(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パネル部材に行う複数の検査レシピを、そのパネル部材を所定の収容場所から搬入して搬出するまでの一度の搬入出工程の間で行うように構成した装置であって、
前記パネル部材を載置するためのパネル載置台と、
前記複数の検査レシピをそれぞれ実行可能な複数の異なる検査機器と、
複数の実行すべき検査レシピに応じて、前記パネル載置台と前記検査機器との相対移動を制御する移動制御部と、
複数の実行すべき検査レシピを、対応する検査機器にそれぞれ実行させるための制御を行う検査レシピ実行制御部とを具備し、
前記異なる検査機器が、前記パネル部材の膜厚を測定する膜厚検査レシピ実行用の膜厚検査機器と、前記パネル部材のシート抵抗を測定するシート抵抗検査レシピ実行用のシート抵抗検査機器とであり、
前記検査レシピ実行制御部を、前記膜厚検査機器に膜厚検査レシピを実行させた後に、前記シート抵抗検査機器にシート抵抗検査レシピの実行をさせるように動作させることで、前記膜厚検査レシピで得た膜厚実測値を、前記シート抵抗検査レシピで利用できるようにしていることを特徴とするパネル部材検査装置。
【請求項２】
前記パネル部材の膜の歪を測定する膜歪検査レシピ実行用の膜歪検査機器と、前記パネル部材の膜厚を測定する膜厚検査レシピ実行用の膜厚検査機器とを具備し、
前記検査レシピ実行制御部を、前記膜歪検査機器に膜歪検査レシピを実行させた後に、前記膜厚検査機器に膜厚検査レシピの実行をさせるように動作させることで、前記膜歪検査レシピで得た膜歪実測値を、前記膜厚検査レシピで利用できるようにしていることを特徴とする請求項１記載のパネル部材検査装置。
【請求項３】
前記実行すべき検査レシピが、検査レシピの指定を受け付ける検査レシピ受付部で受け付けたものであることを特徴とする請求項１又は２記載のパネル部材検査装置。
【請求項４】
前記検査レシピ受付部を、検査レシピの指定及びその実行順を編集可能な検査レシピ受付画面を利用して構成していることを特徴とする請求項３記載のパネル部材検査装置。
【請求項５】
前記パネル載置台を、略矩形状を成すベース上に当該ベースの長手方向へ移動可能に設けるとともに、前記ベース上に当該ベースの長手方向と直交して跨るように門型を成すヘッド支持体を設け、さらにこのヘッド支持体に、各検査機器の取付用の複数の検査機器支持用ヘッドを、個々若しくは一体的にベースの長手方向と直交する方向に移動可能に支持させるように構成し、
前記移動制御部が、パネル載置台と検査機器支持用ヘッドとの相対移動を制御するようにしていることを特徴とする請求項１乃至４いずれか記載のパネル部材検査装置。
【請求項６】
前記パネル部材の膜厚を測定する膜厚検査レシピ実行用の膜厚検査機器と、前記パネル部材のシート抵抗を測定するシート抵抗検査レシピ実行用のシート抵抗検査機器と、前記パネル部材の膜の歪を測定する膜歪検査レシピ実行用の膜歪検査機器と、前記パネル部材の洗浄度を測定する洗浄度検査レシピ実行用の洗浄度検査機器とのうちの少なくとも２つ以上の異なる検査機器を、各検査機器に対応して設けた前記検査機器支持用ヘッドにそれぞれ取り付けていることを特徴とする請求項５記載のパネル部材検査装置。
【請求項７】
パネル部材に行う複数の検査レシピを、そのパネル部材を所定の収容場所から搬入して搬出するまでの一度の搬入出工程の間で行うように構成され、且つ、前記パネル部材を載置するためのパネル載置台と、前記複数の検査レシピをそれぞれ実行可能な複数の異なる検査機器とを具備するパネル部材検査装置に適用されるプログラムであって、
複数の実行すべき検査レシピに応じて、前記パネル載置台と前記検査機器との相対移動を制御する移動制御部としての機能と、
複数の実行すべき検査レシピを、対応する検査機器にそれぞれ実行させるための制御を行う検査レシピ実行制御部としての機能とをコンピュータに発揮させるものであり、
前記異なる検査機器が、前記パネル部材の膜厚を測定する膜厚検査レシピ実行用の膜厚検査機器と、前記パネル部材のシート抵抗を測定するシート抵抗検査レシピ実行用のシート抵抗検査機器とであり、
