(57)【要約】【課題】ドライ真空ポンプを運転不能に至らしめる未反応ガスから生成される固形分、微粉塵やミスト類を捕集するための小形で利便性に優れたドライ真空ポンプ用トラップを提供すること。【解決手段】真空排気ラインの配管に接続する入口４と出口９を形成すると共に当該入口側と出口側に連通可能なガス流路１５が形成された本体２を設け、本体２の下方側に透明なプラスチック製筒部材２０を取付けて第１キャップ２１により当該筒部材２０の開口部を塞ぐことにより下室１８が設けられ、本体２の上方側に透明なプラスチック製筒部材３５を取付けて第２キャップ３７により当該筒部材３５の開口部を塞ぐことにより上室３３が設けられ、上室３３にデミスター部材３６を装着すると共に当該デミスター部材３６とガス流路１５との間にバッフル板３１を配設し、入口４から流入するガスを下室１８、ガス流路１５、上室３３の順に誘導して出口９から排出させるようにした。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
真空排気ラインにおけるドライ真空ポンプの入口側に介装されて微粉塵やミスト類を除去するように設けられたトラップにおいて、
前記真空排気ラインの配管に接続するための入口と出口とを形成すると共に当該入口側と出口側に連通可能なガス流路が形成された本体を設け、その本体の下方側に透明なプラスチック製筒部材を取付けてドレン弁を備えた第１キャップにより当該筒部材の開口部を塞ぐことにより下室が設けられ、その本体の上方側に透明なプラスチック製筒部材を取付けて第２キャップにより当該筒部材の開口部を塞ぐことにより上室が設けられ、その上室にデミスター部材を装着すると共に当該デミスター部材と前記ガス流路との間にバッフル板を配設し、前記入口から流入するガスを下室、ガス流路、上室の順に誘導して出口から排出させるように構成したことを特徴とするドライ真空ポンプ用トラップ。
【請求項２】
前記下室には、仕切り板により内部を区画して流入室とドレン室を設け、その仕切り板に設けられた逆止弁の開放作動により該流入室に貯留するドレンをドレン室に排出させるように設けたことを特徴とする請求項１に記載のドライ真空ポンプ用トラップ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、真空排気ラインにおけるドライ真空ポンプの入口側の配管途中に介装されるトラップに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
食品の真空パック処理や真空成形機、真空排気ライン等における真空源として、ケーシングの内部に潤滑剤を全く使用しないドライ真空ポンプが採用されている。
【０００３】
ところで、ＣＶＤ（chemical vapor
deposition：化学蒸着）法による成膜装置において、排気ガス中に含まれる未反応ガスが高温のドライ真空ポンプによって加熱されて反応を生じ、生成される固形分がドライ真空ポンプ内に凝着堆積してドライ真空ポンプを短期間で運転不能に至らしめることがある。また、真空排気ライン内の微粉塵やミスト類がドライ真空ポンプ内に混入することにより、ドライ真空ポンプが運転不能になることもある。
【０００４】
このため、上述したドライ真空ポンプを運転不能に至らしめるような事態を解消するための対策が提案されている。例えば、特許第３５４００６４号公報に記載された「ドライ真空ポンプ前段用のトラップ」は、ハウジング内のガス導入口側端面板、未反応ガスを凝着させるための凝着板及び該端面板の間隔が漸減傾向に設定され、その凝着板に形成される流路部分の開口面積が漸減傾向に設定されていて排気ガス流路の抵抗が傾向的に漸増されるように設け、未反応ガスから生成される固形分を凝着板に凝着させて捕集する構造とされている。
【０００５】
また、特許第２９７８６９１号公報に記載された「油性物質の吸着材と吸着方法」は、油類吸着性のある綿又は布に気化した油性物質を接触させて凝縮し、その凝縮した油性物質をさらに珪藻土又は活性炭の濾過抵抗によって凝縮して液状化させ、その液状化した油性物質を綿又は布に吸着させるという方法とされている。
【特許文献１】特許第３５４００６４号公報
【特許文献２】特許第２９７８６９１号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】
