Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月25日(2006.1.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の転写具は、上記したように転写媒体を貼着した帯状フィルムを送り出し、巻き取るために、ギヤ、並びにこれらのギヤを連動させる連動ギヤが設けられていたので、その分、これらを収納する筐体が厚み方向にもまた送出リール及び巻取リールの軸方向にも大きくなり、筆記具と共に例えば筆箱などに収納することができないといった不具合があった。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
すなわち、本発明は、従来のギヤ、及びこれらギヤ間に設けた連動ギヤを省略している。そして、転写媒体を貼着した帯状フィルムを従来のように送出リールに巻装することに代えて軸部自体に巻装し、転写ローラを通過後の帯状フィルムは、巻き取らず、収納部に収納するようにしている。このようにすることで、筐体を小さくすることができ、また筐体を小さくしたにも拘わらず転写媒体の容量を減少させることがない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
このように、転写具１は、従来構成に存在したギヤ、さらにはこれらギヤ間に設けた連動ギヤを省略しているので、筐体２をその厚み方向及び巻取軸３の軸方向に小型化することができ、筆記具と共に筆箱などに収納することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の転写具は、転写媒体を貼着した帯状フィルムを巻装した送出軸部と、送出軸部から転写媒体を貼着した帯状フィルムを送り出して被転写体に対して転写媒体を転写すると共に該帯状フィルムを該筐体内に送る転写ローラと、この転写ローラを通過した帯状フィルムが収納される収納部とを備えたので、従来のギヤ、及びこれらギヤ間に設けた連動ギヤを省略して筐体を小さくして筆記具と共に筆箱などに収納することができ、また筐体を小さくしたにも拘わらず転写媒体の容量を減少させることがなく、また、使い勝手を損なうこともなく、さらに製作コストを削減することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月28日(2006.3.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子が１次元または２次元に配列された発光素子アレイチップと、
前記発光素子アレイチップが複数個張り付けられた基板と、
前記発光素子アレイチップの発光点からの光を伝達するロッドレンズが配列さ
れたロッドレンズアレイとを備え、
前記ロッドレンズの前記発光素子アレイチップ側の表面に反射防止膜が施され
たことを特徴とする発光素子アレイを用いた光学装置。
【請求項２】
前記反射防止膜は、ＭｇＦ2 であることを特徴とする請求項１記載の発光素子
アレイを用いた光学装置。
【請求項３】
発光素子が１次元または２次元に配列された発光素子アレイチップと、
前記発光素子アレイチップが複数個張り付けられた基板と、
前記発光素子アレイチップの発光点からの光を伝達するロッドレンズが配列さ
れたロッドレンズアレイとを備え、
前記ロッドレンズの表面からの反射光が、前記チップの表面に入らないように
したことを特徴とする発光素子アレイを用いた光学装置。
【請求項４】
発光素子が１次元または２次元に配列された発光素子アレイチップと、
前記発光素子アレイチップが複数個張り付けられた基板と、
前記発光素子アレイチップの発光点からの光を伝達するロッドレンズが配列さ
れたロッドレンズアレイとを備え、
前記ロッドレンズの前記発光素子アレイチップ側の表面は、前記発光点からの
光が反射したときに、反射光が前記チップの表面に入射しないように、ロッドレ
ンズの中心軸に対し斜めに形成されていることを特徴とする発光素子アレイを用
いた光学装置。
【請求項５】
前記ロッドレンズの中心軸と、前記ロッドレンズの表面に対し垂直な線とのな
す角をθとすると、
【数１】
2001018451.tif 000001
但し、ｒはロッドレンズの半径、ｄはロッドレンズの表面から発光点までの距離
であることを特徴とする請求項４記載の発光素子アレイを用いた光学装置。
【請求項６】
発光素子が１次元または２次元に配列された発光素子アレイチップと、
前記発光素子アレイチップが複数個張り付けられた基板と、
前記発光素子アレイチップの発光点からの光を伝達するロッドレンズであって
、その中心軸に対し垂直な、前記発光点側の表面を有するロッドレンズが配列さ
れたロッドレンズアレイとを備え、
前記ロッドレンズは、その表面で前記発光点からの光が反射したときに、反射
光が前記チップの表面に入射しないように、前記発光点の垂線に対し、中心軸を
傾けて配置されていることを特徴とする発光素子アレイを用いた光学装置。
【請求項７】
前記ロッドレンズの中心軸と、前記発光点の垂線とのなす角をθとすると、
【数２】
2001018451.tif 000002
但し、ｒはロッドレンズの半径、ｄはロッドレンズの表面から発光点までの距離
であることを特徴とする請求項６記載の発光素子アレイを用いた光学装置。
【請求項８】
発光素子が１次元または２次元に配列された発光素子アレイチップと、
前記発光素子アレイチップが複数個張り付けられた基板と、
前記発光素子アレイチップの発光点からの光を伝達するロッドレンズが配列さ
れたロッドレンズアレイとを備え、
前記基板を前記ロッドレンズの中心軸に対し斜めとなるように配置して、前記
発光点からの光が前記ロッドレンズの表面で反射したときに、反射光が前記チッ
プの表面に入射しないようにしたことを特徴とする発光素子アレイを用いた光学
装置。
【請求項９】
前記ロッドレンズの中心線が前記発光点を通る場合に、前記チップの表面が前
記ロッドレンズの中心軸に対し直交する方向となす角度δは、
【数３】
2001018451.tif 000003
但し、Ｗは発光点から前記チップの、ロッドレンズの表面に近い方の端部まで
の距離、ｄはロッドレンズの表面から発光点までの距離、ｒはロッドレンズの半
径である、
ことを特徴とする発光素子アレイを用いた光学装置。
【請求項１０】
発光素子が１次元または２次元に配列された発光素子アレイチップと、
前記発光素子アレイチップが複数個張り付けられた基板と、
前記発光素子アレイチップの発光点からの光を伝達するロッドレンズが配列さ
れたロッドレンズアレイとを備え、
前記発光素子アレイチップは、その発光点の垂線が、前記ロッドレンズの中心
軸に対して、前記ロッドレンズの表面からの反射光の、前記チップの表面への戻
りが少なくなるように、ずらして配置されていることを特徴とする発光素子アレ
イを用いた光学装置。
【請求項１１】
