(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
漏洩を検査すべき容器を所定の時間系列に従って加圧又は減圧する加減圧工程と、該容器内の圧力変化を計測する圧力計測工程とを有し、
該圧力計測工程で計測された信号と、該時間系列に対応した参照信号との相互相関を算出し、
該相互相関に基いて、該容器の漏洩を検出することを特徴とする漏洩検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の漏洩検査方法において、該圧力計測工程で計測された信号が、圧力の時間変化信号であることを特徴とする漏洩検査方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の漏洩検査方法において、該参照信号が、加減圧工程時及び該工程直後の過渡応答期間の信号を相互相関算出から除くように構成されていることを特徴とする漏洩検査方法。
【請求項４】
請求項１乃至３に記載の漏洩検査方法において、該加減圧工程は、漏洩を検査すべき容器に収容される物質成分と同じ成分の物質又は該成分に含まれる一部の物質を供給又は吸引することを特徴とする漏洩検査方法。
【請求項５】
請求項４に記載の漏洩検査方法において、該吸引は、漏洩を検査すべき容器から回収した該物質又は該一部の物質を吸着材料に吸着させ、該供給は、該吸着した物質を該吸着材料から放出させ、あるいは、他の容器から漏洩を検査すべき容器に収容される物質成分と同じ成分の物質又は該成分に含まれる一部の物質を供給させることを特徴とする漏洩検査方法。
【請求項６】
漏洩を検査すべき容器を加圧又は減圧する加減圧手段と、
該容器内の圧力変化を計測する圧力計測手段と、
該容器の加減圧を所定の時間系列に従って実施するための該加減圧手段を制御する加減圧制御手段と、
該圧力計測手段により得られた信号と、該時間系列に対応した参照信号との相互相関を算出する演算手段とを有し、
該演算手段によって算出された相互相関に基いて、該容器の漏洩を検出することを特徴とする漏洩検査装置。
【請求項７】
請求項６に記載の漏洩検査装置において、検査すべき容器の容積と、該演算手段によって算出された相互相関とに基いて、該容器の漏洩の大きさを算出する手段を有することを特徴とする漏洩検査装置。
【請求項８】
請求項７に記載の漏洩検査装置において、該容器の容積が、容器を加圧又は減圧する際に、容器へ流入又は容器から流出する流体の流量を計測する手段及び該容器内の圧力変化を計測する圧力計測手段によって計測した値に基づいて算出されることを特徴とする漏洩検査装置。
【請求項９】
請求項６に記載の漏洩検査装置において、該加減圧手段には、漏洩を検査すべき容器に収容される物質成分と同じ成分の物質又は該成分に含まれる一部の物質を供給する供給手段又は吸引する吸引手段とが接続されていることを特徴とする漏洩検査装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の漏洩検査装置において、該吸引手段は、漏洩を検査すべき容器から回収した該物質又は一部の該物質を吸着する吸着材料を有し、該供給手段は、該吸着材料に吸着された物質を放出させ、あるいは、漏洩を検査すべき容器に収容される物質成分と同じ成分の物質又は該成分に含まれる一部の物質を収容する他の容器から供給させるものであることを特徴とする漏洩検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体又は液体を供給する配管を含む容器の状態を診断するために用いられる、漏洩検査方法及び装置に関し、特に、気体又は液体の容器内からの漏洩を検知するための漏洩検査方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
家庭や工場などの建物には多くの配管を含む容器が設置されており、これらは都市ガス・液化石油ガス、飲料水、空調用冷媒やプラント用のガス・溶液など、様々な気体又は液体を建物内の各所に供給あるいは貯蔵するために利用されている。
しかしながら、これらの配管を含む容器は、機械的又は化学的な作用により、長期間に渡る使用の際に、徐々に劣化し、場合によっては容器壁に開口が発生し、容器内に導入されている気体や液体が漏洩するという問題が発生する可能性がある。【０００３】
従来、配管などの容器に係る漏洩検査は、容器を閉塞状態にし、供給口や排出口など容器の一部に設けられ容器内に連通した導入口より、気体又は液体を注入し、容器内を管の外側より高い圧力状態にした後、所定時間以上に渡り、容器内の圧力変化を測定することにより行なっている。
そして、測定の結果において、例えば、圧力が減少傾向を示した場合には、容器内から気体又は液体が流出していると想定し、容器の壁面の一部に亀裂等の開口があると判断していた。【０００４】
しかしながら、閉塞状態におかれた容器内の圧力の変化は、単に漏洩のみに起因するものではなく、容器内の温度変化などの影響にも依存して変化する。
このため、正確な検査には、この温度変動の影響を考慮した測定が必要であるが、従来、容器の圧力変化を計測する際に、容器内の温度変化を同時に測定するような簡易な計測装置が無いため、温度変化が少ない時間を選んで計測することが行われており、検査作業の効率が著しく低下する原因となっていた。【０００５】
本出願人は、以下の特許文献１において、温度変化を補償することが可能な圧力計測方法及び装置を提案した。
特許文献１に係る発明では、気体又は液体を供給する配管の内部圧力を計測する圧力計測方法において、配管の管内圧力を管外の圧力と同じになるように調整して該配管を閉塞し、温度変化による配管内部の圧力変化量を計測し、あるいは、配管内の気体又は液体の実測温度又は配管の実測温度の変化量を基に、配管内の圧力計測値を補正することにより、温度変化の影響を除去するものである。
【特許文献１】特開２００３−２２７７７３号公報
【０００６】
