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【手続補正書】
【提出日】平成18年3月9日(2006.3.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】非晶質半導体膜の作製方法、薄膜トランジスタの作製方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の電極及び第２の電極を有するチャンバー内において、珪化物気体を用いて、前記第１の電極及び前記第２の電極の表面に第１の非晶質半導体膜を形成し、
前記チャンバー内に基板を導入し、
前記第１の非晶質半導体膜と希ガスを用いて、前記基板の被処理面に、前記希ガスを含む第２の非晶質半導体膜を形成することを特徴とする非晶質半導体膜の作製方法。
【請求項２】
第１の電極及び第２の電極を有するチャンバー内において、珪化物気体を用いて、前記第１の電極及び前記第２の電極の表面に、プラズマＣＶＤ法により第１の非晶質半導体膜を形成し、
前記チャンバー内に基板を導入し、
前記第１の非晶質半導体膜と希ガスを用いて、前記基板の被処理面に、スパッタ法により前記希ガスを含む第２の非晶質半導体膜を形成することを特徴とする非晶質半導体膜の作製方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記第２の非晶質半導体膜は、前記希ガスを５×１０１８〜５×１０２１ａｔｏｍｓ／ｃｍ３の濃度で含むことを特徴とする非晶質半導体膜の作製方法。
【請求項４】
請求項１または請求項２において、
前記珪化物気体は、モノシラン、ジシラン、及びトリシランから選ばれる一種又は複数種であることを特徴とする非晶質半導体膜の作製方法。
【請求項５】
請求項１または請求項２において、
前記希ガスは、ヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）、及びキセノン（Ｘｅ）から選ばれる一種又は複数種であることを特徴とする非晶質半導体膜の作製方法。
【請求項６】
請求項１または請求項２において、
前記第１の非晶質半導体膜は、前記チャンバー内の圧力が２０Ｐａ以下で、形成することを特徴とする非晶質半導体膜の作製方法。
【請求項７】
請求項１または請求項２において、
前記第１の非晶質半導体膜は、１μｍ以下の厚さで形成することを特徴とする非晶質半導体膜の作製方法。
【請求項８】
請求項１または請求項２において、
前記基板は、ガラス基板、プラスチック基板、または有機樹脂基板であることを特徴とする非晶質半導体膜の作製方法。
【請求項９】
第１の電極及び第２の電極を有するチャンバー内において、珪化物気体を用いて、前記第１の電極及び前記第２の電極の表面に第１の非晶質半導体膜を形成し、
基板上に第２の非晶質半導体膜を形成し、
前記第２の非晶質半導体膜に、結晶化を促進する金属元素を添加して、結晶質半導体膜を形成し、
前記結晶質半導体膜上にバリア膜を形成し、
前記チャンバー内において、前記第１の非晶質半導体膜と希ガスを用いて、前記バリア膜上に、前記希ガスを含む第３の非晶質半導体膜を形成し、
前記第３の非晶質半導体膜に前記金属元素をゲッタリングして、前記結晶質半導体膜中の前記金属元素を除去または低減し、
前記第３の非晶質半導体膜を除去することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項１０】
第１の電極及び第２の電極を有するチャンバー内において、珪化物気体を用いて、前記第１の電極及び前記第２の電極の表面に、プラズマＣＶＤ法により第１の非晶質半導体膜を形成し、
基板上に第２の非晶質半導体膜を形成し、
前記第２の非晶質半導体膜に、結晶化を促進する金属元素を添加して、結晶質半導体膜を形成し、
前記結晶質半導体膜上にバリア膜を形成し、
前記チャンバー内において、前記第１の非晶質半導体膜と希ガスを用いて、前記バリア膜上に、スパッタ法により前記希ガスを含む第３の非晶質半導体膜を形成し、
前記第３の非晶質半導体膜に前記金属元素をゲッタリングして、前記結晶質半導体膜中の前記金属元素を除去または低減し、
前記第３の非晶質半導体膜を除去することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項１１】
請求項９または請求項１０において、
前記第２の非晶質半導体膜は、前記希ガスを５×１０１８〜５×１０２１ａｔｏｍｓ／ｃｍ３の濃度で含むことを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項１２】
請求項９または請求項１０において、
前記金属元素は、ニッケル（Ｎｉ）であることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項１３】
請求項９または請求項１０において、
前記珪化物気体は、モノシラン、ジシラン、及びトリシランから選ばれる一種又は複数種であることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項１４】
請求項９または請求項１０において、
前記希ガスは、ヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）、及びキセノン（Ｘｅ）から選ばれる一種又は複数種であることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項１５】
請求項９または請求項１０において、
前記チャンバー内の圧力が２０Ｐａ以下で、前記第１の非晶質半導体膜を形成することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項１６】
請求項９または請求項１０において、
前記第１の非晶質半導体膜は、１μｍ以下の厚さで形成することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項１７】
請求項９または請求項１０において、
前記基板は、ガラス基板、プラスチック基板、または有機樹脂基板であることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月21日(2006.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の電極及び第２の電極を有するチャンバー内において、原料ガスとして第１の気体を用いて、前記第１の電極及び前記第２の電極の表面に第１の膜を形成し、
前記第１の膜を形成した後、前記チャンバー内に基板を導入し、
前記第１の膜及び第２の気体を用いて、前記基板の被処理面に第２の膜を形成することを特徴とする成膜方法。
【請求項２】
第１の電極及び第２の電極を有するチャンバー内において、原料ガスとして第１の気体を用いて、プラズマＣＶＤ法によって前記第１の電極及び前記第２の電極の表面に第１の膜を形成し、
前記第１の膜を形成した後、前記チャンバー内に基板を導入し、
