Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月3日(2006.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１および第２のレーザ光を出射する半導体レーザと光検出器とを備える半導体レーザジャイロであって、
前記光検出器は、前記第１および第２のレーザ光によって干渉縞が形成される位置に配置されており、
前記半導体レーザは、活性層と前記活性層にキャリアを注入するための第１および第２の電極とを備え、
前記第１のレーザ光は、前記活性層内において多角形の経路上を周回するレーザ光（Ｌ１）の一部が出射されたレーザ光であり、
前記第２のレーザ光は、前記経路上を前記レーザ光（Ｌ１）とは逆の方向に周回するレーザ光（Ｌ２）の一部が出射されたレーザ光である半導体レーザジャイロ。
【請求項２】
前記活性層の平面形状が環状ではない請求項１に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項３】
前記多角形の経路は菱形の経路であり、
前記活性層は、前記菱形の経路の第１から第４の角部に対応する位置に形成された第１から第４の端面を有する請求項１または２に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項４】
前記第１および第２の電極から選ばれる少なくとも１つの電極と前記半導体レーザを構成する半導体層とが、前記菱形の経路に沿って接触する請求項３に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項５】
前記菱形の経路の対向する前記第１および第２の角部の内角は、前記第３および第４の角部の内角よりも角度が小さく、
前記第１および第２のレーザ光はともに前記第１の角部に対応する位置に形成された前記第１の端面から出射される請求項３に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項６】
前記第１の角部と前記第２の角部とを結ぶ対角線と、前記第１および第２のレーザ光とが非平行である請求項５に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項７】
前記活性層は、前記レーザ光（Ｌ１）および前記レーザ光（Ｌ２）が前記第３および第４の端面において全反射する条件を満たす請求項５に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項８】
前記第１および第２の端面は、それぞれ、外側に凸の曲面である請求項５に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項９】
前記活性層は、前記菱形の経路を含む第１の領域と、前記第１の領域に隣接する第２の領域とを含み、
前記第１の領域の平面形状は長方形の短辺を外側に凸の曲面とした形状である請求項８に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項１０】
前記第１の領域と前記第２の領域とによって構成される前記活性層の平面形状が略Ｈ字状である請求項９に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項１１】
前記第１の角部と前記第２の角部とを結ぶ対角線に平行な方向における前記第２の領域の長さＬｓ（μｍ）と、前記第１の角部と前記第２の角部との距離Ｌ（μｍ）とが、Ｌ／４＜Ｌｓを満たす請求項１０に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項１２】
前記光検出器が複数の受光素子を備える請求項１〜１１のいずれか１項に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項１３】
前記半導体レーザと前記光検出器とが、モノリシックに形成されている請求項１〜１２のいずれか１項に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項１４】
前記半導体レーザと前記光検出器とが同じ積層構造を有する請求項１３に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項１５】
レンズをさらに備え、
前記光検出器は、前記レンズを透過した前記第１および第２のレーザ光によって干渉縞が形成される位置に配置されている請求項１〜１２のいずれか１項に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項１６】
前記半導体レーザと前記レンズとがモノリシックに形成されている請求項１５に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項１７】
前記半導体レーザの半導体層と前記レンズとが同じ積層構造を有する請求項１６に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項１８】
プリズムをさらに備え、
前記光検出器は、前記プリズムを透過した前記第１および第２のレーザ光によって干渉縞が形成される位置に配置されている請求項１〜１２のいずれか１項に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項１９】
前記半導体レーザと前記プリズムとがモノリシックに形成されている請求項１８に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項２０】
前記半導体レーザの半導体層と前記プリズムとが同じ積層構造を有する請求項１９に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項２１】
前記半導体レーザと前記プリズムと前記光検出器とがモノリシックに形成されている請求項１８に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項２２】
前記半導体レーザの半導体層と前記プリズムと前記光検出器の半導体層とが同じ積層構造を有する請求項２１に記載の半導体レーザジャイロ。
【請求項２３】
前記半導体レーザが、前記活性層を挟むように配置された２つのクラッド層を含み、
前記２つのクラッド層のそれぞれが、前記活性層の平面形状と同じ平面形状を有する請求項１に記載の半導体レーザジャイロ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
上記菱形の経路の対向する第１および第２の角部の内角は、第３および第４の角部の内角よりも角度が小さく、第１および第２のレーザ光はともに第１の角部に対応する位置に形成された第１の端面から出射されることが好ましい。より具体的には、第１および第２のレーザ光は、キャビティーとして機能する活性層の長手方向の一方端から出射されることが好ましい。第１の角部と第２の角部とを結ぶ対角線と、第１および第２のレーザ光とは非平行である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
