(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
切断装置と、当該切断装置に着脱自在に装着されるとともに、刃ホルダ及び当該刃ホルダに固定された刃を含むカッター刃と、当該カッター刃を収容するストック装置とを備えたシート切断装置において、
前記ストック装置は、ケース本体と、当該ケース本体に形成され、前記刃ホルダを収容する刃ホルダ収容部及び前記刃を収容する刃収容部を備えた収容部と、当該収容部において前記カッター刃の刃ホルダ及び刃を加熱する加熱手段とを備え、
前記切断装置は、前記加熱手段によって加熱されたカッター刃を使用可能に設けられていることを特徴とするシート切断装置。
【請求項２】
前記ケース本体内に、カッター刃の刃を検査する検査手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載のシート切断装置。
【請求項３】
前記ケース本体に設けられて前記カッター刃の収容位置を一定に保つ位置決め手段を更に含み、当該位置決め手段は、前記カッター刃に設けられた方位決定部と、前記ケース本体内に設けられるとともに、前記方位決定部に対応する係合部とにより構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のシート切断装置。
【請求項４】
前記ケース本体はカッター刃の洗浄手段を含むことを特徴とする請求項１、２又は３記載のカッター刃のシート切断装置。
【請求項５】
前記洗浄手段は、前記ケース本体内に洗浄液を収容することにより構成されていることを特徴とする請求項４記載のシート切断装置。
【請求項６】
前記洗浄手段は、前記ケース本体内に収容された洗浄液と、この洗浄液に超音波振動を付与する超音波振動装置とにより構成されていることを特徴とする請求項４記載のシート切断装置。
【請求項７】
前記洗浄手段は、ケース本体内に収容された洗浄ブラシにより構成されていることを特徴とする請求項４、５又は６記載のシート切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート切断装置に係り、更に詳しくは、切断装置にカッター刃を装着するときに、当該カッター刃の方位若しくは向きが一定となるようにカッター刃を収容することができるとともに、カッター刃の収容時に、当該カッター刃の保守点検を行うことのできるシート切断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）等の被着体には、その回路面を保護するための保護シートを貼付することが行われている。
【０００３】
このようなシートの貼付方法において、帯状の剥離シートに帯状のシートが仮着された原反を用いた場合には、そのシートを剥離シートから剥離してウエハに貼付した後に、ウエハ外周に沿って切断装置による切断を行うことが必要となる。
【０００４】
特許文献１には、ウエハに貼付されたシートを切断するための切断装置がシート貼付用のテーブル上方に配置されている。この切断装置は、ウエハの中心線上に回転中心を有するアームと、当該アームの先端に取り付けられたカッター刃とを備えて構成されている。
【０００５】
また、特許文献２には、自由端側にカッター刃を備えたロボットからなる切断装置が開示されている。
【０００６】
【特許文献１】特許第２９１９９３８号公報
【特許文献２】特開平６−３３５８９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１及び２に記載された切断装置は、カッター刃による切断精度を安定化させるための保守機能が設けられておらず、カッター刃の経時的な精度劣化に対応し得るものとはなっていない。
また、特許文献２は、切断装置がロボットにより構成されているものの、多数のカッター刃を収容するストッカからカッター刃を装着できる構成や、切断装置がカッター刃を自動的に交換する際に、カッター刃の方位ないし向きを一定に保つための構成等は開示されていない。
【０００８】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、カッター刃の切断精度を安定して維持することのできるシート切断装置を提供することにある。
【０００９】
また、本発明の他の目的は、カッター刃の収容姿勢を一定に保つことにより、当該カッター刃が装着される切断装置との相対位置を一定にして刃の向きを切断装置の移動軌跡に対応させるシート切断装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するため、本発明は、切断装置と、当該切断装置に着脱自在に装着されるとともに、刃ホルダ及び当該刃ホルダに固定された刃を含むカッター刃と、当該カッター刃を収容するストック装置とを備えたシート切断装置において、
前記ストック装置は、ケース本体と、当該ケース本体に形成され、前記刃ホルダを収容する刃ホルダ収容部及び前記刃を収容する刃収容部を備えた収容部と、当該収容部において前記カッター刃の刃ホルダ及び刃を加熱する加熱手段とを備え、
前記切断装置は、前記加熱手段によって加熱されたカッター刃を使用可能に設けられる、という構成を採っている。
また、前記ケース本体内に、カッター刃の刃を検査する検査手段が設けられる、という構成を採ってもよい。
