(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動部と、
前記駆動部の駆動作用下に変位する可動体と、
前記駆動部の一端部と他端部とにそれぞれ連結され、圧力流体出入ポートに連通する複数の圧力流体連通路が設けられた一組のエンドブロックと、
軸線方向に沿って通路が形成され、両端部が前記一組のエンドブロックにそれぞれ連結された連結部材と、
を備え、前記連結部材を軸線方向に沿って所定距離だけ変位させることにより、前記圧力流体出入ポートと前記圧力流体連通路との連通状態が前記通路によって切り換えられて流路変更されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、前記連結部材を軸線方向に沿って所定距離だけ変位させることより、圧力流体の配管取り出し口が一方のエンドブロックと他方のエンドブロックとで切り換えられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または２記載のリニアアクチュエータにおいて、前記圧力流体連通路は、一端部が圧力流体を供給および排気する通路に接続され、他端部が前記連結部材の通路に連通される第１圧力流体連通路と、一端部が圧力流体を供給および排気する通路に接続され、他端部が前記連結部材の通路に接続されるとともに前記駆動部側に連通される第２圧力流体連通路とを有することを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項４】
請求項３記載のリニアアクチュエータにおいて、前記第１圧力流体連通路は、軸線方向に沿って形成された第１圧力流体出入ポートと、前記第１圧力流体出入ポートに略直交して連通する第３圧力流体出入ポートとを有することを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項５】
請求項３記載のリニアアクチュエータにおいて、前記第２圧力流体連通路は、軸線方向に沿って形成された第２圧力流体出入ポートと、前記第２圧力流体出入ポートおよび前記駆動側に略直交して連通する第１圧力流体通路と、前記第１圧力流体通路に沿って略平行に連通する第２圧力流体通路とを有することを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項６】
請求項４記載のリニアアクチュエータにおいて、前記第３圧力流体出入ポートは、前記連結部材の通路に接続されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項７】
請求項５記載のリニアアクチュエータにおいて、前記第２圧力流体通路は、前記連結部材の通路に接続されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載のリニアアクチュエータにおいて、前記駆動部は、磁界作用により前記可動体を変位させることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載のリニアアクチュエータにおいて、前記駆動部は、圧力流体により前記可動体を押圧して変位させることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアアクチュエータに関し、一層詳細には、一組のエンドブロックのいずれか一方から集中配管を行うことが可能なリニアアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のリニアアクチュエータでは、ピストンに作用させる圧力流体の供給および排気用の配管が左右の一組のエンドブロックのそれぞれに設けられ、左右のエンドブロックのいずれか一方から集中配管が行われている。このため、一方の左側のエンドブロックに供給および排気用の配管通路を集中させた左側取り出し口と、他方の右側のエンドブロックに供給および排気用の配管通路を集中させた右側取り出し口の２種類を準備する必要があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、片側集中配管の取り出し口が異なる２種類のリニアアクチュエータを準備することは、過大な設備投資が要求され、且つ不便であり、しかも配管ポートの位置が異なる２種類のエンドブロックが必要であるために、部品点数が増加するとともに部品管理も煩雑となり、コストダウンの削減を図るうえで支障になっている。
