(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光記録媒体の記録層に光ビームを照射したときの反射光中に含まれている干渉光に基づいて非点収差を検出する方法であって、
上記光記録媒体の記録層には、マトリクス状に配列された複数のピットを設けておくことにより、上記反射光中にはトラック方向およびトラッキング方向に分かれた４つの干渉光を発生させ、かつ、
これら４つの干渉光の強度分布に基づいて上記非点収差を検出することを特徴とする、収差検出方法。
【請求項２】
光記録媒体の記録層に光ビームを照射することにより、上記記録層への情報の記録または再生を行なうための光情報処理方法であって、
上記光記録媒体の記録層には、マトリクス状に配列された複数のピットを設けておくことにより、上記複数のピットに光ビームを照射したときに、その反射光中にトラック方向およびトラッキング方向に分かれて発生した４つの干渉光の強度分布に基づいて非点収差を検出し、かつ、
この非点収差に基づいて上記光ビームの強度を調整することにより、上記記録層上に形成される光スポットのピーク強度を一定以上に維持することを特徴とする、光情報処理方法。
【請求項３】
上記記録層に光ビームを照射するときには、上記光スポットのピーク強度が最大となる位置に上記光記録媒体の記録層を配置させるフォーカス制御を行なう、請求項２に記載の光情報処理方法。
【請求項４】
光源を有し、かつこの光源から発せられた光ビームを、光記録媒体の記録層にマトリクス状に配列された複数のピットに照射させる光ビーム照射手段と、上記光記録媒体からの反射光を受ける光検出器と、を有している、光情報処理装置であって、
上記光検出器は、上記反射光中にトラック方向とトラッキング方向とに分かれた４つの干渉光を個別に受光可能な複数の光検知領域を有しており、
上記複数の光検知領域で受光された干渉光の強度差に基づいて非点収差を検出可能な収差検出手段を備えていることを特徴とする、光情報処理装置。
【請求項５】
上記収差検出手段によって検出された非点収差に基づいて、上記光源の出力を調整する光ビーム出力調整手段を備えている、請求項４に記載の光情報処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、ＣＤやＤＶＤに代表される光ディスクなどの光記録媒体へのデータ記録または再生を行なう際に適用される技術、さらに詳しくは、非点収差やその他の所定の収差に起因してデータの記録・再生処理に不具合を生じないようにするための技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のとおり、光ディスクにデータを記録し、あるいはデータの再生を行なうときには、レーザ光を対物レンズによって集束させることにより光ディスクの記録層上に光スポットを形成している。このとき、基板の厚みに原因する収差、フォーカスエラーに原因する収差、非点収差、光ディスクとレーザ光の光軸とのチルトに起因するコマ収差、またはその他の収差を生じる場合がある。このような収差が発生すると、光スポットのピーク強度が低下する。ここで、本明細書でいう光スポットのピーク強度とは、一定の広さをもつ光スポットの各部のうち、最も光束密度が高くなっている箇所の光の強度、すなわち、光スポットがもつ最大の光の強度を意味している。たとえば、ＭＳＲ（Magnetically Induced Super Resolution:磁気超解像）による光磁気媒体（以下「ＭＳＲ媒体」という）においては、情報の再生が光スポットの中心の高温部分においてのみ行なわれる。したがって、上記したような収差に起因して光のピーク強度が低下することは、データ再生を適正に行なう上で好ましくない。そこで、従来においては、所定の収差を検出するための手段として、次に述べるような手段がある（たとえば、特開２０００−２１０１４号、特開２０００−５７６１６号）。
【０００３】
すなわち、光ディスクのデータ記録方式としては、図２１（ａ）に示すように、複数のランドＬおよびグルーブＧをトラッキング方向（トラック方向と直交する方向であり、光ディスクの場合のラジアル方向と同意である。トラック方向は、トラックが延びる方向であり、光ディスクの場合のタンジェンシャル方向と同意である）に交互に並べて設けたランド／グルーブ方式が採用される場合がある。このような場合において、対物レンズ（図示略）によって集束されるレーザ光を、ランドＬまたはグループＧに照射すると、その反射光としては、０次光Ｒo と２つの１次光Ｒｅ，Ｒｆとが干渉し合う干渉光Ｉｅ，Ｉｆが発生し得る。０次光Ｒo は、ランドＬまたはグルーブＧへの光の照射光路をたどるように反射される非回折光である。これに対し、２つの１次光Ｒｅ，Ｒｆは、ランドＬおよびグループＧがトラッキング方向に並んでいることに起因して生じる１次の回折光であり、トラッキング方向に並ぶ。
【０００４】
従来においては、上記反射光に含まれている２つの干渉光Ｉｅ，Ｉｆに基づいて収差を検出している。たとえば、同図（ｂ）に示すように、光検出器９としては、干渉光Ｉｅ，Ｉｆに対応した全体形状をもつ複数の光検知領域９０ａ〜９０ｄを備えたものを使用し、この光検出器９によって上記反射光を受光させる。一方、たとえば収差が発生している場合には、同図（ａ）に示した干渉光Ｉｅ，１ｆの各部の強度は一様ではなくなる。その際の、光の強度分布は、収差の種類に特有の分布となる。したがって、光検出器９をそのような強度分布に対応する複数のグループ（たとえば同図の符号Ａａ，Ｂａで示す２つのグループ）に区分し、かつそれらのグループで受けた光の量の差分をとれば、これにより所定の種類の収差を検出することが可能となる。
【０００５】
従来においては、上記した手段を用いて収差を検出したときには、光学的な手段を用いることによって、その収差を無くし、または少なくするための補正処理を行なっていた。たとえば、特開２０００−５７６１６号においては、光ディスクに対向する箇所に液晶パネルを設けて、この液晶パネルを利用してレーザ光の位相に変更を加えることにより、収差を少なくしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術では、次に述べるような問題点があった。
