【手続補正書】
【提出日】平成18年10月2日(2006.10.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を保持して移動する可動部と、
前記可動部に設けられた軸受手段と、
前記軸受手段と協働して前記可動部を移動方向に案内するガイド面を有するガイド部と、
前記可動部の温度を制御するために前記ガイド部の温度を調整する温度調整手段とを具備することを特徴とするステージ装置。
【請求項２】
前記温度調整手段は、前記ガイド部を冷却することにより前記温度の調整を行うものであることを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項３】
前記温度調整手段は、前記ガイド部に設けた冷媒を通す流路および温度センサ、ならびに前記温度センサからの検出信号に基づき前記冷媒の温度を制御する温度制御ユニットを有することを特徴とする請求項１または２に記載のステージ装置。
【請求項４】
前記温度調整手段は、前記ガイド部に設けたヒートパイプおよび温度センサ、前記ヒートパイプに接続された冷媒を通す流路、ならびに前記温度センサの出力に基づき前記冷媒の温度を制御する温度制御ユニットを有することを特徴とする請求項１または２に記載のステージ装置。
【請求項５】
前記温度調整手段は、前記ガイド部の異なる複数の部分を別個に温度調整するものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項６】
前記温度調整手段は、前記可動部の駆動パターンに応じて前記ガイド部の異なる各部分を別個に温度調整するものであることを特徴とする請求項５に記載のステージ装置。
【請求項７】
前記温度調整手段は、前記可動部に設けた温度センサを備え、その検出信号に基づいて前記温度の調整を行うものであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項８】
前記軸受手段はエアベアリングであり、前記ガイド部は定盤であり、前記温度調整手段は前記定盤の温度を調整することにより、前記エアベアリングのエアギャップを経た熱の移動を制御して、前記可動部の温度制御を行うものであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項９】
前記軸受手段は磁気軸受であり、前記ガイド部は定盤であり、前記温度調整手段は前記定盤の温度を調整することにより、前記磁気軸受のギャップを経た熱の移動を制御して、前記可動部の温度制御を行うものであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項１０】
前記可動部の移動を行うリニアモータを備え、前記リニアモータの固定子は前記ガイド部を支持する構造体上、または前記ガイド部上に設けられ、露光装置における原版または基板の位置決めに使用される請求項１〜９のいずれか１項に記載のステージ装置を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の露光装置を用いて基板にパターンを露光する工程と、
露光された基板を現像する工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明のステージ装置は、対象物を保持して移動する可動部と、前記可動部に設けられた軸受手段と、前記軸受手段と協働して前記可動部を移動方向に案内するガイド面を有するガイド部と、前記可動部の温度を制御するために前記ガイド部の温度を調整する温度調整手段とを具備することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
ここで、ステージ装置としては、たとえば、ステップ・アンド・スキャン型の露光装置におけるレチクルスキャンステージや、ステップ・アンド・リピート型の露光装置におけるウエハステージが該当する。対象物としてはたとえば、ウエハやガラス基板等の基板、またはレチクルやマスク等の原版が該当する。ステージ装置としては、たとえば半導体露光装置において基板や原版を位置決めするためのものが該当する。可動部としては、たとえば、原版や基板が搭載されるステージ天板、レチクルが搭載されるレチクルステージ、またはウエハが搭載されるウエハステージが該当する。なお「ステージ」なる語は、ステージ装置を意味する場合と、ステージ装置の天板部分や可動部分を意味する場合がある。軸受手段としては、たとえば、エアベアリング等の静圧軸受や、磁気軸受等の電磁力を利用した電磁ガイドが該当する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
温度調整手段としては、たとえば、ガイド部を冷却することにより温度調整を行うものや、ガイド部に設けた冷媒を通す流路および温度センサ、ならびに温度センサからの検出信号に基づき冷媒の温度を制御する温度制御ユニットを有するものや、ガイド部に設けたヒートパイプおよび温度センサ、ヒートパイプに接続された冷媒を通す流路、ならびに温度センサの出力に基づき冷媒の温度を制御する温度制御ユニットを有するものや、ガイド部の異なる複数の部分を別個に温度調整するものや、可動部の駆動パターンに応じてガイド部の異なる各部分を別個に温度調整するものや、可動部に設けた温度センサを備え、その検出信号に基づいて温度の調整を行うものが該当する。ガイド部としては、たとえば定盤が該当する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
さらに、本発明の露光装置は、可動部の移動を行うリニアモータを備え、リニアモータの固定子はガイド部を支持する構造体上、またはガイド部上に設けられ、露光装置における原版または基板の位置決めに使用される前記ステージ装置を有する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
この構成において、対象物についてのステージ装置による位置決め動作や、それに伴う露光等の処理に際し、種々の熱源から可動部や対象物に伝わる熱の影響により、対象物の位置決め精度や加工精度が悪化するおそれがある。このため、可動部の温度を制御する必要があるが、従来は、可動部に冷却手段を設けていたため、可動部の構成を複雑化するとともに、冷媒用の配管が振動したり振動を伝えたりして位置決め精度や加工精度を劣化させるという問題があった。これに対し、本発明によれば、可動部の温度を制御するためにガイド部の温度を調整する温度調整手段を設けるようにしたため、可動部に温度調整手段を設ける必要がなくなり、従来の問題が解決されることになる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
可動部へ伝わる熱としては、ガイド部から軸受手段を経て可動部へ伝わる熱と、それ以外の経路を経て可動部へ伝わる熱とがある。可動部の温度を調整することにより、軸受手段を経て可動部へ伝達しようとする熱はガイド部において未然に排除され、それ以外の経路から可動部へ伝わった熱は、軸受手段を介してガイド部側へ吸収される。つまり定盤の温度を調整することにより、エアベアリングのエアギャップや、磁気軸受のギャップを経た熱の流れが制御され、これにより可動部の温度が制御されることになる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明のデバイス製造方法は、前記露光装置を用いて基板にパターンを露光する工程と、露光された基板を現像する工程とを有することを特徴とする。
したがって、簡単な構成で、かつ高い加工精度およびスループットをもってデバイスを製造することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明のステージ装置によれば、可動部の温度を制御するためにガイド部の温度を調整する温度調整手段を設けるようにしたため、簡便な構成で、高い精度さらには高いスループットをもって対象物を移動または位置決めし、対象物に対する処理を行うことができる。
さらに、本ステージ装置を露光装置に適用した場合には、簡便な構成で、オーバレイ精度や線幅精度を向上させ、露光処理の迅速化を図ることができる。