(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
サンプルガスが流れるサンプルガスラインを、第１ガス分析部を備えた第１ガスラインと第２ガス分析部を備えた第２ガスラインとに分岐し、前記二つのガス分析部の出力の差をとって前記サンプルガス中の特定成分の濃度を得るようにしてあり、第２ガス分析部の応答遅れ時間に比べて第１ガス分析部の応答遅れ時間が遅いガス分析装置において、前記二つのガス分析部の出力を一定時間ごとにサンプリングし、二つのガス分析部の出力の差をとるに際して、一定時間ごとにサンプリングした二つのガス分析部の出力にそれぞれあらかじめ入力した値を用いた移動平均処理を施すと共に、第１ガス分析部の出力に対して、二つのガス分析部の応答遅れ時間の差の分だけ前の第２ガス分析部の出力を用いて演算を行う演算制御装置を備えたことを特徴とするガス分析装置。
【請求項２】
前記第１ガスライン上にコンバータを備え、前記演算制御装置が前記特定成分の濃度を得る際に、コンバータ効率を用いて演算を行う請求項１に記載のガス分析装置。
【請求項３】
前記演算制御装置が前記特定成分の濃度を得る際に、前記第１ガス分析部と前記第２ガス分析部の相対感度補正値を用いて演算を行う請求項１に記載のガス分析装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば、自動車のエンジンからの排ガスや工場からの排ガスあるいは大気中に含まれる複数の成分をそれぞれ個別に定量分析することのできるガス分析装置に関する。
【０００２】
例えば、自動車のエンジンから排出されるガス（サンプルガス）に含まれるＮＯ、ＮＯ2 およびＮＯX （＝ＮＯ＋ＮＯ2 ）を同時に分析する装置として、ＮＯX 測定ラインとＮＯ測定ラインとを並列的に設け、ＮＯX 測定ラインにおいては、ＮＯ2 をＮＯに変換するＮＯX コンバータを設け、この変換によって生成したＮＯと本来ＮＯX 測定ラインに流れるＮＯとを併せたものをサンプルガス中のＮＯX 濃度として求め、ＮＯ測定ラインにおいては、ＮＯのみの濃度を求めて、ＮＯX 濃度〔ＮＯX 〕と、ＮＯ濃度〔ＮＯ〕とＮＯX コンバータのコンバータ効率〔ＣＯＭeffi〕とを用い、ＮＯ2 濃度〔ＮＯ2 〕を、
〔ＮＯ2 〕＝（〔ＮＯX 〕−〔ＮＯ〕）／〔ＣＯＭeffi〕        ……（１）
なる関係式により求めるようにしたＮＯ／ＮＯ2 分析装置がある。
【０００３】
しかしながら、ＮＯX 測定ラインには、ＮＯX コンバータが設けられているため、ＮＯX 測定ラインに設けられたＮＯX 分析部の応答遅れ時間Ｔd および立ち上がり応答時間Ｔ90は、ＮＯ測定ラインに設けられたＮＯ分析部のそれらに比べて遅くなり、ＮＯX 分析部の出力とＮＯ分析部の出力との間に、応答遅れ時間Ｔd の差に起因する応答速度差が生ずることとなり、ＮＯX 分析部およびＮＯ分析部によってそれぞれ得られた〔ＮＯX 〕、〔ＮＯ〕および〔ＣＯＭeffi〕を前記（１）式を用いて演算して、〔ＮＯ2 〕を求めた場合、図３（Ｂ）に示すように、指示が出ないはずの〔ＮＯ2 〕濃度が表れる。
【０００４】
そこで、上記二つの分析部の応答遅れ時間Ｔd の差に起因する応答速度差を補正するため、従来のＮＯ／ＮＯ2 分析装置においては、図５に示すように構成されていた。すなわち、図５において、１はサンプルガスラインで、例えばサンプルガスＳＧとしての排ガスが流れる。このサンプルガスライン１は、開閉弁２、三方電磁弁３、流量調整用のキャピラリ４をこの順に備えるとともに、キャピラリ４の下流側の点５において、二つのガスライン６，７（以下、第１ガスライン６、第２ガスライン７という）に分岐している。
【０００５】
