(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の可撓性のチューブを一対の保持部材を備えた第１チューブ保持具及び第２チューブ保持具によって保持し、前記第１チューブ保持具及び第２チューブ保持具との間を移動する加熱した切断板によって加熱溶融して切断した後、異なるチューブ切断面同士を溶着して接続するチューブ接続装置において、
チューブの有無を検出する検出手段を有し、
前記検出手段は、付勢部材の付勢力を受けて突出するプランジャと、そのプランジャの位置を検出するセンサとを有し、保持されたチューブの弾性力によってプランジャを付勢部材の付勢力に抗して後退させ、後退したプランジャの位置を前記センサで検出するように構成されており、
前記プランジャは、一方又は両方のチューブ保持具に設けられ、プランジャが突出する面が平面であることを特徴とするチューブ接続装置。
【請求項２】
請求項１に記載のチューブ接続装置において、
前記一対の保持部材は、チューブを保持するために溝を有し、溝の一端には保持されたチューブを平坦化し閉塞させるための閉塞部材が設けられており、前記プランジャは、前記溝内に設けられ、前記閉塞部材によるチューブの閉塞位置が、チューブの中心より前記プランジャが設けられた方向に偏っていることを特徴とするチューブ接続装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のチューブ接続装置において、
前記第１チューブ保持具及び・又は第２チューブ保持具は、前記保持部材の一方に設けられた位置決穴と、前記保持部材の他方に設けられ、前記位置決穴に嵌合可能な位置決突起とを有し、前記位置決穴に前記位置決突起が嵌合することにより重ね合わせた一対の保持部材の位置決めを行うことを特徴とするチューブ接続装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３に記載するいずれか１つのチューブ接続装置において、
前記第１チューブ保持具及び・又は第２チューブ保持具に設けられ、前記チューブを並べて配置させる支持手段を有することを特徴とするチューブ接続装置。
【請求項５】
請求項４に記載のチューブ接続装置において、
前記支持手段は、前記チューブを挟み込む二股に突き出た支持爪にチューブの抜けを防止するための突起が形成されたことを特徴とするチューブ接続装置。
【請求項６】
請求項４に記載のチューブ接続装置において、
前記支持手段は、前記チューブを挟み込む一対の支持爪が付勢部材によって互いに向かい合う方向に付勢され、クランプ部材に保持されてチューブが回転する際に、前記一対の支持爪が、付勢部材の付勢力に抗して回転するチューブの動きによって可動することを特徴とするチューブ接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可撓性を有するチューブを溶融して切断し、その切断面同士を溶着して接続するチューブ接続装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
チューブ接続装置は、例えば腹膜透析患者の腹腔内に透析液を提供するため、腹腔に接続されたトランスファーチューブと透析バックに接続されたチューブとの接続に利用されるものである。
そこで、チューブ接続装置の接続動作の一例を簡単に説明する。例えば２本のチューブ７，８が、図１８に示すように第１チューブ保持具３０１及び第２チューブ保持具３０２の固定クランプ３１１，３１３と、これに対し当接・離間する可動クランプ３１２，３１４とによって２箇所でクランプされる。このとき、チューブ７，８はクランプされて扁平形状となって管内が閉塞される。
そして、加熱した切断板（以下、「ウェハ」という）６が、第１チューブ保持具１と第２チューブ保持具２との間を上昇し、直交するチューブ７，８を溶融して切断する。
【０００３】
その後、第１チューブ保持具３０１では、半円形状の一対のローター片３０３，３０４が重なってクランプローター３０５を形成し、そのクランプローター３０５の回転によって、図１９に示すように切断した一方の切断チューブ７ａ，８ａがウェハ６を滑るようにして反転する。
そして、互いに異なるチューブ（７ａと８ｂ，８ａと７ｂ）の切断面が同軸上に位置したところで、ウェハ６を後退させて両チューブの切断面同士を押し付けるようにして溶着し、図２０に示すように互い違いに接合したチューブ９，１０を形成する。
【０００４】
ところで、このチューブ接続装置では、前述したように一対のローター片３０３，３０４からなるクランプローター３０５によってチューブの反転を行うよう構成されている。図２１は、第１チューブ保持具３０１に装填されたクランプローター３０５を示した図である。
クランプローター３０５は、一対の半円形状のローター片３０３，３０４から構成されたものであり、その円周上には歯形が形成され、両ローター片３０３，３０４が互いに重ねられた場合に１個の歯車をなすよう構成されている。また、クランプローター３０５の中心、即ち、ローター片３０３，３０４同士の当接面中央には、それぞれ１本のチューブが入る深さのＵ字溝３３１，３３２と、チューブを潰してクランプする浅溝の閉塞部３３３，３３４が形成されている。
【０００５】
このようなローター片３０３，３０４は、固定クランプ３１１及び可動クランプ３１２を形成するブロック３２１，３２２に形成されたローター装填部３２３，３２４内にそれぞれ装填されている。
一方、ローター装填部３２３に連設されたギヤ装填部３２５には、ローター片３０３（３０４）と噛合するドライブギヤ３０６が回転可能に装填され、図示しない駆動モータのモータ軸に連結されている。
そして、例えば図１８に示すようにチューブ７，８がクランプされて切断されると、所定のタイミングで図示しない駆動モータが駆動してドライブギヤ３０６に回転が与えられる。それによってクランプローター３０５が第１チューブ保持具３０１内を回転し、それぞれのローター片３０３，３０４の位置が入れ替わって切断チューブが互い違いに配置される。
【特許文献１】特開平１０−１６５４９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このようなクランプローター３０５を利用した従来のチューブ接続装置では、チューブ７，８が、第１チューブ保持具３０１及び第２チューブ保持具３０２の固定クランプ３１１，３１３と、可動クランプ３１２，３１４とによって２箇所でクランプされるが、固定側と可動側とで正確にチューブがクランプされる必要がある。チューブが確実に閉塞されなければ液漏れを生じるからである。しかし、各部品の寸法公差によって、重ね合わされた固定クランプ３１１，３１３と可動クランプ３１２，３１４とにわずかなずれが生じることがある。
更に、第１チューブ保持具３０１及び第２チューブ保持具３０２にチューブ７，８を配置する時点で、正確なチューブ７，８の配置が行われなければ、チューブ７，８は正しくクランプされず、接続不良やそれに伴う液漏れを起こしてしまう。
【０００７】
そこで、本発明は、チューブのクランプミスなどによる接続不良を防止してチューブの接続を確実に行うチューブ接続装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記問題点を解決するためになされた本発明に係るチューブ接続装置は、  複数の可撓性のチューブを一対の保持部材を備えた第１チューブ保持具及び第２チューブ保持具によって保持し、前記第１チューブ保持具及び第２チューブ保持具との間を移動する加熱した切断板によって加熱溶融して切断した後、異なるチューブ切断面同士を溶着して接続するチューブ接続装置において、チューブの有無を検出する検出手段を有し、前記検出手段は、付勢部材の付勢力を受けて突出するプランジャと、そのプランジャの位置を検出するセンサとを有し、保持されたチューブの弾性力によってプランジャを付勢部材の付勢力に抗して後退させ、後退したプランジャの位置を前記センサで検出するように構成されており、前記プランジャは、一方又は両方のチューブ保持具に設けられ、プランジャが突出する面が平面であることを特徴とする。
よって、検出手段の検出信号に基づいて、チューブが保持されていない状態でのチューブ接続動作を停止させることができるので、チューブのクランプミスなどによる接続不良を回避することができる。
【０００９】
このチューブ接続装置では、前記検出手段は、付勢部材の付勢力を受けて突出するプランジャと、そのプランジャの位置を検出するセンサとを有し、保持されたチューブの弾性力によってプランジャを付勢部材の付勢力に抗して後退させ、後退したプランジャの位置を前記センサで検出するように構成されているので、付勢部材の付勢力を受けて突出するプランジャが、保持部材に保持されるチューブからの弾性力の有無によって付勢方向に移動し、その移動位置をセンサが検出することによってチューブの有無が検出され、検出手段の検出信号に基づいて、チューブが正しく保持されていない状態でのチューブ接続動作を停止させることができる。
【００１０】
また、このチューブ接続装置では、前記プランジャが、一方又は両方のチューブ保持具に設けられ、プランジャが突出する面が平面であるので、そのプランジャが突出する平面に当てられたチューブとの接触面が小さくなり、保持されたチューブに発生する弾性力が当該接触面に強く作用するので、その接触面部分にプランジャを突出させることにより、チューブの弾性力によって確実にプランジャを後退させることができる。
【００１１】
また、本発明に係るチューブ接続装置においては、前記一対の保持部材が、チューブを保持するために溝を有し、溝の一端には保持されたチューブを平坦化し閉塞させるための閉塞部材が設けられており、前記プランジャは、前記溝内に設けられ、前記閉塞部材によるチューブの閉塞位置が、チューブの中心より前記プランジャが設けられた方向に偏っていることが望ましい。
