【手続補正書】
【提出日】平成18年9月28日(2006.9.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器に収容された液状部材を吐出させる吐出ポートと、この吐出ポートに対向配置されて基板を載置したステージとを有し、前記吐出ポートと前記ステージとを前記基板の面方向に相対移動させることにより、前記液状部材を基板上の所定領域内に設定された複数の滴下位置へ滴下する液状部材の滴下装置において、
前記滴下位置に対して前記液状部材を前記ステージと前記吐出ポートとの相対移動中に滴下させ、前記滴下位置に応じて前記相対移動の移動速度を変化させるように制御する制御手段を具備することを特徴とする液状部材の滴下装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記ステージに対する前記吐出ポートの滴下移動方向に対向する前記所定領域の縁により近い滴下位置での前記移動速度が他の滴下位置での移動速度よりも遅くなるように制御することを特徴とする請求項１に記載の液状部材の滴下装置。
【請求項３】
容器に収容された液状部材を吐出させる吐出ポートと、この吐出ポートに対向配置されて基板を載置したステージとを有し、前記吐出ポートと前記ステージとを前記基板の面方向に相対移動させることにより、前記液状部材を基板上の所定領域内に設定された複数の滴下位置へ滴下する液状部材の滴下装置において、
前記滴下位置に応じて、前記吐出ポートからの前記液状部材の吐出速度を制御する制御手段を具備することを特徴とする液状部材の滴下装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記所定領域内の縁により近い滴下位置での前記吐出速度を、他の滴下位置での吐出速度よりも遅くなるように制御することを特徴とする請求項３に記載の液状部材の滴下装置。
【請求項５】
容器に収容された液状部材を吐出させる吐出ポートと、この吐出ポートに対向配置されて基板を載置したステージとを有し、前記吐出ポートと前記ステージとを前記基板の面方向に相対移動させることにより、前記液状部材を基板上の所定領域内に設定された複数の滴下位置へ滴下する液状部材の滴下装置において、
前記ステージに載置された前記基板と前記吐出ポートとの間隔を可変とする鉛直軸移動機構と、
前記滴下位置に応じて前記鉛直軸移動機構を駆動制御して前記基板と前記吐出ポートとの間隔を変化させる制御手段と
を具備することを特徴とする液状部材の滴下装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記所定領域の縁により近い滴下位置での前記ステージと前記吐出ポートとの間隔を、他の滴下位置での前記ステージと前記吐出ポートとの間隔よりも狭くなるように制御することを特徴とする請求項５に記載の液状部材の滴下装置。
【請求項７】
容器に収容された液状部材を吐出させる吐出ポートと、この吐出ポートに対向配置されて基板を載置したステージとを有し、前記吐出ポートと前記ステージとを前記基板の面方向に相対移動させることにより、前記液状部材を基板上の所定領域内に設定された複数の滴下位置へ滴下する液状部材の滴下装置において、
前記複数の滴下位置に対し、前記所定領域の縁から前記所定領域の中央に向かう方向へと順次液状部材を滴下するように前記吐出ポートと前記ステージとの前記相対移動を制御する制御手段を具備することを特徴とする液状部材の滴下装置。
【請求項８】
容器に収容された液状部材を吐出させる吐出ポートとこの吐出ポートに対向配置されて基板を載置したステージとを前記基板の面方向に相対移動させつつ、前記吐出ポートから液状部材を基板上の所定領域内に設定された複数の滴下位置へ滴下させる液状部材の滴下方法であって、
前記滴下位置に応じて前記相対移動の移動速度を変化させることを特徴とする液状部材の滴下方法。
【請求項９】
前記相対移動の移動速度は、前記ステージに対する前記吐出ポートの滴下移動方向に対向する前記所定領域の縁により近い滴下位置で他の滴下位置よりも遅くなるように変化させることを特徴とする請求項８に記載の液状部材の滴下方法。
【請求項１０】
容器に収容された液状部材を吐出させる吐出ポートとこの吐出ポートに対向配置されて基板を載置したステージとを前記基板の面方向に相対移動させて、前記吐出ポートから液状部材を基板上の所定領域内に設定された複数の滴下位置へ滴下させる液状部材の滴下方法であって、
前記滴下位置に応じて、前記吐出ポートからの前記液状部材の吐出速度、前記基板と前記吐出ポートとの間隔の少なくとも一方を変化させることを特徴とする液状部材の滴下方法。
【請求項１１】
前記吐出速度は、前記所定領域の縁に近い滴下位置で、他の滴下位置よりも遅くなるように変化させることを特徴とする請求項１０に記載の液状部材の滴下方法。
【請求項１２】