なお、８は三方電磁弁３に接続される、校正ガスＣＧを導入するためのガスラインである。そして、９は三方電磁弁３とキャピラリ４との間の点１０に接続されるバイパスラインで、圧力調整器１１を備えるとともに、その下流側は適宜のガス処理部（図示していない）に接続されており、余分なサンプルガスＳＧを排出して、サンプルガスライン１におけるサンプルガスＳＧの圧力を一定に保持する。また、１２は前記接続点１０に接続される圧力ゲージである。さらに、１３はサンプルガスライン１のキャピラリ４と分岐点５との間の点１４と、バイパスライン９の圧力調整弁１１より下流側の点１５との間を接続するガスラインである。
【０００６】
前記第１ガスライン６は、ＮＯX 測定ラインともいうべきもので、この第１ガスライン６には、流量調整用のキャピラリ１６および三方電磁弁１７が設けられ、さらに、この三方電磁弁１７には、第１ガスライン６を流れるサンプルガスＳＧ中のＮＯ2 をＮＯに変換するＮＯX コンバータ１８を備えたガスライン１９と、開閉弁２０を備えたガスライン２１とが互いに並列になるように接続され、さらに、これらのガスライン２０，２１は、その下流側の点２２において合流し、その合流点２２の下流側に、第１ガスライン６を流れるサンプルガスＳＧ中に本来含まれているＮＯおよびＮＯX コンバータ１８によって変換されて生成したＮＯとを併せて分析する第１ガス分析部としてのＮＯX 分析部２３が設けられている。
【０００７】
前記第２ガスライン７は、ＮＯ測定ラインともいうべきもので、この第２ガスライン７には、流量調整用のキャピラリ２４およびＮＯX コンバータ１８とほぼ同容積のバッファタンク２５が設けられるとともに、バッファタンク２５の下流側に、第２ガスライン７を流れるサンプルガスＳＧ中のＮＯを分析する第２ガス分析部としてのＮＯ分析部２６が設けられている。
【０００８】
前記ＮＯX 分析部２３およびＮＯ分析部２６は、いずれも、例えば、化学発光分析計（ＣＬＤ）よりなり、ＮＯと反応させるためのオゾンガスが供給されるように構成されている。すなわち、２７は酸素ガス供給ラインで、二方電磁弁２８および圧力調整弁２９が設けられるとともに、この圧力調整弁２９の下流側の点３０において二つのオゾンガス供給ライン３１，３２に分岐し、それぞれのオゾンガス供給ライン３１，３２には、流量調整用のキャピラリ３３，３４および酸素ガスからオゾンガスを発生させるオゾンガス発生器３５，３６が設けられ、オゾンガス発生器３５，３６の下流側の流路がＮＯX 分析部２３およびＮＯ分析部２６にそれぞれ接続されている。
【０００９】
そして、前記第１ガスライン６および第２ガスライン７は、ＮＯX 分析部２３およびＮＯ分析部２６の下流側の点３７において合流し、この合流点３７より下流側のガスライン３８には、オゾンガス分解器３９および吸引ポンプ４０が設けられ、さらに、その下流側は前記ガス処理部に接続されている。
【００１０】
上記構成のＮＯ／ＮＯ2 分析装置においては、三方電磁弁３をオンにし、三方電磁弁１７をオフにするとともに、二方電磁弁２８をオンにし、さらに、オゾンガス発生器３５，３６吸引ポンプ４０をオンにすると、サンプルガスＳＧがサンプルガスライン１に導入されるとともに、オゾンガスがＮＯX 分析部２３およびＮＯ分析部２６にそれぞれ供給される。
【００１１】
前記サンプルガスライン１に導入されたサンプルガスＳＧは、分岐点５において分流し、第１ガスライン６および第２ガスライン７をそれぞれ流れる。
【００１２】
そして、第１ガスライン６を流れるサンプルガスＳＧは、三方電磁弁１７を経てガスライン１９に入り、ＮＯX コンバータ１８において、ＮＯ2 がＮＯに変換され、このＮＯは、第１ガスライン６を流れるサンプルガスＳＧに元々含まれていたＮＯとともにＮＯX 分析部２３に供給される。このＮＯX 分析部２３には、オゾンガス供給ライン３１によってオゾンガスが供給されているので、前記サンプルガスＳＧに含まれるＮＯがオゾンガスと化学発光反応し、そのときの発光量に基づいてＮＯ濃度に比例した信号が得られ、このＮＯX 分析部２３においては、第１ガスライン６を流れるサンプルガスＳＧ中に含まれるＮＯとＮＯ2 の濃度、すなわち、ＮＯX の濃度に比例した信号が得られる。
