【手続補正書】
【提出日】平成18年4月11日(2006.4.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パルス光を発光する光源を収納する第１のチャンバに接続可能な第２のチャンバの圧力を当該第１のチャンバの圧力よりも低くする差動排気システムであって、
前記第２のチャンバに前記パルス光を導入する導管部と、
前記導管部に配置され、前記パルス光が通過する開口部と、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの接続を遮断する遮断部とを有し、軸回りに回転可能な回転体と、
前記パルス光が前記開口部を通過するように、前記パルス光の発光と前記回転体の回転とを同期させて制御する制御部と、
前記開口部が前記パルス光の通過する位置に存在しないときに、前記回転体への前記パルス光の入射を防止するシャッタとを有することを特徴とする差動排気システム。
【請求項２】
前記導管部の雰囲気を排気する排気手段を有することを特徴とする請求項１記載の差動排気システム。
【請求項３】
前記回転体は、回転量を検出するためのパターンを有することを特徴とする請求項１又は２記載の差動排気システム。
【請求項４】
パルス光を発光する光源を収納する第１のチャンバに接続可能な第２のチャンバの圧力を当該第１のチャンバの圧力よりも低くする差動排気システムであって、
前記第２のチャンバに前記パルス光を導入する導管部と、
前記第２のチャンバの雰囲気を、前記導管部を介して前記第１のチャンバに排気するため、前記パルス光が通過する第１の開口部を有し軸に固定された固定翼と、前記パルス光が通過する第２の開口部と、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの接続を遮断する遮断部とを有し前記軸回りに回転可能な回転翼とを有するポンプと、
前記パルス光が前記第２の開口部を通過するように、当該パルス光の発光と前記回転翼の回転とを同期させて制御する制御部とを有することを特徴とする差動排気システム。
【請求項５】
前記パルス光は集光点を有し、当該集光点は前記導管部の中央よりも第１のチャンバ側に位置することを特徴とする請求項４記載の差動排気システム。
【請求項６】
パルス光を発光する光源を収納する第１のチャンバに接続可能な第２のチャンバの圧力を当該第１のチャンバの圧力よりも低くする差動排気システムであって、前記パルス光の発光時に当該パルス光が通過する開口部と、前記パルス光の発光時以外は前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの接続を遮断する遮断部とを有する回転体を有する差動排気システムの前記回転体の回転を制御する制御方法であって、
前記パルス光のトリガー信号となる基準クロックを分周し、前記回転体の回転のリファレンス信号を生成するステップと、
前記回転体の回転を前記リファレンス信号と同じ周波数となるように分周した信号と前記リファレンス信号から位相差信号を求めるステップと、
前記リファレンス信号と前記位相差信号から位相差を求めるステップと、
前記位相差が位相設定値となるように、前記回転体を回転させるステップとを有することを特徴とする制御方法。
【請求項７】
請求項１乃至５のうちいずれか一項記載の差動排気システムを備え、前記パルス光を前記第２のチャンバが収納する光学素子を介して被照明領域を照明することを特徴とする照明装置。
【請求項８】
請求項７記載の照明装置と、
被照明領域に形成されたパターンを被処理体に投影する光学系と、を有する露光装置。
【請求項９】
パルス光源に基づいて第１のチャンバで発生する露光光を利用して前記第１のチャンバよりも圧力が低い第２のチャンバに配置された被露光体を露光する露光装置であって、
前記第１及び第２のチャンバの圧力差を維持するための差動排気システムと、
前記差動排気システムを制御する制御部とを有し、
前記差動排気システムは、
前記第１及び第２のチャンバを接続する導管部と、
前記第１及び第２のチャンバを連通する孔と前記第１及び第２のチャンバの連通を遮断する隔壁部とが前記導管部上で切り替わるように、前記第１及び第２のチャンバの間で回転する回転体とを有し、
前記制御部は、前記被露光体に要求される露光量に基づいて、前記回転体の回転速度を設定することを特徴とする露光装置。
【請求項１０】
請求項８又は９記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の一側面としての差動排気システムは、パルス光を発光する光源を収納する第１のチャンバに接続可能な第２のチャンバの圧力を当該第１のチャンバの圧力よりも低くする差動排気システムであって、前記第２のチャンバに前記パルス光を導入する導管部と、前記導管部に配置され、前記パルス光が通過する開口部と、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの接続を遮断する遮断部とを有し、軸回りに回転可能な回転体と、前記パルス光が前記開口部を通過するように、前記パルス光の発光と前記回転体の回転とを同期させて制御する制御部と、前記開口部が前記パルス光の通過する位置に存在しないときに、前記回転体への前記パルス光の入射を防止するシャッタとを有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１８
【補正方法】削除
【補正の内容】