半導体レーザ１０では、注入される電流が閾値電流を超えるとシングルモードの発振を開始する。そして、注入される電流が閾値電流からさらに増加するに従って、発振のモードが、シングルモード、ツインモード、ロッキングモードという順で変化する。シングルモードでは、図４に示すように、第１および第２のレーザ光３５および３６が出射される。ツインモードでは、２つのレーザ光が周期的に交互に出射される。ロッキングモードでは、２つのレーザ光のうちの１つのレーザ光のみが出射される。したがって、本発明では、通常、半導体レーザ１０をシングルモードで動作させる。具体的には、たとえば、第１の電極１３と第２の電極１４との間に、２００ｍＡの電流を流すことによって、レーザを発振させればよい。なお、本発明のジャイロでは、注入する電流によって発振のモードを変更できることを利用して、特別な機能を付与してもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
（半導体レーザジャイロ）
本発明のジャイロは、第１および第２のレーザ光で干渉縞が形成された位置に配置された光検出器を備える。光検出器は、干渉縞の移動を検出できるものであれば特に限定がなく、通常は、フォトダイオードやフォトトランジスタといった半導体受光素子が用いられる。光検出器は、干渉縞の光量の強弱に応じた信号を出力する。干渉縞が移動すると、光検出器に入力される光量が周期的に変化するため、干渉縞の移動速度を算出できる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月21日(2005.10.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
従来のパンタグラフの検査装置としては超音波センサを用いて検査する装置や、カメラを用いて検査する検査装置が提案されている。特許文献１の従来技術には、テレビカメラを用いてパンタグラフに撮像時に光を照射して、テレビカメラでパンタグラフをモニタに映し出し、監視員がその画像からパンタグラフの状態を見て異常判断する事が記載されている。なお、本特許文献１では、従来人がパンタグラフの状態を監視していたものを、自動的に、画像処理技術を用いてパンタグラフすり板の厚みを求める測定装置が開示されている。この装置は、周囲の照度を測定する照度計を設置し、パンタグラフをランダムシャッタカメラにて撮像し、その時の周囲の照度に応じて、カメラの輝度を自動調整する物である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明では、車両の進入を検知する進入検知センサと、パンタグラフが撮像領域に進入してきたことを検出するパンタグラフ検知センサと、パンタグラフ検知センサがパンタグラフを検知するとパンタグラフすり板上面に光りを照射する上面照射用フラッシュ照明と、撮像用カメラ側に設置されパンタグラフすり板側面側を照射用のフラッシュ照明を照射し同時にカメラを動作させてパンタグラフを撮像するように構成し、前記すり板上面を照射するフラッシュ光に対してパンタグラフすり板側面照射用フラッシュ光の光量を小さくしたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
パンタグラフすり板計測装置３５は主に、先に述べたようにパンタグラフすり板部を撮像するための複数台のすり板撮像カメラ２ａ、２ｂと、パンタグラフに所定のタイミングで光を照射する複数台のフラッシュ照明１０ａ、１０ｂ及びすり板上面照射用フラッシュ照明２０ａ、２０ｂと、所定の位置でパンタグラフの通過を検出するパンタグラフ検知センサ５と前記すり板撮像カメラ２やフラッシュ照明１０ａ、１０ｂ、２０ａ、２０ｂを制御するためのパンタグラフすり板厚計測用制御装置３０からなる。制御装置３０にはこの他に、車両進入検知センサ６、７の信号及び車両情報受信機９からの信号を受信できるようになっている。なお図５に車両進入検知センサの配置を示す。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2005249503.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月11日(2006.1.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧縮機、四方弁、暖房用膨張機構、室外機用熱交換器を有する室外機と、室内機用熱交換器、冷房用膨張機構を有し空気吸込み口から前記室内機用熱交換器を通過して室内機用送風機にて室内に導入される室内機と、が冷媒配管で接続されて冷凍サイクルを構成し、
前記室内機が室外の空気を吸込んで運転される外気処理空気調和機において、
前記空気吸込み口に配置された吸込み空気温度検知部を備え、暖房運転時に前記吸込み空気温度検知部にて検出された温度が所定値よりも大きい場合は前記暖房用膨張機構の絞り量を制御し、検出された温度が所定値以下の場合、前記暖房用膨張機構及び前記冷房用膨張機構の絞り量を制御することを特徴とする空気調和機。
【請求項２】
請求項１に記載のものにおいて、前記室内機用熱交換器近辺に冷媒液配管温度検知部を配置し、該冷媒液配管温度検知部により検出される温度に関連して前記冷房用膨張機構の絞り量を補正することを特徴とする空気調和機。
【請求項３】
圧縮機、四方弁、暖房用膨張機構、室外機用熱交換器を有する室外機と、室内機用熱交換器、冷房用膨張機構を有し空気吸込み口から前記室内機用熱交換器を通過して室内機用送風機にて室内に導入される室内機と、が冷媒配管で接続されて冷凍サイクルを構成し、前記室内機が室外の空気を吸込んで運転される外気処理空気調和機において、
前記室内機用熱交換器近辺に冷媒液配管温度検知部を備え、暖房運転時に前記冷媒液配管温度検知にて検出された温度が所定値よりも大きい場合は前記暖房用膨張機構の絞り量を制御し、検出された温度が所定値以下の場合、前記暖房用膨張機構及び前記冷房用膨張機構の絞り量を制御することを特徴とする空気調和機。
【請求項４】
請求項３に記載のものにおいて、前記空気吸込み口に配置された吸込み空気温度検知部を備え、該空気温度検知部により検出される温度に関連して前記冷房用膨張機構の絞り量を補正することを特徴とする空気調和機。
【請求項５】
圧縮機、四方弁、暖房用膨張機構、室外機用熱交換器を有する室外機と、室内機用熱交換器、冷房用膨張機構を有し空気吸込み口から前記室内機用熱交換器を通過して室内機用送風機にて室内に導入される室内機と、が冷媒配管で接続されて冷凍サイクルを構成し、前記室内機が室外の空気を吸込んで運転される外気処理空調機において、
前記空気吸込み口に配置された吸込み空気温度検知部と、前記室内機用熱交換器近辺に冷媒液配管温度検知部と、を備え、暖房運転時に前記吸込み空気温度検知部及び前記冷媒液配管温度検知部にて検出された温度に関連して前記冷房用膨張機構の絞り量を制御することを特徴とする空気調和機。
