(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部電極用ペーストの製造工程中で、導電粉末，樹脂バインダー等の組成材料をペースト材料として混合分散してから、フィルターを用い、該ペースト材料から大きな固形分を取り除き、該ペースト材料により厚み：１０μｍ以下のセラミック層と交互に複数積層させて積層チップ部品の内部電極を形成する内部電極用ペーストの製造方法において、
樹脂細線を縦，横線としてメッシュ目：１５μｍに綾織した１枚の綾織フィルターを用い、上記ペースト材料から少なくともセラミック層の厚みよりも大きな固形分を取り除くようにしたことを特徴とする内部電極用ペーストの製造方法。
【請求項２】
内部電極用ペーストの製造工程中で、導電粉末，樹脂バインダー等の組成材料をペースト材料として混合分散してから、フィルターを用い、該ペースト材料から大きな固形分を取り除き、該ペースト材料により厚み：１０μｍ以下のセラミック層と交互に複数積層させて積層チップ部品の内部電極を形成する内部電極用ペーストの製造方法において、
樹脂細線を縦，横線として所定のメッシュ目に綾織した後、該メッシュ目を加熱処理で絞った１枚の綾織フィルターを用い、上記ペースト材料から少なくともセラミック層の厚みよりも大きな固形分を取り除くようにしたことを特徴とする内部電極用ペーストの製造方法。
【請求項３】
上記樹脂細線を縦，横線としてメッシュ目：１５μｍに綾織した後、該メッシュ目を加熱処理で絞った１枚の綾織フィルターを用いるようにしたことを特徴とする請求項２に記載の内部電極用ペーストの製造方法。
【請求項４】
内部電極用ペーストの製造工程中で、導電粉末，樹脂バインダー等の組成材料をペースト材料として混合分散してから、フィルターを用い、該ペースト材料から大きな固形分を取り除き、該ペースト材料により厚み：１０μｍ以下のセラミック層と交互に複数積層させて積層チップ部品の内部電極を形成する内部電極用ペーストの製造方法において、
樹脂細線を縦，横線として所定のメッシュ目に綾織した後、該メッシュ目を加熱処理で絞った綾織フィルターを２枚以上５枚以下重ねて用い、上記ペースト材料から少なくともセラミック層の厚みよりも大きな固形分を取り除くようにしたことを特徴とする内部電極用ペーストの製造方法。
【請求項５】
上記樹脂細線を縦，横線としてメッシュ目：１５μｍに綾織した綾織フィルターを２枚以上５枚以下重ねて用いるようにしたことを特徴とする請求項４に記載の内部電極用ペーストの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミック層と交互に複数積層させて積層チップ部品の内部電極を形成する内部電極用ペーストの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
通常、内部電極用ペーストは導電粉末，樹脂バインダー等の組成材料を計量調合し、それをローラやボールミル等を用いて均一に混合分散し、更に、スクリーン印刷し易い粘度に調整する工程を経て製造されている。
【０００３】
その通常通り製造された内部電極用ペーストを用い、セラミック層を１０μｍの厚み以上に形成したものには問題がなかったが、マイコン，その他の電子機器等に搭載される小型の積層チップ部品、特に、誘電体層を１０μｍ以下の厚みに形成する積層チップセラミックチコンデンサを製造するときには電気的短絡や耐電圧不良等から不良率の発生が高くなっている。
【０００４】
その問題点を種々検討したところ、導電粉末，樹脂バインダー等の組成材料を通常通り混合分散しても、粒子の凝結等により１０μｍ以上の固形分が生ずることを避けられず、この固形分の影響でセラミック層を１０μｍ以下の厚みに形成するものではピンホールやヒビ割れがセラミック層に生じ、電気的短絡や耐電圧不良等を生ずるものと判った。
【０００５】
その固形分の発生を防ぐにはペースト材料を長時間掛けて混合分散することが考えられるが、これでは製造能率の低下とコスト高を招くばかりでなく、内部電極用ペーストの粘度に影響を来し、また、時間を掛けても凝結粒子等を小さくするには限界がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、厚み：１０μｍ以下のセラミック層と内部電極を交互に複数積層させて積層チップ部品を製造するに、電極間のショートや耐電圧不良等の発生を抑えられる内部電極を形成可能な内部電極用ペーストの製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
