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【手続補正書】
【提出日】平成18年6月14日(2006.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を発生する光源と、
前記光を被検体内に伝送および受光するプローブ部と、
前記プローブ部に伝送された前記光を被検体に対して走査させて照射するスキャニング手段と、
前記被検体から反射した前記光の反射光または前記被検体において散乱した前記光の散乱光を検出する光検出手段と、
前記光検出手段が検出した前記反射光または散乱光の検出信号を信号処理し、前記被検体の断層画像を生成する画像生成手段と、
前記スキャニング手段から照射される前記光の照射状態を測定する測定手段と、
前記測定手段の測定結果に基づいて前記光源または前記スキャニング手段を制御して前記光の照射状態を調整する制御手段と、
を備えたことを特徴とする光イメージング装置。
【請求項２】
前記測定手段は、前記スキャニング手段から照射される光の光量を検出する第２の光検出手段であり、
前記制御手段は、前記第２の光検出手段の検出結果に基づいて前記光源を制御して前記光源の光量を調整することを特徴とする請求項１に記載の光イメージング装置。
【請求項３】
前記第２の光検出手段は、マトリックスアレイ状に形成された複数の受光素子を有し、
前記制御手段は、前記複数の受光素子の検出信号の平均値に基づいて前記光源の光量を制御することを特徴とする請求項２に記載の光イメージング装置。
【請求項４】
前記測定手段は、前記スキャニング手段から照射される光の光量を検出するマトリックスアレイ状に形成された複数の受光素子を有する第２の光検出手段を有し、前記複数の受光素子のうち光を検出した受光素子の数に基づいて前記スキャニング手段が走査する前記光のスキャン幅を検知し、
前記制御手段は、検知されたスキャン幅に基づいて前記スキャニング手段を制御して前記スキャン幅を調整することを特徴とする請求項１に記載の光イメージング装置。
【請求項５】
光を発生する光源と、
前記光を被検体に伝送および受光するプローブ部と、
前記プローブ部に伝送された前記光を被検体に対して走査させて照射するスキャニング手段と、
前記スキャニング手段を駆動制御する駆動手段と、
前記被検体から反射した前記光の反射光または前記被検体において散乱した前記光の散乱光を検出する光検出手段と、
前記スキャニング手段から照射される前記光の光量を検出するマトリックスアレイ状に形成された複数の受光素子を有し、前記駆動手段の駆動信号の発生タイミングと前記複数の受光素子により検出された光の移動タイミングとの時間差に基づいた前記スキャニング手段のスキャン位相を測定する測定手段と、
前記測定手段により測定されたスキャン位相に基づいて、前記光検出手段が検出した前記反射光または散乱光の検出信号を信号処理し、前記被検体の断層画像を生成する画像生成手段と、
を備えたことを特徴とする光イメージング装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の一態様による光イメージング装置は、光を発生する光源と、前記光を被検体内に伝送および受光するプローブ部と、前記プローブ部に伝送された前記光を被検体に対して走査させて照射するスキャニング手段と、前記被検体から反射した前記光の反射光または前記被検体において散乱した前記光の散乱光を検出する光検出手段と、前記光検出手段が検出した前記反射光または散乱光の検出信号を信号処理し、前記被検体の断層画像を生成する画像生成手段と、前記スキャニング手段から照射される前記光の照射状態を測定する測定手段と、前記測定手段の測定結果に基づいて前記光源または前記スキャニング手段を制御して前記光の照射状態を調整する制御手段と、を備えて構成される。
本発明の別の態様による光イメージング装置は、光を発生する光源と、前記光を被検体に伝送および受光するプローブ部と、前記プローブ部に伝送された前記光を被検体に対して走査させて照射するスキャニング手段と、前記スキャニング手段を駆動制御する駆動手段と、前記被検体から反射した前記光の反射光または前記被検体において散乱した前記光の散乱光を検出する光検出手段と、前記スキャニング手段から照射される前記光の光量を検出するマトリックスアレイ状に形成された複数の受光素子を有し、前記駆動手段の駆動信号の発生タイミングと前記複数の受光素子により検出された光の移動タイミングとの時間差に基づいた前記スキャニング手段のスキャン位相を測定する測定手段と、前記測定手段により測定されたスキャン位相に基づいて、前記光検出手段が検出した前記反射光または散乱光の検出信号を信号処理し、前記被検体の断層画像を生成する画像生成手段と、を備えて構成される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
キャリブレーション治具４は、コネクタ６を介して接続されるケーブル２１と、ケーブル２１の先端に設けられ、光走査プローブ３の先端に装着可能な先端部２２とから構成され、図２に示すように、先端部２２内には第３光検出器２３が設けられ、先端部２２を光走査プローブ３の先端に装着することで、図３に示すように、スキャニング光学系１４から出射された出射光の光ビーム２４が第３光検出器２３の受光部２３ａで受光され、ＣＰＵ１７が第３光検出器２３の検出信号によりスキャニング光学系１４から出射された出射光をモニタできるようになっている。
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月26日(2006.8.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  所定のスイッチの信号に基づき抽選を行い、当該抽選結果に基づき入賞判定を行う入賞抽選手段を備える遊技機において、前記入賞抽選手段は、前記スイッチの信号を受け、前記信号に揺らぎを加えて出力する揺らぎ発生器を含み、前記入賞抽選手段は前記揺らぎ発生器の出力に基づき抽選を行い、
前記揺らぎ発生器は、前記スイッチの信号を所定のタイミングで出力する出力部と、前記出力部にタイミング信号を供給する発振器とを備え、
前記発振器は、抵抗、キャパシタ、インダクタの一部又は全部を組み合わせた回路要素に基づき所定の周波数の信号を発振して出力するものであって、前記回路要素の各構成素子の少なくとも一部は温度変化によりその定数が変化するものであることを特徴とする遊技機。
【請求項２】  所定のスイッチの信号に基づき抽選を行い、当該抽選結果に基づき入賞判定を行う入賞抽選手段を備える遊技機において、前記入賞抽選手段は、前記スイッチの信号を受け、前記信号に揺らぎを加えて出力する揺らぎ発生器を含み、前記入賞抽選手段は前記揺らぎ発生器の出力に基づき抽選を行い、
