(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のファンと第１のモータとを有する第１のファンモータと、
前記第１のモータの回転速度を検出する第１の検出部と、
第２のファンと第２のモータとを有する第２のファンモータと、
前記第２のモータの回転速度を検出する第２の検出部と、
前記第１のファンと前記第２のファンとによって送風される空気を清浄化するフィルタと、
前記第１の検出部の検出した回転速度に基づき、前記第１のファンモータの回転速度が設定回転速度に一致するようにフィードバック制御するとともに、前記第２の検出部の検出した回転速度に基づき、前記第２のファンモータの回転速度が前記設定回転速度に一致するようにフィードバック制御し、前記第１の検出部の検出した回転速度が前記第２の検出部の検出した回転速度に対し所定値以上遅い場合に前記第１の検出部の検出した回転速度に前記第２のファンモータの回転速度を下げる回転速度同調制御を行い、前記第２の検出部の検出した回転速度が前記第１の検出部の検出した回転速度に対し所定値以上遅い場合に前記第２の検出部の検出した回転速度に前記第１のファンモータの回転速度を下げる回転速度同調制御を行う本体制御部と、を備えた、
ファンフィルタユニット。
【請求項２】
前記本体制御部は、
前記第１の検出部の検出した回転速度に基づき、前記第１のファンモータの回転速度が設定回転速度に一致するようにフィードバック制御する第１の回転制御部と、
前記第２の検出部の検出した回転速度に基づき、前記第２のファンモータの回転速度が前記設定回転速度に一致するようにフィードバック制御する第２の回転制御部と、
前記第１の検出部の検出した回転速度と前記設定回転速度とを比較し、前記第１の回転制御部に伝える第１の比較器と、
前記第２の検出部の検出した回転速度と前記設定回転速度とを比較し、前記第２の回転制御部に伝える第２の比較器と、
前記第１の検出部の検出した回転速度と前記第２の検出部の検出した回転速度との差を算出する第３の比較器と、
前記第３の比較器の算出結果を受けて、前記算出結果が前記所定値以上の場合に前記第１の回転制御部と前記第２の回転制御部のうち一方を介して前記第１、第２のファンモータのうち速い方の回転速度を下げるよう同調制御する回転速度同調制御部と、を有する、
請求項１記載のファンフィルタユニット。
【請求項３】
前記本体制御部は、前記回転速度同調制御の開始を所定時間だけ遅延させる、
請求項１記載のファンフィルタユニット。
【請求項４】
前記所定時間は、前記ファンフィルタユニットの運転開始直後と、前記ファンモータの設定回転数変更直後とのいずれかであって、前記第１、第２検出部による検出回転数が安定するまでの準備運転の時間に設定されている、
請求項３記載のファンフィルタユニット。
【請求項５】
前記本体制御部は、前記回転速度同調制御が所定時間行われたとき、前記第１、第２のファンモータの回転速度を前記設定回転速度に合わせるよう試みるリトライ制御を行う、
請求項１記載のファンフィルタユニット。
【請求項６】
前記本体制御部は、前記リトライ制御を所定時間内に所定回数繰り返したとき、ファンモータを停止する、
請求項５記載のファンフィルタユニット。
【請求項７】
前記本体制御部は、前記設定回転速度と前記第１の検出部による検出回転速度との差と、前記設定回転速度と前記第２の検出部による検出回転速度との差のいずれかが所定値より大きい場合、前記第１、第２ファンモータを停止する、
請求項１記載のファンフィルタユニット。
【請求項８】
前記本体制御部は、前記設定回転速度と前記第１の検出部による検出回転速度との差と、前記設定回転速度と前記第２の検出部による検出回転速度との差とが所定値より大きい場合、前記第１、第２ファンモータを停止する、
請求項１記載のファンフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶、プラズマディスプレイパネルなどを製造するための清浄空間を必要とするクリーンルームなどで使用されるファンフィルタユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ファンフィルタユニットには、薄型で、清浄空気の吹出口の面積が広く、しかも均一で十分な風量を供給する能力が求められている。そのため複数のファンモータが用いられている。しかしながら複数のファンモータを用いた場合、うなり音が発生する場合がある。
