(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動自在な箱体に人間が通過できる入口と出口を形成し，箱体の側面の内部には，給気チャンバと排気ダクトが形成され、箱体の内部に向かって清浄な空気を吐出するノズルを箱体の側面の内面に前記給気チャンバと連通させて設け，このノズルに対して空気を送風するファンと，ファンによってノズルに送風される空気をろ過するフィルタを備えてなり，ファン及び／又はフィルタを，箱体の上に着脱自在に乗せられた送風ユニットの内部に配置し，
箱体の内部から排気させる排気口を前記排気ダクトと連通させて箱体の側面の内面において出口に近い側に設け，この排気口から前記ファンに空気を戻すように構成してなる，エアシャワ装置。
【請求項２】
箱体を移動可能にさせる車輪を装着してなる，請求項１のエアシャワー装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，クリーンルームの入口などに配設され，人体や防塵衣等に付着した異物を除去するエアシャワー装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば集積回路などを生産する半導体製造分野やバイオテクノロジーなどの分野において，清浄な雰囲気や無菌状態を保つためにクリーンルームが利用されている。またクリーンルームにおいては，内部を正常に保つだけでなく，クリーンルームの入口にエアシャワー装置を設置し，作業者等がクリーンルームに入室する際は，エアシャワー装置によって人体や防塵衣等に付着した異物を除去することにより，クリーンルームへの異物の侵入を防いでいる。
【０００３】
一般にエアシャワー装置は，フィルターでろ過した清浄な空気をノズルから吐出し，人体や防塵衣等に付着した異物を吹き飛ばすことにより，異物を除去するようになっている。
【０００４】
一方，クリーンルーム内を改修工事する場合など，工事作業によって清浄な空間内での発塵を生ずることがある。そのような場合，作業場所を仮の間仕切りなどで囲り，作業場所で発生した塵埃をクリーンルーム内に漏らさないようにしている。かかる，間仕切り内から作業員が出る際には，塵埃をクリーンルーム内に持ち込まないようにしなければならない。即ち，作業場所への往路や復路にクリーンルームが介在するような場合，作業場所からクリーンルーム内に塵埃を持ち込まないように，エアシャワーの設置が余儀なくされる。
また，工事作業と生産工程の能率の面から既設のエアシャワーを工事関係者が使用するのを避け，工事動線に沿ってエアシャワーを仮設する必要がる場合もある。クリーンルームの高さ（グレーチングなどの床面からフィルタフレームなどの天井面まで）は３〜３．５ｍ程度が一般的であるが，エアシャワーの設置高さもそれに制限される。更に搬入するための廊下等の高さが低いと搬入もままならず，エアシャワーの搬入方法，経路を工夫しなければならない。また改修工事などの作業は工区を分けて限られた空間単位で連続して行うこともあり，エアシャワー移設の機動性も求められる。
【０００５】
しかし，クリーンルームの改修工事などに携わる工事関係者等の出入通路に公知のエアシャワー装置を設置することは設置高さ，搬入スペース，重量の関係で困難であった。そのため，クリーンルームに出入する工事関係者等に特別なルールを課したり，あるいは入場経路を工夫するなどして，クリーンルームへの異物の侵入をなるべく少なくせざるを得なかった。しかし，これらの対策は作業の進捗を犠牲にするほか，稼働中のクリーンルームの生産活動を低下させない注意も必要とされた。
【０００６】
本発明の目的は，改修工事などに携わる工事関係者等の出入通路にも簡単に設置でき，また容易に撤去できるエアシャワー装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば，移動自在な箱体に人間が通過できる入口と出口を形成し，箱体の側面の内部には，給気チャンバと排気ダクトが形成され、箱体の内部に向かって清浄な空気を吐出するノズルを箱体の側面の内面に前記給気チャンバと連通させて設け，このノズルに対して空気を送風するファンと，ファンによってノズルに送風される空気をろ過するフィルタを備えてなり，ファン及び／又はフィルタを，箱体の上に着脱自在に乗せられた送風ユニットの内部に配置し，箱体の内部から排気させる排気口を前記排気ダクトと連通させて箱体の側面の内面において出口に近い側に設け，この排気口から前記ファンに空気を戻すように構成してなる，エアシャワー装置が提供される。