前記揺らぎ発生器は、前記スイッチの信号を所定のタイミングで出力する出力部と、前記出力部にタイミング信号を供給する発振器とを備え、
前記発振器は、第１発振器及び第２発振器と、これらの出力を合成する合成部とを備え、
前記第１発振器及び第２発振器の少なくとも一方は、抵抗、キャパシタ、インダクタの一部又は全部を組み合わせた回路要素に基づき所定の周波数の信号を発振して出力するものであって、前記回路要素の各構成素子の少なくとも一部は温度変化によりその定数が変化するものであることを特徴とする遊技機。
【請求項３】  前記回路要素に抵抗を含み、前記抵抗は温度依存性を有する半導体であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の遊技機。
【請求項４】  前記揺らぎ発生器は、前記スイッチの信号を所定時間遅延させて前記出力部へ送る遅延回路を備えることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の遊技機。
【請求項５】  前記発振器は、ヒステリシス付のシュミットトリガ素子のインバータと、その出力を入力に帰還させる回路に設けられた抵抗及びキャパシタとを備え、キャパシタの充放電を利用して発振させるものであることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の遊技機。
【請求項６】  前記入賞抽選手段は、入賞抽選用の乱数を発生する乱数発生器と、前記乱数発生器が発生する乱数を前記揺らぎ発生器の出力に基づき抽出する乱数抽出器と、抽選に係る数値と入賞の対応関係を予め格納する入賞判定テーブルと、前記入賞判定テーブルを参照して前記乱数抽出器により抽出された乱数の入賞の有無及び又は入賞の種類を判定する判定部とを備えることを特徴とする請求項１乃至請求項５いずれかに記載の遊技機。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月15日(2006.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  複数の図柄列が変動表示される表示手段を備え、前記複数の図柄列の停止時の組合せが予め定めた大当り図柄の組合わせとなる大当り条件の成立に基づいて遊技者にとって有利な大当り遊技状態が発生するように構成された遊技機であって、
前記表示手段に変動表示される複数の図柄列のうち、１つを除く他の図柄列の停止時の組合せが前記大当り図柄の組合せとなるリーチ条件が成立した場合に、前記表示手段にてリーチ演出を実行するリーチ演出制御手段と、
前記大当り条件が成立した場合に、前記大当り遊技状態の発生に関連して前記表示手段にて大当り演出を実行する大当り演出制御手段と、
を備え、
前記リーチ演出制御手段は、特定のリーチ条件が成立した場合に、遊技者によって撮影される撮影対象画像を前記リーチ演出において前記表示手段にて表示させ、
前記大当り演出制御手段は、前記大当り演出の一態様として少なくとも前記大当り遊技状態の終了直後に大当り終了演出を実行するものであり、前記特定のリーチ条件が成立しさらに前記大当り条件が成立した場合に、前記撮影対象画像を前記大当り終了演出において前記表示手段にて表示させることを特徴とする遊技機。
【請求項２】  前記撮影対象画像の表示が行われる前記大当り終了演出は、通常の大当り終了演出よりも実行時間が長く設定されることを特徴とする請求項１に記載の遊技機。
【請求項３】  前記撮影対象画像は、前記大当り終了演出中に所定時間以上継続して表示されることを特徴とする請求項１又は２に記載の遊技機。
【請求項４】  前記撮影対象画像は、前記大当り終了演出中に複数回表示されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の遊技機。
【請求項５】  前記特定のリーチ条件が成立したとき、必ず大当り条件が成立するように設定されたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の遊技機。
【請求項６】  前記特定の画像は、特定のキャラクタ画像であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の遊技機。
【請求項７】  前記特定のリーチ条件が成立しさらに前記大当り条件が成立した場合に、前記撮影対象画像が前記大当り終了演出において表示される旨を予告報知するように構成されたことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の遊技機。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月7日(2006.6.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】放射線撮影方法、放射線撮影装置、及びコンピュータプログラム
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  複数の画素を有する放射線検出器を用いた放射線撮影方法において、
前記放射線検出器の初期欠陥画素が登録された初期欠陥マップを生成する初期欠陥マップ生成工程と、
一部の機能のみ補正することが必要な擬欠陥画素が登録された擬欠陥マップを生成する擬欠陥マップ生成工程と、
日常点検によって発見された欠陥画素が登録された第二の欠陥マップを生成する第二の欠陥マップ生成工程と、
前記初期欠陥マップと前記擬欠陥マップと前記第二の欠陥マップとを用いて、欠陥補正を行う画素が登録された合成欠陥マップを生成する合成欠陥マップ生成工程とを具備することを特徴とする放射線撮影方法。
【請求項２】  前記擬欠陥画素は、感度、暗電流またはそれらの安定性の少なくとも１つが通常画素と異なることを特徴とする請求項１に記載の放射線撮影方法。
【請求項３】  前記合成欠陥マップ生成工程は、前記初期欠陥マップをＡ１、前記第二の欠陥マップをＡ２、前記擬欠陥マップをＢとしたとき、前記合成欠陥マップＸを次式で算出することを特徴とする請求項１または２に記載の放射線撮影方法。
【数１】
2005006196.tif 000001
【請求項４】  前記合成欠陥マップを用いて欠陥補正を行う欠陥補正工程を具備することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の放射線撮影方法。
【請求項５】  複数の画素を有する放射線検出器と、前記放射線検出器の欠陥画素マップおよびプログラムを記憶する記憶装置と、前記プログラムを実行する動作を含む制御を行う制御装置とを具備する放射線撮影装置であって、
