【事件の表示】
　平成　４年特許願第　１５６９４号「半導体ウエハの搬送方法および装置」拒絶査定に対する審判事件［平成　５年　８月２７日出願公開、特開平　５−２１８１７３］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯・本件発明
　本件出願は、平成４年１月３１日の出願であって、その請求項１、２に係る発明（以下「本件発明１、２」という。）は、平成１２年６月２３日付け手続補正書、平成１３年６月１８日付け手続補正書及び平成１３年１０月３１日付け手続補正書により補正がされた明細書及び願書に添付された図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１、２に記載されたとおりのものであると認められるところ、その請求項１には、以下のとおり記載されている。
「半導体ウエハを内側及び外側に設けた一対のベルトにより支持して、屈曲した経路を搬送する半導体ウエハの搬送方法において、前記一対のベルトの両端に配置されるプーリと、これらのプーリを支持するベルト連結軸と、これらのベルト連結軸の一方を回転させる単一の駆動源と前記搬送経路のコーナ部に前記内側及び外側ベルトをそれぞれ支持するように設けられた一対の平面プーリとを具備し、これらの平面プーリのそれぞれは、共通のほぼ垂直な回転軸の周りに互いに逆方向に回転可能に設けられるとともに、スペーサを介して互いに接触しつつスラスト回転する上側平面プーリおよび下側平面プーリを備え、これらの平面プーリにより前記一対のベルトを回転搬送し、前記半導体ウエハを前記屈曲した経路に沿って搬送することを特徴とする半導体ウエハの搬送方法。」
　
第２　引用例記載の発明
　原査定の拒絶の理由に引用された本件出願の出願前に日本国内で頒布された刊行物である実願昭５６−１９６４９０号（実開昭５８−９９８３４号）のマイクロフィルム（以下「引用例」という。）には、以下の事項が記載されている。
（１）実用新案登録請求の範囲第１−４行
「単一の駆動回路で駆動される内側ベルト及び外側ベルトを有し、両ベルト上に半導体ウェハやマスク基板等の被搬送物を載置し、カーブ部で方向転換して搬送する搬送装置」
（２）明細書第１頁第１８行−第２頁第４行
「第１図は単一の駆動回路（モータ）を使用する例であり、図においてＭはモータ、Ｂ１は内側ベルト、Ｂ２は外側ベルト、Ｐはプーリをそれぞれ示す。
第１図において半導体ウェハ等の被搬送物は内側ベルトＢ１、及び外側ベルトＢ２上に載置されてカーブ部を搬送され、方向転換するものである」
（３）明細書第４頁第２−１２行
「第３図において、モータ１はプーリ２とベルト１１で接続されており、プーリ２と８、５と６は軸１０、２０で継がれている。その他のプーリ２と３、４と５、６と７と８と９はベルト１２、１３、１４で接続されている。今被搬送物例えばウェファ１５が方向１６からベルト１２と１４に乗るとウェファ１５はプーリ３の位置に来た時内側ベルト１２と１３は分離されているため内側は停止した状態又は非常に減速した状態となり、この状態でも外側のベルト１４は動いているのでウェファ１５はプーリ３と４付近の一点を中心１７にして回転し方向１８へ向かう。」
　
　上記記載事項、及び、第１〜３図（特に第１図）の記載からすると、引用例には、以下の発明が記載されていると認める。
　半導体ウエハを内側及び外側に設けた一対のベルトにより支持して、屈曲した経路を搬送する半導体ウエハの搬送方法において、前記一対のベルトの両端に配置されるプーリ（ａ）と、これらのプーリ（ａ）を支持する軸と、これらの軸の一方を回転させる単一の駆動回路と搬送経路のコーナ部に内側及び外側ベルトをそれぞれ支持する一対のプーリ（ｂ）とを具備し、これらのプーリ（ｂ）のそれぞれは、共通のほぼ垂直な回転軸の回りに互いに逆方向に回転可能に設けられたプーリ（ｃ−１）、プーリ（ｃ−２）を備えたものであり、これらのプーリ（ｂ）により一対のベルトを回転搬送し、半導体ウエハを屈曲した経路に沿って搬送するようにした半導体ウエハの搬送方法。
（なお、符号（ａ）〜（ｃ−２）は、個々のプーリを区別するために当審で付した符号である。）
　
第３　対比
　本件発明１と引用例記載の発明を対比する。
　引用例記載の発明における「プーリ（ａ）」、「プーリ（ｂ）」、「プーリ（ｃ−１）」、「プーリ（ｃ−２）」、「プーリ（ａ）を支持する軸」、「単一の駆動回路」は、それぞれ、本件発明１における「プーリ」、「平面プーリ」、「上側平面プーリ」、「下側平面プーリ」、「プーリを支持するベルト連結軸」、「単一の駆動源」に相当することから、両者は、以下の点で一致する。
　半導体ウエハを内側及び外側に設けた一対のベルトにより支持して、屈曲した経路を搬送する半導体ウエハの搬送方法において、前記一対のベルトの両端に配置されるプーリと、これらのプーリを支持するベルト連結軸と、これらのベルト連結軸の一方を回転させる単一の駆動源と搬送経路のコーナ部に前記内側及び外側ベルトをそれぞれ支持するように設けられた一対の平面プーリとを具備し、これらの平面プーリのそれぞれは、共通のほぼ垂直な回転軸の周りに互いに逆方向に回転可能に設けられた上側平面プーリおよび下側平面プーリを備え、これらの平面プーリにより前記一対のベルトを回転搬送し、前記半導体ウエハを屈曲した経路に沿って搬送することを特徴とする半導体ウエハの搬送方法。
　
　そして、以下の点で相違する。
相違点：上側平面プーリと下側平面プーリとが、本件発明１においては、「スペーサを介して互いに接触しつつスラスト回転する」ものであるのに対し、引用例記載の発明においては、そうでない点。
　
第４　当審の判断
　そこで、上記相違点について検討する。
　本件発明１における「スペーサを介して互いに接触しつつスラスト回転する」とは、本件出願の明細書の項目【００１７】及び図５の記載からみて、上側平面プーリと下側平面プーリをそれぞれ回転軸受により支持し、これらの回転軸受間にスペーサを介挿した機構により、上側平面プーリと下側平面プーリを回転させることを意味していると認められるところ、２つの平面プーリを支持する回転軸受の間にスペーサを介挿した機構は、一つの軸上に独立して回転する部材をそれぞれ支持する軸受を設けるものにおいては周知である（必要であれば、実願昭５８−７２７３９号（実開昭５９−１７６８１６号）のマイクロフィルムを参照。）。
　したがって、引用例記載の発明に、上記周知技術を適用し、上側平面プーリと下側平面プーリとを、スペーサを介して互いに接触しつつスラスト回転するようにすることは、当業者であれば容易に想到したことである。
　そして、「上側平面プーリおよび下側平面プーリは、スペーサを介して互いに接触しつつスラスト回転するため、互いに反対方向に移動する搬送ベルトの異動が相互に規制し合ってほぼ同一の速度で移動することになり、この結果上記のようなしゃくり現象を抑制し、安定かつ円滑な異動が保証されます。」という効果は、上側平面プーリおよび下側平面プーリを、スペーサを介して互いに接触しつつスラスト回転させるための機構が周知技術である以上、当該周知技術が当然有している効果であることから、本件発明１の効果は、引用例記載の発明及び上記周知技術から当業者が予測することができる程度のものであって格別なものではない。
　
第５　むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１は、引用例記載の発明及び上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないので、本件発明２について判断するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、上記結論のとおり審決する。