【０００４】
本発明は、前記の不都合を克服するためになされたもので、リニアアクチュータに設けられた左右の一組のエンドブロックに取り付けられた連結部材の取付位置を変位させることにより、片側集中配管が左右の一組のエンドブロックのいずれか一方から行うことができ、且つ左右の一組のエンドブロックの共用が可能なリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を解決するために、本発明は、駆動部と、
前記駆動部の駆動作用下に変位する可動体と、
前記駆動部の一端部と他端部とにそれぞれ連結され、圧力流体出入ポートに連通する複数の圧力流体連通路が設けられた一組のエンドブロックと、
軸線方向に沿って通路が形成され、両端部が前記一組のエンドブロックにそれぞれ連結された連結部材と、
を備え、前記連結部材を軸線方向に沿って所定距離だけ変位させることにより、前記連結部材の通路に連通する圧力流体連通路が切り換えられて流路変更されることを特徴とする。
【０００６】
本発明によれば、集中配管を左右一組のエンドブロックのいずれか一方から行う片側集中配管とすることにより、前記エンドブロックを共用することができるので部品点数が削減され、部品管理も容易となる。
【０００７】
この場合、前記連結部材を軸線方向に沿って所定距離だけ変位させることより、圧力流体の配管取り出し口が一方のエンドブロックと他方のエンドブロックとで切り換えられ、流路変更を容易に行うことができ、好適である。
【０００８】
この場合、前記圧力流体連通路は、一端部が圧力流体を供給および排気する通路に接続され、他端部が前記連結部材の通路に連通される第１圧力流体連通路と、一端部が圧力流体を供給および排気する通路に接続され、他端部が前記連結部材の通路に接続されるとともに前記駆動部側に連通される第２圧力流体連通路とを有することにより、前記連結部材を前記一組のエンドブロックに容易に取着することができる。
【０００９】
前記第１圧力流体連通路は、軸線方向に沿って形成された第１圧力流体出入ポートと、前記第１圧力流体出入ポートに略直交して連通する第３圧力流体出入ポートとによって構成すると、流路を短くすることができ、好適である。
【００１０】
前記第２圧力流体連通路は、軸線方向に沿って形成された第２圧力流体出入ポートと、前記第２圧力流体出入ポートおよび前記駆動側に略直交して連通する第１圧力流体通路と、前記第１圧力流体通路に沿って略平行に連通する第２圧力流体通路とによって構成すると、流路を簡単にすることができ、好適である。
【００１１】
前記第３圧力流体出入ポートおよび前記第２圧力流体通路は、前記連結部材の通路に接続されると、好適である。
【００１２】
前記駆動部は圧力流体により前記可動体を押圧して変位させる、あるいは、磁界の引張作用によって可動体を変位させると、好適である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明に係るリニアアクチュエータについて、好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら、以下、詳細に説明する。
【００１４】
図１乃至図４は、本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０の構成を示す。
【００１５】
リニアアクチュエータ１０は、基本的には、磁石式ロッドレスシリンダからなる駆動部１２と、前記駆動部１２の駆動作用下に直線状に往復動作するスライダ１４（可動体）と、前記スライダ１４を案内するガイドレール１６（ガイド部材）と、前記ガイドレール１６の両端部にねじ部材２０によりそれぞれ連結される一組のエンドブロック１８ａ、１８ｂと、前記一組のエンドブロック１８ａ、１８ｂにそれぞれ固定され、ガイドレール１６と略平行に配置されたセンサ取付用レール２２（連結部材）とを備える。