前記欠陥画素マップは、初期欠陥画素が登録された初期欠陥マップと、一部の機能のみ補正することが必要な擬欠陥画素が登録された擬欠陥マップと、日常点検によって発見された欠陥画素が登録された第二の欠陥マップとを含み、
前記制御装置は、前記初期欠陥マップと、前記擬欠陥マップと、前記第二の欠陥マップとを用いて、欠陥補正を行う画素が登録された合成欠陥マップを生成し、前記記憶装置に記憶することを特徴とする放射線撮影装置。
【請求項６】  複数の画素を有する放射線検出器の初期欠陥画素が登録された初期欠陥マップを生成する初期欠陥マップ生成工程と、
一部の機能のみ補正することが必要な擬欠陥画素が登録された擬欠陥マップを生成する擬欠陥マップ生成工程と、
日常点検によって発見された欠陥画素が登録された第二の欠陥マップを生成する第二の欠陥マップ生成工程と、
前記初期欠陥マップと前記擬欠陥マップと前記第二の欠陥マップとを用いて、欠陥補正を行う画素が登録された合成欠陥マップを生成する合成欠陥マップ生成工程とをコンピュータに実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。
【請求項７】  放射線検出器に設けられた複数の画素の中から、一部の特性のみ補正することが必要な擬欠陥画素を抽出する擬欠陥画素抽出工程と、
前記擬欠陥画素抽出工程により抽出された擬欠陥画素を除いて、上記複数の画素に含まれている欠陥画素に対し欠陥補正を行う欠陥補正工程とを行うことを特徴とする放射線撮影方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、放射線撮影方法、放射線撮影装置、及びコンピュータプログラムに関し、特に、放射線検出器が有する画素の欠陥を補正するために用いて好適なものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
【課題を解決するための手段】
本発明の放射線撮影方法は、複数の画素を有する放射線検出器を用いた放射線撮影方法において、前記放射線検出器の初期欠陥画素が登録された初期欠陥マップを生成する初期欠陥マップ生成工程と、一部の機能のみ補正することが必要な擬欠陥画素が登録された擬欠陥マップを生成する擬欠陥マップ生成工程と、日常点検によって発見された欠陥画素が登録された第二の欠陥マップを生成する第二の欠陥マップ生成工程と、前記初期欠陥マップと前記擬欠陥マップと前記第二の欠陥マップとを用いて、欠陥補正を行う画素が登録された合成欠陥マップを生成する合成欠陥マップ生成工程とを具備することを特徴とする。
また、本発明の他の特徴とするところは、放射線検出器に設けられた複数の画素の中から、一部の特性のみ補正することが必要な擬欠陥画素を抽出する擬欠陥画素抽出工程と、前記擬欠陥画素抽出工程により抽出された擬欠陥画素を除いて、上記複数の画素に含まれている欠陥画素に対し欠陥補正を行う欠陥補正工程とを行うことを特徴とする。
かかる方法では、擬欠陥マップに登録された擬欠陥画素を欠陥補正の対象外にして、無用な欠陥補正を削減する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
本発明の放射線撮影装置は、複数の画素を有する放射線検出器と、前記放射線検出器の欠陥画素マップおよびプログラムを記憶する記憶装置と、前記プログラムを実行する動作を含む制御を行う制御装置とを具備する放射線撮影装置であって、前記欠陥画素マップは、初期欠陥画素が登録された初期欠陥マップと、一部の機能のみ補正することが必要な擬欠陥画素が登録された擬欠陥マップと、日常点検によって発見された欠陥画素が登録された第二の欠陥マップとを含み、前記制御装置は、前記初期欠陥マップと、前記擬欠陥マップと、前記第二の欠陥マップとを用いて、欠陥補正を行う画素が登録された合成欠陥マップを生成し、前記記憶装置に記憶することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
本発明のコンピュータプログラムは、複数の画素を有する放射線検出器の初期欠陥画素が登録された初期欠陥マップを生成する初期欠陥マップ生成工程と、一部の機能のみ補正することが必要な擬欠陥画素が登録された擬欠陥マップを生成する擬欠陥マップ生成工程と、日常点検によって発見された欠陥画素が登録された第二の欠陥マップを生成する第二の欠陥マップ生成工程と、前記初期欠陥マップと前記擬欠陥マップと前記第二の欠陥マップとを用いて、欠陥補正を行う画素が登録された合成欠陥マップを生成する合成欠陥マップ生成工程とをコンピュータに実行させることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、擬欠陥マップを用いて、擬欠陥画素を欠陥補正対象から排除することができるようになる。したがって、無用な欠陥補正を削減することが実現可能になる。例えば、市場において欠陥画素を発見する日常点検を行ったとしても、擬欠陥画素を欠陥補正対象から排除することができるので、無用な欠陥補正を削減することが実現可能になる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月4日(2006.1.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリチャージ電圧を供給するプリチャージ電圧供給ノードと第１の内部ノードとの間に接続されかつその制御電極が第２の内部ノードに接続される第１のトランジスタ、
プリチャージを制御する第１の制御信号を受ける第１の入力ノードと前記第２の内部ノードとの間に接続される第１の容量素子、
前記第１の内部ノードと前記第２の内部ノードとの間に接続されかつその制御電極が電荷蓄積を制御する第２の制御信号を受ける第２の入力ノードに接続される第２のトランジスタ、
前記第１の内部ノードと出力ノードとの間に接続されかつその制御電極が第３の内部ノードに接続される第３のトランジスタ、
前記出力ノードと前記第３の内部ノードとの間に接続されかつその制御電極が前記第１の内部ノードに接続される第４のトランジスタ、
第２の電荷プリチャージを制御する第３の制御信号を受ける第３の入力ノードと前記第１の内部ノードとの間に接続される第２の容量素子、および
電荷転送を制御する第４の制御信号を受ける第４の入力ノードと前記第３の内部ノードとの間に接続される第３の容量素子を備える、電圧発生回路。
【請求項２】
前記プリチャージ電圧供給ノードには、所定の電圧レベルの一定電圧が印加される、請求項１記載の電圧発生回路。
【請求項３】
前記プリチャージ電圧供給ノードには、前記第２の制御信号が印加される、請求項１記載の電圧発生回路。
【請求項４】
