(57)【要約】【課題】基板を確実に挟持するかリリースすることができ、基板を容易に後工程へ搬送することができる基板製造用フレームを提供する。【解決手段】基板製造用フレームは、２つのチャック１と、４つの動力機構２と、２つの第１のリングロッド３とを備える。チャック１は、互いに平行に対向配置される。動力機構２は、各チャック１の両端にそれぞれ設けられるとともに、ハウジング２１、ラックギヤ、歯車、弾性部材及び駆動部材２５をそれぞれ有する。歯車の一側は、チャック１の一端に接続される。弾性部材は、ラックギヤとハウジング２１との間に当接される。駆動部材２５は、歯車の他側又はラックギヤに設けられるとともに、ハウジング２１から露出される。第１のリングロッド３は、互いに平行に対向配置される。各第１のリングロッド３の両端には、動力機構２がそれぞれ設けられる。第１のリングロッド３は、チャック１間に位置する。【選択図】図１
0003226433.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
２つのチャックと、４つの動力機構と、２つの第１のリングロッドと、を備えた、基板製造用フレームであって、
前記チャックは、互いに平行に対向配置され、
前記動力機構は、各前記チャックの両端にそれぞれ設けられるとともに、ハウジング、ラックギヤ、歯車、弾性部材及び駆動部材をそれぞれ有し、前記ラックギヤと前記歯車とが噛合され、前記ハウジング中に配設され、前記歯車の一側は、前記チャックの一端に接続され、前記弾性部材は、前記ラックギヤと前記ハウジングとの間に当接され、前記駆動部材は、前記歯車の他側又は前記ラックギヤに設けられるとともに、前記ハウジングから露出され、
前記第１のリングロッドは、互いに平行に対向配置され、各前記第１のリングロッドの両端には、前記動力機構がそれぞれ設けられ、前記第１のリングロッドは、前記チャック間に位置することを特徴とする、基板製造用フレーム。
【請求項２】
前記チャックは、下固定部、上クランプ部及び少なくとも１つの接続部をそれぞれ有し、
前記下固定部は、前記接続部に結合されるとともに、前記下固定部の両端が２つの前記前記ハウジング間にそれぞれ接続され、
前記上クランプ部は、前記接続部に移動可能に配置され、前記上クランプ部の両端が２つの前記歯車の一側にそれぞれ接続されることを特徴とする請求項１に記載の基板製造用フレーム。
【請求項３】
前記動力機構は、前記ハウジングから露出した少なくとも１つの第１の位置決め部材をそれぞれ有し、
前記第１の位置決め部材は、前記下固定部の両端にそれぞれ結合されることを特徴とする請求項２に記載の基板製造用フレーム。
【請求項４】
前記歯車の一側には、伝動軸がそれぞれ設けられ、
前記伝動軸は、前記上クランプ部の両端にそれぞれ接続されることを特徴とする請求項２に記載の基板製造用フレーム。
【請求項５】
前記下固定部は、複数の下クランプ爪を有し、
前記上クランプ部は、複数の上クランプ爪を有し、
各前記上クランプ爪は、前記下クランプ爪にそれぞれ対応することを特徴とする請求項２に記載の基板製造用フレーム。
【請求項６】
前記下固定部は、複数の当接部材を有し、
前記上クランプ部は、複数の上クランプ爪を有し、
各前記上クランプ爪は、前記当接部材にそれぞれ対応することを特徴とする請求項２に記載の基板製造用フレーム。
【請求項７】
前記動力機構は、位置決めフレームを有し、
前記位置決めフレームは、上蓋及び底板を有し、
前記底板は、案内棒を有し、
前記位置決めフレームは、前記ハウジング中に設けられ、
前記ラックギヤ及び前記歯車は、前記位置決めフレーム中に設けられ、
前記案内棒は、前記弾性部材に挿設され、
前記ラックギヤは、前記弾性部材に外嵌され、
前記弾性部材の両端は、前記ラックギヤ及び前記底板にそれぞれ当止され、
前記上蓋と前記位置決めフレームとの間と、前記底板と前記位置決めフレームとの間とには、第１のシールリングがそれぞれ設けられることを特徴とする請求項１に記載の基板製造用フレーム。
【請求項８】
前記駆動部材は、バー状を呈するとともに、前記歯車の他側に設けられ、
