Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月18日(2006.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置並びに液滴吐出装置及び画像形成装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  複数のノズルからなるノズル列が平行配置されたノズル板と、前記ノズル列の各ノズルに連通する複数の加圧液室を有する流路板と、前記加圧液室に駆動エネルギーを伝達する振動板と、前記加圧液室に対応する分割溝により分割され前記振動板に接合される積層型の圧電素子と、該圧電素子を並列に接合するベース部材とからなるインクジェットヘッドにおいて、並列する前記圧電素子間に間隔を決定するギャップ材を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】  前記圧電素子は、共通電極側に凸状部を有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】  前記圧電素子間にギャップ材を挿入することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】  前記ギャップ材は、板状のセラミック部材であることを特徴とする請求項１または３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】  前記ギャップ材は、前記ベース部材に設けられたことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】  前記ギャップ材は、ピン形状であって、前記ベース部材に複数有することを特徴とする請求項１または５に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】  前記ギャップ材は、板状であって、前記ベース部材に設けたことを特徴とする請求項１または５に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】  請求項１乃至７いずれかに記載のインクジェットヘッドを用い、記録信号に応じて駆動される圧電素子の発生する駆動エネルギーに応じてノズルからインク滴を吐出することを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項９】  請求項１乃至７いずれかに記載のインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】  請求項１乃至７いずれかに記載のインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とする画像形成装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電素子が発生する駆動エネルギーによって振動板を変位させ、ノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置、液滴吐出装置及び画像形成装置に関し、特にノズル列に対応した圧電素子間の隙間を精度良く保つことを可能とする圧電方式のインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置、液滴吐出装置及び画像形成装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
そのため、圧電素子列間の隙間を一定間隔に精度良く保つことが求められており、請求項１の発明は、圧電素子列間の間隔を一定に確保することを目的とする。
請求項２の発明は、圧電素子自体にギャップ材を設けることにより一定の間隔を確保することを目的とする。
請求項３の発明は、圧電素子列間に別部材を挿入することにより一定の間隔を確保することを目的とする。
請求項４の発明は、ギャップ材をセラミックとすることで加工条件に影響がでないことを目的とする。
請求項５の発明は、ギャップ材をベース部に設けることにより圧電素子列間を一定に保ち、且つ圧電素子接合時の位置決めとすることを目的とする。
請求項６の発明は、ギャップ材をピン形状とすることでベース加工工程の効率を良くすることを目的とする。
請求項７の発明は、ギャップ材を板状とすることでベースへの組み付けを容易にすることを目的とする。
請求項８、９および１０の発明は、請求項１乃至７の発明のインクジェットヘッドを用いて、高い画像品質と信頼性を両立したインクジェット記録装置、液滴吐出装置及び画像形成装置を得ることを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項８、９および１０の発明は、請求項１乃至７に記載のインクジェットヘッドを用い、記録信号に応じて駆動される圧電素子の発生する駆動エネルギーに応じてノズルからインク滴を吐出するインクジェット記録装置、液滴吐出装置及び画像形成装置であることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
次に、以上説明した構成のインクジェットヘッドを少なくとも１つ含むインクジェット記録装置について説明する。以下ではインクジェット記録装置について説明するが、液滴吐出装置や画像形成装置についても同様に適用可能である。
図７は、本発明のインクジェット記録装置の要部を示す斜視図、図８は、同じくインクジェット記録装置の要部を示す側断面図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
請求項８、９および１０においては、請求項１〜７に記載の噴射特性の均一なインクジェットヘッドを有することによって、画像品質が高く、かつ信頼性も高いインクジェット記録装置、液滴吐出装置および画像形成装置を得ることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月2日(2006.6.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ロール状媒体の中空軸部の両端側からそれぞれ嵌め込まれて当該ロール状媒体を保持する一対の保持部材であって、
前記ロール状媒体の中空軸部の内周面に当接する当接部を備え、
当該当接部は、前記ロール状媒体の中空軸部の端部側の内周面に当接する第１の当接部と、前記ロール状媒体の中空軸部の中央側の内周面に当接する第２の当接部とを有することを特徴とするロール状媒体の保持部材。
【請求項２】  前記第２の当接部は、前記ロール状媒体の中空軸部の内周面に対し当接・離間可能なように当該径方向に放射状に変位自在に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のロール状媒体の保持部材。
