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【手続補正書】
【提出日】平成18年10月2日(2006.10.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】    【請求項１】真空又は減圧環境に置かれ、光が照射される照射領域を有する光学部材を冷却する冷却装置であって、  前記光学部材の温度を局所的に非接触に変化させる温度変化機構を有することを特徴とする冷却装置。    【請求項２】前記温度変化機構は、前記光学部材に非接触で配置され、前記光学部材の前記照射領域を冷却する冷却機構を有することを特徴とする請求項１記載の冷却装置。    【請求項３】前記温度変化機構は、  前記光学部材に非接触で配置され、前記光学部材を冷却する冷却機構と、  前記光学部材に非接触で配置され、前記光学部材の前記照射領域以外の非照射領域の少なくとも一部を加熱する加熱機構とを有することを特徴とする請求項１記載の冷却装置。    【請求項４】前記冷却機構は、輻射により前記光学部材から熱を吸収することを特徴とする請求項２又は３記載の冷却装置。    【請求項５】前記加熱機構は、輻射により前記光学部材の前記非照射領域に熱を与えることを特徴とする請求項３記載の冷却装置。    【請求項６】前記加熱機構は、前記光学部材の前記照射領域の裏面を加熱することを特徴とする請求項３記載の冷却装置。    【請求項７】前記冷却機構は、 前記光学部材の温度を検出する検出部と、 前記光学部材の前記照射領域に対して低温となる温度差を形成する輻射板と、 前記検出部の検出する前記光学部材の温度が所定の値となるように、前記輻射板の温度を制御する制御部とを有することを特徴とする請求項２又は３記載の冷却装置。    【請求項８】前記冷却機構は、 前記光学部材の前記照射領域に対して低温となる温度差を形成する輻射板と、 前記輻射板の温度を検出する検出部と、 前記検出部の検出する前記輻射板の温度が所定の値となるように、前記輻射板の温度を制御する制御部とを有することを特徴とする請求項２又は３記載の冷却装置。    【請求項９】前記輻射板は、熱媒体が流れるための流路を有し、 前記制御部に制御され、前記熱媒体を前記流路に循環させる循環部を更に有することを特徴とする請求項７又は８記載の冷却装置。    【請求項１０】前記輻射板に接合してペルチェ効果により前記輻射板を冷却するペルチェ素子と、 熱媒体が流れるための流路を有し、前記ペルチェ素子の排熱を回収する放熱ブロックと、 前記熱媒体を前記流路に循環させる循環部とを更に有することを特徴とする請求項７又は８記載の冷却装置。    【請求項１１】前記輻射板は、前記光学部材の前記照射領域に向いて配置されていることを特徴とする請求項７又は８記載の冷却装置。    【請求項１２】前記輻射板は、前記光学部材の前記照射領域に対して９０度以下の角度を有して配置されることを特徴とする請求項７又は８記載の冷却装置。    【請求項１３】前記光学部材の前記照明領域以外の非照射領域に対向して配置され、前記非照射領域への輻射を遮蔽する輻射遮蔽部を更に有することを特徴とする請求項１２記載の冷却装置。    【請求項１４】前記輻射遮蔽部は、輻射率が０．２以下であることを特徴とする請求項１３記載の冷却装置。    【請求項１５】前記輻射遮蔽部は、前記非照明領域に成膜された付加膜であることを特徴とする請求項１４記載の冷却装置。    【請求項１６】前記加熱機構は、前記光学部材の前記照射領��の裏面を加熱することを特徴とする請求項３記載の冷却装置。    【請求項１７】前記加熱機構は、輻射により前記光学部材の前記非照射領域に熱を与えることを特徴とする請求項３記載の冷却装置。    【請求項１８】前記加熱機構は、 前記光学部材の温度を検出する検出部と、 前記光学部材の前記照射領域に対して高温となる温度差を形成する輻射板と、 前記検出部の検出する前記光学部材の温度が所定の値となるように、前記輻射板の温度を制御する制御部とを有することを特徴とする請求項３記載の冷却装置。    【請求項１９】前記加熱機構は、 前記光学部材の前記照射領域に対して高温となる温度差を形成する輻射板と、 前記輻射板の温度を検出する検出部と、 前記検出部の検出する前記輻射板の温度が所定の値となるように、前記輻射板の温度を制御する制御部とを有することを特徴とする請求項３記載の冷却装置。    【請求項２０】前記輻射板は、熱媒体が流れるための流路を有し、  前記制御部に制御され、前記熱媒体を前記流路に循環させる循環部を更に有することを特徴とする請求項１８又は１９記載の冷却装置。    【請求項２１】前記輻射板に接合してペルチェ効果により前記輻射板を加熱するペルチェ素子と、 熱媒体が流れるための流路を有し、前記ペルチェ素子の排熱を回収する放熱ブロックと、 前記熱媒体を前記流路に循環させる循環部とを更に有することを特徴とする請求項１８又は１９記載の冷却装置。    【請求項２２】前記制御部に制御され、前記輻射板に接合して前記輻射板を加熱するヒーターを有することを特徴とする請求項１８又は１９記載の冷却装置。    【請求項２３】前記冷却機構は、前記光学部材の前記照射領域の裏面に対向して配置され、前記光学部材の前記照射領域に対して低温となる温度差を形成する輻射板を有することを特徴とする請求項３記載の冷却装置。    【請求項２４】前記冷却機構は、前記光学部材の前記照射領域に向いて配置され、前記光学部材の前記照射領域に対して低温となる温度差を形成する輻射板を有することを特徴とする請求項３記載の冷却装置。    【請求項２５】前記冷却機構は、前記光学部材の前記照射領域に対して９０度以下の角度を有して配置され、前記光学部材の前記照射領域に対して低温となる温度差を形成する輻射板を有することを特徴とする請求項３記載の冷却装置。    【請求項２６】前記加熱機構は、前記光学部材の前記照射領域の裏面に対向して配置され、前記光学部材の前記照射領域に対して高温となる温度差を形成する輻射板とを有することを特徴とする請求項３記載の冷却装置。    