(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸心に直交する外表面である２つの側面と該側面間に連続して位置する外表面である外周面とを有し、前記外周面の断面形状の一部に少なくとも１つのテーパを有する円板形状であり、軸心を中心に回転駆動される導電性砥石（２）と、前記砥石の外周面ならびに側面に近接して設けられた電解用電極（４）とを備え、前記砥石と電極との間に導電性研削液を流し、同時にその間に電解用電圧を印加して、砥石を電解ドレッシングで目立てしながらワークを砥石で研削するＥＬＩＤ研削装置であって、
前記電解用電極（４）は、砥石の外周面の異なる面及び砥石の異なる側面の互いに周方向の異なる部分を同時に電解ドレッシングする複数の電極セグメントからなる、ことを特徴とする極小溝ＥＬＩＤ研削装置。
【請求項２】
軸心に直交する外表面である２つの側面と該側面間に連続して位置する外表面である外周面とを有し、前記外周面の断面形状が１つのテーパのみからなる円板形状であり、軸心を中心に回転駆動される導電性砥石（２）と、前記砥石の外周面ならびに側面に近接して設けられた電解用電極（４）とを備え、前記砥石と電極との間に導電性研削液を流し、同時にその間に電解用電圧を印加して、砥石を電解ドレッシングで目立てしながらワークを砥石で研削するＥＬＩＤ研削装置であって、
前記電解用電極（４）は、砥石の一方の側面と砥石の他方の側面及び外周面との互いに周方向の異なる部分を同時に電解ドレッシングする複数の電極セグメントからなる、ことを特徴とする極小溝ＥＬＩＤ研削装置。
【請求項３】
更に、前記導電性砥石（２）と電解用電極（４）との間に電解用電圧を印加するＥＬＩＤ電源（６）と、砥石と電極との間に導電性研削液を流す研削液供給装置（８）とを備える、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の極小溝ＥＬＩＤ研削装置。
【請求項４】
前記電解用電極（４）は、砥石を厚さ方向両側から隙間を隔てて把持する１対の電極セグメント（５Ａ，５Ｂ）からなり、一方の電極セグメント（５Ａ）は、電極の周方向の一部で一方の側の砥石表面の電解ドレッシングに適した間隔を隔て、他方の電極セグメント（５Ｂ）は、電極の周方向の異なる部分で他方の側の砥石表面の電解ドレッシングに適した間隔を隔て、これによりそれぞれ片側ずつ電解ドレッシングする、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の極小溝ＥＬＩＤ研削装置。
【請求項５】
前記電解用電極（４）は、砥石の周方向に間隔を隔てた１対の電極セグメント（５Ａ，５Ｂ）からなり、一方の電極セグメント（５Ａ）は、砥石の周方向の一部で一方の側の砥石表面の電解ドレッシングに適した間隔を隔て、他方の電極セグメント（５Ｂ）は、砥石の周方向の異なる部分で他方の側の砥石表面の電解ドレッシングに適した間隔を隔て、これによりそれぞれ片側ずつ電解ドレッシングする、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の極小溝ＥＬＩＤ研削装置。
【請求項６】
前記導電性砥石（２）は、外周部の断面形状が最外周部に平坦部を有する台形状の円板形状であり、前記電解用電極（４）は台形を構成する各辺の電解ドレッシングに適した間隔を隔てた３つの電極セグメント（５Ｃ，５Ｄ，５Ｅ）からなり、各電極セグメントは、同一の砥石の異なる周方向位置に位置する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の極小溝ＥＬＩＤ研削装置。
【請求項７】
