【手続補正書】
【提出日】平成18年7月10日(2006.7.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】回転駆動機構及び被検査体の載置機構並びに検査装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の載置台を回転させる回転駆動機構において、
移動体と、
上記載置台の側方において、モータの駆動力により上記移動体を直進移動させる駆動軸を有する直進駆動機構と、
上記移動体を直進方向へ案内するためのガイドレールを有するガイド機構と、
上記移動体と上記載置台とを連結し且つ上記移動体の直進移動を上記載置台の回転動に変換する連結機構と、を備えた
ことを特徴とする回転駆動機構。
【請求項２】
上記直進駆動機構における上記駆動軸はボールネジであり、
上記移動体は、その内部に上記ボールネジに螺合する溝が形成された貫通孔を有し、
上記連結機構は、その両端が上記載置台と上記移動体に連結されたリンク機構である
ことを特徴とする請求項１に記載の回転駆動機構。
【請求項３】
上記直進駆動機構における上記駆動軸はボールネジであり、
上記移動体は、その内部に上記ボールネジに螺合する溝が形成された貫通孔を有し、
上記連結機構は、上記載置台に一端が連結されたスプライン軸と、このスプライン軸の他端に一端が連結されたリンク機構と、このリンク機構の他端に連結され且つ上記移動体に立設された支持軸と、を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の回転駆動機構。
【請求項４】
上記ガイドレールは、上記移動体の下部と係合するＬＭガイドである
ことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の回転駆動機構。
【請求項５】
被検査体の載置台を回転させる回転駆動機構において、
移動体と、
上記載置台の側方において、上記移動体を直進移動させる駆動軸を有する直進駆動手段と、
上記移動体を直進方向へ案内するためのガイド手段と、
上記移動体と上記載置台とを連結し且つ上記移動体の直進移動を上記載置台の回転動に変換する連結手段と、を備えた
ことを特徴とする回転駆動機構。
【請求項６】
被検査体を載置する載置台と、
この載置台を正逆回転可能に支持する支持台と、
この支持台上で上記載置台を正逆回転させる回転駆動機構と、
上記支持台での上記載置台を昇降案内する昇降案内機構と、を備え、且つ、
上記支持台は、上記載置台を支持台上に真空力により吸着固定するための真空排気路を有する真空吸着機構を備えた
ことを特徴とする被検査体の載置機構。
【請求項７】
上記支持台は、上記載置台を気体圧力により上記支持台から浮上させるための、及び上記気体圧力を解除して上記載置台を上記支持台上に着地させるための、気体給排路を有する昇降機構を備えた
ことを特徴とする請求項６に記載の被検査体の載置機構。
【請求項８】
上記真空吸着機構は、上記支持台上面に設けられ且つ上記載置台下面と接触して上記支持台と上記載置台との間に密閉空間を作る突起壁部と、上記支持台上面で且つ上記突起壁部に囲まれた内側で開口する真空排気路と、を有し、
上記昇降機構は、上記支持台上面に形成された突起部と、この突起部において開口する気体供給路と、を有する
ことを特徴とする請求項７に記載の被検査体の載置機構。
【請求項９】
上記支持台上面の外周近傍に、上記載置台を真空吸着する時に上記載置台を着地させるための突起部を設けたことを特徴とする請求項７に記載の被検査体の載置機構。
【請求項１０】
上記真空吸着機構と上記昇降機構の少なくとも一方を、上記突起部として設けたことを特徴とする請求項８に記載の被検査体の載置機構。
【請求項１１】
上記真空吸着機構と上記昇降機構は、上記支持台の周方向に等間隔に配置されていることを特徴とする請求項８に記載の被検査体の載置機構。
【請求項１２】
上記昇降案内機構は、上記載置台及び上記支持台のうちの一つに軸支された軸と、上記載置台及び上記支持台のうちの他の一つに固定され且つ上記軸が昇降可能に係合する係合部材と、を備えたことを特徴とする請求項６〜請求項１１のいずれか１項に記載の被検査体の載置機構。
【請求項１３】
