(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器開口部に対向する位置に曲面状の内壁を有し、その内部に所定間隔で基板を収納する基板収納容器の前記容器開口部の蓋部材を、前記基板が搬送される部屋の扉開口部の扉部材に係合させて、前記蓋部材を着脱するロードポートであって、
前記基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスを、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して平行に流出するノズル口を有する第１ノズル部を有するノズル部と、
前記扉開口部に、前記ノズル部を進出させる駆動部とを備え、
前記第１ノズル部は、前記蓋部材を収納する収納部に収納され、複数のノズル口が全ての前記基板間の隙間に合わせて前記基板積層方向に配置され、かつ格子状に配置されることにより、全面に形成された薄い板状部材であること、
を特徴とするロードポート。
【請求項２】
請求項１に記載のロードポートにおいて、
前記第１ノズル部は、置換するためのガスを、前記基板収納容器の内壁及び前記基板表面の隙間に対して平行に流出するノズル口を有すること、
を特徴とするロードポート。
【請求項３】
請求項１に記載のロードポートにおいて、
前記ノズル部は、前記基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスを、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して平行に流入するノズル口を有する第２ノズル部を有し、
前記第２ノズル部は、前記基板収納容器の内壁及び前記基板表面の隙間に対して平行に流入するノズル口を有し、
前記第１ノズル部と前記第２ノズル部とは、前記基板が前記部屋に搬送される搬送方向に沿った前記基板収納容器の中心線に対して、互いに反対側の領域に配置されること、
を特徴とするロードポート。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のロードポートにおいて、
前記ノズル部の厚みは、前記ノズル口の直径の２倍以上であること、
を特徴とするロードポート。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のロードポートにおいて、
前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の下端付近から前記扉開口部に進出させること、
を特徴とするロードポート。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載のロードポートにおいて、
前記ノズル部は、前記扉開口部の上端付近に収納され、前記扉開口部の上側端部を回転中心として回転可能に設けられていること、
を特徴とするロードポート。
【請求項７】
請求項６に記載のロードポートにおいて、
前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の上側端部を回転中心として回転させ、前記扉開口部の上端付近から前記扉開口部に進出させること、
を特徴とするロードポート。
【請求項８】
請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載のロードポートにおいて、
前記扉開口部の上端部付近に設けられ、前記ガスを下方に流出して、細長い面状の気流幕を形成する補助用ノズル部をさらに含むこと、
を特徴とするロードポート。
【請求項９】
請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載のロードポートにおいて、
前記容器開口部に気密に連結して、その内部空間と連続する密閉空間を形成する密閉空間形成部をさらに含むこと、
を特徴とするロードポート。
【請求項１０】
請求項９に記載のロードポートにおいて、
前記密閉空間形成部は、
前記収納部と、
前記収納部の上面と対向する位置に設けられた上部カバー部材と、
前記収納部に収納され、前記収納部の内縁に沿って形成され、前記収納部から進退可能な側面カバー部材と、
を含むことを特徴とするロードポート。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０までのいずれか１項に記載のロードポートにおいて、
前記ノズル部での前記ガスの流れを、所定のタイミングで切換える流れ制御部をさらに含むこと、
を特徴とするロードポート。
【請求項１２】
請求項１１に記載のロードポートにおいて、
前記流れ制御部は、
前記基板収納容器の雰囲気の前記ガスの濃度を検知する検知部と、
前記ノズル部での前記ガスの流れを切換える切換部と、
前記検知部で検知された前記ガスの濃度が、雰囲気の置換具合を示す所定範囲になるように、前記切換部を切換える切換制御部と、
を含むことを特徴とするロードポート。
【請求項１３】
請求項９に記載のロードポートにおいて、
前記密閉空間が形成され、前記ノズル部により前記基板収納容器の雰囲気が置換されている状態で、前記密閉空間内の圧力が外気圧よりも高くなるように、前記ガスの外部への排気量を調整する排気調整部をさらに含むこと、
を特徴とするロードポート。
【請求項１４】
請求項１０に記載のロードポートにおいて、
前記密閉空間で前記基板収納容器の雰囲気の置換が行われた後に、前記側面カバー部材を前記収納部に収納し、前記ノズル部により前記基板収納容器の雰囲気を置換する置換制御部をさらに含むこと、
を特徴とするロードポート。
【請求項１５】
請求項３に記載のロードポートにおいて、
前記ノズル部は、前記蓋部材を収納する収納部に収納され、前記基板が前記基板収納容器から前記部屋に搬送されるときの前記基板の軌跡の外側に配置された薄い板状部材であること、
を特徴とするロードポート。
【請求項１６】
請求項１５に記載のロードポートにおいて、
前記駆動部は、前記収納部から進退可能な側面カバー部材が前記収納部から進出するときに、前記ノズル部を、前記扉開口部の下端付近から前記扉開口部に進出させること、
を特徴とするロードポート。
【請求項１７】
請求項１から請求項１６までのいずれか１項に記載のロードポートにおいて、
前記駆動部により前記扉開口部に進出した前記ノズル部を、その進出位置で保持可能な保持部材をさらに含むこと、
を特徴とするロードポート。
【請求項１８】
容器開口部に対向する位置に曲面状の内壁を有し、その内部に所定間隔で基板を収納する基板収納容器の前記容器開口部の蓋部材を、前記基板が搬送される部屋の扉開口部の扉部材に係合させて、前記蓋部材を着脱するロードポートであって、
前記基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスを、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して平行に流出するノズル口を有する第１ノズル部と、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して平行に流入するノズル口を有する第２ノズル部とを有するノズル部と、
前記扉開口部に、前記ノズル部を進出させる駆動部を備え、
前記ノズル口は、前記基板が収容される積層方向に対して、斜め方向に沿って複数形成されていること、
を特徴とするロードポート。
【請求項１９】
容器開口部に対向する位置に曲面状の内壁を有し、その内部に所定間隔で基板を収納する基板収納容器の前記容器開口部の蓋部材を、前記基板が搬送される部屋の扉開口部の扉部材に係合させて、前記蓋部材を着脱するロードポートであって、
