(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のセラミックグリーンシートを積層、圧着して、少なくとも最上層に１又は複数形成されたシート側凹部が開口するグリーンシート積層体を製造する圧着工程を含み、
前記圧着工程において、前記グリーンシート積層体に対し、複数の山状の突起部又は複数列の凸条で形成される複数の弾性部材側凸部が前記シート側凹部の形状と異なる形状で表面に形成された柔軟弾性部材を、前記弾性部材側凸部の側が前記シート側凹部が開口する側に位置するように重ね合わせ、
さらに、前記弾性部材側凸部を強制変形させて該弾性部材側凸部を前記シート側凹部に進入させつつ、前記柔軟弾性部材にて前記グリーンシート積層体を積層方向に押圧することにより、前記グリーンシート積層体の層間を圧着することを特徴とするセラミック配線基板の製造方法。
【請求項２】
前記シート側凹部の開口部の最大幅Ｗ１と、前記弾性部材側凸部の最大幅Ｗ２との比Ｗ１／Ｗ２が１〜１７の範囲となるよう調整される請求項１に記載のセラミック配線基板の製造方法。
【請求項３】
前記弾性部材側凸部は、前記シート側凹部の凹部内面に追従させて当該凹部内面とほぼ密着形態となるよう弾性変形される請求項１又は２に記載のセラミック配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する分野】
本発明は、セラミック配線基板の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
セラミック積層構造をとるセラミック配線基板は、例えば以下のごとく製造される。まず、アルミナ等のセラミックグリーンシートにおいてキャビティを形成し、タングステン、モリブデン等を主成分とするメタライズインクをスクリーン印刷する。次いで、このようなセラミックグリーンシートを積層し、これらを厚さ方向に圧縮力を加えて圧着し、その後、これを焼成することとなる。
【０００３】
上記のごとく、セラミックグリーンシートの圧着は、積層体に厚さ方向に圧縮力を付与してその層間を圧着する手法が一般的であるが、このような圧着工程において製品の細部に至るまで良好に圧着が完了し、かつ圧縮力の付与時又は圧縮力の開放時において製品の変形等が効果的に防止され、圧着後の積層体形状が高精度に維持される方法が望まれていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の解決すべき課題は、セラミック配線基板の製造において、製品形状を高精度に維持しつつグリーンシート積層体の層間を良好に圧着し得る製造方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段及び作用・効果】
上記のような課題を解決するために、本発明は、複数のセラミックグリーンシートを積層、圧着して、最上層に１又は複数形成されたシート側凹部が開口するグリーンシート積層体（以下、単に積層体ともいう）を製造する圧着工程を含み、
圧着工程において、グリーンシート積層体に対し、複数の山状の突起部又は複数列の凸条で形成される複数の弾性部材側凸部がシート側凹部の形状と異なる形状で表面に形成された柔軟弾性部材を、弾性部材側凸部の側がシート側凹部が開口する側に位置するように重ね合わせ、
さらに、弾性部材側凸部を強制変形させて該弾性部材側凸部をシート側凹部に進入させつつ、柔軟弾性部材にてグリーンシート積層体を積層方向に押圧することにより、グリーンシート積層体の層間を圧着することを特徴とするセラミック配線基板の製造方法を提供する。
【０００６】
