(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から出射された光束の進行方向に垂直な断面内における前記光束の一方向の成分のみを集光するシリンドリカルレンズと、前記シリンドリカルレンズから出射された前記光束が、その集光位置を過ぎた後に入射し前記光束を試料に導く対物レンズとを備え、前記試料上にスリット形状の光束を投影する光学ユニットと、前記シリンドリカルレンズと前記対物レンズとの間の前記光束の光路上であって前記集光位置に設けられたガルバノミラーと、前記試料上への前記スリット形状の光束の入射に応じて前記試料から出射された光束を撮像するＴＶカメラとを備えることを特徴とする撮像システム。
【請求項２】
前記シリンドリカルレンズと前記ガルバノミラーとの間の前記光束の光路上に配置され所定波長帯域の成分を前記ガルバノミラー方向に向けて反射するダイクロイックミラーを更に備え、前記試料から出射された光束は前記対物レンズ、前記ガルバノミラー、及び前記ダイクロイックミラーを順次介して前記ＴＶカメラに入射することを特徴とする請求の範囲第１項に記載の撮像システム。
【請求項３】
前記ＴＶカメラの前方に配置された分光器を更に備えることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の撮像システム。
【請求項４】
前記ＴＶカメラの前方に配置されたストリーク管を更に備えることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の撮像システム。
【請求項５】
透明板を更に備え、前記試料は前記透明板上に配置され、前記対物レンズから出射された光束は前記透明板を介して前記試料に下方から投影されることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の撮像システム。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、スリット形状の光束を試料上に投影し、この光束の入射に応じて試料から出射された光束を撮像する撮像システムに関する。
背景技術
従来の波長分解像を得る装置は、出願人の特許第２，５５８，８６４号公報に記載されている。この装置は、試料を裏面側から一様に照明するとともに、試料を透過した透過光像をスリット板上に一様に結像させ、スリット板上に投影される透過光像をガルバノミラーで走査することによってスリット像を切り出し、このスリット像を分光し、分光した像をＴＶカメラで撮影している。ＴＶカメラで撮影された像は波長毎の試料像として合成される。
発明の開示
しかしながら、上記従来の装置においては、スリット板上に透過光像を投影することによって、スリット像を切り出しているので、スリット像の輝度が弱く、したがって、ＴＶカメラの撮像面に投影される像の検出精度の向上が望まれてきた。
半導体や生物試料等の蛍光像等を撮像する場合には、励起光を試料に照射し、励起光と、励起光によって発生した蛍光とを分離する必要があり、このような場合においても輝度向上が期待されている。本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、試料から出射された光束の検出精度を向上可能な撮像システムを提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明に係る撮像システムは、光源から出射された光束の進行方向に垂直な断面内における光束の一方向の成分のみを集光するシリンドリカルレンズと、シリンドリカルレンズから出射された光束が、その集光位置を過ぎた後に入射する対物レンズとを備え、試料上にスリット形状の光束を投影する光学ユニットと、シリンドリカルレンズと対物レンズとの間の前記光束の光路上であって上記集光位置に設けられたガルバノミラーと、試料上へのスリット形状の光束の入射に応じて試料から出射された光束を撮像するＴＶカメラとを備える。
本システムによれば、光源から出射された光束は、シリンドリカルレンズによって一方向に集光され、これが対物レンズを介することによってスリット形状の光束に変換されるので、光束の強度の減衰量が、従来のスリット板を用いたものよりも低く、且つ、シリンドリカルレンズの集光位置にガルバノミラーが配置されているので、ガルバノミラーを揺動させることにより、このスリット形状の光束で試料上を走査することができる。
