(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持した部品を実装対象ワークに押し付ける電子部品装着装置であって、
保持した部品を実装対象ワークに押し付ける分離ヘッドと、
前記分離ヘッドを、部品受け取り位置Ｓ２と、前記部品を前記実装対象ワークに押し付ける実装実行位置Ｓ３と、の間で移動させる駆動装置と、
前記駆動装置を固定したフレームと、
前記フレームに支持され、前記実装実行位置Ｓ３で前記分離ヘッドを前記実装対象ワークに押圧する方向に駆動する第２の荷重駆動部と、
前記部品受け取り位置Ｓ２と前記実装位置Ｓ３のとの間の前記分離ヘッドの移動をガイドし、前記分離ヘッドにて前記部品を前記実装対象ワークに押し付けるため前記第２の荷重駆動部により前記押圧する方向に移動される第１のガイド手段と、
前記第1ガイド手段に支持され、前記実装実行位置Ｓ３で前記分離ヘッドを前記実装対象ワークに押圧する方向に駆動する第１の荷重駆動部と、
前記第１のガイド手段の前記押圧する方向の移動をガイドする第２のガイド手段と
を有している
電子部品装着装置。
【請求項２】
前記実装実行位置Ｓ３での前記第２の荷重駆動部による前記分離ヘッドへの押圧力は、
前記実装実行位置Ｓ３での前記第１の荷重駆動部による前記分離ヘッドへの押圧力よりも大きい
請求項１に記載の電子部品装着装置。
【請求項３】
前記第１の荷重駆動部に、前記実装実行位置Ｓ３で前記分離ヘッドに押圧力を突出して作用させる出力軸を有する
請求項１または請求項２に記載の電子部品装着装置。
【請求項４】
前記第１の荷重駆動部による分離ヘッドへの押圧力は、ボイスコイルモータで発生させる
請求項１から請求項３の何れかに記載の電子部品装着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を基板に実装する電子部品装着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種の電子部品を実装対象ワークである基板に実装する際には、図２１と図２２に示す電子部品装着装置を使用して、組み立て工程が自動運転されている。ここでは、４個の発光ダイオードチップを基板に実装した面発光デバイスを製造する場合を例に挙げて説明する。
【０００３】
図２０（ａ）に示すように部品供給位置Ｓ１には、接続端子を上側にした発光ダイオードチップ１がエクステンドされた状態でパレット２に配置されている。ここで例に挙げた発光ダイオードチップ１の場合には、Ｐ型電極１９とＮ型電極２０が平面配置されている。
この種の発光ダイオードチップの具体例は（特許文献２）に記載されている。
【０００４】
電子部品装着装置は、図２１と図２２に示すように部品供給位置Ｓ１で発光ダイオードチップ１を吸引保持するノズル３を有する中継ヘッド４と、中継ヘッド４から発光ダイオードチップ１を受け取って実装実行位置Ｓ３にセットされた基板５に実装する実装ヘッド６とで構成されている。
【０００５】
中継ヘッド４は駆動軸７によって駆動されて水平回転する。パレット２がセットされた供給テーブル８は、Ｘテーブル９とＹテーブル１０を介して据え付けられており、Ｘテーブル９とＹテーブル１０を駆動して中継ヘッド４の０度位置の前記ノズル３の下方位置に発光ダイオードチップ１を次々に運ぶ。
【０００６】
０度位置の前記ノズル３はパレット２に向かって下降して発光ダイオードチップ１を吸引し、その後に、前記ノズル３が上昇すると共に、中継ヘッド４が１８０°水平回転するとともに、前記ノズル３が反転装置１１によって上下方向に１８０°反転する。この状態では、実装ヘッド４によって運ばれた発光ダイオードチップ１は、実装ヘッド６のノズル１２が受け取り可能な位置（仮想線位置）に到着している。
【０００７】
実装ヘッド６は、ノズル１２とノズル１２に超音波振動を印加しながらノズル１２を介して発光ダイオードチップ１を基板５に押し付ける荷重駆動部１３とで構成されており、ノズル１２と荷重駆動部１３とは、１８０°位置の中継ヘッド４のノズル３の位置で、実装ヘッド６のノズル１２が受け取り可能な位置Ｓ２と実装位置（実線位置）Ｓ３との間を駆動装置１４によって移動可能に構成されている。
