(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えた高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材、
（Ａ01）内部に高純度ガス移送用の流路が形成された流路形成部材の流路端が開口する円筒状端部に装着されるプレス成形金属製の流路端装着部材であって、前記円筒状端部が挿入される端部挿入口を有するとともに前記円筒状端部の外周面に圧接する円筒状弾性側壁と、前記円筒状弾性側壁の外端部を閉塞する外端壁とを有し、前記流路形成部材の内部の前記流路内の面に接触する部位を有しないキャップ状の前記流路端装着部材、
（Ａ02）前記円筒状端部の外周面に弾性的に圧接する内径の縮小した内径縮小圧接部が設けられた前記円筒状弾性側壁、
（Ａ03）前記円筒状端部の端面に当接して前記流路を密封する密封用当接部を有する前記外端壁、
（Ａ04）前記円筒状端部の端面の外側縁よりも内側において前記端面から前記軸方向外方に突出するリング状シール面を有する前記円筒状端部に装着される前記流路端装着部材、（Ａ05）前記リング状シール面から離れた位置で前記リング状シール面を被覆する外方膨出部を有する前記外端壁。
【請求項２】
次の要件（Ｂ01），（Ｂ02），（Ｂ05′），（Ｂ05ａ）を備えた高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材、
（Ｂ01）内部に断面円形の高純度ガス移送用の流路が形成された流路形成部材の前記流路の端部に装着されるプレス成形金属製の流路端装着部材であって、前記流路端部に挿入され且つ流路内周面に圧接する円筒状弾性側壁と、前記円筒状弾性側壁の内端部を閉塞する内端壁と、前記円筒状弾性側壁の外端部に形成された前記流路内に挿入されない外方突出部分とを有し、前記流路形成部材の内部の前記流路内の面に接触する部位を有しない前記流路端装着部材、
（Ｂ02）前記断面円形の流路の内周面に弾性的に圧接する外径の拡大した外径拡大圧接部が設けられた前記円筒状弾性側壁、
（Ｂ05′）前記流路形成部材の流路が開口する流路開口端面の外周縁、または、前記流路形成部材の流路が開口する端部外側の円筒外側面に当接して前記流路を密封する密封用当接部を有する前記外方突出部分、
（Ｂ05ａ）前記流路開口端面から離れて配置された前記外方突出部。
【請求項３】
次の要件（Ｃ01）〜（Ｃ03），（Ｃ03a）を備えた高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材、
（Ｃ01）高純度ガス移送用の流路である内側流路が開口する内側流路開口端面の外側縁よりも内側において前記内側流路開口端面から突出するリング状シール面を有する内側流路形成部材を軸方向に移動可能に収容する外側流路形成部材の断面円形の外側流路の端部に装着されるプレス成形金属製の流路端装着部材であって、前記外側流路端部に挿入され且つ外側流路内周面に圧接する円筒状弾性側壁と、前記円筒状弾性側壁の内端部に設けた内端壁と、前記円筒状弾性側壁の外端部に設けた前記外側流路内に挿入されない外方突出部分とを有し、前記内側流路内の面に接触する部位を有しない前記流路端装着部材、
（Ｃ02）前記断面円形の外側流路の内周面に弾性的に圧接する外径の拡大した外径拡大圧接部を有する前記円筒状弾性側壁、
（Ｃ03）前記外側流路形成部材の流路が開口する流路開口端面に当接して前記外側流路を密封する外側流路密封用当接部を有する前記外方突出部分、
（Ｃ03ａ）前記リング状シール面から離れて配置された前記内端壁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は高純度ガスを移送する流路を形成する流路形成部材（例えば、内部に流路が形成された流体移送管（パイプ）、管継手等）の流路端の開口周囲を保護したり、前記流路端の流路内面に不純物が付着ずるのを防止したりするため、前記流路端に装着される高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材に関する。
前記流路端装着部材は、流路形成部材の前記流路端の開口周囲に傷が付いたり、開口近傍の流路に不純物が付着したりすることを防止するために使用される。
【０００２】
【従来の技術】
図１７は一般的に使用されている複数の流路形成部材を連結した状態を示す図である。図１８は前記図１７の連結した複数の流路形成部材を分解した状態を示す図である。
図１７、図１８において、流管（流体移送管）１は円筒状部材であり流路１ａが形成されている。前記流管１の一端には他の流管と接続される側の端面である接続側端面１ｂが形成されており、前記接続側端面１ｂは小径端面１ｂ1および大径端面１ｂ2を有している。前記接続側端面１ｂの小径端面１ｂ1にはリング状シール面１ｃが形成されている。前記流管１の前記接続側端面１ｂ側の外周にはナット抜止用大径部１ｄが形成され、前記ナット抜止用大径部１ｄに連続して外径が少し小さいナット装着部１ｅが形成されている。
前記ナット装着部１ｅには雄ナット２が回転可能且つスライド可能に装着される。雄ナット２の外周面２ａには雄ねじ２ａ1が形成されている。
前記流管１および前記流管１に装着された雄ナット２により第１流路形成部材Ａが構成されている。
【０００３】
流管（内側流路形成部材）３は前記流管１と同様に、内側流路３ａ、小径端面３ｂ1および大径端面３ｂ2を有する接続側端面３ｂ、リング状シール面３ｃ、ナット抜止用大径部３ｄ、およびナット装着部３ｅが形成されている。
前記ナット装着部３ｅには雌ナット（外側流路形成部材）４が回転可能に装着されている。雌ナット４は流路（貫通孔）４ａが形成されており、前記流路４ａは一端側が接続側端面４ｂに開口しており、他端側には前記ナット装着部３ｅに嵌合する嵌合孔４ｃが形成されている。前記流路４ａを形成する内周面４ｄには前記接続側端面４ｂ側部分に雌ねじ４ｄ1が形成されている。前記雌ナット４には外側と内側（前記流路４ａ）とを連通させる連通孔４ｅが形成されている。
前記流管３は前記雌ナット４の接続側端面４ｂ側から前記流路４ａに挿入され、前記ナット装着部３ｅは前記嵌合孔４ｃに嵌合する。すなわち、雌ナット４の嵌合孔４ｃは前記ナット装着部３ｅに回転可能且つスライド可能に装着される。
前記流管（内側流路形成部材）３および雌ナット（外側流路形成部材）４により第２流路形成部材Ｂが構成されており、前記内側流路３ａおよび４ａはそれぞれ断面円形の内側流路３ａおよび外側流路４ａとして形成されている。そして、内側流路３ａおよび外側流路４ａにより第２流路形成部材Ｂの流路（３ａ＋４ａ）が形成されている。
【０００４】
前記第１および第２の流路形成部材ＡおよびＢは、連通孔５ａが形成されたガスケット５を前記リング状シール面１ｃおよび３ｃで挟んだ状態で、前記雄ナット２および雌ナット４を螺合させて締め付けることにより連結される。
前記流管１および３の接続された側と反対側の端部は他の流管等の流路形成部材または容器との接続部等に溶接等によって接続される。
【０００５】
図１９は流路形成部材の出荷時の梱包状態の説明図で、図１９Ａは前記図１８の第１流路形成部材の梱包状態の説明図、図１９Ｂは前記図１８の第２流路形成部材の梱包状態の説明図である。
図１９Ａ、図１９Ｂにおいて、製造された流路形成部材Ａ，Ｂが高純度ガス移送用に使用される場合には、流路形成部材Ａの接続側端部（他の流路形成部材と接続される側の端部）に傷が付いたり、パーティクル（塵埃、ハイドロカーボン等）の不純物が付着するのを防止するため、前記流路形成部材Ａ，Ｂを出荷する際等に、前記接続側端部に流路端装着部材Ｃ01，Ｃ02が装着される。
【０００６】
