(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄媒体が高圧に貯蔵される洗浄媒体貯蔵タンクと、
第１のラインを通じて前記洗浄媒体貯蔵タンクと連結されて、基板を固定し回転させるためのチャックの側部に提供され、前記第１のラインを通過する間に減圧され粒子化された洗浄媒体を基板の前面、背面及びエッジに噴射するためのものであって、基板のエッジ部分を収容する基板収容部と、基板のエッジに粒子状洗浄媒体を噴射するために前記基板収容部の内部側面に提供される第１のノズルと、基板の前面に粒子状洗浄媒体を噴射するために前記基板収容部の内部上面に提供される第２のノズルと、基板の背面に粒子状洗浄媒体を噴射するために前記基板収容部の内部下面に提供される第３のノズルとを有する洗浄媒体噴射ノズル体と、
前記第１のラインと連結される第２のラインが接続されて、粒子化された洗浄媒体を前記ノズル体に運搬するためのキャリヤガスを貯蔵するキャリヤガス貯蔵タンクと、
前記ノズル体を待機位置と洗浄位置との間で移動させるためのノズル体移動手段と、を含み、
前記第１及び第２のラインの連結されるライン連結部は、前記第１及び第２のラインが連結されるベースブロックと、前記ベースブロックと前記ノズル体との間に提供されるオリフィス又はベンチュリとを備えることを特徴とする、基板エッジ洗浄装置。
【請求項２】
前記噴射ノズル体は、噴射された粒子状洗浄媒体から気化されたガス及び残留ガスを吸入して処理するための残留ガス吸入部が提供されることを特徴とする、請求項１に記載の基板エッジ洗浄装置。
【請求項３】
前記粒子状洗浄媒体はドライアイス粒子（ＣＯ2粒子）であることを特徴とする、請求項１に記載の基板エッジ洗浄装置。
【請求項４】
前記ノズルらは０．５乃至２ｍｍの直径を有することを特徴とする、請求項１に記載の基板エッジ洗浄装置。
【請求項５】
前記第１、第２および第３のノズルは各々前記ノズル体に一つ以上提供されることを特徴とする、請求項１に記載の基板エッジ洗浄装置。
【請求項６】
前記ノズル体の移動手段は空気圧シリンダーであることを特徴とする、請求項１に記載の基板エッジ洗浄装置。
【請求項７】
前記ノズル体の移動手段はステップモーターであることを特徴とする、請求項１に記載の基板エッジ洗浄装置。
【請求項８】
前記粒子状洗浄媒体はキャリヤガスにより運搬されて前記ノズル体から噴射されることを特徴とする、請求項１に記載の基板エッジ洗浄装置。
【請求項９】
前記キャリヤガスはＮ2ガスであることを特徴とする、請求項８に記載の基板エッジ洗浄装置。
【請求項１０】
洗浄媒体が高圧に貯蔵される洗浄媒体貯蔵タンクと、
第１のラインを通じて前記洗浄媒体貯蔵タンクと連結されて、基板を固定し回転させるためにスピンチャックの側部に提供され、前記第１のラインを通過する間に減圧され粒子化された洗浄媒体を基板の前面、背面及びエッジへ噴射するためのものであって、基板のエッジ部分を収容する基板収容部と、基板のエッジに粒子状洗浄媒体を噴射するために前記基板収容部の内部側面に提供される第１のノズルと、基板の前面に粒子状洗浄媒体を噴射するために前記基板収容部の内部上面に提供される第２のノズルと、基板の背面に粒子状洗浄媒体を噴射するために前記基板収容部の内部下面に提供される第３のノズルとを有する洗浄媒体噴射ノズル体と、
前記第１のラインと連結される第２のラインが接続されて、粒子状洗浄媒体を前記ノズル体に運搬するためのキャリヤガスを貯蔵するキャリヤガス貯蔵タンクと、
前記ノズル体を待機位置と洗浄位置との間で移動させるためのノズル体移動手段と、
前記ノズル体から噴射された粒子状洗浄媒体から気化されたガスを吸入し処理するための残留ガス吸入部とを含み、
前記第１及び第２のラインの連結されるライン連結部は、前記第１及び第２のラインが連結されるベースブロックと、前記ベースブロックと前記ノズル体との間に提供されるオリフィス又はベンチュリとを備えることを特徴とする、基板エッジ洗浄装置。
