(57)【要約】【課題】スタイラスの取り扱いを容易にできるスタイラスの保護治具の提供。【解決手段】センサモジュール９４０に取り付けられる保護治具１００を、断面略コ字状の筒状に形成されスタイラス３の触針４を外部に突出させない状態で、保護カバー９４２およびスタイラス３を覆う保護部２１０と、保護部２１０を保護カバー９４２に対して固定する固定部３００と、で構成している。このため、センサモジュール９４０を取り扱う際に、固定部３００にて、保護部２１０を触針４が外部に露出しないように保護カバー９４２に対して固定し、保護部２１０を保持して交換作業を実施できる。したがって、保護部２１０で覆われた触針４に直接触れることを抑制できるとともに、保護部２１０を保持して作業することにより作業の狂いの発生を抑制でき、スタイラス３の破損や変位検出機構への悪影響を抑制できる。【選択図】図３
0003123799.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
接触部を先端に有するスタイラスを含み前記接触部と被測定物との接触時に発生する測定力を検出し力検出信号として出力する力センサと、略筒状に形成され軸方向一端から前記スタイラスの接触部が外部に突出する状態で前記力センサを内部に収容するモジュールカバーと、を備えたセンサモジュールに取り付けられ、前記スタイラスを保護する保護治具であって、
略筒状に形成され、この略筒状の軸方向一端から前記スタイラスの前記接触部を外部に突出させない状態で、前記モジュールカバーおよび前記スタイラスを覆う保護部と、
この保護部を前記モジュールカバーに対して固定する固定部と、
を備えていることを特徴とするスタイラスの保護治具。
【請求項２】
請求項１に記載のスタイラスの保護治具において、
前記保護部は、前記モジュールカバーを覆う部分を貫通する状態で形成された貫通ねじ孔部と、この貫通ねじ孔部に略対向し前記モジュールカバーが押し付けられる押付部と、を備え、
前記固定部は、前記貫通ねじ孔部の軸方向の長さ寸法よりも大きい長さ寸法を有し前記貫通ねじ孔部に螺合可能なねじ部を備えている
ことを特徴とするスタイラスの保護治具。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のスタイラスの保護治具において、
前記保護部は、前記モジュールカバーおよび前記接触部の周縁全体を覆う筒状に形成されている
ことを特徴とするスタイラスの保護治具。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載のスタイラスの保護治具において、
前記保護部は、前記モジュールカバーおよび前記接触部の周縁の一部を覆う断面略コ字状の筒状に形成されている
ことを特徴とするスタイラスの保護治具。
【請求項５】
請求項４に記載のスタイラスの保護治具において、
前記モジュールカバーの側面には、溝部が形成され、
前記固定部は、前記保護部における前記モジュールカバーと略対向する部分に一体的に設けられ前記溝部に係合可能な係合部を備えている
ことを特徴とするスタイラスの保護治具。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載のスタイラスの保持治具において、
前記保護部は、前記断面略コ字状の開口部近傍部分が、前記開口部に向かうにしたがって広がる形状に形成されている
ことを特徴とするスタイラスの保護治具。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれかに記載のスタイラスの保護治具において、
前記保護部は、軸方向一端から前記接触部を外部に突出させない非突出状態と、軸方向一端から前記接触部を外部に突出させる突出状態と、で前記固定部により固定される形状に形成されている
ことを特徴とするスタイラスの保護治具。
【請求項８】
請求項７に記載のスタイラスの保護治具において、
前記保護部は、軸方向の長さ寸法が、前記モジュールカバーの軸方向の長さ寸法および前記スタイラスの前記モジュールカバーから突出した部分の長さ寸法を加算した寸法未満となる形状に形成され、
前記固定部は、前記保護部を前記モジュールカバーの軸方向に沿った異なる位置に配置する状態で前記モジュールカバーに対して固定可能である
ことを特徴とするスタイラスの保護治具。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載のスタイラスの保護治具において、
前記保護部の側面から突出する状態で設けられたつまみ部を備えている
