(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査槽内での電子デバイスの特性データを取得するデータ取得手段と、
前記データ取得手段によって取得された特性データを使用して演算を行う演算手段と、
前記演算手段での演算結果を無線送信する無線送信手段とを備え、
前記データ取得手段は、前記検査槽の温度制御、及び／又は電子デバイスの出力の制御を行っている制御手段での上記検査槽の温度、及び／又は電子デバイスの出力値のデータに応じて設定される第１の時間間隔ごとに前記特性データの取得を行い、
前記演算手段は、前記電子デバイスの前記第１の時間間隔にて前記データ取得手段により取得された特性データである第１の測定値と、
前記第１の時間間隔よりも短く設定された第２の時間間隔にて前記データ取得手段により取得された特性データである第２の測定値とを比較して演算を行うことを特徴とする電子デバイス検査装置。
【請求項２】
前記演算手段での演算によって検査対象の前記電子デバイスが不良品と判定された場合、上記電子デバイスへの電力供給を停止し、上記電子デバイス検査を中止することを特徴とする請求項１に記載の電子デバイス検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイスのエージング検査に用いられる電子デバイス検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子デバイスのエージング検査には、動作中の上記電子デバイスを検査槽である恒温槽中で加熱した時の動作状態の情報（特性データ）によって上記電子デバイスの良否判定を行う電子デバイス検査装置が広く用いられている。図２０には従来の電子デバイス検査装置５１を示す（以下、第１従来技術と称する）。
【０００３】
図２０の電子デバイス検査装置５１によって検査される電子デバイスは、セット機５２により検査カセットにセットされる。上記検査カセットは複数の電子デバイスを搭載可能なものであって、恒温槽５４への電子デバイスの投入を容易にするためのものである。
【０００４】
続いて、上記検査カセットは、搬送台車５３によって搬送され、上記恒温槽５４へ投入される。
【０００５】
上記恒温槽５４は複数あり、各恒温槽５４にそれぞれ備えられた、コンソールＰＣ５５との間で通信可能なシステムコントローラ５６により温度制御される。電子デバイスは、上記システムコントローラ５６によって駆動制御され、加熱された上記各恒温槽５４中で動作不良となる電子部品が不良品として検出される。
【０００６】
検査結果の取り込みは、指定間隔で上記システムコントローラ５６により行われており、不良品の検出は、検査結果データの上限値を設定することによって、上記上限値を上回る異常値を示す電子デバイスを検出することによって行われている。そして、検査結果データはハードウェアで常に監視されており、異常値を示す電子デバイスが検出された場合には、その電子デバイスへの電力供給が停止される。
【０００７】
コンソールＰＣ５５では、上記各恒温槽５４の検査結果データが収集される。そして、検査が終了した電子デバイスは、上記各恒温槽５４から上記検査カセット単位で上記搬送台車５３によってリセット機５７へ搬送され、リセット機５７によって良品のランク分け、及び不良品の選別が行われる。
【０００８】
第１従来技術での上記恒温槽５４の１つあたりへの電子デバイス挿入数は、電子デバイスの検査効率を上げるために数百個から数千個になっており、上記恒温槽５４は、１つのコンソールＰＣ５５に対し１台から６台が設置されている。
【０００９】
しかしながら、第１従来技術では、１つの恒温槽５４内に、一度に多数の電子デバイスを収容して検査を行う構成になっているため、例えば恒温槽温度などの検査条件が異なる場合には、少量の電子デバイスを検査する場合であっても１つの検査条件による検査が終了しないと他の検査を行うことができず、検査効率が低下する問題が生じる。
【００１０】
また、第１の従来の技術の電子デバイス検査装置５１では、１つの恒温槽５４内に収容される数百個から数千個の電子デバイスに対して、１つのシステムコントローラ５６のみで検査結果の取り込みを行っていることから、多量の電子デバイスの検査を行う場合、恒温槽５４中のすべての電子デバイスの検査結果の取り込みに多大な時間を要する。従って、１つの電子デバイスの測定間隔が長くなり、図７、及び図８に示すような短期間での電子デバイスの検査結果データの値の変動があった場合には、電子デバイスの異常の把握が出来ない問題が生じる。
【００１１】
さらに、第１従来技術では、大掛かりな装置を設けて電子デバイスの検査カセットへの挿入、検査カセットの搬送、恒温槽への挿入、取り出し、及び良否判定を行う構成となっているために電子デバイス検査装置が複雑化し、製造コストが高くなってしまう問題も生じる。
【００１２】
図２１には、このような第１従来技術の問題点に対処した電子デバイス検査装置６１（以下、第２従来技術と称する）を示す。この第２従来技術では、恒温槽６２の数を増やすことによって、１つの恒温槽６２あたりへの電子デバイス挿入数を減らし、構成を単純にしている。
【００１３】
第２従来技術において検査される電子デバイスは、作業者により各恒温槽６２へセットされる。
【００１４】
また、上記各恒温槽６２は、温度コントロールＰＣ６３によって温度制御されている。そして、電子デバイスの検査開始は、上記各恒温槽６２に備えられているスイッチにより行われる。
【００１５】
上記各恒温槽６２中の電子デバイスの検査結果は、作業者が上記各恒温槽６２へ測定ＰＣ６４を運び、コネクタ部６５を接続しデータ収集することによって行われている。不良品の検出は、検査結果データの上限値を設定することによって、上記上限値を上回る異常値を示す電子デバイスを検出することによって行われている。
【００１６】
そして、検査結果データはハードウェアで常に監視されており、異常値を示す電子デバイスが検出された場合には、その電子デバイスへの電力供給が停止される。
【００１７】
検査時間管理、及び上記各恒温槽６２中の電子デバイスの検査は、上記測定ＰＣ６４により行われる。また、検査が終了した電子デバイスは、上記測定ＰＣ６４で良否判定され、上記測定ＰＣ６４に付属している判定部６６によって良否判定表示される。そして、作業者によって、上記判定部６６の良否判定表示をもとに電子デバイスの良否選別が行われる。
【００１８】
第２従来技術の電子デバイス検査装置６１では、恒温槽６２の１つあたりへの電子デバイス挿入数は、１０個から１００個であり、上記恒温槽６２は、１つの測定ＰＣ６４に対し１台から６０台が設置されている。
【００１９】
例えば、第２従来技術の電子デバイス検査装置は特許文献１にバーンイン装置として開示されている。特許文献１に開示の電子デバイス検査装置では、各恒温槽中の電子デバイスの検査結果を、検査結果である駆動電流の値を電圧換算した値であるアナログ値の状態でコネクタ部を介して状態取得部へと受け渡す構成になっている。
【００２０】
また、特許文献２では、各恒温槽中の検査対象の電子デバイスであるＬＤモジュールと光出力測定器との光アダプタコネクタを介した光接続をロボットに行わせるＬＤモジュールの温度特性試験装置が開示されている。
【特許文献１】特開２００５−１２１６２５号公報（平成１７年５月１２日公開）
【特許文献２】特開２００１−８３０４１号公報（平成１３年３月３０日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
しかしながら、第２従来技術では、検査槽である各恒温槽６２に測定ＰＣ６４を接続することによって、電子デバイスの検査結果データが取り込み可能となるため、検査結果データを各恒温槽６２に測定ＰＣ６４をその都度接続して取り込む必要がある。
【００２２】
しかも、恒温槽６２の数を増やすことによって、１つの恒温槽６２あたりへの電子デバイス挿入数を減らし、上記第１の従来の技術の電子デバイス検査装置５１の問題点に対処しているために恒温槽６２の数が多い。
【００２３】
つまり、恒温槽６２の数が多い分、各恒温槽６２に測定ＰＣ６４を接続する手間も増え、検査効率が低下する問題が生じる。
【００２４】
また、特許文献１に開示のバーンイン装置では、電子デバイスの検査時に各恒温槽と状態取得部とを接続することによって、駆動電流の値を電圧換算した値であるアナログ値の状態の検査結果データをやり取りする構成になっている。
【００２５】
従って、検査結果データがデジタル通信での受け渡しでなく、アナログ値の状態での受け渡しが行われる構成であるので、各恒温槽と状態取得部とのコネクタ部の機械的接触端子の接触状態によって、検査結果データに誤差が生じる場合がある。
【００２６】
そして、その結果、上記検査結果データの信頼性が低いという問題が生じ得る。
【００２７】
また、検査結果データの誤差を少なくするためにコネクタ部のメンテナンスを頻繁に行う必要があることから、検査効率が低下する問題も生じる。
【００２８】
また、特許文献２に開示のＬＤモジュールの温度特性試験装置では、ロボット及びロボットを可動させるための装置を備える構成になっている。
【００２９】
従って、ロボット及びロボットを可動させるための装置を備えている分、製造コストが高くなってしまう。
【００３０】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、検査槽１つあたりへの電子デバイス挿入数を少なく抑えながらも多量の電子デバイスの検査を効率よく行い得る電子デバイス検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
本発明の電子デバイス検査装置は、上記課題を解決するために、検査槽内での電子デバイスの特性データを取得するデータ取得手段と、前記データ取得手段によって取得された特性データを使用して演算を行う演算手段と、前記演算手段での演算結果を無線送信する無線送信手段とを備えていることを特徴としている。
【００３２】
上記の発明によれば、上記無線送信手段は、上記演算結果を無線によって送信することができる。上記演算結果を無線で送信するということは、上記演算結果を機械的接触端子を介さずに送信することになる。
【００３３】
