【手続補正書】
【提出日】平成18年2月24日(2006.2.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検光学系の露光波長と実質的に同一波長の光束を用いて、前記被検光学系の波面収差を測定する収差測定装置であって、
発信器から発した近赤外の波長の光束を、複数段の波長変換過程を介して前記露光波長と実質的に同一波長の光束に変換し、該変換した光束を用いて前記被検光学系の波面収差を測定することを特徴とする収差測定装置。
【請求項２】
前記近赤外の波長が、７００ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の収差測定装置。
【請求項３】
前記近赤外の波長が、７５０ｎｍ以上８００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項２記載の収差測定装置。
【請求項４】
前記波長変換過程は、前記発信器から発する光束の波長を実質的に４分の１倍又は実質的に５分の１倍にすることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の収差測定装置。
【請求項５】
被検光学系の露光波長と同一波長の光束を用いて、前記被検光学系の波面収差を干渉縞として測定する収差測定装置であって、
基本波長として近赤外の波長の発信器と、
複数段の波長変換過程によって前記露光波長と同一波長の光束を生成する固体レーザとを有する光源を有することを特徴とする収差測定装置。
【請求項６】
前記波長変換過程に発生する複数の波長のいずれかの波長において波長校正を行うことによって前記露光波長と同一波長の光束の波長校正を行うことを特徴とする請求項５記載の収差測定装置。
【請求項７】
前記波長校正を行う波長は、前記露光波長の４倍又は５倍の近赤外光を用いることを特徴とする請求項６記載の収差測定装置。
【請求項８】
前記波長校正を行う波長の光束は、連続波であることを特徴とする請求項６記載の収差測定装置。
【請求項９】
前記波長校正を行う波長において吸収特性を有するガスセルを更に有し、
前記ガスセルを透過した前記波長校正を行う波長の光束の透過光量から前記波長校正を行うことを特徴とする請求項６記載の収差測定装置。
【請求項１０】
波長変換前の前記近赤外光の波長において吸収特性を有するガスセルを更に有し、
前記ガスセルを透過した前記近赤外光の透過光量が最小になるように前記近赤外光の周波数を制御することを特徴とする請求項５記載の収差測定装置。
【請求項１１】
前記波長変換過程に発生する複数の波長のいずれかの波長の光束に対して位相変調を行うことによって発生する束帯波を用いて波長校正を行うことを特徴とする請求項５記載の収差測定装置。
【請求項１２】
前記束帯波の波長において吸収特性を有するガスセルを更に有し、
前記ガスセルを透過した前記束帯波の透過光量が最小になるように前記近赤外光の周波数を制御することを特徴とする請求項１１記載の収差測定装置。
【請求項１３】
波長変換前の前記赤外光の周波数を安定させる周波数安定手段を更に有することを特徴とする請求項５記載の収差測定装置。
【請求項１４】
周波数を安定させる前記近赤外光の波長は、前記露光波長の４倍又は５倍であることを特徴とする請求項１３記載の収差測定装置。
【請求項１５】
前記近赤外光は、連続波であることを特徴とする請求項１３記載の収差測定装置。
【請求項１６】
前記周波数安定手段は、前記近赤外光が透過する共振器を有し、
前記共振器を透過した前記近赤外光の光量の変化から前記近赤外光の周波数の変化量を算出すると共に、前記変化量に基づいて前記発信器に帰還制御を行う制御手段を更に有することを特徴とする請求項１３記載の収差測定装置。
【請求項１７】
光束を用いて被検光学系の波面収差を干渉縞として検出する収差測定装置であって、
前記光束を前記被検光学系の物体面上又は像面上に集光し、最終面に前記光束に対する反射率を調整するための第１の反射率調整手段を有する集光光学系と、
前記被検光学系の像面上又は像面上に曲率中心が配置され、前記光束に対する反射率を調整するための第２の反射率調整手段を有する反射光学系とを有することを特徴とする収差測定装置。
【請求項１８】
前記集光光学系の最終面で反射する前記光束の光量と、前記反射光学系によって反射され前記集光光学系の最終面を透過する前記光束の光量とが等しいことを特徴とする請求項１７記載の収差測定装置。
【請求項１９】
前記被検光学系の透過率をＴ、前記反射光学系の反射率をＲｒｓとしたとき、前記集光光学系の最終面の反射率Ｒｔｓは、
2004273665.tif 000001
を満足することを特徴とする請求項１７記載の収差測定装置。
【請求項２０】
前記反射光学系は、前記光束に対して６０％以上の反射率を有する部材からなることを特徴とする請求項１７記載の収差測定装置。
【請求項２１】
前記第１及び第２の反射率調整手段は、単層又は多層の反射膜であることを特徴とする請求項１７記載の収差測定装置。
【請求項２２】