ことを特徴とするスタイラスの保護治具。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、プローブに設けられたスタイラスの保護治具に関する。例えば、加振型センサにより被測定物の形状や表面粗さなどの表面性状の測定に用いられるプローブに設けられたスタイラスの保護治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被測定物の表面を走査して被測定物の形状や表面粗さなど表面性状を測定する表面性状測定装置として、三次元測定機が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１に記載のものは、ベースに載置されたワークにプローブを接触させる。そして、この接触時にプローブから出力タッチ信号がコントローラへ出力され、そのときのＸＹＺ座標を取り込む構成が採られている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２１４９４３号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述したような特許文献１のような構成において、プローブは、測定精度を高めるために、非常に繊細で壊れやすい機構を有している。このため、スタイラスが破損した際の交換を手作業で実施すると、スタイラスに直接触れることや、わずかな作業の狂いによってスタイラスが破損してしまい、プローブの変位検出機構に悪影響を及ぼすおそれがある。
このことから、スタイラスの取り扱いを容易にする構成が望まれている。
【０００６】
本考案の目的は、このような実情などに鑑みて、スタイラスの取り扱いを容易にするスタイラスの保護治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本考案のスタイラスの保護治具は、接触部を先端に有するスタイラスを含み前記接触部と被測定物との接触時に発生する測定力を検出し力検出信号として出力する力センサと、略筒状に形成され軸方向一端から前記スタイラスの接触部が外部に突出する状態で前記力センサを内部に収容するモジュールカバーと、を備えたセンサモジュールに取り付けられ、前記スタイラスを保護する保護治具であって、略筒状に形成され、この略筒状の軸方向一端から前記スタイラスの前記接触部を外部に突出させない状態で、前記モジュールカバーおよび前記スタイラスを覆う保護部と、この保護部を前記モジュールカバーに対して固定する固定部と、を備えていることを特徴とする。
【０００８】
この考案によれば、スタイラスを含む力センサと、接触部が外部に突出する状態で力センサを内部に収容する略筒状のモジュールカバーと、を有するセンサモジュールに取り付けられる保護治具として、略筒状に形成され軸方向一端からスタイラスの接触部を外部に突出させない状態で、モジュールカバーおよびスタイラスを覆う保護部と、この保護部をモジュールカバーに対して固定する固定部と、を設けている。
このため、センサモジュールを取り扱う際、例えば交換する際に、固定部により、保護部をスタイラスの接触部が外部に露出しないようにモジュールカバーに対して固定し、保護部を保持して交換作業を実施することができる。したがって、保護部で覆われたスタイラスの接触部に直接触れることが極力低減され、保護部を保持して作業することにより作業の狂いの発生も抑制でき、スタイラスの破損や変位検出機構への悪影響を抑制できる。
よって、スタイラスの取り扱いを容易にできる。
【０００９】
本考案のスタイラスの保護治具において、前記保護部は、前記モジュールカバーを覆う部分を貫通する状態で形成された貫通ねじ孔部と、この貫通ねじ孔部に略対向し前記モジュールカバーが押し付けられる押付部と、を備え、前記固定部は、前記貫通ねじ孔部の軸方向の長さ寸法よりも大きい長さ寸法を有し前記貫通ねじ孔部に螺合可能なねじ部を備えていることが好ましい。
この考案によれば、保護部に、モジュールカバーを覆う部分を貫通する貫通ねじ孔部と、この貫通ねじ孔部に略対向する押付部と、を設けている。そして、固定部に、貫通ねじ孔部の軸方向の長さ寸法よりも大きい長さ寸法のねじ部を設けている。
このため、ねじ部を貫通ねじ孔部に螺合させて、ねじ部の一端でモジュールカバーを押付部に押し付けることにより、保護部をモジュールカバーに固定することができる。したがって、ねじ部を貫通ねじ孔部に螺合させるだけの簡単な構成で、保護部をモジュールカバーに固定することができ、スタイラスの取り扱いをより容易にできる。また、ねじ部でモジュールカバーを押付部に押し付けているので、より強固に保護部およびモジュールカバーを固定することができ、取り扱いをさらに容易にできる。
【００１０】
本考案のスタイラスの保護治具において、前記保護部は、前記モジュールカバーおよび前記接触部の周縁全体を覆う筒状に形成されていることが好ましい。
この考案によれば、保護部を、モジュールカバーおよび接触部の周縁全体を覆う筒状に形成している。
このため、例えばセンサモジュール交換時において、スタイラスの軸方向と直交するあらゆる方向からの異物の接触を防止でき、スタイラスの取り扱いをさらに容易にできる。
【００１１】
本考案のスタイラスの保護治具において、前記保護部は、前記モジュールカバーおよび前記接触部の周縁の一部を覆う断面略コ字状の筒状に形成されていることが好ましい。
この考案によれば、保護部を、モジュールカバーおよび接触部の周縁の一部を覆う断面略コ字状の筒状に形成している。