図１９Ａにおいて流路端装着部材Ｃ01は、弾性を有する樹脂製であり、円筒状弾性側壁６および前記円筒状弾性側壁６の外端部を閉塞する外端壁７を有している。前記円筒状弾性側壁６の内周面は前記流路形成部材Ａの雄ナット２の外周面２ａに形成された雄ねじ２ａ1の外周に圧接して嵌合している。前記円筒状弾性側壁６内面には前記大径端面１ｂ2に圧接する圧接部６ｂが形成されている。
前記流路形成部材Ａの流路１ａの接続側端部（図１９Ａの左端部）は、前記流路端装着部材Ｃ01により被覆され、リング状シール面１ｃに傷が付いたり、流路１ａの接続側端部内面に不純物が付着したりするのが防止される。
【０００７】
図１９Ｂにおいて流路端装着部材Ｃ02は、弾性を有する樹脂製であり、円筒状弾性側壁８および前記円筒状弾性側壁８の外端部を閉塞する外端壁９を有している。前記円筒状弾性側壁８の外周面は前記流路形成部材Ｂの雌ナット４の内周面４ｄに形成された雌ねじ４ｄ1の内周に圧接して嵌合している。前記円筒状弾性側壁８内面には前記大径端面３ｂ2に圧接する圧接部８ｂが形成されている。
前記流路形成部材Ｂの流路４ａおよび３ａの接続側端部（図１９Ｂの右端部）は、前記流路端装着部材Ｃ02により被覆され、リング状シール面３ｃに傷が付いたり、内側流路３ａの接続側端部内面に不純物が付着したりするのが防止される。
【０００８】
前記図１７〜図１９で説明した流路端装着部材Ｃ01，Ｃ02等は、前記図１７〜図１９に示した流路形成部材Ａ，Ｂ以外の種々の流路形成部材でも使用されるが、特に半導体製造装置の流路形成部材では、接続端部の傷や流路端部の不純物の付着防止のため、前記接続端部保護用の流路端装着部材が使用されることが多い。
半導体製品製造装置のガス供給路の継手やバルブ等に樹脂を使用すると、樹脂表面から、樹脂自身に含まれるハイドロカーボンや、水または大気等の不純物が供給ガス中に放出され、ガス純度が低下するという問題点がある。このため、樹脂材を使用しない流路形成部材（バルブ、レギュレータ、マスフローコントローラ等）が開発され、販売されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら従来、前記流路形成部材の接続部分（他の流路形成部材と接続する部分）のガスケットシール面、ネジ山を保護するため、前記樹脂製の流路端装着部材（流路端装着部材等）が使用されている。前記流路形成部材は、前記流路端装着部材を前記接続部分（他の流路形成部材と接続する部分）に装着した状態で、梱包され、出荷される。前記流路形成部材は、梱包開封までに前記樹脂材からの放出ガスにより汚染され、流路形成部材の流路内面に不純物が付着する。また、流路端装着部材を流路形成部材に装着するときの「こすれ」により発生する磨耗粉（パーティクル）が不純物として流路に付着する。
前記流路形成部材に付着した不純物は半導体製造装置で使用するガスに混入して、製品に悪影響を与える。
【００１０】
本発明は前記問題点に鑑み、次の記載内容（Ｏ01）を課題とする。
（Ｏ01）流路形成部材の流路端部に傷が付いたり、不純物が付着したりすることを防止すること。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
次に、前記課題を解決するために案出した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。なお、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するものではない。
【００１２】
（第１発明）
前記課題を解決するために、第１発明の高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材は、次の要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えている。
（Ａ01）内部に高純度ガス移送用の流路（１ａ）が形成された流路形成部材（Ａ）の流路端が開口する円筒状端部に装着されるプレス成形金属製の流路端装着部材（Ｃ1；Ｃ3；Ｃ4）であって、前記円筒状端部が挿入される端部挿入口を有するとともに前記円筒状端部の外周面に圧接する円筒状弾性側壁（１１，１６）と、前記円筒状弾性側壁（１１，１６）の外端部を閉塞する外端壁（１２，１７）とを有し、前記流路形成部材（Ａ）の内部の前記流路（１ａ）内の面に接触する部位を有しないキャップ状の前記流路端装着部材（Ｃ1；Ｃ3；Ｃ4）、
（Ａ02）前記円筒状端部の外周面に弾性的に圧接する内径の縮小した内径縮小圧接部（１１b，１６b）が設けられた前記円筒状弾性側壁（１１，１６）、
（Ａ03）前記円筒状端部の端面に当接して前記流路（１ａ）を密封する密封用当接部（１２b）を有する前記外端壁（１２）、
（Ａ04）前記円筒状端部の端面の外側縁よりも内側において前記端面から前記軸方向外方に突出するリング状シール面（１ｃ）を有する前記円筒状端部に装着される前記流路端装着部材（Ｃ1；Ｃ3；Ｃ4）、
（Ａ05）前記リング状シール面（１ｃ）から離れた位置で前記リング状シール面（１ｃ）を被覆する外方膨出部（１２a）を有する前記外端壁（１２）。
【００１３】
（第１発明の作用）
前記構成を備えた第１発明の流路端装着部材では、端部挿入口を有するプレス成形金属製のキャップ状の流路端装着部材（Ｃ1；Ｃ3；Ｃ4）は、内部に高純度ガス移送用の流路（１ａ）が形成された流路形成部材（Ａ）の前記流路端が開口する円筒状端部に装着される。このとき、前記円筒状弾性側壁（１１，１６）の内径の縮小した内径縮小圧接部（１１b，１６b）は、前記円筒状端部の外周面に圧接し、前記外端壁（１２，１７）は前記円筒状弾性側壁（１１，１６）の外端部を閉塞する。また、流路端装着部材（Ｃ1；Ｃ3；Ｃ4）は、前記流路形成部材（Ａ）の内部の前記流路（１ａ）内の面に接触する部位を有しない。
また、第１発明の流路端装着部材では、前記外端壁（１２）の密封用当接部（１２b）は、前記円筒状端部の端面に当接して前記流路（１ａ）を密封する。したがって、流路（１ａ）内部に不純物が付着するのを防止することができる。
さらに、第１発明の流路端装着部材では、前記外端壁（１２）の外方膨出部（１２a）は、前記円筒状端部に装着される前記流路端装着部材（Ｃ1；Ｃ3；Ｃ4）であって、前記リング状シール面（１ｃ）から離れた位置で前記リング状シール面（１ｃ）を被覆する。したがって、リング状シール面（１ｃ）に傷を付けることがない。
【００１４】
（第２発明）
前記課題を解決するために、第２発明の高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材は、次の要件（Ｂ01），（Ｂ02），（Ｂ05′），（Ｂ05ａ）を備えている。
（Ｂ01）内部に断面円形の高純度ガス移送用の流路（３ａ，４ａ）が形成された流路形成部材（Ｂ）の前記流路（３ａ，４ａ）の端部に装着されるプレス成形金属製の流路端装着部材（Ｃ9；Ｃ11）であって、前記流路端に挿入され且つ流路内周面（４ｄ）に圧接する円筒状弾性側壁（２１，３１）と、前記円筒状弾性側壁（２１，３１）の内端部を閉塞する内端壁（２３，３３）と、前記円筒状弾性側壁（２１，３１）の外端部に形成された前記流路（３ａ，４ａ）内に挿入されない外方突出部分（２２，３２）とを有し、前記流路形成部材（Ａ）の内部の前記流路（１ａ）内の面に接触する部位を有しない前記流路端装着部材（Ｃ9；Ｃ11）、
（Ｂ02）前記断面円形の流路（３ａ，４ａ）の内周面（３ｆ，４ｄ）に弾性的に圧接する外径の拡大した外径拡大圧接部（２１a，３１a）が設けられた前記円筒状弾性側壁（２１，３１）、
（Ｂ05′）前記流路形成部材の流路（３ａ，４ａ）が開口する流路開口端面の外周縁（４ｂ2，３ａ2）、または、前記流路形成部材の流路（３ａ，４ａ）が開口する端部外側の円筒外側面（３ｇ，４ｆ）に当接して前記流路（３ａ，４ａ）を密封する密封用当接部（２２a，３２a）を有する前記外方突出部分（２２，３２）、
