(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージ上の基板をその基板よりも幅が大きい転写フィルムにて覆った後、前記転写フィルムの前記基板からはみ出た両側部に前記ステージ側から吸着力を作用させて前記転写フィルムをステージ上に保持する転写フィルムの吸着方法であって、
前記転写フィルムを前記基板の幅方向の全長に亘って延びる馴染み手段にて前記基板上に押し付けつつ、その馴染み手段を前記基板に沿って前記幅方向と直交する方向に移動させる処理と、
前記馴染み手段の移動に追従して前記ステージの吸着力が作用する領域を漸次拡大させる処理と、
を含むことを特徴とする転写フィルムの吸着方法。
【請求項２】
前記馴染み手段を、前記幅方向と直交する方向に関する前記基板の一端側から他端側に向かって移動させることを特徴とする請求項１に記載の転写フィルムの吸着方法。
【請求項３】
前記転写フィルム上に前記馴染み手段を一対配置し、各馴染み手段を、前記幅方向と直交する方向に関して前記基板の互いに反対側の端部に向かって移動させることを特徴とする請求項１に記載の転写フィルムの吸着方法。
【請求項４】
前記馴染み手段の移動方向の終点側にて前記転写フィルムを前記基板よりも上方に浮かせた状態で前記馴染み手段を移動させることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の転写フィルムの吸着方法。
【請求項５】
一対のロールに前記転写フィルムを巻き掛けてそれらのロール間には前記基板を覆うに必要な長さの転写フィルムを繰り出し、その繰り出された転写フィルムにて前記基板を覆った後に前記馴染み手段を前記ロール間で移動させることを特徴とする請求項１に記載の転写フィルムの吸着方法。
【請求項６】
前記馴染み手段の移動を開始させる前に、前記ロール間に繰り出された転写フィルムに張力を付加することを特徴とする請求項５に記載の転写フィルムの吸着方法。
【請求項７】
前記一対のロールのうち少なくともいずれか一方のロール側に、前記転写フィルムを前記基板よりも上方に付勢する付勢手段を設けることを特徴とする請求項５に記載の転写フィルムの吸着方法。
【請求項８】
前記馴染み手段をロール状に形成することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の転写フィルムの吸着方法。
【請求項９】
ステージ上の基板よりも幅方向の両側部がはみ出るようにしてその基板上に配置された転写フィルムを当該基板の幅方向の全長に亘って押さえ付ける馴染み手段と、
前記馴染み手段を前記基板に沿って前記幅方向と直交する方向に移動させる駆動機構と、
前記馴染み手段の移動方向に沿って設けられた多数の吸着孔から前記転写フィルムの前記両側部に吸引力を作用させて当該両側部をステージの表面に吸着する吸着手段と、
前記馴染み手段の移動に追従して前記ステージの吸着力が作用する領域が漸次拡大するように前記吸着手段を制御する吸着制御手段と、
を備えたことを特徴とする転写フィルムの吸着装置。
【請求項１０】
前記馴染み手段の移動方向の終点側にて前記転写フィルムを前記基板よりも上方に浮いた状態に保持する手段を備えたことを特徴とする請求項９に記載の転写フィルムの吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱溶融型の着色剤層が形成された転写フィルムをブラックマトリックス基板に密着させ、部分的に熱転写することで液晶ディスプレイ用カラーフィルタを作成する場合等に好適な転写フィルムを基板に密着させるためのフィルム吸着方法及びそのための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ディスプレイ等のカラーフィルタの基板に着色層を形成する方法としてレーザ転写法が提案されている（例えば特開平１０−２０６６２５号公報、特開平７−１０４１１３号公報参照）。レーザ転写法は、フィルム状の基材に予め熱溶融型の着色剤を塗布して転写フィルムを形成し、その転写フィルムとカラーフィルタの基板とを重ね合わせた状態で転写フィルムにレーザビームを当てて着色剤を溶融させることにより、基板に所望のパターンで着色剤を転写する方法である。