一般家庭向けのような小容量のガス配管においては、漏洩検査が比較的短時間で実施できるため、検査時間の全体を通して、温度変化はほぼ一定の傾きを持つと仮定することが可能である。したがって、配管の管内圧力を管外の圧力と同じになるように調整して該配管を閉塞し、温度変化による配管内部の圧力変化量を計測して、この計測結果に基づいて、漏洩検査時間中の温度変化の影響を除去することが可能である。
しかし、集合住宅、病院、学校などの大容量配管設備においては、漏洩検査に長い時間が必要となるため、検査時間内に温度変化の傾きが変動する可能性がある。このため、配管の内外圧力を同じになるように調整して計測した結果を用いたのでは、温度変化の影響を除去できない場合が出てくる。さらに、管自体の温度を検出する場合には、配管容量が大きくなるのに伴って、配管の場所によって温度変化が異なる傾向が強くなり、十分な温度補償を達成することが難しいという問題を有している。【０００７】
また、特許文献１に関わる発明において、配管の管内圧力を管外の圧力と同じになるように調整する作業は、通常、配管を外気に連通開放することによって実現される。この開放の手段によらずに管内外の圧力を平衡させようとすると、大がかりな装置や精密な計測装置が必要となる。ところが、大規模施設のガス配管では、可燃性のガスを大気中に大量に放出することになるため、配管を大気に開放して管内圧力を大気圧に等しくする作業は危険をともなう。また、配管を大気に開放することで配管内に空気が導入されるため、検査後に使用再開するに先立って、エアーパージの作業が必要となる。大容量の配管では、エアーパージ作業は非常に大掛かりで困難な作業となる。同様の理由で、有毒ガス、腐食性ガスなどを貯蔵する容器の漏洩検査においても、圧力を大気圧に戻すために、容器を外気に開放することができない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の解決しようとする課題は、上述した問題を解決し、配管などの容器の漏洩検査を効率良く行うだけでなく、容器内の温度変化の影響を効果的に除去することが可能な漏洩検査方法及び装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決するため、請求項１に係る発明では、漏洩を検査すべき容器を所定の時間系列に従って加圧又は減圧する加減圧工程と、該容器内の圧力変化を計測する圧力計測工程とを有し、該圧力計測工程で計測された信号と、該時間系列に対応した参照信号との相互相関を算出し、該相互相関に基いて、該容器の漏洩を検出する。
【００１０】
また、請求項２に係る発明では、請求項１に記載の漏洩検査方法において、該圧力計測工程で計測された信号が、圧力の時間変化信号であることを特徴とする。【００１１】
また、請求項３に係る発明では、請求項１又は２に記載の漏洩検査方法において、該参照信号が、加減圧工程時及び該工程直後の過渡応答期間の信号を相互相関算出から除くように構成されることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項４に係る発明では、請求項１乃至３に記載の漏洩検査方法において、該加減圧工程は、漏洩を検査すべき容器に収容される物質成分と同じ成分の物質又は該成分に含まれる一部の物質を供給又は吸引することを特徴とする。【００１３】
また、請求項５に係る発明では、請求項４に記載の漏洩検査方法において、該吸引は、漏洩を検査すべき容器から回収した該物質又は該一部の物質を吸着材料に吸着させ、該供給は、該吸着した物質を該吸着材料から放出させ、あるいは、他の容器から漏洩を検査すべき容器に収容される物質成分と同じ成分の物質又は該成分に含まれる一部の物質を供給させることを特徴とする。【００１４】
また、請求項６に係る発明は、漏洩を検査すべき容器を加圧又は減圧する加減圧手段と、該容器内の圧力変化を計測する圧力計測手段と、該容器の加減圧を所定の時間系列に従って実施するための該加減圧手段を制御する加減圧制御手段と、該圧力計測手段により得られた信号と、該時間系列に対応した参照信号との相互相関を算出する演算手段とを有し、該演算手段によって算出された相互相関に基いて、該容器の漏洩を検出することを特徴とする漏洩検査装置である。
【００１５】
また、請求項７に係る発明では、請求項６に記載の漏洩検査装置において、検査すべき容器の容積と、該演算手段によって算出された相互相関とに基いて、該容器の漏洩の大きさを算出する手段を有することを特徴とする。
【００１６】
また、請求項８に係る発明では、請求項７に記載の漏洩検査装置において、該容器の容積が、容器を加圧又は減圧する際に、容器へ流入又は容器から流出する流体の流量を計測する手段及び該容器内の圧力変化を計測する圧力計測手段によって計測した値に基づいて算出されることを特徴とする。【００１７】
また、請求項９に係る発明では、請求項６に記載の漏洩検査装置において、該加減圧手段には、漏洩を検査すべき容器に収容される物質成分と同じ成分の物質又は該成分に含まれる一部の物質を供給する供給手段又は吸引する吸引手段とが接続されていることを特徴とする。【００１８】
また、請求項１０に係る発明では、請求項９に記載の漏洩検査装置において、該吸引手段は、漏洩を検査すべき容器から回収した該物質又は一部の該物質を吸着する吸着材料を有し、該供給手段は、該吸着材料に吸着された物質を放出させ、あるいは、漏洩を検査すべき容器に収容される物質成分と同じ成分の物質又は該成分に含まれる一部の物質を収容する他の容器から供給させるものであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１に係る発明により、漏洩を検査すべき容器を加圧又は減圧する加減圧工程における、加圧又は減圧の時間系列に対応した参照信号を利用して、計測された圧力変化信号の中から、漏洩に係る相互相関成分を同定し、温度変化に影響されることなく漏洩を検出することが可能となる。本発明では、漏洩検査中に温度補償が平行して実施されるので、検査に長時間を要する大容量容器の漏洩検査も正確に行うことができる。
