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【手続補正書】
【提出日】平成18年9月1日(2006.9.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
銅を主成分とする第１の導電膜と、銅の拡散に対するバリア性を有する第２の導電膜とを少なくとも有する積層膜からなる配線を有する半導体装置の作製方法であって、
絶縁表面上に前記第１の導電膜を形成し、
前記第１の導電膜をエッチング法により所望の形状とし、
所望の形状とした前記第１の導電膜上に開口部を有するマスクを用いて前記第２の導電膜を形成し、
ドライエッチング法により前記第２の導電膜の幅を細くすることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項２】
不純物領域を一部に含む半導体層と、ゲート絶縁膜と、ゲート電極とを有する薄膜トランジスタ上に層間絶縁膜を形成し、
前記層間絶縁膜の一部に前記不純物領域に達するコンタクトホールを形成し、
前記コンタクトホールを介して前記不純物領域と電気的に接続されるように、銅の拡散に対するバリア性を有する第１の導電膜を前記層間絶縁膜上に形成し、
前記第１の導電膜をエッチング法により所望の形状とし、
所望の形状とした前記第１の導電膜上に開口部を有するマスクを用いて銅を主成分とする第２の導電膜を形成し、
ドライエッチング法により前記第２の導電膜の幅を細くして、前記第１の導電膜及び前記第２の導電膜の積層膜からなる配線を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項３】
絶縁表面上に半導体層を形成し、
前記半導体層上にゲート絶縁膜を形成し、
前記ゲート絶縁膜上に銅の拡散に対するバリア性を有する第１の導電膜を形成し、
前記第１の導電膜をエッチング法により所望の形状とし、
所望の形状とした前記第１の導電膜上に開口部を有するマスクを用いて銅を主成分とする第２の導電膜を形成し、
ドライエッチング法により前記第２の導電膜の幅を細くすることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項４】
絶縁表面上に半導体層を形成し、
前記半導体層上にゲート絶縁膜を形成し、
前記ゲート絶縁膜上に銅の拡散に対するバリア性を有する第１の導電膜を形成し、
前記第１の導電膜をエッチング法により所望の形状とし、
所望の形状とした前記第１の導電膜上に開口部を有するマスクを用いて銅を主成分とする第２の導電膜を形成し、
ドライエッチング法により前記第２の導電膜の幅を細くして、前記第１の導電膜及び前記第２の導電膜の積層膜からなる第１の配線を形成し、
前記第１の配線をマスクとして前記半導体層に不純物元素を添加して不純物領域を形成し、
前記第１の配線を覆って層間絶縁膜を形成し、
前記層間絶縁膜の一部に前記不純物領域に達するコンタクトホールを形成し、
前記コンタクトホールを介して前記不純物領域と電気的に接続されるように、銅の拡散に対するバリア性を有する第３の導電膜を前記層間絶縁膜上に形成し、
前記第３の導電膜をエッチング法により所望の形状とし、
所望の形状とした前記第３の導電膜上に開口部を有するマスクを用いて銅を主成分とする第４の導電膜を形成し、
ドライエッチング法により前記第４の導電膜の幅を細くして、前記第３の導電膜及び前記第４の導電膜の積層膜からなる第２の配線を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項５】
請求項４において、前記第４の導電膜を覆って、窒化珪素または窒化酸化珪素からなる絶縁膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一において、前記第１の導電膜として、ＴｉＮ、ＴａＮ、ＷＮ、ＴｉＣ、ＴａＣ、または珪素を含む導電膜を用いることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項７】
請求項１乃至５のいずれか一において、前記第１の導電膜として、ＴｉＮ、ＴａＮ、ＷＮ、ＴｉＣ、ＴａＣ、または珪素を含む導電膜のいずれか一種とＴｉを主成分とする材料との積層膜を用いることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項８】
請求項１乃至５のいずれか一において、前記第１の導電膜として、Ｔｉ、Ａｌ、Ｔａ、Ｗのいずれか一種又は複数種で形成された導電膜上に、ＴｉＮ、ＴａＮ、ＷＮ、ＴｉＣ、ＴａＣ、または珪素を含む導電膜のいずれか一種からなる導電膜が形成された積層膜を用いることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一において、前記第２の導電膜を覆って、窒化珪素、窒化酸化珪素、窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、ダイヤモンドライクカーボン膜、または窒化炭素からなる絶縁膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか一において、所望の形状とした前記第１の導電膜の幅は、３０〜４０μｍであることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれか一において、前記第２の導電膜の幅は、５〜２０μｍであることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれか一において、前記第２の導電膜の膜厚は、０．１〜１μｍであることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月13日(2005.12.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】処理中に平坦な基板に面する、実質的に平坦な面を有した被加熱ボディと、  前記被加熱ボディの実質的に平坦な面に平行にかつそれに非常に接近させて、前記平坦な被処理基板を配置するように形成されるとともに、処理後に前記被加熱ボディから前記基板を取出方向に取り出すように形成された基板ハンドリング機構と、  前記被加熱ボディと関連づけられた複数の加熱エレメントであり、加熱ゾーンを画定するように配列されるとともに、前記加熱エレメントを別々に調節するように形成された制御装置に接続された前記複数の加熱エレメントと、を備え、  前記制御装置および加熱ゾーンは、前記被加熱ボディの平坦な面の端から端まで横向きに非均一な温度を得られるように形成される、平坦な基板の加熱処理用リアクタ。