(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部と、
上記固定部に対して超音波浮上による非接触案内機構によりガイドされ移動可能に設置された可動部と、
上記可動部に取り付けられた１個の永久磁石と、
上記固定部に取り付けられ上記永久磁石に対向すると共に上記永久磁石の面に対して直交する方向に巻回されていて上記固定部にその一部を埋設された状態で設置された１個のコイルと、を具備し、
上記超音波浮上による非接触案内機構は、上記固定部において上記永久磁石と上記コイルとが対向する方向（Ｚ方向）に直交する方向（Ｘ方向）に沿って設けられた一対の左右ガイド部と、上記可動部において上記Ｘ方向に沿って設けられ上記固定部の一対の左右ガイド部に対向・配置された一対の左右ガイド部と、上記可動部に設けられ上記可動部の一対の左右ガイド部を振動させる圧電素子からなる振動板と、を有し、
上記固定部の一対の左右ガイド部と上記可動部の一対の左右ガイド部とによって上記可動部を上記Ｚ方向とＸ方向の両方にガイドしてそれら両方向に直交する一方向（Ｙ方向）に移動させるように構成されていて、
上記コイルを挟んで上記永久磁石の反対側には永久磁石や鉄や鉄と同等の透磁率の材が配置されていないことを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
請求項１記載の駆動装置において、
上記コイルの巻回中心部には鉄や鉄と同等の透磁率の材が配置されていることを特徴とする駆動装置。
【請求項３】
請求項２記載の駆動装置において、
上記鉄や鉄と同等の透磁率の材は、上記可動部の移動方向に沿って延長・配置されていることを特徴とする駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は駆動装置に係り、特に、永久磁石とコイルとを使用したものにおいて、コイルを挟んで永久磁石の反対側に別の永久磁石や高透磁率材を配置しない構成とし、それによって、装置の薄型化及び長ストローク化を図ることができるように工夫したものに関する。
【背景技術】
【０００２】
精密位置決め装置としては、例えば、ボールネジ・ボールナット方式のものが知られている。これは、直線案内にボール軸受を使用するものであり、サーボモータによってボールネジを回転・駆動し、それによって、ボールネジに螺合されたボールナットを直線上に移動させて位置決めを行う方法である。しかしながら、この種のボールネジ・ボールナット方式の場合には、直線案内とボールネジに機械的摩擦があるためにサブミクロンオーダ以下の高い精度の位置決めは困難であった。
【０００３】
そこで、このような高い精度の位置決めを行う為に、エアーまたは磁気による非接触浮上ガイドを用いると共に、非接触駆動可能な電磁リニアモータを用いた駆動方法が開発されていて、例えば、高額な設備である半導体製造装置等において既に使用されている。（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３を参照）。
【０００４】
又、本発明者も小型コンパクトな超音波浮上装置を用いた非接触ガイドを開発している（例えば、特願２００２−６５３６６号）。
【０００５】
ところで、上記電磁リニアモータを使用した駆動方式の場合には、機械的な接触なしで駆動することができ、高精度な位置決めが可能であるという利点がある反面、電磁コイルと永久磁石とからなる構造が複雑であり、又、磁界分布の不均一性等により推力リップルがあって高精度な位置決めが困難であるという問題があった。
【０００６】
そこで、これらの問題点を解決するものとして、ボイスコイルモータ（単層型リニアモータ）を使用した駆動方式が提案されている（例えば、非特許文献１を参照。）。
【０００７】
その構成を図１５を参照して説明する。図１５は、ボイスコイルモータの構成を示す図で、まず、鉄等の透磁率の高い材料からなるヨーク３０１がある。このヨーク３０１は「Ｅ」型をなしていて、中央突起部３０３と、一対の側壁部３０５、３０７とから構成されている。又、可動部３０９があり、この可動部３０９は中空柱部３１１と端部３１３とから構成されている。上記中空柱部３１１は上記ヨーク３０１の中央突起部３０３を包囲するような状態で移動可能に設置されている。
【０００８】