発明を実施するための最良の形態
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付しており、重複する説明は省略する。
以下、実施の形態に係る撮像システムについて説明する。同一要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
（第１実施形態）
図１は、撮像システムのシステム構成図である。
レーザ光を出射する光源１から出射された照明光は、スリット形状の光束を形成する光学ユニット２に入射され、光学ユニット２から出射されたスリット形状の光束は試料Ｓ上に投影される。試料Ｓはステージ（試料台）４上に配置されている。光束が試料Ｓの下方から照射される場合には、ステージ４は透明板であることとする。照明光としてのスリット形状の光束は、スキャナドライバ５によってスキャナ３を駆動することにより、試料Ｓ表面上を（Ｘ）方向に沿って走査する。
スキャナコントローラ６は、コンピュータ１０からの指示に応じてスキャナドライバ５を駆動するための同期信号を生成する。なお、スリット形状の光束自身は（Ｙ）方向を長手方向とする。
スリット形状の光束によって照明された試料Ｓの反射光、又は照明光が励起光である場合には試料内において自己発生した光は、再びスキャナ３を介して光学ユニット２内に導入される。光学ユニット２は、試料Ｓからのスリット形状の光束に所定の処理（時間分解（第２実施形態では波長分解））を施してＴＶカメラ７の撮像面上に投影する。
ＴＶカメラ７自身は、ＣＣＤカメラ等の固体撮像装置によって構成されており、ＣＣＤカメラの駆動信号はカメラコントローラ８からこれに入力され、ＣＣＤカメラからの映像信号はカメラコントローラ８を介してフレームグラバ９に入力される。
フレームグラバ９は、行列状に複数の画素を配置してなるＣＣＤ撮像面上の特定の画素列の映像信号のみを取り出す。特定の画素列からの映像信号が、撮像面の基準列から数えてｔ秒後にＣＣＤから出力される場合には、フレームグラバ９は基準列からｔ秒後の映像信号のみをサンプリングしてコンピュータ１０に入力する。この画素列は、コンピュータ１０によって特定する。
コンピュータ１０は、ＣＰＵ１０ａ、ＲＡＭ１０ｂ及び記憶装置１０ｃを備えており、システム全体を制御している。コンピュータ１０は、スキャナドライバ５の揺動を制御するスキャナコントローラ６、フレームグラバ９及び表示器１１を制御する。勿論、スキャナコントローラ６及びフレームグラバ９はコンピュータ１０によって構成することも可能である。
スキャナ３を駆動し、試料Ｓ上をスリット形状の光束で走査しながら、ＣＣＤ撮像面上の特定の画素列（時間に対応）の映像信号をフレームグラバ９でサンプリングしながら取り出して、記憶装置１０ｃに格納する。すなわち、スキャナ３の角度（試料Ｓ上のＸ方向のスリット形状の光束の位置）、この位置における特定の時間の光束のデータが、コンピュータ１０内の記憶装置１０ｃに対応づけて格納される。
次に、上記時間分解画像を得るための光学系について説明する。
図２Ａは、上記撮像システムに適用される光学系２，３の斜視図である。この光学系は、気体レーザ１ａ及び気体レーザ１ａから出射された光を増幅するチタンサファイア結晶からなるレーザ光源１を備えている。図２Ｂ〜図２Ｑは、図２Ａにおいて矢示される光束の断面形状を示す。なお、光束の断面形状とは、光束の進行方向に垂直な平面内における当該光束の断面形状を意味するものとする。
図２Ｂに示すように、レーザ光源１から出射した光束は進行方向に垂直な断面形状が円であり、これはミラーＭ１によって−Ｚ方向に折り曲げられる。
図２Ｃに示すように、ミラーＭ１によって反射された直後の光束の断面形状はＺ軸を囲む円である。この光束はＺ軸に沿って配置されたビームエキスパンダＢＥに入射する。
