(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
壁（３）と、その壁（３）に形成された少なくとも一つの開口部（１９）と、さらにそのための真空プレート弁とを備える真空配置であって、
・  壁に対して平行に、かつ担体プレート（１）と壁（３）との間に隙間を挟んで壁に沿って動くよう載置され、移動経路が開口部（１９）の上を通り、開口部（１９）を開放するための開放用開口部（２３）を有する担体プレート（１）と、
・  前記開放用開口部（２３）の横に配置され、壁側を向いた前記担体プレート（１）の表面に対して垂直に動くよう載置され、前記表面に対して平行な、少なくとも一つのパッキンプレート（７）と、
・  担体プレート（１）と前記開放用開口部（２３）の横に配置された前記少なくとも一つのパッキンプレート（７）との間に、拡張可能な作動シリンダ空間と、さらに
・  担体プレート（１）を通って、または担体プレート（１）上を導かれ、シリンダ空間（１１）内に合流する圧力媒体管（１３）とを、前記真空プレート弁が含むことを特徴とする配置であって、
・  担体プレート（１）は移動ガイド（５）によって壁（３）に対して支持され、前記移動ガイド（５）は、壁（３）に取り付けられ、かつパッキンプレート（７）に向けて反作用するパッキン力を対向支持する、配置。
【請求項２】
パッキンプレート（７）が壁（３）内の開口部（１９）を全面的に覆い、かつシリンダ空間（１１）のパッキンプレート（７）への作用表面の大きさが、壁開口部（１９）を環状に取り囲む襟状被覆表面（φD）より大きく、少なくとも二倍の大きさであることを特徴とする配置において、前記襟状被覆領域の壁側および／またはパッキンプレート側に、少なくとも一つのパッキン機構として、弾性の、少なくとも一つのＯリング状パッキンが設けられる、請求項１に記載の配置。
【請求項３】
移動ガイドがローラガイドを少なくとも含むことを特徴とする、請求項１または２に記載の配置。
【請求項４】
担体プレート（１）の移動方向に、壁に複数の開口部（１９）が設けられることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の配置。
【請求項５】
壁（３）にある前記少なくとも一つの開口部（１９）が、担体プレート（１）の移動方向に垂直な方向に長く延びるスリット形状であることを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載の配置。
【請求項６】
前記少なくとも一つの開口部（１９）が真空プロセス室への操作開口部を形成することを特徴とする、請求項５に記載の配置。
【請求項７】
シリンダ空間（１１）は、パッキンプレート（７）の周囲に取り付けられ、かつ担体プレート（１）に取り付けられたベローを含むことを特徴とする、請求項１から６のいずれかに記載の配置。
【請求項８】
パッキンプレート（７）および／または開口部縁部が、パッキン圧力によって弾性変形し得る少なくとも一つのパッキンエレメントを含むことを特徴とする、請求項１から７のいずれかに記載の配置。
【請求項９】
担体プレート（１）の移動方向に、複数の開口部（１９）が壁に設けられ、かつ担体プレート（１）上には、複数の前記パッキンプレート、作動シリンダ空間および圧力媒体管が、上下にずらされて設けられることを特徴とする、請求項１から８のいずれかに記載の配置。
【請求項１０】
担体プレート（１）上のパッキンプレート（７）間に、壁（３）内に連続して並ぶ開口部（１９）と同じ間隔で、開口部（２３）が設けられることを特徴とする、請求項９に記載の配置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、真空プレート弁を備える真空配置に関するものである。
【０００２】
プレート弁とは、それぞれに閉じられるべき一つ、または複数の開口部の平面にあるプレート弁が、前記開口部内に横方向に、ないし前記開口部上に変位され、そのように押し出されたプレートが次に前記開口部周辺で、または全開口部の周りで遮蔽される、弁のことである。
【０００３】
【従来の技術】
