(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
端子支持体およびこの端子支持体に着脱可能に取り付けられ互いに電気的に絶縁された対をなす端子を有する移動可能な端子ユニットと、
この端子ユニットの移動に応じて前記端子が出入りする端子収容室を有するとともに、被測定物の電気特性値の測定時に前記端子から漏れる電磁波を遮蔽する導電性の遮蔽体と
を備えたことを特徴とする電気特性値測定用ユニット。
【請求項２】
端子ユニットの端子支持体は、端子を位置決めする位置決め部を有し、かつ、前記端子に接続する導電体箔の折れを防止するための座ぐり部を有する
ことを特徴とする請求項１記載の電気特性値測定用ユニット。
【請求項３】
端子ユニットは、先端部が連絡片を介して端子に取り付けられた同軸ケーブルを有し、この同軸ケーブルの先端近傍外部導体部分が遮蔽体に固定されている
ことを特徴とする請求項１または２記載の電気特性値測定用ユニット。
【請求項４】
遮蔽体は、同軸ケーブルの先端近傍外部導体部分を介して対をなす端子のいずれか一方に電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項３記載の電気特性値測定用ユニット。
【請求項５】
被測定物と端子との接触位置が常に一定位置となるように、前記被測定物を嵌合により保持するガイド保持体を備えている
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の電気特性値測定用ユニット。
【請求項６】
端子は、角部すべてが円弧面状に形成されている
ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の電気特性値測定用ユニット。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の電気特性値測定用ユニットと、
この電気特性値測定用ユニットに接続された測定器と
を具備したことを特徴とする測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定物の電気特性値を測定するための電気特性値測定用ユニットおよびこのユニットを具備した測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば、図９に示す電気特性値測定用ユニットが知られている。
【０００３】
この図９に示す従来の電気特性値測定用ユニットは、略全体が露出した一対の端子１，２を着脱可能に取り付けた端子ユニット３を備えており、この端子ユニット３は、ベース４から立ち上がった２本のシャフト５，５上のベース６に固着されている。
【０００４】
そして、例えば樹脂乾燥工程等の前工程から搬送レール８に沿って搬送されてきたチップインダクタ等の被測定物としてのワークＷは、搬送レール８の搬送終端位置で吸着ノズル９にて吸着保持される。次いで、この吸着ノズル９の移動によりワークＷが端子ユニット３上に移送され、ワークＷの両電極部と両端子１，２とが接触し、この接触状態でワークＷの電気特性値、例えばインダクタンスの測定が行われる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記図９に示す従来の電気特性値測定用ユニットでは、端子１，２の略全体が露出しているため、例えば、端子１，２の交換作業を容易にできる反面、高周波電流での測定時に端子から漏れる電磁波の影響を受け易く、安定した高周波測定を行えないおそれがある。
【０００６】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、端子の交換作業を容易にでき、かつ、安定した高周波測定ができる電気特性値測定用ユニットおよび測定装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の電気特性値測定用ユニットは、端子支持体およびこの端子支持体に着脱可能に取り付けられ互いに電気的に絶縁された対をなす端子を有する移動可能な端子ユニットと、この端子ユニットの移動に応じて前記端子が出入りする端子収容室を有するとともに、被測定物の電気特性値の測定時に前記端子から漏れる電磁波を遮蔽する導電性の遮蔽体とを備えたものである。
【０００８】
