【手続補正書】
【提出日】平成17年12月8日(2005.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  レチクルを受容ステーション上に移動およびロードする方法であって、該方法は、以下：
（ａ）取り付けプレートに連結されたレチクルプレートを有する末端エフェクターを用いて保管設備から該レチクルを回収する工程であり、該取り付けプレートが、該末端エフェクターをロボットアームに接続している、工程；
（ｂ）該レチクルがオフライン整列ステーションに予め整列された後に、該レチクルを該レチクルプレートに取り付ける工程；および、
（ｃ）該予めの整列を維持し、かつ移動の間の剛性を提供しながら該レチクルを該オフライン整列ステーションから該受容ステーションに移動させる工程、
を包含する、方法。
【請求項２】  請求項１に記載の方法であって、該方法は、以下：
（ｄ）前記レチクルの移動の間に前記取り付けプレートに対して前記レチクルプレートを固定する工程；および、
（ｅ）該レチクルのピックアップおよび下方配置の間に該取り付けプレートから該レチクルプレートを解除する工程、
をさらに包含する、方法。
【請求項３】  請求項１に記載の方法であって、該方法は、以下：
（ｄ）前記レチクルプレートの面外運動を可能にする工程；および、
（ｅ）該レチクルプレートの該面外運動を制限する工程、
をさらに包含する、方法。
【請求項４】  請求項１に記載の方法であって、該方法は、以下：
（ｄ）真空破断が検出された場合、前記末端エフェクターの運動を停止する工程；および、
（ｅ）前記レチクルの取り付けを維持する工程、
をさらに包含する、方法。
【請求項５】  前記レチクルプレートが真空プレートである、請求項１に記載の方法。
【請求項６】  請求項５に記載の方法であって、ここで、前記取り付ける工程が、以下：
（ｉ）第一の真空供給源から、前記真空プレート上に少なくとの１つの一次真空領域を供給する工程；および、
（ｉｉ）第二の真空供給源から、該真空プレート上に少なくとの１つの二次真空領域を供給する工程、
を包含する、方法。
【請求項７】  （ｄ）前記レチクルから粒状汚染物質を除去する工程をさらに包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項８】  請求項１に記載の方法であって、ここで、前記工程（ｂ）が、（ｉ）ソレノイド駆動クランプによって、前記レチクルを前記レチクルプレート上に取り付ける工程を包含する、方法。
【請求項９】  請求項１に記載の方法であって、ここで、前記工程（ｂ）が、（ｉ）前記レチクルプレート上に配置された静電荷によって、前記レチクルを該レチクルプレート上に取り付ける工程を包含する、方法。
【請求項１０】  請求項１に記載の方法であって、該方法は、以下：
（ｄ）前記レチクルの移動の間に、空気圧駆動ソレノイド固定デバイスを利用することによって、前記取り付けプレートに対して前記レチクルプレートを固定する工程；ならびに、
（ｅ）該レチクルのピックアップおよび下方配置の間に、該取り付けプレートから該レチクルプレートを解除する工程、
をさらに包含する、方法。
【請求項１１】  受容ステーションに移動されるべきレチクルを操作するための末端エフェクターであって、該エフェクターは、以下：
該レチクルを取り付けるための、少なくとも１つのシールを有するレチクルプレートであり、ここで、該レチクルプレートが、該レチクルを該レチクルプレートに装着するための取り付けデバイスもまた有する、レチクルプレート；および、
該レチクルプレートに連結された取り付けプレート、
を備える、末端エフェクター。
【請求項１２】  前記レチクルプレートが真空プレートである、請求項１１に記載の末端エフェクター。
【請求項１３】  請求項１２に記載の末端エフェクターであって、ここで、前記真空プレートは、
第一面および第二面；ならびに、
該真空プレートの第二面に連結される取り付けプレートを有し、ここで、該第一面は、前記レチクルを取り付けるための少なくとも１つのシールを有し、そして該第二面は、レチクルを装着するための真空機能を達成するための少なくとも１つの真空領域を有し、該取り付けプレートは、該少なくとも１つの真空領域に真空を供給するための少なくとも１つの真空供給源を有する、末端エフェクター。
【請求項１４】  請求項１３に記載の末端エフェクターであって、ここで、前記真空プレートが、
前記レチクルプレートの面外運動を可能にするために、該レチクルプレートの上部表面に配置された少なくとも１つの湾曲部であり、ここで、該少なくとも１つの湾曲部が、該レチクルプレートを通って延び、かつ前記取り付けプレートに装着されている、湾曲部、
をさらに備える、末端エフェクター。
【請求項１５】  請求項１４に記載の末端エフェクターであって、前記レチクルプレートが、
該レチクルプレートの運動を抑制するために該レチクルプレートの前記第一面に配置された少なくとも１つの移動停止部であり、ここで、該少なくとも１つの移動停止部が、該レチクルプレートを通って延び、かつ前記取り付けプレートに装着されている、移動停止部、
を備える、末端エフェクター。