【００１３】
また、第２ガスライン７を流れるサンプルガスＳＧは、バッファタンク２５を経てＮＯ分析部２６に供給される。このＮＯX 分析部２６には、オゾンガス供給ライン３２によってオゾンガスが供給されているので、前記サンプルガスＳＧに含まれるＮＯがオゾンガスと化学発光反応し、そのときの発光量に基づいてＮＯ濃度に比例した信号が得られ、このＮＯX 分析部２６においては、第２ガスライン７を流れるサンプルガスＳＧ中に含まれるＮＯ濃度に比例した信号が得られる。
【００１４】
そして、上記構成のＮＯ／ＮＯ2 分析装置においては、第２ガスライン７に、第１ガスライン６におけるＮＯX コンバータ１８と同容量のバッファタンク２５を設けたことにより、第１測定ライン６のＮＯX 分析部２３と第２ガスライン７のＮＯ分析部２６とにおける応答速度差がなくなり、ＮＯX 分析部２３からのＮＯX 濃度信号およびＮＯ分析部２６からのＮＯ濃度信号は同時に出力され、これらの信号は、コンピュータなどの演算制御装置（図示していない）に同時に入力される。そして、前記両濃度信号を処理することにより、ＮＯX 濃度およびＮＯ濃度を得ることができ、さらに、これらのＮＯX 濃度およびＮＯ濃度とＮＯX コンバータ１８のコンバータ効率を前記（１）式に用いることにより、ＮＯ2 濃度が求められる。
【００１５】
なお、ＮＯX 分析部２３およびＮＯ分析部２６からそれぞれ排出されるガスは、ポンプ４０の作用によりオゾン分解器３９を通過し、このとき、残存するオゾンガスが分解されてガス処理部方向に排出される。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、従来のＮＯ／ＮＯ2 分析装置によれば、ＮＯX 濃度、ＮＯ濃度およびＮＯ2 濃度を各別に得ることができるが、上述の説明から理解されるように、第１ガスライン６にＮＯX コンバータ１８を設けたことに起因して生ずるＮＯX 分析部２３とＮＯ分析部２６とにおける応答速度差の補正を、第２ガスライン７に、ＮＯX コンバータ１８と同容量のバッファタンク２５を設けてその容積や断面積によって調整するといったハード的構成によって行っているため、微妙な調整が困難である。
【００１７】
すなわち、ＮＯX コンバータ１８は、ＮＯ2 をＮＯの変換する触媒よりなるものであるが、高温のサンプルガスＳＧに起因して燃焼し、経時的に減少し、そのため、ＮＯX コンバータ１８のコンバータ触媒が減少し、これによって応答速度が変化することがあるが、このように応答速度に変化が生じた場合、再度調整することができないのである。
【００１８】
上述のような問題は、ＮＯ／ＮＯ2 分析装置のみならず、メタン系炭化水素（以下、ＭＨＣという）および全炭化水素（以下、ＴＨＣという）の濃度を測定し、これらの濃度から非メタン系炭化水素（以下、ＮＭＨＣという）を測定するようにしたメタン／非メタン分析装置や、ＳＯ2 、ＳＯ3 およびＳＯX の濃度を測定するＳＯX 分析装置など他のガス分析装置においても同様に生じているところである。
【００１９】
