(57)【要約】      （修正有）【課題】自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを提供する。【解決手段】自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブであり、少なくとも吸入チャンバー２０、噴出管３０及び洗浄部材５０を含む。吸入チャンバーの側壁には、第一流体管路４０に連通する少なくとも一つの吸入口を有する。噴出管の噴出口は吸入チャンバー中に設けられ、第二流体を噴出することにより、吸入チャンバーに負圧を生じさせて、第一流体管路中の第一流体を吸入チャンバーに進入させる。洗浄部材は選択的に第三流体３００を提供して、吸入チャンバー及び／又は第一流体管路を洗浄する。これにより、管壁上の固体詰まりを自分で除去し、且つ設備全体が機械停止しない運転状態で自動洗浄作業を行うことができる。【選択図】図１
0003224881.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
吸入チャンバーと、
前記吸入チャンバーに負圧を生じさせる噴出管と、
前記吸入チャンバーの底端に連通する混合管と、
前記混合管の底端に連通する拡散管と、
前記吸入チャンバーを少なくとも洗浄するための少なくとも一つの洗浄部材と、を備える、
自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ。
【請求項２】
前記吸入チャンバーは第一流体管路より第一流体を吸入する請求項１に記載の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ。
【請求項３】
前記噴出管は前記吸入チャンバーに第二流体を噴出し、前記吸入チャンバーに前記負圧を生じさせて、前記第一流体管路中の前記第一流体を前記吸入チャンバーに吸入する、請求項２に記載の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ。
【請求項４】
前記少なくとも一つの洗浄部材は前記吸入チャンバーが実質的に負圧を有する状況又は有しない状況で第三流体を噴出して前記吸入チャンバーを洗浄する、請求項１又は３に記載の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ。
【請求項５】
前記少なくとも一つの洗浄部材は負圧の数値、時間設定、及び／又は頻度設定により前記第三流体を噴出する、請求項４に記載の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ。
【請求項６】
前記混合管と前記吸入チャンバーの間及び／又は前記混合管と前記拡散管の間に設けられるスリーブをさらに備える、請求項１に記載の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ。
【請求項７】
前記少なくとも一つの洗浄部材の数は複数個であり、且つ一部又は全部の前記洗浄部材は直列に連通、並列に連通又は互いに連通していない請求項１に記載の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ。
【請求項８】
前記少なくとも一つの洗浄部材の数は複数個であり、且つ前記少なくとも一つの洗浄部材は第三流体を等角度で噴出する請求項１に記載の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ。
【請求項９】
前記第一流体は気体であり、前記第二流体は液体である、請求項３に記載の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ。
【請求項１０】
前記第三流体は気体、液体、気体混合液体又は交互に提供される気体及び液体である、請求項４に記載の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、マイクロバブル生成装置に関するものであり、特に液体と気体の混合及び固体粉塵の除去を処理する、輸送菅の詰まりを防止するのに用いる負圧装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、工業排気などの気体は、各種の環境問題の根源であると思われる。工業プロセスの排気は、一般的に湿式洗浄塔を用いて有毒ガスを捕捉するため、気体と液体の混合程度が汚染除去能力の優劣を決定し、その混合程度の増加により、湿式洗浄塔はスプレータイプ（Ｓｐｒａｙ  Ｔｙｐｅ）、充填塔式（Ｐａｃｋｅｄ  Ｔｏｗｅｒ  Ｔｙｐｅ）、ベンチュリ管式（Ｖｅｎｔｕｒｉ  Ｔｕｂｅ  Ｔｙｐｅ）等の形式に分けられる。
