【手続補正書】
【提出日】平成18年2月24日(2006.2.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軟Ｘ線に用いる光学系の波面収差を測定する装置であって、
波長１５０ｎｍ乃至３００ｎｍの光を前記光学系に照射し、前記光学系を通過した前記光の干渉縞を検出する光強度検出器を有し、該光強度検出器の検出結果に基づいて前記光学系の波面収差を測定することを特徴とする測定装置。
【請求項２】
軟Ｘ線に用いる光学系の波面収差を測定する方法であって、
波長２６０ｎｍ乃至２８０ｎｍの光を前記光学系に照射し、前記光学系を通過した前記光の干渉縞を検出する光強度検出器を有し、該光強度検出器の検出結果に基づいて前記光学系の波面収差を測定することを特徴とする測定装置。
【請求項３】
点回折干渉法、フィゾー干渉法、トワイマングリーン干渉法、シアリング干渉法のうちいずれか一を用いることを特徴とする請求項１又は２記載の測定装置。
【請求項４】
前記光学系に照射される前記光の偏光方向は、前記光学系の物体面のサジ方向に平行であることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の測定装置。
【請求項５】
光学系の波面収差を測定する収差測定装置であって、
光源から発する光線を回折する光線分割手段と、
前記光線分割手段で回折された光線のうち第１の回折光を前記光学系に導光する回折限界以上の大きさの第１の開口部と、前記第１の回折光とは異なる第２の回折光を前記光学系に導光する回折限界以下の大きさの第１のピンホールとを有する物体側マスクと、
前記光学系を通過した前記第１の回折光を導光する回折限界以下の大きさの第２のピンホールと、前記光学系を通過した前記第２の回折光を導光する回折限界以上の大きさの第２の開口部とを有することを特徴とする収差測定装置。
【請求項６】
前記物体側マスクの前記第１の開口部及び前記第１のピンホールは、反射部材から形成されることを特徴とする請求項５記載の収差測定装置。
【請求項７】
前記像側マスクの前記第２の開口部及び前記第２のピンホールは、反射部材から形成されることを特徴とする請求項５記載の収差測定装置。
【請求項８】
前記光線分割手段は、透過型回折格子又は反射型回折格子であることを特徴とする請求項５記載の収差測定装置。
【請求項９】
前記透過型回折格子及び前記反射型回折格子は、前記光学系の結像性能に応じてデゥティーを可変とすることを特徴とする請求項８記載の収差測定装置。
【請求項１０】
前記光線分割手段は、波面分割プリズムであることを特徴とする請求項１記載の収差測定装置。
【請求項１１】
前記透過型回折格子及び前記反射型回折格子は、前記格子に垂直な方向に走査可能であることを特徴とする請求項８記載の収差測定装置。
【請求項１２】
前記第１の回折光は０次光であり、前記第２の回折光は１次光又は−１次光であることを特徴とする請求項５記載の収差測定装置。
【請求項１３】
前記第１の回折光は１次光又は−１次光であり、前記第２の回折光は０次光であることを特徴とする請求項５記載の収差測定装置。
【請求項１４】
前記第１及び前記第２の回折光は、それぞれ１次光又は−１次光であることを特徴とする請求項５記載の収差測定装置。
【請求項１５】
光学系の波面収差を測定する収差測定装置であって、
光源から射出する光線の集光位置と曲率中心位置が一致したフィゾー面を形成するフィゾーユニットと、
前記フィゾーユニットと前記光学系を通過した前記光線の結像位置に曲率中心を有する球面ミラーとを有することを特徴とする収差測定装置。
【請求項１６】
前記球面ミラーは、光軸方向に走査可能であることを特徴とする請求項１５記載の収差測定装置。
【請求項１７】
前記光源は、前記光線を変調可能とすることを特徴とする請求項５又は１５記載の収差測定装置。
【請求項１８】
前記光源は、Ｔｉサファイアから発振する光の第３高調波を使用することを特徴とする請求項１７記載の収差測定装置。
【請求項１９】
前記光源は、Ｎｄをドープしたガラスから発振する光の第４高調波を使用することを特徴とする請求項５又は１５記載の収差測定装置。
【請求項２０】
前記光源は、Ａｒイオンレーザーの第２高調波又はＫｒイオンレーザーの第２高調波を使用することを特徴とする請求項５又は１５記載の収差測定装置。
【請求項２１】