【請求項３】  前記ロール状媒体の中空軸部において軸方向に移動自在な軸部を有し、当該軸部の移動にしたがって前記第２の当接部が変位することを特徴とする請求項２に記載のロール状媒体の保持部材。
【請求項４】  前記第２の当接部は、前記第１の当接部から突出し、軸方向に分割された円筒状に形成され、かつ前記軸部の先端部に形成されているテーパ面と当接可能なテーパ部が自由端部に形成されており、前記軸部のテーパ面の移動にしたがって前記第２の当接部のテーパ部が変位することを特徴とする請求項３に記載のロール状媒体の保持部材。
【請求項５】  ロール状の記録媒体に記録する記録装置であって、
請求項１〜４の何れか一項に記載の保持部材を備えたことを特徴とする記録装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】  上記目的達成のため、ロール状媒体の中空軸部の両端側からそれぞれ嵌め込まれて当該ロール状媒体を保持する一対の保持部材であって、前記ロール状媒体の中空軸部の内周面に当接する当接部を備え、当該当接部は、前記ロール状媒体の中空軸部の端部側の内周面に当接する第１の当接部と、前記ロール状媒体の中空軸部の中央側の内周面に当接する第２の当接部とを有することを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
これにより、ロール状媒体の幅が長尺であっても、ロール状媒体の中空軸部の両端部にそれぞれ嵌め込むのみで、ロール状媒体を軸方向の複数箇所で支持させることができるので、従来のように長尺の軸を用いる必要が無く、セッティングの作業性を高めることができる。また、ロール状媒体の中空軸部の内周面を軸方向に４箇所で支持させることができるので、ロール状媒体の自重による撓み等を防止することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月11日(2005.11.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  取り外し可能なインクカートリッジから印刷ヘッドに搭載されたサブタンクへインクを供給して印刷を行う画像形成装置において、前記インクカートリッジの脱着を検出する手段と、動作継続が不可能で、かつ何らかの復旧処置を施した後に装置の再起動が必要である状態（以下、故障状態）であることを検出する手段とを有し、装置が故障状態にあり、かつインクカートリッジが抜かれた状態にあるとき、インクカートリッジが装着されてもサブタンクへのインク充填操作を自動的に行わないようにしたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】  取り外し可能なインクカートリッジから印刷ヘッドに搭載されたサブタンクへインクを供給して印刷を行う画像形成装置において、前記インクカートリッジの脱着を検出する手段と、動作継続が不可能で、かつ何らかの復旧処置を施した後に装置が自動的に動作可能な状態となりうる状態（以下、異常中状態）であることを検出する手段とを有し、装置が異常中状態にあり、かつインクカートリッジが抜かれた状態にあるとき、インクカートリッジが装着されてもサブタンクへのインク充填操作を自動的に行わないようにしたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項３】  請求項２の画像形成装置において、装置が異常中状態にあり、かつインクカートリッジが抜かれた状態にあるとき、インクカートリッジが装着された場合、異常中状態が解除され次第、自動的にサブタンクへのインク充填操作を行うことを特徴とする画像形成装置。
【請求項４】  取り外し可能なインクカートリッジから印刷ヘッドに搭載されたサブタンクへインクを供給して印刷を行う画像形成装置において、前記インクカートリッジの脱着を検出する手段と、印刷動作の準備中である状態（以下、準備中状態）を検出する手段とを有し、装置が準備状態にあり、かつインクカートリッジが抜かれた状態にあるとき、インクカートリッジが装着されてもサブタンクへのインク充填操作を自動的に行わないようにしたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項５】  請求項４の画像形成装置において、装置が準備中状態にあり、かつインクカートリッジが抜かれた状態にあるとき、インクカートリッジが装着された場合、準備中状態が解除され次第、自動的にサブタンクへのインク充填操作を行うことを特徴とする画像形成装置。
【請求項６】  コンピュータに、請求項１乃至５のいずれかに記載の画像形成装置の機能を実行させるためのプログラム。
【請求項７】  請求項６に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の請求項１は、取り外し可能なインクカートリッジから印刷ヘッドに搭載されたサブタンクへインクを供給して印刷を行う画像形成装置において、前記インクカートリッジの脱着を検出する手段と、動作継続が不可能で、かつ何らかの復旧処置を施した後に装置の再起動が必要である状態（以下、故障状態）であることを検出する手段とを有し、装置が故障状態にあり、かつインクカートリッジが抜かれた状態にあるとき、インクカートリッジが装着されてもサブタンクへのインク充填操作を自動的に行わないようにしたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明の請求項２は、取り外し可能なインクカートリッジから印刷ヘッドに搭載されたサブタンクへインクを供給して印刷を行う画像形成装置において、前記インクカートリッジの脱着を検出する手段と、動作継続が不可能で、かつ何らかの復旧処置を施した後に装置が自動的に動作可能な状態となりうる状態（以下、異常中状態）であることを検出する手段とを有し、装置が異常中状態にあり、かつインクカートリッジが抜かれた状態にあるとき、インクカートリッジが装着されてもサブタンクへのインク充填操作を自動的に行わないようにしたことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の請求項４は、取り外し可能なインクカートリッジから印刷ヘッドに搭載されたサブタンクへインクを供給して印刷を行う画像形成装置において、前記インクカートリッジの脱着を検出する手段と、印刷動作の準備中である状態（以下、準備中状態）を検出する手段とを有し、装置が準備状態にあり、かつインクカートリッジが抜かれた状態にあるとき、インクカートリッジが装着されてもサブタンクへのインク充填操作を自動的に行わないようにしたことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月13日(2006.9.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷すべき画像の印刷信号に基づいて、記録媒体上に画像を記録する印刷装置であって、
