【手続補正書】
【提出日】平成18年11月8日(2006.11.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルコキシシランの部分加水分解縮合物と、樹脂と、アルコキシシランの部分加水分解縮合物及び樹脂を溶解する溶剤と、を含みこれらが互いに相溶した複合材の膜を、その樹脂の熱分解開始温度以上の温度で熱処理することにより得られる多孔質膜であって、
アルコキシシランの部分加水分解縮合物のゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により求めた標準ポリスチレン換算重量平均分子量が５００〜１００００であり、
誘電率が２．０以下であることを特徴とする多孔質膜。
【請求項２】
樹脂が官能基を分子内に有する、請求項１記載の多孔質膜。
【請求項３】
樹脂の官能基が、アルコキシシランの部分加水分解縮合物と架橋反応しうる基である請求項２記載の多孔質膜。
【請求項４】
アルコキシシランの部分加水分解縮合物と、樹脂と、アルコキシシランの部分加水分解縮合物及び樹脂を溶解する溶剤と、を含みこれらが互いに相溶した複合材の膜を、その樹脂の熱分解開始温度以上の温度で熱処理することにより得られる多孔質膜であって、
複合材がさらにカップリング剤を含み、
誘電率が２．０以下であることを特徴とする多孔質膜。
【請求項５】
複合材が、樹脂とアルコキシシランの部分加水分解縮合物がカップリング剤を介して架橋した反応物を含む請求項４記載の多孔質膜。
【請求項６】
樹脂が官能基を分子内に有する、請求項４記載の多孔質膜。
【請求項７】
樹脂の官能基が、アルコキシシランの部分加水分解縮合物またはカップリング剤と架橋反応しうる基である請求項６記載の多孔質膜。
【請求項８】
アルコキシシランの部分加水分解縮合物と、樹脂と、アルコキシシランの部分加水分解縮合物及び樹脂を溶解する溶剤と、を含みこれらが互いに相溶した複合材の膜を、その樹脂の熱分解開始温度以上の温度で熱処理することにより得られる多孔質膜であって、
樹脂が、官能基を分子内に有しかつ主鎖に含フッ素脂肪族環構造または含フッ素脂肪族構造を有するフッ素樹脂であり、
誘電率が２．０以下であることを特徴とする多孔質膜。
【請求項９】
樹脂の官能基が、水酸基又はカルボキシル基である、請求項２、６又は８記載の多孔質膜。
【請求項１０】
樹脂の分子中の官能基の割合が樹脂１グラムあたり１〜１０，０００マイクロモルである、請求項２、６又は８記載の多孔質膜。
【請求項１１】
樹脂の分子中の官能基の割合が樹脂１グラムあたり１〜３，０００マイクロモルである、請求項２、６又は８記載の多孔質膜。
【請求項１２】
アルコキシシランの部分加水分解縮合物が一般式（Ｉ）
【化１】
2005314711.tif 000001
（式中Ｒ１およびＲ２は同一または相異なる非加水分解性基、Ｒ３はアルキル基、ｍおよびｎは０≦ｍ＋ｎ≦３を満たす０〜３の整数）で表されるアルコキシシランの部分加水分解縮合物である請求項１、４又は８記載の多孔質膜。
【請求項１３】
アルコキシシランの部分加水分解縮合物が一般式（Ｉ）においてｍ＋ｎ＝３のアルコキシシランとｍ＝ｎ＝０、ｍ＋ｎ＝１又はｍ＋ｎ＝２のアルコキシシランとを併用したアルコキシシランの部分加水分解縮合物である、請求項１２記載の多孔質膜。
【請求項１４】
一般式（Ｉ）においてｍ＋ｎ＝３のアルコキシシランの割合が全アルコキシシランに対して１０モル％以下である、請求項１３記載の多孔質膜。
【請求項１５】
アルコキシシランの部分加水分解縮合物が一般式（Ｉ）においてｍ＋ｎ＝２のアルコキシシランとｍ＝ｎ＝０又はｍ＋ｎ＝１のアルコキシシランとを併用したアルコキシシランの部分加水分解縮合物である、請求項１２記載の多孔質膜。
【請求項１６】
一般式（Ｉ）においてｍ＋ｎ＝２のアルコキシシランの割合が全アルコキシシランに対して３０モル％以下である、請求項１５記載の多孔質膜。
【請求項１７】
樹脂１００重量部に対してアルコキシシランの部分加水分解縮合物の割合が２５〜４００重量部である請求項１、４又は８記載の多孔質膜。
【請求項１８】
アルコキシシランの部分加水分解縮合物がテトラアルコキシシランの部分加水分解縮合物および含フッ素アルコキシシランの部分加水分解縮合物から選ばれる少なくとも１種である請求項１、４又は８記載の多孔質膜。
【請求項１９】
請求項１〜１８のいずれかに記載の多孔質膜を有する物品。
【請求項２０】
請求項１〜１８のいずれかに記載の多孔質膜を、半導体素子バッファコート膜、半導体素子パッシベーション膜、半導体素子層間絶縁膜、半導体素子α線遮蔽膜または多層配線板層間絶縁膜として有する物品。
