(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高分子フィルム（１１）上の少なくとも一部にマスキングオイル層を形成する第１工程、
前記高分子フィルム（１１）に金属を蒸着させて、マスキングオイル層が形成された部分以外の前記高分子フィルム（１１）上に蒸着金属層（２）を形成する第２工程、および
冷却器（３８）と放電装置（３６）との間を通過する、前記蒸着金属層（２）が表面に形成された前記高分子フィルム（１１）に、グロー放電処理により放電ガスを吹き付けて前記マスキングオイル層を前記高分子フィルム（１１）上から除去する第３工程、を包含するコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法であって、
前記放電装置の前記高分子フィルム入口側と出口側とに、前記高分子フィルムの表面との間隔が１ｍｍ以上５ｍｍ以下になるように鍔状のガスカバー（３９）を設け、前記吹き付けられた放電ガスが高分子フィルム（１１）の進行方向に対して平行に放電装置（３６）から流出するようにしたコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法。
【請求項２】
前記第３工程における放電処理により蒸着金属層（２）の表面に保護膜を形成する、請求項１に記載のコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法。
【請求項３】
前記第２工程以前に前記高分子フィルム（１１）にも予め放電処理を施しておき、前記第２工程以後に前記高分子フィルム（１１）と蒸着金属層（２）との間にも保護膜を形成する、請求項２に記載のコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法。
【請求項４】
前記第２工程以前に前記高分子フィルム（１１）に予め施される放電処理がグロー放電である、請求項３に記載のコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法。
【請求項５】
高分子フィルム（１１）上の少なくとも一部にマスキングオイル層を形成するマスキングオイル層形成手段（３５）と、
前記高分子フィルム（１１）に金属を蒸着させて、マスキングオイル層が形成された部分以外の前記高分子フィルム（１１）上に蒸着金属層（２）を形成する蒸着部（３４）と、
冷却器（３８）と放電装置（３６）との間を通過する、前記蒸着金属層（２）が表面に形成された前記高分子フィルム（１１）に、グロー放電処理により放電ガスを吹き付けて前記マスキングオイル層を前記高分子フィルム（１１）上から除去するマスキングオイル層除去手段（３６）とを備えたコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造装置であって、
前記吹き付けられる放電ガスが高分子フィルム（１１）の進行方向に対して平行に放電装置（３６）から流出するように、前記放電装置の前記高分子フィルム入口側と出口側とに、前記高分子フィルムの表面との間隔が１ｍｍ以上５ｍｍ以下になるように鍔状のガスカバー（３９）を設けたコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造装置。
【請求項６】
前記蒸着部（３４）に供される前記高分子フィルム（１１）に予め放電処理を施す第２放電装置（３３）を備える、請求項５に記載のコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造装置。
【請求項７】
前記第２放電装置（３３）がグロー放電装置である、請求項６に記載のコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法および製造装置に関し、より詳細には、いわゆるオイルマージン法において高分子フィルムに残留したマスキングオイルを放電処理により除去することにより、コンデンサに用いられた場合に優れた素子接着強度、耐パルス電流特性、および耐湿特性を発現できるコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法および製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンデンサは、図１から図３までに示すように、一般的に高分子フィルム１１からなる誘電体層の一端辺に設定された絶縁部をなす非蒸着部１３以外の誘電体層１上に金属を蒸着することにより蒸着金属層２を形成した金属蒸着フィルム１（図１および図２を参照）と、ポリエステルなどから作成される合わせフィルム６とを順次積層し（図３を参照）、次いでこのようにして作成された積層体を上下方向からプレスし、次いでこの両側面に金属を溶射して外部電極７を形成することにより作成される。
