【事件の表示】
　平成３年特許願第５４９９８号「基板処理装置および基板搬送方法」拒絶査定に対する審判事件［平成４年１０月１５日出願公開、特開平４−２９０４５４］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成３年３月１９日の出願であって、本願の請求項１、２に係る発明は、平成１１年１０月１日付けと、平成１４年６月１３日付けの手続補正書により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１、２に記載された次のとおりのものと認める（以下、請求項１の発明を「本願発明」という。）。
  「【請求項１】　基板を処理する処理室と、前記基板を一時保管するロードロック室と、第１及び第２の二つのフィンガを有する第１の搬送ロボットを配設した搬送室と、前記処理室と前記搬送室との間を気密に開閉する第１のアイソレーションバルブと、前記搬送室と前記ロードロック室との間を気密に開閉する第２のアイソレーションバルブと、前記ロードロック室とその外部との間を気密に開閉する第３のアイソレーションバルブと、前記ロードロック室の外部に配設されたウエーハキャリアと前記第３のアイソレーションバルブとの間に第３及び第４の二つのフィンガを有する第２の搬送ロボットが配設され、
　第１の基板を前記処理室で処理している間に、前記第１の基板の次に処理される第２の基板を前記第１の搬送ロボットの前記第１のフィンガに、前記第２の基板の次に処理される第３の基板を前記ロードロック室に、前記第３の基板の次に処理される第４の基板を前記第２の搬送ロボットの前記第３のフィンガに、それぞれ配置し、
　前記第１の基板の処理終了後に、前記第１のアイソレーションバルブを開状態にし、前記第１の搬送ロボットの前記第２のフィンガで処理済の前記第１の基板を前記処理室から搬出し、前記第１の搬送ロボットの前記第１のフィンガで前記第２の基板を前記処理室に搬入し、前記第１のアイソレーションバルブを閉状態にし、
　前記第２の基板が前記処理室に搬入されて処理されている間に、
　前記第２のアイソレーションバルブを開状態にし、前記第１の搬送ロボットの第１のフィンガで前記第３の基板を前記ロードロック室から搬出し、前記第１の搬送ロボットの前記第２のフィンガで前記処理済の第１の基板を搬入し、前記第２のアイソレーションバルブを閉状態にし、
　前記第３のアイソレーションバルブを開状態にし、前記第２の搬送ロボットの前記第４のフィンガで前記処理済の第１の基板を前記ロードロック室から搬出し、前記第２の搬送ロボットの前記第３のフィンガで前記第４の基板を前記ロードロック室に搬入し、前記第３のアイソレーションバルブを閉状態にするように制御されることを特徴とする基板処理装置。
　【請求項２】　基板を処理する処理室と、前記基板を一時保管するロードロック室と、第１及び第２の二つのフィンガを有する第１の搬送ロボットを配設した搬送室と、前記処理室と前記搬送室との間を気密に開閉する第１のアイソレーションバルブと、前記搬送室と前記ロードロック室との間を気密に開閉する第２のアイソレーションバルブと、前記ロードロック室とその外部との間を気密に開閉する第３のアイソレーションバルブと、前記ロードロック室の外部に配設されたウエーハキャリアと前記第３のアイソレーションバルブとの間に第３及び第４の二つのフィンガを有する第２の搬送ロボットを配設して構成された基板処理装置における基板搬送方法であって、
　第１の基板を前記処理室で処理している間に、前記第１の基板の次に処理される第２の基板を前記第１の搬送ロボットの前記第１のフィンガに、前記第２の基板の次に処理される第３の基板を前記ロードロック室に、前記第３の基板の次に処理される第４の基板を前記第２の搬送ロボットの前記第３のフィンガに、それぞれ配置するステップと、
　前記第１の基板の処理終了後に、前記第１のアイソレーションバルブを開状態にし、前記第１の搬送ロボットの前記第２のフィンガで処理済の前記第１の基板を前記処理室から搬出し、前記第１の搬送ロボットの前記第１のフィンガで前記第２の基板を前記処理室に搬入し、前記第１のアイソレーションバルブを閉状態にするステップと、
　前記第２の基板が前記処理室に搬入されて処理されている間に、
