(57)【要約】【課題】振動（或いは、不意の衝撃）を、ワゴン基体と防振フレームとの間の防振具によって低減でき、更に、防振フレームと防振トレーとの間の防振具でより一層低減でき、被搬送物を確実に保護でき、静電気を確実に、スムーズに除電でき、被搬送物に悪影響を与えず、ケース毎に安定した状態で載置でき、取扱い易く、使い勝手に優れ、構成簡素で、量産に適し、低廉で、経済的なクリーンルーム用ワゴンを提供する。【解決手段】底部枠１の下面に導電性を有するキャスター６を複数配したワゴン基体Ａと、ワゴン基体Ａの底部枠１に導電性を有する防振具２０を介して固定した防振フレームＢと、防振フレームＢの棚枠１１に導電性を有する防振具２０を介して固定した適数の防振トレーＣとからなり、防振トレーＣには、複数の被搬送物を収納するケース４０が載置可能となる複数の収容凹部３２を形成する。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェハーやその他の半導体部品或いは製品等の適宜被搬送物を、クリーンルーム内で振動させることなく搬送できるように形成したワゴンであって、底部枠の下面に導電性を有するキャスターが複数配されているワゴン基体と、このワゴン基体の底部枠に導電性を有する防振具を介して固定される防振フレームと、この防振フレームの棚枠に導電性を有する防振具を介して固定される適数の防振トレーとからなり、この防振トレーには、複数の被搬送物が収納されるケースを載置可能となるような複数の収容凹部を形成したことを特徴とするクリーンルーム用ワゴン。
【請求項２】
半導体ウェハーやその他の半導体部品或いは製品等の適宜被搬送物を、クリーンルーム内で振動させることなく搬送できるように形成したワゴンであって、底部枠の下面に導電性を有するキャスターが複数配されているワゴン基体と、このワゴン基体の底部枠に導電性を有する防振具を介して固定される防振フレームと、この防振フレームの棚枠に導電性を有する防振具を介して固定される適数の防振トレーとからなり、この防振トレーには、複数の被搬送物が収納されるケースを載置可能となるような複数の収容凹部を形成し、防振フレームは、四本の支柱と、この支柱に固定される適数の棚枠と、支柱の上端部に固定される上部枠とを備え、支柱の下端部分とワゴン基体の底部枠との間に複数の防振具を介装し、防振トレーは、基枠と、この基枠に固着される底板とを備え、防振トレーと防振フレームとの間に複数の防振具を介装し、底板には、多数の透孔を設け、防振具は、下部取付板と、弾性体と、上部取付板とを備え、弾性体内に導電線を配して、下部取付板と上部取付板とを導通せしめ、導電性のあるクリーンルームの床部を利用してワゴン自体の静電気の除電が行えるように構成したことを特徴とするクリーンルーム用ワゴン。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、例えば、クリーンルーム（主に、半導体クリーンルーム）内で使用されると共に、半導体ウェハーやその他の半導体部品或いは製品等の適宜被搬送物を、検査や製造のために振動させることなく搬送できるように形成したクリーンルーム用ワゴンに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、クリーンルーム内に於いて検査されたり、製造されたり、加工されたり、或いは組立てられたりする半導体ウェハーやその他の半導体部品或いは製品等の適宜被搬送物を搬送するためのワゴンとしては、例えば、特許文献１に示すような防塵ワゴンが提案されている。
これは、複数のワークが収容されたカセットを、高いクリーン度が確保された内部空間内に複数個収容して移動可能な防塵ワゴンであって、上記各カセットが内部空間内を移動可能とされているとともに、高いクリーン度が確保され上記ワークに対して所定の処理を施すための装置が収容された処理室と結合される結合部を有し、かつ、上記結合部が上記処理室と結合された状態で、選択されたカセットを上記結合部内に移動した後に、そのカセットを上記処理室側に移送できるように構成されたものである。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１６５８６２号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前述のワゴンにあっては、搬送時に生じるワゴンの振動で被搬送物が同じように振動する難点や、搬送時にワゴンに衝撃が加えられた場合、この衝撃が被搬送物に直接的に伝わってしまう難点があった。しかも、ワゴン自体の構成が複雑となり、製造コストの負担が大きい等の難点があった。
