(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電機子コイルを備えて、電磁力により可動体を移動させるリニアモータであって、前記電機子コイルが、複数個のコイル体と、これらのコイル体を一方向に並べて保持するフレームとを備え、前記フレームには、前記一方向に沿って定められた間隔ごとに前記各コイル体の端部を保持する位置決め部が形成されており、前記位置決め部には、前記コイル体を複数重ねて保持する段部が形成されていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
電機子コイルを備えて、電磁力により可動体を移動させるリニアモータであって、前記電機子コイルが、複数個のコイル体と、これらのコイル体を一方向に並べて保持するフレームとを備え、前記フレームには、前記一方向に沿って定められた間隔ごとに前記各コイル体の端部を保持する位置決め部が形成されており、前記電機子コイルが、複数個の前記フレームを互いに張り合わせて形成されることを特徴とするリニアモータ。
【請求項３】
請求項１又は２記載のリニアモータにおいて、前記フレームには前記コイル体の配線を通す切欠きが形成され、前記フレームの外側において前記コイル体が接続されることを特徴とするリニアモータ。
【請求項４】
請求項３記載のリニアモータにおいて、前記切欠きは、前記フレームに形成された前記位置決め部に対応して形成され、前記位置決め部に保持された前記コイル体の端部からの配線を通すことを特徴とするリニアモータ。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記コイル体が、扁平多角形状であることを特徴とするリニアモータ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記コイル体が、略筒状に巻線された形状のものであることを特徴とするリニアモータ。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記フレームは、所定間隔だけ離れて前記一方向に沿って延在する二本一対の保持部と、これらの保持部をその両端部において互いに連結する連結部とを有し、前記各保持部には、前記永久磁石の配列間隔に応じた間隔で前記段部が複数形成されていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記電機子コイルを保持するコイル固定フレームと、前記コイル体を冷却するための冷媒通路を形成するキャンと、前記電機子コイルを構成する構成部品のうち前記コイル体を除くその他全ての構成部品とが、セラミックスまたはエンジニアリングプラスチックまたはオーステナイト系ステンレスで形成されていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項９】
電磁力により可動体を移動させるリニアモータであって、複数のコイル体とこれらのコイル体を並べて保持する枠状の保持部材とを有する電機子コイルユニットを備え、前記保持部材は、前記複数のコイル体を位置決めするために所定間隔で形成された位置決め部を有し、前記保持部材の位置決め部は、所定間隔で凸部を設けることによって形成することを特徴とするリニアモータ。
【請求項１０】
請求項９のリニアモータにおいて、前記保持部材は、前記複数のコイル体を所定方向に沿って保持することを特徴とするリニアモータ。
【請求項１１】
請求項９のリニアモータにおいて、前記保持部材の位置決め部は、前記コイル体の端部形状に合わせて形成されていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項１２】
請求項９のリニアモータにおいて、前記保持部材は、前記複数のコイル体から電気線を通すための切欠き部が形成されていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項１３】
請求項９のリニアモータにおいて、前記電機子コイルユニットを構成する部品の一部は非磁性体かつ非導電体で形成されることを特徴とするリニアモータ。
【請求項１４】
請求項１３のリニアモータにおいて、前記電機子コイルユニットを冷却するための冷却機構を構成する部品の一部は非磁性体かつ非導電体で形成されることを特徴とするリニアモータ。
【請求項１５】
請求項１から１４のいずれか一項に記載のリニアモータを備えたステージ装置。
【請求項１６】
請求項１から１４のいずれか一項に記載のリニアモータを備えた露光装置。
【請求項１７】
複数のコイル体をフレームで保持した電機子コイルユニットを有するリニアモータ製造方法であって、前記フレームに前記各コイル体の端部を保持する位置決め部を一方向に沿って定められた間隔ごとに形成し、前記位置決め部に前記コイル体を複数重ねて保持する段部を形成し、前記段部のそれぞれに前記各コイル体を配置して前記電機子コイルユニットを作成することを特徴とするリニアモータ製造方法。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、例えば半導体製造工程で用いられる投影露光装置において、基板を保持するステージの駆動源等として用いるのに好適なリニアモータ製造方法、リニアモータ、該リニアモータを備えたステージ装置、および露光装置に関するものである。
背景技術
半導体素子や液晶表示素子等のデバイスの製造工程において重要な位置を占めるフォトリソグラフィ工程では、フォトマスクまたはレチクル（以降、単に「レチクル」と称する）の回路パターンを、投影光学系を介し、感光剤を塗布したウエハまたはガラスプレート等の基板上に投影露光し転写する投影露光装置が用いられている。
近年、半導体集積回路の集積度が高まるにつれ、このような投影露光装置としては、基板を順次移動させつつ基板上の複数の露光領域にパターンを順次投影転写していくステップ・アンド・リピート方式の縮小投影型露光装置、いわゆるステッパーが主流となっている。
このようなステッパーにおいては、基板を順次移動させつつ投影転写を行う度に、基板を精密に位置決めする必要があるため、基板を保持・移動・位置決めするステージが備えられている。ステージには、保持した基板を少なくとも２方向に移動可能とする可動ステージが備えられ、この可動ステージの駆動源としては直動駆動機構が多用されている。
直動駆動機構には、回転型モータを用い回転運動を直動運動に変換するものや、あるいは直動型のリニアモータを用いるものがある。特に、リニアモータは構造が簡易で部品点数が少く、摩擦抵抗も少ないため、特に精密に位置決めを行う必要のある機構の駆動源として主流になりつつある。
リニアモータは、永久磁石ユニットと、電機子コイルユニットとからなり、これら永久磁石ユニットと電機子コイルユニットとが相対移動することによって推力を発生するものである。
