【手続補正書】
【提出日】平成18年2月17日(2006.2.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）各枝配線に接続された冷陰極電界電子放出部、
を具備する冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルであって、
動作不良の冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されていることを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネル。
【請求項２】（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）各枝配線に接続された冷陰極電界電子放出部、
を具備する冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルであって、
短絡状態にある冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は断線していることを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネル。
【請求項３】枝配線は、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層から成り、あるいは又、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層から成る第１の枝配線部分と、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層とバリアメタル層の２層構造を有する第２の枝配線部分とから構成されていることを特徴とする請求項２に記載の冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネル。
【請求項４】各冷陰極電界電子放出部は、複数の冷陰極電界電子放出部ユニットから構成されており、
各冷陰極電界電子放出部ユニットは枝配線を介して幹配線に接続されていることを特徴とする請求項３に記載の冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネル。
【請求項５】（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる、複数の第１枝配線及び複数の第２枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備する冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルであって、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる第１枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、該幹配線から延びる第２枝配線に接続された第２冷陰極電界電子放出部から構成されており、
冷陰極電界電子放出領域を構成する一方の冷陰極電界電子放出部が動作不良である場合、該一方の冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されており、
冷陰極電界電子放出領域を構成する両方の冷陰極電界電子放出部の動作が正常な場合、該冷陰極電界電子放出領域を構成するいずれか一方の冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されていることを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネル。
【請求項６】（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる、複数の第１枝配線及び複数の第２枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備する冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルであって、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる第１枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、該幹配線から延びる第２枝配線に接続された第２冷陰極電界電子放出部から構成されており、
冷陰極電界電子放出領域を構成する冷陰極電界電子放出部が短絡状態にある場合、該冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は断線しており、
冷陰極電界電子放出領域を構成する両方の冷陰極電界電子放出部の動作が正常な場合、該冷陰極電界電子放出領域を構成するいずれか一方の冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されていることを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネル。
【請求項７】枝配線は、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層から成り、あるいは又、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層から成る第１の枝配線部分と、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層とバリアメタル層の２層構造を有する第２の枝配線部分とから構成されていることを特徴とする請求項６に記載の冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネル。
【請求項８】（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備する冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルであって、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、第２冷陰極電界電子放出部から構成されており、
第１冷陰極電界電子放出部が動作不良の場合、該第１冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されており、且つ、該第１冷陰極電界電子放出部が含まれる冷陰極電界電子放出領域を構成する第２冷陰極電界電子放出部は該幹配線に電気的に接続されていることを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネル。
【請求項９】（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備する冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルであって、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、第２冷陰極電界電子放出部から構成されており、
第１冷陰極電界電子放出部が短絡状態にある場合、該第１冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は断線しており、且つ、該第１冷陰極電界電子放出部が含まれる冷陰極電界電子放出領域を構成する第２冷陰極電界電子放出部は該幹配線に電気的に接続されていることを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネル。
【請求項１０】枝配線は、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層から成り、あるいは又、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層から成る第１の枝配線部分と、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層とバリアメタル層の２層構造を有する第２の枝配線部分とから構成されていることを特徴とする請求項９に記載の冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネル。
【請求項１１】（イ）それぞれが第１の幹配線と第２の幹配線から構成された、複数の幹配線、
（ロ）各第１の幹配線から延びる複数の第１枝配線、
（ハ）各第２の幹配線から延びる複数の第２枝配線、並びに、
（ニ）各第１及び第２枝配線に接続された冷陰極電界電子放出部、
を具備する冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルであって、
動作不良の冷陰極電界電子放出部に対しては、冷陰極電界電子放出部が動作しないように枝配線が切断されていることを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネル。
【請求項１２】（イ）２次元マトリックス状に形成された複数の冷陰極電界電子放出部から構成された有効領域、及び、
（ロ）該有効領域の周辺部に配置され、２次元マトリックス状に形成された複数の冷陰極電界電子放出部から構成された無効領域、
から成り、
有効領域を構成する冷陰極電界電子放出部は、冷陰極電界電子放出部を駆動するための電源に接続され、
無効領域を構成する冷陰極電界電子放出部は該電源に接続されていないことを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネル。
【請求項１３】冷陰極電界電子放出部群が複数並置されて成る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルであって、
