(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気部品を供給する部品供給装置と、
回路基材を支持する基材支持装置と、
先端の吸着端面において負圧により電気部品を吸着して保持する吸着ノズルを保持するノズル保持部材と、
そのノズル保持部材を移動させることにより吸着ノズルを、前記基材支持装置に支持された回路基材の、電気部品が装着される被装着面に平行な一平面内において互いに直交する第１軸方向と第２軸方向とに移動させるノズル移動装置と、
吸着ノズルによる電気部品の前記部品供給装置からの受取りから、前記基材支持装置に支持された回路基材への装着までの間において、吸着ノズルに吸着保持されている電気部品を、吸着ノズルの軸方向に直角な方向から撮像する撮像装置と
を含み、かつ、前記ノズル移動装置が、前記第１軸方向に移動する第１スライドと、その第１スライド上において前記第２軸方向に移動する第２スライドとを含み、その第２スライドにより前記ノズル保持部材を保持するものであり、前記撮像装置が、前記第２スライドの移動に伴う吸着ノズルの前記第１スライドに対する相対移動軌跡から、吸着ノズルの軸線に直角な方向に外れ、吸着ノズルに吸着された電気部品を吸着ノズルの軸線に直角な方向から撮像可能な状態で、前記第１スライドにより保持されたことを特徴とする電気部品装着装置。
【請求項２】
さらに、吸着ノズルに保持された電気部品を、その電気部品を間に挟んで前記撮像装置と対向する方向から照明する照明装置を含むことを特徴とする請求項１に記載の電気部品装着装置。
【請求項３】
前記照明装置が前記撮像装置と共に前記第１スライドに保持されたことを特徴とする請求項２に記載の電気部品装着装置。
【請求項４】
前記撮像装置が、電気部品を、前記第２軸方向と吸着ノズルの軸方向とに直角な方向から撮像可能な状態で前記第１スライドに保持されたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の電気部品装着装置。
【請求項５】
さらに、
前記ノズル保持部材と前記部品供給装置とを相対的に接近させて、前記部品供給装置から吸着ノズルに電気部品を受け取らせる受取制御装置と、
前記ノズル保持部材と前記基材支持装置とを相対的に接近させて、吸着ノズルに電気部品を基材支持装置に支持されている回路基材に装着させる装着制御装置と、
前記撮像装置による撮像結果から取得された、少なくとも、前記電気部品の吸着されている側とは反対側の面である装着面の軸方向位置に基づいて、前記受取制御装置と前記装着制御装置との少なくとも一方による制御を変更する制御変更部と
を含むことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の電気部品装着装置。
【請求項６】
前記撮像装置による撮像結果から電気部品の厚さを取得する手段を含み、前記制御変更部が、その取得された電気部品の厚さに基づいて、前記装着制御装置による前記ノズル保持部材と前記基材支持装置との接近制御と、前記受取制御装置による前記ノズル保持部材と前記部品供給装置との接近制御との少なくとも一方を変更する手段を含む請求項５に記載の電気部品装着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気部品装着装置に関するものであり、特に、装着制御性および取扱い制御性等の向上に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、電気部品をプリント配線板に装着するにあたり、吸着ノズルに吸着された電気部品を、吸着ノズルの軸方向に直角な方向から撮像することは、既に行われている。この撮像により得られる画像データに基づいて、例えば、吸着ノズルにより保持された電気部品が立った姿勢で保持されているか否か、すなわち、電気部品が本来、保持されるべき姿勢に対して、吸着ノズルの軸線に直角な軸線まわりに９０度回転した姿勢で保持されているか否かの判定が行われる。電気部品が吸着ノズルにより立った姿勢で保持されていれば、その電気部品はプリント配線板に装着されないようにすることにより、電気部品が誤った姿勢で装着された不良なプリント回路板の発生を回避することができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効果】
しかしながら、このようにしてもなお、不良なプリント回路板の発生を防止するには十分ではない。例えば、電気部品が吸着ノズルにより、立つことなく保持されていても、吸着ノズルの軸方向寸法に誤差があれば、電気部品とプリント配線板との距離にばらつきが生じ、電気部品に過大な荷重が加えられて損傷する恐れがあり、あるいは電気部品のプリント配線板への接近が不足してプリント配線板に届かず、予定された部品装着箇所に装着されない恐れがある。
このように、吸着ノズルと、吸着ノズルに対して相対的に接近させられる部材との接近制御が適切に為されないことによる問題は、吸着ノズルが部品供給装置から電気部品を受け取る際にも同様に生ずる。例えば、吸着ノズルの軸方向寸法に誤差があって吸着ノズルと電気部品との距離にばらつきが生ずれば、吸着ノズルが電気部品に過剰に接近し、電気部品に過大な荷重が加えられて損傷する恐れがあり、あるいは吸着ノズルの電気部品への接近が不足して電気部品に届かず、電気部品が吸着されない恐れがあるのである。
本発明は、以上の事情を背景とし、電気部品の回路基材への装着や吸着ノズルによる電気部品の受取りを従来より適切に行うことができるようにすることを課題としてなされたものであり、本発明によって、下記各態様の電気部品装着方法，装置，電気部品取扱方法および装置が得られる。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも本発明の理解を容易にするためであり、本明細書に記載の技術的特徴およびそれらの組合わせが以下の各項に記載のものに限定されると解釈されるべきではない。また、一つの項に複数の事項が記載されている場合、それら複数の事項を常に一緒に採用しなければならないわけではない。一部の事項のみを選択して採用することも可能なのである。
なお、以下の項の中には、補正により特許請求の範囲に記載の発明でも、それの下位概念の発明でもなくなったものが存在するが、特許請求の範囲に記載の発明を理解する上で有用な記載を含んでいるため、削除せず、残すこととする。
【０００４】
（１）部品供給装置と吸着ノズルとを相対的に接近させて部品供給装置から吸着ノズルに電気部品を吸着により受け取らせ、吸着ノズルと回路基材とを相対的に接近させて回路基材に電気部品を装着させる電気部品装着方法であって、
電気部品の前記受取り後であって前記装着前に、前記吸着ノズルが既知の軸方向位置にある状態で、前記吸着ノズルに吸着保持されている電気部品を、吸着ノズルの軸方向に直角な方向から撮像し、取得した画像のデータに基づいて、少なくとも、電気部品の吸着されている側とは反対側の面である装着面の位置を取得し、その取得位置に基づいて、前記部品供給装置および前記回路基材の少なくとも一方と吸着ノズルとの相対的な接近を制御する電気部品装着方法。
電気部品のみを撮像し、装着面の位置のみを取得してもよく、それに加えて吸着ノズルも撮像し、吸着ノズルの電気部品を吸着する吸着端面の位置も取得してもよい。
部品供給装置および回路基材の少なくとも一方と吸着ノズルとの相対的な接近の方向は、垂直方向でもよく、垂直方向に対して傾斜した方向でもよい。
吸着ノズルの位置は、吸着ノズルのノズル保持部材に保持される部分の位置等、吸着ノズルの製造誤差や吸着端面の摩耗等によって軸方向におけるノズル保持部材に対する位置が変化しない部分の位置で規定されるものとする。したがって、吸着ノズルの位置とノズル保持部材の位置とは同義である。吸着ノズルがノズル保持部材により、軸方向に相対移動不能に保持される場合には、吸着ノズルのノズル保持部材に保持された部分のノズル保持部材に対する位置は変わらず、ノズル保持部材の位置が決まれば吸着ノズルの位置も一義的に決まる。それに対し、吸着ノズルがノズル保持部材に、軸方向に相対移動可能に保持されている場合には、吸着ノズルのノズル保持部材に対する相対位置は一義的には決まらないため、吸着ノズルの位置を論ずる場合には、吸着ノズルがノズル保持部材に対して決まった相対位置にある状態、例えば、前進端位置へ移動した状態で論ずる必要がある。
「吸着ノズルが既知の軸方向位置にある」とは、文字通り、吸着ノズルの軸方向の絶対的位置が判る場合は勿論、撮像時における吸着ノズルの軸方向位置が常に一定である場合をも含むものとする。本発明においては、少なくとも電気部品の装着面の位置のあるべき位置（目標位置，正規位置）からの外れである誤差が判ればよいのであって、絶対的位置が判ることは不可欠ではないのである。
吸着ノズルの既知の位置は、例えば、設計上の位置でもよく、あるいは測定された位置でもよい。設計上の位置は、電気部品装着システムが組み立てられ、各部の微調整が完了した状態において、設計上予定されている位置である。撮像が、吸着ノズルが軸方向において予め定められた一定の位置にある状態で行われるのであれば、設計上の位置を既知の位置とすることができる。撮像時における吸着ノズルの軸方向の位置が一定でなければ、その位置が測定され、測定された位置が既知の位置とされる。吸着ノズルが軸方向において予め定められた一定の位置にある状態で撮像が行われる場合でも、吸着ノズルの軸方向位置が測定され、測定された位置が既知の位置とされるようにしてもよい。
吸着ノズルが既知の位置にある状態では、吸着ノズルの長さおよび電気部品の厚さが既知であれば、吸着端面および装着面のあるべき位置も既知であり、吸着ノズルの既知の位置が設計上の位置であれば、装着面および吸着端面の既知の位置も設計上の位置になり、測定された位置であれば、装着面および吸着端面の既知の位置は、その測定された位置に基づいて得られる位置となる。
接近制御には、接近限度の制御、接近速度の減速開始位置の制御、接近速度の減速モード制御等の少なくとも一つが含まれる。
上記のように、吸着ノズルが既知の位置にある状態では、吸着ノズルの長さおよび電気部品の厚さが既知であれば、装着面のあるべき位置も既知であり、少なくとも、電気部品の吸着されている側とは反対側の面である装着面を撮像すれば、装着面の位置の誤差を取得することができる。電気部品の装着面の位置の誤差を取得すれば、吸着ノズルの回路基材に向かっての接近を適切に制御することができる。例えば、電気部品を回路基材に装着する際、その誤差を考慮して回路基材と電気部品とを接近させることにより、接近不足あるいは接近過剰を回避し、装着ミスや電気部品の損傷を回避しつつ電気部品を回路基材に装着することができる。電気部品の装着面の位置の誤差には、吸着ノズルの製造誤差，吸着端面の摩耗，電気部品の寸法誤差等、電気部品の装着面の位置を既知の位置と異ならせるすべての誤差が含まれており、撮像により装着面の位置を取得すれば、その位置の誤差を考慮して電気部品を回路基材に装着することができる。また、電気部品の厚さの寸法誤差が小さい場合には、装着面の位置および電気部品の厚さに基づいて吸着端面の位置が取得され、吸着ノズルと部品供給装置との相対的な接近を適切に制御することもできる。
吸着ノズルの長さと電気部品の厚さとの少なくも一方が変われば、装着面の位置が変わるが、電気部品の装着面の位置を一定の基準位置に対する絶対的な位置として取得すれば、吸着ノズルや電気部品の公称寸法のデータがなくても、電気部品の装着時における吸着ノズルと回路基材との接近制御を適切に行うことができる。電気部品の装着面の絶対的な位置には、吸着ノズルや電気部品の公称寸法の違いと、それらの実際の寸法の公称寸法に対する誤差との両方が含まれているため、吸着ノズルや電気部品の公称寸法のデータを予め電気部品装着システムに入力しておく必要はないのである。
また、吸着ノズルの長さによって吸着端面の位置が変わるが、吸着端面の位置を取得する場合、吸着端面の位置を一定の基準位置に対する絶対的な位置として取得すれば、吸着ノズルの公称寸法のデータがなくても、吸着ノズルと部品供給装置との相対的な接近を適切に制御することができる。但し、この場合には、吸着ノズルの吸着端面の位置を、電気部品の装着作業の開始前、装着作業中の電気部品吸着前等、少なくとも、装着作業中における吸着ノズルと部品供給装置との相対的な接近開始前に取得しておくことが必要である。
電気部品の装着面と吸着ノズルの吸着端面との両方を検出すれば、吸着ノズルの部品供給装置と回路基材との両方に向かっての接近を共に適切に制御することができる。また、電気部品の厚さ（公称寸法と誤差との和）を取得することができ、その厚さのデータに基づいて、吸着ノズルと部品供給装置との相対的な接近を適切に制御することも可能である。
なお付言すれば、以上の説明は、単純化のために、ノズル保持部材，部品供給装置，回路基材支持装置，撮像装置の、ノズル軸方向における相対位置誤差は無視し得るほど小さいことを前提として行ったが、これらの相対位置誤差が無視し得ない場合には、それらをも考慮して回路基材や部品供給装置と吸着ノズルとの接近制御が行われるようにすべきであることは勿論である。
（２）前記吸着ノズルが前記電気部品を吸着する吸着端面を下にして下降することにより、前記部品供給装置と前記回路基材との少なくとも一方に接近するものであり、前記接近の制御が、吸着ノズルの下降端位置と下降速度の減速開始位置との少なくとも一方の制御を含む (1)項に記載の電気部品装着方法。
吸着ノズルは、ノズル保持部材により収縮可能に保持されることが多い。例えば、軸方向に相対移動可能にノズル保持部材に保持され、圧縮コイルスプリング等のばね部材によりノズル保持部材から突出する方向に付勢されるとともに、突出限度規定装置により突出限度を規定されるのである。それによって、吸着ノズルが部品供給装置により保持された電気部品に当接し、あるいは吸着ノズルに保持された電気部品が回路基材支持装置に支持された回路基材に当接した後は、吸着ノズルがばね部材を弾性変形させつつノズル保持部材内へ収縮し、ノズル保持部材の余分な下降量が吸収されるとともに、吸着ノズルが電気部品に、あるいは電気部品が回路基材に適切な力で押圧される。このようなクッション装置が設けられる場合には、吸着ノズルが電気部品に当接した後、あるいは電気部品が回路基材に当接した後は、吸着ノズルが停止し、予定された下降端位置までは下降せず、予定の下降端位置と停止位置との差にほぼ比例する大きさの力で吸着ノズルあるいは電気部品が相手部材に押し付けられることとなる。したがって、本項における「下降端位置」は上記「予定された下降端位置」を意味することとなる。換言すれば、当接により下降を阻止されなければ吸着ノズルがそこまで下降するはずの下降端位置を意味するのである。クッション装置が設けられない場合には、ノズル保持部材の下降量と吸着ノズルの下降量とは同じとなり、吸着ノズルは予定された下降端位置まで下降する。クッション装置が設けられていても、吸着ノズルが電気部品を吸着するとき、吸着ノズルが電気部品を押圧することなく吸着するのであれば、ノズル保持部材の下降量と吸着ノズルの下降量とは同じとなる。例えば、ノズル保持部材が下降端位置に到達したときにちょうど吸着ノズルが電気部品に当接し、ばね部材を弾性変形させることなく電気部品を吸着する場合、あるいはノズル保持部材が下降端位置に到達したときに吸着ノズルが、電気部品からやや離れた状態となり、その状態で電気部品を吸着する場合には、ノズル保持部材の下降量と吸着ノズルの下降量とは同じとなり、吸着ノズルは電気部品を押すことなく、吸着する。
吸着ノズルの下降端位置を制御すれば、吸着ノズルの下降不足あるいは下降過剰の発生を回避することができ、吸着ミスや電気部品の破損の発生を回避しつつ、吸着ノズルに電気部品を吸着させることができ、あるいは装着ミスや電気部品の損傷の発生を回避しつつ、電気部品の回路基材への装着を行うことができる。例えば、吸着ノズルの吸着端面の軸方向の位置が取得され、吸着ノズルがノズル保持部材に対してばね部材により突出方向に付勢されているのであれば、吸着ノズルと部品供給装置との相対的な接近を適切に制御することにより、吸着ノズルの公称寸法の違い，製造誤差，摩耗等があっても、吸着ノズルが電気部品を吸着する際に、吸着ノズルが電気部品に適切な大きさの押圧力を加えた状態で吸着し、あるいは吸着ノズルが電気部品を押圧力が０の状態で当接して吸着し、あるいは吸着ノズルが電気部品との間に予め設定された大きさの隙間を隔てた状態で吸着する制御を精度良く、行うようにすることが可能なのである。あるいは、吸着ノズルがノズル保持部材に対してばね部材により付勢されていなくても、吸着ノズルを電気部品にちょうど当接する位置等、予め定められた位置へ精度良く移動させることが可能である。
吸着ノズルの下降速度の減速開始位置を制御すれば、吸着ノズルが電気部品に接触するとき、あるいは電気部品が回路基材に接触するときの速度を確実に小さくすることができ、電気部品の損傷等の発生を回避し得る。
（３）前記吸着ノズルを、そのノズルを保持するノズル保持部材に対して相対的にノズル保持部材側へ後退可能とし、かつ、付勢装置により前進端位置へ付勢する (1)項または (2)項に記載の電気部品装着方法。
例えば、吸着ノズルが電気部品を回路基材に装着する場合、電気部品が回路基材に接触した状態から更にノズル保持部材が接近方向へ移動させられても、吸着ノズルがノズル保持部材に対して付勢装置の付勢力に抗して後退することにより、ノズル保持部材の余分な移動が許容される。したがって、接近距離を多めに設定すれば、電気部品を回路基材に確実に接触させることができるが、付勢装置の付勢に基づいて吸着ノズルが電気部品に押付力を加えるため、接近距離が大き過ぎれば、押付力が過大になり、電気部品が損傷する恐れがある。そのため、電気部品の装着面の位置を取得し、吸着ノズルと回路基材との接近を制御すれば、押付力が過大になることを回避しつつ電気部品を回路基材に確実に接触させ、装着することができる。吸着ノズルが部品供給装置から電気部品を受け取る場合も同様であり、吸着ノズルの吸着端面の位置を取得すれば、吸着ノズルの部品供給装置との接近の制御により、電気部品を適切な押付力で確実に吸着することができ、あるいは押付力を加えない状態で確実に電気部品を吸着することができる。
（４）少なくとも前記電気部品の装着面の位置の取得を、前記吸着ノズルが各電気部品を吸着する毎に行う (1)項ないし (3)項のいずれか一つに記載の電気部品装着方法。
吸着ノズルの吸着端面の位置は、例えば、摩耗により変化するが、時間がかかるため、常時、例えば、吸着ノズルが電気部品を吸着する毎に行うことは不可欠ではない。それに対し、電気部品の寸法誤差あるいは公称寸法の違いは電気部品ごとに生ずる可能性があるため、前記吸着ノズルが電気部品を吸着する毎に装着面の位置を取得することが望ましく、それにより、吸着ノズルと回路基材との接近制御を常に適切に行うことができる。
（５）前記吸着ノズルの電気部品を吸着する吸着端面の位置の取得を行い、その取得を、予め定められた条件が成立する毎に行う (1)項ないし (4)項のいずれか一つに記載の電気部品装着方法。
例えば、前回の吸着端面の位置の取得後、その吸着ノズルにより装着された電気部品の数が設定個数に達したこと、あるいは、吸着ノズルの交換が行われたこと、次項に記載のように設定時間が経過したこと等の条件が成立するごとに吸着端面の位置の取得を行うことが望ましい。
