(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
間隔を開けてイオン放出口として機能する複数の開口を直線上に設けた棒状の中空容器と、
前記イオン放出口を通してイオンを放出するようにイオン放出口に対向して前記中空容器の内部に配置された複数の放電電極と、
前記中空容器に対して摺動可能にまたは回転可能に取付けられて、前記中空容器に対して摺動または回転されることにより前記放電電極の各々を掃除する各々のブラシが設けられており、かつイオン放出時の前記開口を塞がない開放位置と、ブラシ掃除時の前記開口を塞ぐ閉鎖位置をとるブラシバーと、
前記中空容器の端部に設けられており、前記ブラシバーがアクチュエータにより駆動されるときに、前記ブラシで掃除したときのホコリを吸引するホコリ吸引機と、
を有することを特徴とする除電器。
【請求項２】
請求項１記載の除電器において、前記中空容器が中空の長方体または中空の円筒体であることを特徴とする除電器。
【請求項３】
請求項１記載の除電器において、前記ブラシバーの駆動部は前記ホコリ吸引機が設けられた端部とは反対側の端部に設けられていることを特徴とする除電器。
【請求項４】
請求項１記載の除電器において、前記ブラシバーがイオン放出時の前記開口を塞がない開放位置にあるとき、前記ホコリ吸引機を、圧縮空気をイオン放出口を通して放出するのに使用することを特徴とする除電器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、バータイプ除電器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
1．ホコリ吸引機構付除電器
従来の交流式棒状除電器の代表例の1つを図１(図１ａは斜視図、図１ｂは断面図)に、また直流式棒状除電器の代表例の1つを図2(図２ａは斜視図、図２ｂは断面図)に示す。
これらは部分的に横方向の開口１０ａを有する中空のまたは中に充填物を詰められた棒状の容器１０に高電圧給電線１２を配し(直流式棒除電器の場合には、反対極性の高電圧線１２ａも設ける)、これに放電電極（針）１４を多数取り付け、空気中にイオン２０を放射している。放電電極（針）１４は絶えず高電圧をかけられているため、周囲のホコリや湿気を吸着し、イオン２０の発生性能を阻害している。このホコリを除去するため、一定期間使用したら外部から人手によりブラシ等で針を払い掃除をするように指示されている。しかし実際には高電圧部分（１２，１４）に（ブラシを使うにせよ）人手でさわることは作業者にとっては恐ろしい事であり、ほとんど実行されていない。従って放電針はホコリの山となり、イオンがほとんど出ない状況になっている。
【０００３】
即ち、従来の除電器では放電針１４の掃除は使用者の自主的な作業に委ねられていて、装置自身が自らの汚れによる機能低下を自己回復できる構造になっていなかった。
【０００４】
２．高電圧供給線の配線方式
従来の直流式除電器の高圧電線の配線例を図12に示す。片側に例えば＋の高圧電線１２を配置し、横にこの逆極性の高圧電線１２ａを配置している。このため発生したイオン２０は横方向にある逆極性の高圧電線１２ａに引かれ、イオンの飛翔方向が偏ると共に飛距離が短くなるという問題があった。
【０００５】
3．イオンチェッカー
従来のイオンチチェッカーは、例えば特開平1１−118861で示されるように、帯電板Ｂに高電圧を帯電させ、これに除電器Ａでイオンを吹きかけ流れる電流を複雑な電子回路にて測定していた。図18にその概略構成図を示し、図19に具体的な回路図を示す。そのため装置が精密で、かつ高価なため、誰もが簡単に使える物ではなかった。
【０００６】
4．PUSH−PULL式除電器
従来の除電器ではイオンの飛距離が短い。特に交流式では＋イオンと一イオンが直ぐに再結合してしまうので、飛距離は非常に短く、したがって送風機でもってイオンを飛ばしている。これに対し、直流除電器は送風機無しでもある程度は飛距離を確保できる。しかし、それでも高々70cmほどしか飛ばない。そのため実際の使用場面では、飛距離が不足し、十分な除電効果が得られず、困っている。
【０００７】