【０００８】
実装ヘッド６と駆動装置１４の構成を図２３と図２４に示す。
駆動装置１４は、部品受け取り位置Ｓ２から実装実行位置Ｓ３の方向にわたって配置されたガイドレール２５と、ガイドレール２５に沿って配設された送りねじ２６と、この送りねじ２６を回転駆動するモータ２７とで構成されている。送りねじ２６に螺合してガイドレール２５に沿って移動可能な移動ブロック２８に実装ヘッド６が取り付けられている。
【０００９】
ここで実装ヘッド６は、ノズル１２と、超音波振動子２９と、超音波振動子２９の振動をノズル１２に伝達する超音波ホーン３０と、ノズル１２が取り付けられた超音波ホーン３０のユニットを押圧する荷重駆動部１３としてのボイスコイルモータ１３Ａとで構成されている。超音波ホーン３０のユニットが下端に取り付けられた支持軸３２は、圧縮バネ３１によって上方に付勢されている。出力軸３３と支持軸３２はカップリング５０によって結合されている。
【００１０】
図２４に示すように実装ヘッド６が実装実行位置Ｓ３に到着すると、ボイスコイルモータ１３Ａが駆動され、前記圧縮バネ３１の付勢に抗して超音波ホーン３０のユニットが下方に押圧されて、超音波振動を加えながら押圧された発光ダイオードチップ１が基板５に金属接合（以下、超音波接合と称す）される。３４は固定側、３５は移動ブロック２８にボイスコイルモータ１３Ａを取り付けるブロックである。
【００１１】
実装を受ける基板５がセットされた実装テーブル１５は、Ｘテーブル１６とＹテーブル１７を介して据え付けられており、実装ヘッド６のノズル１２の下方位置に基板５の実装位置が来るようにＸテーブル１６とＹテーブル１７が運転されている。
【００１２】
このようにして、基板５に４個の発光ダイオードチップ１を実装した面発光ダイオード１８を作成した場合には、図２０（ｂ）に示した配置になる。
【特許文献１】特開２０００−３１５８５６公報
【特許文献２】国際公開番号ＷＯ２００６／０３５６６４公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
超音波ホーン３０のユニットを押圧する力の大きさは、部品によって異なるが、このような従来の構成では、発光ダイオードチップ１をより大きな力で基板５に押圧するためには、ボイスコイルモータ１３Ａをより定格の大きいものに交換することが必要である。
【００１４】
本発明は、実装すべき部品を押圧する力の大きさを、従来よりも広範囲にわたって可変できる電子部品装着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明の電子部品装着装置は、保持した部品を実装対象ワークに押し付ける電子部品装着装置であって、保持した部品を実装対象ワークに押し付ける分離ヘッドと、前記分離ヘッドを、部品受け取り位置Ｓ２と、前記部品を前記実装対象ワークに押し付ける実装実行位置Ｓ３と、の間で移動させる駆動装置と、前記駆動装置を固定したフレームと、前記フレームに支持され、前記実装実行位置Ｓ３で前記分離ヘッドを前記実装対象ワークに押圧する方向に駆動する第２の荷重駆動部と、前記部品受け取り位置Ｓ２と前記実装位置Ｓ３のとの間の前記分離ヘッドの移動をガイドし、前記分離ヘッドにて前記部品を前記実装対象ワークに押し付けるため前記第２の荷重駆動部により前記押圧する方向に移動される第１のガイド手段と、前記第1ガイド手段に支持され、前記実装実行位置Ｓ３で前記分離ヘッドを前記実装対象ワークに押圧する方向に駆動する第１の荷重駆動部と、前記第１のガイド手段の前記押圧する方向の移動をガイドする第２のガイド手段とを有していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
この構成によれば、第１の荷重駆動部の押圧力を超えた押圧力が必要な場合には、第２の荷重駆動部を運転して第１の荷重駆動部の位置を前記押圧の方向に沿って降下させることによって第１の荷重駆動部よりも大きな押圧力を部品に作用させることができる。
【００２１】