【０００３】
うなり音の発生を抑える方法として、複数のファンモータの単位時間当たりの回転速度（以下、回転速度と称す）を精度良く制御する技術が例えば特開２００４−２０５０９５号公報に開示されている。
【０００４】
複数のファンモータを有するファンフィルタユニットにおいてうなり音を抑制する従来の制御では、第１のファンモータの回転速度に第２のファンモータの回転速度を合わせ、さらに第２のファンモータの回転速度に第３のファンモータの回転速度を合わせる。しかしながらモータの能力バラツキにより下位のモータ能力が上位のモータ能力より劣る場合には回転速度を合わすことができない。
【発明の開示】
【０００５】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、ファンフィルタユニットのモータ能力のバラツキにも対応して、うなり音を抑制することができるファンフィルタユニットを提供することを目的とする。本発明のファンフィルタユニットは、複数のファンモータと、複数の検出部と、本体制御部と、フィルタとを有する。各ファンモータはファンとモータとを含む。各検出部は各モータの回転速度を検出する。本体制御部は検出部で検出された回転速度に基づき、この検出回転速度が設定回転速度に一致するように各ファンモータをフィードバック制御する。また、いずれかの検出部による回転速度検出値が他の検出部によるそれより小さい場合、回転速度の遅いファンモータの回転速度に他のファンモータの回転速度を合せるように回転速度同調制御を行う。本発明によれば、複数のファンモータを有するファンフィルタユニットにおいて、モータ能力のバラツキを含めて各ファンモータの回転速度を一致させることができる。そして、主に設置場所の空気圧の変動によりファンモータの回転速度が変化するときにも回転速度を一致させ、うなり音を抑制することができる効果のあるファンフィルタユニットを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、各実施の形態において先行する実施の形態と同様の構成をなすものには同じ符号を付して説明し、詳細な説明を省略する場合がある。また本発明はこれらの実施の形態に限定されない。
【０００７】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１によるファンフィルタユニットの概略構成を示し、フィルタの一部を切り欠いた状態を示す正面図である。図２はそのブロック回路図である。このファンフィルタユニットは、第１のファンモータ５Ａ、第２のファンモータ５Ｂとフィルタ６とを有する。ファンモータ５Ａは第１のファン２Ａ、第１のモータ３Ａおよび第１のモータドライバ４Ａからなる。ファンモータ５Ｂは、第２のファン２Ｂ、第２のモータ３Ｂおよび第２のモータドライバ４Ｂからなる。フィルタ６はファン２Ａ、２Ｂによって送風される空気を清浄化する。フィルタ６は例えばガラス繊維で構成され、ミクロンオーダーの微粒子を高効率にて捕獲する。より具体的には、フィルタ６は０．３μｍの微粒子を９９．９７％以上の捕集効率にて捕集する。フィルタ６はファン２Ａ、２Ｂの吹出し側、あるいは吸込み側に配置される。
【０００８】
また、このファンフィルタユニットはファンモータ５Ａ、５Ｂを制御する本体制御部（以下、制御部）７と、モータ３Ａの回転速度を検出する第１の検出部９Ａと、モータ３Ｂの回転速度を検出する第２の検出部９Ｂとを有する。制御部７はファンモータ５Ａ、５Ｂの回転速度を設定する回転速度設定部８と、検出部９Ａの検出回転速度を入力してファンモータ５Ａを回転制御する第１の回転制御部（以下、制御部）１０Ａと、検出部９Ｂの検出回転速度を入力してファンモータ５Ｂを回転制御する第２の回転制御部（以下、制御部）１０Ｂを有している。制御部７はさらに、第１の比較器３０Ａ、第２の比較器３０Ｂ、第３の比較器３１、回転速度同調制御部（以下、制御部）１１を有している。比較器３０Ａ、３０Ｂは回転速度設定部８で設定された回転速度と検出部９Ａ、９Ｂで検出された回転速度とを比較し、その結果をそれぞれ制御部１０Ａ、１０Ｂに伝える。比較器３１は検出部９Ａで検出された回転速度と検出部９Ｂで検出された回転速度とを比較し、遅い方の回転速度が速い方の回転速度に比べ、何ｒ／ｍｉｎ遅いかを算出して制御部１１に伝える。すなわち、検出部９Ａの検出した回転速度と検出部９Ｂの検出した回転速度との差を算出する。制御部１１は比較器３１による結果が所定値以上の場合に制御部１０Ａ、１０Ｂのうち一方を介してファンモータ５Ａ、５Ｂのうち速い方の回転速度を下げるよう同調制御する。