また、ワゴン自体に静電気等が発生したときに、この静電気が被搬送物に悪影響を与える虞がある等の難点があった。
【０００５】
そこで、本考案は、前述の如き課題を解消できるようにすると共に、取扱い易く、使い勝手に優れ、しかも、構成が簡素で、耐久性に優れ、量産に適し、低廉で、経済的なクリーンルーム用ワゴンを提供できるようにすべく案出されたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
しかして、前述の如き課題等を達成すべく、請求項１記載のクリーンルーム用ワゴンにあっては、半導体ウェハーやその他の半導体部品或いは製品等の適宜被搬送物を、クリーンルーム内で振動させることなく搬送できるように形成したワゴンであって、底部枠１の下面に導電性を有するキャスター６が複数配されているワゴン基体Ａと、このワゴン基体Ａの底部枠１に導電性を有する防振具２０を介して固定される防振フレームＢと、この防振フレームＢの棚枠１１に導電性を有する防振具２０を介して固定される適数の防振トレーＣとからなり、この防振トレーＣには、複数の被搬送物が収納されるケース４０を載置可能となるような複数の収容凹部３２を形成する手段を採用した。
【０００７】
また、請求項２記載のクリーンルーム用ワゴンにあっては、半導体ウェハーやその他の半導体部品或いは製品等の適宜被搬送物を、クリーンルーム内で振動させることなく搬送できるように形成したワゴンであって、底部枠１の下面に導電性を有するキャスター６が複数配されているワゴン基体Ａと、このワゴン基体Ａの底部枠１に導電性を有する防振具２０を介して固定される防振フレームＢと、この防振フレームＢの棚枠１１に導電性を有する防振具２０を介して固定される適数の防振トレーＣとからなり、この防振トレーＣには、複数の被搬送物が収納されるケース４０を載置可能となるような複数の収容凹部３２を形成し、防振フレームＢは、四本の支柱１０と、この支柱１０に固定される適数の棚枠１１と、支柱１０の上端部に固定される上部枠１２とを備え、支柱１０の下端部分とワゴン基体Ａの底部枠１との間に複数の防振具２０を介装し、防振トレーＣは、基枠３０と、この基枠３０に固着される底板３１とを備え、防振トレーＣと防振フレームＢとの間に複数の防振具２０を介装し、底板３１には、多数の透孔３５を設け、防振具２０は、下部取付板２１と、弾性体２２と、上部取付板２３とを備え、弾性体２２内に導電線２５を配して、下部取付板２１と上部取付板２３とを導通せしめ、導電性のあるクリーンルームの床部を利用してワゴン自体の静電気の除電が行えるように構成する手段を採用した。
【考案の効果】
【０００８】
従って、本考案の請求項１記載のクリーンルーム用ワゴンによれば、搬送時に生じるワゴン基体Ａの振動（或いは、不意の衝撃）が、ワゴン基体Ａと防振フレームＢとの間の防振具２０によって低減され、更に、防振フレームＢと防振トレーＣとの間の防振具２０によってより一層低減されるようになり、ケース４０内の被搬送物を振動（或いは、不意の衝撃）から確実に保護できるようになる。
しかも、ワゴン自体の構成が簡素で、小型、軽量に形成でき、操作性に優れ、取扱い易く、使い勝手に優れ、外観上の体裁も良く、また、量産に適し、低廉で、経済的なクリーンルーム用ワゴンとなる。
【０００９】
特に、ワゴン基体Ａの底部枠１に導電性を有するキャスター６を配し、防振フレームＢは、導電性を有する防振具２０を介してワゴン基体Ａの底部枠１に固定され、防振トレーＣは、導電性を有する防振具２０を介して防振フレームＢの棚枠１１に固定されるので、ワゴン自体に静電気が発生した場合でも、この静電気は、接地されているクリーンルームの床部を介して、確実に且つスムーズに除電できるようになり、被搬送物に悪影響を与える虞のないものとなる。
【００１０】
加えて、防振トレーＣには、複数の被搬送物が収納されるケース４０を載置可能となるような複数の収容凹部３２を形成したので、ケース４０毎に安定した状態で載置できるようになる。
【００１１】
また、本考案の請求項２記載のクリーンルーム用ワゴンによれば、搬送時に生じるワゴン基体Ａの振動（或いは、不意の衝撃）が、ワゴン基体Ａと防振フレームＢとの間の防振具２０によって低減され、更に、防振フレームＢと防振トレーＣとの間の防振具２０によってより一層低減されるようになり、ケース４０内の被搬送物を振動（或いは、不意の衝撃）から確実に保護できるようになる。
しかも、ワゴン自体の構成が簡素で、堅牢で、耐久性に優れ、小型、軽量に形成でき、操作性に優れ、取扱い易く、使い勝手に優れ、外観上の体裁も良く、また、量産に適し、製造コストの負担を低減でき、低廉で、経済的なクリーンルーム用ワゴンとなる。
【００１２】
