(57)【要約】【課題】厚さの薄い金属箔ヒーターであってもリード線端子を強固に固定することができ、リード線端子を大きなトルクで締め付けても端子離脱等の問題が発生することのない金属箔ヒーター用リード線端子を提供することを課題とする。【解決手段】金属箔ヒーター５に電力を供給するための金属箔ヒーター用リード線端子１であって、平板２の一方の面にネジ軸３を一体に形成したことを特徴とする金属箔ヒーター用リード線端子１により上記の課題を解決する。また、前記金属箔ヒーター用リード線端子１は平板２が円板であって、該円板の中心部に前記ネジ軸３を設けてなる。さらに、前記金属箔ヒーター用リード線端子１は金属箔ヒーター５の下面に金属箔ヒーター用リード線端子５の平板２の一方の面を当接し、前記金属箔ヒーター５と前記平板２とを固着してなる。【選択図】図１
0003120249.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
金属箔ヒーターに電力を供給するための金属箔ヒーター用リード線端子であって、平板の一方の面にネジ軸を一体に形成したことを特徴とする金属箔ヒーター用リード線端子。
【請求項２】
前記平板が円板であって、該円板の中心部に前記ネジ軸を設けたことを特徴とする請求項１記載の金属箔ヒーター用リード線端子。
【請求項３】
金属箔ヒーターの下面に金属箔ヒーター用リード線端子の平板の一方の面を当接し、前記金属箔ヒーターと前記平板とを固着したことを特徴とする金属箔ヒーター用リード線端子の取付け構造。
【請求項４】
前記固着をスポット溶接により行うことを特徴とする請求項３記載の金属箔ヒーター用リード線端子の取付け構造。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、半導体製造装置等に使用される金属箔ヒーターに電力を供給するための金属箔ヒーター用リード線端子およびその取付け構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置や液晶表示器製造装置においては、半導体ウエハーやガラス基盤等の被処理物を加熱するために面状ヒーターが用いられる。面状ヒーターはステンレス鋼等の金属箔を発熱体として用い、そのステンレス鋼等の金属箔の発熱体の両面を雲母（マイカ）やシリコン等の絶縁体で覆ったうえでアルミニウム等の金属板で挟みこむことにより構成されている。そして、発熱体である金属箔には電力を供給するためのリード線が取り付けられる。
【０００３】
従来、金属箔にリード線を取り付ける方法として、金属箔にスタッドボルトを溶接等により直接固定し、そのスタッドボルトにリード線を取付ける技術が知られている。また、加熱板の表面に形成した凹部内に耐熱樹脂材を圧入させてなる耐熱樹脂体形成部と、この耐熱樹脂体形成部に穿設したスタッド挿入穴に圧入されて面状発熱体に溶接固定され、後端に穿設したリード線挿入穴にリード線を挿入して溶接固定されたスタッド部材を有する加熱ヒーター装置がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
さらに、金属箔ヒーターのリード線取出し部をあて板が設置できる広さに形成し、該リード線取出し部の上面に、あて板を重ねるようにして固着し、該あて板の上にスタッドボルトを垂直に固着し、該スタッドボルトにリード線の端子を螺着する金属箔ヒーターのリード線取出し端子が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】実用新案登録第３０６６１４５号公報
【特許文献２】実用新案登録第２５７６４６３号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上述した従来技術のうち、金属箔にスタッドボルトを溶接等により直接固定する技術にあっては、金属箔の厚さが薄いため溶接作業に高い熟練を要するという問題があった。また、溶接をしたとしても溶着面積を大きくできないため、十分な接合強度を得ることができないという問題があった。
【０００６】
