(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持されたダイシングウェーハであって、このダイシングウェーハを複数枚重ねて収納可能なダイシングウェーハ収納容器において、前記ダイシングフレームの外周を案内してダイシングウェーハを積み重ね状態に収納させる収納筒部が設けられた容器本体と、この容器本体に着脱自在に装着されて前記収納筒部の全体を覆う蓋体とを備え、前記収納筒部の内周面には、前記ダイシングフレームを周方向に位置決めする位置決めリブが突設されていることを特徴とするダイシングウェーハ収納容器。
【請求項２】
前記容器本体の収納筒部には、ダイシングフレームの外周を把持可能とする切欠きが設けられていることを特徴とする請求項１に記載のダイシングウェーハ収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハのダイシング工程において、ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持された状態の半導体ウェーハ（以下、ダイシングウェーハという）を複数枚まとめて搬送する際などに使用するダイシングウェーハ収納容器に関し、詳しくは、ダイシングウェーハの収納、搬送、取出し等の作業に好適なダイシングウェーハ収納容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、インゴットからワイヤーソー等によりスライスされた半導体ウェーハは、両面が平面研削された後、少なくとも片側の表面が鏡面にポリッシング加工され、その表面に回路パターンが形成される。そして、この半導体ウェーハは、ダイシング工程において、ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持された状態で多数のチップにダイシングされる。
【０００３】
ここで、前記ダイシングフィルム上に支持される前の単体の半導体ウェーハは、例えばＵＳＰ４，７８７，５０８や特許第２９４１１２５号に記載のような専用の収納容器に複数枚積み重ねて収納され、この状態で搬送、保管される。しかしながら、この種の収納容器は、単体の半導体ウェーハを収納するものであって、ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持された状態のダイシングウェーハを収納するには適していない。このため、前記ダイシング工程で取扱われるダイシングウェーハは、挟み板の間に複数枚重ねてラッピングフィルムにより梱包され、この状態で搬送、保管されているのが実情である。このような事情から、ダイシングウェーハの搬送、保管に適した収納容器が要望されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記ダイシング工程においては、ダイシングフレームを位置決めノッチ等により周方向に位置決めした状態でダイシング加工が施される。このため、ダイシングウェーハの収納容器としては、ダイシングフレームの位置決めノッチ等が揃うように複数のダイシングウェーハを周方向に位置決めした状態で各ダイシングウェーハを収納でき、かつ、その収納および取出し作業が容易であることが要望される。特に、自動化されたダイシング工程においては、ロボットハンド等を使用して各ダイシングウェーハの収納および取出し作業を行えることが要望される。
【０００５】
そこで、本発明は、ダイシングウェーハの収納および取出し作業が容易であり、かつ、複数のダイシングウェーハを周方向に位置を揃えて収納できるダイシングウェーハ収納容器を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前述した課題を解決するための手段として、本発明に係るダイシングウェーハ収納容器は、ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持された状態のダイシングウェーハであって、このダイシングウェーハを複数枚重ねて収納可能なダイシングウェーハ収納容器について、前記ダイシングフレームの外周を案内してダイシングウェーハを積み重ね状態に収納させる収納筒部が設けられた容器本体と、この容器本体に着脱自在に装着されて前記収納筒部の全体を覆う蓋体とを備え、前記収納筒部の内周面には、前記複数のダイシングフレームを周方向に位置決めする位置決めリブが突設されていることを特徴とする。
