(57)【要約】【課題】圧電材料で構成したシェアモードインクヘッドの駆動時におけるインク室の圧力を十分に確保する。【解決手段】シェアモードインクヘッド１は、圧電材料の複数の隔壁２と、隔壁の底部側にある圧電材料の基部３と、各隔壁の上部側にある蓋体４と、各インク吐出室５内面の個別電極８と、基部下面の共通電極６とを有する。インクを吐出させようとするインク吐出室の個別電極に加わる電圧と同等の電圧が共通電極に常時印可される。吐出側インク吐出室の内部には変形した両側の隔壁及び底部側からも圧力が加わるため、当該吐出室内のインクは十分に加圧され、インク吐出力及びその均一性は十分であり、高い信頼性で長期間に亘り高品質の印字を行える。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
所定間隔をおいて配置された圧電材料からなる複数の隔壁と、前記各隔壁の底部側に共通に設けられた圧電材料からなる基部と、各隔壁の上部側に設けられた蓋体と、前記隔壁と前記基部と前記蓋体とによって区画されたインク吐出室の内面に設けられた電極とを有し、前記電極に所定の電圧を与えることにより前記隔壁にシェアモードの変形を起こして前記インク吐出室の体積を変化させることで前記インク吐出室からインクを吐出させるシェアモードインクヘッドにおいて、
前記基部の下面に、インクを吐出させようとする前記インク吐出室の前記電極に印可される電圧と同等の電圧が常時印可される共通電極が設けられていることを特徴とするシェアモードインクヘッド。
【請求項２】
前記共通電極の下面に圧電材料からなる第２基部が設けられたことを特徴とする請求項１記載のシェアモードインクヘッド。
【請求項３】
前記電極及び前記共通電極に与えられる前記電圧が一定である場合において、前記電圧による電位の方向に関する前記隔壁の厚さを６０〜８０μｍとしたことを特徴とする請求項１又は２記載のシェアモードインクヘッド。
【請求項４】
前記圧電材料を鉛成分を含まない圧電材料とすることを特徴とする請求項１乃至３記載のシェアモードインクヘッド。
【請求項５】
前記圧電材料を鉛成分を含む圧電材料とすることを特徴とする請求項１乃至３記載のシェアモードインクヘッド。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、圧電材料からなる複数の隔壁等で区画された複数のインク吐出室の内面に選択的に所定の電圧を与え、前記隔壁にシェアモードの変形を起こして所望の前記インク吐出室の体積を変化させることによりインクを吐出させるシェアモードインクヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
今日その市場を大きく拡大しつつあるノンインパクト・プリンターの内で、原理が最も単純で、且つカラー印刷に好適なものとしてインクジェット・プリンターがあり、そのインクジェットヘッド（以下、インクヘッドとも呼ぶ）としては下記特許文献１に開示されているカイザー型、あるいは、下記特許文献２に開示されているサーマルジェット型がその代表的な方式として存在する。このうち、前者は小型化が難しく、後者は高熱をインクに加える為にインクが焦げ付くと言う、それぞれに非常に困難な問題を抱えている。
【０００３】
以上のような欠陥を同時に解決する方式として、下記特許文献３には特開昭６３−２５２７５０には、同じく圧電性素材の細片を用いる構造で、細片のシェアモードの変形を用いるシェアモード型のインクヘッドが提案されている。
【０００４】
シェアモード型のインクヘッドの一構成例としては、隔壁で仕切られた複数の溝部を互いに平行に圧電材料内に開口形成し、これら溝部の内面には電極を形成して選択的に所定の電圧を与えられるように構成し、開口した溝部を蓋体で閉止して前方にはノズルとして開口したインク室を形成したものが挙げられる。かかる構成によれば、インク室内にインクを充填し、電極に選択的に電圧を与えて隔壁にシェアモードの変形を起こせば、インク吐出室の体積を変化させてインク吐出室のノズルからインクを吐出することができる。
