(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１圧力室と第２圧力室との間に配設される区画部材に設けられた移動部材が、前記第１圧力室と前記第２圧力室との間に生じる圧力差により前記第１圧力室側に移動され、
前記第１圧力室と第３圧力室との間に配設される中間ストッパが、該第１圧力室と該第３圧力室との間に生じる圧力差により前記第１圧力室側に付勢されて前記移動部材と当接し、前記区画部材と前記移動部材の移動を所定範囲に規制することにより前記移動部材の第１段目のストロークが生じ、
前記移動部材が前記第１段目のストロークを生じた後において、前記第１圧力室と前記第３圧力室との間の圧力差が減少して前記中間ストッパが前記第３圧力室側に移動可能とされることにより、前記区画部材と前記移動部材が更に前記第１圧力室側に移動されて前記移動部材の第２段目のストロークが生じるように構成された２段作動アクチュエータであって、
前記区画部材により内部が区画されて軸線方向の一側及び他側にそれぞれ前記第１圧力室及び前記第２圧力室が形成され、該区画部材には前記移動部材が結合された第１アクチュエータと、
前記第１アクチュエータと直列に配され、内装された前記中間ストッパが該第１アクチュエータの軸線方向一側に当接配置されることで軸線方向の一側に前記第１圧力室と区画される第３圧力室が形成され、該中間ストッパは前記移動部材に対向配置されたストッパ当接部を有する第２アクチュエータとを備え、
前記第１圧力室にのみ負圧を導入したときに前記移動部材を軸線方向一側に移動するとともに前記第１圧力室及び前記第３圧力室の圧力差により軸線方向他側に押圧された前記中間ストッパの前記ストッパ当接部が該移動部材に当接して該移動部材の移動を所定範囲に規制して該移動部材の第１段目のストロークを発生させ、
前記第３圧力室に負圧を導入したときに、前記ストッパ当接部を介して前記中間ストッパを前記移動部材で押圧し、該中間ストッパとともに該移動部材を軸線方向一側に更に移動して該移動部材の第２段目のストロークを発生させ、
前記中間ストッパは、シール部材を介して軸線方向他側に当接配置されることを特徴とする２段作動アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の２段作動アクチュエータにおいて、
前記中間ストッパの前記ストッパ当接部を前記移動部材の対向位置に案内する当接部案内手段を備えたことを特徴とする２段作動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、２段作動アクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、２段作動アクチュエータとしては種々のものが提案されており、例えば特開平１１−２９４４０８号公報や特開平１１−３１１２１２号公報に記載されたものが知られている。これら公報に記載の２段作動アクチュエータは、大きくは２つのダイヤフラム式アクチュエータを直列に配した構成を有している。そして、各段のダイヤフラム式アクチュエータの内部は、それぞれロッドの結合されたダイヤフラムにて区画されている。これら各段のダイヤフラムの一側及び他側は、それぞれ大気圧室及び負圧室となっている。各段の負圧室には、それぞれ対応するダイヤフラムを当該大気圧室側に付勢するばねが設けられている。
【０００３】
このような構成において、１段目の負圧室（第１の負圧室）にのみ負圧が導入されると、当該大気圧室との圧力差により１段目のダイヤフラムは対応するばねの付勢力に抗して変形し、当該ダイヤフラムに結合されたロッド（作動ロッド）を第１の負圧室側（２段目のダイヤフラム側）へと移動する。そして、１段目のダイヤフラムのロッドは、２段目のダイヤフラムのロッドに規制されるまでの範囲で移動して１段目のストロークを発生する。
