(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともインクを吐出するためのインク吐出口と該インク吐出口に連通するインク流路と、を有するノズル部と、
前記インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子を有する基体と、
を有する記録素子基板と、
前記基体に形成された電極と電気的に接続する配線基板と、
を備え、前記基体には、前記配線基板と前記電極以外の部分との電気的接続を防止するためのスペーサが前記電極に隣接して形成されるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記配線基板と電気的に接続する前記電極及び前記素子が形成された基体を用意する工程と、
前記素子及び電極を有する基体上に、溶解可能な樹脂にてインク流路パターンを形成する工程と、
前記インク流路パターン上に、インク流路壁となる感光性被覆樹脂層を２度以上塗布することにより複数層の感光性被覆樹脂層を形成するとき、該複数層の感光性被覆樹脂層の形成のうち、最後に感光性被覆樹脂を塗布する最終層塗布の前に行う中間層塗布後に、スペーサとなる部分を露光する工程と、
前記最終層塗布後に前記感光性被覆樹脂層を露光及び現像し、インク吐出口、前記スペーサ及び前記インク流路壁を形成する工程と、
前記溶解可能な樹脂を除去する工程と、
を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記感光性被覆樹脂層を２度以上塗布することにより形成される複数層の感光性被覆樹脂層は、スピン式塗布方法により形成されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記インク吐出口、前記スペーサ及び前記インク流路壁を形成する工程において、前記最終層塗布後に、さらに撥水性の感光性被覆樹脂材料を塗布し、第２の感光性被覆樹脂層を形成した後に、前記感光性被覆樹脂層及び前記第２の感光性被覆樹脂層を露光及び現像し、インク吐出口、前記スペーサ及び前記インク流路壁を形成することを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第２の感光性被覆樹脂層は、フッ素含有エポキシ樹脂を含む樹脂を溶媒に溶解した溶液にて形成されることを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記第２の感光性被覆樹脂層は、予めドライフィルムとして形成され、これを前記感光性被覆樹脂層を２度以上塗布することにより形成される複数層の感光性被覆樹脂層にラミネートすることを特徴とする請求項３または４に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記スペーサは、インク吐出口の高さより低いことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記配線基板と前記電極とは異方性導電シートにより電気的に接続されることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子からの吐出エネルギによりインク液滴を吐出して記録を行うためのインクジェット記録ヘッド及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット記録方式（液体噴射記録方式）に適用されるインクジェット記録ヘッドは、一般に微細なインク吐出口、インク流路及び該インク流路の一部に設けられるインクを吐出するために用いられるエネルギーを発生する素子を複数備えている。そして、このようなインクジェット記録ヘッドで高品位の画像を得るためには、インク吐出口から吐出されるインク液の液滴が、それぞれのインク吐出口から常に同じ体積、同じ吐出速度で吐出されることが望ましい。特に、その吐出される液滴が、小さくなればなるほど、画像品質への影響が大となることは言うまでもない。
【０００３】
