(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工槽へ加工液を給水する給水手段と、加工槽から加工液を排水する排水手段と、加工槽に貯留された加工液の水位を検出する検出手段と、該水位検出手段の検出値に基づいて、加工液の給水または排水を行い、加工槽の水位を調整する水位調整機構と、前記水位検出手段の水位と目標水位との差が予め設定された範囲を超えた時、水位異常アラームを発生させる水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機において、
前記水位異常アラームが発生した際に、加工槽への加工液の給水を停止すると共に、排水指令を出力する出力手段と、
前記水位異常アラームが発生した際の排水動作後の水位の変化量及び水位調整機構の状態に関する操作者への質問を表示する表示手段と、
該質問に対する回答を入力する入力手段と、
該入力された回答から前記水位異常アラームが発生した原因となる箇所を特定する原因特定手段、とを有することを特徴とする水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機。
【請求項２】
加工槽へ加工液を給水する給水手段と、加工槽から加工液を排水する排水手段と、加工槽に貯留された加工液の水位を検出する検出手段と、該水位検出手段の検出値に基づいて、加工液の給水または排水を行い、加工槽の水位を調整する水位調整機構と、前記水位検出手段の水位と目標水位との差が予め設定された範囲を超えた時、水位異常アラームを発生させる水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機において、
前記水位異常アラームが発生した際に、加工槽への加工液の給水を停止すると共に、排水指令を出力する出力手段と、
水位検出手段で検出した前記水位異常アラームが発生した際の排水動作後の水位の単位時間当たりの変化量を測定する手段と、
該変化量に応じて水位調整機構の状態に関する操作者への質問を表示する表示手段と、
該質問に対する回答を入力する入力手段と、
該入力された回答から前記水位異常アラームが発生した原因となる箇所を特定する原因特定手段、とを有することを特徴とする水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機。
【請求項３】
前記表示手段に表示される水位調整機構の状態に関する操作者への質問は、排水口の詰まり、排水口バルブを開閉するサーボモータのアラーム情報の有無、給水量の過不足、前記サーボモータと排水口バルブとを結合する継手の異常の有無であることを特徴とする請求項１または２のいずれか一つに記載の水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機。
【請求項４】
加工槽へ加工液を給水する給水手段と、加工槽から加工液を排水する排水手段と、加工槽に貯留された加工液の水位を検出する検出手段と、該水位検出手段の検出値に基づいて、加工液の給水または排水を行い、加工槽の水位を調整する水位調整機構と、前記水位検出手段の水位と目標水位との差が予め設定された範囲を超えた時、水位異常アラームを発生させる水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機の水位異常アラーム発生原因特定方法であって、
前記水位異常アラームが発生した際に、加工槽への加工液の給水を停止すると共に、排水を行うステップと、
前記水位異常アラームが発生した際の排水動作後の水位の変化及び水位調整機構の状態に関する操作者への質問を表示するステップと、
該質問に対する回答を入力するステップと、
該入力された回答から前記水位異常アラームが発生した原因となる箇所を特定するステップ、
とからなることを特徴とするワイヤカット放電加工機の水位異常アラーム発生原因特定方法。
【請求項５】
加工槽へ加工液を給水する給水手段と、加工槽から加工液を排水する排水手段と、加工槽に貯留された加工液の水位を検出する検出手段と、該水位検出手段の検出値に基づいて、加工液の給水または排水を行い、加工槽の水位を調整する水位調整機構と、前記水位検出手段の水位と目標水位との差が予め設定された範囲を超えた時、水位異常アラームを発生させる水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機の水位異常アラーム発生原因特定方法であって、
前記水位異常アラームが発生した際に、加工槽への加工液の給水を停止すると共に、排水を行うステップと、
水位検出手段で検出した前記水位異常アラームが発生した際の排水動作後の水位の単位時間当たりの変化量を測定するステップと、
