【手続補正書】
【提出日】平成18年9月20日(2006.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオン放射源と、前記イオン放射源に関連付けられている正の高電圧電源と負の高電圧電源とを有する電気イオン化装置において正イオン出力と負イオン出力とを平衡させる方法であって、
前記電気イオン化装置内に位置するソフトウェア調整可能なメモリ内に、調整可能な平衡基準値を記憶するステップ（ａ）と、
前記電気イオン化装置の動作中に、前記平衡基準値を、前記イオン放射源に近接した位置にあるイオン平衡センサによって測定される平衡測定値と比較するステップ（ｂ）と、
前記平衡基準値が前記平衡測定値に等しくない場合に、前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくなるように、前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源の少なくとも一方を自動的に調整するステップ（ｃ）と、
前記電気イオン化装置の動作時に、電気イオン化装置付近の作業空間内で実際のイオン平衡を実測イオン平衡として測定するステップ（ｄ）と、
前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくかつ前記実測イオン平衡がゼロでない場合に前記平衡基準値を遠隔調整し、前記実測イオン平衡がゼロに達するように前記遠隔調整を行うステップ（ｅ）と、
を備え、
前記平衡基準値の前記遠隔調整は、遠隔制御装置およびシステムコントローラのうちの１つを用いて実行されることを特徴とする正イオン出力と負イオン出力とを平衡させる方法。
【請求項２】
前記測定するステップ（ｄ）を、荷電プレート監視装置を使用して行う請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ステップ（ｄ）と前記ステップ（ｅ）とを、前記電気イオン化装置の較正中または初期セットアップ中に行なう請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記電気イオン化装置がさらに、前記平衡基準値に電気的に接続されておりかつ遠隔制御送信機に応答する遠隔制御受信機を含み、前記ステップ（ｅ）が、前記実測イオン平衡がゼロに達するように、前記実測イオン平衡を監視すると同時に前記遠隔制御受信機を介して前記平衡基準値を調整するために前記遠隔制御送信機を使用するステップを備える請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記電気イオン化装置の動作の起動時に、前記正の高電圧電源と前記負の高電圧電源とを非線形的に調整することと、それによって、正イオン出力もしくは負イオン出力における急激な変化または前記平衡状態の電位オーバシュートを回避するステップ（ｆ）をさらに備える請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記電気イオン化装置が、パルス直流モードで動作し、前記ステップ（ｃ）における自動調整を、前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源のパルスレートを第１のパルスレートから第２のパルスレートに徐々に調整することによって非線形的に行なう請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記電気イオン化装置が、パルス直流モードまたは定常直流モードで動作し、前記ステップ（ｃ）の自動調整を、前記正の高電圧電源または前記負の高電圧電源の直流振幅を第１の直流振幅から第２の直流振幅に徐々に調整することによって非線形的に行う請求項５に記載の方法。
【請求項８】
前記ステップ（ｂ）で求められる前記平衡基準値と前記平衡測定値との間の差の絶対値を比較するステップ（ｇ）と、
１つ以上の時点において、予め決められた値よりも前記差の絶対値が大きい場合に、警報状態を表示するステップ（ｈ）と、をさらに備える請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記平衡基準値の調整は、ワイヤレスの遠隔制御を用いて実行される請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源の少なくとも一方の自動調整は、前記正の高電圧電源と前記負の高電圧電源の少なくとも一方の出力を所定のレートで徐々に増減することによって実行される請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記電気イオン化装置の動作の起動時に、前記正の高電圧電源と前記負の高電圧電源の出力を所定のレートで徐々に増加し、それによって、正イオン出力もしくは負イオン出力の急激な変化または前記平衡状態の電位オーバシュートを回避するステップ（ｉ）をさらに備える請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記電気イオン化装置が、パルス直流モードで動作し、前記ステップ（ｃ）における自動調整を、前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源のパルスレートを第１のパルスレートから第２のパルスレートに徐々に調整することによって行なう請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
