【手続補正書】
【提出日】平成17年11月15日(2005.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】  明細書
【発明の名称】インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェットヘッドを有する記録装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】インクを収納する圧力室と当該圧力室にインクを供給するインク室を画定し、前記圧力室と前記インク室との間に切り込みを有する圧力室板と、
前記圧力室板の前記圧力室を加圧して当該圧力室内の前記インクを噴射することができる圧力印加部材とを有するインクジェットヘッド。
【請求項２】インクを収納する圧力室と当該圧力室にインクを供給するインク室を画定するとともに複数の要素に分割されている圧力室板と、
前記圧力室板の前記圧力室を加圧して当該圧力室内の前記インクを噴射することができる圧力印加部材とを有するインクジェットヘッド。
【請求項３】インクジェットヘッドと、
当該インクジェットヘッドを駆動する駆動装置とを有する記録装置であって、
前記インクジェットヘッドは、
インクを収納する圧力室と当該圧力室にインクを供給するインク室を画定し、前記圧力室と前記インク室との間に切り込みを有する圧力室板と、
前記圧力室板の前記圧力室を加圧して当該圧力室内の前記インクを噴射することができる圧力印加部材とを有する記録装置。
【請求項４】 インクジェットヘッドと、
当該インクジェットヘッドを駆動する駆動装置とを有する記録装置であって、
前記インクジェットヘッドは、インクを収納する圧力室と当該圧力室にインクを供給するインク室を画定するとともに複数の要素に分割されている圧力室板と、
前記圧力室板の前記圧力室を加圧して当該圧力室内の前記インクを噴射することができる圧力印加部材とを有する記録装置。
【請求項５】インクを収納する圧力室と当該圧力室にインクを供給するインク室を画定するとともに複数の要素に分割されている圧力室板の前記複数の要素の一部の要素と、薄膜と、当該薄膜を介して前記圧力室を加圧することができる圧電素子とを接着する工程と、
少なくとも前記一部の要素と前記薄膜を研磨してノズル接合面を形成する工程と、
前記圧電素子が前記圧力室を加圧した時に当該圧力室内の前記インクを噴射するノズル孔を有するノズル板を前記ノズル接合面に接合する工程と、
前記圧力室板の残りの要素を前記一部の要素に接着する工程とを有するインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般に、電子写真方式の記録装置に係り、特に、インクジェットプリンタに使用されるヘッド（インクジェットヘッド）に関する。本発明のインクジェットヘッドは、ピエゾ型やバブル型のインクジェットプリンタに好適であり、単体のプリンタの他、印刷機能を有する複写機やファクシミリ、コンピュータシステムあるいはワードプロセッサ若しくはこれらの複合機などに広く適用することができる。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットヘッドの中で、例えば、圧電素子を使用するピエゾ型インクジェットヘッドはエネルギー効率が優れているなどの理由から近年ますます注目されてきている。この種のインクジェットヘッドは、典型的に、圧力室板と、薄膜と、圧電素子とからなる三層体にノズル板を接合することによって構成される。圧力室板には、ガラス等の剛性部材などに溝を設けることによって、複数の圧力室と、これに対応する共通インク室と、一のインク供給路が形成される。各圧力室は対応するインク供給路によって共通インク室に接続されて、共通インク室からインクを受け取ると共に圧電素子の変形を利用して内部圧力を高めてこれによりインクをノズルから噴出する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のインクジェットヘッドにおいては圧力室とインク供給路が一体であったため、圧電素子が駆動された際の圧力室内の振動が圧力室板を介して又は直接にインク供給路や共通インク室に伝搬して供給されるインクを振動させ、その後のインクの飛翔（液滴の量や速度など）が不安定になっていた。その結果、従来のインクジェットヘッドは印字品質が劣化するという問題を有していた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
そこで、このような従来の課題を解決する新規かつ有用なインクジェットヘッド及びかかるインクジェットヘッドを有する記録装置を提供することを本発明の概括的な目的とする。本発明のより特定的かつ例示的な目的は、従来よりも高品質な印字を簡単な構造で安価に実現することができるインクジェットヘッド及びその製造方法並びにかかるインクジェットヘッドを有する記録装置を提供することである。
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明の第１の側面のインクジェットヘッドは、インクを収納する圧力室と当該圧力室にインクを供給するインク室を画定し、前記圧力室と前記インク室との間に供給される経路の外側に切り込みを有する圧力室板と、前記圧力室板の前記圧力室を加圧して当該圧力室内の前記インクを噴射することができる圧力印加部材とを有する。かかるインクジェットは、圧力室が加圧された際の圧力室の振動及び／又は変形が圧力室板を介してインク室へ伝搬することを切り込みが防止・低減する。
【０００６】
また、本発明の第２の側面のインクジェットにおいては、前記圧力室板はインクを収納する圧力室と当該圧力室にインクを供給するインク室を画定するとともに複数の要素に分割されている圧力室板に置換されてもよい。かかるインクジェットは、圧力室が加圧された際の圧力室の振動及び／又は変形が圧力室板を介してインク室へ伝搬することを分割された界面で防止・低減する。
【０００７】
また、本発明の記録装置は、いずれかの上述したインクジェットヘッド、当該インクジェットヘッドを駆動する駆動装置とを有する。かかる記録装置も上述したインクジェットヘッドの作用を有する。
【０００８】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、インクを収納する圧力室と当該圧力室にインクを供給するインク室を画定するとともに複数の要素に分割されている圧力室板の前記複数の要素の一部の要素と、薄膜と、当該薄膜を介して前記圧力室を加圧することができる圧電素子とを接着する工程と、少なくとも前記一部の要素と前記薄膜を研磨してノズル接合面を形成する工程と、前記圧電素子が前記圧力室を加圧した時に当該圧力室内の前記インクを噴射するノズル孔を有するノズル板を前記ノズル接合面に接合する工程と、前記圧力室板の残りの要素を前記一部の要素に接着する工程とを有する。かかる製造方法によって製造されたインクジェットも上述した作用を有する。
