(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被取付体に固定されるハウジングと、
光ビームを放射する可動部と、
該可動部をハウジングに対して揺動可能に支持する支持部と、
前記可動部を予め設定された揺動方向に揺動駆動する駆動部と、
を備え、前記可動部から放射された光ビームにより対象物を走査する光スキャナにおいて、
前記ハウジングは、隣接して配置された一対の腕部を有し、
前記支持部は、
先端に形成された折返部が前記一対の腕部のいずれか一方の先端に固定されるハウジング固定片と、先端に形成された折返部が前記可動部に固定される可動部固定片とを有し、前記折返部を設けたことにより前記ハウジング固定片及び前記可動部固定片に形成される稜線部が単一軸上に配置された一対の板状弾性体からなり、
該一対の板状弾性体は、前記稜線部が互いに近接した状態で前記一対の腕部の間に配置され、両板状弾性体の稜線部が並んだ配列軸を中心として前記可動部が揺動運動することを特徴とする光スキャナ。
【請求項２】
前記可動部は、外部の光源から照射された光を反射する反射面を有し、該反射面から放射される反射光を前記光ビームとして用いることを特徴とする請求項１記載の光スキャナ。
【請求項３】
前記可動部の重心が、前記配列軸上に位置することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の光スキャナ。
【請求項４】
前記駆動手段は、前記可動部の質量及び支持部のばね定数から決定される共振周波数にて、前記可動部を揺動させることを特徴とする請求項１ないし請求項３いずれか記載の光スキャナ。
【請求項５】
前記駆動手段は、
前記可動部と一体に設けられた永久磁石と、
該永久磁石に対向配置されたソレノイドと、
を備え、前記ソレノイドに交番磁界を発生させ、前記永久磁石を吸引，反発することにより前記可動部を揺動駆動することを特徴とする請求項１ないし請求項４いずれか記載の光スキャナ。
【請求項６】
前記永久磁石は、前記可動部の揺動方向に位置する両端部のいずれか一方に固定されていることを特徴とする請求項５記載の光スキャナ。
【請求項７】
前記永久磁石は、前記可動部の揺動方向に沿った両端部のいずれか一方に固定されていることを特徴とする請求項５記載の光スキャナ。
【請求項８】
前記可動部には、前記永久磁石の取付端とは反対側の端部に、該可動部の重心位置を調整するための慣性体が固定されていることを特徴とする請求項５ないし請求項７いずれか記載の光スキャナ。
【請求項９】
前記可動部には、前記永久磁石の取付端に直交する両端部にも、該可動部の重心位置を調整するための慣性体が固定されていることを特徴とする請求項８記載の光スキャナ。
【請求項１０】
前記永久磁石及び慣性体は、前記可動部からビーム放射面を貫通する方向に突設されたアームに取り付けられていることを特徴とする請求項８又は請求項９記載の光スキャナ。
【請求項１１】
前記板状弾性体は、前記ハウジング固定片及び前記可動部固定片が同数，或いはいずれか一方が一つだけ多く形成され、両固定片が交互に配列されていることを特徴とする請求項１ないし請求項１０いずれか記載の光スキャナ。
【請求項１２】
前記板状弾性体は、前記ハウジング固定片及び前記可動部固定片との間にスリットが形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項１１いずれか記載の光スキャナ。
【請求項１３】
前記スリットの輪郭が曲線形状を有することを特徴とする請求項１２記載の光スキャナ。
【請求項１４】
前記板状弾性体は、前記ハウジング固定片と前記可動部固定片との連結部分が波形状に形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項１３いずれか記載の光スキャナ。
【請求項１５】
前記板状弾性体は、一端に前記ハウジング固定片、他端に前記可動部固定片を形成したものを、前記稜線部が同一軸上に配置される形状に弾性変形してなることを特徴とする請求項１ないし請求項１１いずれか記載の光スキャナ。