前記発光点の垂線の前記ロッドレンズの中心線に対するずれをΔとすると、
【数４】
2001018451.tif 000004
但し、ｒはロッドレンズの半径である
ことを特徴とする請求項１０記載の光学装置。
【請求項１２】
光プリンタヘッドである、請求項１〜１１のいずれかに記載の光学装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の光プリンタヘッドを備える光プリンタ。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月10日(2006.5.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】車両の乗員を座席に拘束して安全を図るシートベルト装置であって、前記シートベルトの巻取り・引出しをモータによって行う電動巻取り装置と、車両に対する事故の種類を検知する事故検知手段と、前記事故の種類に対応して、前記モータによるシートベルトの引出し方向への回転を可能とする制御手段と、を備えるシートベルト装置。
【請求項２】車両の乗員を座席に拘束して安全を図るシートベルト装置であって、前記シートベルトの巻取り・引出しをモータによって行う電動巻取り装置と、車両の事故を検知する事故検知手段と、前記事故の検知から所定時間を経過した後に上記モータによるシートベルトの引出しを可能とする制御手段と、を備えるシートベルト装置。
【請求項３】前記事故検知手段は転倒検知手段であり、前記所定時間は、転倒事故による車両の揺れや衝撃が収まる時間である請求項２に記載のシートベルト装置。
【請求項４】前記事故検知手段は水没検知手段であり、前記制御手段は、前記水没検知手段による水没の検知に対応して、前記モータをシートベルトの引出し方向に回転可能とする請求項１に記載のシートベルト装置。
【請求項５】車両の乗員を座席に拘束して安全を図るシートベルト装置であって、前記シートベルトの巻取り・引出しをモータによって行う電動巻取り装置と、車両に対する事故の種類を検知する事故検知手段と、前記事故の検知から所定時間を経過した後に上記モータによるシートベルトの引出しを可能とする制御手段であって、前記事故の種類に対応して、ほぼゼロを含む前記所定時間のうち、異なる前記所定時間が設定された制御手段と、を備えるシートベルト装置。
【請求項６】車両の乗員を座席に拘束して安全を図るシートベルト装置であって、前記シートベルトの巻取り・引出しをモータによって行う電動巻取り装置と、少なくとも水没事故又は転倒事故かを検知する事故検知手段と、前記事故の検知に応じて上記モータによるシートベルトの引出しを可能とする制御手段であって、前記水没事故の場合は、第１のタイミングで、前記転倒事故の場合は、前記第１のタイミングより遅い第２のタイミングで前記シートベルトの引出しを可能とする制御手段と、を備えるシートベルト装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月25日(2006.4.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】  エンジンの始動後、所定時間以上継続してＩＤが確認されない場合には、エンジンを停止させるように構成されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の車両の無断走行防止装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月25日(2006.4.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】  キー抜き忘れ防止のために行なわれる車両側と無線式ＩＤタグの間の送受信が、複数回連続して行われるように構成されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の車両のキー抜き忘れ防止装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月24日(2005.11.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
デジタル情報を受信して印刷装置に出力する受信装置において、
前記デジタル情報を受信する受信回路と、
前記デジタル情報から静止画情報を抽出する抽出回路と、
前記抽出された静止画情報を記録する記録再生回路と、
前記記録再生回路より再生された静止画情報に前記印刷装置の印刷を制御可能な情報としてコピー制御情報を付加して印刷装置に出力する出力回路と、を備え、
前記コピー制御情報は、前記記録再生回路におけるコピー制御のための情報及び前記印刷装置における印刷制御のための情報として兼用される情報であることを特徴とする受信装置。
【請求項２】
前記静止画情報を印刷用データに変換する変換回路を備え、
前記出力回路は、前記印刷用データにコピー制御情報を付加して出力することを特徴とする請求項１に記載の受信装置。
【請求項３】
前記出力回路は、前記静止画情報をコピー制御情報に応じて暗号化して出力することを特徴とする請求項１に記載の受信装置。
【請求項４】
前記デジタル情報はデジタル映像情報であることを特徴とする請求項１に記載の受信装置。
【請求項５】
記録再生装置から入力されたデジタル情報を印刷する印刷装置において、
前記デジタル情報を入力する入力回路と、
前記入力されたデジタル情報を印刷する印刷回路と、
前記デジタル情報に付加されているコピー制御情報を検出し、検出されたコピー制御情報によって前記印刷回路における印刷の制御を行う制御回路と、を備え、
前記コピー制御情報は、前記記録再生装置におけるコピー制御のための情報及び前記印刷回路における印刷制御のための情報として兼用される情報であり、
前記制御回路は、前記検出されたコピー制御情報に基づいて前記デジタル情報の印刷を制御することを特徴とする印刷装置。
【請求項６】
前記制御回路は、前記コピー制御情報がコピーを許す場合には印刷を行い、コピーを許さない場合には印刷を行わないように制御することを特徴とする請求項５に記載の印刷装置。
【請求項７】
前記入力するデジタル情報は暗号化されており、前記入力回路は、暗号化されて入力された情報の復号を行うことを特徴とする請求項５に記載の印刷装置。
【請求項８】
印刷装置におけるデジタル情報の印刷を制御する印刷制御方法において、
記録再生装置からデジタル情報を入力するステップと、
前記デジタル情報に付加されているコピー制御情報を検出するステップと、
検出された前記コピー制御情報によって前記デジタル情報の印刷を行うか否かの制御を行うステップと、を備え、
前記コピー制御情報は、前記記録再生装置におけるコピー制御のための情報及び前記印刷装置における印刷制御のための情報として兼用される情報であることを特徴とする印刷制御方法。
【請求項９】
