【事件の表示】
　平成４年特許願第３４１７０９号「半導体ウェーハ処理装置」拒絶査定に対する審判事件［平成６年６月１４日出願公開、特開平６−１６９００４］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯・本件発明
　本件出願は、平成４年１１月２７日の特許出願であって、その請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、願書に添付した明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの次のものであると認める。
「半導体ウェーハ搬送機構にウェーハ載置プレートが支持され、該ウェーハ載置プレートがウェーハの周縁部を支持する棚部とウェーハ中央部に対応する位置に設けられた逃げ部とを有し、検出媒体を送出する送出部と検出媒体を検知する検知部から成り、前記ウェーハ載置プレートに載置されたウェーハを検知するセンサを前記ウェーハ載置プレートに近接した位置に設けたことを特徴とする半導体ウェーハ処理装置。」
第２　引用例
１　引用例１
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平４−５６３３８号公報（以下「引用例１」という。）には、以下の事項が記載されている。
(1) 公報第２頁右下欄第９行〜第３頁左上欄第６行
「第１図において板状体である例えば半導体ウエハ１を保持して搬送する薄板状で例えばセラミックスからなり等間隔で積層配置された５枚のアーム２と１枚のアーム３が設けられている。この５枚のアーム２と１枚のアーム３は水平移動機構４に設けられ、それぞれ別々に水平方向に移動可能に構成されている。第２図に示す如く、上記水平移動機構４には、上記アーム２，３に保持された複数枚のウエハ１の有無を一度に検知する発光素子５と受光素子６からなる検知部７が２ヶ所に設けられ、この検知部７は第３図の如く上記ウエハ１の周縁部２ヶ所を検知するように設けられている。
　そして、上記検知部７はウエハの有無を検出する信号処理部８に電気的に接続されている。
　上記アーム２，３が設けられた上記水平移動機構４は回転機構９により水平回転と、昇降機構１０により上下移動が可能に構成されている。」
(2) 同第３頁右上欄第１〜１６行
「回転機構９と昇降機構１０の予め定められた移動により、水平移動機構４はキャリア１５の前方に配置される。
　５枚のアーム２は水平移動機構４の前進移動によりキャリア１５に収納されたウエハ間に挿入される。そして昇降機構１０を例えば２mm上方に移動することにより、アーム２に設けられた凹部１６にウエハ１が嵌合収納され、一度に５枚のウエハ１が５枚のアーム２に載置される。そして５枚のウエハ１が保持された５枚のアーム２は水平移動機構４の後退移動によりキャリア１５より取り出される。
　この時ウエハ１は検知部７に挿入された状態となり信号処理部８によりウエハ１の有無が検知され・・・・・・・・・・・・・・・・・・る。」
(3) 同第３頁右下欄第７〜１３行
「以上説明した如く、上記実施例においては、水平移動機構４にウエハの有無を検知する検知部７が設けられているため、アーム２，３にウエハが保持されているかどうかを、ウエハ移動毎に検知することができるためウエハ移載ミスを事前に検知し処理することにより移載ミスのないウエハ移載を行うことができる。」
　これらの記載事項(1)〜(3)を本件発明に照らして整理すると、引用例１には次の発明が記載されていると認める。
　半導体ウエハ搬送機構にウエハ載置用のアーム２，３が支持され、該アーム２，３がウエハ１を支持する部分を有し、発光素子５と受光素子６から成り、前記アーム２，３に載置されたウエハ１を検知する検知部７を前記アーム２，３に近接した位置に設けた半導体ウエハ処理装置。
２　引用例２
　また、原査定の際周知例の一つとして挙げられた本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開昭６２−２７７７４４号公報（以下「引用例２」という。）には、以下の事項が記載されている。
(1) 公報第１頁右欄第１〜９行
「〔従来の技術〕
