【手続補正書】
【提出日】平成18年5月15日(2006.5.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  試料の内部を観察するための赤外共焦点走査型顕微鏡であり、
赤外光のビームを発する光源部と、
光源部からの赤外光のビームを収束させて試料の内部に光スポットを形成する対物レンズと、
光スポットを光軸に直交する平面内で二次元的に走査する走査機構と、
光スポットに対して共焦点の位置関係にある実質的微小開口と、
実質的微小開口を通る試料からの反射光を検出する光検出器とを有している、赤外共焦点走査型顕微鏡。
【請求項２】  請求項１において、走査機構は、赤外光のビームを二次元的に走査するビーム走査機構であり、実質的微小開口は、ピンホールである、赤外共焦点走査型顕微鏡。
【請求項３】  試料の内部を観察するための赤外共焦点走査型顕微鏡であり、
赤外光のビームを発する光源部と、
光源部からの赤外光のビームを収束させて試料の内部に光スポットを形成する対物レンズと、
光スポットを光軸に直交する平面内で二次元的に走査する走査機構と、
光スポットに対して共焦点の位置関係にある微小な受光領域を有し、微小な受光領域が実質的微小開口を構成する光検出器とを有している、赤外共焦点走査型顕微鏡。
【請求項４】  試料の内部を観察するための赤外共焦点走査型顕微鏡であり、
赤外光のビームを発する光源部と、
光源部からの赤外光のビームを収束させて試料の内部に光スポットを形成する対物レンズと、
光スポットを光軸に直交する平面内で二次元的に走査する走査機構と、
光スポットに対して共焦点の位置関係にあり、赤外光の光路を横切る所定のパターンで複数の光透過部と光遮光部が形成されたディスクと、
二次元的な広がりを持つ領域において光を検出し得る撮像素子とを有している、赤外共焦点走査型顕微鏡。
【請求項５】  請求項１または請求項３または請求項４において、対物レンズと試料を相対的に光軸に沿って移動させるＺ移動機構と、対物レンズと試料の光軸に沿った相対的な移動を検出する移動検出手段と、検出される移動に基づいて、試料内の複数の部位の光軸に沿った相対的な位置を計測する第一の位置計測手段とを更に有している、赤外共焦点走査型顕微鏡。
【請求項６】  請求項５において、光検出器で得られる情報と光スポットの位置情報に基づいて光スポットが位置する平面の画像を形成する画像化手段と、得られた画像に基づいて、光軸に直交する同一平面内に位置する試料内の複数の部位の相対的な位置を計測する第二の位置計測手段とを有している、赤外共焦点走査型顕微鏡。
【請求項７】  請求項６において、画像化手段で形成される光軸に沿った複数の位置における複数の画像を合成して、光軸に沿った複数の位置の全てにおいて焦点が合っている一枚の合成画像を形成する合成画像形成手段を更に有している、赤外共焦点走査型顕微鏡。
【請求項８】  請求項７において、得られた合成画像に基づいて、光軸に沿った異なる位置において光軸に直交する異なる平面内に位置する試料内の複数の部位の相対的な位置を計測する第二の位置計測手段を更に有している、赤外共焦点走査型顕微鏡。
【請求項９】  請求項１において、対物レンズは、試料に起因して生じる収差が補正されている、赤外共焦点走査型顕微鏡。
【請求項１０】  請求項１において、対物レンズは、試料に起因して生じる収差を補正する機能を有している、赤外共焦点走査型顕微鏡。
【請求項１１】  請求項１または請求項３または請求項４において、試料に応じて試料に照射される光の波長を選択する波長選択手段を更に有している、赤外共焦点走査型顕微鏡。
【請求項１２】  請求項１１において、光源部は複数の光源を含み、複数の光源はそれぞれ異なる波長の光を発し、波長選択手段は、複数の光源を選択的に駆動させることにより、試料に照射される光の波長を選択する、赤外共焦点走査型顕微鏡。
【請求項１３】  請求項１１において、光源部は複数の波長の光を発し、波長選択手段は、それぞれ異なる波長帯域の光を透過する複数のフィルターを含み、複数のフィルターのひとつを選択的に光路中に配置することにより、試料に照射される光の波長を選択する、赤外共焦点走査型顕微鏡。