従来より、図１３に示すように、リニアモータ１の電機子コイルユニット２には、コイル体３を複数個並べた構成のものがある。各コイル体３は、電線が断面視略長方形に巻回されたもので、その中央部に開口部３ａを有している。そして、これら複数のコイル体３は、取付プレート４に、開口部３ａに対応して形成された突起４ａに開口部３ａをはめ込むことによって位置決めされるようになっている。
また、近年では、永久磁石ユニットの磁気ギャップに対する電機子コイルの占積率（密度）を向上させることによってリニアモータの高性能化を図る技術も提案されている。例えば特開平８−１６８２２９号公報に開示される技術では、扁平コイルを用いるリニアモータが提案されている。
図１４（ａ）に示すように、前記公報で提案されたリニアモータ５は、所定の間隔を隔てて対向するよう磁石フレーム６に保持された永久磁石７，７と、これら永久磁石７，７間に配置された電機子コイルユニット８とから概略構成されている。電機子コイルユニット８は、扁平形状のコイル９を、取付プレート８ａの両面に接着した構成となっている。図１４（ｂ）に示すように、各コイル９は、１辺方向に長い長方形または平行四辺形に巻回した帯状のコイルを螺旋状に折り曲げることによって扁平形状に形成されたものである。そして、各コイル９は取付プレート８ａに設けられたピン８ｂによって位置決めされている。
しかしながら、上述したような従来のリニアモータには、以下のような問題が存在する。 まず、図１３に示したリニアモータ１では、複数のコイル体３を並べた方向における各コイル体３の位置精度が重要となっている。すなわち、図１５に示すように、例えば一つ一つのコイル体３の外形寸法誤差がある場合、この誤差が積み重なると、複数並べられたコイル体３の配列間隔が、永久磁石７の配列間隔に対して相対的にズレてしまう。永久磁石７の配列間隔とコイル体３の配列間隔とに誤差があると、リニアモータ１で発生推力にムラが生じリニアモータ１の性能に影響を及ぼす。これの対策としてはコイル体３一つ一つの外径寸法精度を高めるしかないが、精度向上はコイル製造コストを上昇させる結果となる。しかも、図１３に示したリニアモータ１では、各コイル体３には開口部３ａが形成されているため、この開口部３ａの部分では永久磁石ユニットの磁気ギャップに対するコイル体３の占積率（密度）が低下し、その結果、リニアモータ１の効率が低下することになるという問題がある。
一方、図１４に示したリニアモータ５では、１相分のコイル９が一体に巻かれているため、図１３に示したリニアモータ１のような配列間隔ズレによる問題は回避することができる。
しかしながら、図１４に示したリニアモータ５では、永久磁石７，７間にコイル９の他に取付プレート８ａが介在することになり、この取付プレート８ａによって永久磁石７，７の磁気ギャップに対するコイル９の占積率が低下するため、依然としてリニアモータ１の効率に影響を及ぼしている。加えて、このようなコイル９は、製造のために大掛かりな巻線装置が必要となるという問題もある。
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、高性能でかつ安定した性能を発揮することのできるリニアモータ製造方法、リニアモータ、該リニアモータを備えたステージ装置、および露光装置を提供することを課題とする。
発明の開示
請求項１に係る発明は、電機子コイル（２３）を備えて、電磁力により可動体を移動させるリニアモータ（Ｒ１）であって、前記電機子コイル（２３）が、複数個のコイル体（２５）と、これらのコイル体（２５）を一方向に並べて保持するフレーム（２４）とを備え、前記フレーム（２４）には、前記一方向に沿って定められた間隔ごとに前記各コイル体（２５）の端部を保持する位置決め部（２８）が形成されており、前記位置決め部（２８，２８’）には、前記コイル体（２５，２５’）を複数重ねて保持する段部（３８）が形成されていることを特徴としている。
これにより、コイル体（２５）の端部をフレーム（２４）に形成された溝（２８）に保持させることによって、複数個のコイル体（２５）が定められた間隔ごとに位置決めされる。また、複数層のコイル体（２５，２５’）を一つのフレーム（３４）で保持することができる。
請求項２に係る発明は、電機子コイル（２３）を備えて、電磁力により可動体を移動させるリニアモータ（Ｒ１）であって、前記電機子コイル（２３）が、複数個のコイル体（２５）と、これらのコイル体（２５）を一方向に並べて保持するフレーム（２４）とを備え、前記フレーム（２４）には、前記一方向に沿って定められた間隔ごとに前記各コイル体（２５）の端部を保持する位置決め部（２８）が形成されており、前記電機子コイル（４３）が、複数個の前記フレーム（２４）を互いに張り合わせて形成されることを特徴としている。
これにより、コイル体（２５）の端部をフレーム（２４）に形成された溝（２８）に保持させることによって、複数個のコイル体（２５）が定められた間隔ごとに位置決めされる。また、電機子コイル（４３）は、各フレーム（２４）に保持されるコイル体（２５）によって、複数のコイル体（２５）が重ねられた構成となる。
請求項３に係る発明は、請求項１又は２記載のリニアモータ（Ｒ１）において、前記フレーム（２４）には前記コイル体（２５）の配線（Ｃ）を通す切欠き（３１）が形成され、前記フレーム（２４）の外側において前記コイル体（２５）が接続されることを特徴としている。
このようにコイル体（２５）の配線（Ｃ）を切欠き（３１）からフレーム（２４）の外側に出すことによって、同位相のコイル体（２５）どうしをフレーム（２４）の外側で接続することができる。
請求項４に係る発明は、請求項３記載のリニアモータ（Ｒ１）において、前記切欠き（３１）は、前記フレーム（２４）に形成された前記位置決め部（２８）に対応して形成され、前記位置決め部（２８）に保持された前記コイル体（２５）の端部からの配線（Ｃ）を通すことを特徴としている。
これにより、一つ一つのコイル体（２５）に対し切欠き（３１）が形成されることになる。
請求項５に係る発明は、請求項１ないし４のいずれかに記載のリニアモータ（Ｒ１）において、前記コイル体（２５）が、扁平多角形状であることを特徴としている。
このようにしてコイル体（２５）を扁平形状とすることにより、永久磁石（２２）のギャップにおける電機子コイル（２３）の占積率を向上させることができる。
請求項６に係る発明は、請求項１ないし５のいずれかに記載のリニアモータ（Ｒ４）において、前記コイル体（５５）が、略筒状に巻線された形状のものであることを特徴としている。
このようにして、略筒状に巻線された形状のコイル体（５５）をフレーム（５４）に形成された溝（５８）で保持することにより、略筒状に巻線された形状のコイル体（５５）、すなわち従来タイプのコイル体（５５）においても上記と同様の作用が得られる。