また、加熱板の表面に形成した凹部内に耐熱樹脂材を圧入させてなる耐熱樹脂体形成部と、この耐熱樹脂体形成部に穿設したスタッド挿入穴に圧入されて面状発熱体に溶接固定され、後端に穿設したリード線挿入穴にリード線を挿入して溶接固定されたスタッド部材を有する加熱ヒーター装置にあっては、加熱板に凹部を設ける必要があることから、加工工数の増加により製作コストが高くなるという問題があった。
【０００７】
さらに、金属箔ヒーターのリード線取出し部をあて板が設置できる広さに形成し、該リード線取出し部の上面に、あて板を重ねるようにして固着し、該あて板の上にスタッドボルトを垂直に固着し、該スタッドボルトにリード線の端子を螺着する従来技術においては、金属箔ヒーターのリード線取り出し部に固着されたあて板上にスタッドボルトを固着する場合、スタッドボルトの先端が尖っており、スタッドボルトを垂直に固着するのが困難であった。さらに、スタッドボルトには丸穴のある端子を挿通し、この端子を上下のナットで締め付けるものであることから、製造工数が多くなり製造コストが高くなるという問題があった。
【０００８】
本考案は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、厚さの薄い金属箔ヒーターであってもリード線端子を強固に固定することができ、端子にリード線を強いトルクで締め付けても端子離脱等の問題が発生することのない金属箔ヒーター用リード線端子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１記載の考案は、金属箔ヒーターに電力を供給するための金属箔ヒーター用リード線端子であって、平板の一方の面にネジ軸を一体に形成したことを特徴とするものである。
【００１０】
請求項２記載の考案は、請求項１記載の金属箔ヒーター用リード線端子において、前記平板が円板であって、該円板の中心部に前記ネジ軸を設けたことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項３記載の考案は、金属箔ヒーターの下面に金属箔ヒーター用リード線端子の平板の一方の面を当接し、前記金属箔ヒーターと前記平板とを固着したことを特徴とする金属箔ヒーター用リード線端子の取付け構造である。
【００１２】
請求項４記載の考案は、請求項３記載の金属箔ヒーター用リード線端子の取付け構造において、金属箔ヒーターと平板との固着をスポット溶接により行うことを特徴とするものである。
【考案の効果】
【００１３】
本考案における請求項１の金属箔ヒーター用リード線端子によれば、平板の一方の面にネジ軸を一体に形成したので、リード線を端子に固定する際にネジ軸に大きなトルクが作用しても、ネジ軸が平板から離脱することがない。
【００１４】
本考案における請求項２の金属箔ヒーター用リード線端子によれば、円板の中心部に前記ネジ軸を設けたので、旋盤加工等により容易に製作可能で、製作コストも低減できる。
【００１５】
本考案における請求項３の金属箔ヒーター用リード線端子の取付け構造によれば、金属箔ヒーターの下面に金属箔ヒーター用リード線端子の平板の一方の面を当接して金属箔ヒーターと平板とを溶着したことから、リード線固定ナットを強固に締め付けても平板が変形して平板の周辺部が金属箔ヒーターから離れることがない。その結果、平板と金属箔ヒーターとの間にスパークが発生するのを防止することができる。
【００１６】
本考案における請求項４の金属箔ヒーター用リード線端子の取付け構造によれば、金属箔ヒーターと平板との固着をスポット溶接により行うこととしたので、強固な固着を実現できるとともに、溶接作業のコストを低減することができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本考案を実施するための形態について、図面に基づいて説明する。図１は本考案の実施例である金属箔ヒーター用リード線端子の使用状況を示す断面図である。図２は金属箔ヒーターの平面図であり、図３中（ａ）は、金属箔ヒーター用リード線端子の正面図であり、（ｂ）は底面図である。
【００１８】