【０００８】
このエアシャワー装置を，例えば改修工事を行うクリーンルームなどにおいて工事関係者等の出入通路に設置する。なお，作業空間の一部が廊下などの非清浄空間に面している場合には，箱体に形成された出口をクリーンルームに接しさせ，入口をクリーンルームの外（非清浄空間）に向けて設置すると良い。箱体に形成された出入口は，例えばドアなどで開閉自在に構成すると良いが，ビニールカーテンなどのような簡単な手段で開閉自在に構成しても良い。
【０００９】
そして，改修工事などに携わる工事関係者等がクリーンルームに入ろうとする場合，その工事関係者等は，こうして出入通路などに設置されたエアシャワー装置の入口から箱体内に入る。
【００１０】
一方，エアシャワー装置においては，ファンを稼働し，フィルタでろ過した清浄な空気をノズルに送風する。これにより，箱体内に入った工事関係者等に対し，ノズルから吐出された清浄な空気が吹き付けられる。こうして，清浄な空気の気流により人体や防塵衣等に付着した異物が吹き飛ばされ，異物が除去される。
【００１１】
なお，箱体の内部から排気させる排気口を設けることにより，前述のようにノズルから清浄な空気を吐出しながら，箱体内の空気をこの排気口からファンに戻すように構成しても良い。そうすれば，ノズルから吐出された空気は，人体や防塵衣等に付着した異物を吹き飛ばした後，排気口からファンに戻され，フィルタでろ過されて清浄な空気となって，再びノズルから吐出されることとなる。
【００１２】
本発明のエアシャワー装置にあっては，箱体を移動させることにより，工事関係者等の出入通路などに容易にエアシャワー装置を設置させることができ，また，クリーンルームの改修工事などが終了した場合は，エアシャワー装置を簡単に撤去することが可能である。特に，前述のように箱体に形成される入口をビニールカーテンなどのような簡単な構成で開閉できるようにすれば，エアシャワー装置全体を軽量化でき，エアシャワー装置の設置作業や撤去作業が楽になる。なお，入口にビニールカーテンを装着した場合，ビニールカーテンの下部などに重りを取り付ければ，ビニールカーテンのめくれ上がりを防止できるようになる。
【００１３】
このエアシャワー装置において，箱体を移動可能にさせる車輪を装着しても良い。そうすれば，台車やジャッキローラ等の搬入具の使用も不要で，エアシャワー装置の移動が容易となり，設置作業や撤去作業が円滑にできるようになる。この場合，車輪として無指向キャスターなどを用いて，箱体を任意の方向に移動可能に構成すると良い。また，車輪の走行を停止させるストッパーなどを更に設けても良い。そうすれば，設置したエアシャワー装置をストッパーによって固定させることができ，不用意にエアシャワー装置が動いてしまう心配がない。
【００１４】
また，このエアシャワー装置において，ファン及び／又はフィルタを，箱体に対して取り外し自在に設けても良い。そうすれば，例えばエアシャワー装置を移動させる場合などは，箱体からファンやフィルタを取り外して分割することによって，箱体とファンやフィルタを別々に移動でき，移動，設置に際しての高さ制限を免れる。
【００１５】
この場合，例えば箱体の上部などに別のユニットを脱着自在に設け，このユニットにファンやフィルタを搭載するようにしても良い。そうすれば，箱体に対してユニットを装着したり，取り外すことによって，ファンやフィルタを脱着させることが可能となる。
【００１６】
なお，本発明のエアシャワー装置にあっては，ファンの電源は単相１００Ｖの電源を用いると良い。一般的にはファン用電源としては３相２００Ｖが用いられるが，電源が３相２００Ｖではエアシャワー装置の設置場所が限定されてしまうので，単相１００Ｖの電源をコンセント型にすることにより，例えば新設時には予期しない作業場所での電源供給を容易にすることが好ましい。
【００１７】
また，本発明のエアシャワー装置において，ノズルから吐出させる空気をろ過するためのフィルタとしては，例えばＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタなどの高性能フィルタが用いられる。この場合，静圧を減少させるために，フィルタの面積はなるべく大きくすると良い。また，ファンの吐出側の直後に例えば拡大板などを配置することによって，なるべくフィルタの表面全体に送風できるようにすると良い。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の好ましい実施の形態を図面を参照にして説明する。図１は，本発明の実施の形態にかかるエアシャワー装置１の斜視図であり，図２は，図１のＡ−Ａ断面図である。図３は，エアシャワー装置本体１０の側面２５の斜視図である。図４は，送風ユニット１１の内部構造を示す斜視図であり，図５は，送風ユニット１１の平面図である。