上記のごとく、弾性部材側凸部が形成される柔軟弾性部材を圧着に使用すれば、その弾性部材側凸部が積層体の最上層に開口するシート側凹部（以下、キャビティとも言う）に進入し易くなる。即ち、当接面が平坦に形成される柔軟弾性部材を使用した場合には、シート側凹部への柔軟弾性部材の進入に伴う当該柔軟弾性部材の当接面の変形量が過大となり、そのための加圧量も増大せざるを得ないが、上記方法によれば、弾性部材側凸部が強制変形されない状態においてもシート側凹部内にその弾性部材側凸部の一部が進入可能となる。
【０００７】
また、当接面が平坦に形成される柔軟弾性部材を使用した場合、圧着時においてキャビティ内部に充填された当該柔軟弾性部材の一部は、圧着状態が開放された場合には弾性復帰力により自由状態となる。その復帰量が過大であるとキャビティ内部が過度に減圧状態となり、その結果としていわゆるバックリングが生じる可能性がある。例えば、図１４に示されるように、当接面が平坦に形成される弾性材料を圧着に使用した場合、積層体最上層に当接した時点においてキャビティ１１の大部分が空隙となるため、この空隙を充填するよう柔軟弾性部材１０１を変形させなければならない。また、キャビティ１１内への柔軟弾性部材１０１の進入前においてキャビティ１１の開口部が強固に密封された状態となるため、キャビティ内の空気抜け不良といった問題も生ずる。さらには、仮に、図１４（ｂ）のごとく柔軟弾性部材１０１がキャビティ内へ進入されたとしても、圧力開放時において柔軟弾性部材１０１の弾性復帰量が大きいため、その弾性復帰後においてキャビティ１１内の減圧状態が過大となり、図１４（ｃ）のごとくバックリングが生じ、製品不良となる可能性がある。また、当接面が予めキャビティの形状に合わせた形状となっている弾性部材を使用した場合にも、上記と同様に、減圧状態が過大となりバックリングが生じ、製品不良となる可能性があった。
【０００８】
それに対し、上記のごとく弾性部材側凸部をキャビティ内に進入させると、圧着後においてキャビティの開口が開放される程度に当該柔軟弾性部材の強制変形が復帰した場合、依然として弾性部材側凸部の一部がキャビティ内の空間の占有することとなる。また、弾性部材とキャビティの形状が同一の形状ではないため、両者に隙間が生じる。従って、減圧の度合は上記平坦面形状のものと比較して極めて小さいか、又は減圧がほぼ生じないためバックリングを防止でき、ひいては高精度の製品提供、歩留まりの向上等に寄与する。また、キャビティ形状は、製品の品種により異なるため、弾性部材側凸部が、キャビティの形状に合わせた柔軟弾性部材を用いる場合、品種の数だけ多くの種類の治具を必要とするが、本発明の製造方法によると、一種類の治具を多品種に使用可能となる。このように汎用性があるため、治具のコストを抑えて製造することができる。
【０００９】
また、柔軟弾性部材にてグリーシート積層体を積層方向に押圧する際に、弾性部材側凸部を強制変形させて該弾性部材側凸部をシート側凹部に進入させつつ、グリーンシート積層体の層間を圧着するようにできる。
【００１０】
また、各シート側凹部に対応した位置に各々のシート側凹部よりも小面積の貫通孔が形成された被覆板により、各シート側凹部の開口内周縁が貫通孔内に露出しない形にてグリーンシート積層体の最上層面部を覆い、その被覆版の上から柔軟弾性部材を被せて押圧することにより、弾性部材側凸部を被覆板の貫通孔を経てシート側凹部内に進入させるようにできる。
【００１１】
このように、被覆板にて最上層面部を覆うことで、最上層面部において柔軟弾性部材による圧接が望まれない位置を被覆できる。例えば、シート最上層面部において、キャビティ以外の貫通孔等（例えば、キャスタレーション等）が形成されている場合には、圧接によってその貫通孔等に柔軟弾性部材が進入することとなり、当該積層体（例えばその貫通孔近傍等）が変形して形状精度の低下を招く。これに対し、被覆板により圧接が望まれない位置を被覆すれば、このような変形を防止でき、かつ当接面となるシート最上層面をも効果的に保護できる。さらに、当該被覆板により、各シート側凹部の開口内周縁が貫通孔内に露出しないようにグリーンシート積層体の最上層面部を覆うことにより、柔軟弾性部材のシート側凹部内への進入時において、その柔軟弾性部材による開口内周縁への圧力の集中を防止でき、開口内周縁の形状を高精度に維持できる。さらに、キャビティ近傍部へ被覆板の角が当たり、グリーンシートに傷がついたり、変形することを防止することが可能となる。
