(57)【要約】【課題】多チャンネル光導波路の光学損失を、短時間で効率的に測定することができる多チャンネル光導波路の検査装置を提供する。【解決手段】検査装置１は、光源を有する光入力部（Ａ）と、多チャンネル光導波路を固定するための固定部（Ｂ）と、検出器を有する検出部（Ｃ）を備えている。光入力部（Ａ）は、複数の光ファイバ４ａを有する入射用ファイバアレイ４と、入射用ファイバアレイ４を多チャンネル光導波路５の幅方向に水平移動させるための移動手段（ステッピングモータ７及び稼動ステージ８）を備えている。検出部（Ｃ）は、複数の光ファイバ１４ａを有する出射用ファイバアレイ１４と、出射用ファイバアレイ１４を多チャンネル光導波路５の幅方向に水平移動させるための移動手段（ステッピングモータ１６及び稼動ステージ１７）を備えている。【選択図】図１
0003127820.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
複数のコア部分を含む多チャンネル光導波路における各コア部分の光学損失を検査するための、多チャンネル光導波路の検査装置であって、
多チャンネル光導波路に光を入射するための光入力部と、多チャンネル光導波路から出射した光の強度を検出するための光検出部と、多チャンネル光導波路を固定するための光導波路固定部を備えており、
前記光入力部は、前記多チャンネル光導波路に光を入射するための、２つ以上のコア部分を有する入射用ファイバアレイと、該入射用ファイバアレイの２つ以上のコア部分に対して順次、入射する光路を切り替えて光を供給可能な光路切替装置と、該光路切替装置に光を供給するための光源と、前記入射用ファイバアレイを多チャンネル光導波路の幅方向に水平移動するための移動手段を備えており、
前記光検出部は、前記多チャンネル光導波路から出射した光を受光するための、２つ以上のコア部分を有する出射用ファイバアレイと、該出射用ファイバアレイの２つ以上のコア部分に対して順次、出射する光路を切り替えて、該出射用ファイバアレイからの光を受光可能な光路切替装置と、該光路切替装置を通過した光の強度を検出するための光検出器と、前記出射用ファイバアレイを多チャンネル光導波路の幅方向に水平移動するための移動手段を備えた多チャンネル光導波路の検査装置。
【請求項２】
前記光導波路固定部は、前記多チャンネル光導波路を載置するための、複数の吸着孔を有する吸着板と、該吸着板の複数の吸着孔を介した吸着により前記多チャンネル光導波路を該吸着板に固定するための吸着装置を備えた請求項１記載の多チャンネル光導波路の検査装置。
【請求項３】
前記複数の吸着孔を有する吸着板が、多孔質吸着板である請求項２記載の多チャンネル光導波路の検査装置。
【請求項４】
前記光導波路固定部は、多チャンネル光導波路を幅方向に水平移動するための移動手段を備えた請求項１〜３のいずれか記載の多チャンネル光導波路の検査装置。
【請求項５】
前記光入力部及び前記光検出部は、前記入射用ファイバアレイ及び前記出射用ファイバアレイのコア部分の光軸と、検査対象となる多チャンネル光導波路のコア部分とを位置合わせするための自動調芯装置を備えた請求項１〜４のいずれか記載の多チャンネル光導波路の検査装置。
【請求項６】
前記自動調芯装置は、入射用ファイバアレイ及び出射用ファイバアレイの各々における複数のコア部分の光軸と、多チャンネル光導波路の複数のコア部分との位置ずれをそれぞれ検出し、各位置ずれが最小となるように前記入射用ファイバアレイ及び前記出射用ファイバアレイの位置を決定する補正手段を備える請求項５記載の多チャンネル光導波路の検査装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、光通信、光情報処理等に用いられる多チャンネル光導波路の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
マルチメディア時代を迎え、光通信システムやコンピュータにおける情報処理の大容量化及び高速化の要求から、光の伝送媒体として光導波路が注目されている。近年、石英系光導波路に代わって、感光性樹脂組成物等を用いて形成された光導波路の開発が進められている。
このような合成樹脂製の光導波路は、一般的に、下部クラッド層と、コア部分と、上部クラッド層とを含み、コア部分の屈折率が下部クラッド層及び上部クラッド層のいずれの屈折率よりも大きくなるように構成されている。この光導波路の伝送特性を評価し、製品の良否を判断するために、光導波路の光学損失（例えば、導波路損失）を測定する装置や方法が開発されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、光源、光スイッチ、調芯装置、光検出器、及びこれらの機器を自動制御するコンピュータ機器からなる光学特性検査装置が記載されている。