【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】前記非均一な温度は、前記リアクタから基板を取り出している間における非均一な温度分布を補償するために、処理中に基板上の温度を非均一にするように選択される請求項１に記載のリアクタ。【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１６】前記制御装置および加熱ゾーンは、処理中において前記被加熱ボディの幅方向に約１℃と５℃との間の温度差を生じる一方向の温度勾配を定めるように形成される請求項１に記載のリアクタ。【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１８】前記制御装置および加熱ゾーンは、前記被加熱ボディの中央と前記被加熱ボディの縁との間に約１℃と５℃との間の温度差を生じる放射温度勾配を定めるように形成される請求項１に記載のリアクタ。【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】  一実施形態では、制御装置１００は、ブロック２０、４０の幅方向に、意図的に一方向の、好ましくは直線温度勾配を引き起こすように、１００％未満の、例えば９２％の電力率を用いる。したがって、ブロック２０、４０の搬出  （左）側の温度は、対向する搬入（右）側の温度より数度高い。図３を参照すると、加熱ゾーン１０３は、加熱ゾーン１０４より高温である。加熱ゾーン１０１、１０２は、所定の温度の設定値による温度を有する。一実施形態では、温度勾配は、約１℃と５℃との間の、さらに好ましくは約２℃と３℃との間の温度差がある、高温と低温との間を延びる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月24日(2006.8.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置の作製方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁表面を有する基板上に、島状に分割した半導体層を形成し、
前記半導体層上に、絶縁層を形成し、
前記絶縁層上に、前記半導体層の上面および側面を被覆し、且つ端部が前記半導体層の外側に位置する導電層を形成し、
少なくとも可視光域から赤外域までの波長域の非可干渉性の電磁波を照射して、前記導電層が形成された領域を選択的に加熱し、前記半導体層及び前記絶縁層の熱処理を行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項２】
絶縁表面を有する基板上に、第１絶縁層を形成し、
前記第１絶縁層上に、島状に分割した半導体層を形成し、
前記半導体層上に、前記半導体層の上面及び側面を覆う第２絶縁層を形成し、
前記第２絶縁層上に、前記半導体層の上面及び端面を被覆し、且つ端部が前記半導体層の外側に位置する導電層を形成し、
少なくとも可視光域から赤外域までの波長域の非可干渉性の電磁波を照射して、前記導電層が形成された領域を選択的に加熱し、前記半導体層及び前記第２絶縁層の熱処理を行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記熱処理の温度が、前記基板の歪み点以上の温度で行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、
前記導電層は前記電磁波を吸収し、前記熱処理されることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、
前記電磁波を３０乃至３００秒間照射して、前記熱処理を行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項６】
基板の全面を加熱する第１熱処理を行い、
前記基板上に、半導体層を形成し、
前記半導体層上に、絶縁層を形成し、
前記絶縁層上に、導電層を前記半導体層と重畳するように形成し、
少なくとも可視光域から赤外域までの波長域の非可干渉性の電磁波を照射して前記導電層が形成された領域を選択的に加熱して、第２熱処理を行い、前記半導体層及び前記絶縁層の熱処理を行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項７】
基板の全面を加熱する第１熱処理を行い、
前記基板上に、第１の絶縁層を形成し、
前記第１の絶縁層上に、半導体層を形成し、
前記半導体層上に、第２の絶縁層を形成し、
前記第２の絶縁層上に、導電層を前記半導体層と重畳するように形成し、
少なくとも可視光域から赤外域までの波長域の非可干渉性の電磁波を照射して前記導電層が形成された領域を選択的に加熱して、第２熱処理を行い、前記半導体層及び前記第２の絶縁層の熱処理を行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項８】
請求項６または請求項７において、
前記第２熱処理の温度は、前記基板の歪み点以上の温度で行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項９】
請求項６乃至請求項８のいずれか一項において、
前記導電層は前記電磁波を吸収し、前記第２熱処理されることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１０】
請求項６乃至請求項９のいずれか一項において、
前記電磁波を３０乃至３００秒間照射して、前記第２熱処理を行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１１】
請求項１または請求項６において、
前記絶縁層に、酸化シリコン膜と窒化シリコン膜の積層体を用いることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１２】
請求項２または請求項７において、
前記第２の絶縁層に、酸化シリコン膜と窒化シリコン膜の積層体を用いることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項１２のいずれか一項において、
前記導電層は、島状に分離して形成されることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１４】