（Ｂ05ａ）前記流路開口端面から離れて配置された前記外方突出部（２２，３２）。
【００１５】
（第２発明の作用）
（第２発明の作用）
前記構成を備えた第２発明の高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材では、プレス成形金属製の流路端装着部材（Ｃ9；Ｃ11）は、内部に断面円形の高純度ガス移送用の流路（３ａ，４ａ）が形成された流路形成部材（Ｂ）の前記流路（３ａ，４ａ）の端部に装着される。前記流路端装着部材（Ｃ9；Ｃ11）の円筒状弾性側壁（２１，３１）の外径の拡大した外径拡大圧接部（２１a，３１a）は、前記流路端に挿入され且つ断面円形の流路（３ａ，４ａ）の内周面（３ｆ，４ｄ）に弾性的に圧接する。この圧接により流路端装着部材（Ｃ9；Ｃ11）は前記流路形成部材（Ｂ）に保持される。また、流路端装着部材（Ｃ9；Ｃ11）は、前記流路形成部材（Ａ）の内部の前記流路（３ａ，４ａ）内の面に接触する部位を有しない。
前記円筒状弾性側壁（２１，３１）の内端部を閉塞する内端壁（２３，３３）は、前記円筒状弾性側壁（２１，３１）の外端から前記流路（３ａ，４ａ）内への不純物の侵入を防止する。前記円筒状弾性側壁（２１，３１）の外端部に形成された前記流路（３ａ，４ａ）内に挿入されない外方突出部分（２２，３２）は、作業者で手でつかむ部分である。作業者は前記外方突出部分（２２，３２）を手でつかんで、流路形成部材（Ｂ）への流路端装着部材（Ｃ9；Ｃ11）の着脱作業を行う。
前記外方突出部分（２２，３２）の密封用当接部（２２a，３２a）は、前記流路形成部材の流路（３ａ，４ａ）が開口する流路開口端面の外周縁（４ｂ2，３ａ2）、または、前記流路形成部材の流路（３ａ，４ａ）が開口する端部外側の円筒外側面（３ｇ，４ｆ）に当接して前記流路（３ａ，４ａ）を密封する。したがって、流路（３ａ，４ａ）内部に不純物が付着するのを防止することができる。
また、前記外方突出部（２２，３２）は、前記流路開口端面から離れて配置されており、流路開口端面の損傷を防止できる。
【００１６】
（第３発明）
前記課題を解決するために、第３発明の高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材は、次の要件（Ｃ01）〜（Ｃ03），（Ｃ03ａ）を備えている。
（Ｃ01）高純度ガス移送用の流路である内側流路（３ａ）が開口する内側流路（３ａ）開口端面の外側縁よりも内側において前記内側流路（３ａ）開口端面から突出するリング状シール面（３ｃ）を有する内側流路形成部材（３）を軸方向に移動可能に収容する外側流路形成部材（４）の断面円形の外側流路（４ａ）の端部に装着されるプレス成形金属製の流路端装着部材（Ｃ6；Ｃ7；Ｃ9；Ｃ11；Ｃ13〜Ｃ15）であって、前記外側流路端部に挿入され且つ外側流路内周面（４ｄ）に圧接する円筒状弾性側壁（２１）と、前記円筒状弾性側壁（２１）の内端部に設けた内端壁（２３）と、前記円筒状弾性側壁（２１）の外端部に設けた前記外側流路（４ａ）内に挿入されない外方突出部分（２２）とを有し、前記内側流路（３ａ）内の面に接触する部位を有しない前記流路端装着部材（Ｃ6；Ｃ7；Ｃ9；Ｃ11；Ｃ13〜Ｃ15）、
（Ｃ02）前記断面円形の外側流路（４ａ）の内周面（４ｄ）に弾性的に圧接する外径の拡大した外径拡大圧接部（２１a）を有する前記円筒状弾性側壁（２１）、
（Ｃ03）前記外側流路形成部材（４）の流路が開口する流路開口端面に当接して前記外側流路（４ａ）を密封する外側流路密封用当接部（２２a）を有する前記外方突出部分（２２）、
（Ｃ03ａ）前記リング状シール面（３ｃ）から離れて配置された前記内端壁（２３）。
【００１７】
（第３発明の作用）
前記構成を備えた第３発明の高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材では、プレス成形金属製の流路端装着部材（Ｃ6；Ｃ7；Ｃ9；Ｃ11；Ｃ13〜Ｃ15）は、外側流路形成部材（４）の断面円形の外側流路（４ａ）の端部に装着される。前記外側流路形成部材（４）は、内側流路形成部材（３）を軸方向に移動可能に収容し、前記内側流路形成部材（３）のガスの流路である内側流路（３ａ）が開口する内側流路開口端面の外側縁よりも内側において前記内側流路開口端面からリング状シール面（３ｃ）が突出する。また、（Ｃ6；Ｃ7；Ｃ9；Ｃ11；Ｃ13〜Ｃ15）は、前記内側流路（３ａ）内の面に接触する部位を有しない。
前記流路端装着部材（Ｃ6；Ｃ7；Ｃ9；Ｃ11；Ｃ13〜Ｃ15）の円筒状弾性側壁（２１）の外径の拡大した外径拡大圧接部（２１a）は、前記外側流路形成部材（４）の外側流路端部に挿入され且つ外側流路（４ａ）の内周面（４ｄ）に圧接する。この圧接により流路端装着部材（Ｃ6；Ｃ7；Ｃ9；Ｃ11；Ｃ13〜Ｃ15）は前記流路形成部材に保持される。前記円筒状弾性側壁（２１）の内端部に設けた内端壁（２３）は、円筒状弾性側壁（２１）の外端側から前記流路内への不純物の侵入を防止する。前記円筒状弾性側壁（２１）の外端部に形成された前記流路内に挿入されない外方突出部分（２２）は、作業者で手でつかむ部分である。作業者は前記外方突出部分（２２）を手でつかんで、流路形成部材への流路端装着部材（Ｃ6；Ｃ7；Ｃ9；Ｃ11；Ｃ13〜Ｃ15）の着脱作業を行う。
また、第３発明の流路端装着部材では、前記外方突出部分（２２）の外側流路密封用当接部（２２a）は前記外側流路形成部材（４）の流路が開口する流路開口端面に当接して前記外側流路（４ａ）を密封する。したがって、前記外側流路（４ａ）内部に不純物が付着するのを防止することができる。
さらに、第３発明の流路端装着部材では、前記内端壁（２３）が前記リング状シール面（３ｃ）から離れており、リング状シール面（３ｃ）の損傷を防止することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
（第１発明の実施の形態）
（第１発明の実施の形態１）
第１発明の実施の形態１の高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材は、前記第１発明の高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材において次の要件（Ａ06）を備えたことを特徴とする。
（Ａ06）前記円筒状端部の端面の外周部分に当接して前記流路を密封する密封用当接部（１２b）を有する前記外端壁（１２）。
【００１９】
（第１発明の実施の形態１の作用）
前記構成を備えた第１発明の実施の形態１の高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材では、前記外端壁（１２）の密封用当接部（１２b）は、前記円筒状端部の端面の外周部分に当接して前記流体路を密封する。したがって、流路（１ａ）内部に不純物が付着するのを防止することができる。
【００２０】
（第１発明の実施の形態２）
第１発明の実施の形態２の高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材は、前記第１発明の高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材において次の要件（Ａ07）を備えたことを特徴とする。
（Ａ07）前記円筒状端部の端面に開口する流路（１ａ）内に突出し且つ流路端部に当接して前記流体路を密封する密封用当接部（１２c）を有する前記外端壁（１２）。
【００２１】
（第１発明の実施の形態２の作用）
