(57)【要約】      （修正有）【課題】気圧センサによる気圧の測定の正確さを確保することができる廃ガス処理装置を提供する。【解決手段】第１のスクラバー２と、反応器３と、第２のスクラバー４とを備えた廃ガス処理装置であって、第１のスクラバー２は、第１の内空間２１０を取り囲んでいる第１の本体２１と、外側から第１の本体２１にかけて設けられている上、一端に第１の内空間２１０と連通している第１の通気口を開口している第１のケーシング２２１と、第１のケーシング２２１内に配置され、一端に第１の内空間２１０と連通している第１の管２２２と、第１の管２２２の他端と連接している第１の気圧センサ２２３と、第１のケーシング２２１と連接している上、第１の通気口を経由して第１の内空間２１０と連通している第１の窒素ガス供給ポート２２４とから構成された第１の補助モジュール２２とを備える。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
第１のスクラバーと、前記第１のスクラバーの下流側に連通するように配置されている反応器と、前記反応器の下流側に連通するように配置されている第２のスクラバーと、を備えている廃ガス処理装置であって、
前記第１のスクラバーは、
第１の内空間を取り囲んでいる第１の本体と、
外側から前記第１の本体にかけて設けられている上、一端に前記第１の本体の前記第１の内空間と連通している第１の通気口を開口している第１のケーシングと、前記第１のケーシング内に配置されていると共に、一端に前記第１の本体の前記第１の内空間と連通している第１の管口を開口している第１の管と、前記第１の管の他端と連接している第１の気圧センサと、前記第１のケーシングと連接している上、前記第１の通気口を経由して前記第１の内空間と連通している第１の窒素ガス供給ポートと、から構成されている第１の補助モジュールと、を備えている、
ことを特徴とする廃ガス処理装置。
【請求項２】
前記第２のスクラバーは、
第２の内空間を取り囲んでいる第２の本体と、
外側から前記第２の本体にかけて設けられている上、一端に前記第２の本体の前記第２の内空間と連通している第２の通気口を開口している第２のケーシングと、前記第２のケーシング内に配置されていると共に、一端に前記第２の本体の前記第２の内空間と連通している第２の管口を開口している第２の管と、前記第２の管の他端と連接している第２の気圧センサと、前記第２のケーシングと連接している上、前記第２の通気口を経由して前記第２の内空間と連通している第２の窒素ガス供給ポートと、から構成されている第２の補助モジュールと、を備えている、
ことを特徴とする請求項１に記載の廃ガス処理装置。
【請求項３】
前記第１の補助モジュールの前記第１のケーシングは、一端が前記第１の通気口である第１の内室が取り囲まれるように構成されており、
前記第１の窒素ガス供給ポートは、前記第１の内室と連通するように前記第１のケーシングに連接されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の廃ガス処理装置。
【請求項４】
前記第２の補助モジュールの前記第２のケーシングは、一端が前記第２の通気口である第２の内室が取り囲まれるように構成されており、
前記第２の窒素ガス供給ポートは、前記第２の内室と連通するように前記第２のケーシングに連接されている、
ことを特徴とする請求項２に記載の廃ガス処理装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は汚染物質の処理装置に関し、具体的には、工業プロセスで発生した廃ガスを処理するための廃ガス処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、経済発展に伴い、例えば、半導体の製造工場や火力発電場の排気によって人体に有害な微粒子が増加して人間の健康に対しても地球環境に対してもダメージを与える大気汚染が問題になっている。このため、地球環境および人体を守るために、工業製品のプロセスラインにおいて、廃ガスを処理する重要性が注目されつつある。
【０００３】
図１を参照して従来の廃ガス処理装置１の構成について説明する。ここで、図１は従来の廃ガス処理装置１の構成が示される模式図である。
【０００４】
従来の廃ガス処理装置１は、図１に示されるように、廃ガスが発生する工業用装置(図示せず)の下流側に連結されていると共に、処理しようとする廃ガスを受け入れて水洗する第１のスクラバー１１と、第１のスクラバー１１の下流側に連通するように配置されていると共に、第１のスクラバー１１により水洗された廃ガスを受け入れて、該廃ガスに対して熱分解処理を実行する反応機構１２と、反応機構１２の下流側に連通するように配置されていると共に、反応機構１２により処理された廃ガスを受け入れて水洗することで比較的に清浄なガスにして、外側に排出する第２のスクラバー１３と、水洗を実行している際に生じた廃水、および熱分解処理において生じた晶体などの不要なものを収容する水槽１４と、を備えている。
