【事件の表示】
　平成１０年特許願第２４４１２４号「化学機械研磨用スラリーの再生装置及び再生方法」拒絶査定に対する審判事件［平成１２年　３月　７日出願公開、特開２０００−　７１１７２］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
  本願は、平成１０年８月２８日の出願であって、その請求項１ないし８に係る発明は、平成１４年３月７日付けの手続補正書により補正された明細書及び出願当初の図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし８に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりである。
「 化学機械研磨装置に使用されるスラリーを再生するためのＣＭＰ用スラリーの再生装置であって、
　研磨による使用済みのスラリーを回収するスラリー回収手段と、
　スラリーを回収又は供給する第１及び第２のタンクと、
　前記スラリー回収手段で回収された回収スラリーを前記第１又は第２のタンクへ選択して誘導する回収スラリー誘導手段と、
　新液スラリーを前記第１又は第２のタンクへ選択して誘導する新液スラリー誘導手段と、
　前記第１又は第２のタンクにおける前記回収スラリーと前記新液スラリーとを調合して均一濃度の再生スラリーを生成する再生スラリー生成手段と、
　前記再生スラリー生成手段で生成された再生スラリーを前記化学機械研磨装置に誘導する再生スラリー誘導手段とを有し、
　前記回収スラリー誘導手段及び新液スラリー誘導手段により、前記回収スラリー及び新液スラリーを誘導するタンクと、前記再生スラリーを前記化学機械研磨装置に誘導するタンクとを前記第１又は第２のタンクより択一的に選択可能とする
　ことを特徴とするＣＭＰ用スラリーの再生装置。」
２．引用刊行物
　これに対して、当審における平成１３年１２月２６日付けで通知した拒絶の理由に引用した特公昭５８−３０１１２号公報（以下「刊行物１」という。）には、次の事項が記載されている。
ａ「この発明は、脆い材料（半導体、あるいはガラス、セラミックス等）を研摩剤を用いて加工するために使用する処理装置に関し、具体的には、研摩剤含有懸濁液を調製し、研摩及び仕上げ旋盤（機）の工具の作動域にこの懸濁液を供給する研摩材含有懸濁液の調製供給機に係るものである。」（第３欄第２〜７行）
ｂ「図示した機械は、原料成分から懸濁液を調製する調製ユニット１を備え、このユニットは排出口２を介して分配ユニット３と連通している。分配ユニット３は、研摩あるいは仕上げ機６からなる工具の作動区域に上記懸濁液を供給する・・・。研摩機６は懸濁排液を集めるための貯溜槽７と連通し、貯溜槽７は排出口８を介して上記懸濁排液の浄化ユニット９と通じている。懸濁排液の浄化ユニット９は、今度は上記調製ユニット１の注入口１０と連通している。調製ユニット１は、懸濁液調製用貯溜槽１１と、調製済み懸濁液の貯溜槽１２を備えている。槽１１と１２はパイプ１３を介して連通している。・・・。前記槽１１は蓋１６を備えた密閉容器であり、ミキサ１７を内部に止着してある。・・・。更に、ミキサ１７の蓋１６には、原料（水、研摩剤、化学的活性物質、例えば、酸、アルカリ）を槽１１に供給するための供給口２２を設けてある。懸濁液の液質監視装置のピックアップ２３が槽１１の壁に埋込まれている。・・・槽１１の底部には、槽からパイプ１３への懸濁液流を制御（制止）するための締切弁２４を設けてある。槽１１内の懸濁液量は表示装置２６に電気的に接続した液面ピックアップ２５により測定される。」（第５欄第２２行〜第６欄第１３行）
ｃ「槽１２は、出来上った懸濁液の貯溜を目的とし、・・・。槽１２の底部には、この槽の排出口２を制御する締切弁２９が設けてある。」（第６欄第１４〜１７行）