【特許文献１】特公昭５３−１２１３８号公報
【特許文献２】特公昭６１−５９９１４号公報
【特許文献３】特開昭６３−２５２７５０号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
前記シェアモードインクヘッドを含む圧電材料を利用したインクヘッドでは、連続駆動により圧電体部の温度が上昇してしまい、それが駆動やインクに悪影響を及ぼす。また、隔壁を大きく駆動させると隣接したインク室からインクが吐出し、印字品質を劣化させる原因にもなる。したがって、変形範囲を拡大することで，より少ない変位でこれまでと同じ体積変化を発生させ諸問題を解決する必要がある。
【０００６】
一方，その圧電材料としてチタン酸ジルコン酸鉛（PZT ）など鉛を含む酸化物が広く用いられている。しかしながら、環境に優しい社会の実現をめざして、あらゆる技術において非鉛化をすすめる国際取り決めが結ばれている中で、圧電材料だけが例外的にPZT を置き換えうる材料が未開発という理由で一時猶予となってきたが、それだけに、圧電材料における非鉛化は今、緊急の技術課題である。一般に，非鉛系圧電材料は鉛系材料の性能（例えば圧電定数）に達していないため、同じインク吐出を行うためには、構造の工夫によってそれを克服する必要がある。
【０００７】
本願考案者は上記社会的要請に応えてインクヘッド用圧電材料における非鉛化について鋭意研究を進めており、本考案においては、現状の鉛系圧電材料のシェアモードインクヘッドの構造問題も解決しつつ，非鉛系圧電材料で構成したシェアモードインクヘッドの駆動時におけるインク室の圧力を安定化するとともに十分に確保し、インク滴吐出力あるいはその均一性の不足および信頼性の欠如という問題を解決し、長期間に亘り高品質の印字を安定して行える信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載されたシェアモードインクヘッドは、
所定間隔をおいて配置された圧電材料からなる複数の隔壁と、前記各隔壁の底部側に共通に設けられた圧電材料からなる基部と、各隔壁の上部側に設けられた蓋体と、前記隔壁と前記基部と前記蓋体とによって区画されたインク吐出室の内面に設けられた電極とを有し、前記電極に所定の電圧を与えることにより前記隔壁にシェアモードの変形を起こして前記インク吐出室の体積を変化させることで前記インク吐出室からインクを吐出させるシェアモードインクヘッドにおいて、
前記基部の下面に、インクを吐出させようとする前記インク吐出室の前記電極に印可される電圧と同等の電圧が常時印可される共通電極が設けられていることを特徴としている。
【０００９】
請求項２に記載されたシェアモードインクヘッドは、請求項１記載のシェアモードインクヘッドにおいて、
前記共通電極の下面に圧電材料からなる第２基部が設けられたことを特徴としている。
【００１０】
請求項３に記載されたシェアモードインクヘッドは、請求項１又は２記載のシェアモードインクヘッドにおいて、
前記電極及び前記共通電極に与えられる前記電圧が一定である場合において、前記電圧による電位の方向に関する前記隔壁の厚さを６０〜８０μｍとしたことを特徴としている。
【００１１】
請求項４に記載されたシェアモードインクヘッドは、請求項１乃至３記載のシェアモードインクヘッドにおいて、前記圧電材料を鉛成分を含まない圧電材料とすることを特徴としている。
【００１２】
請求項５に記載されたシェアモードインクヘッドは、請求項１乃至３記載のシェアモードインクヘッドにおいて、前記圧電材料を鉛成分を含む圧電材料とすることを特徴としている。
【考案の効果】
【００１３】
請求項１に記載されたシェアモードインクヘッドによれば、インク吐出室を仕切る各隔壁の底部にある圧電材料の下面の共通電極には、インク吐出時にインク吐出室の電極に印可されるのと同等の電圧が常時印可されているので、吐出しようとするインク吐出室の内部には変形した両側の隔壁だけでなく、底部側からも圧力が加わっている。このため、当該インク吐出室内のインクは十分に加圧され、インク滴吐出力あるいはその均一性は十分であり、高い信頼性で長期間に亘り高品質の印字を行うことができる。
