【手続補正書】
【提出日】平成18年10月27日(2006.10.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜パターンを示すデータを入力する入力手段と、
前記データに基づいて、前記薄膜を構成する材料を含む組成物を吐出するためのノズルの移動経路を設定する設定手段と、
基板上に形成されたアライメントマーカーを検出するための撮像手段と、
前記ノズルの移動経路を制御する制御手段と、を有することを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項２】
薄膜パターン及び該薄膜を構成する材料を含む組成物を示すデータを入力する入力手段と、
前記データに基づいて、前記組成物を吐出するためのノズル及び吐出口を設定し、かつ、該ノズルの移動経路を設定する設定手段と、
基板上に形成されたアライメントマーカーを検出するための撮像手段と、
前記ノズルの移動経路を制御する制御手段と、を有することを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項３】
薄膜パターンを示すデータを入力する入力手段と、
前記データに基づいて、前記薄膜を構成する材料を含む組成物が吐出される基板の移動経路を設定する設定手段と、
基板上に形成されたアライメントマーカーを検出するための撮像手段と、
前記基板の移動経路を制御する制御手段と、を有することを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項４】
薄膜パターン及び該薄膜を構成する材料を含む組成物を示すデータを入力する入力手段と、
前記データに基づいて、前記組成物を吐出するためのノズル及び吐出口を設定し、かつ、前記組成物が吐出される基板の移動経路を設定する設定手段と、
基板上に形成されたアライメントマーカーを検出するための撮像手段と、
前記基板の移動経路を制御する制御手段と、を有することを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項５】
基板上に形成された第１の薄膜パターンを検出するための撮像手段と、
第２の薄膜パターン及び該薄膜を構成する材料を含む組成物を示すデータを入力する入力手段と、
前記データに基づいて、前記組成物を吐出するためのノズルの移動経路を設定する設定手段と、
前記ノズルの移動経路を制御する制御手段と、を有することを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項６】
基板上に形成された第１の薄膜パターンを検出するための撮像手段と、
第２の薄膜パターン及び該薄膜を構成する材料を含む組成物を示すデータを入力する入力手段と、
前記データに基づいて、前記組成物を吐出するためのノズル及び吐出口を設定し、かつ、該ノズルの移動経路を設定する設定手段と、
前記ノズルの移動経路を制御する制御手段と、を有することを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項７】
基板上に形成された第１の薄膜パターンを検出するための撮像手段と、
第２の薄膜パターン及び該薄膜を構成する材料を含む組成物を示すデータを入力する入力手段と、
前記データに基づいて、前記組成物が吐出される基板の移動経路を設定する設定手段と、
前記基板の移動経路を制御する制御手段と、を有することを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項８】
基板上に形成された第１の薄膜パターンを検出するための撮像手段と、
第２の薄膜パターン及び該薄膜を構成する材料を含む組成物を示すデータを入力する入力手段と、
前記データに基づいて、前記組成物を吐出するためのノズル及び吐出口を設定し、かつ、前記組成物が吐出される基板の移動経路を設定する設定手段と、
前記基板の移動経路を制御する制御手段と、を有することを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項９】
請求項１又は２において、
前記撮像手段と同一又は異なる撮像手段によって、基板上に形成された前記薄膜パターンの断線部を検出し、
前記断線部に前記組成物を吐出できるように、前記ノズルの移動経路を設定する設定手段を有することを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項１０】
請求項１、２、５、６及び９のいずれか一において、
前記ノズルが基板上に吐出された組成物の径の略半分のピッチで断続的に移動するように、前記ノズルの移動経路が制御されることを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項１１】
請求項３又は４において、
前記撮像手段と同一又は異なる撮像手段によって、基板上に形成された前記薄膜パターンの断線部を検出し、
前記断線部に前記組成物を吐出できるように、前記基板の移動経路を設定する設定手段を有することを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項１２】
請求項３、４、７、８及び１１のいずれか一において、
前記基板が基板上に吐出された組成物の径の略半分のピッチで断続的に移動するように、前記基板の移動経路が制御されることを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項１３】
薄膜パターンを示すデータを入力する入力手段と、
前記データに基づいて、前記薄膜を構成する材料を含む組成物を吐出するための第１及び第２のノズルの移動経路を設定する設定手段と、
基板上に形成されたアライメントマーカーを検出するための撮像手段と、
前記第１及び第２のノズルの移動経路を制御する制御手段と、を有し、
前記第２のノズルの移動経路は、前記第１のノズルの移動経路と交差するように設定されることを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項１４】
薄膜パターンを示すデータを入力する入力手段と、
前記データに基づいて、前記薄膜を構成する材料を含む組成物を連続的に吐出するための第１のノズルの移動経路を設定する設定手段と、
前記組成物を断続的に吐出するための第２のノズルの移動経路を設定する設定手段と、
基板上に形成されたアライメントマーカーを検出するための撮像手段と、
前記第１及び第２のノズルの移動経路を制御する制御手段と、を有し、
前記第２のノズルの移動経路は、前記第１のノズルの移動経路と交差するように設定されることを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項１５】
請求項１３又は１４において、
前記第２のノズルの移動経路は、前記第１のノズルの移動経路と直交するように設定されることを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項１６】
薄膜パターンを示すデータを入力する入力手段と、
前記データに基づいて、前記薄膜を構成する材料を含む組成物が吐出される基板の移動経路を設定する設定手段と、
基板上に形成されたアライメントマーカーを検出するための撮像手段と、
前記基板の移動経路を制御する制御手段と、を有し、
前記基板の移動経路は、少なくとも第１及び第２の経路を有し、第１の経路と第２の経路は交差するように設定されることを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項１７】
薄膜パターンを示すデータを入力する入力手段と、
前記データに基づいて、前記薄膜を構成する材料を含む組成物が吐出される基板の移動経路を設定する設定手段と、
基板上に形成されたアライメントマーカーを検出するための撮像手段と、
前記基板の移動経路を制御する制御手段と、を有し、
前記基板の移動経路は、少なくとも第１及び第２の経路を有し、第１の経路と第２の経路は交差するように設定され、
前記基板が、第１及び第２の経路の一方を通過する際に、前記組成物が吐出されるノズルから前記組成物が連続的に吐出され、
前記経路の他方を通過する際に、前記ノズルから前記組成物が断続的に吐出されることを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項１８】
請求項１６又は１７において、
前記第２のノズルの移動経路は、前記第１のノズルの移動経路と直交するように設定されることを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項１９】
請求項１乃至１８のいずれか一において、
前記組成物が吐出される空間の雰囲気を制御する手段を有していることを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項２０】
請求項１乃至１９のいずれか一において、
前記基板を加熱する手段を有していることを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項２１】
請求項１乃至４、９、１１、１３乃至２０のいずれか一において、
前記薄膜を構成する材料は、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｗ、Ａｌ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｃｄ、Ｚｎ、Ｆｅ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｚｒ、Ｂａ、ＩＴＯ、ＩＴＳＯ、有機インジウム、有機スズ、酸化亜鉛（ＺｎＯ）のうち、少なくとも一種を含んでいることを特徴とする液滴吐出システム。
【請求項２２】
請求項１乃至２２のいずれか一に記載の液滴吐出システムを用いて作製された、有機化合物又は無機化合物を含む発光素子を有する発光装置。
【請求項２３】
請求項１乃至２２のいずれか一に記載の液滴吐出装置を用いて作製された、有機化合物又は無機化合物を含む発光素子を有するテレビジョン装置。