【手続補正書】
【提出日】平成18年7月10日(2006.7.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
受光部２０は、図２に示されるように、受光素子２１ｎ．ｎがＮ行×Ｎ列に２次元配列されている。夫々の受光素子２１１．１〜２１Ｎ．Ｎは、入力光信号を電流信号に変換する光電変換素子としてのフォトダイオード２３と、第１のスイッチ素子２５とを有している。第１のスイッチ素子２５は信号入力端子と信号出力端子を有しており、第１のスイッチ素子２５の信号入力端子はフォトダイオード２３の信号出力端子に接続されており、第１シフトレジスタ５０あるいは第２シフトレジスタ６０からの走査信号Ｓｎに応じてフォトダイオード２３で発生した電流信号を信号出力端子から流出する。このような受光素子２１ｎ．ｎが、第１の方向（第３の辺２０ｃあるいは第４の辺２０ｄの延びる方向）に沿ってＮ個配列されており、この第１の方向に沿ってＮ個配列された受光素子２１ｎ．１〜２１ｎ．Ｎは、夫々の第１のスイッチ素子２５の信号出力端子が電気的に接続されることにより単位受光部２２ｎを構成している。この単位受光部２２ｎは、第１の方向と直交する第２の方向（第１の辺２０ａあるいは第２の辺２０ｂの延びる方向）に沿ってＮ個配列されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
次いで、積分回路４３に対するリセット信号Ｒを有意として、第６のスイッチ素子４６を閉じて容量素子４５を初期化しながら、第１の方向での走査における第２番目以降の受光素子２１１．ｎ〜２１Ｎ．ｎに関するデータ読み出しを実行する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また、第３の辺２０ｃに沿って第１シフトレジスタ５０が設けられ、第４の辺２０ｄに沿って第２シフトレジスタ６０が設けられ、第１シフトレジスタ５０及び第２シフトレジスタ６０のいずれも、夫々の第２のスイッチ素子７１を閉じ、夫々の第３のスイッチ素子７２を開いた場合には、各単位受光部２２ｎ（第１の方向に配列されたフォトダイオード２３）で発生した電流信号を、第１アナログ信号読み出し部３０に向けて送り出すので、第１シフトレジスタ５０に欠陥がある場合には、第２シフトレジスタ６０により各単位受光部２２ｎで発生した電流信号が第１アナログ信号読み出し部３０に向けて送り出されることになる。一方、第２シフトレジスタ６０に欠陥がある場合には、第１シフトレジスタ５０により各単位受光部２２ｎで発生した電流信号が第１アナログ信号読み出し部３０に向けて送り出されることになる。同様に、夫々の第２のスイッチ素子７１を開き、夫々の第３のスイッチ素子７２を閉じた場合には、各単位受光部２２ｎで発生した電流信号を、第１デジタル信号読み出し部４０に向けて送り出すので、第１シフトレジスタ５０に欠陥がある場合には、第２シフトレジスタ６０により各単位受光部２２ｎで発生した電流信号が第１デジタル信号読み出し部４０に向けて送り出されることになる。一方、第２シフトレジスタ６０に欠陥がある場合には、第１シフトレジスタ５０により各単位受光部２２ｎで発生した電流信号が第１デジタル信号読み出し部４０に向けて送り出されることになる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
（第２実施形態）
次に、本発明に係る固体撮像装置の第２実施形態について、図３及び図４を用いて説明する。図３は、第２実施形態に係る固体撮像装置の概略構成を示す概念図であり、図４は、第２実施形態に係る固体撮像装置の回路構成図である。第２実施形態に係る固体撮像装置１０１は、第１実施形態に係る固体撮像装置１と比べて、２つのアナログ信号読み出し部を有する点で相違する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