【請求項２７】前記輻射板は、 前記光学部材の前記照射領域に対して０．８以上の輻射率を有する第１の部分と、 前記光学部材の前記照射領域の裏面に対して０．２以下の輻射率を有する第２の部分とを有することを特徴とする請求項７、８、１８、１９、２３乃至２６のうちいずれか一項記載の冷却装置。    【請求項２８】請求項１乃至２７のうちいずれか一項記載の冷却装置と、 前記冷却装置により冷却された光学部材を介してマスクに形成されたパターンを被処理体に露光する光学系とを有することを特徴とする露光装置。    【請求項２９】前記露光装置は、電子ビームを用いて前記被処理体を露光することを特徴とする請求項２８記載の露光装置。    【請求項３０】前記露光装置は、ＥＵＶ光を用いて前記被処理体を露光することを特徴とする請求項２８記載の露光装置。    【請求項３１】請求項２８乃至３０のうちいずれか一項記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、 露光された前記被処理体に所定のプロセスを行うステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月8日(2006.2.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  基板が置かれるステージを移動させながら該基板を走査露光する走査露光装置であって、
前記ステージの移動区間は、前記ステージを加速させる加速区間、および、その後に前記ステージをほぼ一定の速度で移動させる等速区間を含み、
前記走査露光装置は、前記加速区間において前記ステージが前記等速区間における前記ステージの速度の３０％以上である設定された速度まで加速した時点で基板の走査露光が開始されるように露光動作を制御する制御部を備えることを特徴とする走査露光装置。
【請求項２】  前記ステージの移動区間は、前記等速区間の後に前記ステージを減速させる減速区間をさらに含み、
前記制御部は、前記減速区間において前記ステージが前記等速区間における前記ステージの速度の３０％以上である設定された速度まで減速した時点で前記基板の走査露光が完了するように前記露光動作を制御することを特徴とする請求項１に記載の走査露光装置。
【請求項３】  前記制御部は、前記ステージの移動速度に応じた頻度で、パルス光源に基板を露光するためのパルス光を発生させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の走査露光装置。
【請求項４】  前記制御部は、前記ステージが設定された距離だけ移動する都度、パルス光源に基板を露光するためのパルス光を発生させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の走査露光装置。
【請求項５】  前記制御部は、前記等速区間における前記ステージの速度の３０％に達するまで前記ステージの加速度が増し、その後、該加速度がほぼ一定値を維持し、その後、該加速度が零まで低下して前記加速区間が終了するように、前記加速区間における前記ステージの加速を制御することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の走査露光装置。
【請求項６】  基板が置かれるステージを移動させながら該基板を走査露光する走査露光装置であって、
前記ステージの移動区間は、前記ステージを加速させる加速区間、その後に前記ステージをほぼ一定の速度で移動させる等速区間、その後に前記ステージを減速させる減速区間を含み、
前記走査露光装置は、前記等速区間において基板が走査露光される他、前記加速区間及び前記減速区間内で前記ステージが設定された速度以上で移動している区間においても該基板が走査露光されるように露光動作を制御する制御部を備え、前記設定された速度は、前記等速区間における前記ステージの速度の３０％以上の速度であることを特徴とする走査露光装置。
【請求項７】  基板が置かれるステージを移動させながら該基板を走査露光する走査露光装置であって、
前記ステージの移動区間は、前記ステージを加速させる加速区間、その後に前記ステージをほぼ一定の速度で移動させる等速区間、その後に前記ステージを減速させる減速区間を含み、
前記走査露光装置は、前記加速区間の途中から開始し前記等速区間を経て前記減速区間の途中で終了する区間において基板が走査露光されるように、露光動作を制御する制御部を備えることを特徴とする走査露光装置。
【請求項８】  基板が置かれるステージを移動させながら該基板を走査露光する走査露光方法であって、
前記ステージの移動区間は、前記ステージを加速させる加速区間、および、その後に前記ステージをほぼ一定の速度で移動させる等速区間を含み、
前記走査露光方法は、前記加速区間において前記ステージが前記等速区間における前記ステージの速度の３０％以上である設定された速度まで加速した時点で光源からの光による基板の走査露光を開始する工程を含むことを特徴とする走査露光方法。
【請求項９】  前記ステージの移動区間は、前記等速区間の後に前記ステージを減速させる減速区間をさらに含み、
基板の走査露光が開始された後、前記等速区間を経て前記減速区間に至り、前記減速区間において前記ステージが前記等速区間における前記ステージの速度の３０％以上である設定された速度まで減速した時点で前記走査露光を終了する工程を更に含むことを特徴とする請求項８に記載の走査露光方法。
【請求項１０】  基板が置かれるステージを移動させながら該基板を走査露光する走査露光方法であって、
前記ステージの移動区間は、前記ステージを加速させる加速区間、その後に前記ステージをほぼ一定の速度で移動させる等速区間、その後に前記ステージを減速させる減速区間を含み、
前記走査露光方法は、前記等速区間において基板が走査露光される他、前記加速区間及び前記減速区間内で前記ステージが設定された速度以上で移動している区間においても該基板が走査露光されるように露光動作を制御する工程を含み、前記設定された速度は、前記等速区間における前記ステージの速度の３０％以上の速度であることを特徴とする走査露光方法。