また、第１の荷重駆動部を介さずに実装すべき部品を前記実装対象ワークに押圧する方向に駆動する第２の荷重駆動部を設けた場合には、第１の荷重駆動部と駆動する第２の荷重駆動部とを選択的に駆動して押圧力を切り替えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の電子部品装着装置を図１〜図１９に示す実施の形態に基づいて説明する。
（実施の形態１）
図１〜図１４は本発明の（実施の形態１）を示す。
【００２３】
図１と図２は本発明の電子部品装着装置を示し、図３〜図６は実装ヘッド６Ａと駆動装置１４の構成を示している。
この実施の形態では実装ヘッド６Ａが、図３に示すように、部品を吸引保持するノズル１２と、このノズル１２に超音波振動を供給する超音波振動子２９と、超音波ホーン３０とを移動ブロック２８に取り付けた分離ヘッド３６と、実装実行位置Ｓ３に配置された荷重駆動部１３０とに分割して設けられている点が、従来とは異なっている。さらに、荷重駆動部１３０は、実装すべき部品を基板５に押圧する第１の荷重駆動部１３Ｂと、第１の荷重駆動部１３Ｂと固定側３４の間に介装されて第１の荷重駆動部１３Ｂの位置を昇降駆動する第２の荷重駆動部１３Ｃとを有している。
【００２４】
第１の荷重駆動部１３Ｂは、ボイスコイルモータで構成されている。第２の荷重駆動部１３Ｃは、出力軸が軸心周りに回転するモータ４１と、モータ４１の出力軸に連結されたネジ軸４２を有している。図６に示すように、第２の荷重駆動部１３Ｃのモータ４１は固定側３４に取り付けられており、第１の荷重駆動部１３Ｂはモータ４１の出力軸に連結されたネジ軸４２に係合して支持されている。第２の荷重駆動部１３Ｃの押圧駆動力は、第１の荷重駆動部１３Ｂに比べて大きい能力を有している。
【００２５】
この電子部品装着装置によって実装した面発光デバイス１８Ａの仕上がりを図１１に示す。
部品供給位置Ｓ１と実装実行位置Ｓ３の間に、中継ヘッド４が設けられている。９０度の回転位置には、図７にも示すように水平回転駆動部２２が設けられている。図８は、面発光デバイス１８Ａとなる基板５の下段左に１個目の発光ダイオードチップ１を実装する工程を示している。中継ヘッド４が０度の回転位置（部品供給位置）では、中継ヘッド４のノズル３が下降して発光ダイオードチップ１を吸引保持して上昇し、中継ヘッド４が駆動軸７の駆動によって水平方向に９０度回転し、図７（ａ）に示すように水平回転駆動部２２の下方位置に到着する。
【００２６】
この水平回転駆動部２２は、マイクロコンピュータを主要部とした制御装置によって、実装対象ワークとしての基板５における時々の実装位置に応じて次のようにコントロールされるように構成されている。具体的には、ここでは、１個目の発光ダイオードチップ１の実装位置に応じて、発光ダイオードチップ１のＮ型電極２０が最終的に内側に向くように、水平回転駆動部２２の出力軸２３を図７（ｂ）に示すようにノズル３の後端に係合させて軸芯周りの左へ水平に９０度回転させる。９０度の回動後には水平回転駆動部２２の出力軸２３が図７（ａ）の位置に自動的に後退する。この状態から中継ヘッド４が駆動軸７の駆動によって水平方向にさらに９０度回転して１８０度位置（実装ヘッドへの受け渡し位置）に到着する途中で、中継ヘッド４のノズル３を上下方向に１８０度回転させる。１個目の発光ダイオードチップ１が１８０度位置（実装ヘッドへの受け渡し位置）に到着するタイミングでは、受け取り可能な位置Ｓ２に分離ヘッド３６が図３と図４に示すように待機しており、発光ダイオードチップ１が到着すると分離ヘッド３６のノズル１２が中継ヘッド４のノズル３から受け取る。
【００２７】
駆動装置１４は、部品受け取り位置Ｓ２から実装実行位置Ｓ３の方向にわたって配置されたガイドレール２５と、ガイドレール２５に沿って配設された送りねじ２６と、この送りねじ２６を回転駆動するモータ２７とで構成されており、次に、駆動装置１４は、送りねじ２６に螺合してガイドレール２５に沿って移動可能な移動ブロック２８を、マイクロコンピュータを要部とした制御装置によって駆動制御し、分離ヘッド３６が、図５と図６に示すように実装実行位置Ｓ３の第１の荷重駆動部１３Ｂの下方位置に到着すると、第１の荷重駆動部１３Ｂが駆動されて、第１の荷重駆動部１３Ｂの出力軸３３が突出して前記圧縮バネ３１の付勢に抗して超音波ホーン３０のユニットが下方に押圧されて、発光ダイオードチップ１を基板５に超音波接合によって発光ダイオードチップ１の電極を押し付けて実装する。
