(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中間層とこれを挟む一対の表面層とからなる感光性エポキシ樹脂接着性フィルムにおいて、上記中間層と上記一対の表面層のいずれもがエポキシ当量１００〜３００ｇ／当量のグリシジル基を有する多官能エポキシ樹脂とエポキシ当量４５０〜１００００ｇ／当量のグリシジル基を有する多官能エポキシ樹脂とからなる低反応性エポキシ樹脂と光酸発生剤とを有し、上記中間層が更に脂環式エポキシ樹脂及びオキセタン樹脂から選ばれる少なくとも１種の高反応性樹脂を含有することを特徴とする感光性エポキシ樹脂接着性フィルム。
【請求項２】
一対の表面層がそれぞれ、低反応性エポキシ樹脂として、エポキシ当量１００〜３００ｇ／当量の多官能エポキシ樹脂５〜９０重量％とエポキシ当量４５０〜１００００ｇ／当量の多官能エポキシ樹脂１０〜９５重量％とを含有する請求項１に記載の感光性エポキシ樹脂接着性フィルム。
【請求項３】
中間層がエポキシ当量１００〜３００ｇ／当量の多官能エポキシ樹脂４〜６０重量％とエポキシ当量４５０〜１００００ｇ／当量の多官能エポキシ樹脂１０〜９５重量％と高反応性樹脂１〜３０重量％とを含有する請求項１に記載の感光性エポキシ樹脂接着性フィルム。
【請求項４】
中間層がエポキシ当量１００〜３００ｇ／当量の多官能エポキシ樹脂５〜６０重量％とエポキシ当量４５０〜１００００ｇ／当量の多官能エポキシ樹脂２５〜９０重量％と高反応性樹脂５〜１５重量％とを含有する請求項１に記載の感光性エポキシ樹脂接着性フィルム。
【請求項５】
５０〜２００μｍの範囲の厚みを有し、この厚みのうち、中間層が３０〜９０％を占める請求項１に記載の感光性エポキシ樹脂接着性フィルム。
【請求項６】
少なくとも一方の表面層がエポキシ変性シリコーンを含有する請求項１に記載の感光性エポキシ樹脂接着性フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性エポキシ樹脂接着性フィルムに関し、詳しくは、被着体上に転写し、フォトマスクを介して露光させ、現像処理することによってパターン形成することができ、更に、このようにして、パターン形成した後においても、加熱すれば、そのパターンを維持したまま、そのパターン上に第２の被着体を加圧接着することができ、しかも、フィルム厚みが大きい場合であっても、上述したように、上記パターン上に第２の被着体を加圧接着する際の変形、即ち、膜厚の減少を抑えた感光性エポキシ樹脂接着性フィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報通信機器の小型化や高集積化に伴い、内部の実装部品も、これまでのリードフレームパッケージからＢＧＡ、ＣＳＰ等のような新しい高密度半導体パッケージに移行しつつあり、そこで、例えば、半導体素子と回路板との接合や複数の回路板相互の接合のために、パターン形成した接着剤を用いることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかし、一般に、従来より知られている感光性接着剤組成物は、これを露光させ、現像して、パターン形成する際に、それに用いられている樹脂が架橋し、硬化するので、このようにパターン形成した後の接着剤組成物層に被着体を接着するには、高い温度で被着体を熱圧着せざるを得ない。また、従来の感光性接着剤組成物は、上述したように、パターン形成の際に、架橋、硬化しているので、このように高い温度で熱圧着しても、その際、幾らかは軟化するものの、十分な流動性を有するには至らず、その結果として、接着剤と被着体との間の接着界面に部分的な空隙が生じるので、通常、接着剤と被着体との間に十分な接着力を得ることが困難である。勿論、このような接着剤によって接着させる半導体素子や回路板には、加熱によって損傷を受けるものもあるので、上述したように、高い温度での接着は、本来、避けるべきものである。
【０００４】
更に、従来は、被着体上に感光性接着剤組成物にて厚み５０μｍ以上の塗膜を形成した後、露光させ、現像して、パターンを形成した後、又は厚み５０μｍ以上の感光性接着性フィルムを被着体上に転写し、これを露光させ、現像して、パターンを形成した後、このパターン上に第２の被着体を加熱下に加圧接着するときに、上記パターンの変化、即ち、主として、膜厚の減少が生じる問題があった。このように、第１の被着体上に形成したパターン上に第２の被着体を加圧接着するときにパターンの膜厚が減少すれば、例えば、第１と第２の被着体の間にそのパターンをスペーサとして空隙を形成する際に、スペーサとしての精度に劣ることとなる。