該冷陰極電界電子放出部群は、複数の冷陰極電界電子放出部が１次元的に配列されて成る冷陰極電界電子放出部列がＮ列（但し、Ｎは２以上の自然数）、並置されて成り、
各冷陰極電界電子放出部群において、（Ｎ−１）列以下の一定数の冷陰極電界電子放出部列が選択され、かかる選択された冷陰極電界電子放出部列は冷陰極電界電子放出部を駆動するための電源を接続され、選択されない冷陰極電界電子放出部列は該電源に接続されていないことを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネル。
【請求項１４】（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）各枝配線に接続された冷陰極電界電子放出部、
を具備する冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法であって、
冷陰極電界電子放出部の動作試験を行い、
動作不良が検出された冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線を切断することを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法。
【請求項１５】（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）各枝配線に接続された冷陰極電界電子放出部、
を具備する冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法であって、
幹配線から枝配線を介して冷陰極電界電子放出部に電圧を印加する冷陰極電界電子放出部の短絡試験を行い、
短絡が生じている冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線を、枝配線を流れる電流によって断線させることを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法。
【請求項１６】（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる、複数の第１枝配線及び複数の第２枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備し、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる第１枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、該幹配線から延びる第２枝配線に接続された第２冷陰極電界電子放出部から構成された、冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法であって、
冷陰極電界電子放出領域の動作試験を行い、
動作不良が検出された冷陰極電界電子放出領域においては、該冷陰極電界電子放出領域を構成する一方の冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線を切断し、
動作が正常の冷陰極電界電子放出領域においては、該冷陰極電界電子放出領域を構成するいずれか一方の冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線を切断することを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法。
【請求項１７】（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる、複数の第１枝配線及び複数の第２枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備し、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる第１枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、該幹配線から延びる第２枝配線に接続された第２冷陰極電界電子放出部から構成された、冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法であって、
幹配線から枝配線を介して冷陰極電界電子放出部に電圧を印加する冷陰極電界電子放出部の短絡試験を行い、
短絡状態にある冷陰極電界電子放出領域においては、短絡状態にある冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線を、枝配線を流れる電流によって断線させ、
動作が正常の冷陰極電界電子放出領域においては、該冷陰極電界電子放出領域を構成するいずれか一方の冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線を切断することを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法。
【請求項１８】（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備し、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、第２冷陰極電界電子放出部から構成された、冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法であって、
第１冷陰極電界電子放出部の動作試験を行い、
動作不良が検出された第１冷陰極電界電子放出部においては、該第１冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線を切断し、且つ、該第１冷陰極電界電子放出部が含まれる冷陰極電界電子放出領域を構成する第２冷陰極電界電子放出部を該幹配線に電気的に接続することを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法。
【請求項１９】（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備し、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、第２冷陰極電界電子放出部から構成された、冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法であって、
幹配線から枝配線を介して第１冷陰極電界電子放出部に電圧を印加する冷陰極電界電子放出部の短絡試験を行い、
短絡状態にある冷陰極電界電子放出領域においては、該第１冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線を、枝配線を流れる電流によって断線させ、且つ、該第１冷陰極電界電子放出部が含まれる冷陰極電界電子放出領域を構成する第２冷陰極電界電子放出部を該幹配線に電気的に接続することを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法。
【請求項２０】（イ）それぞれが第１の幹配線と第２の幹配線から構成された、複数の幹配線、
（ロ）各第１の幹配線から延びる複数の第１枝配線、
（ハ）各第２の幹配線から延びる複数の第２枝配線、並びに、
（ニ）各第１及び第２枝配線に接続された冷陰極電界電子放出部、
を具備する冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法であって、
冷陰極電界電子放出部の動作試験を行い、
動作不良が検出された冷陰極電界電子放出部においては、冷陰極電界電子放出部が動作しないように枝配線を切断することを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法。
【請求項２１】冷陰極電界電子放出部群が複数並置されて成る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法であって、
該冷陰極電界電子放出部群は、複数の冷陰極電界電子放出部が１次元的に配列されて成る冷陰極電界電子放出部列がＮ列（但し、Ｎは２以上の自然数）、並置されて成り、
冷陰極電界電子放出部の動作試験を行い、
各冷陰極電界電子放出部群において、動作不良が検出された冷陰極電界電子放出部を含む冷陰極電界電子放出部列を除く（Ｎ−１）列以下の一定数の冷陰極電界電子放出部列を選択し、かかる選択された冷陰極電界電子放出部列を、冷陰極電界電子放出部を駆動するための電源に接続し、
各冷陰極電界電子放出部群において、冷陰極電界電子放出部の動作が正常である場合には、（Ｎ−１）列以下の一定数の冷陰極電界電子放出部列を選択し、かかる選択された冷陰極電界電子放出部列を該電源に接続することを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法。
【請求項２２】複数の画素から構成され、
各画素は、カソード・パネル上に設けられた冷陰極電界電子放出部と、冷陰極電界電子放出部に対向してアノード・パネル上に設けられたアノード電極及び蛍光体層とから構成された冷陰極電界電子放出表示装置であって、
該カソード・パネルは、
（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）各枝配線に接続された冷陰極電界電子放出部、
を具備し、
動作不良の冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されていることを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置。
【請求項２３】複数の画素から構成され、
各画素は、カソード・パネル上に設けられた冷陰極電界電子放出部と、冷陰極電界電子放出部に対向してアノード・パネル上に設けられたアノード電極及び蛍光体層とから構成された冷陰極電界電子放出表示装置であって、
