(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光線を射出するためのレーザ投光器の投光器本体部に取付けられた発光部と、
前記レーザ投光器の回転部に取付けられ、前記発光部が照射した光を反射するための反射手段と、
前記レーザ投光器の投光器本体部に取付けられ、前記反射手段によって反射された光を受光するための受光部と、を有し、
前記受光部が受光した、前記反射手段からの反射光の受光位置に基づいて、前記投光器本体部に対する前記回転部の振れ角を検出することを特徴とする、振れ検出装置。
【請求項２】
前記発光部が照射した光を平行光線にして前記反射手段にあてるための第１のコンデンサレンズと、前記反射手段が反射した光を集光して前記受光部に入射させるための第２のコンデンサレンズと、を更に有することを特徴とする、請求項１に記載の振れ検出装置。
【請求項３】
前記受光部が、４分割素子、半導体位置検出器、又はＣＣＤによって構成されることを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の振れ検出装置。
【請求項４】
投光器本体部と回転部とを含む投光器と、前記投光器を内蔵するケーシングと、を有し、前記投光器が射出したレーザ光線を回転させながら射出するように構成された回転レーザ装置において、
前記投光器が、請求項１乃至請求項３に記載の振れ検出装置を有することを特徴とする、振れ検出装置付き回転レーザ装置。
【請求項５】
回転レーザ装置と、前記回転レーザ装置が射出したレーザ光を受光するための受光センサ装置と、を有し、前記受光センサ装置が受光したレーザ光に基づいて位置を測定して位置測定値を求め、又は、前記位置測定値をもとに面の設定を行う、位置測定設定システムにおいて、
前記回転レーザ装置が請求項４に記載の振れ検出装置付き回転レーザ装置であり、前記受光センサ装置が、前記振れ検出装置が検出した振れ角に基づいて前記位置測定値を補正するための演算部を有することを特徴とする、振れ検出補正装置付き位置測定設定システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、振れ検出装置、振れ検出装置付き回転レーザ装置、及び振れ検出補正装置付き位置測定設定システムに関し、特に、レーザ光線を回動射出するレーザ投光器の回転部の振れ角を検出する振れ検出装置、及びそれを含む回転レーザ装置、位置測定設定システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
広範囲に亘る水平な基準レベルを作るために、光学式レベル装置に代わって回転レーザ装置が使用されるようになってきた。
近年、高さ方向の測定、特に基準高さに基づいてライン及び平面等を形成するために回転レーザ装置が使用されている。この回転レーザ装置はレーザ光線を水平方向に照射しながら回転し、往復走査し、又は停止することによって、回転基準面、部分的な基準ライン、基準面、基準線、又は基準点等を形成するものである。また、回転レーザ装置が射出するレーザ光線を受光することにより位置の測定を行う位置測定設定システムも使用されている。
【０００３】
傾斜基準面を形成することができる従来の回転レーザ装置として特開平６−２６８６１号公報に開示されたものがある。この従来の回転レーザ装置の構成及び作用を以下に略述する。
図３２を参照すると、回転レーザ装置９５１はケーシング９０１とレーザ投光器９０３とを有する。切頭円錐形の凹部９０２がケーシング９０１の上面中央に形成される。レーザ投光器９０３が凹部９０２の中央を上下方向に貫通する。レーザ投光器９０３はレーザ投光器９０３の中間部に設けられた球面座９０４を介して傾斜することができるように凹部９０２に支持される。レーザ投光器９０３は、投光光学系を内蔵した投光器本体部９２０と、投光器本体部９２０に回転自在に取付けられたペンタプリズム９０９を備えた回転部９０５と、を有する。回転部９０５は走査モータ９０６によって駆動ギア９０７、走査ギア９０８を介して回転駆動される。
【０００４】
２組の傾斜機構９１０（一方のみ図示する）がレーザ投光器９０３の周囲に設けられる。傾斜機構９１０は、傾斜用モータ９１１によってレーザ投光器９０３を任意の方向に傾斜させる。
投光器本体部９２０には、レーザ光線投光器（図示せず）、及びレーザ光線投光器から発せられるレーザ光線を平行光線にするコリメートレンズ等を含む投光光学系（図示せず）が内蔵されている。投光光学系からのレーザ光線はペンタプリズム９０９によって水平方向に偏向され、投光窓９３１から照射される。
作動において、傾斜機構９１０によってレーザ光の射出方向の傾斜角を設定しする。次に、ペンタプリズム９０９で回転部９０５の回転軸線に直交する方向に偏向されたレーザ光線をレーザ投光器９０３より照射し、回転部９０５を回転させ、或いは、回転部９０５を所定角度の範囲で往復走査させることにより、傾斜した基準面を形成することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ペンタプリズム９０９を有するレーザ投光器９０３の回転部９０５は、投光器本体部９２０に対して回転自在に取付けられているため、投光器本体部９２０と回転部９０５との間に機械的ガタが生じることは避けられない。従って、回転部９０５が投光器本体部９２０、即ち、投光光学系に対して傾斜する。この傾斜、即ち、振れ角が生じると、レーザー光線の射出方向が変化し、形成する平面や、測定された位置に誤差を生じるという問題がある。
【０００６】
本発明の目的は、レーザ投光器の回転部と投光器本体部との間の振れ角を検出するための振れ検出装置を提供し、並びに、振れ検出装置を含む回転レーザ装置及び位置測定設定システムを提供することにある。
本発明の他の目的は、振れ検出装置によって振れ角を検出して、それに基づいて測定される位置を補正し、又は設定される面を補正する、回転レーザ装置及び位置測定設定システムを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、レーザ光線を射出するためのレーザ投光器の投光器本体部に取付けられた発光部と、
前記レーザ投光器の回転部に取付けられ、前記発光部が照射した光を反射するための反射手段と、
前記レーザ投光器の投光器本体部に取付けられ、前記反射手段によって反射された光を受光するための受光部と、を有し、
前記受光部が受光した、前記反射手段からの反射光の受光位置に基づいて、前記投光器本体部に対する前記回転部の振れ角を検出することを特徴とする、振れ検出装置を提供する。
【０００８】
上記の構成では、発光部が照射した光は、レーザ投光器の回転部に取付けられた反射手段によって反射され、レーザ投光器の投光器本体部に取付けられた受光部によって受光される。レーザ投光器の回転部と投光器本体部との相対位置が変化すると、反射手段によって反射される光の方向が変化し、前記光が受光部に入射する位置が変化する。この位置の変化を検出することにより、レーザ投光器の回転部の振れを検出することができる。
【０００９】
好ましくは、本発明による振れ検出装置は、前記発光部が照射した光を平行光線にして前記反射手段にあてるための第１のコンデンサレンズと、前記反射手段が反射した光を集光して前記受光部に入射させるための第２のコンデンサレンズと、を更に有する。
この構成により、発光部が照射した光は平行光線になって反射手段にあたるため、反射手段が上下に平行移動したとしても反射光に変化が生じることはない。これにより、振れ検出装置は、反射手段の傾斜のみを検出することができる。
【００１０】
前記受光部は、４分割素子、半導体位置検出器、又はＣＣＤによって構成することができる。
本発明は又、投光器本体部と回転部とを含む投光器と、前記投光器を内蔵するケーシングと、を有し、前記投光器が射出したレーザ光線を回転させながら射出するように構成された回転レーザ装置において、
前記投光器が、振れ検出装置を有することを特徴とする、振れ検出装置付き回転レーザ装置である。
【００１１】
本発明は更に、回転レーザ装置と、前記回転レーザ装置が射出したレーザ光を受光するための受光センサ装置と、を有し、前記受光センサ装置が受光したレーザ光に基づいて位置を測定して位置測定値を求め、又は、前記位置測定値をもとに面の設定を行う、位置測定設定システムにおいて、
前記回転レーザ装置が振れ検出装置付き回転レーザ装置であり、前記受光センサ装置が、前記振れ検出装置が検出した振れ角に基づいて前記位置測定値を補正するための演算部を有することを特徴とする、振れ検出補正装置付き位置測定設定システムである。
【００１２】
この構成では、回転レーザ装置に取付けられた振れ検出装置は、回転レーザ装置が内蔵するレーザ投光器の回転部の振れ角を検出する。検出された振れ角は受光センサ装置に送られる。受光センサ装置の演算部は、測定された位置測定値を検出された振れ角に基づいて補正する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
（１）第１の実施形態
本発明の第１の実施形態による振れ検出装置を含む位置測定設定システムについて説明する。
（１．１）位置測定設定システムの構成