【０００３】
一方、コンデンサの作成に用いられる金属蒸着フィルム１の一般的な製造方法としては、巻き出しローラーから供給される厚み１μｍから２０μｍ程度の帯状高分子フィルムの表面に真空下でアルミニウム、亜鉛などの金属材料を蒸着させ、巻き取りローラーに巻き取る巻取式真空蒸着法が知られている。
【０００４】
上述のように、コンデンサに用いられる金属蒸着フィルム１を作成する際には、高分子フィルム１１の一端辺に絶縁部をなす非蒸着部１３を設定する必要があるので、金属蒸着フィルム１を巻取式真空蒸着法により作成する際には、高分子フィルム１１の一部をマスクして金属を蒸着させる必要がある。
【０００５】
従来から知られている巻取式真空蒸着法における非蒸着部１３の形成手段としては、帯状のマスキングテープを高分子フィルムと並行して走行させて金属を蒸着するテープマージン法、およびマスキング材料としてパラフィンオイル，パーフロロアルキルポリエーテル等（以後「マスキングオイル」と称する）を高分子フィルムに蒸着または塗布してマスキングオイル層を形成した後、金属を蒸着するオイルマージン法が知られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
テープマージン法によって非蒸着部１３を形成する場合には、マスキングテープが幅方向に蛇行するため、非蒸着部１３の形成精度が限られる。例えば、生産速度を３５０ｍ／分とすると、マスキングテープは約１．２ｍｍ程度幅方向に蛇行してしまう。さらに、非蒸着部１３の幅方向の寸法に制約があり、２．５ｍｍ程度が限界である。
【０００７】
これに対して、オイルマージン法の場合には、高精度な非蒸着部１３の形成が可能である。例えば、生産速度が６００ｍ／分の場合においても、マスキングオイルは幅方向に約０．６ｍｍ程度しか蛇行しない。さらに、被蒸着部をフレキシブルな形状にすることができ、その寸法精度は最小で０．１ｍｍまで可能である。このように、生産性、非蒸着部形成精度、製造コストなどの点において、テープマージン法と比較してオイルマージン法は優れているため、コンデンサ用蒸着フィルムの蒸着工程において主流となっている。
【０００８】
しかし、非蒸着部１３を設定するために高分子フィルム１１に塗布等されたマスキングオイルは、金属を蒸着する際の熱によりその一部は蒸発するが、図２に示すように、一部のマスキングオイルは非蒸着部１３および蒸着金属層２上に残留する。このように、オイルマージン法によって作製されたコンデンサ用金属蒸着フィルムにおける残留マスキングオイルは、例えば、マスキングオイルとしてパラフィンオイルを用いた場合、非蒸着部１３上では３０ｎｍから８０ｎｍ程度、蒸着金属面２上では２ｎｍから１０ｎｍ程度の厚みを有する。
【０００９】
この残留マスキングオイル４により、図３に示すコンデンサ素子断面図に示される合わせフィルム６と蒸着金属層２との間の接触面９においてフィルム間の接着強度が得られず、素子形成プレス工程においてコンデンサ素子が変形する原因となる。このため、マスキングオイル法を用いて得られた金属蒸着フィルムから作製されたコンデンサの素子接着強度は、テープマージン法と比較して劣っている。
【００１０】
さらに、外部電極７を両側面から溶射して形成した後には、外部電極７と蒸着金属層２との間の接触面８に残留したマスキングオイル４により外部電極７と蒸着金属層２とが十分接触されない。このためコンデンサの耐パルス電流特性が悪化し、さらには目的の電気容量を得ることが出来ない。
【００１１】
ところで、巻取式真空蒸着法においては、蒸着金属層２を形成した後に、蒸着金属層２と高分子フィルム１１との境界面に保護膜２ａが形成されにくい。従って、蒸着金属層２の硬度は低く、エキスパンダーロール、中間ロールなどのロールのキズ、汚れなどにより蒸着金属層２の表面にキズを生じやすい。また、真空蒸着層２を形成した後、金属蒸着フィルム１を大気下において解放すると蒸着金属層２の表面に保護膜２ａが形成されるが、この厚みは約１ｎｍから４ｎｍ程度と薄く、さらに高分子フィルム１１と蒸着金属層２との間の境界面には保護膜は形成されない。このため、コンデンサ用金属蒸着フィルム１を高湿度雰囲気下にて用いた場合、化学反応によって蒸着金属層２が消失しやすく、電気容量の低下につながっている。