しかし、上記無線送信手段は、機械的接触端子を介さずに上記演算結果を無線によって送信するので、上記送信が機械的接触端子の接触状態の影響を受けることがない。
【００３４】
従って、機械的接触端子の接触状態により生じる誤差の影響を受けない上記演算結果の送信を行うことができる。
【００３５】
つまり、機械的接触端子を介して上記演算結果を送信する場合よりも信頼性の高い上記演算結果を送信することが可能になる。
【００３６】
また、機械的接触端子を介して上記演算結果を送信する場合には、上記演算結果の誤差を少なくするために機械的接触端のメンテナンスを頻繁に行う必要があるが、機械的接触端子を介さずに上記演算結果を無線によって送信することによって上記メンテナンスも不要になる。
【００３７】
上記メンテナンスを頻繁に行うことにより電子デバイス検査装置の検査効率の低下が生じることから、上記演算結果を無線によって送信することによって上記メンテナンスを不要にすることは、電子デバイス検査装置の検査効率を向上させることになる。
【００３８】
さらに、上記演算結果を無線によって送信することにより、機械的接触端子を介する場合のような機械的な接続の手間を省ける。
【００３９】
つまり、上記演算結果を送信する上記無線送信手段の数が複数あったとしても、上記無線送信手段は、もともと機械的接触端子を介して上記演算結果を送信していない。
【００４０】
よって、機械的な接続の手間が上記無線送信手段の数に相当する分加算されることはない。
【００４１】
従って、上記無線送信手段の数を増やしても機械的な接続の手間は加算されない。
【００４２】
しかも、上記無線送信手段は上記演算結果を無線によって送信可能であることから、上記演算結果を受信する受信手段を１つしか設けなくても、無線連絡によって多数の上記無線送信手段から機械的な接続を必要としない効率的な上記演算結果の受信を行うことが可能である。
【００４３】
従って、電子デバイス検査装置の検査効率を低下させずに多数の上記無線送信手段から上記演算結果を受信することが可能である。
【００４４】
さらに、上記受信手段を１つしか設けなくても多数の上記無線送信手段から上記演算結果を受信可能な構成であるので、上記電子デバイス検査装置の構成を簡略化して上記電子デバイス検査装置の製造コストを低減することが可能である。
【００４５】
また、電子デバイス検査装置の検査効率を低下させずに多数の上記無線送信手段から上記演算結果を受信することが出来るということは、電子デバイス検査装置の検査効率を低下させずに上記無線送信手段の数を増やすことができることを意味している。
【００４６】
上記検査槽内での電子デバイスの特性データを使用して得られた演算結果を送信するものが上記無線送信手段であるので、上記無線手段の数を増やすことが可能であるということは、上記検査槽も増やすことが可能であることを意味している。
【００４７】
従って、電子デバイス検査装置の検査効率を低下させずに上記無線送信手段の数を増やすことができるということは、電子デバイス検査装置の検査効率を低下させずに検査槽の数を増やすことができることを意味している。
【００４８】
よって、検査槽１つあたりの電子デバイスの数を減らしたとしても検査効率を低下させずに検査槽の数を増やすことにより、検査する電子デバイスの全体の量を多く保つことができる。
【００４９】
その結果、検査槽１つあたりへの電子デバイス挿入数を少なく抑えながらも多量の電子デバイスの検査を効率良く行い得る電子デバイス検査装置を提供することができる。
【００５０】
また、本発明の電子デバイス検査装置では、前記データ取得手段、演算手段及び無線送信手段は複数の検査槽ごとに設けられていることが好ましい。
【００５１】
これにより、上記検査槽の数は上記無線送信手段と同数の複数設けられることになる。
【００５２】
上述のように電子デバイス検査装置の検査効率を低下させずに上記無線送信手段の数を増やすことができるので、電子デバイス検査装置の検査効率を低下させずに上記無線送信手段と同じだけの数の検査槽を増やすことができる。
【００５３】
よって、検査槽１つあたりの電子デバイスの数を減らしたとしても検査効率を低下させずに検査槽の数を増やすことにより、検査する電子デバイスの全体の量を多く保つことができる。
【００５４】
その結果、検査槽１つあたりへの電子デバイス挿入数を少なく抑えながらも多量の電子デバイスの検査を効率良く行い得る電子デバイス検査装置を提供することができる。
【００５５】
また、本発明の電子デバイス検査装置では、前記無線送信手段から送信された検査結果を受信する受信手段と、上記受信手段にて受信された演算結果を表示する表示手段とを備えていることが好ましい。
【００５６】
これにより、上述のように上記受信手段を１つしか設けなくても多数の上記無線送信手段から上記演算結果を受信、及び表示可能であるので、上記電子デバイス検査装置の構成を簡略化して上記電子デバイス検査装置の製造コストを低減することが実現できる。
【００５７】
また、本発明の電子デバイス検査装置では、前記検査槽は恒温槽であり、前記演算手段は前記データ取得手段によって取得された特性データから前記電子デバイスの良否を判定し、前記表示手段は前記電子デバイスの良否の判定結果を表示することが好ましい。
【００５８】
これにより、恒温槽１つあたりへの電子デバイス挿入数を少なく抑えながらも多量の電子デバイスの良否判定を効率良く行い得る電子デバイス検査装置を提供することができる。
【００５９】
また、本発明の電子デバイス検査装置では、前記データ取得手段は、前記検査槽の温度制御、及び／又は電子デバイスの出力の制御を行っている制御手段での上記検査槽の温度、及び／又は電子デバイスの出力値のデータに応じて設定される第１の時間間隔ごとに前記特性データの取得を行うことが好ましい。
【００６０】
これにより、この時間設定は、電子デバイスの加熱、電子デバイスの駆動制御といった検査内容に合わせて柔軟に変更することが出来る。
【００６１】
また、本発明の電子デバイス検査装置では、前記受信手段は、前記無線送信手段のうちの無線信号の出射部と、前記受信手段のうちの無線信号の入射部とが合致した状態で無線連絡が可能であることが好ましい。
【００６２】
これにより、複数の受信手段から送信が同時に行われる場合に、上記入射部に対してもっとも近い位置にある上記出射部との間で無線連絡が優先的に行われる。
【００６３】
よって、無線連絡を行いたい無線送信手段の出射部に上記入射部を合致させてやれば、無線連絡を行いたい無線送信手段と上記入射部との間で優先的に無線連絡を行うことができる。
【００６４】
従って、複数の無線送信手段から同時に送信があった場合も、上記受信手段は、無線連絡を行いたい無線送信手段との間の無線連絡を上記複数の無線送信手段からの影響を受けずに行える。
【００６５】
また、本発明の電子デバイス検査装置では、複数の前記検査槽内で行われる電子デバイスの検査に係る設定データ、及び複数の前記データ取得手段から取得される前記特性データを収集可能であると共に、格納可能である情報管理手段を備えることが好ましい。
【００６６】
これにより、複数の前記検査槽内で行われる電子デバイスの検査に係る設定データ、及び複数の前記データ取得手段から取得される前記特性データは、情報管理手段によって収集し、格納される。
【００６７】
よって、上記設定データ、及び上記特性データを格納する構成を各検査槽ごとに設ける必要がない。
【００６８】
従って、１つの情報管理手段で複数の電子デバイス検査装置の上記設定データ、及び上記特性データを格納でき、上記設定データ、及び上記特性データを格納する構成を簡略化できる。
【００６９】
その結果、電子デバイス検査装置の製造コストを低減することができる。
【００７０】
また、本発明の電子デバイス検査装置では、前記電子デバイスの前記第１の時間間隔にて前記データ取得手段により取得された特性データである第１の測定値と、前記第１の時間間隔よりも短く設定された第２の時間間隔にて前記データ取得手段により取得された特性データである第２の測定値とを比較して演算を行うことが好ましい。
【００７１】
これにより、短く設定された第２の時間間隔での第１の測定値と第２の測定値との間の差、つまり特性データの変化量に基づいて演算が行われる。
【００７２】
変化量は短い時間間隔の間でも検出可能なものであることから、短い時間間隔で特性データの変化量に基づいた演算を行うことが可能になる。
【００７３】
よって、上記演算が電子デバイスの良否を判定する演算であった場合には、電子デバイスの良否判定を短い時間間隔で行うことが可能になる。
【００７４】
その結果、電子デバイスの良否判定を迅速に行うことが可能になる。
【００７５】
また、本発明の電子デバイス検査装置では、前記演算手段での演算によって検査対象の前記電子デバイスが不良品と判定された場合、上記電子デバイスへの電力供給を停止し、上記電子デバイス検査を中止することが好ましい。
【００７６】
これにより、検査対象の電子デバイスが不良品であった場合には、上記電子デバイスへの電力供給が停止される。
【００７７】
また、不良品であることの判定は上記演算手段での演算によって行われており、上記演算は短く設定された第２の時間間隔での特性データの変化量に基づいて行われている。
【００７８】
特性データの変化量に基づいて良否判定を行う場合、変化量は短い時間間隔の間でも検出可能なものであることから、短い時間間隔で良否判定を行うことが可能になる。
【００７９】
よって、短い時間間隔で良否判定を行えば、上記検査対象の電子デバイスが異常な自己発熱を起こすよりも早期に不良品である電子デバイスの発見を行うことが可能になる。従って、不良品である電子デバイスの異常な自己発熱を抑制し、上記自己発熱による検査槽内の温度の不安定化を防ぐことが可能である。
【００８０】
検査槽内の温度の不安定化を防ぐことにより、温度条件にばらつきがない精度の高い電子デバイスの検査を行うことができる。
【００８１】
また、不良品の電子デバイスへの電力供給を停止することから、不良品と判定された電子デバイスからは上記特性データが得られなくなる。
【００８２】
従って、不良品と判定された電子デバイスからは不要な特性データを取得しなくなる。
【００８３】
その結果、電子デバイスの検査精度の向上、及び不要データの無効化による電子デバイスの検査効率の向上が可能となる。
