【手続補正書】
【提出日】平成18年9月29日(2006.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個の同一図形から構成されるマークの画像を取り込む画像取り込み手段と、
前記画像中の部分画像毎に、前記マークを構成する前記図形が各位置に存在する確率を算出する算出手段と、
前記算出手段により前記部分画像毎に算出された前記確率が最大値を示す位置に基づいて、前記マークの位置を検出する位置検出手段とを有することを特徴とする位置検出装置。
【請求項２】
前記算出手段は、前記部分画像内の各位置における周期的パターンの存在確率を示す確率分布と、前記図形内の各位置における周期的パターンの存在確率を示す確率分布との相関度とを算出することにより、前記確率を得ることを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項３】
前記算出手段は、前記部分画像の確率分布の特定成分と前記図形の確率分布の特定成分との相関値、前記部分画像の確率分布のパワースペクトラムの特定成分と前記図形の確率分布のパワースペクトラムの特定成分との相関値、または、前記部分画像の確率分布若しくは該確率分布のパワースペクトラムにおけるその特定成分の寄与率と前記図形の確率分布若しくは該確率分布のパワースペクトラムにおけるその特定成分の寄与率との相関値を算出することにより、前記相関度を得ることを特徴とする請求項２に記載の位置検出装置。
【請求項４】
前記算出手段は、前記部分画像に対し直交変換を行うことにより周波数領域のエネルギー分布を算出する第１のエネルギー分布算出手段と、
前記第１のエネルギー分布算出手段により得られた周波数領域のエネルギー分布に対し当該第１のエネルギー分布算出手段で用いた直交変換の逆変換を行うことにより実空間のエネルギー分布を算出する第２のエネルギー分布算出手段とを有することを特徴とする請求項２に記載の位置検出装置。
【請求項５】
前記周波数領域のエネルギー分布は、離散フーリエ変換、離散ウェーヴレット変換、２次元離散コサイン変換、２次元離散サイン変換の少なくとも１つを用いて算出されることを特徴とする請求項４に記載の位置検出装置。
【請求項６】
前記実空間のエネルギー分布は、離散逆フーリエ変換、離散逆ウェーヴレット変換、２次元離散逆コサイン変換、２次元離散逆サイン変換の少なくとも１つを用いて算出されることを特徴とする請求項４に記載の位置検出装置。
【請求項７】
前記周波数領域のエネルギー分布は、該エネルギーの最大値及び最小値を用いて正規化されていることを特徴とする請求項４に記載の位置検出装置。
【請求項８】
前記実空間のエネルギー分布は、該エネルギーの最大値及び最小値を用いて正規化されていることを特徴とする請求項４に記載の位置検出装置。
【請求項９】
前記特定成分は、前記確率分布若しくは前記確率分布のパワースペクトラムにおける特徴のある位置の値を含むことを特徴とする請求項３に記載の位置検出装置。
【請求項１０】
複数個の同一図形から構成されるマークの画像を取り込む画像取り込み工程と、
前記画像中の部分画像毎に、前記マークを構成する前記図形が各位置に存在する確率を算出する算出工程と、
前記算出工程において前記部分画像毎に算出された前記確率が最大値を示す位置に基づいて、前記マークの位置を検出する位置検出工程とを有することを特徴とする位置検出方法。
【請求項１１】
対象物上に形成されたマークを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により得られた前記マークの画像の各部分画像に関し、該部分画像を直交変換することにより周波数空間におけるエネルギー分布を得、該エネルギー分布を逆直交変換することにより実空間におけるエネルギー分布を得る第１算出手段と、
前記各部分画像に関し前記第１算出手段により得られた実空間におけるエネルギー分布と、予め得られた前記マークの実空間におけるエネルギー分布との相関度を算出する第２算出手段と、
前記各部分画像に関し前記第２算出手段により得られた相関度に基づいて、前記マークの位置を検出する位置検出手段とを有することを特徴とする位置検出装置。
【請求項１２】
前記第２算出手段は、前記相関度を算出する対象となる各エネルギー分布のパワースペクトルに基づいて、前記相関度を算出することを特徴とする請求項１１に記載の位置検出装置。
【請求項１３】
前記第２算出手段は、前記相関度を算出する対象となる各エネルギー分布を該各エネルギー分布の要素値の和により正規化して得られる各分布に基づいて、前記相関度を算出することを特徴とする請求項１１に記載の位置検出装置。
【請求項１４】
請求項１１乃至１３のいずれか１項に記載の位置検出装置を含むことを特徴とする露光装置。
【請求項１５】
対象物上に形成されたマークを撮像する撮像工程と、
前記撮像工程において得られた前記マークの画像の各部分画像に関し、該部分画像を直交変換することにより周波数空間におけるエネルギー分布を得、該エネルギー分布を逆直交変換することにより実空間におけるエネルギー分布を得る第１算出工程と、
前記各部分画像に関し前記第１算出工程において得られた実空間におけるエネルギー分布と、予め得られた前記マークの実空間におけるエネルギー分布との相関度を算出する第２算出工程と、
前記各部分画像に関し前記第２算出工程において得られた相関度に基づいて、前記マークの位置を検出する位置検出工程とを有することを特徴とする位置検出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、マークの位置を検出する技術に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は、上記従来のパターン認識技術の原理的な弱みに鑑み、マークの位置の誤検出を低減することを目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
［実施態様１］