次に、積分回路１３３に対するリセット信号Ｒを非有意として、第４のスイッチ素子１３９を開き、第１シフトレジスタ５０及び第２シフトレジスタ６０のいずれか一方から夫々の第１のスイッチ素子２５に走査信号Ｓｎが所定のタイミングにて有意とされる。各単位受光部２２ｎの第１の方向での走査における第１番目の受光素子２１１．１〜２１Ｎ．１の第１のスイッチ素子２５のみを「ＯＮ」とする走査信号Ｓ１が有意とされる。第１のスイッチ素子２５が「ＯＮ」となると、それまでの受光によってフォトダイオード２３に蓄積された電荷が電流信号となって、第２のスイッチ素子１８１を介して、第１アナログ信号読み出し回路１３１（第１アナログ信号読み出し部１３０）に出力される。そして、第１アナログ信号読み出し回路１３１の積分回路１３３によってその帰還容量である容量素子１３７に蓄積されていき、積分回路１３３の出力端子から出力される電圧信号は次第に大きくなっていく。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
第１アナログ信号読み出し部２３０は、図６に示されるように、第１アナログ信号読み出し回路２３１を有している。この第１アナログ信号読み出し回路２３１は、第２の方向に、単位受光部２２ｎの数（第２の方向に配置されたフォトダイオード２３の数）に対応してＮ個配列されて、アレイ状に形成されている。夫々の第１アナログ信号読み出し回路２３１は、積分回路２３３、ＣＤＳ回路（図示せず）等を有している。積分回路２３３は、単位受光部２２n（第１信号出力端子２７）からの出力信号を入力し、入力した電流信号の電荷を増幅する電荷増幅器２３５と、電荷増幅器２３５の入力端子に一方の端子が接続され、電荷増幅器２３５の出力端子に他方の端子が接続された容量素子２３７と、電荷増幅器２３５の入力端子に一方の端子が接続され、電荷増幅器２３５の出力端子に他方の端子が接続され、制御回路から出力されるリセット信号Ｒが有意の場合には「ＯＮ」状態となり、リセット信号Ｒが非有意の場合には「ＯＦＦ」状態となる第４のスイッチ素子２３９とを有している。この積分回路２３３は、リセット信号Ｒが非有意の場合には、単位受光部２２ｎからの出力信号を入力し、リセット信号Ｒに応じて単位受光部２２ｎから出力された電流信号を入出力端子間に接続された容量素子２３７に積分の動作を行い、リセット信号Ｒが有意の場合には非積分の動作を行うようになる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
第２アナログ信号読み出し部２５０は、図６に示されるように、第２アナログ信号読み出し回路２５１を有している。この第２アナログ信号読み出し回路２５１は、第２の方向に、単位受光部２２ｎの数（第２の方向に配置されたフォトダイオード２３の数）に対応してＮ個配列されて、アレイ状に形成されている。夫々の第２アナログ信号読み出し回路２５１は、積分回路２５３、ＣＤＳ回路（図示せず）等を有している。積分回路２５３は、単位受光部２２ｎ（第２信号出力端子２９）からの出力信号を入力し、入力した電流信号の電荷を増幅する電荷増幅器２５５と、電荷増幅器２５５の入力端子に一方の端子が接続され、電荷増幅器２５５の出力端子に他方の端子が接続された容量素子２５７と、電荷増幅器２５５の入力端子に一方の端子が接続され、電荷増幅器２５５の出力端子に他方の端子が接続され、制御回路から出力されるリセット信号Ｒが有意の場合には「ＯＮ」状態となり、リセット信号Ｒが非有意の場合には「ＯＦＦ」状態となる第７のスイッチ素子２５９とを有している。この積分回路２５３は、リセット信号Ｒが非有意の場合には、単位受光部２２ｎからの出力信号を入力し、リセット信号Ｒに応じて単位受光部２２ｎから出力された電流信号を入出力端子間に接続された容量素子２５７に積分の動作を行い、リセット信号Ｒが有意の場合には非積分の動作を行うようになる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０６】
