(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体電解質体と、該固体電解質体の一面に接して配設され、参照電極部と参照電極リード部とを有する参照電極と、該固体電解質体の他面に接して配設され、検知電極部と検知電極リード部とを有する検知電極と、を備えるガスセンサ素子において、上記参照電極部の外周線上の部分であって、上記検知電極部の外周線と平行な部分のうち、上記検知電極部の外周線との最短距離が、上記固体電解質体の厚さの３．０倍以下である連続する部分の長さが、上記参照電極部の外周線と上記検知電極部の外周線のうちの短いほうの外周線の１／１０以下であり、
上記参照電極部及び上記検知電極部の厚さが、上記固体電解質体の厚さの１／３以下であることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項２】
上記固体電解質体は、絶縁性を有する基体の表面に配設され、該固体電解質体は、該基体の構成成分を１０〜８０質量％含有する請求項１に記載のガスセンサ素子。
【請求項３】
上記固体電解質体は、ジルコニア及びアルミナを主成分とし、上記基体は、アルミナを主成分とする請求項１又は２に記載のガスセンサ素子。
【請求項４】
請求項１乃至３のうちのいずれか１項に記載のガスセンサ素子を備えることを特徴とするガスセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車等の内燃機関から排出される排気ガスに含まれる酸素ガス及びＮＯｘガス等を検出することができ、固体電解質体に、参照電極及び検知電極の各々の電極部の外周線を起点とする亀裂を生ずることのないガスセンサ素子及びこれを備えるガスセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、筒型の固体電解質体、又は板型の固体電解質体を用いたガスセンサ素子（以下、単に「素子」ということもある。）が知られている。これらのうち、アルミナ基体に接して積層される板型の固体電解質体を備える素子が特開平７−５５７５８号公報等に開示されている。このようなガスセンサ素子においては、被検出ガスに直接接触しない参照電極と、被検出ガスに接触する検知電極とを固体電解質体の表裏面に各々形成し、これらの電極間に発生する電圧を検出すること、及びこれらの電極間に流れる電流を検出すること、により被検出ガスに含まれる酸素ガス等の濃度などを検出することができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このようなガスセンサ素子において、固体電解質体の表裏面に形成される参照電極と検知電極の各々の電極部の外周線の位置が、ある程度の長さに渡って一致していると、これらの外周線を起点として固体電解質体に亀裂が発生することが発明者らの調査により判明した。このような亀裂を生ずる原因は、Ｐｔ等からなる電極と、ジルコニア、アルミナ等のセラミックスからなる固体電解質体との焼成時の熱収縮の差異等により、電極部の外周線の近傍において固体電解質体に平面方向の応力が負荷されるためであると推測される。従って、亀裂は、固体電解質体が薄い場合、及び電極が相対的に厚い場合に、より発生し易い。
【０００４】
また、特に、固体電解質体を印刷で形成するような場合には、固体電解質体の厚さは３０〜６０μｍとするのが一般的であり、厚さを９０μｍ以上とするには３回以上の印刷工程が必要になるなど、コスト的に問題があった。更に、固体電解質体を厚くしすぎると、それだけで固体電解質体と基体との熱膨張差により亀裂が生じ易くなるという問題もあった。そのため、特に印刷で固体電解質体を形成する場合には厚さとして９０μｍよりも薄くするのが望ましかった。しかし、上述の理由により、このような薄い固体電解質体を用いた場合には電極からの応力にによって亀裂が生じるという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記の従来の問題を解決するものであり、製造時における電極部の外周線の近傍における固体電解質体の亀裂の発生を抑制することができ、また、使用時における固体電解質体の亀裂の発生を抑えることができる等、耐久性に優れたガスセンサ素子及びこの素子を備えるガスセンサを提供することを目的とする。特に、絶縁性の基体上に固体電解質体を９０μｍより薄く形成するような場合に、固体電解質体に亀裂が発生することが抑制されるガスセンサ素子を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
