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【手続補正書】
【提出日】平成17年12月2日(2005.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  特定の結像特性を有する投影光学系と、
前記投影光学系の一方の側に配置され、マスク基板を保持するとともに基準プレートを具備したマスクステージと、
前記投影光学系の他方の側に配置され、ウエハを保持するとともに、基準マークを具備したウエハステージと、
前記マスク基板上のパターンを前記投影光学系を介して前記ウエハ上に転写する際、前記マスク基板と前記ウエハの結像関係に影響を及ぼす光学変調部材と、
前記マスク基板と前記ウエハの位置合わせを行なうために前記投影光学系を介する光路によって前記基準プレートと前記基準マークの位置を検出する際、該基準プレートと該基準マークの結像関係を、前記光学変調部材により影響を及ぼされた前記マスク基板と前記ウエハの結像関係に略一致させるための補正手段を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２】  前記光学変調部材は、前記マスク基板の保護用のペリクルと、前記投影光学系の収差を補正するための光学素子と、前記マスク基板の理想平面からのズレを補正するための光学素子の少なくともいずれかで構成され、
前記補正手段は、装置の校正あるいはウエハの位置合わせを行なう際に、前記基準プレートと前記投影光学系との間に位置するように設けられた補正用光学素子であり、該補正用光学素子は、前記光学変調部材を構成する前記ペリクルと前記光学素子の厚さの和に等しい厚さを有することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】  前記光学変調部材は、前記ペリクルと前記光学素子の厚みの和が一定となるように、ペリクルと光学素子の組み合わせが決定されていることを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】  前記補正光学素子は、前記投影光学系の瞳位置での収差を補正するように部分的に加工された形状あるいは、非球面に形成されることを特徴とする請求項２又は３に記載の露光装置。
【請求項５】  特定の結像特性を有する投影光学系と、
前記投影光学系の一方の側に配置され、マスク基板を保持するとともに基準プレートを具備したマスクステージと、
前記投影光学系の他方の側に配置され、ウエハを保持するとともに、基準マークを具備したウエハステージと、
前記マスク基板上のパターンを前記投影光学系を介して前記ウエハ上に転写する際、前記マスク基板と前記ウエハの結像関係に影響を及ぼす光学変調部材とを備え、
前記マスク基板と前記ウエハの位置合わせを行なうために前記投影光学系を介する光路によって前記基準プレートと前記基準マークの位置を検出する際、該基準プレートと該基準マークの結像関係を、前記光学変調部材により影響を及ぼされた前記マスク基板と前記ウエハの結像関係に略一致させるために、前記投影光学系に対する前記マスク基板のパターン面位置と該投影光学系に対する前記基準プレートの面位置との間に、前記投影光学系の光軸方向に予め定められた差を設けたことを特徴とする露光装置。
【請求項６】  前記光学変調部材は、前記マスク基板の保護用のペリクルと、前記光学素子の少なくともいずれかで構成され、
前記ペリクルの厚さをTp、屈折率をNpとし、前記光学素子の厚さをTg、屈折率をNgとした場合に、前記予め定められた差Tspは、
Tsp = Tp * (1-1/Np) + Tg * (1-1/Ng)
であることを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】  特定の結像特性を有する投影光学系と、
前記投影光学系の一方の側に配置され、マスク基板を保持するとともに基準プレートを具備したマスクステージと、
前記投影光学系の他方の側に配置され、ウエハを保持するとともに、基準マークを具備したウエハステージと、
前記マスク基板上のパターンを前記投影光学系を介して前記ウエハ上に転写する際、前記マスク基板と前記ウエハの結像関係に影響を及ぼす光学変調部材とを備え、
前記マスク基板と前記ウエハの位置合わせを行なうために前記投影光学系を介する光路によって前記基準プレートと前記基準マークの位置を検出する際、該基準プレートと該基準マークの結像関係を、前記光学変調部材により影響を及ぼされた前記マスク基板と前記ウエハの結像関係に略一致させるために、前記投影光学系に対する前記ウエハの面位置と該投影光学系に対する前記基準マークの面位置との間に前記投影光学系の光軸方向に予め定められた差を設けるものであることを特徴とする露光装置。
【請求項８】  前記予め定められた差は、装置の校正を行なう際に前記ウエハステージを光軸方向へ駆動することにより行なうことを特徴とする請求項７に記載の露光装置。
【請求項９】  前記光学変調部材は、前記マスク基板の保護用のペリクルと、前記光学素子の少なくともいずれかで構成され、
前記ペリクルの厚さをTp、屈折率をNpとし、前記光学素子の厚さをTg、屈折率をNg、前記投影光学系の結像倍率をβとした場合に、前記予め定められた差Twpは、
Tｗp = Tp * (1-1/Np) / β2 + Tg * (1-1/Ng) / β2
であることを特徴とする請求項７又は８に記載の露光装置。
【請求項１０】前記露光装置は、走査型露光装置であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の露光装置。  
【請求項１１】  投影光学系と、
前記投影光学系の一方の側に配され、かつ基準プレートを具備した、マスクを保持するためのマスクステージと、
前記投影光学系の他方の側に配され、かつ基準マークを具備した、ウエハを保持するためのウエハステージと、
前記投影光学系を介した前記マスクと前記ウエハとの間の光路上に配された、前記投影光学系の収差を補正するための光学素子と、
前記光学素子の光学的厚さに基づいて、前記投影光学系を介した前記基準プレートと前記基準マークとの間の光路長を調整する調整手段とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１２】  前記調整手段は、光学素子を含むことを特徴とする請求項１１に記載の露光装置。
【請求項１３】  前記調整手段は、前記投影光学系の光軸に平行な方向における前記基準プレートの配置により、前記光路長を調整することを特徴とする請求項１１に記載の露光装置。