予め定められた条件を、吸着ノズルにより装着された電気部品の数が設定個数に達したこととする場合、吸着ノズルが複数あれば、吸着ノズル毎に設定個数を設定してもよく、共通にしてもよい。設定個数は、吸着ノズルごとに吸着端面の位置の変化を適切な時期に検出し得る数に設定することが望ましい。適切な時期とは、例えば、吸着端面の位置の変化の検出が遅れて電気部品の装着精度の低下等が生ずることが少ない時期である。さらに、早過ぎて検出が無駄に行われることが少ない時期としてもよい。設定個数は、例えば、吸着ノズルの吸着端面の横断面積に基づいて設定される。横断面積が小さいほど、吸着端面が摩耗し易いことが多く、設定個数が少なくされる。設定個数を使用頻度に応じて設定し、使用頻度の高いものほど設定個数を少なくしてもよい。設定個数を複数の吸着ノズルに共通にする場合、例えば、最も摩耗し易い吸着ノズルに合わせて設定される。（６）前記吸着ノズルの前記吸着端面の位置の取得を、設定時間の経過毎に行う
(5) 項に記載の電気部品装着方法。
（７）前記吸着ノズルの前記吸着端面の位置の取得を、設定時間が経過した後に始めて吸着ノズルが撮像位置に到達した場合に行う (6)項に記載の電気部品装着方法。
設定時間が経過したとき、電気部品の装着が行われている最中であれば、装着手順に従って作業が行われ、吸着ノズルが撮像位置に到達したときに撮像が行われる。
設定時間が経過したときに電気部品の装着が行われていなければ、電気部品の装着が行われていない状態で撮像を行ってもよく、電気部品の装着が開始されてから撮像が行われるようにしてもよい。前者の場合、例えば、設定時間の経過の報知に基づいて作業者が撮像を指示することにより吸着ノズルが移動させられ、撮像位置へ到達した場合に撮像が行われるようにされる。
いずれにしても、電気部品の装着に支障のない時期に撮像が行われ、装着を中断したりすることなく、撮像を行うことができる。
（８）前記吸着ノズルの前記吸着端面の位置の取得を、設定時間の経過時に前記電気部品の装着作業が行われていない場合に、吸着ノズルを撮像位置へ移動させて行う (6)項に記載の電気部品装着方法。
（９）前記設定時間の計測を、電気部品の装着が行われている間のみ行う (6)項ないし (8)項のいずれか一つに記載の電気部品装着方法。
本態様によれば、電気部品の装着が行われている際に撮像が行われる。吸着端面の摩耗等、吸着端面の位置の変化を生じさせる事態は、電気部品の装着中に生ずることが多く、設定時間の計測を電気部品の装着が行われている間のみ行えば、より適切な時期に撮像を行うことが可能である。
（１０）部品供給装置と吸着ノズルとを相対的に接近させて部品供給装置から吸着ノズルに電気部品を吸着により受け取らせ、吸着ノズルと回路基材とを相対的に接近させて回路基材に電気部品を装着させる電気部品装着方法であって、
電気部品の前記受取り後であって前記装着前に、前記吸着ノズルに保持された電気部品を吸着ノズルの軸方向に直角な方向から撮像し、取得した画像のデータに基づいて、電気部品の厚さを取得し、取得した厚さに基づいて、前記部品供給装置および前記回路基材の少なくとも一方と吸着ノズルとの相対的な接近を制御する電気部品装着方法。
吸着ノズルの吸着端面の位置が撮像しなくてもわかっている場合、例えば、吸着ノズルが精度良く作られ、ノズル保持部材によって精度良く保持されていて、吸着ノズルの吸着端面の位置が設計上の位置である場合には、電気部品の厚さを取得すれば、電気部品の装着面の位置を取得することができ、吸着ノズルと前記回路基材との相対的な接近を制御することができる。
また、装着すべき電気部品の厚さ（公称寸法）が複数種類に異なる場合に、各電気部品の厚さのデータを予め記憶手段に記憶させておくことなく、撮像結果から取得した電気部品の厚さに基づいて、部品供給装置と回路基材との少なくとも一方と吸着ノズルとの相対的な接近を制御することもできる。例えば、部品供給装置により供給される電気部品の厚さ誤差が傾向を捉えることができる誤差であり、過去に吸着された電気部品の厚さに基づいて、次に吸着される電気部品の厚さを推定することができるのであれば、取得した電気部品の厚さに基づいて吸着ノズルと部品供給装置との相対的な接近を制御し、電気部品の吸着を適切に行うことが可能である。
上記 (5)項ないし (9)項のいずれかに記載の事項を本項の電気部品装着方法に適用することが可能である。
（１１）吸着ノズルと部品供給装置とを相対的に接近させて、吸着ノズルに部品供給装置から電気部品を吸着により受け取らせ、吸着ノズルと回路基材とを相対的に接近させて、吸着ノズルに電気部品を回路基材に装着させる電気部品装着方法であって、
前記吸着ノズルが既知の軸方向位置にある状態で、少なくとも、前記吸着ノズルの下端部を、その吸着ノズルの軸方向に直角な方向から撮像し、取得した画像のデータに基づいて少なくとも吸着ノズルの吸着端面の軸方向位置を取得し、取得した軸方向位置に基づいて、前記部品供給装置および前記回路基材の少なくとも一方と吸着ノズルとの接近を制御する電気部品装着方法。
吸着ノズルを撮像する場合、吸着ノズルの下端部を撮像してもよく、吸着ノズル全体を撮像してもよい。
吸着ノズルのみを撮像し、吸着端面の軸方向位置のみを取得してもよく、吸着ノズルにより電気部品が保持されているのであれば、吸着ノズルに加えて電気部品を撮像し、装着面の軸方向位置も取得してもよい。吸着ノズルが電気部品を保持していない状態で撮像を行えば、吸着端面の位置をより精度良く取得することが可能である。
吸着ノズルを撮像する場合、撮像は、電気部品の受取作業中に行ってもよく、受取作業が行われていない状態で行ってもよい。前者の場合には、受取作業の途中で接近限度等を変更することが可能となり、後者の場合には、受取作業の開始に先立って撮像が行われ、接近限度等の変更が行われた後に受取りが開始される。
本態様によれば、例えば、吸着ノズルやノズル保持部材の製造誤差や、吸着ノズルの摩耗等に起因する吸着端面の変動に起因する部品供給装置および回路基材の少なくとも一方と吸着ノズルとの接近制御不良を解消することができる。吸着ノズルが既知の軸方向位置にある状態で取得した画像データに基づいて、吸着ノズルの吸着端面の位置を取得すれば、例えば、吸着端面のあるべき位置との比較により、吸着端面のノズル軸方向における位置の誤差を取得することができ、その位置誤差に基づいて部品供給装置と吸着ノズルとの接近を制御することにより、接近不足や接近過剰による吸着ミス，電気部品の損傷の発生等を回避することができるのである。電気部品の厚さの寸法誤差が小さい場合には、上記位置誤差に基づいて吸着ノズルと回路基材との接近を制御することにより、装着ミス，電気部品の損傷の発生等を回避することもできる。 (1)項に記載したように、吸着端面の位置を一定の基準位置に対する絶対的な位置として取得してもよい。
前記 (2)項ないし (9)項のいずれかに記載の事項を本項の電気部品装着方法に適用することが可能である。
（１２）前記吸着ノズルとそれに吸着保持されている電気部品との少なくとも一方の、吸着ノズルの軸方向に直角な方向からの撮像に、一挙に二次元像を取得可能な面撮像装置を使用する (1)項ないし(11)項のいずれか一つに記載の電気部品装着方法。
（１３）前記撮像装置としてラインセンサを使用し、少なくとも１ライン分の画像データを得、その少なくとも１ライン分の画像データから前記電気部品の装着面の位置と、吸着ノズルの吸着端面の位置との少なくとも一方を取得する (1)項ないし(11)項の記載の電気部品装着方法。
ラインセンサとノズル保持部材とを吸着ノズルの軸方向に直角な成分を有する方向に相対移動させつつ繰り返し撮像を行えば二次元像を取得することができる。この二次元像は、吸着ノズルの先端部全体または電気部品全体を含む画像とすることも可能であるが、一部のみを含む画像とすることもでき、極端な場合には、１ライン分のみの画像とすることもできる。１ライン分のみの画像データに基づいても、吸着ノズルの吸着端面の位置と電気部品の装着面の位置との少なくとも一方を取得することができるのである。
（１４）吸着ノズルに、部品供給装置から電気部品を吸着により受け取らせる電気部品取扱方法であって、
前記吸着ノズルが既知の軸方向位置にある状態で、前記吸着ノズルの少なくとも下端部を、その吸着ノズルの軸方向に直角な方向から撮像し、取得した画像のデータに基づいて吸着ノズルの吸着端面の軸方向位置を取得し、取得した位置に基づいて吸着ノズルと前記部品供給装置との接近を制御する電気部品取扱方法。
撮像は、吸着ノズルが電気部品を吸着した状態で行ってもよく、吸着していない状態で行ってもよく、受取作業中に行ってもよく、非作業中に行ってもよい。
本態様によれば、例えば、吸着ノズルやノズル保持部材の製造誤差や、吸着ノズルの摩耗等に起因する吸着端面の変動に起因する部品供給装置と吸着ノズルとの接近制御不良を解消することができる。
前記 (2)， (3)， (5)項ないし(13)項のいずれかに記載の事項を本項の電気部品装着方法に適用することが可能である。
（１５）電気部品を供給する部品供給装置と、
回路基材を支持する基材支持装置と、
先端の吸着端面において負圧により電気部品を吸着して保持する吸着ノズルを保持するノズル保持部材と、
そのノズル保持部材と前記部品供給装置とを相対的に接近させて、部品供給装置から前記吸着ノズルに電気部品を受け取らせる受取制御装置と、
前記ノズル保持部材と前記基材支持装置とを相対的に接近させて、電気部品を基材支持装置に支持されている回路基材に装着させる装着制御装置と、
前記吸着ノズルによる電気部品の受取りから装着までの間において、前記ノズル保持部材が既知の軸方向位置にある状態で、前記吸着ノズルに吸着保持されている電気部品を、吸着ノズルの軸方向に直角な方向から撮像する撮像装置と、
その撮像装置により撮像された画像のデータに基づいて、少なくとも、電気部品の吸着されている側とは反対側の面である装着面の軸方向位置を取得する画像処理装置と、
その画像処理装置により取得された少なくとも前記装着面の軸方向位置に基づいて、前記受取制御装置と前記装着制御装置との少なくとも一方による制御を変更する制御変更部と
を含む電気部品装着装置。
ノズル保持部材は、吸着ノズルを複数保持するものとしてもよく、一つ保持するものとしてもよい。
本態様の作用および効果は、例えば、前記 (1)項に記載の電気部品装着方法と同様に説明される。
前記 (2)項ないし (9)項，(12)項，(13)項のいずれかに記載の事項を本項の電気部品装着装置に採用することができる。
（１６）電気部品を供給する部品供給装置と、
回路基材を支持する基材支持装置と、
先端の吸着端面において負圧により電気部品を吸着して保持する吸着ノズルを保持するノズル保持部材と、
そのノズル保持部材と前記部品供給装置とを相対的に接近させて、部品供給装置から前記吸着ノズルに電気部品を受け取らせる受取制御装置と、
前記ノズル保持部材と前記基材支持装置とを相対的に接近させて、電気部品を基材支持装置に支持されている回路基材に装着させる装着制御装置と、
前記吸着ノズルによる電気部品の受取りから装着までの間において、吸着ノズルに保持されている電気部品を、その吸着ノズルの軸方向に直角な方向から撮像する撮像装置と、
その撮像装置により撮像された画像のデータに基づいて、吸着ノズルに保持されている電気部品の厚さを取得する画像処理装置と、
その画像処理装置により取得された電気部品の厚さに基づいて、前記装着制御装置による前記ノズル保持部材と前記基材支持装置との接近制御と、前記受取制御装置による前記ノズル保持部材と前記部品供給装置との接近制御との少なくとも一方を変更する制御変更部と
を含む電気部品装着装置。
本態様によれば、例えば、(10)項に記載の電気部品装着方法の作用，効果が得られる。
前記 (2)項， (3)項， (5)項ないし (9)項，(12)項，(13)項のいずれかに記載の事項を本項の電気部品装着装置に採用することができる。
（１７）電気部品を供給する部品供給装置と、
回路基材を支持する基材支持装置と、
先端の吸着端面において負圧により電気部品を吸着して保持する吸着ノズルを保持するノズル保持部材と、
そのノズル保持部材と前記部品供給装置とを相対的に接近させて、部品供給装置から前記吸着ノズルに電気部品を受け取らせる受取制御装置と、
前記ノズル保持部材と前記基材支持装置とを相対的に接近させて、電気部品を基材支持装置に支持されている回路基材に装着させる装着制御装置と、
前記ノズル保持部材が既知の軸方向位置にある状態で、少なくとも前記吸着ノズルの先端部を、その吸着ノズルの軸方向に直角な方向から撮像する撮像装置と、
その撮像装置により撮像された画像のデータに基づいて、少なくとも吸着ノズルの電気部品を吸着する吸着端面の軸方向位置を取得する画像処理装置と、
その画像処理装置により取得された前記吸着端面の軸方向位置に基づいて、前記受取制御装置と前記装着制御装置との少なくとも一方による制御を変更する制御変更部と
を含む電気部品装着装置。
本態様によれば、例えば、(11)に記載の作用，効果が得られる。
前記 (2)項， (3)項， (5)項ないし (9)項，(12)項，(13)項のいずれかに記載の事項を本項の電気部品装着装置に採用することができる。
（１８）前記装着制御装置が、
前記ノズル保持部材を、一定の移動範囲で軸方向に昇降させるとともに下降の末期において滑らかに減速させ、停止させる保持部材昇降装置と、
前記回路基材を支持する基材支持部材を、前記画像処理装置により取得されたデータに基づいて昇降させる基材昇降装置と
を含む(15)項ないし(17)項のいずれか一つに記載の電気部品装着装置。
本態様によれば、例えば、吸着ノズルの製造誤差や、吸着ノズルの摩耗等に起因する吸着端面の変動等があっても、基材支持部材を昇降させ、回路基材の電気部品が装着される面の位置を調節することにより、電気部品は、ノズル保持部材の下降速度が減速され、小さくなった状態で回路基材に接触させられ、損傷なく、回路基材に装着される。
（１９）前記ノズル保持部材を前記部品供給装置と前記基材支持装置との間で移動させることにより、前記吸着ノズルに電気部品を搬送させる搬送制御装置を含む(15)項ないし(18)項のいずれか一つに記載の電気部品装着装置。
搬送制御装置は、(20)項に記載の態様でもよく、直線移動により吸着ノズルに電気部品を搬送させる装置でもよい。直線移動は、回路基材の電気部品が装着される装着面に平行な移動平面内における一方向でもよく、その平面内において直交する二方向の成分を有する方向でもよい。
（２０）前記搬送制御装置が、複数のノズル保持部材を、一軸線のまわりに旋回させ、その旋回軌跡上に設定された部品受取位置と部品装着位置とで停止させる旋回装置を含む(19)項に記載の電気部品装着装置。
旋回軸線は、ほぼ垂直でもよく、垂直面に対して傾斜した軸線でもよい。
（２１）前記撮像装置が、前記旋回装置による前記ノズル保持部材の旋回に伴う前記吸着ノズルの旋回軌跡より内周側に、外周側を向いて配設された(20)項に記載の電気部品装着装置。
撮像装置を吸着ノズルの旋回軌跡より外周側に設けてもよいが、内周側に設ければ、旋回装置の旋回軸線方向に平行な方向において下側の空いたスペースを有効に利用することができる。
（２２）前記吸着ノズルの旋回軌跡より外周側に、前記撮像装置と対向して設けられた照明装置を含む(21)項に記載の電気部品装着装置。
（２３）電気部品を供給する部品供給装置と、
先端の吸着端面において負圧により電気部品を吸着して保持する吸着ノズルを保持するノズル保持部材と、
そのノズル保持部材と前記部品供給装置とを相対的に接近させて、部品供給装置から前記吸着ノズルに電気部品を受け取らせる受取制御装置と、
前記吸着ノズルが電気部品を保持せず、前記ノズル保持部材が既知の軸方向位置にある状態で、前記吸着ノズルの少なくとも先端部を、その吸着ノズルの軸方向に直角な方向から撮像する撮像装置と、
その撮像装置により撮像された画像のデータに基づいて、吸着ノズルの電気部品を吸着する吸着端面の軸方向位置を取得する画像処理装置と、
その画像処理装置により取得された前記吸着端面の軸方向位置に基づいて、前記受取制御装置による前記ノズル保持部材と前記部品供給装置との接近制御を変更する制御変更部と
を含む電気部品取扱装置。
撮像が電気部品の取扱い中に行われるのであれば、取扱いの途中で接近制御が変更され、取扱いが行われていない状態で行われるのであれば、次に行われる電気部品の取扱いの開始に先立って接近制御が変更される。
前記 (2)項， (3)項， (5)項ないし (9)項，(12)項，(13)項のいずれかに記載の事項を本項の電気部品取扱装置に採用することができる。
（２４）電気部品を供給する部品供給装置と、
回路基材を支持する基材支持装置と、
先端の吸着端面において負圧により電気部品を吸着して保持する吸着ノズルを保持するノズル保持部材と、
そのノズル保持部材を移動させることにより吸着ノズルを、前記基材支持装置に支持された回路基材の、電気部品が装着される被装着面に平行な一平面内において互いに直交する第１軸方向と第２軸方向とに移動させるノズル移動装置と、
吸着ノズルによる電気部品の前記部品供給装置からの受取りから、前記基材支持装置に支持された回路基材への装着までの間において、吸着ノズルに吸着保持されている電気部品を、吸着ノズルの軸方向に直角な方向から撮像する撮像装置と
を含み、かつ、前記ノズル移動装置が、前記第１軸方向に移動する第１スライドと、その第１スライド上において前記第２軸方向に移動する第２スライドとを含み、その第２スライドにより前記ノズル保持部材を保持するものであり、前記撮像装置が、前記第２スライドの移動に伴う吸着ノズルの前記第１スライドに対する相対移動軌跡から、吸着ノズルの軸線に直角な方向に外れ、吸着ノズルに吸着された電気部品を吸着ノズルの軸線に直角な方向から撮像可能な状態で、前記第１スライドにより保持されたことを特徴とする電気部品装着装置（請求項１）。
（２５）さらに、吸着ノズルに保持された電気部品を、その電気部品を間に挟んで前記撮像装置と対向する方向から照明する照明装置を含む(24)項に記載の電気部品装着装置（請求項２）。
（２６）前記照明装置が前記撮像装置と共に前記第１スライドに保持された(25)項に記載の電気部品装着装置（請求項３）。
（２７）前記撮像装置が、電気部品を、前記第２軸方向と吸着ノズルの軸方向とに直角な方向から撮像可能な状態で前記第１スライドに保持された(24)項ないし(26)項のいずれかに記載の電気部品装着装置（請求項４）。
（２８）さらに、
前記ノズル保持部材と前記部品供給装置とを相対的に接近させて、前記部品供給装置から吸着ノズルに電気部品を受け取らせる受取制御装置と、
前記ノズル保持部材と前記基材支持装置とを相対的に接近させて、吸着ノズルに電気部品を基材支持装置に支持されている回路基材に装着させる装着制御装置と、
前記撮像装置による撮像結果から取得された、少なくとも、前記電気部品の吸着されている側とは反対側の面である装着面の軸方向位置に基づいて、前記受取制御装置と前記装着制御装置との少なくとも一方による制御を変更する制御変更部と
を含む(24)項ないし(27)項のいずれかに記載の電気部品装着装置（請求項５）。
（２９）前記撮像装置による撮像結果から電気部品の厚さを取得する手段を含み、前記制御変更部が、その取得された電気部品の厚さに基づいて、前記装着制御装置による前記ノズル保持部材と前記基材支持装置との接近制御と、前記受取制御装置による前記ノズル保持部材と前記部品供給装置との接近制御との少なくとも一方を変更する手段を含む(28)項に記載の電気部品装着装置（請求項６）。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
なお、図１ないし図２０および図２６に示す実施形態は、補正により、特許請求の範囲に記載の発明の実施形態ではなくなり、図２１ないし図２４および図２５に示すもののみが特許請求の範囲に記載の発明の実施形態となったが、図１ないし図２０および図２６に示す実施形態に関する説明もそのまま残すこととする。
