(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一又は二以上の半導体ウェハを積み重ねて容器に収容するときに、前記容器の底部、半導体ウェハの上部、あるいは半導体ウェハと半導体ウェハの間に、半導体ウェハを衝撃から保護する目的で挿入される半導体ウェハ包装部材であって、クッション材と、そのクッション材の上下両面に一体的に設けられた、導電性又は帯電防止性を有するバキューム吸着可能なウェハ保護シートとを備え、前記ウェハ保護シート付きの前記クッション材はウェハ梱包移載装置のバキューム吸着機構によりハンドリングすることが可能であることを特徴とする半導体ウェハ包装部材。
【請求項２】
前記クッション材は、ウレタンフォームを素材とすることを特徴とする請求項１記載の半導体ウェハ包装部材。
【請求項３】
前記クッション材は、厚さが１ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１又は２記載の半導体ウェハ包装部材。
【請求項４】
前記ウェハ保護シートは、粘着材を介して、前記クッション材に貼り合わされていることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の半導体ウェハ包装部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハ包装容器に半導体ウェハを梱包する際に使用する半導体ウェハ包装部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図４は、従来のクッション材とウェハ保護シートを用いて、ウェハ包装容器に半導体ウェハを梱包するときの手順を示した図である。
【０００３】
ウェハ梱包容器に半導体ウェハを梱包するときは、まず、作業者が手作業で、ウェハ包装容器１００の本体１００ａ内の底部に、クッション材１０１を必要な枚数だけ入れる（図４では１枚）。そして、このウェハ包装容器本体１００をウェハ梱包移載装置（不図示）にセットし、その後はウェハ梱包移載装置が自動的にウェハ保護シート１０２及び半導体ウェハ１０３を、この順番に交互に所定の枚数ずつ入れ、そして、最上部の半導体ウェハ１０３の上にウェハ保護シート１０２を１枚入れる。このときウェハ梱包移載装置は、ウェハ包装容器１００の構造的な理由により、バキューム吸着によってウェハ保護シート１０２及び半導体ウェハ１０３をハンドリングする。最後に、作業者が手作業で、クッション材１０１を必要枚数だけ入れて（図４では１枚）、蓋１００ｂによってウェハ包装容器に蓋をし、梱包作業を終了する。
【０００４】
上記のクッション材１０１は、輸送中の衝撃などから半導体ウェハを保護するためのものであり、衝撃吸収性の高い発泡性のポリエチレン、ウレタンフォーム、その他の樹脂でできている。また、ウェハ保護シート１０２は、積み重ねられる半導体ウェハ同士の接触によって表面が損傷を受けるのを防止するためのものである。
【０００５】
ウェハ包装容器１００から半導体ウェハを取り出すときは、まず、作業者が手作業で蓋１００ｂを外し、最上部のクッション材１０１を取り除く。この状態でウェハ包装容器１００をウェハ梱包移載装置にセットし、ウェハ保護シート１０２、半導体ウェハ１０３を順次自動的に取り出す。このときも、ウェハ梱包移載装置は、バキューム吸着によって、ウェハ保護シート１０２及び半導体ウェハ１０３をハンドリングする。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、クッション材１０１は、前述のように発泡性のポリエチレンなどからできており、多数の穴があいているため、バキューム吸着ができない。したがってウェハ梱包移載装置は、バキューム吸着によってクッション材１０１を自動でハンドリングすることができない。このため、クッション材１０１については、上記のように作業者が手作業で，挿入したり取り除いたりしなければならず、このため全体的な作業効率が低下するという問題があった。
【０００７】
さらに、輸送時における半導体ウェハの耐衝撃性を強化するために、半導体ウェハをウェハ包装容器に梱包する際に、ウェハとウェハの間にもクッション材を挿入する場合がある。この場合も、前述のように、ウェハ梱包移載装置によって自動でクッション材をハンドリングすることができないことから、梱包時にはクッション材を挿入するところで、また、半導体ウェハを取り出すときにはクッション材を取り出すところで、一旦ウェハ梱包移載装置による自動作業を中断し、作業者の手作業によって、クッション材を取り扱わなくてはならない。このため、さらに全体の作業効率が低下するという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような技術的課題を解決すべくなされたものであり、その目的は、半導体ウェハを、クッション材やウェハ保護シートとともにウェハ包装容器に出し入れする際の作業効率を高めることができる半導体ウェハ包装部材を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１記載の発明は、一又は二以上の半導体ウェハを積み重ねて容器に収容するときに、前記容器の底部、半導体ウェハの上部、あるいは半導体ウェハと半導体ウェハの間に、半導体ウェハを衝撃から保護する目的で挿入される半導体ウェハ包装部材であって、クッション材と、そのクッション材の上下両面に一体的に設けられた、導電性又は帯電防止性を有するバキューム吸着可能なウェハ保護シートとを備え、前記ウェハ保護シート付きの前記クッション材はウェハ梱包移載装置のバキューム吸着機構によりハンドリングすることが可能であることを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の半導体ウェハ包装部材において、前記クッション材は、ウレタンフォームを素材とすることを特徴する。
【００１１】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の半導体ウェハ包装部材において、前記クッション材は厚さが１ｍｍ以上であることを特徴とする。
【００１２】