そして、この構成では、端子ユニットの移動で端子を遮蔽体の端子収容室から出すことができるので、遮蔽体が邪魔にならず、端子の交換作業が容易になり、かつ、端子ユニットの移動で端子を遮蔽体の端子収容室に入れることにより、測定時に端子から漏れる電磁波を遮蔽体で遮蔽できるので、安定した高周波測定が可能となる。
【０００９】
請求項２記載の電気特性値測定用ユニットは、請求項１記載の電気特性値測定用ユニットにおいて、端子ユニットの端子支持体は、端子を位置決めする位置決め部を有し、かつ、前記端子に接続する導電体箔の折れを防止するための座ぐり部を有するものである。
【００１０】
そして、この構成では、端子支持体の位置決め部を利用することで、端子を端子支持体に簡単に取り付けることができ、端子の交換作業が確実に容易になり、また、座ぐり部で導電体箔の折れを防止可能である。
【００１１】
請求項３記載の電気特性値測定用ユニットは、請求項１または２記載の電気特性値測定用ユニットにおいて、端子ユニットは、先端部が連絡片を介して端子に取り付けられた同軸ケーブルを有し、この同軸ケーブルの先端近傍外部導体部分が遮蔽体に固定されているものである。
【００１２】
そして、この構成では、同軸ケーブルの先端近傍外部導体部分を遮蔽体に固定したので、高周波測定のより一層の安定化を図ることが可能となる。
【００１３】
請求項４記載の電気特性値測定用ユニットは、請求項３記載の電気特性値測定用ユニットにおいて、遮蔽体は、同軸ケーブルの先端近傍外部導体部分を介して対をなす端子のいずれか一方に電気的に接続されているものである。
【００１４】
そして、この構成では、遮蔽体を対をなす端子のいずれか一方に電気的に接続したので、高周波測定のより一層の安定化を図ることが可能となる。
【００１５】
請求項５記載の電気特性値測定用ユニットは、請求項１ないし４のいずれかに記載の電気特性値測定用ユニットにおいて、被測定物と端子との接触位置が常に一定位置となるように、前記被測定物を嵌合により保持するガイド保持体を備えているものである。
【００１６】
そして、この構成では、ガイド保持体が被測定物を嵌合保持することで、被測定物と端子との接触位置が常に一定位置となるので、測定精度が向上する。
【００１７】
請求項６記載の電気特性値測定用ユニットは、請求項１ないし５のいずれかに記載の電気特性値測定用ユニットにおいて、端子は、角部すべてが円弧面状に形成されているものである。
【００１８】
そして、この構成では、端子の角部すべてが円弧面状に形成されているので、高周波測定のより一層の安定化を図ることが可能となる。
【００１９】
請求項７記載の測定装置は、請求項１ないし６のいずれかに記載の電気特性値測定用ユニットと、この電気特性値測定用ユニットに接続された測定器とを具備するので、それぞれの作用を奏する。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態の構成を図面を参照して説明する。
【００２１】
図１において、20は測定装置で、この測定装置20は、例えば製品特性検査工程において、製品である被測定物としてのワークＷの電気特性値を測定するための装置である。
【００２２】
ワークＷは、電子部品であるチップ部品、例えばチップインダクタ等であり、このワークＷの電気特性値とは、例えば、Ｌ値（インダクタンス）、Ｑ値（振動系の共振の鋭さを表す量）、Ｒ値（直流抵抗値）等である。また、ワークＷは、図４、図５等に示されるように、例えば外形略直方体形状で、長手方向両端側に一対の電極部Ａ，Ｂが形成されている。なお、ワークＷは、図８に示されるように、側面視略Ｈ字状で、電極部Ａ，Ｂが長手方向両端側の突出部下側のみに略三角状に形成されたものでもよい。
【００２３】
そして、測定装置20は、例えば、電気特性値測定用プローブである電気特性値測定用ユニット21と、この電気特性値測定用ユニット21に接続ケーブル22を介して電気的に接続された測定器23とにて構成されている。
【００２４】
電気特性値測定用ユニット21は、図１に示すように、所定の基準方向Ｘ、例えば左右水平方向に長手方向を有する略細長矩形板状の底板である本体ベース25を備えており、この本体ベース25の４つの角部は放電しやすい尖った部分を有することなく、円弧面状に形成されている。
【００２５】