前記コピー制御情報がコピーを許す場合には印刷を行い、コピーを許さない場合には印刷を行わないことを特徴とする請求項８に記載の印刷制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の目的は、上記した問題に鑑み、印刷許可の制御を容易に行うことができ、かつ、情報の保護が可能な装置および方法を提供することにある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、デジタル情報を受信して印刷装置に出力する受信装置において、デジタル情報を受信する受信回路と、デジタル情報から静止画情報を抽出する抽出回路と、抽出された静止画情報を記録する記録再生回路と、記録再生回路より再生された静止画情報に前記印刷装置の印刷を制御可能な情報としてコピー制御情報を付加して印刷装置に出力する出力回路とを備える。コピー制御情報は、記録再生回路におけるコピー制御のための情報及び印刷装置における印刷制御のための情報として兼用される情報である。
また、記録再生装置から入力されたデジタル情報を印刷する印刷装置において、デジタル情報を入力する入力回路と、入力されたデジタル情報を印刷する印刷回路と、デジタル情報に付加されているコピー制御情報を検出し、検出されたコピー制御情報によって印刷回路における印刷の制御を行う制御回路と、を備える。コピー制御情報は、記録再生装置におけるコピー制御のための情報及び印刷回路における印刷制御のための情報として兼用される情報であり、制御回路は、検出されたコピー制御情報に基づいてデジタル情報の印刷を制御する。
さらには、印刷装置におけるデジタル情報の印刷を制御する印刷制御方法において、記録再生装置からデジタル情報を入力するステップと、デジタル情報に付加されているコピー制御情報を検出するステップと、検出されたコピー制御情報によってデジタル情報の印刷を行うか否かの制御を行うステップと、を備える。コピー制御情報は、記録再生装置におけるコピー制御のための情報及び印刷装置における印刷制御のための情報として兼用される情報である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、印刷許可の制御および不正な抜き取り防止を容易に実現することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月28日(2005.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】撮像装置とその制御方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  フラッシュを伴う撮像を行う撮像装置において、
フラッシュ装置の発光により撮像素子が受ける光量と定常光により撮像素子が受ける光量との比率が異なり、かつ主被写体が所定の露出値である画像を複数撮影するように制御する制御手段を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】  フラッシュを伴う撮像を行う撮像装置において、
フラッシュ装置に発光を行わせ被写界を撮像する第１の撮像手段と、
前記第１の撮像手段による撮像の際の露出値を増量或いは減量させる露出値調整手段と、
前記露出値調整手段による露出値の増量分を打ち消すように前記フラッシュ装置に発光量を制御させる第１の光量制御手段と、
前記第１の光量制御手段によって光量を制御して被写界の撮像を行う第２の撮像手段と、
前記露出値調整手段による露出値の減量分を打ち消すように前記フラッシュ装置に発光量を制御させる第２の光量制御手段と、
前記第２の光量制御手段によって光量を制御して被写界の撮像を行う第３の撮像手段と、
を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項３】  前記第１の撮像手段により得られる第１の画像と、前記第２の撮像手段によりえられる第２の画像と、前記第３の撮像手段によりえられる第３の画像におけるホワイトバランス調整量を同一とすることを特徴とする請求項２に記載の撮像装置。
【請求項４】  フラッシュを伴う撮像を行う撮像装置の制御方法において、
フラッシュ装置の発光により撮像素子が受ける光量と定常光により撮像素子が受ける光量との比率が異なり、かつ主被写体が所定の露出値である画像を複数撮影するように制御する制御工程を備えることを特徴とする撮像装置の制御方法。
【請求項５】  フラッシュを伴う撮像を行う撮像装置の制御方法において、
フラッシュ装置に発光を行わせ被写界を撮像する第１の撮像工程と、
前記第１の撮像工程による撮像の際の露出値を増量或いは減量させる露出値調整工程と、
前記露出値調整工程による露出値の増量分を打ち消すように前記フラッシュ装置に発光量を制御させる第１の光量制御工程と、
前記第１の光量制御工程によって光量を制御して被写界の撮像を行う第２の撮像工程と、
前記露出値調整工程による露出値の減量分を打ち消すように前記フラッシュ装置に発光量を制御させる第２の光量制御工程と、
前記第２の光量制御工程によって光量を制御して被写界の撮像を行う第３の撮像工程と、
を備えることを特徴とする撮像装置の制御方法。
【請求項６】  前記第１の撮像工程により得られる第１の画像と、前記第２の撮像工程によりえられる第２の画像と、前記第３の撮像工程によりえられる第３の画像におけるホワイトバランス調整量を同一とすることを特徴とする請求項５に記載の撮像装置の制御方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明では、撮像装置を次の（１）ないし（３）のとおりに構成し、撮像装置の制御方法を次の（４）ないし（６）のとおりに構成する。
（１）フラッシュを伴う撮像を行う撮像装置において、
フラッシュ装置の発光により撮像素子が受ける光量と定常光により撮像素子が受ける光量との比率が異なり、かつ主被写体が所定の露出値である画像を複数撮影するように制御する制御手段を備える撮像装置。
（２）フラッシュを伴う撮像を行う撮像装置において、
フラッシュ装置に発光を行わせ被写界を撮像する第１の撮像手段と、
前記第１の撮像手段による撮像の際の露出値を増量或いは減量させる露出値調整手段と、
前記露出値調整手段による露出値の増量分を打ち消すように前記フラッシュ装置に発光量を制御させる第１の光量制御手段と、
前記第１の光量制御手段によって光量を制御して被写界の撮像を行う第２の撮像手段と、
前記露出値調整手段による露出値の減量分を打ち消すように前記フラッシュ装置に発光量を制御させる第２の光量制御手段と、
前記第２の光量制御手段によって光量を制御して被写界の撮像を行う第３の撮像手段と、
を備える撮像装置。
（３）前記第１の撮像手段により得られる第１の画像と、前記第２の撮像手段によりえられる第２の画像と、前記第３の撮像手段によりえられる第３の画像におけるホワイトバランス調整量を同一とする前記（２）に記載の撮像装置。