【００１４】
請求項２に記載されたシェアモードインクヘッドによれば、請求項１記載のシェアモードインクヘッドにおいて、前記共通電極の下面に圧電材料からなる第２基部が設けられたので、インク吐出時のインク吐出室内の圧力について有意の上昇を達成することができる。
【００１５】
請求項３に記載されたシェアモードインクヘッドによれば、請求項１又は２記載のシェアモードインクヘッドにおいて、前記電極及び前記共通電極に与えられる前記電圧が一定である場合において、前記電圧による電位の方向に関する前記隔壁の厚さを６０〜８０μｍとすれば、他の条件を一定にした場合におけるインク吐出時のインク吐出室内の圧力上昇を最も高く達成することができる。
【００１６】
請求項４に記載されたシェアモードインクヘッドによれば、請求項１乃至３記載のシェアモードインクヘッドにおいて、前記圧電材料を鉛成分を含まない圧電材料としたので、環境に対する付加を可及的に減少させつつ、インク室の圧力を安定化するとともに十分に確保し、インク滴吐出力あるいはその均一性の不足および信頼性の欠如という問題を解決し、長期間に亘り高品質の印字を安定して行える高い信頼性を実現できる。
【００１７】
請求項５に記載されたシェアモードインクヘッドは、請求項１乃至３記載のシェアモードインクヘッドにおいて、現状の鉛系圧電材料のシェアモードインクヘッドの構造問題を解決し、インク室の圧力を安定化するとともに十分に確保し、インク滴吐出力あるいはその均一性の不足および信頼性の欠如という問題を解決し、長期間に亘り高品質の印字を安定して行える高い信頼性を実現できる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１８】
１．本例シェアモードインクヘッドの構造
本考案の実施の形態を図１〜図４を参照して説明する。
図１に示す実施形態のシェアモードインクヘッド１は、所定間隔をおいて配置された非鉛系圧電材料からなる複数の隔壁２と、前記各隔壁２の底部側に共通に設けられた非鉛系圧電材料からなる板状の基部３と、各隔壁２の上部側に設けられた板状の蓋体４とによって、断面矩形の細長い空間である多数のインク吐出室５を区画した構造を有しており、従って各インク吐出室５は長手方向と直交する方向に所定間隔で並んでいる。
【００１９】
前記隔壁２は、インク吐出室の列設方向（図１において左右方向）に対して直交する縦方向（図１において上下方向）について中央で分割されており、図１中各隔壁２内に矢印で示すように、それぞれ前記縦方向の中央に向かう分極方向を有している。また、基部３の分極方向は、基部３に接する隔壁２の下半部と同様に前記縦方向上向きである。
【００２０】
基部３と隔壁２の下半部は一つの圧電材料から一体に形成してもよく、それぞれ別体の材料から形成して一体化してもよい。
一体に形成する場合は、例えば、上述した隔壁２のように分極方向が互いに反対向きとされた一対の圧電材料の板材を一体に貼り合わせ、この貼り合わせ面を通過するように板材の面に平行な方向を長手方向とする溝部を所定間隔で互いに平行に形成して溝部と溝部の間に残された部分を隔壁２とし、複数の隔壁２によって区画される複数の溝部をインク吐出室５とする。上記工程においては、上記溝部は一方の板材の表面に開口して形成されるが、その開口に蓋体４を被せて各溝部をインク吐出室５となる空間とする。溝状のインク吐出室５の開口した一端部には、インクを吐出するために適当な径のノズルを設け、他端部には各インク吐出室５に共通のインク室を連通させ、各インク吐出室５内に常にインクが供給・充填されるように構成する。
【００２１】
