【手続補正書】
【提出日】平成18年3月24日(2006.3.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  被検レンズと、
前記被検レンズの後端側に平行光を導光する照明光学系と、
前記被検レンズの先端側で、前記被検レンズ先端から出射された出射光束軸と反射光束軸が同一光束軸となるように反射可能に配置された球面ミラーと、
前記被検レンズを通過した前記反射光束による点像を観察する点像観察光学系と、
前記照明光学系の光軸と前記点像観察光学系の光軸の少なくとも一方の光軸と前記被検レンズの光軸とを相対的に傾斜可能な傾斜手段と、
を具備したことを特徴とするレンズ軸上軸外点像観察装置。
【請求項２】  前記傾斜手段は、前記照明光学系の光軸と前記点像観察光学系の光軸の少なくとも一方の光軸及び前記被検レンズの光軸と互いに直交する軸を回転中心として回動することにより傾斜させるものであり、前記回転中心を前記被検レンズの瞳位置近傍に配置することを特徴とする請求項１記載のレンズ軸上軸外点像観察装置。
【請求項３】  前記傾斜手段の軸と前記被検レンズの瞳位置との位置関係を、前記被検レンズの光軸方向で調整する間隔補正部材を更に有し、
前記間隔補正部材は、前記傾斜手段の軸の延長線上に前記被検レンズの瞳位置を配置させるように調整することを特徴とする請求項２記載のレンズ軸上軸外点像観察装置。
【請求項４】  前記被検レンズは、前記被検レンズの光軸を中心軸として回動可能な保持手段に保持されていることを特徴とする請求項１記載のレンズ軸上軸外点像観察装置。
【請求項５】  前記照明系は、光ファイバーと、前記光ファイバーの入射端に光を導入する光源と、前記光ファイバーの出射端から出射された光を平行光にするコリメータレンズと、から構成されることを特徴とする請求項１記載のレンズ軸上軸外点像観察装置。
【請求項６】  前記光ファイバーの出射端は、前記コリメータレンズの焦点位置に配置されていることを特徴とする請求項５記載のレンズ軸上軸外点像観察装置。
【請求項７】  前記照明系は、ピンホールと、前記ピンホールを背後から照明する光源と、前記ピンホールを通過した光を平行光にするコリメータレンズと、から構成されることを特徴とする請求項１記載のレンズ軸上軸外点像観察装置。
【請求項８】  前記ピンホールは、前記コリメータレンズの焦点位置に配置されていることを特徴とする請求項７記載のレンズ軸上軸外点像観察装置。
【請求項９】  前記コリメータレンズの焦点距離をｆ＿ｉｌｌ、前記被検レンズの焦点距離をｆ＿ｏｂ、前記ピンホールまたは光ファイバーのコア径をφ＿Ｐ、前記被検レンズの理想状態におけるエアリディスク径をφ＿ａｉｒｙとした場合、
φ＿ｐ≒（ｆ＿ｉｌｌ／ｆ＿ｏｂ）×φ＿ａｉｒｙまたはφ＿ｐ≦（ｆ＿ｉｌｌ／ｆ＿ｏｂ）×φ＿ａｉｒｙ
の関係にあることを特徴とする請求項５又７記載のレンズ軸上軸外点像観察装置。
【請求項１０】  前記球面ミラーは、シリコン製であることを特徴とする請求項１記載のレンズ軸上軸外点像観察装置。
【請求項１１】  前記球面ミラーは、凹状の球面又は凸状の球面を有し、前記球面ミラーの球面の曲率中心と前記被検レンズの焦点が一致することを特徴とする請求項１記載のレンズ軸上軸外点像観察装置。
【請求項１２】  被検レンズの後端側に照明光学系より平行光を導光し、
この平行光を前記被検レンズの先端側に前記被検レンズ先端から出射された出射光束軸と反射光束軸が同一光束軸となるように配置された球面ミラーにより反射させ、
前記被検レンズを通過した前記球面ミラーの反射光束による点像を点像観察光学系で観察するものであって、
前記照明光学系の光軸と前記点像観察光学系の光軸の少なくとも一方の光軸と前記被検レンズの光軸とを相対的に傾斜可能にしたこと、
を特徴とするレンズ軸上軸外点像観察方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
しかしながら、被検レンズ８３に対してＮＡが同等以上で無収差の基準レンズ８５を準備する点が、次のような理由で非現実的である。つまり、上述したように、被検レンズ８３として顕微鏡の対物レンズなどを考えた場合、ある特定の波長の専用設計対物レンズであったり、レーザ専用設計の対物レンズであったりする。そうすると、被検レンズ８３と同じ種類の数だけ基準レンズ８５が必要となる。しかも、被検レンズ８３と同等以上のＮＡで、予め無収差とみなせるレンズでなければならない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、被検レンズと、前記被検レンズの後端側に平行光を導光する照明光学系と、前記被検レンズの先端側で、前記被検レンズ先端から出射された出射光束軸と反射光束軸が同一光束軸となるように反射可能に配置された球面ミラーと、前記被検レンズを通過した前記反射光束による点像を観察する点像観察光学系と、前記照明光学系の光軸と前記点像観察光学系の光軸の少なくとも一方の光軸と前記被検レンズの光軸とを相対的に傾斜可能な傾斜手段とを具備したことを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記傾斜手段は、前記照明光学系の光軸と前記点像観察光学系の光軸の少なくとも一方の光軸及び前記被検レンズの光軸と互いに直交する軸を回転中心として回動することにより傾斜させるものであり、前記回転中心を前記被検レンズの瞳位置近傍に配置することを特徴としている。
