【手続補正書】
【提出日】平成18年10月11日(2006.10.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨盤に研磨材を付けたもの、あるいは、研磨盤に研磨シートを載せたもの、あるいは、研磨盤に研磨シートを貼ったもの、あるいは、研磨盤にゴム等の弾性体を配置しその上に研磨シートその他の研磨材を配置したものなど被研磨物の研磨を行うことができるものを研磨定盤と定義して、また、本発明でいう光ファイバ端面とは、光ファイバの端面のみならず、光ファイバ芯線をフェルールなど光ファイバ端部を保持する保持部材の貫通孔などに保持している状態の光ファイバ端末の場合には前記光ファイバ芯線の端面と前記フェルールなど光ファイバ端部の保持部材の端面の被研磨面のいずれか一方または双方を光ファイバ端面と称することにして、研磨定盤と被研磨物である光ファイバ端面を接触させた状態で両者を相対的に運動させて前記光ファイバ端面を研磨する光ファイバ端面の研磨システムにおける光ファイバ端面の研磨方法において、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動の運動成分として、前記相対運動を回転運動成分と偏心回転運動成分のいずれも重畳されていない状態で前記研磨定盤の上を前記光ファイバ端面が相対的に変位する運動として表現した場合に、少なくとも、前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動がスタートして相対運動が定常状態に達して後、前記光ファイバ端面が前記研磨定盤に接触しながら前記研磨定盤の上を運動の中心部から遠ざかる方向へ所定の大きさ以上変位（以下、外方向変位ともいう）して後に、変位方向を転向して前記運動の中心部に近づく方向に向かう変位成分を有するように変位（以下、内方向変位ともいう）するという運動を少なくとも一回行い、続いて、前記相対運動を回転運動成分と偏心回転運動成分のいずれも重畳されていない状態で前記研磨定盤の上を前記光ファイバ端面が相対的に変位する運動として表現した場合に、前記外方向変位１の変位方向とは異なる方向へ外方向変位（以下、外方向変位２という）して後に、変位方向を転向して内方向変位をするという運動を少なくとも一回行い、続いて、前記外方向変位２の変位方向と所定の角度をなすように前記外方向変位２の変位方向とは異なる方向へ外方向変位して後に、変位方向を転向して内方向変位をするという運動を少なくとも一回行うということを繰り返し行う運動（以下、振幅運動ともいう）を発生する運動駆動手段により発生された前記振幅運動を有していることを特徴とする光ファイバ端面の研磨方法。
【請求項２】
請求項１に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記運動駆動手段が、研磨終了後、前記研磨定盤の上で直交するｘ軸とｙ軸によって区切られる４つの領域を第１〜第４象限と表現して、前記第１〜第４象限の４つの領域における前記外方向変位の最外点の出現頻度あるいは変位の軌跡の出現頻度がおおむね均等になるようなｘ軸とｙ軸が存在する運動を発生する運動駆動手段であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記振幅運動が、被研磨物である光ファイバを研磨システムにセットして研磨のための前記振幅運動を開始したときの、あるいは、前記振幅運動の一時停止後再び研磨のために行われる前記振幅運動を開始したときのそれぞれ第１回目〜第３回目の外方向変位と内方向変位（以下、第１回目〜第３回目の外方向変位と内方向変位を初期変位ともいう）を除いて、一つの外方向変位からそれに続く内方向変位に移行する点（以下、最外点ともいう）から前記一つの外方向変位の運動軌跡上で運動の特徴を表現するのに適切な範囲の点（以下、第１の軌跡点ともいう）と前記最外点とを結んだ線分（以下、第１の線分ともいう）と前記最外点を通過して続いて行われる内方向変位の運動軌跡上で運動の特徴を表現するのに適切な範囲の点（以下、第２の軌跡点ともいう）と前記最外点とを結んだ線分（以下、第２の線分ともいう）とのなす角度が６０度以下であるような外方向変位とそれに続く内方向変位の組を主要研磨時間内の変位回数の過半数回生じるような運動であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨方法。
【請求項４】
研磨盤に研磨材を付けたもの、あるいは、研磨盤に研磨シートを載せたもの、あるいは、研磨盤に研磨シートを貼ったもの、あるいは、研磨盤にゴム等の弾性体を配置しその上に研磨シートその他の研磨材を配置したものなど被研磨物の研磨を行うことができるものを研磨定盤と定義して、また、本発明でいう光ファイバ端面とは、光ファイバの端面のみならず、光ファイバ芯線をフェルールなど光ファイバ端部を保持する保持部材の貫通孔などに保持している状態の光ファイバ端末の場合には前記光ファイバ芯線の端面と前記フェルールなど光ファイバ端部の保持部材の端面の被研磨面のいずれか一方または双方を光ファイバ端面と称することにして、研磨定盤と被研磨物である光ファイバ端面を接触させた状態で両者を相対的に運動させて前記光ファイバ端面を研磨する光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動の運動成分として、少なくとも、前記相対運動を回転運動成分と偏心回転運動成分のいずれも重畳されていない状態で前記研磨定盤の上を前記光ファイバ端面が相対的に変位する運動として表現した場合に、前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動がスタートして相対運動が定常状態に達して後、前記光ファイバ端面が前記研磨定盤に接触しながら前記研磨定盤の上を運動の中心部から遠ざかる方向へ所定の大きさ以上変位（以下、外方向変位ともいう）して後に、変位方向を転向して前記運動の中心部に近づく方向に向かう変位成分を有するように変位（以下、内方向変位ともいう）するという運動を少なくとも一回行い、続いて、前記外方向変位（以下、外方向変位１という）の変位方向と所定の角度をなすように前記外方向変位１の変位方向とは異なる方向へ外方向変位（以下、外方向変位２という）して後に、変位方向を転向して内方向変位をするという運動を少なくとも一回行い、続いて、前記外方向変位２の変位方向と所定の角度をなすように前記外方向変位２の変位方向とは異なる方向へ外方向変位して後に、変位方向を転向して内方向変位をするという運動を少なくとも一回行うということを繰り返し行う運動（以下、振幅運動ともいう）を生起する運動駆動手段を有していることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項５】
請求項４に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記振幅運動が、研磨終了後、前記研磨定盤の上で直交するｘ軸とｙ軸によって区切られる４つの領域を第１〜第４象限と表現して、前記第１〜第４象限の４つの領域における前記外方向変位の最外点の出現頻度あるいは変位の軌跡の出現頻度がおおむね均等になるようなｘ軸とｙ軸が存在する運動であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項６】
請求項４または５に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記振幅運動が、被研磨物である光ファイバを研磨システムにセットして研磨のための前記振幅運動を開始したときの、あるいは、前記振幅運動の一時停止後再び研磨のために行われる前記振幅運動を開始したときのそれぞれ第１回目〜第３回目の外方向変位と内方向変位（以下、第１回目〜第３回目の外方向変位と内方向変位を初期変位ともいう）を除いて、一つの外方向変位からそれに続く内方向変位に移行する点（以下、最外点ともいう）から前記一つの外方向変位の運動軌跡上で運動の特徴を表現するのに適切な範囲の点（以下、第１の軌跡点ともいう）と前記最外点とを結んだ線分（以下、第１の線分ともいう）と前記最外点を通過して続いて行われる内方向変位の運動軌跡上で運動の特徴を表現するのに適切な範囲の点（以下、第２の軌跡点ともいう）と前記最外点とを結んだ線分（以下、第２の線分ともいう）とのなす角度が６０度以下であるような外方向変位とそれに続く内方向変位の組を主要研磨時間内の変位回数の過半数回生じるような運動であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項７】
請求項４〜６のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記振幅運動中における時間的に過半数の前後して生起される前記外方向変位の運動軌跡が異なることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項８】
請求項４〜７のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記振幅運動が、前記外方向変位の変位方向が乱数表などを用いて無作為に選択されて出現する運動であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項９】
請求項４〜８のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記振幅運動は、研磨の主要な前記運動中に、１分間に１０回以上前記外方向変位とそれに続く内方向変位を行う振幅運動であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項１０】
請求項４〜９のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記光ファイバ端面の研磨装置が、前記振幅運動を第１の運動と定義して、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動として、前記第１の運動を生起する第１の運動駆動手段と、第２の運動と定義する回転中心軸線を中心に回転する前記研磨定盤の回転運動を前記第１の運動に重畳させるように駆動する第２の運動駆動手段とを有していることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項１１】
請求項４〜１０のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記光ファイバ端面の研磨装置が、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動として、前記第１の運動に重畳する、あるいは前記第１の運動に前記第２の運動が重畳された運動に重畳する、第３の運動と定義する回転中心が時間的に変動する偏心回転運動を生起する第３の運動駆動手段を有していることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項１２】
