(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
陽極と陰極との間に複数のアニオン交換膜とカチオン交換膜とを交互に配列して濃縮室と脱塩室とを交互に形成し、脱塩室にイオン交換体を充填してなる電気脱イオン装置の運転方法において、
Ａ／（Ｑ・ＳＶ）≧４０００
（ただし、Ａ  ：操作電流値（Ａ）
Ｑ  ：１室当りの脱塩室内供給水流量（Ｌ／ｓｅｃ）
ＳＶ：脱塩室内のイオン交換体当たりの供給水流量
（Ｌ／Ｌ−イオン交換体・ｓｅｃ））
の条件で運転する電気脱イオン装置の運転方法であって、
Ａ／（Ｑ・ＳＶ）値４０００以上で運転する電気脱イオン装置を２段以上直列に接続し、１段目電気脱イオン装置の脱塩室の流出水を２段目電気脱イオン装置に通水し、２段目電気脱イオン装置の供給水のｐＨを９．５〜１１のアルカリ条件とすることを特徴とする電気脱イオン装置の運転方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体、液晶、製薬、食品、電力等の分野の各種産業、民生用、又は研究設備で利用される脱イオン水を製造する電気脱イオン装置の運転方法に係り、特に電気脱イオン装置におけるシリカ、ホウ素、炭酸ガス等の弱電解物質の除去率を高め、高水質の処理水を確実に得ることを可能とする電気脱イオン装置の運転方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工場、液晶製造工場、製薬工業、食品工業、電力工業等の各種の産業又は民生用ないし研究施設等において使用される脱イオン水の製造には、図２に示す如く、電極（陽極１１，陰極１２）の間に複数のアニオン交換膜１３及びカチオン交換膜１４を交互に配列して濃縮室１５と脱塩室１６とを交互に形成し、脱塩室１６にイオン交換樹脂、イオン交換繊維もしくはグラフト交換体等からなるアニオン交換体及びカチオン交換体を混合もしくは複層状に充填した電気脱イオン装置が多用されている（特許第１７８２９４３号、特許第２７５１０９０号、特許第２６９９２５６号）。なお、図２において、１７は陽極室、１８は陰極室である。
【０００３】
電気脱イオン装置は、水解離によってＨ＋イオンとＯＨ−イオンを生成させ、脱塩室内に充填されているイオン交換体を連続して再生することによって、効率的な脱塩処理が可能であり、従来から広く用いられてきたイオン交換樹脂装置のような薬品を用いた再生処理を必要とせず、完全な連続採水が可能で、高純度の水が得られるという優れた効果を発揮する。
【０００４】
このような電気脱イオン装置で、シリカ、ホウ素、炭酸ガス（ＣＯ２）などの弱電解物質を除去するためには、下記のようなイオン化反応を脱塩室内で生起させ、イオンを発生させる必要がある。
【０００５】
ＣＯ２＋ＯＨ−→ＨＣＯ３−                  （ｐＫａ＝６．３５）
ＳｉＯ２＋ＯＨ−→ＨＳｉＯ３−              （ｐＫａ＝９．８６）
Ｈ３ＢＯ３＋ＯＨ−→Ｂ（ＯＨ）４−          （ｐＫａ＝９．２４）
従来、このようなイオン化反応の促進のためには、電気脱イオン装置の運転方法の電流密度を高めることが有効であるとされており、電流密度を上げることによりシリカ除去率を高めることができることが知られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、電気脱イオン装置の運転条件のうち、通水速度等の他の因子が変化した場合において、単に電流密度を設定するのみではシリカ等の弱電解物質を確実に除去することはできず、弱電解物質を確実に除去し得る運転条件の設定指標が強く望まれているのが現状である。
【０００７】
