(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハを載せて保持するウェハ保持面（８ｂ）と該ウェハ保持面に一端が開口したウェハ吸引孔（８Ｃ）とを有するウェハ保持具（８）と、軸線を垂直方向に向けて配置される筐体（１）に支持されていて前記ウェハ保持具（８）を前記筐体の上方でウェハの搬送方向に移動させる搬送機構（１０）とを備え、前記ウェハ吸引孔は、該ウェハ吸引孔の他端に一端が接続された可撓管（１１）と前記筐体内を通して配管された筐体側配管（１２）とを有する吸引用管路を通して真空吸引手段に接続されるウェハ搬送用ロボットにおいて、
前記筐体（１）の外側に分解可能なエアクリーナ（２０）が配置されて、該エアクリーナが前記筐体に対して支持され、
前記可撓管（１１）の他端が前記エアクリーナを通して前記筐体側配管（１２）の一端に接続されているウェハ搬送用ロボット。
【請求項２】
前記エアクリーナ（２０）は、外部に開口したエア流入口（２１）及びエア流出口（２２）をそれぞれ一端側及び他端側に有し、前記エア流入口側からエア流出口側につづら折り状に折れ曲った状態で伸びるエア流路（２３）を内部に有するチャンバー（２４）と、実質的にエアのみを通過させるように形成されて前記エア流路の前記エア流出口側に配置されたフィルタ（２５）とを備え、前記可撓管（１１）の他端及び前記筐体側配管（１２）の一端がそれぞれ前記エアクリーナのエア流入口（２１）及びエア流出口（２２）に接続されている請求項１に記載のウェハ搬送用ロボット。
【請求項３】
前記エアクリーナのチャンバー（２４）は、互いに整合する合せ面を有する第１のチャンバー構成部材（３１）と第２のチャンバー構成部材（３２）とに２分割し得るように構成されていて、前記第１のチャンバー構成部材と第２のチャンバー構成部材の合せ面がシール部材を介して気密に接続されている請求項２に記載のウェハ搬送用ロボット。
【請求項４】
前記第１のチャンバー構成部材（３１）の一端側の部分の内側に、前記エア流路（２３）の一部を構成する第１の空所（３１Ａ）が前記合せ面側に開口した状態で設けられて、該第１の空所（３１Ａ）が第１の仕切壁（３１ｂ）によりエアの流れ方向に並ぶ複数の領域に仕切られ、
前記第１のチャンバー構成部材（３１）の他端側の部分に、前記第２のチャンバー構成部材（３２）側に突出した凸部（３１Ｂ）が設けられて、該凸部内に前記第２のチャンバ構成部材側に一端が開口した中空部（３１B1）が設けられ、
前記第２のチャンバー構成部材の一端側の部分の内側に、前記第１の空所（３１Ａ）とともに前記エア流路（２３）を構成する第２の空所（３２Ａ）が前記合せ面側に開口した状態で設けられて、前記第１の仕切壁（３１ｂ）に対してエアの流れ方向の下流側に位置をずらした状態で設けられた第２の仕切壁（３２ｂ）により、前記第２の空所（３２Ａ）がエアの流れ方向に並ぶ複数の領域に仕切られ、
前記第１のチャンバー構成部材（３１）に設けられた第１の空所（３１Ａ）の複数の領域と、前記第２のチャンバー構成部材（３２）に設けられた第２の空所（３２Ａ）の複数の領域とにより前記つづら折り状に折れ曲った状態で伸びるエア流路（２３）が構成され、
前記第２のチャンバー構成部材（３２）の他端側の部分に、凸部嵌合穴（３２Ｂ）が形成されて、該凸部嵌合穴内に前記第１のチャンバー構成部材の前記凸部（３１Ｂ）が嵌合され、
前記第１のチャンバ構成部材（３１）の他端側の部分にはまた、前記凸部（３１Ｂ）内に設けられた中空部（３１B1）の他端に一端（３１C1）が連通し、他端（３１C2）が前記第１の空所（３１Ａ）に隣接する位置で前記合せ面側に開口して前記エア流路（２３）のエア流れ方向の下流側の端部に連通したエア流通孔（３１Ｃ）が設けられ、
前記エア流入口（２１）は、前記第１のチャンバー構成部材の一端側の壁部の前記第１の仕切壁（３１ｂ）に対向する部分を貫通した状態で設けられ、
