(57)【要約】      （修正有）【課題】管継手の使用数が少なくて済むことに加え、樹脂製の構成部品を用いているにもかかわらず流体漏れが起こりにくいエジェクタを提供する。【解決手段】エジェクタ１１は、樹脂製の本体ブロック２１、樹脂製筒状の供給ポート３１、樹脂製筒状の排出ポート４１、樹脂製筒状の真空ポート５１等を備える。本体ブロック２１は、その内部にディフューザ部２３を有する。供給ポート３１は、本体ブロック２１に突設され、ノズル部２２に加圧流体を供給する。排出ポート４１は、本体ブロック２１に突設され、ノズル部２２からディフューザ部２３へ噴射された加圧流体を排出しうる。本体ブロック２１に突設された真空ポート５１には負圧が発生しうる。排出ポート４１及び真空ポート５１は本体ブロック２１に一体形成されている。供給ポート３１は別体にて構成され本体ブロック２１に接着または溶着されている。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
略直方体形状をなし、その内部にディフューザ部を有する樹脂製の本体ブロックと、
前記本体ブロックに突設され、前記ディフューザ部に対向配置される内端部にノズル部を有する樹脂製筒状の供給ポートと、
前記本体ブロックに突設され、前記ノズル部から前記ディフューザ部へ噴射された前記加圧流体を排出可能な樹脂製筒状の排出ポートと、
前記本体ブロックに突設され、前記ノズル部と前記ディフューザ部の入口側との間の領域に連通された樹脂製筒状の真空ポートと
を備え、前記真空ポートに負圧を発生しうるエジェクタであって、
前記排出ポート及び前記真空ポートが前記本体ブロックに一体形成され、前記供給ポートが別体にて構成されるとともに前記本体ブロックに接着または溶着されていることを特徴とするエジェクタ。
【請求項２】
前記本体ブロック、前記供給ポート、前記排出ポート及び前記真空ポートは、いずれもフッ素樹脂製であり、前記供給ポートは前記本体ブロックに対してフッ素樹脂を用いて溶着されていることを特徴とする請求項１に記載のエジェクタ。
【請求項３】
前記本体ブロック、前記供給ポート、前記排出ポート及び前記真空ポートは、いずれもＰＴＦＥ樹脂製であり、前記供給ポートは前記本体ブロックに対してＰＦＡ樹脂を用いて溶着されていることを特徴とする請求項１に記載のエジェクタ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、加圧流体の供給により負圧を発生しうるため、流体の吸引・搬送や低真空の発生などに用いられるエジェクタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体圧機器の一種としてエジェクタが知られている（例えば、特許文献１参照）。エジェクタは、その内部に機械的な可動部分を持たないが、加圧された駆動流体さえあれば手軽に負圧を発生させることができる。それゆえ、エジェクタは流体の吸引・搬送や低真空の発生などに広く利用されている。
【０００３】
上記特許文献１に開示されたエジェクタは下記の構成を有している。エジェクタを構成する本体には主流路が設けられ、その主流路にはディフューザ部が配設されている。主流路の流入側開口部には雌ねじ部が形成されていて、その雌ねじ部には内端側にノズル穴を有するノズル部材が螺着されている。ノズル部材の外端側には雌ねじ部が形成されていて、そこが供給ポートとなっている。一方、主流路の流出側開口部にも雌ねじ部が形成されていて、そこが排出ポートとなっている。排出ポートにはノイズを低減するためのサイレンサが螺着されている。ノズル部とディフューザ部の入口側との間の領域からはサブ流路が分岐している。そのサブ流路の開口部にも雌ねじ部が形成されていて、そこが真空ポートとなっている。そしてこのように構成されたエジェクタでは、供給ポートに加圧流体を供給すると、その加圧流体がノズル部からディフューザ部へ勢いよく噴射される。このとき、ノズル部とディフューザ部の入口側との間の領域にある流体が巻き込まれて排出ポート側に排出される結果、真空ポートに負圧が発生するようになっている。なお、特許文献１において具体的な記載はないが、一般的にエジェクタを構成する部品としては、アルミニウム等の金属材料を用いることが多い。また、各ポートに接続される管継手についても、ステンレス等の金属材料を用いることが多い。
