【手続補正書】
【提出日】平成18年4月19日(2006.4.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  検出対象となる力を受ける受力体と、
この受力体の下方に配置された支持体と、
上端が前記受力体に接続され、下端が前記支持体に可撓性をもった接続部材を介して接続された第１の力伝達体と、
上端が前記受力体に接続され、下端が前記支持体に可撓性をもった接続部材を介して接続された第２の力伝達体と、
前記第１の力伝達体から前記支持体に向かって加えられる力を検出する第１のセンサと、
前記第２の力伝達体から前記支持体に向かって加えられる力を検出する第２のセンサと、
前記第１のセンサの検出結果と前記第２のセンサの検出結果との双方を考慮して、前記受力体に作用した力もしくはモーメントを検出する処理を行う検出処理部と、
を備えることを特徴とする力検出装置。
【請求項２】  請求項１に記載の力検出装置において、
第１のセンサが、第１の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能を有することを特徴とする力検出装置。
【請求項３】  請求項２に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１の力伝達体および第２の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成されており、
第１のセンサが、第１の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度を検知する機能を有し、
検出処理部が、第１のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度と、第２のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度と、の和に基づいて、受力体に作用した力のＸ軸方向成分Ｆｘを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項４】  請求項２に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１の力伝達体および第２の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成されており、
第１のセンサが、第１の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度を検知する機能を有し、
検出処理部が、第１のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度と、第２のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度と、の差に基づいて、受力体に作用した力のＺ軸まわりのモーメントＭｚを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項５】  請求項１に記載の力検出装置において、
第１のセンサが、第１の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能を有することを特徴とする力検出装置。
【請求項６】  請求項５に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１の力伝達体および第２の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成されており、
第１のセンサが、第１の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力を検知する機能を有し、
検出処理部が、第１のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、第２のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、の差に基づいて、受力体に作用した力のＹ軸まわりのモーメントＭｙを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項７】  請求項１に記載の力検出装置において、
第１のセンサが、第１の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能と、第１の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能と、を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能と、第２の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能と、を有することを特徴とする力検出装置。
【請求項８】  請求項７に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１の力伝達体および第２の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成されており、
第１のセンサが、第１の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第１の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、第１の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力と、を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第２の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、第２の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力と、を検知する機能を有し、
検出処理部が、
第１のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度と、第２のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度と、の和に基づいて、受力体に作用した力のＸ軸方向成分Ｆｘを検出する処理を行い、
第１のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、第２のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、の和に基づいて、受力体に作用した力のＺ軸方向成分Ｆｚを検出する処理を行い、
第１のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度と、第２のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度と、の和に基づいて、受力体に作用したＸ軸まわりのモーメントＭｘを検出する処理を行い、
第１のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、第２のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、の差に基づいて、受力体に作用した力のＹ軸まわりのモーメントＭｙを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項９】  請求項１に記載の力検出装置において、
上端が受力体に接続され、下端が支持体に可撓性をもった接続部材を介して接続された第３の力伝達体と、
上端が受力体に接続され、下端が支持体に可撓性をもった接続部材を介して接続された第４の力伝達体と、
前記第３の力伝達体から前記支持体に向かって加えられる力を検出する第３のセンサと、
前記第４の力伝達体から前記支持体に向かって加えられる力を検出する第４のセンサと、
を更に設け、検出処理部が、第１〜第４のセンサの検出結果を考慮して、前記受力体に作用した力もしくはモーメントを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項１０】  請求項９に記載の力検出装置において、
第１のセンサが、第１の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能を有し、
第４のセンサが、第４の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能を有することを特徴とする力検出装置。
【請求項１１】  請求項１０に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１〜第４の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成されており、
第１のセンサが、第１の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第１の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第２の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、を検知する機能を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第３の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、を検知する機能を有し、