又、上記中空柱部３１１の外周にはコイル３１５が巻回されている。又、上記ヨーク３０１の一対の側壁部３０５、３０７の内側には永久磁石３１７、３１９が夫々設置されている。上記一対の永久磁石３１７、３１９は、図中矢印で示すように、相互に対向する方向に磁化されているものである。このような構成とすることにより、一対の永久磁石３１７、３１９の夫々から上記ヨーク３０１の中央突起３０３に向かい、そこからヨーク３０１を経由して上記一対の永久磁石３１７、３１９に還流する磁束の流れを提供するものである。
【０００９】
上記構成によると、夫々の永久磁石コイル３１７、３１９からヨーク３０１の中央突起部３０３に向かいそこからヨーク３０１を経由して永久磁石３１７、３１９に還流する磁束の流れとコイル３１５に流した電流との相互作用により、「フレミングの左手の法則」によって、可動部３０９に図１５中左右方向の駆動力が発生する。
【００１０】
又、図１５に示したボイスコイルモータをさらに薄型化したものがあり、それを図１６に示す。図１６（ａ）はボイスコイルモータの正面図であり、図１６（ｂ）は図１６（ａ）のｂ−ｂ断面図である。まず、固定部４０１があり、この固定部４０１は基板部４０３と、この基板部４０３より張り出された張出部４０５とから構成されている。一方、可動部４０７があり、この可動部４０７はコ字状をなしていて、上側平面板部４０９と、下側平面板部４１１と、側壁部４１３とから構成されている。
【００１１】
上記下側平面板部４１１は上記固定部４０１側の基板部４０３と張出部４０５の間に差し込まれている。そして、上記下側平面板部４１１にはコイル４１５が巻回されている。この場合、コイル４１５の巻回方向が既に示したボイスコイルモータの場合とは９０度異なっているものである。又、固定部４０１側の基板部４０３と張出部４０５の内側面には、永久磁石４１７、４１７、４１９、４１９が夫々取り付けられている。
【００１２】
上記構成によると、コイル４１５に適宜の方向の電流を流すことにより、図１５に示したボイスコイルモータの場合と同様に、「フレミングの左手の法則」の理屈によって、可動部４０７に図１６（ｂ）中左右方向の駆動力が発生するものである。
そして、この場合には、コイル４１５を水平方向に巻回したことにより、装置の薄型化を図ることができるものである（例えば、特許文献４参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開平１１-１８６１５６号公報
【特許文献２】特開平０８-０３７７７２号公報
【特許文献３】特開平０５-１１１８４４号公報
【特許文献４】特開２００２−１３６０９２号公報
【非特許文献】
【００１４】
【非特許文献１】橋爪  等、新野  秀憲、日本機械学会論文集（Ｃ編）、Ｖｏｌ６７−６６１、第２７３〜第２７９頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
上記従来の構成によると次のような問題があった。
まず、図１５に示したボイスコイルモータの場合には、従来の電磁リニアモータに比べれば、コイルが１個である等比較的簡単な構成であり、且つ、推力リップルがないといった利点がある反面、装置の薄型化が困難であるという問題があった。
一方、図１６に示したようなボイスコイルモータの場合には、コイル４１５を水平方向に向けて巻回させたことにより装置の薄型化を図ることができるという利点があるが、それでも不充分であり、さらなる薄型化が要求されていた。又、図１６に示したボイスコイルモータの場合には、固定部４０１と可動部４０７が複雑に入り組んだ構成になっており、構造が複雑であるという問題もあった。さらに、ストロークはコイルの大きさに依存し、その為、ストロークに限界があり長ストローク化が困難であるという問題があった。
【００１６】
本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、装置の薄型化と長ストローク化を図ることが可能な駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記目的を達成するべく本願発明の請求項１による駆動装置は、固定部と、上記固定部に対して超音波浮上による非接触案内機構によりガイドされ移動可能に設置された可動部と、上記可動部に取り付けられた１個の永久磁石と、上記固定部に取り付けられ上記永久磁石に対向すると共に上記永久磁石の面に対して直交する方向に巻回されていて上記固定部にその一部を埋設された状態で設置された１個のコイルと、を具備し、上記超音波浮上による非接触案内機構は、上記固定部において上記永久