【手続補正書】
【提出日】平成18年6月16日(2006.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理容器内にて被処理体に対して所定の熱処理を施すために前記被処理体を載置すると共に、前記被処理体を加熱する加熱手段を有する載置台と、この載置台を前記処理容器の底部より起立させて支持する支柱とを有する載置台構造において、
前記載置台の上面、側面及び下面に、耐熱性を有する上面カバー部材、側面カバー部材、下面カバー部材をそれぞれ設けると共に、前記載置台の下面側に、耐熱性の不透明裏面カバー部材を設けたことを特徴とする載置台構造。
【請求項２】
前記不透明裏面カバー部材の下面に、前記下面カバー部材を設けたことを特徴とする請求項１記載の載置台構造。
【請求項３】
前記上面カバー部材は、前記載置台の直径と実質的に同じ直径に設定されており、前記上面カバー部材の上面には凸部が形成されていると共に、この凸部には凹部状に窪ませて前記被処理体を載置するための収容凹部が形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の載置台構造。
【請求項４】
前記上面カバー部材の周縁部の上面は、前記側面カバー部材の一部と接触して覆われていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の載置台構造。
【請求項５】
前記載置台の側面には、不透明石英カバー部材が設けられることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の載置台構造。
【請求項６】
前記不透明裏面カバー部材と前記下面カバー部材との間には隙間が形成されていることを特徴とする請求項２記載の載置台構造。
【請求項７】
前記不透明裏面カバー部材の下面には、前記隙間を形成するための突起状の脚部が形成されていることを特徴とする請求項６記載の載置台構造。
【請求項８】
処理容器内にて被処理体に対して所定の熱処理を施すための前記被処理体を載置する載置台と、前記載置台を前記処理容器の底部より起立させて支持する支柱とを有する載置台構造において、
前記載置台と前記支柱とをそれぞれ石英ガラスにより形成し、前記載置台内に加熱手段を埋め込むと共に、前記支柱を円筒体状に形成し、前記加熱手段に対する給電線を前記載置台の中心部より引き出して前記円筒体状の支柱内を下方に向けて挿通させるようにしたことを特徴とする載置台構造。
【請求項９】
前記載置台は、上板と中板と下板とを接合してなり、前記上板の下面と前記中板の上面との内のいずれか一方に、前記加熱手段を収容するための配線溝が形成されており、前記中板の下面と前記下面の上面との内のいずれか一方に前記加熱手段から延びる前記給電線を収容する配線溝が形成されていることを特徴とする請求項８記載の載置台構造。
【請求項１０】
前記載置台の上面には、不透明な上面カバー部材が設けられていることを特徴とする請求項８又は９記載の載置台構造。
【請求項１１】
前記載置台には、前記載置台の上面にパージ用のガスを供給するバックサイド用ガス孔が形成され、前記バックサイド用ガス孔にはガスを供給するための石英管が接続されていることを特徴とする請求項８乃至１０のいずれかに記載の載置台構造。
【請求項１２】
前記石英管は、前記支柱の外側に配置されて、その上下端が溶着により取り付け固定されることを特徴とする請求項１１記載の載置台構造。
【請求項１３】
前記石英ガラスは透明石英ガラスであることを特徴とする請求項８乃至１２のいずれかに記載の載置台構造。
【請求項１４】
前記載置台の下面側に、耐熱性の不透明裏面カバー部材を設けたことを特徴とする請求項８乃至１３のいずれかに記載の載置台構造。
【請求項１５】
前記載置台の上面、側面及び下面に、それぞれ耐熱性を有する上面カバー部材、側面カバー部材、下面カバー部材を設けたことを特徴とする請求項８乃至１４のいずれかに記載の載置台構造。
【請求項１６】
前記支柱の下端部には、この支柱の破損を防止するためのクッション部材が介設されていることを特徴とする請求項８乃至１５のいずれかに記載の載置台構造。
【請求項１７】
前記不透明裏面カバー部材は不透明石英ガラスであることを特徴とする請求項２、６、７、１４のいずれかに記載の載置台構造。
【請求項１８】
前記支柱の側面に、耐熱性を有する支柱カバー部材を設けたことを特徴とする請求項１乃至１７のいずれかに記載の載置台構造。
【請求項１９】
前記上面カバー部材、前記側面カバー部材、前記下面カバー部材と、前記支柱カバー部材とは、カバー部材を構成し、前記下面カバー部材と前記支柱カバー部材とは一体的に成形されており、前記カバー部材の全体は分解及び組み立てが可能になされていることを特徴とする請求項１８記載の載置台構造。
【請求項２０】
前記載置台の上面に形成した上面カバー部材及び前記不透明裏面カバー部材を除く他のカバー部材は、それぞれ透明石英ガラスよりなり、この透明石英ガラスのカバー部材の表面には、これに付着する膜の剥がれを防止するための表面粗化処理が施されていることを特徴とする請求項２、６、７、１５、１９のいずれかに記載の載置台構造。
【請求項２１】
前記支柱の下端部の接合部には、シール部材が設けられると共に、該シール部材の近傍には、前記シール部材に前記載置台側から放出される熱を遮断するための不透明部材が設けられることを特徴とする請求項１乃至１６のいずれかに記載の載置台構造。
