【手続補正書】
【提出日】平成17年11月28日(2005.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  被検物を介した光を用いて干渉縞を形成する干渉装置であって、
補正用サンプルの形状と前記補正用サンプルの形状を前記干渉装置で測定した測定値とを用いて求めた補正値に基づいて、前記干渉縞から得られる位相差分布を補正する補正手段を有することを特徴とする干渉装置。
【請求項２】 前記位相差分布に基づいて、前記被検物の形状を導く光学手段を有することを特徴とする請求項１の干渉装置。
【請求項３】 前記干渉縞を形成する２つの光束の光路長差を変化させる光路長差変化素子を有することを特徴とする請求項１又は２の干渉装置。
【請求項４】 光源手段から射出された光束より、被検物を介した被検光束と参照面を介した参照光束とを形成し、双方を合波し干渉波面を形成する光学手段と、該被検光束と該参照光束の光路長差を変化させる光路長差変化素子と、該干渉波面に基づく干渉縞を撮像する撮像素子と、該撮像素子で撮影される干渉縞から該干渉波面の位相差分布を計算する処理系とを有する干渉装置において、該位相差分布を、補正用サンプルの被検面の形状を機械的に測定する形状測定装置で得た値と該干渉装置で該補正用サンプルを測定した値とを用いて求めた補正値で補正する補正手段を有することを特徴とする干渉装置。
【請求項５】 前記被検物の被検面、又は被検物がレンズ系であるときはその瞳と前記撮像素子は共役関係であることを特徴とする請求項４の干渉装置。
【請求項６】 前記光学手段は、干渉縞を拡散板上に形成し、更に該拡散板上に形成された干渉縞を撮像素子上に再結像すること特徴とする請求項４又は５の干渉装置。
【請求項７】 前記補正用サンプルは、被検面に複数の異なる空間周波数の模様を刻んだサンプル、或いは複数の被測定物に異なる空間周波数の模様を刻んだサンプルより成ることを特徴とする請求項４，５又は６の干渉装置。
【請求項８】 前記補正手段は、周波数空間で補正値を求めていることを特徴とする請求項４〜７のいずれか１項の干渉装置。
【請求項９】 前記補正値は干渉縞を形成する結像系がインコヒーレント系の場合、波面の空間周波数をｆ、空間座標をｘ、２πｆ＝ｋ0とするとき、
FInchOpt(x,k0)=(2 cos-1(k0x)- sin(2 cos-1(k0x)))/π
という補正係数を用いることを特徴とする請求項４〜８のいずれか１項の干渉装置。
【請求項１０】 前記補正値は、干渉縞を形成する結像系がコヒーレント系の場合、ｋ0、ｋ1、ｋ2をパラメータｘを空間座標とするとき、
Moffat(x,k0,k1,k2)=k0/(1+(x/k1)2)k2
という補正係数を用いることを特徴とする請求項４〜８のいずれか１項の干渉装置。
【請求項１１】 前記被検物のホモジニティを求めることを特徴とする請求項４の干渉装置。
【請求項１２】 光源手段から射出された光束の一部を被検面で反射或いは被検物を透過させた後に反射面で反射させることによって得られる被検光束と、該光源手段から射出された光束の一部を参照面によって反射させて得られる参照光束を形成する光学手段と、前記被検光束と前記参照光束の光路長差を変化させる光路長差変化素子と、前記被検光束と前記参照光束を干渉させて得られる干渉縞を撮像する撮像素子と、前記光学手段は、前記参照光束と前記被検光束により形成される干渉縞を前記撮像素子に導光しており、前記撮像素子で撮影される前記干渉縞から前記被検光束と前記参照光束の位相差分布を計算する処理系とを有する干渉装置において、前記干渉縞の空間位相分布の振幅劣化を補正する補正値を算出する補正手段を有し、前記補正手段は、該補正値を被検面を接触或いは非接触で測定する形状測定装置と前記干渉装置で補正用サンプルを測定することにより求めることを特徴とする干渉装置。
【請求項１３】 前記被検面或いは前記被検物の瞳と前記撮像素子は共役関係であることを特徴とする請求項１２の干渉装置。
【請求項１４】 前記補正用サンプルは、被検面に複数の異なる空間周波数の模様を刻んだサンプル、或いは複数の被測定物に異なる空間周波数の模様を刻んだサンプルより成ることを特徴とする請求項１２又は１３の干渉装置。
【請求項１５】 前記補正手段は、周波数空間で補正値を求めていることを特徴とする請求項１２〜１４のいずれか１項の干渉装置。
【請求項１６】 被検物を介した被検波面と、参照波面とを合波し、位相波面に基づく干渉縞データを撮像手段に形成する干渉計と、該干渉計からの干渉縞データより該被検物を介した位相波面を演算し求める処理系とを有する干渉装置において、
