【手続補正書】
【提出日】平成18年10月18日(2006.10.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テスタを内蔵するテスタ本体と、
前記テスタ本体に固定された中継基板収容ユニットと、
光源と、
を有し、
前記中継基板収容ユニットは、
前記テスタ本体内の前記テスタに電気的に接続される中継基板と、
外部探触子に前記中継基板を電気的に接続させるコンタクト部と、
を含み、
前記中継基板には光路用切欠部が設けられ、
前記中継基板収容ユニットは、前記中継基板の前記光路用切欠部が前記テスタ本体の側方より突出する位置にて、前記中継基板を支持し、
前記光源は、前記中継基板の前記光路用切欠部と対向する検査位置と、前記中継基板と非対向となる退避位置とに移動することを特徴とするテスタ装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記中継基板収容ユニットは、前記テスタ本体の上下方向の一端より前記テスタ本体の側方に向けて延びる外殻フレームを有し、
前記中継基板は、
前記テスタと電気的に接続されて、前記テスタ本体の前記一端と対向する位置にて前記外殻フレーム内に配置された第１の中継基板と、
前記第１の中継基板及び前記コンタクト部と電気的に接続されて、前記テスタ本体の側方より突出した位置にて前記外殻フレーム内に配置された第２の中継基板と、
を含み、
前記第２の中継基板に前記光路用切欠部が形成されていることを特徴とするテスタ装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記光路用切欠部の中心位置は、前記第２の中継基板の中心位置よりも前記第１の中継基板側に偏った位置に配置されていることを特徴とするテスタ装置。
【請求項４】
請求項２または３において、
前記中継基板収容ユニットは、前記第２の中継基板の前記光路用切欠部と対向する位置に光路用孔部を有する開閉可能な蓋部を有することを特徴とするテスタ装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記光源の出射部には第１の遮光部が設けられ、前記蓋部の表面には第２の遮光部が設けられ、前記光源が前記検査位置に設定された時に前記第１，第２の遮光部が重なりあって前記光源の光路周囲を遮光することを特徴とするテスタ装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記中継基板収容ユニット内に、前記光源の光路周囲を遮光する第３の遮光部が設けられていることを特徴とするテスタ装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記第３の遮光部は、前記中継基板上に配置された第１の遮光リングを含むことを特徴とするテスタ装置。
【請求項８】
請求項７において、
前記コンタクト部は、前記中継基板と前記外部探触子とを弾性的に接続する機構を内蔵し、
前記第３の遮光部は、前記第１の遮光部と当接して、前記中継基板のたわみを防止する補強リングを含むことを特徴とするテスタ装置。
【請求項９】
請求項８において、
前記補強リングは前記外殻フレームに固定されるアームを有することを特徴とするテスタ装置。
【請求項１０】
請求項８または９において、
前記第３の遮光部は、前記蓋部の裏面に取り付けられ、前記補強リングと当接する第２の遮光リングを含むことを特徴とするテスタ装置。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれかにおいて、
前記光源は、前記テスタ本体の側方にて直線移動することを特徴とするテスタ装置。
【請求項１２】
請求項１１において、
前記テスタ本体の側面には、前記光源を移動案内するガイドレールが設けられていることを特徴とするテスタ装置。
【請求項１３】
請求項１１または１２において、
前記光源を直線駆動する駆動部をさらに有することを特徴とするテスタ装置。
【請求項１４】
請求項１１乃至１３のいずれかにおいて、
前記中継基板収容ユニットは、前記テスタ本体の側方にて前記テスタ装置の前面側に偏った位置に配置され、前記光源の退避位置が前記テスタ装置の側方にて前記テスタ装置の後面側に配置されることを特徴とするテスタ装置。
【請求項１５】
請求項２乃至１４のいずれかにおいて、
前記テスタ本体の上下方向の一面には、前記コンタクト部が下向きとなる倒立状態で前記テスタ装置を設置するための脚部が配置されていることを特徴とするテスタ装置。
【請求項１６】
テスタを内蔵するテスタ本体と、
前記テスタ本体の上下方向の一端より前記テスタ本体の側方に向けて延びる中継基板収容ユニットと、
を有し、
前記中継基板収容ユニットは、
前記テスタ本体内の前記テスタに電気的に接続される中継基板と、
外部探触子に前記中継基板を電気的に接続させるコンタクト部と、
前記中継基板及び前記コンタクト部を保持する外殻フレームと、
を含み、
前記中継基板は、
前記テスタと電気的に接続されて、前記テスタ本体の前記一端と対向する位置にて前記外殻フレーム内に配置された第１の中継基板と、
前記第１の中継基板及び前記コンタクト部と電気的に接続されて、前記テスタ本体の側方より突出した位置にて前記外殻フレーム内に配置された第２の中継基板と、
を含むことを特徴とするテスタ装置。
【請求項１７】
請求項２乃至１６のいずれかにおいて、
前記中継基板収容ユニットは、
前記第１，第２の中継基板同士を接続するコネクタと、
前記第２の中継基板を搭載する内殻フレームと、
前記内殻フレームの押動機構と、
をさらに有し、
