【手続補正書】
【提出日】平成18年3月13日(2006.3.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクに形成されたパターンを、投影光学系を介して感応基板上に転写する投影露光装置において、所定位置に配置された光学部材を清掃する清掃装置を設けたことを特徴とする投影露光装置。
【請求項２】
前記清掃装置は、前記感応基板を保持するステージ上に設置されることを特徴とする請求項１に記載の投影露光装置。
【請求項３】
前記清掃装置は、前記ステージ上で前記感応基板を上下動するための駆動装置に載置されることを特徴とする請求項２に記載の投影露光装置。
【請求項４】
前記清掃装置は、前記感応基板を保持するステージとは異なる移動機構に搭載されることを特徴とする請求項１に記載の投影露光装置。
【請求項５】
前記移動機構は、前記清掃装置を保持するステージであることを特徴とする請求項４に記載の投影露光装置。
【請求項６】
前記光学部材は、前記感応基板の最も近くに配置された前記投影光学系の光学部材であり、当該光学部材を清掃する場合に、前記感応基板を保持するステージを前記投影光学系の下方から退避させるとともに、前記清掃装置を保持するステージを前記投影光学系の下方に移動させるステージ制御系を有することを特徴とする請求項５に記載の投影露光装置。
【請求項７】
前記清掃装置は、前記光学部材の清掃対象部分を洗浄用溶液に浸して超音波洗浄する超音波洗浄器を備えることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の投影露光装置。
【請求項８】
前記清掃装置は、前記光学部材の基板対向面と接触して、前記基板対向面を清掃する清掃用部材を備えることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の投影露光装置。
【請求項９】
前記清掃装置は、前記光学部材の基板対向面に清掃用溶液を吹き付ける溶液発射器を備えることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の投影露光装置。
【請求項１０】
前記光学部材の汚れを測定する測定装置を有し、
前記清掃装置は、前記測定装置の測定結果に基づいて、前記光学部材の清掃の要否を判断することを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の投影露光装置。
【請求項１１】
前記測定装置は、
前記光学部材に光を照射する照射光学系と；
前記光学部材からの光を検出する光検出器と；
前記光検出器の検出結果に基づいて前記光学部材の汚れを測定する汚れ測定処理器とを備えることを特徴とする請求項１０に記載の投影露光装置。
【請求項１２】
前記光学部材は、露光用の照明光の光路上であって、前記感応基板の最も近くに配置された光学部材であることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載の投影露光装置。
【請求項１３】
前記光学部材は、前記感応基板を位置合わせするための光学系の先端部の光学部材であることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載の投影露光装置。
【請求項１４】
マスクに形成されたパターンを、投影光学系を介して感応基板上に転写する投影露光方法であって、
所定位置に配置された光学部材の汚れを清掃する清掃工程と；
前記光学部材の清掃後に、前記マスクに形成されたパターンを、前記投影光学系を介して前記感応基板上に転写する転写工程とを含む投影露光方法。
【請求項１５】
前記光学部材は、露光用の照明光の光路上であって、前記感応基板の最も近くに配置された光学部材であることを特徴とする請求項１４に記載の投影露光方法。
【請求項１６】
前記清掃工程に先立って実行される、前記光学部材の汚れと転写回数との関係を測定し、前記光学部材の基板対向面が清浄な状態から所定の許容できない汚れに達するまでの露光回数である限界転写回数を評価する汚れ評価工程を更に含み、
前回の前記清掃工程の実行以後における転写の回数が前記限界転写回数に達する前に、前記清掃工程を実行することを特徴とする請求項１４に記載の投影露光方法。
【請求項１７】
前記光学部材の汚れを測定する汚れ測定工程と；
前記測定工程で得られた測定結果に基づいて、転写を実行するか否かを判断する判断工程とを含むことを特徴とする請求項１４〜１６のいずれか一項に記載の投影露光方法。
【請求項１８】
前記感応基板を保持する基板ステージとは異なる清掃ステージに設けられた清掃装置を使って、前記光学部材の汚れを清掃することを特徴とする請求項１４〜１７のいずれか一項に記載の投影露光方法。
【請求項１９】
前記光学部材の清掃は、前記基板ステージが前記光学部材の下から退避した後、前記清掃ステージが前記光学部材の下に移動することによって行われることを特徴とする請求項１８に記載の投影露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
請求項４の投影露光装置において、請求項５に記載の発明のように、前記移動機構は、前記清掃装置を保持するステージであることとすることができる。
この場合において、請求項６に記載の発明のように、前記光学部材は、前記感応基板の最も近くに配置された前記投影光学系の光学部材であり、当該光学部材を清掃する場合に、前記感応基板を保持するステージを前記投影光学系の下方から退避させるとともに、前記清掃装置を保持するステージを前記投影光学系の下方に移動させるステージ制御系を有することとすることができる。
