(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を成膜して得られるフィルムにエンボス加工を施すことにより、該フィルム面に多数の凹部を形成してなる太陽電池用封止膜において、
隣接する該凹部間を連通する連通路としての凹溝が設けられている太陽電池用封止膜であって、
凹部は平面視形状が円形でその直径Ｒが０．１〜２ｍｍで、連通路としての凹溝の幅Ｗが０．１〜１ｍｍであることを特徴とする太陽電池用封止膜。
【請求項２】
請求項１において、前記凹部のうち少なくとも一部とフィルム端面とを連通する連通路が設けられていることを特徴とする太陽電池用封止膜。
【請求項３】
請求項２において、前記凹部とフィルム端面とを連通する連通路が２以上設けられていることを特徴とする太陽電池用封止膜。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項において、前記エンボス加工による凹部がフィルムの両面に形成されていることを特徴とする太陽電池用封止膜。
【請求項５】
請求項４において、前記連通路がフィルムの両面に設けられていることを特徴とする太陽電池用封止膜。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は太陽電池用封止膜に係り、特に、エチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂製の太陽電池用封止膜であって、太陽電池作製時の封止工程における太陽電池用セルの破損が防止される太陽電池用封止膜に関する。
【０００２】
【従来の技術及び先行技術】
近年、資源の有効利用や環境汚染の防止等の面から、太陽光を直接電気エネルギーに変換する太陽電池が注目され、開発が進められている。
【０００３】
太陽電池は、一般に、図１６に示す如く、表面側透明保護部材としてのガラス基板１１と裏面側保護部材（バックカバー）１２との間にエチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂（ＥＶＡ）フィルム１３Ａ，１３Ｂの封止膜により、シリコン発電素子１４等の太陽電池用セルを封止した構成とされている。
【０００４】
このような太陽電池は、ガラス基板１１、封止膜用ＥＶＡフィルム１３Ａ、シリコン発電素子１４、封止膜用ＥＶＡフィルム１３Ｂ及びバックカバー１２をこの順で積層し、加熱加圧して、ＥＶＡを架橋硬化させて接着一体化することにより製造される。
【０００５】
なお、封止膜用ＥＶＡフィルム１３Ａ，１３Ｂは、一般に溶融樹脂を直線状スリットを有するダイから押し出し、冷却ロール又は水槽で急冷固化するＴダイ法、カレンダー法等により成膜されている。
【０００６】
ところで、太陽電池の作製時にあっては、その封止工程の加熱加圧の際にＥＶＡフィルムが太陽電池用セルに押し付けられるため、この押圧力で太陽電池が割れるという問題があった。また、封止時の脱気不良で空気を巻き込んだり、加熱加圧した際にＥＶＡフィルムが流動して樹脂がはみ出したりすることで製品の歩留りが低下するという問題もあった。
【０００７】
従来、この封止時の脱気不良を改善するために、ＥＶＡフィルムにエンボス加工を施してフィルム表面に凹部を形成することが提案されている（特公平１−５２４２８号公報）。
【０００８】
また、本出願人は先に、エンボス加工による凹部の深さを深くすることにより、太陽電池作製時の封止工程における太陽電池用セルの破損や脱気不良、樹脂の流出等を改善する太陽電池用封止膜を提案した（特願２０００−２２７３８８号）。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
エンボス加工を施したフィルムであれば、脱気不良や太陽電池用セルの破損、樹脂の流動等が防止されるが、十分に満足し得る効果が得られているとは言えず、より一層の改善が望まれている。
【００１０】
特に近年、太陽電池を構成するシリコンの量を減らしてコスト削減を図るべく太陽電池用セルの薄厚化が要求されており、この場合において太陽電池用セルはより一層破損し易くなり、また、脱気不良も発生し易くなることから、封止時に太陽電池用セルに加わる歪をより一層緩和することができ、また、気泡の残留を確実に防止することができる太陽電池用封止膜の開発が望まれている。
【００１１】