【請求項２２】
前記支柱の全体が不透明部材からなり、且つ前記支柱の内部に不透明部材を設置し、前記支柱下端部のシール部材を前記載置台側から放出される熱から守ることを特徴とする請求項２１記載の載置台構造。
【請求項２３】
真空引き可能になされた処理容器と、
請求項１乃至２２のいずれかに記載された載置台構造と、
前記処理容器内へ所定の処理ガスを供給するガス供給手段と、
を備えたことを特徴とする熱処理装置。
【請求項２４】
前記載置台の加熱手段が内側及び外側の２つの加熱ゾーンから構成されていることを特徴とする請求項２３記載の熱処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項１に係る発明は、処理容器内にて被処理体に対して所定の熱処理を施すために前記被処理体を載置すると共に、前記被処理体を加熱する加熱手段を有する載置台と、この載置台を前記処理容器の底部より起立させて支持する支柱とを有する載置台構造において、前記載置台の上面、側面及び下面に、耐熱性を有する上面カバー部材、側面カバー部材、下面カバー部材をそれぞれ設けると共に、前記載置台の下面側に、耐熱性の不透明裏面カバー部材を設けたことを特徴とする載置台構造である。
これによれば、載置台から汚染原因となる金属原子等が熱拡散することを防止でき、従って、金属汚染等の各種のコンタミネーションが発生することを防止することが可能となる。
また、被処理体を載置する載置台の上面、側面及び下面に、それぞれ耐熱性のカバー部材を設けるようにしたので、載置台から汚染原因となる金属原子等が熱拡散することを防止でき、従って、金属汚染等の各種のコンタミネーションが発生することを防止することが可能となる。
また載置台、その側面、下面カバー部材の材質が例えば石英でできているため、これらの部品から熱拡散による金属汚染等のコンタミ発生を低減できる。更に、成膜ガスが載置台に付着することを防ぐことができる。これによって、載置台のウエットクリーニングサイクルを延ばせるので、長時間のライフタイムと初期形状を確保できる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
この場合、例えば請求項２に規定するように、前記不透明裏面カバー部材の下面に、前記下面カバー部材を設ける。
また例えば請求項３に規定するように、前記上面カバー部材は、前記載置台の直径と実質的に同じ直径に設定されており、前記上面カバー部材の上面には凸部が形成されていると共に、この凸部には凹部状に窪ませて前記被処理体を載置するための収容凹部が形成されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また例えば請求項４に規定するように、前記上面カバー部材の周縁部の上面は、前記側面カバー部材の一部と接触して覆われている。
また例えば請求項５に規定するように、前記載置台の側面には、不透明石英カバー部材が設けられる。
また例えば請求項６に規定するように、前記不透明裏面カバー部材と前記下面カバー部材との間には隙間が形成されている。
また例えば請求項７に規定するように、前記不透明裏面カバー部材の下面には、前記隙間を形成するための突起状の脚部が形成されている。
請求項８に係る発明は、処理容器内にて被処理体に対して所定の熱処理を施すための前記被処理体を載置する載置台と、前記載置台を前記処理容器の底部より起立させて支持する支柱とを有する載置台構造において、前記載置台と前記支柱とをそれぞれ石英ガラスにより形成し、前記載置台内に加熱手段を埋め込むと共に、前記支柱を円筒体状に形成し、前記加熱手段に対する給電線を前記載置台の中心部より引き出して前記円筒体状の支柱内を下方に向けて挿通させるようにしたことを特徴とする載置台構造である。
この場合、例えば請求項９に規定するように、前記載置台は、上板と中板と下板とを接合してなり、前記上板の下面と前記中板の上面との内のいずれか一方に、前記加熱手段を収容するための配線溝が形成されており、前記中板の下面と前記下面の上面との内のいずれか一方に前記加熱手段から延びる前記給電線を収容する配線溝が形成されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また例えば請求項１０に規定するように、前記載置台の上面には、不透明な上面カバー部材が設けられている。
また例えば請求項１１に規定するように、前記載置台には、前記載置台の上面にパージ用のガスを供給するバックサイド用ガス孔が形成され、前記バックサイド用ガス孔にはガスを供給するための石英管が接続されている。
また例えば請求項１２に規定するように、前記石英管は、前記支柱の外側に配置されて、その上下端が溶着により取り付け固定される。
また、請求項１３に規定するように、前記石英ガラスは透明石英ガラスである。
また、請求項１４に規定するように、前記載置台の下面側に、耐熱性の不透明裏面カバー部材を設ける。
このように、被処理体を載置する載置台の下面側に耐熱性の不透明裏面カバー部材を設けるようにしたので、この不透明裏面カバー部材の表面（下面）に例えばまだら状（凹凸状）に不要な膜が付着してもこの不透明裏面カバー部材の表面からの輻射率は面内において略均一に保たれており、従って、載置台の表面温度の面内均一性及び被処理体の面内温度の均一性を高く維持することが可能となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
