(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する余剰領域とを備え、該デバイス領域に電極が形成されているウエーハの加工方法であって、
ウエーハの裏面における該デバイス領域に対応する領域を研削して該デバイス領域の厚さを所定厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における該余剰領域に対応する領域を残存させて円形状の凹部と環状の補強部を形成する補強部形成工程と、
該補強部形成工程が実施されたウエーハの該電極部にレーザー光線を照射して貫通孔を穿設するビアホール形成工程と、を含む、ことを特徴とするウエーハの加工方法。
【請求項２】
該補強部形成工程の後にウエーハを環状のフレームに装着された支持テープに貼着する支持テープ貼着工程と、該環状のフレームをチャックテーブルに保持させる工程とを含み、
該支持テープ貼着工程では、ウエーハの該円形状の凹部に対応する円形状の段差部を形成した支持テープに、ウエーハを支持させ、
該ビアホール形成工程ではウエーハを該円形状の段差部に支持させた状態で該電極部にウエーハの表面側からレーザー光を照射して貫通孔を穿設するようにした請求項１に記載のウエーハの加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面に複数のデバイスが形成されたウエーハの加工方法、更に詳しくは複数のデバイスにおける電極が形成された箇所に貫通孔（ビアホール）を形成するウエーハの加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハの裏面を研削して所定の厚さに形成した後に、半導体ウエーハを分割予定ラインに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体チップを製造している。
【０００３】
装置の小型化、高機能化を図るため、複数の半導体チップを積層し、積層された半導体チップの電極を接続するモジュール構造が実用化されている。このモジュール構造は、半導体チップにおける電極が形成された箇所に直径が３０〜５００μmの貫通孔（ビアホール）を形成し、この貫通孔に電極と接続する銅等の導電性材料からなる電極を埋め込む構成である。（例えば、特許文献１参照。）
【特許文献１】特開２００３−１６３３２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
而して、裏面を研削して所定の厚さに形成する前のウエーハの厚さは７００μm程度であり、直径が３０〜５００μmの貫通孔（ビアホール）を穿設することは非常に難しい。
また、ウエーハの裏面を研削して所定の厚さ（例えば３０〜５０μm）に形成した後に貫通孔（ビアホール）を穿設すると、比較的容易に貫通孔（ビヤホール）を穿設することができるが、ウエーハが薄いために破損し易いとともに、湾曲して搬送等の取り扱いが困難となる。
更に、裏面を研削して所定の厚さに形成する前のウエーハの表面側からデバイスの仕上がり厚さに相当する深さの貫通孔（ビアホール）を穿設し、この貫通孔（ビアホール）に銅等の導電性材料からなる電極を埋設した後に、ウエーハの裏面を研削して所定の仕上がり厚さに形成することにより、ウエーハの裏面に埋設した電極を露出される方法も試みられている。しかしながら、ウエーハの裏面を研削して電極を露出せしめると、電極が延性により髭状に延び隣接する電極と短絡したり、銅イオンがウエーハの裏面から内部に侵入してデバイスの品質を低下させるという問題がある。
【０００５】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、ウエーハの搬送等の取り扱いに支障を来たすことなく、貫通孔（ビアホール）を容易に形成することができるウエーハの加工方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記主たる技術課題を解決するために、表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する余剰領域とを備え、該デバイス領域に電極が形成されているウエーハの加工方法であって、
ウエーハの裏面における該デバイス領域に対応する領域を研削して該デバイス領域の厚さを所定厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における該余剰領域に対応する領域を残存させて円形状の凹部と環状の補強部を形成する補強部形成工程と、
該補強部形成工程が実施されたウエーハの該電極部にレーザー光線を照射して貫通孔を穿設するビアホール形成工程と、を含む、ことを特徴とするウエーハの加工方法が提供される。
【０００７】