【特許文献１】特開２００３−２９７８７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、従来の感光性接着性フィルムにおける上述したような問題を解決するためになされたものであって、被着体上に転写し、フォトマスクを介して露光させ、現像処理することによってパターン形成することができ、更に、このようにして、パターン形成した後においても、加熱すれば、そのパターンを維持したまま、高い接着性を有し、従って、そのパターン上に第２の被着体を容易に加圧接着することができ、しかも、フィルム厚みが、例えば、５０μｍ以上というように、大きい場合であっても、上述したように、上記パターン上に加熱下に第２の第２の被着体を加圧接着する際に、パターンの変化、即ち、主として、膜厚の減少の少ない感光性エポキシ樹脂接着性フィルムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、中間層とこれを挟む一対の表面層とからなる感光性エポキシ樹脂接着性フィルムにおいて、上記中間層と上記一対の表面層のいずれもがエポキシ当量１００〜３００ｇ／当量のグリシジル基を有する多官能エポキシ樹脂とエポキシ当量４５０〜１００００ｇ／当量のグリシジル基を有する多官能エポキシ樹脂とからなる低反応性エポキシ樹脂と光酸発生剤とを有し、上記中間層が更に脂環式エポキシ樹脂及びオキセタン樹脂から選ばれる少なくとも１種の高反応性樹脂を含有することを特徴とする感光性エポキシ樹脂接着性フィルムが提供される。
【０００７】
本発明によれば、このような感光性エポキシ樹脂接着性フィルムにおいて、上記一対の表面層がそれぞれ、低反応性エポキシ樹脂として、エポキシ当量１００〜３００ｇ／当量の多官能エポキシ樹脂５〜９０重量％とエポキシ当量４５０〜１００００ｇ／当量の多官能エポキシ樹脂１０〜９５重量％とを含有することが好ましい。また、上記中間層は、エポキシ当量１００〜３００ｇ／当量の多官能エポキシ樹脂４〜６０重量％とエポキシ当量４５０〜１００００ｇ／当量の多官能エポキシ樹脂１０〜９５重量％と高反応性樹脂１〜３０重量％とを含有することが好ましい。
【０００８】
更に、本発明によれば、感光性エポキシ樹脂接着性フィルムは、５０〜２００μｍの範囲の厚みを有し、この厚みのうち、中間層が３０〜９０％を占めることが好ましい。また、上記中間層と一対の表面層のうち、少なくとも一対の表面層は、いずれか又は両方がエポキシ変性シリコーンを含有することが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の感光性エポキシ樹脂接着性フィルムは、中間層とこれを挟む一対の表面層とからなる３層構造を有し、上記中間層と上記表面層のいずれもがエポキシ当量１００〜３００ｇ／当量のグリシジル基を有する多官能エポキシ樹脂とエポキシ当量４５０〜１００００ｇ／当量のグリシジル基を有する多官能エポキシ樹脂とからなる低反応性エポキシ樹脂と光酸発生剤を含むので、露光と現像処理によってパターン形成することができ、しかも、パターン形成した後においても、加熱すれば、そのパターンを維持したまま、耐湿信頼性や耐薬品性にすぐれる高い接着性を発現することができ、従って、そのパターン上に第２の被着体を容易に加圧接着することができる。
【００１０】
ここに、本発明によれば、上記中間層は、上記低反応性エポキシ樹脂に加えて、更に、脂環式エポキシ樹脂とオキセタン樹脂から選ばれる少なくとも１種の高反応性樹脂を含有するので、露光、現像後、表面層に比べて、架橋密度がより高く、従って、より硬い樹脂層を形成し、かくして、このような中間層を含む架橋したエポキシ樹脂からなるパターン上に第２の被着体を加圧接着しても、パターンの膜厚の変化が小さく、従って、第１と第２の被着体の間にそのパターンをスペーサとして精度高く空隙を形成しつつ、第１と第２の被着体をそのパターンにて相互に接着することができる。
【００１１】
かくして、本発明の感光性エポキシ樹脂接着性フィルムによれば、厚みが大きい場合であっても、被着体への密着性にすぐれる微細なパターンを形成することができ、しかも、このように、パターンを形成した後、このパターンの変形を抑えつつ、維持したまま、このパターン上に第２の被着体を熱圧着して、容易に速やかに被着体間に所要の空隙を形成することができる。
【００１２】