図１に示す実施形態の電気部品装着装置８は、特開平６−３４２９９８号公報に記載の電気部品装着装置とほぼ同様に構成されており、同じ部分は簡単に図示および説明し、異なる部分を詳細に説明する。
図１において１０はフレームであり、フレーム１０には回転軸１２が一軸線、本実施形態では垂直軸線まわりに回転可能に支持されている。回転軸１２は、回転軸駆動装置１４により回転させられる。回転軸駆動装置１４は、図示しないローラギヤおよびローラギヤカムを含んで構成され、ローラギヤカムがインデックス用サーボモータ１６（図１６参照）によって一方向に定速で回転させられるとき、ローラギヤの複数のローラがローラギヤカムのカムリブに順次係合し、回転軸１２が垂直軸線まわりに一定角度ずつ間欠回転させられる。なお、インデックス用サーボモータ１６の回転角度は、回転検出装置たるエンコーダ１８（図１６参照）により検出される。
【０００６】
上記回転軸１２のフレーム１０から下方へ延び出させられた下端部には、移動部材の一種である回転体としての間欠回転体たるインデックステーブル２０が固定されている。インデックステーブル２０は、概して有底円筒状をなし、底部２２において回転軸１２に固定され、円筒部２４はフレーム１０側へ延び出させられている。円筒部２４には、回転軸１２の回転軸線を中心とする一円周上に複数組、本実施形態では１６組の部品装着ユニット３０が等角度間隔に取り付けられている。回転軸１２が回転させられることにより、インデックステーブル２０は、１６組の部品装着ユニット３０の取付角度間隔に等しい角度ずつ、間欠回転させられる。
【０００７】
１６個の停止位置のうち、複数が作動位置、複数が検出位置、残りが作動も検出も行われない遊休位置とされている。本実施形態では、図２に概略的に示すように、作動位置は、部品受取位置，部品装着位置，部品排出位置とされている。また、検出位置は、部品保持姿勢検出位置および装着面等検出位置とされている。１６組の部品装着ユニット３０は、インデックステーブル２０の回転により、垂直な軸線まわりに旋回させられ、その旋回軌跡上に設定された１６個の停止位置へ順次移動させられ、停止させられる。回転軸１２，回転軸駆動装置１４およびインデックステーブル２０がノズル旋回装置３２を構成している。
【０００８】
なお、作動位置として、上記部品受取位置等の他、部品姿勢修正位置，部品装着ユニット姿勢修正位置，吸着ノズル選択位置等が設けられ、それら位置にはそれぞれ、部品姿勢修正装置，部品装着ユニット姿勢修正装置，ノズル選択装置が設けられている。また、検出位置として吸着ノズル検出位置が設けられ、吸着ノズル検出装置が設けられている。これらは本発明との関連が薄いため、図示および説明を省略する。
【０００９】
フレーム１０の下面には、図１に示すように、円筒カム４０が固定されている。円筒カム４０は回転軸１２の外側に半径方向に隙間を残して嵌合され、その下部はインデックステーブル２０の円筒部２４と回転軸１２との間に嵌入させられている。円筒カム４０の下部には、外周面に開口するカム溝（図示省略）が形成され、各部品装着ユニット３０のガイドレール４６に取り付けられた１対ずつのローラ４８が回転可能に係合させられている。
【００１０】
インデックステーブル２０の外周面には、２個を１組とするガイドブロック５０が１６組、等角度間隔に固定されている。１６組のガイドブロック５０は、インデックステーブル２０の間欠回転角度と同じ角度間隔でインデックステーブル２０に固定されているのである。各組の２個ずつのガイドブロック５０はそれぞれ、上下ないし垂直方向であって、部品装着ユニット３０の旋回軸線に平行な方向に距離を隔てて固定され、昇降部材たるガイドレール４６が移動可能に嵌合されている。ガイドレール４６は長手形状を為し、ガイドブロック５０により、その長手方向であって、垂直方向に移動可能に支持されている。
【００１１】
ガイドブロック５０は、図４に示すように、横断面形状が概してコの字形を為し、複数の転動体たるボール５２を循環可能に保持している。ガイドレール４６には、１対のＶ字形断面の溝５４が長手方向に平行に設けられ、それら溝５４にボール５２が嵌入させられている。ガイドレール４６はボール５２を介してガイドブロック５０に長手方向に移動可能に係合させられ、ガイドブロック５０のコの字の１対の側壁によって幅方向の移動を阻止されるとともに、ボール５２と溝５４の側面との係合により、長手方向および幅方向に直角な方向の移動であって、ガイドブロック５０からの浮上がりが防止され、ガイドレール４６はガイドブロック５０に長手方向にのみ相対移動可能に係合させられている。
【００１２】
前記１対のローラ４８はガイドレール４６の長手方向の中間部に、インデックステーブル２０の回転軸線と直交する水平な軸線のまわりに回転可能に取り付けられ、円筒部２４の１対のガイドブロック５０が固定された部分の間の部分に形成され、上下方向に延びる長穴５６を通って円筒カム４０のカム溝に回転可能に嵌合されている。これら１対のローラ４８は、ガイドレール４６に上下に並んで取り付けられ、それぞれ、カム溝の上側の溝側面と下側の溝側面とに係合させられる。
【００１３】
上記カム溝は高さが周方向において漸変させられたものであり、インデックステーブル２０が回転させられ、部品装着ユニット３０が旋回させられるとき、ローラ４８がカム溝内を移動することにより部品装着ユニット３０は昇降させられる。本実施形態においてカム溝は、部品装着ユニット３０が部品受取位置において上昇端に位置し、部品装着位置において下降端に位置するとともに、それら部品受取位置および部品装着位置の前後では水平に移動するように形成されている。
【００１４】
ガイドレール４６の外面には、筒状部材たるスリーブ７０が固定されるとともに、図３に示すように、横断面形状が円形のロッド７２が垂直、すなわちノズル旋回軸線と平行な姿勢で、自身の軸線まわりに回転可能かつ軸方向に相対移動不能に嵌合され、ノズル保持部材７４の軸部を構成している。本実施形態の部品装着ユニット３０においてノズル保持部材７４は、部品姿勢修正位置において部品姿勢修正装置により自身の軸線まわりに回転させられ、部品装着ユニット姿勢修正位置において部品装着ユニット姿勢修正装置により軸線まわりの位置が部品姿勢の修正前の原位置に戻されるが、その回転の一部がインデックステーブル２０の回転の一部と並行して行われるようにされている。そのため、ロッド７２には、回転伝達部材７６により、ロッド７２の昇降を許容しつつ、部品姿勢修正装置，部品装着ユニット姿勢修正装置の回転駆動力が伝達されるとともに、回転伝達部材７６が相対回転装置７８により、ノズル保持部材７４に対して相対的に、インデックステーブル２０の回転軸線まわりに、インデックステーブル２０とは別個に回転させられるようにされているが、これらの構成は本発明との関連が薄いため、図示および説明を省略する。
【００１５】
前記ロッド７２の下端部は、図３に示すように、スリーブ７０から下方へ突出させられるとともに、取付部材８４が固定されており、取付部材８４には回転保持体８６が支持軸８８により、ロッド７２の軸線と直交し、水平な軸線まわりに回転可能に支持されている。これら取付部材８４，回転保持体８６がロッド７２とともにノズル保持部材７４を構成している。回転保持体８６には、複数の吸着ノズル９０が等角度間隔で放射状に保持されており、回転保持体８６が支持軸８８のまわりに回転させられることにより、複数の吸着ノズル９０の１つが選択的に使用位置ないし作用位置、すなわち下向きとなり、かつ、軸線がロッド７２の軸線と一致する位置へ移動させられるとともに、位置決めされる。ノズル保持部材７４および複数の吸着ノズル９０が電気部品保持ヘッドを構成し、ガイドレール４６と共に部品装着ユニット３０を構成していると考えてもよい。使用位置に位置決めされた吸着ノズル９０は軸線が垂直方向に延び、インデックステーブル２０の回転により、その軸方向と交差する方向に移動させられる。
【００１６】
複数の吸着ノズル９０はそれぞれ、図５に１つを代表的に示すように、吸着管９１を有し、吸着管９１の先端面（下端面）が、吸着ノズル９０の自身の軸線に直角で平らな吸着端面９２を構成しており、本実施形態においては電気部品９４を負圧により吸着する。本実施形態において複数の吸着ノズル９０は、少なくとも２つが種類を異にするが、吸着管９１の長さは互いに同じであって、各吸着端面９２の回転保持体８６の回転軸線からの距離は同じにされている。また、電気部品９４の吸着ノズル９０により吸着される面である上面を被吸着面９６と称し、プリント配線板に装着される面である下面を装着面９８と称する。
【００１７】
吸着ノズル９０は、回転保持体８６に、相対回転不能かつ軸方向に相対移動可能に保持されており、回転保持体８６との間に配設された付勢装置たるスプリング１００により、回転保持体８６から突出する向きに付勢されている。スプリング１００の付勢による吸着ノズル９０の突出限度は、吸着ノズル９０に、その軸線に直角に嵌合されたピン１０２が回転保持体８６に設けられた長穴１０４の端面１０６に係合することにより規定される。互いに係合する係合部たるピン１０２および端面１０６が突出限度規定装置を構成している。ピン１０２は長穴１０４に吸着ノズル９０の軸方向に移動可能に嵌合されており、これらピン１０２と長穴１０４の端面１０６との係合により移動を規定された位置が吸着ノズル９０の前進端位置であり、吸着ノズル９０は、この状態からスプリング１００を圧縮して回転保持体８６側へ後退することが可能である。なお、図１においては、図示を容易にするために、部品装着ユニット３０において吸着ノズル９０は２個のみ図示されている。
【００１８】
使用位置に位置決めされた吸着ノズル９０は、支持軸８８，回転保持体８６，取付部材８４，ロッド７２内にそれぞれ設けられた負圧通路１０８（図３には、ロッド７２内に設けられた負圧通路について代表的に符号が付されている），スリーブ７０に固定の制御弁たる切換弁１１０，継手部材１１２，ホース１１４，インデックステーブル２０および回転軸１２内に設けられた負圧通路（図示省略）等を介して図示しない負圧供給装置ないし空気吸引装置に接続されている。支持軸８８内の負圧通路は、使用位置に位置決めされた吸着ノズル９０のみに連通するように形成されており、また、回転保持体８６が回転させられても、取付部材８４，回転保持体８６，支持軸８８にそれぞれ設けられた負圧通路の連通が保たれるようにされている。さらに、インデックステーブル２０および回転軸１２内の負圧通路と負圧供給装置ないし空気吸引装置とは、回転軸１２が回転させられても連通状態に保たれるようにされている。
【００１９】
また、切換弁１１０の切換えは、本実施形態では、特開平１０−１２６０９７号公報に記載の切換弁と同様に機械的に行われる。切換弁１１０は、部品受取位置において、部品装着ユニット３０の下降に伴って負圧通路１０８を負圧供給装置ないし空気吸引装置に連通させ、吸着ノズル９０に負圧を供給する負圧供給状態に切り換えられ、電気部品９４がプリント配線板に装着されるまで負圧供給状態に保たれる。部品装着位置において部品装着ユニット３０が下降させられ、電気部品９４がプリント配線板に装着されるとき、切換弁１１０は正圧供給状態に切り換えられ、吸着ノズル９０に大気および正圧のエアが供給されて電気部品９４を解放する。
【００２０】
フレーム１０およびフレーム１０に固定された前記円筒カム４０の部品受取位置と部品装着位置とを含む部分に対応する部分にはそれぞれ、図１および図３に示すように部品装着ユニット３０を昇降させ、ノズル保持部材７４を昇降させれ吸着ノズル９０を軸方向に移動させる保持部材昇降装置，部品装着ユニット移動装置ないしノズル軸方向移動装置としての部品装着ユニット昇降装置１１８，１２０が設けられている。部品装着ユニット昇降装置１１８，１２０は、ノズル昇降装置でもある。
【００２１】
部品受取位置に設けられた部品装着ユニット昇降装置１１８を説明する。部品受取位置には、部品供給装置１２２が設けられ、電気部品９４を供給する。本実施形態では、部品供給装置１２２は複数の部品供給フィーダ（以下、フィーダと略称する）１２３を有する。複数のフィーダ１２３はテーブル１２５上に図示しない位置決め装置により位置決めされるとともに、固定装置により着脱可能に固定されており、各部品供給部が一直線上に並ぶ状態で設けられている。部品吸着部は吸着ノズル９０により電気部品９４が取り出される部分であり、部品供給部が並ぶ方向をＸ軸方向とする。テーブル１２５がテーブル移動用サーボモータ１２８（図１６参照）を駆動源とするテーブル移動装置によってＸ軸方向に移動させられることにより、複数のフィーダ１２３が選択的に部品供給位置へ移動させられる。部品供給位置は、フィーダ１２３の部品供給部が、部品受取位置に位置決めされた部品装着ユニット３０の、使用位置に位置決めされた吸着ノズル９０の真下に位置する位置であり、フィーダ１２３は部品装着ユニット昇降装置１１８に対して移動させられる。部品受取位置は、部品吸着位置でもある。
【００２２】
本実施形態において電気部品９４は、リードを有するリード付電気部品あるいはリードを有さないチップ状の電気部品とされ、フィーダ１２３は、図２０に示すように、電気部品９４を部品保持テープ１３０に保持させ、テーピング電気部品とした状態で供給するテープ型フィーダとされている。本実施形態において部品保持テープ１３０は、テープの長手方向の両端部に平行に設けられた１対の被支持部１３２を有し、それら被支持部１３２の間から部品収容部１３４が下方へ突出させられるとともに、複数の部品収容凹部１３６が等間隔を隔てて設けられた形状を有する。各部品収容凹部１３４にそれぞれ電気部品９４が１個ずつ収容されるとともに、部品収容凹部１３４の開口がカバーテープ１３８により塞がれている。このテーピング電気部品は、１対の被支持部１３２においてフィーダ本体１３９により下方から支持される所謂エンボス型のものである。部品保持テープ１３０の部品収容部１３４は、フィーダ本体１３９の上面に開口して設けられた溝１４０内に嵌合されるとともに、１対の被支持部１３２は、溝１４０の幅方向の両側にそれぞれ設けられた１対のテープ支持面１４２により下方から支持されている。そのため、電気部品９４の種類が異なって厚さが異なっても、カバーテープ１３８の上面の高さは同じであり、電気部品９４の上面の高さも同じになるようにされている。
【００２３】
部品装着ユニット３０は、部品受取位置において部品装着ユニット昇降装置１１８により昇降させられ、使用位置に位置決めされた吸着ノズル９０がフィーダ１２３から電気部品を受け取る。そのため、前記円筒カム４０の部品受取位置に対応する部分には、図１に示すように、その外周面に開口し、上下方向に延びる案内溝１４４が形成されている。この案内溝１４４の底面には案内部材たる長手形状を成すガイドレール１４６が垂直方向であって、使用位置に位置決めされた吸着ノズル９０の軸方向およびインデックステーブル２０の回転軸線に平行な姿勢で固定され、移動部材ないしノズル側部材たる昇降部材１４８に固定された２個のガイドブロック１５０が摺動可能に嵌合されている。昇降部材１４８はちょうど案内溝１４４に嵌合される幅を有し、昇降部材１４８の下端部には、円筒カム４０の外周面側に開口するとともに、円筒カム４０のカム溝と同じ幅（高さ方向の寸法）の係合溝１５２が水平に形成され、昇降部材１４８が上昇端位置に位置する状態では、円筒カム４０のカム溝の水平部と同じ高さにあって、そのカム溝と連続するカム溝を形成している。
【００２４】
昇降部材１４８の上端部は、図７に示すように、案内溝１４４から上方へ突出させられるとともに、連結ロッド１５６を構成するロッド本体１５４の下端部に球面ジョイント１５８により相対回動可能かつ軸方向に相対移動不能に連結されている。球面ジョイント１５８は、ロッド本体１５４と一体に設けられ、凹部を有するケース部１５７と、球状部１５９を有するシャフト１６１とを含み、球状部１５９がケース部１５７に相対回転可能かつ抜出し不能に嵌合されるとともに、シャフト１６１に設けられた雄ねじ部１６３が昇降部材１４８に螺合され、ナット１６５により固定されている。
【００２５】
ロッド本体１５４の上端部は、レバー１６０のアーム１６２に相対回動可能に、かつ連結位置が調節可能に連結されている。レバー１６０は、フレーム１０に水平軸線まわりに回動可能に設けられた回動軸１６４に相対回動不能に支持されている。回動軸１６４には、別のレバー１６６が相対回動不能に支持されており、レバー１６６の一端部には、カムフォロワたるローラ１６８が回転可能に取り付けられるとともに、他端部にはエアシリンダ１７０のピストンロッド１７２がピン１７３により相対回動可能に連結されている。レバー１６６がエアシリンダ１７０によって付勢されることにより、ローラ１６８はカムの一種である回転カム１７４のカム面１７６に係合させられる。回転カム１７４は、前記インデックス用サーボモータ１６によって回転させられ、これら回転カム１７４およびローラ１６８がカム装置１７８を構成している。部品装着ユニット昇降装置１１８，１２０，ノズル旋回装置３２は、駆動源が共通なのである。エアシリンダ１７０は複動シリンダであり、一方のエア室へのエアの供給によりローラ１６８がカム面１７６に押し付けられた状態では、回転カム１７４の回転により、レバー１６６が回動させられるとともに、レバー１６０が回動させられる。
【００２６】
アーム１６２には、図７および図９に示すように、ガイド１８２が設けられている。ガイド１８２は円弧に沿って湾曲させられた形状を有し、本実施形態では、アーム１６２と別体に設けられ、アーム１６２に、その垂直な側面１８０に開口して設けられた円弧状の溝１８４に嵌合されている。溝１８４の幅（円弧の半径方向の寸法）はガイド１８２の幅より大きく、ガイド１８２は溝１８４に嵌合され、アーム１６２に螺合された複数のアジャストボルト１８６が半径方向の両側から係合させられて位置決めされるとともに、複数のボルト１８８によってアーム１６２に固定されている。アジャストボルト１８６の螺合量の調節により、アーム１６２に対してガイド１８２の円弧の半径方向の位置を調節することができる。この調節については後に説明する。
【００２７】
ガイド１８２は側面１８０から突出させられるとともに、その突出部に第一可動部材たる第一スライド１９０がガイド１８２に沿って移動可能に嵌合されている。第一スライド１９０はアーム１６２に、アーム１６２の長手方向に移動可能に保持されているのである。第一スライド１９０には、支持軸１９２が、レバー１６０の回動軸線と平行に突設されるとともに、支持軸１９２には球面ジョイント１９４によって前記ロッド本体１５４の上端部が相対回動可能にかつ軸方向に相対移動不能に連結されている。
【００２８】
球面ジョイント１９４は、支持軸１９２に保持された球状体２１４と、球状の凹部を有する係合部材２１６とを含む。係合部材２１６は球状体２１４に相対回動可能に嵌合されるとともに、球状体２１４に嵌合された側とは反対側の端部においてロッド本体１５４の上端部に螺合されている。本実施形態においては、ロッド本体１５５４，ケース部１５７，係合部材２１６が連結ロッド１５６を構成し、前記シャフト１６１，球状体２１４および支持軸１９２と共に、昇降部材１４８と第一スライド１９０とを連結する連結装置２１８を構成している。連結ロッド１５６のレバー１６０に回動可能に連結された上端部を連結部１９６と称する。
【００２９】