前記電気イオン化装置が、パルス直流モードまたは定常直流モードで動作し、前記ステップ（ｃ）の自動調整を、前記正の高電圧電源または前記負の高電圧電源の直流振幅を第１の直流振幅から第２の直流振幅に徐々に調整することによって行う請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
前記実測イオン平衡が、前記平衡基準値から予め決められた値だけ変化した場合に、警報状態を表示するステップ（ｊ）をさらに備える請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
イオン放射源と、前記イオン放射源に関連付けられている正の高電圧電源および負の高電圧電源とを有する電気イオン化装置であって、
調整可能な平衡基準値を記憶するためのソフトウェア調整可能なメモリ（ａ）と、
前記イオン放射源の付近に位置したイオン平衡センサによって測定される平衡測定値に対して前記平衡基準値を比較するコンパレータ（ｂ）と、
前記平衡基準値が前記平衡測定値とは等しくない場合に、前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくなるように、前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源の少なくとも一方を調整する自動平衡調整回路（ｃ）と、
ユーザ入力に基づいて前記平衡基準値を遠隔調整するよう構成された遠隔制御装置およびシステムコントローラのうちのいずれか１つ（ｄ）と、
を備えることを特徴とする電気イオン化装置。
【請求項１６】
前記電気イオン化装置が、パルス直流モードで動作し、前記自動平衡調整回路が、前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源のパルスレートを第１のパルスレートから第２のパルスレートに徐々に調整することによって前記調整を非線形的に行なう請求項１５に記載の電気イオン化装置。
【請求項１７】
前記電気イオン化装置が、パルス直流モードまたは定常直流モードで動作し、前記自動平衡調整回路が、前記正の高電圧電源または前記負の高電圧電源の直流振幅を第１の直流振幅から第２の直流振幅に徐々に調整することによって前記調整を非線形的に行なう請求項１５に記載の電気イオン化装置。
【請求項１８】
前記平衡基準値を調整する調整手段（ｅ）であって、前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しく、かつ、前記電気イオン化装置の付近の作業空間内で測定される実測イオン平衡がゼロではない場合に、前記平衡基準値が調整され、前記調整が、前記実測イオン平衡がゼロに達するようになることを生じさせるように行われる調整手段をさらに備える請求項１５に記載の電気イオン化装置。
【請求項１９】
前記平衡基準値に電気的に接続されておりかつ遠隔制御送信機に応答する遠隔制御受信機（ｆ）であって、前記調整手段が、前記実測イオン平衡がゼロに達するように、前記実測イオン平衡値を監視すると同時に前記遠隔制御受信機を介して前記平衡基準値を調整するために、前記遠隔制御送信機を使用する遠隔制御受信機をさらに備える請求項１８に記載の電気イオン化装置。
【請求項２０】
前記コンパレータによって求められる前記平衡基準値と前記平衡測定値との間の差の絶対値を比較する手段（ｇ）と、
１つ以上の時点において、予め決められた値よりも前記差の絶対値が大きい場合に、警報状態を表示する手段（ｈ）と、をさらに備える請求項１５に記載の電気イオン化装置。
【請求項２１】
前記電気イオン化装置の動作の起動時に、前記自動平衡調整回路に前記の調整を非線形的に実行させ、それによって、正イオン出力もしくは負イオン出力の急激な変化または前記平衡状態の電位オーバシュートを回避する手段（ｉ）をさらに備える請求項１５に記載の電気イオン化装置。
【請求項２２】
前記平衡基準値の調整は、ワイヤレスの遠隔制御を用いて実行される請求項１５に記載の電気イオン化装置。
【請求項２３】
前記自動平衡調整回路は、前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源の少なくとも一方の出力を所定のレートで徐々に増減するように構成される請求項１５に記載の電気イオン化装置。
【請求項２４】