前記基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスを、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して平行に流出するノズル口を有する第１ノズル部と、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して平行に流入するノズル口を有する第２ノズル部とを有するノズル部と、
前記扉開口部に、前記ノズル部を進出させる駆動部とを備え、
前記ノズル部は、
複数のノズル口が全ての前記基板間の隙間に合わせて前記基板積層方向に配置され、
前記基板が前記基板収納容器から前記部屋に搬送されるときの前記基板の軌跡の外側に収納され、前記扉開口部の側端付近を回転中心として回転する円弧状部材であること、
を特徴とするロードポート。
【請求項２０】
請求項１９に記載のロードポートにおいて、
前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の側端付近を回転中心として回転させ、前記扉開口部の側面から前記扉開口部に進出させること、
を特徴とするロードポート。
【請求項２１】
容器開口部に対向する位置に曲面状の内壁を有し、その内部に所定間隔で基板を収納する基板収納容器の前記容器開口部の蓋部材を、前記基板が搬送される部屋の扉開口部の扉部材に係合させて、前記蓋部材を着脱するロードポートであって、
前記基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスを、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して平行に流出するノズル口を有する第１ノズル部と、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して平行に流入するノズル口を有する第２ノズル部とを有するノズル部と、
前記扉開口部に、前記ノズル部を進出させる駆動部とを備え、
前記ノズル部は、前記蓋部材を収納する収納部に収納され、前記ノズル口が前記基板間の隙間に合わせて全面に形成され、前記基板が前記基板収納容器から前記部屋に搬送されるときの前記基板の軌跡の外側に配置された第１薄板状部材と、前記扉開口部の中央付近に配置された第２薄板状部材とを含むこと、
を特徴とするロードポート。
【請求項２２】
請求項２１に記載のロードポートにおいて、
前記駆動部は、前記第１薄板状部材と前記第２薄板状部材とを、それぞれ独立に前記扉開口部の下端付近から前記扉開口部に進出させること、
を特徴とするロードポート。
【請求項２３】
請求項２２に記載のロードポートにおいて、
前記駆動部は、前記第１薄板状部材と前記第２薄板状部材とを前記扉開口部に進出させた後に、前記第１薄板状部材をその進出位置で保持した状態で、前記第２薄板状部材を前記扉開口部から退避させること、
を特徴とするロードポート。
【請求項２４】
容器開口部に対向する位置に曲面状の内壁を有し、その内部に所定間隔で基板を収納する基板収納容器の前記容器開口部の蓋部材を、前記基板が搬送される部屋の扉開口部の扉部材に係合させて、前記蓋部材を着脱するロードポートであって、
前記基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスを、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して平行に流出するノズル口を有する第１ノズル部と、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して平行に流入するノズル口を有する第２ノズル部とを有するノズル部と、
前記扉開口部に、前記ノズル部を進出させる駆動部とを備え、
前記ノズル部は、前記蓋部材を収納する収納部に収納され、複数のノズル口が全ての前記基板間の隙間に合わせて形成された管状部材であること、
を特徴とするロードポート。
【請求項２５】
請求項２４に記載のロードポートにおいて、
前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の下端付近から前記扉開口部に進出させること、
を特徴とするロードポート。
【請求項２６】
容器開口部に対向する位置に曲面状の内壁を有し、その内部に所定間隔で基板を収納する基板収納容器の前記容器開口部の蓋部材を、前記基板が搬送される部屋の扉開口部の扉部材に係合させて、前記蓋部材を着脱するロードポートであって、
前記基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスを、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して平行に流出するノズル口を有する第１ノズル部と、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して平行に流入するノズル口を有する第２ノズル部とを有するノズル部と、
前記扉開口部に、前記ノズル部を進出させる駆動部とを備え、
前記ノズル部は、
複数のノズル口が全ての前記基板間の隙間に合わせて形成され、
前記扉開口部の上端付近に収納され、前記扉開口部の上側端部を回転中心として回転する管状部材であること、
を特徴とするロードポート。
【請求項２７】
請求項２６に記載のロードポートにおいて、
前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の上側端部を回転中心として回転させ、前記扉開口部の上端付近から前記扉開口部に進出させること、
を特徴とするロードポート。
【請求項２８】
容器開口部に対向する位置に曲面状の内壁を有し、その内部に所定間隔で基板を収納する基板収納容器の前記容器開口部の蓋部材を、前記基板が搬送される部屋の扉開口部の扉部材に係合させて、前記蓋部材を着脱するロードポートであって、
前記基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスを、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して平行に流出するノズル口を有する第１ノズル部を備え、
前記第１ノズル部は、
複数のノズル口が全ての前記基板間の隙間に合わせて前記基板積層方向に配置され、かつ格子状に配置されることにより、全面に形成された薄い板状部材であり、
前記基板が前記基板収納容器から前記部屋に搬送されるときの前記基板の軌跡の外側に配置されていること、
を特徴とするロードポート。
【請求項２９】
請求項２８に記載のロードポートにおいて、
前記基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスを、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して平行に流入するノズル口を有する第２ノズル部を備え、
前記第２ノズル部は、
複数のノズル口が全ての前記基板間の隙間に合わせて前記基板積層方向に配置され、かつ格子状に配置されることにより、全面に形成された薄い板状部材であり、
前記基板が前記基板収納容器から前記部屋に搬送されるときの前記基板の軌跡の外側に配置され
前記第１ノズル部と前記第２ノズル部とは、前記基板が前記部屋に搬送される搬送方向に沿った前記基板収納容器の中心線に対して、互いに反対側の領域に配置されていること、