【００１９】
このエアシャワー装置１は，直方体形状の箱体をなすエアシャワー装置本体１０の上に，送風ユニット１１を脱着自在に載せた構成になっている。図１において，エアシャワー装置本体１０の前面には人間が通過できる大きさの入口１５が形成されており，この入口１５から人間がエアシャワー装置本体１０の中に入ることができるようになっている。また図１において，エアシャワー装置本体１０の背面には人間が通過できる大きさの出口１６が形成されており，入口１５からエアシャワー装置本体１０の中に入った人間は，この出口１６からエアシャワー装置本体１０の外に出ることが可能である。
【００２０】
入口１５には，ビニールカーテン２０が取り付けてあり，図１中の一点鎖線２０’で示すように，このビニールカーテン２０を上方にめくり上げることにより，人間がエアシャワー装置本体１０の中に入ることができる。ビニールカーテン２０の下端には錘２１が取り付けてあり，この錘２１によってビニールカーテン２１がめくれ上がらず，後述するように，ノズル３６から吹き出した清浄な空気（高速気流）が工事関係者等に吹き付けられる間，エアシャワー装置本体１０内の空気が外部に漏れ出ないようになっている。
【００２１】
出口１６には，ドア２３が取り付けてあり，図１中の一点鎖線２３’で示すように，このドア２３を開くことにより，人間がエアシャワー装置本体１０の中から外に出ることができる。
【００２２】
そして，これらビニールカーテン２０とドア２３を閉じることにより，入口１５と出口１６を閉塞し，エアシャワー装置本体１０の内部を外部と隔離した状態にできる構成になっている。
【００２３】
エアシャワー装置本体１０の側面（入口１５と出口１６に直交する両側面）２５，２５は，エアシャワー装置本体１０の内部に向かって清浄な空気を吐出するように構成されている。図２に示すように，側面２５の内部（エアシャワー装置本体１０の内部側）には，上下（エアシャワー装置本体１０の底部内側と頂部の各面）に渡って立設された仕切り板２６で仕切られることにより，給気チャンバ２７と排気ダクト２８が形成されている。側面２５の内部において，出口１６に近い側に側面２５の上下に渡って排気ダクト２８が形成されている。図３に示すように，側面２５の上面には，給気チャンバ２７内に清浄な空気を送り込むための給気開口部３０（図３）と，排気ダクト２８から空気を排気させるための排気開口部３１が設けられている。なお，給気チャンバ２７の頂部は，給気開口部３０を除き，金属板で閉鎖されている。
【００２４】
側面２５の内面（エアシャワー装置本体１０の内部に向かう表面）３５には，複数のノズル３６が設けられている。側面２５の上面に形成された給気開口部３０を通じて側面２５内部の給気チャンバ２７に給気された清浄な空気が，これらノズル３６からエアシャワー装置本体１０の内部に向かって吐出されるようになっている。ノズル３６は，側面２５の内面３５のほぼ全体に万遍なく配置されており，エアシャワー装置本体１０の内部の全体に向かって清浄な空気を吐出できるようになっている。
【００２５】
側面２５の内面下部（側面２５の内面足下近く）には，出口１６に近い側に排気口３７が設けられている。この排気口３７は排気ダクト２８に連通しており，エアシャワー装置本体１０の内部の空気は，排気口３７から排気ダクト２８を通って，側面２５の上面に形成された排気開口部３１から排気されるようになっている。そして，給気開口部３０と排気開口部３１は対称の位置関係にある。
【００２６】
エアシャワー装置本体１０の外側面の下部四隅には，無指向キャスター３８が装着されている。これにより，エアシャワー装置本体１０は，床面上を任意の方向に容易に移動させることが可能である。図示はしないが，無指向キャスター３８は移動を禁止させるストッパーを備えている。
【００２７】
図４に示すように，送風ユニット１１は，エアシャワー装置本体１０の上に載せられる直方体形状のケーシング４０の内部に，ファン４１と，その下流側に拡大板４２とフィルタ４３を配置した構成である。ケーシング４０の底面４５の四隅には，ユニット側給気開口部４６，４６と，ユニット側排気開口部４７，４７が設けられている。エアシャワー装置本体１０の上に送風ユニット１１を載せた際には，エアシャワー装置本体１０の側面２５の上面に設けられている給気開口部３０にユニット側給気開口部４６，４６がそれぞれ一致し，排気開口部３１にユニット側排気開口部４７，４７がそれぞれ一致するようになっている。