【００１２】
なお、本発明における弾性材料として、ゴム、エラストマー等の柔軟弾性材料を使用でき、中でも特にシリコンゴムを好適に用いることができる。これによると、柔軟性に優れるため弾性部材側凸部のキャビティ内への進入がスムーズとなり、かつ耐久性及び耐薬品性を併せて有するため極めて機能的である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面に示す実施例を参照しつつ説明する。
図１は、本発明の製造方法の対象となるグリーンシート積層体の一例についての平面図を示している。まず、積層体の圧着工程前の状態について図１及び図２を参照して述べると、グリーンシート積層体２０は、複数枚（本実施例では３枚）のセラミックグリーンシートが積層されてなり、さらに、ワーク基板１０を一体的に配列的に集合させた配線基板製造単位（以下、配線基板単位ともいう）１５（図１において黒太枠にて囲まれた部分）を複数（図１では８つ）含んだ形で形成される。この配線基板製造単位１５は、図２（ａ）のごとく、ワーク基板１０が所定の配列にて形成されており、圧着工程前においては図１のごとく複数の配線基板製造単位１５が一体化した形でグリーンシート積層体２０が構成されている。
【００１４】
配線基板製造単位１５に設けられるワーク基板１０は、図２（ｂ）のごとく、最上層側に開口するシート側凹状部としてのキャビティ１１が形成されている。このキャビティ１１は、図２（ｃ）のＡ−Ａ断面図のごとく、最上層１２を貫通する最上層孔１１ａ（第三層孔１１ａともいう）、及びボンディングパッド層としての第二層１４を貫通する第二層孔１１ｂが互いに対応した位置に形成されてなり、第一層１６がキャビティ１１の底部をなす形態となっている。なお、積層数はこれに限定されず、適数層（例えば２層〜６層）とできる。
【００１５】
また、各層のセラミックの所定位置には、配線用のビアホールが形成され、各層のビアホール内には、例えば、モリブデン、タングステン等の導体ペーストのスクリーン印刷によりビア導体が充填されている。更に、各層のセラミック層の上面には、金属の導体ペーストで配線パターンがスクリーン印刷されている。
【００１６】
なお、このようなグリーンシート積層体２０を形成する前段階の工程について述べると、例えばアルミナセラミック等を主体とするグリーンシートをドクターブレード法等により製造するとともに、これを所定のサイズに切断し、次いでその切断されたシートにおいて所定形状の孔を所定位置にて打ち抜く。さらに打ち抜かれた孔にタングステン（Ｗ）又はモリブデン（Ｍｏ）等の高融点金属を主に含むメタライズインクを充填することにより、当該セラミックグリーンシートを垂直方向に貫通するビア形成を行う。そのセラミックグリーンシート表面において上記同様のメタライズインクをスクリーン印刷により所定のパターンにて印刷し、メタライズ層を形成する。そして、シート側凹部となるべき第三層孔１１ａ、及び第二層孔１１ｂを各セラミックグリーンシートの所定位置に形成し、それらセラミックグリーンシートを積層することによりグリーンシート積層体２０を得る。なお、グリーンシート積層体２０は、層間において接着用の溶剤が塗布された状態にて仮接着される。そして、このようなグリーンシート積層体２０の層間を、以下において説明する圧着工程にて圧着することとなる。
【００１７】
