(57)【要約】      （修正有）【課題】容器本体にバルブ支持具が取り付けられていない容器に対して、容器本体を損傷させることなくバルブ支持具を取り付けたい場合に、容器本体を加工せずに容器本体にバルブ支持具を取り付けることが可能なバルブ支持部材を提供する。【解決手段】容器２１本体に取り付けたバルブ２２を支持するためのバルブ支持部材１であって、容器２１本体に着脱可能なリング状締付具１１と、バルブ取付部１２と、リング状締付具１１とバルブ取付部１２とを接続する接続部１３とを有し、バルブ取付部１２は接続部１３に着脱可能である。【選択図】図２
0003229604.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
容器本体に取り付けられている１つまたは複数のバルブを支持するための支持部材であ
って、前記容器本体に着脱可能なリング状締付具と、バルブ取付部と、前記リング状締付
具と前記バルブ取付部とを接続する接続部とを有し、前記バルブ取付部は前記接続部に着
脱可能である、バルブ支持部材。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、バルブが取り付けられた容器、例えば半導体、フィルム形成用などの薄膜形
成・加工用気体・液体・固体の供給で使用される容器において、バルブを支持するために
着脱可能に取り付けられるバルブ支持部材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、半導体製品内の薄膜堆積、形状加工をするための材料（気体、液体または固
体である）を運搬・供給するための容器として、一定の気密性能を有した金属製の容器に
、バルブを装着したものが使用されている。容器を形成する材料としては、例えばステン
レス鋼、鉄、アルミニウム等が挙げられる。金属製の容器は、１つまたは複数の配管を有
し、配管にはバルブが取り付けられている。
【０００３】
バルブは重量が大きく、バルブの開閉操作や、バルブを配管に着脱する操作をしたり、
容器を運搬したりする際にはバルブを接続した配管に負荷がかかる。このため、配管が曲
がったり、バルブが配管に取り付けられる継ぎ手部分の気密性が低下したりすることがあ
る。このような現象を抑制するため、配管が曲がらないようにバルブを固定する支持具が
使用されている（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−２３３９６１号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
バルブの支持具は、容器本体に直接取り付けられているのが一般的である。しかし容器
本体にバルブ支持具が取り付けられていない場合には、安全上の理由により事後的にバル
ブ支持具を取り付ける必要性が生じる。
この場合、容器本体に、支持具である金具をビスなどにより固定するためのビス穴等を
作製する加工をしなくてはならない。容器に穴を作製する加工は、容器の強度や気密性を
低下させる恐れがある。したがって、加工に容器内の物質が漏洩したり、容器の強度が不
十分であることによりバルブの支持強度が不十分になったりする恐れがある。特に容器に
可燃性、反応性、自然発火性および／または毒性を有する気体・液体・固体が貯蔵されて
いる場合には、これらが容器の外部に漏洩して周辺環境を汚染する恐れがあるほか、容器
の内部に貯蔵された物質が外気と接触することにより汚染される可能性もある。
【０００６】
そのため、容器本体にバルブ支持具が取り付けられていない容器に対して、容器本体を
損傷させることなくバルブ支持具を取り付けたいという要望がある。
本考案は、上記現状に鑑みてなされたものであって、容器本体を加工せずに容器本体に
バルブ支持具を取り付けることが可能なバルブ支持部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本考案のバルブ支持部材は、容器本体に取り付けられた１つ
または複数のバルブを支持するための支持部材であって、容器本体に着脱可能なリング状
締付具と、バルブ取付部と、前記リング状締付具と前記バルブ取付部とを接続する接続部
とを有し、前記バルブ取付部は前記接続部に着脱可能であることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、まず、バルブ取付部を接続部から取り外した状態で、接続部を有す