【０００９】
本発明のインクジェットヘッドはピエゾ型やバブル型インクジェットヘッドとして使用することができ、従って、圧力印加部材は、ピエゾ型に一般に使用される圧電素子でもよいし、バブル型に一般に使用されるヒータでもよい。本発明の他の目的と更なる特徴は、以下、添付図面を参照して説明される実施例において明らかになるであろう。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図１乃至図５を参照して、本発明の第１実施例のインクジェットヘッド１００とその製造方法を説明する。ここで、図１は完成したインクジェットヘッド１００の分解斜視図であり、図２は、図１R>１に示すインクジェットヘッド１００の圧力室板１０の構造を説明するための断面図である。図３は、図２に示す圧力室板１０の構造の代替例を説明するための断面図である。図４は、図３に示す圧力室板を使用したインクジェットヘッドと従来のインクジェットヘッドとの特性の違いを模式的に説明するためのグラフである。また、図５は図１に示すインクジェットヘッド１００の部分拡大側面図である。
【００１１】
図１から分かるように、本発明のインクジェットヘッド１００は、圧力室板１０と、圧電素子２０と、ノズル板３０と、樹脂フィルム４０と、保護層５０とを有する。図５に示すように、圧力室板１０と樹脂フィルム４０と保護層５０は、ノズル板３０の面３０ａが接合される面であるノズル接合面６０において整列している。換言すれば、圧力室板１０の前面１０ａと樹脂フィルム４０の前面４０ａと保護層５０の前面５０ａは、平滑なノズル接合面６０を構成している。圧力室板１０は、略直方体の形状を有するガラス板に、所望の数（図1では便宜上４つ）の圧力室１２とインク導入路１４、並びに、共通インク室１６を有する。しかし、より詳細には、図２に示すように、圧力室板１０は、要素１０ｃと要素１０ｄとに分割され、面１０ｅにおいて両者は弾性接着剤７２によって接着され封止されている。
【００１２】
また、圧力室板１０は、樹脂フィルム４０に弾性接着剤７４によって接着及び封止されている。要素１０ｃと要素１０ｄは、共に、ガラス板などの高剛性材料から構成されている。要素１０ｃは樹脂フィルム４０と共に圧力室１２とインク導入路１４を画定し、要素１０ｄは樹脂フィルム４０と共に共通インク室１６を画定している。なお、選択的に、要素１０ｃは樹脂フィルム４０と共に圧力室１２を画定し、要素１０ｄは樹脂フィルム４０と共にインク導入路１４と共通インク室１６を画定してもよい。要素１０ｃを高剛性材料としたのは、後述するように、圧力室１２の圧力を所望の大きさまで高めてインクをノズル孔３２から噴射するためである。但し、かかる条件が満足される限り、要素１０ｃの材質は問わない。
【００１３】
弾性接着剤７２及び７４は、例えば、東芝シリコン社製ＴＳＥ３９９１ゴム硬度１５°又は１９°、東芝シリコン社製ＴＳＥ３９７５ゴム硬度２０°、信越シリコン社製ＫＥ４４１ゴム硬度２０°等のシリコン接着剤を使用することができる。弾性接着剤７２は、要素１０ｃと要素１０ｄとの間の振動及び／又は変形を吸収する機能を有する。また、弾性接着剤７４は、要素１０ｄと要素樹脂フィルム４０との間の振動及び／又は変形を吸収する機能を有する。
【００１４】
弾性接着剤７２及び７４は、例えば、１００μ程度の厚さと１７ＭＰａ程度の接着強さを有している。接着剤７２及び７４にＧＰａのオーダーの接着強さを有する接着剤を使用すると、後述するように、圧力室１２から共通インク室１６へ振動や変形が伝達してしまう可能性があるので、本実施例のように、ＭＰａのオーダーの接着強さを有する接着剤を接着剤７２及び７４に使用することが好ましい。従来は、圧力室板１０は、要素１０ｃと要素１０ｄとに分割されていない一体構造であった。このため、隣接した圧力室１２（即ち、複数のノズル（ピン））から同時にインクを飛翔させた場合は単ノズル（ピン）からインクを飛翔させる場合に比べてインク液滴の速度や粒子量が減るという問題があった。なお、単ピンによるインクの単独飛翔と複数ピンによる同時飛翔の特性が相違するという現象は「クロストーク」と呼ばれている。
【００１５】
より具体的には、複数のピン（本実施例では圧電体ブロック２１に相当）を同時に駆動した場合の振動や変形が圧力室１２から共通インク室１６に伝搬してまた圧力室１２に帰還するなどして、各ノズルからのインク液滴の速度や粒子量が（例えば、−１５乃至−２０％程度）減少していた。
【００１６】
また、本発明者等は、圧力室１２からインク供給路１４を介して共通インク室１６に至る経路よりも、圧力室１２の上部から圧力室板１０を介して共通インク室１６に至る経路の方が振動等の伝搬に与える影響が大きいことを発見した。この結果、単ノズルで印刷したときよりも複数ノズルで印刷したときの方が印刷の色が薄いなど印字品質（特に、印字色の濃さ）の劣化を招いていた。しかし、本実施例では、圧力室板１０は弾性接着剤７２を介して要素１０ｃと要素１０ｄとに分割されているので、複数のピン各圧力室１２で発生した振動や変形が共通インク室１６に伝搬せず、クロストークが（例えば、−５％乃至０％程度に）減少した。
【００１７】
このように、本発明のインクジェットヘッド１００は、従来よりも高い印字品質を提供することが可能にしている。なお、弾性接着剤７２だけでもある程度クロストークは減少することが期待できるが、弾性接着剤７４があればさらにクロストークを減少することができるので好ましい。本実施例では、圧力室板１０を２つの部材に分割したために、圧力室１２の上部から圧力室板１０を介して共通インク室１６に至る経路が面１０ｅで分断されていることが理解される。しかし、圧力室板１０を完全に２つ又はそれ以上に分断しなくて、従来よりも圧力室１２の変形や振動の伝搬を抑制する方法は幾つかある。
【００１８】
例えば、面１０ａから面１０ｅにおいて内部に切り込み又は溝を入れて、面１０ｅの面積を減少させるなどである。この場合には、かかる切り込みには接着剤などが充填されないほうが好ましい。もちろん切り込みの位置は面１０ｅに限定されるものではないし、切り込みの数も一つに限定されない。例えば、圧力室板１０は、切り込み７６を図３に示すようにその上部に有する圧力室板１０Ａに置換されてもよい。
【００１９】