【００１２】
本発明は上記課題を解決するためになされ、その目的とするところは、傷、はがれ、化学反応による消失が生じにくい蒸着金属膜を形成するとと共に、各層間における接着力を強化することによるコンデンサ素子形成性、耐パルス電流特性、および耐湿度特性に優れたコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法および製造装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明に係るコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法は、
高分子フィルム１１上の少なくとも一部にマスキングオイル層を形成する第１工程、
この高分子フィルム１１に金属を蒸着させて、マスキングオイル層が形成された部分以外の高分子フィルム１１上に蒸着金属層２を形成する第２工程、およびマスキングオイル層を高分子フィルム１１上から除去する第３工程、を包含する。
【００１４】
前記第３工程は、高分子フィルム１１に放電処理を施すことによりマスキングオイル層を除去する工程であることが好ましい。放電処理はグロー放電であることが好ましい。また、第３工程における放電処理により蒸着金属層２の表面に保護膜２ａを形成することも好ましい。
さらに、第２工程以前に高分子フィルム１１にも予め放電処理を施しておき、第２工程以後に高分子フィルム１１と蒸着金属層２との間にも保護膜２ａを形成することが好ましい。この放電処理もグロー放電であることが好ましい。
１つの実施態様においては、高分子フィルム１１は巻き出しローラー３１から供給されて巻き取りローラー３７に巻き取られるようになっており、放電処理が、冷却器３８と放電装置３６との間を通過する高分子フィルム１１に放電処理された放電ガスを吹き付けることであって、放電装置の高分子フィルム入口側と出口側とに、高分子フィルムの表面との間隔が１ｍｍ以上５ｍｍ以下になるように鍔状のガスカバーを設け、吹き付けられた放電ガスが高分子フィルム１１の進行方向に対して平行に放電装置３６から流出し得る。
【００１５】
また、上記課題を解決する本発明に係るコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造装置は、
高分子フィルム１１上の少なくとも一部にマスキングオイル層を形成するマスキングオイル層形成手段３５と、
高分子フィルム１１に金属を蒸着させて、マスキングオイル層が形成された部分以外の高分子フィルム１１上に蒸着金属層２を形成する蒸着部３４と、
マスキングオイル層を高分子フィルム１１上から除去するマスキングオイル層除去手段３６とを備えている。
【００１６】
マスキングオイル層除去手段３６は、高分子フィルム１１に放電処理を施す放電装置であることが好ましい。この放電装置はグロー放電装置であることが好ましい。
１つの実施態様においては、高分子フィルム１１は巻き出しローラー３１から供給されて巻き取りローラー３７に巻き取られ、蒸着部３４に供される高分子フィルム１１に予め放電処理を施す第２放電装置３３を備え得る。この第２放電装置３３もまた、グロー放電装置であることが好ましい。さらに、放電処理に供される高分子フィルム１１は放電装置３６と冷却器３８との間に挟まれ、放電装置の高分子フィルム入口側と出口側とに、高分子フィルムの表面との間隔が１ｍｍ以上５ｍｍ以下になるように鍔状のガスカバーを設け、放電装置３６から吹き付けられる放電ガスが高分子フィルム１１の進行方向に対して平行に放電装置から流出し得る。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面と共に詳細に説明する。
図４（ａ）は、本発明に係るコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造装置３０を示す。
この製造装置３０は、巻取式真空蒸着装置であり、装置３０内の真空度は、蒸着部３４で１×１０-3ｔｏｒｒ以上、それ以外の部分で１×１０-2ｔｏｒｒ以上であることが必要である。なお、巻き出しローラー３１から供給される高分子フィルム１１の速度（以下、「巻取速度」と略記する）は、およそ約１００ｍ／分以上約１０００ｍ／分以下、好ましくは約２００ｍ／分以上約８００ｍ／分以下、より好ましくは約２５０ｍ／分以上約４００ｍ／分以下である。
