(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
めっき液を貯留するめっき槽と、
一方の端部から他方の端部まで伸びる貫通空間が形成された胴体と、前記胴体の前記両端部のそれぞれに配され被めっき物の通過を規制する一対の篩部材とを有して、被めっき物を収容するポッドと、
前記めっき槽内に配され、長手方向が前記ポッドの前記貫通空間が伸びる方向と平行になるように前記ポッドを内部に配するシリンダと、
前記ポッドの前記一対の篩部材のうち一方の篩部材に配され、少なくとも一部が前記貫通空間に露出するように前記ポッド内に配されるカソードと、
前記めっき槽内であって、前記ポッド外に配されるアノードと、
前記シリンダを、当該シリンダの移動に伴い、前記ポッド内のめっき液の少なくとも一部が前記一対の篩部材の一方を介して前記ポッド外に流出し、前記ポッド外のめっき液が前記一対の篩部材の他方を介して前記ポッド内に流入するよう、往復移動させるシリンダ移動手段と、を備えることを特徴とするめっき装置。
【請求項２】
前記シリンダに接続され、前記シリンダ内を排気する排気手段をさらに備えることを特徴とする請求項１記載のめっき装置。
【請求項３】
前記シリンダ移動手段は、前記ポッド内のめっき液の少なくとも一部が所望の加速度で前記一対の篩部材の一方を介して前記ポッド外に流出し、前記ポッド外のめっき液が前記所望の加速度で前記一対の篩部材の他方を介して前記ポッド内に流入するよう、前記シリンダが前記めっき槽底部から離れる方向に移動する速度及び加速度を制御するシリンダ移動制御手段を有することを特徴とする請求項１又は２記載のめっき装置。
【請求項４】
前記シリンダを、当該シリンダ内に前記ポッドを配したまま傾斜させる傾斜手段と、
傾斜された前記シリンダ内に配された前記ポッドを、前記貫通空間が伸びる方向を中心に回転させる回転手段と、をさらに備えることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項記載のめっき装置。
【請求項５】
めっき液を貯留するめっき槽と、
両端部が開口した筒と、互いに対向するように前記筒の前記両端部にそれぞれ配される一対の篩部材とを有して、被めっき物を収容するポッドと、
一方の端部が開口し他方の端部は閉じられ、且つ、前記めっき槽内に前記一方の端部が前記めっき槽底部と対向するように配され、長手方向が前記一対の篩部材の対向方向と平行になるように前記ポッドを内部に配するシリンダと、
前記一対の篩部材のうち一方の篩部材に配され、少なくとも一部が前記筒の内部空間に露出するように前記ポッド内に配されるカソードと、
前記めっき槽内であって、前記ポッド外に配されるアノードと、
前記シリンダ内のめっき液が上下方向に流動するように、前記シリンダを前記上下方向に往復移動させるシリンダ移動手段と、を備えることを特徴とするめっき装置。
【請求項６】
めっき槽内に配されるポッドに、被めっき物を収容してめっき処理を行うめっき方法であって、
前記ポッドをシリンダの内部に配し、前記ポッド内のめっき液の少なくとも一部が前記ポッド外に流出し、前記ポッド外のめっき液が前記ポッド内に流入するよう、前記シリンダを前記めっき槽の底部から離れる方向に移動させるシリンダ移動工程と、
前記めっき液に通電して前記被めっき物にめっき処理を施すめっき工程と、を備えることを特徴とするめっき方法。
【請求項７】
前記シリンダ内を排気する排気工程をさらに備えることを特徴とする請求項６記載のめっき方法。
【請求項８】
前記シリンダ移動工程を前記めっき工程に先立って行うことを特徴とする請求項６又は７記載のめっき方法。
【請求項９】
前記シリンダ移動工程を前記めっき工程の中で行うことを特徴とする請求項６〜８の何れか一項記載のめっき方法。
【請求項１０】
前記めっき工程は、前記シリンダ移動工程によって移動された前記シリンダを前記めっき槽の底部に近づく方向に移動させながら、前記めっき液に通電して前記被めっき物にめっき処理を施すことを特徴とする請求項９記載のめっき方法。
【請求項１１】
前記めっき工程は、前記めっき槽内に配された前記シリンダを前記ポッドと共に傾斜させ、傾斜した前記ポッドを前記シリンダの長手方向を軸として回転させながら、前記めっき液に通電して前記被めっき物にめっき処理を施すことを特徴とする請求項６〜８の何れか一項記載のめっき方法。
【請求項１２】
めっき槽内に配されるポッドに、被めっき物を収容してめっき処理を行うめっき方法であって、
前記ポッドをシリンダの内部に配し、前記シリンダ内のめっき液が当該シリンダの移動に伴って上方向に流動するよう、前記シリンダを前記めっき槽の底部から離れる方向に移動させるシリンダ移動工程と、
前記めっき液に通電して前記被めっき物にめっき処理を施すめっき工程と、を備えることを特徴とするめっき方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、めっき装置及びめっき方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
めっき装置の一例としてバレルめっき装置がある（例えば、下記特許文献１参照）。このバレルめっき装置は、被めっき物、通電媒介物およびめっき液を収納し回転するドラムと、このドラムの中心に設けられたセンター棒と、このセンター棒に取り付けられるカソードとを備えている。
【特許文献１】特開平９−１３７２９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のバレルめっき装置においては、被めっき物が小さくなればなるほど、めっきが不完全に施される被めっき物が増加する傾向にある。また、ドラムの内壁には、被めっき物を効果的に攪拌するための凹凸が設けられる場合があり、被めっき物がこの凹凸に入り込んでしまう場合もある。また、回転するドラムの内壁によって被めっき物が掻き上げられるため、被めっき物に必要以上の外力が加わる場合も想定される。
【０００４】
そこで本発明では、被めっき物に発生する不具合を効果的に低減できるめっき装置及びめっき方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは上記目的を達成するために、バレル内における被めっき物の挙動についてより詳細に検討を行った。その結果、バレル内に配された被めっき物周辺に気泡が残留し、この残留した気泡がめっき処理中にも消滅しないために不完全めっきが発生する可能性が高まっていることを見出した。本発明はこの知見に基づいてなされたものである。
【０００６】
本発明に係るめっき装置は、めっき液を貯留するめっき槽と、一方の端部から他方の端部まで伸びる貫通空間が形成された胴体と、胴体の両端部のそれぞれに配され被めっき物の通過を規制する一対の篩部材とを有して、被めっき物を収容するポッドと、めっき槽内に配され、長手方向がポッドの貫通空間が伸びる方向と平行になるようにポッドを内部に配するシリンダと、ポッドの一対の篩部材のうち一方の篩部材に配され、少なくとも一部が貫通空間に露出するようにポッド内に配されるカソードと、めっき槽内であって、ポッド外に配されるアノードと、シリンダを、当該シリンダの移動に伴い、ポッド内のめっき液の少なくとも一部が一対の篩部材の一方を介してポッド外に流出し、ポッド外のめっき液が一対の篩部材の他方を介してポッド内に流入するよう、往復移動させるシリンダ移動手段と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
