【手続補正書】
【提出日】平成17年11月16日(2005.11.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  複数の被検出体の検出データが混在するデータの中から、少なくとも１つの被検出体の検出データを抽出するデータ抽出方法であって、
検出データ全体におけるデータの確率分布モデルである第１確率分布モデルを作成する第１工程と；
前記複数の被検出体のうちのいずれか１つの被検出体の検出データの正規分布に基づいて推定される幾つかの確率分布モデルの中から、所定範囲内における前記第１確率分布モデルとのずれを示す情報量が最も小さい確率分布モデルである第２確率分布モデルを求める処理を、少なくとも１つの特定の被検出体について実行する第２工程と；
前記第２確率分布モデルに基づいて推定される頻度分布に基づいて前記特定の被検出体と他の被検出体との検出データの閾値を決定する第３工程と；
前記閾値に基づいて前記特定の被検出体及び前記他の被検出体のいずれかの検出データを抽出する第４工程と；を含むデータ抽出方法。
【請求項２】  前記特定の被検出体の検出データであることが明らかな幾つかの検出データの頻度分布に基づいて前記特定の被検出体の検出データの正規分布を推定する第５工程をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のデータ抽出方法。
【請求項３】  前記第２工程は、
前記特定の被検出体の検出データの正規分布を、ある倍率で拡大したときに得られる分布に基づく確率分布モデルを作成する処理と、前記所定範囲内におけるその確率分布モデルと前記第１確率分布モデルとのずれを示す情報量を算出する処理とを、前記倍率を変えながら繰り返し実行する情報量算出工程と；
該情報量算出工程で作成された確率分布モデルのうち、前記第１確率分布モデルとのずれが最も小さい確率分布モデルを前記第２確率分布モデルとして求め、当該第２確率分布モデルが得られたときの倍率を前記特定の被検出体における正規分布の拡大倍率として決定する倍率決定工程と；を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載のデータ抽出方法。
【請求項４】  前記第３工程では、前記倍率決定工程において決定された拡大倍率で前記特定の被検出体の検出データの正規分布を拡大することによって得られる頻度分布に基づいて前記閾値を決定することを特徴とする請求項３に記載のデータ抽出方法。
【請求項５】  前記第２工程における前記情報量はカルバック・ライブラーの情報量であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のデータ抽出方法。
【請求項６】  前記特定の被検出体の検出データの正規分布の平均値を中心とする、ある範囲に含まれる検出データの正規分布の中から、前記特定の被検出体の検出データの正規分布とのずれを示す情報量が最も小さい正規分布が得られたときの範囲を前記所定範囲として決定する第６工程と；をさらに含むことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のデータ抽出方法。
【請求項７】  前記第６工程は、
前記特定の被検出体の検出データの正規分布の平均値を中心とする、ある範囲に含まれる検出データの正規分布を推定する処理と、その正規分布と前記特定の被検出体の検出データの正規分布とのずれを示す情報量を算出する処理とを、前記範囲を変えながら繰り返し実行する情報量算出工程と；
該情報量算出工程において推定された正規分布のうち、前記特定の被検出体の検出データの正規分布とのずれが最も小さい正規分布の範囲を前記所定範囲として決定する範囲決定工程と；を含むことを特徴とする請求項６に記載のデータ抽出方法。
【請求項８】  前記第６工程における前記情報量はカルバック・ライブラーの情報量であることを特徴とする請求項６又は７に記載のデータ抽出方法。
【請求項９】  検出対象の位置を検出する位置検出方法であって、
請求項１〜８のいずれか一項に記載のデータ抽出方法を用いて少なくとも１つの被検出体の検出データを抽出するデータ抽出工程と；
該データ抽出工程において抽出された検出データに基づいて、前記少なくとも１つの被検出体である検出対象の位置を検出する位置検出工程と；を含む位置検出方法。
【請求項１０】  請求項９に記載の位置検出方法を用いて検出された前記検出対象の位置に基づいて、投影光学系の光軸を調整する調整方法。
【請求項１１】  複数の被検出体の検出データが混在するデータの中から、少なくとも１つの被検出体の検出データを抽出するデータ抽出装置であって、
検出データ全体におけるデータの確率分布モデルである第１確率分布モデルを作成するデータ分布作成装置と；
前記複数の被検出体のうちのいずれか１つの被検出体の検出データの正規分布に基づいて推定される幾つかの確率分布モデルの中から、所定範囲内における前記第１確率分布モデルとのずれを示す情報量が最も小さい確率分布モデルである第２確率分布モデルを求める処理を、少なくとも１つの特定の被検出体について実行するモデル推定装置と；