そのうち、ベンチュリ管式はサイフォンの原理を用いて負圧を生じさせ有毒ガスの逆流を防止することができる。台湾実用新案第Ｍ５３５５９５号「輸送管部材、及びそれを有する気液混合攪拌器」は、ベンチュリ管構造を用いて気液混合程度を増加させるとともに、フレキシブルチューブが水の流れに従って揺動することにより、輸送管に付着した固体粉塵が詰まるのを防ぐ。しかし、このフレキシブルチューブは使用時間に従って常に断裂する危険があり、設備の損害をもたらし、且つ管壁が小さく経路も長いため、汚染除去能力も下降する。また、この従来技術は、メンテナンス時には排気処理を行うことができないため、機械を停止してメンテナンスを行う必要があり、プロセス全体を停止させることになる。更に、多くのスペア設備を必要とするため、全体のコストが増加するだけでなく、排気処理の複雑さも増す。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
以上に鑑み、本考案の目的は自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを提供し、従来技術の課題を解決することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の目的を達成するため、本考案は、気体及び／又は気体中の固体粒子を除去するためのものであり、少なくとも吸入チャンバー、噴出管及び洗浄部材を含む、自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを提供する。
吸入チャンバーの側壁には少なくとも一つの第一流体管路に通じるための吸入口を有する。噴出管の噴出口は吸入チャンバーに設けられ、且つ第二流体を噴出することにより、吸入チャンバーに負圧を生じさせて、第一流体管路中の第一流体を吸入チャンバーに進入させる。洗浄部材は選択的に第三流体を提供して、吸入チャンバー及び／又は第一流体管路を洗浄する。
【０００５】
本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブはさらに、第一流体と第二流体を混合して混合流体を生成させるための、吸入チャンバーに連通する混合管を含む。
【０００６】
本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブはさらに、混合流体を吹きかけるための、混合管に連通する拡散管を含む。
【０００７】
本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブは、上記拡散管及び／又は上記混合管上に設けられたスリーブを含む。
【０００８】
そのうち、吸入チャンバー、噴出管、混合管及び／又は拡散管は一体式又は組み立て式構造である。
【０００９】
そのうち、洗浄部材の数は複数個がより好ましく、且つ部分又は全部の洗浄部材は直列に連通し、並列に連通し、又は互いに連通していない。
【００１０】
そのうち、洗浄部材の数は複数個であり、且つ洗浄部材は等角度で第三流体を噴出する。
【００１１】
そのうち、洗浄部材は、吸入チャンバーに向かって第三流体を噴出するために、吸入チャンバーの側壁及び／又は第一流体管路に設けられる。
【００１２】
そのうち、第三流体は、気体、液体、気体混合液体又は交替する気体及び液体である。
【００１３】
そのうち、第一流体は、気体、第二流体は液体である。
【００１４】
そのうち、洗浄部材は負圧の数値及び／又は時間設定及び／又は頻度設定に基づき第三流体を噴出する。
【００１５】
そのうち、洗浄部材は吸入チャンバーにおいて実質的に負圧を有する又は有しない状況において第三流体を噴出する。
【００１６】
この他、本考案はさらに、負圧を用いて第一流体を吸入し、且つ第二流体を負圧ジェットチューブに通し負圧を生じさせる、自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを提供し、負圧ジェットチューブを洗浄するための少なくとも一つの洗浄部材を備えることを特徴とする。
【００１７】
そのうち、少なくとも一つの洗浄部材の数は複数個であり、且つ少なくとも一つの洗浄部材は等角度で第三流体を噴出する。
