【手続補正書】
【提出日】平成18年5月19日(2006.5.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号を入力する入力電極と、
信号を出力する出力電極と、
前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と
を備えた電気機械共振器において、
前記入力電極と前記出力電極とは、共振器が所望の帯域幅ｆdを得る寄生容量を発生する間隔に配置される
ことを特徴とする電気機械共振器。
【請求項２】
前記帯域幅ｆdは、前記電気機械共振器の共振ピークの周波数をｆ0、前記電気機械共振器の反共振ピークの周波数をｆ1としたとき、（ｆ1−ｆ0）／ｆ0で表される
ことを特徴とする請求項１記載の電気機械共振器。
【請求項３】
信号を入力する入力電極と、
信号を出力する出力電極と、
前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と
を備えた電気機械共振器において、
前記入力電極に接続する第１容量調整部と、
前記第１容量調整部に対向するとともに前記出力電極に接続する第２容量調整部とを備え、
前記第１容量調整部と前記第２容量調整部とは、共振器が所望の帯域幅ｆdを得る寄生容量を発生する間隔に配置される
ことを特徴とする電気機械共振器。
【請求項４】
前記帯域幅ｆdは、前記電気機械共振器の共振ピークの周波数をｆ0、前記電気機械共振器の反共振ピークの周波数をｆ1としたとき、（ｆ1−ｆ0）／ｆ0で表される
ことを特徴とする請求項３記載の電気機械共振器。
【請求項５】
前記第１容量調整部は直列に接続された複数の容量調整部からなる
ことを特徴とする請求項３記載の電気機械共振器。
【請求項６】
前記第２容量調整部は直列に接続された複数の容量調整部からなる
ことを特徴とする請求項３記載の電気機械共振器。
【請求項７】
前記第１容量調整部は直列に接続された複数の容量調整部からなり、
前記第２容量調整部は直列に接続された複数の容量調整部からなる
ことを特徴とする請求項３記載の電気機械共振器。
【請求項８】
信号を入力する入力電極と、
前記入力電極に接続する第１容量調整部と、
信号を出力する出力電極と、
前記第１容量調整部に対向するとともに前記出力電極に接続する第２容量調整部と、
前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と
を備えた電気機械共振器の調整方法であって、
前記第１容量調整部と前記第２容量調整部との間隔を、共振器が所望の帯域幅ｆdを得る寄生容量を発生するような間隔に調整する
ことを特徴とする電気機械共振器の調整方法。
【請求項９】
前記帯域幅ｆdは、前記電気機械共振器における共振ピークの周波数をｆ0、前記電気機械共振器における反共振ピークの周波数をｆ1としたとき、（ｆ1−ｆ0）／ｆ0で表される
ことを特徴とする請求項８記載の電気機械共振器の調整方法。
【請求項１０】
前記第１容量調整部は直列に接続された複数の容量調整部からなり、
前記各容量調整部の接続箇所の少なくとも１箇所を切断することで前記第１容量調整部と前記第２容量調整部との間の容量を調整する
ことを特徴とする請求項８記載の電気機械共振器の調整方法。
【請求項１１】
前記第２容量調整部は直列に接続された複数の容量調整部からなり、
前記各容量調整部の接続箇所の少なくとも１箇所を切断することで前記第２容量調整部と前記第１容量調整部との間の容量を調整する
ことを特徴とする請求項８記載の電気機械共振器の調整方法。
【請求項１２】
前記第１容量調整部は直列に接続された複数の容量調整部からなり、
前記第２容量調整部は直列に接続された複数の容量調整部からなり、
前記第１容量調整部と前記第２容量調整部の各容量調整部の接続箇所の少なくとも１箇所を切断することで前記第１容量調整部と前記第２容量調整部との間の容量を調整する
ことを特徴とする請求項８記載の電気機械共振器の調整方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】電気機械共振器およびその調整方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、寄生容量の調整が容易な電気機械共振器（以下、ＭＥＭＳ共振器という）およびその調整方法に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
半導体プロセス技術を用いて形成された微小振動子は、デバイスの占有面積が小さいこと、高いＱ値を実現できること、他の半導体デバイスとの集積が可能であること等の特徴により、無線通信デバイスの中でもＩＦ（中間周波）フィルタ、ＲＦ（ラジオ周波）フィルタとしての利用がミシガン大学を始めとする研究機関から提案されている。その構造の代表例を図１１によって説明する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の電気機械共振器は、信号を入力する入力電極と、信号を出力する出力電極と、前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子とを備えた電気機械共振器において、前記入力電極と前記出力電極とは、共振器が所望の帯域幅ｆdを得る寄生容量を発生する間隔に配置されることを最も主要な特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の電気機械共振器は、信号を入力する入力電極と、信号を出力する出力電極と、前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子とを備えた電気機械共振器において、前記入力電極に接続する第１容量調整部と、前記第１容量調整部に対向するとともに前記出力電極に接続する第２容量調整部とを備え、前記第１容量調整部と前記第２容量調整部とは、共振器が所望の帯域幅ｆdを得る寄生容量を発生する間隔に配置されることを最も主要な特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の電気機械共振器の調整方法は、信号を入力する入力電極と、前記入力電極に接続する第１容量調整部と、信号を出力する出力電極と、前記第１容量調整部に対向するとともに前記出力電極に接続する第２容量調整部と、前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子とを備えた電気機械共振器の調整方法であって、前記第１容量調整部と前記第２容量調整部との間隔を、共振器が所望の帯域幅ｆdを得る寄生容量を発生するような間隔に調整することを最も主要な特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の電気機械共振器（以下ＭＥＭＳ共振器という）は、入力電極と出力電極とが、ＭＥＭＳ共振器が所望の帯域幅ｆdを得る寄生容量を発生する間隔に配置されるので、入力電極と出力電極との間隔を設定するだけで所望の帯域幅ｆdを得ることができるという利点がある。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の電気機械共振器およびその調整方法は、入力電極に接続する第１容量調整部と、第１容量調整部に対向するとともに出力電極に接続する第２容量調整部とを備えているため、第１容量調整部と第２容量調整部との間隔を、共振器が所望の帯域幅ｆdを得る寄生容量を発生するような間隔に調整することことができるので、第１容量調整部と第２容量調整部との間隔を設定するだけで所望の帯域幅ｆdを得ることができるという利点がある。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
本発明の電気機械共振器およびその調整方法は、周波数フィルタ（ＲＦフィルタ、ＩＦフィルタ等）、発振器等の用途に適用できる。