【０００７】
すなわち、従来においては、トラッキング方向に並ぶ２つの干渉光Ｉｅ，Ｉｆに基づいて収差の判断を行なうにとどまっている。このため、たとえばデフォーカスに起因する収差、基板の厚み変動に起因する収差、チルトエラーに起因するコマ収差、およびその他の所定の収差については検出することが可能ではあるものの、これらとは別のたとえば非点収差を正確に検出することはできない。レーザ光源としては、半導体レーザが用いられるのが通例であるが、この半導体レーザから発せられるレーザ光には、非点隔差（レーザ光の放射波面の互いに直交するｘ方向とｙ方向とでは光の広がり角度が異なることにより、仮想放射原点がずれて見える）があり、光ディスク上に形成される光スポットには非点収差が発生する場合がある。この非点収差は、２つの焦点をもち、これら２つの焦点の中間部分が最も光の強度が高い部分となる。ところが、従来技術においては、そのような非点収差を的確に判断することは難しいものとなっていた。また、従来技術においては、たとえばチルトエラーに起因する収差として、ラジアルチルトエラーとタンジェンシャルチルトエラーとを検出することはできるものの、これらの検出もトラッキング方向に並ぶ２つの干渉光に基づいて行なわれるに過ぎない。したがって、その検出精度を高める観点からすれば、改善の余地があった。
【０００８】
さらに、上記従来技術においては、収差を検出した場合には、この収差を光学的手段によって無くそうとしているが、光学的手段によって収差を充分に無くすことが難しい場合がある。また、仮に収差を充分に無くすことができるとしても、そのためには高価な光学機器を用いなければならない場合もあり、この場合にはコスト的な不利を招いてしまう。
【０００９】
本願発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、従来において検出が困難であった収差を高価な光学機器を別途用いるようなことなく適切に検出できるようにすることをその課題としている。また、本願発明は、収差に原因して光記録媒体へのデータの記録や再生処理に不具合が発生することを簡易な手段によって適切に解消することができるようにすることを他の課題としている。
【００１０】
【発明の開示】
上記の課題を解決するため、本願発明では、次の技術的手段を講じている。
【００１１】
本願発明の第１の側面によって提供される収差検出方法は、光記録媒体の記録層に光ビームを照射したときの反射光中に含まれている干渉光に基づいて非点収差を検出する方法であって、上記光記録媒体の記録層には、マトリクス状に配列された複数のピットを設けておくことにより、上記反射光中にはトラック方向およびトラッキング方向に分かれた４つの干渉光を発生させ、かつ、これら４つの干渉光の強度分布に基づいて上記非点収差を検出することを特徴としている。
【００１２】
このような構成によれば、トラック方向およびトラッキング方向に分かれた４つの干渉光に基づいて収差を検出するために、従来のトラッキング方向に分かれた２つの干渉光のみに基づいて収差を検出する場合と比較すると、干渉光の強度分布をより精密に、かつ正確に分析することが可能となる。このため、従来技術では検出が困難であった非点収差の検出が可能となるといった効果が得られる。
【００１３】
本願発明の好ましい実施の形態においては、上記複数のピットは、トラック方向およびトラッキング方向に対して傾きをもって互いに直交する２方向に列状に並ぶ配列とする。このような構成によれば、上記複数のピットのトラック方向における配列ピッチは、上記２方向における配列ピッチよりも小さくなる。したがって、上記構成によれば、光記録媒体のトラックピッチを小さくするのに有利となる。
【００１４】
本願発明の第２の側面によって提供される光情報処理方法は、光記録媒体の記録層に光ビームを照射することにより、上記記録層への情報の記録または再生を行なうための光情報処理方法であって、上記光記録媒体の記録層には、マトリクス状に配列された複数のピットを設けておくことにより、上記複数のピットに光ビームを照射したときに、その反射光中にトラック方向およびトラッキング方向に分かれて発生した４つの干渉光の強度分布に基づいて非点収差を検出し、かつ、この非点収差に基づいて上記光ビームの強度を調整することにより、上記記録層上に形成される光スポットのピーク強度を一定以上に維持することを特徴としている。
【００１５】
このような構成によれば、本願発明の第１の側面によって提供される収差検出方法と同様な原理により、非点収差を適切に検出できるのに加え、収差に起因して光スポットのピーク強度に不足を生じないようにすることができる。したがって、非点収差が存在する場合であっても、光記録媒体の記録層の発熱温度を補償することが可能となり、データの書き込みや読み出し処理に不具合を生じないようにすることができる。また、上記構成においては、光スポットのピーク強度を一定以上に維持する手段として、光記録媒体に導かれる光ビームの強度を調整する手段を採用しているために、従来とは異なり、非点収差を無くすための高価な光学機器を用いるといった必要を無くし、装置のコストを低く抑えることが可能となる。また、従来とは異なり、非点収差を無くすための複雑なデータ処理を行なう必要も無くなる。
【００１６】
本願発明の好ましい実施の形態においては、上記記録層に光ビームを照射するときには、上記光スポットのピーク強度が最大となる位置に上記光記録媒体の記録層を配置させるフォーカス制御を行なう。このような構成によれば、非点収差に起因して光ビームの強度が低下するときの低下量を最小限に抑えることが可能となり、光ビームのエネルギロスを少なくするのに好ましいものとなる。
【００１７】
本願発明の第３の側面によって提供される光情報処理装置は、光源を有し、かつこの光源から発せられた光ビームを、光記録媒体の記録層にマトリクス状に配列された複数のピットに照射させる光ビーム照射手段と、上記光記録媒体からの反射光を受ける光検出器と、を有している、光情報処理装置であって、上記光検出器は、上記反射光中にトラック方向とトラッキング方向とに分かれた４つの干渉光を個別に受光可能な複数の光検知領域を有しており、上記複数の光検知領域で受光された干渉光の強度差に基づいて非点収差を検出可能な収差検出手段を備えていることを特徴としている。