このため、例えばモジュールカバーに固定された保護部を取り外す際、保護部をモジュールカバーの軸方向と直交する方向へ移動させて取り外すことができる。
ここで、保護部をモジュールカバーおよび接触部の周縁全体を覆う筒状に形成した場合、保護部をモジュールカバーの軸方向へ移動させて取り外すこととなる。また、センサモジュールがプローブに取り付けられた場合、モジュールカバーの軸方向一端には、被測定物が載置されるベースが存在することとなる。そして、保護部をセンサモジュールから取り外す際に、モジュールカバーの軸方向と直交する方向に移動させる作業の方が、軸方向に移動させて取り外す作業より容易である。
したがって、プローブに取り付けられたセンサモジュールから保護部を取り外す作業を容易に実施できる。
また、断面コ字状の開口側から接触部を視認することができ、接触部の破損を抑制できる。
【００１２】
本考案のスタイラスの保護治具において、前記モジュールカバーの側面には、溝部が形成され、前記固定部は、前記保護部における前記モジュールカバーと略対向する部分に一体的に設けられ前記溝部に係合可能な係合部を備えていることが好ましい。
この考案によれば、モジュールカバーの側面に、溝部を設けている。そして、固定部に、保護部におけるモジュールカバーと略対向する部分に一体的に備えられ溝部に係合可能な係合部を設けている。
このため、係合部を溝部に係合させるだけの簡単な構成で、保護部をモジュールカバーに対して固定することができ、スタイラスの取り扱いをより容易にできる。
【００１３】
本考案のスタイラスの保護治具において、前記保護部は、前記断面略コ字状の開口部近傍部分が、前記開口部に向かうにしたがって広がる形状に形成されていることが好ましい。
この考案によれば、保護部を、断面略コ字状の開口部近傍部分が開口部に向かうにしたがって広がる形状に形成している。
このため、保護部をモジュールカバーの軸方向と直交する方向に移動させて取り外す際、すなわちモジュールカバーが断面略コ字状の開口部を通過するように取り外す際に、断面略コ字状の開口部近傍部分が広がらない構成と比べて、保護部のモジュールカバーへの接触が抑制される。したがって、保護部をモジュールカバーから取り外す作業を良好に実施できる。
【００１４】
本考案のスタイラスの保護治具において、前記保護部は、軸方向一端から前記接触部を外部に突出させない非突出状態と、軸方向一端から前記接触部を外部に突出させる突出状態と、で前記固定部により固定される形状に形成されていることが好ましい。
この考案によれば、保護部を、軸方向一端からスタイラスの接触部を突出させない非突出状態と、突出させる突出状態と、で固定される形状に形成している。
このため、保護部を非突出状態で固定した場合に、上述したようにスタイラスへの直接的な接触や作業の狂いの発生を抑制でき、突出状態で固定した場合に、保護部をセンサモジュールから取り外すことなくスタイラスによる測定を実施できる。したがって、保護治具の利便性を向上できる。また、保護治具の紛失を抑制できる。
【００１５】
本考案のスタイラスの保護治具において、前記保護部は、軸方向の長さ寸法が、前記モジュールカバーの軸方向の長さ寸法および前記スタイラスの前記モジュールカバーから突出した部分の長さ寸法を加算した寸法未満となる形状に形成され、前記固定部は、前記保護部を前記モジュールカバーの軸方向に沿った異なる位置に配置する状態で前記モジュールカバーに対して固定可能であることが好ましい。
この考案によれば、保護部を、軸方向の長さ寸法がモジュールカバーの軸方向の長さ寸法およびスタイラスのモジュールカバーから突出した部分の長さ寸法を加算した寸法未満となる形状に形成している。さらに、固定部を、保護部をモジュールカバーの軸方向に沿った異なる位置に配置する状態で固定可能にしている。
このため、モジュールカバーの接触部と反対側の端部と、この端部に対応する保護部の端部と、が略一致する状態で保護部を固定することにより、突出状態とすることができる。さらに、この突出状態から、保護部をモジュールカバーの軸方向に沿って接触部の方向に移動させて固定することにより、非突出状態とすることができる。
したがって、保護部を移動させるだけの簡単な構成で、突出状態と、非突出状態と、を切り替えることができ、保護治具の利便性をさらに向上できる。
【００１６】
本考案のスタイラスの保護治具において、前記保護部の側面から突出する状態で設けられたつまみ部を備えていることが好ましい。
この考案によれば、保護部の側面から突出する状態でつまみ部を設けている。
このため、つまみ部を保持して保護部のセンサモジュールに対する着脱作業を実施でき、その作業性を向上できる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１７】
［第１実施形態］
以下に、本考案の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】
〔プローブの構成〕
まず、本考案の第１実施形態および後述する第２実施形態に係る保護治具を利用可能なプローブの構成について説明する。