請求項４〜１１のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記光ファイバ端面の研磨装置が、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動として、前記第１の運動に重畳する第４の運動と定義する往復運動が重畳された運動を生起する第４の運動駆動手段とを有していることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項１３】
請求項４〜１２のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記第１〜第３の運動駆動手段は前記研磨定盤を駆動する運動駆動手段であり、前記第４の運動を生起する第４の運動駆動手段は前記光ファイバの端部近傍を保持している研磨治具盤を駆動する運動駆動手段であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項１４】
請求項４〜１１のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記第２または第３の運動をそれぞれ生起する第２または第３の運動駆動手段は前記研磨定盤を駆動する運動駆動手段であり、前記第１の運動を生起する第１の運動駆動手段は前記光ファイバの端部近傍を保持している研磨治具盤を駆動する運動駆動手段であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項１５】
請求項４〜１２のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、振幅運動である前記第１の運動が直線上を変位する周期運動あるいは円弧などの曲線上を変位する周期運動あるいは両者の合成された変位をする周期運動のいずれかであり、前記周期運動は、振幅運動である前記第１の運動を抽出してみた場合に、前記光ファイバ端面の運動の中心から見て放射状の方向で、かつ、前記方向の出現順序が無作為であるように各方向に振幅を有する周期運動であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項１６】
請求項４〜１５のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、少なくとも振幅運動である前記第１の運動を駆動する前記第１の運動駆動手段が、前記研磨定盤と前記研磨治具盤の少なくとも一方を、バネ、ゴム、磁石、電磁石、ソレノイド、リニアーモータ、超音波振動、気体の吸引機構または圧縮機構の少なくとも１つを用いた駆動手段によって駆動して前記第１の運動を生起する運動駆動手段であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、振幅運動である前記第１の運動を駆動する前記第１の運動駆動手段が、前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤の少なくとも一方を電磁的手段によって駆動して前記第１の運動を生起する運動駆動手段であり、前記電磁的手段が、前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤の少なくとも一方に配置された磁石あるいは電磁石と、前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤に配置された磁石あるいは電磁石と電磁作用を及ぼし合うように対応してあるいは対向して前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤の外部に配置された電磁石あるいは磁石との間の電磁的作用を利用した駆動手段であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項１８】
請求項１６または１７に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨定盤側に配置された永久磁石または電磁石の数と、前記研磨定盤に配置された永久磁石または電磁石に対向して前記研磨定盤の外部に配置された電磁石または永久磁石の数は、一方の数が奇数個で他方の数が偶数個であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項１９】
請求項４〜１８のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記光ファイバ端部の装着機構は、被研磨物としての前記光ファイバ端面を前記研磨定盤あるいは研磨フィルムに装着する場合の所定の接触圧を調整する手段を有していることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項２０】
請求項４〜１９のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨定盤に研磨剤の微粒子を塗布したフェルトまたはスポンジ、あるいは、研磨剤の微粒子を接着または付着させたブラシを取り付けたことを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【請求項２１】
請求項２０に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記ブラシの先端部が球体の一部の形状をしていることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
研磨盤に研磨材を付けたもの、あるいは、研磨盤に研磨シートを載せたもの、あるいは、研磨盤に研磨シートを貼ったもの、あるいは、研磨盤にゴム等の弾性体を配置しその上に研磨シートその他の研磨材を配置したものなど被研磨物の研磨を行うことができるものを研磨定盤と定義して、また、本発明でいう光ファイバ端面とは、光ファイバの端面のみならず、光ファイバ芯線をフェルールなど光ファイバ端部を保持する保持部材の貫通孔などに保持している状態の光ファイバ端末の場合には前記光ファイバ芯線の端面と前記フェルールなど光ファイバ端部の保持部材の端面の被研磨面のいずれか一方または双方を光ファイバ端面と称することにして、本発明は、研磨盤に光ファイバ端面を接触させた状態で両者を相対運動させて光ファイバ端面を研磨加工する光ファイバ端面の研磨方法および光ファイバ端面を研磨することができる研磨装置に関し、さらに具体的には、光ファイバ端面を高精度かつ高速で研磨加工することができ、さらに、研磨装置の小型化に有利な光ファイバ端面の研磨方法および光ファイバ端面を研磨することができる研磨装置に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
光ファイバ端面の研磨方法と装置に関して現在多くの改良が提案され、その一部は実用化されているが、研磨装置が高価で、装置が大きく、研磨所用時間も長くかかり、光ファイバ端面の研磨品質はよくないという問題が未解決で残されているのが現状である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
課題を解決するためになされた本発明の例としての第１の発明（以下、発明１という）である光ファイバ端面の研磨方法は、研磨定盤と被研磨物である光ファイバ端面を接触させた状態で両者を相対的に運動させて前記光ファイバ端面を研磨する光ファイバ端面の研磨システムにおける光ファイバ端面の研磨方法において、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動の運動成分として、少なくとも、前記相対運動を前記研磨定盤の上を前記光ファイバ端面が相対的に変位すると表現した場合に、前記光ファイバ端面の中心が前記研磨定盤に接触しながら前記研磨定盤の上を運動の中心部から所定の大きさ以上変位（以下、外方向変位ともいう）して後に、変位方向を転向して前記運動の中心部の方向に向かう変位成分を有するように変位（以下、内方向変位ともいう）するという運動を少なくとも一回行い、続いて、前記外方向変位の変位方向とは異なる方向へ外方向変位して後に内方向変位をするという運動を少なくとも一回行い、続いて、前記外方向変位の変位方向とは異なる方向へ外方向変位して後に内方向変位をするという運動を少なくとも一回行うということを繰り返し行う運動（以下、振幅運動ともいう）を発生する運動駆動手段により発生された前記振幅運動を有しており、前記振幅運動は、被研磨物である光ファイバを研磨システムにセットして研磨のための前記振幅運動を開始したときの、あるいは、前記振幅運動の一時停止後再び研磨のために行われる前記振幅運動を開始したときのそれぞれ第１回目〜第３回目の外方向変位と内方向変位（以下、第１回目〜第３回目の外方向変位と内方向変位を初期変位ともいう）を除いて、一つの外方向変位からそれに続く内方向変位に移行する点（以下、最外点ともいう）から前記一つの外方向変位の運動軌跡上で１００μｍ手前の点（以下、第１の軌跡点ともいう）と前記最外点とを結んだ線分（以下、第１の線分ともいう）と前記最外点を通過して続いて行われる内方向変位の運動軌跡上で前記最外点から１００μｍ離れた点（以下、第２の軌跡点ともいう）と前記最外点とを結んだ線分（以下、第２の線分ともいう）とのなす角度が６０度以下であるとともに、前記第１の線分を前記最外点から前記第１の軌跡点を通過して延長した直線（以下、第１の直線ともいう）と前記第２の線分を前記最外点から前記第２の軌跡点を通過して延長した直線（以下、第２の直線ともいう）の内側に前記運動の中心部があるような外方向変位とそれに続く内方向変位の組を主要研磨時間内の変位回数の過半数回生じるような運動であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨方法である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
発明１を展開してなされた本発明の例としての第２の発明（以下、発明２という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記振幅運動が、前記最外点と前記運動の中心との距離が被研磨光ファイバ端面の平均半径の１〜３倍の距離になるような外方向変位を研磨の主要時間中に３０％以上含んでいることを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
発明１または２を展開してなされた本発明の例としての第３の発明（以下、発明３という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１または２に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記振幅運動が、研磨の主要時間中に、１分間に１０回以上前記外方向変位とそれに続く内方向変位を行う振幅運動であることを特徴としている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
発明３を展開してなされた本発明の例としての第４の発明（以下、発明４という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明３に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記振幅運動は、研磨の主要時間中に、１分間に１００回以上前記外方向変位とそれに続く内方向変位を行う振幅運動であることを特徴としている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