前記第１の膜及び第２の気体を用いて、スパッタ法によって前記基板の被処理面に第２の膜を形成することを特徴とする成膜方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、前記第２の膜は窒化珪素膜であることを特徴とする成膜方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、前記第１の気体は珪化物気体と窒素からなり、前記第２の気体は、ヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）、及びキセノン（Ｘｅ）から選ばれる一種又は複数種からなることを特徴とする成膜方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、前記第１の気体は珪化物気体からなり、前記第２の気体は、ヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）、及びキセノン（Ｘｅ）から選ばれる一種又は複数種と窒素からなることを特徴とする成膜方法。
【請求項６】
請求項１または請求項２において、前記第２の膜は酸化珪素膜であることを特徴とする成膜方法。
【請求項７】
請求項１、請求項２または請求項６において、前記第１の気体は珪化物気体と酸素からなり、前記第２の気体は、ヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）、及びキセノン（Ｘｅ）から選ばれる一種又は複数種からなることを特徴とする成膜方法。
【請求項８】
請求項１、請求項２または請求項６において、前記第１の気体は珪化物気体からなり、前記第２の気体は、ヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）、及びキセノン（Ｘｅ）から選ばれる一種又は複数種と酸素からなることを特徴とする成膜方法。
【請求項９】
請求項１または請求項２において、前記第２の膜は酸化窒化珪素膜であることを特徴とする成膜方法。
【請求項１０】
請求項１、請求項２または請求項９において、前記第１の気体は珪化物気体と酸素と窒素からなり、または珪化物気体と窒素酸化物からなり、前記第２の気体は、ヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）、及びキセノン（Ｘｅ）から選ばれる一種又は複数種からなることを特徴とする成膜方法。
【請求項１１】
請求項１、請求項２または請求項９において、前記第１の気体は珪化物気体からなり、前記第２の気体は、ヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）、及びキセノン（Ｘｅ）から選ばれる一種又は複数種と酸素と窒素からなることを特徴とする成膜方法。
【請求項１２】
請求項４、請求項５、請求項７、請求項８、請求項１０または請求項１１において、前記珪化物気体は、モノシラン、ジシラン、トリシランから選ばれる一種又は複数種であることを特徴とする成膜方法。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項１２のいずれか一項において、前記チャンバー内の圧力が２０Ｐａ以下で前記第２の膜を形成することを特徴とする成膜方法。
【請求項１４】
請求項１乃至請求項１３のいずれか一項において、前記基板は、ガラス基板、プラスチック基板、有機樹脂基板であることを特徴とする成膜方法。
【請求項１５】
請求項１乃至請求項１４のいずれか一項において、前記被処理面は、有機樹脂膜の表面であることを特徴とする成膜方法。
【請求項１６】
請求項１乃至請求項１５のいずれか一項において、前記第１の電極に磁石を配置することを特徴とする成膜方法。
【請求項１７】
請求項１乃至請求項１６のいずれか一項において、前記チャンバーの外壁にヒータを設けることを特徴とする成膜方法。
【請求項１８】
第１の電極及び第２の電極を有するチャンバー内において、原料ガスとして第１の気体を用いて、前記第１の電極及び前記第２の電極の表面に第１の膜を形成し、
前記第１の膜を形成した後、前記チャンバー内に半導体素子を形成した基板を導入し、
前記第１の膜及び第２の気体を用いて、前記半導体素子上に、前記半導体素子の保護膜として第２の膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１９】
請求項１８において、前記半導体素子は、薄膜トランジスタ、有機薄膜トランジスタ、薄膜ダイオード、光電変換素子、又は抵抗であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月12日(2006.7.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  制御対象であるモータの位置を検出する位置検出部と、
前記モータの速度を算出する速度算出部と、
前記位置検出部からフィードバックされた前記モータの位置と位置指令とが一致するように速度指令を出力して位置制御をする位置制御部と、
比例積分制御により、前記速度算出部からフィードバックされた前記速度と前記速度指令とが一致するようにトルク指令を出力して速度制御を行う速度制御部と、
前記トルク指令に基づいてトルク制御を行うトルク制御部とを備えたモータの位置制御装置において、
前記位置制御部は、
前記位置指令と前記位置検出部により検出した前記位置との位置偏差を求める減算手段と、
前記位置偏差に位置比例ゲインを乗算する位置ループ乗算手段と、
前記位置指令を微分する微分器と、
前記微分器の出力にフィードフォーワード・ゲインを乗算するフィードフォーワード・ゲイン乗算手段と、
前記フィードフォーワード・ゲイン乗算手段の出力を比例微分制御して速度制御系の遅れを補償する比例微分手段と、
前記位置指令の量子化誤差によるリップルを除去する伝達関数を有して、前記比例微分手段の出力と前記フィードフォーワード・ゲイン乗算手段の出力との加算値をフィルタ処理するフィードフォーワード・ローパスフィルタと、
前記フィードフォーワード・ローパスフィルタの出力と前記位置ループ乗算手段の出力とを加算して前記速度指令を出力する加算手段とを備えていることを特徴とするモータの位置制御装置。
【請求項２】  速度制御系の遅れに相当する伝達関数を有する位置制御側遅れ補償ローパスフィルタを更に備え、
前記位置指令が前記位置制御側遅れ補償ローパスフィルタを通して前記減算手段に入力されることを特徴とする請求項１に記載のモータの位置制御装置。
【請求項３】  前記速度制御部が、
速度制御系の遅れに相当する伝達関数を有する速度制御側遅れ補償ローパスフィルタと、
前記速度指令を前記速度制御側遅れ補償ローパスフィルタに入力して得た遅延速度指令と前記速度との速度偏差を積分する速度積分器を含んで構成された積分制御系と、
前記速度指令と前記速度との差に比例した指令を出力する比例制御系と、
前記積分制御系の出力と前記比例制御系の出力とを加算する加算手段と、
前記加算手段の出力に速度比例ゲインを乗じて前記トルク指令を得る乗算手段とを具備している請求項１または２に記載のモータの位置制御装置。
【請求項４】  前記速度制御部が、
速度制御系の遅れに相当する伝達関数を有する速度制御側遅れ補償ローパスフィルタと、
前記速度指令を前記速度制御側遅れ補償ローパスフィルタに入力して得た遅延速度指令と前記速度との速度偏差を積分する速度積分器を含み制御系中の演算値に速度比例ゲインを乗じて出力する積分制御系と、
前記速度指令と前記速度との差に速度比例ゲインを乗じた指令を出力する比例制御系と、
前記積分制御系の出力と前記比例制御系の出力とを加算する加算手段とから構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のモータの位置制御装置。
【請求項５】  制御対象であるモータの位置を検出する位置検出部と、
前記モータの速度を算出する速度算出部と、
前記位置検出部からフィードバックされた前記モータの位置と位置指令とが一致するように速度指令を出力して位置制御をする位置制御部と、