開口部を制御しながら隙間なく遮蔽するための弁については当然、多種多様な弁が知られているが、決して全てが真空に適しているわけではなく、ましてや全てがプレート弁であるわけではない。例えば、ＥＰ−Ａ−０  ５９０  ９６４によって知られるところとなった弁は、本来の弁ハウジング内の開口部から第二の開口部への貫流を制御する。この弁は、第一のプレートと、前記プレートに柔軟なベローによって取り付けられた、前記プレートに平行な第二のプレートとを含む。プレート間にあるベロー空間の圧力衝撃によって、両プレートは互いに突き離され、両プレートはそれぞれ開口部の縁部に隙間なく係合する。これら両プレートは開口部の平面に平行には変位されないので、これはプレート弁ではない。
【０００４】
ＷＯ９３／１８３２２によって周知となった、例えば高炉用熱風加熱装置のためのプレート弁は、独自の弁ハウジング内に格納される。その目的は、同軸上にある二つのブッシング開口部の弁ハウジングにおける分離、ないし結合である。ここでは、前記ブッシングの間に弁プレートが配置され、ブッシングの開口部平面に平行に直線駆動される。弁ハウジングの壁には液圧式往復動装置が装着され、これによって、ハウジング内にある一方のブッシングの縁部に弁プレート全体が押し当てられ、ブッシングを遮蔽する。
【０００５】
同様の方法がＬＵ−５７９９１に示される。弁ハウジング内に、直線運動をするよう駆動される弁プレートがブッシング結合を介して装着されるが、この弁プレートは前記ブッシングの間に押し込まれ、あるいは再びそこから引き出される。担体プレートの両側には、拡張可能なベロー空間が設けられ、これらの空間はそれぞれパッキンプレートによって遮断される。ブッシングの通行を隙間なく遮断するために、ベロー空間とパッキンプレートとを備える担体プレートが弁ハウジングからブッシングの間に押し込まれ、次にベロー空間が共に同時に膨張することによって、両パッキンプレートがブッシング端部に押し当てられる。ＥＰ−０  ５９０  ９６４におけると同様、同時に反対方向に密閉されることによって、パッキンの力が相互に相殺される。これに対してＷＯ９３／１８３２２では、必要なパッキン力は、往復動装置を備える弁ハウジングの壁部によって受容される。
【０００６】
極めて類似した方法がＮＬ−７６０４４８３によって知られているが、それによると、弁プレートを間に差し込むことで二つのブッシングが結合され、パッキンピストンにおいて形成される反対方向のパッキン圧力については、パッキン圧力を互いに相殺する二面パッキンが成立する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、壁部内の少なくとも一つの開口部が弁によって操作され、したがって壁部の開口部を介して連絡する両空間の、一方から他方への通行が弁によって操作されるべき、真空プレート弁を備える真空配置を前提とする。場合によっては「管結合」として解釈され得る、壁部を貫通し、開口部を形成する結合への係合は行われるべきでない。この発明ではさらに、独自の弁ハウジングが全く必要ない、そのような配置が提供されるべきである。この配置の構想はさらに、複数の真空室ないし壁開口部が互いに独立して、すなわち同時または時間をずらせて、ただ一つのプレート弁によって操作可能であり、さらに、操作されるべき開口部が複数ある場合には特に、それぞれの遮蔽運動が最小化される、というように柔軟に拡大され得るべきである。さらにこの弁は、パッキンによる圧力差の衝撃を双方向に与え得るべきであり、さらに両側とも真空プロセスに適したものであるべきである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この目的のために、請求項１の特徴を備える配置が提案される。
【０００９】
担体プレートの一方の側にのみ、それぞれパッキンプレートを備える一つ、または複数の、拡張可能なパッキン作動シリンダ空間が設けられ、したがって担体プレートの動き、すなわち位置決め運動によって、前記単数または複数のパッキンプレートが、それに対応する数だけ壁部に設けられた開口部の位置に合わせられる。その後、シリンダ空間の圧力衝撃によって、前記パッキンプレートが少なくとも一つ、それぞれの開口部縁部に隙間なく押し当てられる。その結果生じる、一方の側だけのパッキン力は、担体プレートの運動ガイドによって受容される。前記少なくとも一つのシリンダ空間のための圧力媒体としては、好ましくはガス状の媒体、好ましくは空気が用いられる。
