(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
精密基板収納容器の容器本体と蓋体との間に介在するシール部材を、保管、搬送等に際して保持させておくシール部材保持具であって、
側面中央から中心部近傍までスリットを有し、該スリットと平行する両側面にフィンが形成された２枚の板状部材を、前記フィンが外側に位置するように組み合わせて、これらフィンにより前記シール部材の内周面を保持するようにした保持手段と、
前記板状部材のフィンの両端部に着脱自在に係合し、前記保持手段に保持されたシール部材の脱落を防止するための係止手段と、
を備え、かついずれの手段も合成樹脂材料で形成されていることを特徴とするシール部材保持具。
【請求項２】
前記保持手段を構成する板状部材は、前記スリットを有する側面と対向する他側面中央近傍には、板状部材の平面に対し垂直方向に張り出し、かつ中央部に切り込みが形成された補助リブを有し、該補助リブは２枚の板状部材を前記スリットを利用して組み合わせたときに他方の板状部材の側面が補助リブの切り込みに嵌合して相互に位置決め固定されるように構成されていることを特徴とする請求項１記載のシール部材保持具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、収納容器に用いられるシール部材を保持して搬送等するためのシール部材保持具に関するものであり、特には半導体ウェーハ、マスクガラス、各種の記録媒体等からなる精密基板を収納し、該精密基板の損傷や汚染を防止して安全に保管、輸送する精密基板収納容器に用いられるシール部材を保持して搬送等するためのシール部材保持具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェーハ、マスクガラス、各種記録媒体等の精密基板を輸送、保管等する精密基板収納容器６０は、図６に示すように、容器本体６１と、図示しない複数枚の精密基板を収納して容器本体６１に収納されるカセット６２と、容器本体６１の開口した上面にシール部材６３を介して閉鎖する蓋体６４と、蓋体６４の裏面に装着されて各精密基板の上部周縁を保持する基板押さえ６５とを備えている。
【０００３】
精密基板収納容器６０に用いられるシール部材６３は、図６に示すように、４箇所のコーナー部がＲ状に形成された矩形部材、例えば、直径が２００ｍｍの半導体ウェーハを収納する精密基板収納容器で用いられるものでは、一辺の長さが２５０ｍｍの四辺が、半径約４０ｍｍの円弧状のコーナー部により連結されているものである。また、シール部材６３は、塑性変形する熱可塑性エラストマー、ゴム等の弾性材料から形成されたものが多く、それらは変形し易いので、精密基板収納容器６０をその生産工場から前記精密基板の生産工場へ納入する際には、シール部材６３は、容器本体６１、カセット６２、蓋体６４などと組み合わされた状態ではなく、変形防止を考慮した別梱包形態で納入されることが多い。
【０００４】
シール部材６３の梱包形態の一例としては、図７に示すようなシール部材保持具７０における筒部材７１に、複数本のシール部材６３を嵌め込んだものがある。シール部材保持具７０は、段ボールで形成される八角形状の筒部材７１と、一枚の段ボール板の中央部を前記八角形の外側形状分くりぬいたスリーブ７２、７３とから形成される。シール部材６３は、スリーブ７２を筒部材７１の一端部近傍に嵌め込んだ後、筒部材７１に嵌めまれて保持され、最後に他端部近傍にスリーブ７３が嵌め込まれ、シール部材６３の脱落が防止される。尚、スリーブ７２、７３は筒部材７１に接着テープ等で固着される。
【０００５】
前記半導体ウェーハ等の精密基板の生産工場では、精密基板の汚染を避けるために、精密基板収納容器の生産工場から収められた精密基板収納容器６０に精密基板を収納する前に、自動洗浄機により、精密基板収納容器６０の各部品を洗浄、乾燥している。
【０００６】
