(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷却対象である板状体が配置される板状体配置部と、配置された板状体の板面の両面の内、少なくともいずれか一方に配置される冷却部とを有するものであり、
前記冷却部は、内側板、外側板及びファンを有しており、
内側板及び外側板は、内側板が板状体側となるようにしながら、間に中間空間を設けるようにして配置するものであり、
内側板及び外側板を連通して、中間空間を遮断する筒状体により形成される第１貫通孔と、内側板を貫通する第２貫通孔とが形成され、第１貫通孔及び第２貫通孔は、板状体が配置される領域の全体に複数配置されるものであり、
第１貫通孔と第２貫通孔のいずれか一方には、孔の内部に前記ファンが設けられ、当該ファンはそれぞれの孔に配置されるものであって、
ファンを作動することにより、外側板の外部から第１貫通孔を通過して内側板の内部に入って第２貫通孔から中間空間を通過して外部に至る流れを形成し、板状体の冷却を行うもの、あるいは、外部から中間空間を通過して第２貫通孔から内側板の内部に入って第１貫通孔を通過して外側板の外部に至る流れを形成し、板状体の冷却を行うものであることを特徴とする板状体冷却装置。
【請求項２】
複数の支持ピンが設けられ、板状体の板面が上下となるようにしながら支持ピンの上に板状体を載せて、板状体を配置するものであることを特徴とする請求項１に記載の板状体冷却装置。
【請求項３】
板状体の下側に配置される冷却部である下側冷却部を有し、前記下側冷却部の内側板の上側には、複数の支持ピンが固定されていることを特徴とする請求項２に記載の板状体冷却装置。
【請求項４】
支持ピンは伸縮可能又は上下動可能であり、支持ピンの伸縮又は上下動によって冷却部と板状体との距離を変えることができることを特徴とする請求項２又は３に記載の板状体冷却装置。
【請求項５】
第１貫通孔と第２貫通孔は交互に並んで配置されるものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の板状体冷却装置。
【請求項６】
第１貫通孔及び第２貫通孔の配置が市松模様状であることを特徴とする請求項５に記載の板状体冷却装置。
【請求項７】
板状体配置部は、対向する２面が開放されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の板状体冷却装置。
【請求項８】
板状体の熱処理を行う熱処理装置と、請求項１〜７のいずれかに記載の板状体冷却装置と、熱処理された板状体を取り出して前記板状体冷却装置に搬入する搬入装置とを有することを特徴とする熱処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板等の板状体を熱処理した後に、冷却を行うための装置や、それを用いた熱処理システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ガラス基板などの板状体を熱処理するための装置が用いられている。そして、このような装置は、予めガラス板等の基板（板状体）に対して特定の溶液を塗布して加熱乾燥させたものをロボットハンド等の移載装置を用いて積載段の間隔に出し入れし、熱処理室内に導入される所定の温度の熱風に晒して熱処理（焼成）する装置であり、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ：Plasma Display）、有機ＥＬディスプレイ等のようなフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Flat Panel Display）の製作に使用されている。
【０００３】
このように熱処理された後の板状体は冷却する必要があるが、放冷では時間がかかるので、風などを当てるなどして強制的に冷却して、短い時間で冷却するようにしている。
【０００４】
また、例えば、特許文献１に記載されている装置を用いて、板状体が冷却される。このように、板状体を加熱して熱処理を行う熱処理槽と、冷却を行う冷却槽を別にし、熱処理が終わった板状体を熱処理槽から冷却槽に搬送して冷却が行われる。このような装置で連続して熱処理を行う場合、熱処理槽の温度をほとんど低下させることなく冷却を行うことができるので、熱処理槽で使用されるエネルギーを低減させることができる。