また、本体ベース25の外周端部には、上下面を開口した四角筒状の筒体26が立設されており、この筒体26の４つの角部は、本体ベース25と同様、放電しやすい尖った部分を有することなく、円弧面状に形成されている。この筒体26は、例えば、前後方向に互いに離間対向した一対の反射板等の遮蔽板である前後板部27，28と、左右方向に互いに離間対向した一対の反射板等の遮蔽板である側板部29，30とにて構成されている。なお、前板部27は、両側板部29，30に対して着脱可能な構成となっている。
【００２６】
また一方、本体ベース25の中央近傍には、円柱状の複数、例えば２本の軸体であるベースシャフト31，31が、筒体26と略同じ高さで立設されている。このベースシャフト31の上端部には、左右水平方向に長手方向を有する略細長矩形板状の反射板、すなわち遮蔽体としての遮蔽板である天井板33が水平状に取り付けられており、本体ベース25と筒体26と天井板33とにて箱状の本体ケース34が構成されている。
【００２７】
なお、図２、図３等に示されるように、天井板33の略中央部上面側には略細長矩形状のガイド収容部38が形成されており、天井板33の略中央部下面側には略細長矩形状の端子収容部39がガイド収容部38に連続した状態で形成されている。ガイド収容部38および端子収容部39にて端子収容室37が構成されている。天井板33の略中央部下面における端子収容部39の近傍位置から略円筒状の一対の係合突部40，40が下方に向って突出している。
【００２８】
また、図１および図２に示すように、ベースシャフト31の上下方向中間部には、基準方向Ｘである左右水平方向に互いに電気的に絶縁された状態で離間対向した一対の端子41a，41bすなわち信号端子41aおよびアース端子41b等を有した端子ユニット45が、円筒状の取付け部46，46を介して取り付けられており、この端子ユニット45はベースシャフト31に沿って上下方向に移動可能となっている。すなわち、端子ユニット45は、上下一対の位置決め用のカラー47，47を操作等することで、本体ベース25からの高さ位置を調節可能となっている。
【００２９】
ここで、端子ユニット45は、インナーカバー52にて覆われた可動ベース51を有し、この可動ベース51の左右両側には、ベースシャフト31が挿通された取付け部46，46が一体に設けられている。なお、インナーカバー52は、例えば、銅（Ｃｕ）および銀（Ａｇ）等で遮蔽効果がある。
【００３０】
また、この可動ベース51には、断面略Ｌ字状の端子ベース53が固着されているとともに、軸方向が上下方向に一致した左右一対のピンであるばねガイドピン54，54が固着されている。
【００３１】
まず、端子ベース53は、鉛直面に沿ったベース板部56とこのベース板部56の下端部から前方に向って突出した突出板部57とを有して側面視略Ｌ字状の形状となっている。突出板部57には、左右一対の弾性体としての端子バッファバネである第１ばね58a，58bが取り付けられており、第１ばね58a，58bの上端側が突出板部57から上方に向って突出している。
【００３２】
そして、両第１ばね58a，58bにて絶縁性を有した左右一対の端子支持体としての端子ステー60a，60bが弾性的に支持されており、各端子ステー60a，60bは対応する第１ばね58a，58bの変形に応じて個別的に昇降する構成となっている。なお、両第１ばね58a，58bにて対をなす端子41a，41bをそれぞれ個別的に弾性支持する弾性支持手段59が構成されている。
【００３３】
信号端子41aを支持する一方の端子ステー60aは、例えば絶縁材料で上下方向に細長い略矩形板状に形成され、この一方の端子ステー60aの一面である前面における上部には、他方の端子ステー60b側である左側に位置して略Ｌ字状の空間部である座ぐり部61aが座ぐり加工により形成されている。
【００３４】
そして、一方の端子ステー60aの前面上部には、座ぐり部61aの存在によって信号端子41aとの係合によりこの信号端子41aを位置決めする位置決め部としての位置決め用段部62aが形成されている。なお、座ぐり部61aの一部が銅箔収容部63aとなっている。
【００３５】
この一方の端子ステー60aの位置決め用段部62aと係合した状態で固定具であるねじ64aでその端子ステー60aに対して固定された信号端子41aは、例えば導電材料で断面略Ｌ字状の板状をなし、放電しやすい尖った部分を有することなく、６つの角部すべてが円弧面状に形成されており、一方の端子ステー60aに対して着脱可能となっている。つまり、信号端子41aは所定の曲率半径（Ｒ）をもった形状となっている。
