(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板受け台上に第１整列表示及び第２整列表示が形成された基板を定着させる段階と、
前記基板の上部に第１映像撮影装置及び第２映像撮影装置を位置させる段階と、
前記第１映像撮影装置を用いて前記第１整列表示の位置を検出して前記基板受け台上に前記基板を予備整列させる段階と、
前記第２映像撮影装置を用いて前記第２整列表示の位置を検出し、前記基板を再び整列させる段階と、を含む基板整列方法であって、
前記第１整列表示が、前記基板の一側のエッジ部と、前記エッジ部と対角線方向の他側のエッジ部とで形成され、
前記第２整列表示が、前記第１整列表示と対向する前記基板の一側のエッジ部と、前記エッジ部と対角線方向の他側のエッジ部とで形成され、
前記第１映像撮影装置の２台のカメラで得られた画像に、前記基板の一側のエッジ部と、前記エッジ部と対角線方向の他側のエッジ部との前記第１整列表示が位置されるように前記基板受け台上に前記基板を予備整列させ、
前記第２映像撮影装置の２台のカメラで得られた画像の中央領域に、前記第１整列表示と対向する前記基板の一側のエッジ部と、前記エッジ部と対角線方向の他側のエッジ部との前記第２整列表示が位置されるように前記基板を再び整列させることを特徴とする基板整列方法。
【請求項２】
前記基板を再び整列させる段階において、前記基板を再び整列させるために前記基板受け台を移動させる段階を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の基板整列方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板整列方法に関し、より詳細には、基板受け台上に整列される基板の破れ現象を防止し、基板の整列時間を短縮させることができる基板整列方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
以下、図面を参照して従来の基板整列方法について具体的に説明する。
【０００３】
図１Ａ〜図１Ｃは、従来技術に係る基板整列方法を示す動作順序図である。
【０００４】
図１Ａを参照すれば、従来技術に係る基板１１０を基板受け台１００上に整列させるためには、まず、整列表示１２０が形成された基板１１０を用意する。前記整列表示１２０は、前記基板１１０の整列を容易にするために形成され、前記基板１１０の非発光領域である左側及び右側の縁領域に形成される。
【０００５】
図１Ｂを参照すれば、前記基板１１０はロボットアーム及びエンドエフェクタにより、基板受け台１００の内にある基板支えピン（図示せず)上に乗せられ、前記基板支えピンを前記基板受け台１００側に下降させた後、前記基板受け台１００の縁に形成されたガイドピン１３０を用いて前記基板１１０を前記基板受け台１００の中央領域に１次整列させる。
【０００６】
図１Ｃを参照すれば、１次整列された前記基板１１０は、前記基板１１０の上部に位置する映像撮影装置（図示せず)を用いて検出された画像１４０を介して２次整列を行う。このとき、前記整列表示１２０が検出した前記画像１４０の中央領域に前記整列表示１２０が位置されると、２次整列が完了する。一方、前記整列表示１２０が前記映像撮影装置により検出された前記画像１４０の中央領域に位置されなければ前記基板受け台１００を移動させて前記整列表示１２０を前記画像１４０の中央領域に位置されるように再び整列させる。
【０００７】
しかし、前述した基板整列方法において、１次整列時に前記基板受け台の縁面に形成されたガイドピンは機構的な整列方式により移動するため、整列時間が長くなり、基板の厚さ及び大面積化に伴うガイドピンの動作部が変化せず、前記ガイドピンと前記基板との接触面が損なったり、基板の１次整列が不可能になったりするという問題点がある。
【特許文献１】大韓民国特許公開２００３-００８０３８０号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、ガイドピンを用いた基板の１次整列方法を排除して基板の破れ現象を防止し、基板の整列時間を短縮させることができる基板整列方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の一側面によれば、本発明の基板整列方法は、基板受け台上に第１整列表示及び第２整列表示が形成された基板を定着させる段階と、前記基板の上部に第１映像撮影装置及び第２映像撮影装置を位置させる段階と、前記第１映像撮影装置を用いて前記第１整列表示の位置を検出して前記基板受け台上に前記基板を予備整列させる段階と、前記第２映像撮影装置を用いて前記第２整列表示の位置を検出し、前記基板を再び整列させる段階と、を含む。
【００１０】
好ましくは、前記基板を再び整列させる段階において、前記基板を再び整列させるために前記基板受け台を移動させる段階を更に含み、前記第１整列表示及び前記第２整列表示は前記基板の一側のエッジ部と、このエッジ部と対角線方向の他側のエッジ部とからなる。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように、本発明によれば、基板受け台上に基板を定着させた後、第１映像撮影装置を用い、第１整列マークの位置を検出して予備整列させることで、従来のガイドピンを用いて整列させるよりも整列時間が短縮し、基板の破れ現象を防止できるという効果を奏する。これにより、基板整列時間の短縮による工程全体の時間を短縮させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態についてより具体的に説明する。