回転カム１７４が回転させられ、レバー１６０が回動させられれば、連結ロッド１５６が昇降させられ、昇降部材１４８が昇降させられて部品装着ユニット３０、すなわち吸着ノズル９０が昇降させられる。カム面１７６は、本実施形態では、吸着ノズル９０が滑らかに加速し、一定速度で下降させられた後、下降の末期において滑らかに減速する形状を有する。ローラ１６８は、部品装着ユニット３０を昇降させる際にはエアシリンダ１７０により付勢され、カム面１７６に追従するようにされているが、部品装着ユニット３０を昇降させない場合には、エアシリンダ１７０へのエアの供給が切り換えられ、ローラ１６８がカム面１７６に追従しないようにされる。
【００３０】
上記支持軸１９２にはまた、図９に示すように、ローラ１９８が回転可能に取り付けられ、第一係合部を構成している。ローラ１９８は、係合部材２００に、回転可能かつ上下方向に相対移動可能に係合させられている。係合部材２００は、図７ないし図９に示すように、フレーム１０に移動可能に設けられた第二可動部材たる第二スライド２０２に設けられ、第二係合部を構成している。第二スライド２０２には、図８に示すようにナット２０４が設けられるとともに、ねじ軸２０６に螺合されている。ねじ軸２０６は、フレーム１０に回転可能かつ軸方向に移動不能に設けられており、ねじ軸２０６が駆動源たる電動モータであって、回転角度の精度の良い制御が可能な第二スライド駆動用サーボモータ２０８によって回転させられることにより、第二スライド２０２がレール状の１対のガイド２１０に案内されて、レバー１６０の回動軸線と直角に立体交差し、水平な方向であって、アーム１６２の長手方向にほぼ平行な方向に移動させられる。サーボモータ２０８の回転角度は、回転検出装置たるエンコーダ２２４により検出される。
【００３１】
係合部材２００は、図８に示すように、第二スライド２０２から下方へ延び出させられ、その延出部に設けられて上下方向に延びる切欠２１２に前記ローラ１９８が回転可能かつ上下方向には移動可能であるが、第二スライド２０２の移動方向に平行な方向には相対移動不能に嵌合されている。したがって、第二スライド２０２が移動させられれば、ローラ１９８が第二スライド２０２と共に移動させられ、第一スライド１９０がガイド１８２に案内されつつレバー１６０の長手方向に沿って移動させられ、連結ロッド１５６の連結部１９６がレバー１６０に対して移動させられる。それにより、図１０（ａ）ないし（ｃ）に示すように、連結部１９６の中心（球面ジョイント１９４の球状体２１４の中心）と、レバー１６０の回動軸線との距離が変更され、昇降部材１４８、すなわち吸着ノズル９０の昇降ストロークが変更される。上記距離は、実質的に連続して変更され、吸着ノズル９０の昇降ストロークが無限種類に異なる昇降ストロークに変更される。連結ロッド１５６は、球面ジョイント１５８によって昇降部材１４８に連結されており、それにより、昇降ストロークの変更時およびレバー１６０の回動時における連結ロッド１５６の昇降部材１４８に対する回動が許容される。また、上記距離の変更時に連結ロッド１５６の連結部１９６がレバー１６０に対して移動させられるとき、あるいはレバー１６０が回動させられるとき、ローラ１９８は上下方向に移動するが、この移動は、上下方向に延びる切欠２１２により許容される。切欠２１２は、レバー１６０の回動によりローラ１９８が上下方向に移動しても、ローラ１９８が外れることがない寸法を有する。
【００３２】
本実施形態において、ガイド１８２は円弧に沿って形成されており、その円弧の中心が、昇降部材１４８が上昇端位置にある状態における連結ロッド１５６の下端部の回動軸線上に設定されている。ローラ１６８が回転カム１７４のカム面１７６の、昇降部材１４８を上昇端位置に位置させる部分に係合する状態における連結ロッド１５６の、球面ジョイント１５８によって昇降部材１４８に回動可能に連結された回動中心（球状部１５９の中心）が、ガイド１８２の円弧の中心とされているのである。そのため、連結部１９６がレバー１６０に対して移動させられても昇降部材１４８の上昇端位置は変わらず、昇降部材１４８の下降端位置が変更され、吸着ノズル９０の下降端位置が変更されることにより昇降ストロークが変更される。
【００３３】
連結ロッド１５６の昇降部材１４８側の回動中心がガイド１８２の円弧の中心となり、吸着ノズル９０が上昇端位置に位置する状態において常に、係合溝１５２が円筒カム４０のカム溝と一致し、ローラ４８がそれら溝を乗り移ることができるようにするために、ガイド１８２，昇降部材１４８の位置が調節される。具体的には、連結ロッド１５６の球面ジョイント１５８の回動中心と、球面ジョイント１９４の回動中心との間の距離が正規の長さに調節された状態において、第一スライド１９０をガイド１８２に沿って移動させ、ガイド１８２の位置をアジャストボルト１８６により、第一スライド１９０がスムーズに移動する位置に調節した後、ボルト１８８によりガイド１８２をアーム１６２に固定する。その後、昇降部材１４８をシャフト１６１に固定するナット１６５を緩めてシャフト１６１を回転させ、昇降部材１４８の上下方向の位置を調節する。調節後、ナット１６５を締めて昇降部材１４８をシャフト１６１に固定する。
【００３４】
なお付言すれば、上記「吸着ノズル９０の下降端位置」は、実際の下降端位置とは限らず、目標下降端位置である。目標下降端位置は、ノズル保持部材７４が下降端位置へ下降させられたとき、吸着ノズル９０がスプリング１００を圧縮せず、ノズル保持部材７４側へ後退させられることなく、下降させられた位置であり、電気部品９４に当接して下降を阻止されなければ、吸着ノズル９０がそこまで下降するはずの予定された下降端位置である。吸着ノズル９０が電気部品９４に当接して下降を阻止されれば、実際の下降端位置は目標下降端位置より上になる。ノズル保持部材７４が下降端位置に到達したときにちょうど吸着ノズル９０が電気部品９４に当接する場合、あるいは電気部品９４との間に隙間を残す場合には、吸着ノズル９０の実際の下降端位置と目標下降端位置とは同じになる。
【００３５】
変更したい位置が吸着ノズル９０の目標下降端位置である場合、本実施形態におけるように、上昇端位置を一定とし、目標下降端位置のみを変更すれば、昇降ストロークの変更量のすべてを目標下降端位置の変更量とすることができ、昇降ストロークの変更量を有効に使用することができ、変更量が少なくて済む。図１０（ａ）ないし（ｃ）は、昇降部材１４８が下降端位置に位置する状態を示す。
【００３６】
このように昇降部材１４８の下降端位置が変更されることにより、図１１に示すように、吸着ノズル９０の目標下降端位置が変更されるとともに、下降距離に対する加速終了位置，減速開始位置および下降速度が変更される。減速モードが変更されるのである。本実施形態においては、部品供給装置１２２のフィーダ１２３およびテーブル１２５の高さ位置は調節不可能であるため、吸着ノズル９０の目標下降端位置の調節により、フィーダ１２３から電気部品が適切に受け取られるようにされるのである。
【００３７】
部品装着ユニット昇降装置１２０は、吸着ノズル９０の目標下降端位置が調節されず、一定とされており、ロッド本体１５４の上端部は、ピン２２０によってレバー１６０に回動可能に連結されている。ロッド本体１５４，球面ジョイント１５８のケース部１５７が連結ロッド１５６を構成し、シャフト１６１，ピン２２０と共に連結装置２１８を構成している。その他の部分は部品装着ユニット昇降装置１１８と同様に構成されており、同じ作用を為す部分には同一の符号を付して対応関係を示し、説明を省略する。
【００３８】
部品保持姿勢検出位置には、図２に概略的に示すように、撮像装置３００が設けられている。この撮像装置３００は、電気部品の二次元像を一挙に取得可能な面撮像装置であり、ＣＣＤカメラ３０２を備えている。ＣＣＤカメラ３０２は、固体イメージセンサの一種であるＣＣＤ（電荷結合素子）であって、一平面上に多数の微小な受光素子が配列されたものを含み、部品装着ユニット３０の旋回軌跡上であって、部品保持姿勢検出位置へ移動させられた部品装着ユニット３０の下方に上向きに設けられている。ＣＣＤカメラ３０２に隣接して、照明装置３０４が設けられており、吸着ノズルに設けられた発光板に向かって紫外線を照射し、発光板の蛍光面から可視光線が電気部品に照射され、吸着ノズル９０に保持された電気部品９４の投影像を撮像する。
【００３９】
装着面等検出位置には、図２に示すように、撮像装置３１０が設けられている。この撮像装置３１０は、ＣＣＤカメラ３１２を含む。ＣＣＤカメラ３１２は、上記ＣＣＤカメラ３０２と同様に、電気部品の二次元像を一挙に取得可能な面撮像装置であり、ＣＣＤカメラ３１２と対向して照明装置３１４が設けられている。ＣＣＤカメラ３１２および照明装置３１４は、光軸が、使用位置に位置決めされて垂直な吸着ノズル９０と直角になるように設けられ、本実施形態においては、光軸が水平になるように設けられている。ＣＣＤカメラ３１２は、使用位置に位置決めされた吸着ノズル９０の旋回軌跡であって、ノズル旋回装置３２によるノズル保持部材７４の旋回に伴う吸着ノズル９０の旋回軌跡より内周側に、外周側を向いて配設され、吸着ノズル９０の旋回軌跡より外周側に、照明装置３１４が内周側を向いて撮像装置３１２と対向して設けられている。撮像装置３１２および照明装置３１４は、図６に示すように、高さ（上下）方向ないし吸着ノズル９０の軸方向において、吸着ノズル９０の先端部および吸着ノズル９０により保持された電気部品９４を撮像し得る位置、すなわち吸着ノズル９０および電気部品９４の形状，寸法等を問わず、吸着ノズル９０の先端部および電気部品９４が上下方向において、二点鎖線で示す撮像領域内に位置する位置に設けられている。ＣＣＤカメラ３１２は、吸着ノズル９０および電気部品９４を、吸着ノズル９０の軸方向に直角な方向から撮像する。
【００４０】
部品装着位置には、図１２ないし図１５に示すように、回路基材の一種であるプリント配線板３５０を支持し、移動させる回路基材支持移動装置たる配線板支持移動装置３５２が設けられており、電気部品装着装置８および部品供給装置１２２と共に電気部品装着システムを構成している。配線板支持移動装置３５２は、本実施形態においては、特開平１０−２２４０９９号公報に記載の配線板支持移動装置と同様に構成されており、簡単に説明する。配線板支持移動装置３５２は、主として、▲１▼プリント配線板３５０を搬送する配線板搬送装置３５４と、▲２▼その配線板搬送装置３５４により搬送されたプリント配線板３５０を位置決めして保持する配線板保持装置３５６と、▲３▼それら配線板搬送装置３５４および配線板保持装置３５６を垂直なＺ軸に平行な方向に移動させて、図１２に二点鎖線で示されている配線板受渡高さと、実線で示されている電気部品装着高さとの間で昇降させる配線板保持装置等昇降装置３５８と、▲３▼電気部品装着高さにおいて配線板保持装置３５６の高さを調節する高さ調節装置３６０と、▲４▼その高さ調節装置３６０を介して配線板保持装置３５６を支持し、水平面内の任意の位置に移動させるＸＹテーブル３６２とを含んでいる。
【００４１】
ＸＹテーブル３６２は、電気部品装着高さにある配線板搬送装置３５４および配線板保持装置３５６を水平面内の任意の位置へ移動させることにより、配線板保持装置３５６に保持されているプリント配線板３５０の被装着面３６４の現に電気部品が装着されるべき個所を、前記部品装着位置にある部品装着ユニット３０の吸着ノズル９０の真下に位置決めする装置である。被装着面３６４はプリント配線板３５０の上面であり、本実施形態では水平面である。ＸＹテーブル３６２は、Ｘテーブル３６６およびＹテーブル３６８を含んでいる。Ｘテーブル３６６は、ねじ軸３７０，ナット３７２，Ｘテーブル移動用サーボモータ３７４を含むＸテーブル移動装置３７６により前記Ｘ軸方向に平行な方向に移動させられる。Ｙテーブル３６８はＸテーブル３６６上にＹ軸方向に平行な方向に移動可能に設けられており、ねじ軸３７８，図示しないナットおよびＹテーブル移動用サーボモータを含むＹテーブル移動装置３８０により、水平面においてＸ軸方向と直交するＹ軸方向に移動させられる。
【００４２】
配線板搬送装置３５４は、図１３に示すように、水平な枠状のメインフレーム３９０と、そのメインフレーム３９０に支持された１対のサイドフレーム３９２，３９４とを備えている。メインフレーム３９０は上記配線板保持装置等昇降装置３５８により昇降させられるとともに、電気部品装着高さにおいて高さ調節装置３６０により高さが調節され、それに伴ってサイドフレーム３９２，３９４が昇降させられ、あるいは高さが調節される。配線板搬送装置３５４はさらに、上記サイドフレーム３９２，３９４に支持され、互いに平行に延びる１対の搬送ベルト３９６（図１３には一方の搬送ベルト３９６のみが図示されている）と、それら１対の搬送ベルト３９６を移動させるベルト移動装置３９８を含み、プリント配線板３５０を図１３において紙面に直角なＸ軸に平行な方向に搬送する。配線板搬送装置３５４は配線板保持装置等昇降装置３５８により配線板受渡高さへ上昇させられた状態で、電気部品が装着されたプリント配線板３５０を搬送して図示しない配線板搬出装置に引き渡す一方、同じく図示しない配線板搬入装置から電気部品が装着されるべきプリント配線板３５０を受け取って所定位置へ搬送する。
【００４３】
配線板保持装置３５６は、上記サイドフレーム３９２，３９４に固定された固定クランプ部材４００と、その固定クランプ部材４００と共同してプリント配線板３５０の各縁部をクランプする可動クランプ部材４０２（図１３には、サイドフレーム３９４側の可動クランプ部材４０２のみが示されている）と、プリント配線板３５０を下方から支持する複数の配線板保持部材（図示省略）とを備えている。可動クランプ部材４０２は、アクチュエータたるクランプシリンダを含む駆動装置により、固定クランプ部材４００に接近，離間させられる。本実施形態においては、固定クランプ部材４００，可動クランプ部材４０２が基材支持部材たる配線板支持部材を構成し、配線板保持装置３５６，メインフレーム３９０，サイドフレーム３９２，３９４が基板支持装置たる配線板支持装置４０４を構成している。
【００４４】
高さ調節装置３６０は、図１４および図１５に示すように、上記メインフレーム３９０を電気部品装着高さにおいて下方から支持するＺテーブル４１０と、それをＺ軸方向に移動させるＺテーブル移動装置４１２とを備えている。図１５から明らかなように、Ｚテーブル４１０は、その側面の４箇所に、ローラ４１６を回転可能な状態で１つずつ備えている。これら４つのローラ４１６が、Ｚテーブル移動装置４１２によりＺ軸方向に移動させられることにより、Ｚテーブル４１０がＺ軸方向に移動させられる。Ｚテーブル４１０は、２つの位置決めブッシュ４２０を備えており、Ｙテーブル３６８に固定される２本の位置決めシャフト４２２との嵌合により、Ｚテーブル４１０とＹテーブル３６８との、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の相対移動が禁止されている。なお、メインフレーム３９０は図示しない水平調整機構を備えており、この水平調整機構を介してメインフレーム３９０がＺテーブル４１０に支持された状態で、メインフレーム３９０の上面、ひいてはプリント配線板３５０の上面を正確に水平に保つことができる。また、メインフレーム３９０には、レール４２４が、また、Ｙテーブル３６８にはリニアガイド４２６が設けられ（他の図面においては、図示を省略した）、メインフレーム３９０とＹテーブル３６８とのＺ軸方向の相対移動が滑らかになされ得るようにされるとともに、それらのＸ軸方向およびＹ軸方向の相対位置のずれが抑制される。
【００４５】
Ｚテーブル移動装置４１２は、楔ブロック枠４３０と、その楔ブロック枠４３０をＹテーブル３６８上においてＸ軸方向に相対移動させる楔ブロック枠移動装置４３２と、楔ブロック枠４３０とＹテーブル３６８とのＸ軸方向の相対位置を検出する相対位置検出装置４３４とを含んでいる。
【００４６】
楔ブロック枠４３０は、２本のレール４３６を、２本の連結部材４３８によって、それらを互いに平行に固定して形成された長方形の枠である。２本のレール４３６の長手方向は、Ｘ軸方向に一致させられている。各レール４３６の２箇所（計４箇所）には、同形の楔ブロック４４０がそれぞれ１つずつ設けられている。これら４つの楔ブロック４４０の傾斜面４４２の法線ベクトルは、Ｙ軸方向成分を持たず、Ｚ軸方向およびＸ軸方向成分を持っている。これら４つの傾斜面４４２は、Ｚテーブル４１０に設けられた４つのローラ４１６と１対１に係合させられる。楔ブロック枠４３０は、後述する楔ブロック枠移動装置４３２により、Ｙテーブル３６８上においてＸ軸方向に相対移動させられる。したがって、各楔ブロック４４０もＸ軸方向に相対移動させられるが、それらと係合するローラ４１６は、上述のようにＸ軸方向およびＹ軸方向の移動が禁止されている（それらを備えるＺテーブル４１０のＸ軸，Ｙ軸方向の移動が禁止されている）ため、ローラ４１６が傾斜面４４２上を転がりつつ、Ｚ軸方向のみに移動させられる。楔ブロック枠４３０とＹテーブル３６８とが、Ｘ軸方向に相対移動させられることによって、Ｚテーブル４１０がＹテーブル３６８に対して、Ｚ軸方向にのみ相対移動させられるのである。
【００４７】
楔ブロック枠移動装置４３２は、▲１▼Ｙテーブル３６８に固定され、前記２本のレール４３６をＸ軸方向に相対移動可能な状態で保持する４つのリニアガイド４４６と、▲２▼前記２本のレール４３６のうち、一方の端部に取り付けられたラック４４８と、▲３▼そのラック４４８と噛み合うピニオン４５０と、▲４▼そのピニオン４５０を回転させる駆動モータ４５２と、▲５▼それらラック４４８とピニオン４５０とが、ラック４４８の長手方向とピニオン４５０の回転軸方向とに直交する方向に離間することを禁止する押さえローラ４５４と、▲６▼それらラック４４８とピニオン４５０との噛み合いのバックラッシを抑制するスプリング４５６とを含んでいる。各レール４３６は、それぞれ２つのリニアガイド４４６により、吊り下げられている。これにより、各レール４３６がＹテーブル３６８に対して滑らかに相対移動させられる。ラック４４８とピニオン４５０との噛み合いにより、ピニオン４５０が駆動モータ４５２により回転させられると、楔ブロック枠４３０がＹテーブル３６８に対してＸ軸方向に相対移動させられる。なお、駆動モータ４５２とピニオン４５０との間には、減速ギヤ４５８が挿入されている。スプリング４５６の一端はラック４４８に係合させられ、他端はＹテーブル３６８に係合させられており、ラック４４８を図１５において右側に付勢している。本実施形態では、駆動モータ４５２はサーボモータにより構成され、回転検出装置たるエンコーダ４７０により回転角度が検出される。
【００４８】
相対位置検出装置４３４は、前記ラック４４８が取り付けられた方のレール４３６に設けられた２つの相対位置検出用板４６０，４６２と、Ｙテーブル３６８に設けられた３つのフォトインタラプタ４６４，４６６および４６８とを備えている。フォトインタラプタ４６４，４６６，４６８による相対位置検出用板４６０，４６２の検出により、楔ブロック枠４３０のＹテーブル３６８に対するＸ軸方向の相対位置の原点，楔ブロック枠４３０のＹテーブル３６８に対する移動範囲が規定され、Ｚテーブル４１０のＹテーブル３６８に対する昇降範囲（上昇端位置および下降端位置）が規定される。
【００４９】
配線板保持装置等昇降装置３５８は、図１２に示すように、▲１▼ベース４７４に設けられ、ピストンロッド４７６を備えたエアシリンダ４７８と、▲２▼Ｙテーブル３６８に固定され、プランジャ４８０を備えたエアシリンダ４８２と、▲３▼それぞれ上端が前記メインフレーム３９０に固定されるとともに、下端が連結部材４８４によりプランジャ４８０に連結された２本のガイドシャフト４８６と、▲４▼そのガイドシャフト４８６と軸方向に相対移動可能に嵌合させられ、かつ、Ｙテーブル３６８に固定されたガイドブッシュ４８８とを含んでいる。エアシリンダ４８２，ガイドシャフト４８６，ガイドブッシュ４８８等はＺ軸方向に延びている。