前記水位異常アラームが発生した際の水位の変化量及び水位調整機構の状態に関する操作者への質問を表示するステップと、
該質問に対する回答を入力するステップと、
該入力された回答から前記水位異常アラームが発生した原因となる箇所を特定するステップ、
とからなることを特徴とするワイヤカット放電加工機の水位異常アラーム発生原因特定方法。
【請求項６】
前記表示手段に表示される水位調整機構の状態に関する操作者への質問は、排水口の詰まり、排水口バルブを開閉するサーボモータのアラーム情報の有無、給水量の過不足、前記サーボモータと排水口バルブとを結合する継手の異常の有無であることを特徴とする請求項４または５のいずれか一つに記載のワイヤカット放電加工機の水位異常アラーム発生原因特定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤカット放電加工機に関し、特に、水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機およびその水位異常アラームの発生原因特定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤカット放電加工機には２つの種類がある。一つは、加工槽内に加工液を充満せず、上部および下部ワイヤガイドの出入口に取付けられたノズルから加工液をワイヤ電極に噴射しつつ加工する吹き付けタイプである。他の一つは、加工速度と加工精度を高めるために加工槽内に被加工物を固定し、加工液を加工槽内に充満させ、ワークを浸漬した状態で加工する浸漬タイプである。  
浸漬タイプのワイヤカット放電加工機では、加工槽の水位を被加工物の高さにより変化をさせる必要があるため、下記１）〜３）のような種々の水位調整機構が案出されている。
１）オーバーフローゲートを手動で上下させて被加工物の高さに水位を合わせるもの。
２）上ワイヤ電極を保持するＺ軸の高さ（一般的にＺ軸の高さと被加工物の高さとは比例関係にある）に、前述のオーバーフローゲートが自動的に追従するようにオーバーフローゲートを駆動するアクチュエータを備えたもの。
３）Ｚ軸の高さとは無関係に水位を設定しなければならない状況（自動結線中、ワーク交換時の温度変化を最小にするためワーク台位置までしか水を抜かない等）を考慮する必要がある。そのための、水位を連続的に検出できる圧力計等の水位検出手段と水位検出手段からの信号をフィードバックして水位を調整する水位調整機構をそなえたもの。
【０００３】
特許文献１には、装置の稼動中に減量する加工液を自動的に補給する水位の自動調整技術を備えたワイヤカット放電加工装置の技術が開示されている。
ワイヤカット放電加工機の技術分野ではないが、特許文献２には、故障に対する原因究明についての専門知識が蓄えられた知識ベース部を有し、専門知識を知識ベース部に対話手段によって入力し、知識ベース部を基に故障の原因を導き出す技術が開示されている。  また、特許文献３には、故障診断対象の原因に関する一つの質問に対して複数の選択肢があり、各選択肢から質問と選択肢とが枝分かれし、最終段階の選択肢がそれぞれ故障原因に到達するような構成を有するフォールトツリーに従って故障原因を究明する技術が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開平４−３００１２３号公報
【特許文献２】特開平１−８１００８号公報
【特許文献３】特開平３−１５４８４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
温度変化によってワーク及び該ワークを載置するテーブル等が熱膨張により変形し、加工精度の低下やワイヤ電極の断線の原因となるため、ワイヤカット放電加工機において高精度加工を行うには温度変化を最小限に抑える必要がある。そのため、段取り作業中であっても水を加工槽に溜めたままにする必要がある。
【０００６】
それ故、背景技術で説明した連続的に水位を検出する水位検出手段とその検出信号をフィードバックして水位調整を行う水位調整機構を備えた浸漬式の放電加工機を用いることが望ましい。  
しかしながら、水位検出手段や水位調整機構は、放電加工で発生するスラッジ（金属微粉）が混入した汚水に晒される。そのため、水位検出手段や水位調整機構は、スラッジの固着、スラッジによる磨耗を原因とした故障が発生し易い問題がある。そして、実際に、水位検出手段及び水位調整機構からなる水位調整システムに故障が発生した場合には、放電加工機のダウンタイムを短時間に抑える必要がある。  