軸心に直交する外表面である２つの側面と該側面間に連続して位置する外表面である外周面とを有し、前記外周面の断面形状の一部に少なくとも１つのテーパを有する円板形状であり、軸心を中心に回転駆動される導電性砥石（２）と、前記砥石の外周面ならびに側面に近接して設けられた電解用電極（４）とを備え、該電解用電極（４）は、砥石の外周面の互いに異なる部分と電解ドレッシングに適した間隔を隔てた複数の電極セグメントからなり、砥石と各電極セグメントとの間に導電性研削液を流し、同時にその間に電解用電圧を印加して、砥石の外周面の異なる面及び砥石の異なる側面の互いに周方向の異なる部分を同時に電解ドレッシングで目立てしながらワークを砥石で研削する、ことを特徴とする極小溝ＥＬＩＤ研削方法。
【請求項８】
軸心に直交する外表面である２つの側面と該側面間に連続して位置する外表面である外周面とを有し、前記外周面の断面形状が１つのテーパのみからなる円板形状であり、軸心を中心に回転駆動される導電性砥石（２）と、前記砥石の外周面ならびに側面に近接して設けられた電解用電極（４）とを備え、該電解用電極（４）は、砥石の外周面の互いに異なる部分と電解ドレッシングに適した間隔を隔てた複数の電極セグメントからなり、砥石と各電極セグメントとの間に導電性研削液を流し、同時にその間に電解用電圧を印加して、砥石の一方の側面と砥石の他方の側面及び外周面との互いに周方向の異なる部分を同時に電解ドレッシングで目立てしながらワークを砥石で研削する、ことを特徴とする極小溝ＥＬＩＤ研削方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、極小の溝加工を行うための極小溝ＥＬＩＤ研削装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、光ファイバコネクタのファイバガイドは、図１０（Ａ）に示すような溝付き板１の各溝に光ファイバコネクタを並べ、これを樹脂等で固定し、端面を精密に平面加工したものである。かかるファイバガイドを対にして、複数の光ファイバの端面同士を正確に対向させることにより、伝送ロスの少ない多芯フィジカルコンタクト（ＰＣ）を形成することができる。
【０００３】
この場合、光ファイバの直径、及びＶ溝の間隔は例えば約１２５μｍであり、Ｖ溝により光ファイバの向きと位置を精密にガイドするためには、Ｖ溝の傾斜角を精密に仕上げ、かつＶ溝の傾斜面の長さを十分に確保する必要がある。従って、この場合、Ｖ溝の谷と山は鋭角に仕上げる必要があり、例えば約１０μｍ以下の曲率半径に仕上げる必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
図１０（Ａ）に示した溝加工、或いは図１０（Ｂ）に示すような螺旋溝を加工する場合に、図１０（Ｃ）に示すような円板状砥石が用いられる。しかし、かかる円板状砥石を用いた通常の研削加工では、微細な砥粒を用いると目詰まりが激しく加工能率が悪く、かつ加工抵抗が大きいため、Ｖ溝の山部や極細ピンを破損しやすい問題点がある。また、逆に砥粒を大きくすると、加工能率は上がるが加工精度が低下し、かつ加工面の凹凸が大きく（面粗さが粗く）なり、砥粒径が大きいと、砥石の先端を鋭角に形成しにくいため、角度のシャープネスも劣る問題点がある。
【０００５】
更に、上述した問題点を解決するために、円板状砥石を導電性砥石で構成し、この砥石の外周面に近接して設けられた電解用電極との間に導電性研削液を流し、砥石を電解ドレッシングで目立てしながら、砥石でワークを研削加工するＥＬＩＤ研削（電解インプロセスドレッシング研削）を適用すると、微細な砥粒を含む導電性砥石の目詰まりを防止し、加工抵抗を大幅に低減して、形状もよりシャープにでき、高精度加工を高能率にでき、かつ優れた面粗さが得られる。
【０００６】
しかし、この場合、図１０（Ｃ）に示した円板状砥石は、例えば厚さが１ｍｍ以内、外周部がＶ字状の鋭角であり、その曲率半径が約１０μｍ以下であるため、電解ドレッシングにより鋭角部の先端が集中的にドレッシングされ、微細な曲率半径が短時間しか維持できない問題点があった。
【０００７】