【０００９】
モータ３Ａ、３Ｂはたとえば電子制御型ブラシレスモータで構成され、モータドライバ４Ａ、４Ｂはマイコンとソフトウェアまたは専用回路で構成されている。なお、モータ３Ａ、３Ｂはこれ以外の方式のモータで構成し、モータドライバ４Ａ、４Ｂがモータ３Ａ、３Ｂへの印加電力を制御する回路で構成されていてもよい。
【００１０】
制御部７を構成する各部はマイコンとソフトウェアまたは専用回路で構成されている。これらは一体に構成しても個別に設けてもよい。さらに検出部９Ａ、９Ｂが制御部７と一体に構成されていてもよい。なお、ファンモータ５Ａ、５Ｂがファンフィルタユニットの内部で大きく離れて設けられ、制御部７と距離があっても、回転速度信号はノイズによる影響をあまり受けない。一方、制御部１０Ａ、１０Ｂとモータドライバ４Ａ、４Ｂとのそれぞれの距離はノイズの影響があるため短くする必要がある。そのため少なくとも、ファンモータ５Ａと制御部１０Ａ、ファンモータ５Ｂと制御部１０Ｂはそれぞれ隣接して設けることが好ましい。
【００１１】
検出部９Ａ、９Ｂはたとえばモータ３Ａ、３Ｂによって回転される磁石と、その磁気変化を検出する磁気検出素子、およびその磁気変化から回転速度を算出する回路から構成されている。これ以外に例えば、モータ３Ａ、３Ｂによって回転される反射部を有する円板と、その輝度を検出する光学素子、およびその輝度変化から回転速度を算出する回路から構成されていてもよい。すなわち、検出部９Ａ、９Ｂは磁気方式あるいは光学方式などで構成することができる。なお、検出部９Ａ、９Ｂでは、水晶振動子によってクロック振動を発生させ、この振動を基準に単位時間あたりのモータ３Ａ、３Ｂの回転数が算出される。このように構成すればモータ３Ａ、３Ｂの回転数が精度よく検出される。
【００１２】
上記構成において、回転速度設定部８で２０００ｒ／ｍｉｎと設定された回転速度がモータ３Ａ、３Ｂに与えられる。そしてそれぞれのモータ３Ａ、３Ｂの検出回転速度が設定回転速度になるようにフィードバック制御が行われる。すなわち、比較器３０Ａ、３０Ｂはそれぞれ検出部９Ａ、９Ｂの検出回転速度と回転速度設定部８で設定された回転速度とを比較する。そしてその結果を制御部１０Ａ、１０Ｂに送る。制御部１０Ａ、１０Ｂはそれぞれ、比較器３０Ａ、３０Ｂの結果に基づきモータ３Ａ、３Ｂの回転速度を設定回転速度に近づけるようモータドライバ４Ａ、４Ｂを制御する。
【００１３】
このようにフィードバック制御しても、ファンモータ５Ａ、５Ｂの能力バラツキや設置場所の空気圧の変動によりファンモータ５Ａ、５Ｂの回転速度差が生じる場合がある。そして例えば回転速度差が１０ｒ／ｍｉｎ以上ある場合にうなり音が発生する。
【００１４】
このとき、制御部１１は比較器３１の算出結果を受けて、検出回転速度の低いファンモータ５Ａに検出回転速度の高い方のファンモータ５Ｂの回転速度を合わせるように制御部１０Ｂを制御する。すなわち、制御部１０Ａ、１０Ｂは比較器３０Ａ、３０Ｂの結果よりも制御部１１からの制御を優先する。これにより、ファンモータ５Ａ、５Ｂの能力バラツキや設置場所の空気圧の変動に影響を受けることなく、うなり音の発生が抑制される。
【００１５】
なお、うなり音が発生する条件は、ファンモータ５Ａ、５Ｂの運転回転数、大きさ、ファン２Ａ、２Ｂの形状などにより異なる。そのためそれぞれの場合に合せて、回転速度同調制御を開始する回転速度ずれの閾値を設定することが好ましい。
【００１６】