更に、本発明に従って、感光性接着性フィルムを被着体に転写したとき、外部に露出している外側層をなす表面層に比べて、被着体への転写面をなす表面層、即ち、内側層において、光酸発生剤をより多く配合することによって、接着性フィルムの厚みが５０μｍ以上のように大きい場合であっても、露光に際して、被着体上の上記フィルムの底部近傍において、ここに到達する活性光線量が外側層に比べて少ない場合であっても、光酸発生剤が十分な量の酸を発生して、エポキシ樹脂の架橋、硬化反応を引き起こすので、かくして、得られるパターンは断面が矩形状であって、被着体に対して高い密着力を有する。
【００１３】
更に、本発明の感光性エポキシ樹脂接着性フィルムにおいては、少なくとも一方の表面層が上記エポキシ樹脂と共に、エポキシ変性シリコーンを含有していてもよい。このように、エポキシ樹脂と共にエポキシ変性シリコーンを含有する表面層は、露光後の現像処理において、未露光部が現像液によって速やかに溶解されるので、エポキシ変性シリコーンを含んでいない場合に比べて、現像時間が短縮される。従って、本発明の感光性エポキシ樹脂接着性フィルムは、厚みが５０μｍ以上のように大きい場合であっても、これを被着体上に転写し、露光させ、現像する際に、現像時間を短縮して、速やかに所要のパターンを形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の感光性エポキシ樹脂接着性フィルムは、中間層とこれを挟む一対の表面層とからなる３層構造を有し、表面層の一方は、この接着性フィルムを被着体上に転写するに際して、被着体と対面し、接触する層、即ち、内側層を形成し、表面層の他方は、外部に露出する外側層を形成し、この接着性フィルムを被着体上に転写し、露光させ、現像して、所要のパターンを形成した後、このパターンを加熱することによって接着性を有せしめて、別の被着体と接着することとなる層である。
【００１５】
本発明の接着性フィルムにおいては、上記中間層と表面層のいずれも、エポキシ当量１００〜３００ｇ／当量のグリシジル基を有する多官能エポキシ樹脂（低エポキシ当量エポキシ樹脂）とエポキシ当量４５０〜１００００ｇ／当量のグリシジル基を有する多官能エポキシ樹脂（高エポキシ当量エポキシ樹脂）との組合わせからなる低反応性エポキシ樹脂を含有している。
【００１６】
本発明による接着性フィルムにおいて、上記低反応性エポキシ樹脂のうち、低エポキシ当量エポキシ樹脂は、溶融粘度が低いので、被着体への転写に際して、被着体への濡れ性にすぐれており、また、露光と現像によって、高い解像度のパターン形成を可能とする。このような低エポキシ当量エポキシ樹脂としては、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂が好ましく、なかでも、ビスフェノールＡ型、ビスフェノールＦ型、ビフェニル型、ノボラック型又はフルオレン型のグリシジルエーテル型エポキシ樹脂が好ましく用いられる。
【００１７】
他方、高エポキシ当量エポキシ樹脂は、それ自体で可撓性を有するので、一つには、上記低エポキシ当量エポキシ樹脂と光酸発生剤と、場合によっては、エポキシ変性シリコーンとをまとめて、フィルムとすることができる役割を担っている。このような高エポキシ当量エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールＡ型フェノキシ樹脂やビスフェノールＦ型フェノキシ樹脂等が好ましく用いられる。ここに、フェノキシ樹脂とは、ビスフェノールＡやビスフェノールＦとエピクロルヒドリンとを反応させ、分子量を格段に大きくしたエポキシ樹脂をいう。
【００１８】
本発明によれば、このように、光酸発生剤と共に高エポキシ当量エポキシ樹脂を上記低エポキシ当量エポキシ樹脂と組合わせて用いて、表面層を形成することによって、被着体への転写に際して、被着体への濡れ性にすぐれ、更に、露光と現像処理によって微細なパターン形成が可能であると共に、このようなパターン形成の後においても、そのパターンを維持したまま、高い接着性を有する感光性エポキシ樹脂接着性フィルムを得ることができる。
【００１９】
本発明による感光性エポキシ樹脂接着性フィルムにおいては、表面層は、低反応性エポキシ樹脂として、このような低エポキシ当量エポキシ樹脂５〜９０重量％と高エポキシ当量エポキシ樹脂１０〜９５重量％とからなる組合わせ、好ましくは、低エポキシ当量エポキシ樹脂１０〜５０重量％と高エポキシ当量エポキシ樹脂５０〜９０重量％との組合わせが好ましく用いられる。低エポキシ当量エポキシ樹脂の割合が高すぎるときは、上記高エポキシ当量エポキシ樹脂と組合わせて用いても、これらをフィルム化することができず、他方、高エポキシ当量エポキシ樹脂の割合が高すぎるときは、上記低エポキシ当量エポキシ樹脂と組合わせて用いても、得られる接着性フィルムは、露光、現像によって微細なパターン形成が困難であり、また、被着体との間に耐湿信頼性や耐薬品性にすぐれた接着を形成することができない。