【０００５】
第１のスクラバー１１は、図１に示されるように、内に内空間１０を画成している本体１１０と、外側から本体１１０にかけて設けられていると共に内空間１０へ窒素ガスを供することができる窒素ガス供給ポート１１１と、外側から本体１１０にかけて設けられていると共に内空間１０の気圧を測定することができる気圧センサ１１２と、を備えている。
【０００６】
なお、窒素ガスは、不活性ガスに属すため、本体１１０の内空間１０へ導入されると、内空間１０の内にある廃ガスと反応せずに、当該廃ガスの流動を促進することができる。このため、第１のスクラバー１１における本体１１０の内空間１０のうちに窒素ガスを導入することによって、当該廃ガスが含有する粉塵が、本体１１０の内表面に付着することを防止することができる。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の廃ガス処理装置は、窒素ガス供給ポートにより供される窒素ガスによって、廃ガスが含有する粉塵が、第１のスクラバーにおける本体の内表面に付着することを防止することができるが、気圧センサが内空間の気圧値を正確に測定するために、内空間における気圧を直接に感知する必要があるので、このような構成では、廃ガスによる粉塵が気圧センサに対して影響を与えないことを依然として確保することができない。
【０００８】
したがって、窒素ガス供給ポートに粉塵が付着して、気圧センサによる気圧測定の正確性が低くなる可能性があるので、該気圧値を判断して廃ガス処理装置を自動的に起動することに対して影響を与えることに加え、廃ガス処理装置の安全性に対しても悪影響を及ぼす恐れがある。
【０００９】
よって、本考案は上記問題点に鑑みて、上記欠点を解決できる廃ガス処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するための手段として、本考案は、第１のスクラバーと、前記第１のスクラバーの下流側に連通するように配置されている反応器と、前記反応器の下流側に連通するように配置されている第２のスクラバーと、を備えている廃ガス処理装置であって、
前記第１のスクラバーは、
第１の内空間を取り囲んでいる第１の本体と、
外側から前記第１の本体にかけて設けられている上、一端に前記第１の本体の前記第１の内空間と連通している第１の通気口を開口している第１のケーシングと、前記第１のケーシング内に配置されていると共に、一端に前記第１の本体の前記第１の内空間と連通している第１の管口を開口している第１の管と、前記第１の管の他端と連接している第１の気圧センサと、前記第１のケーシングと連接している上、前記第１の通気口を経由して前記第１の内空間と連通している第１の窒素ガス供給ポートと、から構成されている第１の補助モジュールと、を備えている廃ガス処理装置を提供する。
【考案の効果】
【００１１】
上記構成により、本考案の廃ガス処理装置は、第１のケーシングが第１の管を取り囲むように設けられて、第１の管における第１の管口、および第１のケーシングにおける第１の通気口が共に同じ箇所から第１の内空間と連通することによって、該廃ガス処理装置の作動時に、窒素ガスが第１の窒素ガス供給ポートにより第１の内空間に導入されると、該第１の通気口から噴出される窒素ガスの気流が、第１の管口の近傍にある廃ガスが含有する粉塵を第１の管口から離すことができるので、第１の気圧センサが粉塵に影響されない。
そのため、第１の気圧センサによる気圧値の測定の正確さを確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】従来の廃ガス処理装置の構成が示される模式図である。
【図２】本考案に係る第１の実施形態の廃ガス処理装置が示される模式図である。
【図３】該第１の実施形態の第１の補助モジュールが示される斜視図である。
【図４】該第１の実施形態の第１の補助モジュール及び第１の本体が互いに連接する部分が示される断面図である。
【図５】本考案に係る第２の実施形態の廃ガス処理装置が示される模式図である。
【図６】該第２の実施形態の第２の補助モジュールが示される斜視図である。
【図７】該第２の実施形態の第２の補助モジュール及び第２の本体が互いに連接する部分が示される断面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１３】