【００１０】
これによって、あるパッキンプレートがそれぞれ一つの、または密閉されるべき壁の開口部に対して位置決めされるまで、弁プレート全体を直接、前記少なくとも一つの開口部を備える壁に沿って、好ましくは直線的に変位することが可能となる。最小限必要なパッキン行程は、パッキンプレートが剥離した弁プレートを壁に沿って自由に変位するのに必要な下方への解除行程によってのみ制限される。この解除行程は極めて小さく見積もることが可能であり、したがってまたパッキンプレートに必要なパッキン行程も小さく見積もられ得る。
【００１１】
好ましい実施形態においては、シリンダ空間は被膜によって、好ましくはベロー状の被膜によって覆われるか、あるいはゴム状弾性壁部によって囲まれる。これは、好ましくは金属製ベローによって、すなわち金属製および／または弾性、例えば合成樹脂製部材を備えるベローによって、または被膜がゴム状弾性壁部からなる、例えば入れ子式安定化ハウジング内の、隙間のないゴム状弾性「袋」によって実現する。
【００１２】
開口部の壁縁部および／またはパッキンプレートは、その担体プレートとは反対の側に、好ましくは少なくとも一つの、パッキン圧力によって弾性変形するパッキンエレメントを含むが、このエレメントは少なくとも一つのゴム状弾性パッキンエレメント、および／またはそれに対応した大きさの、少なくとも一つの金属製パッキンプレートによって形成され得る。
【００１３】
さらに、パッキンプレートは好ましくはシリンダ空間内を（真空汚染！）、好ましくはシリンダ空間内のガイドボルトによって、好ましくは遊びをもって、移動しながら導かれるように、担体プレートに載置される。パッキンプレートはさらに担体プレートに対して、引き戻し配置、例えばばね機構によってバイアスをかけられる。遊びのあるガイドによって、閉じられるべき開口部へのパッキンプレートの、公差に左右されず隙間のない付着が強化される。好ましくはさらに、パッキンプレートのための作動機構、ガイド機構、バイアス機構等が全て、シリンダ空間内において共に被覆される。これによって、そのようなプロセス空間において避けられるべき粒子汚染を考えた場合、弁の両サイドにおける真空プロセスの適格性が保証される。
【００１４】
さらに、プレート弁においては一般的な、操作されるべき室壁内の開口部の完全な解除を確実にするために、大きさおよび形が密閉されるべき開口部に基本的に対応するか、それより大きい、少なくとも一つの開口部が担体プレートに、パッキンプレートからはずされて、設けられるよう提案される。
【００１５】
したがって、この発明の構想によると、操作されるべき開口部を少なくとも一つ備える壁に沿って、担体プレートのみが好ましくは直線的に、第一の位置へと変位され得、次に前記開口部はこの位置において、パッキンプレートの作動によって隙間なく閉鎖され、さらに第二の位置へ変位されて、室壁内の前記開口部が担体プレートにある上述の開口部によって完全に解除されることがわかる。
【００１６】
真空室配置の壁にある複数の開口部を操作するにはさらに、この発明の担体プレートに交互に、それぞれシリンダ空間および圧縮空気管を備える少なくとも二つの前記パッキンプレートと、他方には前記解除開口部とが設けられるよう提案されるが、この場合好ましくは、かつ基本的に複数の前記シリンダ空間はともに、担体プレート上、またはその中の中央圧力媒体管による供給を受け得る。
【００１７】
さらに、好ましくは担体プレート上に、同時にパッキン力対向支持部として機能する運動ガイドが、切欠き／ローラーガイドとして形成される。
【００１８】
この場合、まさに複数の開口部が密閉されるため、対向支持されるべきパッキン圧力は極めて高くなり得る。さらに前記ガイドは、例えば大気圧に対応する圧力差がどの方向で弁プレートに働くかに関わりなく、弁機能を保証する。
【００１９】
