【手続補正書】
【提出日】平成18年5月8日(2006.5.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  基板上にそれぞれ形成された、固定電極と、
前記固定電極に空間を介して対向する可動電極と、
直流電圧を制御する電圧制御手段とを有して成る
ことを特徴とする信号伝達装置。
【請求項２】  基板上にそれぞれ形成された、入力側の第１の固定電極と、
前記第１の固定電極に空間を介して対向する可動電極と、
前記可動電極に空間を介して対向する出力側の第２の固定電極と、
前記可動電極に印加する直流電圧を制御する電圧制御手段とを有して成る
ことを特徴とする信号伝達装置。
【請求項３】  前記電圧制御手段は基板に形成された半導体素子を用いて成る
ことを特徴とする請求項２記載の信号伝達装置。
【請求項４】  前記電圧制御手段が電圧可変制御手段である
ことを特徴とする請求項１記載の信号伝達装置。
【請求項５】  前記電圧制御手段がスイッチ手段である
ことを特徴とする請求項２記載の信号伝達装置。
【請求項６】  基板上に、入力側の第１の固定電極と、前記第１の固定電極に空間を介して対向する可動電極と、前記可動電極に空間を介して対向する出力側の第２の固定電極とからなる複数ＭＥＭＳフィルタ素子が形成され、
前記各ＭＥＭＳフィルタ素子の可動電極のそれぞれに、該可動電極に印加する直流電圧を制御する電圧可変制御手段が接続され、
前記各ＭＥＭＳフィルタ素子の第１の固定電極が共通の入力線に接続され、
前記各ＭＥＭＳフィルタ素子の第２の固定電極が共通の出力線に接続されて成る
ことを特徴とする信号伝達装置。
【請求項７】  前記電圧可変制御手段は前記基板に形成された半導体素子を用いて成る
ことを特徴とする請求項６記載の信号伝達装置。
【請求項８】  基板上に、入力側の第１の固定電極と、前記第１の固定電極に空間を介して対向する可動電極と、前記可動電極に空間を介して対向する出力側の第２の固定電極とからなる複数ＭＥＭＳフィルタ素子が形成され、
前記各ＭＥＭＳフィルタ素子の可動電極のそれぞれに、該可動電極に印加する直流電圧をオン・オフ制御するスイッチ素子が接続され、
前記各ＭＥＭＳフィルタ素子の第１の固定電極がそれぞれの入力線に接続され、
前記各ＭＥＭＳフィルタ素子の第２の固定電極が夫々の共通の出力線に接続されて成る
ことを特徴とする信号伝達装置。
【請求項９】  前記スイッチ素子は前記基板に形成された半導体素子を用いて成る
ことを特徴とする請求項８記載の信号伝達装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る信号伝達装置は、基板上にそれぞれ形成された、固定電極と、固定電極に空間を介して対向する可動電極と、直流電圧を制御する電圧制御手段とを有して成る。
本発明に係る信号伝達装置は、基板上にそれぞれ形成された入力側の第１の固定電極と、第１の固定電極に空間を介して対向する可動電極と、可動電極に空間を介して対向する出力側の第２の固定電極と、可動電極に印加する直流電圧を制御する電圧制御手段とを有して成る。
電圧制御手段としては、可動電極に印加する直流電圧を可変制御する電圧可変手段、あるいは可動電極に印加する直流電圧をオン・オフ制御するスイッチ手段とすることができる。電圧制御手段は、基板に形成した半導体素子を用いることが望ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の信号伝達装置では、電圧制御手段によって可動電極に印加する直流電圧を制御することにより、透過帯域内の信号の制御、調整、あるいは透過帯域の信号の透過、遮断が可能になる。
本発明の信号伝達装置では、可動電極に直流電圧を印加した状態で第１の固定電極に可動電極がもつ固有振動数に応じた所要周波数の入力信号が入ると、第１の固定電極と可動電極間で生じる静電力で可動電極が共振し、第２の固定電極に対して交流振動を励起するため、入力信号が第１の固定電極から第２の固定電極へ伝播する。いわゆるフィルタ効果が得られる。
