(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記チャンバ内にエアーを導入するチャンバ内エアー導入手段と、前記被試験体内にエアーを導入する被試験体内エアー導入手段と、前記被試験体又はチャンバの内部にトレーサガスを導入するトレーサガス導入手段と、導入されたトレーサガスが被試験体を通して漏れてくるトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバ内及び前記被試験体内の少なくとも一方について、真空排気時及び／又はこの真空を破るためのエアー導入時に予め定められた制御パターンで前記チャンバ内排気手段及び前記被試験体内排気手段並びに／又は前記チャンバ内エアー導入手段及び前記被試験体内エアー導入手段を制御する制御手段と、を有し、前記制御パターンは、同一又は類似の装置を使用し、前記チャンバ内及び前記被試験体内の圧力を測定しつつその圧力差が所定値以内になるように予め求められたものであることを特徴とする漏洩試験装置。
【請求項２】
前記チャンバ内排気手段及び前記被試験体内排気手段は、夫々第１のバルブ及び第２のバルブを有し、前記制御手段は、前記制御パターンに基づいて前記第１及び第２のバルブの開閉時間を制御するものであることを特徴とする請求項１に記載の漏洩試験装置。
【請求項３】
前記チャンバ内排気手段及び前記被試験体内排気手段は、夫々第１のバルブ及び第２のバルブを有し、前記制御手段は、前記制御パターンに基づいて前記第１及び第２のバルブの開度を制御するものであることを特徴とする請求項１又は２に記載の漏洩試験装置。
【請求項４】
前記第１及び第２のバルブは、互いにバルブ径が異なることを特徴とする請求項２又は３に記載の漏洩試験装置。
【請求項５】
被試験体内にトレーサガスを導入しこの被試験体からのトレーサガスの漏れを検出する漏洩試験方法において、前記請求項１乃至４のいずれか１項に記載の漏洩試験装置を使用して、前記チャンバ内及び前記被試験体内の少なくとも一方について、前記予め定められた制御パターンで前記チャンバ内及び／又は前記被試験体内の排気を制御することを特徴とする漏洩試験方法。
【請求項６】
被試験体内にトレーサガスを導入しこの被試験体からのトレーサガスの漏れを検出する漏洩試験方法において、前記請求項１乃至４のいずれか１項に記載の漏洩試験装置を使用して、前記チャンバ内及び前記被試験体内の少なくとも一方について、前記予め定められた制御パターンで前記チャンバ内及び／又は前記被試験体内のエアー導入を制御することを特徴とする漏洩試験方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被試験体内又はチャンバ内にトレーサガス（Ｈｅ等）を導入し、トレーサガスの漏れの有無又は許容限度以上の漏れがあるか否かを判定する漏洩試験装置及び漏洩試験方法に関し、特に、強度が低い容器等の被試験体の変形、破損及び漏洩の拡大を防止できる漏洩試験装置及び漏洩試験方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、漏洩試験装置（リークテスタ）として、特開平７−１０３８４５号公報には、燃料タンク及びドラム缶等の軟弱な容器等のように許容差圧以上の圧力を印加すると大きな漏れが発生する虞れがある被試験体の漏洩試験に適用することができる漏洩試験方法及び漏洩試験装置が開示されている。
【０００３】
図３は、特開平７−１０３８４５号公報に記載の漏洩試験装置を示す模式図である。図３に示すように、従来の漏洩試験装置においては、真空チャンバ１１２はその内側に、被試験体（ワーク）１１１を気密的に格納することができる。この被試験体１１１はパイプ１１７に連結されており、このパイプ１１７はチャンバ１２の外側に気密的に導出されている。そして、このパイプ１１７を介して被試験体１１１が排気ポンプ１１６に連結されている。このパイプ１１７にはバルブＶ１２が設けられている。また、このパイプ１１７には、空気源１２１及びトレーサガス供給源１２２が夫々パイプ１２３及び１２４を介して接続されており、被試験体１１１の内部に夫々エアー（空気）及びトレーサガス（Ｈｅ等）を導入するようになっている。パイプ１２３及びパイプ１２４には、夫々バルブＶ１４及びバルブＶ１５が設けられており、被試験体１１１に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ１４及びバルブＶ１５の開度及び開閉時間により調整することができる。
