(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＸＹステージと、前記ＸＹステージ上に固定された揺動軸と、前記揺動軸を中心としてＺ軸方向に揺動するボンディングアーム部と、ワイヤを把持するワイヤクランプ部と、前記ワイヤクランプ部の狭持と解放を行うワイヤクランプ駆動機構と、を備えたワイヤボンディング装置であって、
前記ワイヤクランプ駆動機構の少なくとも一部が、前記ボンディングアーム部から分離して前記ＸＹステージ上に固定され、前記ワイヤクランプ部の少なくとも一部が、前記ボンディングアーム部に固定されていることを特徴とするワイヤボンディング装置。
【請求項２】
ＸＹステージと、前記ＸＹステージ上に固定された揺動軸と、前記揺動軸を中心としてＺ軸方向に揺動するボンディングアーム部と、ワイヤを把持するワイヤクランプ部と、前記ワイヤクランプ部の狭持と解放を行うワイヤクランプ駆動機構と、を備えたワイヤボンディング装置であって、
前記ワイヤクランプ駆動機構の少なくとも一部及び前記ワイヤクランプ部の一部が、前記ボンディングアーム部から分離して前記ＸＹステージ上に固定され、前記ワイヤクランプ部の他の部分が、前記ボンディングアーム部に固定されていることを特徴とするワイヤボンディング装置。
【請求項３】
前記ワイヤクランプ駆動機構は、アクチュエータ固定部と、前記アクチュエータ固定部に係合して移動し、前記ワイヤクランプ部の狭持と解放を行うアクチュエータ可動部とを備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載のワイヤボンディング装置。
【請求項４】
前記アクチュエータ固定部が前記ボンディングアーム部から分離して前記ＸＹステージ上に固定されていることを特徴とする請求項３記載のワイヤボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤボンディング装置に関し、特に、ボンディング工程でのワイヤのカットクランプを行うワイヤクランプ機構に特徴を有するワイヤボンディング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のワイヤボンディング装置に設けられたワイヤクランプ装置は、ボンディングヘッドのＺ軸に固定されている固定側ワイヤクランプ部と、固定側ワイヤクランプ部と鋏状に配置され、一点を支点として揺動する可動側ワイヤクランプ部と、この可動側ワイヤクランプ部と連結され、可動側ワイヤクランプ部を駆動するクランプ用ＶＣＭ（ボイスコイルモータ）とを含み構成されている。この従来のワイヤボンダのワイヤクランプ装置について図１０乃至図１２を参照して詳細に説明する。図１０は、従来のワイヤボンディング装置の設けられたワイヤクランプ装置の一例を示す上面図であり、図１１はその側面図である。また、図１２は、ボンディングのシーケンスを説明するための図である。
【０００３】
図１０及び図１１に示すように、従来のワイヤクランプ装置は、ボンディング装置ベース１４にＸ軸ステージ１及びＹ軸ステージ２が設けられ、このステージ上に固定されたボンディングヘッド３にボンディングアーム４が設けられている。そして、ボンディングアーム４は、ボンディングツールであるホーン５を保持し、ホーン５の先端にはキャピラリ６が固定されている。
【０００４】
このキャピラリ６に金線ワイヤ９を通し、キャピラリ６の上方位置において固定側ワイヤクランプ部７ａと可動側ワイヤクランプ部７ｂとで金線ワイヤ９を挟持する。可動側ワイヤクランプ部７ｂには、クランプ用ＶＣＭのコイル２３が連結され、そのコイル２３により可動側ワイヤクランプ部７ｂは支点１５を中心に揺動し、固定側ワイヤクランプ部７ａとで金線ワイヤ９を挟持している。また、ワイヤクランプ部が搭載されたボンディングアーム４は、ボンディングアーム揺動軸１３の周りに高速で揺動する。
【０００５】