（４）フラッシュを伴う撮像を行う撮像装置の制御方法において、
フラッシュ装置の発光により撮像素子が受ける光量と定常光により撮像素子が受ける光量との比率が異なり、かつ主被写体が所定の露出値である画像を複数撮影するように制御する制御工程を備える撮像装置の制御方法。
（５）フラッシュを伴う撮像を行う撮像装置の制御方法において、
フラッシュ装置に発光を行わせ被写界を撮像する第１の撮像工程と、
前記第１の撮像工程による撮像の際の露出値を増量或いは減量させる露出値調整工程と、
前記露出値調整工程による露出値の増量分を打ち消すように前記フラッシュ装置に発光量を制御させる第１の光量制御工程と、
前記第１の光量制御工程によって光量を制御して被写界の撮像を行う第２の撮像工程と、
前記露出値調整工程による露出値の減量分を打ち消すように前記フラッシュ装置に発光量を制御させる第２の光量制御工程と、
前記第２の光量制御工程によって光量を制御して被写界の撮像を行う第３の撮像工程と、
を備える撮像装置の制御方法。
（６）前記第１の撮像工程により得られる第１の画像と、前記第２の撮像工程によりえられる第２の画像と、前記第３の撮像工程によりえられる第３の画像におけるホワイトバランス調整量を同一とする前記（５）に記載の撮像装置の制御方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月21日(2005.11.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と、
前記半導体基板の上方に形成された第１絶縁層と、
前記第１絶縁層上に形成された下部電極と、
前記下部電極上に形成され、該下部電極の一つの側面と実質的に連続した側面を有するキャパシタ誘電体層と、
前記キャパシタ誘電体層上に形成された上部電極と、
前記上部電極、前記キャパシタ誘電体層、前記下部電極、及び前記第１絶縁膜を覆い、前記下部電極と前記キャパシタ誘電体層のそれぞれの前記側面が露出する第１ホールが形成された第２絶縁層と、
前記第１ホール内に形成されて前記下部電極の側面と電気的に接続された下部電極用引き出し配線とを有し、
前記下部電極とキャパシタ誘電体層の平面形状は帯状の矩形であり、前記第１ホールは前記矩形の短辺と重なることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記下部電極と前記キャパシタ誘電体層のそれぞれの前記側面は、前記半導体基板の主面と３０°〜８５°の角度をなすことを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
半導体基板の上方に第１絶縁層を形成する工程と、
下部電極用導電層、誘電体層、及び上部電極用導電層を前記第１絶縁層上に順に形成する工程と、
前記上部電極用導電層をパターニングして上部電極にする工程と、
前記誘電体層と前記下部電極用導電層とをパターニングすることにより、それぞれの一つの側面同士が実質的に連続するキャパシタ誘電体層と下部電極とを形成する工程と、
前記上部電極、前記キャパシタ誘電体層、及び前記下部電極を覆う第２絶縁層を形成する工程と、
前記下部電極と前記キャパシタ誘電体層のそれぞれの前記側面が露出する第１ホールを前記第２絶縁層に形成する工程と、
前記下部電極の前記側面と電気的に接続される下部電極用引き出し配線を前記第１ホール内に形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記キャパシタ誘電体層と前記下部電極とを形成する工程は、
前記上部電極と前記誘電体層とを覆う第１マスクを形成する工程と、
前記第１マスクで覆われていない部分の前記誘電体層と前記下部電極用導電層とを選択的にエッチングする工程と、
前記第１マスクを除去する工程と、
を有することを特徴とする請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
【課題を解決するための手段】
上記した課題は、半導体基板と、前記半導体基板の上方に形成された第１絶縁層と、前記第１絶縁層上に形成された下部電極と、前記下部電極上に形成され、該下部電極の一つの側面と実質的に連続した側面を有するキャパシタ誘電体層と、前記キャパシタ誘電体層上に形成された上部電極と、前記上部電極、前記キャパシタ誘電体層、前記下部電極、及び前記第１絶縁膜を覆い、前記下部電極と前記キャパシタ誘電体層のそれぞれの前記側面が露出する第１ホールが形成された第２絶縁層と、前記第１ホール内に形成されて前記下部電極の側面と電気的に接続された下部電極用引き出し配線とを有し、前記下部電極とキャパシタ誘電体層の平面形状は帯状の矩形であり、前記第１ホールは前記矩形の短辺と重なることを特徴とする半導体装置によって解決する。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月24日(2005.11.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  機器の前面パネルと、前記機器を操作する複数の釦と、該釦の保持部を有し該前面パネルの裏面側に設けられた釦ホルダとからなる前面パネル構造において、
前記前面パネルは、複数の釦を挿入する釦挿入凹部と、前記保持部が挿入する挿入孔と、該挿入孔と挿入孔との間に設けられた貫通孔とを有し、
前記釦ホルダは、前記保持部に接続し作動支点となるヒンジ部と、前記貫通孔に挿通し隣接する複数の釦を仕切る隔壁部とを有することを特徴とする前面パネル構造。
【請求項２】  前記釦ホルダは、少なくとも前記隔壁部に所望する色調、質感が得られるような樹脂部材により形成されてなることを特徴とする請求項１に記載の前面パネル構造。
【請求項３】  前記釦ホルダには、少なくとも前記隔壁部に所望する色調、質感が得られるような表面処理が施されてなることを特徴とする請求項１に記載の前面パネル構造。
【請求項４】  機器の前面パネルと、前記機器を操作する複数の釦と、該釦の保持部を有し該前面パネルの裏面側に設けられた釦ホルダとからなる前面パネル構造において、
前記前面パネルは、複数の釦を挿入する釦挿入凹部と、前記保持部が挿入する挿入孔と、該挿入孔と挿入孔との間に設けられた貫通孔とを有し、
前記釦ホルダは、前記保持部に接続し作動支点となるヒンジ部と、前記貫通孔に挿通し隣接する複数の釦を仕切る隔壁部とを有し、導光性の樹脂部材で形成され、
少なくとも前記隔壁部が所望する色調に照明されるように照明用の光源が設けられていることを特徴とする前面パネル構造。
【請求項５】  前記釦ホルダは、少なくとも前記隔壁部が導光性の樹脂部材で形成されてなることを特徴とする請求項４に記載の前面パネル構造。
【請求項６】  機器の前面パネルと、前記機器を操作する複数の釦と、該釦の保持部を有し該前面パネルの裏面側に設けられた釦ホルダとを有する電子機器において、