上記昇降案内機構は、上記載置台及び上記支持台のうちの一つに正逆回転自在に軸支されたスプライン軸と、上記載置台及び上記支持台のうちの他の一つに固定され且つ上記スプライン軸に噛み合った状態で移動する係合部材とを備えたことを特徴とする請求項６〜請求項１１のいずれか１項に記載の被検査体の載置機構。
【請求項１４】
上記回転駆動機構は、
移動体と、
上記載置台の側方において、モータの駆動力により上記移動体を直進移動させる駆動軸を有する直進駆動機構と、
上記移動体を直進方向へ案内するためのガイドレールを有するガイド機構と、
上記移動体と上記載置台とを連結し且つ上記移動体の直進移動を上記載置台の回転動に変換する連結機構と、を備えた
ことを特徴とする請求項６〜請求項１３のいずれか１項に記載の被検査体の載置機構。
【請求項１５】
上記駆動軸はボールネジであり、
上記移動体は、その内部に上記ボールネジに螺合する溝が形成された貫通孔を有し、
上記連結機構は、その両端が上記載置台と上記移動体に連結されたリンク機構である
ことを特徴とする請求項１４に記載の被検査体の載置機構。
【請求項１６】
上記駆動軸はボールネジであり、
上記移動体は、その内部に上記ボールネジに螺合する溝が形成された貫通孔を有し、
上記連結機構は、上記載置台に一端が連結されたスプライン軸と、このスプライン軸の他端に一端が連結されたリンク機構と、このリンク機構の他端に連結され且つ上記移動体に立設された支持軸と、を有する
ことを特徴とする請求項１４に記載の被検査体の載置機構。
【請求項１７】
上記ガイドレールは、上記移動体の下部と係合するＬＭガイドであることを特徴とする請求項１４〜１６のいずれか１項に記載の被検査体の載置機構。
【請求項１８】
被検査体を載置する載置手段と、
この載置手段を正逆回転可能に支持する支持手段と、
上記支持手段上で上記載置手段を正逆回転させる回転駆動手段と、
上記支持手段上で上記載置手段の昇降を案内する昇降案内手段と、を備え、
上記支持手段は、上記載置手段を上記支持手段上に吸着固定する真空吸着手段と、上記載置手段を上記支持手段から浮上させる昇降手段と、を有する
ことを特徴とする被検査体の載置機構。
【請求項１９】
被検査体に形成された集積回路を検査する検査装置において、
上記被検査体を載置する載置台と、
上記載置台を正逆回転可能に支持する支持台と、
上記支持台上で上記載置台を正逆回転させる回転駆動機構と、を備え、
上記支持台は、上記載置台を上記支持台上に真空力により吸着固定する真空吸着機構と、上記載置台を上記支持台から浮上させるための気体供給路を有する昇降機構と、を有し、更に、
上記真空吸着機構は、上記支持台上面に設けられ且つ上記載置台下面と接触して上記支持台と上記載置台との間に密閉空間を作る突起壁部と、上記支持台上面で且つ上記突起壁部に囲まれた内側で開口する真空排気路と、を有し、
上記昇降機構は、上記支持台上面に形成された突起部と、この突起部において開口する気体供給路と、を有し、
また、上記回転駆動機構は、上記載置台の側方において、モータの駆動力により回転されるボールネジを有する直進駆駆動機構と、内部に上記ボールネジに螺合する溝が形成された貫通孔を有する移動体と、上記移動体を直進方向に案内するガイドレールと、上記移動体と上記載置台とを連結し且つ上記移動体を上記載置台の回転動に変換する連結機構と、を有し、更に、
上記連結機構は、上記載置台に一端が連結されたスプライン軸と、上記スプライン軸の他端に一端が連結されたリンク機構と、上記リンク機構の他端に連結され且つ上記移動体に立設された支持軸とを有する
ことを特徴とする検査装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転駆動機構及び被検査体の載置機構に関し、更に詳しくは、被検査体の検査時に、被検査体の載置台のθ方向の位置ズレをより確実に防止することができ、また、検査時にプローブ端子の検査位置からの位置ズレをより確実に防止することができる回転駆動機構及び被検査体の載置機構並びにこれらの機構を備えた検査装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
図１０のθ回転駆動機構８は、モータ８Ａと、モータ８Ａに連結されたボールネジ８Ｂと、ボールネジ８Ｂと螺合するナット８Ｃと、ナット８Ｃとチャックトップ５Ａ間をたすき掛け状態で連結するベルト８Ｄとを有し、ナット８Ｃの移動によりベルト８Ｄを介してチャックトップ５Ａが矢印θ１方向で正逆回転する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
