(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
前記光源からの光ビームを走査する可動ミラーと、
前記可動ミラーを軸支する第一の基板と、
前記可動ミラーと対向して形成され、前記可動ミラーで偏向された光ビームを再度、前記可動ミラーに向けて反射する反射面と、前記可動ミラーに前記光ビームを入出射する光透過部とを有する第二の基板を設け、
前記第二の基板を前記第一の基板に重ね合わせて配備してなる光走査装置において、
前記反射面は、前記可動ミラー面から副走査方向に傾斜して形成された第一、第二の反射面からなり、前記光透過部を挟んで、向かい合わせて配備し、
光ビームを前記第一、第二の反射面の双方で再度、前記可動ミラーに向けて反射し、光ビームを副走査方向に反転移動させる、
ことを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
前記第一の基板には、前記可動ミラー面と同一平面に形成した基準面を有するとともに、
前記第二の基板には、基準面に当接する接合面を設け、直接重ね合わせて配備したことを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
【請求項３】
前記基準面上で、第二の基板の位置決めを行なうアライメントマークを前記第一、第二の基板の少なくとも一方に形成してなることを特徴とする請求項２に記載の光走査装置。
【請求項４】
第二の基板を、第一の基板に重ね合わせて配備した際に、可動ミラーの揺動空間を封止することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の光走査装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の光走査装置と、
前記光走査装置によって静電像が形成される感光体と、
前記静電像をトナーで顕像化する現像手段と、
前記顕像化されたトナー像を記録紙に転写する転写手段と、
を有すること特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学機器に用いる光走査装置に関し、特に、可動ミラーに対して対向ミラーを支持する光透過部材を通して走査光を入出射させるミラーユニットを用いた光走査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、レーザープリンターの書込光学系は光ビームをポリゴンミラーを用いて、主走査方向に走査することにより画角（走査角、以下走査角と呼ぶ）を得て、感光体上で結像している。プリンターの高画質化を進める為には、ビームの集光スポット径を小さくする必要があるが、その集光スポット径はレーザーの波長と焦点距離の積に比例するので、（１）レーザーの波長を短くする方法と、（２）焦点距離を短くする方法が考えられる。
【０００３】
前記（１）のレーザーの波長を短くする場合は、青色レーザーダイオードを用い、それに対応したレンズ等の光学系の設計が必要となる。また、前記（２）の焦点距離を短くする場合は、光ビームを偏向させる偏向部以降の光学系を感光体に近づける必要がある。その場合、主走査方向の画素の均一化の為には、一つの偏向部では実現が難しく、複数のモジュール化された偏向部を主走査方向に配置して使用する必要がある。前記一つの偏向部を用いるのを一括走査方式と呼ぶのに対して、複数のモジュールを用いる方式を分割走査方式と呼ぶ。
【０００４】
従来の光走査装置においては光ビームを走査する偏向器として、ポリゴンミラーやガルバノミラーが用いられるが、より高解像度な画像と高速プリントを達成するには、ポリゴンミラー等の回転をさらに高速にしなければならず、軸受の耐久性や風損による発熱、騒音が課題となり、高速走査に限界がある。これに対し、近年シリコンマイクロマシニングを利用した光偏向器の研究がすすめられており、特許第２７２２３１４号や第３０１１１４４号に開示されるように、Ｓｉ基板で可動ミラーとそれを軸支するトーションバーを一体形成した方式が提案されている。この方式によれば共振を利用して往復振動させるので高速動作が可能であるにもかかわらず、騒音が低いという利点がある。さらに、前記可動ミラーを回転する駆動力も小さくて済むので、消費電力も低く抑えられる。
【０００５】