該カソード・パネルは、
（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）各枝配線に接続された冷陰極電界電子放出部、
を具備し、
短絡状態にある冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は断線していることを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置。
【請求項２４】枝配線は、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層から成り、あるいは又、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層から成る第１の枝配線部分と、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層とバリアメタル層の２層構造を有する第２の枝配線部分とから構成されていることを特徴とする請求項２３に記載の冷陰極電界電子放出表示装置。
【請求項２５】各冷陰極電界電子放出部は、複数の冷陰極電界電子放出部ユニットから構成されており、
各冷陰極電界電子放出部ユニットは枝配線を介して幹配線に接続されていることを特徴とする請求項２４に記載の冷陰極電界電子放出表示装置。
【請求項２６】複数の画素から構成され、
各画素は、カソード・パネル上に設けられた冷陰極電界電子放出領域と、冷陰極電界電子放出領域に対向してアノード・パネル上に設けられたアノード電極及び蛍光体層とから構成された冷陰極電界電子放出表示装置であって、
該カソード・パネルは、
（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる、複数の第１枝配線及び複数の第２枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備し、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる第１枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、該幹配線から延びる第２枝配線に接続された第２冷陰極電界電子放出部から構成されており、
冷陰極電界電子放出領域を構成する一方の冷陰極電界電子放出部が動作不良である場合、該一方の冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されており、
冷陰極電界電子放出領域を構成する両方の冷陰極電界電子放出部の動作が正常な場合、該冷陰極電界電子放出領域を構成するいずれか一方の冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されていることを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置。
【請求項２７】複数の画素から構成され、
各画素は、カソード・パネル上に設けられた冷陰極電界電子放出領域と、冷陰極電界電子放出領域に対向してアノード・パネル上に設けられたアノード電極及び蛍光体層とから構成された冷陰極電界電子放出表示装置であって、
該カソード・パネルは、
（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる、複数の第１枝配線及び複数の第２枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備し、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる第１枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、該幹配線から延びる第２枝配線に接続された第２冷陰極電界電子放出部から構成されており、
冷陰極電界電子放出領域を構成する冷陰極電界電子放出部が短絡状態にある場合、該冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は断線しており、
冷陰極電界電子放出領域を構成する両方の冷陰極電界電子放出部の動作が正常な場合、該冷陰極電界電子放出領域を構成するいずれか一方の冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されていることを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置。
【請求項２８】枝配線は、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層から成り、あるいは又、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層から成る第１の枝配線部分と、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層とバリアメタル層の２層構造を有する第２の枝配線部分とから構成されていることを特徴とする請求項２７に記載の冷陰極電界電子放出表示装置。
【請求項２９】複数の画素から構成され、
各画素は、カソード・パネル上に設けられた冷陰極電界電子放出領域と、冷陰極電界電子放出領域に対向してアノード・パネル上に設けられたアノード電極及び蛍光体層とから構成された冷陰極電界電子放出表示装置であって、
該カソード・パネルは、
（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備し、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、第２冷陰極電界電子放出部から構成されており、
第１冷陰極電界電子放出部が動作不良の場合、該第１冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されており、且つ、該第１冷陰極電界電子放出部が含まれる冷陰極電界電子放出領域を構成する第２冷陰極電界電子放出部は該幹配線に電気的に接続されていることを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置。
【請求項３０】複数の画素から構成され、
各画素は、カソード・パネル上に設けられた冷陰極電界電子放出領域と、冷陰極電界電子放出領域に対向してアノード・パネル上に設けられたアノード電極及び蛍光体層とから構成された冷陰極電界電子放出表示装置であって、
該カソード・パネルは、
（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備し、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、第２冷陰極電界電子放出部から構成されており、
第１冷陰極電界電子放出部が短絡状態にある場合、該第１冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は断線しており、且つ、該第１冷陰極電界電子放出部が含まれる冷陰極電界電子放出領域を構成する第２冷陰極電界電子放出部は該幹配線に電気的に接続されていることを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置。
【請求項３１】枝配線は、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層から成り、あるいは又、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層から成る第１の枝配線部分と、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層とバリアメタル層の２層構造を有する第２の枝配線部分とから構成されていることを特徴とする請求項３０に記載の冷陰極電界電子放出表示装置。
【請求項３２】複数の画素から構成され、
各画素は、カソード・パネル上に設けられた冷陰極電界電子放出部と、冷陰極電界電子放出部に対向してアノード・パネル上に設けられたアノード電極及び蛍光体層とから構成された冷陰極電界電子放出表示装置であって、
該カソード・パネルは、
（イ）それぞれが第１の幹配線と第２の幹配線から構成された、複数の幹配線、
（ロ）各第１の幹配線から延びる複数の第１枝配線、
（ハ）各第２の幹配線から延びる複数の第２枝配線、並びに、
（ニ）各第１及び第２枝配線に接続された冷陰極電界電子放出部、
を具備し、
動作不良の冷陰極電界電子放出部に対しては、冷陰極電界電子放出部が動作しないように枝配線が切断されていることを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置。
【請求項３３】複数の画素から構成され、
各画素は、カソード・パネル上に設けられた冷陰極電界電子放出部と、冷陰極電界電子放出部に対向してアノード・パネル上に設けられたアノード電極及び蛍光体層とから構成された冷陰極電界電子放出表示装置であって、
該カソード・パネルは、
（イ）２次元マトリックス状に形成された複数の冷陰極電界電子放出部から構成された有効領域、及び、
（ロ）該有効領域の周辺部に配置され、２次元マトリックス状に形成された複数の冷陰極電界電子放出部から構成された無効領域、
を具備し、
有効領域を構成する冷陰極電界電子放出部は、冷陰極電界電子放出部を駆動するための電源に接続され、
無効領域を構成する冷陰極電界電子放出部は該電源に接続されていないことを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置。
【請求項３４】複数の画素から構成され、
各画素は、カソード・パネル上に設けられた冷陰極電界電子放出部と、冷陰極電界電子放出部に対向してアノード・パネル上に設けられたアノード電極及び蛍光体層とから構成された冷陰極電界電子放出表示装置であって、
