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【手続補正書】
【提出日】平成18年6月1日(2006.6.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この様な状況に鑑みて、本発明者らは、ＡＣＡＴ阻害作用を有する新たな物質を求めて鋭意研究努力を重ね、ＡＣＡＴ阻害作用が知られているイレックス・コルヌータのエッセンスより、その有効成分の単離を試みたところ、ベツリンに代表される一般式（Ｉ）に表される化合物に優れたＡＣＡＴ阻害作用を見出し、発明を完成させるに至った。即ち、本発明は以下に示す技術に関するものである。
（１）下記一般式（Ｉ）に表されるトリテルペンからなる、アシルＣｏＡコレステリルアシルトランスフェラーゼ阻害剤（ＡＣＡＴ阻害剤)。
（２）一般式（Ｉ）に表される化合物が、下記に構造を示すベツリンであることを特徴とする、（１）に記載のＡＣＡＴ阻害剤。
（３）（１）又は（２）に記載のＡＣＡＴ阻害剤を含有する、抗高脂血症用の組成物。
（４）食品であることを特徴とする、（３）に記載の抗高脂血症用の組成物。
以下、本発明について、実施の形態を中心に詳細に説明を加える。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【発明の実施の形態】
（１）本発明のＡＣＡＴ阻害剤及び本発明の化合物
本発明のＡＣＡＴ阻害剤は、上記一般式（Ｉ）に表されるトリテルペン化合物の配糖体、即ちトリテルペンからなる。これらの化合物は、イレックス・コルヌータの抽出物を精製することにより得ることが出来るが、化学的にも合成し得る。イレックス・コルヌータの抽出物を精製して得る場合は、好適な極性溶媒としては、例えば、水、エタノールやメタノールなどのアルコール類、ジエチルエーテルやテトラヒドロフランなどのエーテル類、塩化メチレンやクロロホルムなどのハロゲン化炭化水素類、アセトンやメチルエチルケトンなどのケトン類等から選ばれる１種乃至は２種以上が例示でき、この中でも特に水やアルコール類が安全性と抽出効率の面で好ましい。抽出は、乾燥した、或いは生のままのイレックス・コルヌータの植物体を細切などしたりして、これに１〜１０倍量の溶媒を加え、室温であれば数日間、沸点付近の温度であれば数時間浸漬し、冷却した後、不溶物を濾過などで取り除けば得られる。本発明のＡＣＡＴ阻害剤であるトリテルペン類は、非極性
物質であるため、こうして得た極性溶媒抽出物を、溶媒を除去した後、エーテル−水、クロロホルム−水、ブタノール−水等の２相溶媒系で液液抽出し、有機溶媒溶性物質を取り、精製することが、効率的で好ましい。この様な抽出で得られた有機溶媒層は溶媒を除去した後、ＡＣＡＴ阻害作用を指標に、シリカゲルカラムクロマトグラフィー等で精製することにより、本発明のＡＣＡＴ阻害剤であるトリテルペン類を分離することが出来る。これら一般式（Ｉ）に表される化合物の内、特に好ましいものは、上記に構造を示すベツリンであり、このものが特にＡＣＡＴ阻害作用に優れる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
（２）本発明の組成物
本発明の組成物は、上記ＡＣＡＴ阻害剤から選ばれる一種以上を含有し、抗高脂血症用であることを特徴とする。これらのＡＣＡＴ阻害剤を配合することによりＡＣＡＴを阻害し、コレステロールの恒常性の不調を正常に戻すことが出来る。即ち、血中のコレステロール量が多く高脂血症の人に食品又は医薬組成物として投与すれば血中のコレステロール量を低下せしめ、動脈硬化の人に食品又は医薬組成物として投与すればこれを改善し、動脈アテロームの人に食品或いは医薬組成物として投与すればやはりこれを改善する。更に、未発症の人に同様に投与すれば、発症を未然に防ぐことが出来る。これらの組成物の内、特に好ましいものは、安全性が高く、習慣性も誘発しないことから食品組成物である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の医薬組成物は、本発明のＡＣＡＴ阻害剤と通常医薬組成物で用いられている製剤化の為の任意成分を含有する。任意成分としては、賦形剤、増量剤、結合剤、被覆剤、糖衣剤、安定剤、崩壊剤、着色剤、滑沢剤、ｐＨ調製剤、可溶化剤、分散剤、増粘剤、等張剤等が例示できる。これら任意成分と本発明のＡＣＡＴ阻害剤を通常の方法に製剤化すれば本発明の医薬組成物が得られる。又、必要に応じて本発明の医薬組成物は、メバロチン等の高脂血症剤やクロロプロマジン等の循環器用薬を配合することも可能である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
＜実施例１＞  イレックス・コルヌータの乾燥葉１ｋｇに１０ｌのメタノールを加え、２時間加熱還流して、冷却した後、濾過により不溶物を取り除き、減圧濃縮し、アモルファスを得た。このものを、クロロホルム−水で液液抽出し、クロロホルム層をとり、減圧濃縮した。このものをシリカゲルカラムクロマトグラフィーにチャージし、ノルマルヘキサン：イソプロピルエーテル１００：０→０：１００、２０％メタノール含有イソプロピルエーテルで溶出させ、精製し、更に、これらの分画を逆相（ＯＤＳ）のＨＰＬＣで更に分
画・精製しベツリンを得た。ベツリンの同定は核磁気共鳴スペクトルより決定された。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
＜実施例２＞  ＡＣＡＴ活性阻害作用の測定
ベツリンのＡＣＡＴ活性阻害作用を測定した。即ち、チューブに８０μＭのウシ血清アルブミン水溶液４μｌ、２ｍＭジチオスレイトール水溶液０．８μｌ、１５０ｍＭ燐酸２水素１カリウムバッファー（ｐＨ７．）８μｌ、１２０μｇ／８μｌのラット肝ミクロソーム水分散液８μｌ、１００μＭの［１−14Ｃ］オレオイルＣｏＡ水溶液５μｌ、水１５．２μｌ、検体（最終濃度が０．２、０．０５ｍｇ／ｍｌになるような水溶液）４μｌを秤込み、３０℃で５分インキュベートし、メタノール２００μｌ、コレステリルオレート１００μｇ、［７−14Ｃ］コレステリルオレート２μｌ、ヘキサン９００μｌを順次加え混合した。ヘキサン相０．６ｍｌを採取し窒素ガスで乾固しクロロホルムに溶かし薄層クロマトグラフ板にスポットし石油エーテル−ジエチルエーテル−酢酸 （８５：１５：３）で展開した。沃素でコレステリルオレートを発色させ、切りとり液体シンチレーターで放射線量を測定し生成したコレステリルオレート量を算出し、（コントロールのコレステリルオレート量−検体存在時のコレステリルオレート量）×１００／（コントロールのコレステリルオレート量）の式からＡＣＡＴ阻害値（ＩＣ50Ｍ）を算出した。結果は２．２６×１０-3Ｍであり、優れたＡＣＡＴ阻害作用を認められることがわかる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月17日(2006.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
