【手続補正書】
【提出日】平成18年3月2日(2006.3.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定対象側の開口数が０．８以上のフィゾー干渉計の光学系に固有の誤差であるシステムエラーを、フィゾーレンズの焦点位置に曲率中心が一致するように配置した球面を光軸に関して０°及び１８０°回転した位置で測定した波面と、前記フィゾーレンズの焦点位置に反射基板を配置したキャッツアイ測定で得られた波面に基づいて測定する測定装置であって、
前記反射基板の屈折率は、１．８以上であることを特徴とする測定装置。
【請求項２】
被測定対象側の開口数ＮＡが０．８以上のフィゾー干渉計の光学系に固有の誤差であるシステムエラーを、フィゾーレンズの焦点位置に曲率中心が一致するように配置した球面を光軸に関して０°及び１８０°回転した位置で測定した波面と、前記フィゾーレンズの焦点位置に反射基板を配置したキャッツアイ測定で得られた波面に基づいて測定する測定装置であって、
前記反射基板の屈折率ｎは、
2004271305.tif 000001
を満足することを特徴とする測定装置。
【請求項３】
前記被測定対象は、投影露光装置用の投影レンズであり、
当該投影レンズは開口数０．８以上であることを特徴とする請求項１又は２記載の測定装置。
【請求項４】
前記被測定対象は、ミラーであり、
当該ミラーは、開口数０．８以上の面形状を有することを特徴とする請求項１又は２記載の測定装置。
【請求項５】
前記被測定対象に直線偏光を照射する光源を有し、
前記光源は可視のレーザーであり、且つ、前記反射基板の前記光源の波長に対する屈折率は１．８３以上であることを特徴とする請求項１又は２記載の測定装置。
【請求項６】
請求項３記載の投影レンズ又は請求項４記載のミラーを投影光学系に有することを特徴とする露光装置。
【請求項７】
請求項６記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項８】
被測定対象の波面を測定するフィゾー干渉計であって、
被測定対象側の開口数が０．８以上のフィゾーレンズを含む光学系と、
当該光学系に固有の誤差であるシステムエラーを測定する測定部とを有し、
当該測定部は、前記フィゾーレンズの焦点位置に曲率中心が一致するように配置した球面を光軸に関して０°及び１８０°回転した位置で測定した波面と、前記フィゾーレンズの焦点位置に反射基板を配置したキャッツアイ測定で得られた波面に基づいて前記システムエラーを測定し、
前記反射基板の屈折率は、１．８以上であることを特徴とするフィゾー干渉計。
【請求項９】
被測定対象の波面を測定するフィゾー干渉計であって、
被測定対象側の開口数が０．８以上のフィゾーレンズを含む光学系と、
当該光学系に固有の誤差であるシステムエラーを測定する測定部とを有し、
当該測定部は、前記フィゾーレンズの焦点位置に曲率中心が一致するように配置した球面を光軸に関して０°及び１８０°回転した位置で測定した波面と、前記フィゾーレンズの焦点位置に反射基板を配置したキャッツアイ測定で得られた波面に基づいて前記システムエラーを測定し、
前記反射基板の屈折率ｎは、
2004271305.tif 000002
を満足することを特徴とするフィゾー干渉計。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の一側面としての測定装置は、被測定対象側の開口数が０．８以上のフィゾー干渉計の光学系に固有の誤差であるシステムエラーを、フィゾーレンズの焦点位置に曲率中心が一致するように配置した球面を光軸に関して０°及び１８０°回転した位置で測定した波面と、前記フィゾーレンズの焦点位置に反射基板を配置したキャッツアイ測定で得られた波面に基づいて測定する測定装置であって、前記反射基板の屈折率は、１．８以上であることを特徴とする。
本発明の別の側面としての測定装置は、被測定対象側の開口数ＮＡが０．８以上のフィゾー干渉計の光学系に固有の誤差であるシステムエラーを、フィゾーレンズの焦点位置に曲率中心が一致するように配置した球面を光軸に関して０°及び１８０°回転した位置で測定した波面と、前記フィゾーレンズの焦点位置に反射基板を配置したキャッツアイ測定で得られた波面に基づいて測定する測定装置であって、前記反射基板の屈折率ｎは、
2004271305.tif 000003
を満足することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としての露光装置は、上述の投影レンズ又は上述のミラーを投影光学系に有することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としてのデバイス製造方法は、上述の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としてのフィゾー干渉計は、被測定対象の波面を測定するフィゾー干渉計であって、被測定対象側の開口数が０．８以上のフィゾーレンズを含む光学系と、当該光学系に固有の誤差であるシステムエラーを測定する測定部とを有し、当該測定部は、前記フィゾーレンズの焦点位置に曲率中心が一致するように配置した球面を光軸に関して０°及び１８０°回転した位置で測定した波面と、前記フィゾーレンズの焦点位置に反射基板を配置したキャッツアイ測定で得られた波面に基づいて前記システムエラーを測定し、前記反射基板の屈折率は、１．８以上であることを特徴とする。
本発明の更に別の側面としてのフィゾー干渉計は、被測定対象の波面を測定するフィゾー干渉計であって、被測定対象側の開口数が０．８以上のフィゾーレンズを含む光学系と、当該光学系に固有の誤差であるシステムエラーを測定する測定部とを有し、当該測定部は、前記フィゾーレンズの焦点位置に曲率中心が一致するように配置した球面を光軸に関して０°及び１８０°回転した位置で測定した波面と、前記フィゾーレンズの焦点位置に反射基板を配置したキャッツアイ測定で得られた波面に基づいて前記システムエラーを測定し、前記反射基板の屈折率ｎは、
2004271305.tif 000004
を満足することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】