【特許文献１】特開２００２−７１９３６号  公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
熱処理槽と冷却槽とを別にした装置の場合、それぞれの槽での工程の処理能力をほぼ同じぐらいとしなければ、一方の能力が余って効率的な処理を行うことができない。そして、冷却槽での冷却時間が長いと、単位時間当たりに冷却できる板状体の枚数が少なくなって冷却槽の能力が低くなるので、多くの板状体を処理する必要があり、そのため、冷却槽が大きな槽となってしまう。
【０００６】
また、板状体の冷却は、特許文献１にも示されているように、一般的に、間隔を空けて板状体を並べ、板状体の間に冷却のための空気を一方側から供給して、他方側へと流して行われる。そのため、他方側での流れが弱く、また、他方側での空気の温度が高くなり、他方側の冷却に時間がかかるので、冷却が完了するまでの時間が長くかかっていた。
【０００７】
特に、板状体が基板などの精密電子部品の場合には、不純物を含む空気で冷却すると、その不純物が付着して板状体が汚れるので、ＨＥＰＡフィルタ付きのファンなどを用いて、冷却用の空気を流している。そのため、供給される空気も流速が遅くなり、供給量も少なくなるので、一般的なものに比べて冷却時間が長くなってしまう。
【０００８】
また、熱処理された高温の板状体を、この装置に搬入し、また、冷却後の板状体を搬出する必要がある。そして、この冷却槽の搬入部分や搬出部分を開放状態としたままで、冷却できる装置の場合には、かかる部分の構造を簡略化することができる。
しかし、このような構造の場合、この開放部分から冷却空気が外部に流れるので、他方側の空気の流れが遅くなって、この部分の冷却が不十分となりやすくなるため、冷却の時間が余計に必要になってしまう。
【０００９】
そこで、本発明は、熱処理された板状体の冷却を行うことができ、装置を小さくしながら、効率よく冷却できる板状体冷却装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そして、上記した目的を達成するための請求項１に記載の発明は、冷却対象である板状体が配置される板状体配置部と、配置された板状体の板面の両面の内、少なくともいずれか一方に配置される冷却部とを有するものであり、前記冷却部は、内側板、外側板及びファンを有しており、内側板及び外側板は、内側板が板状体側となるようにしながら、間に中間空間を設けるようにして配置するものであり、内側板及び外側板を連通して、中間空間を遮断する筒状体により形成される第１貫通孔と、内側板を貫通する第２貫通孔とが形成され、第１貫通孔及び第２貫通孔は、板状体が配置される領域の全体に複数配置されるものであり、第１貫通孔と第２貫通孔のいずれか一方には、孔の内部に前記ファンが設けられ、当該ファンはそれぞれの孔に配置されるものであって、ファンを作動することにより、外側板の外部から第１貫通孔を通過して内側板の内部に入って第２貫通孔から中間空間を通過して外部に至る流れを形成し、板状体の冷却を行うもの、あるいは、外部から中間空間を通過して第２貫通孔から内側板の内部に入って第１貫通孔を通過して外側板の外部に至る流れを形成し、板状体の冷却を行うものであることを特徴とする板状体冷却装置である。
【００１１】
請求項１に記載の発明によれば、内側板及び外側板を連通して中間空間とを遮断する筒状体により形成される第１貫通孔と、内側板を貫通する第２貫通孔とが形成され、第１貫通孔及び第２貫通孔は、板状体が配置される領域の全体に複数配置されるものであり、ファンを作動することにより、外側板の外部から第１貫通孔を通過して内側板の内部に入って第２貫通孔から中間空間を通過して外部に至る流れを形成し、板状体の冷却を行うものであるので、板状体の冷却を全体的にむら無く行うことができる。
【００１２】
さらに、請求項１に記載の発明によれば、内側板及び外側板を連通して中間空間とを遮断する筒状体により形成される第１貫通孔と、内側板を貫通する第２貫通孔とが形成され、第１貫通孔及び第２貫通孔は、板状体が配置される領域の全体に複数配置されるものであり、ファンを作動することにより、外部から中間空間を通過して第２貫通孔から内側板の内部に入って第１貫通孔を通過して外側板の外部に至る流れを形成し、板状体の冷却を行うものであるので、板状体の冷却を全体的にむら無く行うことができる。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、複数の支持ピンが設けられ、板状体の板面が上下となるようにしながら支持ピンの上に板状体を載せて、板状体を配置するものであることを特徴とする請求項１に記載の板状体冷却装置である。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、複数の支持ピンの上に板状体を載せて板状体を配置して板状体を冷却するので、冷却の際に気流の邪魔になりにくく、板状体の配置を簡単に行うことができる。