【請求項１４】  前記調整手段は、前記ウエハステージを前記投影光学系の光軸に平行な方向に駆動することにより、前記光路長を調整することを特徴とする請求項１１に記載の露光装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月29日(2005.11.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  撮像素子及び外界の光線を該撮像素子上に導光する撮像光学系から構成される撮像系と、
該撮像系で取得した外界像を表示する表示素子及び該表示素子からの光束を観察眼へ導く表示光学系から構成される表示系と
を有する画像観察装置を一対設けた画像観察システムにおいて、
該撮像光学系の入射瞳中心と、該撮像素子中心と該撮像光学系に関して共役である点を含む光軸を撮像系光軸とし、
該表示光学系の射出瞳中心と、該表示素子中心と該表示光学系に関して共役である点を含む光軸を表示系光軸とするとき、
該撮像系光軸と該表示系光軸が一軸上に配置され、且つ
各画像観察装置の該撮像系光軸は交点を形成すると共に、
該撮像素子面と該撮像光学系に関して共役な位置である撮像系焦点面は、該撮像系光軸の交点よりも観察者側にあることを特徴とする画像観察システム。
【請求項２】  前記撮像光学系は、所定の位置に前記撮像系焦点面が固定された固定焦点光学系であることを特徴とする請求項１の画像観察システム。
【請求項３】  前記撮像系焦点面は、観察者から１ｍ以内の距離に設定されていることを特徴とする請求項１又は２の画像観察システム。
【請求項４】  前記一対の画像観察装置の前記表示素子中心と表示光学系に関して共役な位置である各表示系中心画角虚像位置は、前記撮像系光軸の交点と一致していることを特徴とする請求項１〜３いずれかの画像観察システム。
【請求項５】  前記一対の画像観察装置の前記表示素子中心と表示光学系に関して共役な位置である各表示系中心画角虚像位置は、前記撮像系光軸の交点よりも観察者側にあることを特徴とする請求項１〜４いずれかの画像観察システム。
【請求項６】  前記表示系中心画角虚像位置と、前記撮像系光軸の交点との距離は０．３ディオプター以内であることを特徴とする請求項５の画像観察システム。
【請求項７】  前記撮像系の撮像画角は、前記表示系の表示画角と一致していることを特徴とする請求項１〜６いずれかの画像観察システム。
【請求項８】  前記撮像光学系入射瞳から前記撮像系焦点面までの距離をＨ、前記撮像光学系の入射瞳の大きさをＤ、前記撮像光学系の焦点距離をｆ、前記撮像素子の１画素の大きさをａとするとき、前記撮像光学系入射瞳から前記交点までの距離Ｌが、
【数１】
2004186740.tif 000001
なる条件を満足することを特徴とする請求項１〜７いずれかの画像観察システム。
【請求項９】  前記撮像系焦点面に垂直で前記撮像光学系の入射瞳中心を通る直線を撮像光学系光軸とし、前記虚像面に垂直で前記表示光学系射出瞳中心を通る直線を表示光学系光軸とするとき、前記一対の撮像系の外界側の撮像光学系光軸および前記一対の表示系の眼球側表示光学系光軸は各々平行で、その間隔は等しく、かつ前記一対の撮像素子は各々の撮像光学系光軸に対し水平方向に所定距離ずらして配置し、前記一対の表示素子も各々の表示光学系光軸に対し水平方向に所定距離ずらして配置することにより、前記一対の撮像系光軸の交点および前記一対の表示系光軸の交点を形成することを特徴とする請求項１〜８いずれかの画像観察システム。
【請求項１０】  前記撮像光学系はプリズムを有し、該プリズムは透過作用及び全反射作用をする面を有しており、該プリズムと前記撮像素子の間の光路中に正の光学的パワーを有する光学要素を有することを特徴とする請求項１〜９いずれかの画像観察システム。
【請求項１１】  画像を生成する画像生成手段及び画像合成手段を有し、該画像合成手段は該画像生成手段からの画像と前記撮像系からの画像を合成して、前記表示素子に表示することを特徴とする請求項１〜１０いずれかの画像観察システム。
【請求項１２】  前記撮像光学系の入射瞳位置を、前記表示光学系の射出瞳位置よりも外界側にずらして配置していることを特徴とする請求項１〜１１いずれかの画像観察システム。
【請求項１３】  前記表示光学系の射出瞳位置に対する前記撮像光学系の入射瞳位置のずらし量をｄとするとき、
ｄ＜６０ｍｍ
なる条件を満足することを特徴とする請求項１〜１２の画像観察システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するために、本発明は、撮像素子及び外界の光線を該撮像素子上に導光する撮像光学系から構成される撮像系と、該撮像系で取得した外界像を表示する表示素子及び該表示素子からの光束を観察眼へ導く表示光学系から構成される表示系とを有する画像観察装置を一対設けた画像観察システムにおいて、該撮像光学系の入射瞳中心と、該撮像素子中心と該撮像光学系に関して共役である点を含む光軸を撮像系光軸とし、該表示光学系の射出瞳中心と、該表示素子中心と該表示光学系に関して共役である点を含む光軸を表示系光軸とするとき、該撮像系光軸と該表示系光軸が略一軸上に配置され、且つ各画像観察装置の該撮像系光軸は交点を形成すると共に、該撮像素子面と該撮像光学系に関して共役な位置である撮像系焦点面は、該撮像系光軸の交点よりも観察者側にあることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月24日(2006.2.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電力変換装置の半導体素子より発生する熱を受熱板を介して冷却風流路に設けられた放熱フィンに伝達し、前記冷却風流路内に空気を流して、前記放熱フィンから熱を大気へ放散するようにした電力変換器の冷却装置において、風の通路の大きさが風上側から風下側にいくにつれて絞られて形成された冷却風流路と、前記冷却風流路内に風上側から風下側に直列に配置された複数個の放熱フィンと、各々の前記放熱フィン毎に設けられ前記電力変換装置の半導体素子より発生する熱をそれぞれの放熱フィンに伝達する複数個の受熱板とを備えたことを特徴とする電力変換装置の冷却装置。
【請求項２】
前記複数個の各々の受熱板には、前記電力変換装置の１相分の半導体素子が取り付けられており、前記冷却風流路は前記各々の放熱フィンからの放熱量が等しくなるように、その風の通路が風上側から風下側にいくにつれて絞られて形成されたことを特徴とする請求項１に記載の電力変換装置の冷却装置。
【請求項３】
電力変換装置の半導体素子より発生する熱を受熱板を介して冷却風流路に設けられた放熱フィンに伝達し、前記冷却風流路内に空気を流して、前記放熱フィンから熱を大気へ放散するようにした電力変換器の冷却装置において、前記冷却風流路内に風上側から風下側に直列に配置され風上側から風下側に向かって階段状に大きく形成された複数個の放熱フィンと、各々の前記放熱フィン毎に設けられ前記電力変換装置の半導体素子より発生する熱をそれぞれの放熱フィンに伝達する複数個の受熱板とを備えたことを特徴とする電力変換装置の冷却装置。