【００２０】
本発明によれば、中間層は、上記低反応性エポキシ樹脂に加えて、更に、脂環式エポキシ樹脂及びオキセタン樹脂から選ばれる少なくとも１種の高反応性樹脂を含有する。ここに、脂環式エポキシ樹脂は分子中に１つのエポキシ基（オキシラン環）を有する化合物を含むものとし、オキセタン樹脂は分子中に１つのオキセタニル基（オキセタン環）を有する化合物を含むものとする。
【００２１】
従って、本発明においては、上記脂環式エポキシ樹脂として、例えば、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル−３’，４’−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、１，２−エポキシ−４−ビニルシクロヘキサン、ビス（３，４−エポキシシクロヘキシルメチル）アジペート、１−エポキシエチル−３，４−エポキシシクロヘキサン、リモネンジエポキシド、３，４−エポキシシクロヘキシルメタノール、ジシクロペンタジエンジオキシド、
【００２２】
【化１】
0004511439.tif 000002
【００２３】
等が好ましく用いられる。
【００２４】
また、オキセタン樹脂としては、例えば、３−エチル−３−ヒドロキシメチルオキセタン、次式
【００２５】
【化２】
0004511439.tif 000003
【００２６】
で表される１，４−ビス｛〔（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ〕メチル｝ベンゼン、
【００２７】
【化３】
0004511439.tif 000004
【００２８】
【化４】
0004511439.tif 000005
【００２９】
等が好ましく用いられる。
【００３０】
本発明によれば、中間層は、エポキシ当量１００〜３００ｇ／当量の多官能エポキシ樹脂４〜６０重量％とエポキシ当量４５０〜１００００ｇ／当量の多官能エポキシ樹脂１０〜９５重量％と高反応性樹脂１〜３０重量％とを含有し、好ましくは、エポキシ当量１００〜３００ｇ／当量の多官能エポキシ樹脂５〜６０重量％とエポキシ当量４５０〜１００００ｇ／当量の多官能エポキシ樹脂２５〜９０重量％と高反応性樹脂５〜１５重量％とを含有する。
【００３１】
中間層において、高反応性樹脂の割合が１重量％よりも少ないときは、得られる感光性エポキシ樹脂接着性フィルムがそのような中間層を有しても、露光、現像して得られたパターン上に第２の被着体を熱圧着するとき、そのパターンは依然として変形する。しかし、中間層において、高反応性樹脂の割合が３０重量％よりも多いときは、露光、現像後に中間層が硬く、脆い層を形成するので、得られるパターンが容易に割れたり、また、硬化収縮によってパターンにひび割れが生じたりする問題がある。また、中間層の反応性が高すぎるために、露光時、マスクの外へも反応が広がって、パターンが太くなる問題もある。
【００３２】
更に、本発明による感光性エポキシ樹脂接着性フィルムは、少なくとも、表面層の一方又は両方が前記低反応性エポキシ樹脂と共に、例えば、一般式（Ｉ）
【００３３】
【化５】
0004511439.tif 000006
【００３４】
（式中、ｎは０〜８の範囲の数である。）
で表されるエポキシ変性シリコーンを前記低反応性エポキシ樹脂１００重量部に対して、１〜１０重量部の範囲で含有していてもよい。
【００３５】
本発明による接着性フィルムにおいては、少なくとも表面層がこのように前記低反応性エポキシ樹脂と共に、このようなエポキシ変性シリコーンを含有しているとき、この接着性フィルムの厚みが大きい場合であっても、これを被着体上に転写し、これを露光させ、現像処理するときに、現像液によって少なくとも表面層の未露光部を速やかに溶解させることができる。即ち、現像時間を短縮することができる。勿論、中間層にも上記エポキシ変性シリコーンを含有させることによって、接着性フィルムの厚みが大きい場合であっても、これを被着体上に転写し、これを露光させ、現像処理するときに、現像液によって、フィルムの未露光部を速やかに溶解させることができる。
【００３６】