で表わされるキノリルアクリロニトリル誘導体｛３−［２−シクロプロピル−４−（４−フルオロフェニル）−３−キノリル］プロプ−２−エンニトリル｝を、ギ酸と、ギ酸に対して０．２５乃至１容量倍の水の存在下にて、ラネーニッケルにより還元することを特徴とする、式（２）
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
［参考例１］
３−［２−シクロプロピル−４−（４−フルオロフェニル）−３−キノリル］プロプ−２−エンニトリルの合成
攪拌装置、温度計及び滴下漏斗を備えた内容積１００ｍＬのガラス製フラスコに、窒素雰囲気下、２−シクロプロピル−４−（４−フルオロフェニル）キノリン−３−カルボアルデヒド４．９８ｇ（１７．１ミリモル）、純度９８％のジエチルシアノメチルホスホネート３．１０ｍＬ（１８．８ミリモル）、トリカプリルメチルアンモニウムクロライド（Aliquat  336：Aldrich社製）０．１５ｍＬ（０．３３ミリモル）及びトルエン３５ｍＬを加え、液温を２５〜３５℃に保ちながら、２０重量％水酸化ナトリウム水溶液１０．１ｇ（５０．５ミリモル）を５０分間かけてゆるやかに滴下し、同温度で３時間反応させた。その後、純度９８％のジエチルシアノメチルホスホネート０．１４ｍＬ（０．８５ミリモル）を加え、同温度で６６時間反応させた。反応終了後、水５ｍＬを加えて３０分間攪拌した。得られた反応液にトルエン５０ｍＬを加え、有機層を分離して１０重量％水酸化ナトリウム水溶液１０ｍＬで洗浄し、飽和食塩水１０ｍＬを加えた。次いで、１モル／Ｌ塩酸５．６ｍＬを加えて中和した後、有機層を取り出し、攪拌装置を備えた内容積２００ｍＬのガラス製フラスコに移した。それに、無水硫酸ナトリウム１．６０ｇを加えて室温で１時間攪拌させ、更に、活性炭０．１４ｇ（粉末状：和光純薬株式会社製）及びシリカゲル（ワコーゲルＣ−２００：和光純薬株式会社製）０．６２ｇを加えて室温で１．７５時間攪拌させた後、セライトで濾過し、セライトをトルエン５０ｍＬで洗浄した。得られた反応液を減圧下で濃縮すると結晶が析出してきたので、結晶を加熱して溶解させ、次いで、ヘキサン３０ｍＬを加えて３０分間加熱還流させた。その後、液温を５℃まで冷却して２時間攪拌すると結晶が析出してきたので、結晶を濾過した後、ヘキサン３０ｍＬで洗浄し、減圧下、５５℃にて乾燥させて、白色結晶として３−［２−シクロプロピル−４−（４−フルオロフェニル）−３−キノリル］プロプ−２−エンニトリル４．８１ｇを得た（収率９０％）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
得られた３−［２−シクロプロピル−４−（４−フルオロフェニル）−３−キノリル］プロプ−２−エンニトリルの物性値を次に記す。
融点：１７５〜１７６℃、ＥＩ−ＭＳ（ｍ／ｅ）：３１３（Ｍ−１）、ＣＩ−ＭＳ（ｍ／ｅ）：３１５（Ｍ＋１）
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
［実施例１］
３−［２−シクロプロピル−４−（４−フルオロフェニル）−３−キノリル］プロプ−２−エナールの製造
攪拌装置、温度計及び滴下漏斗を備えた内容積５ｍＬのガラス製フラスコに、窒素雰囲気下、参考例１で合成した３−［２−シクロプロピル−４−（４−フルオロフェニル）−３−キノリル］プロプ−２−エンニトリル３１４ｍｇ（１．０ミリモル）、ギ酸２．２５ｍＬ（１００％ギ酸換算、６０ミリモル）、水０．７５ｍＬ、および含水展開ラネーニッケル（川研ファインケミカル（株）製：ＮＤＨＴ−９０：ニッケル含有量５０重量％品）６２０ｍｇ（ニッケル原子として５．３ミリモル）を加え、８０℃で１．５時間反応させた。反応終了後、室温まで冷却し、水９ｍＬと１モル／Ｌ塩酸９ｍＬを加えた後、触媒をセライトで濾過した。次いで、セライトを、２−ブタノール１ｍＬで２回、トルエン９ｍＬで２回洗浄した後、有機層を無水硫酸マグネシウムで乾燥した。濾過後、減圧下で濃縮し、黄色固体として純度９７％（高速液体クロマトグラフィーによる面積百分率）の３−［２−シクロプロピル−４−（４−フルオロフェニル）−３−キノリル］プロプ-２−エナール３０７ｍｇを得た（収率９１％）。
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月17日(2006.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
で表わされるキノリルアクリロニトリル誘導体｛３−［２−シクロプロピル−４−（４−フルオロフェニル）−３−キノリル］プロプ−２−エンニトリル｝を、ギ酸のアミン塩と有機酸との存在下にて、ラネーニッケルにより還元することを特徴とする、式（２）
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
［参考例１］  ３−［２−シクロプロピル−４−（４−フルオロフェニル）−３−キノリル］プロプ−２−エンニトリルの合成
攪拌装置、温度計及び滴下漏斗を備えた内容積１００ｍＬのガラス製フラスコに、窒素雰囲気下、２−シクロプロピル−４−（４−フルオロフェニル）キノリン−３−カルボアルデヒド４．９８ｇ（１７．１ミリモル）、純度９８％のジエチルシアノメチルホスホネート３．１０ｍＬ（１８．８ミリモル）、トリカプリルメチルアンモニウムクロライド（Aliquat  336：Aldrich社製）０．１５ｍＬ（０．３３ミリモル）及びトルエン３５ｍＬを加え、液温を２５〜３５℃に保ちながら、２０重量％水酸化ナトリウム水溶液１０．１ｇ（５０．５ミリモル）を５０分間かけてゆるやかに滴下し、同温度で３時間反応させた。その後、純度９８％のジエチルシアノメチルホスホネート０．１４ｍＬ（０．８５ミリモル）を加え、同温度で６６時間反応させた。反応終了後、水５ｍＬを加えて３０分間攪拌した。得られた反応液にトルエン５０ｍＬを加え、有機層を分離して１０重量％水酸化ナトリウム水溶液１０ｍＬで洗浄し、飽和食塩水１０ｍＬを加えた。次いで、１モル／Ｌ塩酸５．６ｍＬを加えて中和した後、有機層を取り出し、攪拌装置を備えた内容積２００ｍＬのガラス製フラスコに移した。それに、無水硫酸ナトリウム１．６０ｇを加えて室温で１時間攪拌させ、更に、活性炭０．１４ｇ（粉末状：和光純薬株式会社製）及びシリカゲル（ワコーゲルＣ−２００：和光純薬株式会社製）０．６２ｇを加えて室温で１．７５時間攪拌させた後、セライトで濾過し、セライトをトルエン５０ｍＬで洗浄した。得られた反応液を減圧下で濃縮すると結晶が析出してきたので、結晶を加熱して溶解させ、次いで、ヘキサン３０ｍＬを加えて３０分間加熱還流させた。その後、液温を５℃まで冷却して２時間攪拌すると結晶が析出してきたので、結晶を濾過した後、ヘキサン３０ｍＬで洗浄し、減圧下、５５℃にて乾燥させて、白色結晶として３−［２−シクロプロピル−４−（４−フルオロフェニル）−３−キノリル］プロプ−２−エンニトリル４．８１ｇを得た（収率９０％）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
