(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
棒状のコア材の長手方向側面に、コア材の表面と導体箔との間を電気的に接続して、導体箔と絶縁層とからなる積層体を巻回することによって巻回部を形成し、コイル原材を得ること、並びに
前記コイル原材を、その長手方向について所定の厚みを有するように、その長手方向に対して垂直な少なくとも２つの面において、レーザ光を用いて切断することを含んでなり、
巻回工程で、コイルのインダクタンスをリアルタイムで測定しながら、所望のインダクタンスを有するコイルを製造することを特徴とする薄型コイルの製造方法。
【請求項２】
棒状のコア材の長手方向側面に、コア材の表面と導体箔との間を電気的に接続して、導体箔と絶縁層とからなる積層体を巻回することによって巻回部を形成し、コイル原材を得ること、並びに
前記コイル原材を、その長手方向について所定の厚みを有するように、その長手方向に対して垂直な少なくとも２つの面において、レーザ光を用いて切断することを含んでなり、
レーザ光と組み合わせて、湾曲した集光用ミラーを用い、
前記集光用ミラーに設置された圧電素子によって前記集光用ミラーの曲率を調節することにより、レーザ光の焦点距離を調節することを特徴とする薄型コイルの製造方法。
【請求項３】
巻回工程において、コイルのインダクタンスをリアルタイムで測定しながら巻回することを特徴とする請求項２に記載の薄型コイルの製造方法。
【請求項４】
棒状のコア材の長手方向側面に、導体箔と絶縁層との積層体を所定回数で巻回してなる巻回部が配されるコイル原材を保持するホルダ部と、
前記ホルダ部の側方に配置されるレーザ光源と、
前記ホルダ部を基準にしてレーザ光源の反対側に配置される集光用ミラーと、
コイルのインダクタンスを測定する手段と
を有してなり、
コイルのインダクタンスの測定と前記巻回の工程とをリンクさせて行うことができる、請求項１に記載の方法を実施するための薄型コイルの製造装置。
【請求項５】
棒状のコア材の長手方向側面に、導体箔と絶縁層との積層体を所定回数で巻回してなる巻回部が配されるコイル原材を保持するホルダ部と、
前記ホルダ部の側方に配置されるレーザ光源と、
前記ホルダ部を基準にしてレーザ光源の反対側に配置される集光用ミラーと、
コイルのインダクタンスを測定する手段と
を有してなり、
集光用ミラーに、前記集光用ミラーの曲率を調節するための圧電素子が設置されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の方法を実施するための薄型コイルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば電気・電子回路や駆動回路に用いられる薄型コイルとその製造方法及び製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電気・電子回路は小型、薄型化が進展し、電子部品の小型・薄型化が要求されている。電子回路においても、従来の挿入型実装の形態から、表面実装の形態へ移行しており、チップ部品も小型化が進んでいる。しかしながら、パッシブ部品等の大容量の部品や、巻線コイル等の空間の特性を利用している部品については、十分な小型化が達成されているとは言えない状況にある。
【０００３】
コイルについて小型化を図った例として、例えば特開平５−１６８２０２号公報には、導体箔と絶縁層とからなる積層体を所定回数で巻回して巻回部を得、これを所定の厚さに切断して形成される薄型コイルが記載されている。
その薄型コイルを製造する方法は、図５にフローチャートを示しているように、導体箔の表面に絶縁層を積層して絶縁層付き導体箔である積層体を形成する工程（S051）と、その積層体の側縁部を巻芯上に仮固定し、上記積層体に接着剤を塗布した後、巻芯のまわりに上記積層体を所定回数巻回して巻回部を形成してコイル原材を得る工程（S052）と、上記積層体の層間が完全に接着された後、巻芯を抜き取り、上記巻回部を所定の幅（厚み）にて切断する工程（S053）と、上記巻回部の切断面をエッチングする工程（S054）と、上記巻回部の切断面をコーティングすることにより保護する工程（S055）とを有する方法である。