該補強部形成工程の後にウエーハを環状のフレームに装着された支持テープに貼着する支持テープ貼着工程と、該環状のフレームをチャックテーブルに保持させる工程とを含み、
該支持テープ貼着工程では、ウエーハの該円形状の凹部に対応する円形状の段差部を形成した支持テープに、ウエーハを支持させ、
該ビアホール形成工程ではウエーハを該円形状の段差部に支持させた状態で該電極部にウエーハの表面側からレーザー光を照射して貫通孔を穿設することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、補強部形成工程を実施することによりウエーハの裏面におけるデバイス領域に対応する領域を除去して凹部が形成され、デバイス領域の厚さが所定厚さに形成されているので、ビアホール形成工程においてウエーハの電極部に貫通孔を容易に穿設することができる。また、補強部形成工程が実施されたウエーハは余剰領域に対応する領域を残存されて環状の補強部が形成され剛性が維持されているので、ウエーハの搬送や貫通孔内の絶縁膜工程、貫通孔内の電極埋設加工工程、テスティング工程、ダイシング加工工程等の以後の加工工程および搬送工程において破損することはない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明によるウエーハの加工方法の好適な実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。
【００１０】
図１には、本発明に従って加工されるウエーハとしての半導体ウエーハの平面図が示されている。図１に示す半導体ウエーハ１０は、例えば厚さが７００μmのシリコンウエーハからなっており、表面１０ａに複数のストリート１０１が格子状に形成されているとともに、該複数のストリート１０１によって区画された複数の領域にIC、LSI等のデバイス１０２が形成されている。この各デバイス１０２は、全て同一の構成をしている。デバイス１０２の表面にはそれぞれ図２に示すように複数の電極１０３（１０３a〜１０３j）が形成されている。なお、図示の実施形態においては、１０３aと１０３f、１０３bと１０３g、１０３cと１０３h、１０３dと１０３i、１０３eと１０３jは、X方向位置が同一である。この複数の電極１０３（１０３a〜１０３j）部にそれぞれ貫通孔（ビヤホール）が形成される。各デバイス１０２における電極１０３（２０３a〜２０３j）のX方向（図２において左右方向）の間隔Ａ、および各デバイス１０２に形成された電極１０３におけるストリート１０１を挟んでX方向（図２において左右方向）に隣接する電極即ち電極１０３eと電極１０３aとの間隔Bは、図示の実施形態においては同一間隔に設定されている。また、各デバイス１０２における電極１０３（２０３a〜２０３j）のY方向（図２において上下方向）の間隔C、および各デバイス１０２に形成された電極１０３におけるストリート１０１を挟んでY方向（図２において上下方向）に隣接する電極即ち電極１０３fと電極１０３aおよび電極１０３jと電極１０３eとの間隔Dは、図示の実施形態においては同一間隔に設定されている。このように構成された半導体ウエーハ１０は、デバイス１０２が形成されているデバイス領域１０４と、該デバイス領域１０４を囲繞する余剰領域１０５を備えている。
【００１１】
上記のように構成された半導体ウエーハ１０の表面１０ａには、図３に示すように保護部材１１を貼着する（保護部材貼着工程）。従って、半導体ウエーハ１０の裏面１０bが露出する形態となる。
【００１２】
保護部材貼着工程を実施したならば、半導体ウエーハ１０の裏面１０bにおけるデバイス領域１０４に対応する領域を除去してデバイス領域１０４の厚さを所定厚さ（デバイスの仕上がり厚さ）に形成するとともに、半導体ウエーハ１０の裏面１０bにおける余剰領域１０５に対応する領域を残存させて環状の補強部を形成する補強部形成工程を実施する。
この補強部形成工程は、図示の実施形態においては図４(a)に示す研削装置１２によって実施する。図４(a)に示す研削装置１２は、被加工物を保持するチャックテーブル１２１と、該チャックテーブル１２１に保持された被加工物を研削する研削砥石１２２を備えた研削手段１２３を具備している。この研削装置１２を用いて補強部形成工程を実施するには、チャックテーブル１２１上に半導体ウエーハ１０の保護部材１１を載置し、半導体ウエーハ１０をチャックテーブル１２１上に吸引保持する。ここで、チャックテーブル１２１に保持された半導体ウエーハ１０と研削砥石１２２の関係について説明する。チャックテーブル１２１の回転中心P1と研削砥石１２２の回転中心P2は偏芯しており、研削砥石１２２の直径は、半導体ウエーハ１０の余剰領域１０５の内側とチャックテーブル１２１の回転中心P1（半導体ウエーハ１０の中心）を通過する寸法に設定されている。半導体ウエーハ１０をチャックテーブル１２１上に吸引保持したならば、チャックテーブル１２１を矢印１２１aで示す方向に３００ｒｐｍで回転しつつ、研削手段１２３の研削砥石１２２を矢印１２２aで示す方向に６０００ｒｐｍで回転せしめて半導体ウエーハ１０の裏面２ｂに接触する。そして、研削手段１２３を所定の研削送り速度で下方に所定量研削送りする。この結果、半導体ウエーハ１０の裏面１０bには、図４の(b)に示すようにデバイス領域１０４に対応する領域が研削除去されて所定厚さ（例えば３０μm）の円形状の凹部１０４bに形成されるとともに、余剰領域１０５に対応する領域が残存されて環状の補強部１０５bに形成される。