本発明は、かかる問題点を解決するために創案されたものである。すなわち、本発明の目的は、例えば厚さが１ｍｍに満たないような極薄砥石の外形形状、例えば鋭角部の曲率半径を長時間維持しながら、微小の加工抵抗で高精度かつ優れた面粗さの極小溝を加工できる極小溝ＥＬＩＤ研削装置及び方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、軸心に直交する外表面である２つの側面と該側面間に連続して位置する外表面である外周面とを有し、前記外周面の断面形状の一部に少なくとも１つのテーパを有する円板形状であり、軸心を中心に回転駆動される導電性砥石（２）と、前記砥石の外周面ならびに側面に近接して設けられた電解用電極（４）とを備え、前記砥石と電極との間に導電性研削液を流し、同時にその間に電解用電圧を印加して、砥石を電解ドレッシングで目立てしながらワークを砥石で研削するＥＬＩＤ研削装置であって、
前記電解用電極（４）は、砥石の外周面の異なる面及び異なる砥石の側面の互いに周方向の異なる部分を同時に電解ドレッシングする複数の電極セグメントからなる、ことを特徴とする極小溝ＥＬＩＤ研削装置が提供される。
また、本発明によれば、軸心に直交する外表面である２つの側面と該側面間に連続して位置する外表面である外周面とを有し、前記外周面の断面形状が１つのテーパのみからなる円板形状であり、軸心を中心に回転駆動される導電性砥石（２）と、前記砥石の外周面ならびに側面に近接して設けられた電解用電極（４）とを備え、前記砥石と電極との間に導電性研削液を流し、同時にその間に電解用電圧を印加して、砥石を電解ドレッシングで目立てしながらワークを砥石で研削するＥＬＩＤ研削装置であって、
前記電解用電極（４）は、砥石の一方の側面と砥石の他方の側面及び外周面との互いに周方向の異なる部分を同時に電解ドレッシングする複数の電極セグメントからなる、ことを特徴とする極小溝ＥＬＩＤ研削装置が提供される。
本発明の好ましい実施形態によれば、更に、前記導電性砥石（２）と電解用電極（４）との間に電解用電圧を印加するＥＬＩＤ電源（６）と、砥石と電極との間に導電性研削液を流す研削液供給装置（８）とを備える。
【０００９】
また、本発明によれば、軸心に直交する外表面である２つの側面と該側面間に連続して位置する外表面である外周面とを有し、前記外周面の断面形状の一部に少なくとも１つのテーパを有する円板形状であり、軸心を中心に回転駆動される導電性砥石（２）と、前記砥石の外周面ならびに側面に近接して設けられた電解用電極（４）とを備え、該電解用電極（４）は、砥石の外周面の互いに異なる部分と電解ドレッシングに適した間隔を隔てた複数の電極セグメントからなり、砥石と各電極セグメントとの間に導電性研削液を流し、同時にその間に電解用電圧を印加して、砥石の外周面の異なる面及び異なる砥石の側面の互いに周方向の異なる部分を同時に電解ドレッシングで目立てしながらワークを砥石で研削する、ことを特徴とする極小溝ＥＬＩＤ研削方法が提供される。
さらに、本発明によれば、軸心に直交する外表面である２つの側面と該側面間に連続して位置する外表面である外周面とを有し、前記外周面の断面形状が１つのテーパのみからなる円板形状であり、軸心を中心に回転駆動される導電性砥石（２）と、前記砥石の外周面ならびに側面に近接して設けられた電解用電極（４）とを備え、該電解用電極（４）は、砥石の外周面の互いに異なる部分と電解ドレッシングに適した間隔を隔てた複数の電極セグメントからなり、砥石と各電極セグメントとの間に導電性研削液を流し、同時にその間に電解用電圧を印加して、砥石の一方の側面と砥石の他方の側面及び外周面との互いに周方向の異なる部分を同時に電解ドレッシングで目立てしながらワークを砥石で研削する、ことを特徴とする極小溝ＥＬＩＤ研削方法が提供される。
【００１０】
上記本発明の装置及び方法によれば、電解用電極（４）は、砥石の外周面の互いに異なる部分を電解ドレッシングする複数の電極セグメントからなり、それぞれ異なる部分を電解ドレッシングで目立てしながらワークを砥石で研削するので、鋭角部であってもこの鋭角を構成する各面毎に電解ドレッシングすることができ、これにより鋭角部先端の集中的なドレッシングを防止することができる。従って、厚さが１ｍｍに満たないような極薄砥石の外形形状、例えば鋭角部であってもその微細な曲率半径を長時間維持しながら、電解ドレッシングにより加工抵抗を大幅に低減し、微細な砥粒を用いた砥石で高精度かつ優れた面粗さの極小溝を加工できる。