そして、可動電極に印加する直流電圧を制御することにより、第１の固定電極から第２の固定電極へ伝播する信号の制御が可能になる。例えば、可動電極に印加する直流電圧を制御する電圧制御手段を電圧可変手段とするときは、可動電極に印加される電圧の大きさに応じて第１の固定電極から第２の固定電極へ透過される信号の強度が変調される。また、電圧制御手段をオン・オフ制御するスイッチ手段とするときは、第１の固定電極から第２の固定電極への信号の透過、遮断を行うことができる。
電圧制御手段は信号線路上にないので、信号損失が低減される。電圧制御手段が基板に形成した半導体素子を用いることができるので、信号伝達装置の小型化が可能になる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
この場合の電圧制御手段２９〔２９１、２９２、２９３〕は、図５Ａに示すように、上記シリコン半導体基板内に形成した半導体素子による可変抵抗器で構成することができる。図５Ａは、電圧制御手段２９１〜２９３の回路構成を示す。この回路は、トランジスタＱ１と抵抗Ｒ１を組み合わせて成る。トランジスタＱ１の第１の主電極に第１の電源電圧１（たとえば１０Ｖ）が印加され、ゲートに第２の電源電圧２（たとえば０〜５Ｖ）が印加される。トランジスタＱ１と抵抗Ｒ１の接続中点から駆動電極電圧Ｖが出力される。この第２の電源電圧Ｖ２を制御することで、ＭＥＭＳを駆動する比較的高い電圧を連続的に制御することができる。第２の電源電圧Ｖ２を増加させると、トランジスタＱ１に流れる電流Ｉ１が増加し、抵抗Ｒ１に流れ込むことによって駆動電極の電圧がＶ＝ＩＲ（オームの法則）の原理から決まる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
この信号伝達装置４１は、いわゆるイコライザとして用いることができる。入力端子ｔ３１から例えば各チャンネルの周波数信号が混合されて入力された場合、周波数帯によって信号強度差（レベル差）があると、出力端子ｔ３２から出力した信号を増幅器で増幅したときに透過強度の小さい周波数帯の信号が歪んでしまう。従って、予め入力される各周波数帯の信号の透過強度が判っていれば、その信号に対する透過強度を調整することにより、各チャンネルの周波数信号の透過強度を揃えることができる。即ち、各ＭＥＭＳフィルタ素子４２〔４２１、４２２、４２３〕で対応する周波数帯の信号を透過させる際に、電圧制御手段２９〔２９１、２９２、２９３〕により可動電極２５〔２５１、２５２、２５３〕に印加する直流電圧を制御する。例えば、各ＭＥＭＳフィルタ素子４２〔４２１、４２２、４２３〕において、可動電極２５〔２５１、２５２、２５３〕の長さが小さい順（Ｌ２１＜Ｌ２２＜Ｌ２３）に透過する信号強度が小さいとすれば、可動電極２５〔２５１、２５２、２５３〕に印加する直流電圧をその順に大きくすれば、各ＭＥＭＳフィルタ素子４２〔４２１、４２２、４２３〕を透過する信号強度を揃えることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
本発明に係る信号伝達装置によれば、複数のＭＥＭＳフィルタ素子を形成し、各ＭＥＭＳフィルタ素子の可動電極の夫々に可動電極に印加する直流電圧をオン・オフ制御するスイッチ素子を接続し、各ＭＥＭＳフィルタ素子の第１の固定電極を夫々の入力線に接続し、各第２の固定電極を夫々出力線に接続する構成とすることにより、各ＭＥＭＳフィルタ素子を透過する周波数帯の信号を選択することができる。従って、例えば選局装置として適用することがでる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2005079604.tif 000001
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2005079604.tif 000002
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2005079604.tif 000003