また、マイクロミラーの中にも駆動方式の違いにより、電磁力方式、圧電方式、静電気力方式の三つがある。電磁力方式、圧電方式は大きな走査角が得られ易い反面、永久磁石や圧電素子を使うため部品点数が多く、小型化もし難い。それに対し、静電気力方式は小型化がし易い反面、走査角と駆動電圧がトレードオフのような関係にあり、大きな走査角を得難い。そこで、静電気力方式については、マイクロミラーに対向する位置に反射ミラー（以降対向ミラーと呼ぶ）を設け、マイクロミラーと反射ミラー間で多重反射を起こさせ、大きな走査角を得ようとする試みがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
前述の多重反射型静電マイクロミラーに用いる対向ミラーには、マイクロミラー、対向ミラー間に光ビームを入出射するための光路を設ける必要がある。この光路として開口穴を後加工で形成する場合は、光ビームの入出射時にビームのけられが発生しないように、光ビームを入出射する時の角度や、対向ミラー基板の厚さや夫々の公差を考慮し、開口穴を３次元に形成しなければならないので、設計と製作が煩雑になるという問題点がある。また、開口穴をモールド成型で一括に形成する場合には上記問題は少なくなるが、開口形状の変更を実施する毎に型を直さなければならない等の、微細化形状に対応し難い等の問題点がある。更に、開口穴があると部品強度が低下したり、開口穴近傍に対向ミラー面が位置している場合の面精度の低下等の問題点がある。
【０００７】
本発明は、光学部品として適している性能を有し、設計自由度の高い対向ミラー基板を容易に作製可能で、構造を簡素化した光走査装置を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、第一の基板に設けた可動ミラーと、第二の基板に設けた対向ミラーとを組み合わせ、可動ミラーで偏向された光ビームを対向ミラーにより再度反射させて、走査光として出力する光走査装置である。具体的には対向ミラー（反射面）は、可動ミラー面から副走査方向に傾斜して形成された第一、第二の反射面からなり、光透過部を挟んで、向かい合わせて配備し、光ビームを前記第一、第二の反射面の双方で再度、前記可動ミラーに向けて反射し、光ビームを副走査方向に反転移動させるように構成する。また、本発明においては、第２の基板を光透過部材で構成し、前記ミラーを保持する第一、第二の基板とを基準部材とマークとを用いて組み合わせ、前記２つの基板を重ねた部分の内部に、前記２つのミラーを封止するように構成している。さらに、前記２つの基板を組み合わせるに際して、接合面を一方の基板に設けること、または、接合の位置決めのためのマークを形成しておく手段を用いることができる。
【０００９】
そして、前述したように構成したことにより、ミラーユニットの構成を簡素化でき、光ビームを第二の基板を通してミラーに反射させることで、光ビームの入出射する際の角度の設定の自由度を向上させ得て、光走査装置としての性能を良好に発揮可能である。また、２つのミラーを各々保持する基板を組み合わせるに際して、ミラー間の間隔の設定と、基板の接続とを容易に行い得るので、ミラーユニットの組立作業を容易に行うことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の対向ミラー形状を体現しているミラーユニット１の実施例の一例を、図１（ａ）〜（ｄ）に示す。前記ミラーユニット１においては、図１（ａ）に示すように、光透過部を有する第二の基板としての対向ミラー基板２の下面に、第二のミラーとしての対向ミラー３を設け、前記対向ミラー３に対して所定の間隔を介して、第一のミラーとしての可動ミラー６を配置し、前記可動ミラー６を第一の基板としての可動ミラー基板４に設けている。前記対向ミラー基板２としては、ガラス、プラスチック等の光透過性材料を用い、対向ミラー３としてアルミニウム、金、クロム等の金属類を主とする光反射材料を所望の面積に選択的に形成している。以下に説明する実施例において、光透過性材料及び光反射材料については、上記の種類に限定される訳でなく、所望の光学定数（屈折率、透過率、反射率等）を満たす材料であれば良い。
【００１１】