【発明の効果】
【００８４】
本発明の電子デバイス検査装置は、以上のように検査槽内での電子デバイスの特性データを取得するデータ取得手段と、前記データ取得手段によって取得された特性データを使用して演算を行う演算手段と、前記演算手段での演算結果を無線送信する無線送信手段とを備えているものである。
【００８５】
それゆえ、上記無線送信手段は、機械的接触端子を介さずに上記演算結果を無線によって送信することによって、機械的接触端子の接触状態により生じる誤差の影響を受けない上記演算結果の送信を行うことができる。
【００８６】
つまり、機械的接触端子を介して上記演算結果を送信する場合よりも信頼性の高い上記演算結果を送信することが可能になる。
【００８７】
また、上記演算結果を無線によって送信することにより、機械的接触端子を介する場合のような機械的な接続の手間を省ける。
【００８８】
つまり、上記無線送信手段の数を増やしても機械的な接続の手間は加算されない。
【００８９】
しかも、上記無線送信手段は上記演算結果を無線によって送信可能であることから、上記演算結果を受信する受信手段を１つしか設けなくても、無線連絡によって多数の上記無線送信手段から機械的な接続を必要としない効率的な上記演算結果の受信を行うことが可能である。
【００９０】
従って、電子デバイス検査装置の検査効率を低下させずに多数の上記無線送信手段から上記演算結果を受信することが可能である。
【００９１】
さらに、上記受信手段を１つしか設けなくても多数の上記無線送信手段から上記演算結果を受信可能な構成であるので、上記電子デバイス検査装置の構成を簡略化して上記電子デバイス検査装置の製造コストを低減することが可能である。
【００９２】
また、電子デバイス検査装置の検査効率を低下させずに多数の上記無線送信手段から上記演算結果を受信することが出来るので、電子デバイス検査装置の検査効率を低下させずに上記無線送信手段の数を増やすことができる。
【００９３】
よって、電子デバイス検査装置の検査効率を低下させずに検査槽の数を増やすことができる。そして、検査槽１つあたりの電子デバイスの数を減らしたとしても検査効率を低下させずに検査槽の数を増やすことにより、検査する電子デバイスの全体の量を多く保つことができる。
【００９４】
したがって、恒温槽１つあたりへの電子デバイス挿入数を少なく抑えながらも多量の電子デバイスの検査を効率良く行い得る電子デバイス検査装置を提供することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００９５】
〔実施の形態１〕
本発明の一実施形態について図１ないし図１７に基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００９６】
まず、図１〜図３を用いて電子デバイス検査装置１の概要を説明する。本実施の形態では、電子デバイス検査装置１によってレーザダイオード（電子デバイス）８の検査を行うものとする。
【００９７】
図１は、本発明の実施の一形態の電子デバイス検査装置１の構成を示す機能ブロック図である。図２は、本実施の形態における恒温槽（検査槽）２ａ・２ｂ・２ｃの内部構造を示した図である。図３は、本実施の形態における電子判定部（受信手段）７の構成を示した図である。
【００９８】
本実施の形態の電子デバイス検査装置１では、図１に示すように恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ、制御部（制御手段）３ａ・３ｂ・３ｃ、データ取得部（データ取得手段）４ａ・４ｂ・４ｃ、演算部（演算手段）５ａ・５ｂ・５ｃ、無線送信部（無線送信手段）６ａ・６ｂ・６ｃ、電子判定部７、及び情報管理コンピュータ（情報管理手段）１０を備えている。
【００９９】
恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ中には検査対象の電子デバイスであるレーザダイオード８が挿入されている。
【０１００】
より詳しくは、図２に示すように恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ中に２列に備えられたレーザダイオード保持部１２のそれぞれに多数のレーザダイオード８が１列に並んで挿入されている。
【０１０１】
また、恒温槽槽２ａ・２ｂ・２ｃでの温度保持は、恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ内に設けられた図示しない温度検知センサーの出力結果に従って恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ内に設けられた図示しないヒータ電源をＯＮ／ＯＦＦすることによって行っている。
【０１０２】
制御部３ａ・３ｂ・３ｃは、恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ、及び恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ中のレーザダイオード８を制御可能なように備えられている。
【０１０３】
詳しく説明すると、制御部３ａは恒温槽２ａ、及び恒温槽２ａ中のレーザダイオード８を制御可能に配置され、制御部３ｂは恒温槽２ｂ、及び恒温槽２ｂ中のレーザダイオード８を制御可能に配置され、制御部３ｃは恒温槽２ｃ、及び恒温槽２ｃ中のレーザダイオード８を制御可能に配置されている。
【０１０４】
制御部３ａ・３ｂ・３ｃは、恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ中の温度制御を指定する温度指定機能を有していると共に、恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ中のレーザダイオード８の駆動制御を指定する発光パワー指定機能を有している。
【０１０５】
発光パワー指定機能とは、情報管理コンピュータ１０より受け取ったプログラムの設定発光パワーに従って、レーザダイオード８の発光パワーの保持の制御を行うことである。
【０１０６】
また、制御部３ａ・３ｂ・３ｃは、情報管理コンピュータ１０より受け取ったプログラムの設定温度に従って、レーザダイオード８の検査中には恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ中を常温よりも高い温度である所定の温度環境下に保つように制御している。
【０１０７】
データ取得部４ａ・４ｂ・４ｃは、恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ中で加熱された条件下で駆動されるレーザダイオード８の動作状態の情報である駆動電流値（特性データ）を検査結果として取得可能なように備えられている。
【０１０８】
詳しくは、恒温槽２ａ中のレーザダイオード８の駆動電流値をデータ取得部４ａで取得し、恒温槽２ｂ中のレーザダイオード８の駆動電流値をデータ取得部４ｂで取得し、恒温槽２ｃ中のレーザダイオード８の駆動電流値をデータ取得部４ｃで取得するように備えられている。
【０１０９】
また、各恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃごとに設けられた図示しない時間管理機能を有する部材によって、図示しない検査スタートスイッチがＯＮになって検査をスタートした時からの検査実施時間の管理を行う。
【０１１０】
演算部５ａ・５ｂ・５ｃは、データ取得部４ａ・４ｂ・４ｃで取得されたレーザダイオード８の駆動電流値とあらかじめ設定された電流変化の値とを比較することによってレーザダイオード８の良否判定が可能なように備えられている。演算部５ａ・５ｂ・５ｃでのレーザダイオード８の詳しい良否判定の手順については後述する。
【０１１１】
無線送信部６ａ・６ｂ・６ｃは、演算部５ａ・５ｂ・５ｃによって行われたレーザダイオード８の良否判定の結果を無線連絡によって送信が可能なものであって、恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃに備えられている。
【０１１２】
詳しくは、演算部５ａで行われたレーザダイオード８の良否判定の結果を無線送信部６ａから送信し、演算部５ｂで行われたレーザダイオード８の良否判定の結果を無線送信部６ｂから送信し、演算部５ｃで行われたレーザダイオード８の良否判定の結果を無線送信部６ｃから送信する。
【０１１３】
電子判定部７は、無線送信部６ａ・６ｂ・６ｃとの間で無線連絡としての赤外線通信が可能なように備えられており、電子判定部７が１つだけしかなくても、すべての無線送信部６ａ・６ｂ・６ｃからの無線での送信を受信することが可能となっている。
【０１１４】
より詳しくは、図３で示すように電子判定部７は、無線送信部６ａ・６ｂ・６ｃから赤外線通信によって上記良否判定の結果を受け取る赤外線受信部（無線信号の入射部）１５を有する。また、恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ内部に設けた図２に示す位置決め穴１３に、電子判定部７の位置決めピン１６が入るようにセットすることによって、無線送信部６ａ・６ｂ・６ｃの赤外線送信部（無線信号の出射部）１１に電子判定部７の赤外線受信部１５が合致（密着）する。そして、無線送信部６ａ・６ｂ・６ｃの赤外線送信部１１と電子判定部７の赤外線受信部１５とが合致した状態で赤外線通信を行う。
【０１１５】
そして、電子判定部７は、判定開始スイッチ１７がＯＮの時に無線送信部６ａ・６ｂ・６ｃから送信された上記良否判定の結果を表示する。
【０１１６】
電子判定部７は、上記良否判定の結果を表示する時以外は、上記良否判定の結果の表示に従ってレーザダイオード８の良否の確認を行う検査実行者によって持ち運び可能になっている。
【０１１７】
情報管理コンピュータ（情報管理手段）１０は、各恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃと各恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃに対応する制御部３ａ・３ｂ・３ｃ、データ取得部４ａ・４ｂ・４ｃ、演算部５ａ・５ｂ・５ｃ、及び無線送信部６ａ・６ｂ・６ｃと１つの電子判定部７とからなる１つのシステム中に１台備えられる構成となっている。