前記構成を備えた第１発明の実施の形態２の高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材では、前記外端壁（１２）の密封用当接部（１２c）は、前記円筒状端部の端面に開口する流路（１ａ）内に突出し且つ流路端部に当接して前記流体路を密封する。したがって、流路（１ａ）内部に不純物が付着するのを防止することができる。
【００２２】
（第３発明の実施の形態）
（第３発明の実施の形態１）
第３発明の実施の形態１の高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材は、前記第３発明において次の要件（Ｃ04）を備えたことを特徴とする。
（Ｃ04）前記内側流路形成部材（３）の流路が開口する内側流路開口端面に当接して前記内側流路（３ａ）を密封する内側流路密封用当接部（２３a）を有する前記内端壁（２３）。
【００２３】
（第３発明の実施の形態１の作用）
前記構成を備えた第３発明の実施の形態１の高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材では、前記内端壁（２３）の内側流路密封用当接部（２３a）は前記内側流路形成部材（３）の流路が開口する内側流路開口端面に当接して前記内側流路（３ａ）を密封する。したがって、前記内側流路（３ａ）内部に不純物が付着するのを防止することができる。
【００２４】
（第３発明の実施の形態２）
第３発明の実施の形態２の高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材は、前記第３発明の実施の形態１において次の要件（Ｃ05）を備えたことを特徴とする。
（Ｃ05）前記内側流路開口端面の外周縁に当接して前記内側流路（３ａ）を密封する密封用当接部（２３a）を有する前記内端壁（２３）。
【００２５】
（第３発明の実施の形態２の作用）
前記構成を備えた第３発明の実施の形態２の高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材では、前記内端壁（２３）の密封用当接部（２３a）は前記内側流路開口端面の外周縁に当接して前記内側流路（３ａ）を密封する。したがって、前記内側流路（３ａ）内部に不純物が付着するのを防止することができる。
【００２６】
【実施例】
次に図面を参照しながら、本発明の高純度ガスを移送する流路用の流路端装着部材の実施の形態の例（すなわち、実施例）を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【００２７】
（実施例１）
図１は本発明の実施例１の流路端装着部材の説明図で、図１Ａは流路端装着部材の底面図、図１Ｂは前記図１Ａの矢印ＩＢ−ＩＢ線断面図、図１Ｃは前記図１Ｂの矢印ＩＣから見た図である。図２は前記図１に示す流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す図で、図２Ａは流路端装着部材のみを断面で示す部分断面図、図２Ｂは流路形成部材に流路端装着部材が装着された状態の断面図である。
図２において、流路形成部材Ａは前記図１７、図１９Ａに示す第１流路形成部材Ａと同一の構成を有しているので、重複する詳細な説明は省略する。
図１、図２において流路端装着部材Ｃ1は、内部に流路１aが形成された流路形成部材Ａの前記流路端が開口する円筒状端部に着脱可能に装着される。前記流路端装着部材Ｃ1は、ステンレス薄板を使用してプレス成形と絞り加工により一体成形されたキャップ状の部品である。
【００２８】
前記流路端装着部材Ｃ1は、前記流路形成部材Ａの流管１および雄ナット２の端部（円筒状端部）が挿入される端部挿入口１１aを有する円筒状弾性側壁１１を有している。前記円筒状弾性側壁１１は、その軸方向に沿って内側に湾曲しており、前記軸方向中間部に、前記流路形成部材Ａの円筒状端部の外周面２ａに弾性的に圧接する内径の縮小した内径縮小圧接部１１bが設けられている。前記円筒状弾性側壁１１には弾性を大きくするために、３個の孔１１cが円周方向に等間隔の位置に形成されている。なお、前記孔１１cの数は３個以外の数とすることが可能であり、また、孔１１cを省略すること（形成しないこと）も可能である。
【００２９】
前記円筒状弾性側壁１１の外端部（前記端部挿入口１１aと反対側の端部）は、外端壁１２により閉塞されている。前記外端壁１２には外方に膨らんだ外方膨出部１２aが形成されており、前記外方膨出部１２aは、前記リング状シール面１ｃから離れた位置で前記リング状シール面１ｃを被覆している。
また、前記外端壁１２には、前記流路形成部材Ａの前記接続側端面１ｂの小径端面１ｂ1に当接して前記流路１ａを密封する密封用当接部１２bが設けられている。前記密封用当接部１２bは前記小径端面１ｂ1に形成されたリング状シール面１ｃの外側で前記小径端面１ｂ1に当接している。
【００３０】
（実施例１の作用）
前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1は、円筒状弾性側壁１１の内径縮小圧接部１１bが前記流路形成部材Ａの外周面２ａに弾性的に圧接した状態で装着され、固定される。前記流路端装着部材Ｃ1の密封用当接部１２bが流路形成部材Ａのリング状シール面１ｃの外側で前記小径端面１ｂ1に当接している。したがって、前記リング状シール面１ｃおよび流路１ａの内部が密封されるので、不純物が流路１ａ内に付着することを防止することができる。
また、流路端装着部材Ｃ1は外方膨出部１２aが設けられているので、流路形成部材Ａの端部に装着されたとき、リング状シール面１ｃと接触しない。このため前記流路端装着部材Ｃ1は、流路形成部材Ａのリング状シール面１ｃに傷を付けることがない。
【００３１】
前記流路端装着部材Ｃ1は、金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として容易に製造することができる。また、金属材料は前記流路形成部材Ａに装着するときに擦れても、樹脂材料に比較して磨耗粉が発生し難い。また、樹脂材料と異なり放出ガスの発生がなく、放出ガスが流路１ａに付着することもない。このため、前記流路形成部材Ａを半導体製造装置のガス供給路で使用しても、不純物の少ない高純度のガスを供給することができる。製造される半導体部品の歩留りを向上させることができる。
また、金属材料の流路端装着部材Ｃ1は、劣化が少なく、何度も繰り返して使用することができる。
【００３２】
（参考例１）
図３は本発明の参考例１の流路端装着部材の説明図で、図３Ａは流路端装着部材の底面図、図３Ｂは前記図３Ａの矢印IIIＢ−IIIＢ線断面図、図３Ｃは前記図３Ｂの矢印IIIＣから見た図である。図４は前記図１に示す流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す図である。
図４において、流路形成部材Ａは前記図１７、図１９Ａに示す第１流路形成部材Ａと同一の構成を有しているので、重複する詳細な説明は省略する。
図３、図４において、参考例１の流路端装着部材Ｃ2は、流路形成部材Ａの流管１のリング状シール面１ｃが設けられた端部（図４で左端部）とは反対側の端部（図４で右端部）に装着される。
この参考例１の流路端装着部材Ｃ2は、図４から分かるように前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1に比べて小型であり、前記実施例１の外方膨出部１２aに相当する部分が省略されている。
【００３３】
