(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と、
前記半導体基板の上方に形成された第１配線層と、
前記第１配線層上に形成された第１絶縁膜と、
前記第１配線層上であって、前記第１絶縁膜に形成された第１コンタクトと、
前記第１絶縁膜上及び前記第１コンタクト上に形成された第２配線層と、
前記第２配線層上に形成された第２絶縁膜と、
前記第２配線層上であって、前記第２絶縁膜に形成された第２コンタクトと、
前記第２絶縁膜上及び前記第２コンタクト上に形成された第３配線層と、
前記第３配線層上に形成された第３絶縁膜と、
前記第３配線層上であって、前記第３絶縁膜に形成された第３コンタクトと、
前記第３絶縁膜上及び前記第３コンタクト上に形成された第４配線層と、を含み、
前記第４配線層は、第１部分と、ボンディングパッドを構成する第２部分とを、有し、
前記第１配線層、前記第２配線層及び前記第３配線層は、前記第１部分の下方から前記第２部分の下方に延在して形成され、
前記第１コンタクト、前記第２コンタクト及び前記第３コンタクトは、前記第１部分の下方に形成され、
前記第４配線層は、入出力回路と電気的に接続されている、半導体集積回路。
【請求項２】
請求項１において、
さらに、機能ブロックが形成されている、半導体集積回路。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記第１配線層、前記第２配線層及び前記第３配線層は、前記入出力回路と電気的に接続されている、半導体集積回路。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、
平面視において、前記第１部分の幅は、前記第２部分の幅よりも小さい、半導体集積回路。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、
前記第１部分は、前記ボンディングパッドを構成しない領域である、半導体集積回路。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、
前記第４配線層は、前記複数のコンタクトの上方に位置する前記第１部分と、前記ボンディングパッドを構成する前記第２部分との間に、第３部分を有する、半導体集積回路。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかにおいて、
さらに、前記第４配線層上に、ボンディング部材が形成されている、半導体集積回路。
【請求項８】
請求項７において、
さらに、前記ボンディング部材上に、ワイヤが形成されている、半導体集積回路。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれかにおいて、
前記第１配線層と前記第４配線層との導通不良が防止されている、半導体集積回路。
【請求項１０】
請求項８において、
前記第１配線層と前記ワイヤとの導通不良が防止されている、半導体集積回路。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の半導体集積回路について、図９〜図１２を参照しながら説明する。図９は、従来の半導体集積回路の概要を示す図である。図９に示すように、この半導体集積回路１０１は、基板１０２を具備しており、基板１０２の中央部には、所定の機能を実現する機能ブロック１０３が形成されている。
また、機能ブロック１０３から受け取った信号を外部回路に出力し又は外部回路から受け取った信号を機能ブロック１０３に出力するＩ／Ｏセル１１１〜１１ｐが、機能ブロック１０３の外周に沿って形成されており、ボンディングパッド１２１〜１２ｐが、Ｉ／Ｏセル１１１〜１１ｐに並行するように形成されている。
【０００３】
図１０は、図９中のＩ／Ｏセル１１ｋ及びボンディングパッド１２ｋの近傍を拡大した図である。図１１は、半導体集積回路１０１の図１０中のＸＩ−ＸＩ’線における断面を示す図である。Ｉ／Ｏセル１１ｋは、配線１３１を具備し、ボンディングパッド１２ｋは、配線１３２〜１３４を具備する。
【０００４】
基板１０２上には、配線１３１が形成されており、基板１０２及び配線１３１上には、絶縁膜１４１が形成されている。
絶縁膜１４１上には、配線１３２が形成されており、配線１３２と配線１３１は、コンタクト１５１、１５２によって接続されている。
