【手続補正書】
【提出日】平成18年6月30日(2006.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】インクジェット記録ヘッド
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  インクを吐出する複数のインク吐出口と、
該個々のインク吐出口に対応して設けられ、インクに熱エネルギーを与えて吐出させる電気熱変換素子を前記吐出口に対向して備える複数の圧力室と、
該複数の圧力室にインクを供給する共通液室と、
前記圧力室と前記共通液室とを連通させるとともに、前記電気熱変換素子上に発生した気泡の消泡に伴いインクを前記共通液室から前記圧力室内へ流入させるための複数のインク流路と、
前記電気熱変換素子が形成された基板と、
を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記インク流路は、前記基板に平行な断面で、前記共通液室から前記圧力室へ向かう方向に一組の平行なインク流路壁によって形成された部分を備え、該部分の流路の中心線に平行かつ、前記電気熱変換素子の中心を通る中心線が、前記一組の平行なインク流路壁によって形成された部分の中心線から偏倚しており、
前記インク吐出口の中心が前記電気熱変換素子の中心から前記共通液室側にオフセットされて位置するように配置されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】  前記圧力室は実質的に円柱形の形状を有する、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】  前記オフセットの量は１〜１０μｍである、請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】  前記オフセットの量は３〜１０μｍである、請求項１から３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】  前記電気熱変換素子の中心が前記圧力室の中心からオフセットされて位置するように配置されている、請求項１から４のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】  前記圧力室の、前記インク吐出口が連絡している面に平行な面内で見て、前記電気熱変換素子が占める領域は、前記インク吐出口の、前記圧力室に連絡する部分の縁に囲まれる領域内に含まれている、請求項１から５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】  前記インク吐出口は、前記圧力室側に向かって断面積が増加するように、側壁にテーパが付けられている、請求項６に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】  前記圧力室の、前記インク吐出口が連絡している面に平行な面内で見て、前記電気熱変換素子の占める領域が、前記インク吐出口の、インク吐出面側の開口の縁からはみ出している部分において、前記インク吐出口の、インク吐出面側の開口の縁から前記電気熱変換素子の縁までの距離は、任意の位置で実質的に等しい、請求項７に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】  前記インク吐出口の中心が前記電気熱変換素子の中心からオフセットされて位置するように配置されており、前記インク吐出口は、前記電気熱変換素子からオフセットされている方向に長い形状を有している、請求項６から８のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】  前記インク吐出口は、前記電気熱変換素子に電力を供給する配線が接続されている方向に長い形状を有している、請求項６から８のいずれか１項に記載の、インクジェット記録ヘッド。
【請求項１１】  前記インク流路の、前記電気熱変換素子の中心線からのオフセット方向が、一列に並んで配置されている複数の前記インク流路について同じ方向である、請求項１から９のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１２】  複数の前記インク流路が並んで構成されたインク流路列が、前記共通液室を挟んで対向するように２列形成されており、対向する前記インク流路列に属する前記インク流路の、前記電気熱変換素子の中心線からのオフセット方向が、前記インク流路列の並び方向と平行な線に関して線対称な方向である、請求項１から１１のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１３】  長さが異なる複数の前記インク流路の流抵抗の差が１０％以内である、請求項１から１２のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１４】  前記インク流路の前記共通液室側の領域の単位長さ辺りの流抵抗が、前記インク流路の前記吐出口側の領域の流抵抗よりも小さい、請求項１３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１５】  複数の前記インク吐出口が、印字方向にオフセットして配置されている、請求項１３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インク等の記録液を吐出口から吐出して液滴を形成して記録動作を行う記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドに関する。