【事件の表示】
　平成６年特許願第２２１１６１号「乾燥処理装置」拒絶査定に対する審判事件〔平成８年３月８日出願公開、特開平８−６１８５３、請求項の数（４）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成６年８月２３日の出願であって、その請求項１ないし４に係る発明（以下、「本願発明１ないし４」という。）は、拒絶査定後である平成１２年９月２７日付けの手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された次の事項により特定されるとおりのものであると認める。
「【請求項１】被処理体を収容する処理室内の下方に処理液を貯留する液貯留部を有し、この液貯留部の処理液を加熱して発生する蒸気を前記被処理体に接触させて被処理体を乾燥させる乾燥処理装置において、吸引管部と戻り管部が前記処理室の側壁部を貫通して前記液貯留部に導かれて処理液を循環させる液循環管と、この液循環管に介設された循環ポンプ及び処理液中に混入する不純物を除去する不純物除去手段と、前記循環ポンプを前記処理液の昇温時に制御する制御部とを備え、前記液循環管には、処理液を補給する液補給管が前記不純物除去手段の上流側に接続されていることを特徴とする乾燥処理装置。
　【請求項２】被処理体を収容する処理室内の下方に処理液を貯留する液貯留部を有し、この液貯留部の処理液を加熱して発生する蒸気を前記被処理体に接触させて被処理体を乾燥させる乾燥処理装置において、前記処理室外から液貯留部に導入されて処理液を循環させる液循環管と、この液循環管に介設された循環ポンプ及び処理液中に混入する不純物を除去する不純物除去手段と、前記循環ポンプを前記液貯留部内に貯留される処理液の液位を検出する液位センサの検出信号に基づいて制御する制御部とを備え、前記液循環管には、処理液を補給する液補給管が前記不純物除去手段の上流側に接続され、前記処理液の液位が設定液位を下回ったことが前記液位センサにより検出された際に、前記制御部により前記液補給管の開閉弁が開弁されると共に、前記循環ポンプが駆動されるように形成されることを特徴とする乾燥処理装置。
　【請求項３】前記循環ポンプ、不純物除去手段及び制御部をまとめて収容したケーシングを備えていることを特徴とする請求項１又は２記載の乾燥処理装置。
　【請求項４】前記循環ポンプの制御を、液貯留部内への処理液の補給と共に行うようにしたことを特徴とする請求項１記載の乾燥処理装置。」
２．引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用した、実願昭６３−６９７２号（実開平１−１１４０９０号）のマイクロフィルム（以下、「刊行物１」という。）には、「洗浄槽内に搬入された被洗浄物を溶剤蒸気で洗浄する蒸気洗浄装置において、洗浄槽内に上面が開口した容器を配置し、この容器内に被洗浄物を収納して溶剤蒸気で被洗浄物の表面を洗浄することを特徴とする蒸気洗浄装置。」（実用新案登録請求の範囲）に関して、「本考案に係る蒸気洗浄装置５０は、第１図に示すように、・・・（中略）・・・。回収されたＩＰＡは、供給ポンプ７４からフィルタ７６に送られて、ウエハ６８の表面から剥離された固形粒子を除去し、洗浄槽５２に戻される。」（第５頁第４行〜第７頁第２行）との記載が図面とともに示されている。
　同じく特開平４−１５５９２４号公報（以下、「刊行物２」という。）には、「処理室内を揮発性処理液の蒸気雰囲気にし、該蒸気雰囲気に被処理物を晒すことにより、該被処理物の乾燥を行うように構成された蒸気乾燥装置において、前記処理室内に滞留した前記揮発性処理液を精製し、該精製された流体を前記処理室内に帰還させるための循環脱水精製手段を設け、そして前記循環脱水精製手段は、前記滞留した揮発性処理液を気化するための蒸発部と、該蒸発部にて生成された蒸気を脱水分離器で脱水処理するための脱水部と、該脱水処理された蒸気を蒸留するための蒸留部とを少なくとも備えていることを特徴とする蒸気乾燥装置。」（特許請求の範囲（１））に関して、「第１図は、本発明に係る蒸気乾燥装置の第１実施例を示すものである。・・・（中略）・・・。第３図は、処理室１内のＩＰＡ液の純度の経時変化について、本実施例と従来装置との比較を示したものである。・・・（中略）・・・その後は略その高純度で略一定に保たれることが理解できる。・・・（中略）・・・。第４図は第２実施例を示すものであり、前記循環脱水精製部において、蒸留塔１８の塔頂部を帰還導管１９を介して処理室１内と連通させ、（又、必要であれば、前記給液導管７と前記吸入導管１２との間に分岐導管２０を設け、前記ＩＰＡ供給部６からの未使用のＩＰＡ液についても蒸留を行うように構成し、）該帰還導管１９の先端部から前記蒸留塔１８の塔頂部で得られる高純度のＩＰＡ蒸気の一部を直接放出するようにしたものである。」（公報第３頁左下欄第３行〜第４頁右下欄第１０行）との記載が図面とともに示されている。
　同じく特開平４−１９９７１５号公報（以下、「刊行物３」という。）には、「被処理物をイソプロピルアルコールの蒸気に曝すことによって、前記被処理物の表面の水分を除去する半導体乾燥装置であって、イソプロピルアルコールを貯留した容器の外部に前記イソプロピルアルコール中の水分を分離するためのパーベーパレーション膜モジュールを設けたことを特徴とする半導体乾燥装置。」（特許請求の範囲１．）に関して、「本発明による半導体乾燥装置の一例を第１図に示す。・・・（中略）・・・、上記排気によって容器３内のＩＰＡ４が減少すると、減少した分だけのＩＰＡがこの補給管９を通って補給タンク１０から容器３内に補充される。・・・（中略）・・・。パーベーパレーション膜モジュール１３と容器の底部とは、吸引ポンプ１４を備えた配管１５によって接続されており、ウエハ１１の表面の水分を取り込んだＩＰＡ４は、この配管１５を通ってパーベーパレーション膜モジュール１３に送られる。」（第３頁左上欄第５行〜同左下欄第１行）との記載が図面とともに示され、第１図からみて、補給管は、循環用の配管とは別個に設けられていることが理解できる。