を特徴とするロードポート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、シリコンウエハ等の各種基板（以下、ウエハという）が搬送される基板処理装置に設けられ、ウエハを所定間隔で収納する基板収納容器（以下、ウエハキャリアという）の蓋部材（以下、キャリアドアという）を着脱するロードポートに関するものである。
【背景技術】  従来、この種のロードポートは、キャリアドアと係合するロードポートドアと、ロードポートドアを開閉するためのロードポートドア開閉機構等とを備え、キャリアドアを開けた状態で、ウエハキャリアの雰囲気を置換（以下、パージという）するものが知られている。
特許文献１は、基板処理装置内の処理空間を、キャリアドアの開放面に隣接する所定の空間で仕切るための上部壁面と下部壁面とＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｆｒｏｎｔ  Ｅｎｄ  Ｍｏｄｕｌｅ）ドア等とを備え、この所定の空間内で、ウエハキャリアの雰囲気をパージするロードポートを開示している。
しかし、特許文献１のロードポートは、ウエハキャリアの雰囲気をパージするためのＮ２ガス等（以下、パージガスという）を、ウエハキャリアの開放面に対して斜め上方から供給している。
このため、ウエハ間の隙間にパージガスが十分に供給されない可能性があり、たとえ、パージガスの流量を大きくしても、パージを十分に行うことが困難であり、パージに要するコストが高くなる可能性があった。
また、特許文献１のロードポートは、ＥＦＥＭドアを開閉するためのＥＦＥＭ機構を備えているので、基板処理装置内の処理空間に突出してしまい、突出部分は、基板処理装置の壁面から１００ｍｍ以内とする、いわゆるＳＥＭＩ規格を準拠していない構成となっていた。
【特許文献１】特開２００３−４５９３３号公報（第１−３図）
【発明の開示】
本発明の目的は、パージを短時間で精度よく行うことができるロードポートを提供することである。
第１の発明は、容器開口部に対向する位置に曲面状の内壁を有し、その内部に所定間隔で基板を収納する基板収納容器の前記容器開口部の蓋部材を、前記基板が搬送される部屋の扉開口部の扉部材に係合させて、前記蓋部材を着脱するロードポートであって、前記基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスを、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して略平行に流出及び／又は流入させるノズル口を有するノズル部と、前記扉開口部に、前記ノズル部を進出させる駆動部と、を含むロードポートである。
第２の発明は、前記ノズル部は、前記ガスを流出する第１ノズル部と、前記ガスを流入する第２ノズル部と、を含み、前記第１ノズル部と前記第２ノズル部とは、前記基板が前記部屋に搬送される搬送方向に沿った前記基板収納容器の中心線に対して略対称に配置されていることを特徴とする。
第３の発明は、前記ノズル口は、前記基板間の隙間に位置するように形成されていることを特徴とする。
第４の発明は、前記ノズル口は、前記基板収納容器に収納された前記基板の縦方向に沿って、所定間隔で形成されていることを特徴とする。
第５の発明は、前記ノズル口は、前記縦方向に対して、略斜め方向に沿って複数形成されていることを特徴とする。
第６の発明は、前記ノズル部の厚みは、前記ノズル口の直径の２倍以上であることを特徴とする。
第７の発明は、前記ノズル部は、前記基板が前記基板収納容器から前記部屋に搬送されるときの前記基板の軌跡の外側に収納され、前記扉開口部の側端付近を回転中心として回転する円弧状部材であることを特徴とする。
第８の発明は、前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の側端付近を回転中心として回転させ、前記扉開口部の側面から前記扉開口部に進出させることを特徴とする。
第９の発明は、前記ノズル部は、前記蓋部材を収納する収納部に収納され、前記ノズル口が前記基板間の隙間に合わせて略全面に形成された薄い板状部材であることを特徴とする。
第１０の発明は、前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の下端付近から前記扉開口部に進出させることを特徴とする。
第１１の発明は、前記ノズル部は、前記蓋部材を収納する収納部に収納された管状部材であることを特徴とする。
第１２の発明は、前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の下端付近から前記扉開口部に進出させることを特徴とする。
第１３の発明は、前記ノズル部は、前記扉開口部の上端付近に収納され、前記扉開口部の上側端部を回転中心として回転し、前記ノズル口が前記基板間の隙間に合わせて略全面に形成された薄い板状部材であることを特徴とする。
第１４の発明は、前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の上側端部を回転中心として回転させ、前記扉開口部の上端付近から前記扉開口部に進出させることを特徴とする。
第１５の発明は、前記ノズル部は、前記扉開口部の上端付近に収納され、前記扉開口部の上側端部を回転中心として回転する管状部材であることを特徴とする。
第１６の発明は、前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の上側端部を回転中心として回転させ、前記扉開口部の上端付近から前記扉開口部に進出させることを特徴とする。
第１７の発明は、前記扉開口部の上端部付近に設けられ、前記ガスを略下方に流出して、細長い面状の気流幕を形成する補助用ノズル部をさらに含むことを特徴とする。
第１８の発明は、前記容器開口部に気密に連結して、その内部空間と連続する密閉空間を形成する密閉空間形成部をさらに含むことを特徴とする。
第１９の発明は、前記密閉空間形成部は、前記収納部と、前記収納部の上面と対向する位置に設けられた上部カバー部材と、前記収納部に収納され、前記収納部の内縁に沿って形成され、前記収納部から進退可能な内縁カバー部材と、を含むことを特徴とする。
第２０の発明は、前記ノズル部での前記ガスの流れを、所定のタイミングで切換える流れ制御部をさらに含むことを特徴とする。
第２１の発明は、前記流れ制御部は、前記基板収納容器の雰囲気の前記ガスの濃度を検知する検知部と、前記ノズル部での前記ガスの流れを切換える切換部と、前記検知部で検知された前記ガスの濃度が、雰囲気の置換具合を示す所定範囲になるように、前記切換部を切換える切換制御部と、を含むことを特徴とする。
第２２の発明は、前記密閉空間が形成され、前記ノズル部により前記基板収納容器の雰囲気が置換されている状態で、前記密閉空間内の圧力が外気圧よりも高くなるように、前記ガスの外部への排気量を調整する排気調整部をさらに含むことを特徴とする。
第２３の発明は、前記密閉空間で前記基板収納容器の雰囲気の置換が行われた後に、前記内縁カバー部材を前記収納部に収納し、前記ノズル部により前記基板収納容器の雰囲気を置換する置換制御部をさらに含むことを特徴とする。
第２４の発明は、前記ノズル部は、前記蓋部材を収納する収納部に収納され、前記基板が前記基板収納容器から前記部屋に搬送されるときの前記基板の軌跡の外側に配置された薄い板状部材であることを特徴とする。
第２５の発明は、前記駆動部は、前記収納部から進退可能な内縁カバー部材が前記収納部から進出するときに、前記ノズル部を、前記扉開口部の下端付近から前記扉開口部に進出させることを特徴とする。
