【手続補正書】
【提出日】平成18年6月5日(2006.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  略円筒状である結晶インゴットの保持手段と、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源及び所定の広がりを持った回折Ｘ線を前記測定平面に非対称な検出開口で部分的に検出する検出器を備えた測定部と、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを前記ω軸の周りにω回転させるω回転機構と、前記検出器のピーク出力の大きさを用いて検出された結晶面の法線の前記ω軸方向への倒れ角を求めるデータ処理部とを有することを特徴とする結晶方位測定装置。
【請求項２】  略円筒状である結晶インゴットの保持手段と、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源及び所定の広がりを持った回折Ｘ線をそれぞれ部分的に検出する前記ω軸方向に並設された複数の検出器を備えた測定部と、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを前記ω軸の周りにω回転させるω回転機構と、前記複数の検出器のピーク出力の大きさを比較して検出された結晶面の法線の前記ω軸方向への倒れ角を求めるデータ処理部とを有することを特徴とする結晶方位測定装置。
【請求項３】  略円筒状である結晶インゴットの保持手段と、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源及び所定の広がりを持った回折Ｘ線を前記ω軸方向に移動することで部分的に検出する検出器を備えた測定部と、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを前記ω軸の周りにω回転させるω回転機構と、前記検出器のピーク出力を与える移動位置を用いて検出された結晶面の法線の前記ω軸方向への倒れ角を求めるデータ処理部とを有することを特徴とする結晶方位測定装置。
【請求項４】  略円筒状である結晶インゴットの保持手段と、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源、略前記測定平面上に配置された回折Ｘ線の検出器及びこの検出器の前面を前記ω軸方向に移動することで所定の広がりを持った回折Ｘ線を部分的に通過させるコリメータを備えた測定部と、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを前記ω軸の周りにω回転させるω回転機構と、前記検出器のピーク出力を与える前記コリメータの移動位置を用いて検出された結晶面の法線の前記ω軸方向への倒れ角を求めるデータ処理部とを有することを特徴とする結晶方位測定装置。
【請求項５】  前記データ処理部は、前記ω回転の複数の位置でそれぞれ求めた前記倒れ角を用いて前記ω軸に略平行な別の結晶面法線ｈ0 の前記ω軸に対する傾斜方向を求める機能を持つことを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の結晶方位測定装置。
【請求項６】  請求項１乃至４の何れかに記載の結晶方位測定装置により、前記ω回転の複数の位置で検出された結晶面についてそれぞれ前記倒れ角を求める第１の段階と、この倒れ角より前記ω軸に略平行な別の結晶面法線ｈ0 の前記ω軸に対する傾斜方位を求める第２の段階と、この傾斜方位を基に前記検出された結晶面を選択して前記結晶インゴットの周方向基準の加工方位を決める第３の段階とを有することを特徴とする結晶方位測定方法。
【請求項７】  略円筒状である結晶インゴットを保持し、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源及び所定の広がりを持った回折Ｘ線を前記測定平面に非対称な検出開口で部分的に検出する検出器を備えた測定部を用い、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを略前記ω軸の周りにω回転させながら前記測定平面に沿って前記Ｘ線を放射し、前記検出器のピーク出力を与える回転位置から検出された結晶面の法線の方位を求める第１の段階と、一周の前記ω回転の間の複数の結晶面に対応する各ピーク出力の大きさを互いに比較して前記検出された結晶面を選択し、前記結晶インゴットの周方向基準の加工方位を決める第２の段階とを有することを特徴とする結晶方位測定方法。
