(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定ガスに接する被測定ガス側電極と基準ガスに接する基準ガス側電極とを備えた固体電解質板と，
上記基準ガス側電極と対面し，一端が閉塞端で，他端がガスセンサ素子の外部に対して開口した開口端として構成された溝状であり，基準ガスを導入するよう構成された基準ガス室を備えたスペーサー板と，
通電により発熱する発熱体を備えたヒータ基板とが積層されたガスセンサ素子であって，
上記基準ガス室の閉塞端における角部は，その幅方向が曲面によって構成され，
かつ，上記基準ガス室の幅方向中心を通り，幅方向と垂直に交わる長手方向に平行な平面に沿った切断面において，上記閉塞端における長手方向の角部は曲面によって構成されていると共にその曲率半径は１ｍｍ〜２０ｍｍであることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項２】
被測定ガスに接する被測定ガス側電極と基準ガスに接する基準ガス側電極とを備えた固体電解質板と，
上記基準ガス側電極と対面し，一端が閉塞端で，他端がガスセンサ素子の外部に対して開口した開口端として構成された溝状であり，基準ガスを導入するよう構成された基準ガス室を備えたスペーサー板と，
通電により発熱する発熱体を備えたヒータ基板とが積層されてなると共に，
上記基準ガス室の閉塞端における角部はその幅方向が曲面によって構成され，
かつ，上記基準ガス室の幅方向中心を通り，幅方向と垂直に交わる長手方向に平行な平面に沿った切断面において，上記閉塞端における長手方向の角部は曲面によって構成されていると共にその曲率半径は１ｍｍ〜２０ｍｍであるガスセンサ素子を製造するにあたり，
固体電解質板用生シート，スペーサー板用生シート，ヒータ基板用生シートをそれぞれ準備し，
固体電解質板用生シートに電極形成用の印刷部を，ヒータ基板用生シートに発熱体用の印刷部をそれぞれ設け，
スペーサー板用生シートに溝加工を施して，基準ガス室となる閉塞端と開放端とを備え，閉塞端の角部が曲面によって構成された溝部を形成し，
ヒータ基板用生シートにスペーサー板用生シートを積層し，これらに対し更に固体電解質板用生シートを積層し，接着剤にて貼り合わせて未焼積層体となし，
その後，未焼積層体を焼成することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
【請求項３】
請求項２において，上記溝加工は切削加工により行なうことを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
【請求項４】
請求項２において，上記溝加工はプレス加工により行なうことを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，内燃機関の排気系に取付け，燃焼制御に利用される各種のガスセンサ素子及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
自動車エンジンの排気系には燃焼制御に利用するためのガスセンサが設けてあり，ここに内蔵されるガスセンサ素子として，特開平９−２６４０９号に示されるような構成の素子が知られている。
【０００３】
図１６に示すごとく，このガスセンサ素子９は，被測定ガスに接する被測定ガス側電極１１と基準ガスに接する基準ガス側電極１２とを備えた固体電解質板９３に対し，基準ガス室をアルミナ基板９５と共に構成するスペーサー板９４が積層されることで形成される。同図に示すごとく，上記スペーサー板９４はコ字形状で，基準ガス室形成用の窓部９４０を有する。
【０００４】
上記ガスセンサ素子９の基準ガス室は，一端が閉塞端で，他端がガスセンサ素子の外部に対して開口した開口端として構成され，上記開口端から基準ガスとなる大気等が導入されるよう構成されている。
なお，図示を略したが，アルミナ基板９５に対し，発熱体を備えたヒータ基板が積層される。
【０００５】
【解決しようとする課題】
ところで，ガスセンサ素子９は中空なので機械的強度が弱く，ガスセンサ素子製造やガスセンサへの組み付け時に，衝撃による損傷が生じやすい。