【０００５】
絶縁膜１４１及び配線１３２上には、絶縁膜１４２が形成されており、絶縁膜１４２上には、配線１３３が形成されている。配線１３３と配線１３２は、コンタクト１５３、１５４によって接続されている。
絶縁膜１４２及び配線１３３上には、絶縁膜１４３が形成されており、絶縁膜１４３上には、配線１３４が形成されている。配線１３４と配線１３３は、コンタクト１５５、１５６によって接続されている。
【０００６】
図１２は、ボンディングパッド１２ｋにワイヤボンディングを行った様子を示す図である。図１２に示すように、配線１３４には、導体で構成されるボンディング部材１４７によって、ワイヤ１４８が電気的に接続されている。また、ボンディング部材１４７によって、配線１３４の中央部に孔が形成され、配線１３４の一部が配線１３３に接続している。
【０００７】
従来の半導体集積回路１０１においては、多層構造の配線層及び絶縁膜が、ワイヤボンディング時の衝撃を吸収する。しかしながら、コンタクト１５５、１５６の強度不足により、ワイヤボンディング時に配線１３４とコンタクト１５５、１５６との間、又は、配線１３３とコンタクト１５５、１５６との間に隙間が生じ、ワイヤ１４８〜配線１３１間の導通不良が発生する場合があった。
また、従来の半導体集積回路１０１においては、配線１３４〜配線１３１間の浮遊容量が大きいため、動作速度の高速化の妨げとなっていた。
【０００８】
ところで、信頼性の高い外部との電気的な接続が可能な薄膜多層配線基板が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００９】
しかしながら、特許文献１に掲載された薄膜多層配線基板は、支持基板の主面上に多層配線部および外部との電気的接続をなすI/O端子部が形成されて成る薄膜多層配線基板において、I/O端子部が多層配線部の支持基板面に隣接する第１の配線層を構成する金属と同種の金属から成る複数に分離されている下地層、各下地層の周縁部並びに外周辺部の配線パターンが存在しない領域面を被覆する第１の配線層と第２の配線層との層間絶縁層と同種の絶縁体から成る端子部保護層、および多層配線部の第２の配線層以降のいずれかの配線層を構成する金属と同種の金属から成りその配線層に接続し、他端が対応する下地層の露出面に接続するコンタクト層を具備した構成を成しているものであり、ワイヤボンディング時の衝撃を吸収するのには適していない。
【００１０】
【特許文献１】
特開平６−３７４５０号公報（第２頁、図１）
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、上記の点に鑑み、本発明は、ワイヤボンディングによる導通不良の発生を防止することができ、動作速度を高速化することができる半導体集積回路を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するため、本発明の１つの観点に係る半導体集積回路は、半導体基板と、半導体基板の上方に形成された第１配線層と、第１配線層上に形成された第１絶縁膜と、第１配線層上であって、第１絶縁膜に形成された第１コンタクトと、第１絶縁膜上及び第１コンタクト上に形成された第２配線層と、第２配線層上に形成された第２絶縁膜と、第２配線層上であって、第２絶縁膜に形成された第２コンタクトと、第２絶縁膜上及び第２コンタクト上に形成された第３配線層と、第３配線層上に形成された第３絶縁膜と、第３配線層上であって、第３絶縁膜に形成された第３コンタクトと、第３絶縁膜上及び第３コンタクト上に形成された第４配線層と、を含み、第４配線層は、第１部分と、ボンディングパッドを構成する第２部分とを、有し、第１配線層、第２配線層及び第３配線層は、第１部分の下方から第２部分の下方に延在して形成され、第１コンタクト、第２コンタクト及び第３コンタクトは、第１部分の下方に形成され、第４配線層は、入出力回路と電気的に接続されている、半導体集積回路に関係する。
【００１４】
以上の構成によれば、ワイヤボンディングによる導通不良の発生を防止するとともに、動作速度を高速化することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る半導体集積回路を示す図である。図１に示すように、半導体集積回路１は、基板２を具備しており、基板２の中央部には、所定の機能を実現する機能ブロック３が形成されている。