かかる方法によれば、一回のプロセスにて同程度の抵抗値を有する複数の薄型コイルを製造することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような構成を有するコイルは巻回部を形成した後に巻芯を抜き取っていることによって、得られるコイルは中空の構造を有するコアレスコイルとなっている。このコイルはそれ自体が、厚さおよび差し渡し長さについて小寸法化されているため、巻芯を抜き取った後の内部空間にコアを挿入して使用することも容易ではなく、この内部空間を有効に利用することができなかった。
また、コイルに配線処理する場合には、線状の形態の電極を少なくとも２本取り付けることが必要となるため、機能構成をする際に、基板上においてコイルの占有する面積が、その方法によって得られたコイルの面積よりも大きくなってしまい、十分に小型化を図ることができなかった。
【０００５】
更に、上記のような構成を有するコイルを使用する場合には、芯（コア）が存在しないことによって、巻回する回数に対して得られるインダクタンスはあまり高くすることができなかった。従って、比較的高いインダクタンスを所望する場合には、巻回数を更に増やさなければならず、結果的にコイルの外形寸法が大きくなっていた。
上記のような構成を有するコイルを製造する際に、切断にはマルチワイヤソー等の剪断力を適用する処理を用いることから、切断時に、切断面において導体箔の切断面にダレ等の変形を生じ、その変形部分が隣接する又は近傍に位置する導体箔同士の間に短絡を生じる可能性が無視できない程度で存在していた。そのような短絡を防止するために、特開平５−１６８２０２号公報では、コイルの切断面をエッチングする処理が必要となり、その処理の分だけ製造コストが増大するという、重大な課題を有していた。
【０００６】
また、レーザ光を用いて被加工物を切断する従来の方法では、コリメートレンズ系を用いてレーザ光の焦点深度を調節していた。この方法を用いてコイル原材を切断しようとすると、コイル原材の表面部分（従って巻回部の外周部分）にレーザ光の焦点を結ばせる場合と、そこからレーザ光の焦点深度を深くしてレーザ光の焦点を巻回部の中心部付近で結ばせる場合とでは、レーザ光のスポット径に変動を生じていた。レーザ光のスポット径が変化するということは、巻回部の切断面が巻回部の厚み方向についてテーパーを持つことにつながり、その結果として、得られたコイルの巻回部の側面が、コア材の長手方向に対して厳密に垂直な側面を有することは困難でもあった。
【０００７】
本発明は上記問題点に鑑み、小型で薄く、低コストで得られるコイルであって、表面実装の形態を得ることが可能な薄型コイルとその製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本願の薄型コイルの発明は、第１の要旨において、コア材の周囲に、導体箔と絶縁層とを積層してなる積層体を渦巻き状に巻回してなる巻回部を配して形成される薄型コイルであって、導体箔は、少なくとも表面が導電性を有するコア材に接触することを特徴とする。
【０００９】
本願の薄型コイルの発明は、第２の要旨において、棒状のコア材の周囲に、前記コア材の長手方向中心軸上の少なくとも２個所にそれぞれ、導体箔と絶縁層とを積層してなる積層体を渦巻き状に巻回してなる巻回部を配して形成される薄型コイルであって、導体箔は、少なくとも表面が導電性を有するコア材に接触することを特徴とする。このコイルは、薄型の多極コイルと称することもできる。
【００１０】
上記の薄型コイルは、コア材の少なくとも１つの端面にはその端面から突出する形態の第１の電極が設けられており、巻回部の少なくとも１つの端面は絶縁層によって被覆され、巻回部の外周部には導体箔に電気的に導通する第２の電極が設けられていることを特徴とすることもできる。
上記の薄型コイルにおいて、コア材は、ステンレス鋼、金、銀、銅及びそれらの合金等から選ばれる導電性材料によって形成されているという特徴を有することもできる。
上記の薄型コイルにおいて、コア材は、非導電性材料からなる本体部と、本体部の表面を被覆する導電性材料からなる被覆層とを有してなるという特徴を有することもできる。
【００１１】
上記の薄型コイルにおいて、導体箔は、金、銀、銅及びそれらの合金から選ばれる導電性材料によって形成され、絶縁層は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリスルホン（ＰＳ）、ポリイミド（ＰＩ）、 ポリエーテルニトリル（ＰＥＮ）から選ばれる非導電性材料によって形成されるという特徴を有することもできる。
上記の薄型コイルは、全体として円板状の形態を有することを特徴とすることもできる。