図２Ｄに示すように、ビームエキスパンダＢＥから出射された直後の光束の断面形状は、その直径が拡大された円となる。この光束は、シリンドリカルレンズＣＬの円筒面の軸（Ｘ軸）に垂直な方向（Ｚ軸）から、当該シリンドリカルレンズＣＬに入射する。シリンドリカルレンズＣＬは、入射した光束の進行方向に垂直な断面内における一方向の成分のみを集光する。本例では、円筒面の軸はＸ軸に設定されているので、Ｙ方向の成分のみが集光される。
シリンドリカルレンズＣＬから出射された光束はダイクロイックミラーＤＣ上に入射する。
図２Ｅに示すように、シリンドリカルレンズＣＬ出射後にダイクロイックミラーＤＣ上に入射した光束の断面形状は、Ｘ軸を長軸としＹ軸を短軸とする楕円である。シリンドリカルレンズＣＬの集光位置までは、この長軸と短軸の比率は拡大していき、集光位置では略スリット形状の光束に整形される。
ダイクロイックミラーＤＣは、特定の波長帯域の光を透過し、残りの帯域の光を反射するものである。本例では、シリンドリカルレンズＣＬからダイクロイックミラーＤＣに入射する光束は、上記残りの帯域の成分を有しているものとし、したがって、Ｘ方向に反射されて、これはスキャナ３を構成するガルバノミラー３ａに入射する。ガルバノミラー３ａは、スキャナコントローラ６からの指示に基づき、揺動モータ３ｂによって揺動する。
図２Ｆに示すように、ガルバノミラー３ａ上の光束の断面形状は、スリット形状となる。すなわち、シリンドリカルレンズＣＬを通過した光束は、スリット形状に整形されつつガルバノミラー３ａ上に集光する。このスリット形状の光束の長手方向は、ガルバノミラー３ａの反射面の揺動軸に垂直となる。
ガルバノミラー３ａによって反射された照明光としてのスリット形状の光束は、集光位置を過ぎると、この位置から発散していくが、この光束は瞳投影レンズＬを介して対物レンズＯＬに入射する。
図２Ｇに示すように、瞳投影レンズＬ上の光束の断面形状は、Ｙ軸方向を長軸とし、Ｘ軸方向を短軸とする楕円である。
図２Ｈに示すように、瞳投影レンズＬから出射直後の光束の断面形状は、長軸と短軸との比率が縮小した形状となる。対物レンズＯＬは瞳投影レンズＬの焦点位置に配置されている。したがって、シリンドリカルレンズＣＬによって集光されていない方向の成分は、瞳投影レンズＬにより集光され、対物レンズＯＬ上に集光する。シリンドリカルレンズＣＬによって集光された成分は、ガルバノミラー３ａ上に一旦集光しているので、瞳投影レンズＬに入射する際には既に発散を開始しており、略平行光として対物レンズ上に投影される。
図２Ｉに示すように、対物レンズＯＬ上の光束の断面形状は、Ｘ軸を長手方向とするスリット形状となる。
図２Ｊは、対物レンズＯＬから出射され試料Ｓ上に投影された光束の断面形状を示す。対物レンズＯＬを過ぎると、瞳投影レンズＬによって集光された成分は発散し、瞳投影レンズＬによって集光されていない成分は集光される傾向となる。したがって、試料Ｓ上には、Ｙ軸を長手方向とするスリット形状の光束が投影されることとなる。ガルバノミラー３ａは、回転角度が制御されることにより揺動するので、試料Ｓの表面はスリット形状の光束によって、Ｘ方向に沿って走査される。
図２Ｋは、試料Ｓから出射される光束の断面形状を示し、この光束の形状は、試料Ｓへの入射光と同じスリット形状である。試料Ｓは入射光（励起光）に応じて蛍光を発しているものとし、試料Ｓからの出射光は、試料Ｓから対物レンズＯＬ方向に向かって逆行する。この光を試料光とする。
図２Ｌは、試料から出射された光束（試料光）が、対物レンズＯＬを逆方向に通過直後に変形した光束の断面形状を示し、図２Ｍは、対物レンズＯＬを逆方向に通過した直後の光束（試料光）の断面形状を示す。対物レンズＯＬによって、試料光は一旦集光し、スリット形状の光束となる。この集光位置は試料Ｓと共役な位置関係にある。
図２Ｎは、レンズＬを逆方向に通過した光束（試料光）の断面形状を示し、図２Ｏは、ガルバノミラー３ａ上に逆方向から入射した光束の断面形状を示す。ガルバノミラー３ａ上では、試料光の断面形状は円となる。すなわち、ガルバノミラー３ａと対物レンズＯＬの射出瞳とは共役な位置に配置されている。
試料光は、入射光とは異なる波長帯域を有するので、ガルバノミラー３ａで反射された後、ダイクロイックミラーＤＣに逆方向から入射し、これを透過する。図２ＰはダイクロイックミラーＤＣに逆方向から入射した光束（試料光）の断面形状を示す。