金属箔ヒーター用リード線端子１は、平板２の一方の面にネジ軸３が一体に形成される。通常、平板２は直径２０ｍｍ〜４０ｍｍ程度で、厚さは０．５ｍｍ程度の大きさである。この平板２の中心部に同心状にネジ軸３が平板２と一体的に製作される。ここでいう一体的とは、平板２とネジ軸３を別々に製作した後で溶接等により結合するという意味ではなく、単一の金属素材から旋盤加工等によって平板２とネジ軸３を一体的に形成することを意味する。形成するネジ軸３は全ネジであっても構わないが、平板２とネジ軸３との境界部４の応力集中を回避するために、平板２とネジ軸３との境界部４はネジを設けることなく、単純な丸棒として多少なりともＲを形成するようにすることもできる。ここで、金属箔ヒーター用リード線端子１は切削加工が容易な普通鋼材から製作される。このことにより、金属箔ヒーター用リード線端子１を製作する際の生産性が高まり、製作コストを低減することができる。
【００１９】
金属箔ヒーター５は発熱体となるものであり、ニッケルクロム鋼、すなわちステンレス鋼で製作される。具体的には図２に示すように０．１ｍｍ程度の厚さのニッケルクロム鋼の箔をＵ字状に何回も交互に繰り返した形状とされており、両端に設けられた島部６には金属箔ヒーター用リード線端子１のネジ軸３の外径寸法よりやや大きな径を有する孔７が設けられている。
【００２０】
次に、金属箔ヒーター用リード線端子１の金属箔ヒーター５への取り付け方法について説明する。金属箔ヒーター５は両端の島部６に設けられた孔７の付近を除いて両面とも雲母の板材８によって覆われる。このように金属箔ヒーター５の両面を雲母の板材８で覆うのは、絶縁性を確保するためであり、雲母の板材８は金属箔ヒーター５の形状に拘わらず、金属箔ヒーター５が存在しない部位についても覆うようにされている。このことにより確実な絶縁性が確保される。
【００２１】
平板２とネジ軸３とが一体に形成されたリード線端子１のネジ軸３を金属箔ヒーター５の島部６に設けられた孔７に挿入して、金属箔ヒーター５の下面にリード線端子１の平板２の一方の面を当接する。次に、絶縁用の雲母リング９を上方からネジ軸３に挿通し、必要な長さを有する碍子10及び座金11とナット12を用いて金属箔ヒーター用リード線端子１を締め付け固定する。その後、座金11およびナット12を用いてリード線13の端子14をネジ軸３に締め付け固定する。
【００２２】
また、図３の（ｂ）に示すように平板２の外周に近い部位2aは金属箔ヒーター５に固着される。固着方法は通常のスポット溶接により行うことができる。このように平板２の外周に近い部位2aを金属箔ヒーター５に固着するのは、ネジ軸３に大きなトルクが作用した場合においても平板２の外周部が金属箔ヒーター５から容易に離脱するのを防止するためである。より詳細に説明をすると、ネジ軸３にリード線13の端子14を固定する場合において、ナット12を強く締め付けると、ネジ軸３にも大きなトルクが作用する。そうすると、金属箔ヒーター５にスタッドボルトを直接溶接したような固定方法にあっては、金属箔ヒーター５とスタッドボルトとの間に十分な接合強度を確保できないため、大きな外的トルクの作用によりスタッドボルトが金属箔ヒーター５から離脱してしまうという問題があった。一方、本考案のように平板２とネジ軸３を同一素材から一体的に形成することにより、平板２とネジ軸３との結合強度が高まり前記したような問題を解決することができる。
【００２３】
また、ネジ軸３にリード線13の端子14を固定する際にナット12に大きなトルクを付加すると、トルクに比例してネジ軸３を上方に引き上げようとする引張力Ｆが作用する。そうすると、平板２の厚さが薄いことから平板２の中心部が上方に引っ張られ、その影響により平板２の外周に近い部位は図４に示すように下方に撓むことになる。
【００２４】
このように金属箔ヒーター５と平板２の一部が離れる状況が生じると、リード線13からの通電により平板２と金属箔ヒーター５との間にスパークが生じることになり、金属箔ヒーター５を損傷する。そこで、本考案のように平板２の外周に近い部位2aを溶接により金属箔ヒーター５に固着することによって、平板２の外周に近い部位2aが金属箔ヒーター５から離脱するのを防止し、平板２と金属箔ヒーター５との間にスパークが生じることがないようにされている。本実施例においては、平板２の周囲８箇所をスポット溶接により金属箔ヒーター５に固着している。スポット溶接する箇所は平板２の大きさに応じて適宜の数を選択することができる。