【考案の効果】
【００１８】
以上の構成より、本考案に係る自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブには、次のような一つ又は複数のメリットがある。
【００１９】
（１）本考案の負圧ジェットチューブは高負圧を生成させ気体を吸入し、流体管路の固体粒子詰まりの問題を解決することができる。
【００２０】
（２）本考案の負圧ジェットチューブは自己洗浄機能を有し、設備全体が機械停止しない運転状態において粉塵の自動洗浄、汚れ除去作業を行うことができる。
【００２１】
（３）本考案の負圧ジェットチューブは気体又は液体の噴射により、管壁上の固体詰まりを自分で除去することができる。
【００２２】
（４）本考案の負圧ジェットチューブの装置全体は、消耗部材がなく、断裂の危険がなく、使用寿命が長く、且つ部材の交換も便利である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを示す斜視図である。
【図２】本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを示す側面図であり、そのうち第二流体管路を図示している。
【図３】本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを示す平面図である。
【図４】本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブの一方向から得られる断面図である。
【図５】本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブの別方向から得られる断面図である。
【図６】本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを示す斜視図であり、そのうちスリーブを増設している。
【図７】本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを示す断面図であり、そのうちスリーブを増設している。
【図８】本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを排気処理装置に応用したことを示す図である。
【考案を実施するための形態】
【００２４】
以下、本考案の技術的特徴、内容とメリット、及び達成できる効果を理解するため、本考案の図面、及び実施の形態に基づいて以下の通り詳細に説明する。ここで使用する図面の要旨は、明細書の意味の説明及び補助に過ぎず、必ずしも本考案実施後の実際の比例と精確な配置ではないため、添付の図面の比例と配置関係について、本考案の実際の実施上の権利範囲と解読し、限定すべきでない。この他、容易に理解させるため、下記の実施形態における同じ部品について、同じ符号を付して説明する。また、図に示す部材の寸法の比例は、各部品とその構造を説明するためのものであり、限定に用いるものではない。
【００２５】
また、明細書全編及び特許請求範囲に使用される用語は、特に示す場合を除いて、本願の分野、本明細書に開示される内容、及び特殊の内容における一般的な意義を持つ。本考案を述べるある用語は、下記又はこの明細書の別の箇所にて説明することにより、当業者に本考案の記載に関する追加ガイダンスを提供する。
【００２６】
本文中で使用する“第一”、“第二”、“第三”等は、特に順序や順位の意味を指すものではなく、本考案を限定するものでもなく、同じ技術用語が述べる部材又は操作を区別するためのものに過ぎない。
【００２７】
次に、本文中での使用する“含む”、“備える”、“有する”、“含有する”などの用語は、いずれも開放的な用語であり、即ち、含むが、これに限定されないことを意味する。
【００２８】
本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブは、高負圧を生成して気体を吸い込むことにより、流体管路の固体粒子の詰まりを解決することができるだけでなく、自己洗浄の機能を提供することができ、負圧ジェットチューブの吸入チャンバーが長時間使用による固体粒子の詰まりの課題を避ける。
また、本考案の負圧ジェットチューブから噴出される混合流体が流体を有する処理槽に応用される場合、単位体積の表面積（表面積を体積で割った値）に大幅に増加したマイクロバブルを生成することにより、気体の溶解度及び固体粒子の捕捉率を増加することができる。