【０１１８】
情報管理コンピュータ１０は、各恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃに対応する制御部３ａ・３ｂ・３ｃ、データ取得部４ａ・４ｂ・４ｃ、及び演算部５ａ・５ｂ・５ｃとの通信機能を有し、各恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃで実施される検査プログラムの表示、保持、各レーザダイオード８の駆動電流値としての各検査結果データの表示、保持を行うものである。
【０１１９】
本実施の形態での検査プログラムは、図５に示すように恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの制御目標温度、及びレーザダイオード８の制御目標発光パワーと、温度、発光パワーを保持する時間、及びデータ取得部４ａ・４ｂ・４ｃがレーザダイオード８の駆動電流値を取り込む時間間隔とが指定されているものである。
【０１２０】
具体的な例を示すと、図５の検査プログラムは、ステップ１から６まで順番に実行される。図５に示すプログラムの場合、ステップ１を３０分、ステップ２を３０分、ステップ３を３０分、ステップ４を３０分、ステップ５を３０分、ステップ６を３００分で計４５０分間のテストを行うものである。
【０１２１】
ステップ１では、恒温槽温度が５０℃、レーザダイオード８の発光パワーが１１０ｍＷになるように制御部３ａ・３ｂ・３ｃでコントロールを行いこの状態を３０分間保持する。この間データ取得は、５分間隔で行い計６回のデータを取得する。
【０１２２】
ステップ２では、恒温槽温度が５５℃、レーザダイオード８の発光パワーが１１２ｍＷになるように制御部３ａ・３ｂ・３ｃでコントロールを行いこの状態を３０分間保持する。この間データ取得は、５分間隔で行い計６回のデータを取得する。
【０１２３】
ステップ３では、恒温槽温度が６０℃、レーザダイオード８の発光パワーが１１４ｍＷになるように制御部３ａ・３ｂ・３ｃでコントロールを行いこの状態を３０分間保持する。この間データ取得は、５分間隔で行い計６回のデータを取得する。
【０１２４】
ステップ４では、恒温槽温度が６５℃、レーザダイオード８の発光パワーが１１６ｍＷになるように制御部３ａ・３ｂ・３ｃでコントロールを行いこの状態を３０分間保持する。この間データ取得は、５分間隔で行い計６回のデータを取得する。
【０１２５】
ステップ５では、恒温槽温度が７０℃、レーザダイオード８の発光パワーが１１８ｍＷになるように制御部３ａ・３ｂ・３ｃでコントロールを行いこの状態を３０分間保持する。この間データ取得は、５分間隔で行い計６回のデータを取得する。
【０１２６】
ステップ６では、恒温槽温度が７５℃、レーザダイオード８の発光パワーが１２０ｍＷになるように制御部３ａ・３ｂ・３ｃでコントロールを行いこの状態を３００分間保持する。この間データ取得は、３０分間隔で行い計１０回のデータを取得する。
【０１２７】
検査プログラムは、上記のように段階的に温度、光出力設定値を上げていく設定、温度一定で光出力のみ上げていく設定、発光パワー一定で温度のみ上げていく設定、又は、温度、光出力を下げる設定など、検査するレーザダイオード８の特性、若しくは検査目的に応じて任意に変更可能なものである。
【０１２８】
以上の構成によれば、各ステップを何分間隔でデータ取りするかの設定が第１の時間間隔を変更することによって、データ変動を短期間で記録したい場合と短期間でのデータ記録が必要ない場合とで設定を変えることができる。
【０１２９】
以上の構成によれば、レーザダイオード８の加熱、レーザダイオード８の駆動制御と関連付けられた時間設定の指示は、情報管理コンピュータ１０で複数の設定データを保存、特定し、送信する機能を有する構成としている。
【０１３０】
よって、情報管理コンピュータ１０が上記機能を有する事により、電子デバイス検査装置１の構成を簡略化して、電子デバイス検査装置１の製造コストを低減することができる。
【０１３１】
なお、本実施の形態においては、検査プログラムで恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの温度の範囲、及びレーザダイオード８の発光パワーと上記駆動電流値を取り込む時間間隔とが対応づけて設定されているが、必ずしもこれに限定されない。
【０１３２】
例えば、恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの温度の範囲を常に一定に設定することによって、検査プログラム中に恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの温度の範囲のデータを含めない構成にしても構わない。
【０１３３】
逆に、レーザダイオード８の発光パワーを常に一定に設定することによって、検査プログラム中にレーザダイオード８の発光パワーのデータを含めない構成にしても構わない。
【０１３４】
また、本実施の形態においては検査プログラムでレーザダイオード８の発光パワーを指示しているが、必ずしもこれに限定されず、例えば、レーザダイオード８の発光パワーの代わりに発光ダイオード（ＬＥＤ）の発光パワーとすることも可能である。
【０１３５】
なお、本実施の形態において電子デバイス検査装置１は、情報管理コンピュータ１０を備えた構成からなっているが、必ずしもこれに限定されない。
【０１３６】
例えば、各恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃで実施される検査プログラムの表示、保持、各レーザダイオード８の駆動電流値としての各検査結果データの表示、保持を行う部材を各恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃごとに備えることによって情報管理コンピュータ１０を備えない構成とすることも可能である。
【０１３７】
また、本実施の形態においては動作状態の情報（特性データ）として駆動電流値を検出しているが、必ずしもこれに限定されず、例えば、駆動電流値の他にも、発光パワーの値、電圧値等を検出対象とすることも可能である。
【０１３８】
本実施の形態では恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃは、それぞれ４０個のレーザダイオード８を保持する構成になっている
また、本実施の形態では電子デバイス検査装置１に対して３台の恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃを含む構成を示したが、これに限らない。
【０１３９】
例えば、電子デバイス検査装置１に対して３台よりも多い恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃを備えていてもよく、実際に運用される場合には電子デバイス検査装置１は１つの電子デバイス検査装置１に対して２５５台の恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃを備える構成になっている。
【０１４０】
次に、本実施の形態の電子デバイス検査装置１での良否判定方法について、図６を用いて説明する。
【０１４１】
演算部５ａ・５ｂ・５ｃは、データ取得部４ａ・４ｂ・４ｃで取得したレーザダイオード８の駆動電流値をもとに演算を行って良否判定をする。
【０１４２】
詳しくは、検査を行う電子デバイスの種類に応じて設定される上限値、及び下限値と測定値との比較を行う。
【０１４３】
つまり、レーザダイオード８の駆動電流値を上記測定値とする場合は、上記上限値は駆動電流上限値となり、上記下限値は駆動電流下限値となる。
【０１４４】
また、レーザダイオード８の駆動電流値の変化量を上記測定値とする場合は、上記上限値は駆動電流変化上限値となり、上記下限値は駆動電流変化下限値となる。
【０１４５】
レーザダイオード８の駆動電流値が駆動電流上限値以上、又は駆動電流下限値以下であった場合には、演算部５ａ・５ｂ・５ｃがレーザダイオード８を不良品と判定する。
【０１４６】
また、レーザダイオード８の駆動電流値の変化量が駆動電流変化上限値以内である場合には、図６に示すようにあらかじめ定められた２点間での駆動電流の変化量によってレーザダイオード８の良品ランクを決定する。
【０１４７】
駆動電流値の変化量を上記測定値として用いる場合には、変化量が少ないほどレーザダイオード８が良品であることから、駆動電流変化下限値を設けなくても構わない。
【０１４８】
この場合、変化量の少ないものほど良品であるとしてＡ〜Ｅといったように変化量が少ないものから順番に何段階かのランク分けすることが可能である。
【０１４９】
また、レーザダイオード８の駆動電流値の変化量が駆動電流変化上限値よりも大きい場合には、不良品と判定される。
【０１５０】
不良品の内容としては、レーザダイオード８が検査のスタート時点で発光しないランクＮＧＡ、レーザダイオード８の検査プログラムが正常に終了していないランクＮＧＥがある。
【０１５１】
また、不良品の内容としてはさらに、レーザダイオード８の駆動電流値が上記駆動電流上限値以上であった場合のランクＮＧＢ、レーザダイオード８の駆動電流値が上記駆動電流下限値以下であった場合のランクＮＧＣ、レーザダイオード８の上記あらかじめ定められた２点間での駆動電流の変化量が上記駆動電流変化上限値より大きかった場合のランクＮＧＤがある。
【０１５２】
これにより、レーザダイオード８の良否判定が、良品と不良品との判定だけでなく良品のランク選別から不良品の内容選別の判定までの上記特性データに基づいた細かな選別が電子デバイスで行われることになる。
【０１５３】
上記細かな選別によっていくつかのまとまりに選別されたレーザダイオード８は、同じまとまりの中では駆動電流値の差が小さいことになる。
【０１５４】
駆動電流値はレーザダイオード８の動作状態を表すものであることから、駆動電流値の差が小さいレーザダイオード８同士は動作状態が似ていることになる。
【０１５５】
よって、駆動電流値の差が小さいレーザダイオード８を製品に用いることによって、均一な製品を作り出すことが可能になる。
【０１５６】