　第３図は従来のウエハ搬送アームを示す斜視図であり、図において、１はアーム本体、２は半導体ウエハである。３はアーム１において半導体ウエハ２の径よりわずかに大きく形成した内径の周縁部、４はこの周縁部３に囲まれた収容部、５は周縁部３と収容部４にかけて形成された開口部、６は周縁部３の外周にそって形成している外周部である。」
(2) 同第３図
　アーム本体１は、馬蹄形に形成されており、ウエハ２の周縁部を支持する収容部４を有し、ウエハ２の中央部に対応する位置には構成部材を有していないこと。
第３　対比
　本件発明と引用例１記載の発明とを対比すると、引用例１記載の発明の「ウエハ」は、本件発明の「ウェーハ」に相当し、以下同様に「ウエハ載置用のアーム２，３」が「ウェーハ載置プレート」に、「発光素子５」が「検出媒体を送出する送出部」に、「受光素子６」が「検出媒体を検知する検知部」に、「検知部７」が「センサ」にそれぞれ相当することが明らかである。
　したがって、本件発明と引用例１記載の発明とは、以下の一致点及び相違点を有しているということができる。
１　一致点
　半導体ウェーハ搬送機構にウェーハ載置プレートが支持され、該ウェーハ載置プレートがウェーハを支持する部分を有し、検出媒体を送出する送出部と検出媒体を検知する検知部から成り、前記ウェーハ載置プレートに載置されたウェーハを検知するセンサを前記ウェーハ載置プレートに近接した位置に設けた半導体ウェーハ処理装置。
２　相違点            
　本件発明では、ウェーハ載置プレートがウェーハの周縁部を支持する棚部とウェーハ中央部に対応する位置に設けられた逃げ部とを有しているのに対して、引用例１記載の発明では、その様になっていない点。
第４　判断
　そこで、上記相違点について検討すると、第２の２(2)に示すように引用例２には、アーム本体１は、馬蹄形に形成されており、ウエハ２の周縁部を支持する収容部４を有し、ウエハ２の中央部に対応する位置には構成部材を有していないことが記載されている。
　引用例２記載の事項における「アーム本体１」、「ウエハ２」及び「収容部４」が、本件発明の「ウェーハ載置プレート」、「ウェーハ」及び「棚部」に相当することが明らかである。
　また、本件発明の「逃げ部」とは、本件明細書段落【００１７】に「・・・・・棚部１５，１５の間には、ウェーハ１の中央部裏面を前記ウェーハ載置プレート１０に接触させない為の逃げ部１６を設けてある。」と記載されていることからみて、ウェーハの中央部裏面をウェーハ載置プレートに接触させない為の部分であると解される。そうしてみると、引用例２記載の事項において、ウェーハ載置プレートがウェーハの中央部に対応する位置には構成部材を有していないということは、換言すれば、ウェーハ載置プレートがウェーハの中央部裏面を前記ウェーハ載置プレートに接触させない逃げ部を設けているということになる。
　結局、引用例２には、ウェーハ載置プレートがウェーハの周縁部を支持する棚部とウェーハ中央部に対応する位置に設けられた逃げ部とを有していることが記載されているということができる。
　そして、引用例１記載の発明及び引用例２記載の事項の技術的親近性を考慮すると、引用例１記載の発明に引用例２記載の事項を適用して本件発明のように構成する点に格別の困難性は見当たらない。
　また、本件発明の採用する構成によって齎される効果も、引用例１記載の発明及び引用例２記載の事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　なお、請求人は、審判請求書についての平成１３年５月９日付手続補正書第５頁第２０〜２５行において、引用例２のアームの中心部は完全な空間であり、凹部とは言えず、斯かる空間が本件発明の凹部と一義的に対比できるものとは言えない旨主張しているが、先に述べたように本件発明の「逃げ部」とは、ウェーハの中央部裏面をウェーハ載置プレートに接触させない為の部分と解され、請求人の主張する凹部に限られるものではない。
第５　むすび
　したがって、本件発明は、引用例１記載の発明及び引用例２記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許をすることができない。
　よって、結論のとおり審決する。