(57)【要約】      （修正有）【課題】本実用新案は、静電気を除去するＸ線装置のＸ線を感知するためのセンサを提供する。【解決手段】静電気を除去するＸ線装置のＸ線を感知するためのセンサ１０であり、感知窓内に配置されたフィルム１２１と、光電感知素子と、プロセッサとを含み、フィルムはＸ線装置から照射されるＸ線の出口２１に位置合わせされ、Ｘ線装置から照射されたＸ線を感知するために使用される。光電感知素子は、フィルムによって感知されたＸ線を受け取り、Ｘ線を電流信号へ変換し、プロセッサは光電感知素子から電流信号を受け取り、電流信号は外部装置へ伝送され、外部装置は電流信号によりＸ線装置２０が正常に作動しているか否かを判断または監視する。【選択図】図１
0003225666.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線装置が照射したＸ線を感知するために用いられるセンサであって、
感知窓に設置され、前記Ｘ線装置が照射した前記Ｘ線の出口に位置合わせされ、前記Ｘ線装置が照射した前記Ｘ線を感知するために用いられるフィルムと、
前記フィルムが感知した前記Ｘ線を受け取り、前記Ｘ線を電流信号へ変換する光電感知素子と、
前記光電感知素子から前記電流信号を受け取り、前記電流信号を外部装置に伝送し、前記外部装置は前記電流信号によって前記Ｘ線装置が正常に作動しているか否かを判断または監視するプロセッサと、を備えることを特徴とする、
静電気を除去するＸ線装置のＸ線を感知するためのセンサ。
【請求項２】
Ｘ線装置が照射したＸ線を感知するために用いられるセンサであって、
感知窓に設置され、前記Ｘ線装置が照射した前記Ｘ線の出口に位置合わせされ、前記Ｘ線装置が照射した前記Ｘ線を感知するために用いられるフィルムと、
前記フィルムが感知した前記Ｘ線を受け取り、前記Ｘ線を可視光に変換する光変換素子と、
前記光変換素子から前記可視光を受け取り、前記可視光を電流信号へ変換する光変換素子と、
前記光電感知素子から前記電流信号を受け取り、前記電流信号を外部装置へ伝送し、前記外部装置は前記電流信号により前記Ｘ線装置が正常に作動しているか否かを判断または監視するプロセッサと、を備えることを特徴とする、
静電気を除去するＸ線装置のＸ線を感知するためのセンサ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本実用新案は、オプトエレクトロニクス半導体技術に関し、特に、液晶パネル上の静電気を除去するＸ線装置のＸ線を感知するためのセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体、液晶、有機ＥＬ、プリント基板の製造プロセスでは、絶縁酸化膜（ＳｉＯ２）やガラス表面が高絶縁体であるため、加工工程の処理中に静電気が発生しやすく、静電気が空気中の塵埃を付着させたり、パネルやプリント基板上の回路を容易に破壊してしまっていた。そのため、製品の信頼性の低下や、歩留りの低下等の問題に直面している。
【０００３】
上述した問題を解決するために、静電気を除去するＸ線装置がパネル上に設置されることで、パネル上の静電気を除去したり／パネル表面が帯電しないようにできる。しかしながら、静電気を除去するＸ線装置が故障してしまうと、パネルに付着した静電気を除去することができなくなる。故障の状況には、静電気を除去するＸ線装置がＸ線を正常に照射できなくなる、Ｘ線管の経年劣化によりＸ線強度が不十分になり正常に作動できなくなる等がある。従って、現在では、静電気を除去するＸ線装置が正常に作動しているか否かを判断または監視する一種の技術が強く求められている。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した問題と欠点に鑑み、本実用新案の目的は、静電気を除去するＸ線装置から照射されるＸ線を感知することを実現するものである。Ｘ線を感知できるフィルムを備えたセンサによって、Ｘ線以外のその他の光線を除外して、Ｘ線装置から照射されるＸ線に対して可視光線の干渉が発生することを防止し、センサがＸ線以外のその他の光線を感知する可能性を低減する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した問題と欠点に鑑み、本実用新案の主な目的は、静電気を除去するＸ線装置のＸ線を感知するためのセンサを提供することによって、Ｘ線装置から照射されるＸ線を感知することである。
