(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
自動搬送ビークルを制御するための半導体工場自動化システムにおいて、
共通通信ラインと、
各々前記共通通信ラインにカップリングされ、完全自動モード（ｆｕｌｌ  ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ  ｍｏｄｅ）を有する動作モードで、半導体ウェーハのロットに適用される所定の半導体工程を遂行し、所定の半導体工程が完了した後、工程完了信号を伝送するための多数の半導体処理手段と、
前記共通通信ラインにカップリングされ、前記各半導体処理手段の動作モード情報及びオペレーター（ｏｐｅｒａｔｏｒ）により変更された動作モード情報を受信するためのオペレーターインターフェース手段と、
前記共通通信ラインにカップリングされ、前記オペレーターインターフェース手段から変更された動作モード情報を貯蔵するためのリアルタイムデータベースを貯蔵する貯蔵手段と、
前記共通通信ラインにカップリングされ、工程完了信号に応答してキュー（ｑｕｅｕｅ）を生成するための生成手段と、
前記共通通信ラインにカップリングされ、キューに応答して前記貯蔵手段に貯蔵された各半導体処理手段の動作モード情報を確認するための制御手段と、
前記制御手段から受信されたキューに応答して前記各半導体処理手段から半導体ウェーハのロットを引き出すための搬送手段と、を含んで、
前記制御手段は、前記貯蔵手段に貯蔵された半導体処理手段の動作モード情報が完全自動モードでなければ、前記搬送手段へのキューの伝送を割り込み（ｉｎｔｅｒｒｕｐｔ）することで前記搬送手段を非活性化させることを特徴とする半導体工場自動化システム。
【請求項２】
前記多数の半導体処理手段は、多数の工程装備を含むことを特徴とする請求項１記載の半導体工場自動化システム。
【請求項３】
前記生成手段は、前記工程完了信号に応答して半導体ウェーハのロットを搬送するための要請を有する要請メッセージをさらに伝送することを特徴とする請求項１記載の半導体工場自動化システム。
【請求項４】
前記要請メッセージに応答して半導体ウェーハのロットの次の半導体工程をスケジューリングするためのスケジューリング手段をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の半導体工場自動化システム。
【請求項５】
前記多数の工程装備のいずれか１つは、半導体ウェーハのロットを有する容器（ｃｏｎｔａｉｎｅｒ）として半導体ウェーハカセット（ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｗａｆｅｒ  ｃａｓｓｅｔｔｅ）を含むことを特徴とする請求項２記載の半導体工場自動化システム。
【請求項６】
前記工程装備は、前記生成手段に工程完了信号を伝送した後、半導体ウェーハカセットを前記工程装備から引き出すことのできることを特徴とする請求項５記載の半導体工場自動化システム。
【請求項７】
前記キューは、半導体ウェーハカセット識別子、半導体ウェーハカセットの出発地情報を表す工程装備識別子及び半導体ウェーハカセットの目的地情報を表すストッカー（ｓｔｏｃｋｅｒ）識別子を含むことを特徴とする請求項１記載の半導体工場自動化システム。
【請求項８】
前記キューを変換することによって搬送制御命令を生成して前記搬送制御命令を前記搬送手段に伝送するための搬送制御手段と、
半導体ウェーハカセットを積載するためのストッカーをさらに含んで、ここで前記搬送手段は、前記搬送制御命令に応答して工程装備識別子に相応する工程整備に移動し、前記ストッカーは、前記搬送手段がストッカー識別子に相応するストッカーに半導体ウェーハカセットを積載した後、積載完了メッセージを生成することを特徴とする請求項７記載の半導体工場自動化システム。
【請求項９】
前記生成手段は、工程制御ファイルを削除し、積載完了メッセージに応答して半導体ウェーハカセットに関する位置情報を更新することを特徴とする請求項１記載の半導体工場自動化システム。
【請求項１０】
前記工程装備は、ファーネス装備（ｆｕｒｎａｃｅ  ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ）を含むことを特徴とする請求項３記載の半導体工場自動化システム。
【請求項１１】
前記所定の半導体工程は、拡散工程（ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ  ｐｒｏｃｅｓｓ）を含むことを特徴とする請求項１記載の半導体工場自動化システム。