以上のように、制御部７は、検出部９Ａの検出した回転速度に基づき、ファンモータ５Ａの回転速度が設定回転速度に一致するようにフィードバック制御する。同様に、検出部９Ｂの検出した回転速度に基づき、ファンモータ５Ｂの回転速度が設定回転速度に一致するようにフィードバック制御する。さらに、検出部９Ａの検出した回転速度が検出部９Ｂの検出した回転速度に対し所定値以上遅い場合に、検出部９Ａの検出した回転速度にファンモータ５Ｂの回転速度を下げる回転速度同調制御を行う。同様に、検出部９Ｂの検出した回転速度が検出部９Ａの検出した回転速度に対し所定値以上遅い場合に検出部９Ｂの検出した回転速度にファンモータ５Ａの回転速度を下げる回転速度同調制御を行う。
【００１７】
なお、ファンモータが２台設けられた場合を説明したが、ファンモータが３台以上設けられた場合にも最も回転速度の遅いファンモータに他のファンモータの回転速度を合せるように制御することで同様の効果が得られる。
【００１８】
（実施の形態２）
図３は本発明の実施の形態２によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態１による構成と異なる点は、本体制御部７３において比較器３１と回転数同調制御部（以下、制御部）１１との間に安定化部１６が設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態１と同様である。
【００１９】
安定化部１６は所定時間の準備運転が経過するまでは制御部１１を機能しないようにしている。安定化部１６は、ファンモータ５Ａ、５Ｂの運転開始直後や、瞬間的に回転速度が変動した場合など、ファンモータ５Ａ、５Ｂの検出回転速度が不安定な時間帯に制御部１１が機能するのを防止している。安定化部１６もまたマイコン等により構成されている。
【００２０】
すなわち、例えば設定回転速度が２０００ｒ／ｍｉｎの場合、安定化部１６はファンモータ５Ａ、５Ｂの検出回転速度が互いに±１０ｒ／ｍｉｎ以上外れている場合に所定時間の間、制御部１１が機能するのを防止する。言い換えれば、安定化部１６は回転速度同調制御の開始を所定時間だけ遅延させる。すなわち、ファンモータ５Ａ、５Ｂの検出回転速度が１０ｒ／ｍｉｎ以上ずれていても所定時間の間、制御部１１は機能しない。
【００２１】
所定時間とは例えば、電源投入時の運転開始直後であれば３０秒間、設定回転速度が変更された場合もしくはファンモータ５Ａ、５Ｂの負荷急変により検出回転速度に変化がある場合であれば１０秒間に設定される。これらの設定時間は準備運転の時間に相当する。それにより、ファンモータ５Ａ、５Ｂの回転速度が不安定な状態での回転速度同調制御の過剰反応を抑えることができる。
【００２２】
以上のように、本体制御部７３は回転速度同調制御の開始を所定時間だけ遅延させる。これによりファンモータ５Ａ、５Ｂの検出回転速度が不安定な時間帯に制御部１１が機能することが防止される。
【００２３】
（実施の形態３）
図４は本発明の実施の形態３によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態１による構成と異なる点は、本体制御部７４にリトライ部１９が設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態１と同様である。リトライ部１９もまたマイコン等により構成されている。
【００２４】
リトライ部１９は回転速度同調制御部（以下、制御部）１１が所定時間だけ回転速度同調制御を連続して行った場合に、回転速度設定部８での設定回転速度にファン２Ａ、２Ｂの回転数を合わせるように試みる制御を行うリトライ機能を有している。
【００２５】
ファンフィルタユニットが用いられているクリーンルーム内で重要な工程を行っている場合、ファンモータ５Ａ、５Ｂを停止することが工程の生産性を著しく低下する恐れがある。したがって重要な工程を行っている間に、ファンモータ５Ａ、５Ｂが低速運転されることにより設定回転速度で得られる期待風量が得られない回転速度で運転し続けるのを避けることが望ましい。
【００２６】