　前記第２のアイソレーションバルブを開状態にし、前記第１の搬送ロボットの第１のフィンガで前記第３の基板を前記ロードロック室から搬出し、前記第１の搬送ロボットの前記第２のフィンガで前記処理済の第１の基板を搬入し、前記第２のアイソレーションバルブを閉状態にするステップと、
　前記第３のアイソレーションバルブを開状態にし、前記第２の搬送ロボットの前記第４のフィンガで前記処理済の第１の基板を前記ロードロック室から搬出し、前記第２の搬送ロボットの前記第３のフィンガで前記第４の基板を前記ロードロック室に搬入し、前記第３のアイソレーションバルブを閉状態にするステップとを備えることを特徴とする基板搬送方法。」
　
２．引用刊行物及びその記載事項
　これに対して、当審における平成１４年４月１０日付けで通知した拒絶の理由に引用した、本願の出願前である平成１年４月２４日に日本国内において頒布された特開平１−１０５５５６号公報（以下、「刊行物１」という。）には、モジューラ・ウエーハ処理装置のためのスパッタ・モジュールに関して、次のような記載がある。
　Ａ）「第１図は本発明のモジューラ半導体ウエーハ移送及び処理システム１の一実施例の部分略示図である。モジューラ・ウエーハ処理システム１は、ウエーハ・ハンドラー及びロードロック・モジュール４００、ゲート弁モジュール１００ａ−１００ｆ、移送モジュール２００ａ及び２００ｂ、処理モジュール３００ａ−３００ｄ、並びに移送モジュール２００ａ及び２００ｂを連結するパススルー・モジュール５００を含む。ウエーハ・ハンドラー及びロードロック・モジュール４００は一般的にいっても面面が矩形で、ロードロック・チェンバ４０６の外側、モジュール４０６（「モジュール４００」の誤記と認める。）の内側は大気圧となっている、制御された低粒子圧の環境はシステムのこの部分内で与えられる。動作において、処理されるべき選択されたウエーハが、ウエーハ・ハンドラー及びロードロック・モジュール４００の半標準又は同等のウエーハカセット４０２−４０３の選択された一つからウエーハ・ハンドラー４０５により装填される。そのハンドラー４０５は選択されたウエーハをそのカセットからウエーハ・アライナー及びフラット・ファインダー４０８へ、そして、ウエーハ４０８からロードロック・チェンバ４０６へ移送するものである。」（第３頁右上欄１４行〜左下欄１６行）」
　Ｂ）「選択されたウエーハは、ウエーハの平坦な表面が水平となり、その次に大気に開放されるロードロック４０６の中に配置されるように回転させられる。次に、ウエーハの平坦表面は、移送アーム２０１ａによりウエーハをゲート弁モジュール１００ａを通って移送モジュール２００ａの中に移送する間、水平に維持される。そのアーム２０１ａは、ウエーハをロードロック・チェンバ４０６に置くため移送モジュール２００ａの入口／出口ポート２１０及びゲート弁モジュール１００ａを通って伸長する。移送モジュール２００ａには四つのポート２１０、２１１、２１２及び２１３がある。ポート２１０、２１１及び２１２はゲート弁モジュール１００ａ、１００ｂ及び１００ｃによってそれぞれ制御される。ポート２１１及びそれに対応したゲート弁モジュール１００ｂは、移送モジュール２００ａのチェンバ２１５を処理モジュール３００ａのチェンバ３０１ａに接続する。同様に、ポート２１２及び対応するゲート弁モジュール１００ａは、移送モジュール２００ａのチェンバ２１５を処理モジュール３００ｂのチェンバ２０１ｂに接続する。移送モジュール２００ａの内部チェンバ２１５は、在来のポンピング機構（第１図に図示せず）により大気圧以下の選択された圧力に維持される。チェンバ２１５が排気され得る速度（率）を増加させるため、チェンバ２１５の寸法は、チェンバ２１５の容積を最小化するため、アーム２０１ａに関して決定される。ウエーハをロードロック・チェンバ４０６から取り出した後、移送アーム２１０ａは移送チェンバ２１５から引きもどされ、ゲート弁１００ａは閉鎖される。次に、移送アーム２０１ａは、ウエーハを選択された処理ポート２１１あるいは２１２に、又は移送ポート２１３に与えるため選択された角度だけ回転する。選択されたウエーハが処理ポート、例えばポート２１１に与えられたとき、その対応したゲート弁モジュール、例えば１００ｂ（これは、選択されたウエーハをロードロック４０６から移送モジュール２００ａのチェンバ２１５の中に移す間、閉鎖されている。）は制御システム（図示せず）により開放される。次にアーム２０１ａは、処理ポート、例えば、ポート２１１及びその対応したゲート弁モジュール、例えば、モジュール１００ｂを通って対応した処理チェンバ、例えば対応した処理モジュール３００ａのチェンバ３０１ａの中に伸長する。次に、ウエーハは、第１図に示されてはいない手段により取り出される。」（第３頁右下欄１４行〜第４頁右上欄１８行）