上記めっき装置は、シリンダ移動手段によって往復移動させられるシリンダを備え、当該シリンダ内に被めっき物が収容されたポッドが配される。また、シリンダの移動に伴って、ポッド内のめっき液がポッド外に流出する。従って、ポッド内に残留する気泡をシリンダの移動に合わせてポッド内のめっき液と共にポッド外に流出させることができる。このように、上記めっき装置によれば、ポッド内に存在する気泡を除去することが可能であり、被めっき物に発生する不具合を効果的に低減することが可能となる。また、上記めっき装置では、シリンダの移動に伴ってめっき液がポッド内を流出入するため、シリンダとシリンダ移動手段とがポッド内のめっき液を流動させる。こうしためっき液の流動は、ポッド内に液流を発生させる。被めっき物はこうして発生された液流によって舞い上がるので、被めっき物に必要以上に外力を加えずに攪拌することができる。
【０００８】
シリンダに接続され、シリンダ内を排気する排気手段をさらに備えることが好ましい。シリンダ内を排気し、シリンダ内に存在する気泡を除去することで、被めっき物に発生する不具合をより一層効果的に低減することが可能となる。
【０００９】
シリンダ移動手段は、ポッド内のめっき液の少なくとも一部が所望の加速度で一対の篩部材の一方を介してポッド外に流出し、ポッド外のめっき液が所望の加速度で一対の篩部材の他方を介してポッド内に流入するよう、シリンダがめっき槽底部から離れる方向に移動する速度及び加速度を制御するシリンダ移動制御手段を有することが好ましい。これにより、例えば気泡の除去に最適な加速度、あるいは被めっき物の撹拌に最適な加速度で速度を上昇させながら、シリンダをめっき槽底部から離れる方向に移動させることができる。
【００１０】
シリンダを、当該シリンダ内にポッドを配したまま傾斜させる傾斜手段と、傾斜されたシリンダ内に配されたポッドを、貫通空間が伸びる方向を中心に回転させる回転手段と、をさらに備えていてもよい。この場合、ポッドを回転して被めっき物を撹拌させながら連続通電することができる。その結果、めっき時間を短縮し、さらに被めっき物同士が付着することを抑制することが可能となる。
【００１１】
本発明に係るめっき装置は、めっき液を貯留するめっき槽と、両端部が開口した筒と、互いに対向するように筒の両端部にそれぞれ配される一対の篩部材とを有して、被めっき物を収容するポッドと、一方の端部が開口し他方の端部は閉じられ、且つ、めっき槽内に一方の端部がめっき槽底部と対向するように配され、長手方向が一対の篩部材の対向方向と平行になるようにポッドを内部に配するシリンダと、一対の篩部材のうち一方の篩部材に配され、少なくとも一部が筒の内部空間に露出するようにポッド内に配されるカソードと、めっき槽内であって、ポッド外に配されるアノードと、シリンダ内のめっき液が上下方向に流動するように、シリンダを上下方向に往復移動させるシリンダ移動手段と、を備えることを特徴とする。
【００１２】
上記めっき装置は、シリンダ移動手段によって上下方向に往復移動させられるシリンダを備え、当該シリンダ内に被めっき物が収容されたポッドが配される。また、シリンダの移動に伴って、シリンダ内のめっき液が上下方向に流動する。従って、ポッド内に残留する気泡をシリンダの移動に合わせてめっき液と共にポッド外に流出させることができる。このように、上記めっき装置によれば、ポッド内に存在する気泡を除去することが可能であり、被めっき物に発生する不具合を効果的に低減することが可能となる。また、上記めっき装置では、シリンダの上下動により、シリンダ内のめっき液が上下方向に流動し、ポッド内に液流が発生する。被めっき物はこうして発生した液流によって舞い上がるので、被めっき物に必要以上に外力を加えずに攪拌することができる。
【００１３】
本発明に係るめっき方法は、めっき槽内に配されるポッドに、被めっき物を収容してめっき処理を行うめっき方法であって、ポッドをシリンダの内部に配し、ポッド内のめっき液の少なくとも一部がポッド外に流出し、ポッド外のめっき液がポッド内に流入するよう、シリンダをめっき槽の底部から離れる方向に移動させるシリンダ移動工程と、めっき液に通電して被めっき物にめっき処理を施すめっき工程と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
上記のめっき方法によれば、シリンダ移動工程において、シリンダをめっき槽の底部から離れる方向に移動させることで、ポッド内のめっき液の少なくとも一部がポッド外に流出され、この時ポッド内の気泡もポッド外に流出させることができる。従って、ポッド内の気泡の量を低減することができるため、被めっき物に発生する不具合を効果的に低減することが可能となる。
【００１５】
シリンダ内を排気する排気工程をさらに備えることが好ましい。シリンダ内を排気し、シリンダ内に存在する気泡を除去することで、被めっき物に発生する不具合をより一層効果的に低減することが可能となる。
【００１６】
シリンダ移動工程をめっき工程に先立って行うことが好ましい。この場合、めっき工程の実施前にポッド内の気泡の量を低減することができるため、被めっき物に発生する不具合をより一層効果的に低減することが可能となる。
【００１７】
シリンダ移動工程をめっき工程の中で行うことが好ましい。シリンダの移動に伴ってめっき液がポッド内を流出入するため、ポッド内のめっき液中に液流を発生させる。被めっき物はこうして発生された液流によって舞い上がるので、被めっき物に必要以上に外力を加えずに攪拌することができる。また、めっき工程の中において、めっき液がポッド内を流出入するため、めっき液中の金属イオン濃度の減少を抑制できる。これにより、めっきムラ（めっき膜のばらつき）の発生が低減される。また、めっき工程の中でシリンダ移動工程を行うことで、めっき工程中にポッド内に発生された気泡も含めたポッド内の気泡の量を低減することが可能となる。
【００１８】
この場合、めっき工程は、シリンダ移動工程によって移動されたシリンダをめっき槽の底部に近づく方向に移動させながら、めっき液に通電して被めっき物にめっき処理を施すことが好ましい。シリンダをめっき槽の底部に近づく方向に移動させることによって、ポッド内のめっき液は被めっき物に対し、めっき槽の底部に近づく方向に圧力をかける。そのため、撹拌された被めっき物のポッド底部への堆積が促進される。さらに、被めっき物の通電効率が上昇し、効率よくめっき処理を行うことが可能となる。
【００１９】
めっき工程は、めっき槽内に配されたシリンダをポッドと共に傾斜させ、傾斜したポッドをシリンダの長手方向を軸として回転させながら、めっき液に通電して被めっき物にめっき処理を施すことが好ましい。この場合、被めっき物を撹拌しながら、連続して通電し続けることができる。従って、このめっき工程によれば、めっき時間を短縮し、且つ被めっき物同士が付着することを抑制することが可能となる。
【００２０】
本発明に係るめっき方法は、めっき槽内に配されるポッドに、被めっき物を収容してめっき処理を行うめっき方法であって、ポッドをシリンダの内部に配し、シリンダ内のめっき液が当該シリンダの移動に伴って上方向に流動するよう、シリンダをめっき槽の底部から離れる方向に移動させるシリンダ移動工程と、めっき液に通電して被めっき物にめっき処理を施すめっき工程と、を備えることを特徴とする。
【００２１】
上記のめっき方法によれば、シリンダ移動工程において、シリンダをめっき槽の底部から離れる方向に移動されることで、シリンダ内のめっき液が上方向に流動する。めっき液の流動に伴い、ポッド内のめっき液を気泡と共にポッド外に流出させることができる。従って、ポッド内の気泡の量を低減することができるため、被めっき物に発生する不具合を効果的に低減することが可能となる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、被めっき物に発生する不具合を効果的に低減できるめっき装置及びめっき方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付図面を参照して、めっき装置及びめっき方法の実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００２４】
