【手続補正書】
【提出日】平成18年9月28日(2006.9.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
第１ロータ部２４ａには、シャフト１１の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜してシャフト１１から放射状に伸びたブレードからなるロータ翼２１ａが設けられている。なお、第１ロータ部２４ａは、第１回転部材として機能し、ロータ翼２１ａは第１気体移送機構として機能する。
第２ロータ部２４ｂには、シャフト１１の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜してシャフト１１から放射状に伸びたブレードからなるロータ翼２１ｂが吸気口６側（ターボ分子ポンプ部）に設けられている。
さらに、第２ロータ部２４ｂには、外周面が円筒形状をした部材からなる円筒部材２９が排気口１９側（ねじ溝式ポンプ部）に設けられている。なお、第２ロータ部２４ｂは、第２回転部材として機能し、ロータ翼２１ｂは第２気体移送機構として機能する。
また、ターボ分子ポンプ１には、ロータ翼２１ａ、ロータ翼２１ｂが軸線方向に複数段形成されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、最も排気口１９側にあるロータ翼２１ａと、最も吸気口６側にあるロータ翼２１ｂと、の間には空隙が設けられている。この空隙には、第１固定プレート３１、回転プレート３２、第２固定プレート３３および回転プレート３２の駆動機構を構成するモータ４０を有するコンダクタンス可変機構３０が設けられている。
このコンダクタンス可変機構３０（バルブ）は、回転プレート３２を第１固定プレート３１および第２固定プレート３３に対して相対的に回転移動して、気体の移送方向に対する気体流路（移送路）の断面積を増減させることによって気体の流量を変化させるための移送路面積調節機構として機能するようになっている。これにより、コンダクタンス可変機構３０の上流側と下流側とに圧力差が生じるようになっている。なお、コンダクタンス可変機構３０の詳細については後述する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
シャフト１１は、円柱部材の回転軸（ロータ軸）である。シャフト１１の上端部には、外周部にねじ溝が形成された取付部１１１が設けられている。この取付部１１１の下方には、シャフト１１の径が大きくなる方向に変化する肩部１１２が設けられている。
ロータ部２４ｂが肩部１１２に配置され、さらにロータ部２４ｂにロータ部２４ａが重ねられている。そして、ロータ部２４ａおよびロータ部２４ｂは、座金を介して取付部１１１に設けられたナット２５によって、肩部１１２に締め付け固定されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
図３に示すように、第１固定プレート３１には、放射状に広がる平面視扇形の開口部３１１が、第２固定プレート３３には、同形状の開口部３３１が複数形成されている。また、回転プレート３２には、放射状に広がる平面視扇形の開口部３２１が複数形成されている。なお、各プレートに形成されている開口部は、扇形に限られるものではなく、円形、楕円形、多角形（例えば、三角形や四角形等）であってもよい。
第１固定プレート３１および第２固定プレート３３の開口部３１１および開口部３３１は、同一の位置に配置されるように、つまり、重なり合うように配置されいる。
また、、第１固定プレート３１および第２固定プレート３３の開口部３１１および開口部３３１には、後述する絞り部３１２および絞り部３３２が設けられている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
コンダクタンス可変機構３０は、第１固定プレート３１および第２固定プレート３３に設けられている開口部３１１および開口部３３１と、回転プレート３２に設けられている開口部３２１とが重なり合う面積（以下重複開口面積と示す）を変化させることによって、つまりコンダクタンス可変機構３０を通過する際の気体の流路の断面積を変化させることによって、気体の流れやすさつまり気体の排気能力を調整する。コンダクタンス可変機構３０は、開口部３１１および開口部３３１と、開口部３２１との位相差を変化させることによって気体の流れやすさつまり気体の排気能力を調整する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