また、図１１のθ回転駆動機構９は、モータ９Ａと、モータ９Ａに連結されたボールネジ９Ｂと、ボールネジ９Ｂと螺合し且つチャックトップ５Ａに連結されたナット９Ｃと、ボールネジ９Ｂを矢印θ２方向で揺動自在に支持する支持体９Ｄとを有し、ナット９Ｃの移動によりチャックトップ５Ａが矢印θ１方向で正逆回転すると共にボールネジ９Ｂが矢印θ２方向に揺動する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載の回転駆動機構は、被検査体の載置台を回転させる回転駆動機構において、移動体と、上記載置台の側方において、モータの駆動力により上記移動体を直進移動させる駆動軸を有する直進駆動機構と、上記移動体を直進方向へ案内するためのガイドレールを有するガイド機構と、上記移動体と上記載置台とを連結し且つ上記移動体の直進移動を上記載置台の回転動に変換する連結機構と、を備えたことを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明の請求項２に記載の回転駆動機構は、請求項１に記載の発明において、上記直進駆動機構における上記駆動軸はボールネジであり、上記移動体は、その内部に上記ボールネジに螺合する溝が形成された貫通孔を有し、上記連結機構は、その両端が上記載置台と上記移動体に連結されたリンク機構であることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項３に記載の回転駆動機構は、請求項１に記載の発明において、上記直進駆動機構における上記駆動軸はボールネジであり、上記移動体は、その内部に上記ボールネジに螺合する溝が形成された貫通孔を有し、上記連結機構は、上記載置台に一端が連結されたスプライン軸と、このスプライン軸の他端に一端が連結されたリンク機構と、このリンク機構の他端に連結され且つ上記移動体に立設された支持軸と、を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項４に記載の回転駆動機構は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記ガイドレールは、上記移動体の下部と係合するＬＭガイドであることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項５に記載の回転駆動機構は、被検査体の載置台を回転させる回転駆動機構において、移動体と、上記載置台の側方において、上記移動体を直進移動させる駆動軸を有する直進駆動手段と、上記移動体を直進方向へ案内するためのガイド手段と、上記移動体と上記載置台とを連結し且つ上記移動体の直進移動を上記載置台の回転動に変換する連結手段と、を備えたことを特徴とするものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の請求項６に記載の被検査体の載置機構は、被検査体を載置する載置台と、この載置台を正逆回転可能に支持する支持台と、この支持台上で上記載置台を正逆回転させる回転駆動機構と、上記支持台での上記載置台を昇降案内する昇降案内機構と、を備え、且つ、上記支持台は、上記載置台を支持台上に真空力により吸着固定するための真空排気路を有する真空吸着機構を備えたことを特徴とするものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明の請求項７に記載の被検査体の載置機構は、請求項６に記載の発明において、上記支持台は、上記載置台を気体圧力により上記支持台から浮上させるための、及び上記気体圧力を解除して上記載置台を上記支持台上に着地させるための、気体給排路を有する昇降機構を備えたことを特徴とするものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明の請求項８に記載の被検査体の載置機構は、請求項７に記載の発明において、上記真空吸着機構は、上記支持台上面に設けられ且つ上記載置台下面と接触して、上記支持台と上記載置台との間に密閉空間を作る突起壁部と、上記支持台上面で且つ上記突起壁部に囲まれた内側で開口する真空排気路と、を有し、上記昇降機構は、上記支持台上面に形成された突起部と、この突起部において開口する気体供給路と、を有することを特徴とするものである。