【００１８】
巻き出しローラー３１より供給される高分子フィルム１１は、放電装置３３を経て蒸着部３４へ至る。放電装置３３には活性ガスが供給され、この活性ガスに対して放電することによって活性ガスをイオン化し、この活性ガスイオンを高分子フィルム１１に付着させる。このようにして、金属を蒸着させる以前に高分子フィルム１１に放電処理を施すことによって、高分子フィルム１１に蒸着された蒸着金属層２が形成された際に、蒸着金属層２と高分子フィルム１１との間に保護膜２ａが形成される。この保護膜２ａにより、蒸着金属層２と高分子フィルム１１との接着強度を向上させることができると共に、蒸着金属層２の硬度が上昇し、表面にキズがつきにくくなる。
【００１９】
活性ガスとしては酸素などが用いられ、活性ガスのみに放電を行って放電処理を行ってもよいが、放電を安定化させるために、アルゴン、ネオン、窒素などの不活性ガスと活性ガスとを併用することが好ましい。
【００２０】
放電装置３３により放電処理された高分子フィルム１１の表面には、オイルノズル３５からマスキングオイルが射出され、マスキングオイル層が形成される。射出されるマスキングオイルの量は、マスキングオイル層の種類、高分子フィルム１１の種類などにもよるが、高分子フィルム１１の表面に約２０ｎｍから約８０ｎｍ程度の厚みになるようにする。なお、マスキングオイル層は、マスキングオイルを高分子フィルム１１上に蒸着させて形成しても良い。本発明において用いられる高分子フィルム１１としては、ポリエチレンフィルムなどのポリオレフィンフィルム、ポリエチレンテレフタラートなどのポリエステルフィルムなどが用いられるが、例えば、ポリエチレンテレフタラートなどのポリエステルフィルムが用いられる場合には、マスキングオイルとしてはパラフィンオイルを用いることが好ましい。同様に、ポリエチレンフィルムなどのポリオレフィンフィルムが用いられる場合には、マスキングオイルとしてはパラフィンオイル、パークロロアルキルエーテルを用いることが好ましい。
【００２１】
表面にマスキングオイル層が形成された高分子フィルム１１には、次いで蒸着部３４において金属が蒸着される。この金属蒸着の温度は約９００℃から約１３００℃程度であるため、高分子フィルム１１上のマスキングオイル層の一部は揮発するが、金属を蒸着させた後もなお高分子フィルム１１上にマスキングオイル層の一部（以下、単に「残留マスキングオイル層」という）が残留してしまっている。なお、上述のように、金属蒸着前に予め高分子フィルム１１に放電処理を施しておくと、蒸着部３４により高分子フィルム１１上金属蒸着層２を形成した際に、蒸着金属層２と高分子フィルム１１との間に保護膜２ａが形成される。この保護膜２ａは蒸着金属の種類および放電に用いる活性ガスの種類によるが、例えば酸素を用いた放電処理が行われ、そしてアルミニウムが蒸着された場合には、この保護膜２ａは酸化アルミ膜から形成されることになる。
【００２２】
金属を蒸着された高分子フィルム１１には、次いで放電装置３６により放電処理が施される。この放電処理を施すことによって、残留マスキングオイル層が除去される。このメカニズムは、活性ガスの放電によるマスキングオイル成分の化学分解、放電ガスの運動エネルギーによるスパッタ効果、および発熱によるマスキングオイルの再蒸発によると考えられる。また、この放電処理により、蒸着金属層２の表面に保護膜２ａを確実に形成することができる。
【００２３】
放電装置３６内部には上述の活性ガスおよび必要に応じて不活性ガス（以下、単に「ガス」という）が供給される。このガスに対して放電処理を行い、活性ガスをイオン化して放電ガスとする。ここでは、スパッタ効果によるマスキングオイルの除去効率を向上させるためにも、活性ガスと不活性ガスとを併用することが好ましい。
【００２４】
前述のように、製造装置３０内はほぼ真空であるので、これに適した放電としては、グロー放電とプラズマ放電とを挙げることができる。これらの中でも、本発明においては、グロー放電が好ましい。なぜなら、プラズマ放電を用いた場合、プラズマによるノイズが大きいだけでなく、生じたプラズマが高分子フィルム１１以外の他の部材（例えば、蒸着源など）に飛んでしまうことがグロー放電と比較して多く、グロー放電の方が、プラズマ放電と比較して他の部材に対する影響を効果的に抑制して安定な放電を行うことができるためである。