前記第２確率分布モデルに基づいて作成される頻度分布に基づいて前記特定の被検出体と他の被検出体との検出データの閾値を決定する閾値決定装置と；
前記閾値に基づいて前記特定の被検出体及び前記他の被検出体のいずれかの検出データを抽出する抽出装置と；を備えるデータ抽出装置。
【請求項１２】  前記特定の被検出体の検出データであることが明らかな幾つかの検出データの頻度分布に基づいて前記特定の被検出体の検出データの正規分布を推定する正規分布推定装置をさらに備えることを特徴とする請求項１１に記載のデータ抽出装置。
【請求項１３】  前記モデル推定装置は、
前記特定の被検出体の検出データの正規分布を、ある倍率で拡大したときに得られる分布に基づく確率分布モデルを作成する処理と、前記所定範囲内におけるその確率分布モデルと前記第１確率分布モデルとのずれを示す情報量を算出する処理とを、前記倍率を変えながら繰り返し実行する情報量算出装置と；
該情報量算出装置で作成された確率分布モデルのうち、前記第１確率分布モデルとのずれが最も小さい確率分布モデルを前記第２確率分布モデルとして求め、当該第２確率分布モデルが得られたときの倍率を前記特定の被検出体における正規分布の拡大倍率として決定する倍率決定装置と；を備えることを特徴とする請求項１１又は１２に記載のデータ抽出装置。
【請求項１４】  前記閾値決定装置は、前記倍率決定装置において決定された拡大倍率で前記特定の被検出体の検出データの正規分布を拡大することによって得られる頻度分布の頻度に基づいて前記閾値を決定することを特徴とする請求項１３に記載のデータ抽出装置。
【請求項１５】  前記情報量はカルバック・ライブラーの情報量であることを特徴とする請求項１１〜１４のいずれか一項に記載のデータ抽出装置。
【請求項１６】  前記特定の被検出体の検出データの正規分布の平均値を中心とする、ある範囲に含まれる検出データの正規分布の中から、前記特定の被検出体の検出データの正規分布とのずれを示す情報量が最も小さい正規分布が得られたときの範囲を前記所定範囲として決定する範囲決定装置をさらに備えることを特徴とする請求項１１〜１５のいずれか一項に記載のデータ抽出装置。
【請求項１７】  前記範囲決定装置は、
前記特定の被検出体の検出データの正規分布の平均値を中心とする、ある範囲に含まれる検出データの正規分布を推定する処理と、その正規分布と前記特定の被検出体の検出データの正規分布とのずれを示す情報量を算出する処理とを、前記範囲を変えながら繰り返し実行する情報量算出装置と；
該情報量算出装置で推定された正規分布のうち、前記特定の被検出体の検出データの正規分布とのずれが最も小さい正規分布の範囲を前記所定範囲として決定する決定装置と；を備えることを特徴とする請求項１６に記載のデータ抽出装置。
【請求項１８】  前記範囲決定装置における前記情報量はカルバック・ライブラーの情報量であることを特徴とする請求項１６又は１７に記載のデータ抽出装置。
【請求項１９】  検出対象の位置を検出する位置検出装置であって、
請求項１１〜１８のいずれか一項に記載のデータ抽出装置と；
該データ抽出装置において抽出された検出データに基づいて前記少なくとも１つの被検出体である検出対象の位置を検出する検出装置と；を備える位置検出装置。
【請求項２０】  露光光を物体に照射する露光装置であって、
前記露光光の光路上に配置された投影光学系と；
前記投影光学系を介して投影されたピンホールパターンを介した光源像を撮像する撮像装置と；
検出対象を前記撮像装置によって撮像された前記光源像とする請求項１９に記載の位置検出装置と；を備える露光装置。
【請求項２１】  露光光を物体に照射する露光装置であって、
前記露光光の光路上に配置された投影光学系と；
前記投影光学系を介して投影された光源像を撮像する撮像装置と；
検出対象を前記撮像装置によって撮像された前記光源像とする請求項１９に記載の位置検出装置と；を備える露光装置。
【請求項２２】  露光光を物体に照射する露光装置であって、
前記露光光の光路上に配置された投影光学系と；
前記物体上に転写された光源の転写像を撮像する撮像装置と；
検出対象を前記転写像とする請求項１９に記載の位置検出装置と；を備える露光装置。
【請求項２３】  前記位置検出装置において検出された前記検出対象の位置に基づいて、前記投影光学系の光軸を調整する調整装置をさらに備えることを特徴とする請求項２１又は２２に記載の露光装置。
【請求項２４】  露光光を物体に照射する露光装置であって、
前記物体を含む領域中の複数の観測点における観測値を観測する観測装置と；
検出対象を前記物体とする、請求項１９に記載の位置検出装置と；を備える露光装置。
