(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体を撮像して画像を取得する画像取込部と、
前記画像取込部で撮像された前記被検査体の画像をディスプレイ画面上に表示する画像表示手段と、
前記ディスプレイ画面上に表示された前記被検体の画像から欠陥部分の大きさに応じたサイズの画像領域を取得する画像領域取得手段と、
前記画像領域の画像を前記ディスプレイ画面上に拡大縮小表示する欠陥表示用ウィドウを作成するウィンドウ作成手段と、
前記画像領域のサイズと前記欠陥表示用ウィンドウのサイズとに基づいて前記欠陥表示用ウィンドウ内に拡大縮小表示する前記画像領域の倍率を算出し、この倍率で前記欠陥表示用ウィンドウ内に前記画像領域の画像を表示するウィンドウ表示手段と、
を具備し、
前記画像領域取得手段は、前記被検体の各欠陥部分に対してそれぞれ前記画像領域を取得し、
前記ウィンドウ作成段は、前記画像領域取得手段により取得された前記画像領域に対してサイズの異なる前記欠陥表示用ウィンドウを作成し、
前記ウィンドウ表示手段は、前記ウィンドウ作成手段により作成された前記各欠陥表示ウィンドウに切り換えて前記画像領域取得手段により取得された前記各欠陥部分の画像を周期的に表示させる、
ことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記画像領域取得手段は、前記ディスプレイ画面上でポインタを移動させて前記欠陥部分を包含する矩形の前記画像領域を取得することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記画像領域取得手段は、前記ディスプレイ画面上に表示され前記被検体の画像上の欠陥部分を指定することにより、指定された前記欠陥部の座標に基づいて前記欠陥部分を包含するサイズに前記画像領域を自動的に取得することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記ウィンドウ作成手段は、前記ディスプレイ画面上でポインタを移動させることにより任意のサイズの前記欠陥表示用ウィンドウを作成すること特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレイに用いられるガラス基板や半導体ウエハなどの被検査体を撮像してその画像をディスプレイ画面上に表示して被検査体の検査を行う基板検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ディスプレイの生産ラインでは、この液晶ディスプレイに用いられるガラス基板のマクロ又はミクロ検査が行われている。マクロ検査は、ガラス基板上における欠陥部分として傷、異物、むら、汚れなどをマクロ的に観察するもので、例えばガラス基板に対して斜め方向から照明光を照射し、オペレータの目視によりガラス基板上の欠陥を観察したり、又はガラス基板の全体を撮像してその画像をディスプレイに表示し、この表示画像を目視して観察している。
【０００３】
そして、オペレータの目視によるガラス基板上の欠陥の観察の結果から傷、異物、むら、汚れなどの欠陥部分の情報を取りまとめ、最終的にガラス基板の良否を判定する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このうちガラス基板の全体を撮像して取得した画像をディスプレイ画面上に表示して目視により観察する方法では、欠陥部分を検出すると、この欠陥部分の画像を拡大・縮小してディスプレイ画面上に表示して観察している。
【０００５】
しかしながら、欠陥部分の大きさは、その欠陥種類例えば傷、異物、むら、汚れごとに大きく異なり、かつ同一種類の欠陥でもそれぞれ異なることがある。このため従来では、各欠陥部分の画像をディスプレイ画面上に表示しながら観察に最適な倍率に拡大・縮小して表示するために、表示倍率を変える操作が煩雑となり、拡大操作を誤ると、ディスプレイ画面上から欠陥部分がはみ出てしまうことがある。
【０００６】