【請求項１１】
前記粒子状洗浄媒体はＣＯ2粒子であり、前記キャリヤガスはＮ2ガスであることを特徴とする、請求項１０に記載の基板エッジ洗浄装置。
【請求項１２】
前記ノズルらは０．５乃至２ｍｍの直径を有することを特徴とする、請求項１０に記載の基板エッジ洗浄装置。
【請求項１３】
前記第１、第２および第３のノズルは各々前記ノズル体に一つ以上提供されることを特徴とする、請求項１０に記載の基板エッジ洗浄装置。
【請求項１４】
前記ノズル体の移動手段は空気圧シリンダーであることを特徴とする、請求項１０に記載の基板エッジ洗浄装置。
【請求項１５】
前記ノズル体の移動手段はステップモーターであることを特徴とする、請求項１０に記載の基板エッジ洗浄装置。
【請求項１６】
前記キャリヤガス貯蔵タンクは、Ｎ2ガスが高圧に貯蔵されるＮ2ガスボンベであることを特徴とする、請求項１０に記載の基板エッジ洗浄装置。
【請求項１７】
前記キャリヤガス貯蔵タンクは、Ｎ2ガスが貯蔵されるキャリヤガス貯蔵タンクであり、前記キャリヤガス貯蔵タンクに貯蔵されたＮ2ガスはポンプにより高圧でポンピングされることを特徴とする、請求項１０に記載の基板エッジ洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板洗浄装置に関するものであり、より詳しくは純化性固体粒子、例えばＣＯ2ガスの相転移によるドライアイス粒子及び各種純化性固体微粒子を用いて基板のエッジ及び側部を洗浄するための基板エッジ洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体素子の製造工程では、半導体基板(以下、基板)の表面に薄膜のパターンを形成するための、または基板の表面を洗浄するための各種基板処理装置が利用されている。
【０００３】
従来の基板洗浄装置が図１に示されている。装置は実質的に水平に基板(Ｗ)を吸入支持し回転させるためのスピンチャック１０と、基板(Ｗ)の表面に洗浄液または処理液を供給するために回転中心上に配置される処理液供給ノズル３０とを含む。
【０００４】
先ず、スピンチャック１０は所定の回転速度で基板(Ｗ)を回転させるようにモーター(図示せず)により駆動される。回転の安定する時点で洗浄液または処理液はノズル３０から基板(Ｗ)の表面に所定の噴射速度で噴射され、基板(Ｗ)の表面を洗浄または処理する。
【０００５】
一方、基板(Ｗ)が両面基板である場合、基板(Ｗ)の前面の洗浄が完了された後、基板(Ｗ)は別途の反転器具により反転され、基板(Ｗ)の背面に対しての洗浄または表面処理が前記と同様に行われる。
【０００６】
しかしながら、前記のような従来の洗浄装置は、基板の前面及び背面の洗浄は可能であるが、基板のエッジ部分は洗浄しにくい構造を有する。基板のサイズが大きくなるほど基板のエッジに残留するポリマー物質に対しての洗浄が重要となり、基板のエッジを洗浄するための方式としてベルトまたはブラシなどを用いた方式が提案された。
【０００７】
ブラシを用いて基板のエッジを洗浄するための一つの方式として、ティモシら(Timothy、et al.)による米国特許第５，９７６，２６７号が提案された。
【０００８】
この特許は図２ａ乃至図２ｃに示されたように、基板２５０は、上側ブラシ２０２がスクラッバを通じて矢印７０１で表された方向に移動することにより上側ブラシ２０２により洗浄される。下側ブラシ３０２は上側ブラシ２０２の下で基板２５０のすぐ下に位置される。上側ブラシ２０２及び下側ブラシ３０２を駆動するためのモーターは各々上側及び下側ブラシ２０２，３０２に結合されて、上側及び下側ブラシ２０２，３０２及びエッジブラシ２２０、３２０に回転運動を提供する。二つのローラー５０１、５０２は、矢印７０２で表されたように、反時計方向に基板を回転させるよう二ヶ所で基板と接触する。回転運動は各々ステップモーター５０３、５０４により前記ローラー５０１，５０２に提供される。ブラシ２０２，３０２，２２０、３２０の間での基板２５０の回転は基板の全体面及びエッジの洗浄を可能にする。
