(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス絶縁機器内に封入されたＳＦ6 ガスを回収するガス回収装置において、
前記ガス絶縁機器には、主系列のガス回収ラインと、副系列のガス回収ラインと、前記ガス絶縁機器内に前記ＳＦ6 ガスを薄める希釈用ガスを充填する希釈用ガス充填ラインとが繋がれており、
前記主系列のガス回収ラインには真空ポンプ、前記ＳＦ6 ガスの加圧液化装置及び液化ＳＦ6 タンクが取り付けられ、
前記副系列のガス回収ラインには前記ＳＦ6 ガスと前記希釈用ガスとの混合ガスを分離濃縮する混合ガス分離濃縮装置が取り付けられると共に、
この混合ガス分離濃縮装置を回避するバイパス回路が接続され、前記２つのガス回収ラインを切り替えるライン切り替え手段が設けられ、
さらに、前記混合ガス分離濃縮装置のガス出口側に排出部バッファタンクが設けられ、この排出部バッファタンク内に孔径１０オングストロームのゼオライト系吸着剤が封入されたことを特徴とするガス回収装置。
【請求項２】
所定時間ごとに前記排出部バッファタンク内の吸着剤が吸着したＳＦ6 ガスを減圧回収するように構成されたことを特徴とする請求項１記載のガス回収装置。
【請求項３】
前記排出部バッファタンクの排出口にＳＦ6 ガス検知器が取付けられたことを特徴とする請求項１または２記載のガス回収装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス絶縁機器に封入されたＳＦ６ガスのガス回収技術に係り、特に、ＳＦ６ガス回収率の向上と分解ガスの放出抑制を図ったガス回収装置とその運用方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に変電所には、系統切換えや保守点検などに使用するために遮断器や断路器等のガス絶縁機器が設置されている。ガス絶縁機器内にはＳＦ６ガスが封入されている。ＳＦ６ガスは絶縁性能と消弧性能に優れており、また、化学的にも安定で無害な気体である。したがって、ガス絶縁機器の絶縁媒体として広く用いられている。しかし、ＳＦ６ガスは温室効果が高く、分解までの寿命も長いので、今後の長期にわたる地球環境保護を目的として排出規制対象に指定された。
【０００３】
ガス絶縁機器は、試験後や現地での内部点検時には蓋を開けて大気開放されるが、それに先立って内部に封入したＳＦ６ガスを外部に排出しないように回収する必要がある。ＳＦ６ガスのガス純度が高い場合、比較的低圧で液化できるので、ガスのまま別のタンクに回収・保管するよりも、安全面を含めて液化回収した方が利点が多い。このような液化回収装置の代表例について、図６の概念図を参照して説明する。
【０００４】
このガス回収装置は、ＳＦ６ガスを封入したガス絶縁機器１に、フィルタ・分解ガス吸着装置２、真空ポンプ３、加圧装置８、液化装置４、液化ＳＦ６タンク５及び気化装置１６が順次接続されて構成されている。なお、ガス絶縁機器１の中身については、本出願と関係が少ないのでこの図では省略する。以上のガス回収装置では、真空ポンプ３が動作してガス絶縁機器１から加圧装置８にＳＦ６ガスを送り、加圧装置８にてこれを加圧し、液化装置４にて液化した上で、液化ＳＦ６をタンク５に保管し、再利用するようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記ガス回収装置において、ＳＦ６ガスの排出量を最大限削減するためには最終的にガス絶縁機器１内が高真空状態になるまで真空ポンプ３を使ってＳＦ６ガスを引く必要がある。しかし、図７のグラフに示すように、ガス絶縁機器１内のＳＦ６ガスは、圧力が低くなるに従って真空ポンプ３の排気効率が悪くなるため、その回収に要する時間は長くなる。
【０００６】
また、ガス絶縁機器内には、水分やＳＦ６ガス分解ガスを除去する目的で、主にゼオライト系の吸着剤が封入されるのが一般的である。前段で述べたようにＳＦ６ガス排出量削減のためにはガス絶縁機器内が高真空になるまで減圧する必要があるが、この減圧に伴って、吸着剤から逆にＳＦ６ガスや分解ガスが徐々に離脱して回収ガス側に移動することがある。水及び各種分解ガスに対するゼオライト系の吸着剤に関する吸着順位（力）について述べると、
