【手続補正書】
【提出日】平成18年7月10日(2006.7.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブ装置本体内にＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能に配置され、被検査体が載置された状態で、複数のプローブ針を有するプローブカードがカードホルダーを介して着脱可能に保持された保持機構まで移動して、上記被検査体と上記複数のプローブ針とを電気的に接触させる載置台と、
この載置台の側面に取り付けられて、上記プローブ針が上記載置台の載置面に接触しないように上記プローブカードを上記載置台上において着脱可能に支持するプローブカード支持体と、
このプローブカード支持体に上記プローブカードを受け渡す受け渡し機構と、を備え、
上記受け渡し機構は、上記プローブカードの受け渡し位置を決める位置決め部材を少なくとも一つ有し、また、
上記載置台は、上記プローブカードを上記保持機構に着脱するために、上記プローブカード支持体によって支持された上記プローブカードを搬送する機能を有する
ことを特徴とするプローブカード搬送機構。
【請求項２】
上記受け渡し機構は、上記プローブカードを着脱可能に保持するアダプタを含むことを特徴とする請求項１に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項３】
上記受け渡し機構は、上記アダプタを着脱可能に保持する搬送トレイと、上記プローブ装置本体の外側と内側の間で上記搬送トレイを移動案内するガイド機構を有することを特徴とする請求項２に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項４】
上記搬送トレイは、その先端部にＵ字状の切欠部を有するアダプタ保持部を有し、上記載置台が上記切欠部の中を上昇することにより、上記アダプタ保持部から上記載置台に取り付けられたプローブカード支持体上に上記アダプタを受け取ることを特徴とする請求項３に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項５】
上記ガイド機構は、水平状態及び垂直状態の両状態になるように、上記プローブ装置本体に回転可能に取り付けられていることを特徴とする請求項３または請求項４に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項６】
上記プローブカード支持体は、上記アダプタを吸引力により保持する吸引機構を有することを特徴とする請求項２〜請求項５のいずれか１項に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項７】
プローブ装置本体内にＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能に配置され、被検査体が載置された状態で、複数のプローブ針を有するプローブカードがカードホルダーを介して着脱可能に保持されたインサートリングまで移動して、上記被検査体と上記複数のプローブ針とを電気的に接触させる載置台と、
上記プローブカードを着脱自在に保持するアダプタと、
上記載置台の側面に取り付けられて、上記プローブ針が上記載置台の載置面に接触しないように上記プローブカードを保持する上記アダプタを上記載置台上において着脱可能に支持するプローブカード支持体と、
上記プローブカード支持体に上記アダプタを受け渡す受け渡し機構と、を備え、且つ、
上記載置台は、上記インサートリングに上記プローブカードを着脱するために、上記プローブカード支持体によって支持された上記アダプタを介して上記プローブカードを搬送する機能を有し、また、
上記受け渡し機構は、上記プローブカードを保持した上記アダプタを着脱自在に保持する搬送トレイと、上記プローブ装置本体に取り付けられたアームと、上記アームに固定され且つ上記プローブ装置本体の外側と内側の間で上記搬送トレイを移動案内するガイドレールを有する
ことを特徴とするプローブカード搬送機構。
【請求項８】
上記アームは、水平状態及び垂直状態になるように、上記プローブ装置本体に回転可能に取り付けられていることを特徴とする請求項７に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項９】
上記搬送トレイは、上記アダプタの存否を検出するセンサを有することを特徴とする請求項３または請求項７に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項１０】
上記プローブカード支持体は、上記アダプタを吸引力により保持する吸引機構を有することを特徴とする請求項７〜請求項９のいずれか１項に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項１１】
上記プローブカード支持体に、上記プローブカードの存否を検出するセンサを設けたことを特徴とする請求項１〜請求項１０のいずれか１項に記載のプローブカード搬送機構。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載のプローブカード搬送機構は、プローブ装置本体内にＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能に配置され、被検査体が載置された状態で、複数のプローブ針を有するプローブカードがカードホルダーを介して着脱可能に保持された保持機構まで移動して、上記被検査体と上記複数のプローブ針とを電気的に接触させる載置台と、この載置台の側面に取り付けられて、上記プローブ針が上記載置台の載置面に接触しないように上記プローブカードを上記載置台上において着脱可能に支持するプローブカード支持体と、このプローブカード支持体に上記プローブカードを受け渡す受け渡し機構と、を備え、上記受け渡し機構は、上記プローブカードの受け渡し位置を決める位置決め部材を少なくとも一つ有し、また、上記載置台は、上記プローブカードを上記保持機構に着脱するために、上記プローブカード支持体によって支持された上記プローブカードを搬送する機能を有することを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明の請求項２に記載のプローブカード搬送機構は、請求項１に記載の発明において、上記受け渡し機構は、上記プローブカードを着脱可能に保持するアダプタを含むことを特徴とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明の請求項３に記載のプローブカード搬送機構は、請求項２に記載の発明において、上記受け渡し機構は、上記アダプタを着脱可能に保持する搬送トレイと、上記プローブ装置本体の外側と内側の間で上記搬送トレイを移動案内するガイド機構を有することを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の請求項４に記載のプローブカード搬送機構は、請求項３に記載の発明において、上記搬送トレイは、その先端部にＵ字状の切欠部を有するアダプタ保持部を有し、上記載置台が上記切欠部の中を上昇することにより、上記アダプタ保持部から上記載置台に取り付けられたプローブカード支持体上に上記アダプタを受け取ることを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の請求項５に記載のプローブカード搬送機構は、請求項３または請求項４に記載の発明において、上記ガイド機構は、水平状態及び垂直状態の両状態になるように、上記プローブ装置本体に回転可能に取り付けられていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項６に記載のプローブカード搬送機構は、請求項２〜請求項５のいずれか１項の発明において、上記プローブカード支持体は、上記アダプタを吸引力により保持する吸引機構を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項７に記載のプローブカード搬送機構は、プローブ装置本体内にＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能に配置され、被検査体が載置された状態で、複数のプローブ針を有するプローブカードがカードホルダーを介して着脱可能に保持されたインサートリングまで移動して、上記被検査体と上記複数のプローブ針とを電気的に接触させる載置台と、上記プローブカードを着脱自在に保持するアダプタと、上記載置台の側面に取り付けられて、上記プローブ針が上記載置台の載置面に接触しないように上記プローブカードを保持する上記アダプタを上記載置台上において着脱可能に支持するプローブカード支持体と、上記プローブカード支持体に上記アダプタを受け渡す受け渡し機構と、を備え、且つ、上記載置台は、上記インサートリングに上記プローブカードを着脱するために、上記プローブカード支持体によって支持された上記アダプタを介して上記プローブカードを搬送する機能を有し、また、上記受け渡し機構は、上記プローブカードを保持した上記アダプタを着脱自在に保持する搬送トレイと、上記プローブ装置本体に取り付けられたアームと、上記アームに固定され且つ上記プローブ装置本体の外側と内側の間で上記搬送トレイを移動案内するガイドレールを有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項８に記載のプローブカード搬送機構は、請求項７に記載の発明において、上記アームは、水平状態及び垂直状態になるように、上記プローブ装置本体に回転可能に取り付けられていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項９に記載のプローブカード搬送機構は、請求項３または請求項７に記載の発明において、上記搬送トレイは、上記アダプタの存否を検出するセンサを有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１０に記載のプローブカード搬送機構は、請求項７〜請求項９のいずれか１項に記載の発明において、上記プローブカード支持体は、上記アダプタを吸引力により保持する吸引機構を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１１に記載のプローブカード搬送機構は、請求項１〜請求項１０のいずれか１項に記載の発明において、上記プローブカード支持体に、上記プローブカードの存否を検出するセンサを設けたことを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図３に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態のプローブカード搬送機構（以下、単に「搬送機構」と称す。）Ｔが適用されたプローブ装置Ｐは、図１に示すように、プローバ室１内でＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能に配設され且つ被検査体であるウエハを載置する載置台（ウエハチャック）２と、このウエハチャック２の上方でヘッドプレート３の略中央孔３Ａに固定されたプローブカードの保持機構（インサートリング）４と、このインサートリング４に対してカードホルダー５を介して着脱可能に保持されたプローブカード６とを備えている。プローバ室１には図示しないローダ室が隣接し、このローダ室からプローバ室１内のウエハチャック２でウエハを受け取る。プローバ室１内ではウエハチャック２がＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動する間にアライメント機構（図示せず）を介してウエハとプローブカード６のプローブ針６Ａとのアライメントを行った後、ウエハをインデックス送りを行いながらウエハの電気的特性検査を実行する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
上記受け渡し機構７は、カードホルダー付きのプローブカード６を着脱自在に保持するアダプタ８と、このアダプタ８を着脱自在に保持する、先端部がＵ字状の切欠部によって二股に分かれて形成されたフォーク状の搬送トレイ９と、この搬送トレイ９をプローブカード６の受け渡し位置まで移動案内する一対のガイドレール１０、１０がガイド機構として固定されたアーム１１と、このアーム１１上で搬送トレイ９を介して移動したアダプタ８を受け取るためにウエハチャック２の周囲の３箇所で支持するアダプタ支持体１２とを備えている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
図１、図２の（ａ）に示すように搬送トレイ９の基端部裏面には一対のガイドレール１０、１０と係合する係合部９Ｃ、９Ｃが設けられ、搬送トレイ９は手動操作により両係合部９Ｃ、９Ｃを介してアーム１１上を図１の矢印Ａで示すようにプローバ室１内の内側へ押し込み、その位置から引き出せるようになっている。図２の（ｃ）に示すようにアーム１１上には各ガイドレール１０、１０の先端側には位置決め部材（ストッパー）１３、１３が設けられ、これらのストッパー１３、１３で搬送トレイ９を止め、プローブカード６をプローバ室１内の常に一定の位置（ウエハチャックとのプローブカードの受け渡し位置）まで押し込むことができるようになっている。また、各ガイドレール１０、１０の基端側にはストッパー（図示せず）が設けられ、これらのストッパーで搬送トレイ９がガイドレール１０、１０から抜け出さないようにしてある。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
【発明の効果】
本発明の請求項１〜請求項１１に記載の発明によれば、プローブ装置が本来具備する機構以外には極力余分な駆動機構を用いることなく機構的、構造的に簡素化し、もって更に低コスト化を促進することができるプローブカード搬送機構を提供することができる。