【００１８】
このような構成によれば、本願発明の第１の側面によって提供される収差検出方法を適切に実施することができ、第１の側面によって得られるのと同様な効果が期待できる。
【００１９】
本願発明の好ましい実施の形態においては、上記収差検出手段によって検出された非点収差に基づいて、上記光源の出力を調整する光ビーム出力調整手段を備えている。このような構成によれば、本願発明の第２の側面によって提供される光情報処理方法を適切に実施することができ、第２の側面によって得られるのと同様な効果が期待できる。
【００２０】
本願発明の他の好ましい実施の形態においては、上記光ビームを集束させるための対物レンズをフォーカス方向に移動自在なフォーカス制御手段を具備しており、かつこのフォーカス制御手段は、上記光記録媒体の記録層上に形成される光スポットのピーク強度が最大となる位置に上記光記録媒体の記録層を配置させる制御を行なうように構成されている。このような構成によれば、光ビームのエネルギロスを少なくすることができる。
【００２１】
本願発明の他の好ましい実施の形態においては、上記光検出器の複数の光検出領域は、互いに異なる第１のパターンおよび第２のパターンで２つずつのグループに分けられており、かつ上記収差検出手段は、上記第１のパターンにおける２つのグループの受光量の差と、上記第２のパターンにおける２つのグループの受光量の差とに基づいて、非点収差の有無および非点収差に起因する光量の低下度合いを判断できるように構成されている。
【００２２】
上記非点収差に起因する光量の低下度合いは、上記光検出器から出力される所定の信号に基づいて一定の演算処理を行なうことにより求められるように構成されている。このような構成によれば、上記光量の低下度合いを求める処理が容易化される。
【００２３】
本願発明の他の好ましい実施の形態においては、上記光検出器の複数の光検知領域は、上記反射光の周縁部に位置する第１のグループと、この第１グループよりも上記反射光の中心部寄りに位置する第２のグループとに分けられ、かつこれら第１および第２のグループのそれぞれによる受光量が等しいときに上記光スポットのピーク強度が最大となるように構成されている。このような構成によれば、上記第１および第２のグループのそれぞれによる受光量が等しくなるようにフォーカス制御を行なえば、光スポットのピーク強度を最大にすることが可能となり、その制御が容易化される。
【００２４】
本願発明の他の好ましい実施の形態においては、上記少なくとも４つの干渉光のトラック方向における光の強度差に対応するタンジェンシャルプシュプル信号を生成するとともに、このタンジェンシャルプシュプル信号からクロック信号を生成する手段を有している。このような構成によれば、上記クロック信号を利用して種々のデータ処理を行なうことが可能となる。
【００２５】
本願発明のその他の特徴および利点については、以下に行う発明の実施の形態の説明から、より明らかになるであろう。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の好ましい実施の形態について、図面を参照しつつ具体的に説明する。
【００２７】
図１および図２は、本願発明に係る収差検出方法および光情報処理方法の適用対象となる光記録媒体の一例としての光ディスクを示している。図１以降の図面において、矢印Ｔｃはトラック方向、矢印Ｔｇはトラッキング方向、矢印Ｆｃはフォーカス方向をそれぞれ示している。
【００２８】
図１に示す光ディスクＤは、たとえば光磁気ディスクとして構成されており、その両面または片面には記録層Ｋが設けられ、螺旋状のトラックＴが形成されている。記録層Ｋは、光ディスクＤの厚み方向に高低差を有する複数ずつのランドＬおよびグルーブＧが形成されたランド・グルーブ領域Ｚａと、複数のピット１がマトリクス状に配されたピット形成領域Ｚｂとに大別される。符号Ｍは、ランド・グルーブ領域Ｚａに磁界変調方式によって記録されたマークを示している。ピット形成領域Ｚｂは、後述するように収差を検出するのに利用される４つの干渉光を発生させるための領域であるとともに、トラッキング制御やクロック信号の生成の基準となるデータを得るための領域でもある。
【００２９】
各ピット１は、たとえばその周辺部に対して段差を有する平面視略円形状の凸状である。ただし、各ピット１の形状はこれに限定されず、たとえば矩形状でもよい。各ピット１を凹状に形成することも可能である。複数のピット１の配列に関する構成は、本実施形態において重要であり、この点に関し、より詳細に説明する。
【００３０】
まず、図２（a1）に示すように、トラッキング方向に微細ピッチで並べられ、かつトラック方向に長細に形成されたピット１Ａについて考察する。このピット１Ａ上に対物レンズ（図示略）によって集束されるレーザ光を照射した場合には、図３（ａ）に示すように、ピット１Ａからの反射光としては、０次光Ｒo と２つの１次光Ｒｂ，Ｒｃとが干渉し合う干渉光Ｉｂ，Ｉｃがトラッキング方向に並ぶようにして発生し得る。これらの干渉光Ｉｂ，Ｉｃが発生する原理は、図２１を参照して先に説明した内容と同様である。
【００３１】
図２（a1）に示すピット１Ａの配列ピッチＰａを、Ｐａ＝λ／ＮＡとすると（λはレーザ光の波長であり、ＮＡは対物レンズの開口数である) 、同図（b1）に示すように、２つの１次光Ｒｂ，Ｒｃは互いに接触する位置関係となる。これに対し、同図（a2）に示すように、ピット１Ａの配列ピッチを上記よりも小さい寸法Ｐｂにすると、同図（b2）に示すように、２つの１次光Ｒｂ, Ｒｃどうしは互いに離れ、２つの干渉光Ｉｂ, Ｉｃのエリアが縮小化される。
【００３２】
次に、同図（a3) に示すように、同図（a2) に示されていたピット１Ａをトラッキング方向に並ぶ複数のピット１A'として分断し、かつこれらをトラック方向およびトラッキング方向にピッチＰｂで等間隔に並ぶマトリクス状に配列させた場合を考察する。この場合には、図３（ｂ）に示すように、複数のピット１A'にレーザ光を照射させると、トラック方向に並ぶ２つの１次光Ｒａ, Ｒｄがさらに発生する。したがって、図２（b3) に示すように、反射光中には、０次光Ｒo と４つの１次光Ｒａ〜Ｒｄとが干渉し合う４つの干渉光Ｉａ〜Ｉｄが０次光Ｒo の周縁部においてトラック方向およびトラッキング方向に分かれて発生する。