これにより、閉塞部材に押し潰されて平坦化したチューブは、その閉塞位置がチューブの中心より前記プランジャが設けられた方向に偏っているので、チューブに発生する弾性力がプランジャ側に強く働く。そのため、平坦化したチューブの弾性力によって確実にプランジャを後退させることができ、チューブの検出精度を上げることができる。
【００１２】
また、本発明に係るチューブ接続装置においては、前記第１チューブ保持具及び・又は第２チューブ保持具は、前記保持部材の一方に設けられた位置決穴と、前記保持部材の他方に設けられ、前記位置決穴に嵌合可能な位置決突起とを有し、前記位置決穴に前記位置決突起が嵌合することにより重ね合わせた一対の保持部材の位置決めを行うことが望ましい。
【００１３】
これにより、一対の保持部材を重ねたチューブの保持する際、位置決穴に位置決突起が嵌合することにより一対の保持部材の位置決めが行われ、クランプ部材同士のずれや、保持部材同士のずれが生じることがなくなり、正確にチューブの保持及びクランプを行うことができる。
従って、チューブを確実に挟み込んで扁平させることができるので、チューブの管内を確実に閉塞させることによって切断部分からの液漏れを防止することができる。
【００１４】
また、本発明に係るチューブ接続装置においては、前記第１チューブ保持具及び・又は第２チューブ保持具に設けられ、前記チューブを並べて配置させる支持手段を有することが望ましい。
これにより、一対の保持部材でチューブを保持させるに際し、支持手段によってチューブを正確に並べて配置させることができる。
【００１５】
また、本発明に係るチューブ接続装置においては、前記支持手段が、前記チューブを挟み込む二股に突き出た支持爪にチューブの抜けを防止するための突起が形成されていることが望ましい。
これにより、一対の保持部材でチューブを保持させるに際し、支持爪によって抜けを防止し、チューブを正確に並べて配置させることができる。
【００１６】
また、本発明に係るチューブ接続装置においては、前記支持手段は、前記チューブを挟み込む一対の支持爪が付勢部材によって互いに向かい合う方向に付勢され、前記クランプ部材に保持されてチューブが回転する際に、前記一対の支持爪が、付勢部材の付勢力に抗して回転するチューブの動きによって可動することが望ましい。
【００１７】
これにより、第１チューブ保持具及び第２チューブ保持具の一方又は両方に設けられたクランプ部材に保持されたチューブがそのクランプ部材によって回転する際、チューブの縦及び横の並びによって一対の支持爪の幅が、付勢部材の付勢力に抗して広げられ、またその付勢力によって狭められる。
そのため、チューブを保持させる際には付勢部材によって付勢された狭い幅の支持爪間に正確にチューブを支持させて位置決めさせることができ、切断後にチューブが回転する際には支持爪の間が広がってチューブの回転を妨げないようにすることができる。
【００１８】
ここで、上記したクランプローター３０５を利用した従来のチューブ接続装置では、ブロック３２１，３２２が離間してローター片３０３，３０４が表に現れた状態になる。そのため、使用者がローター片３０３，３０４を押さえてしまうと、ロータ片３０３，３０４が、対称な状態にあったチューブ接続後の位置からずれてしまう。
そこで、ずれたまま次にローター片３０３，３０４が重ね合わされると、一方が他方に押されて僅かに回転してしまい、クランプローター３０５は、図２１に示すように、ローター片３０３，３０４が各ブロック３２１，３２２に対称になるように正確に装填された基準状態からずれてしまう。そのため、チューブ７，８が対称的にクランプされず、そのような状態で装置が起動すれば、クランプローター３０５が反転したときに、チューブ７，８の切断面同士がずれて接続不良が生じるおそれがある。
【００１９】
そこで、本発明に係るチューブ接続装置として、一対の保持部材によって複数の可撓性のチューブを保持する第１チューブ保持具及び第２チューブ保持具が、その一方又は両方に当該チューブを保持する回転自在な回転対称形状に分割された一対のクランプ部材を備え、前記第１チューブ保持具と第２チューブ保持具との間を移動する加熱した切断板によってチューブを溶融して切断した後、前記クランプ部材を回転させて第１チューブ保持具及び第２チューブ保持具に保持されたチューブの異なる切断面同士を溶着して接続する装置であって、前記一対のクランプ部材がチューブを保持する状態にない場合に、前記各保持部材内の所定位置に当該クランプ部材を回転止めするための回転防止手段を有するものとするようにしてもよい。
【００２０】
これにより、一対のクランプ部材がチューブを保持する状態にない場合には、第１チューブ保持具及び第２チューブ保持具の各々一対の保持部材は離脱し、そこに備えられたクランプ部材が表に現れる。そこでクランプ部材が使用者によって押されるなどしても、そのクランプ部材は回転防止手段によってロックされ、各保持部材内の所定位置からずれることはない。そのため、次に行われるチューブ接続動作への影響はなく、チューブの接続を確実に行うことができる。
【００２１】
また、本発明に係るチューブ接続装置において、前記回転防止手段が、前記クランプ部材側に付勢力を作用させる板バネに、前記クランプ部材の溝部にはまり込む係合突起が一体に設けられたものであって、前記一対のクランプ部材がチューブを保持する際に押し当てられる押圧部材によって、前記板バネの付勢力に抗して前記係合突起が前記クランプ部材の溝部から退避するようにしてもよい。
これにより、溝部にはまり込んで当該クランプ部材をロックさせた係合突起は、チューブを保持する際には、一体に設けられた板バネが押圧部材に押されて撓むことによって当該溝部から退避する。一方、一対のクランプ部材がチューブを解放する際には、押圧部材による板バネへの押し付け動作が外れ、その板バネの弾性によって係止部材を確実に溝部へと入り込ませ、クランプ部材をロックさせる。
従って、チューブの保持・解放に同期してクランプ部材もロック及びロック解除が行われるため、使用者が触れることが可能な状態の場合にはクランプ部材が確実にロックされ、チューブの接続を確実に行うことができる。
【００２２】
また、本発明に係るチューブ接続装置において、前記回転防止手段は、前記クランプ部材の溝部にはまり込む係合部が形成された係合スライダと、前記一対の保持部材によるチューブの保持・解放動作に連動して前記係合スライダを進退させる連結機構とを有していてもよい。
これにより、一対の保持部材によるチューブの保持・解放動作に連動して連結機構が外力を受けて係合スライダを進退させ、チューブの保持動作時にはクランプ部材の溝部から係合スライダの係合部が外れ、チューブの解放動作時にはクランプ部材の溝部に係合スライダの係合部が入り込んでクランプ部材がロックされる。
従って、チューブの保持・解放動作に伴ってクランプ部材がロック及びロック解除されるため、使用者が触れることが可能な状態の場合にはクランプ部材が確実にロックされ、チューブの接続を確実に行うことができる。
【００２３】
また、本発明に係るチューブ接続装置において、前記回転防止手段の連結機構は、揺動可能に軸支されたレバーが、前記一対の保持部材によってチューブを保持させる際に与えられる外力によって揺動し、前記クランプ部材側へ付勢された前記係合スライダを当該付勢力に抗して後退させるようにしてもよい。
これにより、チューブの解放動作時には、付勢された前記係合スライダがクランプ部材側へスライドし、係合スライダの係合部がクランプ部材の溝部へ入り込んでクランプ部材がロックされ、チューブの保持動作時には、その際に与えられる外力を受けたレバーが、係合スライダを当該付勢力に抗して後退させることによって、クランプ部材の溝部にはまり込んだ係合スライダの係合部を退避させる。
従って、チューブの保持・解放動作に伴ってクランプ部材がロック及びロック解除されるため、使用者が触れることが可能な状態の場合にはクランプ部材は確実にロックされ、チューブの接続を確実に行うことができる。
【００２４】
また、本発明に係るチューブ接続装置において、前記クランプ部材の溝部を、前記係合突起又は係合部に対応するように前記クランプ部材に形成してもよい。
これにより、係合突起又は係合部が溝部に入り込んだクランプ部材は、保持部材内にて一義的に位置決めされてロックされる。
従って、一対のクランプ部材は、チューブ保持の際には確実に対称位置にあって、チューブを正確に保持することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係るチューブ接続装置によれば、上記した通り、チューブのクランプミスなどによる接続不良を防止してチューブの接続を確実に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
次に、本発明に係るチューブ接続装置の一実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、チューブ接続装置の内部機構を示した斜視図であり、図２は、その平面図である（可動クランプ１２，８２を除く）。このチューブ接続装置は、主にチューブを保持するチューブ保持機構と、ウェハ６をチューブに対して移動させる切断機構、そしてチューブの接続動作毎に新しいウェハ６を送るためのウェハ送り機構とから構成されている。そこで、先ずチューブ保持機構の構成について説明する。
チューブ保持機構は、上下に重ねた２本のチューブ７，８を２箇所で保持及び挟み込み、切断後に一方の側のチューブを上下反転させて、切断面同士を押し付けて接続させるものである。その主要な構成は、第１チューブ保持具１と第２チューブ保持具２であり、それぞれ固定クランプ１１，８１と、これにピン継手で連結された可動クランプ１２，８２とから構成されている。なお、この固定クランプ１１，８１と及び可動クランプ１２，８２は、特許請求の範囲で記載する保持部材に相当するものである。