磁石と上記コイルとが対向する方向（Ｚ方向）に直交する幅方向（Ｘ方向）に沿って設けられた一対の左右ガイド部と、上記可動部において上記Ｘ方向に沿って設けられ上記固定部の一対の左右ガイド部に対向・配置された一対の左右ガイド部と、上記可動部に設けられ上記可動部の一対の左右ガイド部を振動させる圧電素子からなる振動板と、を有し、上記固定部の一対の左右ガイド部と上記可動部の一対の左右ガイド部とによって上記可動部を上記Ｚ方向とＸ方向の両方にガイドしてそれら両方向に直交する一方向（Ｙ方向）に移動させるように構成されていて、上記コイルを挟んで上記永久磁石の反対側には永久磁石や鉄や鉄と同等の透磁率の材が配置されていないことを特徴とするものである。
又、請求項２による駆動装置は、請求項１記載の駆動装置において、上記コイルの巻回中心部には鉄や鉄と同等の透磁率の材が配置されていることを特徴とするものである。
又、請求項３による駆動装置は、請求項２記載の駆動装置において、上記鉄や鉄と同等の透磁率の材は、上記可動部の移動方向に沿って延長・配置されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１８】
すなわち、本願発明による駆動装置は、固定部と、上記固定部に対して移動可能に設置された可動部と、上記固定部又は可動部の何れか一方に取り付けられた永久磁石と、上記固定部又は可動部の何れか他方に取り付けられ上記永久磁石に対向するコイルと、を具備し、上記コイルを挟んで上記永久磁石の反対側には永久磁石や高透磁率材が配置されていない構成にしたものであり、それによって、装置の薄型化を図ることができるものである。
その際、上記コイルを上記永久磁石の面と平行な方向に巻回することが考えられる。この場合にはストローク長に関しては限界があるが、十分な推力を確実に確保することができる。
又、上記コイルを上記永久磁石の面に対して直交する方向に巻回することが考えられる。この場合には、ストローク長に関する限界がなくなり、永久磁石の長さを長くすることによりストローク長を長くすることが可能になる。
その際、上記コイルの巻回空心部に高透磁率材を配置することが考えられ、それによって、推力の増大を図ることができる。
又、上記可動部を上記固定部に対して非接触案内機構によってガイドされるように構成することが考えられ、その際、上記非接触案内機構装置として超音波浮上機構を採用することが考えられる。非接触案内機構を採用した場合には位置決め精度が高くなるものであり、又、その中でも超音波浮上機構を採用した場合には装置のコンパクト化を図ることができる。
又、上記コイルを上記固定部側に取り付けることが考えられ、この場合は、固定部を介しての熱伝導による高い冷却効果が期待できるので、熱膨張や熱変形に起因した位置決め精度の低下を防止することができる。
又、最も一般的な例としては、上記可動部を上記固定部に対して一方向に移動させる構成が考えられるが、上記可動部又は上記固定部に非平行なコイル配置を含む複数個のコイルを間欠・配置することにより、上記可動部を上記固定部に対してＸ軸・Ｙ軸二次元方向に移動させることも可能になる。
又、同様の構成によって、上記可動部を上記固定部に対してＸ軸・Ｙ軸二次元方向に移動すると共に回転させることも可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図１（ａ）は駆動装置の構成を示す平面図、図１（ｂ）は駆動装置の構成を示す正面図、図１（ｃ）は図１（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２（ａ）は駆動装置の一部の構成を示す側面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のｂ−ｂ断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態を示す図で、永久磁石の表面からの距離と磁束密度の関係を示す特性図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態を示す図で、図４（ａ）は駆動装置の構成を示す平面図、図４（ｂ）は駆動装置の構成を示す正面図、図４（ｃ）は図４（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態を示す図で、図５（ａ）は駆動装置の一部の構成を示す側面