上記ワイヤボンディング装置のボンディングシーケンスを図１２に示す。図１２の横軸は時間を表し、縦軸はキャピラリ６のＺ軸方向の高さを表している。通常、ワイヤクランプは、セカンドボンディングが終了し（（ｈ）参照）、フィードアップ動作を完了後（（ｉ）参照）、クランプ用ＶＣＭコイル２３を駆動して金線ワイヤ９を挟持し、その状態で上昇することにより、セカンドボンディング点から繋がった金線ワイヤ９を切断している（（ｊ）参照）。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような構成の従来のボンディング装置では、高速でボンディングするためにボンディングヘッドＺ軸は高速で揺動するが、Ｚ軸の高速揺動を実現するためにはワイヤクランプの軽量化・揺動軸回りの小イナーシャ化が必要である。しかしながら、従来のワイヤクランプ装置では、可動側ワイヤクランプ部７ｂを駆動するためのアクチュエータがボンディングアーム４上のワイヤクランプ部に取り付けられているため、ボンディングアーム４の軽量化・小イナーシャ化が困難であるという欠点があった。
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、その主たる目的は、ボンディングアームの軽量化・小イナーシャ化を実現し、Ｚ軸の高速揺動が可能なワイヤボンディング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明は、ＸＹステージと、前記ＸＹステージ上に固定された揺動軸と、前記揺動軸を中心としてＺ軸方向に揺動するボンディングアーム部と、ワイヤを把持するワイヤクランプ部と、前記ワイヤクランプ部の狭持と解放を行うワイヤクランプ駆動機構と、を備えたワイヤボンディング装置であって、前記ワイヤクランプ駆動機構の少なくとも一部が、前記ボンディングアーム部から分離して前記ＸＹステージ上に固定され、前記ワイヤクランプ部の少なくとも一部が、前記ボンディングアーム部に固定されているものである。
【０００９】
また、本発明は、ＸＹステージと、前記ＸＹステージ上に固定された揺動軸と、前記揺動軸を中心としてＺ軸方向に揺動するボンディングアーム部と、ワイヤを把持するワイヤクランプ部と、前記ワイヤクランプ部の狭持と解放を行うワイヤクランプ駆動機構と、を備えたワイヤボンディング装置であって、前記ワイヤクランプ駆動機構の少なくとも一部及び前記ワイヤクランプ部の一部が、前記ボンディングアーム部から分離して前記ＸＹステージ上に固定され、前記ワイヤクランプ部の他の部分が、前記ボンディングアーム部に固定されているものである。
【００１０】
本発明においては、前記ワイヤクランプ駆動機構は、アクチュエータ固定部と、前記アクチュエータ固定部に係合して移動し、前記ワイヤクランプ部の狭持と解放を行うアクチュエータ可動部とを備えている構成とすることができる。
【００１１】
また、本発明においては、前記アクチュエータ固定部が前記ボンディングアーム部から分離して前記ＸＹステージ上に固定されている構成とすることができる。
【００１２】
このように、本発明は、ワイヤクランプ部及びワイヤクランプ部を駆動するためのアクチュエータの少なくとも一部、または、アクチュエータの往復運動をワイヤクランプ部に伝達する駆動力伝達手段をボンディングアーム部の外部に取り付けてボンディングアーム部の軽量化・小イナーシャ化を図り、ボンディングアーム部のＺ軸高速揺動を実現することができる。