(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの実質的に互いに直交する方向（２，３）に光ビーム（１，１４）を偏向するための光学装置であって、ｘ軸（６）とｙ軸（７）とは常に直交し、前記ｙ軸（７）を中心にして回転駆動装置（５）によって回転されることができる第１ミラー（８）と前記ｘ軸（６）を中心にして回転駆動装置（４）によって回転されることができる第３ミラー（１０）とを有し、前記前記第１ミラー（８）が、回転に関して固定される態様で、規定の角度位置にある第２のミラー（９）に割当てられ、
互いに割当てられる第１および第２ミラー（８，９）が前記ｙ軸（７）を中心にして協働して回転し、その際、第３のミラー（１０）の回転軸（６）、すなわち前記ｘ軸にある点（１１）を中心にして光ビーム（１，１４）を回転する光学装置であって、
前記第１ミラー（８）、前記第２ミラー（９）および前記第３ミラー（１０）は、該第２のミラー（９）と該第３のミラー（１０）との間で進む光ビーム（１２）によって規定される光軸が、常に、前記ｘ軸（６）を含み、かつ前記ｙ軸（７）と直交する面に実質的に存在するように配置され、
前記第１および第２のミラー（８，９）はハウジング（１６）内に配置され、前記ハウジング（１６）は光ビーム（１４，１２）が出入りする少なくとも２つの開口部（１７，１８）を有し、
前記ハウジング（１６）は、ｙ軸（７）を中心にして回転する前記回転駆動装置（５）と直接連結され、
前記回転駆動装置（４，５）は保持装置（１９）上に直接取り付けられ、
前記保持装置（１９）は回転可能であるように配置され、
前記２つのミラー（８，９）を有する前記ハウジング（１６）の前記回転軸受（２１）は、前記保持装置（１９）の回転軸受け（２３）に取り付けられ、
前記ハウジング（１６）の前記回転軸受（２１）および前記保持装置（１９）の前記回転軸受（２３）はそれぞれ前記偏向された光ビーム（１３）が通過できるように作られた経路（２２）を有す
ることを特徴とする光学装置。
【請求項２】
前記第１ミラー（８）、前記第２ミラー（９）および前記第３ミラー（１０）は、前記第２のミラー（９）から前記第３のミラー（１０）に達する光ビームの光軸が常に、２つの回転軸（６，７）の交差点である前記第３のミラー（１０）のミラー面の点（１１）に実質的に当たるように配置されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第３のミラー（１０）が偏向されない位置にある場合に、前記第１のミラー（８）に入射する光ビーム（１４）の光軸、および前記第３のミラー（１０）によって反射される光ビーム（１３）の光軸が、本質的に同一直線上にあることを特徴とする請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
前記第１ミラー（８）および前記第２ミラー（９）の回転軸（７）が、前記第１のミラー（８）に入射する光ビーム（１４）の光軸と実質的に同一直線上にあることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
前記第３のミラー（１０）が偏向されない位置にある場合に、前記第１および第２のミラー（８，９）の回転軸（７）は、前記第３のミラー（１０）によって反射される光ビーム（１３）の光軸と実質的に同一直線状にあることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
第４のミラー（１５）が、前記ｙ軸（７）を中心にして前記第１および第２のミラー（８，９）を回転する前記回転駆動装置（５）と前記第１のミラー（８）との間に固定されるように配置されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項７】
前記第３のミラー（１０）が、ｘ軸（６）を中心にして回転する回転駆動装置（４）に直接連結されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項の記載の装置。
【請求項８】
保持装置（１９）はｙ軸（７）の周囲を回転することと、光ビームが偏向される２つの実質的に互いに直交する方向（２，３）は前記保持装置（１９）の回転によって変化させられることとを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記第１ミラー（８）および前記第２ミラー（９）を収容する前記ハウジング（１６）と前記ハウジング（１６）をｙ軸（７）を中心にして回転させる前記回転駆動装置（５）とが組み合わされて交換可能なモジュールを形成することと、