参考例１の流路端装着部材Ｃ2は、前記流路形成部材Ａの流管１の端部（図４の左端部、円筒状端部）が挿入される端部挿入口１６aを有する円筒状弾性側壁１６を有している。前記円筒状弾性側壁１６は、その軸方向に沿って内側に湾曲しており、前記軸方向中間部に、前記流路形成部材Ａの円筒状端部の外周面に弾性的に圧接する内径の縮小した内径縮小圧接部１６bが設けられている。前記円筒状弾性側壁１６には３個の孔が形成されている。前記円筒状弾性側壁１６の外端は平板状の外端壁１７により閉塞されている。前記外端壁１７の内面は流管１の端面（図４で右端面）に当接して、流管１の端部を密封する密封用当接部１７として構成されている。
【００３４】
（参考例１の作用）
参考例１の流路端装着部材Ｃ2は、円筒状弾性側壁１６の内径縮小圧接部１６bが前記流路形成部材Ａの流管１の外周面に弾性的に圧接した状態で装着され、固定される。前記流路端装着部材Ｃ1の密封用当接部が流路形成部材Ａの流管１の端面に当接している。したがって、前記流管１の端部の流路１ａの内部が流路端装着部材Ｃ2により密封されるので、不純物が流路１ａ内に付着することを防止することができる。
また、前記流路端装着部材Ｃ2も金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として製造しているため、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様に、不純物の少ない高純度のガスを供給することができる。したがって、製造される半導体部品の歩留りを向上させることができる。また、金属材料の流路端装着部材Ｃ2は、劣化が少なく、何度も繰り返して使用することができる。
【００３５】
（実施例２）
図５は本発明の実施例２の流路端装着部材の説明図である。
図５において、流路形成部材Ａは前記図１７、図１９Ａに示す第１流路形成部材Ａと同一の構成を有しているので、重複する詳細な説明は省略する。実施例２の流路端装着部材Ｃ3構成要素で、前記実施例１と同様の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して重複する詳細な説明は省略する。
図５において、実施例２の流路端装着部材Ｃ3は、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様の円筒状弾性側壁１１を有しているが、外端壁１２の密封用当接部１２bの位置が流路端装着部材Ｃ1と異なっている。
すなわち、この実施例２の流路端装着部材Ｃ3の密封用当接部１２bは円筒状弾性側壁１１内面の大径端面１ｂ2に圧接している。
この実施例２の流路端装着部材Ｃ3も金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として製造しているため、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様に、製造される半導体部品の歩留りを向上させることができるとともに、何度も繰り返して使用することができる。
【００３６】
（実施例３）
図６は本発明の実施例３の流路端装着部材の説明図である。
図６において、流路形成部材Ａは前記図１７、図１９Ａに示す第１流路形成部材Ａと同一の構成を有しているので、重複する詳細な説明は省略する。実施例３の流路端装着部材Ｃ4構成要素で、前記実施例１と同様の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して重複する詳細な説明は省略する。
図６において、実施例３の流路端装着部材Ｃ4は、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様の円筒状弾性側壁１１を有しているが、外端壁１２の形状が流路端装着部材Ｃ1と異なっている。
すなわち、この実施例３の流路端装着部材Ｃ4の外端壁１２は全体的に外方に膨出している。そして、前記外端壁１２は流路形成部材Ａの小径端面１ｂ1の外端縁に当接しており、その当接部により密封用当接部１２bが形成されている。また、前記密封用当接部１２bよりも外端の膨出部により実施例３の外方膨出部１２aが形成されている。
この実施例３の流路端装着部材Ｃ4も金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として製造しているため、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様に、製造される半導体部品の歩留りを向上させることができるとともに、何度も繰り返して使用することができる。
【００３７】
（参考例２）
図７は本発明の参考例２の流路端装着部材の説明図である。
図７において、流路形成部材Ａは前記図１７、図１９Ａに示す第１流路形成部材Ａと同一の構成を有しているので、重複する詳細な説明は省略する。参考例２の流路端装着部材Ｃ5構成要素で、前記実施例１と同様の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して重複する詳細な説明は省略する。
図７において、参考例２の流路端装着部材Ｃ5は、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様の円筒状弾性側壁１１を有しているが、外端壁１２の形状が実施例１の流路端装着部材Ｃ1と異なっている。
すなわち、この参考例２の流路端装着部材Ｃ5の外端壁１２はその中央部に前記形成部材Ａの流路１a内に突出する突出部１２cが形成されている。前記突出部１２cは、前記流路１aの内周部分に当接しており、前記凹部の当接部により密封用当接部１２ｃが形成されている。
【００３８】
この参考例２の流路端装着部材Ｃ5も金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として製造しているため、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様に、前記流路端装着部材Ｃ5が装着されていた流路形成部材Ａを半導体製造装置のガス供給路で使用しても、不純物の少ない高純度のガスを供給することができる。したがって、製造される半導体部品の歩留りを向上させることができる。また、金属材料の流路端装着部材Ｃ5は、劣化が少なく、何度も繰り返して使用することができる。
【００３９】
（実施例４）
図８は本発明の実施例４の流路端装着部材の説明図で、図８Ａは流路端装着部材の底面図、図８Ｂは前記図８Ａの矢印ＶIIIＢ−ＶIIIＢ線断面図、図８Ｃは前記図８Ｂの矢印ＶIIIＣから見た図である。図９は前記図８に示す流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す断面図である。
図９において、流路形成部材Ｂは前記図１８、図１９Ｂに示す第２流路形成部材Ｂと同一の構成を有しているので、重複する詳細な説明は省略する。
図９において流路形成部材Ｂは、流管（内側流路形成部材）３および雌ナット（外側流路形成部材）４により構成されており、流管３は雌ナット４の接続側端面４ｂ側から流路４ａに挿入され、ナット装着部３ｅは嵌合孔４ｃに嵌合する。すなわち、雌ナット４の嵌合孔４ｃは前記ナット装着部３ｅに回転可能且つスライド可能に装着される。
【００４０】
図８、図９において、実施例４の流路端装着部材Ｃ6は、流管（内側流路形成部材）３を軸方向に移動可能に収容する雌ナット（外側流路形成部材）４の断面円形の外側流路４ａの端部に装着されるプレス成形金属製の部材である。
前記流路端装着部材Ｃ6は、前記外側流路４ａ端部に挿入される円筒状弾性側壁２１と、前記円筒状弾性側壁２１の外端部に設けた前記外側流路４ａ内に挿入されない外方突出部分２２と、前記円筒状弾性側壁２１の内端部に設けた内端壁２３とを有する。
前記円筒状弾性側壁２１は、その軸方向に沿って外側に湾曲しており、前記軸方向中間部には、前記流路形成部材Ｂの円筒状端部の内周面４ｄに弾性的に圧接する外径の拡大した外径拡大圧接部２１aが設けられている。
