(57)【要約】【課題】非接触保持具に非接触にて懸垂保持されている端部に垂れを生じる柔軟なワークを搬送する。【解決手段】非接触保持具１に、非接触状態にて懸垂されているワーク２の端側面に接触し、ワークの水平移動を規制するために設けられた昇降を可能のストッパー３を付設し、ワークを懸垂時には、非接触保持具がワークの懸垂可能距離まで接近する位置にまで上昇し、懸垂保持搬送時にはワーク側面がストッパーに引っかかるまで下降する。  【選択図】図１
0003122750.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
気体をワーク表面に向かって噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持する非接触保持具の、非接触状態にて懸垂されているワークの端側面に接触し、ワークの水平移動を規制するために付設されたストッパーの昇降を可能としたことを特徴とする非接触搬送装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、半導体ウエハ等のワークを非接触接触状態にて保持し、搬送するロボットの移載装置のハンドとして用いられる搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、空気を噴出することによりワークを非接触状態にて懸垂保持する非接触保持具がある。
【０００３】
この非接触保持具をロボットに装着しワークを搬送する場合、非接触保持具がワークを吸引保持した場合、非接触保持具とワークは空中に浮遊した非接触状態にて懸垂保持されているので、ワークは水平方向には自由に移動可能で、非接触保持具から外れて落下し、搬送することができない。
【０００４】
そのため懸垂保持されているワークの水平方向の移動を規制するために、非接触保持具の側面に付着したワーク幅の間隔よりやや大きな間隔を有し、かつ懸垂保持されているワーク端部表面より下方に突出する固定されたストッパーによりワーク端部側面に接触させ、ワークの水平移動を規制することにより搬送を可能にしている。
【０００５】
そのため柔軟なワークの場合は、端部が垂れ下がり端部側面がストッパー下端より下になりストッパーに接触せず、そのため水平移動が規制されず、非接触保持具から外れ搬送できなかった。
【０００６】
また、ワークの垂れ下がった端部に接触するようにストッパーの高さを低くすると、
テーブル上に置かれたワークを吸引するには非接触保持具とワークとの間隔が大き過ぎるため、ワークの吸引ができないという欠点がある。
【０００７】
また固定されたストッパーを装着している非接触保持具では、ウエハチップを収納するトレーに収納されているチップ上面が周壁上面より下にあるため、非接触保持具とチップとの間隔が大きいため吸引できず、搬送が不可能である。
【特許文献１】特開昭６２−１０５８３１号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００８】
解決しようとする問題点は、テーブル上の柔軟なワークの懸垂保持が可能であり、非接触懸垂保持時に垂れたワーク端部側面が接触しているストッパーを備えた非接触保持装置を提供することである。
【０００９】
およびトレーに収納されたワークを非接触にて取り出し、搬送する非接触搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本願に於いて開示される考案のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば以下の通りである。
【００１１】
気体をワーク表面に向かって噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持する非接触保持具の、非接触状態にて懸垂されているワークの端側面に接触し、ワークの水平移動を規制するために付設されたストッパーの昇降を可能としたことを特徴とする非接触搬送装置。
【考案の効果】
【００１２】
本考案の昇降ストッパーを付設した非接触搬送装置は、ストッパーが非接触保持具の吸引可能な位置まで上昇するので、テーブル上の柔軟なワークを非接触にて懸垂保持可能であり、懸垂保持搬送時ではストッパーが垂れ下がったワーク端部側面より下降することによりワーク側面に接触し、ワークの逃げを防止するので搬送が可能である。
【００１３】
そのため柔軟なワークおよびトレーに収納されたワークの非接触搬送が可能である。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１４】
ストッパーは、ワークを懸垂時には、非接触保持具がワークの懸垂可能距離まで接近する位置にまで上昇し、懸垂保持搬送時にはワーク側面がストッパーに引っかかるまで下降することにより実現した。
【実施例１】
【００１５】
図１は、本考案の一実施形態である昇降ストッパー３を装着した非接触搬送装置Ａの側面１部断面図を、図２は上平面図を示す。
【００１６】
非接触搬送装置Ａは非接触保持具１と非接触保持具１に付設した昇降ストッパー３により形成されている。
【００１７】
非接触保持具１は、気体をワーク２に向かって噴出することにより、非接触保持具１とワーク２との間隙を通過する高速気流により減圧作用が生じ、その間隙が負圧になりワーク２を吸引し非接触にて懸垂保持する。