【００１１】
本発明の好ましい実施形態によれば、前記電解用電極（４）は、砥石を厚さ方向両側から隙間を隔てて把持する１対の電極セグメント（５Ａ，５Ｂ）からなり、一方の電極セグメント（５Ａ）は、電極の周方向の一部で一方の側の砥石表面の電解ドレッシングに適した間隔を隔て、他方の電極セグメント（５Ｂ）は、電極の周方向の異なる部分で他方の側の砥石表面の電解ドレッシングに適した間隔を隔て、これによりそれぞれ片側ずつ電解ドレッシングする。
また導電性砥石（２）は、前記電解用電極（４）は、砥石の周方向に間隔を隔てた１対の電極セグメント（５Ａ，５Ｂ）からなり、一方の電極セグメント（５Ａ）は、砥石の周方向の一部で一方の側の砥石表面の電解ドレッシングに適した間隔を隔て、他方の電極セグメント（５Ｂ）は、砥石の周方向の異なる部分で他方の側の砥石表面の電解ドレッシングに適した間隔を隔て、これによりそれぞれ片側ずつ電解ドレッシングしてもよい。
【００１２】
この構成により、一方の電極セグメント（５Ａ）で砥石の片側を電解ドレッシングし、他方の電極セグメント（５Ｂ）で反対側を電解ドレッシングすることができ、Ｖ字状の先端部の集中的なドレッシングを防止することができる。
【００１３】
また、前記導電性砥石（２）は、外周部の断面形状が台形状の円板形状であり、前記電解用電極（４）は台形を構成する各辺の電解ドレッシングに適した間隔を隔てた３つの電極セグメント（５Ｃ，５Ｄ，５Ｅ）からなり、各電極セグメントは、同一の砥石の異なる周方向位置に位置してもよい。
【００１４】
この構成により、３つの電極セグメント（５Ｃ，５Ｄ，５Ｅ）で電解用電極（４）の台形を構成する各辺をそれぞれ別の周方向位置で電解ドレッシングすることができ、台形状の各鋭角部の集中的なドレッシングを防止することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
図１は、本発明による極小溝ＥＬＩＤ研削装置の全体構成図である。この図に示すように、本発明の極小溝ＥＬＩＤ研削装置１０は、導電性砥石２、電解用電極４、ＥＬＩＤ電源６及び研削液供給装置８を備える。
【００１６】
導電性砥石２は、その軸心を中心に図示しない駆動装置により回転駆動される。導電性砥石２は、例えばＳＤ８０００の微細なダイヤモンド砥粒を含むメタルレジンボンド砥石である。かかる導電性砥石を用いることにより、工具、金型、微細形状を有する構造部材、等に用いる硬度の高い被加工物（ワーク）１を高精度かつ優れた面粗さで研削することができる。
【００１７】
電解用電極４は、導電性砥石２の外周面に近接して設けられる。電解用電極４は、導電性砥石２との間に所定の隙間を隔てるように、対向面が滑らかに形成されている。またこの隙間には、研削液供給装置８により導電性研削液を流すようになっている。更にＥＬＩＤ電源６は、直流電源または直流パルス電源であり、導電性砥石２をプラスの電圧に印加し、電解用電極４をマイナスの電圧に印加するようになっている。
【００１８】
上述した構成により、導電性砥石２と電解用電極４との間に導電性研削液を流し、同時にその間に電解用電圧を印加して、砥石２を電解ドレッシングで目立てしながらワーク１を砥石で研削することができる。かかるＥＬＩＤ研削（電解インプロセスドレッシング研削）により、微細な砥粒を含む導電性砥石の目詰まりを防止し、加工抵抗を大幅に低減して、高精度加工を高能率にでき、かつ優れた面粗さが得られる。
【００１９】
図２は、本発明の第１実施形態を示す図である。この図において、（Ａ）は図１の電極部の拡大図、（Ｂ）（Ｃ）はそのＢ−Ｂ線とＣ−Ｃ線における矢視図である。