従って、本発明は、太陽電池作製時の封止工程における太陽電池用セルの破損や脱気不良、樹脂の流出等をより一層確実に防止し、太陽電池を歩留り良く効率的に作製することができる太陽電池用封止膜を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の太陽電池用封止膜は、エチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を成膜して得られるフィルムにエンボス加工を施すことにより、該フィルム面に多数の凹部を形成してなる太陽電池用封止膜において、隣接する該凹部間を連通する連通路としての凹溝が設けられている太陽電池用封止膜であって、凹部は平面視形状が円形でその直径Ｒが０．１〜２ｍｍで、連通路としての凹溝の幅Ｗが０．１〜１ｍｍであることを特徴とする。
【００１３】
エンボス加工により凹部を形成したフィルムであれば、太陽電池用セルの封止を行う際、局部的な押圧力が集中しようとした場合、凹部形成表面のクッション効果でこの応力を吸収し、太陽電池用セルへの局部的な応力の集中を防止することができるため、太陽電池用セルの破損を防止することができる。また、エンボス加工の凹凸面で封止時の脱気性を高めると共に加熱加圧時の樹脂の流動によるはみ出しを防止することができる。
【００１４】
しかし、単にエンボス加工による凹部を形成したのみのフィルムでは、封止時に凹部内に空気が封じ込められ、封じ込められた空気の反発力で、十分なクッション性、応力吸収性能が得られない場合がある。即ち、凹部を形成したフィルムでは、封止時にフィルム表面が被封止物と面接触で当接された際、凹部は被封止物により蓋をされた密閉空間となってしまい、空気の逃げ場がなくなる。また、この凹部内の空気の閉じ込めで脱気不良となる場合もある。
【００１５】
本発明では、エンボス加工による凹部の間を連通する連通路を設けるため、空気は連通路から隣接する凹部に逃げることができ、この凹部内の空気の封じ込めが防止され、十分なクッション性、応力吸収性でセルの破損及び脱気不良を確実に防止することができる。また、樹脂の流動による樹脂のはみ出しも有効に防止される。
【００１６】
特に、フィルム端面と連通する連通路を設けることにより、空気をフィルム外へ排出することができ、好ましい。また、このフィルム端面と連通する連通路は２以上設けられていることが好ましい。
【００１７】
本発明において、エンボス加工による凹部はフィルムの両面に設けられていても良く、この場合において、連通路はフィルムの両面に設けられていることが好ましい。
【００１８】
エチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を成膜して得られるフィルムよりなる太陽電池用封止膜において、該フィルム面に多数の凸部を形成した太陽電池用封止膜であれば、凹部ではなく、凸部が設けられているため、前述の空気の封じ込めの問題はなく、凸部による凹凸面のクッション性、応力吸収性でセルの破損及び脱気不良を確実に防止することができる。また、樹脂の流動による樹脂のはみ出しも有効に防止される。
【００１９】
この太陽電池用封止膜において、凸部は、フィルム面に規則的に等間隔で形成されていることが好ましい。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００２１】
図１〜図６は本発明の太陽電池用封止膜の実施の形態を示す図であって、各々（ａ）図は平面図、（ｂ）図は（ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【００２２】
図１の太陽電池用封止膜１Ａは、ＥＶＡフィルム２の一方の面にエンボス加工により、多数の凹部３と、隣接する凹部３，３を連通する連通路としての凹溝４とを設けたものである。
【００２３】
図１の太陽電池用封止膜１Ａは凹部３が千鳥配列とされているのに対し、図２の太陽電池用封止膜１Ｂは凹部３が縦横に等間隔で配置され、横方向及び縦方向に隣接する凹部３，３間に凹溝４が設けられている。
【００２４】
このように隣接する凹部３，３を連通する連通路としての凹溝４を設けることにより、凹部３内の空気が隣接する凹部３へ移動することができるようになり、これにより、特定の凹部３に空気が封じ込められることが防止され、良好なクッション性及び応力吸収性を得ることができるようになる。
【００２５】
図１，２に示す如く、隣接する凹部３，３間に凹溝４を設けることにより、凹部３，３間での空気の移動が可能となるが、好ましくは空気は封止界面から排除することが望ましい。
【００２６】
図３〜６に示す太陽電池用封止膜１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆは、凹部３のうちのフィルム端縁に最も近い凹部３Ａについては、フィルム端面に連通する連通路としての凹溝４Ａを設けたものである。このような太陽電池用封止膜１Ｃ〜１Ｆであれば、封止面の空気を凹部４，４Ａを介してフィルム端面に排出することができ、より一層良好な効果を得ることができる。