なお、図１は本例とその他の実施形態（構成例）を一図中に共通して表した図である。すなわち、図１では前記基部３の下面に共通電極６があり、そのさらに下に第２の基部７があり、第１の基部３と第２の基部７という板状の２つの基部の間に層状の１つの共通電極６が存在するように描かれているが、本例としては、前記基部３（第１の基部）と、その下面に設けられた共通電極６のみを有する構造であり、複数の基部が積層されていない構造であり、以下、この第１例の構造を「積層なし」タイプとも呼ぶ。
【００２２】
そして、第２例のシェアモードインクヘッドでは、上述したように、第１の基部３と第２の基部７の２つの基部の間に１つの共通電極６が存在するものであり、複数の板状の基部が１つの共通電極を挟んで積層した構造である。以下、このような第２例の構造を「積層」タイプとも呼ぶ。そして、この「積層」タイプは、図１の第２の基部７中に表示された水平方向の一点鎖線Ｌをないものと考え、第２の基部７が単一の層であるとした場合（積層が１層）と、この一点鎖線Ｌが異なる層の境界として存在するものと考え、第２の基部７が同一物質の２層構造（第２の基部７ａ，７ｂからなる場合）であるとした場合（積層が２層）との２つの場合が存在する。積層が１層の場合、同２層の場合共に、第２の基部７の厚さは後述する例で説明するように種々に設定することができる。
【００２３】
図１に示すように、インク吐出室５の内面である対向する一対の隔壁２の内面及び基部３の内面（底面）には、電気的に一体となるよう連続した個別電極８が設けられている。この個別電極８には、必要に応じて所定の電圧が与えられるように構成されている。本例では、インク吐出時には、隣のインク吐出室の個別電極８の電位０Ｖに対し、＋２０Ｖの電位が与えられるものとする。
【００２４】
また、前述した通り、前記基部３の下面には、インク吐出時に前記各インク吐出室５の各個別電極８に印可される電圧と同等の電圧（本例では前述した通り＋２０Ｖまたはこれと同等の電位差）が常時印可される共通電極６が設けられている。このようにインク吐出室５の下側を構成する部分を圧電材料で構成すると共に、これに共通電極６を設けて常時電圧を印加することにより、この基部３には上方へ変形する向きに力が作用するので、インクを吐出しようとするインク吐出室５の内部には底面側からインク吐出室５内に常に圧力が加わることとなる。
【００２５】
２．本例シェアモードインクヘッド１の作用効果
本例における作用を説明する。
本例における分極方向の設定を含む隔壁２の構造において、基部３の共通電極６に＋２０Ｖの電位を与えておき、インクを吐出させようとするインク吐出室５の個別電極８に＋２０Ｖの電位を与えてインクを吐出させる。すなわち、両隣のインク吐出室５の個別電極８の電位は０Ｖとしておき、インク吐出を選択したインク吐出室５の個別電極８には＋２０Ｖの電位を与えると、インク吐出室５の隔壁２は前記電位によって生じる電界と隔壁２の圧電材料の分極方向との相互作用により、図１に示すように内側に変位するシェアモードの変形を生じ、当該インク吐出室５の内容積が減少して内部に収納されたインクは図示しないノズルからインク滴となって図１中紙面に垂直な方向に向けて吐出される。
【００２６】
ここで、共通電極６への通電により基部３は上方へ変形する向きの力を受けているので、インクを吐出しようとするインク吐出室５の内部には底面側から圧力が加わっている。従って本例によれば、隔壁２の変形によるインク吐出室５の体積減少によってインクを吐出する際、インク吐出室５内のインクに加わる圧力には基部３からの圧力も加わっており、このような手段を講じない場合に比較してインクの吐出力はより高められ、インク滴吐出の均一性は安定し、長期間に亘り高品質の印字ができる高い信頼性が達成される。
【００２７】
また、本例のようなシェアモードインクヘッド１において基部３の底面に共通電極６がない場合には、インクを吐出しない隣のインク吐出室５の基部３は隔壁２の変形によって下方に沈み込むため、インクを吐出しないインク吐出室５の内容積が拡大し過ぎて、インクを吐出する隣のインク吐出室５の圧力変化が過剰になり、インクの吐出量に所望の設定量からの差異を生じさせてしまう。しかし本例（例えば１層の電極を入れた場合）によれば、圧電材料の基部３の共通電極６に常時電圧を印加することにより、インク吐出のために変形する隔壁２を支える基部３には、常時上方に向けて力が働くので、インク吐出時における隔壁２の過剰な変形が抑止され、インクの吐出量に所望の設定量からの誤差が生じにくくなる。