【０００７】
本発明のダイシングウェーハ収納容器では、ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持された状態のダイシングウェーハを有する複数のダイシングフレームを容器本体の収納筒部に収納する際、収納筒部の内周面に突設された位置決めリブが各ダイシングフレームを周方向に位置決めする。このため、複数のダイシングフレームの位置決めノッチ等が揃うようにダイシングフレームを収納することが可能となり、ダイシング工程に好適である。
【０００８】
本発明のダイシングウェーハ収納容器において、前記容器本体の収納筒部にダイシングフレームの外周を把持可能とする切欠きが設けられていると、容器本体を定位置においた状態でダイシングフレームの外周を把持することができ、ダイシングウェーハの収納および取出し作業が容易となる。特に、ロボットハンド等を使用して各ダイシングウェーハの収納および取出し作業を行うことが可能となるため、自動化されたダイシング工程に好適である。
【０００９】
また、本発明のダイシングウェーハ収納容器が容器本体に蓋体を装着した状態で概略正方形の底面を有する角柱状の輪郭を呈する場合、縦置に限らず横置も可能となる。このため、複数のダイシングウェーハ収納容器をまとめて保管、搬送する際には、縦置および横置を交えて各ダイシングウェーハ収納容器を搬送箱等にスペース効率の良い安定した状態で収容することが可能となる。
【００１０】
さらに、前記容器本体と蓋体との間に、１５°〜４５°、好ましくは３０°前後の相対回動角度で両者を着脱できる部分ネジが設けられていると、容器本体に対する蓋体の着脱作業をワンタッチ操作で容易に、しかも確実に行える。ここで、容器本体と蓋体とが概略正方形の底面を有する角柱状の輪郭を呈する場合、容器本体と蓋体とを相対回動させる作業が容易となり、容器本体に対する蓋体の着脱作業が一層容易となる。なお、この着脱作業を容易にするため、容器本体の下面および蓋体の上面には、片手で把持できる回動操作用突部、例えば、滑り止め用のローレットまたは指掛け用の凹部等を有する円形または円環状の突部を形成しておくのが一層好ましい。
【００１１】
また、前記容器本体および蓋体が導電性プラスチックスを素材として成形されていると、静電気の帯電が防止されるため、内部に収容されたダイシングウェーハの回路パターンを静電気ショックによる損傷から保護することができる。
【００１２】
なお、前記容器本体の下面および前記蓋体の上面に相互に嵌合可能な凹凸部が設けられていると、複数のダイシングウェーハ収納容器を上下方向に安定した状態で積み重ねることが可能となるので好ましい。この場合、容器本体に対する蓋体の着脱作業を容易とするための前記回動操作用突部は、前記凹凸部の一部として形成することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明に係るダイシングウェーハ収納容器の実施の形態を説明する。参照する図面において、図１は本発明の一実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器の全体構造を示す分解斜視図、図２は一実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器の半截横断面図、図３は一実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器の半截縦断面図、図４は収納容器のみを示す平面図である。
【００１４】
図１に示すように、一実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器１は、ダイシングフレームＡにダイシングフィルムＢを介して支持された状態のダイシングウェーハＣを複数枚重ねて収容可能な容器である。このダイシングウェーハ収納容器１は、前記ダイシングフレームＡの外周を案内してダイシングウェーハＣを積重ね状態に収納させる収納筒部２Ａが設けられた容器本体２と、この容器本体２に着脱自在に装着されて前記収納筒部２Ａの全体を覆う蓋体３とで構成されている。
【００１５】