第２６の発明は、前記駆動部により前記扉開口部に進出した前記ノズル部を、その進出位置で保持可能な保持部材をさらに含むことを特徴とする。
第２７の発明は、前記ノズル部は、前記蓋部材を収納する収納部に収納され、前記ノズル口が前記基板間の隙間に合わせて略全面に形成され、前記基板が前記基板収納容器から前記部屋に搬送されるときの前記基板の軌跡の外側に配置された第１薄板状部材と、前記扉開口部の中央付近に配置された第２薄板状部材とを含むことを特徴とする。
第２８の発明は、前記駆動部は、前記第１薄板状部材と前記第２薄板状部材とを、それぞれ独立に前記扉開口部の下端付近から前記扉開口部に進出させることを特徴とする。
第２９の発明は、前記駆動部は、前記第１薄板状部材と前記第２薄板状部材とを前記扉開口部に進出させた後に、前記第１薄板状部材をその進出位置で保持した状態で、前記第２薄板状部材を前記扉開口部から退避させることを特徴とする。
本発明によれば、基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスを、ノズル部のノズル口から基板間の隙間に対して略平行に流出及び／又は流入させ、このノズル部を扉開口部に進出させるようにしたので、ガスが基板間の隙間に効率的に流出し、基板収納容器の雰囲気を置換するために要する時間を短縮することができると共に、雰囲気の置換を精度よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】  図１は、本発明の実施例１によるロードポートにウエハキャリアを載置し、パージを行っている状態を示す斜視図である。
図２は、本発明の実施例１によるロードポートにウエハキャリアを載置し、パージを行っている状態を示す側面図である。
図３は、本発明の実施例１によるロードポートにウエハキャリアを載置し、パージを停止した状態を示す側面図である。
図４は、本発明の実施例１によるロードポートにウエハキャリアを載置し、パージを行っている状態を示す断面図である。
図５Ａは、第１ノズル部が扉開口部に進出した状態を示す図である。
図５Ｂは、第１ノズル部が扉開口部から退避した状態を示す図である。
図６Ａは、第１ノズル部が扉開口部に進出して、ウエハキャリアに収納されたウエハと向き合った状態を示す図である。
図６Ｂは、第１ノズル部の断面図である。
図７は、本発明の実施例１によるロードポートを示すブロック図である。
図８は、本発明の実施例１によるロードポートの動作を示すフローチャートである。
図９は、本発明の実施例２によるロードポートにウエハキャリアを載置し、パージを行っている状態を示す斜視図である。
図１０は、本発明の実施例３によるロードポートにウエハキャリアを載置し、パージを行っている状態を示す斜視図である。
図１１は、本発明の実施例４によるロードポートにウエハキャリアを載置し、パージを行っている状態を示す斜視図である。
図１２は、本発明の実施例５によるロードポートにウエハキャリアを載置し、パージを行っている状態を示す側面図である。
図１３は、本発明の実施例５によるロードポートのノズル部が進出位置で保持されている状態を示す側面図である。
図１４Ａは、本発明の実施例６によるロードポートにウエハキャリアを載置し、パージを行っている状態を示す側面図である。
図１４Ｂは、本発明の実施例６によるロードポートの第１ノズル部と第２ノズル部が進出位置で保持され、第３ノズル部と第４ノズル部が扉開口部から退避した状態を示す側面図である。
【発明を実施するための最良の形態】  以下、図面等を参照して、本発明の実施例をあげて、さらに詳しく説明する。
【実施例１】  ロードポート１００は、図１に示すように、不図示の扉部材（以下、ロードポートドアという）が着脱される扉開口部２０２が形成された壁面２０１等を備え、ウエハ１に所定の処理を行う不図示の基板処理装置の壁面に据え付けられている。
ウエハキャリア１０は、図２に示すように、その内部に所定間隔（１０ｍｍ程度）でウエハ１を収納する容器であって、キャリアシェル１１と、キャリアシェル１１の容器開口部１２に蓋をするためのキャリアドア１６（図３参照）等とを備えている。なお、ウエハキャリアとしては、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）と、ＦＯＳＢ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ）とが知られている。
キャリアシェル１１は、容器開口部１２に対向する位置に形成された曲面状の内壁１１ａ（図４参照）等を備えている。キャリアシェル１１は、図２に示すように、その上部に、不図示の自動搬送装置により把持されるためのロボットフランジ１３が設けられている。キャリアシェル１１は、その下面１４に、Ｖ字溝が形成されたＶ字溝部１５が設けられている。
ロードポート１００は、ウエハキャリア１０の容器開口部１２のキャリアドア１６を、ロードポート１００の扉開口部２０２のロードポートドアに係合させて、キャリアドア１６を着脱する装置であって、自動搬送装置により搬送されてきたウエハキャリア１０を載置する載置台１０１と、載置台１０１に移動可能に設けられた移動台１０２と、後述する収納部１２１内に設けられ、キャリアドア１６と係合するロードポートドアを開閉するためのロードポートドア開閉機構１７０（図７参照）と、ノズル部１１０（図１参照）と、密閉空間形成部１２０と、排気調整部１３０と、補助用ノズル部１４０等とを備えている。移動台１０２は、その上部に、ウエハキャリア１０の位置決めを行うキネマティックピン１０３等を備え、このキネマティックピン１０３は、上述したキャリアシェル１１の下面１４に設けられたＶ字溝部１５と係合する。
ノズル部１１０は、図１に示すように、ウエハキャリア１０の雰囲気をパージするためのパージガスを流出（又は、流入）する第１ノズル部１１０−１と、パージガスを流入（又は、流出）する第２ノズル部１１０−２等とを備えている。
なお、この第１ノズル部１１０−１と第２ノズル部１１０−２は、いずれも略同一の構造及び機能を有しているので、以下では第１ノズル部１１０−１を中心に説明する。
第１ノズル部１１０−１は、図２に示すように、ウエハキャリア１０のウエハ１間の隙間Ａに対して略平行に、パージガスを流出させるノズル口１１１（図６参照）等を備えている。
第１ノズル部１１０−１は、図４、図５に示すように、扉開口部２０２の側端付近を回転中心として回転する断面円弧状部材であって、ノズル駆動用モータ１６６（図７参照）等により、扉開口部２０２に対して進退自在となっている。
第１ノズル部１１０−１は、扉開口部２０２から退避している場合には、壁面２０１と、壁面２０１に連結された外壁面２０３とからなり、後述する密閉空間Ｂと連続するクリーンな空間に収納される。このため、第１ノズル部１１０−１は、汚れることがない。
また、第１ノズル部１１０−１は、扉開口部２０２に進出している場合には、ウエハ１がウエハキャリア１０から基板処理装置に搬送されるときのウエハ１の外周端の軌跡Ｈの外側に位置している。
このため、ロードポート１００は、第１ノズル部１１０−１を扉開口部２０２に進出させて、ウエハキャリア１０の雰囲気をパージしている状態であっても、後述する側面カバー部材１２２を収納部１２１に収納することにより、ウエハ１を基板処理装置内の処理空間に搬送して、所定の処理を行うことができ、作業効率を向上させることができる。
