【手続補正書】
【提出日】平成18年3月9日(2006.3.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】固定子と移動子とからなり、前記固定子に配設された駆動電極と
前記移動子に配設された電極との間に静電力を生じさせて前記移動子を前記固定子に対し相対的に変位させる静電アクチュエータであって、
前記固定子に前記駆動電極とは別の、前記移動子の電極に静電誘導を生じさせるための誘導電極を配設すると共に、
前記移動子の電極を、前記固定子の駆動電極に対向する位置に設けられた被駆動電極部と前記固定子の誘導電極に対向する位置に設けられた被誘導電極部とより構成し、
前記固定子の誘導電極に電圧を印加することにより前記被誘導電極部を介して前記移動子の電極に静電誘導を生じさせつつ、前記固定子の駆動電極に電圧を印加することにより当該駆動電極と前記静電誘導の生じた移動子における前記被駆動電極部との間に静電力を生じさせて前記移動子を前記固定子に対し相対的に変位させることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】前記移動子の誘導電極を、略櫛歯形状且つ入れ子状に相対配置された第１電極と第２電極とで構成し、前記被誘導電極部を略櫛歯形状の基部に対応させ、前記被駆動電極部を略櫛歯形状の櫛歯端を含む櫛歯部で対応させたことを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項３】前記固定子の表面上部に前記移動子を配置し、前記固定子の誘導電極へ第１交流電圧を印加し且つ前記固定子の駆動電極へ第２交流電圧を印加して、導電未接続の前記移動子を変位させることを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項４】前記固定子は、前記誘導電極および所定周期且つ４個毎に結線配置された駆動電極とを有し、
前記移動子は、入れ子状に相対配置された第１電極と第２電極とを有し、
前記移動子の第１電極と第２電極からなる配列ピッチは、前記固定子の駆動電極の配列ピッチの２倍とし、
前記固定子の誘導電極へ前記第１交流電圧を印加することで前記移動子の第１電極および第２電極へ電荷を発生させて前記移動子の電極配列に第１進行波を発生させ、
前記固定子の駆動電極へ４相の前記第２交流電圧を印加して前記駆動電極の配列に第２進行波を発生させ、
その第１進行波と第２進行波の時間的変化に従って前記移動子を変位させることを特徴とする請求項３に記載の静電アクチュエータ。
【請求項５】前記移動子の第１電極と第２電極とからなる電極配列の電極幅と配列ピッチの長さ比を１／３乃至２／３としたことを特徴とする請求項４に記載の静電アクチュエータ。
【請求項６】前記第１交流電圧と前記第２交流電圧の周波数差によって前記移動子の速度を制御することを特徴とする請求項３に記載の静電アクチュエータ。
【請求項７】前記第１交流電圧と前記第２交流電圧の周波数差をゼロとすることで、前記移動子を静止させることを特徴とする請求項６に記載の静電アクチュエータ。
【請求項８】前記固定子を、少なくとも、絶縁基材表面に所定ピッチで配置される駆動電極の配列と、前記駆動電極を４個毎にまとめて結線する第１乃至第４の共通ラインとで構成し、
前記固定子の駆動電極の配列空間に０度位相および１８０度位相の交流電位を発生する第１トランスと、
前記固定子の駆動電極の配列空間に９０度位相および２７０度位相の交流電位を発生する第２トランスと、
を更に有し、
前記第１トランスの１次側に印加する電圧と前記第２トランスの１次側に印加する電圧の位相が９０度異なることを特徴とする請求項３に記載の静電アクチュエータ。
【請求項９】前記固定子の駆動電極へ印加する電圧は３相以上の多相交流電圧であり、前記移動子の第１電極および第２電極で構成される１周期ピッチが前記固定子の駆動電極の１周期ピッチと等しいことを特徴とする請求項３に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１０】複数個の前記移動子を連結する第１連結部材と、
複数個の前記固定子を連結する第２連結部材と、
を更に有し、
前記第１連結部材および前記第２連結部材を介して前記移動子と前記固定子を複数重ねて、複数の前記移動子と前記第１連結部材とが移動することを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１１】前記移動子は、櫛歯状の端電極が放射状に広がる第１電極と、櫛歯状の端電極が求心して配置される第２電極とが入れ子状に相対して配置された回転する移動子であり、