前記前面パネルは、複数の釦を挿入する釦挿入凹部と、前記保持部が挿入する挿入孔と、該挿入孔と挿入孔との間に設けられた貫通孔とを有し、
前記釦ホルダは、前記保持部に接続し作動支点となるヒンジ部と、前記貫通孔に挿通し隣接する複数の釦を仕切る隔壁部とを有することを特徴とする電子機器。
【請求項７】  機器の前面パネルと、前記機器を操作する複数の釦と、該釦の保持部を有し該前面パネルの裏面側に設けられた釦ホルダとを有する電子機器において、
前記前面パネルは、複数の釦を挿入する釦挿入凹部と、前記保持部が挿入する挿入孔と、該挿入孔と挿入孔との間に設けられた貫通孔とを有し、
前記釦ホルダは、前記保持部に接続し作動支点となるヒンジ部と、前記貫通孔に挿通し隣接する複数の釦を仕切る隔壁部とを有し、導光性の樹脂部材で形成され、
少なくとも前記隔壁部が所望する色調に照明されるように照明用の光源が設けられていることを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明は上述の問題を解決するもので、構成部品点数を増やすことなく意匠範囲を増やし所望する意匠の前面パネル構造及び電子機器を安価で提供することを目的とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、前記釦ホルダは、少なくとも前記隔壁部が導光性の樹脂部材で形成されてなることを特徴とするものである。
また、機器の前面パネルと、前記機器を操作する複数の釦と、該釦の保持部を有し該前面パネルの裏面側に設けられた釦ホルダとを有する電子機器において、  前記前面パネルは、複数の釦を挿入する釦挿入凹部と、前記保持部が挿入する挿入孔と、該挿入孔と挿入孔との間に設けられた貫通孔とを有し、  前記釦ホルダは、前記保持部に接続し作動支点となるヒンジ部と、前記貫通孔に挿通し隣接する複数の釦を仕切る隔壁部とを有することを特徴とするものである。
また、機器の前面パネルと、前記機器を操作する複数の釦と、該釦の保持部を有し該前面パネルの裏面側に設けられた釦ホルダとを有する電子機器において、  前記前面パネルは、複数の釦を挿入する釦挿入凹部と、前記保持部が挿入する挿入孔と、該挿入孔と挿入孔との間に設けられた貫通孔とを有し、  前記釦ホルダは、前記保持部に接続し作動支点となるヒンジ部と、前記貫通孔に挿通し隣接する複数の釦を仕切る隔壁部とを有し、導光性の樹脂部材で形成され、  少なくとも前記隔壁部が所望する色調に照明されるように照明用の光源が設けられていることを特徴とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、構成部品点数を増やすことなく意匠範囲を増やし所望する意匠の前面パネル構造及び電子機器を安価で提供するこができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月28日(2006.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハを収納するキャリアのドアを開閉するためのドア部と、前記ドア部を駆動するドア駆動装置と、を備えたロードポートにおいて、
前記ドア部が閉位置から開位置まで移動する際、
所定位置で前記ドアの移動速度を低速から高速へと変更する切り換え手段を備えたことを特徴とすることを特徴とするロードポート。
【請求項２】
前記ドア駆動装置はエアシリンダであることを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
【請求項３】
前記切り換え手段は、低速移動用の低速度配管および高速移動用の高速度配管が接続されたソレノイドバルブであることを特徴とする請求項１乃至２いずれかに記載のロードポート。
【請求項４】
前記所定位置は、前記閉位置からの時間経過によって設定されることを特徴とする請求項１乃至３いずれかにに記載のロードポート。
【請求項５】
前記低速移動の速度Ｖｄは、前記ドア部の上方から流れるダウンフローの流速Ｖｆと、
前記閉位置から前記所定位置までのストロークＸと、
前記キャリアのドアの高さＨと、に基づいて決定されることを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
【請求項６】
前記低速移動の速度Ｖｄは、前記ドア部の上方から流れるダウンフローの流速Ｖｆと、
前記閉位置から前記所定位置までのストロークＸと、
前記キャリアのドアの高さＨと、から、
Ｖｄ＝（Ｖｆ・Ｘ）／Ｈ
で決定されることを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、半導体ウエハを収納するキャリアのドアを開閉するためのドア部と、前記ドア部を駆動するドア駆動装置と、を備えたロードポートにおいて、前記ドア部が閉位置から開位置まで移動する際、所定位置で前記ドアの移動速度を低速から高速へと変更する切り換え手段を備えたことを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明は、前記ドア駆動装置はエアシリンダであることを特徴とするものである。
請求項３に記載の発明は、前記切り換え手段は、低速移動用の低速度配管および高速移動用の高速度配管が接続されたソレノイドバルブであることを特徴とするものである。
請求項４に記載の発明は、前記所定位置は、前記閉位置からの時間経過によって設定されることを特徴とするものである。
請求項５に記載の発明は、前記低速移動の速度Ｖｄは、前記ドア部の上方から流れるダウンフローの流速Ｖｆと、前記閉位置から前記所定位置までのストロークＸと、前記キャリアのドアの高さＨと、に基づいて決定されることを特徴とするものである。
請求項６に記載の発明は、前記低速移動の速度Ｖｄは、前記ドア部の上方から流れるダウンフローの流速Ｖｆと、前記閉位置から前記所定位置までのストロークＸと、前記キャリアのドアの高さＨと、から、Ｖｄ＝（Ｖｆ・Ｘ）／Ｈで決定されることを特徴とすることを特徴とするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月22日(2005.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  入射した放射線の強度に応じた発光を行う第１層と、
前記第１層から出力された光を電気エネルギーに変換する有機化合物で形成した第２層と、
前記第２層で得られた電気エネルギーの蓄積及び該蓄積された電気エネルギーに基づく信号の出力を画素単位で行う第３層と、
前記第１層から第３層を保持する第４層を備える放射線画像検出器において、
前記第４層は、酸素や水分に対する遮蔽率の高い部材を用いて形成した
ことを特徴とする放射線画像検出器。
【請求項２】  前記第４層は、酸素透過率が０．１ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍ以下である樹脂基板を用いて形成する