前記ダイシングフレームＡは、図示しないダイシング加工機に対してダイシングウェーハＣを所定の向きに位置決めしてセットするためのフレームである。このダイシングフレームＡは、例えば厚さが１〜３ｍｍ程度のステンレス鋼鈑を円環状に打抜き加工したものであり、その内径は、公称５インチ、６インチ、８インチ、１２インチのウェーハを内側に嵌合できる寸法に設定されている。本実施形態においては、例えば公称６インチの半導体ウェーハを嵌合できる内直径に設定されている。また、前記ダイシングフレームＡの外周には、相互に平行なカット辺Ａ１，Ａ２及びこれらに直交する相互に平行なカット辺Ａ３，Ａ４が形成されており、各カット辺Ａ１〜Ａ４の間は円弧部Ａ５〜Ａ８となっている。そして、例えば前記カット辺Ａ１の右隣の円弧部Ａ５には概略６０°の頂角を有する第１位置決めノッチＡ９が形成され、前記カット辺Ａ１の左隣の円弧部Ａ６には概略１２０°の頂角を有する第２位置決めノッチＡ１０が形成されている。
【００１６】
前記ダイシングフィルムＢは、ダイシングフレームＡの下面に張設されており、ダイシングフレームＡの内側に嵌合される公称６インチの未加工のダイシングウェーハＣに接合してこれを支持する。このダイシングウェーハＣは、両面が平面研削された後、少なくとも片側の表面が鏡面にポリッシング加工され、その表面に回路パターンが形成されたものであり、裏面を前記ダイシングフィルムＢに接合してダイシングフレームＡの内側に固定される。なお、ダイシングウェーハＣを構成する半導体ウェーハには、シリコン、ＧａＡｓ（ガリウム・ヒ素）、ＧａＰ（ガリウム・リン）などの各種の材質の半導体ウェーハが含まれる。
【００１７】
前記ダイシングウェーハ収納容器１は、容器本体２に蓋体３が装着された状態で概略正方形の底面を有する背の低い角柱状の輪郭を呈する。容器本体２および蓋体３は、導電性フィラーを添加した導電性プラスチックス、あるいはポリマーアロイ処理した導電性プラスチックスを素材として射出成形により一体成形されている。なお、添加する導電性フィラーとしては、カーボンブラック、グラファイトカーボン、グラファイト、炭素繊維、金属粉末、金属繊維、金属酸化物の粉末、金属コートした無機質微粉末、有機質微粉末および繊維が使用できる。
【００１８】
前記容器本体２は、角部が丸みを帯びた概略正方形のベース部２Ｂを有し、このベース部２Ｂ上に前記収納筒部２Ａが一体的に突設されている。この収納筒部２Ａには、前記ダイシングフレームＡの外周を把持可能とする例えば４つの切欠き２Ｃが形成されている。各切欠き２Ｃは、収納筒部２Ａの先端部からベース部２Ｂに向かって所定幅で形成されており、収納筒部２Ａの周方向に等間隔で配置されている。そして、各切欠き２Ｃによって４分割された収納筒部２Ａの各部分の外周面には、その幅方向両側に位置して上下方向に延びる２本のガイドリブ２Ｄがそれぞれ突設されている。
【００１９】
前記容器本体２のベース部２Ｂにおける収納筒部２Ａの内側部分には、前記ダイシングフレームＡにダイシングフィルムＢを介して支持されたダイシングウェーハＣを、スペーサ・クッション（図示省略）を介して、水平に載置するための同心状の複数の支持筒部２Ｅが突設されている。また、ベース部２Ｂの下面には、後述する蓋体３の円環状突部３Ｅの外周を嵌合する放射状リブ２Ｆがベース部２Ｂの角部付近に突設されており、複数のダイシングウェーハ収納容器１を上下方向に積み重ねて一体化できるように構成されている。
【００２０】
さらに、前記ベース部２Ｂの下面中央部には、容器本体２に対して蓋体３を着脱する際の作業を容易にするため、片手で把持できる程度の大きさの回動操作用突部２Ｇが形成され、その外周には滑り止め用のローレット２Ｈが形成されている。また、前記回動操作用突部２Ｇの周囲には円環状突部２Ｉが形成され、両者の間には円環状凹部２Ｊが形成されている。なお、前記回動操作用突部２Ｇは、図示の例では、直径が１００ｍｍ程度の円形状であるが、円環状や多角形状であってもよい。また、回動操作用突部３Ｃの外周にはローレット３Ｄの代わりに指掛け用の凹部を形成してもよい。
【００２１】