【００２５】
上記に説明したような本考案に係る金属箔ヒーター用リード線端子１およびその取付け構造によれば、厚さの薄い金属箔ヒーター５であってもリード線端子１を強固に固定することができ、リード線端子１を大きなトルクで締め付けても端子離脱等の問題が発生することのない金属箔ヒーター用リード線端子１を実現することができる。また、リード線固定ナット12を強固に締め付けても平板２が変形して平板２の周辺部が金属箔ヒーター５から離れることがなく、平板２と金属箔ヒーター５との間にスパークが発生するのを防止することができる。さらに、製作コストを低減することができる。
【００２６】
なお、平板２を金属箔ヒーター５にスポット溶接した後において、平板２の露出面に対しては絶縁性を確保するため平板２の面積より幾分大きな面積を有する雲母板15により覆われる。
【００２７】
また、本考案にかかる金属箔ヒーター用リード線端子1を半導体製造装置等のホットプレートとして使用する場合には、金属箔ヒーター5の表裏両面を雲母の板材８により覆った後、これらの雲母の板材８を挟み込むように熱伝導性が良好なアルミニウム板（図示せず）が配設される。
【００２８】
以上、本考案を実施例に基づいて説明したが、本考案は上記した実施例に限定されるものではなく、種々の変形実施をすることができる。例えば、上記の実施例ではリード線端子１の材料として普通鋼材を用いた例について説明したが、リード線端子１の材料は普通鋼材に限定されるものではなく、ステンレス鋼材を用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本考案に係る金属箔ヒーター用リード線端子の実施例を示す断面図である。
【図２】金属箔ヒーターの平面図である。
【図３】本考案の実施例である金属箔ヒーター用リード線端子の構造図であり、（ａ）は正面図を示し、（ｂ）は底面図を示す。
【図４】本考案の実施例である金属箔ヒーター用リード線端子に軸力が作用した状態を示す正面視である。
【図５】従来の金属箔ヒーター用リード線端子を用いた端子取付け状態を示す外観図である。
【符号の説明】
【００３０】
１  金属箔ヒーター用リード線端子（リード線端子)
２  平板
３  ネジ軸
５  金属箔ヒーター
【図１】
0003120249.tif 000003
【図２】
0003120249.tif 000004
【図３】
0003120249.tif 000005
【図４】
0003120249.tif 000006
【図５】
0003120249.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月20日(2006.1.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
前記金属箔ヒーターの下面に前記平板の一方の面を当接し、金属箔ヒーターと平板とを固着することを特徴とする請求項１または２記載の金属箔ヒーター用リード線端子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
前記固着をスポット溶接により行うことを特徴とする請求項３記載の金属箔ヒーター用リード線端子。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、半導体製造装置等に使用される金属箔ヒーターに電力を供給するための金属箔ヒーター用リード線端子に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置や液晶表示器製造装置においては、半導体ウエハーやガラス基盤等の被処理物を加熱するために面状ヒーターが用いられる。面状ヒーターはステンレス鋼等の金属箔を発熱体として用い、そのステンレス鋼等の金属箔の発熱体の両面を雲母（マイカ）やシリコン等の絶縁体で覆ったうえでアルミニウム等の金属板で挟みこむことにより構成されている。そして、発熱体である金属箔には電力を供給するためのリード線が取り付けられる。
