(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
任意の部材に固定するための支持体と、少なくとも一方の面が光を反射する反射面である可動板と、前記支持体と前記可動板を接続する弾性部材と、前記可動板近傍に所定の間隔をあけて配置された一対の磁石と、前記可動板上に形成された駆動コイルと、前記可動板上に形成されたセンサコイルとを有する光スキャナにおいて、
前記駆動コイルに少なくとも交流成分を含む電流を供給する電流供給手段と、
前記センサコイルに生じる誘導起電力を検出し、その誘導起電力に応じた検出信号を出力する検出手段と、
前記検出手段が出力した検出信号に基づいて、前記電流供給手段による前記駆動コイルへの電流供給を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段が、前記可動板のねじり振動の周波数を制御する振動周波数制御手段と、
少なくとも前記可動板のねじり振動周波数の近傍の周波数帯域において、前記検出信号に対し周波数に反比例したゲインを施すゲイン回路と、
前記ゲイン回路の出力に基づいて、可動板のねじり振動の振動振幅を制御する振幅制御手段とを有することを特徴とする光スキャナ駆動回路。
【請求項２】
前記振動周波数制御手段は、前記検出信号に基づいて、前記可動板を機械的共振周波数でねじり振動させる共振周波数追従制御手段であることを特徴とする請求項１に記載の光スキャナ駆動回路。
【請求項３】
前記ゲイン回路は、前記可動板のねじり振動周波数よりも十分低いカットオフ周波数をもつ１次のローパスフィルターで構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の光スキャナ駆動回路。
【請求項４】
前記ゲイン回路は、前記可動板のねじり振動周波数よりも十分低いカットオフ周波数をもつ１次のバンドパスフィルターで構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の光スキャナ駆動回路。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光源からの光を反射しその反射光を１次元または２次元に走査する光スキャナを駆動する、光スキャナ駆動回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光スキャナとして、例えば、特開平７−１７５００５号公報や特開平１０−１２３４４９号公報に開示されたものがある。これらの光スキャナは半導体製造技術により製作されるものであり、小型、薄型といった特徴を持っている。
以下にその動作原理について説明する。
【０００３】
図１は光スキャナの動作原理を説明するための概略構成図である。図１に示すように、光スキャナはミラー面１０１ａと平行にコイルパターン（駆動コイル１０２）が形成されたミラー部１０１と、ミラー部１０１を振動させるためのばね部１０４ａ，１０４ｂと、ミラー部１０１の近傍に配置された、ミラー部１０１が静止状態時のミラー面１０１ａとほぼ平行な磁界を生じさせるための永久磁石１０５ａ，１０５bとを備えている。ばね部１０４ａ，１０４ｂは、任意の部材を固定するための不図示の支持体に接続されている。そして、駆動コイル１０２に交流電流（周波数ｆ）を流すことにより、ミラー面１０１ａに垂直な向きにフレミング左手の法則に従う力を発生させ、ミラー部１０１を周波数ｆで振動させるようになっている。
【０００４】
このときの振れ角θと発生力Ｆには、交流電流をＩ（＝Ｉ0ｓｉｎ（２πｆｔ））、磁界の強さをＨ（磁束密度Ｂ）、コイルの巻き数をＮ、コイルの面積をＳ、真空誘磁率をμ0とすると、次式(1)
0004562960.tif 000002
の関係があり、振れ角θは次式(2)に示す運動方程式を解くことによって求めることができる。
0004562960.tif 000003
但し、kはばね部のねじりばね定数であり、光スキャナの機械的共振周波数をｆcとすると、ｋ＝（２πｆc）2の関係がある。また、Dは減衰係数、Jは光スキャナの慣性モーメントである。
【０００５】
また、振れ角θと交流電流の周波数fとの関係は、振れ角θが小さいものとして、上記式(1)，(2)より、次式(3)
0004562960.tif 000004
を導くことができる。
図２は上記式(3)をプロットしたものである。図２に示すように、交流電流の駆動周波数ｆを機械的共振周波数ｆcに合わせると最大の振れ角（振動振幅）が得られる。
