【手続補正書】
【提出日】平成18年11月8日(2006.11.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  光束の少なくとも３つのくびれ部分を含む投影対物レンズであって、
上記投影対物レンズは、第１の正レンズ群（ＬＧ１）と、
第１の負レンズ群（ＬＧ２）と、
第２の正レンズ群（ＬＧ３）と、
第２の負レンズ群（ＬＧ４）と、
開口絞り（ＡＳ）を有する別のレンズ構造（ＬＧ５からＬＧ７）とから構成され、このレンズ構造の２つの隣接するレンズ（Ｌ２１，Ｌ２２；Ｌ２３，Ｌ２４）の少なくとも一方（Ｌ２１，Ｌ２４）は、それぞれ、開口絞り（ＡＳ）の前方及び／又は後方で負の屈折力を有するレンズ構造を具備することを特徴とする投影対物レンズ。
【請求項２】  光束の少なくとも３つのくびれ部分を含む投影対物レンズであって、
上記投影対物レンズは、
第１の正レンズ群（ＬＧ１）と、
第１の負レンズ群（ＬＧ２）と、
第２の正レンズ群（ＬＧ３）と、
第２の負レンズ群（ＬＧ４）と、
開口絞り（ＡＳ）及び開口絞り（ＡＳ）の前方の少なくとも３つのレンズ（Ｌ１８からＬ２２）を含む別のレンズ構造（ＬＧ５からＬＧ７）とから構成されるレンズ構造を具備することを特徴とする投影対物レンズ。
【請求項３】  光束の少なくとも３つのくびれ部分を含む投影対物レンズであって、
上記投影対物レンズは、
第１の正レンズ群（ＬＧ１）と、
第１の負レンズ群（ＬＧ２）と、
第２の正レンズ群（ＬＧ３）と、
第２の負レンズ群（ＬＧ４）と、
開口絞り（ＡＳ）及びその開口絞りの前方の、隣接する（Ｌ２０，Ｌ２１）の間の少なくとも１つの球面過補正空間を含む別のレンズ構造（ＬＧ５からＬＧ７）とから構成されるレンズ構造を具備する投影対物レンズ。
【請求項４】  光束の少なくとも２つのくびれ部分と、３つのふくらみ部分とを有する投影対物レンズにおいて、光学系絞り（ＡＳ）は像側の最後のふくらみ部分の領域に配置されており且つ光学系絞り（ＡＳ）の前方及び／又は後方のそれぞれ２つのレンズ（Ｌ２１，Ｌ２２；Ｌ２３，Ｌ２４）のうち、少なくとも一方のレンズ（Ｌ２１，Ｌ２４）は負レンズであることを特徴とする投影対物レンズ。
【請求項５】  像側開口数は少なくとも０．６５であり、好ましくは０．７０以上であることを特徴とする請求項１から４のいづれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項６】  全てのレンズは同一の材料から形成されていることを特徴とする請求項１から５のいづれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項７】  石英ガラスのみを使用した対物レンズとして構成されていることを特徴とする請求項６記載の投影対物レンズ。
【請求項８】  レンズは２つの異なる材料から形成されていることを特徴とする請求項１から５のいづれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項９】  特に１９３nmの波長に対応する部分色消し石英ガラス／フッ化カルシウム対物レンズとして構成されていることを特徴とする請求項１から５及び／又は８のいづれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１０】  開口絞り（ＡＳ）の前後で、２つの隣接するレンズ（Ｌ２１，Ｌ２２；Ｌ２３，Ｌ２４）のそれぞれ少なくとも一方のレンズ（Ｌ２１，Ｌ２４）は負の屈折力を有することを特徴とする請求項１から９のいづれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１１】  開口絞りの前方及び／又は後方の、負の屈折力を有する２つの隣接するレンズのうち少なくとも一方のレンズに隣接して、球面過補正空間が配置されていることを特徴とする請求項１及び４から１０のいづれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１２】  物体側の初めの３つのレンズのうち２つは負の屈折力を有し、好ましくは−＋−又は−−＋の構造であることを特徴とする請求項１から１１のいづれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１３】  請求項１から１２のいづれか１項に記載の投影対物レンズを含むことを特徴とするマイクロリソグラフィの投影露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的は、請求項１から４に規定されるように、像の前方、第２のくびれ部分の後に位置するレンズ群、開口絞りの位置及び絞り空間の構成の全てに関連し、そこで新規なせばまりを生じさせる措置により達成される。
請求項５は、０．６５又は０．７０を越える大きな開口数を有する特に有利な構成を記載している。これは常に課される課題であるともいえるが、この値を確実に実現し、しかも、以前にも有用であった像視野などの条件の下で実現することは、本発明のすぐれた特徴である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明によれば、単一材料対物レンズとして、特に２４８nmのＤＵＶ用の石英ガラス対物レンズとして適切である構成は請求６及び７の対象である。請求項８は２つの異なるレンズ材料を含む構成を記載しており、請求項９は石英ガラス及びフッ化カルシウムを含む部分色消し対物レンズ（たとえば、１９３nm用）としての構成を記載している。このことから、本発明による対物レンズ構成を広く適用できることがわかり、たとえば、３６５nm又は１５７nmの他の波長に対しても、別のレンズ材料に適用可能である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項１０は、請求項１及び４の特徴であるように、負レンズを開口絞りの両側に設けるという態様で、絞り空間内に負レンズの補正手段がある有利な構成を示す。
請求項１１によれば、請求項３を展開させて、この領域に、中央部分が縁部より厚い同様に２つの球面過補正空隙を有利な実施態様として設けている。
請求項１２は第１の正レンズ群の領域に対しても補正の特徴を提示している。これによれば、最初の３つの物体側レンズのうち２つを負レンズにすべきであり、第１のレンズは負であるのが好ましい。これは、ペッツヴァル補正を十分に行った上で大きな開口を達成するのに有用である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明による投影対物レンズを、従来の構成の枠内で、たとえば、２４８nm又は１９３nmのレーザー光に対し結像性能を向上させることができるように、マイクロリソグラフィの投影露光装置に取り込むことができる。
このような投影露光装置、従って、請求項１から１２のいずれか１項に記載の投影対物レンズを使用できる、微細構造素子の製造が可能となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
このようなレンズのグループ分け構造は、請求項１，４及び１０によれば、対物レンズ補正のために見出された延長部分を特徴としている。この延長部分はレンズ構造の長さを増すが、レンズ直径を長い距離にわたり安定に保持するので、レンズ直径は制限されたままである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、縁部より中央部のほうが厚いレンズＬ２０／Ｌ２１，Ｌ２１／Ｌ２２及びＬ２３／Ｌ２４間の空隙も重要であり、これらは球面過補正作用をもたらす。ここで特に重要であるのは、請求項３に具体的に示されるように、開口絞りＡＳの前方のそのような空隙である。しかし、このペアリングも請求項１１に従えば有利であり、これにより、請求項１０記載の構成は更に最適化される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図示した実施形態の特別な点は、請求項２に表されている通り、開口絞りが第２の負レンズ群ＬＧ４から遠く隔たっていることにもある。図１の実施形態では、両者の間に５つのレンズＬ１８からＬ２２が入っている。
この実施形態の補正は２３ｍλである。充填ガスとしてはヘリウムを使用することが望ましい。