【０００４】
更に、２段目の負圧室（第２の負圧室）にも負圧が導入されると、当該大気圧室との圧力差により２段目のダイヤフラムも対応するばねの付勢力に抗して変形し、当該ダイヤフラムに結合されたロッドを第２の負圧室側へと移動する。このとき、１段目のダイヤフラムのロッド（作動ロッド）は、２段目のダイヤフラムに結合されたロッドの移動に伴い更に移動する。そして、１段目のダイヤフラムのロッドは、２段目のダイヤフラムのロッドの移動に伴い２段目のストロークを発生する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、こうした従来の２段作動アクチュエータにおいては、１段目のダイヤフラムのロッド（作動ロッド）の移動（ストローク）を２段階にするために別途、ダイヤフラム式アクチュエータを用いている。従って、単純に考えても単一のダイヤフラム式アクチュエータの２倍の部品点数と複雑さを有することになる。
【０００６】
本発明の目的は、簡素な構造を有する２段作動アクチュエータを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、第１圧力室と第２圧力室との間に配設される区画部材に設けられた移動部材が、前記第１圧力室と前記第２圧力室との間に生じる圧力差により前記第１圧力室側に移動され、前記第１圧力室と第３圧力室との間に配設される中間ストッパが、該第１圧力室と該第３圧力室との間に生じる圧力差により前記第１圧力室側に付勢されて前記移動部材と当接し、前記区画部材と前記移動部材の移動を所定範囲に規制することにより前記移動部材の第１段目のストロークが生じ、前記移動部材が前記第１段目のストロークを生じた後において、前記第１圧力室と前記第３圧力室との間の圧力差が減少して前記中間ストッパが前記第３圧力室側に移動可能とされることにより、前記区画部材と前記移動部材が更に前記第１圧力室側に移動されて前記移動部材の第２段目のストロークが生じるように構成されたことを要旨とする。
【０００８】
また、請求項１に記載の発明は、前記区画部材により内部が区画されて軸線方向の一側及び他側にそれぞれ前記第１圧力室及び前記第２圧力室が形成され、該区画部材には前記移動部材が結合された第１アクチュエータと、前記第１アクチュエータと直列に配され、内装された前記中間ストッパが該第１アクチュエータの軸線方向一側に当接配置されることで軸線方向の一側に前記第１圧力室と区画される第３圧力室が形成され、該中間ストッパは前記移動部材に対向配置されたストッパ当接部を有する第２アクチュエータとを備え、前記第１圧力室にのみ負圧を導入したときに前記移動部材を軸線方向一側に移動するとともに前記第１圧力室及び前記第３圧力室の圧力差により軸線方向他側に押圧された前記中間ストッパの前記ストッパ当接部が該移動部材に当接して該移動部材の移動を所定範囲に規制して該移動部材の第１段目のストロークを発生させ、前記第３圧力室に負圧を導入したときに、前記ストッパ当接部を介して前記中間ストッパを前記移動部材で押圧し、該中間ストッパとともに該移動部材を軸線方向一側に更に移動して該移動部材の第２段目のストロークを発生させたことを要旨とする。
【０００９】
また、請求項１に記載の発明は、前記中間ストッパは、シール部材を介して軸線方向他側に当接配置されることを要旨とする。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の２段作動アクチュエータにおいて、前記中間ストッパの前記ストッパ当接部を前記移動部材の対向位置に案内する当接部案内手段を備えたことを要旨とする。
【００１１】
（作用）