次に、演算部５ａ・５ｂ・５ｃでの演算結果に応じたデータ取得部４ａ・４ｂ・４ｃの駆動電流値の取り込みについて図７〜図９、及び図１３を用いて説明する。
【０１５７】
本実施の形態の電子デバイス検査装置１では、図８に示すような指定間隔の時間ごとにデータ取得部４ａ・４ｂ・４ｃによって取得したレーザダイオード８の駆動電流値を情報管理コンピュータ１０に取り込む構成に対して、図９に示すようにレーザダイオード８の駆動電流値の情報管理コンピュータ１０への取り込みを指定時間ごとに行うと共に、演算部５ａ・５ｂ・５ｃでの演算の結果に応じて行う構成になっている。
【０１５８】
詳しく説明すると、演算部５ａ・５ｂ・５ｃでの演算結果が（最新データ−前回取得した保持データ）の絶対値＞設定値Ａであった場合にはデータ取得部４ａ・４ｂ・４ｃによって取得したレーザダイオード８の駆動電流値を情報管理コンピュータ１０が取り込む。
【０１５９】
図１３に示すように、前回取得した保持データ（第１の測定値）とは、データ取得部４ａ・４ｂ・４ｃによる最新データ（第２の測定値）の取得直前に上記指定時間に情報管理コンピュータ１０へ取り込まれたレーザダイオード８の駆動電流値である。
【０１６０】
また、設定値Ａは図１３に示すように、上記指定時間以外に情報管理コンピュータ１０がレーザダイオード８の駆動電流値を取り込むように設定される値であり、電子デバイスの種類に応じて任意に設定可能な値である。
【０１６１】
次に、演算部５ａ・５ｂ・５ｃでの演算結果に応じた制御部３ａ・３ｂ・３ｃでのレーザダイオード８への電力供給の停止について説明する。
【０１６２】
本実施の形態の電子デバイス検査装置１では、図１０に示すようにレーザダイオード８の駆動電流値が異常な値を示した場合、図１１に示すように予め設定された駆動電流上限値に達してからレーザダイオード８への電力供給を停止させる構成に対して、図１２に示すように駆動電流値の変化量に応じて行う構成になっている。
【０１６３】
詳しく説明すると、演算部５ａ・５ｂ・５ｃでの演算結果が（最新データ−前回取得した保持データ）の絶対値＞設定値Ｂであった場合には、データ取得部４ａ・４ｂ・４ｃによって取得したレーザダイオード８の駆動電流値を情報管理コンピュータ１０が取り込むと共に、制御部３ａ・３ｂ・３ｃがレーザダイオード８への電力供給を停止し、レーザダイオード８の検査が中止される。
【０１６４】
また、設定値Ｂは図１３に示すように、レーザダイオード８の検査が中止されるように設定される値であり、電子デバイスの種類に応じて任意に設定可能な値である。
【０１６５】
設定値Ａ、及び設定値Ｂは情報管理コンピュータ１０によって設定され、演算部５ａ・５ｂ・５ｃへ送信される。
【０１６６】
さらに、例えば、設定値Ａ、及び設定値Ｂの設定、駆動電流値の取り込みを行う部材を各恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃごとに備えることによって情報管理コンピュータ１０を備えない構成とすることも可能である。
【０１６７】
以上の構成によれば、レーザダイオード８の異常値の把握をレーザダイオード８の駆動電流値の変化量によって行っているため、図１１、及び図１２に示すように駆動電流値の上限値をもとに上記異常値の把握を行う構成に比較して、上記異常値の把握までに時間がかからない。
【０１６８】
よって、不良品のレーザダイオード８が異常な自己発熱を起こし、恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ内の温度が不安定になることがない。従って、不良品のレーザダイオード８以外のレーザダイオード８の測定結果に影響を及ぼす可能性を抑えることが可能である。
【０１６９】
なお、本実施の形態の電子デバイス検査装置１では、レーザダイオード８の駆動電流値の上限値をもとに上記異常値の把握を行う構成に加えてレーザダイオード８の異常値の把握をレーザダイオード８の駆動電流値の変化量によって行う構成をさらに備える構成であってもよい。
【０１７０】
次に、本実施の形態の電子デバイス検査装置１での、作業者がレーザダイオード８の良否判定の結果の確認を行う方法について、図２〜図４を用いて説明する。
【０１７１】
良否判定信号は、図２で示す恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ内部のレーザダイオード保持部１２に設けられた電子判定部位置決め穴１３を基準として所定の位置に設けられた赤外線送信部１１によって送信される。
【０１７２】
判定実行者としての作業者に携帯される電子判定部７は、検査が終了した恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃに図４のようにセットされる。
【０１７３】
この時、レーザダイオード保持部１２に挿入されたレーザダイオード８のそれぞれに対してＬＥＤ（表示手段）１４が一対一に対応するように位置することになる。
【０１７４】
上記所定の位置とは、電子判定部７を恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃにセットした時に、無線送信部６ａ・６ｂ・６ｃの赤外線送信部１１に電子判定部７の赤外線受信部１５が合致するようになる位置であると共に、レーザダイオード保持部１２に挿入されたレーザダイオード８のそれぞれに対してＬＥＤ１４が一対一に対応するようになる位置を意味している。
【０１７５】
電子判定部７が恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃにセットされた状態で電子判定部７の判定開始スイッチ１７がＯＮになると、電子判定部７は良否判定の結果をＬＥＤ１４に表示する。
【０１７６】
例えば、レーザダイオード８が良品の場合はＬＥＤ１４が発光し、レーザダイオード８が不良品の場合はＬＥＤ１４が発光しないように設定されてもよいし、その逆であってもよい。
【０１７７】
そして、作業者は、ＬＥＤ１４の表示に従ってレーザダイオード８を取り出し、良品と不良品とを選別する。
【０１７８】
次に、図１４を用いて作業者が良否判定の結果を取得する作業フローについて説明する。
【０１７９】
ステップＳ１では情報管理コンピュータ１０によって、レーザダイオード８の検査を実施する恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの検査プログラムの指定を行う。
【０１８０】
続いて、ステップＳ２では、作業者によって恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃへのレーザダイオード８の装着が行われる。
【０１８１】
そして、ステップＳ３では、恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃに設けられた上記検査スタートスイッチがＯＮになることによってレーザダイオード８の検査がスタートする。
【０１８２】
ステップＳ４では、全ての検査対象の恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの検査スタートスイッチがＯＮになったかどうかが確認される。
【０１８３】
そして、全ての検査対象の恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの検査スタートスイッチがＯＮになっていた場合（ステップＳ４でＹＥＳ）には、ステップＳ５で情報管理コンピュータ１０によって検査を実施する恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの検査ロット名が指定される。
【０１８４】
続いて、ステップＳ６で作業者によって恒温槽ステータスＬＥＤに基づいて検査の終了と判定結果の受信の確認が行われる。
【０１８５】
恒温槽ステータスＬＥＤとは、作業者が各恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃでのレーザダイオード８の良否判定状態、検査状態、及び／又はロット指定・投入個数設定状態を把握するためのものであって、ＬＥＤの色と点灯状態とによって上記良否判定状態、検査状態、及び／又はロット指定・投入個数設定状態を判別可能なようになっている。
【０１８６】
オレンジ色のＬＥＤではレーザダイオード８の良否判定の作業要求及び良否判定データの有無といった良否判定状態が表示され、緑色のＬＥＤではレーザダイオード８の検査の実施状態といった検査状態が表示される。
【０１８７】
また、黄色のＬＥＤでは検査を行うレーザダイオード８のロット名と検査のため恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃに投入するレーザダイオード８の個数との入力作業要求及び上記ロット名と上記個数との入力状態といったロット指定・投入個数設定状態が表示される。
【０１８８】
詳しくは、オレンジ色のＬＥＤが点灯している場合はレーザダイオード８の良否判定データがあることを表し、オレンジ色のＬＥＤが点滅している場合はレーザダイオード８の良否判定作業の要求中であることを表し、オレンジ色のＬＥＤが消灯している場合は、レーザダイオード８の良否判定データがないことを表す。
【０１８９】
また、緑色のＬＥＤが点灯している場合はレーザダイオード８の検査実施中であることを表し、緑色のＬＥＤが点滅している場合はレーザダイオード８の検査プログラムが未設定であることを表し、緑色のＬＥＤが消灯している場合は、レーザダイオード８の検査が停止中であることを表す。
【０１９０】
さらに、黄色のＬＥＤが点灯している場合は検査を行うレーザダイオード８のロット名及び投入個数が設定済みであることを表し、黄色のＬＥＤが点滅している場合は検査を行うレーザダイオード８のロット名及び投入個数の入力作業の要求中であることを表し、黄色のＬＥＤが消灯している場合は、検査を行うレーザダイオード８のロット名及び投入個数が設定されていないことを表す。
【０１９１】
なお、ＬＥＤの色、及び点灯状態と上記良否判定状態、検査状態、及び／又はロット指定状態との組み合わせは本実施の形態における組み合わせに限らず、他の組み合わせであっても構わない。
【０１９２】