前記固定子は、円盤円周上に配置された２個以上の誘導電極と所定の周期角をもって複数毎に結線配置された駆動電極が組み込まれたものであることを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１２】前記回転子と前記固定子とを回転軸を共通にして複数段に積層化し、複数の回転子により発生する回転トルクを回転軸共通として取り出すことを特徴とする請求項１１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１３】前記移動子は、櫛歯状形状を有する第１電極と略同形状の第２電極が入れ子状に相対して配置され、且つ前記第１電極と前記第２電極の配列方向が直線となるように円筒面内に配置されたものであり、
前記固定子は、円筒直線上に配置された２個以上の誘導電極と直線配列となるよう配置された駆動電極が組み込まれて構成されることを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１４】前記移動子は、櫛歯状形状を有する第１電極と略同形状の第２電極が入れ子状に相対して配置され、且つ前記第１電極と前記第２電極の配列方向が円となるように円筒面内に配置された、周回転する移動子であり、
前記固定子は、円筒円周上に配置された２個以上の誘導電極と円周配列となるよう配置された駆動電極が組み込まれて構成されることを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１５】移動子の電極とその一部が対向するそれぞれ異なる位置に誘導電極と駆動電極とを配置し、
前記誘導電極に電圧を印加することで、前記移動子の電極に静電誘導で電荷を発生させ、
前記駆動電極と前記移動子の電極に発生した前記電荷との静電力により、
前記移動子の電極と前記駆動電極との相対位置を変位させることを特徴とする変位方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成させるために、第一の発明は、固定子と移動子とからなり、前記固定子に配設された駆動電極と前記移動子に配設された電極との間に静電力を生じさせて前記移動子を前記固定子に対し相対的に変位させる静電アクチュエータであって、前記固定子に前記駆動電極とは別の、前記移動子の電極に静電誘導を生じさせるための誘導電極を配設すると共に、前記移動子の電極を、前記固定子の駆動電極に対向する位置に設けられた被駆動電極部と前記固定子の誘導電極に対向する位置に設けられた被誘導電極部とより構成し、前記固定子の誘導電極に電圧を印加することにより前記被誘導電極部を介して前記移動子の電極に静電誘導を生じさせつつ、前記固定子の駆動電極に電圧を印加することにより当該駆動電極と前記静電誘導の生じた移動子における前記被駆動電極部との間に静電力を生じさせて前記移動子を前記固定子に対し相対的に変位させる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、第２の発明は、第１の発明に係る静電アクチュエータにおいて、前記移動子の誘導電極を、略櫛歯形状且つ入れ子状に相対配置された第１電極と第２電極とで構成し、前記被誘導電極部を略櫛歯形状の基部に対応させ、前記被駆動電極部を略櫛歯形状の櫛歯端を含む櫛歯部で対応させる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、第３の発明は、第２の発明に係る静電アクチュエータにおいて、前記固定子の表面上部に前記移動子を配置し、前記固定子の誘導電極へ第１交流電圧を印加し且つ前記固定子の駆動電極へ第２交流電圧を印加して、導電未接続の前記移動子を変位させる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、第４の発明は、第３の発明に係る静電アクチュエータにおいて、前記固定子は、前記誘導電極および所定周期且つ４個毎に結線配置された駆動電極とを有し、前記移動子は、入れ子状に相対配置された第１電極と第２電極とを有し、前記移動子の第１電極と第２電極からなる配列ピッチは、前記固定子の駆動電極の配列ピッチの２倍とし、前記固定子の誘導電極へ前記第１交流電圧を印加することで前記移動子の第１電極および第２電極へ電荷を発生させて前記移動子の電極配列に第１進行波を発生させ、前記固定子の駆動電極へ４相の前記第２交流電圧を印加して前記駆動電極の配列に第２進行波を発生させ、その第１進行波と第２進行波の時間的変化に従って前記移動子を変位させる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、第５の発明は、第４の発明に係る静電アクチュエータにおいて、前記移動子の第１電極と第２電極とからなる電極配列の電極幅と配列ピッチの長さ比を１／３乃至２／３としたことを特徴とする請求項４に記載の静電アクチュエータ。