(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する記録媒体に対向する第１の媒体対向面と記録ヘッドとを有するスライダ部と、
前記記録媒体に対向する第２の媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部とを備え、
前記第１の媒体対向面は、前記記録媒体の回転時における前記スライダ部の姿勢を制御するための凹凸を有し、
前記スライダ部と前記再生ヘッド部は、前記第１の媒体対向面と第２の媒体対向面が連続するように互いに接着されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド用スライダ。
【請求項２】
前記記録ヘッドは誘導型電磁変換素子を含み、前記再生ヘッドは磁気抵抗効果素子を含むことを特徴とする請求項１記載の薄膜磁気ヘッド用スライダ。
【請求項３】
前記第１の媒体対向面は、前記再生ヘッド部に近い第１の面と、前記再生ヘッド部から離れた第２の面と、前記第１の面と第２の面との間の境界部分とを有し、前記第１の面および前記第２の面の形状が前記境界部分において屈曲した凸形状になるように、前記第１の面と前記第２の面は互いに傾斜していることを特徴とする請求項１または２記載の薄膜磁気ヘッド用スライダ。
【請求項４】
前記第１の面と第２の面の少なくとも一方は、前記記録媒体が回転している間、前記境界部分に近い位置ほど記録媒体に近づくように記録媒体の面に対して傾くことを特徴とする請求項３記載の薄膜磁気ヘッド用スライダ。
【請求項５】
前記スライダ部は、前記記録媒体が静止している間は記録媒体の面に接触し、前記記録媒体が回転している間は記録媒体の面から離れることを特徴とする請求項３または４記載の薄膜磁気ヘッド用スライダ。
【請求項６】
前記スライダ部は、前記記録媒体の面に対して接触を開始する時に、前記境界部分が最初に記録媒体の面に接触することを特徴とする請求項５記載の薄膜磁気ヘッド用スライダ。
【請求項７】
前記スライダ部は、前記記録媒体の面から離れる時に、前記境界部分が最後に記録媒体の面から離れることを特徴とする請求項５または６記載の薄膜磁気ヘッド用スライダ。
【請求項８】
前記記録媒体が回転している間および前記記録媒体が静止している間のいずれにおいても、前記スライダ部は前記境界部分において記録媒体の面に接触し、且つ前記第１の面および第２の面は記録媒体の面に対して傾くことを特徴とする請求項３記載の薄膜磁気ヘッド用スライダ。
【請求項９】
前記第１の媒体対向面は、前記境界部分を含む領域において形成された凹部を有することを特徴とする請求項３ないし８のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッド用スライダ。
【請求項１０】
回転する記録媒体に対向する第１の媒体対向面と記録ヘッドとを有するスライダ部と、前記記録媒体に対向する第２の媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部とを備え、前記第１の媒体対向面は、前記記録媒体の回転時における前記スライダ部の姿勢を制御するための凹凸を有し、前記スライダ部と前記再生ヘッド部は、前記第１の媒体対向面と第２の媒体対向面が連続するように互いに接着されている薄膜磁気ヘッド用スライダを製造する方法であって、
前記スライダ部を作製する工程と、
前記スライダ部とは別個に前記再生ヘッド部を作製する工程と、
前記スライダ部と前記再生ヘッド部とを接着する工程と
を備えたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。
【請求項１１】
前記記録ヘッドは誘導型電磁変換素子を含み、前記再生ヘッドは磁気抵抗効果素子を含むことを特徴とする請求項１０記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。
【請求項１２】
前記スライダ部を作製する工程は、第１のウェハの上に複数の記録ヘッドを形成する工程を含み、前記再生ヘッド部を作製する工程は、第２のウェハの上に複数の再生ヘッドを形成する工程を含むことを特徴とする請求項１０または１１記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。
【請求項１３】
前記スライダ部を作製する工程は、第１のウェハの上に複数の記録ヘッドと複数の第１の媒体対向面とを形成して、複数列に配列された複数のスライダ部を含む第１のスライダ部集合体を形成する工程と、前記第１のスライダ部集合体を切断して、１列に配列された複数のスライダ部を含む第２のスライダ部集合体を形成する工程とを含み、
前記再生ヘッド部を作製する工程は、第２のウェハの上に複数の再生ヘッドを形成して、複数列に配列された複数の再生ヘッド部を含む第１の再生ヘッド部集合体を形成する工程と、前記第１の再生ヘッド部集合体を切断して、１列に配列された複数の再生ヘッド部を含む第２の再生ヘッド部集合体を作製する工程とを含み、
前記スライダ部と再生ヘッド部とを接着する工程は、前記第２のスライダ部集合体と前記第２の再生ヘッド部集合体とを接着して、１列に配列された複数の薄膜磁気ヘッド用スライダを含むスライダ集合体を作製する工程を含み、
薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法は、更に、前記スライダ集合体を切断して互いに分離された複数の薄膜磁気ヘッド用スライダを作製する工程を備えたことを特徴とする請求項１０または１１記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。
【請求項１４】
更に、前記スライダ部と前記再生ヘッド部とを接着する工程の後で、前記第１の媒体対向面および第２の媒体対向面が平坦化されるように、前記第１の媒体対向面および第２の媒体対向面を研磨する工程を備えたことを特徴とする請求項１０ないし１３のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。
【請求項１５】
更に、前記スライダ部と前記再生ヘッド部とを接着する工程の後で、第１の媒体対向面が、前記再生ヘッド部に近い第１の面と、前記再生ヘッド部から離れた第２の面と、前記第１の面と第２の面との間の境界部分とを有し、前記第１の面と前記第２の面が互いに傾斜して、前記第１の面および前記第２の面の形状が前記境界部分において屈曲した凸形状になるように、前記第１の媒体対向面を研磨する工程を備えたことを特徴とする請求項１０ないし１３のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。
【請求項１６】
更に、前記第１の媒体対向面における前記境界部分を含む領域に凹部を形成する工程を備えたことを特徴とする請求項１５記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。
【請求項１７】
前記スライダ部と再生ヘッド部とを接着する工程は、セラミック系の接着剤を用いてスライダ部と再生ヘッド部とを接着することを特徴とする請求項１０ないし１６のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。
【請求項１８】
前記スライダ部と再生ヘッド部とを接着する工程は、スライダ部と再生ヘッド部との間に熱硬化型の接着剤を配置し、前記接着剤を３００℃以下の温度で加熱して接着剤を硬化させてスライダ部と再生ヘッド部とを接着することを特徴とする請求項１０ないし１６のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。
【請求項１９】
前記スライダ部を作製する工程は、ウェハの一方の面の上に複数の記録ヘッドを形成する工程と、前記ウェハの他方の面を研磨することによって前記ウェハを除去する工程とを含み、前記記録ヘッドは、前記研磨によって形成される面に露出し、外部装置と電気的に接続される導体部を有することを特徴とする請求項１０記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。
【請求項２０】
前記ウェハを除去する工程は、複数の記録ヘッドの上に支持板を配置した状態で、ウェハの他方の面を研磨することを特徴とする請求項１９記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。
【請求項２１】
前記再生ヘッド部を作製する工程は、ウェハの一方の面の上に複数の再生ヘッドを形成する工程と、前記ウェハの他方の面を研磨することによって前記ウェハの少なくとも一部を除去する工程とを含むことを特徴とする請求項１０記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。
【請求項２２】
前記スライダ部と再生ヘッド部とを接着する工程は、前記再生ヘッド部において前記研磨によって形成される面とは反対側の面を、前記スライダ部に対して接着することを特徴とする請求項２１記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。
【請求項２３】
前記ウェハの少なくとも一部を除去する工程は、複数の再生ヘッドの上に支持板を配置した状態で、ウェハの他方の面を研磨することを特徴とする請求項２１または２２記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、記録ヘッドと再生ヘッドとを有する薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法、ならびに記録ヘッドと再生ヘッドとを有する薄膜磁気ヘッド用スライダおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ハードディスク装置の面記録密度の向上に伴って、薄膜磁気ヘッドの性能向上が求められている。薄膜磁気ヘッドとしては、書き込み用の誘導型電磁変換素子を有する記録ヘッドと読み出し用の磁気抵抗効果素子（以下、ＭＲ（Magnetoresistive）素子とも記す。）を有する再生ヘッドとを積層した構造の複合型薄膜磁気ヘッドが広く用いられている。ＭＲ素子としては、異方性磁気抵抗（Anisotropic Magnetoresistive）効果を用いたＡＭＲ素子と、巨大磁気抵抗（Giant Magnetoresistive）効果を用いたＧＭＲ素子とがあり、ＡＭＲ素子を用いた再生ヘッドはＡＭＲヘッドあるいは単にＭＲヘッドと呼ばれ、ＧＭＲ素子を用いた再生ヘッドはＧＭＲヘッドと呼ばれる。ＡＭＲヘッドは、面記録密度が１ギガビット／（インチ）2を超える再生ヘッドとして利用され、ＧＭＲヘッドは、面記録密度が３ギガビット／（インチ）2を超える再生ヘッドとして利用されている。近年は、ほとんどＧＭＲヘッドが利用されるようになってきている。
【０００３】
再生ヘッドの性能を向上させる方法としては、ＭＲ膜をＡＭＲ膜からＧＭＲ膜等の磁気抵抗感度の優れた材料に変える方法や、ＭＲ膜のパターン幅、すなわち、再生トラック幅やＭＲハイトを適切化する方法等がある。ＭＲハイトとは、ＭＲ素子のエアベアリング面側の端部から反対側の端部までの長さ（高さ）をいう。また、エアベアリング面は、薄膜磁気ヘッドにおける磁気記録媒体と対向する面である。
【０００４】
一方、再生ヘッドの性能向上に伴って、記録ヘッドの性能向上も求められている。記録ヘッドの性能のうち面記録密度を高めるには、記録トラック密度を上げる必要がある。このためには、記録ギャップ層を挟んでその上下に形成された下部磁極および上部磁極のエアベアリング面での幅を数ミクロンからサブミクロン寸法まで狭くした狭トラック構造の記録ヘッドを実現する必要があり、これを達成するために半導体加工技術が利用されている。また、記録ヘッドの性能を決定する他の要因としては、パターン幅、特に、スロートハイト（Throat Height）がある。スロートハイトは、２つの磁極層が記録ギャップ層を介して対向する部分、すなわち磁極部分の、エアベアリング面側の端部から反対側の端部までの長さ（高さ）をいう。記録ヘッドの性能向上のためには、スロートハイトの縮小化が望まれている。このスロートハイトは、エアベアリング面の加工の際の研磨量によって決定される。