課題を解決するための手段を以下に説明する。
【０００７】
第１発明のガスセンサ素子は、固体電解質体と、該固体電解質体の一面に接して配設され、参照電極部と参照電極リード部とを有する参照電極と、該固体電解質体の他面に接して配設され、検知電極部と検知電極リード部とを有する検知電極と、を備えるガスセンサ素子において、上記参照電極部の外周線上の部分であって、上記検知電極部の外周線と平行な部分のうち、上記検知電極部の外周線との最短距離が、上記固体電解質体の厚さの３．０倍以下である連続する部分の長さが、上記参照電極部の外周線と上記検知電極部の外周線のうちの短いほうの外周線の１／１０以下であり、上記参照電極部及び上記検知電極部の厚さが、上記固体電解質体の厚さの１／３以下であることを特徴とする。
【０００８】
上記「参照電極部」と上記「検知電極部」とは、固体電解質体の表裏面の相対向する位置に形成され、これらの電極部の間に生ずる酸素イオン移動にともなう電圧、或いはこれらの電極部の間に流れる電流が検知され、信号として取り出される。参照電極部及び検知電極部の形状、面積、厚さ等は特に限定されないが、各々の電極部の上記「外周線」の位置が、固体電解質体の表裏面に相対向して相当の長さに渡って一致する（以下、このような状態を各々の外周線が重なっていると表現することもある。）ように、参照電極部及び検知電極部が形成された場合は、これらの電極部と固体電解質体との熱膨張の差異によって固体電解質体に平面方向の応力が加わり、各々の電極部の外周線を起点として固体電解質体に亀裂が発生する。
【０００９】
この亀裂の発生について図１及び図２を用いて詳しく説明する。
図１は、第１発明のように固体電解質体に亀裂が発生しないガスセンサ素子における参照電極と検知電極の平面形状を示す。一方、図２は、固体電解質体に亀裂が発生し得る従来のガスセンサ素子における参照電極と検知電極の平面形状を示す。図１及び図２において、参照電極１４ａは、参照電極部１４１ａと、これに延設され、電極部からの信号を信号取り出し端子に伝達するための参照電極リード部１４２ａとを有する。また、検知電極１４ｂは、検知電極部１４１ｂと、これに延設され、電極部からの信号を信号取り出し端子に伝達するための検知電極リード部１４２ｂとを有する。参照電極リード部及び検知電極リード部の各々の端縁は、そのまま信号取り出し端子となることもあり、スルーホール等により素子表面に形成される信号取り出し端子に接続されることもある。
【００１０】
図１によれば、参照電極部１４１ａの外周線１４１１ａと、検知電極部１４１ｂの外周線１４１１ｂとは、点Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤの４点で重なっているが、線としてはまったく重なっていない。これは、第１発明における、参照電極部の外周線上の部分であって、検知電極部の外周線と平行な部分のうち、検知電極部の外周線との最短距離が、固体電解質体の厚さの３．０倍以下である連続する部分がまったくないことを意味しており、このような形状の参照電極及び検知電極を備える素子であれば、電極部の外周線を起点として固体電解質体に亀裂が発生することがない。
【００１１】
一方、図２によれば、参照電極部１４１ａの外周線１４１１ａと、検知電極部１４１ｂの外周線１４１１ｂとは、外周線Ｌのように相当な長さに渡って重なっている。これは、第１発明における、参照電極部の外周線上の部分であって、検知電極部の外周線と平行な部分のうち、検知電極部の外周線との最短距離が、固体電解質体の厚さの３．０倍以下（図２の外周線Ｌにおいては、各々の外周線の最短距離は固体電解質体の厚さそのもの、即ち、固体電解質体の厚さの１倍である。）である連続する部分の長さが、参照電極部の外周線と検知電極部の外周線のうちの短いほうの外周線（図２では参照電極部の外周線のほうが短い。）の１／１０を超えていることを意味しており、このような形状の参照電極及び検知電極を備える素子では、外周線Ｌを起点として固体電解質体に亀裂が発生する。
【００１２】