【００１６】
駆動部１２は、図２に示されるように、内部にシリンダ室として機能する貫通孔２４が形成され、その両端部にそれぞれ装着されるエンドキャップ２６ａ、２６ｂを介して一組のエンドブロック１８ａ、１８ｂに支持される円筒体２８と、磁性材料によって形成され、前記円筒体２８内の貫通孔２４に摺動自在に嵌着されたピストン３０と、前記円筒体２８の外周面を囲繞するとともに、前記ピストン３０と一体的に前記円筒体２８の軸線方向に沿って変位するスライドブロック３２とを有する。
【００１７】
エンドキャップ２６ａ、２６ｂには、通路３４ａ、３４ｂを流通する流体の流量を絞るオリフィス３６ａ、３６ｂが形成されている。通路３４ａ、３４ｂはエンドキャップ２６ａ、２６ｂに形成された後述する第４圧力流体出入ポート４８ａ、４８ｂ（図３参照）に連通するように設けられている。
【００１８】
エンドブロック１８ａ、１８ｂには、図３に示されるように、円筒体２８の軸線と略平行に穿設された第１圧力流体出入ポート３８ａ、３８ｂおよび第２圧力流体出入ポート４０ａ、４０ｂと、前記第１圧力流体出入ポート３８ａ、３８ｂに略直交して連通する第３圧力流体出入ポート４２ａ、４２ｂとが形成される。
【００１９】
さらに、第２圧力流体出入ポート４０ａ、４０ｂに略直交して連通し、且つ第３圧力流体出入ポート４２ａ、４２ｂに対向して円筒体２８の貫通孔２４に連通する第１圧力流体通路４４ａ、４４ｂが形成される。
【００２０】
第２圧力流体通路４６ａ、４６ｂのそれぞれは、第３圧力流体出入ポート４２ａ、４２ｂに略平行に形成されて第１圧力流体通路４４ａ、４４ｂに連通されている。通路３４ａ、３４ｂに連通する第４圧力流体出入ポート４８ａ、４８ｂのそれぞれは第１圧力流体通路４４ａ、４４ｂに接続されている。
【００２１】
この場合、相互に連通する第１圧力流体出入ポート３８ａ、３８ｂと第３圧力流体出入ポート４２ａ、４２ｂとは、第１圧力流体連通路として機能し、また、第２圧力流体出入ポート４０ａ、４０ｂと第１圧力流体通路４４ａ、４４ｂおよび第２圧力流体通路４６ａ、４６ｂとは、第２圧力流体連通路として機能するものである。なお、参照符号５０はシールリングを示している。
【００２２】
図２に示されるように、ピストン３０の軸線方向に沿った両端部には、ウェアリング５２およびスクレーパ５４がそれぞれ装着されている。ピストン３０の外周面には、磁性体によって形成された５枚の環状板５６ａ乃至５６ｅからなる第１ヨークが外嵌され、隣接する環状板５６ａ乃至５６ｅの間にはリング状の内側磁石５８ａ乃至５８ｄがそれぞれ介装されている。
【００２３】
スライドブロック３２の内周面には、磁性体からなる複数枚に分割された環状板６０ａ乃至６０ｅによって構成される第２ヨークが内嵌され、隣接する環状板６０ａ乃至６０ｅの間には、リング状の外側磁石６２ａ乃至６２ｄがそれぞれ介装されている。環状板６０ａ乃至６０ｅおよびリング状の外側磁石６２ａ乃至６２ｄはウェアリング７６、スペーサ７８を介して止め輪８０によりスライドブロック３２の内周面に係着される。
【００２４】
この場合、ピストン３０に装着された内側磁石５８ａ乃至５８ｄとスライドブロック３２に装着された外側磁石６２ａ乃至６２ｄとは、それぞれ円筒体２８を間にして相互に対峙するように配設され、しかも相互に吸引し合うようにその磁極が設定されている。
【００２５】
センサ取付用レール２２の内部には、図３に示されるように、軸線方向に沿って延在する通路６４が形成され、前記通路６４は、センサ取付用長溝６８（図１参照）の下部側に形成された一組の孔部にそれぞれ嵌着される配管用スタッド７０ａ、７０ｂを介して、エンドブロック１８ａの第３圧力流体出入ポート４２ａとエンドブロック１８ｂの第２圧力流体通路４６ｂとにそれぞれ連通するように設けられている。
【００２６】