ＨＦ＞＞Ｈ２Ｏ＞ＳＯ２＞ＳＯＦ２，（ＳＯ２Ｆ２）の順番になる。
【０００７】
ＨＦは化学反応により強固に吸着剤に付着している。また、Ｈ２Ｏに関しては吸着力が強いため、高真空状態でもゼオライトから出てくる可能性は少ない。しかし、ＳＯ２以下の分解ガスやＳＦ６ガスは減圧回収時にはゼオライト系の吸着剤から徐々に離脱し、回収ガス中に混じる可能性がある。この結果、回収されるガス量が増大し、回収に要する時間が長引くことになる。
【０００８】
本発明は、以上の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、ＳＦ６ガス回収率を高めると共に吸着剤からの各種分解ガスの放出を抑えて回収作業時間の短縮化に寄与するガス回収装置及びガス回収方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、以上の目的を達成するために提案されたものであり、ガス絶縁機器内に封入されたＳＦ6 ガスを回収するガス回収装置において、次のような技術的特徴を有している。
【００１０】
請求項１の発明は、前記ガス絶縁機器には、主系列のガス回収ラインと、副系列のガス回収ラインと、前記ガス絶縁機器内に前記ＳＦ6 ガスを薄める希釈用ガスを充填する希釈用ガス充填ラインとが繋がれており、前記主系列のガス回収ラインには真空ポンプ、前記ＳＦ6 ガスの加圧液化装置及び液化ＳＦ6 タンクが取り付けられ、前記副系列のガス回収ラインには前記ＳＦ6 ガスと前記希釈用ガスとの混合ガスを分離濃縮する混合ガス分離濃縮装置が取り付けられると共に、この混合ガス分離濃縮装置を回避するバイパス回路が接続され、前記２つのガス回収ラインを切り替えるライン切り替え手段が設けられ、さらに、前記混合ガス分離濃縮装置のガス出口側に排出部バッファタンクが設けられ、この排出部バッファタンク内に孔径１０オングストロームのゼオライト系吸着剤が封入されたことを特徴とする。
【００１１】
以上の請求項１の発明では、ガス絶縁機器内のＳＦ６ガス圧力が高い時には、主系列のガス回収ラインで回収を進める。すなわち、真空ポンプが動作して加圧液化装置によりＳＦ６ガスを液化し、これを液化ＳＦ６タンクに貯蔵する。回収が進み、ガス絶縁機器内のＳＦ６ガス圧力が低くなり、真空ポンプで引いたとしても排気性能が悪くなった時点で、希釈用ガス充填ラインから希釈用ガスをガス絶縁機器内に充填し、見掛け上のガス圧力を上げた状態の混合ガスとする。希釈用ガスとして乾燥窒素や空気が考えられる。そして、ライン切り替え手段が主系列のガス回収ラインから副系列のガス回収ラインに切り替え、副系列のガス回収ラインで混合ガスを回収し、混合ガス分離濃縮装置にて混合ガスをＳＦ６ガスと希釈用ガスとに分離し、ＳＦ６ガスを濃縮する。
【００１２】
このような請求項１の発明によれば、ＳＦ６ガス加圧液化装置と混合ガス分離濃縮装置とを組み合わせることによって、ＳＦ６ガスの回収率を高めることができる。しかも、希釈用ガス充填ラインから希釈用ガスを充填してガス絶縁機器内のガス圧力を高いレベルに維持できるため、必要以上に減圧する必要が無い。したがって、真空ポンプの排気性能低下がなく、回収作業時間を短くすることができる。さらに、副系列のガス回収ラインに接続したバイパス回路は、混合ガス分離濃縮装置の出口側から入口側へと、回収したガスを還流させることができる。したがって、混合ガス分離濃縮装置から出た希釈用ガス中にＳＦ６ガスが含まれた場合でも、これを混合ガス分離濃縮装置に戻して再度、ＳＦ６ガスと希釈用ガスとの分離することができ、結果としてＳＦ６ガスの回収率を高めることができる。
【００２６】
また、排出部バッファタンク内のゼオライト系吸着剤がＳＦ6 ガスを吸着するので、混合ガス分離濃縮装置にて分離しきれなかった微量のＳＦ6 ガスをここで回収することができる。
【００２７】
請求項２の発明は、請求項１記載のガス回収装置において、所定時間ごとに前記排出部バッファタンク内の吸着剤が吸着したＳＦ6 ガスを減圧回収するように構成されたことを特徴とする。