【０００３】
上記のレーザ転写法においては、転写装置のステージに載置された基板に対して、これを覆うように転写フィルムを供給する必要がある。従来の供給方法では、一回の転写に必要な寸法のフィルムをステージ上に移送し、覆い被せた後にゴムローラ等を用いて密着させていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のレーザ転写法を利用する場合、転写フィルムを隙間なく基板と密着させるとともに、基板や転写フィルムがずれないようにそれらをステージ上に確実に保持しておく必要がある。そこで、ステージの表面に開口する多数の吸着孔から空気を吸引して基板をステージに吸着するとともに、転写フィルムを基板よりも幾らか大きく形成し、基板からはみ出た転写フィルムの周縁部を同様にステージに吸着することが試みられている。しかし、転写フィルムを皺や弛みが生じないように注意しながら基板に被せてステージに吸着する作業は難しく、その作業を容易かつ確実に行える吸着方法の開発が望まれていた。
【０００５】
本発明は、転写フィルムを基板と良好に密着させながらその転写フィルムをステージに吸着させる作業を容易かつ確実に行える吸着方法、及びそのための吸着装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
以下、本発明の吸着方法について説明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記するが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。
【０００７】
本発明は、ステージ（４）上の基板（１０）をその基板よりも幅が大きい転写フィルム（１１）にて覆った後、前記転写フィルムの前記基板からはみ出た両側部（１１ａ）に前記ステージ側から吸着力を作用させて前記転写フィルムをステージ上に保持する転写フィルムの吸着方法であって、前記転写フィルムを前記基板の幅方向の全長に亘って延びる馴染み手段（１８）にて前記基板上に押し付けつつ、その馴染み手段を前記基板に沿って前記幅方向と直交する方向に移動させる処理と、前記馴染み手段の移動に追従して前記ステージの吸着力が作用する領域を漸次拡大させる処理とを含む吸着方法により、上述した課題を解決する。
【０００８】
この吸着方法によれば、馴染み手段にて転写フィルムを基板上に押し付けつつその馴染み手段を移動させることにより、転写フィルムが基板に馴染むようにして徐々に隙間なく密着する。馴染み手段の移動に追従してステージの吸着領域が拡大することにより、転写フィルムは、馴染み手段によって基板に押し付けられた部分から徐々にステージに吸着される。そのため、基板に一旦押し付けられた転写フィルムがその後にずれて皺や弛みを発生させるおそれがない。また、転写フィルムが基板に押し付けられる前にステージに吸着されて皺や弛みを誘発するおそれもない。従って、転写フィルムを基板に密着させつつステージに吸着させる作業を容易かつ確実に行うことができる。
【０００９】
本発明の吸着方法においては、前記馴染み手段を、前記幅方向と直交する方向に関する前記基板の一端側から他端側に向かって移動させてもよい。この場合には、転写フィルムが基板の一端から他端側に向かって押し付けられつつステージに吸着されることになる。
【００１０】
また、前記転写フィルム上に前記馴染み手段を一対配置し、各馴染み手段を、前記幅方向と直交する方向に関して前記基板の互いに反対側の端部に向かって移動させてもよい。この場合には単一の馴染み手段を基板の一端から他端まで移動させる場合と比較して各馴染み手段の移動量を短縮できる。従って、作業時間が短縮される。特に長尺の転写フィルムを使用する場合に好適である。
【００１１】