【００２８】
ファン４１は軸流ファンであり，吸気口４１ａをユニット側排気開口部４７，４７（排気開口部３１）に向け，吐出口４１ｂをユニット側給気開口部４６，４６（給気開口部３０）に向けて，ケーシング４０の側面と平行に配置されている。拡大板４２は多数の開口を有する鉄板である。フィルタ４３は止め金具でケーシング４０内を仕切るように固定され，フィルタ４３の周囲の隙間から気流が流通しないように閉塞板等が設けられている。これにより，ファン４１は，ユニット側排気開口部４７，４７から，低い静圧で広いろ過空間を経てユニット側給気開口部４６，４６に向かう方向に送風するようになっている。なお図５に示すように，ファン４１の吸気口４１ａと吐出口４１ｂを雰囲気的に仕切るように，遮蔽板５０がファン４１の周囲に取り付けてある。
【００２９】
フィルタ４３としては，例えばＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタなどの高性能フィルタが用いられる。フィルタ４３は，送風ユニット１１の内部を前後に仕切るように配置されており，ケーシング４０の頂面と底面にフィルタ枠を接しさせ，止め金具による固定に必要なスペースを除いてはケーシング４０の断面積いっぱいに配置されている。ファン４１の吐出口４１ｂから吐出された空気は，すべてこのフィルタ４３を通過してろ過された後，ユニット側給気開口部４６，４６に流れ込むようになっている。
【００３０】
拡大板４２は，パンチングメタルなどで構成され，ファン４１の吐出口４１ｂの直後に間隔をおき，かつ，拡大板４２の中心をファン４１の中心線（吐出気流の中心線）に一致させて配置されている。ファン４１の吐出口４１ｂから吐出された空気をこの拡大板４２にぶつからせて拡散させることにより，フィルタ４３のなるべく表面全体に空気を送風させるように構成されている。拡大板４２は，気流の急拡大による局所静圧の増大を抑える作用をはたす。
【００３１】
さて，以上のように構成された本発明の実施の形態にかかるエアシャワー装置１を，例えば改修工事を行うクリーンルームなどにおいて工事関係者等の出入通路に設置する。このようにエアシャワー装置１を設置する際には，送風ユニット１１をエアシャワー装置本体１０から取り外し，両者を分割すれば現場などに搬入しやすい。この場合，エアシャワー装置本体１０は，無指向キャスター３８を利用することにより，床面上を任意の方向に容易に移動させることができ，移動が容易である。また送風ユニット１１を取り外して移動させることにより，高さの低い状態でエアシャワー装置本体１０を搬入でき，移動の邪魔になりにくい。なお，送風ユニット１１の搬入を容易にさせるために，送風ユニット１１の重量は人間が運搬できる程度の重量に構成すると良い。
【００３２】
こうして，エアシャワー装置本体１０と送風ユニット１１を分割して搬入し，現場において，エアシャワー装置本体１０の上に送風ユニット１１を装着することにより，クリーンルームの出入通路にエアシャワー装置１を設置する。このようにエアシャワー装置本体１０の上に送風ユニット１１を装着する場合，全周パッキンを改装させ，図示しないフランジ部をネジ止めすることによりエアシャワー装置本体１０の上に送風ユニット１１を固定したり，例えば本体１０に受け溝を設けて送風ユニット１１をはめ込み，テープで止めるなど，簡易で気密性が確保できる方法で行うのがよい。
なお，エアシャワー装置本体１０の上に送風ユニット１１を載せる際には，エアシャワー装置本体１０の上面に設けられている給気開口部３０にユニット側給気開口部４６，４６をそれぞれ一致させ，排気開口部３１にユニット側排気開口部４７，４７をそれぞれ一致させる。
【００３３】
また，クリーンルームの出入通路などにエアシャワー装置１を設置する場合，エアシャワー装置本体１０に形成された出口１６をクリーンルームに接しさせ，入口１５をクリーンルームの外に向けて設置する。そして設置後は，ストッパー（図示せず）を用いて無指向キャスター３８の移動を禁止させ，エアシャワー装置１が不用意に動かないように固定する。
【００３４】
このようにしてエアシャワー装置１を所望に位置に設置し，送風ユニット１１に設けられたファン４１を稼働させる。この場合，ファン４１の電源を単相１００Ｖのコンセントからとるようにすれば，電源供給が容易となり，エアシャワー装置１の設置場所が限定されない。