【０００９】
水噴射器３８０は、粒子除去がさらに容易になるよう、図２ｃに示されたようにエッジブラシ２２０、３２０と基板との間の接触点またはその近くに水を噴射するように使用される。このような水噴射器は、水の方向が基板の回転軸と整列された平面から流れ、基板と側面スクラッビング器具との間の地点に接触するように位置させてもよい。このような場合、水は、単に側部スクラッビング器具により基板から除去された粒子を遠く運搬するか、または圧力の充分な場合にはそれ自体により粒子を除去することもできる。水噴射器は通常の公知された支持構造物により適所に保持することができ、図面では基板のすぐ上に位置される。水噴射器の大きさは１／８乃至１／１６インチ程度の直径を有し、扇形の噴射を作る。
【００１０】
エッジブラシは、毛２２２、３２２に粒子が蓄積されることを防止するために基板洗浄の間、純水または純水とＮＨ4ＯＨまたはそれ自体の混合物のＮＨ4ＯＨ／Ｈ2Ｏ2の結合剤を毛２２２、３２２に噴射することにより洗浄される。
【００１１】
しかし、前記のような従来の基板エッジ洗浄装置は基板のエッジを洗浄するために多数のローラー及びローラーを駆動するためのモーターなどが使用されるため、その構造が複雑であると共に製造費用が高く、さらに機械的に構成されるためブラシが基板に接触し基板を物理的に損傷させる虞があるばかりではなく、基板エッジの洗浄後、汚染された洗浄物により基板が逆汚染され、基板の収率を低下させるなどの問題があった。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、比較的に簡単に構成され製造費用が低廉になると共に、基板エッジ洗浄による基板の逆汚染を防止し基板の収率を高めるよう、ドライアイスを用いて基板エッジを洗浄する乾式洗浄法を導入することにより、環境親和的な洗浄方法を用いて洗浄できる装置を提供することにある。
【００１３】
【発明の構成】
前記のような目的は、処理される基板を固定し回転させるためのチャックの側部に提供され、前記第１のラインを通過する間に減圧され粒子化された洗浄媒体を基板の前面、背面及びエッジに噴射するための洗浄媒体噴射ノズル体と、前記ノズル体を待機位置と洗浄位置との間で移動させるためのノズル体移動手段を含むことを特徴とする本発明による基板エッジ洗浄装置により達成することができる。
【００１４】
前記噴射ノズル体は、噴射された粒子状洗浄媒体から気化されたガス及び残留ガスを吸入して処理するための残留ガス吸入部が提供される。
【００１５】
前記粒子状洗浄媒体は、ドライアイス粒子(ＣＯ2粒子)である。
【００１６】
前記ノズル体は、好ましくは基板のエッジ部分を収容する基板収容部と、基板のエッジに粒子状洗浄媒体を噴射するために前記基板収容部の内部側面に提供される第１のノズルと、基板の前面に粒子状洗浄媒体を噴射するために前記基板収容部の内部上面に提供される第２のノズルと、基板の背面に粒子状洗浄媒体を噴射するために前記基板収容部の内部下面に提供される第３のノズルとを備える。
【００１７】
前記ノズルらは、０．５乃至２ｍｍの直径を有することが好ましい。
【００１８】
前記ノズル体の移動手段は、空気圧シリンダーまたはステップモーターから構成される。
【００１９】
前記粒子状洗浄媒体はＮ2ガスのようなキャリヤガスにより運搬されて前記ノズル体から基板のエッジに向けて噴射される。
【００２０】
前記第１、第２および第３のノズルは、各々ノズル体に一つ以上提供される。
【００２１】
対案的に、前記のような目的は、また、洗浄媒体が高圧に貯蔵される洗浄媒体貯蔵タンクと、第１のラインを通じて前記洗浄媒体貯蔵タンクと連結されて、前記第１のラインを通過する間に減圧され粒子化された洗浄媒体を基板の側面及びエッジへ噴射するように、基板を固定し回転させるためのスピンチャックの側部に提供されるノズル体と、前記第１のラインと連結される第２のラインが接続されて、粒子化された洗浄媒体を前記ノズル体に運搬するためのキャリヤガスを貯蔵するキャリヤガス貯蔵タンクと、前記ノズル体を待機位置と洗浄位置との間で移動させるためのノズル体移動手段と、前記ノズル体から噴射された洗浄媒体から気化されたガスを吸入し処理するための残留ガス吸入部とを含むことを特徴とする本発明による基板エッジ洗浄装置により達成することができる。