【０００５】
このように、薄膜磁気ヘッドの性能の向上のためには、記録ヘッドと再生ヘッドをバランスよく形成することが重要である。
【０００６】
高密度記録を可能にする薄膜磁気ヘッドに要求される条件としては、再生ヘッドについては、再生トラック幅の縮小、再生出力の増加、ノイズの低減等があり、記録ヘッドについては、記録トラックの縮小、記録媒体上の既にデータを書き込んである領域にデータを重ね書きする場合の特性であるオーバーライト特性の向上、非線形トランジションシフト（Non-linear Transition Shift）の向上等がある。
【０００７】
ところで、ハードディスク装置等に用いられる浮上型薄膜磁気ヘッドは、一般的に、後端部に薄膜磁気ヘッド素子が形成されたスライダによって構成されるようになっている。スライダは、記録媒体の回転によって生じる空気流によって記録媒体の表面からわずかに浮上するようになっている。
【０００８】
ここで、図３４ないし図３６を参照して、従来の薄膜磁気ヘッド素子の製造方法の一例について説明する。図３４は従来の薄膜磁気ヘッド素子のエアベアリング面に垂直な断面を示す断面図、図３５は従来の薄膜磁気ヘッド素子のエアベアリング面に平行な断面を示す断面図、図３６は従来の薄膜磁気ヘッド素子の平面図である。
【０００９】
この製造方法では、まず、例えばアルミニウムオキサイド・チタニウムカーバイド（Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣ）よりなる基板１０１の上に、例えばアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）よりなる絶縁層１０２を形成する。次に、絶縁層１０２の上に、磁性材料よりなる再生ヘッド用の下部シールド層１０３を形成する。次に、下部シールド層１０３の上に、アルミナ等の絶縁材料よりなる下部シールドギャップ膜１０４を形成する。次に、下部シールドギャップ膜１０４の上に、再生用のＭＲ素子１０５を形成する。次に、下部シールドギャップ膜１０４の上に、ＭＲ素子１０５に電気的に接続される一対の電極層１０６を形成する。次に、下部シールドギャップ膜１０４、ＭＲ素子１０５および電極層１０６の上に、アルミナ等の絶縁材料よりなる上部シールドギャップ膜１０７を形成し、ＭＲ素子１０５をシールドギャップ膜１０４，１０７内に埋設する。
【００１０】
次に、上部シールドギャップ膜１０７の上に、磁性材料からなり、再生ヘッドと記録ヘッドの双方に用いられる上部シールド層兼下部磁極層（以下、下部磁極層と記す。）１０８を形成する。次に、下部磁極層１０８の上に、絶縁膜、例えばアルミナ膜よりなる記録ギャップ層１０９を形成する。次に、磁路形成のために、記録ギャップ層１０９を部分的にエッチングして、コンタクトホールを形成する。次に、磁極部分における記録ギャップ層１０９の上に、記録ヘッド用の磁性材料よりなる上部磁極チップ１１０を形成する。このとき同時に、磁路形成のためのコンタクトホールの上に、磁路形成のための磁性材料からなる磁性層１１９を形成する。
【００１１】
次に、上部磁極チップ１１０をマスクとして、イオンミリングによって、記録ギャップ層１０９と下部磁極層１０８をエッチングする。図３５に示したように、上部磁極部分（上部磁極チップ１１０）、記録ギャップ層１０９および下部磁極層１０８の一部の各側壁が垂直に自己整合的に形成された構造は、トリム（Trim）構造と呼ばれる。次に、全面に、例えばアルミナ膜よりなる絶縁層１１１を形成する。次に、この絶縁層１１１を、上部磁極チップ１１０および磁性層１１９の表面に至るまで研磨して平坦化する。
【００１２】
次に、平坦化された絶縁層１１１の上に、例えば銅（Ｃｕ）よりなる誘導型の記録ヘッド用の第１層目の薄膜コイル１１２を形成する。次に、絶縁層１１１およびコイル１１２の上に、フォトレジスト層１１３を、所定のパターンに形成する。次に、フォトレジスト層１１３の表面を平坦にするために所定の温度で熱処理する。次に、フォトレジスト層１１３の上に、第２層目の薄膜コイル１１４を形成する。次に、フォトレジスト層１１３およびコイル１１４上に、フォトレジスト層１１５を、所定のパターンに形成する。次に、フォトレジスト層１１５の表面を平坦にするために所定の温度で熱処理する。
【００１３】
次に、上部磁極チップ１１０、フォトレジスト層１１３，１１５および磁性層１１９の上に、記録ヘッド用の磁性材料、例えばパーマロイ（ＮｉＦｅ）よりなる上部磁極層１１６を形成する。次に、上部磁極層１１６の上に、例えばアルミナよりなるオーバーコート層１１７を形成する。最後に、上記各層を含むスライダの機械加工を行って、記録ヘッドおよび再生ヘッドのエアベアリング面１１８を形成して、薄膜磁気ヘッド素子が完成する。
【００１４】
なお、図３６では、オーバーコート層１１７や、その他の絶縁層および絶縁膜を省略している。
【００１５】
次に、図３７ないし図４２を参照して、従来のスライダの構成と作用について説明する。図３７は従来のスライダのエアベアリング面の構成の一例を示す底面図である。図３８は従来のスライダの斜視図である。図３７および図３８に示した例では、スライダ１２０におけるエアベアリング面は、磁気ディスク等の記録媒体の回転によって生じる空気流によってスライダ１２０を記録媒体の表面からわずかに浮上させるために必要な形状に形成されている。また、この例では、スライダ１２０の空気流出端（図３７における上側の端部）の近傍であってエアベアリング面の近傍の位置には薄膜磁気ヘッド素子１２２が配置されている。この薄膜磁気ヘッド素子１２２の構成は、例えば図３４ないし図３６に示したようになっている。図３７におけるＡ部が、図３５に対応する。
【００１６】
図３７および図３８に示した例では、スライダ１２０のエアベアリング面は、記録媒体に最も近い第１の面１２１ａと、この第１の面１２１ａとの間で所定の第１の段差のある第２の面１２１ｂと、第１の面１２１ａとの間で第１の段差よりも大きな第２の段差のある第３の面１２１ｃとを有している。第１の面１２１ａはスライダ１２０の幅方向（図３７における左右方向）の両側近傍と薄膜磁気ヘッド素子１２２の周辺とに配置されている。第２の面１２１ｂは空気流入端（図３７における下側の端部）の近傍に配置されている。第３の面１２１ｃは、エアベアリング面の全体から第１の面１２１ａおよび第２の面１２１ｂを除いた部分となっている。第１の面１２１ａと第２の面１２１ｂとの間の第１の段差は１μｍ程度であり、第１の面１２１ａと第３の面１２１ｃとの間の第２の段差は２〜３μｍ程度である。
【００１７】
記録媒体の回転時に、図３７および図３８に示したスライダ１２０のエアベアリング面の第１の面１２１ａと記録媒体との間には、スライダ１２０を記録媒体から遠ざける圧力が発生する。また、図３７および図３８に示したスライダ１２０のエアベアリング面では、第２の面１２１ｂは空気流入端の近傍に配置され、第３の面１２１ｃは第２の面１２１ｂよりも空気流出端に近い位置に配置されている。この場合、記録媒体の回転時に第２の面１２１ｂと記録媒体との間を通過した空気が第３の面１２１ｃと記録媒体との間に達したときに、その空気の体積は増加する。そのため、第３の面１２１ｃと記録媒体との間において、スライダ１２０を記録媒体に近づける負圧が発生する。その結果、記録媒体の回転時に、スライダ１２０は、空気流出端が空気流入端よりも記録媒体に近づくように傾いて、記録媒体から浮上する。記録媒体の面に対するスライダ１２０のエアベアリング面の傾きは、例えば１°以下になるように設計される。また、エアベアリング面の形状を適切に設計することにより、記録スライダ１２０の浮上量を小さくすることができる。
【００１８】
スライダ１２０は、以下のようにして製造される。まず、それぞれ薄膜磁気ヘッド素子１２２を含むスライダとなる部分（以下、スライダ部分と言う。）が複数列に配列されたウェハを一方向に切断して、スライダ部分が一列に配列されたバーと呼ばれるブロックを形成する。次に、このバーにおけるエアベアリング面となる面を研磨して研磨面を形成する。次に、この研磨面のうちの第１の面１２１ａとなる部分の上に、フォトリソグラフィによって第１のフォトレジストマスクを形成する。次に、この第１のフォトレジストマスクを用いて、研磨面を選択的にエッチングして、研磨面との間で第１の段差のある段差面を形成する。次に、第１のフォトレジストマスクを除去する。次に、研磨面のうちの第１の面１２１ａとなる部分および段差面のうちの第２の面１２１ｂとなる部分の上に、フォトリソグラフィによって第２のフォトレジストマスクを形成する。次に、この第２のフォトレジストマスクを用いて、段差面を選択的にエッチングして、研磨面との間で第２の段差のある第３の面１２１ｃを形成する。このようにして、第１の面１２１ａ、第２の面１２１ｂおよび第３の面１２１ｃが形成される。次に、バーを切断して各スライダ１２０に分離する。
【００１９】
図３９は、記録媒体１４０が静止している状態におけるスライダ１２０と記録媒体１４０とを示す断面図である。図３９において、スライダ１２０に関しては、図３７の３９−３９線断面で表している。また、図４０は、図３７における上側から見たスライダ１２０を示している。
【００２０】
図３９に示したように、スライダ１２０の大部分は、例えばアルミニウムオキサイド・チタニウムカーバイドよりなる基板１０１で構成されている。スライダ１２０のうちの残りの部分は、例えばアルミナよりなる絶縁部１２７と、この絶縁部１２７内に形成された薄膜磁気ヘッド素子１２２等で構成されている。絶縁部１２７の大部分はオーバーコート層１１７である。
【００２１】
図３９および図４０に示したスライダ１２０では、下部シールド層１０３、下部磁極層１０８、上部磁極チップ１１０、上部磁極層１１６等の腐食等を防止するために、エアベアリング面に、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等を用いた保護層１２８を形成している。
【００２２】
図４１は、記録媒体１４０が停止している状態から回転を開始した直後におけるスライダ１２０と記録媒体１４０とを示す断面図である。また、図４２は、記録媒体１４０が回転し、スライダ１２０が記録媒体１４０の表面から浮上し、薄膜磁気ヘッド素子１２２によって記録や再生が行われている状態を表している。
スライダ１２０の浮上時において、スライダ１２０と記録媒体１４０との最短距離Ｈ１１は８〜１０ｎｍ程度であり、スライダ１２０の空気流出端と記録媒体１４０との距離Ｈ１２は、１００〜５００ｎｍ程度である。
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ハードディスク装置の性能、特に面記録密度を向上させる方法には、線記録密度を高める方法とトラック密度を高める方法とがある。高性能のハードディスク装置を設計する際には、線記録密度とトラック密度のどちらに重点を置くかによって、記録ヘッド、再生ヘッド、あるいは薄膜磁気ヘッド全体における具体的な方策が異なる。すなわち、トラック密度に重点を置いた設計の場合には、例えば、記録ヘッドと再生ヘッドの双方においてトラック幅の縮小が求められる。
【００２４】
一方、線記録密度に重点を置いた設計の場合には、例えば、再生ヘッドにおいて、再生出力の向上や、下部シールド層と上部シールド層との間の距離であるシールドギャップ長の縮小が求められる。線記録密度に重点を置いた設計の場合には、更に、記録媒体と薄膜磁気ヘッド素子との間の距離（以下、磁気スペースと言う。）の縮小が求められる。
【００２５】
磁気スペースの縮小は、スライダの浮上量の縮小によって達成される。磁気スペースの縮小は、再生ヘッドにおける再生出力の向上に寄与する他に、記録ヘッドにおけるオーバーライト特性の向上に寄与する。
【００２６】