【００５０】
エアシリンダ４８２の内部が大気に解放された状態で、エアシリンダ４７８のピストンロッド４７６はＺ軸方向の上方に突出させられる。突出させられたピストンロッド４７６は、連結部材４８４に当接し、さらに連結部材４８４，ガイドシャフト１７０およびメインフレーム３９０を上方に押し上げる。それにより、プリント配線板３５０を図１２に二点鎖線で示す配線板受渡高さへ移動させることができる。逆に、エアシリンダ４８２に圧縮空気が供給され、エアシリンダ４７８の内部が大気に解放されると、プランジャ４８０，ガイドシャフト４８６およびメインフレーム３９０が下方に押し下げられ、メインフレーム３９０がＺテーブル４１０に支持される状態となるとともに、プリント配線板３５０が図１２に実線で示す電気部品装着高さへ移動させられる。この状態では、エアシリンダ４８２の内部には、常に圧縮空気が供給されるようになっており、メインフレーム３９０がＺテーブル４１０に押し付けられ、そのＺテーブル４１０に設けられた４つのローラ４１６が、４つの傾斜面４４２に押し付けられる。プリント配線板３５０が電気部品装着高さへ移動させられたか否かは、メインフレーム３９０に設けられた相対位置検出用板４９４が、Ｙテーブル３６８に設けられたフォトインタラプタ４９６によって検出される（図１５参照）。
【００５１】
本電気部品装着システムは、図１６に示す制御装置５５０によって制御される。制御装置５５０は、ＰＵ５５２，ＲＯＭ５５４，ＲＡＭ５５６および入出力部５５８を有するコンピュータ５６０を主体とするものである。入出力部５５８には、ＣＣＤカメラ３０２等の他、入力装置５７０が接続されている。入力装置５７０は、文字キー，数字キー，操作キー等を備え、例えば、作業者が電気部品装着等に必要なデータ等を入力する。入出力部５５８にはまた、駆動回路５６２を介してインデックス用サーボモータ１６等の各種アクチュエータが接続されている。これら駆動回路５６２およびコンピュータ５６０が制御装置５５０を構成している。インデックス用サーボモータ１６等、本電気部品装着システムに設けられた種々のサーボモータは、回転角度の精度の良い制御が可能な電動モータであり、駆動源を構成し、いずれもエンコーダによって回転角度が検出されるようにされている。図１６には、インデックス用サーボモータ１６，第二スライド駆動用サーボモータ２０８および駆動モータ４５２についてそれぞれ設けられたエンコーダ１８，２２４，４７０が代表的に図示されている。ＲＡＭ５５６は、電気部品９４の吸着，装着等を行うために必要なデータや検出，演算等により得られたデータ等を記憶する記憶手段を構成する。
【００５２】
次に作動を説明する。
以上のように構成された電気部品装着システムにおいて１６組の部品装着ユニット３０は、インデックステーブル２０の間欠回転により順次１６個の停止位置へ移動させられ、部品受取位置において電気部品を受け取り、部品装着位置においてプリント配線板３５０に装着する。部品装着ユニット３０が部品受取位置へ移動させられるとき、ガイドレール４６に取り付けられたローラ４８は、円筒カム４０のカム溝から、部品装着ユニット昇降装置１１８の昇降部材１４８に設けられた係合溝１５２へ乗り移る。ローラ４８の係合溝１５２への乗移りが終わる前に昇降部材１４８が下降を開始させられ、部品装着ユニット３０が下降させられる。
【００５３】
部品装着ユニット３０は部品装着ユニット昇降装置１１８により、滑らかに加速を開始し、定速で下降した後、下降の末期において滑らかに減速させられて吸着ノズル９０が電気部品９４に当接させられる。本実施形態では、電気部品９４の吸着時には、使用位置に位置決めされた吸着ノズル９０の目標下降端位置は、ノズル保持部材７４が下降端位置に到達して停止させられたときにちょうど、吸着ノズル９０が電気部品９４の上面である被吸着面９６に当接する位置に設定されている。吸着ノズル９０が、スプリング１００を圧縮することなく、電気部品９４に押付力を加えることなく、下降速度が０の状態で電気部品９４に当接することを目指して目標下降端位置が設定されているのである。本実施形態では、吸着ノズル９０の吸着端面９２の軸方向位置誤差（本実施形態においては摩耗量）および電気部品９４の厚さ誤差に基づいて吸着ノズル９０の目標下降端位置が変更され、吸着ノズル９０の昇降ストロークが変更されるようにされているが、それについては後述する。
【００５４】
吸着ノズル９０は、電気部品９４の被吸着面９６に当接し、負圧により吸着した後、上昇させられ、次の停止位置へ移動させられ、停止させられる。この際、吸着ノズル９０はスプリング１００の付勢により前進端位置に位置する状態で電気部品９４を保持し、搬送する。そして、部品保持姿勢検出位置において、吸着ノズル９０による電気部品９４の保持姿勢が撮像装置３００によって撮像される。撮像により得られた画像データは誤差のない正規の保持姿勢を表す像データと比較され、電気部品９４の中心の水平面内における保持位置誤差ΔＸE ，ΔＹE および中心まわりの回転位置誤差Δθが算出される。また、吸着ノズル９０が電気部品９４を保持しているか否かが検出され、吸着ノズル９０が電気部品９４を保持していなければ、それを記憶するデータが作成され、部品装着ユニット３０の制御に用いられるようにされる。さらに、吸着された電気部品９４の軸線に直角な断面形状である横断面形状の寸法、例えば、互いに交差する２辺の長さが求められる。
【００５５】
次いで、装着面等検出位置において、撮像装置３１０により、吸着ノズル９０の先端部と、それに吸着保持されている電気部品９４とが、吸着ノズル９０の軸方向に直角な方向から撮像される。この撮像により取得された画像データに基づいて、電気部品９４の装着面９８の、吸着ノズル９０の軸方向における位置と、吸着ノズル９０の吸着端面９２の、吸着ノズル９０の軸方向における位置とが取得されるとともに、これら位置に基づいて電気部品９４の厚さが取得される。
【００５６】
電気部品９４の厚さおよび部品保持姿勢検出位置における撮像に基づいて取得された電気部品９４の横断面形状の寸法に基づいて、吸着ノズル９０に吸着されている電気部品９４が吸着されるべき電気部品９４であるか否かの判定が行われる。また、画像データに基づいて、電気部品９４が吸着ノズル９０により、プリント配線板３５０への装着が可能な姿勢で保持されているか否か、例えば、電気部品９４が吸着ノズル９０により立った姿勢で吸着されているか否かの判定および電気部品９４が吸着ノズル９０により、吸着ノズル９０の軸線に直角な方向において装着に適した位置に吸着されているか否か、すなわち装着が不可能なほどのずれがあるか否かの判定が行われる。吸着すべき電気部品９４が吸着されていない場合、電気部品９４が吸着ノズル９０により立った姿勢で吸着されている場合、電気部品９４が吸着ノズル９０の軸線に直角な方向におけるずれ量が設定量を超えている場合には、それらを記憶するデータが作成され、部品装着ユニット３０が部品装着位置において装着動作を行わず、装着が不可能な姿勢で吸着された電気部品９４が排出位置において排出されるようにされる。
【００５７】
吸着ノズル９０により吸着されるべき電気部品９４がプリント配線板３５０に装着可能な姿勢で吸着されていれば、電気部品９４の装着面９８の軸方向位置が正規位置と比較され、装着面９８の軸方向位置誤差が求められる。使用位置に位置決めされた吸着ノズル９０およびそれに保持された電気部品９４の撮像は、部品装着ユニット３０が装着面等検出位置に停止し、吸着ノズル９０がスプリング１００の付勢力により前進端位置に保たれた状態で行われるため、吸着ノズル９０の軸方向位置は既知である。吸着ノズル９０の軸方向位置は、吸着ノズル９０の製造誤差や吸着端面９２の摩耗等によって軸方向におけるノズル保持部材７４に対する位置が変化しない部分の位置、例えば、吸着ノズル９０のノズル保持部材７４に保持される部分の位置により規定される。吸着ノズル９０はノズル保持部材７４を構成する回転保持体８６により、軸方向に相対移動可能に保持されており、吸着ノズル９０が回転保持体８６に対して決まった相対位置にある状態、本実施形態では前進端位置へ移動した状態において吸着ノズル９０の位置を論ずる。吸着ノズル９０の軸方向位置は既知であり、吸着端面９２の正規の位置（吸着ノズル９０に製造誤差や吸着端面９２の摩耗等がない場合の吸着端面９２の位置）も装着面９８の正規の位置（電気部品９４が寸法誤差なく作られている場合の装着面９８の位置）も既知である。吸着端面９２，装着面９８があるべき位置（正規の位置）に位置する状態において、それらのＣＣＤカメラ３１２の撮像面における像形成位置がわかっており、撮像により得られた実際の位置データと比較される正規位置データがあるのである。本実施形態において複数の吸着ノズル９０の長さは同じにされており、吸着端面９２の正規の位置は吸着ノズル９０の種類に関係なく一定であり、コンピュータ５６０のＲＡＭ５５６に記憶されている。装着面９８の正規の位置は、上記吸着端面９２の正規の位置と電気部品９４の正規の厚さとに応じて予め設定され、電気部品９４の種類と対応付けてＲＡＭ５５６に記憶されており、画像データに基づいて得られる装着面９８の実際の軸方向位置と正規の軸方向位置とに基づいて、装着面９８の軸方向位置誤差が取得され、いずれの吸着ノズル９０により吸着された電気部品９４の装着面９８の軸方向位置誤差であるかがわかるように、吸着ノズル９０を特定するデータと対応付けてＲＡＭ５５６に記憶されている。この位置誤差は大きさおよび方向を含む。
【００５８】
また、吸着ノズル９０の吸着端面９２の軸方向位置に基づいて、吸着ノズル９０の摩耗および曲がりが検出される。吸着端面９２の位置を正規の位置と比較し、両者の差を求めて設定値と比較し、その差が設定値以上であれば、吸着ノズル９０が交換が必要なほど摩耗していると判定する。差、すなわち摩耗量が設定値より小さくても、吸着ノズル９０を特定するデータと対応付けてコンピュータ５６０のＲＡＭ５５６に記憶される。また、吸着ノズル９０の先端部が、例えば、吸着ノズル９０の軸線に直角な方向において、軸線から設定量外れた位置にあるか否かが求められ、設定量以上外れていれば、吸着ノズル９０が交換が必要なほど曲がっていると判定される。吸着ノズル９０の摩耗あるいは曲がりにより、吸着ノズル９０の交換が必要であれば、吸着ノズル９０の交換を指示するデータが作成される。
【００５９】
吸着ノズル９０の摩耗および曲がりの検出は、本実施形態では、吸着ノズル９０が装着面等検出位置へ移動し、撮像されるごとに行われるのではなく、例えば、吸着ノズル９０によりプリント配線板３５０に装着された電気部品９４が設定個数に達するごとに行われる。本実施形態の電気部品装着装置８において複数の部品装着ユニット３０はそれぞれ、少なくとも種類が２種類に異なる複数の吸着ノズル９０を保持し、それら吸着ノズル９０が選択的に使用されるようにされており、吸着ノズル９０の種類によって使用頻度や耐久性が異なることがあり、設定回数は、複数の吸着ノズル９０について個々に設定され、例えば、摩耗および曲がりを、遅過ぎることなく、検出可能な回数に設定されている。例えば、直径が小さい吸着管９１は、大きい吸着管９１より摩耗し易く、小径の吸着ノズル９０は大径の吸着ノズル９０より設定個数が少なく設定される。コンピュータ５６０においては、複数の部品装着ユニット３０の複数の吸着ノズル９０の各々についてそれぞれ、電気部品９４の装着回数が数えられて記憶され、設定回数に達したならば、摩耗および曲がりの判定が行われる。装着回数は吸着回数でもあり、吸着ノズル９０が電気部品９４を吸着する際に吸着（装着）回数が数えられる。吸着ノズル９０は、吸着回数が設定回数に達したとき、使用位置にあり、吸着回数が設定回数に達したときにちょうど、装着面等検出位置における撮像に基づいて摩耗および曲がりの有無が検出され、検出結果が吸着ノズル９０を特定するデータと対応付けてコンピュータ５６０のＲＡＭ５５６に記憶される。本実施形態では、電気部品９４の厚さを取得すべく、吸着ノズル９０が電気部品９４を吸着する毎に吸着端面９２の軸方向位置が取得されるが、吸着端面９２の摩耗等の有無の検出に関しては、吸着ノズル９０が電気部品９４を設定個数、装着する毎に吸着端面９２の軸方向位置が取得される。吸着端面９２および装着面９８の撮像は、部品装着ユニット３０の複数の停止位置の一つにおいて行われ、プリント回路板の生産に支障のない時期に自動で行われる。
【００６０】
撮像後、部品装着ユニット３０は部品姿勢修正位置へ移動させられ、ノズル保持部材７４が部品姿勢修正装置によって自身の軸線まわりに回転させられ、電気部品９４の回転位置誤差が修正され、０に減少させられる。
【００６１】
修正後、部品装着ユニット３０は部品装着位置へ移動させられて部品装着ユニット昇降装置１２０により昇降させられ、電気部品９４をプリント配線板３５０に装着する。ガイドレール４６に取り付けられたローラ４８の円筒カム４０のカム溝から部品装着ユニット昇降装置１２０の昇降部材１４８に設けられた係合溝１５２への乗移りが終わる前に昇降部材１４８が下降を開始させられ、部品装着ユニット３０が下降させられる。昇降ストローク、すなわち吸着ノズル９０の目標下降端位置は予め設定されて一定であり、吸着ノズル９０は、滑らかに加速し、定速で下降した後、下降距離に対して決まった減速開始位置において減速を開始させられ、滑らかに減速させられる。
【００６２】
電気部品９４のプリント配線板３５０への装着時には、プリント配線板３５０はＸＹテーブル３６２によって水平面内において移動させられ、部品装着箇所が、部品装着位置へ移動されられた部品装着ユニット３０の使用位置に位置決めされた吸着ノズル９０の真下に位置させられる。この際、Ｘテーブル３６６，Ｙテーブル３６８の移動距離は、電気部品９４の水平面内における中心位置誤差ΔＸE ，ΔＹE ，電気部品９４の回転位置誤差Δθの修正により生じたＸ軸方向，Ｙ軸方向の各位置誤差および部品装着箇所の水平面内における位置誤差ΔＸP ，ΔＹP を解消すべく、修正される。
【００６３】
また、プリント配線板３５０は、電気部品９４の装着面９８の位置に応じて高さ調節装置３６０により昇降させられ、プリント配線板３５０の被装着面３６４の高さ、すなわち吸着ノズル９０に対して相対的に接近，離間する方向の位置が調節される。被装着面３６４の高さの調節は、本実施形態では、被装着面３６４の基準位置を設定し、その基準位置に対して被装着面３６４の目標位置を設定することにより行われる。この目標位置は、吸着ノズル９０に保持された電気部品９４が装着面９８に軸方向位置誤差がない状態で装着される場合の位置であり、正規の位置である。本実施形態では、図１７に示すように、製造誤差や吸着端面９２の摩耗等がない標準吸着ノズル９０′をノズル保持部材７４に正規の状態で保持させるとともに、下降端位置まで下降させた状態において、標準プリント配線板３５０′を吸着端面９２′に接触させる。標準プリント配線板３５０′は、製造誤差等のないプリント配線板であり、配線板保持装置３５６により正規の状態で保持されている。標準プリント配線板３５０′を、部品装着高さに位置する状態において高さ調節装置３６０により上昇させ、被装着面３６４′が標準吸着ノズル９０′の吸着端面９２′に、標準吸着ノズル９０′をスプリング１００′の付勢力に抗して回転保持体８６側へ移動させることなく接触する位置へ移動させ、その位置が被装着面３６４の基準位置とされる。標準吸着ノズル９０′の下降端位置は、予定された下降端位置であり、電気部品がプリント配線板に当接して下降を阻止されなければ、標準吸着ノズル９０′がそこまで下降するはずの下降端位置であり、標準プリント配線板３５０′が吸着端面９２′に接触したか否かは、作業者によって隙間ゲージ等の検査治具を用いて検出される。被装着面３６４′と吸着端面９２′との間にやっと光が通過する程度の極く僅かな隙間がある状態を目によって確認してもよい。被装着面３６４′が基準位置に位置する状態における高さ調節装置３６０の駆動モータ４５２の駆動量（原点からの回転角度）がエンコーダ４７０により検出されて記憶され、基準駆動量とされる。被装着面３６４の基準位置は、複数の部品装着ユニット３０の複数の吸着ノズル９０のうちの１つについて代表的に標準吸着ノズル９０′を用いて得られた位置を基準位置としてもよく、複数の部品装着ユニット３０の各々について、複数の吸着ノズル９０のうちの１つについて標準吸着ノズル９０′を用いて得られた複数の基準位置の平均位置を基準位置としてもよく、電気部品装着装置８に搭載された全部の吸着ノズル９０について標準吸着ノズル９０′を用いて得られた複数の基準位置の平均位置を基準位置としてもよい。
【００６４】
そして、被装着面３６４の基準位置，電気部品９４の厚さｔおよびスプリング１００の圧縮量αを用いて、プリント配線板３５０の被装着面３６４を正規の位置に位置させるための駆動モータ４５２の駆動量が演算により求められ、コンピュータ５６０のＲＡＭ５５６に記憶される。標準吸着ノズル９０′が標準電気部品９４′を保持して下降端位置へ下降した状態では、標準電気部品９４′の装着面９８′の位置は、基準位置より、標準電気部品９４′の厚さｔ分、低くなり、標準プリント配線板３５０′の被装着面３６４′の位置も、基準位置より、標準電気部品９４′の厚さｔ分、低くなる。標準電気部品９４′は、製造誤差等のない正規の電気部品である。この状態では、標準吸着ノズル９０′を付勢するスプリング１００の圧縮量αは０である。ここにおいてスプリング１００の圧縮量αは、スプリング１００の付勢による吸着ノズル９０の突出限度が前記突出限度規定装置により規定された状態を０とし、その状態から吸着ノズル９０がスプリング１００を圧縮して回転保持体８６側へ後退した場合の圧縮量である。被装着面３６４′の位置が、圧縮量αが０の位置より上になるほど圧縮量αが増大し、圧縮量αが電気部品９４の厚さｔ以下であれば、被装着面３６４′の位置は基準位置以下になり、圧縮量αが電気部品９４の厚さｔより大きければ、被装着面３６４′の位置は基準位置より高くなる。
【００６５】
したがって、被装着面３６４の位置は、吸着ノズル９０が電気部品９４を被装着面３６４に押し付ける押付力の大きさに応じて設定される。この押付力は、スプリング１００の圧縮量αが大きいほど大きくなり、電気部品９４やクリーム状半田の種類に応じて設定されている。電気部品９４とクリーム状半田との接触面積が大きいほど押付力は大きくされ、クリーム状半田が固いほど押付力は大きくされる。したがって、電気部品９４の装着に必要な押付力を得るためのスプリング１００の圧縮量αが電気部品９４の厚さｔ以下であれば、被装着面３６４の正規の位置は、基準位置から、（ｔ−α）下がった位置とされ、電気部品９４の装着に必要な押付力を得るためのスプリング１００の圧縮量αが電気部品９４の厚さｔより大きければ、被装着面３６４の正規の位置は、基準位置より（α−ｔ）上方の位置とされる。被装着面３６４の正規の位置は、装着面９８が正規の位置にある電気部品３６４が装着される位置であり、駆動モータ４５２の駆動量により規定される。被装着面３６４を正規の位置に位置させる駆動モータ４５２の駆動量は、駆動モータ４５２の基準駆動量，電気部品９４の厚さ，圧縮量αを用いて演算され、電気部品９４の種類毎にコンピュータ５６０のＲＡＭ５５６に記憶されている。
【００６６】