図２７に飛距離が不足し中間部にイオンがなく除電できない領域がある例を示す。図２８に例えば半導体のクリーンルーム内での除電状況を示す。天井２２に取り付けられた除電器１からのイオン２０は天井２２から1m程度しか届かないので肝心な人２４や設備、ワーク２６が除電できない。
【０００８】
図２９にゲート状に除電器を配置した場合を示す。ゲート２８，２８の中央部にイオン２０が届かないので除電不可能領域が存在している。従ってゲート２８，２８の間隔を狭くしなければならないので実用的でない。
【０００９】
5．遮蔽物でイオンバランスを取る方式
直流式の除電器では図３６と図３８に示すように中央のイオンバランスは良いが、両端のイオンバランスが悪いというように位置によりイオンバランスがばらつくという問題点があった。図３６と図３８では、左端の空間が＋の空間、右端の空間が一のイオン空間になっており、本来の中性からイオンバランスが崩れている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
１．ホコリ吸引機構付除電器
放電針は高電圧を使う関係上、どうしても集塵作用があり、ホコリを吸着する。ホコリを吸着するとイオン放出能力が減少し、除電能力が減少するので、絶えずホコリ等の汚れを掃除しなければならない。従来は全て作業者の手に任せられていた放電針の掃除を装置自身が掃除機構を装備することにより容易にする。
【００１１】
したがって、本発明の目的は、放電電極の掃除を容易にする除電器を提供する事にある。
【００１２】
2．高電圧供給線の配線方式
従来の直流式除電器の高圧電線の配線レイアウトは、片側に例えば＋極性の高電圧導体を配置し、その横に−極性の高電圧導体を配置している。それは両方の高電圧導体に、それぞれ＋または−のイオン発生用電極を立てるためである。即ち、各高電圧導体の横に逆極性の高電圧導体があるため、発生したイオンは横方向に引かれ、イオンの飛翔方向が偏ると共に飛距離が短くなるという問題があった。
【００１３】
したがって、本発明の目的は、イオンの飛翔方向が偏らず、針からまっすぐ前方に飛ぶようにすると共に、飛距離が短くならないようにする除電器を提供する事にある。
【００１４】
3．イオンチェッカー
従来のイオンチェッカーは、帯電板に高電圧を帯電させ、これに除電器でイオンを吹きかけ流れる電流を複雑な電子回路にて測定していた。そのため装置が精密で、かつ高価なため、誰もが簡単に使える物ではなかった。
【００１５】
したがって、本発明の目的は、複雑な電子回路を用いず、極めて簡単な横造で、安価で、誰もが簡単に使える放射イオン量測定装置を提供する事にある。
【００１６】
4．PUSH−PULL式除電器
従来の除電器ではイオンの飛距離が不足し、広い範囲にわたって十分な除電効果が得られず、困っている。
【００１７】
したがって、本発明の目的は、イオンの飛距離を延ばし、広い範囲にわたって十分な除電効果が得られる除電器を提供する事にある。
【００１８】
5．遮蔽物でイオンバランスを取る方式
直流式の除電器では、除電領域の中央のイオンバランスは良いが、両端のイオンバランスが悪いという問題点があった。
【００１９】
したがって、本発明の目的は、除電領域の両端においてイオンバランスを改善する除電器を提供する事にある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
１．ホコリ吸引機構付除電器
前述の目的を達成するために、本発明は、棒状の放電電極掃除用ブラシと払った挨を辺りに撒き散らし製品を汚す事のないよう真空吸引掃除装置を採用するものである。
【００２１】
2．高電圧供給線の配線方式
前述の目的を達成するために、本発明は、イオンの飛翔方向が偏らず、針からまっすぐ前方に飛ぶようにすると共に、飛距離が短くならないようにするため、放電電極に給電する高電圧供給線が放電電極の根元で放電電極と直角な線状または放電電極と垂直な面状であり、当該放電電極と反対の極性の高電圧供給線が当該放電電極の背後にある事を特徴とする直流型棒状除電器を採用するものである。
【００２２】
3．イオンチェッカー
