【手続補正書】
【提出日】平成17年11月22日(2005.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性薄膜を形成するための微粒子材料を含有する溶液を、吐出口径Φ２５μｍ以下の圧電素子を用いたピエゾジェット方式の噴射ヘッドにより噴射し、前記溶液を液滴として飛翔させ、基板上に形成された１対の素子電極パターンならびに該素子電極パターン間に前記溶液を１滴付与し、付与後の溶液ドットパターン中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子を形成する電子源基板製造装置において、前記溶液は液体に微粒子を分散させた溶液であり、前記微粒子の大きさをＤｐ、前記吐出口径をＤｏとするとき、０.０００２≦Ｄｐ／Ｄｏ≦０.０１とすることを特徴とする電子源基板製造装置。
【請求項２】
導電性薄膜を形成するための微粒子材料を含有する溶液を、吐出口径Φ２５μｍ以下の発熱体を用いたサーマルジェット方式の噴射ヘッドにより噴射し、前記溶液を６ｍ／ｓ〜１８ｍ／ｓの速度で飛翔させ、基板上に形成された１対の素子電極パターンならびに該素子電極パターン間に前記溶液を１滴付与し、付与後の溶液ドットパターン中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子を形成する電子源基板製造装置において、前記溶液は液体に微粒子を分散させた溶液であり、前記微粒子の大きさをＤｐ、前記吐出口径をＤｏとするとき、０.０００２Ｄ≦ｐ／Ｄｏ≦０.０１とすることを特徴とする電子源基板製造装置。
【請求項３】
前記溶液は飛翔時に後方に複数の微小な滴を伴う形態で飛翔させることを特徴とする請求項２に記載の電子源基板製造装置。
【請求項４】
前記噴射ヘッドと前記基板とは相対的に移動しながら前記溶液を噴射し、その相対的移動速度を、前記溶液の噴射速度の１／３以下にしたことを特徴とする請求項２もしくは３に記載の電子源基板製造装置。
【請求項５】
前記微粒子は、前記吐出口を構成する部材よりやわらかい材料であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１に記載の電子源基板製造装置。
【請求項６】
導電性薄膜を形成するための微粒子材料を含有する溶液を、吐出口径Φ２５μｍ以下の圧電素子を用いたピエゾジェット方式の噴射ヘッドにより噴射し、前記溶液を液滴として飛翔させ、基板上に形成された１対の素子電極パターンならびに該素子電極パターン間に前記溶液を１滴付与し、付与後の溶液ドットパターン中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子を形成する電子源基板製造装置に使用する微粒子材料含有溶液において、該溶液中の微粒子の大きさをＤｐ、前記吐出口径をＤｏとするとき、０.０００２≦Ｄｐ／Ｄｏ≦０.０１とすることを特徴とする微粒子材料含有溶液。
【請求項７】
導電性薄膜を形成するための微粒子材料を含有する溶液を、吐出口径Φ２５μｍ以下の発熱体を用いたサーマルジェット方式の噴射ヘッドにより噴射し、前記溶液を６ｍ／ｓ〜１８ｍ／ｓの速度で飛翔させ、基板上に形成された１対の素子電極パターンならびに該素子電極パターン間に前記溶液を１滴付与し、付与後の溶液ドットパターン中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子を形成する電子源基板製造装置に使用する微粒子材料含有溶液において、該溶液中の微粒子の大きさをＤｐ、前記吐出口径をＤｏとするとき、０.０００２≦Ｄｐ／Ｄｏ≦０.０１とすることを特徴とする微粒子材料含有溶液。
【請求項８】
前記微粒子は、前記吐出口を構成する部材よりやわらかい材料であることを特徴とする請求項６もしくは７に記載の微粒子材料含有溶液。
【請求項９】
基板上に形成された１対の素子電極パターンならびに該素子電極パターン間に導電性薄膜を形成するための微粒子材料を含有する溶液を付与され、１つの溶液ドットパターンを形成するとともに、付与後の溶液ドットパターン中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって形成される導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子を形成された電子源基板において、前記微粒子は前記ドットパターンを形成する面の表面粗さ以下の大きさであることを特徴とする電子源基板。
【請求項１０】
前記素子電極パターンは矩形パターンもしくは矩形パターンの組み合わせによって構成されることを特徴とする請求項９に記載の電子源基板。