るリング状締付具を容器本体に取り付ける。その後に接続部にバルブ取付部を取り付ける
ことができる。バルブ取付部に、容器本体に接続されているバルブを固定することにより
、バルブがバルブ支持部材に支持されることになる。
リング状締付具は、円筒状の容器の外周に沿って締め付けることが出来るリング状であ
ればよく、例えば湾曲する平板状、棒状、チューブ状であってもよい。リング状締付具は
円筒状の容器の外周に沿って締め付けられるように取り付けられる。容器本体には、リン
グ状締付具を取り付けるための加工を施さずにリング状締付具を取り付けることができる
ため、リング状締付具取付により容器本体が損傷されることはない。さらにバルブ取付部
は、接続部に取り付けられることから、容器本体には直接取り付けられず、ここでも容器
本体が損傷されることはない。
また、リング状締付具は着脱可能であるので、バルブ支持部材が不要になった場合には
バルブ支持部材全体を容器本体から取り外すことが可能である。取り外すことにより容器
の洗浄等の容器のメンテナンスが容易になる。
【０００９】
バルブを交換する必要が発生した場合には、バルブ取付部からバルブを取り外すだけで
バルブを取り外すことができる。このとき、バルブ支持部材は容器本体から取り外す必要
がなく、バルブを交換した後に再度、交換後のバルブをバルブ支持部材のバルブ取付部に
取り付けることにより、バルブを支持することが可能となる。
【００１０】
上記考案のバルブ支持部材において、リング状締付具は、特に限定されず、容器本体の
外周を締め付けるように取り付けられるものであれば良く、リング状締付具の一部に配置
された突起部に金具を引っ掛けてレバーを倒すことにより締め付ける金具であってもよく
、スプリング式締付具、ねじ式締付具、またはラチェット式締付具のいずれかを有するこ
とも出来る。平板状のリング状締付具の幅は、円筒状の容器の底面から上面までの高さ以
下であればよく、例えば底面から上面までの高さの１％以上５０％以下であってもよい。
【００１１】
スプリング式締付具を緩めた状態でリング状締付具の内側に容器本体を配置し、その後
スプリング式締付具で容器本体を締め付けるようにしてバルブ支持部材を容器本体に装着
することが可能となる。スプリング式締付具は着脱が容易であり、かつ、強度が強いため
、バルブを支持するために容器に取り付けるバルブ支持部材として好適である。
【００１２】
上記考案のバルブ支持部材において、前記接続部は、容器本体に取り付けた状態におい
て前記リング状締付具よりも上方に延伸されていればよく、前記リング状締付具に対して
垂直方向に立設されていてもよい。
【００１３】
上記考案のバルブ支持部材において、前記接続部は１本のみ備えられてもよいが、前記
接続部が複数本備えられていてもよい。接続部が1本である場合には、該接続部は１つの
バルブ取付部に接続され、該バルブ取付部は容器本体に取り付けられた１つのバルブに取
り付けられる。
前記接続部が、前記リング状締付具に対して垂直方向に２本以上立設される場合には、
それぞれ独立して２以上のバルブ取付部に取り付けられてもよいが、前記２本以上の接続
部のうちいずれか１つの接続部が、前記２本以上の接続部のうち他の１つと接続されるよ
うに、前記バルブ取付部が配置されていても良い。この場合、バルブ取付部は、１つの接
続部と、他の接続部との間に架橋するように取り付けられることにより、複数の接続部を
接続するように配置されてもよい。
バルブは容器本体に１つ取り付けられていてもよく、２以上取り付けられていても良い
。２以上のバルブが容器本体に取り付けられている場合には、その複数のバルブのうち一
部のバルブがバルブ取付部に取り付けられていてもよく、全部のバルブにバルブ取付部が
取り付けられていても良い。
【００１４】
上記考案のバルブ支持部材の接続部は、前記リング状締付具に着脱可能とすることもで
きる。リング状締付具に対して接続部が着脱可能であることにより、バルブ支持部材のメ
ンテナンスが容易になるほか、サイズが異なる接続部を装着することにより、異なるサイ
ズを有するバルブを使用したり、容器からバルブまでの距離を変更したりする場合にも、
それぞれのバルブサイズや距離に応じてバルブを支持することが可能となる。
【００１５】
上記考案のバルブ支持部材のバルブ取付部は角状であってもよく、バルブ台座に嵌合さ
れるように形成された凹状であってもよいが、バルブ取付部の一部または全体が板状であ