請求項７に係る発明は、請求項１ないし６のいずれかに記載のリニアモータ（Ｒ１）において、前記フレーム（２４）は、所定間隔だけ離れて前記一方向に沿って延在する二本一対の保持部（２６）と、これらの保持部（２６）をその両端部において互いに連結する連結部（２７）とを有し、前記各保持部（２６）には、前記永久磁石（２２）の配列間隔に応じた間隔で前記段部（２８）が複数形成されていることを特徴としている。
これにより、コイル体（２５）は二本一対の保持部（２６）間に保持されることとなる。また、保持部（２６）を永久磁石（２２）の磁力線に干渉しない位置に配置することによって、永久磁石（２２）間にはコイル体（２５）以外のみが存在することになる。
請求項８に係る発明は、請求項１ないし７のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記電機子コイル（２３）を保持するコイル固定フレーム（７０）と、前記コイル体（２５）を冷却するための冷媒通路を形成するキャン（７１）と、前記電機子コイル（２３）を構成する構成部品のうち前記コイル体（２５）を除くその他全ての構成部品とが、セラミックスまたはエンジニアリングプラスチックまたはオーステナイト系ステンレスで形成されていることを特徴としている。
請求項９に係る発明は、電磁力により可動体を移動させるリニアモータ（Ｒ１）であって、複数のコイル体（２５）とこれらのコイル体（２５）を並べて保持する枠状の保持部材（２４）とを有する電機子コイルユニット（２３）を備え、前記保持部材（２４）は、前記複数のコイル体（２５）を位置決めするために所定間隔で形成された位置決め部（２８）を有し、前記保持部材の位置決め部（２８）は、所定間隔で凸部（２９）を設けることによって形成することを特徴とする。
これにより、保持部材（２４）に複数のコイル体（２５）が高精度で位置決めされる。また、保持部材（２４）に複数のコイル体（２５）が所定間隔ごとに高精度で位置決めされる。また、コイル体（２５）の端部を凸部（２９）間に形成された位置決め部（２８）に保持させるだけで、保持部材（２４）に複数のコイル体（２５）が所定間隔ごとに高精度で位置決めされる。
請求項１０に係る発明は、請求項９のリニアモータ（Ｒ１）において、前記保持部材（２４）は、前記複数のコイル体（２５）を所定方向に沿って保持することを特徴とする。
これにより、保持部材（２４）に複数のコイル体（２５）が所定方向に沿って高精度で位置決めされる。
請求項１１に係る発明は、請求項９のリニアモータ（Ｒ１）において、前記保持部材（２４）の位置決め部（２８）は、前記コイル体（２５）の端部形状に合わせて形成されていることを特徴とする。
これにより、コイル体（２５）の端部を保持部材（２４）に形成された位置決め部（２８）に保持させるだけで、保持部材（２４）に複数のコイル体（２５）が所定間隔ごとに高精度で位置決めされる。
請求項１２に係る発明は、請求項９のリニアモータにおいて、前記保持部材（２４）は、前記複数のコイル体（２５）から電気線を通すための切欠き部（３１）が形成されていることを特徴とする。
このようにコイル体（２５）の配線を切欠き（３１）から保持部材（２４）の外側に出すことによって、同位相のコイル体（２５）を保持部材（２４）の外側で接続することができ、配線を整然と行うことができる。
請求項１３に係る発明は、請求項９のリニアモータにおいて、前記電機子コイルユニット（２３）を構成する部品の一部は非磁性体かつ非導電体で形成されることを特徴とする。
これらの材料は、高強度を有しており、また線膨張係数が小さいので温度変化に伴う変形等を防止することができ、その結果、リニアモータ（Ｒ１）の性能の安定化に貢献することができる。
請求項１４に係る発明は、請求項１３のリニアモータにおいて、前記電機子コイルユニット（２３）を冷却するための冷却機構を構成する部品の一部は非磁性体かつ非導電体で形成されることを特徴とする。
これらの材料は、高強度を有しており、また線膨張係数が小さいので温度変化に伴う変形等を防止することができ、その結果、リニアモータ（Ｒ１）の性能の安定化に貢献することができる。
請求項１５に係る発明は、請求項１から１４のいずれか一項のリニアモータ（Ｒ１）を備えたステージ機構（１０）である。
これにより、ステージ機構（１０）において、保持部材（２４）に複数のコイル体（２５）が高精度で位置決めされたリニアモータ（Ｒ１）を提供することができる。
請求項１６に係る発明は、請求項１から１４のいずれか一項のリニアモータ（Ｒ１）を備えた露光装置である。
これにより、露光装置において、保持部材（２４）に複数のコイル体（２５）が高精度で位置決めされたリニアモータ（Ｒ１）を提供することができる。
請求項１７に係る発明は、複数のコイル体（２５，２５’）をフレーム（２４）で保持した電機子コイルユニット（２３）を有するリニアモータ製造方法であって、前記フレームに前記各コイル体の端部を保持する位置決め部（２８，２８’）を一方向に沿って定められた間隔ごとに形成し、前記位置決め部に前記コイル体を複数重ねて保持する段部（３８）を形成し、前記段部のそれぞれに前記各コイル体を配置して前記電機子コイルユニットを作成することを特徴とする。
これにより、フレーム（２４）に複数のコイル体（２５，２５’）が高精度で位置決めされたリニアモータ（Ｒ１）を製造することができる。
実施例
以下、本発明に係るリニアモータの第一ないし第四の実施の形態について、図１ないし図１２を参照して説明する。
［第一の実施の形態］
ここでは、まず、リニアモータ自体の説明に先立ち、リニアモータを備えた投影露光装置についての説明を行う。
図１に示すものは、例えば半導体素子のフォトリソグラフィ工程において用いられる投影露光装置のステージ機構１０である。投影露光装置は、フォトマスクまたはレチクルの回路パターンを、投影光学系を介し、感光剤を塗布したウエハまたはガラスプレート等の基板上に投影露光し転写するものである。
なお、投影露光装置の構成は、例えば特開平８−２５０３８８号公報及びこれに対応する米国特許５，７７７，７２１号に開示されている。本国際出願で指定した指定国または選択した選択国の国内法令の許す限りにおいて、上記の公報及び米国特許における開示を援用して本明細書の記載の一部とする。
この図１に示すように、ステージ機構１０は、ウエハ等の基板（以下、単に「ウエハ」と略称する）Ｗを保持・移動・位置決めするもので、図示しない台座上に除振機構を介して据え付けられた基盤１１上に、Ｘステージ１２とＹステージ１３とが備えられた構成となっている。 Ｘステージ１２は、基盤１１の上面に設けられて、投影露光装置の投影光学系の光軸に対して直交する面内において一方向（図中矢印ｘ方向）に沿って延存する二本一対の固定ロッド１４，１４と、各固定ロッド１４にそれぞれ移動自在に設けられた可動部材１５と、これら二つの可動部材１５，１５に一体に設けられた平面視略矩形のフレーム１６とから構成されている。