【００３３】
図２（a4) に示す複数のピット１A'は、同図（a3) に示した複数のピット１A'の全体を矢印Ｎ１方向に４５°回転させた配列となっている。このような構成によれば、同図（b4) に示すように、４つの干渉光Ｉａ〜Ｉｄも、同図（b3) に示した配置に対して４５°だけ回転した配置となる。干渉光Ｉａ，Ｉｂと干渉光Ｉｃ，ｄとは互いにトラッキング方向に分かれている一方、干渉光Ｉａ，Ｉｃと干渉光Ｉｂ，Ｉｄとはトラック方向に分かれている。
【００３４】
図１に示した複数のピット１の配列は、図２（a4) に示したピット１A'の配列と同様な配列であり、各ピット１は、トラック方向およびトラッキング方向に対して４５°の傾きをもって互いに直交する２種類の複数の直線Ｌ１，Ｌ２の各交点上に位置するように並んでいる。したがって、複数のピット１のそれぞれに対してレーザ光を照射させたときには、その反射光のなかに、同図（b4) に示されたのと同様な位置関係を有する４つの干渉光Ｉａ〜Ｉｄが含まれることとなる。
【００３５】
図２（a4) における複数のピット１A'のトラッキング方向における配列ピッチＰｃは、同図（a3) に示した配列ピッチＰｂの１／（２1/2)であり、Ｐｂ＞Ｐｃの関係となる。このことは、複数のピット１の配列を図２（a4) に示すような配列とすれば、光ディスクＤのトラックＴのピッチを小さくできることを意味し、このことによって光ディスクＤの記録容量を大きくすることが可能となる。ただし、本願発明はこれに限定されず、複数のピット１の配列を、図２（a3) に示したピット１A'と同様な配列にすることもできる。
【００３６】
図４は、本願発明に係る光情報処理装置の一実施形態を示している。
【００３７】
本実施形態の光情報処理装置Ｘは、上記した光ディスクＤを支持して高速回転させるスピンドルモータＳＭ、光学系６、信号生成系２、アクチュエータ駆動回路４、およびレーザパワー調整回路５を有している。
【００３８】
光学系６は、レーザ光源６０から発せられた光がコリメータレンズ６１によって平行化され、かつその後ハーフミラー６２を通過して対物レンズ６３に入射するように構成されている。対物レンズ６３に入射したレーザ光は、光ディスクＤの記録層Ｋ上に光スポットが形成されるように集束される。記録層Ｋによって反射された反射光は、ハーフミラー６２を介して信号生成系２に入射するように構成されている。
【００３９】
信号生成系２は、光検出器２０、データ信号生成部２１、Ａ／Ｄ変換回路２２、ＰＬＬ回路２３、サンプルホールド回路２４ａ〜２４ｃ、および補正データ生成回路２５を備えている。
【００４０】
光検出器２０は、たとえば光電変換素子により構成されており、図５に示すように、上記反射光を受けるための受光面２０ａを有している。この受光面２０ａは、たとえば上記反射光と略同一径の円形状であり、略楕円状の４つのブロックＢａ〜Ｂｄに分けることができ、さらにそれらを４分割した計１６箇所の光検知領域ａ〜ｐを有している。これらの光検知領域ａ〜ｐは、互いに同一または対称な形状であって、それらの面積は同一に揃えられており、また干渉光Ｉａ〜Ｉｄ以外の光（非干渉光）をできる限り受けないようにしてその検出感度を高める観点から、受光面２０ａの中心部を避けるようにして設けられている。ブロックＢａの光検知領域ａ〜ｄは、干渉光Ｉａを受けるようになっている。同様に、ブロックＢｂ〜Ｂｄのそれぞれの光検知領域ｅ〜ｈ、光検知領域ｉ〜ｌ、および光検知領域ｍ〜ｐは、干渉光Ｉｂ〜Ｉｄをそれぞれ受けるようになっている。光検知領域ａ〜ｐが光を受けたときには、それらの光検知領域ａ〜ｐごとにその受光量に対応した電圧レベルの信号Ｓａ〜Ｓｐが出力されるように構成されている。
【００４１】
データ信号生成部２１は、光検出器２０から出力される信号Ｓａ〜Ｓｐに基づいて、次に述べるような信号Ｓ１〜Ｓ３、タンジェンシャルプシュプル信号（以下「ＴＰＰ信号」という）、およびその他の信号を生成する。
【００４２】
信号Ｓ１は、光検出器２０の光検知領域ａ〜ｐを、図６に示すように、受光面２０ａの外周寄りのグループＡ１（クロスハッチング部分）と、中心寄りのグループＢ１（網点模様部分）とに分けた場合において、それら２つのグループＡ１，Ｂ１のそれぞれの受光量の差分に相当する出力ベルを有する信号である。すなわち、Ｓ１＝Ａ１−Ｂ１の関係にある（ただし、この式において、Ｓ１は信号Ｓ１のレベルであり、Ａ１，Ｂ１はグループＡ１，Ｂ１のそれぞれから出力される信号のレベルである）。
【００４３】
この信号Ｓ１を利用すれば、光ディスクＤに照射されるレーザ光が、図９に示すような非点光線束である場合に、２つの焦点ｆ１，ｆ２（ｆ１：子午像点，ｆ２：球欠像点）の中間点Ｐ０が光ディスクＤの記録層に合っているか否か、および合っていない場合のズレ量およびそのズレの方向を検出することができる。すなわち、非点光線束の場合、焦点ｆ１における光スポットはｘ−ｘ'方向に延びた線状または楕円状となる一方、焦点ｆ２における光スポットは上記方向に交差するｙ−ｙ'方向に延びた線状または楕円状となる。このため、光ディスクＤの記録層に焦点ｆ１または焦点ｆ２を合わせた場合には、図６に示した光検出器２０の光検知領域ａ〜ｐの２つのグループＡ１，Ｂ１の受光量に大きな差を生じる。これに対し、レーザ光の波面形状は、焦点ｆ１，ｆ２からそれらの中間点Ｐ０に近づくほど円形に近くなり、中間点Ｐ０においては略真円状となる。したがって、光ディスクＤの記録層にこの中間点Ｐ０を合わせた場合には、光検出器２０のグループＡ１，Ｂ１のそれぞれの受光量に大きな差が生じないこととなり、信号Ｓ１の出力レベルがたとえばゼロとなる。この信号Ｓ１は、フォーカスエラー信号としての性質をもつ。
【００４４】
図１０は、レーザ光に非点収差が存在する場合の光スポットの強度分布をシミュレーションし、その結果を適当なスケールで模式的に示している。同図（ａ）においては、光の強度を高さの度合いで表わしている。同図（ｂ）においては、光の強度が同一の部分どうしを線で結んでおり、中央部になるほど光の強度は強くなっている。同図（ａ），（ｂ）に示す光スポットは、図９に示した中間点Ｐ０に相当する箇所において形成される光スポットである。この光スポットは、同図（ｂ）に示すように、その中心部分のピーク強度が最大となる部分は真円状を呈する。また、同図（ａ）に示すように、この光スポットのピーク強度は、レーザ光に非点収差および他の収差が無いものと仮定した場合に得られるピーク強度の８２％となる。