【特許文献１】特開２００１−２９５８００号公報（図１参照）
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記従来のエジェクタの場合、雌ねじ部を有する給気ポートや真空ポートには、雄ねじ部を有する管継手を用いて短管部材が接続されるようになっている。また、これらの短管部材に対しては、別の管継手を用いて配管が各々接続されるようになっている。それゆえ、エジェクタの使用にあたって多くの部品が必要になるという欠点があった。このため、管継手の使用数を少なくできる構造が望まれていた。
【０００５】
また、金属製の構成部品からなる従来のエジェクタを、例えば半導体製造装置内の真空引きを行わせる装置として適用すると、エジェクタや管継手が各種の腐食性の化学薬品に晒される結果、腐食等によって部品が傷むことがある。よって最近では、耐薬品性の樹脂材料を用いたエジェクタが提案されるに至っている。なお、この種の樹脂製のエジェクタでは、管継手に相当する部分についても樹脂製であることが好ましいと考えられている。
【０００６】
ところで、この種のエジェクタを使用する場合には、通常、供給ポートが配管を介して加圧流体源に接続され、真空ポートが別の配管を介して例えば真空引きを要する装置に接続され、排出ポートがサイレンサに接続される。つまり、真空ポート及び排出ポートは使用時にいずれも非閉塞状態となる。しかしながら、真空ポート及び排出ポートを電磁弁に接続したような場合、電磁弁の切替位置設定によっては両者が一時的に閉塞した状態（説明の便宜上「２ポート閉塞状態」と呼ぶ。）となることがある。このような特殊な使用態様を採った場合、供給ポートから供給される加圧流体の逃げ場がなくなるため、加圧流体が構成部品同士の継ぎ目（例えば、雌ねじ部と雄ねじ部とで螺合している部分）にある隙間から漏れ出してしまう。ゆえに、漏れ出した部分に化学物質が付着するという欠点があった。
【０００７】
ここで、雄ねじ部側にシールテープを巻いて雌ねじ部に強固に螺着するという対策も考えられるが、金属に比べて剛性の低い樹脂製の構成部品を用いた場合、あまり強く締め付けると、材料の変形等により、かえってシール性が害されて流体漏れが起こるおそれがあった。以上のように、従来の樹脂製のエジェクタには未だ多くの改良の余地があった。
【０００８】
本考案は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その第１の目的は、管継手の使用数が少なくて済むことに加え、樹脂製の構成部品を用いているにもかかわらず流体漏れが起こりにくいエジェクタを提供することにある。
【０００９】
また、本考案の第２の目的は、簡単な構造であるため軽量化、小型化、低コスト化に向くエジェクタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の考案は、略直方体形状をなし、その内部にディフューザ部を有する樹脂製の本体ブロックと、前記本体ブロックに突設され、前記ディフューザ部に対向配置される内端部にノズル部を有する樹脂製筒状の供給ポートと、前記本体ブロックに突設され、前記ノズル部から前記ディフューザ部へ噴射された前記加圧流体を排出可能な樹脂製筒状の排出ポートと、前記本体ブロックに突設され、前記ノズル部と前記ディフューザ部の入口側との間の領域に連通された樹脂製筒状の真空ポートとを備え、前記真空ポートに負圧を発生しうるエジェクタであって、前記排出ポート及び前記真空ポートが前記本体ブロックに一体形成され、前記供給ポートが別体にて構成されるとともに前記本体ブロックに接着または溶着されていることを特徴とするエジェクタをその要旨とする。
【００１１】
従って、請求項１に記載の考案によると、排出ポート及び真空ポートが本体ブロックに一体形成されるとともに、別体にて構成された供給ポートが本体ブロックに接着または溶着されているため、構成部品同士の継ぎ目に隙間が存在しない。よって、各構成部品が樹脂製であるにもかかわらず、構成部品の継ぎ目からの流体漏れが防止され、例えば２ポート閉塞状態での使用が可能となる。