【手続補正書】
【提出日】平成18年9月22日(2006.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板上に画像表示領域と前記画像表示領域を囲む周辺領域を有し、
前記画像表示領域に配置された複数の薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタへ信号を供給する複数の信号線と、周辺領域に配置されて前記信号線の一端に接続された接続パッドとを絶縁基板上に備えたアクティブマトリクス型表示装置であって、
前記絶縁基板の周辺領域は、前記接続パッドよりも外側で前記基板の端面に対向して設けられたショート用配線と、前記接続パッドから前記絶縁基板の端部に向って延びて前記ショート用配線と接続されたパッド間ショート用配線とを有することを特徴とするアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項２】
前記信号線の他の一端と接続して前記絶縁基板の端部に向って延びる延長配線と、前記延長配線と絶縁層を介して交叉したリペア配線とを有することを特徴とする請求１に記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項３】
絶縁基板と、
該基板上にマトリクス状に配置された複数の薄膜トランジスタと該薄膜トランジスタへ信号を供給する複数の信号線とからなる表示部と、
前記複数の信号線へ電気信号を供給する複数本の入力配線と、
前記基板上に設けられ、前記複数本の入力配線にチップ・オン・ガラス実装で電気的に接続された前記薄膜トランジスタ駆動用のＩＣチップと、
前記各入力配線と電気的に接続され前記ＩＣチップの下を通るパッド間ショート用配線と、
前記ＩＣチップが実装される領域よりも外側で前記基板の端面よりも内側に設けられ、前記パッド間ショート用配線を互いに電気的に接続するショート用配線と、
前記複数のパッド間ショート用配線と前記ショート用配線との電気的接続が切断された切断領域を接続用パッドよりも外側で該ショート用配線よりも内側に配置していることを特徴とするアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項４】
前記ショート用配線は、静電気対策用ショート用配線あるいは分岐ショート用配線であることを特徴とする請求項３に記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項５】
前記分岐ショート用配線は、Ｕ字状であることを特徴とする請求項４記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項６】
前記基板上に、フレキシブルプリント回路基板の配線間接続パターンが形成されていることを特徴とする請求項３に記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項７】
前記ショート用配線は、各色毎に対応する同一本数の複数の配線で形成されることを特徴とする請求項３に記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項８】
前記絶縁基板の端部に向って延びて前記信号線と接続された延長配線と、
前記延長配線と絶縁層を介して交叉したリペア配線とを有し、
前記延長配線と前記リペア配線とを前記基板のシール部の外側に形成し、
リペアする信号配線を前記ショート用配線と金属錯体で電気的に接続することを特徴とする請求項３に記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項９】
前記絶縁基板は，ガラス基板、あるいは折り曲げ可能な基板であることを特徴とする請求項３に記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項１０】
絶縁基板と、
前記基板上にマトリクス状に配置された複数の薄膜トランジスタと該薄膜トランジスタへ信号を供給する複数の信号線とからなる表示部と、
前記複数の信号線へ電気信号を供給する複数本の入力配線と、
前記薄膜トランジスタ駆動用のＩＣチップを搭載したフレキシブル基板と前記複数本の入力配線とを電気的に接続する端子部と、
前記各入力配線と電気的に接続され端子部より外側に設けられるパッド間ショート用配線と、
前記端子部よりも外側で前記基板の端面よりも内側に設けられたショート用配線と、
前記複数のパッド間ショート用配線と前記ショート用配線との電気的接続が切断された切断領域を前記端子部よりも外側で該ショート用配線よりも内側に配置していることを特徴とするアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項１１】
前記ショート用配線は、静電気対策用ショート用配線あるいは分岐ショート用配線であることを特徴とする請求項１０に記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項１２】
前記フレキシブル基板は、前記ショート用配線、あるいは前記ショート用配線と前記切断領域を覆うように貼り付けられていることを特徴とする請求項１０に記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項１３】
前記基板上に、フレキシブルプリント回路基板の配線間接続パターンが形成されていることを特徴とする請求項１０に記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項１４】
前記分岐ショート用配線は、Ｕ字状であることを特徴とする請求項１１記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項１５】
前記ショート用配線は、各色毎に対応する同一本数の複数の配線で形成されることを特徴とする請求項１０に記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項１６】
前記絶縁基板の端部に向って延びて前記信号線と接続された延長配線と、
前記延長配線と絶縁層を介して交叉したリペア配線とを有し、
前記延長配線と前記リペア配線とを前記基板のシール部の外側に形成し、
リペアする信号配線を前記ショート用配線と金属錯体で電気的に接続することを特徴とする請求項１０に記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項１７】