【００２８】
なお、本例で使用されている非鉛系圧電材料は、例えばチタン酸バリウム（BaTiO3）多結晶からなるものであり、原料調合時や焼結時に不可避に混入するSi,Al,Mgなどを微量に含む。また、BaやTiを微量な第3成分で意図して置換した組成も含むものである。しかし、本例の非鉛系圧電材料はこれに限るものではなく、非鉛系であればこれ以外の構成でもよい。
【００２９】
本例では非鉛系圧電材料による効果を主に記述したが、本考案における圧電材料としては非鉛系圧電材料だけでなく、鉛入り圧電材料に関しても以上説明した本例と同様に適用できるものである。鉛入り圧電材料については市販のジルコンチタン酸鉛(PZT）、チタン酸鉛（PT）、ジルコン酸鉛（ZT）などやリラクサー型化合物でも本構造であれば、機能を発揮できるものである。
【００３０】
３．本例シェアモードインクヘッド１の実験による作用効果の確認
本例の「積層なし」タイプのシェアモードインクヘッド１において、圧電材料からなる隔壁２の厚さと、これによるインク吐出圧増大の効果との関連を確認するため、圧電材料からなる隔壁２の厚さを変化させて、通電時の隔壁２の変位の変化量（％）とインク吐出室５内の圧力の変化量（％）を測定し、隔壁２の厚さと、隔壁２の変位の変化量（％）及びインク吐出室５内の圧力の変化量との関係を調べた。
【００３１】
なお、本例シェアモードインクヘッド１の各部の寸法は、図１に例示する通りであり、インク吐出室５の高さ（すなわち隔壁２の高さ方向の寸法）は、上部又は下部の各隔壁２の高さが１５５μｍであるから、１５５×２μｍである。インク吐出室５の幅（すなわち隣接する隔壁２の間隔）は７５μｍである。隔壁２の厚さ（すなわち隔壁２の隣接方向についての寸法）は１００μｍを中心に±α変化させて前述した各量の測定を行う。また、積層なしタイプにおいては基部３の厚さは任意とする。積層タイプにおいて、積層が１層の場合は１層構造である第２の基部７の厚さは８０μｍとし、積層が２層の場合は２層構造である第２の基部７の各層７ａ，７ｂの厚さは各４０μｍ、合計８０μｍとする。
なお、駆動電圧は、電圧一定の場合と、隔壁２の厚さに応じて電圧を変化させることで電場を一定とする場合とがある。
【００３２】
（１）「積層なし」タイプ（図２参照）
図２に示すように、隔壁２の厚さを４０〜１６０μｍの範囲内の任意の１５乃至１６点に設定した本例シェアモードインクヘッド１を実際に同条件で駆動し、隔壁２の変位とインク吐出圧を調べ、隔壁２の厚さが１００μｍの場合を基準としてそれぞれの変化量をプラスマイナスの％で表示した。
【００３３】
図２によれば、電場一定の場合は、圧力、変位共に、隔壁２の厚さ（図中「圧電部の厚さ」）が大きくなるほどインク吐出圧は大きくなる。上記隔壁２の範囲では、隔壁２厚さ１００μｍの場合を０とすると、圧力は概ね−６５％〜＋２０％の範囲となり、変位は概ね−３０％〜＋２０％の範囲となる。
従って、電場一定の条件では、インク吐出圧を十分確保する観点からは、隔壁２は厚い方が有利である。
【００３４】
図２によれば、電圧一定の場合は、圧力、変位共に、隔壁２の厚さ（図中「圧電部の厚さ」）が大きくなるほどインク吐出圧は小さくなる。上記隔壁２の範囲では、隔壁２厚さ１００μｍの場合を０とすると、圧力は概ね＋１０％〜−２０％の範囲となり、変位は概ね＋１９％〜−２６％の範囲となる。
従って、電圧一定の条件では、インク吐出圧を十分確保する観点からは、隔壁２は薄い方が有利であるが、６０μｍにピークがあり、これを越えて隔壁２を薄くすると圧力、変位共に低下する傾向があるので、隔壁２の厚さは電圧一定の条件下では６０μｍを最適値とする。
【００３５】
（２）「積層」タイプ（第２の基部が１層構造）（図３参照）
