【手続補正書】
【提出日】平成18年1月12日(2006.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】静電アクチュエータ及びアクチュエータ装置、液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置及び画像形成装置、液滴を吐出する装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設け、前記振動板を静電気力で変形させる静電アクチュエータにおいて、前記導電性基板を、接地する部材と電気的に接続したことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の静電アクチュエータにおいて、前記接地する部材が前記第１電極であることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項３】
請求項２に記載の静電アクチュエータにおいて、前記導電性基板と前記第１電極とを静電容量結合で電気的に接続していることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項４】
請求項３に記載の静電アクチュエータにおいて、前記導電性基板と前記第１電極との間の静電容量が前記導電性基板と前記第２電極との間の静電容量の５倍以上であることを特徴と静電アクチュエータ。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の静電アクチュエータにおいて、前記導電性基板と前記第１電極とは前記第２電極の面積よりも面積の広い対向部分で対向していることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項６】
請求項２に記載の静電アクチュエータにおいて、前記導電性基板と前記第１電極とは直流的な電気的接続がなされていることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項７】
請求項２に記載の静電アクチュエータにおいて、前記導電性基板と前記第１電極とは素子表面に形成した導電性膜で電気的接続がなされていることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項８】
請求項２に記載の静電アクチュエータにおいて、前記導電性基板と前記第１電極とはインクを介して電気的接続がなされることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項９】
請求項８に記載の静電アクチュエータにおいて、前記導電性基板及び前記第１電極の素子表面には導電性膜が形成されていることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項１０】
請求項１に記載の静電アクチュエータにおいて、前記接地する部材が前記絶縁層上に形成された第３電極であることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項１１】
請求項１０に記載の静電アクチュエータにおいて、前記第３電極は前記第２電極同じ層構成であることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項１２】
請求項１１又は１２に記載の静電アクチュエータにおいて、前記導電性基板と前記第３電極とは前記絶縁層に形成したコンタクトホールを介して接続されていることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項１３】
請求項１２に記載の静電アクチュエータにおいて、前記導電性基板の前記コンタクトホールが臨む部分には酸化膜が形成されていないことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項１４】
請求項１２又は１３に記載の静電アクチュエータにおいて、前記第３電極の最下層には酸素原子をゲッターリングする効果のある金属層が形成されていることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項１５】
請求項１４に記載の静電アクチュエータにおいて、前記金属層がＴｉ又はＣｒからなることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項１６】
振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設け、前記振動板を静電気力で変形させる静電アクチュエータを搭載したアクチュエータ装置において、前記静電アクチュエータが前記請求項１に記載の静電アクチュエータであり、この静電アクチュエータの導電性基板を電気的に接続した接地する部材を接地していることを特徴とするアクチュエータ装置。
【請求項１７】
振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設け、前記振動板を静電気力で変形させる静電アクチュエータを搭載したアクチュエータ装置において、前記静電アクチュエータが前記請求項２乃至９のいずれかに記載の静電アクチュエータであり、この静電アクチュエータの第１電極を接地していることを特徴とするアクチュエータ装置。
【請求項１８】
振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設け、前記振動板を静電気力で変形させる静電アクチュエータを搭載したアクチュエータ装置において、前記静電アクチュエータが前記請求項１０乃至１５のいずれかに記載の静電アクチュエータであり、この静電アクチュエータの第３電極を接地していることを特徴とするアクチュエータ装置。
【請求項１９】
液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設け、前記振動板を静電気力で変形させる静電アクチュエータとを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記静電アクチュエータが前記請求項１に記載の静電アクチュエータであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２０】
液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設け、前記振動板を静電気力で変形させる静電アクチュエータとを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記静電アクチュエータが前記請求項２乃至９のいずれかに記載の静電アクチュエータであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２１】
液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設け、前記振動板を静電気力で変形させる静電アクチュエータとを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記静電アクチュエータが前記請求項１０乃至１５のいずれかに記載の静電アクチュエータであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２２】