実施形態であるめっき装置について説明する。図１は、実施形態であるめっき装置１の断面図である。図１に示すように、めっき装置１は、めっき液Ｆを貯留するめっき槽１０と、めっき槽１０内に配されるポッド１２と、ポッド１２をその内部に配するシリンダ１４とを備えている。めっき槽１０内であってポッド１２外にはアノード２２が、ポッド１２内にはカソード１８がそれぞれ配されている。また、めっき槽１０とシリンダ１４とは２系統の管路によって接続されており、それぞれの管路には第１ポンプＰ１と第２ポンプＰ２とが設けられている。
【００２５】
めっき槽１０は、樹脂といった絶縁材料によって直方体形状に形成され、上部が開口した有底容器である。めっき槽１０の内部はめっき液Ｆによって満たされている。めっき槽１０の底を貫通するように棒状のカソード１８が設けられている。
【００２６】
カソード１８がめっき槽１０の底から延出する部分には、アノード２２が設けられている。アノード２２はリング状の電極であって、カソード１８を囲繞するように設けられている。
【００２７】
カソード１８は、その軸線周りに回転可能なように構成されている。カソード１８及びアノード２２は、図示しない直流電圧印加手段（直流電源、整流器）によって電圧が印加されて、それぞれ陰極及び陽極として機能している。
【００２８】
シリンダ１４は、めっき槽１０の開口からめっき液Ｆに没入されている。シリンダ１４は、その一端がめっき槽１０の底部に当接するまでめっき液Ｆに没入されても、他端はめっき液Ｆの外に突出するように十分な長さが確保されている。また、シリンダ１４のめっき槽１０に没入されない方の端部は閉じられており、シリンダ１４内部はめっき液Ｆによって満たされている。
【００２９】
第１ポンプＰ１が設けられている管路は、めっき槽１０から第１ポンプＰ１を経由してシリンダ１４へとめっき液Ｆを循環させることができる。従って、第１ポンプＰ１を作動させている場合には、シリンダ１４内においては、図１の上方から下方へとめっき液Ｆが流動する。
【００３０】
第２ポンプＰ２が設けられている管路は、シリンダ１４から第２ポンプＰ２を経由してめっき槽１０へとめっき液Ｆを循環させることができる。従って、第２ポンプＰ２を作動させている場合には、シリンダ１４内においては、図１の下方から上方へとめっき液Ｆが流動する。
【００３１】
シリンダ１４は、その内部にポッド１２を収納するように配置されている。ポッド１２について図２を参照しながら説明する。図２は、ポッド１２の分解斜視図である。ポッド１２は、筒１２１と、一対のメッシュ１２３（篩部材）とから構成されている。筒１２１は円筒形状を成している。メッシュ１２３は、筒１２１の両端に配されるものである。一方のメッシュ１２３にはカソード１８が取り付けられており、メッシュ１２３を筒に配した場合に、カソード１８が筒１２１内部に突出するように形成されている。
【００３２】
メッシュ１２３は網状の部材であって、ポッド１２内に配されるワークＷ（被めっき物）が実質的に通過しないように構成されている。例えば、メッシュ１２３の網の目を個々のワークＷよりも小さく構成したり、網状部材を複数積層させることでワークＷが通過できないように構成したりしてもよい。また、メッシュ１２３の代わりに、シート状部材や板状部材にレーザ加工などによって微細孔を形成して同様の機能を果たす部材を用いてもよい。メッシュ１２３をこのような構成にすることで、ポッド１２内に収容されるワークＷ（被めっき物）は、メッシュ１２３を実質的に通過しない。尚、ワークＷとしては、例えばチップコンデンサ、チップバリスタ、チップインダクタ、チップビーズといった積層型電子部品が用いられる。
【００３３】
カソード１８は一方のメッシュ１２３に固定されている。従って、図示しないモータ等（回転機構）によってカソード１８（回転機構）をその軸線周りに回転させると、ポッド１２もその回転に応じて自転する。ポッド１２内のめっき液Ｆには、この回転に応じて渦流が発生する。
【００３４】
本実施形態においては、第１ポンプＰ１及び第２ポンプＰ２を交互に作動させることで、シリンダ１４内及びポッド１２内のめっき液Ｆを上下方向に交互に流動させることができる。この場合、めっき液Ｆは、メッシュ１２３の一方を介してポッド１２から流出し、そのメッシュ１２３を介してポッド１２内に流入するので、第１ポンプＰ１が設けられた管路及び第２ポンプＰ２が設けられた管路が液流動手段として機能する。
【００３５】
液流動手段としては図１に示した第１ポンプＰ１と第２ポンプＰ２との組み合わせ以外にも様々なものが採用可能である。液流動手段を変更する観点からの本実施形態の変形例を図３及び図４を参照しながら説明する。図３は第１の変形例を示す図であり、図４は第２の変形例を示す図である。
【００３６】
図３に示す第１の変形例に係るめっき装置２は、めっき液Ｆを貯留するめっき槽１０と、めっき槽１０内に配されるポッド１２と、ポッド１２をその内部に配するシリンダ１４とを備えている。めっき槽１０内であってポッド１２外にはアノード２２が、ポッド１２内にはカソード１８がそれぞれ配されている。また、めっき槽１０とシリンダ１４とは１系統の管路によって接続されている。
【００３７】
めっき槽１０、ポッド１２、シリンダ１４、アノード２２については既に説明した通りである。めっき槽１０の底を貫通するようにシャフト２０が設けられており、カソード１８は、このシャフト２０の先端に設けられている。
【００３８】
シャフト２０には、スクリュー２０１が設けられている。スクリュー２０１は、シリンダ１４内に位置するように設けられている。スクリュー２０１はシャフト２０の回転に応じて回転し、その回転方向に応じてシリンダ１４内におけるめっき液Ｆを図３の上下方向に流動させることができる。シリンダ１４内はめっき液Ｆで満たされており、シリンダ１４とめっき槽１０とは管路で接続されているので、めっき液Ｆはめっき装置２内を循環する。従って、スクリュー２０１と管路が液流動手段として機能する。
【００３９】
図４に示す第２の変形例に係るめっき装置２は、めっき液Ｆを貯留するめっき槽１０と、めっき槽１０内に配されるポッド１２と、ポッド１２をその内部に配するシリンダ１４とを備えている。めっき槽１０内であってポッド１２外にはアノード２２が、ポッド１２内にはカソード１８がそれぞれ配されている。
【００４０】
めっき槽１０、ポッド１２、カソード１８、アノード２２については既に説明した通りである。シリンダ１４は、図示しない上下動手段によって図４の上下方向に往復運動が可能なように構成されている。シリンダ１４内には、ポッド１２が浸漬可能な程度にめっき液Ｆが満たされている。シリンダ１４の上下方向への往復運動に応じて、シリンダ１４内のめっき液Ｆが図４の上下方向に流動する。従って、シリンダ１４と上下動手段が液流動手段として機能する。
【００４１】
引き続いて、めっき装置１〜３を用いるめっき方法について説明し、併せてめっき装置１〜３の動作についても説明する。図５は、めっき方法の手順を示す図である。図１〜５を適宜参照しながら説明する。
【００４２】
まず、ポッド１２を準備し（図２参照）、ポッド１２の筒１２１内部にワークＷを収容する。続いて、シリンダ１４の内部にポッド１２を収容し、カソード１８とシャフト２０とを固定する（図１、図３参照）。ポッド１２及びシリンダ１４をめっき槽１０内に配した状体で、めっき槽１０にめっき液Ｆを貯留する（図５の準備工程Ｓ０１）。
【００４３】
ステップＳ０１の準備段階から、シリンダ１４内のめっき液を流動させる（図５の液流動工程Ｓ０２）。図１に示しためっき装置１では、第２ポンプＰ２を作動させて、シリンダ１４内のめっき液Ｆを図１の上方向に流動させ、ワークＷを舞い上げる。また、図３に示しためっき装置２では、スクリュー２０１を順回転させて、シリンダ１４内のめっき液Ｆを図３の上方向に流動させ、ワークＷを舞い上げる。また、図４に示しためっき装置３では、シリンダ１４を図４の上方向に動かして、ワークＷを舞い上げる。
【００４４】