スライダの浮上量の縮小は、例えば、図３７および図３８に示したように、スライダのエアベアリング面に、互いに段差のある第１ないし第３の面を形成することによって実現することができる。
【００２７】
しかしながら、従来のスライダの製造方法では、ウェハを一方向に切断して複数のバーを形成した後、各バーを研磨して研磨面を形成し、更に、各バーの研磨面に第１ないし第３の面を形成する。バーの研磨面に第１ないし第３の面を形成する工程は、複数のバーについて同時に行うことができる。しかし、そのためには、複数のバーを所定の配列となるように並べて配置した後に、これらのバーに対して、マスクの形成処理やエッチング処理を施す必要がある。そのため、従来のスライダの製造方法では、スライダの製造のための工程数が多く、スライダの製造コストが高くなるという問題点があった。
【００２８】
また、磁気スペースを縮小してゆくと、スライダと記録媒体との衝突が生じやすくなり、記録媒体や薄膜磁気ヘッド素子の損傷が生じやすくなる。これを防止するには、記録媒体の表面の平滑性を高めることが必要になる。しかし、記録媒体の表面の平滑性を高めると、スライダと記録媒体との吸着が生じやすくなる。その結果、記録媒体が停止して、スライダが記録媒体に接触している状態から、記録媒体が回転を開始したときに、スライダが記録媒体から離れにくくなるという問題点がある。
【００２９】
従来は、スライダと記録媒体との吸着を防止するために、スライダのエアベアリング面にクラウンやキャンバを形成していた。クラウンとは、図３９に示したように、スライダ１２０の長手方向において緩やかに湾曲した凸面を言う。キャンバとは、図４０に示したように、スライダ１２０の幅方向において緩やかに湾曲した凸面を言う。クラウンにおける高低差Ｃ１は、１０〜５０ｎｍ程度である。また、キャンバにおける高低差Ｃ２は、５〜２０ｎｍ程度である。
【００３０】
従来、クラウンは、例えば、バーのエアベアリング面の研磨の際に、定盤に対するバーの姿勢を変化させることによって形成していた。
【００３１】
一方、キャンバは、従来、例えば次のような方法で形成していた。すなわち、まず、ＭＲハイトを調整するためにバーのエアベアリング面の研磨を行った後、バーにおける各スライダ部分の間の切断予定位置に、ダイヤモンドグラインダ等によって切れ込みを入れる。次に、凹面形状の定盤上でバーのエアベアリング面を軽く再研磨する。
【００３２】
しかしながら、キャンバを形成するための上記の方法では、バーのエアベアリング面の研磨によってＭＲハイトを正確に調整した後に、キャンバを形成するために、再度、バーのエアベアリング面を１０〜２０ｎｍ程度研磨する。そのため、この方法では、ＭＲハイトが所望の値からずれる場合があるという問題点がある。また、この方法では、凹面形状の定盤上でバーのエアベアリング面を研磨する際に、定盤の汚れや定盤上のごみによってバーに引っかき傷が入る場合があり、薄膜磁気ヘッドの歩留りを低下させるという問題点がある。また、この方法では、凹面形状の定盤上でバーのエアベアリング面を研磨する際に、ＭＲ素子に接続された電極層の削り粉が、エアベアリング面と定盤との間に挟まれて延びて、スメアーと呼ばれる不良が発生する場合がある。このスメアーは、ＭＲ素子とシールド層との間の電気的な短絡を引き起こす場合がある。この短絡は、再生ヘッドの感度を低下させたり、再生出力にノイズを発生させたりして、再生ヘッドの特性を劣化させる。
【００３３】
また、スライダのエアベアリング面にクラウンやキャンバを形成する場合には、これらの形成の工程の存在によって、スライダの製造コストが高くなるという問題点がある。
【００３４】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その第１の目的は、少ない工程数で製造できるようにした薄膜磁気ヘッド用スライダおよびその製造方法を提供することにある。
【００３５】
本発明の第２の目的は、上記第１の目的に加え、薄膜磁気ヘッド用スライダと記録媒体との衝突によって記録媒体や薄膜磁気ヘッドが損傷することや、薄膜磁気ヘッド用スライダと記録媒体とが吸着することを防止しながら、磁気スペースの縮小を可能にした薄膜磁気ヘッド用スライダおよびその製造方法を提供することにある。
【００３６】
【課題を解決するための手段】
本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダは、
回転する記録媒体に対向する第１の媒体対向面と記録ヘッドとを有するスライダ部と、
記録媒体に対向する第２の媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部とを備え、
第１の媒体対向面は、記録媒体の回転時におけるスライダ部の姿勢を制御するための凹凸を有し、
スライダ部と再生ヘッド部は、第１の媒体対向面と第２の媒体対向面が連続するように互いに接着されているものである。
【００４９】
本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダは、スライダ部と再生ヘッド部が接着されて構成される。従って、スライダ部と再生ヘッド部は、それぞれ一度に大量に作製することが可能である。
【００５０】
本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダにおいて、記録ヘッドは誘導型電磁変換素子を含み、再生ヘッドは磁気抵抗効果素子を含んでいてもよい。
【００５１】
また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダにおいて、第１の媒体対向面は、再生ヘッド部に近い第１の面と、再生ヘッド部から離れた第２の面と、第１の面と第２の面との間の境界部分とを有し、第１の面および第２の面の形状が境界部分において屈曲した凸形状になるように、第１の面と第２の面は互いに傾斜していてもよい。
【００５２】
第１の面と第２の面の少なくとも一方は、記録媒体が回転している間、境界部分に近い位置ほど記録媒体に近づくように記録媒体の面に対して傾いてもよい。
【００５３】
また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダにおいて、第１の媒体対向面が第１の面と第２の面と境界部分とを有する場合には、スライダ部は、記録媒体が静止している間は記録媒体の面に接触し、記録媒体が回転している間は記録媒体の面から離れてもよい。この場合、スライダ部は、記録媒体の面に対して接触を開始する時に、境界部分が最初に記録媒体の面に接触してもよい。また、スライダ部は、記録媒体の面から離れる時に、境界部分が最後に記録媒体の面から離れてもよい。
【００５４】
また、記録媒体が回転している間および記録媒体が静止している間のいずれにおいても、スライダ部は境界部分において記録媒体の面に接触し、且つ第１の面および第２の面は記録媒体の面に対して傾いてもよい。
【００５５】
また、第１の媒体対向面は、境界部分を含む領域において形成された凹部を有していてもよい。
【００５６】
本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法は、回転する記録媒体に対向する第１の媒体対向面と記録ヘッドとを有するスライダ部と、記録媒体に対向する第２の媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部とを備え、第１の媒体対向面は、記録媒体の回転時におけるスライダ部の姿勢を制御するための凹凸を有し、スライダ部と再生ヘッド部は、第１の媒体対向面と第２の媒体対向面が連続するように互いに接着されている薄膜磁気ヘッド用スライダを製造する方法である。
【００５７】
本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法は、スライダ部を作製する工程と、スライダ部とは別個に再生ヘッド部を作製する工程と、スライダ部と再生ヘッド部とを接着する工程とを備えたものである。
【００５８】
本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法では、スライダ部と再生ヘッド部を別個に作製し、スライダ部と再生ヘッド部とを接着することによって薄膜磁気ヘッド用スライダを製造する。従って、スライダ部と再生ヘッド部は、それぞれ一度に大量に作製することが可能である。
【００５９】
本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法において、記録ヘッドは誘導型電磁変換素子を含み、再生ヘッドは磁気抵抗効果素子を含んでいてもよい。
【００６０】
また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法において、スライダ部を作製する工程は、第１のウェハの上に複数の記録ヘッドを形成する工程を含み、再生ヘッド部を作製する工程は、第２のウェハの上に複数の再生ヘッドを形成する工程を含んでいてもよい。
【００６１】
また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法において、スライダ部を作製する工程は、第１のウェハの上に複数の記録ヘッドと複数の第１の媒体対向面とを形成して、複数列に配列された複数のスライダ部を含む第１のスライダ部集合体を形成する工程と、第１のスライダ部集合体を切断して、１列に配列された複数のスライダ部を含む第２のスライダ部集合体を形成する工程とを含んでいてもよい。また、再生ヘッド部を作製する工程は、第２のウェハの上に複数の再生ヘッドを形成して、複数列に配列された複数の再生ヘッド部を含む第１の再生ヘッド部集合体を形成する工程と、第１の再生ヘッド部集合体を切断して、１列に配列された複数の再生ヘッド部を含む第２の再生ヘッド部集合体を作製する工程とを含んでいてもよい。また、スライダ部と再生ヘッド部とを接着する工程は、第２のスライダ部集合体と第２の再生ヘッド部集合体とを接着して、１列に配列された複数の薄膜磁気ヘッド用スライダを含むスライダ集合体を作製する工程を含んでいてもよい。薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法は、更に、スライダ集合体を切断して互いに分離された複数の薄膜磁気ヘッド用スライダを作製する工程を備えていてもよい。
【００６２】
また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法は、更に、スライダ部と再生ヘッド部とを接着する工程の後で、第１の媒体対向面および第２の媒体対向面が平坦化されるように、第１の媒体対向面および第２の媒体対向面を研磨する工程を備えていてもよい。
【００６３】
また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法は、更に、スライダ部と再生ヘッド部とを接着する工程の後で、第１の媒体対向面が、再生ヘッド部に近い第１の面と、再生ヘッド部から離れた第２の面と、第１の面と第２の面との間の境界部分とを有し、第１の面と第２の面が互いに傾斜して、第１の面および第２の面の形状が境界部分において屈曲した凸形状になるように、第１の媒体対向面を研磨する工程を備えていてもよい。この場合、薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法は、更に、第１の媒体対向面における境界部分を含む領域に凹部を形成する工程を備えていてもよい。
【００６４】
また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法において、スライダ部と再生ヘッド部とを接着する工程は、セラミック系の接着剤を用いてスライダ部と再生ヘッド部とを接着してもよい。
【００６５】
また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法において、スライダ部と再生ヘッド部とを接着する工程は、スライダ部と再生ヘッド部との間に熱硬化型の接着剤を配置し、接着剤を３００℃以下の温度で加熱して接着剤を硬化させてスライダ部と再生ヘッド部とを接着してもよい。
