(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面型表示パネルに用いられるガラス製の基板を焼成するための焼成装置であって、支持板およびその上に載置される前記基板との間の空気を除去するための空気除去手段と、焼成炉と、前記基板を載置した前記支持板を前記空気除去手段から前記焼成炉へ搬送する搬送手段とを有し、前記空気除去手段が、前記支持板の上に載置された前記基板の周縁部とその周縁部の近傍に位置する前記支持板の部分とを覆う覆被手段と、その覆被手段に連結した吸引手段とを有する焼成装置。
【請求項２】
平面型表示パネルに用いられるガラス製の基板を焼成する際に前記基板を載置する支持板であって、前記基板を載置する表面に、側面まで達する溝が形成され、厚み方向に貫通する穴が無い支持板。
【請求項３】
前記溝の深さが１０〜１０００μｍである請求項２に記載の支持板。
【請求項４】
平面型表示パネルに用いられるガラス製の基板を焼成する方法であって、支持板の上に前記基板を載置し、前記基板の周縁部とその周縁部の近傍に位置する前記支持板の部分とを覆被手段で覆い、その覆被手段に連結した吸引手段によって空気を吸引して前記基板と前記支持板との間の空気をほとんどなくしてから前記覆被手段を除去し、その後、前記基板が載置された前記支持板を焼成炉へ搬入して前記基板を焼成する基板の焼成方法。
【請求項５】
平面型表示パネルに用いられるガラス製の基板を焼成する方法であって、前記基板を載置する表面に、側面まで達する溝が形成され、厚み方向に貫通する穴が無い支持板の上に前記基板を載置した後、前記基板が載置された前記支持板を焼成炉へ搬入して前記基板を焼成する基板の焼成方法。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載された基板の焼成方法によって焼成した基板を用いてパネルを製造する平板型表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、支持板、焼成装置とそれらを用いた基板の焼成方法、およびその焼成方法を用いた平板型表示パネルの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の焼成装置は、図１５に示すように、連続投入式の焼成炉１と、焼成炉１の下側に配置されたリターンコンベア２と、焼成炉１およびリターンコンベア２の出入口に配置されたリフター３ａ、３ｂと、リフター３ａに隣接して配置された基板搬送装置（以下、搬送装置という）４とから構成されている。焼成炉１、リターンコンベア２、リフター３ａ、３ｂおよび搬送装置４にはそれぞれ円筒状の搬送ローラ５が設けられ、搬送ローラ５は駆動装置（図示せず）によって回転する。また、リフター３ａ、３ｂは上下に移動する。
【０００３】
ガラス基板を焼成する場合には、耐熱性の支持板６を搬送装置４の搬送ローラ５上に載置した後、平板状でガラス製の基板７を人手、または機械により支持板６上に載置する。このとき、図１６に示すように基板７の中心と支持板６の中心とを合わせるようにしている。その後、搬送装置４およびリフター３ａを駆動することにより基板７が載置された支持板６を搬送し、焼成炉１へ搬入された基板７は炉内で焼成されてリフター３ｂに送られる。そして、支持板６および基板７はリターンコンベア２とリフター３ａによって搬送装置４に戻るようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
支持板６を焼成炉１に搬入するときには、図１６に示すように、基板７は支持板６からはみ出すことなく載置された状態になっている。しかし、基板７が焼成炉１内で加熱焼成され焼成炉１の出口のリフター３ｂに達した時、図１７に示すように基板７が支持板６に対して搬送方向の方へずれたり、図１８に示すように基板７が回転ずれを起こすなどして、支持板６の外側に基板７がはみ出してしまう現象が発生していた。ここで、図１７および図１８中の矢印は、支持板６および基板７が焼成炉１中で搬送される方向を示している。このように基板７がずれたままの状態でリフター３ｂによって支持板６を下降させると、基板７がリフター３ｂの周囲の部材に衝突して基板７が破損してしまうため、重大な問題となっていた。