この考案の目的は、ドライ真空ポンプを運転不能に至らしめる未反応ガスから生成される固形分、微粉塵やミスト類を捕集するための小形で利便性に優れたドライ真空ポンプ用トラップを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の考案は、真空排気ラインにおけるドライ真空ポンプの入口側に介装されて微粉塵やミスト類を除去するように設けられたトラップにおいて、前記真空排気ラインの配管に接続するための入口と出口とを形成すると共に当該入口側と出口側に連通可能なガス流路が形成された本体を設け、その本体の下方側に透明なプラスチック製筒部材を取付けてドレン弁を備えた第１キャップにより当該筒部材の開口部を塞ぐことにより下室が設けられ、その本体の上方側に透明なプラスチック製筒部材を取付けて第２キャップにより当該筒部材の開口部を塞ぐことにより上室が設けられ、その上室にデミスター部材を装着すると共に当該デミスター部材と前記ガス流路との間にバッフル板を配設し、前記入口から流入するガスを下室、ガス流路、上室の順に誘導して出口から排出させるように構成したことを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載の考案は、請求項１に記載のドライ真空ポンプ用トラップにおいて、前記下室には、仕切り板により内部を区画して流入室とドレン室を設け、その仕切り板に設けられた逆止弁の開放作動により該流入室に貯留するドレンをドレン室に排出させるように設けたことを特徴とするものである。
【考案の効果】
【０００９】
（請求項１）
このドライ真空ポンプ用トラップは、ドライ真空ポンプを運転不能に至らしめる未反応ガスから生成される固形分、微粉塵やミスト類を効率よく捕集することができる。加えて、トラップ内部を外から見えるので内部清掃やデミスタの清掃・交換等の保守管理が行ない易く、接続配管を外すことなく保守作業が行える等の利便性が良い。
【００１０】
（請求項２）
このドライ真空ポンプ用トラップは、流入室内の圧力が大気圧になった場合に、逆止弁が開放作動して流入室に貯留するドレンをドレン室に自動的に排出するので、保守管理が行ない易い。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に、本考案の最良の形態例を図面に基づいて説明する。図１はドライ真空ポンプ用トラップの縦断側面図、図２は本体の平面図（イ）及び縦断側面図（ロ）、図３は他の実施形態のドライ真空ポンプ用トラップの縦断側面図である。
【００１２】
図１に示す本考案にかかるドライ真空ポンプ用トラップ１は、真空排気ラインにおけるルーツ式真空ポンプ等のドライ真空ポンプの入口側の配管に介装されて真空排気ラインを通過する未反応ガスから生成される固形分、微粉塵やミスト類を除去するために用いられる。
【００１３】
図２に示すように、ドライ真空ポンプ用トラップ１の本体２は、アルミ鋳物による円形ブロック形態とされ、真空排気ラインの配管に接続するためのネジ４ａを有する入口４と、ネジ９ａを有する出口９とを胴部３に形成している。その入口４の流路５は、直角方向に向きを変えて本体２の下面２ａの開口部６に連通している。８は下面２ａに形成された所定深さの環状溝である。同様に、出口９の流路１０は、直角方向に向きを変えて本体２の上面２ｂの開口部１１に連通している。１３は開口部１１の周囲に形成された所定深さの窪み、１４はその窪み１３の外側で上面２ｂに形成された所定深さの環状溝である。１５，１５は上記開口部６と開口部１１に隣接して本体２の上下方向に貫通するように形成されたガス流路である。
【００１４】
上記流路５の開口部６には、先端が斜めに形成されたステンレス製パイプ１６が螺着されている。本体２の下方側については、パッキン１７を装着した環状溝８に透明なプラスチック製筒部材２０の一端側が挿入された状態で、第１キャップ２１のパッキン２３を装着した環状溝２２を該筒部材２０の開口部である他端側に挿入し、本体２の中心位置に螺着された支持ボルト２５の先端部にナット２６を螺着する。これにより、上記筒部材２０と第１キャップ２１とが本体２に組み付けられて下室１８が設けられる。２７は第１キャップ２１の下部に設置されたドレン弁である。
【００１５】
