【手続補正書】
【提出日】平成18年6月22日(2006.6.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】（ａ）一般式（１）で表される構造単位を主成分とするポリマーと、（ｂ）一般式（２）または（７）で表されるフェノール性水酸基を有する化合物と、（ｃ）エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。
【化１】
2001005179.tif 000001
(式中Ｒ１は少なくとも２個以上の炭素原子を有する３価から８価の有機基、Ｒ２は、少なくとも２個以上の炭素原子を有する２価から６価の有機基、Ｒ３は水素、または炭素数１から２０までの有機基を示す。ｎは１０から１０００００までの整数、ｍは０から２までの整数、ｐ、ｑは０から４までの整数を示す。ｐ＋ｑ＞０である。）
【化２】
2001005179.tif 000002
（また、α、β、γは１〜４の整数を表す。）
【請求項２】一般式（１）のＲ１（ＣＯＯＲ３）ｍ（ＯＨ）ｐが、一般式（３）で表されることを特徴とする請求項１記載のポジ型感光性樹脂前駆体組成物。
【化３】
2001005179.tif 000003
（Ｒ６、Ｒ８は炭素数２〜２０より選ばれる３価〜４価の有機基を示し、Ｒ７は、炭素数３〜２０より選ばれる３価〜６価の有機基を示し、Ｒ９、Ｒ１０は水素、および／または炭素数１〜２０までの有機基を示す。ｏ、ｓは０から２までの整数、ｒは１〜４までの整数を示す。）
【請求項３】一般式（１）のＲ２（ＯＨ）ｑが、一般式（４）で表されることを特徴とする請求項１記載のポジ型感光性樹脂前駆体組成物。
【化４】
2001005179.tif 000004
（Ｒ１１、Ｒ１３は炭素数２〜２０より選ばれる３価〜４価の有機基を示し、Ｒ１２は炭素数２〜３０より選ばれる２価の有機基を示す。ｔ、ｕは１あるいは２の整数を示す。）
【請求項４】一般式（１）のＲ２（ＯＨ）ｑが、一般式（５）で表されることを特徴とする請求項１記載のポジ型感光性樹脂前駆体組成物。
【化５】
2001005179.tif 000005
（Ｒ１４、Ｒ１６は炭素数２〜２０までの２価の有機基を示し、Ｒ１５は、炭素数３〜２０より選ばれる３価〜６価の有機基を示す。ｖは１〜４までの整数を示す。）
【請求項５】一般式（１）のＲ２（ＯＨ）ｑが、一般式（６）で表されることを特徴とする請求項１記載のポジ型感光性樹脂前駆体組成物。
【化６】
2001005179.tif 000006
（Ｒ１７は炭素数２〜２０より選ばれる２価の有機基を示し、Ｒ１８は、炭素数３〜２０より選ばれる３価〜６価の有機基を示す。ｗは１〜４までの整数を示す。）
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、（ａ）一般式（１）で表される構造単位を主成分とするポリマーと、（ｂ）一般式（２）または（７）で表されるフェノール性水酸基を有する化合物と、（ｃ）エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【化７】
2001005179.tif 000007
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
具体的には、一般式（３）に示されるような構造のものが好ましく、この場合、Ｒ６、Ｒ８は得られるポリマーの耐熱性より芳香族環を含んだものが好ましく、その中でも特に好ましい構造としてトリメリット酸、トリメシン酸、ナフタレントリカルボン酸残基のようなものを挙げることができる。またＲ７は炭素数３〜２０より選ばれる３価〜６価の有機基が好ましい。さらに、水酸基はアミド結合と隣り合った位置にあることが好ましい。このような例として、フッ素原子を含んだ、ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン、ビス（３−ヒドロキシ−４−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、フッ素原子を含まない、ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン、ビス（３−ヒドロキシ−４−アミノフェニル）プロパン、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシビフェニル、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシビフェニル、２，４−ジアミノ−フェノール、２，５−ジアミノフェノール、１，４−ジアミノ−２，５−ジヒドロキシベンゼンのアミノ基が結合したものなどを挙げることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