比例積分制御により、前記速度算出部からフィードバックされた前記速度と前記速度指令とが一致するようにトルク指令を出力して速度制御を行う速度制御部と、
前記トルク指令に基づいてトルク制御を行うトルク制御部とを備えたモータの位置制御装置において、
前記位置制御部は、
前記位置指令を微分する微分器と、
前記微分器の出力にフィードフォーワード・ゲインを乗算するフィードフォーワード・ゲイン乗算手段と、
前記フィードフォーワード・ゲイン乗算手段の出力を比例微分制御して速度制御系の遅れを補償する比例微分手段と、
前記位置指令の量子化誤差によるリップルを除去する伝達関数を有して、前記比例微分手段の出力と前記フィードフォーワード・ゲイン乗算手段の出力との加算値をフィルタ処理するフィードフォーワード・ローパスフィルタと、
前記微分器の出力と前記位置検出部により検出した前記位置の微分値との偏差を積分して出力する積分器と、
前記積分器の出力に位置比例ゲインを乗算する位置ループ乗算手段と、
前記位置ループ乗算手段から出力された指令と前記フィードフォーワード・ローパスフィルタから出力された速度フィードフォーワード指令とを加算して前記速度指令として出力する加算手段とを具備することを特徴とするモータの位置制御装置。
【請求項６】  速度制御系の遅れに相当する伝達関数を有する位置制御側遅れ補償ローパスフィルタが前記微分器と前記積分器との間に配置され、
前記位置制御側遅れ補償ローパスフィルタを通った前記微分器の出力と前記位置の微分値との偏差が前記積分器に入力されることを特徴とする請求項５に記載のモータの位置制御装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月22日(2006.3.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象のウエハをステージへ搬送する搬送手段と、
前記ステージの動作を規制する規制手段と、
前記搬送手段による前記ウエハの前記ステージへの搬送が完了するまで、前記規制手段により前記ステージの動作を規制するよう制御する制御手段と、
を具備したことを特徴とするウエハ検査装置。
【請求項２】
前記ウエハの前記ステージへの搬送が完了したことを検出する検出手段を備え、
前記制御手段は、前記検出手段により完了が検出された場合、前記規制手段による規制を解除することを特徴とする請求項１に記載のウエハ検査装置。
【請求項３】
前記搬送手段の受渡し位置に前記ステージが一致したか否かを検知するセンサを備えることを特徴とする請求項1または2に記載のウエハ検査装置。
【請求項４】
前記搬送手段は、上下動作を伴ったウエハ受渡し動作を実施するよう構成され、前記搬送手段の上昇動作に連動して前記ステージの動作を規制することを特徴とする請求項１から3のいずれか一項に記載のウエハ検査装置。
【請求項５】
前記規制手段は、前記搬送手段の上昇完了信号と下降完了信号により駆動することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のウエハ検査装置。
【請求項６】
前記規制手段は、前記制御部からの信号によりソレノイドに電流が流されることにより鉄芯とともに上方向へ押し上げられて規制を行なうことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のウエハ検査装置。
【請求項７】
前記規制手段は、前記搬送手段の上下動作にメカ機構を介して上下動することにより規制を行なうことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のウエハ検査装置。
【請求項８】
前記規制手段は、前記ステージの移動を規制するピンであることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のウエハ検査装置。
【請求項９】
ステージの動作を規制する規制手段により前記ステージの移動を規制するステップと、前記ステージの移動規制の後に搬送手段により検査対象のウエハを前記ステージへ搬送するステップとを含むことを特徴とするウエハ検査方法。
【請求項１０】
前記ステージが前記搬送手段の受渡し位置に存在しているか否かを検出するステップを含むことを特徴とする請求項９に記載のウエハ検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ウエハ検査装置及びウエハ検査方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
ウエハ搬送装置Ａのカセット１には、複数の半導体ウエハが収納されている。カセット１は、カセット台上下機構（エレベータ機構）を備えたカセット台２上に設置されている。制御部３の制御により前記カセット台上下機構部が駆動し、カセット台２が上下動する。またウエハ搬送装置Ａには、ウエハをカセット１から取り出したりウエハをカセット１に収納したりするためのウエハ取出しアーム４（アーム機構部）と、センターテーブル１１と、裏面マクロ検査用のウエハ保持アーム１２と、ウエハを検査用ステージ６へ受渡すためのウエハ受渡し機構部５が設けられている。ウエハ取出しアーム４は、カセット１に対して前進および後退する直線移動機構と、後退位置で上下方向に移動する上下移動機構を有している。センターテーブル１１は、ウエハ取出しアーム４により搬送されたウエハを吸着保持し、回転および揺動可能になっている。このセンターテーブル１１を揺動操作することにより、ウエハ表面を目視するマクロ観察が行なえる。ウエハ受渡し機構部５は、センターテーブル１１にて位置合せされ、表裏面のマクロ観察が終了したウエハを検査用ステージ６に搬送し、検査用ステージ６でミクロ検査が終了したウエハをセンターテーブル１１に搬送する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
ウエハ搬送装置Ａに隣接してウエハを目視検査するための顕微鏡装置７が設置されている。顕微鏡装置７の検査用ステージ６は、ＸＹ方向に移動可能なＸＹステージ１４に搭載されている。このＸＹステージ１４とウエハ搬送装置Ａには、ウエハ受渡し機構部５の受渡し位置に検査用ステージ６が一致したか否かを検知するステージセンサ８ａ，８ｂが設けられている。このウエハ受渡し位置に検査用ステージ６が持ち込まれたとき検査用ステージ６の移動を規制する後述するステージロック機構部１０が設けられている。また検査用ステージ６には、ウエハ搬送装置Ａからウエハが受け渡された時に、検査用ステージ６がウエハを確実に吸着したことを検出する図示しない真空センサ（真空スイッチ部）が設けられている。また、検査用ステージ６をＸＹ方向に移動させるＸＹステージ１４には、操作者が手動にて検査用ステージ６をＸＹ方向へ動かすためのハンドル９が設けられている。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月8日(2006.2.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに平行に敷設された少なくとも２本の案内のうちいずれか１本の前記案内側から加わる駆動力により前記各案内上に移動する大型基板ステージにおいて、
前記各案内上に移動可能に設けられた移動用テーブルと、
前記駆動力が加わる前記移動用テーブルの辺側に一方の辺側が支持され、かつ前記移動用テーブルの前記辺側に対向する他方の辺側が前記移動用テーブル上に変位可能に載置された基板ホルダと、を具備したことを特徴とする大型基板ステージ。
