【手続補正書】
【提出日】平成18年2月24日(2006.2.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
不活性ガス雰囲気中に電子部品を収納する密閉コンテナであって、
不活性ガスで置換された密閉空間の酸素濃度を測定する酸素濃度計と、
前記密閉空間の水分濃度を測定する水分濃度計と、
前記密閉空間に前記電子部品を収納した時点からの経過時間を計測する計時手段と、
前記経過時間を予め設定された所定のしきい値と比較し、前記しきい値との大小を判定する判定手段と、
前記経過時間が前記しきい値を超えたことを報知する報知手段とを有する
密閉コンテナ。
【請求項２】
前記しきい値は、前記電子部品の表面に前記電子部品の特性に影響する所定の膜厚の自然酸化膜が形成されるまでの時間である
請求項１記載の密閉コンテナ。
【請求項３】
不活性ガス雰囲気中に電子部品を収納する密閉コンテナであって、
不活性ガスで置換された密閉空間の酸素濃度を測定する酸素濃度計と、
前記密閉空間の水分濃度を測定する水分濃度計と、
前記密閉空間に前記電子部品を収納した時点からの経過時間を計測する計時手段と、
前記酸素濃度を前記経過時間について積分した酸素濃度積分値、および前記水分濃度を前記経過時間について積分した水分濃度積分値を、それぞれ演算する演算手段と、
前記酸素濃度積分値および前記水分濃度積分値を、予めそれぞれ設定された所定のしきい値と比較し、前記しきい値との大小を判定する判定手段と、
前記酸素濃度積分値と前記水分濃度積分値の少なくとも一方が、前記しきい値を超えたことを報知する報知手段とを有する
密閉コンテナ。
【請求項４】
前記しきい値は、前記電子部品の表面に前記電子部品の特性に影響する所定の膜厚の自然酸化膜が形成されるまでの酸素濃度の時間的積分値あるいは水分濃度の時間的積分値である
請求項３記載の密閉コンテナ。
【請求項５】
不活性ガス雰囲気に置換された保管部に少なくとも１つの電子部品を収納する保管装置であって、
前記保管部を不活性ガス雰囲気に置換する雰囲気置換装置と、
不活性ガスで置換された前記保管部の酸素濃度を測定する酸素濃度計と、
前記保管部の水分濃度を測定する水分濃度計と、
前記保管部に前記電子部品を収納した時点からの経過時間を計測する計時手段と、
前記酸素濃度を前記経過時間について積分した酸素濃度積分値、および前記水分濃度を前記経過時間について積分した水分濃度積分値を、それぞれ演算する演算手段と、
前記酸素濃度積分値および前記水分濃度積分値を、予めそれぞれ設定された所定のしきい値と比較し、前記しきい値との大小を判定する判定手段と、
前記酸素濃度積分値と前記水分濃度積分値の少なくとも一方が、前記しきい値を超えたことを報知する報知手段とを有する
保管装置。
【請求項６】
前記しきい値は、前記電子部品の表面に前記電子部品の特性に影響する所定の膜厚の自然酸化膜が形成されるまでの酸素濃度の時間的積分値あるいは水分濃度の時間的積分値である
請求項５記載の保管装置。
【請求項７】
前記不活性ガス雰囲気は窒素ガス雰囲気である
請求項６記載の保管装置。
【請求項８】
前記電子部品はシリコン基板である
請求項６記載の保管装置。
【請求項９】
前記所定の膜厚はほぼ０．３ｎｍである
請求項８記載の保管装置。
【請求項１０】
前記電子部品を搬出入する開口部と、前記開口部を塞ぎ、かつ前記電子部品を保持する蓋部分とを有し、電子部品を不活性ガス雰囲気中に収納して搬送するための密閉コンテナと、
前記密閉コンテナと着脱可能であり、前記密閉コンテナの前記蓋部分および前記開口部周囲と密着し、不活性ガスで置換された内部において前記電子部品に処理を行う処理装置と、
前記蓋部分と結合する支持部と、
前記処理装置に内蔵され、前記支持部、前記蓋部分および前記電子部品を前記処理装置内に移動させる支持部移動手段と、
前記支持部、前記蓋部分および前記電子部品が前記処理装置内に移動され、前記密閉コンテナおよび前記処理装置の内部に共有密閉空間が形成された状態で、前記共有密閉空間に不活性ガスを供給し、前記共有密閉空間を不活性ガス雰囲気に置換する雰囲気置換装置と、
不活性ガスで置換された前記共有密閉空間の酸素濃度を測定する酸素濃度計と、
前記共有密閉空間の水分濃度を測定する水分濃度計と、
前記処理装置における前記電子部品の処理が終了した時点からの経過時間を計測する計時手段と、
前記酸素濃度を前記経過時間について積分した酸素濃度積分値、および前記水分濃度を前記経過時間について積分した水分濃度積分値を、それぞれ演算する演算手段と、
前記酸素濃度積分値および前記水分濃度積分値を、予めそれぞれ設定された所定のしきい値と比較し、前記しきい値との大小を判定する判定手段と、
前記酸素濃度積分値と前記水分濃度積分値の少なくとも一方が、前記しきい値を超えたことを報知する報知手段とを有する
電子部品搬送システム。
【請求項１１】
前記しきい値は、前記電子部品の表面に前記電子部品の特性に影響する所定の膜厚の自然酸化膜が形成されるまでの酸素濃度の時間的積分値あるいは水分濃度の時間的積分値である
請求項１０記載の電子部品搬送システム。
【請求項１２】
不活性ガスで置換された、搬送可能な密閉コンテナ内に電子部品を収納する工程と、