前記第２の制御信号が第１の論理レベルのときに前記第３の制御信号が所定期間第２の論理レベルとなり、前記第３の制御信号が第２の論理レベルのときに前記第４の制御信号が所定期間前記第１の論理レベルとなり、
前記第２の制御信号が第２の論理レベルのときに前記第１の制御信号が第１の論理レベルとなって前記第１の内部ノードのプリチャージが実行される、請求項１記載の電圧発生回路。
【請求項５】
前記出力ノードと最終出力ノードとの間に接続され、前記最終出力ノードに最終電圧を発生する少なくとも１段の電圧駆動段をさらに備え、
前記電圧駆動段は、
該電圧駆動段の入力ノードと該電圧駆動段の出力ノードとの間に接続され、かつその制御電極が第４の内部ノードに接続される第５のトランジスタと、
前記電圧駆動段の入力ノードに結合される第４の容量素子と、
前記第４の内部ノードに結合される第５の容量素子と、
前記第４の内部ノードと前記電圧駆動段の出力ノードとの間に接続されかつその制御電極が前記電圧駆動段の入力ノードに接続される第６のトランジスタとを備え、
前記電圧駆動段が複数段縦続接続されるときには、該接続系列において前記第４の容量素子には前記第２の制御信号と前記第３の制御信号とが交互に与えられ、かつ前記第５の容量素子には、前記第１の制御信号と前記第４の制御信号が交互に印加される、請求項１記載の電圧発生回路。
【請求項６】
前記第１の制御信号は、前記第２の制御信号が第１の論理レベルから第２の論理レベルへ移行した後所定時間経過後に所定期間第１の論理レベルとなり、前記第２の制御信号は前記第１の制御信号が第１の論理レベルから第２の論理レベルへの移行後に第２の論理レベルから第１の論理レベルに移行し、
前記第３の制御信号は、前記第２の制御信号が第１の論理レベルへ移行した後所定期間第２の論理レベルとなり、前記第２の制御信号は前記第３の制御信号が第１の論理レベルに移行した後に第２の論理レベルとなり、
前記第４の制御信号は、前記第３の制御信号が第２の論理レベルへ移行した後に所定の期間第１の論理レベルとなり、前記第３の制御信号は前記第４の制御信号が第２の論理レベルへ移行した後に第１の論理レベルへ移行する、請求項５記載の電圧発生回路。
【請求項７】
前記出力ノードから内部回路へ与えられる最終内部電圧が発生され、
前記電圧発生回路は、さらに、前記出力ノードに接続される容量を備える、請求項１記載の電圧発生回路。
【請求項８】
前記最終出力ノードからの最終電圧が内部回路へ与えられ、
前記電圧発生回路は、前記最終出力ノードに接続される容量をさらに備える、請求項５記載の電圧発生回路。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月25日(2006.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンテンツの検索と再生情報を表示する表示装置と、前記表示装置の検索と再生情報の表示を制御する制御装置と、前記制御装置に前記表示装置の表示操作を指示する遠隔操作装置とを備えた情報検索再生装置において、
前記制御装置は、複数の映像情報をリスト状に表示するコンテンツ表示エリアと、当該コンテンツ表示エリアに表示されるコンテンツの上位階層の検索項目を選択する第２検索エリアと、当該第２検索エリアに表示される検索項目の上位階層の検索項目を選択する第１検索項目エリアとを前記表示装置の１つの画面に表示し、
前記遠隔操作装置は、前記第１検索項目エリアの前記検索項目を選択する第１検索キーと、前記第２検索項目エリアの前記検索項目を選択する第２検索キーと、前記コンテンツ表示エリアのコンテンツの選択を行うコンテンツ選択キーと、当該選択されたコンテンツの決定操作を行うコンテンツ決定キーとを備え、
前記制御装置は、前記第１検索キーの操作により、前記第１検索項目エリアで選択された前記検索項目に該当する下層階層の検索項目を前記第２検索項目エリアに表示し、かつ、前記コンテンツ表示エリアには、前記第２検索項目エリアで選択されている前記検索項目に該当する下層階層のコンテンツをリスト表示し、
前記コンテンツ選択キーにより選択され、前記決定キーによって決定されたコンテンツについて予め設定された所定の決定操作に移行させる
ことを特徴とする情報検索再生装置。
【請求項２】
前記請求項１記載の情報検索再生装置において、
前記制御装置は、前記第１検索項目エリアと前記第２検索エリアと前記コンテンツ表示エリアに加えて、前記コンテンツ表示エリアで選択されているコンテンツの詳細情報を表示する詳細表示エリアと、前記コンテンツ決定キーの前記決定操作以前のコンテンツを表示するサブ表示エリアとを前記表示装置の１つの画面に表示する
ことを特徴とする情報検索再生装置。
【請求項３】
前記請求項１または２記載の情報検索再生装置において、
前記遠隔操作装置に、前記コンテンツ表示エリアの表示内容をスクロール表示するスクロールキーを備えている
ことを特徴とする情報検索再生装置。
【請求項４】
コンテンツの検索と再生情報を表示する表示装置と、前記表示装置の検索と再生情報の表示を制御する制御装置と、前記制御装置に前記表示装置の表示操作を指示する遠隔操作装置とを備えた情報検索再生装置の表示方法において、
前記表示装置の１つの表示画面に、複数の映像情報をリスト状に表示するコンテンツ表示エリアと、当該コンテンツ表示エリアに表示されるコンテンツの上位階層の検索項目を選択する第２検索エリアと、当該第２検索エリアに表示される検索項目の上位階層の検索項目を選択する第１検索項目エリアとを表示し、
前記遠隔操作装置に設けた第１検索キーの操作に基づいて、前記第１検索項目エリアに表示される前記検索項目の選択を受け付けるとともに、前記第１検索項目エリアで選択される前記検索項目に該当する下層階層の検索項目を前記第２検索項目エリアに表示し、かつ、前記コンテンツ表示エリアには、前記第２検索項目エリアで選択されている前記検索項目に該当する下層階層のコンテンツをリスト表示し、
前記遠隔操作装置に設けた第２検索キーの操作に基づいて、前記第２検索項目エリアに表示される前記検索項目の選択を受け付けるとともに、前記第２検索項目エリアで選択されている前記検索項目に該当する下層階層のコンテンツを前記コンテンツ表示エリアにリスト表示し、
前記遠隔操作装置に設けたコンテンツ選択キーとコンテンツ決定キーの操作に基づいて、前記コンテンツ表示エリアに表示されているコンテツンツの選択と決定操作を受け付け、
前記コンテンツ決定キーの操作に基づいて、当該決定されたコンテンツについて予め設定された所定の決定操作に移行させる
ことを特徴とする情報検索再生装置の表示方法。
【請求項５】
前記請求項４記載の情報検索再生装置の表示方法において、
前記表示装置の１つの画面に、前記第１検索項目エリアと前記第２検索エリアと前記コンテンツ表示エリアに加えて、前記コンテンツ表示エリアで選択されているコンテンツの詳細情報を表示する詳細表示エリアと、前記コンテンツ決定キーの前記決定操作以前のコンテンツを表示するサブ表示エリアとを表示する