【請求項２】
前記移動用テーブルは、２本の前記案内のうち一方の前記案内上に移動可能に設けられ、前記駆動力が加わる主軸側移動テーブルと、
他方の前記案内上に移動可能に設けられた従動用テーブルと、
前記主軸側移動テーブルと前記従動側移動テーブルとを結合する主軸従動テーブル結合部材と、を有することを特徴とする請求項１記載の大型基板ステージ。
【請求項３】
前記基板ホルダーは、矩形の開口部を有する枠状に形成されたことを特徴とする請求項１記載の大型基板ステージ。
【請求項４】
前記従動側移動テーブルと前記基板ホルダとの間には、前記基板ホルダの接触面の摩擦を小さくする滑部材を介在させたことを特徴とする請求項２記載の大型基板ステージ。
【請求項５】
前記滑部材は、ローラ、ボール又は樹脂製滑り材からなることを特徴とする請求項４記載の大型基板ステージ。
【請求項６】
前記基板ホルダは、前記移動用テーブルにおける前記駆動力が加わる前記辺側に対して前記各案内が敷設された第１の方向を回転軸とする第１の回転方向へのみ回転が許容されることを特徴とする請求項１記載の大型基板ステージ。
【請求項７】前記基板ホルダは、前記主軸側移動テーブルに対して前記各案内が敷設された第１の方向を回転軸とする第１の回転方向への回転のみが許容され、前記従動側移動テーブルに対して前記各案内が敷設された第１の方向への移動が規制されることを特徴とする請求項２記載の大型基板ステージ。
【請求項８】前記基板ホルダは、前記主軸側移動テーブルに対して前記各案内の敷設方向と同一方向の第１の方向と、前記第１の方向と直行する前記各案内の対向方向と同一方向の第２方向と、前記第１と前記第２の方向に対してそれぞれ直行する第３の方向とへの各移動が規制され、かつ前記第２の方向を回転軸とする第２の回転方向と、前記第３の方向を回転軸とする第３の回転方向への各回転が規制されることを特徴とする請求項２記載の大型基板ステージ。
【請求項９】前記ホルダの側面に対向する前記主軸側移動テーブルの側面、前記従動側移動テーブルの側面及び前記主軸従動テーブル結合部材の側面の各間は、前記主軸側移動テーブル、前記従動側移動テーブル及び前記主軸従動テーブル結合部材の移動動作時に生ずる歪み量よりも大きな隙間を有することを特徴とする請求項２記載の大型基板ステージ。
【請求項１０】前記基板ホルダは、前記移動用テーブルにおける一方の前記辺側に対して前記各案内が敷設された第１の方向を回転軸として揺動可能に設けたことを特徴とする請求項１記載の大型基板ステージ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本願発明は、互いに平行に敷設された少なくとも２本の案内のうちいずれか１本の前記案内側から加わる駆動力により前記各案内上に移動する大型基板ステージにおいて、前記各案内上に移動可能に設けられた移動用テーブルと、前記駆動力が加わる前記移動用テーブルの辺側に一方の辺側が支持され、かつ前記移動用テーブルの前記辺側に対向する他方の辺側が前記移動用テーブル上に変位可能に載置された基板ホルダとを具備した大型基板ステージである。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月28日(2006.3.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上に、第１の半導体層，第２の半導体層，第３の半導体層，第４の半導体層が、この順に積層されたｐｎｐｎ構造と、前記第３の半導体層の上に形成される第１の電極と、前記第４の半導体層の上に形成される第２の電極と、前記ｐｎｐｎ構造および前記第１，第２の電極を覆う絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された金属配線と、前記金属配線に接続されるボンディングパッドとを備える発光素子アレイチップであって、
チップの非機能部分上に、保護壁が形成され、この保護壁の高さがチップの最大高さである、発光素子アレイチップ。
【請求項２】
前記保護壁は、チップの非機能部分上の金属配線の上に、この金属配線と同じ金属がリフトオフにより形成されたものである、請求項１に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項３】
前記保護壁は、チップの非機能部分上の金属配線およびこの金属配線に接続されたボンディングパッドの上に、前記金属配線と同じ金属がリフトオフにより形成されたものである、請求項１に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項４】
前記金属配線はＡｌよりなる、請求項２または３に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項５】
前記保護壁は、チップの非機能部分上の金属配線の上に、この金属配線と異なる硬質の金属がリフトオフにより形成されたものである、請求項１に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項６】
前記保護壁は、チップの非機能部分上の金属配線およびこの金属配線に接続されたボンディングパッドの上に、前記金属配線と異なる硬質の金属がリフトオフにより形成されたものである、請求項１に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項７】
前記金属配線はＡｌよりなり、前記硬質の金属は、Ｗ，Ｔｉ，ＰｔまたはＣｒよりなる、請求項５または６に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項８】
前記保護壁は、チップの非機能部分の前記ｐｎｐｎ構造の第４の半導体層上に、前記第１の電極と同一の金属よりなる第１の金属層と、前記第２の電極と同一の金属よりなる第２の金属層と、前記絶縁層と、前記金属配線と同一の金属よりなる第３の金属層とが、この順で積層されて形成されているものからなる、請求項１に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項９】
前記保護壁は、
チップの非機能部分の前記ｐｎｐｎ構造の第４の半導体層上に、前記第１の電極と同一の金属よりなる第１の金属層と、前記第２の電極と同一の金属よりなる第２の金属層と、前記絶縁層と、前記金属配線と同一の金属よりなる第３の金属層とが、この順で積層されて形成されているものと、
前記ボンディングパッドの周縁部の下の前記ｐｎｐｎ構造の第４の半導体層上に、前記第１の電極と同一の金属よりなる第１の金属層と、前記第２の電極と同一の金属よりなる第２の金属層と、前記絶縁層と、前記ボンディングパッドの周縁部の金属とが、この順で積層されて形成されているものとからなる、請求項１に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項１０】
前記金属配線はＡｌよりなり、前記第１および第２の電極は主としてＡｕよりなる、請求項８または９に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項１１】
前記保護壁は、チップの非機能部分の前記ｐｎｐｎ構造の第４の半導体層上に、前記第１の電極と同一の金属よりなる第１の金属層と、前記第２の電極と同一の金属よりなる第２の金属層と、前記金属配線と同一の金属よりなる第３の金属層とが、この順で積層され、前記第２の金属層と前記第３の金属層との間に、金属間化合物が形成されているものからなる、請求項１に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項１２】