【００２８】
１個目の発光ダイオードチップ１の実装が終わった分離ヘッド３６は、駆動装置１４によって実装実行位置Ｓ３から部品受け取り位置Ｓ２に戻される。
図９は、面発光デバイス１８Ａとなる基板５の下段右に２個目の発光ダイオードチップ１を実装する工程を示している。１個目の発光ダイオードチップ１のノズル３による吸引保持が完了して上昇すると、供給テーブル８は２個目の発光ダイオードチップ１の位置がノズル３の下方位置にくるように、Ｘテーブル９，Ｙテーブル１０が運転される。中継ヘッド４の９０度回転位置では、２個目の発光ダイオードチップ１の実装位置に応じて、今度は１個目の発光ダイオードチップ１の場合とは異なり、水平回転駆動部２２によるノズル３の９０回転は実行しない。中継ヘッド４の９０度回転位置から１８０度回転位置への途中には、１個目の発光ダイオードチップ１の場合と同じくノズル３を上下方向に１８０度回転させて、発光ダイオードチップ１が到着すると分離ヘッド３６のノズル１２が中継ヘッド４のノズル３から受け取り、駆動装置１４によって実装実行位置Ｓ３に運んで、超音波振動をかけながら基板５に発光ダイオードチップ１の電極を押し付けて実装する。
【００２９】
図１０は、面発光デバイス１８Ａとなる基板５の上段右に３個目の発光ダイオードチップ１を実装する工程を示している。２個目の発光ダイオードチップ１のノズル３による吸引保持が完了して上昇すると、供給テーブル８は３個目の発光ダイオードチップ１の位置がノズル３の下方位置にくるように、Ｘテーブル９，Ｙテーブル１０が運転される。中継ヘッド４の９０度回転位置では、３個目の発光ダイオードチップ１の実装位置に応じて、水平回転駆動部２２によってノズル３を右方向へ９０回転させ、中継ヘッド４の９０度回転位置から１８０度回転位置への途中には、それまでの発光ダイオードチップ１の場合と同じくノズル３を上下方向に１８０度回転させて、発光ダイオードチップ１が到着すると分離ヘッド３６のノズル１２が中継ヘッド４のノズル３から受け取り、駆動装置１４によって実装実行位置Ｓ３に運んで、超音波振動をかけながら基板５に発光ダイオードチップ１の電極を押し付けて実装する。
【００３０】
図１１は、面発光デバイス１８Ａとなる基板５の上段左に４個目の発光ダイオードチップ１を実装する工程を示している。３個目の発光ダイオードチップ１のノズル３による吸引保持が完了して上昇すると、供給テーブル８は４個目の発光ダイオードチップ１の位置がノズル３の下方位置にくるように、Ｘテーブル９，Ｙテーブル１０が運転される。中継ヘッド４の９０度回転位置では、４個目の発光ダイオードチップ１の実装位置に応じて、水平回転駆動部２２によってノズル３を左方向へ１８０度回転させ、中継ヘッド４の９０度回転位置から１８０度回転位置への途中には、ノズル３を上下方向に１８０度回転させて、発光ダイオードチップ１が到着すると分離ヘッド３６のノズル１２が中継ヘッド４のノズル３から受け取り、駆動装置１４によって実装位置に運んで、超音波振動をかけながら基板５に発光ダイオードチップ１の電極を押し付けて実装する。
【００３１】
このようにして図１１に示したように、Ｐ型電極とＮ型電極が平面配置された発光ダイオードチップを、それぞれのＮ型電極が内側に向くよう基板上に配置して実装した面発光デバイス１８Ａが完成する。
【００３２】
図２０（ｂ）に示した配置の従来の面発光ダイオード１８の輝度は、図１２（ｂ）に示すように発光ダイオードチップ１のセンター位置Ｓ０よりもＰ型電極１９の方にずれた位置に輝度分布２１のピーク値が存在していたが、この面発光デバイス１８Ａの輝度分布２１は図１２（ａ）に示したように基板５の中央に輝度のピーク値が位置した輝度ムラの極めて少ない良好なものであった。
【００３３】