前記駆動部材は、前記ハウジングから露出され、
前記歯車と前記位置決めフレームとの間には、第２のシールリングが設けられることを特徴とする請求項７に記載の基板製造用フレーム。
【請求項９】
前記駆動部材は、バー状を呈して前記歯車の頂端に設けられるとともに、前記上蓋から露出され、
前記駆動部材と前記上蓋との間には、第２のシールリングが設けられることを特徴とする請求項７に記載の基板製造用フレーム。
【請求項１０】
前記底板には、逆止弁が設けられ、
前記逆止弁は、前記位置決めフレーム内に連通することを特徴とする請求項７に記載の基板製造用フレーム。
【請求項１１】
２つの第２のリンクロッドをさらに備え、
前記第２のリンクロッドは、互いに対向配置し、
各前記第２のリンクロッドの両端には、前記動力機構がそれぞれ設けられ、
各前記第２のリンクロッドは、前記チャックにそれぞれ隣り合うとともに、前記第１のリングロッド間に位置することを特徴とする請求項１に記載の基板製造用フレーム。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、基板を後工程へ搬送する基板製造用フレームに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板は、洗浄・搬送工程において、基板の挟持に問題があったため、基板の洗浄・搬送工程には多くの問題があった。
【０００３】
そのため、基板を搬送するために用い、基板を確実に挟持するかリリースすることができ、基板を容易に後工程へ搬送し、従来技術の欠点を大幅に改善する基板製造用フレームが求められていた。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、本考案者は、上記課題を解決するための鋭意検討を重ねた結果、かかる知見に基づいて、本考案に想到するに至った。
本考案の課題は、基板を搬送するために用い、基板を確実に挟持するかリリースすることができ、基板を容易に後工程へ搬送することができる基板製造用フレームを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本考案の第１の形態によれば、２つのチャックと、４つの動力機構と、２つの第１のリングロッドと、を備えた、基板製造用フレームであって、前記チャックは、互いに平行に対向配置され、前記動力機構は、各前記チャックの両端にそれぞれ設けられるとともに、ハウジング、ラックギヤ、歯車、弾性部材及び駆動部材をそれぞれ有し、前記ラックギヤと前記歯車とが噛合され、前記ハウジング中に配設され、前記歯車の一側は、前記チャックの一端に接続され、前記弾性部材は、前記ラックギヤと前記ハウジングとの間に当接され、前記駆動部材は、前記歯車の他側又は前記ラックギヤに設けられるとともに、前記ハウジングから露出され、前記第１のリングロッドは、互いに平行に対向配置され、各前記第１のリングロッドの両端には、前記動力機構がそれぞれ設けられ、前記第１のリングロッドは、前記チャック間に位置することを特徴とする、基板製造用フレームを提供する。
【０００６】
前記チャックは、下固定部、上クランプ部及び少なくとも１つの接続部をそれぞれ有し、前記下固定部は、前記接続部に結合されるとともに、前記下固定部の両端が２つの前記前記ハウジング間にそれぞれ接続され、前記上クランプ部は、前記接続部に移動可能に配置され、前記上クランプ部の両端が２つの前記歯車の一側にそれぞれ接続されることが好ましい。
【０００７】
前記動力機構は、前記ハウジングから露出した少なくとも１つの第１の位置決め部材をそれぞれ有し、前記第１の位置決め部材は、前記下固定部の両端にそれぞれ結合されることが好ましい。
【０００８】
前記歯車の一側には、伝動軸がそれぞれ設けられ、前記伝動軸は、前記上クランプ部の両端にそれぞれ接続されることが好ましい。
【０００９】
前記下固定部は、複数の下クランプ爪を有し、前記上クランプ部は、複数の上クランプ爪を有し、各前記上クランプ爪は、前記下クランプ爪にそれぞれ対応することが好ましい。
【００１０】