【００２２】
前記洗浄媒体は、ＣＯ2粒子であり、前記キャリヤガスはＮ2ガスである。
【００２３】
前記ノズル体は、基板のエッジ部分を収容する基板収容部と、基板のエッジに洗浄媒体粒子を噴射するために前記基板収容部の内部側面に提供される第１のノズルと、基板の前面に洗浄媒体粒子を噴射するために前記基板収容部の内部上面に提供される第２のノズルと、基板の背面に洗浄媒体粒子を噴射するために前記基板収容部の内部下面に提供される第３のノズルとを備える。
【００２４】
前記ノズルらは、０．５乃至２ｍｍの直径を有する。
【００２５】
前記ノズル体の移動手段は、空気圧シリンダーまたはステップモーターから構成される。
【００２６】
前記第１、第２および第３のノズルは、各々前記ノズル体に一つ以上提供される。
【００２７】
前記キャリヤガス貯蔵タンクは、Ｎ2ガスが高圧に貯蔵されるＮ2ガスボンベである。
【００２８】
前記キャリヤガス貯蔵タンクは、Ｎ2ガスが貯蔵されるキャリヤガス貯蔵タンクであり、前記キャリヤガス貯蔵タンクに貯蔵されたＮ2ガスはポンプにより高圧でポンピングされる。
【００２９】
前記第１及び第２のラインの連結されるライン連結部は、前記第１及び第２のラインが連結されるベースブロックと、前記ベースブロックと前記ノズル体との間に提供されるオリフィス及びベンチュリとを備える。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して本発明の望ましい実施例を詳細に説明する。
【００３１】
図３は本発明による基板のエッジを、ドライアイスを用いた乾式洗浄方法により洗浄する装置の概略図である。
【００３２】
図３に示されたように、本発明による基板エッジ洗浄装置は、スピンチャック１０に吸着固定された基板(Ｗ)の側部に提供される。基板エッジ洗浄装置は、ドライアイスのようなＣＯ2固形物を粒子化して噴射するためのノズル体１と、ノズル体１を洗浄位置と待機位置との間で移動させるためのノズル体移動手段２とを含む。ノズル体移動手段２(以下、空気圧シリンダー)は、図面では空気圧シリンダーを用いたが、これはただ説明のためであって、空気圧シリンダーの代りにステップモーターを用いてもよい。ノズル体１は、空気圧シリンダー２のピストン４の連結されるブラケット５が下部に位置されて、空気圧シリンダー２は、スピンチャック１０の側部に設けられるブラケット６を通じて洗浄装置に設置される。
【００３３】
ノズル体１は、基板(Ｗ)が洗浄のためにスピンチャック１０にチャッキングされる時、待機位置に位置される。基板(Ｗ)がスピンチャック１０に完全固定された時、ノズル体１は基板(Ｗ)のエッジを洗浄するため図３に示されたように空気圧シリンダー２の前進作動により基板エッジ洗浄位置に移動される。ノズル体１は、基板(Ｗ)を収容可能な基板収容部３が形成される。
【００３４】
ノズル体１は、図４に示されたように多数のノズル１ａ、１ｂ、１ｃが提供され、第１のノズル１ａは、基板(Ｗ)のエッジにドライアイス粒子のような粒子状洗浄媒体(以下、ＣＯ2粒子)を噴射するために基板収容部３の内側に提供される。第２のノズル１ｂは、基板(Ｗ)の前面にＣＯ2粒子を噴射するために基板収容部３の内部上面に提供されて、第３のノズル１ｃは、基板(Ｗ)の背面にＣＯ2粒子を噴射するために基板収容部３の内部下面に提供される。このような第１、第２及び第３のノズル１ａ、１ｂ、１ｃは０．５乃至２ｍｍの直径を有する。
【００３５】