【００３６】
また、この信号端子41aは、図５に示されるように、基準方向Ｘである左右水平方向に長手方向を有する細長矩形板状の取付け板部65aを有し、この取付け板部65aの長手方向両端側にねじ用孔66aが開口形成されている。
【００３７】
また、取付け板部65aの長手方向一端側であるアース端子41b側の上面には、上下方向に長手方向を有する細長板状の突出板部67aが上方に向って突出した状態で連設されており、この突出板部67aの先端面である上面にて、ワークＷの一方の電極部Ａと線接触で接触する一方側接触面70aが形成されている。
【００３８】
この一方側接触面70aは、一端である上端ほどアース端子41b側から離反するように、基準方向Ｘに直交する方向Ｙ、つまり上下方向に対して一方側、図５では時計回りに所定角度αだけ傾斜した状態に配置されている。すなわち、この一方側接触面70aは、信号端子41aのアース端子41bとの対向面上部において、上端から下端に向かうに従って徐々にアース端子41b側に接近するように傾斜状に配置されており、この一方側接触面70aの上端側および下端側がそれぞれ円弧面状となっている。
【００３９】
一方、アース端子41bを支持する他方の端子ステー60bは、上述の一方の端子ステー60aとは左右対称構造となっており、例えば絶縁材料で上下方向に細長い略矩形板状に形成され、この他方の端子ステー60bの一面である前面における上部には、一方の端子ステー60a側である右側に位置して略Ｌ字状の空間部である座ぐり部61bが座ぐり加工により形成されている。
【００４０】
そして、他方の端子ステー60bの前面上部には、座ぐり部61bの存在によってアース端子41bとの係合によりこのアース端子41bを位置決めする位置決め部としての位置決め用段部62bが形成されている。なお、座ぐり部61bの一部が銅箔収容部63bとなっている。
【００４１】
この他方の端子ステー60bの位置決め用段部62bと係合した状態で固定具であるねじ64bでその端子ステー60bに対して固定されたアース端子41bは、例えば導電材料で断面略Ｌ字状の板状をなし、放電しやすい尖った部分を有することなく、６つの角部すべてが円弧面状に形成されており、他方の端子ステー60bに対して着脱可能となっている。つまり、アース端子41bは所定の曲率半径（Ｒ）をもった形状となっている。
【００４２】
また、このアース端子41bは、上述の信号端子41aとは同一の形状のものであるが左右対称に取り付けられている点で異なる。すなわち、このアース端子41bは、図５に示されるように、基準方向Ｘである左右水平方向に長手方向を有する細長矩形板状の取付け板部65bを有し、この取付け板部65bの長手方向両端側にねじ用孔66bが開口形成されている。
【００４３】
また、取付け板部65bの長手方向一端側である信号端子41a側の上面には、上下方向に長手方向を有する細長板状の突出板部67bが上方に向って突出した状態で連設されており、この突出板部67bの先端面である上面にて、ワークＷの他方の電極部Ｂと線接触で接触する他方側接触面70bが形成されている。
【００４４】
この他方側接触面70bは、一端である上端ほど信号端子41a側から離反するように、基準方向Ｘに直交する方向Ｙ、つまり上下方向に対して他方側、図５では反時計回りに信号端子41aと同じ所定角度αだけ傾斜した状態に配置されている。すなわち、この他方側接触面70bは、アース端子41bの信号端子41aとの対向面上部において、上端から下端に向かうに従って徐々に信号端子41a側に接近するように傾斜状に配置されており、両接触面70a，70bが略ハ字状に位置している。他方側接触面70bの上端側および下端側もそれぞれ円弧面状となっている。なお、信号端子41aおよびアース端子41bは、略同じ鉛直面上に配置されている。
【００４５】
次いで、両ばねガイドピン54，54には、図１および図２に示すように、左右一対の弾性体としてのガイドバッファバネである第２ばね71，71が取り付けられており、第２ばね71およびばねガイドピン54のそれぞれの上端側が可動ベース51の上面から上方に向って突出している。
【００４６】
このばねガイドピン54の可動ベース51からの突出部分が、略円筒状をなす上下方向のガイドピン72の下部内に遊挿されており、このガイドピン72は、その下端部に形成されたフランジ部73で第２ばね71にて弾性的に支持され、第２ばね71の変形に応じて昇降する構成となっている。