【請求項２５】  前記位置検出装置によって検出された前記物体の位置に基づいて前記物体を位置制御する位置制御装置をさらに備えることを特徴とする請求項２４に記載の露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
これによれば、統計的手法を用いて抽出された検出対象の検出データに基づいて検出対象の位置を検出することができるため、高精度に検出対象の位置を検出することができる。また、請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の位置検出方法を用いて検出された前記検出対象の位置に基づいて、投影光学系の光軸を調整する調整方法である。これによれば、位置検出方法において精度良く検出された検出対象の位置に基づいて投影光学系の光軸を調整することができるため、高精度な露光を実現することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
請求項１１に記載の発明は、複数の被検出体の検出データが混在するデータの中から、少なくとも１つの被検出体の検出データを抽出するデータ抽出装置であって、検出データ全体におけるデータの確率分布モデルである第１確率分布モデルを作成するデータ分布作成装置（５１）と；前記複数の被検出体のうちのいずれか１つの被検出体の検出データの正規分布に基づいて推定される幾つかの確率分布モデルの中から、所定範囲内における前記第１確率分布モデルとのずれを示す情報量が最も小さい確率分布モデルである第２確率分布モデルを求める処理を、少なくとも１つの特定の被検出体について実行するモデル推定装置（５４）と；前記第２確率分布モデルに基づいて作成される頻度分布に基づいて前記特定の被検出体と他の被検出体との検出データの閾値を決定する閾値決定装置（５５）と；前記閾値に基づいて前記特定の被検出体及び前記他の被検出体のいずれかの検出データを抽出する抽出装置（５６）と；を備えるデータ抽出装置である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
この場合、請求項１２に記載のデータ抽出方法のごとく、前記特定の被検出体の検出データであることが明らかな幾つかの検出データの頻度分布に基づいて前記特定の被検出体の検出データの正規分布を推定する正規分布推定装置（５２）をさらに備えることとすることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
上記請求項１１又は１２に記載のデータ抽出装置において、請求項１３に記載のデータ抽出装置のごとく、前記モデル推定装置は、前記特定の被検出体の検出データの正規分布を、ある倍率で拡大したときに得られる分布に基づく確率分布モデルを作成する処理と、前記所定範囲内におけるその確率分布モデルと前記第１確率分布モデルとのずれを示す情報量を算出する処理とを、前記倍率を変えながら繰り返し実行する情報量算出装置と；該情報量算出装置で作成された確率分布モデルのうち、前記第１確率分布モデルとのずれが最も小さい確率分布モデルを前記第２確率分布モデルとして求め、当該第２確率分布モデルが得られたときの倍率を前記特定の被検出体における正規分布の拡大倍率として決定する倍率決定装置と；を備えることとすることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
この場合、請求項１４に記載のデータ抽出装置のごとく、前記閾値決定装置は、前記倍率決定装置において決定された拡大倍率で前記特定の被検出体の検出データの正規分布を拡大することによって得られる頻度分布の頻度が例えば１以下等の適切な頻度の値を前記閾値として決定することとすることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
上記請求項１１〜１４のいずれか一項に記載のデータ抽出装置において、請求項１５に記載のデータ抽出装置のごとく、前記情報量はカルバック・ライブラーの情報量であることとすることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
上記請求項１１〜１５のいずれか一項に記載のデータ抽出装置において、請求項１６に記載のデータ抽出装置のごとく、前記特定の被検出体の検出データの正規分布の平均値を中心とする、ある範囲に含まれる検出データの正規分布の中から、前記特定の被検出体の検出データの正規分布とのずれを示す情報量が最も小さい正規分布が得られたときの範囲を前記所定範囲として決定する範囲決定装置（５３）をさらに備えることとすることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