一方、前記蓋体３は、前記容器本体２の収納筒部２Ａの外周面に突設されたガイドリブ２Ｄに嵌合して収納筒部２Ａの外周を覆う円筒部３Ａと、この円筒部３Ａに外接して一体に成形され、容器本体２のベース部２Ｂの周縁上に下端が当接して容器本体２の全体を覆う角筒部３Ｂとを有している。この蓋体３の上面中央部には、容器本体２に対して蓋体３を着脱する際の作業を容易にするため、前記容器本体２側の回動操作用突部２Ｇと同様の回動操作用突部３Ｃが形成され、その外周には滑り止め用のローレット３Ｄが形成されている。また、前記回動操作用突部３Ｃの周囲には円環状突部３Ｅが形成され、両者の間には円環状凹部３Ｆが形成されている。なお、前記回動操作用突部３Ｃは、図示の例では、直径が１００ｍｍ程度の円形状であるが、円環状や多角形状であってもよい。また、回動操作用突部３Ｃの外周にはローレット３Ｄの代わりに指掛け用の凹部を形成してもよい。
【００２２】
ここで、図５および図６に示すように、前記容器本体２と蓋体３との間、具体的には容器本体２の収納筒部２Ａの先端部外周と、蓋体３の円筒部３Ａの基端部内周側との間には、１５°〜４５°の相対回動角度の範囲、好ましくは３０°前後の相対回動角度で両者を着脱できる部分ネジが設けられている。すなわち、前記容器本体２の各切欠き２Ｃにより４分割された収納筒部２Ａの各部分の先端部外周には、その幅方向中央部に位置して長さ約２０ｍｍ、幅約２ｍｍ程度の突条体２Ｋが部分オスネジとして約６．５°の右ネジリード角を以ってそれぞれ突設されている。一方、前記蓋体３の円筒部３Ａの基端部内周側には、容器本体２の収納筒部２Ａの先端部が嵌る円環状嵌合溝３Ｇが段部３Ｈを介して形成され、この円環状嵌合溝３Ｇの外側壁部には、前記各突条体２Ｋを嵌合してねじ込み可能とする長さ約６５ｍｍ程度の４個の傾斜溝３Ｉが部分メスネジとして円周方向に４等配した位置にそれぞれ形成されている。そして、前記段部３Ｈには、各傾斜溝３Ｈの下端部に連続して前記突条体２Ｋを各傾斜溝３Ｈに導入可能とする周長約２５ｍｍ程度の突条体導入口３Ｊが形成されている。
【００２３】
前記容器本体２側の突条体２Ｋと蓋体３側の突条体導入口３Ｊとの位置合せを容易にするため、前記容器本体２のベース部２Ｂの周辺部付近の上面と前記蓋体３の角筒部３Ｂの外周面の下端部には、それぞれ矢印等の合いマークが形成されている。そして、この合いマークを合わせて前記各突条体導入口３Ｊに各突条体２Ｋを挿入し、この状態から容器本体２に対して蓋体３を時計方向に３０°程度回動させると、蓋体３が容器本体２に装着され、ダイシングウェーハ収納容器１は概略正方形の底面を有する背の低い角柱状の輪郭を呈する。
【００２４】
ここで、一実施形態のダイシングウェーハ収納容器１においては、前記容器本体２の４分割された収納筒部２Ａの各部分の内周面に、前記複数のダイシングフレームＡを周方向に位置決めする位置決めリブ２Ｌが突設されている。この位置決めリブ２Ｌは、本実施形態では、ダイシングフレームＡの各円弧部Ａ５〜Ａ８のそれぞれ両側を係止するように、収納筒部２Ａの４分割された各部分の幅方向両側にそれぞれ２本づつ配置されて上下方向に延びている。なお、位置決めリブ２Ｌの配置位置、配置本数は、これに限定されず、ダイシングフレームＡを係止できる位置でかつ本数であってよい。
【００２５】
次に、以上のように構成された一実施形態のダイシングウェーハ収納容器１の使用例を説明する。このダイシングウェーハ収納容器１は、ダイシングフレームＡにダイシングフィルムＢを介して支持された状態のダイシングウェーハＣを複数枚重ねて収容し、これを保管、搬送するために使用される。前記ダイシングウェーハＣを収容するには、容器本体２をテーブル等の定位置に置き、帯電防止のクッションシート等のクッション材（図示省略）を敷き、さらに導電性等の静電防止対策スペーサシート（図示省略）を敷き、容器本体２の４分割された収納筒部２Ａの各部分の内周に各ダイシングフレームＡの外周の各円弧部Ａ５〜Ａ８を沿わせて各ダイシングウェーハＣを収納筒部２Ａ内に水平に収納する。その際、各ダイシングフレームＡは、第１位置決めノッチＡ９および第２位置決めノッチＡ１０が上下に重なるように揃え、各円弧部Ａ５〜Ａ８の両端部が４分割された収納筒部２Ａの各部分に突設された左右一対の位置決めリブ２Ｌ，２Ｌによりそれぞれ係止されるようにして収納する。この収納作業においては、収納筒部２Ａを４分割する各切欠き２ＣがダイシングフレームＡの外周を把持可能とするため、手作業による収納が容易に行えると共に、ロボットハンドを使用した収納作業も容易に行うことができる。
【００２６】
