(57)【要約】      （修正有）【課題】アクチュエータ内蔵の位置合わせテーブルを提供する。【解決手段】ベース１０と、テーブル２０と、複数個のガイド移動装置３０と、複数個のアクチュエータとを備え、前記ベースは、前記テーブルと相互に対向するように配置され、前記ベースに複数個の貫孔が貫通形成され、各前記ガイド移動装置は、それぞれ各前記貫孔に進入し、各前記アクチュエータは、それぞれ各前記ガイド移動装置の底縁に設けられる。各前記アクチュエータからそれぞれ各前記ガイド移動装置への制御信号が外界の影響を受けてノイズを発生させることを抑制することが可能であり、各前記ガイド移動装置の作動誤差を有効に低減することができるため、作動精度と信頼度を高めることができる。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、テーブルと、複数個のガイド移動装置と、複数個のアクチュエータとを備えるアクチュエータ内蔵の位置合わせテーブルであって、
前記ベースは、前記テーブルと相互に対向するように配置され、各前記ガイド移動装置は、それぞれ前記ベース及び前記テーブルと互いに接合され、各前記アクチュエータは、それぞれ各前記ガイド移動装置と電気的に接続され、
各前記ガイド移動装置は、それぞれ動力部と、作動部とを有し、各前記ガイド移動装置の前記作動部は、前記テーブルの前記ベースに面する一側と互いに接合され、各前記ガイド移動装置の前記動力部は、前記ベースの前記テーブルに面する一側と互いに接合され、
前記ベースに複数個の貫孔が貫通形成され、各前記ガイド移動装置の前記動力部は、それぞれ各前記貫孔に進入し、各前記アクチュエータは、それぞれ各前記ガイド移動装置の底縁に設けられ、前記動力部は、主に一次側と、二次側とから構成され、前記一次側の外周に前記一次側を位置決めする隔離部が形成され、前記隔離部は、防塵、防水及び絶縁性質を持つ樹脂で形成され、
前記ベースの底縁に複数個の防護部が設けられ、各前記防護部は、それぞれ各前記貫孔の底端の周縁と互いに接合されることを特徴とする、アクチュエータ内蔵の位置合わせテーブル。
【請求項２】
各前記一次側は、それぞれ各前記貫孔内に設けられ、前記一次側が前記隔離部で包囲されていることを特徴とする、請求項１に記載のアクチュエータ内蔵の位置合わせテーブル。
【請求項３】
各前記アクチュエータは、それぞれ各前記貫孔内に位置することを特徴とする、請求項１に記載のアクチュエータ内蔵の位置合わせテーブル。
【請求項４】
前記ベースの底縁に線溝が凹設され、前記線溝は、それぞれ各前記貫孔と側方向に連通し、かつ前記線溝は、前記ベースの一側に延在し、各前記アクチュエータの電力ケーブルが前記線溝に位置決めされることを特徴とする、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のアクチュエータ内蔵の位置合わせテーブル。
【請求項５】
各前記電力ケーブルは、導電回路を有するプリント電気回路基板またはプレス成形された金属線材であることを特徴とする、請求項４に記載のアクチュエータ内蔵の位置合わせテーブル。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、位置合わせテーブルに係り、特に、アクチュエータ内蔵の位置合わせテーブルの斬新な構造形態の開示に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
科学技術の進化につれて、多種の製造加工の処理モードが既にナノレベルへと進化しつつある。数多くの精密製品には、製造工程においてより高くより厳しい精度要求が課せられており、とりわけ光電製品及びウエハ製品にとっては、その精密位置決め技術が必須条件となっている。
【０００３】
位置合わせテーブルとは、精密加工製造工程に応用される設備である。従来の位置合わせテーブルは、主にベースと、テーブルと、複数個のガイド移動装置とを備え、その内、前記ベースは、前記テーブルと相互に対向するように配置され、前記ベースと前記テーブルとの間に各前記ガイド移動装置が設置され、各前記ガイド移動装置を介して前記テーブルを前記ベースに対して変位させたり、回転作動させたりすることができる。