積分回路２５３から出力された電圧信号は、ＣＤＳ回路等を介して、アナログ信号として夫々の第２アナログ信号読み出し回路２５１から夫々のＡ／Ｄコンバータ２６１（第２デジタル信号読み出し部２６０）に出力される。Ａ／Ｄコンバータ２６１では、第２アナログ信号読み出し回路２５１から出力されたアナログ信号がデジタル信号に変換され、このデジタル信号が夫々のＡ／Ｄコンバータ２６１（第２デジタル信号読み出し部２６０）からデータバスに出力され、第１の方向での走査における第１番目の受光素子２１１．１〜２１Ｎ．１に関するデータ読み出しを終了する。夫々のＡ／Ｄコンバータ２６１からデジタル信号が出力される際に、夫々のＡ／Ｄコンバータ２６１は、制御回路からの信号に基づいて、所定タイミングにて順次デジタル信号を出力し、第２の方向での走査を行っている。夫々の第８のスイッチ素子２８５は開かれているため、第２アナログ信号読み出し回路２５１（第２アナログ信号読み出し部２５０）から出力されるアナログ信号は信号出力端子２９３に送られることはない。なお、夫々の第２アナログ信号読み出し回路２５１からアナログ信号が出力される際に、夫々の第９のスイッチ素子２８６に送られる信号を順次有意として、各第２アナログ信号読み出し回路２５１から順次アナログ信号を出力させることにより、第２の方向での走査を行うことも可能である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０９】
以上のように、第３実施形態の固体撮像装置２０１によれば、第１アナログ信号読み出し部２３０は、受光素子２１ｎ．ｎがＮ行×Ｎ列に２次元配列された受光部２０の第１の辺２０ａに沿って設けられ、第１デジタル信号読み出し部２４０は、第１アナログ信号読み出し部２３０に沿って設けられ、第２アナログ信号読み出し部２５０は、受光部２０の第１の辺２０ａに対向する第２の辺２０ｂに沿って設けられ、第２デジタル信号読み出し部２６０は、第２アナログ信号読み出し部２５０に沿って設けられている。また、第１アナログ信号読み出し部２３０は、夫々の単位受光部２２ｎの第１信号出力端子２７から出力された信号を夫々個別に入力し、単位受光部２２ｎから出力された電流信号をアナログ信号として読み出すＮ個の第１アナログ信号読み出し回路２３１を有し、第１デジタル信号読み出し部２４０は、夫々の第１アナログ信号読み出し回路２３１から出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換するＮ個のＡ／Ｄコンバータ２４１を有し、第２アナログ信号読み出し部２５０は、夫々の単位受光部２２ｎの第２信号出力端子２９から出力された信号を夫々個別に入力し、単位受光部２２ｎから出力された電流信号をアナログ信号として読み出すＮ個の第２アナログ信号読み出し回路２５１を有し、第２デジタル信号読み出し部２６０は、夫々の第２アナログ信号読み出し回路２５１から出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換するＮ個のＡ／Ｄコンバータ２６１を有している。また、夫々のフォトダイオード２３で発生した電流信号を、夫々の単位受光部２２ｎの第１信号出力端子２７及び第２信号出力端子２９のいずれに向けても送り出し得るように、走査信号Ｓｎを出力する第１シフトレジスタ５０あるいは第２シフトレジスタ６０が備えられている。夫々の第２のスイッチ素子２８１を閉じ、夫々の第３のスイッチ素子２８２を開き、夫々の第５のスイッチ素子２８３を開き、夫々の第６のスイッチ素子２８４を閉じた場合には、第１シフトレジスタ５０あるいは第２シフトレジスタ６０が第１信号出力端子２７側に向けて電流信号を送り出すことになり、夫々の単位受光部２２ｎにおけるフォトダイオード２３で発生した電流信号が夫々の第１デジタル信号読み出し部２４０にてデジタル信号として読み出されることになる。 
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１６】
ＣＣＤ等の電荷結合型の固体撮像素子においては、受光素子で発生した電荷は、転送部に形成されるポテンシャル差に基づいて移動する。このため、ウェハの一部に欠陥が存在した場合、欠陥が存在する部分でポテンシャル差を形成することができなくなり、転送部の１列分の信号は転送できない。したがって、欠陥が存在する列がデッドラインとなり、このデッドラインは、受光部の面積が大きくなればなるほど、発生する確率が高くなる。この結果、ＣＣＤにおける受光部の大面積化は歩留まりが極めて悪く、また、歩留まりを良くするためには高価なものになってしまう。しかしながら、第１実施形態〜第３実施形態にて示したように、本発明に係る固体撮像装置においては、歩留まりの低下が抑制され、受光部の大面積化が可能となる。