【請求項１１】  基板が置かれるステージを移動させながら該基板を走査露光する走査露光方法であって、
前記ステージの移動区間は、前記ステージを加速させる加速区間、その後に前記ステージをほぼ一定の速度で移動させる等速区間、その後に前記ステージを減速させる減速区間を含み、
前記走査露光方法は、前記加速区間の途中から開始し前記等速区間を経て前記減速区間の途中で終了する区間において基板が走査露光されるように露光動作を制御する工程を含むことを特徴とする走査露光方法。
【請求項１２】  デバイス製造方法であって、
請求項８乃至請求項１１のいずれか１項に記載の走査露光方法によって、感光剤が塗布された基板を走査露光して該基板にパターンを転写する工程と、
前記基板の感光剤を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月27日(2006.9.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  光学素子を３つの第１の球面部材を介して略６点支持する支持部材を備える保持装置であって、
前記支持部材は、１点を中心として半径方向に伸びる３つの溝を有しており、前記３つの溝と前記３つの第１の球面部材とが接触することによって前記光学素子を位置決めしており、前記３つの溝が前記半径方向に移動可能であることを特徴とする保持装置。
【請求項２】  前記３つの溝が、弾性部材を介して固定部材に連結されており、該弾性部材が前記半径方向に弾性変形することによって、前記３つの溝が移動することを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項３】  前記弾性部材は、実質的に前記円の半径方向にのみ弾性変形することを特徴とする請求項１または２に記載の保持装置。
【請求項４】  前記光学素子を前記第１の球面部材に押し付ける方向に、前記光学素子に弾性力を与える弾性支持部材を有することを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の保持装置。
【請求項５】  前記弾性支持部材の、前記光学素子を前記第１の球面部材に押し付ける方向に力を与える部位は、前記半径方向に移動可能であることを特徴とする請求項４に記載の保持装置。
【請求項６】  前記弾性支持部材は、第２の球面部材を介して前記光学素子に力を与えることを特徴とする請求項４または５に記載の保持装置。
【請求項７】  前記光学素子と一体的に設けられている、もしくは前記光学素子を支持する中間支持部材を有しており、該中間支持部材が３つの第１の凹部を有しており、該３つの第１の凹部と前記３つの第１の球面部材とがそれぞれ３点以上で接触、もしくは実質的に線接触しており、前記３つの第１の凹部と前記３つの第１の球面部材との接触点において、前記第１の凹部は角錐もしくは円錐の側面形状を有していることを特徴とする請求項１乃至６いずれかに記載の保持装置。
【請求項８】  前記光学素子と一体的に設けられている、もしくは前記光学素子を支持する第２中間支持部材を有しており、該第２中間支持部材が３つの第２の凹部と、該３つの第２の凹部それぞれと対応する３つの第２の球面部材を有しており、前記第２の凹部の各々が前記第２の球面部材各々と３点以上で接触、もしくは実質的に線接触しており、前記第２の球面部材が前記第２の凹部に対して加える力と、前記第１の球面部材が前記第２の凹部に対して加える力とが実質的に反対方向であることを特徴とする請求項７に記載の保持装置。
【請求項９】  前記光学素子と前記支持部材とを前記球面部材を介して連結する連結部材を有することを特徴とする請求項１乃至８いずれかに記載の保持装置。
【請求項１０】  前記連結部材が弾性ヒンジを有することを特徴とする請求項９記載の保持装置。
【請求項１１】  前記３つの溝は、前記３つの第１の球面部材それぞれと略２点接触する断面Ｖ字形状の溝であることを特徴とする請求項１乃至１０いずれか記載の保持装置。
【請求項１２】  光学素子を複数の支持部で支持する支持部材を備え、前記複数の支持部が１点を中心とする円の半径方向に移動可能であることを特徴とする保持装置。
【請求項１３】  請求項１乃至１２のうちいずれか一項記載の保持装置を有し、該保持装置で保持する光学素子を介してマスクに形成されたパターンを被露光体に露光する光学系を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１４】  請求項１３に記載の露光装置を用いて被露光体を露光するステップと、前記露光された前記被処理体の現像を行うステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての保持装置は、光学素子を３つの球面を介して略６点支持する支持部材を備える保持装置であって、前記支持部材は、１点を中心として半径方向に伸びる３つの溝を有しており、前記３つの溝と前記３つの球面とが接触することによって前記光学素子を位置決めしており、前記３つの溝が前記半径方向に移動可能であることを特徴としている。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月10日(2006.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  面位置検出手段に対し、パターン構造を有する領域が形成された物体を相対走査して、該領域内の複数の検出ポイントの面位置を該面位置検出手段で測定する方法であって、
前記面位置検出手段に対して前記物体を第１方向とその逆方向との双方向に交互に相対走査し、走査方向毎に計測値を保持する段階と、
前記保持された計測値から前記検出ポイント間における各検出ポイント毎の計測偏差を算出する面位置算出段階と、
前記面位置検出手段で前記領域内の前記検出ポイントの面位置を検出する際、前記検出ポイント毎に前記計測偏差で検出結果を補正する段階と、