前記エア流出口（２２）は、前記第２のチャンバー構成部材（３２）の他端寄りの下部に、前記第１のチャンバ構成部材の凸部の中空部（３１B1）の下方に位置させた状態で設けられて、前記中空部（３１B1）の前記一端に連通させられ、
前記フィルタ（２５）は、前記第１のチャンバー構成部材（３１）の凸部（３１Ｂ）と前記第２のチャンバー構成部材（３２）の前記凸部嵌合穴（３２Ｂ）の底部との間に挟み込まれた状態で保持され、
前記エア流路（２３）の下流側の端部が前記第１のチャンバー構成部材（３１）に設けられた前記エア流通孔（３１Ｃ）と前記凸部内の前記中空部（３１B1）とを通して前記第２のチャンバー構成部材（３１）に設けられたエア流出口（２２）に接続されている請求項３に記載のウェハ搬送用ロボット。
【請求項５】
前記ウェハ保持具の変位に伴って変位する前記可撓管（１１）を前記搬送機構（１０）と干渉させないようにガイドする可撓管ガイド（３８）が前記筐体（１）の上部に支持されている請求項１ないし４のいずれか１つに記載のウェハ搬送用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、塵埃が存在する雰囲気中で使用するのに適したウェハ搬送用ロボットに関し、特に、半導体ウェハを研磨する工程においてウェハをアンロードする際に用いるのに好適なウェハ搬送用ロボットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置を製造する際に行われる各工程において、半導体ウェハを加工装置にロードしたり、加工装置からアンロードしたりするために、ウェハ搬送用ロボットが用いられている。
【０００３】
半導体ウェハを搬送するために用いるロボットは、ウェハ保持具を有する搬送機構を備えていて、ウェハ保持具に設けられたウェハ保持面上にウェハを載せた状態で搬送するように構成されている。
【０００４】
この種のロボットにおいては、真空吸引手段に接続されるウェハ吸引孔をウェハ保持具に設けて、該ウェハ吸引口を通してウェハに吸引力を作用させることにより、搬送中のウェハがウェハ保持具から脱落するのを防止している。
【０００５】
ウェハ吸引孔は、ウェハ保持部の変位に伴って変形して該ウェハ保持部の変位を許容する可撓管と、ロボットの機構部等を収容する筐体（フレームを兼ねるケース）内に設けられた配管とを通して真空ポンプなどの真空吸引手段に接続される。
【０００６】
また水が使用される工程では、防滴仕様のウェハ搬送用ロボットが用いられている。例えば、半導体ウェハを研磨する工程においては、ウェハをロボットにより搬送して研磨装置にロードした後研磨を行い、研磨が終了したウェハを純水により洗浄する。洗浄が終了した後、ウェハをウェハ搬送ロボットにより研磨装置からアンロードするが、この際にロボットに水がかかるおそれがある。
【０００７】
そのため、半導体ウェハの研磨工程でウェハをアンロードする際に用いられるロボットには筐体を覆うカバーを設ける等の防滴対策が講じられ、ロボットに多少の水がかかっても支障がないようにしている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ウェハの研磨工程で用いるロボットのように、塵埃と水とが存在する環境下で使用されるウェハ搬送用ロボットでは、ウェハを真空吸着する際に、塵埃（ウェハの研磨屑や研磨粉など）を含んだ水がウェハ吸引孔を通して吸い込まれることがある。ウェハ吸引孔から塵埃を含んだ水が吸い込まれると、ロボットの筐体内に設けられた配管の内部に塵埃が蓄積されて固まるため、やがて配管が詰まってウェハを真空吸着する機能が失われてしまう。
【０００９】
従って、この種のウェハ搬送用ロボットでは、比較的頻繁に保守点検を行って、筐体内の配管の清掃を行う必要があるが、従来のこの種のロボットでは、清掃を行う際にロボットを分解して配管を取り外す必要があったため、その作業がはなはだ面倒であった。
