(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線板における被覆物に覆われるパターンと，前記被覆物の開口部のコーナー部との間に必要なギャップがあるか否かをデータ上でチェックするギャップチェック方法において，
前記被覆物の開口部のデータ上の辺に対して，前記被覆物の種類に応じた辺の張り出し幅による開口部の縮小を考慮した辺の引き直しを行い，
辺の引き直し後の開口部のコーナー部に，前記被覆物の種類に応じて，コーナー部が丸まってできるカーブの曲率半径の円弧を内接させ，
その円弧とパターンとの間の最短距離を求め，
求められた最短距離をあらかじめ定めた最低基準値と比較することでギャップのチェックを行うことを特徴とするギャップチェック方法。
【請求項２】
配線板における被覆物に覆われるパターンと，前記被覆物の開口部のコーナー部との間に必要なギャップがあるか否かをデータ上でチェックするギャップチェック方法において，
前記被覆物の開口部のデータ上の辺に対して，前記被覆物の種類に応じた辺の張り出し幅による開口部の縮小を考慮した辺の引き直しを行い，
辺の引き直し後の開口部のコーナー部に，前記被覆物の種類に応じて，コーナー部が丸まってできるカーブの曲率半径の円弧を内接させ，
その円弧と引き直し後の辺との接点から，その円弧の接線であってコーナー部に対して対称なものと引き直し後の辺との交点までの範囲内で，開口部のコーナー部の頂点に対し等しい間隔を置く両辺上の点を定め，
定められた２つの点を結ぶ線分とパターンとの間の最短距離を求め，
求められた最短距離をあらかじめ定めた最低基準値と比較することでギャップのチェックを行うことを特徴とするギャップチェック方法。
【請求項３】
配線板における被覆物に覆われるパターンと，前記被覆物の開口部のコーナー部との間に必要なギャップがあるか否かをデータ上でチェックするギャップチェック方法において，
開口部のコーナー部とパターンとの間のデータ上のギャップに，
前記被覆物の種類に応じた辺の張り出し幅と，
開口部のコーナー部に，前記被覆物の種類に応じて，コーナー部が丸まってできるカーブの曲率半径の円弧を内接させたときの，その円弧と頂点との間の最短距離とを加算し，
加算して求められた値をあらかじめ定めた最低基準値と比較することでギャップのチェックを行うことを特徴とするギャップチェック方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，配線板の製造プロセスにおける微細加工パターンのチェック方法に関する。さらに詳細には，被覆物に覆われるパターンと，その被覆物の開口部との間に必要なギャップがあるか否かをチェックするギャップチェック方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
配線板の製造プロセスにおいては，配線やランド等のパターンを，ソルダレジスト等の絶縁物で被覆する工程が実施される。ここで絶縁物は，配線板の全面を覆うとは限らず，種々の都合により開口部が設けられる場合がある。図６は，その状況を模式的に示す図である。すなわち，配線パターン１０を覆うソルダレジスト１１に，開口部１２が設けられている。このような場合に，配線パターン１０が開口部１２にはみ出ていると，ショート等の不良が生じる。また，製造プロセスの精度上，配線パターン１０や開口部１２の位置にはある程度の誤差が避け難い。そこで仕様上，開口部１２のコーナー部と配線パターン１０との間に，ある程度のギャップＧを設けている。そして，ギャップＧとして必要な最低値をあらかじめ定めておき，ギャップＧが最低値以上あるかどうかを仕様データ上でチェックするようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，前述のギャップチェックには，次のような問題点があった。すなわち，実プロセス上，ソルダレジスト等の被覆物は，液状の原料として提供されているものを用い，硬化して形成することが多い。このため，硬化する前に液状物が開口部へ多少流れ込み，パターンだれが生じる。特にコーナー部では，角が丸められた形状となる。したがって，実際の配線板でのギャップは，仕様データ上での値より多少大きいのである。このような事情から，仕様データ上でのギャップＧを単に最低値と比較しただけでは，多くの虚報が発生してしまう。すなわち，チェックによりギャップ不足が検出されても，実際には問題がない場合が多いのである。
【０００４】