この発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、二つの独立したガス分析部における応答遅れ時間の差に起因する応答速度差の補正を確実に行うことができるようにしたガス分析装置を提供することである。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明では、サンプルガスが流れるサンプルガスラインを、第１ガス分析部を備えた第１ガスラインと第２ガス分析部を備えた第２ガスラインとに分岐し、前記二つのガス分析部の出力の差をとって前記サンプルガス中の特定成分の濃度を得るようにしてあり、第２ガス分析部の応答遅れ時間に比べて第１ガス分析部の応答遅れ時間が遅いガス分析装置において、前記二つのガス分析部の出力を一定時間ごとにサンプリングし、二つのガス分析部の出力の差をとるに際して、一定時間ごとにサンプリングした二つのガス分析部の出力にそれぞれ移動平均処理を施すと共に、第１ガス分析部の出力に対して、二つのガス分析部の応答遅れ時間の差の分だけ前にサンプリングした第２ガス分析部の出力を用いて演算を行うようにしている（請求項１）。
ここで、前記第１ガスライン上にコンバータを備え、前記演算制御装置が前記特定成分の濃度を得る際に、コンバータ効率を用いて演算を行うようにしてもよく（請求項２）、前記演算制御装置が前記特定成分の濃度を得る際に、前記第１ガス分析部と前記第２ガス分析部の相対感度補正値を用いて演算を行うようにしてもよい（請求項３）。
【００２１】
例えば、ＮＯ、ＮＯ2 およびＮＯX を同時に測定するＮＯ／ＮＯ2 分析装置の場合、ＮＯX 分析部およびＮＯ分析部の出力をそれぞれ一定時間ごとにサンプリングし、ＮＯX およびＮＯのそれぞれの濃度〔ＮＯX 〕，〔ＮＯ〕を求めるとともに、これらの濃度〔ＮＯX 〕，〔ＮＯ〕を用いてＮＯ2 の濃度〔ＮＯ2 〕を求めるに際して、前記ＮＯX コンバータを設けたことに起因して生ずる前記二つのガス分析部における応答遅れ時間Ｔd の差を考慮にいれて演算を行うのである。
【００２２】
より具体的には、前記一定時間ごとにサンプリングして得られた〔ＮＯX 〕，〔ＮＯ〕およびてＮＯX コンバータのコンバータ効率〔ＣＯＭeffi〕を用いて、下記（１）式によって演算を行う。
〔ＮＯ2 〕＝（〔ＮＯX 〕−〔ＮＯ〕）／〔ＣＯＭeffi〕      ……（１）
このとき、演算に用いる〔ＮＯX 〕と〔ＮＯ〕を、二つの分析部の応答遅れ時間Ｔd の差だけずらすことにより、応答遅れ時間の差に起因する応答速度差を補正するのである。
【００２３】
そして、第１ガス分析部の出力および第２ガス分析部の出力のそれぞれに移動平均処理を施すようにしてあるので、二つのガス分析部における立ち上がり応答時間Ｔ90を補正することができ、立ち上がりのなまりを調整することができ、前記応答速度差の補正の効果をより一層高めることができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の詳細を、図を参照しながら説明する。図１および図２は、この発明の一つの実施の形態を示す。図１は、この発明のガス分析装置としてのＮＯ／ＮＯ2 分析装置の構成を概略的に示すもので、このＮＯ／ＮＯ2 分析装置が図５に示したものと大きく異なる点は、第２ガスライン７に設けられていたバッファタンク２５を除去し、キャピラリ２４を経たサンプルガスＳＧをＮＯ分析部２６に導入するように構成したことである。
【００２５】
前記図１のように構成されたＮＯ／ＮＯ2 分析装置においても、前記図５に示したＮＯ／ＮＯ2 分析装置と同様に、ＮＯX 分析部２３およびＮＯ分析部２６のそれぞれからＮＯX 濃度に比例した信号およびＮＯ濃度に比例した信号が得られる。しかし、図１のＮＯ／ＮＯ2 分析装置では、第２ガスライン７にバッファタンク２５が設けられていないので、ＮＯX 分析部２３の出力信号とＮＯ分析部２６の出力信号との間には、二つの分析部２３，２６における応答遅れ時間Ｔd の差に起因する時間差がある。
【００２６】
そこで、前記ＮＯ／ＮＯ2 分析装置においては、ＮＯX 分析部２３およびＮＯ分析部２６の出力を、図２に示すようにしてソフト処理し、ＮＯX 濃度〔ＮＯX 〕およびＮＯ濃度〔ＮＯ〕を求め、さらに、これらの濃度を用いてＮＯ2 濃度〔ＮＯ2 〕を求めるようにしている。以下、図２を参照しながら、前記各濃度を求める手順について詳細に説明する。