これにより、フレーム１６は、可動部材１５，１５が固定ロッド１４，１４に沿って移動することにより、固定ロッド１４，１４の軸線方向、すなわち図中矢印ｘ方向に移動自在とされている。
Ｙステージ１３は、投影露光装置の投影光学系の光軸に対して直交する面内において固定ロッド１４と直交する方向に延在し、かつフレーム１６に一体に設けられた固定ロッド１７と、固定ロッド１７に沿って移動自在に設けられた可動部材１８と、可動部材１８の上面に一体に設けられた保持テーブル１９と、固定ロッド１７を挟んでその両側に位置するフレーム１６の二辺に設けられたガイド部材２０，２０とから構成されている。
このＹステージ１３の保持テーブル１９は、可動部材１８が固定ロッド１７に沿って移動することにより、固定ロッド１７の軸線方向、すなわち図中矢印ｙ方向に移動自在とされている。このとき、保持テーブル１９は、その両端部がフレーム１６に形成されたガイド部材２０，２０によってガイドされるようになっている。
さらに保持ステージ１９には、ウエハＷを微少回転可能に吸着保持するウエハホルダ（図示なし）と、保持したウエハＷを上下動させるレベリング機構（図示なし）とが備えられている。
これにより、ステージ機構１０においては、保持ステージ１９が、Ｘステージ１２およびＹステージ１３によって、投影露光装置の投影光学系の光軸に対して直交する面内で互いに直交する２方向に移動自在となっている。
上記ステージ機構１０を構成するＸステージ１２およびＹステージ１３の駆動源としてはリニアモータが用いられている。 図２に示すように、リニアモータＲ１は、所定の間隔を隔てて対向するよう磁石フレーム２１に保持された永久磁石２２，２２と、これら永久磁石２２，２２間に配置された電機子コイルユニット（電機子コイル）２３とから概略構成されている。
電機子コイルユニット２３は、コイル固定フレーム７０に固定されており、このコイル固定フレーム７０には、電機子コイルユニット２３を内部に収めた略箱状のキャン７１が一体に設けられている。このキャン７１は、電機子コイルユニット２３を冷却する冷媒通路を形成するものであり、キャン７１には、図示しない流入口および流出口が形成されている。そして、流入口を通して図示しない冷却循環系から供給される冷媒をキャン７１の内部に流入させることによって、電機子コイルユニット２３を冷却し、図示しない流出口から冷却循環系に戻して循環させるようになっているのである。
ここで、コイル固定フレーム７０と、キャン７１とは、セラミックスまたはエンジニアリングプラスチックまたはオーステナイト系ステンレスで形成されている。 図３および図４に示すように、電機子コイルユニット２３は、枠状のコイルフレーム（フレーム）２４に複数の扁平コイル（コイル体）２５，２５，…が並べられて保持された構成となっている。
ここで、各扁平コイル２５は、帯状に巻回したコイルを折り曲げて形成したもので、例えば平面視略６角形をなした扁平形状、つまり扁平多角形状をなしている。各扁平コイル２５は、電機子コイルユニット２３と永久磁石２２（図２参照）の相対移動方向（図中矢印（イ）方向）に沿った面内に位置するものであり、前記相対移動方向に対してその両側に位置する端部２５ａ，２５ａで折り曲げられている。そして、各端部２５ａは、その外径が略コ字状をなし、かつその寸法が予め定められた精度内に収まるように形成されている。
一方、コイルフレーム２４は、非磁性かつ非導電（高電気抵抗）材、セラミックやステンレス、あるいはエンジニアプラスチック等の材料からなり、電機子コイルユニット２３と永久磁石２２（図２参照）の相対移動方向に沿って延在する二本一対の保持部２６，２６と、これら保持部２６，２６を両端部において一体に連結する連結部２７，２７とから形成されている。ここで、図２（ａ）に示したように、保持部２６，２６は、永久磁石２２，２２の磁力線に干渉しない位置に配置されている。
図３および図４に示したように、各保持部２６の一面倒２６ａには、各扁平コイル２５の位置決め部として複数の溝２８が永久磁石２２（図２参照）の配列間隔に対応した所定間隔ごとに形成されている。この溝２８は、保持部２６に、コイルフレーム２４の内側に向けて延出する複数の凸部２９が所定間隔で形成されることによって、互いに隣り合う凸部２９，２９間に形成された形態となっている。各溝２８は、扁平コイル２５の端部２５ａに対応した形状で形成されている。また、各保持部２６の他面倒２６ｂには、凸部２９よりもさらに内周側に延出する延出部３０が形成されている。
さらに、二本のうちの一方の保持部２６には、その一面倒２６ａの各溝２８に対応した位置に、その内周側と外周側とを連通するスリット（切欠き）３１が形成されている。
そして、各扁平コイル２５は、二カ所の端部２５ａ，２５ａが溝２８内にはめ込まれ、さらにこの溝２８および延出部３０に接着剤や樹脂等によって固定されている。この状態で、各扁平コイル２５は、溝２８によって電機子コイルユニット２３の相対移動方向に対する位置決めがなされ、また延出部３０によって電機子コイルユニット２３の厚さ方向に対する位置決めがなされている。さらに、各扁平コイル２５は、凸部２９によって他の扁平コイル２５に接触しないよう固定されている。このようにして、これら複数の扁平コイル２５は、電機子コイルユニット２３の相対移動方向に沿って所定寸法ずつずらして順次配置され、二カ所の端部２５ａ，２５ａに対して一方の側２５ｃが保持部２６の一面側２６ａに臨み、他方の側２５ｄが保持部２６の他面倒２６ｂに臨むよう、コイルフレーム２４に取り付けられている。
また、各扁平コイル２５の一方の端部２５ａから延び出る配線Ｃは、スリット３１からコイルフレーム２４の外側に導かれ、同位相の他の扁平コイル２５に、この扁平コイル２５に対応したスリット３１を通して接続されている。
なお、上記電機子コイルユニット２３を構成する構成部品のうち、扁平コイル２５を除き、コイルフレーム２４をはじめとするその他全ての構成部品が、セラミックスまたはエンジニアリングプラスチックまたはオーステナイト系ステンレスで形成されている。 以上のような各部品を機能的（機械的、電気的）に接続することによりリニアモータが製造される。
このような構成の電機子コイルユニット２３を有するリニアモータＲ１は、図２に示した磁石フレーム２１側あるいはコイルフレーム２４側のいずれか一方が、図１に示したＸステージ１２の固定ロッド１４，Ｙステージ１３の固定ロッド１７に固定され、いずれか他方がＸステージ１２の可動部材１５，Ｙステージ１３の可動部材１８に固定されるようになっている。そして、永久磁石２２，２２と電機子コイルユニット２３との相対移動によって発生するリニアモータＲ１の推進力によって、ステージ機構１０が駆動されるようになっている。