ダイクロイックミラーＤＣを透過した試料光は、バリアフィルタＦを通過することによって、所定の波長帯域が選択され、コンデンサーレンズＬ’によって集光され、試料面におけるＹ軸を長手方向とするスリット形状の光束として、ストリークカメラに入射する。ストリークカメラは上記時間分解を行う。
ストリークカメラは、上記スリット形状の光束が入射するストリーク管ＳＴと、ストリーク管ＳＴの光出射面に対向するＴＶカメラ７と、ストリーク管ＳＴから出射された画像をＴＶカメラ７に結合させるカップリング光学系とからなる。
図２Ｑはストリーク管ＳＴ上に入射した光束の断面形状を示す。ストリーク管ＳＴは、光入射面上にスリットを有するものであり、このスリットの長手方向は、これに入射するスリット形状の光束の長手方向に一致する。ストリーク管ＳＴは、入射したスリット形状の光束を光電変換した後、発生した光電子を偏向装置によって周期的に偏向し、偏向方向に沿ってスリット形状の光束をスリット形状の電子像として偏向方向に時間分解し、この電子像を蛍光面に入射させる。蛍光面は電子像に応じて発光するので、ストリーク管ＳＴからは、偏向方向に沿って時間分解されたスリット形状の光束が時間に応じて空間分解され、各時刻毎のスリット形状の光束は、ＴＶカメラ７の撮像面の異なる位置に順次投影されることとなる。
ＴＶカメラ７では、特定の試料位置におけるスリット形状の光束を時間分解して検出する。コンピュータ１０は、照明光としてのスリット形状の光束が試料Ｓの全面（観察領域）を走査するように、ガルバノミラー３ａを揺動させるので、全位置におけるスリット形状の光束の時間分解データが記憶装置１０ｃに格納される。照明光としてのスリット形状の光束の照射開始又は終了時間から特定の時間、Ｔ秒後のスリット形状の光束を、全ての位置において合成すれば、光照射からＴ秒後の試料像を得ることができ、この試料像は表示器１１に表示することができる。
このような時間分解されたスリット形状の光束は、２光子時間分解蛍光検出の際に有用である。本撮像システムを用いた撮像方法を２光子時間分解蛍光検出に適用した場合、通常のスポット走査型の２光子蛍光顕微鏡と比較し、画素当たりの光束の照射時間を長く設定できるので、従来に対してＳ／Ｎ比が同じでよいのであれば、光束（励起光）の強度を低下させることができ、励起光の照射による試料Ｓの劣化を抑制することができる。
図３は、図２Ａに示した光学系を実際の装置に組込んでなる撮像システムの斜視図である。同一符号は同一要素を示しており、支持台１００上に図示の部品が配置されている。
レーザ光源１から出射されたレーザ光束は、ミラーＭ１によって反射され、ビームエキスパンダＢＥによって口径が広げられ、必要に応じてシャッタＳＨによって、その通過が制御されつつ、ミラーＭ２で反射され、フィルタホルダ内に差込まれたフィルタＦ１、シリンドリカルレンズＣＬを介してダイクロイックキューブ（ダイクロイックミラー）ＤＣに入射する。
ダイクロイックミラーＤＣは、シリンドリカルレンズＣＬ方向から入射した光を反射し、反射された光束はガルバノミラー３ａに入射する。ガルバノミラー３ａは、モータ３ｂと共にスキャナ３を構成し、スキャナードライバ５からの制御信号によって揺動する。
ガルバノミラー３ａによって反射された光束は、瞳投影レンズＬを介して、顕微鏡ユニットの光入力ポートＩＮ内に入力される。入力された光束は、ミラーＭ３によって、上方に向けて反射され、対物レンズＯＬで集光されて、透明板４を下方から透過し、透明板４上に配置された試料Ｓに、スリット形状の光束として、下方から照射される。
試料Ｓから発せられたスリット形状の試料光は、対物レンズＯＬ、ミラーＭ３、瞳投影レンズＬ、ガルバノミラー３ａ、ダイクロイックミラーＤＣ、フィルタＦ、コンデンサレンズＬ’を順次透過して、ストリーク管ＳＴの入射面にスリット形状の光束として投影される。
ストリークカメラコントローラ８’から、ストリーク管ＳＴの偏向電極ＳＴＥに、適当な掃引電圧を印加することによって、ストリーク管ＳＴによって光電変換された電子像を偏向走査し、この電子像を蛍光に変換した後、ＴＶカメラ７で撮像する。偏向のタイミングは、図示の位置に設けられたハーフミラーＨＭによって反射した光をモニターする光検出器ＰＤからの信号を用いる。すなわち、光検出器ＰＤの出力を基準時刻（ｔ０＝０）とし、この基準時刻を偏向の開始時刻の基準点とする。