【００２８】
以上の請求項２の発明では、所定時間ごとに排出部バッファタンク内の吸着剤が吸着したＳＦ6 ガスを減圧回収して吸着剤の再生を図ることができ、排出部バッファタンクにおけるＳＦ6 ガスの回収効率を保持することが可能である。
【００２９】
請求項３の発明は、請求項１または２記載のガス回収装置において、前記排出部バッファタンクの排出口にＳＦ6 ガス検知器が取付けられたことを特徴とする。
【００３０】
以上の請求項３の発明では、ＳＦ6 ガス検知器が排出部バッファタンクの排出口でのＳＦ6 ガス濃度を検知するので、吸着剤の再生時期を的確に把握することができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の一例について、図面を参照しながら具体的に説明する。なお、図７に示した従来技術と同一の部材に関しては同一符号を付して説明は省略する。また、各実施の形態において同一の部材に関しては同一符号を付す。
【００３６】
（１）第１の実施の形態
［構成］
図１は第１の実施の形態の全体概要を示す構成図である。第１の実施の形態は、本発明の基本構成に関するものである。ガス絶縁機器１には主系列のガス回収ラインＡと、副系列のガス回収ラインＢと、ガス絶縁機器１内にＳＦ6 ガスを薄める希釈用ガスとして窒素ガスを充填する窒素ガス充填ラインＣとが繋がれている。
【００３７】
主系列のガス回収ラインＡには、既存の現在実用化されている液化回収装置、すなわち真空ポンプ３、ＳＦ６ガスの液化装置４ａ及び液化ＳＦ６タンク５ａが取り付けられている。なお、液化を促進するための冷却用の冷凍機等は省略している。また、副系列のガス回収ラインＢにはＳＦ６ガスと窒素ガスとの混合ガスを分離濃縮する混合ガス分離濃縮装置６、濃縮されたＳＦ６ガスを液化する液化装置４ｂ及び液化ＳＦ６タンク５ｂが取り付けられている。さらに、副系列のガス回収ラインＢには前記混合ガス分離濃縮装置６を回避するバイパス回路７が接続されている。これらの構成要素はバルブ１１を有する配管１０で結ばれている。また、前記２つのガス回収ラインＡ，Ｂを切り替えるライン切り替え手段として前記バルブ１１の開閉を制御する制御盤９が設けられている。
【００３８】
第１の実施の形態における混合ガス分離濃縮装置６は、吸着剤を有する圧力スイング吸着装置から構成されており、吸着剤には孔径３．８〜５オングストロームのゼオライト系吸着剤が用いられている。ここで圧力スイング吸着装置の基本原理について図２を用いて述べる。また、この部分の基本構成を図３に示す。まず、ゼオライト系吸着剤について説明する。
【００３９】
窒素ガスや酸素ガスとＳＦ６ガスを分離するために、孔径のサイズにより特異な吸着選択性を示す合成ゼオライト系吸着剤が有効である。ゼオライトは含水アルミノケイ酸塩鉱物群の総称で、一般式ＭｅＯ・Ａｌ２Ｏ３・ｍＳｉＯ２・ｎＨ２Ｏで示される。また、合成ゼオライトは、その表面に均一な細孔を有し、この細孔よりも小さい分子のみが、孔路を通って空洞の内部に吸着されるため、優れた選択吸着性（分子篩効果）を発揮する。
【００４０】
一方、分離回収対象のＳＦ６ガスと窒素ガスは分子の大きさが異なっている。ＳＦ６分子はＤＳ：５．４９オングストローム〜ＤＬ：６．０６オングストローム、Ｎ２分子はＤＳ：３．１オングストローム〜ＤＬ：４．２オングストロームである。ここでＤＳは分子の短い方の長さ、ＤＬは分子の長い方の長さを示す。吸着剤の細孔径が５オングストロームのものを使用した場合、ＳＦ６ガスは表面にある細孔を通れずゼオライト内部には入れない。そのため、ＳＦ６ガスは吸着されず、内部に侵入できる窒素ガスだけが選択的に吸着されて、ＳＦ６ガスの分離が可能となる（図２参照）。またゼオライトは、結晶構造中に金属陽イオンを包蔵し、これが極性基を静電気的に引き付けたり、分極性分子を分極して引き付ける作用を示し吸着するもので中性分子の吸着にも適用できる有利がある。商品名としてモレキュラーシーブス（Ｕ．Ｃ．Ｃ．）、ゼオラム（東ソー）、モレキュライト（栗田工業）、ニッカペレット（日本活性白土）等が知られている。