また、本発明は工程の簡単な変更により、電極間のショートや耐電圧不良等の発生を抑えられる内部電極用ペーストとして製造可能な内部電極用ペーストの製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
それに加えて、本発明は電極間のショートや耐電圧不良等の発生を抑えられる内部電極用ペーストとして低コストで能率よく製造可能な内部電極用ペーストの製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本願の請求項１に係る内部電極用ペーストの製造方法においては、内部電極用ペーストの製造工程中で、導電粉末，樹脂バインダー等の組成材料をペースト材料として混合分散してから、フィルターを用い、該ペースト材料から大きな固形分を取り除き、該ペースト材料により厚み：１０μｍ以下のセラミック層と交互に複数積層させて積層チップ部品の内部電極を形成する内部電極用ペーストを製造するに、
樹脂細線を縦，横線として所定のメッシュ目に綾織した１枚の綾織フィルターを用い、上記ペースト材料から少なくともセラミック層の厚みよりも大きな固形分を取り除くようにされている。
【００１０】
本願の請求項２に係る内部電極用ペーストの製造方法においては、樹脂細線を縦，横線としてメッシュ目：１５μｍに綾織した１枚の綾織フィルターを用いるようにされている。
【００１１】
本願の請求項３に係る内部電極用ペーストの製造方法においては、内部電極用ペーストの製造工程中で、導電粉末，樹脂バインダー等の組成材料をペースト材料として混合分散してから、フィルターを用い、該ペースト材料から大きな固形分を取り除き、該ペースト材料により厚み：１０μｍ以下のセラミック層と交互に複数積層させて積層チップ部品の内部電極を形成する内部電極用ペーストを製造するに、
樹脂細線を縦，横線として所定のメッシュ目に綾織した後、該メッシュ目を加熱処理で絞った１枚の綾織フィルターを用い、上記ペースト材料から少なくともセラミック層の厚みよりも大きな固形分を取り除くようにされている。
【００１２】
本願の請求項４に係る内部電極用ペーストの製造方法においては、樹脂細線を縦，横線としてメッシュ目：１５μｍに綾織した後、該メッシュ目を加熱処理で絞った１枚の綾織フィルターを用いるようにされている。
【００１３】
本願の請求項５に係る内部電極用ペーストの製造方法においては、内部電極用ペーストの製造工程中で、導電粉末，樹脂バインダー等の組成材料をペースト材料として混合分散してから、フィルターを用い、該ペースト材料から大きな固形分を取り除き、該ペースト材料により厚み：１０μｍ以下のセラミック層と交互に複数積層させて積層チップ部品の内部電極を形成する内部電極用ペーストを製造するに、
樹脂細線を縦，横線として所定のメッシュ目に綾織した綾織フィルターを２枚以上５枚以下重ねて用い、上記ペースト材料から少なくともセラミック層の厚みよりも大きな固形分を取り除くようにされている。
【００１４】
本願の請求項６に係る内部電極用ペーストの製造方法においては、樹脂細線を縦，横線としてメッシュ目：１５μｍに綾織した綾織フィルターを２枚以上５枚以下重ねて用いるようにされている。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して説明すると、図示装置は内部電極用ペーストの製造工程中でペースト材料Ｐより少なくともセラミック層の厚みよりも大きな固形分を取り除く濾過装置として構成されている。その固形分の濾過は、導電粉末，樹脂バインダー等の組成材料を計量調合し、この組成材料をローラやロールミル等を用いて均一に混合分散し、更に、溶剤を添加させてスクリーン印刷し易い粘度に調整したペースト材料Ｐを得てから最終工程で行われる。
【００１６】
その濾過装置はフィルター１を濾過容器２に備え付けたもので、フィルター１は支持枠２０に張設固定することにより容器本体２１の上部側に着脱自在に備え付けられている。また、容器本体２１の側壁部には空気導管２２を備え、その空気導管２２とバキューム等の吸引装置３を接続することにより吸引圧を容器本体２１の内部に作用可能に構成されている。
【００１７】
フィルター１としてはテトロン等の樹脂細線を縦，横線とし、この縦線と横線とを互いに二本跨ぎに組み合わせた綾織製のものが用いられている。その綾織フィルターでは、平織よりも密度を高くするよう織成することができる。また、２００℃，２時間程度加熱処理することにより開き目を多少絞るよう形成できる。このフィルターは一枚で、または複数枚重ねて用いることができる。
【００１８】