まず、圧着工程の概要について述べる。複数のセラミックグリーンシート（第一層１６、第二層１４、第三層１２）が積層されたグリーンシート積層体２０の最上層にて開口するシート側凹部としてキャビティ１１が上記のごとく形成されているが、この得るべきグリーンシート積層体２０は、セラミック配線基板の品種に応じて異なる凹部パターンが形成されるものである。そして、当該圧着工程においては、その凹部パターンの異なる複数のグリーンシート積層体に対し、一定の凸部パターンが表面に形成された柔軟弾性部材（図４参照：なお、図４（ａ）及び（ｂ）はその柔軟弾性部材の一例についての斜視図及び平面図を示す。）を、その凸部パターンの側が凹部パターンの側に位置するように重ね合わせる。
なお、図６はこれらを重ね合わせた状態を示している。
【００１８】
そして、このような柔軟弾性部材２にてグリーンシート積層体２０を積層方向に押圧することにより、シート側凹部（キャビティ１１）と異なる形状で形成された弾性部材側凸部４を強制変形させて当該弾性部材側凸部４をキャビティ１１に進入させつつ、グリーンシート積層体２０の層間を圧着する。この圧着においては、図６のように柔軟弾性部材２と治具４０により積層体２０が狭圧される。例えば、この狭圧はいわゆる真空引き等により柔軟弾性部材２を治具４０側に引き寄せて行うことができる。また、治具４０には積層体２０を加熱するように、図示しないヒータが備えられており、上記狭圧に加えて当該ヒータの加熱により熱圧着する。
【００１９】
本実施例においては、柔軟弾性部材２の表面形状として、図４（ａ）の斜視図、及び図４（ｂ）の平面図のごとく、凸条形態をなした弾性部材側凸部としての凸条部４が複数配列された構成を採用している。柔軟弾性部材２は、凸条部４と板状部５とが一体化してなり、凸条部４が板状部５より突出した形状となっている。この凸条部４の断面形状としては、図５の要部断面図のごとく、断面外形線が略半円状となるように形成できるが、形状はこれに限定されるわけではなく、断面外形線の形状を略コの字状、楕円半円状、Ｕ字状、その他等、種々に選択できる。なお、シート側凹部（即ちキャビティ１１）の開口部の最大幅Ｗ１（図２（ｂ）参照）と、弾性部材側凸部の最大幅Ｗ２との比Ｗ１／Ｗ２が、１〜１７（望ましくは１〜１５、さらに望ましくは１〜１３）の範囲となるよう弾性部材側凸部のサイズ（図５においては凸条部４のサイズ）を調整できる。なお、キャビティ１１の開口部の最大幅Ｗ１は、キャビティ１１の開口部内周縁上において互いに位置の異なる２点を選択した場合、互いの距離が最大となる２点間隔を意味する。本実施例においては、図２（ｂ）又は図１０のごとく、略方形状（なお、本実施例においては４角に所定のアールが形成される）に形成されるキャビティ開口の対角方向の幅をシート側凹部の開口部の最大幅Ｗ１としている。
【００２０】
さらに、凸部最大幅Ｗ２は以下のごとく定義できる。即ち、図４のごとく弾性部材側凸部が凸条形態の場合、その条方向に対する垂直断面において、当該弾性部材側凸部の突出方向に対する垂直方向の最大幅を意味する。図５は条方向に対する垂直断面を示しており、図５において、凸条部４の突出方向（板状部５の厚さ方向）に対する垂直方向（板状部５の板面方向）の最大幅Ｗ２は凸条部４の突出基端位置となっている。なお、弾性部材側凸部の突出方向は、当該弾性部材側凸部の基端がその面上に位置するよう構成される基準面に対する垂直方向を意味する。図５の例では、一点鎖線にて示される基準面５０を基端として、凸条部４が突出する形態となっているが、上記した凸条部４の突出方向に対する垂直方向とは、基準面の面方向と換言できる。なお、図１２（ａ）ないし（ｃ）においては、凸条部４の変形例について示しているが、いずれにおいても、凸条部４の突出方向に対する垂直方向（即ち基準面の面方向）における、その凸条部４の最大幅をＷ２、高さをＨ２としている。