センサには、フィルムと、光電感知素子と、プロセッサとを備える。フィルムは感知窓に設置され、フィルムはＸ線装置が照射するＸ線の出口に位置合わされ、Ｘ線装置が照射したＸ線を感知するために用いられる。光電感知素子はフィルムが感知したＸ線を受け取り、Ｘ線を電流信号へ変換する。プロセッサは光電感知素子から電流信号を受け取り、電流信号を外部装置に伝送し、ユーザーは外部装置を利用することで、電流信号によりＸ線装置が正常に作動しているか否かを判断または監視することができる。
【０００６】
本実用新案は更に、静電気を除去するＸ線装置のＸ線を感知するためのセンサ提供し、これはＸ線装置から照射されるＸ線を感知するために使用される。センサはフィルムと、光変換素子と、光電感知素子と、プロセッサとを備える。フィルムは感知窓に設置され、フィルムはＸ線装置が照射するＸ線の出口に位置合わされ、Ｘ線装置が照射したＸ線を感知するために用いられる。光変換素子は、フィルムが感知したＸ線を受け取り、Ｘ線を可視光へ変換する。光電感知素子は、光変換素子から可視光を受け取り、可視光を電流信号へ変換する。プロセッサは、光電感知素子から電流信号を受け取り、さらには電流信号を外部装置へ伝送し、ユーザーは外部装置の電流信号によりＸ線装置が正常に作動しているか否かを判断または監視する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】静電気を除去するＸ線装置のＸ線を感知するためのセンサの第一の実施例の側面図。
【図２】静電気を除去するＸ線装置のＸ線を感知するためのセンサの第一の実施例のブロック図。
【図３】静電気を除去するＸ線装置のＸ線を感知するためのセンサの第二の実施例のブロック図。
【図４Ａ】静電気を除去するＸ線装置のＸ線を感知するためのセンサの第三の実施例の側面図。
【図４Ｂ】静電気を除去するＸ線装置のＸ線を感知するためのセンサの第三の実施例のブロック図。
【図５】静電気を除去するＸ線装置のＸ線を感知するためのセンサの第四の実施例のブロック図。
【考案を実施するための形態】
【０００８】
本実用新案の構造組成、技術的手段および有効性に関して、図を参考にしながらこの事例をさらに具体的に説明する。
図１を参照する。静電気を除去するＸ線装置のＸ線を感知するためのセンサは、静電気を除去するＸ線装置２０の機能が正常であるか否かを即時に感知できるようにするためにあり、センサ１０はＸ線装置２０に配置され、Ｘ線装置２０から照射されたＸ線を感知する。
センサ１０は、感知窓１２内に配置されたフィルム１２１と、光電感知素子と、プロセッサとを包含する（図２を参照して）。感知窓１２は、センサ本体１１から外側に延びており、センサ本体１１から外に突き出て設置されている。フィルム１２１は、Ｘ線を受け取るために感知窓１２に配置されており、Ｘ線装置２０が照射するＸ線の出口２１に位置合わせされており、光電感知素子およびプロセッサはセンサ本体１１の中に配置されている。
【０００９】
図２に示すように、センサ１０は、少なくとも感知窓１２に配置されたフィルム１２１と、プロセッサ１６を包含する回路基板１１０と、光電感知素子１４とを包含して構成され、そのうち、光電感知素子１４はそれぞれ回路基板１１０に電気接続されている。その他、プロセッサ１６は、光電感知素子１４によってＸ線信号より変換された電流信号を受信し、センサ１０に接続されている外部装置１００に電流信号を伝送し、電流信号によって当センサ１０が配置されているＸ線装置２０が正常に作動しているか否かを判断する。