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明の請求項９に記載の被検査体の載置機構は、請求項７に記載の発明において、上記支持台上面の外周近傍に、上記載置台を真空吸着する時に上記載置台を着地させるための突起部を設けたことを特徴とするものである。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明の請求項１０に記載の被検査体の載置機構は、請求項８に記載の発明において、上記真空吸着機構と上記昇降機構の少なくとも一方を、上記突起部として設けたことを特徴とするものである。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明の請求項１１に記載の被検査体の載置機構は、請求項８に記載の発明において、上記真空吸着機構と上記昇降機構は、上記支持台の周方向に等間隔に配置されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１２に記載の被検査体の載置機構は、請求項６〜請求項１１のいずれか１項に記載の発明において、上記昇降案内機構は、上記載置台及び上記支持台のうちの一つに軸支された軸と、上記載置台及び上記支持台のうちの他の一つに固定され且つ上記軸が昇降可能に係合する係合部材と、を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１３に記載の被検査体の載置機構は、請求項６〜請求項１１のいずれか１項に記載の発明において、上記昇降案内機構は、上記載置台及び上記支持台のうちの一つに正逆回転自在に軸支されたスプライン軸と、上記載置台及び上記支持台のうちの他の一つに固定され且つ上記スプライン軸に噛み合った状態で移動する係合部材とを備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１４に記載の被検査体の載置機構は、請求項６〜請求項１３のいずれか１項に記載の発明において、上記回転駆動機構は、移動体と、上記載置台の側方において、モータの駆動力により上記移動体を直進移動させる駆動軸を有する直進駆動機構と、上記移動体を直進方向へ案内するためのガイドレールを有するガイド機構と、上記移動体と上記載置台とを連結し且つ上記移動体の直進移動を上記載置台の回転動に変換する連結機構と、を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１５に記載の被検査体の載置機構は、請求項１４に記載の発明において、上記駆動軸はボールネジであり、上記移動体は、その内部に上記ボールネジに螺合する溝が形成された貫通孔を有し、上記連結機構は、その両端が上記載置台と上記移動体に連結されたリンク機構であることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１６に記載の被検査体の載置機構は、請求項１４に記載の発明において、上記駆動軸はボールネジであり、上記移動体は、その内部に上記ボールネジに螺合する溝が形成された貫通孔を有し、上記連結機構は、上記載置台に一端が連結されたスプライン軸と、このスプライン軸の他端に一端が連結されたリンク機構と、このリンク機構の他端に連結され且つ上記移動体に立設された支持軸と、を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１７に記載の被検査体の載置機構は、請求項１４〜１６のいずれか１項に記載の発明において、上記ガイドレールは、上記移動体の下部と係合するＬＭガイドであることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１８に記載の被検査体の載置機構は、被検査体を載置する載置手段と、この載置手段を正逆回転可能に支持する支持手段と、上記支持手段上で上記載置手段を正逆回転させる回転駆動手段と、上記支持手段上で上記載置手段の昇降を案内する昇降案内手段と、を備え、上記支持手段は、上記載置手段を上記支持手段上に吸着固定する真空吸着手段と、上記載置手段を上記支持手段から浮上させる昇降手段と、を有することを特徴とするものである。