本発明による接着性フィルムにおいて、表面層や中間層のいずれについても、エポキシ樹脂１００重量部に対して、エポキシ変性シリコーンの含有量が１重量部よりも少ないときは、現像時間の短縮に効果がなく、他方、エポキシ樹脂１００重量部に対して、エポキシ変性シリコーンの含有量が１０重量部を超えるときは、エポキシ変性シリコーンを含有する層の硬度が低いので、接着性フィルムが圧力を加えられたとき、厚みが減少したり、また、現像処理時に露光部も溶出して、鮮明な露光パターンを得ることができないおそれがある。
【００３７】
本発明による接着性フィルムにおいては、表面層は、前記低反応性エポキシ樹脂と共に光酸発生剤を含有しており、また、中間層は、前記低反応性エポキシ樹脂と高反応性樹脂と共に光酸発生剤を含有しており、この光酸発生剤によって、フィルムが感光性を有する。即ち、光酸発生剤は、上記接着性フィルムの露光時に酸を発生し、この酸によって上記低反応性エポキシ樹脂や高反応性樹脂を架橋、硬化させる。中間層や表面層が前記エポキシ変性シリコーンを含有しているときは、このエポキシ変性シリコーンも同様に、架橋、硬化する。
【００３８】
このような光酸発生剤としては、種々のオニウム塩、特に、ＢＦ4、ＰＦ6、ＡｓＦ6、ＳｂＦ6 等を対アニオンとするトリアリルスルホニウム塩、ジアリルヨウドニウム塩等、従来より知られているものが適宜に用いられる。これらは市販品として入手することができる。
【００３９】
本発明において、このような光酸発生剤は、低反応性エポキシ樹脂と高反応性樹脂との合計量１００重量部に対して、通常、１〜２０重量部の範囲で用いられ、好ましくは、５〜１５重量部の範囲で用いられる。
【００４０】
本発明によれば、中間層とそれぞれ表面層中の光酸発生剤量はすべて同じでもよいが、特に、フィルムの厚みを大きくする場合には、フィルムを被着体に転写する際の内側層をなす表面層における光酸発生剤量を外側層における光酸発生剤量よりも多くしてもよい。例えば、接着性フィルムを被着体に転写する際に外側層をなす表面層は、光酸発生剤を低反応性エポキシ樹脂１００重量部に対して１〜５重量部の範囲で含有し、接着性フィルムを被着体に転写する際に内側層をなす表面層は、光酸発生剤を低反応性エポキシ樹脂１００重量部に対して５〜１５重量部の範囲で、且つ、前記外側層におけるよりも多く含有するようにしてもよい。
【００４１】
このように、接着性フィルムにおいて、内側層をなす表面層における光酸発生剤量を外側層における光酸発生剤量よりも多くすることによって、フィルムの厚みが５０μｍ以上のように大きい場合であっても、この接着性フィルムを被着体上に転写し、露光させ、現像して、パターンを形成する場合において、露光に際して、被着体上の上記フィルムの底部近傍においては、光酸発生剤を高濃度で含有しているので、被着体上の上記フィルムの底部近傍に到達する活性光線量が外側層よりも少ない場合であっても、光酸発生剤が十分な量の酸を発生して、エポキシ樹脂の架橋、硬化反応を引き起こす。かくして、得られるパターンは、断面が逆台形状となることはなく、矩形状であって、被着体に対して高い密着力を有する。
【００４２】
本発明による感光性エポキシ樹脂接着性フィルムは、中間層、表面層のいずれも、上述したエポキシ樹脂と（エポキシ変性シリコーンと）光酸発生剤に加えて、必要に応じて、難燃剤、離型剤、レベリング剤等、従来より感光性接着剤組成物に用いられる適宜の添加剤を含んでいてもよい。
【００４３】
本発明による感光性エポキシ樹脂接着性フィルムは、上述した中間層とこれを挟む一対の表面層とからなる３層構造を有すれば、その製造方法は特に限定されるものではなく、種々の方法によって得ることができる。例えば、一つの方法として、低エポキシ当量エポキシ樹脂と高エポキシ当量エポキシ樹脂とからるな低反応性エポキシ樹脂とこれに対して所定の割合の光酸発生剤と、必要に応じて、エポキシ変性シリコーンとを適宜の有機溶剤、例えば、ジオキサン、シクロヘキサン等に溶解させて、製膜溶液（ワニス）を調製し、次いで、この製膜溶液を適宜の基材上にコーティングした後、上記有機溶剤を揮散させることによって、表面層のためのフィルムを調製する。別に、低反応性エポキシ樹脂と高反応性樹脂とこれらのエポキシ樹脂に対して所定の割合の光酸発生剤と、必要に応じて、エポキシ変性シリコーンとを適宜の有機溶剤、例えば、ジオキサン、シクロヘキサン等に溶解させて、製膜溶液（ワニス）を調製し、次いで、この製膜溶液を適宜の基材上にコーティングした後、上記有機溶剤を揮散させることによって、中間層のためのフィルムを調製する。次いで、これら表面層のためのフィルムと中間層のためのフィルムを表面層／中間層／表面層の３層構造を有するようにラミネート（貼り合わせ）することによって得ることができる。
【００４４】