を有することを特徴とする面位置計測方法。
【請求項２】  前記計測偏差は前記検出ポイント間のパターン構造の違いにより生じるものであり、前記計測偏差を管理する面位置管理段階をさらに有する、請求項１に記載の面位置計測方法。
【請求項３】  パターン構造を有する領域が形成された物体を面位置検出手段に対して相対走査して、前記領域内の複数の検出ポイントの面位置を前記面位置検出手段で測定する方法であって、
前記物体を交互方向に相対走査して走査方向毎に計測値を保持する段階と、
保持された計測値の各検出ポイントにおける相対量が規定の量を超えた場合にエラーと判定するエラー判定段階と、
エラーと判定された計測値を除く前記保持された計測値から前記複数の計測ポイント間のパターン構造の違いにより生じる各検出ポイント毎の計測偏差を算出する面位置算出段階と、
前記算出された各検出ポイント毎の計測偏差を管理する面位置管理段階と、
前記物体を前記面位置検出手段に対して相対走査して、前記面位置検出手段で前記領域内の前記複数の検出ポイントの面位置を検出する際、検出ポイント毎に該検出ポイントに対応した前記計測偏差で検出結果を補正する段階と
を具備することを特徴とする面位置計測方法。
【請求項４】  前記面位置算出段階は、前記走査方向ごとの保持データから、前記複数のパターン構造を有する領域内の同一箇所に着目して算出する、請求項１〜３のいずれかに記載の面位置計測方法。
【請求項５】  前記面位置管理段階は、前記走査方向ごとの保持データから、前記複数のパターン構造を有する領域内の同一箇所に着目して算出された各検出ポイント毎の計測偏差を管理する、請求項１〜４のいずれかに記載の面位置計測方法。
【請求項６】  前記面位置算出段階は、前記走査方向ごとの保持データから、前記複数のパターン構造を有する領域毎に算出する、請求項１〜５のいずれかに記載の面位置計測方法。
【請求項７】  前記面位置管理段階は、前記走査方向ごとの保持データから、前記複数のパターン構造を有する領域毎に算出された各検出ポイント毎の計測偏差を管理する、請求項１〜６のいずれかに記載の面位置計測方法。
【請求項８】  前記面位置算出段階は、前記面位置検出手段に対して前記物体を交互に相対走査する際、各スキャン方向の前記複数の検出ポイント間のパターン構造の違いにより生じる各検出ポイント毎の計測偏差を所定の割合に振り分けて算出する、請求項１〜７のいずれかに記載の面位置計測方法。
【請求項９】  前記面位置管理段階は、前記面位置検出手段に対して前記物体を交互に相対走査する際、各スキャン方向の前記複数の検出ポイント間のパターン構造の違いにより生じる各検出ポイント毎の計測偏差を所定の割合に振り分けて管理する、請求項１〜８のいずれかに記載の面位置計測方法。
【請求項１０】  前記エラー判定段階は、前記複数のパターン構造を有する領域内の同一箇所の保持データを比較して判定する、請求項３〜９のいずれかに記載の面位置計測方法。
【請求項１１】  前記エラー判定段階は、前記複数のパターン構造を有する領域内の領域ごとの保持データを比較して判定する、請求項３〜１０のいずれかに記載の面位置計測方法。
【請求項１２】  パターン構造を有する被露光領域が形成された物体を面位置検出手段に対して相対走査して、前記領域内の単数または複数の検出ポイントの面位置を該面位置検出手段で順次検出して露光する走査型露光装置であって、
前記面位置検出手段に対して前記物体を交互方向に相対走査し、走査方向毎に計測値を保持する手段と、
前記保持された計測値から前記検出ポイント間のパターン構造の違いにより生じる各検出ポイント毎の計測偏差を算出する面位置算出手段と、
前記算出された各検出ポイント毎の計測偏差を管理する面位置管理手段と、
前記面位置検出手段で前記領域内の前記検出ポイントの面位置を検出する際、前記検出ポイント毎に該検出ポイントに対応した前記計測偏差で検出結果を補正する手段と
を有することを特徴とする走査型露光装置。
【請求項１３】  パターン構造を有する被露光領域が形成された物体を面位置検出手段に対して相対走査して、前記領域内の複数の検出ポイントの面位置を前記面位置検出手段で順次検出して露光する走査型露光装置であって、
前記物体を交互方向に相対走査して走査方向毎に計測値を保持する手段と、
保持された計測値の各検出ポイントにおける相対量が規定の量を超えた場合にエラーと判定するエラー判定手段と、
エラーと判定された計測値を除く前記保持された計測値から前記複数の計測ポイント間のパターン構造の違いにより生じる各検出ポイント毎の計測偏差を算出する面位置算出手段と、
前記算出された各検出ポイント毎の計測偏差を管理する面位置管理手段と、
前記物体を前記面位置検出手段に対して相対走査して、前記面位置検出手段で前記領域内の前記複数の検出ポイントの面位置を検出する際、検出ポイント毎に該検出ポイントに対応した前記計測偏差で検出結果を補正する手段と
を具備することを特徴とする走査型露光装置。
【請求項１４】  前記エラー判定段階は、前記複数のパターン構造を有する領域内の同一箇所の保持データを比較して判定する、請求項１３に記載の走査型露光装置。
【請求項１５】  前記エラー判定段階は、前記複数のパターン構造を有する領域内の領域ごとの保持データを比較して判定する、請求項１３に記載の走査型露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
図６（i）はup側、（ii）はdown側を各々表しており、Ａ′、Ｂ′はスキャン方向毎のフォーカス計測領域を、Ａ、ＢはＡ′、Ｂ′の計測結果から求まったスキャン方向毎のオフセット基準面を表している。図６（iii）はオフセット基準面のup／downフォーカス差の補正方法を説明したものであり、例えばＡの方がＢよりもＺ軸方向の位置が高いときに、Ａ−Ｂ＝Ｘ（Ｘはup／downフォーカス差）とし、オフセット基準面のup／downフォーカス差をa ：ｂ（ａ，ｂ＞０）の比に振り分けオフセット管理する。すなわち、補正されたオフセット基準面は、Ａ−Ｘ・ａ／（ａ＋ｂ）＝Ｂ＋Ｘ・ｂ／（ａ＋ｂ）となる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月9日(2006.2.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路部品が実装されると共にアンテナ給電パターン及び設置パターンが形成された回路基板を筐体内に収容した移動通信端末に設けられるアンテナユニットにおいて、