　Ｃ）「ウエーハをウエーハカセットから移し、選択された処理モジュール内のウエーハを取り出すのに必要な時間は、典型的に処理モジュール内でウエーハを処理するのに必要な時間よりも短い。したがって、第１のウエーハが入力カセットから処理モジュール３００ａ及び３００ｂの選択された一つの中に移されたとき、処理チェンバ３００ａ内の最初の処理期間の間に第２のウエーハをロードロック・チェンバ４０６から処理モジュール３００ｂに移すことができる。次に移送アーム２０１ａは、ポート２１１へと反転し、ウエーハが処理モジュール３００ａ内で処理が完了するまで待機する。したがって、その時間の実施的な部分の間、処理モジュール３００ａ及び３００ｂａで同時に処理が行われる。」（第４頁左下欄１１行〜右下欄５行）
　Ｄ）「特に好適なウエーハ・ハンドラー及びロードロック・モジュール４００（第１図）の実施例において、３又はそれ以上ウエーハのカセットが、高速な処理やウエーハガス抜きを助長するため真空になった個々のロードロックの中に装填される。第４図に示されているように、カセット４０２、４０４及び４０６はロードロック４０８、４１０及び４１２の中にそれぞれ示されている。カセットはクリーンルームからドア４１４、４１６及び４１８を通ってロードされる。これらロードロック・チェンバは適切にポンピング手段（図示せず）により下から排気される。適切なレベルの真空が達成されたとき、弁４２０、４２２又は４２４（略示的に示されている）は、ウエーハがカセットからウエーハ・ロードロック・ハンドリング・チェンバ４２６の中へと移動できるように開放されてもよい。チェンバ４２６内で、ハンドリング・アーム駆動機構４２８がトラック４３０上に取り付けられている。そのハンドリング・アーム駆動機構４２８は、ロードロック・チェンバ４０８、４１０、４１２の各々と整合すようにトラック４３０にそって移動させてもよい。２片アーム４３２がハンドリングアーム駆動機構４２８の上に取り付けられ、それにより駆動される。アーム４３２は、ウエーハをカセットから取り出し又はウエーハをカセットに戻すために弁４２０、４２２、４２４のいずれか一つを通って到達するように使用される。カセットが静止するテーブルの下のエレベータ（図示せず）がカセットを上下動させ、アームが各カセット内のいろいろなウエーハに到達できるように使用されている。アーム４３２は、ウエーハがシステムの他のウエーハ・ハンドリング装置によって取り出されるところの静止テーブル４３４へウエーハを移動させるために使用され得る。アーム４３２により取り出れた熱いウエーハは、そのウエーハがカセットに戻される前に冷却され得るように貯蔵カセット４３６又は４３８へ移動させ得る。」（第７頁右上欄８行〜右下欄５行）
　
　上記Ａ）、Ｂ）の記載から、上記刊行物１の第１図の処理モジュール３００ａはウエーハを処理するものであって、移送モジュール２００ａとゲート弁モジュール１００ｂを介して連結されており、移送モジュール２００ａはロードロック・チェンバ４０６とゲート弁モジュール１００ａを介して連結されているものと認める。また、移送モジュール２００ａにはウエーハを移送する移送アーム２０１ａが配設され、該移送アーム２０１ａは、ゲート弁モジュール１００ａが開放されてゲート弁モジュール１００ｂが閉鎖されたとき、ロードロック・チェンバ４０６との間でウエーハを移送し、ゲート弁モジュール１００ｂが開放されてゲート弁モジュール１００ａが閉鎖されたとき、処理モジュール３００ａとの間でウエーハを移送するものと認める。そして、上記Ｃ）の記載から、該移送アーム２０１ａは、処理モジュール３００ａにウエーハを移送した後に、他の動作を行い、その後処理モジュール３００ａの処理が完了するまで待機するものと認める。