ＴＶカメラ７から出力された映像信号は、カメラコントローラ８を介してコンピュータ１０に入力され、表示器１１上に表示される。なお、本例では、図１に示したスキャナコントローラ６及びフレームグラバ９は、コンピュータ１０内に組込まれているものとする。
以上、説明したように、上記撮像システムは、光源１から出射された光束の進行方向に垂直な断面内における光束の一方向の成分のみを集光するシリンドリカルレンズＣＬと、シリンドリカルレンズＣＬから出射された光束が、その集光位置を過ぎた後に入射する対物レンズＯＬとを備え、試料Ｓ上にスリット形状の光束を投影する光学ユニット２と、シリンドリカルレンズＣＬと対物レンズＯＬとの間の前記光束の光路上であって上記集光位置に設けられたガルバノミラー３ａと、試料Ｓ上へのスリット形状の光束の入射に応じて試料Ｓから出射された光束を撮像するＴＶカメラ７とを備えている。
本システムによれば、光源１から出射された光束は、シリンドリカルレンズＣＬによって一方向に集光され、これが対物レンズＯＬを介することによってスリット形状の光束に変換されるので、光束の強度の減衰量が従来のスリット板を用いたものよりも低く、且つ、シリンドリカルレンズＣＬの集光位置にガルバノミラー３ａが配置されているので、ガルバノミラー３ａを揺動させることにより、このスリット形状の光束で試料Ｓ上を走査することができる。
以下、上記撮像システムにおいて、適応可能な撮像モードについて説明しておく。
（１）遅延蛍光取得モード
試料Ｓはレーザ光の照射によって励起可能なものとし、レーザ光源１からレーザ光を出射して試料Ｓ上にスリット形状のレーザ光束を投影した後（投影時刻をｔ０とする）、試料Ｓから出射されたスリット形状の励起光をストリークカメラで時間分解して撮像する（例えば、時刻ｔ０＋Δｔ、ｔ０＋２Δｔ、ｔ０＋３Δｔ、ｔ０＋４Δｔにおいて撮像する）。ガルバノミラー３ａを揺動させることにより、試料Ｓ上の観察対象領域をスリット形状のレーザ光束で走査した後、各励起時（ｔ０）から少しだけ時間が経過した時刻（例えば、ｔ０＋３Δｔ）に撮像されたスリット形状の像を、コンピュータ１０で合成し、表示器１１上に表示する。この場合、蛍光寿命の長い物質のみを選択的に撮像することができる。人間の目から見ると、画像はリアルタイムに表示される。
（２）簡易蛍光寿命取得モード
上記（１）との違いは、各励起後の２つの時刻、例えば、ｔ１＝ｔ０＋Δｔ、ｔ２＝ｔ０＋３Δｔにおけるスリット形状の光束の像（Ｉ１，Ｉ２とする）を撮像し、コンピュータ１０にＩ１／Ｉ２を演算させ、スリット形状の像に対応させてコンピュータ１０で合成し、表示器１１上に表示することである。この場合、試料Ｓ内領域の寿命を反映して演算値が異なるので、簡易的に蛍光寿命のマッピングを行うことができる。人間の目から見ると、画像はリアルタイムに表示される。
（３）蛍光寿命取得モード
上記（２）との違いは、演算の手法であり、各励起後の全ての時刻（ｔ０＋Δｔ、ｔ０＋２Δｔ＋…・）におけるスリット形状の試料像は、ガルバノミラー３ａを揺動することにより、観察対象領域内で撮像されているので、これらの試料像の強度に基づいて、ＴＶカメラ７の撮像面における各画素毎に、試料Ｓから発生した蛍光強度（輝度）の時間減衰特性を示すグラフ、すなわち、蛍光寿命カーブを求め、このカーブにおける最大輝度値の１／ｅの強度が得られる時間（蛍光寿命）を各画素毎に算出する。この蛍光寿命は、予め測定しておいた装置定数を使用し、上記蛍光寿命カーブにデコンボルーリョンを掛けることにより、厳密に計算することができる。
なお、本システムは上記時間分解構成から波長分解構成に変形することができる。
（第２実施形態）
図４Ａは、スリット形状の光束を時間分解するタイプの撮像システムの光学系の斜視図である。図４Ｂ、図４Ｃ、図４Ｄ、図４Ｅ、図４Ｆ、図４Ｇ、図４Ｈ、図４Ｉ、図４Ｊ、図４Ｋ、図４Ｌ、図４Ｍ、図４Ｎ、図４Ｏ、図４Ｐ、図４Ｑは、図４Ａにおける矢示の地点の光束の断面形状を示す。図４Ｂ〜図４Ｑは、図２Ｂ〜図２Ｑと基本的に同一である。
