【手続補正書】
【提出日】平成18年9月4日(2006.9.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察試料を光学的に観察する顕微鏡装置であり、
対物レンズと、
観察試料が載置される試料台と、
対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を検出する変位検出系と、
試料台に対して対物レンズを光軸に沿って相対的に移動させる移動機構と、
変位検出系で検出される情報に基づいて移動機構を制御して対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を調節する制御部とを有している、顕微鏡装置。
【請求項２】
請求項１において、変位検出系は非接触式センサーとセンサーターゲットを有している、顕微鏡装置
【請求項３】
観察試料を光学的に観察する顕微鏡装置であり、
対物レンズと、
観察試料が載置される試料台と、
非接触式センサーとセンサーターゲットを有し、対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を検出する変位検出系と、
試料台に対して対物レンズを光軸に沿って相対的に移動させる移動機構と、
変位検出系で検出される情報に基づいて移動機構を制御して対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を調節する制御部とを有しており、
非接触式センサーとセンサーターゲットの一方は対物レンズを取り囲んでおり、他方は試料台の光学的な開口を取り囲んでいる、顕微鏡装置。
【請求項４】
観察試料を光学的に観察する顕微鏡装置であり、
対物レンズと、
観察試料が載置される試料台と、
非接触式センサーとセンサーターゲットを有し、対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を検出する変位検出系と、
試料台に対して対物レンズを光軸に沿って相対的に移動させる移動機構と、
変位検出系で検出される情報に基づいて移動機構を制御して対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を調節する制御部とを有しており、
非接触式センサーは、非傾斜時の対物レンズの中心を通り、対物レンズの予想される傾斜方向に対して直交する軸線上に配置されている、顕微鏡装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４の内いずれか一つにおいて、変位検出系は、対物レンズの先端部に取り付けられたセンサーターゲットと、試料台に取り付けられた非接触式センサーとを有し、非接触式センサーはセンサーターゲットまでの距離を検出する、顕微鏡装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項４の内いずれか一つにおいて、変位検出系は、試料台に設けられたセンサーターゲットと、対物レンズの先端部に取り付けられた非接触式センサーとを有し、非接触式センサーはセンサーターゲットまでの距離を検出する、顕微鏡装置。
【請求項７】
請求項２ないし請求項６の内いずれか一つにおいて、センサーターゲットは導電性物質から成り、非接触式センサーは静電容量センサーである、顕微鏡装置。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７の内いずれか一つにおいて、顕微鏡装置は、対物レンズを含む観察光学系を有しており、制御部は、対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を観察光学系の焦点深度よりも小さいステップで調節し得る、顕微鏡装置。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８の内いずれか一つにおいて、制御部は、対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を一定に維持する、顕微鏡装置。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９の内いずれか一つにおいて、制御部は、所定の観察位置と、その観察位置における対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を記憶する記憶部を含んでおり、所定の時間間隔をおいて、所定の観察位置における対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を、記憶部に記憶されている相対距離に調節する、顕微鏡装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
２． 本発明の別の顕微鏡装置は、第１項の顕微鏡装置において、変位検出系は、対物レンズの先端部に取り付けられたセンサーターゲットと、試料台に取り付けられた非接触式センサーとを有している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
３． 本発明の別の顕微鏡装置は、対物レンズと、観察試料が載置される試料台と、非接触式センサーとセンサーターゲットを有し、対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を検出する変位検出系と、試料台に対して対物レンズを光軸に沿って相対的に移動させる移動機構と、変位検出系で検出される情報に基づいて移動機構を制御して対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を調節する制御部とを有しており、非接触式センサーとセンサーターゲットの一方は対物レンズを取り囲んでおり、他方は試料台の光学的な開口を取り囲んでいる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
４． 本発明の別の顕微鏡装置は、対物レンズと、観察試料が載置される試料台と、非接触式センサーとセンサーターゲットを有し、対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を検出する変位検出系と、試料台に対して対物レンズを光軸に沿って相対的に移動させる移動機構と、変位検出系で検出される情報に基づいて移動機構を制御して対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を調節する制御部とを有しており、非接触式センサーは、非傾斜時の対物レンズの中心を通り、対物レンズの予想される傾斜方向に対して直交する軸線上に配置されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
５． 本発明の別の顕微鏡装置は、請求項１ないし請求項４の内いずれか一つの顕微鏡装置において、変位検出系は、対物レンズの先端部に取り付けられたセンサーターゲットと、試料台に取り付けられた非接触式センサーとを有し、非接触式センサーはセンサーターゲットまでの距離を検出する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
６． 本発明の別の顕微鏡装置は、請求項１ないし請求項４の内いずれか一つの顕微鏡装置において、変位検出系は、試料台に設けられたセンサーターゲットと、対物レンズの先端部に取り付けられた非接触式センサーとを有し、非接触式センサーはセンサーターゲットまでの距離を検出する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
７． 本発明の別の顕微鏡装置は、請求項２ないし請求項６の内いずれか一つの顕微鏡装置において、センサーターゲットは導電性物質から成り、非接触式センサーは静電容量センサーである
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
８． 本発明の別の顕微鏡装置は、請求項１ないし請求項７の内いずれか一つの顕微鏡装置において、対物レンズを含む観察光学系を有しており、制御部は、対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を観察光学系の焦点深度よりも小さいステップで調節し得る。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
９． 本発明の別の顕微鏡装置は、請求項１ないし請求項８の内いずれか一つの顕微鏡装置において、制御部は、対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を一定に維持する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
１０． 本発明の別の顕微鏡装置は、請求項１ないし請求項９の内いずれか一つの顕微鏡装置において、制御部は、所定の観察位置と、その観察位置における対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を記憶する記憶部を含んでおり、所定の時間間隔をおいて、所定の観察位置における対物レンズの先端部と試料台との間の相対距離を、記憶部に記憶されている相対距離に調節する。