そこで本発明は、自動的に欠陥部分の大きさに応じて観察に適した表示倍率に拡大・縮小して表示できる基板検査装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、被検査体を撮像して画像を取得する画像取込部と、前記画像取込部で撮像された前記被検査体の画像をディスプレイ画面上に表示する画像表示手段と、前記ディスプレイ画面上に表示された前記被検体の画像から欠陥部分の大きさに応じたサイズの画像領域を取得する画像領域取得手段と、前記画像領域の画像を前記ディスプレイ画面上に拡大縮小表示する欠陥表示用ウィドウを作成するウィンドウ作成手段と、前記画像領域のサイズと前記欠陥表示用ウィンドウのサイズとに基づいて前記欠陥表示用ウィンドウ内に拡大縮小表示する前記画像領域の倍率を算出し、この倍率で前記欠陥表示用ウィンドウ内に前記画像領域の画像を表示するウィンドウ表示手段とを具備し、前記画像領域取得手段は、前記被検体の各欠陥部分に対してそれぞれ画像領域を取得し、前記ウィンドウ作成段は、前記画像領域取得手段により取得された前記画像領域に対してサイズの異なる前記欠陥表示用ウィンドウを作成し、前記ウィンドウ表示手段は、前記ウィンドウ作成手段により作成された前記各欠陥表示ウィンドウに切り換えて前記画像領域取得手段により取得された前記各欠陥部分の画像を周期的に表示させる基板検査装置である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１１】
図１は基板検査装置の構成図である。画像取込部１は、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板又は半導体ウエハなどの被検査体を撮像してその画像データを取得するものである。基板ステージ２上には、被検査体としてガラス基板３が載置されている。この基板ステージ２は、装置制御ユニット４の駆動制御によって、後述するライン状の照明光のライン方向に対して垂直方向に所定の速度で移動するものとなっている。
【００１２】
ガラス基板３は、例えばパーソナルコンピュータに用いる液晶ディスプレイの大きさを６面又は８面取りした大きさである。
【００１３】
基板ステージ２の上方には、ライン照明装置５が配置されている。このライン照明装置５は、移動するガラス基板３に対して斜め方向からライン状の照明光６を照射するものである。又、ガラス基板３からの反射光７の光路上には、ラインセンサ・カメラ８が配置されている。このラインセンサ・カメラ８は、移動するガラス基板３からの反射光７を逐次入射してその画像信号を出力する機能を有している。
【００１４】
画像処理ボード９は、ラインセンサ・カメラ８から出力される画像信号を逐次入力し、１枚のガラス基板３に対する画像の取り込みが終了したところでガラス基板３の全面に対する画像データを作成する機能を有している。
【００１５】
ここで、画像取込部１は、画像データとして複数の画像データ、例えば回折画像データと干渉画像データとを取得する機能を有している。このうち回折画像データは、ガラス基板３に対して斜め方向から照明光６を照射し、このときのガラス基板３の表面上の傷やごみにより生じる散乱光をラインセンサ・カメラ８により捉えて取得されるものである。干渉画像データは、レジストが塗布されたガラス基板３に対して斜め方向から照明光６を照射し、このときのレジスト表面からの反射光とガラス基板３の表面からの反射光との干渉光をラインセンサ・カメラ８により捉えて取得される明暗の画像である。
【００１６】
演算・制御装置１０は、画像取込部１からガラス基板３の画像データ（回折画像データ、干渉画像データ）を受け取り画像処理して画像表示用ディスプレイ１４に表示し、この表示画像上でオペレータにより指示された欠陥部分を含む画像領域（矩形領域）を取得し、この画像領域をディスプレイ画面上に拡大表示するための任意の大きさのウィンドウを作成して、このウィンドウ内に画像領域の画像を倍率変更して表示するという機能と、ガラス基板３の欠陥情報を登録し、この欠陥情報に基づいてガラス基板３の良否判定を行うという一連の演算・制御する機能とを有するもので、ユーザ・インターフェイスとしてのキーボード１１とマウス１２、画像サーバ１３及び画像表示用ディスプレイ１４が接続されている。
【００１７】
図２はかかる演算・制御装置１０の具体的な機能ブロック図である。画像取込部１のラインセンサ・カメラ８から取り込んだ画像データは、画像処理ポート９を介して演算・制御装置１０の画像メモリ１５に記憶（展開）されるようになっている。
【００１８】
画像処理部１６は、画像メモリ１５に記憶された画像データを読み取り、この画像データを画像表示用の映像信号に変換して画像表示用ディスプレイ１４に表示出力する機能を有している。
【００１９】
