【手続補正書】
【提出日】平成18年1月10日(2006.1.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  回路の電気的検査に使用されるプローブカードの製造に用いられるプローブカード製造用基板であって、
基板と、
感光性材料を用いて前記基板上に積層された複数のブロックにより形成される３次元造形物と、
を備え、
前記３次元造形物が、撓むことにより前記基板から最も離れた部位を前記基板側へと移動可能とする可撓部を有することを特徴とするプローブカード製造用基板。
【請求項２】  請求項１に記載のプローブカード製造用基板であって、
前記３次元造形物が、
前記基板から突出する複数の突出部と、
前記複数の突出部の先端を結合する結合部と、
を有することを特徴とするプローブカード製造用基板。
【請求項３】  請求項２に記載のプローブカード製造用基板であって、
前記複数の突出部が、前記基板上において非直線状に並ぶ３カ所から突出することを特徴とするプローブカード製造用基板。
【請求項４】  請求項１ないし３のいずれかに記載のプローブカード製造用基板であって、
前記３次元造形物を被覆する導電膜をさらに備えることを特徴とするプローブカード製造用基板。
【請求項５】  請求項４に記載のプローブカード製造用基板であって、
前記導電膜が、無電解メッキにより形成された金属被膜であることを特徴とするプローブカード製造用基板。
【請求項６】  回路の電気的検査を行う検査装置であって、
請求項４または５に記載のプローブカード製造用基板を有するプローブカードと、
検査対象となる回路に向けて前記３次元造形物を押圧する押圧機構と、
前記導電膜を介して前記回路を電気的に検査する検査部と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項７】  回路の電気的検査に使用されるプローブ用の３次元造形物を形成する３次元造形装置であって、
基板を保持する保持部と、
基板上に液状の感光性材料を供給する供給部と、
基板の主面に沿う所定の方向に前記基板に対して相対的に移動することにより、前記基板上に供給された感光性材料の層を既存の層の上に形成し、余剰の感光性材料を前記既存の層の外側の領域へと押し出すスキージと、
前記スキージを前記所定の方向に前記基板に対して相対的に移動する移動機構と、
前記スキージと前記保持部との間の間隔を変更する間隔変更機構と、
前記スキージの移動により形成された感光性材料の層に対して予め求められている領域に光を照射する光照射部と、
を備えることを特徴とする３次元造形装置。
【請求項８】  請求項７に記載の３次元造形装置であって、
前記感光性材料の層の厚さが２０μｍ以下であることを特徴とする３次元造形装置。
【請求項９】  請求項７または８に記載の３次元造形装置であって、
前記光照射部が、空間変調された光ビームを生成する空間光変調デバイスを有することを特徴とする３次元造形装置。
【請求項１０】  請求項７ないし９のいずれかに記載の３次元造形装置であって、
感光性材料の層上の微小領域毎に照射される光の量を制御する制御部をさらに備えることを特徴とする３次元造形装置。
【請求項１１】  請求項１０に記載の３次元造形装置であって、
前記制御部が、
基板上に形成される３次元造形物の形状データ、および、感光性材料の層上の微小領域に照射される光の量と前記層が感光する深さとの関係を実質的に示すテーブルを記憶する記憶部と、
前記形状データおよび前記テーブルに基づいて前記３次元造形物を形成する際に積層される感光性材料の各層上の微小領域毎に照射される光の量を求める演算部と、
を有することを特徴とする３次元造形装置。
【請求項１２】  回路の電気的検査に使用されるプローブ用の３次元造形物を形成する３次元造形方法であって、
基板上に液状の感光性材料を供給する供給工程と、
前記基板の主面に沿う所定の方向に前記基板に対して相対的にスキージを移動することにより、前記感光性材料の層を前記基板の上に形成する層形成工程と、
前記感光性材料の層に対して予め求められている領域に光を照射する光照射工程と、
前記供給工程ないし前記光照射工程を複数回繰り返す繰り返し工程と、
を有し、
前記繰り返し工程に含まれる前記層形成工程において前記感光性材料の層が既存の層の上に形成され、余剰の感光性材料が前記既存の層の外側の領域へと押し出されることを特徴とする３次元造形方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、回路の電気的検査に使用されるプローブカードの製造に用いられるプローブカード製造用基板であって、基板と、感光性材料を用いて前記基板上に積層された複数のブロックにより形成される３次元造形物とを備え、前記３次元造形物が、撓むことにより前記基板から最も離れた部位を前記基板側へと移動可能とする可撓部を有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のプローブカード製造用基板であって、前記３次元造形物が、前記基板から突出する複数の突出部と、前記複数の突出部の先端を結合する結合部とを有する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のプローブカード製造用基板であって、前記複数の突出部が、前記基板上において非直線状に並ぶ３カ所から突出する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載のプローブカード製造用基板であって、前記３次元造形物を被覆する導電膜をさらに備える。