前記第３のミラー（１０）とこれをｘ軸（６）を中心にして回転させる回転駆動装置（４）とが組み合わされて交換可能なモジュールを形成することと、
前記保持装置（１９）が、交換可能なモジュールの形態で設計されることと
を特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１０】
前記交換可能なモジュールまたはモジュールの形態で設計された保持装置（１９）は案内要素または停止要素を有することを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
検流計またはステッピングモーターが回転駆動装置（４，５）としての機能を果たすことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、好ましくは共焦点走査型顕微鏡に利用するために、特に２つの実質的に互いに直交する方向に光ビームを偏向するための光学装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に限定するタイプの光学装置は、ドイツ特許第１９６  ５４  ２１０  Ｃ２号に開示されている。ビームを走査するためのこの公開特許によって周知の装置は好都合なことに、光ビームの偏向中、高速の走査速度を実現することができる。
【０００３】
周知の装置の欠点は、特に共焦点走査型顕微鏡による対象物の走査後、双曲線ひずみの形態で生じる走査誤差である。ひずみは、計算によって確実に補正されることができるが、走査定理が満たされていない対象物走査の場合には、画像が計算によって独自に再構成することができないため、一定の環境下では問題をはらんでいる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明の目的は、装置によって生じるひずみ誤差を最小限に抑えるか、理想的な場合には排除するために、２つの実質的に互いに直交する方向に光ブームを偏向するための一般的に限定する装置を具体化し、開発することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
一般的に限定するタイプの本発明による装置は、請求項１の特徴によって上記の目的を実現する。
【０００６】
本発明によれば、ｙ軸を中心にして協働して回転する互いに割当てられたミラー、すなわち第１および第２のミラーの回転軸が、１つの方向または１つの直線に沿ってのみ第３のミラーで偏向した後に光ビームを偏向するときは常に、ドイツ特許第１９６  ５４  ２１０  Ｃ２号に言及された双曲線ひずみを低減または排除することができることが初めに認識されている。
【０００７】
同様に、ｘ軸を中心にした第３のミラーの回転中、光ビームは１つの方向または１つの直線に沿ってのみ偏向される必要がある。したがって、回転のそれぞれの他の軸の偏向方向に対応する偏向方向に対するそれぞれの回転軸を中心としたミラーの回転の分離は、わずかなひずみだけで光ビームを偏向するための基本的な前提条件である。
【０００８】
第２のミラーによって反射され、第３のミラーに達している光ビームの光軸は、常に、第３のミラーに当たり、光ビームの光軸の当たる点が、第３のミラーの回転軸、すなわちｘ軸に存在し、常に互いに割当てられた２つのミラーの回転中、本発明による方法においてｙ軸に直交する面に存在するので、第３のミラーに対する初めの２つのミラーを有する本発明による装置は、このような分離を実現する。
【０００９】
さらに好都合な方法において、ミラーは、第２のミラーから第３のミラーに達する光ビームの光軸が常に、２つの回転軸の交差点である第３のミラーのミラー面上の点に実質的に当たるように配置される。
【００１０】
ミラーのこのような配置構成のために、初めの２つのミラーがその枢動角度に関係なく回転するとき、第２のミラーによって反射される光ビームの光軸は常に、同一の点を中心にして枢動され、これは好都合なことに、ミラーの装置の下流であってもテレセントリックビーム経路を維持する。
【００１１】