前記検査レシピ実行制御部を、前記膜厚検査機器に膜厚検査レシピを実行させた後に、前記シート抵抗検査機器にシート抵抗検査レシピの実行をさせるように動作させることで、前記膜厚検査レシピで得た膜厚実測値を、前記シート抵抗検査レシピで利用できるようにしていることを特徴とするパネル部材検査用プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ガラス基板等のパネル部材の検査装置等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイや液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイなどのＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）には、ガラス基板等のパネル部材が用いられており、製造の過程で、そのパネル部材のほぼ全領域に亘って、膜厚、光学定数、透過率などを測定したり、欠陥の有無を検査したりする品位検査をする必要がある。これ以前には、１つの検査装置には１つの種類の品位検査をするための検査機器しか搭載されておらず、パネル部材の大型化に伴い、検査装置の工場内の占有面積増大が課題であった。そのときに特許文献１に示すような検査装置が用いられるが、この種の検査装置は、例えば、カセットから自動で取り出したパネル部材を測定用のステージに置き、１種類の検査機器で測定した後に、カセットに返却するように構成されている。このため、別の検査機器で測定する場合は、改めて搬送し直して測定する必要があった。つまり、１種類の検査機器で測定する度に、毎回測定レシピを指定して、毎回搬送する必要があった。その結果、搬送回数が多くなり、搬送時に発生する擦れやその結果起こり得る傷やパーティクル等の発生が問題となっている。特に、近時では、第６世代、第７世代と称されるように、ＦＰＤの大型化に伴うパネル部材が大型化（第６世代では１８５０ｍｍ×１５００ｍｍ、第７世代では、２２００ｍｍ×１９００ｍｍ）しており、搬送回数を低減などして、搬送中に発生する上述の問題点を解消することが求められている。
【特許文献１】特開２００５−２３３９２８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、主たる目的は、複数の品位検査を行いながらも、パネル部材の搬送回数の低減によって傷、汚れの付着を効果的に抑制することができ、しかも搬送時間の短縮やオペレータの拘束回数の低減によって処理スループットを向上することができるといった、優れたパネル部材検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
すなわち本発明に係るパネル部材検査装置は、パネル部材に行う複数の検査レシピを、そのパネル部材を所定の収容場所から搬入して搬出するまでの一度の搬入出工程の間で行うように構成した装置であって、前記パネル部材を載置するためのパネル載置台と、前記複数の検査レシピをそれぞれ実行可能な複数の異なる検査機器と、複数の実行すべき検査レシピに応じて、前記パネル載置台と前記検査機器との相対移動を制御する移動制御部と、複数の実行すべき検査レシピを、対応する検査機器にそれぞれ実行させるための制御を行う検査レシピ実行制御部とを具備し、前記異なる検査機器が、前記パネル部材の膜厚を測定する膜厚検査レシピ実行用の膜厚検査機器と、前記パネル部材のシート抵抗を測定するシート抵抗検査レシピ実行用のシート抵抗検査機器とであり、前記検査レシピ実行制御部を、前記膜厚検査機器に膜厚検査レシピを実行させた後に、前記シート抵抗検査機器にシート抵抗検査レシピの実行をさせるように動作させることで、前記膜厚検査レシピで得た膜厚実測値を、前記シート抵抗検査レシピで利用できるようにしていることを特徴とする。
【０００５】