本発明は上記従来の実情に鑑みてなされたものであって、シリカ、ホウ素、炭酸ガス等の弱電解物質を確実に除去して、高水質の処理水を製造することができる電気脱イオン装置の運転方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の電気脱イオン装置の運転方法は、陽極と陰極との間に複数のアニオン交換膜とカチオン交換膜とを交互に配列して濃縮室と脱塩室とを交互に形成し、脱塩室にイオン交換体を充填してなる電気脱イオン装置の運転方法において、
Ａ／（Ｑ・ＳＶ）≧４０００
（ただし、Ａ  ：操作電流値（Ａ）
Ｑ  ：１室当りの脱塩室内供給水流量（Ｌ／ｓｅｃ）
ＳＶ：脱塩室内のイオン交換体当たりの供給水流量
（Ｌ／Ｌ−イオン交換体・ｓｅｃ））
の条件で運転する電気脱イオン装置の運転方法であって、Ａ／（Ｑ・ＳＶ）値４０００以上で運転する電気脱イオン装置を２段以上直列に接続し、１段目電気脱イオン装置の脱塩室の流出水を２段目電気脱イオン装置に通水し、２段目電気脱イオン装置の供給水のｐＨを９．５〜１１のアルカリ条件とすることを特徴とする。
【０００９】
即ち、本発明者らは、電気脱イオン装置において、高い弱電解物質除去率を達成するための運転条件について鋭意検討した結果、シリカ除去率は上記Ａ／（Ｑ・ＳＶ）値との相関が高く、Ａ／（Ｑ・ＳＶ）値が４０００以上であるとシリカ除去率９７％以上を達成し得ることを見出し、本発明を完成させた。
【００１０】
電気脱イオン装置におけるＡ／（Ｑ・ＳＶ）値と、シリカリーク率（電気脱イオン装置の供給水のシリカ濃度に対する電気脱イオン装置の脱塩室流出水のシリカ濃度の割合）との関係は図３に示す通りであり、Ａ／（Ｑ・ＳＶ）≧４０００であれば、シリカリーク率３％以下、即ち、シリカ除去率９７％以上を達成することができる。
【００１１】
このように、電気脱イオン装置において、シリカ除去率がＡ／（Ｑ・ＳＶ）値と高い相関を示すことの理由の詳細は明らかではないが、シリカの除去機構が電流値のみならず、脱塩室内のイオン交換体量や通水流量に関係し、これらの値によりシリカ除去率が左右されるためであると考えられる。
【００１２】
これに対して、電流密度、即ち、電極面積に対する電流量を指標とする従来技術では、この流量の因子を加味することができず、シリカを確実に除去し得ない。
【００１３】
本発明においては、更に電気脱イオン装置の供給水のｐＨを９．２以上のアルカリ性とすることが好ましく、このようなアルカリ条件であれば、シリカ、ホウ素、炭酸ガス等の弱電解物質がより一層イオン状となり易くなり、除去効率が向上する。
【００１４】
また、特に、シリカ除去率９９．９％以上を達成するためには、Ａ／（Ｑ・ＳＶ）≧４０００、好ましくは更に供給水のｐＨ９．２以上で運転する電気脱イオン装置を２段以上直列に接続して処理することが好ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１６】
本発明の電気脱イオン装置の運転方法は、Ａ／（Ｑ・ＳＶ）値が４０００以上となるように運転を行うこと以外は常法に従って実施することができる。
【００１７】
従って、原水（この水は、通常、活性炭塔及び逆浸透膜分離装置等で順次前処理される。）の一部を電気脱イオン装置の濃縮室に供給し、残部を脱塩室に供給して脱イオン処理し、脱塩室の流出水を処理水（生産水）として取り出せば良い。なお、通常の場合、濃縮室の流出水は一部が系外に排出され、残部は濃縮室の供給側へ循環される。
【００１８】
なお、濃縮室の流出水の循環は、水回収率の向上のために行われるが、この循環水量には特に制限はなく、通常、濃縮室の流出水の５０〜９５％程度とし、電気脱イオン装置の水回収率は０．５〜０．９５程度の条件で運転を実施するのが好ましい。
【００１９】
このような電気脱イオン装置の運転において、Ａ／（Ｑ・ＳＶ）値が４０００未満では、高い弱電解物質除去率を達成し得ない。経済性、即ち電流値を高めることによる電流コストと弱電解物質除去率を考慮した場合、Ａ／（Ｑ・ＳＶ）値は特に５０００〜１００００程度となるように運転を行うのが好ましい。