【００２７】
図７の太陽電池用封止膜１Ｇに示す如く、このような凹部３，３Ａ及び凹溝４，４Ａは、ＥＶＡフィルム２の両面に設けても良く、この場合、凹部３の投影位置をＥＶＡフィルム２の一方の面と他方の面とでずらすようにすることにより、良好なクッション性、応力吸収性及びガス抜き性を得ることができる。
【００２８】
本発明において、凹部３（３Ａ）の深さＤは、凹部をフィルムの一方の面に設ける場合と両面に設ける場合とでも異なり、また、凹部の大きさや形成割合によっても異なるが、直径Ｒが０．１〜２ｍｍで、深さＤがフィルムの厚みＴの２０〜９５％程度の凹部を、フィルムの全面積に対する凹部の形成面積の合計が２０〜９９％程度となるように設けることが好ましい。
【００２９】
また、連通路としての凹溝は、空気の移動効率の面で深さｄがフィルムの厚みＴの５０〜９０％で、幅Ｗが０．１〜１ｍｍである。
【００３０】
なお、凹部の断面形状は、図１〜６に示すような半円ないし半円類似形状に限らず、三角形、四角形等であっても良い。凹部の平面視形状は円形である。
【００３１】
このような凹部はフィルムの一方の面又は両方の面に等間隔で規則正しく設けるのが好ましい。
【００３２】
図８〜１５は参考例に係る太陽電池用封止膜の実施の形態を示す図であって、図８の（ａ）図は平面図、（ｂ）図は（ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【００３３】
図８の太陽電池用封止膜１Ｈは、ＥＶＡフィルム２の一方の面に多数の凸部５を等間隔で規則正しく形成したものである。
【００３４】
このような太陽電池用封止膜１Ｈであっても、凸部５，５間に空気が円滑に流動するために凸部５，５による良好なクッション性及び応力吸収性、脱ガス性を得ることができる。
【００３５】
図８の太陽電池用封止膜１Ｈは円錐形状の凸部５を設けてあるが、この凸部の形状には特に制限はなく、図９の太陽電池用封止膜１Ｉの如く、半球状の凸部５Ａであっても良い。また、図１０の太陽電池用封止膜１Ｊに示す如く、円錐台形状の凸部５Ｂであっても良い。
【００３６】
また、凸部の平面視形状や配列にも特に制限はなく、図１１に示す如く、平面視形状が四角形の凸部５Ｃを千鳥配列で等間隔で規則正しく設けた太陽電池用封止膜１Ｋであっても良い。
【００３７】
更に、図１２に示す如く、凸部５ＤをＥＶＡフィルム２の両面に設けた太陽電池用封止膜１Ｌであっても良い。このように、凸部５ＤをＥＶＡフィルム２の両面に設ける場合、凸部５Ｄの投影位置をＥＶＡフィルム２の一方の面と他方の面とでずらすようにすることにより、良好なクッション性、応力吸収性及びガス抜き性を得ることができる。
【００３８】
また、凸部と凹部とを設けたものであっても良く、例えば、図１３に示す如く、ＥＶＡフィルム２の一方の面に凸部５Ｅを設け、他方の面の該凸部５Ｅに対応する位置に凹部３Ｅを設けた太陽電池用封止膜１Ｍであっても良い。この場合において、凹部３Ｅ，３Ｅ間を連通する連通路としての凹溝を設けても良い。
【００３９】
また、図１４に示す如く、凸部５Ｅと凹溝３ＥとをＥＶＡフィルム２の一方の面に交互に均等配置した太陽電池用封止膜１Ｎであっても良い。また、図１５に示す如く、凸部５Ｅと凹部３ＥとをＥＶＡフィルム２の両面に交互に均等配置した太陽電池用封止膜１Ｐであっても良く、この場合において、図示の如く、フィルムの一方の面と他方の面とで凸部５Ｅと３Ｅとの位置をずらし、凸部５Ｅの形成位置のフィルムの反対側の面には凹部３Ｅが位置し、凹部３Ｅの形成位置のフィルムの反対側の面には凸部５Ｅが位置するようにすることにより、良好なクッション性、応力吸収性及びガス抜き性を得ることができる。
【００４０】
凸部５，５Ａ〜５Ｅの高さＨは、凸部をフィルムの一方の面に設ける場合と両面に設ける場合、或いは凸部と凹部とを設ける場合とでも異なり、また、凸部の大きさや形成割合によっても異なるが、一般的には、基部の直径Ｒが０．１〜２ｍｍ程度で高さＨがフィルムの厚みＴの２０〜９５％程度の凸部を、フィルムの全面積に対する凸部の形成面積の合計が１〜５０％程度となるように設けることが好ましい。
【００４１】
なお、凸部と共に設ける凹部については、前述の本発明に係る凹部と同様の深さ及び直径とすることができ、その形成割合は、フィルムの全面積に対する凸部と凹部の形成面積の合計が２０〜９９％程度となるように設けることが好ましい。
【００４２】
このような本発明の太陽電池用封止膜は、架橋剤を含むＥＶＡ樹脂組成物を常法に従って成膜し、更に、エンボス加工により所定の深さの凹部と凹溝を形成することにより、或いは凸部を形成することにより、容易に製造することができる。
