【手続補正書】
【提出日】平成17年12月24日(2005.12.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】平面板チャック台、平面板研磨装置及び平面板研磨方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  平面板をチャックするチャック面を有するチャック部と、
前記チャック部に接続された第１のピストンを内部に有する第１のシリンダーと、
第１の絞りを介して前記第１のシリンダーに連通する第１のチャンバーとを備え、
前記第１のシリンダーの、前記第１のシリンダーと前記第１のピストンで囲まれる内部、及び前記第１のチャンバーの内部に第１の流体を収納するよう構成されたことを特徴とする平面板チャック台。
【請求項２】  平面板をチャックするチャック部を備え、研磨面を有する定盤に対向配置される平面板チャック台において、
前記チャック部は、第１のシリンダーの内部に摺動可能に組み込まれた第１のピストンに接続されて研磨面に対して相対移動可能にしてあり、
前記チャック部にチャックされる平面板が研磨面に接触した場合に生じる衝撃を吸収するように、第１の流体が通過可能な第１の絞りを介して前記第１のシリンダーに連通する第１のチャンバーを備えることを特徴とする平面板チャック台。
【請求項３】  前記第１の流体が、前記第１のシリンダーの内部と前記第１のチャンバーの内部に加圧されて封入されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の平面板チャック台。
【請求項４】  前記第１の流体が液体を含み、
前記液体が前記第１のシリンダーの内部に充填され、さらに少なくとも前記第１の絞りに達するように充填されたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の平面板チャック台。
【請求項５】  前記第１の流体の圧力を測定する圧力測定手段と、
測定された前記圧力に基づき、前記圧力が所定の値となるよう調整する圧力調整手段とを備えることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の平面板チャック台。
【請求項６】  前記チャック部に保持される平面板の周囲に配設されたリテーナと、
前記リテーナに接続された第２のピストンを内部に有する第２のシリンダーと、
第２の絞りを介して前記第２のシリンダーに連通する第２のチャンバーとを備え、
前記第２のシリンダーの、前記第２のシリンダーと前記第２のピストンで囲まれる内部、及び第２のチャンバーの内部が第２の流体を収納するよう構成されたことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の平面板チャック台。
【請求項７】  請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の平面板チャック台と、
平面板を研磨する研磨面を有する定盤とを備えたことを特徴とする平面板研磨装置。
【請求項８】  請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の平面板チャック台にチャックした平面板を回転させて、研磨面を有する定盤で研磨する平面板研磨方法において、
面出し時の平面板と研磨面との衝撃を前記平面板チャック台で吸収し、
回転に伴う平面板の振動を前記平面板チャック台で吸収しながら平面板を研磨面で研磨することを特徴とする平面板研磨方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平面板表面を研磨加工するためにチャックする平面板チャック台、チャックした平面板表面を研磨加工して平坦化する平面板研磨装置及び平面板研磨方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
そこで本発明は、リテーナと研磨される平面板の位置関係を容易に維持することができる平面板チャック台、該平面板チャック台を用いる平面板研磨装置及び平面板研磨方法を提供することを目的としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明による平面板チャック台は、図１（Ａ）に示すように、平面板１３をチャックするチャック面３６を有するチャック部１２と、チャック部１２に接続された第１のピストン１７Ａを内部に有する第１のシリンダー１５Ａと、第１の絞り２１Ａを介して第１のシリンダー１５Ａに連通する第１のチャンバー１６Ａとを備え、第１のシリンダー１５Ａの、第１のシリンダー１５Ａと第１のピストン１７Ａで囲まれる内部、及び第１のチャンバー１６Ａの内部が第１の流体に収納するよう構成されたことを特徴とする。
本発明による平面板チェック台は、平面板をチャックするチャック部を備え、研磨面を有する定盤に対向配置される平面板チャック台において、前記チャック部は、第１のシリンダーの内部に摺動可能に組み込まれた第１のピストンに接続されて研磨面に対して相対移動可能にしてあり、前記チャック部にチャックされる平面板が研磨面に接触した場合に生じる衝撃を吸収するように、第１の流体が通過可能な第１の絞りを介して前記第１のシリンダーに連通する第１のチャンバーを備えることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明による平面板チャック台は、上述の平面板チャック台において、前記第１の流体が、前記第１のシリンダーの内部と前記第１のチャンバーの内部に加圧されて封入されていることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明による平面板チャック台は、上述の平面板チャック台において、前記第１の流体が液体を含み、前記液体が前記第１のシリンダーの内部に充填され、さらに少なくとも前記第１の絞りに達するように充填されたことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明による平面板チャック台は、上述の平面板チャック台において、前記第１の流体の圧力を測定する圧力測定手段と、測定された前記圧力に基づき、前記圧力が所定の値となるよう調整する圧力調整手段とを備えることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明による平面板チャック台は、上述の平面板チャック台において、前記チャック部に保持される平面板の周囲に配設されたリテーナと、前記リテーナに接続された第２のピストンを内部に有する第２のシリンダーと、第２の絞りを介して前記第２のシリンダーに連通する第２のチャンバーとを備え、前記第２のシリンダーの、前記第２のシリンダーと前記第２のピストンで囲まれる内部、及び第２のチャンバーの内部が第２の流体を収納するよう構成されたことを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明による平面板研磨装置は、上述の平面板チャック台と、前記平面板を研磨する研磨面を有する定盤を備えたことを特徴とする。 
本発明による平面板研磨方法は、上述の平面板チャック台にチャックした平面板を回転させて、研磨面を有する定盤で研磨する平面板研磨方法において、面出し時の平面板と研磨面との衝撃を前記平面板チャック台で吸収し、回転に伴う平面板の振動を前記平面板チャック台で吸収しながら平面板を研磨面で研磨することを特徴とする。