複数個の同一図形から構成されるマークの画像を取り込む画像取り込み手段と、前記画像中の部分画像毎に、前記マークを構成する前記図形が各位置に存在する確率を算出する算出手段と、前記算出手段により前記部分画像毎に算出された前記確率が最大値を示す位置に基づいて、前記マークの位置を検出する位置検出手段とを有することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
［実施態様２］
上記実施態様１において、前記算出手段は、前記部分画像内の各位置における周期的パターンの存在確率を示す確率分布と、前記図形内の各位置における周期的パターンの存在確率を示す確率分布との相関度とを算出することにより、前記確率を得ることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
［実施態様３］
上記実施態様２において、前記算出手段は、前記部分画像の確率分布の特定成分と前記図形の確率分布の特定成分との相関値、前記部分画像の確率分布のパワースペクトラムの特定成分と前記図形の確率分布のパワースペクトラムの特定成分との相関値、または、前記部分画像の確率分布若しくは該確率分布のパワースペクトラムにおけるその特定成分の寄与率と前記図形の確率分布若しくは該確率分布のパワースペクトラムにおけるその特定成分の寄与率との相関値を算出することにより、前記相関度を得ることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
［実施態様４］
上記実施態様２において、前記算出手段は、前記部分画像に対し直交変換を行うことにより周波数領域のエネルギー分布を算出する第１のエネルギー分布算出手段と、前記第１のエネルギー分布算出手段により得られた周波数領域のエネルギー分布に対し当該第１のエネルギー分布算出手段で用いた直交変換の逆変換を行うことにより実空間のエネルギー分布を算出する第２のエネルギー分布算出手段とを有することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
［実施態様６］
上記実施形態４において、前記実空間のエネルギー分布は、離散逆フーリエ変換、離散逆ウェーヴレット変換、２次元離散逆コサイン変換、２次元離散逆サイン変換の少なくとも１つを用いて算出されることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
［実施態様７］
上記実施態様４において、前記周波数領域のエネルギー分布は、該エネルギーの最大値及び最小値を用いて正規化されていることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
［実施態様８］
上記実施態様４において、前記実空間のエネルギー分布は、該エネルギーの最大値及び最小値を用いて正規化されていることを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
［実施態様９］
上記実施態様３において、前記特定成分は、前記確率分布若しくは前記確率分布のパワースペクトラムにおける特徴のある位置の値を含むことを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
［実施態様１０］
複数個の同一図形から構成されるマークの画像を取り込む画像取り込み工程と、前記画像中の部分画像毎に、前記マークを構成する前記図形が各位置に存在する確率を算出する算出工程と、前記算出工程において前記部分画像毎に算出された前記確率が最大値を示す位置に基づいて、前記マークの位置を検出する位置検出工程とを有することを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
［実施態様１１］
対象物上に形成されたマークを撮像する撮像手段と、前記撮像手段により得られた前記マークの画像の各部分画像に関し、該部分画像を直交変換することにより周波数空間におけるエネルギー分布を得、該エネルギー分布を逆直交変換することにより実空間におけるエネルギー分布を得る第１算出手段と、前記各部分画像に関し前記第１算出手段により得られた実空間におけるエネルギー分布と、予め得られた前記マークの実空間におけるエネルギー分布との相関度を算出する第２算出手段と、前記各部分画像に関し前記第２算出手段により得られた相関度に基づいて、前記マークの位置を検出する位置検出手段とを有することを特徴とする。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
［実施態様１２］
上記実施態様１１において、前記第２算出手段は、前記相関度を算出する対象となる各エネルギー分布のパワースペクトルに基づいて、前記相関度を算出することを特徴とする。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
［実施態様１３］
上記実施態様１１において、前記第２算出手段は、前記相関度を算出する対象となる各エネルギー分布を該各エネルギー分布の要素値の和により正規化して得られる各分布に基づいて、前記相関度を算出することを特徴とする。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
［実施態様１５］
対象物上に形成されたマークを撮像する撮像工程と、前記撮像工程において得られた前記マークの画像の各部分画像に関し、該部分画像を直交変換することにより周波数空間におけるエネルギー分布を得、該エネルギー分布を逆直交変換することにより実空間におけるエネルギー分布を得る第１算出工程と、前記各部分画像に関し前記第１算出工程において得られた実空間におけるエネルギー分布と、予め得られた前記マークの実空間におけるエネルギー分布との相関度を算出する第２算出工程と、前記各部分画像に関し前記第２算出工程において得られた相関度に基づいて、前記マークの位置を検出する位置検出工程とを有することを特徴とする。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
以上説明したように、本発明によれば、マークの位置の誤検出を低減できる。