装置構成は、図２Ａに示したものと略同一であり、上記がストリーク管ＳＴを用いて時間分解された光束をＴＶカメラ７で撮像するのに対し、以下ではストリーク管ＳＴの代わりに回折格子Ｇを用いることにより、波長分解された光束をＴＶカメラ７を用いて撮像する。換言すれば、上記時間分解の装置構成において、ストリーク管ＳＴを省略する代わりに、波長分解を行う回折格子Ｇを採用し、時間を波長と読み替えたものが本装置である。
ダイクロイックミラーＤＣを透過するまでの本実施形態のシステム構成は、上述の実施形態のものと同一である。ダイクロイックミラーＤＣを透過した試料光はバリアフィルタＦによって、所定の波長帯域が選択され、Ｙ軸を長手方向とするスリット形状の光束として透過型の回折格子（分光器）Ｇに入射する。
回折格子Ｇは、入射したスリット形状の光束を試料Ｓ上の座標におけるＸ方向に沿って波長分解、すなわち分光して出射する。波長分解された光束は、コンデンサーレンズＬ’を介して、ＴＶカメラ７の撮像面上に結像する。なお、図４Ｑはカメラ７の撮像面上に入射した光束（試料光）の進行方向に垂直な平面内における、当該光束の断面形状を示す
本装置においては、図１を参照すると、スキャナ３を駆動し、試料Ｓ上をスリット形状の光束で走査しながら、ＴＶカメラ７におけるＣＣＤ撮像面上の特定の画素列（波長に対応）の映像信号をフレームグラバ９でサンプリングしながら取り出して、記憶装置１０ｃに格納する。すなわち、スキャナ３の角度（試料Ｓ上のＸ方向のスリット形状の光束の位置）、この位置における特定の波長λのスリット形状の光束のデータが、コンピュータ１０内の記憶装置１０ｃに対応づけて格納される。
時刻ｔ＝１，２，３，４，５のとき、試料Ｓ上のスリット形状の光束のＸ方向位置：Ｘ＝１，２，３，４，５であるとする。試料Ｓ上のスリット形状の光束のＹ方向位置をＹとし、波長をλとする。なお、これらの単位は任意定数とする。
図５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ、５Ｅは、時刻ｔ＝１，２，３，４，５におけるＴＶカメラ７の撮像面上の画像を示す説明図である。図６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ、６Ｅは、それぞれの時刻ｔ＝１，２，３，４，５におけるスリット形状の光束をＹ方向積算したスペクトル分布を示すグラフである。
例えば、波長λ＝２の試料像を得る場合、コンピュータ１０は、図５Ａ〜５Ｅにおけるλ＝２の画素列の映像信号をサンプリングするようにフレームグラバ９に指示する。これにより、記憶装置１０ｃ内には、試料Ｓ上のＸ方向のスリット形状の光束位置における波長λ＝２のスリット形状の光束のデータが、Ｘ方向に沿って得られることとなり、これらを合成すると、波長λ＝２における試料像が得られる。
図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃ、図７Ｄ、図７Ｅ、図７Ｆは、λ＝１，２，３，４，５，６において合成された試料像を示す説明図である。図５Ａ〜図７Ｆに示されたデータは、表示器１１上に表示される。
スリット形状の光束の走査を繰り返すと、試料Ｓの面内におけるデータ（Ｘ，Ｙ，λ（又は時間Ｔ））を得ることができるので、コンピュータ１０はこれらを再編成し、λとＸとの関係を示す画像を作成することができる。
図８Ａ、図８Ｂ、図８Ｃ、図８Ｄは、位置Ｙ＝１，２，３，４におけるＴＶカメラ７の撮像面上の画像を示す説明図である。図９Ａ、図９Ｂ、図９Ｃ、図９Ｄは、位置Ｙ＝１，２，３，４におけるスリット形状の光束のスペクトル分布を示すグラフである。図９〜図９Ｄに示されたスペクトル（輝度Ｉ）分布を積算すると、図１０に示すように、試料観察領域全域に亙る積算スペクトル分布を示すグラフが得られる。
（第３実施形態）
図１１Ａは撮像システムに適用される光学系の変形例に係わる光学系の斜視図である。図１１Ｂ、図１１Ｃ、図１１Ｄ、図１１Ｅ、図１１Ｆ、図１１Ｇ、図１１Ｈ、図１１Ｉ、図１１Ｊ、図１１Ｋ、図１１Ｌ、図１１Ｍ、図１１Ｎ、図１１Ｏ、図１１Ｐ、図１１Ｑは、図１１Ａにおける矢示の地点の光束の断面形状を示す。図１１Ａと図４Ａとの違いは、図４Ａにおける回折格子ＧにコンデンサレンズＬ’の集光機能を持たせることにより、コンデンサレンズＬ’を省略した点だけである。換言すれば、光学部品Ｇは、回折格子が表面に形成されたコンデンサレンズである。
