【手続補正書】
【提出日】平成18年9月29日(2006.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１電極層、圧電体層、第２電極層、圧電体層の順に繰り返し積層されてなる積層体と、
この積層体の１つの側面に形成され、前記第１電極層と電気的に接続されるとともに、前記第２電極層と第１絶縁膜を介して絶縁された第１側面電極と、
前記積層体の他の側面に形成され、前記第２電極層と電気的に接続されるとともに、前記第１電極層と第２絶縁膜を介して絶縁された第２側面電極とを備えてなる積層型圧電構造体の製造方法において、
切断加工前のワークピースとして、第１電極層、圧電体層、第２電極層、圧電体層の順に繰り返し積層され、前記圧電体層によって前記第１電極層と前記第２電極層とが絶縁されるとともに、前記各第１電極層の一部が共通に接続された第１共通電極部と、前記各第２電極層の一部が共通に接続された第２共通電極部とを有するものを用いることを特徴とする積層型圧電構造体の製造方法。
【請求項２】
基板上に、第１領域と、この第１領域に一部が重なる第２領域とを設定し、前記第１領域に前記第１電極層を積層、前記第１領域および前記第２領域との重なり部分に前記圧電体層を積層、前記第２領域に前記第２電極層を積層することによって前記ワークピースを形成することを特徴とする請求項１記載の積層型圧電構造体の製造方法。
【請求項３】
前記第１および第２電極層をスパッタ法または蒸着法によって形成することを特徴とする請求項２記載の積層型圧電構造体の製造方法。
【請求項４】
前記圧電体層をエアロゾルデポジション法によって形成することを特徴とする請求項２または３記載の積層型圧電構造体の製造方法。
【請求項５】
前記ワークピースは、圧電体層の端部がテーパ状に形成され、このテーパ部は、前記第１および第２電極層の端部を覆っていることを特徴とする請求項１から４いずれか記載の積層型圧電構造体の製造方法。
【請求項６】
前記第１および第２共通電極部に所定の電圧を印加して、前記圧電体層のポーリング処理を行うことを特徴とする請求項１から５いずれか記載の積層型圧電構造体の製造方法。
【請求項７】
前記ワークピースの端部を切断して第１および第２側面を形成する工程と、
前記第１側面における前記第１電極層の露出部に前記第１絶縁膜を形成する工程と、
前記第２側面における前記第２電極層の露出部に前記第２絶縁膜を形成する工程と、
前記第１および第２側面に前記第１および第２側面電極をそれぞれ形成する工程と、
前記第１および第２共通電極部を切り落とす工程と、
前記ワークピースを、前記第１および第２側面電極を複数に分割するように複数に切断するする工程と、
を含むことを特徴とする請求項１から６いずれか記載の積層型圧電構造体の製造方法。
【請求項８】
前記ワークピースに、前記第１電極層と前記第１共通電極部との接続および前記第２電極層と前記第２共通電極部との接続を分離しないように、前記第１および第２共通電極部以外を第１方向に沿って複数個所切断することにより、複数の平行な第１溝を形成する工程と、
前記各第１溝内の側面における前記第１電極層の露出部に前記第１絶縁膜を形成する工程と、前記各第１溝にレジスト材を埋入する工程と、
隣接する前記第１溝の中間位置に、前記各第１溝に平行に第２溝を形成する工程と、
前記各第２溝内の側面における前記第２電極層の露出部に前記第２絶縁膜を形成する工程と、
前記レジスト材を除去する工程と、
前記第１および第２溝内の側面に前記第１および第２側面電極をそれぞれ形成する工程と、
前記第１および第２共通電極部を切り落とす工程と、
を含むことを特徴とする請求項１から６いずれか記載の積層型圧電構造体の製造方法。
【請求項９】
前記第１方向に交わる第２方向に沿って前記ワークピースを複数に切断する工程をさらに含むことを特徴とする請求項８記載の積層型圧電構造体の製造方法。
【請求項１０】
前記ワークピースの切断は、ダイサーまたはサンドブラストを用いて行うことを特徴とする請求項７から９いずれか記載の積層型圧電構造体の製造方法。
【請求項１１】
前記第１および第２共通電極部を選択的に電着用の電極として用い、電圧が印加された前記第１および第２電極層の露出部に絶縁材料を電着させることによって前記第１および第２絶縁膜を形成することを特徴とする請求項１から１０いずれか記載の積層型圧電構造体の製造方法。
【請求項１２】
前記第１および第２共通電極部を選択的に電解メッキ用の電極として用い、電圧が印加された前記第１および第２電極層の露出部に金属メッキ膜を形成し、この金属メッキ膜を、酸化、窒化、硫化、またはフッ化して絶縁化することによって前記第１および第２絶縁膜を形成することを特徴とする請求項１から１０いずれか記載の積層型圧電構造体の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