このような理由から、光スキャナの駆動では、駆動信号の周波数を光スキャナの機械的共振周波数に合わせることが一般的となっている。
【０００６】
ところで、上述した光スキャナの駆動を安定させるためには、光スキャナの振動状態を検出するためのセンサが必要となる。そのようなセンサを用いた光スキャナとしては、例えば、特開平１１−２４２１８０号公報に開示されているように、図１の構成に加えて、ミラー部１０１に駆動コイル１０２とは別のコイルパターン（以下、センサコイル１０３）を駆動コイル１０２と同一の平面上にほぼ同心状に設けて（図３参照）、ミラー部１０１が振動する際にセンサコイル１０３が磁界と鎖交することによって発生する起電力を検出することで振動状態を検出するようにした光スキャナが知られている。
【０００７】
ここで、このような構成の光スキャナにおける振動状態の検出方法では、センサコイル１０３に発生する起電力Ｖｒは、次式(4)で与えられる。
0004562960.tif 000005
但し、Ｎｓはセンサコイルの巻き数、Ｂは磁束密度、Ｓｓはセンサコイルの面積である。
【０００８】
ここで、光スキャナを機械的共振周波数ｆcで駆動する場合を考える。
駆動信号をＩ＝Ｉ0ｓｉｎ（２πｆcｔ）とおくと、光スキャナの振動は駆動
信号に対し位相が９０°遅れるので、次式(5)
0004562960.tif 000006
とおくことができる。従って上記式(4)で表される起電力Ｖｒは、振れ角θ（θ0）が小さいものとして、次式(6)
0004562960.tif 000007
と近似することができる。
【０００９】
これにより、センサコイルに発生する起電力は、光スキャナの振動に対し位相が９０°進むことがわかる（なお、コイルの両端の接続を入れ替えれば起電力の符号が反転し、９０°遅れることになるが、以下この向きで説明する。）。従って、共振周波数駆動時では、駆動信号、光スキャナの駆動、センサコイルの起電力（センサ信号）の位相関係は図４に示すようになり、駆動信号とセンサ信号は位相が一致することになる。
【００１０】
なお、光スキャナを共振周波数より十分低い任意の周波数で駆動する場合は、駆動信号をＩ＝Ｉ0ｓｉｎ（２πｆｔ）とすると、光スキャナの振動は駆動信号に対し位相が一致するので、次式(7)
0004562960.tif 000008
とおくことができ、従って上記式(4)で表される起電力Ｖｒは、振れ角θ（θ0）が小さいものとして、次式(8)
0004562960.tif 000009
と近似することができる。
【００１１】
また、光スキャナを安定動作させるための制御駆動回路は、特開平０９−１０１４７４号公報に開示されているものが一般的である。この制御駆動回路は、光スキャナを常に共振周波数で駆動するための周波数追従制御（正帰還制御）と、所望の振動振幅で安定動作させるための振幅制御（負帰還制御）を有している。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記センサを有する光スキャナを制御駆動する場合には、次のような問題がある。
センサ信号（センサコイルに生じる起電力）は上記式(6)や式(8)で示されるように、駆動周波数に比例した信号となる。このため、特開平０９−１０１４７４号公報に示すような共振周波数追従制御を行う場合、環境の変化や経時変化等で光スキャナの機械的共振周波数が変動すると、それに伴い、振れ角が変化していないにも関わらずセンサ信号が変化してしまう、すなわち振れ角センサとしてのセンサ感度が変化してしまうのである。このことは、高精度な振幅制御を行う上で致命的な問題となる。
また、光スキャナを共振周波数より十分低い周波数で駆動する場合でも、駆動周波数に応じてセンサ信号（センサ感度）が変わるので、振幅制御が困難になる。
【００１３】
そこで、本発明は、上述の問題点を鑑みてなされたものであり、光スキャナの駆動周波数の変化に影響を受けることなく、高精度に振幅制御を行うことが可能な光スキャナ駆動回路を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段及び作用】