請求項１乃至請求項１３のいずれか一項において、
前記導電層に、窒化チタン（ＴｉＮ）、窒化タンタル（ＴａＮ）又は窒化タングステン（ＷＮ）の金属窒化物を用いることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１５】
請求項１乃至請求項１３のいずれか一項において、
前記導電層に、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）又はクロム（Ｃｒ）の高融点金属を用いることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１６】
請求項１乃至請求項１３のいずれか一項において、
前記導電層に、タングステンシリサイド（ＷＳｉ２）、モリブデンシリサイド（ＭｏＳｉ２）、チタンシリサイド（ＴｉＳｉ２）、タンタルシリサイド（ＴａＳｉ２）、クロムシリサイド（ＣｒＳｉ２）、コバルトシリサイド（ＣｏＳｉ２）又は白金シリサイド（ＰｔＳｉ２）を用いることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１７】
請求項１乃至請求項１６のいずれか一項において、
前記導電層をエッチングし、前記エッチングされた導電層を用いてゲート電極を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１８】
請求項１乃至請求項１６のいずれか一項において、
前記導電層上に第２の導電層を形成し、前記導電層をゲート電極の一部として形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１９】
請求項１乃至請求項１８のいずれか一項において、
前記基板に、前記可視光域から赤外域までの波長域の非可干渉性の電磁波の透過率が５０％以上の基板を用いることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項２０】
請求項１乃至請求項１８のいずれか一項において、
前記基板に、前記可視光域から赤外域までの波長域の非可干渉性の電磁波の透過率が６０％以上の基板を用い、前記導電層に、前記可視光域から赤外域までの波長域の非可干渉性の電磁波の透過率が３０％以下の導電層を用いることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項２１】
請求項１乃至請求項２０のいずれか一項において、
前記導電層は、一片の長さが前記基板の厚さと同じ又はそれ以下であるように形成されることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項２２】
請求項１乃至請求項２１のいずれか一項において、
前記基板に、ガラス基板を用いることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項２３】
請求項１乃至請求項２１のいずれか一項において、
前記基板に、石英またはサファイア基板を用いることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月28日(2006.8.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１１】
更に、チタン化合物を含む処理液から処理後の積層体を取り出して洗浄する場合の洗浄液としては、希塩酸水溶液、エタノール、又は、メタノールを使用する。なお、この洗浄の処理は、積層体の外表面[半導体電極２（又は半導体電極２の前駆体層）、多孔体層ＰＳ（又は多孔体層ＰＳの前駆体層）及び対極ＣＥ（又は対極ＣＥの前駆体層）内部の細孔壁の表面を除く]に付着した余分な処理液を除去するための処理である。半導体電極２（又は半導体電極２の前駆体層）、多孔体層ＰＳ（又は多孔体層ＰＳの前駆体層）及び対極ＣＥ（又は対極ＣＥの前駆体層）内部の細孔中に侵入させたチタン化合物を含む処理液は積層体外部に除去されないようにする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月24日(2006.4.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
図１８は、特開平７−２０２６８７号公報に記載されたクロック回路４００の構成を示す回路図である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
帰還クロック信号ＦＣＫは、論理回路ＬＤに供給されるローカルクロック信号ＬＣＫが選択回路ＳＥＬを経由して出力された信号である。したがって、選択回路ＳＥＬによる遅延時間分だけのオフセット時間ＴＯＦ分だけ外部クロック信号ＣＬＫに対してローカルクロック信号ＬＣＫは位相が進んだクロック信号となってしまう。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１８】  特開平７−２０２６８７号公報に記載されたクロック回路４０
０の構成を示す回路図である。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月25日(2006.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
視点から観察される３次元空間内のオブジェクトであって、前記視点から第１の距離だけ離れたオブジェクトにフォグ効果を与える画像処理方法であって、
前記３次元空間内に設定されたフォグ基準面と前記オブジェクトとの間の第２の距離に基づいて、前記視点から観察した前記オブジェクトのフォグ濃度を計算し、
前記オブジェクトに前記計算されたフォグ濃度を適用する
ことを特徴とする画像処理方法。
【請求項２】
視点から観察される３次元空間内のオブジェクトであって、前記視点から第１の距離だけ離れたオブジェクトにフォグ効果を与える画像処理方法であって、
前記３次元空間内に設定されたフォグ基準面と前記オブジェクトとの間の第２の距離と、前記視点と前記オブジェクトとの間の前記第１の距離とに基づいて、前記視点から観察した前記オブジェクトの前記フォグ濃度を計算し、
前記オブジェクトに前記計算されたフォグ濃度を適用する
ことを特徴とする画像処理方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の画像処理方法において、