【請求項４】
前記複数個の各々の受熱板には、前記電力変換装置の１相分の半導体素子が取り付けられており、前記各々の放熱フィンの大きさは、前記各々の放熱フィンからの放熱量が等しくなるように形成されたことを特徴とする請求項３に記載の電力変換装置の冷却装置。
【請求項５】
電力変換装置の半導体素子より発生する熱を受熱板を介して冷却風流路に設けられた放熱フィンに伝達し、前記冷却風流路内に空気を流して、前記放熱フィンから熱を大気へ放散するようにした電力変換器の冷却装置において、風の通路の大きさが風上側から風下側に向かって階段状に段差がつけられて形成された冷却風流路と、前記冷却風流路内の階段状の段差部分に風上側から風下側に直列に配置された複数個の放熱フィンと、各々の前記放熱フィン毎に設けられ前記電力変換装置の半導体素子より発生する熱をそれぞれの放熱フィンに伝達する複数個の受熱板とを備えたことを特徴とする電力変換装置の冷却装置。
【請求項６】
前記複数個の各々の受熱板には、前記電力変換装置の１相分の半導体素子が取り付けられており、前記冷却風流路は前記各々の放熱フィンからの放熱量が等しくなるように、風上側から風下側に向かって階段状に段差がつけられて形成されたことを特徴とする請求項５に記載の電力変換装置の冷却装置。
【請求項７】
電力変換装置の半導体素子より発生する熱を受熱板を介して冷却風流路に設けられた放熱フィンに伝達し、前記冷却風流路内に空気を流して、前記放熱フィンから熱を大気へ放散するようにした電力変換器の冷却装置において、前記冷却風流路内に風上側から風下側に向かって形成され前記冷却風流路内の風の流れの方向に熱輸送を行うヒートパイプが取り付けられた放熱フィンと、各々の前記放熱フィンに設けられ前記電力変換装置の半導体素子より発生する熱を放熱フィンに伝達する受熱板とを備えたことを特徴とする電力変換装置の冷却装置。
【請求項８】
電力変換装置の半導体素子より発生する熱を受熱板を介して冷却風流路に設けられた放熱フィンに伝達し、前記冷却風流路内に空気を流して、前記放熱フィンから熱を大気へ放散するようにした電力変換器の冷却装置において、前記冷却風流路内に風上側から風下側に直列に配置された複数個の放熱フィンと、各々の前記放熱フィンに共通に設けられ前記冷却風流路内の風の流れの方向に熱輸送を行うヒートパイプを有した熱輸送板と、前記熱輸送板に取り付けられ前記電力変換装置の半導体素子より発生する熱を前記放熱フィンに伝達する受熱板とを備えたことを特徴とする電力変換装置の冷却装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項３の発明に係わる電力変換装置の冷却装置は、電力変換装置の半導体素子より発生する熱を受熱板を介して風洞に設けられた放熱フィンに伝達し、前記風洞内に空気を流して、前記放熱フィンから熱を大気へ放散するようにした電力変換器の冷却装置において、前記風洞内に風上側から風下側に直列に配置され風上側から風下側に向かって階段状に大きく形成された複数個の放熱フィンと、各々の前記放熱フィン毎に設けられ前記電力変換装置の半導体素子より発生する熱をそれぞれの放熱フィンに伝達する複数個の受熱板とを備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項７の発明に係わる電力変換装置の冷却装置は、電力変換装置の半導体素子より発生する熱を受熱板を介して風洞に設けられた放熱フィンに伝達し、前記風洞内に空気を流して、前記放熱フィンから熱を大気へ放散するようにした電力変換器の冷却装置において、前記風洞内に風上側から風下側に向かって形成され前記風洞内の風の流れの方向に熱輸送を行うヒートパイプが取り付けられた放熱フィンと、各々の前記放熱フィンに設けられ前記電力変換装置の半導体素子より発生する熱を放熱フィンに伝達する受熱板とを備えたことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
請求項８の発明に係わる電力変換装置の冷却装置は、電力変換装置の半導体素子より発生する熱を受熱板を介して風洞に設けられた放熱フィンに伝達し、前記風洞内に空気を流して、前記放熱フィンから熱を大気へ放散するようにした電力変換器の冷却装置において、前記風洞内に風上側から風下側に直列に配置された複数個の放熱フィンと、各々の前記放熱フィンに共通に設けられ前記風洞内の風の流れの方向に熱輸送を行うヒートパイプを有した熱輸送板と、前記熱輸送板に取り付けられ前記電力変換装置の半導体素子より発生する熱を前記放熱フィンに伝達する受熱板とを備えたことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月25日(2005.11.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  無線パケット通信を行う第１無線パケット通信手段と、第２無線パケット通信手段とを備える無線通信装置において、
前記第２無線パケット通信手段の動作状況を判別する判別手段と、
前記判別手段による判別結果に基づいて、前記第１無線パケット通信手段の送信パケット長を設定する設定手段と
を備えることを特徴とする無線通信装置。
【請求項２】  前記第１無線パケット通信に用いる送信パケット長の範囲を予め記憶する記憶手段を備え、
前記設定手段は、前記記憶手段に記憶された送信パケット長の範囲に基づいて前記第１無線パケット通信手段の送信パケット長を設定することを特徴とする請求項１に記載の無線通信装置。
【請求項３】  前記設定手段は、前記第１無線パケット通信手段の送信パケット長の上限値を設定することを特徴とする請求項１又は２に記載の無線通信装置。
【請求項４】  前記判別手段は、少なくとも通信状態、スリーブ状態、もしくは停止状態のいずれかを判別し、
前記設定手段は、前記判別手段による判別結果に基づいた送信パケット長を設定することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の通信装置。
【請求項５】  前記第１無線パケット通信手段と前記第２無線パケット通信手段とは、重複する周波数帯を使用して通信することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の無線通信装置。
【請求項６】  前記第１無線パケット通信手段は、固定の周波数帯域を用いた通信を行い、前記第２無線パケット通信手段は、周波数ホッピング方式の通信を行うことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の無線通信装置。
【請求項７】  無線パケット通信を行う第１無線パケット通信手段と、第２無線パケット通信手段とを備える無線通信装置により実行されるプログラムにおいて、
