【手続補正書】
【提出日】平成18年4月13日(2006.4.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】光電変換装置、放射線動画撮影装置、光電変換装置の制御方法、コンピュータプログラム、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  光を電気信号に変換して、電荷を蓄積する光電変換手段と、前記光電変換手段に蓄積された電荷を転送する転送手段とを含み、マトリックス状に配設された複数の画素を有する光電変換装置であって、
前記光電変換手段に蓄積された電荷を、前記光電変換手段に隣接するラインに配設された画素の転送手段に対する制御線によって掃き出す掃き出し手段を有し、
前記掃き出し手段は、前記光電変換手段と、前記光電変換手段に隣接するラインに配設された画素の転送手段に対する制御線との間に形成された容量と、前記隣接するラインに配設された画素の読み出し動作時における制御線の電圧変動とを用いて、前記光電変換手段に蓄積された電荷を掃き出すことを特徴とする光電変換装置。
【請求項２】  前記光電変換手段は、金属層と、絶縁層と、半導体層とを用いて形成されたＭＩＳ型の光センサーを有し、
前記転送手段は、薄膜トランジスタを有することを特徴とする請求項１に記載の光電変換装置。
【請求項３】  前記光電変換手段は、波長変換体を有し、上記波長変換体により波長が変換された光を電気信号に変換して、電荷を蓄積することを特徴とする請求項１または２に記載の光電変換装置。
【請求項４】  前記波長変換体は、電離放射線を可視光に変換する蛍光体であること特徴とする請求項３に記載の光電変換装置。
【請求項５】  前記光電変換手段は、絶縁性の基板上に金属で形成された第１の電極層と、前記第１の電極層上に窒化アモルファスシリコンで形成された絶縁層と、前記絶縁層上に水素化アモルファスシリコンで形成された光電変換層と、前記光電変換層上に水素化アモルファスシリコンで形成された負の導電性を示すアモルファスシリコン層と、前記アモルファスシリコン層上に金属で形成された第２の電極層とを少なくとも有し、前記アモルファスシリコン層が、前記光電変換層と前記第２の電極層とのオーミックコンタクトを取るようにするとともに、正の電荷に対してブロッキング層として働くようにして構成されており、
前記転送手段は、前記光電変換手段の第１の電極層と同様に金属で形成されたゲート電極層と、前記ゲート電極層上に窒化アモルファスシリコンで形成されたゲート絶縁層と、前記ゲート絶縁層上に水素化アモルファスシリコンで形成されたチャネル層と、前記チャネル層上に水素化アモルファスシリコンで形成された負の導電性を示すアモルファスシリコン層と、前記アモルファスシリコン層上に金属で形成されたソース電極層およびドレイン電極層とを少なくとも有し、前記アモルファスシリコン層が、前記チャネル層と、前記ソース電極層およびドレイン電極層とのオーミックコンタクトを取るようにするとともに、前記ドレイン電極層が、前記光電変換手段の第１の電極層に、前記ソース電極層が、電気信号を転送するための信号線にそれぞれ接続されるようにして構成されており、
前記容量は、前記光電変換手段の第１の電極層と、前記光電変換手段に隣接するラインに配置された薄膜トランジスタをオンおよびオフするゲートライン層と、前記第１の電極層とゲートライン層との間に形成されたアモルファスシリコン窒化膜と、前記ゲートライン層上に金属で形成された電極層と、を含むことを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の光電変換装置。
【請求項６】  前記光を電気信号に変換する際に必要となる電圧を前記光電変換手段に与えるためのバイアス手段と、
前記光電変換手段で変換された電気信号の転送動作を制御するための制御信号を、前記制御線に供給する制御信号供給手段と、
前記制御信号供給手段により制御線に供給された制御信号に基づいて前記光電変換手段から転送された電気信号を増幅する信号増幅手段とを有することを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の光電変換装置。
【請求項７】  前記バイアス手段は、前記光電変換手段で電荷を蓄積する場合と、前記光電変換手段に蓄積された電荷を掃き出す場合とで異なる値の電圧を前記光電変換手段に与えることを特徴とする請求項６に記載の光電変換装置。
【請求項８】  前記マトリックス状に配設された複数の画素に、動画像の撮影に好適な電気信号増幅器および垂直走査回路を接続して構成され、前記動画像の撮影に好適な方法で前記電気信号増幅器および垂直走査回路を駆動するようにしたことを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の光電変換装置。
