【手続補正書】
【提出日】平成18年6月30日(2006.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に前記原板の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工方法において、
部材に前記原版を押し付けることにより加工のための条件出しを行う工程を有することを特徴とする微細加工方法。
【請求項２】  前記部材は、前記被加工物又は基準ターゲットであることを特徴とする請求項１記載の微細加工方法。
【請求項３】  前記条件出し工程において決定される条件は、前記原版に対する前記被加工物の押し付け力、前記原版に対する前記被加工物の距離、前記原版と前記被加工物の相対角度、前記原版の温度、前記被加工物の温度、の少なくともいずれか一つを含むことを特徴とする請求項１記載の微細加工方法。
【請求項４】  前記条件出し工程において決定される条件は、時間的に変化するように決定されることを特徴とする請求項１記載の微細加工方法。
【請求項５】  前記条件出し工程において決定される条件は、前記部材の表面を複数の領域に分け、該領域毎に決定されることを特徴とする請求項１記載の微細加工方法。
【請求項６】  原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に該原版の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工方法において、
押し付け手段によって前記原版を前記被加工物に押し付けている間に、該押し付けの状態を計測し、該計測結果に基づいて前記押し付け手段の駆動量を調節することを特徴とする微細加工方法。
【請求項７】  原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に該原版の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工方法において、
押し付け手段によって前記原版を前記被加工物に押し付けている間に、該押し付けの状態を計測し、
該計測結果と、予め求めた前記押し付けの状態と前記押し付け手段の駆動量との関係と、に基づいて、前記押し付け手段の駆動量を調節することを特徴とする微細加工方法。
【請求項８】  原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に該原版の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工方法において、
前記原版又は／及び前記被加工物の温度を計測し、該計測結果に基づいて前記押し付け手段の駆動量を調節することを特徴とする微細加工方法。
【請求項９】  原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に該原版の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工方法において、
押し付け手段によって前記原版を基準ターゲットに押し付け、該押し付けの状態を計測し、
該計測結果に基づいて、前記押し付け手段の駆動量を調節することを特徴とする微細加工方法。
【請求項１０】  原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に該原版の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工方法において、
押し付け手段によって基準モールドを前記被加工物に押し付け、該押し付けの状態を計測し、
該計測結果に基づいて、前記押し付け手段の駆動量を調節することを特徴とする微細加工方法。
【請求項１１】  請求項１乃至１０のうちいずれか一項記載の微細加工方法により微細加工を行うことを特徴とする微細加工装置。
【請求項１２】  原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に前記原板の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工装置において、
前記被加工物の温度を調整する手段及び／又は前記原版の温度を調整する手段を有することを特徴とする微細加工装置。
【請求項１３】  原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に前記原板の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工装置において、
前記被加工物の温度を計測する手段及び／又は前記原版の温度を調整する手段を有することを特徴とする微細加工装置。
【請求項１４】  原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に該原版の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工装置において、
前記原版を保持する保持手段と、
基準モールドとを有することを特徴とする微細加工装置。
【請求項１５】  原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に該原版の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工装置において、
前記被加工物を保持する保持手段と、基準ターゲットとを有することを特徴とする微細加工装置。
【請求項１６】  原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に前記原板の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工装置において、
入力された前記原版の情報及び／又は前記被加工物の情報から、前記押し付けための加工条件を決定し、該決定された加工条件に基づいて前記押し付けを行うことを特徴とする微細加工装置。
【請求項１７】  前記原版の情報は、該原版の硬度、前記パターンの凸部の面積、前記パターンの断面形状、のうち少なくともいずれか一つであることを特徴とする請求項１６記載の微細加工装置。
【請求項１８】  前記被加工物の情報は、該被加工物の硬度、該被加工物の断面形状、該被加工物の表面形状、のうち少なくともいずれか一つであることを特徴とする請求項１６記載の微細加工装置。
【請求項１９】  前記加工条件は、前記被加工物に対する前記原版の押し付け力、前記原版と前記被加工物の間隔、前記原版と前記被加工物の相対角度、前記原版の温度、前記被加工物の温度、の少なくともいずれか一つであることを特徴とする請求項１６記載の微細加工装置。
【請求項２０】  被加工物及び原版を用意する工程と、請求項１１乃至１９のうちいずれか一項記載の微細加工装置により該被加工物に該原版のパターンを転写する工程とを有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の一側面としての微細加工方法は、原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に前記原板の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工方法において、部材に前記原版を押し付けることにより加工のための条件出しを行う工程を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、本発明の別の一側面としての微細加工装置は、原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に前記原板の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工装置において、前記原版を前記被加工物に押し付けるための押し付け手段と、前記押し付け手段の押し付け力を計測する計測手段とを有し、前記計測手段の計測値が第１の値になった場合に通知又は前記押し付けの中断を行うことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、本発明の別の一側面としての微細加工装置は、原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に前記原板の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工装置において、前記原版の高さを計測する手段及び／又は前記被加工物の高さを計測する手段により計測した計測値に基づいて、前記原版と前記被加工物との間隔が第１の値になった場合に通知又は前記押し付けの中断を行うことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、本発明の別の一側面としての微細加工装置は、原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に前記原板の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工装置において、前記原版の角度を計測する手段及び／又は前記被加工物の角度を計測する手段により計測した計測値に基づいて、前記原版と前記被加工物との相対角度が第１の値になった場合に通知又は前記押し付けの中断を行うことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、本発明の別の一側面としての微細加工装置は、原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に前記原板の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工装置において、前記原版の温度を計測する計測手段を有し、該計測手段の計測値が第１の値になった場合に通知又は前記押し付けの中断を行うことを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、本発明の別の一側面としての微細加工装置は、原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に前記原板の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工装置において、前記被加工物の温度を計測する計測手段を有し、該計測手段の計測値が第１の値になった場合に通知又は前記押し付けの中断を行うことを特徴とする。