前記保護壁は、
チップの非機能部分の前記ｐｎｐｎ構造の第４の半導体層上に、前記第１の電極と同一の金属よりなる第１の金属層と、前記第２の電極と同一の金属よりなる第２の金属層と、前記金属配線と同一の金属よりなる第３の金属層とが、この順で積層され、前記第２の金属層と前記第３の金属層との間に、金属間化合物が形成されているものと、
前記ボンディングパッドの周縁部の下の前記ｐｎｐｎ構造の第４の半導体層上に、前記第１の電極と同一の金属よりなる第１の金属層と、前記第２の電極と同一の金属よりなる第２の金属層と、前記ボンディングパッドの周縁部の金属とが、この順で積層され、前記第２の金属層と前記第３の金属層との間に、金属間化合物が形成されているものとからなる、請求項１に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項１３】
前記金属配線はＡｌよりなり、前記第１および第２の電極はＡｕよりなる、請求項１１または１２に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項１４】
前記保護壁は、表面を覆う保護膜上に、前記チップの発光部と前記ボンディングパッドとを除いて形成されたフォトレジストよりなる請求項１に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項１５】
前記フォトレジストは、前記保護膜をパターニングする際に用いたフォトレジストの一部を除去せずに残したものである、請求項１４に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項１６】
前記保護壁は、表面を覆う保護膜上に、前記チップの発光部と前記ボンディングパッドとを除いて形成された有機膜よりなる請求項１に記載の発光素子アレイチップ。
【請求項１７】
表面が保護膜で覆われ、前記保護膜上に樹脂でレンズが形成されている発光素子アレイチップであって、
前記レンズを形成する樹脂の一部に保護壁を成型し、この保護壁の高さがチップの最大高さである、発光素子アレイチップ。
【請求項１８】
自己走査型発光素子アレイである、請求項１〜１７のいずれかに記載の発光素子アレイチップ。
【請求項１９】
請求項１〜１８のいずれかに記載の発光素子アレイチップを有する光書込みヘッド。
【請求項２０】
請求項１９に記載の光書込みヘッドを備える光学装置。
【請求項２１】
請求項１９に記載の光書込みヘッドを備える光プリンタ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、発光素子アレイチップ、特に、チップ表面を平コレットで保持しても、チップ機能部分を傷めることのない発光素子アレイチップを提供することにある。本発明は、さらには、このような発光素子アレイチップを有する光書込みヘッド、および光書込みヘッドを備える光学装置に関する。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月14日(2006.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】一対のコイルを有し、該コイルの一方又は他方に励磁電流を通電することにより、前記一対のコイル間を駆動する可動子とを備えた複数の操作機構を制御する操作回路において、前記操作回路を構成する複数のコイル対の各対ごとに選択した１のコイルの集合体であるコイル群１と、同じく各対ごとに選択した他のコイルの集合体であるコイル群２のうち、一方のコイル群は、前記励磁電流を通電する通電線に対して、並列に接続され、前記コイル群１又は２の励磁電流遮断時の過電圧を抑制し、かつ、前記コイル群１又は２の励磁時に他方のコイル群に発生する誘導電流を遮断する手段が、前記コイル群１及び２に接続されていることを特徴とする操作回路。
【請求項２】上記手段は、前記のコイル群に並列に接続され、ダイオードと誘導遮断スイッチとから構成されていることを特徴とする請求項１に記載の操作回路。
【請求項３】上記手段は、前記のコイル群に並列に接続され、コンデンサと抵抗とから構成されていることを特徴とする請求項１に記載の操作回路。
【請求項４】各コイル群への励磁電流を通電する手段として、コンデンサをそれぞれ一つずつ配置し、充電回路は前記全てのコンデンサに対して１つとしたことを特徴とする請求項１あるいは請求項２に記載の操作回路。
【請求項５】各コイル群はコイルの電気エネルギーを放電するための放電スイッチを備え、上記コイル群１又は２のいずれかの誘導遮断スイッチをオンすると同時もしくは後に、該コイル群の前記放電スイッチをオンすることを特徴とする請求項１、２、４の何れか一に記載の操作装置。
【請求項６】いずれか一方のコイル群への前記励磁電流を通電する手段をオフしてから一定の時間間隔をもって該コイル群の誘導遮断スイッチをオフにすることを特徴とする請求項１、２、４、又は５の何れか一に記載の操作回路。
【請求項７】コイル群への無通電時は誘導遮断スイッチをオフしていることを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れか一に記載の操作回路。
【請求項８】可動子の駆動に係る一方のコイル群に励磁電流を通電し、所定の時間経過した後にオフし、その後、可動子の動作完了前であって、上記オフした後、所定の時間経過した後に再度オンすることを特徴とする請求項１乃至請求項７の何れか一に記載の操作回路。
【請求項９】請求項１乃至請求項８の何れか一に記載の操作回路を用いた電力用開閉装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】      
上記課題を解決するため、本発明に関わる操作回路では、一対のコイルを有し、該コイルの一方又は他方に励磁電流を通電することにより、前記一対のコイル間を駆動する可動子とを備えた複数の操作機構を制御する操作回路において、前記操作回路を構成する複数のコイル対の各対ごとに選択した１のコイルの集合体であるコイル群１と、同じく各対ごとに選択した他のコイルの集合体であるコイル群２のうち、一方のコイル群は、前記励磁電流を通電する通電線に対して、並列に接続され、前記コイル群１又は２の励磁電流遮断時の過電圧を抑制し、かつ、前記コイル群１又は２の励磁時に他方のコイル群に発生する誘導電流を遮断する手段が、前記コイル群１及び２に接続されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明に関わる操作回路は、一対のコイルを有し、該コイルの一方又は他方に励磁電流を通電することにより、前記一対のコイル間を駆動する可動子とを備えた複数の操作機構を制御する操作回路において、前記操作回路を構成する複数のコイル対の各対ごとに選択した１のコイルの集合体であるコイル群１と、同じく各対ごとに選択した他のコイルの集合体であるコイル群２のうち、一方のコイル群は、前記励磁電流を通電する通電線に対して、並列に接続され、前記コイル群１又は２の励磁電流遮断時の過電圧を抑制し、かつ、前記コイル群１又は２の励磁時に他方のコイル群に発生する誘導電流を遮断する手段が、前記コイル群１及び２に接続されている構成としたので、操作機構の動作効率を格段に向上し、かつコイルを過電圧から保護することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月16日(2006.8.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２２６】