【００２０】
また、請求項２に係る発明により、圧力の時間変化信号と参照信号との相互相関をとることで、加減圧工程および圧力計測工程を単純化することが可能となる。
【００２１】
また、請求項３に係る発明により、参照信号が、加減圧工程時及び該工程直後の過渡応答期間の信号を相互相関算出から除くように構成されるため、加減圧工程時及び該工程直後の過渡応答期間において、容器内の圧力が急激に変化した場合でも、漏洩検査時のノイズとなる圧力変化を除去し、漏洩検査に必要な圧力状態のみを効果的に検出でき、精度の高い漏洩検査を実現することが可能となる。
【００２２】
また、請求項４に係る発明により、加減圧工程は、漏洩を検査すべき容器に収容される物質成分と同じ成分の物質又は該成分に含まれる一部の物質を供給又は吸引することで、容器に収容された物質と異なる物質が、容器内に取り込まれることを防止でき、検査後に容器に収容された物質を入れ替えるなどの作業を省略することが可能となるとともに、可燃性ガスや有毒ガスを大気中に放出することなく漏洩検査を実施することが可能となる。【００２３】
また、請求項５に係る発明により、前記吸引で、漏洩を検査すべき容器から回収した物質又はその一部の物質を吸着材料に吸着させることにより、効率よく吸引作業を行うことができ、吸着された物質を安定に保持することが可能となる。また、前記供給で、前述の吸着した物質を該吸着材料から放出させることにより、漏洩を検査すべき容器に収容される物質成分と同じ成分の物質又は該成分に含まれる一部の物質を供給するガスボンベなどの他の容器を配置する必要が無い。あるいは、前記供給で、他の容器から漏洩を検査すべき容器に収容される物質成分と同じ成分の物質又は該成分に含まれる一部の物質を供給させる場合には、吸着した物質を放出させるための特別な手段を省略することが可能となる。【００２４】
また、請求項６に係る発明により、請求項１に係る発明と同様に、加圧又は減圧の時間系列に対応した参照信号を利用して、計測された圧力変化信号の中から、漏洩に係る相互相関成分を同定し、温度変化に影響されることなく漏洩を検出することが可能な漏洩検査装置を提供できる。本発明によって、漏洩検査中に温度補償を平行して実施することで、検査に長時間を要する大容量容器の検査も正確に行える漏洩検査装置を提供することができる。
【００２５】
また、請求項７に係る発明により、容器の容積と、演算手段によって算出された相互相関成分の値を用いることにより、該容器からの漏洩の大きさを算出することが可能となると共に、特に、請求項８に係る発明のように、容器を加圧又は減圧する際の、容器へ流入又は容器から流出する流体の流量を計測し、容器の容積を算出することにより、自動的に漏洩量を算出することも可能となる。
【００２６】
また、請求項９に係る発明により、請求項４に係る発明と同様に、加減圧の際には、漏洩を検査すべき容器に収容される物質成分と同じ成分の物質又は該成分に含まれる一部の物質を供給又は吸引するため、容器に収容された物質と異なる物質が、容器内に取り込まれることを防止でき、検査後に容器に収容された物質を入れ替えるなどの作業を省略することが可能となるとともに、可燃性ガスや有毒ガスを大気中に放出することなく漏洩検査を実施することが可能となる。【００２７】
また、請求項１０に係る発明により、請求項５に係る発明と同様に、吸引時に、漏洩を検査すべき容器から回収した物質又はその一部の物質を吸着材料に吸着させることにより、効率よく吸引作業を行うことができ、吸着された物質を安定に保持することが可能となる。また、供給時に、前述の吸着した物質を該吸着材料から放出させることにより、漏洩を検査すべき容器に収容される物質成分と同じ成分の物質又は該成分に含まれる一部の物質を供給するガスボンベなどの他の容器を配置する必要が無い。あるいは、該供給時で、他の容器から漏洩を検査すべき容器に収容される物質成分と同じ成分の物質又は該成分に含まれる一部の物質を供給させる場合には、吸着した物質を放出させるための特別な手段を省略することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】容器内の漏洩状態のモデルを示す図である。
【図２】容器内の漏洩状態に係る関係式をブロック線図で表現した図ある。
【図３】本発明の漏洩検査装置の概略図である。
【図４】圧力の時間変化を用いる漏洩検査装置の概略図である。
【図５】圧力の時間変化を用いる漏洩検査装置の制御回路のブロック図である。
【図６】温度変動なし、漏洩なしの場合における漏洩検査状況を示す図である。
【図７】温度変動なし、漏洩ありの場合における漏洩検査状況を示す図である。
【図８】温度変動あり、漏洩なしの場合における漏洩検査状況を示す図である。
【図９】温度変動あり、漏洩ありの場合における漏洩検査状況を示す図である。
【図１０】温度変動なし、漏洩ありの場合における一方向ポンプを利用した漏洩検査状況を示す図である。
【図１１】温度変動なし、漏洩ありの場合における不規則加減圧を利用した漏洩検査状況を示す図である。
【図１２】吸着材料を用いた場合の漏洩検査装置の概略図である。
【図１３】吸着材料及びガスボンベを利用した漏洩検査装置の概略図である。
【符号の説明】
【００２９】
１  容器
２  圧力センサ
３  ピストン
４  シリンダー
５  リニアアクチュエーター
６  発振器
７  ９０°移相器
８  相関器
１１  接続部
１２  検知ホース
１３，１７  バルブ
１４  圧力センサ
１５，３４，３８  電動ポンプ
１６  コントローラ
２０  Ａ／Ｄ変換部
２１  ｄＰ／ｄｔ算出部
２２  同期検波回路部
２３  平滑回路部
２４  加減圧制御部
２５  参照信号発生部
２６  漏洩判定部
２７  漏洩量算出部
３１，３６  吸着容器
３２  吸着材料
４３  供給容器
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
本発明の基本的考え方について、以下の説明する。