リトライ部１９は回転速度同調制御が行われている継続時間を計測している。そしてファンモータ５Ａ、５Ｂの能力バラツキなどにより回転速度同調制御が連続して例えば１０分間行われた場合、回転制御部（以下、制御部）１０Ａ、１０Ｂを介してファンモータ５Ａ、５Ｂを初期の設定回転速度で制御することを試みる。すなわち、リトライ部１９による指示は制御部１１による制御より優先して実施される。このように、本体制御部７４は回転速度同調制御が所定時間行われたとき、ファンモータ５Ａ、５Ｂの回転速度を設定回転速度に合わせるよう試みるリトライ制御を行う。これにより、回転速度同調制御によって、設定回転速度で得られる期待風量が得られずに低速運転し続けることが防止される。このためファンモータ５Ａ、５Ｂの本来の能力を十分に発揮できる。そして設定回転速度にできるだけ近い回転速度にてファンモータ５Ａ、５Ｂが再び運転される。
【００２７】
ここでリトライ部１９が計測する所定時間とは、ファンモータユニットが取り付けられるクリーンルーム等の内容積や必要とされる風量に依存する。
【００２８】
なお、リトライ制御を行ってもやはりファンモータ５Ａ、５Ｂの回転速度が所定回転速度以上ずれる場合、再度回転速度同調制御が行われることが好ましい。このため、リトライ制御は継続的に行われるのではなく一度リトライ部１９が制御部１０Ａ、１０Ｂにリトライ制御を指示すると、リトライ部１９が計測している回転速度同調制御の継続時間はリセットされる。そして実施の形態１と同様の、通常の制御状態に戻る。このように制御することが好ましい。
【００２９】
（実施の形態４）
図５は本発明の実施の形態４によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態３による構成と異なる点は、本体制御部７５にリトライカウント部２０と運転停止部１８とが設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態３と同様である。リトライカウント部２０と運転停止部１８もまたマイコン等により構成されている。なお、運転停止部１８は回転制御部１０Ａ、１０Ｂを介してファンモータ５Ａ、５Ｂを停止する以外に、モータ３Ａ、３Ｂへの電力供給を停止するようにしてもよい。すなわち、運転停止部１８はリレーで構成してもよい。
【００３０】
リトライカウント部２０は、リトライ部１９によるリトライ機能があらかじめ定められた時間内に所定回数繰り返し行われたことを検知すると、回転速度同調制御を行わず運転停止部１８を介してファンモータ５Ａ、５Ｂを自動で停止する。すなわち、運転停止部１８による指示はリトライ部１９による指示よりさらに優先して実施される。このように、本体制御部７５は、リトライ制御を所定時間内に所定回数繰り返したとき、ファンモータ５Ａ、５Ｂを停止する。
【００３１】
リトライカウント部２０は、例えば１時間にリトライ機能が行われた回数をカウントしている。そしてカウントした回数が例えば５回を超えると異常使用であると判断する。このような状態は例えば設置環境の圧力異常が起こったり、ファンモータ５Ａ、５Ｂへロープなどの異物が混入した場合などの異常使用されたりした場合、あるいはフィルタ６に異常がある場合に生じる。リトライカウント部２０は、所定時間内にカウントした回数が所定値以上になると運転停止部１８に信号を出力する。運転停止部１８はこの信号を受けてファンモータ５Ａ、５Ｂを自動的に停止する。このようにしてファンモータ５Ａ、５Ｂの異常使用が自動的に回避される。
【００３２】
ここで、リトライカウント部２０が、リトライ部１９によるリトライ機能の指示回数を計測する所定時間は１〜２時間程度とするのが妥当である。この制御は上述のように異常の検知が目的であるため、短時間で判断することが好ましい。また異常のある場合は連続してリトライ機能が行われるので、運転停止部１８に信号出力するための閾値は３〜５回程度でよい。
【００３３】
（実施の形態５）
図６は本発明の実施の形態５によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態１による構成と異なる点は、本体制御部７６に比較器３１に代わって機能の異なる第３の比較器２１と、運転停止部１８とが設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態１と同様である。比較器２１もまたマイコン等により構成されている。
【００３４】