前述の目的を達成するために、本発明は、複雑な電子回路を用いず、極めて簡単な構造で、安価で、誰もが簡単に使える放射イオン量測定装置を提供するため、正のイオンを受ける面状電極と、負のイオンを受ける面状電極と、両者を結ぶネオン管と、を有する事を特徴とする放射イオン検出装置を採用するものである。
【００２３】
さらに前記放射イオン検出装置にネオン管と直列に整流用ダイオードを有し、イオンの極性を判別することが出来る事を特徴とする放射イオン検出装置を採用するものである。
【００２４】
またイオンを受ける面状電極と、人間の手に触れる電極と、両者を結ぶネオン管と、を有する事を特徴とする放射イオン検出装置を採用するものである。
【００２５】
また前記放射イオン検出装置のネオン管と直列に整流用ダイオードを有し、イオンの極性を判別することが出来る事を特徴とする放射イオン検出装置を採用するものである。
【００２６】
4．PUSH−PULＬ式除電器
前述の目的を達成するために、本発明は、イオンの飛距離を延ばし、広い範囲にわたって十分な除電効果が得られる除電器を提供するために、互いに内側に向き合った放電電極を持ち、片方がイオンを放射する時、他方はこれと逆の極性のイオンを放射する事を特徴とする直流型除電器を採用するものである。
【００２７】
さらに前記に加え、互いに向き合った放電電極から放射するイオンの極性が、各放電電極において逆極性に切り替わる事を特徴とする除電器を採用するものである。このとき、逆極性の切り替わりは、向き合った放電電極が互いに逆極性になるように同期をとられていることが好ましい。
【００２８】
５．遮蔽物でイオンバランスを取る方式
前述の目的を達成するために、本発明は、イオン放出口を遮蔽物で部分的に遮蔽する事によって放射イオン量を調整する事を特徴とする除電器を採用するものである。
【００２９】
さらに両端のイオン放出口を遮蔽物で部分的に遮蔽する事によって放射イオン量を調整する事を特徴とする除電器を採用するものである。
【００３０】
【実施例】
1．ホコリ吸引機構付除電器
次に、本発明の実施例を説明する。図3は本装置の外観を示す。
放電部３０は棒状になっており、イオン２０の放出口１０ａが多数開けられている．ここにはイオン放出用放電電極（針）１４が多数顔を覗かせている。図４に示すように内部には放電針１４のホコリを払う多くのブラシを装備したブラシバー３２ａが有り、一方の端にあるブラシバー駆動部３２（アクチュエータ）により当該ブラシバー３２ａが駆動され、針１４に着いたホコリの掃除作業をする。その時払われた挨が除電器１から漏れ落ちないようにするため、他方の端から真空吸引をしてホコリを集めることもできる。本実施例では、ブラシバ−が内部にある例を示すが、外部にあることのある（図示せず）。
【００３１】
1つの実施例の断面図を図4に示す。除電器１の棒状放電電極１４を掃除するための掃除用ブラシ３２ｂが多数取り付けられたブラシバー３２ａがあり、このブラシバー３２ａはアクチュエータ３２により駆動され、針１４のホコリを払う．この時払われた挨が外部に漏れ落ちないように真空吸引しながらブラッッシングを行う。
【００３２】
別の実施例を図5に示す。この装置はホコリの吸引路と、イオンを飛ばす圧縮空気の供給路が同じ場合の除電器１を示す。この場合、通風路が共用出来るので1つで済むという特徴がある。
【００３３】
別の実施例を図6ａに示す。ホコリを払うブラシは除電器１の軸の周りに回転させる場合である。ブラシバー３２ａには放電時、イオン２０が通過する孔１０ａが開いている。ブラシングをする時はブラシが除電器の軸の周りに回転するので、放電口は開閉される。図６ｂはブラシバー３２ａが容器１０の外側に配置された例である。
【００３４】
別の実施例を図7ａに示す。ホコリを払うブラシ３２ｂを除電器１の軸と平行に摺動させる場合である。ブラシバー３２ａには放電時、イオンが通過する孔１０ａが開いている。ブラシングをする時はブラシ３２ｂが除電器１の軸と平行に摺動するので、放電口は開閉される。図７ｂは、ブラシバー３２ａが容器１０の外側に配置された例である。
【００３５】
別の実施例を図8と9に示す。ホコリ吸引路と独立した圧縮空気供給路を有する事を特徴とする除電器を示す。この場合、圧縮空気の中に水分や油分が含まれていても電気系統に漏電等の故障を来さないため、信頼性が高くなり寿命が長くなる。ホコリの吸引路が圧縮空気供給路３０と独立しているので、吸引された時、途中で止まっていたホコリが圧縮空気と共に送られて放出される事がなくなる。