前記絶縁基板は，ガラス基板、あるいは折り曲げ可能な基板であることを特徴とする請求項１０に記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】アクティブマトリクス型表示装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、アクティブマトリクス型表示装置に係り、特にガラス基板、あるいはプラスチックシート（ＰＥＳ(Polyethersulfone)フィルム等）やスチール箔上に絶縁膜を形成した基板などの折り曲げ可能な絶縁基板の上に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を有する画素をマトリクス状に形成するに際し、静電気ストレスに強く、信号線の断線が生じた場合でもリペア線による補修が高信頼性で十分に行うことができ、また、チップオンガラス（ＣＯＧ）実装との組合せで軽量、コンパクト実装を実現したアクティブマトリクス型表示装置に関する。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月3日(2006.2.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トナーを薄層状に担持するトナー担持体上のトナー量を測定する装置であって、
前記トナー担持体上に赤外線を照射する赤外線照射手段と、
前記トナー担持体上で反射した赤外線の強度を検知する強度検知手段と、
前記強度検知手段によって検知された強度に基づきトナー量を算出する算出手段とを有することを特徴とするトナー量の測定装置。
【請求項２】
前記算出手段は、前記強度検知手段によって検知された強度と、設定強度との差に応じてトナー量を算出する請求項１に記載のトナー量の測定装置。
【請求項３】
前記算出手段は、設定強度と、トナー量算出のためのプログラムおよび変換テーブルとを格納するものを有し、前記設定強度および前記変換テーブルは、それぞれ、トナーの種類に対応して複数設定され、前記プログラムは、トナーの種類に対応した設定強度および変換テーブルを選択し、トナー量を算出する請求項２に記載のトナー量の測定装置。
【請求項４】
前記算出手段において、前記トナーの種類の情報には、トナーを構成する樹脂の種類の情報が含まれる請求項３に記載のトナー量の測定装置。
【請求項５】
前記トナーは、樹脂を構成成分として含むものである請求項１ないし４のいずれかに記載のトナー量の測定装置。
【請求項６】
前記強度検知手段は、前記トナーを構成する樹脂のＣ−Ｈ結合の吸収スペクトルに対応する波長の赤外線の強度を検知するものである請求項５に記載のトナー量の測定装置。
【請求項７】
前記トナー担持体上で反射した赤外線を集光する集光手段を有し、該集光手段によって集光された赤外線を前記強度検知手段が検知する請求項１ないし６のいずれかに記載のトナー量の測定装置。
【請求項８】
前記赤外線照射手段は、前記トナーを構成する樹脂のＣ−Ｈ結合の吸収スペクトルに対応する波長の赤外線を前記トナー担持体に照射するものである請求項１ないし７のいずれかに記載のトナー量の測定装置。
【請求項９】
前記トナー担持体の表面付近は、無機材料で構成されている請求項１ないし８のいずれかに記載のトナー量の測定装置。
【請求項１０】
前記トナー担持体は、回転可能に配設されたものであり、前記強度検知手段は、検知範囲を前記トナー担持体の回転軸線方向で走査しながら、前記強度を検知する請求項１ないし９のいずれかに記載のトナー量の測定装置。
【請求項１１】
前記トナー担持体は、現像ローラである請求項１ないし１０のいずれかに記載のトナー量の測定装置。
【請求項１２】
前記トナー担持体は、感光体である請求項１ないし１１のいずれかに記載のトナー量の測定装置。
【請求項１３】
前記トナー担持体は、転写体である請求項１ないし１２のいずれかに記載のトナー量の測定装置。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれかに記載のトナー量の測定装置を用いて、トナー担持体上のトナー量を測定することを特徴とするトナー量の測定方法。
【請求項１５】
樹脂製のトナーを薄層状に担持するトナー担持体上のトナー量を測定する方法であって、
前記トナー担持体上に赤外線を照射し、
前記トナー担持体上で反射した赤外線の強度を強度検知手段により検知し、
前記強度検知手段によって検知された強度と設定強度との差に応じてトナー量を算出することを特徴とするトナー量の測定方法。
【請求項１６】
一連の画像形成プロセスによって画像を記録媒体に記録する画像形成装置であって、請求項１ないし１３のいずれかに記載のトナー量の測定装置を備えることを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のトナー量の測定装置では、前記算出手段は、前記強度検知手段によって検知された強度と、設定強度との差に応じてトナー量を算出することが好ましい。
これにより、強度検知手段によって検知された強度と設定強度との差に応じて算出手段がトナー量を算出することができる。その結果、トナー担持体に接触することなく、短時間にかつ正確にトナー担持体上のトナー量を測定することができる。また、測定時にゴミが発生しないので、環境に優しい。
本発明のトナー量の測定装置では、前記算出手段は、設定強度と、トナー量算出のためのプログラムおよび変換テーブルとを格納するものを有し、前記設定強度および前記変換テーブルは、それぞれ、トナーの種類に対応して複数設定され、前記プログラムは、トナーの種類に対応した設定強度および変換テーブルを選択し、トナー量を算出することが好ましい。
これにより、強度検知手段によって検知された平均強度と設定強度との差に応じて算出手段がトナー量を算出することができる。
本発明のトナー量の測定装置では、前記算出手段において、前記トナーの種類の情報には、トナーを構成する樹脂の種類の情報が含まれることが好ましい。
これにより、強度検知手段によって検知された平均強度と設定強度との差に応じて算出手段がトナー量を算出することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月3日(2006.2.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
着色剤を含有するトナーを薄層状に担持するトナー担持体上のトナー量を測定する装置であって、
光源から前記トナー担持体上に照射されて前記トナー担持体上で反射した光の平均色度を検知する色度検知手段と、
前記色度検知手段によって検知された平均色度に基づきトナー量を算出する算出手段とを有することを特徴とするトナー量の測定装置。
【請求項２】
前記算出手段は、前記色度検知手段によって検知された平均色度と設定色度との色差に応じてトナー量を算出するものである請求項１に記載のトナー量の測定装置。
【請求項３】
前記算出手段は、設定色度と、トナー量算出のためのプログラムおよび変換テーブルとを格納するものを有し、前記設定色度および前記変換テーブルは、それぞれ、トナーの種類に対応して複数設定され、前記プログラムは、トナーの種類に対応した設定色度および変換テーブルを選択し、トナー量を算出する請求項２に記載のトナー量の測定装置。
【請求項４】
前記算出手段において、前記トナーの種類の情報には、トナーに含まれる着色剤の種類の情報が含まれる請求項３に記載のトナー量の測定装置。