図２４は、特許文献１に記載の従来の積層型圧電素子の構造を示す。積層型圧電素子１００は、複数の圧電体層１０１、端部に絶縁膜１０２が形成された複数の電極層１０３、および２つの側面電極１０４，１０５を備えている。側面電極１０４，１０５の各々には、電極層１０３が一層おきに接続されるとともに、電極層１０３が一層おきに絶縁膜１０２によって絶縁されている。側面電極１０４と側面電極１０５との間に所定電圧を与えると、圧電効果によって各圧電体層１０１が伸縮する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明の積層型圧電構造体の製造方法は、第１電極層、圧電体層、第２電極層、圧電体層の順に繰り返し積層されてなる積層体と、この積層体の１つの側面に形成され、前記第１電極層と電気的に接続されるとともに、前記第２電極層と第１絶縁膜を介して絶縁された第１側面電極と、前記積層体の他の側面に形成され、前記第２電極層と電気的に接続されるとともに、前記第１電極層と第２絶縁膜を介して絶縁された第２側面電極とを備えてなる積層型圧電構造体の製造方法において、切断加工前のワークピースとして、第１電極層、圧電体層、第２電極層、圧電体層の順に繰り返し積層され、前記圧電体層によって前記第１電極層と前記第２電極層とが絶縁されるとともに、前記各第１電極層の一部が共通に接続された第１共通電極部と、前記各第２電極層の一部が共通に接続された第２共通電極部とを有するものを用いることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
なお、基板上に、第１領域と、この第１領域に一部が重なる第２領域とを設定し、前記第１領域に前記第１電極層を積層、前記第１領域および前記第２領域との重なり部分に前記圧電体層を積層、前記第２領域に前記第２電極層を積層することによって前記ワークピースを形成することが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、前記第１および第２電極層をスパッタ法または蒸着法によって形成することが好ましい。また、前記圧電体層をエアロゾルデポジション法によって形成することが好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、前記ワークピースは、圧電体層の端部がテーパ状に形成され、このテーパ部は、前記第１および第２電極層の端部を覆っていることが好ましい。また、前記第１および第２共通電極部に所定の電圧を印加して、前記圧電体層のポーリング処理を行うことが好ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、前記ワークピースの端部を切断して第１および第２側面を形成する工程と、前記第１側面における前記第１電極層の露出部に前記第１絶縁膜を形成する工程と、前記第２側面における前記第２電極層の露出部に前記第２絶縁膜を形成する工程と、前記第１および第２側面に前記第１および第２側面電極をそれぞれ形成する工程と、前記第１および第２共通電極部を切り落とす工程と、前記ワークピースを、前記第１および第２側面電極を複数に分割するように複数に切断するする工程と、を含むことが好ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、前記ワークピースに、前記第１電極層と前記第１共通電極部との接続および前記第２電極層と前記第２共通電極部との接続を分離しないように、前記第１および第２共通電極部以外を第１方向に沿って複数個所切断することにより、複数の平行な第１溝を形成する工程と、前記各第１溝内の側面における前記第１電極層の露出部に前記第１絶縁膜を形成する工程と、前記各第１溝にレジスト材を埋入する工程と、隣接する前記第１溝の中間位置に、前記各第１溝に平行に第２溝を形成する工程と、前記各第２溝内の側面における前記第２電極層の露出部に前記第２絶縁膜を形成する工程と、前記レジスト材を除去する工程と、前記第１および第２溝内の側面に前記第１および第２側面電極をそれぞれ形成する工程と、前記第１および第２共通電極部を切り落とす工程と、を含むことが好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、前記第１方向に交わる第２方向に沿って前記ワークピースを複数に切断する工程をさらに含むことが好ましい。また、前記ワークピースの切断は、ダイサーまたはサンドブラストを用いて行うことが好ましい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、前記第１および第２共通電極部を選択的に電着用の電極として用い、電圧が印加された前記第１および第２電極層の露出部に絶縁材料を電着させることによって前記第１および第２絶縁膜を形成することが好ましい。また、前記第１および第２共通電極部を選択的に電解メッキ用の電極として用い、電圧が印加された前記第１および第２電極層の露出部に金属メッキ膜を形成し、この金属メッキ膜を、酸化、窒化、硫化、またはフッ化して絶縁化することによって前記第１および第２絶縁膜を形成することが好ましい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明によれば、切断加工前のワークピースとして、第１電極層、圧電体層、第２電極層、圧電体層の順に繰り返し積層され、圧電体層によって第１電極層と第２電極層とが絶縁されるとともに、各第１電極層の一部が共通に接続された第１共通電極部と、各第２電極層の一部が共通に接続された第２共通電極部とを有するものを用いるので、第１および第２共通電極部を選択的に電着用または電解メッキ用の電極として用いることにより、電極層を側面電極から絶縁するための絶縁膜を容易に形成することができる。