この場合、例えば請求項１５に規定するように、前記載置台の上面、側面及び下面に、それぞれ耐熱性を有する上面カバー部材、側面カバー部材、下面カバー部材を設ける。
また例えば請求項１６に規定するように、前記支柱の下端部には、この支柱の破損を防止するためのクッション部材が介設されている。
また例えば請求項１７に規定するように、前記不透明裏面カバー部材は不透明石英ガラスである。
また例えば請求項１８に規定するように、前記支柱の側面に、耐熱性を有する支柱カバー部材を設ける。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また例えば請求項１９に規定するように、前記上面カバー部材、前記側面カバー部材、前記下面カバー部材と、前記支柱カバー部材とは、カバー部材を構成し、前記下面カバー部材と前記支柱カバー部材とは一体的に成形されており、前記カバー部材の全体は分解及び組み立てが可能になされている。
これによれば、各カバー部材は分解及び組み立てができるようになっているので、ウェットクリーニング処理等のメンテナンス作業を迅速に行うことができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また例えば請求項２０に規定するように、前記載置台の上面に形成した上面カバー部材及び前記不透明裏面カバー部材を除く他のカバー部材は、それぞれ透明石英ガラスよりなり、この透明石英ガラスのカバー部材の表面には、これに付着する膜の剥がれを防止するための表面粗化処理が施されている。
これにより、カバー部材の表面に付着した不要な膜が容易に剥がれ落ちることを防止できるので、その分、クリーニング処理等のメンテナンス作業のサイクルを長くすることができる。
また例えば請求項２１に規定するように、前記支柱の下端部の接合部には、シール部材が設けられると共に、該シール部材の近傍には、前記シール部材に前記載置台側から放出される熱を遮断するための不透明部材が設けられる。
これにより支柱の下端部の接合部に設けたシール部材は、この近傍に設けた不透明部材により載置台側からくる輻射熱が遮断されるので、熱による損傷を受けることがない。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また例えば請求項２２に規定するように、前記支柱の全体が不透明部材からなり、且つ前記支柱の内部に不透明部材を設置し、前記支柱下端部のシール部材を前記載置台側から放出される熱から守る。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項２３に係る発明は、真空引き可能になされた処理容器と、前記いずれかに記載された載置台構造と、前記処理容器内へ所定の処理ガスを供給するガス供給手段と、を備えたことを特徴とする熱処理装置である。
また例えば請求項２４に規定するように、前記載置台の加熱手段が内側及び外側の２つの加熱ゾーンから構成されている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の載置台構造及び熱処理装置によれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。
本発明によれば、載置台から汚染原因となる金属原子等が熱拡散することはなく、従って、金属汚染等の各種のコンタミネーションが発生することを防止することができる。
特に請求項１０に係る発明によれば、載置台の上面に不透明な均熱板を設けたので、被処理体の温度分布の面内均一性を高めることができる。
特に請求項１４に係る発明によれば、被処理体を載置する載置台の下面側に耐熱性の不透明裏面カバー部材を設けるようにしたので、この不透明裏面カバー部材の表面（下面）に例えばまだら状（凹凸状）に不要な膜が付着してもこの不透明裏面カバー部材の表面からの輻射率は面内において略均一に保たれており、従って、載置台の表面温度の面内均一性及び被処理体の面内温度の均一性を高く維持することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
特に請求項１５に係る発明によれば、被処理体を載置する載置台の上面、側面及び下面に、それぞれ耐熱性のカバー部材を設けるようにしたので、載置台から汚染原因となる金属原子等が熱拡散することを防止でき、従って、金属汚染等の各種のコンタミネーションが発生することを防止することができる。
特に請求項１６に係る発明によれば、支柱の下端部にクッション部材を設けたので、この部分の破損を防止できる。
特に請求項１９に係る発明によれば、各カバー部材は分解及び組み立てができるようになっているので、ウェットクリーニング処理等のメンテナンス作業を迅速に行うことができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
特に請求項２０に係る発明によれば、カバー部材の表面に付着した不要な膜が容易に剥がれ落ちることを防止できるので、その分、クリーニング処理等のメンテナンス作業のサイクルを長くすることができる。
特に請求項２１に係る発明によれば、支柱の下端部の接合部に設けたシール部材は、この近傍に設けた不透明部材により載置台側からくる輻射熱が遮断されるので、熱による損傷を受けることがない。
また支柱下端部のシール部材を載置台からの放熱から保護することができる。