本考案に係る廃ガス処理装置１００は、例えば、半導体または化学品の製造工程において排出される有毒性が強い化学ガスを処理して、当該化学ガスの毒性を低下するようにしてから排出するためのものである。
【００１４】
以下、本考案に係る廃ガス処理装置１００について図面を参照して説明する。
【００１５】
（第１の実施形態）
図２〜図４を参照して本考案に係る廃ガス処理装置１００の第１の実施形態の構造を説明する。ここで、図２は本考案に係る第１の実施形態の廃ガス処理装置１００が示される模式図であり、図３は該第１の実施形態の第１の補助モジュール２２が示される斜視図であり、また、図４は該第１の実施形態の第１の補助モジュール２２及び第１の本体２１が互いに連接する部分が示される断面図である。
【００１６】
本考案に係る第１の実施形態の廃ガス処理装置１００は、図２に示されるように、第１のスクラバー２と、第１のスクラバー２の下流側に連通するように配置されている反応器３と、反応器３の下流側に連通するように配置されている第２のスクラバー４と、を備えている。
【００１７】
ここで、本実施形態の第１のスクラバー２、および第２のスクラバー４は、内部においてスプリンクラー(図示せず)が廃ガスに対して洗浄液を噴霧して浄化を実行するものである。そして、反応器３は、処理する廃ガスの成分に従って反応ガスを導入して、第１のスクラバー２において浄化された廃ガスおよび対応する反応ガスを、化学反応により比較的に無害なガスにする場所である。
【００１８】
なお、廃ガスの処理方法そのものに関しては、本考案において重要な特徴ではなく、同業者であれば、周知技術に基づいて利用できると考えるので、ここで詳細な説明を省略する。
【００１９】
第１のスクラバー２は、図２に示されるように、第１の内空間２１０を取り囲んでいる第１の本体２１と、外側から第１の本体２１にかけて設けられている第１の補助モジュール２２と、を備えている。
【００２０】
第１の補助モジュール２２は、図２〜図４に示されるように、一端に第１の本体２１の第１の内空間２１０と連通している第１の通気口２２９を開口している第１のケーシング２２１と、第１のケーシング２２１内に配置されていると共に、一端に第１の本体２１の第１の内空間２１０と連通している第１の管口２２８を開口している第１の管２２２と、第１の管２２２の他端と連接している第１の気圧センサ２２３と、第１のケーシング２２１と連接している上、第１の通気口２２９を経由して第１の内空間２１０と連通している第１の窒素ガス供給ポート２２４と、から構成されている。
【００２１】
より具体的に言うと、第１のケーシング２２１は、図２及び図４に示されるように、一端が第１の通気口２２９である第１の内室２９９が取り囲まれるように両端を有する筒形に形成されていると共に、一端が第１の内空間２１０と連通する第１の通気口２２９となるように第１の本体２１に連接されているものである。そして、第１の窒素ガス供給ポート２２４は、第１のケーシング２２１の第１の内室２９９と連通するように第１のケーシング２２１に連接されていて、第１の内室２９９及びその一端である第１の通気口２２９を経由して第１の内空間２１０と連通している。
【００２２】
そして、第１の管２２２は、図２及び図４に示されるように、両端を有する管形に形成されていると共に、一端が延伸して第１のケーシング２２１の他端から第１のケーシング２２１内に入ってから、第１の通気口２２９を経由して第１の内空間２１０に突出し、該第１の内空間２１０と連通する第１の管口２２８となるように配置されているものである。
【００２３】
このような構成によれば、第１の実施形態の廃ガス処理装置１００は、第１のケーシング２２１が第１の管２２２を取り囲むように第１の本体２１に設けられて、第１の管２２２における第１の管口２２８、および第１のケーシング２２１における第１の通気口２２９が共に同じ箇所から第１の内空間２１０と連通することによって、該廃ガス処理装置１００が作動している際に、第１の窒素ガス供給ポート２２４から供された窒素ガスが、第１の内室２９９そして第１の通気口２２９を経由して第１の内空間２１０に噴出されると、この噴出の気流によって当該窒素ガスが第１の管口２２８から第１の管２２２内に流入することが阻まれる。即ち、該噴出される窒素ガスの気流が、第１の管口２２８の近傍にある粉塵を第１の管口２２８から離すことができる。よって、廃ガスによる粉塵が第１の管２２２内に流入することなく、第１の気圧センサ２２３が第１の管２２２の他端から第１の内空間２１０内の気圧を測定することに影響を与えない。
【００２４】
（第２の実施形態）