ｄ「貯溜槽１２と分配ユニット３は、パイプ３７と３８を介して互いに連通しており、閉回路を形成している。パイプ３７内に送りポンプ３９を設けてある。懸濁排液を集めるために枝パイプ４０を介して研摩機６を槽７に接続してある。懸濁液を浄化するために槽７を排出口８からパイプ４１により浄化ユニット９に接続してある。洗浄ユニット９の槽４４と懸濁液の調製ユニット１の槽１１は送りポンプ５０を介装したパイプ４９により連続してある。」（第７欄第１５〜３２行）
ｅ「調製し、完全に混合した懸濁液は、弁２４を開けると、パイプ１３を通って遠心分離機１４に送られ、・・・浄化した懸濁液は槽１２に流れ込み、ここで貯えられる。槽１２が特定液面に保たれたとき（表示装置２６にピックアップ３０の信号を表示するとき）、送りポンプ３９により弁２９を開放して懸濁液を分配ユニット３へ送る。」（第８欄第１〜１３行）
ｆ「研摩機６の操作中、懸濁液は調整弁３６を通って枝パイプ５から研摩域に流入する。使用後、懸濁液はパイプ４０を通って懸濁液排液貯溜用槽７に流れ、ここから排出口８とパイプ４１を通って濾過器４２に入る。・・・。濾過器４２から懸濁液は遠心分離機４３に入る。・・・。遠心分離機４３において、研磨操作からの機械的排出物を懸濁液から分離し、浄化した懸濁液を槽４４に入れる。この槽４４に、ピックアップ４８により検出して懸濁液を特定液面にして貯溜する。・・・。懸濁液が特定の水位に一旦達すると、締切弁４７が開き、懸濁液をパイプ４９を通して送りポンプ５０により懸濁液調節ユニット１の槽１１へ送る。懸濁液は研摩工程において変化するため、即ち液内の研摩剤の量が減少するため、被研摩物品への化学的浸蝕の結果、溶液のｐＨが減少する。従って原料成分をある量だけ懸濁液調製ユニット１内の懸濁液に加えて各成分含有量を特定水準に保つ。完全に懸濁液を混合してから、再使用の目的で槽１２に送るため使用済みの懸濁液を研摩工程に数回使用できる。」（第９欄第１３行〜第１０欄第７行）
　以上の記載事項ａ〜ｆを本願発明に照らして整理すると、刊行物１には次の発明（以下「刊行物１記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
　「 研摩機に使用される研摩材含有懸濁液を再生するためのＣＭＰ用研摩材含有懸濁液の調製供給機であって、
　研摩による使用済みの懸濁液を回収する懸濁液排液貯溜用槽７と、
　懸濁液を回収及び供給する、懸濁液調製用貯溜槽１１と、該槽１１の底部に設けられた締切弁２４を介してパイプ１３により接続された調製済み懸濁液の貯溜槽１２とを備えた懸濁液調製ユニット１と、
　前記懸濁液排液貯溜用槽７で回収された懸濁液を前記懸濁液調製ユニット１へ誘導する、貯溜槽７の排出口８と浄化ユニット９を接続するパイプ４１、及び前記浄化ユニット９の槽４４の底部に備えられた締切弁４７と前記調製ユニット１の槽１１の注入口１０を接続する送りポンプ５０を介装したパイプ４９と、
　原料（水、研磨剤、化学的活性物質、例えば、酸、アルカリ）を前記懸濁液調製用貯溜槽１１へ供給するための供給口２２と、
　前記懸濁液調製用貯溜槽１１における前記回収懸濁液と前記原料とを混合して均一濃度の再生懸濁液を生成するミキサ１７と、
　前記ミキサ１７で生成された再生懸濁液を前記研摩機に誘導する、前記貯溜槽１２の底部に設けられた排出口２を制御する締切弁２９と前記研摩機に前記調整製み懸濁液を供給する分配ユニット３とを接続し、ポンプ３９が設けられたパイプ３７とを有するＣＭＰ用研磨材含有懸濁液の調製供給機。」
３．本願発明と刊行物１記載の発明との対比