なお、この比Ｗ１／Ｗ２が１７以上であると、弾性部材側凸部サイズが過小となり、望ましい効果を得られなくなる場合が生じる。また、１以下であると、キャビティの開口部に対して弾性部材側凸部が過大となり、キャビティサイズと比較して当該弾性部材凸部の外面形状が平坦面に近くなり、上記平坦面形状の柔軟弾性部材と同様の不都合が生じる可能性がある。上記範囲に設定するとこれらの問題が解消される。なお、この比が１〜１５であると弾性部材凸部がキャビティ内の隅々まで行き届き、キャビティ内に十分な押圧力が付与される好適範囲となる。さらに１〜１３に設定するとその効果が極めて顕著となる。
【００２１】
また、柔軟弾性部材は、グリーンシート積層体の最上層における凹部パターンが異なる他の積層体に対しても同様に適用できる。例えば、図１の積層体と異なる凹部パターンを有する図９の積層体に対しても利用できるのである。図９の積層体は、図１の積層体２０と全体がほぼ同サイズのものであって、配線基板製造単位１５の大きさ及び数、ワーク基板の大きさ及び数等が図１のものと異なっている。図１０にはその積層体のワーク基板１０について示しているが、この場合においてもキャビティ１１と弾性部材側凸部とが上記範囲（即ちＷ１／Ｗ２が、１〜１７）となるように調整できる。即ち、サイズが定められた柔軟弾性部材であっても、Ｗ１／Ｗ２が、１〜１７の範囲となる様々なキャビティに（即ちグリーンシート積層体に）適用できることとなる。このように、単一の柔軟弾性部材を多種の積層体に適用でき、極めて汎用性の高い製造方法となるのである。なお、このサイズとしては、例えば最大幅Ｗ２を３．３７ｍｍと設定できる。また、それ以外の柔軟弾性部材２の寸法例としては、図５に示されるように、例えば凸条部間の幅Ｗ３を１．２２ｍｍ、凸条部４の高さＨ２を１．６０ｍｍ、柔軟弾性部材の凸状部を含めた高さＨ１を８ｍｍ（又は１１ｍｍ）とできる。なお、柔軟弾性部材２の厚さは、対象となる積層体の厚さに応じて設定できる。具体的には図６のように積層体に対し柔軟弾性部材２をセットした場合に柔軟弾性部材２の上面が治具４０より突出するように、積層体の厚さに応じて柔軟弾性部材２の厚さを設定できる。
【００２２】
なお、上記説明においては、凸条形態をとる弾性部材側凸部について説明したが、図１３（ａ）のように、柔軟弾性部材２の表面の一部又は全部において複数の弾性部材側凸部を例えば突起状に分散形成させてもよい。なお、図１３（ａ）では、なだらかな裾野部を有して成る山状の突起部４１が複数分散して柔軟弾性部材２の表面が形成されている。この弾性部材側凸部としての突起部４１の形状は、図１３（ｂ）の半球状、図１３（ｃ）のなだらかな裾野状等の例のように、種々の形状を適用できる。なお、このような分散形態をとる弾性部材側凸部の場合には最大幅Ｗ２は以下のごとく定義する。即ち、分散形態の突起部をその突出側より平面視した場合における当該突起部の輪郭の最大径を最大幅Ｗ２とする。換言すれば、その最大幅Ｗ２は、その輪郭線上において異なる２点を選択した場合の最大２点間距離となる。なお、図１３（ｂ）のように突起部４１が半球状の場合、上記平面視における輪郭線は突起部４１の基端となる基端面４３の外縁輪郭線４３ａとなる。この定義は、図１３（ｃ）、又はその他の形状の突起部においても同様に適用する。
【００２３】