【請求項１６】
前記一対の板状弾性体は、前記ハウジング固定片や前記可動部固定片の付根側にて一体に連結されていることを特徴とする請求項１ないし請求項１３いずれか記載の光スキャナ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザスキャン型バーコードリーダ，レーザスキャン型障害物センサ等に使用され、光源からの光を反射し、その反射光を用いて１次元的に走査を行う光スキャナに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、レーザスキャン型バーコードリーダや、レーザスキャン型障害物センサ等において、レーザ光を走査するために用いられる低コスト型の光スキャナとして、例えば、特開平９−１３８３６６号に開示されているように、鏡面加工された磁石をトーションバネで支持し、外部から交番磁界を作用させることにより、トーションバネが捻れる方向に磁石を揺動させ、光源からの入射光を鏡面にて反射させ、この鏡面からの反射光を用いて走査するように構成されたものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような従来装置では、広い走査角を得るためには、トーションバネが十分に弾性変形できるように、トーションバネの径を細く（ここでは１４０μｍ）しなければならない。しかし細径のトーションバネは、走査に必要なねじり方向以外に、延び方向や曲げ方向にも変形し易く、即ち、トーションバネに支持された磁石は、走査に使用するねじり方向以外にも、振動可能な方向（振動の自由度）を多数持つことになる。
【０００４】
このため、例えば車載用機器に用いられる等、強い外乱加速度が作用する環境で上述の従来装置（光スキャナ）を使用した場合、これら振動の自由度に応じた様々な振動モードが励振されてしまい、その結果、走査軌跡が乱れてしまうという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、上記問題点を解決するために、外乱加速度が作用した場合でも安定した走査が可能な光スキャナを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための発明である請求項１記載の光スキャナでは、ハウジングが、隣接して配置された一対の腕部を有し、可動部をハウジングに対して揺動可能に支持する支持部が、一対の板状弾性体からなる。
【０００７】
各板状弾性体は、先端に形成された折返部が一対の腕部のいずれか一方の先端に固定されるハウジング固定片と、先端に形成された折返部が可動部に固定される可動部固定片とを有し、折返部を設けたことによりハウジング固定片及び可動部固定片に形成される稜線部が単一軸上に配置されるように構成されている。
【０００８】
このように構成された一対の板状弾性体は、稜線部が互いに近接した状態で一対の腕部の間に配置され、両板状弾性体の稜線部が並んだ配列軸を中心として可動部が揺動運動するようにされている。
これにより、支持部は、稜線部に沿った方向、即ち揺動運動の中心となる配列軸に沿った方向への変形に対しては剛性が高くなり、これに直交した方向、即ち可動部を揺動させる揺動方向への変形に対しては剛性が低くなる。
【０００９】
従って、本発明の光スキャナによれば、可動部に、揺動方向以外の不要な振動モードが発生することを十分に抑えることができ、その結果、外乱加速度作用時にも、可動部から放射される光ビームの走査軌跡が乱れることなく、安定した走査を行うことができる。
【００１０】
また、可動部を支持する支持部が板状弾性体からなるため、可動部の揺動時に摩擦を生じる部分がなく、優れた耐久性を得ることができる。
なお、可動部には、光源を取り付けて光ビームを直接放射させるようにしてもよいし、請求項２記載のように、外部の光源から照射された光を反射する反射面を設けることにより、この反射面から放射される反射光を光ビームとして用いるようにしてもよい。
【００１１】