図２（Ａ）に示すように、本発明の電解用電極４は、砥石２の外周面の互いに異なる部分を電解ドレッシングする複数の電極セグメントからなる。すなわち、この例では、導電性砥石２は、外周部の断面形状がＶ字状の円板形状であり、砥石２の外周面は、２つの側面２ａと、２つの傾斜面２ｂ，２ｃからなる。また、電解用電極４は、砥石２を厚さ方向の両側から隙間を隔てて把持する１対の電極セグメント５Ａ，５Ｂからなる。
【００２０】
図２（Ａ）は電極セグメント５Ａの右側面図であり、砥石２の一方の側面２ａと一方の傾斜面２ｂの電解ドレッシングに適した間隔を隔てた電解面１２ａと、この間隔より隙間が大きく電解ドレッシングがほとんど生じない非電解面１２ｂを有する。また、この図で、１３は電極セグメント５Ｂと連結して一体化するためのボルト孔、１４は導電性研削液を供給するための研削液流路である。
この構成により、砥石２の回転方向の上流側で、電解面１２ａと砥石２の一方の側面２ａと一方の傾斜面２ｂとの間で電解電流が流れ、砥石２の一方の側面２ａと一方の傾斜面２ｂのみを電解ドレッシングすることができる。またこの場合、通常の平面砥石をドレッシングする場合と同等になるため、Ｖ字状の先端部の集中的なドレッシングを防止することができる。
【００２１】
図２（Ｂ）は電極セグメント５Ｂの右側面図であり、同様に砥石２の一方の側面２ａと一方の傾斜面２ｃの電解ドレッシングに適した間隔を隔てた電解面１２ａと、この間隔より隙間が大きく電解ドレッシングがほとんど生じない非電解面１２ｂを有する。図２（Ａ）の電極セグメント５Ａとは、電解面１２ａが砥石の下流側に位置し、非電解面１２ｂが上流側に位置する点で相違する。また、導電性研削液を供給するための研削液流路１４が、電極の内側に設けられている。
この構成により、図２（Ａ）とは逆に、砥石２の回転方向の下流側で、電解面１２ａと砥石２の他方の側面２ａと他方の傾斜面２ｃとの間で電解電流が流れ、砥石２の他方の側面２ａと他方の傾斜面２ｃのみを電解ドレッシングすることができる。この場合も、通常の平面砥石をドレッシングする場合と同等になるため、Ｖ字状の先端部の集中的なドレッシングを防止することができる。
【００２２】
図３は、本発明の第２実施形態を示す図である。この図において、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は（Ａ）の上面図である。この図に示すように、この実施形態では、導電性砥石２は、第１実施形態と同様に外周部の断面形状がＶ字状の円板形状であるが、電解用電極４は、砥石２の周方向（この例では直径方向）に間隔を隔てた１対の電極セグメント５Ａ，５Ｂからなる。またこの例で、一方の電極セグメント５Ａは、砥石２の周方向の一部（図３Ａで右側）で一方の側の砥石表面２ａ、２ｂの電解ドレッシングに適した間隔を隔て、他方の電極セグメント５Ｂは、砥石の周方向の異なる部分（図３Ａで左側）で他方の側の砥石表面２ａ、２ｃの電解ドレッシングに適した間隔を隔て、これによりそれぞれ片側ずつ電解ドレッシングする。
【００２３】
この第２実施形態のように、電極セグメントの配置は、第１実施形態のように、砥石を挟むように取り付けるだけでなく、両側の電極セグメントの配置を別々にすることも可能であり、更に、片側ずつ電極セグメントを取り付けてもよい。この構成により、ギャップ（隙間）の調整が容易になり、電解条件の設定精度も向上する。また、メンテナンスもいっそう容易となる。
【００２４】
また、図３（Ｃ）は、図３（Ｂ）の別の実施形態を示す図である。この図のように、砥石２の断面形状は両側のテーパからなるＶ字形には限定されず、片方はストレート（つまり垂直）でもよい。この場合、電極セグメント５Ａ，５Ｂは図に示すように異なる断面形状となる。
【００２５】
図４は、本発明の第３実施形態を示す図である。この図において、（Ａ）は図２（Ａ）に相当する別の実施形態、（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）は各電極セグメントと砥石との関係を示す図である。