【００１３】
次に、上述した補強部形成工程が実施された半導体ウエーハ１０を環状のフレームに装着された支持テープに貼着する支持テープ貼着工程を実施する。なお、図５の（ａ）に示すように環状のフレーム１３の内側開口部を覆うように外周部が装着されたポリオレフィン等の合成樹脂シートからなる支持テープ１４の表面１４aには、半導体ウエーハ１０の裏面１０bに形成された円形状の凹部１０４bに対応する大きさと厚さを有する円形状の段差部１４１が設けられている。このように形成された支持テープ１４の表面１４aに半導体ウエーハ１０の裏面１０bを貼着する。このとき、半導体ウエーハ１０の裏面１０bに形成された凹部１０４b（図４の(b)参照）を支持テープ１４の表面１４aに設けられた段差部１４１に嵌合する。従って、図５の(b)に示すように支持テープ１４の表面１４aに貼着された半導体ウエーハ１０は、表面１０aが上側となる。そして、保護部材１１を剥離する。
【００１４】
上述した図５に示す支持テープ貼着工程を実施したならば、半導体ウエーハ１０の電極板１０３（１０３a〜１０３j）部に貫通孔（ビアホール）を穿設するビアホール形成工程を実施する。このビアホール形成工程は、図６に示すレーザー加工装置を用いて実施する。
図６に示すレーザー加工装置１は、静止基台２と、該静止基台２に矢印Ｘで示す加工送り方向に移動可能に配設され被加工物を保持するチャックテーブル機構３と、静止基台２に上記矢印Ｘで示す方向と直角な矢印Ｙで示す割り出し送り方向に移動可能に配設されたレーザー光線照射ユニット支持機構４と、該レーザー光線ユニット支持機構４に矢印Ｚで示す方向に移動可能に配設されたレーザー光線照射ユニット５とを具備している。
【００１５】
上記チャックテーブル機構３は、静止基台２上に矢印Ｘで示す加工送り方向に沿って平行に配設された一対の案内レール３１、３１と、該案内レール３１、３１上に矢印Ｘで示す加工送り方向に移動可能に配設された第一の滑動ブロック３２と、該第１の滑動ブロック３２上に矢印Ｙで示す割り出し送り方向に移動可能に配設された第２の滑動ブロック３３と、該第２の滑動ブロック３３上に円筒部材３４によって支持された支持テーブル３５と、被加工物保持手段としてのチャックテーブル３６を具備している。このチャックテーブル３６は多孔性材料から形成された吸着チャック３６１を具備しており、吸着チャック３６１上に被加工物である例えば円盤状の半導体ウエーハを図示しない吸引手段によって保持するようになっている。このように構成されたチャックテーブル３６は、円筒部材３４内に配設された図示しないパルスモータによって回転せしめられる。なお、チャックテーブル３６には、後述する環状のフレームを固定するためのクランプ３６２が配設されている。
【００１６】
上記第１の滑動ブロック３２は、その下面に上記一対の案内レール３１、３１と嵌合する一対の被案内溝３２１、３２１が設けられているとともに、その上面に矢印Ｙで示す割り出し送り方向に沿って平行に形成された一対の案内レール３２２、３２２が設けられている。このように構成された第１の滑動ブロック３２は、被案内溝３２１、３２１が一対の案内レール３１、３１に嵌合することにより、一対の案内レール３１、３１に沿って矢印Ｘで示す加工送り方向に移動可能に構成される。図示の実施形態におけるチャックテーブル機構３は、第１の滑動ブロック３２を一対の案内レール３１、３１に沿って矢印Ｘで示す加工送り方向に移動させるための加工送り手段３７を具備している。加工送り手段３７は、上記一対の案内レール３１と３１の間に平行に配設された雄ネジロッド３７１と、該雄ネジロッド３７１を回転駆動するためのパルスモータ３７２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド３７１は、その一端が上記静止基台２に固定された軸受ブロック３７３に回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ３７２の出力軸に伝動連結されている。なお、雄ネジロッド３７１は、第１の滑動ブロック３２の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。従って、パルスモータ３７２によって雄ネジロッド３７１を正転および逆転駆動することにより、第一の滑動ブロック３２は案内レール３１、３１に沿って矢印Ｘで示す加工送り方向に移動せしめられる。