請求項１に記載の発明によれば、前記第１圧力室と第３圧力室との間に配設される中間ストッパが、該第１圧力室と該第３圧力室との間に生じる圧力差により前記第１圧力室側に付勢されて前記移動部材と当接し、前記区画部材と前記移動部材の移動を所定範囲に規制することにより前記移動部材の第１段目のストロークが生じる。
【００１２】
また、前記移動部材が前記第１段目のストロークを生じた後において、前記第１圧力室と前記第３圧力室との間の圧力差が減少して前記中間ストッパが前記第３圧力室側に移動可能とされることにより、前記区画部材と前記移動部材が更に前記第１圧力室側に移動されて前記移動部材の第２段目のストロークが生じる。
【００１３】
以上の態様で、極めて簡易な構造を有する２段作動アクチュエータが実現される。
また、上記第２アクチュエータは、第１アクチュエータの軸線方向一側に当接配置されることで軸線方向の一側に前記第１圧力室と区画される第３圧力室を形成する中間ストッパを内装する。そして、上記第１圧力室にのみ負圧を導入したときに、区画部材を変形させて上記移動部材を軸線方向一側に移動するとともに、上記第１圧力室及び第３圧力室の圧力差により軸線方向他側に押圧された中間ストッパのストッパ当接部が同移動部材に当接してその移動を所定範囲に規制する。そして、上記移動部材の１段目のストロークを発生させる。
【００１４】
また、上記第３圧力室に負圧を導入したときには、第１及び第３圧力室の圧力差は解消されて上記中間ストッパを軸線方向他側に押圧することはない。そして、上記ストッパ当接部を介して中間ストッパを移動部材で押圧し、同中間ストッパとともに移動部材を軸線方向一側に更に移動して２段目のストロークを発生させる。
【００１５】
以上の態様で、中間ストッパを内装した第２アクチュエータからなる極めて簡易な構造を有する２段作動アクチュエータが実現される。
また、上記第１圧力室及び第３圧力室は、中間ストッパが第１アクチュエータの軸線方向一側に当接配置されることで区画形成される。そして、上記第１圧力室にのみ負圧を導入したときには、中間ストッパは第１及び第３圧力室の圧力差により軸線方向他側に押圧される。このような状態で、例えば不測の衝撃等によりこれら第１及び第３圧力室間の気密性が低減されると、第１圧力室の負圧が第２アクチュエータの内部空間へと漏出する。このとき、第１圧力室及び第２圧力室の圧力差が低減される分、上記移動部材を軸線方向一側に移動する区画部材の変形が低減されて同移動部材を軸線方向他側に移動する（戻す）。従って、中間ストッパは軸線方向他側に再び戻って上記第１及び第３圧力室間の気密性を回復する。
【００１６】
また、上記中間ストッパは、シール部材を介して軸線方向他側に当接配置される。従って、上記第１及び第３圧力間の気密性は向上される。
【００１７】
請求項２に記載の発明によれば、上記中間ストッパのストッパ当接部を移動部材の対向位置に案内する当接部案内手段を備えている。従って、上記移動部材から中間ストッパへの所要の荷重伝達がより確実に行われる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図１〜図３に従って説明する。
図１は、本実施形態の２段作動アクチュエータ１０を示す段面図であり、図２は、同２段作動アクチュエータ１０を示す模式図である。同図に示されるように、この２段作動アクチュエータ１０は、第１アクチュエータ１１及び第２アクチュエータ１２を備えている。
【００１９】
上記第１アクチュエータ１１は、外殻２１、区画部材としてのダイヤフラム２２、カップ２３、移動部材としての作動ロッド２４及びコイルばね２５を備えている。
【００２０】
上記外殻２１は、略有蓋有底円筒状に形成されており、その周壁の軸線方向一側（図１の上側）には、径方向に突出する負圧導入口２１ａが形成されている。一方、上記外殻２１の周壁の軸線方向他側（図１の下側）には、断面略円形で所定角度毎に開口する複数の大気圧導入口２１ｂが形成されている。