Ｘ線装置２０がＸ線を照射した後、感知窓１２内のフィルム１２１はＸ線装置２０から照射されたＸ線を受け取り、フィルム１２１はＸ線以外の他の環境光源を除外した後、除外後のＸ線を光電感知素子１４に伝送し、光電感知素子１４によってＸ線信号を対応する電流信号へ変換し、電流信号をプロセッサ１６へ伝送する。さらに、電流信号をプロセッサ１６によって外部装置１００へ伝送することで、ユーザーは外部装置１００を利用して、電流信号によってＸ線装置２０が正常に作用しているか判断または監視ができる。フィルム１２１の材料は、金属、ポリマー材料または複合材料であってもよい。外部装置１００は電子計算機、インターネット、パソコン、携帯電話、サーバー、ディスプレーを含み、外部装置１００はオンラインの設備が正常に作動しているか監視することができき、同時に複数のＸ線装置２０が正常に作動しているか監視し、交換や修理のニーズがあればすぐに反映されるようになっている。
【００１０】
続いて、同時に図１と図３を参照する。センサ１０は少なくとも感知窓１２内に配置されたフィルム１２１と、プロセッサ１６を包含する回路基板１１０と、光電感知素子１４と、光変換素子１３とを包含して構成される。そのうち、光電感知素子１４は光変換素子１３と回路基板１１０とそれぞれ電気接続されており、かつ光変換素子１３とフィルム１２１を接続する。すなわち、Ｘ線装置２０がＸ線を照射した後、感知窓１２内のフィルム１２１はＸ線装置２０から照射されたＸ線を受け取り、同様にフィルム１２１がＸ線以外他の波長の光源を除外し、除外後のＸ線を光変換素子１３へ伝送し、光変換素子１３によりＸ線放射が可視光へ変換され、光電感知素子１４に伝達される。可視光信号は光電感知素子１４によって電流信号へ変換し、さらにプロセッサ１６により電流信号を外部装置１００へ送信し、ユーザーは外部装置１００を利用することで、電流信号によってＸ線装置２０が正常に作動しているか判断または監視することができる。
【００１１】
本実用新案の別の実施形態では、光電感知素子などのセンサの素子はＸ線装置内に組み込まれている。図４Ａ，図４Ｂに示されているように、Ｘ線装置３０の光源の出口３１上に感知窓３２が突出に設置されており、すなわち、感知窓３２はＸ線装置３０より光源の出口３１の側面から外に向かって伸びている。
感知窓３２内にはフィルム３２１が設置されており、フィルム３２１はＸ線装置３０が照射するＸ線の出口に位置合わされており、そのため感知窓３２内のフィルム３２１はＸ線装置３０によって照射されたＸ線を受け取ることができき、またＸ線以外の他の環境光源を除外する。この実施形態では、光電感知素子３４はＸ線装置３０の中に設置され、もともとセンサ１０内にあったプロセッサ１６はＸ線装置３０の回路基板３１０上に設置することができ、Ｘ線装置３０のプロセッサ３６と統合し、Ｘ線装置３０がＸ線を照射した後、感知窓３２内に配置されたフィルム３２１はＸ線を感知し受け取ることができる。Ｘ線は光電感知素子３４へ伝達され、Ｘ線信号は光電感知素子３４によってＸ線を電流信号へ変換し、電流信号をプロセッサ３６へ伝送する。さらにプロセッサ３６は電流信号を外部装置１００へ伝送し、ユーザーは外部装置１００を利用してＸ線装置３０が正常に作動しているか否かを判断または監視できる。
【００１２】
本実用新案のさらに別の実施形態では、光電感知素子や光変換素子などのセンサの素子は、Ｘ線装置の中に同時に組み込まれている。
