【手続補正書】
【提出日】平成18年10月16日(2006.10.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内面バリヤ膜被覆プラスチック容器を製造するにあたり、
（ａ）被処理物であるプラスチック容器を、外部電極内に挿入する工程と、
（ｂ）前記プラスチック容器内のガスを接地された排気管を通して排気手段により排気した後、ガス供給手段により原料ガスを前記プラスチック容器内に供給する工程と、
（ｃ）高周波電源から高周波電力を前記外部電極に供給し、高周波電界を前記排気管内に設けた導電性部材より容器側空間に閉じ込めてその空間内にプラズマの生成を規制し、このプラズマにより前記原料ガスを解離させて前記プラスチック容器内面にバリヤ膜をコーティングする工程と
を有する内面バリヤ膜被覆プラスチック容器の製造方法を行なうために用いる前記導電性部材であって、
ガス流通穴を有し、前記排気管内に同排気管内面に接触して設けられるものであることを特徴とする導電性部材。
【請求項２】
請求項１に記載の導電性部材において、ハニカム形状を有することを特徴とする導電性部材。
【請求項３】
請求項２に記載の導電性部材において、ガス流通穴の開口径が１〜７ｍｍの寸法を有することを特徴とする導電性部材。
【請求項４】
請求項２に記載の導電性部材において、開口率が９５％以上であることを特徴とする導電性部材。
【請求項５】
請求項１に記載の導電性部材において、メッシュまたは金網であることを特徴とする導電性部材。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の導電性部材において、材質はステンレスまたはアルミニウムであることを特徴とする導電性部材。
【請求項７】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の導電性部材において、表面が絶縁物で被覆されていることを特徴とする導電性部材。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】導電性部材
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、内面バリヤ膜被覆プラスチック容器の製造方法に用いられる導電性部材に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明は、膜質が良好で、均一な膜厚を有するバリヤ膜が内面にコーティングされたプラスチック容器の製造方法に用いられる導電性部材を提供することを目的とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明は、上記の課題を解決するためになされ、下記の（１）から（７）の手段を提供するものであり、以下、特許請求の範囲に記載の順に説明する。
（１）その第１の手段として、内面バリヤ膜被覆プラスチック容器を製造するにあたり、（ａ）被処理物であるプラスチック容器を、外部電極内に挿入する工程と、（ｂ）前記プラスチック容器内のガスを接地された排気管を通して排気手段により排気した後、ガス供給手段により原料ガスを前記プラスチック容器内に供給する工程と、（ｃ）高周波電源から高周波電力を前記外部電極に供給し、高周波電界を前記排気管内に設けた導電性部材より容器側空間に閉じ込めてその空間内にプラズマの生成を規制し、このプラズマにより前記原料ガスを解離させて前記プラスチック容器内面にバリヤ膜をコーティングする工程とを有する内面バリヤ膜被覆プラスチック容器の製造方法を行なうために用いる前記導電性部材であって、ガス流通穴を有し、前記排気管内に同排気管内面に接触して設けられるものであることを特徴とする導電性部材を提供する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
（２）第２の手段としては、第１の手段の導電性部材において、ハニカム形状を有することを特徴とする導電性部材を提供する。
（３）また、第３の手段として、第２の手段の導電性部材において、ガス流通穴の開口径が１〜７ｍｍの寸法を有することを特徴とする導電性部材を提供する。
（４）第４の手段として、第２の手段の導電性部材において、開口率が９５％以上であることを特徴とする導電性部材を提供する。
（５）第５の手段として、第１の手段の導電性部材において、メッシュまたは金網であることを特徴とする導電性部材を提供する。
（６）第６の手段として、第１ないし第５のいずれかの手段の導電性部材において、材質はステンレスまたはアルミニウムであることを特徴とする導電性部材を提供する。
（７）第７の手段として、第１ないし第５のいずれかの手段の導電性部材において、表面が絶縁物で被覆されていることを特徴とする導電性部材を提供する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
本発明の導電性部材を用いたプラスチック容器内面へのバリヤ膜形成装置によれば、プラスチック容器内面に膜質が良好で、さらに均一厚さのバリヤ膜をコーティングすることが可能で、メンテナンスを軽減し、安定な運転を行うことが可能となる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、本発明の導電性部材を用いた内面バリヤ膜被覆プラスチック容器の製造方法によれば膜質が良好で、均一な膜厚を有するバリヤ膜が内面にコーティングされ、酸素や二酸化炭素などに対するバリヤ性が優れたプラスチック容器を製造し得る。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