図１（ａ）に示されるミラーユニット１の例で、対向ミラー基板２に支持される対向ミラー３は、可動ミラー６の揺動空間を確保するギャップ分だけ離される状態に設置されており、図面左より入射した光ビームＲ１は対向ミラー面と可動ミラー面間で多重反射された後、図面右に走査光Ｒとして出射される。図１（ｂ）は前記図１（ａ）の対向ミラー基板にギャップ分の厚さに相当する厚さで、接続部材１０を用いて接続されて一体化されており、前記接続部材としては、前記対向ミラー基板４と同種または異種材料を用いることができる。
【００１２】
前記構成を採用することで、光ビームが第二の基板を入出射する際、光の通路として開口穴を設けるのではなく、光が透過する材料を用いることにより光透過部を形成し、非光透過性材料に開口穴が形成されている場合に比べ、光ビームの入出射時にビームの一部がけられる等の心配が無い。また、開口穴を後加工する場合は入出射の角度や、第二の基板の厚さや夫々の公差を考慮し、開口穴を３次元形成しなければならないので、設計と製作が煩雑になるのに対して、そういう問題点が著しく改善される。また、開口穴をモールド成型で一括に形成する場合には上記問題は少なくなるが、開口形状の変更を実施する毎に、型を直さなければならないが、光透過部を用いて作製している方は設計変更が容易である。更に、開口穴が無い方が部品強度が高かったり、開口穴近傍に反射面が位置している場合の面精度の低下が少ない、良好な光学部品となる。
【００１３】
また、図１（ｃ）の例では、前記対向ミラーと接続部材とを光透過性材料で一体化したものとして構成し、ミラー３、６の間隔を維持できるものとして構成している。前述したように、ミラーユニット１を一体的に形成することにより、ギャップ用の補助部材は不要となり、部品点数の削減効果や、部品点数の削減による組立精度の向上が期待できる。また、図１（ｄ）は図１（ｃ）に記載の対向ミラー形状を形成した後、対向ミラー３の反射面となり得る光反射材料を形成する際に、同時に光反射材料にて可動ミラー６との間で、接着部１１を用いて接合位置合わせに使用するために、アライメントマーク９を形成した場合を示している。図示されるようにアライメントマーク９を形成した場合には、コントラストが良く、パターン認識性が高いアライメントマークになる。更に、前記対向ミラー基板４を対向ミラー基板２に組み合わせる際に、前記対向ミラー２の上面からのアライメントが可能となり、精度が高く、容易なアライメントができる。
【００１４】
つまり、第一の基板に可動ミラーと同一面の基準面を形成し、第二の基板に基準面と当接する接合面と可動ミラーの揺動空間を形成し、両者を直接重ね合わせることにより、可動ミラーが第二の基板側に揺動するための空間を確保するための部材は不必要となり、部品点数の削減効果や、部品点数の削減による組立精度の向上が期待できる。さらに、光透過材料で光透過部及び、光反射材料で反射面を形成する際にプロセスを工夫することにより、工程の増加を招くことなく、アライメント用マークを形成することができる。また、光透過性材料と光反射材料との組み合わせてマークを形成する場合には、コントラストが良く、パターン認識性が高いアライメントマークとなり、接続部材が光透過性材料である為に、容易にアライメントが可能となる。
【００１５】
また、図２には光ビームの通路として、開口穴を形成した場合の形状の一例と、その問題点を示している。前記開口穴１２、１３を形成する場合は、図示されるように入射する光ビームＲ１と、出射される走査光Ｒが、開口穴１２、１３の上端縁部にかかることによるビームのけられや、開口穴近傍の対向ミラー面の面精度が加工影響により劣化するという問題がある。更に、図示されてはいないが、入出射の角度や対向ミラー基板の厚さ及び夫々の公差を考慮し、開口穴１２、１３を３次元形成しなければならないので、設計と製作が煩雑になるという問題点もある。よって、図１に図示されている対向ミラー基板を用いることにすれば、上記の問題点が解決され、光学部品として適している性能を有し、設計自由度の高い対向ミラー基板を容易に作製することができる。
【００１６】
次に、他の実施例として、図３に示されるように、対向ミラー面が可動ミラー６に対して、副走査方向に傾斜された第一、第二の対向ミラー１５、１６を組み合わせて構成することも可能である。前記ミラーユニット１ａにおいては、対向ミラー基板１４は、ミラー支持部が傾斜面１４ａ、１４ｂとして構成されており、前記傾斜面に対向ミラー１５、１６をそれぞれ設ける。このような構成の対向ミラー基板を用いる理由としては、次に説明するように、第一、第二の対向ミラー１５、１６を組み合わせて支持する対向ミラー基板１４は、前記２つの傾斜面１４ａ、１４ｂの間に、薄い部分として構成する光透過部１４ｃを設けており、入射光Ｒ１と走査光Ｒとを、前記光透過部１４ｃを通すので、前記開口穴を設けた例のように、光の一部がけられたりすることがなくなる。