【請求項１２】
前記共通通信ラインは、イーサネットケーブル（ＥｔｈｅｒｎｅｔＴＭｃａｂｌｅ）を含むことを特徴とする請求項１記載の半導体工場自動化システム。
【請求項１３】
前記動作モードは、完全自動モード、半自動モード（ｓｅｍｉ−ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ  ｍｏｄｅ）、及び手動モード（ｍａｎｕａｌ  ｍｏｄｅ）を含むことを特徴とする請求項１記載の半導体工場自動化システム。
【請求項１４】
半導体工場自動化システムで、自動搬送ビークルを制御するための方法において、
オペレーターにより変更された工程装備の動作情報を受信する第１ステップと、
リアルタイムデータベースで変更された工程装備の動作モード情報を貯蔵する第２ステップと、
完全自動モードを有する動作モードで所定の半導体工程を遂行し半導体ウェーハのロットに適用される所定の半導体工程が完了した後、工程完了信号を伝送する第３ステップと、
前記工程完了信号に応答してキューを生成する第４ステップと、
前記キューに応答して前記リアルタイムデータベースに貯蔵された工程装備の動作情報モードを確認する第５ステップと、
前記リアルタイムデータベースに貯蔵された工程装備の動作モード情報が完全自動モードではなければ、前記自動搬送ビークルへのキューの伝送を割り込みすることで前記自動搬送ビークルを非活性化させる第６ステップと、
前記リアルタイムデータベースに貯蔵された工程装備の動作モード情報が完全自動モードであるならば、前記自動搬送ビークルを活性化させてキューに応答して前記工程装備から半導体ウェーハのロットを引き出す第７ステップを含むことを特徴とする制御方法。
【請求項１５】
前記第４ステップは、
前記工程完了信号に応答して半導体ウェーハのロットを搬送するための要請を有する要請メッセージを工程装備サーバからセル管理サーバに伝送する第８ステップと、
半導体ウェーハカセットが前記工程装備から引き出すことのできることを前記工程装備サーバに通報する第９ステップと、
要請メッセージに応答して半導体ウェーハのロットの次の半導体工程をスケジューリングする第１０ステップと、
前記工程完了信号に応答してキューを生成する第１１ステップと、を含むことを特徴とする請求項１４記載の制御方法。
【請求項１６】
前記工程装備は、半導体ウェーハのロットを有する容器として半導体ウェーハカセットを含むことを特徴とする請求項１４記載の制御方法。
【請求項１７】
前記キューは、半導体ウェーハ識別子、半導体ウェーハカセットの出発地情報を表す工程装備識別子、及び半導体ウェーハカセットの目的地情報を表すストッカー識別子を含むことを特徴とする請求項１４記載の制御方法。
【請求項１８】
前記第７ステップは、
キューを変換して自動搬送ビークル制御命令を生成して自動搬送ビークル制御機から前記自動搬送ビークルに前記自動搬送ビークル制御命令を伝送する第１２ステップと、
前記自動搬送ビークル制御命令に応答して工程装備識別子に相応する前記工程装備に前記自動搬送ビークルを移動させる第１３ステップと、
前記リアルタイムデータベースに貯蔵された工程装備の動作モード情報が完全自動モードであるならば、キューに応答して前記自動搬送ビークルを活性化させて前記工程装備から半導体ウェーハのロットを引き出す第１４ステップを含むことを特徴とする請求項１４記載の制御方法。
【請求項１９】
前記第１４ステップは、
ストッカー識別子に相応するストッカーに半導体ウェーハカセットを積載させる第１５ステップと、
前記ストッカーで積載完了メッセージを生成する第１６ステップと、を含むことを特徴とする請求項１８記載の制御方法。
【請求項２０】
前記第１６ステップは、
前記積載完了メッセージに応答して工程装備制御ファイルを削除する第１７ステップと、
半導体ウェーハカセットに関連した位置情報を更新する第１８ステップと、を含むことを特徴とする請求項１９記載の制御方法。
【請求項２１】
前記工程装備は、ファーネス装備を含むことを特徴とする請求項１４記載の制御方法。
【請求項２２】
前記所定の半導体工程は、拡散工程を含むことを特徴とする請求項１４記載の制御方法。
【請求項２３】
前記動作モードは、完全自動モード、半自動モード及び手動モードを含むことを特徴とする請求項１４記載の制御方法。
【請求項２４】
半導体工場自動化システムで自動搬送ビークルを制御するため、コンピュータに
オペレーターにより変更された工程装備の動作情報を受信する第１機能と、
