【手続補正書】
【提出日】平成18年11月6日(2006.11.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体集積回路の複数の出力端子にそれぞれ接続された、所定の抵抗値を持った複数の抵抗器と、
前記複数の抵抗器に所定の電圧を印加する印加手段と、
前記半導体集積回路の複数の入力端子に所定の動作パターン信号を入力する入力手段と、
前記入力手段による所定の動作パターン信号の入力によって前記複数の抵抗器にそれぞれ流れる電流量の総和を測定する測定手段と、
前記測定手段によって測定された電流量の総和を、前記所定の動作パターン信号の入力で正常に動作することが予め確認されている良品サンプルを前記半導体集積回路の代わりにして、前記測定手段によって測定された電流量の総和の正常値と比較する比較手段と、
前記比較手段による比較結果に基づき、前記半導体集積回路が正常であるか否かを判定する判定手段と
を有することを特徴とする半導体集積回路検査装置。
【請求項２】
前記所定の抵抗値は、前記複数の抵抗器の各々において独立であることを特徴とする請求項１記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項３】
前記所定の動作パターン信号は、複数の動作ステップから成り、
前記測定手段および前記比較手段は、前記所定の動作パターン信号の動作ステップ毎に、前記測定および前記比較をそれぞれ行うことを特徴とする請求項１記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項４】
前記半導体集積回路の複数の出力端子を複数のブロックに分割し、
前記複数のブロックの各々に対して個別に、前記印加手段と前記入力手段と前記測定手段と前記比較手段と前記判定手段とを動作させることを特徴とする請求項１記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項５】
前記判定手段によって前記半導体集積回路が異常と判定されたときのブロックを複数に分割し、該分割された各ブロックに対して個別に、前記印加手段と前記入力手段と前記測定手段と前記比較手段と前記判定手段とを動作させることを繰り返して、前記半導体集積回路における異常が含まれる個所を切り分けることを特徴とする請求項４記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項６】
前記複数の抵抗器は、前記所定の抵抗値が前記複数の抵抗器の各々において同一である第１の状態と、互いに異なる第２の状態とを取り得、
前記印加手段と前記入力手段と前記測定手段と前記比較手段と前記判定手段とは、前記第１の状態および前記第２の状態の両方において動作し、該両方において前記判定手段が正常と判定したときに前記半導体集積回路が最終的に正常と判定することを特徴とする請求項１記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項７】
前記複数の抵抗器を、前記半導体集積回路の複数の出力端子に、それぞれバッファを介して接続したことを特徴とする請求項１記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項８】
前記複数のバッファの各々から出力を行わせるＯＮ期間と、前記複数のバッファの各々からの出力を停止させるＯＦＦ期間とを有した制御信号を、前記所定の動作パターン信号に同期して、前記複数のバッファに出力する制御信号出力手段を更に有することを特徴とする請求項７記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項９】
前記制御信号のＯＮ期間およびＯＦＦ期間の各発生タイミングが、前記複数のバッファの各々に亘って同一であることを特徴とする請求項８記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項１０】
前記制御信号のＯＮ期間の発生タイミングが、前記複数のバッファの各々において互いに異なることを特徴とする請求項８記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項１１】
前記所定の動作パターン信号は、複数の動作ステップから成り、前記測定手段および前記比較手段は、前記所定の動作パターン信号の動作ステップ毎に、前記測定および前記比較をそれぞれ行うことを特徴とする請求項８記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項１２】
前記制御信号のＯＮ期間は、前記所定の動作パターンの各動作ステップにおいて前記複数の抵抗器に流れる電流量が安定している期間に設定されることを特徴とする請求項１１記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項１３】
前記判定手段によって、前記半導体集積回路が異常であると判定された前記所定の動作パターンの動作ステップにおいて、前記制御信号のＯＮ期間が、前記複数のバッファの各１つに順次割り振られるように制御信号を前記制御信号出力手段に発生させて、前記判定手段による判定結果に基づき前記半導体集積回路の出力異常端子を特定する特定手段を更に有することを特徴とする請求項１１記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項１４】
前記比較手段が、
前記良品サンプルを前記半導体集積回路の代わりにして、前記測定手段によって前記所定の動作パターン信号の全動作ステップに亘って測定された動作ステップ毎の電流量の総和の正常値のうちから極値を検出する第１の検出手段と、
前記第１の検出手段によって検出された極値に基づき、所定幅を持った判定基準ゾーンを作成する作成手段と、
前記半導体集積回路に対して前記測定手段によって前記所定の動作パターン信号の全動作ステップに亘って測定された動作ステップ毎の電流量の総和のうちから極値を検出する第２の検出手段と、