【００１０】
本発明の目的は、ロボットの筐体内の配管に塵埃を含んだ水が侵入することがないようにしたウェハ搬送用ロボットを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ウェハを載せて保持するウェハ保持面と該ウェハ保持面に一端が開口したウェハ吸引孔とを有するウェハ保持具と、軸線を垂直方向に向けて配置される筐体に支持されていてウェハ保持具を筐体の上方でウェハの搬送方向に移動させる搬送機構とを備えたウェハ搬送用ロボットを対象とする。この種のロボットでは、ウェハ保持具に設けられたウェハ吸引孔の他端に一端が接続された可撓管と筐体内を通して配管された筐体側配管とを有する吸引用管路を通してウェハ吸引孔が真空吸引手段に接続される。
【００１２】
本発明においては、搬送機構を支持する筐体の外側に分解可能なエアクリーナを配置して、該エアクリーナを筐体に対して支持し、可撓管の他端をエアクリーナを通して筐体側配管の一端に接続する。真空吸引手段は、筐体側配管の他端に、適当な外部の配管を通して接続する。
【００１３】
上記のように可撓管と筐体側配管との間にエアクリーナを設けておくと、ウェハ吸引孔から吸い込まれた塵埃をエアクリーナにより除去して、該塵埃が筐体側配管に流入するのを防ぐことができる。従って、筐体側配管の清掃はほとんど行う必要がなくなる。
【００１４】
またエアクリーナは分解可能に構成されて、筐体の外側に配置されるため、該エアクリーナの清掃は容易に行うことができる。
【００１５】
上記エアクリーナとしては、外部に開口したエア流入口及びエア流出口をそれぞれ一端側及び他端側に有し、エア流入口側からエア流出口側につづら折り状に折れ曲った状態で伸びるエア流路を内部に有するチャンバーと、実質的にエアのみを通過させるように形成されてエア流路のエア流出口側に配置されたフィルタとを備えたものを用いるのが好ましい。
【００１６】
この場合、可撓管の他端をエアクリーナのエア流入口に接続し、筐体側配管の一端をエアクリーナのエア流出口に接続する。
【００１７】
このようにエアクリーナを構成すると、エア流入口からクリーナ内に流入したエアは折れ曲ったエア流路の内面に衝突しながら流れるため、エアがエア流路を流れる過程でエアに含まれる塵埃のほとんどが下方に落下させられて除去される。エア流路を通過する過程で除去されなかった塵埃は、エア流出口側に設けられたフィルタにより除去される。
【００１８】
上記エアクリーナを容易に分解し得るようにするため、上記チャンバーは、互いに整合する合せ面を有する第１のチャンバー構成部材と第２のチャンバー構成部材とに２分割し得るように構成して、該第１のチャンバー構成部材と第２のチャンバー構成部材の合せ面をシール部材を介して気密に接続する構造にするのが好ましい。
【００１９】
本発明の好ましい実施形態では、エアクリーナのチャンバーを上記のように第１のチャンバー構成部材と第２のチャンバー構成部材とに分割した上で、各部が下記のように構成される。
【００２０】
即ち、上記第１のチャンバー構成部材の一端側の部分の内側には、前記エア流路の一部を構成する第１の空所が、該第１のチャンバー構成部材の合せ面側に開口した状態で設けられて、第１の空所が第１の仕切壁によりエアの流れ方向に並ぶ複数の領域に仕切られる。
【００２１】
また第１のチャンバー構成部材の他端側の部分には、第２のチャンバー構成部材側に突出した凸部が設けられて、該凸部内に第２のチャンバ構成部材側に一端が開口した中空部が設けられる。
【００２２】
