【事件の表示】
　特許第２９０８１００号に関する訂正審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第２９０８１００号に係る明細書及び図面を本件審判請求書に添付された訂正明細書及び図面のとおり訂正することを認める。
【理　由】
Ｉ．経緯
　特許出願：平成４年２月１３日
　設定登録（特許第２９０８１００号）：平成　１１年４月２日
　特許異議の申立て（平成１１年異議第７４７８１号）：平成１１年１２月１７日
　特許異議の決定（全部取消）：平成１２年１０月１９日
　高裁出訴（平成１２年（行ケ）第４７７号）：平成１２年１２月１４日
　審判請求（訂正２００１年審判第３９０１２号）：平成１３年１月２５日
　訂正拒絶理由通知：平成１３年３月７日
II．請求の趣旨
　本件審判の請求の趣旨は、特許第２９０８１００号発明の明細書を審判請求書に添付した訂正明細書のとおり、すなわち、下記訂正事項ａ１、ａ２、ｂ１及びｂ２のとおりに訂正することを求めるものである。
訂正事項ａ１
　特許請求の範囲の請求項１中の「前記アパーチャー部材の透過領域の外径を前記投影レンズの瞳径に対する有効光源の外径の比σが０．６±０．３となるように設定すると共に有効光源の外径により決定される面積に対する有効光源内部の遮光領域の面積の比により定義される遮光率を６０±３５％とし、」を、「有効光源が円形であってかつ遮光領域が円形でない場合には、前記アパーチャー部材の透過領域の外径を前記投影レンズの瞳径に対する有効光源の外径の比σが０．６±０．３となるように設定すると共に有効光源の外径により決定される面積に対する有効光源内部の遮光領域の面積の比により定義される遮光率を６０±３５％とし、」と訂正する。
訂正事項ａ２
　特許請求の範囲の請求項１中の「有効光源及び遮光領域が共に円形である場合には上記遮光率を４５〜９５％とする」を、「有効光源及び遮光領域が共に円形である場合には、上記σが０．６となるように設定すると共に上記遮光率を６４％とする」と訂正する。
訂正事項ｂ１
　明細書の【０００７】中及び【００１５】中の、「前記アパーチャー部材の透過領域の外径を前記投影レンズの瞳径に対する有効光源の外径の比σが０．６±０．３となるように設定すると共に有効光源の外径により決定される面積に対する有効光源内部の遮光領域の面積の比により定義される遮光率を６０±３５％とし、」を、「有効光源が円形であってかつ遮光領域が円形でない場合には、前記アパーチャー部材の透過領域の外径を前記投影レンズの瞳径に対する有効光源の外径の比σが０．６±０．３となるように設定すると共に有効光源の外径により決定される面積に対する有効光源内部の遮光領域の面積の比により定義される遮光率を６０±３５％とし、」と訂正する。
訂正事項ｂ２
　明細書の【０００７】中及び【００１５】中の、「有効光源及び遮光領域が共に円形である場合には上記遮光率を４５〜９５％とする」を、「有効光源及び遮光領域が共に円形である場合には、上記σが０．６となるように設定すると共に上記遮光率を６４％とする」と訂正する。
III．当審の判断
１．訂正の目的、新規事項、拡張・変更
１．１　訂正事項ａ１について
　上記訂正事項ａ１は、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１の、「前記アパーチャー部材の透過領域の外径を前記投影レンズの瞳径に対する有効光源の外径の比σが０．６±０．３となるように設定すると共に有効光源の外径により決定される面積に対する有効光源内部の遮光領域の面積の比により定義される遮光率を６０±３５％とし、」を下位概念である「有効光源が円形であってかつ遮光領域が円形でない場合には、前記アパーチャー部材の透過領域の外径を前記投影レンズの瞳径に対する有効光源の外径の比σが０．６±０．３となるように設定すると共に有効光源の外径により決定される面積に対する有効光源内部の遮光領域の面積の比により定義される遮光率を６０±３５％とし、」と訂正するものであるから、特許請求の範囲の減縮にあたる。
　また、当該「有効光源が円形であって」は、特許明細書の【０００７】の「アパーチャー部材の透過領域の外径を投影レンズの瞳径に対する有効光源の外径の比σが０．６±０．３となるように設定すると共に有効光源の外径により決定される面積に対する有効光源内部の遮光領域の面積の比により定義される遮光率を６０±３５％とし、」との記載における「有効光源の外径の比σ」なる用語が有効光源が円形であることから導き出されるものであり、また、「かつ遮光領域が円形でない場合には、」については、特許明細書の【００１４】の「アパーチャー部材３１〜３４としては、互いに透過領域及び遮光領域の形状あるいは大きさが異なるもの、あるいは透過領域のみでその中央部に遮光領域を有しないもの等が取り付けられている」との記載から、特許明細書中に記載されていたものである。
