【手続補正書】
【提出日】平成18年1月18日(2006.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液滴吐出ヘッド及びその製造方法、マイクロデバイス、インクジェットヘッド、インクカートリッジ並びにインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンウエハから分離形成したチップを含む液滴吐出ヘッドにおいて、前記チップは前記シリコンウエハの分離線上に一部にウエハを貫通するスリットを設けた状態で分離されたものであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記チップは前記スリットが設けられている方向がチョッパダイシングで分離され、他の方向がダイシングで分離されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記チップの端面に０．５μｍ以下の段差があることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記スリットの長さＬは、ダイシングブレードの半径をｒ、ウエハの厚さをｔ、としたとき、次の（１）式を満たすことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【数１】
2004050716.tif 000001
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記チップは（１１０）面方位のシリコンウェハから形成され、前記スリットは前記（１１０）面方位のシリコンウェハの＜１１２＞方向の線でエッチングにより形成されたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記チップが液室を形成する液室形成部材、ノズルを形成するノズル部材、電極を設ける電極形成部材の少なくともいずれかであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
シリコンウエハに形成したチップを含む液滴吐出ヘッドを製造する方法において、前記シリコンウエハのチップ分離線上の一部にウエハを貫通するスリットを設けた後複数の前記チップを分離形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記スリットを設けた方向をチョッパダイシングで、他の方向をダイシングで分離して、前記チップを形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、分離後の前記チップの端部に前記スリットで生じる段差が０．５μｍ以下になることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
請求項７ないし９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、シリコンウエハに形成する前記スリットの長さＬは、ダイシングブレードの半径をｒ、ウエハの厚さをｔ、としたとき、次の（１）式を満たすことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【数２】
2004050716.tif 000002
【請求項１１】
請求項７ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、（１１０）面方位のシリコンウェハの＜１１２＞方向の線でエッチングにより前記スリットを形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
請求項７乃至１１のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、一方の分離線と平行方向のチップの列の少なくとも一列のチップが前記分離線と平行方向に他のチップの列に対してずらして配置されることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
請求項７乃至１２のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記スリットの形成とチップ構造体の形成を同時に行うことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
シリコンウエハから分離形成したチップを含むマイクロデバイスにおいて、前記チップは前記シリコンウエハの分離線上に一部にウエハを貫通するスリットを設けた状態で分離されたものであることを特徴とするマイクロデバイス。
【請求項１５】
インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室と、この液室内のインクを加圧する圧力を発生するための駆動手段とを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記請求項７ないし１３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法で製造されたものであることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１６】
インク滴を吐出するインクジェットヘッドとこのインクジェットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジにおいて、前記インクジェットヘッドが請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項１７】
インク滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが請求項１ないし６のいずれかの液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項１８】
液滴吐出ヘッドを備えた画像形成装置において、前記請求項１ないし６のいずれかの液滴吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【請求項１９】
液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する装置において、前記請求項１ないし６のいずれかの液滴吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液滴を吐出する装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は液滴吐出ヘッド及びその製造方法、マイクロデバイス、インクジェットヘッド、インクカートリッジ並びにインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ウェハ内のチップ配列の自由度をあげることによってチップ取り数を増やし、かつ突き当てなどの簡易な位置合わせが可能なチップを歩留まり良く低コストで製造した、液滴吐出ヘッド及びその製造方法、マイクロデバイス、液滴吐出ヘッド、この液滴吐出ヘッドを一体化したインクカートリッジ、並びに液滴吐出ヘッドを搭載したインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
本発明に係るインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置は、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載した本発明に係る液滴を吐出する装置を含む本発明に係る画像形成装置としてのインクジェット記録装置の一例について図２１及び図２２を参照して説明する。なお、図２１は同記録装置の斜視説明図、図２２は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
なお、上記実施形態においては、液滴吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドとして、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。また、マイクロデバイスとしては、液滴吐出ヘッドで説明したが、マイクロポンプ、マイクロ光アレイ、マイクロスイッチ（マイクロリレー）、マルチ光学レンズのアクチュエータ（光スイッチ）、マイクロ流量計、圧力センサなどにも適用できる。また、前述したようにプリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像形成装置及び液滴を吐出する装置にも本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
本発明に係るインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたので、製造不良が減少し、低コスト化を図ることができる。