【００４７】
また、このガイドピン72の上部側が、天井板33に固着した円筒状の係合突部40内に端子ユニット45の昇降に応じて出入可能となっており、このガイドピン72の上端面が、ガイド収容部38内に遊嵌状態に収容されたガイド保持体75を下方から当接支持する支持面74となっている。
【００４８】
ここで、この絶縁性を有したガイド保持体75は、ワークＷをガイドして一定位置に保持するもので、絶縁体ガイド76および絶縁体プレート77にて構成されている。
【００４９】
このガイド保持体75は、絶縁材料、例えばアクリル等の合成樹脂でガイド収容部38内に遊嵌可能な細長矩形板状に形成されており、測定時には長手方向両端部下面と両ガイドピン72の支持面74とが当接した状態となって両ガイドピン72にて両持ち状態で下方から支持される。なお、端子41a，41bの交換時には、ガイド保持体75とガイドピン72の支持面74とは離反し、ガイド保持体75は天井板33の係合突部40上に位置する。
【００５０】
また、ガイド保持体75の中央部上面には、図４等に示されるように、円形状の窪み部78が形成されており、この窪み部78の底面78a中央には、ワークＷと嵌合、嵌合解除する凹状のワーク収容部である嵌合溝部80が形成されている。
【００５１】
この嵌合溝部80は、ワークＷの形状に対応するワーク寸法に形成され、底面にはワークＷ下面の所定部分と接触する載置面79が形成されており、測定時には嵌合溝部80内に入り込んだワークＷが載置面79上に載置される。
【００５２】
さらに、ガイド保持体75の中央部には、端子41a，41bの突出板部67a，67bの上端部を嵌合溝部80に臨ませるための孔部81が嵌合溝部80に連続した状態で形成されている。この孔部81は、上下に開口し、突出板部67a，67bを挿通可能な形状となっている。なお、端子41a，41bの取付け板部65a，65bは、端子ステー60a，60bの上端部と一体となって天井板33の端子収容部39に対して出入可能となっている。また、端子41a，41b全体は、天井板33の端子収容室37に対して出入可能となっている。
【００５３】
また一方、端子ユニット45は、図１、図３等に示すように、同軸ケーブルであるセミリジットケーブル等のケーブル83を有しており、このケーブル83は、例えば円柱状の中心導体84とこの中心導体84の外周に絶縁体85を介して取り付けられて露出した円筒状の外部導体86とにて構成されている。
【００５４】
このケーブル83の基端部にはコネクタ88が取り付けられており、このコネクタ88に、一端が測定器23に接続された接続ケーブル22の他端が接続されている。
【００５５】
また、ケーブル83の先端部では、中心導体84の先端が絶縁体85端面より突出しており、この中心導体84の突出した先端に、可撓性を有する薄肉板状の一方の連絡片である導電体箔としての銅箔90aの基端が接合されている。
【００５６】
この一方の銅箔90aの先端部は、一方の端子ステー60aと信号端子41aとの間に形成された間隙である銅箔収容部63a内に差し込まれた状態で収容され、信号端子41aと電気的に接続されている。すなわち、一方の銅箔90aの先端部は、一方の端子ステー60aと信号端子41aとで挟み込まれた状態で、ねじ64aにて信号端子41aに固定されている。
【００５７】
また同様に、外部導体86の先端には、可撓性を有する薄肉板状の他方の連絡片である導電体箔としての銅箔90bの基端が接合されている。この他方の銅箔90bの先端部は、他方の端子ステー60bとアース端子41bとの間に形成された間隙である銅箔収容部63b内に差し込まれた状態で収容され、アース端子41bと電気的に接続されている。すなわち、他方の銅箔90bの先端部は、他方の端子ステー60bとアース端子41bとで挟み込まれた状態で、ねじ64bにてアース端子41bに固定されている。
【００５８】
さらに、端子ユニット45は、図３に示すように、ケーブル83を天井板33に対して固定するための着脱可能な固定具である固定板91を有しており、この固定板91には、ケーブル83の先端部のみを収容するケーブル収容部92が形成されている。
【００５９】