【０００４】
前記ガイド移動装置は、主に概ね送りねじ軸式とスライドレール式という２種類の異なるタイプのガイド移動装置に分けられ、その内、送りねじ軸式ガイド移動装置は、主に回転モータを利用して送りねじ軸を駆動し、前記送りねじ軸を利用してねじスリーブに螺合させることにより、回転作動を直線作動に変換して前記テーブルを作動させるように促すものである一方、スライドレール式ガイド移動装置は、主に直線作動のリニアモータを利用してスライドレールを駆動することにより、前記テーブルを作動させるように促すものである。
【０００５】
前記ガイド移動装置は、アクチュエータにより制御作動され、前記アクチュエータは、主に電子電気回路から構成され、前記回転モータや前記リニアモータに通流する電流を制御するために用いられ、これにより、前記ガイド移動装置の作動変位量を制御する。従来の位置合わせテーブルは、複数個の前記ガイド移動装置と、各前記ガイド移動装置を適応制御する複数個のアクチュエータと分離設置され、かつ各前記アクチュエータは、前記位置合わせテーブルと分離設置されることで、電気導線を利用して各前記アクチュエータは、それぞれ相応の各前記ガイド移動装置と電気的に接続される。
【０００６】
ただ、調べによれば、前述した従来の位置合わせテーブルにおいて、前記アクチュエータは、位置合わせテーブルと分離設置され、前記アクチュエータが位置合わせテーブルの周辺環境に誘起される汚染を受けることを低減できるが、却って前記アクチュエータと、前記ガイド移動装置との間には相当な距離が存在することになり、前記アクチュエータと前記ガイド移動装置との間の電気導線もそれに対応する長さを具備しなければならない。電流が前記電気導線に通流する時、電流に減衰現象が生起され、かつ前記アクチュエータから前記ガイド移動装置へ伝送される制御信号が外界の影響を受けやすくてノイズを発生してしまう。しかし、前記ガイド移動装置の作動する精度要求が高いにもかかわらず、前記電気導線に通流する電流による減衰現象及びノイズ現象に起因して、前記ガイド移動装置の作動誤差が生じやすくなる。前記電気導線の長さが長ければ長いほど、電流の減衰量が高くなり、ノイズを発生する確率が高くなり、前記ガイド移動装置の作動誤差の程度が大きくなる。しかも、多数本の前記電気導線が空間中に共存するため、相互にもつれたり絡み合ったりして干渉するという問題が生じやすい。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００７】
本考案は、アクチュエータ内蔵の位置合わせテーブルを提供することを主な目的とし、その解決しようとする技術的課題は、如何にして作動誤差を低減させることができ、より理想的で実用性のあるオリジナルな位置合わせテーブルの構造形態を研究開発するかを目標として革新突破を図ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前述の目的に基づいて、本考案は、アクチュエータ内蔵の位置合わせテーブルを提供し、それは
ベースと、テーブルと、複数個のガイド移動装置と、複数個のアクチュエータとを備え、その内、前記ベースは、前記テーブルと相互に対向するように配置され、各前記ガイド移動装置は、それぞれ前記ベース及び前記テーブルと互いに接合され、各前記アクチュエータは、それぞれ各前記ガイド移動装置と電気的に接続されることで、各前記ガイド移動装置により、それぞれ前記テーブルを前記ベースと相対作動させるように駆動し、各前記ガイド移動装置は、それぞれ動力部と、作動部とを有し、その内、各前記ガイド移動装置の作動部は、前記テーブルの前記ベースに面する一側と互いに接合され、各前記ガイド移動装置の動力部は、前記ベースの前記テーブルに面する一側と互いに接合され、前記ベースに複数個の貫孔が貫通形成され、各前記ガイド移動装置の動力部は、それぞれ各前記貫孔に進入し、各前記アクチュエータは、それぞれ各前記ガイド移動装置の底縁に設けられ、前記動力部は、主に一次側と、二次側とから構成され、前記一次側の外周に隔離部が形成され、前記隔離部は、防塵、防水及び絶縁性質を持つ樹脂で形成され、これによって前記一次側を位置決めし、前記ベースの底縁に複数個の防護部が設けられ、各前記防護部は、それぞれ各前記貫孔の底端の周縁と互いに接合され、これによって各前記アクチュエータを防護することができ、異物による汚染を回避することができる。
