(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェハーキャリアを保管する保管棚であって、
棚の骨格を形成する柱と、
前記半導体ウェハーキャリアを支持するキネマティックピンを備えた天板と、
前記柱に固定され、前記柱から前記天板に沿って延在し、前記天板を支持する支持リブと、で構成され、
前記柱が保管棚の背面にのみ配置され、前記柱から延在する前記支持リブが前方に延びている半導体ウェハーキャリア用保管棚。
【請求項２】
前記支持リブが、前記キネマティックピンに向かって斜め前方に延びている請求項１に記載の半導体ウェハーキャリア用保管棚。
【請求項３】
前記天板が、前記支持リブに前記キネマティックピンによって固定されている請求項１又は２に記載の半導体ウェハーキャリア用保管棚。
【請求項４】
前記天板が、前方に切り欠きを有する略U字状をしている請求項３に記載の半導体ウェハーキャリア用保管棚。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハーキャリアを保管する半導体ウェハーキャリア用保管棚に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、半導体製品の製造工程において、半導体製品を各工程間或いは各工程中に自動搬送するためには、半導体製品を輸送する搬送装置と、これら半導体製品を一時的に保管する保管棚が不可欠である。
【０００３】
近年、歩留りの向上、製品コストの低減を目的として、半導体ウェハーサイズが大きくなる傾向にあり、これを保管する保管棚も大きくなる傾向にある。これら、半導体ウェハーを扱う工程は、クリーンルーム内で行われている。クリーンルーム内での工程は、床面積に比例してランニングコストがかさむため、クリーンルーム内の保管棚は、大きくするにしてもある程度の限界があった。
【０００４】
図５に従来のこの種の保管棚の一例を示す。図５に示すように、従来の保管棚５０は、背板５１と、この背板５１に対して直角に前方に延び、半導体ウェハーキャリアを保管する各保管部５５を区画する複数の柱５２と、各柱５２に設けられた棚受５４と、隣り合う各棚受５４、５４を跨ぐようにして固定された天板５３とで構成されている。このように、天板５３がその両側端で、棚受５４に固定されているため、半導体ウェハーキャリアをキネマティックピンに載置した場合には、天板５３の曲げ強さによってその重量を支え、天板５３に負荷される力を棚受５４が設けられている柱５２や、背板５１で分配して支えている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の保管棚５０では、各保管部５５を区画するとともに天板５３が固定される柱５２が必要であったため、保管する半導体ウェハーキャリアが大きくなると、天板５３を大きくし、各柱５２間を広げる必要があった。前述のように、クリーンルーム内では、使用できる床面積に制限があるため、各柱５２間を広げると、その分半導体ウェハーキャリアを保管できる保管部の数が減ってしまうことになる。そのため、制限された床面積で、できるだけ多くの半導体ウェハーキャリアを保管できる保管棚をという要望に答えられないものであった。
【０００６】
本発明は、保管棚の床面積を大きくすることなく、半導体ウェハーキャリアの大口径化に対応できる半導体ウェハーキャリア用保管棚を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するための本発明の請求項１に記載の半導体ウェハーキャリア用保管棚は、半導体ウェハーキャリアを保管する保管棚であって、棚の骨格を形成する柱と、前記半導体ウェハーキャリアを支持するキネマティックピンを備えた天板と、前記柱に固定され、前記柱から前記天板に沿って延在し、前記天板を支持する支持リブと、で構成され、前記柱が保管棚の背面にのみ配置され、前記柱から延在する前記支持リブが前方に延びているものである。
【０００８】
この請求項１の構成によると、保管棚前方に半導体ウェハーキャリアを保管する各保管部を区画する柱がなくなるため、前面が開放される。このため、半導体ウェハーキャリアの保管間隔を各半導体ウェハーキャリアの大きさに合わせて詰めることができる。