図１に、本発明の第１の実施形態の振れ検出装置を含む位置測定設定システムの全体構成を示す。位置測定設定システム１００は、３つの扇状レーザ光ｂ１、ｂ２、ｂ３を回動させながら照射する回動照射手段を有する２台の回転レーザ装置１５１、１５２と、回転レーザ装置１５１、１５２によって照射されたレーザ光ｂ１、ｂ２、ｂ３を受光するための受光センサ装置１５４とを有する。各回転レーザ装置１５１、１５２は、本発明の第１の実施形態による振れ検出装置（図示せず）を内蔵する。回転レーザ装置１５１、１５２は又、３つの扇状レーザ光の他に、回転レーザ装置１５１、１５２が扇状レーザ光を照射している方向の情報を送信するためのレーザ光線Ｓを射出する。
【００１４】
（１．１．１）回転レーザ装置
図２に示すように、回転レーザ装置１５１は３つの扇形のレーザビームである扇状ビームｂ１、ｂ２及びｂ３を射出しながら、点Ｃを中心にそれらの扇状ビームを回転させる。図３に示すように、扇状ビームｂ１、ｂ３は水平面に対して垂直な方向で射出され、扇状ビームｂ２は水平面に対して角度θをなして射出される。また、扇状ビームｂ２と水平面との交線は、扇状ビームｂ１と扇状ビームｂ３がなす角を２等分する。即ち、前記交線と扇状ビームｂ１とのなす角、及び前記交線と扇状ビームｂ３とのなす角は夫々等しく、δである。３つ扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３はこのような関係を保ちながら回転するので、扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３は時間差をもって受光センサ装置１５４を横切る。なお、本実施形態では回転レーザ装置１５１と１５２は同一の構成を有するので、以下では、回転レーザ装置１５１のみについて説明する。
【００１５】
次に、３つの扇状ビームを回転させる回転機構について説明する。
図４に示すように、回転レーザ装置１５１は、投光窓１３１を持ったケーシング１０１と、回動照射手段であるレーザ投光器１０３と、本発明の実施形態による振れ検出装置（図示せず）と、振れ検出装置（図示せず）によって検出された振れ角を受光センサ装置１５４に送信するための送信機１２３と、を有する。切頭円錐形の凹部１０２がケーシング１０１の上面中央に形成される。レーザ投光器１０３が凹部１０２の中央を上下方向に貫通する。レーザ投光器１０３は傾斜することができるように、球面座１０４を介して凹部１０２に支持される。レーザ投光器１０３は、ペンタプリズム１０９を含む回転自在な回転部１０５を有する。回転部１０５は走査モータ１０６によって駆動ギア１０７、走査ギア１０８を介して回転駆動される。回転部１０５の回転角はレーザ投光器１０３に取付けられたエンコーダ１１７によって検出される。また、回転部１０５の回転中の振れ角は振れ検出装置（図示せずに）よって検出される。検出された回転角及び振れ角のデータは受光センサ装置１５４に送信される。
【００１６】
回転レーザ装置１５１は、レーザ投光器１０３の周囲に設けられた２組の傾斜機構を有する（一方のみ図示する）。一方の傾斜機構１１０は傾斜用モータ１１１と、傾斜用スクリュー１１２と、傾斜ナット１１３とを有する。傾斜用モータ１１１は駆動ギア１１４、傾斜用ギア１１５を介して傾斜用スクリュー１１２を回転させることができる。傾斜用スクリュー１１２の回転により傾斜ナット１１３を上下に移動させる。傾斜ナット１１３は傾斜用アーム１１６を介してレーザ投光器１０３と連結される。傾斜ナット１１３が上下動することによってレーザ投光器１０３が傾斜する。また、図示していないもう一組の傾斜機構は、傾斜機構１１０と同様の機構によって、上記の傾斜機構１１０が傾斜する方向に直交する方向に投光器１０３を傾斜させる。
【００１７】
傾斜用アーム１１６に平行な固定傾斜センサ１１８と、傾斜用アーム１１６に対して直角方向の固定傾斜センサ１１９がレーザ投光器１０３の中間部に設けられる。傾斜機構１１０により傾斜用アーム１１６を傾斜させ、固定傾斜センサ１１８が常に水平になるように制御を行なうことができる。また、同時に、もう一組の傾斜機構によって固定傾斜センサ１１９が常に水平になるように制御を行なうことができる。
【００１８】
次に、レーザ投光器１０３について説明する。図５に示すように、レーザ投光器１０３は、投光器本体部１２０と、回転部１０５とを有する。投光器本体部１２０は、扇状ビーム用レーザ光線投光器１３２と、ダイクロックプリズム１７１と、レーザ光線投光器１３２から発せられるレーザ光線を平行光線にするコリメートレンズ１３３とを含む扇状ビーム用の投光光学系を有する。投光器本体部１２０には、更に、振れ検出装置１９０が取付けられる。回転部１０５は、投光光学系を出たレーザ光を９０゜偏向させるペンタプリズム１０９と、ペンタプリズム１０９によって偏向させられた光を３つの扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３に形成する回折格子（BOE）１３４と、振れ検出装置１９０が射出した光を反射するための分度盤１９５と、を有する。
【００１９】
レーザ投光器１０３は更に、角度情報の伝達手段である角度信号用レーザ光線投光器１７２と、ペンタプリズム１０９に取付けられたダイクロックプリズム１４９と、ダイクロックプリズム１４９を透過したレーザ光線Ｓを偏向させるためのミラー１４８とを有する。角度信号用レーザ光線投光器１７２は、エンコーダ１１７によって検出された回転角度情報と、振れ検出装置１９０によって検出された振れ角の情報とを受光センサ装置１５４に送信するためのレーザ光線Ｓを発生する。しかしながら、回転角度情報を送信するための光はレーザ光線でなくても良く、ＬＥＤ等を使用することができる。
【００２０】
扇状ビーム用レーザ光線投光器１３２から射出されたレーザ光は、ダイクロックプリズム１７１を透過し、コリメートレンズ１３３によって平行光にされ、ペンタプリズム１０９によって９０゜偏向される。ペンタプリズム１０９によって９０゜偏向されたレーザ光は、図６に示すように、回折格子１３４によって３つの扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３に形成され、レーザ投光器１０３から射出される。一方、角度信号用投光器１７２から射出されたレーザ光線Ｓは、ダイクロックプリズム１７１によって反射されて、コリメートレンズ１３３に入射する。角度信号用投光器１７２の取付位置は、コリメートレンズ１３３の焦点位置からずれているため、角度信号用投光器１７２から射出されたレーザ光線Ｓは、コリメートレンズ１３３を通過した後、平行光線にはならず広がりを持った光になる。コリメートレンズ１３３を通過したレーザ光線Ｓは、ペンタプリズム１０９及びダイクロックプリズム１４９を通過し、ミラー１４８によって反射されて投光器１０３から射出される。
【００２１】
図７に示すように、レーザ投光器１０３は、角度信号を送信するためのレーザ光線Ｓ、及び扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３を同一方向に射出する。これらの光を受光した受光センサ装置１５４がレーザ光線Ｓと、扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３とを識別できるように、扇状ビーム用レーザ光線投光器１３２と、角度信号用レーザ光線投光器１７２は、例えば、異なる波長のレーザ光線を発生するように構成する。更に、角度信号を送信するためのレーザ光線Ｓは、扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３による位置の測定が可能な範囲をすべてカバーできるような広がり角を有するように構成する。また、回転レーザ装置１５１から射出されたレーザ光線Ｓと、回転レーザ装置１５２から射出されたレーザ光線Ｓとを識別することができるように、各レーザ光線Ｓには異なる変調（異なる周期の点滅）を与えておく。或いは、各回転レーザ装置が射出するレーザ光線Ｓを異なる波長（色）にしても良い。
【００２２】
（１．１．２）振れ検出装置
次に、図８を参照して、レーザ投光器１０３に取付けられた振れ検出装置１９０について説明する。振れ検出装置１９０は、振れ角検出用のレーザ光線Ｈを射出するための振れ角検出用発光部１９３と、振れ角検出用発光部１９３から射出されたレーザ光線Ｈを平行光にするための発光部コンデンサレンズ１９６と、回転部１０５に取付けられた反射手段である分度盤１９５と、分度盤１９５によって反射されたレーザ光線Ｈを集光するための受光部コンデンサレンズ１９７と、受光部コンデンサレンズ１９７によって集光されたレーザ光線Ｈを受光するための振れ角検出用受光部１９４とを有する。振れ角検出用受光部１９４は、例えば、４分割素子、半導体位置検出器（ＰＳＤ）又はＣＣＤ等のポジショニングセンサで構成する。
【００２３】
（１．１．３）受光センサ装置
次に、回転レーザ装置１５１、１５２が射出した扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３を受光するための受光センサ装置１５４について説明する。図９に受光センサ装置の正面図を示し、図１０に断面図を示し、図１１に図９のＸ−Ｘ断面を示す。受光センサ装置１５４の筐体１６４には、扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３を検出するための受光部１５６と、回転レーザ装置１５１、１５２の回転角度情報の送信用のレーザ光線Ｓを受光するための受光部１５５が取付けられる。筐体１６４は更に、表示部１５７と、警告部１６１、例えばブザーと、入力キー１６２と、指標１６３と、目盛１６０を有する標尺１５９と、固定ノブ１５８とを有する。更に、筐体１６４は記憶部１６５、演算部１６６、標尺目盛読取部１６７及び振れ角の情報を受信するための振れ角信号受信部１７０を内蔵する。