図３において、切り込み７６の横幅は、例えば、０乃至１７０μｍ程度であり、切り込み７６の底部から直下のインク供給路１６までの距離は、例えば、３００μｍ程度である。切り込み７６は圧力室板１０に外部から設けられている。換言すれば、切り込み７６は、圧力室１２と共通インク室１６との間であってインクが共通インク室１６から圧力室１２に供給される経路上には存在しない。従って、切り込み７６はインク供給路１４に接続されていない。これにより、インクの噴射後に圧力室１２の圧力の減少により次の噴射に使用されるインクが共通インク室１６から供給される。また、切り込み７６からインクが漏れることはない。
【００２０】
図４に、図３に示す圧力室板１０Ａを有するインクジェットヘッド１００Ａと、従来の圧力室板を有するインクジェットヘッドについて、駆動されるピンによるクロストークの違いを模式的に示したグラフである。同グラフより、本発明のインクジェットヘッド１００Ａのクロストークが減少していることが理解される。このように、本発明の弾性接着剤７２及び７４や切り込み７６は、後述するように圧電素子２０が圧力室１２を加圧した際の振動及び／又は変形が共通インク室１６に伝達するのを防止する緩衝部材として機能する。本発明の緩衝部材は、必ずしも共通インク室１６の長手方向に沿った圧力室板１０の幅方向に亘って設けられる必要はない。即ち、所定の圧力室１２（例えば、１つ毎や４つ毎など）と共通インク室の間に設けるなどである。また、本発明の緩衝部材は、その他、圧力室板１０に接触して圧力室１２の振動を吸収する振動吸収部材として構成されてもよい。共通インク室１６の内壁にかかる振動吸収部材を設けたり、変形を防止する異なる剛性を有する部材を配置してもよい。
【００２１】
圧力室１２は、インクを供給されてこれを収納すると共に内部圧力が高まるとインクを開口１２ａに連通されたノズル孔３２から噴射する。内部圧力は、後述するように、直下の圧電体ブロック２１が変形に伴って変化する。圧力室１２は、圧力室板１０上に形成された凹状の溝と弾性変形可能な樹脂フィルム４０により略直方体の空間として形成されている。共通インク室１６は、各圧力室１２にインク導入路１４を介してインクを供給する。共通インク室１６は、圧力室１２の急激な内部圧力変動を吸収するように底面は樹脂フィルム４０で画定されており、圧力室板１０の側面１０ｂにおいて図示しないインク供給装置に接続されている。共通インク室１６は、圧力室１２が収縮加圧されてインクを吐出した後、復帰する際に、インク導入路１４を介して、圧力室１２に必要量のインクを供給する。樹脂フィルム４０は、圧力室１２、共通インク室１６、インク導入路１４の一面を構成し、後述の圧電体ブロック２１の変形を圧力室１２に伝達すると共に圧力室１２内のインクが圧電素子２０の溝２３に侵入するのを防止する機能を果たす。
【００２２】
樹脂フィルム４０は、例えば、１６μ程度の厚さを有し、ＧＰａ程度の接着強さを有している。樹脂フィルム４０は圧力室１２の一面を形成する部材であるが、弾性変形の可能な金属薄膜により構成されてもよい。圧電素子２０は、積層構造を有して、前面２０ａから後面２０ｂに延びる平行な溝２３によって分割された複数（図１R>１では便宜上４つ）の圧電体ブロック２１を有する。各圧電体ブロック２１の積層内には内部電極２２、２４が設けられ、内部電極２２は外部電極２６と、内部電極２４は外部電極２８と接続されている。なお、図１は、作図の便宜上、一の外部電極２８のみを示す。また、図１及び図５以外の図面においては、作図の便宜上、内部電極２２、２４は省略されている。
【００２３】
図５に示すように、内部電極２２と２４とがＡ方向に重なっている部分が活性部２５であり、この活性部２５において、各圧電体ブロック２１は変形する。活性部２５の長さは圧力室１２に加えられるべき圧力に応じて調節される。活性部２５はノズル接合面６０から所定距離だけ離間されているために、それが変形してもノズル接合面６０における圧電素子２０と保護層５０とが接着していることには影響を与えない。外部電極２６は、圧電素子２０の前面２０ａの全面に蒸着された電極層であり、全ての圧電体ブロック２１に共通する外部電極である。外部電極２６はアースされている。これに対して、外部電極２８は、圧電素子２０の後面２０ｂの上にあるが、後面２０ｂの全面に蒸着されてはおらず、各圧電体ブロック２１に対応した位置にのみ個別的に設けられた電極層である。外部電極２８は、通電されなければ電位はゼロであるが、通電されれば正の電圧を内部電極２４に印加することができる。
【００２４】
かかる構造より、圧電素子２０の各圧電体ブロック２１は、外部電極２８に電圧が印加されないと内部電極２２、２４の電位が共にゼロのため変形しない。しかし、外部電極２８から電圧が印可されると、各圧電体ブロック２１は他の圧電体ブロック２１とは独立して、図1のＡ方向（縦方向）に変形可能である。換言すれば、Ａ方向が圧電体ブロック２１の分極方向になる。外部電極２８からの通電が停止すると、すなわち、圧電素子２０に充電された電荷が放電されることにより、対応する圧電体ブロック２１は元の状態に復帰する。本実施例の圧電素子２０は、まず、複数枚のグリーンシート２７を用意する。各グリーンシート２７はセラミックの粉末などの溶剤にまぜて混練してペースト状にし、ドクターブレードにより５０ミクロン程度に薄膜形成する。グリーンシートのうち、３枚のグリーンシートの片方の表面には、それぞれ内部電極２２のパターンが印刷・形成され、３枚のグリーンシートの片方の表面には、それぞれ内部電極２４が印刷・形成され、残りには何も内部電極は形成されない。内部電極２２と２４の印刷は、銀とパラジウムの合金を粉状にしたものに溶剤をまぜてペースト状にしたものを塗布して、パターン形成することによりなされる。
【００２５】
次に、内部電極２２が形成された３枚と内部電極２４が形成された３枚を交互に張り合わせ、残りの６枚もその後張り合わせる。これにより、図５に示すような圧電素子２０の積層構造を形成する。圧電素子２０のうち内部電極２２、２４を含まない下のグリーンシートは基盤部となる。さて、これらのグリーンシートを積層した状態で焼成する。
【００２６】
続いて、ダイヤモンドカッターによって前面２０ａから後面２０ｂに少なくとも最初の６枚のグリーンシートを部分的に切断する。これによって、溝２３によって分割された複数の圧電体ブロック２１を形成する。最後に、前面２０ａと後面２０ｂに外部電極２６、２８をそれぞれ蒸着により形成する。なお、焼成前に溝２３を形成しておくことも可能である。完成した圧電素子２０は、外部電極２６、２８に電圧を印可することによって特性検査がなされ、動作不良のものは排除される。
【００２７】