【００６６】
また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法において、スライダ部を作製する工程は、ウェハの一方の面の上に複数の記録ヘッドを形成する工程と、ウェハの他方の面を研磨することによってウェハを除去する工程とを含み、記録ヘッドは、研磨によって形成される面に露出し、外部装置と電気的に接続される導体部を有していてもよい。この場合、ウェハを除去する工程は、複数の記録ヘッドの上に支持板を配置した状態で、ウェハの他方の面を研磨してもよい。
【００６７】
また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法において、再生ヘッド部を作製する工程は、ウェハの一方の面の上に複数の再生ヘッドを形成する工程と、ウェハの他方の面を研磨することによってウェハの少なくとも一部を除去する工程とを含んでいてもよい。この場合、スライダ部と再生ヘッド部とを接着する工程は、再生ヘッド部において研磨によって形成される面とは反対側の面を、スライダ部に対して接着してもよい。また、ウェハを除去する工程は、複数の再生ヘッドの上に支持板を配置した状態で、ウェハの他方の面を研磨してもよい。
【００６８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
まず、図１および図２を参照して、本発明の一実施の形態に係る薄膜磁気ヘッド用スライダ（以下、単にスライダと記す。）および薄膜磁気ヘッドの構成について説明する。図１は本実施の形態に係るスライダの斜視図、図２は本実施の形態に係るスライダの底面図である。本実施の形態に係るスライダは、本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドを含んでいる。
【００６９】
本実施の形態に係るスライダ２０は、スライダ部２１と再生ヘッド部２２とを備えている。スライダ部２１の全体形状、再生ヘッド部２２の全体形状およびスライダ２０の全体形状は、それぞれほぼ直方体になっている。スライダ部２１は、本発明における記録ヘッド部に対応する。
【００７０】
スライダ部２１は、回転する記録媒体に対向する第１の媒体対向面３１と、記録媒体の回転によって生じる空気流が流入する端部である空気流入端４１と、記録ヘッド２３とを有している。記録ヘッド２３は、第１の媒体対向面３１の近傍、且つスライダ部２１と再生ヘッド部２２の境界位置の近傍に配置されている。
【００７１】
再生ヘッド部２２は、記録媒体に対向する第２の媒体対向面３２と、記録媒体の回転によって生じる空気流が流出する端部である空気流出端４２と、再生ヘッド２４とを有している。再生ヘッド２４は、第２の媒体対向面３２の近傍、且つスライダ部２１と再生ヘッド部２２の境界位置の近傍に配置されている。
【００７２】
スライダ部２１と再生ヘッド部２２は、第１の媒体対向面３１と第２の媒体対向面３２が連続し、且つ空気流入端４１と空気流出端４２とが第１の媒体対向面３１および第２の媒体対向面３２を挟んで反対側に配置されるように互いに接着されている。また、記録ヘッド２３と再生ヘッド２４は、互いに近接した位置に配置されている。本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドは、記録ヘッド２３と再生ヘッド２４とを含む。
【００７３】
第１の媒体対向面３１は、記録媒体の回転時におけるスライダ部２１の姿勢を制御するための凹凸を有している。具体的には、第１の媒体対向面３１は、再生ヘッド部２２に近い第１の面３３と、空気流入端４１に近い第２の面３４と、第１の面３３と第２の面３４との間の境界部分３５とを有している。第１の面３３は、スライダ部２１の幅方向の両側近傍に配置された２つの部分と、再生ヘッド部２２側の端部近傍に配置された１つの部分とを含んでいる。第２の面３４は、スライダ部２１の幅方向の両側近傍に配置されて空気通過方向に延びると共に、第１の面３３の上記２つの部分に接続された２つの部分を含んでいる。第１の媒体対向面３１は、更に、第２の面３４の２つの部分の間に配置されて空気通過方向に延びる部分を含む第３の面３６を有している。
【００７４】
第２の面３４は、第１の面３３および第２の面３４の形状が境界部分３５において屈曲した凸形状（屋根形）になるように、第１の面３３に対して傾斜している。第１の面３３と第２の面３４とのなす角度は３０°以下であることが好ましく、１０°以下であることがより好ましい。また、第１の面３３と第２の面３４とのなす角度は０．１°以上であることが好ましい。
【００７５】
第１の面３３および第３の面３６は、スライダ部２１における第１の媒体対向面３１とは反対側の面に対して平行になっている。第２の面３４と第３の面３６との間には、第２の面３４よりも第３の面３６の方が記録媒体から離れるように段差がある。この段差は再生ヘッド部２２に近い位置ほど大きくなるように連続的に変化している。言い換えると、第２の面３４は第３の面３６に対して傾いた面になっている。第２の面３４と第３の面３６とのなす角度は、３０°以下であることが好ましく、１０°以下であることがより好ましい。また、第２の面３４と第３の面３６とのなす角度は０．１°以上であることが好ましい。
【００７６】
第１の媒体対向面３１のうち、境界部分３５から再生ヘッド部２２側の端部までの長さは、第１の媒体対向面３１の再生ヘッド部２２側の端部から空気流入端４１までの長さの５０％以下であることが好ましい。
【００７７】
本実施の形態に係るスライダ２０では、第１の媒体対向面３１における凹凸の形状に応じて、空気流によって、スライダ部２１に対して記録媒体から離れる方向の力または記録媒体に近づく方向の力を与えることができる。従って、第１の媒体対向面３１における凹凸の形状の設計によって、記録媒体の回転時におけるスライダ２０の姿勢を制御することが可能である。
【００７８】
また、図１および図２には示していないが、スライダ２０は、第１の媒体対向面３１および第２の媒体対向面３２を覆う保護層を備えていてもよい。この保護層は、例えばアルミナまたはダイヤモンドライクカーボンによって構成される。
【００７９】
次に、本実施の形態に係るスライダ２０の製造方法と、記録ヘッド２３および再生ヘッド２４の構成について説明する。本実施の形態に係るスライダ２０の製造方法は、スライダ部２１を作製する工程と、スライダ部２１とは別個に再生ヘッド部２２を作製する工程と、スライダ部２１と再生ヘッド部２２とを接着する工程とを備えている。
【００８０】
始めに、スライダ部２１を作製する工程について説明する。図３に示したように、スライダ部２１を作製する工程は、第１のウェハの上に複数のスライダ部２１に対応する複数の記録ヘッド２３と複数の第１の媒体対向面３１とを形成して、複数列に配列された複数のスライダ部２１を含む第１のスライダ部集合体５１Ａを形成する工程と、第１のスライダ部集合体５１Ａを、図２において符号５２で示した位置で切断して、１列に配列された複数のスライダ部２１を含む第２のスライダ部集合体を形成する工程とを含む。第１のウェハは、シリコンで形成されていてもよいし、アルミニウムオキサイド・チタニウムカーバイド等のセラミックで形成されていてもよい。
【００８１】
以下、図４ないし図９を参照して、スライダ部２１を作製する工程について詳しく説明する。図４ないし図９はそれぞれスライダ部２１を作製する工程を説明するための断面図である。この工程では、まず、図４に示したように、第１のウェハ５０の一方の面の上に、例えばアルミナよりなる絶縁層２を形成する。絶縁層２の厚みは、例えば１０μｍである。
【００８２】
次に、絶縁層２の一部をエッチングして、絶縁層２に２つの開口部を形成する。次に、例えばめっき法によって、２つの開口部内に選択的に、導電性材料よりなる２つの導体部３を形成する。導電性材料は、例えばＣｕである。次に、例えば化学機械研磨（以下、ＣＭＰと記す。）によって、導体部３のうち開口部よりはみ出した余分な部分を除去し、絶縁層２および導体部３の上面を平坦化する。
【００８３】
次に、例えばめっき法によって、絶縁層２の上に磁性層４を形成する。このとき同時に、２つの導体部３の上に２つの連結層５を形成する。磁性層４および連結層５の材料としては、導電性の磁性材料、例えばパーマロイ（ＮｉＦｅ）が用いられる。また、磁性層４および連結層５の厚みは、例えば３μｍである。次に、全体に、例えばアルミナよりなる絶縁層６を、例えば３μｍの厚みに形成する。次に、例えばＣＭＰによって、磁性層４および連結層５が露出するまで絶縁層６を研磨して、絶縁層６の表面を平坦化する。
【００８４】
次に、図５に示したように、磁性層４および絶縁層６の上面のうち、後で薄膜コイル８が形成される予定の位置に、絶縁膜７を形成する。次に、例えばめっき法によって、絶縁膜７の上に薄膜コイル８を形成する。薄膜コイル８の材料は例えばＣｕである。薄膜コイル８の厚みは例えば１．５μｍである。薄膜コイル８の巻線の内側の端部および外側の端部は、それぞれ別個の連結層５に電気的に接続される。これにより、薄膜コイル８の巻線の両端部は２つの導体部３に電気的に接続される。
【００８５】
次に、例えばめっき法によって、磁性層４の上に磁性層９，１０を形成する。
磁性層９は薄膜コイル８の外周端縁の外側に配置され、磁性層１０は薄膜コイル８の内周端縁の内側に配置される。磁性層９，１０の材料は例えばＣｏＮｉＦｅである。磁性層９，１０の厚みは例えば３μｍである。次に、全体に、例えばアルミナよりなる絶縁層１１を、例えば３μｍの厚みに形成する。次に、例えばＣＭＰによって、磁性層９，１０が露出するまで絶縁層１１を研磨して、絶縁層１１の表面を平坦化する。
【００８６】
次に、図６に示したように、磁性層９の上に第１の磁極部分層１２を形成すると共に、磁性層１０および絶縁層１１の上に磁性層１３を形成する。磁性層１３は、薄膜コイル８を挟んで磁性層４に対向する位置に配置される。また、第１の磁極部分層１２と磁性層１３とは、所定の間隔を開けて隔てられる。第１の磁極部分層１２および磁性層１３の材料としては、ＦｅＣｏ等の高飽和磁束密度材料を用いるのが好ましい。磁極部分層１２および磁性層１３の厚みは例えば１μｍである。
【００８７】
次に、第１の磁極部分層１２を覆うように、例えばアルミナよりなる記録ギャップ層１４を形成する。記録ギャップ層１４の厚みは例えば０．１μｍである。
次に、絶縁層１１の上面のうちの第１の磁極部分層１２と磁性層１３との間の位置とその周辺に、第２の磁極部分層１５を形成する。磁極部分層１５の一部は、磁極部分層１２の上の記録ギャップ層１４の上に乗り上げ、磁極部分層１５の他の一部は磁性層１３の上に乗り上げる。磁極部分層１５の材料としては、ＦｅＣｏ等の高飽和磁束密度材料を用いるのが好ましい。磁極部分層１５の厚みは例えば１μｍである。
【００８８】
次に、図７に示したように、次に、全体に、例えばアルミナよりなる絶縁層１６を形成する。次に、例えばＣＭＰによって、磁極部分層１２，１５が露出するまで絶縁層１６を研磨して、絶縁層１６の表面を平坦化する。研磨によって形成された面において、磁極部分層１２，１５は記録ギャップ層１４を挟んで互いに対向する。
【００８９】
次に、磁極部分層１２，１５およびこれらの間の記録ギャップ層１４の上に、記録トラック幅を規定するための図示しないエッチングマスクを形成する。このエッチングマスクは、例えば、フォトレジストよりなり、フォトリソグラフィによって形成される。
【００９０】
次に、図８に示したように、上記エッチングマスクを用いて、磁極部分層１２，１５および記録ギャップ層１４の各一部をエッチングして、磁極部分層１２，１５および記録ギャップ層１４の上面に、それぞれ記録トラック幅を規定する凸部を形成する。エッチングには、反応性イオンエッチングやイオンミリング等のドライエッチングが用いられる。エッチングの深さは、例えば０．５μｍ以上とする。各凸部の先端面の幅Ｗ（図２参照）は記録トラック幅となる。この記録トラック幅は、例えば０．１μｍ以下とする。
【００９１】