第２のチャンバー構成部材の一端側の部分の内側に、第１の空所とともにエア流路を構成する第２の空所が合せ面側に開口した状態で設けられて、第１の仕切壁に対してエアの流れ方向の下流側に位置をずらした状態で設けられた第２の仕切壁により、第２の空所がエアの流れ方向に並ぶ複数の領域に仕切られる。そして第１のチャンバー構成部材の合せ面と第２のチャンバー構成部材の合せ面とを合わせて両チャンバー構成部材を接続した状態で、第１のチャンバー構成部材に設けられた第１の空所の複数の領域と、第２のチャンバー構成部材に設けられた第２の空所の複数の領域とによりつづら折り状に折れ曲った状態で伸びるエア流路が構成される。
【００２３】
また第２のチャンバー構成部材の他端側の部分に、凸部嵌合穴が形成され、該凸部嵌合穴内に第１のチャンバー構成部材の凸部が嵌合される。第１のチャンバ構成部材の他端側の部分にはまた、前記凸部内に設けられた中空部の他端に一端が連通し、他端が前記第１の空所に隣接する位置で前記合せ面側に開口して前記エア流路のエア流れ方向の下流側の端部に連通したエア流通孔が設けられている。
【００２４】
エア流入口は、第１のチャンバー構成部材の一端側の壁部の第１の仕切壁に対向する部分を貫通した状態で設けられ、エア流出口は、第２のチャンバー構成部材の他端寄りの下部に、第１のチャンバ構成部材の凸部の中空部（３１B1）の下方に位置させた状態で設けられて、中空部（３１B1）の一端に連通させられる。
【００２５】
フィルタは、第１のチャンバー構成部材の凸部と第２のチャンバー構成部材の凸部嵌合穴の底部との間に挟み込まれた状態で保持される。
【００２６】
そして、前記エア流路の下流側の端部が第１のチャンバー構成部材に設けられたエア流通孔と第１のチャンバー構成部材の凸部内の中空部とを通して第２のチャンバー構成部材に設けられたエア流出口に接続される。
【００２７】
本発明に係わるロボットでは、ウェハ保持具の変位を妨げないようにするために、ウェハ保持具のウェハ吸引孔とエアクリーナとの間を接続する管として可撓管を用いて、この可撓管をウェハ保持具の変位に伴って変形させることにより、ウェハ保持具の変位を許容するようにしている。この場合可撓管を自由に変形させるようにしておくと、該可撓管が搬送機構と干渉して搬送機構の動きを妨げたり、可撓管が損傷したりするおそれがある。このような問題が生じるのを防ぐためには、ウェハ保持具の変位に伴って変位する可撓管を搬送機構と干渉させないようにガイドする可撓管ガイドを筐体の上部に取り付けておくのが好ましい。
【００２８】
【発明の実施の形態】
図１ないし図８は、本発明に係わるウェハ搬送用ロボットの構成例を示したもので、図１は駆動軸を支持した旋回部材が下降した状態を示した正面図、図２は図１の上面図、図３は旋回部材が上昇させられた状態を示した正面図、図４（Ａ）ないし（Ｃ）はそれぞれ同ロボットの動作の異なる過程を示した上面図である。また図５は図１のウェハ搬送用ロボットの要部の拡大図、図６（Ａ）は図１のウェハ搬送用ロボットの要部の拡大断面図、図６（Ｂ）は同図（Ａ）の要部の上面図である。更に図７はエアクリーナと筐体との接続構造の一例を示した要部の上面図、図８はエアクリーナと筐体との他の接続構造を示した要部の上面図である。
【００２９】
図１ないし図４において、１はシリンダ状に形成されてその軸線を垂直方向に向けた状態で配置された筐体（フレームを兼ねるケーシング）である。筐体１内には旋回部材２がその軸線を垂直方向に向けた状態で回転自在かつ上下動可能に支持されていて、該旋回部材２の軸心部に、該旋回部材と軸線を共有する第１の駆動軸３が回転自在に支持されている。筐体１内には、旋回部材２を回転させる旋回部材駆動機構と、該旋回部材２を第１の駆動軸３とともに上下動させる旋回軸上下動機構と、第１の駆動軸３を回転させる駆動軸回転駆動機構とが収納されている。
【００３０】
第１の駆動軸３の上端には、中空の第１のアーム４の後端部が固定され、駆動軸３の回転に伴って第１のアーム４が回動させられるようになっている。第１のアーム４の先端部には第２の駆動軸５が回転自在に支持され、該第２の駆動軸５に中空の第２のアーム６の後端部が固定されている。また第２のアーム６の先端部に第３の駆動軸７が回転自在に支持され、該第３の駆動軸７にウェハ保持具８の後端部が固定されている。