【００２７】
図２は、前記ＮＯ／ＮＯ2 分析装置に付設された演算制御装置としてのコンピュータにおける信号処理の手順の一例を示すものである。
【００２８】
前記ＮＯX 分析部２３およびＮＯ分析部２６からの出力４１，４２は、それぞれＡＤ変換された（ステップＳ１）後、０．１秒ごとに、前記コンピュータの演算部に取り込まれる（ステップＳ２）。
【００２９】
そして、前記ＮＯ／ＮＯX の出力に移動平均をかける（ステップＳ３）。この場合、ＮＯX 分析部用の移動平均入力４３およびＮＯ分析部用移動平均入力４４を、それぞれ、ＭＡNOX 値，ＭＡNO値として入力する。
【００３０】
前記移動平均処理したＮＯ／ＮＯX の出力を、ＮＯ濃度〔ＮＯ〕およびＮＯX 濃度〔ＮＯX 〕にそれぞれ変換する（ステップＳ４）。
【００３１】
前記ＮＯ濃度〔ＮＯ〕およびＮＯX 濃度〔ＮＯX 〕とＮＯX コンバータ１８のコンバータ効率〔ＣＯＭeffi〕４５を用いて、下記（１）式により、ＮＯ2 濃度〔ＮＯ2 〕を求める（ステップＳ５）。
〔ＮＯ2 〕＝（〔ＮＯX 〕−〔ＮＯ〕）／〔ＣＯＭeffi〕      ……（１）
この場合、二つの分析部２３，２６における応答遅れ時間Ｔd の差を補正するための値〔Ｔdif 〕４６も入力する。そして、前記ＮＯ濃度〔ＮＯ〕としては、前記応答遅れ時間Ｔd の差の分だけ前の値を用いる。なお、前記補正値〔Ｔdif 〕は、ソフトウェア上で任意に変更できるものとする。
【００３２】
前記演算を行うことにより、ＮＯX 濃度値４７およびＮＯ濃度値４８とともにＮＯ2 濃度値４９が得られる。
【００３３】
以上説明したように、この発明のＮＯ／ＮＯ2 分析装置においては、二つのガス分析部２３，２６の出力を一定時間ごとにサンプリングし、二つのガス分析部２３，２６の出力の差をとるに際して、第１ガスライン６における処理に起因して生ずる二つのガス分析部２３，２６における応答遅れ時間Ｔd の差を考慮にいれて演算を行うようにしているので、二つのガス分析部２３，２６における応答遅れ時間Ｔd の差に起因する応答速度差の補正を確実に行うことができる。また、一定時間ごとにサンプリングした二つのガス分析部２３，２６の出力に移動平均をかけるようにしているので、二つのガス分析部２３，２６における立ち上がり応答時間Ｔ90を補正することができる。
【００３４】
図３（Ａ）は、上述のように処理したときのＮＯ濃度〔ＮＯ〕、ＮＯX 濃度〔ＮＯX 〕およびＮＯ2 濃度〔ＮＯ2 〕の関係を示すもので、二つのガス分析部２３，２６における応答遅れ時間Ｔd の差に起因する応答速度差が補正されるとともに、二つのガス分析部２３，２６における立ち上がり応答時間Ｔ90が補正されているので、ＮＯ濃度を示す曲線とＮＯX 濃度を示す曲線とが一致し、ＮＯ2 濃度の指示の振れ幅が最小限に抑制できたことがわかる。
【００３５】
そして、上記ＮＯ／ＮＯ2 分析装置においては、サンプルガスＳＧの測定によって、ＮＯX コンバータ１８における触媒が減少し、二つのガス分析部２３，２６における応答遅れ時間Ｔd の差が変化しても、前記補正値〔Ｔdif 〕をソフトウェア上で任意に変更できるので、所望の補正を容易に行うことができる。
【００３６】
図４は、この発明の他の実施の形態を示すもので、ガス分析装置としてのメタン／非メタン分析装置の構成を概略的に示している。この図４において、５１はサンプルガスラインで、サンプルガスＳＧとしての排ガスが流れる。このサンプルガスライン５１は、開閉弁５２を備えるとともに、この開閉弁５２の下流側の点５３において、二つのガスライン５４，５５（以下、第１ガスライン５４、第２ガスライン５５という）に分岐している。５６，５７は校正ガスとしてのＴＨＣ、メタンガスを第１ガスライン５４および／または第２ガスライン５５に導入するための校正ガス導入ラインで、５８，５９は接続点である。
