【手続補正書】
【提出日】平成18年5月29日(2006.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォトレジストレリーフイメージの作成方法であって、
ａ）フォトレジスト組成物の被覆層を基体上に適用し、前記フォトレジスト組成物は光活性成分と、ヘテロ置換炭素環式アリール基を有する樹脂とを含有するものであり、
ｂ）フォトレジスト組成物層を２００ｎｍ未満の波長をもつ活性化放射線に露光させ、露光したフォトレジスト組成物被覆層を現像する
ことを含むフォトレジストレリーフイメージの作成方法。
【請求項２】
フォトレジスト層を約１９３ｎｍの波長をもつ放射線に露光させる請求項１に記載の方法。
【請求項３】
樹脂がヘテロ置換基を有する多環炭素環式アリール基を含有する単位を有しているものである請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
樹脂がヘテロ置換ナフチル基を有するものである請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
樹脂がヘテロ置換基をもつアントラセニル基、アセナフチル基またはフェナントリル基を有するものである請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
樹脂がヒドロキシ部分および／またはチオ部分で置換された炭素環式アリール基を含有する単位を有しているものである請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
樹脂がヒドロキシナフチル基を有する単位を有しているものである請求項１または２に記載の方法。
【請求項８】
ポリマーがフォト酸レイビル基を有するものである請求項１から７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
フォト酸レイビル基がエステル基またはアセタール基である請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
樹脂が重合されたアクリレート単位を有しているものである請求項１から９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
重合されたアクリレート単位がフォト酸レイビルエステル基を有するものである請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
樹脂がコポリマーである請求項１から１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１３】
樹脂がターポリマー、テトラポリマーまたはペンタポリマーである請求項１から１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
フォトレジスト層がオキシ窒化ケイ素または窒化ケイ素の層の上に存在するものである請求項１から１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
フォトレジスト組成物が化学増幅型ポジティブ作用性フォトレジストである請求項１から１４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１６】
フォトレジストがネガティブ作用性組成物である請求項１から７または１２から１４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１７】
光活性成分と、ヘテロ置換炭素環式アリール基を有する樹脂であって該ヘテロ置換炭素環式アリール基以外の芳香族基を実質的に有していない樹脂とを含有しているフォトレジスト組成物。
【請求項１８】
樹脂が該樹脂の全単位を基準としてヘテロ置換炭素環式アリール基含有単位を最大で約５０モル％含有するものである請求項１７に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項１９】
樹脂が該樹脂の全単位を基準としてヘテロ置換炭素環式アリール基含有単位を最大で約４０モル％含有するものである請求項１７に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項２０】
樹脂が該樹脂の全単位を基準としてヘテロ置換炭素環式アリール基含有単位を最大で約３０モル％含有するものである請求項１７に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項２１】
樹脂が該樹脂の全単位を基準としてヘテロ置換炭素環式アリール基含有単位を最大で約２０モル％含有するものである請求項１７に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項２２】
置換炭素環式アリール基が置換ナフチル基である請求項１７から２１のいずれか一項に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項２３】
置換炭素環式アリール基がヒドロキシナフチル基である請求項１７から２１のいずれか一項に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項２４】
ポリマーがフォト酸レイビル基を有するものである請求項１７から２３のいずれか一項に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項２５】
フォト酸レイビル基がエステル基またはアセタール基である請求項２４に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項２６】
樹脂が重合されたアクリレート単位を有しているものである請求項１７から２５のいずれか一項に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項２７】
重合されたアクリレート単位がフォト酸レイビルエステル基を含有するものである請求項２６に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項２８】
樹脂がコポリマーである請求項１７から２７のいずれか一項に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項２９】
樹脂がターポリマー、テトラポリマーまたはペンタポリマーである請求項１７から２７のいずれか一項に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項３０】
フォトレジストが化学増幅型ポジティブ作用性レジストである請求項１７から２９のいずれか一項に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項３１】
フォトレジストがネガティブ作用性レジストである請求項１５から２３または２８から２９のいずれか一項に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項３２】