上記のような薄型コイルは、携帯電話又はモータに適用することができる。
【００１２】
また、本願の薄型コイルの製造方法の発明は、棒状のコア材の長手方向側面に、コア材の表面と導体箔との間を電気的に接続して、導体箔と絶縁層とからなる積層体を所定の回数で巻回することによって巻回部を形成し、コイル原材を得ること、並びに前記コイル原材を、その長手方向について所定の厚みを有するように、その長手方向に対して垂直な少なくとも２つの面において５３２ｎｍ〜１０．６μｍの波長のレーザ光を用いて巻回部を切断することを特徴とする。
上記の薄型コイルの製造方法の発明は、巻回部の切断面と同一平面の端面を有するようにコア材をも切断することを特徴とすることもできる。
【００１３】
本願の薄型コイルの製造装置に係る発明は、棒状のコア材の長手方向側面に、導体箔と絶縁層との積層体を所定回数で巻回してなる巻回部が配されているコイル原材を保持するホルダ部と、前記ホルダ部の側方に配置されるレーザ光源と、ホルダ部を基準にしてレーザ光源の反対側に配置される集光用ミラーとを有することを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら、この出願に係る各発明について説明する。
尚、本願の明細書に添付する図面において、コア材１及び巻回部４、並びに得られる薄型コイルの端面における平面形状（以下、端面形状とも称する）は円形形状を示しているが、コア材１及び巻回部４並びに薄型コイルの端面形状はこれに限らず、種々の形状とすることができる。薄型コイルの端面形状は、基本的にはコア材１の端面形状によって定まることから、コイルの目的及び用途に応じて、コア材１の形状に、任意の種々の形状、例えば、円形、長円形、扇形、三角形、四角形、その他の多角形、またはこれら種々の多角形の形状の一部と、円若しくは長円の一部又はその他の種々の形状の曲線とを組み合わせた形状を採用することができる。
【００１５】
（実施の形態１）
図１は、本願に係る薄型コイルを製造する工程を摸式的に示している。図１において、１はコア材、２は積層体、３は接合工具である。この積層体２は、コア材１に直接接触する側の導体箔２ｃの裏面側に絶縁層２ｉを積層して形成されており、絶縁層付き導体箔と表現することもできる。
【００１６】
コア材１は、種々の導電性材料、例えば種々のステンレス鋼（ＳＵＳ）、金、銀、銅及びそれらの合金等から選ばれる導電性材料によって形成することができる。また、コア材１は、本体部を非導電性材料を用いて形成し、本体部の表面を導電性材料被覆層によって被覆して形成することもできる。その被覆処理は、メッキ、スパッタリング、蒸着等、被覆層を形成するために既に知られている種々の方法によって行うことができる。この例では、コア材１の表面、特に長手方向に延びる側面の表面には、良好な導電性を確保するために金メッキを施している。また、上記のいずれの場合であっても、コア材１の一方の端面には、導電性材料被覆層と電気的に接続して突出する電極を設けることができる。
【００１７】
導体箔２ｃは、種々の導電性材料によって形成することができるが、金、銀、銅及びそれらの合金等から選ばれる導電性材料を用いることが好ましい。また、絶縁層２ｉは、種々の非導電性材料によって形成することができるが、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリスルホン（ＰＳ）、ポリイミド（ＰＩ）、 ポリエーテルニトリル（ＰＥＮ）等から選ばれる非導電性材料を用いることが好ましい。
【００１８】
接合工具３は、接触している材料に対して熱及び／又は超音波を適用することができる工具である。図１において、絶縁層付き導体箔である積層体２を、コア材１の長手方向側面に対して導体箔２ｃ側がコア材１に接触するように押し当てて、積層体２の絶縁層２ｉの上側から積層体２に対して接合工具３が熱及び／又は超音波を適用している状態を示している。従って、図１に示す状態で、接合工具３から積層体２に対して熱及び／又は超音波エネルギーを適用することによって、コア材１の表面に処理されている金と、コア材１に接触している導体箔２ｃの金属材料（例えば、銅）との間に金属結合的な接合を形成することができる。このようにして、コア材の少なくとも表面側を導電性材料によって形成すること、並びに、コア材１の表面と導体箔２ｃとの間を金属結合的な接合によって電気的に導通させる（電気的に接続する）ことにより、コア材１と導体箔２ｃの端部との間を非常に低いオーミック抵抗を有するように接続することができる。