又、画像処理部１６は、キーボード１１又はマウス１２からの操作信号を受けて、例えば図３に示すようにポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示させ、かつこのポインタ１４ａの移動表示により欠陥部分、例えば便宜上付された欠陥ラベル「１」「２」又は「３」のうち欠陥ラベル「３」の欠陥部分を含む矩形の画像領域（以下、矩形領域と称する）Ｆを取得する手動操作の画像領域取得手段としての機能を有している。この場合、画像処理部１６は、矩形領域Ｆ内の画像データを抜き取って画像メモリ１５に記憶するようにしてもよい。
【００２０】
この手動操作での矩形領域Ｆの設定は、オペレータの手動によるポインタ１４ａの画像表示用ディスプレイ１４の画面上での移動により欠陥部分の大きさに応じたサイズ、すなわち拡大表示するのに最適なサイズに設定できる。
【００２１】
このように矩形領域Ｆが設定されると、画像処理部１６は、矩形領域Ｆの座標から矩形領域Ｆのサイズ（Ｘ方向，Ｙ方向）をピクセル数で算出する機能を有している。
【００２２】
さらに、画像処理部１６は、ポインタ１４ａの移動表示により例えば欠陥ラベル「３」の欠陥部分が指示されると、この欠陥部分の重心の座標又は欠陥部分領域の座標に基づいて矩形領域Ｆを自動的に取得する画像領域取得手段としての機能を有している。
【００２３】
なお、これら画像領域取得手段としての機能は、手動操作又は自動のいずれか一方又は両方備えていてもよい。
【００２４】
又、画像処理部１６は、キーボード１１又はマウス１２からの操作信号を受けて、例えば図４に示すようにポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示させ、かつこのポインタ１４ａの移動により任意のサイズ、すなわち欠陥部分を拡大表示するのに最適なサイズの欠陥表示用ウィンドウＷを作成するウィンドウ作成手段としての機能を有している。
【００２５】
この画像処理部１６のウィンドウ作成手段は、既に作成済みの欠陥表示用ウィンドウＷをその座標と共に欠陥情報メモリ２０に登録している。従って、このウィンドウ作成手段は、欠陥情報メモリ２０に登録されているサイズの異なる複数の欠陥表示用ウィンドウＷから選択して設定する機能を有している。この場合、ウィンドウ作成手段は、欠陥情報メモリ２０に登録されている複数の欠陥表示用ウィンドウＷを読み出して画像表示用ディスプレイ１４の画面上に表示し、キーボード１１又はマウス１２からの指示を受けて設定するものとなっている。
【００２６】
このように欠陥表示用ウィンドウＷが設定されると、画像処理部１６は、この欠陥表示用ウィンドウＷの座標からそのサイズ（Ｘ方向，Ｙ方向）をピクセル数で算出する機能を有している。
【００２７】
又、画像処理部１６は、矩形領域Ｆのサイズ（ピクセル数）と欠陥表示用ウィンドウＷのサイズ（ピクセル数）とに基づいて欠陥表示用ウィンドウＷ内に表示する矩形領域Ｆ内の画像データの倍率（Ｘ方向の倍率，Ｙ方向の倍率）を算出し、この倍率で欠陥表示用ウィンドウＷ内に矩形領域Ｆ内の画像を表示するウィンドウ表示手段としての機能を有している。
【００２８】
又、画像処理部１６は、画像ファイル１８に欠陥ラベル「１」「２」「３」の矩形領域Ｆ内の画像データを保存すると共に、その各欠陥表示用ウィンドウＷの座標を欠陥情報メモリ２０に登録していれば、キーボード１１又はマウス１２の操作により指定された欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の拡大画像を画像表示用ディスプレイ１４の画面上に自動的に表示する機能を有している。
【００２９】
又、画像処理部１６は、オペレータによるキーボード１１又はマウス１２の操作入力によって、欠陥部分の拡大画像を表示している状態から元の倍率のマクロ画像に戻す機能を有している。
【００３０】
又、画像処理部１６は、例えば欠陥ラベル「１」「２」「３」の順序で順次サイズの異なる欠陥表示用ウィンドウＷに切り換えて、その欠陥表示用ウィンドウＷ内に各欠陥ラベル「１」「２」「３」の欠陥部分の各拡大画像を所定周期で連続的に切り替えて表示する機能を有している。
【００３１】
画像保存検索部１７は、画像メモリ１５に記憶された画像データを読み取り、この画像データから画像ファイル１８を作成して画像サーバ１３に保存する機能を有している。
【００３２】
又、この画像保存検索部１７は、キーボード１１又はマウス１２からの検索指示を受けて、複数保存している画像ファイル１８のうち指示された画像ファイル１８を検索し読み出してその画像データを画像メモリ１５に記憶する機能を有している。