複数のノズルと前記複数のノズルを駆動してインク滴を吐出させるための複数の駆動素子とを有する印刷ヘッドと、
前記複数の駆動素子に伝送される駆動波形を生成する駆動波形生成回路と、
を備え、
前記駆動波形生成回路は、
前記駆動波形を生成するための駆動波形データであって、前記駆動素子に印加される駆動電圧の単位時間当たりの変化量に対応する複数の駆動波形データを記憶するためのメモリと、
前記メモリからそれぞれ所定の読出しタイミングで１つずつ順次読み出された前記駆動波形データを、一定の累算周期毎に順次累算していく累算部と、
前記累算部で得られた複数ビットの累算結果のうち、特定の上位ビットをデジタル／アナログ変換してアナログ信号として出力するデジタル／アナログ変換器と、
前記累算部における前記複数ビットの累算結果を、所定の設定タイミングにおいて前記特定の上位ビットで表される値がゼロではなく、前記特定の上位ビット以外の下位ビットがすべてゼロになるような所定の設定値に設定する制御部と、
を備える印刷装置。
【請求項２】
請求項１記載の印刷装置であって、
前記制御部は、前記特定の上位ビット以外の下位ビットをクリアすることによって、前記累算結果を前記所定の設定値に設定する
印刷装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の印刷装置であって、
前記所定の設定タイミングは、前記駆動波形の１周期の始端と終端に相当するタイミングであり、
前記駆動波形は、１周期の始端と終端における電位が一致する周期的な波形である
印刷装置。
【請求項４】
駆動素子を駆動させるための駆動波形を生成する駆動波形生成装置であって、
前記駆動波形を生成するための駆動波形データであって、前記駆動素子に印加される駆動電圧の単位時間当たりの変化量に対応する複数の駆動波形データを記憶するためのメモリと、
前記メモリからそれぞれ所定のタイミングで１つずつ順次読み出された前記駆動波形データを、一定の累算周期毎に順次累算していく累算部と、
前記累算部で得られた複数ビットの累算結果のうち、特定の上位ビットをデジタル／アナログ変換してアナログ信号として出力するデジタル／アナログ変換器と、
前記累算部における前記複数ビットの累算結果を、所定の設定タイミングにおいて前記特定の上位ビットで表される値がゼロではなく、前記特定の上位ビット以外の下位ビットがすべてゼロになるような所定の設定値に設定する制御部と、
を備える駆動波形生成装置。
【請求項５】
請求項４記載の駆動波形生成装置であって、
前記制御部は、前記特定の上位ビット以外の下位ビットをクリアすることによって、前記累算結果を前記所定の設定値に設定する
駆動波形生成装置。
【請求項６】
請求項４または５記載の駆動波形生成装置であって、
前記所定の設定タイミングは、前記駆動波形の１周期の始端と終端に相当するタイミングであり、
前記駆動波形は、１周期の始端と終端における電位が一致する周期的な波形である
駆動波形生成装置。
【請求項７】
駆動素子を駆動させるための駆動波形生成方法であって、
（ａ）前記駆動波形を生成するための駆動波形データであって、前記駆動素子に印加される駆動電圧の単位時間当たりの変化量に対応する複数の駆動波形データを、それぞれ所定のタイミングで１つずつ順次選択する工程と、
（ｂ）前記選択された駆動波形データを、一定の累算周期毎に順次累算する工程と、
（ｃ）前記複数ビットの累算結果のうち、特定の上位ビットをデジタル／アナログ変換する工程と、
（ｄ）前記複数ビットの累算結果を、所定の設定タイミングにおいて前記特定の上位ビットで表される値がゼロではなく、前記特定の上位ビット以外の下位ビットがすべてゼロになるような所定の設定値に設定する工程と、
を備える駆動波形生成方法。
【請求項８】
請求項７記載の駆動波形生成方法であって、
前記工程（ｄ）は、前記特定の上位ビット以外の下位ビットをクリアすることによって、前記累算結果を前記所定の設定値に設定する工程を含む
駆動波形生成方法。
【請求項９】
請求項７または８記載の駆動波形生成方法であって、
前記所定の設定タイミングは、前記駆動波形の１周期の始端と終端に相当するタイミングであり、
前記駆動波形は、１周期の始端と終端における電位が一致する周期的な波形である
駆動波形生成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上述の課題の少なくとも一部を解決するため、本発明は、駆動波形を生成するための駆動波形データであって、駆動素子に印加される駆動電圧の単位時間当たりの変化量に対応する複数の駆動波形データを順次累算し、累算された複数ビットの累算結果のうち、特定の上位ビットをデジタル／アナログ変換してアナログ信号として出力する。この際、複数ビットの累算結果を、所定の設定タイミングにおいて特定の上位ビットで表される値がゼロではなく、特定の上位ビット以外の下位ビットがすべてゼロになるような所定の設定値に設定する。こうすることにより、駆動波形データの誤差の累積がなくなり、所望の駆動波形を生成することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月6日(2006.11.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク供給針を介して記録ヘッドにインクを供給する記録装置に着脱可能なインクカートリッジであって、
インクを収容するインク室と、
前記インク室と連通すると共に、前記インク供給針が挿抜されるインク供給口と、
前記インク供給口内に設置され、前記インク供給針と嵌合する通孔を有するパッキング
と、
前記インク供給口内に収容され、前記パッキングの前記インク室側表面と弾接して前記
通孔を開閉可能に封止する弁体と、前記弁体を前記パッキングの前記インク室側の表面に
付勢する弾性部材と、を備え、
前記弁体が前記パッキングと当接する弁体部を有すると共に、前記弁体部のインク供給
針と当接する側に平面部を有することを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項２】
前記インク室に収容され、インクを含浸する多孔質部材を有する請求項１に記載のインクカートリッジ。
【請求項３】
前記弁体部が、前記弾性部材を保持する保持部を有する請求項１に記載のインクカートリッジ。
【請求項４】
前記保持部が、前記弁体部の周面に設けられている請求項３に記載のインクカートリッジ。
【請求項５】