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のプローブカード製造用基板であって、前記導電膜が、無電解メッキにより形成された金属被膜である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項６に記載の発明は、回路の電気的検査を行う検査装置であって、請求項４または５に記載のプローブカード製造用基板を有するプローブカードと、検査対象となる回路に向けて前記３次元造形物を押圧する押圧機構と、前記導電膜を介して前記回路を電気的に検査する検査部とを備える。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項７に記載の発明は、回路の電気的検査に使用されるプローブ用の３次元造形物を形成する３次元造形装置であって、基板を保持する保持部と、基板上に液状の感光性材料を供給する供給部と、基板の主面に沿う所定の方向に前記基板に対して相対的に移動することにより、前記基板上に供給された感光性材料の層を既存の層の上に形成し、余剰の感光性材料を前記既存の層の外側の領域へと押し出すスキージと、前記スキージを前記所定の方向に前記基板に対して相対的に移動する移動機構と、前記スキージと前記保持部との間の間隔を変更する間隔変更機構と、前記スキージの移動により形成された感光性材料の層に対して予め求められている領域に光を照射する光照射部とを備える。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の３次元造形装置であって、前記感光性材料の層の厚さが２０μｍ以下である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項９に記載の発明は、請求項７または８に記載の３次元造形装置であって、前記光照射部が、空間変調された光ビームを生成する空間光変調デバイスを有する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項１０に記載の発明は、請求項７ないし９のいずれかに記載の３次元造形装置であって、感光性材料の層上の微小領域毎に照射される光の量を制御する制御部をさらに備える。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載の３次元造形装置であって、前記制御部が、基板上に形成される３次元造形物の形状データ、および、感光性材料の層上の微小領域に照射される光の量と前記層が感光する深さとの関係を実質的に示すテーブルを記憶する記憶部と、前記形状データおよび前記テーブルに基づいて前記３次元造形物を形成する際に積層される感光性材料の各層上の微小領域毎に照射される光の量を求める演算部とを有する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項１２に記載の発明は、回路の電気的検査に使用されるプローブ用の３次元造形物を形成する３次元造形方法であって、基板上に液状の感光性材料を供給する供給工程と、前記基板の主面に沿う所定の方向に前記基板に対して相対的にスキージを移動することにより、前記感光性材料の層を前記基板の上に形成する層形成工程と、前記感光性材料の層に対して予め求められている領域に光を照射する光照射工程と、前記供給工程ないし前記光照射工程を複数回繰り返す繰り返し工程とを有し、前記繰り返し工程に含まれる前記層形成工程において前記感光性材料の層が既存の層の上に形成され、余剰の感光性材料が前記既存の層の外側の領域へと押し出される。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
【発明の効果】
請求項１ないし５の発明では、感光性材料の積層されたブロックによりプローブ用の３次元造形物が形成されるため、多数のプローブ用の３次元造形物を有するプローブカード製造用基板を容易に得ることができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９９】
また、請求項１ないし５の発明に係るプローブカード製造用基板を使用してプローブカードを製造することにより、検査対象と各プローブとを小さい押圧力で確実に接触させることができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
請求項７ないし１２の発明では、多数のプローブ用の３次元造形物を容易に形成することができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
また、請求項９の発明では、光の照射を高速に位置精度良く行うことができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０２】
さらに、請求項１０および１１の発明では、滑らかな形状の３次元造形物を形成することができる。