【手続補正書】
【提出日】平成18年2月23日(2006.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
陰極と陽極との間に発生させたアークに、含ハロゲン化合物と水を供給して、高温のプラズマを発生させる方法であって、前記陰極と陽極に与えたエネルギーによって前記含ハロゲン化合物と水を気化させ、得られた気体を前記陰極と陽極との間の放電領域で反応させ、前記含ハロゲン化合物を分解する方法。
【請求項２】
超音波の周波数で振動する振動板の作用により前記含ハロゲン化合物と水を気化させることを特徴とする、請求項１に記載の含ハロゲン化合物を分解する方法。
【請求項３】
含ハロゲン化合物がフロン、ハロン、ヒドロフルオロカーボン、ヒドロクロロフルオロカーボン、トリクロロエタン、ＰＣＢ、ＳＦ６の群から選ばれたものであることを特徴とする請求項１又は２に記載の含ハロゲン化合物を分解する方法。
【請求項４】
ノズル状電極及び棒状電極より成る直流プラズマトーチと、含ハロゲン化合物と水が入れられる収容室と、これらを収容し、前記ノズル状電極の開口部で開口した容器とを具備し、前記含ハロゲン化合物と水は前記直流プラズマトーチに与えられたエネルギーによって気化され、前記直流プラズマトーチによって生じる放電領域に導かれ、前記開口部から出ることを特徴とするプラズマ反応法による含ハロゲン化合物の分解装置。
【請求項５】
超音波の周波数で振動する振動板を具備し、含ハロゲン化合物と水は前記振動板の作用により気化が促進されることを特徴とする請求項４に記載の含ハロゲン化合物の分解装置。
【請求項６】
含ハロゲン化合物がフロン、ハロン、ヒドロフルオロカーボン、ヒドロクロロフルオロカーボン、トリクロロエタン、ＰＣＢ、ＳＦ６の群から選ばれたものであることを特徴とする請求項４又は５に記載の含ハロゲン化合物の分解装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明者は、プラズマ反応によって含ハロゲン化合物を分解する方法について鋭意研究した結果、液体あるいは気体の含ハロゲン化合物と水を気化させ、これら気体のプラズマによって直接、含ハロゲン化合物を分解する方法を見出し本発明に到達したものである。すなわち本発明は、高温のプラズマを発生している電極の熱エネルギー、又は熱エネルギー及び超音波の周波数で振動する振動板の作用を利用して、液体の含ハロゲン化合物と水の気化を促進して、これら気体を放電領域において反応させることによって達成したものである。特に電源として簡単で安価な直流電源を用いることと、ガスボンベや蒸気発生装置を別途必要としない水プラズマ発生装置によって含ハロゲン化合物を分解することが特徴である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、本発明の（１）「陰極と陽極との間に発生させたアークに、含ハロゲン化合物と水を供給して、高温のプラズマを発生させる方法であって、前記陰極と陽極に与えたエネルギーによって、前記含ハロゲン化合物と水を気化させ、得られた気体を前記陰極と陽極との間の放電領域で反応させ、含ハロゲン化合物を分解する方法。」；
（２）「超音波の周波数で振動する振動板の作用により含ハロゲン化合物と水を気化させることを特徴とする、前記第（１）項に記載の含ハロゲン化合物を分解する方法。」；
（３）「前記含ハロゲン化合物がフロン、ハロン、ヒドロフルオロカーボン、ヒドロクロロフルオロカーボン、トリクロロエタン、ＰＣＢ、ＳＦ６の群から選ばれたものであることを特徴とする前記（１）又は（２）項に記載の含ハロゲン化合物を分解する方法。」により達成される。
また、上記目的は、本発明の（４）「ノズル状電極及び棒状電極より成る直流プラズマトーチと、含ハロゲン化合物と水が入れられる収容室と、これらを収容し、前記ノズル状電極の開口部で開口した容器とを具備し、前記含ハロゲン化合物と水は前記直流プラズマトーチに与えられたエネルギーによって気化され、前記直流プラズマトーチによって生じる放電領域に導かれ、前記開口部から出るプラズマ反応法による含ハロゲン化合物の分解装置。」；
（５）「超音波の周波数で振動する振動板を具備し、前記含ハロゲン化合物と水は前記振動板の作用により気化が促進されることを特徴とする前記第（４）項に記載の含ハロゲン化合物を分解する装置。」；