　従って、訂正事項ａ１は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
１．２　訂正事項ａ２について
　上記訂正事項ａ２は、特許明細書の特許請求の範囲に記載された請求項１の、「有効光源及び遮光領域が共に円形である場合には上記遮光率を４５〜９５％とする」を、下位概念である、「有効光源及び遮光領域が共に円形である場合には、上記σが０．６となるように設定すると共に上記遮光率を６４％とする」と訂正するものであるから、特許請求の範囲の減縮にあたる。
　また、当該「上記σが０．６となるように設定すると共に」及び「６４％」は、特許明細書の【００１３】に「遮光率ｒを０％から８１％まで段階的に変化させたところ、各遮光率においてそれぞれ最適な比σの値が存在することがわかり、特に ｒ＝６４％で且つσ＝０．６のときに焦点深度ＤＯＦが最も拡大された。」との記載から、特許明細書中に記載されていたものである。
　従って、訂正事項ａ２は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
１．３　訂正事項ｂ１及びｂ２について
　訂正事項ｂ１及びｂ２は、それぞれ、訂正事項ａ１及びａ２の訂正に伴い、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合するように訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当し、また、訂正事項ｂ１及びｂ２は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
２．独立特許要件
　本件特許第第２９０８１００号については、件外平成１１年異議第７４７８１号として特許異議の申立てがなされ、平成１２年１０月１９日付けで特許異議の決定（特許取消）がなされている（高裁出訴中、平成１２年行（ケ）第４７７号）ので、以下において該特許異議の決定で特許法第２９条第１項第３号に該当するとして引用した甲第１号証について検討する。
２．１　本件訂正発明
　本件審判請求書に添付された訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１及び２の記載は下記のとおりである。
請求項１
「光源と、前記光源から発した光を回路パターンが形成されたマスク上に照射させる集光レンズと、
　マスクを通過した光をウエハ表面に集光させる投影レンズと、
　前記光源と前記集光レンズとの間に配置されると共に前記光源から発した光を成形するための透過領域とこの透過領域内の中央部に形成された遮光領域とを有するアパーチャー部材とを備え、
　有効光源が円形であってかつ遮光領域が円形でない場合には、前記アパーチャー部材の透過領域の外径を前記投影レンズの瞳径に対する有効光源の外径の比σが０．６±０．３となるように設定すると共に有効光源の外径により決定される面積に対する有効光源内部の遮光領域の面積の比により定義される遮光率を６０±３５％とし、有効光源及び遮光領域が共に円形である場合には、上記ｏが０．６となるように設定すると共に上記遮光率を６４％とすることを特徴とする投影露光装置。」
請求項２
「請求項１に記載の投影露光装置を用いてウエハへの回路パターンの焼き付けを行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。」
２．２　引用例（甲第１号証）の内容
　引用例には、コヒーレンス因子σ0＝NAo/NAP、σi=NAi/NAPをパラメーターとして、図2には、σ0＝0.8,σi=0.7σ0の例と、σ0=0.5,σi=0.9σ0の例及びσ0=0.65,σi=0.9σ0の例が示され、有効光源及び遮光領域が共に円形である場合に遮光率＝NAi2/NAo2= (σi/σ0)2= (0.7)2及び(0.9)2=49%及び81%となるものが示唆されている。
２．３　対比・判断
　甲第１号証には、有効光源が円形であってかつ遮光領域が円形でない場合について記載されておらず、また、有効光源及び遮光領域が共に円形である場合は、遮光率が４９％と８１％の例のみ示唆されている。
　そうすると、甲第１号証には、「有効光源が円形であってかつ遮光領域が円形でない場合」及び「有効光源及び遮光領域が共に円形である場合には上記遮光率を６４％とする」点についての記載及び当該記載を示唆する記載がない。
　従って、訂正後の本件請求項１及び２に係る発明は上記甲第１号証に記載の発明と同一ではなく、特許法第２９条第１項第３号に該当するものではないから、本件訂正発明は特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
IV．むすび
　以上のとおりであるから、本件審判の請求は、特許法第１２６条第１項ただし書き第１号及び第３号に掲げる事項を目的とし、かつ、同条第２項ないし第３項の規定に適合する。
　よって結論のとおり審決する。