【００２５】
放電装置３６においてガスに印加される電流は交流または直流のいずれであってもよく、電圧および周波数は特に限定されないが、約８０ｋＨｚ以上約５００ｋＨｚ以下、より好ましくは約１００ｋＨｚ以上約４００ｋＨｚ以下の交流電源によるグロー放電を用いると得られる金属蒸着フィルムの品質を安定化させることができる。電源出力についても、得られる金属蒸着フィルムの品質を安定化させることができるという観点から、約０．５ＫＷ以上約５ＫＷ以下であることが好ましく、約１ＫＷ以上約３ＫＷ以下であることがより好ましい。
【００２６】
また、放電装置３６に供給される好ましいガスの量は、約２００ｓｃｃｍ以上約３０００ｓｃｃｍ以下であり、約５００ｓｃｃｍ以上約２０００ｓｃｃｍ以下がより好ましい。また、活性ガスと不活性ガスとを併用する場合には、活性ガスと不活性ガスとの割合については、活性ガス１リットルについて約０．５リットル以下の不活性ガスを用いることが好ましく、約０．２５リットルの不活性ガスを用いることがより好ましい。
【００２７】
放電装置３６による放電処理は、以下のように行われることが好ましい。図４（ｂ）に示すように、高分子フィルム１１をローラー型冷却器３８によって冷却しながらローラー上で摺動させて巻き取りローラー３７に向けて進行させると共に、放電装置３６に鍔状のガスカバー３９を設け、ローラー型冷却器３８とガスカバー３９との間に進行する高分子フィルム１１を挟む。より好ましくは、ガスカバー３９の鍔状構造を、ローラー型冷却器３８のローラーの半径（一般的には約２００ｍｍから約４０ｍｍ程度）より約１ｍｍから約５ｍｍ程度大きな半径を有する曲面構造とし、ガスカバー３９の鍔を高分子フィルム１１の進行方向と平行にのばした形状とする。なお、この鍔状のガスカバー３９とローラー型冷却器３８との間隔は、鍔状のガスカバー３９が高分子フィルム１１に接触しない範囲でできる限り狭くすることが好ましく、この間隔は約１ｍｍ以上約５ｍｍ以下であることが好ましい。
【００２８】
これにより、放電装置３６から高分子フィルム１１に吹き付けられた放電ガスはその後、図４（ｂ）に示すように、高分子フィルム１１の進行方向に対して平行となる方向に流出する。このため、イオン化した活性ガス（すなわち、放電ガス）と高分子フィルム１１との接触時間を長くすることが可能となり、残留マスキングオイル層を確実に除去できると共に、蒸着金属の表面に保護膜２ａを確実に形成できる。
【００２９】
もちろん、金属蒸着前の放電装置３３も、上記と同様の構造にすることが好ましいことはいうまでもない。なお、上記のように冷却器３８としてローラー型冷却器を用い、そしてガスカバー３９は曲面構造を有する鍔状とする必要は必ずしもなく、例えば、冷却器３８およびガスカバー３９を直線状にして、これら間に高分子フィルム１１が走行するようにしてもよい。
【００３０】
なお、一般的には、本発明においては、残留マスキングオイル層の厚みは長さ方向にほぼ一定であり、その残留量は蒸着金属層２の厚み以下である。
【００３１】
（実施例）
本実施例においては、図４に示されるような巻取式金属真空蒸着フィルム製造装置を用いて、巻取速度を４００ｍ／分として巻き出しローラー３１から巻き取りローラー３７に向けてポリエチレンテレフタラート（以下、「ＰＥＴ」と略記する）からなる高分子フィルム１１を進行させた。
【００３２】
まず、巻き出しローラー３１から供給された幅５２０ｍｍのＰＥＴフィルム１１に対して、グロー放電装置３３によりグロー放電処理を行った。このグロー放電装置３３には、流量７００ｓｃｃｍの酸素および流量２００ｓｃｃｍのアルゴンを供給し、これらの混合ガスに約２００ｋＨＺの交流電圧を印加して酸素をイオン化してグロー放電装置３３からＰＥＴフィルム１１に吹き付けた。なお、酸素およびアルゴン流量の単位「ｓｃｃｍ」とは、微量マスフローメーターに用いられる流量であり１分あたりに供給されたガスの体積を指す。
【００３３】
次に、イオン化した酸素を吹き付けられたＰＥＴフィルム１１に対してオイルノズル３５からパラフィンオイルを射出することにより、ＰＥＴフィルム１１上にマスキングオイル層を形成した。射出量は１平方メートルのＰＥＴフィルム１１あたり約０．０２ｍｇとなるように設定され、ＰＥＴフィルム１１の幅５２０ｍｍあたり１本のパラフィンオイル層が積層された。なお、１本あたりのパラフィンオイル層の幅は約０．３ｍｍであった。また、オイルノズル３５から射出されるパラフィンオイルの温度は約１５０℃であった。