このようなものであれば、一度の搬入出工程の間に、当該パネル部材検査装置に搭載した各検査機器で測定を行うので、搬送時に発生する擦れやその結果起こり得る傷やパーティクル等の発生を効果的に抑制することができる。また、搬送を複数回行わずに済むので、複数の検査レシピの実行のための全体としての搬送時間を短縮することができるとともにオペレータの拘束回数を低減することができる。
【０００６】
すなわち、複数の品位検査を行いながらも、パネル部材の搬送回数の低減によって傷、汚れの付着を効果的に抑制することができ、しかも搬送時間の短縮やオペレータの拘束回数の低減によって処理スループットを向上することができるといった、優れたパネル部材検査装置を提供することができる。
【０００７】
また、前記パネル部材の膜厚を測定する膜厚検査レシピ実行用の膜厚検査機器と、前記パネル部材のシート抵抗を測定するシート抵抗検査レシピ実行用のシート抵抗検査機器とを具備し、前記検査レシピ実行制御部を、前記膜厚検査機器に膜厚検査レシピを実行させた後に、前記シート抵抗検査機器にシート抵抗検査レシピの実行をさせるように動作させることで、前記膜厚検査レシピで得た膜厚実測値を、前記シート抵抗検査レシピで利用できるようにしているのであれば、例えば、測定前に予め膜厚を入力したうえでパネル部材のシート抵抗値を測定するものと比べ、より信頼性のあるパネル部材のシート抵抗値を得られる。
【０００８】
前記パネル部材の膜の歪を測定する膜歪検査レシピ実行用の膜歪検査機器と、前記パネル部材の膜厚を測定する膜厚検査レシピ実行用の膜厚検査機器とを具備し、前記検査レシピ実行制御部を、前記膜歪検査機器に膜歪検査レシピを実行させた後に、前記膜厚検査機器に膜厚検査レシピの実行をさせるように動作させることで、前記膜歪検査レシピで得た膜歪実測値を、前記膜厚検査レシピで利用できるようにしているのであれば、例えば、膜内の歪によって膜の光学特性が変化するが、ラマン分光など歪測定に最適な歪検査機器で計測した膜歪実測値を利用して、例えばエリプソメータ等の膜厚検査機器で計測した膜厚の補正を行えるので、膜厚測定結果に高い信頼性を与えることができる。
【０００９】
前記実行すべき検査レシピが、検査レシピの指定を受け付ける検査レシピ受付部で受け付けたものであれば、所望の検査レシピを、検査機器に実行させることが可能となる。このとき、前記検査レシピ受付部を、検査レシピの指定及びその実行順を編集可能な検査レシピ受付画面を利用して構成しているのであれば、オペレータの使い勝手を向上させることができる。
【００１０】
本発明の望ましい態様としては、前記パネル載置台を、略矩形状を成すベース上に当該ベースの長手方向へ移動可能に設けるとともに、前記ベース上に当該ベースの長手方向と直交して跨るように門型を成すヘッド支持体を設け、さらにこのヘッド支持体に、各検査機器の取付用の複数の検査機器支持用ヘッドを、個々若しくは一体的にベースの長手方向と直交する方向に移動可能に支持させるように構成し、前記移動制御部が、パネル載置台と検査機器支持用ヘッドとの相対移動を制御するようにしているものが挙げられる。
【００１１】
パネル部材の品位検査を有効に行えるようにするには、前記パネル部材の膜厚を測定する膜厚検査レシピ実行用の膜厚検査機器と、前記パネル部材のシート抵抗を測定するシート抵抗検査レシピ実行用のシート抵抗検査機器と、前記パネル部材の膜の歪を測定する膜歪検査レシピ実行用の膜歪検査機器と、前記パネル部材の洗浄度を測定する洗浄度検査レシピ実行用の洗浄度検査機器とのうちの少なくとも２つ以上の検査機器を、各検査機器に対応して設けた前記検査機器支持用ヘッドにそれぞれ取り付けていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
以上説明したように本発明のパネル部材検査装置によれば、一度の搬入出工程の間に、当該パネル部材検査装置に搭載した各検査機器で測定を行うので、搬送時に発生する擦れやその結果起こり得る傷やパーティクル等の発生を効果的に抑制することができる。また、搬送を複数回行わずに済むので、複数の検査レシピの実行のための全体としての搬送時間を短縮することができるとともにオペレータの拘束回数を低減することができる。
【００１３】