第４のセンサが、第４の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第４の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、を検知する機能を有し、
検出処理部が、
第１〜第４のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度の和に基づいて、受力体に作用した力のＸ軸方向成分Ｆｘを検出する処理を行い、
第１〜第４のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度の和に基づいて、受力体に作用した力のＹ軸方向成分Ｆｙを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項１２】  請求項１０に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１〜第４の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成され、第１の力伝達体がＸＹ平面の第１象限に配置され、第２の力伝達体がＸＹ平面の第２象限に配置され、第３の力伝達体がＸＹ平面の第３象限に配置され、第４の力伝達体がＸＹ平面の第４象限に配置されており、
第１のセンサが、第１の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第１の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第２の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、を検知する機能を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第３の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、を検知する機能を有し、
第４のセンサが、第４の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第４の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、を検知する機能を有し、
検出処理部が、第３および第４のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度の和と、第１および第２のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度の和と、の差を第１の差として求め、第１および第４のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度の和と、第２および第３のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度の和と、の差を第２の差として求め、前記第１の差と前記第２の差との和に基づいて、受力体に作用した力のＺ軸まわりのモーメントＭｚを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項１３】  請求項１０に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１〜第４の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成され、第１の力伝達体の長手方向がＸ軸の正の部分と交差する位置に配置され、第２の力伝達体の長手方向がＸ軸の負の部分と交差する位置に配置され、第３の力伝達体の長手方向がＹ軸の正の部分と交差する位置に配置され、第４の力伝達体の長手方向がＹ軸の負の部分と交差する位置に配置されており、
第１のセンサが、第１の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度を検知する機能を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度を検知する機能を有し、
第４のセンサが、第４の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度を検知する機能を有し、
検出処理部が、第１のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度と第４のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度との和と、第２のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度と第３のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度との和と、の差に基づいて、受力体に作用した力のＺ軸まわりのモーメントＭｚを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項１４】  請求項９に記載の力検出装置において、
第１のセンサが、第１の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能を有し、
第４のセンサが、第４の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能を有することを特徴とする力検出装置。
【請求項１５】  請求項１４に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１〜第４の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成され、第１の力伝達体がＸＹ平面の第１象限に配置され、第２の力伝達体がＸＹ平面の第２象限に配置され、第３の力伝達体がＸＹ平面の第３象限に配置され、第４の力伝達体がＸＹ平面の第４象限に配置されており、
第１のセンサが、第１の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力を検知する機能を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力を検知する機能を有し、
第４のセンサが、第４の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力を検知する機能を有し、
検出処理部が、第１および第２のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力の和と、第３および第４のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力の和と、の差に基づいて、受力体に作用した力のＸ軸まわりのモーメントＭｘを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項１６】  請求項１５に記載の力検出装置において、
検出処理部が、更に、第１および第４のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力の和と、第２および第３のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力の和と、の差に基づいて、受力体に作用した力のＹ軸まわりのモーメントＭｙを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項１７】  請求項１４に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１〜第４の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成され、第１の力伝達体の長手方向がＸ軸の正の部分と交差する位置に配置され、第２の力伝達体の長手方向がＸ軸の負の部分と交差する位置に配置され、第３の力伝達体の長手方向がＹ軸の正の部分と交差する位置に配置され、第４の力伝達体の長手方向がＹ軸の負の部分と交差する位置に配置されており、
第１のセンサが、第１の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力を検知する機能を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力を検知する機能を有し、
第４のセンサが、第４の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力を検知する機能を有し、
検出処理部が、第４のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、第３のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、の差に基づいて、受力体に作用した力のＸ軸まわりのモーメントＭｘを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項１８】  請求項１７に記載の力検出装置において、