【０００４】
一方、真空チャンバ１１２はパイプ１１８に連結されており、このパイプ１１８は排気ポンプ１１５に連結されている。また、このパイプ１１８にはバルブＶ１１が設けられている。更に、パイプ１１８には空気源１２５がパイプ１２６を介して接続されており、チャンバ１１２内にエアーを導入するようになっている。このパイプ１２６にはバルブＶ１３が設けられており、チャンバ１１２に導入するエアの流量をバルブＶ１３の開度及び開閉時間により調整することができる。差圧計１１４は、パイプ１１７及びパイプ１１８に接続されており、被試験体１１１内の圧力とチャンバ１１２内の圧力との差圧を検出する。また、チャンバ１１２には、トレーサガス検知器１１３が連結されている。
【０００５】
次に、このように構成された従来の漏洩試験装置を使用した漏洩試験方法について説明する。なお、予め、被試験体の強度等に応じて、変形、破損及び大漏れが生じない差圧の最大許容値が求められている。
【０００６】
先ず、チャンバ１１２内に被試験体１１１を装入し、被試験体１１１とパイプ１１７とを連結する。次に、排気ポンプ１１５，１１６を駆動し、バルブＶ１１，Ｖ１２を開にして、チャンバ１１２内及び被試験体１１１内を排気する。このとき、被試験体１１１の内側の圧力が外側の圧力（即ち、チャンバ１１２内の圧力）よりも大きくその差圧が前記最大許容値に近い場合は、マニュアルでバルブＶ１２を閉じて差圧を小さくする。逆に、被試験体１１１の外側の圧力が内側の圧力よりも大きくその差圧が最大許容値に近い場合は、マニュアルでバルブＶ１１を閉じて差圧を小さくする。差圧が小さくなれば、バルブＶ１２又はバルブＶ１１を再度開にする。このようにして、ユーザが差圧を管理しながら、マニュアルで被試験体１１１の内側と外側との差圧を最大許容値以下に維持しつつ、チャンバ１１２内の圧力をトレーサガス検知器１１３が正常に動作する圧力（例えば、１０ｍｂ以下）にする。その後、バルブＶ１１，Ｖ１２を閉じ、バルブＶ１５を開いて、被試験体１１１の内側と外側との差圧を最大許容値以下に維持しつつ、被試験体１１１内にトレーサガスを導入する。そして、トレーサガス検知器１１３により被試験体１１１から漏れて出たトレーサガスを検出する。
【０００７】
測定終了後は、以下のようにして大気圧まで戻す。先ず、バルブＶ１３，Ｖ１４を開く。そして、被試験体１１１の内側の圧力が外側の圧力よりも大きく、差圧が最大許容値に近い場合は、マニュアルでバルブＶ１４を閉じる。逆に、被試験体１１１の外側の圧力が内側の圧力よりも大きく、差圧が最大許容値に近い場合は、マニュアルでバルブＶ１３を閉じる。これにより、差圧を小さくすることができる。差圧が小さくなれば、バルブＶ１３又はＶ１４を再度開く。このようにして、ユーザが差圧を管理しながらマニュアルで差圧を最大許容値以下に維持しつつ、バルブＶ１３，Ｖ１４を開閉して、被試験体１１１及びチャンバ１１２内の圧力を大気圧にまで戻す。その後、チャンバ１１２内から被試験体１１１を取り出す。
【０００８】
従来の技術においては、被試験体１１１の内側の圧力と外側の圧力との差圧が被試験体１１１の強度等に基づいて設定された最大許容値以下になるように、差圧計１１４で差圧を測定しつつ、各バルブを操作して、被試験体１１１内及びチャンバ１１２内を排気するので、被試験体１１１が軟弱な容器等であっても、被試験体１１１の変形、破損及び大きな漏れの発生を回避できる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の技術においては、被試験体１１１内外の圧力差を計測しながら、被試験体１１１及びチャンバ１１２内の排気を制御していたため、被試験体１１１内外の圧力差を計測する差圧計を取り付け、検査の都度、被試験体１１１内外の圧力差を検出する必要がある。また、ユーザが検査の都度、差圧を検出し、バルブを操作するため、試験時間が長くかかってしまうという問題点がある。