上記目的を達成するため、本第１の発明による光スキャナ駆動回路は、任意の部材に固定するための支持体と、少なくとも一方の面が光を反射する反射面である可動板と、前記支持体と前記可動板を接続する弾性部材と、前記可動板近傍に所定の間隔をあけて配置された磁石と、前記可動板上に形成された駆動コイルと、前記可動板上に形成されたセンサコイルとを有する光スキャナにおいて、前記駆動コイルに少なくとも交流成分を含む電流を供給する電流供給手段と、前記センサコイルに生じる誘導起電力を検出し、その誘導起電力に応じた検出信号を出力する検出手段と、前記検出手段が出力した検出信号に基づいて、前記電流供給手段による前記駆動コイルへの電流供給を制御する制御手段とを備え、前記制御手段が、前記可動板のねじり振動の周波数を制御する振動周波数制御手段と、少なくとも前記可動板のねじり振動周波数の近傍の周波数帯域において、前記検出信号に対し周波数に反比例したゲインを施すゲイン回路と、前記ゲイン回路の出力に基づいて、可動板のねじり振動の振動振幅を制御する振幅制御手段とを有することを特徴とする。
【００１５】
このように構成した本第１の発明によれば、可動板のねじり振動の周波数に比例した検出信号に対し、周波数に反比例したゲインを施すことで光スキャナの駆動周波数の変化に影響されずに可動板のねじり振動の振動振幅を検出することができ、従って、高精度に振幅制御を行うことが可能となる。
【００１６】
また、本第２の発明による光スキャナ駆動回路は、本第１の発明において、前記振動周波数制御手段が、前記検出信号に基づいて、前記可動板を機械的共振周波数でねじり振動させる共振周波数追従制御手段であることを特徴とする。
【００１７】
このように構成した本第２の発明によれば、光スキャナを機械的共振周波数でねじり振動させることができると共に、光スキャナの機械的共振周波数の変動に影響されない振動振幅の検出が可能となり、従って、高精度に振幅制御を行うことができる。
【００１８】
さらに、本第３の発明による光スキャナ駆動回路は、本第１又は第２の発明において、前記ゲイン回路が、前記可動板のねじり振動周波数よりも十分低いカットオフ周波数をもつ１次のローパスフィルターで構成されていることを特徴とする。
【００１９】
このように構成した本第３の発明によれば、可動板のねじり振動の周波数に比例した検出信号に対し、周波数に反比例したゲインを施すと共に、低周波領域のゲインを抑えることができるので、安定した振幅制御を行うことが可能となる。
【００２０】
加えて、本第４の発明による光スキャナ駆動回路は、本第１又は第２の発明において、前記ゲイン回路が、前記可動板のねじり振動周波数よりも十分低いカットオフ周波数をもつ１次のバンドパスフィルターで構成されていることを特徴とする。
【００２１】
このように構成した本第４の発明によれば、可動板のねじり振動の周波数に比例した検出信号に対し、周波数に反比例したゲインを施すと共に、低周波領域のノイズを減らすことができるので、高精度な振幅制御を行うことが可能となる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の光スキャナ駆動回路の実施の形態について説明する。
図３に示すように、本発明の駆動回路が適用される光スキャナ１はミラー面１０１ａと平行にコイルパターン（駆動コイル１０２）およびセンサコイル１０３が形成されたミラー部１０１と、ミラー部１０１を振動させるためのばね部１０４ａ，１０４ｂと、ミラー部１０１の近傍に配置された、ミラー部１０１が静止状態時のミラー面１０１ａとほぼ平行な磁界を生じさせるための２つの永久磁石１０５ａ，１０５bとを備えている。ばね部１０４ａ，１０４ｂは、任意の部材を固定するための不図示の支持体に接続されている。そして、駆動コイル１０２に交流電流（周波数ｆ）を流すことにより、ミラー面１０１ａに垂直な向きにフレミング左手の法則に従う力を発生させ、ミラー部１０１を周波数ｆで振動させるようになっている。
【００２３】
図５は本発明の駆動回路が適用される、光スキャナ１を制御駆動するための回路の概略構成を示すブロック図である。
図５に示す回路では、不図示のＰＣ等の操作コントローラにより、光スキャナ１の振動振幅（振れ角）や振動周波数など、光スキャナ１の所望の駆動条件を指示するコントロール信号をコントロール回路４に供給する。コントロール回路４は、コントロール信号を受けて駆動回路２に駆動指令信号Ｖｄを出力する。駆動回路２は、駆動指令信号Ｖｄに基づいて駆動信号（交流信号）を駆動コイル１０２に出力する。こうして光スキャナ１は所定の振れ角、周波数で振動することになる。このとき、センサコイル１０３の両端には、センサコイル１０３が永久磁石１０５ａ，１０５ｂによって生成される磁界と鎖交することにより、起電力（センサ信号）が発生する。この起電力（センサ信号）は、検出回路３により検出され、検出信号Ｖｓとしてコントロール回路４にフィードバックされる。コントロール回路４では、この検出信号Ｖｓを監視し、光スキャナ１の振動振幅（振れ角）や振動周波数が所定の値から外れた場合には駆動回路２に出力する駆動指令信号Ｖｄを補正する。このようにして光スキャナ１を安定した状態に制御駆動することができるようになっている。