前記弁体部が、前記弁体が前記筒状パッキングと弾接するとき前記インク室からのインクを封止する封止部と、前記弁体部が前記記録装置のインク供給針に押圧されて前記筒状パッキングと距離を隔てたとき前記インク室からのインクを通過させるインク流路と、を有する請求項１に記載のインクカートリッジ。
【請求項６】
前記インク流路が前記封止部を切除して形成されている請求項５に記載のインクカートリッジ。
【請求項７】
前記封止部が平板状である請求項１に記載のインクカートリッジ。
【請求項８】
前記弁体の弁体部の前記筒状パッキングに対向する面に凸状部が形成された請求項１に記載のインクカートリッジ。
【請求項９】
前記弁体の弁体部の前記筒状パッキングに対向する面に前記インク供給針の先端に接触する突起が形成された請求項１に記載のインクカートリッジ。
【請求項１０】
前記弁体の弁体部の前記筒状パッキングに対向する面に切込部が形成された請求項１に記載のインクカートリッジ。
【請求項１１】
前記インク供給針の先端がテーパ状であるとき、前記弁体部の前記切込部が、前記インク供給針のテーパ状部分と同角度に形成された請求項１０に記載のインクカートリッジ。
【請求項１２】
前記インク供給針の先端がテーパ状であるとき、前記弁体部の前記切込部が、前記インク供給針のテーパ状部分よりも鋭角度に形成された請求項１０に記載のインクカートリッジ。
【請求項１３】
前記弁体の弁体部の前記筒状パッキングに当接する面に、球面部が形成されている請求項１に記載のインクカートリッジ。
【請求項１４】
前記弁体の前記球面部の曲率直径が、前記弁体部を前記筒状パッキングに対して水平な面で切断した際の最大直径より大きい請求項１３に記載のインクカートリッジ。
【請求項１５】
前記弁体のインク供給針に接触する部分が平面である請求項１に記載のインクカートリッジ。
【請求項１６】
記録紙に対してインクを吐出させて記録する記録装置において、
記録ヘッドと、
インク供給針と、
前記記録ヘッドに前記インク供給針を介して連通可能であり、かつ前記記録ヘッドに対して着脱可能なインクカートリッジと、を有し、
前記インクカートリッジが、
インクを収容するインク室と、
前記インク室と連通すると共に、前記インク供給針が挿抜されるインク供給口と、
前記インク供給口内に設置され、前記インク供給針と嵌合する通孔を有するパッキング
と、
前記インク供給口内に収容され、前記パッキングの前記インク室側表面と弾接して前記
通孔を開閉可能に封止する弁体と、前記弁体を前記パッキングの前記インク室側の表面に
付勢する弾性部材と、を備え、
前記弁体が前記パッキングと当接する弁体部を有すると共に、前記弁体部のインク供給
針と当接する側に平面部を有することを特徴とする記録装置。
【請求項１７】
インク供給針を介して記録ヘッドにインクを供給する記録装置に用いられ、前記記録ヘッドに前記供給針を介してインク収容部のインクを供給可能なインク供給システムであって、
前記インク収容部から前記記録装置の記録ヘッドにインクを供給するインク供給路と、
前記インク供給路に設置され、インクを通過させるインク流路を形成すると共に、前記封止する第二部材と、を備え、
前記第二部材が、前記第一部材と当接する弁体部と、該弁体部が前記インク室からのインクを封止する平面部を有する封止部と、
を備えることを特徴とするインク供給システム。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月5日(2006.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】記録媒体の幅相当の長さに複数のノズルが配列され、前記ノズルから前記記録媒体へ向けてインクを吐出することにより画像を記録するラインヘッドであって、
各々複数のノズルが配列された複数のヘッドユニットに分割形成され、前記複数のヘッドユニットが長さ方向に沿って配列されてなると共に、前記複数のヘッドユニットの各々が独立に着脱可能に構成されてなり、
前記複数のヘッドユニットのうちの一部のヘッドユニットを取り外す際に、取り外さない残りのヘッドユニットのノズル面をキャッピングするためのキャッピング手段を有することを特徴とするラインヘッド。
【請求項２】前記複数のヘッドユニットの各々は、同一構造であることを特徴とする請求項１記載のラインヘッド。
【請求項３】前記複数のヘッドユニットは、長さ方向に沿って千鳥状に配列されてなることを特徴とする請求項１又は２記載のラインヘッド。
【請求項４】記録媒体の幅相当の長さに複数のノズルを配置したラインヘッドを有し、前記ノズルから前記記録媒体へ向けてインクを吐出すると共に、前記記録媒体と前記ラインヘッドを副走査方向へ相対的に移動させることにより前記記録媒体上に画像を形成するライン型のインクジェット記録装置であって、
前記ラインヘッドは、各々複数のノズルが配列された複数のヘッドユニットに分割され、前記複数のヘッドユニットが長さ方向に沿って配列されてなると共に、前記複数のヘッドユニットの各々が独立に着脱可能に構成されてなり、
前記複数のヘッドユニットのうちの一部のヘッドユニットを取り外す際に、取り外さない残りのヘッドユニットのノズル面をキャッピングするためのキャッピング手段を有することを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項５】前記複数のヘッドユニットの各々は、同一構造であることを特徴とする請求項４記載のインクジェット記録装置。
【請求項６】前記複数のヘッドユニットは、前記ラインヘッドの長さ方向に沿って千鳥状に配列されてなることを特徴とする請求項４又は５記載のインクジェット記録装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項１記載の発明は、記録媒体の幅相当の長さに複数のノズルが配列され、前記ノズルから前記記録媒体へ向けてインクを吐出することにより画像を記録するラインヘッドであって、各々複数のノズルが配列された複数のヘッドユニットに分割形成され、前記複数のヘッドユニットが長さ方向に沿って配列されてなると共に、前記複数のヘッドユニットの各々が独立に着脱可能に構成されてなり、前記複数のヘッドユニットのうちの一部のヘッドユニットを取り外す際に、取り外さない残りのヘッドユニットのノズル面をキャッピングするためのキャッピング手段を有することを特徴とするラインヘッドである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項４記載の発明は、記録媒体の幅相当の長さに複数のノズルを配置したラインヘッドを有し、前記ノズルから前記記録媒体へ向けてインクを吐出すると共に、前記記録媒体と前記ラインヘッドを副走査方向へ相対的に移動させることにより前記記録媒体上に画像を形成するライン型のインクジェット記録装置であって、前記ラインヘッドは、各々複数のノズルが配列された複数のヘッドユニットに分割され、前記複数のヘッドユニットが長さ方向に沿って配列されてなると共に、前記複数のヘッドユニットの各々が独立に着脱可能に構成されてなり、前記複数のヘッドユニットのうちの一部のヘッドユニットを取り外す際に、取り外さない残りのヘッドユニットのノズル面をキャッピングするためのキャッピング手段を有することを特徴とするインクジェット記録装置である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項５記載の発明は、前記複数のヘッドユニットの各々は、同一構造であることを特徴とする請求項４記載のインクジェット記録装置である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項６記載の発明は、前記複数のヘッドユニットは、前記ラインヘッドの長さ方向に沿って千鳥状に配列されてなることを特徴とする請求項４又は５記載のインクジェット記録装置である。