【００１０】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、検査の都度、被試験体内外の差圧を検出することなく被試験体内外の排気を制御して試験時間を短縮することができる漏洩試験装置及び漏洩試験方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る漏洩試験装置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記チャンバ内にエアーを導入する手段と、前記被試験体内にエアーを導入する手段と、前記被試験体又はチャンバの内部にトレーサガスを導入するトレーサガス導入手段と、導入されたトレーサガスが被試験体を通して漏れてくるトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバ内及び前記被試験体内の少なくとも一方について、真空排気時及び／又はこの真空を破るためのエアー導入時に予め定められた制御パターンで前記チャンバ内排気手段及び前記被試験体内排気手段並びに／又は前記チャンバ内エアー導入手段及び前記被試験体内エアー導入手段を制御する制御手段と、を有し、前記制御パターンは、同一又は類似の装置を使用し、前記チャンバ内及び前記被試験体内の圧力を測定しつつその圧力差が所定値以内になるように予め求められたものであることを特徴とする。
【００１３】
また、前記チャンバ内排気手段及び前記被試験体内排気手段は、夫々第１のバルブ及び第２のバルブを有し、前記制御手段は、前記制御パターンに基づいて前記第１及び第２のバルブの開閉時間及び／又は開度を制御するものとすることができる。更に、前記第１及び第２のバルブは、互いにバルブ径が異なるものであってもよい。
【００１４】
本発明に係る漏洩試験方法は、被試験体内にトレーサガスを導入しこの被試験体からのトレーサガスの漏れを検出する漏洩試験方法において、本発明に係る漏洩試験装置を使用して、前記チャンバ内及び前記被試験体内の少なくとも一方について、前記予め定められた制御パターンで前記チャンバ内及び／又は前記被試験体内の排気を制御することを特徴とする。
【００１６】
本発明に係る他の漏洩試験方法は、被試験体内にトレーサガスを導入しこの被試験体からのトレーサガスの漏れを検出する漏洩試験方法において、本発明に係る漏洩試験装置を使用して、前記チャンバ内及び前記被試験体内の少なくとも一方について、前記予め定められた制御パターンで前記チャンバ内及び／又は前記被試験体内のエアー導入を制御することを特徴とする。
【００１８】
本発明においては、チャンバ内及び被試験体内の排気時又はエアー導入時に、予め定められた制御パターンにより、被試験体内制御手段及びチャンバ内制御手段を制御するため、被試験体の検査毎に被試験体内外の差圧を検出する必要がなく、試験時間が短縮化されると共に、チャンバ内及び被試験体内の排気又はエアー導入を制御パターンで制御するため、試験精度が向上する。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図１は、本発明の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【００２０】
図１に示すように、真空チャンバ１２はその内側に、検査対象である被試験体（ワーク）１１を気密的に格納することができる。この被試験体１１はパイプ１７に連結されており、このパイプ１７はチャンバ１２の外側に気密的に導出されている。そして、このパイプ１７を介して被試験体１１が排気ポンプ１６に連結されている。このパイプ１７にはバルブＶ２が設けられている。また、このパイプ１７には、空気源２１及びトレーサガス供給源２２が夫々パイプ２３及び２４を介して接続されており、被試験体１１の内部に夫々エアー（空気）及びトレーサガス（Ｈｅ等）を導入するようになっている。パイプ２３及びパイプ２４には、夫々バルブＶ４及びバルブＶ５が設けられており、被試験体１１に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ４及びバルブＶ５の開度により調整することができる。これらのパイプ１７、排気ポンプ１６及びバルブＶ２から被試験体内排気手段が構成されている。
【００２１】
一方、真空チャンバ１２はパイプ１８に連結されており、このパイプ１８は排気ポンプ１５に連結されている。また、このパイプ１８にはバルブＶ１が設けられている。更に、パイプ１８には空気源２５がパイプ２６を介して接続されており、チャンバ１２内にエアーを導入するようになっている。このパイプ２６にはバルブＶ３が設けられており、チャンバ１２に導入するエアの流量をバルブＶ３の開度及び開閉時間により調整することができる。これらのパイプ１８、排気ポンプ１５及びバルブＶ１からチャンバ内排気手段が構成されている。また、チャンバ１２には、トレーサガス検知器１３が連結されている。