その後、ポッド１２内に舞い上がったワークＷを沈降させる。具体的には、図１に示しためっき装置１では、第２ポンプＰ２を停止させ、第１ポンプＰ１を作動させて、シリンダ１４内のめっき液Ｆを図１の下方向に流動させ、ワークＷを沈降させる。また、図３に示しためっき装置２では、スクリュー２０１を逆回転させて、シリンダ１４内のめっき液Ｆを図３の下方向に流動させ、ワークＷを沈降させる。また、図４に示しためっき装置３では、シリンダ１４を図４の下方向に動かして、ワークＷを沈降させる。
【００４５】
このように、ポッド１２内にめっき液Ｆが流入し、収容されているワークＷがポッド１２の底部に沈降してカソード１８と接触する。この状態で、カソード１８及びアノード２２に所定の電圧を印加し、ワークＷに対するめっき処理を行う（図５の流入工程、めっき工程Ｓ０３）。このように、ワークＷが沈降堆積した状態でめっき処理を行うので、めっき処理時にカソード１８にワークＷが的確に接触する。従って、通電効率を向上させることが可能となり、めっき効率が向上する。また、カソード１８にめっき膜が形成されてしまうことを抑制できる。
【００４６】
なお、図４に示した変形例によるめっき装置によれば、以下のようなめっき方法を実施することもできる。すなわち、まず、ワークＷを収容したポッド１２と、１つの開口端を有するシリンダ１４とを用意する（準備工程）。次に、ポッド１２をシリンダ１４の内部に配し、シリンダ１４の長手方向がめっき槽１０内のめっき液Ｆの液面と直交し、且つシリンダ１４の開口端がめっき槽１０の底部と対向するように、シリンダ１４をめっき槽１０内に配するとともに、シリンダ１４内部をめっき液で満たす（めっき槽内配置工程）。次に、シリンダ１４を上下方向に往復移動させ、シリンダ１４内のめっき液を上下方向に流動させることによりポッド１２内の気泡をポッド１２内から当該ポッド１２外に流出させる（ポッド内エア抜き工程）。続いて、めっき液Ｆに通電してワークＷにめっき処理を施す（めっき工程）。この場合、めっき工程においてめっき処理をされる前に、ポッド１２内の気泡が除去される。そのため、ワークＷに発生する不具合を効果的に低減することが可能となる。
【００４７】
本実施形態では電気めっきについて例示したけれども、無電解めっき法によってめっきを行ってもよい。また、本実施形態ではポッド１２内にメディア（導電性媒体）を用いていないけれども、必要に応じてこのようなメディアをワークＷと共にポッド１２内に投入してもよい。
【００４８】
続いて、他の実施形態であるめっき装置及びめっき方法について説明する。図６は、他の実施形態に係るめっき装置１００の構成図である。図６に示すように、めっき装置１００は、めっき槽支持部材１０１と、基台１０２と、めっき槽３０と、シリンダ４０と、アクチュエータ４１と、ポッド５０と、回転ユニット６０と、めっき液管理槽７０とを備える。
【００４９】
めっき装置１００は、ポッド５０内に被めっき物であるワークＷを収容し、ポッド５０を内部に配するシリンダ４０及びアクチュエータ４１を用いてポッド５０内の気泡を除去するとともにポッド５０内に液流を発生させ、ワークＷにめっき処理を施す装置である。
【００５０】
めっき槽支持部材１０１は、断面がＬ字を描く部材である。めっき槽支持部材１０１は、図２における左右方向に伸びるＬ字の一画に相当する部分１０１ａでめっき槽３０を支持し、Ｌ字のもう一方の一画に相当する部分１０１ｂでアクチュエータ４１を支持する。
【００５１】
めっき槽３０を支持する、めっき槽支持部材１０１のＬ字の一画に相当する部分１０１ａには、当該部分に直交する方向に伸びる上下動ガイド部材１０３及び傾斜ねじ支持部材８が設けられている。上下動ガイド部材１０３には、回転ユニット６０が取り付けられており、当該回転ユニット６０を上下動ガイド部材１０３に沿って往復移動させるガイドが設けられている。傾斜ねじ支持部材８は、後述の傾斜軸ねじ７によって基台１０２と連結される。これにより、めっき槽支持部材１０１と基台１０２とが一体に連結される。
【００５２】
基台１０２は、断面がＬ字を描く部材である。基台１０２は、図２における上下方向に伸びるＬ字の一画に相当する部分で、傾斜軸ねじ７によって傾斜ねじ支持部材８と連結される。
【００５３】
めっき槽３０は、めっき槽支持部材１０１のＬ字の一画に相当する部分１０１ｂ上に配置される。めっき槽３０は、樹脂といった絶縁材料によって直方体形状に形成され、上部が開口した有底容器である。めっき槽３０の内部はめっき液Ｆによって満たされている。めっき槽３０の底を貫通するように後述のシャフト６１が設けられている。
【００５４】
めっき槽３０は、内部に形成された、当該めっき槽３０の側面と平行な分割壁３０ａによって分割された貯留部３１及びオーバーフロー部３２を有する。貯留部３１は、めっき液Ｆを貯留し、シリンダ４０を内部に配する。貯留部３１側のめっき槽３０の壁面には、めっき液循環供給口３３が設けられている。めっき液循環供給口３３は、第１のパイプ３５に接続されている。
【００５５】
オーバーフロー部３２は、分割壁３０ａを越えて貯留部３１から溢れ出てきためっき液Ｆを受け止める。オーバーフロー部３２側のめっき槽３０の壁面には、めっき液排出口３４が設けられている。めっき液排出口３４は、第２のパイプ３６に接続されている。
【００５６】
また、めっき槽３０の底部には、めっき槽３０外部に向かって突出する筒状のめっき槽軸受け部３０ｂが形成されている。
【００５７】
シリンダ４０は、めっき槽３０の貯留部３１内のめっき液Ｆに没入されている。シリンダ４０は、その一端がめっき槽３０の底部に当接するまでめっき液Ｆに没入されても、他端はめっき液Ｆの外に突出するように十分な長さが確保されている。シリンダ４０は、長手方向の両端部が開口している筒状体である。シリンダ４０は、めっき槽３０内に一方の開口端がめっき槽３０の底部と対向するように配され、アクチュエータ４１と連結しているシリンダ支持部材４２によって支持されている。シリンダ４０は、他方の開口端を介して、第３のパイプ４３に接続されている。当該他方の開口端は、第３のパイプを介して後述する電磁バルブＥＢに接続されており、電磁バルブＥＢによって閉じることができる構造となっている。
【００５８】
シリンダ４０の内部空間は、ポッド収容部４０ａ及びめっき液流出部４０ｂとで構成され、シリンダ４０の長手方向に伸びる。シリンダ４０の長手方向に対して直交するめっき液流出部４０ｂの断面の断面積は、当該長手方向に対して直交するポッド収容部４０ａの断面の断面積に比べて小さい。ポッド収容部４０ａは、ポッド５０を収納することができる。一方、めっき液流出部４０ｂは、めっき液の通過は許容されているが、ポッド５０を収納することはできない。
【００５９】
アクチュエータ４１は、シリンダ支持部材４２を介して連結されたシリンダ４０をめっき液Ｆの液面に対して直交する方向に往復移動させる。アクチュエータ４１は、めっき槽支持部材１０１によって支持されている。
【００６０】
アクチュエータ４１は、図示しないアクチュエータ制御部と接続されている。アクチュエータ制御部は、シリンダ４０がめっき槽３０底部から離れる方向に移動する速度及び加速度を制御するようアクチュエータ４１の駆動を制御する。アクチュエータ４１及びアクチュエータ制御部は、シリンダ４０の移動に伴い、ポッド５０内のめっき液Ｆの少なくとも一部が一対のメッシュ５３の一方を介してポッド５０外に流出し、ポッド５０外のめっき液Ｆが一対のメッシュ５３の他方を介してポッド５０内に流入するよう、シリンダ４０を往復移動させるシリンダ移動手段として機能する。
【００６１】
アクチュエータ制御部はさらに、ポッド５０内のめっき液Ｆの少なくとも一部が所望の加速度で一対のメッシュ５３の一方を介してポッド５０外に流出し、ポッド５０外のめっき液Ｆが所望の加速度で一対のメッシュ５３の他方を介してポッド５０内に流入するよう、シリンダ４０がめっき槽３０底部から離れる方向に移動する速度及び加速度を制御するシリンダ移動制御手段として機能する。
【００６２】
