【手続補正書】
【提出日】平成18年1月18日(2006.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】マイクロアクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
変形可能な可動板を電気機械変換体で変形させるマイクロアクチュエータにおいて、前記可動板には電気的に互いに絶縁分離された導電性を有する少なくとも２つの電極とこの電極間に形成した電気機械変換体とからなる構造体が設けられ、前記電極間の距離をＷ、前記可動板の短辺方向における前記電極の寸法幅をＷｄとしたとき、Ｗ／Ｗｄが１以上であることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項２】
変形可能な可動板を電気機械変換体で変形させるマイクロアクチュエータにおいて、前記可動板には電気的に互いに絶縁分離された導電性を有する少なくとも２つの電極とこの電極間に形成した電気機械変換体とからなる構造体が設けられ、前記電極間の距離をＷ、前記電極の可動板面と垂直方向の寸法幅をＨとしたとき、Ｈ／Ｗが１以上であることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１に記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記電極の可動板面と垂直方向の寸法幅をＨとしたとき、Ｈ／Ｗが１以上であることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項４】
変形可能な可動板を電気機械変換体で変形させるマイクロアクチュエータにおいて、前記可動板には電気的に互いに絶縁分離された導電性を有する少なくとも２つの電極とこの電極間に形成した電気機械変換体とからなる構造体が設けられ、この構造体は前記可動板の短辺方向において可動板よりも内側に設けられて、前記可動板の短辺方向における構造体端と可動板端との距離が前記可動板の短辺長ａの１／４以下であることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１ないし３のいずれかに記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記構造体は前記可動板の短辺方向において可動板よりも内側に設けられて、前記可動板の短辺方向における構造体端と可動板端との距離が前記可動板の短辺長ａの１／４以下であることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項６】
変形可能な可動板を電気機械変換体で変形させるマイクロアクチュエータにおいて、前記可動板には電気的に互いに絶縁分離された導電性を有する少なくとも２つの電極とこの電極間に形成した電気機械変換体とからなる構造体が設けられ、前記可動板の短辺長が１／２００インチ以下であり、前記電極の可動板面と垂直方向の寸法幅をＨとしたとき、Ｈが７．０μｍ以下であることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれかに記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記可動板の短辺長が１／２００インチ以下であり、前記電極の可動板面と垂直方向の寸法幅をＨとしたとき、Ｈが７．０μｍ以下であることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項８】
変形可能な可動板を電気機械変換体で変形させるマイクロアクチュエータにおいて、前記可動板には電気的に互いに絶縁分離された導電性を有する少なくとも２つの電極とこの電極間に形成した電気機械変換体とからなる構造体が設けられ、前記可動板の短辺長が１／３００インチ以下であり、前記電極の可動板面と垂直方向の寸法幅をＨとしたとき、Ｈが２．０μｍ以下であることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項９】
請求項１ないし５のいずれかに記載のマイクロアクチュエータにおいて、前記可動板の短辺長が１／３００インチ以下であり、前記電極の可動板面と垂直方向の寸法幅をＨとしたとき、Ｈが２．０μｍ以下であることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項１０】
液滴を吐出するノズルが連通する吐出室内の液体を加圧する圧力を発生する手段を備え、この圧力発生手段で発生した圧力で吐出室内の液体を加圧することで前記液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧力発生手段が請求項１ないし７のいずれかに記載のマイクロアクチュエータであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１１】
請求項１０に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、このヘッドはインクを供給するためのインクタンクが一体化されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１２】
インク滴を吐出するインクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが前記請求項１０又は１１に記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項１３】
液滴吐出ヘッドを備えた画像形成装置において、前記請求項１０又は１１に記載の液滴吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【請求項１４】
液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する装置において、前記請求項１０又は１１に記載の液滴吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液滴を吐出する装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はマイクロアクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、低コストで高い動作特性が得られるマイクロアクチュエータ、このマイクロアクチュエータを備えて高い吐出効率が得られる液滴吐出ヘッド、この液滴吐出ヘッドを備えることで高画質記録が可能インクジェット記録装置、画像形成装置、高い吐出効率で液滴を吐出することができる液滴を吐出する装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、吐出室内の液体を加圧する圧力を発生する手段が本発明に係るマイクロアクチュエータである構成としたものである。また、本発明に係るインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置は、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載した本発明に係る液滴を吐出する装置を含む画像形成装置としてのインクジェット記録装置の一例について図１８及び図１９を参照して説明する。なお、図１８は同記録装置の斜視説明図、図１９は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１６】
なお、上記実施形態においては、液滴吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドとして、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。また、マイクロアクチュエータを備えるマイクロデバイスとしては、マイクロポンプ、光学デバイス（光変調デバイス）以外にも、マイクロスイッチ（マイクロリレー）、マルチ光学レンズのアクチュエータ（光スイッチ）、マイクロ流量計、圧力センサなどにも適用することができる。また、前述したようにプリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像形成装置及び液滴を吐出する装置にも本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２２】
本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、吐出室内の液体を加圧する圧力を発生する手段が本発明に係るマイクロアクチュエータである構成としたので、高い滴吐出効率が得られ、画像品質を向上することができる。また、本発明に係るインクジェット記録装置、画像形成装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたので、高画質記録を行うことができる。また、本発明に係る液滴を吐出する装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたので、高い滴吐出効率で液滴を吐出することができる。