【手続補正書】
【提出日】平成17年12月8日(2005.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】振動波駆動装置および振動波駆動装置における摩擦接触部の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  振動を発生させる振動体と、該振動体に摩擦接触し、振動によって前記振動体と相対運動する移動体を備えた振動波駆動装置において、
前記振動体及び前記移動体のうち一方の摩擦接触部がタングステンカーバイド−コバルトの溶射膜により形成されており、かつ、該溶射膜がタングステン、コバルト、カーバイドによる三元系金属間化合物を含むことを特徴とする振動波駆動装置。
【請求項２】  前記タングステンカーバイド−コバルトにコバルトが９〜２５重量％含有されていることを特徴とする請求項１記載の振動波駆動装置。
【請求項３】  振動を発生させる振動体と、該振動体に摩擦接触し振動によって前記振動体と相対運動する移動体を備えた振動波駆動装置の、前記振動体及び前記移動体のうち一方の摩擦接触部を形成する製造方法において、
前記振動体の表面にタングステンカーバイド−コバルトを溶射して、タングステン、コバルト、カーバイドによる三元系金属間化合物を含む溶射膜を形成することを特徴とする振動波駆動装置における摩擦接触部の製造方法。
【請求項４】  前記タングステンカーバイド−コバルトの溶射膜がＨＶＯＦ法によって形成されたものであること特徴とする請求項３記載の製造方法。
【請求項５】  前記タングステンカーバイド−コバルトの溶射するための溶射燃料としてエチレンを使用することを特徴とする請求項４記載の製造方法。
【請求項６】  焼結粉砕又は溶融粉砕したタングステンカーバイド−コバルト粉末を用いて溶射を行うことを特徴とする請求項３乃至５のいずれかに記載の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気−機械エネルギー変換素子に電圧を印加する事により、振動体に進行性振動波を生じさせ、この振動体に接触する移動体との間で、摩擦駆動により相対移動を起こさせる振動波駆動装置および振動波駆動装置における摩擦接触部の製造方法に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一方の摩擦接触部に硬度の高いＷＣ−Ｃｏを使用しているにもかかわらず、両方の摩擦接触面が摩耗してしまう事がある。通常、溶射ＷＣ−Ｃｏは、硬度の高さを維持する為にＷＣ粒が溶け込まない溶射法を選択する。しかし、振動を発生する振動体と該振動体と摩擦接触し、該振動によって、前記振動体と相対移動する移動体を備えた振動波駆動装置においては、振動により摺動するという事からＷＣ粒が脱粒して双方の摩捺接触面を傷つけて性能を低下させる。ＷＣ−Ｃｏはタングステンカーバイド−コバルトであり、ＷＣはタングステンカーバイドである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
更に、ＷＣへのＣｏの含有量によって、ＷＣ−Ｃｏの硬さ、ＷＣ−Ｃｏ同士の密着性に影響がある為、最適な量のＣｏを含有させる事が必要である。Ｃｏはコバルトである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
そこで本発明の目的は、摩擦接触面の摩耗を抑制した耐久性が高い振動波駆動装置および該振動波駆動装置における摩擦接触部の製造方法を提供する事にある。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明は、振動を発生させる振動体と、該振動体に摩擦接触し、振動によって前記振動体と相対運動する移動体を備えた振動波駆動装置において、前記振動体及び前記移動体のうち一方の摩擦接触部がタングステンカーバイド−コバルトの溶射膜により形成されており、かつ、該溶射膜がタングステン、コバルト、カーバイドによる三元系金属間化合物を含むことを特徴とするものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明は、振動を発生させる振動体と、該振動体に摩擦接触し振動によって前記振動体と相対運動する移動体を備えた振動波駆動装置の、前記振動体及び前記移動体のうち一方の摩擦接触部を形成する製造方法において、前記振動体の表面にタングステンカーバイド−コバルトを溶射して、タングステン、コバルト、カーバイドによる三元系金属間化合物を含む溶射膜を形成することを特徴とするものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の振動波駆動装置は、振動を発生させる振動体と、該振動体に摩擦接触し、振動によって前記振動体と相対運動する移動体を備えた振動波駆動装置において、前記振動体及び前記移動体のうち一方の摩擦接触部が溶射ＷＣ−Ｃｏの溶射膜により形成されており、かつ該溶射膜に溶射によりＷ・Ｃｏ・Ｃの三元系金属間化合物（η相）が生成されていることを特徴とする。Ｃはカーバイドである。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
例えば、ＷＣ−Ｃｏを原料として、溶射燃料に灯油を使用し、溶射ガンにＪＰ５０００（登録商標）を使用するＨＶＯＦ（Ｈｉｇｈ  Ｖｅｌｏｃｉｔｙ  Ｏｘｙｇｅｎ−Ｆｕｅｌ  Ｆｌａｍｅ  Ｓｐｒａｙｉｎｇ）溶射を行なうと、この場合、低い温度で溶射を行う事ができる為、ＷＣ粒を溶かさずにすみ、高い硬度を維持できる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
次に、これらの溶射法で溶射した移動体を用いて実験を行った。
その結果、ＪＫ（ＪＥＴ  ＫＯＴＥ）を使用した、ＷＣ粒の溶け込んでいる溶射面の移動体が最も良好な結果が得られた。
先ず、ＷＣ−Ｃｏを原料として、溶射燃料に灯油を使用し、ＪＰ５０００でＨＶＯＦ溶射を行った移動体では、粒が残っている為、摺動時に脱粒しそれが砥粒の様になり双方の摩擦摺動面を痛め、傷の発生が多くなった。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
もう１種類の溶射法である、ＪＫ（ＪＥＴ  ＫＯＴＥ）を使用したものでは、Ｃｏやη相のマトリックスが多くなり、ＷＣ粒の溶け込み、脱粒する事がなく、又、プラズマ溶射程溶射温度が高くない為、移動体の変形もなく傷の発生も少ない最も良い結果が得られた。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、振動体及び移動体のうち一方の摩擦接触部が溶射ＷＣ−Ｃｏの溶射膜により形成されており、かつ該溶射膜に溶射によりＷ・Ｃｏ・Ｃの三元系金属間化合物（η相）が生成されていること、摩擦接触面の摩耗を抑制した耐久性が高い振動波駆動装置が得られる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】