【００２９】
図１から図８を参照する。図１は、本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを示す斜視図である。図２は、本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを示す側面図である。図３は、本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを示す平面図である。図４は、本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブの一方向から得られる断面図である。図５は、本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブの別方向から得られる断面図である。図６は、本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを示す斜視図であり、そのうちスリーブを増設している。図７は、本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを示す断面図であり、そのうちスリーブを増設している。図８は、本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを排気処理装置に応用したことを示す図である。
【００３０】
図１から図８が示すように、本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ１０は少なくとも吸入チャンバー２０及び噴出管３０を備える。吸入チャンバー２０の側壁２２には少なくとも一つの吸入口２４を有し、吸入口２４は第一流体管路４０に連通するためのものである。そのうち、吸入チャンバー２０はより好ましくは中空柱状管であり、且つ好ましくは円柱状管であるが、これに限らず、その他の形状も同様に本考案に適用することができる。
噴出管３０は好ましくは中空漏斗管であり、即ち噴出管３０の構造は上が広く下が狭くなっていることにより、流速を加速させ、噴出管３０の両側の開口の口径は異なり、且つ吸込口３２の口径が射出口３４の口径より大きいことが好ましい。そのうち噴出管３０の吸込口３２と射出口３４の間の管壁は傾斜状、又は平行に延伸して再度傾斜状を呈してもよく、傾斜角度は噴出管３０の吸込口３２と射出口３４の間の距離及び口径によって定められてもよい。吸入チャンバー２０の上部側は好ましくシールされており、吸入チャンバー２０の底側は排出口２６を有する。
【００３１】
噴出管３０の先端は吸込口３２であり、噴出管３０の底端は射出口３４である。噴出管３０のパイプシャフトは一部又は全部が吸入チャンバー２０を貫いて設けられていることにより、噴出管３０の射出口３４を吸入チャンバー２０中に設け、噴出管３０の吸込口３２は第二流体２００を提供可能な第二流体管路４２に連通する。
これにより、第二流体２００が噴出管３０の吸込口３２から吸入チャンバー２０に進入し、且つ吸入チャンバー２０の射出口３４から噴出すると、高流量の第二流体２００は吸入チャンバー２０に負圧を生じさせる。この負圧の数値は例えば、０ｋＰａからマイナス１００ｋＰａであるが、これに限らず、真空負圧現象の吸引力又は第一流体管路４０中に流動する第一流体１００の圧力（例えば気体圧力）により、第一流体管路４０中の第一流体１００を吸入チャンバー２０に進入させることができ、且つ吸入チャンバー２０内に吸入されることが好ましい。
【００３２】
本考案の設計は流速を加速させて周囲の環境に真空負圧現象を生じさせ、第一流体管路４０中の第一流体１００（例えば気体）を吸い出し、固体粒子が第一流体管路４０の出口箇所に累積するのを避けることができる。
噴出管３０の射出口３４と吸入チャンバー２０の排出口２６の間の第一距離は、好ましくは噴出管３０の射出口３４と吸入チャンバー２０の吸入口２４の間の第二距離が等しい。これにより、よりよい噴射効果が得られるが、この限りではない。例を挙げて言うと、上述の第一距離は第二距離より大きいか又は小さくてもよい。この他、第一流体１００は気体又は液体であってよく、第二流体は液体又は気体であってよい。
処理プロセスの排気を例にとると、第一流体１００は好ましくは気体であり、第二流体は好ましくは液体である。第一流体１００の流量範囲は約２００ＳＬＭから４，０００ＳＬＭであり、第一流体管路４０の管径範囲は約１０から２５０センチメートルである。第二流体の流量範囲は約２００ＳＬＭから４，０００ＳＬＭであり、第二流体管路４２の管径範囲は約１０から２５０センチメートルである。