さらに、実装ヘッド６を、分離ヘッド３６と荷重駆動部１３０とに分割し、分離ヘッド３６だけを部品受け取り位置Ｓ２と実装実行位置Ｓ３の間を移動させるように構成したため、従来に比べて移動する部分の質量が小さいため慣性の影響が少なく、実装タクトを短くした場合であっても従来よりも実装精度の向上を実現できる。
【００３４】
なお、パレット２における発光ダイオードチップ１は、発光ダイオードチップ１の下面の電極を上にして、発光ダイオードチップ１の上面とパレット２との間に粘着剤を挟んで貼り付けられている。そのため、中継ヘッド４が０度回転位置で発光ダイオードチップ１を吸引保持した状態では、発光ダイオードチップ１の上面に前記粘着剤が残っている場合がある。本発明では、中継ヘッド４が０度回転位置から９０度回転位置への区間で、クリーニングを行っている。具体的には、クリーニングとは、発光ダイオードチップ１の前記上面に溶剤を噴霧または溶剤に浸積して拭き取る工程、または発光ダイオードチップ１の前記上面に溶剤の液体または霧状態に接触させて除去する工程を実行している。溶剤とは、前記粘着剤が溶解するもので有機溶剤を含んだものの他、無機の酸性液体、無機のアルカリ液体を含んだもの、前記粘着剤が水溶性の場合には、Ｈ２Ｏを使用することもできる。クリーニングの位置については、中継ヘッド４が９０度回転位置から１８０度回転位置への区間で行うこともできる。
【００３５】
このようにクリーニングを実行して発光ダイオードチップ１の前記上面に前記粘着剤が残留しないように構成したことによって、分離ヘッド３６のノズル１２と発光ダイオードチップ１の前記上面との間に、残留した前記粘着剤が挟まることがなく、実装ヘッド６による超音波加圧による発光ダイオードチップ１の基板５への接合状態の品質の向上を確認できた。
【００３６】
なお、上記の実施の形態では、基板５への実装位置に応じて水平回転駆動部２２がノズル３を回転させたが、ノズル３に吸引保持されている発光ダイオードチップ１の角度をモニタカメラで認識し、これを画像認識して目標の角度になるように水平回転駆動部２２を制御してノズル３を回転させるように構成することによって、実装精度が向上する。特に、中継ヘッド４の０度から９０度回転位置の区間で前記クリーニングを実行した場合には、クリーニング処理の際にノズル３に対する発光ダイオードチップ１の角度がずれた場合でもこれを補償できる。
【００３７】
上記の各実施の形態では、水平回転駆動部２２を基板５の実装位置に応じてだけ制御して実装していたが、中継ヘッド４のノズル３の先端に通電用電極を設け、中継ヘッド４の０度から１８０度回転位置の区間において、ノズル３に吸引保持している発光ダイオードチップ１に前記通電用電極を介して通電して、この際の発光ダイオードチップ１の輝度分布をモニターカメラなどで観察し、標準品の輝度分布と観察結果の輝度分布との差および基板５の実装位置に応じて、面発光デバイスの輝度分布が標準品に近づくように、水平回転駆動部２２を制御してノズル３を回転させて図１３（ａ）（ｂ）に示すように、角度を傾けて実装するように構成することによって、製品相互間の輝度分布のバラツキをより低減できる。
【００３８】
上記の実施の形態では、中継ヘッド４の回転位置を、説明を分かり易くするために９０度ごとで説明したが、角度は９０度よりも小さくても、角度は９０度よりも大きくてもよく、角度を限定するものではない。
【００３９】
なお、上記の実施の形態では４個の発光ダイオードチップ１を実装した面発光デバイスを製造する場合を例に挙げて説明したが、発光ダイオードチップ１の基板５への実装位置に応じて回転させることができる電子部品装着装置であるため、前記マイクロコンピュータのプログラムを変更することによって、図１４（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す面発光デバイス１８Ｂ，１８Ｃ，１８Ｄも製造可能である。
【００４０】
図１４（ａ）の面発光デバイス１８Ｂは、複数の発光ダイオードチップのそれぞれのＮ型電極が内側に向くよう基板上に配置した群２４を単位として、互いに近接させて基板５に複数だけ配置して実装している。
【００４１】