前記フォグ基準面の一側に属するオブジェクトについては第１の関数を用いて前記フォグ濃度を演算し、前記フォグ基準面の他側に属するオブジェクトについては前記第１の関数と異なる第２の関数を用いて前記フォグ濃度を演算する
ことを特徴とする画像処理方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の画像処理方法において、
前記フォグ濃度をランダムに変化させてヘイズ処理を行う
ことを特徴とする画像処理方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の画像処理方法において、
前記フォグ基準面を複数設け、
前記複数のフォグ基準面に対して定められた前記フォグ濃度を合成する
ことを特徴とする画像処理方法。
【請求項６】
視点から観察される３次元空間内のオブジェクトであって、前記視点から第１の距離だけ離れたオブジェクトにフォグ効果を与える画像処理装置であって、
前記３次元空間内に設定されたフォグ基準面と前記オブジェクトとの間の第２の距離に基づいて、前記視点から観察した前記オブジェクトのフォグ濃度を計算し、前記オブジェクトに前記計算されたフォグ濃度を適用するフォグ濃度設定手段を有する
ことを特徴とする画像処理装置。
【請求項７】
視点から観察される３次元空間内のオブジェクトであって、前記視点から第１の距離だけ離れたオブジェクトにフォグ効果を与える画像処理装置であって、
前記３次元空間内に設定されたフォグ基準面と前記オブジェクトとの間の第２の距離と、前記視点と前記オブジェクトとの間の前記第１の距離とに基づいて、前記視点から観察した前記オブジェクトのフォグ濃度を計算し、前記オブジェクトに前記計算されたフォグ濃度を適用するフォグ濃度設定手段を有する
ことを特徴とする画像処理装置。
【請求項８】
請求項６又は７記載の画像処理装置において、
前記フォグ濃度設定手段は、前記フォグ基準面の一側に属するオブジェクトについては第１の関数を用いて前記フォグ濃度を演算し、前記フォグ基準面の他側に属するオブジェクトについては前記第１の関数と異なる第２の関数を用いて前記フォグ濃度を演算する
ことを特徴とする画像処理装置。
【請求項９】
請求項６乃至８のいずれか１項に記載の画像処理装置において、
前記フォグ濃度をランダムに変化させてヘイズ処理を行うヘイズ処理手段を更に有する
ことを特徴とする画像処理装置。
【請求項１０】
請求項６乃至９のいずれか１項に記載の画像処理装置において、
前記フォグ基準面は複数設けられ、
前記フォグ濃度設定手段は、前記複数のフォグ基準面に対して定められた前記フォグ濃度を合成する
ことを特徴とする画像処理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月28日(2006.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
干渉光源部４１には、赤外光源４２と、可動ミラー４３と、ハーフミラー４４とを設ける。測定部５０には、半球状ＡＴＲプリズム５１と、入射角度可変装置５５と、ディテクタ５６とを試料室（図示せず）内に設ける。信号処理部６０には、信号アンプ６１と、フーリエ変換器６２と、メモリ６３と、表示部６４とを設け、これらをこの順に接続する。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月28日(2006.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
図９は、ＣＤ等からのオーディオデータを２曲連続して記録した場合のファイル構成を示す。
図９（ａ）に１曲目（データファイル＃１）が例えば５クラスタで構成される場合を、また図９（ｃ）に２曲目（データファイル＃２）が例えば６クラスタで構成される場合を示している。
１曲目と２曲目の曲間では、１クラスタに二つのファイルが混在することが許されないので、次のクラスタの最初からデータファイル＃２が作成される。従って、データファイル＃１の終端（１曲目の終端）がクラスタの途中に位置しても、図９（ｂ）に拡大して示すように、そのクラスタの残りの部分には、データ（ＳＵ）が存在しないものとされる。
第２曲目（データファイル＃２）も同様となる。
そしてこの場合は、データファイル＃１、＃２ともに１パーツで構成される。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月30日(2006.5.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】プリントシステム
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  通信端末、サーバ装置及び印刷装置が通信網を介して通信可能なプリントシステムであって、
前記通信端末は、
複数のアドレスのうち、いずれか１つを選択する選択手段と、
前記選択手段により選択されたアドレス宛に、ＵＲＬが記述された電子メールを送信する送信手段を備え、
前記サーバ装置は、
前記電子メールを受信する受信手段と、
前記電子メールのアドレスを解析する解析手段と、
前記解析手段により前記アドレスが所定の種類であると解析されれば、前記電子メールに記述されたＵＲＬの内容を示す情報を取得する取得手段と、
前記情報を印刷データに変換する変換手段と、
前記印刷データを前記印刷装置宛に転送する転送手段を備えたことを特徴とするプリントシステム。
【請求項２】  前記取得手段により前記電子メールに記述されたＵＲＬの内容を示す情報を取得できなければ、エラーを前記通信端末へ通知する通知手段を更に備えたことを特徴とする請求項１記載のプリントシステム。
【請求項３】  前記解析手段により前記アドレスが所定の種類であると解析されたが、前記電子メールにＵＲＬが記述されていなければ、前記変換手段は前記電子メールの本文を印刷データに変換することを特徴とする請求項１記載のプリントシステム。
【請求項４】  前記転送手段は、前記通信端末及び前記印刷装置に接続された通信アダプタを介して、前記印刷データを転送することを特徴とする請求項１記載のプリントシステム。