検索情報を構成する検索データを、３値データビットの組合せで構成する場合、ネットワークシステムにおいてＩＰ（インターネット・プロトコル）パケットに対する処理などを行なう場合に、特に有効である。たとえば、今、簡単化のために、パケットの行先アドレスが、４ビットで表現されると仮定する。あるパケットの行先アドレスが“１ＸＸＸ”（先頭ビットが“１”であれば、残りのアドレスビットはどのような値を取ってもよい）の場合、ある所定の処理を、そのパケットに対して行なうことを考える。パケットが、システムに到着した際に、その行先アドレスを検索して、アドレス“１ＸＸＸ”と一致するかどうかを判定するために、ＣＡＭまたはＴＣＡＭの連想記憶メモリが用いられるとする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２２７】
この場合、パケットが到着する前に、ＣＡＭまたはＴＣＡＭには、“１ＸＸＸ”というデータを記憶しておく必要がある。通常の２値記憶のＣＡＭを用いた場合、“１０００”、“１００１”、“１０１０”、“１０１１”、“１１００”、“１１０１”、“１１１０”、および“１１１１”の８状態を記憶しておく必要があり、したがって、このパケットの行先アドレス検索のために、８ワードが消費される。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月17日(2006.3.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】  電子部品を収容可能であり、第１端面に開口部を有するケース部材と、
前記ケース部材の前記開口部に設けられ、該開口部を開閉するべく外側方向へ回動可能であり、第１弾性部材によって閉成方向へ付勢されたシャッタ部材と、
前記ケース部材の前記第１端面に直交する少なくとも一つの側面より該ケース部材の外部に延出した第１端部と、前記シャッタ部材に作用する第２端部とを有し、該ケース部材が電子機器に挿入されることにより、該第１端部へ加わる作用力を前記シャッタ部材を開成方向への付勢力に変換するレバー部材とを備えることを特徴とする電子部品収納ケース。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するための本発明による電子部品収納ケースは以下の構成を備える。すなわち、
電子部品を収容可能であり、第１端面に開口部を有するケース部材と、
前記ケース部材の前記開口部に設けられ、該開口部を開閉するべく外側方向へ回動可能であり、第１弾性部材によって閉成方向へ付勢されたシャッタ部材と、
前記ケース部材の前記第１端面に直交する少なくとも一つの側面より該ケース部材の外部に延出した第１端部と、前記シャッタ部材に作用する第２端部とを有し、該ケース部材が電子機器に挿入されることにより、該第１端部へ加わる作用力を前記シャッタ部材を開成方向への付勢力に変換するレバー部材とを備える。
また、本発明によれば、上記目的を達成するために、上記電子部品収納ケースのケース部材内に、その接続コネクタが前記シャッタ部材と対向するように固定された電子部品を備え、前記シャッタ部材の開成状態において前記接続コネクタが接続可能状態に露出する電子デバイスを提供する。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月14日(2006.3.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ビデオコンテンツのデータが記録されている記録媒体であって、
著作権管理者が再生を許可していない複数のビデオコンテンツからそれぞれ抽出されたビデオ・フィンガー・プリンティング・データであるビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストが記録されている記録媒体。
【請求項２】  前記ビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストが、バージョン情報を有している請求項１に記載の記録媒体。
【請求項３】  ビデオコンテンツのデータが記録された記録媒体が製造される記録媒体製造方法であって、
前記ビデオコンテンツのデータを編集する編集ステップと、
著作権管理者が再生を許可していない複数のビデオコンテンツからそれぞれ抽出されたビデオ・フィンガー・プリンティング・データであるビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストを記録するデータリスト記録ステップとを有する記録媒体製造方法。
【請求項４】  前記ビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストが、バージョン情報を有している請求項３に記載の記録媒体製造方法。
【請求項５】  ビデオコンテンツのデータが記録されている記録媒体を再生する再生方法であって、
前記記録媒体から著作権管理者が再生を許可していない複数のビデオコンテンツからそれぞれ抽出されたビデオ・フィンガー・プリンティング・データであるビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストを読み出すデータリスト読み出しステップと、
再生されるビデオコンテンツから、前記記録媒体に記録されたビデオ・フィンガー・プリンティング・データを抽出したのと同一の手法でビデオ・フィンガー・プリンティング・データを抽出する抽出ステップと、
前記抽出されたビデオ・フィンガー・プリンティング・データが、メモリに蓄積されているビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リスト、または前記データリスト読み出しステップにより読み出されたビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストに含まれているか否かを判定するデータリスト判定ステップと、
前記データリスト判定ステップで同一のビデオ・フィンガー・プリンティング・データが含まれていると判断された場合には、前記記録媒体の再生動作を制限する再生制限ステップとを有する再生方法。
【請求項６】  前記ビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストが、バージョン情報を有している請求項５に記載の再生方法。
【請求項７】  前記バージョン情報を判定するバージョン判定ステップと、
前記バージョン判定ステップにおいて前記記録媒体に記録されているビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストの方がメモリに蓄積されているビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストのバージョン情報よりも新しいと判断された場合に、当該蓄積されているビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストを更新する第一のデータリスト更新ステップを有する請求項６に記載の再生方法。
【請求項８】  前記蓄積されているビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストが、ネットワークを介して接続した著作権管理サーバから更新される、第二のデータリスト更新ステップを有する請求項７に記載の再生方法。