本発明の吸着方法において、前記馴染み手段の移動方向の終点側にて前記転写フィルムを前記基板よりも上方に浮かせた状態で前記馴染み手段を移動させてもよい。この場合には、馴染み手段の移動先において転写フィルムが確実に基板から離され、馴染み手段による押し付け作用を受けて転写フィルムが基板と密着するようになる。従って、馴染み手段が通過する前に転写フィルムと基板とが不所望に密着して皺や弛みを発生させるおそれがなくなる。
【００１２】
本発明の吸着方法において、一対のロール（１４，１５）に前記転写フィルムを巻き掛けてそれらのロール間には前記基板を覆うに必要な長さの転写フィルムを繰り出し、その繰り出された転写フィルムにて前記基板を覆った後に前記馴染み手段を前記ロール間で移動させてもよい。
【００１３】
この場合には、未使用の転写フィルムを一方のロールから繰り出しつつ他方のロールに使用済みの転写フィルムを巻き取る処理と、ロール間で馴染み手段を移動させる処理とを交互に繰り返すことにより、複数の基板に対して繰り返し本発明の吸着方法を適用することができる。
【００１４】
前記馴染み手段の移動を開始させる前に、前記ロール間に繰り出された転写フィルムに張力を付加してもよい。この場合には、馴染み手段にて転写フィルムを基板を押し付ける前に転写フィルムが基板に沿って張り渡された状態になり、馴染み手段による転写フィルムの押し付けと移動とをスムーズに行うことができる。
【００１５】
前記一対のロールのうち少なくともいずれか一方のロール（１４）側に、前記転写フィルムを前記基板よりも上方に付勢する付勢手段（２２）を設けてもよい。転写フィルムを上方に付勢することにより、転写フィルムに張力が付加されて上記と同様の作用効果が得られる。また、付勢手段に向かって馴染み手段を移動させるようにすれば、馴染み手段の移動先において転写フィルムが確実に基板から離され、馴染み手段が通過する前に転写フィルムと基板とが不所望に密着して皺や弛みを発生させるおそれがなくなる。
【００１６】
本発明の吸着方法において、前記馴染み手段をロール状に形成してもよい。この場合には馴染み手段を転写フィルムに沿ってスムーズに移動させることができる。ロール状の馴染み手段は転写フィルムに沿って転動させてもよいし、回転を阻止した状態で転写フィルムに沿って移動させてもよい。
【００１７】
本発明の吸着装置は、ステージ（４）上の基板（１０）よりも幅方向の両側部（１１ａ）がはみ出るようにしてその基板上に配置された転写フィルム（１１）を当該基板の幅方向の全長に亘って押さえ付ける馴染み手段（１８）と、前記馴染み手段を前記基板に沿って前記幅方向と直交する方向に移動させる駆動機構（３０〜３６）と、前記馴染み手段の移動方向に沿って設けられた多数の吸着孔（１９）から前記転写フィルムの前記両側部に吸引力を作用させて当該両側部をステージの表面に吸着する吸着手段（４０，４２）と、前記馴染み手段の移動に追従して前記ステージの吸着力が作用する領域が漸次拡大するように前記吸着手段を制御する吸着制御手段（４１，４３，４５）とを備えることにより、上述した課題を解決する。
【００１８】
この吸着装置によれば、転写フィルムを基板に被せた後、馴染み手段を基板に沿って移動させつつ吸着力が作用する領域を漸次拡大させることにより、本発明の吸着方法を実現することができる。
【００１９】
本発明の吸着装置においては、前記馴染み手段の移動方向の終点側にて前記転写フィルムを前記基板よりも上方に浮いた状態に保持する手段（２２）を備えてもよい。この場合には、馴染み手段の移動先において転写フィルムが確実に基板から離されるから、馴染み手段が通過する前に転写フィルムと基板とが不所望に密着して皺や弛みを発生させるおそれがなくなる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図１０を参照して本発明の一実施形態を説明する。図１０は液晶ディスプレイのカラーフィルタを作成する際のガラス基板（ブラックマトリックス基板）に着色層を形成するための転写装置１の全体構成を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。転写装置１は、ベッド２と、門型のコラム３と、ステージ４とを有している。ステージ４は直線案内装置５を介してベッド２に取り付けられて水平面内の所定の軸方向（図１０（ａ）に矢印で示す方向。）に沿って段取り位置Ｐ１とコラム３の直下の転写位置Ｐ２との間を移動可能である。段取り位置Ｐ１では基板１０の載せ替え等の段取り作業が行われる。