　また、上記Ａ）の記載から、ロードロック・チェンバ４０６内は制御された低粒子圧の環境とされ、処理されるべき選択されたウエーハが、ロードロック・モジュール４００のウエーハカセット４０２−４０３の選択された一つから、ウエーハ・ハンドラー４０５によってロードロック・チェンバ４０６へ装填され、ゲート弁モジュール１００ａが開放されてウエーハが移送モジュール２００ａに移送されるまで、一時的に保管されるものと認める。そして、上記Ｂ）の記載から、その装填時にはロードロック・チェンバ４０６が大気に開放されるものと認める。
　また、第１図のロードロック・チェンバ４０６は、第４図のロードロック・チェンバ４０８、４１０、４１２と同様の機構を有するものと認められるから、上記Ｄ）の記載から、第１図のロードロック・チェンバ４０６も、第４図のロードロック・チェンバ４０８、４１０、４１２と同様のドアを有し、ウエーハはウエーハ・ハンドラー４０５によって、該ドアを通って装填され、その後適切なポンピング手段により排気が行われるものと認める。
　したがって、上記刊行物１には、
　「ウエーハを処理する処理モジュール３００ａと、前記ウエーハを一時保管するロードロック・チェンバ４０６と、移送アーム２０１ａを配設した移送モジュール２００ａと、前記処理モジュール３００ａと前記移送モジュール２００ａとの間を気密に開閉するゲート弁モジュール１００ｂと、前記移送モジュール２００ａと前記ロードロック・チェンバ４０６との間を気密に開閉するゲート弁モジュール１００ａと、前記ロードロック・チェンバ４０６とその外部との間を気密に開閉するドアと、前記ロードロック・チェンバ４０６の外部に配設されたウエーハカセット４０２−４０３と前記ドアとの間にウエーハ・ハンドラー４０５が配設されたウエーハ処理装置」
　の発明が記載されているものと認める。
　
　同じく、当審における平成１４年４月１０日付けで通知した拒絶の理由に引用した、本願の出願前である平成２年３月２３日に日本国内において頒布された特開平２−８２５５０号公報（以下、「刊行物２」という。）には、ウエハハンドラーに関して、次のような記載がある。
　Ｅ）「アーム連結部材４０上に、このアーム連結部材４０の長手方向と直交する方向に沿って、ウエハ支持部材の一例であるピンセット５０が固着されている。なお、このピンセット５０は、その両端側でウエハ６０を例えば真空吸着によって支持可能な真空吸着部５２，５２を有している。」（第３頁左上欄３〜９行）
　Ｆ）「次に、このウエハハンドラーを用いて、ウエハ６０を搬送する動作について、第６図を参照して説明する。
　同図において、このウエハハンドラーのピンセット５０の移動経路の一端には、ウエハ６０を上下方向の所定ピッチで例えば２５枚収容したカセット１００が設けられ、その他端側には、ウエハエッチング，アッシングなどのウエハ処理を実行する処理装置１１０が設けられている。そして、カセット１００より取り出したウエハ６０を前記処理装置１１０の供給し、処理が終了したウエハ６０をカセット１００に戻し搬送し、新たなウエハ６０をカセット１００より処理装置１１０に移送するようにして連続処理を実行するようになっている。
　このような場合、まず、第６図（Ａ）に示すようにピンセット５０の一端をカセット１００内に挿入移動し、一枚のウエハ６０−１をピンセット５０上に真空吸着する。
　次に、カセット１００よりピンセット５０を離脱移動し（第６図（Ｂ）参照）、この状態で、処理装置１１０内に既に搬入されているウエハ６０−０の処理終了を待機する。
　処理装置１１０での処理が終了したら、第６図（Ｂ）の状態よりピンセット５０を右側に移動し、他方の真空吸着部５２にて処理済みウエハ６０−０を支持する（第６図（Ｃ）参照）。そして、ピンセット５０を左側に移動し、処理装置１１０より離脱した位置に停止する（第６図（Ｄ）参照）。
　その後、基台７０を１８０゜回転させ、ウエハ６０−１を支持した側のピンセット５０が、前記処理装置１１０と対向するように、一方、処理済みのウエハ６０−０を支持した側がカセット１００に対向するようにそれぞれ設定する（第６図（Ｅ）参照）。
　そして、上記の状態よりピンセット５０を左側に移動し、新なウエハ６０−１を処理装置１１０に受け渡す（第６図（Ｆ）参照）。