【０００５】
このような焼成炉１内で基板ずれが発生するのは、支持板６上に載置した基板７と支持板６との間に空気が残った状態で焼成炉１に搬入されていたことが原因であることがわかった。すなわち、基板７および支持板６には反りや凹みがあるため、基板７と支持板６との間の空気が焼成炉１内で熱膨張して基板７が支持板６上で浮上したとき、熱膨張した空気が偏って抜けるために、基板７がずれたり回転したりするものと考えられる。
【０００６】
このような基板ずれを防止するために、図１９に示すように周辺部にピン８を植設した支持板６ａを用いることにより、基板７の動きを抑制する方法が考えられる。しかしながらこの方法では、基板７を支持板６ａ上に載置しにくい、ピン８が外れてしまう、支持板６ａを清掃するときピン８がじゃまになる、大きさの異なる基板７を載置するときピン８の位置を変える必要がある、等の問題があった。
【０００７】
また、図２０に示すように、複数の穴９を設けた支持板６ｂを用いることにより、基板７と支持板６ｂとの間の空気を逃がす方法が考えられる。しかしながらこの方法では、基板７上に形成されたぺーストの有機成分が焼成炉１内で蒸発し、その蒸気が支持板６ｂの穴９から基板７の支持板６ｂと接する側の面に付着することにより、基板７の表面でしみとなる問題があった。また、支持板６ｂの穴９に対応する基板７表面の領域にはヒータからの熱輻射が直接伝わるが、支持板６ｂと接触している基板７表面の領域には熱輻射が直接伝わらない。このため、基板７の表面で支持板６ｂと接触している領域と穴９に面した領域とでは、温度上昇の値や履歴に差がでてくることにより、基板７の表面にしみがでることもある。このようなしみが発生した基板を用いて例えばプラズマディスプレイパネルを構成すると、表示品質を損なうという問題がある。
【０００８】
さらに、図２１に示すように、端部を高くした支持板６ｃを用いて、基板７のすべりを止める方法も考えられるが、支持板６ｃを洗浄する場合、端部が高くなっているため、回転ブラシからなる洗浄装置を使うと支持板６ｃの表面を洗浄しにくく、自動化が難しいという問題があった。また、支持板６ｃの加工が高価になるという問題があった。
【０００９】
本発明はこのような問題を解決するためになされたものであり、焼成炉内での基板の位置ずれを抑制し、基板が破損することのない基板搬送装置と焼成装置およびプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の焼成装置は、平面型表示パネルに用いられるガラス製の基板を焼成するための焼成装置であって、支持板およびその上に載置される前記基板との間の空気を除去するための空気除去手段と、焼成炉と、前記基板を載置した前記支持板を前記空気除去手段から前記焼成炉へ搬送する搬送手段とを有し、前記空気除去手段が、前記支持板の上に載置された前記基板の周縁部とその周縁部の近傍に位置する前記支持板の部分とを覆う覆被手段と、その覆被手段に連結した吸引手段とを有するものである。この構成により、焼成炉に基板を入れる前に基板と支持板との間の空気を除去することができる。
【００１１】
本発明の基板の焼成方法は、平面型表示パネルに用いられるガラス製の基板を焼成する方法であって、支持板の上に前記基板を載置し、前記基板の周縁部とその周縁部の近傍に位置する前記支持板の部分とを覆被手段で覆い、その覆被手段に連結した吸引手段によって空気を吸引して前記基板と前記支持板との間の空気をほとんどなくしてから前記覆被手段を除去し、その後、前記基板が載置された前記支持板を焼成炉へ搬入して前記基板を焼成するものである。
【００１２】
本発明の他の基板の焼成方法は、平面型表示パネルに用いられるガラス製の基板を焼成する方法であって、前記基板を載置する表面に、側面まで達する溝が形成され、厚み方向に貫通する穴が無い支持板の上に前記基板を載置した後、前記基板が載置された前記支持板を焼成炉へ搬入して前記基板を焼成するものである。
【００１３】
また、本発明の平板型表示パネルの製造方法は、これらの基板の焼成方法によって焼成した基板を用いてパネルを製造するものである。
【００１４】