得られた３−［２−シクロプロピル−４−（４−フルオロフェニル）−３−キノリル］プロプ−２−エンニトリルの物性値を次に記す。
融点：１７５〜１７６℃、ＥＩ−ＭＳ（ｍ／ｅ）：３１３（Ｍ−１）、ＣＩ−ＭＳ（ｍ／ｅ）：３１５（Ｍ＋１）
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
［実施例１］  ３−［２−シクロプロピル−４−（４−フルオロフェニル）−３−キノリル］プロプ−２−エナールの製造
攪拌装置、温度計及び滴下漏斗を備えた内容積２００ｍＬのガラス製フラスコに、窒素雰囲気下、参考例１で合成した３−［２−シクロプロピル−４−（４−フルオロフェニル）−３−キノリル］プロプ−２−エンニトリル４．０ｇ（１２．７ミリモル）、ギ酸アンモニウム１．６ｇ（２５．４ミリモル）、含水展開ラネーニッケル（川研ファインケミカル（株）製：ＮＤＨＴ−９０：ニッケル含有量５０重量％品）４．４ｇ（ニッケル原子として３７．５ミリモル）及び酢酸４０ｍＬを加え、６５℃で４時間反応させた。反応終了後、室温まで冷却し、エタノール２０ｍＬを加えた後、触媒をセライトで濾過した。次いで、濾液を減圧下で濃縮し、酢酸エチル４０ｍＬを加え、１モル／Ｌ塩酸５ｍＬ、水１０ｍＬ、１モル／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液２０ｍＬ、ＤＬ−酒石酸のアルカリ水溶液（ＤＬ−酒石酸１．０ｇを１モル／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液１４ｍＬに溶解）１４ｍＬ、飽和食塩水２０ｍＬの順で洗浄した後、有機層を無水硫酸マグネシウムで乾燥した。濾過後、減圧下で濃縮し、薄黄色結晶として純度９８％（高速液体クロマトグラフィーによる面積百分率）の３−［２−シクロプロピル−４−（４−フルオロフェニル）−３−キノリル］プロプ−２−エナール３．４ｇを得た（収率８２％）。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月29日(2005.11.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】（Ａ）活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物
（Ｂ）酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂
（Ｃ）カルボン酸オニウム塩
を含有し、（Ｂ）酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂が単環または多環の脂環炭化水素構造を有する樹脂であることを特徴とするポジ型感光性組成物。
【請求項２】（Ｄ）酸により分解しうる基を有し、アルカリ現像液中での溶解速度が酸の作用により増大する、分子量３０００以下の低分子溶解阻止化合物を更に含有することを特徴とする請求項１に記載のポジ型感光性組成物。
【請求項３】  上記（Ｂ）の樹脂が、更にラクトン構造を有する樹脂であることを特徴とする請求項１又は２に記載のポジ型感光性組成物。
【請求項４】（Ａ）活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物
（Ｃ）カルボン酸オニウム塩
（Ｄ）酸により分解しうる基を有し、アルカリ現像液中での溶解速度が酸の作用により増大する、分子量３０００以下の低分子溶解阻止化合物
（Ｅ）単環または多環の脂環炭化水素構造を有し、水に不溶でアルカリ現像液に可溶な樹脂
を含有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のポジ型感光性組成物。
【請求項５】  上記（Ｃ）カルボン酸オニウム塩がカルボン酸スルホニウム塩、カルボン酸ヨードニウム塩から選ばれた少なくとも１種であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のポジ型感光性組成物。
【請求項６】  上記（Ｃ）カルボン酸オニウム塩のカルボキシレート残基が芳香族基、炭素−炭素２重結合を含有しないことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のポジ型感光性組成物。
【請求項７】  上記（Ｃ）カルボン酸オニウム塩のカルボキシレート残基がフッ素置換された直鎖、分岐、環状アルキルカルボン酸アニオンであることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のポジ型感光性組成物。
【請求項８】  ２２０ｎｍ以下の波長の遠紫外光による露光用組成物であることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のポジ型感光性組成物。
【請求項９】  請求項１〜８のいずれかに記載のポジ型感光性組成物により膜を形成し、当該膜を露光、現像することを特徴とするパターン形成方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月26日(2006.6.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】着色剤と非水溶性の結着樹脂とを含有する有機溶媒溶液と、水性媒体とを混合し、乳化させて着色粒子を形成後、該有機溶媒を蒸留法で除去し該着色粒子を乾燥粉体として取り出すことによるトナーの製造方法に於いて、消泡剤を液媒体に添加して有機溶媒を蒸留除去することを特徴とするトナーの製造法。
【請求項２】結着樹脂が、中和により自己水分散性となりうる官能基を含有した樹脂である、請求項１記載のトナーの製造法。
【請求項３】結着樹脂が、アニオン型スチレン（メタ）アクリル樹脂である請求項１記載のトナーの製造法。
【請求項４】消泡剤が、水系媒体に易分散あるいは溶解するシリコーン系消泡剤である請求項１〜３のいずれかに記載のトナーの製造法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月10日(2006.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  Ｘ線又は極紫外線を反射する反射光学素子において、
反射領域より広い面積に渡って反射膜を形成することが出来る基板と、
前記基板上に反射領域と前記反射領域以外とに成膜された前記反射膜と、
前記反射領域以外に成膜された前記反射膜上に設けられ、前記反射膜を冷却する冷却手段とを備えたことを特徴とする反射光学素子。
【請求項２】  請求項１に記載の反射光学素子において、前記基板と前記反射膜との間に、前記基板または前記反射膜よりも熱伝導率の高い物質から成る伝熱層が設けられていることを特徴とする反射光学素子。
【請求項３】  請求項２に記載の反射光学素子において、前記反射膜には、所定のパターンから成る前記反射膜が形成されていない開口部が形成されていることを特徴とする反射光学素子。