【００１９】
この状態から、コア材１を矢印の向きに回転させて、コア材１の周囲に積層体２を巻き付けることによって、図２に示すような端面を有する巻回部４を形成することができる。コア材１の側面に積層体２を巻き付けたことによって、図２の部分拡大図で示すように、巻回部４の端面において１つの半径方向について観察した場合に、最も外周側に絶縁層２ｉが現れ、その内側に導体箔２ｃが現れ、そこから半径方向内側へ向かって絶縁層２ｉと導体箔２ｃとが交互に現れる構成を巻回部４は有している。
【００２０】
このようにしてコア材１の周囲に所定の巻回数の巻回部４を形成することによって、コイル原材が形成される。このようにして得られたコイル原材を、コア材１の長手方向について所定の厚み（例えば図６に示す厚みＤ１）を有するように、該長手方向に対して垂直な２つの面で切断することによって、図６に斜視図で示すような本願の発明に係る薄型コイルを得ることができる。
【００２１】
以上のように本願発明の薄型コイルは、巻回部４の内側にコア材１が存在しているため、巻回部４の内側部分に空洞が存在する中空のコイル（コアレスコイル）とはならず、コイルが占める体積全体を十分かつ有効に利用することができる。
また、巻回部４を製造する過程において、コイルのインダクタンスをリアルタイムで測定しながら製造することが可能となる。従って、コイルのインダクタンスを測定しながら製造することによって、所望するインダクタンスが達成された時点を正確に認識することができ、その認識した時点とコイルの製造工程とをリンクさせることによって、必要な巻回数（従ってインダクタンス）を有するコイルを正確に得ることができ、精度の高い小型のコイルを製造することができる。
【００２２】
従って、本発明によれば、コア材１、導体箔２ｃ及び絶縁層２ｉのそれぞれの材料、並びに、薄型コイルとしての材料、寸法、形状等を適宜選択することによって、１ｎＨ〜１０００μＨのオーダーの範囲内で種々のインダクタンスを有する薄型コイルを得ることができる。
尚、本発明のコイルに関して「薄型」と称するのは、コイルの形状が薄型であること、即ちコイルの３次元的寸法に注目したときに、１つの方向の寸法（差し渡し長さＬ）よりももう１つの方向の寸法（厚さＤ）が相対的に小さいことを意味する。例えば図６に示すコイルは、差し渡し長さＬよりも相対的に小さい厚みＤを有している薄型コイルである。
【００２３】
なお、本実施例ではコア材１の表面に金メッキを施したが、コア材１の材料として銅の棒材を用い、その表面に半田メッキを施してもよい。
また、接合工具３は必ずしも超音波を適用できる工具でなくてもよく、コア材１と導体箔２ｃとの接合には、熱を用いて金属ロウによる溶接を採用することもできる。
【００２４】
（実施の形態２）
図３は、所定の巻回数の巻回部４がコア材１の長手方向側面に配されてなるコイル原材から、所定の厚み（例えば図６に示す厚みＷ１）を有する薄型コイルを切り出す（切断する）処理の方法及びその処理に用いる装置を摸式的に説明する図である。
図３に示す装置において、５は反射ミラー、６はレーザ光源、７は防禦板である。図３の装置の中央部にはホルダ部（図示せず）が設けられており、上記のようにして形成した長尺のコイル原材をそのホルダ部に取り付ける。図３においては、コイル原材は巻回部４として示している。
【００２５】
ホルダ部の一方の側方には、コイル原材の切断に用いるレーザ光を発射できるレーザ光源６が配されており、ホルダ部を挟んでレーザ光源６の反対側の側方には集光用ミラーとしての機能を有する反射ミラー５が配されている。また、ホルダ部とレーザ光源６との間には、ホルダ部に取り付けたコイル原材をレーザ光が直接照射しないようにレーザ光を遮断する防禦板７が設けられている。
レーザ光源６から所定の波長のレーザ光を、図３において白抜きの矢印で示す向きに発射すると、防禦板７が存在する領域ではレーザ光が遮断されるため、防禦板７が存在しない領域のレーザ光だけが反射ミラー５に当たる。
【００２６】
一方、反射ミラー５は、レーザ光源６からのレーザ光が当たって反射した後、所定の焦点距離で焦点を結ぶような程度に湾曲して設けられている。尚、反射ミラー５の背面側には１又はそれ以上の圧電素子８が本発明の目的に応じた位置に設置されており、圧電素子８は図外の制御機構に接続されている。従って、制御機構を制御することによって反射ミラー５の曲率を調節することができ、その結果、反射ミラー５によって反射されたレーザ光の焦点距離を微細に調節することができる。