以下、本発明の実施形態と、本発明に係り本発明者が検討した検討例を図面を参照して詳細に説明する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
（第１検討例）
図１は、本発明に係り本発明者が検討した第１検討例のプラスチック容器内面へのバリヤ膜形成装置を示す断面図である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
以上、第１検討例によれば外部電極６と接地された排気管１１との間で放電を行って、前記外部電極６に挿入された前記ペットボトルＢ内にプラズマを生成することによって、原料ガスを供給するためのガス供給管１８の先端（下端）を例えば前記外部電極６内に挿入されるペットボトルＢの口部近傍のガス排気管１１に位置させることができる。このため、ペットボトルＢ内に従来のように内部電極が存在しない状態で前述したプラズマの生成、原料ガス（例えば媒質ガス）の解離を行うことができるため、安定したプラズマの生成を図ることができる。その結果、膜質が良好で、均一な膜厚を有する炭素膜をペットボトルＢ内面にコーティングすることができる。また、ペットボトルＢ内に存在する内部電極をクリーニングするための煩雑なメンテナンス操作を解消することができる。その上、内部電極に炭素膜がコーティングされるのを回避できるため、ペットボトルＢ内面への炭素膜のコーティング速度を向上できる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
本第１検討例では、内部電極がない代わりに排気管が接地電極の役割を持つが、実験の結果排気管の汚れによる放電の不安定性は生じ難いことがわかった。すなわち、内部電極がある従来の場合、数十回のコーティングで放電の不安定性が生じたが、本第１検討例では千回以上コーティングを行っても放電の不安定性が生じなかった。これは、内部電極は直径が細いため電界が集中し、膜の付着の影響が出やすいことと、排気管は放電の下流にあるため原料ガスが使われた残りの水素を主とするガスが流れるため、成膜速度が遅いため排気管への成膜速度が低いためと考えられる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
したがって、前記第１検討例によれば外部からの酸素の透過、内部（例えば炭酸飲料水）からの二酸化炭素の透過を防止したバリア性の優れた内面炭素バリヤ膜被覆ペットボトルを量産的に製造することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
（実施形態）
図２は、本発明の一実施形態に係るプラスチック容器内面へのバリヤ膜形成装置を示す断面図である。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
上下にフランジ３４ａ，３４ｂを有するガス排気管３５は、前記支持部材２２の上部フランジ２１ａおよび前記環状導電部材３３の上面に載置されている。この排気管３５は、接地されている。図示しないねじを前記排気管３５の下部フランジ３４ｂから前記支持部材２２の上部フランジ２１ａに螺着することにより前記ガス排気管３５が前記支持部材２２に固定されている。また、図示しないねじを前記ガス排気管３５の下部フランジ３４ｂから前記環状導電部材３３を貫通して前記筒状体２５を構成する環状上部電極２７と図示しない外装筒体とに螺着することにより前記筒状体２５および外装筒体が前記環状導電部材３３および前記ガス排気管３５に吊下される。なお、前記筒状体２５の環状上部電極２７を前記環状導電部材３３および前記ガス排気管３５に吊下するにあたって、前記環状上部電極２７と前記ガス排気管３５とはねじにより電気的に完全に導通する取り付け構造になっており、環状上部電極２７は完全に接地されている。一方、高周波印加電極である環状下部電極２９は、上下方向に厚さが厚く、高周波的に高いインピーダンスを持つ環状絶縁体２８により、接地されている環状上部電極２７から高周波的に絶縁されている。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
円柱状スペーサ３０は、ペットボトルＢの口部および肩部の電界を調整するために設置する。ペットボトルＢの内面の膜厚を薄くしたい場合は、円柱状スペーサ３０の径方向の厚みを厚く、逆に膜厚を厚くしたい場合は厚みを薄く、または円柱状スペーサ３０自体を省略することで均一化あるいは見栄えをよくするために口部の厚みを薄くすることができる。もちろん、円柱状スペーサ３０がなくても均一性が得られる場合には、円柱状スペーサ３０は設置する必要はない。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
前記媒質ガスとしては、第１検討例で説明したのと同様なものを用いることができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
