【手続補正書】
【提出日】平成18年1月31日(2006.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】エキシマレーザ発振装置及び発振方法  
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】  
【請求項１】  Ｋｒ，Ａｒ，Ｎｅから選ばれた１種以上の不活性ガスとＦ2ガスとの混合ガスからなるレーザガスを収納するためのレーザ管からなるレーザチャンバと、該レーザチャンバを挟んで設けられた一対の反射鏡からなる光共振器とを有するエキシマレーザ発振装置であって、
該レーザガスを収容するためのレーザチャンバの内面を、２４８ｎｍ，１９３ｎｍ，１５７ｎｍといった所望の波長の光に対する無反射面とするとともに、該内面の最表面をフッ化物で構成し、
該レーザチャンバ内のレーザガスを励起するためのマイクロ波の導入手段を設けたエキシマレーザ発振装置において、
該チャンバ内にレーザガスを連続的に供給するための手段は、レーザガスのガスフローに時間遅延を与えるためのリザーバーを有することを特徴とするエキシマレーザ発振装置。
【請求項２】  該レーザチャンバ内面の構造はステンレスの表面にＦｅＦ2の層が形成されたもの、または金属上にニッケルを鍍金さらにその表面にＮｉＦ2の層が形成されたもの、またはアルミニウム合金上にＡｌＦ3とＭｇＦ2の層が形成されたものであることを特徴とする請求項１記載のエキシマレーザ発振装置。
【請求項３】  レーザガスを収納するためのレーザ管からなるレーザチャンバと、該レーザチャンバを挟んで設けられた一対の反射鏡からなる光共振器とを有するレーザ発振器であって、
レーザチャンバ内のレーザガスを励起するためのマイクロ波の導入手段を設けるとともに、該マイクロ波を導入する手段は、光共振器の光軸に沿って設けられ、該光軸と直交する方向に関するビーム半径の大きさの該光軸方向の変化に応じて、該マイクロ波を導入する手段と該共振器の光軸との距離を該光軸方向に変化させたレーザ発振装置において、
レーザガスの供給側と、排気側にそれぞれベローズ及び該ベローズを伸縮するための手段を設けたことを特徴とするエキシマレーザ発振装置。
【請求項４】  前記マイクロ波を導入する手段は、前記光軸を挟むようにして一対設けられていることを特徴とする請求項１又は３に記載のエキシマレーザ発振装置。
【請求項５】  レーザガスを供給する手段の上流側に、レーザガスを層流にするための手段を設けたことを特徴とする請求項１または請求項３又は４に記載のエキシマレーザ発振装置。
【請求項６】  マイクロ波を導入する手段は、スロットを有するスロット導波管と、レーザチャンバとの間に介在せしめた誘電板とから構成されていることを特徴とする請求項１または請求項３ないし５のいずれか１項記載のエキシマレーザ発振装置。
【請求項７】  マイクロ波を導入する手段は、スロットを有するスロット導波管と、該スロット部に埋め込まれた誘電材とから構成されていることを特徴とする請求項１または請求項３ないし５のいずれか１項記載のエキシマレーザ発振装置。
【請求項８】  該スロット部に埋め込まれた誘電材は楔形であることを特徴とする請求項７記載のエキシマレーザ発振装置。
【請求項９】  マイクロ波を導入する手段は、スロットを有するスロット導波管と、該スロット導波管内部に配置された誘電材とから構成されていることを特徴とする請求項１または請求項３ないし５のいずれか１項記載のエキシマレーザ発振装置。
【請求項１０】  マイクロ波を導入する手段は、スロットを有するスロット導波管と、該スロット導波管内部に配置された誘電材とから構成されており、該スロット導波管内部に配置されたＣａＦ2，ＭｇＦ2，アルミナ、アルミナイトライド、等の誘電材が該スロット部に埋め込まれた誘電材およびスロット部以外の導波管内部に配置された部分からなることを特徴とする請求項９記載のエキシマレーザ発振装置。