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のｂ−ｂ断面図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態を示す図で、図６（ａ）は駆動装置の一部の構成を示す側面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のｂ−ｂ断面図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態を示す図で、永久磁石の表面からの距離と磁束密度の関係を示す特性図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態を示す図で、図８（ａ）は駆動装置の構成を示す平面図、図８（ｂ）は駆動装置の構成を示す正面図、図８（ｃ）は図８（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態を示す図で、図９（ａ）は駆動装置の一部の構成を示す側面図、図９（ｂ）は図９（ａ）のｂ−ｂ断面図である。
【図１０】本発明の第５の実施の形態を示す図で、図１０（ａ）は駆動装置の一部の構成を示す平面図、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のｂ−ｂ断面図である。
【図１１】本発明の第６の実施の形態を示す図で、図１１（ａ）は駆動装置の一部の構成を示す平面図、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のｂ−ｂ断面図である。
【図１２】本発明の第７の実施の形態を示す図で、図１２（ａ）は駆動装置の一部の構成を示す平面図、図１２（ｂ）は図１２（ａ）のｂ−ｂ断面図である。
【図１３】本発明の第８の実施の形態を示す図で、図１３（ａ）は駆動装置の一部の構成を示す平面図、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のｂ−ｂ断面図である。
【図１４】本発明の第９の実施の形態を示す図で、図１４（ａ）は駆動装置の一部の構成を示す平面図、図１４（ｂ）は図１４（ａ）のｂ−ｂ断面図である。
【図１５】従来例を示す図で、ボイスコイルモータの構成を示す側断面図である。
【図１６】従来例を示す図で、図１６（ａ）はボイスコイルモータの構成を示す側面図、図１６（ｂ）は図１６（ａ）のｂ−ｂ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図１乃至図３を参照して本発明の第１の実施の形態を説明する。図１（ａ）は本実施の形態による駆動装置の構成を示す平面図であり、図１（ｂ）は同上の正面図、図１（ｃ）は図１（ａ）のｃ−ｃ断面図である。
まず、固定部１があり、この固定部１は略Ｕ字状をなしていて、底壁３と、左側側壁５と、右側側壁７とから構成されている。上記左側側壁５と右側側壁７の内側には、左側ガイド部９と右側ガイド部１１が鋭利な状態で突出・配置されている。
【００２１】
上記左側ガイド部９は、上側傾斜面１３と下側傾斜面１５とを備えた構成になっていて、これら上側傾斜面１３と下側傾斜面１５によって挟まれた部分が内側に突出・配置されているものである。同様に、上記右側ガイド部１１も上側傾斜面１７と下側傾斜面１９とを備えた構成になっていて、これら上側傾斜面１７と下側傾斜面１９によって挟まれた部分が内側に突出・配置されているものである。
【００２２】
上記固定部１の内側には可動部２１が、図１（ｂ）及び図１（ｃ）中Ｚ軸方向に浮上可能であって、図１（ａ）及び図１（ｂ）中Ｙ軸方向に移動可能な状態で収容・配置されている。上記可動部２１は主として可動部本体２３と振動装置２５と柱部２７等から構成されている。上記振動装置２５は、振動板２９と、この振動板２９の上下両面に取り付けられた電極部３１、３３とから構成されている。又、上記振動板２９は圧電材料から構成されている。又、上記振動装置２５の左右両側には、既に説明した固定部１側の左側ガイド部９と右側ガイド部１１に対応するように左側ガイド部３５、右側ガイド部３７が設けられている。上記左側ガイド部３５には、上側傾斜面３９と下側傾斜面４１が設けられていて鋭利な凹部を構成している。同様に、上記右側ガイド部３７にも、上側傾斜面４３と下側傾斜面４５が設けられていて鋭利な凹部を構成している。
【００２３】
そして、上記構成をなす振動装置２５が超音波振動することにより、図１（ｃ）に示すように、可動部２１がＺ軸方向に浮上した非接触の状態になるものである。