【請求項４】  請求項２に記載の反射光学素子において、前記反射膜上には、所定のパターンから成るＸ線又は極紫外線を吸収する吸収体が形成されていることを特徴とする反射光学素子。
【請求項５】  請求項１に記載の反射光学素子において、更に、前記反射光学素子の温度を計測するために、前記反射領域以外に形成された反射膜上に設けられた温度計測手段と、
前記温度計測手段によって計測された温度が所定の範囲になるように前記冷却手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とした反射光学素子。
【請求項６】  Ｘ線又は極紫外線を用い、複数の反射鏡によりマスクに形成されたパターンをウェハー上に転写する露光装置において、
前記反射鏡は、反射領域より広い面積に渡って反射膜を形成することが出来る基板と、前記基板上に前記反射領域と前記反射領域以外とにわたって成膜された前記反射膜とからなり、更に前記反射領域以外に成膜された前記反射膜上に設けられ、前記反射膜を冷却する冷却手段と、
前記反射鏡の温度を計測する温度計測手段と、
前記温度計測手段で得られた情報を元に冷却手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項７】  Ｘ線又は極紫外線を放射する光源と、少なくとも一枚以上の多層膜反射鏡からなり、ウェハー上に投影するパターンが形成され、マスクを照明する照明光学系と、少なくとも一枚以上の多層膜反射鏡からなり、前記マスクからのＸ線をウェハー上に投影する投影光学系とを有した露光装置において、
前記投影光学系を形成する多層膜反射鏡のうち少なくとも一枚の多層膜反射鏡は、反射領域より広い面積に渡って反射膜を形成することが出来る基板と、前記基板上に前記反射領域と前記反射領域以外とに成膜された反射膜とを有し、
更に、前記反射領域以外に成膜された反射膜上に設けられた冷却手段及び温度計測手段と、
前記温度計測手段からの情報に基づいて前記冷却手段を制御する制御手段を有したことを特徴とする露光装置。
【請求項８】  請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の反射光学素子を光学系の少なくとも一部に備えたことを特徴とする露光装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月24日(2006.5.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  
撮影光学系の射出瞳面近傍に撮影光学系の光軸を対象とする対の瞳領域を有し、対の瞳領域の各瞳領域ごとに時分割で被写体光の通過と遮光を行う遮光部材と、
前記遮光部材の対の瞳領域を通過した被写体光を受光し、対の瞳領域の各瞳領域ごとに受光面上に結像した被写体像の光強度分布に応じた電気信号を出力する光電変換手段と、
前記光電変換手段から出力される対の瞳領域の電気信号に基づいて前記撮影光学系の焦点ズレ量を演算する演算手段とを備えた焦点検出装置において、
前記遮光部材は、前記撮影光学系の光軸から瞳領域の重心位置までの距離が異なる複数対の瞳領域を有し、前記複数対の瞳領域の中で焦点検出に用いる瞳領域を対ごとに切り換えることを特徴とする焦点検出装置。
【請求項２】  
請求項１に記載の焦点検出装置において、
前記遮光部材は、焦点検出開始後、先ずは重心位置が前記撮影光学系の光軸に近い対の瞳領域に切り換え、焦点ズレ量が所定値より小さくなると、重心位置が前記撮影光学系の光軸から遠い対の瞳領域に切り換えることを特徴とする焦点検出装置。
【請求項３】  
請求項１に記載の焦点検出装置において、
前記遮光部材は、前回の焦点検出結果の焦点ズレ量が所定値以上の場合は、重心位置が前記撮影光学系の光軸に近い対の瞳領域に切り換え、焦点ズレ量が所定値より小さくなると、重心位置が前記撮影光学系の光軸から遠い対の瞳領域に切り換えることを特徴とする焦点検出装置。
【請求項４】  
請求項１〜３のいずれかの項に記載の焦点検出装置において、
前記遮光部材は、液晶を用いて各瞳領域ごとに被写体光の通過と遮光を行うことを特徴とする焦点検出装置。
【請求項５】  
請求項１〜３のいずれかの項に記載の焦点検出装置において、
前記遮光部材は、対の瞳領域ごとに被写体光の通過と遮光を行うマスク板と、対の瞳領域の内の瞳領域を切り換える瞳領域切換部材とを有することを特徴とする焦点検出装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の焦点検出装置を備えたことを特徴とするカメラ。
【請求項７】
撮影光学系の射出瞳面近傍であって前記撮影光学系の光軸から異なる距離に、該光軸について対象な対の瞳領域を複数対設定し、
前記対の瞳領域を切り換えて、該瞳領域ごとに時分割で被写体光の通過と遮光を行い、前記対の瞳領域を通過した被写体光を受光して被写体像の光強度分布に応じた電気信号を出力し、
前記電気信号に基づいて、前記撮影光学系の焦点ズレ量を演算することを特徴とする焦点検出方法。
【請求項８】
請求項７に記載の焦点検出方法において、
前記焦点ズレ量が所定値より小さい場合に、前回の瞳領域対に比して前記撮影光学系の光軸から遠い対の瞳領域に切り換えることを特徴とする焦点検出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
一実施の形態を示す図６および図７に対応づけて本発明を説明すると、
（１）  請求項１の発明は、撮影光学系の射出瞳面近傍に撮影光学系の光軸を対象とする対の瞳領域を有し、対の瞳領域の各瞳領域ごとに時分割で被写体光の通過と遮光を行う遮光部材と、遮光部材の対の瞳領域を通過した被写体光を受光し、対の瞳領域の各瞳領域ごとに受光面上に結像した被写体像の光強度分布に応じた電気信号を出力する光電変換手段と、光電変換手段から出力される対の瞳領域の電気信号に基づいて撮影光学系の焦点ズレ量を演算する演算手段とを備えた焦点検出装置に適用される。
そして、遮光部材４は、撮影光学系３の光軸７６から瞳領域の重心位置までの距離が異なる複数対の瞳領域７１／７２，７３／７４を有し、複数対の瞳領域７１／７２，７３／７４の中で焦点検出に用いる瞳領域を対ごとに切り換える。
（２）  請求項２の焦点検出装置は、遮光部材４によって、焦点検出開始後、先ずは重心位置が撮影光学系３の光軸７６に近い対の瞳領域７１／７２に切り換え、焦点ズレ量が所定値より小さくなると、重心位置が撮影光学系３の光軸７６から遠い対の瞳領域７３／７４に切り換えるようにしたものである。
（３）  請求項３の焦点検出装置は、遮光部材４によって、前回の焦点検出結果の焦点ズレ量が所定値以上の場合は、重心位置が撮影光学系３の光軸７６に近い対の瞳領域７１／７２に切り換え、焦点ズレ量が所定値より小さくなると、重心位置が撮影光学系３の光軸７６から遠い対の瞳領域７３／７４に切り換えるようにしたものである。
（４）  請求項４の焦点検出装置は、遮光部材４が液晶を用いて各瞳領域ごとに被写体光の通過と遮光を行うようにしたものである。