また、第１ノズル部１１０−１と第２ノズル部１１０−２とは、ウエハ１が基板処理装置内の処理空間に搬送される搬送方向に沿ったウエハキャリア１０の中心線Ｇに対して略対称に配置されている。このため、第１ノズル部１１０−１のノズル口１１１からウエハキャリア１０のウエハ１間の隙間Ａに対して略平行に流出したパージガスは、キャリアシェル１１に形成された曲面状の内壁１１ａに沿って容器開口部１２付近まで拡散した後、中心線Ｇに対して略対称に配置された第２ノズル部１１０−２に流入する。
第１ノズル部１１０−１は、図２、図３、図５に示すように、その下部に、第１ノズル部１１０−１を回転させるための回転軸を兼ねる配管１１２と、この回転軸をベアリングを介して支持する支持部材１１３と、配管１２がその内部を貫通し、クランク状に形成されたアーム部材１１４等とを備えている。図５Ａは、第１ノズル部１１０−１が扉開口部２０２に進出した状態を示す図であり、図５Ｂは、第１ノズル部１１０−１が扉開口部２０２から退避した状態を示す図である。また、図中、２点鎖線は、ノズル口１１１が形成され、扉開口部２０２に進出するアーム部材１１４の一部であって、同一平面上にない部分を示している。
配管１１２は、その一方に、電磁弁等の流路切換部１６３が接続されており、その内部をパージガスが通過する（図７参照）。また、配管１１２は、回転軸を兼ねており、ノズル駆動用モータ１６６に不図示の連結部材等を介して連結されている。また、配管１１２は、アーム部材１１４を貫通しており、その貫通した部分には、第１ノズル部１１０−１の内部にパージガスを流出させるための不図示の孔部が形成されている。これにより、配管１１２の内部を通過したパージガスは、孔部からアーム部材１１４の内部を通過し、ノズル口１１１から流出する。
密閉空間形成部１２０は、図２に示すように、容器開口部１２に気密に連結して、ウエハキャリア１０の内部空間と連続する密閉空間Ｂを形成するものであって、収納部１２１と、側面カバー部材１２２と、上部カバー部材１２３等とを備えている。側面カバー部材１２２は、収納部１２１に収納されており、収納部１２１の内縁に沿って形成されている。また、側面カバー部材１２２は、後述する側面カバー昇降用モータ１６８（図７参照）により駆動される昇降機構１２４によって、収納部１２１から昇降可能となっている。
昇降機構１２４は、壁面２０１の近傍に配置されたシャフト１２５と、このシャフト１２５に移動可能に設けられた複数のボールスライド１２６等とを備えている。このシャフト１２５は、側面カバー部材１２２の下部に形成された突出部を貫通している。ボールスライド１２６は、この突出部内で側面カバー部材１２２を保持しており、側面カバー昇降用モータ１６８により駆動する不図示のベルト機構等に連結されたアーム等を備えており、このベルト機構の動きによりシャフト１２５に沿って昇降することができる。上部カバー部材１２３は、扉開口部２０２の上端部付近であって、収納部１２１の上面と対向する位置に設けられたカバーである。
密閉空間形成部１２０は、側面カバー部材１２２が昇降機構１２４により、収納部１２１から上昇し、キャリアドア１６がロードポートドア開閉機構１７０により容器開口部１２から取り外されたときに、収納部１２１の上面と、側面カバー部材１２２と、上部カバー部材１２３とにより、密閉空間Ｂを形成することができる。
また、側面カバー部材１２２と上部カバー部材１２３との間には、隙間（１ｍｍ程度）が形成されている。また、キャリアシェル１１と壁面２０１との間には、隙間（０．５〜１ｍｍ程度）が形成されている。これら隙間は、例えば、第１ノズル部１１０−１から流出するパージガスの流量が、第２ノズル部１１０−２に流入するパージガスの流量よりも大きい場合には、パージガスを密閉空間Ｂの外部（例えば、ウエハキャリア１０の外部や基板処理装置内の処理空間）に流出させることができる。
排気調整部１３０は、不図示のマイクロモータ等により、その開口面積が調整される排気口等を備えている。排気調整部１３０は、密閉空間Ｂが形成され、第１ノズル部１１０−１によりウエハキャリア１０の雰囲気がパージされている状態で、密閉空間Ｂの圧力が密閉空間Ｂの外部の圧力よりも高くなるように、排気口の開口面積を調整して、パージガスの排気量を調整する。
排気調整部１３０は、例えば、パージガスが、第１ノズル部１１０−１のノズル口１１１からウエハ１間の隙間Ａに対して略平行に１００Ｌ／ｍｉｎで流出し、第２ノズル部１１０−２に６０Ｌ／ｍｉｎで流入した場合には、側面カバー部材１２２と上部カバー部材１２３との隙間と、キャリアシェル１１と壁面２０１との隙間と、排気調整部１３０の排気口とから、４０Ｌ／ｍｉｎ未満のパージガスが密閉空間Ｂの外部に流出するように、排気口の開口面積を調整する。したがって、排気調整部１３０は、密閉空間Ｂの圧力を外部の圧力よりも大きくできるので、側面カバー部材１２２と上部カバー部材１２３との隙間と、キャリアシェル１１と壁面２０１との隙間とから、空気等が密閉空間Ｂ内に浸入してしまうことを確実に防止できる。
補助用ノズル部１４０は、上部カバー部材１２３の内部に設けられ、パージガスを略下方に流出して、細長い面状のエアーカーテンを形成する。このエアーカーテンは、第１ノズル部１１０−１のノズル口１１１から流出するパージガスが第１ノズル部１１０−１の後方（基板処理装置内の処理空間側）に流れてしまうことを遮ることができるので、パージの効率が低下しないようにできる。
また、ロードポート１００は、パージを停止した場合には、図３に示すように、側面カバー部材１２２が昇降機構１２４により収納部１２１に収納され、キャリアドア１６がロードポートドア開閉機構１７０によりキャリアシェル１１の容器開口部１２に取付けられる。そして、ロードポート１００は、移動台１０３を、壁面２０１から離れる方向に移動させ、ウエハキャリア１０をいわゆるホーム位置に移動させる。
つぎに、ノズル口１１１について説明する。なお、図６Ａは、第１ノズル部１１０−１が扉開口部２０２に進出して、ウエハキャリア１０に収納されたウエハ１と向き合った状態を示す図であり、図６Ｂは、第１ノズル部１１０−１の断面図である。
ノズル口１１１は、図６Ａに示すように、ウエハキャリア１０に収納されたウエハ１間の隙間Ａに位置するように、所定間隔で形成されており、ウエハ１間の隙間Ａに向けてパージガスを略平行に均一に流出させることができる。また、ノズル口１１１は、複数のウエハ１がウエハキャリア１０に収納されている方向（縦方向）に対して、略斜め方向に沿って所定間隔で複数形成されている。このため、ノズル口１１１は、パージガスの拡散範囲を異なるようにでき、たとえ、ノズル口１１１が狭い範囲に形成された場合であっても、パージガスを広い範囲に拡散させることができる。
また、ノズル口１１１は、パージガスの方向性を安定させるための実験に基づいて、図６Ｂに示すように、第１ノズル部１１０−１の厚さＹが、ノズル口１１１の直径Ｘの２倍以上（例えば、３倍）になるように形成されている。
したがって、ノズル口１１１によれば、パージガスをウエハ１間の隙間Ａに対して効率的に流出させることができるので、パージガスの消費量を減少させ、パージに要するコストを低下させることができる。
ロードポート１００は、図７に示すように、流路切換部１６３と、酸素濃度センサ１６４と、記憶部１６５と、第１ノズル部１１０−１と第２ノズル部１１０−２とからなるノズル部１１０と、ノズル駆動用モータ１６６と、ドライバ回路１６７と、側面カバー部材１２２と、側面カバー昇降用モータ１６８と、ドライバ回路１６９と、ロードポートドア開閉機構１７０等とを備えており、これら各部材は、制御部１６０を介して電気的に接続されている。また、流路切換部１６３は、パージガスの流路を切換える電磁弁等であって、配管１１２等を介して、パージガスの不図示のタンクからパージガスを供給する供給用ポンプ１６１と、パージガスを吸込み、不図示のタンクにパージガスを輸送する吸込用ポンプ１６２と、ノズル部１１０とに接続されている。