【請求項１４】  請求項６において、試料に応じて試料に照射される光の波長を選択する波長選択手段と、選択される波長に応じて引き起こされる画像の明るさの変動を修正する手段とを更に有している、赤外共焦点走査型顕微鏡。
【請求項１５】  請求項４において、ディスクは複数の光透過部と光遮光部の配列パターンの異なる複数の領域を有し、試料に応じて試料に照射される光の波長を選択する波長選択手段と、選択される波長に対応して赤外光が照射されるディスクの領域を変更する手段とを更に有している、赤外共焦点走査型顕微鏡。
【請求項１６】  請求項１１において、光源部は複数の光源を含み、複数の光源はそれぞれ異なる波長の光を発し、波長選択手段は、各々の光源の前に設けられている光を遮断するシャッタを制御することにより、試料に照射される光の波長を選択する、赤外共焦点走査型顕微鏡。
【請求項１７】  試料内の複数の部位の相対的な位置を計測する計測方法であり、
赤外光のビームを収束させて試料の内部に光スポットを形成し、
光スポットを平面内で二次元的に走査し、
光スポットに対して共焦点の位置において試料からの反射光を検出し、
検出される反射光と光スポットの位置とに基づいて光スポットが位置する平面の画像を形成し、
光スポットの高さ位置を変えて同様の操作を繰り返し行なうことにより複数の画像を取得し、
取得した複数の画像を合成して全ての高さ位置において焦点が合っている一枚の合成画像を形成し、
得られた合成画像に基づいて試料内の複数の部位の相対的な位置を計測する、計測方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
１． 本発明の赤外共焦点走査型顕微鏡は、赤外光のビームを発する光源部と、光源部からの赤外光のビームを収束させて試料の内部に光スポットを形成する対物レンズと、光スポットを光軸に直交する平面内で二次元的に走査する走査機構と、光スポットに対して共焦点の位置関係にある実質的微小開口と、実質的微小開口を通る試料からの反射光を検出する光検出器とを有している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
３． 本発明の別の赤外共焦点走査型顕微鏡は、赤外光のビームを発する光源部と、光源部からの赤外光のビームを収束させて試料の内部に光スポットを形成する対物レンズと、光スポットを光軸に直交する平面内で二次元的に走査する走査機構と、光スポットに対して共焦点の位置関係にある微小な受光領域を有し、微小な受光領域が実質的微小開口を構成する光検出器とを有している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
７． 本発明の別の赤外共焦点走査型顕微鏡は、第６項の赤外共焦点走査型顕微鏡において、画像化手段で形成される光軸に沿った複数の位置における複数の画像を合成して、光軸に沿った複数の位置の全てにおいて焦点が合っている一枚の合成画像を形成する合成画像形成手段を更に有している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
８． 本発明の別の赤外共焦点走査型顕微鏡は、第７項の赤外共焦点走査型顕微鏡において、得られた合成画像に基づいて、光軸に沿った異なる位置において光軸に直交する異なる平面内に位置する試料内の複数の部位の相対的な位置を計測する第二の位置計測手段を更に有している。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
１７． 赤外光のビームを収束させて試料の内部に光スポットを形成し、光スポットを平面内で二次元的に走査し、光スポットに対して共焦点の位置において試料からの反射光を検出し、検出される反射光と光スポットの位置とに基づいて光スポットが位置する平面の画像を形成し、光スポットの高さ位置を変えて同様の操作を繰り返し行なうことにより複数の画像を取得し、取得した複数の画像を合成して全ての高さ位置において焦点が合っている一枚の合成画像を形成し、得られた合成画像に基づいて試料内の複数の部位の相対的な位置を計測する。