前記容器本体２の収納筒部２Ａ内に、前記静電防止対策スペーサシートを間に挟みサンドイッチ状態にして、所定数のダイシングウェーハＣを積み重ねて収納したら、その上部空間を塞ぐスペーサとして前記クッショシート等のクッション材をダイシングウェーハＣの上に載せ、容器本体２に蓋体３を装着する。容器本体２に対して蓋体３を装着するには、容器本体２のベース部２Ｂの周辺部付近の上面に形成された合いマークと、蓋体３の角筒部３Ｂの外周面の下端部に形成された合いマークとを合わせて容器本体２の収納筒部２Ａに蓋体３の円筒部３Ａを被せ、この状態から容器本体２に対して蓋体３を時計方向に３０°程度相対回動させる。この作業は、容器本体２をテーブル等の上に置き、容器本体２のベース部２Ｂの角部を押さえて蓋体３の角筒部３Ｂを回すことによって容易に行うことができる。また、容器本体２のベース部２Ｂの下面に突設された回動操作用突部２Ｇと蓋体３の上面に突設された回動操作用突部３Ｃとを把持することで、ワンタッチ操作により一層容易に行うことができる。そして、この作業により、容器本体２側の各突条体２Ｋが蓋体３側の各突条体導入口３Ｊから各傾斜溝３Ｉへと相対的にねじ込まれ、蓋体３の角筒部３Ｂの下部が９ｍｍ程度移動して容器本体２のベース部２Ｂの周縁上に当接し、こうして蓋体３が容器本体２に装着される。そして、この装着状態において、ダイシングウェーハ収納容器１は、概略正方形の底面を有する背の低い角柱状の輪郭を呈する。
【００２７】
容器本体２に蓋体３が装着されて複数のダイシングフレームＡ付きのダイシングウェーハＣを収納したダイシングウェーハ収納容器１は、前述したように概略正方形の底面を有する背の低い角柱状の輪郭を呈するため、容器本体２のベース部２Ｂを下にした通常の縦置に限らず蓋体３の角筒部３Ｂの外周面を下にした横置も可能となる。このため、前記ダイシングウェーハ収納容器１は、縦置および横置を交えて搬送箱等にスペース効率の良い安定した状態で収容することができる。また、複数のダイシングウェーハ収納容器１を上下に積み重ねる場合、下方のダイシングウェーハ収納容器１の蓋体３の上面に形成された円環状突部３Ｅの外周を上方のダイシングウェーハ収納容器１の容器本体２の下面に形成された放射状リブ２Ｆに嵌合させることで、複数のダイシングウェーハ収納容器１を上下方向に安定した状態で積み重ねることができる。そして、各ダイシングウェーハ収納容器１に収容されたダイシングフレームＡ付きの各ダイシングウェーハＣは、容器本体２および蓋体３が導電性プラスチックスを素材として成形されて静電気の帯電が防止されているため、ＩＣ回路の静電気ショックによる損傷が未然に防止されて保護される。
【００２８】
前記ダイシングウェーハ収納容器１に収容されたダイシングフレームＡ付きの複数のダイシングウェーハＣを取り出すには、前述と反対の手順で蓋体３を容器本体２に対して反時計方向に３０°程度相対回動させ、この状態で容器本体２から蓋体３を引き離す。そして、容器本体２の収納筒部２Ａ内に収容されたダイシングフレームＡ付きの各ダイシングウェーハＣを順次取り出す。この取り出し作業は、収納筒部２Ａの各切欠き２ＣからダイシングウェーハＣの外周を手作業または図示しないロボットハンドにより把持して行うこともできる。この場合、各ダイシングフレームＡは、４分割された収納筒部２Ａの各部分の内周面に突設された位置決めリブ２Ｌによって周方向に位置決めされており、第１位置決めノッチＡ９および第２位置決めノッチＡ１０が上下に重なるように揃っている。このため、図示しないダイシング加工にダイシングフレームＡ付きの未加工のダイシングウェーハＣを供給する際には、各ダイシングフレームＡをその都度周方向に回動させて位置決めし直す必要がなく、各ダイシングウェーハＣの位置決め作業を極めて容易に行うことができる。
【００２９】
本実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器１では、前述のように、容器本体２に対して蓋体３を着脱自在に装着する手段として、容器本体２側の突条体２Ｋと蓋体３側の傾斜溝３Ｉとの嵌合による部分ネジを通常のネジ嵌合手段に代えて採用している。このため、容器本体２および蓋体３の射出成形の際には、成形品を捩じりつつ脱型する工程を必要とせず、製造コストを低減することができる。なお、前記部分ネジとして、蓋体３の円筒部３Ａの内周面に突条体を突設し、この突条体が嵌合する傾斜溝を容器本体２の収納筒部２Ａの外周面に形成してもよい。