リアルタイムデータベースで変更された工程装備の動作モード情報を貯蔵する第２機能と、
完全自動モードを有する動作モードで所定の半導体工程を遂行し半導体ウェーハのロットに適用される所定の半導体工程が完了した後、工程完了信号を伝送する第３機能と、
前記工程完了信号に応答してキューを生成する第４機能と、
前記キューに応答して前記リアルタイムデータベースに貯蔵された工程装備の動作情報モードを確認する第５機能と、
前記リアルタイムデータベースに貯蔵された工程装備の動作モード情報が完全自動モードではなければ、前記自動搬送ビークルへのキューの伝送を割り込みすることで前記自動搬送ビークルを非活性化させる第６機能と、
前記リアルタイムデータベースに貯蔵された工程装備の動作モード情報が完全自動モードであるならば、前記自動搬送ビークルを活性化させてキューに応答して前記工程装備から半導体ウェーハのロットを引き出す第７機能と、を実現させるためのプログラムを記録したことを特徴とする記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、半導体工場自動化システムに関し、特に、自動搬送ビークル(automatic  guide  vehicle:  AGV)を制御するための半導体工場自動化システム及び制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図1を参照すれば、従来の半導体工場自動化システムで、ＡＧＶを制御するための方法のフローチャートが示されている。図示されたことのように、従来の半導体工場自動化システムは、工程装備(process  equipment:  EQ)１００、ＥＱサーバ(EQ  server:  EQS）１０２、セル管理サーバ(cell  management  server:  CMS）１０４、イントラベイ制御サーバ(intrabay  control  server:  ICS）１０６、ＡＧＶ制御機(AGV  controller:  AGVC)１０８、ＡＧＶ１１０、ストッカー制御サーバ(stocker  control  server:  SCS）１１２及びストッカー１１４を含む。また、従来の半導体工場自動化システムは、動作モードで利用される。動作モードは、完全自動モード、半自動モード及び手動モードを含む。通常的に、従来の半導体工場自動化システムは、完全自動モードに基づく。
【０００３】
ステップＳ１１８で、半導体製造工程として拡散工程を遂行するためのＥＱ１００すなわち、ファーネス装備が拡散工程を完了した後、工程完了信号をＥＱＳ１０２に伝送する。
【０００４】
ステップＳ１２０で、ＥＱＳ１０２は、工程完了信号に応答してＣＭＳ１０４に要請メッセージを伝送し、ここで要請メッセージは、ＥＱ１００からストッカー１１４に半導体ウェーハのロットを搬送するための要請を有するメッセージとして定義される。ロットの用語は、単位工程すなわち、拡散工程で処理された所定の数の半導体ウェーハとして定義される。
【０００５】
ステップＳ１２２で、ＥＱ１００は、半導体ウェーハカセットがＥＱ１００から引出しできることをＥＱＳ１０２に通報し、ここで半導体ウェーハカセットは、ＥＱ１００からストッカー１１４に搬送される半導体ウェーハのロットを有する容器である。
【０００６】
ステップＳ１２４で、スケジューラ１１６が要請メッセージに応答して半導体ウェーハのロットの次の半導体工程をスケジューリングできるようにＣＭＳ１０４から要請メッセージを受信する。
【０００７】
ステップＳ１２６で、ＥＱＳ１０２が工程完了信号に応答してＣＭＳ１０４に引出しキュー(unloading  queue)を伝送する。引出しキューは、半導体ウェーハカセット識別子、半導体ウェーハカセットの出発地情報を表すＥＱ識別子、半導体ウェーハカセットの目的地情報を表すストッカー識別子を含む。
【０００８】
ステップＳ１２８で、ＣＭＳ１０４がＩＣＳ１０６に引出しキューを伝送する。
【０００９】
ステップＳ１３０で、ＥＱＳ１０２は、ＥＱ１００がＥＱＳ１０２からの命令に応答して半導体ウェーハカセットに半導体ウェーハのロットをおくことのできるようにＥＱ１００に命令を伝送する。
【００１０】
ステップＳ１３２で、ＩＣＳ１０６がＡＧＶＣ１０８に引出しキューを伝送する。
【００１１】
ステップＳ１３４で、ＡＧＶＣ１０８は、引き出しキューがＡＧＶＣ１０８で認識できるように引き出しキューを変換してＡＧＶ制御命令を生成しＡＧＶ１１０に生成されたＡＧＶ制御命令を伝送する。