該処理系は、補正用サンプルを用いたときの該干渉計で得られる干渉情報の位相波面が空間周波数値（ｋｘ）による振幅劣化するときの振幅をＶ（ｋｘ）、該補正用サンプルの形状を機械的に測定する形状測定装置で得られる振幅をＶref（ｋｘ）としたとき、
【数１】
2004198382.tif 000001
より求めた補正係数分布Ｒｄｃを用いて該干渉縞データを補正していることを特徴とする干渉装置。
【請求項１７】 被検物を介した被検波面と、参照波面とを合波し、位相波面に基づく干渉縞データを撮像手段に形成する干渉計と、該干渉計からの干渉縞データより該被検物を介した位相波面を演算し求める処理系とを有する干渉装置において、
該処理系は、該干渉計で得られる干渉縞データ（Ｍ１）に基づく周波数分布（ＲＦ１）を補正係数分布（Ｒｄｃ）で補正した周波数分布（ＲＦ２）を用いて、波面収差分布（Ｍ２）を求めており、このとき補正係数分布（Ｒｄｃ0）を該干渉計で得られる干渉情報の位相波面が空間周波数値（ｋｘ）による振幅劣化するときの振幅をＶ（ｋｘ）、該補正用サンプルの形状を機械的に測定する形状測定装置で得られる振幅をＶref（ｋｘ）としたとき、
【数２】
2004198382.tif 000002
より求めていることを特徴とする干渉装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明の干渉装置は、次の構成より成ることを特徴としている。
◎被検物を介した光を用いて干渉縞を形成する干渉装置であって、
補正用サンプルの形状と前記補正用サンプルの形状を前記干渉装置で測定した測定値とを用いて求めた補正値に基づいて、前記干渉縞から得られる位相差分布を補正する補正手段を有することを特徴としている。
◎光源手段から射出された光束より、被検物を介した被検光束と参照面を介した参照光束とを形成し、双方を合波し干渉波面を形成する光学手段と、該被検光束と該参照光束の光路長差を変化させる光路長差変化素子と、該干渉波面に基づく干渉縞を撮像する撮像素子と、該撮像素子で撮影される干渉縞から該干渉波面の位相差分布を計算する処理系とを有する干渉装置において、該位相差分布を、補正用サンプルの被検面の形状を機械的に測定する形状測定装置で得た値と該干渉装置で該補正用サンプルを測定した値とを用いて求めた補正値で補正する補正手段を有することを特徴としている。
◎光源手段から射出された光束の一部を被検面で反射或いは被検物を透過させた後に反射面で反射させることによって得られる被検光束と、該光源手段から射出された光束の一部を参照面によって反射させて得られる参照光束を形成する光学手段と、前記被検光束と前記参照光束の光路長差を変化させる光路長差変化素子と、前記被検光束と前記参照光束を干渉させて得られる干渉縞を撮像する撮像素子と、前記光学手段は、前記参照光束と前記被検光束により形成される干渉縞を前記撮像素子に導光しており、前記撮像素子で撮影される前記干渉縞から前記被検光束と前記参照光束の位相差分布を計算する処理系とを有する干渉装置において、前記干渉縞の空間位相分布の振幅劣化を補正する補正値を算出する補正手段を有し、前記補正手段は、該補正値を被検面を接触或いは非接触で測定する形状測定装置と前記干渉装置で補正用サンプルを測定することにより求めることを特徴としている。
◎被検物を介した被検波面と、参照波面とを合波し、位相波面に基づく干渉縞データを撮像手段に形成する干渉計と、該干渉計からの干渉縞データより該被検物を介した位相波面を演算し求める処理系とを有する干渉装置において、
該処理系は、補正用サンプルを用いたときの該干渉計で得られる干渉情報の位相波面が空間周波数値（ｋｘ）による振幅劣化するときの振幅をＶ（ｋｘ）、該補正用サンプルの形状を機械的に測定する形状測定装置で得られる振幅をＶref（ｋｘ）としたとき、
【数１】
2004198382.tif 000003
より求めた補正係数分布Ｒｄｃを用いて該干渉縞データを補正していることを特徴としている。
◎被検物を介した被検波面と、参照波面とを合波し、位相波面に基づく干渉縞データを撮像手段に形成する干渉計と、該干渉計からの干渉縞データより該被検物を介した位相波面を演算し求める処理系とを有する干渉装置において、
該処理系は、該干渉計で得られる干渉縞データ（Ｍ１）に基づく周波数分布（ＲＦ１）を補正係数分布（Ｒｄｃ）で補正した周波数分布（ＲＦ２）を用いて、波面収差分布（Ｍ２）を求めており、このとき補正係数分布（Ｒｄｃ0）を該干渉計で得られる干渉情報の位相波面が空間周波数値（ｋｘ）による振幅劣化するときの振幅をＶ（ｋｘ）、該補正用サンプルの形状を機械的に測定する形状測定装置で得られる振幅をＶref（ｋｘ）としたとき、
【数２】
2004198382.tif 000004
より求めていることを特徴としている。