【００２７】
第１チューブ保持具１と第２チューブ保持具２とは、一定の間隔をもって平行に並べられ、第２チューブ保持具２がベース２１０に固定される一方、第１チューブ保持具１は、第２チューブ保持具２との間隔を調節できるようスライド可能に設けられている。両者の間には、切断機構をなすウェハホルダ１４０が配置され、第１チューブ保持具１と第２チューブ保持具２とに保持されたチューブ７，８に対して直交方向にウェハ６を移動させるよう構成されている。
そして、そのウェハ６によって切断されたチューブを反転させるためのクランプローターが第１チューブ保持具１に設けられている。ここに、図３は、クランプローターを示した斜視図であり、図４は、図３で示したローター片３１（３２）のＡ方向断面図である。なお、このローター片３１，３２が、特許請求の範囲で記載するクランプ部材に相当するものである。
【００２８】
クランプローター３０は、一対のローター片３１，３２から構成されるものであり、そのローター片３１，３２は、ギヤを半割して構成した回転対称形状をなすものである。従って、ローター片３１，３２は、共に半円形をした同型のものであり、半割面を重ね合わせて１個のクランプローター３０となるものである。
具体的には、クランプローター３０は、中心にチューブを保持するためのチューブ保持部３３，３３、そのチューブ保持部３３，３３から半径方向に張り出したフランジ部３４，３４、及びフランジ部３４，３４外周のリム部３５には、ローターギヤ３６，３６並びにロック溝３７ａ，３７ｂ，３７ａ，３７ｂが形成されてなるものである。
【００２９】
そのチューブ保持部３３，３３は、保持溝３３ａと円筒の先端部が中心方向に傾斜して幅狭になった閉塞部３３ｂ，３３ｂが形成されている。保持溝３３ａ，３３ａは、チューブ７（８）の約直径分の深さの断面略半円形の溝であり、閉塞部３３ｂ，３３ｂは、そこで重ねて押し潰した２本のチューブが扁平形状となって、チューブ管内が閉塞されるだけの隙間をなすように、ともに対称的に形成されている。
また、リム部３５，３５に形成されたロック溝３７ａ，３７ａ及びロック溝３７ｂ，３７ｂは、両方のローター片３１，３２とも同位置に形成されている。これは、ロック溝３７ａ，３７ａが固定クランプ１１のロック手段に、そしてロック溝３７ｂ，３７ｂが可動クランプ１２に設けられたロック手段に対応するようにしたためである。ロック手段については後述する。ロック溝３７ａ，３７ｂ，３７ａ，３７ｂは、全て２枚の突設壁によって所定の溝幅をなして形成されている。
【００３０】
次に、ローター片３１，３２が装填される第１チューブ保持具１の固定クランプ１１及び可動クランプ１２について説明する。
固定クランプ１１は、図５に示す固定クランプボディ１３に対し、ボディカバー１４（図１参照）を固定して形成されている。固定クランプボディ１３は、側壁１５に図示するような外形枠１６が突設され、その外形枠１６にボディカバー１４が当てられてネジ止めされる。固定クランプ１１は、上面が開放された中空形状をなすものであり、その中に前述したローター片３１（３２）が装填される。更に、ボディカバー１４にはステッピングモータ３（図２参照）が固定され、固定クランプ１１内には、その回転出力をローター片３１（３２）へ伝達するギヤ列が設けられる。
【００３１】
固定クランプボディ１３は、上方の両角部に、単一の支持ブラケット１７と二股の支持ブラケット１８とが形成されている。単一の支持ブラケット１７は、可動クランプ１２とのピン継手用であり、二股の支持ブラケット１８には、その間にベアリング２８が軸支されている。
また、固定クランプボディ１３の側壁３３の上辺と、ボディカバー１４の上辺（不図示）には、ローター片３１（３２）のチューブ保持部３３を支持すべく、半円形に切り欠かれた回転支持溝１９が形成されている。そして、側壁３３には、回転支持溝１９と同一中心の円周上に、ローター片３１（３２）を回転支持するローラ２０，２０，２０が軸支されている。３個のローラ２０…は、中央のローラ２０に対して６０゜の間隔で両側のローラ２０，２０が対称的に配置されている。
更に、固定クランプボディ１３には、側壁１５の上辺から突き出るように位置決突起２１が形成されている。
【００３２】
そして、この固定クランプボディ１３は、前述したように第１チューブ保持具１が第２チューブ保持具２に対して平行移動できるように形成されている。ここで、図６は、固定クランプボディ１３の平面図である。
固定クランプボディ１３は、側壁１５に垂直にスライド管２２が突設され、またガイドローラ２３がスライド管２２の軸方向に回転自在に軸支されている。スライド管２２は、後述する第２チューブ保持具２側から突設されたガイドロッドにはめ込まれ、ガイドローラ２３は、図１に示すベース２１０に固定されたガイドブロック２９のガイド溝２９ａ内に配置される。
従って、第１チューブ保持具１の固定クランプ１１は、固定クランプボディ１３がスライド管２２とガイドローラ２３とで支持され、ベース２１０から浮いた状態で取り付けられる。
【００３３】
また、固定クランプボディ１３には、図６に示すように押圧アーム２４が第２チューブ保持具２側に突設され、先端にはローラベアリング２５が軸支されている。
そして、スライド管２２とガイドローラ２３とで支持された移動可能な固定クランプ１１は、図１に示すベースブロック１０に固定された支持壁１８１との間にスプリング２４が設けられ、このスプリング２４によって常時第２チューブ保持具２側へと付勢されている。
そのため、押圧アーム２４先端のローラベアリング２５が、後述する第２チューブ保持具２内の駆動カムに常時当接され、そのカム面を転動可能な構成となっている。
【００３４】
次に、固定クランプ１１のボディカバー１４には、チューブを正確に配置させるためのチューブガイド４０（図１参照）が設けられている。ここに、図７は、ボディカバー１４への取付面側を示したチューブガイド４０の斜視図である。
チューブガイド４０は、溝の形成されたガイドボディ４１に対し、一対のガイド爪４２，４２がスプリング４３，４３によって内側に付勢された状態で取り付けられている。
即ち、ガイドボディ４１の中央にはチューブを位置させる湾曲した溝４１ａが形成され、その溝４１ａを挟むように配置されたガイド爪４２，４２が、外側のスプリング４３，４３によって当該溝４６ａ側に付勢され、その付勢方向に移動自在に取り付けられている。なお、図に示す左右一対のガイド爪４２，４２は同型のものであって、裏表逆に配置させて部品の共通化を図っている。
【００３５】
続いて図８は、第１チューブ保持具１の可動クランプ１２を示す分解斜視図であり、第２チューブ保持具２側から見た図である。可動クランプ１２は、図示する可動クランプボディ５１にボディカバー５２が取り付けられ、固定クランプ１１と同様に中空をなすものであり、その中にローター片３１（３２）が装填される。
可動クランプボディ５１及びボディカバー５２には、それぞれ対応する位置に半円形に切り欠かれた回転支持溝５３，５４が形成されている。そして、そのボディカバー５２には、回転支持溝５４と同一中心の円周上に、ローター片３１（３２）を回転支持するローラ５５，５５，５５が軸支されている。３個のローラ５５…は、中央のローラ５５に対して６０゜の間隔で他の２個のローラ５５，５５が対称的に配置されている。更に、可動クランプボディ５１には、その両端にピン継手用の二股の支持ブラケット５６，５７が突設されている。
【００３６】
次に、図９は、第１チューブ保持具１を示した断面図である。具体的には、固定クランプ１１はボディカバー１４を外した固定クランプボディ１３を、可動クランプ１２は可動クランプボディ５１の断面を、それぞれ簡略化して示した図である。
第１チューブ保持具１は、固定クランプ１１と可動クランプ１２とが支持ブラケット１７，５６でピン結合され、可動クランプ１２が揺動することによって図示するように重ね合わされ、また図１に示すように開くよう構成されている。そして、可動クランプ１２の揺動端に形成された支持ブラケット５７には、バックル１２５（図８参照）がピン結合され、その顎部１２７が固定クランプ１１のベアリング２８に掛けられて、図示する状態でロックされるよう構成されている。
【００３７】
図９に示す第１チューブ保持具１のクランプ状態では、配置されたチューブ７，８（図２参照）が、ローター片３１，３２の保持溝３３ａ，３３ａによって上下で保持され、閉塞部３３ｂ，３３ｂによって図示するように上下対称にクランプして閉塞されるよう構成されている。なお、図示するクランプローター３０は、図４で示すローター片３１，３２のＢ−Ｂ断面を表したものである。
ローター片３１，３２は、チューブ保持部３３，３３とリム部３５，３５との間にローラ２０…，５５…が入り込むように装填される。従って、図示するクランプ状態では、ローター片３１，３２によって１個のクランプローター３０（図３参照）が構成され、またローラ２０…，５５…は、同一円周上に等間隔（６０゜間隔）に位置する。なお、このクランプローター３０は、閉塞部３３ｂ，３３ｂが第２チューブ保持具２側に突出す向きに配置されている。
また、固定クランプ１１には、ボディカバー１４にステッピングモータ３（図２参照）が固定され、貫通孔３２ａ（図１参照）から内部に進入したモータ軸３ａに駆動ギヤ６１が取り付けられ、その駆動ギヤ６１がアクセスギヤ６２及びドライブギヤ６３に噛み合い、そのドライブギヤ６３がクランプローター３０のローターギヤ３６に噛み合っている。
【００３８】
そして、固定クランプ１１及び可動クランプ１２には、チューブを保持する状態にない場合、あるいは非クランプ状態の際に、装填されたローター片３１，３２が、固定クランプ１１及び可動クランプ１２内において図９に示す位置からずれないよう位置決めするため、回転防止手段としてのロック手段が設けられている。いずれのロック手段もローター片３１，３２に形成されたロック溝３７ａ，３７ｂにはまり込んで、ローター片３１，３２のずれを規制するものである。