前記下固定部は、複数の当接部材を有し、前記上クランプ部は、複数の上クランプ爪を有し、各前記上クランプ爪は、前記当接部材にそれぞれ対応することが好ましい。
【００１１】
前記動力機構は、位置決めフレームを有し、前記位置決めフレームは、上蓋及び底板を有し、前記底板は、案内棒を有し、前記位置決めフレームは、前記ハウジング中に設けられ、前記ラックギヤ及び前記歯車は、前記位置決めフレーム中に設けられ、前記案内棒は、前記弾性部材に挿設され、前記ラックギヤは、前記弾性部材に外嵌され、前記弾性部材の両端は、前記ラックギヤ及び前記底板にそれぞれ当止され、前記上蓋と前記位置決めフレームとの間と、前記底板と前記位置決めフレームとの間とには、第１のシールリングがそれぞれ設けられることが好ましい。
【００１２】
前記駆動部材は、バー状を呈するとともに、前記歯車の他側に設けられ、前記駆動部材は、前記ハウジングから露出され、前記歯車と前記位置決めフレームとの間には、第２のシールリングが設けられることが好ましい。
【００１３】
前記駆動部材は、バー状を呈して前記歯車の頂端に設けられるとともに、前記上蓋から露出され、前記駆動部材と前記上蓋との間には、第２のシールリングが設けられることが好ましい。
【００１４】
前記底板には、逆止弁が設けられ、前記逆止弁は、前記位置決めフレーム内に連通することが好ましい。
【００１５】
２つの第２のリンクロッドをさらに備え、前記第２のリンクロッドは、互いに対向配置し、各前記第２のリンクロッドの両端には、前記動力機構がそれぞれ設けられ、各前記第２のリンクロッドは、前記チャックにそれぞれ隣り合うとともに、前記第１のリングロッド間に位置することが好ましい。
【考案の効果】
【００１６】
本考案の基板製造用フレームは、基板を搬送するために用い、動力機構によりチャックを駆動し、チャックにより基板を確実に挟持するかリリースすることができ、基板を容易に後工程へ搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本考案の一実施形態に係るフレームを示す斜視図である。
【図２】本考案の一実施形態に係るフレームを示す分解斜視図である。
【図３】本考案の一実施形態に係るチャックを示す分解斜視図である。
【図４】本考案の一実施形態に係る動力機構を示す分解斜視図（１）である。
【図５】本考案の一実施形態に係る動力機構を示す分解斜視図（２）である。
【図６】本考案の一実施形態に係る動力機構を示す断面図である。
【図７】本考案の一実施形態に係るフレームの応用例を示す斜視図である。
【図８】本考案の一実施形態に係る他のチャックを示す分解斜視図である。
【図９】本考案の一実施形態に係る他のチャックを示す組立斜視図である。
【図１０】本考案の一実施形態に係る他の動力機構を示す組立斜視図である。
【図１１】本考案の一実施形態に係る他の動力機構を示す分解斜視図（１）である。
【図１２】本考案の一実施形態に係る他の動力機構を示す分解斜視図（２）である。
【図１３】本考案の一実施形態に係る他の動力機構を示す断面図である。
【図１４】本考案の一実施形態に係る他のフレームを示す組立斜視図である。
【図１５】本考案の一実施形態に係る基板の洗浄装置を示す斜視図である。
【図１６】本考案の一実施形態に係る基板の洗浄装置がフレームを置く状態の説明図（１）である。
【図１７】本考案の一実施形態に係る基板の洗浄装置がフレームを置く状態の説明図（２）である。
【図１８】本考案の一実施形態に係る基板の洗浄装置がフレームを置く状態の説明図（３）である。
【図１９】本考案の一実施形態に係る基板の洗浄装置がチャックを開く状態の説明図（１）である。
【図２０】本考案の一実施形態に係る基板の洗浄装置がチャックを開く状態の説明図（２）である。
【図２１】本考案の一実施形態に係る基板の洗浄装置が基板を挟持する状態の説明図である。
【図２２】本考案の一実施形態に係る基板の洗浄装置が基板を搬送する状態の説明図である。
【図２３】本考案の一実施形態に係る基板の洗浄装置が基板を除去する状態の説明図である。