また、可動部の重心は、請求項３記載のように、可動部の揺動運動の中心となる配列軸上に位置していることが望ましい。
この場合、外乱加速度作用時であっても、可動部の揺動方向への振動（「１次モードの振動」ともいう）を変化させようとするモーメントが発生しないため、可動部の振動状態が乱れることがなく、より安定した走査を行うことができる。
【００１２】
但し、可動部の重心と配列軸とは、必ずしも正確に一致している必要はなく、配列軸の近傍に可動部の重心があれば十分に効果を得ることができる。
次に、駆動手段は、請求項４記載のように、可動部の質量及び支持部のばね定数から決定される共振周波数にて、可動部を揺動させることが望ましい。
【００１３】
この場合、可動部が共振することで、可動部の振幅を最大にでき、また同じ振幅を得るのであれば、駆動手段での消費電力を最小限に抑えることができる。
ところで、駆動手段は、請求項５記載のように、可動部と一体に設けられた永久磁石と、永久磁石に対向配置されたソレノイドとにより構成し、ソレノイドに交流電流を印加して交番磁界を発生させることにより、可動部を揺動駆動することができる。
【００１４】
永久磁石は、請求項６記載のように、可動部の揺動方向に位置する両端部のいずれか一方に固定してもよいし、請求項７記載のように、可動部の揺動方向に沿った両端部のいずれか一方に固定してもよい。
なお、前者の場合には、例えば、ビームの反射面を貫通する方向に沿って両磁極が配列するように永久磁石を固定し、永久磁石の両磁極の中間にソレノイドを対抗させ、このソレノイドに両磁極を交互に吸引，反発させることにより可動部を揺動させることができる。また、後者の場合には、例えば、揺動方向に沿って両磁極が配列するように永久磁石を固定し、前者の場合と同様に、永久磁石の両磁極の中間にソレノイドを対抗させ、このソレノイドに両磁極を交互に吸引，反発することにより、可動部を揺動させることができる。
【００１５】
これらいずれの場合も、駆動手段を簡易な構成とすることができるため、装置の小型化に対応することができる。
また、可動部の重心位置の調整を容易にするために、請求項８記載のように、永久磁石の取付端とは反対側の端部に慣性体を取り付けたり、更に請求項９記載のように、永久磁石の取付端に直交する両端部にも慣性体を取り付けたりしてもよい。
【００１６】
特に、永久磁石が、可動部の水平方向に位置する一方の端部に固定されている場合には、永久磁石と同じ質量を有する慣性体を、永久磁石の取付端とは反対側の端部に取り付けることで可動部の水平方向の重心位置を簡単に調整することができる。
【００１７】
また、請求項１０記載のように、永久磁石や慣性体を、可動部からビーム放射面を貫通する方向に突設されたアームに取り付けるようにすれば、可動部の重心位置がビーム反射面を貫通する方向に大きく偏っている場合でも、その重心位置の調整を容易に行うことができる。
【００１８】
ところで、支持部を構成する板状弾性体においては、請求項１１記載のように、ハウジング固定片及び可動部固定片が同数，或いはいずれか一方が一つだけ多く形成され、これら両固定片が交互に配列されていることが望ましい。この場合、支持部の揺動方向以外への剛性がより大きくなり、可動部が、揺動方向以外の方向に振動することをより確実に防止できる。
【００１９】
なお、板状弾性体は、請求項１２記載のように、ハウジング固定片と可動部固定片との間にスリットが形成されている場合、請求項１３記載のように、このスリットの輪郭が曲線形状を有するように構成することが望ましい。この場合、可動部の揺動に従って板状弾性体が弾性変形した際に、特にスリットの先端部分、即ち固定片の付根部分に生じる応力を分散させることができ、光スキャナに衝撃荷重が作用する等して固定片に過剰な変形が加えられた場合に、固定片の付根部分が破損してしまうことを防止できる。
【００２０】