そして、当該圧着工程においては、図７（ａ）のごとく 各キャビティ１１に対応した位置に各々のキャビティ１１よりも小面積の貫通孔２９が形成された被覆板２５により、各キャビティ１１の開口内周縁が貫通孔２９内に露出しない形にてグリーンシート積層体２０の最上層面部を覆う。この被覆板２５は、例えば図３のごとくグリーンシート積層体２０（図１）とほぼ同形状とでき、さらに、各ワーク基板１０と同配列にてそのワーク基板１０と同数の貫通孔２９を設けることができる。そして、これらグリーンシート積層体２０と被覆板２１との互いの対応する位置に位置決め用の位置決め孔をそれぞれ形成し、その位置決め孔に位置決め部材を挿通することにより位置決めできる。具体的には、図１のごとく積層体２０において積層体側位置決め孔２１が所定数（本実施例においては４角において４箇所）形成されており、さらに図３のごとく被覆板２５においても、その積層体側位置決め孔２１と重なる同位置にて被覆板側位置決め孔３１が形成される。そして、軸状部材にてこれら位置決め孔２１，３１を共に貫通することにより、グリーンシート積層体２０と被覆板２５の盤面方向への移動が拘束されて位置決めされる。
【００２４】
このように位置決めされた状態にて、被覆版２５の上から柔軟弾性部材２を被せて押圧することにより、図７（ａ）ないし（ｃ）のように弾性部材側凸部（即ち凸条部４）を、被覆板２５の貫通孔２９を経てシート側凹部（即ちキャビティ１１）内に進入させる。なお、図７（ａ）は凸条部４が被覆板２５の片面に当接する程度に接近した状態を模式的に示し、図７（ｂ）は凸条部４によりキャビティ１１の開口を塞ぐ程度に進入が進んだ状態を示し、図７（ｃ）は、凸条部４がキャビティ１１をほぼ充填する程度に進入が進んだ状態を示している。なお、図７（ｃ）に至った後、柔軟弾性部材２による加圧を低減すると、再び図７（ｂ）と同様の状態に戻り、さらに柔軟弾性部材２を離間させることにより図７（ａ）の状態となる。
【００２５】
上記のごとく弾性部材側凸部としての凸条部４をキャビティ１１内に進入させると、圧着後において図７（ｂ）のごとくキャビティ１１の開口が開放される程度に当該柔軟弾性部材の強制変形が復帰した場合、依然として弾性部材側凸部（凸条部４）の一部がキャビティ内の空間の占有することとなる。従って、減圧の度合は図１４のような平坦面形状のものやキャビティ形状と同一形状の凸部を持つものと比較して極めて小さいか、又は減圧がほぼ生じないためバックリングを防止でき、ひいては高精度の製品提供、歩留まりの向上等に寄与する。
【００２６】
図７（ｃ）のごとく、 凸条部４は、シート側凹部となるキャビティ１１の凹部内面に追従させて当該凹部内面とほぼ密着形態となるよう弾性変形される。このように、凹部内面にほぼ密着状態となるよう弾性部材側凸部を進入させると、キャビティ１１内において各層の細部に至るまで満遍なく押圧される。例えば、底部なる第一層１６は凸条部４により十分に加圧され、さらに第三層孔１１ａ及び第二層１１ｂの内周縁近傍まで凸条部４が行き届き、その内周縁近傍に進入した部分により層間に塗布される溶剤のキャビティ内への漏洩を堰き止めることができる。なお、被覆板２５の材質としては、グリーンシート積層体を構成するセラミックグリーンシートより硬質な材質、例えば、ステンレス鋼等の金属材料を用いることができるが、これに限定されるというわけではない。
【００２７】
また、図８（ａ）ないし（ｃ）には、一つのキャビティに複数の弾性部材側凸部が進入する例について示している。この例によれば、図７とほぼ同様に、弾性部材側凸部としての凸条部４の複数がキャビティ１１内に進入して、図８（ａ）の離間状態から、（ｂ）、（ｃ）の状態へと順に移行し、圧着時には図８（ｃ）のごとく、凹部内面にほぼ密着状態となる。圧着後は、柔軟弾性部材２による加圧が解除されることにより、図８（ｃ）の状態から再び図８（ｂ）へと移行することとなる。この時、キャビティ１１の形状と、進入する部分の形状が同一形状でないため、弾性部材側凸部の凹凸に起因してキャビティ内面と柔軟弾性部材表面と間に微小な隙間が存在することとなり、それにより柔軟弾性部材表面とキャビティ内面とが良好に離間する（即ち、キャビティ内面が柔軟弾性部材と密着して連動することがない）。