【手続補正書】
【提出日】平成18年2月24日(2006.2.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  下方に基部を有し、その先端が互いに平行な垂直面上を移動可能な２つの移動台駆動機構と、
各移動台駆動機構の先端にそれぞれ他方の移動台駆動機構側へ延出して設けられ、水平状態で上下方向及び第１水平方向に移動可能で且つ上下方向において互いに位置交換が可能で上下に重なり得る２つの移動台と、
各移動台上に設けられ、基板の移載を行う水平面上を伸縮及び旋回可能な移載機構と、  該移載機構を有する２つの移動台が共通空間を移動する際に、互いに干渉しないように各移動台駆動機構の移動を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】  前記移動台駆動機構は、前記垂直面上を伸縮及び旋回可能な多関節アームであり、その基部が固定されていることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】  前記移動台駆動機構は前記移動台を上下方向に移動させる昇降機構を備え、その基部が前記第１水平方向に移動可能であることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項４】  前記各移載機構は前記第１水平方向に直交する第２水平方向に伸縮可能で、且つ互いに異なる方向に伸張することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項５】  減圧雰囲気の搬送室と、該搬送室の内部に設けられた請求項１の搬送装置と、該搬送室の周囲に設けられた減圧可能な複数の処理室と、搬送室に接続されたロードロック室と、を備えたことを特徴とする真空処理装置。
【請求項６】  減圧雰囲気の搬送室と、該搬送室の内部に設けられた請求項１の搬送装置と、該搬送室の周囲に設けられた減圧可能な複数の処理室と、搬送室に接続されたロードロック室とを備え、処理室は搬送室の周囲の少なくとも一ヵ所で上下に多段に設けられていることを特徴とする真空処理装置。
【請求項７】  減圧雰囲気の搬送室と、該搬送室の内部の長手方向の一端側に寄せて設けられた請求項１の搬送装置と、該搬送室の周囲に設けられた減圧可能な複数の処理室と、搬送室に接続されたロードロック室と、を備えたことを特徴とする真空処理装置。
【請求項８】  前記搬送室の天板には前記移動台を突出させるための開口が設けられていると共に該開口を気密に塞ぐ蓋が取付けられていることを特徴とする請求項５乃至７のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項９】  前記搬送室の天板上には副処理室が設けられ、且つ前記搬送室の天板には前記搬送装置の移載機構を収容可能な凸部が設けられ、該凸部の側壁の開口を介して該副処理室に基板が移載されることを特徴とする請求項５乃至７のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項１０】  内部が減圧雰囲気の筐体と、該筐体の第１側面の第１高さにのみ設けられた減圧可能な複数の処理室と、該第１側面に対向する第２側面の第２高さにのみ設けられた減圧可能な複数の処理室と、該第１側面に交差する第３側面、該第１側面、または該第２側面のいずれかに多段に設けられた複数のロードロック室と、前記筐体内に前記第１高さと第２高さに対応して長手方向に移動可能に設けられた２つの搬送機構と、各搬送機構に設けられ処理室とロードロック室とに対する基板の移載を行う移載機構とを備えたことを特徴とする真空処理装置。
【請求項１１】  常圧雰囲気の搬送室と、該搬送室の内部に設けられた請求項１の搬送装置であって、搬送室の一側面に設けられ複数枚の基板を収納したカセットを載置する複数のロードポートと、前記搬送室の他側面に設けられた複数のロードロック室と、を備えたことを特徴とする常圧搬送装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載の搬送装置は、下方に基部を有し、その先端が互いに平行な垂直面上を移動可能な２つの移動台駆動機構と、
各移動台駆動機構の先端にそれぞれ他方の移動台駆動機構側へ延出して設けられ、水平状態で上下方向及び第１水平方向に移動可能で且つ上下方向において互いに位置交換が可能で上下に重なり得る２つの移動台と、
各移動台上に設けられ、基板の移載を行う水平面上を伸縮及び旋回可能な移載機構と、  該移載機構を有する２つの移動台が共通空間を移動する際に、互いに干渉しないように各移動台駆動機構の移動を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
このように、２つの移載機構が各移動台駆動機構の先端にそれぞれ他方の移動台駆動機構側へ延出して設けられた移動台上に設けられているので、２つの移載機構が上下方向において異なる位置にあり、且つ第１水平方向において同一の位置にある場合であっても、各移載機構は他方の移載機構の移動台駆動機構に干渉されることなく基板を移載先に移載することができる。