そして、撮像により得られた装着面９８の軸方向位置誤差に基づいて、図１８に二点鎖線で示すように、電気部品９４の実際の装着面９８が正規の位置よりΔｈ1 だけ上方へずれていれば、被装着面３６４の位置は、正規位置よりΔｈ1 だけ上方へ修正される。また、一点鎖線で示すように、装着面９８が正規位置よりΔｈ2 だけ下方へずれていれば、被装着面３６４の位置は、正規位置よりΔｈ2 だけ下方へ修正される。被装着面３６４を正規位置へ移動させるための駆動モータ４５２の駆動量が、軸方向位置誤差Δｈ1 ，Δｈ2 の大きさおよび方向に基づいて修正され、被装着面３６４は高さ調節装置３６０により、電気部品９４が被装着面３６４に設定された押付力で押し付けられる位置へ移動させられるのである。
【００６７】
被装着面３６４は、本実施形態では、吸着ノズル９０がスプリング１００を圧縮しない状態で電気部品９４が被装着面３６４に接触する距離、下降させられる前に、上記のように設定された正規の位置に対して修正された位置へ移動させられている。そして、電気部品９４が被装着面３６４に接触した後、更にノズル保持部材７４が下降させられることにより、吸着ノズル９０はスプリング１００を圧縮しつつ回転保持体８６側へ移動させられる。装着面９８の軸方向位置誤差には、吸着ノズル９０の製造誤差，保持位置誤差，吸着端面９２の摩耗，電気部品９４の寸法誤差等、装着面９８の位置を正規の位置と異ならせるすべての誤差が含まれており、装着面９８の位置を取得して被装着面３６４の高さを修正することにより、吸着ノズル９０の製造誤差等があっても、電気部品９４は、それら誤差がない場合の位置に対して誤差の少ない位置において被装着面３６４に接触させられ、減速された状態で衝撃少なく接触させられるとともに、ノズル保持部材７４が下降端位置へ到達した状態では、ほぼ予め設定された押付力で被装着面３６４に押し付けられる。また、被装着面３６４に塗布されたクリーム状半田への電気部品９４の押し込み量のばらつきが少なく、電気部品９４の装着位置ずれが少なくて済む。
【００６８】
部品装着ユニット３０がプリント配線板３５０に電気部品９４を装着するとき、部品装着ユニット３０の下降に伴って切換弁１１０が正圧供給状態に切り換えられ、吸着ノズル９０が電気部品９４を解放する。装着後、部品装着ユニット３０は、インデックステーブル２０の回転により、次の停止位置へ移動させられる。
【００６９】
電気部品９４が吸着ノズル９０により、立った姿勢で吸着されていたり、間違った電気部品９４が保持されていて、電気部品９４がプリント配線板３５０に装着されないのであれば、その電気部品９４を保持した吸着ノズル９０が部品装着位置へ移動させられても、部品装着ユニット昇降装置１２０は、部品装着ユニット３０を昇降させない。ローラ１６８がカム１７４に追従しないようにされるのである。それにより、部品装着ユニット３０は電気部品９４の装着動作を行わず、切換弁１１０は負圧供給状態に切り換えられたままとされ、吸着ノズル９０は電気部品９４を保持したままとされる。吸着ノズル９０が電気部品９４を保持していない場合も装着動作は行われない。
【００７０】
排出すべき電気部品９４を保持した部品装着ユニット３０あるいは電気部品９４を吸着できなかった部品装着ユニット３０が部品排出位置へ移動させられれば、図示しない切換装置により切換弁１１０が正圧供給状態に切り換えられ、電気部品９４が解放されて図示しない排出箱に排出される。
【００７１】
撮像に基づく吸着ノズル９０の吸着端面９２の軸方向位置の取得により、吸着端面９２の摩耗量が取得されれば、その吸着ノズル９０が、摩耗が検出された撮像の次に部品受取位置において電気部品９４を吸着するとき、摩耗量に対応する分、吸着ノズル９０の昇降ストロークが長くされ、目標下降端位置が下方に変更される。第二スライド２０２が移動させられ、連結ロッド１５６のレバー１６０に対する連結位置とレバー１６０の回動軸線との距離が長くされるのである。吸着端面９２および装着面９８の軸方向位置の取得により得られる電気部品９４の厚さが公称寸法より薄い場合も同様である。電気部品９４の厚さが公称寸法より厚い場合には、吸着ノズル９０の昇降ストロークが短くされ、目標下降端位置が上方に変更されることがある。
【００７２】
吸着ノズル９０の目標下降端位置を変更する際には、第二スライド駆動用サーボモータ２０８による第二スライド２０２の駆動量が変更される。この駆動量は、本実施形態では、吸着端面９２の摩耗量および電気部品９４の厚さ誤差とサーボモータ２０８の基準駆動量とに基づいて設定される。基準駆動量は、ノズル保持部材７４により保持された標準吸着ノズル９０′を、部品供給装置１２２に設定された基準面に当接させることにより取得される。図２０に示すように、テーブル１２５の上に標準フィーダ６００を、フィーダ１２３と同様に位置決めし、固定する。標準フィーダ６００は、テーブル１２５の上面にフィーダ１２３と同様にして取り付けられたとき、上面の高さが基準高さとなり、上面が基準面となるように精度良く作られている。基準高さは、精度良く作られた正規のフィーダ１２３がテーブル１２５に固定された状態において、寸法誤差のない電気部品９４が寸法誤差のない部品保持テープ１３０により保持されている場合における電気部品９４の上面の高さである。本実施形態において吸着ノズル９０の目標下降端位置は、前述のように、ノズル保持部材７４が下降端位置に到達し、停止させられたときにちょうど、吸着ノズル９０が電気部品９４に当接し、押付力を加えない状態で電気部品９４を吸着する位置に設定されているからである。
【００７３】
そして、第一スライド１９０の移動を案内するガイド１８２，昇降部材１４８の位置が前述のように調節された状態において、第二スライド２０２を、吸着ノズル９０の昇降ストロークが最小（吸着ノズル９０の目標下降端位置が最も高い）となる位置に位置させるとともに、回転カム１７４を、ノズル保持部材７４が下降端位置に位置する位置へ回転させる。この際、ノズル保持部材７４には標準吸着ノズル９０′を精度良く保持させる。吸着ノズル９０の昇降ストロークが最小の状態では、ノズル保持部材７４が下降端位置へ下降させられ、標準吸着ノズル９０′が目標下降端位置へ下降させられても、吸着端面９２′は標準フィーダ６００の上面に接触しない。そのため、この状態から第二スライド２０２を吸着ノズル９０の昇降ストロークが長くなる側へ移動させ、標準吸着ノズル９０′を前進端位置に位置する状態において標準フィーダ６００の上面に接触させる。標準吸着ノズル９０′が標準フィーダ６００の上面に接触したか否かは、例えば、作業者が隙間ゲージ等の検査治具を用いて検査する。吸着端面９２′と標準フィーダ６００の上面との間に、上面に平行な方向から見たとき、反対側に位置した照明装置の光がかろうじて見える程度の極く僅かな隙間があってもよい。
【００７４】
このように吸着端面９２′が標準フィーダ６００の上面に当接した状態における第二スライド駆動用サーボモータ２０８の駆動量（エンコーダ２２４により検出される回転角度であって、原点からの回転角度）を基準駆動量としてコンピュータ５６０のＲＡＭ５５６に記憶する。吸着端面９２′が標準フィーダ６００の上面に当接した状態における吸着ノズル９０′の位置を、基準目標下降端位置、第二スライド２０２の位置を基準スライド位置とする。電気部品９４はエンボス型のテーピング電気部品とされており、電気部品９４の種類が異なっても、その上面の高さは同じであるとする。そのため、吸着ノズル９０の基準目標下降端位置は、電気部品９４の種類を問わず、一定である。
【００７５】
そして、電気部品９４の吸着時には、吸着端面９２の摩耗量および電気部品９４の厚さ誤差に基づいてサーボモータ２０８の駆動量が変更され、吸着ノズル９０の目標下降端位置が変更される。吸着端面９２の摩耗量は、吸着ノズル９０毎にＲＡＭ５５６から読み出され、電気部品９４の厚さ誤差は、部品供給位置に位置決めされたフィーダ１２３についてＲＡＭ５５６に記憶されている電気部品９４の厚さを公称寸法と比較することにより得られる。吸着ノズル９０の目標下降端位置とサーボモータ２０８の駆動量との関係が、近似式、本実施形態では、二次式により近似され、演算は、吸着端面９２の摩耗量，電気部品９４の厚さ誤差およびサーボモータ２０８の基準駆動量を用いて行われる。実際の目標下降端位置が基準目標下降端位置から、吸着端面９２の摩耗量および電気部品９４の厚さ誤差の分、ずれた位置に変更されるようにサーボモータ２０８の駆動量が演算されるのである。
【００７６】
例えば、吸着端面９２の摩耗のみが生じていれば、摩耗分、昇降ストロークが長くなり、目標下降端位置が基準目標下降端位置より下になるようにサーボモータ２０８の駆動量が演算され、第二スライド２０２が移動させられる。電気部品９４の厚さ誤差のみが生じていて、公称寸法より薄い場合も同様である。電気部品９４の厚さが公称寸法より厚ければ、その分、昇降ストロークが短くなり、目標下降端位置が基準目標下降端位置より上に位置するように第二スライド２０２が移動させられる。吸着端面９２の摩耗と電気部品９４の厚さ誤差との両方に基づいて目標下降端位置を変更するのであれば、摩耗量と厚さ誤差の大きさおよび方向とに基づいて目標下降端位置の変更量，変更方向（目標下降端位置を高くするか、低くするか）が決定され、決定された目標下降端位置が得られるように第二スライド２０２が移動させられる。なお、前述のように、吸着ノズル９０の吸着端面９２の摩耗の検出は、吸着ノズル９０が設定個数の電気部品９４を吸着する毎に行われるため、一旦、摩耗が検出された後、次に検出されるまでの間は、先に検出された摩耗量を用いて吸着ノズル９０の目標下降端位置が決定される。
【００７７】
電気部品９４の厚さ誤差は、テーピング電気部品単位で発生することが多く、複数のフィーダ１２３の各テーピング電気部品毎に電気部品９４の厚さの平均を求めれば、その平均値を、テーピング電気部品により供給される電気部品９４の実際の厚さとみなしてよく、その平均値の公称寸法に対する誤差を、電気部品９４の厚さ誤差と見なしてよい。電気部品９４の厚さは、前述のように、電気部品９４が吸着ノズル９０によって吸着され、装着面等検出位置において検出される毎に取得され、装着される全部の電気部品９４について取得される。電気部品９４の厚さの平均値は、電気部品９４が吸着ノズル９０によって吸着される毎に、その吸着された電気部品９４が属するテーピング電気部品について演算され、フィーダ１２３を特定するデータと対応付けてコンピュータ５６０のＲＡＭ５５６に記憶される。
【００７８】
平均値は、例えば、同じテーピング電気部品について連続して取得された複数個の電気部品９４の厚さを記憶し、それらの平均値を求めることにより取得してもよく、あるいはデジタルフィルタを用いて取得してもよい。デジタルフィルタは、例えば、取得された最新の厚さと過去に取得された厚さとにそれぞれ係数を掛けることにより得られる値を厚さの平均値とするものとされる。このように算出された値は、次に厚さが取得されたときには過去の値とされる。過去の値と最新の値とにそれぞれ掛ける係数は、和が１になる正の値とされ、過去の値と最新の値とのいずれか重視する方の値について掛ける係数を他方の係数より大きくする。複数のテーピング電気部品毎に、電気部品９４が取り出される度に厚さの平均値が演算されて記憶され、次に、電気部品９４が取り出される時、その電気部品９４が属するテーピング電気部品について取得された厚さの平均値を公称寸法と比較して厚さ誤差が求められ、その厚さ誤差を用いて吸着ノズル９０の目標下降端位置が変更される。
【００７９】
目標下降端位置の変更は、吸着ノズル９０の昇降中に行われても、吸着ノズル９０が上昇端位置に位置する状態で行われてもよく、部品装着ユニット昇降装置１１８の回転カム１７４が１回転する間に行われるが、図１９に示すように、少なくとも、昇降ストロークが変更される吸着ノズル９０が電気部品９４に当接するまでに完了していることが望ましく、誤差等を考慮すれば、吸着ノズル９０が電気部品９４に当接するより、やや早い時期に完了していることが望ましい。吸着ノズル９０が電気部品９４に当接する際に変更が完了していなければ、例えば、昇降ストロークが短くされる場合、吸着ノズル９０が下降しつつ電気部品９４に当接することがあり得るからである。変更が完了していなければ、目標下降端位置が、変更完了後の目標下降端位置より下の位置である状態で（昇降ストロークが長い状態で）吸着ノズル９０が電気部品９４に当接し、下降速度が０より大きい状態で当接し、電気部品９４に衝撃が加えられることがあり得るのである。昇降ストロークが長くされる場合には、回転カム１７４が、ノズル保持部材７４を下降端位置へ移動させる際の回転位置に達しても、まだ、吸着ノズル９０は目標下降端位置に到達しておらず、電気部品９４に衝撃を加えることはないが、電気部品９４を離れた状態で吸着し始めることがあり得る。その後、昇降ストロークの変更を完了させるべく、更に第一スライド１９０がレバー１６０に対して移動させられることにより、吸着ノズル９０は目標下降端位置へ下降し、電気部品９４に当接して吸着する。
【００８０】
また、図１９に示すように、昇降ストロークが変更される吸着ノズル９０の直前に電気部品９４を吸着した吸着ノズル９０が上昇を開始させられ、電気部品９４が部品収容凹部１３６の底面から浮き上がった後に目標下降端位置の変更が開始されるようにした方がよい。例えば、目標下降端位置が下方に変更され、昇降ストロークが長くされる場合、電気部品９４が部品収容凹部１３６の底面から浮き上がる前に目標下降端位置の変更が開始されれば、昇降ストロークが長くされることにより、吸着ノズル９０が回転保持体８６に対して相対移動し、スプリング１００が圧縮されて電気部品９４に押付力を加えることがあり得るからである。
【００８１】
しかし、目標下降端位置の変更が、電気部品９４に衝撃や押付力が加えられる恐れのない状態で行われることは不可欠ではなく、吸着ノズル９０が電気部品９４に当接した後に変更が完了し、吸着ノズル９０が上昇を開始させられる前に開始されてもよい。電気部品９４の衝撃や押付力が加えられても少なくて済み、また、衝撃や押付力は上下方向の力であって、吸着ノズル９０の軸方向と直角な方向の力に比較すれば、吸着ノズル９０による電気部品９４の吸着に対する悪影響は小さいからである。特に、本実施形態のテーピング電気部品はエンボス型とされており、部品収容部１３４の下方は空間であるため、衝撃や押付力が加えられても部品保持テープ１３０の撓みにより吸収され、電気部品９４に過大な力が加えられることが回避される。
【００８２】
回転カム１７４は、部品装着ユニット３０の１サイクルの作動時間、すなわち部品装着ユニット３０が１６個の停止位置の１つに到達し、停止してから、隣接する停止位置に到達し、停止するまでの時間に等しい時間で１回転させられ、その間に吸着ノズル９０の目標下降端位置の変更が行われる。そのため、吸着ノズル９０の目標下降端位置が変更されても、それにより１サイクルの作動時間が延びることがなく、電気部品９４の装着能率が低下することがない。
【００８３】
吸着ノズル９０の摩耗量と電気部品９４の厚さ誤差との少なくとも一方に基づいて、吸着ノズル９０の目標下降端位置が基準目標下降端位置より下方に変更されれば、例えば、吸着ノズル９０が摩耗により短くなっていても、あるいは電気部品９４の厚さが公称寸法より薄くても、昇降ストロークが長くされることにより、ノズル保持部材７４が下降端位置へ到達したときに吸着ノズル９０が目標下降端位置に到達して停止させられるとともに、電気部品９４に当接させられる。吸着ノズル９０は下降速度がほぼ０の状態で衝撃を加えることなく、電気部品に当接し、電気部品９４を押すことなく、吸着するのである。また、吸着ノズル９０の目標下降端位置が基準目標下降端位置より上方に変更されれば、例えば、電気部品９４が公称寸法より厚くても、昇降ストロークが短くされることにより、吸着ノズル９０が目標下降端位置へ下降させられて停止させられたとき、電気部品９４に当接させられる。吸着ノズル９０は下降速度が０の状態で電気部品９４に当接し、電気部品９４に衝撃を加えることなく、電気部品９４を押すことなく、当接するのである。目標下降端位置を変更してもなお、吸着ノズル９０が目標下降端位置に到達する前に電気部品９４に当接することがあれば、吸着ノズル９０はスプリング１００を圧縮しつつ、回転保持体８６側へ後退する。それにより余分な下降距離が吸収され、電気部品９４の破損が回避される。スプリング１００がクッション装置として機能するのである。この吸着ノズル９０によるスプリング１００の圧縮量は僅かであり、電気部品９４に加えられても支障はない。あるいは、吸着ノズル９０が電気部品９４に当接する前に目標下降端位置に到達して停止したならば、吸着端面９２と被吸着面９６との間には隙間が生ずるが、僅かであり、吸着ノズル９０は負圧により電気部品９４を吸着することができる。したがって、吸着端面９２が摩耗したり、電気部品９４の厚さに誤差があっても、吸着ノズル９０は下降速度がほぼ０の状態で電気部品９４に当接し、電気部品９４に過大な衝撃が加えられて破損することがなく、また、吸着ノズル９０の下降距離が不足することがなく、吸着ノズル９０が電気部品９４に届かず、吸着できなかったり、吸着できても吸着位置が大きくずれたり、電気部品９４を立った姿勢で吸着する事態の発生が回避され、確実に電気部品９４を吸着することができる。そのため、吸着ミスの発生によって電気部品装着装置８の作動が停止させられることがなく、生産性の低下が防止される。
【００８４】
以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、部品装着ユニット昇降装置１１８が受取制御装置を構成し、高さ調節装置３６０が基材昇降装置を構成し、部品装着ユニット昇降装置１２０が保持部材昇降装置を構成し、コンピュータ５６０の高さ調節装置３６０を制御する部分と共に装着制御装置を構成し、コンピュータ５６０の撮像装置３１０の撮像による画像データに基づいて装着面９８および吸着端面９２の軸方向位置を取得する部分が画像処理装置を構成し、コンピュータ５６０の、装着面９８の軸方向位置誤差に基づいて高さ調節装置３６０を制御し、プリント配線板３５０の被装着面３６４の高さを調節する部分および第二スライド駆動用サーボモータ２０８を制御し、吸着ノズル９０の目標下降端位置を変更する部分が制御変更部を構成している。
また、レバー１６６，１６０，連結装置２１８，昇降部材１４８，ガイドレール４６，スリーブ７０およびノズル保持部材７４が、ローラ１６８と吸着ノズル９０とを接続する接続装置を構成している。接続装置は、ローラ１６８の運動を吸着ノズル９０の昇降運動に変換する運動変換装置でもある。さらに、コンピュータ５６０の吸着ノズル９０の目標下降端位置に基づいてサーボモータ２０８の駆動量を演算する部分が可動部材位置決定手段を構成し、第二スライド駆動用サーボモータ２０８，ねじ軸２０６，ナット２０４とともに、第二スライド２０２を駆動する駆動装置を構成し、ローラ１９８および係合部材２００が係合装置を構成し、これらが第二スライド２０２とともに、第一スライド１９０を移動させる移動装置を構成し、これらが上記移動装置，レバー１６０，第一スライド１９０，コンピュータ５６０の第二スライド駆動用サーボモータ２０８を制御する部分と共に、吸着ノズルの目標下降端位置と下降速度に減速開始位置との少なくとも一方を、電気部品装着装置に作動中に変更するノズル昇降制御装置を構成している。第一スライド１９０，上記移動装置はまた、ストローク変更装置を構成している。本実施形態においてノズル旋回装置３２は、搬送制御装置を構成し、吸着ノズル９０を部品受取位置および部品装着位置に位置決めする位置決め装置でもあり、複数の吸着ノズル９０のうち、部品受取位置と部品装着位置とにおいてそれぞれ電気部品９４の受取り，装着を行う吸着ノズル９０を選択する選択装置でもある。
【００８５】