【請求項５】  前記解析手段による解析結果は前記アドレスの種類が、ＵＲＬ印刷、電子メール本文印刷及び添付ファイル印刷のうちいずれかであることを示すことを特徴とする請求項１記載のプリントシステム。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明のプリントシステムは、通信端末、サーバ装置及び印刷装置が通信網を介して通信可能なプリントシステムであって、前記通信端末は、複数のアドレスのうち、いずれか１つを選択する選択手段と、前記選択手段により選択されたアドレス宛に、ＵＲＬが記述された電子メールを送信する送信手段を備え、前記サーバ装置は、前記電子メールを受信する受信手段と、前記電子メールのアドレスを解析する解析手段と、前記解析手段により前記アドレスが所定の種類であると解析されれば、前記電子メールに記述されたＵＲＬの内容を示す情報を取得する取得手段と、前記情報を印刷データに変換する変換手段と、前記印刷データを前記印刷装置宛に転送する転送手段を備えたことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
このときプリンタ１０９に電源が投入されずにプリンタが動作しない状況にあれば任意のプリンタＩＤ値に設定したり、プリンタ１０９が不明であることからアダプタの使用を許可しないなどの処理をする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２６】
ＰｒｉｎｔｅｒＭａｎａｇｅｒ処理は、ｅｍａｉｌオブジェクトから印刷指示をだされたら、そのＵｓｅｒＩＤからＰｒｉｎｔｅｒＤＢを参照し、ＵｓｅｒＩＤ，ＵｓｅｒＴｅｌＮｕｍｂｅｒ、ＵｓｅｒＰａｓｓｗｏｒｄ、ＡｄａｐｔｅｒＩＤ、ＡｄａｐｔｅｒＴｅｌＮｕｍｂｅｒ、ＰｒｉｎｔｅｒＩＤからなるプリントＩＤを取得する。そしてＰｒｉｎｔｅｒＩＤに示されたＰｒｉｎｔｅｒＤｒｉｖｅｒオブジェクトを生成し、印刷すべきデータを渡す（ステップ３４０３）。詳細は、図１２に示す。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月3日(2006.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
図５に示すように、この実施の形態のＣＤプレーヤは、読み出し部２１、データデコード部２２、Ｄ／Ａコンバータ２３、アナログ音声信号の出力端子２３ａ、デジタルインターフェース２４、デジタル音声信号の出力端子２４ｄ、を備えている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
一方、デジタルインターフェース２４には、前述したように、コンテンツＩＤやコピーコントロール信号が付加された圧縮デジタル音声信号が供給され、これは、出力端子２４ｄを通じて出力される。この場合のデジタルインタフェース２４は、例えば、ＣＧＭＳ情報を用いるとともに暗号化を伴う著作権保護を伴ったＩＥＥＥ１３９４シリアルバスインターフェースを用いる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月2日(2006.3.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】オーディオ信号処理装置及びオーディオ信号処理方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  オーディオ信号が入力される入力手段と、
上記入力手段から入力されるオーディオ信号の信号レベルを減衰させる減衰手段と、
他の装置との接続状態を検出する検出手段と、
上記他の装置との接続の検出状態に基づいて、上記減衰手段による上記入力されるオーディオ信号の信号レベルが減衰されるように上記減衰手段を制御する制御手段とを
備えるオーディオ信号処理装置。
【請求項２】  上記検出手段は、上記他の装置との接続を機械的に検出するスイッチである第１項記載のオーディオ信号処理装置。
【請求項３】  上記オーディオ信号処理装置は、上記他の装置と通信を行う通信手段を更に備え、
上記検出手段は、上記通信手段による上記他の装置との通信の成立を検出することで他の装置との接続を検出する第１項記載のオーディオ信号処理装置。
【請求項４】  上記減衰手段は、上記他の装置から出力されるオーディオ信号の信号レベルと、上記他の装置とは異なるオーディオ信号出力装置から出力されるオーディオ信号レベルとを略同一になるように調整する第１項記載のオーディオ信号処理装置。
【請求項５】  上記オーディオ信号処理装置は、
上記入力されるオーディオ信号を記録媒体に記録する記録手段を更に備え、
上記入力されるオーディオ信号を上記記録媒体に記録する第１項記載のオーディオ信号処理装置。
【請求項６】  オーディオ信号が入力される入力手段と、上記入力手段から入力されるオーディオ信号の信号レベルを減衰させる減衰手段と、他の装置との接続状態を検出する検出手段と、上記他の装置との接続の検出状態に基づいて、上記減衰手段による上記入力されるオーディオ信号の信号レベルが減衰されるように上記減衰手段を制御する制御手段とを備えるオーディオ信号処理装置におけるオーディオ信号処理方法において、
他の装置との接続状態を検出し、
上記他の装置との接続検出状態に基づいて、入力されるオーディオ信号の信号レベルを減衰させる
オーディオ信号処理方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は記録再生装置に関し、特にシステムステレオとの接続を考慮した音声信号のオーディオ信号処理装置及びオーディオ信号処理方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、システムステレオのオプションとして使われる場合とそれ単独で使われる場合との両方の使用方法が考慮され、システムステレオのコストアップや音質劣化をもたらすことのないオーディオ信号処理装置及びオーディオ信号処理方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、オーディオ信号が入力される入力手段と、上記入力手段から入力されるオーディオ信号の信号レベルを減衰させる減衰手段と、他の装置との接続状態を検出する検出手段と、上記他の装置との接続の検出状態に基づいて、上記減衰手段による上記入力されるオーディオ信号の信号レベルが減衰されるように上記減衰手段を制御する制御手段とを備えるオーディオ信号処理装置が提供される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記構成によれば、まず、接続状態を検出する検出手段が他の装置と接続されているかどうかを判断する。ここで、検出手段が他の装置との接続を検出した場合には、減衰手段による入力されるオーディオ信号の信号レベルが減衰されるように減衰手段を制御する。これにより、他の装置であるシステムステレオは、オプションとして使用されるオーディオ信号処理装置と入出力レベルを整合させるための増幅器が不要となって、製造コストを削減し、音質劣化を防止することができるようになる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月5日(2005.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  印刷に有用な定着装置であって、