【００２３】
コラム３にはレーザ照射部６が取り付けられている。レーザ照射部６は転写位置Ｐ２に送られたステージ４に向かってレーザビームを照射する。レーザ照射部６は、水平面内でステージ４の移動方向と直交する方向にレーザビームを走査する機能を有している。転写装置１は、レーザ照射部６におけるレーザビームの走査とステージ４の移動との組み合わせによってステージ４上の任意の位置にレーザビームを照射可能である。なお、ステージ４は一枚の基板１０を搭載するに適した大きさに設計されている。
【００２４】
図１は、転写装置１のステージ４に載置された一枚の基板１０の上に転写フィルム１１を供給する方法の一例を示している。この例においては、転写フィルム１１がカートリッジ１２に収容されており、そのカートリッジ１２がそのままステージ４に搭載されて基板１０上に転写フィルム１１が供給される。転写フィルム１１には、例えば基板１０に形成すべき３原色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の着色層のうちいずれか１色の着色層に対応した熱溶融型の着色剤が予め定着される。
【００２５】
図２にも示したように、カートリッジ１２は互いに平行に配置された一対の板状のフレーム１３，１３を有している。フレーム１３，１３の一端側には供給ロール１４が取り付けられ、フレーム１３の他端側には巻取ロール１５が取り付けられている。各ロール１４，１５は互いに平行な軸線の回りに回転自在である。
【００２６】
各ロール１４，１５の間には、ステージ４に載置される基板１０の長さよりも長いスペース１６が確保されている。転写フィルム１１に対するレーザビームの照射と転写フィルム１１から基板１０へのパターンの転写とを可能とするためにスペース１６の上下は開放されている。つまり、レーザビームの導入用の開口部と、転写フィルム１１と基板１０とを密着させるための開口部とがカートリッジ１２の上下に設けられている。
【００２７】
カートリッジ１２の使用開始前の初期状態において、供給ロール１４には多数枚（例えば１００〜４００枚）の基板１０の転写に対応可能な長さの転写フィルム１１が巻き付けられている。これによりフレーム１３の一端側に転写フィルム１１の供給部１２ａが構成される。供給ロール１４から引き出された転写フィルム１１はカートリッジ１２の下端に沿って真っ直ぐに伸ばされた上で巻取ロール１５に巻き取られている。これによりフレーム１３の他端側に転写フィルム１１の回収部１２ｂが構成される。そして、供給部１２ａと回収部１２ｂとの間に転写フィルム１１の繰り出し部１２ｃが構成される。
【００２８】
繰り出し部１２ｃに繰り出されている転写フィルム１１の長さは基板１０よりも長い。また、転写フィルム１１の幅は基板１０の幅よりも大きい。このため、転写装置１の段取り位置Ｐ１にて、ステージ４に基板１０を載置し、その上から繰り出し部１２ｃを下にしてカートリッジ１２をステージ４に載せることにより、基板１０を繰り出し部１２ｃの転写フィルム１１にて完全に覆うことができる。そして、基板１０を覆う転写フィルム１１の幅方向の両側部１１ａ、１１ａ（図２参照）は基板１０よりもはみ出る。なお、ここでいう幅とは、ロール１４，１５の軸線と平行な方向の寸法を意味する。
【００２９】
カートリッジ１２を載せままステージ４を転写位置Ｐ２に移動させてレーザ照射部６から転写フィルム１１にレーザビームを照射することにより、基板１０に転写フィルム１１上の着色剤等の被転写物質を基板１０に転写することができる。
【００３０】
なお、カートリッジ１２の全長はステージ４の全長より大きくてもよいし、小さくてもよい。但し、ステージ４の負荷を軽減するため、カートリッジ１２は可能な限り小型かつ軽量に構成することが望ましい。
【００３１】