また，内燃機関の排気系で使用する際には，内燃機関始動前と始動後の温度差による熱応力から損傷することもある。
【０００６】
また，上記従来構成のガスセンサ素子９において，スペーサー板９４とアルミナ基板９５とが，製造工程中やガスセンサ素子使用中に剥離する等して，不良やトラブルが発生することがあった。
【０００７】
更に，近年は従来にもまして応答性が早く早期活性に優れたガスセンサ素子に対する要求が高まっており，従来構成のガスセンサ素子では，どちらの性能についても一層の改善が望まれていた。
【０００８】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，機械的応力や熱応力による損傷や不良が生じ難く，耐久性に優れ，応答性，早期活性に優れたガスセンサ素子及びその製造方法を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題の解決手段】
請求項１に記載の発明は，被測定ガスに接する被測定ガス側電極と基準ガスに接する基準ガス側電極とを備えた固体電解質板と，
上記基準ガス側電極と対面し，一端が閉塞端で，他端がガスセンサ素子の外部に対して開口した開口端として構成された溝状であり，基準ガスを導入するよう構成された基準ガス室を備えたスペーサー板と，
通電により発熱する発熱体を備えたヒータ基板とが積層されたガスセンサ素子であって，
上記基準ガス室の閉塞端における角部は，その幅方向が曲面によって構成され，
かつ，上記基準ガス室の幅方向中心を通り，幅方向と垂直に交わる長手方向に平行な平面に沿った切断面において，上記閉塞端における長手方向の角部は曲面によって構成されていると共にその曲率半径は１ｍｍ〜２０ｍｍであることを特徴とするガスセンサ素子にある。
【００１０】
本発明の作用効果につき説明する。
本発明にかかるガスセンサ素子は，溝状の基準ガス室の閉塞端における上記長手方向の角部が曲面状で曲率半径が１ｍｍ〜２０ｍｍとなるように構成されている。
仮に曲率半径が１ｍｍ未満である場合は，上記長手方向の角部が十分丸みを帯びた形状とならず，本発明にかかる効果が得難く，優れた耐久性が得がたくなるおそれがある。
また，曲率半径が２０ｍｍを越えた場合は，供給，排出酸素量が低くなり，特に本発明にかかるガスセンサ素子をＡ／Ｆセンサとして使用する場合等に，リッチ側の検出限界が低くなるおそれがある。
【００１１】
なお，本発明にかかる基準ガス室はスペーサー板に設けた溝により構成されている。また，上記角部はガスセンサ素子基準ガス側電極付近，つまり基準ガス室の閉塞端側に形成される終端である（図１等参照）。
【００１２】
なお，基準ガス室の幅方向，幅方向と垂直に交わる長手方向については，後述する図３等に具体的に記載した。およそ長手方向はガスセンサ素子の中心軸方向であり，幅方向はガスセンサ素子の径方向と見なすことができる。
【００１３】
本発明にかかるガスセンサ素子の基準ガス室は，上記長手方向の角部の曲面が上述した範囲の曲率半径を有するため，熱的，機械的応力が生じた場合，これらの応力が角部に集中し難くなる。
そのため，熱応力による損傷が生じ難く，幅広い温度範囲の冷熱サイクルに耐えられるガスセンサ素子を得ることができる。
同様の理由から機械的応力による損傷が生じ難く，衝撃に強いガスセンサ素子を得ることができる。
【００１４】
本発明においては，上記のごとく角部の幅方向も曲面によって構成されている。
また，このように，本発明においては，角部がその幅方向，長手方向ともに曲面状であることから，角部における基準ガスの淀みが生じ難くなり，ガスセンサ素子の応答性を高めることができる。
更に，角部が幅方向，長手方向ともに曲面状となった分，図１等より明らかであるが，発熱体から基準ガス側電極に至る伝熱経路がより長くスペーサー板を通ることとなる。よって，発熱体の熱が基準ガス側電極に伝導しやすくなる。
このため，ガスセンサ素子を素子活性温度に昇温する時間を短くすることができ，早期活性に優れるガスセンサ素子を得ることができる。
【００１５】
以上，本発明によれば，機械的応力や熱応力による損傷や不良が生じ難く，耐久性に優れ，応答性，早期活性に優れたガスセンサ素子を提供することができる。
【００１６】