すなわち、複数の品位検査を行いながらも、パネル部材の搬送回数の低減によって傷、汚れの付着を効果的に抑制することができ、しかも搬送時間の短縮やオペレータの拘束回数の低減によって処理スループットを向上することができるといった、優れたパネル部材検査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
【００１５】
本実施形態に係るパネル部材検査装置１は、例えば、ＦＰＤに用いられる第６世代、第７世代のガラス基板等のパネル部材（図示せず）に対応してその品位検査を行えるようにしたものであって、図１、図２に示すように、床上に設置される矩形板状をなすベース２と、そのベース２上を水平長手方向（以下Ｘ軸方向とも言う）に移動可能に設けたパネル載置台３と、前記ベース２上に長手方向と直交して跨るように設けた門型をなすヘッド支持体４と、前記ヘッド支持体４によって長手方向と直交する水平方向（以下Ｙ軸方向とも言う）及び鉛直方向（以下Ｚ軸方向とも言う）に移動可能に支持させた検査機器支持用ヘッド５と、その検査機器支持用ヘッド５に取り付けられた複数の異なる検査機器６とを備えている。そして、パネル載置台３の移動と検査機器支持用ヘッド５との移動によって、パネル載置台３上に載置したガラス基板等のフラットなパネル部材の、前記検査機器６による品位検査を行えるようしてある。
【００１６】
次に、各部を図１、図２を参照して説明する。
【００１７】
ベース２は、Ｘ軸方向寸法がおおよそ４９００ｍｍ、Ｙ軸方向寸法がおおよそ２３００ｍｍの大きさをなす板状のベース本体２１と、そのベース本体２１を支える伸縮可能な複数のベース支持脚２２とを備えており、各ベース支持脚２２の長さを調整することで床の不陸に拘わらずベース本体２１を水平に保てるように構成したものである。
【００１８】
パネル載置台３は、その上面に検査対象となるガラス基板等のパネル部材を載置するものであり、ベース本体２１に設けたレール部材２３によってＸ軸方向にスライド可能に支持されている。
【００１９】
ヘッド支持体４は、ベース２の長手方向一端部に固定されるもので、ベース本体２１の各長辺部分から起立する一対の脚部材４１と、それら脚部材４１の上端にＹ軸方向に沿って横架させた一対の横架材４２とを備えている。
【００２０】
検査機器支持用ヘッド５は、前記横架材４２の上面に設けたレール部材４３によってＸ軸方向にスライド可能に支持されたヘッド基部５１と、そのヘッド基部５１に鉛直方向にスライド可能に支持されたヘッド本体５２とを備えたものである。なお、本実施形態において、このヘッド本体５２には、複数の検査レシピをそれぞれ実行可能な５種類の検査機器６、具体的には、図２に示すように、光干渉式膜厚計６ａと、エリプソメータ６ｂと、ラマン分光計６ｃ（図１では略）と、四探針計６ｄと、接触角計６ｅとを交換可能に取り付けている。なお、図２において、各検査機器６は、それぞれ模式化し、且つ、各配置場所も概略で示している。
【００２１】
光干渉式膜厚計６ａは、光干渉法で測定を行うものであって、前記パネル部材の膜厚を測定する膜厚検査レシピを実行することができ、本発明の膜厚検査機器に相当する。
【００２２】
エリプソメータ６ｂは、エリプソ法で測定を行うものであって、光干渉式膜厚計６ａと同様、本発明の膜厚検査機器に相当する。
【００２３】
ラマン分光計６ｃは、ラマン分光法で測定を行うものであって、前記パネル部材の膜の歪を測定する膜歪検査レシピを実行することができ、本発明の膜歪検査機器に相当する。
【００２４】
四探針計６ｄは、４探針法で測定を行うものであって、前記パネル部材のシート抵抗を測定するシート抵抗検査レシピを実行することができ、本発明の抵抗検査機器に相当する。
【００２５】
接触角計６ｅは、液滴法で測定を行うものであって、前記パネル部材の洗浄度を測定する洗浄度検査レシピを実行することができ、本発明の洗浄度検査機器に相当する。
【００２６】