【００１７】
そして、本実施例では、前記二つの反射面間の光透過部から光ビームを導入することにより、副走査方向には反転移動を起こさせ、同一の反射膜が形成されない領域から光ビームを導出することにより、副走査方向曲がりを抑制でき、画像品質を向上できる上に、以下の効果がある。まず、二つの反射面間が光の通路になっていて、開口穴が形成されている場合は、入出射時にビームの一部がけられたりすることを防ぐためには、開口穴近傍の反射面部は基板の厚さを薄くしなければならない。これに対して、本実施例では、開口穴でなく光透過部を形成することにより、部品強度が高かったり、開口穴近傍に位置している反射面の面精度の低下が少ない、良好な光学部品となる。また、光ビームが第二の基板の光透過部に入出射する際の角度設定の自由度が高い構造となっているので、光路設計の自由度が高い。
【００１８】
なお、前記図３に図示される対向ミラー基板２は、光透過性材料のみで構成されているが、対向ミラー１５、１６は別材料で形成し、複数部材を接合して対向ミラー基板として構成しても良い。また、前記図１で説明したように、ギャップ部に相当する厚さを別材料または同種の光透過性材料で備えた基板にしても、全てを光透過性材料で一体的に形成しても良いことは言うまでも無く、同様な効果が得られる。
【００１９】
そして、前述したように構成したことで、第二の基板としての対向ミラー基板には、開口が形成されていないために気密或は真空封止する際の、パッケージの一部に利用できて、内部に保持するミラーに対して容易に封止が可能となる。また、不活性ガスにて気密封止することにより、使用環境（湿度、温度等）の影響を受けにくく、動作信頼性が向上する。また、真空（大気圧に対して、減圧されている状態）封止することにより、上記動作信頼性が向上するのに加え、可動ミラーの揺動空間を真空封止するので、エアーダンピング効果による振幅の低減を防ぐことができる。本発明のように可動ミラーに対向して第二の基板を設けた構造においては、エアーダンピング効果による振幅の低減が起きやすく、その効果を考慮しないといけないので、設計が頻雑になるが、真空封止することにより解消される。
【００２０】
前記ミラーユニット１または１ａを用いた光走査モジュールを構成した場合には、共振振動ミラーで光ビームを走査すると、可動ミラーの振幅が微小であるため、従来の偏向器、例えばポリゴンミラーと同様な記録幅を得るには走査角を拡大する手段が必要となる。そこで、本実施例では、図示するように、入射光Ｒ１を可動ミラー６と対向ミラー３の間で多重反射して、走査光として出射させている。この方式によれば容易に走査角を拡大できるが、図４（ａ）に図示するように、ミラーユニット１のミラー面の法線に対して副走査方向に角度αをもって光ビームＲ１を入射した場合、偏向されて反射される走査光Ｒによる走査線の軌跡（感光体ドラム８１に書き込んだ走査線１８）は曲がりを生じ、画像品質を劣化させる要因となる。同様に、図４（ｂ）に示すように、逆方向から角度−αをもって入射した場合、上記とは反転した走査線１８ａを描くことになる。
【００２１】
従って、ミラー法線に対して正の入射角を有する反射に伴う曲がりと、負の入射角を有する反射に伴う曲がりとをほぼ等しくしてキャンセルすることで、感光体ドラム８１に書き込む走査線１８を直線状に補正できる。これを実現するためには可動ミラー面に対向して、副走査方向に所定角度傾斜した反射面を配備し、入射角の正負を逆転して再度可動ミラー面に入射させる必要がある。よって、図３に図示されるような対向ミラー基板の形状を構成することが、書き込んだ走査線の直線化には最適と考えられる。
【００２２】
その他の効果としては、以下のことが挙げられる。対向ミラー基板には、開口穴が形成されていないために気密或は真空封止する際の、パッケージの一部に利用できるために、容易に封止が可能となる。また、不活性ガスにて気密封止することにより、使用環境（湿度、温度等）の影響を受けにくく、動作信頼性が向上する。また、真空（大気圧に対して、減圧されている状態）封止することにより、上記動作信頼性が向上するのに加え、可動ミラーの揺動空間を真空封止するので、エアーダンピング効果による振幅の低減を防ぐことができる。望ましくは、不活性ガスにて置換した後、真空（大気圧に対して、減圧されている状態）封止する方法が良い。