そのため、段ボール製のシール部材保持具７０に嵌め込まれたシール部材６３は、収納されている外装段ボールからシール部材保持具７０と共に取り出された後、シール部材保持具７０から専用のトレイに移し替えられて、洗浄工程のクリーンルーム内に搬入され、洗浄されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の段ボール製のシール部材保持具では、その端部等から紙粉が発生するために、シール部材は、前記シール部材保持具から外されて発塵しない専用のトレイに移し替えられてクリーンルーム内に搬入されるので、専用のトレイが別に必要であると共に、専用のトレイへの移し替え作業及び専用のトレイの保管場所が必要であるという問題点があった。さらに、専用トレイを使用する場合は、数本のシール部材を水平状態で重ねて収納するために、収納できる数量が少なく、多数を収納しようとすると、下に収納されるシール部材が変形してしまったりする問題があった。
【０００８】
また、前記従来の段ボール製のシール部材保持具は、強度が弱く、湿気等に弱く、繰り返しの使用に対する耐久性がないため、精密基板の生産工場でシール部材を前記シール部材保持具から取外した後、シール部材保持具は廃棄されていたので、シール部材保持具に要するコストも無視できないという問題点があった。
【０００９】
更に、シール部材保持具を、前記従来の段ボールの代わりに発塵の少ないプラスチックを用いて、従来のシール部材保持具の形状で形成しようとすると、アンダーカット部分を処理するために、スライド機構を有する金型を用いなければならないので、金型構造が複雑になり、使用する射出成形機も大型となり、製造のための設備投資が大きくなってしまうという問題点があった。
【００１０】
本発明は、前記従来のシール部材保持具における問題点を解決するためになされたもので、発塵が抑えられ、繰り返し使用することができ、製造するために複雑な構造の成形用金型及び大型の射出成形機を必要としないシール部材保持具を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、精密基板収納容器の容器本体と蓋体との間に介在するシール部材を、保管、搬送等に際して保持させておくシール部材保持具であって、側面中央から中心部近傍までスリットを有し、該スリットと平行する両側面にフィンが形成された２枚の板状部材を、前記フィンが外側に位置するように組み合わせて、これらフィンにより前記シール部材の内周面を保持するようにした保持手段と、前記板状部材のフィンの両端部に着脱自在に係合し、前記保持手段に保持されたシール部材の脱落を防止するための係止手段とを備え、かついずれの手段も合成樹脂材料で形成されているものである。
【００１２】
また、前記保持手段を構成する板状部材は、前記スリットを有する側面と対向する他側面中央近傍には、板状部材の平面に対し垂直方向に張り出し、かつ中央部に切り込みが形成された補助リブを有し、該補助リブは２枚の板状部材を前記スリットを利用して組み合わせたときに他方の板状部材の側面が補助リブの切り込みに嵌合して相互に位置決め固定されるように構成されているものが好ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。図１は、本発明によるシール部材保持具の第１実施形態を示す斜視図である。図２は、図１の２枚の枠板部材の分解斜視図である。図３は、図１のシール部材保持具の分解斜視図である。図４は、本発明によるシール部材保持具の第２実施形態を示す斜視図である。図５は、本発明によるシール部材保持具の第３実施形態を示す斜視図である。
【００１４】
図１から図３に示すように、本発明の第１実施形態のシール部材保持具１０は、側面２１ａ中央から中心部近傍までスリット２２を有し、スリット２２と平行する両側面にフィン２３が形成された２枚の板状部材２０ａ、２０ｂを、フィン２３が外側に位置するように組み合わせて、これらフィン２３によりシール部材６３の内周面を保持するようにした保持手段と、板状部材２０ａ、２０ｂのフィン２３の両端部に着脱自在に係合し、前記保持手段に保持されたシール部材６３の脱落を防止するための係止手段である係止部材３０とを備え、かついずれの手段も合成樹脂材料、例えば、熱可塑性樹脂で形成されているものであり、前記保持手段と前記係止手段とが、簡易的に組立が可能なものである。尚、合成樹脂材料を用いたのは発塵が少ないという理由によるが、他の発塵の少ない材料を用いてもよい。