前記第２の検出手段によって検出された極値が、前記作成手段によって作成された判定基準ゾーン内に収まっているか否かを判別する判別手段と、
前記判別手段によって、前記極値が前記判定基準ゾーン内に収まっていないと判別されたとき、前記半導体集積回路に異常があると決定する決定手段と
を有することを特徴とする請求項３記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項１５】
前記第１の検出手段によって検出された極値は、前記良品サンプルに対して前記測定手段によって前記所定の動作パターン信号の全動作ステップに亘って測定された動作ステップ毎の電流量の総和の正常値のうちの最大電流値であり、
前記第１の判別手段によって、前記極値が前記判定基準ゾーン内に収まっていると判別されたとき、前記最大電流値に基づき、前記測定手段の電流測定レンジおよび前記複数の抵抗器の抵抗値を設定する設定手段を更に有することを特徴とする請求項１４記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項１６】
前記比較手段が、前記設定手段による設定の後で、前記半導体集積回路に対して前記測定手段によって前記所定の動作パターン信号の全動作ステップに亘って測定された動作ステップ毎の電流量の総和を、前記良品サンプルを前記半導体集積回路の代わりにして、前記測定手段によって前記所定の動作パターン信号の全動作ステップに亘って測定された電流量の総和の正常値と動作ステップ毎に比較することを特徴とする請求項１５記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項１７】
半導体集積回路の入力端子に、該半導体集積回路の機能を検査するための所定信号を入力する入力手段と、
前記半導体集積回路の出力端子に負荷を介して、前記半導体集積回路の機能が正常であるときに前記所定信号の入力によって前記半導体集積回路から出力されるべき期待値信号を印加する印加手段と、
前記半導体集積回路の電源電流に基づき前記半導体集積回路の異常を検出する検出手段と
を有することを特徴とする半導体集積回路検査装置。
【請求項１８】
前記印加手段は、正常に動作することが予め確認されている良品サンプルを含み、該良品サンプルには前記入力手段によって前記所定信号が入力されており、
前記検出手段は、前記半導体集積回路の電源電流と、前記良品サンプルの電源電流とに基づき前記半導体集積回路の異常を検出することを特徴とする請求項１７記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項１９】
前記良品サンプルの入力端子は前記半導体集積回路の入力端子に接続され、前記良品サンプルの出力端子は、第１の負荷を介して前記半導体集積回路の出力端子に接続され、前記良品サンプルの入出力端子は、直列に接続された第２および第３の負荷を介して前記半導体集積回路の入出力端子に接続され、
前記良品サンプルの入力端子と前記半導体集積回路の入力端子との接続点、並びに前記第２および第３の負荷の接続点に前記入力手段によって前記所定信号が入力されることを特徴とする請求項１８記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項２０】
前記検出手段は、前記半導体集積回路の電源電流量と、前記良品サンプルの電源電流量との差に基づき前記半導体集積回路の異常を検出することを特徴とする請求項１８記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項２１】
半導体集積回路の入力端子に、該半導体集積回路の機能を検査するための所定信号を入力する入力手段と、
前記半導体集積回路の出力端子に負荷を介して、前記半導体集積回路の機能が正常であるときに前記所定信号の入力によって前記半導体集積回路から出力されるべき期待値信号を印加する印加装置と、
前記印加装置の電源電流に基づき前記半導体集積回路の異常を検出する検出手段と
を有することを特徴とする半導体集積回路検査装置。
【請求項２２】
前記印加装置は、
前記期待値信号を発生する期待値信号発生器と、
前記期待値信号発生器で発生された期待値信号を前記負荷に送るドライバとを含み、
前記検出手段は、前記ドライバの電源電流に基づき前記半導体集積回路の異常を検出することを特徴とする請求項２１記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項２３】
前記検出手段は、前記ドライバの電源端子側および接地端子側にそれぞれ設けられた電流計によって検出された電源電流に基づき前記半導体集積回路の異常を検出することを特徴とする請求項２２記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項２４】
前記半導体集積回路の出力端子は、前記半導体集積回路の出力端子と、出力状態の入出力端子とから成り、前記入出力端子に対応して負荷およびドライバが設けられ、
前記入出力端子に出力端子を接続され、前記期待値信号発生器で発生された期待値信号を反転して出力する反転ドライバと、
前記反転ドライバの出力端子を出力状態および出力遮断状態のいずれかに制御する出力制御手段と
を更に有することを特徴とする請求項２２記載の半導体集積回路検査装置。
【請求項２５】
半導体集積回路の複数の出力端子にそれぞれ接続された複数の抵抗器を備えた半導体集積回路検査装置に適用される半導体集積回路検査方法において、
前記複数の抵抗器に所定の電圧を印加する印加ステップと、
前記半導体集積回路の複数の入力端子に所定の動作パターン信号を入力する入力ステップと、
前記入力ステップによる所定の動作パターン信号の入力によって前記複数の抵抗器にそれぞれ流れる電流量の総和を測定する測定ステップと、