【請求項９】  ビデオコンテンツのデータが記録されている記録媒体を再生する再生装置であって、
前記記録媒体から、著作権管理者が再生を許可していない複数のビデオコンテンツからそれぞれ抽出されたビデオ・フィンガー・プリンティング・データであるビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストを読み出すデータリスト読み出し部と、
再生されるビデオコンテンツから、前記記録媒体に記録されたビデオ・フィンガー・プリンティング・データを抽出したのと同一の手法でビデオ・フィンガー・プリンティング・データを抽出する抽出部と、
前記抽出されたビデオ・フィンガー・プリンティング・データが、メモリに蓄積されているビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リスト、または前記データリスト読み出しステップにより読み出されたビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストに含まれているか否かを判定するデータリスト判定部と、
前記データリスト判定部で同一のビデオ・フィンガー・プリンティング・データが含まれていると判断された場合には、前記記録媒体の再生動作を制限する制御部とを有する再生装置。
【請求項１０】  前記ビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストが、バージョン情報を有している請求項９に記載の再生装置。
【請求項１１】  前記バージョン情報を判定するバージョン判定部と、
前記バージョン判定部において前記記録媒体に記録されているビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストの方がメモリに蓄積されているビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストのバージョン情報よりも新しいと判断された場合に、当該蓄積されているビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストが前記記録媒体に記録されているビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストにより更新される請求項１０に記載の再生装置。
【請求項１２】  前記蓄積されているビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストが、ネットワークを介して接続した著作権管理サーバから更新される請求項１１に記載の再生装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項９の発明は、ビデオコンテンツのデータが記録されている記録媒体を再生する再生装置であって、記録媒体から、著作権管理者が再生を許可していない複数のビデオコンテンツからそれぞれ抽出されたビデオ・フィンガー・プリンティング・データであるビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストを読み出すデータリスト読み出し部と、再生されるビデオコンテンツから、記録媒体に記録されたビデオ・フィンガー・プリンティング・データを抽出したのと同一の手法でビデオ・フィンガー・プリンティング・データを抽出する抽出部と、抽出されたビデオ・フィンガー・プリンティング・データが、メモリに蓄積されているビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リスト、またはデータリスト読み出しステップにより読み出されたビデオ・フィンガー・プリンティング・データ・リストに含まれているか否かを判定するデータリスト判定部と、データリスト判定部で同一のビデオ・フィンガー・プリンティング・データが含まれていると判断された場合には、記録媒体の再生動作を制限する制御部とを有する再生装置である。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月18日(2006.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データの書き換えが不可能な情報記録媒体に所定の記録単位でデータを記録する情報記録方法において、
前記情報記録媒体にデータを記録し、
前記情報記録媒体から得られる同期信号を基準に少なくとも２記録単位以上のダミーデータと前記データを管理する管理情報とを一回の記録動作で記録することを特徴とする情報記録方法。
【請求項２】
請求項１記載の情報記録方法において、前記所定の記録単位がＥＣＣブロック単位であることを特徴とする情報記録方法。
【請求項３】
請求項１記載の情報記録方法において、複数のファイルからなる前記管理情報を、前記記録媒体であるＤＶＤ−Ｒに記録することを特徴とする情報記録方法。
【請求項４】
請求項３記載の情報記録方法において、前記管理情報を構成する各ファイルを個別に記録することを特徴とする情報記録方法。
【請求項５】
データの書き換えが不可能な情報記録媒体に所定の記録単位でデータを記録する情報記録装置において、
前記情報記録媒体にデータを記録する手段と、
前記情報記録媒体から得られる同期信号を基準に少なくとも２記録単位以上のダミーデータと前記データを管理する管理情報とを一回の記録動作で記録する手段とを備えたことを特徴とする情報記録装置。
【請求項６】
請求項５記載の情報記録装置において、前記所定の記録単位がＥＣＣブロック単位であることを特徴とする情報記録装置。
【請求項７】
請求項５記載の情報記録装置において、複数のファイルからなる前記管理情報を、前記記録媒体であるＤＶＤ−Ｒに記録することを特徴とする情報記録装置。
【請求項８】
請求項７記載の情報記録装置において、前記管理情報を構成する各ファイルを個別に記録することを特徴とする情報記録装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月2日(2006.3.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
メールを作成するメール装置であって、
ユーザからメール本文の入力を受ける入力手段と、
メール本文の内容に基づいて件名要素を自動的に生成する件名生成手段と、
生成された件名要素が件名欄に付加されたメールを宛先に送信する送信手段とを備え、
前記件名生成手段は同じメール本文の内容であっても作成時によって異なる件名要素を生成するよう構成されたことを特徴とするメール装置。
【請求項２】
前記件名生成手段は、キーワードとこれに対応する複数の件名要素とを対応づけたテーブルを有し、前記本文中に当該キーワードが検出されたとき、前記テーブルで当該キーワードに対応づけられた複数の件名要素の中から所定の条件にしたがって１つの件名要素を選択してメールの件名欄に挿入することを特徴とする請求項１記載のメール装置。
【請求項３】
前記所定の条件は、(i)ランダム、(ii)サイクリック、(iii)現在の日付および／または時刻、(iv)メール履歴に応じて、のいずれかである請求項２記載のメール装置。
【請求項４】
前記件名生成手段は、現在の日付および／または時間帯とこれに対応する件名要素とを対応づけたテーブルを有し、現在の日時に応じて前記件名要素を選択してメールの件名欄に挿入することを特徴とする請求項１または２記載のメール装置。
【請求項５】