【００１５】
また、板状体の下側に配置される冷却部である下側冷却部を有し、前記下側冷却部の内側板の上側には、複数の支持ピンを固定することもできる（請求項３）。
【００１６】
請求項４に記載の発明は、支持ピンは伸縮可能又は上下動可能であり、支持ピンの伸縮又は上下動によって冷却部と板状体との距離を変えることができることを特徴とする請求項２又は３に記載の板状体冷却装置である。
【００１７】
請求項４に記載の発明によれば、支持ピンは伸縮可能又は上下動可能であり、支持ピンの伸縮又は上下動によって冷却部と板状体との距離を変えることができるので、必要に応じて、冷却のための気流の速度を変えたり、板状体の搬入や搬出の作業性を向上させることが可能となる。
【００１８】
請求項５に記載の発明は、第１貫通孔と第２貫通孔は交互に並んで配置されるものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の板状体冷却装置である。
【００１９】
請求項５に記載の発明によれば、第１貫通孔と第２貫通孔は交互に並んで配置されるものであるので、冷却のための気流を安定させることができる。
【００２０】
そして、第１貫通孔及び第２貫通孔の配置が市松模様状であってもよい（請求項６）。
ここで、第１貫通孔及び第２貫通孔の配置が市松模様状であるというのは、第１貫通孔及び第２貫通孔の配列が縦横に並んでおり、縦及び横の並びのいずれもが、第１貫通孔と第２貫通孔が交互に並んでいることである。
【００２１】
請求項７に記載の発明は、板状体配置部は、対向する２面が開放されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の板状体冷却装置である。
【００２２】
請求項７に記載の発明によれば、板状体配置部は、対向する２面が開放されているので、いずれかの面から板状体を搬入し、他方の面から板状体を搬出することができる。
【００２３】
また、板状体の熱処理を行う熱処理装置と、請求項１〜７のいずれかに記載の板状体冷却装置と、熱処理された板状体を取り出して前記板状体冷却装置に搬入する搬入装置とによって、熱処理システムとすることができる（請求項８）。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の板状体冷却装置によれば、装置の大きさを小さくしながら、板状体の冷却を効率よく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下さらに本発明の具体的実施例について説明する。
本発明の第１の実施形態の板状体冷却装置１は、図１、図２に示されるように、上側冷却部２０と下側冷却部３０からなる冷却部１０と、上側冷却部２０と下側冷却部３０との間に形成される板状体配置部１１とを有している。
そして、板状体配置部１１に冷却対象である板状体９０が配置され、板状体９０の両面に配置される上側冷却部２０と下側冷却部３０によって冷却が行われる。
【００２６】
上側冷却部２０は、内側板２１、外側板２２を有している。そして、内側板２１が板状体９０側となるように、内側板２１が下側、外側板２２が上側となるように配置されており、また、内側板２１と外側板２２との間にはすき間が形成されており、このすき間によって中間空間２３が形成されている。
そして、内側板２１及び外側板２２は、長方形状であってほぼ同じ大きさであり、向かい合う辺２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂが側板４０、４１と接合されている。
【００２７】
また、内側板２１には、図２に示されるように、板状体配置部１１側と中間空間２３側とを貫通する２種類の貫通孔２４、２５を有している。貫通孔２４は円形の孔であり、筒状体２６と接続している。また、貫通孔２５は正方形状の孔であり、第２貫通孔として機能する。
【００２８】