次に、全体に、例えばアルミナまたはダイヤモンドライクカーボンよりなる絶縁膜１７を形成する。絶縁膜１７の厚みは例えば０．７μｍである。次に、例えばＣＭＰによって、磁極部分層１２，１５および記録ギャップ層１４が露出するまで絶縁膜１７を研磨して、絶縁膜１７の表面を平坦化する。
【００９２】
次に、図８に示した積層体の上面に、スライダ部２１の姿勢制御用の凹凸を形成するための、図示しないエッチングマスクを形成する。このエッチングマスクは、例えば、フォトレジストよりなり、フォトリソグラフィによって形成される。次に、上記エッチングマスクを用いて、上記積層体の上面をエッチングして、上記姿勢制御用の凹凸を形成する。このときのエッチングの深さは、例えば２〜３μｍとする。このエッチングによって、第１の媒体対向面３１における第３の面３６が形成される。
【００９３】
このようにして、第１のウェハ５０の一方の面の上に、それぞれ記録ヘッド２３を含む複数のスライダ部２１が形成される。
【００９４】
次に、図９に示したように、複数のスライダ部２１の上に支持板１８を配置し、この支持板１８をスライダ部２１に貼り付ける。次に、例えばグラインダによって第１のウェハ５０の他方の面（図８における下側の面）を研磨することによって第１のウェハ５０を除去して、導体部３を露出させる。
【００９５】
以上のようにして、図３に示した第１のスライダ部集合体５１Ａが作製される。この第１のスライダ部集合体５１Ａは、図３において符号５２で示した位置で切断される。これにより、１列に配列された複数のスライダ部２１を含む第２のスライダ部集合体が形成される。スライダ部２１において、磁極部分層１２，１５および記録ギャップ層１４が露出した面は第１の媒体対向面３１となる。また、スライダ部２１において、導体部３が露出した面は、第１の媒体対向面３１とは反対側に配置された背面１９（図９参照）となる。
【００９６】
スライダ部２１は、記録ヘッド２３を収納する本体２５を備えている。この本体２５は、第１の媒体対向面３１とこの第１の媒体対向面３１とは反対側に配置された背面１９とを有している。本体２５は、本発明における記録ヘッド部本体に対応する。記録ヘッド２３は、背面１９に露出し、外部装置と電気的に接続される導体部３と、この導体部３に電気的に接続された誘導型電磁変換素子とを有している。誘導型電磁変換素子は、導体部３に電気的に接続された薄膜コイル８と、第１の媒体対向面３１の近傍に配置され互いに対向する第１および第２の磁極部分層１２，１５と、薄膜コイル８の一部を囲うように配置され、第１の磁極部分層１２と第２の磁極部分層１５とを連結する磁路形成部と、第１および第２の磁極部分層１２，１５の間に設けられた記録ギャップ層１４とを有している。
磁路形成部は、磁性層４，９，１０，１３によって形成される。
【００９７】
第１および第２の磁極部分層１２，１５は、それぞれ記録トラック幅を規定する凸部を有し、各凸部の先端面は第１の媒体対向面３１に露出している。また、第１および第２の磁極部分層１２，１５の厚みはスロートハイトを規定する。
【００９８】
次に、再生ヘッド部２２を作製する工程について説明する。図１０に示したように、再生ヘッド部２２を作製する工程は、第２のウェハの上に複数の再生ヘッド２４を形成して、複数列に配列された複数の再生ヘッド部２２を含む第１の再生ヘッド部集合体６１Ａを形成する工程と、第１の再生ヘッド部集合体６１Ａを、図１０において符号６２で示した位置で切断して、１列に配列された複数の再生ヘッド部２２を含む第２の再生ヘッド部集合体を作製する工程とを含む。第２のウェハは、シリコンで形成されていてもよいし、アルミニウムオキサイド・チタニウムカーバイド等のセラミックで形成されていてもよい。
【００９９】
以下、図１１ないし図１５を参照して、再生ヘッド部２２を作製する工程について詳しく説明する。図１１ないし図１５はそれぞれ再生ヘッド部２２を作製する工程を説明するための断面図である。図１１ないし図１５において、（ａ）は後で形成される第２の媒体対向面３２に垂直な断面を表し、（ｂ）は第２の媒体対向面３２に平行な断面を表している。
【０１００】
再生ヘッド部２２を作製する工程では、まず、図１１に示したように、第２のウェハ６０の一方の面の上に、例えばアルミナよりなる絶縁層７２を形成する。
絶縁層７２の厚みは、例えば１０μｍである。次に、絶縁層７２の一部をエッチングして、絶縁層７２に２つの開口部を形成する。次に、例えばめっき法によって、２つの開口部内に選択的に、導電性材料よりなる２つの導体部７３を形成する。なお、図１１（ａ）には１つの導体部７３のみが示されている。導電性材料は、例えばＣｕである。次に、例えばＣＭＰによって、導体部７３のうち開口部よりはみ出した余分な部分を除去し、絶縁層７２および導体部７３の上面を平坦化する。
【０１０１】
次に、例えばめっき法によって、絶縁層７２の上に第１のシールド層７４を形成する。このとき同時に、２つの導体部７３の上に２つの連結層７５を形成する。第１のシールド層７４および連結層７５の材料としては、導電性の磁性材料、例えばパーマロイ（ＮｉＦｅ）が用いられる。また、第１のシールド層７４および連結層７５の厚みは、例えば３μｍである。
【０１０２】
次に、図１２に示したように、全体に、例えばアルミナよりなる絶縁層７６を、例えば３μｍの厚みに形成する。次に、例えばＣＭＰによって、第１のシールド層７４および連結層７５が露出するまで絶縁層７６を研磨して、絶縁層７６の表面を平坦化する。次に、第１のシールド層７４を覆うように、アルミナ等の絶縁材料よりなる第１のシールドギャップ膜７７を、例えば３０ｎｍの厚みに形成する。この第１のシールドギャップ膜７７は、連結層７５を覆わないように配置される。
【０１０３】
次に、図１３に示したように、第１のシールドギャップ膜７７の上に、再生用のＭＲ素子７８を形成する。ＭＲ素子７８には、ＡＭＲ素子、ＧＭＲ素子、あるいはＴＭＲ（トンネル磁気抵抗効果）素子等の磁気抵抗効果を示す感磁膜を用いた素子を用いることができる。次に、第１のシールドギャップ膜７７の上に、ＭＲ素子７８に電気的に接続される一対の電極層７９を形成する。この２つの電極層７９は、それぞれ別個の連結層７５に電気的に接続される。これにより、ＭＲ素子７８は２つの導体部７３に電気的に接続される。次に、ＭＲ素子７８および電極層７９を覆うように、アルミナ等の絶縁材料よりなる第２のシールドギャップ膜８０を、例えば３０ｎｍの厚みに形成する。
【０１０４】
次に、図１４に示したように、第２のシールドギャップ膜８０の上に、第２のシールド層８１を形成する。第２のシールド層８１の材料としては、磁性材料、例えばパーマロイ（ＮｉＦｅ）が用いられる。また、第２のシールド層８１の厚みは、例えば２μｍである。第２のシールド層８１は、第１のシールド層７４に対向する位置に配置される。ＭＲ素子７８は、第１のシールド層７４と第２のシールド層８１によって挟まれ、これらによってシールドされる。
【０１０５】
次に、全体に、例えばアルミナよりなる絶縁層８２を、例えば３μｍの厚みに形成する。次に、例えばＣＭＰによって、第２のシールド層８１が露出するまで絶縁層８２を研磨して、絶縁層８２の表面を平坦化する。
【０１０６】
このようにして、第２のウェハ６０の一方の面の上に、それぞれ再生ヘッド２４を含む複数の再生ヘッド部２２が形成される。
【０１０７】
次に、図１５に示したように、複数の再生ヘッド部２２の上に支持板８３を配置し、この支持板８３を再生ヘッド部２２に貼り付ける。次に、例えばグラインダによって第２のウェハ６０の他方の面（図１４における下側の面）を研磨することによって第２のウェハ６０の少なくとも一部を除去する。
【０１０８】
以上のようにして、図１０に示した第１の再生ヘッド部集合体６１Ａが作製される。この第１の再生ヘッド部集合体６１Ａは、図１０において符号６２で示した位置で切断される。これにより、１列に配列された複数の再生ヘッド部２２を含む第２の再生ヘッド部集合体が形成される。図１６は、再生ヘッド部２２の平面図である。図１６に示したように、再生ヘッド部２２（第２の再生ヘッド部集合体）は、２つの切断面を有する。一方の切断面にはＭＲ素子７８が露出し、他方の切断面には導体層７３が露出する。一方の切断面は、第２の媒体対向面３２となる。他方の切断面は、第２の媒体対向面３２とは反対側に配置された背面８５となる。
【０１０９】
図１６に示したように、再生ヘッド部２２は、再生ヘッド２４を収納すると共に、第２の媒体対向面３２とこの第２の媒体対向面３２とは反対側に配置された背面８５とを有する本体２６を備えている。本体２６は、本発明における再生ヘッド部本体に対応する。再生ヘッド２４は、背面８５に露出し、外部装置と電気的に接続される導体部７３と、第２の媒体対向面３２の近傍に配置され導体部７３に電気的に接続されたＭＲ素子７８とを有している。
【０１１０】
次に、スライダ部２１と再生ヘッド部２２とを接着する工程について説明する。スライダ部２１と再生ヘッド部２２とを接着する工程では、図１７に示したように、１列に配列された複数のスライダ部２１を含む第２のスライダ部集合体５１Ｂと、１列に配列された複数の再生ヘッド部２２を含む第２の再生ヘッド部集合体６１Ｂとを、接着剤８６を用いて接着して、図１８に示したような、１列に配列された複数のスライダ２０を含むスライダ集合体９０を作製する。
【０１１１】
スライダ部２１において再生ヘッド部２２と接着される面は、第１のスライダ部集合体５１Ａを、図３において符号５２で示した位置で切断することによって形成される２つの面のうち、記録ヘッド２３に近い面である。一方、再生ヘッド部２２においてスライダ部２１と接着される面は、図１５に示した工程における研磨によって形成される面とは反対側の面である。
【０１１２】
スライダ部２１と再生ヘッド部２２とを接着するための接着剤８６としては、例えばセラミック系で熱硬化型の接着剤が用いられる。この場合、ＭＲ素子７８を構成する一部の膜のように熱に対して弱い膜の破損を防止するために、接着剤８６を３００℃以下の温度で加熱して接着剤８６を硬化させてスライダ部２１と再生ヘッド部２２とを接着することが好ましい。
【０１１３】
本実施の形態に係るスライダの製造方法は、上述のようにスライダ部２１と再生ヘッド部２２を接着した後に、第１の媒体対向面３１および第２の媒体対向面３２が平坦化されるように、第１の媒体対向面３１および第２の媒体対向面３２を研磨する工程を備えている。この研磨は、図１９に示したように、１列に配列された複数のスライダ２０を含むスライダ集合体９０における第１の媒体対向面３１および第２の媒体対向面３２とは反対側の面に支持板９１を貼り付けて、第１の媒体対向面３１および第２の媒体対向面３２を研磨装置の定盤に接触させて行われる。このように第１の媒体対向面３１および第２の媒体対向面３２を研磨することにより、スライダ部２１と再生ヘッド部２２とを接着する際の両者の位置合わせの精度が低くても、第１の媒体対向面３１および第２の媒体対向面３２を平坦化することができる。
【０１１４】
また、スライダ集合体９０の研磨は、スライダ集合体９０に含まれる複数の再生ヘッド部２２のＭＲ素子７８の抵抗値を検出しながら、複数のスライダ２０におけるＭＲハイトおよびスロートハイトが等しくなるように行われる。
【０１１５】
次に、図２０に示したように、定盤に対するスライダ集合体９０の姿勢を、第１の媒体対向面３１および第２の媒体対向面３２を研磨する際とは異ならせて、スライダ集合体９０の研磨を行うことによって、第１の媒体対向面３１の一部を研磨する。これにより、第１の媒体対向面３１に、第１の面３３、第２の面３４および境界部分３５が形成される。第１の面３３と第２の面３４とのなす角度は、前述のように０．１°以上、３０°以下であることが好ましい。ここでは、第１の面３３と第２の面３４とのなす角度を、０．１〜１．０°の範囲内の角度、例えば０．５°とする。
【０１１６】
ここで、図２１および図２２を参照して、スライダ集合体９０に含まれる複数の再生ヘッド部２２のＭＲ素子７８の抵抗値を検出しながら、複数のスライダ２０におけるＭＲハイトおよびスロートハイトが等しくなるように、スライダ集合体９０の研磨を行う方法の一例について説明する。