前記高周波電力は、一般的に１３．５６ＭＨｚ、１００〜１０００Ｗのものが用いられるが、第１検討例でも記した通りこれに限るものではない。また、これら電力の印加は連続的でも間欠的（パルス的）でもよく、高周波と同様に機能するパルス幅１００ｎｓ以下の負のＤＣパルスを用いてもよい。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
以上、本実施形態によれば収納部材２４の筒状体２５を構成する環状の上下電極２７、２９間で放電を行って、前記収納部材２４に収納された前記ペットボトルＢ内にプラズマを生成することによって、媒質ガスを供給するためのガス供給管４２の先端（下端）を例えば前記収納部材２４に収納されるペットボトルＢの口部近傍のガス排気管３５に位置させることができる。その結果、ペットボトルＢ内に従来のように不要な部材（内部電極）が存在しない状態で前述したプラズマ生成、媒質ガスの解離を行うことができるため、媒質ガスの安定した供給、安定したプラズマの生成を図ることができ、膜質が良好で、均一な膜厚を有する炭素膜をペットボトルＢ内面にコーティングすることができる。また、ペットボトルＢ内に存在する不要な部材をクリーニングするための煩雑なメンテナンス操作を解消することができる。その上、内部電極に炭素膜がコーティングされるのを回避できるため、ペットボトルＢ内面への炭素膜のコーティング速度を向上できる。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
さらに、前述した第１検討例では排気管をアース電極としたため、排気管内にもプラズマが生じる。このため、入力した電力が排気管内の不要なプラズマの生成にも使用されるため効率が低下する。また、排気管内面に炭素膜がコーティングされるため、この部分のメンテナンス（清掃）が必要になる。本実施形態では、プラズマの発生はペットボトルＢ内に限定されるため、このような問題を回避できる。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
また、接地された導電性ハニカム部材（本発明の「導電性部材」）３８は前記環状下部電極２９から印加される高周波電界をペットボトルＢの内部に閉じ込めることにより、放電がガス排気管３５内に広がらない効果を確実にする。この効果により放電は、前記環状下部電極２９と環状絶縁体２８を挟んで接地された環状上部電極２７との間のみで生じる。例えば、前記環状下部電極２９から印加される高周波電力が２００Ｗ程度の低出力の場合には本導電性ハニカム部材３８がなくても放電はペットボトルＢ内に限って生じる。このため、必ずしも導電性ハニカム部材３８を設けなくてもよい。ただし、電力が大きくなると前記導電性ハニカム部材３８を設けることが好ましい。導電性ハニカム部材３８は、高周波電界を十分遮断できるように例えば開口径が１ｍｍ〜７ｍｍ程度のハニカム状であり、ペットボトルＢからの排気抵抗が十分小さいよう開口率９５％以上の形状にすることが好ましい。材質はステンレス、アルミニウムなど導電性である必要があり、プラズマに曝されることから耐熱性のものが好ましい。なお、ハニカムの代わりに、メッシュや金網でも代用することができる。また、表面が絶縁物で被覆されていてもよい。これは、膜が導電性ハニカム部材３８に付着したときに起きる電気的な変化を小さくする効果と、炭素膜をクリーニングし易くする効果が期待できる。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
なお、本実施形態において各環状の電極に対する高周波電源および接地の接続を逆、つまり高周波電源を筒状体の環状上部電極に接続し、筒状体の環状下部電極を接地してもよい。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
（第２検討例）
本発明に係り本発明者が検討した第２検討例は、構成は前述した実施形態の図２とほぼ同じであるが、導電性ハニカム部材を設置しないことと、排気系を構成する部材、すなわち蓋体と前記ガス排気管の材質を絶縁材料としている点が前記実施形態と異なっている。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
第２検討例では、前記実施形態で導電性ハニカム部材３８によって放電をペットボトルＢ内に閉じ込めていたのに対し、排気部を絶縁物とすることによって実質的に高周波電界が排気管３５側に広がらないようにし、排気管での放電を抑制することを特徴とする。前記実施形態では導電性ハニカム部材３８に若干の膜がコーティングされるため、あまり厚くつくとガスの流出が妨げられるのでときおりクリーニングする必要があるが、第２検討例ではその部材がないのでこの必要がなくなる。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
（第３検討例）
図３は、本発明に係り本発明者が検討した第３検討例のプラスチック容器内面へのバリヤ膜形成装置を示す断面図である。なお、図３において前述した実施形態で参照した図２と同様な部材は同符号を付して説明を省略する。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