図７は、ポッド５０の分解斜視図である。ポッド５０は、筒５１と、上部リング５２と、一対のメッシュ５３（篩部材）と、下部リング５４から構成されている。筒５１は、円筒形状を成している。筒５１は、図７に示されるように、両端部が開口している。すなわち、一方の端部から他方の端部まで伸びる貫通空間が形成された胴体である。メッシュ５３は、筒５１の両端部のそれぞれに配されるものである。一方のメッシュ５３にはカソード５５が取り付けられており、メッシュ５３を筒５１に配した場合にカソード５５が筒５１内部に突出するように形成されている。すなわち、カソード５５は、少なくとも一部が筒５１の内部空間として伸びる貫通空間に露出している。筒５１の両端近傍の外壁には、螺旋溝が形成されている。
【００６３】
筒５１の貫通空間の、貫通空間が伸びる方向に対して垂直な断面での断面積は、ワークＷの引っかかりを抑制するため、筒５１の一方の端部から他方の端部に向けて同一である。すなわち、筒５１の内壁によって画成され、筒５１の両端部の対向方向に対して垂直な筒５１の貫通空間の断面の断面積は、当該対向方向について同一である。
【００６４】
メッシュ５３は網状の部材であって、ポッド５０内に配されるワークＷ（被めっき物）が実質的に通過しないように構成されている。すなわち、メッシュ５３は、篩部材として、めっき液Ｆの通過を許容し、且つ被めっき物の通過を規制するように構成されている。一対のメッシュ５３は、互いに対向する。
【００６５】
上部リング５２及び下部リング５４はいずれも、筒５１との間にメッシュ５３を保持するための部材である。リング５２、５４の内壁には螺旋溝が形成されている。メッシュ５３を挟み込んで、リング５２，５４の内壁に形成された螺旋溝と筒５１の外壁に形成された螺旋溝とを螺合させることにより、リング５２、５４は筒５１に取り付けられる。筒５１の両端にメッシュ５３を配し、リング５２、５４を筒５１の両端に螺合すると、筒５１と一対のメッシュ５３とによって郭定される空間が形成される。
【００６６】
カソード５５は、筒５１の貫通空間に露出する突出部５５ａと延伸部５５ｂとを有する。突出部５５ａは、筒５１の一端に配されるメッシュ５３を、当該突出部５５ａと下部リング５４との間に挟み込むことにより固定する。ワークＷの引っかかりを抑制するため、カソード５５の突出部５５ａの、筒５１の貫通空間が伸びる方向に対して垂直な断面での断面積は、カソード５５が配されたメッシュ５３から離れるにしたがって単純減少で変化する。さらに、電流の集中を抑制するため、突出部５５ａは、角部を有さず、凸面形状を有している。延伸部５５ｂは、突出部５５ａからポッド５０外に向かって延び、後述するシャフト６１の軸線に沿うようにしてシャフト６１の先端に設けられる。
【００６７】
再び、図６に戻ってめっき装置１００の説明を続ける。ポッド５０は、シリンダ４０の長手方向が一対のメッシュ５３の対向方向と平行になるように、シリンダ４０内部に配される。すなわち、ポッド５０は、シリンダ４０の長手方向がポッド５０の貫通空間が伸びる方向と平行になるように、シリンダ４０内部に配される。
【００６８】
シャフト６１がめっき槽３０の底から延出する部分には、アノード５６が設けられている。アノード５６はリング状の電極であって、カソード５５を囲繞するように設けられている。アノード５６は、めっき槽３０内であって、ポッド５０外に配される。
【００６９】
カソード５５は、シャフト６１及び導線ＣＬ２を介し図示しない直流電圧印加手段（直流電源、整流器）によって電圧が印加されて、陰極として機能している。アノード５６は、導体からなるアノード支持部５７及び導線ＣＬ１を介し図示しない直流電圧印加手段によって電圧が印加されて、陽極として機能している。
【００７０】
回転ユニット６０は、シャフト６１と接続され、シャフト６１をその軸線周りに回転させ、その回転に応じてカソード５５の延伸部５５ｂをその軸線周りに回転させると、ポッド５０もその回転に応じて自転する。すなわち、回転ユニット６０は、ポッド５０を、当該ポッド５０の貫通空間（内部空間）が伸びる方向を中心に回転させる。また、回転ユニット６０は、図示しない上下動モータに接続されており、シャフトと共に上下動ガイド部材１０３に沿って、図６の上下方向に移動する。
【００７１】
回転ユニット６０は、ポッド回転モータ６２、ベース６３、ベアリング６４、及び一対の回転駆動ギア６５を有する。ポッド回転モータ６２は、回転棒６２ａをその軸線周りに回転させる。ポッド回転モータ６２は、ベース６３に取り付けられ、回転棒６２ａを介して一対の回転駆動ギア６５の一方に接続される。ポッド回転モータ６２は、スピードコントローラを備えていてもよい。
【００７２】
一対の回転駆動ギア６５は、互いに噛み合っており、一方を回転させると他方も回転するように構成されている。従って、回転棒６２ａが回転することによって一方の回転駆動ギア６５が回転されると、他方の回転駆動ギア６５も回転される。
【００７３】
ベアリング６４は、その中心に貫通孔を有し、当該貫通孔をシャフト６１が貫通するようにベース６３内に設けられている。ベアリング６４は、シャフト６１の軸受けとして機能する。
【００７４】
シャフト６１は、ポッド５０内に配されたカソード５５に対して給電し、さらに回転ユニット６０によって生成される回転駆動をポッド５０に伝達する。シャフト６１のうち、めっき槽３０内に配される部分の表面には、めっきの析出を抑制するために塩化ビニールあるいはポリテトラフルオロエチレンがコーティングされていることが好ましい。シャフト６１の、回転ユニット６０と接続されている側の端部には通電のための接点があり、導線ＣＬ２によって整流器の負極へ結線されている。
【００７５】
シャフト６１は、ロータリーガイドブッシュ６６及びオイルシール６７によって周囲を取り囲まれている。ロータリーガイドブッシュ６６及びオイルシール６７は、筒状であるめっき槽３０のめっき槽軸受け部３０ｂの内部空間に取り付けられている。
【００７６】
ロータリーガイドブッシュ６６は、筒状の部材であって、本実施形態ではシャフト６１の軸受けとして機能する。オイルシール６７は、ロータリーガイドブッシュ６６を間に挟むように、その両端側に位置する。オイルシール６７は、回転を促すためにロータリーガイドブッシュ６６とシャフト６１との間に挿入されたオイル等を、ロータリーガイドブッシュ６６とシャフト６１との間に封入しておくシール部材として機能する。
【００７７】
めっき液管理槽７０は、めっき液Ｆを貯留する。めっき液管理槽７０のめっき液Ｆ内には、温度管理装置（例えば、ヒータ、チラー等）７１が没入されている。温度管理装置７１は、例えば、ヒータ、チラー等であって、めっき液管理槽７０内のめっき液Ｆの温度を所定の温度に管理する。めっき液管理槽７０のめっき液Ｆ内には、第１〜第３のパイプ３５、３６、４３の端部が没入されている。めっき液Ｆは、めっき液管理槽７０とめっき槽３０との間を、第１〜第３のパイプ３５、３６、４３を介して循環している。
【００７８】
第１のパイプ３５は、めっき液循環ポンプＣＰ及びめっき液ろ過フィルターＢＦを介して、めっき槽３０のめっき液循環供給口３３に接続されており、めっき液Ｆをめっき液管理槽７０内からめっき槽３０の貯留部３１内に供給する。めっき液循環ポンプＣＰは、めっき液管理槽７０内のめっき液Ｆを第１のパイプ３５に流入させて、めっき液Ｆをめっき槽３０内に流入させる。すなわち、めっき液循環ポンプＣＰは、めっき液Ｆをめっき槽３０とめっき液管理槽７０との間で循環させる液循環手段として機能する。めっき液ろ過フィルターＢＦは、第１のパイプ３５を通過するめっき液をろ過する。
【００７９】
第２のパイプ３６は、めっき槽３０のめっき液排出口３４に接続されており、めっき槽３０のオーバーフロー部３２に溢れ出ためっき液Ｆをめっき液管理槽７０に排出する。
【００８０】