これによって、床面積を広げることなく、半導体ウェハーキャリアの保管面積を広げることができる。
【０００９】
請求項２に記載の半導体ウェハーキャリア用保管棚は、請求項１において、前記支持リブが、前記キネマティックピンに向かって斜め前方に延びているものである。
【００１０】
この請求項２の構成によると、天板前方に位置するキネマティックピンに向かって斜め前方に延びているため、天板上のキネマティックピンによって支持される半導体ウェハーキャリアの重量を十分に支え得る強度とすることができる。
【００１１】
請求項３に記載の半導体ウェハーキャリア用保管棚は、請求項１又は２において、前記天板が、前記支持リブに前記キネマティックピンによって固定されているものである。
【００１２】
この請求項３の構成によると、天板を支持リブに固定する際に、天板に設けられるキネマティックピンを用いて固定するため、天板固定用の締結部材を別途用いることがなくなるため、使用する部品数を減らすことができ、製造コストを低減することができる。
【００１３】
請求項４に記載の半導体ウェハーキャリア用保管棚は、請求項３において、前記天板が、前方に切り欠きを有する略U字状をしているものである。
【００１４】
この請求項4の構成によると、半導体ウェハーキャリアを移載する移載ロボットの移載アームのフィンガーが、半導体ウェハーキャリアの各保管部内に入り込むことができ、半導体ウェハーキャリアのスムーズな移載が可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の半導体ウェハーキャリア用保管棚(以下、保管棚という。)の一実施形態例について説明する。
【００１６】
図１は、本発明に係る半導体ウェハーキャリアを保管する保管棚の実施形態の一例を示した概略斜視図である。図1において、保管棚１は、背面側に設けられた背板２と、保管棚１の骨格を形成する複数の柱３と、半導体ウェハーキャリアを支持するキネマティックピン４を備えた天板５と、柱３に固定され、柱３から天板５に沿って延在し、天板５を支持する支持リブ６と、棚の側面を形成する枠板７とから構成されている。
【００１７】
図1に示すように、棚の骨格を形成する複数の柱３は、保管棚１の背面側にのみ設けられており、保管棚１の前面部は、柱3等の障害物がなく、開放された状態となる。また、半導体ウェハーキャリアを保管する保管部が区画されることもない。このため、半導体ウェハーキャリアの保管間隔を詰めることができ、半導体ウェハーキャリアの大口径化に対応することができる。
【００１８】
また、柱３は、半導体ウェハーキャリアを保管した場合に、各半導体ウェハーキャリア間に位置するように配置されている。通常、半導体ウェハーキャリアの保管棚１の背板２側は、曲面形状をしているため、各半導体ウェハーキャリア間には、空間１１(図２参照)が形成される。これによって、柱３を各半導体ウェハーキャリア間、即ち、空間１１に位置するように配置することができ、従来の保管棚に比べて前方に柱３を配置することができるので、保管棚１の奥行き寸法を小さくすることができる。
【００１９】
図1に示すように、各天板５は、上面側に半導体ウェハーキャリアを載置するキネマティックピン４が設けられている。また、天板５は、前方に略U字状の切り欠き８が形成されている。この切り欠き８が形成されているため、半導体ウェハーキャリアを移載する移載ロボットの移載アームが保管棚１に出入りすることができる(図４参照)。
【００２０】
この天板５は、図２に示すように、一端を柱３に固定され、この柱３から斜め前方に延びる支持リブ６に載置される。そして、天板５の切り欠き８の両側前方に配置されたキネマティックピン４ｂ、４ｃが、支持リブ６に螺合等の任意の方法で締結されることで固定されている。
【００２１】
キネマティックピン４は、図１又は図２に示すように、ＳＥＭＩ  Ｅ５７−０２９９（３００ｍｍウェハーキャリアの位置決めおよび支持のために使用されるキネマティックカップリングの機械仕様(暫定仕様)）に準じて天板５の切り欠き８の両側前方部４ｂ、４ｃ及び底部中央部４ａに配置されている。このキネマティックピン４の半導体ウェハーキャリアを載置する側の端部もＳＥＭＩ  Ｅ５７−０２９９に基づき形成されている。一方、キネマティックピン４の他端側は、支持リブ６に締結できるように螺子加工が施されているものが好ましい。これによって、支持リブ６との締結を容易に行え、天板５の締結部材数を減らすことができる。
