(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池（２）を照射する所定のマトリックス光源（１）と、
電流調整器で前記光源を作動させる手段と、
テストする太陽電池（２）に電気的に接続し、照射された前記太陽電池（２）によって出力される電力を測定し、較正された基準セル（１１）の電力と比較する評価ユニット（４）と、
を備える、太陽電池をテストする装置であって、
発生する放射が、実質的に単色であり、測定する前記太陽電池（２）の好適なスペクトル感度範囲内にあるような固体光源から、前記マトリックス光源（１）が構成され、
前記マトリックス光源（１）を作動させる手段が、基準光源フィードバックネットワークに接続されているコンピュータ制御電源であり、
前記基準光源フィードバックネットワークは、
前記マトリックス光源（１）と同様の形態を有する基準光源（９）と、
適応フィルタと、
を有し、
前記基準光源（９）から発生される放射が前記適応フィルタを介して基準セル（１１）に照射され、
前記マトリックス光源（１）の光度は、前記基準光源フィードバックネットワークにおいて評価される前記固体光源の電流を介して調整される、
太陽電池をテストする装置。
【請求項２】
特に、２５℃において１２００Ｗ／ｍ２の特定放射パワーの出力により、Ｓｉ太陽電池（２）をテストし、
前記マトリックス光源（１）が、赤外領域における最大値、８８０ｎｍである放射を発する固体光源を有する、
請求項１に記載の装置。
【請求項３】
特に、２５℃において１２００Ｗ／ｍ２の特定放射パワーの出力により、ＣＩＳ又はＣｄＴｅ太陽電池（２）をテストし、
前記マトリックス光源（１）が、赤色領域における最大値、６００ｎｍ又は７００ｎｍである放射を発する固体光源を有する、
請求項１に記載の装置。
【請求項４】
特に、２５℃において１２００Ｗ／ｍ２の特定放射パワーの出力により、非晶質シリコンの太陽電池（２）をテストし、
前記マトリックス光源（１）が、青又は青紫色領域における最大値、４５０ｎｍである放射を発する固体光源を有する、
請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記マトリックス光源（１）が、１０×１０ｃｍの太陽電池をテストするために、少なくとも４００個の固体光源を有する、請求項１又は請求項２〜４に記載の装置。
【請求項６】
前記固体光源が、レンズ状の放射オリフィスを有するＬＥＤであり、４．３ｍｍ±１０％間隔であるマトリックス状構造が、ほぼ均質な放射領域を形成する、請求項１〜５のうちの少なくとも１つに記載の装置。
【請求項７】
前記マトリックス光源（１）を作動させる手段が、コンピュータ制御評価ユニット（４）に一体化されている、請求項１〜６のうちの少なくとも１つに記載の装置。
【請求項８】
前記マトリックス光源（１）が、モジュール式であり、モジュールの追加により拡張することができる、請求項１〜７のうちの少なくとも１つに記載の装置。
【請求項９】
前記マトリックス光源がＸＹマトリックスの形態であり（１３）、前記固体光源の電流が個々に制御可能である、請求項１〜８のうちの少なくとも１つに記載の装置。
【請求項１０】
前記マトリックス光源（１３）が、異なるスペクトル光を発する固体光源のグループであり、前記グループを適切に作動させることにより、所望の混合スペクトルを生成することができる、請求項１及び請求項５〜８のうちの少なくとも１つに基づいた、請求項９に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、上記請求項１で特徴を述べた、一般的なタイプの装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に統合モジュラーユニットを有し、光シミュレータとも呼ばれるこのタイプの既知の装置は、少なくとも１つのランプ、制御可能なエネルギー供給ユニット、冷却ユニット、光学フィルタユニット、及び光度を監視するための検出ユニットなどを含む。このランプには、金属ハライド蒸気又はキセノンガス又はこれらの混合物が充填されており、このランプは、連続発光体として用いられている。追加フィルタと組み合わせて、複数のランプが用いられることも多い。これらのモジュラーユニットは、連続光シミュレータ（ＵＳ  ７３９４９９３、ＪＰ  ５７１７９６７４、ＵＳ  ５２１７２８５）とも呼ばれる。このような装置は、例えば、開発研究所における又は生産工場での品質保証における太陽電池測定に用いられる。
【０００３】
フラッシュ時間エネルギーが調整可能な１つ又は複数のキセノンフラッシュランプを用いる他の装置も、さらに知られている。一般的にフラッシャー又はパルス光シミュレータ（ＪＰ  １１３１７５３５、ＵＳ  ３９５０８６２、ＪＰ  ３１５４８４０）と呼ばれるこれらの装置は、生産工程における太陽電池測定に用いられる。
【０００４】