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、第６の発明は、第３の発明に係る静電アクチュエータにおいて、前記第１交流電圧と前記第２交流電圧の周波数差によって前記移動子の速度を制御する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、第７の発明は、第６の発明に係る静電アクチュエータにおいて、前記第１交流電圧と前記第２交流電圧の周波数差をゼロとすることで、前記移動子を静止させる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、第８の発明は、第３の発明に係る静電アクチュエータにおいて、前記固定子を、少なくとも、絶縁基材表面に所定ピッチで配置される駆動電極の配列と、前記駆動電極を４個毎にまとめて結線する第１乃至第４の共通ラインとで構成し、前記固定子の駆動電極の配列空間に０度位相および１８０度位相の交流電位を発生する第１トランスと、前記固定子の駆動電極の配列空間に９０度位相および２７０度位相の交流電位を発生する第２トランスとを更に有し、前記第１トランスの１次側に印加する電圧と前記第２トランスの１次側に印加する電圧の位相が９０度異なる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、第９の発明は、第３の発明に係る静電アクチュエータにおいて、前記固定子の駆動電極へ印加する電圧は３相以上の多相交流電圧であり、前記移動子の第１電極および第２電極で構成される１周期ピッチが前記固定子の駆動電極の１周期ピッチと等しい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、第１０の発明は、第２の発明に係る静電アクチュエータにおいて、複数個の前記移動子を連結する第１連結部材と、複数個の前記固定子を連結する第２連結部材とを更に有し、前記第１連結部材および前記第２連結部材を介して前記移動子と前記固定子を複数重ねて、複数の前記移動子と前記第１連結部材とが移動する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、第１１の発明は、第２の発明に係る静電アクチュエータにおいて、前記移動子は、櫛歯状の端電極が放射状に広がる第１電極と、櫛歯状の端電極が求心して配置される第２電極とが入れ子状に相対して配置された回転する移動子であり、前記固定子は、円盤円周上に配置された２個以上の誘導電極と所定の周期角をもって複数毎に結線配置された駆動電極が組み込まれたものである。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、第１２の発明は、第１１の発明に係る静電アクチュエータにおいて、前記回転子と前記固定子とを回転軸を共通にして複数段に積層化し、複数の回転子により発生する回転トルクを回転軸共通として取り出す。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、第１３の発明は、第２の発明に係る静電アクチュエータにおいて、前記移動子は、櫛歯状形状を有する第１電極と略同形状の第２電極が入れ子状に相対して配置され、且つ前記第１電極と前記第２電極の配列方向が直線となるように円筒面内に配置されたものであり、前記固定子は、円筒直線上に配置された２個以上の誘導電極と直線配列となるよう配置された駆動電極が組み込まれて構成される。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、第１４の発明は、第２の発明に係る静電アクチュエータにおいて、前記移動子は、櫛歯状形状を有する第１電極と略同形状の第２電極が入れ子状に相対して配置され、且つ前記第１電極と前記第２電極の配列方向が円となるように円筒面内に配置された、周回転する移動子であり、前記固定子は、円筒円周上に配置された２個以上の誘導電極と円周配列となるよう配置された駆動電極が組み込まれて構成される。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、第１５の発明は、移動子の電極とその一部が対向するそれぞれ異なる位置に誘導電極と駆動電極とを配置し、前記誘導電極に電圧を印加することで、前記移動子の電極に静電誘導で電荷を発生させ、前記駆動電極と前記移動子の電極に発生した前記電荷との静電力により、前記移動子の電極と前記駆動電極との相対位置を変位させる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】