上記流路１０の開口部１１には、ステンレス製パイプ３０が螺着され、窪み１３にバッフル板３１が配設されている。本体２の上方側については、パッキン３２を装着した環状溝１４に透明なプラスチック製筒部材３５の一端側が挿入された状態で、ドーナット形のステンレス製デミスター部材３６を挿入すると共に第２キャップ３７のパッキン３９を装着した環状溝３８を該筒部材３５の他端側に挿入し、本体２の中心位置に螺着された支持ボルト４１の先端部にアイナット４２を螺着する、これにより、上記筒部材３５と第２キャップ３７とが本体２に組み付けられて上室３３が設けられる。４０はデミスター部材３６と第２キャップ３７との間に介装されて当該デミスター部材３６を固定するように付勢するコイルバネである。４５は第２キャップ３７に設置された大気導入弁であり、この大気導入弁４５は、ドライ真空ポンプを停止したときに管路及びトラップ内における真空圧状態を大気圧に戻すために使用される。
【００１６】
しかして、入口４から流入する真空排気ラインのガスを下室１８、ガス流路１５，１５、上室３３の順に誘導し、真空排気ラインを通過する未反応ガスから生成される固形分、微粉塵やミスト類を効率よく捕集して出口９から排出するドライ真空ポンプ用トラップ１が構成される。
【００１７】
つぎに、本考案にかかる他の実施形態のドライ真空ポンプ用トラップ５１について述べる。このトラップ５１は、上述したドライ真空ポンプ用トラップ１の下室を流入室とドレン室の二室としたものであり、それ以外の構成についてはドライ真空ポンプ用トラップ１の構成と同じである。よって、それと同じ構成部分については、ドライ真空ポンプ用トラップ１の説明に用いた符号を流用して図面に記載し、説明を省略する。
【００１８】
ドライ真空ポンプ用トラップ５１の下室５２は、透明なプラスチック製筒部材５３，５４と仕切り板５５により内部を区画して流入室５２ａとドレン室５２ｂとが設けられている。その仕切り板５５には、流入室５２ａに貯留するドレンをドレン室５２ｂに自動的に排出させるための逆止弁６０を設けている。その逆止弁６０は、仕切り板５５に穿設された小径のドレン孔５６の出口に弁座５６ａを形成し、その弁座５６ａに接離するボール６１を該仕切り板５５に固定された支持部材６２により保持するように設けられている。
【００１９】
（実験）
本考案にかかるドライ真空ポンプ用トラップにおける捕集性能の実験を下記条件において行なった。この実験は、スプレーガンによって発生させたオイルミストを、ドライ真空ポンプ用トラップを介してルーツ式真空ポンプにより吸引させ、当該トラップの入口と当該真空ポンプの排気口におけるミスト濃度を測定した。その結果を表１に示す。
ドライ真空ポンプ用トラップ：口径４０ｍｍ、外径１５０ｍｍ、高さ３００ｍｍ
ルーツ式真空ポンプ        ：排気量２ｍ３／分、回転速度１７００ｒｐｍ
モータ出力３．７ｋＷ
【００２０】
【表１】
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【００２１】
実験の結果、実際にドライ真空ポンプ用トラップが使用される圧力範囲において、捕集効率は９５％以上、圧力損失は０．５ｋＰａとなることが確認された。また、高真空域においては、さらに捕集効率が向上し、圧力損失は低下する傾向であることも確認された。
【００２２】
以上に述べた通り、このドライ真空ポンプ用トラップは、ドライ真空ポンプを運転不能に至らしめる未反応ガスから生成される固形分、微粉塵やミスト類を効率よく捕集することができる。加えて、トラップ内部を外から見えるので内部清掃やデミスタの清掃・交換等の保守管理が行ない易いという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】ドライ真空ポンプ用トラップの縦断側面図
【図２】本体の平面図（イ）及び縦断側面図（ロ）
【図３】他の実施形態のドライ真空ポンプ用トラップの縦断側面図
【符号の説明】
【００２４】
１，５１・・・ドライ真空ポンプ用トラップ
２・・・本体
４・・・入口  ９・・・出口
１５・・・ガス流路
１８，５２・・・下室
２０・・・筒部材
２１・・・第１キャップ
２７・・・ドレン弁
３１・・・バッフル板
３３・・・上室
３５・・・筒部材
３６・・・デミスター部材
３７・・・第２キャップ
５１・・・ドライ真空ポンプ用トラップ
５２ａ・・・流入室
５２ｂ・・・ドレン室
５５・・・仕切り板
６０・・・逆止弁
【図１】
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【図２】
0003122270.tif 000005
【図３】
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