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月13日(2006.11.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
ＶＰＮ毎に自装置からの次ホップ先が一つのＭＡＣ＿ＤＡに限定されるか否かを検出するステップと、
この検出するステップの検出結果がＶＰＮ毎に自装置からの次ホップ先が一つのＭＡＣ＿ＤＡに限定されることを検出した場合に、前記受信側アドレス検索ステップおよび前記ＩＰパケット処理ステップを実行するステップと
を含む請求項４または５記載のアドレス検索方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月4日(2005.11.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】  被処理体の電極にプローブを当てて被検査体の電気的特性検査を行なう際に、上記被処理体に形成された電極の酸化膜を常圧下で還元する方法であって、上記被処理体を加熱する工程と、上記加熱後の被処理体の表面に水素ガスを含む還元性ガスを吹き付ける工程と、上記被処理体を加熱するに先立って不活性ガス雰囲気を形成する工程を備えたことを特徴とする被処理体の還元方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
また、検査工程では、例えばウエハ表面の電極パッドにプローブ（以下、「プローブピン」と称す。）を電気的に接触させてプローブピンと電極パッドを電気的に接触させて検査を行なうが、この際酸化膜が絶縁体となって電気的導通を妨げるため、検査に先立って電極パッド表面の酸化膜を除去する必要がある。この場合に例えば特許文献１に記載の還元方法を用いて酸化膜を除去すれば、プラズマにより酸化膜を除去することができるが、ウエハを過酷な条件に曝すため、ウエハに形成された素子にダメージを与え、歩留まりが低下する虞がある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載の被処理体の還元方法は、被処理体の電極にプローブを当てて被検査体の電気的特性検査を行なう際に、上記被処理体に形成された電極の酸化膜を常圧下で還元する方法であって、上記被処理体を加熱する工程と、上記加熱後の被処理体の表面に水素ガスを含む還元性ガスを吹き付ける工程と、上記被処理体を加熱するに先立って不活性ガス雰囲気を形成する工程を備えたことを特徴とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図７に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
まず、本発明の還元方法を実施するための還元処理装置の一例を図１に基づいて説明する。本実施形態では還元処理装置を検査装置内に設けた場合について説明する。本検査装置は、被処理体（例えば、ウエハ）を搬送するローダ室と、このローダ室に隣接し且つウエハの電気的特性検査を行なうプローバ室とを備えている。プローバ室にはプローブ（以下、「プローブピン」と称す。）が配置され、ウエハを載置する載置台を介してウエハの電極パッドとプローブピンとを電気的に接触させてウエハの電気的特性検査を行う。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月21日(2006.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】手続補正書
【補正対象項目名】手続補正２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半田付け検査の特徴量算出装置であって、
検査対象の設計情報を入力する設計情報入力手段と、
検査基準を入力する検査基準入力手段と、
前記設計情報に応じた半田フィレットの形状情報を算出する半田形状算出手段と、
前記半田フィレットの形状情報に基づいて検査画面像を算出する検査画像算出手段と、
前記検査画像より特徴量を算出する特徴量算出手段と、
前記半田形状情報より前記検査基準を用いて半田形状の良否を判定する半田形状良否判定手段と、
前記特徴量及び良否判定結果を表示又は出力する特徴量出力手段と、
を具備したことを特徴とする半田付け検査の特徴量算出装置。
【請求項２】
前記設計情報は部品形状及びランド形状を含んでおり、前記半田形状算出手段は入力された前記部品形状及びランド形状に基づいて複数の半田形状情報を算出する請求項１記載の半田付け検査の特徴量算出装置。
【請求項３】
前記設計情報は部品実装位置、半田ぬれ上がり位置、半田ぬれ広がり位置、及び設計／製造条件によらない半田基本形状を含んでおり、前記半田形状算出手段は入力された前記部品実装位置、半田ぬれ上がり位置、半田ぬれ広がり位置、及び設計／製造条件によらない半田基本形状に基づいて複数の半田フィレットの形状情報を算出する請求項１記載の半田付け検査の特徴量算出装置。
【請求項４】
前記半田形状算出手段は、半田の表面のフィレット曲線と、部品面における半田のぬれ上がり状態を示すぬれ上がり曲線と、ランド面における半田のぬれ広がり状態を示すぬれ広がり曲線を用いて、３次元座標データを算出する請求項１記載の半田付け検査の特徴量算出装置。
【請求項５】
前記検査画像算出手段は、半田フィレットの角度又は厚みの半田特徴量に対する検査画像の強度を示す検査画像取得用関数を用いて、検査画像を取得する検査画像取得手段を有する請求項１記載の半田付け検査の特徴量算出装置。
【請求項６】
前記検査画像取得用関数は、未実装部分のランドに形成された半田フィレットの実際の検査画像を用いて、半田フィレットの角度又は厚みの半田特徴量に対する検査画像の強度を示す関数として算出される請求項５記載の半田付け検査の特徴量算出装置。