図１は、本発明に係る漏洩検査方法の対象となる、配管などの容器の漏洩状態をモデル化したものである。
容器内に気体が存在し、該気体の状態を示すものとして、気体の圧力Ｐ、気体の温度Ｔ、容器内の気体の質量Ｍ、気体の平均分子量ｍ、気体の平均密度ρ、容器内の体積Ｖ０と仮定する。
該容器が漏洩状態にある場合、容器内から漏洩する気体の体積流量をＱとする。
また、検査対象である容器に対し、ポンプ等により容器内の気体を加減圧したときに、容器に流入する気体の質量流量をＧと仮定する。【００３１】
容器内の気体に関する状態方程式は、次の式（１）で与えられる。
ＰＶ０＝ＭＲＴ／ｍ  ・・・・・・・（１）
容器内の気体の状態量の時間変化を考えると、式（１）の両辺を時間微分することにより、次の式（２）が得られる。
Ｖ０・ｄＰ／ｄｔ＝ＲＴ／ｍ・ｄＭ／ｄｔ＋ＭＲ／ｍ・ｄＴ／ｄｔ  ・・・・（２）【００３２】
容器内の初期の状態は、初期圧力Ｐ０、初期質量Ｍ０、初期温度Ｔ０とする場合、次の状態方程式（３）で表される。
Ｐ０Ｖ０＝Ｍ０ＲＴ０／ｍ  ・・・・・・・（３）
漏洩による容器内の気体の質量Ｍ、気体の温度Ｔの変化がともに微小であると仮定し、二次の微小項を無視すると、式（２）は、上記式（３）を利用して、次式のようになる。
Ｖ０・ｄＰ／ｄｔ＝Ｐ０Ｖ０／Ｍ０・ｄＭ／ｄｔ＋Ｐ０Ｖ０／Ｔ０・ｄＴ／ｄｔ
上式の両辺をＰ０Ｖ０で割ると、次の式（４）が得られる。
１／Ｐ０・ｄＰ／ｄｔ＝１／Ｍ０・ｄＭ／ｄｔ＋１／Ｔ０・ｄＴ／ｄｔ  ・・・（４）【００３３】
いま、容器への加圧工程により、容器内に気体が流入する（流入質量流量Ｇ）と共に、容器の一部より気体が漏洩している（体積流量Ｑ）とすると、容器内の質量変化は、次の式（５）で表現される。ここに、ρは気体の平均密度である。
ｄＭ／ｄｔ＝−ρＱ＋Ｇ  ・・・・・・（５）
他方、容器からの体積流量Ｑは、漏洩が小さく、容器内の気体密度や圧力変化が微小である場合には、内外圧力差に比例するので、次の式（６）のように表現される。
Ｑ＝（Ｐ−ＰA）・ｋ１＝ｐ（ｔ）・ｋ１  ・・・・・（６）
ただし、ＰAは大気圧、ｐ（ｔ）＝Ｐ−ＰAは容器内外の圧力差、ｋ１は漏洩の大きさを表す係数である。【００３４】
上記式（４）に、上記式（５）及び（６）を代入すると共に、両辺にＰ０を掛け、さらに気体の平均密度がρ＝Ｍ０／Ｖ０であることを利用すると、次の式（７）が得られる。
ｄｐ（ｔ）／ｄｔ＝−ｋ・ｐ（ｔ）＋Ｐ０／Ｍ０・Ｇ＋Ｐ０／Ｔ０・ｄＴ／ｄｔ
・・・・・（７）
ただし、ｋ＝Ｐ０／Ｖ０・ｋ１であり、また、圧力Ｐの時間変化が、容器内外の圧力差ｐ（ｔ）の時間変化に等しいことを用いている。【００３５】
上記式（７）から、容器内の圧力の時間変化量が、容器からの漏洩に係る項（−ｋ・ｐ（ｔ））、容器内に流入する気体の質量流量Ｇに依存する項Ｐ０／Ｍ０・Ｇ、及び、容器内の気体の温度変化に依存する項Ｐ０／Ｔ０・ｄＴ／ｄｔとからなっていることが理解される。
そして、容器の漏洩検査とは、容器モデルを記述する式（７）中の、漏洩に係わる項の大きさ、すなわち係数ｋ（あるいはｋ１）を特定する作業であると言うことができる。【００３６】
図２は、上記式（７）をブロック線図で表現したものである。
ブロック線図から明らかなように、漏洩状態にある容器は、容器に加えられる気体の流入質量流量に比例するＰ０／Ｍ０・Ｇを入力、容器内外の圧力差ｐ（ｔ）を出力とし、漏洩の大きさに比例したフィードバックループを有する一次遅れ系として記述される。そして、気体の温度変化に係る成分Ｐ０／Ｔ０・ｄＴ／ｄｔは、このシステムの入力に加算的に重畳される雑音となっている。
したがって、漏洩検知の問題は、未知の外乱Ｐ０／Ｔ０・ｄＴ／ｄｔが混入する図２のシステムの係数ｋを、入力と出力から推定する、システム同定問題として定式化される。
ただし、未知外乱である温度変動ｄＴ／ｄｔの性質は、実験・測定データ及び容器の熱的なダイナミックスから、ある程度の推測が可能である。【００３７】
システムへの入力であるＰ０／Ｍ０・Ｇは自由に設定することができるから、外乱である温度変動ｄＴ／ｄｔと無相関となるようにＧを設定し、このときの圧力差ｐ（ｔ）を観測して相互相関法を利用すれば、温度変動に影響されることなく、係数ｋすなわち漏洩の大きさを同定することが可能になる。
相互相関法を用いる場合の入力信号Ｐ０／Ｍ０・Ｇの条件は、次のとおりである。
（ａ）  温度変動ｄＴ／ｄｔと無相関な信号であること。
（ｂ）  容器内が等温変化とみなせること。具体的には入力信号の卓越周波数が、容器の熱時定数の逆数と比較して十分低いこと。
（ｃ）  入力信号の卓越周波数が、容器の漏洩時定数（１／ｋ）の逆数と比較して十分高いこと。
なお、相互相関関数の性質から導かれる等式である以下の数１を用いれば、入力の時間積分Ｐ０／Ｍ０・∫Ｇｄｔと、出力の時間微分ｄｐ（ｔ）／ｄｔの相互相関を利用することもできる。Ｐ０／Ｍ０・∫Ｇｄｔは、容器に気体を流入または流出させたときの加圧量または減圧量に一致し、一方、ｄｐ（ｔ）／ｄｔは容器内圧力の時間変化である。
以下では、「相互相関」のことを、単に「相関」という。
【００３８】
【数１】
0004599544.tif 000002
【００３９】
図３に、本発明に係る漏洩検査方法の一例を示す。
配管等の容器１には、シリンダー４及びピストン３からなる加圧又は減圧する加減圧手段が接続されている。加減圧手段は、図３のような形状のものに限らず、後述するような電動ポンプを用いることも可能である。さらに、加圧手段と減圧手段とを別々の部材で構成することもできる。また、容器１の内圧を測定するために、容器１と加減圧手段とを連接する配管の途中に圧力センサ２が接続されている。【００４０】
加減圧手段のピストン３には、該ピストンを往復運動させるためのリニアアクチュエーター５が接続されている。アクチュエーターは、発振器６からの入力信号に対応した移動距離だけ可動部が上下動し、結果として、該可動部に接続されるピストン３が往復運動を行うよう構成されている。