ことを特徴とする請求項１記載の放射線画像検出器。
【請求項３】  前記第４層は、水分透過率が０．１ｇ／ｍ2・ｄａｙ以下である樹脂基板を用いて形成する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の放射線画像検出器。
【請求項４】  前記第４層は、前記樹脂基板と遮蔽膜とを張り合わせた部材を用いるものとする
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の放射線画像検出器。
【請求項５】  前記遮蔽膜の酸素透過率が０．１ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍ以下である
ことを特徴とする請求項４記載の放射線画像検出器。
【請求項６】  前記遮蔽膜の水分透過率が０．１ｇ／ｍ2・ｄａｙ以下である
ことを特徴とする請求項４記載の放射線画像検出器。
【請求項７】  前記第４層は、樹脂基板と該樹脂基板よりも硬くて薄い非樹脂基板とを張り合わせた部材を用いるものとする
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の放射線画像検出器。
【請求項８】  前記非樹脂基板の酸素透過率が０．１ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍ以下である
ことを特徴とする請求項７記載の放射線画像検出器。
【請求項９】  前記非樹脂基板の水分透過率が０．１ｇ／ｍ2・ｄａｙ以下である
ことを特徴とする請求項７記載の放射線画像検出器。
【請求項１０】  前記第４層は、樹脂基板と遮蔽膜と該樹脂基板よりも硬くて薄い非樹脂基板とを張り合わせた部材を用いるものとする
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の放射線画像検出器。
【請求項１１】  前記遮蔽膜の酸素透過率が０．１ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍ以下である
ことを特徴とする請求項１０記載の放射線画像検出器。
【請求項１２】  前記遮蔽膜の水分透過率が０．１ｇ／ｍ2・ｄａｙ以下である
ことを特徴とする請求項１０記載の放射線画像検出器。
【請求項１３】  前記第１層は、ＣｓＩ：Ｔｌ、Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂ、（Ｇｄ，Ｍ1，Ｅｕ）2Ｏ3、（Ｇｄ，Ｍ2，Ｔｂ）2Ｏ3のいずれかを用いて形成する（なお、「Ｍ1」はＹ、Ｎｂ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂの少なくとも一つ以上の希土類元素、「Ｍ2」はＹ、Ｎｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂの少なくとも一つ以上の希土類元素）
ことを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれかに記載の放射線画像検出器。
【請求項１４】  前記第３層は有機半導体で形成した
ことを特徴とする請求項１から請求項１３のいずれかに記載の放射線画像検出器。
【請求項１５】  前記第３層は分割されたシリコン積層構造素子を用いて形成した
ことを特徴とする請求項１から請求項１３のいずれかに記載の放射線画像検出器。
【請求項１６】  前記放射線画像検出器は、携行可能な筐体に収納されている
ことを特徴とする請求項１から請求項１５のいずれかに記載の放射線画像検出器。
【請求項１７】  前記放射線画像検出器を駆動させるために必要な電力を供給する電力供給手段を有する
ことを特徴とする請求項１６に記載の放射線画像検出器。
【請求項１８】  前記放射線画像検出器から出力された画像信号を記憶する記憶手段を設けた
ことを特徴とする請求項１から請求項１７のいずれかに記載の放射線画像検出器。
【請求項１９】  前記記憶手段は脱着可能である
ことを特徴とする請求項１８に記載の放射線画像検出器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
この発明においては、入射した放射線の強度に応じた発光を行う第１層と、第１層から出力された光を電気エネルギーに変換する有機化合物で形成した第２層と、第２層で得られた電気エネルギーの蓄積及び該蓄積された電気エネルギーに基づく信号の出力を画素単位で行う第３層と、第１層から第３層を保持する保持する第４層を用いて放射線画像検出器を構成する際に、第４層は酸素や水分に対する遮蔽率の高い部材を用いて形成される。例えば酸素透過率が０．１ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍ以下である樹脂基板や、水分透過率が０．１ｇ／ｍ2・ｄａｙ以下である樹脂基板を用いて形成される。また、第４層が樹脂基板と樹脂基板よりも硬くて薄く検出素子層が形成される非樹脂基板とを張り合わせた部材や、第４層が樹脂基板と樹脂基板よりも硬くて薄く検出素子層が形成される非樹脂基板と遮蔽膜が用いられて、酸素透過率が０．１ｃｃ／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍ以下、水分透過率が０．１ｇ／ｍ2・ｄａｙ以下とされる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月22日(2005.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マルチキャストクライアント端末を収容するパケット中継装置であって、
マルチキャスト送信元を指定できないマルチキャストクライアント端末からのマルチキャストグループへの参加または離脱要求を、マルチキャスト送信元を指定したマルチキャストグループへの参加または離脱要求に変換して処理する処理部を有し、
さらに、上記マルチキャストクライアント端末のアドレスと、上記参加または離脱要求されたマルチキャストグループのアドレスを元にして、指定すべきマルチキャスト送信元を定めるパケット中継装置。
【請求項２】
マルチキャストグループアドレスと、マルチキャストクライアント端末アドレスと、それらに対応するマルチキャスト送信元アドレスとの対応テーブルを用い、
上記マルチキャスト送信元を指定できないマルチキャストクライアント端末からマルチキャストグループへの参加または離脱要求が発生したとき、上記対応テーブルを参照して、上記参加または離脱要求を行ったマルチキャストクライアント端末のアドレスと上記参加または離脱要求されたマルチキャストグループのアドレスを含むエントリのマルチキャスト送信元アドレスを、指定すべきマルチキャスト送信元とする請求項１記載のパケット中継装置。