特許文献２には、調芯装置に備えられている固定ステージにフィルム状光導波路を固定した状態で、フィルム状光導波路の光損失を測定するフィルム状光導波路の検査方法であって、フィルム状光導波路を、特定の粘着シートを利用して固定し、フィルム状光導波路の光損失を測定すること、及び、この際、固定ステージにエアー吸着を利用して基板を吸着し、その基板に前記の特定の粘着シートを介してフィルム状光導波路を固定することが、記載されている。
【特許文献１】特開２００５−２６５５２６号公報
【特許文献２】特開２００６−１７１２２１号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、多数の信号光を分配したり、スイッチング等の処理の機能を増大するために、複数のコア部分が配列された多チャンネル光導波路が用いられている。
このような多チャンネル光導波路の伝送特性を評価するために、１チャンネルの光路のみを有する光学損失測定装置を用いた場合、多チャンネル光導波路の各コア部分に対して、１チャンネルの光路を順次接続して、光学損失を測定しなければならない。このため、多チャンネル光導波路のコア部分毎に、該コア部分の光軸と、光学損失測定装置の光路の光軸を合わせるための調芯操作を行なう必要があり、多チャンネル光導波路の複数のコア部分のすべてを測定するために多大の時間を要するという問題がある。
そこで、本考案は、多チャンネル光導波路の光学損失を、短時間で効率的に測定することができる多チャンネル光導波路の検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本考案者は、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、２つ以上のコア部分を有する入射用及び出射用のファイバアレイ等を用いるとともに、これら入射用及び出射用のファイバアレイを、多チャンネル光導波路の幅方向に水平移動させることによって、多チャンネル光導波路の光学損失を、短時間で極めて効率的に測定することができることに想到し、本考案を完成した。
【０００６】
すなわち、本考案は、以下の［１］〜［６］を提供するものである。
［１］  複数のコア部分を含む多チャンネル光導波路における各コア部分の光学損失を検査するための、多チャンネル光導波路の検査装置であって、
多チャンネル光導波路に光を入射するための光入力部と、多チャンネル光導波路から出射した光の強度を検出するための光検出部と、多チャンネル光導波路を固定するための光導波路固定部を備えており、
前記光入力部は、前記多チャンネル光導波路に光を入射するための、２つ以上のコア部分を有する入射用ファイバアレイと、該入射用ファイバアレイの２つ以上のコア部分に対して順次、入射する光路を切り替えて光を供給可能な光路切替装置と、該光路切替装置に光を供給するための光源と、前記入射用ファイバアレイを多チャンネル光導波路の幅方向に水平移動するための移動手段を備えており、
前記光検出部は、前記多チャンネル光導波路から出射した光を受光するための、２つ以上のコア部分を有する出射用ファイバアレイと、該出射用ファイバアレイの２つ以上のコア部分に対して順次、出射する光路を切り替えて、該出射用ファイバアレイからの光を受光可能な光路切替装置と、該光路切替装置を通過した光の強度を検出するための光検出器と、前記出射用ファイバアレイを多チャンネル光導波路の幅方向に水平移動するための移動手段を備えた多チャンネル光導波路の検査装置。
【０００７】
［２］  前記光導波路固定部は、前記多チャンネル光導波路を載置するための、複数の吸着孔を有する吸着板と、該吸着板の複数の吸着孔を介した吸着により前記多チャンネル光導波路を該吸着板に固定するための吸着装置を備えた前記［１］の多チャンネル光導波路の検査装置。
［３］  前記複数の吸着孔を有する吸着板が、多孔質吸着板である前記［２］の多チャンネル光導波路の検査装置。
［４］  前記光導波路固定部は、多チャンネル光導波路を幅方向に水平移動するための移動手段を備えた前記［１］〜［３］のいずれかの多チャンネル光導波路の検査装置。
［５］  前記光入力部及び前記光検出部は、前記入射用ファイバアレイ及び前記出射用ファイバアレイのコア部分の光軸と、検査対象となる多チャンネル光導波路のコア部分とを位置合わせするための自動調芯装置を備えた前記［１］〜［４］のいずれかの多チャンネル光導波路の検査装置。
［６］  前記自動調芯装置は、入射用ファイバアレイ及び出射用ファイバアレイの各々における複数のコア部分の光軸と、多チャンネル光導波路の複数のコア部分との位置ずれをそれぞれ検出し、各位置ずれが最小となるように前記入射用ファイバアレイ及び前記出射用ファイバアレイの位置を決定する補正手段を備える前記［５］の多チャンネル光導波路の検査装置。
【考案の効果】
【０００８】
