【手続補正書】
【提出日】平成18年4月25日(2006.4.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】リテーナ、ウエーハ研磨装置、及びウエーハ研磨方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨する際、上記ウエーハが脱離しないようその周縁部を保持するリテーナにおいて、
上記ウエーハの周囲を包囲するための環状の第１の部材と、
この第１の部材の径方向外側に配置され、上記第１の部材よりも耐磨耗性が高い環状の第２の部材と、
を具備することを特徴とするリテーナ。
【請求項２】
上記第２の部材は、上記研磨パッドに当接される面が平らであることを特徴とする請求項１記載のリテーナ。
【請求項３】
上記第２の部材は、上記研磨パッドと向かい合う面が平らであることを特徴とする請求項１記載のリテーナ。
【請求項４】
上記第１の部材は、上記研磨パッドと対向する面に突出部を備えていることを特徴とする請求項１記載のリテーナ。
【請求項５】
上記第２の部材は、上記第１の部材よりも上記研磨パッドに向かって上記研磨パッドの厚みを圧縮するように突出していることを特徴とする請求項１記載のリテーナ。
【請求項６】
上記第１の部材及び上記第２の部材は、同一の取り付け部材に固定されていることを特徴とする請求項１記載のリテーナ。
【請求項７】
上記第１の部材及び上記第２の部材は、ウエーハ保持ヘッドのヘッド本体に直接固定されていることを特徴する請求項１記載のリテーナ。
【請求項８】
上記第２の部材は、その径方向外側に向かうにつれて耐磨耗性が順に高くなるように配置された複数の環状の部材によって構成されていることを特徴とする請求項１記載のリテーナ。
【請求項９】
回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨する際、上記ウエーハが離脱しないようその周縁部を保持するリテーナにおいて、
上記ウエーハの径方向外側に向かうにつれて耐磨耗性が徐々に高くなる平らな環状の部材により形成されていることを特徴とするリテーナ。
【請求項１０】
回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨する際、上記ウエーハが離脱しないようその周縁部を保持するリテーナにおいて、
上記ウエーハの周囲を包囲するための環状の第１の部材と、
この第１の部材の径方向外側に、上記第１の部材よりも上記研磨パッド側に突出して配置される環状の第２の部材と、
上記第１の部材に対する上記第２の部材の突出量を調整する調整手段と、
を具備することを特徴とするリテーナ。
【請求項１１】
上記第１の部材は、上記調整手段を介して取り付け部材に固定されており、上記調整手段は、この取り付け部材と上記第１の部材の間に着脱自在に介装される調整板であることを特徴とする請求項１０記載のリテーナ。
【請求項１２】
上記第２の部材は、上記調整手段を介して取り付け部材に固定されており、上記調整手段は、この取り付け部材と上記第２の部材の間に着脱自在に介装される調整板であることを特徴とする請求項１０記載のリテーナ。
【請求項１３】
回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨するウエーハ研磨装置において、
上記ウエーハを保持するとともに、このウエーハを上記研磨パッドに押し当てるキャリアと、
このキャリアの外周側に配置されるとともに、上記研磨パッドに当接されるリテーナと、
を具備し、
上記リテーナは、
上記ウエーハの周囲を包囲して、その周縁部を保持する環状の第１の部材と、
この第１の部材の径方向外側に配置され、上記第１の部材よりも耐磨耗性が高い環状の第２の部材と、
から構成されていることを特徴とするウエーハ研磨装置。
【請求項１４】
回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨するウエーハ研磨装置において、
上記ウエーハを保持するとともに、このウエーハを上記研磨パッドに押し当てるキャリアと、
このキャリアの外周側に配置されるとともに、上記研磨パッドに当接され、ウエーハ保持ヘッドのヘッド本体に直接取り付けられるリテーナと、
を具備し、
上記リテーナは、
上記ウエーハの周囲を包囲して、その周縁部を保持する環状の第１の部材と、
この第１の部材の径方向外側に配置され、上記第１の部材よりも耐磨耗性が高く上記研磨パッドに当接される面が平面である環状の第２の部材と、
から構成されていることを特徴とするウエーハ研磨装置。
【請求項１５】
研磨パッドが貼り付けられた研磨テーブルを回転させることと、
上記研磨パッド上に研磨液を供給することと、