図１４（ｂ）の面発光デバイス１８Ｃは、４つの発光ダイオードチップのそれぞれのＮ型電極が内側に向くよう基板上に配置した群２４を中央に配置し、Ｎ型電極を前記内側に向けた発光ダイオードチップ１１〜１１２を前記群２４の外周に沿って配置して実装している。
【００４２】
図１４（ｃ）の面発光デバイス１８Ｄは、図１４（ｂ）の変形タイプで、発光ダイオードチップ１１〜１８が前記群２４の外周に沿って環状に配置して実装されている。
実装するために第１の荷重駆動部１３Ｂのボイスコイルモータの押圧力だけで不足するような部品を取り扱う場合には、第２の荷重駆動部１３Ｃのモータ４１を運転する。モータ４１は、必要な押圧力に応じた距離だけネジ軸４２が第１の荷重駆動部１３Ｂを押し下げるに必要な回転量だけ、マイクロコンピュータを主要部とする制御装置によって回転駆動される。
【００４３】
このように第２の荷重駆動部１３Ｃによって第１の荷重駆動部１３Ｂを押し下げることができ、その押圧力の大きさは、ネジ軸４２の回転量で変更することができ、分離ヘッド３６を押圧する力の大きさを、従来よりも広範囲にわたって可変できる。
【００４４】
（実施の形態２）
図１５〜図１８は駆動装置１４と荷重駆動部１３０の別の構成を示す。
（実施の形態１）では、第２の荷重駆動部１３Ｃが第１の荷重駆動部１３Ｂの位置を前記押圧の方向に沿って昇降駆動したが、この（実施の形態２）では、第２の荷重駆動部１３Ｃが第１の荷重駆動部１３Ｂを介さずに分離ヘッド３６を駆動する点が異なっている。
【００４５】
図１５と図１６に示すように、固定側３４のフレーム４３の上部には、第２の荷重駆動部１３Ｃのモータ４１が取り付けられている。また、フレーム４３の中央には、駆動装置１４のガイドレール２５が部品受け取り位置Ｓ２と実装位置Ｓ３にわたって取り付けられている。
【００４６】
モータ４１に連結されたネジ軸４２には、第１のガイド手段４４が係合しており、第１のガイド手段４４はネジ軸４２の回転方向によって上下方向に駆動される。第１のガイド手段４４の正面には第１の荷重駆動部１３Ｂが固定されている。また、第１のガイド手段４４には、部品受け取り位置Ｓ２と実装位置Ｓ３の方向に沿って送りネジ２６と平行に伸びるガイドレール４５が形成されている。
【００４７】
ノズル１２が取り付けられた分離ヘッド３６は、ガイドレール４５の上側に接触する案内ローラ４６ａとガイドレール４５の下側に接触する案内ローラ４６ｂが設けられており、分離ヘッド３６はガイドレール４５に沿って水平方向に移動可能で、上下方向の位置はガイドレール４５で支持されている。さらに、分離ヘッド３６は、送りネジ２６に係合して駆動される移動ブロック２８との間に、上下方向の移動を許容して移動ブロック２８の移動方向の移動を規制する第２のガイド手段４７を介装して連結されている。
【００４８】
したがって、移動ブロック２８の移動に伴って分離ヘッド３６は、第１のガイド手段４４のガイドレール４５に支持されながら部品受け取り位置Ｓ２と実装位置Ｓ３の間を移動する。
【００４９】
第１の荷重駆動部１３Ｂのボイスコイルモータの押圧力だけでは不足になるような実装の場合に、第１のガイド手段４４を降下させる方向にネジ軸４２をモータ４１によって駆動すると、分離ヘッド３６は第１のガイド手段４４の降下によって第２のガイド手段４７に沿って降下し、ノズル１２に保持した部品を基板５に、第１の荷重駆動部１３Ｂのボイスコイルモータの押圧力よりも大きな押圧力で押し付けて実装することができる。
【００５０】
さらに、この（実施の形態２）の場合には（実施の形態１）に比べて次の効果が得られる。第２の荷重駆動部１３Ｃが第１の荷重駆動部１３Ｂを介さずに分離ヘッド３６を駆動するので、第１の荷重駆動部１３Ｂに作用させることができない大きな押圧力であっても分離ヘッド３６に作用させることができる。
【００５１】
（実施の形態３）
図１９は本発明の（実施の形態３）を示す。
上記の（実施の形態１）では、第１，第２の荷重駆動装置１３Ｂ，１３Ｃが実装位置Ｓ３において昇降駆動されるだけで、分離ヘッド３６だけが部品受け取り位置Ｓ２と実装位置Ｓ３の間を移動したが、この（実施の形態３）では、移動ブロック２８にモータ４１が取り付けブロック４８を介して取り付けられており、第２の荷重駆動装置１３Ｃとボイスコイルモータ１３Ａは、分離ヘッド３６とともに部品受け取り位置Ｓ２と実装位置Ｓ３の間を移動するように構成されている。
