(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電解液に浸漬したカソード体とアノード体の間に通電して電解反応により前記カソード体表面に銅箔を析出させ、カソード体表面から銅箔を剥離して銅箔を製造する方法において、銅箔を剥離した後に露出したカソード体表面を連続的又は間欠的に電解還元処理することを特徴とする銅箔の製造方法。
【請求項２】
電解還元処理を硫酸を５〜２００ｇ／ｌ含む水溶液で行う請求項１記載の銅箔の製造方法。
【請求項３】
電解液に浸漬したカソード体とアノード体との間に通電して電解反応により前記カソード体表面に銅箔を析出させ、カソード体表面から銅箔を剥離するようになした銅箔製造装置において、カソード体表面との間に電解処理液溜りを生成させる液溜めロールと、この電解液溜り生成部に設置した電解還元処理用アノード体とからなる電解還元処理装置をカソード体表面から銅箔を剥離する位置より後方に設けたことを特徴とする電解銅箔の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、電解銅箔を製造する際に、銅箔の外観と機械特性を安定かつ良好にすることが可能な銅箔の製造方法及び製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
銅箔は、一般的に電着ドラムと称されるドラム状の不溶性のカソード体とこれに対向する半円弧状のアノード体を有する電解槽を用い、カソード体とアノード体の間隙に、銅イオンを含む電解液を供給して電解反応を行うことによって、カソード体表面に銅を電析して製造されている。カソード体には、チタンやステンレス又はクロム等を被覆したステンレス鋼から成るドラム状のカソード体が用いられる。これらカソード体は、時間の経過と共にカソード体表面に有機物やごみ等の異物が付着したり、アノード体から発生する酸素ガスや電解液の飛散した雰囲気中にさらされることで表面に酸化被膜が形成する。この酸化被膜は耐食性を有する一方、酸化被膜が厚くなると、通電を阻害する。これらカソード体表面の付着物や酸化被膜は銅の析出を阻害する虞れがあり、電析した銅箔の変色や表面ムラといった外観不良やピンホールを発生するばかりでなく、電析する銅の結晶成長を阻害することから、得られる銅箔の引張強さや伸び率の低下といった機械特性にも悪影響を及ぼすという問題があった。
【０００３】
従来は、これらカソード体表面の有機物やごみや酸化被膜を取り除く目的でカソード体表面を研磨バフを用いて物理的にバフ研磨することが行われていた。このバフ研磨は、付着物や酸化被膜を除去し、活性なカソード体表面を露出させる目的の他に、カソード体表面の粗さを調整する目的がある。表面が必要以上に粗いと電析時の結晶成長に影響を及ぼし機械特性の悪化や薄箔でのピンホールの原因となり、また細かいとカソード体表面との密着性が悪化し、めっき途中で剥離してしまうことがある。しかしながら、この物理的なバフ研磨は、作業性が悪く時間がかかるため、生産効率が低下するという問題があった。
【０００４】
一方、特開平７−２２８９９６号公報には、電解銅箔の製造に用いるカソード体を陽極酸化し、予めカソード体表面に１．４〜１４０Åの酸化被膜を形成して電着ドラムの長寿命化を図る方法が開示されている。
【０００５】
しかしながら、この方法では、酸化被膜の厚み制御が困難なため、部分的に酸化被膜の厚みが不均一になることがある。酸化被膜が部分的に厚くなると、電気を通電し難くなる為、電流密度の分布に影響を及ぼし、結晶成長の阻害や異常析出が懸念される。また、物理的なバフ研磨とは目的が異なり、活性なカソード表面を露出することができない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、従来のカソード体の物理的なバフ研磨法に代わり、作業性が良好な電解処理を用いた銅箔の製造方法とその製造装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、銅箔を製造する工程において、前述した問題を解決するため鋭意検討した結果、カソード体表面に形成された酸化被膜を銅箔を剥離した後に電解処理することにより、従来の様なバフ研磨を行うことなく、外観、機械特性ともに安定な銅箔が得られることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。
【０００８】
すなわち、本発明は、電解液に浸漬したカソード体とアノード体の間に通電して電解反応により前記カソード体表面に銅箔を析出させ、カソード体表面から銅箔を剥離して銅箔を製造する方法において、銅箔を剥離した後に露出したカソード体表面を連続的又は間欠的に電解処理することを特徴とする銅箔の製造方法を提供するものである。