【００３３】
一方、欠陥登録部１９は、キーボード１１又はマウス１２からの操作信号を受け、ポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示させて、このポインタ１４ａにより表示画像上で欠陥部分、例えば欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の欠陥部分を指示すると、この指示した欠陥部分の欠陥情報、例えば欠陥種類（傷、異物、むら、汚れ）、欠陥形状及び欠陥位置（座標）を欠陥情報メモリ２０に登録する機能を有している。
【００３４】
この欠陥情報の登録方法は、例えばキーボード１１又はマウス１２からの指示を受けた画像処理部１６によって欠陥情報メモリ２０に記憶されている欠陥登録ダイアログウィンドウ情報を読み出して図５に示すように画像表示用ディスプレイ１４に表示する。この欠陥登録ダイアログウィンドウ２１は、欠陥種類（欠陥名称）として予め傷、異物、むら、汚れなどが登録されており、キーボード１１又はマウス１２の操作により選択決定されるようになっている。
【００３５】
又、キーボード１１又はマウス１２の操作信号によりポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示させることにより、欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の各欠陥部分の形状、欠陥位置（座標）を指示できるようになっている。
【００３６】
基板判定部２２は、欠陥情報メモリ２０に登録された欠陥情報を読み込み、この欠陥情報から少なくとも各欠陥種類（欠陥名称）別にその個数の集計を行い、この集計結果に基づいてガラス基板３の良否、例えば良品、廃棄、リワーク（ガラス基板３の表面を削ってレジストをやり直す）を判定する機能を有している。
【００３７】
欠陥情報保存検索部２３は、欠陥情報メモリ２０に登録されている欠陥種類（例えば傷、異物、むら、汚れ）と共に、基板判定部２２でのガラス基板３の判定結果（例えば良品、廃棄、リワーク）を欠陥情報ファイル２４として画像サーバ１３に保存する機能を有している。
【００３８】
又、この欠陥情報保存検索部２３は、キーボード１１又はマウス１２からの検索指示を受けて、複数保存している欠陥情報ファイル２４のうち指示された欠陥情報ファイル２４を検索し読み出してその欠陥情報を欠陥情報メモリ２０に記憶する機能を有している。
【００３９】
次に、上記の如く構成された装置の作用について図６に示す欠陥の自動拡大表示フローチャートに従って説明する。
【００４０】
画像取込部１における基板ステージ２上にガラス基板３が載置される。このガラス基板３に対して斜め方向からライン照明装置５からのライン状の照明光６が照射されると共に、基板ステージ２が装置制御ユニット４の駆動制御によってライン状の照明光６のライン方向に対して垂直方向に所定の速度で移動する。この状態にラインセンサ・カメラ８は、移動するガラス基板３からの反射光７を逐次入射してその画像信号を出力する。
【００４１】
画像処理ボード９は、ラインセンサ・カメラ８から出力される画像信号を逐次入力し、１枚のガラス基板３に対する画像の取り込みが終了したところでガラス基板３の全面に対する画像データを作成する。
【００４２】
ここで、回折画像データと干渉画像データとの２つの画像データを取得するために、画像取込部１では、ガラス基板３に対して斜め方向から照明光６を照射し、このときのガラス基板３の表面上の傷やごみにより生じる散乱光をラインセンサ・カメラ８により捉えて回折画像データを取得し、又レジストが塗布されたガラス基板３に対して斜め方向から照明光６を照射し、このときのレジスト表面からの反射光とガラス基板３の表面からの反射光との干渉光をラインセンサ・カメラ８により捉えて明暗の干渉画像データを取得する。以下、回折画像データ、干渉画像データとして説明する。
【００４３】
画像取込部１から回折画像データ、続いて干渉画像データが演算・制御装置１０に送られると、この演算・制御装置１０は、ステップ＃１において、回折画像データ、続いて干渉画像データを新規画像データとして取り込み、これら回折画像データ、続いて干渉画像データを画像メモリ１５に記憶（展開）する。
【００４４】
次に、画像保存検索部１７は、ステップ＃２において、画像メモリ１５に記憶された回折画像データ及び干渉画像データを読み取り、これら回折画像データ及び干渉画像データからそれぞれ画像ファイル１８を作成して画像サーバ１３に保存する。
