(57)【要約】【課題】被検物を真空下で検査する検査装置において検査所要時間を短縮する。【解決手段】被検物（ガラス基板３）を搬送する複数の搬送機構４ａ、４ｂと、選択された１つの搬送機構（例えば４ａ）を搬送経路１０中に移動させ残りの搬送機構（例えば４ｂ）を搬送経路１０外に移動させる移動手段（昇降機構８）とをロードロックチャンバー２に備える。  このように構成することで、主チャンバー１内で１つの被検物を検査中にロードロックチャンバー２に次の被検物を搬入して待機させておき、検査が終わった直後に主チャンバー１とロードロックチャンバー２の間で被検物を交換することにより、主チャンバー１ではほとんど間を空けずに次の検査を始めることが可能となる。【選択図】          図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
内部が真空に維持される主チャンバーと前記主チャンバーに隣接するロードロックチャンバーとを有し、前記主チャンバーと前記ロードロックチャンバーとの間でＴＦＴアレイ基板を搬出入する搬送経路が形成されているＴＦＴアレイ検査装置において、前記基板を搬送するための複数の搬送機構を前記ロードロックチャンバー内に並設し、前記搬送機構のうち１つを前記搬送経路中に移動させると共に残りの前記搬送機構を前記搬送経路外に相互に移動させる移動手段を備えたことを特徴とするＴＦＴアレイ検査装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、例えば液晶ディスプレイ等の製造工程においてガラス基板上に形成されたＴＦＴアレイの検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイを始めとするフラットパネルディスプレイは、その製造工程においてガラス基板上に形成されたＴＦＴアレイの検査を行う。検査は、真空チャンバー内で基板に電子線を照射し、基板から放出される二次電子を検出することにより行うのが一般的である。この検査を行うための装置としては、特許文献１にも記されているように、基板に電子ビームを照射するための主チャンバーと、この主チャンバーに基板を搬出入するためのロードロックチャンバーとを備えた装置が従来から用いられている。
【０００３】
図４は、このような従来の検査装置の概略構成と、被検物を検査のために装置に出し入れする過程を図示したものである。
まず、図４（１）を利用して概略構成を説明する。
同図において、１は内部が真空に保たれた主チャンバー、２は主チャンバー１に隣接して設けられ、外部と主チャンバー１との間で被検物の搬出入を仲介するためのロードロックチャンバーであり、３は被検物であるガラス基板である。ガラス基板３は、外部のローダ（図示しない）等により、外部とロードロックチャンバー２との間のゲート弁６を介してロードロックチャンバー２に搬出入される。
【０００４】
ロードロックチャンバー２の内部に設けられた搬送機構４（図示例ではローラコンベア）は、受け入れたガラス基板３をゲート弁７を介して主チャンバー１に搬送し、主チャンバー１ではこれを搬送機構５が所定の検査位置まで移送し、また検査後はこれをゲート弁７を介してロードロックチャンバー２内の搬送機構４上に送り返す。即ち、図中に点線で示すように搬送機構４、５およびゲート弁７を連ねた被検物の搬送経路１０が形成されている。
ロードロックチャンバー２は、ゲート弁６および７を共に閉じた状態では内部気圧を大気圧から真空（主チャンバー１内とほぼ同じ真空圧）まで下げ、また大気圧に戻す、等の気圧調節が可能な構造であり、これにより大気圧下にあるガラス基板３を、主チャンバー１内の真空を破ることなく主チャンバー１内に持ち込み、或いはそこから取り出すことが可能となる。
【０００５】
次に、このように構成された検査装置にガラス基板３を搬出入する操作過程を図４に従って説明する。なお、以下の項目（１）、（２）……は図４における図（１）、（２）……にそれぞれ対応する。
（１）最初、ゲート弁６は開き、ゲート弁７は閉じた状態で、ロードロックチャンバー２の内部は大気圧、主チャンバー１内は所定の真空圧に保たれている状態にある。この状態で、検査を受けるガラス基板３が外部のローダ（図示しない）等によりロードロックチャンバー２内の搬送機構４上に移載され、その後、ゲート弁６を閉じ、ロードロックチャンバー２内を真空引きする。