【００２４】
次に、上述した駆動回路２と検出回路３、およびコントロール回路４の一構成例を図６及び図７にそれぞれ示す。
図６に示すように、駆動回路２は、オペアンプ２０１と、抵抗素子（Ｒ０）２０２とで構成され、これらによって駆動指令信号Ｖｄを駆動信号（交流信号）に変換するようになっている。
ここで、駆動指令信号Ｖｄと駆動信号（交流信号）との関係は、駆動コイル１０２に供給する駆動信号をＩ＝Ｉ0ｓｉｎ（２πｆｔ）とおくと、次式(9)
0004562960.tif 000010
となる。
【００２５】
また、検出回路３は、オペアンプ３０１と、抵抗素子（Ｒ１）３０２と、抵抗素子（Ｒ１）３０３と、抵抗素子（Ｒ２）３０４と、抵抗素子（Ｒ２）３０５とで構成され、これらによって起電力（センサ信号）を検出信号Ｖｓに変換するようになっている。
ここで、起電力と検出信号Ｖｓとの関係は、起電力をＶｒ、センサコイルの抵抗値をＲsensとおき、センサコイル１０３の自己インダクタンスや配線容量等は無視できるものとして、次式(10)
0004562960.tif 000011
と表すことができる。
【００２６】
図７は検出回路３が出力した検出信号Ｖｓに基づいて光スキャナ１の振動振幅、振動周波数を制御するコントロール回路４の第一実施例（コントロール回路４ａ）を示すブロック図である。本発明では、このコントロール回路４の回路構成に大きな特徴がある。
本実施例のコントロール回路４ａは、増幅回路４０３と、フィルター回路４０４と、移相回路４０８と、ゲインコントロール回路４０２とにより正帰還ループを構成することで光スキャナ１を機械的共振周波数ｆcで振動させる機能（共振周波数追従制御機能）を有している。
また、コントロール回路４ａは、増幅回路４０３と、フィルター回路４０４と、積分回路４０９と、振幅検出回路４０５と、引き算回路４０６と、ＰＩ回路４０７と、ゲインコントロール回路４０２とにより負帰還ループを構成することで光スキャナ１を所望の振動振幅（振れ角）で振動させる機能（振動振幅制御機能）を有している。
【００２７】
増幅回路４０３は、検出信号Ｖｓの信号レベル（信号の振幅）をコントロールし易くするために所定の倍率で増幅するように構成されている。
フィルター回路４０４は、振動周波数成分（周波数指令値に示された周波数成分）のみを抽出するバンドパスフィルターで構成されており、ノイズ除去の役割を果たしている。なお、フィルター回路４０４は、バンドパスフィルターで構成するのが最も望ましいが、ノイズの状況次第では、ローパスフィルターやハイパスフィルター、あるいはフィルターなしでも同様の効果が得られる。
【００２８】
移相回路４０８は、ゲインコントロール回路４０２が出力する駆動指令信号Ｖｄと、増幅回路４０３に供給される検出信号Ｖｓの位相とが一致するように（共振周波数で振動するときには両方の信号の位相が一致するため）位相調整を行う回路であり、フィルター回路４０４の出力の位相をずらしてゲインコントロール回路４０２に供給するように構成されている。なお、ここで行なう位相調整量は、増幅回路４０３、フィルター回路４０４、ゲインコントロール回路４０２での位相のズレ量によって決まる。ゲインコントロール回路４０２は、ＰＩ回路４０７から出力される制御信号に基づいて、移相回路４０８から供給される信号の振幅をコントロールし、駆動指令信号Ｖｄを出力するように構成されている。
【００２９】
積分回路４０９は、フィルター回路４０４の出力に対し、その周波数の逆数（ｋ／ｆ  但し、ｋは定数）のゲインを施す回路である。ここで定数ｋは、初期状態における光スキャナ１の共振周波数ｆcoに設定するのが望ましい（なお、初期状態とは、環境の変化による影響や経時変化がゼロの状態をいう。）。
【００３０】
ところで、この積分回路４０９では、フィルター回路４０４の出力に対し、周波数の逆数（ｋ／ｆ  但し、ｋは定数）のゲインを施すため、低周波、特にＤＣ（周波数ゼロ）領域ではゲインが限りなく大きくなってしまい、電源ノイズなどの低周波ノイズを増大させてしまうことになる。