発明１〜４を展開してなされた本発明の例としての第５の発明（以下、発明５という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１〜４のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記振幅運動中の時系列的に前後して生じる任意の２回の前記外方向変位の前記振幅運動の中心に対して張る角をθとして、前記角θが、３６０°、７２０°、１０８０°、１４４０°のいずれの約数でもない所定の角度であることを特徴としている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
発明１〜５を展開してなされた本発明の例としての第６の発明（以下、発明６という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１〜５のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、研磨中の前記振幅運動の前記角θが６０°以上になる外方向変位が過半数であることを特徴としている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
発明１〜６を展開してなされた本発明の例としての第７の発明（以下、発明７という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１〜６のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記振幅運動が、前記外方向変位の変位方向が乱数表などを用いて無作為に選択されて出現する運動であることを特徴としている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
発明１〜６を展開してなされた本発明の例としての第８の発明（以下、発明８という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１〜６のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記振幅運動が、前記光ファイバの端面を、直交座標軸系において用いられるような、前記光ファイバの端面の中心を通り互いに直交する２つの座標軸によって４つの象限に分けて表現した場合に、同一光ファイバの研磨において、前記振幅運動の前記最外点の各象限毎における出現回数がおおむね均等になるように前記外方向変位がなされる運動であることを特徴としている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
発明１〜６を展開してなされた本発明の例としての第９の発明（以下、発明９という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１〜６のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記振幅運動が、前記光ファイバの端面を、直交座標軸系において用いられるような、前記光ファイバの端面の中心を通り互いに直交する２つの座標軸によって４つの象限に分けて表現した場合に、同一光ファイバの研磨において、前記４つの象限のうちのいずれか２つの互いに隣り合った象限における前記振幅運動の前記最外点の出現回数が互いにおおむね等しく、かつ、残りの２つの互いに隣り合った象限における前記振幅運動の前記最外点の出現回数よりも多く、さらに互いにとなり合った前記残りの２つの象限における前記振幅運動の前記最外点の出現回数が互いにおおむね等しくなるように光ファイバ端面が変位する方向を選んで変位させる運動であることを特徴としている。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
発明１〜９を展開してなされた本発明の例としての第１０の発明（以下、発明１０という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１〜９のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記振幅運動を第１の運動と定義して、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバの端面の間の相対運動として、前記第１の運動に、第２の運動と定義する回転中心軸線を中心に回転する前記研磨定盤の回転運動が重畳された運動を用いることを特徴としている。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
発明１〜９を展開してなされた本発明の例としての第１１の発明（以下、発明１１という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１〜９のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバの端面の間の相対運動として、前記第１の運動に、第３の運動と定義する回転中心が時間的に変動する偏心回転運動と第４の運動と定義する往復運動が重畳された運動を用いることを特徴としている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
発明１１を展開してなされた本発明の例としての第１２の発明（以下、発明１２という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１１に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記第４の運動である往復運動が単振動であることを特徴としている。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
発明１〜１０を展開してなされた本発明の例としての第１３の発明（以下、発明１３という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１〜１０のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバの端面の間の相対運動として、前記第１の運動に、あるいは前記第１の運動に前記第２の運動が重畳された運動に、前記第３の運動が重畳された運動を用いることを特徴としている。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
発明１〜１３を展開してなされた本発明の例としての第１４の発明（以下、発明１４という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１〜１３のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記第１〜第３の運動は前記研磨定盤を駆動することによって生起され、前記第４の運動は前記光ファイバの端部近傍を保持している研磨治具盤を駆動することによって生起される運動であることを特徴としている。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
発明１〜１３を展開してなされた本発明の例としての第１５の発明（以下、発明１５という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１〜１３のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記第２または第３の運動は前記研磨定盤を駆動することによって生起され、前記第１の運動は前記光ファイバの端部近傍を保持している研磨治具盤を駆動することによって生起される運動であることを特徴としている。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
発明１〜１５を展開してなされた本発明の例としての第１６の発明（以下、発明１６という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１〜１５のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、振幅運動である前記第１の運動がおおむね直線上を変位する周期運動あるいは円弧などの曲線上を変位する周期運動あるいは両者の合成された変位をする周期運動のいずれかであることを特徴としている。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
発明１６を展開してなされた本発明の例としての第１７の発明（以下、発明１７という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１６に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記周期運動は、振幅運動である前記第１の運動を抽出してみた場合に、前記光ファイバ端面の中心から見て放射状の方向で、かつ、前記方向の出現順序が無作為であるように各方向に振幅を有する周期運動であることを特徴としている。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
発明１〜１７を展開してなされた本発明の例としての第１８の発明（以下、発明１８という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１〜１７のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、振幅運動である前記第１の運動が、前記研磨定盤と前記研磨治具盤の少なくとも一方を、バネ、ゴム、磁石、電磁石、ソレノイド、気体の吸引機構または圧縮機構の少なくとも１つを用いた駆動手段によって駆動して生起される運動であることを特徴としている。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
発明１８を展開してなされた本発明の例としての第１９の発明（以下、発明１９という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１８に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、振幅運動である前記第３の運動が、前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤の少なくとも一方を電磁的手段によって駆動して発生される運動であることを特徴としている。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