そこで、先ず固定クランプ１１側のロック手段について説明する。このロック手段は、図９に示すように係合スライダであるスライド板６５、クランク板６６及びスプリング６７から構成されている。スライド板６５は、２つの長円形のスライド孔６５ａ，６５ｂが平行に形成され、固定クランプボディ１３の側壁１５に立設されたピン６８ａ，６８ｂにはめ込まれて摺動支持されている。
【００３９】
また、その先端にはスライド孔６５ａ，６５ｂの長手方向に平行に突設された係合部６５ｐが形成され、他端には垂直に折り曲げられた引っ掛け部６５ｑが立てられている。そして、スライド板６５は、ピン６８ａと引っ掛け部６５ｑとに掛けられたスプリング６７によって、常時クランプローター３０の中心方向に付勢されている。
一方、クランク板６６は、その略中央部分がピン６８ｂによって軸支され、直線形状をした先端がスライド板６５の引っ掛け部６５ｑに対し付勢方向側に配置し、他方のへの字形をした先端が固定クランプボディ１３に形成された窓部２６に配置されている。
【００４０】
次いで、可動クランプ１２側のロック手段は、くの字に折り曲げられた板バネ７１に、クランプローター３０のロック溝３７にはまり込む係合突起を有する係合片７２が固定されている。板バネ７１は、その一端に支持リング７１ａが形成され、それが可動クランプボディ５１に立設されたピン５８にはめ込まれている。板バネ７１の他端は、可動クランプボディ５１の内壁に当てられ、板バネ７１に働く弾性力をその内壁が受けるように構成されている。このとき係合片７２は、板バネ７１によってクランプローター３０の中心方向に付勢されている。
ところで、ローター片３１，３２にそれぞれ形成されたロック溝３７ａ，３７ｂは、図９に示すクランプ状態で係合部６５ｐ及び係合片７２に対応した位置に設けられ、ローター片３１，３２が一義的に位置決めされるよう構成されている。また、そのロック溝３７ａ，３７ｂは、内壁面がほぼ平行な面をなし、一方の係合部６５ｐ及び係合片７２は、その間に入り込む四角形状突片をなしている。
【００４１】
続いて、第２チューブ保持具２について具体的に説明する。ここに、図１０は、第２チューブ保持具２の固定クランプ８１の外観斜視図であり、特に第１チューブ保持具１側から見た図である。また、図１１は、第２チューブ保持具２の固定クランプボディを示した斜視図である。
この固定クランプ８１は、第１チューブ保持具１と同様に中空の固定クランプボディ８３が外側からボディカバー８４で塞がれている。即ち、固定クランプボディ８３は、側壁８５に図示するような外形枠８６が突設され、その外形枠８６にボディカバー８４が当てられてネジ止めされる。
固定クランプボディ８３は、上方の両角部に、単一の支持ブラケット８７と二股の支持ブラケット８８とが各々形成されている。単一の支持ブラケット８７は、可動クランプ８２とのピン継手用であり、二股の支持ブラケット８８には、その間にベアリング９０を支持している。また、固定クランプボディ８３には、側壁８５の上辺から突き出るように位置決突起８９が形成されている。
【００４２】
更に、固定クランプボディ８３には、図１０に示すように、側壁８５に第１チューブ保持具１に形成されたスライド管２２（図５参照）を支持するガイドロッド９１が垂直に突設され、また、その側壁８５は、内設された駆動カム９２が現れるように大きく切りかかれている。
その駆動カム９２は、減速ギヤ９５と一体的に形成され、図示する位置にて固定クランプボディ８３内に軸支されている。駆動カム９２は、円形状のスライド用カム９３と偏心形状の切断用カム９４とが一体に形成されたものである。スライド用カム９３には、その端面に軸方向の高さを変化させる傾斜を付けたスライドカム面９３ａが、切断用カム９４には、その外周側面によってなされる偏心カム面９４ａとが形成されている。
一方、ボディカバー８４には、ステッピングモータ４（図２参照）が固定され、図１０に示すように、貫通孔８４ａから内部に進入したモータ軸４ａに駆動ギヤ９３が取り付けられ、その駆動ギヤ９６と減速ギヤ９５とが噛み合わされている。
【００４３】
また、固定クランプボディ８３には、図１１に示すようにチューブガイド１００が設けられている。このチューブガイド１００は、上面をなす外形枠８６を貫いてチューブを並べて配置させる支持手段として、ガイド爪１０１，１０１が突設され、固定クランプボディ８３内のプランジャケース１０２と一体成形されたものである。
そのガイド爪１０１，１０１の先端部には、内側に突起１０１ａ，１０１ａが形成されチューブの抜けを防止するよう形成されている。そして、ガイド爪１０１，１０１の間の保持溝１０３は、図１０に示すように、固定クランプボディ８３に形成された保持溝９８と同一面（平面）で連続している。一方、プランジャケース１０２は、図１１に示すように、段付きのプランジャ１０４が上下に摺動可能な容器をなし、底面が抜かれ、固定クランプボディ８３に突設された支持板９９に載せられるようにして固定されている。
【００４４】
プランジャ１０４は、支持板９９との間に設けられたスプリング１０５によって上方に付勢され、チューブガイドの保持溝１０３の底面を貫通した先端が突出している。また、プランジャ１０４は、その最下段部分にはマグネット１０６が埋め込まれ、ボディカバー８４側に固定された不図示のチューブ保持検出センサによって、マグネット１０６の位置、即ちプランジャ１０４の高さが検出されるように構成されている。そして、チューブの有無はプランジャ１０４の高さの検出によって行われる。
更に、保持溝１０３底面の貫通孔に入った液が、プランジャケース１０２内部に浸透しないようにするため、プランジャ１０４にはＯリング１０７がはめられている。
【００４５】
次に図１２は、可動クランプ８２及びバックル１２０を示した斜視図である。可動クランプ８２は、一体成形された中空の可動クランプボディ１１０によって構成されたものであり、両端に二股の支持ブラケット１１１，１１２が形成されている。また、可動クランプボディ１１０には、チューブを通すＵ字溝１１３と側方に突設された閉塞部１１４が形成され、その間はチューブを軽く押さえるよう隆起した押圧部１１５が形成されている。更に、可動クランプボディ１１０には、固定クランプボディ８３の位置決突起８９に対して揺動端側（バックル１２０側）で当てられる係止壁１１６が形成されている。
そして、この可動クランプボディ１１０には、その支持ブラケット１１２にバックル１２０がピン結合される。バックル１２０は、図８に示した第１チューブ保持具１側のバックル１２５をはめ込んで一体のものとなるよう構成されている。即ちバックル１２０の把持板１２１は、片側（第１チューブ保持具１側）に大きく張り出し、そこに、バックル１２５の挿入部１２６及びピン１２９を挿入させる挿入溝１２２が形成されている。そして、支持ブラケット１１２の位置には、バックル１２５と同様に顎部１２３及び押圧突片１２４が形成されている。
【００４６】
そこで、第２チューブ保持具２は、図１１に示すように、固定クランプボディ８３に対して可動クランプ８２が支持ブラケット８７，１１１によってピン結合され、その可動クランプ８２が揺動することによって図示するように重ね合わされ、また図１に示すように開くよう構成されている。
そして、可動クランプ８２の揺動端にピン結合されたバックル１２０の顎部１２３がベアリング９０に掛けられて、図示するクランプ状態でロックされるよう構成されている。
図１１に示す第１チューブ保持具２のクランプ状態では、固定クランプボディ８３の保持溝９８と可動クランプボディ１１０の閉塞部１１４とは、上下に重ねられたチューブ７，８を扁平させてチューブ管内を閉塞するだけの隙間があけられるよう構成されている。
【００４７】
以上のような第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２は、図１及び図２に示すように、ベース２１０上に平行に配置される。具体的には、第２チューブ保持具２の固定クランプボディ８３がベース２１０に直接固定され、その第２チューブ保持具２から突設されたガイドロッド９１（図１０参照）に、第１チューブ保持具１に設けられたスライド管２２がはめ込まれる。このとき、両方の固定クランプ１１，８１が平行になっている。そして、第１チューブ保持具１は、固定クランプ１１がガイドローラ２３によって他方も支持されるので、第２チューブ保持具２との平行と、第１チューブ保持具１自身のベース２１０に対する平行を保って、第２チューブ保持具２と距離を調節するような移動が可能となる。
【００４８】
このように第２チューブ保持具２に対して移動可能に支持された第１チューブ保持具１は、固定クランプボディ１３がスプリング１３１によって常時第２チューブ保持具２側へと付勢されている。そのため、第１チューブ保持具１に突設された押圧アーム２４のローラベアリング２５（図６参照）が、第２チューブ保持具２に設けられた駆動カム９２のスライド用カム９３に当接し、常にそのカム面を転動するように構成されている。
そして、第１チューブ保持具１と第２チューブ保持具２とは、図１３に示すように、ローター片３１（３２）の保持溝３３ａ，３３ａと、固定クランプ８１の保持溝９８先端における可動クランプ８２の閉塞部１１４との２箇所の閉塞部が、僅かな隙間が空けられている。図１３は、第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２を図１のＣ方向から示した正面図である。
【００４９】
ここで、固定クランプボディ８３の保持溝９８は、クランプローター３０で閉塞されたチューブ７，８との高さを合わせるため、底面が下に位置するローター片３１（３２）の閉塞部３３ｂの高さと一致するようになっている。