ところで、可動部の揺動動作の共振周波数は、板状弾性体のばね定数により決まり、ひいては、板状弾性体の材質や形状によって決まる。そして、ゆっくりとした動作を実現するために揺動動作の共振周波数を小さくするには、例えば、板状弾性体を、ハウジング固定片と可動部固定片との間で弾性変形する領域が長くなるように構成すればよい。具体的には、請求項１４記載のように、ハウジング固定片と可動部固定片との連結部分を波形状に形成してもよいし、請求項１５記載のように、一端にハウジング固定片、他端に可動部固定片を形成したものを、稜線部が同一軸上に配置される形状に弾性変形してなる板状弾性体を用いるようにしてもよい。これらの場合、支持部を大型化することなく、ばね定数を小さくすることができる。
【００２１】
また、支持部を構成する一対の板状弾性体は、請求項１６記載のように、ハウジング固定片や可動部固定片の付根側にて一体に連結されていてもよい。この場合、支持部を単一の部品にて構成することができ、組立や部品の管理を容易化できる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施例を図面と共に説明する。
［第１実施形態］
図１は、第１実施形態の光スキャナ１の全体構成を表す斜視図、図２はその分解図である。
【００２３】
図１及び図２に示すように、本実施形態の光スキャナ１は、装置の筐体等に固定されるハウジング１０と、光源からの入射光を反射する反射面を備えた可動部２０と、可動部２０をハウジング１０に対して所定の揺動方向（図中Ｙ軸方向）への揺動が可能となるように支持する支持部３０と、可動部２０を揺動駆動するための駆動部４０とを備えている。
【００２４】
このうち、ハウジング１０は、鉄製の物体からなり、先端が近接するように形成された一対の腕部１０ａ，１０ｂを有するように、平面形状がＣ字状に機械加工されている。
また、可動部２０は、反射面を形成する反射鏡２２を備え、この反射鏡２２を支持部３０に固定される可動部本体２６に、スペーサ２４を介して固定することにより構成されている。そして、可動部２０の揺動方向に位置する一方の端部には永久磁石４２、他方の端部にはこの永久磁石４２と同じ質量を有する慣性体５０が固定されている。
【００２５】
なお、スペーサ２４及び可動部本体２６は、いずれも長方形状に機械加工された鉄板（厚さ０．５ｍｍ程度）からなり、長方形状の穴２４ａ，２６ａが形成され、特に可動部本体２６には、この穴２６ａから、後述する可動部固定片を挿通させるための切欠部２６ｂが連設されている。また、反射鏡２２は、ガラス板（厚さ０．２ｍｍ程度）からなり、その表面には、光を効率よく反射できるようにアルミが蒸着されている。
【００２６】
次に、支持部３０は、第１及び第２スプリング（板状弾性体に相当）３２，３４からなり、それぞれ、先端に形成された折返部位がハウジング１０への固定に使用されるハウジング固定片３２ａ，３４ａ、ハウジング固定片３２ａ，３４ａの両側に設けられ、先端に形成された折返部位が可動部２０への固定に使用される可動部固定片３２ｂ，３４ｂを有している。
【００２７】
なお、第１及び第２スプリング３２，３４の図中Ｚ軸方向の幅は、可動部本体２６の切欠部２６ｂを挿通可能な大きさに形成され、また、ハウジング固定片３２ａ，３４ａの図中Ｚ軸方向の幅は、当該スプリング３２，３４を切欠部２６ｂに挿通させた時に、スペーサ２４及び可動部本体２６の穴２４ａ，２６ａの縁部に接触しない大きさに形成されている。
【００２８】
また、第１及び第２スプリング３２，３４は、図３に示すように、バネ用ステンレス鋼（厚さ０．０５ｍｍ程度）を、エッチングや打ち抜き加工等によりＥ字形状に加工することにより、ハウジング固定片３２ａ，３４ａ及び可動部固定片３２ｂ，３４ｂを形成し、これら両固定片の先端部から所定長さｌの折曲位置（図中１点鎖線にて示す）にて折曲加工を施すことにより、折返部位が形成されている。
【００２９】
但し、バネ用ステンレス鋼をＥ字形状に加工する際に、各固定片の間に形成されるスリットＳは、固定部の根元部分Ｐでの輪郭が曲線形状となるようにされている。また、折返部位を形成する折曲加工の際に、ハウジング固定片３２ａ，３４ａは７５度の角度に、可動部固定片３２ｂ，３４ｂは６０度の角度に折り曲げられる。
【００３０】