該カソード・パネルには、冷陰極電界電子放出部群が複数並置されており、
該冷陰極電界電子放出部群は、複数の冷陰極電界電子放出部が１次元的に配列されて成る冷陰極電界電子放出部列がＮ列（但し、Ｎは２以上の自然数）、並置されて成り、
各冷陰極電界電子放出部群において、（Ｎ−１）列以下の一定数の冷陰極電界電子放出部列が選択され、かかる選択された冷陰極電界電子放出部列は冷陰極電界電子放出部を駆動するための電源に接続され、選択されない冷陰極電界電子放出部列は該電源に接続されていないことを特徴とする冷陰極電界電子放出表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
一方、アノード・パネル６０は、基板６１上に所定のパターンを有する蛍光体層６２（具体的には、図６３に示すように、赤色を発光する蛍光体層６２Ｒ、緑色を発光する蛍光体層６２Ｇ、及び、青色を発光する蛍光体層６２Ｂ）が形成され、蛍光体層６２がアノード電極６３で覆われた構造を有する。尚、これらの蛍光体層６２Ｒ，６２Ｇ，６２Ｂの間は、カーボン等の光吸収性材料から成るブラック・マトリクス６４で埋め込まれており、表示画像の色濁りが防止されている。基板６１上における蛍光体層６２とアノード電極６３の積層順を上記と逆にしても構わないが、この場合には、表示装置の観察面側から見てアノード電極６３が蛍光体層６２の手前に来るため、アノード電極６３をＩＴＯ（インジウム・錫酸化物）等の透明導電材料にて構成する必要がある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
図２７及び図６３に示した表示装置におけるスピント型電界放出素子の製造方法の概要を、以下、図３１及び図３２を参照しながら説明する。この製造方法は、基本的には、円錐形の電子放出電極５６を金属材料の垂直蒸着により形成する方法である。即ち、開口部５５に対して蒸着粒子は垂直に入射するが、開口端付近に形成されるオーバーハング状の堆積物による遮蔽効果を利用して、開口部５５の底部に到達する蒸着粒子の量を漸減させ、円錐形の堆積物である電子放出電極５６を自己整合的に形成する。ここでは、不要なオーバーハング状の堆積物の除去を容易とするために、絶縁層５３及びゲート電極５４上に剥離層５７を予め形成しておく方法について、図３１及び図３２を参照して説明する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
［工程−１００］
先ず、例えばガラス基板から成る支持体５１の上に、例えばポリシリコンから成るカソード電極用導電材料層をプラズマＣＶＤ法にて製膜した後、リソグラフィ技術及びドライエッチング技術に基づきカソード電極用導電材料層をパターニングして、ストライプ状のカソード電極５２を形成する。その後、全面にＳｉＯ2から成る絶縁層５３をＣＶＤ法にて、ゲート電極用導電材料層（例えば、ＴｉＮ層）をスパッタ法にて、順次製膜し、次いで、ゲート電極用導電材料層をリソグラフィ技術及びドライエッチング技術にてパターニングすることによってゲート電極用導電材料層から成り、開口部５５を有するストライプ状のゲート電極５４を形成する。その後、絶縁層５３に、例えば直径１μｍ程度の開口部５５を形成する（図３１の（Ａ）参照）。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
［工程−１１０］
次に、図３１の（Ｂ）に示すように、支持体５１を回転させながらゲート電極５４上を含む絶縁層５３上にニッケル（Ｎｉ）を斜め蒸着することにより、剥離層５７を形成する。このとき、支持体５１の法線に対する蒸着粒子の入射角を十分に大きく選択することにより（例えば、入射角６５度〜８５度）、開口部５５の底部にニッケルを殆ど堆積させることなく、絶縁層５３及びゲート電極５４の上に剥離層５７を形成することができる。剥離層５７は、開口部５５の開口端から庇状に張り出しており、これによって開口部５５が実質的に縮径される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
［工程−１３０］
その後、図３２の（Ｂ）に示すように、リフト・オフ法にて剥離層５７を絶縁層５３及びゲート電極５４の表面から剥離し、絶縁層５３及びゲート電極５４の上方の導電材料層５６Ａを選択的に除去する。こうして、複数のスピント型電界放出素子が形成されたカソード・パネルを得ることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
上記の目的を達成するための本発明の第３の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルは、
（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる、複数の第１枝配線及び複数の第２枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備する冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルであって、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる第１枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、該幹配線から延びる第２枝配線に接続された第２冷陰極電界電子放出部から構成されており、
冷陰極電界電子放出領域を構成する一方の冷陰極電界電子放出部が動作不良である場合、該一方の冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されており、
冷陰極電界電子放出領域を構成する両方の冷陰極電界電子放出部の動作が正常な場合、該冷陰極電界電子放出領域を構成するいずれか一方の冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されていることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
上記の目的を達成するための本発明の第５の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルは、
（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備する冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルであって、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、第２冷陰極電界電子放出部から構成されており、
第１冷陰極電界電子放出部が動作不良の場合、該第１冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されており、且つ、該第１冷陰極電界電子放出部が含まれる冷陰極電界電子放出領域を構成する第２冷陰極電界電子放出部は該幹配線に電気的に接続されていることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
上記の目的を達成するための本発明の第８の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルは、
（イ）２次元マトリックス状に形成された複数の冷陰極電界電子放出部から構成された有効領域、及び、
（ロ）該有効領域の周辺部に配置され、２次元マトリックス状に形成された複数の冷陰極電界電子放出部から構成された無効領域、
から成り、
有効領域を構成する冷陰極電界電子放出部は、冷陰極電界電子放出部を駆動するための電源に接続され、
無効領域を構成する冷陰極電界電子放出部は該電源に接続されていないことを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
上記の目的を達成するための本発明の第９の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルは、
冷陰極電界電子放出部群が複数並置されて成る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルであって、
該冷陰極電界電子放出部群は、複数の冷陰極電界電子放出部が１次元的に配列されて成る冷陰極電界電子放出部列がＮ列（但し、Ｎは２以上の自然数）、並置されて成り、
各冷陰極電界電子放出部群において、（Ｎ−１）列以下の一定数の冷陰極電界電子放出部列が選択され、かかる選択された冷陰極電界電子放出部列は冷陰極電界電子放出部を駆動するための電源に接続され、選択されない冷陰極電界電子放出部列は該電源に接続されていないことを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
上記の目的を達成するための本発明の第５の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法は、本発明の第５の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルを製造するための方法である。即ち、
（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備し、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、第２冷陰極電界電子放出部から構成された、冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法であって、
第１冷陰極電界電子放出部の動作試験を行い、
動作不良が検出された第１冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線を切断し、且つ、該第１冷陰極電界電子放出部が含まれる冷陰極電界電子放出領域を構成する第２冷陰極電界電子放出部を該幹配線に電気的に接続することを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
