【手続補正書】
【提出日】平成18年2月20日(2006.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
前駆体物質から前駆体含有流体流を送給するための容器であって、
流体を介して連通する上方容積と下方容積とに分かれた内部容積、
流体入口、流体出口、随意的な充填口、及び内側凹部であり上記上方容積の少なくとも一部がその中に存在する内側凹部を含む蓋、
この蓋と基部との間に挟まれた側壁、及び
上記下方容積中に延在する少なくとも１つの突出体であって、前駆体が当該少なくとも１つの突出体と接触し、且つ、当該少なくとも１つの突出体が上記蓋、上記側壁、上記基部、及びそれらの組み合わせから選ばれる少なくとも１つから延びている少なくとも１つの突出体、
を含む、前駆体物質から前駆体含有流体流を送給するための容器。
【請求項２】
前記容器の前記内部容積に伝導する加熱源を更に含み、当該加熱源が前記前駆体を前記流体流を作るのに十分な温度に加熱する、請求項１記載の容器。
【請求項３】
前記加熱源が当該容器の少なくとも一部分を取り囲む熱伝導性のジャケットを含む、請求項２記載の容器。
【請求項４】
前記加熱源が複数の加熱カートリッジを含む、請求項２記載の容器。
【請求項５】
前記加熱カートリッジが前記容器の前記基部に挿入されている、請求項４記載の容器。
【請求項６】
前記流体出口の下流に位置するフィルターを更に含む、請求項１記載の容器。
【請求項７】
前記流体出口の上流に位置するフィルターを更に含む、請求項６記載の容器。
【請求項８】
前記基部が取り外し可能である、請求項１記載の容器。
【請求項９】
前記基部と前記側壁が一体化されている、請求項１記載の容器。
【請求項１０】
前記基部が少なくとも１つの突出体を含む、請求項１記載の容器。
【請求項１１】
前記少なくとも１つの突出体が、収容される前記前駆体物質に対して非反応性である表面から構成される、請求項１記載の容器。
【請求項１２】
前記少なくとも１つの突出体がクローバーの葉のデザインを有する、請求項１記載の容器。
【請求項１３】
少なくとも１つの突出体が前記側壁から延びている、請求項１記載の容器。
【請求項１４】
前記流体入口が、キャリヤガスの流れを前記上方容積中へ導きそして前記容器の前記側壁へぶつける管を更に含む、請求項１記載の容器。
【請求項１５】
前記管がＴ字状である、請求項１４記載の容器。
【請求項１６】
前記流体出口が、前記前駆体含有流体を前記容器外へ導く管を更に含む、請求項１記載の容器。
【請求項１７】
前記管がＴ字状である、請求項１６記載の容器。
【請求項１８】
前記蓋が取り外し可能である、請求項１記載の容器。
【請求項１９】
前駆体物質から前駆体含有流体流を送給するための容器であって、
流体を介して連通する上方容積と下方容積とに分かれた内部容積、
少なくとも１つのキャリヤガスを当該容器の上記内部容積へ導く流体入口、流体出口、及び内側凹部であって上記上方容積の少なくとも一部がその中に存在する内側凹部を含む蓋、
上記下方容積中へ延びる複数の突出体を有し且つ少なくと一部分が上記蓋と接触する上方リップを有する側壁、及び
上記蓋と上記側壁との間に入れられたセパレータであって上記上方リップ内に存在しそして上記内部容積を上記上方容積と下方容積とに分けるセパレータ、
を含む、前駆体物質から前駆体含有流体流を送給するための容器。
【請求項２０】
前記容器の前記内部容積に伝導する加熱源を更に含み、当該加熱源が前記前駆体を前記流体流を作るのに十分な温度に加熱する、請求項１９記載の容器。
【請求項２１】
前記加熱源が前記側壁の少なくとも一部分を取り囲む熱伝導性のジャケットを含む、請求項２０記載の容器。
【請求項２２】
前記セパレータの少なくとも一部と接触するステンレス鋼のフリットを更に含む、請求項１９記載の容器。
【請求項２３】
前記突出体の少なくとも一部が、接触する前駆体物質に対して非反応性である表面を含む、請求項１９記載の容器。
【請求項２４】
前記突出体の少なくとも一部が熱伝導性の芯を含む、請求項２３記載の容器。
【請求項２５】
前駆体物質から前駆体含有流体流を送給するための容器であって、
セパレータにより上方容積と下方容積とに分けられ、当該上方容積と当該下方容積とが流体を介して連通する内部容積、
少なくとも１つのキャリヤガスを当該容器の上記内部容積へＴ字状の管を通して導く流体入口、流体出口、及び内側凹部であって上記上方容積の少なくとも一部がその中に存在する内側凹部を含む蓋、
当該蓋に取り付けられた側壁であってそこから上記下方容積中へ延びる複数の突出体を含み、当該複数の突出体の少なくとも１つがそれと接触する前駆体物質に対し非反応性の表面を持つ側壁、及び
当該容器の上記内部容積に伝導する加熱源であって前駆体を前駆体含有流体流を作るのに十分な温度に加熱する加熱源、
を含む、前駆体物質から前駆体含有流体流を送給するための容器。
【請求項２６】
前駆体の気相を含む前駆体含有流体流を送給するための方法であって、
セパレータにより分けられた下方容積と上方容積を含む内部容積を有する容器中へ前駆体を導入し、この容器は、基部、上記下方容積中へ延びる少なくとも１つの突出体であって当該前駆体がそれと接触する少なくとも１つの突出体、入口と出口とを含む圧力シール可能な蓋、及びこの蓋を上記基部と接続させる側壁を含むこと、
上記容器の上記内部容積に伝導する加熱源を設けること、
入っている前駆体の気相を作るのに十分なエネルギーを上記加熱源に加えること、
上記入口を通して上記容器へ少なくとも１つのキャリヤガスを導入し、当該少なくとも１つのキャリヤガスは下流方向に上記容器の側壁に接触して流れ、当該少なくとも１つのキャリヤガスと前記前駆体の気相とが一緒になって上記流体流を形成すること、
そして当該流体流を上記出口を通し下流の堆積装置へ送給すること、
を含む、前駆体の気相を含む前駆体含有流体流を送給するための方法。
【請求項２７】
前記前駆体含有流体流が流れるインラインフィルターを前記出口の下流に更に含む、請求項２６記載の方法。
【請求項２８】
前記流体入口を形成する前記Ｔ字状の管が角度つきの端部を少なくとも１つ有する、請求項１５又は２５記載の容器。
【請求項２９】
前記流体出口を形成する前記Ｔ字状の管が角度つきの端部を少なくとも１つ有する、請求項１７記載の容器。
【請求項３０】
前記流体入口が、角度つきの端部を少なくとも１つ有するＴ字状の管である、請求項１９記載の容器。
【請求項３１】
前記流体出口が、角度つきの端部を少なくとも１つ有するＴ字状の管である、請求項１９又は２５記載の容器。
【請求項３２】
前記キャリヤガスを、角度つきの端部を少なくとも１つ有するＴ字状の入口管を通して導入する、請求項２６記載の方法。
【請求項３３】
前記流体流を、角度つきの端部を少なくとも１つ有するＴ字状の出口管を通して送給する、請求項２６記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
図７Ｄは、組み立てた蓋１０２の詳細側面図を提供し、これは入ってくるキャリヤガスの流れを導くのを助けることができる蓋１０２の内側凹部１１６を図示している。図７Ｄが図示するように、内側凹部１１６は上方容積１１７の少なくとも一部を含み、そして入ってくるキャリヤガスの流れを昇華していない前駆体から離して導くことができる。