また，本発明にかかる角部が曲面状である基準ガス室は，切削加工で形成する際は，ほぼ一度の切削加工で基準ガス室の加工を終えることができる。
仮に，基準ガス室が直角に近い角部を有する場合，これを作製する際は，複数回の切削加工を所望の形状となるまで繰り返す必要がある。つまり，本発明にかかる基準ガス室はより少ない工程数で作製可能である。
また，基準ガス室をプレス加工で作製する際は，角部が曲面状であることから，金型の抜き工程が容易となる。
すなわち，本発明にかかるガスセンサ素子は製造容易である。
【００１７】
また，上記ガスセンサ素子はいわゆる積層型であり，通常の酸素センサ素子として用いる他，自動車エンジンの排気系に設置する空燃比センサ素子として使用することもできる。その他，電極の数を増やす等して，ＮＯｘセンサ素子，複合センサ素子等として用いることもできる。
【００１８】
次に，請求項２に記載の発明は，被測定ガスに接する被測定ガス側電極と基準ガスに接する基準ガス側電極とを備えた固体電解質板と，
上記基準ガス側電極と対面し，一端が閉塞端で，他端がガスセンサ素子の外部に対して開口した開口端として構成された溝状であり，基準ガスを導入するよう構成された基準ガス室を備えたスペーサー板と，
通電により発熱する発熱体を備えたヒータ基板とが積層されてなると共に，
上記基準ガス室の閉塞端における角部はその幅方向が曲面によって構成され，
かつ，上記基準ガス室の幅方向中心を通り，幅方向と垂直に交わる長手方向に平行な平面に沿った切断面において，上記閉塞端における長手方向の角部は曲面によって構成されていると共にその曲率半径は１ｍｍ〜２０ｍｍであるガスセンサ素子を製造するにあたり，
固体電解質板用生シート，スペーサー板用生シート，ヒータ基板用生シートをそれぞれ準備し，
固体電解質板用生シートに電極形成用の印刷部を，ヒータ基板用生シートに発熱体用の印刷部をそれぞれ設け，
スペーサー板用生シートに溝加工を施して，基準ガス室となる閉塞端と開放端とを備え，閉塞端の角部が曲面によって構成された溝部を形成し，
ヒータ基板用生シートにスペーサー板用生シートを積層し，これらに対し更に固体電解質板用生シートを積層し，接着剤にて貼り合わせて未焼積層体となし，
その後，未焼積層体を焼成することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法にある。
【００１９】
本発明にかかる製造方法において，スペーサー板用生シートは基準ガス室形成用の溝部が設けてある。この溝部より形成された基準ガス室の一例は後述する図２，図３，図６等に示されているが，貫通しない凹所としてスペーサー板用生シートに形成される。
前述した図１６に示される従来構成と異なり，基準ガス室をスペーサー用生シートに溝部として設けてあるため，従来構成で起こりうるスペーサー板−アルミナ基板の剥離による各種の不良，トラブルをなくすことができる。
また，各生シートは接着剤にて貼り合わされているため，シート間が強く接合されており，他のシート間における剥離による各種の不良，トラブルも生じ難い。
【００２０】
また，基準ガス室の角部は図６に示すごとく，その幅方向，長手方向ともに曲面状であるため，熱的，機械的応力が角部に集中し難い。
そのため，熱応力による損傷が生じ難く，幅広い温度範囲の冷熱サイクルに耐えられるガスセンサ素子を得ることができる。また，機械的応力による損傷が生じ難く，衝撃に強いガスセンサ素子を製造することができる。
【００２１】
また，角部が幅方向，長手方向ともに曲面状であることから，該角部での基準ガスの淀みが生じ難くなり，ガスセンサ素子の応答性を高めることができる。
更に，上記角部が曲面状となった分，図１等より明らかであるが，発熱体から基準ガス側電極に至る伝熱経路がより長くスペーサー板を通ることとなる。よって，発熱体の熱が基準ガス側電極に伝導しやすくなる。
このため，ガスセンサ素子を素子活性温度に昇温する時間を短くすることができ，早期活性に優れるガスセンサ素子を製造することができる。
【００２２】
以上，本発明によれば，機械的応力や熱応力による損傷や不良が生じ難く，耐久性に優れ，応答性，早期活性に優れたガスセンサ素子の製造方法を提供することができる。
【００２３】