これらの基板の焼成方法および平板型表示パネルの製造方法により、支持板とその上に載置された基板との間にほとんど空気がない状態で、支持板および基板を焼成炉に搬入して基板を焼成することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１は本発明の一実施形態の焼成装置を示す構成図である。この焼成装置１０は、連続投入式の焼成炉１と、焼成炉１の下側に配置されたリターンコンベア２と、焼成炉１およびリターンコンベア２の出入口に配置されたリフター３ａ、３ｂと、リフター３ａに隣接して配置された搬送装置１１とから構成されている。焼成炉１、リターンコンベア２、リフター３ａ、３ｂおよび搬送装置１１にはそれぞれ円筒状の搬送ローラ５が設けられ、搬送ローラ５は駆動装置（図示せず）によって回転する。
【００１７】
図２は図１において搬送装置１１をＹ方向から見た矢視図であり、図３は搬送装置１１をＺ方向からみた矢視図である。これらの図は、搬送装置１１に設けられた複数の搬送ローラ５上に支持板６が載置され、支持板６上にはガラス製の基板７が置かれた状態を示している。支持板６は、厚さが約５ｍｍで表面粗さが約６．３μｍの平板状であり、日本電気硝子株式会社製のネオセラム（商品名）を用いている。また、支持板６の耐熱温度は約７５０℃であり、熱膨張係数はほぼゼロであるが、好ましくはその上に載せる基板７と同程度の熱膨張係数の材料が良い。
【００１８】
搬送装置１１に設けられた搬送ローラ５の下部には、支持板６を突き上げて湾曲させるための突き上げ手段（支持板湾曲手段）１２が設置されている。突き上げ手段１２は凸部形状のものが複数個並んだ突き上げ部材１２ａと、その突き上げ部材１２ａを上下動させるための突き上げシリンダ１２ｂとから構成されており、突き上げ部材１２ａは搬送ローラ５の間を上下動するように配置されている。また、突き上げ部材１２ａは、その幅が小さく、支持板６の中央部を線状に突き上げるように、搬送ローラ５の軸方向のほぼ中央部に設置されている。このため、突き上げ手段１２によって支持板２を突き上げることにより、支持板６は長手方向に中央から周辺にかけて湾曲するようになる。
【００１９】
図２および図３に示すように、支持板６の両側端部近傍には押さえローラ（支持板押さえ手段）１３を配置しており、図１のＹ方向から見たときに、押さえローラ１３は搬送ローラ５と重なる位置に配置されている。突き上げ手段１２によって支持板６を突き上げたとき、支持板２の端部が上方向に上昇するのを押さえローラ１３によって防止することができる。
【００２０】
焼成炉１は、支持板６を搬送する搬送ローラ５、加熱室を形成するマッフル１４、支持板６上の基板７を加熱するヒータ１５、加熱された基板７を冷却するための冷却手段１６、空気をマッフル１４内に供給するための空気供給手段１７、マッフル１４内の燃焼ガスを排気するための排気手段１８、および炉体カバー１９で構成されている。
【００２１】
焼成炉１の入口側に設けられたリフター３ａは、基板７を載せた支持板６を搬送装置１１から焼成炉１へ移載するとともに、リターンコンベア２から搬送装置１１へ移載するものである。また、焼成炉１の出口側に設けられたリフター３ｂは、焼成炉１で焼成済みの基板７をリターンコンベア２に移載するものである。
【００２２】
次に、このような本発明の一実施形態の焼成装置を用いて基板を焼成する方法について図面を用いて説明する。図４〜図８は搬送装置１１の動作を説明するための図であり、図４、図６および図８は図１に示したＺ方向から見た矢視図であり、図５および図７は図２に示したＡ−Ａ矢視断面図である。
【００２３】
図４および図５に示すように、搬送装置１１の搬送ローラ５上に支持板６を載置し、押さえローラ１３によって支持板６の両側端部を上側から押さえる。この時点では支持板６は搬送ローラ５上に水平に載置されている。次に、突き上げシリンダ１２ｂを駆動して突き上げ部材１２ａを上昇させると、図６および図７に示すように支持板６はその中心部で約２ｍｍから４ｍｍ程度上昇し、上に凸状に湾曲する。このとき、押さえローラ１３で支持板６の端部を押さえているため、押さえローラ１３が無い場合より湾曲量を大きくすることができる。
【００２４】