【００２４】
上記可動部２１の柱部２７の下端には平板部４７が取り付けられていて、この平板部４７の下面側には、図２（ｂ）に示すように、永久磁石４９、４９が取り付けられている。一方、既に説明した固定部１の底壁３の内側面にはコイル５１が設置されている。このコイル５１は図中永久磁石４９、４９に対して平行な方向、すなわち、水平方向に巻回された状態で設置されている。これら永久磁石４９、４９、コイル５１とからなる構成によって可動部２１を図１（ａ）及び図１（ｂ）中左右方向、すなわち、Ｙ方向に移動させるための駆動力を発生させるようになっている。
【００２５】
上記永久磁石４９、４９は、図２（ｂ）に示すように、その磁化の向きが逆向きになっている。これは次のような理由による。すなわち、図２（ｂ）において、コイル５１の左端部と右端部では電流の向きが逆向きになる。そのため、「フレミングの左手の法則」による推力の向きを同じにするためには、２個の永久磁石４９、４９を配置し、且つ、それら永久磁石４９、４９より生じる磁束の向きを逆向きにする必要があるものである。そして、この場合コイル５１の図２（ｂ）中左端部分が同図中右側の永久磁石４９側に移動することはないので、結局、ストロークはコイル５１の移動方向の幅の１／２ということになる。又、上記コイル５１と永久磁石４９、４９との間の隙間（α）は、この実施の形態では、１ｍｍに設定されている。
【００２６】
以上の構成を基にその作用を説明する。
まず、振動装置２５による超音波振動によって可動部２１に浮上力が作用し、可動部２１は、図１（ｃ）に示すように、固定部１に対してＺ軸方向に浮上した状態、つまり、非接触の状態になる。
その状態で、コイル５１に適宜の方向に電流を流すことにより、「フレミングの左手の法則」に基づいて、可動部２１に対して図中Ｙ方向の何れかに移動するための駆動力が作用する。したがって、可動部２１はＹ方向の何れかに移動することになる。
【００２７】
尚、この実施の形態の場合には、コイル５１を挟んで永久磁石４９の反対側には、永久磁石や高透磁率材からなる部材が設置されているようなことはなく、その点において従来の構成とは全く異なっているわけであるが、この場合に必要な磁束密度が得られるか否かが懸念される。これを図３を参照して説明する。
【００２８】
図３は横軸に永久磁石からの距離をとると共に縦軸に磁束密度をとって両者の関係を示す特性図である。この特性図から明らかなように、永久磁石から離れれば離れる程磁束密度は減衰していくが、その離間距離が小さい場合、例えば、２ｍｍ程度であれば、その減衰は高々１０数％であり、よって、コイル５１を永久磁石４９に対して近接・配置することにより（既に説明したように、この実施の形態の場合には1ｍｍに設定されている）、仮に、コイル５１の背面側に別の永久磁石や高透磁率材からなる部材が設置されていなくても、必要な磁束密度を確保することができるものである。
【００２９】
以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができるものである。
まず、装置の低背化（薄型化）を図ることができ、それによって、装置のコンパクト化を図ることができるものである。これは、コイル５１の背面側、すなわち、コイル５１を挟んで永久磁石４９、４９の反対側に別の永久磁石や高透磁率材からなる部材が設置されていないからであり、且つ、コイル５１と永久磁石４９、４９との間の隙間（α）が極めて小さな値（この実施の形態の場合には1ｍｍ）に設定されているからである。
又、この実施の形態の場合には、永久磁石４９の中心が推力作用点となるわけであるが、この永久磁石４９は可動部２１の重心に対して近接・配置されているので、可動部２１の動作が安定したものとなり、例えば、ピッチング等の動的な位置決め精度が向上するものである。
因みに、図１６に示したような構成の場合には、コイル４１５が推力作用点となるわけであるが、これは可動部４０７の重心に対して離間した場所に位置しているために、上記したような利点は得られないものである。
そして、この実施の形態による駆動装置の場合には、比較的短ストローク（例えば、３０ｍｍ程度）ではあるが、薄型であって十分な推力を確保できるという利点がある。