【考案の効果】
【０００９】
このような斬新な独特の設計によれば、本考案は、従来の技術に比較すると、各前記アクチュエータと各前記ガイド移動装置との間の電流減衰現象を改善することができ、各前記アクチュエータからそれぞれ各前記ガイド移動装置への制御信号が外界の影響を受けてノイズを発生させることを抑制することが可能であり、各前記ガイド移動装置の作動誤差を有効に低減することができるため、作動精度と信頼度を高めることができ、実用の進歩性を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本考案の実施例１の仰角状態の斜視図である。
【図２】本考案の実施例１の仰角状態を示す分解斜視図である。
【図３】本考案の実施例１を示す一部断面図である。
【図４】本考案の実施例２の仰角状態の斜視図である。
【図５】本考案の実施例２の底面図である。
【図６】本考案の実施例３の仰角状態の斜視図である。
【考案を実施するための形態】
【００１１】
図１〜図６を参照し、これらの図に示すのは、それぞれ本考案のアクチュエータ内蔵の位置合わせテーブルの具体的に実施可能な実施例だが、これらの実施例は説明のみに用いられるもので、実用新案登録請求の際、それらの構造に制限されないものとする。
【実施例１】
【００１２】
図１〜図３に示すように、本考案のアクチュエータ内蔵の位置合わせテーブルの実施例１は、ベース１０と、テーブル２０と、複数個のガイド移動装置３０と、複数個のアクチュエータ４０とを備え、その内、前記ベース１０は、前記テーブル２０と相互に対向するように配置され、各前記ガイド移動装置３０は、それぞれ前記ベース１０及び前記テーブル２０と互いに接合され、各前記アクチュエータ４０は、それぞれ各前記ガイド移動装置３０と電気的に接続されることで、各前記ガイド移動装置３０により、それぞれ前記テーブル２０を前記ベース１０と相対作動させるように駆動する。
【００１３】
各前記ガイド移動装置３０は、それぞれ動力部３２と、作動部３４とを有し、その内、各前記ガイド移動装置３０の前記作動部３４は、前記テーブル２０の前記ベース１０に面する一側と互いに接合され、各前記ガイド移動装置３０の前記動力部３２は、前記ベース１０の前記テーブル２０に面する一側と互いに接合され、各前記アクチュエータ４０は、それぞれ主に電子電気回路から構成され、各前記ガイド移動装置３０の前記動力部３２に通流する電流を制御するために用いられ、これによって各前記ガイド移動装置３０の前記作動部３４の作動変位量を制御する。
【００１４】
前記ベース１０に複数個の貫孔１２が貫通形成され、各前記ガイド移動装置３０の前記動力部３２は、それぞれ各前記貫孔１２に進入し、各前記アクチュエータ４０は、それぞれ各前記ガイド移動装置３０の底縁に設けられ、かつ各前記アクチュエータ４０は、それぞれ各前記ガイド移動装置３０の前記動力部３２と密接され、その内、各前記アクチュエータ４０はそれぞれ各前記貫孔１２の内部に位置することがより好ましい実施として選択され、前記動力部３２は、主に一次側３２２と、二次側３２４とから構成され、前記一次側３２２の外周に隔離部３６が形成され、前記隔離部３６は、防塵、防水及び絶縁性質を持つ樹脂で形成され、前記一次側３２２が前記二次側３２４、前記アクチュエータ４０及び前記貫孔１２の孔壁と直接接触することを回避することができる。前記ベース１０の底縁に複数個の防護部５０が設けられ、各前記防護部５０は、それぞれ各前記貫孔１２の底端の周縁と互いに接合され、これによって各前記アクチュエータ４０を防護することができ、異物による汚染を回避することができる。
【００１５】
また、前記隔離部３６の形成については、前記一次側３２２が前記ベース１０に設置される時に、