前記外殻フレームは、前記第１の中継基板、前記コネクタ及び前記コンタクト部を保持し、かつ、前記内殻フレームを前記コネクタと接離する方向に水平移動可能に支持し、
前記内殻フレームの押動機構は、
前記内殻フレームの両側面の外壁に設けられたガイドピン及び係合孔と、
前記外殻フレームの両側面の内壁に設けられ、前記ガイドピンを垂直及び水平方向に案内するガイド溝と、
前記外殻フレームの前記両側面に回転可能に支持されたシャフトと、
前記シャフトに突出形成され、前記内殻フレームの前記係合孔に係合される突出ピンと、を有することを特徴とするテスタ装置。
【請求項１８】
請求項１乃至１７のいずれかのテスタ装置と、
プローブ装置本体と、
を有し、
前記プローブ装置本体内に配置される被検査体と対向する上方位置に前記テスタ装置の前記コンタクト部が位置するように、前記テスタ装置を正立状態で配置することを特徴とする検査装置。
【請求項１９】
請求項１乃至１７のいずれかのテスタ装置と、
ハンドラー装置本体と、
を有し、
前記ハンドラー装置本体内に配置される被検査体と対向する下方位置に前記テスタ装置の前記コンタクト部が位置するように、前記テスタ装置を倒立状態で配置することを特徴とする検査装置。
【請求項２０】
外部テスタと電気的に接続される第１の中継基板と、
前記第１の中継基板と横並びで配置され、前記第１の中継基板と電気的に接続される第２の中継基板と、
前記第１，第２の中継基板同士を接続するコネクタと、
前記第２の中継基板を搭載する内殻フレームと、
外部探触子に前記第２の中継基板を電気的に接続させるコンタクト部と、
前記第１の中継基板、前記コネクタ及び前記コンタクト部を保持し、かつ、前記内殻フレームを前記コネクタと接離する方向に水平移動可能に支持する外殻フレームと、
前記内殻フレームの押動機構と、
を有し、
前記内殻フレームの押動機構は、
前記内殻フレームの両側面の外壁に設けられたガイドピン及び係合孔と、
前記外殻フレームの両側面の内壁に設けられ、前記ガイドピンを垂直及び水平方向に案内するガイド溝と、
前記外殻フレームの前記両側面に回転可能に支持されたシャフトと、
前記シャフトに突出形成され、前記内殻フレームの前記係合孔に係合される突出ピンと、を有することを特徴とする中継基板収容ユニット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、プローブ装置本体またはハンドラー装置本体に接続して用いられるテスタ装置、そのテスタ装置をプローブ装置本体またはハンドラー装置本体等と組み合わせた検査装置、及びそれらに用いる中継基板収容ユニットに関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
また、特許文献１，２に記載の光源付きＬＳＩテスターでは、テストヘッド内の中継基板は、被検査対象毎に機能を集約した機能ボードを含み、被検査体のロットが変わるごとに中継基板を交換しなければならない。しかし、中継基板はテストヘッド内部に存在するので、その交換作業が容易でない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の一態様に係るテスタ装置は、テスタを内蔵するテスタ本体と、前記テスタ本体に固定された中継基板収容ユニットと、光源とを有する。前記中継基板収容ユニットは、前記テスタ本体内の前記テスタに電気的に接続される中継基板と、外部探触子に前記中継基板を電気的に接続させるコンタクト部とを含んでいる。前記中継基板には光路用切欠部が設けられる。前記中継基板収容ユニットは、前記中継基板の前記光路用切欠部が前記テスタ本体の側方より突出する位置にて、前記中継基板を支持する。前記光源は、前記中継基板の前記光路用切欠部と対向する検査位置と、前記中継基板と非対向となる退避位置とに移動する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
この構造によれば、シャフトを回動させれば、突出ピンが係合孔を押動し、内殻フレームはガイドピンとガイド溝とに案内されて水平移動し、コネクタと接離する方向に移動する。よって、シャフトの回動により、内殻フレームに搭載された第２の中継基板を、コネクタと接続／非接続させることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明のさらに他の態様に係る中継基板収容ユニットは、上述した内殻フレームの押動機構を備えたことを特徴としている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
（第２の中継基板の着脱機構を備えた中継基板収容ユニット）
次に、中継基板収容ユニット２０にさらに付加された機能について説明する。図９は、中継基板収容ユニット２０の内殻フレーム６８の斜視図である。図１０は、中継基板収容ユニット２０の外殻フレーム６０の斜視図である。図１１は、内殻フレーム６８の押動機構を示す断面図である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
この構造を有する中継基板収容ユニット２０にて、第１，第２の中継基板６２，６４同士をコネクタ６６を介して接続する操作に付いて説明する。まず、図１１に示すように、第２の中継基板６４を内殻フレーム６８により固定する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
このように、中継基板収容ユニット２０が、第２の中継基板６４の着脱機構を内蔵することで、被検査体毎に固有の第２の中継基板６４の交換作業の負担が大幅に軽減される。しかも、多数ポイントのコネクタ接続に際して、ポゴピンまたは負圧供給などの複雑な構成を省略することができる。