図３に示すように、隔壁２の厚さを４０〜１３０μｍの範囲内の任意の１２点に設定した本例シェアモードインクヘッド１を実際に同条件で駆動し、隔壁２の変位とインク吐出圧を調べ、隔壁２の厚さが１００μｍの場合を基準としてそれぞれの変化量をプラスマイナスの％で表示した。
【００３６】
図３によれば、電場一定の場合は、圧力、変位共に、隔壁２の厚さ（図中「圧電部の厚さ」）が大きくなるほどインク吐出圧は大きくなる。上記隔壁２の範囲では、隔壁２厚さ１００μｍの場合を０とすると、圧力は概ね−６５％〜＋１３％の範囲となり、変位は概ね−５８％〜＋１０％の範囲となる。
従って、電場一定の条件では、インク吐出圧を十分確保する観点からは、隔壁２は厚い方が有利である。
【００３７】
図３によれば、電圧一定の場合は、圧力、変位共に、隔壁２の厚さ（図中「圧電部の厚さ」）が大きくなるほどインク吐出圧は小さくなる。上記隔壁２の範囲では、隔壁２厚さ１００μｍの場合を０とすると、圧力は概ね＋８％〜−１４％の範囲となり、変位は概ね＋１０％〜−１２％の範囲となる。
従って、電圧一定の条件では、インク吐出圧を十分確保する観点からは、隔壁２は薄い方が有利であるが、６０μｍにピークがあり、これを越えて隔壁２を薄くすると圧力、変位共に低下する傾向があるので、隔壁２の厚さは電圧一定の条件下では６０μｍを最適値とする。
【００３８】
（３）「積層」タイプ（第２の基部が２層構造）（図４参照）
図４に示すように、隔壁２の厚さを４０〜１２５μｍの範囲内の任意の１２点に設定した本例シェアモードインクヘッド１を実際に同条件で駆動し、隔壁２の変位とインク吐出圧を調べ、隔壁２の厚さが１００μｍの場合を基準としてそれぞれの変化量をプラスマイナスの％で表示した。
【００３９】
図４によれば、電場一定の場合は、圧力、変位共に、隔壁２の厚さ（図中「圧電部の厚さ」）が大きくなるほどインク吐出圧は大きくなる。上記隔壁２の範囲では、隔壁２厚さ１００μｍの場合を０とすると、圧力は概ね−６８％〜＋１２％の範囲となり、変位は概ね−５８％〜＋１０％の範囲となる。
従って、電場一定の条件では、インク吐出圧を十分確保する観点からは、隔壁２は厚い方が有利である。
【００４０】
図４によれば、電圧一定の場合は、圧力、変位共に、隔壁２の厚さ（図中「圧電部の厚さ」）が大きくなるほどインク吐出圧は小さくなる。上記隔壁２の範囲では、隔壁２厚さ１００μｍの場合を０とすると、圧力は概ね＋５％〜−１８％の範囲となり、変位は概ね＋１６％〜−１２％の範囲となる。
従って、電圧一定の条件では、インク吐出圧を十分確保する観点からは、隔壁２は薄い方が有利であるが、６０μｍにピークがあり、これを越えて隔壁２を薄くすると圧力、変位共に低下する傾向があるので、隔壁２の厚さは電圧一定の条件下では６０μｍを最適値とする。
【００４１】
表１は、「積層なし」タイプと、「積層」（第２の基部７が２層構造）タイプのものとの生成圧力の比を示したものである。「積層なし」タイプの場合におけるインク吐出室５の吐出時の圧力を１とすると、「積層」（第２の基部７が２層構造）タイプにおける第２の基部７の厚さの合計を５〜５０μｍとした場合の圧力比は、表１に示すように１．１９倍〜１．１２倍となっており、概ね「積層なし」タイプに比べて２〜１割り増しの圧力が得られている。積層タイプであれば第２の基部７の合計厚さはなるべく薄い方が高い圧力が得られる。
【００４２】
【表１】
0003121281.tif 000003
【００４３】
以上説明したように、本例のシェアモードインクヘッド１によれば、インク吐出室５の隔壁２だけでなく、底面側の基部３も圧電素子への電圧印加によって積極的に駆動することで、インク吐出時における隔壁２の過剰な変形を抑制しつつ、インク吐出室５内における圧力生成の効率化が可能となるので、インク吐出室５の圧力を安定的に、かつ十分に確保し、インク滴吐出力あるいはその均一性の不足および信頼性の欠如という問題を解決し、長期間に亘り高品質の印字ができる信頼性の高い非鉛系圧電材料で構成したシェアモードインクヘッド１を提供できるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本例のシェアモードインクヘッドの断面図である。