【０００３】
従来、金属箔にリード線を取り付ける方法として、金属箔にスタッドボルトを溶接等により直接固定し、そのスタッドボルトにリード線を取付ける技術が知られている。また、加熱板の表面に形成した凹部内に耐熱樹脂材を圧入させてなる耐熱樹脂体形成部と、この耐熱樹脂体形成部に穿設したスタッド挿入穴に圧入されて面状発熱体に溶接固定され、後端に穿設したリード線挿入穴にリード線を挿入して溶接固定されたスタッド部材を有する加熱ヒーター装置がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
さらに、金属箔ヒーターのリード線取出し部をあて板が設置できる広さに形成し、該リード線取出し部の上面に、あて板を重ねるようにして固着し、該あて板の上にスタッドボルトを垂直に固着し、該スタッドボルトにリード線の端子を螺着する金属箔ヒーターのリード線取出し端子が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】実用新案登録第３０６６１４５号公報
【特許文献２】実用新案登録第２５７６４６３号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上述した従来技術のうち、金属箔にスタッドボルトを溶接等により直接固定する技術にあっては、金属箔の厚さが薄いため溶接作業に高い熟練を要するという問題があった。また、溶接をしたとしても溶着面積を大きくできないため、十分な接合強度を得ることができないという問題があった。
【０００６】
また、加熱板の表面に形成した凹部内に耐熱樹脂材を圧入させてなる耐熱樹脂体形成部と、この耐熱樹脂体形成部に穿設したスタッド挿入穴に圧入されて面状発熱体に溶接固定され、後端に穿設したリード線挿入穴にリード線を挿入して溶接固定されたスタッド部材を有する加熱ヒーター装置にあっては、加熱板に凹部を設ける必要があることから、加工工数の増加により製作コストが高くなるという問題があった。
【０００７】
さらに、金属箔ヒーターのリード線取出し部をあて板が設置できる広さに形成し、該リード線取出し部の上面に、あて板を重ねるようにして固着し、該あて板の上にスタッドボルトを垂直に固着し、該スタッドボルトにリード線の端子を螺着する従来技術においては、金属箔ヒーターのリード線取り出し部に固着されたあて板上にスタッドボルトを固着する場合、スタッドボルトの先端が尖っており、スタッドボルトを垂直に固着するのが困難であった。さらに、スタッドボルトには丸穴のある端子を挿通し、この端子を上下のナットで締め付けるものであることから、製造工数が多くなり製造コストが高くなるという問題があった。
【０００８】
本考案は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、厚さの薄い金属箔ヒーターであってもリード線端子を強固に固定することができ、端子にリード線を強いトルクで締め付けても端子離脱等の問題が発生することのない金属箔ヒーター用リード線端子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１記載の考案は、金属箔ヒーターに電力を供給するための金属箔ヒーター用リード線端子であって、平板の一方の面にネジ軸を一体に形成したことを特徴とするものである。
【００１０】
請求項２記載の考案は、請求項１記載の金属箔ヒーター用リード線端子において、前記平板が円板であって、該円板の中心部に前記ネジ軸を設けたことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項３記載の考案は、請求項１または２記載の金属箔ヒーター用リード線端子において、金属箔ヒーターの下面に平板の一方の面を当接し、金属箔ヒーターと平板とを固着することを特徴とするものである。
【００１２】
請求項４記載の考案は、請求項３記載の金属箔ヒーター用リード線端子において、金属箔ヒーターと平板との固着をスポット溶接により行うことを特徴とするものである。