この状態で、基板７の中央部が支持板６の凸部の先端（支持板６のほぼ中央部）に接触するように、基板７を支持板６上に人手により載置すると、基板７はその中央部から両側端部へ向かって空気を押し出しながらしだいに支持板６と接触していき、最後は図８に示すように、基板７は支持板６に沿って湾曲して支持板６上に置かれた状態となる。この図８に示す状態で約３０秒程度保持することにより、支持板６と基板７とが次第に密着することになり、支持板６と基板７との間の空気が排出される。この保持時間が短いと空気の排出量が減って基板７と支持板６との間に空気が残ってしまい、長くなると生産のリードタイムが長くなるという問題があるため、この保持時間は３０秒〜６０秒程度がよい。
【００２５】
次に突き上げ部材１２ａを下降させて、図３に示すように支持板６を水平に戻す。この動作によって、支持板６と基板７とが図８中に示した矢印ａｂ方向に相対的にずれることで、支持板６と基板７との間の空気が更に排出される。この結果、支持板６と基板７との間の空気はほとんどなくなる。
【００２６】
以上の動作の後、支持板６上に載置した基板７をリフター３ａによって焼成炉１の入口へ搬送し、マッフル１４内を通過させることにより基板７を焼成する。焼成された基板７が焼成炉１から出てきた時、支持板６と基板７との位置ずれはほとんどない。そして、焼成炉１から出てきた基板７を載置した支持板６をリフター３ｂに移し、続いてリターンコンベア２によって支持板６を運んでリフター３ａへ移し、リフター３ａから搬送装置１１へ戻す。
【００２７】
このように、基板７を焼成炉１に搬入する前に、搬送装置１１によって支持板６と基板７との間の空気を排出しているので、基板７が焼成炉１から出てきたときの支持板６と基板７との位置ずれを防止することができる。その結果、リフター３ｂで基板７を下降させるとき、従来のような基板７を破損することがなくなり、製造歩留まりを向上させることができる。
【００２８】
また、押さえローラ１３を用いることにより、支持板６の湾曲量を大きくすることができる。このため、湾曲した支持板６上に基板７を載置した後、支持板６を平板状に戻す時、支持板６と基板７との相互のずれ量が大きくなるので、支持板６と基板７との間の空気が確実に排出されるようになり、より一層基板ずれが発生しにくくなる。
【００２９】
また、支持板湾曲手段として、エアクッションを用いることができる。たとえば、円柱形状のエアクッションを中に空気がない状態で支持板６の中心線に沿って支持板６の下に置く。そして、エアクッションと平行な支持板６の周縁部を押さえローラ１３によって押さえた後、エアクッションに空気を入れて膨らませることにより支持板６を湾曲させる。続いて、湾曲した支持板６上に基板７を載置してしばらくその状態を保持した後、エアクッションの空気を抜いて支持板６を元の状態に戻し、この支持板６および基板７を焼成炉１へ搬送し基板７を焼成する。この場合も支持板湾曲手段が突き上げ手段である場合と同様の効果を得ることができる。
【００３０】
以上で説明した実施形態では、湾曲した支持板６上に基板７を載置する作業を人手で行っていたが、この作業を機械で行う方法を図９に示す。焼成炉１やリフター３ａ、３ｂについては図１の場合と同様である。基板７を保持するための基板保持手段２０は、駆動モータ２１により矢印ｃｄ方向に移動し、駆動モータ２２により矢印ｅｆ方向に移動する。カウンターウエイト２３は駆動モータ２２の負荷を軽減するものである。基板７を支持板６上に載置するには、まず基板７を保持した基板保持手段２０を矢印ｆ方向に移動し、基板７を湾曲した支持板６の上部に載せる。次に、駆動モータ２１を作動して基板保持手段２０を左右に開くことにより、基板７が支持板６に沿って湾曲し支持板６上に載置される。
【００３１】
このように基板保持手段２０を用いて基板７を支持板６上に載置できるので、基板７を手で扱うことがないため、基板７にダストが付着するおそれがなくなり、基板７のクリーン度が向上する。また、基板７を常にほぼ同じ位置関係を保って支持板６上に載置できるので、支持板６と基板７との間の空気の排出作用が安定し、基板ずれ防止に対する信頼性が高まる。
【００３２】
