【手続補正書】
【提出日】平成18年5月11日(2006.5.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】光源ユニット、照明装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
前記光源に電力を供給する電力供給手段と、
前記光源から照射される照明光を被照射体側へ反射させる反射鏡と、
前記反射鏡からの漏れ光を吸収する吸光手段と、
前記吸光手段に入射した漏れ光の光量を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された前記漏れ光の光量に基づいて、前記電力供給手段から前記光源に対して供給される電力量を制御する電力量制御手段と
を備えることを特徴とする光源ユニット。
【請求項２】
前記吸光手段に入射した前記漏れ光を前記検出手段に導く導光手段を更に備え、前記導光手段は、前記漏れ光を波長に基づいて複数に分岐する分岐手段を有し、
前記検出手段は、前記分岐手段により分岐された各々の前記漏れ光の光量を検出する複数の検出手段を含むことを特徴とする請求項１記載の光源ユニット。
【請求項３】
前記分岐手段は、出力端が複数に分岐された光ファイバと、
前記光ファイバの各出力端に設けられた波長選択部材とを備えることを特徴とする請求項２記載の光源ユニット。
【請求項４】
前記分岐手段は、前記漏れ光を波長に基づいて分岐させるビームスプリッタと、前記ビームスプリッタにより分岐された漏れ光の光路中に配置された波長選択部材とを備えることを特徴とする請求項２記載の光源ユニット。
【請求項５】
前記反射鏡により反射された前記照明光の光路中に配置されたシャッタを更に備えることを特徴とする請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の光源ユニット。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の光源ユニットと、
前記光源ユニットから射出された照明光を前記被照射体に導く照明光学系とを備えることを特徴とする照明装置。
【請求項７】
請求項６記載の照明装置と、
前記照明装置により照明されるパターンの像を感光性基板上に投影する投影光学系とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項８】
請求項７記載の露光装置を用いた露光方法において、
前記照明光学系を用いて所定のパターンを照明する照明工程と、
前記投影光学系を用いて前記所定のパターン像を感光性基板へ投影する投影工程とを含むことを特徴とする露光方法。
【請求項９】
請求項７記載の露光装置を用いたデバイス製造方法において、
前記照明光学系を用いて所定のパターンを照明する照明工程と、
前記投影光学系を用いて前記所定のパターンの像を感光性基板へ投影する投影工程と、
前記所定のパターンの像が投影された前記感光性基板を現像する現像工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子、液晶表示素子、撮像素子、薄膜磁気ヘッド、その他のマイクロデバイスの製造工程において用いられる露光装置の光源ユニット及び照明装置、この照明装置を用いた露光装置、この露光装置を用いた露光方法及びこの露光装置を用いたデバイス製造方法に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の課題は、光量の損失を招くことなく光源の光量の変化を的確に検出して、光源から照射される照明光の光量を一定に保つ露光装置用の光源ユニット及び照明装置、この照明装置を用いた露光装置、この露光装置を用いた露光方法及びこの露光装置を用いたデバイス製造方法を提供することである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の光源ユニットは、光源と、前記光源に電力を供給する電力供給手段と、前記光源から照射される照明光を被照射側へ反射させる反射鏡と、前記反射鏡からの漏れ光を吸収する吸光手段と、前記吸光手段に入射した漏れ光の光量を検出する検出手段と、前記検出手段により検出された前記漏れ光の光量に基づいて、前記電力供給手段から前記光源に対して供給される電力量を制御する電力量制御手段とを備えることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、請求項７記載の露光装置は、請求項６記載の照明装置と、前記照明装置により照明されるパターンの像を感光性基板上に投影する投影光学系とを備えることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
この請求項７記載の露光装置によれば、照明装置により一定の光量でパターンが照明されるため、パターンの像を感光性基板上に投影する場合に露光斑が生じるのを防止することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、請求項８記載の露光方法は、請求項７記載の露光装置を用いた露光方法において、前記照明光学系を用いて所定のパターンを照明する照明工程と、前記投影光学系を用いて前記所定のパターン像を感光性基板へ投影する投影工程とを含むことを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
この請求項８記載の露光方法によれば、照明工程により一定の光量で所定のパターンが照明されるため、所定のパターン像を感光性基板上に投影する場合に露光斑が生じるのを防止することができる。
また、請求項９記載のデバイス製造方法は、請求項７記載の露光装置を用いたデバイス製造方法において、前記照明光学系を用いて所定のパターンを照明する照明工程と、前記投影光学系を用いて前記所定のパターンの像を感光性基板へ投影する投影工程と、前記所定のパターンの像が投影された前記感光性基板を現像する現像工程とを含むことを特徴とする。
この請求項９記載のデバイス製造方法によれば、照明工程において一定の光量で照明された所定のパターンの像を感光性基板上へ投影するため、露光斑が生じるのを防止することができ、良好なデバイスを得ることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
また、この発明の露光装置によれば、照明装置により一定の光量でパターンが照明されるため、パターンの像を感光性基板上に投影する場合に露光斑が生じるのを防止することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
また、この発明の露光方法によれば、照明工程により一定の光量で所定のパターンが照明されるため、所定のパターン像を感光性基板上に投影する場合に露光斑が生じるのを防止することができる。
また、この発明のデバイス製造方法によれば、照明工程において一定の光量で照明された所定のパターンの像を感光性基板上へ投影するため、露光斑が生じるのを防止することができ、良好なデバイスを得ることができる。