本考案の多チャンネル光導波路の検査装置は、２つ以上のコア部分を有する入射用及び出射用のファイバアレイ、及び、光路の切替装置を用いているので、入射用及び出射用のファイバアレイを対向させて固定した状態で光路を順次切り替えることによって、入射用及び出射用のファイバアレイのコア部分の数と同じ数の、多チャンネル光導波路のコア部分の光学損失を測定し、当該コア部分の良否を検査することができる。
また、本考案の多チャンネル光導波路の検査装置は、入射用及び出射用のファイバアレイを、多チャンネル光導波路の幅方向に水平移動させうるように構成されているので、多チャンネル光導波路のコア部分の数がｎ2個で、かつ、入射用のファイバアレイのコア部分の数（＝出射用のコア部分の数）がｎ1個である場合、多チャンネル光導波路のコア部分のすべてを検査するのに必要な入射用及び出射用のファイバアレイの固定の回数（＝調芯の回数）が、ｎ2／ｎ1回で済む。
したがって、本考案の多チャンネル光導波路の検査装置によれば、多チャンネル光導波路の光学損失を、短時間で極めて効率的に測定することができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本考案の多チャンネル光導波路の検査装置の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。図１は、本考案の多チャンネル光導波路の検査装置を含むシステムの一例を概念的に示す図（ただし、多チャンネル光導波路及びその周囲の構造は、正面図として示す。）、図２は、本考案の多チャンネル光導波路の検査装置を含むシステムの一例を概念的に示す図（ただし、多チャンネル光導波路及びその周囲の構造は、平面図として示す。）、図３は、図１に示す本考案の多チャンネル光導波路の検査装置を含むシステムの一例を部分的に示す斜視図、図４は、図３に示す光ファイバアレイのガイド台に光ファイバを固定した状態を示す正面図、図５は、本考案の検査装置を用いた多チャンネル光導波路の検査方法を説明するためのフロー図、図６は、本考案に該当しない比較用の検査装置を含むシステムを概念的に示す図（ただし、多チャンネル光導波路及びその周囲の構造は、平面図として示す。）、図７は、本考案に該当しない比較用の検査装置を用いた検査方法を説明するためのフロー図である。
多チャンネル光導波路の検査装置１は、多チャンネル光導波路の光学損失を測定するための光源２を有する光入力部（Ａ）と、多チャンネル光導波路を固定するための固定部（Ｂ）と、多チャンネル光導波路を通過した光の強度を検出するための光検出器１２を有する検出部（Ｃ）と、光入力部（Ａ）及び光検出部（Ｃ）を自動制御する制御装置１８を有する制御部（Ｄ）を備えている。
【００１０】
図１〜図３に示すように、光入力部（Ａ）は、光源２と、多チャンネル光導波路５に供給する光の光路を切り替えるための光路切替装置３と、複数の光ファイバ４ａを有する入射用ファイバアレイ４と、多チャンネル光導波路５のコア部分５ａに対して、入射用ファイバアレイ４の光ファイバ４ａのコア部分の光軸を合わせることを目的として、入射用ファイバアレイ４を微動させて調芯するための自動調芯装置６と、多チャンネル光導波路５の端面に沿って、入射用ファイバアレイ４を多チャンネル光導波路５の幅方向に水平移動するための移動手段を備えている。
本実施の形態において、前記の移動手段は、入射用ファイバアレイ４を水平移動させるための駆動手段と、入射用ファイバアレイ４を多チャンネル光導波路５の幅方向に水平移動させるための案内路である稼動ステージ８とから構成している。入射用ファイバアレイ４を水平移動させる駆動手段としては、例えば、ステッピングモータ７を用いることができる。本実施の形態において、ステッピングモータ７は、自動調芯装置６に一体に組み込まれている。なお、自動調芯装置６には、ステッピングモータ７の他に、自動調芯装置６に固定した入射用ファイバアレイ４を上下左右前後または回転するように微動させて、多チャンネル光導波路５のコア部分５ａに対して、入射用ファイバアレイ４の光ファイバ４ａを調芯する駆動手段を備えている。
自動調芯装置６は、入射用ファイバアレイ４の複数の光ファイバ４ａと、多チャンネル光導波路の複数のコア部分との位置ずれをコア部分毎に検出し、各位置ずれが最小となるように入射用ファイバアレイ４の位置を決定する補正手段を備えることが好ましい。
入射用ファイバアレイ４は、自動調芯装置６に組み込まれたステッピングモータ７の駆動によって、自動調芯装置６とともに、稼動ステージ８上を、多チャンネル光導波路５の幅方向に水平移動する。
また、光路切替装置３は、入射用ファイバアレイ４の複数の光ファイバ４ａのそれぞれと接続する複数のコネクタ３ａを備えている。
【００１１】