本発明は，前記した従来のギャップチェックが有する問題点を解決するためになされたものである。すなわちその課題とするところは，被覆物の特にコーナー部におけるパターンだれを考慮して，虚報が発生しないようにしたギャップチェック方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この課題の解決を目的としてなされた本発明のギャップチェック方法では，配線板における被覆物に覆われるパターンと，被覆物の開口部のコーナー部との間に必要なギャップがあるか否かをデータ上でチェックするギャップチェック方法において，被覆物の開口部のデータ上の辺に対して，被覆物の種類に応じた辺の張り出し幅による開口部の縮小を考慮した辺の引き直しを行い，辺の引き直し後の開口部のコーナー部に，被覆物の種類に応じて，コーナー部が丸まってできるカーブの曲率半径の円弧を内接させ，その円弧とパターンとの間の最短距離を求め，求められた最短距離をあらかじめ定めた最低基準値と比較することでギャップのチェックを行う。
【０００６】
すなわち，パターンだれにより開口部のコーナー部が丸まることを考慮して，コーナー部に所定の半径の円弧を内接させた上でギャップチェックを行うのである。この場合における円弧とパターンとの間の最短距離は，元データにおけるコーナー部とパターンとの間のギャップよりも大きい。よってその分，ギャップ不足であるとの判定がなされにくい。これにより，虚報が防止されているのである。本方法での円弧の半径は，次のようにして決定するのがよい。すなわち通常，被覆物として使用する材料が決まれば，コーナー部が丸まってできるカーブの曲率半径も決まる。そこで，その曲率半径を用いるのである。
【０００７】
あるいは本発明は，配線板における被覆物に覆われるパターンと，被覆物の開口部のコーナー部との間に必要なギャップがあるか否かをデータ上でチェックするギャップチェック方法において，被覆物の開口部のデータ上の辺に対して，被覆物の種類に応じた辺の張り出し幅による開口部の縮小を考慮した辺の引き直しを行い，辺の引き直し後の開口部のコーナー部に，被覆物の種類に応じて，コーナー部が丸まってできるカーブの曲率半径の円弧を内接させ，その円弧と引き直し後の辺との接点から，その円弧の接線であってコーナー部に対して対称なものと引き直し後の辺との交点までの範囲内で，開口部のコーナー部の頂点に対し等しい間隔を置く両辺上の点を定め，定められた２つの点を結ぶ線分とパターンとの間の最短距離を求め，求められた最短距離をあらかじめ定めた最低基準値と比較することでギャップのチェックを行うこととしてもよい。
【０００８】
この手法は一種の簡便法といえる。すなわち，コーナー部が丸まった形状を，線分による角落とし形状で近似するのである。そして，円弧という曲線とパターンとの間の最短距離を求める代わりに，その線分とパターンとの間の最短距離を求めるのである。通常これは，角落としによる新たな頂点（当該線分と両辺との交点）とパターンとの間の距離のうち短い方で事足りるので，計算しやすい。本方法での新たな頂点は，次のようにして決定すればよい。すなわち，前述の内接円弧と両辺との接点を用いるのである。あるいは，内接円弧の接線であってコーナー部に対して対称なものと両辺との交点を用いてもよい。もしくはこれらの間の任意の（ただし元の頂点からの距離は同じ）点でもよい。
【０００９】
本発明のさらなる簡便法としては，配線板における被覆物に覆われるパターンと，被覆物の開口部のコーナー部との間に必要なギャップがあるか否かをデータ上でチェックするギャップチェック方法において，開口部のコーナー部とパターンとの間のデータ上のギャップに，被覆物の種類に応じた辺の張り出し幅と，開口部のコーナー部に，被覆物の種類に応じて，コーナー部が丸まってできるカーブの曲率半径の円弧を内接させたときの，その円弧と頂点との間の最短距離とを加算し，加算して求められた値をあらかじめ定めた最低基準値と比較することでギャップのチェックを行うこととしてもよい。
【００１０】
本発明のギャップチェック方法では，コーナー部のパターンだればかりでなく直線部分における被覆物のせり出しをも考慮するとなおよい。そのためには，せり出し幅を考慮して開口部の寸法をデータ上で縮小し，これに伴いデータ上のギャップを拡大修正してからコーナー部のパターンだれの処理を行うのである。なお，直線部分におけるせり出し幅も円弧の半径と同様に，被覆物として使用する材料が決まれば決まる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下，本発明のギャップチェック方法を具体化した実施の形態について，添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１２】