そして、固定板91のケーブル収容部92内にケーブル83の先端部を位置させた状態で、この固定板91を図示しない固定手段であるねじで天井板33に固着することにより、ケーブル83の先端部を天井板33に対して固定でき、この状態ではケーブル83の先端部が固定板91と天井板33とで挟み込まれた状態となっている。
【００６０】
なお、信号端子41a、一方の銅箔90aおよびケーブル83の中心導体84にて一方のライン93が構成され、アース端子41b、他方の銅箔90bおよびケーブル83の外部導体86にて他方のライン94が構成されている。
【００６１】
また、例えば固定板91、天井板33、筒体26、本体ベース25、ベースシャフト31およびカラー47は、導電材料にて所定形状に形成されており、これら導電性を有する各部材にて電磁波遮蔽手段としての電波逃げ抑制手段であるアースライン95が構成されている。このアースライン95は、ケーブル83の外部導体86と、固定板91および天井板33とが互いに圧接しして電気的に接続されていることで、アース端子41b側の他方のライン94と電気的に接続され、同電位に設定されている。
【００６２】
さらに、図１に示されるように、測定装置20は、例えば樹脂乾燥工程等の前工程からのワークＷを順次搬送する搬送レール96の近傍位置に配置されている。また、この搬送レール96の搬送終端位置まで搬送されたワークＷは、移送手段である吸着ノズル97で測定装置20に向けて移送される。ワークＷの測定は、測定用の保持ノズル97aにて行われる。測定後のワークＷは、図示しない別の吸着ノズルでテーピング工程等の次工程に向けて移送される。
【００６３】
次に、上記一実施の形態の作用等を説明する。
【００６４】
図６(a)に示す待機状態では、端子ユニット45の可動ベース51は、ベースシャフト31の上部における所定の測定位置に固定されている。
【００６５】
また、この待機状態では、信号端子41aおよびアース端子41bは、ワークＷと端子41a，41bとの当接を緩和するための緩衝用の第１ばね58a，58bにて、端子ステー60a，60bを介して弾持されている。ガイド保持体75は、ワークＷとガイド保持体75との当接を緩和するための緩衝用の第２ばね71，71にて、ガイドピン72を介して弾持されている。なお、ガイド保持体75とガイドピン72の支持面74との間には間隙Ｈが形成されている。
【００６６】
そして、図６(b)に示すように、測定の際には、ワークＷは、保持ノズル97aで保持された状態でこの保持ノズル97aとともに下降し、ガイド保持体75の嵌合溝部80と嵌合して載置面79に接触し、この載置面79上に載置された状態となる。
【００６７】
ワークＷが載置面79に接触した後さらに下降すると、ワークＷは、第２ばね71，71の付勢力に抗してガイド保持体75およびガイドピン72と一体となって所定位置まで下降し、両端子41a，41bと接触した状態となる。このとき、ワークＷが、第１ばね58a，58bの付勢力に抗して端子41a，41bを例えば約０．２ｍｍ程押し下げるまで下降することで、ワークＷと両端子41a，41bとの安定導通が得られる。
【００６８】
そして、図４および図５に示されるように、ワークＷの一方の電極部Ａの下側角部と信号端子41aの一方側接触面70aとが線接触で接触し、かつ、ワークＷの他方の電極部Ｂの下側角部とアース端子41bの他方側接触面70bとが線接触で接触した状態となる。
【００６９】
そして、測定器23の動作によりワークＷの電気特性値、例えば、Ｌ値、Ｑ値またはＲ値の測定が行われる。この場合、特に、ケーブル83が動かないことと、端子41a，41bの動作が微妙であることから、低インダクタンスの測定精度が向上する。
【００７０】
Ｒ値の測定の際には直流電流がライン93，94に流れる。Ｌ値やＱ値の測定の際には、周波数の高い交流、例えば１ＧＨｚ以上の高周波電流がライン93，94に流れる。高周波電流を用いる場合、端子41a，41bの先端部やケーブル83の先端部等から、電磁波である電波が漏れやすいが、この漏れ電波は、アース接地されたアースライン95にて遮蔽、すなわち反射、吸収等されるため、電気特性値測定用ユニット21周囲にほとんど逃げることができず、安定した高周波測定が行われる。
【００７１】
なお、一方の電極部Ａの下端位置と他方の電極部Ｂの下端位置とがややずれている場合等においては、図６(c)に示すように、第１ばね58a，58bのいずれか一方が他方より大きく変形することで、信号端子41aおよびアース端子41bが左右独立して下降し、ワークＷと両端子41a，41bとの安定した接触が確保される。