【請求項５】
前記色度検知手段は、前記トナー担持体で反射した光を受ける電荷結合素子を有し、該電荷結合素子の出力信号を演算処理して色度を検知するものである請求項１ないし４のいずれかに記載のトナー量の測定装置。
【請求項６】
前記色度検知手段は、色度を三刺激値として検知するものである請求項１ないし５のいずれかに記載のトナー量の測定装置。
【請求項７】
前記光源は、白色光源である請求項１ないし６のいずれかに記載のトナー量の測定装置。
【請求項８】
前記トナー担持体は、回転可能に配設されたものであり、前記色度検知手段は、測定範囲を前記トナー担持体の回転軸線方向で走査しながら、前記平均色度を検知する請求項１ないし７のいずれかに記載のトナー量の測定装置。
【請求項９】
前記トナー担持体は、現像ローラである請求項１ないし８のいずれかに記載のトナー量の測定装置。
【請求項１０】
前記トナー担持体は、感光体である請求項１ないし９のいずれかに記載のトナー量の測定装置。
【請求項１１】
前記トナー担持体は、転写体である請求項１ないし１０のいずれかに記載のトナー量の測定装置。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載のトナー量の測定装置を用いて、トナー担持体上のトナー量を測定することを特徴とするトナー量の測定方法。
【請求項１３】
着色剤を含有するトナーを薄層状に担持するトナー担持体上のトナー量を測定する方法であって、
光源から前記トナー担持体上に光を照射し、
前記トナー担持体上で反射した光の平均色度を色度検知手段により検知し、
前記色度検知手段によって検知された平均色度と設定色度との色差に応じてトナー量を算出することを特徴とするトナー量の測定方法。
【請求項１４】
一連の画像形成プロセスによって形成された画像を記録媒体に記録する画像形成装置であって、請求項１ないし１１のいずれかに記載のトナー量の測定装置を備えることを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のトナー量の測定装置では、前記算出手段は、前記色度検知手段によって検知された平均色度と設定色度との色差に応じてトナー量を算出するものであることが好ましい。
これにより、色度検知手段によって検知された平均色度と設定色度との差に応じて算出手段がトナー量を算出することができる。その結果、トナー担持体に接触することなく、短時間にかつ正確にトナー担持体上のトナー量を測定することができる。また、測定時にゴミが発生しないので、環境に優しい。
本発明のトナー量の測定装置では、前記算出手段は、設定色度と、トナー量算出のためのプログラムおよび変換テーブルとを格納するものを有し、前記設定色度および前記変換テーブルは、それぞれ、トナーの種類に対応して複数設定され、前記プログラムは、トナーの種類に対応した設定色度および変換テーブルを選択し、トナー量を算出することが好ましい。
これにより、色度検知手段によって検知された平均色度と設定色度との差に応じて算出手段がトナー量を算出することができる。
本発明のトナー量の測定装置では、前記算出手段において、前記トナーの種類の情報には、トナーに含まれる着色剤の種類の情報が含まれることが好ましい。
これにより、色度検知手段によって検知された平均色度と設定色度との差に応じて算出手段がトナー量を算出することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月12日(2006.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ほぼ均一な磁場を発生する手段と、前記磁場中に置かれた試料に対して、所定の共鳴周波数で高周波信号を送信する送信コイルと、自由誘導減衰信号を受信するための受信コイルと、４つの電流ループから構成され内側ループと外側ループに流れる電流の向きは逆方向である付加コイルとを有し、かつ、前記付加コイルの前記内側ループと前記外側ループとの間に前記送信コイルを配置したことを特徴とする核磁気共鳴装置。
【請求項２】
請求項１に記載の核磁気共鳴装置において、前記送信コイルが、２つの電流ループから構成され電流の向きが２つの電流ループ上で同方向であることを特徴とする核磁気共鳴装置。
【請求項３】
請求項２に記載の核磁気共鳴装置において、前記送信コイルの２つの電流ループのそれぞれが、前記付加コイルの前記内側ループと前記外側ループのほぼ中間に配置されていることを特徴とする核磁気共鳴装置。
【請求項４】
請求項１又は３に記載の核磁気共鳴装置において、前記付加コイルに給電したときに付加コイル中心に生成される高周波磁場の向きが、前記送信コイルに給電したときに送信コイル中心に生成される高周波磁場の向きとほぼ同じであるよう構成したことを特徴とする核磁気共鳴装置。
【請求項５】
水平方向または鉛直方向にほぼ均一な静磁場を発生する超電導マグネットと、前記静磁場中に置かれた試料に対して、所定の共鳴周波数で高周波信号を送信する送信コイルと、自由誘導減衰信号を受信する超電導受信コイルと、４つの電流ループから構成され内側ループと外側ループに流れる電流の向きは逆方向である付加コイルとを有し、かつ、前記超電導送信コイルは、２つの電流ループから構成され電流の向きが２つ電流のループ上で同方向であり、前記送信コイルの２つの電流ループのそれぞれが、前記付加コイルの内側ループと外側ループのほぼ中間に配置されていることを特徴とする核磁気共鳴装置。
【請求項６】
請求項５に記載の核磁気共鳴装置において、前記付加コイルに給電したときに付加コイル中心に生成される高周波磁場の向きが、前記送信コイルに給電したときに送信コイル中心に生成される高周波磁場の向きとほぼ同じであるよう構成したことを特徴とする核磁気共鳴装置。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月1日(2006.11.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の電気的特性検査を行う際に、上記被検査体と電気的に接触するプローブであって、
上記被検査体との接触部が形成されたプローブ本体と、このプローブ本体の接触部から突出する先端部を有する複数の導電性材料と、を備え、
上記接触部は、上記被検査体との接触面を有し、
上記複数の導電性材料の先端部は、それぞれ上記接触面から同一寸法ずつ突出し、且つ、上記それぞれの突出寸法が上記被検査体の電極表面の酸化膜の厚みを超えるように設定されており、
上記接触面は、上記複数の導電性材料の先端部がそれぞれ上記酸化膜を貫通し上記被検査体の電極内に達したときに、上記電極表面に接触して、上記先端部のストッパーとなる
ことを特徴とするプローブ。
【請求項２】
上記導電性材料は、上記接触部に埋設され且つ上記接触部より硬い材料からなることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