【００２１】
また、上記外殻２１の蓋壁には、上記コイルばね２５の内径と略同等の外径を有して軸方向に略有底円筒状に凹設されたばねガイド部２１ｃが形成されている。さらに、このばねガイド部２１ｃの中心部には、軸線方向他側（図１の下側）に略円筒状に伸びる当接部案内手段としてのロッドガイド２１ｄが形成されている。このロッドガイド２１ｄは、前記第２アクチュエータ１２の作動をガイドするためのものである。
【００２２】
なお、上記ばねガイド部２１ｃの底壁には、複数の連通孔２１ｅが形成されている。これら連通孔２１ｅは、外殻２１内の蓋壁側の圧力を外部に伝えるためのものである。
【００２３】
上記ダイヤフラム２２は、上記外殻２１の負圧導入口２１ａ及び大気圧導入口２１ｂ間において同外殻２１の周壁に気密的に固着されている。そして、上記外殻２１内は、このダイヤフラム２２によって区画され、その軸線方向一側及び他側（図１の上側及び下側）はそれぞれ第１圧力室を構成する負圧室３１及び第２圧力室としての大気圧室３２となっている。すなわち、上記負圧室３１には、制御状態に応じて負圧導入口２１ａから負圧が導入されるようになっている。一方、上記大気圧室３２には、上記大気圧導入口２１ｂからの大気圧が常に導入されている。従って、上記ダイヤフラム２２は、これら負圧室３１及び大気圧室３２間の圧力差に応じて変形する。
【００２４】
上記カップ２３は、上記ダイヤフラム２２の内径よりも小さい外径及び前記コイルばね２５の外径よりも大きい内径を有して略有底円筒状に形成されている。このカップ２３は、前記コイルばね２５の軸線の保持及び位置決めをするためのもので、上記ダイヤフラム２２と略同心軸上において同ダイヤフラム２２の底壁に重ね合わされている。そして、前記作動ロッド２４は、これらダイヤフラム２２及びカップ２３の中心部においてその基端部が一体でかしめ付けられている。
【００２５】
上記コイルばね２５は、その一側（図１の上側）端が上記ばねガイド部２１ｃに外嵌されるとともに同他側（図１の下側）端が上記カップ２３の突部２３ａに内嵌されて配置されている。このコイルばね２５は、上記ダイヤフラム２２（作動ロッド２４）とともにカップ２３を大気圧室３２側に付勢する態様で取り付けられている。
【００２６】
前記第２アクチュエータ１２は、前記第１アクチュエータ１１と略同心軸上に直列に配されており、外殻４１、中間ストッパ４２及びコイルばね４３を備えている。
【００２７】
上記外殻４１は、外殻２１の外径と略同等の外径を有して略有蓋有底円筒状に形成されており、その蓋壁の中心部には、基端側が上記コイルばね４３の内径と略同等の外径を有してなだらかに凹設されるばねガイド部４１ａが形成されている。そして、このばねガイド部４１ａの更に中心部には、軸線方向に略沿って突出する負圧導入口４１ｂが形成されている。一方、外殻４１の中心部は、前記第１アクチュエータ１１側に開口している。
【００２８】
上記中間ストッパ４２は、円盤部４２ａ、ストッパ当接部としてのストッパ軸４２ｂ及びばねガイド部４２ｃが一体的に形成されている。そして、上記円盤部４２ａには、前記コイルばね２５よりも外周側に配置される態様で略円環状のシール部材４４が嵌着されている。従って、上記外殻４１の内部空間５０は、この円盤部４２ａ（中間ストッパ４２）がシール部材４４を介して底壁に当接しているときに区画され、その軸線方向一側及び他側（図１の上側及び下側）にそれぞれ第３圧力室としての負圧室５１及び前記負圧室３１との間において第１圧力室の一部を構成する受圧室５２を形成する。上記内部空間５０（負圧室５１）には、制御状態に応じて負圧導入口４１ｂから負圧が導入されるようになっている。また、上記内部空間５０（受圧室５２）には、上記連通孔２１ｅを介して前記外殻２１の負圧室３１内の圧力が伝えられる。例えば、前記第１アクチュエータ１１の負圧室３１にのみ負圧が導入されると、上記負圧室５１及び受圧室５２の圧力差により上記中間ストッパ４２はシール部材４４を介して底壁側に押圧されるようになっている。