前記第２無線パケット通信手段の動作状況を判別する判別ステップと、
前記判別ステップによる判別結果に基づいて、前記第１無線パケット通信手段の送信パケット長を設定する設定ステップと
を前記無線通信装置に実行させることを特徴とする無線通信装置用制御プログラム。
【請求項８】  無線パケット通信を行う第１無線パケット通信手段と、第２無線パケット通信手段とを用いて無線通信する際の無線通信方法において、
前記第２無線パケット通信手段の動作状況を判別し、この判別結果に基づいて前記第１無線パケット通信手段の送信パケット長を設定することを特徴とする無線通信方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の無線通信装置は、無線パケット通信を行う第１無線パケット通信手段と、第２無線パケット通信手段とを備える無線通信装置において、前記第２無線パケット通信手段の動作状況を判別する判別手段と、前記判別手段による判別結果に基づいて、前記第１無線パケット通信手段の送信パケット長を設定する設定手段とを備えることを特徴とする。
請求項７の無線通信装置用制御プログラムにおいて、無線パケット通信を行う第１無線パケット通信手段と、第２無線パケット通信手段とを備える無線通信装置により実行されるプログラムにおいて、前記第２無線パケット通信手段の動作状況を判別する判別ステップと、前記判別ステップによる判別結果に基づいて、前記第１無線パケット通信手段の送信パケット長を設定する設定ステップとを前記無線通信装置に実行させることを特徴とする。
請求項８の無線通信方法において、無線パケット通信を行う第１無線パケット通信手段と、第２無線パケット通信手段とを用いて無線通信する際の無線通信方法において、前記第２無線パケット通信手段の動作状況を判別し、この判別結果に基づいて前記第１無線パケット通信手段の送信パケット長を設定することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月28日(2005.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  露光光源からの露光光により原版を照明する照明光学系と、前記原版に形成されたパタ−ンを感光基板上に投影する投影光学系とを備え、前記露光光源から前記感光基板に至る露光光の光路上に配置される光学部品の少なくとも一部が密閉または略密閉された容器内に配置され、該容器内へ所定のパージガスを流入させて該容器内の気体を前記パージガスで置換する手段を有する露光装置において、
前記パージガスの流入量を露光時と非露光時とで別々の流量に制御する流量切り換え手段を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】  前記流量切り換え手段は非露光時のパージガス流入量を露光時より増やすことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】  露光時から非露光時に入ってからの時間を計測する手段を有し、前記流量切り換え手段はこの時間が所定の時間を超えた時にパージガス流入量を非露光時のパージガス流入量に切り換えることを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項４】  前記容器から排出されるガス中に含まれる有機物の一部または総量を測定する有機物測定手段を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の露光装置。
【請求項５】  前記有機物測定手段の計測値を基に前記パージガス流入量を制御する手段を有することを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】  前記パージガス流入量制御手段は前記有機物測定手段の計測値の単位時間あたりの変化量があらかじめ設定されたある一定値以下に達したか否かを判断し非露光時のパージガス流入量を制御することを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】  前記容器から排出されるガス中に含まれる無機物の一部または総量を測定する無機物測定手段を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の露光装置。
【請求項８】  前記無機物測定手段の計測値を基に前記パージガス流入量を制御する手段を有することを特徴とする請求項７に記載の露光装置。
【請求項９】  前記パージガス流入量制御手段は前記無機物測定手段の計測値の単位時間あたりの変化量があらかじめ設定されたある一定値以下に達したか否かを判断し非露光時のパージガス流入量を制御することを特徴とする請求項８に記載の露光装置。
【請求項１０】  前記パージガス流入量制御手段によるパージガス流入量制御と連動してパージガス排出抵抗を制御する手段を有することを特徴とする請求項５、６、８または９に記載の露光装置。
【請求項１１】  流入させるパージガスを加熱する手段を有することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１つに記載の露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
【実施態様】
本発明の実施態様の例を以下のように列挙する。
［実施態様１］  露光光源からの露光光により原版を照明する照明光学系と、前記原版に形成されたパタ−ンを感光基板上に投影する投影光学系とを備え、前記露光光源から前記感光基板に至る露光光の光路上に配置される光学部品の少なくとも一部が密閉または略密閉された容器内に配置され、該容器内へ所定のパージガスを流入させて該容器内の気体を前記パージガスで置換する手段を有する露光装置において、
前記パージガスの流入量を露光時と非露光時とで別々の流量に制御する流量切り換え手段を有することを特徴とする露光装置。
［実施態様２］  前記流量切り換え手段は非露光時のパージガス流入量を露光時より増やすことを特徴とする実施態様１に記載の露光装置。
［実施態様３］  露光時から非露光時に入ってからの時間を計測する手段を有し、前記流量切り換え手段はこの時間が所定の時間を超えた時に非露光時パージガス流入量に切り換えることを特徴とする実施態様１または２に記載の露光装置。
［実施態様４］  前記容器から排出されるガス中に含まれる有機物の一部または総量を測定する有機物測定手段を有することを特徴とする実施態様１〜３のいずれか１つに記載の露光装置。
［実施態様５］  前記容器から排出されるガス中に含まれる無機物の一部または総量を測定する無機物測定手段を有することを特徴とする実施態様１〜４のいずれか１つに記載の露光装置。