【００３１】
第１のアーム４内には、第１の駆動軸３の回転を第２の駆動軸５に伝達して該第２の駆動軸５を第１の駆動軸３と反対方向に回転させる第１の回転運動伝達機構が収納され、第１の駆動軸３が一方向に回転駆動されて第１のアーム４が一方向に回動させられた時に、第２のアーム６が第１のアーム４と反対方向に回動させられるようになっている。
【００３２】
また第２のアーム６内には、第２の駆動軸５の回転を第３の駆動軸７に伝達して該第３の駆動軸７を第２の駆動軸５と反対方向に回転させる第２の回転運動伝達機構が収納され、第２の駆動軸５が一方向に回転駆動されて第２のアーム６が一方向に回動させられた時に、ウェハ保持具８が第２のアーム６と反対方向に回動させられるようになっている。
【００３３】
したがって、図示のウェハ搬送用ロボットにおいては、例えば図４（Ａ）に示すように、第１のアーム４と第２のアーム６とウェハ保持具８とが一直線状に整列した状態から、図４（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように第１のアーム４が反時計方向に回動させられると、第２のアーム６が第１のアーム４に対して時計方向に回動させられ、ウェハ保持具８が第２のアーム６に対して反時計方向に回動させられて、ウェハ保持具８が旋回部材２の径方向に直線的に移動させられる。旋回部材２を旋回させて、その向きを変えることにより、ウェハ保持具８の移動方向を適宜に変更することができる。また第１の駆動軸３を支持した旋回部材２を駆動軸３とともに上下動させることにより、ウェハ保持具８を上下に変位させることができる。
【００３４】
上記旋回部材２と、該旋回部材２を回転させる旋回部材駆動機構と、第１の駆動軸３と、旋回部材２を第１の駆動軸３とともに上下動させる旋回軸上下動機構と、第１の駆動軸３を回転駆動する駆動軸回転駆動機構と、第１のアーム４と、第２の駆動軸５と、第１のアーム内に配置された第１の回転運動伝達機構と、第２のアーム６と、第３の駆動軸７と、第２のアーム内に配置された第２の回転運動伝達機構とにより、ウェハ保持具８を筐体１の上方でウェハの搬送方向に移動させる搬送機構１０が構成されている。
【００３５】
ウェハ保持具８は、図２に示したように、第３の駆動軸７に固定された後端部８Ａと、フォーク状に形成された先端部８Ｂとを有する板状の部材で、先端部８Ｂの上面が、半導体ウェハＳを載せて保持するウェハ保持面８ｂとなっている。ウェハ保持具８には、ウェハ保持面８ｂに一端が開口したウェハ吸引孔８Ｃが設けられ、該ウェハ吸引孔８Ｃの他端に可撓管１１の一端が接続されている。ウェハ吸引孔８Ｃは、可撓管１１と、筐体１内に設けられた筐体側配管１２とからなる吸引用管路を通して真空ポンプなどからなる真空吸引手段（図示せず。）に接続され、ウェハ保持具８のウェハ保持面８ｂ上に載せられた半導体ウェハは、このウェハ吸引孔を通して作用する吸引力により吸着されてウェハ保持具８から脱落しないように保持される。
【００３６】
筐体側配管１２は、筐体１内を上下に伸びるように設けられていて、該配管１２の一端（図示の例では上端）は筐体１の上端から突出した旋回部材２の上部側面に開口させられている。また筐体内配管１２の他端（下端）は、筐体１の下部側面に取り付けられた制御箱１３内に導入されて、該制御箱１３に取り付けられた管継手１４に接続されている。旋回部材２の回転と上下動とを可能にするため、筐体側配管１２としては可撓性を有し、長さに余裕を持たせたものが用いられている。
【００３７】
ロボットに防滴性を持たせる（筐体内に水が侵入するのを防ぐ）ため、旋回部材２の上端に、カップを伏せた形状の防滴カバー１５が取り付けられ、この防滴カバー１５により筐体１の上部が覆われている。
【００３８】