すなわち、リニアモータと、Ｘステージ１２、Ｙステージ１３などを機能的（機械的、電気的）に接続して組み立てることによりステージ機構１０が製造される。
上述したリニアモータＲ１では、電機子コイルユニット２３が、複数個の扁平コイル２５とこれらを保持するコイルフレーム２４とを備えて、コイルフレーム２４が、二本一対の保持部２６，２６とこれらの保持部２６，２６を互いに連結する連結部２７とからなる構成となっている。そして、各保持部２６には、永久磁石２２の配列間隔に応じた間隔で各扁平コイル２５の端部２５ａを保持する溝２８が形成された構成となっている。
これにより、枠状のコイルフレーム２４に複数の扁平コイル２５の各々を配列しているので、リニアモータとしての効率が向上する。また、各扁平コイル２５の端部２５ａをコイルフレーム２４の保持部２６に形成された溝２８にはめ込んで固定するのみで、各扁平コイル２５を精度良く位置決めすることができ、永久磁石２２の配列間隔と扁平コイル２５の配列間隔がずれることなくセットされる。したがって、リニアモータＲ１で発生する推力のムラを小さくすることができ、性能の安定化を図ることができる。しかも、保持部２６は永久磁石２２，２２の磁力線と干渉しない位置に配置したので、永久磁石２２，２２間には扁平コイル２５以外のものは介在しないことになり、その結果、リニアモータＲ１の性能を向上させることができる。
しかも、図１４に示したような従来の複雑な形状のコイル９を用いたりすることもないので、大掛かりな巻線装置等も不要であり、前記効果を低コストで得ることができる。さらに、扁平コイル２５の端部２５ａ，２５ａをコイルフレーム２４に固定して保持するので、扁平形状で剛性の低い扁平コイル２５であっても高剛性が得られ、耐久性に優れるという効果を奏することができる。加えて、扁平コイル２５には、溝２８に保持される端部２５ａにのみ精度が要求されるので、扁平コイル２５のコイル製作に多大な手間が掛かることもなく、この点においても低コスト化に貢献できる。
また、コイルフレーム２４には、溝２８に対応してスリット３１が形成され、溝２８に保持された扁平コイル２５の端部２５ａからの配線Ｃがこのスリット３１に通され、コイルフレーム２４の外側で扁平コイル２５が接続される構成となっている。
これにより、同位相の扁平コイル２５どうしをコイルフレーム２４の外側で接続することができ、配線を整然と行うことができる。また、溝２８とスリット３１とが一体に形成されているので、扁平コイル２５のセットと同時に配線作業を行うことができ、電機子コイルユニット２３の組立工程の容易化が図られる。
さらに、上記リニアモータＲ１では、扁平コイル２５が扁平多角形状である構成となっている。このようにして扁平コイル２５を用いることにより、永久磁石２２，２２のギャップにおける扁平コイル２５の占積率を向上させることができ、リニアモータＲ１の性能向上を図ることができる。
加えて、コイル固定フレーム７０と、キャン７１と、電機子コイルユニット２３を構成する構成部品のうちの扁平コイル２５を除くその他全ての構成部品とが、セラミックスまたはエンジニアリングプラスチックまたはオーステナイト系ステンレスで形成された構成となっている。これらの材料は、高強度を有しており、また線膨張係数が小さいので温度変化に伴う変形等を防止することができ、その結果、リニアモータＲ１の性能の安定化に貢献することができる。
［第二の実施の形態］
次に、本発明に係るリニアモータの第二の実施の形態について説明する。ここでは、例えば、電機子コイルを二層備える場合の例を用いて説明する。以下に説明する第二の実施の形態におけるリニアモータと前記第一の実施の形態で示したリニアモータＲ１との相違点は電機子コイルユニットの構成のみであり、その他の構成、およびリニアモータの用途等は前記第一の実施の形態と同様であるので、前記第一の実施の形態と共通する構成については同符号を付し、その説明を省略する。
図５に示すように、リニアモータＲ２の電機子コイルユニット（電機子コイル）３３は、コイルフレーム（フレーム）３４に複数の扁平コイル（コイル体）２５，２５’が保持された構成となっている。
コイルフレーム３４は、非磁性かつ非導電（高電気抵抗）材、セラミックやステンレス、あるいはエンジニアプラスチック等の材料からなり、電機子コイルユニット３３と永久磁石２２（図２参照）の相対移動方向に沿って延在する二本一対の保持部３６，３６と、これら保持部３６，３６を両端部において一体に連結する連結部３７，３７とから形成されている。 各保持部３６には、その一面側３６ａに、扁平コイル２５の端部２５ａを保持する溝２８が、永久磁石２２（図２参照）の配列間隔に対応した所定間隔ごとに形成されている。
また、各保持部３６の厚さ方向中間部には、扁平コイル２５’の端部２５ａ’を保持する溝２８’が、永久磁石２２（図２参照）の配列間隔に対応した所定間隔ごとに形成されている。ここで、各扁平コイル２５’は、端部２５ａ’，２５ａ’の間隔が、前記扁平コイル２５の端部２５ａ，２５ａの間隔よりも小さく設定されている。したがって、互いに対向する溝２８’，２８’の間隔も、溝２８，２８の間隔よりも小さく設定されている。これにより、各保持部３６を厚さ方向に断面視すると、溝２８と溝２８’との間に段部３８が形成された構成となっている。 そして、各保持部３６の他面側３６ｂには、溝２８’を形成するための凸部２９’よりもさらに内周側に延出する延出部３９が形成されている。
さらに、一方の保持部３６には、各溝２８および２８’に対応した位置に、その内周側と外周側とを連通するスリット（切欠き）３１’が形成されている。
これにより、コイルフレーム３４には、複数の扁平コイル２５’が、それぞれ溝２８’，２８’に接着剤や樹脂等によって固定され、さらに、これら扁平コイル２５’に重ねて、扁平コイル２５が溝２８，２８に接着剤や樹脂等によって固定された構成となっている。そして、各扁平コイル２５，２５’の一方の端部２５ａ，２５ａ’から延び出る配線Ｃは、図５および図６に示すように、スリット３１’からコイルフレーム３４の外側に導かれ、同位相の他の扁平コイル２５，２５’に接続されている。
このようにして、コイルフレーム３４には扁平コイル２５と２５’が二層に取り付けられ、リニアモータＲ２は、いわゆる２レイヤーとなっている。
なお、上記電機子コイルユニット３３を構成する構成部品のうち、扁平コイル２５，２５’を除き、コイルフレーム３４をはじめとするその他全ての構成部品が、セラミックスまたはエンジニアリングプラスチックまたはオーステナイト系ステンレスで形成されている。
上述したリニアモータＲ２では、上記第一の実施の形態におけるリニアモータＲ１と同様の効果を奏することができる。