【０１１７】
図２１は、スライダ集合体９０の研磨を行うための研磨装置の概略の構成を示す斜視図である。この研磨装置１５１は、テーブル１６０と、このテーブル１６０上に設けられた回転ラッピングテーブル１６１と、この回転ラッピングテーブル１６１の側方において、テーブル１６０上に設けられた支柱１６２と、この支柱１６２に対してアーム１６３を介して取り付けられた素材支持部１７０とを備えている。回転ラッピングテーブル１６１は、スライダ集合体９０における第１の媒体対向面３１および第２の媒体対向面３２に当接するラッピングプレート（定盤）１６１ａを有している。
【０１１８】
素材支持部１７０は、冶具保持部１７３と、この治具保持部１７３の前方位置に等間隔に配設された３本の荷重付加棒１７５Ａ，１７５Ｂ，１７５Ｃとを有している。冶具保持部１７３には、治具１８０が固定されるようになっている。治具１８０には、断面が長円形の孔からなる３つの荷重付加部が設けられている。荷重付加棒１７５Ａ，１７５Ｂ，１７５Ｃの各下端部には、それぞれ、冶具１８０の各荷重付加部（孔）に挿入される断面が長円形の頭部を有する荷重付加ピンが設けられている。各荷重付加ピンは、それぞれ図示しないアクチュエータによって、上下方向、左右方向（治具１８０の長手方向）および回転方向に駆動されるようになっている。
【０１１９】
治具１８０は、スライダ集合体９０を保持する保持部を有している。この治具１８０では、３つの荷重付加部に対して種々の方向の荷重を付加することにより、保持部およびスライダ集合体９０が変形される。これにより、スライダ集合体９０に含まれる複数のスライダ２０におけるＭＲハイトおよびスロートハイトの値を目標とする値となるように制御しながら、スライダ集合体９０における第１の媒体対向面３１および第２の媒体対向面３２をラッピングすることが可能となる。
【０１２０】
図２２は、図２１に示した研磨装置の回路構成の一例を示すブロック図である。この研磨装置は、治具１８０の各荷重付加部にそれぞれ３方向の荷重を付加するための９つアクチュエータ１９１〜１９９と、スライダ集合体９０内の複数のＭＲ素子７８の抵抗値を監視してアクチュエータ１９１〜１９９を制御する制御装置１８６と、図示しないコネクタを介して、スライダ集合体９０内の複数のＭＲ素子７８に接続され、これらのＭＲ素子７８のいずれかを選択的に制御装置１８６に接続するマルチプレクサ１８７とを備えている。
【０１２１】
この研磨装置では、制御装置１８６は、マルチプレクサ１８７を介してスライダ集合体９０内の複数のＭＲ素子７８の抵抗値を監視して、スライダ集合体９０に含まれる複数のスライダ２０におけるＭＲハイトおよびスロートハイトが全て許容誤差の範囲内となるように、アクチュエータ１９１〜１９９を制御する。
【０１２２】
図２０に示したように第１の媒体対向面３１の研磨が終了したスライダ集合体９０は切断され、これにより、互いに分離された複数のスライダ２０が作製される。スライダ集合体９０の切断は、スライダ集合体９０に支持板９１を取り付けた状態で行ってもよいし、スライダ集合体９０から支持板９１を取り外した状態で行ってもよい。
【０１２３】
次に、図２３に示したように、スライダ２０は、サスペンション２２１に取り付けられる。このサスペンション２２１は、それぞれ導体よりなりスライダ２０の２つの導体部３に対向する位置に配置された２つの端子部２７１と、それぞれ導体よりなりスライダ２０の２つの導体部７３に対向する位置に配置された２つの端子部２７２とを有している。これらの端子部２７１，２７２は、それぞれ図示しないリードの一端が接続されている。リードの他端は、外部装置に接続されるようになっている。
【０１２４】
スライダ２０の導体部３，７３と、サスペンション２２１の端子部２７１，２７２とは、半田等の導電性接合剤２７３によって電気的および機械的に接続されるようになっている。また、これにより、スライダ２０とサスペンション２２１とが機械的に結合されるようになっている。このように、本実施の形態では、スライダ２０をサスペンション２２１に結合させる際に、同時にスライダ２０の導体部３，７３とサスペンション２２１の端子部２７１，２７２とが電気的に接続されるようにしている。これにより、スライダ２０とサスペンション２２１との間に余分なリードを設ける必要がなくなり、その結果、記録ヘッド２３および再生ヘッド２４をより高い周波数で動作させることが可能になる。
【０１２５】
次に、図２４ないし図２６を参照して、本実施の形態に係るスライダ２０が取り付けられるヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置について説明する。まず、図２４を参照して、ヘッドジンバルアセンブリ２２０について説明する。ハードディスク装置において、スライダ２０は、回転駆動される円盤状の記録媒体であるハードディスク２６２に対向するように配置される。ヘッドジンバルアセンブリ２２０は、スライダ２０と、このスライダ２０を弾性的に支持するサスペンション２２１とを備えている。サスペンション２２１は、例えばステンレス鋼によって形成された板ばね状のロードビーム２２２、このロードビーム２２２の一端部に設けられると共にスライダ２０が接合され、スライダ２０に適度な自由度を与えるフレクシャ２２３と、ロードビーム２２２の他端部に設けられたベースプレート２２４とを有している。ベースプレート２２４は、スライダ２０をハードディスク２６２のトラック横断方向ｘに移動させるためのアクチュエータのアーム２３０に取り付けられるようになっている。アクチュエータは、アーム２３０と、このアーム２３０を駆動するボイスコイルモータとを有している。フレクシャ２２３において、スライダ２０が取り付けられる部分には、スライダ２０の姿勢を一定に保つためのジンバル部が設けられている。
【０１２６】
ヘッドジンバルアセンブリ２２０は、アクチュエータのアーム２３０に取り付けられる。１つのアーム２３０にヘッドジンバルアセンブリ２２０を取り付けたものはヘッドアームアセンブリと呼ばれる。また、複数のアームを有するキャリッジの各アームにヘッドジンバルアセンブリ２２０を取り付けたものはヘッドスタックアセンブリと呼ばれる。
【０１２７】
図２４は、ヘッドアームアセンブリの一例を示している。このヘッドアームアセンブリでは、アーム２３０の一端部にヘッドジンバルアセンブリ２２０が取り付けられている。アーム２３０の他端部には、ボイスコイルモータの一部となるコイル２３１が取り付けられている。アーム２３０の中間部には、アーム２３０を回動自在に支持するための軸２３４に取り付けられる軸受け部２３３が設けられている。
【０１２８】
次に、図２５および図２６を参照して、ヘッドスタックアセンブリの一例とハードディスク装置について説明する。図２５はハードディスク装置の要部を示す説明図、図２６はハードディスク装置の平面図である。ヘッドスタックアセンブリ２５０は、複数のアーム２５２を有するキャリッジ２５１を有している。複数のアーム２５２には、複数のヘッドジンバルアセンブリ２２０が、互いに間隔を開けて垂直方向に並ぶように取り付けられている。キャリッジ２５１においてアーム２５２とは反対側には、ボイスコイルモータの一部となるコイル２５３が取り付けられている。ヘッドスタックアセンブリ２５０は、ハードディスク装置に組み込まれる。ハードディスク装置は、スピンドルモータ２６１に取り付けられた複数枚のハードディスク２６２を有している。各ハードディスク２６２毎に、ハードディスク２６２を挟んで対向するように２つのスライダ２０が配置される。また、ボイスコイルモータは、ヘッドスタックアセンブリ２５０のコイル２５３を挟んで対向する位置に配置された永久磁石２６３を有している。
【０１２９】
スライダ２０を除くヘッドスタックアセンブリ２５０およびアクチュエータは、スライダ２０を支持すると共にハードディスク２６２に対して位置決めする。
【０１３０】
このハードディスク装置では、アクチュエータによって、スライダ２０をハードディスク２６２のトラック横断方向に移動させて、スライダ２０をハードディスク２６２に対して位置決めする。スライダ２０に含まれる薄膜磁気ヘッドは、記録ヘッドによって、ハードディスク２６２に情報を記録し、再生ヘッドによって、ハードディスク２６２に記録されている情報を再生する。
【０１３１】
次に、図２７および図２８を参照して、本実施の形態に係るスライダ２０の作用について説明する。図２７は記録媒体４５が回転しているときのスライダ２０の状態を示す断面図、図２８は記録媒体４５が静止しているときのスライダ２０の状態を示す断面図である。
【０１３２】
図２７に示したように、スライダ部２１は、記録媒体４５が回転している間は、記録媒体４５の回転によって生じる空気流によって浮上して、記録媒体４５の面から離れる。図２７において、記録媒体４５は左側へ進行する。一方、図２８に示したように、スライダ部２１は、記録媒体４５が静止している間は、記録媒体４５の面に接触する。
【０１３３】
図２７に示したように、記録媒体４５が回転している間、第１の媒体対向面３１の第２の面３４は、境界部分３５に近い位置ほど記録媒体４５に近づくように記録媒体４５の面に対して傾く。また、記録媒体４５が回転している間、第１の媒体対向面３１の第１の面３３と第２の媒体対向面３２は、記録媒体４５の面に対してほぼ平行になる。記録媒体４５が回転している間、第２の面３４と記録媒体４５の面とのなす角度は３０°以下であることが好ましく、１０°以下であることがより好ましい。また、第２の面３４と記録媒体４５の面とのなす角度は０．１°以上であることが好ましい。記録媒体４５が回転しているときの第２の面３４と記録媒体４５の面とのなす角度は、第１の媒体対向面３１の凹凸の形状によって制御することができる。
【０１３４】
以上説明したように、本実施の形態では、スライダ部２１と再生ヘッド部２２を別個に作製し、スライダ部２１と再生ヘッド部２２とを接着することによってスライダ２０を完成させる。そのため、本実施の形態によれば、スライダ部２１と再生ヘッド部２２を、それぞれ一度に大量に作製することができる。特に、本実施の形態によれば、第１のウェハ５０の上に、多数の記録ヘッド２３および第１の媒体対向面３１を同時に形成することができる。従来のスライダの製造方法では、複数の薄膜磁気ヘッド素子が形成されたウェハを切断して複数のバーを形成し、各バーを研磨して研磨面を形成し、更に、各バーの研磨面をエッチングして媒体対向面を形成していた。従って、本実施の形態に係るスライダ２０およびその製造方法によれば、従来のスライダおよびその製造方法に比べて、大幅に少ない工程数で大量のスライダ２０を製造することができ、スライダ２０の製造コストを大幅に低減することができる。
【０１３５】
また、本実施の形態では、第１のウェハ５０上に形成された多数のスライダ部２１において、第１および第２の磁極部分層１２，１５は、第１の媒体対向面３１となる面に露出する。そして、この面に露出した磁極部分層１２，１５をエッチングすることによって、磁極部分層１２，１５に対して、記録トラック幅を規定する凸部を形成する。従って、本実施の形態によれば、微小な記録トラック幅を正確に規定することが可能になる。
【０１３６】
また、本実施の形態では、薄膜コイル８は、第１の媒体対向面３１の近くで、第１の媒体対向面３１に対してほぼ平行に配置される。従って、本実施の形態によれば、薄膜コイル８を効率よく冷却することが可能になる。その結果、本実施の形態によれば、薄膜コイル８が発生する熱によって磁極部分が記録媒体に近づくように突出することを防止でき、これにより、磁気スペースを小さくすることが可能になる。
【０１３７】