外側板２２には、中間空間２３と外部とを貫通する貫通孔２７が設けられている。そして、この貫通孔２７は円形の孔であり、内側板２１の貫通孔２４の位置に対応する位置に設けられている。貫通孔２７は筒状体２６と接続し、第１貫通孔２８を形成する。
【００２９】
この第１貫通孔２８は、筒状体２６によって、中間空間２３との間を遮断して、外部と板状体配置部１１とをつないでいる。そして、第１貫通孔２８にファン２９が配置されている。
【００３０】
第１貫通孔２８及び貫通孔（第２貫通孔）２５は、複数形成されており、これらは交互に並んで縦横に配置されており、図３に示されるように、市松模様状となっている。そして、第１貫通孔２８及び貫通孔（第２貫通孔）２５は、板状体９０が配置される領域の全体に配置されている。
したがって、後述するように、上側冷却部２０によって板状体９０の冷却が行われる場合、全体的に冷却を行うことができる。
【００３１】
ファン２９は第１貫通孔２８の内部に配置されており、ファン２９を作動させることにより、第１貫通孔２８内に気流を発生させることができる。そして、本実施形態の上側冷却部２０は、複数の第１貫通孔２８を有し、それぞれの第１貫通孔２８にファン２９が設けられている。
この気流の方向は、図４に示されるように、全てが板状体配置部１１に向かう方向であり、第１貫通孔２８内のファン２９が作動することにより、上側冷却部２０の全域で外部から板状体配置部１１へと空気が流れる。
【００３２】
下側冷却部３０は、上側冷却部２０と同様な構造であり、図１、図２に示されるように、内側板３１、外側板３２を有し、内側板３１が板状体９０側となるように配置されている。また、内側板３１と外側板３２との間には中間空間３３が形成されている。
【００３３】
そして、内側板３１及び外側板３２は、長方形状であってほぼ同じ大きさであり、向かい合う辺３１ａ、３１ｂ、３２ａ、３２ｂが側板４０、４１と接合されている。
したがって、上側冷却部２０の内側板２１、下側冷却部３０の内側板３１及び側板４０、４１によって、囲まれた空間が形成され、この空間に板状体配置部１１が形成される。また、板状体配置部１１は、配置された板状体９０の板面（上面、下面）以外の、対向する２つの面が開放されており、開放面１１ａ、１１ｂを有している。
そして、図１の矢印で示されるように、開放面１１ａ、１１ｂから板状体９０の搬入や搬出が行われる。
【００３４】
また、中間空間２３、３３も、それぞれの内側板２１、３１と、それぞれの外側板２２、３２と、側板４０、４１とによって囲まれており、板状体配置部１１と同じ側が開放され、開放面２３ａ、２３ｂ、３３ａ、３３ｂを有している。
【００３５】
下側冷却部３０の内側板３１には、板状体配置部１１側と中間空間３３側とを貫通する円形の貫通孔３４と、正方形状の貫通孔３５を有しており、貫通孔３５は第２貫通孔として機能する。
【００３６】
外側板３２には、中間空間３３と外部とを貫通する円形の貫通孔３７が設けられている。そして、この貫通孔３７は内側板３１の貫通孔３４の位置に対応する位置に設けられ、貫通孔３４と貫通孔３７とは筒状体３６によって接続されており、第１貫通孔３８を形成する。また、この第１貫通孔３８にファン３９が配置されている。
【００３７】
第１貫通孔３８及び貫通孔（第２貫通孔）３５は、複数形成されており、これらは交互に並んで縦横に配置されて、市松模様状となっており、その配置は、第１貫通孔２８及び貫通孔（第２貫通孔）２５に合わせられている。
【００３８】
下側冷却部３０の第１貫通孔３８に設けられるファン３９も、上側冷却部２０に設けられるファン２９と同様なものであり、第１貫通孔３８内に気流を発生させることができるものである。
また、第１貫通孔３８内での気流を発生させる方向は、全てのファン３９で同じであり、板状体配置部１１に向かう方向である。
この気流の方向は、図４に示されるように、全てが板状体配置部１１に向かう方向であり、第１貫通孔３８内のファン３９が作動することにより、下側冷却部３０の全域で外部から板状体配置部１１へと空気が流れる。
そして、上側冷却部２０及び下側冷却部３０の全てのファン２９、３９によって発生する気流の方向は、板状体配置部１１側に向かう方向となっている。
【００３９】
このように、本実施形態の冷却部１０では、ファン２９、３９が作動すると、第１貫通孔２８、３８から板状体配置部１１に向かう流れが発生し、外側板２２、３２の外側の外部の空気が板状体配置部１１へと流れる。
【００４０】
