【手続補正書】
【提出日】平成18年1月11日(2006.1.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置及びマイクロアクチュエータ、画像形成装置、液滴を吐出する装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液流路の壁面を形成する振動板を有し、この振動板を変形させることで液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板は引張り応力性を有する絶縁性膜からなることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記絶縁性膜がシリコン窒化膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の表面に電極膜を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
液流路の壁面を形成する振動板を有し、この振動板を変形させることで液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板は絶縁性膜の積層膜からなり、全体として引張り応力性を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項４に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記積層膜を形成する膜にはシリコン窒化膜が含まれることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記積層膜を形成する膜にはシリコン酸化膜が含まれることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項４乃至６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記積層膜の表面又は内部に電極膜を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項３又は７に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極膜がビット毎に分離されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
液流路の壁面を形成する振動板を有し、この振動板を変形させることで液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板は引張り応力性を有する導電性膜からなることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項９に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記導電性膜がチタン窒化膜、高温金属膜又はポリシリコン膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１１】
液流路の壁面を形成する振動板を有し、この振動板を変形させることで液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板は導電性膜の積層膜からなり、全体として引張り応力性を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１２】
請求項１１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記積層膜を形成する膜にはチタン窒化膜、高温金属膜又はポリシリコン膜が含まれることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１３】
液流路の壁面を形成する振動板を有し、この振動板を変形させることで液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板は絶縁性膜と導電性膜との積層膜からなり、全体として引張り応力性を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１４】
請求項１３に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記積層膜を形成する膜にはシリコン窒化膜が含まれることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１５】
請求項１３又は１４に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記積層膜を形成する膜にはシリコン酸化膜が含まれることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１６】
請求項１３乃至１５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記積層膜を形成する膜にはチタン窒化膜、高温金属膜又はポリシリコン膜が含まれることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１７】
液流路の壁面を形成する振動板を有し、この振動板を変形させることで液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板は引張り応力性を有する膜と圧縮応力性を有する膜との積層膜であり、全体として引っ張り応力性を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１８】
請求項１７に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記引張り応力性の膜が絶縁性膜、絶縁性膜の積層膜、導電性膜、導電性膜の積層膜又は絶縁性膜と導電性膜との積層膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１９】
請求項１７又は１８に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧縮応力性の膜が絶縁性膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２０】
請求項１７に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板はシリコン窒化膜とシリコン酸化膜との積層膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２１】
請求項１７に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板はチタン窒化膜、高温金属膜、ポリシリコン膜又はこれらの２以上の組み合わせの膜とシリコン酸化膜との積層膜であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２２】
請求項１乃至２１のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、このヘッドの吐出密度が３００ｄｐｉ以上であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２３】
請求項１乃至２２のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の引張り応力が１Ｅ＋１１（ｄｙｎｅ／ｃｍ2）を越えないことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２４】
請求項１乃至２３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の流路側表面はシリコンに高濃度ボロンを拡散した層よりも高い接液性を有していることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２５】
請求項１乃至２４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の厚さが０．３μｍ〜１．５μｍ厚のシリコン振動板と同等の剛性を有する範囲内にあることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２６】
請求項１乃至２５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板に対向する電極を有し、前記振動板を静電力で変位させることで液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２７】
請求項１乃至２５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板を変形させる電気機械変換素子を有し、この電気機械変換素子の変位で前記振動板を変位させることで液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２８】
インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通するインク流路と、このインク流路内のインクを加圧する圧力発生手段とを有するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが前記請求項１乃至２７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドからなることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２９】
振動板と、この振動板を変形させる駆動手段とを備えたマイクロアクチュエータにおいて、前記振動板は全体で引張り応力性を有することを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項３０】
請求項２９に記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記振動板は絶縁性膜、絶縁性膜の積層膜、導電性膜、導電性膜の積層膜又は絶縁性膜と導電性膜との積層膜であることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項３１】
振動板と、この振動板を変形させる駆動手段とを備えたマイクロアクチュエータにおいて、前記振動板は引張り応力性の膜と圧縮応力性の膜との積層膜であり、全体で引張り応力性を有することを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項３２】
請求項２９乃至３１のいずれかに記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記振動板の引張り応力が１Ｅ＋１１（ｄｙｎｅ／ｃｍ2）を越えないことを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項３３】
請求項２９乃至３２のいずれかに記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記振動板の厚さが０．３μｍ〜１．５μｍ厚のシリコン振動板と同等の剛性を有する範囲内にあることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項３４】
請求項２９乃至３３のいずれかに記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記振動板に対向する電極を有し、前記振動板を静電力で変位させることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項３５】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置において、前記液滴吐出ヘッドが前記請求項１ないし２７のいずれかの液滴吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
【請求項３６】
液滴吐出ヘッドを備えて液滴を吐出する液滴を吐出する装置において、前記液滴吐出ヘッドが前記請求項１ないし２７のいずれかの液滴吐出ヘッドであることを特徴とする液滴を吐出する装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置及びマイクロアクチュエータ、画像形成装置、液滴を吐出する装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、高密度化が可能な液滴吐出ヘッド、高速高密度記録が可能なインクジェット記録装置、画像形成装置、液体吐出装置及び高密度化が可能なマイクロアクチュエータを提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通するインク流路と、このインク流路内のインクを加圧する圧力発生手段とを有するインクジェットヘッドが本発明に係る液滴吐出ヘッドである構成としたものである。
本発明に係る画像形成装置、液滴を吐出する装置は、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。図１は本発明に係る液滴を吐出する装置を含む本発明に係る画像形成装置としてのインクジェット記録装置の機構部の概略斜視説明図、図２は同機構部の側面説明図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０８】
なお、上記各実施形態においては本発明をインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、液体レジスト等を吐出する液滴吐出ヘッドにも適用することができる。また、ヘッドとして３００ｄｐｉ以上のものに適用したが、３００ｄｐｉ未満のヘッドにも適用することはでき、同様の作用効果も得られる。さらに、本発明に係るマイクロアクチュエータをインクジェットヘッドのアクチュエータ部に適用した例で説明したが、マイクロポンプなどのアクチュエータ部にも適用することができる。さらにまた、引張り応力性を有する絶縁性膜としてシリコン窒化膜、圧縮応力性を有する絶縁性膜としてシリコン酸化膜或いはボロンガラス、導電性膜としてチタン窒化膜、ポリシリコン膜、高温金属膜を挙げたが、これらに限るものではない。また、前述したようにプリンタ、ファクシミリ、プロッタ等の画像形成装置及び液滴を吐出する装置にも本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２３】
本発明に係るインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えた構成としたので、高速高密度記録行うことができるようになる。