【００２０】
また、本発明においては、電気脱イオン装置の供給水のｐＨを９．２以上、特に９．５〜１１．０程度のアルカリ性とすることが好ましく、このようなアルカリ条件とすることにより、シリカ、ホウ素、炭酸ガス等の弱電解物質がイオン状となり易くなることで、より一層弱電解物質の除去率を高めることができる。これ以上のｐＨとすることは多量のアルカリ剤を注入する必要があるため、不経済である。
【００２１】
特に、本発明の方法では、シリカ除去率９９．９％以上を達成するために、Ａ／（Ｑ・ＳＶ）値４０００以上で運転する電気脱イオン装置を２段以上直列に接続し、１段目電気脱イオン装置の脱塩室の流出水を２段目電気脱イオン装置に通水して処理するのが好ましい。また、この場合において、特に２段目電気脱イオン装置の供給水のｐＨを９．２以上のアルカリ条件とすることで、より一層シリカ等の弱電解物質除去率を高めることができる。
【００２２】
図１は、このように電気脱イオン装置を２段直列に接続して処理する装置の実施の形態を示す系統図であり、この装置では、電気脱イオン装置１，２を２機直列に接続し、１段目電気脱イオン装置１の脱塩室１Ａの流出水にＮａＯＨ等のアルカリを添加してｐＨアルカリ性に調整した後、２段目電気脱イオン装置２の供給水として更に処理するものである。なお、図１において、各流路に記載される流量は、後述の実施例の数値であり、何ら本発明の運転条件を制約するものではない。
【００２３】
この方法では、原水の一部を１段目電気脱イオン装置１の濃縮室１Ｂへの補給水として分取し、残部を１段目電気脱イオン装置１の脱塩室１Ａに供給する。濃縮室１Ｂから流出する濃縮水の一部は系外へ排出し、残部は濃縮室１Ｂの入口側へ戻して原水の一部と共に濃縮室１Ｂに循環する。１段目電気脱イオン装置１の脱塩室１Ａの流出水はＮａＯＨでｐＨ９．２以上に調整した後、その一部を２段目電気脱イオン装置２の濃縮室２Ｂへの補給水として分取し、残部を２段目電気脱イオン装置２の脱塩室２Ａに供給する。濃縮室２Ｂから流出する濃縮水の一部は系外へ排出し、残部は濃縮室２Ｂの入口側へ戻して１段目電気脱イオン装置１の脱塩室１Ａの流出水の一部と共に濃縮室２Ｂに循環する。２段目電気脱イオン装置２の脱塩室２Ａの流出水は、処理水として系外へ取り出される。
【００２４】
なお、この方法において、２段目電気脱イオン装置２の濃縮室２Ｂの補給水としては、原水を用いても良いが、最終処理水の水質の向上の面からは、１段目電気脱イオン装置１の脱塩室１Ａの流出水を用いることが望ましい。
【００２５】
このように、電気脱イオン装置を２段以上直列に接続して処理する場合、必ずしもすべての電気脱イオン装置についてＡ／（Ｑ・ＳＶ）≧４０００の条件で運転を行う必要はないが、Ａ／（Ｑ・ＳＶ）≧４０００の条件で運転を行う電気脱イオン装置を接続することにより、弱電解物質除去率を高めることができ、好ましい。
【００２６】
本発明において用いる電気脱イオン装置は、複数のアニオン交換膜及びカチオン交換膜を交互に配列して濃縮室と脱塩室とを交互に形成し、脱塩室にアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合樹脂等のイオン交換体が充填された一般的なものである。また、このようなイオン交換体が濃縮室にも充填されていても良い。
【００２７】
【実施例】
以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
【００２８】
実施例１
横１８７ｍｍ×高さ７９５ｍｍ×厚さ２．５ｍｍの脱塩室３室と濃縮室４室とを備える電気脱イオン装置を組み立て、脱塩室及び濃縮室に各々２５０ｃｃのイオン交換樹脂を充填した。用いたイオン交換樹脂及びイオン交換膜は次の通りである。
【００２９】
アニオン交換膜：（株）トクヤマ製「ネオセプタＡＨＡ」
カチオン交換膜：（株）トクヤマ製「ネオセプタＣＭＢ」