前記円筒状弾性側壁２１には弾性を大きくするために、３個の孔２１ｃが円周方向に等間隔の位置に形成されている。なお、前記孔２１ｃの数は３個以外の数とすることが可能であり、また、孔２１ｃを省略すること（形成しないこと）も可能である。
前記外方突出部分２２は、雌ナット４の接続側端面４ｂに当接する密封用当接部２２aを有する。
前記円筒状弾性側壁２１の内端部は内端壁２３により閉塞されている。前記内端壁２３には、その中央部に前記形成部材Ｂの内側流路３ａ内に突出する突出部２３aが形成されており、突出部２３aと内側流路内周面３ｆとの間にはわずかな隙間が形成されている。そして、流管３が移動した場合突出部２３aと内側流路内周面とが接触するようになっているため、前記流管３の移動量は少ない。
【００４１】
（実施例４の作用）
前記実施例４の流路端装着部材Ｃ6は、円筒状弾性側壁２１の外径拡大圧接部２１aが前記流路形成部材Ｂの内周面４ｄに弾性的に圧接した状態で装着され、固定される。前記密封用当接部２２aは、接続側端面４ｂに当接しているため、外側流路４ａの内部が密封されるので、不純物が前記外側流路４ａ内に付着することを防止できる。
また、流路端装着部材Ｃ6が、流路形成部材Ｂの端部に装着された状態で流管３が移動したとき、内側流路内周面３ｆが突出部２３aに接触し、リング状シール面３ｃは内端壁２３と接触しない。このため前記流路端装着部材Ｃ6は、流路形成部材Ｂのリング状シール面３ｃに傷を付けることがない。
また、作業者は前記外方突出部分２２を手でつかんで、流路形成部材Ｂへの流路端装着部材Ｃ6の着脱作業を行う。
この実施例４の流路端装着部材Ｃ6も金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として製造しているため、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様に製造される半導体部品の歩留りを向上させることができるとともに、何度も繰り返して使用することができる。
【００４２】
（実施例５および参考例３）
図１０は本発明の実施例５および参考例３の流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す断面図である。図１０において、流路端装着部材Ｃ7は実施例５の流路端装着部材、流路端装着部材Ｃ8は参考例３の流路端装着部材を示す。
図１０において、流路形成部材Ｂは前記実施例４（図９参照）に示す第２流路形成部材Ｂと同一の構成を有しているので、重複する詳細な説明は省略する。
（実施例５）
この実施例５の流路端装着部材Ｃ7の構成要素で前記実施例４と同様の構成要素に対応するものについては同一の符号を付して重複する詳細な説明は省略する。
図１０において、実施例５の流路端装着部材Ｃ7は前記実施例４の流路端装着部材Ｃ6と同様の円筒弾性側壁２１を有しているが、外方突出部分２２が当接する密封用当接部２２aの位置が前記実施例４の流路端装着部材Ｃ6と異なっている。
すなわち、この実施例５の密封用当接部２２aは前記接続側端面４ｂの内周縁４ｂ1に当接している。したがって、外側流路４ａの内部が密封されるので、不純物が前記外側流路４ａ内に付着することを防止できる。
この実施例５の流路端装着部材Ｃ7も金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として製造しているため、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様に製造される半導体部品の歩留りを向上させることができるとともに、何度も繰り返して使用することができる。
【００４３】
（参考例３）
図１０において、参考例３の流路端装着部材Ｃ8は、流路形成部材Ｂの流管３のリング状シール面３ｃが設けられた端部（図１０で右端部）とは反対側の端部（図１０で左端部）に装着されるプレス成形金属製の部材である。
前記流路端装着部材Ｃ8は内側流路３ａに挿入される円筒状弾性壁３１と、前記円筒状弾性壁３１の外端部に設けた前記内側流路３ａ内に挿入されない外方突出部分３２と、前記円筒状弾性壁３１の内端部を閉塞する内端壁３３とを有する。
前記円筒状弾性壁３１は、その軸方向に沿って湾曲しており、内側流路３ａの内周面３ｆに弾性的に圧接する外径の拡大した外径拡大圧接部３１aが設けられている。
前記円筒状弾性側壁２１には弾性を大きくするために、図示しない３個の孔２１ｃが円周方向に等間隔の位置に形成されている。
前記外方突出部分３２は、内側流路３ａの開口端面内周縁３ａ1に当接する密封用当接部３２aを有する。
【００４４】
（参考例３の作用）
前記参考例３の流路端装着部材Ｃ8は前記外径拡大圧接部３１aが前記内側流路３ａに弾性的に圧接した状態で装着され、固定される。
さらに、前記流路端装着部材Ｃ8は、前記密封用当接部３２aが内周縁３ａ1に当接し、内端壁３３により閉塞されているため、内側流路３ａの内部が密封され、不純物が前記内側流路３ａ内に付着することを防止できる。
この参考例３の流路端装着部材Ｃ8も金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として製造しているため、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様に製造される半導体部品の歩留りを向上させることができるとともに、何度も繰り返して使用することができる。
【００４５】
（実施例６および参考例４）
図１１は本発明の実施例６および参考例４の流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す断面図である。図１０において、流路端装着部材Ｃ9は実施例６の流路端装着部材、流路端装着部材Ｃ10は参考例４の流路端装着部材を示す。
図１１において、流路形成部材Ｂは前記実施例４（図９参照）に示す第２流路形成部材Ｂと同一の構成を有しているので、重複する詳細な説明は省略する。
（実施例６）
この実施例６の流路端装着部材Ｃ9の構成要素で前記実施例４と同様の構成要素に対応するものについては同一の符号を付して重複する詳細な説明は省略する。
図１１において、実施例６の流路端装着部材Ｃ9は前記実施例４の流路端装着部材Ｃ6と同様の円筒弾性側壁２１を有しているが、外方突出部分２２が当接する密封用当接部２２aの位置が前記実施例４の流路端装着部材Ｃ6と異なっている。
すなわち、この実施例６の外方突出部分２２の外端部に折り返し部分が形成され、密封用当接部２２aが前記接続側端面４ｂの外周縁４ｂ2に当接している。
この実施例６の流路端装着部材Ｃ9も金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として製造しているため、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様に製造される半導体部品の歩留りを向上させることができるとともに、何度も繰り返して使用することができる。
【００４６】
（参考例４）
図１１において、参考例４の流路端装着部材Ｃ10は前記参考例３の流路端装着部材Ｃ8と同様の円筒弾性側壁３１を有しているが、外方突出部分３２が当接する密封用当接部３２aの位置が前記参考例３の流路端装着部材Ｃ8（図１０参照）と異なっている。
すなわち、この参考例４の外方突出部分２２の外端部に折り返し部分が形成され、密封用当接部３２aが前記開口端面外周縁３ａ2に当接している。