【請求項１１】
前記表面伝導型電子放出素子は前記基板上にマトリックス状に素子群として形成されるとともに、各素子の電極間距離を前記素子群の配列ピッチより小として形成したことを特徴とする請求項９に記載の電子源基板。
【請求項１２】
請求項９〜１１のいずれか１に記載の電子源基板と、該電子源基板に対向して配置され、蛍光体を搭載し、前記電子源基板とほぼ同じ形状、大きさのフェースプレートとを有することを特徴とする画像表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】電子源基板製造装置，微粒子材料含有溶液，電子源基板，及び画像表示装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明は、上述のごとき表面伝導型電子放出素子を用いた画像表示装置の電子源基板の製造装置ならびにそれに使用する微粒子含有溶液、さらには、このような製造装置によって製作される電子源基板およびそれを用いた画像表示装置に関するものであり、
第１の目的は、電子放出素子を有する電子源基板を溶液噴射によって製造する際に、噴射時に目詰まりがなく安定して製造できる新規な製造装置を提供することにある。
第２の目的は、そのような製造装置の他の構成を提案することにある。
第３の目的は、このような製造装置において、安定した噴射を行うことができ、高精度な電子源基板を製造できるようにすることにある。
第４の目的は、このような製造装置において、高品位な電子源基板を製造できるようにすることにある。
第５の目的は、このような製造装置において、噴射性能劣化が生じることなく、安定して製造できる新規な製造装置を提供することにある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
第９の目的は、このような新規な構成の製造装置によって製造される高品位な電子放出素子を有する電子源基板を提供することにある。
第１０の目的は、このような電子源基板において、信頼性の高い電子放出素子を有する電子源基板を提供することにある。
第１１の目的は、このような電子源基板において、高精度な電子放出素子を有する電子源基板を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
第１２の目的は、このような高品質かつ高精度で信頼性の高い電子放出素子を有する電子源基板を用いた高品位な画像表示装置を提供することにある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
第１に、導電性薄膜を形成するための微粒子材料を含有する溶液を、吐出口径Φ２５μｍ以下の圧電素子を用いたピエゾジェット方式の噴射ヘッドにより噴射し、前記溶液を液滴として飛翔させ、基板上に形成された１対の素子電極パターンならびに該素子電極パターン間に前記溶液を１滴付与し、付与後の溶液ドットパターン中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子を形成する電子源基板製造装置において、前記溶液は液体に微粒子を分散させた溶液であり、前記微粒子の大きさをＤｐ、前記吐出口径をＤｏとするとき、０.０００２≦Ｄｐ／Ｄｏ≦０.０１とするようにした。
第２に、導電性薄膜を形成するための微粒子材料を含有する溶液を、吐出口径Φ２５μｍ以下の発熱体を用いたサーマルジェット方式の噴射ヘッドにより噴射し、前記溶液を６ｍ／ｓ〜１８ｍ／ｓの速度で飛翔させ、基板上に形成された１対の素子電極パターンならびに該素子電極パターン間に前記溶液を１滴付与し、付与後の溶液ドットパターン中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子を形成する電子源基板製造装置において、前記溶液は液体に微粒子を分散させた溶液であり、前記微粒子の大きさをＤｐ、前記吐出口径をＤｏとするとき、０.０００２≦Ｄｐ／Ｄｏ≦０.０１とするようにした。
第３に、上記第２の電子源基板製造装置において、前記溶液は飛翔時に後方に複数の微小な滴を伴う形態で飛翔させるようにした。
第４に、上記第２もしくは第３の電子源基板製造装置において、前記噴射ヘッドと前記基板とは相対的に移動しながら前記溶液を噴射し、その相対的移動速度を、前記溶液の噴射速度の１／３以下にした。
第５に、上記第１〜第４のいずれか１の電子源基板製造装置において、前記微粒子は、前記吐出口を構成する部材よりやわらかい材料とした。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