【００２７】
例えば、反射ミラー５は、鏡面を有するように研磨された片側表面を有する金属箔、例えばアルミニウム箔の背面側にベリリウム銅などの支持体を積層した構成とすることができ、その支持体の背面側には、ＰＺＴ等の圧電素子８が適当な位置及び個数で取り付けられた構成を有することができる。圧電素子８に電圧を加えることによって反射ミラー５の形状を変形させ、反射ミラー５で反射したレーザ光が集光する焦点深度を制御することができる。この場合の反射ミラー５の構造、そこに配置する圧電素子８の種類及び取り付け位置、圧電素子８に加える電圧のレベルなどの条件については、当業者が目的に応じて実験等を通じて設定することができる。なお、積層体２における絶縁層がレーザ加工の熱に対して十分な耐性を有する場合には、防禦板７を省略することができる。
【００２８】
反射ミラー５で反射したレーザ光がコイル原材上に結ぶ焦点深度を制御する処理と、コイル原材を保持するホルダ部を、コア材１の長手方向の中心軸を回転中心として回転させる動作とを連関させることによって、コア材１を切断することなく、巻回部４のみを切断することができる。この処理によって、コア材１を切断することなく、巻回部４のみをコア材１の長手方向について２以上の部分に分割することができ、例えば図７に示すような相互インダクタンス作用のある薄型コイルを形成することができる。当然のことながら、巻回部４と同じ平面にてコア材１を切断することによって、薄型コイルを形成することができる。
【００２９】
レーザ光のスポット幅の寸法にもよるが、この加工の際に反射ミラー５によって反射されたレーザ光の焦点位置とコイル原材との間の、コア材１の長手方向についての相対的な位置関係を、微小な距離で変化（変位）させて切断を行うことによって、例えば図７に示すような相互インダクタンス作用のある薄型コイル（四極コイル）について、２つの巻回部４'及び４"のそれぞれの厚みＤ２及びＤ３や、２つの巻回部４'と４"との間隔Ｇをμｍ単位の精度で調節することができる。一例として、レーザ光源６から発射するレーザ光のビーム幅を１０〜１００μｍとして、反射ミラー５の焦点深度を１０μｍ〜１０ｍｍの範囲で調節できるようにすると、直径１μｍ〜１０ｍｍのコイル原材を切断することができる。
【００３０】
また、レーザ光の波長に関しては、５３２ｎｍの波長のレーザ光源を用いる場合には銅を切断する用途に適しており、１０．６μｍの波長のレーザ光源を用いる場合にはアルミニウムを切断する用途に適しており、５３２ｎｍ〜１０．６μｍの波長のレーザ光源を用いることによって種々の材料を用いたコイル原材を切断することができる。
【００３１】
このように集光用ミラーとしての機能を有する反射ミラーを用いて、被加工物上にレーザ光の焦点を結ばせることによって切断を行うため、得られる薄型コイルの端面（レーザ光によって切断した面）がテーパーをもつことを防止して、実質的な平面の端面を有する薄型コイルを得ることが可能となり、また、そのような切断面の形状を安定して確保することが可能となる。
また、コリメートレンズ系を用いる場合には、コリメートレンズ系を物理的に移動させる必要があったために、加工する深さ方向に対して制約があったが、本発明の方法によれば、圧電素子を適切に配置及び制御して反射ミラーを操作することによって焦点深度をより広い範囲で自在に調節することが可能となり、深さ方向に対する従来の制約を取り除くことが可能となる。
【００３２】
（実施の形態３）
次に、本発明の薄型コイルを実装する例を、図４を参照しながら説明する。図４において、９は基板、１１は第１の電極、１２は第２の電極、１３は接合材料、１４は絶縁層であり、また１０は基板側に設けられた第３の電極である。尚、この実施の形態において、第１の電極としては中心部電極を、第２の電極としてコイルの外周側電極を想定している。
【００３３】
図４に示しているコイルは、実施の形態１において説明した、コア材１の周囲に巻回部４を配して形成した本発明の薄型コイルであって、コア材１の下側に下向きに突出する電極を配することによって中心部電極１１を設け、巻回部４の下側表面を絶縁層１４によって被覆し、巻回部４の外周側に外周側電極１２を設ける加工を施したものである。巻回部４の外周側において、絶縁層２ｉを剥離させて導体箔２ｃを露出させ、露出した導体箔２ｃに外周側電極１２を接続している。
