【手続補正書】
【提出日】平成18年3月8日(2006.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レチクルに形成された所定のパターンを、前記レチクルと被処理体とを同期して走査しつつ投影光学系を介して前記被処理体に露光する露光方法であって、
前記投影光学系による像面位置を、前記走査する方向に関して互いに異なる複数の測定位置において測定する測定ステップと、
前記測定ステップによる測定結果に基づいて、前記投影光学系による像面の傾きを補正する補正ステップとを有し、
前記測定ステップにおいて、前記像面位置は、前記投影光学系を介した光を検出することにより測定されることを特徴とする露光方法。
【請求項２】
前記測定ステップにおいて、前記投影光学系による像面位置を、前記走査する方向と略垂直な方向に関して互いに異なる複数の測定位置において測定することを特徴とする請求項１記載の露光方法。
【請求項３】
前記測定ステップにおいて、前記複数の測定位置は３箇所以上であって、該３箇所以上の測定位置は一直線上に並ばないことを特徴とする請求項１記載の露光方法。
【請求項４】
前記補正ステップは、前記測定ステップによる測定結果に基づいて、前記走査方向に平行な方向に関する前記被処理体の位置を調整することを特徴とする請求項１記載の露光方法。
【請求項５】
前記補正ステップは、前記測定ステップによる測定結果に基づいて、前記走査方向に平行な方向に関する前記投影光学系による像面の傾きを補正することを特徴とする請求項１記載の露光方法。
【請求項６】
前記補正ステップは、前記所定のパターンの前記投影光学系による像面の傾きが低減するように、前記投影光学系を調整することを特徴とする請求項１記載の露光方法。
【請求項７】
前記補正ステップは、前記投影光学系が有する光学素子を、前記投影光学系の光軸方向に駆動する及び／又は前記投影光学系の光軸方向に対して偏心させる及び／又は前記投影光学系の光軸方向に対して傾けることを特徴とする請求項５又は６記載の露光方法。
【請求項８】
前記測定ステップによる測定結果から、前記投影光学系の像面湾曲を算出するステップとを更に有することを特徴とする請求項１記載の露光方法。
【請求項９】
前記複数の測定位置のうちの少なくとも１つが、前記露光を行う際に露光光が照射される領域外にあることを特徴とする請求項１記載の露光方法。
【請求項１０】
前記複数の測定位置のうちの少なくとも１つは、前記露光光が照射される領域の、前記走査方向に関して外側に位置していることを特徴とする請求項９記載の露光方法。
【請求項１１】
前記複数の測定位置は、前記被処理体及び／又は前記被処理体を支持するステージ上に設けられていることを特徴とする請求項１記載の露光方法。
【請求項１２】
レチクルに形成された所定のパターンを、前記レチクルと被処理体とを同期して走査しつつ投影光学系を介して前記被処理体に露光する露光方法であって、
前記投影光学系による像面位置を、前記露光を行う際に露光光が照射される領域外の測定位置を含み互いに異なる複数の測定位置において測定する測定ステップと、
前記測定ステップによる測定結果に基づいて、前記投影光学系による像面の傾きを補正する補正ステップとを有し、
前記測定ステップにおいて、前記像面位置は、前記投影光学系を介した光を検出することにより測定されることを特徴とする露光方法。
【請求項１３】
レチクルに形成された所定のパターンを、前記レチクルと被処理体とを同期して走査しつつ投影光学系を介して前記被処理体に露光する露光装置であって、
前記投影光学系による像面位置を、前記走査する方向に関して互いに異なる複数の測定位置において測定する測定機構と、
前記測定機構による測定結果に基づいて、前記投影光学系による像面の傾きを補正する補整機構とを有し、
前記測定機構は、前記投影光学系を介した光を検出するセンサーを有することを特徴とする露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての露光方法は、レチクルに形成された所定のパターンを、前記レチクルと被処理体とを同期して走査しつつ投影光学系を介して前記被処理体に露光する露光方法であって、前記投影光学系による像面位置を、前記走査する方向に関して互いに異なる複数の測定位置において測定する測定ステップと、前記測定ステップによる測定結果に基づいて、前記投影光学系による像面の傾きを補正する補正ステップとを有し、前記測定ステップにおいて、前記像面位置は、前記投影光学系を介した光を検出することにより測定されることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】削除
【補正の内容】