前記媒質ガスとしては、第１検討例で述べたのと同様なものを用いることができる。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
以上、第３検討例によれば収納部材２４の筒状体２５を構成する環状の上下電極２７、２９間で放電を行って、前記収納部材２４に収納された前記ペットボトルＢ内にプラズマを生成することによって、媒質ガスを供給するためのガス供給管３９の先端（下端）を例えば前記収納部材２４に収納されるペットボトルＢの口部近傍のガス排気管３５に位置させることができる。その結果、ペットボトルＢ内に従来のように内部電極が存在しない状態で前述したプラズマ生成、媒質ガスの解離を行うことができるため、安定したプラズマの生成を図ることができ、膜質が良好で、均一な膜厚を有する炭素膜をペットボトルＢ内面にコーティングすることができる。また、ペットボトルＢ内に存在する内部電極をクリーニングするための煩雑なメンテナンス操作を解消することができる。その上、内部電極に炭素膜がコーティングされるのを回避できるため、ペットボトルＢ内面への炭素膜のコーティング速度を向上できる。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
なお、前記第３検討例において各環状の電極に対するバイアス用電源および高高周波電源の接続を逆、つまりバイアス用電源を筒状体の環状下部電極、高高周波電源を筒状体の環状上部電極に接続してもよい。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
（第４検討例）
図４は、本発明に係り本発明者が検討した第４検討例のプラスチック容器内面へのバリヤ膜形成装置を示す断面図、図５は図４の筒状体を示す斜視図である。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１０】
次いで、高周波電源６６から例えば周波数１３．５６ＭＨｚの高周波電力をケーブル６７、整合器６９および給電端子６８を通して前記筒状体５５の各第１電極片５７1に供給する。このとき、前記各第１電極片５７1はそれぞれ接地された各第２電極片５７2に絶縁片５８を挟んで配列されているため、これら第１電極片５７1と第２電極片５７2との間にプラズマが生成される。すなわち、前記ペットボトルＢ内の高さ方向および周方向の全体に均一なプラズマが生成される。このようなプラズマの生成によって、前記媒質ガスが前記プラズマで解離されて前記収納部材５４に収納されたペットボトルＢ内面に炭素膜がコーティングされる。ペットボトルＢの口部および肩部に設置された円柱状スペーサ５８は前述した実施形態および第１〜第３検討例と同様にペットボトルＢの口部および肩部の電界を調整する機能を持つ。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１２】
前記媒質ガスとしては、第１検討例で述べたのと同様なものを用いることができる。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１４】
以上、第４検討例によれば収納部材５４の筒状体５５を構成する第１電極片５７1と第２電極片５７2との間で放電を行って、前記収納部材５４に収納された前記ペットボトルＢ内にプラズマを生成することによって、媒質ガスを供給するためのガス供給管７０の先端（下端）を例えば前記収納部材５４に収納されるペットボトルＢの口部近傍のガス排気管６３に位置させることができる。その結果、ペットボトルＢ内に従来のように内部電極が存在しない状態で前述したプラズマ生成、媒質ガスの解離を行うことができるため、安定したプラズマの生成を図ることができ、膜質が良好で、均一な膜厚を有する炭素膜をペットボトルＢ内面にコーティングすることができる。また、ペットボトルＢ内に存在する内部電極をクリーニングするための煩雑なメンテナンス操作を解消することができる。その上、内部電極に炭素膜がコーティングされるのを回避できるため、ペットボトルＢ内面への炭素膜のコーティング速度を向上できる。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１７】
（第５検討例）
図６は、本発明に係り本発明者が検討した第５検討例に係るプラスチック容器内面へのバリヤ膜形成装置を示す断面図、図７は図６の筒状体を示す斜視図である。なお、図６において前述した第４検討例で参照した図４と同様な部材は同符号を付して説明を省略する。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２３】
次いで、バイアス用電源７１からバイアス電力をケーブル７２、整合器７４および給電端子７３を通して前記筒状体５５の第１電極片５７1に供給する。その後、またはそれと同時に、高高周波電源７５から高高周波電力をケーブル７６、整合器７７および給電端子（図示せず）を通して前記筒状体５５の第２電極片５７2に供給する。このとき、前記各第１電極片５７1とこれら第１電極片５７1に対して絶縁片５８を挟んで配置された前記各第２電極片５７2との間にプラズマが生成される。また、前記筒状体５５の上方に位置する排気管６３は接地されているため、この排気管６３を基準電位として前記各第１電極片５７1からバイアス電圧を前記各第２電極片５７2に向けて、つまり生成されたプラズマに向けて印加することができる。ペットボトルＢの口部および肩部に設置された円柱状スペーサ５９は前記実施形態および第１〜第４検討例と同様にペットボトルＢの口部および肩部の電界を調整する機能を持つ。