発明１９を展開してなされた本発明の例としての第２０の発明（以下、発明２０という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１９に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記電磁的手段が、前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤の少なくとも一方に配置された磁石あるいは電磁石と、前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤に配置された磁石あるいは電磁石に対向して前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤の外部に配置された電磁石あるいは磁石との間の電磁的作用を利用した駆動手段であることを特徴としている。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
発明１〜２０を展開してなされた本発明の例としての第２１の発明（以下、発明２１という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１〜２０のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記相対運動として超音波振動を用いたことを特徴としている。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
発明１〜２１を展開してなされた本発明の例としての第２２の発明（以下、発明２２という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１〜２１のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記研磨定盤にフェルトを取り付けたことを特徴としている。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
発明１〜２１を展開してなされた本発明の例としての第２３の発明（以下、発明２３という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明１〜２１のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記研磨定盤に研磨剤の微粒子を塗布したフェルトまたはスポンジ、あるいは、研磨剤の微粒子を接着または付着させたブラシを取り付けたことを特徴としており、また、発明２３を展開してなされた本発明の例としての第２４の発明（以下、発明２４という）である光ファイバ端面の研磨方法は、発明２３に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記ブラシの先端部が球体の一部の形状をしていることを特徴としており、研磨盤の目詰まり問題を解決することが出来る。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
課題を解決するためになされた本発明の例としての第２５の発明（以下、発明２５という）である光ファイバ端面の研磨装置は、研磨定盤と被研磨物である光ファイバ端面を接触させた状態で両者を相対的に運動させて前記光ファイバ端面を研磨する光ファイバ端面の研磨装置において、振幅運動が、前記相対運動を前記研磨定盤の上を前記光ファイバ端面が相対的に変位すると表現した場合に、前記光ファイバ端面の中心が前記研磨定盤に接触しながら前記研磨定盤の上を運動の中心部から所定の大きさ以上変位（以下、外方向変位ともいう）して後に、変位方向を転向して前記運動の中心部の方向に向かう変位成分を有するように変位（以下、内方向変位ともいう）するという運動を少なくとも一回行い、続いて、前記外方向変位の変位方向とは異なる方向へ外方向変位して後に内方向変位をするという運動を少なくとも一回行い、続いて、前記外方向変位の変位方向とは異なる方向へ外方向変位して後に内方向変位をするという運動を少なくとも一回行うということを繰り返し行う運動であるとともに、被研磨物である光ファイバを研磨システムにセットして研磨のための前記振幅運動を開始したときの、あるいは、前記振幅運動の一時停止後再び研磨のために行われる前記振幅運動を開始したときのそれぞれ第１回目〜第３回目の外方向変位と内方向変位（以下、第１回目〜第３回目の外方向変位と内方向変位を初期変位ともいう）を除いて、一つの外方向変位からそれに続く内方向変位に移行する点（以下、最外点ともいう）から前記一つの外方向変位の運動軌跡上で１００μｍ手前の点（以下、第１の軌跡点ともいう）と前記最外点とを結んだ線分（以下、第１の線分ともいう）と前記最外点を通過して続いて行われる内方向変位の運動軌跡上で前記最外点から１００μｍ離れた点（以下、第２の軌跡点ともいう）と前記最外点とを結んだ線分（以下、第２の線分ともいう）とのなす角度が６０度以下であるとともに、前記第１の線分を前記最外点から前記第１の軌跡点を通過して延長した直線（以下、第１の直線ともいう）と前記第２の線分を前記最外点から前記第２の軌跡点を通過して延長した直線（以下、第２の直線ともいう）の内側に前記運動の中心部があるような外方向変位とそれに続く内方向変位の組を主要研磨時間内の変位回数の過半数回生じるような運動であると定義して、前記光ファイバ端面の研磨装置は、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動の運動成分として、少なくとも、前記振幅運動を生起する第１の運動駆動手段を有していることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
発明２５を展開してなされた本発明の例としての第２６の発明（以下、発明２６という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記振幅運動中における時間的に過半数の前後して生起される前記外方向変位の運動軌跡が異なることを特徴としている。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
発明２５、２６を展開してなされた本発明の例としての第２７の発明（以下、発明２７という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５または２６に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記振幅運動が、前記最外点と前記運動の中心との距離が被研磨光ファイバ端面の平均半径の１〜３倍の距離になるような外方向変位を研磨の主要時間中に３０％以上含んでいることを特徴としている。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
発明２５〜２７を展開してなされた本発明の例としての第２８の発明（以下、発明２８という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜２７のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記振幅運動は、研磨の主要時間中に、１分間に１０回以上前記外方向変位とそれに続く内方向変位を行う振幅運動であることを特徴としている。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
発明２８を展開してなされた本発明の例としての第２９の発明（以下、発明２９という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２８に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記振幅運動は、研磨の主要時間中に、１分間に１００回以上前記外方向変位とそれに続く内方向変位を行う振幅運動であることを特徴としている。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
発明２５〜２９を展開してなされた本発明の例としての第３０の発明（以下、発明３０という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜２９のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記振幅運動中の時系列的に前後して生じる任意の２回の前記外方向変位の前記振幅運動の中心に対して張る角をθとして、前記角θが、３６０°、７２０°、１０８０°、１４４０°のいずれの約数でもない所定の角度であることを特徴としている。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
発明２５〜３０を展開してなされた本発明の例としての第３１の発明（以下、発明３１という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜３０のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記振幅運動を第１の運動と定義して、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動として、前記第１の運動を生起する第１の運動駆動手段と、第２の運動と定義する回転中心軸線を中心に回転する前記研磨定盤の回転運動を前記第１の運動に重畳させるように駆動する第２の運動駆動手段とを有することを特徴としている。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
発明２５〜３０を展開してなされた本発明の例としての第３２の発明（以下、発明３２という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜３０のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動として、前記第１の運動駆動手段と、前記第１の運動に重畳する第３の運動と定義する回転中心が時間的に変動する偏心回転運動を生起する第３の運動駆動手段と、前記第１の運動に重畳する第４の運動と定義する往復運動が重畳された運動を生起する第４の運動駆動手段とを有することを特徴としている。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
発明３２を展開してなされた本発明の例としての第３３の発明（以下、発明３３という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明３２に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記第４の運動である往復運動が単振動であることを特徴としている。
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
発明２５〜３１を展開してなされた本発明の例としての第３４の発明（以下、発明３４という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜３１のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動として、前記第１の運動に重畳する、あるいは前記第１の運動に前記第２の運動が重畳された運動に重畳する、前記第３の運動を生起する第３の運動駆動手段を有することを特徴としている。
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