図５に示したように、本発明においては、筐体１の上方にエアクリーナ２０が配置されている。エアクリーナ２０は、搬送機構１０と干渉しない位置に配置されて、防滴カバー１５の上に固定され、ウェハ保持具８のウェハ吸引孔８Ｃが、可撓管１１とエアクリーナ２０とを通して筐体内配管１２の一端に接続されている。
【００３９】
エアクリーナ２０は、図６に示すように、外部に開口したエア流入口２１及びエア流出口２２をそれぞれ一端側及び他端側に有し、エア流入口２１側からエア流出口２２側につづら折り状に折れ曲った状態で伸びるエア流路２３を内部に有するチャンバー２４と、実質的にエアのみを通過させるように形成されてエア流出口２２の手前に配置されたフィルタ２５とを備えている。
【００４０】
エアクリーナの分解を容易にするため、チャンバー２４は、互いに整合する合せ面３１ａ，３２ａを有する第１のチャンバー構成部材３１と第２のチャンバー構成部材３２とに２分割し得るように構成されていて、第１のチャンバー構成部材３１の合わせ面３１ａと第２のチャンバー構成部材３２の合せ面３２ａとがシール部材であるＯリング３３を介して当接され、両チャンバー構成部材３１及び３２がボルト３４により締結されて、両者の合わせ面が気密に接続されている。
【００４１】
なお、図６では、第１のチャンバー構成部材３１の合わせ面３１ａと第２のチャンバー構成部材３２の合わせ面３２ａとを気密に接続するために、シール部材としてＯリングを使用したが、シール部材はＯリングに限定されるものではなく、例えば、Ｕパッキン、Ｖパッキン、Ｗパッキンでもよい。要するに、シール部材は、第１のチャンバー構成部材３１の合わせ面３１ａと第２のチャンバー構成部材３２の合わせ面３２ａとを気密に接続できるものであればよい。
【００４２】
更に詳細に説明すると、第１のチャンバー構成部材３１及び第２のチャンバー構成部材３２はほぼ直方体状を呈するブロックからなっていて、第１のチャンバー構成部材３１の長手方向の一端側のほぼ半部の内側には、エア流路２３の一部を構成する第１の空所３１Ａが合せ面３１ａ側に開口した状態で設けられ、該第１の空所３１Ａが第１の仕切壁３１ｂによりエアの流れ方向に並ぶ複数の領域  （図示の例では２つの領域）３１A1及び３１A2に仕切られている。
【００４３】
第１のチャンバー構成部材３１の長手方向の他端側のほぼ半部には、第２のチャンバー構成部材３２側に突出した中空の凸部３１Ｂが設けられ、該凸部３１Ｂの中空部３１B1の一端が第２のチャンバー構成部材３２側に開口させられている。第１のチャンバー構成部材３１の他端側のほぼ半部にはまた、凸部３１Ｂの中空部３１B1の他端に一端３１C1が連通し他端３１C2が第１の空所３１Ａのエア流れ方向の下流側の最端部の領域３１A2に隣接する位置で合せ面３１ａ側に開口したエア流通孔３１Ｃが設けられている。
【００４４】
第２のチャンバー構成部材３２の長手方向の一端側のほぼ半部には、第１の空所３１Ａとともにエア流路２３を構成する第２の空所３２Ａが合せ面３２ａ側に開口した状態で設けられて、第１の仕切壁３１ｂに対してエアの流れ方向の下流側に位置をずらした状態で設けられた第２の仕切壁３２ｂにより、第２の空所３２Ａがエアの流れ方向に並ぶ複数の領域３２A1及び３２A2に仕切られている。
【００４５】
第２のチャンバー構成部材３２の長手方向の他端側のほぼ半部には、第１のチャンバー構成部材３１の凸部３１Ｂを嵌合させる凸部嵌合穴３２Ｂが形成され、凸部３１Ｂと凸部嵌合穴３２Ｂの底部との間にフィルタ２５が挟み込まれた状態で保持されている。
【００４６】
エア流入口２１は、第１のチャンバー構成部材３１の一端側の壁部の第１の仕切壁３１ｂに対向する部分を貫通した状態で（第１の仕切壁３１ｂに対向する状態で）設けられ、エア流入口２１からチャンバー内に流入したエアが仕切壁３１ｂに衝突するようになっている。
【００４７】