前記密閉コンテナ内の酸素濃度および水分濃度をそれぞれ測定する工程と、
前記密閉空間に前記電子部品を収納した時点からの経過時間を計測する工程と、
前記酸素濃度を前記経過時間について積分した酸素濃度積分値、および前記水分濃度を前記経過時間について積分した水分濃度積分値を演算する工程と、
前記酸素濃度積分値および前記水分濃度積分値を、予めそれぞれ設定された所定のしきい値と比較し、前記しきい値との大小を判定する工程と、
前記酸素濃度積分値と前記水分濃度積分値の少なくとも一方が、前記しきい値を超えたことを報知する工程とを有する
電子部品の保管方法。
【請求項１３】
前記酸素濃度積分値と前記水分濃度積分値の少なくとも一方が、前記しきい値を超えた場合、前記電子部品を使用不可とする工程を有する
請求項１２記載の電子部品の保管方法。
【請求項１４】
予め試験を行い、前記電子部品の表面に前記電子部品の特性に影響する所定の膜厚の自然酸化膜が形成されるまでの酸素濃度の時間的積分値および水分濃度の時間的積分値を求め、前記しきい値とする工程を有する
請求項１２記載の電子部品の保管方法。
【請求項１５】
内部が不活性ガスで置換された保管装置に少なくとも１つの電子部品を収納する工程と、
前記保管装置内に不活性ガスを供給する工程と、
前記保管装置内の酸素濃度および水分濃度をそれぞれ測定する工程と、
前記保管装置に前記電子部品を収納した時点からの経過時間を計測する工程と、
前記酸素濃度を前記経過時間について積分した酸素濃度積分値、および前記水分濃度を前記経過時間について積分した水分濃度積分値を演算する工程と、
前記酸素濃度積分値および前記水分濃度積分値を、予めそれぞれ設定された所定のしきい値と比較し、前記しきい値との大小を判定する工程と、
前記酸素濃度積分値と前記水分濃度積分値の少なくとも一方が、前記しきい値を超えたことを報知する工程とを有する
電子部品の保管方法。
【請求項１６】
前記酸素濃度積分値と前記水分濃度積分値の少なくとも一方が、前記しきい値を超えた場合、前記電子部品を使用不可とする工程を有する
請求項１５記載の電子部品の保管方法。
【請求項１７】
予め試験を行い、前記電子部品の表面に前記電子部品の特性に影響する所定の膜厚の自然酸化膜が形成されるまでの酸素濃度の時間的積分値および水分濃度の時間的積分値を求め、前記しきい値とする工程を有する
請求項１５記載の電子部品の保管方法。
【請求項１８】
前記電子部品を搬出入する開口部と、前記開口部を塞ぎ、かつ前記電子部品を保持する蓋部分とを有し、電子部品を不活性ガス雰囲気中に収納して搬送する密閉コンテナと、
前記密閉コンテナと着脱可能であり、不活性ガスで置換された内部において前記電子部品に処理を行う処理装置との間で、
前記電子部品を移載する電子部品の搬送方法であって、
前記密閉コンテナの前記蓋部分および前記開口部周囲と、前記処理装置表面の支持部を密着させる工程と、
前記支持部、前記蓋部分および前記電子部品を前記処理装置内に移動させ、記密閉コンテナおよび前記処理装置の内部に共有密閉空間を形成する工程と、
前記電子部品に前記処理を行う工程と、
前記共有密閉空間に不活性ガスを供給する工程と、
前記密閉コンテナ内の酸素濃度および水分濃度をそれぞれ測定する工程と、
前記処理が終了した時点からの経過時間を計測する工程と、
前記酸素濃度を前記経過時間について積分した酸素濃度積分値、および前記水分濃度を前記経過時間について積分した水分濃度積分値を演算する工程と、
前記酸素濃度積分値および前記水分濃度積分値を、予めそれぞれ設定された所定のしきい値と比較し、前記しきい値との大小を判定する工程と、
前記酸素濃度積分値と前記水分濃度積分値の少なくとも一方が、前記しきい値を超えたことを報知する工程と、
前記報知が行われる前に、前記蓋部分が前記開口部を塞ぐまで前記支持部を移動させ、前記密閉コンテナ内に前記電子部品を収納する工程とを有する
電子部品の搬送方法。
【請求項１９】
予め試験を行い、前記電子部品の表面に前記電子部品の特性に影響する所定の膜厚の自然酸化膜が形成されるまでの酸素濃度の時間的積分値および水分濃度の時間的積分値を求め、前記しきい値とする工程を有する
請求項１８記載の電子部品の搬送方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の密閉コンテナは、好適には、前記しきい値は前記電子部品の表面に前記電子部品の特性に影響する所定の膜厚の自然酸化膜が形成されるまでの酸素濃度の時間的積分値あるいは水分濃度の時間的積分値であることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の電子部品搬送システムは、好適には、前記しきい値は前記電子部品の表面に前記電子部品の特性に影響する所定の膜厚の自然酸化膜が形成されるまでの酸素濃度の時間的積分値あるいは水分濃度の時間的積分値であることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
本発明の電子部品の搬送方法は、好適には、予め試験を行い、前記電子部品の表面に前記電子部品の特性に影響する所定の膜厚の自然酸化膜が形成されるまでの酸素濃度の時間的積分値および水分濃度の時間的積分値を求め、前記しきい値とする工程を有することを特徴とする。