(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶やプラズマディスプレーの基板を密閉して搬送する自走台車と基板を格納するストッカとの間または該台車と基板を加工する加工室との間で、ストッカまたは加工室に接続し、ストッカ内部または加工室内部から運んできたカセットを収容するパスボックスを介して基板を載置したカセットを受け渡す際に台車と各パスボックスとの間の境界部を浄化する局所浄化方法であって、台車内部とパスボックス内部には内部に清浄空気を送風する送風ファンと基板を載置したカセットを載置して移動するローラコンベヤとが設けられており、台車と各パスボックスの境界部側の開口部には開口部の全周を囲繞して突出するように大きい仕切板と小さい仕切板のいずれか一方が配設されていて、それらの仕切板は互いに入れ子になっており、台車と各パスボックスとの間で基板を載置したカセットを移送する際、台車とパスボックスの各開口部を開閉する引き開きの扉の内小さい仕切板のついている方の開口部の扉を先に開いている間に台車内部またはパスボックス内部の清浄空気を外部に放出させて境界部に付着している塵などの外部の微粒子を吹き飛ばした後、他方の扉を開くことによって外部の微粒子が台車内部またはパスボックス内部に侵入するのを防止するようにしたことを特徴とする局所浄化方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶やプラズマディスプレーなどの基板を搬送する自走台車と基板を格納するストッカおよび基板を加工する加工室との間で、基板を受け渡しする際に使用するための局所清浄化装置および局所清浄化方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶やプラズマディスプレーなどの基板の生産ラインでは、基板をクリーンルーム内で加工し、加工された基板をカセットに多段積みにしてまとめ、カセット毎に次の工程に移動するようになっている。クリーンルーム内では、常に高清浄環境が要求されている。近年、生産ラインの大型化にともない、クリーンルーム全体を高清浄環境にすると、環境維持が大変であることから、搬送ラインを箱（トンネル）で覆い、その部分のみを清浄化するようにしたクリーントンネル方式が実施されている。
【０００３】
図９は従来のクリーントンネル方式のクリーンルームの概念図である。図において、ａはクリーンルームである。ｂはクリーンルームａ内に設けられた液晶やプラズマディスプレーなどの基板の加工室である。ｃはクリーンルームａ内に設けられたカセットｅの受け渡しを行うストッカである。ｄは搬送ライン全体を覆い、かつ、清浄化したクリーントンネルである。加工室ｂ、クリーントンネルｄ、ストッカｃなどはクリーンルームａより高い清浄度に保たれている。カセットｅには、図示しない複数の基板が多段に載置されている。トンネルｄの床面は、図示しない多孔板で構成されており、また、トンネルｄの天井には、図示しない送風ファンが複数設けられている。トンネルｄは、常時、送風ファンから清浄な空気を吹き出し、その空気を、図示しない多孔床板を通って外部に排出することによって、トンネルｄ内を清浄にするようにしている。
【０００４】
図１０は従来の他のクリーンルームの概念図である。図はクリーンルームｆに設けられたストッカｇからカセット搬送用自走台車（ＡＧＶ）ｈに、図示しないカセットの受け渡しを行う状態を示しており、ストッカｇとカセット搬送用自走台車ｈとの間に、それらの上方に設けられた送風ファン（ファンユニット（ＦＦＵ））ｍから清浄な空気ｎを吹き出し、その空気ｎの流れを利用してストッカｇとカセット搬送用自走台車ｈとの間に清浄な領域を形成し、その領域内でカセットの受け渡しを行うようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のクリーントンネル方式は設備が大がかりであり、ＦＦＵ方式は、受け渡し場所毎に、清浄領域を形成するための送風ファンを設けなければならず、コストがかかるなどの問題がある。
【０００６】
本発明は、従来技術のかかる問題点に鑑み案出されたもので、台車とストッカおよび台車と加工室との間でカセットの受け渡しをする際、台車内部とストッカおよび加工室内部の陽圧の空気を利用して台車とストッカおよび台車と加工室との間の境界部の浄化を図ることにより安価で信頼性の高い局所清浄化装置および局所清浄化方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１記載の本願第１発明の局所清浄化装置によれば、液晶やプラズマディスプレーなどの基板を密閉して搬送する自走台車と基板を格納するストッカとの間または該台車と基板を加工する加工室との間で、ストッカまたは加工室に接続したパスボックスを介して基板を載置したカセットを受け渡す際に台車と各パスボックスとの間の境界部を浄化する局所清浄化装置であって、台車と各パスボックスとのそれぞれの境界部側の開口部のいずれか一方の開口部の全周を囲繞して突出するように配設した仕切板と、上記開口部を開閉する扉と、台車内部と各パスボックス内部に清浄空気を送風する送風ファンとからなるものである。