また、機能ブロック３から受け取った信号を外部回路に出力し又は外部回路から受け取った信号を機能ブロック３に出力するＩ／Ｏセル１１〜１ｎが、機能ブロック３の外周に沿って形成されており、ボンディングパッド２１〜２ｎが、Ｉ／Ｏセル１１〜１ｎに並行するように形成されている。
【００１６】
図２は、図１中のＩ／Ｏセル１ｉ及びボンディングパッド２ｉの近傍を拡大した図である。図３は、半導体集積回路１の図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ’線における断面を示す図である。Ｉ／Ｏセル１ｉは、配線３１、３３、３５を具備し、ボンディングパッド２ｉは、配線３２、３４、３６、３７を具備する。
【００１７】
基板２上には、配線３１、３２が形成されており、基板２及び配線３１、３２上には、絶縁膜４１が形成されている。
絶縁膜４１上には、配線３３、３４が形成されており、配線３３と配線３１は、コンタクト４４によって接続されている。絶縁膜４１及び配線３３、３４上には、絶縁膜４２が形成されている。
絶縁膜４２上には、配線３５、３６が形成されており、配線３５と配線３３は、コンタクト４５によって接続されている。絶縁膜４２及び配線３５、３６上には、絶縁膜４３が形成されている。
絶縁膜４３上には、配線３７が形成されており、配線３７と配線３５は、コンタクト４６によって接続されている。
【００１８】
図４は、ボンディングパッド２ｉにワイヤボンディングを行った様子を示す図である。図４に示すように、配線３７には、導体で構成されるボンディング部材４７によって、ワイヤ４８が電気的に接続されている。また、ボンディング部材４７によって、配線３７の中央部に孔が形成され、配線３７の一部が配線３６に接続している。
【００１９】
ここで、半導体集積回路１を従来の半導体集積回路１０１（図１２参照）と比較する。半導体集積回路１においては、半導体集積回路１０１におけるボンディングパッド１５５、１５６に相当するものは具備していないが、配線３２、３４、３６及び絶縁膜４１〜４３が、ワイヤボンディング時の衝撃を吸収し、半導体集積回路１の破壊を防止する。従って、半導体集積回路１において、半導体集積回路１０１におけるボンディングパッド１５５、１５６に相当するものを具備していないことによる問題は生じない。
【００２０】
また、半導体集積回路１０１においては、ワイヤボンディング時に配線１３４とコンタクト１５５、１５６との間、又は、配線１３３とコンタクト１５５、１５６との間に隙間が生じ、ワイヤ１４８〜配線１３１間の導通不良が生ずる場合があった。一方、半導体集積回路１においては、ワイヤボンディング時の衝撃がコンタクト４６には伝達されないため、ワイヤ４８〜配線３１間の導通不良の発生を防止することができる。
【００２１】
さらに、従来の半導体集積回路１０１においては、配線１３４〜配線１３１間の浮遊容量が大きいが、半導体集積回路１においては、配線３７〜配線３１間の浮遊容量が小さい。そのため、半導体集積回路１の動作速度を高速化することができる。
【００２２】
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。図５は、本発明の第２の実施形態に係る半導体集積回路を示す図である。図５に示すように、半導体集積回路５１は、基板５２を具備しており、基板５２の中央部には、所定の機能を実現する機能ブロック５３が形成されている。
また、機能ブロック５３から受け取った信号を外部回路に出力し又は外部回路から受け取った信号を機能ブロック５３に出力するＩ／Ｏセル６１〜６ｍが、機能ブロック５３の外周に沿って形成されており、ボンディングパッド７１〜７ｍが、Ｉ／Ｏセル６１〜７ｍに並行するように形成されている。
【００２３】
図６は、図５中のＩ／Ｏセル６ｊ及びボンディングパッド７ｊの近傍を拡大した図である。図７は、半導体集積回路５１の図６中のＶＩＩ−ＶＩＩ’線における断面を示す図である。Ｉ／Ｏセル６ｊは、配線８１を具備し、ボンディングパッド７ｊは、配線８２〜８４を具備する。
【００２４】
基板５２上には、配線８１が形成されており、基板５２及び配線８１上には、絶縁膜９１が形成されている。
