【手続補正書】
【提出日】平成18年1月18日(2006.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロアクチュエータ、マイクロポンプ、光学デバイス、画像形成装置、液滴を吐出する装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する単一又は複数のノズル孔と、前記ノズル孔のそれぞれに連通する吐出室と、前記吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板とを備え、前記振動板を変形させることによって液に圧力を加え液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の両面、または、片方の面に電気的に互いに絶縁分離された導電性を有する構造体からなる少なくとも２つの電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記振動板を変形させることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
液滴を吐出する単一又は複数のノズル孔と、前記ノズル孔のそれぞれに連通する吐出室と、前記吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板とを備え、前記振動板を変形させることによって液に圧力を加え液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の両面、または、片方の面に導電性を有する構造体からなる少なくとも１つの電極を設けるとともに、固定部に前記電極に所定の間隔を置いて対向する電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記振動板を変形させることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、互いに隣り合う電極に電位差を生じる電圧を印加して隣り合う電極間で静電力を発生させることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極と同一材料の層または構造体が、前記電極の形成される面と略同一平面で前記振動板以外の領域に形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項４に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極と同一材料の層または構造体の厚さが前記電極の厚さよりも厚いことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極はポリシリコンからなることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極は単結晶シリコンからなることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極は伝導型がｎ型またはｐ型の不純物原子を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板と前記電極が電気的に分離されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項９に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板と前記電極との間に絶縁膜が設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１１】
請求項１０に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記絶縁膜はシリコン熱酸化膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１２】
請求項１１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記シリコン熱酸化膜の膜厚が５０〜１０００ｎｍであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１３】
請求項１０に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記絶縁膜はシリコン窒化膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１４】
請求項１３に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記シリコン窒化膜の膜厚が５０〜１０００ｎｍであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１５】
請求項１乃至１４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極の表面に絶縁膜が形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１６】
請求項１５に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記絶縁膜は熱酸化膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１７】
請求項１５に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記絶縁膜は堆積膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１８】
請求項１７に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記絶縁膜はＣＶＤ法により形成された膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１９】
請求項１乃至１８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極表面に導電性膜が形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２０】
インク滴を吐出する液滴吐出ヘッドとこの液滴吐出ヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジにおいて、前記液滴吐出ヘッドが請求項１乃至１９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項２１】
インク滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが請求項１乃至１８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド又は請求項１９に記載のインクカートリッジであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２２】
可動部分を変形させるマイクロアクチュエータであって、前記可動部分の両面、または、片方の面に電気的に互いに絶縁分離された導電性を有する構造体からなる少なくとも２つの電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記可動部分を変形させることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項２３】
可動部分を変形させるマイクロアクチュエータであって、前記可動部分の両面、または、片方の面に導電性を有する構造体からなる少なくとも１つの電極を設けるとともに、固定部に前記可動部分の電極に所定の間隔を置いて対向する電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記可動部分を変形させることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項２４】
可動部分の変形によって液体を輸送するマイクロポンプであって、前記可動部分の両面、または、片方の面に電気的に互いに絶縁分離された２つの電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記可動部分を変形させることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項２５】
可動部分に形成したミラーの変位によって光の反射方向を変化させる光学デバイスであって、前記可動部分の両面、または、片面に電気的に互いに絶縁分離された２つの電極を設け、前記電極間に静電力を発生させることによって前記可動部分を変形させることを特徴とする光学デバイス。
【請求項２６】
液滴吐出ヘッドを備えて画像を形成する画像形成装置において、前記液滴吐出ヘッドが請求項１ないし１８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
【請求項２７】
液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する装置において、前記液滴吐出ヘッドが請求項１ないし１８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする液滴を吐出する装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロアクチュエータ、マイクロポンプ、光学デバイス、画像形成装置、液滴を吐出する装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、低コストで、滴吐出効率が高く、高画質印字が可能な液滴吐出ヘッド、このヘッドを一体化したインクカートリッジ、高画質記録が可能なインクジェット記録装置、低コストで、駆動効率が高いマイクロアクチュエータ、マイクロポンプ、光学デバイス、高画質記録が可能な画像形成装置、滴吐出効率が高い液滴を吐出する装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するインクジェットヘッドが本発明に係る液滴吐出ヘッド又はインクカートリッジであるものである。
本発明に係る画像形成装置、液滴を吐出する装置は、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０２】
本発明に係るインクジェットヘッド又はインクカートリッジを搭載した、本発明に係る液滴を吐出する装置を含む画像形成装置としてのインクジェット記録装置の一例について図２３及び図２４を参照して説明する。なお、図２３は同記録装置の斜視説明図、図２４は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２３】
なお、上記実施形態においては、液滴吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドとして、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。また、マイクロアクチュエータは、マイクロポンプ、光学デバイス（光変調デバイス）以外にも、マイクロスイッチ（マイクロリレー）、マルチ光学レンズのアクチュエータ（光スイッチ）、マイクロ流量計、圧力センサなどにも適用することができる。また、前述したようにプリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像形成装置及び液滴を吐出する装置にも本発明を適用することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３４】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、インク滴を吐出するインクジェットヘッドとして本発明に係る液滴吐出ヘッド又はインクカートリッジを搭載するので、装置の低コスト化を図れる。本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたので、低コスト化を図ることができる。本発明に係る液滴を吐出する装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたので、低コスト化を図れる。