これを達成するために、特開平４−１０９４０〜１０９４２号公報においては、インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子として電気熱変換素子を採用し、これに記録情報に対応して駆動信号を印加し、電気変換素子にインクの核沸騰を越える急激な温度上昇を与える熱エネルギを発生させ、インク内に気泡を形成させて、この気泡を外気と連通させてインク液滴を吐出させてなる記録方法及び記録装置が開示されている。
【０００４】
そして、このような記録方法あるいは記録装置に用いるインクジェット記録ヘッドの製造方法として、特開平６−２８６１４９号公報記載の製造方法が提案されている。さらに、インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子、インク吐出口等が形成されている記録素子基板と周囲との電気的接続を行う方法が提案されている。
【０００５】
以下、図２〜４を用いて従来技術について簡単に説明する。
【０００６】
図２（ａ）は、基体１上にインクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子としてのヒータ２が配置された状態を示す基体１の斜視図であり、図２（ｂ）〜（ｈ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ断面での、従来のインクジェット記録ヘッドに形成される記録素子基板（ここでは、そのノズル部分のみを示している。
）の製造工程を示す概略図である。
【０００７】
図２（ｂ）に示されるようにヒータ２が配置された基体１上に、インク流路パターンとしての型レジスト層３を形成し（図２（ｃ））、この型レジスト層３の上にさらにインク流路壁となる（すなわち、ノズル形成部材となる）第１感光性被覆樹脂層４を形成し（図２（ｄ））、さらにこの第１感光性被覆樹脂層４の上に撥水性を有する第２感光性被覆樹脂層５を形成する（図２（ｅ））。
【０００８】
次に、第１感光性被覆樹脂層４及び第２感光性被覆樹脂層５に対してマスクを介して通常のフォトリソグラフィー技術により露光、現像処理を施し、インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子であるヒータ２上方にインク吐出口６及びノズル表面の任意の位置に親水部７を形成する（図２（ｆ））。ここで、インク吐出口６形成部においては、第１感光性被覆樹脂層４及び第２感光性被覆樹脂層５がパターニングされる（現像後に残らない）大きさにマスクパターンが設定され、親水部７形成部においては、第２感光性被覆樹脂層５はパターニングされるが第１感光性被覆樹脂層４はパターニングされない（現像時に貫通しない）大きさにマスクパターンが設定されている。親水部７では、撥水性を有する第２感光性被覆樹脂層５が部分的に欠落しており、第１感光性被覆樹脂層４が露出しているため撥水性を示さない。
【０００９】
インク吐出口６及び親水部７が形成された後に、インク供給口８を形成し（図２（ｇ））、最後に型レジスト層３を除去することでインク流路が形成され（図２（ｈ））、インク流路を挟んでインク吐出口６とヒータ２が相対し、インクの流れがヒータ２近傍でインク吐出口に向けて直角に変更されるようなインクジェット記録ヘッドの記録素子基板が製造される。
【００１０】
次に、このようにして製造された記録素子基板を、導電シートを介して周囲と、例えば配線基板と電気的に接続する工程について説明する。図３（ａ）〜（ｅ）に、その接続工程が示されている。
【００１１】
図３（ａ）に示されるように周囲との電気的接続のために基板上に配置された電極としてのアルミパッド９の上にバンプ１０を形成し（図３（ｂ））、接続用導電性シートとしての異方性導電シート（以下「ＡＣＦ」と言う。）１１をバンプ１０上方に位置合わせする（図３（Ｃ））。次に、バンプ１０に向けて、ＡＣＦ１１に熱圧力をかけることにより、ＡＣＦ１１が導電性を発揮して電気的接続がなされ（図３（ｄ））、最後に接続部を封止材１２により封止して接続工程を完了する（図３（ｅ））。このような電気的接続においては、ＡＣＦ１１に熱圧力をかけると、ＡＣＦ１１とバンプ１０の間だけでなく、ＡＣＦ１１と基板との間にも熱圧力が加わり、ＡＣＦ１１と基板とがバンプ１０以外の部分で直接導通してしまう不具合が生じる場合ある。
【００１２】