なお、センサ取付用レール２２に形成された通路６４の両端部は、それぞれ鋼球７４によって気密に閉塞されている。参照符号８４（図２参照）はエンドブロック１８ａおよび１８ｂに螺着されたねじ部材を示し、前記ねじ部材８４のねじ込み量を増減させることにより、スライダ１４の変位量が調整される。スライダ１４に螺着された弾性部材８６（図２参照）は、ねじ部材８４が当接した際に緩衝機能を有する。
【００２７】
本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０は基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作ならびに作用効果について説明する。
【００２８】
まず、左側の一方のエンドブロック１８ａに対して供給および排気用の片側集中配管を行った場合について説明する。
【００２９】
図３において、エンドブロック１８ａの第１圧力流体通路４４ａおよびエンドブロック１８ｂの第２圧力流体出入ポート４０ｂ、第１圧力流体通路４４ｂは栓８２により閉塞される。
【００３０】
一方、エンドブロック１８ａの第３圧力流体出入ポート４２ａ、エンドブロック１８ｂの第２圧力流体通路４６ｂには、配管用スタッド７０ａ、７０ｂが螺着され、前記第３圧力流体出入ポート４２ａおよび第２圧力流体通路４６ｂはセンサ取付用レール２２の通路６４を介して連通される。
【００３１】
このため、エンドブロック１８ａの第１圧力流体出入ポート３８ａは、第３圧力流体出入ポート４２ａ、配管用スタッド７０ａの連通路７２ａ、センサ取付用レール２２の通路６４、配管用スタッド７０ｂの連通路７２ｂを経て、エンドブロック１８ｂの第２および第１圧力流体通路４６ｂ、４４ｂ、第４圧力流体出入ポート４８ｂよりエンドキャップ２６ｂの通路３４ｂに連通される。
【００３２】
一方、エンドブロック１８ａの第２圧力流体出入ポート４０ａは、第１圧力流体通路４４ｂおよび第４圧力流体出入ポート４８ｂを介してエンドキャップ２６ａの通路３４ａに連通される。
【００３３】
そこで、図示しない圧力流体供給源から供給された圧力流体、例えば圧縮空気を配管ポートＰ１よりエンドブロック１８ａの第１圧力流体出入ポート３８ａに導入し、前記エンドブロック１８ａの第２圧力流体出入ポート４０ａは図示しない切換弁の作用下に大気開放状態にしておく。
【００３４】
供給された圧縮空気は、第１圧力流体出入ポート３８ａより第３圧力流体出入ポート４２ａ、配管用スタッド７０ａの連通路７２ａ、センサ取付用レール２２の通路６４、配管用スタッド７０ｂの連通路７２ｂを通り、第２および第１圧力流体通路４６ｂ、４４ｂ、第４圧力流体出入ポート４８ｂを経て、通路３４ｂ、オリフィス３６ｂよりシリンダ室として機能する円筒体２８の貫通孔２４の一側部に導入される。
【００３５】
一方、シリンダ室である貫通孔２４の他側部は、オリフィス３６ａ、通路３４ａより第４圧力流体出入ポート４８ａおよび第１圧力流体通路４４ａを経由して第２圧力流体出入ポート４０ａから大気に開放される。
【００３６】
このため、円筒体２８の貫通孔２４内に導入された圧縮空気の作用下にピストン３０が押圧され、環状板５６ａ乃至５６ｅからなる第１ヨークを介して複数の内側磁石５８ａ乃至５８ｄとピストン３０とが円筒体２８の貫通孔２４に沿って矢印Ｙ方向（図３参照）に一体的に変位する。その際、第１ヨークを介してピストン３０に装着された内側磁石５８ａ乃至５８ｄの磁界作用下に外側磁石６２ａ乃至６２ｄが吸引され、前記外側磁石６２ａ乃至６２ｄを保持するスライドブロック３２がピストン３０と一体的に変位する。
【００３７】
また、圧縮空気を配管ポートＰ２より第２圧力流体出入ポート４０ａに供給し、第１圧力流体出入ポート３８ａを大気開放状態にすると、圧縮空気の供給および排気用の流路は前述の状態と逆になって円筒体２８の貫通孔２４に導入されるので、ピストン３０とスライドブロック３２とが一体的に図３に示される矢印Ｘ方向に変位する。
【００３８】
このように、エンドブロック１８ａに形成された第１圧力流体出入ポート３８ａおよび第２圧力流体出入ポート４０ａのそれぞれを図示しない切換弁の作用下に圧縮空気の供給および排気を大気開放状態にすると、ピストン３０、スライドブロック３２が一体的に直線状に変位することにより、スライダ１４の往復運動が保持される。
