を検査位置４１ｂ-1に接触させる。この場合、プローブピン１ａはスプリング２ａによって適正な接触圧力を得られるように成っている。」(公報第５欄第１６〜２１行)
　また、図４の記載からは「検査位置４１ｂ-1」が電子部品と回路基板を結合した結合部であることがみてとれる。
　
　したがって、上記刊行物１には「電子部品と回路基板と結合させる結合部と接触し電気的検査を行うを行うプローブピンと、プローブピンを垂直方向に摺動させるためのリンク駆動モータ、リンク機構、スライドベース、スライドベース上のレール、スライドテーブルを含むプローブピン摺動機構とからなる回路基板の検査装置」(以下「刊行物１記載の発明」という。)が記載されている。
　
３−２．刊行物２
「【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
　従来の半導体集積回路テスト装置は以上のように構成されており、試験に使用する各プローブカードの針の高低差や、ウエハを固定するステージの機差（機械的差），被試験ウエハの厚み誤差により試験時の針圧に差が生じて接触不良等を招き、正確な試験条件での試験は不可能となり、この結果、得られる試験結果の信頼性が低くなり製品の良，不良判定に支障をきたすという問題点があった。
【０００７】
　この発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、半導体集積回路のウエハ状態における試験時に針圧一定とし、正確な試験条件を維持して試験を行うことができる半導体集積回路テスト装置を得ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
　この発明に係る半導体集積回路テスト装置は、プローブカードに圧電変換素子を用いた針圧センサを搭載し、試験時に針圧をモニターして、プローブ針とウエハとの接触状態を制御するようにしたものである。
【０００９】
【作用】
　この発明においては、試験時に被試験ウエハとプローブ針の接触によってプローブ針に印加される応力を検出し、これに連動してウエハとプローブ針の接触状態を調整することにより、常にウエハに加わる針圧を一定とすることができる。
【００１０】
【実施例】
実施例１．
　以下、この発明の実施例を図について説明する。
　図１は本発明の一実施例による半導体集積回路テスト装置の概念的な構成図であり、図４と同一符号は同一または相当部分を示し、６はヘッド２に着脱自在に設けられたプローブカードであり、該カード６にはプローブ針４に印加される圧力を直接検出する針圧センサ７が設けられており、その検出信号７ａが比較器１２に入力される構成となっている。比較器１２（針圧判定・制御手段）では、上記検出信号７ａを受けて該信号７ａとそのときの基準値とが比較され、その比較結果に応じてウエハステージ５を昇降駆動制御するための駆動信号１２ａが出力される。」(公報第２欄第３〜４１行)
　
　したがって、上記刊行物２には「ウエハステージと、プローブカードと、プローブカードに設けたプローブ針と、プローブカードに設けたプローブ針に印加される圧力を直接検出する針圧センサを有し、針圧センサで検出した検出信号に基づいてウエハステージを昇降駆動制御する半導体集積回路テスト装置」(以下「刊行物２記載の発明」という。)が記載されている。
 
３−３．刊行物３
「〔産業上の利用分野〕
　本発明はフライング・プローブ・ヘッド、特に、半導体を実装する多層配線基板の検査に用いるフライング・プローブ・ヘッドに関する。
〔従来の技術〕
　従来のフライング・プローブ・ヘッドは、一端に平行バネとプローブを取り付け、他端には永久磁石とヨークからなる磁気回路の空隙内を磁束と直角な内面で直線運動するムービグコイルを有し、フライング・プローブ・ヘッドを全体を保持するスライド・レールとを含んで構成される。
次に従来のフライング・プローブ・ヘッドについて図面を参照して詳細に説明する。
　第２図は従来のフライング・プローブ・ヘッドの一例を示す斜視図である。