ステージ４に載置された基板１０とカートリッジ１２の繰り出し部１２ｃに繰り出されている転写フィルム１１との密着性を高めるため、カートリッジ１２には、馴染み手段としての馴染みロール１８が設けられている。馴染みロール１８は供給ロール１４及び巻取ロール１５と比較して十分に小径であり、その全長は転写フィルム１１の幅よりも大きい。つまり、馴染みロール１８は転写フィルム１１の幅方向の全長に亘って延びている。
【００３２】
馴染みロール１８はロール１４，１５の間を回転しながら移動可能な状態でフレーム１３，１３の間に支持されている。馴染みロール１８を駆動する機構の具体的な構成は後述する。また、図３に示すように、供給ロール１４側にはテンションロール２０が設けられ、そのテンションロール２０は引張コイルばね２１により上方に引っ張られている。これらのテンションロール２０及び引張コイルばね２１によりフィルム付勢機構（付勢手段）２２が構成される。供給ロール１４から引き出された転写フィルム１１はテンションロール２０を乗り越えてスペース１６に繰り出され、さらに馴染みロール１８を潜って巻取ロール１５に巻き取られる。
【００３３】
図１に示すように、ステージ４に載置される基板１０（図１に想像線で示す。
）の両側には吸着孔１９…１９が列をなして形成されている。これらの吸着孔１９は真空ポンプと連結されている。各吸着孔１９から空気を吸い込むことにより転写フィルム１１を基板１０と密着した状態でステージ４上に保持することができる。ステージ４には基板１０を吸着するための吸着孔も設けられるが、その図示は省略した。吸着孔１９は馴染みロール１８の移動方向に長軸方向を一致させた長孔状である。
【００３４】
図４は、転写フィルム１１をステージ４に吸着させる手順を示している。本実施形態においては、まずカートリッジ１２の繰り出し部１２ｃに繰り出された転写フィルム１１が基板１０と重なるようにして、カートリッジ１２をステージ４に搭載する（図４（ａ）参照）。この後、図４（ａ）〜（ｃ）に矢印で示したように、馴染みロール１８を基板１０の一端側から他端側へ向かって移動させて転写フィルム１１を基板１０に密着させる。このとき、馴染みロール１８の移動に追従するように、吸着孔１９からの吸引力が作用する真空吸着エリアを基板１０の一端側から他端側に向かって拡大させる。基板１０の全面に転写フィルム１１が押し付けられるまで馴染みロール１８を供給ロール１４側に移動させることにより吸着作業を完了する。このような吸着方法によれば、転写フィルム１１が馴染みロール１８の移動に伴って徐々に基板１０と密着し、かつその密着部分から転写フィルム１１の両側部１１ａがステージ４に漸次吸着される。従って、転写フィルム１１を基板１０に対して良好に密着させることができ、転写フィルム１１に皺や弛みが生じにくい。
【００３５】
吸着完了後は図１０のレーザ照射部６からレーザビームが照射されて着色層の転写が開始される。転写終了後はステージ４への転写フィルム１１の吸着を停止し、カートリッジ１２をステージ４から取り外して別の色のカートリッジ１２をステージ４に供給し、以下同様手順でフィルムを吸着する。ステージ４に対してＲ，Ｇ，Ｂの３色のカートリッジ１２を交互に載せ代えて３回の転写を行うことにより一枚の基板１０に対する着色層の形成が完了する。なお、同一カートリッジ１２をステージ４に載せたまま転写を続行する場合には、一回の転写終了後に一旦吸着を解除し、フィルム１１を一回の転写で使用する長さだけ供給ロール１４から巻取ロール１５に送った上で同様手順によりフィルム１１を吸着すればよい。
【００３６】
図５は上述したカートリッジ１２の馴染みロール１８に対する駆動機構の一例を示し、図５（ａ）はカートリッジ１２の一方の側の平面図、同（ｂ）は（ａ）に示した部分の側面図である。また、図５（ｃ）は同（ｂ）の変形例を示している。
【００３７】
