【事件の表示】
　平成　４年特許願第２０２０６７号「露光装置」において、平成１１年１２月１６日付けでした手続補正に対してされた補正の却下の決定に対する審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成４年７月２９日の出願であって、平成１１年１２月１６日付で手続補正書が提出されたところ、平成１３年７月１９日に上記手続補正書による補正について補正の却下の決定がなされた。
　
２．原決定の理由
　上記補正の却下の決定（以下、「原決定」という。）の理由は次のとおりである。
　
「補正後の請求項１には、「該検出手段は、前記遮蔽部が前記経路へ挿入されている期間に、前記遮蔽部よりも前記物体側で前記エネルギーを検出する」なる事項が記載されているが、当初明細書に記載された発明の特徴は「露光終了後の露光光の照度と積算照度を測定し、短時間のチェックは照度で、長時間のチェックは積算照度で行」うことであり、前記事項は当初明細書に記載した技術的事項の範囲外である。
　
　補正後の請求項３には、「前記エネルギーが供給される前記位置と前記物体とを前記アライメント手段がアライメントする期間に、前記検出手段が前記エネルギーを検出する」なる事項が記載されているが、当初明細書に記載された発明の特徴は「露光終了後の露光光の照度と積算照度を測定し、短時間のチェックは照度で、長時間のチェックは積算照度で行」うことであり、前記事項は当初明細書に記載した技術的事項の範囲外である。
　
　また、他にも要旨変更となる部分が多々ある。例えば、請求項１及び３には「エネルギー供給装置」、「物体」なる事項が記載されているが、当該事項は当初明細書に記載した技術的事項の範囲外のものを含むものである。また、請求項１には「前記エネルギーを検出」なる事項が記載されており、これはエネルギー発生源で発生するエネルギーそのものを検出するものと認められるが、当初明細書に記載の発明では「シャッタを通過した照明光」を検出するものであり、前記事項は当初明細書に記載した技術的事項の範囲外である」
　
３．請求人の主張
　請求人は審判請求書の請求理由において、平成１３年７月１９日になされた補正の却下の決定を取り消すとの審決を求める旨、主張している。
　
４．当審の判断
　まず、原決定で要旨変更となる部分とされている「エネルギー供給装置」について検討する。
　出願当初の明細書又は図面（以下、「当初明細書」という。）には、以下の点が記載されている。
（１）【０００１】【産業上の利用分野】「本発明は露光装置に関し、特に半導体素子や液晶基板等の製造に利用され、シャッタ制御により露光照射量の制御を行う露光装置に関するものである。」
（２）【０００６】【課題を解決するための手段】「上記の問題点を解決するために、本発明においては露光終了後（シャッタ閉状態）の露光光の照度と積算照度を測定し、短時間のチェックは照度で、長時間のチェックは積算照度で行い、特に長時間のチェックではレジスト感光レベルに達する前に警報を発するようにし、歩留りを低下させないようにする。」
（３）【０００７】【作用】「本発明によれば、露光量制御時（シャッタが閉じている場合）に発生するシャッタの半開きによるもれ光をたとえ微小光量であっても検出可能とする。これはシャッタ閉の間の積算光量を求めることでもれ光を検出できる。
　このもれ光を精度よく求めるためには、シャッタ閉の時間が長い場合にはもれ光を積算光量を求めることで検出し、シャッタ閉の時間が短い場合は強度（平均値、平均的なピーク値等）を求めることでもれ光を検出可能である。もれ光の検出に応答して警報を出すことでオーバ露光、ミス露光をなくし、歩留りを向上する。」
　
　上記の記載事項から、当初明細書には、シャッタ制御により露光照射量の制御を行う露光装置において、露光終了後（シャッタ閉状態）の露光光の照度と積算照度を測定し、短時間のチェックは照度で、長時間のチェックは積算照度で行い、特に長時間のチェックではレジスト感光レベルに達する前に警報を発するようにし、歩留りを低下させないようにした点が記載されている。