アンテナエレメントと、
このアンテナエレメントを前記移動通信端末の筐体に保持するための絶縁体からなるアンテナ保持部材と、
このアンテナ保持部材に固定され、前記アンテナエレメントと前記回路基板のアンテナ給電パターンとの間を電気的に接続する給電端子と、
前記回路基板と離間する状態で前記アンテナ保持部材に固定され、前記アンテナエレメントへの給電中に前記回路基板の接地パターンに流れる高周波電流の一部を側流するための地線部材と、
前記アンテナ保持部材に固定され、前記地線部材の基端部と前記回路基板の接地パターンとの間を電気的に接続する地線接地端子と
を具備することを特徴とするアンテナユニット。
【請求項２】
前記地線部材は、基端片と先端片とを有する導電プレートからなり、この導電プレートの基端片が前記アンテナ保持部材に固定され、かつ先端片の長手方向の向きが前記アンテナエレメントの主偏波方向と同一方向となるように配置されることを特徴する請求項１記載のアンテナユニット。
【請求項３】
前記地線部材は、先端片に前記移動通信端末の筐体との間隔を一定に保持するためのスペーサを備えたことを特徴とする請求項１記載のアンテナユニット。
【請求項４】
前記地線接地端子は、前記アンテナ保持部材に固定されると共に、前記地線部材の基端片に電気的に接続される基端部と、この基端部と前記回路基板の接地パターンとの間で伸縮する先端部とを備えたことを特徴とする請求項１記載のアンテナユニット。
【請求項５】
端末筐体と、
この端末筐体内に収容され、回路基板が実装されると共にアンテナ給電パターン及び設置パターンが形成された回路基板と、
前記端末筐体に取着されるアンテナユニットと
を具備し、
前記アンテナユニットは、
アンテナエレメントと、
このアンテナエレメントを前記移動通信端末の筐体に保持するための絶縁体からなるアンテナ保持部材と、
このアンテナ保持部材に固定され、前記アンテナエレメントと前記回路基板のアンテナ給電パターンとの間を電気的に接続する給電端子と、
前記回路基板と離間する状態で前記アンテナ保持部材に固定され、前記アンテナエレメントへの給電中に前記回路基板の接地パターンに流れる高周波電流の一部を側流するための地線部材と、
前記アンテナ保持部材に固定され、前記地線部材の基端部と前記回路基板の接地パターンとの間を電気的に接続する地線接地端子と
を備えることを特徴とする移動通信端末。
【請求項６】
前記地線部材は、前記アンテナエレメントを隔てて前記回路基板と離間する状態で前記アンテナ保持部材に固定されることを特徴とする請求項１記載のアンテナユニット。
【請求項７】
前記地線部材は、前記アンテナエレメントを隔てて前記回路基板と離間する状態で前記アンテナ保持部材に固定されることを特徴とする請求項５記載の移動通信端末。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためのこの発明は、回路部品が実装されると共にアンテナ給電パターン及び設置パターンが形成された回路基板を筐体内に収容した移動通信端末に設けられるアンテナユニットにおいて、アンテナエレメントと、このアンテナエレメントを前記移動通信端末の筐体に保持するための絶縁体からなるアンテナ保持部材と、このアンテナ保持部材に固定されて前記アンテナエレメントと前記回路基板のアンテナ給電パターンとの間を電気的に接続する給電端子と、前記回路基板と離間する状態で前記アンテナ保持部材に固定されて前記アンテナエレメントへの給電中に前記回路基板の接地パターンに流れる高周波電流の一部を側流するための地線部材と、前記アンテナ保持部材に固定されて前記地線部材の基端部と前記回路基板の接地パターンとの間を電気的に接続する地線接地端子とを具備するように構成したものである。
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月12日(2006.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】制御装置、および制御方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ユーザインタフェースに対するユーザの操作に対応して、制御対象の電子機器にコマンド信号を送信する制御装置において、
前記ユーザインタフェースに対するユーザの操作を検知する検知手段と、
前記検知手段の検知結果を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段によって記憶された前記検知手段の検知結果に基づき、前記ユーザインタフェースの操作感を調整する調整手段と
を含むことを特徴とする制御装置。
【請求項２】
前記検知手段は、前記ユーザインタフェースに対するユーザの押下操作の圧力、または傾斜操作の傾斜角のうち、少なくとも一方を検出する
ことを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
【請求項３】
前記調整手段は、前記ユーザインタフェースに対するユーザの操作に対する反発力を調整する
ことを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
【請求項４】
前記調整手段は、前記記憶手段によって記憶された前記検知手段の検知結果に基づき、前記ユーザインタフェースに対するユーザの操作の力が統計的に強いと判断される場合、前記反発力を大きく調整し、前記ユーザインタフェースに対するユーザの操作の力が統計的に弱いと判断される場合、前記反発力を小さく調整する
ことを特徴とする請求項３に記載の制御装置。