検出処理部が、更に、第１のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、第２のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、の差に基づいて、受力体に作用した力のＹ軸まわりのモーメントＭｙを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項１９】  請求項９に記載の力検出装置において、
第１のセンサが、第１の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能と、第１の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能と、を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能と、第２の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能と、を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能と、第３の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能と、を有し、
第４のセンサが、第４の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能と、第４の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能と、を有することを特徴とする力検出装置。
【請求項２０】  請求項１９に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１〜第４の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成され、第１の力伝達体がＸＹ平面の第１象限に配置され、第２の力伝達体がＸＹ平面の第２象限に配置され、第３の力伝達体がＸＹ平面の第３象限に配置され、第４の力伝達体がＸＹ平面の第４象限に配置されており、
第１のセンサが、第１の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第１の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、第１の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力と、を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第２の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、第２の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力と、を検知する機能を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第３の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、第３の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力と、を検知する機能を有し、
第４のセンサが、第４の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第４の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、第４の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力と、を検知する機能を有し、
検出処理部が、
第１〜第４のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度の和に基づいて、受力体に作用した力のＸ軸方向成分Ｆｘを検出する処理を行い、
第１〜第４のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度の和に基づいて、受力体に作用した力のＹ軸方向成分Ｆｙを検出する処理を行い、
第１〜第４のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力の和に基づいて、受力体に作用した力のＺ軸方向成分Ｆｚを検出する処理を行い、
第１および第２のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力の和と、第３および第４のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力の和と、の差に基づいて、受力体に作用した力のＸ軸まわりのモーメントＭｘを検出する処理を行い、
第１および第４のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力の和と、第２および第３のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力の和と、の差に基づいて、受力体に作用した力のＹ軸まわりのモーメントＭｙを検出する処理を行い、
第３および第４のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度の和と、第１および第２のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度の和と、の差を第１の差として求め、第１および第４のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度の和と、第２および第３のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度の和と、の差を第２の差として求め、前記第１の差と前記第２の差との和に基づいて、受力体に作用した力のＺ軸まわりのモーメントＭｚを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項２１】  請求項１９に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１〜第４の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成され、第１の力伝達体の長手方向がＸ軸の正の部分と交差する位置に配置され、第２の力伝達体の長手方向がＸ軸の負の部分と交差する位置に配置され、第３の力伝達体の長手方向がＹ軸の正の部分と交差する位置に配置され、第４の力伝達体の長手方向がＹ軸の負の部分と交差する位置に配置されており、
第１のセンサが、第１の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第１の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、第１の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力と、を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第２の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、第２の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力と、を検知する機能を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第３の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、第３の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力と、を検知する機能を有し、
第４のセンサが、第４の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第４の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、第４の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力と、を検知する機能を有し、
検出処理部が、
第１〜第４のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度の和に基づいて、受力体に作用した力のＸ軸方向成分Ｆｘを検出する処理を行い、
第１〜第４のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度の和に基づいて、受力体に作用した力のＹ軸方向成分Ｆｙを検出する処理を行い、
第１〜第４のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力の和に基づいて、受力体に作用した力のＺ軸方向成分Ｆｚを検出する処理を行い、