【００３３】
本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ１０は選択的に混合管６０を含み、そのうち混合管６０の入口端は吸入チャンバー２０の底端に連通する。詳しく言うと、混合管６０の入口端は好ましくは吸入チャンバー２０の排出口２６に連通しており、これにより、第一流体１００と第二流体２００がそれぞれ第一流体管路４０及び噴出管３０を経て吸入チャンバー２０に進入し、且つ吸入チャンバー２０の排出口２６から混合管６０に進入すると、混合管６０は第一流体１００と第二流体２００を混合して混合流体４００を生成する。そのうち、混合流体４００はマイクロバブルを有しているものが好ましく、これにより、汚れを除去する効果を達成する。
混合管６０は、例えば中空柱状管であり、且つ好ましくは円柱状管であるが、これに限らず、その他の形状も同様に本考案に適用できる。混合管６０は好ましくは直管であり、即ち混合管６０のパイプ本体の管径は好ましくは実質的に同じである。混合管６０の長さは実際の需要により調整できることにより、異なる混合効果を達成できる。
【００３４】
本考案の混合管６０は吸入チャンバー２０に直接接続することができる。また、混合管６０は間接的に吸入チャンバー２０に連接することもできる。例えば、混合管６０と吸入チャンバー２０の間は選択的にスリーブ２１を（図６及び図７で示すように）有していてもよく、これによって両者の接合及び／又は構造の安定性を増加する。例を挙げて言うと、本考案の吸入チャンバー２０の底側には排出口２６を有する板体であってもよく、且つこの板体は取り外し可能で側壁２２に連接する、又は一体で側壁２２を形成することができる。
上述の混合管６０は例えばスリーブ２１を経て吸入チャンバー２０に連通することができる。或いは、吸入チャンバー２０の底側もスリーブ２１により構成されてもよく、そのうちスリーブ２１の上端は吸入チャンバー２０の底端に接続し、且つスリーブ２１の底端は混合管６０に接続することにより、混合管６０をスリーブ２１を経て吸入チャンバー２０に連通させることができる。ただし、上述の構造は例を挙げたに過ぎず、本考案を限定するためのものではない。
【００３５】
本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ１０はさらに選択的に拡散管７０を含み、そのうち拡散管７０の入口端は混合管６０の出口端（底端）に連通する。拡散管７０は、好ましくは中空管であり、且つ好ましくは拡散状を呈する漏斗管であり、即ち拡散管７０の構造は上が狭く下が広くなっており、拡散管７０の両側の開口の口径は異なり、且つ好ましくは拡散管７０の入口端の口径が出口端の口径より小さい。そのうち拡散管７０の入口端と出口端の間の管壁は好ましく傾斜状を呈しており、即ち徐々に口径を変化させ、あるいは平行に延伸して傾斜状を呈し、傾斜角度は実際の需要により調整することで、異なる拡散効果を達成する。
本考案の負圧ジェットチューブ１０の構造全体あるいは一つ又は複数個の部材の全部又は部分的材質を例にとると、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、塩素化塩化ビニル樹脂（ＣＰＶＣ）、ステンレス鋼であるが、これに限らず、例えばＳＵＳ３０４又はＳＵＳ３１６ステンレス鋼及びそのポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）塗布層である。そのうち、吸入チャンバー２０の構造は全部又は部分が透明であってよく、あるいは吸入チャンバー２０の構造は全部又は部分が不透明であってよい。もし吸入チャンバー２０が透明構造を有する場合は、ユーザが肉眼で詰まりが発生しているかを見ることに役立つ。
【００３６】
本考案の拡散管７０は混合管６０に直接的に接続することができる。また、拡散管７０は混合管６０に間接的に接続することもできる。例えば、拡散管７０と混合管６０の間はさらに、選択的にスリーブ７１を（図６及び図７参照）有していてもよく、これにより構造の安定性を増加する。そのうちこのスリーブ７１の一端は混合管６０に接続し、もう一端は拡散管７０に接続し、あるいはスリーブ７１は拡散管７０と混合管６０の間の連接箇所に位置する。ただし、上述の構造は例を挙げたに過ぎず、本考案を限定するためのものではない。