そして、ワゴン基体Ａの底部枠１に導電性を有するキャスター６を配し、防振フレームＢは、導電性を有する防振具２０を介してワゴン基体Ａの底部枠１に固定され、防振トレーＣは、導電性を有する防振具２０を介して防振フレームＢの棚枠１１に固定されるので、ワゴン自体に静電気が発生した場合でも、この静電気は、接地されているクリーンルームの床部を介して、確実に且つスムーズに除電できるようになり、被搬送物に悪影響を与える虞のないものとなる。
【００１３】
更に、防振トレーＣには、複数の被搬送物が収納されるケース４０を載置可能となるような複数の収容凹部３２を形成したので、ケース４０毎に安定した状態で載置できるようになる。
【００１４】
特に、防振具２０は、下部取付板２１と、弾性体２２と、上部取付板２３とを備え、弾性体２２内に導電線２５を配して、下部取付板２１と上部取付板２３とを導通せしめ、導電性のあるクリーンルームの床部を利用してワゴン自体の静電気の除電が行えるように構成したので、比較的簡単な構造の防振具２０により、防振と導電が確実に且つ安定的に行えるようになる。しかして、導電性のあるクリーンルームの床部を利用してワゴン自体の静電気の除電が簡単な構成によりスムーズに行えるようになる。
【００１５】
それから、底板３１には、多数の透孔３５を設けたので、底板３１の上面の塵埃等を透孔３５によって下方に通過させられるようになる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本考案を図示例に基づいて説明すると、次の通りである。
本考案は、例えば、クリーンルーム（主に、半導体クリーンルーム）内で使用されるワゴンであって、例えば、半導体ウェハーやその他の半導体部品或いは製品等の適宜被搬送物を、検査や製造のために搬送できるようにしたクリーンルーム用ワゴンに係るものである。尚、本考案のクリーンルーム用ワゴンが搬送する被搬送物は、半導体に関連するものだけでなく、例えば、薬の開発に関連するものや、適宜菌の検査に関連するものや、その他の適宜分野のものであっても良い。
更に、本考案のクリーンルーム用ワゴンは、底部枠１の下面に導電性を有するキャスター６が複数配されているワゴン基体Ａと、このワゴン基体Ａの底部枠１に導電性を有する防振具２０を介して固定される防振フレームＢと、この防振フレームＢの棚枠１１に導電性を有する防振具２０を介して固定される適数の防振トレーＣとからなるものである。しかも、この防振トレーＣに、複数の被搬送物が収納されるケース４０を載置可能となるような複数の収容凹部３２を形成したものである。
【００１７】
加えて、防振フレームＢは、四本の支柱１０と、この支柱１０に固定される適数の棚枠１１と、支柱１０の上端部に固定される上部枠１２とを備え、支柱１０の下端部分とワゴン基体Ａの底部枠１との間に複数の防振具２０を介装してある。そして、防振トレーＣは、基枠３０と、この基枠３０に固着される底板３１とを備え、防振トレーＣと防振フレームＢとの間に複数の防振具２０を介装し、底板３１には、多数の透孔３５を設けてある。更に、防振具２０は、下部取付板２１と、弾性体２２と、上部取付板２３とを備え、弾性体２２内に導電線２５を配して、下部取付板２１と上部取付板２３とを導通せしめ、導電性のあるクリーンルームの床部を利用してワゴン自体の静電気の除電が行えるように構成されている。
【実施例】
【００１８】
前記ワゴン基体Ａは、例えば、導電性を有する適宜金属材によって構成され、略矩形枠状の底部枠１と、この底部枠１の前端がわに立設状に固着される略逆Ｕ字状の前部枠２と、底部枠１の後端がわに略立設状に固着されると共に前部枠２に対して平行となる略逆Ｕ字状の後部枠３と、前部枠２と後部枠３の左右上部がわを夫々連結する一対の横架補強杆４（或いは、この一対の横架補強杆４の両端部分を結ぶような矩形枠状の補強枠でも良い）とで、全体略直方枠体状となるように形成されている。更に、底部枠１の四隅には、コーナープレート５が夫々設けられており、このコーナープレート５の下面にはキャスター６が夫々固定されており、前部枠２或いは後部枠３を掴んでクリーンルーム内をスムーズに移動させることができるように構成されている。
【００１９】
前記キャスター６は、例えば、導電性を備えた金属製或いは樹脂製のホィールに、導電性を備えたゴム製或いはウレタン製のリングが外嵌された車輪を利用したものが採用されており、導電性のあるクリーンルームの床部と導通するように形成されている。すなわち、ワゴン基体Ａの静電気の除電が確実に且つスムーズに行われるように構成してある。また、キャスター６は、適宜ストッパーが付いたものを利用しても良い。更に、キャスター６のリングは、適宜弾性を備えたものを利用して、移動時の振動を抑制できるように形成されている。