発明２５〜３４を展開してなされた本発明の例としての第３５の発明（以下、発明３５という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜３４のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記第１〜第３の運動をそれぞれ生起する第１〜第３の運動駆動手段は前記研磨定盤を駆動する運動駆動手段であり、前記第４の運動を生起する第４の運動駆動手段は前記光ファイバの端部近傍を保持している研磨治具盤を駆動する運動駆動手段であることを特徴としている。
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
発明２５〜３４を展開してなされた本発明の例としての第３６の発明（以下、発明３６という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜３４のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記第２または第３の運動をそれぞれ生起する第２または第３の運動駆動手段は前記研磨定盤を駆動する運動駆動手段であり、前記第１の運動を生起する第１の運動駆動手段は前記光ファイバの端部近傍を保持している研磨治具盤を駆動する運動駆動手段であることを特徴としている。
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
発明２５〜３６を展開してなされた本発明の例としての第３７の発明（以下、発明３７という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜３６のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、振幅運動である前記第１の運動が直線上を変位する周期運動あるいは円弧などの曲線上を変位する周期運動あるいは両者の合成された変位をする周期運動のいずれかであることを特徴としている。
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
発明３７を展開してなされた本発明の例としての第３８の発明（以下、発明３８という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明３７に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記周期運動は、振幅運動である前記第１の運動を抽出してみた場合に、前記光ファイバ端面の運動の中心から見て放射状の方向で、かつ、前記方向の出現順序が無作為であるように各方向に振幅を有する周期運動であることを特徴としている。
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
発明２５〜３８を展開してなされた本発明の例としての第３９の発明（以下、発明３９という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜３８のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、少なくとも振幅運動である前記第１の運動を駆動する前記第１の運動駆動手段が、前記研磨定盤と前記研磨治具盤の少なくとも一方を、バネ、ゴム、磁石、電磁石、ソレノイド、気体の吸引機構または圧縮機構の少なくとも１つを用いた駆動手段によって駆動して前記第１の運動を生起する運動駆動手段であることを特徴としている。
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
発明３９を展開してなされた本発明の例としての第４０の発明（以下、発明４０という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明３９に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、振幅運動である前記第１の運動を駆動する前記第１の運動駆動手段が、前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤の少なくとも一方を電磁的手段によって駆動して前記第１の運動を生起する運動駆動手段であることを特徴としている。
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
発明４０を展開してなされた本発明の例としての第４１の発明（以下、発明４１という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明４０に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記電磁的手段が、前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤の少なくとも一方に配置された磁石あるいは電磁石と、前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤に配置された磁石あるいは電磁石に対向して前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤の外部に配置された電磁石あるいは磁石との間の電磁的作用を利用した駆動手段であることを特徴としている。
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
発明４１を展開してなされた本発明の例としての第４２の発明（以下、発明４２という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明４１に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記電磁的手段が、前記研磨定盤側に配置された永久磁石と、前記研磨定盤に配置された永久磁石と電磁作用を及ぼし合うように対応して（以下、対向して、ともいう）前記研磨定盤の外部に配置された電磁石との間の電磁的作用を利用した駆動手段であることを特徴としている。
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
発明３９〜４２を展開してなされた本発明の例としての第４３の発明（以下、発明４３という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明３９〜４２のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨定盤の研磨面と異なる部分に前記磁石と電磁石の少なくとも一方の少なくとも一部を配置することができる凹部または凸部を設けたことを特徴としている。
【手続補正４６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
発明３９〜４３を展開してなされた本発明の例としての第４４の発明（以下、発明４４という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明３９〜４３のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨定盤側に配置された永久磁石または電磁石の数と、前記研磨定盤に配置された永久磁石または電磁石に対向して前記研磨定盤の外部に配置された電磁石または永久磁石の数がいずれも奇数個あるいはいずれも偶数個であることを特徴としている。
【手続補正４７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
発明３９〜４３を展開してなされた本発明の例としての第４５の発明（以下、発明４５という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明３９〜４３のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨定盤側に配置された永久磁石または電磁石の数と、前記研磨定盤に配置された永久磁石または電磁石に対向して前記研磨定盤の外部に配置された電磁石または永久磁石の数は、一方の数が奇数個で他方の数が偶数個であることを特徴としている。
【手続補正４８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
発明３９〜４５を展開してなされた本発明の例としての第４６の発明（以下、発明４６という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明３９〜４５のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨定盤側に配置された永久磁石の磁性が前記研磨定盤の外側に向けて全て同じ向きになっており、前記研磨定盤に配置された永久磁石または電磁石に対向して前記研磨定盤の外部に配置された電磁石の極性は、前記電磁石に電流を通じた初期極性が前記研磨定盤に配置された永久磁石または電磁石と反発する向きであることを特徴としている。
【手続補正４９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
発明３９を展開してなされた本発明の例としての第４７の発明（以下、発明４７という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明３９に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、振幅運動である前記第１の運動を駆動する前記第１の運動駆動手段が、前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤の少なくとも一方をリニアーモータによって駆動して前記第１の運動を生起する運動駆動手段であることを特徴としている。
【手続補正５０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
発明３９を展開してなされた本発明の例としての第４８の発明（以下、発明４８という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明３９に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、振幅運動である前記第１の運動を駆動する前記第１の運動駆動手段が、前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤の少なくとも一方を超音波振動によって駆動して前記第１の運動を生起する運動駆動手段であることを特徴としている。
【手続補正５１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
発明２５〜４８を展開してなされた本発明の例としての第４９の発明（以下、発明４９という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜４８のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨定盤として、研磨盤上に前記光ファイバ端面を研磨加工する研磨フィルムを連続的に供給する機構を備えていることを特徴としている。
【手続補正５２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