【００２２】
更に、制御装置（制御手段）２０は、予め定められた制御パターンでバルブＶ１及びバルブＶ２の開度又は開閉時間を調整して、被試験体１１内及びチャンバ１２内の排気を制御する。なお、制御装置２０は、その内部に、例えば、予め定められた制御パターンにバルブＶ１及びバルブＶ２を制御するプログラムを記憶したメモリ及びこのプログラムを実行するＣＰＵ等を有しており、バルブＶ１及びＶ２の開閉を駆動している駆動部（図示せず）に所定の開閉パターンでバルブＶ１及びＶ２の開閉を指示する信号を出力する。駆動部は、制御装置２０からの制御信号によりバルブＶ１及びＶ２を開閉する。
【００２３】
また、制御装置２０は、予め定められた制御パターンでバルブＶ３、バルブＶ４及びバルブＶ５の開度又は開閉時間も調整して、夫々チャンバ１２内への大気の導入時、被試験体１１内への大気の導入時及び被試験体１１内へのトレーサガスの導入時にその供給量を制御する。
【００２４】
制御パターンは、漏洩試験を行う前に排気テストを行うか、又はシミュレーション計算によって、予め求めることができる。制御パターンを排気テストによって求める場合は、図１に示す漏洩試験装置又はこれに類似の装置を使用して、被試験体毎に、チャンバ１２内及び被試験体１１内の排気時に、チャンバ１２内及び被試験体１１内の圧力を測定しつつその圧力差を所定値以内とするバルブＶ１及びＶ２の排気制御パターンを求める。また、バルブＶ３乃至バルブＶ５においても、被試験体１１内へのトレーサガス導入時及びチャンバ１２内及び被試験体１１内へのエアー導入時に、被試験体１１内外の差圧を所定値以内とするバルブＶ３乃至Ｖ５の制御パターンを求める。
【００２５】
また、排気テストを行わず、例えば、被試験体１１及びチャンバ１２の容積及び強度、並びにエアー及びトレーサガスの流量等からシミュレーション計算により各バルブＶ１乃至Ｖ５を制御する制御パターンを求めてもよいが、排気テストを行って制御パターンを作成する方がその精度が高いため好ましい。
【００２６】
このように、各バルブＶ１乃至Ｖ５を制御する制御パターンにより、被試験体１１内外の差圧を検出することなく各バルブＶ１乃至Ｖ５を制御することができるため、上述の図３に示す従来例の漏洩試験装置のように、差圧計を設けて検査の都度、被試験体内外の差圧を検出する必要がない。
【００２７】
次に、本実施例の漏洩試験装置の制御パターンの求め方について更に詳細に説明する。制御パターンは、漏洩試験を行う装置と同一又は類似の装置を使用し、排気テストを行って作成することができる。本実施例に係る漏洩試験装置と同一の装置を使用する場合は、チャンバ１２内の圧力と被試験体１１内の圧力との差圧を検出する差圧計を取り付ける。即ち、上述の図１の漏洩試験装置において、チャンバ１２内と被試験体１１内との差圧を検出するための差圧計をパイプ１８とパイプ１７との間に接続する。また、類似の装置としては、例えば図３に示す従来と同様の漏洩試験装置等がある。排気テストでは、漏洩試験を行う装置の被試験体１１内及びチャンバ１２内の圧力差を所定値内に維持しつつ、排気又はエアー等を導入するための各バルブＶ１乃至Ｖ５の制御パターンを作成することができる装置であれば排気テスト装置として適用可能である。
【００２８】
本実施例においては、図１に示す漏洩試験装置に差圧計を接続したテスト用漏洩試験装置を使用し、チャンバ１２内及び被試験体１１内の排気時、被試験体１１内へのトレーサガス導入時、及びチャンバ１２内及び被試験体１１内へのエアー導入時にバルブＶ１乃至バルブＶ５を制御するための制御パターンを作成する場合について説明する。
【００２９】
先ず、チャンバ１２内に被試験体１１を装入し、被試験体１１とパイプ１７とを連結する。次に、排気ポンプ１５，１６を駆動し、バルブＶ１，Ｖ２を開にして、チャンバ１２内及び被試験体１１内を排気する。このとき、被試験体１１の内側の圧力が外側の圧力（即ち、チャンバ１２内の圧力）よりも大きくその差圧が大きい場合は、バルブＶ２を閉じて差圧を小さくする。逆に、被試験体１１の外側の圧力が内側の圧力よりも大きくその差圧が大きい場合は、バルブＶ１を閉じて差圧を小さくする。差圧が小さくなれば、バルブＶ２又はバルブＶ１を再度開にする。なお、チャンバ１２内及び被試験体１１内の差圧の最大許容値を被試験体の強度等に基づいて予め求めておき、この最大許容値以下になるようにバルブＶ１及びＶ２を開閉してもよい。このようにして、被試験体１１の内側と外側との差圧を所定値以下に維持しつつ、チャンバ１２内の圧力をトレーサガス検知器１３が正常に動作する圧力（例えば、１０ｍｂ以下）にする。その後、バルブＶ１，Ｖ２を閉じ、バルブＶ５を開いて、被試験体１１の内側と外側との差圧が大きくなりすぎないように維持しつつ、被試験体１１内にトレーサガスを導入する。そして、トレーサガス検知器１３により被試験体１１から漏れて出たトレーサガスを検出する。