請求項３記載の発明は、請求項２記載の発明において、前記傾斜手段の軸と前記被検レンズの瞳位置との位置関係を、前記被検レンズの光軸方向で調整する間隔補正部材を更に有し、前記間隔補正部材は、前記傾斜手段の軸の延長線上に前記被検レンズの瞳位置を配置させるように調整することを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
請求項４記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記被検レンズは、前記被検レンズの光軸を中心軸として回動可能な保持手段に保持されていることを特徴としている。
請求項５記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記照明系は、光ファイバーと、前記光ファイバーの入射端に光を導入する光源と、前記光ファイバーの出射端から出射された光を平行光にするコリメータレンズと、から構成されることを特徴としている。
請求項６記載の発明は、請求項５記載の発明において、前記光ファイバーの出射端は、前記コリメータレンズの焦点位置に配置されていることを特徴としている。
請求項７記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記照明系は、ピンホールと、前記ピンホールを背後から照明する光源と、前記ピンホールを通過した光を平行光にするコリメータレンズと、から構成されることを特徴としている。
請求項８記載の発明は、請求項７記載の発明において、前記ピンホールは、前記コリメータレンズの焦点位置に配置されていることを特徴としている。
請求項９記載の発明は、請求項５又は７記載の発明において、前記コリメータレンズの焦点距離をｆ＿ｉｌｌ、前記被検レンズの焦点距離をｆ＿ｏｂ、前記ピンホールまたは光ファイバーのコア径をφ＿Ｐ、前記被検レンズの理想状態におけるエアリディスク径をφ＿ａｉｒｙとした場合、φ＿ｐ≒（ｆ＿ｉｌｌ／ｆ＿ｏｂ）×φ＿ａｉｒｙまたはφ＿ｐ≦（ｆ＿ｉｌｌ／ｆ＿ｏｂ）×φ＿ａｉｒｙ
の関係にあることを特徴としている。
請求項１０記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記球面ミラーは、シリコン製であることを特徴としている。
請求項１１記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記球面ミラーは、凹状の球面又は凸状の球面を有し、前記球面ミラーの球面の曲率中心と前記被検レンズの焦点が一致することを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
請求項１２記載の発明は、被検レンズの後端側に照明光学系より平行光を導光し、この平行光を前記被検レンズの先端側に前記被検レンズ先端から出射された出射光束軸と反射光束軸が同一光束軸となるように配置された球面ミラーにより反射させ、前記被検レンズを通過した前記球面ミラーの反射光束による点像を点像観察光学系で観察するものであって、前記照明光学系の光軸と前記点像観察光学系の光軸の少なくとも一方の光軸と前記被検レンズの光軸とを相対的に傾斜可能にしたことを特徴としている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
しかし、標本として球面ミラー９でなく、仮に平面ミラーを使用した場合、平面ミラーは、被検レンズ１１の焦点に設置されるが、細線で表した光線も太線で表した光線も被検レンズ１１の同じ経路を辿ってビームスプリッタ１２側へ射出されることがないので、被検レンズ１１の持っている偏心コマ収差などの非対称収差の情報は失われてしまうことは明らかである。このことから、標本として平面ミラーを使用することはできず、球面ミラー９が使用されている。また、球面ミラー９は、非常に高精度な球面である必要があり、一般には、反射面にはコーティングを施していない。従って、材質によってその反射率が決まり、普通は、ガラス（石英などが多い）であるが、反射率が４％程度と低いので、反射率が４０％程度と高いシリコン製のものが好適である。