【図２】本例のシェアモードインクヘッド（「積層なし」タイプ）における隔壁の厚さと、吐出圧力変化及び隔壁変位変化との関係を示すグラフ図である。
【図３】本例のシェアモードインクヘッド（「積層あり」１層タイプ）における隔壁の厚さと、吐出圧力変化及び隔壁変位変化との関係を示すグラフ図である。
【図４】本例のシェアモードインクヘッド（「積層あり」２層タイプ）における隔壁の厚さと、吐出圧力変化及び隔壁変位変化との関係を示すグラフ図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  シェアモードインクヘッド
２  隔壁
３  基部
４  蓋体
５  インク吐出室
６  共通電極
７  第２の基部
８  個別電極
【図１】
0003121281.tif 000004
【図２】
0003121281.tif 000005
【図３】
0003121281.tif 000006
【図４】
0003121281.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月20日(2006.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
前記圧電材料を鉛成分を含まない圧電材料とすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のシェアモードインクヘッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
前記圧電材料を鉛成分を含む圧電材料とすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のシェアモードインクヘッド。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項４に記載されたシェアモードインクヘッドは、請求項１乃至３のいずれか１項に記載のシェアモードインクヘッドにおいて、前記圧電材料を鉛成分を含まない圧電材料とすることを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項５に記載されたシェアモードインクヘッドは、請求項１乃至３記載のいずれか１項にのシェアモードインクヘッドにおいて、前記圧電材料を鉛成分を含む圧電材料とすることを特徴としている。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月20日(2006.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
前記圧電材料を鉛成分を含まない圧電材料とすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のシェアモードインクヘッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
前記圧電材料を鉛成分を含む圧電材料とすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のシェアモードインクヘッド。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項４に記載されたシェアモードインクヘッドは、請求項１乃至３のいずれか１項に記載のシェアモードインクヘッドにおいて、前記圧電材料を鉛成分を含まない圧電材料とすることを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項５に記載されたシェアモードインクヘッドは、請求項１乃至３記載のいずれか１項にのシェアモードインクヘッドにおいて、前記圧電材料を鉛成分を含む圧電材料とすることを特徴としている。