第６に、導電性薄膜を形成するための微粒子材料を含有する溶液を、吐出口径Φ２５μｍ以下の圧電素子を用いたピエゾジェット方式の噴射ヘッドにより噴射し、前記溶液を液滴として飛翔させ、基板上に形成された１対の素子電極パターンならびに該素子電極パターン間に前記溶液を１滴付与し、付与後の溶液ドットパターン中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子を形成する電子源基板製造装置に使用する微粒子材料含有溶液において、該溶液中の微粒子の大きさをＤｐ、前記吐出口径をＤｏとするとき、０.０００２≦Ｄｐ／Ｄｏ≦０.０１とした。
第７に、導電性薄膜を形成するための微粒子材料を含有する溶液を、吐出口径Φ２５μｍ以下の発熱体を用いたサーマルジェット方式の噴射ヘッドにより噴射し、前記溶液を６ｍ／ｓ〜１８ｍ／ｓの速度で飛翔させ、基板上に形成された１対の素子電極パターンならびに該素子電極パターン間に前記溶液を１滴付与し、付与後の溶液ドットパターン中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子を形成する電子源基板製造装置に使用する微粒子材料含有溶液において、該溶液中の微粒子の大きさをＤｐ、前記吐出口径をＤｏとするとき、０.０００２≦Ｄｐ／Ｄｏ≦０.０１とした。
第８に、上記第６もしくは第７の微粒子材料含有溶液において、前記微粒子は、前記吐出口を構成する部材よりやわらかい材料とした。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
第９に、基板上に形成された１対の素子電極パターンならびに該素子電極パターン間に導電性薄膜を形成するための微粒子材料を含有する溶液を付与され、１つの溶液ドットパターンを形成するとともに、付与後の溶液ドットパターン中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって形成される導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子を形成された電子源基板において、前記微粒子は前記ドットパターンを形成する面の表面粗さ以下の大きさであるようにした。
第１０に、上記第９の電子源基板において、前記素子電極パターンは矩形パターンもしくは矩形パターンの組み合わせによって構成されるようにした。
第１１に、上記第９の電子源基板において、前記表面伝導型電子放出素子は前記基板上にマトリックス状に素子群として形成されるとともに、各素子の電極間距離を前記素子群の配列ピッチより小として形成するようにした。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
第１２に、上記第９〜第１１のいずれか１の電子源基板と、該電子源基板に対向して配置され、蛍光体を搭載し、前記電子源基板とほぼ同じ形状、大きさのフェースプレートとを有する画像表示装置とした。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
第１の手段に対応した効果
導電性薄膜を形成するための微粒子材料を含有する溶液を、吐出口径Φ２５μｍ以下の圧電素子を用いたピエゾジェット方式の噴射ヘッドにより噴射し、前記溶液を液滴として飛翔させ、基板上に形成された１対の素子電極パターンならびに該素子電極パターン間に前記溶液を１滴付与し、付与後の溶液ドットパターン中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子を形成する電子源基板製造装置において、前記溶液は液体に微粒子を分散させた溶液であり、前記微粒子の大きさをＤｐ、前記吐出口径をＤｏとするとき、０.０００２≦Ｄｐ／Ｄｏ≦０.０１としたので、微細かつ良好なパターンを有する電子放出素子が形成できるとともに、溶液の噴射時に目詰まりが起きない長期使用に対して安定して使用できる新規な電子源基板製造装置とすることができた。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
第２の手段に対応した効果