【請求項１１】  マイクロ波を導入する手段は、スロットを有するスロット導波管と、該スロット導波管内部に配置された誘電材とから構成されており、該スロット導波管内部に配置された誘電材が、該スロット部に埋め込まれたＣａＦ2，ＭｇＦ2からなる誘電材およびスロット部以外の導波管内部に配置されたアルミナ、アルミナイトライドからなることを特徴とする請求項９記載のエキシマレーザ発振装置。
【請求項１２】  レーザチャンバ内のレーザガスを励起するためのマイクロ波の導入手段を設けるとともに、該マイクロ波を導入する手段の有するスロット導波管のスロット部分の両側にテーパをつけたことを特徴とする請求項１または請求項３ないし５のいずれか１項記載のエキシマレーザ発振装置。
【請求項１３】  前記マイクロ波を導入する手段を、前記光軸を挟むようにして一対設けるとともに、前記一対のマイクロ波を導入する手段の間隔を可変としたことを特徴とする請求項１または請求項４記載のエキシマレーザ発振装置。
【請求項１４】  前記スロットは、光軸方向を長手方向とする連続的あるいは間欠的な長方形状スロットであることを特徴とする請求項１または請求項６または７記載のエキシマレーザ発振装置。
【請求項１５】  該レーザガスはＫｒ，Ａｒ，Ｎｅから選ばれた１種以上のガスとＦ2ガスと、Ｈｅガスとからなることを特徴とする請求項１記載のエキシマレーザ発振装置。
【請求項１６】  レーザガスの供給側と排気側とをガス冷却器を介して接続したことを特徴とする請求項１または１５記載のエキシマレーザ装置。
【請求項１７】  請求項１ないし１６のいずれか１項記載のエキシマレーザ発振装置において、
供給側のベローズを縮みませると同時に排気側のベローズを伸ばすことによりレーザガスを供給することを特徴とするエキシマレーザの発振方法。
【請求項１８】  供給側のベローズを縮みませる速度と、排気側のベローズを伸ばす速度との比は、供給側のレーザガス圧力と排気側のレーザガス圧力とにより決まるレーザガスの体積変化率に対応させることを特徴とする請求項１７記載のエキシマレーザの発振方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明のエキシマレーザ発振装置は、Ｋｒ，Ａｒ，Ｎｅから選ばれた１種以上の不活性ガスとＦ2ガスとの混合ガスからなるレーザガスを収納するためのレーザ管からなるレーザチャンバと、該レーザチャンバを挟んで設けられた一対の反射鏡からなる光共振器とを有するエキシマレーザ発振装置であって、
該レーザガスを収容するためのレーザチャンバの内面を、２４８ｎｍ，１９３ｎｍ，１５７ｎｍといった所望の波長の光に対する無反射面とするとともに、該内面の最表面をフッ化物で構成し、
該レーザチャンバ内のレーザガスを励起するためのマイクロ波の導入手段を設けたエキシマレーザ発振装置において、
該チャンバ内にレーザガスを連続的に供給するための手段は、レーザガスのガスフローに時間遅延を与えるためのリザーバーを有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明のエキシマレーザ発振装置は、レーザガスを収納するためのレーザ管からなるレーザチャンバと、該レーザチャンバを挟んで設けられた一対の反射鏡からなる光共振器とを有するレーザ発振器であって、
レーザチャンバ内のレーザガスを励起するためのマイクロ波の導入手段を設けるとともに、該マイクロ波を導入する手段は、光共振器の光軸に沿って設けられ、該光軸と直交する方向に関するビーム半径の大きさの該光軸方向の変化に応じて、該マイクロ波を導入する手段と該共振器の光軸との距離を該光軸方向に変化させたレーザ発振装置において、
レーザガスの供給側と、排気側にそれぞれベローズ及び該ベローズを伸縮するための手段を設けたことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明のエキシマレーザ発振方法は、上記記載のエキシマレーザ発振装置において、
供給側のベローズを縮みませると同時に排気側のベローズを伸ばすことによりレーザガスを供給することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】