【請求項５】
ユーザインタフェースに対するユーザの操作に対応して、制御対象の電子機器にコマンド信号を送信するときの制御方法において、
前記ユーザインタフェースに対するユーザの操作を検知する検知ステップと、
前記検知ステップの検知結果を記憶する記憶ステップと、
前記記憶ステップの処理で記憶された前記検知ステップの検知結果に基づき、前記ユーザインタフェースの操作感を調整する調整ステップと
を含むことを特徴とする制御方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、制御装置、および制御方法に関し、特に、電子機器を遠隔制御するときの操作感を向上させるようにした制御装置、および制御方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
前記調整手段は、記憶手段によって記憶された検知手段の検知結果に基づき、ユーザインタフェースに対するユーザの操作の力が統計的に強いと判断される場合、反発力を大きく調整し、ユーザインタフェースに対するユーザの操作の力が統計的に弱いと判断される場合、反発力を小さく調整するようにすることができる。
本発明の制御方法は、ユーザインタフェースに対するユーザの操作を検知する検知ステップと、検知ステップの検知結果を記憶する記憶ステップと、記憶ステップの処理で記憶された検知ステップの検知結果に基づき、ユーザインタフェースの操作感を調整する調整ステップとを含むことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明においては、ユーザインタフェースに対するユーザの操作が検知され、この検知結果が記憶され、記憶された検知結果に基づき、ユーザインタフェースの操作感が調整される。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月13日(2006.2.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】記憶装置および制御方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  映像装置に装着またはケーブルを介して接続されているか否かを検出する検出手段と、
前記映像装置に装着またはケーブルを介して接続されていることが検出された場合は、前記映像装置専用の記憶装置として動作する第１の動作モードを選択し、前記映像装置に装着またはケーブルを介して接続されていることが検出されなかった場合は、ネットワーク上のファイルサーバとして動作する第２の動作モードを選択する選択手段とを有することを特徴とする記憶装置。
【請求項２】  無線による通信を行う無線通信手段を有し、
前記第１の動作モードが選択された場合は、前記無線通信手段を使用できないようにし、前記第２の動作モードが選択された場合は、ネットワーク上のファイルサーバとして動作するために、前記無線通信手段を使用できるようにすることを特徴とする請求項１に記載の記憶装置。
【請求項３】  記憶装置の制御方法であって、
映像装置に装着またはケーブルを介して接続されているか否かを検出するステップと、
前記映像装置に装着またはケーブルを介して接続されていることが検出された場合は、前記映像装置専用の記憶装置として動作する第１の動作モードを選択し、前記映像装置に装着またはケーブルを介して接続されていることが検出されなかった場合は、ネットワーク上のファイルサーバとして動作する第２の動作モードを選択するステップとを有することを特徴とする制御方法。
【請求項４】  前記第１の動作モードが選択された場合は、無線による通信を行う無線通信手段を使用できないようにし、前記第２の動作モードが選択された場合は、ネットワーク上のファイルサーバとして動作するために、前記無線通信手段を使用できるようにすることを特徴とする請求項３に記載の制御方法。
【請求項５】  映像装置に装着またはケーブルを介して接続されているときに、前記映像装置から送信された制御情報を受信する受信手段と、
前記映像装置専用の記憶装置として動作するか、ネットワーク上のファイルサーバとして動作するかを、前記制御情報に応じて選択する選択手段とを有することを特徴とする記憶装置。
【請求項６】  無線による通信を行う無線通信手段を有し、
前記映像装置用の記憶装置として動作することが選択された場合は、前記無線通信手段を使用できないようにし、ネットワーク上のファイルサーバとして動作することが選択された場合は、ネットワーク上のファイルサーバとして動作するために、前記無線通信手段を使用できるようにすることを特徴とする請求項５に記載の記憶装置。
【請求項７】  記憶装置の制御方法であって、
映像装置に装着またはケーブルを介して接続されているときに、前記映像装置から送信された制御情報を受信するステップと、
前記映像装置専用の記憶装置として動作するか、ネットワーク上のファイルサーバとして動作するかを前記制御情報に応じて選択するステップとを有することを特徴とする制御方法。
【請求項８】  前記映像装置用の記憶装置として動作することが選択された場合は、無線による通信を行う無線通信手段を使用できないようにし、ネットワーク上のファイルサーバとして動作することが選択された場合は、ネットワーク上のファイルサーバとして動作するために、前記無線通信手段を使用できるようにすることを特徴とする請求項７に記載の制御方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、映像装置の記憶装置として動作する記憶装置およびその制御方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る記憶装置の一つは、映像装置に装着またはケーブルを介して接続されているか否かを検出する検出手段と、前記映像装置に装着またはケーブルを介して接続されていることが検出された場合は、前記映像装置専用の記憶装置として動作する第１の動作モードを選択し、前記映像装置に