　これ以降、処理装置１１０での処理が開始されるので、この処理時間を利用して処理済みウエハ６０−０をカセット１００に戻し搬送し、以降は第６図（Ａ）に戻ってその動作を繰り返すことになる。」（第４頁左下欄１５行〜第５頁左上欄１７行）
　Ｇ）「このように、上記のようなダブルピンセット構造であって、かつ、基台７０を回転自在としておけば、新たなウエハをピンセット５０に支持しながら、処理済みのウエハを支持することができ、この状態で基台７０を回転すれば、この新たなウエハを即座に処理装置１１０に受け渡すことができる。従って、吸着部が一つしかない場合には、処理済みウエハ６０−０を受けとった後には、これをカセット１００に戻した後に新たなウエハ６０−１をカセット１００より受けとり、これを処理装置１１０に移動する動作が必要であったが、上記実施例では処理済みウエハ６０−０を処理装置１１０より受けとった後、ピンセット５０を回転させて既に保持している新たなウエハ６０−１を即座に処理装置１１０に受け渡すことができるので、ウエハの受け渡しのスループットを大幅に向上することができる。なお、半導体ウエハを被搬送物とする場合には、この種のウエハハンドラーがクリーンルーム内に配置され、稼動部の稼動によって生ずるゴミの拡散を嫌うので、本実施例ではアーム及びその連結部分を中空構造とし、この内部を真空引きすることで、稼動部でのゴミを外部に拡散することを確実に防止することができる。」（第５頁左上欄１８行〜左下欄１行）
　
　上記Ｅ）〜Ｇ）の記載から、上記刊行物２には、
　「ウエハを吸着する二つの真空吸着部を有するウエハハンドラーを用いてウエハを搬送し、第１のウエハを処理装置１１０で処理している間に、前記第１のウエハの次に処理される第２のウエハをピンセット５０の一端側の真空吸着部に配置し、前記第１のウエハの処理終了後に、ピンセット５０の他端側の真空吸着部で処理済の前記第１のウエハを前記処理装置１１０から搬出し、ピンセット５０の一端側の真空吸着部で前記第２のウエハを前記処理室に搬入し、前記第２のウエハが前記処理室に搬入されて処理されている間に、前記ピンセット５０の他端側の真空吸着部で前記処理済の第１のウエハをカセット１００に搬入し、前記ピンセット５０の一端側の真空吸着部で第３のウエハをカセット１００から搬出するように制御されるウエハ処理装置。」
　の発明が記載されている。
　
３．本願発明と上記刊行物１に記載された発明との対比
　本願発明と上記刊行物１に記載された発明とを対比すれば、上記刊行物１に記載された発明の「ウエーハ」、「処理モジュール３００ａ」、「ロードロック・チェンバ４０６」、「移送アーム２０１ａ」、「移送モジュール２００ａ」、「ゲート弁モジュール１００ｂ」、「ゲート弁モジュール１００ａ」、「ウエーハ・ハンドラー４０５」は、それぞれ本願発明の「基板」、「処理室」、「ロードロック室」、「第１の搬送ロボット」、「搬送室」、「第１のアイソレーションバルブ」、「第２のアイソレーションバルブ」、「第２の搬送ロボット」に相当しており、さらに、上記刊行物１に記載された発明の「ドア」は、それを閉じることによりロードロック・チェンバ４０６内の排気を可能にする弁体として機能するから、本願発明の「第３のアイソレーションバルブ」に相当し、同じく「ウエーハカセット４０２−４０３」は、ウエーハを収納する収納容器であるから、本願発明の「ウエーハキャリア」に相当している。
　したがって、本願発明は上記刊行物１に記載された発明と、
　「基板を処理する処理室と、前記基板を一時保管するロードロック室と、第１の搬送ロボットを配設した搬送室と、前記処理室と前記搬送室との間を気密に開閉する第１のアイソレーションバルブと、前記搬送室と前記ロードロック室との間を気密に開閉する第２のアイソレーションバルブと、前記ロードロック室とその外部との間を気密に開閉する第３のアイソレーションバルブと、前記ロードロック室の外部に配設されたウエーハキャリアと前記第３のアイソレーションバルブとの間に第２の搬送ロボットが配設された基板処理装置。」
　で一致し、以下の＜相違点＞で相違している。
＜相違点＞