図１に示すインクジェットヘッド１００は保護層５０を更に有している。保護層５０は後述するように有用な効果を有するが、保護層５０を設けるかどうかは選択的である。保護層５０は、５０ミクロン程度の厚さを有する略長方体状の熱硬化型エポキシ系接着材であり、圧電素子２０（外部電極２６）の前面２０ａと面５０ｂで接続されている。但し、保護層５０の材質はこれに限定されるものではない。
【００２８】
例えば、エポキシ系充填剤や、アクリル樹脂、若しくは、ポリエチレン樹脂などを保護層５０に使用することもできる。なお、実際のインクジェットヘッド１００では、保護層５０は厳密に直方体形状ではなく、保護層５０と圧電素子２０との接続は、図１及び図５に示すように、外部電極２６と面５０ｂにより明確になされているものではない。即ち、熱硬化前に保護層５０はその一部が圧電素子２０の溝２３より内部に侵入している。従って、保護層５０の材質は、内部電極２２、２４を短絡させないように絶縁物であることが望ましい。
【００２９】
本実施例では、保護層５０は圧電素子２０（外部電極２６）の前面２０ａに亘って塗布されるが、必要があれば、部分的に塗布されてもよい。保護層５０は圧電素子２０をノズル接合面６０から５０ミクロン程度離間させている。圧力室１２からインクが漏れて圧電素子２０に侵入する場合、インクは、主として、ノズル接合面６０を通って圧電素子２０に侵入する。しかし、保護層５０は、ノズル接合面に配置されていた圧電素子をノズル接合面６０から離間することにより、インクが圧電素子２０に侵入して内部電極２２、２４が短絡することを防止している。
【００３０】
また、保護層５０は溝２３を遮蔽している。インクが漏れて圧電素子２０に侵入する場合、インクは、主として、圧力室１２の開口１２ａからノズル接合面６０を伝って圧電素子２０の溝２３よりその内部に侵入する。しかし、保護層５０はノズル接合面６０に対して（即ち、ノズル接合面６０から見て）溝２３を遮蔽することにより、インクが圧電素子２０の前面２０ａ付近から溝２３に侵入して内部電極２２及び２４が短絡することを防止している。
【００３１】
その他、保護層５０は、インクジェットヘッドの製造段階におけるノズル接合面２０ａの形成のための研磨工程において、圧電素子２０を研磨による破壊から保護するという効果も有する。その結果、研磨工程を経ても圧電素子２０が剥離、割れ、欠けを被ることはない。また、外部電極２６が削除されることもない。更に、圧力室板１０はガラスからなるので比較的強度が高く、研磨速度を高く設定できるため、従来の製造方法に比べて、研磨時間が約５分の１に短縮されている。ノズル板３０はステンレスなどの金属により形成する。
【００３２】
各ノズル孔３２は、ピンを使用したパンチなどにより、好ましくは、ノズル板３０の前面３０ｂから後面３０ａに向かって広がる円錐状（断面的にテーパ状）に加工する。圧力室板１０とノズル板３０を一体的に構成せずに圧力室板１０にノズル板３０を接着する理由の一つは、かかる円錐状のノズル孔３２を得るためである。本実施例では、後面３０ａにおけるノズル孔３２の大きさは８０ミクロン程度、前面３０ｂにおけるノズル孔３２の大きさは２５〜３５ミクロン程度としている。なお、インクジェットヘッド１００と異なり、ノズル孔が例えば図１に示す圧力室板１０の上部に形成されているインクジェットヘッドにも本発明は適用することができる。
【００３３】
インクジェットヘッド１００においては、外部電極２８は、それぞれ独立して、圧電体ブロック２１の内部電極２４に電圧を印加するために、各圧電体ブロック２１がそれぞれ独立に図１のＡ方向に変位して樹脂フィルム４０をＡ方向に撓ませ、対応する圧力室１２を加圧する。かかる加圧により、インクが、圧力室１２から対応するノズル孔３２を介して射出される。外部電極２８からの通電が停止すれば、樹脂フィルム４０と圧電体ブロック２１は放電により元の状態に復帰する。この時、圧力室１２の内部圧力が下がるので、共通インク室１６からインク導入路１４を介して圧力室１２にインクが補給される。なお、本実施例では、圧電素子２０はＡ方向へ縦変形するものを用いたが、横変形するものを用いてもよい。また、本発明は、圧電素子を利用するいわゆるピエゾ型のインクジェットヘッドに限定されるものではなく、バブル型のインクジェットヘッドにも適用することができる。
【００３４】
次に、図７乃至図１０を参照して図２に示すインクジェットヘッド１００の例示的な製造方法、特に、組立方法について説明する。ここで、図７は図２に示すインクジェットヘッド１００の例示的な製造方法を説明するためのフローチャートである。また、図８乃至図１２はそれぞれ図７のステップを説明するための断面図であるが、各図における各構成要素の大きさは説明及び作図の便宜上多少誇張されている。
【００３５】
まず、上述したように圧力室板１０を構成する要素１０ｃ及び要素１０ｄを別々に形成する（ステップ１００２）。また、圧電素子２０とノズル板３０も上述したように形成する（ステップ１００４及び１００６）。これらのステップ１００２乃至１００６の時間的先後は問わない。
【００３６】
次に、図８に示すように、動作が確認された圧電素子２０から５００ミクロン程度ノズル板３０に向かって突出するように樹脂フィルム４０を配置して両者を接着する（ステップ１００８）。このように配置する理由は、将来、圧電素子２０を保護するように、保護層５０を塗布するための段差２９を形成するためである。接着剤には、例えば、ウレタン系接着剤、アクリル系接着剤、レジストフィルムなどが使用される。
【００３７】
次に、図９に示すように、圧力室板１０の要素１０ｃを、樹脂フィルム４０から３００ミクロン程度ノズル板３０に向かって引っ込むように、かつ、圧電素子２０からノズル板３０に向かって２００ミクロン程度突出するように、圧電素子２０に対抗する側に、配置して接着する（ステップ１０１０）。要素１０ｃが樹脂フィルム４０に接着される前には、各圧電体ブロック２１と圧力室１２が対応するように位置合わせが行われる。ここで、要素１０ｃの代わりに、要素１０ｃと要素１０ｄを接着することによって構成される圧力室板１０を配置することも考えられるが、ステップ１０１０は後述する理由によりかかる方法よりも優れている。なお、接着剤には、例えば、ウレタン系接着剤、アクリル系接着剤、レジストフィルムなどが使用される。本実施例では、圧電素子２０と樹脂フィルム４０の接着を樹脂フィルム４０と要素１０ｃの接着よりも先行させている。しかし、本発明が、ステップ１０１０をステップ１００８に先行させた場合を含むことは明らかである。
【００３８】