第３のミラー上に第２のミラーによって反射される光ビームガ当たる点が、常に、第３のミラーの偏向方向に関して、第３のミラーの角度位置に関係なく実質的に同一であるため、さらに、第３のミラーによって反射または偏向される光ビームは、第３のミラーのミラー面に存在し、２つの回転軸の交差点である点を中心にして常に枢動される。したがって、３つのミラーによって偏向される光ビームは、特に２つの実質的に互いに直交する方向に偏向される。
【００１２】
偏向対象である光ビームが、広がらないまたは広がる、あるいは平行化される光ビームのいずれであろうと、光ビームを偏向するための装置の動作モードにほとんど関係がない。
【００１３】
具体的な実施形態において、第１のミラーに入射する光ビームの光軸および第３のミラーによって反射された光ビームの光軸は、実質的に同一直線上にある。しかし、これは、第３のミラーが偏向されない位置にある場合にのみ維持される。すなわち、第３のミラーを回転する回転駆動装置は、静止位置に位置する。
【００１４】
偏向装置の３つのミラーがなくても、入射光ビームは偏向装置の３つのミラーが光ビーム経路に挿入されるときに生じる同一の点を指すため、光軸の同一直線の配置構成は、特に装置の調整および／または取付けの場合に好都合である。
【００１５】
別の実施形態において、初めの２つのミラーの回転軸は、第１のミラーに入射する光ビームの光軸と実質的に同一直線上にある。その結果、初めの２つのミラーがｙ軸を中心にして回転するとき、第１のミラーに入射ビームの光軸が当たる点は、初めの２つのミラーの角度位置に関係なく、常に同一である。
【００１６】
しかし、このための前提条件は、２つのミラーの回転軸、すなわちｙ軸および第１のミラーのミラー面が交差点を有するように第１のミラーが配置されることである。
【００１７】
さらなる実施形態において、初めの２つのミラーの回転軸は、第３のミラーによって反射される光ビームの光軸と実質的に同一直線上にある。これは、同様に、第３のミラーが偏向される位置にない場合にのみ維持される。
【００１８】
具体的な実施形態において、ｙ軸を中心にして初めの２つのミラーを回転する回転駆動装置は、第１のミラーと第３のミラーとの間に空間的に配置されるように設けられる。
【００１９】
その結果、同一直線上にある場合には、回転駆動装置が第１のミラーに入射する光ビームの光軸と第３のミラーによって反射される光ビームの光軸との間に存在することも好都合なことに可能であると思われる。
【００２０】
光ビームを偏向するための光学装置は、別の偏向がなくても、１つの方向、すなわち本来進む光ビームの光軸にある偏向光ビームの枢軸に達する光ビームを偏向または枢動することが可能である。したがって、実現し得る偏向は、本来進む光ビームの方向と一致している中心軸を維持し続けるであろう。すなわち「逸脱しない」偏向または横方向への拡散といえよう。
【００２１】
別の実施形態において、第４のミラーは、ｙ軸を中心にして初めの２つのミラーを回転する回転駆動装置と第１のミラーとの間に配置される。このミラーは、この光学装置によって偏向または横方向に拡散される光ビームが第４のミラーにおける反射の上流にある光ビームの元の伝搬方向と一致しない中心軸を有するように、実質的に任意の角度によって光ビームを偏向することができる。
【００２２】
この場合には、第４のミラーは固定するように配置される。適切である場合には、調整のためおよび／または製作中に、第４のミラーを移動することができるが、調整後はその位置に固定される。
【００２３】
初めの２つのミラーは、ハウジングに配置される。ハウジングは、光ビームが入り、出ていくことができる少なくとも２つの開口部を有する。ハウジングは、２つのミラーを別の方法で接合または固定されることができる対応する保持手段を備えている。ハウジングは、軽い材料から製作されることが好ましく、形削り、たとえば、チップフォーミング形削りによって製作された後、すなわち、２つのミラーの挿入後、ハウジングに対するミラーのさらなる収容を必要としないように十分な精度を有することが理想的である。好都合なことに、それによって再生可能で迅速な製作が実現される。第１のミラーに入射する光は、１つの開口部を通ってハウジングに入る。第２のミラーによって反射される光は、別の開口部を通ってハウジングから出る。
【００２４】
塵粒子による汚染を防止するために、これ以上の開口部は、ハウジングに設けられない。しかし、ハウジングは、非常に長い作動期間の後でも清掃のために開口されることができる取外し可能な側壁を備えていてもよい。
【００２５】
ハウジングは、回転駆動装置に直接連結され、好ましくは回転駆動装置の機械的な回転軸に直接連結される。