上記請求項１〜６に記載の各投影露光装置において、清掃装置の構成は様々考えられるが、請求項７に記載の発明のように、光学部材（ＯＢ）の清掃対象部分を洗浄用溶液に浸して超音波洗浄する超音波洗浄器（４０）を備えることとしてもよいし、請求項８に記載の発明のように、光学部材（ＯＢ）の基板対向面と接触して、この基板対向面を清掃する清掃用部材（８）を備えることとしてもよいし、また、請求項９に記載の発明のように、光学部材（ＯＢ）の基板対向面に清掃用溶液を吹き付ける溶液発射器（７２）を備えることとしてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
請求項８の投影露光装置では、清掃用部材（８）が、基板対向面と接触すべき面を有し、接触時に前記光学部材（ＯＢ）を損傷しない柔軟部材（３４）を備えることが好適である。また、基板対向面と柔軟部材（３４）とが接触した状態で清掃用部材を駆動し、基板対向面と柔軟部材とを擦り合わさせる駆動器を更に備えることが可能である。また、柔軟部材（３４）として清掃用溶剤を浸潤可能な多孔質部材を使用することが可能である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項９の投影露光装置では、溶液発射器（７２）として、超音波振動が付与された清掃用溶液を発射する発射器を採用することが好適である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
上記請求項１〜９に記載の各投影露光装置において、請求項１０に記載の発明のように、前記光学部材（ＯＢ）の汚れを測定する測定装置（８４）を有し、前記清掃装置は、前記測定装置の測定結果に基づいて、前記光学部材の清掃の要否を判断することとすることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
請求項１０の投影露光装置では、転写の実行に先立って、光学部材（ＯＢ）の汚れを測定することにより、光学部材（ＯＢ）を清掃する必要の有無を判断することができる。したがって、測定装置（８４）による測定の結果から、光学部材（ＯＢ）の清掃を必要とするときに確実に清掃を実行でき、また、清掃の効果を確認できるので、露光精度を向上させることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、測定装置（８４）を単独で設けた場合には、転写の実行に先立って、光学部材（ＯＢ）の汚れを測定することにより、光学部材（ＯＢ）を交換する必要の有無を判断することができる。したがって、汚れ測定装置（８４）による測定の結果から、光学部材（ＯＢ）の交換を必要とするときに確実に交換を実行できるので、露光精度を向上することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
ここで、測定装置（８４）の構成は様々考えられるが、例えば請求項１１に記載の発明のように、測定装置（８４）が、光学部材（ＯＢ）に光を照射する照射光学系（８６、８８、及び９０）と；光学部材（ＯＢ）からの光を検出する光検出器（９４）と；光検出器（９４）の検出結果に基づいて光学部材（ＯＢ）の汚れを測定する汚れ測定処理器（９６）とを備えることとすることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
請求項１４〜１６に記載の各投影露光方法において、請求項１７に記載の発明のように、前記光学部材（ＯＢ）の汚れを測定する汚れ測定工程と；前記測定工程で得られた測定結果に基づいて、転写を実行するか否かを判断する判断工程とを含むこととすることができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
したがって、汚れ測定工程による測定の結果から、光学部材（ＯＢ）の清掃または交換を必要とするときに確実に清掃または交換を実行できるので、露光精度を向上させるとともに、生産性を向上することができる。
上記請求項１４〜１７に記載の各投影露光方法において、請求項１８に記載の発明のように、前記感応基板を保持する基板ステージとは異なる清掃ステージに設けられた清掃装置を使って、前記光学部材の汚れを清掃することとすることができる。
この場合において、請求項１９に記載の発明のように、前記光学部材の清掃は、前記基板ステージが前記光学部材の下から退避した後、前記清掃ステージが前記光学部材の下に移動することによって行われることとすることができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７９】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、請求項１〜９の投影露光装置によれば、転写に先立ち、前回までの転写によって、感応基板の被露光面の近くに配置された光学部材に付着した感光剤等の汚れを清掃することにより、光学部材の汚れが少なくなり、露光精度を向上できるという従来にない優れた効果がある。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１８０】
また、請求項１０及び請求項１１の投影露光装置によれば、転写に先立ち、前回までの転写によって、感応基板の被露光面の近くに配置された光学部材に付着した感光剤等の汚れを測定し、必要に応じて光学部材の清掃あるいは交換をすることができるので、光学部材の汚れが少なくなり、露光精度を向上できるとともに、生産性を向上できるという従来にない優れた効果がある。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１８５】
また、請求項１７〜１９の投影露光方法によれば、転写の実行に先立って、まず、汚れ測定工程を実行して光学部品の汚れを測定し、判断工程で、測定結果に基づいて転写を実行するか否かを判断するので、光学部材の基板対向面の汚れが少なくなり、露光精度を向上できるとともに、生産性を向上できるという従来にない優れた効果がある。