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように、本発明のワイヤボンディング装置によれば、ワイヤクランプ及びワイヤクランプを動作させるためのアクチュエータの少なくとも一部、または、力伝達機構をＸＹステージ上に固定することにより、揺動するボンディングアームの軽量化・小イナーシャ化を図ることができ、高速ボンディングが可能となるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明に係るワイヤボンディング装置は、その好ましい一実施の形態において、ＸＹステージ１、２上に固定されたボンディングヘッド３に、ボンディングアーム揺動軸１３を介してＺ軸方向に揺動するボンディングアーム４が設けられ、ボンディングアーム４にその一端が固定され、Ｚ軸方向に揺動する一対のワイヤクランプ部７ａ、７ｂの少なくとも一方を駆動するアクチュエータをボンディングアーム４から分離して、ＸＹステージ１、２上に固定されたボンディングヘッド３に設けることにより、ボンディングアーム４の軽量化・小イナーシャ化を図り、かつ、一対のワイヤクランプ部で確実にワイヤをクランプするものである。
【実施例１】
【００１５】
上記した本発明の実施の形態についてさらに詳細に説明すべく、本発明の第１の実施例に係るワイヤボンディング装置について、図１及び図２を参照して説明する。図１は、本実施例のワイヤボンディング装置に設けられたワイヤクランプ装置の全体を示す斜視図であり、図２は、可動側ワイヤクランプ部を拡大した斜視図である。
【００１６】
まず、図１及び図２を参照すると、本実施例のワイヤボンディング装置は、ワイヤボンディング装置ベース１４上に載置したＸステージ１、Ｙステージ２と、それを駆動するＸ軸ステージ用アクチュエータ１８ａ、Ｙ軸ステージ用アクチュエータ１８ｂと、ＸＹステージ１、２上に固定されたボンディングヘッド３と、ボンディングヘッド３に設けられたボンディングアーム揺動軸１３によりＺ軸方向に駆動するボンディングアーム部４とを備えている。
【００１７】
ボンディングアーム部４には固定側ワイヤクランプ部７ａと可動側ワイヤクランプ部７ｂと、固定側ワイヤクランプ部７ａの先端に固定ワイヤ把持部８と、可動側ワイヤクランプ部７ｂには、固定ワイヤ把持部８との間で金線ワイヤ９をクランプする可動ワイヤ把持部１０と、可動ワイヤ把持部１０を取り付けてワイヤクランプ外部からアクチュエータにより弾性変形される板ばね部１１とを備えている。
【００１８】
そして、可動ワイヤ把持部１０の外側には、ボンディングヘッド３に取り付けられた可動ワイヤ把持部１０を動作させる固定側アクチュエータ１２と、可動側アクチュエータ１６と、可動側アクチュエータ１６に取り付けられ可動ワイヤ把持部１０を動作させるためのブロック１５と、それを案内するガイド１７ａと、前記ブロック１５に取り付けられボンディングアーム揺動軸１３を中心に動作する板ばね１１と接触しながら転がるボール２２とを備えている。
【００１９】
このようなワイヤボンディング装置におけるワイヤのクランプ動作について説明する。ワイヤクランプは、ＸＹステージ１、２上の揺動するＺ軸ボンディングアーム部４に取り付けられ、ボンディングアーム部４はボンディングツールであるホーン５を保持し、ホーン５の先端にはキャピラリ６が固定されている。このキャピラリ６に金線ワイヤ９を通してキャピラリ６の上方位置において固定ワイヤ把持部８と可動ワイヤ把持部１０とで金線ワイヤ９を挟持する。
【００２０】
可動ワイヤ把持部１０は、弾性変形する板ばね１１の先端に取り付けられ、板ばね１１はボンディングアーム４に取り付けられている。そして、ＶＣＭ（ボイスコイルモータ）からなるアクチュエータ１２、１６は、揺動するボンディングアーム４を保持するボンディングヘッド３に取り付けられており、可動側アクチュエータ１６には、その先端にボール２２が取り付けられ、可動ワイヤ把持部１０を動作させるためのブロック１５が取り付けられており、このブロック１５はガイド１７ａにより案内される。
【００２１】
そして、アクチュエータ１２、１６が駆動すると、ブロック１５の先端に取り付けられたボール２２は板ばね１１と可動ワイヤ把持部１０で構成される可動側ワイヤクランプ部７ｂに接触し、板ばね１１を弾性変形させて可動ワイヤ把持部１０と固定ワイヤ把持部８とで金線ワイヤ９を挟持する。ワイヤクランプは金線ワイヤ９を挟持したままボンディングアーム揺動軸１３の回りに動作するため、その間、ボール２２は板ばね１１に接触しながら転がる。なお、金線ワイヤ９の解放は、可動側アクチュエータ１６を可動側ワイヤクランプ部７ｂから遠ざける方向に移動させ、板ばね１１のたわみを元に戻すことにより行う。
【００２２】
このように、本実施例のワイヤボンディング装置によれば、Ｚ軸上に揺動するボンディングアーム４に金線ワイヤ９を把持するための固定・可動ワイヤ把持部８、１０を設け、この可動ワイヤ把持部１０を動作させるアクチュエータ１２、１６をＸＹステージ上に固定されたボンディングヘッド３に設けることにより、アクチュエータがボンディングアームに設けられていた従来の構造に比べて、ボンディングアーム４の軽量化・小イナーシャ化を図ることができ、ボンディングアーム４をＺ軸方向に高速に揺動することができる。
【００２３】
なお、ワイヤクランプ部７ａ、７ｂがＺ軸上で揺動する際に、ワイヤクランプ部７ａ、７ｂとアクチュエータとのＺ軸上の位置がずれるが、本実施例では、可動側アクチュエータ１６に取り付けられたブロック１５の先端にボール２２が設けられ、このボール２２が転がりながら可動側ワイヤクランプ部７ｂを押圧するため、接触摩擦を低減することができ、かつ、押圧力を常に一定に保つことができる。
【実施例２】
【００２４】
次に、本発明の第２の実施例に係るワイヤボンディング装置について、図３を参照して説明する。図３は、第２の実施例に係るワイヤボンディング装置に設けられたワイヤクランプ装置の可動側ワイヤクランプ部を拡大した斜視図である。なお、本実施例は前記した第１の実施例の可動クランプ部に改良を加えたものであり、他の部分の構成に関しては第１の実施例と同様である。
【００２５】
本実施例のワイヤボンディング装置について図３を参照して説明すると、第１の実施例と同様に、ワイヤボンディング装置ベース１４上に、ＸＹステージ１、２と、ボンディングヘッド３と、ボンディングヘッド３に固定されボンディングアーム揺動軸１３により回動するボンディングアーム４と、固定・可動側ワイヤクランプ部７ａ、７ｂと、可動ワイヤ把持部１０及び固定ワイヤ把持部８と、Ｚ軸方向にスライド可能な固定側アクチュエータ１２及び可動側アクチュエータ１６と、可動側アクチュエータ１６に取り付けられたブロック１５と、ＸＹＺ方向にスライド可能なガイド１７ｂとから構成されている。
【００２６】
このような構成のワイヤボンディング装置の動作について説明すると、ＸＹステージ１、２上に取り付けられた固定・可動側アクチュエータ１２、１６が動作することにより、ブロック１５はガイド１７ｂに案内されて板ばね１１を弾性変形させ、可動ワイヤ把持部１０と固定ワイヤ把持部８とで金線ワイヤ９を挟持する。
【００２７】
そして、図１２に示したボンディングシーケンス通りに、ワイヤクランプ部７ａ、７ｂは金線ワイヤ９をクランプしたまま上昇するが、その際、本実施例では、ガイド１７ｂがＸＹＺ方向にスライド可能な機能を備えているため、ブロック１５は板ばね１１を押して弾性変形させたまま、ガイド１７ｂに案内されて可動側アクチュエータ１６と共に上昇する。なお、金線ワイヤ９の解放は、可動側アクチュエータ１６を可動側ワイヤクランプ部７ｂから遠ざける方向に移動させ、板ばね１１のたわみを元に戻すことにより行う。
【００２８】
このように、本実施例のワイヤボンディング装置によれば、前記した第１の実施例と同様に、揺動するＺ軸上に金線ワイヤ９を把持するための固定・可動ワイヤ把持部８、１０を有し、可動ワイヤ把持部１０を動作させるアクチュエータ１２、１６がＸＹステージ上に固定されたボンディングヘッド３に設けられているため、ボンディングアーム４の軽量化・小イナーシャ化を図ることができ、ボンディングアーム４をＺ軸方向に高速に揺動することができる。また、Ｚ軸方向にスライド可能なアクチュエータ１２、１６が、ＸＹＺ方向にスライド可能なガイド１７ｂによって案内されるため、板バネ部１１を確実に弾性変形させることができる。
【実施例３】
【００２９】