また、図１１Ｂ〜図１１Ｑは、図４Ｂ〜図４Ｑと同一である。このようなシステムにもよっても、上記と同じ波長分解を行うことができる。
以上、説明したように、上述の実施形態に係る撮像システムにおいては、シリンドリカルレンズＣＬ、ガルバノミラー３ａ、対物レンズＬを用いることにより、高い光強度のスリット形状の光束で、試料Ｓ上を走査することができた。
また、本撮像システムは、シリンドリカルレンズＣＬとガルバノミラー３ａとの間の光束の光路上に配置され所定波長帯域の成分をガルバノミラー３ａ方向に向けて反射するダイクロイックミラーＤＣを更に備え、試料Ｓから出射された光束は対物レンズＯＬ、ガルバノミラー３ａ、及びダイクロイックミラーＤＣを順次介してＴＶカメラに入射している。この場合、試料からの光を選択的に取出すことができるので、高精度の撮像を行うことができる。
また、第２、第３実施形態の撮像システムは、ＴＶカメラ７の前方に配置された分光器Ｇを更に備えており、スリット形状の光束を波長分解して撮像することができる。
また、第１実施形態の撮像システムは、ＴＶカメラ７の前方に配置されたストリーク管ＳＴを更に備えており、スリット形状の光束を時間分解して撮像することができる。
また、第１実施形態の撮像システムは、試料Ｓが配置される透明板４を更に備え、対物レンズＯＬから出射された光束は透明板４を介して試料Ｓに下方から投影されており、試料Ｓを透明板４上に設置した状態で、上方から蛍光試薬等を試料Ｓ内に混入させることができる等の利点がある。また、このような図３に示した構成は、第２、第３実施形態の撮像システムにおいても適用することができる。また、第２、第３実施形態の撮像システムの構成において、波長を時間に読み替えることもできる。
また、上記光学系は落射照明型の構成としたが、これは透過型の構成としてもよい。この場合は試料中を光束が往復するような光学素子を付加する。
ＴＶカメラ７は、ＣＣＤを用いたデジタルカメラを用いたが、ＭＯＳ型イメージセンサを用いたものでも良い。また、各画素からのデータを読み出す前に積算してもよく（ピンニング）、この場合には映像信号の読み出し速度を上げ、波長分解能、画像分解能を下げる、あるいは速度を一定にしたまま、Ｓ／Ｎを上げる効果が期待できる。
上記スリット形状の光束のデータは、各画素の輝度データと試料面上の位置のデータであるので、全データを記憶装置１０ｃに格納しておけば、必要な時に、画像を再構成して表示することができる。
産業上の利用可能性
本発明は撮像システムに利用できる。
【図面の簡単な説明】
図１は撮像システムのシステム構成図である。
図２Ａはスリット形状の光束を時間分解するタイプの撮像システムの光学系の斜視図である。
図２Ｂはレーザ光源１から出射された直後の光束の断面形状を示す図である。
図２ＣはミラーＭ１によって反射された直後の光束の断面形状を示す図である。
図２ＤはビームエキスパンダＢＥから出射された直後の光束の断面形状を示す図である。
図２ＥはシリンドリカルレンズＣＬ出射後にダイクロイックミラーＤＣ上に入射した光束の断面形状を示す図である。
図２Ｆはガルバノミラー３上の光束の断面形状を示す図である。
図２ＧはレンズＬ上の光束の断面形状を示す図である。
図２ＨはレンズＬから出射直後の光束の断面形状を示す図である。
図２Ｉは対物レンズＯＬ上の光束の断面形状を示す図である。
図２Ｊは対物レンズＯＬから出射され試料Ｓ上に投影された光束の断面形状を示す図である。
図２Ｋは試料Ｓから出射される光束の断面形状を示す図である。
図２Ｌは試料から出射された光束が対物レンズＯＬを逆方向に通過直後に変形した光束の断面形状を示す図である。
図２Ｍは対物レンズＯＬを逆方向に通過した直後の光束の断面形状を示す図である。
図２ＮはレンズＬを逆方向に通過した光束の断面形状を示す図である。
図２Ｏはガルバノミラー３ａ上に逆方向から入射した光束の断面形状を示す図である。
図２ＰはダイクロイックミラーＤＣに逆方向から入射した光束の断面形状を示す図である。
図２Ｑはストリーク管ＳＴ上に入射した光束の断面形状を示す図である。
図３は図２Ａに示した光学系を実際の装置に組込んでなる撮像システムの斜視図である。