第３のパイプ４３は、電磁バルブＥＢ及びエア吸引ポンプＡＰを介して、シリンダ４０の他方の開口端（めっき液流出部４０ｂ側の開口端）に接続されており、シリンダ４０内のめっき液をシリンダ内の気泡とともにめっき液管理槽７０に排出する。電磁バルブＥＢは開閉可能であって、電磁バルブＥＢを閉じることにより当該電磁バルブＥＢからシリンダ４０側の空間を閉じた空間とすることができる。すなわち、シリンダ４０の他方の開口端側の空間を閉じた空間とすることができる。エア吸引ポンプＡＰは、電磁バルブＥＢが開いている状態のときに起動することで、シリンダ４０内のめっき液を当該シリンダ４０内の気泡とともに吸引し第３のパイプ４３内に流入させ、めっき液管理槽７０に流出する。
【００８１】
電磁バルブＥＢ及びエア吸引ポンプＡＰは何れも、排気制御部（図示なし）に接続されていてもよい。排気制御部は、電子バルブＥＢの開閉及びエア吸引ポンプＡＰの起動及び停止を制御する。具体的には、排気制御部は例えば、シリンダ４０内の排気時には電磁バルブＥＢを開いて且つエア吸引ポンプＡＰを起動するように、また、ポッド５０内のめっき液を流出入させる時には電磁バルブＥＢを閉じて且つエア吸引ポンプＡＰを停止するように、電子バルブＥＢの開閉及びエア吸引ポンプＡＰの起動及び停止を制御する。第３のパイプ４３、電磁バルブＥＢ、エア吸引ポンプＡＰ、及び排気制御部は、シリンダ４０内を排気する排気手段として機能する。なお、排気制御部に代わって、例えば手動により電子バルブＥＢの開閉及びエア吸引ポンプＡＰの起動及び停止を制御してもよい。
【００８２】
引き続いて、図８〜図１５を参照して、めっき装置１００を用いるめっき方法について説明し、併せてめっき装置１００の動作についても説明する。めっき方法は、シリンダ移動工程、排気工程、及びめっき工程を備える。
【００８３】
まず、めっき槽３０、めっき液管理槽７０にめっき液を満たし、温度管理装置７１によりめっき液管理槽７０内のめっき液の温度を所定の温度にする。めっき液管理槽７０内のめっき液の温度が所定の温度になった後、めっき液循環ポンプＣＰを起動して、めっき槽３０とめっき液管理槽７０との間でのめっき液Ｆの循環を開始する。
【００８４】
シリンダ４０を、めっき槽３０の上方に位置するよう、シリンダ支持部材４２に取り付けて用意する。ポッド５０を準備し、ポッド５０の筒５１内部にワークＷを収容する。上下動モータを起動し、シャフト６１がめっき槽３０のめっき液面より上に出るまで、回転ユニット６０をシャフト６１と共に上昇させる。図８に示すように、ポッド５０内に配されたカソード５５とシャフト６１とを固定することによって、めっき液面より上に出たシャフト６１の先端にポッド５０をセットする。なお、シャフト６１を上下してポッド５０をめっき槽３０に出し入れする構造をとることにより、ポッド５０のシャフト６１への取り付けあるいは取り外しの作業性が向上される。
【００８５】
次に、シャフト６１の先端にセットしたポッド５０を下降して、めっき槽３０内のめっき液Ｆ中に沈める。その後、図９に示すように、アクチュエータ４１によってシリンダ４０をポッド収容部４０ａ側の開口端がアノード５６近傍に達するまで下降させる。これにより、シリンダ４０は、ポッド５０全体を覆い、ポッド５０を内部に配する。このとき、シリンダ４０は、長手方向がめっき槽３０内のめっき液の液面と直交し、且つポッド収容部４０ａ側の開口端がめっき槽３０の底部と対向するようにめっき槽３０内に配される。このとき、シリンダ４０内部はポッド５０内部を含めて、空気で満たされている。
【００８６】
続いて、排気制御部は、電磁バルブＥＢを開けて、エア吸引ポンプＡＰを起動する。これにより、図１０に示すように、少なくともポッド５０内部以外のシリンダ４０内部をめっき液で満たし、シリンダ４０内のめっき液の液面を上昇させる。ポッド５０内部は、ほぼ空気で満たされている。
【００８７】
続いて、排気制御部は、電磁バルブＥＢを閉め、エア吸引ポンプＡＰを停止する。アクチュエータ制御部は、図１１に示すように、所定の加速度により速度を上昇させながらシリンダ４０を上方に、すなわちめっき槽３０の底面から離れる方向に移動させるようアクチュエータ４１を駆動する（シリンダ移動工程）。すなわち、シリンダ移動工程が、めっき工程に先立って行われる。このようにシリンダ４０を引き上げて移動させることによって、ポッド５０内のめっき液の少なくとも一部はポッド５０内の気泡と共に他方のメッシュ５３を介してポッド５０外に流出し、ポッド５０外のめっき液はポッド５０内に一方のメッシュ５３を介して流入する。このように、シリンダ４０はシリンジとして機能する。この場合、ポッド５０外とは、具体的にはポッド５０外であってシリンダ４０内であるシリンダ４０のポッド収容部４０ａ上部である。
【００８８】
ここで、アクチュエータ制御手段は、ポッド５０内のめっき液の少なくとも一部が所望の加速度（すなわち、気泡をポッド外に流出させるのに最適な加速度）でポッド５０外に流出するようアクチュエータの駆動を制御する。すなわち、所定の加速度で速度を上昇させながらシリンダ４０をめっき槽３０底部から離れる方向に移動させるよう、アクチュエータ制御手段によってシリンダ４０の移動速度及び加速度が制御される。
【００８９】
その後、ポッド５０内の気泡の残留量によっては、シリンダ４０をポッド収容部４０ａ側の開口端がアノード５６近傍に達するまで下降して、再度図１１に示すようにシリンダ４０を上昇させるようにアクチュエータ４１を駆動してもよい。こうしたシリンダ４０の往復移動を、ポッド５０内の気泡の残留量に応じて複数回繰り返してもよい。
【００９０】
ポッド５０内の気泡をポッド５０外であってシリンダ４０のポッド収容部４０ａ上部に移動した後、排気手段（第３のパイプ４３、電磁バルブＥＢ、エア吸引ポンプＡＰ、及び排気制御部、シリンダ４０）は、シリンダ４０内部を排気する（排気工程）。これにより、ポッド収容部４０ａ上部に移動させた気泡が除去される。具体的には、排気制御部が電磁バルブＥＢを開き、エア吸引ポンプＡＰを起動して、めっき液ごとシリンダ４０内の気泡を第３のパイプ４３内に吸引してシリンダ４０内を排気する。除去された気泡は、共に吸引されためっき液とともにめっき液管理槽７０内に排出される。
【００９１】
続いて、図１２〜図１５を参照して、めっき工程を説明する。めっき工程では、ポッド５０をシャフト６１の軸線周りに回転させながら処理を行う。ポッド５０は、回転ユニット６０のポッド回転モータ６２を駆動することにより回転される。
【００９２】
まず、排気制御部は電磁バルブＥＢを閉める。そして、図１２に示すように、アクチュエータ４１は、シリンダ４０を、ポッド収容部４０ａ側の開口端がアノード５６近傍に達するまでめっき槽３０底部に近づける方向で移動する。すなわち、ポッド５０を内部に配したシリンダ４０を、シリンダ４０の長手方向がめっき槽３０内のめっき液の液面と直交し、且つポッド収容部４０ａ側の開口端がめっき槽３０の底部と対向するように、めっき槽３０内に配する。これにより、ポッド５０内部及びシリンダ４０内部はめっき液で満たされる。
【００９３】
次に、図１３に示すように、ポッド５０内のめっき液Ｆの少なくとも一部がポッド５０外に流出し、ポッド５０外のめっき液Ｆがポッド５０内に流入するよう、シリンダ４０をめっき槽３０の底部から離れる方向に移動する（シリンダ移動工程）。すなわち、シリンダ移動工程が、めっき工程の中で行われる。このとき、ポッド５０内にめっき液が流出入するため、ポッド５０内には、図１３の下方に位置するメッシュ５３から上方に位置するメッシュ５３に向かって液流が発生する。この液流によって、ポッド５０内のワークＷが撹拌される。
【００９４】
ここで、アクチュエータ制御手段は、ポッド５０内のめっき液の少なくとも一部が所望の加速度（すなわち、ワークＷの撹拌に最適な加速度）でポッド５０外に流出するようアクチュエータの駆動を制御する。すなわち、所定の加速度で速度を上昇させながらシリンダ４０をめっき槽３０底部から離れる方向に移動させるよう、アクチュエータ制御手段によってシリンダ４０の移動速度及び加速度が制御される。
【００９５】