この不具合を無くすために、図４に示されるように、ノズル部１４を形成する第１及び第２感光性被覆樹脂層４、５でアルミパッド９周辺にスペーサ１３を配置している。このように、スペーサ１３を第１及び第２感光性被覆樹脂層４、５で形成すると、第２感光性被覆樹脂層５が撥水性を有するために、封止処理において封止材をはじくため完全な封止が行われない場合が生ずる。
【００１３】
そこで、スペーサ１３に親水処理を施すことで封止材のはじきを防止し、完全な封止処理を行うとともに、基板とＡＣＦとの間の直接導電も防止できる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前述したように高品位の画像を得るべくインク吐出口から吐出されるインク液滴を同じ体積、吐出速度となるようにするために、特にサイドシュータ方式（ヒータを有する基体に対して垂直方向にインク吐出口が配置される方式）の場合においては、インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子とインク吐出口との距離がある程度大きいほうがインク液滴の管理がし易いことを知り得た。インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子（ヒータ）とインク吐出口との距離を大きくするためには、上記従来のインクジェット記録ヘッド製造方法では、第１感光性被覆樹脂層を厚くする必要がある。すなわち、第１感光性被覆樹脂材料を厚く塗布しなければならない。感光性被覆樹脂材料を厚く塗布する方法として、例えば、スピンコータ（スピン式塗布方法による塗布装置）で塗布する場合、樹脂材料の濃度を高くするか、スピンコータの回転数を下げる方法が採用される。しかしながら、どちらの方法も形成される樹脂層全体の膜厚分布が悪くなる方向にある。また、感光性被覆樹脂材料を厚く塗布すると、型レジスト層表面の凹凸を吸収できず、最終的に第１感光性被覆樹脂層で形成するインク流路壁が平滑に形成されない。言い換えれば、インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子とインク吐出口との間の距離が、ノズル部毎にバラツクことになる。さらに、第１感光性被覆樹脂層が厚くなることによりスペーサの高さも当然高くなり、導電シートと電極との接続のためのスペーサとして機能し得なくなるという問題がある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、少なくともインクを吐出するためのインク吐出口と該インク吐出口に連通するインク流路と、を有するノズル部と、前記インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子を有する基体とを有する記録素子基板と、前記基体に形成された電極と電気的に接続する配線基板とを備え、前記基体には、前記配線基板と前記電極以外の部分との電気的接続を防止するためのスペーサが前記電極に隣接して形成されるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記配線基板と電気的に接続する前記電極及び前記素子が形成された基体を用意する工程と、前記素子及び電極を有する基体上に、溶解可能な樹脂にてインク流路パターンを形成する工程と、前記インク流路パターン上に、インク流路壁となる感光性被覆樹脂層を２度以上塗布することにより複数層の感光性被覆樹脂層を形成するとき、該複数層の感光性被覆樹脂層の形成のうち、最後に感光性被覆樹脂を塗布する最終層塗布の前に行う中間層塗布後に、スペーサとなる部分を露光する工程と、前記最終層塗布後に前記感光性被覆樹脂層を露光及び現像し、インク吐出口、前記スペーサ及び前記インク流路壁を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂を除去する工程とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することにある。
【００１６】
【発明の実施の形態】
先ず、図５〜９を参照して本発明に係るインクジェット記録ヘッドを備える記録装置の構造について簡単に説明する。
【００１７】