【図２４】本考案の一実施形態に係る基板の洗浄装置がフレームを挟む状態の説明図（１）である。
【図２５】本考案の一実施形態に係る基板の洗浄装置がフレームを挟む状態の説明図（２）である。
【考案を実施するための形態】
【００１８】
以下、本考案の目的、特徴及び効果をより分かりやすくするために、具体的な実施形態について図に基づいて詳しく説明する。
【００１９】
図１〜図７を参照する。図１〜図７に示すように、本考案の一実施形態に係る基板製造用フレーム１０は、少なくとも２つのチャック１と、４つの動力機構２と、２つの第１のリングロッド３と、から構成されてなる。
【００２０】
図１を参照する。図１に示すように、複数のチャック１は、互いに平行に対向配置される。
【００２１】
図１及び図４〜図６を参照する。図１及び図４〜図６に示すように、各チャック１の両端には、動力機構２がそれぞれ設けられる。各動力機構２は、ハウジング２１、ラックギヤ２２、歯車２３、弾性部材２４及び駆動部材２５をそれぞれ有する。ハウジング２１は、前ハウジング及び後ハウジングを含む。縦向きに配設されたラックギヤ２２と、横向きに配設された歯車２３とは、ハウジング２１中に配設されて互いに噛合する。歯車２３の前部は、ハウジング２１に挿通され、チャック１の一端に接続される。弾性部材２４は、伸縮ばねであり、ラックギヤ２２とハウジング２１との間に当止される。歯車２３の後部は、ハウジング２１に挿通されて駆動部材２５に接続される。駆動部材２５は、ハウジング２１から露出され、バー状を呈する。
【００２２】
図１を参照する。図１に示すように、第１のリングロッド３は、互いに平行に対向配置される。各第１のリングロッド３の両端には、動力機構２がそれぞれ設けられる。第１のリングロッド３は、凸体（又は凹溝）を有し、動力機構２の凹溝（又は凸体）に結合される。複数の第１のリングロッド３は、複数のチャック１間に位置し、第１のリングロッド３とチャック１とは互いに垂直の関係にあり、方形又は矩形が形成される。複数の動力機構２は、方形又は矩形の四隅にそれぞれ位置する。
【００２３】
図１〜図７を参照する。本考案は、外力により複数の駆動部材２５を回転させると、複数の歯車２３によりチャック１が開いてラックギヤ２２を下方へ移動させ、弾性部材２４を押下げてから、基板４をチャック１に置くと、複数の駆動部材２５が徐々に開いて弾性部材２４の圧縮エネルギーが徐々に解放され、複数のラックギヤ２２を押動して上方へ移動させ、複数の歯車２３を逆回転させてから、複数の歯車２３により複数のチャック１を閉じ、複数の弾性部材２４の当止力により基板４を挟み込む。本考案の基板製造用フレーム１０は、基板４を搬送するために使用され、基板４を後工程へ搬送するために用いる。
【００２４】
図１〜図７を参照する。図１〜図７に示すように、本考案の一実施形態に係る基板製造用フレームのチャック１は、下固定部１１、上クランプ部１２及び少なくとも１つの接続部１３をそれぞれ含んでもよい。下固定部１１は、接続部１３に結合されるとともに、下固定部１１の両端が２つのハウジング２１間にそれぞれ接続される。上クランプ部１２は、接続部１３に枢着され、上クランプ部１２の両端が２つの歯車２３の前部にそれぞれ接続されている。そのため、複数の駆動部材２５により複数の歯車２３を駆動させると、複数の上クランプ部１２が回転してチャック１が開くとともに、ラックギヤ２２を下方へ移動させて複数の弾性部材２４を押下げた後、基板４を下固定部１１上に置いてから、複数の駆動部材２５をゆっくりと開いて複数の弾性部材２４の圧縮エネルギーを開放し、複数のラックギヤ２２が上方へ移動して複数の歯車２３が逆回転した後、複数の歯車２３により上クランプ部１２を逆回転させてチャック１を閉じ、複数の弾性部材２４の当止力と、複数の上クランプ部１２と、複数の下固定部１１と、により基板４を挟み込む。
【００２５】
図１〜図３を参照する。図１〜図３に示すように、本考案の一実施形態に係る基板製造用フレームの動力機構２は、ハウジング２１から露出された少なくとも１つの第１の位置決め部材２６をそれぞれ有する。複数の第１の位置決め部材２６は、下固定部１１の両端にそれぞれ結合される。第１の位置決め部材２６は、凸体（又は凹溝）であり、下固定部１１の凹溝（又は凸体）に結合される。この構成により、複数のチャック１を複数の動力機構２に確実に結合させることができる。