本発明は、また、電解液に浸漬したカソード体とアノード体との間に通電して電解反応により前記カソード体表面に銅箔を析出させ、カソード体表面から銅箔を剥離するようになした銅箔製造装置において、カソード体表面との間に電解処理液溜りを生成させる液溜めロールと、この電解液溜り生成部に設置した電解処理用アノード体とからなる電解処理装置をカソード体表面から銅箔を剥離する位置より後方に設けたことを特徴とする電解銅箔の製造装置を提供するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明は、カソード体表面に生成した酸化被膜を連続的又は間欠的に電解処理して、電析に有効な活性なカソード体表面を得ることにより、機械特性が安定した銅箔を製造することを可能とした。また、銅箔の連続生産にも対応することができる。
【００１０】
本発明の方法によれば、酸化被膜を電解処理することで酸化皮膜の厚さを容易制御できることから、カソード体表面に薄い酸化被膜として保つことも可能であり、必ずしも酸化被膜を完全に除去する必要はない。酸化皮膜は、カソード体表面に形成される銅箔との剥離性が良好であり、カソード体の使用期間の延長も可能となった。
【００１１】
ここで、本発明の電解銅箔の製造装置の１例を図１に示す。まず、電解槽１の中には、例えば鉛又は不溶性極板の半円弧状のアノード体２と、例えばチタン、ステンレス又はクロム等を被覆したステンレス鋼から成るドラム状のカソード体３が所定の間隔で対向配置している。電解槽内のアノード体２とカソード体３の間隙には、銅イオンを含有した電解液４が満たされている。カソード体３の表面に生成した銅箔９は巻き取りロール８に巻き取られる。
【００１２】
電解処理装置は、カソード体３表面との間に電解処理液溜り５を生成させる液溜めロール６と、この電解処理液溜り生成部に設置した電解処理用アノード体７とからなっており、カソード体３表面から銅箔９を剥離する位置より後方に設けられている。この電解処理装置は、電解処理液をカソード体表面の酸化被膜に効率良く供給することができ、銅箔の剥離後、好ましくはカソード体３が回転運動を伴い再び電解液４に入る直前にカソード体３表面と絶縁体の液溜めロール６面の間に供給されるようになっている。電解処理液溜り５には電解処理用アノード体７が設置されている。電解処理液は、必要に応じ濃度管理が可能な水溶液貯蔵タンクから、ポンプで供給される。電解処理液の濃度は期待する効果に合わせて調整する。
本発明の方法において、電解処理は必ずしも連続生産工程において行う必要はなく、連続生産を中断し、カソード体を別に設けられ専用設備で行うことも可能である。
【００１３】
本発明の電解処理は、カソード体と電解処理用アノードの間に満たされた電解処理液から電気分解によってカソード体表面で水素を発生し、この水素がカソード体表面の酸化被膜を還元することによって行われる。よって、供給される電解処理液は特に限定されるものではないが、例えば、硫酸水溶液、リン酸水溶液、塩酸水溶液のような酸性水溶液、硫酸ナトリウム、塩化カリウムのような中性水溶液を用いることができるが、銅箔製造の連続生産工程に用いるには電解液に混入した場合、電析する銅箔の外観や機械特性など銅箔に一切の害を与えるものであってはならない。よって、銅箔製造に用いる電解液、あるいはその電解液の成分比が異なるものから、銅イオンを除外した水溶液を用いることが好ましい。
【００１４】
前記電解処理液としては、一般に、銅箔の製造には硫酸銅水溶液が用いられることから、銅箔の製造には硫酸水溶液を電解処理液として用いることが好ましい。硫酸水溶液を用いる場合、その電解処理液の濃度は、硫酸濃度が５〜２００ｇ／ｌの水溶液であることが好ましい。硫酸濃度が５ｇ／ｌ未満の場合は、効果が期待できず、また２００ｇ／ｌを超える場合は、カソード体を腐食することが起こり得るからである。また、電解処理液は、水中の含有イオンの影響が懸念されることから純水で調製することが好ましい。
【００１５】
電解処理用アノード体としては、横幅がカソード体と同程度で、縦幅が５〜５０ｍｍの酸化イリジウム／チタン製の電極が好ましく用いられる。また、電流密度は１０〜１００Ａ／ｄｍ２とすることが好ましい。
【００１６】
電解処理は、連続的又は間欠的に行うことが可能である。また、電解処理装置は図１に示すような銅箔の製造を行いつつ電解処理を行う連続運転ばかりでなく、電解処理用アノード体と電解処理液槽及び電源から成る専用の処理槽を用いて行うことも可能である。この場合は、銅箔の製造に用いる電解液中に還元処理液が混入することがないため、還元処理液の選択幅が広がり、例えば硫酸ナトリウムのような中性の水溶液を用いることが可能となる。