図４（Ａ）に示すように、この例の導電性砥石２は、外周部の断面形状が台形状の円板形状であり、２つの側面２ａと、２つの傾斜面２ｂ，２ｃ、１つの外周面２ｄからなる。また、電解用電極４はこの台形を構成する各辺２ｂ，２ｃ，２ｄの電解ドレッシングに適した間隔を隔てた３つの電極セグメント５Ｃ，５Ｄ，５Ｅからなる。各電極セグメント５Ｃ，５Ｄ，５Ｅは、同一の砥石２の異なる周方向位置に位置する。
【００２６】
図４（Ｂ）は電極セグメント５Ｃと砥石２との関係を示しており、砥石２の一方の側面２ａと一方の傾斜面２ｂの電解ドレッシングに適した間隔を隔てた電解面１２ａと、この間隔より隙間が大きく電解ドレッシングがほとんど生じない非電解面１２ｂを有する。また、研削液流路１４は電解面１２ａと砥石２（２ａ，２ｂ）との間に供給される。
この構成により、電極セグメント５Ｃの周方向位置で、電解面１２ａと砥石２の一方の側面２ａと一方の傾斜面２ｂとの間で電解電流が流れ、砥石２の一方の側面２ａと一方の傾斜面２ｂのみを電解ドレッシングすることができる。またこの場合、通常の平面砥石をドレッシングする場合と同等になるため、台形の鋭角部の集中的なドレッシングを防止することができる。
【００２７】
同様に、図４（Ｃ）は電極セグメント５Ｄと砥石２との関係を示しており、砥石２の外周面２ｄの電解ドレッシングに適した間隔を隔てた電解面１２ａと、この間隔より隙間が大きく電解ドレッシングがほとんど生じない２つの非電解面１２ｂを有する。また、研削液流路１４は電解面１２ａと砥石２（２ｄ）との間に供給される。
この構成により、電極セグメント５Ｄの周方向位置で、電解面１２ａと砥石２の外周面２ｄとの間で電解電流が流れ、砥石２の外周面２ｄのみを電解ドレッシングすることができる。またこの場合も、通常の平面砥石をドレッシングする場合と同等になるため、台形の鋭角部の集中的なドレッシングを防止することができる。
【００２８】
図４（Ｄ）は電極セグメント５Ｅと砥石２との関係を示している。この関係は、図４（Ｂ）の反対面であり、同様に、砥石２の他方の側面２ａと他方の傾斜面２ｃのみを電解ドレッシングすることができる。
【００２９】
図５は、本発明の他の実施形態を示す図である。この図において、（Ａ）は片側がストレート、片側がテーパの砥石断面を示し、（Ｂ）は（Ａ）の砥石の鋭角部が丸くなっているものを示し、（Ｃ）は片側がストレートの台形形状の砥石断面を示している。
【００３０】
この図に示すように、本発明における砥石の断面形状は両側のテーパからなるＶ字形には限定されず、片方はストレート（つまり垂直）でもよい。また、第３の実施形態による台形状砥石についても、片側のテーパ部は垂直な面になってもよい。つまり、少なくとも１つのテーパを持ち、異なる傾斜面や形状同士がぶつかる砥石部での電解の集中を回避できる。さらに、図５（Ｂ）に矢印で示すように鋭角部は厳密に鋭利でなくてもよい。
【００３１】
【実施例】
以下、本発明の実施例を説明する。
図６〜図８は、ＥＬＩＤ研削を適用しない通常研削による結果であり、図６は被加工物の溝列の形状測定結果、図７は溝底の測定結果、図８は溝形状の測定結果である。
【００３２】
図６は、超硬金属をＳＤ８０００のダイヤモンド砥粒を含む砥石で研削したものであり、横軸は溝の水平位置、縦軸が溝の深さを示している。この７列のＶ溝の角度は最小５３．９５°、最大５４．０４°であり、最大誤差０．１°以内に仕上がっている。
【００３３】
図７は、図６の１つ（７本目）のＶ溝の溝底の曲率半径を測定したものであり、曲率半径は９．２０μｍであり、約１０μｍ以下の曲率半径に仕上げることが可能であることがわかる。
【００３４】
図８は、別の３本の溝形状を示しており、横軸はピッチ方向、縦軸は深さ方向である。この図から、ピッチ約０．３ｍｍ、深さ約０．１５ｍｍのＶ溝で、底部及び山部の曲率半径を約１０μｍ以下に仕上げることが通常研削により可能であることがわかる。
【００３５】