【００２６】
図１〜図５を参照する。図１〜図５に示すように、本考案の一実施形態に係る基板製造用フレームに係る複数の歯車２３の前部には、伝動軸２３１がそれぞれ設けられる。複数の伝動軸２３１は、多角柱体であり、複数の上クランプ部１２の両端の多角凹溝にそれぞれ結合可能である。そのため、複数の伝動軸２３１により、複数の上クランプ部１２を確実に回転させることができる。
【００２７】
図１〜図３及び図７を参照する。図１〜図３及び図７に示すように、本考案の一実施形態に係る基板製造用フレームにおいて、複数のチャック１の下固定部１１は複数の下クランプ爪１１１をそれぞれ有し、複数の上クランプ部１２は、複数の上クランプ爪１２１をそれぞれ有してもよい。各上クランプ爪１２１は、下クランプ爪１１１にそれぞれ対応する。そのため、複数のチャック１の上クランプ部１２を下固定部１１に向かって移動させ、複数のチャック１を閉じると、各上クランプ爪１２１が各下クランプ爪１１１に対応して当接し、複数のチャック１の上クランプ部１２が下固定部１１と組み合わされて確実に基板４を挟持するか基板４をリリースし、基板４を容易に後工程へ搬送させることができる。また、複数の上クランプ爪１２１及び複数の下クランプ爪１１１を使用することにより、基板４が挟持される面積を減らすこともできる。
【００２８】
図８及び図９を参照する。図８及び図９に示すように、本考案の一実施形態に係る基板製造用フレームは、複数のチャック１の下固定部１１が複数の当接部材１１２をそれぞれ有する。複数の上クランプ部１２は、複数の上クランプ爪１２１をそれぞれ有する。各上クランプ爪１２１は、当接部材１１２にそれぞれ対応する。各当接部材１１２は、狭い当接面を有し、各上クランプ爪１２１に対応する。そのため、複数のチャック１の上クランプ部１２を下固定部１１に向けて移動させると、複数のチャック１が閉じ、各上クランプ爪１２１は、各当接部材１１２に対応して当接し、複数のチャック１の上クランプ部１２を下固定部１１と組み合わせて確実に基板４を挟持するか基板４をリリースし、基板４を容易に後工程へ搬送させることができる。また、複数の上クランプ爪１２１及び複数の当接部材１１２を使用することにより、基板４を挟持する面積を減らすこともできる。
【００２９】
図１〜図６を参照する。図１〜図６に示すように、本考案の一実施形態に係る基板製造用フレームに係る複数の動力機構２は、位置決めフレーム２７をそれぞれ含む。複数の位置決めフレーム２７は、上蓋２７１及び底板２７２をそれぞれ有する。複数の底板２７２は、案内棒２７３をそれぞれ有する。位置決めフレーム２７は、ハウジング２１の前ハウジングと後ハウジングとの間に設けられてもよい。ラックギヤ２２は、位置決めフレーム２７の上下方向収容チャネル２７５中に移動可能に配置される。歯車２３は、位置決めフレーム２７の前後方向収容チャネル２７６中に移動可能に配置される。案内棒２７３は、弾性部材２４に挿設される。ラックギヤ２２は、弾性部材２４に外嵌される。弾性部材２４の両端は、ラックギヤ２２及び底板２７２にそれぞれ当止される。上蓋２７１と位置決めフレーム２７との間と、底板２７２と位置決めフレーム２７との間とには、第１のシールリング２７４がそれぞれ設けられる。第１のシールリング２７４は、方形状、矩形状又は円形状でもよい。この構成により、複数の第１のシールリング２７４は位置決めフレーム２７に気密効果を発生させ、異物が位置決めフレーム２７に進入してラックギヤ２２及び歯車２３の動作に悪影響を与える上、気密効果によりラックギヤ２２及び歯車２３を容易に駆動させることができる。
【００３０】