なお、以下に説明する記録装置では、インクジェット記録方式を用いた記録装置としてプリンタを例に挙げ説明する。
【００１８】
そして、本明細書において、「プリント」（「記録」という場合もある。）とは、文字、図形等有意の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わず、また人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであるか否かを問わず、広くプリント媒体上に画像、模様、パターン等を形成する、または媒体の加工を行う場合も言うものとする。
【００１９】
ここで、「プリント媒体」（「記録シート」という場合もある。）とは、一般的なプリント装置で用いられる紙のみならず、広く、布、プラスチック・フィルム、金属板等、ガラス、セラミックス、木材、皮革等、インクを受容可能な物も言うものとする。
【００２０】
さらに、「インク」（「液体」という場合もある。）とは、上記「プリント」の定義と同様広く解釈されるべきもので、プリント媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成またはプリント媒体の加工、或いはインクの処理（例えばプリント媒体に付与されるインク中の色材の凝固または不溶化）に供され得る液体を言うものとする。
【００２１】
［装置本体］
図５及び図６にインクジェット記録方式を用いたプリンタの概略構成を示す。図５において、記録装置としてのプリンタの装置本体Ｍ１０００の外郭は、下ケースＭ１００１、上ケースＭ１００２、アクセスカバーＭ１００３及び排出トレイＭ１００４を含む外装部材と、その外装部材内に収納されたシャーシＭ３０１９（図６参照）とから構成される。
【００２２】
シャーシＭ３０１９は、所定の剛性を有する複数の板状金属部材によって構成され、記録装置の骨格をなし、後述の各記録動作機構を保持するものとなっている。
【００２３】
また、前記下ケースＭ１００１は装置本体Ｍ１０００の外装の略下半部を、上ケースＭ１００２は装置本体Ｍ１０００の外装の略上半部をそれぞれ形成しており、両ケースの組合せによって内部に後述の各機構を収納する収納空間を有する中空体構造をなしている。装置本体Ｍ１０００の上面部及び前面部には、それぞれ、開口部が形成されている。
【００２４】
さらに、排出トレイＭ１００４は、その一端部が下ケースＭ１００１に回転自在に保持され、その回転によって下ケースＭ１００１の前面部に形成される前記開口部を開閉させ得るようになっている。このため、記録動作を実行させる際には、排出トレイＭ１００４を前面側へと回転させて開口部を開成させることにより、ここから記録シートが排出可能となると共に排出された記録シートＰを順次積載し得るようになっている。また、排出トレイＭ１００４には、２枚の補助トレイＭ１００４ａ，Ｍ１００４ｂが収納されており、必要に応じて各トレイを手前に引き出すことにより、用紙の支持面積を３段階に拡大、縮小させ得るようになっている。
【００２５】
アクセスカバーＭ１００３は、その一端部が上ケースＭ１００２に回転自在に保持され、上面に形成される開口部を開閉し得るようになっており、このアクセスカバーＭ１００３を開くことによって本体内部に収納されている記録ヘッドカートリッジＨ１０００あるいはインクタンクＨ１９００等の交換が可能となる。なお、ここでは特に図示しないが、アクセスカバーＭ１００３を開閉させると、その裏面に形成された突起がカバー開閉レバーを回転させるようになっており、そのレバーの回転位置をマイクロスイッチなどで検出することにより、アクセスカバーの開閉状態を検出し得るようになっている。
【００２６】
また、上ケースＭ１００２の後部上面には、電源キーＥ００１８及びレジュームキーＥ００１９が押下可能に設けられると共に、ＬＥＤ  Ｅ００２０が設けられており、電源キーＥ００１８を押下すると、ＬＥＤ  Ｅ００２０が点灯し記録可能であることをオペレータに知らせるものとなっている。また、ＬＥＤ  Ｅ００２０は点滅の仕方や色の変化をさせたり、プリンタのトラブル等をオペレータに知らせる等種々の表示機能を有する。さらに、ブザー（不図示）をならすこともできる。なお、トラブル等が解決した場合には、レジュームキーＥ００１９を押下することによって記録が再開されるようになっている。