【００２６】
このほかの選択として、たとえば、歯車、カルダン継手またはアンコイリングリーフ要素によって、回転駆動装置とハウジングの間接連結も考えられる。それによって、ミラーがさらに小さい角度範囲またはさらに大きい角度範囲にわたって回転される必要がある場合には、伝達速度は回転駆動装置の回転可能角度を減少または増大させることが可能である。また、回転または枢動の最大または最小速度もそれによって増大または減少させることが可能である。
【００２７】
一般的にはコンピュータハードディスクの磁気ヘッドと共に用いられるアンコイリングリーフ要素は、回転駆動装置の回転軸と同一直線である必要がない軸を中心にしてハウジングを回転してもよい。
【００２８】
同様に、第３のミラーは、別の回転駆動装置に直接的または間接的のいずれかで連結されてもよい。前者の場合には、第３のミラーは、ｘ軸を中心にして回転する、別の回転駆動装置の機械的な回転軸に直接連結されることが好ましく、後者の場合には、第３のミラーは、歯車、カルダン継手またはアンコイリングリーフ要素によって別の回転駆動装置に連結されてもよい。
【００２９】
保持装置に間接的または直接的のいずれかによって、２つの回転駆動装置を取付けられることができる。たとえば、保持装置は、２つの回転駆動装置が固定されるプレートであってもよい。それによって、２つの回転駆動装置が互いに対して明確に定義された位置に配置されることを保証する。さらに、保持装置は、アングルドプレート、ダブルアングルドプレートまたは適切な孔を備えたハウジングとして設計されてもよい。
【００３０】
好都合なことに、保持装置は回転可能であるように配置される。好ましい実施形態において、保持装置は、ｙ軸を中心にして回転する。保持装置の回転によって、３つのミラーの２つの回転駆動装置は、保持装置の軸を中心にして協働して回転されるため、ビーム偏向方向の指向は変更可能である。これは、特にそれ自体で回転する第３のミラーの偏向方向の指向のために好都合である。それ自体で回転する第３のミラーは一般に、きわめて質量が大きい２つのミラーを収容するハウジングより相当高速の走査速度で作動される。したがって、それ自体で回転する第３のミラーのビーム偏向の固定方向は、保持装置を回転することによって自由自在に指向されることができ、これは、特に共焦点走査型顕微ミラー法において適用する場合にきわめて好都合である。
【００３１】
初めの２つのミラーを収容するハウジングは、回転軸受を有する。この回転軸受は、保持装置に取付けられてもよい。
【００３２】
２つの回転駆動装置用の共通の保持装置が設けられていない場合には、回転軸受は、光ビームを偏向するための装置を収容するハウジングに直接取付けられてもよい。
【００３３】
具体的な実施形態において、回転軸受の軸は、初めの２つのミラーの回転軸と同一直線にある。さらに、保持装置は、保持装置を軸を中心にして回転することができるような少なくとも１つの回転軸受を有するように形成される。今度は、２つのミラーのハウジングの回転軸受は、保持装置の回転軸受に取付けられてもよい。この場合には、２つのミラーのハウジングの回転軸受の軸は、保持装置の回転軸受の軸と同一直線となるように配置されてもよい。
【００３４】
光ビームを偏向するための本発明による光学装置の柔軟な用途に関して、個々の素子が、モジュール設計の素子であり、交換しやすいように形成される。このため、たとえば、２つのミラーおよびハウジングにおいて回転している回転駆動装置を結合して、交換可能なモジュールを形成することが可能であろう。さらに、第３のミラーおよびそれを回転している回転駆動装置が結合されて、交換可能なモジュールを形成してもよい。それによって、１つのオプションは、たとえば、ｙ軸を中心とする偏向の角度範囲を偏向するために、ハウジングを、その回転駆動装置を備えた初めの２つのミラーと交換することである。
【００３５】
たとえば、光学装置により高速またはより低速の走査速度を有する回転駆動装置を挿入するために、第３のミラーおよびそれを回転している回転駆動装置はまた、モジュールとして交換されてもよい。それによって、本発明による装置の適用の分野を柔軟に拡張することが好都合なことに実現することができる。
【００３６】
さらに、保持装置全体は、光ビームを偏向するための本発明による完全な装置が交換可能であるように交換可能なモジュールの形態で設計されてもよい。
【００３７】