上記導電性材料は、導電性ダイヤモンドまたはナノスケール金属からなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプローブ。
【請求項４】
被検査体の電気的特性検査を行う際に、上記被検査体と電気的に接触するプローブを製造する方法であって、
基板に上記被検査体との接触部の型を形成する工程と、
上記型内に先端部を有する複数の導電性材料を投入する工程と、
上記型内に導電性金属を充填して上記接触部を形成する工程と、
上記接触部を含むプローブ本体を形成する工程と、
上記型から離型した上記接触部の上記被検査体との接触側から上記導電性金属を所定寸法だけ除去して上記導電性材料の先端部を突出させる工程と、を備えた
ことを特徴とするプローブの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の請求項１に記載のプローブは、被検査体の電気的特性検査を行う際に、上記被検査体と電気的に接触するプローブであって、上記被検査体との接触部が形成されたプローブ本体と、このプローブ本体の接触部から突出する先端部を有する複数の導電性材料と、を備え、上記接触部は、上記被検査体との接触面を有し、上記複数の導電性材料の先端部は、それぞれ上記接触面から同一寸法ずつ突出し、且つ、上記それぞれの突出寸法が上記被検査体の電極表面の酸化膜の厚みを超えるように設定されており、上記接触面は、上記複数の導電性材料の先端部がそれぞれ上記酸化膜を貫通し上記被検査体の電極内に達したときに、上記電極表面に接触して、上記先端部のストッパーとなることを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の請求項２に記載のプローブは、請求項１に記載の発明において、上記導電性材料は、上記接触部に埋設され且つ上記接触部より硬い材料からなることを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明の請求項３に記載のプローブは、請求項１または請求項２に記載の発明において、上記導電性材料は、導電性ダイヤモンドまたはナノスケール金属からなることを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の請求項４に記載のプローブの製造方法は、被検査体の電気的特性検査を行う際に、上記被検査体と電気的に接触するプローブを製造する方法であって、基板に上記被検査体との接触部の型を形成する工程と、上記型内に先端部を有する複数の導電性材料を投入する工程と、上記型内に導電性金属を充填して上記接触部を形成する工程と、上記接触部を含むプローブ本体を形成する工程と、上記型から離型した上記接触部の上記被検査体との接触側から上記導電性金属を所定寸法だけ除去して上記導電性材料の先端部を突出させる工程と、を備えことを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明によれば、低針圧で酸化膜を突き破って被検査体を確実且つ安定的に検査することができるプローブ及びその製造方法を提供することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
コンタクタ２１の下面には図１の（ａ）に示すように集積回路の電極パッドＰに対応する複数の凹部２１Ａが所定のパターンで形成され、これらの凹部２１Ａに対応させて本実施形態のプローブ１０がコンタクタ２１の下面に取り付けられている。コンタクタ２１内には配線層が複数層に渡って形成され、これらの配線層を介してプローブ１０とプリント配線基板２２とが電気的に接続されている。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月17日(2005.11.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
線形データ記憶テープ（８２）上に、位置情報を確定する方法であって、
前記線形データ記憶テープに沿って長手方向に、複数のサーボ帯域（１０１）を書き込むステップであって、
前記サーボ帯域は、相似の磁気転移（１０８）の長手方向のパターンを備えるステップと、
前記線形データ記憶テープを横断して、前記サーボ帯域の間隔を空けるステップと、
前記サーボ帯域に対して横の位置にあるデータを、続けて読み書きするときに、前記サーボ帯域の前記磁気転移パターンを、互いに長手方向にオフセットさせて、前記サーボ帯域を互いに区別するステップと
を含む方法。
【請求項２】
前記サーボ帯域の前記長手方向のパターンは、
別のアジマス傾斜で、磁気転移の交番バースト
を備える
請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記オフセットさせるステップは、
サーボ帯域の異なる隣接対に対して、異なる相対的オフセットを用いる
請求項１に記載の方法。
【請求項４】
所定の方法によって製造される前記線形データ記憶テープ（８２）であって、
前記方法は、
前記線形データ記憶テープ（８２）上に、位置情報を確定する方法であって、
前記線形データ記憶テープに沿って、長手方向に、複数のサーボ帯域（１０１）を書き込むステップであって、
前記サーボ帯域は、相似の磁気転移（１０８）の長手方向のパターンを備えるステップと、
前記線形データ記憶テープを横断して、前記サーボ帯域の間隔を空けるステップと、
前記サーボ帯域に対して横の位置にあるデータを、続けて読み書きするときに、前記サーボ帯域の前記磁気転移パターンを、互いに長手方向にオフセットさせて、前記サーボ帯域を互いに区別するステップと
を含む
線形データ記憶テープ（８２）。
【請求項５】
前記線形データ記憶テープに沿って長手方向に設けられ、前記データ記憶テープを横断して間隔を空けられた複数のサーボ帯域（１０１）であって、
相似の磁気転移の長手方向のパターン（１０８）を有する前記サーボ帯域を備え、
前記サーボ帯域に対して横の位置にあるデータを読み書きするとき、前記サーボ帯域の前記磁気転移パターンが互いに長手方向にオフセットされ、前記サーボ帯域を互いに区別する
線形データ記憶テープ（８２）。
【請求項６】
前記サーボ帯域の前記長手方向パターンは、
異なるアジマス傾斜で、磁気転移の交番バースト
を備える
請求項５に記載の線形データ記憶テープ。
【請求項７】
サーボ帯域の異なる隣接対は、
異なる相対的オフセット
を備える
請求項５に記載の線形データ記憶テープ。
【請求項８】
線形データ記憶テープ（８２）に対するテープヘッド（８４）の位置を決定する方法であって、
前記線形記憶テープの隣接サーボ帯域（１０１）に沿う磁気転移ストライプのパターン（１５１）を、前記テープヘッドで検出するステップと、
前記磁気転移ストライプのパターンの長手方向の関係を比較して、前記隣接サーボ帯域を、前記線形記憶テープ上の他のサーボ帯域から区別するステップと
を含む方法。
【請求項９】
前記線形データ記憶テープ上の各サーボ帯域は、
相似の磁気転移ストライプのパターンを有し、
前記相似パターンは、