そして、ステップＳ７で作業者によって恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの検査スタートスイッチがＯＦＦにされ、電子判定部７が恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃにセットされる。
【０１９３】
そして、電子判定部７によってレーザダイオード８の良品と不良品との選別が実行され、ステップＳ８に移る。
【０１９４】
また、ステップＳ４で全ての検査対象の恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの検査スタートスイッチがＯＮになっていなかった場合（ステップＳ４でＮＯ）にはステップ２に戻って上記作業フローが繰り返される。
【０１９５】
ステップＳ８では、全ての検査対象の恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃでの上記選別が終了したかどうかが確認される。
【０１９６】
全ての検査対象の恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃで上記選別が終了していた場合（ステップＳ８でＹＥＳ）には、上記作業フローは終了する。
【０１９７】
また、全ての検査対象の恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ中に上記選別が終了していない恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃがあった場合（ステップＳ８でＮＯ）は、ステップＳ６に戻って上記作業フローを繰り返す。
【０１９８】
なお、本実施の形態においては情報管理コンピュータ１０が命令を送信しているが、必ずしもこれに限らず、情報管理コンピュータ１０を備えずに各恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃごとに上記命令を送信する構成を備えていてもよい。
【０１９９】
次に、図１５を用いて電子デバイス検査装置１の通信動作フローについて説明する。
【０２００】
ステップＳ１１では、制御部３ａ・３ｂ・３ｃ、データ取得部４ａ・４ｂ・４ｃ、及び演算部５ａ・５ｂ・５ｃ等へ受信した命令を伝える各恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃごとに設けられた図示しない伝達部が、情報管理コンピュータ１０からの命令を受信したかどうかの確認をする。
【０２０１】
そして、ステップＳ１２で上記命令が、恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの状態を確認する命令である状態確認命令であった場合（ステップＳ１２でＹＥＳ）にはステップＳ１３で恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの上記状態の情報を情報管理コンピュータ１０が取得し、ステップＳ１４に移る。
【０２０２】
この場合の上記状態とは、検査プログラムの受信状態、及びプログラム経過時間、現在の設定温度、現在の設定発光パワー等の試験実施状態又は、良否判定の実施待ち状態、良否判定の停止状態、及び未送信データの有無の状態などが含まれている。
【０２０３】
また、ステップＳ１２で上記命令が状態確認命令でなかった場合（ステップＳ１２でＮＯ）にはステップＳ１４に移る。
【０２０４】
ステップＳ１４では、上記命令が、ステップＳ１３で未送信データ（未送信の検査結果データ）が有った恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃに対して、情報管理コンピュータ１０が未送信の検査結果データの要求を行う検査結果取得命令であった場合（ステップＳ１４でＹＥＳ）にはステップＳ１５で、情報管理コンピュータ１０からデータ取得部４ａ・４ｂ・４ｃが検査結果取得命令を受ける。
【０２０５】
そして、予め情報管理コンピュータ１０によって送信されたプログラムに基づくデータ取得間隔でデータ取得部４ａ・４ｂ・４ｃが取得した検査結果データをデータ取得部４ａ・４ｂ・４ｃが演算部５ａ・５ｂ・５ｃに送信する。
【０２０６】
その結果、演算部５ａ・５ｂ・５ｃが検査結果データを取得する。そして、ステップＳ１６に移る。
【０２０７】
また、ステップＳ１４で上記命令が検査結果取得命令でなかった場合（ステップＳ１４でＮＯ）にはステップＳ１６に移る。
【０２０８】
ステップＳ１６では、上記命令が、恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃで行う検査の検査プログラムを命令する検査プログラム設定命令であった場合（ステップＳ１６でＹＥＳ）にはステップＳ１７で情報管理コンピュータ１０から恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃに検査プログラムが送信され、恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃで行う検査の検査プログラムが設定される。
【０２０９】
そして、続いてステップＳ１８で検査プログラムを恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃに設定し終わったことを知らせる検査プログラム設定済みステータス表示を、恒温槽ステータスＬＥＤに表示し、ステップＳ１９に移る。
【０２１０】
また、ステップＳ１６で上記命令が検査プログラム設定命令でなかった場合（ステップＳ１６でＮＯ）にはステップＳ１９に移る。
【０２１１】
ステップＳ１９では、上記命令が、検査を行うレーザダイオード８のロットを指定する命令である検査ロット設定命令であった場合（ステップＳ１９でＹＥＳ）にはステップＳ２０で、検査を行うレーザダイオード８のロットの設定が終了したことを示すロット設定済ステータス表示を恒温槽ステータスＬＥＤに表示し、ステップＳ２１に移る。
【０２１２】
この場合のロットとは、生産管理上設けられた同一条件で生産される同一製品の集まりの単位を表すものとして用いている。
【０２１３】
具体的には、１０００個、２０００個を１つのロットとしているが、必ずしもこれに限らず、任意に設定可能である。
【０２１４】
また、ステップＳ１９で上記命令が検査ロット設定命令でなかった場合（ステップＳ１９でＮＯ）にはステップＳ２１に移る。
【０２１５】
ステップＳ２１では、上記命令が、レーザダイオード８の良否判定の結果の送信を要求する命令である良否判定要求命令であった場合（ステップＳ２１でＹＥＳ）にはステップＳ２２で、無線送信部６ａ・６ｂ・６ｃから良否判定の結果が送信されるように設定される。
【０２１６】
そして、続いてステップＳ２３で無線送信部６ａ・６ｂ・６ｃから良否判定の結果が送信可能であることを知らせる良否判定設定済みステータス表示を恒温槽ステータスＬＥＤに表示し、ステップＳ２４に移る。
【０２１７】
また、ステップＳ２１で上記命令が、良否判定要求命令でなかった場合（ステップＳ２１でＮＯ）にはステップＳ１１に戻って上述の動作フローを繰り返す。
【０２１８】
ステップＳ２４では、良否判定の結果の送信が行われるレーザダイオード８が挿入されている恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの、蓋が開けられたかどうかを恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃに備えられた図示しないセンサーによって検知する。
【０２１９】
ステップＳ２４において、良否判定の結果の送信が行われるレーザダイオード８が挿入されている恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの蓋が開けられたと上記センサーが検知した場合（ステップＳ２４でＹＥＳ）には、ステップＳ２５で上記良否判定の結果の電子判定部７への赤外線通信がスタートする。
【０２２０】
また、ステップＳ２４において、良否判定の結果の送信が行われるレーザダイオード８が挿入されている恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの蓋が開けられたと上記センサーが検知しなかった場合は、再度ステップＳ２４の処理を行う。
【０２２１】
また、データ取得部４ａ・４ｂ・４ｃでの上記駆動電流値のデータ取得は、前記検査プログラムでの指定タイミング（第１の時間間隔）の他、設定した時間間隔ごとにデータ取得部４ａ・４ｂ・４ｃで常に繰り返される（第１の時間間隔よりも短く設定された第２の時間間隔）。
【０２２２】
なお、本実施の形態においては検査プログラム設定済みステータス表示、ロット設定済ステータス表示、及び良否判定設定済みステータス表示は同一の図示しない表示部で表示されるが、必ずしもこれに限定されず、例えば、検査プログラム設定済みステータス表示、ロット設定済ステータス表示、及び良否判定設定済みステータス表示がそれぞれ別の表示部で表示されることも可能である。
【０２２３】
また、本実施の形態においては情報管理コンピュータ１０が命令を送信しているが、必ずしもこれに限らず、情報管理コンピュータ１０を備えずに各恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃごとに上記命令を送信する構成を備えていてもよい。
【０２２４】
なお、上記伝達部は各恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃごとに１つずつ設けられていてもよいし、制御部３ａ・３ｂ・３ｃ、データ取得部４ａ・４ｂ・４ｃ、及び演算部５ａ・５ｂ・５ｃ等にそれぞれ１つずつ設けられている構成であってもよい。
【０２２５】
次に、図１６を用いてレーザダイオード８の検査フローについて説明する。
【０２２６】
ステップＳ３１では、恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃに設けられた図示しない検査スタートスイッチがＯＮの状態であるかどうかを確認する。
【０２２７】
