【手続補正書】
【提出日】平成18年7月27日(2006.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  サブプレートに保持されノズル形成面を上向きにした機能液滴吐出ヘッドを、前記サブプレートを介して上下反転させたサブキャリッジに吊下するように仮装着したヘッドユニットに対し、前記機能液滴吐出ヘッドを前記サブキャリッジに位置決めした状態で固定するヘッドユニットの組立方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識するヘッド認識工程と、
前記ヘッド認識工程における認識結果に基づいて、前記サブキャリッジに対し前記サブプレートを介して前記機能液滴吐出ヘッドを位置決めするヘッド位置決め工程と、
前記ヘッド位置決め工程の後、前記サブプレートを前記サブキャリッジに仮固定する仮固定工程と、
前記仮固定工程の後、前記機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する仮固定後確認工程と、を備えたことを特徴とするヘッドユニットの組立方法。
【請求項２】  前記ヘッド認識工程に先立ち、
前記サブキャリッジの位置を画像認識するキャリッジ認識工程と、
前記キャリッジ認識工程における認識結果に基づいて、前記サブキャリッジを位置決めするキャリッジ位置決め工程と、を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載のヘッドユニットの組立方法。
【請求項３】  前記仮固定後確認工程における認識結果に基づいて、本固定を行うか否かを決定する判別工程と、
前記判別工程により本固定を行うことを決定された場合に、前記サブプレートを前記サブキャリッジに本固定する本固定工程と、を更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のヘッドユニットの組立方法。
【請求項４】  前記本固定工程の後、前記機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する本固定後確認工程、を更に備えたことを特徴とする請求項１、２または３に記載のヘッドユニットの組立方法。
【請求項５】  前記ヘッド位置決め工程は、
前記機能液滴吐出ヘッドを位置決めした後、前記機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する仮固定前確認工程を有していることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のヘッドユニットの組立方法。
【請求項６】  前記ヘッド位置決め工程は、
前記仮固定前確認工程の認識結果において、前記機能液滴吐出ヘッドの目標位置とアライメント位置とが異なる場合に、前記機能液滴吐出ヘッドの位置を補正する位置補正工程を、更に有していることを特徴とする請求項５に記載のヘッドユニットの組立方法。
【請求項７】  前記仮固定工程は、接着剤により前記サブプレートを前記サブキャリッジに接着することで行われることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のヘッドユニットの組立方法。
【請求項８】  前記サブキャリッジの位置および前記サブキャリッジに搭載された前記機能液滴吐出ヘッドの位置をパターン形成したアライメントマスクが用意されており、
前記サブキャリッジの位置決めおよび前記機能液滴吐出ヘッドの位置決めは、前記アライメントマスクからそれぞれ取得した前記サブキャリッジの位置および前記機能液滴吐出ヘッドの位置を目標位置として、為されることを特徴とする請求項２ないし７のいずれかに記載のヘッドユニットの組立方法。
【請求項９】  サブプレートに保持された機能液滴吐出ヘッドのこれが搭載されるサブキャリッジへの固定に先立ち、前記サブプレートを介して前記サブキャリッジに仮装着した前記機能液滴吐出ヘッドを前記サブキャリッジに位置決めする機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置であって、
前記サブプレートに相互に離間して形成した２つの係合孔に係合する一対の係合アームと、前記サブキャリッジに対し前記一対の係合アームをＸ・Ｙ・θ軸方向に相対的に微少移動させるＸ・Ｙ・θ軸テーブルとを備え、
前記各係合アームは、先端部が前記各係合孔に挿入される係合ピンと、前記係合ピンを軸方向にスライド自在に且つ軸廻りに回転不能に保持するピンホルダとを有することを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項１０】  前記サブプレートの２つの係合孔は、一方が円形に形成され、他方が長円形に形成されていることを特徴とする請求項９に記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項１１】  前記ピンホルダには、前記係合ピンとの間にボールスプラインが介設されていることを特徴とする請求項９または１０に記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項１２】  前記ピンホルダに対し前記係合ピンは、軸方向に離間して２個所で保持されており、
前記ボールスプラインは、前記２個所に介設されていることを特徴とする請求項１１に記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項１３】  前記係合ピンの先端部は、先端側を前記係合孔より細径とし基端側を前記係合孔より太径とするテーパー形状に形成されていることを特徴とする請求項９ないし１２のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項１４】  前記係合ピンの先端部は、鋭角となるテーパー形状に形成されていることを特徴とする請求項１３に記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項１５】  前記係合ピンを突出方向に付勢する付勢手段を、更に備えたことを特徴とする請求項９ないし１４のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項１６】  前記サブプレートを介して前記機能液滴吐出ヘッドを位置決めした後、前記係合ピンを介して前記サブプレートを前記サブキャリッジに押圧する押圧手段を、更に備えたことを特徴とする請求項９ないし１５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項１７】  前記サブキャリッジに形成した複数の小穴を介して、前記サブプレートをエアー浮上させる圧縮エアー供給手段を、更に備えたことを特徴とする請求項９ないし１６のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項１８】  請求項９ないし１７のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置を備え、
前記サブプレート、前記機能液滴吐出ヘッドおよび前記サブキャリッジから成るヘッドユニットを組み立てることを特徴とするヘッドユニットの組立装置。
【請求項１９】  請求項１８に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、カラーフィルタの基板上に多数のフィルタエレメントを形成する液晶表示装置の製造方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材料を選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２０】  請求項１８に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上の多数の絵素ピクセルにそれぞれＥＬ発光層を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を選択的に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項２１】  請求項１８に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、電極上に多数の蛍光体を形成する電子放出装置の製造方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記電極に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を選択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特徴とする電子放出装置の製造方法。
【請求項２２】  請求項１８に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成するＰＤＰ装置の製造方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記背面基板に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を選択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特徴とするＰＤＰ装置の製造方法。