この中で、一般式（４）内のＲ１１、Ｒ１３、一般式（５）内のＲ１５、一般式（６）内のＲ１８は、得られるポリマーの耐熱性より芳香族環を有した有機基が好ましい。一般式（４）内のＲ１２、一般式（５）内のＲ１４、Ｒ１６、一般式（６）内のＲ１７は、得られるポリマーの耐熱性より芳香族環を有した有機基が好ましい。また一般式（４）のｔ、ｕは１あるいは２の整数を示し、一般式（５）のｖ、一般式（６）のｗは１〜４までの整数を示す。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
一般式（４）において、Ｒ１１、Ｒ１３は炭素数２〜２０より選ばれる３価〜４価の有機基を示しており、得られるポリマーの耐熱性より芳香族環を有したものが好ましい。Ｒ１１（ＯＨ）ｔ、Ｒ１３（ＯＨ）ｕは、具体的にはヒドロキシフェニル基、ジヒドロキシフェニル基、ヒドロキシナフチル基、ジヒドロキシナフチル基、ヒドロキシビフェニル基、ジヒドロキシビフェニル基、ビス（ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン基、ビス（ヒドロキシフェニル）プロパン基、ビス（ヒドロキシフェニル）スルホン基、ヒドロキシジフェニルエーテル基、ジヒドロキシジフェニルエーテル基などを表す。また、ヒドロキシシクロヘキシル基、ジヒドロキシシクロヘキシル基などの脂肪族の基も使用することができる。Ｒ１２は炭素数２〜３０までの２価の有機基を表している。得られるポリマーの耐熱性よりは芳香族を有した２価の基がよく、このような例としてはフェニル基、ビフェニル基、ジフェニルエーテル基、ジフェニルヘキサフルオロプロパン基、ジフェニルプロパン基、ジフェニルスルホン基などをあげることができるが、これ以外にも脂肪族のシクロヘキシル基なども使用することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
一般式（５）において、Ｒ１４、Ｒ１６は炭素数２〜２０までの２価の有機基を表している。得られるポリマーの耐熱性よりは芳香族を有した２価の基がよく、このような例としてはフェニル基、ビフェニル基、ジフェニルエーテル基、ジフェニルヘキサフルオロプロパン基、ジフェニルプロパン基、ジフェニルスルホン基などをあげることができるが、これ以外にも脂肪族のシクロヘキシル基なども使用することができる。Ｒ１５は、炭素数３〜２０より選ばれる３価〜６価の有機基を示しており、得られるポリマーの耐熱性より芳香族環を有したものが好ましい。Ｒ１５（ＯＨ）ｖは、具体的にはヒロドキシフェニル基、ジヒドロキシフェニル基、ヒドロキシナフチル基、ジヒドロキシナフチル基、ヒドロキシビフェニル基、ジヒドロキシビフェニル基、ビス（ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン基、ビス（ヒドロキシフェニル）プロパン基、ビス（ヒドロキシフェニル）スルホン基、ヒドロキシジフェニルエーテル基、ジヒドロキシジフェニルエーテル基などを表す。また、ヒドロキシシクロヘキシル基、ジヒドロキシシクロヘキシル基などの脂肪族の基も使用することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
一般式（６）においてＲ１７は炭素数２〜２０より選ばれる２価の有機基を表している。得られるポリマーの耐熱性から芳香族を有した２価の基がよく、このような例としてはフェニル基、ビフェニル基、ジフェニルエーテル基、ジフェニルヘキサフルオロプロパン基、ジフェニルプロパン基、ジフェニルスルホン基などをあげることができるが、これ以外にも脂肪族のシクロヘキシル基なども使用することができる。Ｒ１８は炭素数３〜２０より選ばれる３価〜６価の有機基を示しており、得られるポリマーの耐熱性より芳香族環を有したものが好ましい。Ｒ１８（ＯＨ）ｗは、具体的にはヒドロキシフェニル基、ジヒドロキシフェニル基、ヒドロキシナフチル基、ジヒドロキシナフチル基、ヒドロキシビフェニル基、ジヒドロキシビフェニル基、ビス（ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン基、ビス（ヒドロキシフェニル）プロパン基、ビス（ヒドロキシフェニル）スルホン基、ヒドロキシジフェニルエーテル基、ジヒドロキシジフェニルエーテル基などを表す。また、ヒドロキシシクロヘキシル基、ジヒドロキシシクロヘキシル基などの脂肪族の基も使用することができる。