導電性薄膜を形成するための微粒子材料を含有する溶液を、吐出口径Φ２５μｍ以下の発熱体を用いたサーマルジェット方式の噴射ヘッドにより噴射し、前記溶液を６ｍ／ｓ〜１８ｍ／ｓの速度で飛翔させ、基板上に形成された１対の素子電極パターンならびに該素子電極パターン間に前記溶液を１滴付与し、付与後の溶液ドットパターン中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子を形成する電子源基板製造装置において、前記溶液は液体に微粒子を分散させた溶液であり、前記微粒子の大きさをＤｐ、前記吐出口径をＤｏとするとき、０.０００２≦Ｄｐ／Ｄｏ≦０.０１としたので、微細かつ高精度なパターンを有する電子放出素子が形成できるとともに、溶液の噴射時に目詰まりが起きない長期使用に対して安定して使用できる新規な電子源基板製造装置とすることができた。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
第６の手段に対応した効果
導電性薄膜を形成するための微粒子材料を含有する溶液を、吐出口径Φ２５μｍ以下の圧電素子を用いたピエゾジェット方式の噴射ヘッドにより噴射し、前記溶液を液滴として飛翔させ、基板上に形成された１対の素子電極パターンならびに該素子電極パターン間に前記溶液を１滴付与し、付与後の溶液ドットパターン中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子を形成する電子源基板製造装置に使用する微粒子材料含有溶液において、該溶液中の微粒子の大きさをＤｐ、前記吐出口径をＤｏとするとき、０.０００２≦Ｄｐ／Ｄｏ≦０.０１としたので、微細かつ良好なパターンを有する電子放出素子が形成できるとともに、溶液の噴射時に目詰まりが起きない長期使用に対して安定して使用できる新規な微粒子材料含有溶液を提案できた。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
第７の手段に対応した効果
導電性薄膜を形成するための微粒子材料を含有する溶液を、吐出口径Φ２５μｍ以下の発熱体を用いたサーマルジェット方式の噴射ヘッドにより噴射し、前記溶液を６ｍ／ｓ〜１８ｍ／ｓの速度で飛翔させ、基板上に形成された１対の素子電極パターンならびに該素子電極パターン間に前記溶液を１滴付与し、付与後の溶液ドットパターン中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子を形成する電子源基板製造装置に使用する微粒子材料含有溶液において、該溶液中の微粒子の大きさをＤｐ、前記吐出口径をＤｏとするとき、０.０００２≦Ｄｐ／Ｄｏ≦０.０１としたので、微細かつ高精度なパターンを有する電子放出素子が形成できるとともに、溶液の噴射時に目詰まりが起きない長期使用に対して安定して使用できる新規な微粒子材料含有溶液を提案できた。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
第９の手段に対応した効果
基板上に形成された１対の素子電極パターンならびに該素子電極パターン間に導電性薄膜を形成するための微粒子材料を含有する溶液を付与され、１つの溶液ドットパターンを形成するとともに、付与後の溶液ドットパターン中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって形成される導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子を形成された電子源基板において、前記微粒子は前記ドットパターンを形成する面の表面粗さ以下の大きさであるようにしたので、形成される電子放出素子は高品位となり、良好な電子放出が行える電子源基板とすることができた。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
第１０の手段に対応した効果
このような電子源基板において、前記素子電極パターンは矩形パターンもしくは矩形パターンの組み合わせによって構成されるようにしたので、異常放電の起きない高品質かつ信頼性の高い電子放出素子を有する電子源基板が得られるようになった。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
第１１の手段に対応した効果
このような電子源基板において、前記表面伝導型電子放出素子は前記基板上にマトリックス状に素子群として形成されるとともに、各素子の電極間距離を前記素子群の配列ピッチより小として形成するようにしたので、高精度な電子放出素子を有する電子源基板が得られるようになった。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
第１２の手段に対応した効果
このような電子源基板と、該電子源基板に対向して配置され、蛍光体を搭載し、前記電子源基板とほぼ同じ形状、大きさのフェースプレートとを有する画像表示装置としたので、異常放電の起きない高品質かつ高精度で信頼性が高く、高画質で高品位な耐久性の高い画像表示装置を得られるようになった。