加えて、上述したリニアモータＲ２では、コイルフレーム３４に段部３８が形成され、扁平コイル２５と２５’とを重ねて保持する溝２８，２８’が形成された構成となっている。これにより、リニアモータＲ２を２レイヤーとすることができ、性能の向上を図ることができる。
［第三の実施の形態］
次に、本発明に係るリニアモータの第三の実施の形態について説明する。ここでは、前記第二の実施の形態と同様に、リニアモータに例えば二層の電機子コイルを備える場合の例を用いて説明する。以下に説明する第三の実施の形態におけるリニアモータと前記第一の実施の形態で示したリニアモータＲ１との相違点は電機子コイルユニットの構成のみであり、その他の構成、およびリニアモータの用途等は前記第一の実施の形態と同様であるので、前記第一の実施の形態と共通する構成については同符号を付し、その説明を省略する。
図７に示すように、リニアモータＲ３の電機子コイルユニット（電機子コイル）４３は、前記第一の実施の形態で示したコイルフレーム２４（図４参照）を二枚組み合わせたものである。すなわち、各コイルフレーム２４の保持部２６の一面倒２６ａどうしを互いに対向させた状態で、これら二枚のコイルフレーム２４を接着剤等の接合手段によって一体に接合したものである。各コイルフレーム２４の保持部２６には、溝２８が所定間隔ごとに形成され、各溝２８に扁平コイル２５が固定された構成となっている。また、各扁平コイル２５の端部２５ａに接続された配線Ｃは、各溝２８に対応して形成されたスリット３１からコイルフレーム２４の外側に導かれ、他の同位相の扁平コイル２５に接続されている。
上述したようなリニアモータＲ３では、前記第一の実施の形態で示したリニアモータＲ１と同様の効果を得ることができる。
また、リニアモータＲ３は、二枚のコイルフレーム２４を互いに張り合わせた構成となっている。これにより、リニアモータＲ３を、扁平コイル２５が２層に重ねられて備えられた２レイヤーとすることができ、これによっても前記第二の実施の形態と同様、性能の向上を図ることができる。
なお、上記第三の実施の形態において、リニアモータＲ３の電機子コイルユニット４３を、前記第一の実施の形態で示したコイルフレーム２４を二枚組み合わせる構成としたが、複数枚のフレームを互いに張り合わせるのであれば、他の構成であっても良い。例えば、図８に示すように、リニアモータＲ３’の電機子コイルユニット（電機子コイル）４３’を、前記第二の実施の形態で示したコイルフレーム３４（図５参照）を互いに張り合わせることによって構成し、扁平コイル２５，２５’が計四層に重ねられた４レイヤーとすることもできる。もちろん、三枚以上のフレームを互いに張り合わせる構成としても良い。
［第四の実施の形態］
次に、本発明に係るリニアモータの第四の実施の形態について説明する。ここでは、リニアモータの電機子コイルのコイル体に、例えば、従来型の扁平でないコイル体を採用する場合の例を用いて説明する。以下に説明する第四の実施の形態において、前記第一ないし第三の実施の形態と共通する構成については同符号を付し、その説明を省略する。 図９に示すように、リニアモータＲ４の電機子コイルユニット（電機子コイル）５３は、コイルフレーム（フレーム）５４に複数のコイル体５５，５５，…が並べられて保持された構成となっている。
ここで、コイル体５５は、従来の技術で示した前記コイル体３（図１３参照）と同様、電線が断面視略長方形に巻回されたもので、その中央部に開口部５５ａを有している。
一方、コイルフレーム５４は、非磁性かつ非導電（高電気抵抗）材、セラミックやステンレス、あるいはエンジニアプラスチック等の材料からなり、電機子コイルユニット５３の永久磁石２２（図２参照）に対する相対移動方向に沿って延在する二本一対の保持部５６，５６と、これら保持部５６，５６を両端部において一体に連結する連結部５７，５７とから形成されている。
各保持部５６の一面側５６ａには、複数の溝５８が永久磁石２２（図２参照）の配列間隔に対応した所定間隔ごとに形成されている。この溝５８は、保持部５６に、コイルフレーム５４の内側に向けて延出する複数の凸部５９が形成されることによって形成されている。各溝５８は、コイル体５５の端部５５ｂに対応した形状で形成されている。また、各保持部５６の他面側５６ｂには、凸部５９よりもさらに内周側に延出する延出部６０が形成されている。
さらに、二本のうちの一方の保持部５６には、その一面側５６ａの各溝５８に対応した位置に、その内周側と外周側とを連通するスリット（切欠き）３１”が形成されている。 これにより、各コイル体５５は、端部５５ａ，５５ａが溝５８内にはめ込まれて接着剤や樹脂等によって固定されている。これにより、コイルフレーム５４には、複数のコイル体５５が電機子コイルユニット２３の相対移動方向に沿って所定間隔で配設されている。そして、各コイル体５５の一方の端部５５ａから延び出る配線Ｃは、スリット３１”からコイルフレーム５４の外側に導かれ、同位相の他のコイル体５５に接続されている。
なお、上記電機子コイルユニット５３を構成する構成部品のうち、コイル体５５を除き、コイルフレーム５４をはじめとするその他全ての構成部品が、セラミックスまたはエンジニアリングプラスチックまたはオーステナイト系ステンレスで形成されている。
上述したリニアモータＲ４では、電機子コイルユニット５３のコイルフレーム５４の保持部５６，５６に、コイル体５５を保持する溝５８が、永久磁石２２の配列間隔に応じた間隔で形成された構成となっている。
これにより、従来型のコイル体５５であっても、各コイル体５５を精度良く位置決めすることができ、リニアモータＲ４で発生する推力のムラを小さくすることができ、性能の安定化を図ることができる。
なお、上記第一ないし第四の実施の形態で挙げた構成は、本発明の主旨を逸脱しない範囲内であれば適宜他の構成を採用することができる。
例えば、電機子コイルユニット２３，３３，４３，４３’，５３を構成する扁平コイル２５，２５’あるいはコイル体５５の数は何ら限定するものではない。
また、扁平コイル２５，２５’あるいはコイル体５５の形状についても、上記に挙げたものに限らず、他の形状のものでも良い。例えば、扁平コイル２５，２５’に代えて、図１０に示すような湾曲形状の端部６５ａを有した略菱形の扁平コイル（コイル体）６５や、図１１に示すような略台形状の端部６６ａを有した略菱形の扁平コイル（コイル体）６６、あるいは図１２に示すような平面視略６角形で、端部６７ａが、前記扁平コイル２５の端部２５ａ（図４参照）のように外形略コ字状に整形されておらず、略台形状をなすよう折り曲げられて形成された扁平コイル（コイル体）６７等でも良い。このような場合、溝の形状を、用いるコイル体の端部の形状に対応させたものとするのは言うまでもない。
