(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子から発光された走査ビームを回転駆動されるポリゴンミラーにより主走査方向に偏向させて感光体面上を露光走査するための走査光学系に対して、感光体面相当位置の像を撮像するよう前記主走査方向に移動自在に配設させた２次元カメラを用い、
前記２次元カメラの露光時間を複数の主走査ライン分に設定し、
前記２次元カメラを前記主走査方向に断続的に移動させるとともに、当該２次元カメラの露光時間中に発生する複数の主走査ラインについて、各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンを前記２次元カメラの主走査方向の移動位置に応じて変更させるよう前記発光素子を発光させてその評価パターン像を前記２次元カメラの同一視野内で撮像させることにより、複数の主走査ライン分の評価パターン像を同時に取得してデータ格納手段に格納し、
同時に撮像された複数の評価パターン像を各々の評価発光パターンのタイミングに基づき分離することにより複数の主走査ライン分のプロファイルを解析するようにしたことを特徴とする走査光学系の走査ビーム測定評価方法。
【請求項２】
前記ポリゴンミラーの各ミラー面により生成される複数の主走査ラインを対象として、当該複数の主走査ライン分の評価パターン像が前記２次元カメラの同一視野内で主走査方向に位置をずらした状態で同時に撮像されるよう、各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで前記発光素子を発光させるようにしたことを特徴とする請求項１記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法。
【請求項３】
特定のミラー面の主走査ラインの評価発光パターンの形状を他のミラー面の主走査ラインの評価発光パターンの形状とは異ならせるようにしたことを特徴とする請求項２記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法。
【請求項４】
前記ポリゴンミラーの同一のミラー面により生成される１回転毎の主走査ラインを対象として各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで前記発光素子を発光させるようにしたことを特徴とする請求項１記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法。
【請求項５】
同一主走査ラインの走査ビームを用いて前記走査光学系の副走査方向への変動プロファイルを取得しておき、
同時に撮像された複数の前記評価パターン像の副走査位置を前記走査光学系の副走査方向への変動プロファイルに基づき補正するようにしたことを特徴とする請求項１ないし４の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法。
【請求項６】
前記ポリゴンミラーの各ミラー面毎に同一主走査ラインの走査ビームを用いて前記走査光学系の副走査方向への変動プロファイルを取得しておき、
同時に撮像された複数の前記評価パターン像の副走査位置をその評価パターン像を生成したミラー面での前記走査光学系の副走査方向への変動プロファイルに基づき補正するようにしたことを特徴とする請求項１ないし４の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法。
【請求項７】
各主走査ライン毎に画像クロック数を計数する主走査カウンタを用い、各主走査ラインの走査開始の基準となるライン同期信号発生時の主走査カウンタのカウント値を主走査ライン毎に取得し、
信号処理により得られる各評価パターン像の副走査位置を前記主走査カウンタのカウント値により規定されるライン同期信号発生間隔に基づき補正するようにしたことを特徴とする請求項１ないし６の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法。
【請求項８】
各主走査ライン毎に前記ライン同期信号発生間隔とともに画像クロックと各ライン同期信号との立上り時間間隔を取得し、
信号処理により得られる各評価パターン像の副走査位置を前記ライン同期信号発生間隔及び立上り時間間隔に基づき補正するようにしたことを特徴とする請求項７記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法。
【請求項９】
基準時刻発生手段を用い、各主走査ラインの走査開始の基準となるライン同期信号発生時の前記基準時刻発生手段によるライン基準時刻を主走査ライン毎に取得し、
信号処理により得られる各評価パターン像の副走査位置を前記ライン基準時刻に基づき補正するようにしたことを特徴とする請求項１ないし６の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法。
【請求項１０】
前記発光素子として前記走査光学系を共用する複数個の発光素子を用い、各々の発光素子毎のライン同期信号発生時の前記基準時刻発生手段によるライン基準時刻を主走査ライン毎に取得し、
信号処理により得られる各評価パターン像の副走査位置を対応する発光素子毎に取得した前記ライン基準時刻に基づき補正するようにしたことを特徴とする請求項９記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法。
【請求項１１】
前記２次元カメラにより撮像される評価パターン像の主走査方向撮像倍率が副走査方向撮像倍率よりも小さいことを特徴とする請求項１ないし１０の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法。
【請求項１２】
発光素子から発光された走査ビームを回転駆動されるポリゴンミラーにより主走査方向に偏向させて感光体面上を露光走査するための走査光学系に対して、感光体面相当位置の像を撮像するように前記主走査方向に移動自在に配設された２次元カメラと、
前記２次元カメラの露光時間を複数の主走査ライン分に設定する露光時間制御手段と、
前記２次元カメラの位置を前記主走査方向に断続的に移動させる移動手段と、
前記２次元カメラの露光時間中に発生する複数の主走査ラインについて、各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンを前記２次元カメラの主走査方向の移動位置に応じて変更させるよう前記発光素子を発光させてその評価パターン像を前記２次元カメラの同一視野内で撮像させる発光パターン制御手段と、
前記２次元カメラの同一視野内で撮像された複数の主走査ライン分の評価パターン像のデータを同時に取得して格納するデータ格納手段と、
同時に撮像されて前記データ格納手段に格納された複数の評価パターン像を各々の評価発光パターンのタイミングに基づき分離することにより複数の主走査ライン分のプロファイルを解析する解析手段と、
を備える走査光学系の走査ビーム測定評価装置。
【請求項１３】
前記発光パターン制御手段は、前記ポリゴンミラーの各ミラー面により生成される複数の主走査ラインを対象として、当該複数の主走査ライン分の評価パターン像が前記２次元カメラの同一視野内で主走査方向に位置をずらした状態で同時に撮像されるよう、各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで前記発光素子を発光させる請求項１２記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置。
【請求項１４】
前記発光パターン制御手段は、特定のミラー面の主走査ラインの評価発光パターンの形状を他のミラー面の主走査ラインの評価発光パターンの形状とは異ならせる請求項１３記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置。
【請求項１５】
前記発光パターン制御手段は、前記ポリゴンミラーの同一のミラー面により生成される１回転毎の主走査ラインを対象として各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで前記発光素子を発光させる請求項１２記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置。
【請求項１６】
同一主走査ラインの走査ビームを用いて前記走査光学系の副走査方向への変動プロファイルを取得する変動プロファイル取得手段を備え、
前記解析手段は、同時に撮像された複数の前記評価パターン像の副走査位置を前記走査光学系の副走査方向への変動プロファイルに基づき補正する請求項１２ないし１５の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置。
【請求項１７】
前記ポリゴンミラーの各ミラー面毎に同一主走査ラインの走査ビームを用いて前記走査光学系の副走査方向への変動プロファイルを取得する変動プロファイル取得手段を備え、
前記解析手段は、同時に撮像された複数の前記評価パターン像の副走査位置をその評価パターン像を生成したミラー面での前記走査光学系の副走査方向への変動プロファイルに基づき補正する請求項１２ないし１５の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置。
【請求項１８】
各主走査ライン毎に画像クロック数を計数する主走査カウンタと、
各主走査ラインの走査開始の基準となるライン同期信号発生時の主走査カウンタのカウント値を主走査ライン毎に取得し、前記主走査カウンタのカウント値により規定されるライン同期信号発生間隔を記憶する同期信号発生間隔記憶手段と、を備え、
前記解析手段は、信号処理により得られる各評価パターン像の副走査位置を同期信号発生間隔記憶手段に記憶されたライン同期信号発生間隔に基づき補正する請求項１２ないし１７の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置。
【請求項１９】
各主走査ライン毎に前記ライン同期信号発生間隔とともに画像クロックと各ライン同期信号との立上り時間間隔を取得して記憶する立上り時間間隔記憶手段を備え、
前記解析手段は、信号処理により得られる各評価パターン像の副走査位置を前記ライン同期信号発生間隔及び立上り時間間隔に基づき補正する請求項１８記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置。