防塵、防水及び絶縁性質を持つコロイド状樹脂を前記貫孔１２に充填することで、前記一次側３２２を包囲する前記コロイド状樹脂で前記隔離部３６を形成し、これによって前記隔離部３６を介して前記一次側３２２が前記貫孔１２に位置決めされる。図２は、前記隔離部３６を一部断面の状態で示しているが、前記隔離部３６の形状の解釈に関して図２の図示だげに限定されるよう狭く解釈されるべきではない。
【００１６】
各前記貫孔１２の形成により、各前記アクチュエータ４０をそれぞれ各前記ガイド移動装置３０の前記動力部３２と密接設置させるので、各前記アクチュエータ４０と各前記ガイド移動装置３０との間に電流を通流させるための電気導線（図中未表示）の長さを大幅に短縮することが可能となり、前記電気導線に通流する電流による減衰現象を大幅に改善することができる。各前記アクチュエータ４０からそれぞれ各前記ガイド移動装置３０への制御信号が外界の影響を受けてノイズを発生させることを抑制することが可能であり、各前記ガイド移動装置３０の作動誤差を有効に低減することができるため、作動精度と信頼度を高めることができる。
【００１７】
各前記アクチュエータ４０は、それぞれ各前記ガイド移動装置３０と密接設置されるため、位置合わせテーブルの外部に各前記アクチュエータ４０を設置するための空間を別途に用意する必要がなく、位置合わせテーブル全体の空間範囲を利用することができ、より多くの前記ガイド移動装置３０をより緊密に配列設置することができ、前記テーブル２０の作動モードの多様化の程度を高めることができると共に、全体配置の複雑度を有効に低減することができる。
【００１８】
また、各前記防護部５０は、それぞれ防塵、防水及び絶縁性質を持つ樹脂で形成される薄膜であり、これによって各前記貫孔１２に外界の塵埃や異物が入り込んで、各前記ガイド移動装置３０及び各前記アクチュエータ４０の操作信頼度に悪影響を及ぼすことを阻止する。各前記防護部５０は、板体を利用して構成されるものを選択することもできる。
【実施例２】
【００１９】
図４及び図５に示すように、実施例２と実施例１との主に異なる構成は、前記ベース１０の底縁に線溝１４が凹設され、前記線溝１４は、それぞれ各前記貫孔（図中未表示）と側方向に連通し、かつ前記線溝１４は、前記ベース１０の一側に延在し、各前記アクチュエータ（図中未表示）の電力ケーブル４２が前記線溝１４に位置決めされることである。これによって、配線の便利性を高めることができ、前記電力ケーブル４２は、各前記アクチュエータと電力源（図中未表示）とを連結するために用いられることで、前記電力源から各前記アクチュエータに対して電力を供給させるようにする。
【００２０】
前記線溝１４の形成及び前記線溝１４の各前記貫孔１２と連通する空間構成により、各前記電力ケーブル４２を固定形態に規格化することが容易になり、例えば、導電回路を有するプリント電気回路基板またはプレス成形された金属線材を利用して各前記電力ケーブル４２に成形される。組付け時、かかるプリント電気回路基板や金属線材を前記線溝１４に置けば、各前記電力ケーブル４２と各前記ガイド移動装置３０との間の電力接点を位置揃えて導通させることを簡単に完了することができ、各前記防護部５０の施工時、各前記電力ケーブル４２に生じるかもしない位置ずれの問題を回避することもできる。
【実施例３】
【００２１】
図６に示すように、実施例３と実施例２との主に異なる構成は、前記ベース１０の底縁での前記線溝（図中未表示）に防護膜１６が設けられることである。これによって、前記電力ケーブル（図中未表示）を防護することができ、前記防護膜１６は、防塵、防水及び絶縁性質を持つ樹脂で形成される薄膜である。
【符号の説明】
【００２２】
１０…ベース
１２…貫孔
１４…線溝
１６…防護膜
２０…テーブル
３０…ガイド移動装置
３２…動力部
３２２…一次側
３２４…二次側
３４…作動部
３６…隔離部
４０…アクチュエータ
４２…電力ケーブル
５０…防護部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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