なお、本発明のインクジェット記録ヘッドは、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用記録装置に適用することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前述の目的を達成するため、本発明によるインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出する複数のインク吐出口と、該個々のインク吐出口に対応して設けられ、インクに熱エネルギーを与えて吐出させる電気熱変換素子を前記吐出口に対向して備える複数の圧力室と、該複数の圧力室にインクを供給する共通液室と、前記圧力室と共通液室とを連通させとともに、前記電気熱変換素子上に発生した気泡の消泡に伴いインクを前記共通液室から前記圧力室内へ流入させるための複数のインク流路と、前記電気熱変換素子が形成された基板と、を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク流路は、前記基板に平行な断面で、前記共通液室から前記圧力室へ向かう方向に一組の平行なインク流路壁によって形成された部分を備え、該部分の流路の中心線に平行かつ、前記電気熱変換素子の中心を通る中心線が、前記一組の平行なインク流路壁によって形成された部分の中心線から偏倚しており、前記インク吐出口の中心が前記電気熱変換素子の中心から前記共通液室側にオフセットされて位置するように配置されていることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、前記インク吐出口の中心が、前記電気熱変換素子の中心から前記インク流路側にオフセットした位置に配置されている構成とすることにより、吐出口側インクが気泡の消泡時の収縮に伴って電気熱変換素子に向かって移動する際の速度ベクトルの方向を不安定に揺らがせたり、電気熱変換素子に対して垂直ではなく傾いた速度ベクトルを持たせたりすることができる。また更に、吐出口側インクが電気熱変換素子に衝突する個所を共通液室側から流入してくる液室側インクによって吐出口側インクが衝突する前に覆ってしまうことが可能となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、インク吐出口の中心が電気熱変換素子の中心からオフセットされて位置するように配置されている場合、インク吐出口は、電気熱変換素子からオフセットされている方向に長い形状とすることが好ましい。このようにすることによって、インク吐出口の大きさ、またはそのテーパ角を最小限の大きさに保ちつつ、インク吐出口の、圧力室に連絡する部分の縁に囲まれる領域内に電気熱変換素子が占める領域が含まれるようにすることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、インク吐出口を、電気熱変換素子に電力を供給する配線が接続されている方向に長い形状とすることも好ましい。この構成によれば、電気熱変換素子と配線との接続部が、インク吐出口の、圧力室に連絡する部分の縁に囲まれる領域内に含まれるようにでき、したがって、接続部へのキャビテーションの影響を低減することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
同様に、複数のインク流路が並んで構成されたインク流路列が、共通液室を挟んで対向するように２列形成されており、対向するインク流路列に属するインク流路の、電気熱変換素子の中心線からのオフセット方向が、インク流路列の並び方向と平行な線に関して線対称な方向である構成とすることが好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５０】
（第３の参考例）
図３に、本参考例のインクジェット記録ヘッドのノズル部分の模式図を示す。図３（ａ）は、吐出口形成部材を外した状態で示した平面図、図３（ｂ）は、吐出口形成部材の上方から見た平面図、図３（ｃ）は図３（ａ）のＰ−Ｐ’線に沿って切断した断面図を示している。同図において第１、第２の参考例と同様の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５４】
次に、電気熱変換素子のキャビテーションによる損傷を回避する構成を有するインクジェット記録ヘッドについて説明する。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５５】
（第４の参考例）
図４に、本参考例のインクジェット記録ヘッドのノズル部分の模式図を示す。図４（ａ）は、吐出口形成部材を外した状態で示した平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿って切断した断面図を示している。同図において第１〜３の参考例と同様の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５７】
本参考例は、インク流路８３をこのように配置することにより、消泡時のインクのリフィルの流れに、回転する流れ成分を生じさせ、キャビテーションの影響、特に電気熱変換素子５１への影響を低減しようとするものである。このことについて、消泡工程を示す図５を参照して説明する。図５は、ノズルの模式的平面図であり、消泡工程の各推移状態を図５（ａ）〜図５（ｆ）の順に示している。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６１】
以上のように、本参考例のインクジェット記録ヘッドでは、消泡時に圧力室５５内のインク流れに回転成分が発生するため流体的に不安定で消泡位置がゆらぎやすい。また、消泡が上下に長い領域に分散されて生じるため、キャビテーションの衝撃も連続した領域内に対して広範囲に分散される。その結果、キャビテーションの衝撃は一点に集中せず電気熱変換素子５１の受ける衝撃力を小さくできる。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６３】
本参考例のインクジェット記録ヘッドにおいても、隣接するノズル間の駆動タイミングをずらしているため、隣接するノズルの吐出口５２の、印字方向の位置はずれており、図６に示すように、インク流路８３の長さにノズル間で差が生じている。そして、このように長さが異なるインク流路８３間の流抵抗を揃えるために、本参考例においても、インク流路８３の幅や高さを変化させている。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６４】
この際、インク流路８３が圧力室５５の中心線からオフセットして配置されているため、インク流路８３の幅が異なると（例えば図６のＷＡとＷＢ）、電気熱変換素子５１とインク流路８３との位置関係に差が生じてくる。このため、本参考例では、電気熱変換阻止５１の中心位置までの流抵抗を算出して、この流抵抗を全てのノズル間で揃えるようにすることが好ましい。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７２】
（第１の実施形態）
図１０は、本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の実施形態におけるノズル部分を示す模式図である。同図（ａ）は、吐出口形成部材を透視した状態で示した平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿って切断した断面図を示している。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７３】