また、リニアモータＲ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ３’，Ｒ４の電機子コイルユニット２３，３３，４３，４３’，５３以外の他の部分の構成については、何ら限定する意図はなく、適宜他の構成を採用しても良い。そして、電機子コイルユニット２３，３３，４３，４３’，５３と、永久磁石２２とは、いずれを可動子，固定子としても良い。
さらに、上記リニアモータＲ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ３’，Ｒ４を備えた露光装置の他の部分の構成については何ら限定するものではない。また、露光装置としてステップ・アンド・リピート式のものを例に挙げたが、レチクルとウエハとを同期移動させてレチクルのパターンを露光する走査型の投影露光装置にも本発明の技術を同様に適用することができる。なお、走査型露光装置の構成は、例えば特開平８−１３０１７９号公報及びこれに対応する米国特許５，８５０，２８０号に開示されている。
本国際出願で指定した指定国または選択した選択国の国内法令の許す限りにおいて、上記の公報及び米国特許における開示を援用して本明細書の記載の一部とする。
また露光装置の種類としては半導体製造用のものに限定されることなく、例えば、角形のガラスプレートに液晶表示素子パターンを露光する液晶用の露光装置や、薄膜磁気ヘッドを製造するための露光装置等にも本発明の技術を広く適用することが可能である。
もちろん、リニアモータＲ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ３’，Ｒ４は、露光装置のステージ機構の駆動源以外にも、種々の用途に適用可能である。
これ以外にも、本発明の主旨を逸脱しない範囲内であれば、いかなる構成を採用しても良く、また上記したような構成を適宜選択的に組み合わせたものとしても良いのは言うまでもない。
産業上の利用可能性
以上説明したように、請求項１に係るリニアモータによれば、電機子コイルが、複数個のコイル体とこれらを保持するフレームとを備え、フレームには定められた間隔ごとに各コイル体の端部を保持する溝が形成されており、溝には、コイル体を複数重ねて保持する段部が形成された構成となっている。
これにより、コイル体の端部をフレームに形成された溝に保持させることによって、フレームには複数個のコイル体が所定間隔ごとに高精度で位置決めされる。したがって、リニアモータで発生する推力のムラを小さくすることができ、性能の安定化を図ることができる。しかも、複雑な形状のコイル体を用いたりすることもないので、前記効果を低コストで得ることができる。さらに、コイル体の端部をフレームで保持するので、例えば扁平形状のコイル体等、コイル体自体が剛性の低いものであっても高剛性が得られ、耐久性に優れるという効果を奏することができる。加えて、コイル体には、溝に保持される部分にのみ精度が要求されるので、コイル製作に多大な手間が掛かることもなく、この点においても低コスト化に貢献できる。また、複数のコイル体を一つのフレームで重ねて保持することができ、リニアモータの性能の向上を図ることができる。
請求項２に係るリニアモータによれば、電機子コイルが、複数個のコイル体とこれらを保持するフレームとを備え、フレームには定められた間隔ごとに各コイル体の端部を保持する溝が形成されており、電機子コイルが、複数個のフレームを互いに張り合わせて形成された構成となっている。
これにより、コイル体の端部をフレームに形成された溝に保持させることによって、フレームには複数個のコイル体が所定間隔ごとに高精度で位置決めされる。したがって、リニアモータで発生する推力のムラを小さくすることができ、性能の安定化を図ることができる。しかも、複雑な形状のコイル体を用いたりすることもないので、前記効果を低コストで得ることができる。さらに、コイル体の端部をフレームで保持するので、例えば扁平形状のコイル体等、コイル体自体が剛性の低いものであっても高剛性が得られ、耐久性に優れるという効果を奏することができる。加えて、コイル体には、溝に保持される部分にのみ精度が要求されるので、コイル製作に多大な手間が掛かることもなく、この点においても低コスト化に貢献できる。また、複数のコイル体が重ねられることになり、リニアモータの性能の向上を図ることができる。
請求項３に係るフレームには切欠きが形成され、フレームの外側でコイル体が接続される構成となっている。
このようにコイル体の配線を切欠きかうフレームの外側に出すことによって、同位相のコイル体どうしをフレームの外側で接続することができ、配線を整然と行うことができる。
請求項４に係るリニアモータによれば、切欠きは、フレームに形成された溝に対応して形成され、溝に保持されたコイル体の端部からの配線を通す構成となっている。
これにより、一つ一つのコイル体に対して切欠きが形成されるので、コイル体のセットと配線作業とを同時に行うことができ、電機子コイルの組立の容易化が図られる。
請求項５に係るリニアモータによれば、コイル体が扁平多角形状である構成となっている。このようにしてコイル体を扁平形状とすることにより、永久磁石のギャップにおける電機子コイルの占積率を向上させることができ、リニアモータの性能向上を図ることができる。
請求項６に係るリニアモータによれば、コイル体が略筒状に巻線された形状のものである構成となっている。
これにより、略筒状に巻線された形状のコイル体、すなわち従来タイプのコイル体においても、上記と同様、コイル体の位置決め精度を高めてリニアモータの性能の安定化を図ることができる。
請求項７に係るリニアモータによれば、フレームは、二本一対の保持部と、これらの保持部を互いに連結する連結部とを有し、各保持部には、永久磁石の配列間隔に応じた間隔で溝が複数形成された構成となっている。
これにより、コイル体は二本一対の保持部間に保持されることとなり、永久磁石の配列間隔と、コイル体の配列間隔とがずれることなくセットされ、したがってリニアモータの性能の安定化を図ることができる。しかも、保持部を永久磁石の磁力線と干渉しない位置に配置することにより、永久磁石間にはコイル体以外のものは介在しないことになり、その結果、リニアモータの性能を向上させることができる。
請求項８に係るリニアモータによれば、コイル固定フレームと、キャンと、電機子コイルを構成する構成部品のうちコイル体を除くその他全ての構成部品とが、セラミックスまたはエンジニアリングプラスチックまたはオーステナイト系ステンレスで形成された構成となっている。
これらの材料は高強度を有しており、また線膨張係数が小さいので温度変化に伴う変形等を防止することができ、その結果、リニアモータの性能の安定化に貢献することができる。