図１は、本考案の第１実施形態および第２実施形態に係る保護治具を利用可能なプローブの斜視図である。
【００１９】
プローブ９００は、図１に示すように、略長方形箱状のケース体９１０と、モジュール固定ねじ９２０と、プローブ本体９３０と、力センサ１を有しモジュール固定ねじ９２０によりプローブ本体９３０に着脱自在に位置決め固定されるセンサモジュール９４０と、プローブ本体９３０を保持し力センサ１を被測定物に対して進退させる図示しない駆動アクチュエータと、プローブ本体９３０に取り付けられた図示しないスケールと、このスケールに基づき駆動アクチュエータによる力センサ１の変位量（つまり、力センサ１による被測定物の測定位置情報）を検出する図示しないスケール検出器とから構成されている。
なお、駆動アクチュエータと、スケールと、スケール検出器と、は、ケース体９１０の内部に収容されている。
【００２０】
プローブ本体９３０は、ケース体９１０の内部に収容された図示しない本体被保持部と、ケース体９１０の長手方向一端から突出する本体固定部９３１と、を備えている。
本体被保持部は、駆動アクチュエータに保持されている。
本体固定部９３１は、ケース体９１０の長手方向と直交する方向に開口された断面コ字状の取付部９３２を備えている。この取付部９３２には、センサモジュール９４０が嵌合されて位置決め固定される。
【００２１】
力センサ１は、金属製のベース２と、このベース２と一体的に形成されたスタイラス３と、このスタイラス３を振動させる図示しない加振素子と、スタイラス３の振動状態を検出し検出信号として出力する図示しない検出素子とから構成されている。スタイラス３の先端には、ダイヤモンドチップやルビーなどで構成された接触部としての触針４が接着固定されている。
【００２２】
センサモジュール９４０は、力センサ１が取り付けられるとともにモジュール固定ねじ９２０によりプローブ本体９３０に固定されるモジュール基部９４１と、このモジュール基部９４１の一部を覆う略円筒状のモジュールカバーとしての保護カバー９４２とから構成されている。
【００２３】
モジュール基部９４１は、断面コ字状に形成されモジュール固定ねじ９２０により取付部９３２に取り付けられるモジュールコネクタ部９４１Ａと、力センサ１が取り付けられる図示しないセンサ取付部と、を備えている。
【００２４】
保護カバー９４２は、円筒状の円筒部９４２Ａと、この円筒部９４２Ａの一方の開口を略閉塞する略円錐筒状の円錐筒部９４２Ｂと、を備えている。
円筒部９４２Ａの側面における円錐筒部９４２Ｂと反対側の端部近傍には、円周方向に沿って一連に形成された溝部９４２Ｃが設けられている。
そして、保護カバー９４２は、円錐筒部９４２Ｂの先端からスタイラス３の触針４が外部に突出し、センサ取付部および力センサ１を内部に収容する状態で、センサ取付部に取り付けられている。
【００２５】
〔保護治具の構成〕
次に、保護治具の構成について説明する。
図２は、第１実施形態に係る保護治具の斜視図である。
【００２６】
保護治具１００は、図２に示すように、センサモジュール９４０を覆うホルダ２００と、このホルダ２００をセンサモジュール９４０に固定する固定部３００と、を備えている。
【００２７】
ホルダ２００は、長方形ブロック状に形成されている。ここで、ホルダ２００における面積が１番大きい一対の面を前面２０１および後面２０２と、面積が２番目に大きい一対の面を上面２０３および下面２０４と、面積が３番目に大きい一対の面を右面２０５および左面２０６と、それぞれ称して説明する。
このホルダ２００は、上下方向の長さ寸法が、保護カバー９４２の長さ寸法およびスタイラス３の保護カバー９４２から突出した部分の長さ寸法を加算した寸法よりも大きい形状に形成されている。
【００２８】
ホルダ２００における右面２０５から左右方向略中央にかけての部分は、スタイラス３の触針４を外部に突出させない状態で保護カバー９４２およびスタイラス３を覆う保護部２１０とされている。また、上面２０３における右面２０５近傍、および、左右方向略中央、すなわち保護部２１０の左右方向両端近傍に対応する部分には、図示しないホルダねじ孔がそれぞれ設けられている。
【００２９】
この保護部２１０における前面２０１には、長手方向が上下方向と一致する長溝状に形成され、保護カバー９４２が嵌合可能なカバー嵌合溝部２１１が設けられている。
カバー嵌合溝部２１１は、後面２０２側から前後方向略中央にかけての部分に設けられ円筒部９４２Ａの側面に対応する曲面状の曲面部２１１Ａと、前後方向略中央から前面２０１に向かうにしたがって間隔が大きくなるように傾斜する一対の斜面部２１１Ｂと、を備えている。
すなわち、保護部２１０は、上面２０３と平行な断面が略コ字状の筒状に形成され、保護カバー９４２および触針４の周縁の一部を覆うことが可能な構成を有している。また、保護部２１０は、断面略コ字状の開口部近傍部分が開口部に向かうにしたがって広がる形状に形成されている。
なお、図２では、右面２０５側の斜面部２１１Ｂのみが図示され、左面２０６側の斜面部２１１Ｂは図示されていない。