【請求項９】  静止画像の撮影に必要なダイナミックレンジを前記光電変換手段が確保するようにするためのダイナミックレンジ確保手段を有することを特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記載の光電変換装置。
【請求項１０】  前記請求項１〜９の何れか１項に記載の光電変換装置を有し、前記光電変換装置を用いて動画像を撮影することを特徴とする放射線動画撮影装置。
【請求項１１】  光を電気信号に変換して、電荷を蓄積する光電変換手段と、前記光電変換手段に蓄積された電荷を転送する転送手段とを含み、マトリックス状に配設された複数の画素を有する光電変換装置の制御方法であって、
前記光電変換手段と、前記光電変換手段に隣接するラインに配設された画素の転送手段に対する制御線との間に形成された容量と、前記隣接するラインに配設された画素の読み出し動作時における制御線の電圧変動とを用いて、前記光電変換手段に蓄積された電荷を掃き出すことを特徴とする光電変換装置の制御方法。
【請求項１２】  光を電気信号に変換して、電荷を蓄積する光電変換手段と、前記光電変換手段に蓄積された電荷を転送する転送手段とを含み、マトリックス状に配設された複数の画素を有する光電変換装置を制御することをコンピュータに実行させるためのコンピュータプログラムであって、
前記光電変換手段と、前記光電変換手段に隣接するラインに配設された画素の転送手段に対する制御線との間に形成された容量と、前記隣接するラインに配設された画素の読み出し動作時における制御線の電圧変動とを用いて、前記光電変換手段に蓄積された電荷を掃き出す掃き出し処理をコンピュータに実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。
【請求項１３】  前記請求項１２に記載のコンピュータプログラムを記録したことを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光電変換装置、放射線動画撮影装置、光電変換装置の制御方法、コンピュータプログラム、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関し、特に、光電変換することにより得られた電気信号に基づいて画像を得るようにするために用いて好適なものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
【課題を解決するための手段】
本発明の光電変換装置は、光を電気信号に変換して、電荷を蓄積する光電変換手段と、前記光電変換手段に蓄積された電荷を転送する転送手段とを含み、マトリックス状に配設された複数の画素を有する光電変換装置であって、前記光電変換手段に蓄積された電荷を、前記光電変換手段に隣接するラインに配設された画素の転送手段に対する制御線によって掃き出す掃き出し手段を有し、前記掃き出し手段は、前記光電変換手段と、前記光電変換手段に隣接するラインに配設された画素の転送手段に対する制御線との間に形成された容量と、前記隣接するラインに配設された画素の読み出し動作時における制御線の電圧変動とを用いて、前記光電変換手段に蓄積された電荷を掃き出すことを特徴とする。
本発明の放射線動画撮影装置は、前記光電変換装置を有し、前記光電変換装置を用いて動画像を撮影することを特徴とする。
本発明の光電変換装置の制御方法は、光を電気信号に変換して、電荷を蓄積する光電変換手段と、前記光電変換手段に蓄積された電荷を転送する転送手段とを含み、マトリックス状に配設された複数の画素を有する光電変換装置の制御方法であって、前記光電変換手段と、前記光電変換手段に隣接するラインに配設された画素の転送手段に対する制御線との間に形成された容量と、前記隣接するラインに配設された画素の読み出し動作時における制御線の電圧変動とを用いて、前記光電変換手段に蓄積された電荷を掃き出すことを特徴とする。
本発明のコンピュータプログラムは、光を電気信号に変換して、電荷を蓄積する光電変換手段と、前記光電変換手段に蓄積された電荷を転送する転送手段とを含み、マトリックス状に配設された複数の画素を有する光電変換装置を制御することをコンピュータに実行させるためのコンピュータプログラムであって、前記光電変換手段と、前記光電変換手段に隣接するラインに配設された画素の転送手段に対する制御線との間に形成された容量と、前記隣接するラインに配設された画素の読み出し動作時における制御線の電圧変動とを用いて、前記光電変換手段に蓄積された電荷を掃き出す掃き出し処理をコンピュータに実行させることを特徴とする。
本発明のコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、前記コンピュータプログラムを記録したことを特徴とする。