【００３９】
次に、センサ取付用レール２２を矢印Ｘ方向に沿って変位させ、右側の他方のエンドブロック１８ｂに対して、供給および排気用の片側集中配管に流路変更した場合について説明する。
【００４０】
図４は、配管用スタッド７０ａ、７０ｂのそれぞれをエンドブロック１８ａの第２圧力流体通路４６ａ、エンドブロック１８ｂの第３圧力流体出入ポート４２ｂに螺着させてセンサ取付用レール２２を右方向に変位させた状態を示す。
【００４１】
この場合、エンドブロック１８ａの第２圧力流体出入ポート４０ａ、第１圧力流体通路４４ａおよびエンドブロック１８ｂの第１圧力流体通路４４ｂは栓８２により閉塞される。
【００４２】
さらに、エンドブロック１８ａの第２圧力流体通路４６ａおよびエンドブロック１８ｂの第３圧力流体出入ポート４２ｂは配管用スタッド７０ａ、７０ｂを介してセンサ取付用レール２２の通路６４に連通される。
【００４３】
よって、エンドブロック１８ｂの第１圧力流体出入ポート３８ｂは、配管用スタッド７０ｂの連通路７２ｂ、センサ取付用レール２２の通路６４を経て、配管用スタッド７０ａの連通路７２ａ、エンドブロック１８ａの第２および第１圧力流体通路４６ａ、４４ａ、第４圧力流体出入ポート４８ａを経てエンドキャップ２６ａの通路３４ａに連通される。
【００４４】
エンドブロック１８ｂの第２圧力流体出入ポート４０ｂは、第１圧力流体通路４４ｂおよび第４圧力流体出入ポート４８ｂよりエンドキャップ２６ｂの通路３４ｂに連通される。
【００４５】
次いで、圧縮空気を配管ポートＰ１よりエンドブロック１８ｂの第２圧力流体出入ポート４０ｂに供給し、エンドブロック１８ｂの第１圧力流体出入ポート３８ｂは図示しない切換弁の作用下に大気開放状態にしておく。
【００４６】
供給された圧縮空気は、第２圧力流体出入ポート４０ｂから第１圧力流体通路４４ｂおよび第４圧力流体出入ポート４８ｂを経て通路３４ｂよりシリンダ室である貫通孔２４の一側部に導入される。シリンダ室である他側部は、通路３４ａより第４圧力流体出入ポート４８ａおよび第１および第２圧力流体通路４４ａ、４６ａを経て、配管用スタッド７０ａの連通路７２ａ、センサ取付用レール２２の通路６４、配管用スタッド７０ｂの連通路７２ｂを経由して、第１圧力流体出入ポート３８ｂから大気に開放される。
【００４７】
よって、円筒体２８の貫通孔２４内に導入された圧縮空気の作用下にピストン３０が押圧され、環状板５６ａ乃至５６ｅを介して内側磁石５８ａ乃至５８ｄとピストン３０とが矢印Ｙ方向に変位する。
【００４８】
また、圧縮空気を配管ポートＰ２より供給し、配管ポートＰ１を大気開放状態にすると、圧縮空気の供給および排気用の流路は前述の状態と逆になって円筒体２８の貫通孔２４に導入されるので、スライドブロック３２とピストン３０とが一体的に図４に示される矢印Ｘ方向に変位する。
【００４９】
よって、エンドブロック１８ｂに形成された第１圧力流体出入ポート３８ｂおよび第２圧力流体出入ポート４０ｂのそれぞれを図示しない切換弁の作用下に圧縮空気の供給および排気を大気開放状態にすると、ピストン３０、スライドブロック３２が一体的に直線状に変位することにより、スライダ１４の往復運動が保持される。
【００５０】
本実施の形態では、センサ取付用レール２２を図４に示されるように右方向に変位させて、エンドブロック１８ａの第２圧力流体通路４６ａ、エンドブロック１８ｂの第３圧力流体出入ポート４２ｂのそれぞれに配管用スタッド７０ａ、７０ｂを螺着することにより、前記第３圧力流体出入ポート４２ｂと第２圧力流体通路４６ａを通路６４を介して連通させることができる。
【００５１】
このように、配管用スタッド７０ａ、７０ｂはセンサ取付用レール２２をエンドブロック１８ａ、１８ｂに対して取着する機能を有する。
【００５２】
さらに、配管用スタッド７０ａ、７０ｂに形成された連通路７２ａ、７２ｂはエンドブロック１８ａの第３圧力流体出入ポート４２ａとエンドブロック１８ｂの第２圧力流体通路４６ｂおよびエンドブロック１８ａの第２圧力流体通路４６ａとエンドブロック１８ｂの第３圧力流体出入ポート４２ｂのそれぞれをセンサ取付用レール２２の通路６４に連通させる機能を有する。