【０００８】
請求項２記載の本願第１発明の実施形態によれば、上記仕切板は、台車とパスボックスの各開口部の両方に付いており、いずれも開口部の全周または一部を囲繞し、かつ、いずれか一方を大きく、他方を小さくして台車とパスボックスが接続した際、それらの仕切板が互いに入れ子になるように配設してあり、大きい方の仕切板は開口部の全周、下方が開放された三方または左右が開放された二方のいずれかを囲繞したものであり、小さい方の仕切板は開口部の全周、下方もしくは上方が開放された三方、左もしくは右が開放された三方または左右もしくは上下が開放された二方のいずれかを囲繞したものである。
【０００９】
請求項３記載の本願第２発明の局所清浄化方法によれば、請求項１または請求項２記載の局所清浄化装置において、台車と各パスボックスとの間で基板を移送する際、上記各扉を、一方にだけ仕切板が付いている場合は仕切板の付いていない側の扉、両方に仕切板の付いている場合は小さい仕切板の付いている側の扉を先に開いて台車内部またはパスボックス内部の清浄空気を外部に放出させて台車とパスボックスとの間の境界部に付着している埃などの外部の微粒子を吹き飛ばした後、仕切板の付いている側または大きい方の仕切板の付いている側の扉を開いて外部の微粒子が台車内部またはパスボックス内部に進入するのを防止するようにしたものである。
【００１０】
請求項４記載の本願第３発明の局所清浄化方法によれば、液晶やプラズマディスプレーなどの基板を密閉して搬送する自走台車と基板を格納するストッカとの間または該台車と基板を加工する加工室との間で、ストッカまたは加工室に接続したパスボックスを介して基板を載置したカセットを受け渡す際に台車と各パスボックスとの間の境界部を浄化する局所清浄化方法であって、台車と各パスボックスとの間で基板を移送する際、台車とパスボックスの各開口部を開閉する扉のいずれか一方を先に開くことによって台車内部またはパスボックス内部の清浄空気を外部に放出させて境界部に付着している埃などの外部の微粒子を吹き飛ばした後、他方の扉を開くことによって外部の微粒子が台車内部またはパスボックス内部に進入するのを防止するようにしたものである。
【００１１】
次に本発明の作用を説明する。ストッカおよび図示しない加工室にはパスボックスが接続されており、各パスボックスの内部と台車の内部は、送風ファンからフィルタを通して清浄空気が送られて陽圧になっている。台車とストッカおよび台車と加工室との間でパスボックスを介してカセットの受け渡しをする際、台車とパスボックスの各開口部を開閉する扉のいずれか一方を先に開くことによって台車内部またはパスボックス内部の清浄空気を外部に放出させて境界部に付着している埃などの外部の微粒子を吹き飛ばした後、他方の扉を開くことによって外部の微粒子が台車内部またはパスボックス内部に進入するのを防止して境界部の浄化ができるので、設備費や運転コストの低減を図ることができる。また、台車とパスボックスの開口部に、外方に突出するように仕切板を配設しているので、その仕切板によって仕切板先端と他方の壁面とを接近させることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の１実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１は本願第１発明の局所清浄化装置の側面図である。図において、１は後述するカセット格納装置（ストッカ）１１に接続されたパスボックスである。パスボックス１は、後述するカセット搬送用自走台車（自走台車）６との間で、液晶やプラズマディスプレーなどの基板を複数載置したカセット１３を受け渡しするための部屋で、後ろ側はストッカ１１に接続されている。１ａは台車６と接続する側に設けた開口部であり、１ｂは後ろ側（ストッカ１１側）に設けたストッカ１１と連通した開口部である。２はパスボックス１の開口部１ａ側に配設した扉で、上下に開閉する。３はパスボックス１内の長手方向に配設したローラコンベヤで、カセット１３を台車６に移動する。４はパスボックス１の上部に設けた送風ファンで、フィルタを有しており、パスボックス１内に清浄空気を送風する。５は上記開口部１ａを囲繞し、かつ、外方に突出するように配設した仕切板である。１２は台車６がパスボックス１に接続した際の台車６とパスボックス１との境界部である。なお、基板を加工する加工室は、ストッカ１１のパスボックス１と同様のパスボックスを有していて、ストッカ１１と同様な構成をしており、その説明を省略する。
【００１３】
自走台車６は、図示しない加工室とストッカ１１との間を移動する。台車６は、たとえば、加工室側からストッカ１１側に移動してストッカ１１のパスボックス１に接続（その状態を一点鎖線で示す）し、パスボックス１からカセット１３を受け取り、カセット１３を積んで加工室側に移動する。６ａは台車６に設けた開口部である。６ｂは走行用ローラである。７は台車６内の長手方向に配設したローラコンベヤで、カセット１３を移動する。