そこで、本実施形態では、初期状態における光スキャナ１の共振周波数ｆ近傍（少なくとも、環境の変化や経時変化により変動する共振周波数のズレ幅程度）の周波数帯域でのみ周波数の逆数（k／f：kは定数）となるゲイン特性をもつように積分回路が構成されている。
【００３１】
具体的な例を挙げると、図８に示すような、初期状態における光スキャナ１の共振周波数ｆco（４０００Ｈｚとする）の１／１０のカットオフ周波数（４００Ｈｚ）をもつゲイン×１０のローパスフィルターで積分回路４０９を構成すれば、共振周波数ｆcoでゲインが×１となるので扱いやすく、また設計も容易である。このゲイン特性であれば、共振周波数ｆco近傍の帯域ではゲインは周波数の逆数となり、また低周波領域ではフラットな特性になっているので、上述の問題に対して効果がある。あるいは、図９に示すように、図８に示す特性をもつローパスフィルターと、カットオフ周波数４００Ｈｚのゲイン×１のハイパスフィルターとを組み合わせて積分回路４０９を構成すると、低周波領域のノイズ除去に効果がある。
【００３２】
振幅検出回路４０５は、供給された信号の振幅値（あるいはＲＭＳ値）を検出するための回路であり、その結果である検出信号を引算回路４０６に出力するようになっている。引算回路４０６は、振幅検出回路４０５で求めた振幅値とコントロール信号である振幅指令値との偏差を求める回路であり、その結果である偏差信号をＰＩ回路４０７へ出力するようになっている。ＰＩ回路４０７は、Ｉ回路（積分回路）とＰ回路（比例回路）とを有して構成されており、引算回路４０６から出力される偏差信号を所定のゲインで増幅し、その結果である制御信号をゲインコントロール回路４０２に出力するようになっている。
【００３３】
次に、図３，５〜７に示した光スキャナの制御駆動回路の動作を説明する。
光スキャナ１が振動していない初期状態において、検出回路３の出力Ｖｓはゼロであり、コントロール信号である振幅指令値が引算回路４０６に供給されるので、引算回路４０６の出力がプラスになり、ＰＩ回路４０７で生成される制御信号が大きくなる（負帰還利得が１以上になる。）。その結果、光スキャナ１の共振周波数で発振を開始し、ゲインコントロール回路４０２では、検出回路３の出力Ｖｓが振幅指令値に一致するまで（引算回路４０６の出力がゼロになるまで）光スキャナ１の振動振幅を増やそうとする方向に働く。
逆に、検出回路３の出力Ｖｓが振幅指令値を越えた場合には、ゲインコントロール回路４０２では、移相回路４０８から出力される正弦波（あるいは矩形波やパルス波）信号の振幅を減少させ、光スキャナ１の振動振幅を減らす方向に働く。
このようにしてコントロール回路４ａでは、光スキャナ１を常に共振周波数で駆動することができ、かつ共振周波数が変動しても振幅を高精度に制御することができる。
【００３４】
なお、上記実施形態では共振周波数で駆動する場合に効果があるとしているが、本発明は任意の周波数で駆動する場合（共振周波数追従制御を行わない場合）にも効果がある。そこで、その場合の構成を第二実施形態として説明する。
【００３５】
図１０はコントロール回路４の第二実施形態（コントロール回路４ｂ）を示すブロック図である。
第二実施形態のコントロール回路４ｂは、図７に示す第一実施形態のコントロール回路４ａの構成からフィルター回路４０４と接続する移相回路４０８の代わりに図示省略した操作コントローラに接続された発振回路４０１を備えている点で、第一実施形態のコントロール回路４ａと異なる。そして、第二実施形態では、図１０に示すように、コントロール信号は周波数指令値と振幅指令値の２つあり、まず周波数指令値が発振回路４０１に供給される。発振回路４０１では、周波数指令値に示された周波数で所定の振幅をもつ正弦波信号、あるいはその正弦波成分を含む矩形波（パルス波）を生成し、ゲインコントロール回路４０２に出力する。ゲインコントロール回路４０２では、ＰＩ回路４０７から出力される制御信号に基づいて、発振回路４０１から出力される正弦波信号（あるいは正弦波成分）の振幅をコントロールし、駆動指令信号Ｖｄを出力する。振幅制御を行う負帰還ループ構成については第一実施形態と同じなので説明を省略する。
【００３６】
なお、第一実施形態のコントロール回路４ａでは、積分回路４０９は、ゲイン特性が図８や図９に示すように共振周波数近傍の周波数帯域においてｋ／ｆの特性を有するフィルターで構成するのが良いとしたが、第二実施形態のコントロール回路４ｂでは、積分回路４０９は、ゲイン特性が周波数指令値の範囲（周波数帯域）においてｋ／ｆの特性を有しているフィルターで構成する必要がある。