上記の目的を達成するための本発明の第６の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法は、本発明の第６の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルを製造するための方法である。即ち、
（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備し、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、第２冷陰極電界電子放出部から構成された、冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法であって、
幹配線から枝配線を介して第１冷陰極電界電子放出部に電圧を印加する冷陰極電界電子放出部の短絡試験を行い、
短絡状態にある冷陰極電界電子放出領域においては、該第１冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線を、枝配線を流れる電流によって断線させ、且つ、該第１冷陰極電界電子放出部が含まれる冷陰極電界電子放出領域を構成する第２冷陰極電界電子放出部を該幹配線に電気的に接続することを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
上記の目的を達成するための本発明の第８の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法は、本発明の第９の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルを製造するための方法である。即ち、
冷陰極電界電子放出部群が複数並置されて成る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法であって、
該冷陰極電界電子放出部群は、複数の冷陰極電界電子放出部が１次元的に配列されて成る冷陰極電界電子放出部列がＮ列（但し、Ｎは２以上の自然数）、並置されて成り、
冷陰極電界電子放出部の動作試験を行い、
各冷陰極電界電子放出部群において、動作不良が検出された冷陰極電界電子放出部を含む冷陰極電界電子放出部列を除く（Ｎ−１）列以下の一定数の冷陰極電界電子放出部列を選択し、かかる選択された冷陰極電界電子放出部列を、冷陰極電界電子放出部を駆動するための電源に接続し、
各冷陰極電界電子放出部群において、冷陰極電界電子放出部の動作が正常である場合には、（Ｎ−１）列以下の一定数の冷陰極電界電子放出部列を選択し、かかる選択された冷陰極電界電子放出部列を該電源に接続することを特徴とする。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
上記の目的を達成するための本発明の第３の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置には、本発明の第３の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルが備えられている。即ち、本発明の第３の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置は、
複数の画素から構成され、
各画素は、カソード・パネル上に設けられた冷陰極電界電子放出領域と、冷陰極電界電子放出領域に対向してアノード・パネル上に設けられたアノード電極及び蛍光体層とから構成された冷陰極電界電子放出表示装置であって、
該カソード・パネルは、
（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる、複数の第１枝配線及び複数の第２枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備し、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる第１枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、該幹配線から延びる第２枝配線に接続された第２冷陰極電界電子放出部から構成されており、
冷陰極電界電子放出領域を構成する一方の冷陰極電界電子放出部が動作不良である場合、該一方の冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されており、
冷陰極電界電子放出領域を構成する両方の冷陰極電界電子放出部の動作が正常な場合、該冷陰極電界電子放出領域を構成するいずれか一方の冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されていることを特徴とする。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
上記の目的を達成するための本発明の第４の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置には、本発明の第４の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルが備えられている。即ち、本発明の第４の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置は、
複数の画素から構成され、
各画素は、カソード・パネル上に設けられた冷陰極電界電子放出領域と、冷陰極電界電子放出領域に対向してアノード・パネル上に設けられたアノード電極及び蛍光体層とから構成された冷陰極電界電子放出表示装置であって、
該カソード・パネルは、
（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる、複数の第１枝配線及び複数の第２枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備し、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる第１枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、該幹配線から延びる第２枝配線に接続された第２冷陰極電界電子放出部から構成されており、
冷陰極電界電子放出領域を構成する冷陰極電界電子放出部が短絡状態にある場合、該冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は断線しており、
冷陰極電界電子放出領域を構成する両方の冷陰極電界電子放出部の動作が正常な場合、該冷陰極電界電子放出領域を構成するいずれか一方の冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されていることを特徴とする。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
上記の目的を達成するための本発明の第５の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置には、本発明の第５の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルが備えられている。即ち、本発明の第５の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置は、
複数の画素から構成され、
各画素は、カソード・パネル上に設けられた冷陰極電界電子放出領域と、冷陰極電界電子放出領域に対向してアノード・パネル上に設けられたアノード電極及び蛍光体層とから構成された冷陰極電界電子放出表示装置であって、
該カソード・パネルは、
（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備し、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、第２冷陰極電界電子放出部から構成されており、
第１冷陰極電界電子放出部が動作不良の場合、該第１冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は切断されており、且つ、該第１冷陰極電界電子放出部が含まれる冷陰極電界電子放出領域を構成する第２冷陰極電界電子放出部は該幹配線に電気的に接続されていることを特徴とする。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
上記の目的を達成するための本発明の第６の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置には、本発明の第６の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルが備えられている。即ち、本発明の第６の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置は、
複数の画素から構成され、
各画素は、カソード・パネル上に設けられた冷陰極電界電子放出領域と、冷陰極電界電子放出領域に対向してアノード・パネル上に設けられたアノード電極及び蛍光体層とから構成された冷陰極電界電子放出表示装置であって、
該カソード・パネルは、
（イ）複数の幹配線、
（ロ）各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
（ハ）複数の冷陰極電界電子放出領域、
を具備し、
各冷陰極電界電子放出領域は、幹配線から延びる枝配線に接続された第１冷陰極電界電子放出部、及び、第２冷陰極電界電子放出部から構成されており、
