(57)【要約】【課題】  クリーンルームの天井板に対する強度と気密の要求に適い、かつ重ねて搬送しやすく、取り付け作業の容易なブラインドプレートと支持座の結合構造を提供する粒状のチップ表面を均一で平らに充填することができるウェハレベルパッケージの充填構造とその方法を提供する。【解決手段】  一体成型され、天井板に吊支される２つの支持座の間に設けられるブラインドプレートであって、該ブラインドプレート両側の凸端で円弧状を呈する端面に気密溝を形成し、かつ該２つの支持の凸縁板上の気密部材と６箇所で接触して気密効果を高めるように構成する。【選択図】  図４
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
一体成型され、天井板に吊支される２つの支持座の間に設けられるブラインドプレートであって、該ブラインドプレート両側の凸端で円弧状を呈する端面に気密溝を形成し、かつ該２つの支持の凸縁板上の気密部材と６箇所で接触して気密効果を高めるように構成することを特徴とするブラインドプレートと支持座との結合構造。
【請求項２】
前記ブラインドプレートが直方体か、もしくは方形体であって、四隅に円弧状端面の気密溝が一体に形成され、気密効果を得るための気密部材を挿入することを特徴とする請求項１に記載のブラインドプレートと支持座との結合構造。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この考案は、ブラインドプレートと支持座との結合構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の圧板（Pressure plate）と支持柱との連結構造について、図１、２、３に開示する。圧板１’は図２に開示するようにプレスによって四隅に直角部Ａ’をそれぞれ形成し、かつ圧板１’の横方向に折り線ａ’、ｂ’を形成し、縦方向にも折り線ａ”、ｂ”を形成して図３に開示する圧板１’を形成する。
【０００３】
図１に開示するように、凸縁部を具え、該凸縁部が互いに対向するように設けた２本の支持柱２’の該凸縁部上に圧板１’を設けて４つの接触点ｅ、ｃ’、ｅ’、ｃ”を形成して壁面Ｗに吊支する。
【０００４】
述する構造は圧板１’を支持柱２’に結合する場合、圧板１’の製造加工、施工が煩雑になり、コストの増加につながる。また、製造した後、重ねて運送するのに不便である。さらには、２本の支持柱２’に設けた場合、強度が不足し、かつ気密を保持するための手段がもうけられていないため、空気が漏れやすい。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
この考案は、クリーンルームの天井板に対する強度と気密の要求に適い、かつ重ねて搬送しやすく、取り付け作業の容易なブラインドプレートと支持座の結合構造を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで、本考案者は従来の技術に見られる欠点に鑑みて鋭意研究を重ねた結果、体成型され、天井板に吊支される２つの支持座の間に設けられるブラインドプレートであって、該ブラインドプレート両側の凸端で円弧状を呈する端面に気密溝を形成し、かつ該２つの支持の凸縁板上の気密部材と６箇所で接触して気密効果を高めるように構成してなるブライドプレートの連結構造によって課題を解決できる点に着眼し、かかる知見に基づいて本考案を完成させた。
以下この考案について具体的に説明する。
請求項１に記載するブラインドプレートと支持座との結合構造は、一体成型され、天井板に吊支される２つの支持座の間に設けられるブラインドプレートであって、該ブラインドプレート両側の凸端で円弧状を呈する端面に気密溝を形成し、かつ該２つの支持の凸縁板上の気密部材と６箇所で接触して気密効果を高めるように構成する。
【０００７】
請求項２に記載するブラインドプレートと支持座との結合構造は、請求項１におけるブラインドプレートが直方体か、もしくは方形体であって、四隅に円弧状端面の気密溝が一体に形成され、気密効果を得るための気密部材を挿入する。
【考案の効果】
【０００８】
この考案にブラインドプレートと支持座との結合構造は、一体に形成するため構造の強度が高く、生産性が高いのでコストを節減することができるとともに、重ねることができるため運送が容易で、取り付け作業に便利で安全であるといった利点を有する。
【実施例】
【０００９】
この考案においては、一体に成型され、気密溝Ｇを具えるブラインドプレート４一体性を支持座１、２の間に設け、気密部材３、３’を気密溝Ｇに挿入して気密の効果を高める。
【００１０】
図４に開示するように、吊支桿５、５’で上方の壁面板Ｗ’に吊支した支持座１、２の凸縁板１２、１２’の間にブラインドプレート４を設ける。
【００１１】
図６、図９に開示する角Ｄのように、ブラインドプレート４は四隅に気密溝Ｇを一体に形成する。図７はブラインドプレート４の角の内の１である角Ｃの平面図である。
【００１２】
図４、５に開示するように、ブラインドプレート４の延伸した一端の円弧状端面４１、４１’に形成した気密溝Ｇには気密部材３、３’を設ける。その接触点ａは支持座１の補強端面１１と接触して接触点ｃ、ｂを形成する。ブラインドプレート４の他端に形成した円弧状端面４１’も支持座２の補強面１１’と接触し、気密部材３、３’が支持座１、２の凸縁板１２、１２’に至るまで下方に押圧する。
【００１３】
以上はこの考案の好ましい実施例であって、この考案の実施の範囲を限定するものではない。よって、当業者のなし得る修正、もしくは変更であって、この考案の精神の下においてなされ、この考案に対して均等の効果を有するものは、いずれもこの考案の実用新案登録請求の範囲に属するものとする。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】従来のブラインドプレートと支持柱の連結構造を示した説明図である。
【図２】従来のブラインドプレートを展開した状態を示した説明図である。
【図３】従来のブラインドプレートの平面図である。
【図４】この考案によるブラインドプレートと支持柱の連結構造を示した説明図である。
【図５】図４に開示する連結構造局部拡大図である。
【図６】この考案のブラインドプレートにおける角Ｄの部分の拡大図である。
【図７】この考案のブラインドプレートにおける角Ｃの部分の局部説明図図である。
【図８】この考案のブラインドプレートの平面図である。
【図９】この考案のブラインドプレートの斜視図である。
【符号の説明】
【００１５】
１      支持座
１’    圧板
１１    補強端面
１１’  補強面
１２    凸縁板
１２’  凸縁板
２      支持座
２’    支持柱
３      気密部材
３’    気密部材
４      ブラインドプレート
４１    円弧状端面
４１’  円弧状端面
５      吊支桿
５’    吊支桿
Ａ’    直角部
ａ      接触点
ａ’    折り線
ａ”    折り線
ｂ      接触点
ｂ’    折り線
ｂ”    折り線
ｃ      接触点
ｃ’    接触点
ｃ”    接触点
ｅ      接触点
ｅ’    接触点
Ｇ      気密溝
Ｗ      壁面
Ｗ’     壁面板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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