本実施例では、圧力室板１０を樹脂フィルム４０よりもノズル板３０に向かって引っ込むように配置される。これは、後述するように、この後に保護層５０を段差２９に塗布する時に、保護層５０が開口１２ａから要素１０ｃの内部に侵入して圧力室１２の開口１２ａを塞ぐのを極力防ぐためである。もっとも本発明は、保護層５０を塗布する前に、樹脂フィルム４０から突出した圧力室板１０（特に、樹脂フィルム４０に対抗する面）に適当なマスクを配置することによって保護層５０が圧力室１２の内部に侵入することを防止できるため、この場合には、要素１０ｃが樹脂フィルム４０よりもノズル板３０に向かって突出していても問題はない。
【００３９】
また、要素１０ｃは圧電素子２０からノズル板３０に向かって突出するように配置される。これは、後述するステップ１０１４の研磨工程において、圧電素子２０が研磨されることを防止するためである。図９に示す要素１０ｃと樹脂フィルム４０と圧電素子２０からなる三層体を作る時は、Ａ方向を重力の方向に向けることによって、その作成が容易となる。
【００４０】
図９では、樹脂フィルム４０は、三層体中で突出した状態になっているために、要素１０ｃに向かって重力の作用で曲がることが予想されるが、樹脂フィルム４０の表面張力を利用することにより図９に示す三層構造を保つことができる。なお、重力の方向は必ずしもＡ方向に一致する必要はないことはいうまでもない。
【００４１】
その後、図１０に示すように、将来の保護層５０を構成する材料を樹脂フィルム４０と圧電素子２０との段差２９に塗布する（ステップ１０１２）。本実施例では、保護層５０に熱硬化型エポキシ系接着剤を使用しているため、保護層５０は塗布された後に熱硬化される。保護層５０は粘性が比較的低いので段差２９に塗布される際に、圧電素子２０の溝２３からその内部に一部侵入する。そして、熱硬化されると、保護層５０は溝２３を一部封止した状態で硬化する。なお、ステップ１０１２とステップ１０１０を交換して、先に保護層５０を塗布した後に要素１０ｃを接着することも可能である。なお、本実施例では、保護層５０は圧電素子２０（外部電極２６）の前面２０ａに亘って塗布されるが、必要があれば、部分的に塗布されてもよい。
【００４２】
次いで、要素１０ｃと樹脂フィルム４０と保護層５０の端部が研磨されて平滑なノズル接合面６０を形成する（ステップ１０１４）。図１１は研磨後のノズル接合面６０を示している。この研磨工程は、ノズル板３０のノズル３２を精度良く圧力室１２に連通するように、かつ、ノズル板３０をしっかりと要素１０ｃなどに固定するために必要な工程である。研磨は、保護層５０の厚さが５０ミクロン程度は残るように、即ち、要素１０ｃが１５０ミクロン程度切削されるようにして行われる。この研磨工程においては、圧電素子２０は保護層５０に保護されて研磨による影響を受けない。従って、研磨工程を経ても圧電素子２０が剥離、割れ、欠けを被ることはない。また、外部電極２６が削除されることもない。更に、要素１０ｃはガラスからなるので比較的強度が高く、研磨速度を高く設定できるため、本実施例の製造方法によれば、従来の製造方法に比べて、研磨時間が約５分の１に短縮されている。
【００４３】
さて、上述したようにステップ１０１０において、要素１０ｃの代わりに、要素１０ｃと要素１０ｄを接着することによって構成される圧力室板１０を配置することも考えられる。この場合は、要素１０ｃに弾性接着剤７２で接着された要素１０ｄが研磨されることになる。しかし、要素１０ｃと１０ｄの間の弾性接着剤７２が欠けたり、弾性接着剤７２の弾性力により研磨中に要素１０ｃ及び／又は１０ｄが振動してノズル接合面６０が平滑でなくなったりする。一方、例えば、要素１０ｄが要素１０ｃよりもノズル板３０側に突出した状態で要素１０ｃと接着されている場合などを避けるために平滑なノズル接合面６０を形成するためには研磨工程は不可欠である。
【００４４】
このため、要素１０ｃと１０ｄを研磨が不要で平滑面を形成できるように接着することができる場合以外は要素１０ｃのみをステップ１０１０で接着することが好ましい。なお、要素１０ｃと１０ｄとが平滑面を形成することができる場合にはステップ１０１４では樹脂フィルム４０と保護層５０だけが研磨されて要素１０ｃ及び１０ｄと共にノズル接合面６０を形成することになるであろう。
【００４５】
研磨が終了すると、図１２に示すように、ノズル接合面６０に３乃至４ミクロン程度接着剤を塗布してノズル板３０をノズル孔３２が圧力室１２に対応するようにして接着する（ステップ１０１６）。接着剤には、例えば、ウレタン系接着剤、アクリル系接着剤、レジストフィルムなどが使用される。要素１０ｃのノズル接合面６０を形成する面はノズル板３０を固定するのに十分な面積が選択される。
【００４６】
次に、要素１０ｄの位置合わせがなされ（ステップ１０１８）、その後に弾性接着剤７２により要素１０ｄは要素１０ｃに接着される（ステップ１０２０）。なお、弾性接着剤７２の塗布はステップ１０１８との先後を問わない。また、ステップ１０２０において、要素１０ｄは樹脂フィルム４０に弾性接着剤７４を介して接着される。このように本実施例の製造方法は、好ましく、要素１０ｄの位置合わせをしてから要素１０ｄを要素１０ｃに接着している。本発明は広義にはステップ１０１８を省略する実施例もカバーしているが、かかる実施例では要素１０ｄと１０ｃは共通インク室１６を画定するために要素１０ｄの位置ずれは共通インク室１６からのインク漏れを招くおそれがある。
【００４７】
かかる実施例では、例えば、要素１０ｃ上の面１０ｅに弾性接着剤７２を塗布し、要素１０ｄを黙視的に上部から要素１０ｃにかぶせる場合などが該当する。これに対して本実施例は要素１０ｄの位置合わせをした後に接着しているので共通インク室１６からのインク漏れを防止することができる。
【００４８】
本実施例では、例えば、弾性接着剤７２を予め要素１０ｃの上面１０ｅに均一に塗布しておき、図１２に示すように前面Ｂ１と後面Ｂ２とを当業界で既知の適当な手段で固定することによって要素１０ｄの位置合わせを行って（この場合はＢ方向のみであるが）、その後、要素１０ｄを図１２の矢印方向に挿入することによって要素１０ｄを要素１０ｃに接着することができる。ここで、面Ｂ１とＢ２との距離は要素１０ｄの長さにほぼ対応している。
【００４９】
本実施例では、要素１０ｄとノズル板３０とを直接接着することは必ずしも必要なことではない。上述したように、要素１０ｃのノズル接合面６０を形成する面はノズル板３０を固定するのに十分な面積が選択されているからであり、また、要素１０ｄは面１０ｅで要素１０ｃに接着されるので安定しているからである。もっとも、本発明は要素１０ｄとノズル板３０とが接着されることを妨げるものではない。図１２１２に示すように、要素１０ｄがノズル板３０よりも突出する場合にはノズル板３０側に接着剤を塗布することが好ましい。特に、適当に位置合わせがなされている場合には要素１０ｄはノズル接合面６０の一部を構成するかその極近傍に配置されるので、ノズル板３０に接着してもノズル板３０に望ましくない応力が要素１０ｄから印加されることはない。