なお、ここでは、第１及び第２スプリング３２，３４をステンレス鋼により構成しているが、ベリリウム銅、リン青銅、バネ鋼などを使用してもよい。
このように構成された第１及び第２スプリング３２，３４は、各固定片の折返部位が互いに逆方向に折り返された状態となるように組み合わされ、この状態で、可動部固定片３２ｂ，３４ｂの折返部位が可動部本体２６のスペーサ取付面側に配置されるように、可動部本体２６の切欠部２６ｂに挿通される。そして、可動部固定片３２ｂ，３４ｂの折返部位を、可動部本体２６のスペーサ取付面に溶接することにより、第１及び第２スプリング３２，３４からなる支持部３０は、可動部本体２６に固定される。この時、両スプリング３２，３４は、折曲加工により形成された稜線部が、互いに接触する程度に近接した状態で配置されるように固定する。
【００３１】
このようにして支持部３０が固定された可動部本体２６を、図３に示すように、両スプリング３２，３４がハウジング１０の両腕部１０ａ，１０ｂの間に収納されるように配置し、各スプリング３２，３４のハウジング固定片３２ａ，３４ａの折返部位を、ハウジング１０の各腕部１０ａ，１０ｂの先端にそれぞれ溶接する。
【００３２】
これにより、可動部本体２６は、支持部３０を介してハウジング１０に揺動自在に連結される。また、両スプリング３２，３４の稜線部が接触するように配列された配列軸ｉが、可動部本体２６（ひいては可動部２０）の揺動運動の回転中心となる。
【００３３】
その後、可動部本体２６に、スペーサ２４，反射鏡２２が固定されることにより可動部２０が組み立てられる。
この時、ハウジング固定片３２ａ，３２ｂの稜線部が、可動部本体２６のスペーサ取付面と同一面に位置する。しかし、ハウジング固定片３２ａ，３２ｂがスペーサ２４と接触することのないように、スペーサ２４には穴２４ａが形成されている。つまり、可動部２０は他の部位からの干渉を受けることなく揺動することが可能なようにされている。
【００３４】
更に、可動部２０に取り付けられる永久磁石４２及び慣性体５０は、支持部３０を介してハウジング１０に取り付けられた可動部２０の重心が、可動部２０の揺動運動の中心となる配列軸ｉ上に位置するように配置される。なお、永久磁石４２や慣性体５０にネジ孔を形成し、このネジ孔に螺合されるネジのねじ込み量を調節することにより、可動部２０の重心位置を微調整できるように構成してもよい。
【００３５】
次に駆動部４０は、可動部２０に取り付けられた永久磁石４２と、この永久磁石４２に対向配置されるソレノイド４４と、ソレノイド４４への通電状態を制御する図示しない通電制御回路とからなる。
但し、永久磁石４２は、可動部２０のビーム反射面を貫通する方向（図中Ｘ軸方向）に沿って両磁極が並ぶように配置されている。従って、例えば、ビーム反射面側（以下「前面側」という）にＳ極、その反対面側（以下「後面側」という）にＮ極を配置した場合、ソレノイド４４の永久磁石４２側にＮ極を発生させると、可動部２０の前面側にある永久磁石４２のＳ極が吸引され、後面側にあるＮ極が反発することにより、可動部２０は、図１中では右回りに回転するモーメントを受け、逆に、ソレノイド４４の永久磁石４２側にＳ極を発生させると、前面側にある永久磁石４２のＳ極が反発し、後面側にあるＮ極が吸引されることにより、可動部２０は、図１中では左回りに回転するモーメントを受ける。
【００３６】
このため、通電制御回路により、正弦波や矩形波等の周期的な駆動信号をソレノイド４４に印加して交番磁界を発生させると、この交番磁界と永久磁石４２との相互作用により、可動部２０が配列軸ｉを中心に揺動する。
その結果、反射鏡２２が形成する反射面に照射された光ビームは、可動部２０の揺動方向（Ｙ軸方向）に沿って反射方向が直線的に変化するため、この反射面からの反射光を用いることにより、配列軸ｉに直交する面に沿った一次元的な走査を行うことが可能となる。なお、光ビームの走査速度は、可動部２０の揺動周期、即ち駆動信号の周波数にて制御され、また、光ビームの走査範囲は、可動部２０の揺動の大きさ、即ち駆動信号の振幅（電圧レベル）にて制御される。