また、下側冷却部３０の内側板３１の上側、すなわち、板状体配置部１１側には、板状体９０を載せるための支持ピン４３が配置されており、内側板３１の上側で固定されている。支持ピン４３は、内側板３１の貫通孔３４や貫通孔３５を避ける位置に複数形成されており、全て同じ長さである。したがって、支持ピン４３の上に載せられる板状体９０は、内側板３１と平行となる状態で配置されることになり、板状体９０と内側板３１との間隔は、全域でほぼ同じ状態となっている。
【００４１】
また、支持ピン４３の先端部分は尖っている。したがって、支持ピン４３と板状体９０とは点接触に近い状態となっており、板状体９０との接触部分を少なくし、また、冷却の際に、より広い面積に気流が当たり、冷却性を向上させることができる。
【００４２】
板状体９０が配置されると、板状体９０は冷却部１０の上側冷却部２０と下側冷却部３０との間に位置することになり、板状体９０は両側から冷却される。
具体的には、ファン２９、３９が作動し、外部の空気が、上側冷却部２０の第１貫通孔２８や下側冷却部３０の第１貫通孔３８から板状体配置部１１へと流れ込み、板状体９０の上面や下面に向かって流れて、この板状体９０の上面や下面に当たる。
【００４３】
そして、板状体９０の熱を奪い、温度の上昇した空気は、図４に示すように、第２貫通孔２５、３５から、中間空間２３、３３へと流れる。これは、第１貫通孔２８、３８と第２貫通孔２５、３５とが隣に配置され、互いに挟まれた位置関係となっているので、板状体配置部１１の開放部１１ａ、１１ｂには空気はほとんど流れず、主に中間空間２３、３３へと流れる。
さらに、空気は中間空間２３、３３の開放面２３ａ、２３ｂ、３３ａ、３３ｂへと流れて、ここから排出される。
【００４４】
次に、板状体冷却装置１の使用方法について説明する。
本実施形態の板状体冷却装置１では、図示しない熱処理装置、搬入装置、搬出装置と共に用いられるものである。そして、これらの装置によって熱処理システム５となるものである。
【００４５】
そして、板状体冷却装置１によって冷却される板状体９０は、前記の熱処理装置によって高温で熱処理され、搬入装置によって熱処理装置から板状体冷却装置１の板状体配置部１１に移動し、冷却の後、搬出装置によって板状体冷却装置１から搬出される。
【００４６】
熱処理装置、搬入装置、搬出装置は、従来から使用されている構造のものを用いることができる。そして、熱処理装置として、電気ヒータなどを用いたオーブンを用いることができ、また、搬入装置や搬出装置としては、ロボット式アームを用いることができる。
【００４７】
搬入装置による搬入は、開放面１１ａから行われる。そして、この搬入された熱処理直後の板状体９０は、図２、図４のように、支持ピン４３の上に載せられる。そして、ファン２９、３９を作動させて、外側板２２、３２よりも外側の外部の空気を内部に供給することにより、板状体９０を冷却する。
この外部の空気は、板状体９０の全域で供給されるので、従来のもののように、板状体９０の面に沿って空気を流す場合に問題となっていた、下流側での冷却能力の低下が無く、全体的な冷却が可能となる。
【００４８】
そして、所定の温度以下に冷却された板状体９０は、搬出装置により開放面１１ｂから搬出され、その後、別の板状体９０が搬入されて次々に冷却される。
なお、ファン２９、３９の作動は、冷却を行う場合にのみ作動してもよく、また、常時作動させておいてもよい。
【００４９】
本実施形態の板状体冷却装置１では、互いに対向する位置に設けられる開放面１１ａ、１１ｂにおいて、板状体９０の搬入、搬出が行われる。したがって、熱処理システム５における板状体冷却装置１の前後の工程の配置を、直線状にすることができ、全体の配置を直線状としやすくなる。
また、開放面１１ａ、１１ｂの内、いずれか一方のみを用いて、板状体９０の搬入、搬出を行うことができる。この場合、板状体９０の搬入、搬出に用いない他方の開放面１１ａ、１１ｂを閉鎖したものを用いることができる。
【００５０】
なお、熱処理システム５に用いられる板状体冷却装置１の数は、１台でもよく、複数台でもよい。そして、この台数は、冷却を行う時間と、単位時間当たりに冷却を行う板状体９０の枚数によって決めることができる。
また、後述するように、板状体冷却装置１と同じ構造の板状体冷却ユニット８を複数台用いた板状体冷却装置４を使用することができる。そして、この板状体冷却装置４を用いて熱処理システム５とすることができる。
【００５１】
また、ファン２９、３９の位置は、別の位置に配置することができる。
例えば、図５に示される第２の実施形態の板状体冷却装置２のように、ファン２９、３９を、第２貫通孔２５、３５の中間空間２３、３３側に配置して、第１貫通孔２８、３８に設けない構成も採用することができる。そして、この板状体冷却装置２のファン２９、３９により、板状体配置部１１から中間空間２３、３３側へと流れる気流を発生させる。
そうすると、第２貫通孔２５、３５の板状体配置部１１側付近の圧力が低下し、そのため、外部の空気が第１貫通孔２８、３８から板状体配置部１１へと流れ込み、板状体冷却装置１と同様な空気の流れが発生し、板状体９０の冷却を行うことができる。
【００５２】
さらに、冷却部１０は、板状体９０の両面に、上側冷却部２０と下側冷却部３０とが設けられているが、いずれか一方のみでもよい。
例えば、図６に示される第３の実施形態の板状体冷却装置３のように、上側冷却部２０のみが設けられている構成も採用することができる。なお、本実施形態の上側冷却部２０は、第１の実施形態の板状体冷却装置１と同様なものであるが、第２の実施形態の板状体冷却装置２と同様な構造のものも採用することができる。
【００５３】
また、板状体冷却装置３には、板状体９０を載せるための支持ピン５３が複数設けられているが、この支持ピン５３は伸縮可能である。そして、支持ピン５３を伸縮させることにより、冷却部１０（上側冷却部２０）と板状体９０との距離を変えることができる。
【００５４】
そして、支持ピン５３を伸ばすと、上側冷却部２０と板状体９０との距離が接近し、外部から供給されて冷却に用いられる空気の流れを早くすることができる。また、板状体９０の下側のすき間を大きくすることができるので、板状体９０を搬入する作業を行いやすくすることができる。
【００５５】
また、板状体冷却装置３には、コンベアローラ５０が設けられている。そして、このコンベアローラ５０は、冷却された板状体９０の搬入や搬出を行うことができる。
そして、コンベアローラ５０は、軸部５１とローラ部５２とを有している。そして、軸部５１を回転させ、ローラ部５２が回転することにより、ローラ部５２上の板状体９０が移動し、板状体９０の搬入や搬出が行われる。
【００５６】
そして、本実施形態の板状体冷却装置３の支持ピン５３は伸縮可能であるので、冷却後に、板状体９０がローラ部５２に接触する程度に支持ピン５３を縮めることにより、冷却時には、ローラ部５２と板状体９０が接触せず、搬送時には確実にローラ部５２に板状体９０を接触させることができる。
【００５７】
また、支持ピン５３に載せられた板状体９０を上下動させることができれば、支持ピン５３が伸縮可能でなくてもよい。この場合、支持ピン５３自体を上下動させ、上側冷却部２０と板状体９０との距離を変えたり、板状体９０とローラ部５２とを接触させたり、接触させない状態としたりするようにすることができる。
例えば、支持ピン５３の下側に位置しており、支持ピン５３の固定が行われている板部材６０を昇降可能にし、板部材６０の昇降によって支持ピン５３を上下動させることができる。
【００５８】
板状体冷却装置１、２、３では、冷却のための空気が外部から板状体配置部１１へと流入するが、この流入は、第１貫通孔２８、３８の外側板２２、３２側であり、板状体冷却装置１、２、３全体の上面及び下面である。
したがって、この面にフィルターなどを配置し、外部から流入する空気を、このフィルターを通じて流入させるようにすることにより、不純物の少ない空気による冷却が可能である。また、このフィルターを外側板２２、３２とすき間を設けて配置することにより、面積の大きなフィルターを採用することができ、フィルターを通過する際の抵抗を小さくすることができる。
【００５９】
また、開放面２３ａ、２３ｂ、３３ａ、３３ｂに、排気のための手段を設けて、板状体９０の冷却によって加熱された空気を強制的に排気することができる。例えば、この排気のための手段として、クロスフローファンなどを用いることができる。
【００６０】
板状体冷却装置１、２、３では、ファン２９、３９を作動することにより、外側板２２の外部から第１貫通孔２８、３８を通過して、内側板２１、３１の内部の板状体配置部１１に入って第２貫通孔２５、３５から中間空間２３、３３を通過して外部に至る流れを形成し、板状体９０の冷却を行うものであったが、ファン２９、３９を逆回転させて、上記した流れとは逆の流れを発生させて、板状体９０の冷却を行うようにしてもよい。