【考案の効果】
【００１３】
本考案における請求項１の金属箔ヒーター用リード線端子によれば、平板の一方の面にネジ軸を一体に形成したので、リード線を端子に固定する際にネジ軸に大きなトルクが作用しても、ネジ軸が平板から離脱することがない。
【００１４】
本考案における請求項２の金属箔ヒーター用リード線端子によれば、円板の中心部に前記ネジ軸を設けたので、旋盤加工等により容易に製作可能で、製作コストも低減できる。
【００１５】
本考案における請求項３の金属箔ヒーター用リード線端子によれば、金属箔ヒーターの下面に金属箔ヒーター用リード線端子の平板の一方の面を当接して金属箔ヒーターと平板とを溶着したことから、リード線固定ナットを強固に締め付けても平板が変形して平板の周辺部が金属箔ヒーターから離れることがない。その結果、平板と金属箔ヒーターとの間にスパークが発生するのを防止することができる。
【００１６】
本考案における請求項４の金属箔ヒーター用リード線端子によれば、金属箔ヒーターと平板との固着をスポット溶接により行うこととしたので、強固な固着を実現できるとともに、溶接作業のコストを低減することができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本考案を実施するための形態について、図面に基づいて説明する。図１は本考案の実施例である金属箔ヒーター用リード線端子の使用状況を示す断面図である。図２は金属箔ヒーターの平面図であり、図３中（ａ）は、金属箔ヒーター用リード線端子の正面図であり、（ｂ）は底面図である。
【００１８】
金属箔ヒーター用リード線端子１は、平板２の一方の面にネジ軸３が一体に形成される。通常、平板２は直径２０ｍｍ〜４０ｍｍ程度で、厚さは０．５ｍｍ程度の大きさである。この平板２の中心部に同心状にネジ軸３が平板２と一体的に製作される。ここでいう一体的とは、平板２とネジ軸３を別々に製作した後で溶接等により結合するという意味ではなく、単一の金属素材から旋盤加工等によって平板２とネジ軸３を一体的に形成することを意味する。形成するネジ軸３は全ネジであっても構わないが、平板２とネジ軸３との境界部４の応力集中を回避するために、平板２とネジ軸３との境界部４はネジを設けることなく、単純な丸棒として多少なりともＲを形成するようにすることもできる。ここで、金属箔ヒーター用リード線端子１は切削加工が容易な普通鋼材から製作される。このことにより、金属箔ヒーター用リード線端子１を製作する際の生産性が高まり、製作コストを低減することができる。
【００１９】
金属箔ヒーター５は発熱体となるものであり、ニッケルクロム鋼、すなわちステンレス鋼で製作される。具体的には図２に示すように０．１ｍｍ程度の厚さのニッケルクロム鋼の箔をＵ字状に何回も交互に繰り返した形状とされており、両端に設けられた島部６には金属箔ヒーター用リード線端子１のネジ軸３の外径寸法よりやや大きな径を有する孔７が設けられている。
【００２０】
次に、金属箔ヒーター用リード線端子１の金属箔ヒーター５への取り付け方法について説明する。金属箔ヒーター５は両端の島部６に設けられた孔７の付近を除いて両面とも雲母の板材８によって覆われる。このように金属箔ヒーター５の両面を雲母の板材８で覆うのは、絶縁性を確保するためであり、雲母の板材８は金属箔ヒーター５の形状に拘わらず、金属箔ヒーター５が存在しない部位についても覆うようにされている。このことにより確実な絶縁性が確保される。
【００２１】
平板２とネジ軸３とが一体に形成されたリード線端子１のネジ軸３を金属箔ヒーター５の島部６に設けられた孔７に挿入して、金属箔ヒーター５の下面にリード線端子１の平板２の一方の面を当接する。次に、絶縁用の雲母リング９を上方からネジ軸３に挿通し、必要な長さを有する碍子10及び座金11とナット12を用いて金属箔ヒーター用リード線端子１を締め付け固定する。その後、座金11およびナット12を用いてリード線13の端子14をネジ軸３に締め付け固定する。
【００２２】