またエア流出口２２は、第２のチャンバー構成部材３２の他端寄りの下部に設けられて、フィルタ２５を通して第１のチャンバー構成部材３１の凸部３１Ｂの中空部３１B1の一端に連通させられている。
【００４８】
第１のチャンバー構成部材３１に設けられた第１の空所３１Ａの複数の領域３１A1，３１A2と、第２のチャンバー構成部材３２に設けられた第２の空所３２Ａの複数の領域３２A1，３２A2とによりつづら折り状に折れ曲ったエア流路２３が構成され、このエア流路２３の下流側の端部が第１のチャンバー構成部材３１に設けられたエア流通孔３１Ｃと凸部３１Ｂの中空部３１B1とを通して第２のチャンバー構成部材に設けられたエア流出口２２に接続されている。
【００４９】
エアクリーナ２０のエア流入口２１には、ウェハ保持具８のウェハ吸引孔８Ｃに一端が接続された可撓管１１の他端が管継手３５を介して接続され、エア流出口２２は、カバー１５を貫通して該エア流出口２２内に挿入された継手３６を通して、カバー１５の下面に添わせた接続管３７の一端に接続されている。接続管３７は断面が矩形状を呈する角形の管からなっていて、該接続管３７の他端は、カバー１５の内側で旋回部材２の上端付近の側面に開口した筐体側配管１２の一端に接続されている。
【００５０】
図示の例では、図７に示すように、旋回部材２の上端部寄りの側面にＶ字形の切欠き２Ａが形成され、該切欠き２Ａ内に筐体側配管１２の一端が開口させられている。接続管３７はエアクリーナ２０の長手方向（エアの流れ方向）に対して傾斜した状態で配置されてその他端が切欠き２Ａに嵌合され、接続管３７の他端側の開口部が適宜の継手を介して筐体側配管１２の一端に接続されている。
【００５１】
なお図７に示した例では、接続管３７をエアクリーナの長手方向に対して傾斜した状態で設けているが、接続管３７の設け方はこの例に限られるものではなく、例えば図８に示すように、接続管３７をエアクリーナの長手方向に対して直角な方向に向けた状態で、筐体側配管１２の一端に接続するようにしてもよい。
【００５２】
図示のロボットにおいて、可撓管１１は、ウェハ保持具８の変位に伴って変形する。この場合、可撓管１１の自由な変形を許容すると、可撓管１１がアーム４または５と干渉して、損傷するおそれがある。そこで、図示の例では、ウェハ保持具８の変位方向と平行に伸びるチャンネル形の部材からなる可撓管ガイド３８をカバー１５に取り付けて、可撓管１１の一部をこの可撓管ガイド３８の溝内に沿わせて変形させることにより、可撓管１１がアーム４または５と干渉するのを防ぐようにしている。
【００５３】
上記のようにエアクリーナ２０を構成すると、エア流入口２１からチャンバー２４内に流入したエアは、仕切壁３１ｂや３２ｂに衝突しながらつづら折り状に折れ曲がったエア流路２３を流れ、エアが仕切壁に衝突する毎にエアに含まれている塵埃が下方に落下させられて、エア中から除去される。エアが仕切壁に衝突した際に除去されなかった塵埃は、最終的にフィルタ２５により除去されるため、筐体側配管１２には塵埃が含まれない清浄なエアのみが流入する。
【００５４】
このようなエアクリーナ２０を設けておくと、筐体側配管内に塵埃が水分とともに侵入して、該配管内で固まるのを防ぐことができるため、ウェハの研磨工程において、研磨を完了したウェハをアンロードする際のように、ウェハ吸引孔を通して研磨粉や研磨屑等の塵埃が吸い込まれるおそれがある場合であっても、筐体側配管内に塵埃が侵入するのを防ぐことができ、筐体を分解して筐体側配管１２の清掃を行う面倒な保守作業を不要とすることができる。
【００５５】
エアクリーナ２０は、筐体の外側に配置されていて、分解し得るように構成されているため、該エアクリーナの清掃作業は簡単に行うことができる。
【００５６】
エアクリーナ２０の清掃は、チャンバー２４を構成しているチャンバー構成部材３１及び３２の結合を解いた後、それぞれの内部をバキュームクリーナにより吸引して、内部に溜まった塵埃を取り除くことにより行うことができる。