本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、インク流路８３が、その中心線が電気熱変換素子５１の中心線からオフセットした位置に位置するように配置されているとともに、吐出口５２が、その中心が電気熱変換素子５１の中心からインク流路側である共通液室５４に向かう方向にオフセット量Ｘだけオフセットした位置に位置するように配置されている。本実施形態のインクジェット記録ヘッドのその他の構成は、第４の参考例に示したインクジェット記録ヘッドと同様であるので、詳しい説明は省略する。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１２】
（第２の実施形態）
図１８は、本発明のインクジェット記録ヘッドの第２の実施形態におけるノズル部分を示す模式図である。同図（ａ）は、吐出口形成部材を透視した状態で示した平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ’線に沿って切断した断面図を示している。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１３】
本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、インク流路８３が、その中心線が電気熱変換素子５１の中心線からオフセットした位置に位置するように配置されているとともに、吐出口５２が、その中心が電気熱変換素子５１の中心からインク流路側であるインク流路８３の中心線の方向にオフセット量Ｙだけオフセットした位置に位置するように配置されている。本実施形態のインクジェット記録ヘッドのその他の構成は、第４の参考例および第１の実施形態のインクジェット記録ヘッドと同様であるので、詳しい説明は省略する。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２２６】
（第３の実施形態）
図２１は、本発明のインクジェット記録ヘッドの第３の実施形態におけるノズル部分を示す模式図である。同図（ａ）は、吐出口形成部材を透視した状態で示した平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿って切断した断面図、同図（ｃ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ’線に沿って切断した断面図を示している。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２２７】
本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、インク流路８３が、その中心線が電気熱変換素子５１の中心線からオフセットした位置に位置するように配置されていることに加え、吐出口５２が、その中心が電気熱変換素子５１の中心から共通液室５４に向かう方向にオフセット量Ｘだけオフセットした位置に位置するように配置されているとともに、その中心が電気熱変換素子５１の中心からインク流路８３の中心線の方向にオフセット量Ｙだけオフセットした位置に位置するように配置されている。本実施形態のインクジェット記録ヘッドのその他の構成は、第４の参考例および第１、２の実施形態に示したインクジェット記録ヘッドと同様であるので、詳しい説明は省略する。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２２８】
本実施形態の構成によっても、上述の第１および第２の実施形態と同様に、吐出口５２と気泡との間のインクが、気泡の消泡時の収縮に伴って電気熱変換素子５１の方向に移動する際に、電気熱変換素子５１に対して垂直ではなく圧力室５５の奥側に傾いた速度ベクトルを持つ。そのため、消泡過程は、インクが電気熱変換素子５１の一部の個所に垂直に集中して衝突することなく終了する。
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２３４】
なお、本実施形態のように吐出口５２を２つの方向にオフセットさせた場合には、電気熱変換素子５１の中心からの吐出口５２の中心のオフセット量をＺとすると、オフセット量ＺはＺ＝√（Ｘ2＋Ｙ2）と表すことができる。したがって、本実施形態におけるオフセット量Ｚを図１０に示す第１の実施形態や図１８に示す第２の実施形態におけるオフセット量と同程度にする場合には、図２１に示す各オフセット量Ｘ，Ｙは、第１の実施形態または第２の実施形態におけるオフセット量Ｘ，Ｙよりも小さくなる。したがって、本実施形態は、第１および第２の実施形態に比べて、電気熱変換素子５１の中心からの吐出口５２の中心のオフセット量Ｘ，Ｙを相対的に小さく保ちながらも、第１および第２の実施形態の場合と同じように、吐出口５２と気泡とのインクの速度ベクトルを圧力室５５の奥側へ向かわせることができるという利点がある。
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２３５】
（第４の実施形態）
図２２は、本発明のインクジェット記録ヘッドの第４の実施形態におけるノズル部分を示す模式図である。同図（ａ）は、吐出口形成部材を透視した状態で示した平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿って切断した断面図を示している。
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２３６】
本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、インク流路８３が、その中心線が電気熱変換素子５１の中心線からオフセットした位置に位置するように配置されている。さらに、吐出口５２が、その中心が圧力室５５の中心から共通液室５４に向かう方向にオフセットした位置に位置するように配置されているとともに、電気熱変換素子５１が、その中心が圧力室５５の中心から、圧力室５５の奥側に向かう方向にオフセットした位置に位置するように配置されている。本実施形態での吐出口５２と電気熱変換素子５１との相対的な位置関係は、図１０示したものと同じである。本実施形態の特徴は、電気熱変換素子５１の中心を圧力室５５の中心に対してオフセット配置したことにある。その他の構成は、第１の実施形態のインクジェット記録ヘッドと同様であるので、詳しい説明は省略する。
