【手続補正書】
【提出日】平成18年7月18日(2006.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する基板保持手段と、
上記基板保持手段を昇降可能に駆動する基板昇降手段と、
上記基板保持手段及び基板を収容する上部に開口部を有する収容容器と、
上記収容容器の上部開口部を開閉する蓋体と、
上記蓋体を昇降可能に駆動する蓋体昇降手段と、を具備する基板処理装置において、
上記基板昇降手段の駆動手段と、上記蓋体昇降手段の駆動手段とを別個に形成すると共に、これら駆動手段を制御手段からの制御信号に基づいて同時に、あるいは、一方の昇降手段が昇降動作した後に同時に動作し、かつ、上記蓋体と基板保持手段との相対距離を制御可能に形成してなる、ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
基板を保持する基板保持手段と、
上記基板保持手段を昇降可能に駆動する基板昇降手段と、
上記基板保持手段及び基板を収容する上部に開口部を有する収容容器と、
上記収容容器の上部開口部を開閉する蓋体と、
上記蓋体を昇降可能に駆動する蓋体昇降手段と、を具備する基板処理装置において、
上記基板昇降手段の駆動手段と、上記蓋体昇降手段の駆動手段とを別個に形成すると共に、これら駆動手段を制御手段からの制御信号に基づいて同時に、あるいは、一方の昇降手段が昇降動作した後に同時に動作し、かつ、両方の昇降手段が動作している際に、上記蓋体と基板保持手段との相対距離が近づくように両方の昇降手段を制御可能に形成してなる、ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
基板を保持する基板保持手段と、
上記基板保持手段を昇降可能に駆動する基板昇降手段と、
上記基板保持手段及び基板を収容する上部に開口部を有する収容容器と、
上記収容容器の上部開口部を開閉する蓋体と、
上記蓋体を昇降可能に駆動する蓋体昇降手段と、を具備する基板処理装置において、
上記基板昇降手段の駆動手段と、上記蓋体昇降手段の駆動手段とを別個に形成すると共に、これら駆動手段を制御手段からの制御信号に基づいて同時に、あるいは、一方の昇降手段が昇降動作した後に同時に動作し、かつ、両方の昇降手段が上昇している際に、上記蓋体の上昇速度に対して上記基板保持手段の上昇速度を高めに設定することにより、基板と上記蓋体の間をその外部より陽圧化するように制御可能に形成してなる、ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
基板を保持する基板保持手段と、
上記基板保持手段を昇降可能に駆動する基板昇降手段と、
上記基板保持手段及び基板を収容する上部に開口部を有する収容容器と、
上記収容容器の上部開口部を開閉する蓋体と、
上記蓋体を昇降可能に駆動する蓋体昇降手段と、を具備する基板処理装置において、
上記基板昇降手段の駆動手段と、上記蓋体昇降手段の駆動手段とを別個に形成すると共に、これら駆動手段を制御手段からの制御信号に基づいて同時に、あるいは、一方の昇降手段が上昇動作した後に同時に上昇し、かつ、上記蓋体と上記基板保持手段の上昇開始時、上昇中、上昇終了時の上記蓋体と上記基板保持手段との相対距離を、上記基板保持手段の上昇開始位置／上昇位置／速度／加速度、及び上記蓋体の上昇位置／速度／加速度パラメータに従って制御可能に形成してなる、ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
基板を保持する基板保持手段と、
上記基板保持手段を昇降可能に駆動する基板昇降手段と、
上記基板保持手段及び基板を収容する上部に開口部を有する収容容器と、
上記収容容器の上部開口部を開閉する蓋体と、
上記蓋体を昇降可能に駆動する蓋体昇降手段と、を具備する基板処理装置において、
上記基板昇降手段の駆動手段と、上記蓋体昇降手段の駆動手段とを別個に形成すると共に、これら駆動手段を制御手段からの制御信号に基づいて動作し、上記基板保持手段を上昇させて上記蓋体の下面に基板を近接させ、その後、上記蓋体と上記基板保持手段とを上記収容容器の上端を基板が通過するまで同じ速度で上昇させて、上記蓋体と上記基板保持手段の間に気流を巻き込むことを抑制するように制御可能に形成してなる、ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の基板処理装置において、
上記基板昇降手段又は蓋体昇降手段のうち少なくとも蓋体昇降手段に、該蓋体昇降手段の昇降位置を検出する位置検出手段を具備させ、この位置検出手段からの検出信号に基づいて制御手段から制御信号を送るようにした、ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の基板処理装置において、
上記駆動手段は、駆動モータと、この駆動モータの回転運動を直線運動に変換して基板保持手段又は蓋体に伝達する駆動伝達機構とを具備する、ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の基板処理装置において、
上記基板保持手段の昇降部に、該基板保持手段の上限位置を検出する上限位置検出手段と、下限位置を検出する下限位置検出手段とを更に具備し、これら上限及び下限位置検出手段からの検出信号を上記制御手段に送るようにした、ことを特徴とする基板処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記課題を解決するために、この発明の基板処理装置は、基板を保持する基板保持手段と、上記基板保持手段を昇降可能に駆動する基板昇降手段と、上記基板保持手段及び基板を収容する上部に開口部を有する収容容器と、上記収容容器の上部開口部を開閉する蓋体と、上記蓋体を昇降可能に駆動する蓋体昇降手段と、を具備する基板処理装置を前提とし、上記基板昇降手段の駆動手段と、上記蓋体昇降手段の駆動手段とを別個に形成すると共に、これら駆動手段を制御手段からの制御信号に基づいて同時に、あるいは、一方の昇降手段が昇降動作した後に同時に動作し、かつ、上記蓋体と基板保持手段との相対距離を制御可能に形成してなる、ことを特徴とする（請求項１）。
この発明において、上記制御手段からの制御信号に基づく制御形態としては、
（ａ）上記両方の駆動手段を同時に、あるいは、一方の昇降手段が昇降動作した後に同時に動作し、かつ、両方の昇降手段が動作している際に、上記蓋体と基板保持手段との相対距離が近づくように両方の昇降手段を制御する（請求項２）、