従って、クランプローター３０では、チューブ７，８の中心軸の中間点（両チューブ７，８の接触線）を中心に対称的にチューブ７，８が押し潰されるのに対し、固定クランプボディ８３の保持溝９８側では、その保持溝９８の底面側にチューブ７，８が偏って押し潰されるよう構成されている。
【００５０】
そして、チューブ７，８を閉塞させて保持した第１チューブ保持具１と第２チューブ保持具２との間には、チューブ７，８を切断するウェハ６を上下させるための切断機構が設けられている。
そこで、次に切断機構について説明する。前述したような第１チューブ保持具１と第２チューブ保持具２との間には、ウェハ６を保持して上下させるウェハホルダが配置されている。ここに、図１４及び図１５は、ウェハ６を保持するためのウェハホルダを示した斜視図である。特に、図１４は、第１チューブ保持具１側から見た図であり、図１５は、第２チューブ保持具２側から見た図である。
ウェハホルダ１４０は、第２チューブ保持具２のガイドロッド９１に対して揺動支持されるものであり、そのガイドロッド９１にはめ込まれる揺動管１４２を備えたベース板１４１に、固定板１４３及び開閉板１４５とが両面に設けられている。固定板１４３はベース板１４１に対して第１チューブ保持具１側に固定され、両板の間にはウェハ６が通る不図示の溝が形成されている。固定板１４３には、２箇所において上方に突き出し、ウェハ６の上方へのズレを防止する返しを備えたズレ止め１４３ａ，１４３ｂが形成されている。
【００５１】
開閉板１４５は、下部にて軸支され、更にその軸支部分の下方側で付勢部材によって付勢されて、上方が固定板１４３に対して当接・離間、即ち開閉するよう設けられている。開閉板１４５には、固定板１４３のズレ止め１４３ａの位置に対応して電極１４６ａ，１４６ｂが設けられ、このウェハホルダ１４０内に装填されたウェハ６の抵抗体端子に接触して通電するよう構成されている。また、開閉板１４５には、固定板１４３の他方のズレ止め１４３ｂに対応するように押圧片１４５ｂが形成されている。更に、開閉板１４５の外面には、ウェハ６の進入方向に沿って平行に一本の凸ライン１４５ｓが形成されている。
また、ベース板１４１には、ウェハ６を固定板１４３側に押し付けて位置決めするための位置決用板バネ１４７ａ，１４７ｂ，１４７ｃが設けられ、最後尾の板バネ１４７ａに重なるように後退防止用板バネ１４８が設けられている。位置決用板バネ１４７ａ，１４７ｂ，１４７ｃは、ウェハホルダ１４０内に装填されたウェハ６の高さのほぼ中間で前後３箇所を押さえるように配置され、後退防止用板バネ１４８は、通り過ぎたウェハ６の退路を断つための返シ１４８ａが形成されている。
【００５２】
ところで、チューブの切断及び接続を適切に行うためには、第１チューブ保持具１と第２チューブ保持具２とに保持されたチューブ７，８に対してウェハ６を直交させる必要から、ウェハホルダ１４０がその直交面上をぶれることなく揺動する必要がある。そのため、本実施の形態では、ベース２１０に直接固定される固定クランプボディ８３の側壁８５（図１０参照）を基準面とし、ウェハホルダ１４０がその基準面を滑って揺動動作を行うように構成されている。
そこで、ウェハホルダ１４０は、揺動管１４２の端面１４２Ａ、位置決用板バネ１４７ｃが取り付けられた取付ブロック１５１の端面１５１Ａ、そして先端部に固定された摺動管１５２の端面１５２Ａが同一平面上に形成されている。
【００５３】
そして、このようなウェハホルダ１４０は、第１チューブ保持具１とともに第２チューブ保持具２のガイドロッド９１にはめ込まれ、第１チューブ保持具１との間に配設されたスプリング１５３（図２参照）によって、第２チューブ保持具２側へ付勢されている。そのため、ウェハホルダ１４０の前記各端面１４２Ａ，１５１Ａ，１５２Ａは、常に固定クランプボディ８３の側壁８５（基準面）に押し付けられる。この状態でウェハホルダ１４０に装填されたウェハ６は、チューブ７，８に対して直交している。
また、ウェハホルダ１４０には、これら端面１４２Ａ，１５１Ａ，１５２Ａ側には、ベース板１４１に固定された軸にローラベアリング１５５が軸支されている。図示しないが、ウェハホルダ１４０は、このローラベアリング１５５が固定クランプボディ８３（図１０参照）内に進入し、駆動カム９２に形成された切断用カム面９４における偏心カム面９４ａの頂部に載せられた状態で取り付けられる。
【００５４】
次に、ウェハホルダ１４０にウェハ６を送り込むためのウェハ送り機構について説明する。ウェハ６は、図１及び図２に示すウェハカセット１６０内に複数枚が重ねて収納され、送りライン上に押し出された１枚のウェハ６が、その送りラインに沿って移動する送りコマ１６１によって矢印Ｘ方向（図２参照）に押し出されるよう構成されている。
送りコマ１６１は、先端部にウェハ６の厚さ分の段差による爪部１６１ａが形成され、スライダ１６２と一体に形成されている。スライダ１６２は、ベース２１０上に固定された支持壁１８１，１８２間に掛け渡して固定されたガイドロッド１７１に摺動支持されている。
【００５５】
また、支持壁１８１，１８２には、ガイドロッド１７１と平行に掛け渡された雄ネジ１７２が回転自在に支持されている。そして、スライダ１６２と一体的に形成された雌ネジブロック１６３にボールを保持した雌ネジが形成され、雄ネジ１７２に螺合してボールネジが構成されている。
雄ネジ１７２には、支持壁１８２側端部に伝達ギヤ１７３が固定されている。そして、支持壁１８２には、外側からステッピングモータ５が固定され、その支持壁１８２を貫いたモータ軸に固定された駆動ギヤ１７４と、伝達ギヤ１７３とが噛み合っている。
【００５６】
更に、雌ネジブロック１６３の上面には、上下に板材２枚が重ねて取り付けられたマーカ１６５，１６６が設けられている。一方、支持壁１８１，１８２には、図２に示すように制御基板１８３が固定され、その制御基板１８３には待機検出センサ１８５と送り検出センサ１８６とが設けられている。待機検出センサ１８５は、マーカ１６５の位置によって送りコマ１６１の待機位置を検出するセンサであり、送り検出センサ１８６は、マーカ１６５の位置によって送りコマ１６１の送り位置を検出するセンサである。マーカ１６６，１６７は、その検出対象部分である先端の開き具合を調節できるように雌ネジブロック１６３に対して軸支されている。
また、ガイドロッド１７１には、スライダ１６２のオーバーランを防止するストッパ１７５，１７６が、それぞれ支持壁１８１，１８２に当てられて嵌合されている。
【００５７】
更に、スライダ１６２には、送りコマ１６１の下方から支持アーム１６８が突設され、支持アーム１６８の先端には更にピン１６９が突設されている。一方、支持壁１８２と第２チューブ保持具２の固定クランプブロック８１とに、角柱形状の梁１９１がガイドロッド１７１に平行に掛け渡されている。梁１９１は、角部に段差を付けたレール１９２が形成され、そのレール１９２上に角柱形状の操作ロッド１９５が載せられている。この操作ロッド１９５には、裏面に縦方向に沿ってガイド溝１９５ａが形成され、レール１９２に突設された案内ピン１９３にはめられている。
そして、スライダ１６２から突設された支持アーム１６８の先端が、この操作ロッド１９１の後端部に横から当てられ、その支持アーム１６８先端のピン１６９が、操作ロッド１９１に軽くはめ込まれている。
【００５８】
次に、以上のような構成からなるチューブ接続装置のチューブ接続動作について説明する。このチューブ接続装置は、固定クランプ１１，８１及び可動クランプ１２，８２の上部が外に出るようにして不図示のカバーによって全体が覆われている。そのため、図１に示すように可動クランプ１２，８２を上に開けば、固定クランプ１１，８１の上面が現れ、チューブ７，８のセットが可能な状態となる。そこで、使用者は、２本のチューブ７，８（図２参照）を上下に重ねるようにしてチューブガイド４０，１００へはめ込む。このとき、チューブガイド４０のガイド爪４２，４２（図７参照）及びチューブガイド１００のガイド爪１０１，１０１（図１１参照）の間隔は、チューブ７，８の外径に合わせてあるため、チューブ７，８は、その中心軸が上下に重なるように配置される。
【００５９】
チューブガイド１００にはめ込まれたチューブ７，８は、ガイド爪１０１，１０１の突起１０１ａ，１０１ａによって引っかけられて、そこから抜け出すことはない。そのため、チューブは、その弾性力によってガイド溝１０３の底面から突き出たプランジャ１０４を押し下げるようにしてはめ込まれる（図１１参照）。
従って、プランジャ１０４がスプリング１０５の付勢力に抗して下方に押し下げられると、マグネット１０６の移動が不図示のセンサによって検出され、その信号が制御側へと送られる。
【００６０】
続いて、使用者は、チューブ７，８をセットした後、図１に示す状態のチューブ接続装置をバックル１２０を持って可動クランプ１２，８２を閉じる。即ち、可動クランプ１２，８２を固定クランプ１１，８１へと重ね、これらによってチューブ７，８を上下に保持してクランプさせる。
バックル１２０は、バックル１２５と一体的に形成されているため、把持板１２１（図１２参照）を持って操作することによって、両方の可動クランプ１２，８２を一緒に閉じることができる。そして、可動クランプ１２，８２が固定クランプ１１，８１に重ねられた状態（図９及び図１１参照）でバックル１２０を回転させれば、顎部１２３，１２７が固定クランプ１１，８１のベアリング２８，９０に引っかけられてロック状態になる。
【００６１】
このような使用者が行う、チューブ７，８のセット及びバックル１２０にるロックの動作によって、チューブ接続装置においては、チューブセット確認、及びクランプローター３０のロック解除が行われる。
先ず、使用者がバックル１２０，１２５をロックさせると、バックル１２０の押圧突片１２４が、図１１に示すリミットスイッチ２０１をＯＮさせる。そこで、このリミットスイッチ２０１のＯＮ信号と、先にプランジャ１０４の移動によって検出された検出信号とが比較され、チューブ７，８の有無が確認される。