【請求項８】  略円筒状である結晶インゴットを保持し、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源及び所定の広がりを持った回折Ｘ線をそれぞれ部分的に検出する前記ω軸方向に並設された複数の検出器を備えた測定部を用い、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを略前記ω軸の周りにω回転させながら前記測定平面に沿って前記Ｘ線を放射し、前記複数の検出器のピーク出力を与える回転位置から検出された結晶面の法線の方位を求める第１の段階と、一周の前記ω回転の間の各検出器の複数の結晶面に対応する各ピーク出力の大きさを互いに比較して前記検出された結晶面を選択し、前記結晶インゴットの周方向基準の加工方位を決める第２の段階とを有することを特徴とする結晶方位測定方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１記載の結晶方位測定装置は、略円筒状である結晶インゴットの保持手段と、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源及び所定の広がりを持った回折Ｘ線を前記測定平面に非対称な検出開口で部分的に検出する検出器を備えた測定部と、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを前記ω軸の周りにω回転させるω回転機構と、前記検出器のピーク出力の大きさを用いて検出された結晶面の法線の前記ω軸方向への倒れ角を求めるデータ処理部とを有することを要旨とする。この構成により、側面測定により、所定の広がりを持った回折Ｘ線が測定平面に非対称な検出開口を持つ検出器で部分的に検出され、結晶インゴットをω軸に対し回転させたときのこの検出器のピーク出力の大きさにより、側面に略直交する複数の結晶面法線のω軸方向への倒れ角を求めることができて（オフカットの場合でも）周方向基準を決定することが可能となる。次いで、このように、側面に略直交する複数の結晶面法線のω軸方向への倒れ角が求められることで、これらの結晶面法線と位置関係が既知である略ω軸方向の結晶面法線のω軸からの傾斜方向を求めることができて、これを基にスライス面を決定することが可能となる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項２記載の結晶方位測定装置は、略円筒状である結晶インゴットの保持手段と、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源及び所定の広がりを持った回折Ｘ線をそれぞれ部分的に検出する前記ω軸方向に並設された複数の検出器を備えた測定部と、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを前記ω軸の周りにω回転させるω回転機構と、前記複数の検出器のピーク出力の大きさを比較して検出された結晶面の法線の前記ω軸方向への倒れ角を求めるデータ処理部とを有することを要旨とする。この構成により、側面測定により、所定の広がりを持った回折Ｘ線がω軸方向に並設された複数の検出器でそれぞれ部分的に検出され、結晶インゴットをω軸に対し回転させたときのこの複数の検出器のピーク出力の大きさを比較することにより、側面に略直交する複数の結晶面法線のω軸方向への倒れ角を求めることができて（オフカットの場合でも）周方向基準を決定することが可能となる。次いで、このように、側面に略直交する複数の結晶面法線のω軸方向への倒れ角が求められることで、これらの結晶面法線と位置関係が既知である略ω軸方向の結晶面法線のω軸からの傾斜方向を求めることができて、これを基にスライス面を決定することが可能となる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項３記載の結晶方位測定装置は、略円筒状である結晶インゴットの保持手段と、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源及び所定の広がりを持った回折Ｘ線を前記ω軸方向に移動することで部分的に検出する検出器を備えた測定部と、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを前記ω軸の周りにω回転させるω回転機構と、前記検出器のピーク出力を与える移動位置を用いて検出された結晶面の法線の前記ω軸方向への倒れ角を求めるデータ処理部とを有することを要旨とする。この構成により、側面測定により、所定の広がりを持った回折Ｘ線がω軸方向に移動可能な検出器で部分的に検出され、結晶インゴットをω軸に対し回転させたときのこの検出器のピーク出力を与える移動位置を用いることにより、側面に略直交する複数の結晶面法線のω軸方向への倒れ角を求めることができて（オフカットの場合でも）周方向基準を決定することが可能となる。次いで、このように、側面に略直交する複数の結晶面法線のω軸方向への倒れ角が求められることで、これらの結晶面法線と位置関係が既知である略ω軸方向の結晶面法線のω軸からの傾斜方向を求めることができて、これを基にスライス面を決定することが可能となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項４記載の結晶方位測定装置は、略円筒状である結晶インゴットの保持手段と、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源、略前記測定平面上に配置された回折Ｘ線の検出器及びこの検出器の前面を前記ω軸方向に移動することで所定の広がりを持った回折Ｘ線を部分的に通過させるコリメータを備えた測定部と、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを前記ω軸の周りにω回転させるω回転機構と、前記検出器のピーク出力を与える前記コリメータの移動位置を用いて検出された結晶面の法線の前記ω軸方向への倒れ角を求めるデータ処理部とを有することを要旨とする。