【００４１】
続いて、圧力スイング吸着装置について説明する。圧力スイング吸着装置とは、その名のように吸着剤の吸着量がガス圧力に比例することを基本原則にしている。混合ガスの分離を連続的に効率良く行なうためには、この圧力スイング吸着法を応用すると良いことが分かった。図３は混合ガス分離濃縮装置６内部を詳細に示している。
【００４２】
混合ガス分離濃縮装置６は２個の分離槽１５ａ，１５ｂから構成されている。分離槽１５ａ，１５ｂ内には孔径５オングストロームのゼオライト系吸着剤１６が封入されている。また、分離槽１５ａ，１５ｂに混合ガスが入いる側にはバルブＢ１〜Ｂ５、回収されたガスが出ていく側にはバルブＢ６，Ｂ７が設置されている。
【００４３】
混合ガス分離濃縮装置６におけるバルブＢ１〜Ｂ７の開閉操作に関して基本的な運転パターンを説明する。まず、バルブＢ１は開、その他のバルブＢ２〜Ｂ７は閉の状態になっている。また、バルブＢ４は開の状態で真空ポンプ３に連結され減圧処理されている。初めにＳＦ６ガスの分離に関して説明する。ガス絶縁機器１内の混合ガスは、真空ポンプ３により、ラインＢに導かれていく。混合ガス分離濃縮装置６の入口に入り、まず分離槽１５ａに混合ガスが注入される。分離槽１５ａでは吸着剤の分子篩効果により、吸着剤には窒素ガスだけが吸着され、ＳＦ６ガスは徐々に濃度を上げながら図面上方に流れていく。最終的に分離槽１５ａの上部ではＳＦ６ガス濃度が高いガスが溜まっていく。所定圧力に達した時点で、バルブＢ１を閉とし混合ガスの流入を止め、バルブＢ６を開にして濃縮したガスを回収し、液化装置４ｂへ流す。
【００４４】
一方、この時期、分離槽１５ｂは、真空処理されており減圧状態にあり、吸着していた窒素ガスを放出した初期の再生状態にある。濃縮されたＳＦ６ガスの回収が終わった時点で、バルブＢ６を閉、バルブＢ３を開とし、混合ガスの流路を分離槽１５ｂ側に切り替える。この場合のＳＦ６ガスの分離濃縮は、分離槽１５ｂが機能することになる。そして前サイクルと逆に分離槽１５ａ側は減圧処理し、窒素ガスを吸着剤から離脱し、排出すると共に吸着剤は再生された未吸着の状態になる。この繰り返しによって混合ガスはＳＦ６ガスと窒素ガスに分離されることになり、濃縮ＳＦ６ガスとして回収が可能となり、液化装置４ｂへ流す。
【００４５】
すなわち、先に説明したように吸着工程では圧力が高く、分子の大きさが吸着剤の孔径より小さい窒素ガスだけが多量に吸着できる。逆に圧力を低下させると吸着している窒素ガスが離脱し、最終的に排出され、同時に吸着剤は、初期の未吸着の状態に再生される。その後、再度ガス圧が上昇した場合、吐き出した量と同じ量だけ窒素ガスを吸収され、この吸収と再生を交互に繰り返せば、原則的には、半永久的にガスの分離が可能になる。
【００４６】
しかし、先に述べたように水分や分解ガスの一部は吸着剤と強く結びつくので、初期の性能から低下していく可能性がある。吸着剤の交換を避けたい場合は、混合ガス分離濃縮装置６に入るガスは、分解ガス等が入らないようにフィルタ・分解ガス吸着装置２による純度管理が必要となる。以上述べた方法で、導入した混合ガス中のＳＦ６ガス濃度を例えば１０ｖｏｌ％から５０ｖｏｌ％以上の濃度まで濃縮することは容易である。液化圧力は、室温下でも約４ＭＰａ程度になり、既存レベルの冷凍機と加圧装置で液化が可能となり、ＳＦ６ガスの液化回収と再使用が可能となる。
【００４７】
分離原理のところで説明したように、吸着対象のガス分子の大きさと吸着剤の細孔径の大きさの違いを応用したものであるから、当然孔径３．８オングストローム〜５オングストロームの範囲のものが使用できるが、吸着速さも考えると、孔径が５オングストロームタイプのゼオライト系吸着剤が最も適切であった。孔径３．８オングストロームの吸着剤を用いた場合、窒素ガスの吸着速度が遅く、５オングストロームのものに比べて約２倍以上の時間が掛かり回収速度の点で差が見られた。
【００４８】