【００１２】
ステップＳ１３５で、ＡＧＶＣ１０８がＡＧＶ１１０に無線でＡＧＶ制御命令を伝送する。この場合、ＡＧＶ１１０は、ＥＱ１００から半導体ウェーハカセットを引き出すためにＥＱ識別子に相応するＥＱ１００に移動する。
【００１３】
ステップＳ１３６で、ＡＧＶＣ１０８は、ＡＧＶ１１０がＥＱ識別子に相応するＥＱ１００に移動したら、ＩＣＳ１０６に移動完了メッセージを伝送する。
【００１４】
ステップＳ１３８で、ＩＣＳ１０６がＣＭＳ１０４に移動完了メッセージを伝送する。
【００１５】
ステップＳ１４０で、ＩＣＳ１０６がＥＱＳ１０２に移動完了メッセージを伝送する。
【００１６】
ステップＳ１４２で、ＥＱＳ１０２がＩＣＳ１０６から受信された移動完了メッセージに応答してＩＣＳ１０６に確認メッセージを伝送する。
【００１７】
ステップＳ１４４で、ＩＣＳ１０６がＡＧＶＣ１０８に確認メッセージを伝送する。
【００１８】
ステップＳ１４６で、ＡＧＶ１１０がＥＱ識別子に相応するＥＱ１００から半導体ウェーハカセットを引き出す。
【００１９】
ステップＳ１４８で、ＡＧＶ１１０がストッカー識別子に相応するストッカー１１４に半導体ウェーハカセットを積載させる。
【００２０】
ステップＳ１５０で、ＡＧＶ１１０がストッカー識別子に相応するストッカー１１４に半導体ウェーハカセットを積載させれば、ストッカー１１４がＳＣＳ１１２に積載完了信号を発行する。
【００２１】
ステップＳ１５２で、ＳＣＳ１１２が積載完了信号に応答してＣＭＳ１０４に積載完了メッセージを伝送する。
【００２２】
ステップＳ１５４で、ＣＭＳ１０４が半導体ウェーハカセットに関する位置情報を更新する。
【００２３】
ステップＳ１５６で、ＣＭＳ１０４は、ＥＱＳ１０２に積載完了メッセージを伝送する。
【００２４】
ステップＳ１５８で、ＥＱＳ１０２は、積載完了メッセージに応答してＥＱ制御ファイルを削除する。
【００２５】
該当ＥＱ１００により遂行される半導体製造工程として拡散工程を完了した後、従来の半導体工場自動化システムは、該当ＥＱ１００から該当ストッカー１１４に半導体ウェーハカセットを搬送するのにあまりに多くの時間を必要とする。該当ＥＱ１００から該当ストッカー１１４に半導体ウェーハカセットを搬送するのに必要とする時間を減少させるため、従来の半導体工場自動化システムはオペレーターの仲裁を切実に必要とする。
【００２６】
動作モードが図１に示された時点″Ａ″でオペレーターにより完全自動モードから半自動モードまたは手動モードに変更されれば、オペレーターが半導体ウェーハカセットを直接引き出すことができる。次いで、オペレーターは、該当ストッカー１１４に半導体ウェーハカセットを直接積載させる。この場合、ＡＧＶＣ１０８は、該当ＥＱ１００から半導体ウェーハカセットを引き出すため、ＡＧＶ１１０に発行されるＡＧＶ制御命令を生成することによってＡＧＶ１００を該当ＥＱ１００に移動させる。ＡＧＶ１１０は、半自動モードまたは手動モードで非活性化されるのが好ましい。だが、従来の半導体工場自動化システムは、半自動モードまたは手動モードで、ＡＧＶを非活性化させることのできない問題点がある。
【００２７】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明は、動作モードが完全自動モードから他のモードに変更される場合に、ＡＧＶを非活性化させるためにリアルタイムデータベースに貯蔵された動作モード情報を確認することによってＡＧＶを効果的に制御するための半導体工場自動化システム及び制御方法を提供することにその目的がある。
【００２８】
また、本発明は、動作モードが完全自動モードから他のモードに変更される場合に、ＡＧＶを非活性化させるためにリアルタイムデータベースに貯蔵された動作モード情報を確認することによってＡＧＶを効果的に制御するための方法を実現するためのプログラムを記録したコンピュータで読み出すことのできる記録媒体を提供することにその目的がある。