また、別の方法として、上述したようにして、中間層と表面層のための製膜溶液を調製し、適宜の基材上に、例えば、内側層をなす表面層のための製膜溶液をコーティングし、乾燥させて、内側層のための表面層を形成し、次いで、この内側層のための表面層の上に中間層のための製膜溶液をコーティングし、乾燥させて、中間層を形成し、更に、この中間層の上に外側層をなす表面層のための製膜溶液をコーティングし、乾燥させて、表面層を形成し、かくして、中間層とこれを挟む一対の表面層とからなる３層構造を有する接着性フィルムを得ることもできる。
【００４５】
本発明による感光性エポキシ樹脂接着性フィルムを適宜の基板、例えば、ガラス基板、有機基板、シリコン基板等の表面に熱転写し、これにフォトマスクを介して紫外線、電子線、マイクロ波等の適宜の活性光線を露光させ、前述したように、光酸発生剤の作用によってエポキシ樹脂とエポキシ変性シリコーンを架橋、硬化させた後、現像処理し、即ち、未露光部を現像剤を用いて溶解、除去し、次いで、必要に応じて、露光後加熱することによって、第１の被着体上に所要のパターンを有する接着性フィルムを得ることができる。上記現像剤としては、例えば、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、メチルエチルケトン等の有機溶剤が用いられる。このような現像剤を用いる現像には、例えば、浸漬法やスプレー法等が用いられる。
【００４６】
次いで、このような第１の被着体上に形成した所要のパターンからなる接着性フィルム上に第２の被着体を重ねて、通常、９０〜２００℃、好ましくは、１００〜１６０℃の温度にて加熱加圧することによって、上記接着性フィルムにそのパターンを維持させたまま、第１と第２の被着体とを上記パターン化した接着性フィルムにて接着することができる。
【００４７】
従って、本発明による感光性エポキシ樹脂接着性フィルムは、これを第１の被着体上に熱転写した後、感光させ、現像して、空間を有するように適宜にパターン形成した後、その上に第２の被着体を熱圧着することによって、第１と第２の被着体との間に信頼性の高い接着を形成しつつ、その間に上記空間に対応して、所要の空隙を形成することができる。
【００４８】
しかも、本発明による感光性エポキシ樹脂接着性フィルムを用いれば、接着性フィルムの厚みが５０μｍ以上のように大きい場合であっても、露光、現像して得られたパターン上に第２の被着体を熱圧着するに際して、そのパターンは、架橋密度が高く、硬い樹脂層からなる中間層が表面層に挟まれている３層構造を有するので、変形が少なく、かくして、精度高く、所要の空隙を形成しつつ、第１と第２の被着体をこのパターンにて相互に接着することができる。
【００４９】
更に、本発明に従って、感光性接着性フィルムを被着体に転写したとき、外側層をなす表面層に比べて、内側層に光酸発生剤をより多く配合することによって、接着性フィルムの厚みが５０μｍ以上のように大きい場合であっても、被着体上の上記フィルムの底部近傍において、光酸発生剤が十分な量の酸を発生して、エポキシ樹脂の架橋、硬化反応を引き起こすので、得られるパターンは断面が矩形状であって、被着体に対して高い密着力を有する。
【００５０】
また、表面層や中間層に上記エポキシ樹脂と共にエポキシ変性シリコーンを含有させることによって、露光後の現像処理において、未露光部が現像液によって速やかに溶解されるので、現像時間を短縮することができる。
【実施例】
【００５１】
以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこれら実施例により何ら限定されるものではない。
【００５２】
実施例１
低エポキシ当量エポキシ樹脂としてエポキシ当量２５０ｇ／当量のビスフェノールＡ型エポキシ樹脂１０重量部と高エポキシ当量エポキシ樹脂としてエポキシ当量８６９０ｇ／当量のビスフェノールＦ型フェノキシ樹脂９０重量部と前記一般式（Ｉ）で表されるエポキシ変性シリコーン（エポキシ当量１９２ｇ／当量、以下、同じ。）３重量部と光酸発生剤として４，４−ビス〔ジ（β−ヒドロキシエトキシ）フェニルスルフィニオ〕フェニルスルフィドビス（ヘキサフルオロアンチモネート）（以下、同じ。）８重量部をジオキサンに溶解させ、感光性エポキシ樹脂接着剤組成物を固形分濃度４５重量％のワニスとして得た。このワニスをポリエステルフィルム上に塗布し、８０℃に加熱し、乾燥させて、上記感光性エポキシ樹脂接着剤組成物よりなる厚み３０μｍの表面層のための感光性フィルムを調製した。
【００５３】