ことを特徴とする情報検索再生装置。
【請求項６】
前記請求項４または５記載の情報検索再生装置の表示方法において、
前記遠隔操作装置に設けたスクロールキーの操作に基づいて、前記コンテンツ表示エリアの表示内容をスクロール表示する
ことを特徴とする情報検索再生装置の表示方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月10日(2005.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【特許文献１】特公平６−７３５６３号公報（第３頁、第２図）
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
そして、図４ないし図７に示すように、円盤状回転体（２）の近傍に、前記コイン送出部（９）の直後に位置しコイン（Ｃ）を非直立姿勢として斜め上方に導くコイン誘導路（10）と、該誘導路（10）に連なりコイン（Ｃ）をゲーム機（Ｇ）内の次位の部位に案内する下り坂状コイン通路（11）とが設けられている。コイン誘導路（10）とコイン通路（11）の前面には、コイン（Ｃ）の下端部に対応するコイン飛び出し防止壁（12）が設けられている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
Ｌ字型作動杆（17）は、中央部を支持された回転軸（18）を中心として揺動自在となされ、通常は他端部（17ｂ）がばね（19）により反時計回りの方向に付勢されており、移動壁（16）の端部（16ａ）が、コイン落下孔上縁中間部（13）に当接することによりそれ以上の移動が規制されている。Ｌ字型作動杆（17）は、ソレノイド（20）によって前記ばね（19）が圧縮されることにより、図13に示すように、時計回り方向に回転させられる。この時計回り方向の回転に従って、コイン蹴り出し部材（1４）は反時計回り方向に回転させられ、移動壁（16）が上方に移動させられることにより、コイン落下孔（13）が拡大し、正規のコイン（Ｃ）であってもその上端部の支えを失い、コイン落下孔（13）に落下することになるのである。コイン落下孔（13）から落下したコインは、キャンセルコインシューター（図示省略）を通って、コイン返却口（85）に戻される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2005006761.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月6日(2006.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遊技媒体を用いて遊技する遊技機であって、
前記遊技媒体の入賞口と、
該入賞口の開口部を変更可能に該入賞口を開閉する開閉手段と、
異なる複数の開閉条件に基づいて異なる開口部で前記入賞口が開閉されるよう前記開閉手段を制御する開閉制御手段と、
を備える遊技機。
【請求項２】
請求項１記載の遊技機であって、
前記開閉手段は、前記入賞口を分割して開閉可能な複数の開閉部材と、前記複数の開閉部材のうちの第１の開閉部材を開閉したときには該複数の開閉部材のすべてを開閉し前記複数の開閉部材の前記第１の開閉部材とは異なる第２の開閉部材を開閉したときには該第２の開閉部材のみを開閉する開閉態様を可能とする開閉用部材と、前記第１の開閉部材を開閉する第１駆動部と、前記第２の開閉部材を開閉する第２駆動部とを備え、
前記開閉制御手段は、前記複数の開閉条件のいずれが成立したかに基づいて前記複数の開閉部材の少なくとも一部を開閉するよう前記開閉手段を制御する手段である
遊技機。
【請求項３】
請求項１記載の遊技機であって、
前記開閉手段は、前記入賞口を分割して開閉可能な複数の開閉部材を備え、
前記開閉制御手段は、前記複数の開閉条件のいずれが成立したかに基づいて前記複数の開閉部材の少なくとも一部を開閉するよう前記開閉手段を制御する手段であり、
更に、前記開閉制御手段により前記複数の開閉部材の一部が開閉するよう前記開閉手段が制御されているときに、該複数の開閉部材のうち開閉していない部材側に遊技媒体が進入するのを阻止するガード部材を備える
遊技機。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月11日(2006.5.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ訓練者の両下肢に装着され、角度センサと力センサを有する２本のアームを駆動させて立位状態の前記訓練者の両下肢を繰返し動作させる下肢駆動部と、
前記訓練者の目標とする１周期分の片下肢についての歩行パターンを前記下肢の各関節角の変化として記憶する歩行パターンデータ記憶部と、
前記歩行パターンを基に前記下肢駆動部へ動作指令を出力する歩行パターン生成部とを備えた歩行訓練装置であって、
前記歩行パターン生成部は、前記歩行パターンデータ記憶部に予め記憶されている前記歩行パターンの各関節角と前記訓練者の下肢の長さとを基に、前記アームの一方の位置および角度を逐次計算するとともに、前記歩行パターンを半周期ずらした時点での各関節角と前記訓練者の下肢の長さとを基に、前記アームの他方の位置および角度について逐次計算し、
前記下肢駆動部に対して動作指令を出力して前記２本のアームを駆動させ、前記訓練者の両下肢を動作させることを特徴とする歩行訓練装置。
【請求項２】
前記歩行パターンは、健常者の立位歩行動作時における下肢の各関節角度の変化を取得したものであることを特徴とする請求項１記載の歩行訓練装置。
【請求項３】
前記歩行パターンデータ記憶部は、前記訓練者の歩容に応じて前記歩行パターンを適宜変更可能であることを特徴とする請求項１記載の歩行訓練装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の歩行訓練装置は、それぞれ訓練者の両下肢に装着され、角度センサと力センサを有する２本のアームを駆動させて立位状態の前記訓練者の両下肢を繰返し動作させる下肢駆動部と、前記訓練者の目標とする１周期分の片下肢についての歩行パターンを前記下肢の各関節角の変化として記憶する歩行パターンデータ記憶部と、前記歩行パターンを基に前記下肢駆動部へ動作指令を出力する歩行パターン生成部とを備えた歩行訓練装置であって、前記歩行パターン生成部は、前記歩行パターンデータ記憶部に予め記憶されている前記歩行パターンの各関節角と前記訓練者の下肢の長さとを基に、前記アームの一方の位置および角度を逐次計算するとともに、前記歩行パターンを半周期ずらした時点での各関節角と前記訓練者の下肢の長さとを基に、前記アームの他方の位置および角度について逐次計算し、前記下肢駆動部に対して動作指令を出力して前記２本のアームを駆動させ、前記訓練者の両下肢を動作させることを特徴とする。