【００３７】
但し、本実施形態では、通電制御回路が生成する駆動信号の周波数を、可動部２０の慣性モーメントと支持部３０を構成する第１及び第２スプリング３２，３４のばね定数から決定される共振周波数と一致させており、可動部２０が共振状態で揺動するようにされている。
【００３８】
また、ソレノイド４４に過大な駆動信号が印加され、可動部２０の揺動の振幅が大きくなり過ぎると、可動部本体２６がハウジング１０の腕部１０ａ，１０ｂに当接し、可動部２０の揺動が制限されるように構成されている。
以上説明したように、本実施形態の光スキャナ１では、可動部２０を揺動自在に支持する支持部３０が、弾性変形する第１及び第２スプリング３２，３４からなり、しかも、両スプリング３２，３４を折曲加工することにより形成された稜線部の配列軸ｉが、可動部２０の揺動運動の中心となるようにされている。
【００３９】
つまり、第１及び第２スプリング３２，３４は、可動部２０の揺動方向への変形に対する剛性が低く、それ以外の方向、特に配列軸ｉに沿った方向への変形に対する剛性が高くなるようにされている。
これに加えて、本実施形態の光スキャナ１では、可動部２０の重心位置を、可動部２０の揺動運動の回転中心となる配列軸ｉにほぼ一致させ、当該光スキャナ１に外乱加速度が作用しても、可動部２０の光走査に使用する揺動方向の振動を乱すようなモーメントが発生しないようにされている。
【００４０】
つまり、本実施形態の光スキャナ１によれば、支持部３０が、走査軌跡を乱す不要な振動を発生し難い構造とされているだけでなく、外乱加速度が作用しても、不要振動を励振するモーメントが発生し難いように可動部２０の重心位置が設定されている。このため、当該光スキャナ１を、外部から様々な振動が作用する車載装置等に適用した場合でも、可動部２０の揺動に基づく光ビームの走査軌跡が乱れることがなく、安定した走査を行うことができる。
【００４１】
また、本実施形態の光スキャナ１では、第１及び第２スプリング３２，３４により支持された可動部２０が、動作時に摩擦を生じないため、耐久性に優れており、しかも、ハウジング１０の腕部１０ａ，１０ｂにて、可動部２０の過大な揺動動作を制限し、支持部３０（第１及び第２スプリング３２，３４）が、必要以上に変形することを防止しているため、装置の信頼性を向上させることができる。
【００４２】
また、第１及び第２スプリング３２，３４に形成されたスリットＳの輪郭を曲線形状にすることで、各固定片の変形時に生じる固定片の根元部分Ｐの応力を分散することができ、当該光スキャナ１に外部からの衝撃荷重が作用した場合でもスプリング３２，３４の破損を防止することができる。
【００４３】
更に、本実施形態の光スキャナ１では、永久磁石４２及びソレノイド４４からなる単純な構成の駆動部４０を用いているため、装置を安価に構成することができ、また、可動部２０を共振状態となるように駆動し、小さな駆動力で大きな揺動が得られるようにされているため、駆動部４０での消費電力を低減できる。
［第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明する。
【００４４】
本実施形態の光スキャナ１ａは、第１実施形態の光スキャナ１とは、構成の一部が異なっているだけであるため、同じ構成部分については同一符号を付して説明を省略し、構成の相違する部分を中心に説明する。
即ち、本実施形態の光スキャナ１ａでは、図５に示すように、可動部本体２６の上下端（図中Ｚ軸方向両端）に、ビーム反射面を貫通する前後方向（図中Ｘ軸方向）に向けてビーム反射面側に突出したアーム２８がそれぞれ設けられており、これらアーム２８のそれぞれに、可動部２０の前後方向の重心位置を調整するための慣性体５２が取り付けられている。
【００４５】
なお、可動部２０の前後方向の重心位置は、永久磁石４２及びこれと対向する位置に設けられた慣性体５０の形状や取付位置によっても調整することが可能であるが、本実施形態のように、アーム２８を介して慣性体５２を取り付けることにより、重心位置の偏りが大きい場合でも、小さな質量の慣性体５２を用いて精度よく調整することが可能となる。