この他、本考案の負圧ジェットチューブは一体式又は組み立て式構造であってよく、そのうち吸入チャンバー２０、噴出管３０、混合管６０及び／又は拡散管７０は一体式又は組み立て式構造である。組み立て式構造の拡散管を例にとると（図６及び図７で示すように）、本考案の拡散管７０は２個又は２個以上の管体を接続してなってもよい。ただし、上述の構造は例を挙げたに過ぎず、本考案を限定するためのものではない。
【００３７】
本考案の別の技術的特徴は、本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ１０がさらに少なくとも一つの洗浄部材５０を含むことにある。洗浄部材５０は好ましくは第三流体管路４４に直接的に又は間接的に接続して第三流体管路４４に連通し、そのうち第三流体管路４４の別の側は、例えば第三流体供給槽（図示せず）に連通することにより、第三流体３００を供給して吸入チャンバー２０及び／又は第一流体管路４０に進入させる。
上述の第二流体２００は噴出管３０の底端の射出口３４から噴出され且つ混合管６０中に進入するため、射出口３４の下方及び／又は上方まで固体粒子が沈積して詰まり現象が発生する可能性がある。よって、洗浄部材５０のより好ましい設置位置は、噴出管３０の射出口３４の上方であり、且つ更に好ましくは吸入チャンバー２０の上端及び噴出管３０の射出口３４の間である。このようにすることで、負圧ジェットチューブの洗浄及び固体粒子が負圧ジェットチューブに沈積するのを除去又は避けることができる。ただし、上述の洗浄部材５０の設置位置は例を挙げたに過ぎず、本考案を限定するためのものではなく、洗浄部材５０は吸入チャンバー２０の上端及び噴出管３０の射出口３４の間に設けてもよく、負圧ジェットチューブの洗浄及び固体粒子が負圧ジェットチューブに沈積するのを除去又は避けるという効果を達成する。
【００３８】
この他、洗浄部材５０又は第三流体管路４４は、例えば制御部材（図示せず）により制御されてもよく、これにより、第三流体管路４４は洗浄部材５０を介して第三流体３００を供給するか又は供給を停止することができる。制御部材は例えば、制御器に吸い上げポンプ又は電動弁を合わせたものであるが、これに限らない。制御部材は従来技術を採用してもよいため、ここでは述べない。
洗浄部材５０の型式は特に限定しないが、単一液柱又は複数の液柱を噴出できれば、いずれも本考案に適用できる。例を挙げて言うと、洗浄部材５０は、例えば噴出口、ノズル、管体、開口又はその他の適切な洗浄部材であり、洗浄部材５０が選択的に第三流体３００を噴出して吸入チャンバー２０及び／又は第一流体管路４０を洗浄できれば、本考案に適用することができる。洗浄部材５０は好ましくは第三流体３００を水平に噴出し、即ち第三流体３００は好ましく第二流体２００が吸入チャンバー２０に進入する方向に実質的に垂直であり、より好ましいすすぎ洗浄の効果を達成する。ただしこの限りではなく、第三流体３００は吸入チャンバー２０の吸入口２４及び／又は吸入チャンバー２０の排出口２６に向かって傾斜状を呈していてもよく、あるいは第二流体２００が吸入チャンバー２０に進入する方向に平行でもよく、固体詰まりさえ有効に除去できれば、本考案に適用することができる。
上記は例を挙げたにすぎず、本考案を限定するものではく、即ち各種の洗浄方式と設計はいずれも本考案の範疇に属する。
【００３９】
また、洗浄部材５０は、例えば吸入チャンバー２０に設けてもよく、第一流体管路４０に設けてもよく、あるいは吸入チャンバー２０及び第一流体管路４０に同時に設けてもよい。あるいは、洗浄部材５０は、噴出管３０又は第一流体管路４０に設けてもよく、このとき第三流体３００は第三流体管路４４により供給され、又は噴出管３０又は第一流体管路４０により供給されてもよい。あるいは、洗浄部材５０は、負圧ジェットチューブ１０のいずれの位置あるいは吸入チャンバー２０から距離があるところに設けてもよい。言い換えると、どの構造、どの型式、どの設置位置又はどの数量の洗浄部材５０であっても、第三流体３００を選択的に噴出し、吸入チャンバー２０及び／又は第一流体管路４０を洗浄できれば、いずれも本考案に適用することができる。
また、第三流体３００の材料と供給源は第二流体２００と同じあるいは異なっていてもよい。
【００４０】