図１０および図１１は他の実施形態を示す図であり、図１０は排気装置の平面図、図１１は排気装置の部分断面図である。図１０および図１１に示すように排気装置２４は、真空ポンプ（吸引手段）２５、額縁状のシール部材（覆被手段）２６および真空ポンプ２５とシール部材２６とを接続している排気管２７で構成されている。シール部材２６は基板７の周囲と支持板６とに密着させている。この状態で、真空ポンプ２５を作動させると、支持板６と基板７との間の空気は排出される。空気の排出が充分か否かは真空ゲージ等で判断し、空気の排出が充分であると判断した時点で真空ポンプ２５を停止する。次にシール部材２６を基板７から取り外した後、支持板６および基板７を焼成炉１に投入する。この方法により、焼成炉１内において基板７が支持板６に対して位置ずれを起こすことを防止することができる。
【００３３】
以上の実施形態で使用する支持板６は平板形状であるため、支持板６を安価に入手できるとともに、その清掃を簡単に行うことができ保守管理が容易である。また、支持板６には穴があいていないため、基板７を焼成したときにその穴に対応した基板７の表面にしみが発生することがない。
【００３４】
次に他の実施形態について、図１２〜図１４を用いて説明する。これらは、焼成炉内で基板ずれを起こす原因となっている、支持板と基板との間の空気層をなくすように、支持板の表面に溝を設けたものである。
【００３５】
図１２は支持板の一例であり、図１２（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面図である。図１２に示した支持板２８では、中心線に沿って十字状の溝２９を形成している。溝２９は支持板２８の側面まで達しており、サンドブラストを用いて形成される。支持板２８の厚みは約５ｍｍであり、溝２９の深さは約２００μｍ、その幅は約４０ｍｍである。支持板２８上の２点鎖線で示す位置に厚み２．８ｍｍの基板７を載置した状態で、焼成炉に搬入して基板７を焼成すると、支持板２８と基板７との間に空気が存在している場合、その空気が熱膨張して基板７を浮上させても、基板ずれが発生する前にその空気は溝２９を通って排出されるため、基板ずれは発生しなくなる。実験の結果では、基板ずれは全く発生しなかった。
【００３６】
図１３は他の形状の溝を設けた例を示しており、図１３（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面図である。支持板３０では短辺に平行な方向に、深さが約２００μｍで幅が約４０ｍｍの溝３１を２本形成している。溝の本数はこの例では２本であるが、もっと多く形成してもよい。この支持板３０上に基板７を載置し焼成炉で基板７を焼成したが、基板ずれは発生しなかった。
【００３７】
図１４は他の例であり、支持板３２の表面にはサンドブラストを用いて多数の凹部３３からなる溝を形成してある。凸部の頂部をつないだ面は平面形状になるようにしている。このような構成にすることで支持板３２と基板７との間の膨張空気を凹部３３を通じて円滑に排出することができる。このため、焼成炉内での基板ずれが発生しなくなる。
【００３８】
厚み方向に貫通する穴をあけた支持板を用いた場合には、前述したように基板表面にしみが発生するという問題があるが、図１２〜１４のような支持板を用いる場合には、溝の深さが小さいために基板上に形成されたペーストから蒸発した物質が溝内に侵入しにくいので、それによって基板にしみがつくことはない。また、基板表面のうち、支持板の溝に面した領域と支持板に接触している領域との間で、温度上昇の履歴の差は発生し難いのでそれに伴った基板表面のしみの発生も抑制される。実際に上述した実験では基板にしみは発生しなかった。なお、基板と支持板との間の空気が熱膨張したとき溝を通って排出されるように溝を形成していればよく、その形状は上述した十字状等に限定されるものではない。
【００３９】
溝の深さが小さすぎると、基板と支持板との間の空気を排出する作用が弱くなり、焼成炉中で基板がずれてしまう。また、溝の深さが大きすぎると、基板にしみが発生したり支持板の強度が低下するという問題がでてくる。したがって、溝の深さを１０μｍ〜１０００μｍとすることにより、基板表面のしみの発生や基板ずれを抑制することができる。
【００４０】
以上のように、支持板に溝を形成する簡単な方法で焼成中の基板ずれをなくし、信頼性が高く、安定な焼成を実現できる焼成方法を提供できる。
【００４１】
次に、図１に示した焼成装置１０を、プラズマディスプレイパネルの製造に用いた場合の結果について説明する。