【００１３】
図２Ａ〜図２Ｄは、本発明に係る基板整列方法の動作順序図、図３Ａ〜図３Ｄは、図２Ａ〜図２Ｄに係る基板の平面図である。
【００１４】
図２Ａ及び図３Ａを参照すれば、本発明に係る基板３２０を整列させるために、まず、移送チャンバ２００内にロボットアーム２１０と、エンドエフェクタ２２０をローディングする。前記エンドエフェクタ２２０上に基板３２０を用意する。このとき、前記基板３２０はガラス及び合成樹脂のような絶縁性を有する材質からなる。
【００１５】
前記基板３２０を前記基板受け台３１０上に容易に整列させるために、前記基板３２０の非発光領域である左側及び右側の縁領域に第１整列表示３２１及び第２整列表示３２２を表示する。すなわち、前記第１整列表示３２１は前記基板３２０の一側のエッジ部と、前記エッジ部と対角線方向の他側のエッジ部にエッチング、印刷、露光／現像またはレーザなどを用いて所定大きさのホームまたはマークで形成される。また、第２整列表示３２２は前記第１整列表示３２１と対向する前記基板３２０の一側のエッジ部と前記エッジ部と対角線方向の他側のエッジ部に形成され、形成方法は前記第１整列表示３２１と同様である。
【００１６】
図２Ｂ及び図３Ｂを参照すれば、前記エンドエフェクタ２２０上に定着された前記基板３２０を工程チャンバ３００内の基板受け台３１０上部に移送させる。その後、基板支持ピン３１１が前記基板受け台３１０内部に形成された所定数の貫通ホールを介して上部方向へ移動させて前記基板３２０を定着させる。
【００１７】
図２Ｃ及び図３Ｃを参照すれば、前記基板支持ピン３１１上に定着された前記基板３２０を前記基板受け台３１０上に定着させるために、前記基板支持ピン３１１を下部方向に下降させて前記基板３２０を前記基板受け台３１０上に定着させる。前記基板受け台３１０上に前記基板３２０を定着させた後、前記エンドエフェクタ２２０を前記移送チャンバ２００内に再び移送させる。
【００１８】
その後、前記工程チャンバ３００の外部に備えられる第１映像撮影装置３３０を用いて前記基板３２０に形成された第１整列表示３２１を検出して前記基板受け台３１０上に前記基板３２０を予備整列する。ただ、前記工程は予備整列段階であるので、前記映像撮影装置３３０により検出された画像３３１の中央領域に第１整列表示３２１が正確に一致しなくてもよい。
【００１９】
図２Ｄ及び図３Ｄを参照すれば、前記基板３２０上部、すなわち、前記工程チャンバ３００の外部に備えられる第２映像撮影装置３４０を用いて前記基板３２０に形成された第２整列表示３２２の位置を検出する。このとき、検出された画像３３２の中央領域に前記第２整列表示３２２が位置すれば前記基板３２０の整列を完了させる。しかし、前記第２整列表示３２２が前記画像３３２の中央領域に位置しなければ前記基板受け台３１０を移動させて検出された画像３３２の中央領域に前記第２整列表示３２２が位置されるように再び整列させる。前述した方法のように、基板整列を終えた後、前記基板受け台３１０の縁の一領域に形成されたクランプ（図示せず)を用いて前記基板３２０を更に安定的に定着させる。
【００２０】
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１Ａ】従来技術に係る基板整列方法の動作順序図である。
【図１Ｂ】従来技術に係る基板整列方法の動作順序図である。
【図１Ｃ】従来技術に係る基板整列方法の動作順序図である。
【図２Ａ】本発明に係る基板整列方法の動作順序図である。
【図２Ｂ】本発明に係る基板整列方法の動作順序図である。
【図２Ｃ】本発明に係る基板整列方法の動作順序図である。
【図２Ｄ】本発明に係る基板整列方法の動作順序図である。
【図３Ａ】図２Ａ〜図２Ｄに係る基板の平面図である。
【図３Ｂ】図２Ａ〜図２Ｄに係る基板の平面図である。
【図３Ｃ】図２Ａ〜図２Ｄに係る基板の平面図である。
【図３Ｄ】図２Ａ〜図２Ｄに係る基板の平面図である。
【符号の説明】
【００２２】
３００  工程チャンバ
３１０  基板受け台
３２０  基板
３２１  第１整列マーク
３２２  第２整列マーク
３３０  第１映像撮影装置
３４０  第２映像撮影装置
【図１Ａ】
0004509072.tif 000002
【図１Ｂ】
0004509072.tif 000003
【図１Ｃ】
0004509072.tif 000004
【図２Ａ】
0004509072.tif 000005
【図２Ｂ】
0004509072.tif 000006
【図２Ｃ】
0004509072.tif 000007
【図２Ｄ】
0004509072.tif 000008
【図３Ａ】
0004509072.tif 000009
【図３Ｂ】
0004509072.tif 000010
【図３Ｃ】
0004509072.tif 000011
【図３Ｄ】
0004509072.tif 000012