【請求項１６】  前記末端エフェクターが、該末端エフェクターをロボットに接続するための取り付けブラケットに連結されている、請求項１１に記載の末端エフェクター。
【請求項１７】  前記少なくとも１つの真空領域が、二次真空領域と一次真空領域との組み合わせである、請求項１３に記載の末端エフェクター。
【請求項１８】  前記取り付けプレートに対して前記レチクルプレートを固定するために、該取り付けプレートと該レチクルプレートとの間に、真空ロックが組み込まれている、請求項１１に記載の末端エフェクター。
【請求項１９】  前記取り付けプレートに対して前記レチクルプレートを固定するために、該取り付けプレートと該レチクルプレートとの間に、空気圧駆動ソレノイド固定デバイスが組み込まれている、請求項１１に記載の末端エフェクター。
【請求項２０】  前記少なくとも１つの湾曲部が、湾曲部の群によって形成される三角形のジオメトリーの頂点である、請求項１４に記載の末端エフェクター。
【請求項２１】  前記少なくとも１つのシールが破断可能である、請求項１３に記載の末端エフェクター。
【請求項２２】  前記取り付けブラケットが、３０°の角度および４０°の角度で回転可能である、請求項１６に記載の末端エフェクター。
【請求項２３】  前記レチクルプレートが前記レチクル上の粒状汚染物質を減少させる、請求項に１１記載の末端エフェクター。
【請求項２４】  前記少なくとも１つの真空供給源が真空チューブである、請求項１３に記載の末端エフェクター。
【請求項２５】  前記少なくとも１つの真空供給源が密閉チャネルである、請求項１３に記載の末端エフェクター。
【請求項２６】  前記レチクルが、ソレノイド駆動クランプによって前記レチクルプレート上に取り付けられている、請求項１１に記載の末端エフェクター。
【請求項２７】  前記レチクルが、静電荷によって前記レチクルプレート上に取り付けられている、請求項１１に記載の末端エフェクター。
【請求項２８】  受容ステーションに輸送されるべきレチクルを操作するための末端エフェクターであって、該フェクターは、以下：
該レチクルを保持するための手段；
該レチクルを保持するための手段に該レチクルを装着するための手段；および、
該末端エフェクターをロボットアームに連結するための手段、
を備える、末端エフェクター。
【請求項２９】  請求項２８に記載の末端エフェクターであって、前記レチクルを保持するための手段が、第一面および第二面を有し、該第一面は、該レチクルを取り付けるための密閉手段を有し、該レチクルを保持するための手段が、真空機能を達成するための少なくとも１つの真空手段を有し；そして、
前記末端エフェクターをロボットアームに連結するための手段が、該レチクルを保持するための手段の第二面に連結されており、ここで、該末端エフェクターを該ロボットアームに連結するための手段が、該真空手段に真空を提供するための少なくとも１つの真空供給源手段を有する、末端エフェクター。
【請求項３０】  請求項２８に記載の末端エフェクターであって、前記レチクルを保持するための手段が、
該レチクルを保持するための手段の面外運動を可能にするための手段であり、ここで、該面外運動を可能にするための手段が、該レチクルを保持するための手段の第一面に配置されている、手段、
をさらに備える、末端エフェクター。
【請求項３１】  請求項２８に記載の末端エフェクターであって、前記レチクルを保持するための手段が、
該レチクルを保持するための手段の運動を制限するための手段であり、ここで、該運動を制限するための手段が、該レチクルを保持するための手段を通って延び、かつ該末端エフェクターを前記ロボットアームに連結するための手段に取り付けられている、手段、
をさらに備える、末端エフェクター。
【請求項３２】  前記末端エフェクターが、該末端エフェクターをロボットに接続するための手段に連結されている、請求項２８に記載の末端エフェクター。
【請求項３３】  前記少なくとも１つの真空手段が、二次真空手段と一次真空手段との組み合わせである、請求項２９に記載の末端エフェクター。
【請求項３４】  請求項２８に記載の末端エフェクターであって、ここで、前記末端エフェクターを前記ロボットアームに連結するための手段に対して前記レチクルを保持するための手段を固定するための手段が、該レチクルを保持するための手段と該末端エフェクターを該ロボットアームに連結するための手段との間に配置されている、末端エフェクター。
【請求項３５】  請求項３０に記載の末端エフェクターであって、ここで、前記レチクルを保持するための手段の面外運動を可能にするための手段が、該面外運動を可能にするための手段の群によって形成される三角形のジオメトリーの頂点である、末端エフェクター。
【請求項３６】  前記少なくとも１つの密閉手段が破断可能である、請求項２９に記載の末端エフェクター。
【請求項３７】  前記末端エフェクターを前記ロボットに接続するための手段が、３０°の角度および４０°の角度で回転可能である、請求項３２に記載の末端エフェクター。
【請求項３８】  前記レチクルを装着するための手段が、該レチクル上の粒状汚染物質を減少させる、請求項２８に記載の末端エフェクター。