図５〜図７を参照して本考案に係る廃ガス処理装置１００の第２の実施形態の構造を説明する。ここで、図５は本考案に係る第２の実施形態の廃ガス処理装置１００が示される模式図であり、図６は該第２の実施形態の第２の補助モジュール４２が示される斜視図であり、また、図７は該第２の実施形態の第２の補助モジュール４２及び第２の本体４１が互いに連接する部分が示される断面図である。
本考案に係る廃ガス処理装置１００の第２の実施形態は、上記第１の実施形態と多くの構成が共通するので、ここでは詳しい説明を省略し、その相違点のみを説明する。
【００２５】
本実施形態では、第２のスクラバー４には、図５に示されるように、第２の内空間４１０を取り囲んでいる第２の本体４１と、外側から第２の本体４１にかけて設けられている第２の補助モジュール４２と、が更に備わっている。
【００２６】
第２の補助モジュール４２は、図５〜図７に示されるように、一端に第２の本体４１の第２の内空間４１０と連通している第２の通気口４２９を開口している第２のケーシング４２１と、第２のケーシング４２１内に配置されていると共に、一端に第２の本体４１の第２の内空間４１０と連通している第２の管口４２８を開口している第２の管４２２と、第２の管４２２の他端と連接している第２の気圧センサ４２３と、第２のケーシング４２１と連接している上、第２の通気口４２９を経由して第２の内空間４１０と連通している第２の窒素ガス供給ポート４２４と、から構成されている。
【００２７】
また、第２の補助モジュール４２の第２のケーシング４２１は、図６及び図７に示されるように、一端が第２の通気口４２９である第２の内室４９９が取り囲まれるように構成されており、そして、第２の窒素ガス供給ポート４２４は、第２の内室４９９と連通するように第２のケーシング４２１に連接されている。
【００２８】
なお、本実施形態において、図５に示されるように、第１のスクラバー２にも、第２のスクラバー４にも、補助モジュール２２、４２を備えており、且つ、本実施形態の第２の補助モジュール４２は、図３と図４と図６と図７に示されるように、第１の実施形態に係る第１の補助モジュール２２と同一の構成を有している。
【００２９】
このような構成により、第２の実施形態の廃ガス処理装置１００によれば、処理する廃ガスが第１のスクラバー２および反応器３を経ることで、当該廃ガスにおける粉塵の量が大いに減少され得るが、第２のスクラバー４に第２の補助モジュール４２を設置して、第１のスクラバー２の第１の補助モジュール２２と同様な機能を発揮することによって、第２の内空間４１０内の気圧を測定することに影響に与えることなく、該気圧を正確に測定することができる。
【００３０】
そのため、本考案に係る廃ガス処理装置１００の第２の実施形態は、第１の実施形態よりもより一層全体的な機能を確保することができる。
【００３１】
総括すると、上記した構成によれば、本考案の廃ガス処理装置１００は、作動時に廃ガスが含有する粉塵が、該窒素ガスで本体２１、４１の内表面に付着することを防止することができるのみならず、気圧センサ２２３、４２３による気圧値の測定の正確さをも確保することができる。
【００３２】
以上、本考案の好ましい実施形態及び変化例を説明したが、本考案はこれらに限定されるものではなく、最も広い解釈の精神および範囲内に含まれる様々な構成として、全ての修飾および均等な構成を包含するものとする。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
上記のように記載された構成によって、本考案に係る廃ガス処理装置は、気圧センサによる気圧値の測定の正確さを確保することに有用である。そのため、産業上の利用可能性がある。
【符号の説明】
【００３４】
１  従来の廃ガス処理装置
１１  第１のスクラバー
１２  反応機構
１３  第２のスクラバー
１４  水槽
１０  内空間
１１０  本体
１１１  窒素ガス供給ポート
１１２  気圧センサ
１００  廃ガス処理装置
２  第１のスクラバー
２１  第１の本体
２１０  第１の内空間
２２  第１の補助モジュール
２２１  第１のケーシング
２２２  第１の管
２２３  第１の気圧センサ
２２４  第１の窒素ガス供給ポート
２２８  第１の管口
２２９  第１の通気口
２９９  第１の内室
３  反応器
４  第２のスクラバー
４１  第２の本体
４１０  第２の内空間
４２  第２の補助モジュール
４２１  第２のケーシング
４２２  第２の管
４２３  第２の気圧センサ
４２４  第２の窒素ガス供給ポート
４２８  第２の管口
４２９  第２の通気口
４９９  第２の内室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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