そこで、本発明の目的は、ワイヤ放電加工機に備わった表示装置にガイダンスを表示し、操作者に質問形式でアラーム発生原因を特定するようにし、水位調整システムを構成する水位検出手段や水位調整機構での故障発生原因を特定することが可能な、水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機およびその水位異常アラーム発生原因特定方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願の請求項１に係る発明は、加工槽へ加工液を給水する給水手段と、加工槽から加工液を排水する排水手段と、加工槽に貯留された加工液の水位を検出する検出手段と、該水位検出手段の検出値に基づいて、加工液の給水または排水を行い、加工槽の水位を調整する水位調整機構と、前記水位検出手段の水位と目標水位との差が予め設定された範囲を超えた時、水位異常アラームを発生させる水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機において、前記水位異常アラームが発生した際に、加工槽への加工液の給水を停止すると共に、排水指令を出力する出力手段と、前記水位異常アラームが発生した際の排水動作後の水位の変化量及び水位調整機構の状態に関する操作者への質問を表示する表示手段と、該質問に対する回答を入力する入力手段と、該入力された回答から前記水位異常アラームが発生した原因となる箇所を特定する原因特定手段、とを有することを特徴とする水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機である。
【０００８】
請求項２に係る発明は、加工槽へ加工液を給水する給水手段と、加工槽から加工液を排水する排水手段と、加工槽に貯留された加工液の水位を検出する検出手段と、該水位検出手段の検出値に基づいて、加工液の給水または排水を行い、加工槽の水位を調整する水位調整機構と、前記水位検出手段の水位と目標水位との差が予め設定された範囲を超えた時、水位異常アラームを発生させる水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機において、前記水位異常アラームが発生した際に、加工槽への加工液の給水を停止すると共に、排水指令を出力する出力手段と、水位検出手段で検出した前記水位異常アラームが発生した際の排水動作後の水位の単位時間当たりの変化量を測定する手段と、該変化量に応じて水位調整機構の状態に関する操作者への質問を表示する表示手段と、該質問に対する回答を入力する入力手段と、該入力された回答から前記水位異常アラームが発生した原因となる箇所を特定する原因特定手段、とを有することを特徴とする水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機である。
【０００９】
請求項３に係る発明は、前記表示手段に表示される水位調整機構の状態に関する操作者への質問は、排水口の詰まり、排水口バルブを開閉するサーボモータのアラーム情報の有無、給水量の過不足、前記サーボモータと排水口バルブとを結合する継手の異常の有無であることを特徴とする請求項１または２のいずれか一つに記載の水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機である。
【００１０】
請求項４に係る発明は、加工槽へ加工液を給水する給水手段と、加工槽から加工液を排水する排水手段と、加工槽に貯留された加工液の水位を検出する検出手段と、該水位検出手段の検出値に基づいて、加工液の給水または排水を行い、加工槽の水位を調整する水位調整機構と、前記水位検出手段の水位と目標水位との差が予め設定された範囲を超えた時、水位異常アラームを発生させる水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機の水位異常アラーム発生原因特定方法であって、前記水位異常アラームが発生した際に、加工槽への加工液の給水を停止すると共に、排水を行うステップと、前記水位異常アラームが発生した際の排水動作後の水位の変化及び水位調整機構の状態に関する操作者への質問を表示するステップと、該質問に対する回答を入力するステップと、該入力された回答から前記水位異常アラームが発生した原因となる箇所を特定するステップ、とからなることを特徴とするワイヤカット放電加工機の水位異常アラーム発生原因特定方法である。
【００１１】