【請求項３９】  前記少なくとも１つの真空供給源手段が、真空チューブである、請求項２９に記載の末端エフェクター。
【請求項４０】  前記少なくとも１つの真空供給源手段が、密閉チャネルである、請求項２９に記載の末端エフェクター。
【請求項４１】  前記レチクルが、ソレノイド駆動クランプによって、前記レチクルを保持するための手段上に取り付けられている、請求項２８に記載の末端エフェクター。
【請求項４２】  前記レチクルが、前記レチクルを保持するための手段上に配置された静電荷の手段によって、該レチクルを保持するための手段に取り付けられている、請求項２８に記載の末端エフェクター。
【請求項４３】
システムであって、該システムが、
接続システムと、
該接続システムを受容する接続範囲を備えるレチクルプレートと、
該接続システムを介して該レチクルプレートと連結される取り付けプレートと、
ロボットと、
該取り付けプレートを該ロボットと連結するコネクタと
を備え、該接続システムが、１自由度から３自由度の状態の該取り付けプレートに該レチクルプレートを剛に固定し、４自由度から６自由度の状態の該取り付けプレートに該レチクルプレートを従順に固定する、システム。
【請求項４４】
前記接続システムが、
前記レチクルプレートの接続範囲に位置する湾曲部分と、
該湾曲部分を該レチクルプレートに固定する固定装置の第１のセットと、
前記取り付けプレートを該レチクルプレートおよび該湾曲部分に固定する固定装置の第２のセットと
を備える、請求項４３に記載のシステム。
【請求項４５】
前記接続システムが、
前記レチクルプレートと相互作用する取り付けプレートの表面上にあるロッキングデバイスであって、該取り付けプレートを該レチクルプレートに解放可能に固定するロッキングデバイスと
をさらに備える、請求項４４に記載のシステム。
【請求項４６】
前記ロッキングデバイスが真空ロックである、請求項４５に記載のシステム。
【請求項４７】
前記レチクルプレートが、レチクルを解放可能に保持するレチクル固定システムをさらに備える、請求項４３に記載のシステム。
【請求項４８】
前記レチクル固定システムが真空システムを備える、請求項４７に記載のシステム。
【請求項４９】
前記真空システムが領域とシールを備える、請求項４８に記載のシステム。
【請求項５０】
前記１自由度から３自由度により、前記取り付けプレートに対する、前記レチクルプレートの面外方向の運動が実質的に取り除かれる、請求項４３に記載のシステム。
【請求項５１】
前記４自由度から６自由度により、前記取り付けプレートに対する、前記レチクルプレートの規定量の面内運動が許容される、請求項４３に記載のシステム。
【請求項５２】
前記ロボットが、第１の状態では水平の位置で、第２の状態では垂直の位置で前記レチクルプレートおよび取り付けプレートを保持する、請求項４３に記載のシステム。
【請求項５３】
システムであって、該システムが、
レチクルプレートと、
取り付けプレートと、
該取り付けプレートに対する、該レチクルプレートの面外方向の運動を実質的に取り除き、該取り付けプレートに対する、該レチクルプレートの規定量の面内方向の運動を許容するために、実質的に該取り付けプレートに該レチクルプレートを接続するための手段と、
ロボットと、
該取り付けプレートを該ロボットに連結するコネクタと
を備える、システム。
【請求項５４】
前記接続するための手段が、
前記レチクルプレートの接続範囲に位置する湾曲部分と、
該湾曲部分を該レチクルプレートに固定する固定装置の第１のセットと、
該取り付けプレートを該レチクルプレートおよび該湾曲部分に固定する固定装置の第２のセットと
を備える、請求項５３に記載のシステム。
【請求項５５】
前記接続するための手段が、
前記レチクルプレートと相互作用する取り付けプレートの表面上にあるロッキングデバイスであって、該取り付けプレートを該レチクルプレートに解放可能に固定するロッキングデバイスをさらに備える、請求項５４に記載のシステム。
【請求項５６】
前記ロッキングデバイスが真空ロックである、請求項５５に記載のシステム。
【請求項５７】
前記レチクルプレートが、レチクルを該レチクルプレートに固定するための手段をさらに備える、請求項５３に記載のシステム。
【請求項５８】
前記固定するための手段が真空システムを備える、請求項５７に記載のシステム。
【請求項５９】
前記真空システムが領域とシールを備える、請求項５８に記載のシステム。
【請求項６０】
前記ロボットが、第１の状態では水平の位置に、第２の状態では垂直の位置に、前記レチクルプレートおよび取り付けプレートを保持する、請求項５３に記載のシステム。
【請求項６１】
システムであって、該システムが、
接続システムと、
該接続システムを受容する接続範囲を備える、レチクルプレートと、
該接続システムを介して該レチクルプレートと連結する取り付けプレートと、
ロボットと、
該取り付けプレートを該ロボットと連結するコネクタと
を備え、該接続システムが、該取り付けプレートに対する、該レチクルプレートの面外方向の運動を実質的に取り除き、該取り付けプレートに対する、該レチクルプレートの規定量の面内方向の運動を実質的に許容する、システム。