【００４５】
次に、画像処理部１６は、ステップ＃３において、画像メモリ１５に記憶された回折画像データ、干渉画像データを読み取り、これら回折画像データ及び干渉画像データを画像表示用の映像信号に変換して画像表示用ディスプレイ１４に表示出力する。なお、画像表示用ディスプレイ１４の画面上には、回折画像データ又は干渉画像データのいずれか一方又は両方を表示させるようにしてよい。
【００４６】
次に、演算・制御装置１０は、ステップ＃４において、現在、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に表示されている回折画像データ又は干渉画像データのいずれか一方又は両方の欠陥情報が欠陥情報ファイル２４に保存されているか否かを判断する。
【００４７】
ここで、現在、画像表示用ディスプレイ画面上に表示されている回折画像データ又は干渉画像データは、いずれも新規の画像であるので、演算・制御装置１０は、ステップ＃６に移り、欠陥情報の入力を行うか否かを判断する。これら回折画像データ又は干渉画像データは、いずれも新規の画像であるので、キーボード１１又はマウス１２から欠陥情報の入力を行う指示が入力される。
【００４８】
次に、演算・制御装置１０は、ステップ＃７において欠陥情報の保存を行う。このとき、画像処理部１６は、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に回折画像データ又は干渉画像データのいずれか一方又は両方を表示すると共に、キーボード１１又はマウス１２の操作により移動可能にポインタ１４ａを表示している。
【００４９】
又、キーボード１１又はマウス１２から欠陥登録の指示を受けた画像処理部１６は、欠陥情報メモリ２０に記憶されている欠陥登録ダイアログウィンドウ情報を読み出して図５に示すように画像表示用ディスプレイ１４の画面上に欠陥登録ダイアログウィンドウ２１を表示する。
【００５０】
この表示状態に、キーボード１１又はマウス１２の操作によりポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示させ、例えば各欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の各欠陥部分の形状、欠陥位置（座標）を指示する。このように画像表示用ディスプレイ１４の画面上でポインタ１４ａを移動させて欠陥部分の形状、欠陥位置を指示すれば、欠陥登録部１９は、それらの座標が回折画像データ上、干渉画像データ上において対応できる。
【００５１】
又、例えば、欠陥ラベル「１」については、画像表示用ディスプレイ１４の画面上の欠陥登録ダイアログウィンドウ２１において欠陥種類としてむらが選択決定され、欠陥ラベル「２」については傷、欠陥ラベル「３」についてはごみが選択決定される。
【００５２】
この後、欠陥種類（欠陥名称）の選択決定、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）が指示された後に、登録ダイアログウィンドウ２１上の登録ボタンが操作されると、欠陥登録部１９は、これら欠陥種類（欠陥名称）、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）を欠陥情報メモリ２０に登録する。なお、これら欠陥情報は、回折画像データと干渉画像データとのそれぞれに対して登録される。
【００５３】
次に、画像処理部１６は、ステップ＃８において、キーボード１１又はマウス１２からの操作信号を受け、図３に示すようにポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示させて、このポインタ１４ａにより表示画像上で欠陥部分、例えば欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の欠陥部分を指示し、これら欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の欠陥部分が現在入力中の欠陥部分であるか、又は既に登録済みの欠陥部分であるのかを選択する。
【００５４】