定着ロールと、
第１の剥離用指片取付け部と、
前記第１の剥離用指片取付け部を実質上前記定着ロールに向けて停止部に当るように付勢するためのスプリング手段と、
前記第１の剥離用指片取付け部に取付けられ、前記第１の剥離用指片取付け部が前記停止部に当るように付勢されたときにスプリング力で前記定着ロールに接触する第１の剥離用指片と、
前記剥離用指片が前記定着ロールに接触しているときに該定着ロールの長手方向に沿って前記剥離用指片に隣接する表面を定めるバッフルとを備え、
前記バッフルは、前記定着ロールと前記取付け部の間で皺になった用紙が前記取付け部を前記定着ロールから離れる方向に動かすのを助けるものである、
ことを特徴とする定着装置。
【請求項２】  前記第１の剥離用指片の前記スプリング力が、前記ロールに当る前記第１の剥離用指片の変形によって生成されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】  前記取付け部の外形表面は、前記ロールと前記取付け部の間で皺になった用紙が前記取付け部を前記ロールから離れる方向に動かすのを助けるように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】  前記取付け部は、前記剥離用指片が前記バッフルによって効果的に隠れる位置に回転可能であることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月9日(2005.12.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  プリンタ、及び、プリンタから独立した印刷品質特性を、上記プリンタによって印刷されるべき選択されたオブジェクトタイプと対応付けるための第１のオプションを有するユーザインターフェースを持つプリンタ制御装置、
を備える、複数の異なるオブジェクトタイプのいずれかの画像オブジェクトを印刷するために使用するための印刷システム。
【請求項２】  上記ユーザインターフェースが、プリンタから独立した印刷品質特性を、上記プリンタによって印刷されるべき選択されたオブジェクトタイプと対応付けるための上記第１のオプションを呼び出すための制御を有するダイアログ・スクリーンを含む、
請求項１に記載の印刷システム。
【請求項３】  オブジェクトタイプのリストを提供し、プリンタから独立した印刷品質特性のリストを提供し、上記オブジェクトタイプのリストからオブジェクトタイプを選択し、そして、
少なくとも１つのプリンタから独立した印刷品質特性を、上記プリンタによって印刷されるべき上記選択されたオブジェクトタイプと対応付ける、
ステップを含む異なるタイプのオブジェクトを有する複合文書の印刷の品質を制御するための方法。
【請求項４】  オブジェクト記述子のリストを提供し、オブジェクト記述子を選択し、そして、
少なくとも１つのプリンタから独立した印刷品質特性を、上記選択されたオブジェクト記述子と対応付ける、
ステップを更に含む請求項３に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月2日(2006.11.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報を表示する表示部と、
特定電子メールのアドレスとの一致を判定するための特定電子メールアドレスを格納するアドレス格納部と、
特定電子メールを表示させるために予め使用者の認証情報を格納する認証情報格納部と、
電子メールを受信する通信部と、
受信した電子メールを、前記アドレス格納部に格納されている特定電子メールアドレスと一致する特定電子メールと、前記特定電子メールアドレスと一致しない電子メールとに分けて格納する電子メール格納部と、
電子メールを受信した際に、前記特定電子メールと前記電子メールに分類して前記電子メール格納部に分けて格納し、該電子メール格納部に格納されている特定電子メールを表示する際に、前記認証情報格納部に格納されている認証情報と使用者から入力された認証情報が一致すると前記特定電子メールを前記表示部に表示させる制御部とを有することを特徴とする携帯端末。
【請求項２】
情報を表示する表示部と、
特定電子メールのアドレスとの一致を判定するための特定電子メールアドレスを格納するアドレス格納部と、
特定電子メールを表示させるために予め使用者の認証情報を格納する認証情報格納部と、
電子メールを受信する通信部と、
受信した電子メールのアドレスが前記アドレス格納部に格納されている特定電子メールアドレスと一致する特定電子メールを格納する特定電子メール格納部と、
受信した電子メールのアドレスが前記アドレス格納部に格納されている特定電子メールアドレスと一致しない電子メールを格納する電子メール格納部とを備え、
電子メールを受信した際に、前記特定電子メールと前記電子メールに分類してそれぞれ前記特定電子メール格納部と前記電子メール格納部に格納し、該特定電子メール格納部に格納されている特定電子メールを表示する際に、前記認証情報格納部に格納されている認証情報と使用者から入力された認証情報が一致すると前記特定電子メールを前記表示部に表示させるようにしたことを特徴とする携帯端末。
【請求項３】
特定電子メールのアドレスとの一致を判定するための特定電子メールアドレスを格納するアドレス格納部に格納するステップと、
特定電子メールを表示させるために予め使用者の認証情報を格納する認証情報格納部に格納するステップと、
電子メールを受信するステップと、
電子メールを受信した際に、前記アドレス格納部に格納されている特定電子メールアドレスと一致する特定電子メールと、前記特定メールアドレスと一致しない電子メールを分けて電子メール格納部に格納するステップと、
前記格納されている特定電子メールを表示する指示の入力を受け付けるステップと、
使用者からの認証情報の入力を受け付けるステップと、
該入力された認証情報が前記認証情報格納部に格納されている認証情報と一致した場合に特定電子メールを表示部に表示するステップと、
を有することを特徴とする携帯端末の電子メール分類方法。