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２４３】
（第５の実施形態）
図２３は、本発明のインクジェット記録ヘッドの第５の実施形態におけるノズル部分を示す模式図である。同図（ａ）は、吐出口形成部材を透視した状態で示した平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿って切断した断面図を示している。
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２４４】
本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、インク流路８３が、その中心線が電気熱変換素子５１の中心線からオフセットした位置に位置するように配置されている。さらに、吐出口５２が、その中心が圧力室５５の中心から共通液室５４に向かう方向にオフセット量Xだけオフセットした位置に位置するように配置されている。吐出口５２は、圧力室５５内に向かって断面積が増えるように、側壁にテーパが付けられている。図２３（ａ）には、吐出口５２の圧力室５５に連絡する部分の縁、すなわち吐出口テーパ下端６０を破線で示している。図から明らかなように、本実施形態のインクジェット記録ヘッドでは、圧力室５５の、吐出口５２が連絡している面に平行な面内で見て、電気熱変換素子５１が占める領域は、吐出口テーパ下端６０に囲まれる領域内に含まれている。本実施形態のインクジェット記録ヘッドのその他の構成は、第４の参考例および第１〜４の実施形態に示したインクジェット記録ヘッドと同様であるので、詳しい説明は省略する。
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２４９】
（第６の実施形態）
図２６は、本発明のインクジェット記録ヘッドの第６の実施形態におけるノズル部分を示す模式図である。同図（ａ）は、吐出口形成部材を透視した状態で示した平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿って切断した断面図を示している。
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２５０】
本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、吐出口５２が、吐出口５２の中心の、電気熱変換素子５１の中心からのオフセット方向に長い長方形の形状を有している点が、第５の実施形態の構成と異なる。その他の構成は、第５の実施形態と同様であり詳しい説明は省略する。
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２５４】
（第７の実施形態）
図２７は、本発明のインクジェット記録ヘッドの第７の実施形態におけるノズル部分を示す模式図である。同図（ａ）は、吐出口形成部材を透視した状態で示した平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿って切断した断面図、同図（ｃ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ’線に沿って切断した断面図を示している。
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２５５】
本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、吐出口５２が、電気熱変換素子５１の配線６２が接続された方向に長い長方形状を有している点が、第５の実施形態の構成と異なる。その他の構成は、第５の実施形態と同様であり詳しい説明は省略する。
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
第４の参考例のインクジェット記録ヘッドのノズル部分の模式図であり、図４（ａ）は、吐出口形成部材を透視した状態で示した平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿って切断した断面図である。
【手続補正４６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の実施形態におけるノズル部分を示す模式図である。
【手続補正４７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
第１の実施形態に対する比較例のインクジェット記録ヘッドの消泡工程を示す図であり、図１３（ａ）は、吐出口形成部材を透視した状態で示す平面図、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）のＣ−Ｃ’線に沿って切断した断面図を示している。
【手続補正４８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の実施形態の変形例の消泡工程を示す、吐出口形成部材を透視した状態で示す平面図である。
【手続補正４９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１８】
本発明のインクジェット記録ヘッドの第２の実施形態におけるノズル部分を示す模式図である。
【手続補正５０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２１】
本発明のインクジェット記録ヘッドの第３の実施形態におけるノズル部分を示す模式図である。
【手続補正５１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２２】
本発明のインクジェット記録ヘッドの第４の実施形態におけるノズル部分を示す模式図である。
【手続補正５２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２３】
本発明のインクジェット記録ヘッドの第５の実施形態におけるノズル部分を示す模式図である。
【手続補正５３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２６】
本発明のインクジェット記録ヘッドの第６の実施形態におけるノズル部分を示す模式図である。
【手続補正５４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２７】
本発明のインクジェット記録ヘッドの第７の実施形態におけるノズル部分を示す模式図である。