［実施態様６］  前記有機物測定手段の計測値を基に前記パージガス流入量を制御する手段を有することを特徴とする実施態様４に記載の露光装置。
［実施態様７］  前記パージガス流入量制御手段は前記有機物測定手段の計測値の単位時間あたりの変化量があらかじめ設定されたある一定値以下に達したか否かを判断し非露光時のパージガス流入量を制御することを特徴とする実施態様６に記載の露光装置。
［実施態様８］  前記無機物測定手段の計測値を基に前記パージガス流入量を制御する手段を有することを特徴とする実施態様５または６に記載の露光装置。
［実施態様９］  前記パージガス流入量制御手段は前記無機物測定手段の計測値の単位時間あたりの変化量があらかじめ設定されたある一定値以下に達したか否かを判断し非露光時のパージガス流入量を制御することを特徴とする実施態様８に記載の露光装置。
［実施態様１０］  前記パージガス流入量制御手段によるパージガス流入量制御と連動してパージガス排出抵抗を制御する手段を有することを特徴とする実施態様６〜９のいずれか１つに記載の露光装置。
［実施態様１１］  流入させるパージガスを加熱する手段を有することを特徴とする実施態様１〜１０のいずれか１つに記載の露光装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月7日(2006.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
ケース内部に正極、負極、電解液、酸素透過膜とを備えたセル部と、センサ駆動回路とを備えた定電位式酸素センサにおいて、前記正極に酸素の電気化学的還元に有効な触媒金属を含み、前記負極に亜鉛（Ｚｎ）、錫（Ｓｎ）、亜鉛（Ｚｎ）合金、錫（Ｓｎ）合金または亜鉛（Ｚｎ）と錫（Ｓｎ）を含む合金を含むことを特徴とする定電位式酸素センサ。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月14日(2006.9.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  以下（ａ）から（ｃ）を含むことを特徴とする半導体発光素子、
（ａ）基板（１２）、
（ｂ）以下（イ）及び（ロ）を有する前記基板上に配置される二重ヘテロ構造（２４）、
（イ）第１及び第２のｎタイプ閉じ込め層（１４、２８）、
（ロ）前記第１及び第２の閉じ込め層の間に介在する、少なくとも１つの層を含むｎタイプ活性領域（２６）を有し、
（ｃ）前記第２の閉じ込め層に近接して配置されたｐタイプの正孔注入層（３０）が含まれている。
【請求項２】 さらに、前記第２のｎタイプ閉じ込め層と前記ｐタイプ正孔注入層の間に介在するｐタイプの障壁強化・スペーサ層（３２）を含むことを特徴とする、請求項１に記載の半導体発光素子。
【請求項３】 前記第２の閉じ込め層（２８）の厚さが、１μｍ未満であることを特徴とする、請求項１に記載の半導体発光素子。
【請求項４】 前記ｐタイプ正孔注入層（３０）が、前記基板、前記閉じ込め層、及び、前記活性領域に対して格子不整合を生じることを特徴とする、請求項１に記載の半導体発光素子。
【請求項５】 前記ｎタイプ二重ヘテロ構造（２４）が、ＡｌxＧａyＩｎ1-x-yＰ（０≦ｘ，ｙ≦１）の複合物であり、前記ｐタイプ正孔注入層（３０）が、ＡｌxＧａyＩｎ1-x-yＰ（０≦ｘ，ｙ≦１）、ＡｌxＧａyＩｎ1-x-yＡｓzＰ1-z（０≦ｘ，ｙ，ｚ≦１）、ＡｌxＧａ1-xＡｓyＰ1-y（０≦ｘ，ｙ≦１）、ＡｌxＧａ1-xＰ（０≦ｘ≦１）、及び、ＡｌxＧａ1-xＡｓ（０≦ｘ≦１）を含むグループから選択されることを特徴とする、請求項１に記載の半導体発光素子。
【請求項６】 ｐタイプのドーパントが、炭素、マグネシウム、亜鉛、カドミウム、及び、ベリリウムを含むグループから選択されることを特徴とする、請求項５に記載の半導体発光素子。
【請求項７】 前記正孔注入層（３０）は、さらに少なくとも１×１０17のドーピング・レベルを含むことを特徴とする、請求項６に記載の半導体発光素子。
【請求項８】 前記タイプ障壁強化・スペーサ層（３２）が、前記基板、前記閉じ込め層、前記活性領域、及び、前記正孔注入層に対して格子不整合を生じ、不正規形に歪みを生じるか（psuedomorphically-strained）、または、格子緩和（lattice-relaxed）を生じることを特徴とする、請求項２に記載の半導体発光素子。
【請求項９】 前記ｐタイプ障壁強化層・スペーサ層（３２）が、複数のｐタイプの層を含むことを特徴とする、請求項２に記載の半導体発光素子。
【請求項１０】 前記ｎタイプ二重ヘテロ構造（２４）が、ＡｌxＧａyＩｎ1-x-yＰ（０≦ｘ，ｙ≦１）の複合物であり、前記ｐタイプ障壁強化・スペーサ層（３２）が、ＡｌxＧａyＩｎ1-x-yＰ（０≦ｘ，ｙ≦１）、ＡｌxＧａyＩｎ1-x-yＡｓzＰ1-z（０≦ｘ，ｙ，ｚ≦１）、ＡｌxＧａ1-xＡｓyＰ1-y（０≦ｘ，ｙ≦１）、ＡｌxＧａ1-xＰ（０≦ｘ≦１）、及び、ＡｌxＧａ1-xＡｓ（０≦ｘ≦１）を含むグループから選択されることを特徴とする、請求項２に記載の半導体発光素子。
【請求項１１】 以下（ａ）から（ｃ）のステップを含むことを特徴とする半導体発光素子の製作方法、
（ａ）基板にｎタイプの二重ヘテロ構造を成長させるステップ、
（ｂ）前記二重ヘテロ構造の上にｐタイプ正孔注入層を製作するステップ、
（ｃ）前記ｐタイプ正孔注入層の上にウィンドウ層・コンタクト層を成長させるステップ。
【請求項１２】 前記ｐタイプ正孔注入層の製作ステップは、さらに、以下（ａ）及び（ｂ）のステップを含むことを特徴とする、請求項１１に記載の半導体発光素子の製作方法、
（ａ）アンドープ正孔注入層を成長させるステップ、
（ｂ）該正孔注入層にｐタイプ・ドーパントのドーピングを施すステップ。
【請求項１３】 前記正孔注入層のドーピングステップは、前記正孔注入層に前記ｐタイプ・ドーパントを拡散させるステップを含むことを特徴とする、請求項１２に記載の半導体発光素子の製作方法。
【請求項１４】 前記正孔注入層のドーピング・ステップは、前記正孔注入層にｐタイプ・ドーパントを注入するステップが含まれることを特徴とする、請求項１２に記載の半導体発光素子の製作方法。
【請求項１５】 前記ｐタイプ正孔注入層の製作ステップは、前記二重ヘテロ構造の上に前記ｐタイプ正孔注入層をウェーハ・ボンディングするステップが含まれることを特徴とする、請求項１１に記載の半導体発光素子の製作方法。
【請求項１６】 前記ｐタイプ正孔注入層の製作ステップは、前記二重ヘテロ構造の上に前記ｐタイプ正孔注入層をエピタキシャル再成長させるステップを含むことを特徴とする、請求項１１に記載の半導体発光素子の製作方法。
【請求項１７】 さらに、前記ｐタイプ正孔注入層の製作ステップの前に、ｐタイプ障壁強化・スペーサ層を製作するステップを含むことを特徴とする、請求項１１に記載の半導体発光素子の製作方法。