第１冷陰極電界電子放出部が短絡状態にある場合、該第１冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線は断線しており、且つ、該第１冷陰極電界電子放出部が含まれる冷陰極電界電子放出領域を構成する第２冷陰極電界電子放出部は該幹配線に電気的に接続されていることを特徴とする。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
上記の目的を達成するための本発明の第８の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置には、本発明の第８の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルが備えられている。即ち、本発明の第８の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置は、
複数の画素から構成され、
各画素は、カソード・パネル上に設けられた冷陰極電界電子放出部と、冷陰極電界電子放出部に対向してアノード・パネル上に設けられたアノード電極及び蛍光体層とから構成された冷陰極電界電子放出表示装置であって、
該カソード・パネルは、
（イ）２次元マトリックス状に形成された複数の冷陰極電界電子放出部から構成された有効領域、及び、
（ロ）該有効領域の周辺部に配置され、２次元マトリックス状に形成された複数の冷陰極電界電子放出部から構成された無効領域、
を具備し、
有効領域を構成する冷陰極電界電子放出部は、冷陰極電界電子放出部を駆動するための電源に接続され、
無効領域を構成する冷陰極電界電子放出部は該電源に接続されていないことを特徴とする。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
上記の目的を達成するための本発明の第９の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置には、本発明の第９の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルが備えられている。即ち、本発明の第９の態様に係る冷陰極電界電子放出表示装置は、
複数の画素から構成され、
各画素は、カソード・パネル上に設けられた冷陰極電界電子放出部と、冷陰極電界電子放出部に対向してアノード・パネル上に設けられたアノード電極及び蛍光体層とから構成された冷陰極電界電子放出表示装置であって、
該カソード・パネルには、冷陰極電界電子放出部群が複数並置されており、
該冷陰極電界電子放出部群は、複数の冷陰極電界電子放出部が１次元的に配列されて成る冷陰極電界電子放出部列がＮ列（但し、Ｎは２以上の自然数）、並置されて成り、
各冷陰極電界電子放出部群において、（Ｎ−１）列以下の一定数の冷陰極電界電子放出部列が選択され、かかる選択された冷陰極電界電子放出部列は冷陰極電界電子放出部を駆動するための電源に接続され、選択されない冷陰極電界電子放出部列は該電源に接続されていないことを特徴とする。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
本発明においては、動作不良の、あるいは短絡した電子放出部は幹配線から電気的に分離されているので、あるいは又、無効領域を構成する電子放出部や非選択の冷陰極電界電子放出部列は電子放出部を駆動するための電源に接続されていないので、かかる電子放出部、無効領域、あるいは非選択の冷陰極電界電子放出部列は電子放出に何ら寄与しない。従って、たとえ電子放出部に欠陥が発生したとしても、あるいは又、冷陰極電界電子放出領域に欠陥が存在していたとしても、動作上、かかる欠陥は排除される結果、表示装置の製造歩留まりの低下を招くことがない。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
［工程−２１０］
次に、全面に第１絶縁層７３を形成する。ここでは一例として、ＳｉＯ2を約０．３μｍの厚さに形成する。更に、この第１絶縁層７３の上にタングステンから成る電子放出層用導電材料層を０．２μｍの厚さに形成した後、所定の形状にパターニングし、電子放出層７４を形成する（図３５の（Ｂ）参照）。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
［工程−２４０］
次に、図３６の（Ｂ）に示すように、開口部７８Ａの底面に露出した第２絶縁層７５を等方的にエッチングし、開口部７８Ｂを形成する。ここでは第２絶縁層７５をＳｉＯ2を用いて形成しているので、緩衝化フッ酸水溶液を用いたウェットエッチングを行う。開口部７８Ｂの壁面は、開口部７８Ａの開口端面よりも後退するが、このときの後退量はエッチング時間の長短により制御することができる。ここでは、開口部７８Ｂの下端が開口部７８Ａの開口端面よりも後退するまで、ウェットエッチングを行う。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
尚、図２９の（Ａ）に模式的な一部端面図を示し、図２９の（Ｂ）に模式的な分解斜視図を示すように、所謂シャント構造を有する幹配線２０，２０’とすることもできる。即ち、［工程−１００］において、例えばガラス基板から成る支持体５１の上に、例えばポリシリコンから成るカソード電極用導電材料層をプラズマＣＶＤ法にて製膜した後、リソグラフィ技術及びドライエッチング技術に基づきカソード電極用導電材料層をパターニングして、カソード電極群、幹配線２０及び枝配線２１を形成する。その後、全面にＳｉＯ2から成る絶縁層５３’をＣＶＤ法にて製膜し、幹配線２０の上方の絶縁層５３’に孔部を形成する。その後、孔部内を含む絶縁層５３’上に例えばアルミニウム系合金層をスパッタ法にて製膜し、かかるアルミニウム系合金層をパターニングすることによって、絶縁層５３’上にも幹配線２０’を形成する。かかる幹配線２０’は、孔部及び孔部に充填されたアルミニウム系合金層（これらを総称してコンタクトホールと呼ぶ）によって幹配線２０と電気的に接続されている。次いで、全面に絶縁層５３”を形成し、ゲート電極用導電材料層（例えば、ＴｉＮ層）をスパッタ法にて、順次製膜し、次いで、ゲート電極用導電材料層をリソグラフィ技術及びドライエッチング技術にてパターニングすることによってゲート電極用導電材料層から成り、開口部５５を有するゲート電極群を形成する。その後、絶縁層５３”，５３’に、例えば直径１μｍ程度の開口部５５を形成する。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
ハウジング１０１内が所望の雰囲気となったならば、検査台昇降シリンダー１０３を作動させて、検査台１０２を上昇させ、カソード・パネル５０とパネル６０Ａとの間の距離を、例えば１ｍｍとする。併せて、幹配線２０，２２の端部に検査電圧印加針１０９を接触させる。そして、電圧源・走査電圧コントローラ１１２から、検査電圧印加針１０９、幹配線２０、枝配線２１を介して電子放出部１０のカソード電極５２に走査用電圧（例えば、１０ボルト）を印加し、検査電圧印加針１０９、幹配線２２、枝配線２３を介して電子放出部１０のゲート電極５４に制御用電圧（例えば、１５ボルト）を印加し、更に、アノード電極６３に加速用電圧（例えば、１．５ｋボルト）を印加する。これによって、電子放出電極５６の先端部から電子が放出される。そして、電子は、パネル６０Ａに設けられたアノード電極６３に引き付けられ、アノード電極６３と透明基板６１との間に形成された発光体層である蛍光体層６２に衝突する。その結果、蛍光体層６２が励起されて発光し、所望の画像を得ることができる。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１０】
図５に示す構成においては、パターニングされたカソード電極用導電材料層に、電子放出部１０を構成するスピント型電界放出素子のカソード電極５２が所望の数だけ存在している。即ち、例えば矩形のカソード電極用導電材料層それ自体がカソード電極５２に相当し、開口部５５の底部に位置するカソード電極用導電材料層の領域がカソード電極５２に該当する。一方、パターニングされたゲート電極用導電材料層に、電子放出部１０を構成するスピント型電界放出素子のゲート電極５４が所望の数だけ存在している。即ち、ゲート電極用導電材料層それ自体がゲート電極５４に相当し、開口部５５の近傍に位置するゲート電極用導電材料層の領域がゲート電極５４に該当する。ゲート電極用導電材料層５４Ａは、図１に示した形状とは異なり、ストライプ状にパターニングされており、かかるストライプ状のゲート電極用導電材料層５４Ａの一部分（パターニングされたカソード電極用導電材料層と重複する領域）が、各電子放出部１０のゲート電極５４を構成する。言い換えれば、第２の方向に隣接する電子放出部１０のゲート電極群はゲート電極延在部２５によって結ばれている。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６０】
動作不良の電子放出領域に対しては、動作不良が生じた第１若しくは第２電子放出部１０Ａ，１０Ｂと幹配線３０Ａ，３０Ｂとを接続する枝配線３１Ａ若しくは枝配線３１Ｂを切断する。あるいは又、動作不良が生じた第１若しくは第２電子放出部１０Ａ，１０Ｂと幹配線３２とを接続する枝配線３３Ａ若しくは枝配線３３Ｂを切断する。一方、動作が正常の電子放出領域に対しては、第１電子放出部１０Ａ及び第２電子放出部１０Ｂのいずれか一方と幹配線３０Ａ，３０Ｂとを接続する枝配線３１Ａ，３１Ｂを切断する。あるいは又、第１電子放出部１０Ａ及び第２電子放出部１０Ｂのいずれか一方と幹配線３２とを接続する枝配線３３Ａ，３３Ｂを切断する。即ち、動作が正常の電子放出領域に対しては、第１電子放出部１０Ａ及び第２電子放出部１０Ｂのいずれか一方を、動作しない状態とすればよい。具体的には、実施の形態１と同様の方法を実行すればよい。尚、一対の幹配線３０Ａ，３０Ｂにおいて、幹配線３０Ａに接続された全ての電子放出部１０Ａが正常な動作をし、幹配線３０Ｂに接続された全ての電子放出部１０Ｂが正常な動作をする場合には、場合によっては、一方の幹配線を電子放出部を駆動するための電源に接続しない構成とすることもできるし、あるいは又、かかる一方の幹配線を切断してもよい。また、幹配線３０Ａに接続された全ての電子放出部１０Ａが正常な動作をし、幹配線３０Ｂに接続された少なくとも１つの電子放出部１０Ｂが動作不良を示す場合には、場合によっては、幹配線３０Ｂを電子放出部を駆動するための電源に接続しない構成とすることもできるし、あるいは又、幹配線３０Ｂを切断してもよい。あるいは、幹配線３０Ａに接続された少なくとも１つの電子放出部１０Ａが動作不良を示し、幹配線３０Ｂに接続された全ての電子放出部１０Ｂが正常な動作を行う場合には、場合によっては、幹配線３０Ａを電子放出部を駆動するための電源に接続しない構成とすることもできるし、あるいは又、幹配線３０Ａを切断してもよい。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６２】