【請求項４】
情報を表示する表示部と、
電子メールを受信する通信部と、
使用者の認証情報を格納している認証情報格納部と、
メールアドレスを格納するアドレス格納部であって、該アドレス格納部に格納したメールアドレスと一致するアドレスを有する電子メールが特定電子メールとして扱われることになるアドレス格納部と、
受信した電子メールを、前記アドレス格納部に格納されている特定電子メールアドレスと一致する特定電子メールと、前記特定電子メールアドレスと一致しない通常電子メールとに分類して格納する電子メール格納部と、
電子メールを受信した際に、前記アドレス格納部に格納されたメールアドレスに基づき、前記特定電子メールと前記通常電子メールに分類して前記電子メール格納部に格納し、該電子メール格納部に格納されている特定電子メールを表示する際に、前記認証情報格納部に格納されている認証情報と使用者から入力された認証情報が一致すると前記特定電子メールを前記表示部に表示させる制御部とを有することを特徴とする携帯端末。
【請求項５】
情報を表示する表示部と、
電子メールを受信する通信部と、
使用者の認証情報を格納している認証情報格納部と、
メールアドレスを格納するアドレス格納部であって、該アドレス格納部に格納したメールアドレスと一致するアドレスを有する電子メールが特定電子メールとして扱われることになるアドレス格納部と、
受信した電子メールのアドレスが前記アドレス格納部に格納されている特定電子メールアドレスと一致する特定電子メールを格納する特定電子メール格納部と、
受信した電子メールのアドレスが前記アドレス格納部に格納されている特定電子メールアドレスと一致しない通常電子メールを格納する通常電子メール格納部とを備え、
電子メールを受信した際に、前記アドレス格納部に格納されたメールアドレスに基づき、前記特定電子メールと前記通常電子メールに分類してそれぞれ前記特定電子メール格納部と前記通常電子メール格納部に格納し、該特定電子メール格納部に格納されている特定電子メールを表示する際に、前記認証情報格納部に格納されている認証情報と使用者から入力された認証情報が一致すると前記特定電子メールを前記表示部に表示させるようにしたことを特徴とする携帯端末。
【請求項６】
メールアドレスを格納するアドレス格納部であって、該アドレス格納部に格納したメールアドレスと一致するアドレスを有する電子メールが特定電子メールとして扱われることになるアドレス格納部にメールアドレスを格納するステップと、
使用者の認証情報を認証情報格納部に格納するステップと、
電子メールを受信するステップと、
電子メールを受信した際に、前記アドレス格納部に格納されている特定電子メールアドレスと一致する特定電子メールと、前記特定メールアドレスと一致しない通常電子メールを分類して電子メール格納部に格納するステップと、
前記格納されている特定電子メールを表示する指示の入力を受け付けるステップと、
使用者からの認証情報の入力を受け付けるステップと、
該入力された認証情報が前記認証情報格納部に格納されている使用者の認証情報と一致した場合に特定電子メールを表示部に表示するステップと、
を有することを特徴とする携帯端末の電子メール表示方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
携帯端末１０は、表示部１００と、入力部１１０と、アドレス格納部１２０と、通信部１３０と、電子メール格納部１４０と、アドレス判定部１５０と、特定電子メール格納部１６０と、認証情報格納部１７０と、認証情報判定部１８０と、特定電子メール読み出し部１９０と、通常電子メール読み出し部２００と、認証情報取得部２１０とを備える。アドレス格納部１２０は、メールアドレスを格納する。認証情報格納部１７０は、認証情報判定部１８０が判定の基準とする、認証情報を格納する。入力部１１０は、ユーザからの電子メールの検索操作を受け付ける。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月13日(2005.12.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  データベース（２０）と少なくとも１つのクライアントシステム（１４）と通信するサーバシステム（１２）を備えるネットワークシステム（１０）用いて技術情報（６０）を提供する方法であって、
前記データベースに技術情報を記憶する（２４０）工程と、
前記技術情報に概要データ（６２）を添付する（２４４）工程と、
前記技術情報を検証する（２４６）工程と、
認証されたユーザからの問合せに応じて前記技術情報を提供する（２５４）工程とを備える方法。
【請求項２】  前記技術情報（６０）を記憶する（２４０）工程は、技術情報をサブライブラリに分類する工程を備える、請求項１の方法。
【請求項３】  前記技術情報（６０）を記憶する（２４０）工程は、コンピュータ使用可能形式（７０６）の技術情報を獲得する工程を備える、請求項１の方法。
【請求項４】  データベース（２０）と少なくとも１つのクライアントシステム（１４）と通信するサーバシステム（１２）を備えるネットワークシステム（１０）用いて技術情報（６０）を提供する方法であって、
コンピュータ使用可能形式（６０）の技術情報をサブライブラリ（９０）のデータベースに記憶（２４０）する工程と、
文書番号（６０６）、文書名（６０４）、文書改訂データ（６０８）、著者（６１０）、発行日（６１２）、更新日とキーワード（６１４）およびコメントのうち少なくとも１つを含む概要データ（６２）を前記技術情報に添付（２４４）する工程と、
改訂された技術情報と改訂された概要データとを用いて前記データベースを更新し、前記技術情報と添付された概要データをチェック（２５０）し、前記技術情報に添付された概要データを変更（２５２）することを含む、前記技術情報を検証する（２４６）工程と、
前記クライアントシステムと前記サーバシステムは、広域ネットワーク（５０）、ローカルエリアネットワーク（３６）、イントラネット、及びインターネットのうち少なくとも１つを備えるネットワークを介して接続されており、前記技術情報のプルダウンリスト（４０４）を前記クライアントシステムで表示し（２６８）、前記プルダウンリストから選ばれた技術情報に関するリクエストを前記クライアントシステムから受け取り（２７６）、リクエストされた技術情報を前記サーバシステムからダウンロード（２８４）し、リクエストされた技術情報を前記問合せに応じて前記クライアントシステムで表示する（２８４）ことを含む、ネットワークを介して前記クライアントシステムからの問合せに応じて前記技術情報を提供する（２５４）工程とを備える方法。
