【事件の表示】
　平成　４年特許願第　７６９００号「試料保持装置及びその製造方法」拒絶査定に対する審判事件［平成　５年１０月２９日出願公開、特開平　５−２８３５１３］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯・本願発明
　本願は、平成４年３月３１日の出願であって、その請求項１乃至４に係る発明は、平成１２年１２月２８日付け手続補正書及び平成１４年８月１２日付け手続補正書で補正がされた明細書及び出願当初の図面の記載から見て、本願の特許請求の範囲の請求項１乃至４に記載されたとおりのものと認められるところ、その請求項１に記載された発明（以下「本願発明１」という。）は次のとおりである。
「表面に絶縁膜を有する導電体によって構成された試料台を備え、該試料台に載置された試料を、該試料と前記導電体との間に直流電圧を印加することによって吸着保持する試料保持装置において、
　前記導電体は、アルミニウム合金製であり、前記試料の吸着面の周囲に設けた固定用の張り出し部及び／又は前記吸着面の一部を表裏に貫通する試料突き上げピン用の孔を備え、前記絶縁膜は、前記導電体の陽極酸化により前記張り出し部の外面及び／又は前記孔の内面を含めて被着されたアルミニウム合金の陽極酸化膜が５０μｍ程度の厚さに形成されていることを特徴とする試料保持装置。」
　
第２　引用例
　これに対して、当審における、平成１４年６月１８日付けで通知した拒絶の理由に引用した、本願の出願前の平成３年１０月８日に頒布された特開平３−２２７５５４号公報（以下「引用例」という。）には、次の記載がある。
　
「第１図において、ドライエッチング処理が施されるチャンバー４内を真空にするためのロータリポンプやメカニカルブースタポンプ等を備えた排気系５が備えられ、チャンバー４内が真空にされると図示しないハンドリングアーム等の搬送機構により被処理体である半導体ウェハ３が下部電極１２上に設けられた静電チャック６上に搬送されるようになっている。静電チャック６には上下駆動機構７により上下運動するピン８が設けられ、上昇したピン８上に半導体ウェハ３が載置されると、上下駆動機構７によりピン８が下降され、半導体ウェハ３は静電チャック６の周縁に設けられた石英製フォーカスリング９により位置決めされると同時に静電チャック６の載置体６１上に載置される。」（第２頁右上欄第１〜１５行）
「ここで、上記静電チャック６は第２図に示すようにＤＣ電源に接続されるアルミニウム製電極１０が酸化膜例えば酸化アルミニウムの被覆１０Ａを有して成り、ＤＣ電源により例えばアルミニウム製電極１０にプラスを印加させると、酸化アルミニウム被覆１０Ａはアルミニウム製電極１０に接する部分をプラス、表面はマイナスに分極し、酸化アルミニウム被覆１０Ａに接触した半導体ウェハ３を分極させ表面をプラスに帯電させ、この間に働くクーロン力によって接着させる。」（第２頁左下欄第４〜１３行）
「酸化アルミニウム被覆１０Ａの被覆厚は数１００μｍ例えば３００μｍに形成される。酸化アルミニウム被覆１０Ａはアルミニウム板の素地の表面を酸化され硬質アルマイトに形成される。」（第２頁右下欄第１〜４行）
　なお、「静電チャック６には上下駆動機構７により上下運動するピン８が設けられ、上昇したピン８上に半導体ウェハ３が載置されると、上下駆動機構７によりピン８が下降され、半導体ウェハ３は静電チャック６の周縁に設けられた石英製フォーカスリング９により位置決めされると同時に静電チャック６の載置体６１上に載置される。」という記載及び第１図から見て、ピン８は、静電チャック６を貫通しているものと解されるから、静電チャック６を構成するアルミニウム製電極１０は、被処理体を載置する面の一部を表裏に貫通するピン用の孔を備えているもの認められる。
　これらの記載事項を図面を参酌しながら、本願発明１に照らして整理すると、引用例１には次の発明が記載されているものと認める。
　表面に酸化膜を有する電極によって構成された載置体を備え、該載置台に載置された被処理体を、該電極に直流電圧を印加することによって該電極と前記被処理体との間に働くクーロン力によって吸着保持する静電チャックにおいて、前記電極は、アルミニウム製であり、前記被処理体の載置面の一部を表裏に貫通するピン用の孔を備え、前記酸化膜は、アルミニウム製電極の表面を酸化させることにより数１００μｍの厚さに形成されている静電チャック。
　
第３　対比
１　一致点
　本願発明１と、引用例に記載された発明とを比較すると、引用例に記載された発明における「酸化膜」「電極」「載置体」「被処理体」「載置面」「静電チャック」は、それぞれ本願発明１における「絶縁膜」「導電体」「試料台」「試料」「吸着面」「試料保持装置」に相当するから、結局両者は、
　表面に絶縁膜を有する導電体によって構成された試料台を備え、該試料台に載置された試料を、前記導電体に直流電圧を印加することによって吸着保持する試料保持装置において、