【００１２】
また、本考案によると、本体ブロックに筒状の供給ポート、排出ポート及び真空ポートを突設しているため、従来必要とされていた短管部材及びそれを取り付けるための管継手が省略可能となり、管継手の使用数を少なくすることができる。しかも、本考案によると、従来装置に比べて確実に部品点数が少なくなり構造が簡単になることから、軽量化、小型化、低コスト化を達成しやすくなる。
【００１３】
この場合、前記本体ブロック、前記供給ポート、前記排出ポート及び前記真空ポートは、いずれもフッ素樹脂製であり、前記供給ポートは前記本体ブロックに対してフッ素樹脂を用いて溶着されていることが好ましい（請求項２）。即ち、このように構成されたエジェクタの場合、各構成部品のみならず溶着材についてもフッ素樹脂が用いられているため、全体として耐薬品性に優れたものとすることができる。従って、エジェクタ自身に変形等が起こりにくくなり、かつ、流体中に不純物を溶出させるおそれもなく装置内の清浄度を保つことができる。ここで、フッ素樹脂は他の樹脂と比べて離形性が高いため、従来よくある接着剤などを用いたとしても、フッ素樹脂製の構成部品同士の接合は一般的には困難である。しかしながら、本考案では構成部品と同種のフッ素樹脂製の溶着材を用いて溶着するという手法を採用しているため、構成部品同士を強固にかつ隙間を生じさせることなく接合することができる。よって、エジェクタに高いシール性を付与することができる。
【００１４】
なお、前記本体ブロック、前記供給ポート、前記排出ポート及び前記真空ポートは、いずれもＰＴＦＥ樹脂製であり、前記供給ポートは前記本体ブロックに対してＰＦＡ樹脂を用いて溶着されていることが、より好ましい（請求項３）。
【考案の効果】
【００１５】
以上詳述したように、請求項１〜３に記載の考案によると、管継手の使用数が少なくて済むことに加え、樹脂製の構成部品を用いているにもかかわらず流体漏れが起こりにくいエジェクタを提供することができる。また、本考案によると、簡単な構造であるため軽量化、小型化、低コスト化に向くエジェクタを提供することができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本考案を具体化した一実施の形態のエジェクタを図１，図２に基づき詳細に説明する。
【００１７】
図１，図２に示されるように、本実施形態のエジェクタ１１は、本体ブロック２１、供給ポート３１、排出ポート４１及び真空ポート５１により構成されるとともに、基本的に２つの部品のみによって成立している。
【００１８】
本体ブロック２１は、フッ素樹脂の一種であるＰＴＦＥ樹脂（ポリテトラフロロエチレン樹脂）からなる。本体ブロック２１には加圧エアが通り抜ける主流路２７が、ブロック長手方向（即ち図２の左右方向）に沿って延びるように貫通形成され、その一部がディフューザ部２３となっている。主流路２７における入口側は、ディフューザ部２３に比べて大径に形成された供給ポート固定穴２６となっている。その供給ポート固定穴２６の内周面には、雌ねじ部２６ａが形成されている。また、本体ブロック２１における２箇所には、エジェクタ１１を図示しない支持体に対して取り付ける際に用いる取付穴２４が透設されている。なお、取付穴２４の数や位置については任意に変更してもよい。
【００１９】
供給ポート３１は本体ブロック２１と同様にＰＴＦＥ樹脂からなり、本来的には本体ブロック２１とは別体にて構成されている。この供給ポート３１は、供給口３２を持つ円筒状の筒部３３を外端側に有し、ノズル部２２を内端側に有し、筒部３３とノズル部２２との間にフランジ部３４を有している。ノズル部２２の外周面には雄ねじ部２２ａが設けられるとともに、その雄ねじ部２２ａは供給ポート固定穴２６の雌ねじ部２６ａに対して螺着されている。その結果、ノズル部２２がディフューザ部２３の入口側に対向配置され、この状態で本体ブロック２１に供給ポート３１が固定されている。このような固定状態において、フランジ部３４及び筒部３３は本体ブロック２１から突出した状態となる。また、フランジ部３４と本体ブロック２１とが接している継ぎ目の部分は、フッ素樹脂の一種であるＰＦＡ樹脂（パーフロロアルコキシ樹脂）からなる溶着材６１を用いて互いに溶着されている。なお、ＰＦＡ樹脂はＰＴＦＥ樹脂と同種のフッ素樹脂であるため、ＰＴＦＥ樹脂と馴染みやすい。よって、この樹脂を主成分とする溶着材６１であれば、ＰＴＦＥ樹脂製の構成部品同士を強固に、かつ、隙間を生じることなく確実に接合することができる。