【請求項２３】  請求項１８に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、電極上の多数の凹部に泳動体を形成する電気泳動表示装置の製造方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記電極に対し相対的に走査し、前記泳動体材料を選択的に吐出して多数の前記泳動体を形成することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項２４】  請求項１８に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上に多数のフィルタエレメントを配列して成るカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材料を選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２５】  前記多数のフィルタエレメントおよびバンクを被覆するオーバーコート膜が形成されており、
前記フィルタエレメントを形成した後に、
前記機能液滴吐出ヘッドに透光性のコーティング材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記コーティング材料を選択的に吐出して前記オーバーコート膜を形成することを特徴とする請求項２４に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項２６】  請求項１８に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、ＥＬ発光層を含む多数の複数の絵素ピクセルを基板上に配列して成る有機ＥＬの製造方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を選択的に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成することを特徴とする有機ＥＬの製造方法。
【請求項２７】  前記多数のＥＬ発光層と前記基板との間には、前記ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形成されており、
前記機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材料を選択的に吐出して多数の前記画素電極を形成することを特徴とする請求項２６に記載の有機ＥＬの製造方法。
【請求項２８】  前記多数のＥＬ発光層およびバンクを覆うように対向電極が形成されており、
前記ＥＬ発光層を形成した後に、
前記機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材料を選択的に吐出して前記対向電極を形成することを特徴とする請求項２７に記載の有機ＥＬの製造方法。
【請求項２９】  請求項１８に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するスペーサ形成方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドにスペーサを構成する粒子材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記粒子材料を選択的に吐出して少なくとも一方の前記基板上に前記スペーサを形成することを特徴とするスペーサ形成方法。
【請求項３０】  請求項１８に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上に金属配線を形成する金属配線形成方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状金属材料を選択的に吐出して前記金属配線を形成することを特徴とする金属配線形成方法。
【請求項３１】  請求項１８に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上に多数のマイクロレンズを形成するレンズ形成方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドにレンズ材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記レンズ材料を選択的に吐出して多数の前記マイクロレンズを形成することを特徴とするレンズ形成方法。
【請求項３２】  請求項１８に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上に任意形状のレジストを形成するレジスト形成方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドにレジスト材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記レジスト材料を選択的に吐出して前記レジストを形成することを特徴とするレジスト形成方法。
【請求項３３】  請求項１８に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上に多数の光拡散体を形成する光拡散体形成方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記光拡散材料を選択的に吐出して多数の前記光拡散体を形成することを特徴とする光拡散体形成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明のヘッドユニットの組立方法は、サブプレートに保持されノズル形成面を上向きにした機能液滴吐出ヘッドを、サブプレートを介して上下反転させたサブキャリッジに吊下するように仮装着したヘッドユニットに対し、機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに位置決めした状態で固定するヘッドユニットの組立方法であって、機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識するヘッド認識工程と、ヘッド認識工程における認識結果に基づいて、サブキャリッジに対しサブプレートを介して機能液滴吐出ヘッドを位置決めするヘッド位置決め工程と、ヘッド位置決め工程の後、サブプレートをサブキャリッジに仮固定する仮固定工程と、仮固定工程の後、機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する仮固定後確認工程と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
これらの場合、本固定工程の後、機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する本固定後確認工程、を更に備えることが、好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
これらの場合、ヘッド位置決め工程は、機能液滴吐出ヘッドを位置決めした後、機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する仮固定前確認工程を有していることが、好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、上記した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上に多数のフィルタエレメントを配列して成るカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、フィルタ材料を選択的に吐出して多数のフィルタエレメントを形成することを特徴とする。
この場合、多数のフィルタエレメントおよびバンクを被覆するオーバーコート膜が形成されており、フィルタエレメントを形成した後に、機能液滴吐出ヘッドに透光性のコーティング材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、コーティング材料を選択的に吐出してオーバーコート膜を形成することが、好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
本発明の有機ＥＬの製造方法は、上記した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、ＥＬ発光層を含む多数の絵素ピクセルを基板上に配列して成る有機ＥＬの製造方法であって、機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、発光材料を選択的に吐出して多数のＥＬ発光層を形成することを特徴とする。
この場合、多数のＥＬ発光層と基板との間には、ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形成されており、機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状電極材料を選択的に吐出して多数の画素電極を形成することが、好ましい。
さらにこの場合、多数のＥＬ発光層およびバンクを覆うように対向電極が形成されており、ＥＬ発光層を形成した後に、機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状電極材料を選択的に吐出して対向電極を形成することが、好ましい。