第４のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、第３のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、の差に基づいて、受力体に作用した力のＸ軸まわりのモーメントＭｘを検出する処理を行い、
第１のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、第２のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、の差に基づいて、受力体に作用した力のＹ軸まわりのモーメントＭｙを検出する処理を行い、
第１のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度と第４のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度との和と、第２のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度と第３のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度との和と、の差に基づいて、受力体に作用した力のＺ軸まわりのモーメントＭｚを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項２２】  請求項１に記載の力検出装置において、
上端が受力体に接続され、下端が支持体に可撓性をもった接続部材を介して接続された第３の力伝達体と、
上端が受力体に接続され、下端が支持体に可撓性をもった接続部材を介して接続された第４の力伝達体と、
を更に設け、受力体が４つの力伝達体によって支持体に対して支持される構造を有することを特徴とする力検出装置。
【請求項２３】  請求項２２に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１〜第４の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成され、第１の力伝達体の長手方向がＸ軸の正の部分と交差する位置に配置され、第２の力伝達体の長手方向がＸ軸の負の部分と交差する位置に配置され、第３の力伝達体の長手方向がＹ軸の正の部分と交差する位置に配置され、第４の力伝達体の長手方向がＹ軸の負の部分と交差する位置に配置されていることを特徴とする力検出装置。
【請求項２４】  請求項２２に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１〜第４の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成され、第１の力伝達体がＸＹ平面の第１象限に配置され、第２の力伝達体がＸＹ平面の第２象限に配置され、第３の力伝達体がＸＹ平面の第３象限に配置され、第４の力伝達体がＸＹ平面の第４象限に配置されていることを特徴とする力検出装置。
【請求項２５】  請求項１に記載の力検出装置において、
上端が受力体に接続され、下端が支持体に可撓性をもった接続部材を介して接続された第３の力伝達体と、
前記第３の力伝達体から前記支持体に向かって加えられる力を検出する第３のセンサと、
を更に設け、検出処理部が、第１〜第３のセンサの検出結果を考慮して、前記受力体に作用した力もしくはモーメントを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項２６】  請求項２５に記載の力検出装置において、
第１のセンサが、第１の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能を有することを特徴とする力検出装置。
【請求項２７】  請求項２６に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１〜第３の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成されており、
第１のセンサが、第１の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第１の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第２の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、を検知する機能を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第３の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、を検知する機能を有し、
検出処理部が、
第１〜第３のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度の和に基づいて、受力体に作用した力のＸ軸方向成分Ｆｘを検出する処理を行い、
第１〜第３のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度の和に基づいて、受力体に作用した力のＹ軸方向成分Ｆｙを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項２８】  請求項２６に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１〜第３の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成され、第１の力伝達体がその長手方向がＹ軸の正の部分と交差する位置に配置され、第２の力伝達体がＸＹ平面の第３象限に配置され、第３の力伝達体がＸＹ平面の第４象限に配置されており、
第１のセンサが、第１の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第２の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、を検知する機能を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第３の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、を検知する機能を有し、
検出処理部が、第２および第３のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度の和から、第１のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度を減じた差を第１の差として求め、第３のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度から、第２のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度を減じた差を第２の差として求め、前記第１の差と前記第２の差との和に基づいて、受力体に作用した力のＺ軸まわりのモーメントＭｚを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項２９】  請求項２５に記載の力検出装置において、
第１のセンサが、第１の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能を有することを特徴とする力検出装置。
【請求項３０】  請求項２９に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１〜第３の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成され、第１の力伝達体がその長手方向がＹ軸の正の部分と交差する位置に配置され、第２の力伝達体がＸＹ平面の第３象限に配置され、第３の力伝達体がＸＹ平面の第４象限に配置されており、
第１のセンサが、第１の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力を検知する機能を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力を検知する機能を有し、
検出処理部が、第１のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、第２および第３のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、の差に基づいて、受力体に作用した力のＸ軸まわりのモーメントＭｘを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項３１】  請求項２５に記載の力検出装置において、
第１のセンサが、第１の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能と、第１の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能と、を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能と、第２の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能と、を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体の支持体に対する傾斜状態を検知する機能と、第３の力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知する機能と、を有することを特徴とする力検出装置。