【請求項２０】
基準時刻発生手段と、
各主走査ラインの走査開始の基準となるライン同期信号発生時の前記基準時刻発生手段によるライン基準時刻を主走査ライン毎に取得して記憶するライン基準時刻記憶手段と、を備え、
前記解析手段は、信号処理により得られる各評価パターン像の副走査位置を前記ライン基準時刻に基づき補正する請求項１２ないし１７の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置。
【請求項２１】
前記発光素子として前記走査光学系を共用する複数個の発光素子を備え、
前記ライン基準時刻記憶手段は、各々の発光素子毎のライン同期信号発生時の前記基準時刻発生手段によるライン基準時刻を主走査ライン毎に取得して記憶し、
前記解析手段は、信号処理により得られる各評価パターン像の副走査位置を対応する発光素子毎に取得した前記ライン基準時刻に基づき補正する請求項２０記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置。
【請求項２２】
前記２次元カメラにより撮像される評価パターン像の主走査方向撮像倍率を副走査方向撮像倍率よりも小さくする光学素子を備える請求項１２ないし２１の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザプリンタ、デジタル複写機、レーザファクシミリ等の画像形成装置に搭載される走査光学系の走査ビーム測定評価方法及び測定評価装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、この種の画像形成装置に用いられる書込み走査光学ユニットは、主にレーザ光源、コリメータレンズ、各種レンズ・ミラー、ポリゴンミラー等により構成される走査光学系を有している。これにより、レーザ光源から発生されたレーザビームはコリメータレンズによって平行光に変換され、ポリゴンミラーへ照射され、その回転によって偏向される。ポリゴンミラーによって反射された光ビームは、結像レンズ及びミラー系によって感光体面上に結像される。
【０００３】
感光体面上の点像は、ポリゴンミラーの回転偏向により主走査方向への走査が行われ、また、感光体の回転により副走査方向への走査が行われ、感光体面上に静電潜像を２次元的に形成する。この静電潜像が形成された感光体表面にトナーを付着させて顕像化させることによりトナー像を形成し、このトナー像を転写紙に転写するとともに定着して、その転写紙に画像を形成することが知られている。
【０００４】
ところで、副走査方向への走査を行う感光体の回転ムラや、ポリゴンミラーの各ミラー面の面倒れ量の相違、軸ぶれ等によって、副走査方向のビームと、感光体の相対速度とは一定ではなく、これによって“バンディング”と呼ばれる帯状のパターンが印刷画面上に現れ、画質を損ねることとなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このようなバンディングが発生する原因としては、感光体等の回転ムラの影響が大きいが、昨今のビームの微細化、高解像度化及びカラー対応、マルチビーム対応という点から走査ビームの副走査方向への位置変動が無視できなくなっている。
【０００６】
ところが、現状では、このような全ての走査ビームの副走査方向の位置変動を測定・評価する方法及び装置がなく、このような走査光学系に起因する副走査方向の位置ずれを測定・評価することが高解像度、高画質化を進める上で切望されている。
【０００７】
そこで、本発明は、感光体面上に実際に潜像を形成することなく、走査光学系のポリゴンミラーの面倒れ、軸振れ、振動等に起因する副走査方向の位置ずれを簡単に測定でき、当該走査光学系によって発生するバンディングを解析し得る走査光学系の走査ビーム測定評価方法及び測定評価装置を提供することを目的とする。
【０００８】
より具体的には、連続する又は同一ミラー面に関する複数の走査ビームのプロファイルを同時に測定できる走査光学系の走査ビーム測定評価方法及び測定評価装置を提供することを目的とする。
【０００９】
また、走査光学系による定常的な副走査位置の偏差を補正して評価できる走査光学系の走査ビーム測定評価方法及び測定評価装置を提供することを目的とする。
【００１０】
さらには、複数の走査ビームに関してライン同期信号の発生間隔によって感光体が副走査方向に移動するに等価な時間分のビームの副走査位置を補正して評価できる走査光学系の走査ビーム測定評価方法及び測定評価装置を提供することを目的とする。
【００１１】
さらには、画素クロック以上の精度でライン同期信号の発生間隔を測定することにより、副走査位置の補正精度を向上させ得る走査光学系の走査ビーム測定評価方法及び測定評価装置を提供することを目的とする。
【００１２】
また、マルチビーム等の異なる画像クロックによって発生する走査ビームに対してもその副走査方向の位置補正を適正に行える走査光学系の走査ビーム測定評価方法及び測定評価装置を提供することを目的とする。
【００１３】
さらには、２次元カメラの同一視野内により多くのビームスポット像を取り込むことができ、測定の効率化を図れる走査光学系の走査ビーム測定評価方法及び測定評価装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明の走査光学系の走査ビーム測定評価方法は、発光素子から発光された走査ビームを回転駆動されるポリゴンミラーにより主走査方向に偏向させて感光体面上を露光走査するための走査光学系に対して、感光体面相当位置の像を撮像するよう前記主走査方向に移動自在に配設させた２次元カメラを用い、前記２次元カメラの露光時間を複数の主走査ライン分に設定し、前記２次元カメラを前記主走査方向に断続的に移動させるとともに、当該２次元カメラの露光時間中に発生する複数の主走査ラインについて、各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンを前記２次元カメラの主走査方向の移動位置に応じて変更させるよう前記発光素子を発光させてその評価パターン像を前記２次元カメラの同一視野内で撮像させることにより、複数の主走査ライン分の評価パターン像を同時に取得してデータ格納手段に格納し、同時に撮像された複数の評価パターン像を各々の評価発光パターンのタイミングに基づき分離することにより複数の主走査ライン分のプロファイルを解析するようにした。
【００１５】
従って、感光体面相当位置の像を撮像するように配設させた２次元カメラの露光時間を複数の主走査ライン分に設定しておき、これらの複数の主走査ラインについて各ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで発光素子を発光させて２次元カメラの同一視野内で撮像させることにより、異なる主走査ラインの評価パターン像を同一の２次元カメラの視野内において主走査方向にずらした形で同時に撮像することができ、これらの複数の評価パターン像の直線性を解析することにより、その副走査方向の位置変動の有無・程度を評価できる。即ち、感光体面上に実際に潜像を形成することなく、２次元カメラを用いて簡単に複数の主走査ライン分の走査ビームのプロファイルを同時に測定でき、走査光学系におけるポリゴンミラーの面倒れ、軸振れ、振動等に起因する副走査方向の走査ビーム変動を解析することができ、最終的に、走査光学系に起因するバンディングを評価できる。
【００１７】
また、２次元カメラによる撮像位置を主走査方向に断続的に移動させることにより、感光体面相当位置に関して主走査方向のより広範な範囲について、走査ビームの副走査方向の位置変動の測定及びその解析・評価が可能となる。
【００１８】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、前記ポリゴンミラーの各ミラー面により生成される複数の主走査ラインを対象として、当該複数の主走査ライン分の評価パターン像が前記２次元カメラの同一視野内で主走査方向に位置をずらした状態で同時に撮像されるよう、各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで前記発光素子を発光させるようにした。
【００１９】
従って、ポリゴンミラーの各ミラー面により生成される複数の連続的な主走査ラインについて各ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで発光させて２次元カメラの同一視野内で撮像させることにより、副走査方向に連続する複数の主走査ラインの評価パターン像を同一の２次元カメラの視野内において主走査方向にずらした形で同時に撮像することができ、これらの複数の評価パターン像の直線性を解析することにより、その副走査方向の位置変動の有無・程度を評価できる。即ち、バンディング等の副走査方向の連続した位置変化を測定することが可能となる。
【００２０】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、特定のミラー面の主走査ラインの評価発光パターンの形状を他のミラー面の主走査ラインの評価発光パターンの形状とは異ならせるようにした。
【００２１】
従って、特定のミラー面の主走査ラインの評価発光パターンの形状を他と異ならせることにより，同一視野内で撮像される複数の評価パターン像に関してその像の形の違いにより露光走査順を容易に確定することができ、複数の評価パターン像の解析処理がしやすくなる。
【００２２】
請求項４記載の発明は、請求項１記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、前記ポリゴンミラーの同一のミラー面により生成される１回転毎の主走査ラインを対象として各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで前記発光素子を発光させるようにした。
【００２３】
従って、或る特定の同一ミラー面のみを対象として各ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで複数の主走査ライン分の走査を行わせることで複数の評価パターン像を撮像することにより、ポリゴンミラーの面倒れによる測定誤差を排除した形で副走査方向の位置変動を測定でき、かつ、副走査方向に対してより広範囲な測定を１回で行えることとなる。
【００２４】