絶縁膜９１上には、配線８２が形成されており、配線８２と配線８１は、コンタクト９４によって接続されている。絶縁膜９１及び配線８２上には、絶縁膜９２が形成されている。
絶縁膜９２上には、配線８３が形成されており、配線８３と配線８２は、コンタクト９５によって接続されている。絶縁膜９２及び配線８３上には、絶縁膜９３が形成されている。
絶縁膜９３上には、配線８４が形成されており、配線８４と配線８３は、コンタクト９６によって接続されている。
【００２５】
図８は、ボンディングパッド７ｊにワイヤボンディングを行った様子を示す図である。図８に示すように、配線８４には、導体で構成されるボンディング部材９７によって、ワイヤ９８が電気的に接続されている。また、ボンディング部材９７によって、配線８４に孔が形成され、配線８４の一部が配線８３に接続している。
【００２６】
ここで、半導体集積回路５１を従来の半導体集積回路１０１（図１２参照）と比較する。半導体集積回路５１においては、半導体集積回路１０１におけるボンディングパッド１５５、１５６に相当するものは具備していないが、配線８１〜８３及び絶縁膜９１〜９３が、ワイヤボンディング時の衝撃を吸収し、半導体集積回路５１の破壊を防止する。従って、半導体集積回路５１において、半導体集積回路１０１におけるボンディングパッド１５５、１５６に相当するものを具備していないことによる問題は生じない。
【００２７】
また、半導体集積回路１０１においては、ワイヤボンディング時に配線１３４とコンタクト１５５、１５６との間、又は、配線１３３とコンタクト１５５、１５６との間に隙間が生じ、ワイヤ１４８〜配線１３１間の導通不良が生ずる場合があった。一方、半導体集積回路５１においては、ワイヤボンディング時の衝撃がコンタクト９６には伝達されないため、ワイヤ９８〜配線８１間の導通不良の発生を防止することができる。
【００２８】
さらに、半導体集積回路５１を半導体集積回路１と比較する。半導体集積回路５１においては、ワイヤ９８とコンタクト９５との間が、ワイヤ９８〜配線８４〜コンタクト９６〜配線８３〜コンタクト９５の経路で導通されるほか、ワイヤ９８〜配線８４〜配線８３〜コンタクト９５の経路によっても導通される。従って、半導体集積回路５１においては、ワイヤ９８〜配線８１間の導通をより確実にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る半導体集積回路を示す図。
【図２】図１のボンディングパッド２ｉの拡大図。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ’線における断面図。
【図４】図３において、ボンディングが行われた様子を示す図。
【図５】本発明の第２実施形態に係る半導体集積回路を示す図。
【図６】図５のボンディングパッド７ｊの拡大図。
【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ’線における断面図。
【図８】図７において、ボンディングが行われた様子を示す図。
【図９】従来の半導体集積回路を示す図。
【図１０】図９のボンディングパッド１２ｋの拡大図。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ’線における断面図。
【図１２】図１１において、ボンディングが行われた様子を示す図。
【符号の説明】
１、５１、１０１  半導体集積回路、２、５２、１０２  基板、３、５３、１０３  機能ブロック、１１〜１ｎ、６１〜６ｍ、１１１〜１１ｐ  Ｉ／Ｏセル、２１〜２ｎ、７１〜７ｍ、１２１〜１２ｐ  ボンディングパッド、３１〜３７、８１〜８４、１３１〜１３４  配線、４１〜４３、９１〜９３、１４１〜１４３絶縁膜、４４〜４６、９４〜９６、１５１〜１５６  コンタクト、４７、９７、１４７  ボンディング部材、４８、９８、１４８  ワイヤ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004594599.tif 000008
【図８】
0004594599.tif 000009
【図９】
0004594599.tif 000010
【図１０】
0004594599.tif 000011
【図１１】
0004594599.tif 000012
【図１２】
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