図１〜図５を参照する。図１〜図５に示すように、本考案の一実施形態に係る基板製造用フレームの駆動部材２５は、バー状を呈し、ねじにより複数の歯車２３の後部に取付けられるとともに、複数の駆動部材２５がハウジング２１からそれぞれ露出される。歯車２３とハウジング２１との間には、第２のシールリング２５１が設けられる。また、歯車２３の後部は、駆動部材２５の多角形開口に結合される多角形凸体を有し、駆動部材２５が歯車２３に対して回転することを防ぎ、駆動部材２５により歯車２３を回転させることができる。この構成により、位置決めフレーム２７と歯車２３との間に気密効果が発生し、異物が位置決めフレーム２７に進入してラックギヤ２２と歯車２３との動作に悪影響を与えることを防ぐことができる上、気密効果により駆動部材２５は歯車２３を駆動させることができる。
【００３１】
図１０〜図１３に示す動力機構２は、図３〜図６に示す動力機構２と異なり、複数の駆動部材２５がバー状を呈して複数の歯車２３の頂端に設けられている点が異なる。駆動部材２５は、上蓋２７１から露出されている。駆動部材２５と上蓋２７１との間には、第２のシールリング２５１が設けられる。この構成により、駆動部材２５と上蓋２７１との間に気密効果が発生し、異物が位置決めフレーム２７に進入してラックギヤ２２と歯車２３との動作に悪影響を与えることを防ぐことができる上、気密効果により駆動部材２５はラックギヤ２２を駆動させることができる。また、本考案を使用するとき、外力により複数の駆動部材２５を押圧すると、複数の歯車２３により複数のチャック１を開き、複数のラックギヤ２２を下方へ移動させるとともに、複数の弾性部材２４を押下げてから、基板４を複数のチャック１に載置すると、複数の駆動部材２５がゆっくりと開いて複数の弾性部材２４の圧縮エネルギーが開放され、複数のラックギヤ２２を押動して上方へ移動させ、複数の歯車２３を逆回転させてから、複数の歯車２３により複数のチャック１を閉じ、複数の弾性部材２４の当止力により基板４を挟み込む。本考案の基板製造用フレーム１０は、基板４を搬送するために使用され、基板４を後工程へ搬送するために用いる。
【００３２】
図１０〜図１３を参照する。図１０〜図１３に示すように、本考案の一実施形態に係る基板製造用フレームの動力機構２の底板２７２には、逆止弁２８がそれぞれ設けられる。逆止弁２８は、位置決めフレーム２７内に連通する。そのため、動力機構２が操作される際、逆止弁２８により位置決めフレーム２７内の気体を排出させて位置決めフレーム２７内を略真空状態にし、ラックギヤ２２及び歯車２３を容易に駆動させることができる。
【００３３】
図１４に示すフレーム１０は、図７のフレーム１０と異なり、２つの第２のリンクロッド７をさらに含み、第２のリンクロッド７が互いに対向配置され、各第２のリンクロッド７の両端には、動力機構２がそれぞれ設けられ、複数の第２のリンクロッド７は、チャック１にそれぞれ隣り合うとともに、複数の第１のリングロッド３間に位置する。複数の第１のリングロッド３と複数の第２のリンクロッド７とは互いに垂直に配置され、方形又は矩形が形成される。複数の動力機構２は、方形又は矩形の四隅にそれぞれ位置する。そのため、本考案のフレーム１０は、実際の操作の必要に応じて複数の第１のリングロッド３に対して平行な搬送方向を選択するか、第２のリンクロッド７に対して平行な搬送方向を選択することができる。
【００３４】
図１５〜図２５に示すように、本考案の一実施形態に係る基板製造用フレーム１０は、基板洗浄装置６に応用可能である。基板洗浄装置６は、フレーム配置エリア６１、基板洗浄乾燥エリア６２、フレーム挟み取りエリア６３及びフレーム回送エリア６４を有する。ここでは、図１のフレーム１０が示されている。図１及び図１６〜図１８に示すように、直立したフレーム１０は、フレーム配置エリア６１内に位置し、配置機構６１１を伝送ローラ６１３上に水平に載置するとともに、フレーム１０の動力機構２はチャックオープン装置６１２に隣接する。図１及び図１９〜図２１に示すように、フレーム１０の４つの動力機構２が４つの固定アーム６１４により固定されてから、チャックオープン装置６１２が２つのローラを利用し、動力機構２の駆動部材２５を揺動してチャック１を開いた後、基板４をチャック１に載置してから、チャックオープン装置６１２が２つのローラを利用して動力機構２の駆動部材２５をゆっくりと反対方向に揺動してチャック１を閉じ、チャック１により基板４を挟持する。