次に、登録されていない欠陥に対し、画像処理部１６は、ステップ＃９において、オペレータの手動操作によるキーボード１１又はマウス１２からの操作信号を受けて、例えば図３に示すようにポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示させ、かつこのポインタ１４ａの移動表示により欠陥部分、例えば欠陥ラベル「１」「２」又は「３」のうち欠陥ラベル「３」の欠陥部分を含む矩形領域Ｆを取得する。このとき、矩形領域Ｆは、オペレータの手動により欠陥部分が完全に含まれる大きさ、すなわち欠陥部分にほぼ外接するサイズに設定される。
【００５５】
このように矩形領域Ｆが設定されると、画像処理部１６は、矩形領域Ｆの座標から矩形領域Ｆのサイズ（Ｘ方向，Ｙ方向）をピクセル数で算出する。例えば、矩形領域Ｆのサイズは、（Ｘ：５０ピクセル，Ｙ：５０ピクセル）である。
【００５６】
矩形領域Ｆを自動的に取得する場合、ポインタ１４ａの移動表示により例えば欠陥ラベル「３」の欠陥部分が指示されると、画像処理部１６は、この欠陥部分の重心の座標又は欠陥部分領域の座標に基づいて矩形領域Ｆを自動的に取得するものとなる。
【００５７】
次に、演算・制御装置１０は、ステップ＃１０において、欠陥表示用ウィンドウＷを新規作成するか、又は既存の欠陥表示用ウィンドウＷを用いるかを判断する。オペレータによりキーボード１１又はマウス１２への操作により新規作成が指示されると、画像処理部１６は、ステップ＃１１において、キーボード１１又はマウス１２からの操作信号を受けて、例えば図４に示すようにポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示させ、かつこのポインタ１４ａの移動により任意のサイズ、すなわち欠陥部分を拡大表示するのに最適なサイズの欠陥表示用ウィンドウＷを作成する。
【００５８】
この欠陥表示用ウィンドウＷが設定されると、画像処理部１６は、この欠陥表示用ウィンドウＷの座標からそのサイズ（Ｘ方向，Ｙ方向）をピクセル数で算出する。例えば、新規作成された欠陥表示用ウィンドウＷのサイズは、（Ｘ：５００ピクセル，Ｙ：１０００ピクセル）である。
【００５９】
一方、既存の欠陥表示用ウィンドウＷを用いる場合、画像処理部１６は、ステップ＃１２において、欠陥情報メモリ２０に登録されているサイズの異なる複数の欠陥表示用ウィンドウＷを読み出して画像表示用ディスプレイ１４の画面上に表示し、オペレータの操作によるキーボード１１又はマウス１２からの指示を受けて選択された欠陥表示用ウィンドウＷを設定するものとなる。例えば、既存の欠陥表示用ウィンドウＷのサイズは、（Ｘ：２５０ピクセル，Ｙ：２５０ピクセル）である。
【００６０】
次に、画像処理部１６は、ステップ＃１３において、矩形領域Ｆのサイズ（例えばＸ：５０ピクセル，Ｙ：５０ピクセル）と欠陥表示用ウィンドウＷのサイズ（ピクセル数）とに基づいて欠陥表示用ウィンドウＷ内に表示する矩形領域Ｆ内の画像データの倍率（Ｘ方向の倍率，Ｙ方向の倍率）を算出する。例えば、新規作成された欠陥表示用ウィンドウＷ（Ｘ：５００ピクセル，Ｙ：１０００ピクセル）の場合は、
Ｘ倍率＝５００／５０＝１０倍
Ｙ倍率＝１０００／５０＝２０倍
となるが、小さい方の倍率を取って拡大倍率１０倍とする。
【００６１】
又、既存の欠陥表示用ウィンドウＷ（Ｘ：２５０ピクセル，Ｙ：２５０ピクセル）の場合は、
Ｘ倍率＝２５０／５０＝５倍
Ｙ倍率＝２５０／５０＝５倍
となり、拡大倍率５倍とする。
【００６２】
次に、画像処理部１６は、ステップ＃１４において、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に、新規作成又は既存の欠陥表示用ウィンドウＷを設定し、この欠陥表示用ウィンドウＷ内に拡大した例えば欠陥ラベル「３」の欠陥部分を表示する。
【００６３】
なお、矩形領域Ｆのサイズが欠陥表示用ウィンドウＷのサイズよりも大きければ、矩形領域Ｆ内の画像を縮小して欠陥表示用ウィンドウＷ内に表示するものとなる。
【００６４】
次に、画像処理部１６は、ステップ＃１５において、他の欠陥部分（欠陥ラベル「１」「２」）を選択するか否かを判断し、オペレータによるキーボード１１又はマウス１２の操作入力によって他の欠陥部分を選択するのであれば、再びステップ＃８に戻って欠陥部分の選択を行い、次に新規作成又は既存の欠陥表示用ウィンドウＷを設定し、次に画像の拡大倍率を算出して画像表示用ディスプレイ１４の画面上に表示する。
【００６５】