【００１４】
８は台車６の開口部６ａ側に配設した扉で、上下に開閉する。９は開口部６ａの全周を囲繞し、かつ、外方に突出するように配設した仕切板である。１０は台車６の上部に設けた送風ファンで、フィルタを有しており、台車６内に清浄空気を送風する。
【００１５】
ストッカ１１は、カセット１３を多段に格納できる自動倉庫（格納装置）となっている。ストッカ１１内には、図示しないスタッカクレーンなどが走行可能に設けられていて、格納棚とパスボックス１との間でカセット１３の受け渡しをする。
【００１６】
図２は開口部の形状を示す図である。（Ａ）において、６は台車、６ａは台車６の開口部である。（Ｂ）において、１はパスボックス、１ａはパスボックス１の開口部である。
【００１７】
図３は請求項１記載の開口部および仕切板の形状を示す図である。（Ａ）において、１はパスボックス、１ａはパスボックス１の開口部である。５は仕切板で、開口部１ａの全周を囲繞するように設けられている。（Ｂ）において、６は台車、６ａは台車６の開口部である。
【００１８】
図４は請求項２記載の開口部および仕切板の形状を示す図で、（Ａ）、（Ｃ）および（Ｅ）はいずれも大きい仕切板の形状、（Ｂ）、（Ｄ）、（Ｆ）、（Ｇ）、（Ｈ）および（Ｉ）はいずれも小さい仕切板の形状を示す図である。（Ａ）において、仕切板９は開口部６ａの全周を囲繞するように設けられている。（Ｃ）において、仕切板９Ａは開口部６ａの左右と上方を囲繞し、下方を開放するように設けられている。（Ｅ）において、仕切板９Ｂは開口部６ａの上下を囲繞し、左右を開放するように設けられている。（Ｂ）において、仕切板５は（Ａ）の仕切板９と同じく開口部１ａの全周を囲繞するように設けられている。（Ｄ）において、仕切板５Ａは（Ｃ）と同じく開口部１ａの左右と上方を囲繞し、下方を開放するように設けられている。（Ｆ）において、仕切板５Ｂは（Ｅ）と同じく開口部１ａの上下を囲繞し、左右を開放するように設けられている。（Ｇ）において、仕切板５Ｃは開口部１ａの左右を囲繞し、上下を開放するように設けられている。（Ｈ）において、仕切板５Ｄは開口部１ａの下方と左右を囲繞し、上方を開放するように設けられている。（Ｉ）において、仕切板５Ｅは開口部１ａの上下と右側を囲繞し、左側を開放するように設けられている。
【００１９】
これら大きい仕切板９、９Ａおよび９Ｂと、小さい仕切板５、５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄおよび５Ｅとは、台車６とパスボックス１が接続した際、それらの仕切板９、９Ａおよび９Ｂのいずれか１つと、仕切板５、５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄおよび５Ｅのいずれか１つとが互いに入れ子になるように配設されている。また、仕切板９、９Ａおよび９Ｂと、仕切板５、５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄおよび５Ｅとは、互いに対応させて適宜組み合わせることができる。さらに大きい仕切板９、９Ａおよび９Ｂを台車６の開口部６ａに設けてもパスボックス１の開口部１ａに設けてもよく、また、小さい仕切板５、５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄおよび５Ｅをパスボックス１の開口部１ａに設けても台車６の開口部６ａに設けてもよい。
【００２０】
次に本実施形態の作用を説明する。ストッカ１１および図示しない加工室にはパスボックス１が接続されており、各パスボックス１の内部と台車６の内部は、送風ファン４、１０からフィルタを通して清浄空気が送られて陽圧になっている。台車６とストッカ１１および台車６と加工室との間でパスボックス１を介してカセット１３の受け渡しをする際、台車６とパスボックス１の各開口部６ａ、１ａを開閉する扉２、８のいずれか一方を先に開くことによって台車６内部またはパスボックス１内部の清浄空気を外部に放出させて境界部に付着している埃などの外部の微粒子を吹き飛ばした後、他方の扉を開くことによって外部の微粒子が台車６内部またはパスボックス１内部に進入するのを防止して境界部の浄化ができるので、設備費や運転コストの低減を図ることができる。また、台車６とパスボックス１の開口部６ａ、１ａに、外方に突出するように仕切板９、５を配設しているので、その仕切板９、５によって仕切板９、５先端と他方の壁面とを接近させることができるので、外部から微粒子が侵入することがない。なお、台車６は、台車６とパスボックス１に設けられている、図示しないセンサーによりパスボックス１に接近して所定位置に停止する。台車６とパスボックス１とを十分に接近させることができれば、必ずしも仕切板９、５はなくてもよい。
【００２１】
【実施例】
図５は本発明の効果を実証するための実験例を示す図である。図６は図５のＡ−Ａ矢視図である。図において、仕切板５はパスボックス１Ｂの開口部にだけ配設されている。１４は開口部周辺の外部の粒子を測定する測定用プローブで、パスボックス１Ａのパスボックス１Ｂと接続する面に９個貼付されている。