【００２３】
本発明のように可動ミラーに対向して対向ミラー基板を設けた構造においては、エアーダンピング効果による振幅の低減が起きやすく、その効果を考慮しないといけないので、設計が頻雑になるが、真空封止することにより解消される。また、ミラーユニット１の空間内部の封止を行なう時期としては、対向ミラー基板を可動ミラーに接合する際に行なうのが効率的であるが、別途以降の工程で対向ミラー基板をパッケージの一部として、封止を行なっても良いことは言うまでも無い。
【００２４】
次に、このような方法で形成したミラーユニットを組み込んだ光走査モジュールと、前記光走査モジュールを組み込んだレーザープリンターの構成及び動作を図５〜９にもとづいて説明する。図５には光走査装置に配備される光走査モジュール２０の斜視図を示すもので、ミラー基板４はＳｉ（シリコン）基板をエッチングにより裏側を四角くくりぬいて、所定の厚さに枠部と天板部とを残し、天板部には可動ミラー６及びそれを軸支するトーションバー７をその周囲を貫通して形成する。前記可動ミラー６の中央部には金属被膜を蒸着するなどしてミラー面を形成し、トーションバー７を挟んでミラーの両端部は櫛形に凹凸のある平面形状となし、可動電極８を形成する。尚、前記可動電極８を櫛形形状とすることで、対向する電極の面積を拡大することができ、駆動電圧を低減し、消費電力の小さい装置として構成することができる。
【００２５】
前記ミラー基板４の上面には、可動ミラー６の揺動空間を確保するギャップを一体的に成形した対向ミラー基板２が接合される。前記対向ミラー基板２の裏側には上記可動ミラー６に対向する反射面を設けた対向ミラー３が配置されている。そして、前記ミラーによる反射面の一方から斜めに入射された光ビームＲ１は、可動ミラー６と対向ミラー３の反射面の間で複数回反射を繰り返しながら副走査方向に移動し、反射面のもう一方の側から走査光Ｒとして出射される。この例において、光走査モジュール２０の上方から入射された光ビームは、可動ミラー６で１回反射すると走査角は振れ角の２倍となるが、再度、対向ミラー３と可動ミラー６の間で反射すると、さらに振れ角の２倍が付加される。このように可動ミラーで反射する回数に応じて、走査角を拡大した状態の走査光Ｒとして出射することができる。
【００２６】
前記光走査モジュール２０の下部に配置する支持基板３０は焼結金属等で成形され、絶縁材を介してリード端子４３が挿入されてなる。前記支持基板３０には、上記したミラー基板５を接合する接合面３１、カップリングレンズ３８を位置決め接着するＶ溝（傾斜支持面）３２、接合面３１と垂直に形成したＬＤチップ３６の実装部が設けられる。また、ＬＤチップ３６の背面光を受光するモニタＰＤチップ３７の実装面３３、ＬＤチップから出力される光ビームを、可動ミラー６へ折り返すプリズムミラー４１の支持部３４が、各々形成される。さらに、前記支持基板３０の周囲部には、カバー４０の下端部を係止保持するための段部３５が形成される。
【００２７】
前記ミラーユニット１とＬＤチップ３６の間に配置するカップリングレンズ３８は、円筒の上下をカットした形状のものとして構成され、第１面を軸対称の非球面、第２面を副走査方向に曲率を有するシリンダ面をなす。前記支持基板３０に設けているＶ溝３２に対して、カップリングレンズ３８の円筒外周面が当接した際、光軸がＬＤチップ３６の発光点に合うように幅と角度が設定され、光軸方向の調整にて発散光束を、主走査方向には略平行光束となし、副走査方向には可動ミラー面で集束する集束光束となし得るように接着固定する。尚、上記レンズ３８のカット面はシリンダ面の母線と平行に形成され、光軸回りの位置決めがなされるようにしている。
【００２８】
前記ミラーユニット１を覆うように配置される内カバー４４は、カップリングレンズ３８からの光ビームを所定の径に整形するアパーチャ４６を垂下させて設けており、プリズムミラー４１の後端部を位置決めするばね部４５が形成される。そして、前記ミラーユニット１の可動ミラーで偏向された走査光としての光ビームは、上面に設けた開孔４７を通過して上方に放出される。また、前記前記光走査モジュール２０を覆うように設けているカバー部材４０は、板金にてキャップ状に成形され、光ビームの射出開口にはガラス板４８が内側より接合されてなり、上記支持基板３０の外周に設けられた段部３５にはめ込まれて、モジュールを構成する。ＬＤチップ３６、モニタＰＤチップ３７、上記した固定電極は各々リード端子４３の上側に突出した端部との間でワイヤーボンディングにより接続がなされる。