請求項１記載の歩行訓練装置によれば、任意の訓練者に対して、基本的な歩行パターンに応じ両下肢の股・膝・足関節の協調動作を実施させることができる。
請求項２記載の歩行訓練装置は、前記歩行パターンが、健常者の立位歩行パターンであるものである。
請求項２記載の歩行訓練装置は、前記歩行パターンは、健常者の立位歩行動作時における下肢の各関節角度の変化を取得したものであることを特徴とする。
請求項２記載の歩行訓練装置によれば、任意の訓練者に対して、健常者の立位歩行パターンに応じ両下肢の股・膝・足関節の協調動作を実施させることができ、訓練者は健常者の歩行パターンを学習できる。
請求項３記載の歩行訓練装置は、前記歩行パターンデータ記憶部は、前記訓練者の歩容に応じて前記歩行パターンを適宜変更可能であることを特徴とする。
請求項３記載の歩行訓練装置によれば、任意の訓練者に対して、訓練者の歩容に対応した歩行パターンに応じ両下肢の股・膝・足関節の協調動作を実施させることができ、訓練効果を促進することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
（第２実施例）
本発明の第２の実施の形態の歩行訓練装置について説明する。第１の実施の形態の基本的な歩行パターンとして、健常者の立位歩行パターンを用いるものである。歩行パターン生成部３の処理は第１の実施の形態と同じである。
本発明の実施の形態の歩行訓練装置の特徴は、歩行パターン生成部３が、歩行パターンデータ記憶部４に予め記憶されている健常者の立位歩行パターンのある時点での関節角度データと、訓練者１１の下肢長とを基に、訓練者１１の下肢の位置を計算し、訓練者１１の下肢の位置の計算結果に応じ下肢駆動部７を駆動することである。
本発明の実施の形態の歩行訓練装置によれば、任意の訓練者に対して、健常者の立位歩行パターンに応じ両下肢の股・膝・足関節の協調動作を実施させることができ、訓練者１１は健常者の歩行パターンを学習できる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
（第３実施例）
本発明の第３の実施の形態の歩行訓練装置について説明する。第１の実施の形態の基本的な歩行パターンとして、訓練者の歩容に対応した歩行パターンを用いるものである。歩行パターン生成部３の処理は第１の実施の形態と同じである。
本発明の実施の形態の歩行訓練装置の特徴は、歩行パターン生成部３が、歩行パターンデータ記憶部４に予め記憶されている訓練者１１の歩容に対応した歩行パターン１０のある時点での関節角度データと、訓練者１１の下肢長とを基に、訓練者１１の下肢の位置を計算し、訓練者１１の下肢の位置の計算結果に応じ下肢駆動部７を駆動することである。例えば、爪先が歩行面に引っかかりそうな訓練者の場合、爪先を高く上げる歩行パターンで訓練を実施させることで、爪先が歩行面に引っかかることがない。
本発明の実施の形態の歩行訓練装置によれば、任意の訓練者に対して、訓練者の歩容に対応した歩行パターンに応じ両下肢の股・膝・足関節の協調動作を実施させることができ、訓練効果を促進することができる。
なお、力センサ５により計測された訓練者１１の関節トルクを基に訓練者の回復度合いを評価したり、訓練者１１に生体計測手段を装着し、足底反力、筋電図等での計測結果を基に訓練者１１の回復度合いを評価したりして、歩容が改善されていけば、歩行パターンを徐々に健常者の立位歩行パターンに近付けていってもよい。さらに、訓練者提示手段により、回復度合いを視覚、聴覚等を用いて訓練者に提示してもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月13日(2006.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
なお、遊技球が始動入賞口２０８に入賞すると、図柄表示部２０７にて所定の図柄が変動表示後に停止して確定表示されるようになっており、この確定表示された図柄が予め定められた大当り図柄であった場合には、遊技者にとって極めて有利な大当り遊技が開始されるようになっている。従って、遊技者は、始動入賞口２０８に、いかに多くの遊技球を入賞させるかが遊技の最大の関心事となっている。換言すれば、遊技者は、いかに多くの遊技球を誘導装置に入球させるかが遊技の最大の関心事となっている。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月8日(2006.6.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  被検眼の光学的特性を測定するための測定光源と、測定用対物レンズを含む検眼ユニットと、該検眼ユニットを被検眼に対して前後・左右・上下に駆動する駆動手段と、前記測定用対物レンズの略焦点位置に挿脱可能に配置した拡散板と、該拡散板に前記測定光源からの光束を照射して該拡散板上の拡散光源からの光束の被検眼角膜の反射像を検出する検出手段と、該検出手段による検出結果から前記検眼ユニットを駆動して被検眼と前記検眼ユニットの位置合わせを行う眼科装置において、前記測定光源は第１の測定光源と第２の測定光源から成り、前記駆動手段は前記第１又は第２の測定光源の前記拡散板上の拡散光源による角膜反射像の検出結果から前記検眼ユニットを駆動制御することを特徴とする眼科装置。
【請求項２】  前記駆動手段は前記第１の測定光源による角膜反射像の代替視標として、前記第２の測定光源の点灯時は前記第２の測定光源の角膜反射像を検出・位置合わせに用いることを特徴とする請求項１に記載の眼科装置。
【請求項３】  前記第１の測定光源は被検眼角膜の中心に投影される光源であり、前記第２の測定光源は前記第１の測定光源による角膜反射像の下方に反射像を形成するように配置したことを特徴とする請求項１に記載の眼科装置。
【請求項４】  前記第２の測定光源による角膜反射像の検出結果から、前記検眼ユニットを駆動制御して、被検眼と前記検眼ユニットの位置合わせを行った場合には、前記第２の測定光源により被検眼の測定を行うことを特徴とする請求項２又は３に記載の眼科装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
【発明の効果】
本発明の請求項１に係る眼科装置は、通常の位置合わせに使用する角膜反射像が瞼や睫毛によって検出できなくても、第２の光源を点灯して、その角膜反射像を視標として位置合わせを行うことができるようになる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