【００２９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、自動搬送ビークルを制御するための半導体工場自動化システムにおいて、共通通信ラインと、各々共通通信ラインにカップリングされ、完全自動モード（ｆｕｌｌ  ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ  ｍｏｄｅ）を有する動作モードで、半導体ウェーハのロットに適用される所定の半導体工程を遂行し、所定の半導体工程が完了した後、工程完了信号を伝送するための多数の判断処理手段と、共通通信ラインにカップリングされ、各半導体処理手段の動作モード情報及びオペレーター（ｏｐｅｒａｔｏｒ）により変更された動作モード情報を受信するためのオペレーターインターフェース手段と、通信ラインにカップリングされ、オペレーターインターフェース手段から変更された動作モード情報を貯蔵するためのリアルタイムデータベースを貯蔵する貯蔵手段と、通信ラインにカップリングされ、工程完了信号に応答してキュー（ｑｕｅｕｅ）を生成するための生成手段と、通信ラインにカップリングされ、キューに応答して貯蔵手段に貯蔵された各半導体処理手段の動作モード情報を確認するための制御手段と、制御手段から受信されたキューに応答して各半導体手段から半導体ウェーハのロットを引き出すための搬送手段と、を含んで、制御手段は、貯蔵手段に貯蔵された半導体処理手段の動作モード情報が完全自動モードでなければ、搬送手段へのキューの伝送を割り込み（ｉｎｔｅｒｒｕｐｔ）することで搬送手段を非活性化させる。
【００３０】
また、本発明は、半導体工場自動化システムで、自動搬送ビークルを制御するための方法において、オペレーターにより変更された工程装備の動作モード情報を受信する第1ステップと、リアルタイムデータベースで変更された上記工程装備の上記動作モード情報を貯蔵する第2ステップと、完全自動モードを有する動作モードで所定の半導体工程を遂行し半導体ウェーハのロットに適用される所定の半導体工程が完了した後、工程完了信号を伝送する第3ステップと、上記工程完了信号に応答してキューを生成する第4ステップと、上記キューに応答して上記リアルタイムデータベースに貯蔵された上記工程装備の上記動作モード情報を確認する第5ステップと、上記リアルタイムデータベースに貯蔵された上記工程装備の上記動作モード情報が上記完全自動モードではなければ、上記自動搬送ビークルへの上記キューの伝送を割込みすることで上記自動搬送ビークルを非活性化させる第6ステップと、上記リアルタイムデータベースに貯蔵された上記工程装備の上記動作モード情報が上記完全自動モードであるならば、上記自動搬送ビークルを活性化させて上記キューに応答して上記工程装備から上記半導体ウェーハのロットを引き出す第７ステップとを含む。
【００３１】
また、本発明は、半導体工場自動化システムで自動搬送ビークルを制御するため、コンピュータにオペレーターにより変更された工程装備の動作情報を受信する第１機能と、リアルタイムデータベースで変更された工程装備の動作モード情報を貯蔵する第２機能と、完全自動モードを有する動作モードで所定の半導体工程を遂行し半導体ウェーハのロットに適用される所定の半導体工程が完了した後、工程完了信号を伝送する第３機能と、工程完了信号に応答してキューを生成する第４機能と、キューに応答して前記リアルタイムデータベースに貯蔵された工程装備の動作情報モードを確認する第５機能と、リアルタイムデータベースに貯蔵された工程装備の動作モード情報が完全自動モードではなければ、自動搬送ビークルへのキューの伝送を割り込みすることで自動搬送ビークルを非活性化させる第６機能と、リアルタイムデータベースに貯蔵された工程装備の動作モード情報が完全自動モードであるならば、自動搬送ビークルを活性化させてキューに応答して工程装備から半導体ウェーハのロットを引き出す第７機能と、を実現させるためのプログラムを記録した記録媒体を提供する。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図面を参照し本発明にかかる好ましい実施例を詳細に説明する。
【００３３】
図２は、本発明の半導体工場自動化システムのブロック図を示した図である。
このように、半導体工場自動化システムは、所定の数（例えば、４個）の半導体生産ベイ(semiconductor  production  bay)を有する少なくとも一つのセル(cell）を含む。半導体生産ベイ４００は、セルに含まれる。半導体生産ベイ４００は、ＥＱ(process  equipment)２０４、ストッカー２１６、及びＡＧＶ(automatic  guide  vehicle)２１４を含む。ＥＱ２０４は、半導体素子を獲得するために半導体ウェーハを処理する。ＥＱ２０４は、エッチング装備、フォトリソグラフィ装備、ファーネス装備などを含む。ストッカー２１６は、多数の半導体ウェーハカセットを一時的に貯蔵する。半導体ウェーハカセットは、所定の数の半導体ウェーハを有するロット(lot)を含む。半導体ウェーハカセットは、ＡＧＶ２１４によりＥＱ２０４に搬送される。ストッカー２１６に貯蔵された半導体ウェーハカセットは、他の半導体生産ベイ４００に搬送される。