【００２９】
図６に光走査モジュールが配備された光走査装置の断面図を、図７，８にその外観図および透視図を示している。図６に示す例において、上記構成による光走査モジュール２０は、ＬＤの駆動回路や、可動ミラーの駆動回路を構成する電子部品が実装されるプリント基板５０上に主走査方向に配列して複数個（実施例では３個）実装される。前記光走査モジュール２０の実装に際しては、上記支持基板３０の底面は、下側に突出したリード端子４３をスルーホールに通してプリント基板に当接され、スルーホールのクリアランス内で基板上での光走査モジュール間の位置合わせを行ない仮止めし、他の電子部品と共にハンダ付けされて一括して固定される。
【００３０】
図７、８に示す例において、光走査装置２１は３つの光走査モジュール２０……を並列に配置して、感光体ドラムの表面に対して画像の光を照射するようにしている。前記光走査装置２１において、感光体ドラム８１に対して書き込む走査線１８、……は、図８に示すように、各々の光走査モジュール２０の走査範囲を規定した状態で行うものとされ、隣接する光走査モジュール２０による走査画像にずれが生じないように調整して書き込みを行い得るようにする。また、前記複数個の光走査モジュール２０……を組み合わせて配置した光走査装置２１においては、前記プリント基板５０上に各光走査モジュール２０を位置決めし、レンズ等を組み込んだハウジング５１を装着することで、光走査装置２１として一体化している。
【００３１】
複数の光走査モジュールを支持したプリント基板５０は、ハウジング５１の下側開口を塞ぐように当接され、ハウジング５１に一体で設けられた一対のスナップ爪５２間に抱え込んで保持する。プリント基板にはこのスナップ爪の幅に係合する切り欠き５６が設けられ、主走査方向の位置決めがなされると同時に、係止部５５を基板エッジに係合して副走査方向が固定される。また、係止部５５は矢印方向に撓ませることで突起５４が基板上端を押し下げ、容易に取り外すこともできる。
前記ハウジング５１内部には結像手段を構成する第１の走査レンズ６０を主走査方向に配列して接合する位置決め面、第２の走査レンズ６１を保持する位置決め部５３、および同期ミラー５７の保持部が形成される。
【００３２】
本実施例では各光走査モジュールの第２の走査レンズは樹脂にて一体的に形成し、また、同期ミラー５７も高輝アルミ板で連結して形成しており、光ビームを射出する開口に外側より挿入され取り付けられる。同期検知センサ５８（ＰＩＮフォトダイオード）は隣接する光走査モジュールで共用する中間位置と両端位置に配置され、各光走査モジュールの走査開始側と走査終端側とでビームが検出できるようにプリント基板５０上に実装される。前記同期ミラー５７は隣接する光走査モジュール走査開始側と、走査終端側との反射面が向かい合うように、くの字状に成形されて各々光ビームを反射し、共通の同期検知センサ５８に導くことができるようにしている。図中、プリント基板５０の下部に突出形成されているコネクタ６２は、光走査装置に設ける全ての光走査モジュールへの電源供給や、データ信号等のやり取りを一括して行う。
【００３３】
前記ハウジング５１の両側面には、スペーサ６３を配置しており、後述する感光体ドラムを保持するカートリッジに、感光体ドラムと同心に設けられたカートリッジフレームの円筒面に合わせて、光走査装置２１を位置決めするように構成している。前記スペーサ６３は、本体にハウジング５１の突起部材６６、６６ａを係止する部分を直立部材に形成し、例えば、ネジを装着することで、前記ハウジング５１の両側端部に取付けられる。また、前記スペーサ６３の上端部に形成する円弧面６４を、カートリッジフレームに突き当てる面として設け、基部６４を介してスプリング６８により付勢されるように構成している。前記スペーサ６３に対応させて、装置本体のフレームにはスタッド６７を設け、前記スタッド６７をスペーサ６３の下部フランジ６５の穴に挿入し、スプリング６８により上方に付勢する状態で支持する。そして、前記ハウジングの位置決め手段を用いて、光走査装置２１の取付け状態の調整を行うことで、複数の光走査モジュールの被走査面に対する位置決めを一括して確実に行うことができる。