【００１８】
昇降ストッパー３は、非接触保持具１の上部から放射状に延びたバー４の先端部にバネ５により押し降げられた状態にてボルト６により取り付けられている。
【００１９】
昇降ストッパー３の昇降時の下端は、非接触保持具１がワーク２の懸垂可能距離よりやや下方、ワーク２上面より下方の位置である。
【００２０】
昇降ストッパー３の下降時の下端は、非接触保持具１がワーク２を非接触懸垂時の、ワーク２端部側面の垂れ下がった上面より下方の位置である。
【００２１】
上述の構成にて、図３に示すようにテーブル１９上に置かれたワーク２を搬送する場合、昇降ストッパー３の下端がテーブル８上に接触し、非接触保持具１が下降するとともにバネ５が縮まり昇降ストッパー３は上昇する。
【００２２】
非接触保持具１がワーク２の非接触吸引距離ｈまで下降接近した時に、非接触保持具１より気体をワーク２に向かって噴出する。
噴出した気体は、非接触保持具１とワーク２の間隙を通り、外部に排出する。
その間、非接触保持具１とワーク２の間隙を通る高速気流により、間隙は減圧される。
それによりワーク２は非接触保持具１に吸引され、非接触状態にて懸垂保持される。
【００２３】
その状態にて図４に示す搬送動作に移行する。
図４に示すようにワーク２を非接触状態にて保持している非接触保持具１を上昇させると、保持されているワーク２の端部は垂れ下がる。
【００２４】
昇降ストッパー３は、テーブル１９を離れるとバネ５が延び垂れ下がったワーク２の端部上面より下方の位置まで下降する。
【００２５】
そのため垂れ下がったワーク２の端部は昇降ストッパ３に接触し水平移動が妨げられ、非接触保持具１より外れることなく、非接触搬送装置Ａに非接触保持された状態にて移動し、搬送される。
【実施例２】
【００２６】
図５は、本考案の別の実施例の昇降ストッパー９を備えた非接触搬送装置Ｂの側面断面図である。図６はその下平面図である。
【００２７】
非接触保持具８の側面にネジ１２により取り付けられたホルダー１０内に、非接触保持具８の側面を摺動し昇降可能にバネ１１により押接されている昇降ストッパー９を設けて非接触搬送装置Ｂは形成されている。
【００２８】
非接触保持具８は、気体供給口１４より供給された気体がワーク１３に向かって噴出する。
噴出した気体は、非接触保持具８の底面とワーク１８との狭い間隙を高速にて通過する。
【００２９】
その際、その間隙は高速気流により減圧され、ワーク１８を非接触にて吸引保持する。
【００３０】
非接触にて吸引保持されているワーク１８は、自由に水平移動するが端部側面が昇降ストッパー９に接触して移動が制限され、非接触保持具８より外れることはなく、非接触搬送装置Ｂの移動とともに移動する。
【００３１】
図７に示すように、トレー１５の壁１７より低い窪み１６にある場合ワーク１８を非接触にて取り出す場合、壁１７に昇降ストッパー９を押し当て非接触保持具８を押し下げ、ワーク１８の吸引可能距離にまで接近させる。
【００３２】
その時点で気体をワーク１８に向かって気体を噴出させる。
ワーク１８は非接触保持具８に非接触状態にて懸垂保持され、その状態で非接触保持具８を上昇させると、昇降ストッパー９はバネ１１によりワーク１８の上面より押し下げられ、ワーク１８の端部側面に接触しワーク１８の水平移動を規制する。
【００３３】
この状態にて非接触搬送装置Ｂを移動すると、非接触保持具８より外れることはなく、非接触搬送装置Ｂの移動とともに移動する。
【００３４】
非接触保持具１は一般にベルヌーイチャックと同機構のものである。
【００３５】
非接触搬送装置Ａの昇降ストッパー３の昇降位置を変えることにより、テーブルの窪みにあるワークの非接触吸引保持、搬送も可能である。
【００３６】
昇降ストッパー３の昇降位置は、上記実施例とは別に適宜設定することができる。
【００３７】
昇降ストッパー３は実施例に記載したバネ５機構により昇降するもの以外に自重によるもの、センサーによりアクチュエータを駆動して昇降するもの、バー４のしなりを応用する機構のもの他、ストッパーを昇降可能にする機構のものであればよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本考案の実施例の非接触搬送装置Ａの側面図である。
【図２】本考案の実施例の非接触搬送装置Ａの平面図である。
【図３】本考案の実施例の非接触搬送装置Ａの作動図である。
【図４】本考案の実施例の非接触搬送装置Ａの他の作動図である。
【図５】本考案の実施例の非接触搬送装置Ｂの側面図である。
【図６】本考案の実施例の非接触搬送装置Ｂの下平面図である。
【図７】本考案の実施例の非接触搬送装置Ｂの作動図である。
【符号の説明】
【００３９】
１、８    非接触保持具  
２、１８  ワーク
３、９    昇降ストッパー
４        レバー  
５、１１  バネ
６、      ねじ
１０      ホルダー
１５     トレー
１９      テーブル
Ａ、Ｂ    非接触搬送装置
【図１】
0003122750.tif 000003
【図２】
0003122750.tif 000004
【図３】
0003122750.tif 000005
【図４】
0003122750.tif 000006
【図５】
0003122750.tif 000007
【図６】
0003122750.tif 000008
【図７】
0003122750.tif 000009