転がり玉５１〜５４は、数珠状に連なった複数の球状部材によって構成されている。
図３に示すように、第２固定プレート３３には、収容溝３４の底面部の内周側端に形成された断面円弧状の環状溝３３３と環状溝３３４とが設けられている。第１固定プレート３１には、内周側端に形成された断面円弧状の環状溝３１５と環状溝３１６とが設けられている。
また、回転プレート３２において、環状溝３１５、３１６、３３３、３３４と対向する箇所には、環状溝３２２〜３２５が設けられている。
そして、環状溝３１５、３１６、３３３、３３４と環状溝３２２〜３２５との間に、断面円形状の空隙が構成され、この空隙に転がり玉５１〜５４が配置されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
つまり、固定部材である第２固定プレート３３に設けられた突出部６２と、回転部材であるロータ部２４ｂに設けられた突出部６３とが互いに噛み合うように配置されている。  そして、ラビリンスシール６０の流路は、フランジ部６１とロータ部２４との間の空隙、突出部６２と環状溝６４との間の空隙、突出部６３と環状溝６５との間の空隙によって複雑になるように構成されている。さらに、機密性を高める必要性がある場合には、突出部の対を追加しラビリンスシール６０内の流路を長く複雑にするようにする。
なお、ラビリンスシール６０は、コンダクタンス可変機構３０とロータ部２４ｂとの間に設けるようにしているが、これに限られるものではなく、コンダクタンス可変機構３０とロータ部２４ａとの間に設けるようにしてもよく、また、ロータ部２４ａおよびロータ部２４ｂとコンダクタンス可変機構３０との間に設けるようにしてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
また、図３に示すように、第１固定プレート３１に設けられている開口部３１１には、開口部３１１に連なるように形成された絞り部３１２が設けられている。
絞り部３１２は、三角形（くさび形）の開口部であり、詳しくは、一辺が扇形の開口部３１１における径方向の辺と重なり、他の一辺が内周側の弧の延長上に設けられている。残りの一辺は、半径方向に対して所定の角度傾けられた形状となっている。
なお、絞り部３１２は、扇形の開口部３１１の周方向の片側にのみ設けるようにしているが、これに限られるものではなく、開口部３１１の周方向の両側に設けるようにしてもよい。
また、第２固定プレート３３にも、絞り部３１２と同形状の開口部３３２が設けられている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
従って、開口度が大きい場合には、気体の圧力変化量ΔＰは、比較的小さい値となっている。しかし、開口度が小さい場合には、具体的には、コンダクタンスＣの範囲が図４（ａ）のα部に示す領域にある場合には、コンダクタンスＣの変化量に対する気体の圧力の変化量ΔＰの値が急激に変化する傾向にある。
さらに、図４（ｂ）に示すように、分子ポンプ１の上流側の圧力Ｐｉｎは、下流側の圧力Ｐｏｕｔが上昇した場合に急激に上昇する特性がある。即ち、コンダクタンスＣの変化量に対してポンプの排気性能が急激に変化する傾向にある。
そのため、第１固定プレート３１の開口部３１１および第２固定プレート３３の開口部３３１に設けられた絞り部３１２、３３２などの重複開口面積の微調整を可能とする機構が必要となる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
図５は、バルブの全閉間際におけるコンダクタンス可変機構３０の正面図を示した図である。
重複開口面積７０は、図５のｂ部の領域に示す、絞り部３１２および絞り部３３２と、開口部３２１とが重なり合う部分において、つまり扇形の開口部３２１における径方向の辺のうち回転プレート３２の全閉方向と逆側の辺が、絞り部３１２および絞り部３３２と重なり合う領域において、重複開口面積７０の減少率を小さくすることができる。
従って、従来技術では困難であった、図４（ａ）のα部に示したようなコンダクタンスＣの変化量に対する気体の圧力の変化量ΔＰの値が急激に変化する領域における気体の圧力の調整を、図５のｂ部に示す領域において重複開口面積７０を調整することによって容易に実現させることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2005106026.tif 000001