また、加圧の解除の際、キャビティ開口内縁と柔軟弾性部材の進入側表面との間には、柔軟弾性部材表面の凹凸による微小な隙間が存在するためキャビティ内の空気抜けが良く、また、図８（ｂ）のように、弾性復帰中或いは復帰後において、柔軟弾性部材（特に弾性部材側凸部）がキャビティ内をある程度占有するためキャビティ内の減圧が抑制される。また、弾性部材側凸部（凸条部４、突起部４１等）の外面形状は、図８等のごとく、いわゆる角とも称される二面接合部又は三面接合部等の角状部分が形成されないようにできる（即ち、曲面のみにより形成してもよい）。これによれば、角部による圧力集中が起こらず、グリーシート積層体（特にキャビティ内）の損傷を効果的に防止できる。
【００２８】
また、柔軟弾性部材に使用される柔軟弾性材料は、アスカーＦ型硬度計（高分子機器株式会社製）において、Ｆスケール値が５０°より大きく９０°以下（望ましくは６０°より大きく９０°以下、さらに望ましくは７０°より大きく９０°以下）となるように調整できる。なお、９０°を超えると、弾性部材側凸部のキャビティ内への進入が困難となり、セラミックグリーンシートの均一な加圧が困難となる。また、５０°以下であると、柔軟弾性部材の形状維持、或いはキャビティ内における良好な押圧が困難となる。上記範囲に調整することにより、これら問題が解消される。なお、この範囲を６０°より大きく９０°以下に設定すると、キャビティ内への柔軟弾性部材の進入がスムーズであり、かつ柔軟弾性部材による良好な加圧がなされる好適範囲となる。さらに、７０°より大きく９０°以下であると、その効果が極めて顕著となる。
【００２９】
また、本発明における柔軟弾性部材として、ゴム、エラストマー等の柔軟弾性材料を使用でき、中でも特にシリコンゴムを好適に用いることができる。このシリコンゴムによると、柔軟性に優れるため弾性部材側凸部のキャビティ内への進入がスムーズとなり、かつ耐久性（例えば、繰り返し使用に対する耐劣化性等）、及び耐薬品性（例えば、積層体層間に介在する接着用の溶剤に対する耐性等）を併せて有するため極めて機能的である。
【００３０】
なお、柔軟弾性部材を、キャビティを被覆するキャビティ被覆領域と、位置決めに使用する位置決め孔９及びその近傍を含んだ位置決め領域とに分割し、これらの領域の硬度が互いに異なるように、具体的には、キャビティ被覆領域の硬度よりも位置決め領域の硬度が固くなるように調整できる。例えば、図４（ｂ）において、平面視した場合に略長方形状に形成される柔軟弾性部材２の長辺側側部近傍を位置決め領域７として設定し、それ以外の内部をキャビティ被覆領域としている。位置決め孔９は、位置決め用の軸状部材に挿通されるために孔内面が侵食されやすく、その位置決め孔９の近傍においてこの侵食が過度とならぬ硬度が必要となる。そのために、例えば位置決め領域７の硬度を上記Ｆスケールにて９０°より大きく１５０°以下の範囲となるよう調整するとよい。なお、位置決め孔９は、孔２１、３１と重なるよう設けられ、上記位置決め部材によりこれらとともに貫通される。また、上記実施例では、治具４０内に１個の多数個取り配線基板を入れて圧着したが、これに限ることはない。例えば、複数の多数個取り配線基板をセットしてもよいし、配線基板単位を複数個セットして圧着してもよい。
【００３１】
このような、圧着工程によりグリーンシート積層体２０を圧着し、その圧着後のグリーンシート積層体２０を焼成後所定の大きさに（例えば、配線基板製造単位１５（図１）ごと）切断する。なお、当該圧着工程、或いは、その前後の種々の工程と関連させて種々の検査工程が設けられる。