固定部（Ｂ）は、多チャンネル光導波路５を固定する固定ステージ９と、固定ステージ９を多チャンネル光導波路５の幅方向に水平移動するための移動手段とを備えている。なお、該移動手段は、任意に設けられるものであり、省略することもできる。
固定ステージ９は、光入力部（Ａ）の稼動ステージ８に隣接するように配置される。固定ステージ９は、多チャンネル光導波路５が載置される、複数の吸着孔を有する吸着板１０と、吸着板１０の下方からエアの吸引等の減圧作用により多チャンネル光導波路５を吸着して固定するための吸着装置を備えている。吸着装置としては、例えば、真空ポンプ１１を用いることができる。
前記の移動手段は、固定ステージ９を水平移動させるための駆動手段と、固定ステージ９を多チャンネル光導波路５の幅方向に水平移動させるための案内路である稼動ステージとから構成している。
吸着板１０の材質は、特に限定されないが、エアの吸い込み力（減圧作用）によって撓まない程度の剛性を有するものが好ましく、ガラス板、シリコン板、ガラスエポキシ板、ポリイミド樹脂板、セラミック板、ステンレス板等を使用することができる。
吸着板１０としては、多孔質セラミック板等の多孔質吸着板が、厚さ０．１〜０．５ｍｍのフレキシブルなフィルム状の多チャンネル光導波路を吸着固定する場合に好適に用いられる。多孔質吸着板は、吸着孔の大きさが１００μｍ〜１，０００μｍであることが好ましく、１００μｍ〜５００μｍであることが特に好ましい。孔径が１００μｍ未満であると吸着力が弱くなり、多チャンネル光導波路１００を確実に固定することが困難となり、１，０００μｍを超えると、多チャンネル光導波路１００が部分的に撓み、コア部分における光の通過を妨げる場合があるため、好ましくない。また、吸着孔と吸着孔の間隔は１００μｍ〜１，０００μｍであることが好ましく、１００μｍ〜５００μｍであることが特に好ましい。
なお、吸着板１０の厚さは、好ましくは０．５〜１０ｍｍである。吸着板１０の大きさは、特に限定されないが、複数の多チャンネル光導波路を並列に載置可能な大きさを有するものが好ましい。
真空ポンプ１１の吸引力は、特に限定されないが、厚さ０．１〜０．５ｍｍ程度のフレキシブルなフィルム状の多チャンネル光導波路を吸着固定する場合は、０．０６〜０．１０ＭＰａ程度が好ましい。
【００１２】
（Ｃ）検出部は、検出器１２と、光路を切り替えるための光路切替装置１３と、多チャンネル光導波路５から出射された光を受光するための複数の光ファイバ１４ａを有する出射用ファイバアレイ１４と、多チャンネル光導波路５のコア部分５ａに対して、入射用ファイバアレイ１４の光ファイバ１４ａの光軸を合わせることを目的として、出射用ファイバアレイ１４を上下左右前後または回転するように微動させて調芯するための自動調芯装置１５と、多チャンネル光導波路５の端面に沿って、出射用ファイバアレイ１４を多チャンネル光導波路５の幅方向へ水平移動するための移動手段を備えている。
本実施の形態において、前記の移動手段は、出射用ファイバアレイ１４を水平移動させるための駆動手段と、出射用ファイバアレイ１４を多チャンネル光導波路５の幅方向に水平移動させるための案内路である稼動ステージ１７とから構成されている。出射用ファイバアレイ１４を水平移動させるための駆動手段としては、例えば、ステッピングモータ１６を用いることができる。本実施の形態において、ステッピングモータ１６は、自動調芯装置１５に一体に組み込まれている。なお、自動調芯装置１５には、ステッピングモータ１６の他に、自動調芯装置６に固定した出射用ファイバアレイ１４を上下左右前後または回転するように微動させて、多チャンネル光導波路５のコア部分５ａに対して、出射用ファイバアレイ１４の光ファイバ１４ａを調芯させるための駆動手段を備えている。
自動調芯装置１５は、出射用ファイバアレイ１４の複数の光ファイバ１４ａと、多チャンネル光導波路の複数のコア部分との位置ずれをコア部分毎に検出し、各位置ずれが最小となるように出射用ファイバアレイ１４の位置を決定する補正手段を備えることが好ましい。
稼動ステージ１７は、固定部（Ｂ）の固定ステージ９に隣接するように配置されている。すなわち、光入力部（Ａ）の稼動ステージ８と、検出部（Ｃ）の稼動ステージ１７は、固定部（Ｂ）の固定ステージ９を挟んで相対するように配置されている。
出射用ファイバアレイ１４は、自動調芯装置１５に組み込まれたステッピングモータ１６の駆動によって、自動調芯装置１５とともに、稼動ステージ１７上を、多チャンネル光導波路５の幅方向に水平移動する。
また、受光路切替装置１３は、出射用ファイバアレイ１４の複数の光ファイバ１４ａのそれぞれと接続する複数のコネクタ１３ａを備えている。
【００１３】
制御部（Ｄ）は、光入力部（Ａ）の光路切替装置３及び自動調芯装置６と、光検出部（Ｃ）の受光路切替装置１３及び自動調芯装置１５と、それぞれ電気的に接続された制御装置（コンピュータ機器）１８を備えている。