また、参照電極の外周線と検知電極の外周線とが、それらのうちの短いほうの長さの１／１０を越える長さに渡って平行である部分があったとしても、それらの外周線が離れている、即ち、各々の外周線の最短距離が固体電解質体の厚さの２．０倍以上であり、特に３．０倍以上である場合は、固体電解質体における亀裂の発生を抑えることができる。更に、相当な長さに渡って各々の外周線の最短距離が固体電解質体の厚さの３．０倍以下であったとしても、その長さが、参照電極部の外周線と検知電極部の外周線のうちの短いほうの外周線の１／１０以下、特に１／１２以下であれば、固体電解質体に亀裂を生ずることはない。
【００１３】
更に、この亀裂は、外周線が重なる部分が直線状である場合は、曲線状である場合に比べて、より発生し易く、且つその亀裂が伝播し易い。そのため、特に、外周線が直線状に重なる部分がないようにすることがより好ましい。従って、各々の電極部は、矩形等よりも楕円形等、外周線が曲線により形成される形状とすることが好ましい。このようにすれば、より亀裂が発生し難く、亀裂が発生したとしても伝播し難い素子とすることができる。
【００１４】
また、参照電極部及び検知電極部が、固体電解質体に対して相対的に厚いほど、亀裂が発生し易く、特に、固体電解質体が比較的薄い場合は、各々の電極部の厚さの影響がより大きくなる。そのため、各々の電極部の厚さは、第１発明のように、固体電解質体の厚さの１／３以下とする。このように、各々の電極部の相対的な厚さを小さくすることによって、固体電解質体の亀裂をより確実に防止することができる。
【００１５】
尚、参照電極及び検知電極は、白金、ルテニウム、オスミウム、イリジウム、ロジウム、パラジウム等、触媒作用を有する貴金属元素、又はこれらの貴金属元素を主成分とする導電材料により形成することができる。これらの電極は、印刷法、めっき法、スパッタリング法等、通常の方法により、固体電解質体の表裏面に薄膜として形成される。
【００１６】
上記「固体電解質体」は酸素イオン伝導性を有すればよく、例えば、酸素イオン伝導性を有するジルコニア系焼結体、ＬａＧａＯ3系焼結体等を使用することができる。
【００１７】
固体電解質体には保護層を配設することが好ましい。この保護層によって固体電解質体の一部を覆い亀裂等の発生を防止すると同時に、検知電極を覆い外気等の環境から保護することができる。この保護層は、温度９００℃において固体電解質体と比較して１００倍以上の絶縁性を有することが好ましい。更に、９４％以上の相対密度を有する程度の気密性を備えることが好ましい。この保護層の作製法は特に限定されず、例えば、絶縁性のペーストを印刷し、乾燥させた後、他の部材とともに一体に焼成して作製することができる。但し、固体電解質体が基体から剥離しようとする力を抑え込む程度に強固である必要があり、未焼成セラミックシートを他の部材に積層した後、一体に焼成することにより作製することが好ましい。
【００１８】
この素子が、通常、備える基体は、板状であることが好ましく、且つ固体電解質体は基体の一面の少なくとも一部に接して層状に形成されることが好ましい。本発明の素子は、例えば、特開平７−５５７５８号公報に開示される積層体を形成する技術を用いて作製することができる。また、固体電解質体の形成においては、未焼成シートの積層でもよいが、ペーストの印刷により形成することが好ましい。この場合、これらを積層することとなる基体は一体の板状であることが好ましい。これにより、製造時の取扱いが特に容易となる。
【００１９】
固体電解質体は、第２発明のように、基体の構成成分を１０〜８０質量％、特に４０〜６０質量％含有することが好ましい。これにより、固体電解質体の耐熱衝撃性を向上させて亀裂の発生等を更に改善することができる。基体を構成する成分の含有量が８０質量％を超えると、固体電解質体としての特性が十分に得られ難く、好ましくない。一方、１０質量％未満では、耐熱衝撃性が十分に向上しない。また、第３発明のように、固体電解質体はジルコニア及びアルミナを主成分とし、基体はアルミナを主成分とすることが好ましい。このようにアルミナを多く含有する固体電解質体を備えるガスセンサ素子は、安価であり、且つ高い耐久性を有するため好ましい。
【００２０】
第４発明のガスセンサは、第１乃至第３発明のガスセンサ素子を備えることを特徴とする。