アニオン交換樹脂：ダウケミカル社製「５５０Ａ」
カチオン交換樹脂：ダウケミカル社製「６５０Ｃ」
アニオン：カチオン交換樹脂体積混合比率：６対４
この電気脱イオン装置を図１に示す如く、２段に直列に接続し、図１に示す通水流量で運転した。また、電流値は１段目電気脱イオン装置、２段目電気脱イオン装置共に１．０Ａとした。
【００３０】
従って、１段目電気脱イオン装置、２段目電気脱イオン装置のＡ／（Ｑ・ＳＶ）は次の通りである。
【００３１】
［１段目電気脱イオン装置］
１室当たりの脱塩室内流量  Ｑ＝７５÷３÷３６００（Ｌ／ｓｅｃ）
脱塩室内のイオン交換樹脂当たりの流量  ＳＶ＝７５÷３÷０．２５÷３６００（Ｌ／Ｌ・ｓｅｃ）
従って、Ａ／（Ｑ・ＳＶ）は次の通りである。
Ａ／（Ｑ・ＳＶ）＝１．０／（７５÷３÷３６００）×（７５÷３÷０．２５÷３６００）＝５１８４
【００３２】
［２段目電気脱イオン装置］
１室当たりの脱塩室内流量  Ｑ＝７０÷３÷３６００（Ｌ／ｓｅｃ）
脱塩室内のイオン交換樹脂当たりの流量  ＳＶ＝７０÷３÷０．２５÷３６００（Ｌ／Ｌ・ｓｅｃ）
従って、Ａ／（Ｑ・ＳＶ）は次の通りである。
Ａ／（Ｑ・ＳＶ）＝１．０／（７０÷３÷３６００）×（７０÷３÷０．２５÷３６００）＝５９５１
なお、１段目電気脱イオン装置の供給水のｐＨは７．５、シリカ濃度は２００ｐｐｂであり、１段目電気脱イオン装置の脱塩室の流出水にはＮａＯＨを添加してｐＨ９．５に調整して２段目の電気脱イオン装置に通水した。
【００３３】
このときの１段目電気脱イオン装置の脱塩室流出水（処理水）と２段目電気脱イオン装置の脱塩室流出水（処理水）のシリカ濃度を調べると共にシリカ除去率を算出し、結果を表１に示した。
【００３４】
比較例１
実施例１において、１段目の電気脱イオン装置のみを用い、１段目の電気脱イオン装置の全脱塩室への流量を１００Ｌ／ｈｒ（従って、Ｑ＝１００÷３÷３６００）とし、Ａ／（Ｑ・ＳＶ）＝２９１６で運転を行ったこと以外は同様にして処理水のシリカ濃度を求め、結果を表１に示した。
【００３５】
比較例２
比較例１において、全脱塩室への流量を１５０Ｌ／ｈｒ（従って、Ｑ＝１５０÷３÷３６００）とし、Ａ／（Ｑ・ＳＶ）＝１２９６で運転を行ったこと以外は同様にして処理水のシリカ濃度を求め、結果を表１に示した。
【００３６】
【表１】
0004599668.tif 000002
【００３７】
表１より、Ａ／（Ｑ・ＳＶ）≧４０００で運転を行うことにより、シリカを高度に除去することができることがわかる。
【００３８】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明の電気脱イオン装置の運転方法によれば、シリカ、ホウ素、炭酸ガス等の弱電解物質を確実かつ効率的に除去して高水質の処理水を得ることができる。
【００３９】
請求項２，３の電気脱イオン装置の運転方法によれば、より一層シリカ除去率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電気脱イオン装置の運転方法の実施の形態を説明する系統図である。
【図２】電気脱イオン装置の一般的な構成を示す模式的な断面図である。
【図３】電気脱イオン装置におけるＡ／（Ｑ・ＳＶ）値とシリカリーク率との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１  １段目電気脱イオン装置
２  ２段目電気脱イオン装置
１Ａ，２Ａ  脱塩室
１Ｂ，２Ｂ  濃縮室
１０  イオン交換体
１１  陽極
１２  陰極
１３  アニオン交換膜
１４  カチオン交換膜
１５  濃縮室
１６  脱塩室
１７  陽極室
１８  陰極室
【図１】
0004599668.tif 000003
【図２】
0004599668.tif 000004
【図３】
0004599668.tif 000005