【００１７】
図示の実施形態におけるレーザー加工装置は、上記チャックテーブル３６の加工送り量を検出するための加工送り量検出手段３７４を備えている。加工送り量検出手段３７４は、案内レール３１に沿って配設されたリニアスケール３７４aと、第１の滑動ブロック３２に配設され第１の滑動ブロック３２とともにリニアスケール３７４aに沿って移動する読み取りヘッド３７４bとからなっている。この送り量検出手段３７４の読み取りヘッド３７４bは、図示に実施形態においては1μm毎に１パルスのパルス信号を後述する制御手段に送る。そして後述する制御手段は、入力したパルス信号をカウントすることにより、チャックテーブル３６の加工送り量を検出する。なお、上記加工送り手段３７の駆動源としてパルスモータ３７２を用いた場合には、パルスモータ３７２に駆動信号を出力する後述する制御手段の駆動パルスをカウントすることにより、チャックテーブル３６の加工送り量を検出することができる。また、上記加工送り手段３７の駆動源としてサーボモータを用いた場合には、サーボモータの回転数を検出するロータリーエンコーダが出力するパルス信号を後述する制御手段に送り、制御手段が入力したパルス信号をカウントすることにより、チャックテーブル３６の加工送り量を検出することができる。
【００１８】
上記第２の滑動ブロック３３は、その下面に上記第１の滑動ブロック３２の上面に設けられた一対の案内レール３２２、３２２と嵌合する一対の被案内溝３３１、３３１が設けられており、この被案内溝３３１、３３１を一対の案内レール３２２、３２２に嵌合することにより、矢印Ｙで示す割り出し送り方向に移動可能に構成される。図示の実施形態におけるチャックテーブル機構３は、第２の滑動ブロック３３を第１の滑動ブロック３２に設けられた一対の案内レール３２２、３２２に沿って矢印Ｙで示す割り出し送り方向に移動させるための第１の割り出し送り手段３８を具備している。第１の割り出し送り手段３８は、上記一対の案内レール３２２と３２２の間に平行に配設された雄ネジロッド３８１と、該雄ネジロッド３８１を回転駆動するためのパルスモータ３８２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド３８１は、その一端が上記第１の滑動ブロック３２の上面に固定された軸受ブロック３８３に回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ３８２の出力軸に伝動連結されている。なお、雄ネジロッド３８１は、第２の滑動ブロック３３の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。従って、パルスモータ３８２によって雄ネジロッド３８１を正転および逆転駆動することにより、第２の滑動ブロック３３は案内レール３２２、３２２に沿って矢印Ｙで示す割り出し送り方向に移動せしめられる。
【００１９】
上記レーザー光線照射ユニット支持機構４は、静止基台２上に矢印Ｙで示す割り出し送り方向に沿って平行に配設された一対の案内レール４１、４１と、該案内レール４１、４１上に矢印Ｙで示す方向に移動可能に配設された可動支持基台４２を具備している。この可動支持基台４２は、案内レール４１、４１上に移動可能に配設された移動支持部４２１と、該移動支持部４２１に取り付けられた装着部４２２とからなっている。装着部４２２は、一側面に矢印Ｚで示す方向に延びる一対の案内レール４２３、４２３が平行に設けられている。図示の実施形態におけるレーザー光線照射ユニット支持機構４は、可動支持基台４２を一対の案内レール４１、４１に沿って矢印Ｙで示す割り出し送り方向に移動させるための第２の割り出し送り手段４３を具備している。第２の割り出し送り手段４３は、上記一対の案内レール４１、４１の間に平行に配設された雄ネジロッド４３１と、該雄ねじロッド４３１を回転駆動するためのパルスモータ４３２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド４３１は、その一端が上記静止基台２に固定された図示しない軸受ブロックに回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ４３２の出力軸に伝動連結されている。なお、雄ネジロッド４３１は、可動支持基台４２を構成する移動支持部４２１の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された雌ネジ穴に螺合されている。このため、パルスモータ４３２によって雄ネジロッド４３１を正転および逆転駆動することにより、可動支持基台４２は案内レール４１、４１に沿って矢印Ｙで示す割り出し送り方向に移動せしめられる。