そして、カバー嵌合溝部２１１には、円筒部９４２Ａが曲面部２１１Ａに密接し、かつ、前面２０１から突出しない状態で、保護カバー９４２が嵌合される。
【００３０】
また、保護部２１０における上面２０３側には、右面２０５側の斜面部２１１Ｂおよび右面２０５を貫通する貫通ねじ孔部２１２が設けられている。そして、カバー嵌合溝部２１１における貫通ねじ孔部２１２と対向する部分は、円筒部９４２Ａが押し付けられる押付部２１３とされている。
【００３１】
ホルダ２００における左右方向略中央から左面２０６にかけての部分は、作業者により保持されるつまみ部であるホルダつまみ部２２０とされている。すなわち、ホルダつまみ部２２０は、保護部２１０の側面から突出する状態で設けられている。
このホルダつまみ部２２０における前面２０１および後面２０２には、長手方向が上下方向と一致する長溝状に形成され、保持時における滑りを抑制する滑り止め部２２１が設けられている。
【００３２】
固定部３００は、ホルダ２００に一体的に設けられセンサモジュール９４０を支持する支持部３１０と、ホルダ２００をセンサモジュール９４０に固定する保護治具固定ねじ３２０と、を備えている。
【００３３】
支持部３１０は、平面視略コ字状の板状に形成されている。具体的には、支持部３１０は、板状の支持基部３１１と、この支持基部３１１に略半円状に切り欠き形成された切欠部３１２と、にて、平面視略コ字状の板状に形成されている。
支持基部３１１には、ねじ３１５が挿通される図示しない２個の支持ねじ挿通孔が、ホルダ２００のホルダねじ孔の間隔と等しい間隔で設けられている。
切欠部３１２は、曲面部２１１Ａの曲率より大きい曲率の半円弧状に形成された半円弧部３１２Ａと、この半円弧部３１２Ａの円弧状の両端から一対の斜面部２１１Ｂの間隔よりも小さい間隔となる状態に形成された一対の直線部３１２Ｂと、を備えている。
そして、支持部３１０は、支持ねじ挿通孔に挿通されたねじ３１５がホルダねじ孔に螺合されることにより、ホルダ２００に固定される。このとき、上述したように、切欠部３１２の半円弧部３１２Ａの曲率は曲面部２１１Ａよりも大きく、直線部３１２Ｂの間隔は斜面部２１１Ｂよりも小さいので、半円弧部３１２Ａおよび直線部３１２Ｂは、カバー嵌合溝部２１１の内側に突出した状態となる。このカバー嵌合溝部２１１の内側に突出する切欠部３１２周縁部分は、保護カバー９４２の溝部９４２Ｃに係合可能な係合部３１３とされている。
【００３４】
保護治具固定ねじ３２０は、ホルダ２００の貫通ねじ孔部２１２に螺合されるねじ部３２１と、このねじ部３２１の軸方向一端側に設けられたねじつまみ部３２２と、を備えている。
ねじ部３２１は、貫通ねじ孔部２１２よりも大きい長さ寸法を有している。
【００３５】
〔保護治具を用いたセンサモジュールのプローブへの取付け動作〕
次に、保護治具を用いたセンサモジュールのプローブへの取付け動作について説明する。
図３は、保護治具をセンサモジュールに取り付けた状態を示す斜視図である。図４は、保護治具をセンサモジュールに取り付けた状態を示す正面図である。図５は、センサモジュールをプローブに取り付けた状態を示す斜視図である。
【００３６】
まず、作業者は、例えばホルダ２００を図示しない作業台に載置する。さらに、センサモジュール９４０を、ホルダ２００の前面２０１側に、溝部９４２Ｃが係合部３１３に対向する状態で位置させる。そして、センサモジュール９４０を後面２０２側に移動させて、図３および図４に示すように、支持部３１０の係合部３１３に溝部９４２Ｃを係合させつつ、ホルダ２００のカバー嵌合溝部２１１の曲面部２１１Ａに円筒部９４２Ａを密着させる。これにより、センサモジュール９４０は、支持部３１０にて支持固定されるとともに、ホルダ２００にてスタイラス３の触針４を外部に突出させない状態で覆われる。
さらに、作業者は、保護治具固定ねじ３２０をホルダ２００の貫通ねじ孔部２１２に螺合させて、ねじ部３２１の先端を貫通ねじ孔部２１２から突出させ、この突出させた先端にて円筒部９４２Ａを押付部２１３へ押し付ける。これにより、センサモジュール９４０は、保護治具固定ねじ３２０にて、ホルダ２００に強固に固定される。
【００３７】
この後、作業者は、例えばホルダ２００のホルダつまみ部２２０を保持して、センサモジュール９４０をプローブ９００のプローブ本体９３０に近接させる。そして、センサモジュール９４０を、モジュール基部９４１のモジュールコネクタ部９４１Ａが取付部９３２に対向する状態で位置させる。この後、図５に示すように、センサモジュール９４０を、取付部９３２に嵌合させてモジュール固定ねじ９２０にて、取付部９３２に取り付ける。これにより、センサモジュール９４０は、プローブ９００に位置決め固定される。
【００３８】
さらに、作業者は、保護治具固定ねじ３２０を回転させて、センサモジュール９４０のホルダ２００への押し付けを解除する。そして、ホルダ２００を、後面２０２側へ移動させて、係合部３１３および溝部９４２Ｃの係合を解除しつつ、カバー嵌合溝部２１１および円筒部９４２Ａの密着を解除し、センサモジュール９４０から離間させる。すなわち、ホルダ２００を、センサモジュール９４０が一対の斜面部２１１Ｂを通過するように移動させる。これにより、センサモジュール９４０の取付作業が終了する。