【００２０】
尚、図中７は、例えば、底部枠１の前部枠２がわに装着される停止具で、この停止具７は、適宜レバー操作によって、クリーンルームの床面に当接可能な停止板が昇降できるように形成されており、ワゴン基体Ａの移動時には、停止板を上昇させておき、ワゴン基体Ａの停止時には、停止板を降下させてクリーンルームの床面に当接させておき、ワゴン基体Ａの停止状態が確実に維持できるように構成されている。
【００２１】
ところで、ワゴン基体Ａの底部枠１の四隅外側面には、適宜クッション材を接着して、衝突した時の衝撃を吸収できるように構成しても良い。
【００２２】
前記防振フレームＢは、例えば、導電性を有する適宜金属材によって構成され、四本の支柱１０と、この支柱１０の任意の位置に装着可能となるように形成されると共に、適宜略矩形枠状を呈する適数の棚枠１１と、支柱１０の上端部分に装着されると共に、適宜略矩形枠状を呈する上部枠１２とで形成されている。
【００２３】
前記支柱１０は、例えば、導電性を有する適宜金属製パイプ材が利用され、その下端部内には、雌ネジ孔を有するナット等が固着されている。
【００２４】
前記棚枠１１は、例えば、導電性を有する適宜金属材によって略矩形枠状に形成されており、その四隅部分には、棚枠１１に外装可能な短筒材が配設され、この短筒材を支柱１０の任意の位置に固定できるように構成されている。
尚、図中１３は、棚枠１１の左右長辺間を跨ぐように配される複数の取付用横架材で、この取付用横架材１３は、棚枠１１全体の強度を高めると共に、棚枠１１の上方に防振具２０を介して防振トレーＣを取付できるように設けられたものである。
【００２５】
前記上部枠１２は、例えば、略矩形枠状に形成されており、その四隅部分を支柱１０の上端部分に固定できるよう構成されている。
【００２６】
前記防振具２０は、例えば、導電性を有する適宜金属製の下部取付板２１と、導電性を有する適宜金属製の上部取付板２３と、この下部取付板２１と上部取付板２３の間に接着剤等を介して介装されると共に、導電性を有する適宜ゴム製（或いは、ウレタン製、或いは、適宜複合材で構成したものでも良い）の弾性体２２とからなる。
【００２７】
前記下部取付板２１は、例えば、略菱形状の板材の両端部分に透孔を設け、この透孔を利用してワゴン基体Ａのコーナープレート５に止めネジ等を介して固定できるように形成したものや（図３参照）、或いは、略円形状の板材の下面中央に短いネジ棒を固着し、このネジ棒が防振フレームＢの取付用横架材１３に穿設した透孔に挿通されると共に、ナットを介して取付用横架材１３に固定できるように形成したもの（図４参照）等が採用される。
【００２８】
前記弾性体２２は、例えば、適宜ゴム材等によって略厚肉短円筒状を呈し、その上下端面に下部取付板２１や上部取付板２３が接着（或いは、焼付け手段を利用しても良い）されている。
しかも、この弾性体２２中央の空洞部２４には、銅線等で形成される適宜導電線２５が配されており、この導電線２５の上下端部が下部取付板２１と上部取付板２３に夫々接続されている。すなわち、下部取付板２１と上部取付板２３とが導電線２５を介して導電状態となるように形成されている。
【００２９】
前記上部取付板２３は、例えば、略円形状の板材の上面中央に短いネジ棒（ネジ部２６）を固着して形成され、このネジ棒（ネジ部２６）が支柱１０下端内のナット部分の雌ネジ孔に螺着されて固定できるように形成したものや（図３参照）、或いは、ネジ棒（ネジ部２６）が防振トレーＣの取付用横架材３６に穿設した透孔に挿通されると共に、ナットを介して取付用横架材３６に固定されるように形成したもの（図４参照）等が採用される。
【００３０】
前記防振トレーＣは、例えば、導電性を有する適宜金属材によって構成され、略矩形枠状の基枠３０と、この基枠３０内に固着される底板３１とからなっている。しかも、基枠３０には、その左右長辺間を跨ぐように複数の取付用横架材３６が固着されており、この取付用横架材３６は、基枠３０全体の強度を高めると共に、基枠３０（防振トレーＣ）を棚枠１１の上方に防振具２０を介して取付けできるように設けられたものである。
【００３１】
前記底板３１は、例えば、導電性を有する適宜金属製の細長矩形板材によって構成されており、その長手方向に沿って複数（例えば、３個）の収容凹部３２が形成されている。すなわち、多数の被搬送物を搬送できるように形成されている。
しかも、収容凹部３２は、水平面に対してある程度の傾斜状態に配される傾斜底面３３と、この傾斜底面３３の後端縁に連設されると共に、傾斜底面３３に対して直角となるように配される傾斜支持面３４とで構成されている。すなわち、収容凹部３２に載置されるケース４０夫々が、相互に干渉或いは接触しないように構成され、更に、ケース４０が重力によって傾斜底面３３と傾斜支持面３４とに常時接触するようになり、ワゴンの移動開始時や停止時にケース４０が振動することなく安定的に収容しておけるように構成されている。