【００２０】
排出ポート４１は全体として円筒状に形成されるとともに、本体ブロック２１におけるディフューザ部２３の出口側に対応して突設されている。この排出ポート４１は、本体ブロック２１と同様にＰＴＦＥ樹脂からなるとともに、本体ブロック２１と一体的に形成されている。なお、本実施形態ではブロック状樹脂材料に対する切削加工を行うことで、本体ブロック２１と排出ポート４１とを一体形成するという手法を採用している。排出ポート４１の先端部には排出口４２が設けられ、その排出口４２からはノズル部２２からディフューザ部２３へ噴射された加圧エアが排出可能となっている。
【００２１】
主流路２７においてノズル部２２とディフューザ部２３の入口側との間の領域からは、サブ流路２８が分岐している。真空ポート５１は、全体として円筒状に形成されるとともに、本体ブロック２１におけるサブ流路２８に対応して突設されている。この真空ポート５１は、本体ブロック２１と同様にＰＴＦＥ樹脂からなるとともに、本体ブロック２１と一体的に形成されている。なお、本実施形態ではブロック状樹脂材料に対する切削加工を行うことで、本体ブロック２１と真空ポート５１とを一体形成するという手法を採用している。真空ポート５１の先端部には真空引き口５２が設けられ、この真空引き口５２はサブ流路２８に連通されている。
【００２２】
次に、本考案のエジェクタ１１の使用方法について述べる。例えば、図示しないエアコンプレッサに通じる配管と、供給ポート３１とを、管継手Ｔ１を用いて接続する。また、図示しない第１電磁弁に通じる配管と、排出ポート４１とを、管継手Ｔ１を用いて接続する。第１電磁弁には図示しないサイレンサを接続しておく。また、図示しない第２電磁弁を介して半導体製造用装置（図示略）に通じる配管と、真空ポート５１とを、管継手Ｔ１を用いて接続する。
【００２３】
第１電磁弁及び第２電磁弁の流路がともに開かれている場合に、供給ポート３１に加圧エアが供給されると、加圧エアは筒部３３及びフランジ部３４の内部を通過してノズル部２２に到る（図中の矢印Ａ１参照）。ノズル部２２に到った加圧エアは、ディフューザ部２３へ向けて勢いよく噴射される。ディフューザ部２３へ噴射された加圧エアは、そこを通過した後にさらに排出ポート４１内を通過して、エジェクタ１１の外部に到る（図中の矢印Ａ２参照）。そして、エジェクタ１１外に到った加圧エアは、第１電磁弁及びサイレンサを通過して大気圧領域に放出される。このとき、ノズル部２２とディフューザ部２３の入口側との間の領域にあるエアが、ディフューザ部２３側に巻き込まれて排出ポート４１側に排出される。その結果、真空ポート５１に負圧が発生し、半導体製造用装置側からエアが吸引され真空引きが行われる（図中の矢印Ａ３参照）。
【００２４】
ここで仮に第１電磁弁及び第２電磁弁の流路がともに閉じられると、上述した２ポート閉塞状態となって、加圧エアの逃げ場がなくなり、エジェクタ１１の内圧が高くなる。しかしながら、このエジェクタ１１においては、特に加圧エアが漏れ出すようなこともなく、極めて高いシール性を維持することができる。
【００２５】
従って、本実施の形態によれば以下の効果を得ることができる。
【００２６】
（１）このエジェクタ１１では、排出ポート４１及び真空ポート５１が本体ブロック２１に一体形成されるとともに、別体にて構成された供給ポート３１が本体ブロック２１に溶着されている。そのため、供給ポート３１と本体ブロック２１との継ぎ目に隙間が存在しない。また、排出ポート４１や真空ポート５１と本体ブロック２１との間には継ぎ目すら存在しない。よって、各構成部品が樹脂製であるにもかかわらず、構成部品の継ぎ目からのエア漏れが防止される。このため、高い内圧がかかりやすい２ポート閉塞状態での使用に十分に耐えうるものとすることができる。
【００２７】