前記平衡測定値が、前記平衡基準値から予め決められた値だけ変化した場合に、警報状態を表示する警報回路（ｊ）をさらに備える請求項１５に記載の電気イオン化装置。
【請求項２５】
（ｉ）イオン放射源と、（ｉｉ）前記イオン放射源に関連付けられている正の高電圧電源および負の高電圧電源と、（ｉｉｉ）正のイオン化装置イオン出力電流と負のイオン化装置イオン出力電流とを監視するための電流計測回路系とを有する電気イオン化装置における、正および負のイオン出力電流を制御する方法であって、
前記電気イオン化装置内に位置するソフトウェア調整可能なメモリに、調整可能なイオン出力電流基準値を記憶するステップ（ａ）と、
前記電気イオン化装置の動作中に、前記イオン出力電流基準値を、前記電流計測回路系によって測定される実際イオン出力電流値と比較するステップ（ｂ）と、
前記実際イオン出力電流値が前記イオン出力電流基準値に等しくない場合に、前記実際イオン出力電流値が前記イオン出力電流基準値と等しくなるように、前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源の少なくとも一方を自動的に調整するステップ（ｃ）と、
前記電気イオン化装置の動作中に、前記電気イオン化装置の付近の作業空間内で前記実際イオン出力電流値のインジケータを測定するステップ（ｄ）と、
前記インジケータが所望値に近くない場合に、前記実際イオン出力電流値の前記インジケータが前記所望値に近くなるように、前記イオン出力電流基準値を遠隔調整するステップ（ｅ）と、
を備え、
前記イオン出力電流基準値の前記遠隔調整は、遠隔制御装置およびシステムコントローラのうちの１つを用いて実行されることを特徴とする正および負のイオン出力電流を制御する方法。
【請求項２６】
前記測定するステップ（ｄ）を、荷電プレート監視装置を使用して実行する請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
前記ステップ（ｍ）および前記ステップ（ｎ）を、前記イオン化装置の較正中または初期セットアップ中に行なう請求項２５に記載の方法。
【請求項２８】
前記電気イオン化装置は、前記イオン出力電流基準値に電気的に接続されておりかつ遠隔制御送信機に応答する遠隔制御受信機をさらに含み、前記ステップ（ｅ）が、前記実際イオン出力電流値の前記インジケータが前記所望値に近くなることを生じさせるように、前記インジケータを監視すると同時に前記遠隔制御受信機を介して前記イオン出力電流基準値を調整するために、前記遠隔制御送信機を使用するステップを備える請求項２５に記載の方法。
【請求項２９】
前記電気イオン化装置の動作の起動時に、前記正の高電圧電源と前記負の高電圧電源とを非線形的に調整し、それによって、正イオン出力もしくは負イオン出力の急激な変化または前記所望値の電位オーバシュートを回避するステップ（ｆ）をさらに備える請求項２５に記載の方法。
【請求項３０】
前記電気イオン化装置が、パルス直流モードで動作し、前記ステップ（ｃ）の自動調整を、前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源のパルスレートを第１のパルスレートから第２のパルスレートに徐々に調整することによって非線形的に行う請求項２９に記載の方法。
【請求項３１】
前記電気イオン化装置が、パルス直流モードまたは定常直流モードで動作し、前記ステップ（ｃ）の自動調整を、前記正の高電圧電源または前記負の高電圧電源の直流振幅を第１の直流振幅から第２の直流振幅に徐々に調整することによって非線形的に行う請求項２９に記載の方法。
【請求項３２】
前記ステップ（ｂ）で求められる前記イオン出力電流基準値と前記実際イオン出力電流値との間の差の絶対値を比較するステップ（ｇ）と、
１つ以上の時点において、予め決められた値よりも前記差の絶対値が大きい場合に、警報状態を表示するステップ（ｈ）を含む請求項２５に記載の方法。
【請求項３３】
前記平衡基準値の調整は、ワイヤレスの遠隔制御を用いて実行される請求項２５に記載の方法。
【請求項３４】
前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源の少なくとも一方の自動調整は、前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源の少なくとも一方の出力を所定のレートで徐々に増減することによって実行される請求項２５に記載の方法。
【請求項３５】
前記電気イオン化装置の動作の起動時に、前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源のうちの少なくとも１つの出力を所定のレートで徐々に増加し、それによって、正イオン出力もしくは負イオン出力の急激な変化または前記平衡状態の電位オーバシュートを回避するステップ（ｉ）をさらに備える請求項２５に記載の方法。
【請求項３６】