【００３６】
2．高電圧供給線の配線方式
図10に高圧電線の配置方法を示す。放電針１４を前面に出し、放電針１４の根元に放電針１４と同極性の高電圧電線を放電針１４と直角に配置し、発生したイオン２０をクーロンの反発力で飛ばす。または放電針１４の根元に放電針１４と同極性の面状電極を放電針１４と垂直に配置し、発生したイオンをクーロンの反発力で飛ばす。
【００３７】
これらの場合、図11に示すように、イオンに対する引力を発生させる逆極性の高電圧電線を放電針１４とその高電圧電線や面状電極１２の背後に配置し、この電気力線による引力がイオンに影響しないようにする。
【００３８】
図13、図14ａ、１４ｂに実際の配線方法を示す。針１４を支える絶縁体の電極棒に放電針１４が植えられており、その電極棒の周りに高電圧電線１２、１２が配線されている。2本の電線１２、１２には逆極性の高電圧がかかっているので、絶えず一定の線間距離を保つように支持されている。図13は電線が絶えず電極棒の片面を這っているのに対し、図14a、図１４bは電線が電極棒に巻き付けられている。
【００３９】
図15は、電線の代わりにプリント基板３２、３２を用いている。原理的には前述の電線方式と同様で、＋極性と−極性の配線にそれぞれ独立した基板３２，３２を用いている。この場合のイオンの飛ぶ方向と放電針、配線パターンの位置関係が図16に示してある。図16ａは＋イオン放電針を、図16ｂは−イオン放電針の配線パターンの位置関係を示す。
【００４０】
図17に、この場合の絶縁距離を示してある。基板３２，３２を分離する事により沿面距離を加えて空間距離が発生するので高電圧に耐える配線が出来る。
【００４１】
3．イオンチェッカー
図20に本案のイオンチェッカーを直流型除電器に使用している状況を示す。  図２１に本案実施例の具体例を示す。図2１aに実施例の1つを示す。絶縁性の良い支持部材３８上に、2つの電極４０，４０とこれらの電極を結ぶネオン管４２が装着してある。図2１bには別の実施例を示す。2つの独立した絶縁性の良い支持部材３８，３８上に、それぞれ1つの電極４０を配し、これらの電極４０をネオン管４２で結んである。除電器１のイオン放出電極から出てくる例えば＋イオンの前に片方の電極をかざすと電極が＋に帯電し、一イオンの前に他方の電極をかざすとその電極が−に帯電する。両電極の間に電位差が生じ、ネオン管４２を点灯させる。ネオン管４２の点灯の明るさは電位差の大きさによるので、点灯の明るさで両電極のイオンの放出量が読み取れる。
【００４２】
図22に別の実施例を示す。絶縁性の良い支持部材上に、1つの電極４０がありネオン管４２経由で接地される。除電器１のイオン放出電極１４から出てくるイオン２０の前に電極４０をかざすと電極４０が帯電し、接地４４との開に電位差が生じ、ネオン管４２を点灯させる。ネオン管４２の点灯の明るさは電位差の大きさによるので、点灯の明るさで電極１４のイオンの放出量が読み取れる。
【００４３】
図23aに別の実施例を示す。絶縁性の良い支持部材上に、1つの電極４０がありネオン管４２経由で人４３の手に接続される。除電器１のイオン放出電極１４から出てくるイオン２０の前に電極４０をかざすと電極４０が帯電し、人４３との間に電位差が生じ、ネオン管４２を点灯させる。ネオン管４２の点灯の明るさは電位差の大きさによるので、点灯の明るさで電極１４のイオンの放出量が読み取れる。
【００４４】
図23bにこの場合の等価回路を示す。すなわち、人４３は抵抗４６とコンデンサ４８で表現できるので、基本的には図22と同様であるが、対地間とは抵抗および容量経由で結合される点のみ異なる。
【００４５】
図24は、さらに片方のネオン管４２と直列にダイオード５０が追加され、他方のネオン管４２と直列に逆向きのダイオード５０が追加されている。この場合、放電されているイオンが＋なら電極から流れ出る方向のダイオード(右側)５０が導通するので、こちら側のネオン管４２が点灯する。逆に、放電されているイオンが−なら電極に流れ込む方向のダイオード５０(左側)が導通するので、そちら側のネオン管４２が点灯する。また放電が交流ならば、両方のダイオード５０、５０が交互に導通するので両方とも点灯して見える。このようにして、放出するイオン量のみならず、交流、直流の区別と直流の場合はその極性まで表示できる。