上記各生シートはガスセンサ素子を一個取り可能な大きさで作製することもできるが，製造効率の観点から，ガスセンサ素子を複数個取り可能な大きさに各生シートを構成し，各印刷部を複数個形成し，積層した後，切断等によりガスセンサ素子１個分に個片化して製造することが好ましい（詳細は実施形態例３参照）。
【００２４】
次に，請求項３に記載の発明のように，上記溝加工は切削加工により行なうことが好ましい。
これにより，溝ピッチ−溝形状を精度よく加工することができる。
【００２５】
次に，請求項４記載の発明のように，上記溝加工はプレス加工により行なうことが好ましい。
これにより，１度のプレス加工で多数の溝を同時に形成することができるため，加工機具類の消耗も少なくコストを安価とすることができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
実施形態例１
参考例にかかるガスセンサ素子につき，図１〜図６を用いて説明する。
本例のガスセンサ素子１は，図１に示すごとく，被測定ガスに接する被測定ガス側電極１１と基準ガスに接する基準ガス側電極１２とを備えた固体電解質板１３と，上記基準ガス側電極１１と対面し，基準ガスを導入するよう構成された基準ガス室１０を備えたスペーサー板１４と，通電により発熱する発熱体１５０を備えたヒータ基板１５とが積層されて構成される。
上記基準ガス室１０は，基準ガス側電極１２が設けられた一端が閉塞端１０２で，他端がガスセンサ素子１の外部に対して開口した開口端１０１として構成された溝状である。
【００２７】
図１，図３に示すごとく，上記基準ガス室１０の閉塞端１０２における角部１００はその長手方向が曲面によって構成され，上記基準ガス室１０の幅方向中心を通る軸方向に平行な平面で切った軸方向断面形状において（図３にかかる破線Ｃ参照），上記角部１００の曲率半径は１ｍｍ〜２０ｍｍの範囲内にある。
【００２８】
以下，詳細に説明する。
本例のガスセンサ素子１は，図４に示すごときガスセンサ２に内蔵され，自動車エンジンの排気系に取付け，エンジンの燃焼制御に利用される。
図１〜図３に示すごとく，本例のガスセンサ素子１は，酸素イオン導電性のジルコニア系の固体電解質板１３と，アルミナ製の絶縁体よりなるスペーサー板１４と，アルミナ製のヒータ基板１５とが積層されている。
【００２９】
上記固体電解質板１３に対し，被測定ガス側電極１１と基準ガス側電極１２が設けてある。また，被測定ガス側電極１１は電極保護層１３５で覆われている。
なお，図示は略したが，被測定ガス側電極１１，基準ガス側電極１２と電気的に導通した出力取出し用の端子部とリード部とが，上記固体電解質板１３に設けてある。
また，上記ヒータ基板１５には，発熱体１５０と電気的に導通されたリード部１５１が共に設けてある。
【００３０】
基準ガス室１０の長手方向の角部１００は，ガスセンサ素子１の長手方向について湾曲した形状を有し，その曲率半径は，図３にかかる破線Ｃに沿って測った値が採用される。本例にかかるガスセンサ素子１の曲率半径は１０ｍｍである。
なお，上記破線Ｃは，ガスセンサ素子１の幅方向（図３参照）の中心Ｏを通り，ガスセンサ素子１の長手方向（図１及び図３参照）に平行な平面に沿った切断面である。
【００３１】
本例にかかるガスセンサ素子１を内蔵したガスセンサ２について説明する。
図４に示すごとく，本例のガスセンサ２は，筒状のハウジング２０と該ハウジング２０の先端側に設けられた二重の被測定ガス側カバー２１と，基端側に設けられた大気側カバー２２とを有する。大気側カバー２２の基端側には，撥水フィルタ２２０を介して外側カバー２２１が設けてある。
ハウジング２０の内側には，先端側絶縁碍子２４１に挿通されたガスセンサ素子１が挿通配置され，またガスセンサ素子１の基端側で大気側カバーの内部には基端側絶縁碍子２４２が配置されている。
【００３２】
基端側絶縁碍子２４２の内部にガスセンサ素子１の出力取出し用の端子２３１が配置され，この端子２３１は接続金具２３２を介して，ガスセンサ１の外部に引き出されるリード線２３３に接続されている。また，大気側カバー２２の最も基端側の内部には弾性絶縁部材２５が設けてあって，ここにリード線２３３が挿通される。
【００３３】