【請求項７】
前記検査基準は半田量基準、半田ぬれ上がり基準及び半田ぬれ広がり基準を含んでいる請求項１記載の半田付け検査の特徴量算出装置。
【請求項８】
前記半田形状良否判定手段は、半田量又は半田ぬれ量に関する不良範囲が指定された検査基準を用いて、仮想の半田形状に対して良否判定をする請求項７記載の半田付け検査の特徴量算出装置。
【請求項９】
前記半田形状良否判定手段は、不良の度合に応じて不良を複数にランク分けする請求項１記載の半田付け検査の特徴量算出装置。
【請求項１０】
前記特徴量出力手段は、前記特徴量及び良否判定結果に加えて、３次元座標データで示される半田形状、半田量、ぬれ量及び検査画像からなる群から選択される情報を出力する請求項１記載の半田付け検査の特徴量算出装置。
【請求項１１】
前記特徴量出力手段は、特徴量に関する閾値を指定することにより、見逃し及び見過ぎとなる半田形状を表示する請求項１記載の半田付け検査の特徴量算出装置。
【請求項１２】
コンピュータに半田付け検査に用いる特徴量算出を実行させるためのプログラムにおいて、
検査対象の設計情報入力を受け付けるステップと、
検査基準入力を受け付けるステップと、
前記設計情報に応じた半田フィレットの形状情報を算出するステップと、
前記半田フィレットの形状情報に基づいて検査画像を算出するステップと、
前記検査画像より特徴量を算出するステップと、
前記半田形状情報より、前記検査基準を用いて半田形状の良否を判定するステップと、
前記特徴量及び良否判定結果を出力するステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１３】
コンピュータに検査対象の特徴量を算出させるプログラムにおいて、
検査対象の基本形状情報及び検査対象の可変要因に関する情報より、検査対象の形状データを生成するステップと、
前記生成された形状データと、検査対象の形状に対応する検査パラメータより、前記形状データが算出された検査対象の特徴量を算出するステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１４】
前記プログラムはコンピュータに、
前記形状データ生成ステップでは、前記可変要因を変化させた形状データを複数生成する処理を実行させるとともに、
前記特徴量算出ステップでは、前記生成された複数の形状データに対する特徴量を算出する処理を実行させることを特徴とする請求項１３記載のプログラム。
【請求項１５】
前記プログラムは更に、前記算出された複数の特徴量に基づき、前記検査対象の良否判定に用いられる判定基準を生成するステップをコンピュータに実行させることを特徴とする請求項１４記載のプログラム。
【請求項１６】
コンピュータに検査対象の検査基準を算出させるプログラムにおいて、
設計情報に基づいて生成された検査対象の形状データと、検査対象の形状に対応する検査パラメータを用いて、検査対象の特徴量を算出するステップと、
前記形状データと、検査対象の形状良否判定基準情報とを対比して、検査対象の形状良否判定を行うステップと、
前記特徴量と前記形状良否判定の結果とを対応付けて出力するステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１７】
検査対象の特徴量算出方法において、
検査対象の基本形状情報及び検査対象の可変要因に関する情報より、検査対象の形状データを生成するステップと、
前記生成された形状データと、検査対象の形状に対応する検査パラメータより、前記形状データが算出された検査対象の特徴量を算出するステップと、
を有することを特徴とする特徴量算出方法。
【請求項１８】
検査対象の検査を行う検査装置での検査時に用いられる検査基準情報の算出方法において、
設計情報に基づいて生成された検査対象の形状データと、検査対象の形状に対応する検査パラメータを用いて、検査対象の特徴量を算出するステップと、
前記形状データと、検査対象の形状良否判定基準情報とを対比して、検査対象の形状良否判定を行うステップと、
前記特徴量と前記形状良否判定の結果とを対応付けて出力するステップと、
を有することを特徴とする検査基準情報の算出方法。
【請求項１９】
検査対象の形状を算出するステップと、
前記検査対象の検査条件に応じた検査を、前記形状が算出された検査対象に対して行うステップと、
前記検査による測定結果を収集するステップと、
を有することを特徴とする方法。
【請求項２０】
検査対象の設計情報に基づいて、検査対象形状を算出するステップと、
検査対象の検査条件に応じて、前記算出された検査対象形状の測定を行うステップと、
前記測定の結果得られた特徴量を得るステップと、
前記算出された検査対象形状の良否判定を行うステップと、
前記特徴量と前記良否判定とを対応付けて出力するステップと、
を備えたことを特徴とする検査基準情報生成方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月16日(2005.11.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  半導体基板上に第１の層及び第２の層を順次含む積層膜を形成した後、この積層膜をパターニングする工程と、
パターニングされた前記第２の層をマスクとして、前記半導体基板内に溝を形成する工程と、
前記溝内を含む前記半導体基板の全面に絶縁膜を形成する工程と、
前記第１の層をストップ膜として前記第１の層の上方の絶縁膜をＣＭＰにより除去する工程と、
前記第１の層を除去する工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】  請求項１に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第２の層及び前記絶縁膜は、シリコン酸化膜であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項３】  請求項１に記載の半導体装置の製造方法において、
前記絶縁膜を形成する工程の後に、前記第２の層を除去する工程を更に含み、
前記第１の層は非単結晶シリコン膜であり、前記第２の層はシリコン窒化膜であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】  請求項１に記載の半導体装置の製造方法において、
前記絶縁膜を形成する工程の後に、前記第２の層を除去する工程を更に含み、
前記第１の層はシリコン窒化膜であり、前記第２の層は酸化膜又は金属膜であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】  請求項４に記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板上に前記第１の層を形成する前に、前記半導体基板上に非単結晶シリコン膜を形成する工程を更に含み、
