【手続補正書】
【提出日】平成18年6月14日(2006.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置であって、
（ａ） 所定の領域から出て前記所定の領域に戻る所定のルートに沿って配列された複数の処理部を有し、基板に対して各処理部にて順次基板処理を施す基板処理ユニットと、
（ｂ） 前記所定の領域に設けられ、複数の基板を収納するカセット載置部を有するとともに前記基板処理ユニットと前記カセットとの間で基板の受渡しを行う基板受渡しユニットと、
を備え、
前記複数の処理部のそれぞれは、
（ａ−１） データ格納部を有し、滞在する基板の処理状況を制御する制御部、
を有し、
前記複数の処理部のそれぞれは、隣接する処理部と基板の受渡しを行う際に、受取り側の処理部が有するデータ格納部に基板の属性を示す基板情報データを格納し、
前記制御部は、電源供給が停止した際においても、対応する処理部に滞在する基板情報データを保持しつづけるとともに、前記対応する処理部において現在実行している処理を示す処理状況データを保持しつづけており、
前記基板処理ユニットにおいて基板処理が一時的に停止した後に、前記基板処理ユニットに滞在する処理中基板について、
各制御部は、対応するデータ格納部に保持される基板情報データおよび処理状況データに基づいて前記処理中基板に実行すべき基板処理を決定し、かつ、
各複数の処理部は、対応するデータ格納部に保持される基板情報データおよび処理状況データに基づき、通常の基板処理において実行される処理の一部または全部を実行せずに隣接する処理部に対して前記処理中基板を順次受渡すことによって、前記基板処理ユニットから前記処理中基板を排出し、前記処理中基板を元のカセットの所定の場所に収納することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記複数の処理部は、基板の表面に形成されたレジスト膜を乾燥させる乾燥部を含み、
基板処理が停止した時点において前記基板処理ユニットに滞在する基板につき、該停止した時点より前にレジスト供給を受けていないと判断される場合、前記乾燥部は、該基板に乾燥処理を施さないことを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の基板処理装置であって、
前記複数の処理部は、パターン露光が完了した基板に現像液を供給する現像部を含み、
基板処理が停止した時点において前記基板処理ユニットに滞在する基板につき、該停止した時点より前に現像液の供給を受けていないと判断される場合、前記現像部は、該基板に現像液を供給しないことを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理装置であって、
基板処理が停止した時点において前記基板処理ユニットに滞在する基板につき、隣接する処理部の間で受け渡し動作が実行されていた場合、該停止した時点における進行状況に応じた受け渡し動作が決定されることを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記データ格納部のそれぞれは、不揮発性メモリによって構成されていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記各制御部は無停電電源装置と接続されていることを特徴とする基板処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板処理装置であって、所定の領域から出て前記所定の領域に戻る所定のルートに沿って配列された複数の処理部を有し、基板に対して各処理部にて順次基板処理を施す基板処理ユニットと、前記所定の領域に設けられ、複数の基板を収納するカセット載置部を有するとともに前記基板処理ユニットと前記カセットとの間で基板の受渡しを行う基板受渡しユニットと、を備え、前記複数の処理部のそれぞれは、データ格納部を有し、滞在する基板の処理状況を制御する制御部、を有し、前記複数の処理部のそれぞれは、隣接する処理部と基板の受渡しを行う際に、受取り側の処理部が有するデータ格納部に基板の属性を示す基板情報データを格納し、前記制御部は、電源供給が停止した際においても、対応する処理部に滞在する基板情報データを保持しつづけるとともに、前記対応する処理部において現在実行している処理を示す処理状況データを保持しつづけており、前記基板処理ユニットにおいて基板処理が一時的に停止した後に、前記基板処理ユニットに滞在する処理中基板について、各制御部は、対応するデータ格納部に保持される基板情報データおよび処理状況データに基づいて前記処理中基板に実行すべき基板処理を決定し、かつ、各複数の処理部は、対応するデータ格納部に保持される基板情報データおよび処理状況データに基づき、通常の基板処理において実行される処理の一部または全部を実行せずに隣接する処理部に対して前記処理中基板を順次受渡すことによって、前記基板処理ユニットから前記処理中基板を排出し、前記処理中基板を元のカセットの所定の場所に収納することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の基板処理装置であって、前記複数の処理部は、基板の表面に形成されたレジスト膜を乾燥させる乾燥部を含み、基板処理が停止した時点において前記基板処理ユニットに滞在する基板につき、該停止した時点より前にレジスト供給を受けていないと判断される場合、前記乾燥部は、該基板に乾燥処理を施さないことを特徴とする。
また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の基板処理装置であって、前記複数の処理部は、パターン露光が完了した基板に現像液を供給する現像部を含み、基板処理が停止した時点において前記基板処理ユニットに滞在する基板につき、該停止した時点より前に現像液の供給を受けていないと判断される場合、前記現像部は、該基板に現像液を供給しないことを特徴とする。
また、請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理装置であって、基板処理が停止した時点において前記基板処理ユニットに滞在する基板につき、隣接する処理部の間で受け渡し動作が実行されていた場合、該停止した時点における進行状況に応じた受け渡し動作が決定されることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、請求項５の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板処理装置であって、前記データ格納部のそれぞれは、不揮発性メモリによって構成されていることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、請求項６の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板処理装置であって、前記各制御部は無停電電源装置と接続されていることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
【発明の効果】
請求項１から請求項６に記載の発明によれば、各制御部への電源供給が一時的に停止した場合であっても、各制御部が対応する処理部に滞在する基板情報データおよび処理状況データを保持し続けている。そのため、基板処理が停止した場合においても、基板情報データおよび処理状況データに基づいて基板処理ユニットに滞在する処理中基板を排出して元のカセットの所定の場所に収納することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
また、請求項１から請求項６に記載の発明によれば、基板処理が一時的に停止した後において処理中基板を基板処理ユニットにつき、複数の処理部のそれぞれは、通常の基板処理において実行される処理の一部または全部を実行せずに隣接する処理部に対して処理中基板を受け渡すことができる。そのため、基板処理ユニットから排出して元のカセットに収納する処理を効率的に実行することができる。