前記測定ステップによって測定された電流量の総和を、前記所定の動作パターン信号の入力で正常に動作することが予め確認されている良品サンプルを前記半導体集積回路の代わりにして、前記測定ステップによって測定された電流量の総和の正常値と比較する比較ステップと、
前記比較ステップによる比較結果に基づき、前記半導体集積回路が正常であるか否かを判定する判定ステップと
を有することを特徴とする半導体集積回路検査方法。
【請求項２６】
半導体集積回路の入力端子に、該半導体集積回路の機能を検査するための所定信号を入力する入力ステップと、
前記半導体集積回路の出力端子に負荷を介して、前記半導体集積回路の機能が正常であるときに前記所定信号の入力によって前記半導体集積回路から出力されるべき期待値信号を印加する印加ステップと、
前記半導体集積回路の電源電流に基づき前記半導体集積回路の異常を検出する検出ステップと
を有することを特徴とする半導体集積回路検査方法。
【請求項２７】
半導体集積回路の入力端子に、該半導体集積回路の機能を検査するための所定信号を入力する入力ステップと、
前記半導体集積回路の出力端子に負荷を介して、前記半導体集積回路の機能が正常であるときに前記所定信号の入力によって前記半導体集積回路から出力されるべき期待値信号を印加する印加装置の電源電流に基づき前記半導体集積回路の異常を検出する検出ステップと
を有することを特徴とする半導体集積回路検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明によれば、半導体集積回路の複数の出力端子にそれぞれ接続された、所定の抵抗値を持った複数の抵抗器と、前記複数の抵抗器に所定の電圧を印加する印加手段と、前記半導体集積回路の複数の入力端子に所定の動作パターン信号を入力する入力手段と、前記入力手段による所定の動作パターン信号の入力によって前記複数の抵抗器にそれぞれ流れる電流量の総和を測定する測定手段と、前記測定手段によって測定された電流量の総和を、前記所定の動作パターン信号の入力で正常に動作することが予め確認されている良品サンプルを前記半導体集積回路の代わりにして、前記測定手段によって測定された電流量の総和の正常値と比較する比較手段と、前記比較手段による比較結果に基づき、前記半導体集積回路が正常であるか否かを判定する判定手段とを有することを特徴とする半導体集積回路検査装置が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、請求項１７記載の発明によれば、半導体集積回路の入力端子に、該半導体集積回路の機能を検査するための所定信号を入力する入力手段と、前記半導体集積回路の出力端子に負荷を介して、前記半導体集積回路の機能が正常であるときに前記所定信号の入力によって前記半導体集積回路から出力されるべき期待値信号を印加する印加手段と、前記半導体集積回路の電源電流に基づき前記半導体集積回路の異常を検出する検出手段とを有することを特徴とする半導体集積回路検査装置が提供される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、請求項２１記載の発明によれば、半導体集積回路の入力端子に、該半導体集積回路の機能を検査するための所定信号を入力する入力手段と、前記半導体集積回路の出力端子に負荷を介して、前記半導体集積回路の機能が正常であるときに前記所定信号の入力によって前記半導体集積回路から出力されるべき期待値信号を印加する印加装置と、前記印加装置の電源電流に基づき前記半導体集積回路の異常を検出する検出手段とを有することを特徴とする半導体集積回路検査装置が提供される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、請求項２５記載の発明によれば、半導体集積回路の複数の出力端子にそれぞれ接続された複数の抵抗器を備えた半導体集積回路検査装置に適用される半導体集積回路検査方法において、前記複数の抵抗器に所定の電圧を印加する印加ステップと、前記半導体集積回路の複数の入力端子に所定の動作パターン信号を入力する入力ステップと、前記入力ステップによる所定の動作パターン信号の入力によって前記複数の抵抗器にそれぞれ流れる電流量の総和を測定する測定ステップと、前記測定ステップによって測定された電流量の総和を、前記所定の動作パターン信号の入力で正常に動作することが予め確認されている良品サンプルを前記半導体集積回路の代わりにして、前記測定ステップによって測定された電流量の総和の正常値と比較する比較ステップと、前記比較ステップによる比較結果に基づき、前記半導体集積回路が正常であるか否かを判定する判定ステップとを有することを特徴とする半導体集積回路検査方法が提供される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、請求項２６記載の発明によれば、半導体集積回路の入力端子に、該半導体集積回路の機能を検査するための所定信号を入力する入力ステップと、前記半導体集積回路の出力端子に負荷を介して、前記半導体集積回路の機能が正常であるときに前記所定信号の入力によって前記半導体集積回路から出力されるべき期待値信号を印加する印加ステップと、前記半導体集積回路の電源電流に基づき前記半導体集積回路の異常を検出する検出ステップとを有することを特徴とする半導体集積回路検査方法が提供される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
また、請求項２７記載の発明によれば、半導体集積回路の入力端子に、該半導体集積回路の機能を検査するための所定信号を入力する入力ステップと、前記半導体集積回路の出力端子に負荷を介して、前記半導体集積回路の機能が正常であるときに前記所定信号の入力によって前記半導体集積回路から出力されるべき期待値信号を印加する印加装置の電源電流に基づき前記半導体集積回路の異常を検出する検出ステップとを有することを特徴とする半導体集積回路検査方法が提供される。