一実施の形態を示す図１２に対応づけて請求項４の発明を説明すると、
（５）  請求項５の焦点検出装置は、遮光部材が、対の瞳領域ごとに被写体光の通過と遮光を行うマスク板１２１と、対の瞳領域の内の瞳領域を切り換える瞳領域切換部材１２２とを有する。
（６）  請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の焦点検出装置を備えたカメラである。
（７）  請求項７の発明の焦点検出方法は、撮影光学系の射出瞳面近傍であって撮影光学系の光軸から異なる距離に、該光軸について対象な対の瞳領域を複数対設定し、対の瞳領域を切り換えて、該瞳領域ごとに時分割で被写体光の通過と遮光を行い、対の瞳領域を通過した被写体光を受光して被写体像の光強度分布に応じた電気信号を出力し、電気信号に基づいて、撮影光学系の焦点ズレ量を演算するものである。
（８）  請求項８の焦点検出方法は、焦点ズレ量が所定値より小さい場合に、前回の瞳領域対に比して撮影光学系の光軸から遠い対の瞳領域に切り換えるようにしたものである。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月27日(2006.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  第一、第二の光学特性面を有する円形状のレンズを支持するレンズ鏡枠において、
上記第一の光学特性面側で上記レンズと当接する受け面を具備し、
上記受け面は上記レンズがレンズ鏡枠に組み付けられた状態で、上記第二の光学特性面の球芯と略一致する球面で形成されることを特徴とするレンズ鏡枠。
【請求項２】  レンズを支持し保持するレンズ鏡枠において、
二つの球面を互いに対向して有する円形状の上記レンズを支持するため、上記レンズの球面の一方の球面を受け、上記レンズの球面の他方の球面の球面中心を中心とする球面形状面をレンズ受け面とした円環状の枠部材を具備することを特徴とするレンズ鏡枠。
【請求項３】  上記レンズ受け面は円環状に形成されていることを特徴とする請求項２に記載のレンズ鏡枠。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
すなわち第１の発明によれば、第一、第二の光学特性面を有する円形状のレンズを支持するレンズ鏡枠において、上記第一の光学特性面側で上記レンズと当接する受け面を具備し、上記受け面は上記レンズがレンズ鏡枠に組み付けられた状態で、上記第二の光学特性面の球芯と略一致する球面で形成されるレンズ鏡枠を提案することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また第２の発明によれば、レンズを支持し保持するレンズ鏡枠において、二つの球面を互いに対向して有する円形状の上記レンズを支持するため、上記レンズの球面の一方の球面を受け、上記レンズの球面の他方の球面の球面中心を中心とする球面形状面をレンズ受け面とした円環状の枠部材を備えるレンズ鏡枠を提案することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月16日(2006.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  横軸に波長、縦軸に透過率をとった分光透過率特性カーブが左右非対称であることを特徴とする光学フィルター。
【請求項２】  長波長側の透過率特性カーブのピークからボトムに落ちるまでの波長幅が、短波長側のそれの１．５倍以上であることを特徴とする上記請求項１に記載の光学フィルター。
【請求項３】  超高圧水銀ランプあるいは超高圧水銀キセノンランプを光源とし、そこから２５０ｎｍ近辺の波長域の光だけを取り出す光学フィルターであり、その分光透過率特性カーブの短波長側は１０ｎｍの間にボトムからピークに立ち上がり、長波長側は２０ｎｍの間にピークからボトムに低下することを特徴とする上記請求項１に記載の光学フィルター。
【請求項４】  自己吸収を起こす光源と、上記請求項１から請求項３の何れか１項記載の光学フィルターを組み合わせたことを特徴とする照明光学系。
【請求項５】  アークランプを光源とし、該光源からの光束を略コリメートするコレクタレンズと、該光源の像を対物レンズの瞳近傍へ投影する投影光学系とを有する顕微鏡落射照明光学系であって、該コレクタレンズと該投影光学系との間に、コレクタレンズ側から、凸パワーのレンズ群・凹パワーのレンズ群・凹パワーのレンズ群からなる略アフォーカルなレンズ系、及び、所望の波長域の光だけを取り出す光学フィルターが配置されてなることを特徴とする上記請求項４に記載の照明光学系。
【請求項６】  前記略アフォーカルなレンズ系が、凸パワーのレンズ群を構成する凸レンズの少なくとも１枚は蛍石、凹パワーのレンズ群を構成する凹レンズの少なくとも１枚は石英で構成されていることを特徴とする上記請求項５に記載の照明光学系。
【請求項７】  光源、及び、該光源からの光束を略コリメートするコレクタレンズと、該略コリメートされた光束から所望の深紫外光を反射し、近紫外から近赤外の光を透過するダイクロイックミラーとを有し、該ダイクロイックミラーで反射された光束を深紫外用対物レンズでの観察に用いる第１の照明光学系と、該ダイクロイックミラーを透過した光束を可視用対物レンズでの観察に用いる第２の照明光学系とを有することを特徴とする照明光学系。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するための本発明の光学フィルターは、横軸に波長、縦軸に透過率をとった分光透過率特性カーブが左右非対称であることを特徴とする光学フィルターである。また、長波長側の透過率特性カーブのピークからボトムに落ちるまでの波長幅が、短波長側のそれの１．５倍以上であることが望ましい。さらに、超高圧水銀ランプあるいは超高圧水銀キセノンランプを光源とするときは、そこから２５０ｎｍ近辺の波長域の光だけを取り出す光学フィルターであり、その分光透過率特性カーブの短波長側は１０ｎｍの間にボトムからピークに立ち上がり、長波長側は２０ｎｍの間にピークからボトムに低下することが望ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明による光学フィルターは自己吸収を起こす光源と組み合わせて、照明光学系として利用することが考えられる。また前記光学系は、アークランプを光源とし、該光源からの光束を略コリメートするコレクタレンズと、該光源の像を対物レンズの瞳近傍へ投影する投影光学系とを有する顕微鏡落射照明光学系であって、該コレクタレンズと該投影光学系との間に、コレクタレンズ側から、凸パワーのレンズ群・凹パワーのレンズ群・凹パワーのレンズ群からなる略アフォーカルなレンズ系、及び、所望の波長域の光だけを取り出す光学フィルターが配置されることが望ましい。さらに、前記略アフォーカルなレンズ系が、凸パワーのレンズ群を構成する凸レンズの少なくとも１枚は蛍石、凹パワーのレンズ群を構成する凹レンズの少なくとも１枚は石英で構成されていることが望ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月22日(2006.6.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マトリクス状に配置された複数の画素ＴＦＴおよび前記複数の画素ＴＦＴのそれぞれのソース電極またはドレイン電極に接続された反射電極を有する画素部と、