（６）「前記含ハロゲン化合物がフロン、ハロン、ヒドロフルオロカーボン、ヒドロクロロフルオロカーボン、トリクロロエタン、ＰＣＢ、ＳＦ６の群から選ばれたものであることを特徴とする前記第（４）又は（５）項に記載の含ハロゲン化合物を分解する装置。」により達成される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
図２には、本発明のプラズマ発生装置の他の１例が示される。この例の装置において本実施形態のプラズマトーチが、上記米国特許に記載の公知プラズマトーチと異なる点は、次の点である。
（１）作動流体用の容器６から湿気吸収材７を取り出し、容器内部を仕切部材２５で仕切って、後端側の内部空間に直接ハロゲンを含む有機化合物と水２４を収容する水収容室を形成した。
（２）追加して設けた仕切壁２６、２７でハロゲンを含む有機化合物と水収容室よりトーチ本体１側に超音波振動でハロゲンを含む有機化合物と水をミスト化するためのミスト化室を形成し、ここに圧電素子、例えば超音波振動子としての例えばピエゾ素子２８を配置した。このピエゾ素子２８には外部電源から電圧を印加するための図示を省略した外部駆動回路やスイッチを接続した。
（３）ハロゲンを含む有機化合物と水収容室のハロゲンを含む有機化合物と水をミスト化室に供給するため、両室にまたがるように水伝達用部材としてのフェルト２９を配置した。このフェルト２９のミスト化室側の端部は上記ピエゾ素子２８に接するように位置決めした。
（４）多孔質熱伝導性材８を短めにし、後述するように形状を変更した。更に、この形状変更に伴ってリンク９の形状も変更した。
（５）多孔質熱伝導性材８の外周面とトーチ本体１の内周面との間の間隙と上記ミスト化室内とを複数本の耐熱性パイプ３０で接続した。
（６）なお、アノード２とカソード４は、互いに電圧を逆にしてカソード２，アノード４として使用してもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
図３（ａ）及び（ｂ）において、上記多孔質熱伝導性材８は、図２の多孔質熱伝導性材８に対し、トーチ本体１の内周面に対向する部分のみを残しそれより後端側を切断した形状にした。また、外周面に無数の突起３１を螺旋状に設けた。更にリンク９との接触先端部にテーパを設け、このテーパ部に接線方向の溝通路３２を複数本形成した。そして、リンク９の後端面形状を、上記テーパ部に接触するように逆テーパ形状にした。そして、リンク９の外周面には複数本（図示の例では８本）の溝通路１０ａを形成した。またリンク９のアノート２と接触する先端テーパ部に、上記外周面の複数の溝１０ａのうちの一部（図示の例では３本）についてのみ連続させて、通路用の溝通路１０を形成した。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
ここで、本実施形態では、上記外部電源のスイッチを入れるのに伴い、あいるは、上記ボタン１６を押すのに伴い、前述のピエゾ素子２８の駆動回路にも電圧が印加されピエゾ素子２８が超音波振動を開始する。この超音波振動で、ピエゾ素子上のフェルト端部に保持されているハロゲンを含む有機化合物と水がミスト化される。特に、フェルト端部に形成された孔３３内に満たされているハロゲンを含む有機化合物と水が効率良くミスト化される。そして、ハロゲンを含む有機化合物と水のミストは耐熱性パイプ３０を介して多孔質熱伝導性材８の外周面とトーチ本体１の内周面との間の間隙に供給される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
そして、上記アーク放電で電流が流れて発生した熱は、熱伝導性リンク９を介して多孔質熱伝導性材８に伝わる。この結果、多孔質熱伝導性材８の外周面とトーチ本体１の内周面との間の間隙に供給されているハロゲンを含む有機化合物と水のミストが蒸気になる。そして、過剰圧力が生じ、この蒸気は、図３（ａ）中に符号Ａで示すように、リンク９の外周面の通路１０ａ及び先端テーパ部の溝通路１０を介して放電室１１に進入する。なお、リンク９の外周面の複数の通路１０ａのうち、先端テーパ部の通路１０に連続していないものに進入した蒸気は逆流する。また、上記過剰圧力で、上記蒸気の一部は、図３（ａ）中に符号Ｂで示すように、多孔質熱伝導性材８の先端テーパ部の通路３２を通って直接放電室１１に進入する。上記逆流した蒸気の一部もこの通路３２を通って直接放電室１１に進入する。それから、放電室１１に進入した蒸気はプラズマ化され、アノード２の中心軸の穴を通して外部に吹き出す。これにより、そのアーク柱を安定させ、同時にアノード２やカソード４を冷やす。