請求項５に係る発明は、加工槽へ加工液を給水する給水手段と、加工槽から加工液を排水する排水手段と、加工槽に貯留された加工液の水位を検出する検出手段と、該水位検出手段の検出値に基づいて、加工液の給水または排水を行い、加工槽の水位を調整する水位調整機構と、前記水位検出手段の水位と目標水位との差が予め設定された範囲を超えた時、水位異常アラームを発生させる水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機の水位異常アラーム発生原因特定方法であって、前記水位異常アラームが発生した際に、加工槽への加工液の給水を停止すると共に、排水を行うステップと、水位検出手段で検出した前記水位異常アラームが発生した際の排水動作後の水位の単位時間当たりの変化量を測定するステップと、前記水位異常アラームが発生した際の水位の変化量及び水位調整機構の状態に関する操作者への質問を表示するステップと、該質問に対する回答を入力するステップと、該入力された回答から前記水位異常アラームが発生した原因となる箇所を特定するステップ、とからなることを特徴とするワイヤカット放電加工機の水位異常アラーム発生原因特定方法である。
【００１２】
請求項６に係る発明は、前記表示手段に表示される水位調整機構の状態に関する操作者への質問は、排水口の詰まり、排水口バルブを開閉するサーボモータのアラーム情報の有無、給水量の過不足、前記サーボモータと排水口バルブとを結合する継手の異常の有無であることを特徴とする請求項４または５のいずれか一つに記載のワイヤカット放電加工機の水位異常アラーム発生原因特定方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明により、放電加工機に備えられた水位調整システムに不具合が発生した場合に、操作者は不具合箇所を速やかに特定することが可能となり不具合箇所の復旧作業にとりかかることができ、放電加工機のダウンタイムを抑制することができる。  
放電加工機に備わった表示画面に、故障箇所を特定するための操作者への質問画面を表示して作業内容を指示することで、水位調整システムの不具合を検出するための種々の検出手段を放電加工機に備える必要がなく、放電加工機の構成の簡略化、低コスト化が実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機およびその水位異常アラーム発生原因特定方法の実施形態について図面を用いて説明する。  
図１は、本発明の一実施形態であるワイヤカット放電加工機の概略ブロック図である。機構部１０に設けられたテーブルに被加工物のワークを載置し取り付けられるように構成される。そして、該ワークと図示していないワイヤ電極間に電圧を印加し、放電を発生させながらワークとワイヤ電極を相対的に移動させることによってワークに放電加工を行う。また、加工槽３に急速に水溜めする場合は急速水溜め用の加工液供給路１２を介して加工液が供給され溜められる。その後の加工液の補給は加工液供給路Ｌ１ａを介して行われる。この加工槽３内の加工液は、放電加工によって生じた加工屑等が混ざり込んでおり、この加工液は汚水槽８に流出するように構成されている。
【００１５】
汚水槽８に回収・貯留された加工液は、フィルタ用ポンプＰ１で汲み上げられ、フィルタＦに通されて濾過され、加工屑等が取り除かれて清水槽９に供給される。清水槽９に貯留された加工液は、加工液供給路Ｌ１ａを介して循環用ポンプＰ３によって汲み上げられる。そして、その吐出口で分岐され、一方は、加工液供給路Ｌ１ａを介して加工槽３に補給水として供給され、他方は、加工液冷却装置１１に供給され、冷却制御されて加工液帰還路Ｌ１ｃを介して清水槽９に戻される。
【００１６】
加工槽３には加工槽３内の加工液の水位を測定するための圧力センサ６が備えられている。さらに、加工槽３に排水手段が設けられ、加工槽３内の加工液が汚水槽８に流出するように排水口７が設けられている。排水手段には排水口バルブ５および排水口バルブ５の開閉を行うサーボモータ４が設けられている。  
そして、当該ワイヤカット放電加工機は表示手段１３を有する制御装置１４によって制御される。
【００１７】
図２は、図１で説明したワイヤカット放電加工機に、水位調整システムの水位検出手段に圧力センサ、水位調整機構にサーボモータを用いた加工槽３周辺の概略図である。このワイヤカット放電加工機は、扉（図示しない）を閉めて加工槽３内に水を溜め、圧力センサ６によって水圧を検出する。水圧を検出することにより加工槽３内の水位を測定することができる。そして、サーボモータ４によって排水口バルブ５の開度を調整し、水位を制御する構造となっている。
【００１８】