複数の駆動回路ＴＦＴを有する駆動回路と、
を有し、
前記画素ＴＦＴおよび前記駆動回路ＴＦＴは、導電層で形成されるゲート電極を有し、
前記画素ＴＦＴのＬＤＤ領域は、前記画素ＴＦＴのゲート電極と重ならないように配置され、
前記駆動回路の第１のｎチャネル型ＴＦＴのＬＤＤ領域は、前記第１のｎチャネル型ＴＦＴのゲート電極と重なるように配置され、
前記駆動回路の第２のｎチャネル型ＴＦＴのＬＤＤ領域は、前記第２のｎチャネル型ＴＦＴのゲート電極と少なくとも一部が重なるように配置され、
前記駆動回路の一部または全部は、前記反射電極の下部に配置され、
前記駆動回路ＴＦＴのソース電極またはドレイン電極にコンタクトホールを介して接続される電源線は、前記反射電極と、前記駆動回路ＴＦＴおよび前記駆動回路ＴＦＴのソース電極またはドレイン電極との間に形成されることを特徴とする反射型半導体表示装置。
【請求項２】
画素部と駆動回路とを同一の基板上に有し、
前記画素部は、ＬＤＤ領域がゲート電極と重ならないように設けられた複数の画素ＴＦＴおよび前記複数の画素ＴＦＴのそれぞれのソース電極またはドレイン電極に接続された反射電極を有し、
前記駆動回路は、ＬＤＤ領域の全部がゲート電極と重なるように設けた第１のｎチャネル型ＴＦＴと、ＬＤＤ領域の一部がゲート電極と重なるように設けた第２のｎチャネル型ＴＦＴとを有し、
前記画素ＴＦＴと、前記第１および第２のｎチャネル型ＴＦＴのゲート電極は、導電層で形成され、
前記駆動回路の一部または全部は、前記反射電極の下部に配置され、
前記第１および第２のｎチャネル型ＴＦＴのそれぞれのソース電極またはドレイン電極にコンタクトホールを介して接続される電源線は、前記反射電極と、前記第１および第２のｎチャネル型ＴＦＴ、並びに前記第１および第２のｎチャネル型ＴＦＴのそれぞれのソース電極またはドレイン電極との間に形成されることを特徴とする反射型半導体表示装置。
【請求項３】
マトリクス状に配置された複数の画素ＴＦＴおよび前記複数の画素ＴＦＴのそれぞれのソース電極またはドレイン電極に接続された反射電極を有する画素部と、
複数の駆動回路ＴＦＴを有する駆動回路と、
を有し、
前記画素ＴＦＴおよび前記駆動回路ＴＦＴは、導電層で形成されるゲート電極を有し、
前記画素ＴＦＴのチャネル形成領域と該画素ＴＦＴのＬＤＤ領域との間には、オフセット領域が形成され、
前記駆動回路の第１のｎチャネル型ＴＦＴのＬＤＤ領域は、前記第１のｎチャネル型ＴＦＴのゲート電極と重なるように配置され、
前記駆動回路の第２のｎチャネル型ＴＦＴのＬＤＤ領域は、前記第２のｎチャネル型ＴＦＴのゲート電極と少なくとも一部が重なるように配置され、
前記駆動回路の一部または全部は、前記反射電極の下部に配置され、
前記駆動回路ＴＦＴのソース電極またはドレイン電極にコンタクトホールを介して接続される電源線は、前記反射電極と、前記駆動回路ＴＦＴおよび前記駆動回路ＴＦＴのソース電極またはドレイン電極との間に形成されることを特徴とする反射型半導体表示装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一において、前記画素部には、前記画素ＴＦＴのソースまたはドレイン領域に接続し一導電型の不純物元素を含む半導体層と、容量配線と、前記半導体層と前記容量配線との間の絶縁膜とで保持容量が形成されることを特徴とする反射型半導体表示装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、前記導電層が、タンタル、タングステン、チタン、モリブデンから選ばれた少なくとも１種を主成分とすることを特徴とする反射型半導体表示装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、前記導電層は、タンタル、タングステン、チタン、モリブデンから選ばれた少なくとも１種と窒素とを含む導電層（Ａ）と、前記導電層（Ａ）上に形成され、タンタル、タングステン、チタン、モリブデンから選ばれた少なくとも１種を主成分とする導電層（Ｂ）と、前記導電層（Ｂ）が前記導電層（Ａ）に接しない領域に形成され、タンタル、タングステン、チタン、モリブデンから選ばれた少なくとも１種と窒素とを含む導電層（Ｃ）とを有することを特徴とする反射型半導体表示装置。
【請求項７】
請求項６において、前記導電層（Ｂ）は、添加元素としてアルゴンを含み、かつ、前記導電層（Ｂ）中の酸素濃度が３０ｐｐｍ以下であることを特徴とする反射型半導体表示装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一に記載の反射型半導体表示装置において、表示媒体として液晶を用いる反射型液晶表示装置。
【請求項９】
請求項８に記載の反射型液晶表示装置を有するノートブック型パーソナルコンピュータ。
【請求項１０】
請求項８に記載の反射型液晶表示装置を有するビデオカメラ。
【請求項１１】
請求項８に記載の反射型液晶表示装置を有する携帯情報端末。
【請求項１２】
請求項８に記載の反射型液晶表示装置を有するデジタルカメラ。
【請求項１３】
請求項８に記載の反射型液晶表示装置を有する携帯書籍。
【請求項１４】
請求項８に記載の反射型液晶表示装置を有するデジタルビデオディスクプレーヤー。
【請求項１５】
請求項８に記載の反射型液晶表示装置を有するフロントプロジェクタ。
【請求項１６】
請求項８に記載の反射型液晶表示装置を有するリアプロジェクタ。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月22日(2006.6.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マトリクス状に配置された複数の画素ＴＦＴおよび前記複数の画素ＴＦＴのそれぞれのソース電極またはドレイン電極に接続された反射電極を有する画素部と、
複数の駆動回路ＴＦＴを有する駆動回路とを有し、
前記画素ＴＦＴおよび前記駆動回路ＴＦＴは、第１の導電層で形成されるゲート電極を有し、
前記ゲート電極は、第２の導電層で形成されるゲート配線と接続部で電気的に接続され、
前記接続部は、前記画素ＴＦＴと前記駆動回路ＴＦＴとが有するチャネル形成領域の外側に設けられ、
前記駆動回路の一部または全部は、前記反射電極の下部に配置され、
前記駆動回路ＴＦＴのソース電極またはドレイン電極にコンタクトホールを介して接続される電源線は、前記反射電極と、前記駆動回路ＴＦＴおよび前記駆動回路ＴＦＴのソース電極またはドレイン電極との間に形成されることを特徴とする反射型半導体表示装置。
【請求項２】