なお、第二スライド駆動用サーボモータ２０８の基準駆動量を取得するために、基準フィーダ６００が用いられていたが、フィーダ本体１３９のテーピング電気部品を支持する支持面１４２の高さあるいは部品保持テープ１３０の部品収容凹部１３６の底面の高さをレーザ変位センサ等の検出装置を用いて検出し、それら高さに基づいて基準高さを設定してサーボモータ２０８の基準駆動量を取得するようにしてもよい。例えば、複数のフィーダ１２３の各フィーダ本体１３９の支持面１４２の高さの平均を求めて基準高さとするのである。
【００８６】
上記実施形態において、吸着ノズル９０および電気部品９４の、吸着ノズル９０の軸方向に直角な方向からの撮像は、面撮像装置を用いて行われていたが、撮像装置としてラインセンサを使用してもよい。その例を図２１ないし図２４に基づいて説明する。なお、上記実施形態の構成要素と同じ作用を為す構成要素には同一の符号を付して対応関係を示し、説明を省略する。
【００８７】
本実施形態の電気部品装着装置６９８において吸着ノズル７００は、搬送制御装置を構成するノズル移動装置７０２により、プリント配線板７０４の被装着面７０６に平行な一平面、本実施形態においては水平面内において互いに直交するＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させられ、部品供給装置７１０，７１２の一方から電気部品７１４を受け取ってプリント配線板７０４に装着する。プリント配線板７０４は、ベース７１６上に設けられた配線板搬送装置７１８によりＸ軸方向に搬送され、電気部品装着位置において停止させられ、位置決めされて電気部品７１４が装着される。部品供給装置７１０，７１２は、配線板搬送装置のＹ軸方向の両側にそれぞれ設けられている。部品供給装置７１０，７１２および配線板搬送装置７１８はＹ軸方向に並んで設けられているのである。これら部品供給装置７１０，７１２はそれぞれ、複数の部品供給フィーダ７２０を含み、部品供給フィーダ７２０により供給される電気部品は部品保持テープにより保持されて、テーピング電気部品とされている。
【００８８】
ノズル移動装置７０２は、Ｘ軸方向移動装置７２６およびＹ軸方向移動装置７２８を含む。Ｘ軸方向移動装置７２６は、移動部材たるＸ軸スライド７３０およびベース７１６上に設けられたＸ軸スライド駆動装置７３２を含む。Ｘ軸スライド駆動装置７３２は、駆動源たる電動モータの一種であるサーボモータ７３４を一対含み、それらサーボモータ７３４の回転がそれぞれ、ナット７３６およびねじ軸７３８を含む運動変換装置によりＸ軸方向の直線運動に変換され、Ｘ軸スライド７３０が案内部材たるガイドレール７４０（図２３参照）に案内されてＸ軸方向に移動させられる。
【００８９】
Ｙ軸方向移動装置７２８は、移動部材たるＹ軸スライド７４４およびＸ軸スライド７３０上に設けられたＹ軸スライド駆動装置７４６を含む。Ｙ軸スライド駆動装置７４６は、駆動源たるサーボモータ７４８を含み、サーボモータ７４８の回転が、ナット７５０およびねじ軸７５２（図２３参照）を含む運動変換装置によりＹ軸方向の直線運動に変換され、Ｙ軸スライド７４４がＸ軸スライド７３０上において案内部材たるガイドレール７５４に案内されてＹ軸方向に移動させられる。
【００９０】
吸着ノズル７００は、Ｙ軸スライド７４４上に、プリント配線板７０４の被装着面７０６に直角な方向、本実施形態においては垂直方向に移動可能に設けられている。吸着ノズル７００は、図２２に示すように、Ｙ軸スライド７４４上に設けられた昇降装置７６０により昇降させられる。昇降装置７６０は、昇降部材７６２および昇降部材駆動装置７６４を含む。昇降部材駆動装置７６４は、駆動源たるサーボモータ７６６，垂直軸線まわりに回転可能かつ軸方向に移動不能に設けられたねじ軸７６８および昇降部材７６２に固定られ、ねじ軸７６８が螺合されたナット（図示省略）を含み、ねじ軸７６８がサーボモータ７６６によって回転させられることにより、昇降部材７６２が案内部材たるガイドレール７７０（図２３参照）に案内されて昇降させられる。サーボモータ７６６の回転角度は、エンコーダ７７２により検出される。なお、図２３において、昇降装置７６０の図示は省略されている。
【００９１】
昇降部材７６２には、ノズル保持部材７７６が垂直軸線まわりに回転可能かつ軸方向に相対移動不能に保持されており、ノズル保持部材７７６の昇降部材７６２から下方へ延び出させられた下端部に吸着ノズル７００が同心に保持されている。吸着ノズル７００は前記吸着ノズル９０と同様に構成され、ノズル保持部材７７６に軸方向に相対移動可能かつ相対回転不能に保持されており、ノズル保持部材７７６内に設けられた図示しない負圧通路を通って負圧が供給される。ノズル保持部材７７６は、図示しない回転駆動装置によって自身の軸線まわりに回転させられ、それにより吸着ノズル７００が自身の軸線まわりに回転させられる。
【００９２】
前述のように、二つの部品供給装置７１０，７１２および配線板搬送装置７１８はＹ軸方向に並んで設けられており、吸着ノズル７００が部品供給装置７１０，７１２の一方から電気部品７１４を受け取ってプリント配線板７０４へ移動するとき、必ず、Ｘ軸スライド７３０上をＹ軸方向へ移動し、Ｘ軸スライド７３０の電気部品７１４を受け取った部品供給装置と配線板搬送装置７１８との間の部分を通り、この部分に、図２２および図２３に示すように、ラインセンサ７９０および照明装置７９２が１組ずつ設けられている。
【００９３】
ラインセンサ７９０は、垂直方向に１列に並んで設けられた複数の電荷結合素子を含み、吸着ノズル７００の軸方向と平行な方向である垂直方向に設けられている。照明装置７９２も垂直に設けられ、ラインセンサ７９０と照明装置７９２とは、図２３に示すように、電気部品７１４の吸着後、Ｙ軸方向における吸着ノズル７００の移動速度が一定となる位置であって、吸着ノズル７００の移動経路を挟み、Ｘ軸方向に距離を隔てて、互いに対向して設けられている。ラインセンサ７９０と照明装置７９２の光軸は、吸着ノズル７００の軸方向と移動方向との両方に直角であって、本実施形態では水平に設けられており、吸着ノズル７００および電気部品７１４を、吸着ノズル７００の軸方向に直角な方向から撮像する。
【００９４】
本実施形態において吸着ノズル７００は、電気部品７１４を、プリント配線板７０４に装着した後、部品供給装置７１０，７１２へ移動するとき、および電気部品を吸着した後、プリント配線板７０４へ移動するとき、上昇端位置に位置させられており、部品装着箇所近傍に至るまで、軸方向の位置は変わらず、一定であり、既知の位置である。吸着ノズル７００は複数種類あり、吸着管９１の長さが異なることがあるが、吸着ノズル７００毎に軸方向の位置は既知である。また、装着される電気部品９４の厚さは一定ではない。そのため、ラインセンサ７９０は垂直方向において、吸着管９１の長さおよび電気部品７１４の厚さの如何を問わず、電気部品７１４の被吸着面９６および装着面９８を撮像し得るように設けられている。以上、説明したノズル移動装置７０２等は、制御装置８００（図２１参照）により制御される。制御装置８００は、前記制御装置５５０と同様にコンピュータを主体として構成されている。
【００９５】
電気部品７１４をプリント配線板７０４に装着する際には、吸着ノズル７００はノズル移動装置７０２によって部品供給装置７１０あるいは７１２へ移動させられて電気部品７１４を吸着する。吸着ノズル７００は電気部品７１４の真上において停止させられ、昇降装置７６０により昇降させられて電気部品７１４を負圧により吸着し、フィーダ７２０から取り出すのである。この際、吸着ノズル７００は、吸着端面９２の摩耗量，電気部品７１４の厚さ誤差に基づいて変更された目標下降端位置へ下降させられる。吸着ノズル７００は、回転角度の精度のよい制御が可能なサーボモータ７６６を駆動源とする昇降装置７６０によって昇降させられるため、下降端位置，減速開始位置および下降速度等を任意に設定することができる。
【００９６】
本実施形態においては、吸着ノズル７００の吸着管９１の長さが異なることがあるため、吸着管９１の長さが異なる吸着ノズル７００毎にサーボモータ７６６の基準駆動量（吸着ノズル７００の基準目標下降端位置）が取得される。標準吸着ノズルを前進端位置に位置する状態において標準フィーダの上面に当接させ、その際のサーボモータ７６６の駆動量を基準駆動量として取得する。そして、この駆動量を、吸着端面９２の摩耗量，電気部品７１４の厚さ誤差に基づいて変更し、目標下降端位置を変更するとともに、加速終了位置，減速開始位置，下降速度を変更し、吸着ノズル７００が電気部品７１４に当接したときにちょうど停止し、下降速度０、押付力０の状態で電気部品７１４に当接するようにされる。目標下降端位置のみを変更してもよく、目標下降端位置，加速開始位置，減速開始位置を変更してもよい。また、吸着管９１の長さが異なる複数種類の吸着ノズル７００のうちの１つ、例えば、吸着管９１が最も短い吸着ノズル７００についてサーボモータ７６６の基準駆動量を取得し、その他の吸着ノズル７００については、吸着管９１の長さの差に基づいて演算により、吸着ノズル７００毎にサーボモータ７６６の基準駆動量を取得するようにしてもよい。
【００９７】
吸着後、プリント配線板７０４へ移動させられる途中、吸着ノズル７００は必ず、ラインセンサ７９０と照明装置７９２との間を通り、撮像される。この撮像は１回のみ行われ、図２４に示すように、電気部品７１４の吸着ノズル７００の吸着管９１から外れた部分であって、吸着管９１に近い部分が撮像される。そのため、吸着管９１の直径が異なれば、撮像が行われる際の吸着ノズル７００のＹ軸方向の位置が異なり、吸着ノズル７００ごとに撮像位置が設定されて記憶されている。
【００９８】
この撮像により、電気部品７１４の被吸着面９６および装着面９８の一ライン分の画像が得られる。被吸着面９６の像は吸着端面９２の像でもあり、撮像により、電気部品７１４の厚さ，吸着端面９２および装着面９８の軸方向位置が取得され、それにより電気部品７１４を装着する際の吸着ノズル７００の目標下降端位置が変更される。
【００９９】
本実施形態においては、プリント配線板７０４は昇降させられず、電気部品７１４を保持した吸着ノズル７００の目標下降端位置を変更することにより、装着面９８に軸方向位置誤差があっても、適切な押付力で電気部品７１４がプリント配線板７０４に装着されるようにされる。例えば、標準吸着ノズル，標準プリント配線板を用いて、電気部品７１４を保持していない標準吸着ノズルが、前進端位置に位置する状態で標準プリント配線板に当接した状態におけるサーボモータ７６６の駆動量を基準駆動量として取得する。この基準駆動量，電気部品７１４の厚さ，電気部品７１４に加える押付力（スプリング１００の圧縮量）に基づいて、吸着ノズル７００を正規の目標下降端位置に移動させるサーボモータ７６６の駆動量（正規の駆動量）を設定する。吸着ノズル７００は吸着管９１の長さおよび電気部品７１４の厚さが異なることがあるため、サーボモータ７６６の基準駆動量は、吸着ノズル７００の種類毎に取得され、吸着ノズル７００を正規の下降端位置に移動させるサーボモータ７６６の駆動量は、吸着ノズル７００の種類および電気部品７１４の種類毎に設定される。サーボモータ７６６の基準駆動量は、吸着ノズル７００のうちの１つ、例えば、長さが最小の吸着ノズル７００について取得し、他の吸着ノズル７００については、演算により、サーボモータ７６６の基準駆動量を取得するようにしてもよい。そして、電気部品７１４の装着時には、装着面９８の軸方向位置誤差に基づいてサーボモータ７６６の正規の駆動量が変更され、電気部品７１４は減速した状態で被装着面７０６に押し付けられるとともに、適切な押付力で押し付けられるようにされる。
【０１００】
なお、ラインセンサを用いて吸着端面９２および装着面９８の二次元像を取得するようにしてもよい。
【０１０１】
上記各実施形態においては、吸着ノズル９０，７００の吸着端面９２の軸方向位置誤差に基づいて、吸着ノズル９０，７００の目標下降端位置，減速開始位置および下降速度が変更されるようにされていたが、吸着ノズルの目標下降端位置および減速開始位置は変更するが、下降速度は変更されないようにしてもよい。その例を図２５に基づいて概略的に説明する。
【０１０２】
例えば、部品装着ユニット昇降装置１１８のカム１７４およびカムフォロワたるローラ１６８の動きを吸着ノズル９０の昇降運動に変換する運動変換装置に変更を加える。例えば、ノズル保持部材７４のロッド７２の長さを調節可能とし、調節装置により調節して、昇降部材１４８が上昇端位置に位置する状態における吸着ノズル９００の位置を変更する。あるいはスリーブ７０のガイドレール４６に対する位置を調節可能とし、調節装置により調節し、昇降部材１４８が上昇端位置に位置する状態における吸着ノズル９０の位置を変更する。あるいは、昇降部材１４８の上昇端位置を変更してよいのであれば、カム装置１７８によって回動させられるレバー１６０と連結ロッド１５６との連結位置を変更せず、その連結位置と、連結ロッド１５６の昇降部材１４８との連結位置との距離を自動的に変更する変更装置を設け、吸着端面９２の軸方向位置誤差に基づいて上記距離を自動的に変更するようにしてもよい。これらのようにすれば、図２５に概略的に示すように、吸着ノズルの目標下降端位置および減速開始位置が変わっても下降速度は変わらずに吸着ノズル９０が昇降させられる。
【０１０３】
更に別の実施形態を図２６に基づいて説明する。本実施形態の電気部品装着装置８５０においては、部品装着ユニットが電気部品を吸着し、装着する構成は、特開平４−３４５０９７号公報に記載の電気部品装着装置と同じであり、簡単に説明する。電気部品装着装置８５０は、垂直軸線まわりに間欠回転するインデックステーブル８５２を備えている。インデックステーブル８５２は、台板８５４により垂直軸線まわりに回転可能に支持されるとともに、複数組の部品装着ユニット８５６が設けられ、図示しないカム，カムフォロワ，回転軸およびカムを回転させるインデックス用サーボモータ等により構成される間欠回転装置により間欠回転させられ、複数組の部品装着ユニット８５６が順次、複数の停止位置である部品受取位置，部品保持姿勢検出位置，装着面等検出位置，部品姿勢修正位置，部品装着位置，部品排出位置等へ移動させられ、停止させられる。
【０１０４】
複数組の部品装着ユニット８５６のユニット本体８６０は、インデックステーブル８５２により昇降可能に支持された図示しない一対のガイドロッドの下端部に固定されている。これらガイドロッドの上端部を連結する連結板に設けられたローラは位置固定に設けられた円筒カムのカム溝に係合させられており、インデックステーブル８５２が回転させられるとき、ローラがカム溝内を移動して部品装着ユニット８５６が昇降させられる。
【０１０５】
ユニット本体８６０には回動体８６２が垂直軸線まわりに回動可能に取り付けられ、これに吸着ノズル８６６が複数保持されている（図には１個のみ示されている）。回動体８６２には、複数のノズル保持部材８６８が軸方向、本実施形態では垂直方向に相対移動可能かつ自身の軸線まわりに相対回転可能に保持されるとともに、回動体８６２との間に配設されたスプリング８７０により、回動体８６２から上方へ付勢する向きに付勢されている。複数の吸着ノズル８６６はそれぞれ、ノズル保持部材８６８により、垂直な姿勢で、軸方向に相対移動可能かつ相対回転不能に保持されており、スプリング８７２により、ノズル保持部材８６８から下方へ突出する向きに付勢されている。吸着ノズル８６６の下端部には、吸着管８７４が固定されており、ノズル保持部材８６８等に設けられた負圧通路を経て負圧が供給され、吸着端面８７６において電気部品を吸着する。吸着ノズル８６６およびノズル保持部材８６８が部品装着ヘッド８７８を構成し、回動体８６２に設けられた複数の部品装着ヘッド８７８は、回動体８６２の回動により選択的に使用位置に位置決めされる。
【０１０６】
部品受取位置には、部品装着ヘッド昇降装置８８０が設けられている。本実施形態の部品装着ヘッド昇降装置８８０は、特開平７−９３８１号公報に記載の部品装着ヘッド昇降装置と同様に構成されている。部品装着ヘッド昇降装置８８０は、昇降シャフト８８２と、昇降シャフト８８２に摺動可能に嵌合されたスリーブ８８４とから成る昇降部材８８６を有する。昇降シャフト８８２は図示しないフレームにより昇降可能に支持されるとともに、上端部にはレバー８８８が回動可能に係合させられている。
【０１０７】
レバー８８８は上記フレームにより回動可能に支持されており、インデックス用サーボモータの回転が図示しないカム，カムフォロワを含むカム装置および運動伝達装置により回動運動に変換されて伝達され、レバー８８８の回動により昇降部材８８６が昇降させられる。レバー８８８は、カムフォロワの運動を昇降部材の昇降運動に変換する運動変換装置を構成している。
【０１０８】
昇降シャフト８８２の下部にはボールねじ８９２が一体的に設けられ、ナット８９４が螺合されている。ナット８９４にはギヤ８９６が固定されており、駆動源たる電動モータの一種である調節用サーボモータ８９８により回転させられる駆動ギヤ９００に噛み合わされている。この駆動ギヤ９００の歯幅は、電気部品吸着時にナット８９４が昇降してもギヤ８９６との噛合いを保つ大きさとされている。調節用サーボモータ８９８の回転角度は、エンコーダ９０２により検出される。
【０１０９】
スリーブ８８４は前記台板８５４に昇降可能に嵌合され、図示しないまわり止め装置によって回転を阻止されている。スリーブ８８４は、台板８５４から突出した上端部において昇降シャフト８８２の下端部に軸方向に摺動可能に嵌合されるとともに、上端部に形成された外向きのフランジ部９０４と台板８５４との間に配設されたスプリング９０６によって上方に付勢され、ナット８９４の下面に当接させられている。また、スリーブ８８４の下部は台板８５４から下方へ突出させられている。
【０１１０】
レバー８８８に係合させられた昇降シャフト８８２は回転させられないため、調節用サーボモータ８９８によってナット８９４が回転させられるとき、ナット８９４が、ボールねじ８９２に対して回転させられつつ軸方向に移動させられる。スリーブ８８４はスプリング９０６の付勢によりナット８９４の移動に追従して移動し、昇降シャフト８８２に対して移動させられ、昇降部材８８６の長さが調節される。
【０１１１】
なお、図示は省略するが、部品装着位置にも部品装着ヘッド昇降装置８８０と同様に構成された部品装着ヘッド昇降装置が設けられており、吸着ノズル８６６を昇降させて電気部品をプリント配線板に装着させるようになっている。
【０１１２】
本実施形態の電気部品装着装置において吸着ノズル８６６は、電気部品受取位置において、部品装着ユニット昇降装置８８０により昇降させられて部品供給装置に保持された電気部品を吸着する。本実施形態において部品供給装置は、図１ないし図２０に示す実施形態と同様に構成されていることとする。吸着時には、吸着ノズル８６６の目標下降端位置は、装着面等検出位置における撮像に基づいて得られた吸着端面８７６の摩耗量，電気部品の厚さ誤差に応じて変更され、吸着ノズル８６６が下降速度０、押付力０の状態で電気部品に当接するようにされる。
【０１１３】
吸着ノズル８６６の目標下降端位置は、調節用サーボモータ８９８を作動させ、昇降部材８８６の長さを調節することにより変更される。ノズル保持部材８６８と昇降部材８８６とはつながっておらず、ノズル保持部材８６８および吸着ノズル８６６の上昇端位置はそれぞれ常に一定である。また、昇降部材８８６の長さの調節は、昇降シャフト８８２に対してスリーブ８８４を移動させることにより行われるため、昇降部材８８６の上昇端位置も常に一定であり、長さの変更により、昇降部材８８６の下降端位置は変わるが、昇降ストロークは一定である。