【００２４】
受光部１５６は、扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３を通過させ、角度信号用のレーザ光線Ｓを通さないフィルター１５６ａと、フィルター１５６ａを通過した光を検出するための受光素子１５６ｂとを有する。同様に、受光部１５５は、角度信号用のレーザ光線Ｓのみを通過させるフィルター１５５ａと、フィルター１５５ａを通過した光を検出するための受光素子１５５ｂとを有する。
【００２５】
（１．２）位置の測定原理
（１．２．１）高低角度の測定原理
ここではまず、扇状ビームの回転中心点Ｃと受光センサ装置１５４の受光部１５６とを結ぶ直線と、水平面とのなす角度、即ち高低角度の測定原理について説明する。
前述のように、回転レーザ装置１５１は、点Ｃを中心に回転するように扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３を射出する。図３に示したように、扇状ビームｂ２は水平面に対して角度θをなして射出される。更に、扇状ビームｂ１と水平面が交わる交線と、扇状ビームｂ３と水平面が交わる交線は角度２δをなしている。３つ扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３はこのような関係を保ちながら回転するので、それらの扇状ビームは、扇状ビームｂ３、扇状ビームｂ２、扇状ビームｂ１の順に時間差をもって受光センサ装置１５４の受光部１５６を横切る。
【００２６】
受光センサ装置１５４の受光部１５６が水平面内の位置Ａにある場合には、受光センサ装置１５４が検出する光は図１２（ａ）に示すようになる。これに対して、受光部１５６がＡの鉛直上方Ｂの位置にある場合には、検出される扇状ビームは図１２（ｂ）に示すようになる。ここで、図１２（ａ）に示すように、２つの扇状ビームｂ１、ｂ３の検出時間間隔をｔ0とする。また、扇状ビームｂ３を検出してから、扇状ビームｂ２を検出するまでの時間間隔をｔとする。受光部１５６が水平面内の位置Ａにある場合には、時間間隔ｔは時間間隔ｔ0の半分である。即ち、（数式１）の関係が成り立つ。
【数１】
0004531965.tif 000002
【００２７】
又、受光部１５６が水平面よりも上の位置Ｂにある場合には、検出時間間隔ｔは図１２（ｂ）に示すようにｔ0の半分よりも短くなる。受光部１５６が水平面から上方に離れるにつれて検出時間間隔ｔは短くなり、受光部１５６の位置Ｂと扇状ビームレーザ光の射出点Ｃとを結んだ直線と、水平面とのなす角度∠ＢＣＡ=γは検出時間間隔から（数式２）によって求めることができる。
【数２】
0004531965.tif 000003
【００２８】
受光部１５６が水平面よりも下の位置にある場合には、時間間隔ｔは時間間隔ｔ0の半分よりも長くなる。これにより、受光部１５６が水平面の上にあるのか下にあるのかを判別することができる。また、（数式２）は受光部１５６が水平面よりも下にある場合にも適用することができる。
また、後述する測定原理によって、扇状レーザビームを受光した瞬間の回転角度位置を求め、検出時間間隔ｔ及びｔ0に対応する角度を計算し、それらの角度をｔ、ｔ0の代りに（数式２）に代入してγを求めても良い。
【００２９】
高低角度γの測定は、受光センサ装置１５４が、回転レーザ装置１５２から射出された扇状レーザビームｂ１、ｂ２、ｂ３を受光することによっても行うことができる。回転レーザ装置１５１の扇状レーザビームから求めた高低角度γと、回転レーザ装置１５２から求めたγとを平均することにより、高低角度の測定精度を向上させることができる。或いは、一方の回転レーザ装置のみが扇状レーザビームを射出するように構成することもできる。
【００３０】
（１．２．２）回転角度位置の測定原理
次に、回転レーザ装置１５１に対して、受光センサ装置１５４が置かれている水平面内の角度位置、即ち、回転角度位置の測定原理について説明する。
回転レーザ装置１５１のエンコーダ１１７は、回転レーザ装置１５１が扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３を射出している回転角度を時々刻々検出している。検出された回転角度データは、後述する方法で光信号に変換されて、角度信号用レーザ光線投光器１７２からレーザ光線Ｓとして発信される。発信されたレーザ光線Ｓは、投光器１０３の光学系を通って、扇状ビームと共に回転レーザ装置から射出される。受光センサ装置１５４の受光部１５５、１５６は、扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３及びレーザ光線Ｓを夫々受光する。受光部１５６が扇状ビームｂ２を受光した瞬間に、受光部１５５が受光したレーザ光線Ｓの有する回転角度データから受光センサ装置１５４の配置された回転角度位置を求めることができる。
【００３１】
次に、回転角度データを光信号に変換する方法について説明する。角度信号用レーザ光線投光器１７２は、扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３とは異なる色（波長）のレーザ光線Ｓを射出する。このレーザ光線Ｓを、例えば、図１３（ａ）に示すようなパターンで点滅させることにより回転角度データ、即ち、回転角度位置を送信する。図１３（ａ）に示す信号はリファレンス信号Ｓ１と、回転角度位置をデジタル符号化したパターンで点滅するデジタル信号Ｓ２とからなる。リファレンス信号Ｓ１は等間隔に射出され、デジタル信号Ｓ２は、各リファレンス信号の間で、デジタル符号を表すパターンで点滅する。該デジタル符号はエンコーダ１１７（図３）によって測定された回転角度位置をデジタル符号化したものである。
【００３２】
受光センサ装置１５４は、回転角度位置の信号を受光すると、そのデジタル信号に基づいて回転角度位置を求める。ただし、この回転角度位置は、デジタル信号Ｓ２が或る間隔をおいて送られてくるため、概略的な値しか示さない。そこで、図１３（ｂ）に示すように、扇状ビームｂ２を受光した時刻と、リファレンス信号Ｓ１を受光した時刻との時間差から、間隔のあいた回転角度位置情報を内挿してより正確な角度を測定する。
【００３３】
（１．２．３）三次元位置の測定原理
次に、受光センサ装置１５４が置かれている三次元位置の測定原理を説明する。まず、図１４に示すように、２台の回転レーザ装置１５１及び１５２は、既知の距離Ｌだけ間隔を隔てて設置する。回転レーザ装置１５１、１５２に対する受光センサ装置１５４の回転角度位置ζ、ξは、前述の測定原理により測定することができる。また、回転レーザ装置１５１と受光センサ装置１５４との間の距離をｍ、回転レーザ装置１５２と受光センサ装置１５４との間の距離をｎとすると、回転角度位置ζ、ξと、距離Ｌ、ｍ、ｎとの間には（数式３）の関係が成り立つ。
【数３】
0004531965.tif 000004
従って、距離ｍ、ｎは（数式４）から求めることができる。
【数４】
0004531965.tif 000005
【００３４】
ここで、例えば、回転レーザ装置１５１の回転中心点Ｃを原点とし、距離Ｌの方向をＸ軸、水平面内でそれに直交する方向をＹ軸とすると、受光センサ装置１５４のＸ座標ｘ、Ｙ座標ｙは（数式５）によって計算される。
【数５】
0004531965.tif 000006
【００３５】
更に、Ｚ座標、即ち、鉛直方向の高さｚは（数式２）によって計算された高低角度γを使用して、（数式６）によって計算される。
【数６】
0004531965.tif 000007
他の位置に原点を取った場合や、他の方向に座標軸を定めた場合には、公知の任意適当な方法により座標変換をすることにより、三次元位置を求めることができる。
【００３６】
（１．２．４）振れ角の検出原理
図５に示すように、投光器１０３の回転部１０５は、投光器本体部１２０に回転自在に支持されているため、機械的な微小なガタを避けることができない。このガタによって、投光器１０３の投光光学系の光軸と、回転部１０５の光軸との間にずれが生じる。回転部１０５が、投光光学系の光軸と、扇状レーザビームの射出方向の軸線とを含む平面内（図５の紙面と平行な平面内）で傾斜した場合には、扇状レーザビームの射出方向に誤差は生じない。即ち、回転部１０５に設けられたペンタプリズム１０９は、前記平面内で傾斜する限りは、入射する光の光軸が傾斜したとしても入射した光を正確に９０゜偏向させるので、扇状レーザビームの射出方向に誤差が生じない。
【００３７】
しかしながら、回転部１０５が投光光学系の光軸と扇状レーザビームの射出方向の軸線とを含む平面に対して直交する平面内（図５の紙面に垂直な平面内）で傾斜した場合には、扇状レーザビームの射出方向に誤差が生じる。本発明の実施形態による振れ検出装置は、この傾斜、即ち振れ角を検出する。
図８を参照して、振れ角の検出原理を説明する。振れ検出装置１９０の振れ角検出用発光部１９３はレーザ光線Ｈを射出する。レーザ光線Ｈは、発光部コンデンサレンズ１９６によって平行光線になる。発光部コンデンサレンズ１９６によって平行光線にされたレーザ光線Ｈは回転部１０５に取付けられた分度盤１９５で反射される。分度盤１９５で反射されたレーザ光線Ｈは、受光部コンデンサレンズ１９７に入射して集光される。受光部コンデンサレンズ１９７によって集光されたレーザ光線Ｈは振れ角検出用受光部１９４によって受光される。