【００７２】
ワークＷの電気特性値の測定が終了すると、ワークＷは、保持ノズル97aから開放され、ガイド保持体75上に放置される。その後、ワークＷは、図示しない別の吸着ノズルでテーピング工程等の次工程に向けて移送されていく。
【００７３】
一方、端子41a，41bを交換、洗浄等する場合、図７に示すように、前板部27を取り外して本体ケース34の前面を開口させた後、固定板91を天井板33から取り外す。続いて、位置決め用のカラー47，47を緩め、端子ユニット45を下降させ、信号端子41aおよびアース端子41bを天井板33の端子収容室37外に位置させる。そして、この露出した信号端子41aおよびアース端子41bからねじ64a，64bを取り外し、端子41a，41bの交換作業、洗浄作業等を行う。作業終了後は、端子ユニット45を上昇させ、位置決め用のカラー47，47を締めつけ、端子ユニット45をもとの位置に固定する。
【００７４】
このようにして、上記一実施の形態によれば、測定の際にワークＷの一方の電極部Ａと信号端子41aの一方側接触面70aとが線接触で接触し、かつ、ワークＷの他方の電極部Ｂとアース端子41bの他方側接触面70bとが線接触で接触する構成であるから、従来のようにワークＷの電極部と端子とが面接触で接触する構成に比べて、例えば端子41a，41bの汚れ、錆び等の付着異物による影響を受けにくくなり、よって、測定精度が時系列で変化することもなく、ワークＷの電気特性値を長期に亘って精度よく測定できる。
【００７５】
また、端子41a，41bに汚れ、錆び等の付着異物が付きにくいため、交換作業や洗浄作業の頻度をきわめて少なくでき、段取り、コスト的な負荷を低減できる。
【００７６】
さらに、高周波電流を用いる場合、端子41a，41bの先端部やケーブル83の先端部等から、電波が漏れやすいが、この漏れ電波を、アース接地されたアースライン95で反射、吸収等することで電気特性値測定用ユニット21周囲に逃げるのを抑制でき、よって、高周波特性が安定し、例えば１ＧＨｚ以上の高周波領域においても精度良く安定したＬ値およびＱ値、特にＱ値の測定を行うことができる。
【００７７】
また、端子41a，41b、本体ケース34等のすべての角部を円弧面状にし、天井板33の端子収容室37にて端子41a，41bを囲むように収容し、また、ケーブル83をより先端部で反射板である天井板33に固定した構成であるから、高周波特性がより一層安定し、高周波領域においてワークＷの電気特性値をより一層確実に精度よく測定できる。
【００７８】
さらに、端子41a，41bの交換等する場合に、端子ステー60a，60bの位置決め用段部62a，62bを利用することで、端子41a，41bを端子ステー60a，60bに対して一定に位置に容易に取り付けることができる。
【００７９】
また、端子41a，41bと位置決め用段部62a，62bとが常に係合しているため、端子41a，41bのねじ64a，64bによる固定の際、最小トルクで締め付けるだけで、測定時に端子41a，41bが上方からの負荷を受けても滑りが発生しない。
【００８０】
さらに、座ぐり部61a，61bの一部に銅箔逃げ用の銅箔収容部63a，63bを設けたので、銅箔90a，90bが端子41a，41bにより端子ステー60a，60bに押しつけられた際等に、銅箔90a，90bに折れ、曲り等が発生することがない。
【００８１】
また、ケーブル83の先端部に接合された銅箔90a，90bを、端子41a，41bと端子ステー60a，60bとで挟み込むようにしたので、端子ステー60a，60bに対するねじ64a，64bの締め付けの際に、銅箔90a，90bのねじれ、損傷等が発生することがない。
【００８２】
さらに、測定の際に、ワークＷとガイド保持体75の嵌合溝部80とを嵌合させることで、ワークＷをガイド保持体75で一定姿勢に保持する構成であるから、ワークＷの電極部Ａ，Ｂを、端子41a，41bの接触面70a，70bの常に一定の位置に確実に接触させることができ、よって、ワークＷの電気特性値をより一層確実に精度よく測定できる。
【００８３】
また、ガイド保持体75をアクリル等の合成樹脂で形成したので、ワークＷがガイド保持体75に接触した際のワークＷに対する影響を軽減でき、ワークＷの表面が傷付くこと等を抑制できる。
【００８４】