ＣＯ2粒子を用いた基板(Ｗ)のエッジ洗浄機能は、ＣＯ2の圧力及び温度変化による相変化(気相及び液相から固相への変化)により生成されたＣＯ2粒子をノズル体１から基板へ噴射して洗浄する。ＣＯ2噴射による洗浄原理は、第１は慣性による衝突エネルギー、第２は基板(Ｗ)と膜との間の熱収縮の差、第３はＣＯ2自体の溶解力による汚染源の溶解、最後は昇華時の嵩の膨張などであり、このような現象は、生成されたＣＯ2粒子、即ち微粒子ドライアイスが基板(Ｗ)の表面と衝突する瞬間にノズル体１から噴射されるＣＯ2の相変化(気相及び液相)により発生する。そのため、このようなＣＯ2の各々の機能により、乾式エッチングの際、基板(Ｗ)のエッジ及び側面から発生されるポリマーのような汚染物が除去される。特に、ＣＯ2は、従来の洗浄方法に比べ環境親和的であると共に、工程の単純化が図れるだけではなく、自体的に炭化水素系の有機物に対しての優れた溶解力を有し洗浄力に優れている。
【００３６】
ＣＯ2粒子を噴射するためのノズル体１の第１、第２、第３のノズル１ａ、１ｂ、１ｃは図４に示されたようにライン８ａ、８ｂ、８ｃを通じてメインライン１６に連結されて、メインライン１６はライン１６ａ、１６ｂを通じて洗浄媒体(ドライアイス)貯蔵タンク１１とキャリヤガス貯蔵タンク１７とに連結される。キャリヤガス貯蔵タンク１７に収容されたキャリヤガスはＮ2ガスであり、このようなＮ2ガスは基板(Ｗ)のエッジ及び側部を洗浄するＣＯ2粒子をノズル体１へ運搬する。
【００３７】
キャリヤガス貯蔵タンク１７に高圧で貯蔵されたＮ2ガスがライン１６ｂを通じて噴射される時、ライン１６ｂはライン連結部１２で洗浄媒体貯蔵タンク１１に連結されるライン１６ａと連結される。
【００３８】
図５には図４に示した洗浄媒体貯蔵タンクとキャリヤガス貯蔵タンクの連結部分の分解斜視図が示されている。ライン連結部１２は図５に示されたようにベースブロック２１と第１及び第２のオリフィス/ベンチュリブロック２２、２３とを備える。ベースブロック２１は洗浄媒体貯蔵タンク１１に連結されるライン１６ａとキャリヤガス貯蔵タンク１７に連結されるライン１６ｂとが連結される。洗浄媒体貯蔵タンク１１とライン１６ａとの間には洗浄媒体貯蔵タンク１１に高圧で貯蔵されている洗浄媒体の圧力を比較的低圧の１００乃至１２０ｐｓｉの圧力に調整するためのレギュレータ２４が提供される。このようなレギュレータ２４の減圧調整により、洗浄媒体貯蔵タンク１１に貯蔵されたドライアイスはスノー状態のＣＯ2粒子として洗浄媒体貯蔵タンク１１から噴射される。
【００３９】
ベースブロック２１は内部に管路２１ａが形成されており、このような管路２１ａは、ライン１６ａ、１６ｂが連結される二つの入口２１ｂ、２１ｃと、第１及び第２のオリフィス/ベンチュリブロック２２、２３を通じてメインライン１６が連結される一つの出口２１ｄとを有する。キャリヤガス貯蔵タンク１７から噴射されたキャリヤガス、即ちＮ2ガスと、洗浄媒体貯蔵タンク１１から噴射された洗浄媒体、即ちＣＯ2粒子とは、ベースブロック２１の管路２１ａ内で完全に混合され、第１及び第２のオリフィス/ベンチュリブロック２２、２３とライン１６を通じてノズル体１に送られる。第１及び第２のオリフィス/ベンチュリブロック２２、２３には各々オリフィス/ベンチュリ管路２２ａ、２３ａが形成される。従って、洗浄媒体貯蔵タンク１１に貯蔵された洗浄媒体粒子は、このようなオリフィス/ベンチュリブロック２２、２３を通過する間にさらに凝結されて固化されることにより、ＣＯ2粒子がさらに大きくなる。そのため、新たに洗浄媒体の凝縮が起こると共にＣＯ2粒子がさらに固化された状態でキャリヤガスにより比較的低圧にノズル体１へ運搬されることができる。
【００４０】
一方、Ｎ2ガスのようなキャリヤガスを貯蔵するための容器は、高圧のＮ2ガスが貯蔵できるガスボンベであってもよく、キャリヤガスが一定圧力で貯蔵されるタンクであってもよい。キャリヤガスがタンクに貯蔵された時、キャリヤガスはポンプのような手段によりノズル体１へ供給されることができて、ＣＯ2粒子のような洗浄媒体はポンプによりポンピングされたキャリヤガス、即ちＮ2ガスと共にノズル体１に供給されることもできる。
【００４１】