マトリクス状に配置された複数の画素ＴＦＴおよび前記複数の画素ＴＦＴのそれぞれのソース電極またはドレイン電極に接続された反射電極を有する画素部と、
複数の駆動回路ＴＦＴを有する駆動回路とを有し、
前記画素ＴＦＴおよび前記駆動回路ＴＦＴは、第１の導電層で形成されるゲート電極を有し、
前記ゲート電極は、第２の導電層で形成されるゲート配線と接続部で電気的に接続され、
前記接続部は、前記画素ＴＦＴと前記駆動回路ＴＦＴとが有するチャネル形成領域の外側に設けられ、
前記画素ＴＦＴのＬＤＤ領域は、前記画素ＴＦＴのゲート電極と重ならないように配置され、
前記駆動回路の第１のｎチャネル型ＴＦＴのＬＤＤ領域は、前記第１のｎチャネル型ＴＦＴのゲート電極と重なるように配置され、
前記駆動回路の第２のｎチャネル型ＴＦＴのＬＤＤ領域は、前記第２のｎチャネル型ＴＦＴのゲート電極と少なくとも一部が重なるように配置され、
前記駆動回路の一部または全部は、前記反射電極の下部に配置され、
前記駆動回路ＴＦＴのソース電極またはドレイン電極にコンタクトホールを介して接続される電源線は、前記反射電極と、前記駆動回路ＴＦＴおよび前記駆動回路ＴＦＴのソース電極またはドレイン電極との間に形成されることを特徴とする反射型半導体表示装置。
【請求項３】
画素部と駆動回路とを同一の基板上に有し、
前記画素部は、ＬＤＤ領域がゲート電極と重ならないように設けられた複数の画素ＴＦＴおよび前記複数の画素ＴＦＴのそれぞれのソース電極またはドレイン電極に接続された反射電極を有し、
前記駆動回路は、ＬＤＤ領域の全部がゲート電極と重なるように設けた第１のｎチャネル型ＴＦＴと、ＬＤＤ領域の一部がゲート電極と重なるように設けた第２のｎチャネル型ＴＦＴとを有し、
前記画素ＴＦＴと、前記第１および第２のｎチャネル型ＴＦＴのゲート電極は、第１の導電層で形成され、且つ前記ゲート電極に接続するゲート配線は第２の導電層で形成され、
前記ゲート電極と前記ゲート配線とは、前記画素ＴＦＴと前記第１および第２のｎチャネル型ＴＦＴとのチャネル形成領域の外側の接続部で電気的に接続され、
前記駆動回路の一部または全部は、前記反射電極の下部に配置され、
前記第１および第２のｎチャネル型ＴＦＴのそれぞれのソース電極またはドレイン電極にコンタクトホールを介して接続される電源線は、前記反射電極と、前記第１および第２のｎチャネル型ＴＦＴ、並びに前記第１および第２のｎチャネル型ＴＦＴのそれぞれのソース電極またはドレイン電極との間に形成されることを特徴とする反射型半導体表示装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一において、
前記画素部は、前記画素ＴＦＴのソースまたはドレイン領域に接続され一導電型の不純物元素を含む半導体層と、容量配線と、前記半導体層と前記容量配線との間の絶縁膜とで保持容量が形成され、
前記容量配線は前記第１の導電層と前記第２の導電層とで形成されることを特徴とする反射型半導体表示装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
前記第１の導電層が、タンタル、タングステン、チタン、モリブデンから選ばれた少なくとも１種を主成分とし、
前記第２の導電層が、アルミニウムまたは銅を主成分とすることを特徴とする反射型半導体表示装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
前記第１の導電層は、タンタル、タングステン、チタン、モリブデンから選ばれた少なくとも１種と窒素とを含む導電層（Ａ）と、前記導電層（Ａ）上に形成され、タンタル、タングステン、チタン、モリブデンから選ばれた少なくとも１種を主成分とする導電層（Ｂ）と、前記導電層（Ｂ）が前記導電層（Ａ）に接しない領域に形成され、タンタル、タングステン、チタン、モリブデンから選ばれた少なくとも１種と窒素とを含む導電層（Ｃ）とを有し、
前記第２の導電層は、少なくとも、アルミニウムまたは銅を主成分とする導電層（Ｄ）と、タンタル、タングステン、チタン、モリブデンから選ばれた少なくとも１種を主成分とする導電層（Ｅ）とを有することを特徴とする反射型半導体表示装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
前記第１の導電層は、タンタル、タングステン、チタン、モリブデンから選ばれた少なくとも１種と窒素とを含む導電層（Ａ）と、前記導電層（Ａ）上に形成され、タンタル、タングステン、チタン、モリブデンから選ばれた少なくとも１種を主成分とする導電層（Ｂ）と、前記導電層（Ｂ）が前記導電層（Ａ）に接しない領域に形成され、タンタル、タングステン、チタン、モリブデンから選ばれた少なくとも１種と窒素とを含む導電層（Ｃ）とを有し、
前記第２の導電層は、少なくとも、アルミニウムまたは銅を主成分とする導電層（Ｄ）と、タンタル、タングステン、チタン、モリブデンから選ばれた少なくとも１種を主成分とする導電層（Ｅ）とを有し、前記接続部で導電層（Ｃ）と導電層（Ｄ）が接続されていることを特徴とする反射型半導体表示装置。
【請求項８】
請求項６または請求項７において、
前記導電層（Ｂ）は、添加元素としてアルゴンを含み、かつ、前記導電層（Ｂ）中の酸素濃度が３０ｐｐｍ以下であることを特徴とする反射型半導体表示装置。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか一に記載の反射型半導体表示装置において、表示媒体として液晶を用いる反射型液晶表示装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の反射型液晶表示装置を有するノートブック型パーソナルコンピュータ。
【請求項１１】
請求項９に記載の反射型液晶表示装置を有するビデオカメラ。
【請求項１２】
請求項９に記載の反射型液晶表示装置を有する携帯情報端末。
【請求項１３】
請求項９に記載の反射型液晶表示装置を有するデジタルカメラ。
【請求項１４】
請求項９に記載の反射型液晶表示装置を有する携帯書籍。
【請求項１５】
請求項９に記載の反射型液晶表示装置を有するデジタルビデオディスクプレーヤー。
【請求項１６】
請求項９に記載の反射型液晶表示装置を有するフロントプロジェクタ。
【請求項１７】
請求項９に記載の反射型液晶表示装置を有するリアプロジェクタ。
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月16日(2005.12.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記制御テーブルが定める送光部の組み合わせは、同じ時間ステップに送光する１つあるいは異なる２つ以上の送光部を有し、
異なる２つ以上の送光部からの出力を信号処理部の計算により分離抽出することを特徴とする請求項１記載の光計測装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