前記基板と前記吐出ポートとの間隔は、前記所定領域の縁により近い滴下位置で、他の滴下位置よりも狭くなるように変化させることを特徴とする請求項１０に記載の液状部材の滴下方法。
【請求項１３】
容器に収容された液状部材を吐出させる吐出ポートとこの吐出ポートに対向配置されて基板を載置したステージとを前記基板の面方向に相対移動させつつ、前記吐出ポートから液状部材を基板上の所定領域内に設定された複数の滴下位置へ滴下させる液状部材の滴下方法であって、
前記複数の滴下位置に対し、前記所定領域の縁から前記所定領域の中央に向かう方向へと順次液状部材を滴下させることを特徴とする液状部材の滴下方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明における液晶部材の滴下装置の第２の発明は、容器に収容された前記液状部材を吐出させる吐出ポートと、この吐出ポートに対向配置されて基板を載置したステージとを有し、前記吐出ポートと前記ステージとを前記基板の面方向に相対移動させることにより、前記液状部材を基板上の所定領域内に設定された複数の滴下位置へ滴下する液状部材の滴下装置において、前記滴下位置に応じて、前記吐出ポートからの前記液状部材の吐出速度を制御する制御手段を具備することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明における液晶部材の滴下装置の第３の発明は、容器に収容された前記液状部材を吐出させる吐出ポートと、この吐出ポートに対向配置されて基板を載置したステージとを有し、前記吐出ポートと前記ステージとを前記基板の面方向に相対移動させることにより、前記液状部材を基板上の所定領域内に設定された複数の滴下位置へ滴下する液状部材の滴下装置において、前記ステージに載置された前記基板と前記吐出ポートとの間隔を可変とする鉛直軸移動機構と、前記滴下位置に応じて前記鉛直軸移動機構を駆動制御して前記基板と前記吐出ポートとの間隔を変化させる制御手段とを具備することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明に係る液状部材の滴下装置の第４の発明は、容器に収容された前記液状部材を吐出させる吐出ポートと、この吐出ポートに対向配置されて基板を載置したステージとを有し、前記吐出ポートと前記ステージとを前記基板の面方向に相対移動させることにより、前記液状部材を基板上の所定領域内に設定された複数の滴下位置へ滴下する液状部材の滴下装置において、前記複数の滴下位置に対し、前記所定領域の縁から前記所定領域の中央に向かう方向へと順次液状部材を滴下するように前記吐出ポートと前記ステージとの前記相対移動を制御する制御手段を具備することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明に係る液晶部材の滴下方法の第２の発明は、容器に収容された前記液状部材を吐出させる吐出ポートとこの吐出ポートに対向配置されて基板を載置したステージとを前記基板の面方向に相対移動させて、前記吐出ポートから液状部材を基板上の所定領域内に設定された複数の滴下位置へ滴下させる液状部材の滴下方法であって、前記滴下位置に応じて、前記吐出ポートからの前記液状部材の吐出速度、前記基板と前記吐出ポートとの間隔の少なくとも一方を変化させることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
なお、この第１の実施例を含め、以下説明する各実施例では、滴下パターンデータとして、基板１に対する液晶Ｌの滴下位置が、上記のように滴下点数が２０（４×５）で、滴下位置Ｌ１を基準としてＸ方向左側に１５mm間隔で４列、Ｙ方向上側に２０mm間隔で５行であるとするデータを入力し、１回のプランジャ４３７ａ、４３７ｂの押し出しで吐出ポート４３３ｂから吐出される液晶Ｌの量が２mｇ／ｄｏｔであるとするデータを入力して滴下条件を得るものとする。ここで、基板１に対する滴下位置Ｌ１は、基板１上に塗布されたシール剤２の辺に隣接する滴下位置での当該辺までの離隔距離がそれぞれ等間隔となる位置に設定されており、この実施例では８mmである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
従って、ストッパ４３９は、回転軸４３２ａのまわりを回転部４３４とともに回転可能
とされ、各プランジャ４３７ａ，４３７ｂのカムフォロア（従節）が挿通し得る孔４３９
ａにストッパ部４３９ｂを備え、プランジャ４３７ａ，４３７ｂの頭部フランジ４３７ａ
ａ，４３７ｂａをストッパ部４３９ｂに衝合させることにより、プランジャ４３７ａ，４
３７ｂの上限位置を規制し、当該プランジャ４３７ａ，４３７ｂに対応する備蓄室４３４
ａへの液晶Ｌの取出し量、ひいては備蓄室４３４ｂからの液晶Ｌの吐出量を変えることが
できる。