【００４６】
図25に別の実施例を示す。図25aは2つの電極間のイオン放出量を極性付きで表示するものである。図25bは2つの電極４０、４０間のイオン放出量を表示するものである。
【００４７】
図26にさらに別の実施例を示す。ネオン管４２を目視で判断する代わりにフォトセンサ５２で検出し、得られた信号を増幅器５４で増幅し、比較回路５６で比較処理して表示灯５８，６０，６２のいずれかを点灯する。
【００４８】
4．PUSH−PULL式除電器
図3０に実施例を示す。AとBは1対の除電器を示す。Aが例えば＋のイオンを出す時はBは−のイオンを出す。そして次の瞬間にはAは一のイオンを出し、Bは＋のイオンを出すというように、お互いに逆極性のイオンを出しつつ、順次各々の極性を切り替えていく。すると極性の違うイオン同志が引き合うので、AとBから出てきたイオン同志がお互いに引き付け合って相手の領域７０，７０まで飛んでいく。図中、通常のイオン領域は横に広がって距離が出ないのに対し、この方式のイオン領域は縦に距離が伸びてイオンのない領域をなくしている。時間軸上、次の瞬間にA、B両者のイオンの極性が変わるので、この間の領域に存在する除電対象物は＋と−の両極性のイオンをあび、除電される事になる。
【００４９】
図3１はA、B間の領域の時間軸上の空間電位を示す。図3１aは時刻T１におけるA、B間の空間電位を示す。即ち、Aからほぼ中央付近まで＋のイオンが飛んでいき、逆にBからほぼ中央付近まで−のイオンが飛んでくる。中央付近で両極性のイオン同志が再結合し消滅する。図3１bは時刻T2におけるA、B間の空間電位を示す。即ちAからほぼ中央付近まで−のイオンが飛んでいき、逆にBからほぼ中央付近まで＋のイオンが飛んでくる。中央付近で両極性のイオン同志が再結合し消滅する。
【００５０】
図3１cは時刻T１と時刻T2におけるA、B間の空間電荷の積分値を示す。即ち、Aからほぼ中央付近まで＋と−のイオンが飛んでいき、逆にBからほぼ中央付近まで−と＋のイオンが飛んでいる。このようにこの空間は＋、一中性のイオンで満たされていた事と同等であり、除電可能な領域を形成している。
【００５１】
図3２に従来の除電イオンが風に流される状況を示す。両方から放射されるイオンはお互いに引力も働かないので、容易に気流に流されてしまう。これに対し図3３に示すように本案の方式では、お互いのイオン同志が引き合うので、気流に対抗して流されにくくなり気流のある悪環境でも除電領域を確保できる。
【００５２】
図3４に本案のゲート式除電システムを示す。十分に広い除電ゲートを実現できる。図3５に本案による新しいクリーンルーム内の除電システムを示す。即ち、天井と床面からお互いに引き合うイオンを出し合う事で、天井から床まで完全に中性イオン空間を形成でき、除電領域とすることが出来る。
【００５３】
5．遮蔽物でイオンバランスを取る方式
図３７にバータイプの除電器の両端のイオン放射口を遮蔽物で一部遮り、イオンの放射量を抑えている様子を示す。図では左端の多すぎる＋イオンを遮蔽して抑え、イオンバランスを中性にしている。また右端の多すぎる−イオンを遮蔽して抑え、イオンバランスを中性にしている。こうする事により全体のイオンバランスを調整する事が可能である。
【００５４】
図３９に直流式除電器のイオン放射口の両端を遮蔽物８０、８０で一部遮り、イオンの放射量を抑えている様子を示す。図３９では左端の多すぎる＋イオンを遮蔽して抑え、イオンバランスを中性にしている。また右端の多すぎる一イオンを遮蔽して抑え、イオンバランスを中性にしている。こうする事により全体のイオンバランスを調整する事が可能である。
【００５５】
ＰＵＳＨ−ＰＵＬＬ式除電器の補足説明
最初に従来例を説明すると、図４３〜図４５に示すように、交流入力された電圧は昇圧されて電極１４から放電され、ファン７０によって除電すべき物体７４に向けられる。この場合、放電針１４間の距離が比較的短いので、放電電極の電界を強め合う。その結果、放電針からコロナ放電がより発生しやすくなる。