【００３０】
測定終了後は、以下のようにして大気圧まで戻す。先ず、バルブＶ３，Ｖ４を開く。そして、被試験体１１の内側の圧力が外側の圧力よりも大きく、差圧が大きい場合は、バルブＶ４を閉じる。逆に、被試験体１１の外側の圧力が内側の圧力よりも大きく、差圧が大きい場合は、バルブＶ３を閉じる。これにより、差圧を小さくすることができる。差圧が小さくなれば、バルブＶ３又はＶ４を再度開く。このようにして、差圧を所定値以下に維持しつつ、バルブＶ３，Ｖ４を開閉して、被試験体１１及びチャンバ１２内の圧力を大気圧にまで戻す。その後、チャンバ１２内から被試験体１１を取り出す。
【００３１】
この一連の工程において、被試験体１１の外側と内側との差圧を所定値以下に維持しつつチャンバ１２内及び被試験体１１内の排気、被試験体１１内へのトレーサガス導入及び被試験体１１及びチャンバ１２内への大気圧導入を可能にする各バルブＶ１乃至Ｖ５の開閉時間及び開度等の制御パターンを作成する。
【００３２】
被試験体１１の外側と内側の差圧を所定値以下に維持する各バルブＶ１乃至Ｖ５の制御パターンとしては、例えば、各バルブＶ１乃至Ｖ５の開閉（オン・オフ）時間を制御するものがある。例えば、バルブＶ１のオン及びオフ（開く及び閉じる）時間を夫々１０及び２秒とし、バルブＶ２のオン及びオフ時間を夫々８秒及び４秒とし、バルブＶ１、Ｖ２のオン・オフの動作を、例えば５回を１サイクル（１分間）等として繰り返すことにより、排気を制御する。
【００３３】
また、各バルブＶ１乃至Ｖ５の開度を制御してもよい。例えば、バルブＶ１の開度を１分間に２０ｃｍ３／ｍｍとし、バルブＶ２の開度を１分間に１００ｃｍ３／ｍｍ等として排気を制御する。このように、各バルブＶ１乃至Ｖ５の制御パターンを、同種の寸法形状を有する被試験体１１毎に排気テストを行って作成する。
【００３４】
更に他の方法としては、各バルブＶ１乃至Ｖ５の径を異ならせ、バルブＶ１乃至Ｖ５の開度を調整することなく、バルブを開閉するのみで排気又は導入できる気体の流量を調整してもよい。例えば、１分間に５０ｃｍ３／ｍｍ、７５ｃｍ３／ｍｍ、１００ｃｍ３／ｍｍ等の流量となるバルブを用意し、各バルブの開閉時間を制御する。
【００３５】
図２は、本実施例のバルブの取付例を示す模式図である。更にまた、図２に示すように、１本のパイプに複数のバルブＶA，ＶB，ＶCを並列に設け、これらのバルブを選択的に開閉することにより差圧を調整するようにしてもよい。また、これらの方法を組み合わせることにより、より正確な圧力調整が可能となる。
【００３６】
次に、本実施例の漏洩試験装置の動作について説明する。前述のようにして制御パターンを作成した後、図１に示す漏洩試験装置により、漏洩試験を開始する。先ず、チャンバ１２内に被試験体１１を装入し、被試験体１１とパイプ１７とを連結する。次に、排気ポンプ１５，１６を駆動し、チャンバ１２内及び被試験体１１内を排気する。このとき、制御装置２０により、上述した排気テストで求められた制御パターンでバルブＶ１及びＶ２が開閉されることにより、被試験体１１内外の差圧が所定値以内に維持されたまま、チャンバ１２内及び被試験体１１内が排気され、チャンバ１２内の圧力がトレーサガス検知器１３が正常に動作する圧力（例えば、１０ｍｂ以下）に減圧される。その後、トレーサガス検知器１３により被試験体１１から漏れて出たトレーサガスを検出する。このときも、制御装置２０により、排気テストで求められた制御パターンでバルブＶ１，Ｖ２が閉じ、バルブＶ５が開き、被試験体１１の内側と外側との差圧が所定値以下に維持されたまま、被試験体１１内にトレーサガスが導入される。
【００３７】
試験終了後、被試験体１１内及びチャンバ１２内の圧力を大気圧にまで戻す。このときも、排気テストで求められた制御パターンでバルブＶ３，Ｖ４が開閉し、被試験体１１内外の差圧が所定値以下に維持されたまま、被試験体１１内及びチャンバ１２内にエアーが導入される。その後、チャンバ１２内から被試験体１１を取り出す。
【００３８】