【請求項３２】  請求項３１に記載の力検出装置において、
ＸＹＺ三次元座標系を定義したときに、
第１〜第３の力伝達体が、Ｚ軸方向を長手方向とする構造体によって構成され、第１の力伝達体がその長手方向がＹ軸の正の部分と交差する位置に配置され、第２の力伝達体がＸＹ平面の第３象限に配置され、第３の力伝達体がＸＹ平面の第４象限に配置されており、
第１のセンサが、第１の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第１の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、第１の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力と、を検知する機能を有し、
第２のセンサが、第２の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第２の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、第２の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力と、を検知する機能を有し、
第３のセンサが、第３の力伝達体のＸ軸方向に関する傾斜度と、第３の力伝達体のＹ軸方向に関する傾斜度と、第３の力伝達体全体から支持体に対して加えられるＺ軸方向に関する力と、を検知する機能を有し、
検出処理部が、
第１〜第３のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度の和に基づいて、受力体に作用した力のＸ軸方向成分Ｆｘを検出する処理を行い、
第１〜第３のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度の和に基づいて、受力体に作用した力のＹ軸方向成分Ｆｙを検出する処理を行い、
第１〜第３のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力の和に基づいて、受力体に作用した力のＺ軸方向成分Ｆｚを検出する処理を行い、
第１のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、第２および第３のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、の差に基づいて、受力体に作用した力のＸ軸まわりのモーメントＭｘを検出する処理を行い、
第３のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、第２のセンサによって検知されたＺ軸方向に関する力と、の差に基づいて、受力体に作用した力のＹ軸まわりのモーメントＭｙを検出する処理を行い、
第２および第３のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度の和から、第１のセンサによって検知されたＸ軸方向に関する傾斜度を減じた差を第１の差として求め、第３のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度から、第２のセンサによって検知されたＹ軸方向に関する傾斜度を減じた差を第２の差として求め、前記第１の差と前記第２の差との和に基づいて、受力体に作用した力のＺ軸まわりのモーメントＭｚを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項３３】  請求項１〜３２のいずれかに記載の力検出装置において、
各力伝達体を柱状の部材により構成し、接続部材として機能するダイアフラムの中央に力伝達体の下面を接合し、前記ダイアフラムの周囲を支持体に固定することにより、力伝達体を支持体に接続したことを特徴とする力検出装置。
【請求項３４】  請求項１〜３３のいずれかに記載の力検出装置において、
センサが、力伝達体の下端の第１の部分から加えられる力と、力伝達体の下端の第２の部分から加えられる力と、を検知する機能を有し、両者の差に基づいて、力伝達体の支持体に対する傾斜度を検知することを特徴とする力検出装置。
【請求項３５】  請求項１〜３４のいずれかに記載の力検出装置において、
センサが、支持体の上面に固定された固定電極と、力伝達体の下面に応じた変位面に固定された変位電極と、によって構成される容量素子を有し、この容量素子の静電容量値に基づいて力の検出を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項３６】  請求項３５に記載の力検出装置において、
可撓性および導電性を有するダイアフラムを接続部材として用い、このダイアフラムの中央に力伝達体の下面を接合し、前記ダイアフラムの周囲を支持体に固定することにより、力伝達体を支持体に接続するようにし、前記ダイアフラム自身を変位電極として用いるようにしたことを特徴とする力検出装置。
【請求項３７】  請求項３６に記載の力検出装置において、
力伝達体を柱状の部材により構成し、この力伝達体の軸芯の延長線と支持体の上面との交点に原点をとったｘｙ二次元座標系を定義したときに、
支持体の上面におけるｘ軸の正の部分および負の部分にそれぞれ第１の固定電極および第２の固定電極を配置し、支持体の上面におけるｙ軸の正の部分および負の部分にそれぞれ第３の固定電極および第４の固定電極を配置し、
ダイアフラムからなる変位電極と前記第１〜第４の固定電極とによって、第１〜第４の容量素子を構成し、第１の容量素子の静電容量値と第２の容量素子の静電容量値との差に基づいて、力伝達体のｘ軸方向に関する傾斜度を検知し、第３の容量素子の静電容量値と第４の容量素子の静電容量値との差に基づいて、力伝達体のｙ軸方向に関する傾斜度を検知し、検出処理部が、これらの検知結果を利用して、力もしくはモーメントを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項３８】  請求項３７に記載の力検出装置において、
支持体の上面における原点の近傍に更に第５の固定電極を配置し、ダイアフラムからなる変位電極と前記第５の固定電極とによって、第５の容量素子を構成し、この第５の容量素子の静電容量値に基づいて、力伝達体全体から支持体に対して加えられる力を検知し、検出処理部が、この検知結果を利用して、力もしくはモーメントを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項３９】  請求項３６〜３８のいずれかに記載の力検出装置において、
力伝達体を挿通するための開口を有し、ダイアフラムの上方に配置されるように支持体に固定された補助基板を更に有し、
センサが、前記補助基板の下面に固定された固定電極と、前記ダイアフラム自身からなる変位電極と、によって構成される補助容量素子を有し、この補助容量素子の静電容量値を利用して力の検出を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項４０】  請求項３９に記載の力検出装置において、
補助基板の下面に固定された固定電極の一部または全部が、支持体の上面に固定された固定電極の一部または全部に対して、鏡像関係をなすことを特徴とする力検出装置。
【請求項４１】  請求項３５〜４０のいずれかに記載の力検出装置において、
検出処理部が複数の容量素子を電気的に接続する配線により構成されていることを特徴とする力検出装置。
【請求項４２】  請求項１〜４１のいずれかに記載の力検出装置において、
各力伝達体の上端が受力体に対して可撓性をもった接続部材を介して接続されていることを特徴とする力検出装置。
【請求項４３】  請求項４２に記載の力検出装置において、
受力体を板状の部材により構成し、各力伝達体を柱状の部材により構成し、受力体と各力伝達体とを接続する接続部材を、板状の受力体の肉薄部によって構成したことを特徴とする力検出装置。
【請求項４４】  請求項４２に記載の力検出装置において、
各力伝達体から受力体に向かって加えられる力を検出する補助センサを更に設け、
検出処理部が、前記補助センサの検出結果を更に考慮して、前記受力体に作用した力もしくはモーメントを検出する処理を行うことを特徴とする力検出装置。
【請求項４５】  請求項４４に記載の力検出装置において、
力伝達体から支持体に向かって加えられる力を検出するセンサと、力伝達体から受力体に向かって加えられる力を検出する補助センサとが鏡像関係となる構造を有し、
検出処理部が、前記鏡像関係を考慮した処理を実行することを特徴とする力検出装置。
【請求項４６】  請求項４４または４５に記載の力検出装置において、
各力伝達体を柱状の部材により構成し、接続部材として機能するダイアフラムの中央に力伝達体の上面を接合し、前記ダイアフラムの周囲を受力体に固定することにより、力伝達体を受力体に接続したことを特徴とする力検出装置。
【請求項４７】  請求項１〜４６のいずれかに記載の検出装置において、
受力体の支持体に対する変位を所定の範囲内に制限するための制限部材を設けたことを特徴とする力検出装置。
【請求項４８】  力検出装置。