【０１１４】
そのため、昇降部材８８６を長くすれば、レバー８８８の回動によって昇降部材８８６が昇降させられるとき、その昇降ストロークのうち、ノズル保持部材８６８に接触している距離が長くなり、ノズル保持部材８６８の上昇端位置からの下降距離が長くなり、吸着ノズル８６６の目標下降端位置が下方へ変更される。また、下降速度の減速開始位置も変更される。
【０１１５】
昇降部材８８６の長さ、すなわち調節用サーボモータ８９８の駆動量は、吸着ノズル８６６の目標下降端位置が、吸着端面８７６の摩耗や電気部品の厚さ誤差があっても、電気部品を吸着し得る大きさとされる。駆動量の演算は、例えば、図１ないし図２０に示す実施形態におけると同様に、調節用サーボモータ８９８の基準となる駆動量を求め、その基準駆動量を吸着ノズル８６６の吸着端面８７６の摩耗量および電気部品の厚さ誤差に基づいて変更するように行われる。
【０１１６】
吸着ノズル８６６の目標下降端位置の変更は、例えば、昇降部材８８６が上昇端位置へ上昇した後、次に電気部品を吸着する吸着ノズル８６６が部品受取位置に至るまでの間に行われる。この変更は、吸着ノズル８６６により保持された電気部品がフィーダから浮き上がった後、次に電気部品を吸着する吸着ノズル８６６が電気部品に当接するまでの間に行われるようにしてもよい。あるいは吸着ノズル８６６が上昇を開始する前に開始され、吸着ノズル８６６が電気部品に当接した後に完了するようにしてもよい。
【０１１７】
電気部品の吸着後、部品保持姿勢検出位置，装着面等検出位置において撮像が行われ、吸着端面８７６，装着面の軸方向位置等が取得される。そして、吸着ノズル８６６は、部品装着位置において部品装着ユニット昇降装置８８０により昇降させられて電気部品をプリント配線板に装着する。装着時には、吸着ノズル８６６により保持された電気部品の装着面の軸方向位置誤差に基づいて吸着ノズル８６６の目標下降端位置が変更される。この変更は、例えば、昇降部材８８６の長さを変更することにより行われる。例えば、標準吸着ノズル，標準プリント配線板を用いて、調節用サーボモータ８９６の基準となる駆動量を取得し、その基準駆動量，電気部品の厚さ，スプリング８７２の圧縮量を用いて、電気部品をプリント配線板に装着するための調節用サーボモータ８９６の駆動量（正規の駆動量）を取得し、その駆動量を装着面の軸方向位置誤差に基づいて変更し、昇降部材８８６の長さが調節されて、吸着ノズル８６６の目標下降端位置が変更されるようにするのである。図１〜図２０に示す実施形態におけると同様にプリント配線板を昇降させ、被装着面の高さを調節するようにしてもよい。
【０１１８】
なお、図１ないし図２０に示す実施形態においては、電気部品９４のプリント配線板３５０への装着時にプリント配線板３５０が昇降させられるとともに、被装着面３６４の位置の調節により、電気部品９４の押付力の違いや装着面９８の軸方向位置誤差があっても、電気部品９４が適切な押付力でプリント配線板３５０に装着されるようにされていたが、電気部品を吸着する場合と同様に、吸着ノズルの目標下降端位置を変更するようにしてもよい。例えば、部品装着ユニット昇降装置１２０を部品装着ユニット昇降装置１１８と同様に構成し、標準吸着ノズル，標準プリント配線板を用いて第二スライド駆動用サーボモータ２０８の基準駆動量を取得し、その基準駆動量，電気部品の厚さおよび押付力（スプリング１００の圧縮量）に基づいてサーボモータ２０８の正規の駆動量を求める。そして、この正規の駆動量を装着面９８の軸方向位置誤差に基づいて変更し、吸着ノズル９０の目標下降端位置を自動的に変更するようにするのである。
【０１１９】
また、図１ないし図２０に示す実施形態においては、吸着ノズル９０の種類が異なっても長さは同じとされていたが、異なっていてもよい。部品装着ユニット昇降装置、すなわちノズル昇降装置が、吸着ノズルの目標下降端位置が変更可能に構成されていれば、吸着ノズルの長さに応じて吸着ノズルの目標下降端位置を変更し、吸着ノズルを下降速度０、押付力０の状態で電気部品に当接させ、あるいは電気部品を適切な押付力でプリント配線板に装着させることができる。吸着ノズル９０の長さの違いに応じて部品供給装置，配線板支持装置を昇降させてもよい。
【０１２０】
さらに、図１ないし図２０に示す実施形態におけるように、ノズル昇降装置がカム装置を含んで構成され、カムフォロワの同一の運動を複数種類に異なる昇降ストロークに変更する場合、吸着ノズルの上昇端位置が異なっていてもよいのであれば、上昇端位置を複数種類に異ならせてもよい。
【０１２１】
また、吸着ノズルの目標下降端位置を変更することは不可欠ではなく、下降速度の減速開始位置のみを変更するようにしてもよい。減速開始位置を変更すれば、例えば、部品の厚さが厚く、吸着ノズルと電気部品の被吸着面との間の距離が正規の距離より短くても、減速開始位置を上方に変更することにより、電気部品の厚さが正規の厚さである場合とほぼ同様の速度で吸着ノズルを電気部品に当接させ得る。
【０１２２】
さらに、部品供給装置を昇降装置により昇降させ、吸着端面の軸方向位置誤差や電気部品の厚さ誤差があっても、吸着ノズルが下降速度０、押付力０の状態で電気部品に当接し、吸着するようにしてもよい。例えば、カーリッジが取り付けられたテーブルを昇降装置により昇降させ、電気部品の上面の位置が吸着端面の軸方向位置誤差等に応じて変更されるようにするのである。
【０１２３】
また、吸着ノズル９０等の吸着端面９２の摩耗および曲がりの検出は、吸着ノズル９０が電気部品９４を設定個数、装着するごとに行われていたが、設定時間が経過する毎に行われるようにしてもよい。設定時間は、吸着ノズル毎に設定してもよく、共通にしてもよい。共通にする場合、部品装着ユニットの複数の吸着ノズルに共通にしてもよく、電気部品装着装置に搭載された全部の吸着ノズルについて共通にしてもよい。
【０１２４】
さらに、上記各実施形態においては、説明を簡単にするために、吸着ノズルは精度良く作られていて、製造誤差は無視できるほど小さいとし、吸着端面の軸方向位置の取得に基づいて吸着端面の摩耗量を取得し、それに基づく吸着ノズルの目標下降端位置の変更について説明したが、吸着端面の軸方向位置に基づいて吸着ノズルの製造誤差を取得し、吸着ノズルの目標下降端位置を変更するようにしてもよい。
【０１２５】
さらに、上記各実施形態においてフィーダ１２３，７２０に保持されたテーピング電気部品は、エンボス型とされていたが、テーピング電気部品は、厚さが一定の部品保持テープに等間隔に設けられた部品収容凹部にそれぞれ電気部品が収容されるとともに、部品収容凹部の開口がカバーテープにより覆われ、部品収容部が下方から支持されるものとしてもよい。あるいは部品供給フィーダは、電気部品をテープに保持させず、ケーシング等にバルク状に収容され、空気流，傾斜，搬送ベルト等あるいはそれらの組合わせにより電気部品を部品供給部へ送る部品搬送装置を備えたものとしてもよい。これらの場合、電気部品はフィーダに設けられた部品支持面により、部品保持テープを介して間接に、あるいは直接、下方から支持された状態で、テープの移動により、あるいは部品搬送装置によって搬送されるが、電気部品の厚さによって、被吸着面の高さが異なることがある。供給する電気部品の厚さは予めわかっており、入力装置を用いて厚さデータ（電気部品の公称寸法）を入力し、電気部品の厚さに応じて吸着ノズルの目標下降端位置を変更するようにすれば、電気部品の厚さを問わず、電気部品を損傷やミス等を生ずることなく、吸着，装着することが可能である。フィーダ本体のテープを支持するテープ支持面について基準となる高さを取得し、その基準高さと電気部品の厚さの公称寸法とに基づいて電気部品の高さを取得し、吸着ノズルの昇降を制御するのである。撮像に基づく電気部品の厚さの取得によっても、吸着ノズルの目標下降端位置を変更することが可能である。あるいは、電気部品のプリント配線板への装着開始前と装着開始後との少なくとも一方に時期に、電気部品の高さを高さ検出装置により検出し、基準となる高さに対する誤差に基づいて、電気部品吸着時における吸着ノズルの昇降を制御するようにしてもよい。
【０１２６】
また、前記実施形態において高さ調節装置３６０は、ローラ４１６と楔ブロック４４０の傾斜面４４２とがＸ軸方向に相対移動させられることにより、配線板支持装置４０４を昇降させ、プリント配線板３５０の高さを調節するものとされていたが、高さ調節装置は、ねじ軸，ナットおよび駆動モータを含む基材昇降装置により構成してもよい。駆動モータは、例えば、サーボモータにより構成される。例えば、ＸＹテーブルを構成するＹテーブルであって、Ｘテーブル上にＹ軸方向に移動可能に設けられたＹテーブル上に、３本あるい４本のねじ軸を高さ方向（Ｚ軸方向）に平行に相対回転可能かつ軸方向に移動不能に設け、基材支持部材を、それに固定のナットにおいて螺合する。そして、３本あるい４本のねじ軸を駆動モータにより回転させ、基材支持部材を昇降させる。駆動モータは、全部あるいは一部のねじ軸に共通としてもよく、ねじ軸毎に設けてもよい。駆動モータを複数設ける場合、複数の駆動モータは同期させて作動させる。基材昇降装置により、基材支持部材を含んで構成される基材支持装置を昇降させることにより、回路基材が基板受渡し高さと電気部品装着高さとに移動させられるとともに、電気部品装着時の回路基材の被装着面の高さが調節される。電気部品装着時における回路基材の被装着面の高さの調節のみを、ねじ軸等を含む高さ調節装置により行うようにしてもよい。
【０１２７】
また、部品供給装置は、電気部品をパレットに収容して供給するものとしてもよい。パレットは、上方に開口する複数の部品収容凹部を有し、各部品収容凹部にそれぞれ電気部品が１個ずつ収容される。この場合、吸着ノズルの目標下降端位置を変更するのであれば、例えば、パレットの上面のいずれかについて基準となる面を設定し、あるいは基準パレットを設けて吸着ノズルの基準目標下降端位置を設定し、その基準目標下降端位置を吸着端面の摩耗量，厚さ誤差等に基づいて変更するようにすればよい。
【０１２８】
さらに、上記各実施形態において吸着ノズルが電気部品を吸着する際、吸着ノズルの目標下降端位置は、ノズル保持部材が下降端位置に到達して停止したときにちょうど吸着ノズルが電気部品に当接し、下降速度０、押付力０の状態で電気部品に当接して吸着することが目標とされていたが、吸着ノズルが電気部品に押付力を加えた状態で吸着し、あるいは電気部品から離れた状態で吸着するようにしてもよい。前者の場合、吸着ノズルの目標下降端位置を、吸着ノズルが電気部品に当接する位置より下方に設定し、吸着ノズルが電気部品に当接した後、さらにノズル保持部材が下降し、吸着ノズルがスプリングを圧縮してノズル保持部材側へ後退し、電気部品に押付力を加えるようにするのである。押付力は、電気部品の種類に関係なく一定でもよく、異ならせてもよい。スプリングの圧縮量は電気部品に加える押付力の大きさに応じて設定され、それに応じて目標下降端位置が設定される。後者の場合、目標下降端位置は、吸着ノズルが電気部品に当接しない位置であって、電気部品との間の距離が、吸着ノズルが負圧により電気部品を吸着可能な距離である位置に設定される。電気部品を確実に吸着するという観点からは、吸着ノズルが電気部品に押付力を加えた状態で吸着するようにした方がよい。ノズル保持部材が下降端位置へ到達して停止したときにちょうど、吸着ノズルが電気部品に当接して吸着するようにする場合であっても、誤差等を考慮し、目標下降端位置は、吸着ノズルが電気部品を押した状態で吸着する側に設定してもよい。
【０１２９】
また、図１ないし図２０に示す実施形態における電気部品装着装置８をＸＹロボットにより、水平面内の任意の位置へ移動させ、部品供給装置および配線板支持装置を水平面内において位置を固定して設けてもよい。この場合、ＸＹロボットおよびノズル旋回装置３２が搬送制御装置を構成すると考えてもよく、ＸＹロボットが搬送制御装置を構成し、ノズル旋回装置３２は、複数の部品装着ユニットのうち、電気部品の吸着，装着に使用されるものを選択する選択装置を構成すると考えてもよく、選択装置と搬送制御装置とを兼ねていると考えてもよい。
【０１３０】
さらに、図２１ないし図２４に示す実施形態において、Ｙ軸スライド７４４上に、ノズル昇降装置を位置を固定して設け、移動体をＹ軸方向に移動可能に設けるとともに、複数の吸着ノズルをＹ軸方向に並べて設け、移動体を移動装置によってＹ軸スライド７４４上において移動させることにより、複数の吸着ノズルを、ノズル昇降装置が設けられた位置である使用位置に選択的に位置決めし、ノズル昇降装置によって昇降させることにより、電気部品を吸着，装着させるようにしてもよい。
【０１３１】
さらに、本発明は、トランジスタ，抵抗等の異形部品を回路基材に装着する装置，方法や取り扱う装置，方法にも適用することができる。
【０１３２】
以上、本発明のいくつかの実施形態を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、本発明は、前記〔発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効果〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  補正により特許請求の範囲に記載の発明の実施形態ではなくなった電気部品装着装置を示す正面図（一部断面）である。
【図２】  上記電気部品装着装置の複数の停止位置を説明するとともに、部品保持姿勢検出位置および装着面等検出位置にそれぞれ設けられた撮像装置を示す平面図である。
【図３】  上記電気部品装着装置の部品装着ユニットおよび部品受取位置に設けられた部品装着ユニット昇降装置の一部を示す正面図（一部断面）である。
【図４】  上記部品装着ユニットの昇降を案内するガイドレールおよびガイドブロックを示す平面図である。
【図５】  上記部品装着ユニットの吸着ノズルを示す正面図（一部断面）である。
【図６】  上記停止位置の一つである装着面等検出位置に設けられた撮像装置を示す正面図である。
【図７】  上記部品受取位置に設けられた部品装着ユニット昇降装置およびノズル昇降制御装置を示す正面図（一部断面）である。
【図８】  上記ノズル昇降制御装置の第二スライドおよびローラ等を示す正面図である。
【図９】  上記部品装着ユニット昇降装置およびノズル昇降制御装置を示す側面図である。
【図１０】  上記昇降制御装置による吸着ノズルの目標下降端位置の変更を説明する図である。
【図１１】  上記吸着ノズルの目標下降端位置の変更および減速開始位置の変更を説明する図である。
【図１２】  部品装着ユニットの停止位置の一つである部品装着位置に設けられた配線板支持移動装置を示す正面図（一部断面）である。
【図１３】  上記配線板支持移動装置を拡大して示す正面図（一部断面）である。
【図１４】  上記配線板支持移動装置の高さ調節装置を示す側面図である。
【図１５】  上記配線板支持移動装置の高さ調節装置を示す平面図である。
【図１６】  上記電気部品装着装置を含む電気部品装着システムを制御する制御装置を概略的に示す図でる。
【図１７】  上記配線板支持移動装置の配線板支持装置に支持されたプリント配線板に電気部品を装着する際の被装着面の高さの調節を説明する図である。
【図１８】  吸着ノズルに保持された電気部品の装着面の軸方向位置誤差とプリント配線板の被装着面に高さの調節との関係を説明する図である。
【図１９】  部品装着ユニット昇降装置の回転カムが１回転する間に行われるノズル保持部材の昇降動作と吸着ノズルの目標下降端位置の変更動作との関係を説明する図である。
【図２０】  上記電気部品装着装置によってプリント配線板に装着される電気部品が部品保持テープに保持された状態を示すとともに、吸着ノズルの電気部品吸着時の目標下降端位置の設定を説明する図である。
【図２１】  特許請求の範囲に記載の発明の一実施形態である電気部品装着装置を含む電気部品装着システムを概略的に示す平面図である。
【図２２】  図２１に示す電気部品装着装置の吸着ノズルを昇降装置等と共に示す側面図である。
【図２３】  図２１に示す電気部品装着装置の吸着ノズルを昇降装置等と共に示す正面図（一部断面）である。
【図２４】  図２１に示す電気部品装着装置の吸着ノズルが電気部品を保持した状態で行われる吸着端面および装着面の撮像を説明する図である。
【図２５】  特許請求の範囲に記載の発明の別の実施形態である電気部品装着装置における吸着ノズルの目標下降端位置および下降速度の減速開始位置の変更を説明する図である。
【図２６】  補正により特許請求の範囲に記載の発明の実施形態ではなくなった電気部品装着装置の部品装着ユニットおよび部品装着ヘッド昇降装置を示す正面図（一部断面）である。
【符号の説明】
８：電気部品装着装置  ２０：インデックステーブル    ３２：ノズル旋回装置    ７４：ノズル保持部材  ９０：吸着ノズル    ９２：吸着端面    ９４：電気部品    ９８：装着面    １１８，１２０：部品装着ユニット昇降装置    １４８：昇降部材    １５６：連結ロッド    １６０：レバー    １７４：回転カム    １８２：ガイド    １９０：第一スライド    １９８：ローラ    ２００：係合部材    ２０２：第二スライド    ３１０：撮像装置    ３１４：照明装置    ３５０：プリント配線板    ３６０：高さ調節装置    ３６４：被装着面    ４０４：配線板支持装置    ５５０：制御装置    ６９８：電気部品装着装置    ７００：吸着ノズル    ７０２：ノズル移動装置    ７０４：プリント配線板  ７０６：被装着面    ７１４：電気部品    ７６０：昇降装置    ７９０：ラインセンサ    ７９２：照明装置    ８００：制御装置      ８５０：電気部品装着装置    ８５６：部品装着ユニット    ８６６：吸着ノズル    ８７６：吸着端面    ８８０：部品装着ヘッド昇降装置
【図１】
0004399088.tif 000002
【図２】
0004399088.tif 000003
【図３】
0004399088.tif 000004
【図４】
0004399088.tif 000005
【図５】
0004399088.tif 000006
【図６】
0004399088.tif 000007
【図７】
0004399088.tif 000008
【図８】
0004399088.tif 000009
【図９】
0004399088.tif 000010
【図１０】
0004399088.tif 000011
【図１１】
0004399088.tif 000012
【図１２】
0004399088.tif 000013
【図１３】
0004399088.tif 000014
【図１４】
0004399088.tif 000015
【図１５】
0004399088.tif 000016
【図１６】
0004399088.tif 000017
【図１７】
0004399088.tif 000018
【図１８】
0004399088.tif 000019
【図１９】
0004399088.tif 000020
【図２０】
0004399088.tif 000021
【図２１】
0004399088.tif 000022
【図２２】
0004399088.tif 000023
【図２３】
0004399088.tif 000024
【図２４】
0004399088.tif 000025
【図２５】
0004399088.tif 000026
【図２６】
0004399088.tif 000027