【００２９】
なお、上記内部空間５０は、上記シール部材４４が底壁側に当接されるときに負圧室５１及び受圧室５２に気密的に区画され、一方、上記円盤部４２ａ（中間ストッパ４２）が押し上げられて底壁から離隔されるときに単一空間となる。
【００３０】
上記ストッパ軸４２ｂは、前記ロッドガイド２１ｄの内径よりも若干、小さい外径を有する略円柱体に形成されており、これらロッドガイド２１ｄに挿通されてその先端部が外殻２１（負圧室３１）内に現出している。そして、このストッパ軸４２ｂは、その先端部が作動ロッド２４の基端部から所定距離だけ離隔されて配置されている。従って、上記作動ロッド２４が押し上げられて、後述の条件のもとストッパ軸４２ｂを押圧するようになると、中間ストッパ４２はストッパ軸４２ｂがロッドガイド２１ｄに案内される態様で軸線方向に移動する。ロッドガイド２１ｄには別に軸受部材を追加してもよい。
【００３１】
上記ばねガイド部４２ｃは、前記コイルばね４３の内径と略同等の外径を有して軸線方向一側（図１の上側）に略円筒状に突出している。このばねガイド部４２ｃは、上記コイルばね４３の位置決めを行うためのものである。
【００３２】
上記コイルばね４３は、その一側（図１の上側）端が上記ばねガイド部４１ａに外嵌されるとともに同他側（図１の下側）端が上記ばねガイド部４２ｃに外嵌されて配置されている。このコイルばね４３は、上記中間ストッパ４２を外殻４１の底壁（第１アクチュエータ１１）側に付勢する態様で取り付けられている。
【００３３】
ここで、上記第１アクチュエータ１１の負圧室３１にのみ負圧が導入されると、負圧室３１及び大気圧室３２間の圧力差によって前記作動ロッド２４は押し上げられ、一方、中間ストッパ４２は負圧室５１及び受圧室５２間の圧力差によってシール部材４４を介して底壁に押圧される。これら負圧室５１及び受圧室５２間の圧力差による押圧及び上記コイルばね４３の付勢力は、このような状態で作動ロッド２４が中間ストッパ４２のストッパ軸４２ｂを押圧しても、同中間ストッパ４２を押し上げることのないように設定されている。また、上記第１アクチュエータ１１の負圧室３１及び第２アクチュエータ１２の内部空間５０（負圧室５１）にともに負圧が導入されると、前記作動ロッド２４は同様に押し上げられる。一方、中間ストッパ４２は負圧室５１及び受圧室５２間の圧力差がなくなるためにシール部材４４を介して底壁に押圧されることはない。上記コイルばね４３の付勢力は、このような状態で作動ロッド２４が中間ストッパ４２のストッパ軸４２ｂを押圧すると、同中間ストッパ４２を押し上げるようにも設定されている。
【００３４】
次に、このような構成を有する２段作動アクチュエータ１０の作用について図３を併せ参照して説明する。
図１に示されるように、上記第１及び第２アクチュエータ１１，１２の各負圧室３１，５１内にともに負圧が導入されず大気圧にある初期位置においては、圧力差による作用がない。従って、第１アクチュエータ１１のダイヤフラム２２はコイルばね２５により付勢されて作動ロッド２４とともに軸線方向他側（図１の下側）に配置される。作動ロッド２４は、この配置に対応して初期状態でのストロークを規定する。一方、第２アクチュエータ１２の中間ストッパ４２は、コイルばね４３により外殻４１の底壁（第１アクチュエータ１１）側に付勢されている。
【００３５】