請求項５記載の発明は、請求項１ないし４の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、同一主走査ラインの走査ビームを用いて前記走査光学系の副走査方向への変動プロファイルを取得しておき、同時に撮像された複数の前記評価パターン像の副走査位置を前記走査光学系の副走査方向への変動プロファイルに基づき補正するようにした。
【００２５】
従って、元々副走査方向の位置変動を測定するために複数の主走査ライン分の走査ビームを用いるが、同一視野内で同時に撮像するために異なるタイミングの評価発光パターンで発光させており、同じ点（主走査位置）では発光させていないため、主走査方向の位置の違いによっては走査光学系の有する定常的な副走査位置の偏差の影響を受けてしまうが、この定常的な副走査位置の偏差を示す走査光学系の副走査方向への変動プロファイルを同一主走査ラインの走査ビームを用いて取得しておき、この走査光学系の副走査方向への変動プロファイルを用いて評価パターン像の副走査位置を補正することにより、副走査位置の誤差を補正してから、解析評価に供することができる。
【００２６】
請求項６記載の発明は、請求項１ないし４の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、前記ポリゴンミラーの各ミラー面毎に同一主走査ラインの走査ビームを用いて前記走査光学系の副走査方向への変動プロファイルを取得しておき、同時に撮像された複数の前記評価パターン像の副走査位置をその評価パターン像を生成したミラー面での前記走査光学系の副走査方向への変動プロファイルに基づき補正するようにした。
【００２７】
従って、基本的には請求項５記載の発明の場合と同様であるが、特に、走査光学系の副走査方向への変動プロファイルをポリゴンミラーの各ミラー面毎に取得しておき、複数の主走査ラインの走査ビームより取得した各評価パターン像の副走査位置をその評価パターン像を生成したミラー面での変動プロファイルを用いて補正することにより、各ミラー面の倒れによって定常的に生ずる副走査方向の位置ずれを対応するミラー面の変動プロファイルにより適正に補正することができ、より正確な解析評価に供することができる。
【００２８】
請求項７記載の発明は、請求項１ないし６の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、各主走査ライン毎に画像クロック数を計数する主走査カウンタを用い、各主走査ラインの走査開始の基準となるライン同期信号発生時の主走査カウンタのカウント値を主走査ライン毎に取得し、信号処理により得られる各評価パターン像の副走査位置を前記主走査カウンタのカウント値により規定されるライン同期信号発生間隔に基づき補正するようにした。
【００２９】
従って、複数の主走査ライン分の走査ビームは各々ライン同期信号を走査開始の基準とするが、各主走査ラインの走査時間には多少の違いが発生し得るものであり、このようなライン同期信号の発生間隔に差異があるとその時間分が副走査方向の違いとして反映されるため、このライン同期信号発生間隔分についても副走査位置に関して補正を加えることにより、より正確な解析評価に供することができる。
【００３０】
請求項８記載の発明は、請求項７記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、各主走査ライン毎に前記ライン同期信号発生間隔とともに画像クロックと各ライン同期信号との立上り時間間隔を取得し、信号処理により得られる各評価パターン像の副走査位置を前記ライン同期信号発生間隔及び立上り時間間隔に基づき補正するようにした。
【００３１】
従って、請求項７記載の発明に加えて、ライン同期信号と画像クロックとの間の位相差による微小時間の立上り時間間隔分に起因する副走査位置の誤差も補正するため、実質的に画像クロック以上の精度でライン同期信号間隔を測定できることとなり、副走査位置の補正精度をより一層向上させることができ、より一層正確な解析評価に供することができる。
【００３２】
請求項９記載の発明は、請求項１ないし６の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、基準時刻発生手段を用い、各主走査ラインの走査開始の基準となるライン同期信号発生時の前記基準時刻発生手段によるライン基準時刻を主走査ライン毎に取得し、信号処理により得られる各評価パターン像の副走査位置を前記ライン基準時刻に基づき補正するようにした。
【００３３】
従って、ライン同期信号の発生時刻を画像クロックとは異なる基準時刻発生手段に基づきライン同期時刻として取得することにより、マルチビーム等の場合のように異なる画像クロックを基準に生成される各々の走査ビームに対しても異なる画像クロックの影響を受けることなく、副走査位置の補正を適正に行うことができる。
【００３４】
請求項１０記載の発明は、請求項９記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、前記発光素子として前記走査光学系を共用する複数個の発光素子を用い、各々の発光素子毎のライン同期信号発生時の前記基準時刻発生手段によるライン基準時刻を主走査ライン毎に取得し、信号処理により得られる各評価パターン像の副走査位置を対応する発光素子毎に取得した前記ライン基準時刻に基づき補正するようにした。
【００３５】
従って、請求項９記載の発明を実現する上で、マルチビーム系への適用が明らかとなる。
【００３６】
請求項１１記載の発明は、請求項１ないし１０の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、前記２次元カメラにより撮像される評価パターン像の主走査方向撮像倍率が副走査方向撮像倍率よりも小さい。
【００３７】
従って、本来的に副走査方向に起因する走査ビームの位置変動を精度よく測定することを目的としており、主走査方向に関しての倍率は小さくても問題ないことから、主走査方向の撮像倍率を小さくすることで２次元カメラの一視野内により多くの評価パターン像を取り込むことができ、同時に測定できる主走査ライン数を増やすことができ、より低周波での走査ビーム変動の検出が可能となる。
【００３８】
請求項１２記載の発明の走査光学系の走査ビーム測定評価装置は、発光素子から発光された走査ビームを回転駆動されるポリゴンミラーにより主走査方向に偏向させて感光体面上を露光走査するための走査光学系に対して、感光体面相当位置の像を撮像するように前記主走査方向に移動自在に配設された２次元カメラと、前記２次元カメラの露光時間を複数の主走査ライン分に設定する露光時間制御手段と、前記２次元カメラの位置を前記主走査方向に断続的に移動させる移動手段と、前記２次元カメラの露光時間中に発生する複数の主走査ラインについて、各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンを前記２次元カメラの主走査方向の移動位置に応じて変更させるよう前記発光素子を発光させてその評価パターン像を前記２次元カメラの同一視野内で撮像させる発光パターン制御手段と、前記２次元カメラの同一視野内で撮像された複数の主走査ライン分の評価パターン像のデータを同時に取得して格納するデータ格納手段と、同時に撮像されて前記データ格納手段に格納された複数の評価パターン像を各々の評価発光パターンのタイミングに基づき分離することにより複数の主走査ライン分のプロファイルを解析する解析手段と、を備える。
【００３９】
従って、感光体面相当位置の像を撮像するように配設された２次元カメラの露光時間を複数の主走査ライン分に設定しておき、これらの複数の主走査ラインについて各ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで発光素子を発光させて２次元カメラの同一視野内で撮像させることにより、異なる主走査ラインの評価パターン像を同一の２次元カメラの視野内において主走査方向にずらした形で同時に撮像することができ、これらの複数の評価パターン像の直線性を解析することにより、その副走査方向の位置変動の有無・程度を評価できる。即ち、感光体面上に実際に潜像を形成することなく、２次元カメラを用いて簡単に複数の主走査ライン分の走査ビームのプロファイルを同時に測定でき、走査光学系におけるポリゴンミラーの面倒れ、軸振れ、振動等に起因する副走査方向の走査ビーム変動を解析することができ、最終的に、走査光学系に起因するバンディングを評価できる。
【００４１】
また、２次元カメラによる撮像位置を主走査方向に断続的に移動させることにより、感光体面相当位置に関して主走査方向のより広範な範囲について、走査ビームの副走査方向の位置変動の測定及びその解析・評価が可能となる。
【００４２】
請求項１３記載の発明は、請求項１２記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、前記発光パターン制御手段は、前記ポリゴンミラーの各ミラー面により生成される複数の主走査ラインを対象として、当該複数の主走査ライン分の評価パターン像が前記２次元カメラの同一視野内で主走査方向に位置をずらした状態で同時に撮像されるよう、各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで前記発光素子を発光させる。
【００４３】
従って、ポリゴンミラーの各ミラー面により生成される複数の連続的な主走査ラインについて各ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで発光させて２次元カメラの同一視野内で撮像させることにより、副走査方向に連続する複数の主走査ラインの評価パターン像を同一の２次元カメラの視野内において主走査方向にずらした形で同時に撮像することができ、これらの複数の評価パターン像の直線性を解析することにより、その副走査方向の位置変動の有無・程度を評価できる。即ち、バンディング等の副走査方向の連続した位置変化を測定することが可能となる。
【００４４】
請求項１４記載の発明は、請求項１３記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、前記発光パターン制御手段は、特定のミラー面の主走査ラインの評価発光パターンの形状を他のミラー面の主走査ラインの評価発光パターンの形状とは異ならせる。
【００４５】