【００５３】
従って、本実施の形態では、センサ取付用レール２２の取付位置を変位させるだけで、エンドブロック１８ａ、１８ｂのいずれか一方に集中配管を纏めることができるので、配管が簡素化され、配管作業時間を短縮することができる。
【００５４】
次に、本発明の他の実施に形態に係るリニアアクチュエータ９０を図５乃至図８に示す。なお、このリニアアクチュエータ９０において、前述した図１乃至図４に示した構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００５５】
図５において、リニアアクチュエータ９０は、直方体形状のボデイ９２（ガイド部材）（図６参照）と、前記ボデイ９２の長手方向に沿った両端部にねじ部材９４ａ、９４ｂを介して連結された一組のエンドブロック９６ａ、９６ｂと、前記ボデイ９２の上面に露出して一体的に形成されたガイド部９８に沿って直線状に往復動作するスライドテーブル１００（可動体）とから構成される。
【００５６】
図６に示されるように、ボデイ９２の上面のガイド部９８には、後述するジョイント部材１１８が変位するための略長円状の第１開口部１０２が形成され、反対側の底面部には前記第１開口部１０２に対応して第２開口部１０４が形成される。さらに、ボデイ９２の内部には、第１および第２開口部１０２、１０４にそれぞれ連通する断面略円形状の貫通孔１０６が軸線方向に沿って形成される。
【００５７】
図６および図７に示されるように、各エンドブロック９６ａ、９６ｂにはボデイ９２の内部に形成された貫通孔１０６に沿って突出する円筒部１０８ａ、１０８ｂが形成され、前記円筒部１０８ａ、１０８ｂには軸線方向に沿って貫通された孔部１１０ａ、１１０ｂが形成される。
【００５８】
円筒部１０８ａ、１０８ｂの外周面には、環状溝を介してシール部材１１４が嵌合され、前記シール部材１１４は、後述するキャップ部材１２２ａ、１２２ｂに摺接することにより該キャップ部材１２２ａ、１２２ｂによって閉塞される後述する圧力室１２４ａ、１２４ｂを気密に保持する機能を有する。
【００５９】
スライドテーブル１００には、その底面部に対して直交する方向に円柱状のボルト部材１１６が螺着され、該ボルト部材１１６には、その外周面に角筒状のジョイント部材１１８が外嵌される。ジョイント部材１１８の一端部の外周面には断面略矩形状のダンパ部材１２０が装着され、前記ダンパ部材１２０は、スライドテーブル１００、ボルト部材１１６およびジョイント部材１１８と一体的に変位し、第１開口部１０２の内壁面に当接することにより緩衝機能を有する。
【００６０】
ジョイント部材１１８の側壁面には、貫通孔１０６の軸線方向に沿って延在した有底円筒状の一対のキャップ部材１２２ａ、１２２ｂが相互に対向して配設され、前記ジョイント部材１１８はキャップ部材１２２ａ、１２２ｂに対し非圧接状態で面接触に保持されている。
【００６１】
キャップ部材１２２ａ、１２２ｂと円筒部１０８ａ、１０８ｂとにより形成された圧力室１２４ａ、１２４ｂは、円筒部１０８ａ、１０８ｂを貫通する孔部１１０ａ、１１０ｂに連通している。この場合、圧力室１２４ａ、１２４ｂに孔部１１０ａ、１１０ｂを介して圧力流体が供給されることにより、該圧力流体はキャップ部材１２２ａ、１２２ｂの内壁面を押圧する。
【００６２】
よって、キャップ部材１２２ａ、１２２ｂはボデイ９２の貫通孔１０６と円筒部１０８ａ、１０８ｂの外周面とによって形成された環状隙間１２６ａ、１２６ｂに沿って摺動変位する。キャップ部材１２２ａ、１２２ｂが円筒部１０８ａ、１０８ｂの外周面に沿って変位することにより、該キャップ部材１２２ａ、１２２ｂに面接触して挟持されたジョイント部材１１８を介してスライドテーブル１００が矢印ＸまたはＹ方向に往復動作する。この場合、円筒部１０８ａ、１０８ｂ、シール部材１１４、ボルト部材１１６、ジョイント部材１１８およびキャップ部材１２２ａ、１２２ｂはスライドテーブル１００を矢印ＸまたはＹ方向に往復動作させる駆動部として機能するものである。
