【手続補正書】
【提出日】平成17年11月28日(2005.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  被検物を介した光を用いて干渉縞を形成する干渉装置であって、前記干渉縞から得られる位相差分布を、前記干渉装置のＭＴＦに基づいて補正する補正手段を有することを特徴とする干渉装置。
【請求項２】 前記位相差分布に基づいて、前記被検物の形状を導く光学手段を有することを特徴とする請求項１の干渉装置。
【請求項３】 前記干渉縞を形成する２つの光束の光路長差を変化させる光路長差変化素子を有することを特徴とする請求項１又は２の干渉装置。
【請求項４】 被検物を介した光束を用いて干渉縞を得る光学手段と、該干渉縞を撮像する為の撮像素子と、前記撮像素子で撮像される前記干渉縞から前記複数の光束の位相差分布を計算する処理系とを有する干渉装置において、
該位相差分布を該干渉装置におけるＭＴＦに基づいて補正する補正手段を有することを特徴とする干渉装置。
【請求項５】 前記被検物が被検レンズであるときはその瞳と、前記撮像素子は共役関係となっていることを特徴とする請求項４の干渉装置。
【請求項６】 前記干渉装置におけるＭＴＦは、前記被検面から又は前記被検物が被検レンズのときは、該被検レンズの瞳から前記撮像素子に至り、該撮像素子で撮影される干渉縞情報を処理系でデジタル信号へと変換する一連の測定過程におけるものであることを特徴とする請求項４又は５の干渉装置。
【請求項７】 前記干渉縞を形成する複数の光束の互いの光路長差を変化させる光路長差変化素子を有することを特徴とする請求項４，５又は６の干渉装置。
【請求項８】 前記ＭＴＦを、前記干渉縞を形成する光束をティルト或いはパワー成分の波面変化を与えた際の干渉縞コントラストの干渉縞空間周波数に対する劣化率から算出する演算手段を有していることを特徴とする請求項４乃至７のいずれか１項の干渉装置。
【請求項９】 前記補正手段は、前記干渉装置で測定によって得た測定値をフーリエ変換して得られる空間周波数面上で行うことを特徴とする請求項４乃至８のいずれか１項の干渉装置。
【請求項１０】 前記ＭＴＦに基づく補正は、前記干渉装置で測定によって得た測定値をフーリエ変換して得られる空間周波数面上の測定結果空間周波数分布を、分布上各点の空間周波数分布におけるＭＴＦで除算する事によって行うことを特徴とする請求項４乃至８のいずれか１項の干渉装置。
【請求項１１】 前記ティルトしたときの干渉縞によるＭＴＦの測定は、前記撮像素子に対し、水平方向、垂直方向の干渉縞を含む少なくとも２方向について行うことを特徴とする請求項８の干渉装置。
【請求項１２】 複数の空間周波数に対して測定したＭＴＦを水平方向、垂直方向の２方向に対してそれぞれ関数フィッティングを行い、得られた水平方向、垂直方向の２つの関数式を乗算する事により、任意の２次元空間周波数において前記ＭＴＦを、算出することを特徴とする請求項４乃至１１のいずれか１項の干渉装置。
【請求項１３】 複数の空間周波数に対して測定したＭＴＦを水平方向、垂直方向の２方向に対してそれぞれ関数フィッティングを行い、得られた水平方向、垂直方向の２つの関数式を乗算する事により、任意の２次元空間周波数において前記ＭＴＦを、算出するとき、該関数式にＭｏｆｆａｔ関数を用いることを特徴とする請求項４乃至１１のいずれか１項の干渉装置。
【請求項１４】 前記位相差分布のＭＴＦによる補正は、前記干渉縞を、多項式フィッティングして得られる多項式成分と多項式残渣成分に分離し、前記多項式残渣成分をフーリエ変換して得られる空間周波数面上の測定結果空間周波数分布を、分布上各点の空間周波数分布におけるＭＴＦで除算する事によって行うことを特徴とする請求項４乃至１３のいずれか１項の干渉装置。
【請求項１５】 前記干渉縞を、多項式フィッティングして得られる多項式成分と多項式残渣成分に分離し、前記多項式残渣成分をフーリエ変換して得られる空間周波数面上の測定結果空間周波数分布を、分布上各点の空間周波数分布におけるＭＴＦで除算する事によって行うとき、多項式としてＺＥＲＮＩＫＥ多項式を用いることを特徴とする請求項４乃至１３のいずれか１項の干渉装置。