【００５０】
例えば、要素１０ｄが位置合わせがなされずに図１２の面Ｂ２を越えて右方向に配置されれば、要素１０ｄはノズル板３０から離間することになる。この状態でノズル板３０を要素１０ｄに接着すればノズル板３０の上部に右方向の応力が加わることになりノズル板３０が所定の剛性を有することからかかる応力はノズル板３０が外れる原因になり得るからである。
【００５１】
次に、図１３乃至図１５を参照して、上述のステップ１０１８の位置合わせ方法とステップ１０２０の接着方法に代替的な方法について説明する。上述の方法では、要素１０ｃの上面１０ｅに弾性接着剤７２を適当な方法で（例えば、ハケやスプレーによる手作業や機械による自動処理によって）塗布した後に要素１０ｄを接着している。本発明者等は、かかる方法では弾性接着剤７２の塗布量の管理が困難であり、上面１０ｅの全面に亘って均一に塗布することは困難であること、そして、要素１０ｄを接着する際に空気が不可避的に混入してしまうことを発見した。接着剤７２の塗布にムラがあったり空気が面１０ｅに混入すればその後の印字動作の際に、接着剤７２が共通インク室１６側に漏れてインク導入路１４を一部又は全部塞いだり、空気が共通インク室１６及び／又は圧力室１２に漏れて圧力室１２の圧力を変動させたりする。インク導入路１４が接着剤７２により一部又は全部塞がれればノズル板３０から噴射されるインク量が変化して（あるいはインクが噴射されず）印字品質が低下する（例えば、印刷が薄いなど）。
【００５２】
また、インクの代わりに空気が圧力室１２に部分的に充填された状態で圧力室１２に圧縮されても噴射されるインクの量が変化するために印字品質が低下する。そこで、以下に説明する実施例の方法は、接着剤７２を面１０ｅにムラなく均一に塗ると共に塗布量の管理が容易で、これにより高品位印刷を実現することを例示的目的としている。上記目的を達成するために、本発明者等は要素１０ｄ又は要素１０ｃどちらか一方に弾性接着剤７２を流し込むための貫通穴１８Ａを設置し、流入した接着剤７２で面１０ｅを封止し、要素１０ｄと要素１０ｃとを接着すること考案した。
【００５３】
図１３乃至図１５はかかる貫通穴１８Ａの設置方法の実施例である。本実施例では、貫通穴１８Ａは圧力室板１０を構成する要素１０ｄに設置されており、図１３R>３は貫通穴１８Ａの設置された要素１０ｄの概略上面図である。図１３のように、角型の貫通穴１８Ａは図１２の面Ｂ１に接し、同間隔に整列している。また、貫通穴１８Ａは要素１０ｄの上面に対し垂直で、形状は角柱である。かかる貫通穴１８Ａは所望の数（ここでは便宜上６つ）の設置が可能であり、また、形や大きさ等も変化させることも可能である。この貫通穴１８Ａに弾性接着剤７２を注入すると、接着剤７２は図１３の矢印に示すように毛管作用を利用して要素１０ｄと要素１０ｃとの隙間を接着封止していく。この時、接着剤７２は要素１０ｃと共通インク室１６との境界面ａ１まで流入することが望ましい。
【００５４】
図１４は図１３の貫通穴１８Ａが設置された要素１０ｄを有するインクジェットヘッド１００Ａの概略斜視図である。図１４のように、貫通穴１８Ａは要素１０ｄのノズル板３０との接着面（図１２の面Ｂ１）で、共通インク室１６に対して対面側に設置されている。よって、本実施例の要素１０ｄは貫通穴１８Ａの存在によってノズル板３０に接触しない部分が存在するが、上述のように要素１０ｃとノズル板３０との接着面積が十分であるために安定である。
【００５５】
本実施例では、要素１０ｄは貫通穴１８Ａの有無に関わらず、図７のフローチャートに沿って組み立てられ、ステップ１０１８及び１０２０の間に貫通穴１８Ａヘ弾性接着剤７２を注入する工程が必要となる。かかる工程を図１５を参照してより詳細に説明する。
【００５６】
ここで、図１５は図１４のインクジェットヘッド１００ＡをＣ−Ｃ線に沿って切断したときの概略断面図である。貫通穴１８Ａはノズル板３０に接しており、かかる貫通穴１８Ａから接着剤７２を注入し、要素１０ｃと要素１０ｄの隙間を接着しながら封止する。この時、要素１０ｃと要素１０ｄからなる空間の容積に対して少なくとも同量の接着剤７２が必要である。また、一般的に接着剤は固化すると体積が減少するために使用する接着剤の性質を考慮する必要もある。図１６１６乃至図１８は貫通穴１８Ａの設置方法の代替的実施例に関する。上述のインクジェットヘッド１００Ａの弾性接着剤７２の注入工程では、接着剤７２は上部から流し込むため、ノズル板３０の上部にこぼれるなど流入が困難である。また、要素１０ｃと要素１０ｄの隙間を完全に封止するためには、接着剤７２は要素１０ｃと共通インク室１６との境界面ａ１まで流れ込まなくてはいけないが、共通インク室１６の境界面までの流入距離が長いために接着剤７２が途中で固まってしまったり、共通インク室１６内に入り込む。
【００５７】
また、接着剤７２は図１３に示すように貫通穴１８Ａの形状が矩形上であるために上下左右に均等には毛管作用により伝搬しない。図１６乃至図１８に示すインクジェットヘッド１００Ｂはインクジェットヘッド１００Ａを改良することによってかかる問題を解決している。本実施例においては貫通穴１８Ｂが要素１０ｄに設置されている。図１６は貫通穴１８Ｂが設置された要素１０ｄの概略上面図である。貫通穴１８Ｂは円柱形状を有し、６つの貫通穴１８は互いに平行かつ等間隔で整列している。
【００５８】
また、かかる貫通穴１８Ｂは貫通穴１８と要素１０ｃのほぼ中間に位置し、要素１０ｄの上面に対し垂直に貫通している。図１６に矢印で示すように、貫通穴１８Ｂから流入した接着剤７２は、要素１０ｃと要素１０ｄの隙間を毛管作用によって円状に接着封止する。
【００５９】
図１７は、かかるインクジェットヘッド１００Ｂの概略斜視図である。貫通穴１８Ｂは面Ｂ１と面ａ１との中心線上に整列している。本実施例の要素１０ｄを有するインクジェットヘッドの製造工程も図７のフローチャートに沿って組み立てられ、ステップ１０１８の後で、貫通穴１８Ｂに弾性接着剤７２を注入し、要素１０ｃと要素１０ｄを接着し、その隙間を封止する（ステップ１０２０）。接着剤７２の注入の工程に関しては、より詳しくを図１８によって説明する。
【００６０】