ここで、バイパス回路７の機能について説明する。混合ガスは混合ガス分離濃縮装置６内に入って、窒素ガスが選択的に吸着され、ＳＦ６ガスは濃度を上げながら、装置の下流側に溜まっていく。ただし、ＳＦ６ガスと窒素ガスの間には、分離面をはっきり示すような明確な境はない。特に、排出ガス中のＳＦ６ガス濃度を下げるためには、回収ガスに含まれるＳＦ６ガス濃度をある程度犠牲にして、余分の窒素ガスと一緒に回収していく必要がある。
【００４９】
一方、回収されたガスは液化装置４ｂにおいてＳＦ６ガスの液化回収が進行している。このような混合ガスの回収を続行していくと、窒素ガスはガスの状態で液化装置４ｂに溜まり続けていくので、徐々に圧力が上昇していき、最終的に液化装置４ｂ内の設計圧力を越え、回収作業を続けることができなくなる。この窒素ガスにはＳＦ６の蒸気圧分に相当するＳＦ６ガスが含まれるので、このままの状態で大気中に放出することができない。そこでバイパス回路７を利用して、このＳＦ６ガスを含有する窒素ガスを混合ガス分離濃縮装置６の入口に還流することができる。
【００５０】
なお図示しないが、バイパス回路１８には所定の圧力で動作するリリーフ弁等（冷却性能にも関連するが、４．５〜４ＭＰａ間で開閉動作を繰り返す弁）が取付けられており、圧力上昇時に弁を開けて効率的な液化に必要な圧力を確保しつつ圧力を緩和させるようになっている。また、バイパス回路７の代わりに別途ボンベを準備し、一時的にＳＦ６ガスを含む窒素ガスを保管し、ボンベの許容量に達した時点でバッチ式に混合ガス分離濃縮装置６の前工程に戻しても同じ効果が得られる。
【００５１】
［作用効果］
以上の構成を有する第１の実施の形態では、ガス回収作業の初期においてガス絶縁機器１内部のガス圧力が高い場合、機器１内からＳＦ６ガスを容易に取り出すことができる。つまり、主系列のガスラインＡ側の液化装置４ａ及び液化ＳＦ６タンク５ａを用いて液化回収していく。ガス絶縁機器１内のガス圧力は徐々に低下していくので、真空ポンプ３を用いてＳＦ６ガスの回収を進めていくが、大気圧以降は減圧回収になるとＳＦ６ガスの排出に時間が掛かるようになり、ガス絶縁機器１内部に入れた吸着剤から、吸着しているＳＦ６ガスや先に述べた分解ガスの一部が徐々に離脱して、ＳＦ６ガスが混入されるようになる。そこで第１の実施の形態では、減圧状態になった時点で窒素ガス充填ラインＣからガス絶縁機器１内部に窒素ガスを入れ、ガス絶縁機器１内のガス圧力を維持する。
【００５２】
例えば、ガス絶縁機器１内に残ったＳＦ６ガスが１００ｍｍＨｇ（０．０１３ＭＰａ）の時点で窒素ガスを機器１内に入れて、１０倍に希釈した状態で絶対圧約０．１３ＭＰａまで加圧し、機器１内部を混合ガス状態にする。その後、制御盤９の制御によりバルブ１１の開閉を行い、副系列のガスラインＢに切り替えて回収作業を続行する。つまり、副系列のガス回収ラインＢで混合ガスを回収し、混合ガス分離濃縮装置６にて混合ガスをＳＦ６ガスと窒素ガスとに分離、ＳＦ６ガスを濃縮し、ラインＢ側の液化装置４ｂ及び液化ＳＦ６タンク５ｂを用いて液化回収していく。そして、ガス絶縁機器１内に残ったＳＦ６ガスが先に到達した１００ｍｍＨｇ（０．０１３ＭＰａ）まで回収を行なった場合、ガス絶縁機器１内に残留しているＳＦ６ガス量はほぼ１／１０に低減できる。
【００５３】
これは、今までの方式で１０ｍｍＨｇまで回収したのと同等の結果が可能となることを意味する。このように運用すれば、同一真空度まで回収したと仮定して残存のＳＦ６ガス量を１／１０に低減できる。また、ＳＦ６ガス残存ガス量を同一にした場合、真空度は１０倍高いところで終了して良いことを意味する。このように運用することで、必要以上に真空処理する必要が無い。そのため、吸着剤から分解ガス等の離脱を防ぐことができる。
【００５４】
以上述べたように、第１の実施の形態によれば、ＳＦ６ガスの液化装置４ａ，４ｂと混合ガス分離濃縮装置６とを組み合わせることによって、ＳＦ６ガスの回収率を高めることができる。しかも、窒素ガス充填ラインＣから窒素ガスを充填してガス絶縁機器１内のガス圧力を高いレベルに維持できるので、真空ポンプ３の排気性能が低下することなく、回収作業時間を短縮化することができる。また、真空処理の程度が低いため、ガス絶縁機器１内の吸着剤から分解ガスが離脱することを抑制でき、回収ガス量の増大を招くおそれがなく、作業時間の短縮化を図ることができる。