【請求項３】
上記対応テーブルのマルチキャスト送信元アドレスが”Ｄｏｎ'ｔ ｃａｒｅ”である場合には、マルチキャスト送信元を指定しないマルチキャストグループへの参加または離脱要求として処理する請求項２記載のパケット中継装置。
【請求項４】
上記対応テーブルは、該パケット中継装置に内蔵されるか、あるいは、該パケット中継装置と回線により接続されてアクセス可能な別個の装置内に配置される請求項２記載のパケット中継装置。
【請求項５】
マルチキャストクライアント端末を収容するパケット中継装置であって、
マルチキャスト参加問い合わせに対して、特定のマルチキャスト送信元からのマルチキャストグループに参加するマルチキャストクライアント端末が、あるネットワークに存在するかどうかを、上記マルチキャストクライアント端末がマルチキャスト送信元を特定するマルチキャスト参加問い合わせに応答する機能を持たない場合でも検出できるパケット中継装置。
【請求項６】
マルチキャストグループアドレスと、マルチキャストクライアント端末アドレスと、それらに対応するマルチキャスト送信元アドレスとの対応テーブルを検索することにより、
特定のマルチキャスト送信元からのマルチキャストグループに参加するマルチキャストクライアント端末が、あるネットワークに存在するかどうかを検出する請求項５記載のパケット中継装置。
【請求項７】
マルチキャストグループへの参加問い合わせに含まれるマルチキャストアドレスと問合せを送る先の回線のアドレスに、マルチキャストグループアドレスとマルチキャストクライアント端末アドレスがそれぞれ合致するエントリが上記対応テーブルに含まれているかどうかを調べ、該当するエントリが存在しない場合は、そのマルチキャストグループはネットワーク管理者により運用を拒否されたものとして処理する請求項６記載のパケット中継装置。
【請求項８】
マルチキャストグループへの参加問い合わせに含まれるマルチキャストアドレスと問合せを送る先の回線のアドレスに、マルチキャストグループアドレスとマルチキャストクライアント端末アドレスがそれぞれ合致するエントリが上記対応テーブルに含まれているかどうかを調べ、該当するエントリが存在する場合は、当該エントリのマルチキャスト送信元アドレスが上記参加問い合わせ中のマルチキャスト送信元アドレスを含むか否かを調べ、該当するアドレスが存在しない場合は、そのマルチキャストグループへの参加はネットワーク管理者により運用を拒否されたものとして処理する請求項７記載のパケット中継装置。
【請求項９】
上記当該エントリのマルチキャスト送信元アドレスが上記参加問い合わせ中のマルチキャスト送信元アドレスを含むか否かを調べ、含まれている場合には、上記参加問い合わせに含まれるマルチキャストクライアント端末アドレスへのソース非限定型の問合せを行う請求項８記載のパケット中継装置。
【請求項１０】
上記対応テーブルは、該パケット中継装置に内蔵されるか、あるいは、該パケット中継装置と回線により接続されてアクセス可能な別個の装置内に配置される請求項６記載のパケット中継装置。
【請求項１１】
マルチキャストクライアント端末を収容するパケット中継装置であって、
マルチキャストグループと、当該マルチキャストグループのクライアントとなる端末のアドレスと、当該マルチキャストグループの送信元となるアドレスとの対応を管理する管理テーブルを備えることを特徴とするパケット中継装置。
【請求項１２】
上記マルチキャストクライアント端末からのマルチキャスト参加要求を受信する回線収容部と、
上記マルチキャスト参加要求がソース限定型マルチキャスト参加要求かソース非限定型マルチキャスト参加要求かを判断し、ソース非限定型マルチキャスト参加要求の場合、上記管理テーブルを検索し、該検索結果に従って、上記ソース非限定型マルチキャスト参加要求をソース限定型マルチキャスト参加要求に変換するマルチキャストグループ管理パケット変換部と、
上記ソース限定型マルチキャスト参加要求を処理する、マルチキャストグループ管理パケット処理部と、
マルチキャストグループの送信元方向に対してそのマルチキャストグループへの参加要求があったことを通知するマルチキャスト経路制御部と、
を有する請求項１１記載のパケット中継装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月22日(2005.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】アドレス変換装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の端末に接続される第１の通信網と第２の端末に接続される第２の通信網とを少なくとも含む複数の通信網に接続されるインタフェースと、前記第１の通信網で使用されるアドレスと第２の通信網で使用されるアドレスとを変換するテーブルとを有し、
該変換テーブルは、前記アドレスが前記第１の端末または第２の端末に付与された実アドレスであるか無いかの識別情報を含むことを特徴とするアドレス変換装置。
【請求項２】
第１の端末に接続される第１の通信網と第２の端末に接続される第２の通信網とを少なくとも含む複数の通信網に接続されるインタフェースと、
前記第１の通信網で使用されるアドレスと第２の通信網で使用されるアドレスと前記アドレスが前記第１の端末または第２の端末の実アドレスであるか無いかの識別情報とが格納された記憶手段と、
前記第１の通信網のアドレスと前記第２の通信網のアドレスとの変換を実行する制御手段とを有することを特徴とするアドレス変換装置。
【請求項３】
請求項１に記載のアドレス変換装置において、前記テーブルには、前記アドレス変換の実行の際、前記第１の通信網で使用されるアドレスと第２の通信網で使用されるアドレスのアドレス変換規則と、前記識別情報とが記録されることを特徴とするアドレス変換装置。
【請求項４】
請求項２に記載のアドレス変換装置において、前記制御手段は、前記アドレス変換の実行の際、前記第１の通信網で使用されるアドレスと、第２の通信網で使用されるアドレスのアドレス変換規則と、前記識別情報とを、前記記憶手段に記録することを特徴とするアドレス変換装置。
【請求項５】
請求項１に記載のアドレス変換装置において、前記テーブルが格納される記憶手段を有することを特徴とするアドレス変換装置。
【請求項６】
請求項３に記載のアドレス変換装置において、前記第１の端末または第２の端末からの前記アドレス変換規則に対する設定指示を受信する手段を備えたことを特徴とするアドレス変換装置。
【請求項７】
請求項４に記載のアドレス変換装置において、前記アドレス変換規則を入力する手段、ないし前記第１の端末または第２の端末からアドレス変換規則の設定信号を受信する手段を有することを特徴とするアドレス変換装置。
【請求項８】
請求項１に記載のアドレス変換装置において、前記テーブルが表示される保守端末装置を備えたことを特徴とするアドレス変換装置。