【００４６】
なお、本実施形態では、アーム２８に慣性体５２を取り付けたが、一方のアーム２８に、永久磁石を取り付けて、この永久磁石に対向配置したソレノイドにより、可動部２０を揺動駆動するように構成してもよい。
また、本実施形態では、アーム２８をビーム反射面側に突出させているが、重心位置によっては、これと反対側に突出させるように構成してもよい。
［他の実施形態］
上記実施形態では、可動部２０に反射鏡２２が取り付けられており、外部から照射された光を反射鏡２２で反射させて光走査を行なうようにされているが、反射鏡２２の代わりに光源を可動部２０に搭載して、光源からの光ビームにて直接光走査を行なうように構成してもよい。
【００４７】
また、上記実施形態では、支持部３０を構成する第１及び第２スプリング３２，３４として、Ｅ字形に形成されたものを用いているが、図６に示すように、ハウジング固定片３６ａと可動部固定片３６ｂとの間の連結部３６ｃの形状を、波形状に形成し、可動部２０の揺動運動時に、両固定片３６ａ，３６ｂの間で弾性変形する領域が長くなるように構成したスプリング３６を用いてもよい。
【００４８】
この場合、支持部３０のばね定数を小さくでき、ひいては、揺動の共振周波数を小さくできるため、遅い光走査が必要な場合に、支持部３０の構成を大型化することなく対応することができる。
また、図７（ａ）に示すように、一端にハウジング固定片３８ａ、他端に可動部固定片３８ｂが形成された台形の板状のスプリングを用い、各固定片３８ａ，３８ｂを図中一点鎖線及び点線にて示す所定位置にて折曲加工して折返部位を形成し、更に図７（ｂ）に示すように、折曲加工により形成された稜線部が同一軸上に配列されるよう弾性変形させることでスプリング３８を構成してもよい。
【００４９】
この場合も、先に説明したスプリング３６の場合と同様に、揺動運動時に、両固定片３８ａ，３８ｂの間で弾性変形する領域が長くなるため、先のスプリング３６を用いた場合と同様の効果を得ることができる。
更に、上記実施形態では、支持部３０を構成する第１及び第２スプリング３２，３４が別体に構成されているが、図８に示すように、両スプリングの固定片の根元側を一体に接続するように構成してもよい。但し、両スプリング３２，３４を連結する部分は、揺動方向への弾性変形が妨げられることのないように、湾曲させておくことが望ましい。
【００５０】
この場合、支持部３０を構成する部品を一つにすることができ、部品の管理や装置の組立を容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１実施形態の光スキャナの全体構成を表す斜視図である。
【図２】  第１実施形態の光スキャナの分解図である。
【図３】  第１及び第２スプリングの構成を表す説明図である。
【図４】  第１実施形態の光スキャナにおいて、支持部の接続状態を明確にするため一部の部品を取り除いた状態を表す斜視図である。
【図５】  第２実施形態の光スキャナの全体構成を表す斜視図である。
【図６】  第１及び第２スプリングの他の実施形態を表す説明図である。
【図７】  第１及び第２スプリングの他の実施形態を表す説明図である。
【図８】  第１及び第２スプリングの他の実施形態を表す説明図である。
【符号の説明】
１，１ａ…光スキャナ    １０…ハウジング    １０ａ，１０ｂ…腕部
２０…可動部    ２２…反射鏡    ２４…スペーサ    ２６…可動部本体
２８…アーム    ３０…支持部    ３２，３４，３６，３８…スプリング
３２ａ，３４ａ，３６ａ，３８ａ…ハウジング固定片
３２ｂ，３４ｂ，３６ｂ，３８ｂ…可動部固定片
３６ｃ…連結部      ４０…駆動部      ４２…永久磁石
４４…ソレノイド    ５０，５２…慣性体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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