次に、図３（ａ）に示されるように、上記第１アクチュエータ１１の負圧室３１にのみ負圧が導入されると、負圧室３１及び大気圧室３２間の圧力差により上記ダイヤフラム２２はコイルばね２５の付勢力に抗して変形し、作動ロッド２４を押し上げる。一方、上記第２アクチュエータ１２の中間ストッパ４２は、コイルばね４３の付勢力並びに負圧室５１及び受圧室５２（負圧室３１）間の圧力差によりシール部材４４を介して外殻４１の底壁に押圧される。従って、上記作動ロッド２４は、その基端部が上記中間ストッパ４２のストッパ軸４２ｂの先端部に当接するまでの範囲で押し上げられる。そして、作動ロッド２４は、この移動に伴い１段目のストロークを発生する。
【００３６】
さらに、図３（ｂ）に示されるように、上記第１アクチュエータ１１の負圧室３１及び第２アクチュエータ１２の内部空間５０（負圧室５１）にともに負圧が導入されると、負圧室５１及び受圧室５２（負圧室３１）間の圧力差がなくなる。このために、中間ストッパ４２はコイルばね４３の付勢力のみによってシール部材４４を介して外殻４１の底壁に押圧される。このとき、上記ダイヤフラム２２はコイルばね２５の付勢力及び中間ストッパ４２（ストッパ軸４２ｂ）を介したコイルばね４３の付勢力に抗して更に変形し、作動ロッド２４を更に押し上げる。そして、作動ロッド２４は、この移動に伴い２段目のストロークを発生する。
【００３７】
以上詳述したように、本実施形態によれば、以下に示す効果が得られるようになる。
（１）本実施形態では、第２アクチュエータ１２は、第１アクチュエータ１１に対応して外殻４１の底壁に当接配置されることで内部空間５０に負圧室５１及び上記負圧室３１に連通する受圧室５２（第１圧力室）を形成する中間ストッパ４２を内装する。そして、上記中間ストッパ４２を負圧室３１に付勢するコイルばね４３を備えている。上記負圧室３１にのみ負圧を導入したときに、コイルばね２５の付勢力に抗してダイヤフラム２２を変形させて上記作動ロッド２４を引き上げる。これとともに、上記負圧室５１及び受圧室５２の圧力差及びコイルばね４３の付勢力により外殻４１の底壁に押圧された中間ストッパ４２のストッパ軸４２ｂが同作動ロッド２４に当接してその移動を所定範囲に規制する。そして、上記作動ロッド２４の１段目のストロークを発生させる。
【００３８】
また、上記負圧室３１及び第２アクチュエータ１２の内部空間５０に負圧を導入したときには、負圧室５１及び受圧室５２（第１圧力室）の圧力差は解消されて上記中間ストッパ４２を外殻４１の底壁に押圧することはない。そして、上記ストッパ軸４２ｂを介して中間ストッパ４２を作動ロッド２４で押圧し、コイルばね２５，４３の付勢力に抗して同中間ストッパ４２とともに作動ロッド２４を更に押し上げて２段目のストロークを発生させる。
【００３９】
以上の態様で、中間ストッパ４２及びコイルばね４３を備えた第２アクチュエータ１２からなる極めて簡易な構造を有する２段作動アクチュエータ１０を実現できる。
【００４０】
また、上記負圧室５１及び受圧室５２（第１圧力室）は、中間ストッパ４２が第１アクチュエータ１１に対応して外殻４１の底壁に当接配置されることで形成される。そして、上記負圧室３１にのみ負圧を導入したときには、中間ストッパ４２は負圧室５１及び受圧室５２（第１圧力室）の圧力差及びコイルばね４３の付勢力により外殻４１の底壁に押圧される。このような状態で、例えば不測の衝撃等によりこれら負圧室５１及び受圧室５２（第１圧力室）間の気密性が低減されると、負圧室３１の負圧が受圧室５２を介して第２アクチュエータ１２の内部空間５０へと漏出する。このとき、負圧室３１及び大気圧室３２の圧力差が低減される分、上記作動ロッド２４を引き上げるダイヤフラム２２の変形が低減されて同作動ロッド２４を下げる（戻す）。従って、中間ストッパ４２は外殻４１の底壁に再び戻るため、上記負圧室５１及び受圧室５２間の気密性を回復できる。
【００４１】
（２）本実施形態では、上記中間ストッパ４２は、シール部材４４を介して外殻４１の底壁に当接配置される。従って、上記負圧室５１及び受圧室５２（第１圧力室）間の気密性を向上できる。