【００３８】
回転部１０５が傾斜することによって、それに取付けられた分度盤１９５が傾斜すると、レーザ光線Ｈを反射する方向が変化する。反射されたレーザ光線Ｈの方向が変化すると、受光部コンデンサレンズ１９７で集光されたレーザ光線Ｈが振れ角検出用受光部１９４に入射する位置が変化する。このレーザ光線Ｈの入射位置の変化を、ポジショニングセンサによって構成されている振れ角検出用受光部１９４で測定することによって振れ角を検出する。
また、レーザ光線Ｈは、平行光線にされた状態で分度盤１９５によって反射されるので、分度盤１９５が傾斜することなく上下に平行移動したとしても、レーザ光線Ｈが受光部１９４に入射する位置は変化しない。従って、振れ検出装置１９０は、回転部１０５の傾斜のみを検出することができる。
【００３９】
（１．２．５）振れ角による誤差の補正原理
回転部１０５が傾斜することによって扇状レーザビームを射出する方向が変化し、回転角度位置ζ、ξ、高低角度γ、及び扇状レーザビームの受光時間間隔ｔ、ｔ0に誤差を生じる。これらの値に生じる誤差の補正原理を以下に説明する。
【００４０】
（１．２．５．１）回転角度位置に生じる誤差の補正
図１５を参照して、回転角度位置ζ、ξに生じる誤差の補正について説明する。図１５（ａ）はペンタプリズム１０９の斜視図であり、図１５（ｂ）は上面図、図１５（ｃ）は正面図である。ペンタプリズム１０９の入射面１０９ａに平行な平面がＸＹ平面、射出面１０９ｂに平行な平面がＸＺ平面になるように、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸を定義する。
図１５（ａ）に示すように、ペンタプリズム１０９が傾斜していない場合、光は、Ｚ軸の方向、即ち、入射面１０９ａに垂直な方向に入射し、Ｙ軸の方向、即ち、射出面１０９ｂに垂直な方向に射出される。これに対して、図１５（ｃ）に示すように、光が、ＸＺ平面内で入射面１０９ａに対して角度μ傾いて入射した場合には、図１５（ｂ）に示すように、光はＸＹ平面内で角度μ傾いて射出される。これにより、回転角度位置ζ、ξの測定値に誤差を生じる。ＸＹ平面内での角度μの射出方向の傾きは、水平面内で測定される回転角度位置ζ、ξに、
【数７】
0004531965.tif 000008
の誤差を生じさせる。但し、角度μは微小であるため、μh≒μの関係が成り立つ。
【００４１】
そこで、本発明の実施形態による振れ検出装置１９０によって、振れ角、即ち、入射角度の傾斜μを検出して、回転角度位置ζ、ξの値を補正する。即ち、角度μhの値を回転角度位置ζ、ξから差し引くことによって、回転角度位置の値を補正することができる。値の補正は、回転レーザ装置１５１のエンコーダ１１７によって測定された回転角度位置ζの値から、振れ検出装置１９０によって求められた角度μhを差し引く演算を、回転レーザ装置１５１の中で行い、補正された回転角度位置ζを受光センサ装置１５４に送信することによって行う。或いは、振れ検出装置１９０によって求められた角度μhを受光センサ装置１５４に送信し、回転角度位置ζを補正する演算を、受光センサ装置１５４において行うように構成しても良い。
【００４２】
（１．２．５．２）高低角度に生じる誤差の補正
次に、図１６を参照して、高低角度γに生じる誤差の補正について説明する。なお、光軸の入射面１０９ａに対する傾きμ、及びＸ、Ｙ、Ｚ軸の方向は図１５と同様とする。図１６はペンタプリズム１０９の三面図である。前述のように、ＸＺ平面内において入射光が角度μ傾斜すると、射出される光はＸＹ平面内において角度μの偏角が生じる。同時に、射出される光はＹＺ平面内で（数式８）で与えられる偏角κを生じる。
【数８】
0004531965.tif 000009
上記の偏角κを高低角度γから差し引くことによって、高低角度γの測定値を補正することができる。高低角度γの補正は、回転レーザ装置１５１から受光センサ装置１５４に偏角κの値を送信し、受光センサ装置１５４において測定された高低角度γから偏角κを差し引くことによって行うことができる。或いは、角度μの値を受光センサ装置１５４から送信し、受光センサ装置１５４の演算部１６６で（数式８）の演算を行い、高低角度γを補正しても良い。
【００４３】
（１．２．５．３）受光時間間隔に生じる誤差の補正
回転部１０５が傾斜すると、扇状レーザビームｂ１、ｂ２、ｂ３も夫々の相対的な位置関係を保ったまま、全体に傾斜する。この傾斜により、扇状レーザビームｂ１、ｂ２、ｂ３の受光時間間隔にも誤差が生じる。図１７を参照して、受光時間間隔に生じる誤差について説明する。図１７の太い実線は、回転部１０５が傾斜していない場合の扇状レーザビームｂ１、ｂ２、ｂ３を表し、太い破線は、回転部１０５が射出点Ｃを中心に角度μ傾斜した場合の扇状レーザビームｂ１、ｂ２、ｂ３を表す。図１７に示すように、扇状レーザビームが傾斜していないとき、受光センサ装置１５４が射出点Ｃよりも鉛直方向に距離ＨAだけ下に置かれた場合には、扇状レーザビームｂ３とｂ２との受光時間間隔はｔになり、ｂ３とｂ１との受光時間間隔はｔ0になる。これに対して、扇状レーザビームが角度μ傾斜したときは、受光センサ装置１５４が同じ高さに置かれていたとしても、扇状レーザビームｂ３とｂ２との受光時間間隔はｔSになり、ｂ３とｂ１との受光時間間隔はｔ0Sになる。これら受光時間間隔の相違によって高低角度γの測定値に誤差を生じる。
【００４４】
扇状レーザビームｂ３とｂ２との真の受光時間間隔ｔは、傾斜角度μと、角度μ傾斜したときの受光時間間隔ｔSとから、（数式９）によって求めることができる。
【数９】
0004531965.tif 000010
ただし、Ｌb＝ＣＧである。また、扇状レーザビームｂ３とｂ１との真の受光時間間隔ｔ0は、傾斜角度μと、角度μ傾斜したときの受光時間間隔ｔ0Sとから、（数式１０）によって求めることができる。
【数１０】
0004531965.tif 000011
振れ検出装置１９０によって測定された振れ角、即ち傾斜角μを回転レーザ装置１５１から受光センサ装置１５４に送信し、受光センサ装置１５４の演算部１６６において（数式９）（数式１０）の演算を行うことにより、測定された受光時間間隔ｔS、ｔ0Sを補正することができる。
【００４５】
（１．３）位置測定設定システムの作動
本発明の第１の実施形態による振れ検出装置１９０を含む位置測定設定システムは、回転レーザ装置１５１、１５２に対する受光センサ装置１５４の位置の測定、並びに、受光センサ装置１５４に予め設定入力した平面又は曲面を形成する作業に使用することができる。
【００４６】
（１．３．１）位置測定設定システムによる平面の設定
図１８は位置測定設定システムによって仮想面、例えば、傾斜平面を形成する作業手順のフローチャートである。図１９は、水平面、形成する傾斜平面及び座標軸の位置関係を表す図である。ここでは、基準となる点Ｃを通り、Ｘ軸の方向に角度α傾斜し、かつＹ軸の方向に角度β傾斜した傾斜平面（２軸勾配平面）を形成する場合について説明する。なお、この傾斜平面は直線ＣＤの方向に計測した傾き（勾配）が最大になり、その傾斜角度を角度λとする。
【００４７】
まず、ステップＦ１において、扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３が点Ｃを通る鉛直軸線を中心に回転するように回転レーザ装置１５１を設置する。更に、回転レーザ装置１５２を点Ｃから距離Ｌ離れた位置のＸ軸上に設置する。好ましくは、距離Ｌの誤差が１ｍｍ以下になる精度で設置する。Ｘ軸の方向は、形成を行う所望の平面の基準となる方向に任意に定めることができる。
【００４８】
次に、ステップＦ２において、回転レーザ装置１５１及び１５２の基準方向が、形成する傾斜平面の基準方向（ここではＸ軸の方向とする）に一致するように各回転レーザ装置を位置決めする。なお、回転レーザ装置１５１、１５２の基準方向とは、各回転レーザ装置に内蔵されたエンコーダ１１７が扇状ビームの射出方向角度０度を出力する方向である。この位置決めは、視準望遠鏡等、公知の任意適当な装置を使用して行うことができる。本実施形態では、回転レーザ装置１５１に取付けられたエンコーダ１１７は、回転レーザ装置１５２の方向に扇状レーザビームｂ２を照射しているとき０を出力し、反時計回りの方向を正として角度を測定する。一方、回転レーザ装置１５２に取付けられたエンコーダ１１７は、回転レーザ装置１５１の方向に扇状レーザビームｂ２を照射しているとき０を出力し、時計回りの方向を正として角度を測定する。
【００４９】
次に、ステップＦ３において、形成する傾斜平面の基準方向（Ｘ軸方向）の所望の傾斜角度α、及び基準方向に直交する方向（Ｙ軸方向）の所望の傾斜角度βを、受光センサ装置１５４の入力キー１６２で入力する。入力されたそれらの値は受光センサ装置１５４の記憶部１６５に記憶される。なお、傾斜角度α、βをラジアン（ｒａｄ）、角度（ｄｅｇ）、勾配（％）等、任意の単位で入力できるように受光センサ装置１５４を構成しても良い。基準点Ｃ及び入力された２つの傾斜角度α、βによって、形成すべき傾斜平面は完全に規定される。一般に、傾斜平面の傾斜角度は、基準点Ｃからどの方向に傾斜角度を測定するかによって変化する。傾斜平面の傾斜角度を任意の方向（例えば、Ｘ軸と角度φをなす方向）に測定した際の傾斜角度γ0（高低角度）は（数式１１）によって計算することができる。
【数１１】
0004531965.tif 000012