この制御装置１８は、光路切替装置３の光路の選択及び切り替えと、光路切替装置１３の光路の選択及び切り替えを制御する。また、制御装置１８は、多チャンネル光導波路５のコア部分５ａに対して、入射用ファイバアレイ４の光ファイバ４ａ及び出射用ファイバアレイ１４の光ファイバ１４ａを調芯するように自動計算し、計算された値に基づいて、多チャンネル光導波路５のコア部分５ａを透過した光損失が妥当な値となるように、入射用ファイバアレイ４に対する自動調芯装置６及び出射用ファイバアレイ１４に対する自動調芯装置１５を制御する。さらに、制御装置１８は、入射用ファイバアレイ４及び出射用ファイバアレイ１４を、所定距離だけ、多チャンネル光導波路５の幅方向に水平移動させるように、ステッピングモータ７及びステッピングモータ１６を制御する。
【００１４】
光入力部（Ａ）の稼動ステージ８と、固定部（Ｂ）の固定ステージ９を構成する吸着板１０と、検出部（Ｃ）の稼動ステージ１７は、光学損失を測定する際に、真空ポンプ１１等から発振する振動が伝わって光軸がずれないように、防振台１９上に載置する。
防振台１９は、特に限定されないが、例えば、防振特性に優れる天然ゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、スチレン・ブタジエン共重合ゴム等を含むゴム製板材や、防振特性を示すポリアミド、ポリエステル、ポリウレタン等を含む合成樹脂製板材等を用いることができる。
吸着板１０と稼動ステージ８及び稼動ステージ１７を防振台１９に設けることによって、光学損失を測定する際に、真空ポンプ１１等から発振される振動が、固定ステージや稼動ステージに伝わらないので、多チャンネル光導波路５の光学損失を精密に測定することができる。
【００１５】
次に、本考案の多チャンネル光導波路の検査装置１における、光路切替装置３と入射用ファイバアレイ４の接続構造について説明する。
図４は、光路切替装置３のコネクタ３ａと入射用ファイバアレイ４との接続構造の一例を概念的に示す図である。
入射用ファイバアレイ４の一端部には、コネクタ３を載置するためのガイド台４ｂを設け、このガイド台４ａ上に、複数の光ファイバ４ａのそれぞれの位置に合わせて、上面を開口させた断面Ｖ字型の複数のガイド溝４ｃを形成する。このガイド溝４ｃに、コネクタ３ａの端部を固定することによって、コネクタ３ａと光ファイバ４ａとを、光軸がずれないように接続することができる。出射用ファイバアレイ１４も、入射用ファイバアレイ４と同様に、複数の断面Ｖ字型のガイド溝を形成したガイド台を設けることによって、光ファイバ１４ａとコネクタ１３ａとを、光軸がずれないように接続することができる。
【００１６】
次に、図１〜図３に示した本考案の検査装置１を用いて、多チャンネル光導波路の光学損失を検査する方法について説明する。
本考案の検査装置１を用いた検査方法は、図５に示すように、入射用ファイバアレイ４及び出射用ファイバアレイ１４を、固定ステージ９上に固定されている多チャンネル光導波路５の複数のコア部分５ａの一部に対して、コア部分同士の位置が略一致するように固定する固定工程（ａ）と、多チャンネル光導波路５のコア部分５ａに対して、入射用ファイバアレイ４の光ファイバ４ａのコア部分と、出射用ファイバアレイ１４の光ファイバ１４ａのコア部分とを自動的に調芯する調芯工程（ｂ）と、光源から発生した光の光路を光路切替装置３によって切り替え、コア部分５ａを透過した光の光路を光路切替装置１３によって順次切り替える光路切替工程（ｃ）と、多チャンネル光導波路５のコア部分５ａを通過した光の光学損失を検出器１２で測定する測定工程（ｄ）と、工程（ｃ）における光路の切り替えによって、入射用ファイバアレイ４の光ファイバ４ａと出射用ファイバアレイ１４の光ファイバ１４ａが接続された全てのコア部分５ａの測定が終了した後、測定されたコア部分以外のコア部分に対して、入射用ファイバアレイ４及び出射用ファイバアレイ１４の調芯が可能なる位置に、入射用ファイバアレイ４及び出射用ファイバアレイ１４を多チャンネル光導波路５の幅方向に水平移動させる移動工程（ｅ）とを含む。
本考案の検査装置を用いた検査方法においては、多チャンネル光導波路５のコア部分５ａを検査する際に、多チャンネル光導波路５を固定する固定ステージ９を幅方向に水平移動させることもできる。この場合、水平移動させるための水平移動手段を設ければよい。このような水平移動手段を用いることによって、検査に要するスペースを小さくすることができる。
【００１７】
［多チャンネル光導波路の準備］
多チャンネル光導波路としては、例えば、厚さ０．１〜０．５ｍｍ程度のアクリル系樹脂、ポリカーカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエーテルスルフォン系樹脂等からなるフィルム状の多チャンネル光導波路等を検査対象とすることができる。