この構成により、側面測定により、所定の広がりを持った回折Ｘ線がω軸方向に移動可能なコリメータを部分的に通過して検出器で検出され、結晶インゴットをω軸に対し回転させたときの検出器のピーク出力を与えるコリメータの移動位置を用いることにより、側面に略直交する複数の結晶面法線のω軸方向への倒れ角を求めることができて（オフカットの場合でも）周方向基準を決定することが可能となる。次いで、このように、側面に略直交する複数の結晶面法線のω軸方向への倒れ角が求められることで、これらの結晶面法線と位置関係が既知である略ω軸方向の結晶面法線のω軸からの傾斜方向を求めることができて、これを基にスライス面を決定することが可能となる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項５記載の結晶方位測定装置は、上記請求項１乃至４の何れかに記載の結晶方位測定装置において、前記データ処理部は、前記ω回転の複数の位置でそれぞれ求めた前記倒れ角を用いて前記ω軸に略平行な別の結晶面法線ｈ0 の前記ω軸に対する傾斜方向を求める機能を持つことを要旨とする。この構成により、データ処理部は、側面に略直交する複数の結晶面法線に対し位置関係が既知であるω軸に略平行な別の結晶面法線ｈ0 のω軸に対する傾斜方向を求め、これを基にスライス面を決定する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項６記載の結晶方位測定方法は、上記請求項１乃至４の何れかに記載の結晶方位測定装置により、前記ω回転の複数の位置で検出された結晶面についてそれぞれ前記倒れ角を求める第１の段階と、この倒れ角より前記ω軸に略平行な別の結晶面法線ｈ0 の前記ω軸に対する傾斜方位を求める第２の段階と、この傾斜方位を基に前記検出された結晶面を選択して前記結晶インゴットの周方向基準の加工方位を決める第３の段階とを有することを要旨とする。この構成により、側面に略直交する複数の結晶面法線に対し位置関係が既知であるω軸に略平行な別の結晶面法線ｈ0 のω軸に対する傾斜方位を求め、この傾斜方位を基に所定の結晶面を選択し、この選択された結晶面法線より周方向基準を決定する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項７記載の結晶方位測定方法は、略円筒状である結晶インゴットを保持し、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源及び所定の広がりを持った回折Ｘ線を前記測定平面に非対称な検出開口で部分的に検出する検出器を備えた測定部を用い、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを略前記ω軸の周りにω回転させながら前記測定平面に沿って前記Ｘ線を放射し、前記検出器のピーク出力を与える回転位置から検出された結晶面の法線の方位を求める第１の段階と、一周の前記ω回転の間の複数の結晶面に対応する各ピーク出力の大きさを互いに比較して前記検出された結晶面を選択し、前記結晶インゴットの周方向基準の加工方位を決める第２の段階とを有することを要旨とする。この構成により、結晶インゴットをω軸の周りにω回転させながら、所定の広がりを持った回折Ｘ線のピーク出力を測定平面に非対称な検出開口を持つ検出器で検出し、一周のω回転の間の検出された各ピーク出力の大きさを互いに比較することで所定の結晶面を選択し、この選択された結晶面法線より周方向基準を決定する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項８記載の結晶方位測定方法は、略円筒状である結晶インゴットを保持し、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源及び所定の広がりを持った回折Ｘ線をそれぞれ部分的に検出する前記ω軸方向に並設された複数の検出器を備えた測定部を用い、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを略前記ω軸の周りにω回転させながら前記測定平面に沿って前記Ｘ線を放射し、前記複数の検出器のピーク出力を与える回転位置から検出された結晶面の法線の方位を求める第１の段階と、一周の前記ω回転の間の各検出器の複数の結晶面に対応する各ピーク出力の大きさを互いに比較して前記検出された結晶面を選択し、前記結晶インゴットの周方向基準の加工方位を決める第２の段階とを有することを要旨とする。