加えて、洗浄部材５０の数は実際の需要により定めることができ、１つ又は複数個であってよい。洗浄部材５０の数が複数個である場合、洗浄部材５０は例えば、同じ水平面（単層分布）又は異なる水平面（多層分布）に分布することができ、等角度分布であってもよく、これにより、第三流体３００を等角度で噴出する。
洗浄部材５０の数が３個であることを例にとると、この３個の洗浄部材５０の間の夾角は好ましくは１２０度である。同様の理由で、本考案の洗浄部材５０は等角度分布に限らず、洗浄部材５０は非等角度分布であってもよい。洗浄部材５０の数が３個であることを例にとると、この３個の洗浄部材５０の設置位置は、好ましくは２個の洗浄部材５０が吸入チャンバー２０に位置し、１個の洗浄部材５０が第一流体管路４０に位置し、第一流体管路４０に固体粒子の沈積が生成しそうな箇所、例えば湾曲箇所がある場合、洗浄部材５０は好ましくは第一流体管路４０の湾曲箇所に位置する。
また、本考案において、これら洗浄部材５０の一部又は全部の洗浄部材５０は、例えば第三流体管路４４又はその他の管路により直列に連通、並列に連通していてもよく、あるいはこれら洗浄部材５０中の一部又は全部の洗浄部材５０は、お互いに連通せず独立して作動することもできる。
【００４１】
例を挙げると、洗浄部材５０は、例えば市販の三方コネクタ又は三方弁であってよく、あるいは市販の三方コネクタ又は三方弁により順番に第三流体管路４４に連通する。これにより、第三流体管路４４が供給する第三流体３００は、同時に又は順番に洗浄部材５０によって吸入チャンバー２０及び／又は第一流体管路４０中の詰まりが生成する可能性がある、或いはすでに生成している位置に高速で吹き付けられる。また、第三流体管路４４が洗浄部材５０に第三流体３００を供給する方法は、例えば上記負圧の数値に基づいたもの、例えば負圧の数値が所定の数値範囲を超えているかを判断するか、及び／又は時間設定及び／又は頻度設定により、例えば定時／定頻度に基づき、手動式操作又は自動式操作を行ってもよい。
判断数値を例にとると、本考案の負圧ジェットチューブ１０はさらに圧力センサ（図示せず）を増設してもよい。圧力センサは、好ましく吸入チャンバー２０又は第一流体管路４０に設けることにより、負圧の数値を読み取り、ユーザに手動操作させることができる。或いは、上述の制御部材はこの負圧の数値により、所定の数値範囲にあるかを判断し、結果が否であれば、第三流体３００の供給を自動的に開始することで、固体詰まりを除去する。
当業者は、本考案の開示内容に基づいて、どのように洗浄部材５０を制御して洗浄効果を生むのかを明確に理解しているはずなので、ここでは別途述べない。以上をまとめると、本考案の洗浄部材５０はどの現有の構造又は技術も採用でき、固体詰まりの洗浄、予防又は除去の効果を達成する。
【００４２】
本考案の技術的特徴は、洗浄部材５０が吸入チャンバー２０が実質的に負圧を有する状況で第三流体３００を噴出して自己洗浄の効果を達成することができるという点であり、本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ装置は設備全体が機械停止しない運転状態で自動粉塵洗浄を行い、汚れ除去作業をするとともに、実質的に負圧ジェットチューブ１０の負圧状態を保持する。
ただし、本考案は同様に上述の方法に限らず、本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ装置は実際の需要に基づき、吸入チャンバー２０が実質的に負圧を有しない状況でも第三流体３００を噴出することができ、即ち設備全体が機械停止する状態でさらに自動粉塵洗浄して、汚れを除去する作業を行うこともできる。
【００４３】
排気処理プロセスを例にとると、第一流体１００は好ましくは気体であり、例えば排気等廃ガスであり、且つ例えば半導体製造過程において生まれるプロセス気体である。第二流体２００は好ましくは液体であり、例えば、液体水、水を含む溶液又はその他の洗浄液体であり、例えばアルカリ性溶液である。例を挙げて言うと、淡水からなる洗浄液は実際に多くの埃や固体粒子の捕捉に応用するに足り、そのうち洗浄液の水溶液は埃又は固体粒子を濡らして捕捉する。この他、淡水と水酸化ナトリウム又はその他の中和剤（例えば石灰）からなる洗浄液は、大量の酸性物質、例えば塩酸、硫酸又は排気中のその他の酸を含む成分を有効的に取り出し及び中和することができる。塩酸及び硫酸等の酸性物質は非常に水に溶け易いため、水からなる洗浄液に適切なアルカリ、例えば水に溶解する水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）２）、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３）及び／又は炭酸水素ナトリウム（ＮａＨＣＯ３）が存在すれば、各種生産源中の酸性成分を吸収及び中和して、酸性溶液の形成を降下させることができる。
