【手続補正書】
【提出日】平成18年1月18日(2006.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びその製造方法、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロポンプ、光学デバイス、画像形成装置、液滴を吐出する装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース基板上に変形可能な振動板とこれに所定のギャップを置いて対向する電極とを備え、前記振動板を静電力で変形させる静電型アクチュエータにおいて、前記振動板と電極との間のギャップは犠牲層エッチングにより形成され、かつ、このアクチュエータの前記振動板側の表面が略平坦であることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の静電型アクチュエータにおいて、このアクチュエータの前記振動板側の表面の段差が０．５μｍを越えないことを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の静電型アクチュエータにおいて、前記ベース基板がシリコン基板から形成されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の静電型アクチュエータにおいて、複数のギャップ間に前記犠牲層が残存していることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項５】
請求項４に記載の静電型アクチュエータにおいて、前記残存している犠牲層が導電性材料からなり、この犠牲層が基準電位に接続されることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の静電型アクチュエータにおいて、前記電極と一体に形成された電極引出し部上では全体又は部分的に前記犠牲層が残存していることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の静電型アクチュエータにおいて、隣接する前記電極間が複数の分離溝によって分離されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項８】
請求項７に記載の静電型アクチュエータにおいて、前記分離溝が絶縁膜により埋め込まれていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の静電型アクチュエータにおいて、前記犠牲層はエッチングにより除去される部分と残存する部分が単一又は複数の分離溝によって分離されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項１０】
請求項９に記載の静電型アクチュエータにおいて、前記分離溝が絶縁膜により埋め込まれていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれかに記載の静電型アクチュエータにおいて、エッチングで除去される前記犠牲層がポリシリコン又はアモルファスシリコンであることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の静電型アクチュエータにおいて、前記電極がポリシリコン又は化合物シリサイドで形成されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項１３】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の静電型アクチュエータにおいて、前記電極が金属又は高融点金属で形成されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれかに記載の静電型アクチュエータにおいて、前記振動板の少なくとも一部がポリシリコン又は化合物シリサイドで形成されていることを静電型アクチュエータ。
【請求項１５】
請求項１ないし１３のいずれかに記載の静電型アクチュエータにおいて、前記振動板の少なくとも一部が金属又は高融点金属で形成されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項１６】
請求項１ないし１３のいずれかに記載の静電型アクチュエータにおいて、前記振動板の少なくとも一部がＩＴＯ膜、ネサ膜（ＳｎＯ２）又はＺｎＯで形成されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項１７】
液滴を吐出するノズルが連通する加圧液室内の液体を静電型アクチュエータで加圧して前記液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、請求項１ないし１６のいずれかに記載の静電型アクチュエータを構成するアクチュエータ基板と前記加圧液室を形成する流路形成部材とを備えていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１８】
請求項１７に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記流路形成部材が前記静電型アクチュエータを構成するアクチュエータ基板に形成された前記犠牲層を除去するための開口部を封止していることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１９】
インク滴を吐出する液滴吐出ヘッドとこの液滴吐出ヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジにおいて、前記液滴吐出ヘッドが請求項１７又は１８に記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項２０】
インク滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが請求項１７又は１８に記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２１】
インク滴を吐出するインクジェットヘッドとこのインクジェットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクカートリッジが請求項１９に記載のインクカートリッジであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２２】
流路の液体を静電型アクチュエータで加圧して前記液体を輸送するマイクロポンプにおいて、請求項１ないし１６のいずれかに記載の静電型アクチュエータを構成するアクチュエータ基板と前記流路を形成する流路形成部材とを備えていることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項２３】
光を反射するミラーを静電型アクチュエータで変形させて前記光の反射方向を変化させる光学デバイスにおいて、請求項１ないし１６のいずれかに記載の静電型アクチュエータを構成するアクチュエータ基板を備えていることを備えていることを特徴とする光学デバイス。
【請求項２４】
請求項１７又は１８に記載の液滴吐出ヘッドを製造する製造方法であって、ベース基板上に形成した電極部材を複数の電極に分離溝で分離する工程と、前記分離溝を絶縁膜で埋め込んで平坦化する工程と、前記絶縁膜上に犠牲層を形成する工程と、前記犠牲層上に耐エッチング性を有する膜を含む振動板部材を形成する工程と、前記振動板部材に開口を形成した後前記犠牲層をエッチング除去する工程とを含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２５】
液滴吐出ヘッドを備えた画像形成装置において、前記請求項１７又は１８に記載の液滴吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【請求項２６】
液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する装置において、前記請求項１７又は１８に記載の液滴吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液滴を吐出する装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びその製造方法、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロポンプ、光学デバイス、画像形成装置、液滴を吐出する装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、特性バラツキが少なく高い信頼性が得られる静電型アクチュエータ、この静電型アクチュエータを備えることで液滴吐出特性のバラツキが少なく高い信頼性が得られる液滴吐出ヘッド及びインクカートリッジ、この液滴吐出ヘッド又はインクカートリッジを備えることで高画質記録が可能なインクジェット記録装置、動作特性バラツキが少なく高い信頼性が得られるマイクロポンプ及び光学デバイス、液滴吐出特性のバラツキが少なく高い信頼性が得られる液滴吐出ヘッドの製造方法、この液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置、液滴を吐出する装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッド、または本発明に係るインクカートリッジを搭載したものである。本発明に係る画像形成装置及び液滴を吐出する装置は、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えている構成としたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを搭載した本発明に係る液滴を吐出する装置を含む、画像形成装置としてのインクジェット記録装置の機構の一例について図１２及び図１３を参照して説明する。なお、図１２は同記録装置の斜視説明図、図１３は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
なお、上記実施形態においては、液滴吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドとして、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。また、静電型アクチュエータを備えるマイクロデバイスとして、マイクロポンプ、光学デバイス（光変調デバイス）、マイクロスイッチ（マイクロリレー）、マルチ光学レンズのアクチュエータ（光スイッチ）、マイクロ流量計、圧力センサなどにも適用することができる。また、前述したようにプリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像形成装置及び液滴を吐出する装置にも本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０４】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、インク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッド、または本発明に係るインクカートリッジを搭載したので、高画質記録が可能になる。本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えているので、高画質記録が可能になる。また、本発明に係る液滴を吐出する装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えているので、バラツキの少ない液滴吐出を行うことができる。