シリンダ４０が往復運動における上死点に達すると、図１４に示すように、アクチュエータ４１はシリンダ４０の移動を停止する。アクチュエータ制御部は、シリンダ４０を上死点の位置で所定の時間停止させておくように、アクチュエータ４１を駆動する。所定の時間とは、撹拌されたワークＷが、図１４に示すように、ポッド５０の底部に堆積するまでの時間をいう。
【００９６】
次に、図１５に示すように、アクチュエータ制御部は、先ほどのシリンダ移動工程によって移動されたシリンダ４０をめっき槽３０の底部に近づける方向に移動させながら、めっき液Ｆに通電してワークＷにめっき処理を施す（めっき工程）。すなわち、この場合、アクチュエータ制御部は、先ほどのシリンダ移動工程によって移動されたシリンダ４０を引き下げながら、めっき液Ｆに通電してワークＷにめっき処理を施す
【００９７】
その後、必要に応じて、図１２〜図１５に示すめっき工程を複数回繰り返してもよい。
【００９８】
めっき工程の終了後、電磁バルブＥＢを開け、ポッド５０がシリンダ４０内に配された状態でシリンダ４０及びポッド５０（すなわち、シャフト６１）を上昇させて、ポッド５０及びシリンダ４０をめっき槽３０外に取り出す。なお、ポッド５０に配されるメッシュ５３が細かい場合には、ポッド５０及びシリンダ４０をめっき槽３０外に取り出した後、電磁バルブＥＢを閉めてポッド５０を内部に配したままシリンダ４０を下降してもよい。これにより、ポッド５０内に残留するめっき液が強制的にポッド５０外に排出され、めっき処理に掛かる時間を短くすることができる。
【００９９】
その後、図１６に示すように、シリンダ４０を上方に移動して、ポッド５０をシリンダ４０内部から取り出す。ポッド５０をシャフト６１から取り外し、めっき処理が施されたワークＷをポッド５０から取り出す。
【０１００】
めっき装置１００は、アクチュエータ４１によって往復移動させられるシリンダ４０を備え、当該シリンダ４０内にワークＷが収容されたポッド５０が配される。また、シリンダ４０はその一端を電磁バルブＥＢで閉じ、一端側に閉じた空間を形成することができる。このようにシリンダ４０の一端側に閉じられた空間を形成した状態でシリンダ４０を移動させるため、ポッド５０内の少なくとも一部のめっき液はシリンダ４０の移動に伴って、一方のメッシュ５３を介してポッド５０外に流出し、ポッド５０外のめっき液が他方のメッシュ５３を介してポッド５０内に流入する。すなわち、めっき装置１００では、シリンダ４０を上昇させて、ポッド５０内のめっき液をポッド５０外に移動させることができ、その際ポッド５０内に残留する気泡をシリンダ４０の移動に併せてポッド５０外に流出させることができる。
【０１０１】
ポッド５０内に気泡が存在する場合、当該気泡内にワークＷが浮遊してしまう、あるいは微小気泡にワークＷが付着してしまうなどといった事態が発生してしまう。この場合、ワークＷには、通電されない、若しくは通電が十分になされないことによるめっきムラ（膜厚のばらつき、めっき無しのワークＷの存在）が発生してしまうおそれがある。めっき装置１００では、ポッド５０内の気泡の量を減少させることができるため、めっきの仕上がり具合に発生する不具合を低減することが可能となる。
【０１０２】
特に、ワーク（被めっき物）Ｗが小さくなればなるほど、ポッド５０に配されるメッシュ５３の目は細かくなる。そのため、ポッド５０から気泡が抜けにくくなり、めっきが不完全に施される傾向にある。これに対し、めっき装置１００では、シリンダ４０の移動によって強制的に気泡をポッド５０外に流出させるので、メッシュ５３の目が小さくなっても気泡を十分に除去することができる。したがって、ワーク（被めっき物）Ｗが小さくなればなるほど、めっき装置１００による不具合発生の抑制効果は効いてくる。
【０１０３】
また、めっき装置１００では、シリンダ４０の移動に伴ってめっき液Ｆがポッド５０内から流出入する。こうしためっき液Ｆの流出入によって、ポッド５０内のめっき液には液流が発生する。ワークＷはこうして発生された液流によって舞い上がるので、ワークＷに必要以上に外力を加えずに攪拌することができる。これにより、ワークＷに割れ、あるいは欠け等の不良が発生することが抑制される。
【０１０４】
また、液流によってワークＷが撹拌されることにより、ワークＷ近傍に存在する気泡をワークWから離すことができる。これによっても、めっきの仕上がり具合に発生する不具合を低減することが可能となる。
【０１０５】
また、メッシュ５３の目が小さくなるにしたがって、めっき処理後にポッド５０からめっき液を排出するのに要する時間が長くなり、場合によっては十分に排出することが困難となる。これに対し、めっき装置１００では、一端が閉じた空間であるシリンダ４０の移動によって、ポッド５０内に残留するめっき液を強制的に排出することができる。そのため、めっき装置１００では、ポッド５０からめっき液を排出する時間を短縮でき、さらにはめっき液を必要以上にめっき槽３０から持ち出してしまうことも抑制される。このように、めっき液排出の点においても、めっき装置１００は有効である。
【０１０６】
また、ポッド５０内のめっき液は入れ替えられるので、ポッド５０内における金属イオン濃度の減少を抑制できる。これにより、めっきムラ（めっき膜のばらつき）の発生が低減される。
【０１０７】
めっき装置１００は、排気手段として機能する第３のパイプ４３、電磁バルブＥＢ、エア吸引ポンプＡＰ、及び排気制御部を備える。これらによって機能する排気手段は、シリンダ４０内を排気する。そのため、例えば、ポッド５０内からポッド５０外であってシリンダ４０内に移動した気泡を強制的にシリンダ４０外に除去することが可能となる。このようにシリンダ４０内を排気することにりより、めっき装置１００では、ワークＷに発生する不具合をより一層効果的に低減することが可能となる。
【０１０８】
アクチュエータ制御部は、シリンダ４０を、所定の加速度で速度を上昇させながらめっき槽３０底部から離れる方向に移動させる。所定の加速度とは、例えばポッド５０内の残留気泡をポッド５０外に流出するのに最適な加速度である。あるいは、例えばワークＷの撹拌に最適な加速度である。これにより、ポッド５０内に残留する気泡の除去をより一層好適に行うこと、あるいはワークＷの撹拌をより一層好適に行うことが可能となる。その結果、ワークＷに発生する不具合をより一層効果的に低減することができる。また、ワークＷの種類等に応じて、最適な加速度でシリンダを移動させることも可能である。
【０１０９】
また、実施形態に係るめっき方法によれば、シリンダ移動工程において、シリンダ４０をめっき槽３０の底部から離れる方向に移動ることで、ポッド５０内のめっき液の少なくとも一部をポッド５０外に流出させる。この時、ポッド５０内の気泡もめっき液と共にポッド５０外に流出させることができる。従って、ポッド５０内の気泡の量が低減されるため、ワークＷに発生する不具合を効果的に低減することが可能となる。
【０１１０】
さらに、実施形態に係るめっき方法によれば、シリンダ４０内を排気する排気工程を備えている。これにより、シリンダ４０の移動に伴ってシリンダ４０内に移動したポッド５０内の気泡を、元々シリンダ４０内に存在していた気泡と共に除去することができる。そのため、ワークＷに発生する不具合をより一層効果的に低減することが可能となる。
【０１１１】
実施形態に係るめっき方法によれば、めっき工程に先立ってシリンダ移動工程を行う。この場合、めっき工程の実施前にポッド５０内の気泡の量を低減することができるため、ワークＷに発生する不具合をより一層効果的に低減することが可能となる。
【０１１２】
実施形態に係るめっき方法によれば、シリンダ移動工程は、さらにめっき工程の中でも行われている。シリンダ移動工程を行うことによりめっき液Ｆがポッド５０内を流出入するため、ポッド５０内のめっき液Ｆ中に液流が発生する。ワークＷはこうして発生された液流によって舞い上げられるので、ワークＷがポッド５０内で攪拌される。そのため、めっきムラ（めっき膜のばらつき、めっき無しのワークＷの発生）の発生が低減され、ワークＷに発生する不具合を効果的に低減することが可能となる。