【００２２】
半導体ウェハーキャリア１０は、図３に示すように、天板５に設けられたキネマティックピン４に載置されて保管される。そして、支持リブ６によって、その重量が支持され、支持リブ６に掛かる重量は、モーメントとして柱３によって支えられる。
【００２３】
半導体ウェハーキャリア１０は、図４に示すように、移載ロボット２０によって各保管棚１の所定の保管部に運ばれる。この時、半導体ウェハーキャリア１０は、移載ロボット２０の移載アーム２１の先端部のフィンガー上に載っている。そして、移載アーム２１を保管棚１の前面側から所定の保管部内に伸ばし、保管部内で天板５の切り欠き８を介して、フィンガーを上下左右に移動させることでキネマティックピン４によって位置決めされる。
【００２４】
このように、本実施形態例に係る保管棚１では、半導体ウェハーキャリアの重量を支えるのに、従来の保管棚のように、天板５の曲げ強さを介在させることなく、支持リブ６で直接支えるために、従来のように、天板に係る重量を支えるための柱を前方に設ける必要がなくなる。このために、保管棚１の前面を開放した状態にすることが可能となり、各半導体ウェハーキャリアの間隔を詰めることが可能なる。
【００２５】
また、キネマティックピン４によって、天板５と支持リブ６との結合を共締めで行っているため、従来のように、天板を棚受に締結するための締結部材が不要となり、部品数を減らすことができる。
【００２６】
また、背板２側に設ける柱３を、半導体ウェハーキャリアの形状によってできる空間１１に配置するので、従来例よりも柱３の位置を保管棚１の前方側に配置することができる。これにより、保管棚の奥行き寸法を小さくすることができる。さらに、支持リブ６の先端のキネマティックピンとの締結部との距離を短くすることができるため、半導体ウェハーキャリアの重量により、柱３が支えなければならないモーメントを小さくすることもできる。
【００２７】
なお、本発明に係る半導体ウェハーキャリア用保管棚は、前記実施形態例に限定されるものではなく、例えば、天板５を一枚の板とし、各半導体ウェハーキャリアの載置位置に相当する部分にキネマティックピンを配置し、切り欠きを形成するようにしたものを使用することもできる。
【００２８】
【発明の効果】
本発明の半導体ウェハーキャリア用保管棚によると、保管棚の前面に柱を配置しないで、半導体ウェハーキャリアを支持することができる。このため、半導体ウェハーキャリアの保管間隔をギリギリまで詰めることができる。また、背板に設けられ、棚の骨格を形成する柱を半導体ウェハーキャリアと半導体ウェハーキャリアの間に配置するので、保管棚の奥行き寸法を小さくすることができる。このように、保管棚の床面積を大きくすることなく、半導体ウェハーキャリアの
大口径化に対応でき、多くの半導体ウェハーキャリアを保管することができる保管棚とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る半導体ウェハーキャリア用保管棚の一実施形態例を示す斜視概略図である。
【図２】本発明に係る半導体ウェハーキャリア用保管棚の一実施形態例の平面断面図である。
【図３】図２におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図４】本実施形態例に係る半導体ウェハーキャリア用保管棚への半導体ウェハーキャリアを移載する移載ロボットの動きを説明するための図である。
【図５】従来の半導体ウェハーキャリア用保管棚の一例を示す平面断面図である。
【符号の説明】
１  半導体ウェハーキャリア
２  背板
３  柱
４  キネマティックピン
５  天板
６  支持リブ
７  枠板
８  切り欠き
１０  半導体ウェハーキャリア
１１  空間
２０  移載ロボット
２１  アーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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