図５（ａ）及び（ｂ）の駆動機構においては、カートリッジ１２のフレーム１３に馴染みロール１８の軸端部１８ａを案内する長孔３０が形成される。反対側のフレーム１３にも同様の長孔３０が形成され、馴染みロール１８はそれらの長孔３０の間に架け渡される。軸端部１８ａは長孔３０を貫いてフレーム１３の外側に突出し、その突出部分はキャリッジ３１に回転自在に嵌合する。フレーム１３の長手方向の両端部にはプーリ３２，３２が取り付けられ、それらの間にはベルト３３が巻き掛けられる。キャリッジ３１はそのベルト３３の上下走行部３３ａ、３３ｂ間に配置され、いずれか一方の走行部（図では下走行部３３ｂ）に固定される。一方のプーリ３２にはカップリング３４が取り付けられ、そのカップリング３４は駆動源としてのモータ３５の駆動軸に減速機構（不図示）を介して連結されたカップリング３６と結合及び結合解除が可能である。なお、モータ３５からカップリング３６までの構成要素は転写装置１の付属設備として設けられる。カートリッジ１２がステージ４の所定位置に搭載されたときカップリング３４，３６が相互に連結される。プーリ３２，３２は種々の方法でフレーム１３に取り付けてよい。一例として、供給ロール１４及び巻取ロール１５の軸端部１４ａ、１５ａをフレーム１３に回転自在に取り付けるとともに、それらの軸端部１４ａ、１５ａをフレーム１３の外側に突出させ、その突出部分にプーリ３２，３２を回転自在に取り付けることができる。
【００３８】
以上の駆動機構によれば、カップリング３４，３６を連結させてモータ３５を駆動することにより、キャリッジ３１がベルト３３と一体に左右に走行し、それに伴って馴染みロール１８が長孔３０に沿って移動する。馴染みロール１８の移動量はモータ３５の回転量に置き換えることができるので、モータ３５の回転をロータリエンコーダ等の検出器にて検出すれば馴染みロール１８の移動速度や停止位置等を制御することができる。
【００３９】
以上では、駆動源としてのモータ３５が生成する回転運動をベルト３３にて馴染みロール１８の往復運動に変換したが、その他にも、例えばラックピニオン機構等の周知の運動変換機構を利用して馴染みロール１８に往復運動を与えることが考えられる。直進運動を生成する油圧又は空圧シリンダ等の駆動源を利用して馴染みロールを往復運動させてもよい。
【００４０】
図５（ａ）及び（ｂ）の例では、馴染みロール１８がキャリッジ３１に対して回転可能に取り付けられているため、転写フィルム１１と馴染みロール１８との間に摩擦が生じるとそれに伴って馴染みロール１８が回転して過剰な摩擦の発生が防がれる。さらに、馴染みロール１８のステージ４に沿った往復運動を馴染みロール１８の回転運動に変換する手段を設けてもよい。図５（ｃ）はその一例を示すものであり、この例では長孔３０に沿ってラック３８が設けられ、馴染みロール１８にはそのラック３８と噛み合うピニオン（不図示）が設けられる。この場合には、馴染みロール１８をその移動に連動して回転させて転写フィルム１１と馴染みロール１８との間の摩擦を最小に抑えることができる。ラックピニオン機構に代え、長孔３０に沿って摩擦係数を高める部材を設け、それを馴染みロール１８の軸端部１８ａに押し付けても同様の効果が得られる。
【００４１】
馴染みロール１８が転写フィルム１１を基板１０に押し付ける効果を高めるため、馴染みロール１８の表面に適度な弾性層を設け、その弾性層が適度に弾性変形する程度に馴染みロール１８を転写フィルム１１に押し付けながら馴染みロール１８を基板１０に沿って移動させてもよい。
【００４２】
図６は、馴染みロール１８の移動に追従して吸着エリアを拡大するための機構の一例を示している。この例では、ステージ４の表面に開口する吸着孔１９…１９のそれぞれが、転写フィルム１１の幅方向（図６において上下方向）に並んだ４つの吸着孔１９を一つの単位として、その単位毎にステージ４の内部に設けられた連絡路４０…４０と接続される。各連絡路４０はステージ４の側面に開口し、電磁制御弁４１を介して真空ポンプ４２と接続される。各電磁制御弁４１は、バルブ駆動回路４３からの駆動信号に応じて連絡路４０と真空ポンプ４２とを結ぶ流路を開閉する。バルブ駆動回路４３から電磁制御弁４１…４１には個別に駆動信号が出力され、電磁制御弁４１の開閉動作は個別に制御される。このため、吸着孔１９と真空ポンプ４２との間は、吸着孔１９の単位毎に独立して開閉制御される。
【００４３】