放電加工中は上ガイド１及び下ガイド２から水を噴出させながら被加工物を加工するため、通常は加工槽３に流入する量だけ排出するように排水口バルブ５を所定量開いた状態で制御する。なお、排水口バルブ５は全閉の状態においても若干量の水が漏れ出すような構造となっている。通常の被加工物の放電加工作業では、「被加工物の厚みによってＺ軸位置が決まる。」→「Ｚ軸位置によって目標水位が決まる。」→「圧力センサで水位を検出する。」→「水位の過不足を排出口バルブの開度で調整する。」という順序で加工槽３内の水位を調整する。図２に示される圧力センサ６や、サーボモータ４、排水口バルブ５などの水位調整機構に異常・故障が発生すると、加工槽３内の水位が所定のＺ軸位置近傍に維持されなくなる。  
水位がＺ軸位置近傍の上限を超えて水位異常となった場合には、下記のａ）、ｂ）、ｃ）、及びｄ）の４つが水位調整システムの故障原因として想定される。  
ａ）圧力センサの故障
ｂ）サーボモータの故障
ｃ）サーボモータと排出口バルブを結合する継手の故障
ｄ）排水口の詰まり
水位がＺ軸位置近傍の下限を超えて水位異常となった場合には、下記のａ）、ｂ）、ｃ）、ｅ）、及びｆ）の５つが水位調整システムの故障原因として想定される。  
ａ）圧力センサの故障
ｂ）サーボモータの故障
ｃ）サーボモータと排出口バルブを結合する継手の故障
ｅ）給水量の不足
ｆ）水漏れ量の増大
なお、故障を示す記号は、水位が上限を超えてアラームとなった場合のａ）〜ｄ）を含めた通し記号とした。
【００１９】
次に、本発明の水位異常検出機能を備えたワイヤカット放電加工機およびその水位異常アラーム発生原因特定方法により上記ａ）〜ｆ）に示される故障原因を特定することを、図面を用いて説明する。本発明では検出水位と目標水位の差分がある設定値（差分の上限、下限は別々に設定可能）に達した際には水位異常アラームとする。そして、本発明では、水漏れを防止するためワイヤ放電加工機の加工槽３へ流入する水を止め、排水口バルブ７を全開とし加工槽３内の水を流出させ、ワイヤ放電加工機を停止させることを前提とする。なお、通常、汚水槽８は加工槽３より大きな容量があるため、加工槽３内の水を汚水槽８に排水しても汚水槽８から水が溢れ出ることはない。
【００２０】
図３は水位が上昇してアラームになる場合における診断過程の一例を示す樹形図の例である。図３に示す樹形図の流れに従って上記故障発生原因ａ）〜ｄ）を特定することについて説明する。圧力センサ６の出力から水位の異常が検知されると（Ｓ１）、表示手段１３に質問画面１（図５−１（１））を表示し、水位が上限値異常であるのか下限値異常であるのかを操作者に選択させる。そして、加工槽３へ流入する水（Ｌ１ａ、Ｌ１ｂ）を止め、排水口バルブ５が全開になるようにサーボモータ４に指令し加工槽３内の水を汚水槽８に流出させ、ワイヤ放電加工機を停止させる。なお、加工槽３内の水位の異常が上限値異常か下限値異常であるかの特定を操作者に選択させることに替えて、圧力センサ６からの出力に基づいてワイヤ放電加工機の制御装置１４で上限値異常であるか下限値異常であるかを判断してもよい。
【００２１】
以下、水位が上限値異常の場合について説明する。アラーム後の水位が下がるか操作者に判断させるため（Ｓ２）、表示手段１３に質問画面２（図５−１（２））を表示し、アラーム後の圧力センサ６が検出する水位は下がるか下がらないのかを操作者に選択させる。アラーム後の水位の変化は、アラーム発生後の圧力センサ６により検出される水位の変化をワイヤ放電加工機の制御装置１４において監視することによって求めることが可能である。
【００２２】
アラーム後の水位が下がらないを操作者が選択した場合、排水口７は詰まっていないか判断するため（Ｓ３）表示手段１３に質問画面３（図５−１（３））を表示し、排水口７が詰まっているかいないかを操作者に選択させる。排出口７の異物詰まりに関しては排水口７の水の流れを操作者が確認することによって行うことができる。
【００２３】
ワイヤ放電加工機の加工槽３は排水口バルブ５が完全に閉まっていても若干量の水を排出する構造である。そのため、圧力センサ６の出力に変化がないとすると、サーボモータ４、継手等の故障ではなく排出口７に異物が詰まっている（ｄ）、若しくは、圧力センサ６が故障（ａ）して出力が変化しないと特定できる。
【００２４】
また、アラーム後の水位が下がるかの選択（Ｓ２、質問画面２：図５−１（２））で、水位が下がるを操作者が選択した場合、次にサーボモータ４の異常を検出しているかいないかを操作者に判断（Ｓ４）させるため、表示手段１３に質問画面４（図５−１（４））を表示する。そして、サーボモータ４の異常を検出しているかいないか操作者に選択させる。サーボモータ４の異常が発生したか否かはワイヤ放電加工機の制御装置１４に標準的に備わっているサーボモータ異常検出機能を用いてサーボモータ４の状態を検出することや、サーボモータ４を操作者が観察することによって異常発生の有無を確認する。そして、サーボモータ４の異常を検出しているを操作者が選択すると、サーボモータの故障（ｂ）と特定できる。
【００２５】