コンパクトな設計にも関わらず、説明又は言及したこれらの装置は、ガス放電ランプを用いるため、又は、短くて高いパルスエネルギーを供給するため、大きな空間を必要とし、高いエネルギーを要求する。
【０００５】
太陽電池の準連続生産工程における使用に関し、高い放射エネルギーで作動するこの連続光シミュレータ又はパルス光シミュレータの平均作動時間は、発生した放射のスペクトル範囲が依然として要求範囲内であるという条件で、例えば３秒サイクルで、それぞれ７５０時間、９時間である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的は、上述した一般的なタイプの装置を、太陽電池製造における品質監視に用いるのに特に適するように、且つ構造的に単純な方式で生産することができるように、且つコンパクトで省エネルギー型となるように設計することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明に従って、光源が、測定する太陽電池の好適なスペクトル感度範囲内で実質的に単色の放射を発するマトリックスの固体光源であり、この光源を作動させる手段が電流調整器を有する場合、上記の目的は達成される。
【０００８】
本発明による装置の利点は、光シミュレータにおいて用いられる高光度のガス放電を行う一般的に個別の放射源が、低光度ではあるが高効率である多数の物理的に同一の固体放射源によって置き換えられる点である。これにより、空間及びエネルギーの必要量を大きく減少させることが可能であり、寿命が著しく延びる。太陽電池の生産監視又は機能テストにおいて、太陽スペクトルを所望どおりにシミュレートすることは絶対不可欠なことではない、ということがわかった。このようなテストは、固体放射源によってもたらされる限定されたスペクトルを用いて行ってもよい。さらに、固体光源は、そのスペクトル分布を、電力の変動によって変化させない（例えば、薄暗くなったりしない）。
【０００９】
Ｓｉ太陽電池のテストに対し、この装置は、好適には、８８０ｎｍの領域において放射を発する固体光源を有する。このマトリックス光源は、好適には、２５℃において１２００Ｗ／ｍ2の特定放射パワーを出力するように設計されている。これらの条件が、現在使用されている太陽電池テスト装置に基本的に用いられることによって、この市場区分を本発明でカバーすることができる。用いられる固体光源の上記のスペクトル感度は、その設計の理由により、シリコンセルに対してのみ最適であると考えられる。薄膜若しくは薄層のセル、又はその他の光起電的に用いられる化合物半導体のテストにおいては、他の光スペクトルが必要とされることもある。従って、他の特定スペクトル光感度を有する固体光源が、今日知られている他の技術から得られた太陽電池に対して用いられる。
【００１０】
さらに、２５℃において１２００Ｗ／ｍ2の特定放射パワーをマトリックス光源が出力することにより、７００ｎｍの領域における放射を有するＣｄＴｅ太陽電池、又は６００ｎｍの領域における放射を有するＣＩＳ太陽電池も、この装置を用いてテストすることができる。他のタイプの太陽電池をテストすることも、同様に可能である。
【００１１】
好適な実施形態において、マトリックス光源は、１０×１０ｃｍの太陽電池をテストするために、少なくとも４００個の固体光源を有する。この数の固体光源があることにより、太陽電池をテストするのに必要な電力が供給される。
【００１２】
好適な実施形態において、固体光源は、レンズ状の放射オリフィスを有するＬＥＤであり、４．３ｍｍ±１０％間隔であるそのマトリックス状構造は、ほぼ均質な放射領域を形成する。ここでの利点は、照射領域が均一な点であって、これにより、均一な光フィールドが生成される。
【００１３】
光源から出力された光パワーを制御する手段は、コンピュータ制御評価ユニットに一体化されるのが好ましい。好適な実施形態において、この出力された光パワーを制御する手段は、基準光源フィードバックネットワークを有するコンピュータ制御電源を含む。これにより、マトリックス光源の老朽現象及び／又は温度偏差が補償される。
【００１４】
好適な実施形態において、マトリックス光源は、モジュール式であり、モジュールの追加により拡張することができる。
【００１５】
マトリックス光源はＸＹマトリックスの形態であり、固体光源の電流は個々に制御可能であるのが好ましい。所望のスペクトル分布をもたらすために、このマトリックス光源は、異なるスペクトル光を発する固体光源のグループから構成されていてもよく、このグループを適切に作動させることにより、所望の混合スペクトルを生成することが可能である。このように、異なるスペクトル感度を有するＬＥＤを用いることによって、組み合わされた混合光を生成することができる。また、適切な作業により、全体としてＡＭ（振幅変調）１．５のスペクトルを生成することもできる。しかし、これは、単なるテスト目的には必要でないことがわかった。
【００１６】