複雑な収容および／または時間のかかる収容を避けるために、交換可能なモジュールおよび／またはモジュール設計の保持装置が、正確な位置保持手段を備えるように形成される。このような手段は、たとえば、ガイド要素および／またはストップ要素の形態で設計されてもよい。
【００３８】
検流計は、初めの２つのミラーを収容するためのハウジングまたは第３のミラーのために、回転駆動装置として用いられてもよい。
【００３９】
共振検流計はまた、高速の走査速度および／または偏向速度を実現するために用いられてもよい。共振検流計は、それ自体を回転する第３のミラーのための回転駆動装置として用いられることが好ましい。また、回転駆動装置としてステッピングモータを用いることも可能であろう。
【００４０】
ミラーのうちの１つは、高速の走査速度または偏向速度を実現するために活性光学素子によって取って代わってもよい。このために、たとえば、ＡＯＤ（音響光学偏向器、ＥＯＤ（電気光学偏向器）またはＤＭＤ（ディジタルマイクロミラーデバイス）を利用してもよい。この場合には、それ自体を回転している第３のミラーを活性光学素子によって取って代わることも考えられる。この光学素子は、保持装置に取付けられてもよい。
【００４１】
さらに、少なくとも１つの光学活性素子は、光ビームを偏向するための光学装置、すなわち３つのミラーの上流および／または下流に配置されてもよい。この場合には、光学活性素子はＡＯＤ、ＥＯＤまたはＤＭＤであってもよい。
【００４２】
好都合な方法で、本発明の教示を構成し、展開するためにはさまざまな可能性がある。図示するため、発明の好ましい具体的な実施形態の説明と共に、教示の一般的に好ましい構成および展開も説明される。
【００４３】
【発明の実施の形態】
図１は、２つの実質的に互いに直交する方向２，３に光ビーム１を偏向するための光学装置を示している。
【００４４】
光学装置は、回転駆動装置４，５によって、互いに直交する軸、すなわちｘ軸６およびｙ軸７を中心にしてそれぞれ回転されることができる２つのミラー８，１０を有し、第１のミラー８は回転に関して固定された態様の規定の角度位置にある別のミラー９に割当てられ、互いに割当てられたミラー（８、９）、すなわち第１および第２のミラーは、ｙ軸７を中心にして協働して回転し、この場合には、第３のミラー１０の回転軸６、すなわちｘ軸にある枢軸１１を中心にして、光ビーム１を回転する。
【００４５】
本発明によれば、ミラー８，９，１０は、第２のミラー９および第３のミラー１０との間に進む光ビーム１２の光軸が、ｘ軸６を含み、かつｙ軸７に直交している面に実質的にあるように常に配置される。
【００４６】
ミラー８，９，１０は、第２のミラー９から第３のミラー１０まで達する光ビーム１２の光軸が、第３のミラー１０のミラー面にある点１１、すなわち２つの回転軸６，７の交差点に実質的に当たるように常に配置される。したがって、偏向された光ビーム１３は、常に枢軸１１を中心にして枢動または回転する。
【００４７】
第３のミラー１０が図１〜図３に図示されている偏向されない位置にある場合には、第１のミラー８に入射する光ビーム１４の光軸、および第３のミラー１０によって反射される光ビーム１３の光軸は、実質的に同一直線上にある。
【００４８】
初めの２つのミラー８，９の回転軸７は、第１のミラー８に入射する光ビーム１４の光軸と実質的に同一直線上にある。さらに、第３のミラー１０が偏向されない位置にある場合には、初めの２つのミラー８，９の回転軸７は、第３のミラー１０によって反射される光ビーム１３の光軸と実質的に同一直線上にある。
【００４９】
第４のミラー１５は、ｙ軸７を中心にして初めの２つのミラー８，９を回転する回転駆動装置５（と第１のミラー８と）の間に固定するように配置される。初めの２つのミラー８，９は、ハウジング１６の中に配置される。
【００５０】
ハウジング１６は、２つの開口部１７，１８を有する。第１のミラー８に入射する光ビーム１４は、開口部１７を通過することができ、第２のミラー９によって反射される光ビーム１２は、開口部１８を通って第３のミラー１０に達することができる。
【００５１】
ハウジング１６は、回転駆動装置５に直接連結される。具体的に言えば、ハウジング１６は、回転駆動装置５の機械的な回転軸に直接連結される。第３のミラー１０は、回転駆動装置４の機械的な回転軸に直接連結される。
【００５２】
２つの回転駆動装置４，５は、図３に示される保持装置１９に直接取付けられる。
【００５３】