ところで、本実施の形態では、記録媒体４５の回転時に、第２の面３４と記録媒体４５との間には、スライダ部２１を記録媒体４５から遠ざける圧力が発生する。また、本実施の形態では、第２の面３４と第３の面３６との間の段差が、再生ヘッド部２２に近い位置ほど大きくなるように連続的に変化しているので、記録媒体４５の回転時に第３の面３６と記録媒体４５との間を通過する空気の体積は徐々に増加する。そのため、第３の面３６と記録媒体４５との間において、スライダ部２１を記録媒体４５に近づける負圧が発生する。この負圧により、記録媒体４５の回転時に、特にスライダ部２１のうち再生ヘッド部２２に近い部分を記録媒体４５に近づけることができる。その結果、本実施の形態に係るスライダ２０によれば、磁気スペースを縮小することができる。第１の媒体対向面３１の凹凸の形状を適切に設計することによって、本実施の形態に係るスライダ２０は、磁気スペースの縮小に関して、図３８に示したように媒体対向面が互いに段差のある３つの面を有するスライダ１２０と同等以上の性能を発揮することが可能である。
【０１３８】
ところで、図３８に示したように互いに段差のある３つの面を有する媒体対向面では、段差のある面１２１ｂと面１２１ｃとによって負圧を発生させる。これに対し、本実施の形態では、途中に段差のない第３の面３６によって負圧を発生させる。従って、本実施の形態によれば、図３８に示したスライダ１２０に比べて、スライダ２０と記録媒体４５との間を通過する空気の流れがスムーズになる。その結果、本実施の形態によれば、記録媒体４５の回転時におけるスライダ２０の姿勢の制御が容易になる。
【０１３９】
また、本実施の形態において、記録媒体４５が回転状態から静止状態に移行する際に、スライダ部２１が記録媒体４５の面に対して接触を開始する時には、境界部分３５が最初に記録媒体４５の面に接触する。また、記録媒体４５が静止状態から回転状態に移行する際に、スライダ部２１が記録媒体４５の面から離れる時には、境界部分３５が最後に記録媒体４５の面から離れる。このように、境界部分３５は、飛行機の車輪のような機能を有する。
【０１４０】
このように、本実施の形態に係るスライダ２０では、スライダ部２１は境界部分３５において記録媒体４５の面に接触する。そのため、従来のスライダに比べて、スライダ部２１と記録媒体４５の面との接触面積が非常に小さくなり、スライダ部２１と記録媒体４５の面との摩擦抵抗も非常に小さくなる。従って、本実施の形態に係るスライダ２０によれば、記録媒体４５の面に対するスライダ部２１の接触の開始と、記録媒体４５の面からのスライダ部２１の分離とを円滑に行うことができる。その結果、本実施の形態によれば、スライダ２０と記録媒体４５との衝突によって記録媒体４５や薄膜磁気ヘッドの損傷が生じることを防止することができる。
【０１４１】
更に、本実施の形態に係るスライダ２０によれば、従来のスライダに比べて、記録媒体４５の静止時におけるスライダ部２１と記録媒体４５の面との接触面積が非常に小さくなる。従って、スライダ２０と記録媒体４５とが吸着することを防止することができる。
【０１４２】
また、本実施の形態に係るスライダ２０では、図２７に示したように、記録媒体４５が回転している間、第１の媒体対向面３１の第２の面３４は、空気流入端４１に近い位置ほど記録媒体４５から離れるように記録媒体４５の面に対して傾く。その結果、記録ヘッド２３および再生ヘッド２４は記録媒体４５の面に接近する。そのため、本実施の形態に係るスライダ２０によれば、記録媒体４５が回転している間、記録ヘッド２３および再生ヘッド２４を記録媒体４５の面の近くに配置しながら、第２の面３４を、記録ヘッド２３および再生ヘッド２４に比べて記録媒体４５から離すことができる。従って、本実施の形態によれば、磁気スペースをより縮小しながら、スライダ２０と記録媒体４５との衝突を防止することができる。
【０１４３】
以上のことから、本実施の形態に係るスライダ２０によれば、スライダ２０と記録媒体４５との衝突によって記録媒体４５、記録ヘッド２３または再生ヘッド２４が損傷することや、スライダ２０と記録媒体４５とが吸着することを防止しながら、磁気スペースを縮小することができる。
【０１４４】
また、本実施の形態によれば、磁気スペースの縮小により、記録ヘッド２３におけるオーバーライト特性や非線形トランジションシフトを向上させることが可能になる。また、本実施の形態によれば、磁気スペースの縮小により、再生ヘッド２４における再生出力の向上や半値幅の縮小が可能になり、その結果、記録密度を向上させることができる。
【０１４５】
このように、本実施の形態によれば、記録ヘッド２３および再生ヘッド２４の双方の特性を向上させることができ、その結果、本実施の形態に係るスライダ２０を用いるハードディスク装置の歩留りを向上させることができる。
【０１４６】
ところで、図３８に示したように互いに段差のある３つの面を有する媒体対向面を形成するには、２回のエッチングマスクを形成する工程と、２回のエッチング工程が必要になる。これに対し、本実施の形態では、エッチングマスクを形成する工程とエッチング工程は１回ずつで済む。その代わり、本実施の形態では、図３８に示したような媒体対向面を形成する場合に比べて、第１の媒体対向面３１の研磨工程が１回多く必要になる。しかし、第１の媒体対向面３１の研磨工程は、エッチングマスクを形成し、更にエッチングする工程に比べると簡単である。従って、本実施の形態によれば、図３８に示したような媒体対向面を形成する場合に比べて、第１の媒体対向面３１の形成工程が簡単になり、その結果、スライダ２０の製造コストを低減することができる。
【０１４７】
また、本実施の形態では、スライダの媒体対向面にクラウンやキャンバを形成する場合に比べて、第１の媒体対向面３１の形成を容易に行うことができると共に、クラウンやキャンバを形成する場合における不具合の発生がない。従って、本実施の形態によれば、スライダの媒体対向面にクラウンやキャンバを形成する場合に比べて、第１の媒体対向面３１の形状を正確に決定でき、スライダ２０の歩留りを向上させることができ、スライダ２０の製造コストを低減することができ、更にこれらのことから量産性に優れている。
【０１４８】
また、本実施の形態において、第１の媒体対向面３１のうち、境界部分３５から再生ヘッド部２２側の端部までの長さは、第１の媒体対向面３１の再生ヘッド部２２側の端部から空気流入端４１までの長さの５０％以下であることが好ましい。これにより、記録媒体４５の回転時に、スライダ部２１全体のうち、記録媒体４５の面に接近する部分（境界部分３５から再生ヘッド部２２側の端部までの部分）の長さが、記録媒体４５の面から離れる部分（第２の面３４）の長さ以下になり、スライダ２０と記録媒体４５との衝突をより確実に防止することができる。
【０１４９】
ところで、本実施の形態では、スライダ部２１と再生ヘッド部２２とを接着してスライダ２０を構成している。そのため、スライダ２０において、スライダ部２１と再生ヘッド部２２の接着部分は、他の部分に比べて強度的に弱い。従って、スライダ２０の破損を防止するために、スライダ部２１と再生ヘッド部２２の接着部分に外力が加わらないようにするのが好ましい。本実施の形態に係るスライダ２０では、境界部分３５において記録媒体４５の面に接触する。そのため、スライダ部２１と再生ヘッド部２２の接着部分は記録媒体４５の面に接触しない。従って、本実施の形態によれば、スライダ部２１と再生ヘッド部２２の接着部分に記録媒体４５によって外力が加えられることによるスライダ２０の破損を防止することができる。
【０１５０】
以下、本実施の形態に係るスライダ２０の３つの変形例について説明する。図２９および図３０は、第１の変形例のスライダ２０を示している。図２９は記録媒体４５が回転しているときのスライダ２０を示す断面図、図３０は記録媒体４５が静止しているときのスライダ２０を示す断面図である。第１の変形例のスライダ２０では、再生ヘッド部２２における第２の媒体対向面３２のスライダ部２１から離れた端部が空気流入端４１になり、スライダ部２１における第１の媒体対向面３１の再生ヘッド部２２から離れた端部が空気流出端４２になっている。
【０１５１】
また、第１の変形例のスライダ２０では、第１の媒体対向面３１の第２の面３４は、スライダ部２１における第１の媒体対向面３１とは反対側の面および第３の面３６に対して平行になっている。また、第１の変形例では、第１の面３３および第２の面３４の形状が境界部分３５において屈曲した凸形状（屋根形）になるように、第１の面３３は第２の面３４に対して傾斜している。第１の面３３と第２の面３４とのなす角度は３０°以下であることが好ましく、１０°以下であることがより好ましい。また、第１の面３３と第２の面３４とのなす角度は０．１°以上であることが好ましい。
【０１５２】
また、第１の変形例のスライダ２０では、第２の媒体対向面３２は、第１の媒体対向面３１の第１の面３３に連続するように形成され、且つ空気流入端４１に近い位置ほど記録媒体４５から離れるように湾曲した面になっている。
【０１５３】
第１の変形例のスライダ２０では、図２９に示したように、スライダ部２１は、記録媒体４５が回転している間は、記録媒体４５の回転によって生じる空気流によって浮上して、記録媒体４５の面から離れる。図２９において、記録媒体４５は右側へ進行する。記録媒体４５の回転時において、再生ヘッド２４と記録媒体４５の面との間の距離は、例えば５〜８ｎｍである。一方、図３０に示したように、スライダ部２１は、記録媒体４５が静止している間は、記録媒体４５の面に接触する。
【０１５４】
第１の変形例のスライダ２０では、記録媒体４５が回転状態から静止状態に移行する際に、スライダ部２１が記録媒体４５の面に対して接触を開始する時には、境界部分３５が最初に記録媒体４５の面に接触する。また、記録媒体４５が静止状態から回転状態に移行する際に、スライダ部２１が記録媒体４５の面から離れる時には、境界部分３５が最後に記録媒体４５の面から離れる。
【０１５５】
第１の変形例のスライダ２０の製造方法では、図２０に示した工程で第１の媒体対向面３１の一部を研磨して第２の面３４を形成する代わりに、第１の媒体対向面３１の一部と第２の媒体対向面３２とを研磨して、第１の媒体対向面３１の第１の面３３と第２の媒体対向面３２の形状を決定する。
【０１５６】
第１の変形例のスライダ２０のその他の構成および第１の変形例のスライダ２０の製造方法におけるその他の工程は、図１および図２に示したスライダ２０の場合と同様である。
【０１５７】
図３１は、第２の変形例のスライダ２０を示す断面図である。第２の変形例のスライダ２０では、スライダ部２１における第１の媒体対向面３１の再生ヘッド部２２から離れた端部が空気流入端４１になり、再生ヘッド部２２における第２の媒体対向面３２のスライダ部２１から離れた端部が空気流出端４２になっている。
【０１５８】
第２の変形例のスライダ２０では、第１の媒体対向面３１の第２の面３４は、図１および図２に示したスライダ２０と同様に、第３の面３６に対して傾斜している。また、第２の変形例のスライダ２０では、第１の媒体対向面３１の第１の面３３は、第１の変形例と同様に第３の面３６に対して傾斜している。その結果、第１の面３３と第２の面３４は、第１の面３３および第２の面３４の形状が境界部分３５において屈曲した凸形状（屋根形）になるように、互いに傾斜している。第１の面３３と第２の面３４とのなす角度は３０°以下であることが好ましく、１０°以下であることがより好ましい。また、第１の面３３と第２の面３４とのなす角度は０．１°以上であることが好ましい。
【０１５９】
また、第２の変形例のスライダ２０では、第１の変形例と同様に、第２の媒体対向面３２は、第１の媒体対向面３１の第１の面３３に連続するように形成され、且つ空気流入端４１に近い位置ほど記録媒体４５から離れるように湾曲した面になっている。
【０１６０】
図３１に示したように、第２の変形例のスライダ２０は、記録媒体４５が回転している間および記録媒体４５が静止している間のいずれにおいても、スライダ部２１が境界部分３５において記録媒体４５の面に接触する。また、記録媒体４５が回転している間、第１の媒体対向面３１の第２の面３４は、空気流入端４１に近い位置ほど記録媒体４５から離れるように記録媒体４５の面に対して傾き、第１の媒体対向面３１の第１の面３３と第２の媒体対向面３２は、空気流出端４２に近い位置ほど記録媒体４５から離れるように記録媒体４５の面に対して傾く。また、記録媒体４５が静止している間、第１の媒体対向面３１の第１の面３３と第２の面３４の一方は、記録媒体４５の面に接触していてもよい。
