【手続補正書】
【提出日】平成18年1月6日(2006.1.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】インクジェットヘッド及びその製造方法、画像形成装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク滴を吐出するノズル孔と、このノズル孔が連通する吐出室と、この吐出室の少なくとも一つの壁面を形成する振動板と、この振動板に対向配置した電極とを有し、前記振動板を電極との間で発生させる静電力によって変形させて前記インク滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、振動板用外部電極を前記振動板と同一平面に設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記振動板用外部電極と個別電極用外部電極との段差が２μｍ以内であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記振動板用外部電極と個別電極用外部電極とを略一列に配置したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載のインクジェットヘッドにおいて、前記振動板と振動板用外部電極を第１の基板に形成し、前記電極及び個別電極用外部電極を第２の基板に形成して、前記第１の基板のうち少なくとも前記第２の基板の前記個別電極用外部電極に対応する領域を含む部分が前記振動板用外部電極を残して除去されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれかに記載のインクジェットヘッドにおいて、前記振動板と振動板用外部電極が第１の基板に形成され、前記振動板用外部電極には金属層が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記振動板用外部電極の金属層は多層構造であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項７】
請求項６に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記金属層のうちの前記第１の基板と接触する層がシリコンとオーミック性接触が可能な金属であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項６又は７に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記金属層のうちの最表面層がハロゲン系エッチング活性種に耐性を有する金属であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれかに記載のインクジェットヘッドを製造するインクジェットヘッドの製造方法において、前記振動板及び振動板用外部電極を形成する第１の基板と前記電極及び個別電極用外部電極を形成する第２の基板とを、前記振動板と電極との間で所定の間隔を設けて接合した後、前記第１の基板に前記振動板を形成するときに、この第１の基板のうち、少なくとも前記第２の基板の個別電極用外部電極を含む領域に対応する領域及び前記振動板用外部電極を形成する部分を含むコンタクト部を前記振動板と同じ厚さに形成する工程と、前記コンタクト部のうちの前記振動板用外部電極を形成する領域以外の領域を除去する工程とを含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】
請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記第１の基板が単結晶シリコン基板からなり、前記第２の基板がガラス基板からなり、前記第１の基板にＳiＯ2膜のギャップスペーサを形成し、若しくは前記第２の基板に凹部を形成して、前記振動板と電極との間で所定の間隔が形成される状態にして、前記第１の基板と前記第２の基板とを陽極接合することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記第１の基板及び第２の基板がいずれも単結晶シリコン基板からなり、前記第１の基板及び／又は第２の基板にＳiＯ2膜のギャップスペーサを形成し、前記振動板と電極との間で所定の間隔が形成される状態にして、前記第１の基板と前記第２の基板とを直接接合することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１２】
請求項９乃至１１のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記コンタクト部の前記振動板用外部電極を形成する部分以外の部分を除去する工程の前に、前記振動板用外部電極を形成する部分にエッチングに対して耐性を有する保護膜を成膜することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１３】
請求項９乃至１１のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記コンタクト部の前記振動板用外部電極を形成する部分以外の部分を除去する工程の前に、前記第１の基板のエッチングによる除去領域以外の領域にエッチングに対して耐性を有する保護膜を成膜することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１４】
請求項１２又は１３に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記振動板の開口部の短辺をｘ、前記コンタクト部の短辺をｙ、前記第１基板の厚さをａとしたとき、少なくとも（ａ／ｘ）＞１、（ａ／ｙ）＜１の関係を充足することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１５】
請求項９乃至１４のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記第１の基板をエッチングするときに前記コンタクト部のうちの前記振動板用外部電極を形成する部分とこれに隣接する前記個別電極用外部電極との間の部分を残すことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記振動板の開口部の短辺をｘ、前記コンタクト部の短辺をｙ、前記振動板用外部電極の短辺をｚ、前記第１基板の厚さをａとしたとき、少なくとも（ａ／ｘ）＞１、（ａ／ｚ）＞１、（ａ／ｙ）＜１の関係を充足することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１７】
請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記第２の基板に形成する前記電極の前記振動板に対向する部分にはＰ型又はＮ型不純物層を形成し、前記コンタクト部には耐熱性の高い耐熱膜をシート状に形成し、両者の間に不純物層と金属膜との接続孔を配置した電極構成とすることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１８】
請求項１乃至８のいずれかに記載のインクジェットヘッドを製造するインクジェットヘッドの製造方法において、前記振動板及び振動板用外部電極を形成する第１の基板となるシリコンウエハに前記電極及び個別電極用外部電極を形成する第２の基板を接合した後、前記第１の基板にエッチングで前記吐出室を含む流路パターンを形成するときに前記振動板と前記第２の基板の個別電極用外部電極を含む領域に対応する領域及び前記振動板用外部電極を形成する部分を含むコンタクト部とを残し、前記シリコンウエハを個々のヘッドチップに切断した後、前記コンタクト部のうちの前記個別電極用外部電極に対応する領域を除去することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１９】
請求項１８に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記振動板用外部電極を形成するときに、この振動板用外部電極を形成する部分にシリコンに比較してエッチング速度が遅い金属層を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２０】
請求項９乃至１９のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記エッチングマスクとしてエッチングプロセスで生成物を生じない材質のエッチングマスクを用いることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２１】
請求項２０に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記エッチングマスクの材質が石英であることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２２】
請求項２１に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記エッチングマスクの材質がアルミナであることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２３】
請求項１ないし８のいずれかに記載のインクジェットヘッドを搭載していることを特徴とする画像形成装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はインクジェットヘッド及びその製造方法、画像形成装置に関し、特に静電力を用いるインクジェットヘッド及びその製造方法、同ヘッドを備える画像形成装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、工程増加を招くことなく、外部回路への接続手段を容易に接続できる外部電極を有して高密度化可能なインクジェットヘッド及びその製造方法、同ヘッドを備える画像形成装置を提供することを目的としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
請求項２２のインクジェットヘッドの製造方法は、上記請求項２１のインクジェットヘッドの製造方法において、エッチングマスクの材質がアルミナである構成とした。
請求項２３の画像形成装置は、上記請求項１ないし８のいずれかのインクジェットヘッドを搭載した構成とした。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２９】
なお、上記各実施形態においては、振動板と電極とが平行に対向するインクジェットヘッドの例で説明したが、振動板と電極とが非平行な状態で対向する、つまり、ギャップが断面形状で振動板側の辺と電極側の辺が非平行になる形状、例えば、ギャップがリニアに大きくなる形状、或いは曲面形状を有するインクジェットヘッドにも同様に適用することができる。また、前述したように、プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像形成装置（画像記録装置）に上記各実施形態のインクジェットヘッドを搭載することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５１】
請求項２２のインクジェットヘッドの製造方法によれば、上記請求項２１のインクジェットヘッドの製造方法において、エッチングマスクの材質がアルミナである構成としたので、接続手段との接続性の信頼性を向上することができる。
請求項２３の画像形成装置によれば、本発明に係るインクジェットヘッドを搭載しているので、外部回路とインクジェットヘッドとを容易に接続することができる。