【００６３】
本発明の他の実施の形態に係るリニアアクチュエータ９０は基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作ならびに作用効果について説明する。
【００６４】
まず、左側の一方のエンドブロック９６ａに対して供給および排気用の片側集中配管を行った場合について説明する。
【００６５】
図７において、エンドブロック９６ａの第１圧力流体通路４４ａ、エンドブロック９６ｂの第１圧力流体通路４４ｂおよび前記エンドブロック９６ｂに開口された孔部１１０ｂの一端部は栓８２により閉塞される。
【００６６】
さらに、エンドブロック９６ａの第３圧力流体出入ポート４２ａおよびエンドブロック９６ｂの第２圧力流体通路４６ｂのそれぞれには配管用スタッド７０ａ、７０ｂが螺着されることにより、前記第３圧力流体出入ポート４２ａおよび第２圧力流体通路４６ｂはセンサ取付用レール２２の通路６４を介して連通される。
【００６７】
よって、エンドブロック９６ａの第１圧力流体出入ポート３８ａは、配管用スタッド７０ａの連通路７２ａ、センサ取付用レール２２の通路６４を経て、配管用スタッド７０ｂの連通路７２ｂ、エンドブロック９６ｂの第２および第１圧力流体通路４６ｂ、４４ｂから円筒部１０８ｂの孔部１１０ｂに連通される。一方、円筒部１０８ａの孔部１１０ａはキャップ部材１２２ａの圧力室１２４ａに連通されている。
【００６８】
次いで、図示しない圧力流体供給源から供給された圧力流体、例えば圧縮空気を配管ポートＰ２より円筒部１０８ａの孔部１１０ａに導入し、エンドブロック９６ａの第１圧力流体出入ポート３８ａは図示しない切換弁の作用下に大気開放状態にしておく。
【００６９】
供給された圧縮空気は、円筒部１０８ａの孔部１１０ａ内に導入され、さらに、圧縮空気はキャップ部材１２２ａによって閉塞された圧力室１２４ａに供給され、キャップ部材１２２ａの内壁面を押圧する。従って、キャップ部材１２２ａはシール部材１１４によって圧力室１２４ａが気密に保持された状態を維持しながら、円筒部１０８ａから離間する方向（矢印Ｘ方向）に摺動変位する。このため、キャップ部材１２２ａがジョイント部材１１８を押圧することにより、前記ジョイント部材１１８に嵌装されたボルト部材１１６を介してスライドテーブル１００は矢印Ｘ方向に変位する。
【００７０】
一方、キャップ部材１２２ｂによって閉塞された圧力室１２４ｂは第１圧力流体出入ポート３８ａを介して大気に開放された状態にあり、ジョイント部材１１８はキャップ部材１２２ａと１２２ｂとに挟持された状態を維持しながらスライドテーブル１００と一体的に矢印Ｘ方向に変位する。
【００７１】
また、図示しない切換弁の作用下に圧縮空気を配管ポートＰ１より第１圧力流体出入ポート３８ａに供給し、孔部１１０ａを大気開放状態にすると、圧縮空気の供給および排気用の流路は前述の状態と逆になり、スライドテーブル１００は図７に示される矢印Ｙ方向に変位する。
【００７２】
次に、センサ取付用レール２２を矢印Ｘ方向に沿って変位させ、右側の他方のエンドブロック９６ｂに対して、供給および排気用の片側集中配管に流路変更した場合について説明する。
【００７３】
図８は、配管用スタッド７０ａ、７０ｂのそれぞれをエンドブロック９６ａの第２圧力流体通路４６ａ、エンドブロック９６ｂの第３圧力出入ポート４２ｂに螺着してセンサ取付用レール２２を右方向に変位させた状態を示す。
【００７４】
この場合、エンドブロック９６ａの第１圧力流体通路４４ａ、前記エンドブロック９６ａに開口する孔部１１０ａの一端部およびエンドブロック９６ｂの第１圧力流体通路４４ｂは栓８２により閉塞される。
【００７５】
さらに、エンドブロック９６ａの第２圧力流体通路４６ａおよびエンドブロック９６ｂの第３圧力流体出入ポート４２ｂは配管用スタッド７０ａ、７０ｂを介してセンサ取付用レール２２の通路６４に連通される。
【００７６】