　本願発明の第１，第２の搬送ロボットは、それぞれ二つのフィンガを有し、第１の基板を処理室で処理している間に、第１の基板の次に処理される第２の基板を第１の搬送ロボットの第１のフィンガに、第２の基板の次に処理される第３の基板をロードロック室に、第３の基板の次に処理される第４の基板を第２の搬送ロボットの第３のフィンガに、それぞれ配置し、第１の基板の処理終了後に、第１のアイソレーションバルブを開状態にし、第１の搬送ロボットの第２のフィンガで処理済の第１の基板を処理室から搬出し、第１の搬送ロボットの第１のフィンガで第２の基板を処理室に搬入し、第１のアイソレーションバルブを閉状態にし、第２の基板が処理室に搬入されて処理されている間に、第２のアイソレーションバルブを開状態にし、第１の搬送ロボットの第１のフィンガで第３の基板をロードロック室から搬出し、第１の搬送ロボットの第２のフィンガで処理済の第１の基板を搬入し、第２のアイソレーションバルブを閉状態にし、第３のアイソレーションバルブを開状態にし、第２の搬送ロボットの第４のフィンガで処理済の第１の基板をロードロック室から搬出し、第２の搬送ロボットの第３のフィンガで第４の基板をロードロック室に搬入し、第３のアイソレーションバルブを閉状態にするように制御されるのに対し、上記刊行物１に記載された発明の移送アーム２０１ａとウエーハ・ハンドラー４０５は、それぞれ一つのフィンガしか有しておらず、ゲート弁やドアの開放が、ウエーハを処理モジュール、移送モジュール、ロードロック・チェンバ、ウエーハカセット間で移送する時だけ行われるものの、移送時に本願発明のような制御を行うものでない点。
　
４．相違点の検討
　刊行物２には、ウエハを吸着する二つの真空吸着部を有するウエハハンドラーを用いてウエハを搬送する技術が記載されており、この技術を刊行物１の移送アーム２０１ａとウエーハ・ハンドラー４０５に適用して、これらをそれぞれ二つのフィンガを有するものとすることに格別な困難性は認められない。そして、刊行物２では、第１のウエハを処理装置１１０で処理している間に、第１のウエハの次に処理される第２のウエハをピンセット５０の一端側の真空吸着部に配置し、第１のウエハの処理終了後に、ピンセット５０の他端側の真空吸着部で処理済の第１のウエハを処理装置１１０から搬出し、ピンセット５０の一端側の真空吸着部で第２のウエハを処理装置１１０に搬入し、第２のウエハが処理装置１１０に搬入されて処理されている間に、ピンセット５０の他端側の真空吸着部で処理済の第１のウエハをカセット１００に搬入し、ピンセット５０の一端側の真空吸着部で第３のウエハをカセット１００から搬出する制御を行っているから、刊行物２の技術を刊行物１の移送アーム２０１ａに適用して、第１，第２のフィンガを持たせるにあたり、第１のウエーハを処理モジュール３００ａで処理している間に、第１のウエーハの次に処理される第２のウエーハを移送アーム２０１ａの第１のフィンガに配置し、第１のウエーハの処理終了後に、移送アーム２０１ａの第２のフィンガで処理済の第１のウエーハを処理モジュール３００ａから搬出し、移送アーム２０１ａの第１のフィンガで第２のウエーハを処理モジュール３００ａに搬入し、第２のウエーハが処理モジュール３００ａに搬入されて処理されている間に、移送アーム２０１ａの第１のフィンガで第３のウエーハをロードロック・チェンバ４０６から搬出し、移送アーム２０１ａの第２のフィンガで処理済の第１のウエーハをロードロック・チェンバ４０６に搬入するようにすること、及び、刊行物２の技術を刊行物１のウエーハ・ハンドラー４０５に適用して、第３，第４のフィンガを持たせるにあたり、第３のウエーハがロードロック・チェンバ４０６に配置されている間に、第３のウエーハの次に処理される第４のウエーハをウエーハ・ハンドラー４０５の第３のフィンガに配置し、第３のウエーハの第１のウエーハとの交換処理終了後に、ウエーハ・ハンドラー４０５の第４のフィンガで交換処理済の第１のウエーハをロードロック・チェンバ４０６から搬出し、ウエーハ・ハンドラー４０５の第３のフィンガで第４のウエーハをロードロック・チェンバ４０６に搬入するようにすることは、当業者が容易に行うことができたものと認める（なお、刊行物２の技術を刊行物１の移送アーム２０１ａにそのまま適用すれば、移送アーム２０１ａの第２のフィンガで処理済の第１のウエーハをロードロック・チェンバ４０６に搬入してから、第３のウエーハをロードロック・チェンバ４０６から搬出することになるが、ウエーハを真空室間で移動させるとき、ゲート弁の開閉回数をなるべく少なくすることは技術常識（必要ならば、特開昭６０−１８６０３３号公報の第３頁左上欄を参照されたい。）