請求項４記載の発明は、請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の半導体ウェハ包装部材において、前記ウェハ保護シートは、粘着材を介して、前記クッション材に貼り合わされていることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して、本発明の実施の一形態に係る半導体ウェハ包装部材について説明する。
【００１４】
図１は、本実施形態の半導体ウェハ包装部材である保護シート付きクッション材を拡大して示した断面図である。この保護シート付きクッション材１０は、平面状のクッション材２０の上下に、粘着材２２を介してウェハ保護シート２４を貼り合わせた構造となっている。
【００１５】
ここで、クッション材２０の材質としては、非帯電ウレタンフォームであって、十分な衝撃吸収効果を考慮して、厚さが１ｍｍ以上（望ましくは５ｍｍ以上）のものを使用する。また、粘着材２２としては、アクリル系感圧粘着材、あるいはアクリル溶剤系粘着材を使用することができる。さらに、ウェハ保護シート２４としては、ＳＴ−ｆｉｂｅｒ入り導電性オレフィン系合成紙（アキレス製）、帯電防止発泡樹脂（ポリエチレン）（Ｕｌｔｒａ社製）、あるいは特開平１１−１０２９５５号公報に開示されている保護シートに使われている素材などを使用することができる。
【００１６】
前述のようにクッション材２０は発泡性で多数の穴があいているため、そのままではバキューム吸着はできないが、上で述べたようにクッション材２０の上下にウェハ保護シート２４を設けることによって穴か塞がれる。これにより、保護シート付きクッション材１０の全体をバキューム吸着できるようになり、したがってウェハ梱包移載装置によって自動的に保護シート付きクッション材１０をハンドリングすることが可能となる。
【００１７】
図２は、上記の保護シート付きクッション材１０を使って半導体ウェハを梱包する場合の一つの態様を示した断面図である。図２では、保護シート付きクッション材１０を、包装容器１００の底部及び最上部に入れ、これらの間に半導体ウェハ１０２と保護シート１０３を入れている。
【００１８】
このような態様で梱包する場合には、まず、ウェハ包装容器１００の本体１００ａをウェハ梱包移載装置にセットする。そして、ここへ指定された枚数（図２では１枚）の保護シート付きクッション材１０を挿入し、続けて、半導体ウェハ１０２、ウェハ保護シート１０３を交互に所定枚数だけ挿入し、最後に、この上に指定された枚数（図２では１枚）の保護シート付きクッション材１０を載置する。この場合、半導体ウェハ１０２及びウェハ保護シート１０３だけでなく、保護シート付きクッション材１０の挿入についても、ウェハ梱包移載装置のバキューム吸着機構によって自動的にハンドリングすることができるので、作業者による手作業は不要となる。また、梱包容器１００から半導体ウェハを取り出す場合にも、同様に、ウェハ梱包移載装置のバキューム吸着機構によって、すべて自動的にハンドリングすることができるので、作業者の手間はかからない。
【００１９】
図３は、保護シート付きクッション材１０を使って半導体ウェハを梱包する場合の別の態様を示した断面図である。図３では、保護シート付きクッション材１０を包装容器１００の底部及び最上部に入れ、これらの間に半導体ウェハ１０２と保護シート１０３を交互に入れるとともに、さらに、半導体ウェハ１０２と保護シート１０３を交互に入れている途中にも保護シート付きクッション材１０を挿入している。図３の場合にも、半導体ウェハ１０２、ウェハ保護シート１０３、並びに保護シート付きクッション材１０のすべてを、ウェハ梱包移載装置のバキューム吸着機構によって自動的にハンドリングすることができるので、作業者による手作業は不要となる。また、梱包容器１００から半導体ウェハを取り出す場合にも、同様である。
【００２０】
なお、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の各請求項に記載した要旨の範囲内において種々の変更が可能であり、それらも本発明の技術的範囲に含まれる。例えば、上記の実施の形態では、クッション材として非帯電ウレタンウォームを使用したが、これ以外にも、例えば帯電防止発泡樹脂（ポリエチレン）その他の樹脂を使用することもできる。
【００２１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、クッション材の上下にウェハ保護シートを貼り合わせた構造としたことにより、全体をバキューム吸着できるようになる。このため、クッション材を容器の底部に置いたり、積み重ねた半導体ウェハの最上部に載置したり、複数の半導体ウェハの途中に挿入するとき、あるいは容器から半導体ウェハを取り出すときに、従来のように作業者が手作業でクッション材を出し入れする代わりに、すべてをウェハ梱包移載装置によって自動的にハンドリングすることが可能となる。このため、作業者の手間が省かれ、作業効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態に係る保護シート付きクッション材を拡大して示した断面図である。
【図２】保護シート付きクッション材を使って半導体ウェハを梱包する場合の一つの態様を示した断面図である。
【図３】保護シート付きクッション材を使って半導体ウェハを梱包する場合の一つの態様を示した断面図である。
【図４】従来のクッション材とウェハ保護シートを用いて、ウェハ包装容器に半導体ウェハを梱包するときの手順を示した図である。
【符号の説明】
１０…保護シート付きクッション材  ２０…クッション材  ２２…粘着材  ２４…ウェハ保護シート  １００…ウェハ包装容器  １０１…クッション材  １０２…ウェハ保護シート  １０３…半導体ウェハ
【図１】
0004547712.tif 000002
【図２】
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【図３】
0004547712.tif 000004
【図４】
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