前記第１の層を除去する工程の後、前記非単結晶シリコン膜を除去する工程を更に含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項６】  請求項１に記載の半導体装置の製造方法において、
前記絶縁膜を形成する工程の後に、前記第２の層を除去する工程を更に含み、
前記第１の層は非単結晶シリコン膜であり、前記第２の層は酸化膜又は金属膜であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項７】  請求項４から６の何れかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記酸化膜が、ＴＥＯＳ酸化膜、酸化アルミニウム膜、酸化チタン膜の何れかであることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項８】  請求項４から６の何れかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記金属膜が、ルテニウム膜であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板上に第１の層及び第２の層を順次含む積層膜を形成した後、この積層膜をパターニングする工程と、
パターニングされた前記第２の層をマスクとして、前記半導体基板内に溝を形成する工程と、
前記溝内を含む前記半導体基板の全面に絶縁膜を形成する工程と、
前記第１の層をストップ膜として前記第１の層の上方の絶縁膜をＣＭＰにより除去する工程と、
前記第１の層を除去する工程とを含むことを特徴とするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月8日(2006.9.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】光電変換素子
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板に形成された下面電極構造を有する表面実装型の光電変換素子において、下面電極は、半導体層と接触する内層部が前記半導体層とオーム接触を示す第１の金属材料から成り、外層部が半田と合金形成が可能な第２の金属材料で形成されている積層構造を有することを特徴とする光電変換素子。
【請求項２】
ガラス基板に形成された下面電極構造を有する表面実装型の光電変換素子において、下面電極は、半導体層と接触する内層部が酸化物系導電材料から成り、外層部が半田と合金形成が可能な金属材料で形成されている積層構造を有することを特徴とする光電変換素子。
【請求項３】
ガラス基板に形成された表面実装型の光電変換素子において、電極を有し、前記電極は、半導体層と接触する内層部が酸化物系導電材料から成り、外層部が半田と合金形成が可能な金属材料で形成されている積層構造を有し、前記ガラス基板の端面まで連続して形成されていることを特徴とする光電変換素子。
【請求項４】
ガラス基板上に形成された下面電極構造を有する表面実装型の光電変換素子において、下面電極は、半導体層とオーム接触を示し、かつ半田と合金形成が可能な金属材料の単層構造で形成されていることを特徴とする光電変換素子。
【請求項５】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、前記下面電極の内層部と外層部との間に、前記第１の金属材料と、前記第２の金属材料との合金層が形成されていることを特徴とする光電変換素子。
【請求項６】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、前記下面電極の内層部と外層部との間に、Ａｌ又はＡｌを５０％以上含む合金層が形成されていることを特徴とする光電変換素子。
【請求項７】
請求項１において、前記下面電極の内層部が、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｍｏ、Ｐｄ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｔ、Ａｕから選ばれた一元素、又は該元素を５０％以上含む合金材料で形成されていることを特徴とする光電変換素子。
【請求項８】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、前記下面電極の外層部がＮｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｐｄ、Ａｇ、Ｓｎ、Ｐｔ、Ａｕから選ばれた一元素、又は該元素を５０％以上含む合金材料で形成されており、その膜厚が０．１μｍ〜５０μｍの範囲であることを特徴とする光電変換素子。
【請求項９】
請求項２または請求項３において、前記下面電極の内層部がＩＴＯ、ＳｎＯ２、ＺｎＯから選ばれた一種又は複数種の酸化物系導電材料で形成されていることを特徴とする光電変換素子。
【請求項１０】
請求項４において、前記下面電極の電極材料がＮｉ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ａｕから選ばれた一元素、又は該元素を５０％以上含む合金材料で形成されており、その膜厚が０．１μｍ〜５０μｍの範囲であることを特徴とする光電変換素子。
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月20日(2006.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体物質の金属フィーチャの光誘導による腐蝕及び再堆積を減少する方法であって、
ポリ金属誘電体層の下で、前記半導体物質に光子阻止層を含むことによって前記半導体物質のバンドギャップエネルギーに等しいか、またはそれより大きなエネルギーを有する光に前記半導体物質の露光を制限するステップを有することを特徴とする方法。
【請求項２】
半導体ウエハであって、
ダイオードとトランジスタを含む第１の領域と、
前記第１の領域上に形成された光子阻止層と、
金属の相互接続を含む前記光子阻止層上に形成される第２の領域と、
を有する半導体ウエハ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
ウエハ部分２は、一般に製造プロセスにおけるいろいろな段階で光に曝される。ＰＮ接合の、光への露出（露光）は、光誘導の金属の腐蝕及び再堆積を生じる光電池事象を誘導する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