フレーム１０により基板４を挟持する作動方式については既に述べているため、ここでは繰り返し述べない。図１、図１５、図２２及び図２３に示すように、複数の固定アーム６１４によりフレーム１０の４つの動力機構２をリリースした後、基板４を挟持するフレーム１０は、フレーム配置エリア６１の伝送ローラ６１３により基板洗浄乾燥エリア６２へ搬送し、基板４を洗浄・乾燥してから、フレーム１０がフレーム挟み取りエリア６３の伝達ローラ６３３を介してフレーム挟み取りエリア６３へ搬送してからフレーム挟み取りエリア６３が図１９〜図２１に示すように、４つの固定アームによりフレーム１０の４つの動力機構２を固定してから、フレーム挟み取りエリア６３のチャックオープン装置６３２が図１９及び図２０に示すように、２つのローラは、動力機構２の駆動部材２５を揺動してチャック１を開いた後、洗浄後の基板４がチャック１により取り出して後工程を行ってから、チャックオープン装置６１２が２つのローラを利用して動力機構２の駆動部材２５をゆっくりと逆方向に回転させてチャック１を閉じる。図１５、図１６、図２４及び図２５に示すように、複数の固定アームがフレーム１０の４つの動力機構２をリリースした後、フレーム挟み取りエリア６３の挟み取り機構６３１により水平のフレーム１０を挟み取って直立にした後、フレーム回送エリア６４の上回送ローラ６４１及び下回送ローラ６４２によりフレーム１０をフレーム配置エリア６１へ回送し、次の基板の洗浄工程に備える。
【００３５】
以上、図１のフレーム１０は、複数の第１のリングロッド３に対して平行な搬送方向であり、図１４に示すフレーム１０は、基板洗浄装置６にも応用可能であり、フレーム１０は、複数の第２のリンクロッド７に対して平行な搬送方向であり、複数のチャック１により基板４の洗浄及び乾燥が邪魔されることを防ぐことができる。また、フレーム回送エリア６４の上回送ローラ６４１又は下回送ローラ６４２は、その搬送を段階的に制御するか搬送を停止し、複数のフレーム１０を回送するときにフレーム１０同士がぶつかり合うことを防ぐ。
【００３６】
当該分野の技術を熟知するものが理解できるように、本考案の好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本考案を限定するものではない。本考案の主旨と領域を逸脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本考案の実用新案登録請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。
【符号の説明】
【００３７】
１  チャック
２  動力機構
３  第１のリングロッド
４  基板
６  基板洗浄装置
７  第２のリンクロッド
１０  フレーム
１１  下固定部
１２  上クランプ部
１３  接続部
２１  ハウジング
２２  ラックギヤ
２３  歯車
２４  弾性部材
２５  駆動部材
２６  第１の位置決め部材
２７  位置決めフレーム
２８  逆止弁
２９  第２の位置決め部材
６１  フレーム配置エリア
６２  基板洗浄乾燥エリア
６３  フレーム挟み取りエリア
６４  フレーム回送エリア
１１１  下クランプ爪
１１２  当接部材
１２１  上クランプ爪
２３１  伝動軸
２５１  第２のシールリング
２７１  上蓋
２７２  底板
２７３  案内棒
２７４  第１のシールリング
２７５  上下方向収容チャネル
２７６  前後方向収容チャネル
６１１  配置機構
６１２  チャックオープン装置
６１３  伝送ローラ
６１４  固定アーム
６３１  挟み取り機構
６３２  チャックオープン装置
６３３  伝達ローラ
６４１  上回送ローラ
６４２  下回送ローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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