　フライング・プローブ・ヘッド本体101の一端にはプローブ103、他端には箱型のムービングコイル104が取り付けられている。ヘッド本体101はスライド・レール102に従い図中矢印Ａのように直線運動し、被検査物（多層配線基板）109のパッド100に当たる。ヨーク152はＥの字の右側を上にした形状で、永久磁石151はその両側の突起の上部の内側に位置して磁気回路
105を構成している。
　箱型のムービングコイル104はヨーク152の中央の突起を取り巻いていて、その両側のコイルは磁気回路105の空隙内にあるため、ムービングコイル104に電流を流すことによりヘッド本体101を駆動出来る。」(公報第１頁右下欄第１行〜第２頁左上欄第９行)
「〔実施例〕
　次に、本発明の一実施例について、図面を参照して詳細に説明する。
　第１図は本発明の一実施例を示す斜視図である。
　揺動アーム１は揺動軸２の周りに図中矢印Ｂのように揺動可能であり、揺動アーム１の位置を位置検出器５で検出する。揺動アーム１の一端にはプローブ３、他端には揺動軸２を挟んで第一のムービングコイル41が取り付けられている。揺動軸２は第一のベース６で支えられている。第一のベース６は第二のムービングコイル42を有しスライドレール７によって第二のベース８に取りつけてある。
　第一のムービングコイル41と第二のムービングコイル42は、これらを挟む１対の磁石52とＥ型のヨーク62とからなる同じ磁気回路56の中に位置する。すなわに、磁気回路56は第二のベース８に取り付けてあり、スライドレール７上に乗った第二のムービングコイル42、第一のベース６を動かす駆動力源であり、また第一のムービングコイル41、揺動アーム１、プローブ３、位置検出器５を動かす駆動力源となっている。
　第一のムービングコイル41に流す電流は位置検出器５により知り得た位置を保持する様、制御する。第二のムービングコイル42はスライド・レール７に従い図中矢印のように直線運動し、被検査物（多層配線基板）９のパッド10に当たる。この時揺動アーム１は第一のムービングコイル41に流す電流は位置検出器５により知り得た位置を保持されており、この保持力の
強さが第２図の従来例に示した平行バネ111の強さに相当する。」(公報第２頁右上欄第１５行〜右下欄第８行)
　
　したがって、上記刊行物３には「揺動軸を有する揺動アームと、揺動アームの端部に取り付けられたプローブと、揺動アームのプローブが取り付けられた端部と揺動軸を挟んで反対側の端部に取り付けられた第１のムービングコイルと、第１のムービングコイルの位置を検出する位置検出器と、スライドレールを介して第２のベースに取り付けられた揺動軸を支える第１のベースと、第１のベースに取り付けられた第２のムービングコイルを有するフライング・プローブ・ヘッドにおいて、第１のムービングコイルに流す電流を制御することによって、位置検出器により知り得た位置を保持するように制御したことを特徴とするフライング・プローブ・ヘッド」(以下「刊行物３記載の発明」という。)が記載されている。
　
３−４．刊行物４
「【請求項１】　半導体レーザと、該半導体レーザから出射されたレーザ光を円形に絞る円形孔を有しかつ該円形孔を通過したレーザ光を平行光にするコリメータレンズを保持するコリメータセルと、平行光を集光して情報記録媒体上に微小なスポットを形成する対物レンズとを備えシーク動作をする光ピックアップ装置により、情報の記録、再生あるいは消去を行う光ディスク装置において、
　前記コリメータセルの前記半導体レーザに対向する面における前記円形孔の周囲に少なくとも一部に前記半導体レーザから出射されたレーザ光の一部を反射するミラーと、光ピックアップ装置の外部に配設され前記ミラーにより反射されたレーザ光を受けて光ピックアップ装置のシーク方向の位置を検出する位置検出装置とを設けたことを特徴とする光ディスク装置。」(公報第１欄第２〜１６行)
「【０００７】
【課題を解決するための手段】