【００３９】
〔第１実施形態の作用効果〕
上述した第１実施形態によれば、以下のような作用効果を奏することができる。
【００４０】
（１）スタイラス３を有する力センサ１と、触針４が外部に突出する状態で力センサ１を内部に収容する略円筒状の保護カバー９４２と、を有するセンサモジュール９４０に取り付けられる保護治具１００として、断面略コ字状の筒状に形成され軸方向一端からスタイラス３の触針４を外部に突出させない状態で、保護カバー９４２およびスタイラス３を覆う保護部２１０と、保護部２１０を保護カバー９４２に対して固定する固定部３００と、を設けている。
このため、センサモジュール９４０を取り扱う際、例えば交換する際に、固定部３００により、保護部２１０をスタイラス３の触針４が外部に露出しないように保護カバー９４２に対して固定し、保護部２１０を保持して交換作業を実施することができる。したがって、保護部２１０で覆われたスタイラス３の触針４に直接触れることを抑制できるとともに、保護部２１０を保持して作業することにより作業の狂いの発生を抑制でき、スタイラス３の破損や変位検出機構への悪影響を抑制できる。
よって、スタイラス３の取り扱いを容易にできる。
【００４１】
（２）保護部２１０に、保護カバー９４２を覆う部分を貫通する貫通ねじ孔部２１２と、この貫通ねじ孔部２１２に略対向する押付部２１３と、を設けている。そして、固定部３００に、貫通ねじ孔部２１２よりも大きい長さ寸法のねじ部３２１を有する保護治具固定ねじ３２０を設けている。
このため、ねじ部３２１を貫通ねじ孔部２１２に螺合させて、ねじ部３２１の先端で保護カバー９４２を押付部２１３に押し付けることにより、保護部２１０を保護カバー９４２に固定することができる。したがって、ねじ部３２１を貫通ねじ孔部２１２に螺合させるだけの簡単な構成で、保護部２１０を保護カバー９４２に固定することができ、スタイラス３の取り扱いをより容易にできる。また、ねじ部３２１で保護カバー９４２を押付部２１３に押し付けているので、より強固に保護部２１０および保護カバー９４２を固定することができ、取り扱いをさらに容易にできる。
【００４２】
（３）保護部２１０を、保護カバー９４２および触針４の周縁の一部を覆う断面略コ字状の筒状に形成している。
このため、例えば保護カバー９４２に固定された保護部２１０を取り外す際、保護部２１０をホルダ２００の後面２０２側、すなわち保護カバー９４２の軸方向と直交する方向へ移動させて取り外すことができる。
ここで、保護部２１０を保護カバー９４２および触針４の周縁全体を覆う筒状に形成した場合、保護部２１０を保護カバー９４２の軸方向へ移動させて取り外すこととなる。また、センサモジュール９４０がプローブ９００に取り付けられた場合、保護カバー９４２の軸方向一端には、被測定物が載置されるベースが存在することとなる。そして、保護部２１０をセンサモジュール９４０から取り外す際に、保護カバー９４２の軸方向と直交する方向に移動させる作業の方が、軸方向に移動させて取り外す作業より容易である。
したがって、プローブ９００に取り付けられたセンサモジュール９４０から保護部２１０を取り外す作業を容易に実施できる。
また、断面コ字状の開口側から触針４を視認することができ、触針４の破損を抑制できる。
【００４３】
（４）保護カバー９４２の側面に、円周方向に沿って一連に形成された溝部９４２Ｃを設けている。また、固定部３００に、保護部２１０における保護カバー９４２と略対向する部分に一体的に取り付けられた支持部３１０を設けている。そして、この支持部３１０に、溝部９４２Ｃに係合可能な係合部３１３を設けている。
このため、係合部３１３を溝部９４２Ｃに係合させるだけの簡単な構成で、保護部２１０を保護カバー９４２に対して固定することができ、スタイラス３の取り扱いをより容易にできる。
【００４４】
（５）保護部２１０に、前後方向略中央から前面２０１に向かうにしたがって間隔が大きくなるように傾斜する一対の斜面部２１１Ｂを設けている。すなわち、保護部２１０を、断面略コ字状の開口部近傍部分が開口部に向かうにしたがって広がる形状に形成している。
このため、保護部２１０を、保護カバー９４２が斜面部２１１Ｂを通過するように、すなわち断面略コ字状の開口部を通過するように取り外す際に、断面略コ字状の開口部近傍部分が広がらない構成と比べて、保護部２１０の保護カバー９４２への接触を抑制できる。したがって、保護部２１０を保護カバー９４２から取り外す作業を、良好に実施できる。
【００４５】
（６）ホルダ２００に、保護部２１０の側面から突出する状態でホルダつまみ部２２０を設けている。
このため、ホルダつまみ部２２０を保持して保護部２１０のセンサモジュール９４０に対する着脱を実施でき、その作業性を向上できる。
【００４６】
［第２実施形態］