この場合、請求項１７に記載のデータ抽出装置のごとく、前記範囲決定装置は、前記特定の被検出体の検出データの正規分布の平均値を中心とする、ある範囲に含まれる検出データの正規分布を推定する処理と、その正規分布と前記特定の被検出体の検出データの正規分布とのずれを示す情報量を算出する処理とを、前記範囲を変えながら繰り返し実行する情報量算出装置と；該情報量算出装置で推定された正規分布のうち、前記特定の被検出体の検出データの正規分布とのずれが最も小さい正規分布の範囲を前記所定範囲として決定する決定装置と；を備えることとすることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
上記請求項１６又は１７に記載のデータ抽出装置において、請求項１８に記載のデータ抽出装置のごとく、前記範囲決定装置における前記情報量はカルバック・ライブラーの情報量であることとすることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
請求項１９に記載の発明は、検出対象の位置を検出する位置検出装置であって、請求項１１〜１８のいずれか一項に記載のデータ抽出装置（８３）と；該データ抽出装置において抽出された検出データに基づいて前記少なくとも１つの被検出体である前記検出対象の位置を検出する検出装置（８４）と；を備える位置検出装置（８１）である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
これによれば、請求項１１〜１８のいずれか一項に記載のデータ抽出装置において、統計的手法によって検出された検出対象のデータを用いて検出対象の位置を検出することができるため、高精度に検出対象の位置を検出することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
請求項２０に記載の発明は、露光光を物体に照射する露光装置（１００）であって、前記露光光（ＩＬ）の光路上に配置された投影光学系（ＰＬ）と；前記投影光学系を介して投影されたピンホールパターン（ＰＨ1〜ＰＨN）を介した光源像を撮像する撮像装置（９５2）と；検出対象を前記撮像装置によって撮像された前記光源像とする請求項１８に記載の位置検出装置と；を備える露光装置である。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
ツェルニケの多項式を用いて波面収差を精度良く求めるためには、投影光学系の瞳位置や大きさに基づいて、スポット像のずれを求めるための基準となる基準位置を補正することが必要となる。そこで、本発明の露光装置では、撮像装置によって撮像された光源像を検出対象として、その像の位置を、請求項１９に記載の位置検出装置を用いて精度良く検出する。したがって、本発明の露光装置では、波面収差を精度良く計測することができる。本発明の露光装置では、精度良く計測された波面収差を調整したうえで露光を実行すれば、高精度な露光を実現することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
請求項２１に記載の発明は、露光光を物体に照射する露光装置であって、前記露光光の光路上に配置された投影光学系と；前記投影光学系を介して投影された光源像を撮像する撮像装置と；検出対象を前記撮像装置によって撮像された前記光源像とする請求項１９に記載の位置検出装置と；を備える露光装置である。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
請求項２２に記載の発明は、露光光を物体に照射する露光装置であって、前記露光光の光路上に配置された投影光学系と；前記物体上に転写された光源の転写像を撮像する撮像装置（例えばＡＳ）と；検出対象を前記転写像とする請求項１９に記載の位置検出装置と；を備える露光装置である。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
上記請求項２１又は２２に記載の露光装置において、請求項２３に記載の露光装置のごとく、前記位置検出装置において検出された前記検出対象の位置に基づいて、前記投影光学系の光軸を調整する調整装置をさらに備えることとすることができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
請求項２４に記載の発明は、露光光を物体に照射する露光装置であって、前記物体を含む領域中の複数の観測点における観測値を観測する観測装置と；検出対象を前記物体とする、請求項１９に記載の位置検出装置と；を備える露光装置である。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
これによれば、請求項１９に記載の位置検出装置によって、物体の位置を精度良く検出することができる。そのため、例えば、この精度良く検出された物体の位置に基づいて物体を位置制御しながら露光を実行すれば、高精度な露光を実現することができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
この場合、請求項２５に記載の発明は、前記位置検出装置によって検出された前記物体の位置に基づいて前記物体を位置制御する位置制御装置をさらに備えることとすることができる。