動作不良の電子放出領域に対しては、動作不良が生じた第１若しくは第２電子放出部１０Ａ，１０Ｂと幹配線３０Ａ，３０Ｂとを接続する枝配線３１Ａ若しくは枝配線３１Ｂを切断すればよい。一方、動作が正常の電子放出領域に対しては、第１電子放出部１０Ａ及び第２電子放出部１０Ｂのいずれか一方と幹配線３０Ａ，３０Ｂとを接続する枝配線３１Ａ，３１Ｂを切断すればよい。即ち、動作が正常の電子放出領域に対しては、第１電子放出部１０Ａ及び第２電子放出部１０Ｂのいずれか一方を、動作しない状態とすればよい。尚、一対の幹配線３０Ａ，３０Ｂにおいて、幹配線３０Ａに接続された全ての電子放出部１０Ａが正常な動作をし、幹配線３０Ｂに接続された全ての電子放出部１０Ｂが正常な動作をする場合には、場合によっては、一方の幹配線を電子放出部を駆動するための電源に接続しない構成とすることもできるし、あるいは又、かかる一方の幹配線を切断してもよい。また、幹配線３０Ａに接続された全ての電子放出部１０Ａが正常な動作をし、幹配線３０Ｂに接続された少なくとも１つの電子放出部１０Ｂが動作不良を示す場合には、場合によっては、幹配線３０Ｂを電子放出部を駆動するための電源に接続しない構成とすることもできるし、あるいは又、かかる幹配線３０Ｂを切断してもよい。あるいは、幹配線３０Ａに接続された少なくとも１つの電子放出部１０Ａが動作不良を示し、幹配線３０Ｂに接続された全ての電子放出部１０Ｂが正常な動作を行う場合には、場合によっては、幹配線３０Ａを電子放出部を駆動するための電源に接続しない構成とすることもできるし、あるいは又、幹配線３０Ａを切断してもよい。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６５】
動作不良の電子放出領域に対しては、動作不良が生じた第１若しくは第２電子放出部１０Ａ，１０Ｂと幹配線３０Ａ，３０Ｂとを接続する枝配線３１Ａ若しくは枝配線３１Ｂを切断する。あるいは又、動作不良が生じた第１若しくは第２電子放出部１０Ａ，１０Ｂと幹配線３２Ａ，３２Ｂとを接続する枝配線３３Ａ若しくは枝配線３３Ｂを切断する。一方、動作が正常の電子放出領域に対しては、第１電子放出部１０Ａ及び第２電子放出部１０Ｂのいずれか一方と幹配線３０Ａ，３０Ｂとを接続する枝配線３１Ａ，３１Ｂを切断する。あるいは又、第１電子放出部１０Ａ及び第２電子放出部１０Ｂのいずれか一方と幹配線３２Ａ，３２Ｂとを接続する枝配線３３Ａ，３３Ｂを切断する。即ち、動作が正常の電子放出領域に対しては、第１電子放出部１０Ａ及び第２電子放出部１０Ｂのいずれか一方を、動作しない状態とすればよい。具体的には、実施の形態１と同様の方法を実行すればよい。尚、対の幹配線３０Ａ，３０Ｂ，３２Ａ，３２Ｂにおいて、幹配線３０Ａ，３２Ａに接続された全ての電子放出部１０Ａが正常な動作をし、幹配線３０Ｂ，３２Ｂに接続された全ての電子放出部１０Ｂが正常な動作をする場合には、場合によっては、いずれか１つの幹配線を電子放出部を駆動するための電源に接続しない構成とすることもできるし、あるいは又、かかるいずれか１つの幹配線を切断してもよい。また、幹配線３０Ａ，３２Ａに接続された全ての電子放出部１０Ａが正常な動作をし、幹配線３０Ｂ，３２Ｂに接続された少なくとも１つの電子放出部１０Ｂが動作不良を示す場合には、場合によっては、幹配線３０Ｂ、幹配線３２Ｂの少なくとも一方を電子放出部を駆動するための電源に接続しない構成とすることもできるし、あるいは又、幹配線３０Ｂ，３２Ｂの少なくとも一方を切断してもよい。あるいは、幹配線３０Ａ，３２Ａに接続された少なくとも１つの電子放出部１０Ａが動作不良を示し、幹配線３０Ｂ，３２Ｂに接続された全ての電子放出部１０Ｂが正常な動作を行う場合には、場合によっては、幹配線３０Ａ、幹配線３２Ａの少なくとも一方を電子放出部を駆動するための電源に接続しない構成とすることもできるし、あるいは又、幹配線３０Ａ，３２Ａの少なくとも一方を切断してもよい。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９６】
動作不良の第１電子放出部１０Ａに対しては、第１電子放出部１０Ａと幹配線３０Ａとを接続する枝配線３１Ａを切断する。あるいは又、動作不良が生じた第１電子放出部１０Ａと幹配線３２とを接続する枝配線３３を切断する。具体的には、実施の形態１と同様の方法を実行すればよい。一方、この第１電子放出部１０Ａが含まれる電子放出領域を構成する第２電子放出部１０Ｂと幹配線３２とを電気的に接続する。具体的には、イオン・ビーム法に基づき、新たな枝配線を形成すればよい。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２４８】
［工程−４００］
先ず、例えばガラス基板上に厚さ約０．６μｍのＳｉＯ2層を形成して成る支持体５１上に、アルミニウム層から成るカソード電極５２、幹配線２０、枝配線２１を設ける。具体的には、支持体５１上に、例えばスパッタ法にてアルミニウム層から成るカソード電極用導電材料層を堆積させ、かかるカソード電極用導電材料層をパターニングすることによって、複数のカソード電極５２、カソード電極５２から延びる枝配線２１、及び、枝配線２１と接続され、第１の方向に平行に延びる幹配線２０を形成することができる。次に、全面に、ＳｉＯ2から成る厚さ約１μｍの絶縁層５３を、原料ガスとしてＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）原料ガスとして使用したプラズマＣＶＤ法にて形成する。次に、絶縁層５３上の全面にアルミニウムから成るゲート電極用導電材料層をスパッタ法にて製膜し、ゲート電極用導電材料層のパターニングを行う。これによって、複数のゲート電極５４、ゲート電極５４から延びる枝配線２３、及び、枝配線２３に接続され、第２の方向に平行に延びる幹配線２２を得ることができる。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２６０】
（スピント型電界放出素子の製造方法の変形例−２）
スピント型電界放出素子の第２の製造方法の変形例（以下、スピント型電界放出素子の第３の製造方法と呼ぶ）を、以下、支持体等の模式的な一部端面図である図５０〜図５２を参照して説明する。このスピント型電界放出素子の第３の製造方法においては、マスク材料層により遮蔽される導電材料層の領域を、スピント型電界放出素子の第２の製造方法におけるよりも狭くすることが可能である。即ち、スピント型電界放出素子の第３の製造方法においては、工程（ｅ）において、開口部の上端面と底面との間の段差を反映して、柱状部とこの柱状部の上端に連通する拡大部とから成る略漏斗状の凹部を導電材料層の表面に生成させ、工程（ｆ）において、導電材料層の全面にマスク材料層を形成した後、マスク材料層と導電材料層とを支持体の表面に対して平行な面内で除去することにより、柱状部にマスク材料層を残す。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２７２】
（スピント型電界放出素子の製造方法の変形例−３）
スピント型電界放出素子の第３の製造方法の変形例（以下、スピント型電界放出素子の第４の製造方法と呼ぶ）を、以下、支持体等の模式的な一部端面図である図５４〜図５５を参照して説明する。このスピント型電界放出素子の第４の製造方法においても、工程（ｅ）において、開口部の上端面と底面との間の段差を反映して、柱状部とこの柱状部の上端に連通する拡大部とから成る略漏斗状の凹部を導電材料層の表面に生成させ、工程（ｆ）において、導電材料層の全面にマスク材料層を形成した後、導電材料層上と拡大部内のマスク材料層を除去することにより、柱状部にマスク材料層を残す。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】
発明の実施の形態１のカソード・パネルにおける、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図２】
冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線を切断する方法を模式的に示す図である。
【図３】
冷陰極電界電子放出部と幹配線とを接続する枝配線を切断する方法を模式的に示す図である。
【図４】
発明の実施の形態１のカソード・パネルの変形例における、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図５】
発明の実施の形態１のカソード・パネルの変形例における、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図６】
発明の実施の形態２のカソード・パネルにおける、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図７】
発明の実施の形態２のカソード・パネルにおける、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な一部端面図である。
【図８】