以下、ロードポート１００がパージを行うときの動作を、図７、図８を用いて、制御部１６０を中心にして説明する。
まず、制御部１６０は、側面カバー昇降用モータ１６８に信号Ｄ３を出力する（Ｓ１０１）。側面カバー昇降用モータ１６８は、ドライバ回路１６９を介して制御部１６０に接続されており、制御部１６０から信号Ｄ３が出力されると、昇降機構１２４を駆動して、収納部１２１に収納されている側面カバー部材１２２を上昇させる。
つぎに、制御部１６０は、ロートポートドア開閉機構１７０に信号Ｅ１を出力する（Ｓ１０２）。ロードポートドア開閉機構１７０は、制御部１６０から信号Ｅ１が出力されると、扉開口部２０２のロードポートドアとキャリアドア１６とを係合させて、キャリアドア１６を容器開口部１２から取り外す。このために、ウエハキャリア１０の内部空間と連続する密閉空間Ｂが形成される。
制御部１６０は、ノズル駆動用モータ１６６に信号Ｄ１を出力する（Ｓ１０３）。ノズル駆動用モータ１６６は、ドライバ回路１６７を介して制御部１６０に接続されており、制御部１６０から信号Ｄ１が出力されると、第１ノズル部１１０−１の下部に設けられた回転軸を兼ねる配管１１２を回転駆動して、第１ノズル部１１０−１を、扉開口部２０２の側面から扉開口部２０２に進出させる。
制御部１６０は、流路切換部１６３に信号Ｆ１を出力する（Ｓ１０４）。流路切換部１６３は、制御部１６０から信号Ｆ１が出力されると、供給用ポンプ１６１と第１ノズル部１１０−１とを連通し、吸込用ポンプ１６２と第２ノズル部１１０−２とを連通する。このため、パージガスは、第１ノズル部１１０−１から流出し、第２ノズル部１１０−２に流入する。
つぎに、制御部１６０は、酸素濃度センサ１６４で検出された検出信号Ｃを読込む（Ｓ１０５）。酸素濃度センサ１６４は、ウエハキャリア１０の雰囲気の酸素濃度を検知するセンサであり、検出した酸素濃度に応じた信号をＡ／Ｄ変換した検出信号Ｃを出力する。酸素濃度は、ウエハキャリア１０の雰囲気のパージ度合を示す指標となる。なお、酸素濃度は、０．１〜１．０％であることが好ましく、このとき、パージ度合は最適な状態となる。また、酸素濃度センサ１６４は、例えば、素子材料としてチタニア（ＴｉＯ２）を用い、このチタニアの酸化還元による電気抵抗の変化を利用したチタニア酸素センサ等である。また、ステップＳ１０５で、窒素濃度ではなく、酸素濃度を検出する理由は、酸素濃度センサが窒素濃度センサに比べて安価であること等が挙げられる。
つぎに、制御部１６０は、記憶部１６５に予め記憶されたパージガスの流れを切換えるための閾値信号Ｃ１を読込み、ステップＳ１０５で得られた検出信号Ｃが閾値信号Ｃ１以下か否かを判定する（Ｓ１０６）。記憶部１６５は、不揮発性メモリであって、パージ度合の最適な状態を示す酸素濃度の所定範囲（例えば、０．１〜１．０％）を予め記憶している。また、記憶部１６５は、パージガスの流れを切換える閾値となる酸素濃度（例えば、１．０％）を閾値信号Ｃ１として記憶している。
制御部１６０は、検出信号Ｃが閾値信号Ｃ１以下である場合には、パージが十分であると判定し、ノズル駆動用モータ１６６に信号Ｄ２を出力する（Ｓ１１０）。ノズル駆動用モータ１６６は、制御部１６０から信号Ｄ２が出力されると、回転軸を兼ねる配管１１２を、信号Ｄ１が出力されたときと逆方向に回転駆動して、第１ノズル部１１０−１を扉開口部２０２の側面に退避させる。
一方、制御部１６０は、検出信号Ｃが閾値信号Ｃ１より大きい場合には、パージが不十分であると判定し、流路切換部１６３に信号Ｆ２を出力する（Ｓ１０７）。流路切換部１６３は、制御部１６０から信号Ｆ２が出力されると、吸込用ポンプ１６２と第１ノズル部１１０−１とを連通し、供給用ポンプ１６１と第２ノズル部１１０−２とを連通する。このため、パージガスは、第２ノズル部１１０−２から流出し、第１ノズル部１１０−１に流入する。
再度、制御部１６０は、酸素濃度センサ１６４で検出された検出信号Ｃを読込んだ後に（Ｓ１０８）、記憶部１６５から上述した閾値信号Ｃ１を読込み、ステップＳ１０８で得られた検出信号Ｃが閾値信号Ｃ１以下か否かを判定する（Ｓ１０９）。
制御部１６０は、検出信号Ｃが閾値信号Ｃ１以下である場合には、パージが十分であると判定し、上述したステップＳ１１０に進み、ノズル駆動用モータ１６６に信号Ｄ２を出力する。一方、制御部１６０は、検出信号Ｃが閾値信号Ｃ１より大きい場合には、パージが不十分であると判定し、再び、ステップＳ１０４に戻り、流路切換部１６３に信号Ｆ１を出力する。すなわち、制御部１６０は、検出信号Ｃが閾値信号Ｃ１以下となり、パージが十分に行われるまで、パージガスの流れを切換えるように制御する。
つぎに、制御部１６０は、ステップＳ１１０で第１ノズル部１１０−１が扉開口部２０２から退避した後に、側面カバー昇降用モータ１６８に信号Ｄ４を出力する（Ｓ１１１）。側面カバー昇降用モータ１６８は、制御部１６０から信号Ｄ４が出力されると、信号Ｄ３が出力されたときと逆方向に回転し、昇降機構１２４を駆動して、側面カバー部材１２２を収納部１２１に収納する。これにより、密閉空間Ｂが開放され、ウエハキャリア１０の内部空間と、基板処理装置内の処理空間とが連続した状態になる。
その後、ウエハ１は、基板処理装置のウエハ搬送ロボットにより、その処理空間に搬送され、所定の処理が行われると、再び、ウエハキャリア１０に収納される。また、ウエハキャリア１０は、所定のウエハ１の処理が終了すると、ロードポートドア開閉機構１７０によってキャリアドア１６が閉じられる。
ロードポート１００は、パージガスがウエハ１間の隙間Ａに効率的に流出するので、ウエハキャリア１０の雰囲気をパージするために要する時間を短縮することができると共に、パージガスの流量を少なくしても、所定のパージを行うことができる。
ロードポート１００は、ノズル部１１０が扉開口部２０２に進退自在であるので、例えば、壁面２０１と収納部１２１の処理空間側の端面との距離を小さくでき、いわゆるＳＥＭＩ規格を準拠することができる。
ロードポート１００は、ウエハキャリア１０の雰囲気のパージ度合が最適な状態になるまで、酸素濃度に応じて、パージガスの流れを切換えるので、例えば、ウエハキャリア１０の曲面状の内壁１１ａ付近に滞留していた雰囲気ガスを、ノズル部１１０付近にまで流出させ、この雰囲気ガスをノズル部１１０に流入させることができ、パージを精度よく行うことができる。
以下に、ロードポートの他の実施例について説明する。なお、以下に示す各実施例では、上述したロードポート１００と同一部材については同一符号を付し、機能等の説明を適宜省略する。
【実施例２】  ロードポート１００Ａは、図９に示すように、ロードポート１００と比べると、ノズル部１１０の代わりに、ノズル部１１０Ａを設けた点が異なる。
ノズル部１１０Ａは、収納部１２１Ａに収納された薄い板状部材である。このノズル部１１０Ａは、ウエハ１間の隙間に合わせて略全面に形成されたノズル口を有する。ノズル部１１０Ａのノズル口は、ノズル部１１０Ａに所定間隔で格子状に形成されており、その直径は、ノズル部１１０Ａの厚さの１／２以下（例えば、１／３）である。
このノズル部１１０Ａは、薄い板状部材であるので、収納部１２１Ａに設けられたロードポートドア開閉機構１７０と干渉することなく、ベルトやボールネジ等を用いた適宜のノズル部昇降機構により収納部１２１Ａから上昇させることができる。