【００５５】
さらに、副系列のガス回収ラインＢに接続したバイパス回路７は、混合ガス分離濃縮装置６の出口側から入口側へと、回収したガスを還流させるので、混合ガス分離濃縮装置６から出た窒素ガス中にＳＦ６ガスが含有される場合でも、これを混合ガス分離濃縮装置６に戻して再度、ＳＦ６ガスと窒素ガスとの分離を実施ができ、結果としてＳＦ６ガスの回収率が向上する。
【００５６】
（２）第２の実施の形態
［構成］
図４は第２の実施の形態の要部構成図を示している。第２の実施の形態の特徴は、混合ガス分離濃縮装置６の入口側に導入部バッファタンク１２が、出口側に排出部バッファタンク１４がそれぞれ設けられた点にある。導入部バッファタンク１２内には孔径５オングストロームと孔径１０オングストロームのゼオライト系混合吸着剤１３がそれぞれ、８０〜１００ｗｔ％、２０〜０ｗｔ％となるように配合比率で封入されている。
【００５７】
なお、導入部バッファタンク１２には前記バイパス回路７が接続されている。また、導入部バッファタンク１２の出口側には真空ポンプ３が接続されている。一方、排出部バッファタンク１４内には孔径１０オングストロームのゼオライト系吸着剤１５が封入されている。さらに、第２の実施の形態では、所定時間ごとに排出部バッファタンク１４内のゼオライト系吸着剤１５が吸着したＳＦ６ガスを減圧回収するように構成されている。
【００５８】
［作用効果］
以上のような構成を有する第２の実施の形態の作用効果は次の通りである。一般に、真空ポンプ３の能力に比べて混合ガス分離濃縮装置６で処理できるガス量は小さい。しかし、第２の実施の形態では、混合ガス分離濃縮装置６における混合ガスの処理速度が遅くても、導入部バッファタンク１２内に混合ガス分離濃縮装置６で処理すべきＳＦ６ガスを全て取り込むことができるので、その時点で混合ガス分離濃縮装置６を含む副系列のガス回収ラインＢとガス絶縁機器１との接続を取り外すことが可能となる。このようにすれば、導入部バッファタンク１２内のガスの回収作業を続けながら、機器１側に必要な作業を別途並列で行なうことができ、作業性の改善を図ることができる。
【００５９】
また、導入部バッファタンク１２により、処理するガス流量の適正化が図り易いという利点もある。混合ガス分離濃縮装置６にはできるだけ単位時間当たり一定の流量が流れる方が分離性能が良くなる。バッファタンク１２内に封じ込めたガスは、一旦所定圧力（例えば０．１ＭＰａ）まで回収した時点で停止し、次の回収作業まで貯えておいても、大気中に放出する訳ではないので問題はない。仮に導入部バッファタンク１２が無い場合は、０．５ＭＰａから減圧側（真空状態）の範囲が対象になり、この範囲で分離・濃縮を行なう装置に入るガス流量の適正化を図る必要があり、真空ポンプ３の動作制御はかなり複雑となる。
【００６０】
これに対して、混合ガス分離濃縮装置６の前に導入部バッファタンク１２を設けてバッファタンク１２の圧力０．１ＭＰａまで回収すると仮定すれば、混合ガス分離濃縮装置６に入るガスの圧力の変動範囲は、機器１側の初期圧力（０．５ＭＰａとした場合）の０．５ＭＰａから０．１ＭＰａである。したがって、真空ポンプ３の動作制御は極めて容易となる。なお、導入部バッファタンク１２の適切な大きさとしては、大きくても機器１の容積の１／５程度であり、あまり大きいものは意味が無くなる。
【００６１】
ところで、大気中に排出するＳＦ６ガス量を抑制するためには、ガス絶縁機器１の回収作業は最終的に大気圧を経て高真空条件下での回収となる。先に述べたように減圧状態になった場合には、水分や分解ガスを除去するため回収対象であるガス絶縁機器１内に封入されている吸着材から吸着されていたＳＦ６ガスと共に分解ガスが離脱していく可能性がある。ＳＦ６ガスの回収を十分行うほど、減圧度を高くする必要があるが、それだけ離脱する分解ガス量も多くなり、フィルタ・分解ガス吸着装置２で除去しきれない分解ガスが増えてくる問題があった。
【００６２】