【００１１】
本発明において、前記ケース本体に設けられて前記カッター刃の収容位置を一定に保つ位置決め手段を更に含み、当該位置決め手段は、前記カッター刃に設けられた方位決定部と、前記ケース本体内に設けられるとともに、前記方位決定部に対応する係合部とにより構成されている。
【００１２】
また、前記ケース本体はカッター刃の洗浄手段を含んで構成されている。
【００１３】
前記洗浄手段は、前記ケース本体内に洗浄液を収容することにより構成することができる。
【００１４】
また、前記洗浄手段は、前記ケース本体内に収容された洗浄液と、この洗浄液に超音波振動を付与する超音波振動装置とにより構成することもできる。
【００１５】
更に、前記洗浄手段は、ケース本体内に収容された洗浄ブラシにより構成することもできる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、位置決め手段を設けたことで、カッター刃の方位を一定の向きにして収容することができる。そのため、切断装置がストック装置内のカッター刃を装着すべく移動して当該カッター刃を自動的に装着できる構成としたときに、切断装置に対するカッター刃の向きを一定に保つことができる。例えば、被着体の外縁に沿って切断を行う切断装置としたときに、その軌跡に沿うように刃が向けらなければならないが、本発明によれば、ストック装置に収容されたカッター刃の方位が一定に保たれるので、切断装置に装着したときに、刃の向きが前記軌跡に沿う設定が可能となり、刃の向きがシフトしてしまうような不都合は生じない。
【００１９】
また、ケース本体がカッター刃の洗浄手段を含む構成によれば、カッター刃に粘着剤等が付着した場合であっても、ストック装置に収容している間に刃の洗浄を行うことができ、次にカッター刃を用いる際の切断精度を継続的に維持することができる。
【００２０】
更に、前記ケース本体内に加熱手段を配置する構成を採用した場合には、カッター刃を加熱した状態で用いることができ、これによって切断精度を向上させることもできる。
【００２１】
また、前記ケース本体内に検査手段を設けた構成では、カッター刃をストック装置に収容したときに刃の検査を行うことができ、不良が検知されたときに、以後の使用を控える等の対応を取ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２３】
図１には、本発明に係るストック装置が切断装置に併設された概略斜視図が示されている。この図において、切断装置１０の近傍に、カッター刃２１のストック装置１１と、ウエハＷを支持するテーブル１３が配置されている。ここで、ウエハＷの上面（例えば、回路面）には、帯状をなす保護シートＳ（以下「シートＳ」と称す）が貼付されており、当該シートＳは、ウエハＷの外縁に沿って、前記切断装置１０により切断されるようになっている。
【００２４】
前記切断装置１０は、図２にも示されるように、ロボット本体２０と、当該ロボット本体２０の自由端側に支持されたカッター刃２１とを備えて構成されている。ロボット本体２０は、ベース部２３と、当該ベース２３部の上面側に配置されて矢印Ａ〜Ｆ方向に回転可能に設けられた第１アーム２３Ａ〜第６アーム２３Ｆと、第６アーム２３Ｆの先端側に取り付けられたカッター刃保持チャック２９とを含む。第２、第３及び第５アーム２３Ｂ、２３Ｃ、２３Ｅは、図２中Ｙ×Ｚ面内で回転可能に設けられているとともに、第１、第４及び第６アーム２３Ａ、２３Ｄ、２３Ｆは、その軸周りに回転可能に設けられている。
【００２５】
前記カッター刃保持チャック２９は、略円筒状をなすカッター刃受容体３０と、当該カッター刃受容体３０の周方向略１２０度間隔を隔てた位置に配置されてカッター刃２１を着脱自在に保持する三つのチャック爪３１とを備えて構成されている。各チャック爪３１は、内方端が鋭角となる先尖形状部３１Ａとされており、空圧によって、カッター刃受容体３０の中心に対して径方向に進退可能に設けられている。なお、切断装置１０は、図示しない制御装置によって制御され、この制御装置は、切断装置１０によってシートＳを切断する際の移動制御や、ストック装置１１に収容されたカッター刃２１の自動的な着脱動作を制御するように設けられている。
【００２６】
前記カッター刃２１は、図３に示されるように、刃ホルダ２１Ａと、当該刃ホルダ２１Ａの先端側に挿入して固定された刃２１Ｂとにより構成されている。刃ホルダ２１Ａは略円柱状をなし、その外周面の周方向略１２０度間隔位置には、基端から中間部まで延びる長さの溝３３が軸方向に沿って形成され、これらの溝３３に前記チャック爪３１の先尖形状部３１Ａが係合することで、カッター刃保持チャック２９に対するカッター刃２１の位置が一定に保たれるようになっている。また、刃ホルダ２１Ａの先端側は、方位決定部としての傾斜面２１Ｃ,２１Ｃが相対位置に形成されている。本実施形態における傾斜面２１Ｃ,２１Ｃは、刃ホルダ２１Ａの仮想中心平面に対して対称形状に設けられているが、非対称に設けることでもよい。
【００２７】