従って、特定のミラー面の主走査ラインの評価発光パターンの形状を他と異ならせることにより，同一視野内で撮像される複数の評価パターン像に関してその像の形の違いにより露光走査順を容易に確定することができ、複数の評価パターン像の解析処理がしやすくなる。
【００４６】
請求項１５記載の発明は、請求項１２記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、前記発光パターン制御手段は、前記ポリゴンミラーの同一のミラー面により生成される１回転毎の主走査ラインを対象として各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで前記発光素子を発光させる。
【００４７】
従って、或る特定の同一ミラー面のみを対象として各ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで複数の主走査ライン分の走査を行わせることで複数の評価パターン像を撮像することにより、ポリゴンミラーの面倒れによる測定誤差を排除した形で副走査方向の位置変動を測定でき、かつ、副走査方向に対してより広範囲な測定を１回で行えることとなる。
【００４８】
請求項１６記載の発明は、請求項１２ないし１５の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、同一主走査ラインの走査ビームを用いて前記走査光学系の副走査方向への変動プロファイルを取得する変動プロファイル取得手段を備え、前記解析手段は、同時に撮像された複数の前記評価パターン像の副走査位置を前記走査光学系の副走査方向への変動プロファイルに基づき補正する。
【００４９】
従って、元々副走査方向の位置変動を測定するために複数の主走査ライン分の走査ビームを用いるが、同一視野内で同時に撮像するために異なるタイミングの評価発光パターンで発光させており、同じ点（主走査位置）では発光させていないため、主走査方向の位置の違いによっては走査光学系の有する定常的な副走査位置の偏差の影響を受けてしまうが、この定常的な副走査位置の偏差を示す走査光学系の副走査方向への変動プロファイルを同一主走査ラインの走査ビームを用いて取得しておき、この走査光学系の副走査方向への変動プロファイルを用いて評価パターン像の副走査位置を補正することにより、副走査位置の誤差を補正してから、解析評価に供することができる。
【００５０】
請求項１７記載の発明は、請求項１２ないし１５の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、前記ポリゴンミラーの各ミラー面毎に同一主走査ラインの走査ビームを用いて前記走査光学系の副走査方向への変動プロファイルを取得する変動プロファイル取得手段を備え、前記解析手段は、同時に撮像された複数の前記評価パターン像の副走査位置をその評価パターン像を生成したミラー面での前記走査光学系の副走査方向への変動プロファイルに基づき補正する。
【００５１】
従って、基本的には請求項１６記載の発明の場合と同様であるが、特に、走査光学系の副走査方向への変動プロファイルをポリゴンミラーの各ミラー面毎に取得しておき、複数の主走査ラインの走査ビームより取得した各評価パターン像の副走査位置をその評価パターン像を生成したミラー面での変動プロファイルを用いて補正することにより、各ミラー面の倒れによって定常的に生ずる副走査方向の位置ずれを対応するミラー面の変動プロファイルにより適正に補正することができ、より正確な解析評価に供することができる。
【００５２】
請求項１８記載の発明は、請求項１２ないし１７の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、各主走査ライン毎に画像クロック数を計数する主走査カウンタと、各主走査ラインの走査開始の基準となるライン同期信号発生時の主走査カウンタのカウント値を主走査ライン毎に取得し、前記主走査カウンタのカウント値により規定されるライン同期信号発生間隔を記憶する同期信号発生間隔記憶手段と、を備え、前記解析手段は、信号処理により得られる各評価パターン像の副走査位置を同期信号発生間隔記憶手段に記憶されたライン同期信号発生間隔に基づき補正する。
【００５３】
従って、複数の主走査ライン分の走査ビームは各々ライン同期信号を走査開始の基準とするが、各主走査ラインの走査時間には多少の違いが発生し得るものであり、このようなライン同期信号の発生間隔に差異があるとその時間分が副走査方向の違いとして反映されるため、このライン同期信号発生間隔分についても副走査位置に関して補正を加えることにより、より正確な解析評価に供することができる。
【００５４】
請求項１９記載の発明は、請求項１８記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、各主走査ライン毎に前記ライン同期信号発生間隔とともに画像クロックと各ライン同期信号との立上り時間間隔を取得して記憶する立上り時間間隔記憶手段を備え、前記解析手段は、信号処理により得られる各評価パターン像の副走査位置を前記ライン同期信号発生間隔及び立上り時間間隔に基づき補正する。
【００５５】
従って、請求項１８記載の発明に加えて、ライン同期信号と画像クロックとの間の位相差による微小時間の立上り時間間隔分に起因する副走査位置の誤差も補正するため、実質的に画像クロック以上の精度でライン同期信号間隔を測定できることとなり、副走査位置の補正精度をより一層向上させることができ、より一層正確な解析評価に供することができる。
【００５６】
請求項２０記載の発明は、請求項１２ないし１７の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、基準時刻発生手段と、各主走査ラインの走査開始の基準となるライン同期信号発生時の前記基準時刻発生手段によるライン基準時刻を主走査ライン毎に取得して記憶するライン基準時刻記憶手段と、を備え、前記解析手段は、信号処理により得られる各評価パターン像の副走査位置を前記ライン基準時刻に基づき補正する。
【００５７】
従って、ライン同期信号の発生時刻を画像クロックとは異なる基準時刻発生手段に基づきライン同期時刻として取得することにより、マルチビーム等の場合のように異なる画像クロックを基準に生成される各々の走査ビームに対しても異なる画像クロックの影響を受けることなく、副走査位置の補正を適正に行うことができる。
【００５８】
請求項２１記載の発明は、請求項２０記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、前記発光素子として前記走査光学系を共用する複数個の発光素子を備え、前記ライン基準時刻記憶手段は、各々の発光素子毎のライン同期信号発生時の前記基準時刻発生手段によるライン基準時刻を主走査ライン毎に取得して記憶し、前記解析手段は、信号処理により得られる各評価パターン像の副走査位置を対応する発光素子毎に取得した前記ライン基準時刻に基づき補正する。
【００５９】
従って、請求項２０記載の発明を実現する上で、マルチビーム系への適用が明らかとなる。
【００６０】
請求項２２記載の発明は、請求項１２ないし２１の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、前記２次元カメラにより撮像される評価パターン像の主走査方向撮像倍率を副走査方向撮像倍率よりも小さくする光学素子を備える。
【００６１】
従って、本来的に副走査方向に起因する走査ビームの位置変動を精度よく測定することを目的としており、主走査方向に関しての倍率は小さくても問題ないことから、主走査方向の撮像倍率を小さくすることで２次元カメラの一視野内により多くの評価パターン像を取り込むことができ、同時に測定できる主走査ライン数を増やすことができ、より低周波での走査ビーム変動の検出が可能となる。
【００６２】
【発明の実施の形態】
本発明の第一の実施の形態を図１ないし図７に基づいて説明する。図１は本実施の形態の走査光学系の走査ビーム測定評価方法を実現するための走査ビーム測定評価装置の構成例の一例を示す概略平面図である。
【００６３】
本実施の形態の測定評価装置１は、対象となる走査光学系２をセットすることによりその走査ビームの測定評価を行うものである。
【００６４】
ここに、走査光学系２について説明する。この走査光学系２は、本来的には、光学ユニットとして構成されてレーザプリンタ、デジタル複写機、レーザファクシミリ等に搭載されて感光体に対して光書き込みを行い、画像データ対応の潜像を形成するためのものであり、その性能測定評価のために当該測定評価装置１にセットされる。この走査光学系２は、半導体レーザ等の発光素子３、この発光素子３から発光された走査ビームを平行化するコリメータレンズ（図示せず）、コリメータレンズにより平行化された走査ビームを集光させるシリンドリカルレンズ（図示せず）、シリンドリカルレンズにより集光される走査ビームを主走査方向に偏向させる走査手段としてのポリゴンミラー４、ポリゴンミラー４により偏向される走査ビームを感光体面相当位置Ｒ上に結像させるｆθレンズ５、ポリゴンミラー４により偏向される走査ビームを感光体面相当位置Ｒよりも前段側位置で受光して走査開始位置を検出するためのフォトダイオード等による同期センサ６等の部材を備えている。ここに、発光素子３、ポリゴンミラー４、同期センサ６は測定評価装置1に対して入出力できるようにコネクタ接続されている。
【００６５】
このような走査光学系２は測定評価装置1にセットされた状態では、測定評価装置１によってその動作が制御される。発光素子３から発光される走査ビームはコリメータレンズにより平行化され、さらに、シリンドリカルレンズによりポリゴンミラー４の一つのミラー面上に線状に集光される。ここに、ポリゴンミラー４は高速で回転駆動されており、一つのミラー面上に集光照射された走査ビームはその回転に伴ない主走査方向に偏向走査された後、まず、前段側に位置する同期センサ６により受光され、この同期センサ６によって光電変換されて同期信号発生手段７に出力される。同期信号発生手段７はこの信号をトリガとしてライン同期信号を発生させる。ライン毎に同期センサ６により検出される信号に基づくライン同期信号８を用いることにより、各主走査ラインの主走査方向の同期が取られる。
【００６６】
さらに、ポリゴンミラー４の一つのミラー面によって偏向走査される走査ビームは、長尺状のｆθレンズ５により等速度運動に変換されて感光体面相当位置Ｒに焦点を結んで直線上に結像される。実際の画像形成装置であれば、この感光体面相当位置Ｒに感光体面が存在するため、この結像を受けて潜像が形成されることとなる。そして、感光体の回転移動が画像形成の副走査となる。