【請求項２１】
アルコキシシランの部分加水分解縮合物と、樹脂と、アルコキシシランの部分加水分解縮合物及び樹脂を溶解する溶剤と、を含みこれらが互いに相溶した複合材であって、
複合材の膜を樹脂の熱分解開始温度以上の温度で熱処理して誘電率２．０以下の多孔質膜を得る多孔質膜の製造法に使用され、
アルコキシシランの部分加水分解縮合物のゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により求めた標準ポリスチレン換算重量平均分子量が５００〜１００００であることを特徴とする複合材。
【請求項２２】
樹脂が官能基を分子内に有する、請求項２１記載の複合材。
【請求項２３】
樹脂の官能基が、アルコキシシランの部分加水分解縮合物と架橋反応しうる基である請求項２２記載の複合材。
【請求項２４】
アルコキシシランの部分加水分解縮合物と、樹脂と、アルコキシシランの部分加水分解縮合物及び樹脂を溶解する溶剤と、を含みこれらが互いに相溶した複合材であって、
複合材の膜を樹脂の熱分解開始温度以上の温度で熱処理して誘電率２．０以下の多孔質膜を得る多孔質膜の製造法に使用され、
さらにカップリング剤を含むことを特徴とする複合材。
【請求項２５】
樹脂とアルコキシシランの部分加水分解縮合物がカップリング剤を介して架橋した反応物を含む請求項２４記載の複合材。
【請求項２６】
樹脂が官能基を分子内に有する、請求項２４記載の複合材。
【請求項２７】
樹脂の官能基が、アルコキシシランの部分加水分解縮合物またはカップリング剤と架橋反応しうる基である請求項２６記載の複合材。
【請求項２８】
アルコキシシランの部分加水分解縮合物と、樹脂と、アルコキシシランの部分加水分解縮合物及び樹脂を溶解する溶剤と、を含みこれらが互いに相溶した複合材であって、
複合材の膜を樹脂の熱分解開始温度以上の温度で熱処理して誘電率２．０以下の多孔質膜を得る多孔質膜の製造法に使用され、
樹脂が、官能基を分子内に有しかつ主鎖に含フッ素脂肪族環構造または含フッ素脂肪族構造を有するフッ素樹脂であることを特徴とする複合材。
【請求項２９】
樹脂の官能基が、水酸基又はカルボキシル基である、請求項２２、２６又は２８記載の複合材。
【請求項３０】
樹脂の分子中の官能基の割合が樹脂１グラムあたり１〜１０，０００マイクロモルである、請求項２２、２６又は２８記載の複合材。
【請求項３１】
樹脂の分子中の官能基の割合が樹脂１グラムあたり１〜３，０００マイクロモルである、請求項２２、２６又は２８記載の複合材。
【請求項３２】
アルコキシシランの部分加水分解縮合物が一般式（Ｉ）
【化２】
2005314711.tif 000002
（式中Ｒ１およびＲ２は同一または相異なる非加水分解性基、Ｒ３はアルキル基、ｍおよびｎは０≦ｍ＋ｎ≦３を満たす０〜３の整数）で表されるアルコキシシランの部分加水分解縮合物である請求項２１、２４又は２８記載の複合材。
【請求項３３】
アルコキシシランの部分加水分解縮合物が一般式（Ｉ）においてｍ＋ｎ＝３のアルコキシシランとｍ＝ｎ＝０、ｍ＋ｎ＝１又はｍ＋ｎ＝２のアルコキシシランとを併用したアルコキシシランの部分加水分解縮合物である、請求項３２記載の複合材。
【請求項３４】
一般式（Ｉ）においてｍ＋ｎ＝３のアルコキシシランの割合が全アルコキシシランに対して１０モル％以下である、請求項３３記載の複合材。
【請求項３５】
アルコキシシランの部分加水分解縮合物が一般式（Ｉ）においてｍ＋ｎ＝２のアルコキシシランとｍ＝ｎ＝０又はｍ＋ｎ＝１のアルコキシシランとを併用したアルコキシシランの部分加水分解縮合物である、請求項３２記載の複合材。
【請求項３６】
一般式（Ｉ）においてｍ＋ｎ＝２のアルコキシシランの割合が全アルコキシシランに対して３０モル％以下である、請求項３５記載の複合材。
【請求項３７】
樹脂１００重量部に対してアルコキシシランの部分加水分解縮合物の割合が２５〜４００重量部である請求項２１、２４又は２８記載の複合材。
【請求項３８】
アルコキシシランの部分加水分解縮合物がテトラアルコキシシランの部分加水分解縮合物および含フッ素アルコキシシランの部分加水分解縮合物から選ばれる少なくとも１種である請求項２１、２４又は２８記載の複合材。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項１〜１８に記載の発明は、低誘電率で耐吸湿性に優れ、機械的特性にも優れる多孔質膜を提供するものである。請求項１９〜２０に記載の発明は、低誘電率で耐吸湿性に優れ、機械的特性にも優れる多孔質膜を有し、そのために信頼性の高い半導体素子等の物品を提供するものである。