【００２７】
［記録動作機構］
次に、プリンタの装置本体Ｍ１０００に収納、保持される本実施形態における記録動作機構について説明する。
【００２８】
本実施形態における記録動作機構としては、記録シートＰを装置本体内へと自動的に給送する自動給送部Ｍ３０２２と、自動給送部から１枚ずつ送出される記録シートＰを所定の記録位置へと導くと共に、記録位置から排出部Ｍ３０３０へと記録シートＰを導く搬送部Ｍ３０２９と、記録位置に搬送された記録シートＰに所望の記録を行なう記録部と、前記記録部等に対する回復処理を行う回復部（Ｍ５０００）とから構成されている。
【００２９】
（記録部）
ここで、記録部について説明するに、その記録部は、キャリッジ軸Ｍ４０２１によって移動可能に支持されたキャリッジＭ４００１と、このキャリッジＭ４００１に着脱可能に搭載される記録ヘッドカートリッジＨ１０００とからなる。
【００３０】
（記録ヘッドカートリッジ）
まず、記録部に用いられる記録ヘッドカートリッジについて図７〜９に基づき説明する。
【００３１】
この実施形態における記録ヘッドカートリッジＨ１０００は、図７に示すようにインクを貯留するインクタンクＨ１９００と、このインクタンクＨ１９００から供給されるインクを記録情報に応じてノズルから吐出させる記録ヘッドＨ１００１とを有する。記録ヘッドＨ１００１は、後述するキャリッジＭ４００１に対して着脱可能に搭載される、いわゆるカートリッジ方式を採るものとなっている。
【００３２】
ここに示す記録ヘッドカートリッジＨ１０００では、写真調の高画質なカラー記録を可能とするため、インクタンクとして、例えば、ブラック、ライトシアン、ライトマゼンタ、シアン、マゼンタ及びイエローの各色独立のインクタンクＨ１９００が用意されており、図８に示すように、それぞれが記録ヘッドＨ１００１に対して着脱自在となっている。
【００３３】
そして，記録ヘッドＨ１００１は、図９の分解斜視図に示すように、記録素子基板Ｈ１１００、第１のプレートＨ１２００、電気配線基板Ｈ１３００、第２のプレートＨ１４００、タンクホルダーＨ１５００、流路形成部材Ｈ１６００、フィルターＨ１７００、シールゴムＨ１８００から構成されている。
【００３４】
記録素子基板Ｈ１１００には、Ｓｉ基板の片面にインクを吐出するための複数の記録素子と、各記録素子に電力を供給するＡｌ等の電気配線とが成膜技術により形成され、この記録素子に対応した複数のインク流路と複数の吐出口Ｈ１１００Ｔとがフォトリソグラフィ技術により形成されると共に、複数のインク流路にインクを供給するためのインク供給口が裏面に開口するように形成されている。また、記録素子基板Ｈ１１００は第１のプレートＨ１２００に接着固定されており、ここには、前記記録素子基板Ｈ１１００にインクを供給するためのインク供給口Ｈ１２０１が形成されている。さらに、第１のプレートＨ１２００には、開口部を有する第２のプレートＨ１４００が接着固定されており、この第２のプレートＨ１４００を介して、電気配線基板Ｈ１３００が記録素子基板Ｈ１１００に対して電気的に接続されるよう保持されている。この電気配線基板Ｈ１３００は、記録素子基板Ｈ１１００にインクを吐出するための電気信号を印加するものであり、記録素子基板Ｈ１１００に対応する電気配線と、この電気配線端部に位置し本体からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子Ｈ１３０１とを有しており、外部信号入力端子Ｈ１３０１は、後述のタンクホルダーＨ１５００の背面側に位置決め固定されている。
【００３５】
一方、インクタンクＨ１９００を着脱可能に保持するタンクホルダーＨ１５００には、流路形成部材Ｈ１６００が例えば、超音波溶着により固定され、インクタンクＨ１９００から第１のプレートＨ１２００に亘るインク流路Ｈ１５０１を形成している。また、インクタンクＨ１９００と係合するインク流路Ｈ１５０１のインクタンク側端部には、フィルターＨ１７００が設けられており、外部からの塵埃の侵入を防止し得るようになっている。また、インクタンクＨ１９００との係合部にはシールゴムＨ１８００が装着され、係合部からのインクの蒸発を防止し得るようになっている。