前記光線の波長は、２６４．３ｎｍ、２５７．７ｎｍ、２５０．８ｎｍ、２４８．２ｎｍ、２４４．０ｎｍ、２３８．２ｎｍ、２２９．０ｎｍ、２６５．５ｎｍ、２６０．４ｎｍ、２３４．０ｎｍ、２０６．５ｎｍのうちいずれか一であることを特徴とする請求項５又は１５記載の収差測定装置。
【請求項２２】
軟Ｘ線に用いる光学系の波面収差を測定する測定方法であって、
波長１５０ｎｍ乃至３００ｎｍの光を前記光学系に照射し、前記光学系を通過した前記光の干渉縞によって前記光学系の波面収差を測定することを特徴とする測定方法。
【請求項２３】
軟Ｘ線に用いる光学系の波面収差を測定する測定方法であって、
波長２６０ｎｍ乃至２８０ｎｍの光を前記光学系に照射し、前記光学系を通過した前記光の干渉縞によって前記光学系の波面収差を測定することを特徴とする測定方法。
【請求項２４】
点回折干渉法、フィゾー干渉法、トワイマングリーン干渉法、シアリング干渉法のうちいずれか一を用いることを特徴とする請求項２２又は２３記載の収差測定方法。
【請求項２５】
前記光学系に照射される前記光の偏光方向は、前記光学系の物体面のサジ方向に平行であることを特徴とする請求項２２又は２３記載の収差測定方法。
【請求項２６】
請求項１乃至２１のうちいずれか一項記載の収差測定装置を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２７】
請求項２６記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての収差測定装置は、軟Ｘ線に用いる光学系の波面収差を測定する装置であって、波長１５０ｎｍ乃至３００ｎｍの光を前記光学系に照射し、前記光学系を通過した前記光の干渉縞を検出する光強度検出器を有し、該光強度検出器の検出結果に基づいて前記光学系の波面収差を測定することを特徴とする。
本発明の別の側面としての収差測定装置は、軟Ｘ線に用いる光学系の波面収差を測定する方法であって、波長２６０ｎｍ乃至２８０ｎｍの光を前記光学系に照射し、前記光学系を通過した前記光の干渉縞を検出する光強度検出器を有し、該光強度検出器の検出結果に基づいて前記光学系の波面収差を測定することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としての収差測定装置は、光学系の波面収差を測定する収差測定装置であって、光源から発する光線を回折する光線分割手段と、前記光線分割手段で回折された光線のうち第１の回折光を前記光学系に導光する回折限界以上の大きさの第１の開口部と、前記第１の回折光とは異なる第２の回折光を前記光学系に導光する回折限界以下の大きさの第１のピンホールとを有する物体側マスクと、前記光学系を通過した前記第１の回折光を導光する回折限界以下の大きさの第２のピンホールと、前記光学系を通過した前記第２の回折光を導光する回折限界以上の大きさの第２の開口部とを有することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としての収差測定装置は、光学系の波面収差を測定する収差測定装置であって、光源から射出する光線の集光位置と曲率中心位置が一致したフィゾー面を形成するフィゾーユニットと、前記フィゾーユニットと前記光学系を通過した前記光線の結像位置に曲率中心を有する球面ミラーとを有することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としての測定方法は、軟Ｘ線に用いる光学系の波面収差を測定する測定方法であって、波長１５０ｎｍ乃至３００ｎｍの光を前記光学系に照射し、前記光学系を通過した前記光の干渉縞によって前記光学系の波面収差を測定することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としての測定方法は、軟Ｘ線に用いる光学系の波面収差を測定する方法であって、波長２６０ｎｍ乃至２８０ｎｍの光を前記光学系に照射し、前記光学系を通過した前記光の干渉縞によって前記光学系の波面収差を測定することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としての露光装置は、上述の収差測定装置を有することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としてのデバイス製造方法は、上述の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４４
【補正方法】削除
【補正の内容】