【００３０】
また、本実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器１では、容器本体２の収納筒部２Ａを４つの切欠き２Ｃにより周方向に４分割したが、２つの切欠き２Ｃにより収納筒部２Ａを半円弧状に２分割するようにしてもよい。
この２分割の実施形態を図７（容器本体の斜視図）、図８（Ａ），（Ｂ）（同側面図）、図９（同平面図）、図１０（同底面図）に示す。図７〜図１０中、図１〜図５と同一符号は図１〜図５と同一機能部を示す。
【００３１】
図７〜図１０に示す本実施形態では、容器本体２のベース部２Ｂ上に、上記の２分割の収納筒部２１Ａが一体的に突設されている。この２分割の収納筒部２１Ａには、前記ダイシングフレームＡの外周を把持可能とする２つの切欠き２１Ｃが形成されており、各切欠き２１Ｃは、収納筒部２１Ａの先端部からベース部２Ｂに向かって所定幅で形成され、収納筒部２１Ａの周方向を２（等）分割するように配置されている。図８（Ａ）は一方の切欠き２１Ｃが正面に位置し、従って他方の切欠き２１Ｃがこれと相対して位置する方向からの側面図であり、図８（Ｂ）は切欠き２１Ｃが両側面に位置するため図には現れない方向からの側面図である。
【００３２】
そして、この２分割された収納筒部２１Ａの各部分の外周面には、上下方向に延びる複数本（本実施形態では２本）のガイドリブ２Ｄがそれぞれ平行に突設されている。
この２分割された容器本体２の平面は図９に示され、底面は図１０に示される。本実施形態の場合、放射状リブ２Ｆと共に、底面（ベース部２Ｂ）の各辺の中央部にも、蓋体３の円環状突部３Ｅの外周を嵌合するためのリブ２Ｆ１、２Ｆ２が突設されている。
【００３３】
以上の各実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器１においては、蓋体３に形成する傾斜溝３Ｉの先端部の幅と容器本体２に形成する突条体２Ｋの幅とのクリアランスを小さくすることで、容器本体２に対して蓋体３を強固に装着することができる。
【００３４】
また、以上の各実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器１においては、導電性プラスチックスを素材としてダイシングウェーハ収納容器１の容器本体２および蓋体３をそれぞれ一体成形したが、帯電防止剤を混入したプラスチックスを素材にして一体成形してもよい。ここで帯電防止剤としては、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、多価アルコール脂肪酸エステルなどの非イオン系界面活性剤、第４級アンモニウム塩などの陽イオン系界面活性剤、高級アルコールリン酸エステル塩、高級アルコール硫酸エステル塩などの陰イオン系界面活性剤、アルキルベタインなどの両性界面活性剤及びこれらの任意の組合せ等、一般に合成樹脂に練り込み、又は塗布して帯電防止剤として使用される界面活性剤であれば何でも使用できる。
【００３５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るダイシングウェーハ収納容器によれば、ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持された状態のダイシングウェーハの複数を容器本体の収納筒部に収納する際、収納筒部の内周面に突設された位置決めリブが各ダイシングフレームを周方向に位置決めする。このため、複数のダイシングウェーハを各ダイシングフレームの位置決めノッチ等が揃うように収納することが可能となり、ダイシング工程に好適である。
【００３６】
本発明のダイシングウェーハ収納容器において、前記容器本体の収納筒部にダイシングフレームの外周を把持可能とする切欠きが設けられている場合、容器本体を定位置においた状態でダイシングフレームの外周を把持することができ、ダイシングウェーハの収納および取出し作業を容易に行うことができる。特に、ロボットハンド等を使用して各ダイシングウェーハの収納および取出し作業を行うことができ、自動化されたダイシング工程に好適である。
【００３７】