このため、ロードポート１００Ａは、ノズル駆動用モータ１６６によりノズル部昇降機構を駆動して、ノズル部１１０Ａを、扉開口部２０２の下端付近である収納部１２１Ａから上昇させて、扉開口部２０２に進出させることができる。
また、ノズル部１１０Ａのノズル口は、ウエハ１間の隙間Ａに合わせて略全面に格子状に形成されているので、パージガスは、第１ノズル部１１０Ａ−１の略全面から流出すると共に、第２ノズル部１１０Ａ−２の略全面に流入する。
このため、ロードポート１００Ａは、パージをより効率的に行うことができ、パージに要する時間を短縮することができる。
【実施例３】  ロードポート１００Ｂは、図１０に示すように、ロードポート１００と比べると、ノズル部１１０の代わりに、ノズル部１１０Ｂを設けた点が異なる。
ノズル部１１０Ｂは、収納部１２１Ｂに収納された管状部材である。このノズル部１１０Ｂは、ウエハ１間の隙間Ａに位置するように形成されたノズル口を有する。このノズル部１１０Ｂのノズル口は、所定間隔で長手方向に形成されており、その直径は、ノズル部１１０Ｂの厚さの１／２以下（例えば、１／３）である（図６参照）。
このノズル部１１０Ｂは、収納部１２１Ｂに収納されているので、ノズル部１１０Ｂの下部には、パージガスが通過する配管を接続すればよく、例えば、図２に示すようなノズル部１１０を回転させるための機構が不要となる。
このため、ロードポート１００Ｂは、ノズル部１１０Ｂの下部に設ける機構を簡略化することができ、さらに、ノズル駆動用モータ１６６によりロードポート１００Ａと略同様のノズル部昇降機構を駆動して、ノズル部１１０Ｂを、扉開口部２０２の下端付近である収納部１２１Ｂから上昇させて、扉開口部２０２に進出させることができる。
【実施例４】  ロードポート１００Ｃは、図１１に示すように、ロードポート１００と比べると、ノズル部１１０の代わりに、ノズル部１１０Ｃを設けた点が異なる。
ノズル部１１０Ｃは、管状部材である第１ノズル部１１０Ｃ−１と、第２ノズル部１１０Ｃ−２等とを備え、それぞれ扉開口部２０２の上端付近に設けられた上部カバー部材１２３Ａに互い違いに収納されている。このノズル部１１０Ｃは、ウエハ１間の隙間Ａに位置するように形成されたノズル口を有する。このノズル部１１０Ｃのノズル口は、所定間隔で長手方向に形成されており、その直径は、ノズル部１１０Ｃの厚さの１／２以下（例えば、１／３）である（図６参照）。
また、ロードポート１００Ｃは、扉開口部２０２の上端付近に、ノズル部１１０Ｃを、扉開口部２０２の上側端部を回転中心として回転させるための適宜のノズル部回転機構を備えている。
このため、ロードポート１００Ｃは、収納部１２１にノズル部昇降機構を設ける必要がないので、収納部１２１の機構を簡略化でき、例えば、ノズル駆動用モータ１６６によりノズル部回転機構を駆動して、ノズル部１１０Ｃを、扉開口部２０２の上側端部を回転中心として回転させ、扉開口部２０２の上端付近から扉開口部２０２に進出させることができる。
【実施例５】  ロードポート１００Ｄは、図１２、図１３に示すように、ロードポート１００と比べると、ノズル部１１０の代わりに、ノズル部１１０Ｄを設けた点が異なる。
ノズル部１１０Ｄは、収納部１２１Ｃに収納された薄い板状部材である。このノズル部１１０Ｄは、ウエハ１がウエハキャリア１０から基板処理装置に搬送されるときのウエハ１の外周端の軌跡Ｈ（図４参照）の外側に配置されている。このノズル部１１０Ｄは、ウエハ１間の隙間Ａに位置するように形成されたノズル口を有する。このノズル部１１０Ｄのノズル口は、所定間隔で長手方向に形成されており、その直径は、ノズル部１１０Ｄの厚さの１／２以下（例えば、１／３）である（図６参照）。
ロードポート１００Ｄは、ノズル部１１０Ｄを、収納部１２１Ｃから扉開口部２０２に進出させると共に、その進出位置で保持するためのノズル部昇降保持機構１２７を備えている。このノズル部昇降保持機構１２７は、ノズル部１１０Ｄの下部に形成されたスライド部材１２８と、ノズル部１１０Ｄが扉開口部２０２に進出したときに、その進出位置でノズル部１１０Ｄを保持可能な保持部材１２９等を備えている。スライド部材１２８は、側面カバー部材１２２の下部に形成された突出部の上に載置され、その内部にボールスライド等が設けられている。スライド部材１２８は、保持部材１２９に対向する側面に、凹部１２８ａが形成されている。保持部材１２９は、凹部１２８ａと係合するための保持ピン１２９ａを備え、この保持ピン１２９ａは、凹部１２８ａに向かって進退可能である。
このため、ノズル部１１０Ｄは、図１２に示すように、スライド部材１２８により昇降機構１２４の動きに連動して、収納部１２１Ｃから扉開口部２０２に進出する。その後、ノズル部１１０Ｄは、図１３に示すように、保持部材１２９の保持ピン１２９ａがスライド部１２８の凹部１２８ａに向かって進出し、保持ピン１２９ａと凹部１２８ａとが係合することにより、その進出位置で保持される。また、ノズル部１１０Ｄは、保持ピン１２９ａが凹部１２８ａから退避することにより、上述した昇降機構１２４の昇降動作により、扉開口部２０２から退避して、収納部１２１Ｃに収納される。
これにより、ノズル部１１０Ｄは、側面カバー部材１２２が昇降機構１２４により収納部１２１に収納された場合に、扉開口部２０２に進出した状態となり、さらに、ウエハ１の外周端の軌跡Ｈの外側に配置されているので、ウエハ１は、基板処理装置のウエハ搬送ロボットにより処理空間に搬送され、所定の処理が行われると共に、ウエハキャリア１０ではパージを行うことができるので、作業効率を向上させることができる。
また、ロードポート１００Ｄは、ロードポート１００のように収納部１２１にノズル部１１０を回転させるための回転機構を設ける必要がなく、さらに、昇降機構１２４を利用したノズル部昇降保持機構１２７を設けるために、収納部１２１の機構をより簡略化できる。
【実施例６】  ロードポート１００Ｅは、図９のロードポート１００Ａと比べると、図１４Ａ、図１４Ｂに示すように、ノズル部１１０Ａの代わりに、ノズル部１１０Ｅを設けた点が異なる。
ノズル部１１０Ｅは、第１ノズル部１１０Ｅ−１と、第２ノズル部１１０Ｅ−２と、第３ノズル部１１０Ｅ−３と、第４ノズル部１１０Ｅ−４等とを備えており、それぞれ収納部１２１Ｄに収納可能な薄い板状部材である。第１ノズル部１１０Ｅ−１と第２ノズル部１１０Ｅ−２は、扉開口部２０２の側端側付近に配置され、その幅は、第３ノズル部１１０Ｅ−３と第４ノズル部１１０Ｅ−４よりも小さい（例えば、幅の比率は、３：７程度）。
第１ノズル部１１０Ｅ−１と第２ノズル部１１０Ｅ−２は、扉開口部２０２に進出している場合には、ウエハ１がウエハキャリア１０から基板処理装置に搬送されるときのウエハ１の外周端の軌跡Ｈ（図４参照）の外側に位置している。また、第３ノズル部１１０Ｅ−３と第４ノズル部１１０Ｅ−４は、扉開口部２０２の中央付近に配置されている。
ロードポート１００Ｅは、第１ノズル部１１０Ｅ−１と、第２ノズル部１１０Ｅ−２と、第３ノズル部１１０Ｅ−３と、第４ノズル部１１０Ｅ−４とを、収納部１２１Ｄから上昇させるための不図示のノズル部昇降機構（後述）を備えている。これらのノズル部昇降機構は、ノズル部１１０Ｅがそれぞれ薄い板状部材であるので、ロードポートドア開閉機構１７０と干渉することなく、ノズル部１１０Ｅを、それぞれ独立して、扉開口部２０２の下端付近である収納部１２１Ｄから上昇させて、扉開口部２０２に進出させることができる。
このノズル部１１０Ｅは、ウエハ１間の隙間Ａに合わせて略全面に形成されたノズル口を有する。ノズル部１１０Ｅのノズル口は、ノズル部１１０Ｅに所定間隔で格子状に形成されており、その直径は、ノズル部１１０Ｅの厚さの１／２以下（例えば、１／３）である。