【００６７】
また、発光素子３を発光させるための画像信号は、基準となるクロック信号（画像クロック）９に基づき書込みデータをＰＷＭ変調し、点灯制御部１０で実際に発光素子３の発光制御を行う。このクロック信号８は、同期センサ６によって生成される同期信号８でＰＬＬを用いて位相制御することにより、１画素以下の位相誤差となるように制御される。
【００６８】
本実施の形態の測定評価装置１にあっては、感光体面相当位置Ｒに結像される像を撮像するような位置には２次元カメラとしてのＣＣＤカメラ１１が検出手段１２として配設されており、その受光面には拡大光学素子として機能する対物レンズ１３が着脱自在に配設されている。ＣＣＤカメラ１１は対物レンズ１３によって拡大されて受光した走査ビームに基づくスポット像を検出し電気信号に変換してデータ格納部１４に出力するように構成されている。また、このＣＣＤカメラ１１は移動手段として機能する移動ステージ１５上に搭載されており、この移動ステージ１５はＸ方向（主走査方向）に延在する固定テーブル１６上に設けられたレール１６ａに沿って移動自在とされている。この移動ステージ１５は機構制御部１７によって主走査方向に駆動される構成であり、この機構制御部１７は計測部ＣＰＵ１８からコントローラボックス１９を介して駆動される。
【００６９】
このようにＣＣＤカメラ１１が移動ステージ１５によって主走査方向に移動可能なため、ＣＣＤカメラ１１は感光体面相当位置Ｒ上の走査領域内の任意の位置で走査ビームを受光検出可能とされている。ここに、固定テーブル１６に沿ってリニアスケール２０が設けられており、位置検出部２１よってリニアスケール２０の位置を検出することにより、移動ステージ１５の移動量を検知できるように構成されている。また、位置検出部２１によって検出された位置情報は保存部２２に格納される。この保存部２２に格納された位置情報はコントローラボックス１９に出力される。
【００７０】
また、移動ステージ１５上にはＣＣＤカメラ１１に隣接させてフォトダイオード等による位置検出センサ２３が設けられており、ＣＣＤカメラ１１で走査ビームを撮像した後、計測部ＣＰＵ１８の指令により、コントローラボックス１９を介して取得した画像データをデータ格納部１４に転送するのと同時に、位置検出センサ２３が受光した走査ビームをトリガにして位置検出部２１が検出した撮像位置の位置情報を保存部２２から計測部ＣＰＵ１８に転送できるように構成されている。このように、位置検出センサ２３が走査ビームを検出することで、走査ビームがＣＣＤカメラ１１に入射するタイミングに合わせて位置情報取得のトリガを把握することができる。
【００７１】
なお、移動ステージ１５はＸ方向（主走査方向）と直交する光軸方向には図示しない機構制御部によって駆動可能とされており、これにより、対物レンズ１３の着脱の際に生ずる微妙な光軸方向の位置ずれは微調整可能とされている。
【００７２】
一方、発光素子３から発光されるビームは点灯制御部１０によって制御される構成であり、この点灯制御部１０は同期センサ６が走査ビームの走査開始位置を検知してこの開始位置から同期信号発生手段７が発生するライン同期信号８に基づいて発光を開始させるように制御する。
【００７３】
点灯制御部１０は、信号記憶部２４に記憶された評価発光パターンに基づいて発光素子３を駆動制御する。信号記憶部２４には、詳細は後述するが、発光素子３を複数の主走査ラインについて各ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで発光させてＣＣＤカメラ１１で撮像できるようにする発光時の発光位置等のパターンが記憶され、計測部ＣＰＵ１８からの指令により、コントローラボックス１９を介して、クロック信号発生手段９から発生する所定周波数のクロック信号に合わせて発光素子３を駆動することより、走査ビームを実使用と等しい周波数で走査するように設定されている。
【００７４】
また、ＣＣＤカメラ１１の受光面はカメラトリガシャッタ２５によって開閉自在とされており、ＣＣＤカメラ１１はカメラトリガシャッタ２５が開放されているときに走査ビームを受光可能とされている。
【００７５】
また、コントローラボックス１９は同期信号発生手段７から発生するライン同期信号をポリゴンミラー４のミラー面数（本実施の形態では、6面）に応じてカウントすることにより、ポリゴンミラー４のミラー面の選択が可能とされ、発光素子３を発光駆動させる点灯制御部１０の発光タイミングを特定の一つのミラー面に設定することも可能である。
【００７６】
本実施の形態では、点灯制御部１０によって所定の評価発光パターンで発光素子３が発光されると、この走査ビームはＣＣＤカメラ１１で撮像された後、計測部ＣＰＵ１８からの指令によりコントローラボックス１９を介して取得した画像データはデータ格納部（データ格納手段）１４に転送されるようになっており、このとき、位置検出部２１が取得した撮像位置の位置情報を保存部２２から計測部ＣＰＵ１８に転送される。このため、ＣＣＤカメラ１１が主走査方向のどの位置で走査ビームを受光したかを容易に把握できる。
【００７７】
また、ＣＣＤカメラ１１の蓄積した電荷を画像信号として、計測部ＣＰＵ１８からの指令に基づきデータ格納部１４に出力するものであり、この出力の完了と同時に計測部ＣＰＵ１８からコントローラボックス１９を介して２次元クリア信号を送信し、蓄積した電荷をクリアし、検出可能状態に戻す。
【００７８】
なお、本実施の形態のＣＣＤカメラ１１は受光量をＡ／Ｄ変換し、例えば、１０ｂｉｔのデータに変換し、１０２４階調の画像データとしている。
【００７９】
本実施の形態では、このような測定評価装置１を用いて，連続走査される走査ビームの、主に、副走査方向への位置変動を詳細に測定し、測定結果に基づき当該走査光学系２によって発生するバンディングを解析することで、対象となる走査光学系２の性能を評価するものである。
【００８０】
このため、本実施の形態では、ＣＣＤカメラ１１を主走査方向の或る位置に停止させた状態で、カメラトリガシャッタ２５の開放によるこのＣＣＤカメラ１１の露光時間を複数の主走査ライン分に設定し、この状態で、ＣＣＤカメラ１１の露光時間中に発生する複数の主走査ラインについて各ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで発光素子３を発光させてその評価パターン像をＣＣＤカメラ１１の同一視野内で撮像させることにより、複数の主走査ライン分の評価パターン像を画像データとして同時に取得してデータ格納部１４に格納させ、この後、信号処理部２６により撮像した複数の評価パターン像を各々の評価発光パターンのタイミングに基づき分離しながらコントローラボックス１９及び計測部ＣＰＵ１８で解析することにより、複数の主走査ライン分のプロファイルを解析し、解析結果を表示部２７に表示させるようにしたものである。よって、本実施の形態では、コントローラボックス１９及び計測部ＣＰＵ１８が解析手段を構成している。
【００８１】
ここで、本実施の形態の測定原理について図２を参照して説明する。図２は点灯制御部１０からの変調信号によって発光素子３を変調駆動させることにより、ＣＣＤカメラ１１で撮像される画像（評価パターン像）と、そのときの評価発光パターン例とを概略的に図示したものである。図２（ｂ）中の評価発光パターン１，２，３は連続する３つの主走査ライン分の走査ビームを時系列で示したものである。即ち、これらの評価発光パターン１，２，３の例によれば、複数の主走査ラインについて各ライン毎に異なるタイミングで発光させるようにパターン設定されているのが分かる。この結果、図２（ａ）に示すように、異なる主走査ラインのビームプロファイルをＣＣＤカメラ１１の同一視野内で主走査方向に位置をずらした状態で同時に撮像できることとなる。つまり、ＣＣＤカメラ１１が本来の感光体の場合のように副走査方向に移動（回転）する場合であれば、評価発光パターン２，３に対応する評価パターン像は図２（ａ）中に仮想線で示すように各々対応する主走査ライン上となるような位置で撮像されることとなるが、このＣＣＤカメラ１１は副走査方向には位置固定であるため、ポリゴンミラー４による主走査ラインが進んでもＣＣＤカメラ１１上での撮像位置は副走査方向には進まず（副走査せず）、同一主走査ライン上で撮像されることとなる。逆にいえば、複数の主走査ライン分の評価発光パターンのタイミングが全く同一であれば、撮像される評価パターン像が重なってしまい、それらを分離して測定・解析評価することができない。
【００８２】
この結果、対象となる走査光学系２におけるポリゴンミラー４の面倒れや軸振れ、振動等による走査ビームの副走査方向の位置変動がなければ、複数の主走査ライン分の評価パターン像は図２（ａ）に示すように、同一の主走査ライン上に直線となって並んで撮像されることとなる。一方、対象となる走査光学系２におけるポリゴンミラー４の面倒れや軸振れ、振動等による走査ビームの副走査方向の位置変動があれば、複数の主走査ライン分の評価パターン像は図２（ｃ）に示すように、同一の主走査ライン上に直線となって並ばず、位置ずれｄｙを生ずることとなる。よって、このようなＣＣＤカメラ１１の同一視野内で同時に撮像される複数ライン分の評価パターン像間の状態を解析することにより、対象となる走査光学系２による連続する複数の主走査ラインの走査ビームについての副走査方向の位置変動の程度を評価することが可能となる。この際、各評価パターン像の分離は、各々対応する評価発光パターンが異なることから、これらの評価発光パターンに基づき分離することができる。
【００８３】
このような原理に基づき計測部ＣＰＵ１８等により実行される、本実施の形態の測定評価動作の制御例を図３に示す概略フローチャートを参照して説明する。まず、測定開始に際して、ＣＣＤカメラ１１を或る所定位置に位置させた状態で、カメラトリガシャッタ２５を開放させ、撮像可能とさせる（ステップＳ１）。このカメラトリガシャッタ２５の開放によるＣＣＤカメラ１１の露光時間は複数、例えば、３ライン分に設定されている（Ｓ５）。
【００８４】