次に、本考案の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、この第２実施形態では、図１に示すようなプローブ９００と同様のプローブに対して利用可能な保護治具について説明する。
【００４７】
〔保護治具の構成〕
図６は、第２実施形態に係る保護治具の斜視図である。図７は、保護治具をセンサモジュールの保護カバーに取り付けた状態を示す断面図であり、（Ａ）は非突出状態を示し、（Ｂ）は突出状態を示す。
【００４８】
保護治具５００は、図６、図７（Ａ），（Ｂ）に示すように、図示しないセンサモジュールのモジュールカバーとしての保護カバー９５０を覆う保護部６００と、この保護部６００を保護カバー９５０に固定する保護治具固定ねじ３２０と、を備えている。なお、この第２実施形態における保護治具固定ねじ３２０は、本考案の固定部を構成している。
ここで、保護カバー９５０は、図７（Ａ），（Ｂ）に示すように、円筒状の円筒部９５１と、この円筒部９５１の一方の開口を略閉塞する略円錐筒状の円錐筒部９５２と、を備えている。そして、保護カバー９５０の内部には、円錐筒部９５２の先端からスタイラス３の触針４が外部に突出する状態で、力センサ１が収容されている。
【００４９】
保護部６００は、円筒状に形成されている。ここで、保護部６００および保護カバー９５０における軸方向を、上下方向と適宜称して説明する。また、図６、図７（Ａ），（Ｂ）における上側を上方、下側を下方と称して説明する。
この保護部６００は、保護カバー９５０の円筒部９５１の外径寸法より若干大きい内形寸法を有し、かつ、円筒部９５１の上下方向の長さ寸法よりも小さい上下方向の長さ寸法を有している。すなわち、保護部６００は、軸方向の長さ寸法が、保護カバー９５０の軸方向の長さ寸法およびスタイラス３の保護カバー９５０から突出した部分の長さ寸法を加算した寸法未満となる形状に形成されている。
【００５０】
また、保護部６００の上下方向略中央よりも若干上側には、外周面および内周面を貫通し保護治具固定ねじ３２０のねじ部３２１が螺合される貫通ねじ孔部６１０が設けられている。そして、保護部６００の内周面における貫通ねじ孔部６１０と対向する部分は、円筒部９５１が押し付けられる押付部６２０とされている。
具体的には、貫通ねじ孔部６１０は、図７（Ａ）に示すように、スタイラス３の触針４を保護部６００の外部に突出させない非突出状態と、図７（Ｂ）に示すように、触針４を保護部６００の外部に突出させる突出状態と、で保護治具固定ねじ３２０により保護部６００および保護カバー９５０が位置決め固定される位置に設けられている。
【００５１】
〔保護治具を用いたセンサモジュールのプローブへの取付け動作〕
次に、保護治具を用いたセンサモジュールのプローブへの取付け動作について説明する。
【００５２】
まず、作業者は、例えば保護部６００を図示しない作業台に載置する。さらに、センサモジュールを、保護部６００の上方に位置させる。そして、センサモジュールを下方に移動させて、図７（Ａ）に示すように、保護カバー９５０の上下方向略中央からスタイラス３の触針４にかけての周縁部分が保護部６００に覆われるように位置させる。
さらに、作業者は、保護治具固定ねじ３２０を保護部６００の貫通ねじ孔部６１０に螺合させて、ねじ部３２１の先端を貫通ねじ孔部６１０から突出させ、この突出させた先端にて円筒部９５１を押付部６２０へ押し付ける。これにより、保護カバー９５０は、保護治具固定ねじ３２０にて、非突出状態で保護部６１０に強固に固定される。
この後、作業者は、例えば保護部６００の外周面を保持して、センサモジュールをプローブに取り付ける。
【００５３】
さらに、作業者は、センサモジュールをプローブに取り付けた後、保護治具固定ねじ３２０を回転させて、保護カバー９５０の保護部６００への押し付けを解除する。そして、保護部６００を、上方向へ移動させて、図７（Ｂ）に示すように、保護部６００の上端と保護カバー９５０の上端とが略一致するように位置させる。さらに、保護治具固定ねじ３２０を回転させて、保護カバー９５０を保護部６００へ押し付ける。これにより、保護部６００は、保護治具固定ねじ３２０にて、突出状態で保護カバー９５０に強固に固定される。このとき、スタイラス３の触針４が外部へ突出しているので、保護部６００を保護カバー９５０から取り外すことなく、測定することが可能となる。
【００５４】
〔第２実施形態の作用効果〕
上述した第２実施形態によれば、第１実施形態の（１）および（２）と同様の作用効果に加え、以下のような作用効果を奏することができる。
【００５５】
（７）保護部６００を、保護カバー９５０および触針４の周縁全体を覆う筒状に形成している。
このため、例えばセンサモジュール交換時において、スタイラス３の軸方向と直交するあらゆる方向からの異物の接触を防止でき、スタイラスの取り扱いをさらに容易にできる。
【００５６】
（８）保護部６００を、スタイラス３の触針４を突出させない非突出状態と、突出させる突出状態と、で固定される形状に形成している。