このように例えば各欠陥ラベル「１」「２」「３」の欠陥部分の各矩形領域Ｆを設定してその画像データを画像ファイル１８に保存し、かつこれら欠陥部分に対してそれぞれ異なるサイズの各欠陥表示用ウィンドウＷを設定しその座標を欠陥情報メモリ２０の登録しておけば、図３に示すように画像表示用ディスプレイ１４の画面上に回折画像データ又は干渉画像データを表示し、キーボード１１又はマウス１２の操作により欠陥ラベル「１」「２」又は「３」を拡大表示することを指示すれば、画像処理部１６は、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に、図７に示すような欠陥ラベル「３」の欠陥部分の拡大画像を自動的に表示する。
【００６６】
又、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に欠陥ラベル「３」の欠陥部分の拡大画像を表示している状態に、オペレータによるキーボード１１又はマウス１２の操作入力によって元の倍率の画像に戻す指示を入力すると、画像処理部１６は、欠陥ラベル「３」の欠陥部分を有する元の画像データ（回折画像データ又は干渉画像データ）を認識しているので、欠陥ラベル「３」の欠陥部分の拡大画像から元の倍率の画像（回折画像データ又は干渉画像データ）に戻す。
【００６７】
又、複数の欠陥部分（欠陥ラベル「１」「２」「３」）に対する各矩形領域Ｆ内の画像データとその各欠陥表示用ウィンドウＷが設定されていれば、オペレータによるキーボード１１又はマウス１２の操作入力によって連続表示が指示されると、画像処理部１６は、例えば欠陥ラベル「１」「２」「３」の順序で順次サイズの異なる欠陥表示用ウィンドウＷに切り換えて、その欠陥表示用ウィンドウＷ内に各欠陥ラベル「１」「２」「３」の欠陥部分の各拡大画像を所定周期で切り替えて表示する。
【００６８】
この後、再びステップ＃６に戻って欠陥情報の入力を行うか否かを判断する。
【００６９】
一方、基板判定部２２は、上記ステップ＃７において欠陥情報メモリ２０に登録された欠陥情報を読み込み、この欠陥情報から少なくとも各欠陥種類（欠陥名称）別にその個数の集計を行い、この集計結果に基づいてガラス基板３の良否、例えば良品、廃棄、リワーク（ガラス基板３の表面を削ってレジストをやり直す）を判定する。
【００７０】
このガラス基板３の良否判定が終了すると、欠陥情報保存検索部２３は、欠陥情報メモリ２０に登録されている欠陥種類（例えば傷、異物、むら、汚れ）と共に、基板判定部２２でのガラス基板３の判定結果（例えば良品、廃棄、リワーク）を欠陥情報ファイル２４として画像サーバ１３に保存する。
【００７１】
そして、画像の取り込み・検索を繰り返さなければ、演算・制御装置１０は、システム終了を判断する。
【００７２】
なお、ステップ＃５における画像合成は、画像処理部１６により欠陥情報メモリ２０に記憶されている欠陥情報を、任意の画像データ、例えば回折画像データ、干渉画像データ又は他の画像データに重ね合せて画像表示用ディスプレイ１４の画面上に合成表示するものである。
【００７３】
このように上記一実施の形態においては、画像取込部１からガラス基板３の画像データ（回折画像データ、干渉画像データ）を画像表示用ディスプレイ１４に表示させた画像上でオペレータにより指示された欠陥部分を含む矩形領域Ｆを取得し、この矩形領域Ｆをディスプレイ画面上に拡大・縮小表示するための任意の大きさの欠陥表示用ウィンドウＷを作成して、この欠陥表示用ウィンドウＷ内に矩形領域Ｆの画像を倍率変更して表示するようにしたので、自動的に欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の欠陥部分の大きさに応じて最適な拡大画像を欠陥表示用ウィンドウＷ内に表示できる。
【００７４】
従って、欠陥部分の大きさは、その欠陥種類例えば傷、異物、むら、汚れごとに異なり、かつ同一種類の欠陥でもそれぞれ異なるが、これら欠陥部分に対して観察しやすい倍率に拡大して自動的に画像表示用ディスプレイ１４上に表示することができ、かつその操作も簡単で、観察中の各欠陥部分ごとの拡大・縮小の操作を軽減できる。
【００７５】
むらや汚れなどの欠陥は、傷や異物などの微小欠陥に比べて非常に大きく、このような場合には、欠陥表示用ウィンドウＷ内に納まる大きさに縮小することが望ましい。
【００７６】
この場合、欠陥表示用ウィンドウＷは、新規作成により任意のサイズに設定できるので、欠陥部分の拡大・縮小倍率を観察に最適な倍率に設定できる。このとき、欠陥表示用ウィンドウＷのサイズを矩形領域Ｆのサイズよりも小さく設定すれば、矩形領域Ｆ内の画像を縮小して欠陥表示用ウィンドウＷ内に表示できる。