このような状態で、点灯制御部１０は信号記憶部２４に格納されている評価発光パターンに従い発光素子３に対する書込みパターンを生成し（Ｓ２）、実際に発光素子３を書込みパターンに従い発光させることにより１ライン分の書込み動作を行わせる（Ｓ３）。例えば、図２（ｂ）中に示した評価発光パターン１による発光動作となる。これにより、その評価パターン像がＣＣＤカメラ１１により撮像される。引き続き、このような書込み動作が所定ライン数分終了していなければ（Ｓ４のＮ）、ステップＳ２，Ｓ３の動作を繰返す。例えば、図２（ｂ）中に示した評価発光パターン２，３による発光動作が繰返され、その評価パターン像も同一視野内においてＣＣＤカメラ１１により撮像される。所定ライン数の書込み動作が終了すると（Ｓ４のＹ）、カメラトリガシャッタ２５を閉じ、撮像不可とさせる（Ｓ５）。これらのステップＳ１，Ｓ５の処理により露光時間制御手段の機能が実行され、ステップＳ２の処理により発光パターン制御手段の機能が実行される。
【００８５】
この後、ＣＣＤカメラ１１の同一視野内で撮像された複数の主走査ライン分の評価パターン像の画像データをフレームデータとしてデータ格納部１４に転送させ格納させる（Ｓ６）。このデータ格納部１４に格納された評価パターン像の画像データについて信号処理部２６による処理で各々評価発光パターンに基づき評価パターン像（ピクセルデータ）を分離した後（Ｓ７）、分離された各主走査ライン毎のデータを算出し（Ｓ８）、必要に応じて後述するような副走査位置の補正を加えて（Ｓ９）、測定解析結果を表示部２７に表示出力させる（Ｓ１０）。
【００８６】
従って、本実施の形態によれば、基本的に、感光体面相当位置Ｒに配設させたＣＣＤカメラ１１の露光時間を複数の主走査ライン分に設定しておき、これらの複数の主走査ラインについて各ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで発光素子３を発光させてＣＣＤカメラ１１の同一視野内で撮像させることにより、異なる主走査ラインの評価パターン像をＣＣＤカメラ１１の同一の視野内において主走査方向にずらした形で同時に撮像することができ、これらの複数の評価パターン像の直線性を解析することにより、その副走査方向の位置変動の有無・程度を評価できることとなる。即ち、感光体面上に実際に潜像を形成することなく、ＣＣＤカメラ１１を用いて簡単に複数の主走査ライン分の走査ビームのプロファイルを同時に測定でき、走査光学系２におけるポリゴンミラーの面倒れ、軸振れ、振動等に起因する副走査方向の走査ビーム変動を解析することができ、最終的に、走査光学系に起因するバンディングを評価できることとなる。
【００８７】
ＣＣＤカメラ１１の同一視野内で同時に撮像される評価パターン像に関しては、その走査順を決める必要があるが、ＣＣＤカメラ１１の検出している位置とその時の画像位置とを事前に測定しておけばよい。また、図４に示すように、評価発光パターンに関して、特定のミラー面による特定の主走査ラインの評価発光パターン（例えば、評価発光パターン１）の形状を他の主走査ラインの評価発光パターン（例えば、評価発光パターン２，３）の形状と異ならせて設定しておけば、走査順の確定（評価パターン像の分離）を容易に行うことができる。
【００８８】
ところで、前述した如く得られた副走査位置に関する補正について説明する。まず、第１に、元々副走査方向の位置変動を測定するために複数の主走査ライン分の走査ビームを用いるが、ＣＣＤカメラ１１において同一視野内で同時に撮像するために異なるタイミングの評価発光パターンで発光させており、同じ点（主走査位置）では発光させていないため、主走査方向の位置の違いによっては走査光学系２の有する定常的な副走査位置の偏差の影響を受けてしまう可能性があり、補正が必要といえる。ここに、前述したように本来は直線（主走査線）上に存在すべき複数の評価パターン像が、走査光学系２の特性によって直線から外れる場合がある。このような場合には、或る主走査ライン上での１回の連続走査ビームによる走査で形成されるビームスポット軌跡は、図５（ａ）に示すように、直線的でなくなる。このような走査光学系２の場合にあっては、複数の主走査ライン分の評価発光パターンによる走査ビームにより、ＣＣＤカメラ１１において、たとえ図５（ｂ）に示すように直線上に存在する評価パターン像を得たとしても、それは、これらの評価パターン像間において副走査位置の変動を生じていないわけではなく、たまたま図５（ａ）に示すような光学特性を打ち消しているに過ぎない。
【００８９】
そこで、本実施の形態では、予め図５（ａ）に示すような走査光学系２の副走査方向への変動プロファイルを取得しておき、図５（ｂ）のように得られた複数の評価パターン像の副走査方向の位置を図５（ａ）に示したような副走査方向への変動プロファイルを用いて補正することにより、実際に副走査方向の位置変動が、走査毎にどのように変化しているかを正確に抽出することが可能となる。図５（ｃ）に補正後の複数の評価パターン像のイメージを示す。
【００９０】
なお、図５（ａ）に示すような走査光学系２の副走査方向への変動プロファイルを取得するためには、同一主走査ライン上での間欠的な発光パターンでの副走査位置の測定結果や、同一主走査ライン上での連続発光パターンでの撮像画像に基づき、光学系構成要素（レンズ等）のばらつき、ビーム像高の変化などのように、走査光学系２に元々存在する副走査方向のビーム位置データを求めておけばよい。このように連続発光ビームに基づき得られるビーム位置データに関しては、測定誤差を低減させるために、複数のラインにおける平均値をとることも有効である。
【００９１】
このように、定常的な副走査位置の偏差を示す走査光学系２の副走査方向への変動プロファイルを同一主走査ラインの走査ビームを用いて取得しておき、この走査光学系２の副走査方向への変動プロファイルを用いて評価パターン像の副走査位置を補正することにより、副走査位置の誤差を補正してから、解析評価に供することができる。
【００９２】
この際、特に、走査光学系２の副走査方向への変動プロファイルをポリゴンミラー４の各ミラー面毎に取得しておき、複数の主走査ラインの走査ビームより取得した各評価パターン像の副走査位置をその評価パターン像を生成したミラー面での変動プロファイルを用いて補正することにより、各ミラー面の倒れによって定常的に生ずる副走査方向の位置ずれを対応するミラー面の変動プロファイルにより適正に補正することができ、より正確な解析評価に供することができる。
【００９３】
第２に、複数の主走査ラインを規定するライン同期信号の発生間隔に基づく補正について説明する。まず、本実施の形態にあっては、実際に副走査を行うことなく、副走査した時の走査光学系２の特性を取得するのが特徴であるが、この副走査という動作は、実際の画像生成装置においては感光体の回転により行われる。ここで、感光体の回転速度を一定とすると、走査ビームの各主走査ライン毎の発生時間間隔のずれが、そのまま副走査の位置変動となって現れるはずである（ドラム表面線速×時間間隔が副走査の間隔）。
【００９４】
しかしながら、書き込み光学系の構成上、走査ビームはライン同期信号によって、毎回の走査毎にリセットされてしまうため、計測に用いているＣＣＤカメラ１１の位置情報としては、全く現れない可能性がある。このため各主走査ラインの発生時間間隔のずれ分を、その書き込みクロックカウンタの値で補正することによって、最大１pclk（画像クロック）分の時間で副走査位置の補正を行い、ライン同期信号時間の変化によって実際に感光体上に生ずる副走査の位置変動状態を取得することが可能となる。
【００９５】
例えば、３００００ｒｐｍで回転する６面のポリゴンミラー４に、画像周波数３０ＭＨｚで画像変調を行った場合、ライン同期信号の発生間隔は、３００００（ｒ／ｍ）／６０（ｓ）＊６（面）＝３０００（Ｈｚ）となる。この場合、ライン同期信号間で画像クロックを主走査カウンタ（図示せず）によりカウントすると１００００となるはずである。しかしながら、実際には、ポリゴンミラー４の回転ムラや、ミラー加工精度によって０．０５％ライン同期信号の発生間隔が変わると、１００００×０．０５％＝５クロック分だけカウント値が変わる。このライン同期信号の発生間隔は実際の感光体書込みにすると、５／１００００クロック分、副走査方向に感光体は移動していることとなり、位置変動を生ずる。この時間ｔ（ｓ）を感光体の副走査方向の線速度ｖ（ｍｍ／ｓ）によって求まるｔ×ｖ（ｍｍ）を測定したドット位置の副走査方向に対して補正を行うことによって、測定精度を向上させることができる。
【００９６】
実際の制御としては、図６に示すように、主走査ラインの走査毎にライン同期信号が入ったタイミングにおける主走査カウンタのカウント値（“９９９９”“９９９７”“１０００２”等）をデータ格納部１４等のメモリに保存し、その（カウント値）／（画像クロック周波数）＊（線速度）に基づき補正するようにすればよい。
【００９７】
ところで、このようなライン同期信号の発生間隔のずれによる補正に関しては、画像クロックを計数する主走査カウンタを利用しているため、最大で１pclk（画像クロック）分の補正誤差が出る可能性がある。即ち、図７（ａ）〜（ｃ）に示す如く、画像クロックの立上り時間からライン同期信号が入るまでの時間ｔ，ｔ２，ｔ３は各走査ラインによって、最大１画像クロック分の差を生ずる。このため、この立上り時間間隔を測定して記憶させておき、上述したようなライン同期信号発生間隔を規定する主走査カウンタのカウント値と合わせて、
｛(カウンタ値)/(画像クロック周波数)＋(画像クロック立上り〜ライン同期信号の立上り時間間隔)｝＊（線速度）
に基づき、撮像した評価パターン像の副走査方向の位置を補正することで、測定精度を向上させることができる。
【００９８】
本発明の第二の実施の形態を図８に基づいて説明する。第一の実施の形態で示した部分と同一部分は同一符号を用いて示し、説明も省略する（以降の実施の形態でも同様とする）。本実施の形態は、例えば、図１に示す測定評価装置において、シリンドリカルレンズのような、光を一方向について縮小又は拡大可能な光学素子を用いて、主走査方向の撮像倍率を副走査方向の撮像倍率より小さくする光学系構成として、ＣＣＤカメラ１１により複数主走査ライン分の評価パターン像を同時に撮像させるようにしたものである。
【００９９】
本発明の目的は、前述したように、副走査方向に起因する走査ビームの位置変動を精度よく測定することであり、このためには主走査方向に関しての倍率が小さくても問題ない。逆に、主走査方向の撮像倍率を小さくすることによって、ＣＣＤカメラ１１の同一視野内に存在する評価パターン像を増やすことにより、１回の撮像でより多くの走査ビームを検出することが可能となり、結果的に、より低周波でビーム変動を検出することが可能となる。即ち、主走査方向／副走査方向の撮像倍率を同じとした場合のＣＣＤカメラ１１による撮像イメージを示すと、例えば、図８（ａ）のようになった場合（同一視野内に３つの評価パターン像が存在する）、主走査方向の撮像倍率のみを小さくした場合のＣＣＤカメラ１１による撮像イメージを示すと、例えば、図８（ｂ）のようになる（同一視野内に７つの評価パターン像が存在する）。また、走査ビーム数を変えなくとも（増やさなくても）、同一主走査ライン上の評価パターン像の数を増やすことで、検出誤差を低減させることも可能となる。