【００５７】
上記の例では、第１及び第２のアームを備えた搬送機構を用いるロボットを例にとったが、本発明は、ウェハ吸引孔を有するウェハ保持具を備えたウェハ搬送用ロボットに広く適用することができ、本発明が対象とするウェハ搬送用ロボットにおいて、ウェハ保持具を搬送方向に移動させるための搬送機構の構成は任意である。
【００５８】
なおエアクリーナ２０の構成は上記の例に限られるものではなく、上記の例で用いたエアクリーナに代えて、エア中から塵埃を除去する機能を有する適宜の構成のエアクリーナを用いることができる。
【００５９】
例えばエア流路２３に設ける仕切壁３１ｂ，３２ｂの数を上記の例よりも多くして、つづら折り状のエア流路の長さを長くしたり、第１及び第２の仕切壁３１ｂ及び３２ｂがエアの流れ方向に対向した部分を持つように、第１及び第２の仕切壁の少なくとも一方の長さを長くしたりして、塵埃がエア流路の内面に衝突する機会を増やすようにすることができる。
【００６０】
上記のように、エア流路をつづら折り状に形成しておくと、エアが仕切り壁に衝突する毎にエア中の塵埃が落下させられて除去されるため、フィルタに到達する塵埃の量を少なくすることができる。したがってフィルタにかかる負担を軽くすることができ、フィルタの清掃を行う周期を長くしたり、フィルタの寿命を長くしたりすることができる。
【００６１】
しかしながら、エアクリータは、上記のようにつづら折り状のエア流路を有するものに限定されるものではなく、フィルタのみにより塵埃を除去するようにしたエアクリーナを用いることもできる。
【００６２】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、ロボットの筐体の外側にエアクリーナを配置して可撓管をエアクリーナを通して筐体側配管の一端に接続するようにしたので、ウェハ吸引孔から吸い込まれた塵埃をエアクリーナにより除去して、該塵埃が筐体側配管に流入するのを防ぐことができる。またエアクリーナは分解し得るように構成されているため、該エアクリーナの清掃作業は簡単に行うことができる。
【００６３】
従って、本発明によれば、筐体側配管の面倒な清掃作業をほとんど不要にすることができ、半導体ウェハの研磨工程においてウェハを研磨装置からアンロードするロボットのように、多くの塵埃が存在する環境下で用いられるロボットの保守点検作業を簡単にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係わるウェハ搬送用ロボットにおいて、駆動軸を支持した旋回部材が下降した状態を示した正面図である。
【図２】  図１の上面図である。
【図３】  図１に示したロボットにおいて旋回部材を上昇させた状態を示した正面図である。
【図４】（Ａ）ないし（Ｃ）はそれぞれ図１ないし図３に示したウェハ搬送用ロボットの動作の異なる過程を示した上面図である。
【図５】  図１のウェハ搬送用ロボットの要部の拡大図である。
【図６】  （Ａ）は図１のウェハ搬送用ロボットの要部の拡大断面図、（Ｂ）は（Ａ）の要部の上面図である。
【図７】  エアクリーナと筐体との接続構造の一例を示した要部の上面図である。
【図８】  エアクリーナと筐体との他の接続構造を示した要部の上面図である。
【符号の説明】
１…筐体、２…旋回部材、３…第１の駆動軸、４…第１のアーム、５…第２の駆動軸、６…第２のアーム、７…第３の駆動軸、８…ウェハ保持具、１１…可撓管、１２…筐体側配管、２０…エアクリーナ、２３…エア流路、２４…チャンバー、２５…フィルタ、３１…第１のチャンハー構成部材、３２…第２のチャンバー構成部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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