さらに、開口部縁部にあるパッキンプレートのパッキン表面の大きさは好ましくは、シリンダ空間を介して圧力衝撃を受けるパッキンプレート表面より小さく、好ましくはせいぜいその半分の大きさである。これによって、比較的わずかな前記媒体のパッキン圧力で処理可能であり、かつそれにも関わらず、相当な逆圧を制して弁を閉じることができる。さらにまたこれによって、圧力媒体に関して極めて経済的な操作が可能となり、また制御されたパッキンの緩やかな提供および解除が可能となる。後者によってさらにそのような弁の耐用期間が、整備なしで連続使用されるパッキンサイクルに関して、大幅に引上げられる。
【００２０】
また、回避されるべき粒子の形成という観点からしても、「緩やか」で、衝撃のない操作は極めて有利である。
【００２１】
さらに、担体プレートを壁に対して相対的に変位させるための、すなわち位置決め移動のための、好ましくは被膜によって、好ましくはベロー状に覆われた駆動配置が設けられ、これを通して、さらに好ましくは、弁プレートのための圧力媒体管が導かれる。
【００２２】
前記駆動配置は、壁の領域内に直接、例えば壁自体の弁側に取り付けられるか、あるいは壁の外側に直接取り付けられる。
【００２３】
壁および／またはパッキンプレート側には、例えばＯリング状パッキンのような、さらなるパッキン機構が開口部の周りに、ないし開口部の周りを囲むように設けられ得る。
【００２４】
この発明によって設けられる弁は、清潔に保たねばならない真空雰囲気を、特にその位置駆動装置が被覆されていても、分離することが可能である。特にこの発明の弁プレートによって複数の壁開口部が操作される場合、担体プレート全体がそれらの開口部に沿って、ないしそれら開口部上を変位されることによって、大きな行程の開閉運動、すなわち位置決め運動が全体でただ一度行われるだけである。このように共通の担体プレートを一つ設けることによってまた、開口部にそれぞれ特別に割り当てられる弁ハウジングが不要となる。
【００２５】
複数の開口部操作のためにプレート弁が形成される場合、それぞれに作動機構を備えるパッキンプレートは個々に取り外され、交換され得るが、これによって整備時間がより短くなる。シリンダ空間の衝撃を受ける圧力表面の大きさが、室壁開口部においてそれぞれ密閉さるべきパッキン表面より、好ましくははるかに大きく選択されることによって特に、わずかな媒体圧力による、したがってわずかな媒体消費による処理が可能である。
【００２６】
特に複数の開口部の操作のために指定された弁プレートに、媒体管の中央供給管を設けることによって、真空室壁を通る管路がただ一つとなるが、この管路は同時にプレート弁の位置決め駆動装置のためにも利用される。ここに提案される、好ましくはパッキン行程が小さい、拡張可能なシリンダ空間は、パッキンプレート運動における最小限の粒子発生を保証する。
【００２７】
さらに、特に複数の開口部の操作のための設計では、全ての開口部のための連続した、大きなパッキン表面は設けられず、開口部はそれぞれ割り当てられたパッキンプレートによって密閉されるので、大きなパッキン表面における表面処理の問題および公差の問題がなくなる。すなわち、個々のパッキンプレートによるパッキンは、表面処理および公差にほとんど全く左右されない。こうして得られるパッキンは、弁プレートを取り外さずとも、それぞれの室開口部を通して検査され、場合によっては交換され得る。特に複数の開口部に使用される場合には、極めて省スペースで小型の、整備が容易な弁の構想が得られる。
【００２８】
この発明による配置は、平行プロセス装置、ないしバッチ装置、特にＣＨ−Ａ−６８７  ９８６に述べられたような、真空室配置の複数のプロセス室が重ねられて、上下に並んだスリット開口部を介して操作され得る装置での使用に特に適している。
【００２９】
次に、例として二つの図面を参考に、この発明の説明がなされる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