今、発振器からｓｉｎωｔの入力信号がアクチュエーター５に印加された場合には、ピストン３は、ｘ０ｓｉｎωｔで往復運動を行う。ただし、ｘ０は、ピストンの往復運動に係る振幅値を示す。ここで、往復運動の角周波数ωは、次の条件を満たすように選ばれている。
・温度変動ｄＴ／ｄｔに角周波数ωの周波数成分は含まれない。
・容器内の温度変化が等温変化とみなせる程度に十分低い角周波数である。
・漏洩による容器のカットオフ周波数（ｋ）に較べてωは十分高い角周波数である。【００４１】
初期圧力Ｐ０を大気圧ＰＡとして、ピストンを往復運動させることにより、容器１内はｓｉｎωｔで規定される所定の時間系列で加圧又は減圧される。式（７）と対応させたときの質量流量Ｇは、ピストンの断面積をＳとして、ρωｘ０Ｓｃｏｓωｔ＝Ｍ０／Ｖ０・ωｘ０Ｓｃｏｓωｔである。容器１内の圧力は、圧力センサ２で検知される。検知された圧力検出信号をＰ（ｔ）とし、該圧力検出信号は、相関器８に入力される。
他方、発振器からの入力信号は、９０°移相器７により、入力信号から位相が９０°だけシフトした参照信号ｃｏｓωｔが出力され、相関器８に入力される。【００４２】
容器内の圧力Ｐ（ｔ）は、ピストンの運転開始から十分に時間の経った定常状態では、以下の数２となる。【００４３】
【数２】
0004599544.tif 000003
【００４４】
相関器８において、圧力検出信号Ｐ（ｔ）と参照信号ｃｏｓωｔの相関を計算すると、第一項の一定圧力Ｐ０との相関はゼロであり、また、温度変動ｄＴ／ｄｔには角周波数ωの成分が含まれないから、第三項との相関もまたゼロとなる。結局、相関器８の出力は、第二項との相関Ｐ０／Ｖ０・ωｘ０Ｓ・ｋ／（ｋ２＋ω２）となる。ここで、ωがｋに比べて十分に大きいことを考慮すると、相関器の出力は、Ｐ０／Ｖ０・ｘ０Ｓ・ｋ／ωと近似される。この出力から漏洩の大きさを表す係数ｋを求めることができる。【００４５】
図３の実施例においては、入力信号を決定する気体の流入質量流量Ｇとして、正弦波信号を用い、その角周波数を、温度変動ｄＴ／ｄｔが周波数成分として含んでいない値に選んでいる。流入質量流量Ｇとしては、温度変動と無相関でさえあれば、任意のアナログ信号を用いることが可能であり、白色雑音などの不規則信号を用いることもできる。
この他に、装置を単純化するため、図６〜９に例示するように規則的な加減圧工程を繰り返す方法もある。さらに、計算しやすさを考慮して、流入質量流量Ｇの時間積分と同位相の参照信号と、容器内圧力の時間変化との相関をとる方法がある。規則的な加減圧工程を繰り返す場合には、相関を計算する具体的な演算装置として、同期検波回路を用いることができる。また、図１０に例示するように、容器の加圧又は減圧と大気圧への開放を繰り返す方法、図１１に例示する不規則な加減圧工程を用いる方法もある。【００４６】
次に、本発明の好適な実施例として、容器内圧力の時間変化との相関を算出する方法を、ガス配管の漏洩検査装置を例にとって説明する。
図４は、本発明の漏洩検査装置の機械的構成の概念を示した概略図である。
漏洩検査装置内には、被検査体である容器内に空気などの気体を供給、あるいは、容器内から気体を排出するための電動ポンプ１５、容器内の圧力を検査するための圧力センサ１４、容器内への気体の供給量又は容器内からの気体の排出量を制御するためのバルブ又は逆止弁１３、容器内の圧力を大気圧と等しくするためのバルブ１７が、図４のような接続構造にて相互に接続配置されている。
圧力計測装置からは検知ホース１２が延出しており、接続部１１に示すように、検査時においては、検査対象のガス配管などの容器に設けられたガス栓などの排出口に検知ホース１２の先端を接続する。
なお、一般家庭のガス配管程度の容量に関し配管検査を行う場合には、電動ポンプ１５を漏洩検査装置に組み込む方が、携行や取り扱いにおける便利性が高い。しかし、工場のプラントの配管など容量が大きい容器を検査する場合には、容器内への空気などの供給量が増大するため、漏洩検査装置と電動ポンプとを別々に設け、各機器の配管を相互に接続可能とすることが望ましい。【００４７】
上述した図４の構成に限らず、例えば、被検査体である容器内に収容された物質を大気中に放出したり、容器内に収容された物質と異なる物質が該容器内に取り込まれることを防止するために、図１２又は図１３に示すような構成を採用することも可能である。
図１２では、吸着容器３１に収容された吸着材料３２を利用し、ポンプ１５とバルブＢを介する加圧系の流路と、バルブＡを介する減圧系の流路により構成される。減圧時には、ポンプ１５が停止状態でバルブＢが閉じられ、バルブＡを開放することで、検査対象内のガスを吸着材料３１が吸着し、検査対象内を減圧状態とすることが可能となる。特に、吸着材料３２の作用を補助するために、予め吸着容器３１内を検査対象と比較し減圧状態に保持しておくことが好ましい。また、必要に応じて、バルブＡの検査対象側にポンプ（不図示）を設置し、吸着材料側に吸着すべきガスを集めることも可能である。このような吸着材料としては活性炭などの公知の材料が使用可能である。【００４８】
また、加圧する場合には、バルブＡを閉じ、バルブＢを開放することにより、ポンプ１５の動作により、吸着材料３２が吸着したガスを、検査対象に送出することが可能となる。ガスの送出効率を高めるため、必要に応じて、吸着材料を加熱し吸着したガスを放出し易い状況を設定することもできる。【００４９】
次に、図１３では、検査対象内を減圧する際に、図１２と同様に検査対象内のガスを吸着する吸着材料を使用している。減圧時にはバルブＣを開放し、バルブＤを閉じることにより減圧動作を行い、加圧時にはバルブＣを閉じ、バルブＤを開放することにより、ガスの供給手段である供給容器（ガスボンベ）４３から、ガスを検査対象内に供給する。供給容器４３内の圧力は、予め検査対象内より高い気圧となるように設定されている。【００５０】