請求項２に係る眼科装置は、第１の測定光源による角膜反射輝点が検出できない時は、第２の測定光源による角膜反射輝点を第１の測定光源による角膜反射輝点と同じ基準位置にアライメントすることによって、被検眼と検眼ユニットのアライメントを行えるようになるので、全く別個の視標光源を用意して、それを投影・検出する別個の光学系や処理プログラムなど別個のシステムによる複雑なアライメント制御を行うことなく、瞼や睫毛等の外乱による影響がなくなる。
請求項３に係る眼科装置は、第１の測定光源による角膜反射輝点に対して、第２の測定光源による角膜反射輝点は瞼、睫毛に影響されにくい位置に視標像を形成することができるので、瞼や睫毛等の外乱による影響がなくなる。
請求項４に係る眼科装置は、第２の測定光源による角膜反射輝点で検眼ユニットを駆動制御して、被検眼と検眼ユニットの位置合わせを行った場合には、第２の測定光源により被検眼の測定を行うようにしたので、位置合わせ時だけでなく測定のときにも、測定光束の瞼、睫毛によるけられ等の影響が低く抑えられるようになり、瞼や睫毛等の外乱による影響がなくなる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月27日(2006.2.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【特許請求の範囲】
【請求項１】集積回路を製造するための方法であって、
第１のメタライゼーションレベルを覆う第１の誘電体層の上に、第１および第２のストップ層を堆積するステップと、
前記第１のストップ層に対して前記第２のストップ層を選択エッチングするステップと、
前記第１の誘電体層に対して前記第１のストップ層を選択エッチングするステップと、
前記集積回路上に第２の誘電体層を堆積するステップと、
前記第２の誘電体層に溝を形成し、前記第１の誘電体層に穴を形成するよう、前記第１および第２のストップ層に対して前記第１および第２の誘電体層を選択エッチングするステップと、
を含む、方法。
【請求項２】さらに、
前記第２の誘電体層の上に第３のストップ層を堆積するステップと、
前記第２の誘電体層に対して前記第３のストップ層を選択エッチングするステップと、
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】さらに、
前記第１および第２のストップ層を堆積した後に、該第２のストップ層の上に第１のマスクを堆積するステップと、
前記第３のストップ層を堆積した後に、該第３のストップ層の上に第２のマスクを堆積するステップと、
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】前記第１および第２の誘電体層を選択エッチングするステップにおいて、前記第２のマスクが、前記溝および穴を形成するのと同時に除去される、
請求項３に記載の方法。
【請求項５】前記第１および第２のマスクが、樹脂マスクである、
請求項３に記載の方法。
【請求項６】さらに、
前記溝および穴に金属を堆積し、第２のメタライゼーションレベルと、前記第１および第２のメタライゼーションレベルを接続するバイアとを形成するステップを含む、
請求項１に記載の方法。
【請求項７】前記第１および第２のメタライゼーションレベルのそれぞれが、誘電材料により分離されるメタライゼーション線を含む、
請求項６に記載の方法。
【請求項８】さらに、
前記第２のメタライゼーションレベルのメタライゼーション線を封しする層をエッチングするステップを含む、
請求項７に記載の方法。
【請求項９】さらに、
第２のメタライゼーションレベルの線を封しする層をエッチングするステップを含む、
請求項１に記載の方法。
【請求項１０】集積回路であって、
誘電材料により分離されるメタライゼーション線をそれぞれが有する少なくとも第１および第２のメタライゼーションレベルと、
前記第１および第２のメタライゼーションレベルの間に置かれ、前記第１および第２のメタライゼーションレベルのメタライゼーション線を電気的に接続するバイアにより貫かれる誘電体層と、
前記誘電体層と前記第２のメタライゼーションレベルとの間に置かれ、前記誘電体層に対して選択エッチングされることができる第１のストップ層と、
前記第１のストップ層の上に置かれ、該第１のストップ層に対して選択エッチングされることができる第２のストップ層と、
を備える集積回路。
【請求項１１】さらに、
前記第２のメタライゼーションレベルの誘電材料の上に置かれ、該第２のメタライゼーションレベルの誘電体材料に対して選択エッチングされることができる第３のストップ層を備える、
請求項１０に記載の集積回路。
【請求項１２】前記第１および第２のメタライゼーションレベルのうち少なくとも１つのメタライゼーション線が銅で作られる、
請求項１０に記載の集積回路。
【請求項１３】前記誘電体層が、３より小さい電気的な比誘電率を持つ有機ポリマーから作られる、
請求項１１に記載の集積回路。
【請求項１４】前記誘電体層が、３より小さい電気的な比誘電率を持つ有機ポリマーから作られる、
請求項１０に記載の集積回路。
【請求項１５】前記第１および第２のメタライゼーションレベルの誘電材料が、前記誘電体層の材料と同じである、
請求項１０に記載の集積回路。
【請求項１６】前記第１のストップ層が、窒化シリコンから作られる、
請求項１０に記載の集積回路。
【請求項１７】前記第２のストップ層が、酸化シリコンから作られる、
請求項１５に記載の集積回路。
【請求項１８】前記第２のストップ層が、オキシナイトライド・シリコンから作られる、
請求項１５に記載の集積回路。
【請求項１９】前記第１のストップ層が、オキシナイトライド・シリコンから作られる、
請求項１０に記載の集積回路。
【請求項２０】前記第２のストップ層が、酸化シリコンから作られる、
請求項１８に記載の集積回路。
【請求項２１】前記第２のストップ層が、酸化シリコンから作られる、
請求項１０に記載の集積回路。
【請求項２２】前記第３のストップ層が、窒化シリコン、酸化シリコンまたはオキシナイトライド・シリコンから作られる、
請求項１０に記載の集積回路。
【請求項２３】さらに、
前記第２のメタライゼーションレベルのメタライゼーション線を封しする層を備える、
請求項１０に記載の集積回路。
【請求項２４】集積回路を含む少なくとも１つの半導体デバイスを備える情報制御システムであって、該集積回路が、
誘電材料で分離されたメタライゼーション線をそれぞれが有する少なくとも第１および第２のメタライゼーションレベルと、
前記第１および第２のメタライゼーションレベルの間に置かれ、該第１および第２のメタライゼーションレベルのメタライゼーション線を電気的に接続するバイアにより貫かれる誘電体層と、