【００３７】
前記第１ガスライン５４は、ＭＨＣ測定ラインともいうべきもので、この第１ガスライン５４には、流量調整用のキャピラリ６０，６１および三方電磁弁６２が設けられ、さらに、この三方電磁弁６２には、第１ガスライン５４を流れるサンプルガスＳＧ中のＮＭＨＣのみを例えば燃焼して除去するノンメタンカッター６３を備えたガスライン６４と、開閉弁６５を備えたガスライン６６とが互いに並列になるように接続され、さらに、これらのガスライン６４，６５は、その下流側の点６７において合流し、その合流点６７の下流側に、第１ガスライン５４を流れるサンプルガスＳＧ中に含まれているＭＨＣを分析する第１ガス分析部としてのＭＨＣ分析部６８が設けられている。
【００３８】
前記第２ガスライン５５は、ＴＨＣ測定ラインともいうべきもので、この第２ガスライン５５には、流量調整用のキャピラリ６９，７０および第２ガスライン５５を流れるサンプルガスＳＧ中のＴＨＣを分析する第２ガス分析部としてのＴＨＣ分析部７２が設けられている。
【００３９】
前記ＭＨＣ分析部６８およびＴＨＣ分析部７２は、いずれも、例えば、水素炎イオン化検出器（ＦＩＤ）よりなり、これらのＭＨＣ分析部６８およびＴＨＣ分析部７２には、燃料としての水素ガスと助燃ガスとしての空気が供給されるように構成されている。すなわち、７３は水素ガス導入ラインで、二方電磁弁７４および圧力調整弁７５が設けられるとともに、この圧力調整弁７５の下流側の点７６において二つの水素ガス供給ライン７７，７８に分岐し、それぞれの水素ガス供給ライン７７，７８には、流量調整用のキャピラリ７９，８０が設けられ、その下流側がＭＨＣ分析部６８およびＴＨＣ分析部７２にそれぞれ接続されている。また、８１は空気導入ラインで、二方電磁弁８２および圧力調整弁８３が設けられるとともに、この圧力調整弁８３の下流側の点８４において二つの空気供給ライン８５，８６に分岐し、それぞれの空気供給ライン８５，８６には、流量調整用のキャピラリ８７，８８が設けられ、その下流側がＭＨＣ分析部６８およびＴＨＣ分析部７２にそれぞれ接続されている。
【００４０】
なお、ＭＨＣ分析部６８およびＴＨＣ分析部７２の下流側は、適宜のガス処理部（図示していない）に接続されている。
【００４１】
また、９１はバイパスラインで、圧力調整器９２を備えるとともに、その上流側は、第１ガスライン５４のキャピラリ６０、６１の間の点９３および第２ガスライン５５のキャピラリ６９、７０の間の点９４に接続され、下流側は前記ガス処理部に接続されており、余分なサンプルガスＳＧを排出して、サンプルガスライン１におけるサンプルガスＳＧの圧力を一定に保持する。
【００４２】
上記構成のメタン／非メタン分析装置においては、開閉弁５２を開き、三方電磁弁６２をオフにするとともに、二方電磁弁７４，８２をオンにすると、サンプルガスＳＧがサンプルガスライン５１を経て、第１ガスライン５４と第２ガスライン５５とに分流するとともに、水素ガスおよび空気がＭＨＣ分析部６８およびＴＨＣ分析部７２にそれぞれ供給される。
【００４３】
前記第１ガスライン５４を流れるサンプルガスＳＧは、キャピラリ６０，６１および三方電磁弁６２を経てガスライン６４に入り、ノンメタンカッター６３を通過する際、ＮＭＨＣのみが除去され、この除去処理を受けたサンプルガスＳＧがＭＨＣ分析部６８に供給される。このＭＨＣ分析部６８には、水素ガス供給ライン７７、空気供給ライン８５によって水素ガスおよび空気が供給されているので、前記サンプルガスＳＧに含まれるＭＨＣが燃焼し、そのときに生ずる電荷に基づいてＭＨＣ濃度に比例した信号が得られる。
【００４４】