又、特に非接触案内を用いている時は、可動部は非接触のため、熱伝導による冷却は期待できないが、この実施の形態の場合には、電流のジュール発熱による発熱体であるコイル５１を固定部１側に取り付けているので、固定部１側における熱伝導による高い冷却効果を得ることができ、発熱による熱膨張や熱変形に起因した位置決め精度の低下を防止することができるものである。すなわち、固定部１はそれ自体が熱容量も大きく、又、固定のために他の部材と接触しており、熱伝導による大きな冷却効果が期待できるからである。
【００３０】
次に、図４及び図５を参照して本発明の第２の実施の形態を説明する。前記第１の実施の形態の場合には、コイル５１を永久磁石４９に対して平行な方向、すなわち、水平方向に巻回した構成としたが、この第２の実施の形態の場合には、これを直行する方向に巻回したものである。以下、詳細に説明する。
【００３１】
まず、固定部１の底壁３側にはコイル巻回部６１が設けられていて、このコイル巻回部６１にはコイル６３が巻回されている。一方、可動部２１の柱部２７の下端に取り付けられた平板部４７には永久磁石６５が取り付けられている。
その他の構成は前記第１の実施の形態の場合と同様であるので、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
【００３２】
そして、この第２の実施の形態のような配置においては、コイル６３の内上記永久磁石６５に近接している側の上端部と永久磁石６５に対して離間している下端部は同じ向きの磁束になっている。一方、電流の向きはコイル６３の上端部とコイル６３の下端部とでは反対方向となり、「フレミングの左手の法則」によりコイル６３の上端部とコイル６３の下端部とでは逆向きの推力が生じることになる。したがって、磁束密度の大きさが同じであればお互いの推力は打ち消しあって推力は発生しないことになる。
【００３３】
ところが、前記第１の実施の形態の説明で参照した図３の特性図をみると、磁束密度は永久磁石６５との離間距離が大きくなるにつれて減衰するものであり、つまり、コイル６３の上端部とコイル６３の下端部の磁束密度は大きく異なっているものである。例えば、図３に示すように、永久磁石６５との距離が１０ｍｍの場合には磁束密度は約１／３に減衰する。したがって、コイル６３の上端部の推力の方が十分大きく、これがコイル６３の下端部の推力により一部減少するものの、結果としては、コイル６３の上端部の推力が支配的であり、これにより必要な推力を確保することができるものである。
【００３４】
上記構成によると、前記第１の実施の形態の場合と同様の効果を奏することが出来ると共に、永久磁石６５における磁束の向きは常に同一であるので、永久磁石６５の長さを長くすることによりストロークを延長させることが可能になる。
【００３５】
次に、図６及び図７を参照して本発明の第３の実施の形態を説明する。この第３の実施の形態の場合には、前記第２の実施の形態の場合の構成において、コイル６３の内側に高透磁率材料（例えば、鉄）からなる磁束遮断部材７１を介在させたものである。それによって、コイル６３の上方にある永久磁石６５より生じる磁束を遮断して、コイル６３の上端部とコイル６３の下端部の磁束密度の差を大きくし、それによって、推力を高めようとするものである。
【００３６】
尚、上記磁束遮断部材７１を介在させることにより磁束密度がどの程度減衰できるのかについて図７を参照して説明する。図７は横軸に永久磁石６５の表面からの離間距離をとると共に縦軸に磁束密度をとり、又、中間に上記磁束遮断部材７１を介在させた場合の両者の関係を示す特性図である。これによると、永久磁石６５に対して６ｍｍだけ離間した場所に厚み２ｍｍの軟鉄材からなる磁束遮断部材７１を介在させることにより磁束密度を約２０数％まで減衰させることができた。
【００３７】
したがって、前記第２の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができると共に、コイル６３の上端部とコイル６３の下端部の磁束密度の差を大きくし、それによって、より大きな推力を得ることが可能になるものである。
【００３８】
次に、図８及び図９を参照して本発明の第４の実施の形態を説明する。前記第１〜第３の実施の形態の場合には、コイルを固定部側に取り付けると共に永久磁石を可動部側に取り付けた例を説明したが、コイルを可動部側に取り付けると共に永久磁石を固定部側に取り付けるようにしてもよい。その構成を図８及び図９に示す。
【００３９】
図８（ｃ）及び図９に示すように、平板部４７にコイル８１が取り付けられていると共に、固定部１の底壁３側に永久磁石８３、８３が取り付けられているものである。