【００４４】
本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ１０が処理槽８０中に（図８に示すとおり）設けられることによって、排気処理装置を構成する場合、第二流体２００の組成成分は好ましくは処理予定の第一流体１００（例えば気体）に基づいて決定され、且つ第二流体２００（例えば液体）は好ましくは処理槽８０中に収容されるとともに、例えば管路循環により噴出管３０に供給され射出口３４から噴出され、ベンチュリ管原理により高負圧を生じ第一流体管路４０中の第一流体１００（気体）を吸入し、水気混合流体を形成する。
水気混合流体が混合管６０、拡散管７０に進入し、又は処理槽８０中の第二流体２００に進入すると、第一流体１００（気体）は圧力変化によりマイクロバブルに切り分けられ、且つ直線運動となるので、エネルギー使用効率が高い。この他、本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブ装置は設備全体が機械停止しない運転状態で自動粉塵洗浄し、汚れを除去する作業を行うことができる。即ち本考案は負圧値を実時間保持でき、且つより低い排気モータ効率を実時間保持できる。よって、ＰＭ２．５微粒子を例にとると、本考案は９７％の除去率を実時間保持でき、且つ省エネ効果を有する。
【００４５】
本考案の各種実施形態において、第三流体３００は例えば気体、液体又は気体混合液体であってよく、上述の気体は例えば、空気、窒素、不活性気体又はその他適切な気体であってよく、液体は例えば液体水、水を含む溶液又はその他適切な溶液等の洗浄液であってよいが、これに限らない。例を挙げて言うと、第三流体３００は交替で供給交換される気体及び液体であってよく、例えば気体を一定時間供給したのち、液体をまた一定時間供給し、続けて再度気体を一定時間供給するものである。例を挙げて言うと、第三流体３００が気体であるとき、洗浄部材５０が噴出する第三流体３００の流量範囲は約２００ＳＬＭから４，０００ＳＬＭである。第三流体３００が液体であるとき、洗浄部材５０から噴出される第三流体３００の流量範囲は約２００ＳＬＭから４，０００ＳＬＭである。
【００４６】
上述した本考案の自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブには、次のような一つ又は複数のメリットがある。
（１）本考案の負圧ジェットチューブは高負圧を生成させて気体を吸入し、流体管路の固体粒子詰まりの問題を解決することができる。
（２）本考案の負圧ジェットチューブは自己洗浄機能を有し、設備全体が機械停止しない運転状態において粉塵の自動洗浄、汚れの除去作業を行うことができる。
（３）本考案の負圧ジェットチューブは気体又は液体の噴射により、管壁上の固体詰まりを自分で洗浄除去する。
（４）本考案の負圧ジェットチューブ装置全体は、消耗部材がなく、断裂の危険がなく、使用寿命が長く、且つ部材の交換も便利である。
【００４７】
以上の記述は例を挙げたものにすぎず、限定するものではない。本考案の精神及び範疇から逸脱しない、それに対して行ういかなる同等効果の修正又は変更も、添付の特許請求の範囲に含まれる。
【００４８】
本考案は、気体及び／又は気体中の固体粒子を除去するためのものであり、少なくとも吸入チャンバー、噴出管及び洗浄部材を含む、自己洗浄機能を有する負圧ジェットチューブを提供する。
【符号の説明】
【００４９】
１０  負圧ジェットチューブ
２０  吸入チャンバー
２１  スリーブ
２２  側壁
２４  吸入口
２６  排出口
３０  噴出管
３２  吸込口
３４  噴出口
４０  第一流体管路
４２  第二流体管路
４４  第三流体管路
５０  洗浄部材
６０  混合管
７０  拡散管
８０  処理槽
７１  スリーブ
１００  第一流体
２００  第二流体
３００  第三流体
４００  混合流体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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