従って、制御側では、チューブ７，８がセットされていない状態でリミットスイッチ２０１のＯＮ信号が入力されたならば、チューブのセット不良或いはチューブ無しであるため、そのことを確認して音声などによって使用者に知らせる。一方、チューブ７，８がセットされた状態でリミットスイッチ２０１のＯＮ信号が入力されたならば、次のチューブ接続開始の信号を待つ。
【００６２】
また、チューブ接続装置の駆動が開始された後には、可動クランプ１２，８２が誤って開けられないようにする必要がある。チューブ７，８のクランプが解かれて、チューブの保持ができなくなるからである。
そのため、リミットスイッチ２０１のＯＮ信号によって、図１０に示すソレノイド２０２が通電され、プランジャ２０３が上昇する。これにより、図１１に示す状態で、押圧突片１２４の開方向への軌道上にプランジャ２０３が飛び出し、バックル１２０自体の回動を不能とし、その結果、可動クランプ１２，８２の開きが防止される。
【００６３】
次に、可動クランプ１２，８２が固定クランプ１１，８１に重ねられると、固定クランプ１１，８１に突設された位置決突起２１，８９が中空の可動クランプ１２，８２内に進入し（図９及び図１１参照）、横方向に隙間無く嵌合する。そのため、横ズレが防止されて、正確な位置で固定クランプ１１，８１と可動クランプ１２，８２とが重ね合わされる。なお、位置決突起２１，８９が進入する可動クランプ１２，８２の中空部が、本発明の「位置決穴」に相当する。
このとき、第１チューブ保持具１側では、図９に示すように可動クランプ１２側に進入した位置決突起２１によって板バネ７１が押し退けられる。そのため、位置決突起２１の押圧力によって板バネ７１が撓められて変形し、その変形によって係合片７２が後退して、クランプローター３０のロック溝３７ｂから外される。
【００６４】
次いで、使用者がバックル１２５をロックさせると、その押圧突片１２８が、固定クランプ１１から飛び出しているクランク板６６（図９に破線で示す）を中へ押し込むように作用する。すると、クランク板６６がピン６８ｂを支点に回転し、他端がスライド板６５の引っ掛け部６５ｑを押す。そのため、スライド板６５は、スプリング６７の付勢力に抗してスライドし、係合部６５ｐが後退してクランプローター３０のロック溝３７ａから外される。これによって、クランプローター３０（ローター片３１，３２）がフリーとなっての回転が可能となる。
【００６５】
そこで、チューブ７，８が正確にクランプされ、スタートスイッチの入力待機状態となっているチューブ接続装置に、使用者からスタートスイッチが入力されれると、装置の各機構が駆動してチューブの切断及び接続が実行される。その際、先ずウェハ６の交換が行われる。
ウェハ６は、一回のチューブ接続毎に一枚が使用され、先に使用された使用済みウェハ６は、ウェハホルダ１４０（図１参照）内に残されたままとなっているからである。そのため、スタートスイッチが入力されれると、先ず次の動作によってウェハ６の交換が行われる（図１及び図２参照）。
【００６６】
使用者によってスタートスイッチが入力されると、ステッピングモータ５が駆動し、その回転出力が、駆動ギヤ１７４及び伝達ギヤ１７３を介してボールネジを構成する雄ネジ１７２へと伝達される。そのため、雄ネジ１７２が回転し、これに螺合した雌ネジの雌ネジブロック１６３が軸方向に移動することとなる。雌ネジブロック１６３は、スライダ１６２によって回転止めされているため回転することはない。従って、ステッピングモータ５の駆動によって、スライダ１６２がガイドロッド１７１を軸方向に摺動し、このスライダ１６２の移動にともなって、送りコマ１６１及び操作ロッド１９５が同方向に移動することとなる。
そこで、Ｘ方向に送られた送りコマ１６１は、先端の爪部１６１ａがウェハ６の後端を引っかけて前方へ押し出し、ウェハカセット１６０からは一枚のウェハ６だけが抜き取られる。送りコマ１６１によって押し出されたウェハ６は、起立した状態のままＸ方向へ進み、ウェハホルダ１４０内の溝へと送られる。
【００６７】
スライダ１６２のＸ方向への移動は、送りコマ１６１によるウェハ６の送り出しとともに、操作ロッド１９５によるウェハホルダ１４０の開閉動作をも行わせる。スライダ１６２がＸ方向へ移動すると、支持アーム１６８の先端でピン支持された操作ロッド１９５も同様にＸ方向へレール１９２上をスライドする。このとき、操作ロッド１９５は、レール１９２上の案内ピン１９３にガイド溝１９５ａがはまっているため、レール１９２から脱落することなく直線的に移動する。
Ｘ方向へとレール１９２上をスライドした操作ロッド１９５は、その先端が第２チューブ保持具の固定クランプ８１とウェハホルダ１４０との間へと進入する。そして、操作ロッド１９５は、スライダ１６２によって送りコマ１６１の移動と同期しているため、ウェハ６がウェハホルダ１４０へ挿入されるのに合わせて、当該ウェハホルダ１４０の開閉を行う。
【００６８】
ウェハ６の送りに合わせてＸ方向に前進する操作ロッド１９５の直進上には、ウェハホルダ１４０の開閉板１４５に形成された凸ライン１４５ｓ（図１５参照）が位置している。そこで、直進した操作ロッド１９５は、開閉板１４５の横をすり抜け突設された凸ライン１４５ｓと当たる。しかし、操作ロッド１９５先端と凸ライン１４５ｓ端部とは、ともに傾斜して形成されているので、操作ロッド１９５が突き当たることなく、その前進が開閉弁１４５に横方向の押圧力を作用させる。そのため、開閉板１４５は、凸ライン１４５ｓが形成された下側が固定板１４３側に押され、上側が固定板１４３から離れるよう揺動して開状態となる。その後、開閉板１４３は、凸ライン１４５ｓを滑って前進する操作ロッド１９５に下側が押さえられ、開状態が維持される。
従って、ウェハ６は、この開閉板１４３の開動作に合わせてウェハホルダ１４０内に送り込まれ、その後ウェハ６が定位置に配置されるまで開状態が維持されることとなる。
【００６９】
ウェハホルダ１４０内に配置されるウェハ６の位置は、送りコマ１６１の停止位置によって調整される。その送りコマ１６１は、図２に示すように、マーカ１６７が一体的に移動し、そのマーカ１６７の移動が送り検出センサ１８６によって検出される。即ち、マーカ１６７が送り検出センサ１８６の検出位置にまで移動したときの送りコマ１６１の位置が、ウェハホルダ１４０内におけるウェハ６の定位置となる。
そこで、マーカ１６７が送りコマ１６１と一体になってＸ方向へ移動し、それが送り検出センサ１８６によって検出されると、その送り検出センサ１８６からの検出信号が制御側に送られ、ステッピングモータ５には逆回転の駆動制御が行われる。
【００７０】
そのため、雄ネジ１７２には逆回転が生じ、雌ネジブロック１６３及びスライダ１６２が反Ｘ方向に移動し、送りコマ１６１が後退するのでウェハ６のみがウェハホルダ１４０内に残される。
そして、図２に示す位置まで戻ったところで、待機検出センサ１８５がマーカ１６６を検出し、その検出信号が制御側に送られてステッピングモータ５の回転停止が制御される。
このようにスライダ１６２等の移動位置は、待機検出センサ１８５及び送り検出センサ１８６によって検出され、制御される。その移動位置は、制御基板１８３に固定されたセンサ１８５，１８６に対し、マーカ１６６，１６７の傾きを変えることによって、ウェハ６の定位置やスライダ１６２等の待機位置の微調整を行うことができる。
【００７１】
戻って、ウェハホルダ１４０（図１４及び図１５参照）内にウェハ６が挿入される場合、ウェハ６はベース板１４１と固定板１４３との間の溝を滑って入っていく。そして、その進路上には固定板１４３側に弾性力によって押し付けられた位置決用板バネ１４７ａ，１４７ｂ，１４７ｃが設けられているため、ウェハ６は、その位置決用板バネ１４７ａ，１４７ｂ，１４７ｃによって固定板１４３に押し付けられながら進入し、前述した定位置に配置される。
一方、ウェハホルダ１４０には使用済みウェハ６が装填されたままとなっているが、当該使用済みウェハ６も位置決用板バネ１４７ａ，１４７ｂ，１４７ｃによって固定板１４３へ押さえつけられている。そのため、厚さが数百μｍと薄いウェハ６，６同士でも必ず端面同士が重なり合い、使用済みウェハ６が新しいウェハ６によってウェハホルダ１４０から押し出され、ウェハ６の交換が確実に行われる。
【００７２】
また、ウェハ６は、定位置にまで送られたところで、その後端が後退防止用板バネ１４８をすり抜け、後退防止用板バネ１４８の先端が固定板１４３に当たり、その先端の返シ１４８ａによってウェハ６の退路が断たれる。そのため、押し出された使用済みウェハ６を使用者が取り出そうとした場合などに、誤って押してしまっても新たなウェハ６が押し戻されることなく定位置に配置される。
そして、前述したようにスライダ１６２とともに操作ロッド１９５が後退すると、開閉板１４５は、その押さえ込みから解放されて不図示の付勢部材によって閉状態となる。そのため、開閉板１４５に設けられた電極１４６ａ，１４６ｂがウェハ６の抵抗体端子に接触し、通電された抵抗体が加熱してウェハ６の昇温（約３００℃）が行われる。
【００７３】
そして、ウェハ６の十分な昇温に続いてチューブ７，８の切断が行われる。チューブ７，８の切断は、ウェハホルダ１４０の揺動によってウェハ６を上昇させ、第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２によってクランプされたチューブ７，８にウェハ６を直交させる。このようなウェハホルダ１４０の揺動は、ステッピングモータ４（図２参照）の回転を駆動カム９２（図１０参照）に伝達することによって行われる。