【０１００】
本発明の第三の実施の形態を図９及び図１０に基づいて説明する。本実施の形態は、例えば図１に示す構成において、発光素子３として複数、例えば、２個の半導体レーザを用いて、２本の主走査ラインを同時に走査できるようにした走査光学系２に対して適用されている。
【０１０１】
即ち、近年では、記録の高速化のために複数の走査ビームを用いるマルチビーム方式の走査光学系２があるが、各々の発光素子３を例えば図２で説明したような各々の評価発光パターンに従い発光させてＣＣＤカメラ１１で撮像した場合の評価パターン像（ビームプロファイル画像）は、図９に示すように副走査方向に２列存在する状態をなす。ここに、各々の発光素子３はポリゴンミラー４への入射角が異なり、これによって同一時間に感光体面上の異なる個所を走査していることになる。これは、逆に言うと同一地点においては異なる時間に走査ビームが到達しているということであり、即ち、同一の同期センサ６に入るタイミングが異なるため、双方の発光素子に関しての同期を取ることが可能となる（図１０参照）。評価発光パターンのタイミングは各々の発光素子３で独立であるため、各々のライン同期信号の発生時刻を、画像クロックとは異なり基準時刻発生手段により生成される基準時刻系列の時刻とし、その（基準時刻カウンタ値）／（基準時刻クロック周波数）＊（線速度）で補正することによって、マルチビームにおける副走査方向の位置精度を向上することができる。即ち、書込み用の画像クロックの位相を合わせるため、ライン同期信号で画像クロックの位相を合わせており、このため、前述した実施の形態のような処理では、画像クロックとライン同期信号との立上り時間間隔の測定誤差が累積する。そこで、基準クロックを生成する基準時刻発生手段を別途設けることにより、時間の測定を、ライン同期信号によって変動する書込み系の画像クロックとは切り離すことができるため、測定誤差の累積を避け、より高精度に補正することができる。
【０１０２】
即ち、本実施の形態が対象とするようなマルチビーム走査光学系は、複数の発光素子３を別々に駆動し、別々のライン同期信号に基づき同時に感光体面上に像を形成する。このため、各々の書き込み信号の時間を、別々に管理しなくては正確に副走査位置を測定することができない。そこで、書き込み用の画像クロックとは別の、基準時刻発生手段により生成される測定用の基準クロックを持ち、各発光素子３のライン同期信号の発生時刻を別々にライン基準時刻としてサンプリングしてメモリに記憶させることにより、最終的に取得した画像から、各発光素子３の各走査タイミングによる時間の相違によって実際に感光体面上に生ずる副走査位置の状態を取得することができる。
【０１０３】
また、本実施の形態の方法によれば、単一走査ビームの走査光学系においても、画像クロックのＰＬＬによる累積誤差を含まないという点で、より高精度な測定が可能となる。
【０１０４】
なお、これらの実施の形態では、説明を簡単にするため、ＣＣＤカメラ１１が感光体面相当位置Ｒの或る個所に固定的に存在する場合で説明したが、より実際的には、ＣＣＤカメラ１１の位置を移動ステージ１５によって主走査方向に断続的に移動させるとともに、各ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンをＣＣＤカメラ１１の主走査方向の移動位置に応じて変更させるようにすれば、感光体面相当位置Ｒに関して主走査方向のより広範な範囲について、走査ビームの副走査方向の位置変動の測定及びその解析・評価が可能となる。この場合、ＣＣＤカメラ１１の同期タイミング（或る位置での撮像後、次の撮像位置での撮像を開始させるタイミング）を、図１１に示すように、測定位置（撮像位置）に対して測定終了〜次の走査による測定開始の間に設定することにより、主走査方向の全域についての走査ビームのビームプロファイルを撮像測定し、解析評価することができる。
【０１０５】
また、これらの実施の形態では、ポリゴンミラー４の各ミラー面で評価発光パターンのタイミングを異ならせて測定するようにしたが、測定としては、ポリゴンミラー４の特定のミラー面に対してのみ(即ち、ポリゴンミラー４の１回転毎に)、評価発光パターンのタイミングを順次変えて発光素子３を発光させることにより、ポリゴンミラー４の面倒れによる測定誤差を排除し、かつ、副走査方向に対してより広範囲（例えば、６面＝６ライン毎）での測定を１回の撮像で行えることとなる。
【０１０６】
【発明の効果】
請求項１記載の発明の走査光学系の走査ビーム測定評価方法によれば、感光体面相当位置の像を撮像するように配設させた２次元カメラの露光時間を複数の主走査ライン分に設定しておき、これらの複数の主走査ラインについて各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで発光素子を発光させて２次元カメラの同一視野内で撮像させることにより、異なる主走査ラインの評価パターン像を同一の２次元カメラの視野内において主走査方向にずらした形で同時に撮像することができ、これらの複数の評価パターン像の直線性を解析することにより、その副走査方向の位置変動の有無・程度を評価することができる。即ち、感光体面上に実際に潜像を形成することなく、２次元カメラを用いて簡単に複数の主走査ライン分の走査ビームのプロファイルを同時に測定でき、走査光学系におけるポリゴンミラーの面倒れ、軸振れ、振動等に起因する副走査方向の走査ビーム変動を解析することができ、最終的に、走査光学系に起因するバンディングを評価することができる。
【０１０７】
また、請求項１記載の発明の走査光学系の走査ビーム測定評価方法によれば、２次元カメラによる撮像位置を主走査方向に断続的に移動させることにより、感光体面相当位置に関して主走査方向のより広範な範囲について、走査ビームの副走査方向の位置変動の測定及びその解析・評価が可能となる。
【０１０８】
請求項２記載の発明によれば、請求項１記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、ポリゴンミラーの各ミラー面により生成される複数の主走査ラインについて各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで発光させて２次元カメラの同一視野内で撮像させることにより、副走査方向に連続する複数の主走査ラインの評価パターン像を同一の２次元カメラの視野内において主走査方向にずらした形で同時に撮像することができ、これらの複数の評価パターン像の直線性を解析することにより、その副走査方向の位置変動の有無・程度を評価することができる。即ち、バンディング等の副走査方向の連続した位置変化を測定することが可能となる。
【０１０９】
請求項３記載の発明によれば、請求項２記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、特定のミラー面の主走査ラインの評価発光パターンの形状を他と異ならせることにより，同一視野内で撮像される複数の評価パターン像に関してその像の形の違いにより露光走査順を容易に確定することができ、複数の評価パターン像の解析処理がしやすくなる。
【０１１０】
請求項４記載の発明によれば、請求項１記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、る特定の同一ミラー面のみを対象として各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで複数の主走査ライン分の走査を行わせることで複数の評価パターン像を撮像することにより、ポリゴンミラーの面倒れによる測定誤差を排除した形で副走査方向の位置変動を測定でき、かつ、副走査方向に対してより広範囲な測定を１回で行えることとなる。
【０１１１】
請求項５記載の発明によれば、請求項１ないし４の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、元々副走査方向の位置変動を測定するために複数の主走査ライン分の走査ビームを用いるが、同一視野内で同時に撮像するために異なるタイミングの評価発光パターンで発光させており、同じ点（主走査位置）では発光させていないため、主走査方向の位置の違いによっては走査光学系の有する定常的な副走査位置の偏差の影響を受けてしまうが、この定常的な副走査位置の偏差を示す走査光学系の副走査方向への変動プロファイルを同一主走査ラインの走査ビームを用いて取得しておき、この走査光学系の副走査方向への変動プロファイルを用いて評価パターン像の副走査位置を補正することにより、副走査位置の誤差を補正してから、解析評価に供することができる。
【０１１２】
請求項６記載の発明によれば、基本的には請求項５記載の発明の場合と同様であるが、特に、走査光学系の副走査方向への変動プロファイルをポリゴンミラーの各ミラー面毎に取得しておき、複数の主走査ラインの走査ビームより取得した各評価パターン像の副走査位置をその評価パターン像を生成したミラー面での変動プロファイルを用いて補正することにより、各ミラー面の倒れによって定常的に生ずる副走査方向の位置ずれを対応するミラー面の変動プロファイルにより適正に補正することができ、より正確な解析評価に供することができる。
【０１１３】
請求項７記載の発明によれば、請求項１ないし６の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、複数の主走査ライン分の走査ビームは各々ライン同期信号を走査開始の基準とするが、各主走査ラインの走査時間には多少の違いが発生し得るものであり、このようなライン同期信号の発生間隔に差異があるとその時間分が副走査方向の違いとして反映されるため、このライン同期信号発生間隔分についても副走査位置に関して補正を加えることにより、より正確な解析評価に供することができる。
【０１１４】
請求項８記載の発明によれば、請求項７記載の発明に加えて、ライン同期信号と画像クロックとの間の位相差による微小時間の立上り時間間隔分に起因する副走査位置の誤差も補正するため、実質的に画像クロック以上の精度でライン同期信号間隔を測定できることとなり、副走査位置の補正精度をより一層向上させることができ、より一層正確な解析評価に供することができる。