発明の実施の形態２のカソード・パネルの変形例の製造工程の一部分を説明するための、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な一部端面図である。
【図９】
発明の実施の形態２のカソード・パネルにおける枝配線が断線するまでの時間を調べた結果を示すグラフである。
【図１０】
発明の実施の形態３のカソード・パネルにおける、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図１１】
発明の実施の形態３のカソード・パネルの変形例における、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図１２】
発明の実施の形態３のカソード・パネルの変形例における、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図１３】
発明の実施の形態３のカソード・パネルの変形例における、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図１４】
発明の実施の形態３のカソード・パネルの変形例における、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図１５】
発明の実施の形態３のカソード・パネルの変形例における、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図１６】
発明の実施の形態３のカソード・パネルの変形例における、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図１７】
発明の実施の形態３のカソード・パネルの変形例における、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図１８】
発明の実施の形態５のカソード・パネルにおける、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図１９】
発明の実施の形態５のカソード・パネルの変形例における、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図２０】
発明の実施の形態５のカソード・パネルの変形例における、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図２１】
発明の実施の形態５のカソード・パネルの変形例における、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図２２】
発明の実施の形態５のカソード・パネルの変形例における、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図２３】
発明の実施の形態５のカソード・パネルの変形例における、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図２４】
発明の実施の形態７のカソード・パネルにおける、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図２５】
発明の実施の形態７のカソード・パネルの変形例における、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図２６】
発明の実施の形態７のカソード・パネルの変形例における、幹配線、枝配線及び冷陰極電界電子放出部の模式的な平面的配置である。
【図２７】
スピント型電界放出素子を適用した表示装置の概念図である。
【図２８】
スピント型電界放出素子を適用した表示装置におけるカソード・パネル及びアノード・パネルの一部分の模式的な分解斜視図である。
【図２９】
シャント構造を有する幹配線を備えた冷陰極電界電子放出部の模式的な一部端面図及び模式的な分解斜視図である。
【図３０】
幹配線の構造の変形例を示す模式的な一部端面図及び模式的な分解斜視図である。
【図３１】
スピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図３２】
図３１に引き続き、スピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図３３】
エッジ型電界放出素子の模式的な一部端面図である。
【図３４】
図３３の（Ｂ）に示したエッジ型電界放出素子の開口部近傍の支持体等を一部切断して露出させた模式的な斜視図である。
【図３５】
図３３の（Ｂ）に示したエッジ型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図３６】
図３５に引き続き、図３３の（Ｂ）に示したエッジ型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図３７】
図３６に引き続き、図３３の（Ｂ）に示したエッジ型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図３８】
平面型電界放出素子の模式的な一部端面図である。
【図３９】
図３８に示した平面型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図４０】
発明の実施の形態８におけるカソード・パネルの模式図である。
【図４１】
発明の実施の形態９におけるカソード・パネルの模式図である。
【図４２】
第２の構造のエッジ型電界放出素子にフォーカス電極を組み込んだ電界放出素子の模式的な一部端面図である。
【図４３】
表示特性試験の実行に適した試験装置の概要を示す図である。
【図４４】
発明の実施の形態４におけるスピント型電界放出素子を示す模式的な一部端面図である。
【図４５】
図４４に示したスピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図４６】
図４５に引き続き、図４４に示したスピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図４７】
図４６に引き続き、図４４に示したスピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図４８】
円錐形状の電子放出電極が形成される機構を説明するための図である。
【図４９】
対レジスト選択比と、電子放出電極の高さと形状の関係を模式的に示す図である。
【図５０】
発明の実施の形態５におけるスピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図５１】
図５０に引き続き、発明の実施の形態５におけるスピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図５２】
図５１に引き続き、発明の実施の形態５におけるスピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図５３】
被エッチング物の表面プロファイルが一定時間毎にどのように変化するかを示す図である。
【図５４】
発明の実施の形態６におけるスピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図５５】
図５４に引き続き、発明の実施の形態６におけるスピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図５６】
発明の実施の形態７におけるスピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図５７】
図５６に引き続き、発明の実施の形態７におけるスピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図５８】
図５７に引き続き、発明の実施の形態７におけるスピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図５９】
図５８に引き続き、発明の実施の形態７におけるスピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図６０】
発明の実施の形態８におけるスピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図６１】
図６０に引き続き、発明の実施の形態８におけるスピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図６２】
発明の実施の形態９におけるスピント型電界放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図６３】
従来のスピント型電界放出素子を適用した表示装置におけるカソード・パネル及びアノード・パネルの一部分の模式的な分解斜視図である。
【図６４】
抵抗体層を設けたスピント型電界放出素子の模式的な一部端面図及び抵抗体層を設けた電子放出部の等価回路である。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５０】
2001035423.tif 000001
【手続補正３５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５１】
2001035423.tif 000002
【手続補正３６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５４】
2001035423.tif 000003
【手続補正３７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６０】
2001035423.tif 000004
【手続補正３８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６２】
2001035423.tif 000005