【００４３】
なお、本発明の太陽電池用封止膜の厚さＴは、通常の場合５０μｍ〜２０００μｍ好ましくは１００〜１０００μｍ特に好ましくは２００〜８００μｍ程度とされる。
【００４４】
このような本発明の太陽電池用封止膜は、凹部及び凹溝或いは凸部の形成された凹凸面が封止面となるように使用される。
【００４５】
次に、本発明に係る成膜原料として好適なＥＶＡ樹脂組成物について説明する。
【００４６】
本発明で用いられるＥＶＡ樹脂は、酢酸ビニル含有量が４０重量％以下、好ましくは１０〜３６重量％特に好ましくは１０〜３３重量％、とりわけ好ましくは１０〜２６重量％である。
【００４７】
ＥＶＡ樹脂の酢酸ビニルの含有率が４０重量％を超えると、樹脂が非常に流れ易くなり、加熱架橋時にガラス基板とバックカバーとの間から流出し易い。また、粘着性が増してタックし易くなり、取り扱い性が悪くなる。
【００４８】
酢酸ビニルの含有率が１０重量％より低いＥＶＡ樹脂は、加工性が悪く、またフィルムが硬過ぎて脱気性が悪くなると共に、太陽電池用セルに損傷を生じさせ易い。
【００４９】
本発明で用いられるＥＶＡ樹脂は、メルトフローレートが０．７〜２０であることが好ましく、より好ましくは１．５〜１０である。
【００５０】
本発明で用いるＥＶＡ樹脂組成物には、耐候性の向上のために架橋剤を配合して架橋構造を持たせるが、この架橋剤としては、一般に、１００℃以上でラジカルを発生する有機過酸化物が用いられ、特に、配合時の安定性を考慮に入れれば、半減期１０時間の分解温度が７０℃以上であるものが好ましい。このような有機過酸化物としては、例えば２，５−ジメチルヘキサン；２，５−ジハイドロパーオキサイド；２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン；３−ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド；ｔ−ジクミルパーオキサイド；２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキシン；ジクミルパーオキサイド；α，α’−ビス（ｔ−ブチルパーオキシイソプロピル）ベンゼン；ｎ−ブチル−４，４−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ブタン；２，２−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ブタン；１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）シクロヘキサン；１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）３，３，５−トリメチルシクロヘキサン；ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート；ベンゾイルパーオキサイド等を用いることができる。これらの有機過酸化物の配合量は、一般にＥＶＡ樹脂１００重量部に対して５重量部以下、好ましくは１〜３重量部である。
【００５１】
また、太陽電池の封止膜として、発電素子との接着力向上の目的で、ＥＶＡ樹脂にシランカップリング剤を添加することができる。この目的に供されるシランカップリング剤としては公知のもの、例えばγ−クロロプロピルトリメトキシシラン；ビニルトリクロロシラン；ビニルトリエトキシシラン；ビニル−トリス−（β−メトキシエトキシ）シラン；γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン；β−（３，４−エトキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン；γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン；ビニルトリアセトキシシラン；γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン；γ−アミノプロピルトリメトキシシラン；Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等を挙げることができる。これらのシランカップリング剤の配合量は、一般にＥＶＡ樹脂１００重量部に対して５重量部以下、好ましくは０．１〜２重量部である。
【００５２】