図４Ａは撮像システムに適用される光学系の斜視図である。
図４Ｂはレーザ光源１から出射された直後の光束の断面形状を示す図である。
図４ＣはミラーＭ１によって反射された直後の光束の断面形状を示す図である。
図４ＤはビームエキスパンダＢＥから出射された直後の光束の断面形状を示す図である。
図４ＥはシリンドリカルレンズＣＬ出射後にダイクロイックミラーＤＣ上に入射した光束の断面形状を示す図である。
図４Ｆはガルバノミラー３上の光束の断面形状を示す図である。
図４ＧはレンズＬ上の光束の断面形状を示す図である。
図４ＨはレンズＬから出射直後の光束の断面形状を示す図である。
図４Ｉは対物レンズＯＬ上の光束の断面形状を示す図である。
図４Ｊは対物レンズＯＬから出射され試料Ｓ上に投影された光束の断面形状を示す図である。
図４Ｋは試料Ｓから出射される光束の断面形状を示す図である。
図４Ｌは試料から出射された光束が対物レンズＯＬを逆方向に通過直後に変形した光束の断面形状を示す図である。
図４Ｍは対物レンズＯＬを逆方向に通過した直後の光束の断面形状を示す図である。
図４ＮはレンズＬを逆方向に通過した光束の断面形状を示す図である。
図４Ｏはガルバノミラー３上に逆方向から入射した光束の断面形状を示す図である。
図４ＰはダイクロイックミラーＤＣに逆方向から入射した光束の断面形状を示す図である。
図４Ｑはカメラ７の撮像面上に入射した光束の断面形状を示す図である。
図５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ、５Ｅは、時刻ｔ＝１，２，３，４，５におけるＴＶカメラ７の撮像面上の画像を示す説明図である。
図６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ、６Ｅは、それぞれの時刻ｔ＝１，２，３，４，５におけるスリット形状の光束をＹ方向積算したスペクトル分布を示すグラフであ
図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃ、図７Ｄ、図７Ｅ、図７Ｆは、λ＝１，２，３，４，５，６において合成された試料像を示す説明図である。
図８Ａ、図８Ｂ、図８Ｃ、図８Ｄは、位置Ｙ＝１，２，３，４におけるＴＶカメラ７の撮像面上の画像を示す説明図である。
図９Ａ、図９Ｂ、図９Ｃ、図９Ｄは、位置Ｙ＝１，２，３，４におけるスリット形状の光束のスペクトル分布を示すグラフである。
図１０は試料観察領域全域に亙る積算スペクトル分布を示すグラフである。
図１１Ａは撮像システムに適用される光学系の変形例に係わる光学系の斜視図である。
図１１Ｂはレーザ光源１から出射された直後の光束の断面形状を示す図である。
図１１ＣはミラーＭ１によって反射された直後の光束の断面形状を示す図である。
図１１ＤはビームエキスパンダＢＥから出射された直後の光束の断面形状を示す図である。
図１１ＥはシリンドリカルレンズＣＬ出射後にダイクロイックミラーＤＣ上に入射した光束の断面形状を示す図である。
図１１Ｆはガルバノミラー３上の光束の断面形状を示す図である。
図１１ＧはレンズＬ上の光束の断面形状を示す図である。
図１１ＨはレンズＬから出射直後の光束の断面形状を示す図である。
図１１Ｉは対物レンズＯＬ上の光束の断面形状を示す図である。
図１１Ｊは対物レンズＯＬから出射され試料Ｓ上に投影された光束の断面形状を示す図である。
図１１Ｋは試料Ｓから出射される光束の断面形状を示す図である。
図１１Ｌは試料から出射された光束が対物レンズＯＬを逆方向に通過直後に変形した光束の断面形状を示す図である。
図１１Ｍは対物レンズＯＬを逆方向に通過した直後の光束の断面形状を示す図である。
図１１ＮはレンズＬを逆方向に通過した光束の断面形状を示す図である。
図１１Ｏはガルバノミラー３上に逆方向から入射した光束の断面形状を示す図である。
図１１ＰはダイクロイックミラーＤＣに逆方向から入射した光束の断面形状を示す図である。
図１１Ｑはカメラ７の撮像面上に入射した光束の断面形状を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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