【００３４】
ＥＱＳ２０２は、共通通信ライン５００、すなわち、ゼロックス社により供給されるイーサネットにカップリングされる。ＡＧＶＣ(AGV  controller)２１２は、ＡＧＶ２１４を制御する。
【００３５】
また、半導体工場自動化システムは、セル管理部１００、セル管理部１００にカップリングされたリアルタイムデータベース３００、臨時貯蔵部３１０、臨時貯蔵部３１０にカップリングされた履歴管理部３１２、及び履歴管理部３１２にカップリングされた履歴データベース３１４を含む。セル管理部１００、履歴管理部３１２及び履歴データベース３１４は、各々通信のために共通通信ライン５００に連結される。
【００３６】
セル管理部１００は、セル管理サーバ(cell  management  server:CMS）２０６、オペレーターインターフェースサーバ(operator  interface  server:OIS）２０１、及びデータ収集サーバ(data  gathering  server:DGS）２０７を含む。ＤＧＳ２０７は、ロット関連データをリアルタイムデータベース３００に貯蔵する。
【００３７】
図３を参照すれば、図２に示された搬送制御部のブロック図が示されている。図示されたことのように、搬送制御部１１６は、共通通信ライン５００にカップリングされたイントラベイ制御サーバ(intrabay  control  server:ICS)２１０及びストッカー制御サーバ(stocker  control  server:SCS)２１８を含む。ＩＣＳ２１０は、共通通信ライン５００からの搬送メッセージを搬送命令に変換する。ＳＣＳ２１８は、搬送命令に応答してストッカー２１６を制御するためにストッカー制御命令を生成する。ＡＧＶＣ２１２は、搬送命令に応答してＡＧＶ２１４を制御するためにＡＧＶ制御命令を生成する。
【００３８】
図２及び図３を参照すれば、半導体工場自動化システムは、完全自動モードに基づく。オペレーターは、共通通信ライン５００にカップリングされたＯＩＳ２０１を通じてＥＱ２０４の動作モードを  完全自動モードから半自動モードまたは手動モードに変更できる。
【００３９】
共通通信ライン５００にカップリングされたＥＱ２０４すなわち、ファーネス装備は、半導体製造工程として拡散工程を遂行する。ＥＱ２０４は、拡散工程を遂行した後、ＥＱ２０４はＥＱＳ２０２に工程完了信号を発行する。工程完了信号を発行した後、ＥＱ２０４は、半導体ウェーハカセットがＥＱ２０４から引出しできることを  ＣＭＳ２０６に通報する。半導体ウェーハカセットは、ＡＧＶ２１４によりＥＱ２０４からストッカー２１６に搬送された半導体ウェーハのロットを有する容器である。
【００４０】
共通通信ライン５００にカップリングされたＥＱＳ２０２は、ＥＱ２０４からの工程完了信号に応答してＣＭＳ２０６に要請メッセージを伝送する。要請メッセージは、ＥＱ２０４からストッカー２１６に半導体ウェーハのロットを移動させるための要請を有するメッセージとして定義される。
【００４１】
ＥＱ２０４は、半導体ウェーハカセットがＥＱ２０４から引出しできることをＥＱＳ２０２に通報した後、ＥＱＳ２０２は、引き出しキューを生成してＣＭＳ２０６に伝送する。引出しキューは、半導体ウェーハカセット識別子、半導体ウェイターカセットの出発地情報を表す工程装備識別子及び上記半導体ウェーハカセットの目的地情報を表すストッカー識別子を含む。
【００４２】
ＥＱＳ２０２は、ＥＱ２０４がＥＱＳ２０２からの命令に応答して半導体ウェーハカセットに半導体ウェーハのロットをおくことができるようにＥＱ２０４に命令を伝送する。ＥＱ２０４に命令を伝送した後、ＥＱＳ２０２は、ＩＣＳ２１０からの移動完了メッセージに応答してＩＣＳ２１０に確認メッセージを伝送する。半導体ウェーハカセットがストッカー２１６に積載された後、ＥＱＳ２０２がＥＱ制御ファイルを削除し半導体ウェーハカセットに関する位置情報を削除する。
【００４３】
共通通信ライン５００にカップリングされたＣＭＳ２０６は、ＥＱＳ２０２からの要請メッセージをスケジューラ２０８に伝送する。次いで、ＣＭＳ２０６は、ＥＱＳ２０２からの引き出しキューをＩＣＳ２１０に伝送する。次いで、ＣＭＳ２０６は、ストッカー２１６からの積載完了メッセージをＥＱＳ２０２に伝送する。
【００４４】