であるから、第１のウエーハが処理モジュール３００ａで処理されている間に、次の次に処理される第３のウエーハをロードロック・チェンバ４０６に一時保管しておき、ゲート弁モジュールの一回の開閉でウエーハの交換をすることは作業能率上最も自然な形態ということができる。そして、ロードロック・チェンバ４０６に他のウエーハを保管する場所がないとき、前記Ｇ）に摘記したように、刊行物２のものは、処理済みウエハを処理装置より受けとった後、保持している新たなウエハを処理装置に受け渡すことによって、ウエハの受け渡しのスループットを向上させることをその効果としているのであるから、刊行物２のこの処理手順を、刊行物１のロードロック・チェンバ４０６と移送アーム２０１ａとの搬出入操作にも適用して、第３のウエーハを第１のフィンガでロードロック・チェンバ４０６から受けとった後、第２のフィンガで処理済の第１のウエーハをロードロック・チェンバ４０６に搬入することは、当業者が容易に行うことができたものである。）。またこの場合、ゲート弁やドアの開放を、ウエーハを処理モジュール、移送モジュール、ロードロック・チェンバ、ウエーハカセット間で移送する時だけ行うことは当然である。したがって、刊行物１に記載された発明において、移送アーム２０１ａとウエーハ・ハンドラー４０５を、それぞれ二つのフィンガ（第１，第２のフィンガ、第３，第４のフィンガ）を有するものとして、第１のウエーハを処理モジュール３００ａで処理している間に、第１のウエーハの次に処理される第２のウエーハを移送アーム２０１ａの第１のフィンガに、第２のウエーハの次に処理される第３のウエーハをロードロック・チェンバ４０６に、第３のウエーハの次に処理される第４のウエーハをウエーハ・ハンドラー４０５の第３のフィンガに、それぞれ配置し、第１のウエーハの処理終了後に、ゲート弁モジュール１００ｂを開状態にし、移送アーム２０１ａの第２のフィンガで処理済の第１のウエーハを処理モジュール３００ａから搬出し、移送アーム２０１ａの第１のフィンガで第２のウエーハを処理モジュール３００ａに搬入し、ゲート弁モジュール１００ｂを閉状態にし、第２のウエーハが処理モジュール３００ａに搬入されて処理されている間に、ゲート弁モジュール１００ａを開状態にし、移送アーム２０１ａの第１のフィンガで第３のウエーハをロードロック・チェンバ４０６から搬出し、移送アーム２０１ａの第２のフィンガで処理済の第１のウエーハを搬入し、ゲート弁モジュール１００ａを閉状態にし、ドアを開状態にし、ウエーハ・ハンドラー４０５の第４のフィンガで処理済の第１のウエーハをロードロック・チェンバ４０６から搬出し、ウエーハ・ハンドラー４０５の第３のフィンガで第４のウエーハをロードロック・チェンバ４０６に搬入し、ドアを閉状態にするように制御することは、上記刊行物２に記載された発明に基づいて当業者が容易に行うことができたものと認める。
　そして、本願発明による作用効果は、上記刊行物１に記載された発明に上記刊行物２に記載された発明を適用することにより得られる作用効果を越えるものでもない。
　したがって、本願発明は、上記刊行物１に記載された発明に、上記刊行物２に記載された発明を適用することにより当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
５．請求項２の発明に関して
　請求項２の発明は、請求項１の発明を、単に基板搬送方法に変更しただけのものであるから、請求項１に対するのと同じ理由で、上記刊行物１に記載された発明に、上記刊行物２に記載された発明を適用することにより当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．むすび
 　以上詳述したとおりであるから、本願の請求項１，２に係る発明は、上記刊行物１に記載された発明と、上記刊行物２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。