【００３６】
さらに、前述のようにタンクホルダーＨ１５００、流路形成部材Ｈ１６００、フィルターＨ１７００及びシールゴムＨ１８００から構成されるタンクホルダー部と、前記記録素子基板Ｈ１１００、第１のプレートＨ１２００、電気配線基板Ｈ１３００及び第２のプレートＨ１４００から構成される記録素子部とを、接着等で結合することにより、記録ヘッドＨ１００１を構成している。
【００３７】
（キャリッジ）
次に、図６を参照して記録ヘッドカートリッジＨ１０００を搭載するキャリッジＭ４００１を説明する。
【００３８】
図６に示すように、キャリッジＭ４００１には、キャリッジＭ４００１と係合し記録ヘッドＨ１００１をキャリッジＭ４００１上の所定の装着位置に案内するためのキャリッジカバーＭ４００２と、記録ヘッドＨ１００１のタンクホルダーＨ１５００と係合し記録ヘッドＨ１００１を所定の装着位置にセットさせるよう押圧するヘッドセットレバーＭ４００７とが設けられている。
すなわち、ヘッドセットレバーＭ４００７はキャリッジＭ４００１の上部にヘッドセットレバー軸に対して回動可能に設けられると共に、記録ヘッドＨ１００１との係合部には、ばね付勢されるヘッドセットプレート（不図示）が備えられ、このばね力によって記録ヘッドＨ１００１を押圧しながらキャリッジＭ４００１に装着する構成となっている。
【００３９】
また、キャリッジＭ４００１の記録ヘッドＨ１００１との別の係合部にはコンタクトフレキシブルプリントケーブル（不図示、以下、コンタクトＦＰＣと称す）が設けられ、コンタクトＦＰＣ上のコンタクト部と記録ヘッドＨ１００１に設けられたコンタクト部（外部信号入力端子）Ｈ１３０１とが電気的に接触し、記録のための各種情報の授受や記録ヘッドＨ１００１への電力の供給などを行い得るようになっている。
【００４０】
ここでコンタクトＦＰＣのコンタクト部とキャリッジＭ４００１との間には不図示のゴムなどの弾性部材が設けられ、この弾性部材の弾性力とヘッドセットレバーばねによる押圧力とによってコンタクト部とキャリッジＭ４００１との確実な接触を可能とするようになっている。さらに前記コンタクトＦＰＣは、キャリッジＭ４００１の背面に搭載されたキャリッジ基板（不図示）に接続されている。
【００９１】
なお、本発明が有効に用いられる一形態は、電気熱変換体が発生する熱エネルギーを利用して液体に膜沸騰を生じさせ気泡を形成する形態である。
【００９２】
［実施例］
上述したような構成を有する記録装置に適用されるインクジェット記録ヘッドに関し、本実施例では、任意の高さ（「厚み」とも言う。）のスペーサを形成することにより、電気的接続を確実なものとすることができる。
【００９３】
以下、図１（ａ）〜（ｊ）を参照しながら本実施例を説明する。
【００９４】
先ず、図１（ａ）に示されるようにインクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子としての電気熱変換素子２（材質ＨｆＢ２からなるヒータ）及び周囲例えば電気配線基板Ｈ１３００との電気接続用電極としてのアルミパッド９が配置された基体１上に、溶解可能な樹脂層（型レジスト層）３としてポリメチルイソプロペニルケトン（東京応化工業（株）社製ＯＤＵＲ−１０１０）を用いてインク流路パターンを形成する（図１（ｂ）、膜厚１３μｍ）。
【００９５】
そして、第１の感光性被覆樹脂材として表１記載の樹脂組成物Ａをインク流路パターン上にスピンコータで塗布し、第１感光性被覆樹脂層４を形成し、ホットプレートで８０℃５分のベークを行う（図１（ｃ）、膜厚１８μｍ）。
【００９６】
次いで、図１（ｄ）に示すようにスペーサ部１３のみを露光し、再び表１記載の樹脂組成物Ａを既に形成されている第１感光性被覆樹脂層４の上にスピンコータでさらに塗布し、所定の厚さの第１感光性被覆樹脂層４を形成し、ホットプレートで８０℃５分のベークを行う（図１（ｅ）、総膜厚４０μｍ）。
【００９７】
【表１】
0004592038.tif 000002
【００９８】
次に、表２に示す樹脂組成物ＢをＰＥＴフィルム上に塗布乾燥することでドライフィルムを作成し（ＰＥＴフィルムは、除去される。）、樹脂組成物Ａ上に熱圧力を加えラミネートし、撥水性を有する第２感光性被覆樹脂層５を形成する（図１（ｆ）、膜厚０．５μｍ）。
