【手続補正書】
【提出日】平成18年5月8日(2006.5.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】焼結体の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  少なくとも導体材料の粉末を含む内部電極層と、セラミック材料の粉末，バインダ及び可塑剤を含む誘電体層とを積層してグリーン積層体を形成する工程（ａ）と、
上記グリーン積層体を超臨界状態もしくは亜臨界状態の流動体と接触させて、上記グリーン積層体中の可塑剤を抽出・除去する工程（ｂ）と、
上記工程（ｂ）の後に、上記グリーン積層体中のバインダを分解除去する工程（ｃ）と、
上記工程（ｃ）の後に、上記グリーン積層体を焼結する工程（ｄ）と
を含む焼結体の製造方法。
【請求項２】  請求項１記載の焼結体の製造方法において、
上記工程（ａ）では、上記バインダとして、ブチラール樹脂、アクリル系樹脂、ポリプロピレン及びポリエチレンのうちから選ばれる少なくとも１つの樹脂を用いることを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項３】  請求項１又は２記載の焼結体の製造方法において、
上記工程（ａ）では、上記可塑剤として、エステル，ステアリン酸，ステアリルアルコール，パラフィンのうちから選ばれる少なくとも１つの物質を用いることを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項４】  請求項３記載の焼結体の製造方法において、
上記工程（ａ）では、上記可塑剤として、フタル酸エステルを用いることを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項５】  請求項１又は２記載の焼結体の製造方法において、
上記工程（ａ）では、上記可塑剤として、上記工程（ｂ）の処理時に固体状態となるようなパラフィンを用いることを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項６】  請求項１〜５のうちいずれか１つに記載の焼結体の製造方法において、
上記工程（ｂ）では、上記超臨界状態もしくは亜臨界状態の流動体として、二酸化炭素，炭化水素及びポリハロゲン化炭化水素のうちから選ばれる少なくとも１つの物質を用いることを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項７】  請求項６記載の焼結体の製造方法において、
上記工程（ｂ）では、上記超臨界状態もしくは亜臨界状態の流動体として二酸化炭素を用い、二酸化炭素の温度を、室温以上で５０℃以下の範囲、または１４０℃以上で工程（ｃ）の温度以下の範囲に保持して行なうことを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項８】  請求項１〜７のうちいずれか１つに記載の焼結体の製造方法において、
上記工程（ｂ）では、上記超臨界状態もしくは亜臨界状態の流動体中に、エントレーナ（抽出助剤）として、アルコール，ケトン及び炭化水素のうちから選ばれる少なくとも１つの物質を混合して用いることを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項９】  請求項１〜８のうちいずれか１つに記載の焼結体の製造方法において、
上記工程（ｂ）では、上記グリーン積層体から抽出・除去された上記可塑剤を含む上記流動体の圧力を低下させて上記流動体を気体状態とし、上記流動体と上記可塑剤とを分離させて、上記可塑剤を回収することを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項１０】  請求項１〜９のうちいずれか１つに記載の焼結体の製造方法において、
上記工程（ａ）では、上記導体材料の粉末として、Ｐｔ，Ｐｄ及びＮｉのうちから選ばれる少なくとも１つの金属を用いることを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項１１】  請求項１〜１０のうちいずれか１つに記載の焼結体の製造方法において、
上記工程（ｂ）では、上記臨界状態又は亜臨界状態の流動体の圧力を時間的に変動させることを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項１２】  請求項１〜１０のうちいずれか１つに記載の焼結体の製造方法において、
上記工程（ｂ）では、上記流動体に超音波振動を印加することを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項１３】  請求項１〜１０のうちいずれか１つに記載の焼結体の製造方法において、
上記工程（ａ）と工程（ｂ）との間に、上記グリーン積層体を真空中又は気体中において２５０℃以下で加熱処理を加える工程をさらに含むことを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項１４】  請求項１〜１３のうちいずれか１つに記載の焼結体の製造方法において、
上記工程（ｂ）では、加圧媒体を用いて上記グリーン積層体を加圧した後、上記加圧媒体を上記超臨界状態もしくは亜臨界状態の流動体に置換することを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項１５】  請求項１４記載の焼結体の製造方法において、
上記加圧媒体として不活性ガスを用い，上記超臨界状態もしくは亜臨界状態の流動体として二酸化炭素，炭化水素及びポリハロゲン化炭化水素のうちから選ばれる少なくとも１つの物質を用いることを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項１６】  請求項１〜１３のうちいずれか１つに記載の焼結体の製造方法において、
上記工程（ｂ）では、上記流動体を１ＭＰａ／ｍｉｎ以上の速度で急速に加圧して超臨界状態もしくは亜臨界状態にすることを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項１７】  請求項１〜１６のうちいずれか１つに記載の焼結体の製造方法において、
上記工程（ｂ）の後で、上記工程（ｄ）の前のいずれかの時点で、上記グリーン積層体内の可塑剤濃度分布を、顕微レーザラマン分光法を用いて評価する工程を含むことを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項１８】  請求項１７記載の焼結体の製造方法において、
上記ラマンスペクトルの可塑剤起因吸収帯ピーク強度をセラミック起因の吸収帯ピーク強度で規格化して相対強度を求めることで相対的な濃度分布を得ることを特徴とする焼結体の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】