具体的には、外部から中間空間２３、３３を通過して、第２貫通孔２５、２８から内側板の内部の板状体配置部１１に入って第１貫通孔を通過して外側板２２、３２の外部に至る流れを形成し、板状体９０の冷却が行われる。なお、この場合、板状体冷却装置１、２、３の構造は同じものを用いることができる。
【００６１】
また、第４の実施形態の板状体冷却装置４を用いて、板状体９０の冷却を行うことができる。板状体冷却装置４は、図７に示されるように、複数の板状体冷却ユニット８を有しており、それぞれの板状体冷却ユニット８で、板状体９０を冷却することができる。
この板状体冷却ユニット８は、上記した板状体冷却装置１と同じ構造のものが用いられ、上側冷却部２０及び下側冷却部３０が設けられている。そして、上側冷却部２０及び下側冷却部３０によって板状体９０が冷却される。また、板状体９０は、支持ピン４３の上に配置されている。
【００６２】
板状体冷却装置４では、さらに、排気部６１、配管部６２、ダクト６３、冷却装置６５を有しており、板状体９０の冷却によって加熱された空気を強制的に排気し、冷却することができる構造となっている。
排気部６１は、板状体冷却ユニット８（板状体冷却装置１）の上側冷却部２０や下側冷却部３０の開放面２３ｂ、３３ｂ側に設けられている。そして、排気部６１の内部は空洞状となっており、開放面２３ｂ、３３ｂを通じて、内部空間２３、３３とつながっている。
【００６３】
また、それぞれの排気部６１は配管部６２につながっており、合流して、ダクト６３に接続している。さらに、ダクト６３は、冷却装置６５とつながっている。冷却装置６５は、空気を冷却することができる装置であり、本実施形態の冷却装置６５は、水冷式のものが用いられている。
ダクト６３を作動させると、配管部６２側の空気を吸引して、冷却装置６５側へと移動させることができる。したがって、板状体９０の冷却によって加熱された高温の空気は、内部空間２３、３３から、配管部６２、ダクト６３を通じて冷却装置６５へと入り、冷却装置６５で冷却され、この冷却された空気は、排出口６５ａから排出される。
【００６４】
そして、排出口６５ａから排出された空気は、再び板状体９０の冷却に用いることができる。したがって、板状体冷却装置４をクリーンルームなどで用いる場合にも、清浄度の高い空気を繰り返して用いることが可能となり、また、室温の上昇を防ぐことができる。
【００６５】
なお、板状体冷却装置４の本体部６６には、それぞれの板状体冷却ユニット８に対応して搬出入部６６ａが形成されており、板状体９０の搬入、搬出は、この搬出入部６６ａから行うことができる。
【００６６】
このように、板状体冷却装置４では、複数の板状体冷却ユニット８を有しているので、同時に複数の板状体９０の冷却を行うことができる。また、板状体９０を冷却して加熱された空気を集中排気して、冷却装置６５で冷却することができるので、周囲の温度が上がったりすることを防止することができる。  
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の第１の実施形態における板状体冷却装置を示した斜視図である。
【図２】図１に示す板状体冷却装置の一部破断斜視図である。
【図３】図１に示す板状体冷却装置の内側板とファンを示した説明図である。
【図４】図１に示す板状体冷却装置のＡ−Ａ断面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態における板状体冷却装置の断面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態における板状体冷却装置の断面図である。
【図７】本発明の第４の実施形態における板状体冷却装置の断面図である。
【符号の説明】
【００６８】
１、２、３、４  板状体冷却装置
５  熱処理システム
８  板状体冷却ユニット
１０  冷却部
１１  板状体配置部
２０  上側冷却部
２１  内側板
２２  外側板
２３  中間空間
２５  第２貫通孔
２８  第１貫通孔
２９  ファン
３０  下側冷却部
３１  内側板
３２  外側板
３３  中間空間
３５  第２貫通孔
３８  第１貫通孔
３９  ファン
４３、５３  支持ピン
９０  板状体
【図１】
0004559454.tif 000002
【図２】
0004559454.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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