Ｐ-Ｎ接合が、相互接続金属として用いられた銅に接続されると、銅の相互接続に電位差が形成される。もし、電解質１２（すなわち、化学機械研磨に用いられたスラリー）が銅の表面上に存在すると、露光されたＰ-Ｎ接合は、バッテリーとして働き、銅の電気化学反応を起こす。Ｐ-型領域に接続された銅の配線８に対して、酸化作用が加速され、銅は電解質に溶解され、それによって光子誘導の銅の腐蝕を生じる。Ｎ-型領域に接続された銅の配線に対して、還元作用がおき、銅は再堆積され、それによって光子誘導の銅の再堆積を生じる。要約すれば、回路の一方の側において光子誘導の溶解（腐蝕、穴あき）及び回路の他方の側において光子誘導の付着（再堆積）が同時に起きる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
以上の開示に関連して、以下の各項を開示する。
（１）半導体物質の金属フィーチャの光誘導の腐蝕及び再堆積を現象する方法であって、
ポリ金属誘電体層の下で、前記半導体物質に光子阻止層を組みこむことによって前記半導体物質のバンドギャップエネルギーに等しいか、またはそれより大きなエネルギーを有する光に前記半導体物質の露光を制限するステップを有することを特徴とする方法。
（２）前記光子阻止層は、不連続であることを特徴とする前記（１）項に記載の方法。
（３）前記光子阻止層は、直接バンドギャップを有する物質から構成されることを特徴とする前記（１）項に記載の方法。
（４）前記光子阻止層は、ＳiＧeであることを特徴とする前記（１）項に記載の方法。
（５）前記光子阻止層は、ａ-ＳiＧeであることを特徴とする前記（１）項に記載の方法。
（６）前記光子阻止層は、ａ-ＳiＧe：Ｈであることを特徴とする前記（１）項に記載の方法。
（７）前記光子阻止層は、コンタクトエッチング停止層であることを特徴とする前記（１）項に記載の方法。
（８）前記光子阻止層は、ａ-ＳiＧe：Ｈ、ａ-ＳiＧe、ＳiＧe、ＳiＣ、ＧaＡs、Ｃ６０、ａ-Ｓi、Ｇe、ＩnＰ、ＣdＳe、ＣdＴe、ＰbＳ、ＰbＴe、Ｂ、Ｓe、ＡlＳb、Ｂi2Ｓ3、Ｚn3Ａs2、ＧaＴe、ＧaＮ、ＺnＳ、及びＣから成るグループから選択されることを特徴とする前記（１）項に記載の方法。
（９）前記金属フィーチャは、銅を含むことを特徴とする前記（１）項に記載の方法。
（10）ＣＭＰプロセスは、前記半導体物質上で行なわれることを特徴とする前記（1）項に記載の方法。
（11）ＣＭＰクリーニングプロセスは、前記半導体物質上で行なわれることを特徴とする前記（1）項に記載の方法。
（12）前記光子阻止層は、半導体製造設備に用いられる光源のエネルギースペクトルの低い端の値より小さいバンドギャップエネルギーを有する物質から成ることを特徴とする前記（1）に記載の方法。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
（27）本発明は、半導体製造プロセス中に相互接続配線を作るために用いられる金属、例えば銅の光誘導の腐蝕及び再堆積を減少する方法である。光誘導の腐蝕及び再堆積は、光電池効果を生じるＰＮ接合の光への露光によって生じる。本発明では、ＰＮ接合の光への露出（露光）の量を減少するために、光子阻止層１３が用いられる。本発明のこの光子阻止層１３は、半導体製造設備に使用される一般的な光源のエネルギースペクトルの低い端より小さい（一般に１.７ｅＶより小さい）バンドギャップエネルギーを有する直接バンドギャップである。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月11日(2005.11.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  複数の宛先からなる送信グループを登録する登録手段と、
該登録手段に登録された送信グループの複数の宛先に対して、所定の情報を同時に送信する送信手段と、
前記登録された送信グループに新たな宛先を追加する追加手段であって、該追加が正当な者による追加であることが認識されたときに、該追加を許可するものと、
該追加手段による新たな宛先の追加の許可を、所定の条件に応じて承認する承認手段と
を有することを特徴とする情報処理システム。
【請求項２】  前記正当な者による追加であることの認識は、当該追加操作者に対して、追加用暗証番号の入力を要求し、これに応じて入力された暗証番号と、あらかじめ設定されている暗証番号とが一致したときに、当該追加操作者を正当な者と認識することによって行うことを特徴とする請求項１に記載の情報処理システム。
【請求項３】  前記所定の条件とは、当該システムの管理者による承認であることを特徴とする請求項１または２に記載の情報処理システム。
【請求項４】  当該システムの管理者による承認とは、当該システムの管理者のみに発行された承認用暗証番号の入力を要求し、これに応じて入力された暗証番号と、あらかじめ設定されている暗証番号とが一致したことであることを特徴とする請求項３に記載の情報処理システム。
【請求項５】  前記追加手段によって新たな宛先が追加された送信グループの情報を一時的に記憶する記憶手段と、
前記承認手段によって承認がなされたときに、前記記憶手段に記憶された送信グループの情報で、前記登録された送信グループの情報を書き換える書き換え手段と
をさらに有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の情報処理システム。
【請求項６】  前記承認手段によって承認がなされないときに、前記記憶手段に記憶された送信グループの情報を破棄する破棄手段をさらに有することを特徴とする請求項５に記載の情報処理システム。
【請求項７】  複数の宛先からなる送信グループを登録手段に登録する登録ステップと、
該登録手段に登録された送信グループの複数の宛先に対して、所定の情報を同時に送信する送信ステップと、
前記登録された送信グループに新たな宛先を追加する追加ステップであって、該追加が正当な者による追加であることが認識されたときに、該追加を許可するものと、
該追加ステップによる新たな宛先の追加の許可を、所定の条件に応じて承認する承認ステップと
を有することを特徴とする情報処理システムの制御方法。
【請求項８】  複数の宛先からなる送信グループを登録手段に登録する登録手順と、
該登録手段に登録された送信グループの複数の宛先に対して、所定の情報を同時に送信する送信手順と、
前記登録された送信グループに新たな宛先を追加する追加手順であって、該追加が正当な者による追加であることが認識されたときに、該追加を許可するものと、
該追加手順による新たな宛先の追加の許可を、所定の条件に応じて承認する承認手順と
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２０
【補正方法】削除
【補正の内容】