図１２及び図１３においては、加圧と減圧状態を適切に制御することが必要であるため、特に、バルブＡ〜Ｄの開閉制御などを適切に行う必要がある。また、検査対象及び吸着容器、更にはガスボンベなどの関連する機器間の流量を調整するため、各機器間を接続する管路にオリフェスなどの流量調整手段を設けることも可能である。さらに、図１３においては、吸着材料３２に吸着したガスを、接続部１１をはじめ、バルブＣ及びＤなどを調整し、ガスボンベ４３に戻すことができる。なお、必要に応じて、バルブＣ及びＤの前にポンプなどの加圧器具を装着することも可能である。【００５１】
コントローラ１６は、電動ポンプ１５の駆動制御、バルブ１３，１７の開閉制御、圧力センサ１４の圧力信号の検知などを行う。そして、コントローラ１６の制御により、以下で説明する、容器の漏洩検査、容器内の容量の計測、及び容器内の漏洩量の計測などの各種検査を実施する。【００５２】
次に、コントローラ１６に組み込まれる主な漏洩検査回路について説明する。
図５に示すように、漏洩検査回路は、Ａ／Ｄ変換部２０、ｄＰ／ｄｔ算出部２１、同期検波回路部２２、平滑回路部２３、加減圧制御手段である加減圧制御部２４、参照信号発生部２５、漏洩判定部２６、そして漏洩量算出部２７からなる。
加減圧制御部２４では、図示されていない各種の漏洩検査モードを記憶した制御プログラムに従い、所定の時間系列で電動ポンプ１５の駆動制御及びバルブ１３，１７の開閉制御を指示する。【００５３】
圧力センサ１４からの検出信号は、Ａ／Ｄ変換部２０に入力され、検出信号であるアナログ信号をデジタル信号に変換する。そして、該デジタル信号に基き、圧力Ｐの時間変化量であるｄＰ／ｄｔをｄＰ／ｄｔ算出部２１で算出する。
容器からの漏洩に係る時定数が、圧力測定時間に比べ十分に大きいと仮定できる場合には、複数の時点で圧力測定｛ｔｉ，Ｐ（ｔｉ）｝（ｉ＝０，１，・・・，Ｎ）を行い、ｄＰ／ｄｔを、最小二乗法などで直線近似することにより求めることも可能である。
また、加減圧工程の終了時の加圧量または減圧量のばらつきを補償するため、圧力センサからの信号を用いて計算したｄＰ／ｄｔの値を、加圧量または減圧量の初期値で規格化して、後の計算に用いる場合もある。【００５４】
次に、加減圧制御部２４の加減圧制御手順に関連して発生される信号に基き、参照信号発生部２５では、参照信号を発生する。
参照信号は、各種の対応が可能であるが、例えば、１又は−１の信号であり、発生タイミングが、加減圧工程時及び、該工程直後の断熱圧縮又は断熱膨張などの過渡応答時間を除く時期である。一般に、加減圧工程時及び該工程直後の過度応答時間では、漏洩とは無関係に圧力が大きく変化して漏洩検査のノイズの原因となるため、この期間は、参照信号が０の値を示すよう設定される。なお、加減圧量の振幅が大きく、初期圧力Ｐ0と比較して微小量とは言えない場合には、加圧時の圧力変化と減圧時の圧力変化に差が生じる。この場合には、参照信号として、１又は−１の信号ではなく、上記の差を補償する係数αを用いて、例えばαと−１の信号とすればよい。【００５５】
次に、計測された圧力変化信号中の、加減圧工程の時間系列に同期した参照信号と相関を有する成分を算出する。具体的には、同期検波回路部２２では、参照信号を基に、該参照信号が０以外の値を有する時期のｄＰ／ｄｔの算出値を抽出すると共に、抽出された該ｄＰ／ｄｔ値に参照信号の値が掛け算される。
次に、該同期検波回路部で抽出及び算出された信号を、平滑回路部２３により、上記成分の大きさである時間平均値を算出するため、該同期検波回路部からの信号の平滑化処理を行う。
同期検波回路部２２及び平滑回路部２３を一体化し、参照信号が示す区間のｄＰ／ｄｔ値（例えば、直線近似した平均値）に対し、参照信号の±１の重み付けを行い平均化することにより、デジタル的に算出することも可能である。
また、ｄＰ／ｄｔの算出、同期検波、及び平滑化に際しては、上述したデジタル信号により算出するものに限らず、圧力センサ１４からのアナログ信号を、アナログ演算回路により、アナログ信号の状態で変換する回路であっても良い。【００５６】
漏洩判定部２６においては、平滑回路部２３からの信号が、０（又は０から所定の誤差範囲内）の場合には、漏洩なしと判断し、それ以外の場合には漏洩ありと判断する。
また、漏洩量算出部においては、平滑回路部２３からの信号値と、単位時間当たりの圧力変化量は比例関係にあることから、漏洩検査装置毎又は各種の漏洩検査モードごとに設定される比例定数を、平滑回路部２３からの信号値に掛け合わせ、また、別途算出又は入力される被検査体の容器の容量とを積算することにより、該容器からの漏洩量を算出する。
容器の容量を自動的測定する方法としては、先の特許出願（特開２００３−２２７７７３）にも示したように、容器を加圧又は減圧する際の、容器へ流入又は容器から流出する流体の流量と、その際の容器内の圧力変化量に基き、気体の状態方程式より算出することも可能である。【００５７】
次に、図６から図９に示す漏洩検査装置の各測定例を参考に、本発明の漏洩検査方法を具体的に説明する。
図６は、電動ポンプ１５として、正逆転ポンプを用いて、被検査体の容器内を加減圧する場合の実施例である。
特に、図６の場合は、容器内の温度変動と、漏洩のない場合の状況を示す。
図６（ａ）は、電動ポンプの駆動制御及びバルブ１３，１７の開閉制御により、容器内を加圧、減圧、加減圧停止・閉塞状態とするタイミングを示したものである。【００５８】
図６（ｂ）は、上記図６（ａ）による加減圧制御により、容器内の圧力Ｐの変化として、圧力センサ１４の検出信号の出力を示すグラフである。加圧工程においては、圧力Ｐが上昇し、減圧工程においては、圧力Ｐが低下する。また、加圧工程終了直後の断熱圧縮による過渡応答や、減圧工程直後の断熱膨張による過渡応答が生じており、容器内の気体の温度が平衡状態に達すると、圧力Ｐは一定状態を示す。【００５９】
図６（ｃ）は、ｄＰ／ｄｔ算出部において、上記圧力センサ１４の検出信号である圧力Ｐのグラフを時間微分したグラフである。加圧工程、減圧工程、及び過渡応答期間においては、０以外の値を示すが、温度変化なしであると共に、漏洩なしの場合には、平衡状態においてｄＰ／ｄｔ＝０となる。【００６０】