異なるアジマス傾斜ので、磁気転移の交番バーストを備え、
前記交番バースト間で時間間隔を比較し、前記サーボ帯域に対するテープヘッドの位置を決めるステップ
をさらに含む
請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記比較ステップは、
サーボ帯域の隣接対のパターンを比較して、
前記サーボ帯域の隣接対を、サーボ帯域の他の対から区別すること
を含む
請求項８に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月20日(2006.6.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
胴体部の両側にシャフトを突出した振動モーターの構造において該モーターの両端に分銅を備え、該分銅はシャフトに対して略同角度又は略同一方向に取り付ける事を特徴とする振動発生装置
【請求項２】
分銅の位置は、モーター胴体部の中心点を中心とし、そのシャフトの両側に略対称に取り付けたことを特徴とする請求項１記載の振動発生装置。
【請求項３】
前記偏重心の分銅は、一定間隔を持たせたことを特徴とする請求項２記載の振動発生装置。
【請求項４】
該偏重心の分銅は断面半月状の断面平面部のコーナー部分に丸みを持たせた形状であることを特徴とする請求項１〜３記載の振動発生装置。
【請求項５】
前記振動発生装置の電源は充電式バッテリーとし、そのバッテリーは、充電用アダプターにて充電可能、且つ、容易に着脱可能なものであることを特徴とする請求項１〜４記載の振動発生装置。
【請求項６】
前記振動発生装置を時刻報知用に搭載したことを特徴とする請求項１〜５記載の腕時計。
【請求項７】
前記振動発生装置を時刻報知用に搭載したことを特徴とする請求項１〜５記載の携帯用タイマー。
【請求項８】
前記振動発生装置を時刻、着信報知用に搭載したことを特徴とする請求項１〜５記載の携帯電話装置。
【請求項９】
前記振動発生装置を時刻、着信報知用に搭載したことを特徴とする１〜５に記載のその他の携帯端末機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【発明の名称】振動発生装置及びその装置を搭載した電子機器
【技術分野】
【０００１】  本発明は、振動発生用モーターで発生する振動幅の倍増を図った振動発生装置及びその装置を搭載した電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来、携帯機器用の振動発生モーターは駆動力を発生させるモーターシャフトに一個の偏重心の分銅を回転させることで振動を発生させていたため、それ相応の振動力しか得られなかった。【０００３】  また、振動発生用モーターに取り付ける従来の偏重心の分銅の断面が回転時に回転方向に空気抵抗をうけ、回転の妨げになり、無駄なバッテリーの電力消費になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  以上に述べたように、従来の振動発生装置では発生させる振動幅に限界がある。【０００５】  本発明は、腕時計、携帯電話、携帯用タイマー等の携帯端末機において、振動による時刻及び着信の報知手段としてより大きな振動幅を得ることができ、振動モーターをより小型化した場合でも振動幅を下げることなく、十分な振動が得られる振動発生装置を実現することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  本発明の課題を解決する為に、請求項１に記載の発明は、図１（ａ１，２）に示すように、振動モーター２のシャフト４を該モーター本体２の両側に突出した構造とし、そのシャフト４の両側に、偏重心の分銅３を取り付け、その二個の偏重心の分銅３の位置が略同角度、略同一方向にしてあるため、該モーター本体２の回転時にシャフト４の両側の該分銅３に対する遠心力が、モーター全体に大きな遠心方向の力が発生し、振動幅が倍増する。【０００７】  従って、その振動は２個の分銅による同一方向の遠心力が該モーター加わる振動なので、身体に密着する装置、アラーム腕時計の時刻報知、携帯電話機の着信報知等に対しては皮膚を叩くような方向に働くので非常に効果的である。【０００８】  請求項２に記載の発明によれば、振動モーター２のシャフト４の両側に取り付けられた二個の該分銅３の位置は図１（ｂ１，２）に示すように略対称点になっているため、モーター回転により発生する二個の該分銅の遠心力は両端で反対方向の遠心力が発生するため、モーター本体の軸受け部分に働く力は倍増し、大きな振動幅が得られる。【０００９】  この振動は、請求項２の発明による振動とは異なる振動であり、非常に効率的な振動幅が得られる。【００１０】  請求項３の記載の発明によれば、図１（ｃ１，２）に示すように、振動モーター本体２とシャフト４の両側に取り付けられた二個の該分銅３の位置との間に一定の間隔を持たせることである。【００１１】  この間隔を大きくすればするほど、振動モーター２の回転時に発生する二個の該分銅３による遠心力が該モーター２の軸受けに加わる力は非常に大きくなり、非常に効率的に大きな振動幅を得ることができる。【００１２】  請求項４に記載する発明によれば、図２に示すように、振動モーター２に取り付ける該分銅３の平面部は、モーター回転時に該分銅の回転方向に生じる空気抵抗の影響を軽減するため、偏重心の断面半月状断面の平面部分のコーナー側に丸みを設けた構造の分銅とし、バッテリーの電力消費を少なくするようにしたものである。【００１３】  請求項５に記載する発明によれば、振動発生器Ａはそれ相応の電力を消費するので、充電できるように、充電用アダプターを備え、且つ、バッテリー交換は容易にする為、着脱式としたものである。【００１４】  従って、繰り返し充電できる為、従来のバッテリーより寿命が長く経済的である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】  （ａ１）請求項１に記載の振動発生装置の斜視図  （ａ２）請求項１に記載の振動発生装置を横方向から視た図  （ｂ１）請求項２に記載の振動発生装置の斜視図  （ｂ２）請求項２に記載の振動発生装置を横方向から視た図  （ｃ１）請求項３に記載の振動発生装置の斜視図  （ｃ２）請求項３に記載の振動発生装置を横方向から視た図
【図２】  （ａ）請求項４に記載の分銅の正面図  （ｂ）請求項４に記載の分銅を横方向から視た図  （ｃ）請求項４に記載の分銅を断面方向から視た図
【符号の説明】
【００１６】    １ａ  振動発生装置（請求項１に記載のもの）
１ｂ  振動発生装置（請求項２に記載のもの）
１ｃ  振動発生装置（請求項３に記載のもの）
２  振動モーター
３  偏重心の分胴
４  シャフト
５  分胴と振動モーター本体との間隔
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2006212608.tif 000001
【図２】