本例にかかる作用効果について説明する。
本例に示した基準ガス室１０は，角部１００の曲面が上述した範囲の曲率半径を有するため，熱応力による損傷が生じ難く，幅広い温度範囲の冷熱サイクルに耐えられるガスセンサ素子１を得ることができる。また，機械的応力による損傷が生じ難く，衝撃に強いガスセンサ素子１を得ることができる。
【００３４】
また，長手方向の角部が曲面状であることから，該角部１００での基準ガスの淀みが生じ難くなる。
すなわち，開口端１０１から入った基準ガスは基準ガス室１０の形状に沿って移動して，角部１００の曲面形状により，スムーズに基準ガス側電極１２に対しガイドされる。このため，応答性に優れたガスセンサ素子１を得ることができる。
更に，角部１００が曲面状となった分，図１より明らかであるが，発熱体１５０から基準ガス電極１２に至る伝熱経路がより長くスペーサー板１４内部を通ることとなる。よって，発熱体１５０の熱が基準ガス側電極１２に伝導しやすく，早期活性に優れるガスセンサ素子１を得ることができる。
【００３５】
以上，本例によれば，機械的応力や熱応力による損傷や不良が生じ難く，耐久性に優れ，応答性，早期活性に優れたガスセンサ素子を提供することができる。
【００３６】
なお，本例に記載したガスセンサ素子とは異なる構成の素子として，内燃機関の排気系に設置してＡ／Ｆセンサ素子として利用できるものが挙げられる。
このものは，図１に示した電極保護層１３５のかわりに，図５に示すごとく，被測定ガス側電極１１が拡散抵抗層１３６と遮閉層１３７に覆われている。
このものについても，本例と同様に基準ガス室１０の角部１００を曲面状とすることで，本例と同様の効果を得ることができる。
【００３７】
実施形態例１
本例は上記参考例と同様の構成をもつガスセンサ素子１であって，基準ガス室１００の形状が，ガスセンサ素子１の長手方向だけでなく，幅方向についても曲面状となった例である。
図５及び図６に示すごとく，本例のガスセンサ素子１は，角部１００が曲面状の基準ガス室１０を有する。
角部１００は，図６（ｂ）より明らかであるが，ガスセンサ素子１の長手方向だけでなく幅方向についても曲面状となっている。
その他は参考例と同様であり，同様の作用効果を有する。
また，本例においては，上記の角部がその幅方向，長手方向ともに曲面状である。そのため，角部における基準ガスの淀みが生じ難くなり，ガスセンサ素子の応答性を高めることができる。
更に，角部が幅方向，長手方向ともに曲面状となっているので，図１，図６等より明らかなように，発熱体から基準ガス側電極に至る伝熱経路がより長くスペーサー板を通ることとなる。よって，発熱体の熱が基準ガス側電極に伝導しやすくなる。
このため，ガスセンサ素子を素子活性温度に昇温する時間を短くすることができ，早期活性に優れるガスセンサ素子を得ることができる。
【００３８】
実施形態例２
本例においては，参考例に記載したガスセンサ素子１の製造方法について詳細に説明する。
まず，製造方法の概略について記載する。
図７に示すごとく，電極保護層用生シート５３５，固体電解質板用生シート５３，スペーサー板用生シート５４，ヒータ基板用生シート５５をそれぞれ準備する。
【００３９】
各生シートは，次のように加工する。
即ち，図８に示すごとく，固体電解質板用生シート５３に電極形成用の印刷部５３０を，ヒータ基板用生シート５５に発熱体用の印刷部５５０をそれぞれ設ける。
また，スペーサー板用生シート５４に溝加工を施して，基準ガス室１００となる一端が閉塞し，他端が開放された溝部５４０を形成する。
【００４０】
その後，図９に示すごとく，ヒータ基板用生シート５５にスペーサー板用生シート５５を積層し，これらに対し更に固体電解質板用生シート５３及び電極保護層用生シート５３５を積層し，図９（ａ）に示すごとく，接着剤にて貼り合わせて未焼積層体とする。
得られた未焼積層体をガスセンサ素子単位に，図９（ｂ）に示すごとく，個片化し，得られた個片５６を焼成して，図９（ｃ）に示すごとく，ガスセンサ素子１を得る。
【００４１】
以下，詳細に説明する。
図７に示すごとき各生シート５３５，５３，５４，５５を押出成形装置（図示略）で作成する。