（２）ロードロックチャンバー２の内部気圧が所定の真空圧に達すると、ゲート弁７を開き、ガラス基板３を主チャンバー１に搬送する。その後、ゲート弁７を閉じ、ガラス基板３を検査する。
【０００６】
（３）検査が終わるとゲート弁７を開き、検査済みのガラス基板３をロードロックチャンバー２に戻し、ゲート弁７を閉じる。
（４）ロードロックチャンバー２の内部気圧を大気圧に戻し、ゲート弁６を開いてガラス基板３を外部に搬出し、次工程に送る。
以上をくり返し、次々にガラス基板３を検査する。
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−００５３６４号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００８】
上記のように、従来の検査装置では、被検物の搬出入の都度ロードロックチャンバー内部の気圧を調整する必要があり、これに時間を要するため、被検物１点当たりの検査所要時間が長くなることが問題であった。具体的な数値例を挙げると、ＴＦＴアレイの検査の場合、主チャンバーにおける正味の検査時間は３分程度であるのに対し、圧力調整とゲート弁の開閉を含め被検物の搬入、搬出にそれぞれ１分ほどの時間が掛かり、結局被検物１点当たりの検査所要時間は約５分掛かることになる。
本考案はこのような事情に鑑みてなされたものであり、製造工程中で被検物を真空下で検査する検査装置において、被検物１点当たりの検査所要時間を短縮することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本考案は上記課題を解決するために、被検物を搬送する複数の搬送機構をロードロックチャンバー内に有し、これらの搬送機構のうち選択された１つを搬送経路中に移動させ残りの搬送機構を搬送経路外に移動させる移動手段を備える。
このように構成することで、主チャンバー内で１つの被検物を検査中にロードロックチャンバーに次の被検物を搬入して待機させておき、検査が終わった直後に主チャンバーとロードロックチャンバーの間で被検物を交換することにより、主チャンバーではほとんど間を空けずに次の検査を始めることが可能となる。
【考案の効果】
【００１０】
本考案は上記のように構成されているので、主チャンバーにおける検査とロードロックチャンバーにおける気圧調整を伴う被検物の搬出入とを同時に並行して進行させることができるので、被検物１点当たりの検査所要時間を大幅に短縮することができ、効率の高い検査装置を提供できる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１１】
本考案が提供する検査装置は次のような特徴を有する。即ち、第１の特徴は被検物を搬送する複数の搬送機構をロードロックチャンバー内に備えて構成した点にあり、第２の特徴はこれら搬送機構のうち選択された１つを搬送経路中に移動させ残りの搬送機構を搬送経路外に移動させる移動手段を備えるように構成した点であり、また、典型的な実施形態は搬送機構を２基備える場合である。
従って、最良の形態の基本的な構成は、被検物を搬送する２基の搬送機構をロードロックチャンバー内に有し、そのいずれか一方を選択して搬送経路中に、他方を搬送経路外に移動させる移動手段を備える検査装置である。
【実施例１】
【００１２】
図１は本考案の一実施例装置の概略構成を示す。
同図において、図４と同一の構成要素については同符号を付すことにより再度の説明を省く。本実施例装置は、ロードロックチャンバー２の内部に２基の搬送機構４ａ、４ｂを上下２段に配置し、これらを上下方向に移動させる昇降機構８を備えていることが従来例と異なる。２基の搬送機構４ａ、４ｂは同形、同性能で、いずれか一方が搬送経路１０中にあるときは他方は搬送経路１０から外れた位置にあるように昇降機構８により移動させられる。
【００１３】
９は、被検物を本装置に搬出入するために本装置の前方に設けたローダである。ここでは一例として天井走行式のフォークリフト型のものを模式的に示した。これは、フォーク状の２本のアーム９ａ上に被検物を載せて持ち上げ、さらに前後に（図では左右に）移動して被検物をロードロックチャンバー２に出し入れするものである。但し、ローダ９は外部装置であって、本考案の構成に直接関わるものではない。また、以下の項目（１）〜（８）は、図２、図３に示す（１）〜（８）に対応するものである。