【０１１５】
請求項９記載の発明によれば、請求項１ないし６の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、ライン同期信号の発生時刻を画像クロックとは異なる基準時刻発生手段に基づきライン同期時刻として取得することにより、マルチビーム等の場合のように異なる画像クロックを基準に生成される各々の走査ビームに対しても異なる画像クロックの影響を受けることなく、副走査位置の補正を適正に行うことができる。
【０１１６】
請求項１０記載の発明によれば、請求項９記載の発明を実現する上で、マルチビーム系への適用が明らかとなる。
【０１１７】
請求項１１記載の発明によれば、請求項１ないし１０の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価方法において、本来的に副走査方向に起因する走査ビームの位置変動を精度よく測定することを目的としており、主走査方向に関しての倍率は小さくても問題ないことから、主走査方向の撮像倍率を小さくすることで２次元カメラの一視野内により多くの評価パターン像を取り込むことができ、同時に測定できる主走査ライン数を増やすことができ、より低周波での走査ビーム変動の検出が可能となる。
【０１１８】
請求項１２記載の発明の走査光学系の走査ビーム測定評価装置によれば、感光体面相当位置の像を撮像するように配設された２次元カメラの露光時間を複数の主走査ライン分に設定しておき、これらの複数の主走査ラインについて各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで発光素子を発光させて２次元カメラの同一視野内で撮像させることにより、異なる主走査ラインの評価パターン像を同一の２次元カメラの視野内において主走査方向にずらした形で同時に撮像することができ、これらの複数の評価パターン像の直線性を解析することにより、その副走査方向の位置変動の有無・程度を評価することができる。即ち、感光体面上に実際に潜像を形成することなく、２次元カメラを用いて簡単に複数の主走査ライン分の走査ビームのプロファイルを同時に測定でき、走査光学系におけるポリゴンミラーの面倒れ、軸振れ、振動等に起因する副走査方向の走査ビーム変動を解析することができ、最終的に、走査光学系に起因するバンディングを評価することができる。
【０１１９】
また、請求項１２記載の発明の走査光学系の走査ビーム測定評価装置によれば、２次元カメラによる撮像位置を主走査方向に断続的に移動させることにより、感光体面相当位置に関して主走査方向のより広範な範囲について、走査ビームの副走査方向の位置変動の測定及びその解析・評価が可能となる。
【０１２０】
請求項１３記載の発明によれば、請求項１２記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、ポリゴンミラーの各ミラー面により生成される複数の主走査ラインについて各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで発光させて２次元カメラの同一視野内で撮像させることにより、副走査方向に連続する複数の主走査ラインの評価パターン像を同一の２次元カメラの視野内において主走査方向にずらした形で同時に撮像することができ、これらの複数の評価パターン像の直線性を解析することにより、その副走査方向の位置変動の有無・程度を評価することができる。即ち、バンディング等の副走査方向の連続した位置変化を測定することが可能となる。
【０１２１】
請求項１４記載の発明によれば、請求項１３記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、特定のミラー面の主走査ラインの評価発光パターンの形状を他と異ならせることにより，同一視野内で撮像される複数の評価パターン像に関してその像の形の違いにより露光走査順を容易に確定することができ、複数の評価パターン像の解析処理がしやすくなる。
【０１２２】
請求項１５記載の発明によれば、請求項１２記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、或る特定の同一ミラー面のみを対象として各主走査ライン毎に異なるタイミングの評価発光パターンで複数の主走査ライン分の走査を行わせることで複数の評価パターン像を撮像することにより、ポリゴンミラーの面倒れによる測定誤差を排除した形で副走査方向の位置変動を測定でき、かつ、副走査方向に対してより広範囲な測定を１回で行えることとなる。
【０１２３】
請求項１６記載の発明によれば、請求項１２ないし１５の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、元々副走査方向の位置変動を測定するために複数の主走査ライン分の走査ビームを用いるが、同一視野内で同時に撮像するために異なるタイミングの評価発光パターンで発光させており、同じ点（主走査位置）では発光させていないため、主走査方向の位置の違いによっては走査光学系の有する定常的な副走査位置の偏差の影響を受けてしまうが、この定常的な副走査位置の偏差を示す走査光学系の副走査方向への変動プロファイルを同一主走査ラインの走査ビームを用いて取得しておき、この走査光学系の副走査方向への変動プロファイルを用いて評価パターン像の副走査位置を補正することにより、副走査位置の誤差を補正してから、解析評価に供することができる。
【０１２４】
請求項１７記載の発明によれば、基本的には請求項１６記載の発明の場合と同様であるが、特に、走査光学系の副走査方向への変動プロファイルをポリゴンミラーの各ミラー面毎に取得しておき、複数の主走査ラインの走査ビームより取得した各評価パターン像の副走査位置をその評価パターン像を生成したミラー面での変動プロファイルを用いて補正することにより、各ミラー面の倒れによって定常的に生ずる副走査方向の位置ずれを対応するミラー面の変動プロファイルにより適正に補正することができ、より正確な解析評価に供することができる。
【０１２５】
請求項１８記載の発明によれば、請求項１２ないし１７の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、複数の主走査ライン分の走査ビームは各々ライン同期信号を走査開始の基準とするが、各主走査ラインの走査時間には多少の違いが発生し得るものであり、このようなライン同期信号の発生間隔に差異があるとその時間分が副走査方向の違いとして反映されるため、このライン同期信号発生間隔分についても副走査位置に関して補正を加えることにより、より正確な解析評価に供することができる。
【０１２６】
請求項１９記載の発明によれば、請求項１８記載の発明に加えて、ライン同期信号と画像クロックとの間の位相差による微小時間の立上り時間間隔分に起因する副走査位置の誤差も補正するため、実質的に画像クロック以上の精度でライン同期信号間隔を測定できることとなり、副走査位置の補正精度をより一層向上させることができ、より一層正確な解析評価に供することができる。
【０１２７】
請求項２０記載の発明によれば、請求項１２ないし１７の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、ライン同期信号の発生時刻を画像クロックとは異なる基準時刻発生手段に基づきライン同期時刻として取得することにより、マルチビーム等の場合のように異なる画像クロックを基準に生成される各々の走査ビームに対しても異なる画像クロックの影響を受けることなく、副走査位置の補正を適正に行うことができる。
【０１２８】
請求項２１記載の発明によれば、請求項２０記載の発明を実現する上で、マルチビーム系への適用が明らかとなる。
【０１２９】
請求項２２記載の発明によれば、請求項１２ないし２１の何れか一記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置において、本来的に副走査方向に起因する走査ビームの位置変動を精度よく測定することを目的としており、主走査方向に関しての倍率は小さくても問題ないことから、主走査方向の撮像倍率を小さくすることで２次元カメラの一視野内により多くの評価パターン像を取り込むことができ、同時に測定できる主走査ライン数を増やすことができ、より低周波での走査ビーム変動の検出が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態の測定評価装置を示す概略平面図である。
【図２】測定原理を示す説明図である。
【図３】測定解析処理の制御例を示す概略フローチャートである。
【図４】評価発光パターンの変形例を示す説明図である。
【図５】副走査位置の補正の原理を示す説明図である。
【図６】ライン同期信号の発生間隔について説明するためのタイミングチャートである。
【図７】ライン同期信号と画像クロックとの間の時間間隔を説明するためのタイミングチャートである。
【図８】本発明の第二の実施の形態を示す説明図である。
【図９】本発明の第三の実施の形態を示す説明図である。
【図１０】ライン同期信号と基準時刻と関係について説明するためのタイミングチャートである。
【図１１】変形例を示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
２      走査光学系
３      発光素子
４      ポリゴンミラー
１０      発光パターン制御手段
１１      ２次元カメラ
１４      データ格納手段
１５      移動手段
１８，１９      解析手段
Ｒ      感光体面相当位置
Ｓ１，Ｓ５      露光時間制御手段
【図１】
0004426131.tif 000002
【図２】
0004426131.tif 000003
【図３】
0004426131.tif 000004
【図４】
0004426131.tif 000005
【図５】
0004426131.tif 000006
【図６】
0004426131.tif 000007
【図７】
0004426131.tif 000008
【図８】
0004426131.tif 000009
【図９】
0004426131.tif 000010
【図１０】
0004426131.tif 000011
【図１１】
0004426131.tif 000012