請求項９に係るリニアモータは、複数のコイル体とこれらのコイル体を並べて保持する枠状の保持部材とを有する電機子コイルユニットを備え、保持部材は、複数のコイル体を位置決めするために所定間隔で形成された位置決め部を有し、位置決め部を所定間隔で凸部を設けることによって形成する構成となっている。
これにより、保持部材に複数のコイル体が高精度で位置決めされる。また、保持部材に複数のコイル体が所定間隔ごとに高精度で位置決めされる。また、コイル体の端部を凸部間に形成された保持部材に形成された位置決め部に保持することによって、保持部材に複数のコイル体を所定間隔ごとに高精度で位置決めすることができる。
請求項１０に係るリニアモータは、保持部材が複数のコイル体を所定方向に沿って保持することを特徴としている。
このように、保持部材に複数のコイル体が所定方向に沿って高精度で位置決めされる。
請求項１１に係るリニアモータによれば、コイル体の端部を保持部材に形成された位置決め部に保持することによって、保持部材に複数のコイル体を所定間隔ごとに高精度で位置決めすることができる。
請求項１２に係るリニアモータでは、電気線を通すための切欠き部が形成されており、コイル体の配線を切欠きから保持部材の外側に出すことによって、同位相のコイル体を保持部材の外側で接続することがで、配線を整然と行うことができる。
請求項１３に係るリニアモータでは、電機子コイルユニットの部品の一部は非磁性体かつ非導電体で形成されており、これらの材料は、高強度を有しており、また線膨張係数が小さいので温度変化に伴う変形等を防止することができ、その結果、リニアモータの性能の安定化に貢献することができる。
請求項１４に係るリニアモータでは、電機子コイルユニットを冷却するための冷却機構の部品の一部は非磁性体かつ非導電体で形成されており、これらの材料は、高強度を有しており、また線膨張係数が小さいので温度変化に伴う変形等を防止することができ、その結果、リニアモータの性能の安定化に貢献することができる。
請求項１５に係る発明は、請求項１から１４のいずれか一項のリニアモータを備えたステージ機構であり、複数のコイル体が高精度で位置決めされたリニアモータを備えたステージ機構を提供することができる。
請求項１６に係る発明は、請求項１から１４のいずれか一項のリニアモータを備えた露光装置であり、複数のコイル体が高精度で位置決めされたリニアモータを備えた露光装置を提供することができる。
請求項１７に係るリニアモータ製造方法によれば、複数のコイル体が高精度で位置決めされたリニアモータを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
図１は、本発明に係るリニアモータを備えた投影露光装置のステージ機構を示す平面図である。
図２は、前記リニアモータを示す図であり、図２（ａ）はその立断面図および図２（ｂ）はその平断面図である。
図３は、前記リニアモータの第一の実施の形態であって、前記リニアモータを構成する電機子コイルを示す斜視図である。
図４は、図３に示した前記電機子コイルの平面図である。
図５は、前記リニアモータの第二の実施の形態であって、前記リニアモータを構成する電機子コイルを示す斜視図である。
図６は、図５に示した電機子コイルにおける配線を示す斜視図である。
図７は、前記リニアモータの第三の実施の形態であって、前記リニアモータを構成する電機子コイルを示す立断面図である。
図８は、前記第三の実施の形態で示した電機子コイルの他の一例を示す立断面図である。
図９（ａ）および図９（ｂ）は、前記リニアモータの第四の実施の形態であって、前記リニアモータを構成する電機子コイルを示す斜視図である。
図１０は、本発明に係るリニアモータに用いるコイル体の他の一例を示す図であって、図１０（ａ）は前記コイル体の正面図であり、図１０（ｂ）はその側面図である。
図１１は、本発明に係るリニアモータに用いるコイル体のさらに他の一例を示す図であって、図１１（ａ）は前記コイル体の正面図であり、図１１（ｂ）はその側面図である。
図１２は、本発明に係るリニアモータに用いるコイル体のさらに他の一例を示す図であり、図１２（ａ）は前記コイル体の正面図であり、図１２（ｂ）はその側面図である。
図１３は、従来のリニアモータの一例を示す図であって、前記リニアモータの電機子コイルを示す斜視図である。
図１４は、従来のリニアモータの他の一例を示す図であって、図１４（ａ）は前記リニアモータの立断面図であり、図１４（ｂ）は前記リニアモータを構成する電機子コイルの正面図である。
図１５は、図１３に示したリニアモータにおける永久磁石とコイル体との配列間隔のズレを示す図であり、図１５（ａ）はその正面図であり、図１５（ｂ）はその平面図である。
【図１】
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【図２（ａ）】
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【図２（ｂ）】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９（ａ）】
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【図９（ｂ）】
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【図１０（ａ）】
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【図１０（ｂ）】
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【図１１（ａ）】
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【図１１（ｂ）】
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【図１２（ａ）】
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【図１２（ｂ）】
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【図１３】
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【図１４（ａ）】
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【図１４（ｂ）】
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【図１５（ａ）】
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【図１５（ｂ）】
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