前記ストック装置１１は、図４に示されるように、ケース本体４０と、当該ケース本体４０に形成されるとともに、カッター刃２１をそれぞれ独立して収容するように形成された複数の収容部４１とを備えて構成されている。各収容部４１は、上端が開口する有底形状を有し、上部が刃ホルダ収容部４３とされている一方、下部が刃収容部４４とされている。刃ホルダ収容部４３の内面には、刃ホルダ２１Ａの傾斜面２１Ｃ,２１Ｃと共に位置決め手段を構成する係合部としての係合面４３Ａ,４３Ａが形成され、これら係合面４３Ａ,４３Ａに傾斜面２１Ｃ,２１Ｃが着座することで、収容部４１におけるカッター刃２１の周方向位置が一定の位置となるように設けられている。なお、傾斜面２１Ｃ,２１Ｃが非対称に設けられている場合には、係合面４３Ａ,４３Ａは、傾斜面２１Ｃ,２１Ｃに対応した非対称の面形状に設けられる。このように傾斜面２１Ｃ,２１Ｃを非対称に設けることによって、カッター刃２１の収容時に一定方向にしか収容できなくなるので収容ミスを無くすことができる。
【００２８】
前記ストック装置１１の収容部４１において、図４中左側二つは加熱用収容部４１Ａとされ、右側二つは洗浄用収容部４１Ｂとされている。加熱用収容部４１Ａは、外周側に加熱手段を構成するコイルヒーター４５が配置されており、当該コイルヒーター４５に通電を行うことによって発熱してカッター刃２１を加熱できるようになっている。この一方、洗浄用収容部４１Ｂは、刃収容部４４が共通する一つの空間によって形成されている。この刃収容部４４内には洗浄手段を構成する洗浄液としての有機溶剤Ｌが収容され、当該有機溶剤Ｌによって、刃２１Ｂに付着した粘着剤等を溶解除去できるように構成されている。なお、洗浄用収容部４１Ｂは、カッター刃２１で反復継続的なシート切断が行われた後の、当該カッター刃２１の刃２１Ｂを洗浄するための空きスペースが常に確保されるようになっている。
【００２９】
次に、本実施形態の作用について説明する。
【００３０】
図２に示されるように、テーブル１３上に支持されたウエハＷにシートＳが貼付された後に、切断装置１０のカッター刃２１は、ウエハＷの外縁に沿って移動し、ウエハＷの外側のシートＳを不要シート部分として切断する。
【００３１】
反復継続的にシート切断が行われると、その切断に用いられたカッター刃２１にはシートＳの粘着剤が転着している場合が考えられるため、ストック装置１１における洗浄用収容部４１Ｂの空きスペースに収容され、当該洗浄用収容部４１にて有機溶剤Ｌで粘着剤が溶解除去される。この収容は、刃ホルダ２１Ａの傾斜面２１Ｃが係合面４３Ａに一致する状態で行われ、これにより、カッター刃２１は、常に一定の向きを保つこととなる。この際、既に一定時間にわたって洗浄が行われた洗浄済みカッター刃２１は、同じ方位を保ったまま切断装置１０によって加熱用収容部４１Ａに移し換えられてコイルヒーター４５によって加熱処理を受けることとなる。
【００３２】
次の切断に際しては、加熱処理を受けたカッター刃２１を切断装置１０が取りに動作し、一定の方位を保ったまま、つまり、前述した移動軌跡に対応する方位を保有することができる状態で、カッター刃保持チャック２９に装着されることとなる。
【００３３】
従って、このような実施形態によれば、切断装置１０のカッター刃保持チャック２９に対してカッター刃２１を一定の向きで自動的に装着することができるとともに、必要に応じて加熱されたカッター刃２１を用いることができ、また、カッター刃２１に付着した粘着剤等を溶解して刃２１Ｂの切断精度低下を防止することができるストック装置１１を提供することができる。
【００３４】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００３５】
例えば、洗浄手段としては、有機溶剤Ｌの使用に限らず、図５に示されるように、刃収容部４４内に洗浄手段としての回転ブラシ５０を配置し、当該回転ブラシ５０で刃２１Ｂを洗浄することでもよい。この際、必要に応じて、洗浄液を刃収容部４４に充填することでもよい。
【００３６】
また、図６に示されるように、刃収容部４４内に、刃２１Ｂの面を検査することのできるカメラ等からなる検査手段６０を設け、当該検査手段６０で刃２１Ｂの欠損等を検査するようにしてもよい。
【００３７】
また、前記実施形態では、有機溶剤Ｌで刃２１Ｂに付着した粘着剤等を溶解するものとしたが、水等を洗浄水として用い、超音波振動装置を介して刃２１Ｂを洗浄するように構成することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】ウエハに貼付された保護シートを切断する切断装置にストック装置が併設された概略斜視図。
【図２】テーブルと切断装置の側面図。
【図３】カッター刃の拡大斜視図。
【図４】ストック装置の概略断面図。
【図５】ストック装置の他の例を示す断面図。
【図６】ストック装置の更に他の例を示す断面図。
【符号の説明】
【００３９】
１０  切断装置
１１  ストック装置
２１  カッター刃
２１Ａ  刃ホルダ
２１Ｂ  刃
２１Ｃ  傾斜面（方位決定手段）
４０  ケース本体
４１  収容部
４３Ａ  係合面
４５  コイルヒーター（加熱手段）
５０  回転ブラシ（洗浄手段）
６０  検査手段
Ｌ  有機溶剤（洗浄手段）
【図１】
0004559320.tif 000002
【図２】
0004559320.tif 000003
【図３】
0004559320.tif 000004
【図４】
0004559320.tif 000005
【図５】
0004559320.tif 000006
【図６】
0004559320.tif 000007