【請求項５】  ブラウザを備えるクライアントシステム（１４）と、
情報を記憶するデータベース（２０）と、前記クライアントシステムと前記データベースと通信するように構成されたサーバシステム（１２）が、
技術情報を受け取り、
前記技術情報を前記データベースに記憶し（２４０）、
前記技術情報に概要データ（６２）を添付し（２４４）、
前記技術情報を検証し（２４６）、
問合せに応じて技術情報を提供する（２５４）ように構成され、このサーバシステムを含む、技術情報（６０）を提供するネットワークシステム（１０）。
【請求項６】  前記クライアントシステム（１４）は、
プルダウンリスト（４０４）、チェックボックス、及び技術情報に関するデータ入力フィールドのうち少なくとも１つを表示する表示コンポーネント（８４）と、
リクエストされた技術情報を前記サーバシステムが処理して、前記クライアントシステムにダウンロードするために、前記サーバシステムに問合せを送る送信コンポーネント（８０）と
を備える、請求項５のネットワークシステム（１０）。
【請求項７】  前記システムは、認証された者に利用を限定するように構成される、請求項５又は請求項６のネットワークシステム（１０）。
【請求項８】  コンピュータ読取り可能媒体で実現され、技術情報（６０）を提供するコンピュータプログラムであって、
技術情報を受け取り、
技術情報を追加し削除し更新することによってデータベース（２０）を保守し、
技術情報に添付された概要データ（６２）を追加し削除し更新することによってデータベースを保守し、
技術情報を検証し（２４６）、
前記技術情報を認証されたユーザに提供するコードセグメントを備える、コンピュータプログラム。
【請求項９】  文書番号（６０６）、文書名（６０４）、文書改訂データ（６０８）、著者（６１０）、発行日（６１２）、更新日、キーワード（６１４）およびコメントのうち少なくとも１つに基づいて技術情報（６０）を選択する（２７０）コードセグメントをさらに備える、請求項８のコンピュータプログラム。
【請求項１０】  概要データ（６２）を技術情報（６０）に添付するコードセグメントをさらに備える、請求項８又は請求項９のコンピュータプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
特に原子力生産や、運輸、防衛、航空機保守などの政府主導の産業で安全に作業を行うためには規制や技術要件を厳密に遵守することが必要である。このような産業で建築や作業や保守を行う際には、信頼できる最新技術情報を利用することが必要である。例えば、原子力産業の原子力プラントオペレータと技術者と管理者にとっては、作業と保守を行う際に利用される機器と装置に関する信頼できる最新技術情報が必要である。技術情報には、例えば、機器の仕様を提供する保守マニュアル、および、機器と手順と要件と推奨に関する最新情報を提供する技術レポートが含まれる。情報量が多く、また、技術情報の見直しは型どうりに行われるがむらがあるため、技術情報をユーザに効率よく提供することは困難である。今までは、ユーザは技術情報を紙かもしくはその他のハードコピーの形態で入手していた。記憶要件と検索の問題と、所定の文書や技術情報の信頼性や最新のステータスを評価することが困難であるので、技術文書のハードコピーや技術ライブラリの効率性には限界があった。古い情報を使用すると、システムオペレーションが遅れ、保守が増えたりさらに別の保守が発生したり、システムコストが増大する。
【特許文献１】米国特許第６２６３２６５号
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月14日(2005.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  電子を放出する電子源を有する第１の基板と、
前記第１の基板の前記電子源を有する面に対向して、該第１の基板と平行に設けられた第２の基板と、
前記第１の基板と前記第２の基板との間に位置し、両基板の間隔を一定に保つスペーサと、
を有する電子線装置において、
前記スペーサは、前記第１の基板と前記第２の基板との間の空間に露出する表面に、前記第１の基板および前記第２の基板に平行な方向にストライプ状に延びる凹凸部を、凸部が両基板に近接するように有し、
前記スペーサの第２の基板に最も近い凹部から、該スペーサの１／２の高さの位置までの凹凸部の平均ピッチが、前記第１の基板に最も近い凹部から、該スペーサの１／２の高さの位置までの凹凸部の平均ピッチよりも小さいことを特徴とする電子線装置。
【請求項２】  電子を放出する電子源を有する第１の基板と、
前記第１の基板の電子源を有する面に対向して、該第１の基板と平行に設けられた第２の基板と、
前記第１の基板と前記第２の基板との間に位置し、両基板の間隔を一定に保つスペーサと、
を有する電子線装置において、
前記スペーサは、前記第１の基板と前記第２の基板との間の空間に露出する表面に、前記第１の基板と前記第２の基板に平行な方向にストライプ状に延びる凹凸部を有し、
前記スペーサの１／２の高さの位置から前記第２の基板側に形成されている凹凸部の溝深さの平均値が、該１／２の高さの位置から前記第１の基板側に形成されている凹凸部の溝深さの平均値よりも大きいことを特徴とする電子線装置。
【請求項３】  前記表面は、前記凹凸部が設けられていない領域を含んでいる、請求項１または２に記載の電子線装置。
【請求項４】  前記スペーサの前記表面上に、比抵抗が１０4［Ω・ｃｍ］以上、１０10［Ω・ｃｍ］以下である帯電防止膜を有している、請求項１から３のいずれか１項に記載の電子線装置。
【請求項５】  前記帯電防止膜は、タングステンとゲルマニウムと窒素とを含有している、請求項４に記載の電子線装置。
【請求項６】  前記スペーサは、前記帯電防止膜と前記第１の基板とを接続するための電極を有している、請求項４または５に記載の電子線装置。
【請求項７】  前記スペーサは、前記帯電防止膜と前記第２の基板とを接続するための電極を有している、請求項４から６のいずれか１項に記載の電子線装置。
【請求項８】  前記電子源は、冷陰極型の電子放出素子である、請求項１から７のいずれか１項に記載の電子線装置。
【請求項９】  前記冷陰極型の電子放出素子は、前記第１の基板上に設けられた一対の素子電極と、該素子電極間に跨り電子放出部を有する導電性薄膜とを有する表面伝導型電子放出素子である、請求項８に記載の電子線装置。