共通通信ライン５００にカップリングされたスケジューラ２０８は、ＥＱ２０４の動作モード情報が完全自動モードであるのかを確認するためにリアルタイムデータベース３００に貯蔵されたＥＱ２０４の動作モード情報を確認する。ＥＱ２０４の動作モード情報が半自動モードまたは手動モードであるならば、ＩＣＳ２１０は、ＣＭＳ２０６からＡＧＶＣ２１２への引き出しキューの伝送を割込みすることでＡＧＶ２１４を非活性化させる。次いで、オペレーターは、ＥＱ識別子に相応するＥＱ２０４から半導体ウェーハ識別子に相応する半導体ウェーハカセットを引き出す。次いで、オペレーターは、ストッカー識別子に相応するストッカー２１６に半導体ウェーハカセットを積載させる。
【００４５】
一方、リアルタイムデータベースに貯蔵されたＥＱ２０４の動作モード情報が完全自動モードであるならば、ＩＣＳ２１０は、ＡＧＶＣ２１２に引き出しキューを伝送する。
【００４６】
また、ＩＣＳ２１０は、ＣＭＳ２０６及びＥＱＳ２０２に移動完了メッセージを伝送する。ＩＣＳ２１０は、ＥＱＳ２０２からの確認メッセージをＡＧＶＣ２１２に伝送する。
【００４７】
共通通信ライン５００にカップリングされたＡＧＶＣ２１２は、引き出しキューがＡＧＶＣ２１２で認識できるように引き出しキューを変換することによってＡＧＶ２１４に伝送されるＡＧＶ制御命令を生成する。ＡＧＶＣ２１２は、無線でＡＧＶ２１４にＡＧＶ制御命令を伝送することによって、ＡＧＶ２１４を活性化させる。次いで、ＡＧＶ制御命令に応答してＡＧＶ２１４は、ＥＱ２０４からの半導体ウェーハカセットを引き出すためにＥＱ識別子に相応するＥＱ２０４に移動する。ＡＧＶ２１４は、ＥＱ識別子に相応するＥＱ２０４に移動した後、ＡＧＶＣ２１２は、ＩＣＳ２１０に移動完了信号を伝送する。
【００４８】
ＡＧＶ２１４は、ＥＱ識別子に相応するＥＱ２０４から半導体ウェーハカセットを引き出す。ＡＧＶ２１４は、ストッカー識別子に相応するストッカー２１６に半導体ウェーハカセットを積載させる。次いで、ストッカー２１６は、ＳＣＳ２１８に積載完了メッセージを発行する。
【００４９】
図４を参照すれば、本発明にかかる半導体工場自動化システムで、ＡＧＶを制御するための方法のフローチャートが示されている。
【００５０】
ステップＳ２１８で、半導体製造工程として拡散工程を遂行するためのＥＱ２０４、すなわち、ファーネス装備が拡散工程を完了した後、工程完了信号をＥＱＳ２０２に伝送する。
【００５１】
ステップＳ２２０で、ＥＱＳ２０２は、工程完了信号に応答してＣＭＳ２０６に要請メッセージを伝送し、ここで要請メッセージは、ＥＱ２０４からストッカー２１６に半導体ウェーハのロットを搬送するための要請を有するメッセージとして定義される。
【００５２】
ステップＳ２２２で、ＥＱ２０４は、半導体ウェーハカセットがＥＱ２０４から引出しできることをＥＱＳ２０２に通報し、ここで半導体ウェーハカセットは、ＥＱ２０４からストッカー２１６に搬送される半導体ウェーハのロットを有する容器である。
【００５３】
ステップＳ２２４で、スケジューラ２０８が要請メッセージに応答して半導体ウェーハのロットの次の半導体工程をスケジューリングできるようにＣＭＳ２０６から要請メッセージを受信する。
【００５４】
ステップＳ２２６で、ＥＱＳ２０２が工程完了信号に応答してＣＭＳ２０６に引き出しキュー(unloading  queue)を伝送する。引出しキューは、半導体ウェーハカセット識別子、半導体ウェーハカセットの出発地情報を表すＥＱ識別子、半導体ウェーハカセットの目的地情報を表すストッカー識別子を含む。
【００５５】
ステップＳ２２８で、ＥＱＳ２０２は、ＥＱ２０４がＥＱＳ２０２からの命令に応答して半導体ウェーハカセットに半導体ウェーハのロットをおくことができるようにＥＱ２０２に命令を伝送する。図２に示された時点″Ｂ″で、オペレーターはＯＩＳ２０１を通じてＥＱ２０４の動作モードを完全自動モードから半自動モードまたは手動モードに変更する。図２に示されたリアルタイムデータベース３００は、ＥＱ２０４の変更された動作モード情報、すなわち、半自動モードまたは手動モードを貯蔵する。オペレーターは、他の時点で、動作モードを完全自動モードから半自動モードまたは手動モードに変更できる。
【００５６】
ステップＳ２３０で、ＣＭＳ２０６がＩＣＳ２１０に引き出しキューを伝送する。
【００５７】
ステップＳ２３２で、ＩＣＳ２１０は、ＥＱ２０４の動作モードが完全自動モードであるのかを確認するためにリアルタイムデータベース３００に貯蔵されたＥＱ２０４の動作モード情報を確認する。
【００５８】
