【手続補正書】
【提出日】平成18年2月21日(2006.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体面上のパターンを像面上に縮小投影する反射型投影光学系であって、中間像を形成する結像系であり、
前記物体面から前記像面にかけて順次光を反射する６枚以上のミラーを有し、
前記中間像の射出瞳位置が前記物体面と前記像面の間に位置すると共に、前記像面側の開口数をＮＡとしたとき、当該射出瞳位置での各画角の主光線と光軸とのなす角がｓｉｎ−１ＮＡ以下であることを特徴とする反射型投影光学系。
【請求項２】
前記開口数は、０．２以上であることを特徴とする請求項１記載の反射型投影光学系。
【請求項３】
前記ミラーの位置を開口絞り位置としたことを特徴とする請求項１記載の反射型投影光学系。
【請求項４】
前記中間像は、前記物体面から光路を辿って２番目のミラーと前記像面から光路を辿って２番目のミラーとの光路の間に形成されることを特徴とする請求項１記載の反射型投影光学系。
【請求項５】
前記中間像位置での各画角の主光線は、光軸から離れる方向を向いていることを特徴とする請求項１記載の反射型投影光学系。
【請求項６】
前記６枚以上のミラーは、基本的に共軸系をなすように配置したことを特徴とする請求項１記載の反射型投影光学系。
【請求項７】
前記６枚以上のミラーはすべてＥＵＶ光を反射する多層膜を有する非球面ミラーであることを特徴とする請求項１記載の反射型投影光学系。
【請求項８】
前記物体面上に反射型マスクを配置することを特徴とする請求項１記載の反射型投影光学系。
【請求項９】
前記物体面側が非テレセントリックであることを特徴とする請求項１記載の反射型投影光学系。
【請求項１０】
前記物体面から入射する光線は、前記物体面から光路を辿って最初のミラーに５度以上１０度以下の角度で入射することを特徴とする請求項９記載の反射型投影光学系。
【請求項１１】
前記像面側の露光領域は、スリット幅０．８ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１記載の反射型投影光学系。
【請求項１２】
前記物体上のパターンからの光が反射する順に、第１ミラー、第２ミラー、第３ミラー、第４ミラー、第５ミラー、第６ミラーを有しており、前記物体側から前記像面側にかけて、前記第２ミラー、前記第１ミラー、前記第６ミラー、前記第４ミラー、前記第３ミラー、前記第５ミラーの順に配置されており、前記反射型投影光学系が、前記第４ミラーと前記第３ミラーとの間に中間像を形成することを特徴とする請求項１乃至１１のうちいずれか一項記載の反射型投影光学系。
【請求項１３】
６枚のミラー又は反射面から成ることを特徴とする請求項１乃至１２のうちいずれか一項記載の反射型投影光学系。
【請求項１４】
請求項１乃至１３のうちいずれか一項記載の反射型投影光学系と、
前記物体面上にマスクのパターンを位置付けるべく当該マスクを保持するマスクステージと、
前記像面上に感光層を位置付けるべく被処理体を保持するウェハステージと、
前記ＥＵＶ光で前記マスクを照明する状態で前記マスクステージ及び前記ウェハステージを同期して走査する手段とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項１５】
光源からの光で前記パターンを照明する照明光学系と、前記パターンからの光を前記像面上に投影する、請求項１乃至１３のうちいずれか一項記載の反射型投影光学系とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項１６】
前記反射型投影光学系は、前記パターンからの反射光を前記像面上に投影することを特徴とする請求項１５記載の露光装置。
【請求項１７】
請求項１４乃至１６のうちいずれか一項記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての反射型投影光学系は、前記物体面から前記像面にかけて順次光を反射する６枚以上のミラーを有し、前記中間像の射出瞳位置が前記物体面と前記像面の間に位置すると共に、前記像面側の開口数をＮＡとしたとき、当該射出瞳位置での各画角の主光線と光軸とのなす角がｓｉｎ−１ＮＡ以下であることを特徴とする。本発明の別の側面としての露光装置は、上述の反射型投影光学系と、前記物体面上にマスクのパターンを位置付けるべく当該マスクを保持するマスクステージと、前記像面上に感光層を位置付けるべく被処理体を保持するウェハステージと、前記ＥＵＶ光で前記マスクを照明する状態で前記マスクステージ及び前記ウェハステージを同期して走査する手段とを有することを特徴とする。本発明の更に別の側面としての露光装置は、光源からの光で前記パターンを照明する照明光学系と、前記パターンからの光を前記像面上に投影する、上述の反射型投影光学系とを有することを特徴とする。本発明の更に別の側面としてのデバイス製造方法は、上述の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、露光された前記被処理体に所定のプロセスを行うステップとを有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】削除
【補正の内容】