前記誘電体層と第２のメタライゼーションレベルとの間に置かれ、該誘電体層に対して選択エッチングされることができる第１のストップ層と、
前記第１のストップ層の上に置かれ、該第１のストップ層に対して選択エッチングされことができる第２のストップ層とを備える、
情報制御システム。
【請求項２５】さらに、前記第２のメタライゼーションレベルの誘電材料の上に置かれ、該第２のメタライゼーションレベルの誘電材料に対して選択エッチングされることができる第３のストップ層を備える、
請求項２４に記載の情報制御装置。
【請求項２６】前記第１および第２のメタライゼーションレベルのうち少なくとも１つのメタライゼーション線が、銅で作られる、
請求項２４に記載の情報制御システム。
【請求項２７】前記誘電体層が、３より小さい電気的な比誘電率を持つ有機ポリマーから作られる、
請求項２４に記載の情報制御システム。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月2日(2006.6.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】投影露光装置、投影露光装置の調整方法、及び投影露光方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  所定のパターンを照明する照明光学系と、１又は複数の球面鏡と複数のレンズと１又は複数の平面鏡とを有し、前記パターンの像を被露光物体の感光面上に形成する反射屈折型投影光学系とを備えた投影露光装置において、
前記照明光学系は、前記パターンを部分偏光光によって照明するように構成されたことを特徴とする投影露光装置。
【請求項２】  前記部分偏光光は、前記投影光学系に配置されたいずれか１つの前記平面鏡に入射する光軸と平行な光線を基準として偏光方向を定めたとき、Ｐ偏光を含むように部分偏光していることを特徴とする請求項１記載の投影露光装置。
【請求項３】  投影光学系の前記各平面鏡は、それぞれの平面鏡に入射する光軸と平行な光線を基準として偏光方向を定めたとき、Ｐ偏光に対する反射率とＳ偏光に対する反射率との差の、それぞれの平面鏡に入射するすべての光線についての最大値と最小値との差が、０．１以下となるように形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の投影露光装置。
【請求項４】  前記照明光学系が前記パターンを照明する照明領域と、前記投影光学系が前記感光面上に形成する露光領域とは、スリット状又は円弧状に形成され、
前記投影原版と被露光物体とは、前記照明領域及び露光領域の短手方向に同期して走査するように配置され、
前記投影光学系は、前記投影光学系に配置されたいずれか１つの前記平面鏡の近傍に前記パターンの中間像を形成する第１結像光学系と、前記中間像の再結像を前記感光面上に形成する第２結像光学系とを有することを特徴とする請求項１、２又は３記載の投影露光装置。
【請求項５】  前記第１結像光学系は１つの凹面鏡を有し、前記第２結像光学系は縮小の結像倍率を有することを特徴とする請求項４記載の投影露光装置。
【請求項６】  前記投影光学系は、前記中間像の近傍に配置された平面鏡のほかに、該平面鏡に引き続いて配置され、又は前記第２結像光学系の内部に配置された別の平面鏡を有することを特徴とする請求項４又は５記載の投影露光装置。
【請求項７】  光源からの光に基づいて、所定のパターンの像を被露光物体の感光面上に形成する投影露光装置において、
前記光源と前記被露光物体との間の光路中に配置されて、入射光を偏向する平面鏡と、
該平面鏡へ入射する入射光の偏光度を制御する偏光度制御手段とを備えていることを特徴とする投影露光装置。
【請求項８】  前記偏光度制御手段は、前記平面鏡で反射された反射光の偏光度を、前記入射光の偏光度よりも小さくすることを特徴とする請求項７記載の投影露光装置。
【請求項９】  前記偏光度制御手段と前記パターンとの間の光路中に配置された複屈折光学部材をさらに備え、
前記偏光度制御手段は前記複屈折光学部材への入射光の偏光度を制御していることを特徴とする請求項７又は８記載の投影露光装置。
【請求項１０】  所定のパターンの像を被露光物体の感光面上に投影する投影露光方法において、
請求項１乃至９のいずれか１項記載の投影露光装置を用いて前記パターンの像を前記被露光物体の前記感光面上に形成していることを特徴とする投影露光方法。
【請求項１１】  光源からの光に基づいて、所定のパターンの像を被露光物体の感光面上に形成する投影露光装置の調整方法であって、
前記投影露光装置は、前記光源と前記被露光物体との間の光路中に配置されて、入射光を偏向する平面鏡を備え、
該平面鏡へ入射する入射光の偏光度を調整して、前記平面鏡で反射された反射光の偏光度を、前記入射光の偏光度よりも小さくすることを特徴とする投影露光装置の調整方法。
【請求項１２】  前記投影露光装置は、前記光源から前記パターンに至る光路中に配置された複屈折光学部材をさらに備え、
前記光源の光軸廻りの配置位置を調整することを特徴とする請求項１１記載の調整方法。
【請求項１３】  前記投影露光装置は、前記光源から前記パターンに至る光路中に配置された複屈折光学部材と、該複屈折光学部材と前記光源との間の光路中に配置された波長板とをさらに備え、
前記波長板の光軸廻りの配置位置を調整することを特徴とする請求項１１記載の調整方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を達成するために、本発明は、投影原版上に形成されたパターンを照明する照明光学系と、１又は複数の球面鏡と複数のレンズと１又は複数の平面鏡とを有し、前記パターンの像を被露光物体の感光面上に形成する反射屈折型投影光学系とを備えた投影露光装置において、前記照明光学系は、前記パターンを部分偏光光によって照明するように構成されたことを特徴とする投影露光装置とした。
また、本発明は、光源からの光に基づいて、所定のパターンの像を被露光物体の感光面上に形成する投影露光装置であって、前記光源と前記被露光物体との間の光路中に配置されて、入射光を偏向する平面鏡と、該平面鏡へ入射する入射光の偏光度を制御する偏光度制御手段とを備えていることを特徴とする投影露光装置とした。
また、本発明は、光源からの光に基づいて、所定のパターンの像を被露光物体の感光面上に形成する投影露光装置の調整方法であって、前記投影露光装置は、前記光源と前記被露光物体との間の光路中に配置されて、入射光を偏向する平面鏡を備え、該平面鏡へ入射する入射光の偏光度を調整して、前記平面鏡で反射された反射光の偏光度を、前記入射光の偏光度よりも小さくすることを特徴とする投影露光装置の調整方法とした。