この構成により、結晶インゴットをω軸の周りにω回転させながら、所定の広がりを持った回折Ｘ線のピーク出力をω軸方向に並設された複数の検出器でそれぞれ部分的に検出し、一周のω回転の間の複数の検出器の各ピーク出力の大きさを互いに比較することで所定の結晶面を選択し、この選択された結晶面法線より周方向基準を決定する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１記載の結晶方位測定装置によれば、略円筒状である結晶インゴットの保持手段と、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源及び所定の広がりを持った回折Ｘ線を前記測定平面に非対称な検出開口で部分的に検出する検出器を備えた測定部と、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを前記ω軸の周りにω回転させるω回転機構と、前記検出器のピーク出力の大きさを用いて検出された結晶面の法線の前記ω軸方向への倒れ角を求めるデータ処理部とを具備させたため、側面測定により、所定の広がりを持った回折Ｘ線を測定平面に非対称な検出開口を持つ検出器で部分的に検出し、結晶インゴットをω軸に対し回転させたときのこの検出器のピーク出力の大きさにより、側面に略直交する複数の結晶面法線のω軸方向への倒れ角を求めることができてオフカットの場合でも周方向基準を決定することができる。次いで、このように、側面に略直交する複数の結晶面法線のω軸方向への倒れ角が求められることで、これらの結晶面法線と位置関係が既知である略ω軸方向の結晶面法線のω軸からの傾斜方向を求めることができて、これを基にスライス面を決定することができる。したがって、スライス面方向の結晶面と側面方向の測定する結晶面とが直交していない一般的な結晶インゴットに対し、測定部の回転及び方向転換を行わずに、側面測定により周方向基準を決定することができ、さらにスライス面の決定もすることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
請求項２記載の結晶方位測定装置によれば、略円筒状である結晶インゴットの保持手段と、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源及び所定の広がりを持った回折Ｘ線をそれぞれ部分的に検出する前記ω軸方向に並設された複数の検出器を備えた測定部と、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを前記ω軸の周りにω回転させるω回転機構と、前記複数の検出器のピーク出力の大きさを比較して検出された結晶面の法線の前記ω軸方向への倒れ角を求めるデータ処理部とを具備させたため、側面測定により、所定の広がりを持った回折Ｘ線をω軸方向に並設した複数の検出器でそれぞれ部分的に検出し、結晶インゴットをω軸に対し回転させたときのこの複数の検出器のピーク出力の大きさを比較することにより、側面に略直交する複数の結晶面法線のω軸方向への倒れ角を求めることができてオフカットの場合でも周方向基準を決定することができる。次いで、このように、側面に略直交する複数の結晶面法線のω軸方向への倒れ角が求められることで、これらの結晶面法線と位置関係が既知である略ω軸方向の結晶面法線のω軸からの傾斜方向を求めることができて、これを基にスライス面を決定することができる。したがって、スライス面方向の結晶面と側面方向の測定する結晶面とが直交していない一般的な結晶インゴットに対し、測定部の回転及び方向転換を行わずに、側面測定により周方向基準を決定することができ、さらにスライス面の決定もすることができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
請求項３記載の結晶方位測定装置によれば、略円筒状である結晶インゴットの保持手段と、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源及び所定の広がりを持った回折Ｘ線を前記ω軸方向に移動することで部分的に検出する検出器を備えた測定部と、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを前記ω軸の周りにω回転させるω回転機構と、前記検出器のピーク出力を与える移動位置を用いて検出された結晶面の法線の前記ω軸方向への倒れ角を求めるデータ処理部とを具備させたため、側面測定により、所定の広がりを持った回折Ｘ線をω軸方向に移動可能な検出器で部分的に検出し、結晶インゴットをω軸に対し回転させたときのこの検出器のピーク出力を与える移動位置を用いることにより、側面に略直交する複数の結晶面法線のω軸方向への倒れ角を求めることができてオフカットの場合でも周方向基準を決定することができる。次いで、このように、側面に略直交する複数の結晶面法線のω軸方向への倒れ角が求められることで、これらの結晶面法線と位置関係が既知である略ω軸方向の結晶面法線のω軸からの傾斜方向を求めることができて、これを基にスライス面を決定することができる。したがって、スライス面方向の結晶面と側面方向の測定する結晶面とが直交していない一般的な結晶インゴットに対し、測定部の回転及び方向転換を行わずに、側面測定により周方向基準を決定することができ、さらにスライス面の決定もすることができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
