【手続補正書】
【提出日】平成18年2月1日(2006.2.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを保持するウェーハチャックと、円環状の研削溝を外周に設けた第１のホイル型砥石と、前記ウェーハチャックを前記第１のホイル型砥石に対して相対的に移動させる移動手段と、前記研削溝を整形するドレッサープレートを整形するためのツルーイング溝を外周に設けた第２のホイル型砥石と、を有し、
ドレッサープレートを回転する前記第２のホイル型砥石のツルーイング溝に押圧することにより前記ドレッサープレートにツルーイング溝形状を転写し、
前記ドレッサープレートを前記第１のホイル型砥石の研削溝に押圧することにより前記ツルーイング溝の形状を前記研削溝に転写し、
前記ウェーハチャックに着脱可能に保持されたウェーハの縁部を、回転中の前記第１のホイル型砥石に相対的に近づけることにより前記研削溝に押圧して所定形状に面取りするウェーハ面取り装置。
【請求項２】
ウェーハを保持するウェーハチャックと、
第１のホイル型砥石と、
前記ウェーハチャックを前記第１のホイル型砥石に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記第１のホイル型砥石の外周に設けられた円環状の研削溝と、
前記研削溝を整形するドレッサープレートを整形する、第２のホイル型砥石の外周に設けられた複数のツルーイング溝と、
を有し、前記ウェーハチャックに着脱可能に保持されたウェーハの縁部を、回転中の前記第１のホイル型砥石に相対的に近づけることにより前記研削溝に押圧して所定形状に面取りするウェーハ面取り装置において、
前記複数のツルーイング溝の１の溝形状が他の１の溝形状と異なることを特徴とするウェーハ面取り装置。
【請求項３】
前記第１のホイル型砥石に設けられた研削溝は複数溝あることを特徴とする請求項１または２に記載のウェーハ面取り装置。
【請求項４】
前記第１のホイル型砥石に設けられた研削溝は複数溝あり、
前記ウェーハの面取りは、製造するウェーハの面取り形状に応じて選択した少なくとも１の研削溝により行うことを特徴とする請求項１または２に記載のウェーハ面取り装置。
【請求項５】
前記第１のホイル型砥石に設けられた研削溝は精研削用の研削溝であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１つに記載のウェーハ面取り装置。
【請求項６】
前記第１のホイル型砥石がレジンボンド砥石であり、前記第２のホイル型砥石がメタルボンド砥石であることを特徴とする請求項項１乃至５の何れか１つに記載のウェーハ面取り装置。
【請求項７】
前記第１のホイル型砥石と前記第２のホイル型砥石とを合体させていることを特徴とする請求項１乃至６の何れか１つに記載のウェーハ面取り装置。
【請求項８】
前記第２のホイル型砥石の外周に、粗研削用の研削溝を設けていることを特徴とする請求項１乃至７の何れか１つに記載のウェーハ面取り装置。
【請求項９】
前記第２のホイル型砥石の外周に、粗研削用の研削溝を複数溝設けたことを特徴とする請求項１乃至７の何れか１つに記載のウェーハ面取り装置。
【請求項１０】
前記ツルーイング溝の形状が、製造するウェーハに要求される面取り形状と略相補的な形状をしていることを特徴とする請求項１乃至９の何れか１つに記載のウェーハ面取り装置。
【請求項１１】
回転するドレッサープレートの外周を、回転するホイル型砥石に設けられたツルーイング溝に押圧し、ドレッサープレートを整形する工程と、
回転する整形された前記ドレッサープレートの外周を、前記回転するホイル型砥石と同一または別のホイル型砥石の外周に設けられたウェーハ面取り用の研削溝に押圧し、前記研削溝を整形する工程と、
を含む研削溝整形方法。
【請求項１２】
回転するドレッサープレートの外周を、回転するホイル型砥石に設けられた複数のツルーイング溝のいずれか１つに押圧し、ドレッサープレートを整形する工程と、
回転する整形された前記ドレッサープレートの外周を、前記回転するホイル型砥石と同一または別のホイル型砥石の外周に設けられたウェーハ面取り用の研削溝に押圧し、前記研削溝を整形する工程と、
を含む研削溝整形方法において、
前記複数のツルーイング溝は互いに同一の形状ではなく、
前記ドレッサープレートを整形する工程は、製造するウェーハの面取り形状に応じて選択した１のツルーイング溝により行うことを特徴とする研削溝整形方法。
【請求項１３】
前記ウェーハ面取り用の研削溝は複数溝あり、
前記研削溝を整形する工程は、少なくとも１の研削溝に対して行うことを特徴とする請求項１１または１２に記載の研削溝整形方法。
【請求項１４】
整形された前記ドレッサープレートは複数あり、
前記研削溝を整形する工程は、製造するウェーハの面取り形状に応じて選択した１のドレッサープレートにより行うことを特徴とする請求項１１乃至１３の何れか１つに記載の研削溝整形方法。