比較器２１は比較器３１と同様の機能を有し、検出部９Ａで検出された回転速度と検出部９Ｂで検出された回転速度とを比較し、その結果を回転速度同調制御部（以下、制御部）１１に伝える。これ以外に、比較器２１は、回転速度設定部８による設定回転速度と検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度とを比較する。そして設定回転速度と検出部９Ａ、９Ｂのいずれかによる検出回転速度との差が、例えば設定回転速度の２５％に相当する回転差限界より大であるか否かを判断する。さらに差が回転差限界より大であることを検知した場合、運転停止部１８を介して回転速度同調制御を行わずにファンモータ５Ａ、５Ｃを自動的に停止する。このように運転停止部１８による指示は制御部１１による指示より優先して実施される。
【００３５】
このように比較器２１は、検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度と回転速度設定部８による設定回転速度とを比較して回転速度差を検知している。
【００３６】
図６に示すように設置段階でファンモータ５Ｂとは全く異なるファンモータ５Ｃが設置されている場合がある。このようにファンモータ５Ｃを誤使用している場合に、比較器２１はファンモータ５Ｃの回転速度が大幅に異なることを検出して、誤った設置状態であることを判断することができる。例えば、設定回転速度が２０００ｒ／ｍｉｎで、検出回転速度と設定回転速度との差が５００ｒ／ｍｉｎ以上であることを比較器２１が検出する。このような場合に比較器２１は運転停止部１８に信号を出力する。運転停止部１８はこの信号を受けてファンモータ５Ａ、５Ｃを自動的に停止する。このようにしてファンモータ５Ｃの異常使用が自動的に回避される。
【００３７】
あるいは、ファンモータ５Ａ、５Ｂが正しく設置され、フィルタ６が局部的に目詰まりしてファンモータ５Ａ、５Ｂの一方が正常に運転できない場合にもファンモータ５Ａ、５Ｂが停止される。
【００３８】
なおファンモータ５Ｃに代わってファンモータ５Ａと同機能のファンモータ５Ｂが設置されている場合には、運転停止部１８が作動しないよう、比較器２１における判定基準値を設定する。
【００３９】
以上のように、本体制御部７６は、設定回転速度と検出部９Ａまたは検出部９Ｂによる検出回転速度との差が所定値より大きい場合、ファンモータを停止する。これにより一方のファンモータの誤使用や異常状態での運転が防止される。
【００４０】
（実施の形態６）
図７は本発明の実施の形態６によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態１による構成と異なる点は、本体制御部７７に比較器３１に代わって機能の異なる第３の比較器２２と、運転停止部１８とが設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態１と同様である。比較器２２もまたマイコン等により構成されている。
【００４１】
比較器２２は比較器３１と同様の機能を有し、検出部９Ａで検出された回転速度と検出部９Ｂで検出された回転速度とを比較し、その結果を回転速度同調制御部（以下、制御部）１１に伝える。これ以外に、比較器２２は検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度と回転速度設定部８で設定された回転速度とを比較する。そして検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度が設定回転速度と所定値以上異なる場合に運転停止部１８を介してファンモータ５Ｃ、５Ｄを停止する。
【００４２】
ここで、ファンモータ５Ｃ、５Ｄは必要な能力を有する取り付けるべきファンモータ５Ａ、５Ｂとは異なる。このような場合、ファンモータ５Ｃ、５Ｄは必要な回転速度で回転できない。すなわち、取り付けるべきファンモータの能力範囲内であらかじめ定めた回転速度以下に設定回転速度を設定したにもかかわらず、運転開始直後において検出回転速度が設定回転速度に一致しない。このような場合、比較器２２は検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度と回転速度設定部８で設定された回転速度とを比較することでファンモータ５Ｃ、５Ｄの誤使用を検知する。そして回転速度同調制御を行わず運転停止部１８によりファンモータ５Ｃ、５Ｄを自動で停止する。
【００４３】