また、本発明のダイシングウェーハ収納容器が前記容器本体に蓋体を装着した状態で概略正方形の底面を有する角柱状の輪郭を呈する場合、縦置に限らず横置も可能となり、複数のダイシングウェーハ収納容器をまとめて保管、搬送する際には、縦置および横置を交えて各ダイシングウェーハ収納容器を搬送箱等にスペース効率の良い安定した状態で収容することができる。
【００３８】
さらに、本発明のダイシングウェーハ収納容器において、前記容器本体と蓋体との間に、１５°〜４５°、好ましくは３０°前後の相対回動角度で両者を着脱できる部分ネジが設けられている場合、容器本体に対する蓋体の着脱作業をワンタッチ操作で容易に、しかも確実に行うことができる。ここで、容器本体と蓋体とが概略正方形の底面を有する角柱状の輪郭を呈する場合、容器本体と蓋体とを容易に相対回動させることができ、容器本体に対する蓋体の着脱作業を一層容易に行うことができる。
【００３９】
また、本発明のダイシングウェーハ収納容器において、前記容器本体および蓋体が導電性プラスチックスを素材として成形されている場合、静電気の帯電を防止でき、内部に収容されたダイシングウェーハのＩＣ回路を静電気ショックによる損傷から保護することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器の全体構造を示す分解斜視図である。
【図２】一実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器の半截横断面図である。
【図３】一実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器の半截縦断面図である。
【図４】一実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器の容器本体のみを示す符号平面図である。
【図５】一実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器の部分ネジの構造を収納筒部の直径方向に破断して示す部分断面図である。
【図６】一実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器の部分ネジの構造を収納筒部の円周方向に破断して示す部分断面図である。
【図７】他の実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器の容器本体部のみを示す斜視図である。
【図８】他の実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器の容器本体部のみを示す側面図で、（Ａ）が切欠きを正面に位置させた図、（Ｂ）が切欠きを側面に位置させた図である。
【図９】他の実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器の容器本体部のみを示す平面図である。
【図１０】他の実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器の容器本体部のみを示す底面図である。
【符号の説明】
１  ：ダイシングウェーハ収納容器
２  ：容器本体
２Ａ，２１Ａ：収納筒部
２Ｂ：ベース部
２Ｃ，２１Ｃ：切欠き
２Ｄ：ガイドリブ
２Ｅ：支持筒部
２Ｆ：放射状リブ
２Ｇ：回動操作用突部
２Ｈ：ローレット
２Ｉ：円環状突部
２Ｊ：円環状凹部
２Ｋ：突条体
３  ：蓋体
３Ａ：円筒部
３Ｂ：角筒部
３Ｃ：回動操作用突部
３Ｄ：円環状突部
３Ｅ：円環状凹部
３Ｆ：円環状凹部
３Ｇ：円環状嵌合溝
３Ｈ：段部
３Ｉ：傾斜溝
３Ｊ：突条体導入口
Ａ  ：ダイシングフレーム
Ｂ  ：ダイシングフィルム
Ｃ  ：ダイシングウェーハ
【図１】
0004562930.tif 000002
【図２】
0004562930.tif 000003
【図３】
0004562930.tif 000004
【図４】
0004562930.tif 000005
【図５】
0004562930.tif 000006
【図６】
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【図７】
0004562930.tif 000008
【図８】
0004562930.tif 000009
【図９】
0004562930.tif 000010
【図１０】
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