しかし、図７の計測データから明らかなように、加工したＶ溝の表面の凹凸が大きく、そのままでは、図１１（Ａ）（Ｂ）に示したように溝を高精度かつ優れた面粗さで研削することはできない。また、ＳＤ８０００のように超微細なダイヤモンド砥粒を用いた場合、通常研削では、短時間に目詰まりが生じてしまうことは明らかである。
【００３６】
次に、図９、図１０は従来のＥＬＩＤ研削をそのまま適用した場合を示している。すなわち、通常研削の問題を解決するために、図９に示すような電極４を用いて砥石２をＥＬＩＤ研削すると、図のＡ部で集中的な電解が生じ、鋭角部の先端が集中的にドレッシングされてしまう。
図１０は、その実例を示しており、ＥＬＩＤ研削による溝形状が、図８の通常研削に比較して底部及び山部の曲率半径が大きくなってしまうことがわかる。
【００３７】
この問題を解決したのが上述した本発明の極小溝ＥＬＩＤ研削装置及び方法である。すなわち、上述した装置を用い、本発明の極小溝ＥＬＩＤ研削方法では、電解用電極４を、砥石２の外周面の互いに異なる部分と電解ドレッシングに適した間隔を隔てた複数の電極セグメントで構成し、砥石２と各電極セグメントとの間に導電性研削液を流し、同時にその間に電解用電圧を印加して、砥石の外周面の互いに異なる部分を電解ドレッシングで目立てしながらワークを砥石で研削する。
【００３８】
上述した本発明の装置及び方法によれば、電解用電極４が、砥石２の外周面の互いに異なる部分を電解ドレッシングする複数の電極セグメントからなり、それぞれ異なる部分を電解ドレッシングで目立てしながらワークを砥石で研削するので、鋭角部であってもこの鋭角を構成する各面毎に電解ドレッシングすることができ、これにより鋭角部先端の集中的なドレッシングを防止することができる。
【００３９】
なお、本発明は、上述した実施例に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更できることは勿論である。
【００４０】
【発明の効果】
上述したように、本発明の極小溝ＥＬＩＤ研削装置及び方法は、厚さが１ｍｍに満たないような極薄砥石の外形形状、例えば鋭角部の曲率半径を長時間維持しながら、微小の加工抵抗で高精度かつ優れた面粗さの極小溝を加工できる、等の優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による極小溝ＥＬＩＤ研削装置の全体構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態を示す図である。
【図３】本発明の第２実施形態を示す図である。
【図４】本発明の第３実施形態を示す図である。
【図５】本発明の他の実施形態を示す図である。
【図６】通常研削による溝列の形状測定結果である。
【図７】通常研削による溝底の測定結果である。
【図８】通常研削による溝形状の測定結果である。
【図９】従来のＥＬＩＤ研削装置を示す図である。
【図１０】従来のＥＬＩＤ研削による溝形状の測定結果である。
【図１１】本発明により加工する被加工物（ワーク）の例とそのための砥石の模式図である。
【符号の説明】
１  被加工物（ワーク）、２  導電性砥石、
２ａ  側面、２ｂ，２ｃ  傾斜面、２ｄ  外周面、
４  電解用電極、５Ａ〜５Ｅ  電極セグメント、
６  ＥＬＩＤ電源、８  研削液供給装置、
１０  極小溝ＥＬＩＤ研削装置、
１２ａ  電解面、１２ｂ  非電解面、
１３  ボルト孔、１４  研削液流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0004465441.tif 000006
【図６】
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【図７】
0004465441.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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