図７には，図面上から順に，電極保護層用生シート５３５（アルミナ組成厚さ０．１５ｍｍ），固体電解質板用生シート５３（ジルコニア組成厚さ０．２ｍｍ），スペーサー板用生シート５４（アルミナ組成厚さ１．５ｍｍ），ヒータ基板用生シート５５（アルミナ組成厚さ０．２ｍｍ）が記載されている。
【００４２】
また，固体電解質板用生シート５３，スペーサー板用生シート５４，ヒータ基板用生シート５５の寸法は７０ｍｍ×９０ｍｍで，保護層用生シート５３５の寸法は７０ｍｍｍｍ×３５ｍｍである。
なお，上記スペーサー板用生シート５４は，下記に記載した溝加工を施した後に上記寸法に調整する。
【００４３】
次に，スペーサー板用生シート５４に対し溝加工を施して，基準ガス室１００用の溝部５４０を形成する詳細について説明する。
まず，押出成形された直後のスペーサー板用生シート５４の水分量を調整する。
上記生シート５４を，図１０に示すごとく，パンチングメタルからなる足つきトレイ５４９の上に載置して，最大でトレイ５４９を１０段重ねとして，温度を５０度に維持したオーブン内に置いて乾燥する。
この乾燥により，生シート５４の水分量を１１±０．５％に設定する。なお，水分量が少なすぎると生シート５４に割れが発生するおそれがあり，水分量が多いと形が安定しないおそれがある。
乾燥終了後，生シート５４を所定の寸法に切断する。
【００４４】
次に，溝加工のプレス加工に用いる金型について説明する。
図１１に示すごとく，金型は上型６１と下型６２とよりなり，上型６１の型面６１０に溝形成用の凸部６１１が設けてある。
下型６２の周囲には下補助具６２９が配置され，上型６１の型面６１０と反対側には上補助具６１９が取付けてある。また，下型６２の型面６２０の周囲には，パッキン６２８が配置される。
【００４５】
このような状態にある金型の下型６２の型面６２０に対し，離型シート５４５をはさんで，上記生シート５４をセットする。
続いて，上型６１を下型６２に対してセットし，プレス成形を行なう。この時，金型温度は８０℃，成形圧力は７７ＭＰａ，成形時間は１５秒とした。成形終了後，型開きし，溝が形成された生シート５４を取り出し，離型シート５４５をはがす。
【００４６】
再び，生シート５４をパンチングメタルからなる足つきトレイ（図１０と同様のトレイ５４９を使用する）に載置して，最大でトレイを１０段重ねとした。これを温度９５℃に保持したオーブン内に２時間おいて乾燥させる。
乾燥終了後の生シート５４は全体にうねりが生じ，その表面は凹凸が形成されている。上記うねりと凹凸を除去するために，次の手順で平滑化プレスを生シート５４に施す。
【００４７】
図１２に示すごとく，上記生シート５４の上下の両面を離型シート５４５で挟み，平プレス型にセットする。この平プレス型は，上型６３，下型６４の型面６３０，６４０がそれぞれ平面に構成されている。
そして，下型６４の型面６４０に離型シート５４５で挟んだ生シート５４を配置し，上型６３をセットして，平プレスを施す。この時，金型温度は８０℃，圧力は８．５ＭＰａ，時間は１５秒とした。
平プレス終了後，型開きし，離型シート５４５をはがして，スペーサー用生シート５４を取り出す。
その後，溝ピッチ，溝形状，シート反り（１ｍｍ以下とする必要がある），シート表面荒さ（５μｍ以下とする必要がある），外観検査を行って，不良品を除去する。
【００４８】
次に，上記固体電解質板用生シート５３に対し，被測定ガス側電極及び基準ガス側電極用，また各端子部用，端子部と電極とを結ぶリード部用等の印刷部５３０を設ける。この印刷部は導電性ペーストであるＰｔペーストを生シート５３に対しスクリーン印刷することにより形成した。
また，同様に，上記ヒータ基板用生シート５５に対し，発熱体用，発熱体に通電する際に利用されるリード部用，端子部用の印刷部５５０を，導電性ペーストであるＰｔペーストを生シート５５に対しスクリーン印刷することにより形成した。
【００４９】
以上により加工された各生シート５３５，５３，５４，５５に対し接着剤を全面塗布して，図９（ａ）に示すごとく積層する。これにより得られた未焼積層体を切断し，図９（ｂ）に示すごとく，ガスセンサ素子１個分に個片化する。
得られた個片５６を１４７０℃，２時間で焼成し，ガスセンサ素子１を得る。
【００５０】
本例の作用効果について説明する。