そこで第２の実施の形態では、導入部バッファタンク１２にゼオライト系混合吸着材１３を入れることにより、分解ガスが混合ガス分離濃縮装置６側に入ることを極力抑えている。すなわち、前項のフィルタ・分解ガス吸着装置２で完全に除去されなかった分解ガスが回収している混合ガスに混入した場合でも、導入部バッファタンク１２内でゼオライト系混合吸着材１３に接触するため、このタンク１２内の吸着材１３により再度分解ガス等を除去することが可能になる。なお、この導入部バッファタンク１２は先に述べたような運用により、減圧処理しなくても良いので再離脱の可能性が低い。混合ガス分離濃縮装置６に送り込む所定のガス量が不足した場合でも、そのまま導入部バッファタンク１２内に封じ込めておき、次のガス回収操作時に回収処理すれば良いので、分解ガスの離脱は考える必要が無い。
【００６３】
また、吸着材１３として孔径５オングストロームと孔径１０オングストロームの混合ゼオライト系吸着剤を使用しているため、バッファタンク１２内でのＳＦ６ガス自体の吸着量を抑制すると同時に、分解ガス中で分子の大きさが５オングストロームより大きいものを素早く吸着することが可能となる。しかも、孔径５オングストロームと孔径１０オングストロームのゼオライト系吸着剤の配合比率をそれぞれ８０〜１００ｗｔ％、２０〜０ｗｔ％と規程しているので、ＳＦ６ガスの吸着を確実に抑えることがてき、且つ分子径の大きい分解ガスが多少混じっていてもバッファタンク１２内で再吸着することができる。
【００６４】
さらに、第２の実施の形態では、混合ガス分離濃縮装置６の出口側に吸着材１５を有する排出部バッファタンク１４を設けたので、回収されるガス圧力や流量の変動に伴って、混合ガス分離濃縮装置６からの排出ガスが分離濃縮装置６で分離しきれなかった微量のＳＦ６ガスを含んでいても、これを吸着することができる。ここで、ＳＦ６ガス５％のガス圧力０．２ＭＰａの混合ガス中に孔径１０オングストロームタイプのゼオライト系吸着剤を封入した時のＳＦ６ガス濃度の変化のグラフを図５に示す。
【００６５】
仮に、ＳＦ６ガスと窒素ガスの吸着性が同じであれば、混合ガスの比率は変化しない筈であるが、明らかにＳＦ６ガスの濃度が低くなっており、窒素ガスよりＳＦ６ガスの方がゼオライト系吸着材に吸着し易いことを示している。実際に、孔径１０オングストロームタイプのゼオライト系吸着剤１５が封入された排出部バッファタンク１４を取り付けると、排出ガス中のＳＦ６ガス濃度は、安定して低いレベル（０．０１ｖｏｌ％以下）であった。なお、実験によれば、１０オングストロームタイプのゼオライト系吸着剤１５を充填した筒内に排出ガスを流すだけでも、ＳＦ６ガス吸着が吸着される効果があることが解っている。したがって、必ずしもバッファタンク１４でトラップさせる必要は無く、１０オングストロームタイプのゼオライト系吸着剤１５を充填した筒内に排出ガスを流すだけでも同じ効果が得られる。
【００６６】
さらに、第２の実施の形態によれば、前記１０オングストロームタイプのゼオライト系吸着剤１５も最終的には、ＳＦ６ガス吸着が飽和に近づけば、吸着性能が低下して、窒素ガスに含まれるＳＦ６ガス濃度が高くなる。所定量回収した後には、何らかの方法でＳＦ６ガスを回収すると共に吸着剤を再生する必要がある。この場合には、真空ポンプにより減圧処理してＳＦ６ガスを含んだ窒素ガスの混合ガスとしてバイパス回路７で導入部バッファタンク１２に還流する。そして、還流した混合ガスは再度分離回収工程されるので、ＳＦ６ガスの大気への放出はほとんど無視できる程度まで低減される。窒素ガスを逆流させて、リンスするようにＳＦ６ガスを窒素ガスと一緒に流すように回収しても良い。また、温度を上昇させると、ＳＦ６ガスの離脱が容易になる。
【００６７】
（３）他の実施の形態
なお、本発明は以上の実施の形態に限定されるものではなく、他の実施の形態として、副系列のガス回収ラインＢに用いる混合ガス分離濃縮装置として透過膜を使用しても良い。透過膜も混合ガスを分離することができる。効率良く分離するためには透過膜の膜面積を大きくすると共に膜厚さは極力薄くする必要がある。ただし、薄いほど供給ガスに含まれる微粒子とＳＦ6 分解ガス量により影響を受けやすく、耐用寿命が短くなるので、耐用寿命を短くしない程度の薄さが望ましい。