　このような目的を達成するために、本発明は、半導体レーザと、該半導体レーザから出射されたレーザ光を円形に絞る円形孔を有しかつ該円形孔を通過したレーザ光を平行光にするコリメータレンズを保持するコリメータセルと、平行光を集光して情報記録媒体上に微小なスポットを形成する対物レンズとを備えシーク動作をする光ピックアップ装置により、情報の記録、再生あるいは消去を行う光ディスク装置において、
　前記コリメータセルの前記半導体レーザに対向する面における前記円形孔の周囲に少なくとも一部に前記半導体レーザから出射されたレーザ光の一部を反射するミラーと、光ピックアップ装置の外部に配設され前記ミラーにより反射されたレーザ光を受けて光ピックアップ装置のシーク方向の位置を検出する位置検出装置とを設けた構成する。」(公報第２欄第２９〜４４行)
「【００１５】
　ところで、コリメータセル６の半導体レーザ１に対向する面における下部すなわち、筐体８の底面側に斜面が形成されており、更にその斜面には、平面ミラー15が装着されている。この平面ミラー15によって反射されるレーザ光は、筐体８の底面に設けられた穴16もしくはスリットを通過して、光ディスク装置(図示せず)に固定されているＰＳＤ11面上に照射される。ＰＳＤ11では、レーザ光が照射されることで電圧が発生し、その電圧を検出回路13に出力する。ＰＳＤ11で発生する電圧は、図４に示すように、シーク動作によるシーク系の移動量に比例する。そこで検出回路13では、送られた電圧により電圧の変化分を求めることで光ピックアップ装置の移動量を求め、シーク位置を割り出し、その結果をサーボ回路14に出力する。」(公報第３欄第４６行〜第４欄第１１行)
　
　したがって、上記刊行物４には「光ピックアップ装置のシーク位置を制御する装置において、半導体レーザと、レーザ光を反射するミラーと、光ピックアップ装置の外部に配設され前記ミラーにより反射されたレーザ光を受けて光ピックアップ装置のシーク方向の位置を検出する位置検出装置とを設けた光ピックアップ装置のシーク位置を制御する装置」(以下「刊行物４記載の発明」という。)が記載されている。
　
４．周知例
　当審において、下記の記載がある特開平１−３１１２０５号公報(以下「周知例」という。)を発見した。
　
「[産業上の利用分野]
　この発明は位置検出装置に関するものである。」(公報第１頁左下欄第１３〜１４行)
「１１は光源、１２はスリット、１３は移動軸７と一体的に軸方向と４５°に設けられた反射鏡、１４は一次元半導体位置検出器１０上における光の入射位置即ち光点であり、ｘは電極１０ａから光点までの距離である。光源１１からの光はスリット１２を通ってビーム光線となり、このビーム光線は反射鏡１３により直角に曲げられ、一次元半導体位置検出器１０に入射されて光点１４を形成する。」(公報第２頁左下欄第１０〜１８行)
「次に、この実施例による位置検出装置の具体的構成を第１図に示す。位置検出器１０、光源１１、スリット１２はケース３内に配設される。反射鏡１３は樹脂製の反射鏡支持体１５に光源１１からの光に対して４５°の角度で取付けられ、反射鏡支持体１５は移動軸７の押圧により移動するとともに復帰スプリング９によって移動軸７方向に押圧される。リード線１６は電極１０ａ，１０ｂに接続され、またコネクタ１７とも接続される。
　上記構成において、移動軸７が外力により図の左方に移動すると、反射鏡支持体１５も左動し、光源１１からスリット１２を介して反射鏡１３によって直角に曲げられた光の位置検出器１０上における光点１４も移動軸７の移動距離と同じ距離だけ移動する。」(公報第２頁右下欄第５〜１９行)
　
　従って、上記周知例には「固定された光源と、光源からの光に対して４５°の角度で移動軸と一体的に移動する反射鏡と、光源から反射鏡によって直角に曲げられた光の位置を光点として検出する一次元半導体位置検出器からなる位置検出装置」(以下「周知技術」という。)
　
５．対比
　本願発明１と上記刊行物１記載の発明を比較する。
　上記刊行物１記載の発明の「電子部品と回路基板と結合させる結合部と接触し電気的検査を行うプローブピン」が、本願発明１の「電子部品と回路基板と結合させる結合部と接触し通電検査を行う通電検査を行うプローブアセンブリ」に相当することは明らかである。