また、サーボモータ４の異常を検出していないを操作者が選択すると、次に、排水口７は詰まっているか判断するため（Ｓ５）表示手段１３に質問画面５（図５−１（３））が表示され、操作者に排水口７が詰まっているか詰まっていないかを選択させる。詰まっている場合、排水口７の詰まり（ｄ）、詰まっていない場合、継手の故障（ｃ）と特定できる。そして、特定された故障原因は、図６に示す故障原因を表示する警告画面（ａ）〜（ｆ）での表示例のように表示手段１３に表示し、操作者が迅速そして明確に故障原因を認識できるようにする。  
以上が、水位が上限値異常の場合についての説明である。
【００２６】
次に、水位が下限値異常の場合について説明する。図４は水位が下限値より下がってアラームになる場合における診断過程の一例を示す樹形図である。図４に示される樹形図は、上記故障発生原因ａ）、ｂ）、ｃ）、ｅ）、及びｆ）の５つの水位調整システムの故障原因を特定することについて説明するものである。図３について説明したのと同様に、表示手段１３の画面に操作者への質問画面を表示し、操作者に選択させることにより故障原因を特定する。
【００２７】
圧力センサ６の出力から水位の異常が検知されると（Ｓ１）（図３参照）、表示手段１３に質問画面１（図５−１（１））を表示し、水位が上限値異常であるのか下限値異常であるのかを操作者に選択させる。そして、加工槽３へ流入する水（Ｌ１ａ、Ｌ１ｂ）を止め、排水口バルブ５が全開になるようにサーボモータ４に指令し加工槽３内の水を流出させ、ワイヤ放電加工機を停止させる。なお、加工槽３内の水位の異常が上限値異常か下限値異常であるかの特定を操作者に選択させることに替えて、圧力センサ６からの出力に基づいてワイヤ放電加工機の制御装置１４で上限値異常であるか下限値異常であるかを判断してもよい。
【００２８】
次に、アラーム後の水位が下がるか操作者に判断させるため（Ｓ６）、表示手段１３に質問画面５（図５−２（５））を表示し、アラーム後の水位が下がらない、ゆっくり下がる、または、すばやく下がるかを操作者に選択させる。アラーム後の水位の変化は、アラーム発生後の圧力センサ６により検出される水位の変化をワイヤ放電加工機の制御装置１４において監視することによって求めることが可能である。
【００２９】
アラーム後の圧力センサ６が検知する水位が下がらない場合、排水口７は詰まっているか判断するため（Ｓ７）、表示手段１３に質問画面３（図５−１（３））を表示し、排水口７が詰まっているかいないかを操作者に選択させる。排出口７の異物詰まりに関しては排水口７の水の流れを操作者が確認することによって行うことができる。前述のとおり、ワイヤ放電加工機の加工槽３は排水口バルブ５が完全に閉まっていても若干量の水を排出する構造である。そのため、圧力センサ６の出力に変化がないとすると、サーボモータ４、継手等の故障ではなく排出口７に異物が詰まっている（ｄ）、若しくは、圧力センサ６が故障（ａ）して出力が変化しないと特定できる。
【００３０】
アラーム後の圧力センサ６が検知する水位がゆっくり下がる場合、サーボモータ４の異常を検出しているかを操作者に選択させるため、表示手段１３に質問画面４（図５−１（４））を表示する。サーボモータ４の異常が発生したか否かはワイヤ放電加工機の制御装置１４に標準的に備わっているサーボモータ異常検出機能を用いてサーボモータ４の状態を検出することや、サーボモータ４を操作者が観察することによって異常発生の有無を確認する。そして、サーボモータ４の異常を検出しているを操作者が選択すると、サーボモータの故障（ｂ）と特定できる。
【００３１】
サーボモータ４の異常を検出しているか（Ｓ８、図５−１（４））で操作者が異常はないを選択した場合、次に、給水量は十分にあったかを判断するため（Ｓ１０）、表示手段１３に質問画面６（図５−２（６））を表示させる。給水量が十分にあったか否かは、給水量を計測する流量計、給水ホースの詰まり、給水ポンプの故障による給水量の不足が発生していないか確認することにより行える。操作者が、給水量は十分でなかったを選択した場合、故障原因は給水量不足（ｅ）と特定できる。一方、操作者が、給水量は十分にあったを選択した場合、次に、継手は正常か（Ｓ１１）の選択を操作者にさせるため、表示手段１３に質問画面７（図５−２（７））を表示させる。継手が正常であるか否かは、操作者が継手を目視して確認することにより行うことができる。継手が正常であった場合は、水漏れの増大（ｆ）が故障原因と特定できる。また、継手に異常を発見した場合には、継手の故障（ｃ）と特定できる。
【００３２】