【００６８】
また、他の実施の形態として、混合ガス分離濃縮装置後の排出部バッファタンクの排出口にＳＦ6 ガス検知器を取付けた実施の形態も包含される。この実施の形態によれば、ＳＦ6 ガス検知器からの警報により吸着剤を減圧再生する時期を正確に知ることができる。ＳＦ6 ガス検知器としては、既存のハロゲン系のリークディテクタが使用できる。
【００６９】
さらに、他の実施の形態として、回収対象のガス絶縁機器１内に乾燥用及び分解ガス吸着用として封入してあるゼオライト系の吸着材に関するものもある。孔径５オングストロームと孔径１０オングストロームのゼオライト系混合吸着剤を封入することを特徴とし、望ましく孔径５オングストロームと孔径１０オングストロームのゼオライト系吸着剤の比率が８０〜１００ｗｔ％、２０〜０ｗｔ％となるように配合したことを特徴としている。
【００７０】
このような実施の形態では、分解ガスの吸着性能に影響を与えず、ＳＦ6 ガス吸着量を最小限にするため、口径の異なる吸着剤を使い分けて数値限定している。これをまとめたものが下記の表１である。
【表１】
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すなわち、配合比率が２０〜０ｗｔ％の孔径１０オングストロームのゼオライト系吸着剤は、回収対象ガスであるＳＦ6 ガスを吸着する。吸着しているＳＦ6 ガスは、減圧回収時、吸着剤から徐々に離脱するが、ここで規定する配合の吸着材を使うことにより、減圧回収した時にＳＦ6 ガスが徐々に何時までも離脱するような現象を回避でき、回収時間の短縮化も図ることができる。一方、孔径５オングストロームのゼオライト系吸着剤だけだと、一部の分解ガスの吸着が困難で、吸着速度が遅くなる可能性がある。通常の遮断ではＳＯ2 Ｆ2 の発生量は、ＳＯＦ2 に比べて小さく量的に１／１０以下であるため、孔径５オングストロームのゼオライト系吸着剤の配合比率を８０〜１０００ｗｔ％としている。
【００７１】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明のガス回収装置及びガス回収方法によれば、ガス回収初期は主系列のガス回収ラインで行い、圧力が低下した時点に希釈用ガスを導入してＳＦ６ガスを薄めることにより見掛けの圧力を上昇させて副系列のガス回収ラインで混合ガスを回収し混合ガス分離濃縮装置で回収を行うことによって、ＳＦ６ガス回収率を高めると共に必要以上に減圧する必要が無いので吸着剤からの各種分解ガスの放出を抑えることができ回収作業時間の短縮化に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の全体概要を示す構成図。
【図２】第１の実施の形態の圧力スイング吸着装置の基本原理図。
【図３】第１の実施の形態の要部構成図。
【図４】本発明の第２の実施の形態の要部構成図。
【図５】ＳＦ６ガス５％のガス圧力０．２ＭＰａの混合ガス中に孔径１０オングストロームタイプのゼオライト系吸着剤を封入した時のＳＦ６ガス濃度の変化を示すグラフ。
【図６】従来のガス回収装置の構成図。
【図７】ガス回収時のＳＦ６ガス圧力と時間経過による真空ポンプの排気効率との関係を示すグラフ。
【符号の説明】
１…ガス絶縁機器
２…フィルタ・分解ガス吸着装置
３…真空ポンプ
４ａ，４ｂ…液化装置
５ａ，５ｂ…液化ＳＦ６ガスタンク
６…混合ガス分離濃縮装置
７…バイパス回路
８…加圧装置
９…制御盤
１０…配管
１１…バルブ
１２…導入部バッファタンク
１３…ゼオライト系混合吸着剤
１４…排出部バッファタンク
１５…ゼオライト系吸着材
１６…気化装置
Ａ…主系列のガス回収ライン
Ｂ…副系列のガス回収ライン
Ｃ…窒素ガス充填ライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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