前記光束は、波長１９３ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１７記載の収差測定装置。
【請求項２３】
請求項１乃至２２のうちいずれか一項記載の収差測定装置で波面収差を測定した前記被検光学系を用いて、マスク上のパターンを被露光体に投影することを特徴とする露光装置。
【請求項２４】
請求項２３記載の露光装置を用いて前記被露光体を露光するステップと、
露光した前記被露光体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項２５】
請求項１乃至２２のうちいずれか一項記載の収差測定装置と、マスク上のパターンを被露光体に投影する投影光学系とを有する露光装置であって、
前記収差測定装置で前記投影光学系の波面収差を測定可能であることを特徴とする露光装置。
【請求項２６】
請求項２５記載の露光装置を用いて前記被露光体を露光するステップと、
露光した前記被露光体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項２７】  被検光学系の物体面上又は像面上に光束を集光させる集光光学系と、前記被検光学系の像面又は物体面上に曲率中心が配置された反射光学系と、前記被検光学系の波面収差を干渉縞として検出する検出光学系とを有する収差測定装置を利用する収差測定方法であって、
前記集光光学系又は前記反射光学系を光軸方向に走査し、複数の前記干渉縞から位相を算出するステップと、
前記算出ステップで算出された前記位相に前記収差測定装置に起因する強度変調誤差によって生じる位相誤差が含まれていた場合、前記集光光学系又は前記反射光学系の走査の初期位置をずらしながら前記光束の１波長分の前記干渉縞を複数回測定するステップと、
前記測定ステップで測定された複数の前記干渉縞を平均することにより、前記位相誤差を補正するステップとを有することを特徴とする収差測定方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての収差測定装置は、被検光学系の露光波長と実質的に同一波長の光束を用いて、前記被検光学系の波面収差を測定する収差測定装置であって、発信器から発した近赤外の波長の光束を、複数段の波長変換過程を介して前記露光波長と実質的に同一波長の光束に変換し、該変換した光束を用いて前記被検光学系の波面収差を測定することを特徴とする。
本発明の別の側面としての収差測定装置は、被検光学系の露光波長と同一波長の光束を用いて、前記被検光学系の波面収差を干渉縞として測定する収差測定装置であって、基本波長として近赤外の波長の発信器と、複数段の波長変換過程によって前記露光波長と同一波長の光束を生成する固体レーザとを有する光源を有することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としての収差測定装置は、光束を用いて被検光学系の波面収差を干渉縞として検出する収差測定装置であって、前記光束を前記被検光学系の物体面上又は像面上に集光し、最終面に前記光束に対する反射率を調整するための第１の反射率調整手段を有する集光光学系と、前記被検光学系の像面上又は像面上に曲率中心が配置され、前記光束に対する反射率を調整するための第２の反射率調整手段を有する反射光学系とを有することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としての露光装置は、上述の収差測定装置で波面収差を測定した前記被検光学系を用いて、マスク上のパターンを被露光体に投影することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としての露光装置は、上述の収差測定装置と、マスク上のパターンを被露光体に投影する投影光学系とを有する露光装置であって、前記収差測定装置で前記投影光学系の波面収差を測定可能であることを特徴とする。
本発明の更に別の側面としてのデバイス製造方法は、上述の露光装置を用いて前記被露光体を露光するステップと、露光した前記被露光体を現像するステップとを有することを特徴とする。
本発明の更に別の側面としての測定方法は、被検光学系の物体面上又は像面上に光束を集光させる集光光学系と、前記被検光学系の像面又は物体面上に曲率中心が配置された反射光学系と、前記被検光学系の波面収差を干渉縞として検出する検出光学系とを有する収差測定装置を利用する収差測定方法であって、前記集光光学系又は前記反射光学系を光軸方向に走査し、複数の前記干渉縞から位相を算出するステップと、前記算出ステップで算出された前記位相に前記収差測定装置に起因する強度変調誤差によって生じる位相誤差が含まれていた場合、前記集光光学系又は前記反射光学系の走査の初期位置をずらしながら前記光束の１波長分の前記干渉縞を複数回測定するステップと、前記測定ステップで測定された複数の前記干渉縞を平均することにより、前記位相誤差を補正するステップとを有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３５
【補正方法】削除
【補正の内容】