（ｂ）上記両方の駆動手段を同時に、あるいは、一方の昇降手段が昇降動作した後に同時に動作し、かつ、両方の昇降手段が上昇している際に、上記蓋体の上昇速度に対して上記基板保持手段の上昇速度を高めに設定することにより、基板と上記蓋体の間をその外部より陽圧化するように制御する（請求項３）、
（ｃ）上記両方の駆動手段を同時に、あるいは、一方の昇降手段が上昇動作した後に同時に上昇し、かつ、上記蓋体と上記基板保持手段の上昇開始時、上昇中、上昇終了時の上記蓋体と上記基板保持手段との相対距離を、上記基板保持手段の上昇開始位置／上昇位置／速度／加速度、及び上記蓋体の上昇位置／速度／加速度パラメータに従って制御する（請求項４）、
（ｄ）上記両方の駆動手段を動作し、上記基板保持手段を上昇させて上記蓋体の下面に基板を近接させ、その後、上記蓋体と上記基板保持手段とを上記収容容器の上端を基板が通過するまで同じ速度で上昇させて、上記蓋体と上記基板保持手段の間に気流を巻き込むことを抑制するように制御する（請求項５）ことができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
この発明において、上記基板昇降手段又は蓋体昇降手段のうち少なくとも蓋体昇降手段に、該蓋体昇降手段の昇降位置を検出する位置検出手段を具備させ、この位置検出手段からの検出信号に基づいて制御手段から制御信号を送るようにする方が好ましい（請求項６）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、上記駆動手段は、駆動モータと、この駆動モータの回転運動を直線運動に変換して基板保持手段又は蓋体に伝達する駆動伝達機構とを具備する方が好ましい（請求項７）。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
加えて、上記基板保持手段の昇降部に、該基板保持手段の上限位置を検出する上限位置検出手段と、下限位置を検出する下限位置検出手段とを更に具備し、これら上限及び下限位置検出手段からの検出信号を上記制御手段に送るようにする方が好ましい（請求項８）。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項１〜５記載の発明によれば、基板昇降手段の駆動手段と、蓋体昇降手段の駆動手段とを別個に形成すると共に、これら駆動手段を制御手段からの制御信号に基づいて同時に、あるいは、一方の昇降手段が昇降動作した後に同時に動作し、かつ、上記蓋体と基板保持手段との相対距離を制御可能に形成することにより、基板昇降手段の駆動手段と蓋体昇降手段の駆動手段を別々に制御して、蓋体と基板保持手段の移動速度を変化させるか、あるいは、移動のタイミングをずらすなどにより蓋体と基板保持手段の相対距離をコントロールして上昇させることができる。この場合、蓋体と基板保持手段との相対距離を近づけ基板と蓋体の間をその外部より陽圧化することにより、気流の巻き込みを抑制することができる（請求項２，３）。また、基板保持手段を上昇させて蓋体の下面に基板を近接させ、その後、蓋体と上記基板保持手段とを収容容器の上端を基板が通過するまで同じ速度で上昇させて、蓋体と基板保持手段の間に気流を巻き込むことを抑制することができる（請求項５）。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項６記載の発明によれば、基板昇降手段又は蓋体昇降手段のうち少なくとも蓋体昇降手段に、該蓋体昇降手段の昇降位置を検出する位置検出手段を具備させ、この位置検出手段からの検出信号に基づいて制御手段から制御信号を送るようにすることにより、上昇する蓋体又は蓋体と基板保持手段の双方の上昇位置を監視しながら蓋体と基板保持手段の上昇移動を制御することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項７記載の発明によれば、駆動手段が、駆動モータと、この駆動モータの回転運動を直線運動に変換して基板保持手段又は蓋体に伝達する駆動伝達機構とを具備することにより、蓋体と基板保持手段の移動速度、加速度を容易に制御することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項８記載の発明によれば、基板保持手段の昇降部に、該基板保持手段の上限位置を検出する上限位置検出手段と、下限位置を検出する下限位置検出手段とを更に設け、これら上限及び下限位置検出手段からの検出信号を制御手段に送ることにより、基板保持手段の蓋体や収容容器の底部等への衝突や干渉を防止することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
（１）請求項１〜５記載の発明によれば、蓋体と基板保持手段の相対距離をコントロールして上昇させることができるので、蓋体の上昇（開放）時の外気の引き込みや巻き込み気流の発生を抑制することができ、基板へのパーティクルの付着を抑制することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
（２）請求項６記載の発明によれば、上昇する蓋体又は蓋体と基板保持手段の双方の上昇位置を監視しながら蓋体と基板保持手段の上昇移動を制御することができるので、蓋体と基板保持手段の相対距離の精度を向上させることができ、上記（１）に加えて更に基板へのパーティクルの付着の抑制を向上させることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
（３）請求項７記載の発明によれば、蓋体と基板保持手段の移動速度、加速度を容易に制御することができるので、基板保持手段の上昇移動速度を蓋体の移動速度より速めて、基板上部の陽圧化を作り出すことができ、上記（１），（２）に加えて更に基板へのパーティクルの付着の抑制を向上させることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
（４）請求項８記載の発明によれば、基板保持手段の蓋体や収容容器の底部等への衝突や干渉を防止することができるので、上記（１）〜（３）に加えて更に装置の信頼性の向上を図ることができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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