【００２２】
上記実験では、発じん源としてＳＵＳ製のかごにナットを入れたものを使用し、かごをモータにより繰り返し間欠反転動作を行って粒子の発生を行った。測定は、測定器にレーザパーティクルカウンタ（型式２３７Ｂ）を使用し、サンプリング時間１分、測定時間１０分、測定点数９点、ホールド時間１分で行った。
【００２３】
図７は本発明の局所清浄化装置の実験により得られた境界部内部の測定粒子の濃度を示す図である。図において、横軸はプローブＮＯ．であり、縦軸は測定粒子の濃度（個／ｃｆ）を示している。図中、矢印は仕切板で囲まれた境界部の内部を、符号□はＦＦＵ（送風ファン）がＯＮの場合を、符号■はＦＦＵがＯＦＦの場合をそれぞれ示している。なお、測定微粒子が０の場合を、１．０Ｅ−１で表している。
【００２４】
この実験の結果、ＦＦＵがＯＮの場合、境界部内部において、クラス１〜１０相当量の粒子が測定された。また、ＦＦＵがＯＦＦの場合、クラス１０，０００〜１００，０００相当量の粒子が測定された。この仕切板を使用した実験により、外部の微粒子の境界部内部への進入を防止することができ、かつ、境界部内部の粒子濃度を境界部外部濃度の１／１，０００程度に浄化することができた。
【００２５】
図８は開扉動作にともなう境界部内部の空気の流れを示す図で、（Ａ）は扉２を開口部１ａの１／３開いた状態を示す図、（Ｂ）は扉２を開口部１ａの２／３開いた状態を示す図、（Ｃ）は扉２を全開した状態を示す図である。図に示すように、パスボックス１Ａ内部の空気１５は、扉２の開きにともなって開口部１ａから主にパスボックス１Ｂの仕切板５の内側に沿って下方に放出されるが、その際、パスボックス１Ｂの開口部周辺に付着している埃などの外部の微粒子を吹き飛ばして境界部の浄化をする。
【００２６】
本発明は以上述べた実施形態に限定されるものではなく、たとえば、開口部は四角形に替えて円形でも、馬蹄形であってもよい。また、大きい方の仕切板と小さい方の仕切板との組み合わせは、図３および図４に示したものに限らず、大きい方の仕切板の開口の向きが変わったものでもよいなど、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００２７】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、台車内部とストッカおよび加工室内部の陽圧の空気を利用して台車と各パスボックスの周辺に付着している埃などの外部の微粒子を吹き飛ばした後、外部の微粒子が台車内部または各パスボックス内部に進入するのを防止して境界部の浄化ができるので、設備費や運転コストの低減を図ることができるなどの優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願第１発明の局所清浄化装置の側面図である。
【図２】開口部の形状を示す図である。
【図３】請求項１記載の開口部および仕切板の形状を示す図で、（Ａ）は開口部の全周を囲繞するように設けた仕切板の形状、（Ｂ）は開口部を示す図である。
【図４】請求項２記載の開口部および仕切板の形状を示す図で、（Ａ）、（Ｃ）、（Ｅ）は大きい仕切板の形状、（Ｂ）、（Ｄ）、（Ｆ）、（Ｇ）、（Ｈ）、（Ｉ）は小さい仕切板の形状を示す図である。
【図５】２個のパスボックスを接続した他の実験用のパスボックスの側面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ矢視図である。
【図７】本発明の局所清浄化装置の実験により得られた境界部内部の測定粒子の濃度を示す図である。
【図８】開扉動作にともなう境界部内部の空気の流れを示す図で、（Ａ）は扉２を開口部１ａの１／３開いた状態を示す図、（Ｂ）は扉２を開口部１ａの２／３開いた状態を示す図、（Ｃ）は扉２を全開した状態を示す図である。
【図９】従来のクリーンルームの概念図である。
【図１０】従来の他のクリーンルームの概念図である。
【符号の説明】
１    パスボックス
１ａ    開口部
２，８    扉
３，７    ローラコンベヤ
４，１０    送風ファン
５，９    仕切板
６    自走台車
６ａ  開口部
１１    ストッカ
１２    境界部
１３    カセット
１４    測定プローブ
１５    空気
【図１】
0004483012.tif 000002
【図２】
0004483012.tif 000003
【図３】
0004483012.tif 000004
【図４】
0004483012.tif 000005
【図５】
0004483012.tif 000006
【図６】
0004483012.tif 000007
【図７】
0004483012.tif 000008
【図８】
0004483012.tif 000009
【図９】
0004483012.tif 000010
【図１０】
0004483012.tif 000011