【請求項１５】
前記選択した１のツルーイング溝は、前記製造するウェーハの面取り形状と略相補的な形状を有することを特徴とする請求項１２に記載の研削溝整形方法。
【請求項１６】
ウェーハチャックに着脱可能に保持されたウェーハの縁部を、回転中の第１のホイル型砥石に相対的に近づけることにより研削溝に押圧して所定形状に面取りするウェーハ面取り方法であって、
回転するドレッサープレートの外周を、回転する第２のホイル型砥石に設けられたツルーイング溝に相対的に近づけることにより押圧し、前記ドレッサープレートを整形する工程と、
回転中の前記第１のホイル型砥石の外周に設けられた前記研削溝に、回転する前記ドレッサープレートの外周を相対的に近づけることにより押圧して所定形状に前記研削溝を整形する工程と、
を含むウェーハ面取り方法。
【請求項１７】
ウェーハチャックに着脱可能に保持されたウェーハの縁部を、回転中の第１のホイル型砥石に相対的に近づけることにより研削溝に押圧して所定形状に面取りするウェーハ面取り方法であって、
回転するドレッサープレートの外周を、回転する第２のホイル型砥石に設けられた複数のツルーイング溝のいずれか１条に相対的に近づけることにより押圧し、前記ドレッサープレートを整形する工程と、
回転中の前記第１のホイル型砥石の外周に設けられた前記研削溝に、回転する前記ドレッサープレートの外周を相対的に近づけることにより押圧して所定形状に前記研削溝を整形する工程と、を含み
前記複数のツルーイング溝の１の溝形状が他の１の溝形状と異なり、
前記ドレッサープレートを整形する工程は、製造するウェーハの面取り形状に応じて選択した１のツルーイング溝により行うことを特徴とするウェーハ面取り方法。
【請求項１８】
前記第１のホイル型砥石に設けられた研削溝は複数溝あり、
前記ウェーハの面取りは、製造するウェーハの面取り形状に応じて選択した少なくとも１の研削溝により行うことを特徴とする請求項１６または１７に記載のウェーハ面取り方法。
【請求項１９】
整形された前記ドレッサープレートは複数あり、
前記研削溝を整形する工程は、製造するウェーハの面取り形状に応じて選択した１のドレッサープレートにより行うことを特徴とする請求項１６乃至１８の何れか１つに記載のウェーハ面取り方法。
【請求項２０】
前記第１のホイル型砥石の外周に設けられた前記研削溝は精研削用の研削溝であることを特徴とする請求項１６乃至１９の何れか１つに記載のウェーハ面取り方法。
【請求項２１】
前記第２のホイル型砥石の外周に、粗研削用の研削溝を設けていることを特徴とする請求項１６乃至２０の何れか１つに記載のウェーハ面取り方法。
【請求項２２】
前記第２のホイル型砥石の外周に粗研削用の研削溝を複数設け、
前記第１のホイル型砥石に設けられた研削溝によりウェーハの面取りを行う前に、製造するウェーハの面取り形状に応じて選択した少なくとも１つの前記粗研削用の研削溝によりウェーハの面取りを行うことを特徴とする請求項１６乃至２０の何れか１つに記載のウェーハ面取り方法。
【請求項２３】
前記第１のホイル型砥石がレジンボンド砥石であり、前記第２のホイル型砥石がメタルボンド砥石であることを特徴とする請求項１６乃至２２の何れか１つに記載のウェーハ面取り方法。
【請求項２４】
前記第１のホイル型砥石と前記第２のホイル型砥石とを合体させていることを特徴とする請求項１６乃至２３の何れか１つに記載のウェーハ面取り方法。
【請求項２５】
前記選択した１のツルーイング溝は、前記製造するウェーハの面取り形状と略相補的な形状を有することを特徴とする請求項１７に記載のウェーハ面取り方法。
【請求項２６】
ウェーハを保持するウェーハチャックと、
外周に粗研削用溝が設けられたホイル型のメタルボンド砥石と、
外周に精研削用溝が設けられたホイル型のレジンボンド砥石と、
前記ウェーハチャックを前記メタルボンド砥石または前記レジンボンド砥石に対して相対的に移動させる移動手段と、
を有し、前記ウェーハチャックに着脱可能に保持されたウェーハの縁部を、回転中の前記メタルボンド砥石または前記レジンボンド砥石に設けられた前記粗研削用溝または前記精研削用溝に相対的に近づけることにより押圧して所定形状に面取りするウェーハ面取り装置において、
前記メタルボンド砥石と前記レジンボンド砥石とを一体として構成したことを特徴とするウェーハ面取り装置。
【請求項２７】
円環状の研削溝を外周に設けた第１のホイル型砥石と、
前記研削溝を整形するドレッサープレートを整形するためのツルーイング溝を外周に設けた第２のホイル型砥石と、
を合体させていることを特徴とするホイル型砥石。
【請求項２８】
前記第１のホイル型砥石がレジンボンド砥石であり、前記第２のホイル型砥石がメタルボンド砥石であることを特徴とする請求項２７に記載のホイル型砥石。
【請求項２９】
前記ツルーイング溝の形状が、製造するウェーハに要求される面取り形状と略相補的な形状をしていることを特徴とする請求項２７または２８に記載のホイル型砥石。