上述した製造方法において，スペーサー板用生シート５４は基準ガス室形成用の溝部が設けてある。この溝部は貫通しない凹所としてスペーサー板用生シート５４に形成される。前述した図１６に示される従来構成と異なり，基準ガス室をスペーサー用生シート５４に設けた溝より構成してあるため，スペーサー板−アルミナ基板の剥離による各種の不良，トラブルをなくすことができる。
また，各生シート５３５，５３，５４，５５は接着剤にて貼り合わされているため，シート間が強く接合されており，シート間剥離による各種の不良，トラブルも生じ難い。
【００５１】
実施形態例３
本例は，実施形態例２に記載したガスセンサ素子の製造方法において，生シート５４に対する溝加工の方法として切削加工を選択した場合について説明する。
図１３に本例において使用する切削加工用の切削刃７を示す。
切削刃７は，１２角形の本体部７０と，該本体部７０の周方向側面に設けた４箇所の突起部７１と，該突起部７１に対し設けたダイヤモンド刃７１１とよりなる。
図１４はダイヤモンド刃７１１を図１３に示す方向Ｓからみた形状を示した図面である。
【００５２】
この切削刃７を用いて，図１５に示すごとく，生シート５４の一端から，他端に向けて，切削刃７を矢線Ｔ１方向に回転させながら，Ｔ２の方向へと移動させる。そして，所望の位置，すなわち，基準ガス室として必要な長さの溝を切削形成した時点で切削刃７を停止，生シート５４上方へ切削刃７を引上げる。
【００５３】
この時，前述の実施形態例３に示すごとく，ガスセンサ素子を複数個取り可能な大きさに生シートを作成した場合は，各溝を作製するに当り，１つの切削刃７を何度か用いて，所望の個数の溝加工を施すこともできるが，図示は略したが，連動して稼働可能に構成した所望の個数の切削刃７を用いて，複数の溝加工を同時に行なうほうがよい。
生シート５４の溝加工以外は実施形態例２と同様である。
【００５４】
本例にかかる製造方法では，溝加工を切削刃７を用いた切削加工で行なっているため，溝ピッチ，溝形状を精度よく加工することができる。
その他は実施形態例２と同様の作用効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  参考例における，ガスセンサ素子の断面説明図（図２にかかるＢ−Ｂ矢視断面図）。
【図２】  参考例における，ガスセンサ素子の断面説明図（図１にかかるＡ−Ａ矢視断面図）。
【図３】  参考例における，基準ガス室の角部の要部説明図。
【図４】  参考例における，ガスセンサの断面説明図。
【図５】  参考例における，Ａ／Ｆセンサ素子として利用可能なガスセンサ素子の説明図。
【図６】  実施形態例１における，（ａ）基準ガス室の角部の要部説明図，（ｂ）ガスセンサ素子の断面説明図。
【図７】  実施形態例２における，各生シートの斜視図。
【図８】  実施形態例２における，印刷部及び溝部を設けた各生シートの斜視図。
【図９】  実施形態例２における，各生シートを積層，個片化，焼成し，ガスセンサ素子を作製した際の説明図。
【図１０】  実施形態例２における，生シートの乾燥を行なう際の説明図。
【図１１】  実施形態例２における，生シートに溝部を設ける際の説明図。
【図１２】  実施形態例２における，溝部を設けた生シートを平プレスする際の説明図。
【図１３】  実施形態例３における，溝部を設ける際に用いる切削刃を示す説明図。
【図１４】  実施形態例３における，切削刃のダイヤモンド刃について示す説明図。
【図１５】  実施形態例３における，切削刃を用いた溝部の加工について示す説明図。
【図１６】  従来にかかる，ガスセンサ素子の斜視展開図。
【符号の説明】
１．．．ガスセンサ素子，
１０．．．基準ガス室，
１００．．．角部，
１０１．．．開口端，
１０２．．．閉塞端，
１１．．．被測定ガス側電極，
１２．．．基準ガス側電極，
１３．．．固体電解質板，
１４．．．スペーサー板，
１５．．．ヒータ基板，
１５０．．．発熱体，
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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