次に、本発明の第３の実施例に係るワイヤボンディング装置について、図４を参照して説明する。図４は、第３の実施例に係るワイヤボンディング装置に設けられたワイヤクランプ装置の可動側ワイヤクランプ部を拡大した斜視図である。なお、本実施例は、可動側アクチュエータをワイヤ把持部側に固定したことを特徴とするものであり、その他の部分の構成に関しては前記した第１及び第２の実施例と同様である。
【００３０】
第３の実施例のワイヤボンディング装置について図４を参照して説明すると、第１及び第２の実施例と同様に、ワイヤボンディング装置ベース１４上に、ＸＹステージ１、２と、ボンディングヘッド３と、ボンディングヘッド３に固定されたボンディングアーム揺動軸１３により回動するボンディングアーム４と、固定、可動側ワイヤクランプ７ａ、７ｂと、固定、可動ワイヤ把持部８、１０と、可動側ワイヤクランプ部７ｂに取り付けられたＺ軸方向に延びる板状の可動側アクチュエータ１６と、ボンディングヘッド３に取り付けられた固定側アクチュエータ１２とから構成されている。
【００３１】
このような構成のワイヤボンディング装置の動作について説明すると、ボンディングヘッド３に取り付けた固定側アクチュエータ１２と可動側ワイヤクランプに取り付けた可動側アクチュエータ１６が動作することにより、板ばね１１を弾性変形させ、可動ワイヤ把持部１０と固定ワイヤ把持部８とで金線ワイヤ９を挟持する。そして、ボンディングシーケンス通りに、ワイヤクランプ部７ａ、７ｂは金線ワイヤ９をクランプしたまま上昇するが、本実施例の可動側アクチュエータ１６はＺ軸方向に延びる板状に形成されているため、各々のアクチュエータ１２、１６のＺ軸方向の位置が移動しても、確実に板ばね１１を弾性変形させて可動ワイヤ把持部１０を押圧することができる。
【００３２】
このように、本実施例のワイヤボンディング装置によれば、可動ワイヤ把持部１０を動作させるアクチュエータのうち、固定側アクチュエータ１２のみがＸＹステージ上に設けられているため、従来のワイヤクランプ装置に比べて、ボンディングアーム４の軽量化・小イナーシャ化を図ることができる。また、可動側アクチュエータ１６はＺ軸方向に延びる板状に形成されているため、Ｚ軸方向の動きに対して、金線ワイヤ９を確実に挟持することができる。
【実施例４】
【００３３】
次に、本発明の第４の実施例に係るワイヤボンディング装置について、図５を参照して説明する。図５は、第４の実施例に係るワイヤボンディング装置に設けられたワイヤクランプ装置の可動側ワイヤクランプ部を拡大した斜視図である。なお、本実施例は、ワイヤクランプ部にアクチュエータの動きを伝達する力伝達機構を加えたものであり、他の部分の構成に関しては、前記した第１乃至第３の実施例と同様である。
【００３４】
図５に示すように、第４の実施例のワイヤボンディング装置は、前記した第１の実施例と同様に、ＸＹステージ１、２とボンディングヘッド３とボンディングアーム４と固定、可動側ワイヤクランプ部７ａ、７ｂと固定、可動ワイヤ把持部８、１０とボンディングヘッド３に取り付けられたアクチュエータ１９、２０とワイヤクランプと接触しながら転がるボール２２とを備え、更に、アクチュエータ１９、２０で可動ワイヤ把持部１０を動作させるための力伝達機構２１をボンディングヘッド３に取り付けたことを特徴とするものである。
【００３５】
このような構成のワイヤボンディング装置では、ＸＹステージ１、２上に取り付けたアクチュエータ１９、２０を駆動させ、この駆動力を同じくＸＹステージ１、２上に設けた力伝達機構２１を介し、揺動するＺ軸上の可動ワイヤ把持部１０に伝達し、金線ワイヤ９を挟持・解放させることができる。従って、構造は複雑になるものの、アクチュエータ１９、２０を載置する位置を任意に設定することができるため、設計の自由度が増し、また、ワイヤクランプ部先端部分の構造を簡略化することができる。なお、本実施例では、ワイヤクランプが金線ワイヤ９を挟持している間は力伝達機構２１と板ばね１１間のボール２２は接触しながら転がり、ワイヤクランプ部のＺ軸方向の動きに対しても確実にアクチュエータの押圧力を伝達することができる。