【００３２】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各請求項に記載した範囲を逸脱しない限り、各請求項の記載文言に限定されず、当業者がそれらから容易に置き換えられる範囲にもおよび、かつ、当業者が通常有する知識に基づく改良を適宜付加することができる。例えば、セラミックグリーンシートの材料としては、アルミナに限らず、窒化アルミニウム、窒化珪素、ガラスセラミック、ジルコニウム等の種々のセラミック又はこれらの混合体を用いることもできる。また、材料として、低温焼成セラミックを用いてもよく、例えば、ＢａＯ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系材料、ＣａＯ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系材料、ＣａＯ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３系のガラス粉末とＡｌ２Ｏ３粉末との混合物、ＭｇＯ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３系のガラス粉末とＡｌ２Ｏ３粉末との混合物、又はＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３系のガラス粉末とＡｌ２Ｏ３粉末との混合物等、８００℃〜１０００℃で焼成できるセラミックを用いればよい。
【００３３】
また、低融点ガラス成分とセラミックなどのフィラー材とから成るガラスセラミック材料が用いられる場合、例えば、低融点ガラス成分は、コージェライト、ムライト、アノードサイト、セルジアン、スピネル、カーナイト、ウイレマイト、ドロマイト、ペタライト、オオズミライト及びその置換誘電体等の結晶相のうち少なくとも１種類を析出し得るガラス成分であり、フィラー材は、クリストバライト、石英、コランダム（αアルミナ）等が例示できる。
【００３４】
また、メタライズインクの主体となる材質、即ち導体ペーストとしては、Ｍｏ、Ｗに限らず、Ａｇ、Ａｇ／Ｐｄ、Ａｇ／Ｐｔ、Ａｕ、Ｃｕ等、又はこれらの混合体を主成分とする導電性材料を所定の溶剤によってペースト状に混練したものや、Ａｇ粉末、Ｃｕ粉末、Ａｕ粉末等の低抵抗性材料を主体とし、低融点ガラスフリット、有機ビヒクルを混練した導電ペーストを用いてもよい。また、本発明の製造方法はいわゆるＰＧＡ型やリードレスチップキャリア等を含む種々の配線基板に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】グリーンシート積層体の一例を示す平面図。
【図２】配線基板製造単位の一例を示す平面図、及びワーク基板の一例を示す平面図及びＡ−Ａ断面図。
【図３】被覆板の一例を示す平面図。
【図４】柔軟弾性部材の一例を示す斜視図及び平面図。
【図５】柔軟弾性部材の要部形状について説明する説明図。
【図６】圧着工程における積層体、被覆板、治具及び柔軟弾性部材の構成を概念的に説明する説明図。
【図７】キャビティ内への弾性部材側凸部の進入について説明する説明図。
【図８】図７の別例を示す説明図。
【図９】グリーンシート積層体の別例を示す平面図。
【図１０】図８のグリーンシート積層体のワーク基板の例を示す平面図。
【図１１】図８のグリーンシート積層体に対応する被覆板の例を示す平面図。
【図１２】弾性部材側凸部の変形例を示す説明図。
【図１３】分散した突起部を有する柔軟弾性部材の例を示す説明図。
【図１４】圧着側が平坦面に形成される柔軟弾性部材を用いた場合についての説明図。
【符号の説明】
２  柔軟弾性部材
４  凸条部  （弾性部材側凸部）
１１  キャビティ  （シート側凹部）
１２  第三層  （最上層）
２０  グリーンシート積層体
２５  被覆板
４１  突起部  （弾性部材側凸部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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