尚、その他の構成は前記第１の実施の形態の場合と同じであるので、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
そして、このような構成であっても略同様の効果を奏することができるものである。
【００４０】
次に、図１０を参照して本発明の第５の実施の形態を説明する。前記第１〜第４の実施の形態の場合には、専ら可動部をＹ方向に移動させるものとして説明したが、これをＸ方向・Ｙ方向の二次元方向に移動させるものとして構成してもよい。
すなわち、図１０に示すように、固定部１０１には４箇所においてコイル１０３、１０５、１０７、１０９が設置されている。一方、可動部１１１側には４箇所において、永久磁石１１３、１１５、１１７、１１９が設置されている。このような構成とすることにより、Ｘ方向・Ｙ方向の二次元方向に可動部１１１を移動させることができるものである。
尚、図１０においては、非接触浮上の為の構成は省略されているが、前記第１〜第４の実施の形態の場合と同様に、例えば、超音波振動による浮上方式を採用することが考えられる。
【００４１】
次に、図１１を参照して本発明の第６の実施の形態を説明する。前記第５の実施の形態の場合には、コイルを水平方向に巻回した例を示したが、この第６の実施の形態の場合にはこれを垂直方向に巻回したものである。すなわち、固定部１０１側には垂直方向に巻回されたコイル１２１、１２３、１２５、１２７が設置されている。一方、可動部１１１側には永久磁石１２９が設置されている。このような構成でもＸ方向・Ｙ方向の二次元方向に可動部１１１を移動させることができるものである。
【００４２】
次に、図１２を参照して本発明の第７の実施の形態を説明する。この第７の実施の形態の場合には、前記第３の実施の形態における高透磁率材料（例えば、鉄）からなる磁束遮断部材７１を、図１２（ｂ）に示すように、駆動方向に延長・配置した構成をなすものである。それによって、永久磁石６５との間に吸引力が作用して、駆動時におけるスライダ２１の動的剛性を高めて、より安定した動作を得ることができるものである。
【００４３】
次に、図１３を参照して本発明の第８の実施の形態を説明する。この第８の実施の形態の場合には、前記第６の実施の形態の構成において、コイル１２１、１２３、１２５、１２７の内側に、高透磁率材料（例えば、鉄）からなる磁束遮断部材１７１を貫通・配置させたものである。それによって、前記第７の実施の形態の場合と同様に、可動部１１１の動的剛性を高めて、より安定した動作を得ることができるものである。
【００４４】
次に、図１４を参照して本発明の第９の実施の形態を説明する。この第９の実施の形態の場合には、前記第６の実施の形態の構成において、新たにコイル２２１、２２３、２２５、２２７を追加・配置したものである。前記第６の実施の形態の構成であっても、コイル１２１、コイル１２５の電流の向きを逆向きとしたり、コイル１２３、コイル１２７の電流の向きを逆向きとすることにより、可動部１１１に回転力を付与して回転させることが可能であるが、新たにコイル２２１、２２３、２２５、２２７を追加して、全てのコイルの電流の向きを適宜制御することにより、より円滑な回転運動を行わせることが可能になる。
【００４５】
尚、本発明は前記第１〜９の実施の形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
まず、前記第１〜第９の実施の形態においては、非接触浮上方式として超音波浮上方式を例に挙げて説明したが、それ以外にも、例えば、エアー方式、磁気方式等による非接触浮上が考えられる。
又、位置決め性能は低下するが、接触ガイドを用いても、本発明の駆動装置が有効なことを言うまでもない。
その他図示した構成はあくまで一例であってそれに限定されるものではない。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
以上のように、本発明による駆動装置は、コイルを挟んで永久磁石の反対側に別の永久磁石や高透磁率材を配置しない構成となっていて、それによって、装置の薄型化及び長ストローク化を図ることができるように工夫されており、各種の駆動装置に好適である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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