【００３５】
そして，改修工事などに携わる工事関係者等がクリーンルームに入ろうとする場合，その工事関係者等は，こうして出入通路などに設置されたエアシャワー装置１の出口１５からエアシャワー装置本体１０の中に入る。
【００３６】
一方，エアシャワー装置１においては，ファン４１の稼働により，ケーシング４０内においてユニット側排気開口部４７，４７からユニット側給気開口部４６，４６に向かう方向に送風が開始される。ファン４１の吐出口４１ｂから吐出された空気は，拡大板４２にぶつかって拡散した後，フィルタ４３の表面全体に供給され，フィルタ４３を通過してろ過された後，ユニット側給気開口部４６，４６に流れ込む。そして，フィルタ４３でろ過された清浄な空気が給気開口部３０を通じて給気チャンバ２７内に供給される。こうして給気チャンバ２７内は陽圧となり，側面２５の内面３５に配置された複数のノズル３６からエアシャワー装置本体１０の内部の全体に向かって清浄な空気が万遍なく吐出される。
【００３７】
これにより，エアシャワー装置本体１０の内部に入った工事関係者等に対し，ノズル３６から吐出された清浄な空気が両側から吹き付けられる。こうして，清浄な空気の気流により人体や防塵衣等に付着した異物が吹き飛ばされ，異物が除去される。
【００３８】
また，エアシャワー装置本体１０の内部の空気は，側面２５の内面下部に配置された排気口３７から排気ダクト２８内に流れ込んで，排気される。こうして，エアシャワー装置本体１０内から排気された空気は，排気ダクト２８内を流れてエアシャワー装置本体１０の上面に形成された排気開口部３１からユニット側排気開口部４７，４７を通じてケーシング４０内に流れ込み，ファン４１の吸気口４１ａに吸い込まれる。こうしてファン４１に戻された空気は，ファン４１によって送風されることにより，フィルタ４３でろ過されて清浄な空気となって，再びノズル３６から吐出されることとなる。
【００３９】
この実施の形態のエアシャワー装置１にあっては，無指向キャスター３８を利用して移動させることにより，工事関係者等の出入通路などに容易にエアシャワー装置１を設置させることができ，また，クリーンルームの改修工事などが終了した場合は，エアシャワー装置１を簡単に撤去することが可能である。特に，この実施の形態のエアシャワー装置１は，エアシャワー装置本体１０と送風ユニット１１を分割することにより，小さく軽い状態で別々に搬送できるので，搬入や撤去がしやすい。また，入口１５にビニールカーテン２０を取り付けた構成とすれば，エアシャワー装置本体１０を軽量化させることができ，移動がより楽になる。
【００４０】
以上，本発明の好適な実施の形態の一例を説明したが，本発明はここに示した形態に限定されない。例えば，入口１５を出口１６と同様にドアなどで閉めるように構成しても良い。また，出口１６にビニールカーテンを取り付けても良い。
【００４１】
【発明の効果】
本発明によれば，設置や撤去を極めて容易にできるエアシャワー装置が提供される。本発明のエアシャワー装置は，改修工事などに携わる工事関係者等の出入通路などにも簡単に設置でき，また容易に撤去できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかるエアシャワー装置の斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】エアシャワー装置本体の側面の斜視図である。
【図４】送風ユニットの内部構造を示す斜視図である。
【図５】送風ユニットの平面図である。
【符号の説明】
１    エアシャワー装置
１０  エアシャワー装置本体
１１  送風ユニット
１５  入口
１６  出口
２０  ビニールカーテン
２１  錘
２３  ドア
２６  仕切り板
２７  給気チャンバ
２８  排気ダクト
３０  給気開口部
３１  排気開口部
３６  ノズル
３７  排気口
３８  無指向キャスター
４０  ケーシング
４１  ファン
４２  拡大板
４３  フィルタ
４６  ユニット側給気開口部
４７  ユニット側排気開口部
【図１】
0004531246.tif 000002
【図２】
0004531246.tif 000003
【図３】
0004531246.tif 000004
【図４】
0004531246.tif 000005
【図５】
0004531246.tif 000006