発明２５〜４９を展開してなされた本発明の例としての第５０の発明（以下、発明５０という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜４９のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨治具盤は、前記光ファイバの端部近傍を保持して前記光ファイバ端面を前記研磨定盤に所定の接触圧を加えて着脱可能に装着する光ファイバ端部装着機構を有していることを特徴としている。
【手続補正５３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
発明５０を展開してなされた本発明の例としての第５１の発明（以下、発明５１という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明５０に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記光ファイバ端部装着機構は、被研磨物としての前記光ファイバ端面を前記研磨定盤に装着する場合の前記所定の接触圧を発生させる手段がバネによるものであることを特徴としている。
【手続補正５４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
発明５０、５１を展開してなされた本発明の例としての第５２の発明（以下、発明５２という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明５０または５１に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記光ファイバ端部装着機構は、被研磨物としての前記光ファイバ端面を前記研磨定盤あるいは研磨フィルムに装着する場合の前記所定の接触圧を調整する手段を有していることを特徴としている。
【手続補正５５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
発明２５〜５２を展開してなされた本発明の例としての第５３の発明（以下、発明５３という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜５２のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨定盤の基準面と水平方向において、前記研磨定盤を無作為方向に前記振幅運動させる振幅運動駆動機構が設けられていることを特徴としている。
【手続補正５６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
発明２５〜５３を展開してなされた本発明の例としての第５４の発明（以下、発明５４という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜５３のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記光ファイバ端面とそれに接触している研磨定盤の相対運動で、前記光ファイバ端面の研磨装置の外部から見て、前記光ファイバ端面は運動を生起するように駆動されておらず、動いているのは研磨定盤であることを特徴としている。
【手続補正５７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
発明２５〜５４を展開してなされた本発明の例としての第５５の発明（以下、発明５５という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜５４のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨定盤がその基準面以外に規制されない状態で前記光ファイバ端面の研磨装置に装着されていることを特徴としている。
【手続補正５８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
発明５５を展開してなされた本発明の例としての第５６の発明（以下、発明５６という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明５５に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨定盤の基準面が吸引力を及ぼされて前記光ファイバ端面の研磨装置に装着されていることを特徴としている。
【手続補正５９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
発明５６を展開してなされた本発明の例としての第５７の発明（以下、発明５７という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明５６に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記吸引力が電磁力による吸引力であることを特徴としている。
【手続補正６０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
発明２５〜５７を展開してなされた本発明の例としての第５８の発明（以下、発明５８という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜５７のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨定盤の基準面が、少なくとも３個の球体の上に装着されており、前記基準面は前記少なくとも３個の球体の各頂点に接する平面上にあることを特徴としている。
【手続補正６１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
発明２５〜５８を展開してなされた本発明の例としての第５９の発明（以下、発明５９という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜５８のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨治具盤の前記光ファイバ端面の研磨装置への固定機構が電磁石あるいはソレノイドを用いた機構であることを特徴としている。
【手続補正６２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
発明２５〜５９を展開してなされた本発明の例としての第６０の発明（以下、発明６０という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜５９のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨治具盤の昇降機構が、バネ、電磁石あるいはソレノイドのうちの少なくとも１つを用いた機構であることを特徴としている。
【手続補正６３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
発明２５〜６０を展開してなされた本発明の例としての第６１の発明（以下、発明６１という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜６０のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記運動駆動手段にマイクロコンピュータを使用した制御機構が用いられていることを特徴としている。
【手続補正６４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
発明２５〜６１を展開してなされた本発明の例としての第６２の発明（以下、発明６２という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜６１のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨定盤にフェルトを取り付けたことを特徴としている。また、発明２５〜６０を展開してなされた本発明の例としての第６３の発明（以下、発明６３という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明２５〜６０のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨定盤に研磨剤の微粒子を塗布したフェルトまたはスポンジ、あるいは、研磨剤の微粒子を接着または付着させたブラシを取り付けたことを特徴としており、さらに、発明６３を展開してなされた本発明の例としての第６４の発明（以下、発明６４という）である光ファイバ端面の研磨装置は、発明６３に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記ブラシの先端部が球体の一部の形状をしていることを特徴としており、目詰まりを心配しなくて済む研磨装置を実現することが出来る。
【手続補正６５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
本発明はこれらの例からも明らかなように、そして後述のように、種々のバリエーションを可能とするものである。
課題を解決するためになされた本発明の例としての請求項１に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨方法は、研磨定盤と被研磨物である光ファイバ端面を接触させた状態で両者を相対的に運動させて前記光ファイバ端面を研磨する光ファイバ端面の研磨システムにおける光ファイバ端面の研磨方法において、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動の運動成分として、少なくとも、前記相対運動を回転運動成分と偏心回転運動成分のいずれも重畳されていない状態で前記研磨定盤の上を前記光ファイバ端面が相対的に変位する運動として表現した場合に、前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動がスタートして相対運動が定常状態に達して後、前記光ファイバ端面が前記研磨定盤に接触しながら前記研磨定盤の上を運動の中心部から遠ざかる方向へ所定の大きさ以上変位（以下、外方向変位ともいう）して後に、変位方向を転向して前記運動の中心部に近づく方向に向かう変位成分を有するように変位（以下、内方向変位ともいう）するという運動を少なくとも一回行い、続いて、前記外方向変位（以下、外方向変位１という）の変位方向と所定の角度をなすように前記外方向変位１の変位方向とは異なる方向へ外方向変位（以下、外方向変位２という）して後に、変位方向を転向して内方向変位をするという運動を少なくとも一回行い、続いて、前記外方向変位２の変位方向と所定の角度をなすように前記外方向変位２の変位方向とは異なる方向へ外方向変位して後に、変位方向を転向して内方向変位をするという運動を少なくとも一回行うということを繰り返し行う運動（以下、振幅運動ともいう）を発生する運動駆動手段により発生された前記振幅運動を有していることを特徴とする光ファイバ端面の研磨方法である。