装着またはケーブルを介して接続されていることが検出されなかった場合は、ネットワーク上のファイルサーバとして動作する第２の動作モードを選択する選択手段とを有することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明に係る制御方法の一つは、記憶装置の制御方法であって、映像装置に装着またはケーブルを介して接続されているか否かを検出するステップと、前記映像装置に装着またはケーブルを介して接続されていることが検出された場合は、前記映像装置専用の記憶装置として動作する第１の動作モードを選択し、前記映像装置に装着またはケーブルを介して接続されていることが検出されなかった場合は、ネットワーク上のファイルサーバとして動作する第２の動作モードを選択するステップとを有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明に係る記憶装置の一つは、映像装置に装着またはケーブルを介して接続されているときに、前記映像装置から送信された制御情報を受信する受信手段と、前記映像装置専用の記憶装置として動作するか、ネットワーク上のファイルサーバとして動作するかを、前記制御情報に応じて選択する選択手段とを有することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係る制御方法の一つは、記憶装置の制御方法であって、映像装置に装着またはケーブルを介して接続されているときに、前記映像装置から送信された制御情報を受信するステップと、前記映像装置専用の記憶装置として動作するか、ネットワーク上のファイルサーバとして動作するかを前記制御情報に応じて選択するステップとを有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月9日(2006.2.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  無線アクセスネットワークおよびコアネットワークを介して移動局と電話網との間の通信を行う移動通信システムにおいて、
前記コアネットワークを構成する移動交換局は、
前記移動局に着信を通知するページングの送信周期を可変設定する手段と、
前記可変設定手段によって設定された前記ページング送信周期を前記ページング又は報知チャネル情報に含ませて前記移動局に送信すると共に、前記ページング送信周期に基づいて前記移動局に対し前記ページングを行う手段と
を具備することを特徴とする移動通信システムの移動交換局。
【請求項２】  無線アクセスネットワークおよびコアネットワークを介して移動局と電話網との間の通信を行う移動通信システムにおいて、
前記コアネットワークを構成する移動交換局は、
前記移動局に着信を通知するページングの送信周期を可変設定する手段と、
前記可変設定手段によって設定された前記ページング送信周期、および前記ページング送信周期に対応するメッセージを生成して記憶する手段と、
前記電話網から前記コアネットワークへ前記移動局に対する着信呼を受けた時に、前記記憶手段からの前記移動局への前記メッセージを前記電話網の発信側へ通知する手段と、
前記記憶手段からの前記ページング送信周期を前記ページング又は報知チャネル情報に含ませて前記移動局に送信すると共に、前記ページング送信周期に基づいて前記移動局に対し前記ページングを行う手段と
を有することを特徴とする移動通信システムの移動交換局。
【請求項３】  前記移動交換局は、所定のエリア毎に前記移動局に対する着信履歴を記憶する着信履歴データベースを有し、前記着信履歴データベースに記憶された着信履歴から着信回数が少ない時間帯を求め、当該時間帯の前記ページング送信周期が大きくなるよう設定することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の移動通信システムの移動交換局。
【請求項４】  無線アクセスネットワークおよびコアネットワークを介して移動局と電話網との間の通信を行う移動通信システムにおいて、
前記移動局は、
前記コアネットワークを構成する移動交換局から送信される着信を通知するページングの待受け周期を可変設定する手段と、
前記ページング待受け周期に合わせてページング待受け処理を行う手段と、
前記ページング待受け周期を前記無線アクセスネットワークを介して前記移動交換局に伝送する手段と
を有することを特徴とする移動通信システムの移動局。
【請求項５】  前記移動局は、自局宛の着信履歴を記憶する着信履歴データベースを有し、前記着信履歴データベースに記憶された着信履歴から着信回数が少ない時間帯を求め、当該時間帯の前記ページング待受け周期が大きくなるよう設定することを特徴とする請求項４に記載の移動通信システムの移動局。
【請求項６】  前記移動局は、前記移動局から前記移動交換局へ前記ページング待受け周期の変更要求を送信し、前記移動交換局からページング待受け周期の登録完了の通知を受けたとき、当該ページング待受け周期で前記ページングの待受け処理を行うことを特徴とする請求項４に記載の移動通信システムの移動局。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】移動通信システムの移動交換局および同システムの移動局