【００５６】
一方、本発明では、図４０から図４２に示すように、好ましくは、パルス状の電圧が向き合った電極１４に印可される。そして、放電電極間の距離は、放電電極付近ではクーロンの反発力で空間に放出され（約２ｍ飛び）、互いに接近したとき、吸引し合ってさらに飛ぶ（さらに約０．５ｍ飛ぶ）距離に選ばれる（例えば、印可電圧の大きさに依存するが、３０ｃｍ以上で、５ｍ以下）。この場合、従来例で用いたファンは必要ない。
【００５７】
【発明の効果】
１．ホコリ吸引機構付除電器
以上説明したように、本発明によれば、高電圧の放電電極に着くホコリを容易に払い、そのホコリを辺りに撒き散らすことなく回収出来るようにする除電器が得られる。
【００５８】
2．高電圧供給線の配線方式
以上説明したように、本発明によれば、イオンの放射方向を歪めることなく、かつイオンを遠方に飛ばし広い除電領域を確保できる除電器が得られる。
【００５９】
3．イオンチェッカー
以上説明したように、本発明によれば、目に見えないイオンの放射を容易にかつ安価に視覚化でき、革新的なイオン測定器が得られる。
【００６０】
4．PUSH−PULL式除電器
以上説明したように、本発明によれば、イオンを遠く飛ばすことが出来るようになり、従来不可能だった広域除電ができる新しい除電器が得られる。
【００６１】
５．遮蔽物でイオンバランスを取る方式
以上説明したように、本発明によれば、従来から欠点とされてきた直流方式除電器の場所によるイオンバランスの崩れを改善し、元々の特徴であるイオンの飛距離と相まって、広域かつイオンバランスの良い新しい除電器が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、従来例の交流式棒状除電器を示す図である。
【図２】図２は、従来例の直流式棒状除電器を示す図である。
【図３】図３は、本発明の棒状除電器を示す図である。
【図４】図４は、棒状除電器の実施例を示す断面図である。
【図５】図５は、棒状除電器の他の実施例を示す断面図である。
【図６】図６は、棒状除電器のさらに他の実施例を示す断面図である。
【図７】図７は、棒状除電器のさらに他の実施例を示す断面図である。
【図８】図８は、棒状除電器のさらに他の実施例を示す断面図である。
【図９】図９は、図８で示す棒状除電器の断面図である。
【図１０】図１０は、高電圧供給線の配線方式を説明するための概略図である。
【図１１】図１１は、高電圧供給線の配線方式を説明するための概略図である。
【図１２】図１２は、従来例の棒状除電器の欠点を説明するための図である。
【図１３】図１３は、高電圧供給線の配線方式の実施例を説明するための図である。
【図１４】図１４は、高電圧供給線の配線方式の実施例を説明するための図である。
【図１５】図１５は、高電圧供給線の配線方式の実施例を説明するための図である。
【図１６】図１６は、高電圧供給線の配線方式の実施例を説明するための図である。
【図１７】図１７は、高電圧供給線の配線方式の実施例を説明するための図である。
【図１８】図１８は、従来例のイオンチェッカー概略回路図である。
【図１９】図１９は、従来例のイオンチェッカー回路図である。
【図２０】図２０は、イオンチェッカーを除電器に適用した実施例を示す図である。
【図２１】図２１は、イオンチェッカーを除電器に適用した他の実施例を示す図である。
【図２２】図２２は、イオンチェッカーを除電器に適用したさらに他の実施例を示す図である。
【図２３】図２３は、イオンチェッカーを除電器に適用したさらに他の実施例を示す図である。
【図２４】図２４は、イオンチェッカーを除電器に適用したさらに他の実施例を示す図である。
【図２５】図２５は、イオンチェッカーを直流式除電器に適用したさらに他の実施例を示す図である。
【図２６】図２６は、イオンチェッカーを除電器に適用したさらに他の実施例を示す図である。
【図２７】図２７は、従来例の除電器を説明するための図である。
【図２８】図２８は、従来例の除電器を説明するための図である。
【図２９】図２９は、従来例の除電器を説明するための図である。