図１８R>８は図１７のインクジェットヘッド１００ＢをＤ−Ｄ線に沿って切断したときの概略断面図である。図１８のように、貫通穴１８Ｂの設置は接着剤の封止したい部分、即ちノズル板接着面３０ａ（図１２の面Ｂ１）から共通インク室との境界面ａ１までの中間に相当する位置に設置されている。かかる貫通穴１８Ｂから注入された接着剤７２は毛管作用によって、要素１０ｃと要素１０ｄとの隙間を充填していくが、貫通穴１８Ｂが円状で、上記のような位置にあるため接着剤７２は貫通穴１８を中心に等間隔で要素間の空間を流れていくことになる。よって、貫通穴１８Ｂから注入された接着剤７２は、例えば図１８では左右に、同じ速さで流入することが可能で、充填する時間も短いため（上記実施例に対して）、注入途中で接着剤が固化しムラができることを防止できる。
【００６１】
また、接着剤７２の量も要素間の空間の容積から算出することによって制御可能である。そのため、封止ムラによって混入した空気やインク室１６への漏れた接着剤７２がインク導入路１４を一部又は全部塞いだり、インク室１６内の圧力を変化させてしまったりしてノズル孔３２から噴出するインク量が変化する問題を解消することができ、これにより、本実施例のインクジェットヘッド１００Ｂは印字品質の低下を防止している。上述の貫通穴１８Ａ及びＢの設置方法についての実施例と異なり、貫通穴１８Ａ及びＢは要素１０ｃに配置されてもよい。しかし、要素１０ｃに貫通穴１８Ａ及びＢ（以下、総括的に「１８」とする）を設置する場合、インクジェットヘッド１００Ａ及び１００Ｂ（以下、総括的に「１００」とする）の製造工程は図７のフローチャートとは異なる。
【００６２】
図７のフローチャートでは、要素１０ｃはノズル板３０が接着される前の工程で樹脂フィルム４０と接着（ステップ１０１０）しており、ステップ１０１０において貫通穴１８の下方面は塞がれてしまうことになり、要素１０ｄとの接着に貫通穴１８を使用することはできない。このため、貫通穴１８を使用して要素１０ｃと要素１０ｄを接着封止するためには、ステップ１０１０において要素１０ｃの代わりに、要素１０ｃと要素１０ｄを接着して構成される圧力室板１０を配置する方法が考えられる。
【００６３】
しかし、この場合は上述のように、接着層が研磨（ステップ１０１４）によって損傷し、ノズル接着面６０が平滑でなくなるため、ノズル板３０との正確な接着が達成できず印字能力の低下を招く。このため、貫通穴１８を要素１０ｃに設置する場合は、要素１０ｃと要素１０ｄを研磨せず、平滑化することができることが必要である。
【００６４】
上述のように、圧力室板１０が複数の要素に分割されていて、且つそれら要素間が弾性接着剤７２で接着封止されていることは、圧力室１２で発生した振動や変形が共通インク室１６に伝搬することを防止・低減することができる。よって、上記実施例では圧力室板１０は２つの要素で分割されているが、分割された要素が多いほど圧力の伝搬が防止・低減される作用を増加することができる。特に、上記記載のように要素間の接着が容易であれば、また、製造工程において有効である。よって、本発明のインクジェットヘッド１００は、従来よりも高い印字品質を提供することを可能にしている。
【００６５】
次に、図６を参照して、本発明のインクジェットヘッド１００を備えたインクジェットプリンタ２００について説明する。なお、各図において、同一の参照番号を付した部材は同一部材を表すものとし、重複説明は省略する。図６には、本発明のインクジェットヘッド１００が適用されるカラーインクジェットプリンタ（記録装置）２００の実施形態が概略的に示されている。
【００６６】
記録装置２００のハウジング２１０内にはプラテン２１２が回転自在に設けられている。記録動作中、プラテン２１２は駆動モータ２１４によって間欠的に回転駆動させられ、これにより記録紙Ｐが所定の送りピッチで矢印Ｗ方向に間欠的に送られる。また、記録装置のハウジング２１０内にはプラテン２１２に対して平行にその上方側に案内ロッド２１６が設けられており、この案内ロッド２１６上にはキャリッジ２１８が摺動自在に取り付けられている。キャリッジ２１８は無端駆動ベルト２２０に取り付けられており、無端駆動ベルト２２０は駆動モータ２２２によって駆動され、これによりキャリッジ２１８はプラテン２１２に沿って往復運動（走査）させられる。
【００６７】
キャリッジ２１８には黒色用の記録ヘッド２２４及びカラー用の記録ヘッド２２６が搭載されている。カラー用の記録ヘッド２２６は３つの部分から構成され得る。黒色用の記録ヘッド２２４には黒色インク用タンク２２８が着脱自在に装着され、カラー用の記録ヘッド２２６にはカラーインク用タンク２３０、２３２及び２３４が着脱自在に装着される。
【００６８】
かかる記録ヘッド２２４及び２２６に本発明のインクジェットヘッド１００が適用される。黒色インク用タンク２２８にはもちろん黒色インクが収容され、カラーインク用タンク２３０、２３２及び２３４にはそれぞれイエローインク、シアンインク及びマゼンタインクが収容される。キャリッジ２１８がプラテン２１２に沿って往復運動される間、黒色用の記録ヘッド２２４及びカラー用の記録ヘッド２２６がワードプロセッサ、パーソナルコンピュータ等から得られる画像データに基づいて駆動され、これにより記録紙Ｐ上に所定の文字、画像などが記録される。記録動作停止時には、キャリッジ２１８はホームポジションに戻され、このホームポジションにはノズル保守機構（バックアップユニット）２３６が設けられている。ノズル保守機構２３６には可動吸引キャップ（図示せず）と、この可動吸引キャップに接続された吸引ポンプ（図示せず）が設けられている。記録ヘッド２２４及び２２６がホームポジションに位置付けされると、各記録ヘッドのノズル板に吸引キャップが吸着され、吸引ポンプを駆動することにより、ノズル板のノズルが吸引される。このようにして、ノズルの目詰まりが未然に防止される。
【００６９】
以上、本発明の実施例を説明したが、本発明はこれに限定されず、その要旨の範囲内で様々な変形及び変更が可能である。以上の説明に関して更に以下の項を開示する。本発明の例示的一態様としてのインクジェットヘッドは、インクを収納する圧力室と当該圧力室にインクを供給するインク室を画定し、前記圧力室と前記インク室との間であって前記インクが前記インク室から前記圧力室に供給される経路の外側に切り込みを有する圧力室板と、前記圧力室板の前記圧力室を加圧して当該圧力室内の前記インクを噴射することができる圧力印加部材とを有する。
【００７０】
前記圧力印加部材は圧電素子よりなり、前記インクジェットヘッドは、前記圧電素子と前記圧力室板の間に配置された薄膜と、当該薄膜と前記圧力室板とを接続する弾性部材とを更に有し、前記圧電素子は当該薄膜を介して前記圧力室を加圧することができる。本発明の別な例示的一態様としてのインクジェットヘッドは、インクを収納する圧力室と当該圧力室にインクを供給するインク室を画定するとともに複数の要素に分割されている圧力室板と、前記圧力室板の前記圧力室を加圧して当該圧力室内の前記インクを噴射することができる圧力印加部材とを有する。
