【手続補正書】
【提出日】平成18年8月18日(2006.8.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  圧力発生室が画成されると共に当該圧力発生室の一方面側に振動板を介して圧電素子を有する流路形成基板を具備するアクチュエータ装置において、
前記流路形成基板の前記圧電素子側に接合される接合部材を有し、該接合部材は、前記圧電素子に対向する領域に、その運動を阻害しない程度の空間を有し、且つ当該接合部材には、外部配線が接続される実装部が前記圧電素子とは反対側の領域に設けられていると共に、一端が前記接合部材の前記実装部に接続され他端が前記圧電素子に接続される駆動用配線が設けられていることを特徴とするアクチュエータ装置。
【請求項２】  前記流路形成基板の前記接合部材側の表面には前記圧電素子の駆動用電極に接続する接点部が配される一方、前記接合部材の前記流路形成基板側の表面には前記駆動用配線の前記他端の接続部が前記接点部に対応して配されており、前記接点部と前記接続部とが圧着接合されていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ装置。
【請求項３】  前記駆動用配線が、前記接合部材内に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のアクチュエータ装置。
【請求項４】  前記接合部材には、前記圧電素子に対応する領域に、当該接合部材を貫通して外部と連通する連通孔が設けられ、前記駆動用配線が当該連通孔を介して設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のアクチュエータ装置。
【請求項５】  前記駆動用配線が、ワイヤボンディングによって形成されていることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ装置。
【請求項６】  前記駆動用配線が、薄膜によって形成されていることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ装置。
【請求項７】  前記接合部材の前記圧電素子と反対側の領域には、前記圧電素子を駆動するための半導体集積回路である駆動回路が搭載され、前記駆動用配線と前記実装部との間に当該駆動回路が接続されていることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のアクチュエータ装置。
【請求項８】  請求項１〜７の何れかに記載のアクチュエータ装置の前記流路形成基板の他方面側に、前記圧力発生室に連通するノズル開口を有するノズル形成部材が接合されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項９】  前記流路形成基板と前記ノズル形成部材とがセラミックスで形成され、前記圧電素子の各層がグリーンシート貼付又は印刷により形成されていることを特徴とする請求項８に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項１０】  前記流路形成基板には前記圧力発生室に連通されるリザーバが画成され、前記ノズル形成部材は前記ノズル開口を有するノズルプレートであることを特徴とする請求項８又は９に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項１１】  前記ノズル形成部材は、前記圧力発生室にインクを供給する共通インク室と、前記圧力発生室と前記ノズル開口とを連通する流路とを形成する流路ユニットであることを特徴とする請求項８又は９に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項１２】  前記流路形成基板の前記圧電素子側には前記圧力発生室に連通するインク供給口が開口し、一方、前記接合部材には、前記インク供給口に対向して相互に連通するインク供給流路が設けられていることを特徴とする請求項８又は９に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項１３】  請求項８〜１２の何れかに記載のインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、圧力発生室が画成されると共に当該圧力発生室の一方面側に振動板を介して圧電素子を有する流路形成基板を具備するアクチュエータ装置において、前記流路形成基板の前記圧電素子側に接合される接合部材を有し、該接合部材は、前記圧電素子に対向する領域に、その運動を阻害しない程度の空間を有し、且つ当該接合部材には、外部配線が接続される実装部が前記圧電素子とは反対側の領域に設けられていると共に、一端が前記接合部材の前記実装部に接続され他端が前記圧電素子に接続される駆動用配線が設けられていることを特徴とするアクチュエータ装置にある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
本発明の第９の態様は、前記流路形成基板と前記ノズル形成部材とがセラミックスで形成され、前記圧電素子の各層がグリーンシート貼付又は印刷により形成されていることを特徴とする第８の態様のインクジェット式記録ヘッドにある。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
かかる第９の態様では、ヘッドチップを容易に製造することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
本発明の第１０の態様は、前記流路形成基板には前記圧力発生室に連通されるリザーバが画成され、前記ノズル形成部材は前記ノズル開口を有するノズルプレートであることを特徴とする第８又は９の態様のインクジェット式記録ヘッドにある。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
かかる第１０の態様では、ノズル開口からインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを容易に実現できる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
本発明の第１１の態様は、前記ノズル形成部材は、前記圧力発生室にインクを供給する共通インク室と、前記圧力発生室と前記ノズル開口とを連通する流路とを形成する流路ユニットであることを特徴とする第８又は９の態様のインクジェット式記録ヘッドにある。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
かかる第１１の態様では、流路ユニットを介してノズル開口からインクが吐出される。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
本発明の第１２の態様は、前記流路形成基板の前記圧電素子側には前記圧力発生室に連通するインク供給口が開口し、一方、前記接合部材には、前記インク供給口に対向して相互に連通するインク供給流路が設けられていることを特徴とする第８又は９の態様のインクジェット式記録ヘッドにある。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
かかる第１２の態様では、接合部材がインク供給用の部材を兼ね、さらに小型化を図ることができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
本発明の第１３の態様は、第８〜１２の何れかの態様のインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置にある。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
かかる第１３の態様では、ヘッドの構造を簡略化して、製造コストを低減したインクジェット式記録装置を実現することができる。