【００３４】
パラフィンオイルによりマスキングオイル層が形成されたＰＥＴフィルム１１は、次いでアルミニウムを蒸発させるための加温装置である高周波るつぼをフィルムの幅方向に並列に３つ備えた蒸着部３４に送られてその表面に約１２００℃のアルミニウムを蒸着された。このアルミニウム層２の厚みは約３０ｎｍであった。また、このようにアルミニウムを蒸着されることにより、ＰＥＴフィルム１１とアルミニウム層２との間に酸化アルミニウムからなる酸化膜２ａが形成されると共に、蒸着されたアルミニウム層２の熱により、マスキングオイル層の一部のパラフィンオイルが揮発してＰＥＴフィルム１１上から除去された。
【００３５】
蒸着部３４を出たＰＥＴフィルムは、次いでグロー放電装置３６によりグロー放電処理を施された。グロー放電装置３６にはグロー放電装置３３と同様に流量７００ｓｃｃｍの酸素および流量２００ｓｃｃｍのアルゴンを供給し、これらの混合ガスに約２００ｋＨｚの交流電圧を印加して酸素をイオン化してグロー放電装置３３からＰＥＴフィルム１１に吹き付けた。
【００３６】
また、グロー放電装置３６には、図４（ｂ）に示すように、鍔状のガスカバー３９が設けられると共に、ＰＥＴフィルム１１をこのガスカバー３９との間に挟むローラー型冷却器３８によって約５℃にまでＰＥＴフィルム１１を冷却しながらローラー上で摺動させた。この鍔状のガスカバー３９における曲面構造の半径は、ローラー型冷却器３８のローラーの半径（約８０ｍｍ）よりも２ｍｍ大きい約８２ｍｍとした。なお、鍔の全長は約６０ｍｍであった。
【００３７】
このグロー放電処理により約３７ｎｍ程度の残留パラフィンオイルからなるマスキングオイル層の厚みは約２ｎｍにまで低減されたことが油分測定器により確認された。なお、このマスキングオイル層の約２ｎｍの厚みは、油分測定器の検出限界値であり、実際のマスキングオイル層の厚みは約２ｎｍより薄いと考えられる。
【００３８】
このようにして得られた金属蒸着フィルム１を用いて巻回型フィルムコンデンサを製作し、そのコンデンサ素子接着強度、コンデンサ耐パルス電流特性、およびコンデンサ耐湿特性について評価を行った。
【００３９】
（コンデンサ素子接着強度について）
コンデンサ素子接着強度については、プッシュプルゲージを用い、コンデンサ素子を加圧し、コンデンサ素子の各層が分離したときのプッシュプルゲージが指示する圧力値（Ｋｇ・ｆ）を測定した。
【００４０】
このようにして測定したフィルムコンデンサの素子接着強度測定結果を図６に示す。図６に示されるグラフにおいては、その縦軸をコンデンサ素子成形強度（Ｋｇ・ｆ）とし、本発明による放電処理を施した金属蒸着フィルム１を用いて作成されたコンデンサと、本発明のような放電処理を施さなかった従来のオイルマージン法により作成された金属蒸着フィルムとを比較している。
【００４１】
図６から理解されるように、従来のコンデンサでは、ＰＥＴフィルム１１およびアルミニウムからなる金属蒸着層２上にマスキングオイルが残留しているため、コンデンサ素子接着強度は約０．５Ｋｇ・ｆから約１．０Ｋｇ・ｆ程度に留まっている。一方、本発明による本発明による放電処理を施した金属蒸着フィルム１を用いて作成されたコンデンサでは、マスキングオイルが残留していないため、コンデンサ素子接着強度は約１．０Ｋｇ・ｆ以上となっている。この強度値はマスキングオイルを用いないテープマージン法による金属蒸着法と同等である。このように、従来の金属蒸着フィルムから作製されたコンデンサ（以下、単に「従来品」と略記する）と、本発明による放電処理を施した金属蒸着フィルム１から作製されたコンデンサ（以下、「本発明によるコンデンサ」と略記する）との間では、そのコンデンサ素子成形強度が平均値で０．５Ｋｇ・ｆ向上している。
【００４２】
（コンデンサ耐パルス電流特性について）
コンデンサ耐パルス電流特性は、図７に示すような試験回路にコンデンサを接続し、スイッチＳをＲ１側に接続してコンデンサを充電し、充電終了後、スイッチＳをＲ２側に接続してコンデンサを放電した。この充放電を１０００回繰り返した後の静電容量の変化率（ΔＣ／Ｃ、％）および誘電正接（ｔａｎδ）を測定した。
【００４３】