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２６】
前記媒質ガスとしては、第１検討例で述べたのと同様なものを用いることができる。
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２９】
以上、第５検討例によれば収納部材５４の筒状体５５を構成する第１電極片５７1と第２電極片５７2との間で放電を行って、前記収納部材５４に収納された前記ペットボトルＢ内にプラズマを生成することによって、媒質ガスを供給するためのガス供給管７０の先端（下端）を例えば前記収納部材５４に収納されるペットボトルＢの口部近傍のガス排気管６３に位置させることができる。その結果、ペットボトルＢ内に従来のように内部電極が存在しない状態で前述したプラズマ生成、媒質ガスの解離を行うことができるため、安定したプラズマの生成を図ることができ、膜質が良好で、均一な膜厚を有する炭素膜をペットボトルＢ内面にコーティングすることができる。また、ペットボトルＢ内に存在する内部電極をクリーニングするための煩雑なメンテナンス操作を解消することができる。その上、内部電極に炭素膜がコーティングされるのを回避できるため、ペットボトルＢ内面への炭素膜のコーティング速度を向上できる。
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３３】
なお、前記実施形態および第１〜第５検討例では炭素膜のコーティングを例として述べたが、炭素膜以外のＳｉＯxなど他のバリヤ膜でも同様の動作でコーティングすることができる。例えば、ＳｉＯxの場合には原料ガスをヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳＯ）やテトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）などの有機系Ｓｉ化合物と酸素ガスを混合して用いるなどで可能である。
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３４】
また、前記実施形態および第１〜第５検討例において、処理されるペットボトルＢの断面形状は円形のものを対象として説明したが、円形に限らず、四角形、六角形など種々の形状に同様に適用できることを確認した。また、プラスチック容器の材質としてＰＥＴを例としたが、他のプラスチックでも同様に実施が可能である。
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３５】
前記実施形態および第１〜第５検討例における記述中、環状とは円形だけを意味するものではなく、内側に空洞部を持つ任意形状を意味する。たとえば、環状電極は空洞の形状が四角でも六角形でもボトルの外周を囲む形なら良い。たとえば対象ボトルの断面形状が四角であれば、空洞の形状が四角形である方が均一な電界を得られ、均一な膜がコーティングできるので好ましい。
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３６】
また、前記第３〜第５検討例において、ガス供給管の先端（下端）をペットボトルの口部近傍のガス排気管内に位置させたが、ガス供給管の先端（下端）をペットボトルＢの口部から底部付近まで挿入してもよい。この場合には、ペットボトルＢ内に位置するガス供給管部分を絶縁体とすることが好ましい。
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３７】
【図１】本発明に係り本発明者が検討した第１検討例のプラスチック容器の内面へのバリヤ膜形成装置を示す断面図。
【図２】本発明の一実施形態に係るプラスチック容器の内面へのバリヤ膜形成装置を示す断面図。
【図３】本発明に係り本発明者が検討した第３検討例のプラスチック容器の内面へのバリヤ膜形成装置を示す断面図。
【図４】本発明に係り本発明者が検討した第４検討例のプラスチック容器の内面へのバリヤ膜形成装置を示す断面図。
【図５】図４の筒状体を示す斜視図。
【図６】本発明に係り本発明者が検討した第５検討例のプラスチック容器の内面へのバリヤ膜形成装置を示す断面図。
【図７】図６の筒状体を示す斜視図。
【図８】従来のプラスチック容器の内面へのバリヤ膜形成装置を示す断面図。
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３８】
２、２２、５２…支持部材、４…外部電極本体、５…外部電極底部材、６…外部電極、７，３０，５９…円柱状スペーサ、１１、３５、６３…排気管、１４、３９、６６…高周波電源、１８、４２、７０…ガス供給管、２４、５４…収納部材、２５、５５…筒状体、２７…第１環状電極（環状上部電極）、２８…環状絶縁体、２９…第２環状電極（環状下部電極）、３８…導電性ハニカム部材、４４，７１…バイアス用電源、４８、７５…高高周波電源、５７1…第１電極片、５７2…第２電極片、５８…絶縁片、Ｂ…ペットボトル。