そのフィルター１には、導電粉末，樹脂バインダー等の組成材料を分散混合したペースト材料から交互に積層形成される誘電体層の厚みよりも大きな固形分を取り除く目開きを有するものが備えられる。積層チップ部品の誘電体層を１０μｍ以下の厚みに形成するもので、誘電体層の厚みより大きな固形分を取り除くようメッシュ目：１５μｍ以下の目開きを有するものを備え付ければよい。
【００１９】
そのフィルター１によっては導電粉末，樹脂バインダー等の組成材料を分散混合したペースト材料を充填すると共に、吸引圧を容器本体２１の内部に作用させてペースト材料を濾過する。これにより、ペースト材料の濾過を迅速に行え、誘電体層の厚みより大きな固形分を取り除いた内部電極用ペーストとして最終的に製造できる。
【００２０】
その内部電極用ペーストは、セラミック粉末，樹脂バインダー，溶剤等を混合分散したセラミックペーストからセラミックシートを形成し、このセラミックシートのシート面にスクリーン印刷する導電性ペーストとして用いられる。また、その内部電極用ペーストを印刷したセラミックシートを複数積層することにより、セラミック層と交互に位置する積層チップ部品の内部電極として形成するのに用いられる。
【００２１】
その積層チップ部品では、内部電極がセラミック層の厚みより大きな粒子の凝縮等による固形分を含まないため、セラミック層のピンホールやヒビ割れによる電気的短絡や耐電圧不良等の発生を極めて少なく抑えることができる。
【００２２】
この有効性を確認するべく、従来例の内部電極用ペーストによる積層チップ部品と共に、テトロン４６０＃，メッシュ目：１５μｍの綾織フィルターを用いて濾過した内部電極用ペーストによる積層チップ部品について、ショート不良，耐電圧不良の発生を試料５０個分で検査したところ、次表１で示す通りであった。
【００２３】
その試料のセラミック層は厚み：１０μｍに形成し、また、各実施例ではペースト材料より１０μｍ以上の固形分を取り除いた。そのショート不良は抵抗値が２Ｖ電圧の印加で１０５Ω以下、耐電圧不良は抵抗値が１５０Ｖ電圧の印加で１０６Ω以下になるものを不良品として判断した。
【００２４】
【表１】
0004547724.tif 000002
【００２５】
実施例１はテトロン４６０＃，メッシュ目：１５μｍの綾織フィルターを１枚用いた場合であり、従来例のショート不良率：２０％，耐電圧不良率：８％に対し、ショート不良率が１４％と６％も低減し、耐電圧不良率が６％と２％も低減した。
【００２６】
実施例２はテトロン４６０＃，メッシュ目：１５μｍのものを２００℃，２時間熱処理した綾織フィルターを１枚用いた場合であり、従来例に比べてショート不良率が８％と１２％も低減し、耐電圧不良率が４％と半分にまで低減した。これは綾織フィルターを熱処理したことによりメッシュの糸目を絞める効果があり、その糸目がペースト材料の充填による重みで拡大するのを防げることによる。
【００２７】
実施例３〜６は熱処理しないテトロン４６０＃，メッシュ目：１５μｍの綾織りフィルターを数枚重ねに用いた場合であり、実施例３は綾織フィルターを２枚重ねで用いたところ、従来例に比べてショート不良率が６％と１４％も低減し、耐電圧不良率が３％と半分以下にまで低減した。実施例４は綾織フィルターを３枚重ねで用いた場合で、従来例に比べてショート不良率が３％と１７％も低減し、耐電圧不良率が２％と６％も低減した。
【００２８】
実施例５は綾織フィルターを４枚重ねで用いた場合で、従来例に比べてショート不良率が２％と１８％も低減し、耐電圧不良率が２％と６％も低減した。実施例６は綾織フィルターを５枚重ねで用いた場合で、従来例に比べてショート不良率が２％と１８％も低減し、耐電圧不良率が１％と７％も低減した。
【００２９】
なお、綾織フィルターの複数枚重ねによる場合は１０枚までを行ったが、６枚を超えると、吸引装置を併用してもペースト材料の通りが悪くなり、処理能率が低下するため、最大枚数５枚までが適している。
【００３０】
【発明の効果】
以上の如く、本発明に係る内部電極用ペーストの製造方法に依れば、１０μｍ以下と厚みの薄いセラミック層を形成するものでも、内部電極形成用のペースト材料より少なくともセラミック層の厚みよりも大きな固形分を取り除くことにより、電極間のショートや耐電圧不良等の発生を抑えられる内部電極を形成可能な内部電極用ペーストとして得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る内部電極用ペーストの製造方法を適用するペースト材料の濾過装置を示す説明図である。
【符号の説明】
Ｐ          ペースト材料
１          フィルター
【図１】
0004547724.tif 000003