ってもよい。バルブ取付部を板状とすることにより、板状のバルブ取付部と、バルブの台
座とをビス等により容易に固定することが可能となる。
【００１６】
前記接続部は、前記バルブ取付部よりも高い位置に配置されるガードリングをさらに有
してもよい。ガードリングは、接続部に固定されていてもよいが、着脱可能であっても良
い。
ガードリングは、容器本体に取り付けられているバルブの上側の継ぎ手と同等または上
側の継ぎ手よりも高い位置に配置されることにより、バルブおよびバルブの上側の継ぎ手
を保護するように構成される。このガードリングにより、容器が転倒したり、容器が他の
部材等々衝突したような場合にもバルブおよびバルブの上側の継ぎ手が保護され、バルブ
を容器本体に取り付けるための配管が損傷する現象も抑制される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態１のバルブ支持部材である。
【図２】実施形態１のバルブ支持部材を容器に取り付けた状態を示す斜視図である。
【図３】実施形態１のバルブ支持部材を容器に取り付けた状態を示す上面図である。
【図４】実施形態１のバルブ支持部材取り付けた状態を示す側面図である。
【図５】実施形態２のバルブ支持部材である。
【図６】実施形態３のバルブ支持部材である。
【考案を実施するための形態】
【００１８】
（実施形態１）  
実施形態１のバルブ支持部材について、図１〜４を用いて説明する。図１に示すバルブ
支持部材１は、容器本体に着脱可能なリング状締付具１１と、バルブ取付部１２と、前記
リング状締付具１１と前記バルブ取付部１２とを接続する接続部１３とを有し、前記バル
ブ取付部１２は前記接続部１３に着脱可能である。
容器は金属製または非金属製の円筒型であり、容器の容量はとくに限定されず、例えば
２５ｍL以上２L以下であってもよい。
リング状締付具１１は、図２に示すように円筒状の容器２１の外周に配置され、容器２
１を締め付けるように取り付けられる。リング状締付具１１を締め付ける方法としては、
特に限定されず、ばね式、ねじ式等であっても良い。図１では、リング状締付具１１はス
プリング式締付具１４を有し、スプリング式締付具１４を閉じることにより、リング状締
付具１１の開口面積が減少し、容器２１を締め付けるように構成している。リング状締付
具１１は特に限定されず、金属製でもよく、樹脂製等の非金属製であってもよい。
リング状締付具１１は平板状であり、その幅（図２中のＨ１で示す）は、容器２１の底
面から上面までの高さ（図２中のＨ２で示す）以下であり、具体的にはＨ１はＨ２の約１
０％であった。
【００１９】
リング状締付具１１には、接続部１３が立設されている。接続部１３は、容器２１にリ
ング状締付具１１を取り付けた際に、リング状締付具１１よりも上方に来るように配置さ
れる。接続部１３はリング状締付具１１に溶接、接着剤等により接着されていても良いが
、ねじなどにより着脱可能に装着されてもよい。接続部１３とリング状締付具１１とを一
体型に成形することもできる。
接続部１３は図１に示すようにリング状締付具１１に垂直に立設されてもよいが、リン
グ状締付具にななめ上方向きに延伸されてもよい。
【００２０】
図１では２本の接続部１３がリング状締付具１１に立設される。２本の接続部１３は、
容器２１に装着される際に、容器２１に取り付けられているバルブ２２を挟んで向かい合
うように、リング状締付具１１上に配置される。なお、３本以上の接続部１３を有する場
合には、３本目以降の接続部１３はリング状締付具１１の任意の位置に配置されるが、バ
ルブの台座側に配置されることが好ましい。接続部は金属または非金属製のＬ字形状の板
状である。Ｌ字形状のほか、コの字形状としてもよい。
【００２１】
バルブ取付部１２は、接続部１３にねじ、びす等により着脱可能に取り付けられる。バ
ルブ取付部１２は２本の接続部１３に架橋するように配置され、それぞれの接続部１３と
着脱可能である。接続部１３のうち１本と着脱可能に取り付けられ、他方の１本とは固定
されて取り付けられても良い。
【００２２】
バルブ取付部１２は金属または非金属の板状であり、板状のバルブ取付部１２をバルブ
２２の台座部分に固定することによってバルブを支持２２する。バルブ２２は１つのバル
ブ取付部１２に１つ取付られてもよく、１つのバルブ取付部に２以上のバルブ２２が取り
付けられても良い。
【００２３】
容器２１に取り付けられる前は、本考案にかかるバルブ支持部材１は、接続部１３とバ