【００１５】
また、前記熱可塑性樹脂は、精密基板収納容器を形成するのに使用されている耐汚染性、耐薬品性、成形性、剛性等に優れるポリプロピレン、ポリカーボネート等であることが好ましい。シール部材保持具１０を前記材料で形成することにより発塵を抑制できるので、シール部材保持具１０にシール部材６３を保持したままクリーンルーム内で取り扱うことができ、且つそのままでも洗浄機で洗浄することが可能である。
【００１６】
次に、前記保持手段について説明する。該保持手段を構成する板状部材２０ａ、２０ｂは、スリット２２を有する側面２１ａと対向する他側面２１ｂ中央近傍には、板状部材２０ａ、２０ｂの板状基部２４の平面に対し垂直方向に張り出し、かつ中央部に切り込みが形成された補助リブ２５を有し、補助リブ２５は２枚の板状部材２０ａ、２０ｂをスリット２２を利用して組み合わせたときに他方の板状部材２０ａあるいは板状部材２０ｂの側面２１ａが補助リブ２５の切り込みに嵌合して相互に位置決め固定されるように構成されているものが好ましい。尚、フィン２３は平面形状だけではなく、シール部材６３の内周が接触する側は、曲面になっていてもよい。また、板状部材２０ａ、２０ｂは、同一形状をした部材であり一つの金型から形成することができる。
【００１７】
尚、板状部材２０ａ、２０ｂの板状基部２４の厚さは、変形、反り等を考慮して、２．５〜５．０ｍｍ程度に設定されるのが好ましい。
【００１８】
スリット２２は、板状部材２０ａ、２０ｂを略直交するように係合させて組み合わせるために設けられたものである。即ち、板状部材２０ａ、２０ｂそれぞれの板状基部２４に設けられたスリット２２同士を向き合わせ、なおかつそれぞれの板状基部２４が略直交するように配置させて、スリット２２同士を噛み合わせることで、板状部材２０ａ、２０ｂを容易に係合させることができる。
【００１９】
従って、前記保持手段を、２枚の板状部材２０ａ、２０ｂを係合させるような構成とすることで、保持手段を単純な形状のものの組み合わせで構成することができると共に、その形成用の金型構造を単純化且つ小型化できるので、使用する射出成形機も小型化できる。
【００２０】
板状部材２０ａ、２０ｂの板状基部２４の両面には、スリット２２の延長線上に板状部材２０ａ、２０ｂの厚さより０．５〜１．５ｍｍ程度大きい間隔を有する平行リブ２６が配置され、板状部材２０ａ、２０ｂのスリット２２同士を噛み合わせた時に、それぞれの板状基部２４をそれぞれの平行リブ２６の間に挟んでガイドする。本第１実施形態では、板状基部２４の各面における平行リブ２６を３組に分離して設け、水滴を溜まり難くして洗浄時の水切りの改善を図った。
【００２１】
また、板状基部２４には、洗浄時の水切り効果、軽量化のために、複数の貫通孔２７を設けることが好ましく、本第１実施形態では、直径４０ｍｍの円形状の貫通孔を８個、直径５０ｍｍの円形状の貫通孔を４個設けた。板状基部２４に貫通孔２７を設けることにより、残留歪みが緩和されて変形することなく成形することが容易となり、またシール部材６３をシール部材保持具１０に取り付けたまま洗浄機で洗浄する際に、シール部材６３に対して好適な水流が得られ、乾燥時のドライエアーの流れが良く乾燥効率も良くなる。尚、貫通孔２７の形状、大きさ、個数は適宜選択すればよい。
【００２２】
板状基部２４の一対の側面に設けられたフィン２３の寸法は、板状部材２０ａ、２０ｂを組み合わせてシール部材保持具１０として組み立てた時に、シール部材６３の四隅を保持することができるように設定すればよい。好ましくは、シール部材６３に僅かに張力を与えるような寸法に設定するとよい。
【００２３】