　前記導電体は、アルミニウムを含有する金属製であり、前記試料の吸着面の一部を表裏に貫通するピン用の孔を備え、前記絶縁膜は、前記導電体の表面を酸化させることにより形成されている試料保持装置、
　である点で一致し、次の各点において相違する。
　
２　相違点
（１）　相違点１
　本願発明１では、試料を吸着保持させるためのクーロン力を発生させるために、試料と導電体との間に直流電圧を印加しているのに対して、引用例に記載された発明では、導電体にのみ直流電圧を印加している点。
　
（２）　相違点２
　本願発明１では、導電体をアルミニウム合金製としているのに対し、引用例に記載された発明では、アルミニウム製としている点。
　
（３）　相違点３
　本願発明１では、導電体に設けられた孔が、試料突き上げピン用であるのに対して、引用例に記載された発明では、試料を載置するピン用の孔である点。
　
（４）　相違点４
　本願発明１では、絶縁膜が、導電体の陽極酸化により孔の内面を含めて被着されたアルミニウム合金の陽極酸化膜により形成されているのに対して、引用例に記載された発明では、導電体の酸化方法までは特定されておらず、また、孔の内面まで被着されているか不明である点。
　
（５）　相違点５
　本願発明１では、絶縁膜の厚さを、５０μｍ程度としているのに対し、引用例に記載された発明では、数１００μｍとしている点。
　
第４　当審の判断
　前記各相違点について検討する。
１　相違点１
　静電チャックにおいて、クーロン力を発生させる手段として、試料と導電体との間に直流電圧を印加する方法も、導電体にのみ直流電圧を印加する方法も共に周知（必要があれば、特公平１−３６７０７号公報及び特開昭５９−７９５４５号公報を参照されたい。）であるから、どちらを採用するかは、当業者において設計的事項に過ぎない。
　したがって、相違点１は、設計上の微差に過ぎない。
　
２　相違点２
　静電チャックの導電体として、アルミニウムを採用するか、アルミニウム合金を採用するかは、当業者において設計的事項に過ぎない。
　よって、相違点２は、設計上の微差に過ぎない。
　
３　相違点３
　導電体に、試料突き上げピン用の孔を備えることは、従来周知（必要があれば、特開平２−６９９５６号公報及び特開平２−２７０３２０号公報を参照されたい。）であるから、引用例に記載された発明において導電体に設けられた孔を、試料突き上げピン用とすることは、当業者が容易になし得たことと認められる。
　
４　相違点４
　アルミニウム或いはアルミニウム合金製の板の表面に酸化膜による絶縁膜を形成する場合に、陽極酸化により陽極酸化被膜を形成すること、また、その際、陽極酸化被膜は、該板に予め設けられていた貫通孔の内部にも形成されることは、従来周知（必要があれば、特開平２−１４２１９７号公報及び特開平１−２１１９９５号公報を参照されたい。）である。
　そして、引用例に記載された発明において、導電体の表面に酸化膜による絶縁膜を形成する際に、上記周知の陽極酸化という手段を採用することは、当業者が容易になし得たことであり、かつ、その場合には、導電体に設けられた貫通孔の内部にも絶縁膜が形成されるものと認められる。
　また、上記周知技術を付加したことによる効果も予測される範囲を超えるものではない。
　したがって、引用例に記載された発明に、上記周知技術を適用することにより、絶縁膜が、導電体の陽極酸化により孔の内面を含めて被着されたアルミニウム合金の陽極酸化膜により形成されているように構成することは、当業者が容易になし得たことと認められる。
　
５　相違点５
　静電チャックにおいて、絶縁膜の厚さを薄くすれば、試料と導電体上面との間に形成される静電容量が大きくなり、試料吸着面の吸着力が強化されること、ただし、薄くしすぎれば、絶縁膜が破壊されるので、その薄さには自ずと限界があることは、当業者において例示するまでもなく従来周知であるから、絶縁膜の厚さを選択すること自体は、設計的事項であると解される。
　そして、静電チャックにおける絶縁膜の厚さとして、５０μｍという数値は、従来から採用されている値に過ぎないし（必要があれば、特公平１−５２８９９号公報を参照されたい。）、また、陽極酸化により形成される絶縁膜の厚さとして、５０μｍという数値は通常（上記周知例、特開平２−１４２１９７号公報参照）のものである。
　したがって、絶縁膜の厚さを５０μｍ程度とした点は、設計的事項に過ぎない。
　
第５　むすび
　以上のとおりであるから、本願発明１は、引用例に記載された発明及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　したがって、本願発明１は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、請求項２乃至４に係る発明について検討するまでもなく、結論のとおり審決する。