また、ノズル部１１０Ｅのノズル口は、ウエハ１間の隙間Ａに合わせて略全面に格子状に形成されているので、パージガスは、第１ノズル部１１０Ｅ−１と第３ノズル部１１０Ｅ−３の略全面から流出すると共に、第２ノズル部１１０Ｅ−２と第４ノズル部１１０Ｅ−４の略全面に流入する。このため、ロードポート１００Ｅは、パージをより効率的に行うことができ、パージに要する時間を短縮することができる。
つぎに、ロードポート１００Ｅのノズル部昇降機構について説明する。
ノズル部昇降機構は、第３ノズル部１１０Ｅ−３及び第４ノズル部１１０Ｅ−４を直接駆動する１つのモータと、第３ノズル部１１０Ｅ−３及び第４ノズル部１１０Ｅ−４と第１ノズル部１１０Ｅ−１及び第２ノズル部１１０Ｅ−２とを係合するための不図示のノズル部係合ピンと、第３ノズル部１１０Ｅ−３及び第４ノズル部１１０Ｅ−４と側面カバー部材１２２とを係合するための不図示の側面カバー部材係合ピン等とを備えている。
ノズル部昇降機構は、パージの初期では、ノズル部係合ピンと側面カバー部材係合ピンとを進出させて、第３ノズル部１１０Ｅ−３及び第４ノズル部１１０Ｅ−４と第１ノズル部１１０Ｅ−１及び第２ノズル部１１０Ｅ−２とを係合させ、第３ノズル部１１０Ｅ−３及び第４ノズル部１１０Ｅ−４と側面カバー部材１２２とを係合させる。
つぎに、ノズル部昇降機構は、モータが駆動すると、第３ノズル部１１０Ｅ−３及び第４ノズル部１１０Ｅ−４と共に、第１ノズル部１１０Ｅ−１及び第２ノズル部１１０Ｅ−２を扉開口部２０２に上昇させ、側面カバー部材１２２を収納部１２１Ｄから上昇させる。
ロードポート１００Ｅは、図１４Ａに示すように、第１〜第４ノズル部１１０Ｅ−１〜４が扉開口部２０２に上昇し、側面カバー部材１２２が収納部１２１Ｄから上昇して密閉空間Ｂを形成した状態で、ウエハキャリア１０の雰囲気をパージする。
その後に、ウエハ１を基板処理装置内の処理空間に搬送して、所定の処理を行う場合には、ロードポート１００Ｅは、図１４Ｂに示すように、ノズル部昇降機構により、第３ノズル部１１０Ｅ−３及び第４ノズル部１１０Ｅ−４と共に、側面カバー部材１２２を収納部１２１Ｄに収納させる。このとき、ロードポート１００Ｅは、ノズル部昇降機構のノズル部係合ピンを退避させると共に、上述したノズル部昇降保持機構１２７（図１２、図１３参照）の保持ピン１２９ａと凹部１２８ａと同様な機構により、第１ノズル部１１０Ｅ−１及び第２ノズル部１１０Ｅ−２を、その進出位置に保持する。このため、ロードポート１００Ｅは、ウエハ１の搬送中に、第１ノズル部１１０Ｅ−１及び第２ノズル部１１０Ｅ−２によりパージを行うことができる。
さらに、ロードポート１００Ｅは、ウエハ１に所定の処理が行われている間に、ノズル部昇降機構の側面カバー部材係合ピンを退避させ、第３ノズル部１１０Ｅ−３及び第４ノズル部１１０Ｅ−４を、扉開口部２０２に上昇させて、再び、図１４Ａに示すように、第１〜第４ノズル部１１０Ｅ−１〜４によりパージを行う。
また、ロードポート１００Ｅは、所定の処理が行われたウエハ１が、再び、ウエハキャリア１０に収納されるときには、ノズル部昇降機構により、第３ノズル部１１０Ｅ−３及び第４ノズル部１１０Ｅ−４を、収納部１２１Ｄに収納する。  したがって、ロードポート１００Ｅによれば、ウエハ１が搬送中であっても、第１ノズル部１１０Ｅ−１及び第２ノズル部１１０Ｅ−２により、パージを行うことができるので、上述したロードポート１００Ａに比べて、作業効率を向上させることができる。
また、ロードポート１００Ｅでは、ウエハ１の一枚毎の出し入れに応じて、第３ノズル部１１０Ｅ−３及び第４ノズル部１１０Ｅ−４を昇降させることができるので、上述したロードポート１００、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄに比べて、作業中のパージ状態の低下を防止することができる。
そして、ウエハキャリア１０に収納された全てのウエハ１に、所定の処理が行われた後に、ロードポート１００Ｅは、ノズル部昇降機構のノズル部係合ピンを進出させ、第３ノズル部１１０Ｅ−３及び第４ノズル部１１０Ｅ−４と第１ノズル部１１０Ｅ−１及び第２ノズル部１１０Ｅ−２とを係合させ、さらに、ノズル部昇降保持機構１２７と同様な機構により、第１ノズル部１１０Ｅ−１及び第２ノズル部１１０Ｅ−２をその進出位置から退避させ、第３ノズル部１１０Ｅ−３及び第４ノズル部１１０Ｅ−４と共に、第１ノズル部１１０Ｅ−１及び第２ノズル部１１０Ｅ−２を、収納部１２１Ｄに収納する。その後、ウエハキャリア１０は、ロードポートドア開閉機構１７０によってキャリアドア１６が閉じられる。
（変形例）
以上説明した実施例に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
（１）ノズル部１１０Ａは、図９に示すように、収納部１２１Ａに収納するようにしたが、これに限られず、扉開口部２０２の上端付近に設けられた上部カバー部材１２３に互い違いに収納し、扉開口部２０２の上側端部を回転中心として回転できるようにしてもよい。
このようにすれば、収納部１２１Ａにノズル部昇降機構を設ける必要がないので、収納部１２１Ａの機構を簡略化することができる。
（２）ロードポート１００では、側面カバー昇降用モータ１６８で側面カバー部材１２２を上昇させ、ノズル駆動用モータ１６６で第１ノズル部１１０−１を扉開口部２０２に進出させるようにしたが、これに限られず、側面カバー部材１２２が収納部１２１から上昇する動作に連動して変位するカムを設け、このカムの動きにより、第１ノズル部１１０−１を扉開口部２０２に進出させるような機構を設けてもよい。
このようにすれば、１つのモータ（例えば、側面カバー昇降用モータ１６８）で、側面カバー部材１２２を上昇させると共に、第１ノズル部１１０−１を扉開口部２０２に進出させることができる。
（３）制御部１６０は、密閉空間Ｂが形成された状態で、ウエハキャリア１０の雰囲気のパージを行った後に、ノズル部１１０を扉開口部２０２から退避させていたが（Ｓ１１０）、例えば、ノズル部１１０、１１０Ｂ、１１０Ｃ、１１０Ｄは、扉開口部２０２に進出した状態であっても、ウエハ１が基板処理装置内の処理空間に搬送されるときのウエハ１の外周端の軌跡Ｈの外側に位置するので、ステップＳ１１０の動作を行わないようにしてもよい。
このようにすれば、ロードポート１００、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄでは、ノズル部１１０、１１０Ｂ、１１０Ｃ、１１０Ｄを扉開口部２０２に進出させた状態で、側面カバー部材１２２を収納部１２１に収納することにより、ウエハ１は、基板処理装置のウエハ搬送ロボットにより処理空間に搬送され、所定の処理が行われると共に、ウエハキャリア１０ではパージを行うことができるので、作業効率を向上させることができる。
（４）ロードポート１００では、酸素濃度センサ１６４を用いたが、ウエハキャリア１０の雰囲気のパージ度合を示す指標になるのであれば、パージガスの比率、濃度等を検知する窒素センサ等、適宜のセンサを用いてもよい。
（５）制御部１６０は、酸素濃度センサ１６４で検知された検出信号Ｃに応じて流路切換部１６３を切換えていたが、これに限られず、タイマー等により所定のタイミングで、流路切換部１６３を切換えるようにしてもよい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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