【０１１３】
また、ワークＷは液流によって舞い上げられるので、ワークＷに必要以上に外力を加えずに攪拌することができる。そのため、ワークＷに割れや欠け等が発生することが抑制される。
【０１１４】
また、めっき工程中に、めっき液Ｆがポッド５０内を流出入するため、ポッド５０内のめっき液Ｆ中の金属イオン濃度が減少することが抑制される。これにより、めっきムラの発生が低減される。
【０１１５】
また、めっき工程中にシリンダ移動工程を行うことで、めっき液Ｆへの通電中にポッド５０内に発生された気泡についても、ポッド５０内からポッド５０外に除去することが可能となる。
【０１１６】
実施形態に係るめっき方法のめっき工程では、シリンダ移動工程によって移動されたシリンダ４０をめっき槽３０の底部に近づく方向に移動させながら、めっき液Ｆに通電してワークＷにめっき処理を施している。シリンダ４０を移動させることによって、ワークＷに対し、ポッド５０内のめっき液Ｆによるめっき槽３０の底部に近づく方向に向かう圧力がかかる。そのため、撹拌されたワークＷのポッド５０底部への堆積が促進され、めっき工程に要する時間を短縮することができる。また、ワークWに対してかかる当該圧力によって、ワークＷ同士が密着され、ワークＷの通電効率が上昇し、効率よくめっき処理を行うことが可能となる。
【０１１７】
以上、本発明の好適な実施形態及び変形例について説明したが、本発明は上記実施形態及び変形例に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、上記他の実施形態では、ポッド５０を回転しながらめっき工程を実施していたが、ポッド５０を回転させずにめっき工程を実施してもよい。
【０１１８】
あるいは、例えば、図１２〜図１５に示されためっき工程のように、シリンダ４０を移動させながらめっき処理を行わず、ポッド５０を内部に配したシリンダ４０をめっき槽３０内において傾斜し、且つ回転することによって、めっき処理を行ってもよい。この場合のめっき工程を、図１７及び図１８を参照して説明する。
【０１１９】
まず、排気工程の後、ポッド５０を内部に配したシリンダ４０をめっき槽３０内に配する（図１２参考）。次に、図１７に示したように、めっき槽３０内に配されたシリンダ４０をポッド５０と共に傾斜させる（傾斜工程）。シリンダ４０は、傾斜軸ねじ７を中心に、オーバーフロー部３２が床面（地面）に近づくように傾斜される。この場合、めっき槽３０のオーバーフロー部３２は、シリンダ支持部材４２側に位置するように、めっき槽３０は配置されている。図１８は、シリンダ４０と共にポッド５０を傾斜した場合の、ポッド５０内でのワークＷの状態を模式的に示す。図１８では、ワークＷ個々の状態を表さず、ワークＷ全体の状態を表す。続いて、傾斜したポッド５０をシリンダ４０の長手方向を軸として回転させながら、めっき液に通電してワークＷにめっき処理を施す（通電工程）。この場合、ポッド５０を回転してワークＷを撹拌させながら連続通電することができる。その結果、めっき時間を短縮し、さらにワークＷ同士が付着することを抑制することが可能となる。なお、当該めっき工程（傾斜工程、通電工程）後、シリンダ移動工程を繰り返し、その後めっき工程をまた繰り返してもよい。繰り返しによって、ポッド５０内のワークＷが気泡に付着すること、あるいはポッド５０内のワークWがポッド５０内の内壁等に引っかかること等が抑制される。
【０１２０】
上記実施形態では電気めっきについて例示したが、無電解めっき法によってめっきを行ってもよい。また、本実施形態ではポッド５０内にメディア（導電性媒体）を用いていないけれども、必要に応じてこのようなメディアをワークＷと共にポッド５０内に投入してもよい。また、ワークＷとして、上記したような積層型電子部品以外のものを用いてもよい。
【０１２１】
また、めっき装置１００は、排気手段として、第３のパイプ４３、電磁バルブＥＢ、エア吸引ポンプＡＰ、及び排気制御部と異なる構成を有していてもよく、あるいは排気手段を備えていなくてもよい。また、アクチュエータ制御部は、上記実施形態で示したような制御内容以外に沿って、アクチュエータの駆動を制御してもよい。
【０１２２】
また、シリンダ移動工程とめっき工程とが行われる順番は、上記実施形態で示した順番に限られない。また、排気工程を行わなくてもよい。また、めっき液への通電は、シリンダ４０を移動させながら行わなくてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１２３】
【図１】本発明の実施形態であるめっき装置の構成を説明するための図である。
【図２】図１に示すポッドの分解構成図である。
【図３】図１に示すめっき装置の変形例を示す図である。
【図４】図１に示すめっき装置の変形例を示す図である。
【図５】図１に示すめっき装置を用いるめっき方法の手順を示す図である。
【図６】他の実施形態に係るめっき装置の構成図である。
【図７】他の実施形態に係るポッドの分解構成図である。
【図８】シャフトの先端にポッドをセットする工程について説明するための図である。
【図９】シリンダ内部にポッドを配する工程について説明するための図である。
【図１０】シリンダ内部をめっき液で満たす工程について説明するための図である。
【図１１】シリンダ移動工程について説明するための図である。
【図１２】、シリンダをめっき槽底部に近づけるように移動させる工程について説明するための図である。
【図１３】シリンダ移動工程について説明するための図である。
【図１４】ワークがポッド底部に堆積する工程について説明するための図である。
【図１５】めっき液に通電してワークにめっき処理を施す工程について説明するための図である。
【図１６】ポッドをシリンダから取り出す工程を説明するための図である。
【図１７】傾斜工程及び通電工程を説明するための図である。
【図１８】傾斜した場合のポッド内でのワークの状態を模式的に表す図である。
【符号の説明】
【０１２４】
１、１００…めっき装置、１０、３０…めっき槽、１２、５０…ポッド、１４、６０…シリンダ、１８、５５…カソード、２０、６１…シャフト、２２、５６…アノード、１２１、５１…筒、１２３、５３…メッシュ、３１…貯留部、３２…オーバーフロー部、３３…めっき液循環供給口、３４…めっき排出口、３５…第１のパイプ、３６…第２のパイプ、４１…アクチュエータ、４２…シリンダ支持部材、４３…第３のパイプ、５７…アノード支持部、６０…回転ユニット、６１…シャフト、６２…ポッド回転モータ、６３…ベース、６４…ベアリング、６５…回転駆動ギア、６６…ロータリーガイドブッシュ、６７…オイルシール、７０…めっき液管理槽、７１…温度管理装置、ＢＦ…めっき液ろ過フィルタ、ＣＰ…めっき液循環ポンプ、ＡＰ…エア吸引ポンプ、Ｆ…めっき液、Ｗ…ワーク。
【図１】
0004407659.tif 000002
【図２】
0004407659.tif 000003
【図３】
0004407659.tif 000004
【図４】
0004407659.tif 000005
【図５】
0004407659.tif 000006
【図６】
0004407659.tif 000007
【図７】
0004407659.tif 000008
【図８】
0004407659.tif 000009
【図９】
0004407659.tif 000010
【図１０】
0004407659.tif 000011
【図１１】
0004407659.tif 000012
【図１２】
0004407659.tif 000013
【図１３】
0004407659.tif 000014
【図１４】
0004407659.tif 000015
【図１５】
0004407659.tif 000016
【図１６】
0004407659.tif 000017
【図１７】
0004407659.tif 000018
【図１８】
0004407659.tif 000019