また、２つの移動台が水平状態で上下方向及び第１水平方向に移動可能で、上下方向において互いに位置交換が可能で、且つそれらが共通空間を移動する際に互いに干渉しないように制御されるので、各移動台上に設けられた移載機構により基板を上下方向及び第１水平方向に配置された複数の移載先に効率的に移載をすることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項２に記載の搬送装置は、請求項１に記載の発明において、前記移動台駆動機構は、前記垂直面上を伸縮及び旋回可能な多関節アームであり、その基部が固定されていることを特徴とする。
この多関節アームが垂直面上を伸縮及び旋回することにより移動台を水平状態で上下方向及び第１水平方向に移動させることができる。また、その基部が固定されているので、移動台駆動機構の構造がコンパクトになる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項４に記載の搬送装置は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、前記各移載機構は前記第１水平方向に直交する第２水平方向に伸縮可能で、且つ互いに異なる方向に伸張することを特徴とする。
これによれば、基板の移載先が第１水平方向に沿って、その両側に在る場合に、２つの移載機構が上下方向において互いに位置交換をしつつ、一方の移載機構が一側の移載先に、他方の移載機構が他側の移載先に効率的に基板を移載することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項５に記載の真空処理装置は、減圧雰囲気の搬送室と、該搬送室の内部に設けられた請求項１の搬送装置と、該搬送室の周囲に設けられた減圧可能な複数の処理室と、搬送室に接続されたロードロック室と、を備えたことを特徴とする。
請求項６に記載の真空処理装置は、減圧雰囲気の搬送室と、該搬送室の内部に設けられた請求項１の搬送装置と、該搬送室の周囲に設けられた減圧可能な複数の処理室と、搬送室に接続されたロードロック室とを備え、処理室は搬送室の周囲の少なくとも一ヵ所で上下に多段に設けられていることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項７に記載の真空処理装置は、減圧雰囲気の搬送室と、該搬送室の内部の長手方向の一端側に寄せて設けられた請求項１の搬送装置と、該搬送室の周囲に設けられた減圧可能な複数の処理室と、搬送室に接続されたロードロック室と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項８に記載の真空処理装置は、請求項５乃至７のいずれかに記載の発明において、前記搬送室の天板には前記移動台を突出させるための開口が設けられていると共に該開口を気密に塞ぐ蓋が取付けられていることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項９に記載の真空処理装置は、請求項５乃至７のいずれかに記載の発明において、前記搬送室の天板上には副処理室が設けられ、且つ前記搬送室の天板には前記搬送装置の移載機構を収容可能な凸部が設けられ、該凸部の側壁の開口を介して該副処理室に基板が移載されることを特徴とする。
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項１０に記載の真空処理装置は、内部が減圧雰囲気の筐体と、該筐体の第１側面の第１高さにのみ設けられた減圧可能な複数の処理室と、該第１側面に対向する第２側面の第２高さにのみ設けられた減圧可能な複数の処理室と、該第１側面に交差する第３側面、該第１側面、または該第２側面のいずれかに多段に設けられた複数のロードロック室と、前記筐体内に前記第１高さと第２高さに対応して長手方向に移動可能に設けられた２つの搬送機構と、各搬送機構に設けられ処理室とロードロック室とに対する基板の移載を行う移載機構とを備えたことを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項１１に記載の常圧搬送装置は、常圧雰囲気の搬送室と、該搬送室の内部に設けられた請求項１の搬送装置であって、搬送室の一側面に設けられ複数枚の基板を収納したカセットを載置する複数のロードポートと、前記搬送室の他側面に設けられた複数のロードロック室と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
本発明の常圧搬送装置によれば、前記搬送装置を内部が常圧の搬送室内に設け、該搬送室の一側面に複数のロードポートを設け、搬送室の他側面に複数のロードロック室を設けているため、搬送効率、スループット及びスペース効率の向上が図れる。