【請求項１８】 前記ｐタイプ障壁強化・スペーサ層の製作ステップは、さらに、以下（ａ）及び（ｂ）のステップを含むことを特徴とする請求項１７に記載の半導体発光素子の製作方法、
（ａ）アンドープ障壁強化・スペーサ層を成長させるステップ、
（ｂ）前記障壁強化・スペーサ層にｐタイプ・ドーパントのドーピングを施すステップ。
前記ｐタイプ障壁強化・スペーサ層の製作ステップは、さらに、以下（ａ）及び（ｂ）のステップを含むことを特徴とする実施態様１７に記載の半導体発光素子の製作方法、
（ａ)アンドープ障壁強化・スペーサ層を成長させるステップ、
（ｂ）前記障壁強化・スペーサ層にｐタイプ・ドーパントのドーピングを施すステップ。
【請求項１９】 前記障壁強化・スペーサ層のドーピングステップは、前記障壁強化・スペーサ層に前記ｐタイプ・ドーパントを拡散させるステップを含むことを特徴とする、請求項１８に記載の半導体発光素子の製作方法。
【請求項２０】 前記障壁強化・スペーサ層のドーピング・ステップは、前記障壁強化・スペーサ層にｐタイプ・ドーパントを注入するステップを含むことを特徴とする、請求項１８に記載の半導体発光素子の製作方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月11日(2006.9.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天部と側壁部を有するケースと、前記ケースの天部外壁面に接着剤で固定した音響整合層と、前記ケースの天部内壁面に接着剤で固定した圧電体と、前記ケース開口部を覆うように配した端子板とを備え、
前記音響整合層は、外径をケース外径の２０％〜９０％として天部面積より小さく設定し、その厚みを前記圧電体の共振周波数の１／４波長相当に設定した超音波送受波器。
【請求項２】
音響整合層は円形で構成されている請求項１記載の超音波送受波器。
【請求項３】
音響整合層は多角形で構成されている請求項１記載の超音波送受波器。
【請求項４】
音響整合層は楕円形で構成されている請求項１記載の超音波送受波器。
【請求項５】
音響整合層はケースの中心部に位置する構成をした請求項１〜４のいずれか１項記載の超音波送受波器。
【請求項６】
音響整合層はケースの中心から偏心した位置に固定された請求項１〜４のいずれか１項記載の超音波送受波器。
【請求項７】
被測定流体が流れる流量測定部と、前記流量測定部に設けられ超音波を送受信する請求項１〜６のいずれか１項記載の１対の超音波送受波器と、前記超音波送受波器間の伝搬時間を計測する計測回路と、前記計測回路により計測された伝搬時間に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備えた超音波流量計。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
前記従来の課題を解決するために、本発明の超音波送受波器は、天部と側壁部を有するケースと、前記ケースの天部外壁面に接着剤で固定した音響整合層と、前記ケースの天部内壁面に接着剤で固定した圧電体と、前記ケース開口部を覆うように配した端子板とを備え、前記音響整合層は、外径をケース外径の２０％〜９０％として天部面積より小さく設定し、その厚みを前記圧電体の共振周波数の１／４波長相当に設定したもので、被測定流体の計測を行う上で不要な音波を送受信することなく計測に必要な音波のみを送受信する事でばらつきの無い安定した計測を行うことができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
第１の発明は、天部と側壁部を有するケースと、前記ケースの天部外壁面に接着剤で固定した音響整合層と、前記ケースの天部内壁面に接着剤で固定した圧電体と、前記ケース開口部を覆うように配した端子板とを備え、前記音響整合層は、外径をケース外径の２０％〜９０％として天部面積より小さく設定し、その厚みを前記圧電体の共振周波数の１／４波長相当に設定したもので、音響整合層がケースの天部面積より小さく構成されているため、音波の指向性を制御することが可能な超音波送受波器を得ることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月26日(2006.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
１０    標準ガス発生装置
１１    恒温槽
１２    超音波振動子
１３    多孔性部材
１４    微量液体試料連続供給装置
１５    フィルタ
１６    加熱装置
１７    基台
１８    キャリアガス配管
１９    キャリアガス入口
２０    出口配管
２１    標準ガス出口
２２    加熱装置の出口端
２３    液体試料供給管
２４    液体試料供給管の一端
２５    多孔性部材固定手段の開口
２６    多孔性部材固定手段
２７    スプリング
２８    コーン状部材
２９    上部固定部材
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月19日(2006.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
ここで、図１に示す操作角度範囲Ｔ＝２７９°内で５ｂｉｔの出力状態（ｎ＝３２）の検出が可能な構成を例として、上記接触刷子１２と上記接点パターン１４の配設状態について説明する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
なお、図１は、操作範囲内における１ポジション目の状態を示すものであり、上記状態から回転体１３は、同図中に右回りの矢印で示すように、２７９°の角度で回転可能となっている。そして、上記接触刷子１２は、複数の信号刷子２１Ａ…と、同じく複数のコモン刷子２２Ａ…とから構成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
なお、操作角度範囲Ｔの２７９°内で３２種類の出力状態を得る際、互いのポジション間の合計数は３１となるため、上記１ポジションの角度は、Ｔ／（ｎ−１）で表記できる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
なお、上記合計８つの端子の相互の導通状態を確認するには、常に１ポジション当り２２通りの組み合わせで確認しなければならないが、処理速度などの向上が目覚しいマイコンを活用すれば、上記確認は容易である。
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月23日(2006.10.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を吸引するための吸引部と、