図６（ｄ）は、参照信号発生部２５からの参照信号の状態を示したグラフであり、参照信号は、加減圧制御部２４による加減圧制御に対応して、加圧工程、減圧工程及び過渡応答期間を除いたタイミングで、加圧工程後の平衡状態を示す時期に−１を、減圧工程後の平衡状態を示す時期に１を、それぞれ同一のパルス幅となるように発生させている。【００６１】
図６（ｅ）は、同期検波回路部２２からの出力信号を示すグラフであり、参照信号が０以外の値を示す場合のｄＰ／ｄｔの値を抽出すると共に、抽出されたｄＰ／ｄｔの値に参照信号値を掛け合わせたものを算出し、出力したものである。
図６の場合は、参照信号（ｄ）が０以外の値を有するタイミングでは、圧力Ｐの時間変化値（ｃ）は０となっているため、（ｅ）のグラフは、結果として０の値を示すこととなる。【００６２】
図６（ｆ）は、平滑回路部２３における出力信号を示すグラフである。平滑回路部２３では、同期検波回路部２２の出力信号（ｆ）を時間平均化するため、値は０を示している。
平滑回路部２３からの出力値が０であるため、漏洩判定部２６においては、「漏洩なし」と判断する。また、漏洩量算出部２７では、圧力変化量（圧力の時間変化）として平滑回路部２３の出力値に定数を掛けた値を利用するため、結果として圧力変化量が０となり、該圧力変化量に容器の容量を掛けた漏洩量も０と算出される。【００６３】
図７は、容器内の温度変化がなく、漏洩のみ発生している場合の測定状況を示したものである。
図７（ａ）は、図６（ａ）と同様に、容器内を加圧、減圧、加減圧停止・閉塞状態とするタイミングを示したものである。
図７（ｂ）は、図６（ｂ）と同様に、容器内の圧力Ｐの変化を示したものであり、漏洩があるため、加圧工程後には、徐々に圧力が低下し、減圧工程後には徐々に上昇を示す。【００６４】
図７（ｃ）は、図６（ｃ）と同様に、ｄＰ／ｄｔ算出部２１の出力を示したものであり、加圧工程後の漏洩による圧力下降がマイナス値として、減圧工程後の漏洩による圧力上昇がプラス値として算出し出力されている。
図７（ｄ）は、図６（ｄ）と同様に発生される、参照信号発生部２５からの参照信号の状態を示したグラフである。
図７（ｅ）は、図６（ｅ）と同様に、ｄＰ／ｄｔ算出部２１の出力信号（ｃ）を、参照信号（ｄ）に基き、抽出すると共に、該抽出値に参照信号を掛け算したものである。
図７（ｅ）のグラフが示すように、加圧工程後の漏洩による圧力降下は、マイナスのｄＰ／ｄｔ値に参照信号の−１が掛け合わされた結果、プラスの一定値として表示され、減圧工程後の漏洩による圧力上昇は、プラスのｄＰ／ｄｔ値に参照信号の１が掛け合わされた結果、プラスの一定値として表示される。【００６５】
図７（ｆ）は、図６（ｆ）と同様に、平滑回路部２３における出力信号を示すグラフであり、図７（ｅ）のグラフを時間平均化するため、プラスの一定値を示す。
平滑回路部２３からの出力値がプラスの一定値であるため、漏洩判定部２６においては、「漏洩あり」と判断する。また、漏洩量算出部２７では、圧力変化量（圧力の時間変化）として、平滑回路部２３の出力値に所定の定数を掛けた値を利用し、算出された該圧力変化量を、別途入力又は算出された容器の容量に掛け合わせることにより、漏洩量を算出し、出力する。【００６６】
図８は、容器内の温度変化（温度上昇）があり、漏洩がない場合の測定状況を示したものである。
図８（ａ）は、図６（ａ）と同様に、容器内を加圧、減圧、加減圧停止・閉塞状態とするタイミングを示したものである。
図８（ｂ）は、図６（ｂ）と同様に、容器内の圧力Ｐの変化を示したものであり、温度上昇があるため、加圧工程後には、徐々に圧力が上昇し、減圧工程後にも徐々に上昇を示す。【００６７】
図８（ｃ）は、図６（ｃ）と同様に、ｄＰ／ｄｔ算出部２１の出力を示したものであり、加圧工程後の温度上昇による圧力上昇がプラス値として、減圧工程後の温度上昇による圧力上昇がプラス値として算出し出力されている。
図８（ｄ）は、図６（ｄ）と同様に発生される、参照信号発生部２５からの参照信号の状態を示したグラフである。
図８（ｅ）は、図６（ｅ）と同様に、ｄＰ／ｄｔ算出部１１の出力信号（ｃ）を、参照信号（ｄ）に基き、抽出すると共に、該抽出値に参照信号を掛け算したものである。
図８（ｅ）のグラフが示すように、加圧工程後の温度上昇による圧力上昇は、プラスのｄＰ／ｄｔ値に参照信号の−１が掛け合わされた結果、マイナスの一定値として表示され、減圧工程後の温度上昇による圧力上昇は、プラスのｄＰ／ｄｔ値に参照信号の１が掛け合わされた結果、プラスの一定値として表示される。【００６８】
図８（ｆ）は、図６（ｆ）と同様に、平滑回路部２３における出力信号を示すグラフであり、図８（ｅ）のグラフを時間平均化するため、０の値を示す。
平滑回路部２３からの出力値が０であるため、漏洩判定部２６においては、「漏洩なし」と判断する。また、漏洩量算出部２７では、圧力変化量（圧力の時間変化）として平滑回路部２３の出力値に定数を掛けた値を利用するため、結果として圧力変化量が０となり、該圧力変化量に容器の容量を掛けた漏洩量も０と算出される。【００６９】
図９は、容器内の温度変化（温度上昇）があり、漏洩もある場合の測定状況を示したものである。
図９（ａ）は、図６（ａ）と同様に、容器内を加圧、減圧、加減圧停止・閉塞状態とするタイミングを示したものである。
図９（ｂ）は、図６（ｂ）と同様に、容器内の圧力Ｐの変化を示したものであり、加圧工程後には、温度上昇による圧力上昇と、漏洩による圧力低下が重複して発生するため、ここでは横ばいの一定値（圧力変化なし）を示している。また、減圧工程後には、温度上昇による圧力上昇と、漏洩による圧力上昇が共に発生しているため、図７（ｂ）の漏洩のみの影響による圧力上昇や図８（ｂ）の温度上昇のみの影響による圧力上昇より、急峻な圧力上昇を示す。【００７０】
図９（ｃ）は、図６（ｃ）と同様に、ｄＰ／ｄｔ算出部２１の出力を示したものであり、加圧工程後の圧力の横ばい状態が０として、減圧工程後の急峻な圧力上昇は図７（ｃ）や図８（ｃ）の値より大きなプラス値として算出し出力されている。
図９（ｄ）は、図６（ｄ）と同様に発生される、参照信号発生部２５からの参照信号の状態を示したグラフである。