　本願発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、刊行物１記載の「調製供給機」、「研摩剤含有懸濁液」、「懸濁液排液貯溜用槽７」、「貯溜槽７の排出口８と浄化ユニット９を接続するパイプ４１、前記浄化ユニット９の槽４４の底部に備えられた締切弁４７と前記調製ユニット１の槽１１の注入口１０を接続する送りポンプ５０を介装したパイプ４９」、「原料（水、研摩剤、化学的活性物質、例えば、酸、アルカリ）を前記懸濁液調製用貯溜槽１１へ供給するための供給口２２と」、「ミキサ１７」、及び「前記貯溜槽１２の底部に設けられた排出口２を制御する締切弁２９と前記研磨機に前記調製済み懸濁液を供給する分配ユニット３とを接続し、ポンプ３９が設けられたパイプ３７」は、それぞれ本願発明の「再生装置」、「スラリー」、「回収手段」、「回収スラリー誘導手段」、「新液スラリー誘導手段」、「再生スラリー生成手段」、及び「再生スラリー誘導手段」に相当し、また、刊行物１記載の「調整ユニット１の懸濁液調整用貯溜槽１１」は、本願発明の「第１又は第２のタンク」対応する。そして、刊行物１記載の研磨剤含有懸濁液はＣＭＰ用であって、「研磨機」は「化学機械研磨装置」といえるので、両者は、
　化学機械研磨装置に使用されるスラリーを再生するためのＣＭＰ用スラリーの再生装置であって、
　研磨による使用済みのスラリーを回収するスラリー回収手段と、
　スラリーを回収又は供給するタンクと、
　前記スラリー回収手段で回収された回収スラリーを前記タンクへ誘導する回収スラリー誘導手段と、
　新液スラリーを前記タンクへ誘導する新液スラリー誘導手段と、
　前記タンクにおける前記回収スラリーと前記新液スラリーとを調合して均一濃度の再生スラリーを生成する再生スラリー生成手段と、
　前記再生スラリー生成手段で生成された再生スラリーを前記化学機械研磨装置に誘導する再生スラリー誘導手段とを有するＣＭＰ用スラリーの再生装置である点で一致し、
　本願発明においては、スラリーを回収又は供給する第１及び第２のタンクを有し、前記回収スラリー誘導手段及び新液スラリー誘導手段により、前記回収スラリー及び新液スラリーを誘導するタンクと、前記再生スラリーを前記化学機械研磨装置に誘導するタンクとを前記第１又は第２のタンクより択一的に選択可能とするのに対して、
　刊行物１記載の発明においては、懸濁液貯溜槽１１（タンク）で再生処理した再生スラリーを貯留槽１２に貯留しておき、貯留槽１２から再生スラリーを研磨機に送るものである点で相違している。
４．当審の判断
　上記相違点について検討すると、刊行物１記載の発明においては、上記２の記載事項ｃ、ｅ、ｆを参照すると、懸濁液調整用貯溜槽１１におけるＣＭＰ用スラリーの再生処理は、調整済み懸濁液の貯溜槽１２からの連続的な再生スラりーの供給とは独立してバッチで処理されていることは明かであり、また、同じ装置を複数設けて、そのうちの１つの装置を準備状態とし、他の装置を使用状態として、それらを択一的に選択可能とすることにより連続的に使用して効率を上げることは、例えば、実願平１−６００４０号（実開平２−１５０１５０号）のマイクロフィルムに示されているように周知技術であるので、刊行物１記載の発明における懸濁液調整ユニット１の調整済み懸濁液の貯溜槽１２の設置に換えて、懸濁液調整用貯溜槽１１を複数設け、これら複数の貯溜槽のうち一方を回収スラリー及び新液スラリーを誘導するものとし、他方を再生スラリーを化学機械研磨装置に誘導するものに選択的に使用可能とすることは当業者であれば容易に想到し得たことである。
　また、本願発明の奏する効果も刊行物１記載の発明及び上記周知技術から当業者であれば予測できる程度のものであって格別なものでない。
５．むすび
　したがって、本願発明は、刊行物１記載の発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、請求項２ないし８に係る発明について検討するまでもなく、結論のとおり審決する。