バルブ駆動回路４３は、制御装置４５からの制御信号に従って各電磁制御弁４１の駆動信号を切り換える。転写フィルム１１を吸着する際に、制御装置４５はモータ３５の駆動回路４６に対してモータ駆動用の制御信号を出力するとともに、ロータリーエンコーダ等の検出器４７からの出力信号に基づいて馴染みロール１８の移動量を検出する。そして、その移動量に従って各電磁制御弁４１を馴染みロール１８に追従して真空吸着エリアが漸次拡大するように開閉制御する。例えば、馴染みロール１８の移動量に関して一単位の吸着孔１９が受け持つ吸着エリアの長さを予め決めておき、馴染みロール１８がその移動量だけ移動する毎に、馴染みロール１８が移動を開始する側の吸着孔１９に対応する電磁制御弁４１から順に開放信号をバルブ駆動回路４３に出力して吸着エリアを徐々に拡大する。
【００４４】
なお、馴染みロール１８の移動量の検出を省略し、一単位の吸着孔１９に対応する距離だけモータ３５が移動するのに要する時間が経過する毎に電磁開閉弁４１を順次開放するように制御してもよい。
【００４５】
以上の実施形態は一例に過ぎず、本発明は種々の形態にて実施することができる。例えば、電磁開閉弁４１を連絡路４０毎に設ける構成に代え、連絡路４０と同数のポートと、真空ポンプ４２側に接続される共通のポートとを備え、スプール等の弁体の操作量に応じてポートと連通するポートの数が比例的に増減する構成の制御弁を使用してもよい。このような制御弁によれば、その弁体と馴染みロール１８の移動とを連動させることにより、真空吸着エリアを徐々に拡大させることができる。
【００４６】
上記の制御弁の具体例を図７及び図８にそれぞれ示す。図７の制御弁５０においては、円筒状のシリンダ５１の内部に弁体としてのスプール５２が摺動自在に挿入されている。シリンダ５１の開口部の近傍とスプール５２の先端部とにＯリング５３，５３がそれぞれ装着されてシリンダ５１とスプール５２との間がシールされる。シリンダ５１の周囲には複数のポート５４…５４がシリンダ５１の軸線方向に並べて設けられ、シリンダ５１の底部には単一のポート５５がそれぞれ設けられる。各ポート５４はステージ４の互いに異なる連絡路４０（図６参照）に、ポート５５は真空ポンプ４２にそれぞれ接続される。従って、スプール５２を直線運動型の適当な駆動手段（例えば流体圧シリンダやねじ駆動機構）により往復運動させると、その運動に応じてポート５５と連通するポート５４の数が変化する。この動作を利用してステージ４の吸着領域を漸次変化させることができる。
【００４７】
図８の制御弁６０においては、円筒型のハウジング６１の内部に弁体としてのロータ６２が回転自在に挿入されている。ハウジング６１の周囲には複数のポート６３…６３がハウジング６１の周方向に沿って並べて設けられ、ポート６３の一端側にはさらに単一のポート６４が設けられる。ロータ６２の外周には切欠部６２ａが設けられている。各ポート６３はステージ４の互いに異なる連絡路４０（図６参照）に、ポート６４は真空ポンプ４２にそれぞれ接続される。従って、ロータ６２を回転運動型の適当な駆動手段（例えばモータやロータリーソレノイド）により回転運動させると、その運動に応じてポート６４と連通するポート６５の数が変化する。この動作を利用してステージ４の吸着領域を漸次変化させることができる。
【００４８】
上記の実施形態においては、馴染みロール１８の移動方向に関して２以上の吸着孔１９を一単位として、それらの単位毎に真空ポンプ４２との接続及び断続を制御してもよい。
【００４９】
図９は馴染みロールに関する他の実施形態を示す。この実施形態では、供給ロール１４及び巻取ロール１５の間に一対の馴染みロール１８，１８が配置される。これらのロール１８、１８を基板１０の中間位置から互いに反対方向に、つまり供給ロール１４又は巻取ロール１５に向けて移動させるとともに、各ロール１８の移動に追従して真空吸着エリアを漸次ロール１４及び１５に向けて拡大させることにより、転写フィルム１１をステージ４に吸着する。この実施形態ではロール１８の移動量が実質的に半減するので短時間で吸着が完了する利点がある。
【００５０】