インク滴を吐出する静電型インクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記静電型インクジェットヘッドが前記請求項１９に記載のインクジェットヘッドであり、このインクジェットヘッドの接地する部材を接地していることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２３】
インク滴を吐出する静電型インクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記静電型インクジェットヘッドが前記請求項２０に記載のインクジェットヘッドであり、このインクジェットヘッドの第１電極を接地していることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２４】
インク滴を吐出する静電型インクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記静電型インクジェットヘッドが前記請求項２１に記載のインクジェットヘッドであり、このインクジェットヘッドの第３電極を接地していることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２５】
振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に形成し、前記振動板を静電気力で変形させる静電アクチュエータを搭載したアクチュエータ装置において、前記静電アクチュエータの導電性基板を電気的に接地していることを特徴とするアクチュエータ装置。
【請求項２６】
インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に形成し、前記振動板を静電気力で変形させる静電アクチュエータとを備えたインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドの導電性基板を電気的に接地していることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２７】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置において、前記液滴吐出ヘッドが前記請求項１９ないし２１のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
【請求項２８】
液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する装置において、前記液滴吐出ヘッドが前記請求項１９ないし２１のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする液滴を吐出する装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は静電アクチュエータ及びアクチュエータ装置、液滴吐出ヘッド並びにインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、チャンネル間のクロストークを低減した静電アクチュエータ及びこの静電アクチュエータを備えたアクチュエータ装置、液滴吐出ヘッド並びにインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設け、導電性基板を接地する部材に電気的に接続した本発明に係る静電アクチュエータとを備えたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設け、導電性基板を第１電極に電気的に接続した本発明に係る静電アクチュエータを備えたものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設け、導電性基板を第３電極に電気的に接続した本発明に係る静電アクチュエータを備えたものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設けた本発明に係る静電アクチュエータとを備えたインクジェットヘッドを搭載し、このインクジェットヘッドの導電性基板を接地したものである。
本発明に係る画像形成装置、液滴を吐出する装置は、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。先ず、本発明に係る液滴を吐出する装置を含む、本発明に係る画像形成装置としてのインクジェット記録装置の機構部について図１及び図２を参照して説明する。なお、図１は同記録装置の機構部の概略斜視説明図、図２は同機構部の側面説明図である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
さらに、上記実施形態においては、本発明に係る静電アクチュエータをインクジェットヘッドのアクチュエータ部に適用した例で説明したが、マイクロモータ、マイクロポンプ、マイクロアクチュエータなどの他のアクチュエータ装置のアクチュエータ部に適用することもできる。また、インク滴を吐出するインクジェットヘッド以外にも液体レジストなどの液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにも同様に適用することができる。また、前述したようにプリンタ、ファクシミリ、プロッタ等の画像形成装置及び液滴を吐出する装置にも本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して設けた導電性基板を、接地する部材に電気的に接続した静電アクチュエータとを備えたので、第２電極の基板に導電性基板を用いた場合のクロストークを防止することができ、滴吐出が安定し、信頼性及び画像品質が向上する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して設けた導電性基板を第１電極に電気的に接続した静電アクチュエータを備えたので、第２電極の基板に導電性基板を用いた場合のクロストークを簡単な構成で防止することができ、滴吐出が安定し、信頼性及び信頼性が向上する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して設けた導電性基板を第３電極に電気的に接続した静電アクチュエータを備えたので、第２電極の基板に導電性基板を用いた場合のクロストークを高い信頼性で大幅な構成の複雑化を招くことなく防止することができ、インク滴吐出が安定し、信頼性が向上する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設けた静電アクチュエータとを備えたインクジェットヘッドを搭載し、このインクジェットヘッドの導電性基板を接地したので、第２電極の基板に導電性基板を用いた場合のクロストークが防止され、安定したインク滴吐出を行うことができて画像品質が向上する。
本発明に係る画像形成装置、液滴を吐出する装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えているので、安定した液滴吐出を行うことができる。