【００２０】
図示の実施形態におけるレーザー加工装置は、上記レーザー光線照射ユニット支持機構４の可動支持基台４２の割り出し送り量を検出するための割り出し送り量検出手段４３３を備えている。割り出し送り量検出手段４３３は、案内レール４１に沿って配設されたリニアスケール４３３aと、可動支持基台４２に配設されリニアスケール４３３aに沿って移動する読み取りヘッド４３３bとからなっている。この送り量検出手段４３３の読み取りヘッド４３３bは、図示に実施形態においては1μm毎に１パルスのパルス信号を後述する制御手段に送る。そして後述する制御手段は、入力したパルス信号をカウントすることにより、レーザー光線照射ユニット５の割り出し送り量を検出する。なお、上記第２の割り出し送り手段４３の駆動源としてパルスモータ４３２を用いた場合には、パルスモータ４３２に駆動信号を出力する後述する制御手段の駆動パルスをカウントすることにより、レーザー光線照射ユニット５の割り出し送り量を検出することができる。また、上記第２の割り出し送り手段４３の駆動源としてサーボモータを用いた場合には、サーボモータの回転数を検出するロータリーエンコーダが出力するパルス信号を後述する制御手段に送り、制御手段が入力したパルス信号をカウントすることにより、レーザー光線照射ユニット５の割り出し送り量を検出することができる。
【００２１】
図示の実施形態のおけるレーザー光線照射ユニット５は、ユニットホルダ５１と、該ユニットホルダ５１に取り付けられたレーザー光線照射手段５２を具備している。ユニットホルダ５１は、上記装着部４２２に設けられた一対の案内レール４２３、４２３に摺動可能に嵌合する一対の被案内溝５１１、５１１が設けられており、この被案内溝５１１、５１１を上記案内レール４２３、４２３に嵌合することにより、矢印Ｚで示す方向に移動可能に支持される。
【００２２】
図示のレーザー光線照射手段５２は、実質上水平に配置された円筒形状のケーシング５２１の先端に装着された集光器５２２からパルスレーザー光線を照射する。また、レーザー光線照射手段５２を構成するケーシング５２１の前端部には、上記レーザー光線照射手段５２によってレーザー加工すべき加工領域を検出する撮像手段６が配設されている。この撮像手段６は、被加工物を照明する照明手段と、該照明手段によって照明された領域を捕らえる光学系と、該光学系によって捕らえられた像を撮像する撮像素子（ＣＣＤ）等を備え、撮像した画像信号を後述する制御手段に送る。
【００２３】
図示の実施形態におけるレーザー光線照射ユニット５は、ユニットホルダ５１を一対の案内レール４２３、４２３に沿って矢印Ｚで示す方向に移動させるための移動手段５３を具備している。移動手段５３は、一対の案内レール４２３、４２３の間に配設された雄ネジロッド（図示せず）と、該雄ネジロッドを回転駆動するためのパルスモータ５３２等の駆動源を含んでおり、パルスモータ５３２によって図示しない雄ネジロッドを正転および逆転駆動することにより、ユニットホルダ５１およびレーザビーム照射手段５２を案内レール４２３、４２３に沿って矢印Ｚで示す方向に移動せしめる。なお、図示の実施形態においてはパルスモータ５３２を正転駆動することによりレーザビーム照射手段５２を上方に移動し、パルスモータ５３２を逆転駆動することによりレーザビーム照射手段５２を下方に移動するようになっている。
【００２４】
図示の実施形態におけるレーザー加工装置は、制御手段８を具備している。制御手段８はコンピュータによって構成されており、制御プログラムに従って演算処理する中央処理装置（ＣＰＵ）８１と、制御プログラム等を格納するリードオンリメモリ（ＲＯＭ）８２と、後述する被加工物の設計値のデータや演算結果等を格納する読み書き可能なランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）８３と、カウンター８４と、入力インターフェース８５および出力インターフェース８６とを備えている。制御手段８の入力インターフェース８５には、上記加工送り量検出手段３７４、割り出し送り量検出手段４３３および撮像手段６等からの検出信号が入力される。そして、制御手段８の出力インターフェース８６からは、上記パルスモータ３７２、パルスモータ３８２、パルスモータ４３２、パルスモータ５３２、レーザー光線照射手段５２等に制御信号を出力する。なお、上記ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）８３は、後述する被加工物の設計値のデータを記憶する第１の記憶領域８３aや、後述する検出値のデータを記憶する第２の記憶領域８３bおよび他の記憶領域を備えている。