このガスセンサは、安価であり、且つ高い耐久性を有する。このガスセンサ２の形態は特に限定されないが、例えば、主体金具２１内に、素子１が配設され、前方側に配置される検知部を排気管内等に突出するように、主体金具２１の外表面に形成された取付ねじ部４２により螺設し、被測定ガス（排気ガス）に曝して使用することができる。このガスセンサによれば、長期間安定して被検出ガスを検出することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、実施例により本発明を更に詳しく説明する。
［１］周辺部を備え、且つ周辺部上に上部絶縁層を備える素子の製造方法
図３及び図６、図７を用いて、素子の製造方法を説明する。
以下の製造方法では、解かり易さのために、図３を用いて素子１個の大きさのシートに各パターンを印刷し、積層するかのように説明するが、実際の工程においては、複数個の素子を製造することができる大きさのグリーンシートに所要個数分の印刷を施し、積層した後、素子形状の未焼成積層体を切り出した。
【００２２】
より具体的には、下記（１）において作製した各々のグリーンシート３の短辺の近傍に、図６に示すように位置合わせ用の円形の貫通孔３１を形成し、印刷或いは積層時にはこれらの貫通孔に印刷機又は積層機に固定されたピンを挿通して、位置合わせをした。素子の大きさは印刷時において長さ４２．８５ｍｍ、幅３．９３ｍｍであり、第１乃至第４グリーンシートの各々の中央部に素子１０個分の各印刷パターンを並列に印刷した後、図７に示すように順に積層した。次いで、一体に積層された積層体を図６或いは図７の破線に沿って切断し、素子形状を有する１０個の未焼成積層体を得、これらを脱脂し、焼成して素子を製造した。
【００２３】
尚、図７の上から１番目〜３番目のグリーンシートに開口部（角孔３２）が形成してあるのは、各グリーンシートを積層した後で、素子に切断した場合に、各素子が図１に示すように異なる長さのシートを位置合わせして積層された形状にするためである。図１との対応で説明すると、図７の上から１番目のグリーンシートが図１の１８ｂ、上から２番目のグリーンシートが１８ａ、上から３番目のグリーンシートが１１ｂ、一番下のグリーンシートが１１ａにそれぞれ対応する。１１ｂと１１ａの長さが同じなのに図７の上から３番目のグリーンシートに角孔が開いているのは、この角孔は積層の位置合わせのためのものだからである。この角孔の端面は、１１ｂの先端側の端面とは一致しない。
【００２４】
（１）未焼成アルミナシートの作製
アルミナ粉末（純度９９．９９％以上、平均粒径０．３μｍ）１００質量部（以下、「部」と略記する。）、ブチラール樹脂１４部、及びジブチルフタレート７部を配合し、トルエンとメチルエチルケトンとからなる混合溶媒を用いて混合し、スラリーとした後、ドクターブレード法により長さ９０ｍｍ、幅６０ｍｍの４枚の印刷用グリーンシートを作製した。第１及び第４グリーンシートは厚さ０．４ｍｍ、第２及び第３グリーンシートは厚さ０．２５ｍｍとした。
【００２５】
（２）ヒータパターンの形成
アルミナ粉末（純度９９．９９％以上、平均粒径０．３μｍ）４部と、白金粉末１００部とを配合した導電層用ペーストを、焼成後、基体の下半分（１１ａ；第１基体）となる第１グリーンシートの一方の面に印刷し、乾燥させて、発熱部パターン及びヒータリードパターンを形成し、焼成後、発熱抵抗体１２（発熱部１２１とヒータリード部１２２により構成される。）となるヒータパターンを形成した。次いで、第１グリーンシートの基端付近に発熱抵抗体の導通をとるためのスルーホール１１１ａを形成し、裏面のスルーホール１１１ａに対応する位置に、焼成後、端子を接続するための電極パッド１９ａとなるヒータパッドパターンを形成した後、ヒータパターン上から、焼成後、基体の上半分（１１ｂ；第２基体）となる第２グリーンシートを積層し、圧着して接合した。
【００２６】
（３）緩衝層パターンの形成
（２）で作製したセラミック積層体の第２グリーンシート上に、アルミナ８０部とジルコニア２０部とを配合した緩衝層用ペーストを印刷し、乾燥させて、焼成後、緩衝層１３となる３０±１０μの厚さの緩衝層パターンを形成した。
【００２７】
（４）参照電極パターンの形成
（３）で形成した緩衝層パターン上に、（２）で用いた導電層用ペーストを印刷し、乾燥させて、焼成後、参照電極１４ａ（参照電極部１４１ａ及び参照電極リード部１４２ａにより構成される。）となる２０μｍ±１０の厚さの参照電極パターンを形成した。この参照電極パターンの平面形状は、図１の参照電極１４ａが形成されるような形状にした。