多チャンネル光導波路に含まれるチャンネル数（コア部分の数）は、特に限定されないが、例えば、１０〜２００である。
【００１８】
［固定工程（ａ）］
固定工程（ａ）は、光導波路固定部（Ｂ）に固定した多チャンネル光導波路５の複数のコア部分５ａの一部に対応した位置に、入射用ファイバアレイ４及び出射用ファイバアレイ１４を固定する工程である。
入射用ファイバアレイ４のコア部分の数は、特に限定されないが、例えば、２〜３０である。出射用ファイバアレイ１４のコア部分の数は、入射用ファイバアレイ４のコア部分の数と同じである。
なお、検査位置に固定される多チャンネル光導波路５は、１つの多チャンネル光導波路フィルムから構成してもよいし、あるいは、２つ以上の多チャンネル光導波路フィルムから構成してもよい。
吸着板１０の形状及び寸法は、検査対象物である多チャンネル光導波路５の形状及び寸法に応じて定められる。
【００１９】
［調芯工程（ｂ）］
調芯工程（ｂ）は、多チャンネル光導波路５のコア部分５ａに対して、入射用ファイバアレイ４の光ファイバ４ａと、出射用ファイバアレイ１４の光ファイバ１４ａとを、自動調芯装置６，１５を用いて調芯する工程である。
図３に示すように、稼動ステージ８上には、自動調芯装置６を設置し、この自動調芯装置６上に入射用ファイバアレイ４を固定する。この自動調芯装置６は、制御装置１８（図３において図示を省略）によって自動的に制御されており、自動調芯装置６で、入射用ファイバアレイ４を上下左右前後または回転するように微動させ、吸着板１０上に固定した多チャンネル光導波路５のコア部分５ａに対して、入射用ファイバアレイ４の光ファイバ４ａの光軸がずれないように、精密に位置を合わせて、コア部分５ａと光ファイバ４ａを接続する。
また、固定ステージ９を挟んで、稼動ステージ８と対向する位置に設置した稼動ステージ１７上には、自動調芯装置１５を設置し、この自動調芯装置１５上に出射用ファイバアレイ１４を固定する。この自動調芯装置１５は、制御装置１８によって自動的に制御されており、自動調芯装置１５は、出射用ファイバアレイ１４を上下左右前後または回転するように微動させ、吸着板１０上に固定した多チャンネル光導波路５のコア部分５ａに対して、出射用ファイバアレイ１４の光ファイバ１４ａの光軸がずれないように、精密に位置を合わせて、コア部分５ａと光ファイバ１４ａを接続する。
なお、自動調芯装置６，１５や制御装置１８は、従来から使用されている自動調芯装置やコンピュータ機器等の制御装置を用いることができる。
自動調芯装置６，１５の好ましい例としては、コア部分毎の位置ずれを上下方向及び左右方向についてそれぞれ検出し、上下方向及び左右方向の各々における位置ずれの平均値が最も小さくなるような位置を算出し、その位置に調芯するように制御した装置が挙げられる。
【００２０】
［光路切替工程（ｃ）］
光路切替工程（ｃ）は、光路切替装置３を用いて、多チャンネル光導波路５のコア部分５ａを透過させる光の光路を切り替えるとともに、光路切替装置１３を用いて、多チャンネル光導波路５のコア部分５ａを通過した後の光の光路を切り替える工程である。
光路切替装置３は、入射用ファイバアレイ４に接続された複数のコネクタ３ａのうち、入射用ファイバアレイ４の光ファイバ４ａを通じてコア部分５ａに光を伝達するコネクタ３ａを選択する。
また、光路切替装置１３は、光路切替装置３で光路を選択したコネクタ３ａを通じて光ファイバ４ａ、コア部分５ａを透過した光を受光するコネクタ１４ａを選択する。
光路切替装置３及び受光路切替装置１３で、光路及び受光路を切り替えることにより、多チャンネル光導波路に含まれる複数のコア部分のそれぞれについて、１つのコア部分ごとに個別に、光学損失を測定することができ、光伝送特性の良否を評価することができる。
【００２１】
［測定工程（ｄ）］
測定工程（ｄ）は、多チャンネル光導波路５のコア部分５ａを透過した光の光学損失を検出器１２で測定する工程である。
測定対象となる多チャンネル光導波路５は、入射用ファイバアレイ４の光ファイバ４ａ及び出射用ファイバアレイ１４の光ファイバ１４ａが接続された複数のコア部分５ａのそれぞれについて、順次、光路切替工程（ｃ）及び測定工程（ｄ）における光の入射及び出射を繰り返し、それぞれのコア部分５ａについて、光学損失を測定する。
なお、多チャンネル光導波路の光学損失（導波路損失、挿入損失、光結合損失等）は、ＪＩＳ等に規定された公知の試験方法（カットバック法、挿入損失法、後方散乱光(ＯＴＤＲ)法等）に準拠して測定することができる。
【００２２】
［移動工程（ｅ）］
移動工程（ｅ）は、入射用ファイバアレイ４及び出射用ファイバアレイ１４が接続された多チャンネル光導波路の全てのコア部分について、光学損失の測定を終了した後、入射用ファイバアレイ４及び出射用ファイバアレイ１４を、多チャンネル光導波路５の端面に沿って、多チャンネル光導波路５の幅方向に水平移動する工程である。