また、各フィン２３の両端部近傍には、係止部材３０を嵌め込み、位置決めするために、例えば、５ｍｍ程度の幅で高さが０ｍｍから１ｍｍ程度となるように勾配付けされた第１の係止リブ２８ａと、係止部材３０の厚さより０．５〜１ｍｍ程度大きい間隔を設けて、５ｍｍ程度の幅で高さが１ｍｍ程度から０ｍｍとなるように前記と逆に勾配付けされた第２の係止リブ２８ｂとが配置されている。本第１実施形態では、係止リブ２８ａ、２８ｂをフィン２３の両面に形成しているが、どちらか片方の面に形成する形態でもよい。尚、係止リブ２８ａ、２８ｂは、前記形状及び構成のものばかりでなく、係止部材３０を固定できる形状及び構成のものであればよい。
【００２４】
また、板状基部２４とフィン２３の交差部には、切り欠き孔２９を設けることが好ましい。本第１実施形態では、４０ｍｍ×５ｍｍの長方形の切り欠き孔２９を８個、３０ｍｍ×５ｍｍの長方形の切り欠き孔２９を２個設けた。尚、切り欠き孔の形状、大きさ、個数は適宜選択すればよい。
【００２５】
板状基部２４のスリット２２が形成されていない他側面２１ｂには、スリット２２と略同じ幅の隙間を設けた三角形状に張り出す２つの補強リブ２５が備えられ、板状部材２０ａ、２０ｂのそれぞれの板状基部２４の側面２１ａを前記隙間に係合させることにより、板状部材２０ａ、２０ｂを直交させて保持固定する。補強リブ２５には、更に、板状部材２０ａ、２０ｂを組み合わせて縦置きした場合に、倒れ難くする安定効果がある。
【００２６】
次に、前記係止手段である係止部材３０について説明する。係止部材３０は、図１と図３に示すように、板状部材２０ａ、２０ｂのフィン２３の端部との係合のための切り欠き部３１を有して、前記端部近傍に着脱自在に取り付け可能である板状部材が好ましい。係止部材３０により、シール部材６３は板状部材２０ａ、２０ｂが組み合わされてなる保持手段から脱落しない。
【００２７】
例えば、係止部材３０は、２つのコーナー部３２を有する板状部材として形成され、２つのコーナー部３２近傍には、板状部材２０ａ、２０ｂのフィン２３の端部と係合する切り欠き部３１が形成されているものである。切り欠き部３１は、板状部材２０ａ、２０ｂのフィン２３の端部と、あるいは前記端部及びフィン２３と直交する板状基部２４の側面２１ａあるいは他側面２１ｂの一部近傍と係合して保持できるように形成されている。尚、切り欠き部３１の形状は適宜選択すればよい。
【００２８】
係止部材３０は、板状部材２０ａ、２０ｂのフィン２３の端部近傍に嵌め込まれる際に、係止部材３０の切り欠き部３１が板状部材２０ａ、２０ｂのフィン２３の端部近傍に形成された第１の係止リブ２８ａを乗り上げて嵌め込まれ、第２の係止リブ２８ｂとの間に挟まれて固定される。尚、切り欠き部３１以外のものを用いて、係止部材３０を保持手段に固定するようにしてもよい。
【００２９】
次に、シール部材保持具１０の使用方法について説明する。シール部材保持具１０は、図２と図３に示すように、２枚の板状部材２０ａ、２０ｂを直交するように向き合わせて、それぞれのスリット２２を噛み合わせ、それぞれの一対の補強リブ２５の隙間にそれぞれの板状部材２０ａ、２０ｂを係合させて保持固定した後、フィン２３の一端部近傍の係止リブ２８ａ、２８ｂに係止部材３０を係止させる。この状態でフィン２３の他端部側から１個又は複数個のシール部材６３を板状部材２０ａ、２０ｂに嵌め込んで保持し、最後に、フィン２３の他端部に係止部材３０を係止させて、シール部材６３が板状部材２０ａ、２０ｂを組み合わせてなる保持手段から脱落しないようにする。
【００３０】
以上示したように、シール部材保持具１０に保持されたシール部材６３は、常に一定の張力で保持されているので、使用時の品質を一定に保つことができる。また、シール部材保持具１０は、シール部材６３の工程内の搬送、保管に加え、工程間の輸送、洗浄工程、その後の乾燥工程においても、シール部材６３を保持したまま使用できるので、作業効率がよい。
【００３１】
特に洗浄工程では、シール部材保持具１０に保持したまま複数個のシール部材６３を自動洗浄機に投入することができるので、取り扱いが非常に容易であると共に、シール部材６３を一本一本バラバラの状態で洗浄するのに比べて、その取り扱いに要する時間を大幅に短縮でき、また、シール部材６３のために使用するスペースを従来の場合よりも縮小でき、更に、複数個まとめて自動洗浄することで洗浄のバラツキも防止できる。