また、第２ガスライン７を流れるサンプルガスＳＧは、キャピラリ６９，７０を経てＴＨＣ分析部７２に供給される。このＴＨＣ分析部７２には、水素ガス供給ライン７８、空気供給ライン８６によって水素ガスおよび空気が供給されているので、前記サンプルガスＳＧに含まれるＴＨＣが燃焼し、そのときに生ずる電荷に基づいてＴＨＣ濃度に比例した信号が得られる。
【００４５】
上述のように、上記構成のメタン／非メタン分析装置においては、ＭＨＣ分析部６８およびＴＨＣ分析部７２のそれぞれからＭＨＣ濃度に比例した信号およびＴＨＣ濃度に比例した信号が得られるが、このメタン／非メタン分析装置においても、図１のＮＯ／ＮＯ2 分析装置と同様に、第２ガスライン５５にバッファタンクが設けられていないので、ＭＨＣ分析部６８の出力信号とＴＨＣ分析部７２の出力信号との間には、二つの分析部６８，７２における応答遅れ時間Ｔd の差に起因する時間差があるが、この場合も、前記図１のＮＯ／ＮＯ2 分析装置の場合と同様に、ソフト処理することにより、二つのガス分析部６８，７２における応答遅れ時間Ｔd の差に起因する応答速度差の補正を確実に行うことができ、精度のよいＭＨＣ濃度〔ＭＨＣ〕、ＴＨＣ濃度〔ＴＨＣ〕、ＮＭＨＣ濃度〔ＮＭＨＣ〕を得ることができる。
【００４６】
この場合におけるソフト処理は、図２に示したものと同様であるので、その詳細な説明は省略するが、この場合、ＮＭＨＣ濃度は、下記（２）式によって求められる。
〔ＮＭＨＣ〕＝〔ＴＨＣ〕−〔ＭＨＣ〕×α                  ……（２）
α：ＴＨＣ分析部７２のＭＨＣ相対感度補正値
【００４７】
前記（２）式によって演算を行う場合、ＴＨＣ濃度〔ＴＨＣ〕としては、前記応答遅れ時間Ｔd の差の分だけ前の値を用いる。
【００４８】
この発明は、前記各実施の形態に限られるものではなく、例えばＣＬＤまたはＮＤＩＲを用いたＳＯX 分析装置など他のガス分析装置にも同様に適用することができる。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明のガス分析装置においては、二つの独立したガス分析部における応答遅れ時間の差や立ち上がり応答時間の差をソフトウェアによって補正しているので、前記ガス分析部における応答速度差を簡単に補正することができる。また、サンプルガスの測定によって、サンプルガス中の特定成分に対して処理を行うための触媒などが減少し、前記二つの独立したガス分析部の応答遅れ時間の差が変化したときも、前記ソフトウェア上に応答遅れ時間の差を補正するための補正値を入力するだけで簡単に補正することができる。
【００５０】
そして、上記ガス分析装置においてが、バッファタンクを設ける必要がなく、それだけハード構成が簡単になるとともに、調整作業なども不要であるから、連続測定が可能になるといった優れた効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明のガス分析装置の一例を概略的に示す図である。
【図２】前記ガス分析装置における信号処理手順の一例を示す図である。
【図３】（Ａ）は前記ガス分析装置における信号の状態を示す図、（Ｂ）は従来のガス分析装置における信号の状態を示す図である。
【図４】この発明のガス分析装置の他の例を概略的に示す図である。
【図５】従来のガス分析装置を概略的に示す図である。
【符号の説明】
１…サンプルガスライン、６…第１ガスライン、７…第２ガスライン、２３…第１ガス分析部、２６…第２ガス分析部、５１…サンプルガスライン、５４…第１ガスライン、５５…第２ガスライン、６８…第１ガス分析部、７２…第２ガス分析部、ＳＧ…サンプルガス。
【図１】
0004572043.tif 000002
【図２】
0004572043.tif 000003
【図３】
0004572043.tif 000004
【図４】
0004572043.tif 000005
【図５】
0004572043.tif 000006