ルブ取付部１２が接続されていない状態である。すなわち、リング状締付具１１に接続部
１３とスプリング式締付具１４が取り付けられた状態である。この状態でスプリング式締
付具１４を開き、リング状締付具１１の中央に円筒状の容器２１を配置する。その後、ス
プリング式締付具１４を閉めることにより、リング状締付具１１で容器２１を締め付ける
ように装着する。リング状締付具１１の装着場所は、容器２１の任意の位置であるが、容
器２１の中央よりも上方に取り付けることがのぞましい。
リング状締付具１１を容器２１に装着した後に、バルブ取付部１２を一方の接続部１３
と他方の接続部１３とに架橋するように配置し、それぞれの接続部１３とバルブ取付部１
２をびすにより固定する。このとき、バルブ取付部１２の平面部分が、バルブ２２の台座
の底面部に接するように、２本の接続部１３はリング状締付具１１にバルブ２２を挟んで
向かい合うように配置される。
バルブ取付部１２とバルブ２２の台座とを固定することにより、バルブ２２が支持され
る。このため、バルブ２２の開閉操作をするときや、容器２１を運搬するとき、バルブ２
２の上流または下流側の継ぎ手を締め付けるまたは開放する作業をするときにバルブ２２
の位置が動きにくい。したがって、バルブを容器に接続している配管２３にかかる負荷が
低減され、配管２３や容器２１を損傷したり、損傷に起因して気密性が低下する減少を抑
制することができる。
【００２４】
バルブ取付部１２とバルブ２２の台座との固定を外すことにより、バルブ２２を取り外
すことが可能である。
容器２１からバルブ取付部材１を取り外す場合には、まずバルブ２２をバルブ取付部１
２から外し、その後、接続部１３とバルブ取付部１２との間を取り外す。その後、スプリ
ング式締付具１４を開けることにより容器２１からバルブ支持部材１を取り外すことが出
来る。
【００２５】
図３は、容器２１にバルブ支持部材１を取り付けた状態を示す、上面図である。図４は
容器２１にバルブ支持部材１を取り付けた状態を示す側面図である。スプリング式締付具
１４はバルブ２２の正面に配置されているが、スプリング式締付具１４はリング状締付具
１１を締め付けることが出来る位置に配置されていれば良く、リング状締付具上の任意の
場所に配置することができる。
【００２６】
（別実施形態）
リング状締付具１１は、図１および図２で示すようにスプリング式締付具１４により締
付る構成としてもよいが、スプリング式締付具１４に代えて、容器本体の外周を締め付け
るように取り付けられる構成としたものでも良い。例えば、リング状締付具の一部に配置
された突起部に金具を引っ掛けてレバーを倒すことにより締め付ける金具であってもよく
、ねじ式締付具、またはラチェット式締付具のいずれかであってもよい。
また、リング状締付具１１は、円筒状の容器の外周に沿って締め付けることが出来るリ
ング状であればよく、図１等に示す湾曲する平板状に代えて、棒状、チューブ状であって
もよい。
【００２７】
（実施形態２）
図５に示すバルブ支持部材２では、１本の接続部１３がリング状締付具１１に接続され
る。接続部１３は、リング状締付具に固定、または着脱可能に装着される。１つの接続部
13に、１つのバルブ取付部１２が着脱可能に取り付けられる。このバルブ取付部１２には
１つのバルブが固定され、該バルブを支持する。
【００２８】
（実施形態３）
図６に示すバルブ支持部材３では、接続部１３は、バルブ取付部１２よりも高い位置に
配置されるガードリング３１をさらに有する。ガードリング３１は接続部１３に、例えば
びす、ねじ等により着脱可能である。
ガードリング３１の位置は、容器２１に取り付けられているバルブ２２の上側の継ぎ手
よりも高い位置に配置されている。したがって、容器２１が転倒した場合等に、バルブ２
２だけでなく、バルブ２２の上側の継ぎ手への衝撃も軽減することが可能となり、その結
果、バルブ２２と容器２１を接続する配管２３への損傷も軽減させることが可能となる。
【符号の説明】
【００２９】
１    バルブ支持部材
１１    リング状締付具
１２    バルブ取付部
１３    接続部
１４    スプリング式締付具
２１    容器
２２    バルブ
２３    配管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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