0004531965.tif 000013
0004531965.tif 000014
0004531965.tif 000015
また、先に設定した回転レーザ装置１５１と１５２との間の距離Ｌも入力キー１６２によって入力し、記憶部１６５に記憶させておく。
【００５０】
ステップＦ４において、受光センサ装置１５４の受光部１５５は、回転レーザ装置１５１から射出されたレーザ光線Ｓを受光する。受光センサ装置１５４の演算部１６６は受光した光信号に基づいて、受光センサ装置１５４が現在、基準点Ｃに対してどの回転角度位置ζに配置されているかを演算する。受光センサ装置１５４の振れ角信号受信部１７０は更に、回転レーザ装置１５１の送信機１２３から送信される振れ角の信号を受信し、（数式７）を使用して回転角度位置ζを補正する。更に、回転レーザ装置１５２から射出されたレーザ光線Ｓについても同様の演算を行うことによって回転角度位置ξを求める。なお、各回転レーザ装置が同一回転数でレーザ光線Ｓを回転させ、更に、互いに平行な方向にレーザ光線Ｓを射出するように、２つの回転レーザ装置１５１、１５２を同期させる。これにより、回転レーザ装置１５１から射出されたレーザ光線Ｓと、回転レーザ装置１５２から射出されたレーザ光線Ｓが受光センサ装置１５４に同時に入射することはない。前述のように、回転レーザ装置１５１と、１５２は、異なる変調を有するレーザ光線Ｓを射出するので、受光センサ装置１５４は、２つのレーザ光線Ｓを容易に区別することができる。
【００５１】
演算部１６６は更に、求められた回転角度位置ζ、ξ及び、先に入力された２つの回転レーザ装置の間の距離Ｌから、（数式４）を用いて回転レーザ装置１５１と受光センサ装置１５４との間の距離ｍ、及び回転レーザ装置１５２と受光センサ装置１５４との間の距離ｎを計算する。続いて、演算部１６６は（数式５）を用いて点Ｃを原点とする受光センサ装置１５４のＸ座標、Ｙ座標を計算する。
【００５２】
次に、受光センサ装置１５４の演算部１６６は、測定された回転角度位置の方向に測定した傾斜平面の傾斜角度γ0を計算する。例えば、受光センサ装置１５４が基準点Ｃに対して角度φの回転角度位置にある点Ａ（点Ａは水平面上の点）に配置された場合、角度φの方向に測定した傾斜平面の傾斜角度γ0は、点Ａの鉛直上方の傾斜平面上の点Ｂと基準点Ｃとを結ぶ直線と、水平面とのなす角度∠ＢＣＡであり、この傾斜角度γ0は前記の（数式３）によって計算することができる。更に、演算部１６６は、傾斜角度γ0及び距離ｍから（数式６）を用いて、点Ａと点Ｂとの間の距離、即ちＺ座標ｚ0を計算する。
【００５３】
ステップＦ５において、受光センサ装置１５４の演算部１６６は、回転レーザ装置１５１が射出した３つの扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３の検出時間間隔ｔ、ｔ0から（数式２）を用いて、受光センサ装置１５４が現在配置されている位置の高低角度γを計算し、その値を表示部１５７に表示する。高低角度γを計算する際、（数式８）を用いて求められる偏角κ、及び（数式９）（数式１０）を用いて高低角度γの値を補正する。更に、高低角度γ及び距離ｍから（数式６）を用いて、受光センサ装置１５４のＺ座標ｚを計算し、その値を表示部１５７に表示する。また、受光センサ装置１５４の回転角度位置ζも併せて表示部１５７に表示される。次いで、この高低角度ｚと傾斜角度ｚ0とを比較して、それらの間の差Δｚを計算する。
【００５４】
ステップＦ６では、ステップＦ５で計算したΔｚに基づいて、受光センサ装置１５４を上方、下方のどちらに移動させれば受光センサ装置１５４が所望の傾斜平面に近づくのかを、受光センサ装置１５４の表示部１５７に表示する。作業者は表示部１５７の表示に基づいて受光センサ装置１５４を上方又は下方に移動させる。受光センサ装置１５４の移動距離は受光センサ装置に設けられた指標１６３及び標尺１５９によって読み取ることができる。また、この移動距離を標尺目盛読取部１６７によって読取り、その値が演算部１６６に送られるように構成しても良い。
【００５５】
ステップＦ４乃至ステップＦ６の処理は、受光センサ装置１５４が形成すべき傾斜平面上に配置されるまで自動的に繰り返される。好ましくは、受光センサ装置が、形成すべき所望の傾斜平面上に配置された際に、受光センサ装置１５４のブザー１６１が鳴るように構成する。
【００５６】
また、所望により、基準点Ｃと任意に配置された受光センサ装置１５４とを結ぶ直線を最大傾斜角とする傾斜平面を自動的に設定するように構成することもできる。即ち、図１９において、回転レーザ装置１５１を基準点Ｃに、更に、回転レーザ装置１５１から距離Ｌ間隔を隔てて回転レーザ装置１５２を設置する。次いで、受光センサ装置１５４を任意の点である点Ｄに配置する。次に、回転レーザ装置１５１、１５２を作動させて点ＤのＸ、Ｙ、Ｚ座標を測定する。受光センサ装置１５４の演算部１６６は、直線ＣＤを最大傾斜角度とする傾斜平面の回転レーザ装置１５１と１５２とを結ぶ方向（Ｘ軸方向）の傾斜角度α、及びＸ軸に直交するＹ軸方向の傾斜角度βを計算する。計算された傾斜角度α、βを受光センサ装置１５４の表示部１５７に表示し、傾斜角度α、βによって規定される傾斜平面を設定する。これにより、設定された傾斜平面を任意の位置で形成することが可能になる。また、前記傾斜平面上に受光センサ装置１５４が配置されたときにブザーが鳴るように構成しても良い。
更に、所望に応じて任意の３点を指定し、その３点を通る傾斜平面を設定することができるように、受光センサ装置１５４を構成しても良い。
【００５７】
以上、本実施形態においては傾斜平面の設定を行う場合について説明したが、本発明による位置測定設定システムを、曲面等の任意の面を設定できるように構成することもできる。その場合には、設定すべき面の各Ｘ座標、Ｙ座標に対するＺ座標を受光センサ装置に入力できるように受光センサ装置を構成しておく。設定すべき面の高さと、受光センサ装置が配置されている高さとの差を計算し、受光センサ装置を設定すべき面に導くように作動することは、前記実施形態と同様である。
【００５８】
（１．３．２）位置測定設定システムによる位置の測定
前記の作動方式は、作業者が所望の傾斜平面を設定し、本実施形態による位置測定システムを用いてその傾斜平面を形成するものである。これに対して、ここで説明する作動方式は、本実施形態による位置測定設定システムを用いて、受光センサ装置１５４を配置した任意の位置の座標を測定するものである。即ち、基準点Ｃに回転レーザ装置１５１を設置し、回転レーザ装置１５１から距離Ｌ間隔を隔てて回転レーザ装置１５２を設置し、座標を求めようとする位置に受光センサ装置１５４を配置する。次に、回転レーザ装置１５１、１５２を作動させて扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３を射出する。受光センサ装置１５４によってそれらの扇状ビームを受光して、受光センサ装置１５４が配置された位置の三次元座標を測定、表示する。位置の三次元座標の計算手順等は、前記の位置設定の場合と全く同様である。また、前記の実施形態では三次元座標の原点を回転レーザ装置１５１の回転中心である点Ｃとしていたが、任意の点を原点として受光センサ装置１５４の置かれている位置の座標を表示しても良い。例えば、測定の初めに、所望の位置に受光センサ装置１５４を設置して三次元座標の測定を行う。その後の測定では、最初に受光センサ装置１５４を設置した位置を原点とする座標が表示されるように受光センサ装置１５４を構成しても良い。
【００５９】
以上の実施形態では、回転レーザ装置１５１、１５２各１台に対して複数の受光センサ装置１５４を組み合わせ、各受光センサ装置１５４を独立して使用することができる。更に、従来の傾斜平面設定用のシステムでは、２種類の異なる傾斜平面を形成するには２組の傾斜平面設定用のシステムが必要になり、各システムの回転レーザ装置の射出するレーザ光が干渉し、誤作動をするという問題があった。これに対して、本発明の位置測定設定システムによる実施形態では、１組の回転レーザ装置１５１、１５２に対して、同時に複数の受光センサ装置１５４を使用することができ、更に、各受光センサ装置１５４毎に異なる傾斜平面を設定し、或いは三次元座標を測定することができる。
【００６０】
これにより、例えば、受光センサ装置１５４を建設機械に取付けて整地作業をする場合、１組の回転レーザ装置１５１、１５２に対して複数の建設機械を同時に作動させることができ、更に、それらの建設機械毎に異なる傾斜平面の整地作業をさせることもできる。また、設定した傾斜平面を変更するときは、各受光センサ装置毎に設定を変更することができるので、各回転レーザ装置を停止させる必要はなく、設定変更を行わない受光センサ装置については作業を中断する必要がない。
【００６１】
（１．３．３）位置測定設定システムの他の作動
次に、位置測定設定システムの他の作動について説明する。図１８のステップＦ２、即ち、回転レーザ装置１５１及び１５２の基準方向を設定すべき傾斜平面の基準方向に一致させる操作は、次のように実施することもできる。