図３に示すように、入射用ファイバアレイ４は、自動調芯装置６に一体に組み込まれたステッピングモータ７（図３において図示を省略）の駆動によって、測定されたコア部分以外のコア部分５ａに対して、入射用ファイバアレイ４の光ファイバ４ａの調芯が可能となる位置まで、入射用ファイバアレイ４を、多チャンネル光導波路５の幅方向（図３中、矢印方向）に水平移動する。
出射用ファイバアレイ１４も、同様に、自動調芯装置１５に一体に設けられたステッピングモータ１６（図３において図示を省略）の駆動によって、測定されたコア部分以外のコア部分５ａに対して、出射用ファイバアレイ１４の光ファイバ１４ａの調芯が可能となる位置まで、出射用ファイバアレイ１４を、多チャンネル光導波路５の幅方向（図３中、矢印方向）に水平移動する。
【００２３】
このように、本考案の光学損失検査方法によれば、固定工程（ａ）及び調芯工程（ｂは、多チャンネル光導波路に含まれるコア部分の数（ｎ２）に対して、入射用ファイバアレイ４の光ファイバ４ａ及び出射用ファイバアレイ１４の光ファイバ１４ａの数（チャンネル数：ｎ１）で除した回数（ｎ２／ｎ１の整数回）だけ行えばよい。したがって、本考案の光学損失検査方法によれば、比較的時間のかかる固定工程（ａ）及び調芯工程（ｂ）の回数を極力少なくして、短時間で、効率的に、多チャンネル光導波路の光学損失を測定することができる。
なお、光路切替工程（ｃ）及び測定工程（ｄ）における光の入射及び出射は、多チャンネル光導波路５に含まれるコア部分５ａの数（チャンネル数：ｎ１）だけ繰り返せばよい。
【実施例】
【００２４】
６４チャンネルのコア部分を有する多チャンネル光導波路の光学損失を測定する場合の実施例及び比較例を説明する。なお、測定する多チャンネル光導波路のチャンネル数（コア部分の数）は、本実施例に限定されるものではない。
【００２５】
［実施例］
図１〜図３に示す検査装置１を用いて、多チャンネル光導波路の光学損失を測定した。
光学損失検査装置１の入射用ファイバアレイ４と出射用ファイバアレイ１４は、それぞれ１６チャンネルの光ファイバを有するものを用いた。
まず、６４チャンネルのコア部分を含む多チャンネル光導波路を、吸着板１０上に載置し、真空ポンプを作動させて、吸着板１０の下方からエアを吸引し、多チャンネル光導波路を、吸着板１０上に固定した。吸着板１０としては、多孔質セラミック板を用いた。具体的には、吸着孔の大きさ（直径）が３００μｍ、吸着孔と吸着孔との間隔（２つの中心点の距離）が３５０μｍである多孔質セラミック板を用いた。
次いで、多チャンネル光導波路５のコア部分５ａに対して、入射用ファイバアレイ４の光ファイバ４ａ及び出射用ファイバアレイ１４の光ファイバ１４ａを固定した後、光軸がずれないように、制御装置１８で制御した自動調芯機６，１５で精密に調芯し、コア部分５ａと光ファイバ４ａ及び光ファイバ１４ａを接続した（固定工程（ａ）、調芯工程（ｂ））。
次いで、制御装置１８で制御した光路切替装置３で、光源２から発生した光の光路を切り替えて、選択したコネクタ３ａと光ファイバ４ａを通じて、一つのコア部分５ａに光を入射した。また、コア部分５ａを透過した光を受光するように、制御装置１８で制御した受光路切替装置１３で、受光路を切り替えた（光路切替工程（ｃ））。
次いで、コア部分５ａを透過した光を、光ファイバ１４ａとコネクタ１３ａを通じて、検出器１２に伝送し、検出器１２で、受光した光強度の劣化（挿入損失）を検出した（測定工程（ｄ））。
光ファイバ４ａと光ファイバ１４ａに接続された全てのコア部分５ａに対して、光路切替工程（ｃ）及び検出工程（ｄ）における光の入射及び出射を繰り返し、全てのコア部分５ａについて、挿入損失を測定した後、制御装置１８で制御したステッピングモータ７及び１６を駆動し、入射用ファイバアレイ４と出射用ファイバアレイ１４を、多チャンネル光導波路５の幅方向に水平移動した（移動工程（ｅ））。
その後、前記と同様の手順を繰り返し、多チャンネル光導波路に含まれる全てのコア部分について、挿入損失の検出を完了した。
挿入損失については、一定の基準値を定め、その基準値（１ｄＢ以下）以下の挿入損失を有するコア部分を良（合格）とし、その基準値を超える挿入損失を有するコア部分を不良（不合格）とした。挿入損失の測定の結果は、いずれのコア部分についても良（合格）であった。
また、本実施例の多チャンネル光導波路の検査装置によれば、多チャンネル光導波路のコア部分の挿入損失を測定するのにかかった時間は、１００本当たりに換算して、２５分間であり、１つのコア部分の測定に要した時間は、１５秒間と短かった。
【００２６】
［比較例］
比較例として、図６に示す検査システム５０を用いて実験した。