【００２８】
（５）第１固体電解質体パターンの形成
ジルコニア粉末（純度９９．９％以上、平均粒径０．３μｍ）５０部、アルミナ粉末（純度９９．９９％以上、平均粒径０．３ｍｍ）５０部、ブチルカルビトール３３．３部、ジブチルフタレート０．８部、分散剤０．５部及びバインダ１５部に、所要量のアセトンを加えて、４時間混合した後、アセトンを蒸発させて、固体電解質用ペーストを調合した。この固体電解質用ペーストを、参照電極パターンの電極部パターン部分を覆うように、第１グリーンシート（及び第２グリーンシート）の長さ方向に１３ｍｍの長さで、２５±１０μｍの厚さに印刷し、乾燥させて、焼成後、固体電解質体の本体部の一部及び周辺部を構成する第１固体電解質体１５ａとなる第１固体電解質パターンを形成した。
【００２９】
（６）第１絶縁層パターンの形成
（１）で作製したスラリーに、ブチルカルビトール２１部と所要量のアセトンとを加えて、４時間混合した後、アセトンを蒸発させて、絶縁層用ペーストを調合した。この絶縁層用ペーストを、緩衝層パターン上であり、第１固体電解質層パターンが印刷されていない部分に印刷し、乾燥させて、焼成後、絶縁層の一部である第１絶縁層１６ａとなる２５±１０μｍの厚さの第１絶縁層パターンを形成した。
【００３０】
（７）第２固体電解質体パターンの形成
（５）と同じ固体電解質用ペーストを、第１固体電解質体パターンの上から先端位置を揃えて８ｍｍの長さ、２５±１０μｍの厚さに印刷し、乾燥させて、焼成後、固体電解質体の一部を構成する第２固体電解質体１５ｂとなる第２固体電解質パターンを形成した。このように、固体電解質パターンは、焼成後、本体部となる厚さ５０μｍの部分と、焼成後、周縁部となる厚さ２５μｍの部分とを備える。
【００３１】
（８）第２絶縁層パターンの形成
（６）と同じ絶縁層用ペーストを、第２固体電解質層パターンが形成されていない第１絶縁層パターン上に、印刷し、乾燥させて、焼成後、絶縁層の一部を構成する第２絶縁層１６ｂ、特に、第１固体電解質パターン上部分は、焼成後、上部絶縁層１６２（第２絶縁層１６ｂの一部である。）となる２５±１０μｍの厚さの第２絶縁層パターンを形成した。尚、第１及び第２絶縁層パターンの基端付近には、各々の電極との導通をとるためのスルーホール１６１ａ及び１６１ｂを形成した。
【００３２】
（９）検知電極パターンの形成
（７）、（８）で形成した第２固体電解質体パターンと第２絶縁層パターンの上に、（２）で調整した導電層用ペーストを印刷し、乾燥させて、焼成後、検知電極１４ｂ（検知電極部１４１ｂ及び検知電極リード部１４２ｂにより構成される。）となる２０μｍ±１０の厚さの検知電極パターンを形成した。この検知電極パターンの平面形状は、図１の検知電極１４ｂが形成されるような形状にした。
【００３３】
（１０）多孔質層パターンの形成
（６）と同じ絶縁層用ペーストに、平均粒径５μｍのカーボン粉末をアルミナとの体積比で４５体積％混合し、多孔質層用ペーストを調合し、第２固体電解質体パターン上に印刷し、乾燥させて、焼成後、多孔質層１７となる１０ｍｍの長さ、５０μｍ以上の厚さの多孔質層パターンを形成した。
【００３４】
（１１）第３及び第４グリーンシートの積層
（１０）で形成した多孔質層パターンを除く部分を覆うように、焼成後、第１保護層１８ａとなる第３グリーンシート及び焼成後、第２保護層１８ｂとなる第４グリーンシートを積層した。尚、第３及び第４グリーンシートの基端付近には、各々の電極との導通をとるためのスルーホール１８１ａ及び１８１ｂを形成し、第４グリーンシートの裏面のスルーホールに対応する位置に、焼成後、端子を接続するための電極パッド１９ｂとなるヒータパッドパターンを形成した。
【００３５】
（１２）脱脂及び焼成
（１）〜（１１）で得られた積層体を、大気雰囲気において、室温から４２０℃まで昇温速度１０℃／時間で昇温させ、２時間保持し、有機バインダーの脱脂処理を行った。その後、大気雰囲気において、１１００℃まで昇温速度１００℃／時間で昇温させ、更に、１５２０℃まで昇温速度６０℃／時間で昇温させ、この温度で１時間保持して焼成し、図４に示すような、固体電解質体が本体部及び周辺部を備え、且つ上部絶縁層により固体電解質体と検知電極リード部が離間されたガスセンサ素子を３００個得た。