加えて、底板３１には多数の透孔３５が穿設されており、底板３１上に塵埃が留まらないように配慮してある。
【００３２】
前記ケース４０は、例えば、複数の被搬送物を収納（或いは、収容）しておくことができるように形成されたもので、被搬送物が帯電したり、塵埃が付着したりすることがないように形成されたものであれば良い。
【００３３】
ところで、クリーンルーム用ワゴンの具体的構成、形状、寸法、材質、ワゴン基体Ａの具体的構成、形状、寸法、材質、底部枠１の具体的構成、形状、寸法、材質、前部枠２の具体的構成、形状、寸法、材質、後部枠３の具体的構成、形状、寸法、材質、横架補強杆４の具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、コーナープレート５の具体的構成、形状、寸法、材質、キャスター６の具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、停止具７の具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、防振フレームＢの具体的構成、形状、寸法、材質、支柱１０の具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、棚枠１１の具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、上部枠１２の具体的構成、形状、寸法、材質、取付用横架材１３の具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、防振具２０の具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、下部取付板２１の具体的構成、形状、寸法、材質、弾性体２２の具体的構成、形状、寸法、材質、上部取付板２３の具体的構成、形状、寸法、材質、空洞部２４の具体的構成、形状、寸法、導電線２５の具体的構成、形状、寸法、材質、ネジ部２６の具体的構成、形状、寸法、防振トレーＣの具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、基枠３０の具体的構成、形状、寸法、材質、底板３１の具体的構成、形状、寸法、材質、収容凹部３２の具体的構成、形状、寸法、数、配設位置、傾斜底面３３の具体的構成、形状、寸法、材質、傾斜支持面３４の具体的構成、形状、寸法、材質、透孔３５の具体的構成、形状、寸法、数、配設位置、取付用横架材３６の具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、ケース４０の具体的構成、形状、寸法、材質、等は図示例のもの等に限定されることなく適宜自由に設定、変更できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本考案のクリーンルーム用ワゴンを例示する分解斜視図である。
【図２】本考案のクリーンルーム用ワゴンを例示する正面図である。
【図３】本考案のクリーンルーム用ワゴンを例示する部分断面図である。
【図４】本考案のクリーンルーム用ワゴンを例示する部分断面図である。
【符号の説明】
【００３５】
Ａ      ワゴン基体
１      底部枠
２      前部枠
３      後部枠
４      横架補強杆
５      コーナープレート
６      キャスター
７      停止具
Ｂ      防振フレーム
１０    支柱
１１    棚枠
１２    上部枠
１３    取付用横架材
２０    防振具
２１    下部取付板
２２    弾性体
２３    上部取付板
２４    空洞部
２５    導電線
２６    ネジ部
Ｃ      防振トレー
３０    基枠
３１    底板
３２    収容凹部
３３    傾斜底面
３４    傾斜支持面
３５    透孔
３６    取付用横架材
４０    ケース
【図１】
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【図２】
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【図３】
0003124422.tif 000005
【図４】
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