また、この正方形のマトリックス光源は、長方形又は曲線形（特に円形）をしたものに置き換えることも可能である。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明を、添付の図面と合わせて、実施形態により以下に説明する。
【００１８】
図１は、太陽電池を測定する装置を示しており、この装置は、マトリックス光源１を備える。このマトリックス光源１は、多数の固体光源から構成されており、これらの固体光源には、コンピュータ制御電源５によってエネルギーが供給される。これらの固体光源は、太陽電池２の最適なスペクトル感度範囲内におけるその発光エネルギーを電流に変換することができるように、そのスペクトル光放射の大きさが決められている。生成される測定電流は、この放射エネルギーに正比例する。アナログ測定電流は、アナログ／デジタル変換器３を介してデジタル測定信号に変換されることによって、評価ユニット／テストコンピュータ４においてさらに処理される。
【００１９】
本発明によれば、スペクトル領域が８８０ｎｍであるＬＥＤが、固体光源として用いられている。その理由は、この波長における放射エネルギーが、最も容易にシリコン太陽電池によって変換されるからである。ここでは、まず、較正された基準セルが所定のタイムユニットに供給され、このセルに、コンピュータ制御電源５の制御されたダイオード電流を介して、マトリックス光源１の放射パワーが、所定の方式で増加するように供給される。較正値１０００Ｗ／ｍ2まで、これに関して生成された電流又は電圧は、テストシャントを介して記録される。この基準セルのテスト温度は、２５℃である（ＳＴＣ）。
【００２０】
図１に示された測定装置をこのように較正した後には、あらゆる所望の太陽電池を又は同じセル材料でできたあらゆる対応する放射センサを照射することができると共に、入射放射と相関する測定電流を決定することができる。この測定電流と基準セルの電流との偏差は、補正係数又は較正曲線を介して考慮される。
【００２１】
図２は、図１に開示されたマトリックス光源１の詳細を示している。本実施形態では、個々のＬＥＤは、マトリックス光源回路基板８の領域にわたって、少なくとも２０の並列ストランド（列）に配置されると共に、これらが順に少なくとも２０のＬＥＤから成る直列回路（行）となるように配置される。個々のＬＥＤストランドには、コンピュータ制御電源５から、ドライバモジュール６を介して、所定の電流が供給される。このストランド電流を監視して制御するために、ＬＥＤの放射が各ストランドから出力されることによって、このストランド電流を基準光源フィードバックネットワーク７において評価することができる。
【００２２】
図３は、本発明によるこの基準光源フィードバックネットワーク７を詳細に示している。放射が出力される基準ＬＥＤ９は、本実施形態におけるマトリックス状光源の形態と同様である。太陽電池又は光センサチップ１１は、適応フィルタ１０を介して照射される。マトリックス光源１の光度は、ＬＥＤの電流を介して調整することができるので、基準光源フィードバックネットワーク７は、マトリックス光源回路基板８の老朽現象又は温度偏差を補償する手段としての機能を果たす。
【００２３】
図４は、図２で既に説明された本発明によるマトリックス光源１を、広域ダブルマトリックス光源１６としてのモジュール式拡張機構において示している。本実施形態によれば、図１に基づいて上述したような測定タスクは、ここでは、例えば光起電モジュール１２に対して行うことができる。
【００２４】
図５は、電子回路基板が適切に修正されたＸＹマトリックス光源１３、ｘ行及びｙ列に対するデコーダアセンブリ１４、並びに、プログラム可能な電流源１５の例を示している。本実施形態によれば、個々の電流モニタは、このプログラム可能な電流源において行われる。本発明によれば、所定の振幅及び形状の光パルスを選択して太陽電池の均質性をテストすることによって、生成処理においてできるだけ障害を起こさないようにすると共に、できるだけ単純な方式でこれらの太陽電池を評価することができるようにする。
【図面の簡単な説明】
【図１】  マトリックス光源を備えた、太陽電池をテストする装置を示す、略図である。
【図２】  ＬＥＤを有する実際のマトリックス光源及び作動ネットワーク、フィードバックネットワークを含む基準測定構造、並びに、電源を示す、略図である。
【図３】  基準ＬＥＤ、光適応フィルタ、及び評価センサを備えた、基準測定構造を示す、略図である。
【図４】  例えば光起電モジュールのような面積の大きいテスト試料に対する、モジュール式に拡張されたダブルマトリックス光源を示す、略図である。
【図５】  ｘ−ｙ作動することによって太陽電池の均質性をテストする、マトリックス光源構造を示す、略図である。
【図１】
0004551057.tif 000002
【図２】
0004551057.tif 000003
【図３】
0004551057.tif 000004
【図４】
0004551057.tif 000005
【図５】
0004551057.tif 000006