環状の第1の部材と、上記第１の部材よりも耐磨耗性が高くかつ上記第１の部材よりも径方向外側に設置された環状の第２の部材と、ウエーハを保持するためのキャリアとを有するウエーハ保持ヘッドを上記第１の部材及び上記第２の部材ごと上記研磨パッドに押し付けて回転させ、上記研磨パッドとの摩擦で上記第１の部材及び上記第２の部材を研磨して、上記第１の部材と上記第２の部材との間に段差を形成することと、
上記第１の部材と上記第２の部材との間に段差が形成されたのち、上記キャリアに上記ウエーハを保持させて、回転する上記研磨パッドに上記ウエーハを押し付けることにより、上記ウエーハを研磨することと、
を具備することを特徴とするウエーハ研磨方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエーハの表面を研磨するウエーハ研磨装置及びウエーハ研磨方法に係り、特にウエーハの周縁部を保持するリテーナの構造に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、ウエーハＷの周縁部に発生する外周ダレを防止できる長寿命のリテーナ、これを搭載したウエーハ研磨装置、及びこれらを使用するウエーハ研磨方法を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決し目的を達成するために、本発明のリテーナ、ウエーハ研磨装置、及びウエーハ研磨方法は、次のように構成されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
（２）回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨する際、上記ウエーハが離脱しないようその周縁部を保持するリテーナにおいて、上記ウエーハの径方向外側に向かうにつれて耐磨耗性が徐々に高くなる平らな環状の部材により形成されていることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
（３）回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨する際、上記ウエーハが離脱しないようその周縁部を保持するリテーナにおいて、上記ウエーハの周囲を包囲するための環状の第１の部材と、この第１の部材の径方向外側に、上記第１の部材よりも上記研磨パッド側に突出して配置される環状の第２の部材と、上記第１の部材に対する上記第２の部材の突出量を調整する調整手段とを具備することを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
（４）回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨するウエーハ研磨装置において、上記ウエーハを保持するとともに、このウエーハを上記研磨パッドに押し当てるキャリアと、このキャリアの外周側に配置されるとともに、上記研磨パッドに当接されるリテーナとを具備し、上記リテーナは、上記ウエーハの周囲を包囲して、その周縁部を保持する環状の第１の部材と、この第１の部材の径方向外側に配置され、上記第１の部材よりも耐磨耗性が高い環状の第２の部材とから構成されていることを特徴とする。
（５）回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨するウエーハ研磨装置において、上記ウエーハを保持するとともに、このウエーハを上記研磨パッドに押し当てるキャリアと、このキャリアの外周側に配置されるとともに、上記研磨パッドに当接され、ウエーハ保持ヘッドのヘッド本体に直接取り付けられるリテーナとを具備し、上記リテーナは、上記ウエーハの周囲を包囲して、その周縁部を保持する環状の第１の部材と、この第１の部材の径方向外側に配置され、上記第１の部材よりも耐磨耗性が高く上記研磨パッドに当接される面が平面である環状の第２の部材とから構成されていることを特徴とする。
（６）ウエーハ研磨方法において、研磨パッドが貼り付けられた研磨テーブルを回転させることと、上記研磨パッド上に研磨液を供給することと、環状の第1の部材と、上記第１の部材よりも耐磨耗性が高くかつ上記第１の部材よりも径方向外側に設置された環状の第２の部材と、ウエーハを保持するためのキャリアとを有するウエーハ保持ヘッドを上記第１の部材及び上記第２の部材ごと上記研磨パッドに押し付けて回転させ、上記研磨パッドとの摩擦で上記第１の部材及び上記第２の部材を研磨して、上記第１の部材と上記第２の部材との間に段差を形成することと、記第１の部材と上記第２の部材との間に段差が形成されたのち、上記キャリアに上記ウエーハを保持させて、回転する上記研磨パッドに上記ウエーハを押し付けることにより、上記ウエーハを研磨することとを具備することを特徴とする。