【００７７】
又、例えば、各欠陥ラベル「１」「２」「３」の欠陥部分の各矩形領域Ｆを設定してその画像データを画像ファイル１８に保存し、かつこれら欠陥部分に対してそれぞれ異なるサイズの各欠陥表示用ウィンドウＷを設定しその座標を欠陥情報メモリ２０に登録するので、この後は、キーボード１１又はマウス１２の操作により欠陥ラベル「１」「２」又は「３」を拡大表示することを指示するだけで、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の欠陥部分が観察に最適な拡大・縮小画像で画像表示用ディスプレイ１４上に自動的に表示できる。
【００７８】
又、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に例えば欠陥ラベル「３」の欠陥部分の拡大画像を表示している状態からオペレータの指示によって、欠陥ラベル「３」の欠陥部分を有する元の倍率の画像データ（回折画像データ又は干渉画像データ）の表示に何時でも戻すことができる。
【００７９】
又、オペレータによるキーボード１１又はマウス１２の操作入力によって、例えば欠陥ラベル「１」「２」「３」の順序で順次サイズの異なる欠陥表示用ウィンドウＷに切り換えて、その欠陥表示用ウィンドウＷ内に欠陥ラベル「１」「２」「３」の欠陥部分の拡大・縮小画像を連続的に所定周期で切り替えて表示できる。
【００８０】
さらに、拡大・縮小表示した欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の欠陥部分に対する欠陥情報を欠陥情報ファイル２４から読み出せば、欠陥部分の拡大・縮小画像と共に、その欠陥情報（欠陥種類、欠陥部分の形状及び欠陥位置）を表示できる。
【００８１】
なお、本発明は、上記一実施の形態に限定されるものでなく次の通りに変形してもよい。
【００８２】
上記一実施の形態では、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板のマクロ観察に適用した場合について説明したが、これに限らず各種被検査体の所望部分の拡大画像を得るときに適用できる。
【００８３】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、自動的に欠陥部分の大きさに応じて観察に適した表示倍率に拡大・縮小して表示できる基板検査装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を示す構成図。
【図２】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態における演算・制御装置の具体的な機能ブロック図。
【図３】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態における矩形領域の作成を示す図。
【図４】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態における欠陥表示用ウィンドウの作成を示す図。
【図５】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態における欠陥登録ダイヤブロックを示す図。
【図６】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態における欠陥の自動拡大表示フローチャート。
【図７】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態における欠陥表示用ウィンドウ内で拡大表示した欠陥部分を示す図。
【符号の説明】
１：画像取込部
２：基板ステージ
３：ガラス基板
４：装置制御ユニット
５：ライン照明装置
８：ラインセンサ・カメラ
９：画像処理ボード
１０：演算・制御装置
１１：キーボード
１２：マウス
１３：画像サーバ
１４：画像表示用ディスプレイ
１４ａ：ポインタ
１５：画像メモリ
１６：画像処理部
１７：画像保存検索部
１８：画像ファイル
１９：欠陥登録部
２０：欠陥情報メモリ
２１：欠陥登録ダイアログウィンドウ
２２：基板判定部
２３：欠陥情報保存検索部
２４：欠陥情報ファイル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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