次に、アラーム後の水位は下がるか（Ｓ６）で、すばやく下がるを操作者が選択した場合、次に、給水量は十分にあったかを操作者に選択させる（Ｓ９）。給水量が十分にあったを選択した場合、水漏れ量の増大（ｆ）を故障原因と特定でき、給水量は十分になかったを選択した場合、給水量不足（ｅ）と故障原因を特定できる。給水量が十分にあったかなかったかは、前記したとおり、給水量を計測する流量計、給水ホースの詰まり、給水ポンプの故障による給水量の不足が発生していないか確認することにより行える。
【００３３】
水位が上限を超えてアラームとなった場合は、圧力センサ６の故障、サーボモータ４の故障、サーボモータ４と排水口バルブ５を結合する継手の故障、排水口７の詰まりの４つの原因を、アラーム発生後の圧力センサ６の出力を監視することにより、図３に示す流れでそれらの原因を絞り込むことができる。
水位異常アラームが発生した後の圧力センサ６の出力を制御装置において監視し、圧力センサ６の出力に変化がない場合、排水弁が完全に閉まっていても若干量の水を排出する構造であるため、サーボモータ４や継手などの故障ではなく、排水口７が詰まっている、もしくは、圧力センサ６が故障していると判断可能である。排水口７の異物詰まりに関しては水の流れを検知する流量センサを用いて検出できる。
加工槽３内の水の排水指令後、圧力センサ６の出力が下がっていく場合は制御装置に標準的に備わっているサーボモータ異常検知機能を用いてサーボモータ４の異常を検出する。サーボモータ４が正常だった場合には、排水口７に設置した流量センサを用いて排水口７の状態を検出する。排水口７に詰まりが無い場合はサーボモータ４と排水口バルブ５とを結合する継手の故障が水位異常アラームの原因であると絞り込むことが可能である。
【００３４】
また、水位が下限を超えてアラームとなった場合は、圧力センサ６の故障、サーボモータ４の故障、サーボモータ４と排水口バルブ５を結合する継手の故障、給水量の不足、水漏れ量の増大、排水口７の詰まりの６つの原因を、図４に示す流れでそれらの原因を絞り込むことができる。上記の水位が上限を超えてアラームとなった場合と同じように、アラームが発生した後の圧力センサ６の出力を制御装置１４において監視し、圧力センサ６の不具合診断を行う。次に制御装置１４に送られてくるサーボモータ４の信号を確認し、サーボモータ４の不具合判断を行う。正常だった場合は給水量を測定する流量計からの信号を確認し、給水ホースの詰まり、給水ポンプの故障によって給水量不足が発生していないか確認する。給水量が十分だった場合はサーボモータ４と排水口バルブ５を結合する継手が故障していないか確認する。継手が正常だった場合は水漏れ量の増大が水位異常アラームの原因であると絞り込むことが出来る。継手の故障の検出は、継手に微弱な電圧をかけておいてその変化を監視し、電圧変化によって継手の破損を自動的に検知することも可能である。
【００３５】
なお、操作者に質問形式で故障原因を特定させることに替えて、圧力センサ、サーボモータ、排水口の詰まり、継手、給水量の５要素の状態を検出する手段を用いることで自動的に故障箇所を絞り込むことも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の一実施形態であるワイヤカット放電加工機の概略ブロック図である。
【図２】水位検出手段に圧力センサ、水位調整機構にサーボモータを用いたワイヤ放電加工装置の加工槽周辺の概略図である。
【図３】水位がＺ軸より上昇してアラームになる場合における診断過程の一例を示す樹形図の例である。
【図４】水位がＺ軸より下がってアラームになる場合における診断過程の一例を示す樹形図である。
【図５−１】操作者への質問画面（その１）。
【図５−２】操作者への質問画面（その２）。
【図６】故障原因を表示する画面の表示例。
【符号の説明】
【００３７】
１  上ガイド；Ｚ軸（上アーム）
２  下ガイド；下アーム
３  加工槽
４  サーボモータ
５  排水口バルブ
６  圧力センサ
７  排水口
８  汚水槽
９  清水槽
１０  機構部
１１  加工液冷却装置
１２  急速水溜め用の加工液供給路
１３  表示手段
１４  制御装置
Ｌ１ａ，Ｌ１ｂ  加工液供給路
Ｌ１ｃ  加工液帰還路
Ｐ１  フィルタ用ポンプ
Ｐ２  噴流用ポンプ
Ｐ３  循環用ポンプ
Ｐ４  急速水溜め用ポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５−１】
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【図５−２】
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【図６】
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