【００３４】
また、コイルの下側表面は、例えば、コア材１に中心部電極１１を形成した後、巻回部４の少なくとも一方の側面を覆うように絶縁層１４を形成して、中心部電極１１が絶縁層１４よりも下側へ露出するように処理している。コア材１と中心部電極１１との接続、及び巻回部４の外周側における導体箔２ｃと外周側電極１２との接続は、例えば金属溶射等の手段によって行っている。更に、基板９側の電極１０ａ及び１０ｃは接合材料１３（例えばハンダ）によって外周側電極１２に電気的に接続されており、基板９側の電極１０ｂは中心部電極１１に直接接触することによって電気的に接続されている。
このようにして基板９に取り付けられた本発明の薄型コイルに対して、中心側の電極１１と外周側の電極１２との間で信号の出し入れを行わせることによって、コイルとしての機能を発揮させることが可能となる。
【００３５】
【発明の効果】
以上のように本発明の薄型コイルによれば、コアをインダクタンスに利用することができるため、コイルの体積全体を有効に利用することができる。従って、コアを有さず同様の巻回部を有するコイルと比べると、本願の薄型コイルは相対的に少ない巻回数であっても、同等のインダクタンスを達成することができ、従ってコイルの外形寸法（体積）をより小さくすることができる。
本発明の薄型コイルでは、コア材の少なくとも表面を導電性とすることによって、コア材と導体箔の端部との間を非常に低いオーミック抵抗を有するように電気的に接合することができる。
【００３６】
本発明の薄型コイルでは、コア材の１つの端面に直接中心部電極を設け、巻回部の外周側部分に直接外周側電極を設けることによって、コイルを基板に接続するための最初と最後の配線処理にリード線の形態の電極を用いる必要がないため、機能構成をする際に基板上でコイルが占有する面積を、従来の種類のコイルと比べてより小さくすることができ、従って、同等の特性を発揮するコイルどうしで比較した場合に、コイルの基板上での占有面積をより小さくすることができ、基板の一層の小型化を図ることができる。
更に、本発明の薄型コイルの製造方法によれば、巻回部及びコアの切断のために剪断力を適用せずにレーザ光を用いることから、切断時に導体の切断面を変形させることによって切断後の巻回部にショートを生じさせる可能性を排除して、切断面であるコイルの側面にエッチング等の処理を施す必要性をも排除できるため、製造コストを低減できる。
【００３７】
本発明のコイルによれば、巻回部を形成する際の積層体の巻回数、巻回部の厚みＤ、四極コイルの場合には２つの巻回部の間隔Ｇを調節することによって、薄型でありながら、所望する大きさのインダクタンスを有するコイル、場合によって相互インダクタンス作用のある薄型コイルを形成することができる。
本発明の薄型コイルは、従来のコイルと対比して、同等の体積又は寸法を有する場合には、より優れたインダクタンス等の特性を有することができ、又は同等の特性を有する場合には、より小さな体積及び／又は寸法を有することができることから、より小型化することが目標とされている携帯電話やモータに用いることによって、携帯電話やモータの小型化に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の薄型コイルを製造する工程を摸式的に説明する斜視図。
【図２】本発明の薄型コイルの側面図。
【図３】本発明の薄型コイルを製造する方法を説明する概略図。
【図４】基板上に実装した本発明の薄型コイルについて説明する断面図。
【図５】従来の薄型コイルの製造工程の概略を説明するフローチャート。
【図６】本発明の薄型コイルを摸式的に示す斜視図。
【図７】本発明の相互インダクタンス作用のある薄型コイルを摸式的に示す斜視図。
【符号の説明】
１・・・コア材、    ２・・・積層体、    ２ｃ・・・導体箔、    ２ｉ・・・絶縁層、  ３・・・接合工具、    ４・・・巻回部、    ５・・・反射ミラー、    ６・・・レーザ光源、    ７・・・防禦板、    ８・・・圧電素子、    ９・・・基板、    １０ａ、１０ｂ、１０ｃ・・・電極、    １１・・・第１の電極、    １２・・・第２の電極、    １３・・・接合材料、    １４・・・絶縁層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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