前記電気イオン化装置が、パルス直流モードで動作し、前記ステップ（ｃ）における自動調整を、前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源のパルスレートを第１のパルスレートから第２のパルスレートに徐々に調整することによって行なう請求項２５に記載の方法。
【請求項３７】
前記電気イオン化装置が、パルス直流モードまたは定常直流モードで動作し、前記ステップ（ｃ）の自動調整を、前記正の高電圧電源または前記負の高電圧電源の直流振幅を第１の直流振幅から第２の直流振幅に徐々に調整することによって行う請求項２５に記載の方法。
【請求項３８】
前記実際イオン出力電流値が、前記平衡基準値から予め決められた値だけ変化した場合に、警報状態を表示するステップ（ｊ）をさらに備える請求項２５に記載の方法。
【請求項３９】
イオン放射源と、前記イオン放射源に関連付けられている正の高電圧電源および負の高電圧電源とを有する電気イオン化装置であって、
調整可能なイオン出力電流基準値を記憶するためのソフトウェア調整可能なメモリ（ａ）と、
前記イオン出力電流基準値を、正のイオン化装置イオン出力電流と前記負のイオン化装置イオン出力電流とを監視する電流計測回路系によって測定される実際イオン出力電流値と比較するコンパレータ（ｂ）と、
前記実際イオン出力電流値が前記イオン出力電流基準値と等しくない場合に、前記実際イオン出力電流値が前記イオン出力電流基準値に等しくなるように、前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源の少なくとも一方を調整する自動イオン出力電流調整回路（ｃ）と、
ユーザ入力に基づいて前記イオン出力電流基準値を遠隔調整するよう構成された遠隔制御装置およびシステムコントローラのうちのいずれか１つ（ｄ）と、
を備える電気イオン化装置。
【請求項４０】
前記電気イオン化装置が、パルス直流モードで動作し、前記自動イオン出力電流調整回路が、前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源のパルスレートを第１のパルスレートから第２のパルスレートに徐々に調整することによって前記調整を非線形的に行う請求項３９に記載の電気イオン化装置。
【請求項４１】
前記電気イオン化装置が、パルス直流モードまたは定常直流モードで動作し、前記自動イオン出力電流調整回路が、前記正の高電圧電源または前記負の高電圧電源の直流振幅を第１の直流振幅から第２の直流振幅に徐々に調整することによって前記調整を非線形的に行う請求項３９に記載の電気イオン化装置。
【請求項４２】
前記イオン出力電流基準値を調整する調整手段（ｅ）であって、前記電気イオン化装置の付近の作業空間内で測定される前記実際イオン出力電流値のインジケータが前記所望値に近くない場合に、前記実際イオン出力電流値の前記インジケータが所望値に近くなるように、前記イオン出力電流基準値を調整する調整手段を備える請求項３９に記載の電気イオン化装置。
【請求項４３】
前記イオン出力電流基準値に電気的に接続されておりかつ遠隔制御送信機に応答する遠隔制御受信機（ｆ）であって、前記調整手段が、前記実際イオン出力電流値のインジケータが前記所望値に近くなるように、前記インジケータを監視すると同時に前記遠隔制御受信機を介して前記イオン出力電流基準値を調整するために、前記遠隔制御送信機を使用する遠隔制御受信機をさらに備える請求項４２に記載の電気イオン化装置。
【請求項４４】
前記コンパレータによって求められる前記イオン出力電流基準値と前記実際イオン出力電流値との間の差の絶対値を比較するための手段（ｇ）と、
１つ以上の時点において、予め決められた値よりも前記差の絶対値が大きい場合に、警報状態を表示する手段（ｈ）と、をさらに備える請求項３９に記載の電気イオン化装置。
【請求項４５】
前記電気イオン化装置の動作の起動時に、前記自動平衡調整回路に前記の調整を非線形的に実行させ、それによって、正イオン出力もしくは負イオン出力の急激な変化または前記平衡状態の電位オーバシュートを回避する手段（ｉ）をさらに備える請求項３９に記載の電気イオン化装置。
【請求項４６】
前記イオン出力電流基準値の調整は、ワイヤレスの遠隔制御を用いて実行される請求項３９に記載の電気イオン化装置。
【請求項４７】
前記自動イオン出力電流調整回路は、前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源の少なくとも一方の出力を所定のレートで徐々に増減するように構成される請求項３９に記載の電気イオン化装置。
【請求項４８】
前記実際イオン出力電流値が、前記イオン出力電流基準値から予め決められた値だけ変化した場合に、警報状態を表示する警報回路（ｊ）をさらに備える請求項３９に記載の電気イオン化装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】正イオン出力と負イオン出力とを平衡させる方法、正および負のイオン出力電流を制御する方法、ならびに電気イオン化装置