図９（ｅ）は、図６（ｅ）と同様に、ｄＰ／ｄｔ算出部２１の出力信号（ｃ）を、参照信号（ｄ）に基き、抽出すると共に、該抽出値に参照信号を掛け算したものである。
図９（ｅ）のグラフが示すように、加圧工程後の圧力変化の横ばい状態は、０のｄＰ／ｄｔ値に参照信号の−１が掛け合わされた結果、値０として表示され、減圧工程後の圧力上昇は、プラスのｄＰ／ｄｔ値に参照信号の１が掛け合わされた結果、プラスの一定値として表示される。【００７１】
図９（ｆ）は、図６（ｆ）と同様に、平滑回路部２３における出力信号を示すグラフであり、図９（ｅ）のグラフを時間平均化するため、プラスの一定値を示す。
平滑回路部２３からの出力値がプラスの一定値であるため、漏洩判定部２６においては、「漏洩あり」と判断する。また、漏洩量算出部２７では、圧力変化量（圧力の時間変化）として、平滑回路部２３の出力値に所定の定数を掛けた値を利用し、算出された該圧力変化量を、別途入力又は算出された容器の容量に掛け合わせることにより、漏洩量を算出し、出力する。【００７２】
以上、規則的な加減圧工程を繰り返し、容器内圧力の時間変化と参照信号との相関をとる方法について、詳細に説明した。記述を簡潔にするために、温度変動が直線的に上昇する場合を想定して説明しているが、この想定は、理論上は何ら必要なことではない。本発明の漏洩検査にとって必要なことは、温度変動が、参照信号と無相関であること、すなわち温度変動に起因する圧力変化に参照信号を掛けて平均したときに０となることである。
図４の構成の変形として、電動ポンプ１５に、加圧又は減圧のみ可能な一方向ポンプを利用する、装置構成を簡単化した方法もある。この方法では、図１０に示すように、容器の加圧又は減圧と大気圧への開放を交互に規則的に繰り返し、容器内圧力の時間変化と参照信号との相関をとることで漏洩を検査する。
この構成例からも明らかなように、容器の加減圧量が、大気圧の上下に同じ圧力だけ変動することは何ら必要なことではなく、任意の二圧力間を交替させることによっても、漏洩に起因する圧力変化と温度変動に起因する圧力変化とを分離することが可能である。【００７３】
図１０では、容器内の温度変化がなく、漏洩のみある場合の測定状況を示したものである。
図１０では、加圧工程とバルブ開放工程を交互に繰り返した場合の例であり、図１０（ｂ）の容器内の圧力Ｐの変化に示すように、加圧工程終了直後の断熱圧縮による過渡応答や、バルブ開放工程直後の断熱膨張による過渡応答が生じ、容器内の気体温度が平衡状態に達すると、圧力Ｐは漏洩により、徐々に低下状態を示す。なお、加圧工程後の漏洩による圧力下降とバルブ開放工程後の圧力下降とでは、一般的に加圧工程後の圧力下降のほうが大きな傾きを有している。
また、図１０（ｄ）に示すように、参照信号としては、加減圧制御部２４による加減圧制御に対応して、加圧工程、バルブ開放工程及び過渡応答期間を除いたタイミングで、加圧工程後の平衡状態を示す時期に−１を、バルブ開放工程による減圧後の平衡状態を示す時期に１を、それぞれ同一のパルス幅となるように発生させている。
上記以外の図１０の各グラフの見方は、図６〜９と同様であるため、説明は省略する。【００７４】
規則的な加減圧を行う場合、温度変動が参照信号と同じ周波数成分を持っていないことが、温度変動に起因する圧力変化が無相関となって、温度変動の影響を分離して漏洩を検出できるための条件となる。一般的には、規則的加減圧の周期を適切に選べば、この条件が満足されると期待できる。しかし、規則的な加減圧を行ったのでは、参照信号と温度変動を無相関にできない特殊な場合も考えうる。
このような場合には、加減圧の時間系列として、二値不規則信号を使用すればよい。図１１は、二値の疑似不規則信号であるＭ系列信号で加減圧パターンを変調した場合を例示している。参照信号としては、変調に用いたＭ系列信号を元にして、過渡応答の期間を除いた信号を用いている。十分に高い次数のＭ系列信号を用いれば、自然界に存在する温度変動と相関を持つことは無いから、いかなる温度変動を受けていても、その影響を除去して漏洩検査を行うことが可能となる。【００７５】
図１１では、容器内の温度変化がなく、漏洩のみある場合の測定状況を示したものである。
図１１では、図１１（ｂ）に示すように、加圧工程及び減圧工程を不規則な時間系列で実行している。
さらに、図１１（ｄ）に示すように、参照信号としては、加減圧制御部２４による加減圧制御に対応して、加圧工程、減圧工程及び過渡応答期間を除いたタイミングで、加圧工程後の平衡状態を示す時期に−１を、減圧工程後の平衡状態を示す時期に１を、それぞれ同一のパルス幅となるように発生させている。
上記以外の図１１の各グラフの見方は、図６〜１０と同様であるため、説明は省略する。【００７６】
本発明は、上記説明に限定されるものではなく、特許文献１に記載されているように、漏洩検査に係る各種の測定モードプログラムを記憶する記憶手段や、測定データを蓄積する記憶手段を設ける技術、液晶などの表示手段、ＫＥＹボードなどの入力手段に係る技術など、当該分野に係る公知の技術を付加することができることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
本発明により、配管などの容器の漏洩検査を効率良く行うだけでなく、容器内の温度変化の影響除去を漏洩検知と同時に行うことで、大容量の容器に対しても正確に漏洩を検知することが可能な漏洩検査方法及び装置を提供することが可能となる。
また、本発明により、加減圧工程を任意の時間系列で組み込むことが可能となり、先の出願のように容器内の圧力を大気圧に戻す工程を必須要件とすることも無くなり、大容量の可燃性ガス配管や有毒ガス容器などに対しても、効果的な漏洩検査を行うことが可能となる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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