　また、本願出願前に頒布された刊行物である、特開昭６２−２４５６３９号公報（以下、「刊行物４」という。）には、「被処理物を治具で保持した状態でベーパ槽内に投入することにより被処理物を乾燥させるベーパ乾燥装置であって、被処理物物を保持している前記治具を加熱する加熱手段を備えていることを特徴とするベーパ乾燥装置」（特許請求の範囲）に関して、「ベーパ槽３の内部には、例えばイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、・・・等の有機溶剤６が収容されており、これは本体１の外部から給液管７によって供給されるようになっている。・・・（中略）・・・また、このベーパ槽３内の有機溶剤６の液面より上方には上部を開口したトレー９が滴下して来る水滴を受け得るように設置されており、このトレー９の底部には本体１の外部へ連通する排液管１０が接続されている。」（第２頁右上欄第１９行〜同左下欄第１４行）との記載が図面とともに示されている。
　同じく、本願出願前に頒布された刊行物である、特開平３−４１７３０号公報（以下、「刊行物５」という。）には、純水ベーパ乾燥方法に関して、「実施例では、更に純水槽２の周囲に、純水溜２から溢流した水又は容器１内で凝結しかつ落下した水分を受ける溢流溜１７があり、この溢流溜１７の純水は純水循環ポンプ１８及びフィルタ１９により純水溜２に戻される。」（第３頁左上欄第１０〜第１４行）との記載が図面とともに示されている。
３．対比・判断
（本願発明１について）
　本願発明１（前者）と上記各刊行物記載のもの（後者）とを対比すると、前者が、吸引管部と戻り管部が前記処理室の側壁部を貫通して前記液貯留部に導かれて処理液を循環させる液循環管とを具備する乾燥処理装置において、処理液の昇温時に制御する制御部を備えた構成を有しているのに対して、後者のいずれにも該構成を有するものがない点で相違している。
　上記刊行物のうち、刊行物２記載の乾燥装置（「蒸気乾燥装置」として記載されている。）においては、第３図の記載からみて、ＩＰＡ純度を保つために、何らかの契機に基づいて制御する構成を具備しているものと理解できる。そして、刊行物４及び刊行物５に記載された乾燥処理装置は、処理室（それぞれ「ベーパ槽」、「純水沸騰槽、溢流溜」として記載されている。）の側壁部を貫通するものである。また、刊行物２記載のものにおいて、刊行物４および５記載の技術を適用して、処理室の側壁部から処理液を導入／導出するものとすること自体に格別の困難性は認められない。
　しかし、刊行物２記載の乾燥装置は、処理液を被処理体の上部から環流させるものであり、環流している期間は制御駆動は停止しているものと考えられることから、処理液の昇温を契機として制御しているものとは考えにくい。
　したがって、上記構成は、刊行物２記載のもの及び、刊行物４ないし刊行物５記載の技術から当業者が容易に想到しえたものとすることはできない。。
　そして、本願発明１は、上記構成を具備することにより、明細書記載の「処理液中の不純物の除去を定期的にかつ確実に行うことができる。」、「装置の小型化が及びコストの低減が図れる。」という効果を奏するものと認められる。
　したがって、本願発明１は、各刊行物記載のものから、当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
（本願発明２について）
　本願発明２（前者）と上記各刊行物記載のもの（後者）とを対比すると、前者が、液貯留部内に貯留される処理液の液位を検出する液位センサの検出信号に基づいて制御する制御部を備えた構成を有しているのに対して、後者のいずれにも該構成を有するものがない点で相違している。
　そして、本願発明２は、上記構成を具備することにより、明細書記載の「処理液中の不純物の除去を定期的にかつ確実に行うことができる。」という効果を奏するものである。
　したがって、本願発明２は、各刊行物記載のものから、当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
（本願発明３について）
　本願発明３は、本願発明１又は２に、「前記循環ポンプ、不純物除去手段及び制御部をまとめて収容したケーシングを備えている」との技術的限定を付したものである。
　したがって、本願発明３は、上記（本願発明１について）又は（本願発明２について）でみたのと同様の理由により各刊行物記載のものから、当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
（本願発明４について）
　本願発明４は、本願発明１に、「前記循環ポンプの制御を、液貯留部内への処理液の補給と共に行うようにした」との技術的限定を付したものである。
　したがって、本願発明４は、上記（本願発明１について）でみたのと同様の理由により各刊行物記載のものから、当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
４．むすび
　以上のとおり、本願については、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。