このため、保護部６００を非突出状態で固定した場合に、スタイラス３への直接的な接触や作業の狂いの発生を抑制でき、突出状態で固定した場合に、保護部６００をセンサモジュールから取り外すことなくスタイラス３による測定を実施できる。したがって、保護治具５００の利便性を向上できる。また、保護治具５００の紛失を抑制できる。
【００５７】
（９）保護部６００を、上下方向の長さ寸法が保護カバー９５０の上下方向の長さ寸法およびスタイラス３の保護カバー９５０から突出した部分の長さ寸法を加算した寸法未満となる形状に形成している。さらに、保護治具固定ねじ３２０を、貫通ねじ孔部６１０に螺合させることにより、保護部６００を保護カバー９５０の軸方向に沿った異なる位置に配置する状態で固定可能な構成としている。
このため、保護カバー９５０の上端と、保護部６００の上端と、が略一致する状態で保護部６００を固定することにより、突出状態とすることができる。さらに、この突出状態から、保護部６００を保護カバー９５０の軸方向に沿って下方に移動させて固定することにより、非突出状態とすることができる。
したがって、保護部６００を移動させるだけの簡単な構成で、突出状態と、非突出状態と、を切り替えることができ、保護治具５００の利便性をさらに向上できる。
【００５８】
［実施形態の変形］
なお、本考案は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本考案の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
【００５９】
すなわち、第１実施形態において、固定部３００に、支持部３１０および保護治具固定ねじ３２０のうちいずれか一方を設けない構成としてもよい。
このような構成にすれば、固定部３００の構成を簡略にできる。また、ホルダ２００をセンサモジュール９４０に取り付ける作業を容易にできる。
【００６０】
また、第１実施形態において、ホルダ２００を、スタイラス３の触針４を突出させない非突出状態と、突出させる突出状態と、で固定される形状に形成してもよい。
ここで、非突出状態および突出状態で固定可能な形状としては、以下のような構成が例示できる。
すなわち、ホルダ２００を、上下方向の長さ寸法が保護カバー９４２の上下方向の長さ寸法およびスタイラス３の保護カバー９４２から突出した部分の長さ寸法を加算した寸法未満となる形状に形成する構成としてもよい。
【００６１】
さらに、第１実施形態において、保護部２１０を、断面略コ字状の開口部近傍部分が開口部に向かうにしたがって広がらない形状に形成してもよい。
また、第１実施形態において、ホルダつまみ部２２０を設けない構成としてもよい。
【００６２】
そして、第２実施形態において、保護部６００の上下方向略中央よりも若干下側にも貫通ねじ孔部６１０をさらに設け、非突出状態で固定する際に上側の貫通ねじ孔部６１０を利用し、突出状態で固定する際に下側の貫通ねじ孔部６１０を利用する構成としてもよい。
【００６３】
さらに、第２実施形態において、保護部６００の側面から突出するつまみ部を設ける構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本考案は、プローブに設けられたスタイラスの保護治具に適用できる。特に、加振型センサにより被測定物の形状や表面粗さなどの表面性状の測定に用いられるプローブに設けられたスタイラスの保護治具に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本考案の第１実施形態および第２実施形態に係る保護治具を利用可能なプローブの斜視図である。
【図２】前記第１実施形態に係る保護治具の斜視図である。
【図３】前記第１実施形態における保護治具をセンサモジュールに取り付けた状態を示す斜視図である。
【図４】前記第１実施形態における保護治具をセンサモジュールに取り付けた状態を示す正面図である。
【図５】前記第１実施形態におけるセンサモジュールをプローブに取り付けた状態を示す斜視図である。
【図６】前記第２実施形態に係る保護治具の斜視図である。
【図７】前記第２実施形態における保護治具をセンサモジュールの保護カバーに取り付けた状態を示す断面図であり、（Ａ）は非突出状態を示し、（Ｂ）は突出状態を示す。
【符号の説明】
【００６６】
１…力センサ
３…スタイラス
４…接触部としての触針
１００，５００…保護治具
２１０，６００…保護部
２１２，６１０…貫通ねじ孔部
２１３，６２０…押付部
２２０…つまみ部であるホルダつまみ部
３００…固定部
３１０…固定部を構成する支持部
３１３…係合部
３２０…固定部を構成する保護治具固定ねじ
３２１…ねじ部
９４０…センサモジュール
９４２，９５０…モジュールカバーとしての保護カバー
９４２Ｃ…溝部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0003123799.tif 000007
【図６】
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【図７】
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