まず、図２０に示すように、回転レーザ装置１５１及び１５２各々に、受光手段１５３ａ及び反射手段１５３ｂを設ける。回転レーザ装置１５１から射出された扇状レーザビームが回転レーザ装置１５２の反射手段１５３ｂで反射され、回転レーザ装置１５１の受光手段１５３ａが前記反射光を受光した瞬間の回転レーザ装置１５１の回転角度位置をエンコーダ１１７で測定する。測定された回転角度位置がζ＝０となるように検出された回転角度位置のデータを換算すれば、傾斜平面の基準方向を０とした回転角度位置を求めることができる。なお、振れ検出装置１９０によって検出される振れ角についても同様の換算を行う。回転レーザ装置１５２についても同様の操作を行うことにより、基準方向を０とした回転角度位置を求めることができるようになる。
【００６２】
好ましくは、各回転レーザ装置に取付ける反射手段１５３ｂを、図２０に模式的に示すようなコーナキューブ形状のマイクロプリズムを並べた形態のテープを回転レーザ装置の同心円周上に取付けることによって構成する。回転レーザ装置１５１が射出した扇状レーザビームを、回転レーザ装置１５２に取付けられた反射手段１５３ｂが反射し、その反射光を回転レーザ装置１５１に取付けられた受光手段１５３ａが受光する。このとき、受光手段１５３ａが受ける光の強さは、図２１に示すように、扇状ビームを射出する回転角度位置に応じて変化する。回転レーザ装置１５２は、回転レーザ装置１５１の受光手段１５３ａが受光した光の強さが最大になる回転角度位置に配置されていると見なすことができる。受光手段１５３ａが受光した光の強さが最大になる回転角度位置をζ＝０とする回転角度位置の信号を射出するように、回転レーザ装置１５１を構成する。或いは、回転レーザ装置１５１に発光手段（図示せず）を設けておき、受光手段１５３ａが受光した光の強さが最大になったときに、前記発光手段（図示せず）を発光させる。前記発光手段が射出した光を受光センサ装置で受光して、受光センサ装置がζ＝０の回転角度位置を認識する。同様の操作を回転レーザ装置１５２についても行うことにより、ξ＝０の回転角度位置を定めることができる。
【００６３】
ステップＦ２の更に別の実施形態として、まず、回転レーザ装置１５１、１５２を任意の方向を向けて、距離Ｌ離間させて設置する。次に、受光センサ装置１５４を回転レーザ装置１５２と同じ位置に設置し、回転レーザ装置１５１からのレーザ光線Ｓを受光する。この受光によって測定された回転角度位置をオフセット角として、測定された回転角度位置から差し引くことによって、回転レーザ装置１５１及び１５２を結ぶ基準線の方向をζ＝０とした回転角度位置を求めることができる。同様に、回転レーザ装置１５１の位置に受光センサ装置１５４を設置して、回転レーザ装置１５２からのレーザ光線Ｓを受光することによりオフセット角を測定する。このオフセット角を測定された回転角度位置から差し引くことにより、基準線の方向をξ＝０とした回転角度位置を求めることができる。
【００６４】
また、別の実施形態では、回転レーザ装置１５１、１５２各々に受光手段及び発光手段（図示せず）を設けておく。回転レーザ装置１５１が射出する扇状レーザビームを回転レーザ装置１５２の受光手段が受光すると、回転レーザ装置１５２の発光手段（図示せず）が全周に亘って光を射出する。受光センサ装置１５４は、この光を受光した瞬間に回転レーザ装置１５１から送信されてきた回転角度位置のデータを記憶する。次に、受光センサ装置１５４が回転レーザ装置１５１からの扇状レーザビームを受光した瞬間に回転レーザ装置１５１から送信されてきた回転角度位置のデータを記憶する。扇状レーザビームを受光した瞬間の回転角度位置のデータから、回転レーザ装置１５２の発光手段（図示せず）からの光を受光した瞬間の回転角度位置のデータを差し引くことにより、基準線の方向をζ＝０とした回転角度位置を求めることができる。同様に、回転レーザ装置１５１と１５２との役割を逆にすることによって、基準線の方向をξ＝０とした回転角度位置を求めることができる。
【００６５】
（２）他の実施形態
以上、本発明による位置測定設定システムの第１の実施形態を説明したが、位置測定設定システムに含まれる回転レーザ装置、及び受光センサ装置を以下のように実施することもできる。なお、第１の実施形態と同様の構成要素については、参照番号の百の位の数字を換えて同様の番号を付し、説明を省略する。
【００６６】
（２．１）回転レーザ装置の他の実施形態
（２．１．１）回折格子をペンタプリズムの下方に設けた回転レーザ装置
図２２に示すように、回転レーザ装置に含まれる投光器２０３の回折格子２３４は、ペンタプリズム２０９の下方に配置しても良い。なお、図面を簡単化するため、図２２では回転角度位置を送信するためのレーザ光線Ｓの射出用の光学系を省略している。
【００６７】
（２．１．２）異なる偏光を有する扇状レーザビームを射出する回転レーザ装置
次に、図２３を参照して、異なる偏光を有する扇状レーザビームを射出する投光器について説明する。本発明の実施形態による振れ検出装置を含む位置測定設定システムは受光センサ装置が受光した扇状レーザビームの受光時間間隔ｔから（数式２）を使用して高低角γを求めている。図２４（ａ）に示すように、受光センサ装置が受光した扇状レーザビームの受光時間間隔が長いときは、受光時間間隔ｔを正確に求めることができる。しかしながら、図２４（ｂ）（ｃ）のように、受光時間間隔ｔが短くなると、受光した２つの扇状レーザビームを識別することが困難になり、２つの扇状レーザビームの受光時間間隔ｔを測定するのが難しくなる。そこで、各扇状レーザビームを容易に識別することができるように、扇状レーザビームに異なる偏光を与える。
【００６８】
図２３は、異なる偏光を有する３つの扇状レーザビームｂ３１、ｂ３２、ｂ３３を射出する投光器３０３の光学系を表す。なお、図中の各光学素子を通るレーザ光線の方向は実線の矢印で図示し、レーザ光線の偏光方向は破線の矢印で模式的に図示されている。
【００６９】
レーザ投光器３０３に使用するレーザ光線投光器３３２にレーザダイオードを用いると、レーザ光は直線偏光になる。この偏光方向をここではＸ方向とし、レーザ光の射出される方向をＺ方向とし、ＸＺ平面に直交する方向をＹ方向とする。レーザ光線投光器３３２から発せられたレーザ光線は、コリメートレンズ３３３により平行光に形成され、１／４波長板３４０に入射する。１／４波長板３４０は、レーザ光線投光器３３２が射出し、Ｘ方向に直線偏光されたレーザ光が円偏光になるような方向に配置される。１／４波長板３４０を通過したレーザ光は再度１／４波長板３３９を透過して、図２３に示すような、Ｘ方向と４５゜の角度をなす方向に直線偏光される。ここで、回転部３０５は回動自在に保持されているので、１／４波長板３４０と１／４波長板３３９との相対位置は変化する。しかしながら、１／４波長板３４０を通過したレーザ光は円偏光であるので、再度１／４波長板３３９を透過した後の直線偏光の偏光方向は、相対位置の変化の影響を受けず、１／４波長板３３９により決定される。次に、レーザ光は偏光ビームスプリッター３４１を通過する。偏光ビームスプリッター３４１はＹ方向の偏光成分を反射させ、Ｘ方向の偏光成分を透過させるように構成される。したがって、１／４波長板３３９によってＸ方向と４５゜の角度をなす方向に直線偏光されたレーザ光のＹ方向成分は偏光ビームスプリッター３４１によって反射されて９０゜偏向される。一方、レーザ光のＸ方向成分は偏光ビームスプリッター３４１を通過する。
【００７０】
偏光ビームスプリッター３４１によって反射したレーザ光は、再度１／４波長板３３８に入射して円偏光となり、次にシリンダーミラー３３６により反射される。シリンダーミラー３３６は、レーザ光が回転部３０５より射出された際に水平面に対して垂直になるような方向に配置される。また、１／４波長板３３８とシリンダーミラー３３６との間には偏角プリズム３３６ａが配置されている。この偏角プリズム３３６ａは中央で２分割されており、回転部３０５から扇状ビームｂ３１、ｂ３２が射出された際、それらの扇状ビームのなす角度が２δになるような透過偏角を有する。シリンダーミラー３３６で反射されたレーザ光は、再度偏角プリズム３３６ａ及び１／４波長板３３８を透過し、Ｚ方向の直線偏光になるため、今度は、偏光ビームスプリッター３４１を透過することができ、回転部３０５より射出される。
【００７１】
一方、偏光ビームスプリッター３４１を透過したレーザ光は、同様に再度１／４波長板３３７に入射して円偏光となり、次にシリンダーミラー３３５によって反射される。シリンダーミラー３３５は、扇状レーザビームｂ３２が回転部３０５より射出された際に、扇状レーザビームｂ３２が水平面に対しθの角度になるような方向に配置される。シリンダーミラー３３５で反射されたレーザ光は、再度１／４波長板３３７を透過してＹ方向の直線偏光になるため、今度は、入射時に透過した偏光ビームスプリッター３４１で反射され、回転部３０５より射出される。
【００７２】
異なる偏光を有する扇状ビームを射出する回転レーザ装置を使用する場合には、受光センサ装置に異なる偏光を有する扇状ビームを分離するための光学系を設ける必要がある。即ち、受光センサ装置１５４の受光部１５６に、異なる偏光のレーザ光を分離するためのビームスプリッター（図示せず）を設ける。更に、該ビームスプリッター（図示せず）を透過したレーザ光を受光するための受光素子（図示せず）と、該ビームスプリッター（図示せず）を反射したレーザ光を受光するための受光素子（図示せず）を別々に設ける。この構成により、異なる偏光を有する２つの扇状レーザビームが短い時間間隔で入射したとしても、２つの扇状レーザビームは、夫々別の受光素子（図示せず）によって受光されるため、それらの受光時間間隔ｔを正確に測定することができる。
【００７３】
（２．１．３）扇状レーザビームと角度信号送信用のレーザ光線とを異なる方向に射出する回転レーザ装置