別に、低エポキシ当量エポキシ樹脂としてエポキシ当量２５０ｇ／当量のビスフェノールＡ型エポキシ樹脂１０重量部と高エポキシ当量エポキシ樹脂としてエポキシ当量８６９０ｇ／当量のビスフェノールＦ型フェノキシ樹脂８０重量部と、高反応性樹脂として、脂環式エポキシ樹脂である３，４−エポキシシクロヘキシルメチル−３’，４’−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート１０重量部とエポキシ変性シリコーン３重量部と光酸発生剤８重量部をジオキサンに溶解させ、感光性エポキシ樹脂接着剤組成物を固形分濃度４５重量％のワニスとして得た。このワニスをポリエステルフィルム上に塗布し、８０℃に加熱し、乾燥させて、上記感光性エポキシ樹脂接着剤組成物よりなる厚み４０μｍの中間層のための感光性フィルムを調製した。
【００５４】
次いで、上記表面層のための感光性フィルムと中間層のための感光性フィルムを表面層／中間層／表面層の３層構造を有するようにラミネータを用いて貼り合わせて、本発明による厚み１００μｍの感光性エポキシ樹脂接着性フィルムを得た。
【００５５】
この感光性接着性フィルムをその内側層がガラス板の表面に対面するように１００℃で転写した。高圧水銀灯を用いて、このガラス板表面の感光性接着性フィルムをフォトマスクを介して１０００Ｊ／ｃｍ2 の露光量にて露光させ、９０℃で１０分間、露光後加熱した後、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを現像液として現像して、５０μｍ幅の線が１００μｍ間隔で平行して並ぶパターンを形成することができた。
【００５６】
次いで、このパターン上にラミネータを用いて１５０℃の温度にてガラス板を貼り合わせて、ガラス板の間に上記感光性接着性フィルムから得られたパターンによって間隔９９μｍの空隙を有せしめつつ、上記一対のガラス板を相互に接着することができた。
【００５７】
同様にして、ウェハー上に上記感光性接着性フィルムを転写し、全面露光させ、９０℃で１０分間、露光後加熱し、次いで、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを現像液として現像した。これを３ｍｍ四方の小片に裁断し、スライドガラス上に温度１５０℃、圧力５ｋｇ／ｃｍ2 の条件下に１０秒間熱圧着し、更に、温度１５０℃で１時間加熱して、後硬化させた後、剪断接着力を測定したところ、５ＭＰａ以上であった。また、この小片を温度６０℃、相対湿度９０％の条件下に２００時間放置する吸湿試験の後においても、剪断接着力は５ＭＰａ以上であった。
【００５８】
別に、得られた感光性フィルムを加熱加圧したときの膜厚の変化を次のようにして調べた。即ち、得られた感光性フィルムの膜厚を２５℃にて測定し、次に、温度１５０℃において、このフィルムに４９ＭＰａの圧力を３分間加えた後、フィルムへの加圧を止め、フィルムを室温まで放冷して、膜厚を再度、測定した。当初の膜厚をｔ0、加熱下に加圧した後の膜厚をｔとして、膜厚変化量Δｔ＝（（ｔ0−ｔ）／ｔ0）×１００（％）を求めたところ、２．５％であった。
【００５９】
実施例２
低エポキシ当量エポキシ樹脂としてエポキシ当量１８６ｇ／当量のビフェニルＡ型エポキシ樹脂５０重量部と高エポキシ当量エポキシ樹脂としてエポキシ当量４４００ｇ／当量のビスフェノールＦ型エポキシ樹脂５０重量部とエポキシ変性シリコーン３重量部と光酸発生剤５重量部をジオキサンに溶解させ、感光性エポキシ樹脂接着剤組成物を固形分濃度４５重量％のワニスとして得た。このワニスをポリエステルフィルム上に塗布し、８０℃に加熱し、乾燥させて、上記感光性エポキシ樹脂接着剤組成物よりなる厚み２０μｍの内側層のための表面層としての感光性フィルムを調製した。
【００６０】
次いで、低エポキシ当量エポキシ樹脂としてエポキシ当量２５０ｇ／当量のビスフェノールＡ型エポキシ樹脂４０重量部と高エポキシ当量エポキシ樹脂としてエポキシ当量４４００ｇ／当量のビスフェノールＦ型エポキシ樹脂５０重量部と、高反応性樹脂であるオキセタン樹脂として１，４−ビス｛〔（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ〕メチル｝ベンゼン（前記式（４）において、ｎ＝１であるもの８０〜８５％、ｎ＝２であるもの１０〜１５％、ｎ＝３であるもの５％未満の混合物、融点４１〜４４℃）１０重量部と光酸発生剤５重量部をジオキサンに溶解させ、感光性エポキシ樹脂接着剤組成物を固形分濃度４５重量％のワニスとして得た。このワニスを上記表面層のための感光性フィルム上に塗布し、８０℃に加熱し、乾燥させて、上記表面層（内側層）としての感光性フィルム上に厚み６０μｍの中間層を形成した。