　「エネルギー供給装置」なる文言は、当初明細書に記載されておらず、当初明細書のどの構成に対応するのかも明らかでないが、当初明細書の記載の中でエネルギーに関係する用語としては、露光光が考えられ、これを供給する装置としては、「光源１」が当初明細書に記載されているのみである。請求人が補正の根拠として上げている部分にも、露光光以外のエネルギー供給装置が記載されているとは認められない。
　ところが、エネルギーには、光エネルギーの他、運動、熱、電磁気エネルギーなど種々のものが含まれることが知られている。
　してみると、エネルギー供給装置が当初明細書に記載した事項の範囲外のものを含むことは明らかであり、そのようなエネルギー供給装置が当初明細書の記載から自明のことと認めることもできない。
　
　次ぎに、原決定で要旨変更となる部分とされている「前記エネルギーが供給される前記位置と前記物体とを前記アライメント手段がアライメントする期間に、前記検出手段が前記エネルギーを検出する」について検討する。
　
　当初明細書には、以下の点が記載されている。
（４）【０００８】「以上のように、もれ光を検出するに際して、シャッタ閉の時間間隔に応じて積算露光量を用いるかピーク値を用いるかを選択する理由について説明する。ステッパーでは１枚のウエハに複数個の回路パターンをステップアンドリピート動作で縮小投影するものである。また、通常半導体製造工程においては複数枚のレチクルを用いて露光が行われ、従ってウエハのショット領域とレチクルパターンとを高精度に位置合わせ（アライメント）することが必要である。アライメントが終了した後に露光が実行され、露光終了後、次のショットが投影光学系の投影視野内にくるようにステージはステップ移動する。このステップ移動の間、不必要な露光光を遮光するために露光のタイミングに応じてシャッタを開閉する。このシャッタが閉じている時間間隔は、ショット配列によるステッピング距離の違いやアライメント時間の違いにより一定ではない。シャッタ閉の間のもれ光の積算露光量がウエハＷ上に塗布された感光剤の感光レベルを越えたかどうかをみれば、ウエハＷ上へのパターン形成に悪影響を及ぼすもれ光を検出することができる。しかしながら、積算露光量を検出するためにはある程度の時間間隔が必要であり、アライメント時間やショット位置によっては、このための時間間隔がとれない場合がある。そこで、シャッタ閉の時間間隔が積算露光量を検出可能な程度に長い場合には、積算露光量を所定レベル（感光剤の感光レベル）と比較し、短い場合にはピークを所定値（感光剤の感光レベルより大きな値）と比較することにより、露光に悪影響を及ぼすもれ光を検出するものである。ここで、ピーク値と比較する所定値を感光剤の感光レベルより大きな値とするのは、もれ光がほとんど発生していないにもかかわらず、外来ノイズ等の影響によりもれ光が発生すると誤検出してしまうのを防止するためである。」
　
　上記の記載から、アライメントする期間、シャッタが閉じており、シャッタ閉の時間間隔が積算露光量を検出可能な程度に長い場合には、積算露光量を所定レベル（感光剤の感光レベル）と比較し、短い場合にはピークを所定値（感光剤の感光レベルより大きな値）と比較することにより、露光に悪影響を及ぼすもれ光を検出する点が記載されており、アライメント期間には、必ずシャッタ閉の状態となっている構成と理解される。請求人が補正の根拠として上げている段落【００１７】のフローにおいても、「スタート」から「エンド」までの一連の処理フローをみると、アライメント期間には、シャッタが閉となっている。各ステップが独立の処理として意味があることが明確である等、特別の事情がない限り、一連の処理フローの一部を捉えて構成が記載されていると主張することは、妥当ではない。本願の場合、上記の記載事項（１）〜（４）から明らかなように、シャッタ閉状態でのもれ光を検出するものであるので、請求人が補正の根拠として上げている段落【００１７】のフローの［ステップ１０２］〜［ステップ１０５］部分のみを抜き出すことは意味がない。
　
　してみると、シャッタ閉を限定しないアライメントする期間に、前記検出手段が前記エネルギーを検出する構成が、当初明細書に記載した事項の範囲外のものを含むことは明らかであり、そのような構成が当初明細書の記載から自明のことと認めることもできない。
　
５．むすび
　したがって、本件手続補正が、特許法第５３条第１項の規定により却下すべきものとした原決定は妥当である。
　よって結論のとおり審決する。