【手続補正書】
【提出日】平成18年2月15日(2006.2.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】電子放出素子の製造方法、並びに該電子放出素子を用いた電子源とフラットテレビの製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  電子放出素子の製造方法であって、
（Ａ）第１の電極と、第２の電極と、該第１の電極と該第２の電極との間を繋ぐ導電性薄膜と、を備えた基体を用意し、前記導電性薄膜に間隙を形成する第１の工程と、
（Ｂ）前記間隙が形成された導電性薄膜上に炭素を含む膜を堆積させるために、有機物質が存在する雰囲気下で、前記第１の電極と前記第２の電極との間に、前記第１の電極の電位よりも前記第２の電極の電位が高くなるような第１電圧パルスと、前記第２の電極の電位よりも前記第１の電極の電位が高くなるような第２電圧パルスとを印加する、第２の工程とを有しており、
前記第１電圧パルスの波高値の絶対値と前記第２電圧パルスの波高値の絶対値が異なる、ことを特徴とする電子放出素子の製造方法。
【請求項２】  電子放出素子の製造方法であって、
（Ａ）第１の電極と、第２の電極と、該第１の電極と該第２の電極との間を繋ぐ導電性薄膜と、を備えた基体を用意し、前記導電性薄膜に間隙を形成する第１の工程と、
（Ｂ）前記間隙が形成された導電性薄膜上に炭素を含む膜を堆積させるために、有機物質が存在する雰囲気下で、前記第１の電極と前記第２の電極との間に、前記第１の電極の電位よりも前記第２の電極の電位が高くなるような第１電圧パルスと、前記第２の電極の電位よりも前記第１の電極の電位が高くなるような第２電圧パルスとを印加する、第２の工程とを有しており、
前記第１電圧パルスのパルス幅と前記第２電圧パルスのパルス幅が異なる、ことを特徴とする電子放出素子の製造方法。
【請求項３】  電子放出素子の製造方法であって、
（Ａ）第１の電極と、第２の電極と、該第１の電極と該第２の電極との間を繋ぐ導電性薄膜と、を備えた基体を用意し、前記導電性薄膜に間隙を形成する第１の工程と、
（Ｂ）前記間隙が形成された導電性薄膜上に炭素を含む膜を堆積させるために、有機物質が存在する雰囲気下で、前記第１の電極と前記第２の電極との間に、前記第１の電極の電位よりも前記第２の電極の電位が高くなるような第１電圧パルスと、前記第２の電極の電位よりも前記第１の電極の電位が高くなるような第２電圧パルスとを印加する、第２の工程とを有しており、
前記第１電圧パルスの総印加時間と前記第２電圧パルスの総印加時間が異なる、ことを特徴とする電子放出素子の製造方法。
【請求項４】  前記有機物質がニトリル化合物であることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電子放出素子の製造方法。
【請求項５】  前記ニトリル化合物がトルニトリルあるいはアクリロニトリルであることを特徴とする、請求項４に記載の電子放出素子の製造方法。
【請求項６】  複数の電子放出素子を備える電子源の製造方法であって、前記複数の電子放出素子の各々が、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の製造方法によって製造されることを特徴とする電子源の製造方法。
【請求項７】  電子源と、該電子源から放出された電子の照射によって発光する蛍光体とを備えるフラットテレビの製造方法であって、前記電子源が請求項６に記載の製造方法によって製造されることを特徴とするフラットテレビの製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
即ち、本発明の電子放出素子の製造方法は、
（Ａ）第１の電極と、第２の電極と、該第１の電極と該第２の電極との間を繋ぐ導電性薄膜と、を備えた基体を用意し、前記導電性薄膜に間隙を形成する第１の工程と、
（Ｂ）前記間隙が形成された導電性薄膜上に炭素を含む膜を堆積させるために、有機物質が存在する雰囲気下で、前記第１の電極と前記第２の電極との間に、前記第１の電極の電位よりも前記第２の電極の電位が高くなるような第１電圧パルスと、前記第２の電極の電位よりも前記第１の電極の電位が高くなるような第２電圧パルスとを印加する、第２の工程とを有しており、
前記第１電圧パルスの波高値の絶対値と前記第２電圧パルスの波高値の絶対値が異なる、ことを特徴とする。
また、本発明の電子放出素子の製造方法は、
（Ａ）第１の電極と、第２の電極と、該第１の電極と該第２の電極との間を繋ぐ導電性薄膜と、を備えた基体を用意し、前記導電性薄膜に間隙を形成する第１の工程と、
（Ｂ）前記間隙が形成された導電性薄膜上に炭素を含む膜を堆積させるために、有機物質が存在する雰囲気下で、前記第１の電極と前記第２の電極との間に、前記第１の電極の電位よりも前記第２の電極の電位が高くなるような第１電圧パルスと、前記第２の電極の電位よりも前記第１の電極の電位が高くなるような第２電圧パルスとを印加する、第２の工程とを有しており、
前記第１電圧パルスのパルス幅と前記第２電圧パルスのパルス幅が異なる、ことを特徴とする。
さらに、本発明の電子放出素子の製造方法は、
（Ａ）第１の電極と、第２の電極と、該第１の電極と該第２の電極との間を繋ぐ導電性薄膜と、を備えた基体を用意し、前記導電性薄膜に間隙を形成する第１の工程と、
（Ｂ）前記間隙が形成された導電性薄膜上に炭素を含む膜を堆積させるために、有機物質が存在する雰囲気下で、前記第１の電極と前記第２の電極との間に、前記第１の電極の電位よりも前記第２の電極の電位が高くなるような第１電圧パルスと、前記第２の電極の電位よりも前記第１の電極の電位が高くなるような第２電圧パルスとを印加する、第２の工程とを有しており、
前記第１電圧パルスの総印加時間と前記第２電圧パルスの総印加時間が異なる、ことを特徴とする。
さらに、本発明は、複数の電子放出素子を備える電子源の製造方法であって、前記複数の電子放出素子の各々が、本発明の電子放出素子の製造方法によって製造されることを特徴とする電子源の製造方法、及び、電子源と、該電子源から放出された電子の照射によって発光する蛍光体とを備えるフラットテレビの製造方法であって、前記電子源が上記電子源の製造方法によって製造されることを特徴とするフラットテレビの製造方法を提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
【作用】
本発明による電子放出素子及び電子源によれば、上方に位置する堆積物に高電位を印加した場合には、放出電子が上方に向かって放出され、この時、電子放出部は導電性薄膜とは同一平面上には位置していないため、下方に位置する堆積物から放出された電子は上方の堆積物を透過し、上方に向かって飛翔するため、上方に配置されるアノード電極に到達する電子の量（放出電流Ｉe）が増え、高い電子放出効率が安定して得られる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１７】
次に、本発明における炭素を含有する堆積物２１ａ、２１ｂの炭素について説明する。