図５に示すように、光変換素子３３と光電感知素子３４はＸ線装置３０の中に設置されており、もともとセンサ１０内にあったプロセッサ１６は、Ｘ線装置３０の回路基板３１０上に配置することができ、Ｘ線装置３０の中のプロセッサ３６と統合されている。感知窓３２の中に配置されていたフィルム３２１はＸ線装置３０が照射したＸ線を受け取ると、フィルム３２１はＸ線以外の環境光源を除外した後に感知し、除外後のＸ線を光変換素子３３へ伝送し、Ｘ線は光変換素子３３によって可視光に変換され、そして光電感知素子３４へ伝送される。可視光信号は光電感知素子３４によって電流信号へ変換され、電流信号はＸ線装置３０内に配置された回路基板３１０上のプロセッサ３６によって外部装置１００へ伝送され、ユーザーは外部装置１００を利用してＸ線装置３０が正常に作動しているか否かを判断または監視することができる。
【００１３】
Ｘ線装置２０、３０に故障が発生しＸ線を照射できない際は、感知窓１２、３２はいかなるＸ線も感知することができず、この時ユーザーは外部装置１００によりＸ線装置２０、３０に対応する電流信号が無いことを発見でき、Ｘ線装置２０、３０に故障が発生していることを即時に発見することができる。これによって、Ｘ線装置２０、３０に対して即時に交換または修理することができ、即時に故障を排除することができ、Ｘ線装置２０、３０の正常な動作および液晶パネルの歩留まりを確保する。
【００１４】
上記は本実用新案の好ましい実施形態に過ぎず、本実用新案の権利範囲を限定するものではない。同時に、上記の説明は、関連技術領域の専門家によって理解され実施されるべきであり、本実用新案の精神から逸脱することなくなされた他の同等な変更または修正は、特許出願の範囲に含まれるべきである。
【符号の説明】
【００１５】
１０  センサ    
１１  センサ本体
１１０、３１０  回路基板
１２、３２  感知窓
１２１、３２１  フィルム
１３、３３  光変換素子
１４、３４  光電感知素子
１６、３６  プロセッサ
２０、３０  Ｘ線装置
２１、３１  出口
１００  外部装置
【図１】
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【図２】
0003225666.tif 000004
【図３】
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【図４Ａ】
0003225666.tif 000006
【図４Ｂ】
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【図５】
0003225666.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】令和2年1月16日(2020.1.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線装置が照射したＸ線を感知するために用いられるセンサであって、
感知窓に設置され、前記Ｘ線装置が照射した前記Ｘ線の出口に位置合わせされ、前記Ｘ線装置が照射した前記Ｘ線を感知するために用いられるフィルムと、
前記フィルムが感知した前記Ｘ線を受け取り、前記Ｘ線を電流信号へ変換する光電感知素子と、
前記光電感知素子から前記電流信号を受け取り、前記電流信号を外部装置に伝送し、前記外部装置は前記電流信号によって前記Ｘ線装置が正常に作動しているか否かを判断または監視するプロセッサと、を備えることを特徴とする、
静電気を除去するＸ線装置のＸ線を感知するためのセンサ。
【請求項２】
Ｘ線装置が照射したＸ線を感知するために用いられるセンサであって、
感知窓に設置され、前記Ｘ線装置が照射した前記Ｘ線の出口に位置合わせされ、前記Ｘ線装置が照射した前記Ｘ線を感知するために用いられるフィルムと、
前記フィルムが感知した前記Ｘ線を受け取り、前記Ｘ線を可視光に変換する光変換素子と、
前記光変換素子から前記可視光を受け取り、前記可視光を電流信号へ変換する光電感知素子と、
前記光電感知素子から前記電流信号を受け取り、前記電流信号を外部装置へ伝送し、前記外部装置は前記電流信号により前記Ｘ線装置が正常に作動しているか否かを判断または監視するプロセッサと、を備えることを特徴とする、
静電気を除去するＸ線装置のＸ線を感知するためのセンサ。