【手続補正書】
【提出日】平成18年11月13日(2006.11.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  物体の歪みを計測する歪み計測装置であって、
前記物体に生じる歪みを検出する歪み検出素子と、
前記物体に固定されると共に、前記歪み検出素子が固着されて前記物体の歪みを前記歪み検出素子に伝達する伝達部材とを備え、
前記伝達部材は、前記物体の前記伝達部材の長手方向の歪みを前記歪み検出素子に伝達するように前記物体に固定されることを特徴とする歪み計測装置。
【請求項２】  前記伝達部材は、前記長手方向に平行な直線上の離間する２点で前記物体に固定されていることを特徴とする請求項１に記載の歪み計測装置。
【請求項３】  前記伝達部材には、前記長手方向に平行な複数のスリットが形成されていることを特徴とする請求項１に記載の歪み計測装置。
【請求項４】  前記歪み検出素子を複数備え、前記複数の歪み検出素子は前記長手方向に平行な直線に重ならないように離間して配置されていることを特徴とする請求項１に記載の歪み計測装置。
【請求項５】  前記伝達部材と前記物体とは、前記伝達部材に形成された台座を介して当接していることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の歪み計測装置。
【請求項６】  前記歪み検出素子を複数備え、前記複数の歪み検出素子は前記長手方向に平行な直線と交差するように離間して配置されていることを特徴とする請求項１に記載の歪み計測装置。
【請求項７】  前記歪み検出素子は、圧電素子であることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の歪み計測装置。
【請求項８】  前記物体は、半導体製造工程において基板又は原版を移動させる移動ステージであることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の歪み計測装置。
【請求項９】  物体に発生する歪みを抑制する歪み抑制装置であって、
前記物体に対して歪みによる力を発生する歪み発生素子と、
前記物体に固定されると共に、前記歪み発生素子が固着されて前記歪み発生素子の歪みによる力を前記物体に伝達する伝達部材とを備え、
前記伝達部材は、前記歪み発生素子の前記伝達部材の長手方向の歪みによる力を前記物体に伝達するように固定されて、前記物体の歪みを抑制することを特徴とする歪み抑制装置。
【請求項１０】  前記伝達部材は、前記長手方向に平行な直線上の離間する２点で前記物体に固定されていることを特徴とする請求項９に記載の歪み抑制装置。
【請求項１１】  前記伝達部材には、前記長手方向に平行な複数のスリットが形成されていることを特徴とする請求項９に記載の歪み抑制装置。
【請求項１２】  歪み検出素子を複数備え、前記複数の歪み検出素子は前記長手方向に平行な直線に重ならないように離間して配置されていることを特徴とする請求項９に記載の歪み抑制装置。
【請求項１３】  前記伝達部材と前記物体とは、前記伝達部材に形成された台座を介して当接していることを特徴とする請求項９乃至請求項１２のいずれか１項に記載の歪み抑制装置。
【請求項１４】  歪み検出素子を複数備え、前記複数の歪み検出素子は前記長手方向に平行な直線と交差するように離間して配置されていることを特徴とする請求項９に記載の歪み抑制装置。
【請求項１５】  前記歪み検出素子は、圧電素子であることを特徴とする請求項１２又は請求項１４に記載の歪み抑制装置。
【請求項１６】  前記物体は、半導体製造工程において基板又は原版を移動させる移動ステージであることを特徴とする請求項９乃至請求項１５のいずれか１項に記載の歪み抑制装置。
【請求項１７】  物体に生じる歪みを検出する歪み検出素子を有する歪み計測装置の制御方法であって、
前記物体に固定される伝達部材を介して、前記物体の前記伝達部材の長手方向の歪みを前記歪み検出素子に伝達することにより、前記物体に生じる歪みを検出する歪み検出工程を含むことを特徴とする歪み計測装置の制御方法。
【請求項１８】  物体に対して歪みによる力を発生する歪み発生素子を有する歪み抑制装置の制御方法であって、
前記物体に固定される伝達部材を介して、前記歪み発生素子の歪みによる力を前記伝達部材の長手方向に前記物体に伝達することにより、前記物体の歪みを抑制する歪み抑制工程を含むことを特徴とする歪み抑制装置の制御方法。
【請求項１９】  請求項１７または請求項１８に記載の制御方法により制御されるステージ位置決め装置を利用してパターンを転写することを特徴とする露光装置。
【請求項２０】  半導体デバイスの製造方法であって、
基板に感光材を塗布する塗布工程と、
前記塗布工程で前記感光材が塗布された前記基板に請求項１９に記載の露光装置を利用してパターンを転写する露光工程と、
前記露光工程で前記パターンが転写された前記基板の前記感光材を現像する現像工程と、
を有することを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【課題を解決するための手段】  
本発明の第１の側面は、物体の歪みを計測する歪み計測装置に係り、前記物体に生じる歪みを検出する歪み検出素子と、前記物体に固定されると共に、前記歪み検出素子が固着されて前記物体の歪みを前記歪み検出素子に伝達する伝達部材とを備え、前記伝達部材は、前記物体の前記伝達部材の長手方向の歪みを前記歪み検出素子に伝達するように前記物体に固定されることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記伝達部材は、前記長手方向に平行な直線上の離間する２点で前記物体に固定されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記伝達部材には、前記長手方向に平行な複数のスリットが形成されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記歪み検出素子を複数備え、前記複数の歪み検出素子は前記長手方向に平行な直線に重ならないように離間して配置されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記伝達部材と前記物体とは、前記伝達部材に形成された台座を介して当接している。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記歪み検出素子を複数備え、前記複数の歪み検出素子は前記長手方向に平行な直線と交差するように離間して配置されている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明の第２の側面は、物体に発生する歪みを抑制する歪み抑制装置に係り、前記物体に対して歪みによる力を発生する歪み発生素子と、前記物体に固定されると共に、前記歪み発生素子が固着されて前記歪み発生素子の歪みによる力を前記物体に伝達する伝達部材とを備え、前記伝達部材は、前記歪み発生素子の前記伝達部材の長手方向の歪みによる力を前記物体に伝達するように固定されて、前記物体の歪みを抑制することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記伝達部材は、前記長手方向に平行な直線上の離間する２点で前記物体に固定されている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記伝達部材には、前記長手方向に平行な複数のスリットが形成されている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明の好適な実施の形態によれば、歪み検出素子を複数備え、前記複数の歪み検出素子は前記長手方向に平行な直線に重ならないように離間して配置されている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明の好適な実施の形態によれば、前記伝達部材と前記物体とは、前記伝達部材に形成された台座を介して当接している。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明の好適な実施の形態によれば、歪み検出素子を複数備え、前記複数の歪み検出素子は前記長手方向に平行な直線と交差するように離間して配置されている。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
本発明の第３の側面は、物体に生じる歪みを検出する歪み検出素子を有する歪み計測装置の制御方法に係り、前記物体に固定される伝達部材を介して、前記物体の前記伝達部材の長手方向の歪みを前記歪み検出素子に伝達することにより、前記物体に生じる歪みを検出する歪み検出工程を含むことを特徴とする。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
本発明の第４の側面は、物体に対して歪みによる力を発生する歪み発生素子を有する歪み抑制装置の制御方法に係り、前記物体に固定される伝達部材を介して、前記歪み発生素子の歪みによる力を前記伝達部材の長手方向に前記物体に伝達することにより、前記物体の歪みを抑制する歪み抑制工程を含むことを特徴とする。