　つぎに、上記刊行物１記載の発明の「リンク駆動モータ」「リンク機構」の組合せが、本願発明１の「プローブアセンブルが直線運動をするように駆動するための第１駆動手段」に相当し、また、上記刊行物１記載の発明の「スライドベース」「スライドベース上のレール」「スライドテーブル」の組合せが、本願発明１の「プローブアセンブリの直線運動を案内するためのガイド」に相当することも明らかである。
　そして、上記刊行物１記載の発明の「プローブピン」の先端部が「結合部と接触し通電検査による信号を検出する」機能を有していることも明らかである。
　したがって、本願発明１と上記刊行物１記載の発明は「電子部品を印刷回路基板と結合させる結合部と接触し通電検査を行うプローブアセンブリと、前記プローブアセンブリが直線運動をするように駆動するための第１駆動手段と、前記プローブアセンブリの直線運動を案内するためのガイドとを含む印刷回路基板の通電検査用のプローブ装置において、前記プローブアセンブリはその先端部で前記結合部と接触し通電検査による信号を検出するためのプローブチップとを含む印刷回路基板の通電検査用プローブ装置」という点で一致し、下記の点で相違する。
　
(あ)　本願発明１が「前記プローブチップの後端に結合され前記プローブチップが前記結合部に接触する時、前記プローブチップに加えられる接触力を測定するための力センサー」を有するのに対し、上記刊行物１記載の発明はそのようなものを有しない点。
(い)　本願発明１が「制御可能に印加される電流により移動」する「移動コイル」を含むのに対し、上記刊行物１記載の発明はそのようなものを有しない点。
(う)　本願発明１が「前記プローブチップが前記結合部に接触する時の前記プローブチップの位置を測定するための位置センサー」「前記測定された接触力と前記プローブチップの位置により前記プローブチップの位置を調整するための位置調整手段」を含み、「前記測定された接触力と前記プローブチップの位置に応答し」移動コイルに印加される電流を制御する点。
(え)　本願発明１が「前記プローブチップが前記結合部に接触する時の前記プローブチップの位置を測定するための位置センサー」「所定の位置に固定されレーザービームを放出するための光源」「レーザービームの光経路に沿って移動可能に設けられ前記光源から放出されたレーザービームを前記位置センサーの方に反射するための移動鏡」を有し、プローブチップの位置を測定しているのに対し、上記刊行物１記載の発明はそのようなものを有しない点。
　
６．当審の判断
　上記相違点について検討する。
　
　上記刊行物２記載の発明に示されるように、プローブと検査の対象となる回路間の圧力を検出して、プローブと検査対象となる回路基板間の相対間隔を制御することは良く知られており、また、上記刊行物３記載の発明は「第１のムービングコイルに流す電流を制御することによって、位置検出器により知り得た」プローブと検査対象となる回路基板間の相対「位置を保持するように制御」を行うものであるが、上記刊行物１〜４、ないし、上記周知例にも、「前記測定された接触力」と「前記プローブチップが前記結合部に接触する時の前記プローブチップの位置」に基づいて「前記プローブチップの位置を調整する」ことは記載されていない。
　そして、本願発明１は、上記相違点(う)を有することによって、明細書段落【００２０】【００２４】にも記載されるように「はんだ付け部に無理な力を加えずにプローブチップの振動無しに安定した通電検査を行うことができる」ものであるから、上記相違点(う)は当業者が容易になし得たことではない。
　
　したがって、本願発明１は、上記刊行物１〜４記載の発明、および、周知技術に基づいて当業者が容易に発明できたものではない。
　また、本願発明２，３は本願発明１を引用するものであるから、あらためて判断するまでもなく、上記刊行物１〜４記載の発明、および、周知技術に基づいて当業者が容易に発明できたものではない。
　
７．むすび
　したがって、本願発明１〜３は原査定の拒絶理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。