【００９９】
このように形成された第１及び第２感光性被覆樹脂層４、５に対して、吐出口が形成されたマスク（図示せず）を介して、例えば、キャノン製マスクアライナＭＰＡ６００を用いて、３×１０4Ｗ／ｍ2露光を行う。続いて、ホットプレートで８０℃５分のベーク後、ＭＩＢＫ／キシレン＝２／３の現像液で現像を行い、キシレンでリンスを行い、従来例と同様にインクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子であるヒータ上方に、これと相対する位置の感光性被覆樹脂層にインク吐出口６を形成し、同時にバンプと同程度の厚みのスペーサ１３を形成する（図１（ｇ））。
【０１００】
次いで、基体１のＳｉウェハに対して裏面より異方性エッチングによりインク供給口８を形成し（図１（ｈ））、続いて型レジスト層３を除去し、インク流路を形成する。このようにして、それぞれがインク吐出口６やインク供給口８を含むインク流路などを有する複数のノズル部１４、電気配線基板Ｈ１３００との電気接続用電極９、及びスペーサ１３を備える記録素子基板Ｈ１１００が形成される。なお、この後、第１及び第２感光性被覆樹脂層を完全に硬化させる目的で２００℃１時間の加熱処理を行う（図１（ｉ））。最後に導電シートとしてのＡＣＦ１１と電極９との電気的接続を行い（図１（ｊ））、インク供給部材などとともにインクジェット記録ヘッドとして完成される。
【０１０１】
このようにして製造されたインクジェット記録ヘッドを、上述のような記録装置（プリンタ）に装着し、純水／ジエチレングリコール／イソプロピルアルコール／酢酸リチウム／黒色染料フードブラック２＝７９．４／１５／３／０．１／２．５からなるインクを用いて記録を行ったところ、安定した印字が可能であり、得られた画像は高品位のものであった。
【０１０２】
【表２】
0004592038.tif 000003
【０１０３】
（比較例１）
従来技術を用い第１感光性材料を１回の塗布で実施例と同じ４０μｍの厚さの第１感光性被覆樹脂層を形成して、インクジェット記録ヘッドを得た。
【０１０４】
実施例と同様に印字テストを行ったところ、スペーサが高すぎて導電シートによる導通がとれていない個所が認められ、正確な印字がなされなかった。
【０１０５】
また、１回で第１感光性材料を４０μｍ塗布したため、インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子であるヒータとインク吐出口の間の距離にバラツキがあり、インク吐出コントロールに影響を与え、画像の品質の低下につながった。
【０１０６】
（比較例２）
図１（ｃ）に示すように第１感光性材料の１回目の塗布を膜厚１８μｍで行い、続いて、図１（ｄ）に示すようにスペーサ部を露光するまでは、実施例と同様に行い、続いて現像を行いスペーサのみを先ず形成する。
【０１０７】
この後、再び実施例と同様に第１感光性材料を２回にわたって総膜厚４０μｍになるように塗布して、インクジェット記録ヘッドを得た。
【０１０８】
実施例と同様の印字テストを行った結果、安定した印字が可能であり、ヒータとインク吐出口官の距離にバラツキはなく、画像も高品質で、実施例と同様の性能を有するインクジェット記録ヘッドが得られた。しかしながら、製造工程が多くなり、材料の使用量が多くなり、経済的でない。
【０１０９】
以上、本発明のインクジェット記録ヘッド及びその製造方法について説明してきたが、その実施例で示した樹脂材料、その塗布方法、その塗布回数、部品あるいは製造に使用される装置等は、これに限られるものではなく、本発明の範囲内であるならば、どのようなものであってもよい。
【０１１０】
【発明の効果】
本発明によれば、インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子とインク吐出口との間の距離、位置精度を厳密に制御できるため、吐出特性が安定し、且つ信頼性の高いインクジェット記録ヘッドが簡単な手法で製造できる。
【０１１１】