また、本実施形態では、パネル部材検査装置１を、パネル載置台３を取り付けたベース２（概略寸法（Ｘ×Ｙ×Ｚ）４９００ｍｍ×２３００ｍｍ×９００ｍｍ）と、検査機器支持用ヘッド５、移動台車９（後述する）及び検査機器６付きのヘッド支持体４（概略寸法（Ｘ×Ｙ×Ｚ）１６００ｍｍ×３０００ｍｍ×２０００ｍｍ）とに、２分割可能に構成するとともに、ベース２とヘッド支持体４との間に、それらを結合させるときの相対的な位置決めを行う位置決め機構７を設けている。
【００２７】
またこの実施形態では、前記脚部材４１の下端に予め移動台車９がそれぞれ連結してあり、この移動台車９によりクレーン等を用いることなく、ヘッド支持体４をベース２に対する所定結合位置におおよそ移動させ得るように構成している。詳述すれば、移動台車９は、Ｘ軸方向に延びる柱状の台車本体９２と車輪９３とを備えたものである。そして、ヘッド支持体４の脚部材４１は、その下端内側半分がベース本体２１上に載置されることから、移動台車９に脚部材４１の外側半分を支持させ、所定結合位置へのおおよその移動の際には、移動台車９がベース２に干渉することなくその外側を通り、ヘッド支持体４をベース２に対してＸ軸方向に移動させ得るように構成している。
【００２８】
また、移動台車９には、予め、例えばねじ構造を利用したジャッキアップ機構９１が設けられており、ヘッド支持体４が、このジャッキアップ機構９１を介して移動台車９に上下動可能に支持されている。そして、このジャッキアップ機構９１により、まずヘッド支持体４をある程度持ち上げ、所定結合位置へ移動後、ヘッド支持体４を下に動かして、ベース２上に載置できるようにしている。
【００２９】
しかして、本実施形態では、図３に示すように、複数の実行すべき検査レシピの指定を受け付ける検査レシピ受付部８ａと、複数の実行すべき検査レシピに応じて、前記パネル載置台３と前記検査機器６との相対移動を制御する移動制御部８ｂと、複数の実行すべき検査レシピを、対応する検査機器６にそれぞれ実行させるための制御を行う検査レシピ実行制御部８ｃと、パネル載置台３と複数枚のパネル部材を収容可能なカセット（本発明の「所定の収容場所」に相当、図示せず）との間で移動可能に構成され且つ操作等で指定されたパネル部材を搬送するためのロボット（図示せず）に対して、所定の搬送命令を出力する搬送命令出力部８ｄとを有している。なお、検査レシピ受付部８ａは、図４に示すように、検査レシピの指定及びその実行順を編集可能な検査レシピ受付画面Ｇを利用して構成している。
【００３０】
検査レシピ受付画面Ｇは、画面中央に設けて成り且つ実行すべき検査レシピ及びその実行順を入力可能な検査レシピ実行指定領域Ｇａと、画面右側に設けて成り且つ「Ｕｎｌｏａｄ  ｃａｓｓｅｔｔｅ」ボタンＧｂ１、「Ｓｅｌｅｃｔ  ａｌｌ  ｓｌｏｔｓ」ボタンＧｂ２、「Ｗａｆｅｒｓ」ボタンＧｂ３、「Ｓｔａｒｔ」ボタンＧｂ４、「Ｕｒｇｅｎｔ」ボタンＧｂ５、「Ｃａｎｃｅｌ」ボタンＧｂ６、「Ｐａｕｓｅ」ボタンＧｂ７、「Ａｂｏｒｔ」ボタンＧｂ８等の操作ボタンＧｂと、画面左側領域に設けて成り且つカセットの情報やウエハーの情報等を入力表示可能な情報入力表示領域Ｇｃ等とから構成されている。
【００３１】
検査レシピ実行指定領域Ｇａは、カセットに収納可能な各パネル部材ごとに、実行すべき検査レシピを指定できるように、表形式に構成されている。例えば、図４では、３つの検査レシピが、スロット（１５）のパネル部材に対して設定されている。検査レシピ名は、実行順に1つ目がＭＲＭ：＼ＮｅｗＲｅｃｉｐｅ、2つ目がＭＲＭ：＼ＮｅｗＲｅｃｉｐｅ２、3つ目がＤＰ２：＼Ｋｉｓｙｕ２＼Ｈｉｎｓｙｕ１＼Ｊｉｋｋｅｎ＼４２ｉｎｃｈ ｎｅｗとして記載されているが、これに限らず、例えば、１つ目が、膜厚検査レシピ、2つ目が抵抗検査レシピ、３つ目が洗浄度検査レシピのように、具体的な検査レシピ名などとすることを妨げない。
【００３２】
操作ボタンＧｂのうち、「Ｕｎｌｏａｄ  ｃａｓｓｅｔｔｅ」ボタンＧｂ１は、カセットからパネル部材を搬送することを取り止める旨の命令を受け付けるためのボタンである。「Ｓｅｌｅｃｔ  ａｌｌ  ｓｌｏｔｓ」ボタンＧｂ２は、カセットに収容されている全てのパネル部材の指定する命令を受け付けるためのボタンである。「Ｓｔａｒｔ」ボタンＧｂ４は、検査レシピの実行をスタートする命令を受け付けるためのボタンである。「Ｃａｎｃｅｌ」ボタンＧｂ６は、検査レシピの実行を中止する命令を受け付けるためのボタンである。「Ｐａｕｓｅ」ボタンＧｂ７は、検査レシピの実行を一時中断する命令又は再開する命令を受け付けるためのボタンである。