本実施例においては、被試験体１１の内側の圧力と外側の圧力との圧力差が所定値以内になる排気制御パターンを予め求め、この制御パターンで各バルブを開閉して、被試験体内及びチャンバ内を排気する。この制御パターンにより、チャンバ１２内及び被試験体１１内の排気時に、被試験体１１内外の圧力差が所定値以内で維持できる。これにより、試験の都度、被試験体内外の差圧を検出することなく、自動的に被試験体１１内外の排気が制御できるため、被試験体が軟弱な容器等又はエンジン本体であっても、被試験体の変形、破損及び漏れの発生を回避できると共に、バルブＶ３乃至Ｖ５においても制御装置２０の制御パターンにより制御されるため、作業時間を短縮化し、作業効率を向上することができる。
【００３９】
次に、本発明の実施例に係る漏洩試験方法について説明する。図１に示す漏洩試験装置における制御装置２０の制御パターンは、漏洩試験を行う前に排気テストを行うか、又はシミュレーション計算によって、予め求めるものであるが、この制御パターンは、漏洩試験装置を製造するメーカ又は漏洩試験装置を使用するユーザ等により求めることができる。漏洩試験を実施する被試験体１１には、例えばオートバイの燃料タンク等があるが、予めその被試験体１１毎の制御パターンを求めておけば、同一の被試験体１１を試験する場合、同一の制御パターンを使用して漏洩試験を実施することができる。
【００４０】
漏洩試験装置を製造するメーカにより予め制御パターンを求めると、漏洩試験装置を使用するユーザは、排気テストをして制御パターンを求めることなく、漏洩試験を行うことができ、更にユーザが排気テスト用の装置が不要であるため、更に作業効率が向上すると共に漏洩試験を行う際のコストが低減される。
【００４１】
また、漏洩試験装置を使用するユーザが、排気テスト又はシミュレーション等を行って制御パターンを求めれば、ユーザが使用する環境等に応じて、最適な制御パターンを求めることができる。また、漏洩試験を実施する被試験体の寸法又は使用する材質等の設計変更等により、制御パターンを変更する必要がある場合等に迅速に対応することができる。
【００４２】
本実施例によれば、漏洩装置を制御する制御パターンは、漏洩装置を製造するメーカ及び使用するユーザのいずれか、又は両者により予め求めることができるため、コスト、及び作業性等の最適な条件を選択することができる。
【００４３】
なお、本実施例においては、被試験体１１及びチャンバ１２の排気時及び被試験体１１内への大気導入時、被試験体１１内へのトレーサガス導入時のいずれもパターン制御するものとしたが、これに限らず、少なくともいずれかのときに、パターン制御できるものとしてもよい。
【００４４】
また、本実施例においては、被試験体１１内にトレーサガスを導入するものとしたが、チャンバ１２内にトレーサガスを導入し、被試験体１１を通して被試験体１１内に漏れ出てくるトレーサガスを検査するものとしてもよい。
【００４５】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明装置によれば、制御手段により、チャンバ内及び被試験体内の排気時に、予め定められた制御パターンでチャンバ内排気手段及び被試験体内排気手段を制御するため、装置に被試験体とチャンバとの差圧を検出する検出手段を設ける必要がなく、また、漏洩試験を行う都度、被試験体内外の差圧を検出する必要がないので、簡便で短時間且つ高精度で漏洩試験を行うことができる。また、本発明方法によれば、本発明装置を製造するメーカ又は使用するユーザのいずれにおいても制御パターンを求めることができ、最適な条件で作成された制御パターン使用することにより、漏洩試験を更に低コストで効率よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図２】  本発明の実施例のバルブの取付例を示す模式図である。
【図３】  特開平７−１０３８４５号公報に記載の漏洩試験装置を示す模式図である。
【符号の説明】
１１、１１１；被試験体  、１２、１１２；チャンバ、  １７、１８、１１７、１１８；パイプ、  １５、１６、１１５、１１６；排気ポンプ、  １３、１１３；トレーサガス検知器、  ２０；制御装置、  Ｖ１〜Ｖ５、Ｖ１１〜Ｖ１５；バルブ、  １１４；差圧計
【図１】
0004562303.tif 000002
【図２】
0004562303.tif 000003
【図３】
0004562303.tif 000004