このようにして測定したフィルムコンデンサの耐パルス電流特性を図５に示す。図５に示される各グラフにおいては、横軸をパルス電流値とし、従来品を黒丸で、本発明によるコンデンサを白丸で表記して比較している。まず、コンデンサの容量の変化率については、縦軸を容量の変化率（％）とする図５（ａ）に示されるように、従来品では電流値２６アンペア付近より変化率が大きくなり、３９アンペアでは容量Ｃが１５％以上減少している。一方、本発明によるコンデンサにおける容量の変化は電流値に拘わらず一定である。
【００４４】
また、コンデンサのｔａｎδ値（誘電正接）についても、縦軸をｔａｎδの変化率とする図５（ｂ）から（ｄ）に示されるように、１ｋＨｚ、１０ｋＨｚ、および１００ｋＨｚのいずれにおいても、従来品では電流値が２６アンペアを越えるとｔａｎδの変化率が非常に大きくなってしまう。一方、本発明によるコンデンサにおいては、周波数および電流値に拘わらず、ｔａｎδの変化率は非常に小さい。
【００４５】
従来品における上述のこれらの現象は、ＰＥＴフィルム１１およびアルミニウムからなる金属蒸着層２上に残留したマスキングオイルにより、ＰＥＴフィルム１１と合わせフィルム６および外部電極７との接触強度が十分ではないため、パルス電流値の増大に伴いＰＥＴフィルム１１と合わせフィルム６および外部電極７とが非接触状態となるためである。
【００４６】
しかし、本発明によるコンデンサにおいては、ＰＥＴフィルム１１およびアルミニウムからなる金属蒸着膜１３にマスキングオイルが残留していないため、ＰＥＴフィルム１１と合わせフィルム６および外部電極７との間で十分な接触強度が得られ、電流値６５アンペアにおいても容量およびｔａｎδ値とも変化量が少なく良好な特性を示す。
【００４７】
（コンデンサ耐湿特性について）
コンデンサ耐湿特性は、ＪＩＳ  Ｃ  ５１０２の９．５に基づいて、温度６０℃、湿度９５％の条件下にコンデンサを１０００時間静置した。その後、コンデンサの容量およびｔａｎδを測定したが、静置前後でほとんど差違はなかった。また、コンデンサの外観が静置後に変化するようなこともなかった。
【００４８】
【発明の効果】
フィルム間の接着強度を低下させ、素子形成プレス工程においてコンデンサ素子が変形する原因となり、さらに外部電極７と蒸着金属層２との接触を阻害し、コンデンサの耐パルス電流特性を悪化させる原因となる残留マスキングオイルを除去した金属蒸着フィルムから作成されたコンデンサは、その素子接着強度、耐パルス電流特性、および耐湿特性において優れた性能を有する。
【００４９】
また、本発明に係る金属蒸着フィルムの製造方法および製造装置の生産速度は、従来からのオイルマージン法とほぼ同等であり、本発明においては従来の生産速度を損なう事無く金属蒸着フィルムを生産することができる。
【００５０】
さらに、残留マスキングオイルを放電処理により除去することにより、蒸着金属層２の表面に保護膜を作成でき、これにより、蒸着金属層２の傷、はがれを防止することができ、さらに蒸着金属層２における化学反応による消失が生じにくくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】放電処理を行った金属蒸着フィルムの断面図
【図２】オイルマージン法による金属蒸着フィルムの略平面図および断面図
【図３】フィルムコンデンサの電極溶射工程後の略分解簡断面図
【図４】（ａ）  本発明に係る製造装置の略構成図（ｂ）  放電装置の略構成図
【図５】コンデンサ耐パルス電流特性評価結果グラフ
【図６】コンデンサ素子強度測定結果グラフ
【図７】コンデンサ耐パルス電流特性の試験回路を示す図
【符号の説明】
１…金属蒸着フィルム    ２…蒸着金属層    ２ａ…保護膜
６…合わせフィルム      ７…外部電極
８…外部電極７と蒸着金属層２との間の接触面
９…合わせフィルム６と蒸着金属層２との間の接触面
１１…高分子フィルム（ＰＥＴフィルム）
１３…非蒸着部
３０…コンデンサ用金属蒸着フィルムの製造装置
３１…巻き出しローラー
３３…放電装置（第２放電装置）
３４…蒸着部
３５…マスキングオイル層形成手段（オイルノズル）
３６…放電装置（マスキングオイル層除去手段）
３７…巻き取りローラー
３８…冷却器（ローラー型冷却器）
３９…ガスカバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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