このため、エンドブロック９６ｂに形成された円筒部１０８ｂの孔部１１０ｂはキャップ部材１２２ｂの圧力室１２４ｂに連通される。一方、エンドブロック９６ｂの第１圧力流体出入ポート３８ｂは、配管用スタッド７０ｂの連通路７２ｂ、センサ取付用レール２２の通路６４、配管用スタッド７０ａの連通路７２ａを経て、エンドブロック９６ａの第２および第１圧力流体通路４６ａ、４４ａより円筒部１０８ａの孔部１１０ａに連通される。
【００７７】
そこで、図示しない圧縮空気を配管ポートＰ２より第１圧力流体出入ポート３８ｂに導入し、孔部１１０ｂは図示しない切換弁の作用下に大気開放状態にしておく。
【００７８】
供給された圧縮空気は、第１圧力流体出入ポート３８ｂより配管用スタッド７０ｂの連通路７２ｂ、センサ取付用レール２２の通路６４、配管用スタッド７０ａの連通路７２ａを経て、第２および第１圧力流体通路４６ａ、４４ａより円筒部１０８ａの孔部１１０ａ内に導入され、さらに、圧縮空気はキャップ部材１２２ａによって閉塞された圧力室１２４ａに供給され、キャップ部材１２２ａの内壁面を押圧する。従って、キャップ部材１２２ａはシール部材１１４によって圧力室１２４ａが気密に保持された状態を維持しながら、円筒部１０８ａから離間する方向（矢印Ｘ方向）に摺動変位する。このため、キャップ部材１２２ａがジョイント部材１１８を押圧することにより、前記ジョイント部材１１８に嵌装されたボルト部材１１６を介してスライドテーブル１００は矢印Ｘ方向に変位する。
【００７９】
一方、キャップ部材１２２ｂによって閉塞された圧力室１２４ｂは孔部１１０ｂを介して大気に開放された状態にあり、ジョイント部材１１８はキャップ部材１２２ａと１２２ｂとに挟持された状態を維持しながらスライドテーブル１００と一体的に矢印Ｘ方向に変位する。
【００８０】
また、図示しない切換弁の作用下に圧縮空気を配管ポートＰ１より孔部１１０ｂに供給し、第１圧力流体出入ポート３８ｂを大気開放状態にすると、圧縮空気の供給および排気用の流路は前述の状態と逆になり、スライドテーブル１００は図８に示される矢印Ｙ方向に変位する。
【００８１】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００８２】
すなわち、センサ取付用レールの取付位置が変更されることにより、集中配管を左右のエンドブロックのいずれか一方から行うことができる。従って、左右のエンドブロックを共通にして使用することが可能になり、コストダウンを図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータの概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図３】図１の一部切欠平面図である。
【図４】図３のセンサ取付用レールの取付位置を右方向に変位させた状態を示す一部切欠平面図である。
【図５】本発明の他の実施の形態に係るリニアアクチュエータの概略構成を示す斜視図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線に沿った縦断面図である。
【図７】図５の概略横断面図である。
【図８】図７のセンサ取付用レールの取付位置を右方向に変位させた状態を示す概略横断面図である。
【符号の説明】
１０、９０…リニアアクチュエータ    １２…駆動部
１４…スライダ                      １６…ガイドレール
１８ａ、１８ｂ、９６ａ、９６ｂ…エンドブロック
２２…センサ取付用レール            ２４、１０６…貫通孔
２８…円筒体
３８ａ、３８ｂ…第１圧力流体出入ポート
４０ａ、４０ｂ…第２圧力流体出入ポート
４２ａ、４２ｂ…第３圧力流体出入ポート
４４ａ、４４ｂ…第１圧力流体通路    ４６ａ、４６ｂ…第２圧力流体通路
４８ａ、４８ｂ…第４圧力流体出入ポート
６４…通路                          ６８…センサ取付用長溝
９２…ボデイ                        １００…スライドテーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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