【請求項９】
請求項２に記載のアドレス変換装置において、前記記憶手段の内容が表示される保守端末装置を備えたことを特徴とするアドレス変換装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月24日(2005.11.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送ハンドを有し、前記搬送ハンドでペリクル付き原版を保持して搬送する搬送装置であって、
前記搬送ハンドにガス噴射部が設けられていることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記ガス噴射部が、前記ペリクル付き原版のペリクル支持枠の周囲の少なくとも一部に対してガスを噴射するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記ペリクル付き原版が、ペリクル膜又はペリクル板と原版との間のペリクル空間と外部空間とを連通させる通気孔を有し、
前記ガス噴射部が、前記通気孔を通して前記ペリクル空間内にガスが供給されるようにガスを噴射することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記ガス噴射部が、前記通気孔に向けてガスを噴射するように構成されていることを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記搬送ハンドにガス吸引部が更に設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記ガス吸引部が、前記ガス噴射部から噴射されて前記ペリクル付き原版に供給されたガスの少なくとも一部を吸引することを特徴とする請求項５に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記ペリクル付き原版が、ペリクル膜又はペリクル板と原版との間のペリクル空間と外部空間とを連通させる第１通気孔及び第２通気孔を有し、前記ハンドにガス吸引部が更に設けられており、前記ガス噴射部が、前記第１通気孔を通して前記ペリクル空間内にガスを供給するように構成されており、前記ガス吸引部が、前記第２通気孔を通して前記ペリクル空間内のガスを吸引するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記ガス噴射部が、前記第１通気孔を塞ぐ第１閉塞部を有し、前記第１閉塞部によって前記第１通気孔を塞いだ状態で前記第１通気孔を通して前記ペリクル空間内にガスを供給するように構成され、前記ガス吸引部が、前記第２通気孔を塞ぐ第２閉塞部を有し、前記第２閉塞部によって前記第２通気孔を塞いだ状態で前記第２通気孔を通して前記ペリクル空間内のガスを吸引するように構成されていることを特徴とする請求項７に記載の搬送装置。
【請求項９】
前記搬送ハンドが前記ペリクル付き原版を保持した状態で前記ペリクル付き原版のペリクル構造体の周囲を覆うカバーを更に備えることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項１０】
前記ガスが、不活性ガスであることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項１１】
前記ガスが、窒素、ヘリウム及びアルゴンの少なくとも１種であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項１２】
少なくとも第１室と第２室との間で前記ペリクル付き原版を搬送するように構成されていることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項１３】
前記第１室及び前記第２室内よりも酸素及び／又は水分の濃度が高い搬送空間に配置されていることを特徴とする請求項１２に記載の搬送装置。
【請求項１４】
前記第１室に前記搬送ハンドを挿入して前記搬送ハンドに前記第１室内のペリクル付き原版を保持させ、前記搬送空間を通って前記搬送ハンドに前記ペリクル付き原版を前記第２室に搬送させる搬送手順において、前記第１室に前記搬送ハンドを挿入する前に前記ガス噴射部からガスを噴射させることを特徴とする請求項１２又は１３に記載の搬送装置。
【請求項１５】
前記第１室に前記搬送ハンドを挿入して前記搬送ハンドに前記第１室内のペリクル付き原版を保持させ、前記搬送空間を通って前記搬送ハンドに前記ペリクル付き原版を前記第２室に搬送させる搬送手順において、前記第１室に前記搬送ハンドを挿入して前記搬送ハンドに前記第１室内のペリクル付き原版を保持させた後に、前記ガス噴射部からガスを噴射させることを特徴とする請求項１２又は１３に記載の搬送装置。
【請求項１６】
ペリクル膜又はペリクル板と原版との間のペリクル空間と外部空間とを連通させる通気孔を有するペリクル付き原版を搬送ハンドで保持して搬送する搬送装置であって、
前記搬送ハンドで前記ペリクル付きレチクルが保持された状態で、前記通気孔を塞ぐ閉塞機構を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項１７】
請求項１乃至１６のいずれか１項に記載の搬送装置を備えることを特徴とするデバイス製造装置。
【請求項１８】
前記搬送装置によって搬送されるペリクル付き原版を使って基板にパターンを転写する露光部を備え、露光装置として構成されていることを特徴とする請求項１７に記載のデバイス製造装置。
【請求項１９】
ペリクル膜又はペリクル板と原版との間のペリクル空間と外部空間とを連通させる通気孔を有するペリクル付き原版を搬送する搬送方法であって、
前記通気孔を使って前記ペリクル空間内のガスを不活性ガスでパージしながら前記ペリクル付き原版を搬送する工程を含むことを特徴とする搬送方法。
【請求項２０】
ペリクル膜又はペリクル板と原版との間のペリクル空間と外部空間とを連通させる第１通気孔及び第２通気孔を有するペリクル付き原版を搬送する搬送方法であって、
前記第１通気孔を通して前記ペリクル空間内に不活性ガスを供給するとともに前記第２通気孔を通して前記ペリクル空間内からガスを吸引しながら前記ペリクル付き原版を搬送する工程を含むことを特徴とする搬送方法。
【請求項２１】
ペリクル膜又はペリクル板と原版との間のペリクル空間と外部空間とを連通させる通気孔を有するペリクル付き原版を搬送する搬送方法であって、
前記通気孔を塞さぐ工程と、前記通気孔が塞がれた状態で前記ペリクル付き原版を搬送する工程とを含むことを特徴とする搬送方法。
【請求項２２】
請求項１８に記載のデバイス製造装置を使って、感光剤が塗布された基板にパターンを転写する工程と、
該基板を現像する工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法。