更に、ＥＶＡ樹脂のゲル分率を向上させ、耐久性を向上するためにＥＶＡ樹脂に架橋助剤を添加することができる。この目的に供される架橋助剤としては、公知のものとしてトリアリルイソシアヌレート；トリアリルイソシアネート等の３官能の架橋助剤の他、ＮＫエステル等の単官能の架橋助剤等も挙げることができる。これらの架橋助剤の配合量は、一般にＥＶＡ樹脂１００重量部に対して１０重量部以下、好ましくは１〜５重量部である。
【００５３】
更に、ＥＶＡ樹脂の安定性を向上する目的でハイドロキノン；ハイドロキノンモノメチルエーテル；ｐ−ベンゾキノン；メチルハイドロキノンなどを添加することができ、これらの配合量は、一般にＥＶＡ樹脂１００重量部に対して５重量部以下である。
【００５４】
更に、必要に応じ、上記以外に着色剤、紫外線吸収剤、老化防止剤、変色防止剤等を添加することができる。着色剤の例としては、金属酸化物、金属粉等の無機顔料、アゾ系、フタロシアニン系、アヂ系、酸性又は塩基染料系レーキ等の有機顔料がある。紫外線吸収剤には、２−ヒドロキシ−４−オクトキシベンゾフェノン；２−ヒドロキシ−４−メトキシ−５−スルフォベンゾフェノン等のベンゾフェノン系；２−（２’−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）ベンゾトリアゾール等のベンゾトリアゾール系；フェニルサルシレート；ｐ−ｔ−ブチルフェニルサルシレート等のヒンダートアミン系がある。老化防止剤としては、アミン系；フェノール系；ビスフェニル系；ヒンダートアミン系があり、例えばジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール；ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペラジル）セバケート等がある。
【００５５】
このようにして成膜されたＥＶＡフィルムを用いて太陽電池を製造するには、図１６に示す如く、ガラス基板１１、ＥＶＡフィルム１３Ａ、シリコン発電素子１４、ＥＶＡフィルム１３Ｂ及びバックカバー１２を積層し、積層体を常法に従って、真空ラミネーターで温度１２５〜１５０℃、脱気時間５〜１２分、プレス圧力０．５〜１ｋｇ／ｃｍ２、プレス時間８〜４５分で加熱加圧圧着すれば良く、この加熱加圧時に、ＥＶＡフィルム１３Ａ，１３Ｂが架橋して耐候性に優れた封止膜を形成することができる。この封止に当り、本発明のＥＶＡフィルムは、クッション性が良好であるため、未溶融のフィルムがセルに押し付けられることによるセルの損傷を防止することができ、また、脱気性が良好であるため空気の巻き込みの問題もなく、更には樹脂の流出、タックの問題もなく、高品質の製品を歩留り良く製造することができる。
【００５６】
【実施例】
以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
【００５７】
実施例１
下記配合のＥＶＡ樹脂組成物を用いて、ＥＶＡフィルムを成膜し、エンボス加工により、片面に、直径Ｒ＝０．６ｍｍで深さＤ＝３００μｍの凹部とこれらを連通する幅Ｗ＝０．５ｍｍで深さｄ＝１００μｍの凹溝とを形成した厚さＴ＝６００μｍのフィルムを得た。なお、凹部及び凹溝の形状及び配置は図６（ａ），（ｂ）に示す通りであり、フィルムの面積に対する凹部の形成面積の割合は５０％である。
［ＥＶＡ樹脂組成物配合（重量部）］
ＥＶＡ樹脂（酢酸ビニル含有量２６重量％）                    ：１００
架橋剤（１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）３，３，５−トリメチルシ
クロヘキサン）                                                  ：２．０
シランカップリング剤（γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン）
：１．０
架橋助剤（トリアリルイソシアヌレート）                      ：３．０
紫外線吸着剤（２−ヒドロキシ−４−オクチルベンゾフェノン）  ：０．３
【００５８】
このフィルムを封止膜用ＥＶＡフィルム１３Ａ，１３Ｂとして用い、図１６に示す如く、厚さ３ｍｍのガラス板１１、厚さ３８μｍのフッ化ポリエチレンフィルムよりなるバックカバー１２との間にシリコン発電素子１４を封止して太陽電池を製造した。なお、フィルム１３Ａ，１３Ｂはそのエンボス加工面が素子１４側となるように配置した。また、封止は、真空ラミネーターを用い、熱板温度１５０℃、脱気時間５分、プレス圧力１ａｔｍ、プレス時間４５分間加熱圧着し、ＥＶＡ樹脂を架橋することにより行った。
【００５９】