前記件名生成手段による件名自動生成処理に関して、
（i）常に件名自動生成処理を行う
（ii）件名欄が空欄の場合のみ件名自動生成処理を行う
（iii）件名自動生成処理を行わない
のいずれかをユーザに選択させる設定手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１記載のメール装置。
【請求項６】
予め登録した送信先についてのみ前記件名自動生成を機能させ、予め登録した送信先以外の送信先については前記件名自動生成を無効化する設定手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１記載のメール装置。
【請求項７】
メールを再生するメール装置であって、
メールサーバからメールを受信する受信手段と、
メール本文の内容に基づいて件名要素を自動的に生成する件名生成手段と、
生成された件名要素が件名欄に付加されたメールを再生する再生手段とを備え、
前記件名生成手段は同じメール本文の内容であっても作成時によって異なる件名要素を生成するよう構成されたことを特徴とするメール装置。
【請求項８】
前記件名生成手段は、キーワードとこれに対応する複数の件名要素とを対応づけたテーブルを有し、前記本文中に当該キーワードが検出されたとき、前記テーブルで当該キーワードに対応づけられた複数の件名要素の中から所定の条件にしたがって１つの件名要素を選択してメールの件名欄に挿入することを特徴とする請求項７記載のメール装置。
【請求項９】
前記所定の条件は、(i)ランダム、(ii)サイクリック、(iii)現在の日付および／または時刻、(iv)メールの履歴に応じて、のいずれかである請求項７記載のメール装置。
【請求項１０】
前記件名生成手段は、現在の日付および／または時間帯とこれに対応する件名要素とを対応づけたテーブルを有し、現在の日時に応じて前記件名要素を選択してメールの件名欄に挿入することを特徴とする請求項８または９記載のメール装置。
【請求項１１】
前記件名生成手段による件名自動生成処理に関して、
（i）常に件名自動生成処理を行う
（ii）件名欄が空欄の場合のみ件名自動生成処理を行う
（iii）件名自動生成処理を行わない
のいずれかをユーザに選択させる設定手段をさらに備えたことを特徴とする請求項７記載のメール装置。
【請求項１２】
予め登録した送信元についてのみ前記件名自動生成を機能させ、予め登録した送信先以外の送信先については前記件名自動生成を無効化する設定手段をさらに備えたことを特徴とする請求項７記載のメール装置。
【請求項１３】
メール装置間でのメールの送受信を行うメールサーバであって、
メール装置からメールを受信するメール受信手段と、
メール本文の内容に基づいて件名要素を自動的に生成する件名生成手段と、
生成された件名要素が件名欄に付加されたメールを宛先に送信する送信手段とを備え、
前記件名生成手段は同じメール本文の内容であっても作成時によって異なる件名要素を生成するよう構成されたことを特徴とするメールサーバ。
【請求項１４】
前記件名生成手段は、キーワードとこれに対応する複数の件名要素とを対応づけたテーブルを有し、前記本文中に当該キーワードが検出されたとき、前記テーブルで当該キーワードに対応づけられた複数の件名要素の中から所定の条件にしたがって１つの件名要素を選択してメールの件名欄に挿入することを特徴とする請求項１３記載のメールサーバ。
【請求項１５】
前記所定の条件は、(i)ランダム、(ii)サイクリック、(iii)現在の日付および／または時刻、(iv)メールの履歴に応じて、(iv)メール履歴、のいずれかである請求項１４記載のメールサーバ。
【請求項１６】
前記件名生成手段は、現在の日付および／または時間帯とこれに対応する件名要素とを対応づけたテーブルを有し、現在の日時に応じて前記件名要素を選択してメールの件名欄に挿入することを特徴とする請求項１４または１５記載のメールサーバ。
【請求項１７】
前記件名生成手段による件名自動生成処理に関して、
（i）常に件名自動生成処理を行う
（ii）件名欄が空欄の場合のみ件名自動生成処理を行う
（iii）件名自動生成処理を行わない
のいずれかをユーザに選択させる設定手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１３記載のメールサーバ。
【請求項１８】
メール装置で動作してメールを作成するメーラープログラムであって、
ユーザからメール本文の入力を受けるステップと、
メール本文の内容に基づいて件名要素を自動的に生成するステップとを備え、
前記生成するステップでは同じメール本文の内容であっても作成時によって異なる件名要素を生成するよう構成されたことを特徴とするメーラープログラム。
【請求項１９】
メール装置で動作してメールを再生するメーラープログラムであって、
メールサーバからメールを受信するステップと、
メール本文の内容に基づいて件名要素を自動的に生成するステップと、
生成された件名要素が件名欄に付加されたメールを再生するステップとを備え、
前記生成するステップでは同じメール本文の内容であっても再生時によって異なる件名要素を生成するよう構成されたことを特徴とするメーラープログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月24日(2006.10.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
大型プロジェクト、特に大型建設プロジェクト（例えば、原子力発電所建設プロジェクト）は、例えば、様々に異なる供給業者や請け負い業者を含む数多くの関係者の調整を必要とする場合が多い。特に、この種のプロジェクトの場合、世界中の至るところに拠点を有すると思われる多数の供給業者により製造された組立済み機器をプロジェクトの現場まで発送することが必要である。更に、発送は長い期間にわたり（例えば、何年間にもわたって）行われ、場合によってはプロジェクト開始の時点に先立って発送が行われることもありうる。
【特許文献１】米国特許６０７０１５５ 号明細書
【特許文献２】米国特許出願公開第２００１／００４７２８３号明細書
【特許文献３】米国特許出願公開第２００２／００１３７６１号明細書
【特許文献４】米国特許出願公開第２００２／００８２９８２号明細書
【特許文献５】米国特許出願公開第２００２／０１８８５９３号明細書
【特許文献６】米国特許出願公開第２００２／０１１１８２３号明細書
【特許文献７】米国特許出願公開第２００２／００３５４５１号明細書
【特許文献８】ドイツ国特許１９８４４３６２号明細書
【特許文献９】米国特許出願公開第２００１／００３０７４９号明細書
【特許文献１０】米国特許出願公開第２００２／０１３８２６９号明細書
【特許文献１１】米国特許出願公開第２００３／０１５２２６０号明細書
【特許文献１２】米国特許出願公開第２００３／０１７４８７6号明細書
【特許文献１３】米国特許２００４／０１１７１３１号明細書
【特許文献１４】米国特許出願公開第２００２／０１０７８７３号明細書
【特許文献１５】米国特許出願公開第２００２／０１８４２６２号明細書
【特許文献１６】米国特許出願公開第２００５／０１３１５９６号明細書
【特許文献１７】米国特許５４２３０３３号明細書
【特許文献１８】米国特許５６６４１８２号明細書
【特許文献１９】米国特許６２６００４２号明細書
【特許文献２０】米国特許６４０５２０７号明細書
【特許文献２１】米国特許６４０８２９２号明細書
【特許文献２２】米国特許６８５９８０５号明細書
【特許文献２３】米国特許出願公開第２００２／００２３０８６号明細書