【００３７】
このように構成されたコントロール回路４ｂを用いた光スキャナの制御駆動回路の動作を説明する。
光スキャナ１が振動していない初期状態において、コントロール信号である周波数指令値が出力されると、発振回路４０１は駆動指令信号を出力する。出力された駆動指令信号は、ゲインコントロール回路４０２を介して駆動回路２に供給される。また、初期状態においては、検出回路３の出力Ｖｓはゼロであり、コントロール信号である振幅指令値が引算回路４０６に供給されるので、引算回路４０６の出力がプラスになり、ＰＩ回路４０７で生成される制御信号が大きくなる（負帰還利得が１以上になる。）。その結果、光スキャナ１は周波数指令値で指示された周波数で振動を開始し、ゲインコントロール回路４０２では、検出回路３の出力Ｖｓが振幅指令値に一致するまで（引算回路４０６の出力がゼロになるまで）光スキャナ１の振動振幅を増やそうとする方向に働く。
逆に、検出回路３の出力Ｖｓが振幅指令値を越えた場合には、ゲインコントロール回路４０２では発振回路４０１から出力される正弦波（あるいは矩形波やパルス波）信号の振幅を減少させ、光スキャナ１の振動振幅を減らす方向に働く。
このようにしてコントロール回路４ｂでは、光スキャナ１を任意の周波数で駆動することができ、かつ振幅を高精度に制御することが可能となる。
【００３８】
【発明の効果】
本発明によれば、光スキャナの駆動周波数変化の影響を除去することができ、高精度な振幅制御が可能となる。その結果、常に安定した光走査が可能な光スキャナ駆動回路を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】光スキャナの動作原理を説明するための概略構成図である。
【図２】光スキャナの駆動周波数に対する振れ角特性を示すグラフである。
【図３】本発明の駆動回路が適用される光スキャナの概略構成図である。
【図４】共振周波数駆動時における駆動信号、光スキャナの駆動、センサコイルの起電力（センサ信号）の位相関係を示すグラフであり、(a)は駆動信号、(b)は光スキャナの駆動、(c)はセンサ信号を示している。
【図５】本発明の駆動回路が適用される、光スキャナ１を制御駆動するための回路の概略構成を示すブロック図である。
【図６】図５の回路における駆動回路２及び検出回路３の一構成例を示す回路図である。
【図７】図５の回路におけるコントロール回路４の一構成例を示す回路図である。
【図８】図７のコントロール回路の積分回路における周波数に対するゲイン特性の一例を示すグラフである。
【図９】図７のコントロール回路の積分回路における周波数に対するゲイン特性の他の例を示すグラフである。
【図１０】図５の回路におけるコントロール回路４の他の構成例を示す回路図である。
【符号の説明】
１          光スキャナ
２          駆動回路
３          検出回路
４，４ａ，４ｂ          コントロール回路
１０１      ミラー部
１０１ａ    ミラー面
１０２      駆動コイル
１０３      センサコイル
１０４ａ，１０４ｂ          ばね部
１０５ａ，１０５ｂ          永久磁石
２０１，３０１          オペアンプ
２０２，３０２，３０３，３０４，３０５          抵抗素子
４０１          発振回路
４０２          ゲインコントロール回路
４０３          増幅回路
４０４          フィルター回路
４０５          振幅検出回路
４０６          引算回路
４０７          ＰＩ回路
４０８          移相回路
４０９          積分回路
【図１】
0004562960.tif 000012
【図２】
0004562960.tif 000013
【図３】
0004562960.tif 000014
【図４】
0004562960.tif 000015
【図５】
0004562960.tif 000016
【図６】
0004562960.tif 000017
【図７】
0004562960.tif 000018
【図８】
0004562960.tif 000019
【図９】
0004562960.tif 000020
【図１０】
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