リアルタイムデータベース３００に貯蔵されたＥＱ２０４の動作モード情報が半自動モードまたは手動モードであるならば、ＩＣＳ２１０は、ＣＭＳ２０６からＡＧＶＣ２１２への引き出しキュー伝送を割込みすることでＡＧＶ２１４を非活性化させる。次いで、オペレーターは、ＥＱ識別子に相応するＥＱ２０４から半導体ウェーハカセット識別子に相応する半導体ウェーハカセットを引き出す。次いで、オペレーターは、ストッカー識別子に相応するストッカー２１６に半導体ウェーハカセットを積載させる。
【００５９】
ステップＳ２３４で、リアルタイムデータベース３００に貯蔵されたＥＱ２０４の動作モードが完全自動モードであるならば、ＩＣＳ２１０は、ＡＧＶＣ２１２に引き出しキューを伝送する。
【００６０】
ステップＳ２３６で、ＡＧＶＣ２１２は、引き出しキューがＡＧＶＣ２１２で認識できるように引き出しキューを変換することによって、ＡＧＶ２１４に伝送されるＡＧＶ制御命令を生成する。
【００６１】
ステップＳ２３８で、ＡＧＶＣ２１２は、無線でＡＧＶ２１４にＡＧＶ制御命令を伝送する。次いで、ＡＧＶ制御命令に応答してＡＧＶ２１４は、ＥＱ２０４から半導体ウェーハカセットを引き出すためにＥＱ識別子に相応するＥＱ２０４に移動する。
【００６２】
ステップＳ２３８で、ＡＧＶＣ２１２は、ＡＧＶ２１４がＥＱ識別子に相応するＥＱ２０４に移動したら、ＩＣＳ２１０に移動完了メッセージを伝送する。
【００６３】
ステップＳ２４０で、ＩＣＳ２１０がＣＭＳ２０６に移動完了メッセージを伝送する。
【００６４】
ステップＳ２４２で、ＩＣＳ２１０がＥＱＳ２０２に移動完了メッセージを伝送する。
【００６５】
ステップＳ２４４で、ＥＱＳ２０２がＩＣＳ２１０から受信された移動完了メッセージに応答してＩＣＳ２１０に確認メッセージを伝送する。
【００６６】
ステップＳ２４６で、ＩＣＳ２１０がＡＧＶＣ２１２に確認メッセージを伝送する。
【００６７】
ステップＳ２４８で、ＡＧＶ２１４がＥＱ識別子に相応するＥＱ２０４から半導体ウェーハカセットを引き出す。
【００６８】
ステップＳ２５０で、ＡＧＶ２１４がストッカー識別子に相応するストッカー２１６に半導体ウェーハカセットを積載させる。
【００６９】
ステップＳ２５２で、ＡＧＶ２１４がストッカー識別子に相応するストッカー２１６に半導体ウェーハカセットを積載させれば、ストッカー２１６がＳＣＳ２１８に積載完了信号を発行する。
【００７０】
ステップＳ２５４で、ＳＣＳ２１８が積載完了信号に応答してＣＭＳ２０６に積載完了メッセージを伝送する。
【００７１】
ステップＳ２５６で、ＣＭＳ２０６がＥＱＳ２０２に積載完了メッセージを伝送する。
【００７２】
ステップＳ２５８で、ＥＱＳ２０２が積載完了メッセージに応答してＥＱ制御ファイルを削除する。
【００７３】
ステップＳ２６０で、ＥＱＳ２０２が半導体ウェーハカセットに関する位置情報を更新する。
【００７４】
前述したことのように、本発明にかかる方法はオペレーターが動作モードを完全自動モードから半自動モードまたは手動モードに変更すれば、ＡＧＶＣ２１２への引き出しキューの伝送を割込みすることでＡＧＶ２１４を効果的に制御できる。
【００７５】
以上で説明した本発明は、前述した実施例及び添付した図面によって限定されるのではなく、本発明の技術的思想を抜け出さない範囲内で種々の置換、変形及び変更が可能であることが本発明が属する技術分野で通常の知識を有するものにおいて明白である。
【００７６】
【発明の効果】
上記のような本発明は、リアルタイムデータベースに貯蔵された動作モード情報を確認することによってＡＧＶを効果的に制御する半導体工場自動化システム及び制御方法とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の半導体工場自動化システムでＡＧＶを制御するための方法のフローチャートである。
【図２】本発明のＡＧＶを制御するための半導体工場自動化システムのブロック図である。
【図３】図２に示された搬送制御部のブロック図である。
【図４】本発明の半導体工場自動化システムでＡＧＶを制御するための方法のフローチャートである。
【符号の説明】
２０２      ＥＱＳ
２０４      ＥＱ
２１０      ＩＣＳ
２１２      ＡＧＶＣ
２１４      ＡＧＶ
２１６      ストッカー
２１８      ＳＣＳ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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