本実施の形態で処理対象とする配線板の微細加工パターンは，図６に示したように，配線パターン１０と，これを覆うソルダレジスト１１の開口部１２とを有している。配線パターン１０は，銅箔やめっき層等の導体層により配線を構成するパターンである。開口部１２は，配線パターン１０を覆うソルダレジスト１１を，何らかの必要により開口させ，基板を露出させる領域である。ここで，開口部１２から配線パターン１０が露出するようなことがあると，ショート等の不良が生じる。そこで，開口部１２のコーナー部と配線パターン１０との間には，ある程度のギャップＧが置かれている。製造上の位置精度内でのばらつきを考慮してもなお，配線パターン１０が開口部１２から露出しないようにするためである。
【００１３】
ここで，配線パターン１０や開口部１２の位置および寸法など形状に関するデータは，配線板の仕様データに含まれている。よって，ギャップＧの仕様上の値は，仕様データから算出することができる。しかし，そのギャップＧが配線パターン１０の露出を防止するために十分か否かは自明ではない。ソルダレジスト１１として使用する材料の種類により流動特性が異なり，コーナー部の丸まり具合も異なるためである。そこで，ソルダレジスト１１の材料に応じて，ギャップＧが十分か否かをチェックするのが，本実施の形態の骨子である。以下，配線パターン１０は直線状であるものとして説明する。さらに，開口部１２のコーナー部は直角であり，開口部１２の辺と配線パターン１０との間の角度は４５°であるものとする。
【００１４】
（第１の形態）
まず，第１のギャップチェック方法について説明する。第１の方法では，図１のフローチャートに示す手順によりギャップのチェックを行う。最初に，辺の引き直しを行う（＃１）。すなわち，図２に示すように，開口部１２の仕様上の辺１３，１３に対して，ソルダレジスト１１の張り出しを考慮して新たに辺１３Ａ，１３Ａ，を引くのである。張り出し代Ｌは，ソルダレジスト１１の種類による。例えば，液状フォトソルダーレジストであるタムラ化研株式会社製「ＤＳＲ２２００（商標名）」を用いる場合には，Ｌ＝１０μｍとすればよい。
【００１５】
次に，コーナーを丸める（＃２）。すなわち，新たな辺１３Ａ，１３Ａにより形成されるコーナーに対し内接する円弧１４を当てはめるのである。円弧１４の半径Ｒは，ソルダレジスト１１の種類による。前出の「ＤＳＲ２２００」を用いる場合には，Ｒ＝３０μｍとすればよい。印刷法で熱硬化型インクを使用する場合には，Ｒ＝１５０〜２００μｍ程度である。
【００１６】
続いて，ギャップの計算を行う（＃３）。すなわち，元の仕様上のギャップＧに，辺の引き直しによる追加分Ｈと，コーナーの丸めによる追加分Ｊとを加算するのである。追加分Ｈ，Ｊはそれぞれ，張り出し代Ｌ，半径Ｒを用いて（１）式，（２）式のように計算される。よって，前述のようにＬ＝１０μｍであれば，追加分Ｈは約１４μｍと計算される。また，Ｒ＝３０μｍであれば，追加分Ｊは約１２μｍと計算される。したがって，仕様上のギャップＧに，合計で２６μｍが加算される。以下，加算後のギャップを「Ｋ」で示す。ギャップＫは，配線パターン１０と円弧１４との間の最短距離である。
【００１７】
【数１】
0004531210.tif 000002
【００１８】
そして，ギャップのチェックを行う（＃４）。すなわち，＃３で計算したギャップＫを，最低基準値と比較する。最低基準値は，あらかじめ実プロセスの位置精度を考慮して定められている。ギャップＫが最低基準値以上あればＯＫである。一方，ギャップＫが最低基準値に満たなければ，ギャップ不足として警告が発せられる。この場合には仕様の変更を検討しなければならない。
【００１９】
ここで前述のように，ギャップＫは元の仕様上のギャップＧに２６μｍが加算されたものである。このため，ギャップＧそのものは最低基準値に満たなかったとしても，その不足分が２６μｍ以内であればギャップ不足であるとはされない。もし，ギャップＧを直接に最低基準値と比較すると，２６μｍ以内の不足であってもギャップ不足であるとされてしまう。これは実質的には虚報である。本実施の形態では，ギャップＫでチェックを行うことにより，このような虚報を排除しているのである。
【００２０】
なお本方法では，張り出し代Ｌを用いた辺１３Ａ，１３Ａの引き直し（辺１３Ａ，１３Ａ）とそれに伴う追加分Ｈの加算とを先に行い，その後円弧１４の当てはめとそれに伴う追加分Ｊの加算とを行うようにしてもよい。その場合には，まず開口部１２のサイズそのものを縮小する処理を行い，その後コーナーを丸める処理を行っているものと考えることもできる。また，追加分Ｈと追加分Ｊとの和をまず求め，それをギャップＧに加算してもよいことはもちろんである。
【００２１】
（第２の形態）