送光を行う送光部の組み合わせと送光を行う順序を決める前記制御テーブルは、操作者が変更または選択できる操作画面上に表示されるテーブルであることを特徴とする請求項１，２，又は３記載の光計測装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
図１は本発明の光計測装置の一形態を説明するための概略構成図である。図１において、光計測装置１は、被検体１０に光を照射する送光部１２及び被検体１０からの光を受光する受光部１３を含み、測定プローブを形成する送受光部１１と、送光部１２に光を送光する発光部２と、受光部１３で受光した光を光検出する光検出部３と、発光部２及び光検出部３を制御する演算・制御部４を備える。演算・制御部４は、発光部２を制御して送光部１２の送光を制御する発光制御部４２、光検出部３の受光信号を制御する光検出制御部４３と、発光制御部４２及び光検出制御部４３の制御形態を定める制御テーブル４１とを備える。制御テーブル４１は例えば送受光を行う送受光部及び／又は受光部の組み合わせと順序を定めた複数の制御テーブルを発光・光検出テーブル４１ａ，発光テーブル４１ｂ，光検出テーブル４１ｃ等を備える。各テーブルにおいて、発光にかかわる制御に関しては、送受光部１１に配列される複数の送光部１２の中から送光を同時に行う送光部の組み合わせと動作順とを定め、光検出にかかわる制御に関しては、送受光部に配列される複数の受光部で受光して得られる受光信号を有効データとする受光部の組み合わせと動作順とを定める。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
制御テーブルは、第１の態様では任意の送光部及び受光部間の組み合わせで定めることができ、異なる光源を２つ以上を同時に点灯させ、信号処理によって、夫々の光源からの出力を分離する。また第２の態様では、一対の送光部及び受光部間の組み合わせで設定することができる。制御テーブルを設定する第２の態様は、送光部と受光部で一対の送受光対を形成し、この送受光対を単位として動作を行なう組み合わせを定めるものである。さらに、各第１の態様及び第２の態様において、全送光部の送光を同時に行う第１の発光形態、一送光部毎に順次送光を行う第２の発光形態、及び送光部の組み合わせを順次変更する第３の発光形態等の各発光形態とすることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
フーリエ分光法では異なる多数の波長成分を含む光を、干渉計（各フーリエ成分が得られるような光学系）を通過させた後共通の検出器の入射し、フーリエ成分毎に受光した後、計算で逆フーリエ変換することで、元の波長成分に回復する手法が用いられる。この場合、多数の波長成分を同時に検出器に入射するので、信号の総量は確実に増えるが、光が増えることでノイズが連動して増えないことがフーリエ分光法が有効に使える条件となる。通常、赤外域用の検出器は、入射信号が増えてもノイズはあまり増えないという性質があるので、フーリエ分光法は赤外域に一般的に使われる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
しかし、波長のもっと短い可視域や近赤外域で使われる検出器は量子検出器と言われ、光信号の全体が増えるとノイズも信号に応じて増えるという性質を持つ。このため、この波長領域のフーリエ分光法は不利であり利用実績が少ない。生体測定に使う近赤外域の検出器も量子検出器であるので、多くの波長成分を重ねて入射させて測定する、「波長のマルチプレックス法」は同様な欠点があり、せっかくの光量の増加がノイズにより相殺されてしまう。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2001013063.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月27日(2006.4.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  画像を生成するための画像生成システムであって、
各フレームの画像データを記憶するフレームバッファと、
前記フレームバッファに書き込まれている前回のフレームの画像データをクリアすることなく、当該フレームの画像データを、半透明処理を施して前記フレームバッファに書き込むための手段と、
を含むことを特徴とする画像生成システム。
【請求項２】  請求項１において、
当該フレームの背景の画像データについては、半透明処理が施されて前記フレームバッファに書き込まれ、当該フレームの、背景ではないオブジェクトの画像データについては、半透明処理が施されずに前記フレームバッファに書き込まれることを特徴とする画像生成システム。
【請求項３】  請求項２において、
前記オブジェクトは、その位置又はそのモーションが時間経過に伴い変化するオブジェクトであることを特徴とする画像生成システム。
【請求項４】  請求項２又は３において、
前記オブジェクトが、プレーヤに意思選択を求める意思選択画面において表示されるオブジェクトであることを特徴とする画像生成システム。
【請求項５】  画像を生成するための画像生成システムであって、
プレーヤに意思選択を求める意思選択画面を表示するための処理を行う手段と、
その位置又はそのモーションが時間経過に伴い変化するオブジェクトを前記意思選択画面において表示するための処理を行うと共に、該オブジェクトの輪郭をぼやかすモーションブラー処理を行う手段と、
を含むことを特徴とする画像生成システム。
【請求項６】  コンピュータが使用可能な情報記憶媒体であって、
各フレームの画像データを記憶するフレームバッファと、
前記フレームバッファに書き込まれている前回のフレームの画像データをクリアすることなく、当該フレームの画像データを、半透明処理を施して前記フレームバッファに書き込むための手段としてコンピュータを機能させるためのプログラムを記憶することを特徴とする情報記憶媒体。
【請求項７】  請求項６において、
当該フレームの背景の画像データについては、半透明処理が施されて前記フレームバッファに書き込まれ、当該フレームの、背景ではないオブジェクトの画像データについては、半透明処理が施されずに前記フレームバッファに書き込まれることを特徴とする情報記憶媒体。
【請求項８】  請求項７において、
前記オブジェクトは、その位置又はそのモーションが時間経過に伴い変化するオブジェクトであることを特徴とする情報記憶媒体。
【請求項９】  請求項７又は８において、
前記オブジェクトが、プレーヤに意思選択を求める意思選択画面において表示されるオブジェクトであることを特徴とする情報記憶媒体。
【請求項１０】  コンピュータが使用可能な情報記憶媒体であって、
プレーヤに意思選択を求める意思選択画面を表示するための処理を行う手段と、
その位置又はそのモーションが時間経過に伴い変化するオブジェクトを前記意思選択画面において表示するための処理を行うと共に、該オブジェクトの輪郭をぼやかすモーションブラー処理を行う手段としてコンピュータを機能させるためのプログラムを記憶することを特徴とする情報記憶媒体。