このようにして、１００個の太陽電池を作製したところ、素子の損傷、脱気不良、タック不良及びＥＶＡ樹脂のはみ出しは全く認められなかった。
【００６０】
比較例１
エンボス加工により凹部のみを形成し、凹溝のないＥＶＡフィルムを用いた他は実施例１と同様にして太陽電池を作製したところ、１００個中、２個についてセルの破損が認められた。
【００６１】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明の太陽電池用封止膜によれば、太陽電池作製時の封止工程で太陽電池用セルに封止膜が押し付けられることによるセルの損傷や封止時の脱気不良、タック発生を確実に防止することができると共に、ＥＶＡ樹脂のはみ出しを防止することができ、太陽電池を高い歩留りで作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の太陽電池用封止膜の実施の形態を示す図であって、（ａ）図は平面図、（ｂ）図は（ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図２】  本発明の太陽電池用封止膜の他の実施の形態を示す図であって、（ａ）図は平面図、（ｂ）図は（ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図３】  本発明の太陽電池用封止膜の別の実施の形態を示す図であって、（ａ）図は平面図、（ｂ）図は（ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図４】  本発明の太陽電池用封止膜の別の実施の形態を示す図であって、（ａ）図は平面図、（ｂ）図は（ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図５】  本発明の太陽電池用封止膜の別の実施の形態を示す図であって、（ａ）図は平面図、（ｂ）図は（ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図６】  本発明の太陽電池用封止膜の別の実施の形態を示す図であって、（ａ）図は平面図、（ｂ）図は（ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図７】  本発明の太陽電池用封止膜の別の実施の形態を示す断面図である。
【図８】  参考例に係る太陽電池用封止膜を示す図であって、（ａ）図は平面図、（ｂ）図は（ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図９】  参考例に係る太陽電池用封止膜を示す断面図である。
【図１０】  参考例に係る太陽電池用封止膜を示す断面図である。
【図１１】  参考例に係る太陽電池用封止膜を示す平面図である。
【図１２】  参考例に係る太陽電池用封止膜を示す断面図である。
【図１３】  参考例に係る太陽電池用封止膜を示す断面図である。
【図１４】  参考例に係る太陽電池用封止膜を示す断面図である。
【図１５】  参考例に係る太陽電池用封止膜を示す断面図である。
【図１６】  太陽電池の製造方法を示す断面図である。
【符号の説明】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ，１Ｇ，１Ｈ，１Ｉ，１Ｊ，１Ｋ，１Ｌ，１Ｍ，１Ｎ，１Ｐ  太陽電池用封止膜
２  ＥＶＡフィルム
３，３Ａ，３Ｅ  凹部
４，４Ａ  凹溝
５，５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄ，５Ｅ  凸部
１１  ガラス基板
１２  バックカバー
１３Ａ，１３Ｂ  ＥＶＡフィルム
１４  シリコン発電素子
【図１】
0004513204.tif 000002
【図２】
0004513204.tif 000003
【図３】
0004513204.tif 000004
【図４】
0004513204.tif 000005
【図５】
0004513204.tif 000006
【図６】
0004513204.tif 000007
【図７】
0004513204.tif 000008
【図８】
0004513204.tif 000009
【図９】
0004513204.tif 000010
【図１０】
0004513204.tif 000011
【図１１】
0004513204.tif 000012
【図１２】
0004513204.tif 000013
【図１３】
0004513204.tif 000014
【図１４】
0004513204.tif 000015
【図１５】
0004513204.tif 000016
【図１６】
0004513204.tif 000017