転写フィルム１１はＲ，Ｇ，Ｂいずれか一色の着色層が形成されたものに限らず、単一種類の被転写物質、例えば基板１０にブラックストライプを形成するための材料が定着されたものでもよい。さらに、本発明は液晶ディスプレイのカラーフィルタ用の基板に限らず、各種の基板に転写フィルムを重ねて供給する場合に利用できる。カートリッジを利用せず、転写フィルム１１を一回の転写に必要なサイズに切断して基板１０に被せる場合でも本発明の吸着方法は適用可能である。馴染み手段はロール状に形成されたものに限らず、転写フィルム１１を基板１０に押し付けつつ転写フィルム１１に沿って移動できるものであれば例えば板状等に変更してもよい。
【００５１】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明の吸着方法によれば、馴染み手段にて転写フィルムを基板上に押し付けつつその馴染み手段を移動させることにより、転写フィルムを基板に徐々に馴染むように密着させるとともに、馴染み手段の移動に追従してステージの吸着領域を拡大させることにより、転写フィルムを、馴染み手段によって基板に押し付けられた部分から徐々にステージに吸着させることができる。そのため、基板に一旦押し付けられた転写フィルムがその後にずれて皺や弛みを発生させるおそれがない。また、転写フィルムが基板に押し付けられる前にステージに吸着されて皺や弛みを誘発するおそれもない。従って、転写フィルムを基板に密着させつつステージに吸着させる作業を容易かつ確実に行うことができる。
【００５２】
また、本発明の吸着装置及び転写フィルム供給用のカートリッジによれば本発明の吸着方法を好適に実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の方法により転写装置のステージに載置された一枚の基板上に転写フィルムを供給する実施形態を示す斜視図。
【図２】ステージ上に載置されたカートリッジをその上方からみた状態を示す図。
【図３】図２のIII−III線に沿った断面図。
【図４】本発明により転写フィルムを吸着する手順を示す図。
【図５】カートリッジの馴染みロールを駆動する機構の一例を示す図。
【図６】馴染みロールの移動に追従して吸着エリアを拡大するための機構の一例を示す図。
【図７】真空吸着エリアを漸次拡大するための制御弁の具体例を示す図。
【図８】真空吸着エリアを漸次拡大するための制御弁の他の具体例を示す図。
【図９】一対の馴染みロールを利用して転写フィルムを吸着させる例を示す図。
【図１０】転写装置の一例を示す図。
【符号の説明】
１  転写装置
４  ステージ
６  レーザ照射部
１０  基板
１１  転写フィルム
１１ａ  転写フィルムの両側部
１２  カートリッジ
１２ａ  供給部
１２ｂ  回収部
１２ｃ  繰り出し部
１３  フレーム
１４  供給ロール
１５  巻取ロール
１８  馴染みロール（馴染み手段）
１９  吸着孔
２０  テンションロール
２１  引張コイルばね
２２  フィルム付勢機構（付勢手段、保持する手段）
３０  長孔（駆動機構）
３１  キャリッジ（駆動機構）
３２  プーリ（駆動機構）
３３  ベルト（駆動機構）
３４  カップリング（駆動機構）
３５  モータ（駆動機構）
３６  カップリング（駆動機構）
４０  連絡路（吸着手段）
４１  電磁開閉弁（吸着制御手段）
４２  真空ポンプ（吸着手段）
４３  バルブ駆動回路（吸着制御手段）
４５  制御装置（吸着制御手段）
【図１】
0004562967.tif 000002
【図２】
0004562967.tif 000003
【図３】
0004562967.tif 000004
【図４】
0004562967.tif 000005
【図５】
0004562967.tif 000006
【図６】
0004562967.tif 000007
【図７】
0004562967.tif 000008
【図８】
0004562967.tif 000009
【図９】
0004562967.tif 000010
【図１０】
0004562967.tif 000011