【図３０】図３０は、本発明のＰＵＳＨ−ＰＵＬＬ式除電器を説明するための図である。
【図３１】図３１は、本発明のＰＵＳＨ−ＰＵＬＬ式除電器を説明するための図である。
【図３２】図３２は、従来例のＰＵＳＨ−ＰＵＬＬ式除電器を説明するための図である。
【図３３】図３３は、本発明のＰＵＳＨ−ＰＵＬＬ式除電器を説明するための図である。
【図３４】図３４は、本発明のＰＵＳＨ−ＰＵＬＬ式除電器を説明するための図である。
【図３５】図３５は、本発明のＰＵＳＨ−ＰＵＬＬ式除電器を説明するための図である。
【図３６】図３６は、従来例の直流除電器のイオンの分布を説明するための図である。
【図３７】図３７は、本発明の直流除電器のイオンの分布を説明するための図である。
【図３８】図３８は、従来例の直流除電器のイオンの分布を説明するための図である。
【図３９】図３９は、本発明の直流除電器のイオンの分布を説明するための図である。
【図４０】図４０は、本発明の除電器の概略構成図である。
【図４１】図４１は、図４０に示す除電器の電極に印可する電圧の波形図である。
【図４２】図４２は、図４０で示す除電器の斜視図である。
【図４３】図４３は、従来例の除電器の概略構成図である。
【図４４】図４４は、図４３に示す除電器の電極に印可する電圧の波形図である。
【図４５】図４５は、図４３で示す除電器の斜視図である。
【図１】
0004509322.tif 000002
【図２】
0004509322.tif 000003
【図３】
0004509322.tif 000004
【図４】
0004509322.tif 000005
【図５】
0004509322.tif 000006
【図６】
0004509322.tif 000007
【図７】
0004509322.tif 000008
【図８】
0004509322.tif 000009
【図９】
0004509322.tif 000010
【図１０】
0004509322.tif 000011
【図１１】
0004509322.tif 000012
【図１２】
0004509322.tif 000013
【図１３】
0004509322.tif 000014
【図１４】
0004509322.tif 000015
【図１５】
0004509322.tif 000016
【図１６】
0004509322.tif 000017
【図１７】
0004509322.tif 000018
【図１８】
0004509322.tif 000019
【図１９】
0004509322.tif 000020
【図２０】
0004509322.tif 000021
【図２１】
0004509322.tif 000022
【図２２】
0004509322.tif 000023
【図２３】
0004509322.tif 000024
【図２４】
0004509322.tif 000025
【図２５】
0004509322.tif 000026
【図２６】
0004509322.tif 000027
【図２７】
0004509322.tif 000028
【図２８】
0004509322.tif 000029
【図２９】
0004509322.tif 000030
【図３０】
0004509322.tif 000031
【図３１】
0004509322.tif 000032
【図３２】
0004509322.tif 000033
【図３３】
0004509322.tif 000034
【図３４】
0004509322.tif 000035
【図３５】
0004509322.tif 000036
【図３６】
0004509322.tif 000037
【図３７】
0004509322.tif 000038
【図３８】
0004509322.tif 000039
【図３９】
0004509322.tif 000040
【図４０】
0004509322.tif 000041
【図４１】
0004509322.tif 000042
【図４２】
0004509322.tif 000043
【図４３】
0004509322.tif 000044
【図４４】
0004509322.tif 000045
【図４５】
0004509322.tif 000046