【００３６】
［２］検知電極の形状を変化させた素子
［１］と同様の工程において、参照電極の形状は一定とし、検知電極の形状及び参照電極に対する位置関係並びに固体電解質体の厚さを各種変化させ、参照電極の外周線と、検知電極の外周線との相互の距離及び重なり具合を表１のように変化させた素子をそれぞれ３００個用意した。
【００３７】
【表１】
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【００３８】
表１において、「外周線の重なり具合」とは、参照電極部の外周線上の部分であって、検知電極部の外周線と平行な部分のうち、検知電極部の外周線との最短距離が、固体電解質体の厚さの所定値以下である部分の長さ／両電極部の外周線のうちの短いほうの外周線の長さを意味する。詳述すれば、参照電極部の外周線上の１点と検知電極部の外周線との最短距離として表される両電極部間の最短距離を、固体電解質体の厚さで除した値が所定値以下であるような点が連続的に形成されている参照電極部の外周線上の長さと、両電極部の外周線のうちの短いほうの長さと、の比を外周線の重なり具合を表すパラメータとするものである。尚、所定値は適宜設定することができるが、所定値が大きければ重なり具合にかかわりなく元々亀裂は発生し難いことを考えると、亀裂発生の有無を評価するうえでは所定値を３を越えて大きく設定することは好ましくない。
【００３９】
［２］で用意した素子を、少なくとも固体電解質体部分が完全に浸漬されるように水中に浸漬し、参照電極と水の間の抵抗値を測定して亀裂の有無を評価した。その結果、第１発明の素子（実験例１１及び１５）では亀裂がまったく発生しておらず、一方、第１発明に含まれない素子（例えば、実験例３及び７）では亀裂が発生した。また、固体電解質体の厚さが１２０μｍ以上（例えば、実験例２５及び２８）である場合は、亀裂の発生を十分に抑えることができる。更に、第１発明のように、固体電解質体に対して両電極部の厚さを相対的に薄くすれば（実験例２９〜３１と実験例３２〜３４との比較）、より効果的に亀裂の発生を抑えることができる。また、特に、第２発明のように、固体電解質体に基体の構成成分であるアルミナが１０〜８０質量％含有されている場合は、第１発明のように外周線の重なり具合を設定することにより、亀裂の発生を更に効果的に抑えることができる。
【００４０】
【発明の効果】
第１発明のような電極構成とすることにより、固体電解質体の亀裂の発生が抑制されるガスセンサ素子とすることができる。更に、第４発明によれば、このような素子を備えることにより、耐久性に優れたガスセンサとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガスセンサ素子に用いられている参照電極と検知電極を模式的に表す平面図である。
【図２】ガスセンサ素子に用いられている従来の参照電極と検知電極を模式的に表す平面図である。
【図３】本発明のガスセンサ素子の製造工程を説明する解説図である。
【図４】本発明のガスセンサ素子の一例の横断面図である。
【図５】本発明のガスセンサの横断面図である。
【図６】中央部から素子形状を有する１０個の未焼成積層体を切り出すためのグリーンシートの平面図である。
【図７】図６に示すグリーンシートを４枚積層する様子を示す概略図である。
【符号の説明】
１；ガスセンサ素子、１１ａ；第１基体、１１ｂ；第２基体、１１１ａ；スルーホール、１２；発熱抵抗体、１２１；発熱部、１２２；ヒータリード部、１３；緩衝層、１４ａ；参照電極、１４１ａ；参照電極部、１４１１ａ；参照電極外周線、１４ｂ；検知電極、１４１ｂ；検知電極部、１４１１ｂ；検知電極外周線、１５ａ；第１固体電解質体、１５ｂ；第２固体電解質体、１５１；本体層、１５２；周辺層、１６ａ；第１絶縁層、１６ｂ；第２絶縁層、１６２；上部絶縁層、１７；多孔質層、１８ａ；第１保護層、１８ｂ第２保護層、２；ガスセンサ、２１：主体金具、２１１；主体金具ねじ部、３；グリーンシート、３１；貫通孔、３２；角孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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