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明の請求項１９に記載の検査装置は、被検査体に形成された集積回路を検査する検査装置において、上記被検査体を載置する載置台と、上記載置台を正逆回転可能に支持する支持台と、上記支持台上で上記載置台を正逆回転させる回転駆動機構と、を備え、上記支持台は、上記載置台を上記支持台上に真空力により吸着固定する真空吸着機構と、上記載置台を上記支持台から浮上させるための気体供給路を有する昇降機構と、を有し、更に、上記真空吸着機構は、上記支持台上面に設けられ且つ上記載置台下面と接触して上記支持台と上記載置台との間に密閉空間を作る突起壁部と、上記支持台上面で且つ上記突起壁部に囲まれた内側で開口する真空排気路と、を有し、上記昇降機構は、上記支持台上面に形成された突起部と、この突起部において開口する気体供給路と、を有し、また、上記回転駆動機構は、上記載置台の側方において、モータの駆動力により回転されるボールネジを有する直進駆駆動機構と、内部に上記ボールネジに螺合する溝が形成された貫通孔を有する移動体と、上記移動体を直進方向に案内するガイドレールと、上記移動体と上記載置台とを連結し且つ上記移動体を上記載置台の回転動に変換する連結機構と、を有し、更に、上記連結機構は、上記載置台に一端が連結されたスプライン軸と、上記スプライン軸の他端に一端が連結されたリンク機構と、上記リンク機構の他端に連結され且つ上記移動体に立設された支持軸と、を有することを特徴とするものである。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
図４〜図６は本発明の回転駆動機構を適用した載置機構を示す図である。本実施形態の載置機構１０は、図４〜図６に示すように、チャックトップ１１、支持台１２、昇降案内機構１６及びθ回転駆動機構１８とを備え、θ回転駆動機構１８を除き、図１、図２に示す載置機構に準じて構成されている。上記支持台１２は図６に示すようにθテーブル１２Ａ及びベースプレート１２Ｂからなっている。尚、図示してないが支持台１２には前述した真空吸着部及び気体供給部が設けられている。また、図６に示すように上記支持台１２の中央には孔１２Ｃが形成され、この孔１２Ｃのやや下方にプレートセンタ１９が水平に設けられている、このプレートセンタ１９上にはアライメント時にチャックトップ１１が支持台１２上で垂直方向に案内する昇降案内機構１６が設けられ、この昇降案内機構１６を介してチャックトップ１１が支持台１２上において僅かな距離を垂直に昇降する。この昇降案内機構１６は、例えば図６に示すように、プレートセンタ１９上の中央に設けられたアンギュラベアリング１６Ａ、スプライン軸１６Ｂ及び係合部材１６Ｃを有し、θ方向のアライメント時にチャックトップ１１が昇降する際に、スプライン軸１６Ｂが係合部材１６Ｃのスプライン直動ガイドに従って垂直方向に昇降案内することでチャックトップ１１を支持台１２上で昇降する。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
【発明の効果】
本発明の請求項１〜請求項５に記載の発明によれば、プローブ端子のコンタクト時におけるθ方向の剛性を高めることができ、チャックトップ（載置台）のθ方向の回転を確実に防止することができ、ひいては検査の信頼性を高めることができる回転駆動機構を提供することができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
また、本発明の請求項６〜請求項１８に記載の発明によれば、プローブ端子のコンタクト時におけるθ方向の剛性を高めることができ、チャックトップ（載置台）のθ方向の回転を確実に防止することができると共に、検査時に載置台の外周近傍に偏荷重が作用しても載置台を常に水平に保持し、ひいては検査の信頼性を高めることができる被検査体の載置機構を提供することができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
また、本発明の請求項１９に記載の発明によれば、プローブ端子のコンタクト時におけるθ方向の剛性を高めることができ、チャックトップ（載置台）のθ方向の回転を確実に防止することができると共に、検査時に載置台の外周近傍に偏荷重が作用しても載置台を常に水平に保持し、ひいては検査の信頼性を高めることができる検査装置を提供することができる。