【００２５】
上述したレーザー加工装置１を用いて、上記半導体ウエーハ１０に形成された各デバイス１０２の電極１０３（１０３a〜１０３j）部に貫通孔（ビアホール）を穿設するビアホール形成工程について説明する。
なお、上述した半導体ウエーハ１０の図１に示す各行Ｅ1・・・・Enおよび各列F1・・・・Fnに配設されたデバイス１０２の個数と図２に示す各間隔A,B,C,Dは、その設計値のデータが制御手段８のランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）８３の第１に記憶領域８３aに格納されている。
【００２６】
上記図５に示すように環状のフレーム１３に支持テープ１４を介して支持された半導体ウエーハ１０は、図６に示すレーザー加工装置１のチャックテーブル３６上に支持テープ１４側を載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することにより半導体ウエーハ１０は、支持テープ１４を介してチャックテーブル３６上に吸引保持される。また、環状のフレーム１３は、クランプ３６２によって固定される。
【００２７】
上述したように半導体ウエーハ１０を吸引保持したチャックテーブル３６は、加工送り手段３７によって撮像手段６の直下に位置付けられる。チャックテーブル３６が撮像手段６の直下に位置付けられると、チャックテーブル３６上の半導体ウエーハ１０は、図７に示す座標位置に位置付けられた状態となる。この状態で、チャックテーブル３６に保持された半導体ウエーハ１０に形成されている格子状のストリート１０１がX方向とY方向に平行に配設されているか否かのアライメント作業を実施する。即ち、撮像手段６によってチャックテーブル３６に保持された半導体ウエーハ１０を撮像し、パターンマッチング等の画像処理を実行してアライメント作業を行う。
【００２８】
次に、チャックテーブル３６を移動して、半導体ウエーハ１０に形成されたデバイス１０２における最上位の行E1の図７において最左端のデバイス１０２を撮像手段６の直下に位置付ける。そして、更にデバイス１０２に形成された電極１０３（１０３a〜１０３j）における図７において左上の電極１０３aを撮像手段６の直下に位置付ける。この状態で撮像手段６が電極１０３aを検出したならばその座標値(a1)を第１の加工送り開始位置座標値として制御手段８に送る。そして、制御手段８は、この座標値(a1)を第１の加工送り開始位置座標値としてランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）８３に格納する（加工送り開始位置検出工程）。このとき、撮像手段６とレーザー光線照射手段５２の集光器５２２はX座標方向に所定の間隔を置いて配設されているので、X座標値は上記撮像手段６と集光器５２２との間隔を加えた値が格納される。
【００２９】
このようにして図７において最上位の行E1のデバイス１０２における第１の加工送り開始位置座標値(a1)を検出したならば、チャックテーブル３６をストリート１０１の間隔だけ矢印Ｙで示す方向に割り出し送りするとともに矢印Xで示す加工送り方向に移動して、図７において最上位から２番目の行E2における最左端のデバイス１０２を撮像手段６の直下に位置付ける。そして、更にデバイス１０２に形成された電極１０３(１０３a〜１０３j）における図７において左上の電極１０３aを撮像手段６の直下に位置付ける。この状態で撮像手段６が電極１０３aを検出したならばその座標値(a2)を第２の加工送り開始位置座標値として制御手段８に送る。そして、制御手段８は、この座標値(a2)を第２の加工送り開始位置座標値としてランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）８３の第２に記憶領域８３bに格納する。このとき、撮像手段６とレーザー光線照射手段５２の集光器５２２は上述したように座標方向に所定の間隔を置いて配設されているので、X座標値は上記撮像手段６と集光器５２２との間隔を加えた値が格納される。以後、上述した割り出し送りと加工送り開始位置検出工程を図７において最下位の行Ｅｎまで繰り返し実行し、各行に形成されたデバイス１０２の加工送り開始位置座標値（a３〜aｎ）を検出して、これをランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）８３の第２に記憶領域８３bに格納する。
【００３０】