さらに、端子ユニット45が高さ位置調節可能であり、端子41a，41bを天井板33の端子収容室37内の測定位置から端子収容室37外の位置に移動させることができ、天井板33が邪魔にならず、端子41a，41bの交換、洗浄等を容易にできる。
【００８５】
また、信号端子41aおよびアース端子41bを弾持する緩衝用の第１ばね58a，58bと、ガイド保持体75を弾持する緩衝用の第２ばね71，71とを設けた構成であるから、ワークＷ、端子41a，41bおよびガイド保持体75に過大負荷がかからず、ワークＷ、端子41a，41bおよびガイド保持体75を保護でき、端子41a，41bの寿命も向上する。
【００８６】
さらに、緩衝用の第１ばね58a，58bにて構成された弾性支持手段59は、信号端子41aおよびアース端子41bをそれぞれ個別的に弾性支持する構成であるから、ワークＷ、端子41a，41bを保護できるばかりでなく、ワークＷと端子41a，41bとの安定接触を確保でき、よって、ワークＷの電気特性値をより一層確実に精度よく測定できる。
【００８７】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、端子ユニットの移動で端子を遮蔽体の端子収容室から出すことができるので、遮蔽体が邪魔にならず、端子の交換作業を容易にでき、かつ、端子ユニットの移動で端子を遮蔽体の端子収容室に入れることにより、測定時に端子から漏れる電磁波を遮蔽体で遮蔽できるので、安定した高周波測定ができる。
【００８８】
請求項２記載の発明によれば、端子支持体の位置決め部を利用することで、端子を端子支持体に簡単に取り付けることができ、端子の交換作業を確実に容易にでき、また、座ぐり部で導電体箔の折れを防止できる。
【００８９】
請求項３記載の発明によれば、同軸ケーブルの先端近傍外部導体部分を遮蔽体に固定したので、高周波測定のより一層の安定化を図ることができる。
【００９０】
請求項４記載の発明によれば、遮蔽体を対をなす端子のいずれか一方に電気的に接続したので、高周波測定のより一層の安定化を図ることができる。
【００９１】
請求項５記載の発明によれば、ガイド保持体が被測定物を嵌合保持することで、被測定物と端子との接触位置が常に一定位置となるので、測定精度を向上できる。
【００９２】
請求項６記載の発明によれば、端子の角部すべてが円弧面状に形成されているので、高周波測定のより一層の安定化を図ることができる。
【００９３】
請求項７記載の発明によれば、請求項１ないし６のいずれかに記載の電気特性値測定用ユニットと、この電気特性値測定用ユニットに接続された測定器とを具備したので、それぞれの効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の測定装置を示す斜視図である。
【図２】同上測定装置の電気特性値測定用ユニットを示す一部を省略した斜視図である。
【図３】同上電気特性値測定用ユニットのケーブルを端子に固定した状態の図である。
【図４】同上電気特性値測定用ユニットの端子とワークとの接触状態を示す斜視図である。
【図５】同上電気特性値測定用ユニットの端子とワークとの接触状態を示す正面図である。
【図６】ワークの電気特性値を測定する場合の説明図である。
【図７】端子を交換する場合の説明図である。
【図８】被測定物であるワークを示す図である。
【図９】従来の電気特性値測定用ユニットを示す斜視図である。
【符号の説明】
20    測定装置
21    電気特性値測定用ユニット
23    測定器
33    遮蔽体としての天井板
37    端子収容室
41a，41b    端子
60a，60b    端子支持体
61a，61b    座ぐり部
75    ガイド保持体
83    同軸ケーブル
86    外部導体
Ｗ    被測定物としてのワーク
【図１】
0004592993.tif 000002
【図２】
0004592993.tif 000003
【図３】
0004592993.tif 000004
【図４】
0004592993.tif 000005
【図５】
0004592993.tif 000006
【図６】
0004592993.tif 000007
【図７】
0004592993.tif 000008
【図８】
0004592993.tif 000009
【図９】
0004592993.tif 000010