請求項２に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨方法は、請求項１に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記運動駆動手段が、研磨終了後、前記研磨定盤の上で直交するｘ軸とｙ軸によって区切られる４つの領域を第１〜第４象限と表現して、前記第１〜第４象限の４つの領域における前記外方向変位の最外点の出現頻度あるいは変位の軌跡の出現頻度がおおむね均等になるようなｘ軸とｙ軸が存在する運動を発生する運動駆動手段であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨方法である。
請求項３に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨方法は、請求項１または２に記載の光ファイバ端面の研磨方法において、前記振幅運動が、被研磨物である光ファイバを研磨システムにセットして研磨のための前記振幅運動を開始したときの、あるいは、前記振幅運動の一時停止後再び研磨のために行われる前記振幅運動を開始したときのそれぞれ第１回目〜第３回目の外方向変位と内方向変位（以下、第１回目〜第３回目の外方向変位と内方向変位を初期変位ともいう）を除いて、一つの外方向変位からそれに続く内方向変位に移行する点（以下、最外点ともいう）から前記一つの外方向変位の運動軌跡上で運動の特徴を表現するのに適切な範囲の点（以下、第１の軌跡点ともいう）と前記最外点とを結んだ線分（以下、第１の線分ともいう）と前記最外点を通過して続いて行われる内方向変位の運動軌跡上で運動の特徴を表現するのに適切な範囲の点（以下、第２の軌跡点ともいう）と前記最外点とを結んだ線分（以下、第２の線分ともいう）とのなす角度が６０度以下であるような外方向変位とそれに続く内方向変位の組を主要研磨時間内の変位回数の過半数回生じるような運動であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨方法である。
課題を解決するためになされた本発明の例としての請求項４に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、研磨定盤と被研磨物である光ファイバ端面を接触させた状態で両者を相対的に運動させて前記光ファイバ端面を研磨する光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動の運動成分として、少なくとも、前記相対運動を回転運動成分と偏心回転運動成分のいずれも重畳されていない状態で前記研磨定盤の上を前記光ファイバ端面が相対的に変位する運動として表現した場合に、前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動がスタートして相対運動が定常状態に達して後、前記光ファイバ端面が前記研磨定盤に接触しながら前記研磨定盤の上を運動の中心部から遠ざかる方向へ所定の大きさ以上変位（以下、外方向変位ともいう）して後に、変位方向を転向して前記運動の中心部に近づく方向に向かう変位成分を有するように変位（以下、内方向変位ともいう）するという運動を少なくとも一回行い、続いて、前記外方向変位（以下、外方向変位１という）の変位方向と所定の角度をなすように前記外方向変位１の変位方向とは異なる方向へ外方向変位（以下、外方向変位２という）して後に、変位方向を転向して内方向変位をするという運動を少なくとも一回行い、続いて、前記外方向変位２の変位方向と所定の角度をなすように前記外方向変位２の変位方向とは異なる方向へ外方向変位して後に、変位方向を転向して内方向変位をするという運動を少なくとも一回行うということを繰り返し行う運動（以下、振幅運動ともいう）を生起する運動駆動手段を有していることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項５に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項４に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記振幅運動が、研磨終了後、前記研磨定盤の上で直交するｘ軸とｙ軸によって区切られる４つの領域を第１〜第４象限と表現して、前記第１〜第４象限の４つの領域における前記外方向変位の最外点の出現頻度あるいは変位の軌跡の出現頻度がおおむね均等になるようなｘ軸とｙ軸が存在する運動であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項６に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項４または５に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記振幅運動が、被研磨物である光ファイバを研磨システムにセットして研磨のための前記振幅運動を開始したときの、あるいは、前記振幅運動の一時停止後再び研磨のために行われる前記振幅運動を開始したときのそれぞれ第１回目〜第３回目の外方向変位と内方向変位（以下、第１回目〜第３回目の外方向変位と内方向変位を初期変位ともいう）を除いて、一つの外方向変位からそれに続く内方向変位に移行する点（以下、最外点ともいう）から前記一つの外方向変位の運動軌跡上で運動の特徴を表現するのに適切な範囲の点（以下、第１の軌跡点ともいう）と前記最外点とを結んだ線分（以下、第１の線分ともいう）と前記最外点を通過して続いて行われる内方向変位の運動軌跡上で運動の特徴を表現するのに適切な範囲の点（以下、第２の軌跡点ともいう）と前記最外点とを結んだ線分（以下、第２の線分ともいう）とのなす角度が６０度以下であるような外方向変位とそれに続く内方向変位の組を主要研磨時間内の変位回数の過半数回生じるような運動であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項７に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項４〜６のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記振幅運動中における時間的に過半数の前後して生起される前記外方向変位の運動軌跡が異なることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項８に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項４〜７のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記振幅運動が、前記外方向変位の変位方向が乱数表などを用いて無作為に選択されて出現する運動であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項９に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項４〜８のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記振幅運動は、研磨の主要な前記運動中に、１分間に１０回以上前記外方向変位とそれに続く内方向変位を行う振幅運動であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項１０に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項４〜９のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記光ファイバ端面の研磨装置が、前記振幅運動を第１の運動と定義して、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動として、前記第１の運動を生起する第１の運動駆動手段と、第２の運動と定義する回転中心軸線を中心に回転する前記研磨定盤の回転運動を前記第１の運動に重畳させるように駆動する第２の運動駆動手段とを有していることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項１１に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項４〜１０のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記光ファイバ端面の研磨装置が、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動として、前記第１の運動に重畳する、あるいは前記第１の運動に前記第２の運動が重畳された運動に重畳する、第３の運動と定義する回転中心が時間的に変動する偏心回転運動を生起する第３の運動駆動手段を有していることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項１２に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項４〜１１のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記光ファイバ端面の研磨装置が、前記研磨に用いる前記研磨定盤と被研磨物としての前記光ファイバ端面の間の相対運動として、前記第１の運動に重畳する第４の運動と定義する往復運動が重畳された運動を生起する第４の運動駆動手段とを有していることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項１３に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項４〜１２のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記第１〜第３の運動駆動手段は前記研磨定盤を駆動する運動駆動手段であり、前記第４の運動を生起する第４の運動駆動手段は前記光ファイバの端部近傍を保持している研磨治具盤を駆動する運動駆動手段であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項１４に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項４〜１１のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記第２または第３の運動をそれぞれ生起する第２または第３の運動駆動手段は前記研磨定盤を駆動する運動駆動手段であり、前記第１の運動を生起する第１の運動駆動手段は前記光ファイバの端部近傍を保持している研磨治具盤を駆動する運動駆動手段であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項１５に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項４〜１２のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、振幅運動である前記第１の運動が直線上を変位する周期運動あるいは円弧などの曲線上を変位する周期運動あるいは両者の合成された変位をする周期運動のいずれかであり、前記周期運動は、振幅運動である前記第１の運動を抽出してみた場合に、前記光ファイバ端面の運動の中心から見て放