【００４５】
図１１は、図１０に示した光スポットを形成するレーザ光のうち、中間点Ｐ０よりも適当量（具体的には０．６μｍ）だけ図９の上方に位置ずれした箇所において形成される光スポットの強度分布をシミュレーションし、その結果を模式的に示している。この場合には、図１１（ｂ）に示すように、ピーク強度が最大となる中心部分は、楕円状またはそれに近い形状となっており、図１０の場合と比べて真円度が劣っている。このことからも、レーザ光の中心に対して偏りのない形状、すなわち真円状またはそれに近い形状の光スポットを光ディスクＤの記録層上に得るためには、この記録層上に中間点Ｐ０を合わせればよいことが理解できる。また、図１１（ａ）に示すように、同図に示す光スポットのピーク強度は、レーザ光に非点収差および他の収差が無いものと仮定した場合に得られるピーク強度の７３％となり、図１０の場合よりも低い強度となることが判る。
【００４６】
図１２は、レーザ光に所定の非点収差が存在する場合のデフォーカス量と信号Ｓ１の出力レベルおよび光ディスクＤの記録層上に形成される光スポットのピーク強度との関係を示している。ただし、同図のデフォーカス量とは、中間点Ｐ０を光ディスクＤの記録層上に合わせた場合をデフォーカス量ゼロとした場合の値である。信号Ｓ１の出力レベルおよびピーク強度の値は、無次元化している。また、同図に示された信号Ｓ１は、マトリクス状に配列されたピット１にレーザ光を照射したときに得られる信号である。
【００４７】
同図から理解されるように、信号Ｓ１の出力レベルとデフォーカス量とは略正比例の関係にあり、信号Ｓ１のレベルがゼロのときはデフォーカス量もゼロである。また、光スポットのピーク強度は、デフォーカス量がゼロのときに最大となる。したがって、光ディスクＤの記録層上に形成される光スポットのピーク強度を高めるためには、中間点Ｐ０が記録層上に合うようにフォーカス制御を行なえばよいこととなり、その制御は、信号Ｓ１に基づいて行なうことが可能である。また、図１２や図１０に示された内容から理解されるように、デフォーカス量をゼロにしても、それだけでは光スポットのピーク強度を、非点収差がない場合と同等にすることはできず、所定量（図１２の符号ｎ２で示す量）だけ不足する。この不足分は、後述するように、レーザ光源６０の出力を高めることにより補填される。
【００４８】
レーザ光を光ディスクＤのランド・グルーブ領域Ｚａに照射したときには、信号Ｓ１は上記とは異なり、図１２において信号Ｓ１’として示したような出力レベルとなる。ランド・グループ領域Ｚａにレーザ光を照射したときには、反射光中には、図２（a2),(b2)に示したような２つの干渉光Ｉｂ，Ｉｃが含まれるに過ぎない。このため、レーザ光の中間点Ｐ０を光ディスクＤの記録層に合わせたとしても、干渉光Ｉｂ，Ｉｃは、図６に示した光検出器２０のグループＡ１，Ｂ１に対して均等には照射されない。その結果、図１２の符号ｎ３で示すように、デフォーカス量をゼロにした場合であっても、信号Ｓ１’の出力はゼロにはならない。ただし、このような信号Ｓ１’の特性は予めシミュレーションなどによって求めておく。そうすれば、ランド・グループ領域にレーザ光を照射する場合においては、信号Ｓ１’を符号ｎ３で示すレベルにするようにフォーカス制御を行なえば、デフォーカス量をゼロにすることが可能となる。
【００４９】
図７（ａ），（ｂ）に示すように、データ信号生成部２１において生成される信号Ｓ２，Ｓ３は、光検出器２０の光検知領域ａ〜ｐを、所定の配置関係にあるグループＡ２，Ｂ２どうし、およびグループＡ３，Ｂ３どうし（クロスハッチング部分と網点模様部分）に分けた場合において、それらのグループのそれぞれの受光量の差分に相当する出力レベルを有する信号である。すなわち、Ｓ２＝Ａ２−Ｂ２、Ｓ３＝Ａ３−Ｂ３である（ただし、これらの式において、Ｓ２，Ｓ３は信号Ｓ２，Ｓ３のレベルであり、Ａ２，Ａ３，Ｂ２，Ｂ３は、グループＡ２，Ａ３，Ｂ２，Ｂ４のそれぞれから出力される信号のレベルである）。これらの信号Ｓ２，Ｓ３を利用すれば、次に述べるように、レーザ光に発生している非点収差の量を知ることができる。
【００５０】
図１３〜図１７は、図９に示した非点光線束の非点収差量（同図の寸法ｓに相当）を一定（具体的にはｓ＝０．５μｍ）とし、かつ光ディスクＤの記録層に中間点Ｐ０を合わせた状態において、ｙ−ｙ’軸を固定させたまま、トラック方向に延びる直線Ｌｔとｘ−ｘ’軸とが交差する角度θを順次変化させていくときに得られる反射光の強度分布を模式的に示している。図７（ｂ）に示す光検知領域ａ〜ｐの２つのグループＡ３，Ｂ３は、図１３および図１７に示された角度θが０°または９０°のときの光の強度分布に対応した配置とされている。より具体的には、角度θが０°および９０°のときに、グループＡ３の受光量とグループＢ３の受光量との差分が最大となって、信号Ｓ３のレベルも最大となる配置とされている。一方、図７（ａ）に示す光検知領域ａ〜ｐの２つのグループＡ２，Ｂ２は、図１５に示された角度θが４５°のときの光の強度分布に対応した配置とされており、角度θが４５°のときに、グループＡ２，Ｂ２のそれぞれの受光量の差分が最大となって、信号Ｓ２のレベルも最大となる配置とされている。
【００５１】
本実施形態においては、上記した２つの信号Ｓ２，Ｓ３が種々の値をとるときのレーザ光の非点収差量を予めシミュレーションなどによって求めている。また、非点収差量が種々の値をとるときの中間点Ｐ０におけるピーク強度の具体的な値、あるいは非点収差が無い場合と比較してのピーク強度の低下量も予め求めている。このようにすることにより、上記した２つの信号Ｓ２，Ｓ３の出力レベルに基づいて、実際のレーザ光の非点収差量、あるいはピーク強度の低下量などを求めることが可能となる。なお、概念的には、２つの信号Ｓ２，Ｓ３に基づいて、実際のレーザ光についての角度θを求めることが可能となるが、この角度θ自体のデータは、レーザ光のピーク強度補正に直接利用する価値をもたない。また、本明細書でいう非点収差量とは、図９に示した２つの焦点ｆ１，ｆ２間の距離の値に限定されるものではなく、それ以外の種々の側面から捉えることが可能である。たとえば、非点収差に原因して光スポットのピーク強度が低下した場合には、その低下量も非点収差の度合いを示す１つのパラメータとなるため、非点収差量の概念に含めることができる。