【００４２】
プラズマディスプレイパネルは、例えばガラス基板上に平行な２本の電極からなる表示電極が複数設けられ、その表示電極を覆って誘電体層が設けられた前面板と、別のガラス基板上にデータ電極と隔壁とが交互に設けられ、さらに隔壁間にはデータ電極を覆って蛍光体が設けられた背面板とが対向配置されたものであり、表示電極とデータ電極とは交差している。前面板と背面板との間に形成される放電空間にはネオンおよびキセノン等の希ガスが封入されている。表示電極を構成する２本の電極間で希ガスの放電を起こし、その時に発生する紫外線によって蛍光体を光らせて表示を行うものである。
【００４３】
ここでは、前面板を焼成する場合に突き上げ手段１２を備えた焼成装置を用いた。焼成する基板７はガラス製であり、その厚さは約２．８ｍｍ、大きさは９８０ｍｍ×５５４ｍｍで、基板７の表面には表示電極が形成され、その表示電極を覆って誘電体層が４０μｍ程度の厚みで形成されている。支持板６をその短辺と平行な中心線上で上側に３ｍｍ湾曲させ、その上に基板７を載せて図８に示す状態を３０秒保持した後、支持板６を平板状に戻し、それから基板７を載せた支持板６を焼成炉１に搬入した。焼成炉１では６００℃まで昇温し、基板７を焼成炉１に入れてから焼成炉１を出るまで１５０分程度とした。このとき、焼成炉１内では支持板６と基板７との位置ずれはほとんど起こらず、リフター３ｂによって焼成炉１からリターンコンベア２に移動するとき、基板７の破損は発生しなかった。従来の方法では１０％程度の基板が破損しており、本発明によりリフター３ｂでの基板の破損をほぼ確実に防止することができた。
【００４４】
なお、本発明はプラズマディスプレイパネルだけではなく、エレクトロルミネセンスパネル（ＥＬパネル）等の平板型表示パネルを製造する工程において使用することができる。
【００４５】
【発明の効果】
本発明は、基板を支持板上に載置し焼成炉にて焼成する場合において、支持板および基板を焼成炉に搬入する前に、基板と支持板との間の空気を排出しておくか、あるいは、基板の焼成中に基板と支持板との間の空気を排出できる溝を設けた支持板を使用することにより、焼成炉内での基板ずれがなくなり、基板の焼成を安定して行うことができ、基板焼成の生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の焼成装置の構成図
【図２】図１のＹ方向拡大矢視図
【図３】図１のＺ方向拡大矢視図
【図４】搬送装置の動作を説明するための図
【図５】搬送装置の動作を説明するための図
【図６】搬送装置の動作を説明するための図
【図７】搬送装置の動作を説明するための図
【図８】搬送装置の動作を説明するための図
【図９】基板を支持板上に載置する装置を示す構成図
【図１０】基板と支持板との間の空気を除去するための他の手段を示す平面図
【図１１】基板と支持板との間の空気を除去するための他の手段を示す部分断面図
【図１２】本発明の一実施形態の支持板の平面図および側面図
【図１３】本発明の他の実施形態の支持板の平面図および側面図
【図１４】本発明の他の実施形態の支持板の側面図
【図１５】従来の焼成装置の構成図
【図１６】支持板上に基板を載置した状態を示す平面図
【図１７】支持板および基板が焼成炉から出てきた時の基板の状態を示す平面図
【図１８】支持板および基板が焼成炉から出てきた時の基板の状態を示す平面図
【図１９】基板ずれを防止するための支持板の構造を説明する平面図
【図２０】基板ずれを防止するための支持板の他の構造を説明する平面図
【図２１】基板ずれを防止するための支持板の他の構造を説明する断面図
【符号の説明】
１  焼成炉
３ａ、３ｂ  リフター
５  搬送ローラ
６、２８、３０、３２  支持板
７  基板
１０  焼成装置
１１  搬送装置
１２  突き上げ手段
１３  押さえローラ
２０  基板保持手段
２４  排気装置
２５  真空ポンプ
２６  シール部材
２９、３１  溝
３３  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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