【００３３】
また、図示はしていないが、この検査レシピ受付画面Ｇを利用して、パネル部材の計測点を設定できるようにしている。これにより、例えば、パネル載置台３に載置したパネル部材の上向き面の全領域を、所定ピッチなどで計測することができる。
【００３４】
検査レシピ受付部８ａ、移動制御部８ｂ、検査レシピ実行制御部８ｃおよび搬送命令出力部８ｄは、図５に示す、ＣＰＵ１０１やハードディスクなどの外部記憶装置１０２、内部メモリ１０３、ディスプレイ１０４、マウスやキーボードなどの入力手段１０５、ロボットと通信するための通信インタフェース１０６等を有したコンピュータＣＰがその役割を担うものであり、外部記憶装置１０２または内部メモリ１０３の所定領域に記憶されたパネル部材検査用プログラムを、ＣＰＵ１０１が解釈実行し、周辺機器と協働することにより、このコンピュータＣＰが、検査レシピ受付部８ａ、移動制御部８ｂ、検査レシピ実行制御部８ｃ及び搬送命令出力部８ｄとしての機能を果たすように構成してある。なお、本実施形態では、パネル載置台３と検査機器６とが、各検査レシピ毎に設定された所定の相対位置関係にあるときに、それぞれの検査レシピを実行できるようにしてある。そして、この各検査レシピ毎に設定された所定の相対位置関係は、内部メモリ１０３に記憶させてある。しかして、移動制御部８ｂが、各検査レシピに応じて、パネル載置台３と検査機器６との相対移動を制御する際には、内部メモリ１０３を参照し、記憶している所定の相対位置関係となるように、パネル載置台３および検査機器６の相対移動を制御するように構成している。また、パネル載置台３および検査機器６のそれぞれ位置は、それらをＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向にそれぞれ移動させるステッピングモータ（図示せず）の移動制御量から求めるようにしているが、例えば、非接触タイプの位置センサで計測するなど実施態様に応じて適宜変更可能である。
【００３５】
次に、本実施形態のパネル部材検査装置１の動作ついてフロー図などを用いて説明する。
【００３６】
図６に示すように、まず、検査レシピ受付画面Ｇを利用して、１つのパネル部材（パネル部材）に複数の検査レシピ及びその実行順を指定すると、これを検査レシピ指定命令として、検査レシピ受付部８ａが受け付ける（ステップＳ１０１）。そして、その検査レシピ指定命令で指定されたパネル部材について、カセットから搬送しパネル載置台３に載置する旨の搬送命令を、搬送命令出力部８ｄが前記ロボットに対して出力する（ステップＳ１０２）。ロボットがパネル部材をパネル載置台３に載置し終えると（ステップＳ１０３）、移動制御部８ｂが、検査レシピ受付部８ａで受け付けた最初に実行すべき検査レシピ（以下、「検査レシピ１」と称する。）に応じて、パネル載置台３と検査機器６との相対移動を制御する（ステップＳ１０４）。移動制御部８ｂによって、パネル載置台３と検査機器６とが検査レシピ１を実行可能な然るべき位置に位置づけられると、検査レシピ実行制御部８ｃが、検査レシピ１を、対応する検査機器６に実行させるための制御を行う（ステップＳ１０５）。そして、検査レシピ１の実行が終われば（ステップＳ１０６）、次の検査レシピの実行するためにステップＳ１０４とＳ１０５とが行われる。このようにして、最後の検査レシピの実行が終われば（ステップＳ１０６）、搬送命令出力部８ｄが、ロボットに対して、パネル部材をカセットに戻す旨の搬送命令を出力する（ステップＳ１０７）。
【００３７】
したがって、以上のように構成した本実施形態によれば、一度の搬入出工程の間に、当該パネル部材検査装置１に搭載した各検査機器６で測定を行うので、搬送時に発生する擦れやその結果起こり得る傷やパーティクル等の発生を効果的に抑制することができる。また、搬送を複数回行わずに済むので、複数の検査レシピの実行のための全体としての搬送時間を短縮することができるとともにオペレータの拘束回数を低減することが可能となる。