次に、半導体ウエーハ１０の各デバイス１０２に形成された各電極１０３(１０３a〜１０３j）部に貫通孔（ビアホール）を穿設するビアホール形成工程を実施する。ビアホール形成工程は、先ず加工送り手段３７を作動しチャックテーブル３６を移動して、上記ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）８３の第２に記憶領域８３bに格納されている第１の加工送り開始位置座標値（a１）をレーザー光線照射手段５２の集光器５２２の直下に位置付ける。このように第１の加工送り開始位置座標値（a１）が集光器５２２の直下に位置付けられた状態が図８の(a)に示す状態である。図８の(a)に示す状態で制御手段８は、レーザー光線照射手段５２を作動し集光器５２２から１パルスのレーザー光線を照射するように制御するとともに、チャックテーブル３６を図８の(a)において矢印Ｘ１で示す方向に所定の移動速度で加工送りするように上記加工送り手段３７を制御する。従って、第１の加工送り開始位置座標値（a１）の電極１０３a部に１パルスのレーザー光線が照射される。このとき、集光器５２２から照射されるレーザー光線の集光点Pは、半導体ウエーハ１０の表面２０a付近に合わせる。一方、制御手段８は、加工送り量検出手段３７４の読み取りヘッド３７４bからの検出信号を入力しており、この検出信号をカウンター８４によってカウントしている。そして、カウンター８４によるカウント値が電極１０３の図２においてX方向の間隔Ａに相当する値に達したら、制御手段８はレーザー光線照射手段５２を作動し集光器５２２から１パルスのレーザー光線を照射するように制御する。その後も制御手段８は、カウンター８４によるカウント値が電極１０３の図２においてX方向の間隔ＡおよびBに達する都度、制御手段８はレーザー光線照射手段５２を作動し集光器５２２から１パルスのレーザー光線を照射するように制御する。そして、図８の（ｂ）で示すように半導体ウエーハ１０のE1行の最右端のデバイス１０２に形成された電極１０３における図１において最右端の電極１０３eが集光器５２２に達したら、制御手段８はレーザー光線照射手段５２を作動し集光器５２２から１パルスのレーザー光線を照射するように制御した後、上記加工送り手段３７の作動を停止してチャックテーブル３６の移動を停止する。この結果、半導体ウエーハ１０には、図８の（ｂ）で示すように各電極１０３（図示せず）部に貫通孔（ビアホール）１０７が形成される。
【００３１】
なお、上記ビアホール形成工程における加工条件は、例えば次のように設定されている。
光源              ：ＬＤ励起ＱスイッチＮｄ：ＹＶＯ４
波長              ：３５５ｎｍ
出力              ：６W
集光スポット径    ：５０μｍ
加工送り速度      ：１００ｍｍ／秒
【００３２】
次に、制御手段８は、レーザー光線照射手段５２の集光器５２２を図８の（ｂ）において紙面に垂直な方向に割り出し送りするように上記第２の割り出し送り手段４３を制御する。一方、制御手段８は、割り出し送り量検出手段４３３の読み取りヘッド４３３bからの検出信号を入力しており、この検出信号をカウンター８４によってカウントしている。そして、カウンター８４によるカウント値が電極１０３の図２においてY方向の間隔Cに相当する値に達したら、第２の割り出し送り手段４３の作動を停止し、レーザー光線照射手段５２の集光器５２２の割り出し送りを停止する。この結果、集光器５２２は上記電極１０３eと対向する電極１０３j（図２参照）の直上に位置付けられる。この状態が図９の(a)に示す状態である。図９の(a)に示す状態で制御手段８は、レーザー光線照射手段５２２を作動し集光器５２２から１パルスのレーザー光線を照射するように制御するとともに、チャックテーブル３６を図９の(a)において矢印Ｘ２で示す方向に所定の移動速度で加工送りするように上記加工送り手段３７を制御する。そして、制御手段８は、上述したように加工送り量検出手段３７４の読み取りヘッド３７４bからの検出信号をカウンター８４によりカウントし、そのカウント値が電極１０３の図２においてX方向の間隔ＡおよびBに達する都度、制御手段８はレーザー光線照射手段５２を作動し集光器５２２から１パルスのレーザー光線を照射するように制御する。そして、図９の（ｂ）で示すように半導体ウエーハ１０のE1行の最左端のデバイス１０２に形成された電極１０３fが集光器５２２に達したら、制御手段８はレーザー光線照射手段５２２を作動し集光器５２２から１パルスのレーザー光線を照射するように制御した後、上記加工送り手段３７の作動を停止してチャックテーブル３６の移動を停止する。この結果、半導体ウエーハ１０には、図９の（ｂ）で示すように各電極１０３（図示せず）部に貫通孔（ビアホール）１０７が形成される。
【００３３】