なお、本考案では検査装置内に同時に２つの被検物が存在するので、以下、これらをガラス基板３ａおよびガラス基板３ｂとして区別する。
【００１４】
図２は、図１に示す実施例装置の動作過程を図示したものであり、図３は図２の続きである。
以下、図２および図３に従って、上記のように構成された本実施例装置にガラス基板３ａ、３ｂを搬出入する過程を説明する。なお、図２および図３においては、図１で示したローダ９は省略されているが、同様のものが外部とロードロックチャンバー２との間の搬出入に用いられるものとする。
（１）最初、ゲート弁６は開き、ゲート弁７は閉じた状態で、搬送機構４ａが搬送経路１０中にあり、ロードロックチャンバー２の内部は大気圧、主チャンバー１内は所定の真空圧に保たれている状態にある。この状態で、検査を受けるガラス基板３ａが外部のローダ（図示しない）によりロードロックチャンバー２内の搬送機構４ａ上に移載され、その後、ゲート弁６を閉じ、ロードロックチャンバー２内を真空引きし、内部気圧を所定の真空圧に調整する。
【００１５】
（２）ゲート弁７を開き、ガラス基板３ａを主チャンバー１に搬送する。その後、ゲート弁７を閉じ、ガラス基板３ａを検査する。検査は、前述したように、ガラス基板３ａを電子線で走査し、基板から放出される二次電子を検出することにより行われる。
この検査中に、ロードロックチャンバー２の内部気圧を大気圧に戻し、ゲート弁６を開く。
（３）次に検査すべきガラス基板３ｂを外部のローダ（図示しない）等から搬送機構４ａ上に移載し、ゲート弁６を閉じる。
（４）ロードロックチャンバー２内を真空引きし、その間に昇降機構８により搬送機構４ａ、４ｂを上昇させ、搬送機構４ｂと搬送機構５とのレベルを一致させる（搬送機構４ｂを搬送経路１０中に位置させる）。
（５）主チャンバー１におけるガラス基板３ａの検査が終わるとゲート弁７を開き、検査済みのガラス基板３ａを搬送機構４ｂに移す。
【００１６】
（６）昇降機構８により搬送機構４ａ、４ｂを下降させ、搬送機構４ａと搬送機構５とのレベルを一致させる（搬送機構４ａを搬送経路１０中に位置させる）。
（７）搬送機構４ａ上のガラス基板３ｂを搬送機構５に移す。その後、ゲート弁７を閉じ、ガラス基板３ｂを検査する。
（８）この検査中にロードロックチャンバー２の内部気圧を大気圧に戻し、ゲート弁６を開いてガラス基板３ａを外部に搬出し、次工程に送る。
以降、上記の（３）〜（８）を繰り返し、次々に検査を行う。
【００１７】
なお、被検物のサイズや性状によっては被検物をパレットに積載して搬送する場合があるが、その場合でも、パレットを含めて１つの被検物として扱うことで同様に本考案を適用することができる。
また、実施例１における搬送機構４ａ、４ｂは２基に限定されるものでなく、３基以上装備するようにしてもよい。多数基装備することにより、一度に多数の被検物を装入してバッチ処理で検査を行う検査装置を提供することも可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本考案は、例えば液晶ディスプレイ等の製造工程においてガラス基板上に形成されたＴＦＴアレイの検査に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本考案の一実施例装置の概略構成を示す図である。
【図２】実施例装置（図１）の動作過程を示す図である。
【図３】図２に続く実施例装置の動作過程を示す図である。
【図４】従来装置の概略構成と動作過程を示す図である。
【符号の説明】
【００２０】
１  主チャンバー
２  ロードロックチャンバー
３  ガラス基板
３ａ  ガラス基板
３ｂ  ガラス基板
４  搬送機構
４ａ  搬送機構
４ｂ  搬送機構
５  搬送機構
６  ゲート弁
７  ゲート弁
８  昇降機構
９  ローダ
９ａ  アーム
１０  搬送経路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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