ノズル体１に提供されるノズル１ａ、１ｂ、１ｃの噴射角度は１乃至１２０゜の範囲から選択することができて、スピンチャック１０による回転速度により第１、第２及び第３のノズル１ａ、１ｂ、１ｃがノズル体１に一つ以上基板の半径に沿って提供されることもできる。
【００４２】
一方、ノズル体１は、第１、第２および第３のノズル１ａ、１ｂ、１ｃから噴射されたＣＯ2粒子が基板(Ｗ)の表面と衝突する間に気化されたＣＯ2ガスを吸入して処理するための残留ガス吸入部７が提供される。残留ガス吸入部７は基板(Ｗ)のエッジ及び側部の洗浄後、ＣＯ2ガスまたは基板(Ｗ)の回転時に発生される回転気流などの周辺のあらゆる気流により発生される基板(Ｗ)の汚染を防止するように、ノズル体１のノズル１ａ、１ｂ、１ｃと基板(Ｗ)の周囲の気流を吸入し排出する。また、各ノズル１ａ、１ｂ、１ｃを通じて噴射されるＣＯ2粒子の量及び噴射圧力は必要に応じ適切に調整することができる。
【００４３】
図面に示された本発明の実施例では、第１ノズル１ａと同心状に第１のノズル１ａの周囲に残留ガス吸入部７が提供されて、残留ガス吸入部７はライン１５を通じて残留ガス捕集タンク１４に連結される。ノズル体１から噴射された残留ガスまたは気流に含まれた汚染物はライン１５に設けられたポンプ１３の作動により吸入され残留ガスタンク１４に貯蔵される。このようなＣＯ2及び残留ガスの処理により、残留ガスによる基板(Ｗ)の再汚染及び大気汚染を防止することができる。
【００４４】
第１のノズル１ａと同心状に第１のノズル１ａの周囲に残留ガス吸入部７が提供された時、第１のノズル１ａは、前記のように０．５乃至２ｍｍの直径の内径部を有するチューブから形成され、ノズル体１に形成された残留ガス吸入部７を通じてノズル体１の後面から前面へ延びるように設けられて、チューブの後端にライン８ａが連結される。また、第２及び第３のノズル１ｂ、１ｃは、ノズル体１の前面に形成された基板収容部３の上部及び下部に前記のような直径で穿孔されるかまたは第１のノズル１ａと同様に同一な直径の内径部を有するチューブから形成され、ライン８ｂ、８ｃと連結される。
【００４５】
図６ａ乃至図６ｃには本発明による基板エッジ洗浄装置を用いて基板のエッジを洗浄する段階が順次的に示されている。
【００４６】
先ず、基板(Ｗ)のエッジを洗浄するために、ノズル体１が図３に示したように空気圧シリンダー２の前進作動により図３に示されたように基板エッジ洗浄位置に移動されると、第１のノズル及び第３のノズル１ａ、１ｃからＣＯ2粒子が噴射され、図６ａに示したように、基板(Ｗ)のエッジ及び背面がＣＯ2粒子により洗浄される。第３のノズル１ｃからＣＯ2粒子が噴射される位置は基板(Ｗ)のエッジから略３ｍｍ程度内側である。このような基板(Ｗ)の背面洗浄は、基板(Ｗ)の前面が背面に残留する汚染物により再び汚染されることを防止するためである。この際、第２のノズル１ｂからＣＯ2粒子が噴射されることを防止するために、第２のノズル１ｂに連結されるライン８ｂに設けられたバルブ９ｂは閉鎖されている。
【００４７】
一定の時間、第１及び第３のノズル１ａ、１ｃから噴射されるＣＯ2粒子を用いて図６ａに示されたような位置の基板(Ｗ)の洗浄が完了されると、第１及び第３のノズル１ａ、１ｃからＣＯ2粒子を噴射しつづけながら、ノズル体１は空気圧シリンダー２の後退作動により後方に略３ｍｍ程度の距離を移動し、図６ｂに示されたように第２および第３のノズル１ｂ、１ｃが基板(Ｗ)のエッジの上部及び下部に位置される。
【００４８】
空気圧シリンダー２の後退作動により、第２及び第３のノズル１ｂ、１ｃが基板(Ｗ)のエッジの上部及び下部に位置されると、第２のノズル１ｂに連結されるライン８ｂに設けられたバルブ９ｂが開放され、図６ｃに示されたように第１及び第３のノズル１ａ、１ｃと共に第２のノズル１ｂからもＣＯ2粒子が噴射される。このような状態で一定時間経過すると、各ノズル１ａ、１ｂ、１ｃに連結されたライン８ａ、８ｂ、８ｃに設けられたバルブ９ａ、９ｂ、９ｃが閉鎖され、ノズル１ａ、１ｂ、１ｃからＣＯ2粒子の噴射が中止されて、ノズル体１は空気圧シリンダー２の完全後退作動により基板(Ｗ)との干渉が防止されるように後退される。