【００３６】
なお、本実施例では、力伝達機構２１として支点を軸として回動する棒状の形態を例として記載したが、アクチュエータの動きをワイヤクランプ部に伝達することができる構造であれば他の形態でも良いことは明らかである。
【実施例５】
【００３７】
次に、本発明の第５の実施例に係るワイヤボンディング装置について、図６を参照して説明する。図６は、第５の実施例に係るワイヤボンディング装置に設けられたワイヤクランプ装置のワイヤクランプ部を拡大した斜視図である。なお、本実施例は、ワイヤクランプ部の両側を駆動することを特徴とするものであり、他の部分の構成に関しては第１乃至第４の実施例と同様である。
【００３８】
図６に示すように、第５の実施例のワイヤボンディング装置は、可動側ワイヤクランプ部７ｂと固定側ワイヤクランプ部７ａとが共に板ばね１１で構成され、２つの可動ワイヤ把持部１０ａ、１０ｂを動作させるためのアクチュエータ１９、２０と力伝達機構２１をボンディングヘッド３に取り付けることを特徴とするものである。
【００３９】
このような構成のワイヤクランプ装置では、揺動するＺ軸を保持するボンディングヘッド３に取り付けた２つのアクチュエータ１９、２０を駆動させ、力伝達機構２１を介して、揺動するＺ軸上の可動ワイヤ把持部１０ａ、１０ｂを両側から挟むように動作させることによって、金線ワイヤ９を挟持・解放させることができる。従って、前記した第１乃至第４の実施例に比べて、金線ワイヤ９をより大きな力で狭持することができる。なお、ワイヤクランプが金線ワイヤ９を挟持している間は、力伝達機構２１と板ばね１１との間のボール２２は接触しながら転がり、Ｚ軸方向の移動に対しても確実にワイヤ把持部を押圧することができる。
【実施例６】
【００４０】
次に、本発明の第６の実施例に係るワイヤボンディング装置について、図７乃至図９を参照して説明する。図７及び図８は、第６の実施例に係るワイヤボンディング装置に設けられたワイヤクランプ装置のワイヤクランプ部を拡大した斜視図であり、図７はボンディングアーム／アクチュエータ分離時、図８はボンディングアーム／アクチュエータ一体時を示している。また、図９はワイヤクランプ装置のワイヤクランプ部を拡大した斜視図であり、ワイヤクランプ部の全体をボンディングアームから分離して形成した例を示す図である。なお、本実施例は、ＸＹステージ上に構成されたワイヤクランプ駆動用アクチュエータ１２、１６、またはアクチュエータを含むワイヤクランプ部全体が、金線ワイヤ９を把持する時だけ揺動するボンディングアームと一体となることを特徴とするものである。
【００４１】
本実施例のワイヤクランプ装置は、図７及び図８に示すように、アクチュエータ支持板ばね２４によりボンディングヘッド３に固定された固定・可動側アクチュエータ１６、１２と、可動側アクチュエータ１６を案内するガイド１７ａと、可動側アクチュエータ１６に固定されて可動側ワイヤクランプ部７ｂを動作させるためのブロック１５とから構成される。
【００４２】
上記構成のワイヤクランプ装置では、金線ワイヤ９を把持せずにボンディングアーム４が動作する時には、アクチュエータはボンディングアーム４と接触せずにボンディングヘッド３上にあり、ボンディングアーム４が揺動して金線ワイヤ９をクランプする時にだけアクチュエータと接触して一体となる。このとき、アクチュエータ支持板ばね２４が弾性変形することによりアクチュエータはボンディングアーム４と一体となり、ボンディングアーム４と共に動作するため、ボンディングアーム４の軽量化・小イナーシャ化を図ることができる。
【００４３】
本実施例においては、ワイヤクランプ駆動用アクチュエータ全体ではなく、金線ワイヤ９を把持するときにだけ可動側アクチュエータ１６がボンディングアーム４と一体となって動作する構成としても良く、また、図９に示すように、ワイヤクランプ部の全体をボンディングアーム４から分離してボンディングヘッド３上に固定することもできる。この場合は、更にボンディングアーム４の軽量化・小イナーシャ化を図ることができる。