そして、検査スタートスイッチがＯＮの場合（ステップＳ３１でＹＥＳ）にはステップＳ３２で初期の検査プログラムの設定、恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの温度の設定、及びレーザダイオード８を駆動させるレーザダイオード発光パワーの設定が行われる。
【０２２８】
また、ステップＳ３３ではデータ取得部４ａ・４ｂ・４ｃによるレーザダイオード８の駆動電流値の取得のタイミングであるデータ取得時間のカウントが開始され、ステップＳ３４ではレーザダイオード８の検査がスタートしたことを示す表示である検査スタートステータス表示が恒温槽ステータスＬＥＤに表示される。そして、ステップＳ３５に移る。
【０２２９】
また、ステップＳ３１で検査スタートスイッチがＯＮでなかった場合（ステップＳ３１でＮＯ）にはステップＳ３５に移る。
【０２３０】
ステップＳ３５では、上記初期の検査プラグラムのデータの送信の要求が必要な時間であるプログラムデータ要求時間であった場合（ステップＳ３５でＹＥＳ）にはステップＳ３６で、レーザダイオード８の駆動電流値の測定と上記初期の検査プラグラムのデータの送信の要求を行う。そして、ステップＳ３７に移る。
【０２３１】
また、ステップＳ３５でプログラムデータ要求時間でなかった場合（ステップＳ３５でＮＯ）にはステップＳ３７に移る。
【０２３２】
ステップＳ３７では、初期の検査プログラムと異なる次のプログラムデータ要求時間であった場合（ステップＳ３７でＹＥＳ）にはステップＳ３８で、レーザダイオード８の駆動電流値の測定と初期のプログラムと異なる次の検査プラグラムデータの送信の要求を行う。
【０２３３】
続いて、ステップＳ３９で次の検査プログラムデータである次の検査プログラムに従って恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃの温度の設定、及びレーザダイオード８を駆動させるレーザダイオード発光パワーの設定を再び行う。そして、ステップＳ４０に移る。
【０２３４】
また、ステップＳ３７で次のプログラムデータ要求時間でなかった場合（ステップＳ３７でＮＯ）にはステップＳ４０に移る。
【０２３５】
ステップＳ４０では、上記次の検査プログラムが終了したのかどうかを確認し、上記次の検査プログラムが終了していた場合（ステップＳ４０でＹＥＳ）にはステップＳ４１で、デバイスとしての全てのレーザダイオード８への電力供給を停止する。
【０２３６】
そして、ステップＳ４２でレーザダイオード８の検査が終了したことを示す検査終了ステータス表示を恒温槽ステータスＬＥＤに表示する。
【０２３７】
続いて、ステップＳ４３でデータ取得部４ａ・４ｂ・４ｃによるデータ取得時間のカウントを終了し、ステップＳ４４に移る。
【０２３８】
また、ステップＳ４０で上記次の検査プログラムが終了していなかった場合（ステップＳ４０でＮＯ）にはステップＳ４４に移る。
【０２３９】
ステップＳ４４では、レーザダイオード８の駆動電流値が異常かどうかを演算する異常データ確認実施時間であるかどうかを確認し、異常データ確認実施時間であった場合（ステップＳ４４でＹＥＳ）にはステップＳ４５に移る。
【０２４０】
また、ステップＳ４４で異常データ確認実施時間でなかった場合（ステップＳ４４でＮＯ）にはステップＳ３５に戻って上記制御フローを繰り返す。
【０２４１】
ステップＳ４５で演算部５ａ・５ｂ・５ｃによって行われる演算では、レーザダイオード８の上記最新データの値から、上記前回取得した保持データの値を引いた絶対値が求められる。
【０２４２】
ステップＳ４６では、上記絶対値が上記設定値Ａよりも大きい、送信要求値であった場合（ステップＳ４６でＹＥＳ）にはステップＳ４７で、上記最新のデータを情報管理コンピュータ１０へ送信するようデータ送信要求が行われる。そして、ステップＳ４８に移る。
【０２４３】
また、ステップＳ４６で上記絶対値が上記設定値Ａよりも大きくなかった場合（ステップＳ４６でＮＯ）にはステップＳ４８に移る。
【０２４４】
ステップＳ４８では、上記絶対値が上記設定値Ｂよりも大きい、測定終了値であった場合（ステップＳ４８でＹＥＳ）にはステップＳ４９で、上記最新のデータを情報管理コンピュータ１０へ送信するようデータ送信要求が行われる。そして、ステップＳ５０に移る。
【０２４５】
また、ステップＳ４８で上記絶対値が上記設定値Ｂよりも大きくなかった場合（ステップＳ４８でＮＯ）にはステップＳ３５に戻って上記制御フローが繰り返される。
【０２４６】
ステップＳ５０では、駆動電流値が異常なレーザダイオード８である異常デバイスとして、上記駆動電流値が異常なレーザダイオード８への電力供給が停止される。そしてステップＳ３５に戻って上記制御フローが繰り返される。
【０２４７】
なお、本実施の形態においては検査スタートステータス表示、及び検査終了ステータス表示は同一の図示しない表示部で表示されるが、必ずしもこれに限定されず、例えば、検査スタートステータス表示、及び検査終了ステータス表示がそれぞれ別の表示部で表示されることも可能である。
【０２４８】
また、以上の構成によれば、駆動電流値を取得し、検査途中の駆動電流値のデータを常に演算部５ａ・５ｂ・５ｃによって判定することによって、検査途中での不良品であるレーザダイオード８への電力供給の停止を可能にしている。そして、その結果、電子デバイス検査装置１での電力の節約が可能となる。
【０２４９】
さらに、以上の構成によれば、前回取得した保持データと最新データとの比較演算を行った結果、ある範囲以上の差（設定値Ａ、又は設定値Ｂ）があった場合に情報管理コンピュータ１０へ最新データを送信し、格納する機能を持つ。
【０２５０】
よって、一定の時間間隔ごとにデータを取っていく方式に比べて、レーザダイオード８の駆動電流値の変動の少ないデータでは、保存データ数を少なく出来る。
【０２５１】
他にも、上記駆動電流値の変動の多いデータに対しては、詳細な結果を保存することが可能となり、不要データの無効化による検査効率向上をすると共に、詳しいデータの取得も可能となる。
【０２５２】
また、以上の構成によれば、短く設定された第２の時間間隔での第１の測定値と第２の測定値との間の差、つまり特性データの変化量に基づいて演算が行われる。
【０２５３】
よって、短く設定された間隔で常に測定を実行し、前回取得した保持データと最新データとを比較演算した結果を検査動作制御に使用することによりレーザダイオード８の特性によって検査内容を変更することも可能になる。従って、電子デバイス検査装置１での検査効率向上が可能となる。
【０２５４】
次に、図１７を用いて情報管理コンピュータ１０の動作フローについて説明を行う。
【０２５５】
ステップＳ６１では、恒温槽２ａ（恒温槽番号ｎ）に検査プログラムが未設定かどうかの状態確認を行う。
【０２５６】
そして、ステップＳ６２で恒温槽２ａに検査プログラムが未設定の場合（ステップＳ６２でＹＥＳ）にはステップＳ６３で、検査プログラムの指定要求の表示が図示しない表示部に表示される。
【０２５７】
さらに、ステップＳ６４では作業者によって検査プログラムが決定され、ステップＳ６５では作業者によって決定された検査プログラムが恒温槽２ａへ送信される。そして、ステップＳ６６に移る。
【０２５８】
また、ステップＳ６２で恒温槽２ａに検査プログラムが未設定でなかった場合（ステップＳ６２でＮＯ）は、ステップＳ６６に移る。
【０２５９】
ステップＳ６６では、レーザダイオード８の検査を実施中かどうかの確認を行い、検査実施中であった場合（ステップＳ６６でＹＥＳ）にはステップＳ６７で、図示しない表示部に検査中であることを表す検査状態の表示を行う。そして、ステップＳ６９に移る。
【０２６０】
また、ステップＳ６６で検査実施中でなかった場合（ステップＳ６６でＮＯ）はステップＳ６８で、図示しない表示部に検査停止中であることを表す停止状態の表示を行う。そして、ステップＳ６９に移る。
【０２６１】
ステップＳ６９では、検査を行うレーザダイオード８のロット名である検査ロット名が指定済みかどうかが確認される。
【０２６２】
検査ロット名が指定済みであった場合（ステップＳ６９でＹＥＳ）にはステップＳ７０で、検査ロット名の指定要求の表示が図示しない表示部に表示される。
【０２６３】
さらに、ステップＳ７１では作業者によって検査ロット名が決定され、ステップＳ７２では作業者によって決定された検査ロット名が恒温槽２ａへ送信される。そして、ステップＳ７３に移る。
【０２６４】
また、ステップＳ６９で検査ロット名が指定済みでなかった場合（ステップＳ６９でＮＯ）は、ステップＳ７６に移る。
【０２６５】
ステップＳ７３では、レーザダイオード８の検査が終了したかどうかが確認され、検査終了状態であった場合（Ｓ７３でＹＥＳ）には、ステップＳ７４で演算部５ａによってレーザダイオード８の良否判定、又は良品ランク判定の結果が行われたかどうかを確認する良否判定結果確認が行われる。
【０２６６】
さらに、ステップＳ７５ではレーザダイオード８の良否判定、又は良品ランク判定の結果が無線送信部６ａから電子判定部７へ送信される。そして、ステップＳ７６に移る。
【０２６７】
また、ステップＳ７３で検査終了状態でなかった場合（ステップＳ７３でＮＯ）は、ステップＳ７６に移る。
【０２６８】
ステップＳ７６では恒温槽２ａで行った情報管理コンピュータ１０の動作フローと同じ動作フローを次の恒温槽２ｂ（恒温槽ｎ＋１）で行わせるようにする。
【０２６９】
恒温槽２ａを例にとって説明したが、恒温槽２ｂであった場合は恒温槽２ｂで行った情報管理コンピュータ１０の動作フローと同じ動作フローを恒温槽２ｃ（恒温槽ｎ＋２）で行わせる。そして、すべての恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃで上記動作フローを行わせるようにするものとする。
【０２７０】
なお、本実施の形態においては検査状態表示、停止状態表示、及び検査ロット名指定要求表示は同一の図示しない表示部で表示されるが、必ずしもこれに限定されず、例えば、検査状態表示、停止状態表示、及び検査ロット名指定要求表示がそれぞれ別の表示部で表示されることも可能である。
【０２７１】
また、本実施の形態においては、電子デバイス検査装置１は３台の恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃを備えているが、必ずしもこれに限定されず、複数であれば上述のように２５５台備えていてもよいし、他の数の台数備えていてもよい。
