【手続補正書】
【提出日】平成18年2月24日(2006.2.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光束を用いて被測定体の波面収差を干渉縞として検出する収差測定装置であって、
前記被測定体の波面収差を測定する第１の光学系と、
前記第１の光学系のシステムエラーを測定する第２の光学系と、
前記被測定体、前記第１の光学系及び第２の光学系を収納するチャンバーとを有することを特徴とする収差測定装置。
【請求項２】
前記第１の光学系は、前記光束を前記被測定体の物体面上又は像面上に集光させる集光光学系と、前記被測定体の像面上又は物体面上に曲率中心が配置された第１の反射光学系とから構成され、
前記第２の光学系は、前記集光光学系と、前記システムエラーの基準となる第２の反射光学系とから構成されることを特徴とする請求項１記載の収差測定装置。
【請求項３】
前記第２の反射光学系は、前記被測定体の画角外に配置されることを特徴とする請求項２記載の収差測定装置。
【請求項４】
前記集光光学系を、前記被測定体の波面収差を測定する位置と、前記第１の光学系のシステムエラーを測定する位置とに移動させる移動機構を更に有することを特徴とする請求項２記載の収差測定装置。
【請求項５】
前記第２の反射光学系は、光軸に対して回転可能、且つ、前記光軸方向に対して移動可能であることを特徴とする請求項２記載の収差測定装置。
【請求項６】
光束を用いてマスクに形成されたパターンを被処理体に露光する露光装置であって、
前記パターンを前記被処理体に投影する投影光学系と、
前記光束を用いて前記投影光学系の波面収差を干渉縞として検出する収差測定装置であって、前記投影光学系の波面収差を測定する第１の光学系と、前記第１の光学系のシステムエラーを測定する第２の光学系と、前記投影光学系、前記第１の光学系及び前記第２の光学系を収納するチャンバーとを有する収差測定装置とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項７】
前記第１の光学系は、前記光束を前記投影光学系の物体面上又は像面上に集光させる集光光学系と、前記投影光学系の像面上又は物体面上に曲率中心が配置された第１の反射光学系とから構成され、
前記第２の光学系は、前記集光光学系と、前記システムエラーの基準となる第２の反射光学系とから構成されることを特徴とする請求項６記載の露光装置。
【請求項８】
前記第２の反射光学系は、露光領域外に配置されることを特徴とする請求項７記載の露光装置。
【請求項９】
前記集光光学系を、前記投影光学系の波面収差を測定する位置と、前記第１の光学系のシステムエラーを測定する位置とに移動させる移動機構を更に有することを特徴とする請求項８記載の露光装置。
【請求項１０】
前記第２の反射光学系を、前記集光光学系と対向する位置に移動させる移動機構を更に有することを特徴とする請求項７記載の露光装置。
【請求項１１】
前記第２の反射光学系は、凸球面のミラーであることを特徴とする請求項７記載の露光装置。
【請求項１２】
光束を用いて被測定体の波面収差を干渉縞として検出する収差測定装置であって、前記光束を前記被測定体の物体面上又は像面上に集光させる集光光学系と、前記被測定体の像面上又は物体面上に曲率中心が配置された第１の反射光学系とを有し、前記被処理体の波面収差を測定する第１の光学系と、前記集光光学系と、前記第１の光学系のシステムエラーの基準となる第２の反射光学系とを有し、前記第１の光学系のシステムエラーを測定する第２の光学系と、前記被測定体、前記第１の光学系及び前記第２の光学系を収納するチャンバーとを有する収差測定装置の校正方法であって、
第１の時刻での前記集光光学系及び前記第１の反射光学系のシステムエラーを測定する第１の測定ステップと、
前記第２の反射光学系と前記第１の時刻での前記集光光学系のシステムエラーの和を測定する第２の測定ステップと、
前記第１及び第２の測定ステップで測定された前記システムエラーから前記第１の時刻での前記集光光学系のシステムエラーを算出する第１の算出ステップと、
前記第１の算出ステップで算出された前記第１の時刻での前記集光光学系のシステムエラーを基に前記収差測定装置を校正するステップとを有することを特徴とする校正方法。
【請求項１３】
前記第１の算出ステップで算出された前記第１の時刻での前記集光光学系のシステムエラーを記憶するステップと、
前記第２の反射光学系と前記第１の時刻とは異なる第２の時刻での前記集光光学系のシステムエラーの和を測定する第３の測定ステップと、
前記第２及び第３の測定ステップで測定された前記システムエラーから前記第２の時刻での前記集光光学系のシステムエラーを算出する第２の算出ステップと、
前記第２の算出ステップで算出された前記第２の時刻での前記集光光学系のシステムエラーを基に前記収差測定装置を校正するステップとを更に有することを特徴とする請求項１２記載の校正方法。
【請求項１４】
請求項６乃至１１のうちいずれか一項記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての収差測定装置は、光束を用いて被測定体の波面収差を干渉縞として検出する収差測定装置であって、前記被測定体の波面収差を測定する第１の光学系と、前記第１の光学系のシステムエラーを測定する第２の光学系と、前記被測定体、前記第１の光学系及び第２の光学系を収納するチャンバーとを有することを特徴とする。
本発明の別の側面としての露光装置は、光束を用いてマスクに形成されたパターンを被処理体に露光する露光装置であって、前記パターンを前記被処理体に投影する投影光学系と、前記光束を用いて前記投影光学系の波面収差を干渉縞として検出する収差測定装置であって、前記投影光学系の波面収差を測定する第１の光学系と、前記第１の光学系のシステムエラーを測定する第２の光学系と、前記投影光学系、前記第１の光学系及び前記第２の光学系を収納するチャンバーとを有する収差測定装置とを有することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としての校正方法は、光束を用いて被測定体の波面収差を干渉縞として検出する収差測定装置であって、前記光束を前記被測定体の物体面上又は像面上に集光させる集光光学系と、前記被測定体の像面上又は物体面上に曲率中心が配置された第１の反射光学系とを有し、前記被処理体の波面収差を測定する第１の光学系と、前記集光光学系と、前記第１の光学系のシステムエラーの基準となる第２の反射光学系とを有し、前記第１の光学系のシステムエラーを測定する第２の光学系と、前記被測定体、前記第１の光学系及び前記第２の光学系を収納するチャンバーとを有する収差測定装置の校正方法であって、第１の時刻での前記集光光学系及び前記第１の反射光学系のシステムエラーを測定する第１の測定ステップと、前記第２の反射光学系と前記第１の時刻での前記集光光学系のシステムエラーの和を測定する第２の測定ステップと、前記第１及び第２の測定ステップで測定された前記システムエラーから前記第１の時刻での前記集光光学系のシステムエラーを算出する第１の算出ステップと、前記第１の算出ステップで算出された前記第１の時刻での前記集光光学系のシステムエラーを基に前記収差測定装置を校正するステップとを有することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としてのデバイス製造方法は、上述の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】削除
【補正の内容】