また、３つの扇状ビームと、角度信号送信用のレーザ光線Ｓは、必ずしも同一方向に射出されるように構成しなくても良い。即ち、図２５に示すように、扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３と、角度信号送信用のレーザ光線Ｓが互いに干渉しないように、回転レーザ装置４５１が、それらの光を異なる方向に射出するように構成しても良い。この場合には、扇状ビームｂ２を受光した時刻と、レーザ光線Ｓを受光した時刻の時間差から角度を算出する。この構成においては、扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３と、角度信号送信用のレーザ光線Ｓの発するレーザ光が同じ色（波長）でも良く、受光センサ装置が備える扇状ビーム用の受光部と角度信号受信用の受光部とを兼用にすることができる。更に、角度信号送信用のレーザ光線Ｓは、扇状ビームｂ１、ｂ２、ｂ３による位置の測定が可能な範囲をすべてカバーできるような広がり角を有するように構成する必要がある。
【００７４】
（２．１．４）２つの扇状レーザビームを射出する回転レーザ装置
今度は、図２６を参照して、２つの扇状レーザビームｂ５１、ｂ５２を射出する回転レーザ装置５５１について説明する。図２６に示すように、回転レーザ装置５５１は、扇状レーザビームｂ５１、ｂ５２を射出ながら点Ｃを中心に回転する。
図２７に示すように、扇状レーザビームｂ５１は水平面に対して角度ρをなして射出され、扇状レーザビームｂ５２は水平面に対して角度σをなして射出される。更に、扇状レーザビームｂ５１と水平面が交わる交線と、扇状レーザビームｂ５２と水平面が交わる交線とのなす角度をνとする。２つ扇状レーザビームｂ５１、ｂ５２はこのような関係を保ちながら回転するので、扇状レーザビームｂ５１、ｂ５２は時間差をもって受光センサ装置を横切る。本実施形態は、この時間差を基に受光センサ装置の水平面からの高さを測定する。
【００７５】
次に、図２８を参照して、本実施形態による高低角度γの測定原理を説明する。前述のように、扇状レーザビームｂ５１、ｂ５２は時間差をもって受光センサ装置１５４の受光部を横切る。受光センサ装置１５４の受光部が水平面内の位置Ａにある場合には、受光センサ装置１５４は図２８（ａ）に示すようなレーザ光を検出する。これに対して、受光部がＡの鉛直上方Ｂの位置にある場合には、検出されるファンビームは図２８（ｂ）に示すようになる。ここで、図２８（ａ）に示すように、受光部が点Ａにある場合の２つのファンビームの検出時間間隔をｔaとし、回転レーザ装置５５１の回転周期をＴとすると２つビームの検出時間間隔は（数式１２）で与えられる。
【数１２】
0004531965.tif 000016
【００７６】
又、受光部が任意の高さＢにある場合の検出時間間隔ｔbは、受光部の位置Ｂとファンビームレーザ光の射出点Ｃとを結んだ直線と、水平面とのなす角度、即ち、高低角度∠ＢＣＡ=γに比例するので、γが大きくなると検出時間間隔ｔbが長くなる。従って、Ｂにおける検出時間間隔ｔbを測定することにより、高低角度γを下記の（数式１３）又は（数式１４）から算出することができる。
【数１３】
0004531965.tif 000017
【数１４】
0004531965.tif 000018
【００７７】
受光センサ装置１５４に内蔵された演算部１６６は、２つの扇状レーザビームｂ５１、ｂ５２が受光センサ装置１５４の受光部を横切る時間間隔ｔb及び、回転レーザ装置５５１の回転周期Ｔから角度γを算出する。この演算結果を表示部１５７に表示する。このように測定された高低角度γを（数式６）に代入することにより受光センサ装置１５４のＺ座標を求めることができる。Ｘ座標、Ｙ座標の測定については前述の第１の実施形態で説明した測定原理と同様である。また、所望の高低角γ0を受光センサ装置に予め入力しておき、その高低角γ0に対応する受光時間間隔ｔb−ｔaを計算する。受光センサ装置が前記受光時間間隔ｔb−ｔaで扇状レーザビームを受光したときに、受光センサ装置にその旨が表示されるように構成しておくことによって、円錐基準面を形成することができる。また、受光時間間隔がｔaのときに表示をするように構成すれば水平面を形成することができる。
【００７８】
ここで、（数式１２）乃至（数式１４）には、回転レーザ装置の回転周期Ｔが含まれるため、扇状レーザビームの回転に回転むらがあると、その回転むらが高低角度γの測定精度に影響を与える。好ましくは、これらの実施形態の場合には扇状レーザビームを回転させるモータに回転精度の高いモータを採用する。これに対して、前記の（数式２）には、回転周期Ｔが含まれないため、扇状ビームｂ１を受光してから扇状ビームｂ３を受光するまでの短い期間において回転むらが存在しない限り、測定精度が悪化することはない。従って、回転レーザ装置の１回転の間に扇状ビームが３回検出される実施形態の方が、２回検出される実施形態よりも回転むらによる誤差の影響を受けにくい。
【００７９】
（２．１．５）種々の形態の扇状レーザビームを射出する回転レーザ装置
以上、説明した実施形態は、回転レーザ装置が、図３に示した概略Ｎ字形に配置された３つの扇状レーザビームｂ１、ｂ２、ｂ３を射出するタイプ、及び図２７に示した概略Ｖ字形に配置された２つの扇状レーザビームｂ５１、ｂ５２を射出するタイプであるが、レーザビームの配置、本数を種々の形態にすることができる。扇状レーザビームの配置の仕方を図２９（ａ）乃至（ｒ）に例示する。これら全ての扇状レーザビームは、図５の回折格子１３４を適宜変更することによって容易に実現することができる。
【００８０】
図２９（ａ）乃至（ｆ）の扇状レーザビームの場合には、回転レーザ装置が１回転する間に２回扇状レーザビームを検出する。従って、（数式１２）乃至（数式１４）、又は、それらを変形した数式を用いて高低角度γを計算することができる。
図２９（ｇ）乃至（ｐ）の扇状レーザビームの場合には、受光センサ装置１５４の受光部１５６は、回転レーザ装置が１回転する間に３回扇状レーザビームを検出する。従って、第１の実施形態において説明した測定原理によって高低角度γを計算することができる。
【００８１】
図２９（ｑ）及び（ｒ）の扇状レーザビームの場合には、回転レーザ装置１５１が１回転する間に４回扇状レーザビームが検出される。従って、検出された４つの扇状ビームから任意の３つの扇状ビームを選択して計算することによって、４通りの高低角度γを計算することができる。これらの高低角度γを平均化することによって高低角度γの測定精度を向上させることができる。更に扇状レーザビームの本数を増やすことによって平均をとるデータ数を増やし、測定精度を向上させても良い。
【００８２】
また、図２９（ｃ）（ｄ）（ｊ）（ｋ）の扇状レーザビームでは、水平面付近では緩やかな傾斜を有し、水平面から離れた所で急激な傾斜を有する扇状ビームを含むため、高低角度γの変化に対する受光時間間隔の変化の割合が、水平面付近と水平面から離れた所との間で異なる。これにより、水平面付近の高低角度γの測定感度を高くすることができる。
なお、本明細書では、回転レーザ装置が１回転する間にｎ回扇状レーザビームが検出されるような扇状レーザビームの構成態様を「実質的にｎ本の扇状レーザビーム」と呼ぶことにする。
【００８３】
（２．１．６）回転角度位置の送信に電波を使用する回転レーザ装置
今度は、回転角度位置ζ、ξの他の測定原理について説明する。前述の位置測定設定システムでは、回転角度位置ζの情報を回転レーザ装置１５１から受光センサ装置１５４に送信するためにレーザ光線Ｓを使用していたが、レーザ光線の代りに電波を使用して回転角度位置ζの情報を送信しても良い。この場合には、回転レーザ装置１５１の投光器１０３に含まれる、レーザ光線Ｓを射出するための光学系を省略する。レーザ光線Ｓ用の光学系の代りに、回転レーザ装置１５１のケーシング１０１の中に電波送信機（図示せず）を設け、回転角度位置ζの情報を受光センサ装置１５４に送信する。一方、受光センサ装置１５４には、電波受信機（図示せず）を設け、回転レーザ装置１５１から送信された回転角度位置ζの情報を受信する。受光センサ装置１５４に含まれる、レーザ光線Ｓを受光するための受光部１５５は省略する。回転角度位置ζの情報を伝達する原理については、送信するための媒体がレーザ光線から電波に変わる点以外は前述の位置測定設定システムと同様である。
【００８４】
（２．１．７）扇状レーザビームと回転角度位置送信用のレーザ光線とを兼用する回転レーザ装置
扇状レーザビームｂ１、ｂ２、ｂ３の何れかに回転角度位置の情報を表す変調を加えて、扇状レーザビームと、回転角度位置を送信するためのレーザ光線Ｓとを兼用にすることもできる。
【００８５】
（２．１．８）振れ角を光通信によって送信する回転レーザ装置
振れ検出装置１９０によって検出された振れ角を、光通信によって受光センサ装置１５４に送信しても良い。光通信による振れ角の送信は、光通信による回転角度位置の送信と全く同様の構成で実現することができる。また、振れ角送信用の光と、回転角度位置送信用の光とを兼用にしても良い。或いは、扇状レーザビームｂ１、ｂ２、ｂ３に変調を加えることにより、扇状レーザビームを使用して振れ角を送信することもできる。
【００８６】
（２．２）受光センサ装置の他の実施形態
（２．２．１）全方向受光可能な受光センサ装置