検査システム５０は、光源５１と、１チャンネルの光ファイバを有する入射用光ファイバ５２と、多チャンネル光導波路５４のコア部分５４ａに対して、入射用光ファイバ５２を調芯する自動調芯装置５３と、多チャンネル光導波路５５を固定する固定ステージ５５と、１チャンネルの光ファイバを有する出射用光ファイバ５６と、多チャンネル光導波路５４のコア部分５４ａに対して、出射用光ファイバ５６を調芯する自動調芯装置５７と、多チャンネル光導波路５５のコア部分５５ａを通過した光を検出する検出器５８と、自動調芯装置５３と自動調芯装置５７を制御して、入射用光ファイバ５２と出射用光ファイバ５６の調芯を行う制御装置（コンピュータ機器）５９とを備えている。
【００２７】
図６に示すように、まず、６４チャンネルのコア部分５４ａを含む多チャンネル光導波路５４を、固定ステージ５５に固定した（固定工程（ａ’））。
次いで、多チャンネル光導波路５４の１つのコア部分５４ａに対して、入射用光ファイバ５２及び出射用光ファイバ５６を、光軸がずれないように、自動調芯装置５３、５７で精密に調芯し、コア部分５５ａと入射用光ファイバ５２及び出射用光ファイバ５６とを接続した（調芯工程（ｂ’））。
次いで、光源５１から光を発し、コア部分５４ａを通過した光を光検出器５８に伝送し、光検出器５８で、受光した光強度を検出し、光学損失を評価した（測定工程（ｃ’））。
次いで、入射用光ファイバ５２及び出射用光ファイバ５６を、多チャンネル光導波路５４の幅方向に水平移動させ、測定されていないコア部分５４ａと、入射用光ファイバ５２及び出射用光ファイバ５７との調芯が可能となる位置にて、多チャンネル光導波路５４を固定ステージ５３上に固定した（移動工程（ｄ’））。そして、前記の工程（ａ’）〜工程（ｃ’）と同様の操作を行ない、測定されていないコア部分５４ａについて、光学損失（挿入損失）を評価した。以後、同様の操作を繰り返し行ない、６４チャンネルのコア部分５４ａのすべてについて光学損失（挿入損失）を評価した。挿入損失の測定の結果は、いずれのコア部分についても良（合格）であった。
しかし、多チャンネル光導波路の６４本のコア部分を測定するのに要した時間は、１００本当たりに換算して、４００分間であり、１つのコア部分の測定には、４分間の時間が必要であった。
以上のように、実施例では、比較例の１６分の１の短い時間で、多チャンネル光導波路の挿入損失を測定することができた。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本考案の多チャンネル光導波路の検査装置を含むシステムの一例を概念的に示す図（ただし、多チャンネル光導波路及びその周囲の構造は、正面図として示す。）である。
【図２】本考案の多チャンネル光導波路の検査装置を含むシステムの一例を概念的に示す図（ただし、多チャンネル光導波路及びその周囲の構造は、平面図として示す。）である。
【図３】図１に示す本考案の多チャンネル光導波路の検査装置を含むシステムの一例を部分的に示す斜視図である。
【図４】図３に示す光ファイバアレイのガイド台に光ファイバを固定した状態を示す正面図である。
【図５】本考案の多チャンネル光導波路を用いた検査方法を説明するためのフロー図である。
【図６】本考案に該当しない比較用の多チャンネル光導波路を用いたシステムを概念的に示す図（ただし、多チャンネル光導波路及びその周囲の構造は、平面図として示す。）である。
【図７】本考案に該当しない比較用の多チャンネル光導波路を用いた検査方法を説明するためのフロー図である。
【符号の説明】
【００２９】
１      多チャンネル光導波路の検査装置
２      光源
３      光路切替装置
３ａ    コネクタ
４      入射用ファイバアレイ
４ａ    光ファイバ
４ｂ    ガイド台
４ｃ    ガイド溝
５      多チャンネル光導波路
５ａ    コア部分
６      自動調芯装置
７      ステッピングモータ
８      稼動ステージ
９      固定ステージ
１０    吸着板
１１    真空ポンプ
１２    検出器
１３    受光路切替装置
１３ａ  コネクタ
１４    出射用ファイバアレイ
１４ａ  光ファイバ
１５    自動調芯装置
１６    ステッピングモータ
１７    稼動ステージ
１８    制御装置（コンピュータ機器）
１９    防振台
５０    光学損失検査装置
５１    光源
５２    入射用光ファイバ
５２ａ  光ファイバ
５３    自動調芯装置
５４    多チャンネル光導波路
５４ａ  コア部分
５５    固定ステージ
５６    出射用光ファイバ
５７    自動調芯装置
５８    検出器
５９    制御装置（コンピュータ機器）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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