【００５２】
図８において、データ信号生成部２１において生成されるＴＰＰ信号は、光検出器２０の光検知領域ａ〜ｐを、トラック方向に離れた２つのグループＡ４，Ｂ４（クロスハッチング部分と網点部分）に分けた場合において、これら２つのグループＡ４，Ｂ４の受光量の差分に相当する出力レベルを有する信号である。すなわち、ＴＰＰ＝Ａ４−Ｂ４である（ただし、この式において、ＴＰＰはＴＰＰ信号のレベルであり、Ａ４，Ｂ４はグループＡ４，Ｂ４からそれぞれ出力される信号のレベルである）。このＴＰＰ信号の波形は、光ディスクＤのピット形成領域Ｚｂにレーザ光をトラック方向に相対移動させながら照射させるときに、一定周期をもつ正弦波となる。このＴＰＰ信号は、図４に示すように、Ａ／Ｄ変換回路２２に入力されることによりＡ／Ｄ変換されてから、ＰＬＬ回路２３に入力される。このことにより、一定周期をもつクロック信号が生成される。このクロック信号は、データの読み書きチャンネル用のクロックとして利用することもできる。
【００５３】
上記した信号Ｓ１〜Ｓ３は、サンプルホールド回路２４ａ〜２４ｃにそれぞれ入力され、かつ上記クロック信号に同期してサンプリングされる。このサンプリングは、たとえば各ピット１の中央部とレーザ光の中心とが一致するタイミングで行なわれる。補正データ生成回路２５は、サンプルホールド回路２４ｂ，２４ｃにおいてサンプリングされた信号Ｓ２，Ｓ３に基づいて、レーザ出力調整用の補正データを生成するように構成されている。補正データは、次のような手順で生成される。
【００５４】
すなわち、既述したとおり、非点収差に起因する光スポットのピーク強度の低下量と信号Ｓ２，Ｓ３との関係は予めシミュレーションなどによって求められている。補正データ生成回路２５は、そのような関係を示すデータを有しており、そのデータおよびサンプリングされた信号Ｓ２，Ｓ３に基づいて、光スポットのピーク強度の低下量の値を示す信号をつくるようになっている。より具体的には、たとえば信号Ｓ２，Ｓ３のいずれか一方のゲインを適当な係数を用いて補正することにより、これらの信号Ｓ２，Ｓ３の出力レベルの自乗平均をとれば、予めシミュレーションなどによって確認されているとおりのピーク強度の低下量が算出されるようになっている。このように一定の計算式によってピーク強度の低下量を算出できるようにすれば、補正データ生成回路２５に莫大なデータを記憶させる必要がなくなり、データ処理が容易となる。また、そのようなデータ処理を行なう場合、たとえばサンプリングされた信号Ｓ２，Ｓ３をデジタルデータに変換してから、ＣＰＵなどを利用して演算処理を行なうにすれば、補正データの作成がより容易化される。ただし、本願発明はこれに限定されない。たとえば、信号Ｓ２，Ｓ３が種々の値をとる場合にそれに対応するピーク強度の低下量を示すデータテーブルを補正データ生成回路２５に具備させておき、そのデータテーブルを参照することによりピーク強度の低下量を特定するといった手法を採用することもできる。
【００５５】
アクチュエータ駆動回路４は、アクチュエータ６４を駆動させて対物レンズ６３をフォーカス方向に移動させる制御を行なうものである。より具体的には、サンプルホールド回路２４ａでサンプリングされた信号Ｓ１は、既述したとおり、フォーカスエラー信号としての性質をもち、アクチュエータ駆動回路４は、この信号Ｓ１の出力レベルをゼロにする方向に対物レンズ６３を移動させるフォーカス制御を実行するように構成されている。むろん、本実施形態でいうフォーカス制御とは、レーザ光に非点収差がある場合、そのレーザ光の中間点Ｐ０を光ディスクＤの記録層上に合わせる制御を意味しており、焦点ｆ１，ｆ２のいずれかに合わせる制御を意味するのではない。
【００５６】
レーザパワー調整回路５は、補正データ生成回路２５で生成された補正データに対応する分だけ、レーザ光源６０の出力を調整するように構成されている。より具体的には、たとえば上記補正データの内容が、たとえば非点収差に起因する光スポットのピーク強度の低下量が２０％である旨の内容であるとすると、このレーザパワー調整回路５は、２０％に相当する分だけレーザ出力を高める制御を行なうように構成されている。
【００５７】
この光情報処理装置Ｘにおいては、レーザ光に非点収差がある場合に、次のような処理がなされる。すなわち、光ディスクＤのピット形成領域にレーザ光を照射するときには、信号Ｓ１がゼロとなるようにフォーカス制御がなされ、レーザ光の中間点Ｐ０が光ディスクＤの記録層上に合わされる。一方、補正データ生成回路２５は、サンプリングされた信号Ｓ２，Ｓ３に基づいて非点収差に原因する光スポットのピーク強度の低下量を算出する。仮に非点収差が無い場合には、ピーク強度の低下量がゼロとなるため、上記ピーク強度の低下量を算出すること自体が、非点収差の検出に相当する。レーザパワー調整回路５は、上記低下量に見合う分だけレーザ光源６０の出力を高める。この結果、非点収差によるピーク強度を非点収差が存在しない場合と同等の強度にすることが可能となり、ランド・グループ領域へのデータの書き込みまたは読み出しを行なう際に、光スポットによる加熱温度に不足を生じないようにすることができる。また、レーザ光源６０の出力を高めるときには、非点収差が存在する場合においてピーク強度が最も高くなるように中間点Ｐ０を記録層上に合わせるために、レーザ光源６０の出力増加量を最小限に抑えることも可能となる。
【００５８】
光ディスクＤのランド・グループ領域Ｚａにレーザ光を照射してデータの書き込みや読み出しを行なうときには、信号Ｓ１（Ｓ１’）が図１２の符号ｎ３で示したレベルとなるようにフォーカス制御を行なう。このようにすれば、レーザ光の中間点Ｐ０を継続して光ディスクＤの記録層上に合わせておくことができ、真円状またはそれに近い形状の小径の光スポットをランドＬまたはグループＧ上に形成することができる。また、上記光スポットのピーク強度を一定に維持することもできる。
【００５９】