射状の方向で、かつ、前記方向の出現順序が無作為であるように各方向に振幅を有する周期運動であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項１６に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項４〜１５のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、少なくとも振幅運動である前記第１の運動を駆動する前記第１の運動駆動手段が、前記研磨定盤と前記研磨治具盤の少なくとも一方を、バネ、ゴム、磁石、電磁石、ソレノイド、リニアーモータ、超音波振動、気体の吸引機構または圧縮機構の少なくとも１つを用いた駆動手段によって駆動して前記第１の運動を生起する運動駆動手段であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項１７に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項１６に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、振幅運動である前記第１の運動を駆動する前記第１の運動駆動手段が、前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤の少なくとも一方を電磁的手段によって駆動して前記第１の運動を生起する運動駆動手段であり、前記電磁的手段が、前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤の少なくとも一方に配置された磁石あるいは電磁石と、前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤に配置された磁石あるいは電磁石と電磁作用を及ぼし合うように対応してあるいは対向して前記研磨定盤あるいは前記研磨治具盤の外部に配置された電磁石あるいは磁石との間の電磁的作用を利用した駆動手段であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項１８に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項１６または１７に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨定盤側に配置された永久磁石または電磁石の数と、前記研磨定盤に配置された永久磁石または電磁石に対向して前記研磨定盤の外部に配置された電磁石または永久磁石の数は、一方の数が奇数個で他方の数が偶数個であることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項１９に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項４〜１８のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記光ファイバ端部の装着機構は、被研磨物としての前記光ファイバ端面を前記研磨定盤あるいは研磨フィルムに装着する場合の所定の接触圧を調整する手段を有していることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項２０に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項４〜１９のいずれか１項に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記研磨定盤に研磨剤の微粒子を塗布したフェルトまたはスポンジ、あるいは、研磨剤の微粒子を接着または付着させたブラシを取り付けたことを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
請求項２１に記載の本発明の光ファイバ端面の研磨装置は、請求項２０に記載の光ファイバ端面の研磨装置において、前記ブラシの先端部が球体の一部の形状をしていることを特徴とする光ファイバ端面の研磨装置である。
【手続補正６６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０８】
図７は本発明の振幅運動における各変位の軌跡を説明する図で、図５の場合と同様に、本発明の振幅運動における各変位の軌跡を説明する曲線が当該最外点と運動の中心２５０ｃを結んだ直線を横切らないような、比較的大きな曲率の軌跡の場合の例を示す図で、時間的に隣り合う各最外点と運動の中心を結んだ各線分が図示のように１００°のピッチで変位する場合の例を示した図である。光ファイバ端面の中心は最外点Ｅ１に変位して後、図の実線のような軌跡になるように最外点Ｅ２−Ｅ３−Ｅ４−Ｅ５の順に１００°のピッチで変位する。なお、図中で各最外点を実線の幅より大きな黒点で示してあるが、最外点であることをわかりやすく示したもので、黒点の大きさに特別の意味があるわけではない。
【手続補正６７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１０】
図９から、符号２５０で示した運動の中心部分には変位の軌跡が全く入っていないことがわかる。振幅運動の各変位は、研磨速度や研磨品質などを考慮すると、一つの変位から次の変位に移るときに、前記内方向変位を運動の中心まで変位させてそこから次の外方向変位をさせるという変位の仕方よりも、前記内方向変位を運動の中心まで変位させずに、その手前から次の外方向変位をさせるという変位の仕方が好ましい場合がある。図５〜図９はこの状態を誇張して示したものである。
【手続補正６８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１２】
図１０の前記相対運動は、第１の運動として、１３０°ピッチの、すなわち、図１０で、時間的に前後する２つの外方向変位の各最外点と運動の中心を結んだ２つの線分のなす角度が１３０°である振幅運動に、第２の運動として、図の矢印２１２の方向に１ピッチ０．０５°の回転速度の研磨定盤の回転運動を重畳したときの研磨定盤上における光ファイバ端面の中心の相対運動である。第２の運動である回転運動は、研磨定盤の中心を回転中心とする回転運動である。この相対運動における各変位は、最外点ｎ１からｎ２へ向かう実線で示した軌跡のように変位して最外点ｎ２へ、最外点ｎ２から同様に変位して最外点ｎ３へ、以下順に最外点ｎ４−ｎ５−・・・・・ｎ３７の順に変位する。
【手続補正６９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２９】
図１５で、符号３１８は本発明による光ファイバ端面の研磨装置、３２０は偏心回転運動駆動部、３２１は偏心用ギア、３２２はモータ（煩雑を避けるため、モータの内部の構造は図示しておらず、したがって断面図の斜線を記していない）、３１６は部分断面を説明するための破断線で、図１４と同様の部分には図１４と同じ符号を付けて示してある。
【手続補正７０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３３】
図１６と図１７は本発明の研磨装置の運動駆動部の例を説明する断面図で、図１７は図１６の矢印Ｔ１−Ｔ２の位置の断面図である。符号３３０は研磨定盤、３３１は研磨定盤の加工面（すなわち、研磨面）、３３２は研磨定盤の基準面、３３３は球体、３３４は球体の基準面、３３５は球体の受け台、３３６，３３８は電磁石、３３７，３３９，３４０は永久磁石である。
【手続補正７１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３８】
また、運動駆動機構において、前記研磨定盤がその基準面以外に規制されない状態で前記光ファイバ端面の研磨装置に装着されているようにし、取扱性と制御性を大きく向上させることが出来る。
【手続補正７２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５０】
図１８の研磨装置３５０は、第１の運動としての振幅運動を生起する第１の研磨定盤３５９と、第１の研磨定盤３５９の上に配置されている第２の研磨定盤３５８を有している。第１の研磨定盤３５９は、振幅運動をその上にのせる第２の研磨定磐に伝達することができるものであり，研磨能力を有していない。第２の研磨定盤３５８は、第１の研磨定盤３５９によって生起される第１の運動としての振幅運動を伝達されているとともに、第１の研磨定盤３５９の下部に取り付けられた運動駆動部により生起される第３の運動としての偏心回転運動を第１の研磨定盤３５９を介して伝達されるように構成されている。
【手続補正７３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６５】
１，３００，３１８，３５０：研磨装置
１ａ：上板
２：中空公転軸
２ａ：研磨定盤載置部
２ｃ：定盤受け部
３：自転軸
４：偏心自転軸
５，６：伝動系
７：回転駆動部
８：回転伝達手段
９：フリーベアリング
１０，１１１，２００，３１１，３３０，３５８，３５９：研磨定盤
１１２：位置
１１３，１１４，１１５，２１０〜２１３，Ａ１〜Ａ２４：矢印
１１６，Ｂ１〜Ｂ３０：軌跡
２００ｃ，２０１ｃ，２５０ｃ：中心
２０１：端面
２０２，３０４，３５２：フェルール
２２０，２２１：運動軌跡
２２０ａ：相対運動の基本単位
２２１ａ：軌跡の幅
２５０：中心部
３０１，３６３：研磨用治具盤
３０２，３６５：フェルール挿入穴
３０３，３５１：光ファイバ
３０５：固定用ネジ
３０６，３３３，３６０：球体
３０７，３３６，３３６ａ〜３３６ｈ，３３８：電磁石
３０８，３０９，３３７，３３９，３４０：永久磁石
３１０，３６１：ボールリティナ
３１２，３５７：電送パネル
３１３：振幅運動・回転運動駆動部
３１４：内側ケース
３１５，３１６：破断線
３２０：偏心回転運動駆動部
３２１：偏心用ギア
３２２，Ｍ：モータ
３３０ｃ：研磨定盤の中心線
３３１：加工面側
３３２：研磨定盤の基準面
３３４：球体の基準面
３３５：受け台
３５３：フェルール押え板
３５４：研磨用治具盤受け台
３５５：往復振動台
３５６：レール
３６２：押えネジ
３６４：クランプ
Ｃ１，Ｃ２ａ〜Ｃ２ｃ，Ｃ３，Ｃ４，Ｄ１，Ｄ２ａ〜Ｄ２ｃ，Ｅ１〜Ｅ６，Ｇ１〜Ｇ５，ｎ１〜ｎ３７：最外点
Ｃ３ａ，Ｃ３ｂ：点
Ｃ３ｓ１，Ｃ３ｓ２，Ｚ１〜Ｚ４：符号
Ｃ１２ａ〜Ｃ１２ｃ，Ｃ２３ａ，Ｃ３４ａ，Ｃ４５ａ，Ｄ１２ａ〜Ｄ１２ｃ，Ｇ１２，Ｇ２３，Ｇ３４，Ｇ４５，２６０：曲線
ｘ，ｙ：座標軸
θ：角度
【手続補正７４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４】
2005118932.tif 000001
【手続補正７５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
2005118932.tif 000002
【手続補正７６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６】
2005118932.tif 000003
【手続補正７７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１７】
2005118932.tif 000004