試料を吸引または分注するための吸引分注部とを備え、
第１吸引分注動作の際には、前記吸引部により試料が吸引されるとともに、吸引された前記試料が前記吸引分注部により分注され、第２吸引分注動作の際には、前記吸引分注部により、試料が吸引され、かつ、吸引された前記試料が分注される、試料吸引分注装置。
【請求項２】
前記吸引部と前記吸引分注部とに接続されたシリンジポンプと、
前記吸引部と前記シリンジポンプとの間に配置されるとともに、前記吸引部と前記シリンジポンプとの間の流路を開閉するための第１バルブと、
前記吸引分注部と前記シリンジポンプとの間に配置されるとともに、前記吸引分注部と前記シリンジポンプとの間の流路を開閉するための第２バルブとをさらに備える、請求項１に記載の試料吸引分注装置。
【請求項３】
前記吸引分注部は、ピペットを含み、
前記第１吸引分注動作の際には、前記試料の分注に先立って、前記ピペットから前記試料が排出される、請求項１または２に記載の試料吸引分注装置。
【請求項４】
前記ピペットを洗浄するためのピペット洗浄部材をさらに備え、
前記ピペット洗浄部材は、前記ピペットを洗浄する機能に加えて、前記第１吸引分注動作の際に前記試料の分注に先立って前記ピペットから排出される前記試料を吸引する機能も有する、請求項３に記載の試料吸引分注装置。
【請求項５】
前記吸引分注部は、ピペットを含み、
前記ピペットを洗浄するためのピペット洗浄部材をさらに備え、
前記ピペット洗浄部材は、前記ピペットを洗浄する機能に加えて、前記第２吸引分注動作の際に、前記試料の分注に先立って、前記ピペットの先端に付着した前記試料を吸引する機能も有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の試料吸引分注装置。
【請求項６】
前記吸引分注部の近傍に設置され、前記第２吸引分注動作の際に吸引する前記試料を設置する試料設置部をさらに備え、
前記試料設置部は、上下方向に移動可能に構成されており、
前記吸引分注部は、上下方向および前後方向に移動可能に構成されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の試料吸引分注装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の試料吸引分注装置を備える標本作製装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月25日(2006.9.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転要素と、軸線方向移動要素と、前記回転要素と前記軸線方向移動要素との間に配置された転動体とを含み、前記回転要素の回転運動を、前記軸線方向移動要素の軸線方向運動に変換するボールねじ機構において、
前記軸線方向移動要素に螺合する複数のねじ部材と、
前記ねじ部材を案内する案内部と、
前記案内部における前記ねじ部材の当接位置に配置された樹脂材と、を有することを特徴とするボールねじ機構。
【請求項２】
前記樹脂材は低摩擦特性を有することを特徴とする請求項１に記載のボールねじ機構。
【請求項３】
前記回転要素と前記軸線方向移動要素との間に形成されたねじ溝及び前記ねじ部材のねじ部の一方は右ねじであり、他方は左ねじであることを特徴とする請求項１又は２に記載のボールねじ機構。
【請求項４】
前記ねじ部材の一方が前記案内部における前記樹脂材に当接する一方、他方のねじ部材は前記案内部における前記樹脂材に当接することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のボールねじ機構。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月25日(2006.9.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転要素と、軸線方向移動要素と、前記回転要素と前記軸線方向移動要素との間に配置された転動体とを含み、前記回転要素の回転運動を、前記軸線方向移動要素の軸線方向運動に変換するボールねじ機構において、
前記軸線方向移動要素に螺合するねじ部材と、
前記ねじ部材を案内する案内部とを有し、
前記ねじ部材が前記案内部に沿って移動するときに、前記案内部と前記ねじ部材との摩擦により生じる回転力の方向は、前記ねじ部材の締め込み方向と一致することを特徴とするボールねじ機構。
【請求項２】
前記回転要素と前記軸線方向移動要素との間に形成されたねじ溝及び前記ねじ部材のねじ部の一方は右ねじであり、他方は左ねじであることを特徴とする請求項１に記載のボールねじ機構。
【請求項３】
前記ねじ部材は２つ以上設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のボールねじ機構。
【請求項４】
前記ねじ部材の外径は、前記案内部の当接部の幅よりも長さΔだけ小さいことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のボールねじ機構。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月6日(2006.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内輪と、外輪と、前記内輪及び前記外輪の間に介在する転動体と、前記内輪及び前記外輪の一方に取り付けられた多極磁石と、前記内輪及び前記外輪の他方に取り付けられ、前記多極磁石と対向する磁気感応センサと、を有し、
前記多極磁石と前記磁気感応センサの少なくとも一方は、磁性体からなる取付け部材を介して、前記内輪又は外輪に固定され、
前記多極磁石の材質を希土類としたことを特徴とするセンサ付き転がり軸受。
【請求項２】
前記取付け部材が前記多極磁石及び磁気感応センサを軸方向外方及び径方向外方にて覆うように形成されることを特徴とする請求項１記載のセンサ付き転がり軸受。
【請求項３】
前記多極磁石が配置される前記取付け部材は、前記内輪及び前記外輪間に形成される軸受空間を塞ぐように、前記内輪及び前記外輪の他方に向けて延出することを特徴とする請求項１又は２記載のセンサ付き転がり軸受。
【請求項４】
前記センサ付き転がり軸受を、モータの支持軸受としたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のセンサ付き転がり軸受。
【請求項５】