次に，第２のギャップチェック方法について説明する。第２の方法では，図３のフローチャートに示す手順によりギャップのチェックを行う。図３の手順は，図１の手順における＃２の「コーナー丸め」を「コーナー角落とし」で置き換えただけのものである。そこでその相異点に重点を置いて説明する。＃１の辺の引き直しは第１の方法の場合と同様である。続く＃２では，コーナーの角落としを行う。すなわち，図４に示すように，新たな辺１３Ａ，１３Ａ上に，新たな頂点１５，１５を規定し，これらを線分で結ぶのである。頂点１５，１５は，辺１３Ａ，１３Ａの交点から等しい距離にある。
【００２２】
そして＃３では，辺１３Ａ，１３Ａの交点と，頂点１５，１５を結ぶ線分との最短距離として，追加分Ｊを決定する。そして，第１の方法の場合と同様に，ギャップＧに追加分Ｈと追加分Ｊとを加算した上で，＃４で最低基準値との比較を行うのである。
【００２３】
この場合の新たな頂点１５，１５の位置は，次のようにして定めればよい。すなわち図５に拡大して示すように，頂点１５，１５を結ぶ線分が，第１の方法の場合の円弧１４の接線となるようにするのである。こうすると，追加分Ｊが第１の方法の場合と同じ値となる。このようにするためには，辺１３Ａ，１３Ａの交点から頂点１５までの距離Ｍを，次式のように求めればよい。
【００２４】
【数２】
0004531210.tif 000003
【００２５】
あるいは，第２の方法はさほど厳密なものでないので，頂点１５，１５の代わりに，辺１３Ａ，１３Ａと円弧１４との接点１５Ａ，１５Ａを用いても差し支えない。もしくは，これらの間の任意の位置の点（ただし両辺とも頂点から同じ距離）を用いてもかまわない。
【００２６】
以上詳細に説明したように本実施の形態では，ソルダレジスト１１の開口部１２と配線パターン１０とのギャップを仕様データ上でチェックするに際し，単純に仕様上のギャップＧをそのまま最低基準値と比較するのではなく，ソルダレジスト１１の材料の流れ出しを考慮して修正してから比較することとしている。すなわち，辺（直線部分）の張り出しを考慮した追加分Ｈと，コーナーの丸まりを考慮した追加分ＪとをギャップＧに加算してから最低基準値と比較することとしている。これにより，実プロセス上では問題がないにもかかわらずギャップ不足であると判定されてしまう虚報を排除している。かくして，虚報の生じにくいギャップチェック方法が実現されている。
【００２７】
なお，本実施の形態は単なる例示にすぎず，本発明を何ら限定するものではない。したがって本発明は当然に，その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良，変形が可能である。
【００２８】
例えば，適用対象としては，ソルダレジストに限らず，形成済みのパターンを覆って形成されるものであって開口部を有するいかなるものであってもよい。また，配線パターン１０は必ずしも開口部１２の辺１３に対して４５°のものには限らないし，直線状にも限られない。開口部１２のコーナー角も直角に限るものではない。例えば第２の方法（図４）において，配線パターン１０の角度が４５°からずれている場合には，配線パターン１０と頂点１５，１５との最短距離の短い方をもって，修正後のギャップＫとすればよい。
【００２９】
また，張り出し代Ｌや円弧１４の半径Ｒとして用いる値を決定するに当たっては，単に使用する材料の種類のみに基づくばかりでなく，温度などのプロセス因子を加味してもよい。
【００３０】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明によれば，被覆物の特にコーナー部におけるパターンだれを考慮して，虚報が発生しないようにしたギャップチェック方法が提供されている。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の形態に係るギャップチェック方法の処理手順を示すフローチャートである。
【図２】第１の形態に係るギャップチェック方法の概念図である。
【図３】第２の形態に係るギャップチェック方法の処理手順を示すフローチャートである。
【図４】第２の形態に係るギャップチェック方法の概念図である。
【図５】第２の形態における角の落とし方を説明する概念図である。
【図６】配線パターンおよびソルダレジストパターンの例を示す図である。
【符号の説明】
１０  配線パターン
１２  開口部
１４  円弧
１５  頂点
【図１】
0004531210.tif 000004
【図２】
0004531210.tif 000005
【図３】
0004531210.tif 000006
【図４】
0004531210.tif 000007
【図５】
0004531210.tif 000008
【図６】
0004531210.tif 000009