以上のようにして、半導体ウエーハ１０のE1行のデバイス１０２に形成された電極１０３部にレーザー加工孔１０７が形成されたならば、制御手段８は加工送り手段３７および第２の割り出し送り手段４３を作動し、半導体ウエーハ１０のE2行のデバイス１０２に形成された電極１０３における上記ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）８３の第２に記憶領域１０３bに格納されている第２の加工送り開始位置座標値（a2）をレーザー光線照射手段５２の集光器５２２の直下に位置付ける。そして、制御装置８は、レーザー光線照射手段５２２と加工送り手段３７および第２の割り出し送り手段４３を制御し、半導体ウエーハ１０のE2行のデバイス１０２に形成された電極１０３部に上述したビアホール形成工程を実施する。以後、半導体ウエーハ１０のE3〜En行のデバイス１０２に形成された電極１０３部に対しても上述したビアホール形成工程を実施する。この結果、半導体ウエーハ１０の各デバイス１０２に形成された全ての電極１０３部に貫通孔（ビアホール）１０７が形成される。
【００３４】
以上のように図示の実施形態においては、上述した補強部形成工程を実施することにより半導体ウエーハ１０の裏面１０bにおけるデバイス領域１０４に対応する領域を除去して凹部１０４bが形成され、デバイス領域１０４の厚さが所定厚さ（デバイスの仕上がり厚さ）に形成されているので、ビアホール形成工程において半導体ウエーハ１０の電極部１０３に貫通孔（ビアホール）１０７を容易に穿設することができる。また、補強部形成工程が実施された半導体ウエーハ１０は余剰領域１０５に対応する領域を残存されて環状の補強部１０５bが形成され剛性が維持されているので、半導体ウエーハ１０の搬送や貫通孔（ビアホール）１０７内の絶縁膜工程、貫通孔（ビアホール）１０７内の電極埋設加工工程、テスティング工程、ダイシング加工工程等の以後の加工工程および搬送工程において破損することはない。
【００３５】
なお、上述した実施形態においては、補強部形成工程を研削装置を用いて実施した例を示したが、補強部形成工程は他の方法によって実施してもよい。例えば、ウエーハの裏面におけるデバイス領域に対応する領域以外をマスキングし、フッ素系ガスによってプラズマエッチングしたり、フッ素系エッチング液によってウエットエッチングすることにより、ウエーハの裏面におけるデバイス領域に対応する領域を除去してデバイス領域の厚さを所定厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における余剰領域に対応する領域を残存させて環状の補強部を形成してもよい。また、ウエーハの裏面におけるデバイス領域に対応する領域をケミカルメカニカルポリッシング(CMP)によって除去してデバイス領域の厚さを所定厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における余剰領域に対応する領域を残存させて環状の補強部を形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明によるウエーハの加工方法によって加工される半導体ウエーハの平面図。
【図２】図１に示す半導体ウエーハの一部を拡大して示す平面図。
【図３】図１に示す半導体ウエーハの表面に保護部材を貼着した状態を示す斜視図。
【図４】本発明によるウエーハの加工方法における補強部形成工程を示す説明図。
【図５】図４に示す補強部形成工程が実施された半導体ウエーハを環状のフレームに装着された支持テープに貼着する支持テープ貼着工程を示す説明図。
【図６】本発明によるウエーハの加工方法におけるビアホール形成工程を実施するためのレーザー加工装置の斜視図。
【図７】図１に示す半導体ウエーハが図６に示すレーザー加工装置のチャックテーブルの所定位置に保持された状態における座標との関係を示す説明図。
【図８】図６に示すレーザー加工装置によって実施するビアホール形成工程の説明図。
【図９】図６に示すレーザー加工装置によって実施するビアホール形成工程の説明図。
【符号の説明】
【００３７】
１：レーザー加工装置
２：静止基台
３：チャックテーブル機構
３６：チャックテーブル
５：レーザー光線照射ユニット
５２：レーザー光線加工手段
５２２：集光器
８：制御手段
１０：半導体ウエーハ
１０１：ストリート
１０２：デバイス
１０３：電極
１０４：デバイス領域
１０５：余剰領域
１０７：貫通孔（ビアホール）
１１：保護部材
１２：研削装置
１２２：研削砥石
１３：環状のフレーム
１４：支持テープ
【図１】
0004579066.tif 000002
【図２】
0004579066.tif 000003
【図３】
0004579066.tif 000004
【図４】
0004579066.tif 000005
【図５】
0004579066.tif 000006
【図６】
0004579066.tif 000007
【図７】
0004579066.tif 000008
【図８】
0004579066.tif 000009
【図９】
0004579066.tif 000010