【００４９】
ノズル体１が前記のように空気圧シリンダー２の後退作動により基板(Ｗ)から完全に後退された時、エッジの洗浄された基板(Ｗ)は他の作業のためにクランプのような手段によりスピンチャック１０から搬出されて、処理される新しい基板(Ｗ)が真空力によりスピンチャック１０にチャッキングされる。
【００５０】
本発明による基板エッジ洗浄装置は極低温のＣＯ2粒子を用いた洗浄であるため、周辺環境に影響を及ぼす可能性がある。即ち、極低温のＣＯ2粒子の噴射により、大気中の水分が物体に凝集され雫になる結露現象が発生する可能性があるため、周辺大気または局部的な大気の温度を制御できる温度制御装置が具備されてもよい。
【００５１】
さらに、空気圧シリンダー２とライン８ａ、８ｂ、８ｃに設けられたバルブ９ａ、９ｂ、９ｃとは、洗浄装置の制御ユニットによりその作動が制御され、例えば基板(Ｗ)のチャッキング及び搬出、基板(Ｗ)の前面及び背面の洗浄のような洗浄装置の全体的な作動を制御する制御ユニットにより制御される。
【００５２】
前記のような本発明による基板エッジ洗浄装置はまた、基板(Ｗ)の前面パターンに影響を与えない範囲内で基板(Ｗ)の前面洗浄と基板(Ｗ)のエッジ洗浄とを同時に行うことができる。
【００５３】
前記のような本発明による基板エッジ洗浄装置によると、比較的簡単に構成され製造コストが低廉になると共に、洗浄装置が基板に直接的に接触しないため接触による基板の物理的な損傷を防止するだけではなく、基板エッジの洗浄による基板の逆汚染を防止し、基板の収率を高めることができる。
【００５４】
以上、本発明を特定の望ましい一実施例を通じて記述したが、本発明は前述の実施例に限定されるものではなく、本発明が属する技術分野で通常の知識を有するものにより、特許請求範囲に記載された本発明の技術的範囲から外れることなしに、多様に変形及び変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  従来の基板洗浄装置を概略的に示した図である。
【図２ａ】  従来の基板エッジ洗浄装置の作動状態を概略的に示した図である。
【図２ｂ】  従来の基板エッジ洗浄装置の作動状態を概略的に示した図である。
【図２ｃ】  従来の基板エッジ洗浄装置の作動状態を概略的に示した図である。
【図３】  本発明による基板のエッジを洗浄するための装置の概略図である。
【図４】  図３に示された洗浄装置における洗浄媒体を基板の前面、背面及びエッジに噴射するためのノズル構成及びノズルに洗浄媒体を供給するための回路を示したブロック図である。
【図５】  図４に示された洗浄媒体貯蔵タンクとキャリヤガス貯蔵タンクとの連結部分の分解斜視図である。
【図６ａ】  本発明による基板エッジ洗浄装置を用いて基板エッジを洗浄する段階を順次的に示した図である。
【図６ｂ】本発明による基板エッジ洗浄装置を用いて基板エッジを洗浄する段階を順次的に示した図である。
【図６ｃ】本発明による基板エッジ洗浄装置を用いて基板エッジを洗浄する段階を順次的に示した図である。
【図１】
0004511114.tif 000002
【図２ａ】
0004511114.tif 000003
【図２ｂ】
0004511114.tif 000004
【図２ｃ】
0004511114.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６ａ】
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【図６ｂ】
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【図６ｃ】
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