【００３４】
図９は上記光走査装置をレーザプリンタに適応した、画像形成装置の例で示している。前記画像形成装置８０において、感光体ドラム８１と画像形成のための構成部材は、１つのユニットとして構成されており、それ等の各構成部材は、交換可能なカートリッジとして一体的に構成される。つまり、前記感光体ドラム８１の周囲には、感光体を高圧に帯電する帯電ローラ８２、光走査装置２１により記録された静電潜像に、トナーを付着して顕像化する現像ローラ８３、トナーを備蓄するトナーホッパ８４、用紙に転写された後の残トナーをブレードで掻き取り蓄積するクリーニングケース８５が配備される。前記画像形成装置８０において、感光体ドラム８１に対して画像の書き込みを行うための光走査装置２１は、前記カートリッジのフレーム９２に対して位置決めされる状態で配置され、走査光路の長さを位置決め部材（スペーサ）６３により調整している。
【００３５】
用紙は給紙トレイ８６から給紙コロ８７により供給され、用紙搬送路９３に沿って搬送され、レジストローラ対８８により印字のタイミングに合わせて用紙を画像転写部に送る。そして、用紙搬送方向に回転する感光体ドラム８１により画像が転写され、定着ローラ８９で定着されて排紙トレイ９０に向けて排出される。装置カバー９１は開放可能に軸支され、上記カートリッジを交換する際や紙づまりを起こした用紙を取り除く際の他、上記第２の走査レンズを清掃することができる。
【００３６】
なお、実施例では静電引力を発生させ可動ミラーを駆動する方式を示したが、可動ミラーにコイルを形成してトーションバーと交差する方向に磁力線が通るように配備し、コイルに電圧を印加して電磁力を発生させ駆動する方式であっても、トーションバーに圧電素子を結合し、圧電素子に電圧を印加して直接可動ミラーに変位を発生させ駆動する方式等々であっても同様の構成で実施できる。また、光走査装置を３つの光走査モジュールを用いて構成したが、前記光走査装置モジュールの数はいくつであってもよく、画像形成装置の記録幅に合わせて数を増減して対応することもできる。
【００３７】
【発明の効果】
本発明のミラーユニットは、前述したように構成したことにより、ミラーユニットの構成を簡素化でき、光ビームを第二の基板を通してミラーに反射させることで、光ビームの入出射する際の角度の設定の自由度を向上させ得て、光走査装置としての性能を良好に発揮可能である。また、２つのミラーを各々保持する基板を組み合わせるに際して、ミラー間の間隔の設定と、基板の接続とを容易に行い得るので、ミラーユニットの組立作業を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のミラーユニットの構成を示す図で、（ａ）ないし（ｄ）はミラーユニットの各構成の例の説明図である。
【図２】ミラーユニットの別の構成の例の説明図である。
【図３】ミラーユニットの他の構成例の説明図である。
【図４】（ａ）および（ｂ）は、ミラーユニットにより感光体ドラムに走査む走査線の説明図である。
【図５】光走査モジュールの分解斜視図である。
【図６】光走査モジュールの断面図である。
【図７】光走査装置の斜視図である。
【図８】光走査装置の内部構成の説明図である。
【図９】光走査装置を用いた画像形成装置の説明図である。
【符号の説明】
１    ミラーユニット
２    対向ミラー基板
３    対向ミラー
４    可動ミラー基板
６    可動ミラー
１４    対向ミラー基板
１５・１６    対向ミラー
１８    走査線
２０    光走査モジュール
２１    光走査装置
３０    支持基板
３６    ＬＤチップ
３７    ＰＤチップ
３８    カップリングレンズ
４０    カバー
４１    プリズムミラー
４４    内カバー
４８    ガラス板
５０プリント基板
５１    ハウジング
５７    同期ミラー
５８    同期検知センサ
６０    第１の走査レンズ
６１    第２の走査レンズ
６３    スペーサ
８０画像形成装置
８１    感光体ドラム
９２    カートリッジフレーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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