【００７１】
前記圧力室板の前記要素は、前記圧力室を画定する第１の要素と、前記インク室とを画定する第２の要素とを有し、前記圧力室板は、前記第１の要素と及び前記第２の要素とを接続する弾性部材を更に有することができる。前記弾性部材は、シリコン接着剤でもよい。前記圧力印加部材は圧電素子よりなり、前記インクジェットヘッドは、前記圧電素子と前記圧力室板の間に配置された薄膜と、当該薄膜と前記圧力室板とを接続する弾性部材とを更に有し、前記圧電素子は当該薄膜を介して前記圧力室を加圧することができる。前記弾性部材は、シリコン接着剤でもよい。前記弾性部材は、前記インク室に関して前記圧力室に対向する位置において前記薄膜と前記圧力室板とを接続することができる。前記複数の要素は貫通孔を有する要素を含むことができる。
【００７２】
前記第１及び第２の要素のいずれか一方は前記弾性部材を導入するための貫通孔を有することができる。前記第２の要素は、前記圧力室のほぼ中央上に前記弾性部材を導入するための貫通孔を有することができる。
【００７３】
本発明の例示的一態様としての記録装置は、インクジェットヘッドと、当該インクジェットヘッドを駆動する駆動装置とを有し、前記インクジェットヘッドは、インクを収納する圧力室と当該圧力室にインクを供給するインク室を画定し、前記圧力室と前記インク室との間に切り込みを有する圧力室板と、前記圧力室板の前記圧力室を加圧して当該圧力室内の前記インクを噴射することができる圧力印加部材とを有する。本発明の別の例示的一態様としての記録装置は、インクジェットヘッドと、当該インクジェットヘッドを駆動する駆動装置とを有し、前記インクジェットヘッドは、インクを収納する圧力室と当該圧力室にインクを供給するインク室を画定するとともに複数の要素に分割されている圧力室板と、前記圧力室板の前記圧力室を加圧して当該圧力室内の前記インクを噴射することができる圧力印加部材とを有する。
【００７４】
前記複数の要素は貫通孔を有する要素を含むことができる。前記圧力室板の前記要素は、前記圧力室を画定する第1の要素と、前記インク室とを画定する第２の要素とを有し、前記圧力室板は、前記第１の要素と及び前記第２の要素とを接続する弾性部材を更に有し、前記第１及び第２の要素のいずれか一方は前記弾性部材を導入する貫通孔を有することができる。前記圧力室板の前記要素は、前記圧力室を画定する第1の要素と、前記インク室とを画定する第２の要素とを有し、前記圧力室板は、前記１の要素と及び前記第２の要素とを接続する弾性部材を更に有し、前記第２の要素は前記圧力室のほぼ中央上に前記弾性部材を導入する貫通孔を有することができる。
【００７５】
本発明の例示的一態様としてのインクジェットヘッドの製造方法は、インクを収納する圧力室と当該圧力室にインクを供給するインク室を画定するとともに複数の要素に分割されている圧力室板の前記複数の要素の一部の要素と、薄膜と、当該薄膜を介して前記圧力室を加圧することができる圧電素子とを接着する工程と、少なくとも前記一部の要素と前記薄膜を研磨してノズル接合面を形成する工程と、前記圧電素子が前記圧力室を加圧した時に当該圧力室内の前記インクを噴射するノズル孔を有するノズル板を前記ノズル接合面に接合する工程と、前記圧力室板の残りの要素を前記一部の要素に接着する工程とを有する。前記複数の要素は貫通孔を有する要素を含み、前記残りの要素を前記一部の要素に接着する工程は、前記残りの要素の少なくとも一の要素を前記一部の要素に対して位置合わせする工程と、前記貫通孔に弾性接着剤を導入する工程とを有することができる。前記残りの要素を前記一部の要素に接着する工程は、前記残りの要素の少なくとも一の要素を前記一部の要素に対して位置合わせする工程と、弾性接着剤を毛管作用により前記要素間に導入する工程とを有することができる。
【００７６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、圧力室が加圧された場合にインク室に伝達する圧力室の振動や変形が減少するので、インク液滴の量や速度が変化して画質が劣化することが防止できる。特に、複数の圧力室を有する圧力室板においてはクロストークを防止することができる。また、単に圧力室板に切り込みを入れたり切断したりするだけであるので安価且つ簡易に本発明は上記の効果を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１実施例のインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図２】 図１に示すインクジェットヘッド１００の圧力室１０の構造を説明するための断面図である。
【図３】 図２に示す圧力室板１０の構造の代替例を説明するための断面図である。
【図４】 図３に示す圧力室板を使用したインクジェットヘッドと従来のインクジェットヘッドとの特性の違いを模式的に説明するためのグラフである。
【図５】 図１に示すインクジェットヘッドの部分拡大側面図である。
【図６】 図１に示すインクジェットヘッドを適用したインクジェットプリンタの概観斜視図である。
【図７】 図７は図２に示すインクジェットヘッドの例示的な製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図８】 図７のフローチャートの一ステップを説明するための断面図である。
【図９】 図７のフローチャートの別の一ステップを説明するための断面図である。
【図１０】 図７のフローチャートの別の一ステップを説明するための断面図である。
【図１１】 図７のフローチャートの別の一ステップを説明するための断面図である。
【図１２】 図７のフローチャートの別の一ステップを説明するための断面図である。
【図１３】 図２に示すインクジェットヘッドの圧力室板の要素１０ｄの例示的な概略上面図である。
【図１４】 図１３に示す要素１０ｄを有するインクジェットヘッドの概略斜視図である。
【図１５】 図１４のＣ−Ｃ線に沿った概略断面図である。
【図１６】 図２に示すインクジェットヘッドの圧力室板の要素１０ｄの別の例示的な概略上面図である。
【図１７】 図１６に示す要素１０ｄを有するインクジェットヘッドの概略斜視図である。
【図１８】 図１７のＤ−Ｄ線に沿った概略断面図である。
【符号の説明】
１０ 圧力室板
１０ｃ 要素
１０ｄ 要素
２０ 圧電素子
３０ ノズル板
４０ 樹脂フィルム
５０ 保護層
６０ ノズル接合面
７２ 弾性接着剤
７４ 弾性接着剤
７６ 切り込み
１００ インクジェットヘッド
２００ インクジェットプリンタ