回転速度設定部８にて、ファンモータ５Ａ、５Ｂの能力範囲である例えば１０００〜２０００ｒ／ｍｉｎ内である１８００ｒ／ｍｉｎ以下で設定回転速度を設定した場合を想定する。この場合、ファンモータ５Ａ、５Ｂには十分な能力があり、フィードバック制御可能である。しかしながら誤ってファンモータ５Ｃ、５Ｄが取り付けられていると、検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度が設定回転速度の例えば±１０ｒ／ｍｉｎ以内に入らない。このような場合比較部２２は、ファンモータ５Ａ、５Ｂと能力の全く異なるファンモータ５Ｃ、５Ｄが誤使用されているなどの異常使用であると判断する。そして、運転停止部１８に信号を出力する。運転停止部１８はこの信号を受けてファンモータ５Ｃ、５Ｄを自動的に停止する。このようにしてファンモータ５Ｃ、５Ｄの異常使用が自動的に回避される。
【００４４】
なおファンモータ５Ｃ、５Ｄに代わってファンモータ５Ａ、５Ｂが設置されている場合には、運転停止部１８が作動しないよう、比較器２２における判定基準値を設定する。
【００４５】
また運転開始直後においては実施の形態２で述べたように、ファンモータの回転速度が安定しない場合がある。そのため、実施の形態２の安定化部１６の機能と同様に、運転停止部１８が作動するのを一定時間の間、抑制することが好ましい。
【００４６】
以上のように、本体制御部７７は、設定回転速度と検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度との差が所定値より大きい場合、ファンモータ５Ａ、５Ｂを停止する。
【００４７】
なお、実施の形態２〜実施の形態６のそれぞれに固有の構成は、互いに相反することがない限り組み合わせてもよく、そのような構成は本発明の範疇である。例えば、実施の形態２の構成を実施の形態３〜６の構成に組み合わせてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明によれば、回転速度の近似したファンが複数台設置されたクリーンルームを含む室内において、回転速度同調制御を用いてファンによるうなり音を抑制することができる。そのため作業環境のみならず住環境を快適にする用途に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施の形態１によるファンフィルタユニットの概略構成図
【図２】図１に示すファンフィルタユニットのブロック回路図
【図３】本発明の実施の形態２によるファンフィルタユニットのブロック回路図
【図４】本発明の実施の形態３によるファンフィルタユニットのブロック回路図
【図５】本発明の実施の形態４によるファンフィルタユニットのブロック回路図
【図６】本発明の実施の形態５によるファンフィルタユニットのブロック回路図
【図７】本発明の実施の形態６によるファンフィルタユニットのブロック回路図
【符号の説明】
【００５０】
２Ａ    第１のファン
２Ｂ    第２のファン
３Ａ    第１のモータ
３Ｂ    第２のモータ
４Ａ    第１のモータドライバ
４Ｂ    第２のモータドライバ
５Ａ    第１のファンモータ
５Ｂ    第２のファンモータ
５Ｃ，５Ｄ    ファンモータ
６    フィルタ
７，７３，７４，７５，７６，７７    本体制御部
８    回転速度設定部
９Ａ    第１の検出部
９Ｂ    第２の検出部
１０Ａ    第１の回転制御部
１０Ｂ    第２の回転制御部
１１    回転速度同調制御部
１６    安定化部
１８    運転停止部
１９    リトライ部
２０    リトライカウント部
２１，２２，３１    第３の比較器
３０Ａ    第１の比較器
３０Ｂ    第２の比較器
【図１】
0004561828.tif 000002
【図２】
0004561828.tif 000003
【図３】
0004561828.tif 000004
【図４】
0004561828.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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