【００４２】
（３）本実施形態では、第１アクチュエータ１１の外殻２１に、中間ストッパ４２のストッパ軸４２ｂを作動ロッド２４の対向位置に案内するロッドガイド２１ｄを形成した。従って、上記作動ロッド２４から中間ストッパ４２への所要の荷重伝達をより確実に行うことができる。
【００４３】
（４）本実施形態では、コイルばね２５の一側端及び他側端をそれぞれ外殻２１のばねガイド部２１ｃ及びカップ２３の突部２３ａにより位置決めするようにした。また、コイルばね４３の一側端及び他側端をそれぞれ外殻４１のばねガイド部４１ａ及び中間ストッパ４２のばねガイド部４２ｃにより位置決めするようにした。従って、これらコイルばね２５，４３の軸線を位置決めすることでその荷重伝達の確実性を向上できる。
【００４４】
なお、本発明の実施の形態は上記実施形態に限定されるものではなく、次のように変更してもよい。
・前記実施形態においては、ストッパ軸４２ｂを略円柱体にしたが、例えばその先端部に軸長を調整するような調整ねじを設けてもよい。また、同様の構造を作動ロッド２４側に設けてもよい。これらの場合、前記実施形態と同様の効果に加え、特に製造ばらつきに対応した好適な作動段階の切り替えが可能となる。
【００４５】
・前記実施形態においては、作動ロッド２４及び中間ストッパ４２のストッパ軸４２ｂを当接させて所要の荷重伝達を行ったが、これに加えて、若しくは、これに代えて作動ロッド２４側を中間ストッパ４２側に突出させて所要の荷重伝達を行うようにしてもよい。要は、中間ストッパ４２側に作動ロッド２４の荷重が伝達される当接部（ストッパ当接部）があればよい。このように変更をしても前記実施形態と同様の効果が得られる。
【００４６】
・前記実施形態においては、外殻２１に当接部案内手段としてのロッドガイド２１ｄを形成したが、例えば外殻４１に同様の当接部案内手段を形成してもよい。このように変更をしても前記実施形態と同様の効果が得られる。
【００４７】
・前記実施形態においては、シール部材４４を中間ストッパ４２側に設けたが、これに代えて外殻４１の底壁側に同様のシール部材を設けてもよい。
次に、以上の実施形態から把握することができる請求項以外の技術的思想を、その効果とともに以下に記載する。
【００４８】
（イ）ダイヤフラムにより内部が区画されて軸線方向一側及び他側にそれぞれ第１負圧室及び大気圧室が形成され、該ダイヤフラムを該大気圧室側に付勢する第１付勢手段を備えるとともに該ダイヤフラムには作動ロッドが結合された第１アクチュエータと、前記第１アクチュエータと直列に配され、内装された中間ストッパが該第１アクチュエータに対応して軸線方向他側に当接配置されることで内部空間が区画されて軸線方向一側及び他側にそれぞれ第２負圧室及び前記第１負圧室に連通する受圧室が形成され、該中間ストッパを該第１負圧室に付勢する第２付勢手段を備えるとともに該中間ストッパは前記作動ロッドに対向配置されたストッパ当接部を有する第２アクチュエータとを備え、前記第１負圧室にのみ負圧を導入したときに、前記第１付勢手段の付勢力に抗して前記作動ロッドを軸線方向一側に移動するとともに、前記第２負圧室及び前記受圧室の圧力差及び前記第２付勢手段の付勢力により軸線方向他側に押圧された前記中間ストッパの前記ストッパ当接部が該作動ロッドに当接して該作動ロッドの移動を所定範囲に規制して該作動ロッドの１段目のストロークを発生させ、前記第１負圧室及び前記第２アクチュエータの内部空間に負圧を導入したときに、前記ストッパ当接部を介して前記中間ストッパを前記作動ロッドで押圧し、前記第１付勢手段及び第２付勢手段の付勢力に抗して該中間ストッパとともに該作動ロッドを軸線方向一側に更に移動して該作動ロッドの２段目のストロークを発生させたことを特徴とする２段作動アクチュエータ。