光活性成分と、ヒドロキシナフチル基含有単位を有する樹脂とを含有しているフォトレジスト組成物。
【請求項３３】
樹脂が該樹脂の全単位を基準としてヒドロキシナフチル基含有単位を最大で約５０モル％含有するものである請求項３２に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項３４】
樹脂が該樹脂の全単位を基準としてヒドロキシナフチル基含有単位を最大で約４０モル％含有するものである請求項３２に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項３５】
樹脂が該樹脂の全単位を基準としてヒドロキシナフチル基含有単位を最大で約３０モル％含有するものである請求項３２に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項３６】
樹脂が該樹脂の全単位を基準としてヒドロキシナフチル基含有単位を最大で約２０モル％含有するものである請求項３２に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項３７】
樹脂がフォト酸レイビル基を有するものである請求項３２から３６のいずれか一項に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項３８】
フォト酸レイビル基がエステル基またはアセタール基である請求項３７に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項３９】
ポリマーが重合されたアクリレート単位を有しているものである請求項３２から３８のいずれか一項に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項４０】
重合されたアクリレート単位がフォト酸レイビルエステル基を含有するものである請求項３９に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項４１】
樹脂がコポリマーである請求項３２から４０のいずれか一項に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項４２】
樹脂がターポリマー、テトラポリマーまたはペンタポリマーである請求項３２から４０のいずれか一項に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項４３】
フォトレジストが化学増幅型ポジティブ作用性レジストである請求項３２から４２のいずれか一項に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項４４】
フォトレジストがネガティブ作用性作用性レジストである請求項３２から３６または４１から４２のいずれか一項に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項４５】
オキシ窒化ケイ素または窒化ケイ素層と、該オキシ窒化ケイ素または窒化ケイ素層上の請求項１７から４４のいずれか一項に記載のフォトレジスト組成物の被覆層とを有しているマイクロエレクトロニックデバイス基体。
【請求項４６】
請求項１７から４４のいずれか一項に記載のフォトレジストの被覆層をその上に有する基体を含む製造物品。
【請求項４７】
基体がマイクロエレクトロニックウェハー基体である請求項４６に記載の製造物品。
【請求項４８】
ヘテロ置換炭素環式アリール基を有するポリマーであって、該ヘテロ置換炭素環式アリール基以外の芳香族基を実質的に含有していないポリマー。
【請求項４９】
ポリマーが樹脂の全単位を基準としてヘテロ置換炭素環式アリール基含有単位を最大で約５０モル％含有するものである請求項４８に記載のポリマー。
【請求項５０】
ポリマーが樹脂の全単位を基準としてヘテロ置換炭素環式アリール基含有単位を最大で約４０モル％含有するものである請求項４８に記載のポリマー。
【請求項５１】
ポリマーが樹脂の全単位を基準としてヘテロ置換炭素環式アリール基含有単位を最大で約３０モル％含有するものである請求項４８に記載のポリマー。
【請求項５２】
樹脂が樹脂の全単位を基準としてヘテロ置換炭素環式アリール基含有単位を最大で約２０モル％含有するものである請求項４８に記載のポリマー。
【請求項５３】
置換炭素環式アリール基が置換ナフチル基である請求項４８から５２のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項５４】
置換炭素環式アリール基がヒドロキシナフチル基である請求項４８から５２のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項５５】
ポリマーがフォト酸レイビル基を有するものである請求項４８から５４のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項５６】
フォト酸レイビル基がエステル基またはアセタール基である請求項５５に記載のポリマー。
【請求項５７】
ポリマーが重合されたアクリレート単位を有しているものである請求項４８から５６のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項５８】
重合されたアクリレート単位がフォト酸レイビルエステル基を有するものである請求項５７に記載のポリマー。
【請求項５９】
ポリマーがコポリマーである請求項４８から５８のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項６０】
ポリマーがターポリマー、テトラポリマーまたはペンタポリマーである請求項４８から５８のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項６１】
ヒドロキシナフチル基含有単位を有するポリマー。
【請求項６２】
さらに、重合されたノルボレン基を有するものである請求項６１に記載のポリマー。
【請求項６３】
さらにフォト酸レイビル基を有するものである請求項６１または６２に記載のポリマー。
【請求項６４】
ポリマーが樹脂の全単位を基準としてヒドロキシナフチル基含有単位を最大で約５０モル％含有するものである請求項６１から６３のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項６５】
ポリマーが樹脂の全単位を基準としてヒドロキシナフチル基含有単位を最大で約４０モル％含有するものである請求項６１から６３のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項６６】
ポリマーが樹脂の全単位を基準としてヒドロキシナフチル基含有単位を最大で約３０モル％含有するものである請求項６１から６３のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項６７】
樹脂が樹脂の全単位を基準としてヒドロキシナフチル基含有単位を最大で約２０モル％含有するものである請求項４８に記載のポリマー。