図３０（ａ）乃至（ｄ）に、全方向受光可能な受光センサ装置２５４を図示する。図３０（ａ）に示すように、全方向受光可能な受光センサ装置２５４は、支柱２８０と、受光部２５６と、受光センサ制御部２７７とを有する。受光部２５６は支柱２８０の上部に取付けられ、受光センサ制御部２７７は支柱の下部に取付けられる。図３０（ｂ）は受光部２５６の上面断面図であり、図３０（ｃ）は側断面図であり、図３０（ｄ）は部分切取り断面図である。図３０（ｂ）乃至（ｄ）に示すように、受光部２５６は、集光手段である環状のシリンドリカルフレネルレンズ２７６と、環状のファイバーシート２７５と、環状に配置された複数の受光素子２７３とを有し、これらは同心円状に配列される。更に、環状に配置された受光素子２７３の内側には、受光素子制御部２７４が設けられる。
【００８７】
図３１（ａ）及びその断面である図３１（ｂ）に示すように、受光センサ制御部２７７は表示部２５７と、警告部２６１、例えば、ブザーと、入力キー２６２と、記憶部２６５と、演算部２６６と、回転角度位置の情報を受信するための電波受信機２７０と、外部通信部２７８とを有する。更に、受光センサ制御部２７７は外部通信部２７８を介して外部コンピュータ２７９と接続することができる。外部コンピュータ２７９によってデータの入力、測定結果の表示、測定結果の後処理を行うことができる。
【００８８】
扇状レーザビームが受光部２５６に照射されると、扇状レーザビームは高低方向に指向性を有するシリンドリカルフレネルレンズ２７６によって、ファイバーシート２７５を介して受光素子２７３に集光される。ファイバーシート２７５はシリンドリカルフレネルレンズ２７６で集光された扇状ビームを水平方向に拡散するので、受光した扇状ビームが受光素子２７３に一様に入射する。この構成により、シリンドリカルフレネルレンズ２７６の指向性以外の外乱光は受光素子２７３に入射しないため、扇状ビームが入射することによって発生する入射信号のＳ／Ｎ比を向上させることができる。また、各受光素子２７３は受光素子制御部２７４に並列に接続され、各受光素子２７３の受光状態を判断して、扇状ビームが入射されていない受光素子２７３の回路を遮断することによって入射信号のＳ／Ｎ比を更に向上させる。
【００８９】
受光素子２７３は扇状レーザビームを受けると、受光信号を受光素子制御部２７４に送る。受光部２５６に内蔵された受光素子制御部２７４は受光信号を受光センサ制御部２７７に送る。受光センサ制御部２７７における信号の処理は、受光センサ装置１５４における信号の処理と同じである。
【００９０】
以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、本発明の範囲又は精神から逸脱することなく、特許請求の範囲に記載された技術的事項の範囲内において、開示した実施形態に種々の変更を加えることができる。
【００９１】
【発明の効果】
本発明により、回転部と投光器本体部との間の振れ角を検出するための振れ検出装置、並びに、振れ検出装置を含む回転レーザ装置及び位置測定設定システムが得られた。
また、本発明により、振れ検出装置によって振れ角を検出して、それに基づいて測定される位置を補正し、又は設定される面を補正する、回転レーザ装置及び位置測定設定システムが得られた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の振れ検出装置を含む位置測定設定システムの全体構成を表す斜視図である。
【図２】３つの扇状レーザビームの配置を表す斜視図である。
【図３】３つの扇状レーザビームの配置を表す三面図である。
【図４】回転レーザ装置の傾斜機構を表す側断面図である。
【図５】回転レーザ装置に含まれる投光器の側断面図である。
【図６】１本のレーザビームが回折格子によって３つの扇状レーザビームに成形される様子を示す斜視図である。
【図７】３つの扇状レーザビームと、角度信号を送信するためのレーザ光線との位置関係を表す斜視図である。
【図８】本発明の実施形態による振れ検出装置の斜視図である。
【図９】受光センサ装置の正面図である。
【図１０】受光センサ装置の全断面図である。
【図１１】図９の直線Ｘ−Ｘに沿ってとられた断面図である。
【図１２】受光センサ装置が受光した扇状レーザビームの信号を表すグラフである。
【図１３】回転角度位置を送信する信号を表すグラフである。
【図１４】位置測定設定システムによる位置の測定原理を表す図である。
【図１５】ペンタプリズムに入る入射光と、射出される射出光との関係を表す図である。
【図１６】入射光がペンタプリズムの入射面に傾斜して入射した場合に、高低角度の測定値に生じる誤差を表す三面図である。
【図１７】３つの扇状レーザビームが傾斜して射出された場合に、扇状レーザビームの受光時間間隔に生じる誤差を表す図である。
【図１８】位置測定設定システムによって仮想面を形成するための作業手順を表すフローチャートである。
【図１９】形成すべき仮想面と水平面との位置関係を表す斜視図である。
【図２０】回転レーザ装置に設けられた受光手段及び反射手段を表す部分拡大図である。
【図２１】回転レーザ装置の受光手段が受光する光の強さと、レーザ光を射出する回転角度位置との関係を表すグラフである。
【図２２】回転レーザ装置に含まれる投光器の他の構成を示す断面図である。
【図２３】異なる偏光を有する扇状レーザビームを射出する投光器の構成を表す斜視図である。
【図２４】受光センサ装置が受光する扇状レーザビームを表すグラフである。
【図２５】３つの扇状レーザビームと、角度信号を送信するためのレーザ光線とを異なる方向に射出する回転レーザ装置の斜視図である。
【図２６】２つの扇状レーザビームを射出する回転レーザ装置を表す斜視図である。
【図２７】２つの扇状レーザビームの配置を表す三面図である。
【図２８】受光センサ装置が受光した扇状レーザビームの信号を表すグラフである。
【図２９】扇状レーザビームの他の構成を例示する図である。
【図３０】全方向受光可能な受光センサ装置を表す、正面図及び部分断面図である。
【図３１】全方向受光可能な受光センサ装置に含まれる受光センサ制御部の正面図及び断面図である。
【図３２】従来技術の回転レーザ装置の断面図である。
【符号の説明】
ｂ１、ｂ２、ｂ３:扇状レーザビーム
Ｓ:回転角度位置送信用レーザ光線
Ｈ:振れ角検出用レーザ光線
１００:位置測定設定システム
１０１:ケーシング
１０２:凹部
１０３:レーザ投光器
１０４:球面座
１０５:回転部
１０６:走査モータ
１０７:駆動ギア
１０８:走査ギア
１０９:ペンタプリズム
１１０:傾斜機構
１１１:傾斜用モータ
１１２:傾斜用スクリュー
１１３:傾斜ナット
１１４:駆動ギア
１１５:傾斜用ギア
１１６:傾斜用アーム
１１７:エンコーダ
１１８、１１９:固定傾斜センサ
１２０:投光器本体部
１３１:投光窓
１３２:レーザ光線投光器
１３３:コリメートレンズ
１３４:回折格子
１４８:ミラー
１４９:ダイクロックミラー
１５１、１５２:回転レーザ装置
１５３ａ:受光手段
１５３ｂ:反射手段
１５４:受光センサ装置
１５５:受光部
１５６:受光部
１５７:表示部
１５８:固定ノブ
１５９:標尺
１６０:目盛
１６１:ブザー
１６２:入力キー
１６３:指標
１６４:筐体
１６５:記憶部
１６６:演算部
１６７:標尺目盛読取部
１７０:角度信号受信部
１７１:ダイクロックプリズム
１７２:角度信号投光器
１７３:受光素子
１９０:振れ検出装置
１９３:発光部
１９４:受光部
１９６、１９７:コンデンサレンズ
【図１】
0004531965.tif 000019
【図２】
0004531965.tif 000020
【図３】
0004531965.tif 000021
【図４】
0004531965.tif 000022
【図５】
0004531965.tif 000023
【図６】
0004531965.tif 000024
【図７】
0004531965.tif 000025
【図８】
0004531965.tif 000026
【図９】
0004531965.tif 000027
【図１０】
0004531965.tif 000028
【図１１】
0004531965.tif 000029
【図１２】
0004531965.tif 000030
【図１３】
0004531965.tif 000031
【図１４】
0004531965.tif 000032
【図１５】
0004531965.tif 000033
【図１６】
0004531965.tif 000034
【図１７】
0004531965.tif 000035
【図１８】
0004531965.tif 000036
【図１９】
0004531965.tif 000037
【図２０】
0004531965.tif 000038
【図２１】
0004531965.tif 000039
【図２２】
0004531965.tif 000040
【図２３】
0004531965.tif 000041
【図２４】
0004531965.tif 000042
【図２５】
0004531965.tif 000043
【図２６】
0004531965.tif 000044
【図２７】
0004531965.tif 000045
【図２８】
0004531965.tif 000046
【図２９】
0004531965.tif 000047
【図３０】
0004531965.tif 000048
【図３１】
0004531965.tif 000049
【図３２】
0004531965.tif 000050