同構成によれば、上記第２アクチュエータは、第１アクチュエータに対応して軸線方向他側に当接配置されることで内部空間に第２負圧室及び上記第１負圧室に連通する受圧室を形成する中間ストッパを内装する。そして、上記中間ストッパを第１負圧室に付勢する第２付勢手段を備えている。上記第１負圧室にのみ負圧を導入したときに、第１付勢手段の付勢力に抗してダイヤフラムを変形させて上記作動ロッドを軸線方向一側に移動する。これとともに、上記第２負圧室及び受圧室の圧力差及び前記第２付勢手段の付勢力により軸線方向他側に押圧された中間ストッパのストッパ当接部が同作動ロッドに当接してその移動を所定範囲に規制する。そして、上記作動ロッドの１段目のストロークを発生させる。
【００４９】
また、上記第１負圧室及び第２アクチュエータの内部空間に負圧を導入したときには、第２負圧室及び受圧室の圧力差は解消されて上記中間ストッパを軸線方向他側に押圧することはない。そして、上記ストッパ当接部を介して中間ストッパを作動ロッドで押圧し、第１付勢手段及び第２付勢手段の付勢力に抗して同中間ストッパとともに作動ロッドを軸線方向一側に更に移動して２段目のストロークを発生させる。以上の態様で、中間ストッパ及び第２付勢手段を備えた第２アクチュエータからなる極めて簡易な構造を有する２段作動アクチュエータが実現される。
【００５０】
また、上記第２負圧室及び受圧室は、中間ストッパが第１アクチュエータに対応して軸線方向他側に当接配置されることで形成される。そして、上記第１負圧室にのみ負圧を導入したときには、中間ストッパは第２負圧室及び受圧室の圧力差及び第２付勢手段の付勢力により軸線方向他側に押圧される。このような状態で、例えば不測の衝撃等によりこれら第２負圧室及び受圧室間の気密性が低減されると、第１負圧室の負圧が受圧室を介して第２アクチュエータの内部空間へと漏出する。このとき、第１負圧室及び大気圧室の圧力差が低減される分、上記作動ロッドを軸線方向一側に移動するダイヤフラムの変形が低減されて同作動ロッドを軸線方向他側に移動する（戻す）。従って、中間ストッパは軸線方向他側に再び戻って上記第２負圧室及び受圧室間の気密性を回復する。
【００５１】
（ロ）上記（イ）に記載の２段作動アクチュエータにおいて、前記第１付勢手段及び前記第２付勢手段の少なくとも一方の軸線を位置決めする位置決め手段を設けたことを特徴とする２段作動アクチュエータ。同構成によれば、上記第１付勢手段及び第２付勢手段の少なくとも一方の軸線を位置決めする位置決め手段を設けたことでその荷重伝達の確実性が向上される。
【００５２】
【発明の効果】
以上詳述したように、各請求項に記載の発明によれば、簡素な構造を有する２段作動アクチュエータを提供することができる。
【００５３】
また、第１圧力室及び第３圧力室間の気密性を向上できる。
請求項２に記載の発明によれば、移動部材から中間ストッパへの所要の荷重伝達をより確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す段面図。
【図２】同実施形態を示す模式図。
【図３】同実施形態を示す段面図。
【符号の説明】
１１  第１アクチュエータ
１２  第２アクチュエータ
２１ｄ  当接部案内手段としてのロッドガイド
２２  区画部材としてのダイヤフラム
２４  移動部材としての作動ロッド
３１  第１圧力室を構成する負圧室
３２  第２圧力室としての大気圧室
４２  中間ストッパ
４２ｂ  ストッパ当接部としてのストッパ軸
４４  シール部材
５１  第３圧力室としての負圧室
５２  第１圧力室の一部を構成する受圧室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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