2006212608.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月13日(2006.2.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は上記の問題点を解決するためになされたもので、回路パターン及び裏面パターンの材質としてＡｌ合金を採用してコストを抑制しつつも、熱抵抗を低減し、またハンダ層の熱サイクル性の耐性を向上する電力用半導体装置を提供することを目的としている。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月11日(2006.5.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  プラズマを処理チャンバ内に制限するための装置であって、
環状の電極実装面を有する上側区分と、
内側環状制限壁と外側環状制限壁とを有し、上側区分と一体的に形成される、下側区分と
を備える装置。
【請求項２】  内側環状制限壁が、垂直線からある角度で外側環状制限壁の方に向かって広がる請求項１に記載の装置。
【請求項３】  装置が、アルミニウムアロイまたはこれに類似するメタルアロイを備える請求項１に記載の装置。
【請求項４】  下側区分の内側制限壁が、垂直線から約３０度〜約７０度の角度で広がる請求項１に記載の装置。
【請求項５】  内側環状制限壁が、垂直線から約４５度の角度で広がる請求項１に記載の装置。
【請求項６】  シャワーヘッド電極を更に有し、上側実装面は、良好ない電気的連絡を提供するためにシャワーヘッド電極に隣接して配置されるよう構成される請求項１に記載の装置。
【請求項７】  基板処理チャンバ内にプロセスガスを配給するための装置であって、
ガス入口とガス出口とを有するガス配給組立体と、
電極実装面を有する上側区分と、内側環状制限壁と外側環状制限壁とを有し上側区分と一体的に形成される下側の区分とを備える、環状の部材と
を備え、内側環状制限壁は、垂直線からある角度で外側環状制限壁に向かって広がる装置。
【請求項８】  内側環状制限壁が、垂直線から約３０度〜約７０度の角度で広がる請求項７に記載の装置。
【請求項９】  ガス入口は、自身に少なくとも１つのアパーチャが形成されているガスフィードドラムを備える請求項７に記載の装置。
【請求項１０】  ガスフィードドラムが、電源に接続される請求項９に記載の装置。
【請求項１１】  自身に複数のアパーチャが形成しガス入口に配置されるブロッカープレートを更に備える請求項７に記載の装置。
【請求項１２】  ガス出口が、自身に複数のアパーチャが形成されているフェースプレートを備える請求項７に記載の装置。
【請求項１３】  電極実装面が、１つ以上のファスナによってフェースプレートに接続される請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】  電極実装面が、良好な電気的連絡を提供するフェースプレートの下側面に適合される請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】  環状部材が、フェースプレートと一体化された部分である請求項１３に記載の装置。
【請求項１６】  プラズマを処理チャンバ内に制限するための装置であって、
上側実装面を有する環状部材と、
内側制限壁と、
外側制限壁と
を備える装置。
【請求項１７】  シャワーヘッド電極を更に備え、上側実装面が、良好な電気的連絡を提供するためにシャワーヘッド電極に隣接して配置されるように構成される請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】  内側制限壁が、垂直線から外側制限壁に向かって広がる請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】  内側の制限壁が、垂直線から約３０度〜約７０度の角度で広がる請求項１７に記載の装置。
【請求項２０】  内側制限壁が、垂直線から約４５度の角度で広がる請求項１７に記載の装置。
【請求項２１】  基板処理チャンバ内にプロセスガスを配給するための装置であって、
ガス入口とガス出口とを有するガス配給組立体と、
上側実装表面と、内側制限壁と、外側制限壁とを備える環状部材と
を備え、内側制限壁が垂直線から外側制限壁に向かって広がる装置。
【請求項２２】  内側制限壁が、垂直線から約３０度〜約７０度の角度で広がる請求項２１に記載の装置。
【請求項２３】  ガス入口が、自身に形成される少なくとも１つのアパーチャを有するガスフィードドラムを備える請求項２１に記載の装置。
【請求項２４】  ガスフィードドラムが、電源に接続される請求項２３に記載の装置。
【請求項２５】  自身に形成されガス入口に配置される複数のアパーチャを有するブロッカープレートを更に備える請求項２１に記載の装置。
【請求項２６】  ガス出口が、自身に形成される複数のアパーチャを有するフェースプレートを備える請求項２１に記載の装置。
【請求項２７】  環状部材が、１つ以上のファスナによってガス出口に接続される請求項２１に記載の装置。
【請求項２８】  環状部材が、フェースプレートと一体化された部分である請求項２６に記載の装置。
【請求項２９】  上側実装面が、良好な電気的連絡を提供するためガス出口に結合する請求項２１に記載の装置。
【請求項３０】  処理チャンバであって、
処理キャビティを画すチャンバ本体と、
処理キャビティ内に配置される基板支持部材と、
少なくとも１つのガス入口と少なくとも１つのガス出口を有するガス配給組立体と、
電極実装表面を有する上側区分と、内側環状制限壁と外側環状制限壁を有し上側の区分と一体的に形成される下側の区分とを備える環状部材と
を備え、内側制限壁が、垂直線から外側制限壁に向かってある角度で広がる処理チャンバ。
【請求項３１】  下側区分の内側制限壁が、垂直線から約３０度〜約７０度の角度で広がる請求項３０に記載の処理チャンバ。
【請求項３２】  電極実装面が、良好な電気的連絡を提供するためにガス配給組立体に隣接して配置されるように構成される請求項３０に記載の処理チャンバ。
【請求項３３】  環状の部材が、１つ以上のファスナによってガス送出システムに接続される請求項３０に記載の処理チャンバ。
【請求項３４】  処理チャンバ処理キャビティを画するチャンバ本体と、
処理キャビティ内に配置される基板支持部材と、
上側実装表面と、内側制限壁と、外側制限壁とを備え、自身に配置される環状部材を有するガス送出システムと
を備え、内側制限壁は、垂直線から外側制限壁に向かって広がる処理チャンバ。
【請求項３５】  内側制限壁が、垂直線から約３０度〜約７０度の角度で広がる請求項３４に記載の処理チャンバ。
【請求項３６】  環状部材の上側実装面が、良好な電気的な連絡を提供するためにガス送出システムの下側面に適合される請求項３４に記載の処理チャンバ。
【請求項３７】  環状部材が、１つ以上のファスナによってガス送出システムに接続される請求項３４に記載の処理チャンバ。