請求項４記載の結晶方位測定装置によれば、略円筒状である結晶インゴットの保持手段と、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源、略前記測定平面上に配置された回折Ｘ線の検出器及びこの検出器の前面を前記ω軸方向に移動することで所定の広がりを持った回折Ｘ線を部分的に通過させるコリメータを備えた測定部と、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを前記ω軸の周りにω回転させるω回転機構と、前記検出器のピーク出力を与える前記コリメータの移動位置を用いて検出された結晶面の法線の前記ω軸方向への倒れ角を求めるデータ処理部とを具備させたため、側面測定により、所定の広がりを持った回折Ｘ線をω軸方向に移動可能としたコリメータを部分的に通過させて検出器で検出し、結晶インゴットをω軸に対し回転させたときの検出器のピーク出力を与えるコリメータの移動位置を用いることにより、側面に略直交する複数の結晶面法線のω軸方向への倒れ角を求めることができてオフカットの場合でも周方向基準を決定することができる。次いで、このように、側面に略直交する複数の結晶面法線のω軸方向への倒れ角が求められることで、これらの結晶面法線と位置関係が既知である略ω軸方向の結晶面法線のω軸からの傾斜方向を求めることができて、これを基にスライス面を決定することができる。したがって、スライス面方向の結晶面と側面方向の測定する結晶面とが直交していない一般的な結晶インゴットに対し、測定部の回転及び方向転換を行わずに、側面測定により周方向基準を決定することができ、さらにスライス面の決定もすることができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
請求項５記載の結晶方位測定装置によれば、前記データ処理部は、前記ω回転の複数の位置でそれぞれ求めた前記倒れ角を用いて前記ω軸に略平行な別の結晶面法線ｈ0 の前記ω軸に対する傾斜方向を求める機能を持つようにしたため、データ処理部は、側面に略直交する複数の結晶面法線に対し位置関係が既知であるω軸に略平行な別の結晶面法線ｈ0 のω軸に対する傾斜方向を求め、これを基にスライス面を決定する。したがって、スライス面方向の結晶面と側面方向の測定する結晶面とが直交していない一般的な結晶インゴットに対し、測定部の回転及び方向転換を行わずに、側面測定により周方向基準とスライス面の両方を確実に決定することができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
請求項６記載の結晶方位測定方法によれば、上記請求項１乃至４の何れかに記載の結晶方位測定装置により、前記ω回転の複数の位置で検出された結晶面についてそれぞれ前記倒れ角を求める第１の段階と、この倒れ角より前記ω軸に略平行な別の結晶面法線ｈ0 の前記ω軸に対する傾斜方位を求める第２の段階と、この傾斜方位を基に前記検出された結晶面を選択して前記結晶インゴットの周方向基準の加工方位を決める第３の段階とを具備させたため、スライス面方向の結晶面と側面方向の測定する結晶面とが直交していない一般的な結晶インゴットに対し、測定部の回転及び方向転換を行わずに、側面測定によりオフカットの場合でも周方向基準を確実に決定することができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
請求項７記載の結晶方位測定方法によれば、略円筒状である結晶インゴットを保持し、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源及び所定の広がりを持った回折Ｘ線を前記測定平面に非対称な検出開口で部分的に検出する検出器を備えた測定部を用い、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを略前記ω軸の周りにω回転させながら前記測定平面に沿って前記Ｘ線を放射し、前記検出器のピーク出力を与える回転位置から検出された結晶面の法線の方位を求める第１の段階と、一周の前記ω回転の間の複数の結晶面に対応する各ピーク出力の大きさを互いに比較して前記検出された結晶面を選択し、前記結晶インゴットの周方向基準の加工方位を決める第２の段階とを具備させたため、スライス面方向の結晶面と側面方向の測定する結晶面とが直交していない一般的な結晶インゴットに対し、測定部の回転及び方向転換を行わずに、側面測定によりオフカットの場合でも周方向基準を決定することができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
請求項８記載の結晶方位測定方法によれば、略円筒状である結晶インゴットを保持し、前記結晶インゴットの軸であるω軸に垂直な測定平面内で当該結晶インゴットの側面の略１点に向けてＸ線を放射するＸ線源及び所定の広がりを持った回折Ｘ線をそれぞれ部分的に検出する前記ω軸方向に並設された複数の検出器を備えた測定部を用い、この測定部又は前記結晶インゴットの何れかを略前記ω軸の周りにω回転させながら前記測定平面に沿って前記Ｘ線を放射し、前記複数の検出器のピーク出力を与える回転位置から検出された結晶面の法線の方位を求める第１の段階と、一周の前記ω回転の間の各検出器の複数の結晶面に対応する各ピーク出力の大きさを互いに比較して前記検出された結晶面を選択し、前記結晶インゴットの周方向基準の加工方位を決める第２の段階とを具備させたため、上記請求項７記載の発明の効果と同様の効果がある。