この参考例４の流路端装着部材Ｃ10も金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として製造しているため、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様に製造される半導体部品の歩留りを向上させることができるとともに、何度も繰り返して使用することができる。
【００４７】
（実施例７および参考例５）
図１２は本発明の実施例７および参考例５の流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す断面図である。図１２において、流路端装着部材Ｃ11は実施例７の流路端装着部材、流路端装着部材Ｃ12は参考例５の流路端装着部材を示す。
図１２において、流路形成部材Ｂは前記実施例６（図１１参照）に示す第２流路形成部材Ｂと同一の構成を有しているので、重複する詳細な説明は省略する。
（実施例７）
この実施例７の流路端装着部材Ｃ11の構成要素で前記実施例６と同様の構成要素に対応するものについては同一の符号を付して重複する詳細な説明は省略する。
図１２において、実施例７の流路端装着部材Ｃ11は前記実施例６の流路端装着部材Ｃ9と同様の円筒弾性側壁２１を有しているが、外方突出部分２２が当接する密封用当接部２２aの位置が前記実施例６の流路端装着部材Ｃ9と異なっている。
すなわち、この実施例７の前記密封用当接部２２aは、外側流路４ａの開口する端部外側に形成されている円筒外側面４ｆに圧接しているので、外側流路４ａの内部が密封され、不純物が前記外側流路４ａ内に付着することを防止できる。
この実施例７の流路端装着部材Ｃ11も金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として製造しているため、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様に製造される半導体部品の歩留りを向上させることができるとともに、何度も繰り返して使用することができる。
【００４８】
（参考例５）
図１２において、参考例５の流路端装着部材Ｃ12は前記参考例４（図１１参照）の流路端装着部材Ｃ10と同様の円筒弾性側壁３１を有しているが、外方突出部分３２が内側流路３ａの開口端面に当接する密封用当接部３２aの位置が前記参考例４の流路端装着部材Ｃ10と異なっている。
すなわち、この参考例５の前記密封用当接部３２aは、内側流路３ａの開口する端部外側に形成されている開口端面外側面３ｇに当接している。したがって、内側流路３ａの内部が密封され、不純物が前記内側流路３ａ内に付着することを防止できる。
この参考例５の流路端装着部材Ｃ12も金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として製造しているため、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様に製造される半導体部品の歩留りを向上させることができるとともに、何度も繰り返して使用することができる。
【００４９】
（実施例８）
図１３は本発明の実施例８の流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す断面図である。
図１３において、流路形成部材Ｂは前記実施例４（図９参照）に示す第２流路形成部材Ｂと同一の構成を有しているので、重複する詳細な説明は省略する。
この実施例８の流路端装着部材Ｃ13の構成要素で前記実施例４と同様の構成要素に対応するものについては同一の符号を付して重複する詳細な説明は省略する。
図１３において、実施例８の流路端装着部材Ｃ13は前記実施例４の流路端装着部材Ｃ6と同様の円筒弾性側壁２１を有しているが、前記円筒状弾性側壁２１が閉塞されている内端部の内端壁２３が前記実施例４流路端装着部材Ｃ6と異なっている。
この実施例８の前記内端壁２３には、その外周部が流管３側に突出する突出部２３aが形成されている。前記突出部２３aと内側流路３ａの接続側端面３ｂに形成された小径端面３ｂ1との間にはわずかな隙間があり、流管３が移動した場合、前記突出部２３aと前記小径端面３ｂ1とが接触するようになっているので、リング状シール面３ｃは前記内端壁２３と接触しない。このため前記流路端装着部材Ｃ13は、流路形成部材Ｂのリング状シール面３ｃに傷を付けることがない。
また、接続側端面４ｂに当接する密封用当接部２２aにより内側流路３ａの内部が密封されるので、不純物が前記内側流路３ａ内に付着することを防止できる。
この実施例８の流路端装着部材Ｃ13も金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として製造しているため、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様に製造される半導体部品の歩留りを向上させることができるとともに、何度も繰り返して使用することができる。
【００５０】
（実施例９）
図１４は本発明の実施例９の流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す断面図である。
図１４において、流路形成部材Ｂは前記実施例８（図１３参照）に示す第２流路形成部材Ｂと同一の構成を有しているので、重複する詳細な説明は省略する。
この実施例９の流路端装着部材Ｃ14の構成要素で前記実施例８と同様の構成要素に対応するものについては同一の符号を付して重複する詳細な説明は省略する。
図１４において、実施例９の流路端装着部材Ｃ14は前記実施例８の流路端装着部材Ｃ13と同様の円筒弾性側壁２１を有しているが、前記円筒状弾性側壁２１の外端部に設けた前記外側流路４ａ内に挿入されない外方突出部分２２と、前記円筒状弾性側壁２１の内端部に設けた内端壁２３が前記実施例８の流路端装着部材Ｃ13と異なっている。
【００５１】
また、前記内端壁２３には、その外周部が流管３側に突出する突出部２３aが形成されており、内側流路３ａの接続側端面３ｂに形成された小径端面３ｂ1と当接され固定されている。そのため、外方突出部分２２は、雌ナット４の接続側端面４ｂに当接しない。
前記流路端装着部材Ｃ14は、流路形成部材Ｂのリング状シール面３ｃに傷を付けることがなく、不純物が内側流路３ａ内に付着することを防止できる。
この実施例９の流路端装着部材Ｃ14も金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として製造しているため、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様に製造される半導体部品の歩留りを向上させることができるとともに、何度も繰り返して使用することができる。
【００５２】
（実施例１０）
図１５は本発明の実施例１０の流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す断面図である。
図１５において、流路形成部材Ｂは前記実施例９（図１４参照）に示す第２流路形成部材Ｂと同一の構成を有しているので、重複する詳細な説明は省略する。
この実施例１０の流路端装着部材Ｃ15の構成要素で前記実施例９と同様の構成要素に対応するものについては同一の符号を付して重複する詳細な説明は省略する。
図１５において、実施例１０の流路端装着部材Ｃ15は前記実施例９の流路端装着部材Ｃ14と同様の円筒弾性側壁２１を有しているが、前記円筒状弾性側壁２１の内端部に設けた内端壁２３が前記実施例９の流路端装着部材Ｃ14と異なっている。
【００５３】
前記内端壁２３は、その外周部が流管３側に突出する突出部２３aが形成されており、前記突出部２３aと内側流路３ａの接続側端面３ｂに形成された小径端面３ｂ1の外周縁に当接され固定されている。したがって、前記流路端装着部材Ｃ15は、流路形成部材Ｂのリング状シール面３ｃに傷を付けることがなく、不純物が内側流路３ａ内に付着することを防止できる。
