【手続補正書】
【提出日】平成18年3月16日(2006.3.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】基板検査装置及び基板検査方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を保持するホルダと、
前記ガラス基板にマクロ照明光を照射するマクロ照明光源と、
前記ガラス基板に対して前記マクロ照明光源からのマクロ照明光が観察に適した入射角に設定されるように前記ホルダーを観察者側に向けて所定の角度に回転させる第１の回転手段と、
前記ホルダを表側と裏側に反転させるように回転させる第２の回転手段と、
前記ホルダを天側と地側に反転させるように回転させる第３の回転手段とを備え、
前記マクロ照明光源は、前記第１の回転手段により前記所定の角度に回転された前記ホルダに保持された前記ガラス基板の下方部分の照射領域に前記マクロ照明光を照射し、前記第３の回転手段により前記ホルダーの天地を反転させることにより前記照明領域で前記ガラス基板の天地を反転させ目視観察することを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記第２の回転手段と前記第３の回転手段は、互いに直行する回転軸を有し、前記ホルダの表裏の反転及び天地の反転を行なうことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記第１の回転手段は、装置本体の観察者側の正面に対して水平方向に設けられた第１の回転軸を中心にして起上り方向とその反対の傾倒方向に回転可能な支持アームを有し、前記第２の回転手段は、前記支持アームに対して前記ホルダを表側と裏側に反転させる第２の回転軸を有することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記支持アームは、前記第１の回転軸の両端部に平行に設けられ、この第１の回転軸と反対側に位置する端部に前記第２の回転軸が設けられることを特徴とする請求項３記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記第２の回転軸に、前記第３の回転手段が取り付けられることを特徴とする請求項２乃至４記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記第３の回転手段は、前記第２の回転軸の中間部に設けられた支持部に前記ホルダを平面内で前記天側と前記地側に反転させる第３の回転軸を有し、この第３の回転軸に長方形状に形成したベースを介して前記ホルダを連結させたことを特徴とする請求項４記載の基板検査装置。
【請求項７】
前記ホルダは、前記ガラス基板の周縁部を吸着保持する四角形状の開口を有する枠状に形成され、前記ベースは、前記長方形の短辺の長さが前記ホルダの長さの１／３〜１／２に形成されることを特徴とする請求項６記載の基板検査装置。
【請求項８】
前記ホルダは、前記ベースに沿って上下方向に移動可能に設けられ、前記ホルダを下方に移動させたときに前記ホルダの枠と前記ベースとの間を前記ガラス基板の検査領域とすることを特徴とする請求項７記載の基板検査装置。
【請求項９】
前記ホルダは、前記ガラス基板の周縁部を吸着保持する四角形状の開口を有する枠状に形成され、このホルダ枠内に前記ガラス基板を水平に保持する複数の桟が設けられていることを特徴とする請求項１乃至３記載の基板検査装置。
【請求項１０】
前記第３の回転手段は、前記ホルダに保持された規則的なパターンを有する前記ガラス基板に対する前記マクロ照明光の入射方向が可変するように前記ホルダを平面内で回転させることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項１１】
前記ガラス基板を保持するホルダを観察に適した角度に立ち上げた状態で、ガラス基板の上方からマクロ照明光を照射して前記ガラス基板上の欠陥を目視で検査する基板検査方法において、
前記ホルダの天地を反転させて、前記ホルダに保持された前記ガラス基板の天側と地側を交互に反転させながら前記マクロ照明光により前記ガラス基板の全面を目視観察することを特徴とする基板検査方法。
【請求項１２】
前記ホルダは、四角形状の枠に形成され、このホルダを裏側に反転させて、前記ホルダに保持された前記ガラス基板の裏面を前記マクロ照明光により目視観察することを特徴とする請求項１１記載の基板検査方法。
【請求項１３】
前記ホルダは、四角形状の枠に形成され、このホルダの裏面側から透過照明光を照射して前記ガラス基板を目視観察することを特徴とする請求項１１記載の基板検査方法。
【請求項１４】
前記ホルダを上下方向に移動させて、前記ガラス基板の半分を目視観察することを特徴とする請求項１１又は１２記載の基板検査方法。
【請求項１５】
前記ホルダを平面内で回転させて、前記ガラス基板に形成された規則的なパターンに対する前記マクロ照明光の入射方向を変えて前記ガラス基板上の欠陥を目視観察することを特徴とする請求項１１記載の基板検査方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）などのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板の表面又は裏面に照明光を照射してガラス基板上の欠陥部を検査する基板検査装置及び基板検査方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
そこで本発明は、大型のガラス基板を保持するホルダの天地を反転してガラス基板の全面を検査可能とし、更にホルダを前後方向に揺動したり回転させてガラス基板に対する照明光の入射角度又は入射方向とを変更可能とし、更にホルダを反転してガラス基板の裏面検査も可能な基板検査装置及び基板検査方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ガラス基板を保持するホルダと、前記ガラス基板にマクロ照明光を照射するマクロ照明光源と、前記ガラス基板に対して前記マクロ照明光源からのマクロ照明光が観察に適した入射角に設定されるように前記ホルダーを観察者側に向けて所定の角度に回転させる第１の回転手段と、前記ホルダを表側と裏側に反転させるように回転させる第２の回転手段と、前記ホルダを天側と地側に反転させるように回転させる第３の回転手段とを備え、前記マクロ照明光源は、前記第１の回転手段により前記所定の角度に回転された前記ホルダに保持された前記ガラス基板の下方部分の照射領域に前記マクロ照明光を照射し、前記第３の回転手段により前記ホルダーの天地を反転させることにより前記照明領域で前記ガラス基板の天地を反転させ目視観察する基板検査装置である。
また、本発明は、前記ガラス基板を保持するホルダを観察に適した角度に立ち上げた状態で、ガラス基板の上方からマクロ照明光を照射して前記ガラス基板上の欠陥を目視で検査する基板検査方法において、前記ホルダの天地を反転させて、前記ホルダに保持された前記ガラス基板の天側と地側を交互に反転させながら前記マクロ照明光により前記ガラス基板の全面を目視観察する基板検査方法である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
【発明の効果】
以上詳述したように本願発明によれば、大型のガラス基板を保持する保持するホルダを前後方向に揺動したり回転させてガラス基板に対する照明光の入射角度又は入射方向とを変更可能とし、更にホルダを反転してガラス基板の裏面検査も可能な基板検査装置及び基板検査方法を提供することを目的とする。