【請求項１６】 光源手段から射出された光束より、被検物を介した被検光束と参照面を介した参照光束とを形成し、双方を合波し干渉波面を形成する光学手段と、該被検光束と該参照光束の光路長差を変化させる光路長差変化素子と、該干渉波面に基づく干渉縞を撮像する撮像素子と、該撮像素子で撮影される干渉縞から該干渉波面の位相差分布を計算する処理系とを有する干渉装置において、
該位相差分布を、該光源手段からの光束が該被検物を介し、該撮像素子に入射し、該撮像素子で干渉縞を得て、該干渉縞を該処理系で信号処理する一連の測定過程におけるＭＴＦによって、補正する補正手段を有することを特徴とする干渉装置。
【請求項１７】 光源手段から射出された光束より、被検物を介した被検光束と参照面を介した参照光束とを形成し、双方を合波し干渉波面を形成する光学手段と、該被検光束と該参照光束の光路長差を変化させる光路長差変化素子と、該干渉波面に基づく干渉縞を撮像する撮像素子と、該撮像素子で撮影される干渉縞から該干渉波面の位相差分布を計算する処理系とを有する干渉装置において、
該光源手段からの光束が該被検物を介し、該撮像素子に入射し、該撮像素子で干渉縞を得て、該干渉縞を該処理系で信号処理する一連の測定過程におけるＭＴＦを、該被検光束又は／及び該参照光束にティルト成分又はパワー成分の波面変化を与えたときの干渉縞コントラストの空間周波数における劣化率から算出する演算手段を有していることを特徴とする干渉装置。
【請求項１８】 前記補正手段による前記位相差分布のＭＴＦによる補正は、前記干渉装置で得られた被検物の測定値をフーリエ変換して得られる空間周波数面上で行うことを特徴とする請求項１６の干渉装置。
【請求項１９】 前記補正手段による前記位相差分布のＭＴＦによる補正は、前記干渉装置で得られた被検物の測定値をフーリエ変換して得られる空間周波数分布を該干渉装置の空間周波数分布におけるＭＴＦで除算することによって行っていることを特徴とする請求項１６の干渉装置。
【請求項２０】 前記被検光束又は／及び前記参照光束にティルト成分の波面変化を与えたときの干渉縞コントラストの空間周波数における劣化率は、前記撮像素子面上における水平方向と垂直方向について行うことを特徴とする請求項１７の干渉装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明の干渉装置の特徴は次のとおりである。
◎被検物を介した光を用いて干渉縞を形成する干渉装置であって、前記干渉縞から得られる位相差分布を、前記干渉装置のＭＴＦに基づいて補正する補正手段を有することを特徴としている。
◎被検物を介した光束を用いて干渉縞を得る光学手段と、該干渉縞を撮像する為の撮像素子と、前記撮像素子で撮像される前記干渉縞から前記複数の光束の位相差分布を計算する処理系とを有する干渉装置において、
該位相差分布を該干渉装置におけるＭＴＦに基づいて補正する補正手段を有することを特徴としている。
◎光源手段から射出された光束より、被検物を介した被検光束と参照面を介した参照光束とを形成し、双方を合波し干渉波面を形成する光学手段と、該被検光束と該参照光束の光路長差を変化させる光路長差変化素子と、該干渉波面に基づく干渉縞を撮像する撮像素子と、該撮像素子で撮影される干渉縞から該干渉波面の位相差分布を計算する処理系とを有する干渉装置において、
該位相差分布を、該光源手段からの光束が該被検物を介し、該撮像素子に入射し、該撮像素子で干渉縞を得て、該干渉縞を該処理系で信号処理する一連の測定過程におけるＭＴＦによって、補正する補正手段を有することを特徴としている。
◎光源手段から射出された光束より、被検物を介した被検光束と参照面を介した参照光束とを形成し、双方を合波し干渉波面を形成する光学手段と、該被検光束と該参照光束の光路長差を変化させる光路長差変化素子と、該干渉波面に基づく干渉縞を撮像する撮像素子と、該撮像素子で撮影される干渉縞から該干渉波面の位相差分布を計算する処理系とを有する干渉装置において、
該光源手段からの光束が該被検物を介し、該撮像素子に入射し、該撮像素子で干渉縞を得て、該干渉縞を該処理系で信号処理する一連の測定過程におけるＭＴＦを、該被検光束又は／及び該参照光束にティルト成分又はパワー成分の波面変化を与えたときの干渉縞コントラストの空間周波数における劣化率から算出する演算手段を有していることを特徴としている。