〔実施の形態２〕
本発明の他の実施の形態について図１８に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、本実施の形態において説明すること以外の構成は、前記実施の形態１と同じである。また、説明の便宜上、前記の実施の形態１の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０２７２】
本実施の形態の電子判定部２７は、前記実施の形態１の電子デバイス検査装置１の電子判定部７の構成に加えて、良品のランク選別、及び不良品の内容選別をするＬＥＤである判定ＬＥＤを備えている点が異なっている。
【０２７３】
図１８に示すように、電子判定部２７は、良品のランク選別、及び不良品の内容選別をするＬＥＤである判定ＬＥＤを備えている。
【０２７４】
各恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ内のレーザダイオード８と対応した位置にＬＥＤ１４を有し、判定切替え／判定開始スイッチ（判定切替えスイッチ）２８によりレーザダイオード８の良品のランク選別、不良品の内容等のＬＥＤ表示２９を切替えながら判定表示を実行する。
【０２７５】
詳しく説明すると、良品のランクにはランクＡ〜ランクＥまでの５段階のランクがあり、上記ランク分けはレーザダイオードの駆動電流値の変化量が少ないものから順に行われる。ランクＡがレーザダイオード８の良品中でもっとも上記変化量が少ないランクになり、ランクＥがレーザダイオード８の良品中でもっとも上記変化量が多いランクになる。
【０２７６】
また、不良品の内容にもＮＧＡ〜ＮＧＥまでの５段階の内容があり、上記内容分けは駆動電流値の大きさ、駆動電流の変化量の大きさ、レーザダイオード８の発光状態、及びレーザダイオード８の検査プログラムの終了状態などに従って行われる。
【０２７７】
詳しくは、ＮＧＡはレーザダイオード８がスタート時点で発光しない不良品を表し、ＮＧＢはレーザダイオード８の駆動電流値が駆動電流上限値以上である不良品を表し、ＮＧＣはレーザダイオード８の駆動電流値が駆動電流下限値以下である不良品を表すことになる、
また、ＮＧＤはレーザダイオード８のあらかじめ定められた時間内での駆動電流の変化量が駆動電流変化上限値以上である不良品を表し、ＮＧＥはレーザダイオード８の検査プログラムが正常に終了していない不良品を表している。
【０２７８】
上記の構成によれば、１つのレーザダイオード８に対して、判定切替え／判定開始スイッチ２８によって良品のランク選別、不良の内容選別といった複数の選別を行うことが出来る。
【０２７９】
よって、良品のランク選別を行うための電子判定部２７の構成を簡略化して、電子デバイス検査装置１の製造コストを低減することができる。
〔実施の形態３〕
本発明の他の実施の形態について図１９に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、本実施の形態において説明すること以外の構成は、前記実施の形態１、及び前記実施の形態２と同じである。また、説明の便宜上、前記の実施の形態１、及び前記実施の形態２の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０２８０】
本実施の形態の電子判定部３７は、前記実施の形態１の電子デバイス検査装置１の電子判定部７の構成に加えて、レーザダイオードクランプ機構（電子デバイスクランプ機構）３８を備えている点が異なっている。
【０２８１】
レーザダイオードクランプ機構３８とは、電子判定部３７での良品ランク選別及び不良品の内容選別の結果に従って、レーザダイオード８を恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃのレーザダイオード保持部１２から取り外す機能、又は良品ランク選別及び不良品の内容選別ごとに分けられた選別トレーに電子判定部３７での良品ランク選別及び不良品の内容選別の結果に従ってレーザダイオード８を挿入する機能を有するものである。
【０２８２】
図１９に示すように、電子判定部３７は、レーザダイオードクランプ機構３８を各恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ内のレーザダイオード８の挿入位置と対応した位置に備えている。
【０２８３】
使用方法としては、作業者が恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃに電子判定部３７をセットし、赤外線通信によって各判定結果を受け取る。そして、上記判定結果に基づいてレーザダイオードクランプ機構３８によって、良品のランク、及び不良の内容等ごとに分けられたそれぞれの選別用トレーへレーザダイオード８を良品のランク、及び不良の内容等ごとに選別する。
【０２８４】
詳しく説明すると、レーザダイオードクランプスイッチ３９がＯＮになると、レーザダイオードクランプ機構３８は、電子判定部３７がセットされた恒温槽２ａ・２ｂ・２ｃ中のレーザダイオード８を全部まとめて取り出す。
【０２８５】
そして、判定切替え／レーザダイオードアンクランプスイッチ４０を良品のランクＡ〜ランクＥ、不良品の内容ＮＧＡ〜ＮＧＥまで順番に切替える。
【０２８６】
上記切替えごとに、切替え時の良品のランクＡ〜ランクＥ、不良品の内容ＮＧＡ〜ＮＧＥに該等するレーザダイオード８をレーザダイオードクランプ機構３８は良品のランクＡ〜ランクＥ、不良品の内容ＮＧＡ〜ＮＧＥに分けられたそれぞれの選別用トレーへ順番に選別していく。
【０２８７】
また、上述の構成に限らず、判定切替え／レーザダイオードアンクランプスイッチ４０を良品のランクＡ〜ランクＥ、不良品の内容ＮＧＡ〜ＮＧＥまで順番に切替えるごとに、レーザダイオードクランプ機構３８によって上記切替え時の良品のランクＡ〜ランクＥ、不良品の内容ＮＧＡ〜ＮＧＥに該等するレーザダイオード８のみを取り出し、上記それぞれの選別用トレーへ順番に選別していく構成であっても良い。
【０２８８】
なお、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０２８９】
以上のように、本発明の電子デバイス検査装置は、多量の電子デバイスの検査を効率良く行い得る電子デバイス検査装置を提供する。したがって、本発明は電子デバイスを用いる電子機器、電器製品などといったエレクトロニクス製品に関連する産業分野に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【０２９０】
【図１】本発明における電子デバイス検査装置の実施の一形態を示す機能ブロック図である。
【図２】上記電子デバイス検査装置での恒温槽の内部構造を示す図である。
【図３】上記電子デバイス検査装置での電子判定部の概略的構成を示す図である。
【図４】上記電子判定部の良否判定結果の確認時における使用例を示した図である。
【図５】上記電子デバイス検査装置での検査プログラムの例を示した図である。
【図６】上記電子デバイス検査装置での良否判定方法を示した図である。
【図７】検査時のレーザダイオードの駆動電流値の変動例を示す図である。
【図８】従来の電子デバイス検査装置での駆動電流値のデータ取り込み結果を示す図である。
【図９】上記電子デバイス検査装置での駆動電流値のデータ取り込み結果を示す図である。
【図１０】検査時のレーザダイオードの駆動電流値の変動例を示す図である。
【図１１】従来の電子デバイス検査装置での異常データ発生時のデータ取り込み結果を示す図である。
【図１２】上記電子デバイス検査装置での異常データ発生時のデータ取り込み結果を示す図である。
【図１３】上記電子デバイス検査装置でのデータ評価方法を示す図である。
【図１４】上記電子デバイス検査装置での作業フローを説明するフローチャート図である。
【図１５】上記電子デバイス検査装置での通信動作フローを説明するフローチャート図である。
【図１６】上記電子デバイス検査装置での制御フローを説明するフローチャート図である。
【図１７】情報管理コンピュータの動作フローを説明するフローチャート図である。
【図１８】本発明の第２の実施の形態における電子判定部の概略的構成を示す図である。
【図１９】本発明の第３の実施の形態における電子判定部の概略的構成を示す図である。
【図２０】第１の従来の電子デバイス検査装置の概略的構成を示す図である。
【図２１】第２の従来の電子デバイス検査装置の概略的構成を示す図である。
【符号の説明】
【０２９１】
１          電子デバイス検査装置
２ａ〜２ｃ  恒温槽（検査槽）
３ａ〜３ｃ  制御部（制御手段）
４ａ〜４ｃ  データ取得部（データ取得手段）
５ａ〜５ｂ  演算部（演算手段）
６ａ〜６ｂ  無線送信部（無線送信手段）
７          電子判定部（受信手段）
８          レーザダイオード（電子デバイス）
１０          情報管理コンピュータ（情報管理手段）
１１          赤外線送信部（無線信号の出射部）
１４          ＬＥＤ（表示手段）
１５          赤外線受信部（無線信号の入射部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0004541269.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
0004541269.tif 000016
【図１６】
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【図１７】
0004541269.tif 000018
【図１８】
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【図１９】
0004541269.tif 000020
【図２０】
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【図２１】
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