【００５２】
ボイスコイルモータ１３Ａの押圧力だけでは不足になるような実装の場合に、ボイスコイルモータ１３Ａを降下させる方向にネジ軸４２をモータ４１によって駆動すると、分離ヘッド３６が降下し、ノズル１２に保持した部品を基板５に、ボイスコイルモータ１３Ａの押圧力よりも大きな押圧力で押し付けて実装することができる。
【００５３】
なお、同様に（実施の形態２）のように第２の荷重駆動部１３Ｃが第１の荷重駆動部１３Ｂを介さずに分離ヘッド３６を駆動する場合にも、モータ４１を固定側のフレーム４３に固定せずに、移動ブロック２８の側から支持するように取り付けることによって、分離ヘッド３６と一体に、部品受け取り位置Ｓ２と実装位置Ｓ３の間を移動するように構成できる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は、各種電子部品の実装に使用する電子部品装着装置の機能の向上と製造物の高性能化に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の（実施の形態１）の電子部品装着装置の平面図
【図２】同実施の形態の正面図
【図３】同実施の形態の分離ヘッドが部品受け取り位置Ｓ２にある場合の正面図
【図４】同実施の形態の部品受け取り位置Ｓ２の断面図
【図５】同実施の形態の分離ヘッドが実装実行位置Ｓ３にある場合の正面図
【図６】同実施の形態の実装実行位置Ｓ３の断面図
【図７】同実施の形態の水平回転駆動部を説明する正面図
【図８】同実施の形態の１個目の部品を実装する工程図
【図９】同実施の形態の２個目の部品を実装する工程図
【図１０】同実施の形態の３個目の部品を実装する工程図
【図１１】同実施の形態の４個目の部品を実装する工程図
【図１２】同実施の形態の面発光デバイスの輝度分布と従来例の輝度分布図
【図１３】別の実施の形態の面発光デバイスの平面図
【図１４】別の実施の形態の面発光デバイスの平面図
【図１５】本発明の（実施の形態２）の電子部品装着装置の駆動装置１４と荷重駆動部１３０の詳細を示す斜視図
【図１６】図１５の側面図
【図１７】図１６の要部の拡大図
【図１８】図１７の背面図
【図１９】本発明の（実施の形態３）の部品受け取り位置Ｓ２と実装位置Ｓ３の断面図
【図２０】従来例の部品供給位置のパレット平面図と実装位置での完成した面発光デバイスの平面図
【図２１】従来例の電子部品装着装置の平面図
【図２２】同従来例の正面図
【図２３】同従来例の部品受け取り位置Ｓ２と実装位置Ｓ３の断面図
【図２４】同従来例の要部の正面図
【符号の説明】
【００５６】
Ｓ２    部品受け取り位置
Ｓ３    実装位置
１    発光ダイオードチップ（部品）
３    中継ヘッド４のノズル
４    中継ヘッド
５    基板（実装対象ワーク）
６    実装ヘッド
７    中継ヘッド４の駆動軸
１２    ノズル
１３Ｂ    第１の荷重駆動部
１３Ｃ    第２の荷重駆動部
１４    駆動装置
１８Ａ    面発光デバイス
２０    発光ダイオードチップ１のＮ型電極
２２    水平回転駆動部（回転手段）
２３    水平回転駆動部２２の出力軸
２４    群
２８    移動ブロック
２９    超音波振動子
３０    超音波ホーン
３１    圧縮バネ
３２    支持軸
３４    固定側
３６    分離ヘッド
４１    第２の荷重駆動部１３Ｃのモータ
４２    ネジ軸
４３    フレーム（固定側）
４４    第１のガイド手段
４５    ガイドレール
４６ａ，４６ｂ    案内ローラ
４７    第２のガイド手段
４８    取り付けブロック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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