この発明の配置は、図１では担体プレート１を備える、プレート弁を含み、前記担体プレート１は、好ましくは片側に、真空室配置の壁３に沿って、好ましくは直線的に変位可能なように、好ましくは側面ローラガイド５内に載置される。担体プレート１は一方の側面に、その形態に応じて、一つまたは複数のパッキンプレート７を担い、このパッキンプレート７は、担体プレート１上の対応するブッシュ１０内をスライドするガイドピン９によって、担体プレート１の面に対して垂直に、好ましくは遊びをもって動くよう、導かれる。担体プレート１と前記単数または複数のパッキンプレート７との間にはそれぞれ、隙間なく拡張可能なシリンダ空間１１が、図のようにベロー空間の形で、あるいはゴム状弾性袋によって形成されて、設けられる。シリンダ空間１１は、担体プレート１内の圧力媒体管システム１３を介して操作される。引き戻し機構、例えば牽引ばね１５は、シリンダ空間１１が活性化されていない場合に、パッキンプレート７をそれが下ろされた位置へ引き戻す。シリンダ空間１は、全ての摩擦部材、特にガイドおよび引き戻し機構を含む。
【００３１】
ガイド、特にローラガイド５内を走行する担体プレート１は、好ましくはベロー１７で覆われたタペット駆動装置によって駆動方向Ｆに駆動されるが、好ましくはまたこの駆動装置を通して、圧搾空気管１３がプレート１の中央に導かれる。ここで、シリンダ空間１１からパッキンプレート７に作用する圧力表面φ1の大きさは好ましくは、パッキンプレート７と開口部縁部との間で作用するパッキン表面φDより大きく選択され、表面φ1は好ましくは表面φDの少なくとも二倍である。
【００３２】
プレート１には、Ｆ方向においてパッキンプレート配置からずらされて、解除開口部２３が設けられ、あるいは複数のパッキンプレート配置が設けられる場合には、それぞれ前記配置の間に、開口部２３が設けられる。シリンダ空間１１の負荷が解除されてパッキンプレート７がわずかに持ち上げられ、続いてＦ方向に直線的に変位されることによって、それぞれ以前には隙間なく遮蔽されていた室配置壁の開口部１９が、開口部２３が前記開口部１９の位置に合わせられることによって、完全に開放される。
【００３３】
この発明の弁プレートは好ましくは垂直に取り付けられる。開口部１９の一方の側の真空雰囲気が他方の側におけるそれより、汚れに敏感である場合、弁プレートは汚れに対する感度が低い側に取り付けられる。その際、担体プレート１にかかるパッキン圧力はガイドによって、特にローラガイド５によって受容される。
【００３４】
上記の弁プレートは、開口部縁部に柔軟に適合する小さなパッキン板７が利用され得る、図１のｙ方向に延びる開口部スリット１９の操作に特に適している。
【００３５】
図１からわかるように、担体プレート１の位置決め運動のための位置決め駆動装置１７は、直接壁３の領域に取り付けられる。この駆動装置は好ましくは、被覆されたピストン／シリンダ配置（１７内）を含む。この配置には、空気のように必要な圧力媒体のみが管接続用パイプＬを介して外部から供給される。図からわかるように、この弁配置全体は、操作されるべき開口部１９を備える壁３に沿って直接延び、片側にのみ作用するプレート弁の対向支持されるべき全パッキン圧力はガイド５において受容される。
【００３６】
図２には、複数の開口部を操作する場合の、この発明による配置が概略的に示される。図１と同じ機関には同じ参照記号が付された。図１の説明の後では、図２についてさらに説明を加える必要はない。
【００３７】
バッチ装置、特にこの装置に関してはこの明細書の一部を構成するものと言える、ＣＨ−Ａ−６８７  ９８６に記載されたようなバッチ装置に使用されると、全配置の構造が極めてコンパクトで簡単なものとなるが、これは特に、これまでこれらの装置では、全てのプロセス室の積み重なった開口部を一つのプレートで一度に、すなわち全ての開口部の周りを一度にパッキンするのが普通であったことを考慮すると、なおさらである。その場合、プレートの解除には極めて長い行程が必要であった。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の真空室配置における、この発明の弁プレートの好ましい実施形態の概略縦断面図である。
【図２】  この発明の多重弁プレートの原理を示す概略図である。
【図１】
0004452893.tif 000002
【図２】
0004452893.tif 000003