前記センサ付き転がり軸受を、回転装置の支持軸受としたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のセンサ付き転がり軸受。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前述した目的を達成するために、本発明は、内輪と、外輪と、前記内輪及び前記外輪の間に介在する転動体と、前記内輪及び前記外輪の一方に取り付けられた多極磁石と、前記内輪及び前記外輪の他方に取り付けられ、前記多極磁石と対向する磁気感応センサと、を有し、前記多極磁石と前記磁気感応センサの少なくとも一方は、磁性体からなる取付け部材を介して、前記内輪又は外輪に固定され、前記多極磁石の材質を希土類としたことを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
センサ付き転がり軸受を、モータなどの回転装置の支持軸受とすることで、回転装置のモータロータから生じる漏洩磁束を、磁性体である取付け部材が遮断する。
一方、磁性体である取付け部材の隙間から磁束が漏れ出すことが考えられるが、多極磁石を、外部磁界に耐性をもつ希土類で形成したので、多極磁石が磁束の影響を受ける虞はない。これにより、モータなどの回転装置に漏洩磁束で誤作動が生じることを防ぐ。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
図１に示すセンサホルダ３１は、底部３１ｂに環状のセンサハウジング３７を備える。このセンサハウジング３７の外周を、センサホルダ３１の内周３１ｃに沿って円弧状に形成されている。
このセンサハウジング３７の所定箇所に磁気感応センサ３３を保持している。磁気感応センサ３３は、基板３６に信号線３９を介して接続されている。基板３６は、磁気感応センサ３３と同様に、センサハウジング３７に内蔵されている。
この基板３６には、磁気感応センサ３３の出力を出力するケーブル線３８が接続され、ケーブル線３８は外部に延長されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
マグネットホルダ３２の先端部には、磁気感応センサ３３と対向する内径側にマグネット３４が配置されている。この配置により、センサホルダ３１とマグネットホルダ３２は、磁気感応センサ３３とマグネット３４を外界に曝されないような位置に保持している。具体的に、センサホルダ３１は、その底部３１ｂが磁気感応センサ３３とマグネット３４の軸方向外方に設けられ、その内周３１ｃが磁気感応センサ３３とマグネット３４の径方向外方に設けられて、磁気感応センサ３３とマグネット３４を軸方向外方及び径方向外方にて覆うように形成される。
ここで、センサホルダ３１とマグネットホルダ３２は、磁性材で構成されているため、磁気ノイズに起因する磁界の変化が磁気感応センサ３３とマグネット３４に伝達させないための磁気シールドとして機能する。
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月25日(2006.8.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＰＧ供給容器（１１）の底近くに開口した回収管（１２）を上記ＬＰＧ供給容器（１１）外に引き出し、第一中間バルブ（Ｖ１）を介してＬＰＧ冷却回収手段（１３）の入口に接続し、該ＬＰＧ冷却回収手段（１３）の出口から延びる連結管路（１４）を、第二中間バルブ（Ｖ２）を介してＬＰＧ回収ボンベ（１５）に接続してなるＬＰＧ回収装置において、上記ＬＰＧ冷却回収手段（１３）は、ドライアイスを冷熱源とする冷媒によりＬＰＧを冷却する機構を採用したことを特徴とするＬＰＧ回収装置。
【請求項２】
上記ＬＰＧを冷却する機構は、断熱壁（１８）に囲まれたドライアイスを冷熱源とするアルコール冷媒の浴（１６）中にＬＰＧ冷却ボンベ（１７）を浸漬してなり、上記第一中間バルブ（Ｖ１）及び連結管路（１４）をそのＬＰＧ冷却ボンベ（１７）にそれぞれ接続してその接続部を上記ＬＰＧ冷却回収手段（１３）の入口及び出口としたことを特徴とする請求項１に記載のＬＰＧ回収装置。
【請求項３】
上記ＬＰＧを冷却する機構は、断熱壁（１８）に囲まれたドライアイスを冷熱源とするアルコール冷媒の浴（１６）中に螺旋または蛇行させたＬＰＧ冷却管路（２１）を浸漬してなり、上記第一中間バルブ（Ｖ１）及び連結管路（１４）をそのＬＰＧ冷却管路（２１）の両端にそれぞれ接続してその接続部を上記ＬＰＧ冷却回収手段（１３）の入口及び出口としたことを特徴とする請求項１に記載のＬＰＧ回収装置。
【請求項４】
上記ＬＰＧを冷却する機構は、断熱層（１８）で被われたＬＧＰ冷却ボンベ（１７）の内部に螺旋または蛇行させたドライアイスを冷熱源とするアルコール冷媒の循環管路（２１）を巡らせてなり、上記第一中間バルブ（Ｖ１）及び連結管路（１４）をそのＬＧＰ冷却ボンベ（１７）にそれぞれ接続してその接続部を上記ＬＰＧ冷却回収手段（１３）の入口及び出口としたことを特徴とする請求項１に記載のＬＰＧ回収装置。
【請求項５】
上記ＬＰＧ冷却ボンベ（１７）に上記アルコール冷媒の浴（１６）中のアルコール冷媒が流通する熱交換用細管を貫通させてなることを特徴とする請求項２に記載のＬＰＧ回収装置。
【請求項６】
上記アルコール冷媒の浴（１６）中にＬＰＧ冷却ボンベ（１７）を浸漬して、上記ＬＰＧ冷却管路（２１）の端末にそのＬＰＧ冷却ボンベ（１７）を接続し、上記連結管路（１４）を、前記ＬＰＧ冷却管路（２１）に代えて前記ＬＧＰ冷却ボンベ（１７）に接続したことを特徴とする請求項３に記載のＬＰＧ回収装置。
【請求項７】
上記ＬＰＧを冷却する機構には、アルコール冷媒調整槽（１９）が外付けされていることを特徴とする請求項２乃至６の何れかに記載のＬＰＧ回収装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月4日(2006.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スターリング冷凍エンジンにより庫内冷却を行う冷却庫において、
前記スターリング冷凍エンジンの高温部に設けた高温側熱交換器と、庫外環境に放熱を行うための放熱用熱交換器と、を備え、気液二相の冷媒を封入しループ状サーモサイフォンを構成してなる第１高温側冷媒循環回路と、
前記高温側熱交換器と、ドレンの蒸発促進および冷却庫壁の結露防止の少なくとも一方に利用する熱交換器と、循環ポンプと、を備え、前記高温側熱交換器の下部から液冷媒を前記熱交換器に送り出すように構成してなる第２高温側冷媒循環回路と、を具備して成る冷却庫。
【請求項２】
前記高温側熱交換器を２個設けると共に、前記第１高温側冷媒循環回路と前記第２高温側冷媒循環回路とを、前記２個の高温側熱交換器のそれぞれに対して並列に接続する請求項１に記載の冷却庫。
【請求項３】
前記ドレンの蒸発促進に利用する熱交換器と、前記冷却庫壁の結露防止に利用する熱交換器と、を並列接続し、それぞれの熱交換器に対する弁を設けて前記第２高温側冷媒循環回路を形成する請求項１又は２に記載の冷却庫。