また、図３の（ｂ）に示すように平板２の外周に近い部位2aは金属箔ヒーター５に固着される。固着方法は通常のスポット溶接により行うことができる。このように平板２の外周に近い部位2aを金属箔ヒーター５に固着するのは、ネジ軸３に大きなトルクが作用した場合においても平板２の外周部が金属箔ヒーター５から容易に離脱するのを防止するためである。より詳細に説明をすると、ネジ軸３にリード線13の端子14を固定する場合において、ナット12を強く締め付けると、ネジ軸３にも大きなトルクが作用する。そうすると、金属箔ヒーター５にスタッドボルトを直接溶接したような固定方法にあっては、金属箔ヒーター５とスタッドボルトとの間に十分な接合強度を確保できないため、大きな外的トルクの作用によりスタッドボルトが金属箔ヒーター５から離脱してしまうという問題があった。一方、本考案のように平板２とネジ軸３を同一素材から一体的に形成することにより、平板２とネジ軸３との結合強度が高まり前記したような問題を解決することができる。
【００２３】
また、ネジ軸３にリード線13の端子14を固定する際にナット12に大きなトルクを付加すると、トルクに比例してネジ軸３を上方に引き上げようとする引張力Ｆが作用する。そうすると、平板２の厚さが薄いことから平板２の中心部が上方に引っ張られ、その影響により平板２の外周に近い部位は図４に示すように下方に撓むことになる。
【００２４】
このように金属箔ヒーター５と平板２の一部が離れる状況が生じると、リード線13からの通電により平板２と金属箔ヒーター５との間にスパークが生じることになり、金属箔ヒーター５を損傷する。そこで、本考案のように平板２の外周に近い部位2aを溶接により金属箔ヒーター５に固着することによって、平板２の外周に近い部位2aが金属箔ヒーター５から離脱するのを防止し、平板２と金属箔ヒーター５との間にスパークが生じることがないようにされている。本実施例においては、平板２の周囲８箇所をスポット溶接により金属箔ヒーター５に固着している。スポット溶接する箇所は平板２の大きさに応じて適宜の数を選択することができる。
【００２５】
上記に説明したような本考案に係る金属箔ヒーター用リード線端子１によれば、厚さの薄い金属箔ヒーター５であってもリード線端子１を強固に固定することができ、リード線端子１を大きなトルクで締め付けても端子離脱等の問題が発生することのない金属箔ヒーター用リード線端子１を実現することができる。また、リード線固定ナット12を強固に締め付けても平板２が変形して平板２の周辺部が金属箔ヒーター５から離れることがなく、平板２と金属箔ヒーター５との間にスパークが発生するのを防止することができる。さらに、製作コストを低減することができる。
【００２６】
なお、平板２を金属箔ヒーター５にスポット溶接した後において、平板２の露出面に対しては絶縁性を確保するため平板２の面積より幾分大きな面積を有する雲母板15により覆われる。
【００２７】
また、本考案にかかる金属箔ヒーター用リード線端子1を半導体製造装置等のホットプレートとして使用する場合には、金属箔ヒーター5の表裏両面を雲母の板材８により覆った後、これらの雲母の板材８を挟み込むように熱伝導性が良好なアルミニウム板（図示せず）が配設される。
【００２８】
以上、本考案を実施例に基づいて説明したが、本考案は上記した実施例に限定されるものではなく、種々の変形実施をすることができる。例えば、上記の実施例ではリード線端子１の材料として普通鋼材を用いた例について説明したが、リード線端子１の材料は普通鋼材に限定されるものではなく、ステンレス鋼材を用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本考案に係る金属箔ヒーター用リード線端子の実施例を示す断面図である。
【図２】金属箔ヒーターの平面図である。
【図３】本考案の実施例である金属箔ヒーター用リード線端子の構造図であり、（ａ）は正面図を示し、（ｂ）は底面図を示す。
【図４】本考案の実施例である金属箔ヒーター用リード線端子に軸力が作用した状態を示す正面視である。
【図５】従来の金属箔ヒーター用リード線端子を用いた端子取付け状態を示す外観図である。
【符号の説明】
【００３０】
１  金属箔ヒーター用リード線端子（リード線端子)
２  平板
３  ネジ軸
５  金属箔ヒーター