【００４４】
なお、上記した第１乃至第６の実施例では、アクチュエータとしてＶＣＭを用いた例について記載したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、アクチュエータとして、リニアモータ、電歪素子または磁歪素子等を用いることもできる。また、第４及び第５の実施例で示した力伝達機構は、アクチュエータの駆動力をワイヤ把持部に確実に伝達できる構造であれば良く、その構造は図５及び図６に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の第１の実施例に係るワイヤボンディング装置に設けられたワイヤクランプ装置の全体図である。
【図２】本発明の第１の実施例に係るワイヤボンディング装置に設けられたワイヤクランプ装置の部分拡大図である。
【図３】本発明の第２の実施例に係るワイヤボンディング装置に設けられたワイヤクランプ装置の部分拡大図である。
【図４】本発明の第３の実施例に係るワイヤボンディング装置に設けられたワイヤクランプ装置の部分拡大図である。
【図５】本発明の第４の実施例に係るワイヤボンディング装置に設けられたワイヤクランプ装置の部分拡大図である。
【図６】本発明の第５の実施例に係るワイヤボンディング装置に設けられたワイヤクランプ装置の部分拡大図である。
【図７】本発明の第６の実施例に係るワイヤボンディング装置に設けられたワイヤクランプ装置のボンディングアーム／アクチュエータ分離時における部分拡大図である。
【図８】本発明の第６の実施例に係るワイヤボンディング装置に設けられたワイヤクランプ装置のボンディングアーム／アクチュエータ一体時における部分拡大図である。
【図９】本発明の第６の実施例に係るワイヤボンディング装置に設けられたワイヤクランプ装置の部分拡大図である。
【図１０】従来のワイヤボンディング装置を示す上面図である。
【図１１】従来のワイヤボンディング装置を示す側面図である。
【図１２】ワイヤボンディング装置のボンディングシーケンスを示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  Ｘ軸ステージ
２  Ｙ軸ステージ
３  ボンディングヘッド
４  ボンディングアーム
５  ホーン
６  キャピラリ
７ａ  固定側ワイヤクランプ部
７ｂ  可動側ワイヤクランプ部
８  固定ワイヤ把持部
９  金線ワイヤ
１０、１０ａ、１０ｂ  可動ワイヤ把持部
１１  板ばね
１２  固定側アクチュエータ
１３  ボンディングアーム揺動軸
１４  ワイヤボンディング装置ベース
１５  ブロック
１６  可動側アクチュエータ
１７ａ  ガイド
１７ｂ  ＸＹＺ方向にスライド可能なガイド
１８ａ  Ｘ軸ステージ用アクチュエータ
１８ｂ  Ｙ軸ステージ用アクチュエータ
１９  アクチュエータ（ＶＣＭ磁気回路）
２０  アクチュエータ（ＶＣＭコイル）
２１  力伝達機構
２２  ボール
２３  コイル
２４  アクチュエータ支持板ばね
【図１】
0004411615.tif 000002
【図２】
0004411615.tif 000003
【図３】
0004411615.tif 000004
【図４】
0004411615.tif 000005
【図５】
0004411615.tif 000006
【図６】
0004411615.tif 000007
【図７】
0004411615.tif 000008
【図８】
0004411615.tif 000009
【図９】
0004411615.tif 000010
【図１０】
0004411615.tif 000011
【図１１】
0004411615.tif 000012
【図１２】
0004411615.tif 000013