【００６１】
次いで、低エポキシ当量エポキシ樹脂としてエポキシ当量１７７ｇ／当量のノボラック型エポキシ樹脂４０重量部と高エポキシ当量エポキシ樹脂としてエポキシ当量４４００ｇ／当量のビスフェノールＦ型エポキシ樹脂６０重量部とエポキシ変性シリコーン３重量部と光酸発生剤１５重量部をジオキサンに溶解させ、感光性エポキシ樹脂接着剤組成物を固形分濃度４５重量％のワニスとして得た。このワニスを上記中間層上に塗布し、８０℃に加熱し、乾燥させて、上記中間層上に厚み２０μｍの表面層（外側層）を形成し、かくして、本発明による厚み１００μｍの感光性エポキシ樹脂接着性フィルムを得た。
【００６２】
この感光性接着性フィルムをその内側層がガラス板の表面に対面するように１００℃で転写した。高圧水銀灯を用いて、このガラス板表面の感光性接着性フィルムをフォトマスクを介して１０００Ｊ／ｃｍ2 の露光量にて露光させ、９０℃で１０分間、露光後加熱した後、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを現像液として現像して、５０μｍ幅の線が１００μｍ間隔で平行して並ぶパターンを形成することができた。
【００６３】
次いで、このパターン上にラミネータを用いて１５０℃の温度にてガラス板を貼り合わせて、ガラス板の間に上記感光性接着性フィルムから得られたパターンによって間隔９９μｍの空隙を有せしめつつ、上記一対のガラス板を相互に接着することができた。
【００６４】
同様にして、ウェハー上に上記感光性接着性フィルムを転写し、全面露光させ、９０℃で１０分間、露光後加熱し、次いで、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを現像液として現像した。これを３ｍｍ四方の小片に裁断し、スライドガラス上に温度１５０℃、圧力５ｋｇ／ｃｍ2 の条件下に１０秒間熱圧着し、更に、温度１５０℃で１時間加熱して、後硬化させた後、剪断接着力を測定したところ、５ＭＰａ以上であった。また、この小片を温度６０℃、相対湿度９０％の条件下に２００時間放置する吸湿試験の後においても、剪断接着力は５ＭＰａ以上であった。また、実施例１と同様にして調べた膜厚変化量は１．２％であった。
【００６５】
比較例１
低エポキシ当量エポキシ樹脂としてエポキシ当量１７７ｇ／当量のノボラック型エポキシ樹脂４０重量部と高エポキシ当量エポキシ樹脂としてエポキシ当量４４００ｇ／当量のビスフェノールＦ型エポキシ樹脂６０重量部とエポキシ変性シリコーン３重量部と光酸発生剤８重量部をジオキサンに溶解させ、感光性エポキシ樹脂接着剤組成物を固形分濃度４５重量％のワニスとして得た。このワニスをポリエステルフィルム上に塗布し、８０℃に加熱し、乾燥させて、上記感光性エポキシ樹脂接着剤組成物よりなる厚み５０μｍの感光性フィルムを調製した。次に、この感光性フィルムの２枚をラミネータを用いて貼り合わせて、比較例としての厚み１００μｍの感光性エポキシ樹脂接着性フィルムを得た。
【００６６】
この感光性接着性フィルムをその内側層がガラス板の表面に対面するように１００℃で転写した。高圧水銀灯を用いて、このガラス板表面の感光性接着性フィルムをフォトマスクを介して１０００Ｊ／ｃｍ2 の露光量にて露光させ、９０℃で１０分間、露光後加熱した後、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを現像液として現像したところ、５０μｍ幅のパターンは形成されていたが、表面の幅５０μｍに対して、底部の幅は３０μｍであった。
【００６７】
次いで、このパターン上にラミネータを用いて１５０℃の温度にてガラス板を貼り合わせて、ガラス板の間に上記感光性接着性フィルムから得られたパターンによって間隔９７μｍの空隙を有せしめつつ、上記一対のガラス板を相互に接着することができた。
【００６８】
同様にして、ウェハー上に上記感光性接着性フィルムを転写し、全面露光させ、９０℃で１０分間、露光後加熱し、次いで、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを現像液として現像した。これを３ｍｍ四方の小片に裁断し、スライドガラス上に温度１５０℃、圧力５ｋｇ／ｃｍ2 の条件下に１０秒間熱圧着し、更に、温度１５０℃で１時間加熱して、後硬化させた後、剪断接着力を測定したところ、５ＭＰａ以上であった。また、この小片を温度６０℃、相対湿度９０％の条件下に２００時間放置する吸湿試験の後においても、剪断接着力は５ＭＰａ以上であった。また、実施例１と同様にして調べた膜厚変化量は５％であった。