保持装置１９は回転可能であるように配置され、ｙ軸７を中心にして回転する。ｙ軸７を中心とした保持装置１９の回転のために、ビーム偏向装置２，３の指向および偏向パターン２０を変化させることが可能である。
【００５４】
したがって、この具体的な実施形態において認識されるように、方向２に沿った回転するだけのミラー１０による高速のビーム偏向は、好都合なことに任意に指向されることができる。
【００５５】
初めの２つのミラー８，９の回転軸７は、第１のミラー８に入射する光ビーム１４の光軸と実質的に同一直線上にある。さらに、第３のミラー１０が偏向されない位置にある場合には、初めの２つのミラー８，９の回転軸７は、第３のミラー１０によって反射される光ビーム１３の光軸と実質的に同一直線上にある。
【００５６】
第４のミラー１５は、ｙ軸７を中心にして初めの２つのミラー８，９を回転する回転駆動装置５（と第１のミラー８と）の間に固定するように配置される。
【００５７】
初めの２つのミラー８，９は、ハウジング１６の中に配置される。ハウジング１６は、２つの開口部１７，１８を有する。
【００５８】
第１のミラー８に入射する光ビーム１４は、開口部１７を通過することができ、第２のミラー９によって反射される光ビーム１２は、開口部１８を通って第３のミラー１０に達することができる。
【００５９】
図２は、初めの２つのミラー８，９を収容するハウジング１６が回転軸受２１を有するような本発明による例示的な実施形態を示している。回転軸受２１は、偏向される光ビーム１３が通過することができる経路２２を有する。
【００６０】
回転軸受２１が保持装置１９に取付けられることは、図２から見てとることができる。したがって、ｙ軸７を中心にした回転移動中に、ハウジング１６は第一に回転駆動装置５によって取付けられ、第二に回転軸受２１によって取付けられる。
【００６１】
２つのミラー８，９を有するハウジング１６の回転軸受２１は、保持装置１９の回転軸受２３に取付けられる。回転軸受２３は、光ビームを偏向するための本発明による装置を収容するハウジング（図示せず）に連結される。
【００６２】
２つのミラー８、９を有するハウジング１６の回転軸受２１の軸は、保持装置１９の回転軸受２３の軸と同一直線上に配置されることは、図３の輪郭図で理解される。これらの２つの軸は、ｙ軸７と一致している。
【００６３】
光ビームを偏向するための光学装置の素子は、交換しやすいモジュール素子の形態で設計される。
【００６４】
この場合には、図１および図２に示されるように、初めの２つのミラー８，９を収容するハウジング１６およびハウジング１６を回転する回転駆動装置５は、交換可能なモジュールを形成する。
【００６５】
第３のミラー１０およびそれを回転する回転駆動装置４は、別の交換可能なモジュールを形成する。
【００６６】
図３に示される保持装置１９全体も、同様にモジュール設計である。ハウジング１６を回転する回転駆動装置５は、１０〜８００Ｈｚの範囲の周波数で振動を実現することができる検流計として設計される。第３のミラー１０を回転する回転駆動装置４は、共振検流計として設計され、４ｋＨｚの周波数で振動する。
【００６７】
保持装置１９は、ステッピングモータ（図示せず）によってｙ軸を中心にして回転される。
【００６８】
最後に、上述の例示的な実施形態は請求された教示を示すためのみ作用するものであり、例示的な実施形態にこの教示を限定しようとするものではないことを、十分明確に指摘しておきたい。
【図面の簡単な説明】
【図１】光ビームを偏向するための本発明による光学装置の第１の例示的な実施形態の線図を示す。
【図２】本発明による光学装置の第２の例示的な実施形態の線図を示す。
【図３】本発明による光学装置の第３の例示的な実施形態の線図を示す。
【符号の説明】
１  光ビーム、
２  ビームの偏向方向、
３  ビームの偏向方向、
４  回転駆動装置、
５  回転駆動装置、
６  ｘ軸、
７  ｙ軸、
８  ミラー
９  ミラー、
１０  ミラー、
１１  枢軸、
１２  光ビーム、
１３  光ビーム、
１４  光ビーム、
１５  ミラー、
１６  ハウジング、
１７  開口部、
１８  開口部、
１９  保持装置、
２０  偏向パターン、
２１  回転軸受、
２２  経路、
２３  回転軸受
【図１】
0004467841.tif 000002
【図２】
0004467841.tif 000003
【図３】
0004467841.tif 000004