非点収差は、光学系６の部品精度などに起因して定まり、変化が少ない。したがって、非点収差の検出処理やレーザ光源６０の出力調整は、理論的には一回行なえば充分である。ただし、光学系６の各部の経時的な劣化などに対処するため、たとえば光ディスクＤへの記録・再生処理の開始の都度実行するなど、適当な間隔で行なわせることが好ましい。また、非点収差を検出するためのピット形成領域Ｚｂの数は、多くする必要はなく、たとえばトラック１周に付き１箇所あれば足りる。
【００６０】
図１８（ａ）〜（ｅ）は、チルトエラーが存在する場合と存在しない場合とにおいて、マトリクス状に配列されたピット１にレーザ光を照射したときの反射光の強度分布をシミュレーションして得られた結果を模式的に示している。線（格子状の目盛線を除く）で結ばれた部分は、光の強度が同一の部分である。同図（ｃ）は、トラッキング方向およびトラック方向ともにチルト角度がゼロの場合を示している。同図（ａ），（ｅ）は、トラッキング方向のみに±５mradのチルトがある場合を示し、同図（ｂ），（ｄ）はトラック方向のみに±５mradのチルトがある場合を示している。
【００６１】
図１９（ａ），（ｂ）は、光検出器の他の例を示している。同図に示す光検出器２０Ａは、チルトエラーに起因するコマ収差を検出するためのものであり、その受光面２０ａには、図２（b4) に示したような反射光に含まれる４つの干渉光Ｉａ〜Ｉｄを受光可能な計８つの光検知領域ａ１〜ｈ１が設けられている。これらの光検知領域ａ１〜ｈ１は、図１８に示したようにチルトエラーがあるときの反射光の強度分布に対応する形状および配置となっている。図１９（ａ），（ｂ）に示すように、この光検出器２０Ａによれば、データ信号生成部２１を介して次のような信号Ｓ４，Ｓ５が得られる。
【００６２】
すなわち、信号Ｓ４は、光検知領域ａ１〜ｈ１を同図（ａ）図に示すような所定の２つのグループＡ４，Ｂ４に分けた場合において、それら２つのグループＡ４，Ｂ４の受光量の差分に相当する出力レベルである。この信号Ｓ４によれば、図１８（ａ），（ｅ）に示すようなトラッキング方向のチルト（ラジアルチルト）の値を判断することができる。信号Ｓ５は、光検知領域ａ１〜ｈ１を図１９（ｂ）に示すような所定の２つのグループＡ５，Ｂ５に分けた場合において、これら２つのグループＡ５，Ｂ５の受光量の差分に相当する出力レベルを有する。この信号Ｓ５によれば、図１８（ｂ），（ｄ）に示すようなトラック方向のチルト（タンジェンシャルチルト）の値を判断することができる。
【００６３】
図４に示した光情報処理装置Ｘにおいて、チルトエラーを解消するための手段としては、従来において行なわれていた方法と同様に、フォーカス制御用のアクチュエータとは別のたとえば圧電素子などを利用したアクチュエータ（図示略）を利用して対物レンズ６３の所定方向の傾き角度を変更する手段を用いることが可能である。この場合において、対物レンズ６３の傾きを変更する方向やその量は、上記した信号Ｓ４，Ｓ５に基づいて決定することができる。
【００６４】
従来技術の一例として挙げた特開２０００−２１０１４号においても、トラッキング方向およびトラック方向の傾きを検出することができるが、この従来技術では、２つの干渉光の強度分布に基づいてチルト量を検出している。これに対し、本実施形態においては、従来技術よりも多い数の干渉光の強度分布に基づいてチルト量を検出している。したがって、その分だけ、チルト量の検出精度を高めることができ、チルトに起因するコマ収差を無くすのに好適となる。光ディスクＤのピット形成領域Ｚｂの数を多くして、それらの領域Ｚｂの間隔を小さくするほど、よりきめ細かなチルトエラー検出が行なえることとなる。ただし、ピット形成領域Ｚｂの具体的な数は限定されるものではない。
【００６５】
本願発明は、上述した実施形態の内容に限定されない。本願発明に係る収差検出方法および光情報処理方法のそれぞれの具体的な工程は、種々に変更自在である。本願発明に係る光情報処理装置の各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。
【００６６】
たとえば、光記録媒体に設けられる複数のピットの配列構造は、図２０に示すような構造にしてもかまわない。すなわち、同図においては、複数のピット１が市松模様状の配列とされている。このような構造は、たとえばランドＬのトラックにはピット１となる凸状部を形成するとともに、グループＧのトラックにはピット１となる凹状部を形成することにより設けることができる。同図に示す複数のピット１は、トラッキング方向およびトラック方向のそれぞれにおいて、奇数列と偶数列とが互い違い状となっているが、このような配列は、図２（a4) に示した配列と比べて本質的に相違するものではなく、本願発明でいうマトリクス状の配列に含まれる。また、図１９においては、互いに隣り合うピット１の一部分どうしが接触した構造となっているが、このような構造も、本願発明でいうマトリクス状の配列に含まれる。本願発明でいうマトリクス状の配列とは、本願発明が意図する少なくとも４つの干渉光を発生させることが可能に複数のピットが交差する２方向に並んで設けられている場合の全てを含む広い概念である。
【００６７】
本願発明に係る光記録媒体は、ＣＤであるか、あるいはＤＶＤであるかなどの具体的な種類も限定されるものではなく、光磁気ディスクも本願発明でいう光記録媒体に含まれる。また、光記録媒体は、ディスク状ではなく、カード状の形態を有するものとして構成されていてもかまわない。
【００６８】
〔付記１〕  光記録媒体の記録層に光ビームを照射したときの反射光中に含まれている干渉光に基づいて所定の収差を検出する方法であって、
上記光記録媒体の記録層には、マトリクス状に配列された複数のピットを設けておくことにより、上記反射光中にはトラック方向およびトラッキング方向に分かれた４以上の干渉光を発生させ、かつ、
これら４以上の干渉光の強度分布に基づいて上記収差を検出することを特徴とする、収差検出方法。
〔付記２〕  上記複数のピットは、トラック方向およびトラッキング方向に対して傾きをもって互いに直交する２方向に列状に並ぶ配列とする、付記１に記載の収差検出方法。
〔付記３〕  光記録媒体の記録層に光ビームを照射することにより、上記記録層への情報の記録または再生を行なうための光情報処理方法であって、