【００１７】
上記のように銅箔を製造する工程において、カソード体表面に形成された酸化被膜を電解処理することにより、従来の様なバフ研磨を行うことなく外観、機械特性とも安定な金属を製造することが可能となる。
【００１８】
【実施例】
以下、実施例によって本発明を説明するが、本発明は実施例に限定されるものではない
【００１９】
実施例１
図１で示した電解処理設備付き銅箔連続生産設備において、ドラム状のカソード体３を直径２０００ｍｍ、幅１５００ｍｍのチタン製ドラムとし、このドラム表面をバフ研磨し、表面の粗さを調整した。
電解液４として、ＣｕＳＯ４・５Ｈ２Ｏ  ２８０ｇ／ｌ、Ｈ２ＳＯ４  ９０ｇ／ｌからなる水溶液を調整し、電解液温度４０℃、流速０．３ｍ／ｓｅｃの条件下で電流密度５０Ａ／ｄｍ２で通電した電解反応により厚さ１５μｍの銅箔を製造した。
得られた銅箔の常温の引張強さをＪＩＳ  Ｃ  ６５１５に基づいて測定したところ、５８０Ｎ／ｍｍ２であった。また、銅箔マット面の表面粗さをＪＩＳ  Ｂ０６０１に基づいて測定したところ、Ｒａは０．２８μｍであった。銅箔外観の変色は確認されなかった。
ついで、電解処理液供給口から、純水を使用した硫酸濃度１０ｇ／ｌの電解処理液をドラム状のカソード体３と液溜めロール６の間に供給し、電解処理用アノード体７と円筒型カソード回転体３とで電流密度５０Ａ／ｄｍ２で連続電解処理を行い１４日後の引張強さを同様にして測定したところ、５７０Ｎ／ｍｍ２であった。表面粗さＲａは０．２９μｍであった。銅箔外観の変色は確認されなかった。
【００２０】
比較例１
電解銅箔の製造においてカソード３の電解処理をおこなわなかったこと以外は実施例１と同様にして１４日後の引張強さを測定したところ、４３０Ｎ／ｍｍ２であった。表面粗さＲａは０．３２μｍであった。銅箔外観は変色が発生した。
【００２１】
実施例２
電解銅箔の製造において、電解処理液の濃度を純水に対して硫酸濃度を５０ｇ／ｌとし、電流密度を１５Ａ／ｄｍ２で連続電解処理を行ったこと以外は、実施例１と同様にして電解銅箔を連続生産した。結果を表１に示す。
【００２２】
実施例３
電解銅箔の製造において、電解処理液の濃度を純水に対して硫酸濃度を１５０ｇ／ｌとし、電流密度を３０Ａ／ｄｍ２で電解処理を行った。電解処理は、間欠的に１２時間毎にそれぞれ１時間電解処理を行ったこと以外は、実施例１と同様にして電解銅箔を連続生産した。結果を表１に示す。
【００２３】
比較例２
電解銅箔の製造において、電解処理液の濃度を純水に対して硫酸濃度を１ｇ／ｌとし、電流密度を５Ａ／ｄｍ２で連続電解処理をおこなったこと以外は、実施例１と同様にして電解銅箔を連続生産した。結果を表１に示す。
【００２４】
比較例３
電解銅箔の製造において、電解処理液の濃度を純水に対して硫酸濃度を３００ｇ／ｌとし、電流密度を５Ａ／ｄｍ２で連続電解処理を行ったこと以外は、実施例１と同様にして電解銅箔を連続生産した。結果を表１に示す。
【００２５】
【表１】
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【００２６】
なお、外観は銅箔を目視により観察し、変色・ムラ発生無しを○、部分的に変色・ムラ発生有りを△、変色・発生有りを×と評価した。
【００２７】
本発明の電解処理を行った実施例１〜３は、１４日連続生産後の引張強さが初期値と同様で劣化が認められない。銅箔外観も変色やムラの発生が見られず良好であった。一方、電解処理を行わない比較例１は、引張強さが低下し、銅箔外観も変色が発生した。また、電解処理液の濃度が低い比較例２では、効果が充分でなく、電解処理濃度が高い比較例３では、表面粗さが大きく、銅箔外観のムラが発生した。
【００２８】
【発明の効果】
本発明の方法によれば、カソード体表面の酸化被膜を必要に応じて連続的に又は間欠的に電解処理することにより、酸化被膜の厚みを均一に保つことが可能となる。よって、外観、機械特性とも安定な銅箔を生産することが可能となる。電解処理を連続的に行えば、このような銅箔の連続生産も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電解銅箔製造に用いられる装置の断面説明図。
【符号の説明】
１    電解槽
２    アノード体
３    カソード体
４    電解液
５    電解処理液溜り
６    液溜めロール
７    電解処理用アノード体
【図１】
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