そこで、ステッピングモータ４の起動によって、その回転出力がモータ軸４ａに固定された駆動ギヤ９６から減速ギヤ９５へ伝達され、その減速ギヤ９５と一体に形成された駆動カム９２に回転が与えられる。そして、駆動カム９２が回転すれば、ローラベアリング１５５が載せられた切断用カム９４の頂部の高さが変化する。その場合、ウェハホルダ１４０は、駆動カム９２によって押し上げられて上昇し、また駆動カム９２に従って下降することとなる。
【００７４】
ウェハホルダ１４０は、図２に示すように、その揺動管１４２部分がスプリング１５３によって固定クランプ８１に押し当てられている。従って、その揺動管１４２の端面１４２Ａと同一平面上にある取付ブロック１５１の端面１５１Ａ及び摺動管１５２の端面１５２Ａが固定クランプ８１の側壁８５（基準面）に押し当てられている。
そして、前述したように駆動カム９２が回転することによって、ウェハホルダ１４０は、揺動管１４２を中心にした上方への揺動動作が行われる。その際、各端面１４２Ａ，１５１Ａ，１５２Ａが、固定クランプボディの側壁８５（図１０参照）を摺動するため、ウェハホルダ１４０がぶれることはなく、ウェハ６がチューブ７，８に対して直交方向に移動することとなる。なお、基準面である側壁８５には、各端面１４２Ａ，１５１Ａ，１５２Ａの摺動領域に摺動抵抗を抑えるためのスライドテープ（不図示）が貼られているため、ウェハホルダ１４０の揺動動作は円滑に行われる。
【００７５】
そこで、第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２によってクランプされたチューブ７，８は、ウェハ６によって下方から切り込まれ、加熱されたウェハ６の当てられた部分が溶融し、切断される。ここに、図１６は、チューブ切断時のウェハ６の位置を示した図である。
加熱されたウェハ６は、その切断辺（上辺）がチューブ７，８に対して下方から当てられ、揺動するウェハホルダ１４０によってチューブ７，８に対して斜めにスライドするように切り進められる。従って、チューブ７，８を切断するウェハ６の切断辺の当接部分が切断する過程でずれるため、ウェハ６における切断部分の熱量が保たれる。
【００７６】
即ち、チューブ７，８は、切断後に溶着して接続されるものであるため、チューブ切断面が十分な溶融状態になければならない。一方、切断時にはチューブ７，８の溶融によってウェハ６の熱が奪われてしまう。また、ウェハ６は、それ自体が薄く蓄熱能力がない。そのため、ウェハ６の切断が切断辺の一部分で行われると当該部分の温度低下が著しく、切断面を十分に溶融させることができなくなる。そこで、前述したように切断辺がスライドすれば、チューブ７，８を切断する部分がずれるため、当該切断部分の温度をチューブを溶融させるのに十分なある一定温度以上に保つことができ、チューブ切断面を接続に十分な溶融状態にすることができる。
【００７７】
ウェハ６によるチューブ７，８の切断及び接続は、第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２によって押し潰されたチューブ７，８の閉塞部分（図１３参照）で行われる。
固定クランプ１１，８１に可動クランプ１２，８２が重ねられると、チューブガイド４０，１００（図１参照）に支持されたチューブ７，８は、第１チューブ保持具１では、クランプローター３０の閉塞部３３ｂ，３３ｂ（図３参照）によって、また第２チューブ保持具２では、固定クランプボディ８３の保持溝９８（図１０）と可動クランプボディ１１０の閉塞部１１４（図１２参照）とによって、図１３に示すようにクランプされる。従って、第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２の間には、円筒形状のチューブ７，８が扁平形状になって管内が密着した部分が現れる。当該部分がウェハ６によって切断され、また接続される部分である。
【００７８】
そこで、ウェハホルダ１４０の揺動によってウェハ６が上昇して図１６に示すようにチューブ７，８が切断される。チューブ７，８は予めクランプされて潰されて、管内の液が切断部分からクランプ時に押し流されているので、切断時には切断部から流れ出ることもない。
チューブ切断時、チューブ７，８の切断部分は樹脂が溶融又は軟化した高温の状態であるため、その切断面がウェハ６に気密に接触しているため、続いて行われるチューブ切断面の接続までの間、チューブ７，８内部が大気に触れることなく無菌状態が維持される。
【００７９】
次いで、ウェハ６によって切り離されたチューブ７，８は、第１チューブ保持具１でクランプされた部分の反転がクランプローター３０の回転によって行われる。
そこで、ウェハ６が十分上昇したところでステッピングモータ４の駆動は停止し、続くステッピングモータ３（図２参照）の駆動によってクランプローター３０に回転が与えられる。ステッピングモータ３の回転は、図９に示すように、そのモータ軸３ａの駆動ギヤ６１からアクセスギヤ６２及びドライブギヤ６３を介してクランプローター３０へと伝達される。そこで、クランプローター３０は、ローター片３１，３２が図９に示す１個の回転体となって回転する。
クランプローター３０は、ステッピングモータ３によってローター片３１，３２が固定クランプ１１と可動クランプ１２とで入れ替わるように１８０゜の回転が与えられる。従って、図１９に示す場合と同様に上下に重ねてクランプされた２本のチューブ７ａ，８ａは、その位置が上下反転することとなる。
【００８０】
このとき、クランプローター３０は、同一円周上に等間隔で配置されたローラ２０…，５５…によって回転支持され、仮想の回転軸を中心にした正確な回転を行うこととなる。
チューブ７ａ，８ａは、その回転軸上に接触面が重ねられるようにクランプされているため、クランプローター３０が反転してローター片３１，３２の位置が入れ替わったときには、当該接触面は回転軸上に位置し、チューブ７ａ，８ａの切断面は反転前の位置に正確に重ねられることとなる。
【００８１】
ここで、チューブ７ａ，８ａが反転するときのチューブガイド４０について説明する。図１７は、チューブガイド４０を示した側面図である。
クランプローター３０の回転前は、図１７（ａ）に示すように、チューブ７ａ，８ａが上下に重ねられ、ガイド爪４２，４２によって両側から挟み込まれている。そして、クランプローター３０に伴ってチューブ７ａ，８ａも回転し、クランプローター３０が９０゜回転したところでチューブ７ａ，８ａの配置が図１７（ｂ）に示すように横向きになり、更に９０゜回転したところでチューブ７ａ，８ａ（かっこ）が上下反転して、図１７（ａ）に示すように上下に配置される。
このように、チューブ７ａ，８ａが上下入れ替わる途中、２本のチューブ７ａ，８ａの横幅は回転に伴って広がるが、チューブガイド４０は、チューブ７ａ，８ａの幅方向の広がりによってスプリング４３，４３（図７参照）が縮められてガイド爪４２，４２が外側へ押し広げられる。
従って、チューブガイド４０は、チューブ７ａ，８ａを上下に確実に保持するとともに、チューブ反転時には外側に逃げて、反転動作を円滑に行わせる。
【００８２】
上下が反転したチューブ７ａ，８ａの切断面は、切断直後と同様に、第２チューブ保持具２側でクランプされたチューブ７ｂ，８ｂ（図１９参照）の切断面とウェハ６を挟んで同一位置に配置される。そこで、続いてウェハ６が降ろされ、切断面同士が軸方向に押し当てられれば、切断されたチューブ７，８は、切断面同士が溶着しそれぞれ１本のチューブ９，１０（図２０参照）となる。
その際、先ずクランプローター３０を反転させたステッピングモータ３が停止し、続いて再度ステッピングモータ４が起動する。そのため、駆動カム９２（図１０参照）が回転し、ローラベアリング１５５（図１５参照）が載せられた切断用カム９４の頂部の高さが下がり、それに従ってウェハホルダ１４０は下降する。よって、ウェハ６も下降してチューブ７，８から抜き取られる。その際、ウェハ６と溶融したチューブ切断面との接触抵抗が大きいため、ウェハ６がウェハホルダ１４０から抜けないようにズレ止め１４３ａ，１４３ｂによって引っかけられて、ウェハ６の抜けが防止されている。
【００８３】
また、ウェハホルダ１４０を下降させる駆動カム９２は、その切断用カム９４と第１チューブ保持具１を移動させるスライド用カム面９３とが一体に形成されている。そのため、下降してチューブ７，８からのウェハ６の抜き取りと、第１チューブ保持具１の第２チューブ保持具２へのスライドが一義的に行われ、チューブの切断面同士が所定のタイミングで軸方向に押し当てられる。
第１チューブ保持具１は、スプリング１３１によって常時付勢され（図１参照）、押圧アーム２４のローラベアリング２５（図６参照）が、駆動カム９２のスライド用カム９３（図１０参照）に当接されている。そのため、駆動カム９２の回転によってウェハホルダ１４０が上昇した段階では、ローラベアリング２５はスライド用カム９３の平面部分を転動し、第１チューブ保持具１は第２チューブ保持具２との間隔が一定に保たれている。そして、ウェハ６がチューブ７，８から抜き取られるタイミングで、ローラベアリング２５がスライド用カム９３の傾斜したスライドカム面９３ａに入り込んで転動する。
【００８４】
そのため、第１チューブ保持具１は、スプリング１３１の付勢力によって第２チューブ保持具２側へと押し出され、スライド管２２がガイドロッド８８を摺動し、ガイドローラ２３がガイドブロック２９を転動して、平行移動を行う。
よって、第１チューブ保持具１は、スライド用カム９３における平面部分とスライドカム面９３ａとの差分だけ第２チューブ保持具２へと寄せられることとなるが、その量は僅かである。これは、チューブ７，８の切断代分（約ウェハ６の厚さ分）だけ移動させて、チューブの切断面同士を押し当てるからである。
そして、切断されて反転したチューブ７，８は、その切断面同士が押し当てられることによって溶着接続され、図２０に示すように、交互に入れ替えられた２本のチューブ９，１０が形成される。
【００８５】