この実施例１０の流路端装着部材Ｃ15も金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として製造しているため、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様に製造される半導体部品の歩留りを向上させることができるとともに、何度も繰り返して使用することができる。
【００５４】
（参考例６）
図１６は本発明の参考例６の流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す断面図である。
図１６において、流路形成部材Ｂは前記実施例４（図９参照）に示す第２流路形成部材Ｂと同一の構成を有しているので、重複する詳細な説明は省略する。
この参考例６の流路端装着部材Ｃ16の構成要素で前記実施例４と同様の構成要素に対応するものについては同一の符号を付して重複する詳細な説明は省略する。
図１６において、参考例６の流路端装着部材Ｃ16は前記実施例４の流路端装着部材Ｃ6と同様の円筒弾性側壁２１を有しているが、前記円筒状弾性壁２１の外端部に設けた外側流路４ａ内に挿入されない外方突出部分２２と、前記円筒状弾性側壁２１の内端部に設けた内端壁２３が前記実施例４の流路端装着部材Ｃ6と異なっている。
【００５５】
前記内端壁２３は、その中央部に前記形成部材Ｂの内側流路３ａ内に突出する突出部２３aが形成されており、突出部２３aと内側流路内周面３ｆとが当接され、流管３は固定されている。前記外方突出部分２２は、雌ナット４の接続側端面４ｂに当接せず、また流路形成部材Ｂのリング状シール面３ｃは前記内端壁２３と接触しない。
前記流路端装着部材Ｃ15は、流路形成部材Ｂのリング状シール面３ｃに傷を付けることがなく、不純物が内側流路３ａ内に付着することを防止できる。
この参考例６の流路端装着部材Ｃ16も金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として製造しているため、前記実施例１の流路端装着部材Ｃ1と同様に製造される半導体部品の歩留りを向上させることができるとともに、何度も繰り返して使用することができる。
【００５６】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更実施例を下記に例示する。
（Ｈ01）  本発明の流路端装着部材は、前記実施例に示した流路形成部材Ａ，Ｂ以外の種々の流路形成部材に使用することが可能である。
（Ｈ02）  流路端装着部材（Ｃ1〜Ｃ16）が薄板材料から構成されている場合、外端縁で作業者が手を怪我しないように、外端縁を折り返しておくことが可能である。
【００５７】
【発明の効果】
前述の本発明の流路端装着部材は、下記の効果（Ｅ01）〜（Ｅ07）を奏する。
（Ｅ01）不純物が流路内に付着することを防止することができる。
（Ｅ02）流路形成部材のリング状シール面に傷を付けることを防止できる。
（Ｅ03）金属薄板をプレス加工および絞り加工して一体成形品として容易に製造することができる。
（Ｅ04）金属材料は樹脂材料に比較して磨耗粉が発生し難い。
（Ｅ05）放出ガスの発生がなく、放出ガスが流路に付着することがないため、不純物の少ない高純度のガスを供給することができる。
（Ｅ06）製造される半導体部品の歩留りを向上させることができる。
（Ｅ07）劣化が少なく、何度も繰り返して使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は本発明の実施例１の流路端装着部材の説明図で、図１Ａは流路端装着部材の底面図、図１Ｂは前記図１Ａの矢印ＩＢ−ＩＢ線断面図、図１Ｃは前記図１Ｂの矢印ＩＣから見た図である。
【図２】  図２は前記図１に示す流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す図で、図２Ａは流路端装着部材のみを断面で示す部分断面図、図２Ｂは流路形成部材に流路端装着部材が装着された状態の断面図である。
【図３】  図３は本発明の参考例１の流路端装着部材の説明図で、図３Ａは流路端装着部材の底面図、図３Ｂは前記図３Ａの矢印IIIＢ−IIIＢ線断面図、図３Ｃは前記図３Ｂの矢印IIIＣから見た図である。
【図４】  図４は前記図１に示す流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す図である。
【図５】  図５は本発明の実施例２の流路端装着部材の説明図である。
【図６】  図６は本発明の実施例３の流路端装着部材の説明図である。
【図７】  図７は本発明の参考例２の流路端装着部材の説明図である。
【図８】  図８は本発明の実施例４の流路端装着部材の説明図で、図８Ａは流路端装着部材の底面図、図８Ｂは前記図８Ａの矢印ＶIIIＢ−ＶIIIＢ線断面図、図８Ｃは前記図８Ｂの矢印ＶIIIＣから見た図である。
【図９】  図９は前記図８に示す流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す断面図である。
【図１０】  図１０は本発明の実施例５および参考例３の流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す断面図である。
【図１１】  図１１は本発明の実施例６および参考例４の流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す断面図である。
【図１２】  図１２は本発明の実施例７および参考例５の流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す断面図である。
【図１３】  図１３は本発明の実施例８の流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す断面図である。
【図１４】  図１４は本発明の実施例９の流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す断面図である。
【図１５】  図１５は本発明の実施例１０の流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す断面図である。
【図１６】  図１６は本発明の参考例６の流路端装着部材を流路形成部材に装着した状態を示す断面図である。
【図１７】  図１７は一般的に使用されている複数の流路形成部材を連結した状態を示す図である。
【図１８】  図１８は前記図１７の連結した複数の流路形成部材を分解した状態を示す図である。
【図１９】  図１９は流路形成部材の出荷時の梱包状態の説明図で、図１９Ａは前記図１８の第１流路形成部材の梱包状態の説明図、図１９Ｂは前記図１８の第２流路形成部材の梱包状態の説明図である。
【符号の説明】
Ａ，Ｂ…流路形成部材、Ｃ1〜Ｃ16…流路端装着部材、
１ａ，３ａ…流路、３…内側流路形成部材（流管）、４…外側流路形成部材（雌ナット）、１ｃ，３ｃ…リング状シール面、４ａ…外側流路、４ｂ2，３ａ2…外周縁、３ｆ，４ｄ…流路内周面、３ｇ，４ｆ…円筒外側面、１１，１６，２１，３１…円筒状弾性側壁、１１b，１６b…内径縮小圧接部、１２b，２２a，２３a，３２a…密封用当接部、１２，１７…外端壁、２１a，３１a…外径拡大圧接部、２２，３２…外方突出部分、２３，３３…内端壁。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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