【００３２】
また、シール部材保持具１０を再使用するために回収する時は、分解して個々の部品毎に積み重ねて取り扱うことができるので、広い保管スペース及び広い搬送スペースが不要である。
【００３３】
図４に示すように、本発明の第２実施形態のシール部材保持具４０は、板状部材２０ａ、２０ｂのフィン２３に取り付ける係止部材４１をフィン２３の１箇所毎に取り付けるような小片としたものである。この場合、係止部材４１は、第１実施形態の係止部材３０よりも小さいので、係止部材３０よりも低コストで形成できる。その他成形材料、使用方法等は、前記第１実施形態と同様であり、ここでは詳細な説明を省略する。
【００３４】
図５に示すように、本発明の第３実施形態のシール部材保持具５０は、板状部材２０ａ、２０ｂのフィン２３に取り付ける係止部材５１を、フィン２３の両端部近傍にそれぞれ１個づつ取り付ける中抜き矩形状の板状部材としたものである。洗浄及び乾燥工程あるいは自動又は手動の搬送時での把持又は保持が容易となるように把持部５２を係止部材５１等に取り付けるとさらに好ましい。把持部５２は、図５に示したように１又は複数対の貫通穴や切り欠きとして設けても良いし、貫通穴や切り欠き部の把持部５２にアーチ状をした把持部品５３を取り付けて把持しても良い。その他成形材料、使用方法等は、前記第１実施形態と同様であり、ここでは詳細な説明を省略する。
【００３５】
【発明の効果】
本発明によれば、複数個のシール部材をまとめて保持可能であり、且つ発塵が抑えられているので、成形工程、保管、輸送、搬送工程及び洗浄工程まで一貫して使用可能であり、従って、シール部材を各工程で移し替える必要がないので、作業効率が良い。
更に、簡易組み立て方式であるため各部品に分解できるので、保管スペースを小さくでき、更には、洗浄等を行うことにより、繰り返し使用が可能となるので、シール部材の取り扱いに要するコストを削減することができる。
また、各部品は単純な構造の比較的小型の成形用金型で成形できるので、各部品の製造のために大型の射出成形機が不要であり、従って、シール部材保持具製造のために大きな設備投資をしなくて済む。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるシール部材保持具の第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１の２枚の枠板部材の分解斜視図である。
【図３】図１のシール部材保持具の分解斜視図である。
【図４】本発明によるシール部材保持具の第２実施形態を示す斜視図である。
【図５】本発明によるシール部材保持具の第３実施形態を示す斜視図である。
【図６】精密基板収納容器の分解斜視図である。
【図７】従来のシール部材保持具の斜視図である。
【符号の説明】
１０、４０、５０、７０  シール部材保持具
２０ａ、２０ｂ  板状部材
２１ａ  側面
２１ｂ  他側面
２２  スリット
２３  フィン
２４  板状基部
２５  補助リブ
２６  平行リブ
２７  貫通孔
２８ａ、２８ｂ  係止リブ
２９  切り欠き孔
３０、４１、５１  係止部材
３１  切り欠き部
３２  コーナー
５２  把持部
５３  把持部品
６０  精密基板収納容器
６１  容器本体
６２  カセット
６３  シール部材
６４  蓋体
６５  基板押さえ
７１  筒部材
７２、７３  スリーブ
【図１】
0004405105.tif 000002
【図２】
0004405105.tif 000003
【図３】
0004405105.tif 000004
【図４】
0004405105.tif 000005
【図５】
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【図６】
0004405105.tif 000007
【図７】
0004405105.tif 000008