そして、ウェハホルダ１４０の下降完了を、固定クランプ２２に取り付けられたリミットスイッチ２０５によって検出する。その検出によって、ソレノイド２０２のプランジャ２０３が下降し、バックル１２０，１２５の取り外しが可能となる。
そこで、使用者は、バックル１２０，１２５を外し、可動クランプ１２，８２を開いてチューブ９，１０の取り出しを行う。
寄せられた第１チューブ保持具１は、次のチューブ接続動作が行われるまでそのままの位置にとどまっており、スイッチが入れられると、第２チューブ保持具２の固定クランプ８１に設けられたプランジャ１０４（図１１参照）によってチューブが無いことが検出され、その検出によってステッピングモータ−４が起動して、駆動カム９２の回転を調節し、第１チューブ保持具１の位置を第２チューブ保持具２から離す。
【００８６】
なお、バックル１２０，１２５を外し、可動クランプ１２，８２が開けられることによってローター片３１，３２が再びロックされる（図９参照）。
先ず、使用者がバックル１２５を外すと、その押圧突片１２８が回動してクランク板６６が解放され、そのクランク板６６を介してスライドが制限されていたスライド板６５のスライドが可能となる。そのため、スプリング６７の付勢力によってスライド板６５がクランプローター３０側へスライドし、その係合部６５ｐがロック溝３７ａへと入り込む。
一方、図１に示すように可動クランプ１２を開けると、その可動クランプ１２内に入り込んでいた位置決突起２１が相対的に外れる。そのため、板バネ７１がフリーになり、その弾性によって係合片７２が押し出されてクランプローター３０のロック溝３７ｂへと入り込む。
よって、可動クランプ１２が開けられると、ローター片３１，３２がチューブ反転した際の状態のままでロックされる。
【００８７】
よって以上のような本実施の形態のチューブ接続装置によれば、ローター片３１，３２を装填する固定クランプ１１及び可動クランプ１２にロック手段を設けたので、図１に示すように可動クランプ１２を開けたときに、使用者がローター片３１，３２を押すなどした場合に当該ローター片３１，３２が固定クランプ１１及び可動クランプ１２内でずれることがなくなった。そのため、図９に示すように、再び可動クランプ１２を固定クランプ１１に重ねた際にはローター片３１，３２が上下対称位置にあって、駆動前にクランプローター３０に回転方向のずれを生じさせることがなくなった。
よって、クランプローター３０の回転によって、チューブの反転が正確に行われ、入れ替えられたチューブ切断面同士の確実な接続が保証される。
【００８８】
また、可動クランプ１２に設けられたロック手段は、ローター片３１，３２をロックさせる係合片７２が、可動クランプ１２の開閉に伴って位置決突起２１の出入りによって進退するため、図１に示すように使用者が触れることが可能な状態の場合、ローター片３１，３２は確実にロックされる。
また、固定クランプ１１に設けられたロック手段は、バックル１２５のロック及びロック解除の操作に伴ってスライド板６５の係合部６５ｐがロック溝３７ａへと入り込み、また退避するため、やはり図１に示すように使用者が触れることが可能な状態の場合、ローター片３１，３２は確実にロックされる。
また、これらロック手段は、ローター片３１，３２のロック溝３７ａ，３７ｂと、そこに入り込むロック手段の係合部６５ｐ及び係合片７２等によって、ローター片３１，３２を図９に示すクランプローター３０の反転前及び反転後の対称となる状態で一義的に位置決めすることができる。
更に、そのロック溝３７ａ，３７ｂは内壁面がほぼ平行な面をなし、一方の係合部６５ｐ及び係合片７２はその間に入り込む四角形状突片をなしているため、容易に外れることはない。
【００８９】
また、本実施の形態のチューブ接続装置によれば、可動クランプ１２，８２を固定クランプ１１，８１に重ねる場合、位置決突起２１，８９によって横ズレが防止されて正確な位置で固定クランプ１１，８１と可動クランプ１２，８２とが重ね合わされる。
そのため、ローター片３１，３２のズレが防止され、重ね合わされた時に正確なクランプローター３０が構成されるようになり、チューブの接続不良が回避される。また、チューブ７，８は、第１チューブ保持具１では、クランプローター３０の閉塞部３３ｂ，３３ｂ（図３参照）によって、また第２チューブ保持具２では、固定クランプボディ８３の保持溝９８（図１０）と可動クランプボディ１１０の閉塞部１１４（図１２参照）とによって確実にクランプされて管内が閉塞される。これによって、切断したチューブからの液漏れが防止される。
【００９０】
また、本実施の形態のチューブ接続装置によれば、チューブガイド４０，１００によって使用者が正確にチューブ７，８を配置させることができる。特に、チューブガイド４０のガイド爪４２，４２（図７参照）及びチューブガイド１００のガイド爪１０１，１０１（図１１参照）の間隔は、チューブ７，８の外径に合わせてあるため、チューブ７，８は、その中心軸が上下に重なるように正確に配置することができる。
また、ガイド爪１０１，１０１先端部には、内側に突起１０１ａ，１０１ａが形成されチューブの抜けが防止される。
【００９１】
また、本実施の形態のチューブ接続装置によれば、第２チューブ保持具２の固定クランプ８１に設けられたプランジャ１０４を設け、チューブ７，８を保持したことを検出するよう構成したので、チューブ７，８が保持されていない状態でのチューブ接続動作を停止させることができ、チューブのクランプミスなどによる接続不良を回避することができる。
更に、このときプランジャ１０４が突出する保持溝１０３の底面を平面としたので、その底面に当てられたチューブ７，８の接触面が小さく、チューブ７，８に発生する弾性力が当該接触面に強く作用する。そのため、その接触面部分に突出されたプランジャ１０４をチューブ７，８の弾性力によって確実に押し下げることができる。
【００９２】
更には、クランプローター３０では、お互いの中心軸の中間点を中心に対称的にチューブ７，８が押し潰されるのに対し、固定クランプボディ８３の保持溝９８側では、その保持溝９８の底面に押し付けられるようにチューブ７，８が押し潰されるようにしたので、クランプ時にチューブ７，８の弾性力が保持溝９８の底面側、即ちプランジャ１０４に強く働き、プランジャ１０４が確実に押し下げられ、チューブの検出精度を上げることができる。
また、本実施の形態のチューブ接続装置によれば、クランプローター３０が回転する第１チューブ保持具１側のチューブガイド４０を、ガイド爪４２，４２がスライドするように形成したので、チューブ７ａ，８ａを上下に確実に保持するとともに、チューブ反転時には外側に逃げて、反転動作を円滑に行わせることができる。
【００９３】
なお、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、前記実施の形態では、ローター片３１，３２にロック溝３７ａ，３７ｂ，３７ａ，３７ｂを設け、これに係合部６５ｐ及び係合片７２をはめ込むことによって位置決めしてロックさせるようにしたが、単にローター片３１，３２のローターギヤ３６，３６に係合部６５ｐ及び係合片７２に替わるものをはめ込むようにしてもよい。
また、例えば、固定クランプ１１側のロック手段をスライド式とし、可動クランプ１２側のロック手段には板バネを利用したものとしたが、これらは逆であってもよく、更には他の方法によるものであってもよい。
また、例えば、固定クランプ１１，８１と可動クランプ１２，８２とを正確な位置で重ね合わせつための位置決突起２１，８９は可動クランプ１２，８２側に設けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明のチューブ接続装置の一実施の形態における内部機構の斜視図である。
【図２】本発明のチューブ接続装置の一実施の形態における内部機構の平面図である。
【図３】クランプローターを示した斜視図である。
【図４】図３におけるローター片のＡ方向断面図である。
【図５】固定クランプボディを示す斜視図である。
【図６】固定クランプボディ１３の平面図である。
【図７】ボディカバー１４への取付面側を示したチューブガイド４０の斜視図である。
【図８】第１チューブ保持具１の可動クランプ１２を示す分解斜視図である。
【図９】第１チューブ保持具１を示した断面図である。
【図１０】第２チューブ保持具２の固定クランプ８１の外観斜視図である。
【図１１】第２チューブ保持具２の固定クランプボディ８３の側面図である。
【図１２】固定クランプ８１及びバックル１１１を示した斜視図である。
【図１３】第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２を図１のＣ方向から示した正面図である。
【図１４】第１チューブ保持具１側から見たウェハホルダを示した斜視図である。
【図１５】第２チューブ保持具２側から見たウェハホルダを示した斜視図である。
【図１６】チューブ切断時のウェハ６の位置を示した図である。
【図１７】チューブガイド４０を示した側面図である。
【図１８】従来のチューブ接続装置のチューブクランプ部を示した斜視図である。
【図１９】チューブの切断・反転時の状態を示した図である。
【図２０】接続チューブを示した図である。
【図２１】従来のチューブ接続装置における反転機構の一部を示した図である。
【符号の説明】
【００９５】
１    第１チューブ保持具
２    第２チューブ保持具
１１，８１    固定クランプ
１２，８２    可動クランプ
３０  クランプローター
３１，３２    ローター片
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
0004585528.tif 000018
【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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