上記光記録媒体の記録層には、マトリクス状に配列された複数のピットを設けておくことにより、上記複数のピットに光ビームを照射したときに、その反射光中にトラック方向およびトラッキング方向に分かれて発生した４以上の干渉光の強度分布に基づいて所定の収差を検出し、かつ、
この収差の内容に基づいて上記光ビームの強度を調整することにより、上記記録層上に形成される光スポットのピーク強度を一定以上に維持することを特徴とする、光情報処理方法。
〔付記４〕  上記記録層に光ビームを照射するときには、上記光スポットのピーク強度が最大となる位置に上記光記録媒体の記録層を配置させるフォーカス制御を行なう、付記３に記載の光情報処理方法。
〔付記５〕  光源を有し、かつこの光源から発せられた光ビームを複数のピットを備えた光記録媒体に照射させる光ビーム照射手段と、上記光記録媒体からの反射光を受ける光検出器と、を有している、光情報処理装置であって、
上記光検出器は、上記反射光中にトラック方向とトラッキング方向とに分かれた４以上の干渉光が含まれているときにこれらのうちの少なくとも４つの干渉光を個別に受光可能な複数の光検知領域を有しており、
上記複数の光検知領域で受光された干渉光の強度差に基づいて所定の収差を検出可能な収差検出手段を備えていることを特徴とする、光情報処理装置。
〔付記６〕  上記収差検出手段によって検出された収差に基づいて、上記光源の出力を調整する光ビーム出力調整手段を備えている、付記５に記載の光情報処理装置。
〔付記７〕  上記光ビームを集束させるための対物レンズをフォーカス方向に移動自在なフォーカス制御手段を具備しており、かつ、
このフォーカス制御手段は、上記光記録媒体の記録層上に形成される光スポットのピーク強度が最大となる位置に上記光記録媒体の記録層を配置させる制御を行なうように構成されている、付記６に記載の光情報処理装置。
〔付記８〕  上記光検出器の複数の光検出領域は、互いに異なる第１のパターンおよび第２のパターンで２つずつのグループに分けられており、かつ、
上記収差検出手段は、上記第１のパターンにおける２つのグループの受光量の差と、上記第２のパターンにおける２つのグループの受光量の差とに基づいて、非点収差の有無および非点収差に起因する光量の低下度合いを判断できるように構成されている、付記５ないし７のいずれかに記載の光情報処理装置。
〔付記９〕  上記非点収差に起因する光量の低下度合いは、上記光検出器から出力される所定の信号に基づいて一定の演算処理を行なうことにより求められるように構成されている、付記８に記載の光情報処理装置。
〔付記１０〕  上記光検出器の複数の光検知領域は、上記反射光の周縁部に位置する第１のグループと、この第１グループよりも上記反射光の中心部寄りに位置する第２のグループとに分けられ、かつこれら第１および第２のグループのそれぞれによる受光量が等しいときに上記光スポットのピーク強度が最大となるように構成されている、付記５ないし９のいずれかに記載の光情報処理装置。
〔付記１１〕  上記少なくとも４つの干渉光のトラック方向における光の強度差に対応するタンジェンシャルプシュプル信号を生成するとともに、このタンジェンシャルプシュプル信号からクロック信号を生成する手段を有している、付記５ないし１０のいずれかに記載の光情報処理装置。
【００６９】
【発明の効果】
以上の説明から理解されるように、本願発明によれば、従来では検出が困難となっていた収差の検出を適切に行なうことができたり、あるいは従来よりも精度よく所定の収差の検出を行なうことができるといった効果が得られる。また、収差に原因して光記録媒体へのデータの記録や再生処理に不具合が発生することを、高価な光学機器を用いることなく、簡易な手段によって適切に解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明が適用される光ディスクの一例を示す説明図である。
【図２】（a1) 〜（a4) および（b1) 〜（b4) は、ピットの形態の具体例とそれに対応する反射光とを示す説明図である。
【図３】（ａ），（ｂ）は、反射光の説明図である。
【図４】本願発明に係る光情報処理装置の概略構成の一例を示す説明図である。
【図５】光検出器の一例を示す説明図である。
【図６】生成される信号の具体例を示す説明図である。
【図７】（ａ），（ｂ）は、生成される信号の具体例を示す説明図である。
【図８】生成される信号の具体例を示す説明図である。
【図９】非点光線束の説明図である。
【図１０】（ａ）は、レーザ光の所定の中間点における光スポットの強度分布の一例を立体的に示す図であり、（ｂ）は、同図（ａ）の強度分布を平面的に示した図である。
【図１１】（ａ）は、レーザ光の所定の中間点から位置ずれした部分における光スポットの強度分布の一例を立体的に示す図であり、（ｂ）は、同図（ａ）の強度分布を平面的に示した図である。
【図１２】非点収差が存在する場合のデフォーカス量、所定の信号の出力レベル、および光スポットのピーク強度の関係の一例を示す図である。
【図１３】反射光の強度分布を示す模式図である。
【図１４】反射光の強度分布を示す模式図である。
【図１５】反射光の強度分布を示す模式図である。
【図１６】反射光の強度分布を示す模式図である。
【図１７】反射光の強度分布を示す模式図である。
【図１８】（ａ）〜（ｅ）は、反射光の強度分布を示す模式図である。
【図１９】（ａ），（ｂ）は、光検出器の他の例を示す説明図である。
【図２０】ピットの配列構造の他の例を示す説明図である。
【図２１】（ａ），（ｂ）は、従来技術を示す説明図である。
【符号の説明】
Ｄ  光ディスク（光記録媒体）
Ｔ  トラック
Ｘ  光情報処理装置
ａ〜ｐ  光検知領域（光検出器の）
１  ピット
Ｉａ〜Ｉｄ  干渉光
２  信号生成系
４  アクチュエータ駆動回路
５  レーザパワー調整回路
６  光学系
２０  光検出器
２１  データ信号生成部
２３  ＰＬＬ回路
２５  補正データ生成回路
６０  レーザ光源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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