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、移動通信システムの移動交換局および同システムの移動局に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明の目的は、上記問題点を解決するためになされたもので、ページング周期を可変とし、その周期を長く設定することにより、移動局の消費電力を小さくし、電池の使用時間を延ばすことができる移動通信システムの移動交換局および同システムの移動局を提供する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の移動通信システムの移動交換局は、無線アクセスネットワークおよびコアネットワークを介して移動局と電話網との間の通信を行う移動通信システムにおいて、前記コアネットワークを構成する移動交換局は、前記移動局に着信を通知するページングの送信周期を可変設定する手段と、前記可変設定手段によって設定された前記ページング送信周期を前記ページング又は報知チャネル情報に含ませて前記移動局に送信すると共に、前記ページング送信周期に基づいて前記移動局に対し前記ページングを行う手段とを具備することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、本発明の移動通信システムの移動局は、無線アクセスネットワークおよびコアネットワークを介して移動局と電話網との間の通信を行う移動通信システムにおいて、前記移動局は、前記コアネットワークを構成する移動交換局から送信される着信を通知するページングの待受け周期を可変設定する手段と、前記ページング待受け周期に合わせてページング待受け処理を行う手段と、前記ページング待受け周期を前記無線アクセスネットワークを介して前記移動交換局に伝送する手段とを有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月7日(2006.2.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
ここで、入力チャンネル選択部１３４に属する何れかのボタン（第ｉ入力チャンネルのボタン）が押下された際の処理を図１０(a)，(b)を参照し説明する。まず、動作モードがＲモードであった場合には図１０(a)に示すルーチンが起動される。図において処理がステップＳＰ１０２に進むと、当該ボタンのオン／オフ状態が反転される。次に、処理がステップＳＰ１０４に進むと、反転後の状態がオン／オフの何れであるかが判定される。ここで「オフ」であると判定されると、処理はステップＳＰ１０６に進み、当該ボタンに対応する第ｉ入力チャンネルに係る範囲がリコール範囲から外される。また、「オン」であると判定されると、処理はステップＳＰ１０８に進み、当該ボタンに対応する第ｉ入力チャンネルに係る範囲のうち、「ALL」, 「ATT」， 「EQ」，「GT」，「CMP」，「FDR」および「SND」ボタンによって選択されているパラメータがリコール範囲に含められる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月10日(2006.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】送信装置および送信方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号の送信または再送信のための送信制御を行う制御手段と、
送信制御を施された信号を拡散する拡散手段と、
拡散された信号を送信する送信手段と、を具備し、
前記拡散手段は、
再送信する信号を拡散する場合、前記再送信する信号の前回の送信に用いた拡散符号とは異なる拡散符号を用いて、前記再送信する信号の拡散を行う、
ことを特徴とする送信装置。
【請求項２】
前記拡散手段は、
前記再送信する信号の前回の送信に用いた拡散符号よりも大きい拡散率を有する拡散符号を用いて、前記再送信する信号の拡散を行う、
ことを特徴とする請求項１記載の送信装置。
【請求項３】
前記拡散手段は、
前記再送信する信号の前回の送信に用いた拡散符号数よりも多数の拡散符号を用いて、前記再送信する信号の拡散を行う、
ことを特徴とする請求項１記載の送信装置。
【請求項４】
前記拡散手段は、
前記再送信する信号の前回の送信に用いた拡散符号の多重数よりも少ない多重数の拡散符号を用いて、前記再送信する信号の拡散を行う、
ことを特徴とする請求項１記載の送信装置。
【請求項５】
前記制御手段は、
送信時間帯または再送信時間帯の割り当てをフレーム毎に行うとともに、同一の信号の送信時間帯および再送信時間帯を同一のフレームに割り当てる、
ことを特徴とする請求項１記載の送信装置。
【請求項６】
前記制御手段は、
所定の時間長を有する一つのフレームに信号の送信時間帯を割り当てた後、前記一つのフレームに未使用時間帯が存在する場合、前記一つのフレームに前記信号の再送信時間帯を割り当てる、
ことを特徴とする請求項１記載の送信装置。
【請求項７】
請求項１記載の送信装置を具備することを特徴とする基地局装置。
【請求項８】
信号を送信または再送信する送信方法において、
前記信号を送信するときに、拡散符号を用いて前記信号を拡散し、
前記信号を再送信するときに、他の拡散符号を用いて前記信号を拡散する、
ことを特徴とする送信方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、送信装置および送信方法に関し、特に送信の時間帯をフレーム毎に動的に割り当てる送信装置および送信方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、伝送効率を向上させると共に伝送遅延時間を削減することができる送信装置および送信方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の送信装置は、信号の送信または再送信のための送信制御を行う制御手段と、送信制御を施された信号を拡散する拡散手段と、拡散された信号を送信する送信手段と、を具備し、前記拡散手段は、再送信する信号を拡散する場合、前記再送信する信号の前回の送信に用いた拡散符号とは異なる拡散符号を用いて、前記再送信する信号の拡散を行う、構成を採る。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の送信方法は、信号を送信または再送信する送信方法において、前記信号を送信するときに、拡散符号を用いて前記信号を拡散し、前記信号を再送信するときに、他の拡散符号を用いて前記信号を拡散する、ようにした。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】