【０１６１】
第２の変形例のスライダ２０では、記録媒体４５が回転している間もスライダ２０が記録媒体４５の面に接触しているので、磁気スペースをより縮小することができる。また、第２の変形例のスライダ２０では、スライダ部２１が常に記録媒体４５の面に接触しているので、スライダ部２１が記録媒体４５の面に接触したり離れたりすることによるスライダ部２１と記録媒体４５との衝突の発生を防止することができる。
【０１６２】
第２の変形例のスライダ２０の製造方法では、図２０に示した工程で第１の媒体対向面３１の一部を研磨して第２の面３４を形成した後に、更に、第１の媒体対向面３１の他の一部と第２の媒体対向面３２を研磨して、第１の面３３および第２の媒体対向面３２の形状を決定する。
【０１６３】
第２の変形例のスライダ２０のその他の構成および第２の変形例のスライダ２０の製造方法におけるその他の工程は、図１および図２に示したスライダ２０または第１の変形例のスライダ２０の場合と同様である。
【０１６４】
ここで、図３２を参照して、スライダ２０と記録媒体４５との位置関係について説明する。図３２において、符号４６で示す矢印は記録媒体４５の回転方向を表し、符号４７で示す矢印は空気流の方向を表している。図１および図２に示したスライダ２０および第２の変形例のスライダ２０は、図３２において下側に描かれたスライダ２０のように配置される。すなわち、このスライダ２０では、スライダ部２１が空気流の上流側に配置され、再生ヘッド部２２が空気流の下流側に配置される。これに対し、第１の変形例のスライダ２０は、図３２において上側に描かれたスライダ２０のように配置される。すなわち、このスライダ２０では、再生ヘッド部２２が空気流の上流側に配置され、スライダ部２１が空気流の下流側に配置される。
【０１６５】
図３３は、第３の変形例のスライダ２０を示す斜視図である。第３の変形例のスライダ２０では、第１の媒体対向面３１は、境界部分３５を含む領域において形成された複数の凹部３８を有している。第３の変形例のスライダ２０のその他の構成は、図１および図２に示したスライダ２０と同様である。
【０１６６】
凹部３８は、第１の媒体対向面３１および第２の媒体対向面３２を形成する絶縁層または保護層をエッチングすることによって形成される。第３の変形例の製造方法におけるその他の工程は、図１および図２に示したスライダ２０の場合と同様である。
【０１６７】
第３の変形例のスライダ２０は、図１および図２に示したスライダ２０と同様に、記録媒体４５の回転時には記録媒体４５の面から離れ、記録媒体４５の静止時には記録媒体４５の面に接触するものでもよいし、第２の変形例と同様に、記録媒体４５の回転時および静止時のいずれにおいても、スライダ部２１が境界部分３５において記録媒体４５の面に接触するものでもよい。
【０１６８】
第３の変形例のスライダ２０によれば、凹部３８がない場合に比べて、スライダ部２１と記録媒体４５の面との接触面積が小さくなり、スライダ部２１と記録媒体４５の面との摩擦抵抗を小さくすることができる。
【０１６９】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。例えば、本発明のスライダは、スライダ部と再生ヘッド部が接着されて構成されたスライダであれば、媒体対向面が図３８に示したように互いに段差のある３つの面を有するスライダも含む。
【０１７０】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１ないし９のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッド用スライダは、第１の媒体対向面と記録ヘッドとを有するスライダ部と、第２の媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部とを備え、これらが接着されて構成される。そのため、本発明によれば、スライダ部と再生ヘッド部をそれぞれ一度に大量に作製することが可能になる。従って、本発明によれば、少ない工程数でスライダを製造することが可能になるという効果を奏する。
【０１７５】
また、請求項３ないし９のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッド用スライダでは、第１の媒体対向面は、再生ヘッド部に近い第１の面と、再生ヘッド部から離れた第２の面と、第１の面と第２の面との間の境界部分とを有し、第１の面および第２の面の形状が境界部分において屈曲した凸形状になるように、第１の面と第２の面は互いに傾斜している。このスライダでは、スライダ部が記録媒体の面に接触する際には、境界部分が記録媒体の面に接触する。従って、本発明によれば、スライダと記録媒体との衝突によって記録媒体や薄膜磁気ヘッドが損傷することや、スライダと記録媒体とが吸着することを防止しながら、磁気スペースを縮小することが可能になるという効果を奏する。また、本発明によれば、スライダ部と再生ヘッド部の接着部分が記録媒体の面に接触しないので、スライダ部と再生ヘッド部の接着部分に記録媒体によって外力が加えられることによるスライダの破損を防止することができるという効果を奏する。
【０１７６】
また、請求項１０ないし２３のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法では、第１の媒体対向面と記録ヘッドとを有するスライダ部と、第２の媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部とを別個に作製し、これらを接着してスライダを完成させる。そのため、本発明によれば、スライダ部と再生ヘッド部をそれぞれ一度に大量に作製することが可能になる。従って、本発明によれば、少ない工程数でスライダを製造することが可能になるという効果を奏する。
【０１７７】
また、請求項１４記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法は、スライダ部と再生ヘッド部とを接着する工程の後で、第１の媒体対向面および第２の媒体対向面が平坦化されるように、第１の媒体対向面および第２の媒体対向面を研磨する工程を備えている。従って、本発明によれば、スライダ部と再生ヘッド部とを接着する際の両者の位置合わせの精度が低くても、第１の媒体対向面および第２の媒体対向面を平坦化することができるという効果を奏する。
【０１７８】
また、請求項１５または１６記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法は、スライダ部と再生ヘッド部とを接着する工程の後で、第１の媒体対向面が、再生ヘッド部に近い第１の面と、再生ヘッド部から離れた第２の面と、第１の面と第２の面との間の境界部分とを有し、第１の面と第２の面が互いに傾斜して、第１の面および第２の面の形状が境界部分において屈曲した凸形状になるように、第１の媒体対向面を研磨する工程を備えている。この製造方法によって製造されるスライダでは、スライダ部が記録媒体の面に接触する際には、境界部分が記録媒体の面に接触する。従って、本発明によれば、スライダと記録媒体との衝突によって記録媒体や薄膜磁気ヘッドが損傷することや、スライダと記録媒体とが吸着することを防止しながら、磁気スペースを縮小することが可能になるという効果を奏する。また、本発明によれば、スライダ部と再生ヘッド部の接着部分が記録媒体の面に接触しないので、スライダ部と再生ヘッド部の接着部分に記録媒体によって外力が加えられることによるスライダの破損を防止することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るスライダの斜視図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係るスライダの底面図である。
【図３】本発明の一実施の形態における第１のスライダ部集合体を示す平面図である。
【図４】本発明の一実施の形態におけるスライダ部を作製する工程を説明するための断面図である。
【図５】図４に続く工程を説明するための断面図である。
【図６】図５に続く工程を説明するための断面図である。
【図７】図６に続く工程を説明するための断面図である。
【図８】図７に続く工程を説明するための断面図である。
【図９】図８に続く工程を説明するための断面図である。
【図１０】本発明の一実施の形態における第１の再生ヘッド部集合体を示す平面図である。
【図１１】本発明の一実施の形態における再生ヘッド部を作製する工程を説明するための断面図である。
【図１２】図１１に続く工程を説明するための断面図である。
【図１３】図１２に続く工程を説明するための断面図である。
【図１４】図１３に続く工程を説明するための断面図である。
【図１５】図１４に続く工程を説明するための断面図である。
【図１６】本発明の一実施の形態における再生ヘッド部の平面図である。
【図１７】本発明の一実施の形態におけるスライダ部と再生ヘッド部とを接着する工程を説明するための断面図である。
【図１８】本発明の一実施の形態におけるスライダ部と再生ヘッド部とを接着する工程を説明するための断面図である。
【図１９】図１８に続く工程を説明するための断面図である。
【図２０】図１９に続く工程を説明するための断面図である。
【図２１】本発明の一実施の形態におけるスライダ集合体の研磨を行うための研磨装置の概略の構成を示す斜視図である。
【図２２】図２１に示した研磨装置の回路構成の一例を示すブロック図である。
【図２３】本発明の一実施の形態におけるスライダをサスペンションに取り付ける工程を説明するための断面図である。
【図２４】本発明の一実施の形態に係るスライダが取り付けられるヘッドジンバルアセンブリを示す斜視図である。
【図２５】本発明の一実施の形態に係るスライダが用いられるハードディスク装置の要部を示す説明図である。
【図２６】本発明の一実施の形態に係るスライダが用いられるハードディスク装置の平面図である。
【図２７】記録媒体の回転時における本発明の一実施の形態に係るスライダの状態を示す断面図である。
【図２８】記録媒体の静止時における本発明の一実施の形態に係るスライダの状態を示す断面図である。
【図２９】本発明の一実施の形態における第１の変形例のスライダを示す断面図である。
【図３０】本発明の一実施の形態における第１の変形例のスライダを示す断面図である。
【図３１】本発明の一実施の形態における第２の変形例のスライダを示す断面図である。
【図３２】スライダと記録媒体との位置関係を説明するための説明図である。
【図３３】本発明の一実施の形態における第３の変形例のスライダを示す斜視図である。
【図３４】従来の薄膜磁気ヘッド素子の断面図である。
【図３５】従来の薄膜磁気ヘッド素子の断面図である。
【図３６】従来の薄膜磁気ヘッド素子の平面図である。
【図３７】従来のスライダのエアベアリング面の構成の一例を示す底面図である。
【図３８】従来のスライダの斜視図である。
【図３９】記録媒体が静止している状態における従来のスライダと記録媒体とを示す断面図である。
【図４０】図３７における上側から見た従来のスライダを示す正面図である。
【図４１】記録媒体が停止している状態から回転を開始した直後における従来のスライダと記録媒体とを示す断面図である。
【図４２】記録媒体の表面から浮上した状態の従来のスライダを示す断面図である。
【符号の説明】
２…絶縁層、３…導体部、４，９，１０，１３…磁性層、８…薄膜コイル、１２…第１の磁極部分層、１４…記録ギャップ層、１５…第２の磁極部分層、２０…スライダ、２１…スライダ部、２２…再生ヘッド部、２３…記録ヘッド、２４…再生ヘッド、３１…第１の媒体対向面、３２…第２の媒体対向面、４１…空気流入端、４２…空気流出端、７３…導体部、７８…ＭＲ素子、７９…電極層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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