（２）また、本考案によると、本体ブロック２１に筒状の供給ポート３１、排出ポート４１及び真空ポート５１を突設しているため、従来必要とされていた短管部材及びそれを取り付けるための管継手が省略可能となり、管継手の使用数を少なくすることができる。従って、使い勝手がよくて、ユーザーに負担をかけにくい構成とすることができる。
【００２８】
（３）しかも、２つの部品のみからなる本考案のエジェクタ１１によると、４つ以上の部品を必要とする従来装置に比べて、確実に部品点数が少なくなる。従って、装置の構造が簡単になる。また、装置の構造が簡単になる結果、軽量化、小型化、低コスト化が従来に比べて達成しやすくなる。
【００２９】
（４）本考案のエジェクタ１１は、本体ブロック２１、供給ポート３１、排出ポート４１及び真空ポート５１は、いずれもＰＴＦＥ樹脂（フッ素樹脂）製であり、供給ポート３１は本体ブロック２１に対してＰＦＡ樹脂（フッ素樹脂）を用いて溶着されている。ゆえに、全体として耐薬品性に優れたエジェクタ１１とすることができる。従って、真空引きにより腐食性の化学薬品に晒されたとしても、エジェクタ１１自身に変形等が起こりにくくなり、かつ、エア中に不純物を溶出させるおそれもなく装置内の清浄度を保つことができる。
【００３０】
なお、本考案の実施の形態は以下のように変更してもよい。
【００３１】
・上記実施形態ではＰＴＦＥ樹脂を用いて各構成部材を形成したが、これ以外のフッ素樹脂、例えばＰＦＡ樹脂やＦＥＰ樹脂（フッ化エチレンプロピレン樹脂）などを用いて各構成部材を形成してもよい。溶着材についてもＰＦＡ樹脂以外のフッ素樹脂を用いることとしてもよい。
【００３２】
・上記実施形態では本体ブロック２１と供給ポート３１とを溶着して接合したが、これに代えて接着剤を用いて接着するようにしてもよい。
【００３３】
・上記実施形態では本体ブロック２１、排出ポート４１及び真空ポート５１を切削加工により一体形成する手法を採用したが、これ以外の手法（例えば金型成形法など）によってこれらを一体形成するようにしてもよい。
【００３４】
・供給ポート３１、排出ポート４１及び真空ポート５１の長さや形状は、本考案の目的に反しない限りにおいて任意に変更してもよい。
【００３５】
・上記実施形態ではエジェクタ１１を半導体製造装置の真空引きに使用する例を挙げたが、勿論このような用途に限定されることはない。また、上記実施形態では第１電磁弁及び第２電磁弁を用いる特殊な使用態様の例を挙げたが、このような電磁弁を省略した通常の使用態様を採用して勿論構わない。
【００３６】
次に、実用新案登録請求の範囲に記載された技術的思想のほかに、前述した実施の形態によって把握される技術的思想を以下に列挙する。
【００３７】
（１）略直方体形状をなし、その内部にディフューザ部を有するフッ素樹脂製の本体ブロックと、前記本体ブロックに突設され、前記ディフューザ部に対向配置される内端部にノズル部を有するフッ素樹脂製筒状の供給ポートと、前記本体ブロックに突設され、前記ノズル部から前記ディフューザ部へ噴射された前記加圧流体を排出可能なフッ素樹脂製筒状の排出ポートと、前記本体ブロックに突設され、前記ノズル部と前記ディフューザ部の入口側との間の領域に連通されたフッ素樹脂製筒状の真空ポートとを備え、半導体製造装置に接続されるとともに前記排出ポート及び前記真空ポートの両方が一時的に閉塞状態となる態様で使用され、前記真空ポートに負圧を発生しうるエジェクタであって、前記排出ポート及び前記真空ポートが切削加工によって前記本体ブロックに一体形成され、外周面に雄ねじ部を有する前記供給ポートが別体にて構成されるとともに、前記供給ポートが前記本体ブロックの供給ポート固定穴の雌ねじ部に螺着された状態で前記本体ブロックにフッ素樹脂を用いて溶着されていることを特徴とするエジェクタ。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本考案を具体化した一実施形態のエジェクタを示す斜視図。
【図２】同エジェクタを示す断面図。
【符号の説明】
【００３９】
１１…エジェクタ
２１…本体ブロック
２２…ノズル部
２３…ディフューザ部
３１…供給ポート
４１…排出ポート
５１…真空ポート
【図１】
0003122329.tif 000003
【図２】
0003122329.tif 000004