また、導電シートとの接続に関して、撥水層のないスペーサを感光性被服樹脂材料の１回の塗布量あるいは塗布回数を変えることにより任意の高さで形成でき、電気的接続の信頼性も著しく向上した。さらに、スペーサの高さを低く設定できることから、少ない量の封止材料で完全な封止処理が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明におけるインクジェット記録ヘッドの製造工程を示す概略図であり、（ａ）は、その上に電極等を含む所定の配線が配置されている基体の断面図、（ｂ）は、基体上に型レジストが塗布された状態、（ｃ）は、型レジスト上に第１感光性被覆樹脂材料を一度塗布した状態、（ｄ）は、マスクを介してスペーサ部を露光した状態、（ｅ）は、第１感光性被覆樹脂材料をさらに塗布した状態、（ｆ）は、第２感光性被覆樹脂材料を塗布した状態、（ｇ）は、露光、現像処理してインク吐出口、スペーサ等が形成された状態、（ｈ）インク供給口が形成された状態、（ｉ）型レジストが除去された状態、（ｊ）は、導電シートと電極が接続された状態をそれぞれ占めす。
【図２】  従来のインクジェット記録ヘッド特にそのノズル部の製造工程を示す概略図であり、（ａ）は、インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子が配置された基体の斜視図、（ｂ）は、（ａ）図Ａ−Ａ断面図、（ｃ）は、基体上に型レジストが塗布された状態、（ｄ）は、第１感光性被覆樹脂材料を塗布した状態、（ｅ）は、第２感光性被覆樹脂材料を塗布した状態、（ｆ）は、露光、現像処理して、インク吐出口、親水部が形成された状態、（ｇ）は、インク供給口が形成された状態、（ｈ）は、型レジストが除去された状態をそれぞれ示す。
【図３】  従来の記録素子基板と周囲との導電子とを介しての電気的接続を示す図であり、（ａ）は、図２において製造された記録素子基板の断面図、（ｂ）は、電極上にバンプが形成された状態、（ｃ）は、導電シートが、バンプ上に位置決めされた状態、（ｄ）は、導電シートが熱圧力をかけられてバンプに接続された状態、（ｅ）は、接続部に封止材が適用された状態をそれぞれ示す。
【図４】  図３の従来の記録素子基板と周囲との導電子とを介しての電気的接続において、さらにスペーサを設けた図である。
【図５】  本発明のインクジェット記録ヘッドが適用されるインクジェットプリンタ例の外観構成を示す斜視図である。
【図６】  図５に示すプリンタの外装部材を取り外した状態を示す斜視図である。
【図７】  本発明のインクジェット記録ヘッドが適用されるプリンタに用いる記録ヘッドカートリッジを組み立てた状態を示す斜視図である。
【図８】  図７に示す記録ヘッドカートリッジを示す分解斜視図である。
【図９】  図８に示した記録ヘッドを斜め下方から見た分解斜視図である。
【符号の説明】
１          基体
２          インクを吐出するために用いられるエネルギを発生する素子（ヒータ）
３            型レジスタ
４          第１感光性被覆樹脂層
５          第２感光性被覆樹脂層
６          インク吐出口
８          インク供給口
９          電極
１１        導電シート
１３        スペーサ
１４        ノズル部
Ｈ１０００  記録ヘッドカートリッジ
Ｈ１００１  記録ヘッド
Ｈ１１００  記録素子基板
Ｈ１１００Ｔ  吐出口
Ｈ１２００  第１のプレート
Ｈ１２０１  インク供給口
Ｈ１３００  電気配線基板
Ｈ１３０１  外部信号入力端子
Ｈ１４００  第２のプレート
Ｈ１５００  タンクホルダー
Ｈ１５０１  インク流路
Ｈ１６００  流路形成部材
Ｈ１７００  フィルター
Ｈ１８００  シールゴム
Ｈ１９００  インクタンク
【図１】
0004592038.tif 000004
【図２】
0004592038.tif 000005
【図３】
0004592038.tif 000006
【図４】
0004592038.tif 000007
【図５】
0004592038.tif 000008
【図６】
0004592038.tif 000009
【図７】
0004592038.tif 000010
【図８】
0004592038.tif 000011
【図９】
0004592038.tif 000012