【００３８】
すなわち、複数の品位検査を行いながらも、パネル部材の搬送回数の低減によって傷、汚れの付着を効果的に抑制することができ、しかも搬送時間の短縮やオペレータの拘束回数の低減によって処理スループットを向上することができるといった、優れたパネル部材検査装置１を提供することができる。
【００３９】
また、実行すべき検査レシピを、検査レシピの指定を受け付ける検査レシピ受付部８ａで受け付けたものとしているため、所望の検査レシピを、検査機器６に実行させることが可能となる。また、前記検査レシピ受付部８ａを、検査レシピの指定及びその実行順を編集可能な検査レシピ受付画面Ｇを利用して構成しているため、オペレータにとっては使い勝手が良い。
【００４０】
また、各種検査機器６として、光干渉式膜厚計６ａと、エリプソメータ６ｂと、ラマン分光計６ｃと、四探針計６ｄと、接触角計６ｅとを備えるようにしているため、多面的にパネル部材の品位検査を有効に行うことができる。
【００４１】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。例えば、検査レシピ実行制御部８ｃを、検査レシピ受付部８ａで受け付けた検査レシピの実行順に関わらず、所定の組み合わせの検査レシピの実行を行う場合には、その順序を固定することができる。具体的には、検査レシピ実行制御部８ｃを、光干渉式膜厚計６ａ若しくはエリプソメータ６ｂに膜厚検査レシピを実行させた後に、四探針計６ｄに抵抗検査レシピの実行をさせるように動作させることで、前記膜厚検査レシピで得た膜厚実測値を、前記抵抗検査レシピで利用できるようにすることができる。このようにすれば、例えば、測定前に予め膜厚を入力したうえでパネル部材の抵抗値を測定するものと比べ、より信頼性のあるパネル部材の抵抗値を得られる。
【００４２】
また、検査レシピ実行制御部８ｃを、ラマン分光計６ｃに膜歪検査レシピを実行させた後に、光干渉式膜厚計６ａ若しくはエリプソメータ６ｂに膜厚検査レシピの実行をさせるように動作させることで、前記膜歪検査レシピで得た膜歪実測値を、前記膜厚検査レシピで利用できるようにすることができる。このようにすれば、例えば、膜内の歪によって膜の光学特性が変化するが、ラマン分光計６ｃで計測した膜歪実測値を利用して、光干渉式膜厚計６ａ若しくはエリプソメータ６ｂで計測した膜厚の補正を行えるので、膜厚測定結果に高い信頼性を与えることができる。
【００４３】
また、検査機器６は、上述のものに限らず、例えば、前記パネル部材の光透過率を測定する光透過率検査レシピを実行可能な光透過率検査機器６など、パネル部材の品位検査を行うことの可能な各種検査機器６を用いることができる。また、本実施形態では、検査機器６の個数を５個としているが、これに限られず、実施態様に応じて適宜変更可能である。
【００４４】
また、検査レシピ受付画面の構成も本実施形態に限られるものではない。
【００４５】
また、本実施形態では、パネル部材検査装置１を、ベース２とヘッド支持体４とに、２分割可能に構成しているが、分割可能でなくてもよい。また、ベースの大きさ等、各部の寸法も本実施形態のものに限られない。
【００４６】
その他、本発明は前記実施形態に限られるものではなく、その主旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明によって、複数の品位検査を行いながらも、パネル部材の搬送回数の低減によって傷、汚れの付着を効果的に抑制することができ、しかも搬送時間の短縮やオペレータの拘束回数の低減によって処理スループットを向上することができるといった、優れたパネル部材検査装置を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施形態に係るパネル部材検査装置の全体斜視図（ただしコンピュータは模式的に示してある）。
【図２】同実施形態におけるパネル部材検査装置の要部を模式的に拡大して示す拡大図。
【図３】同実施形態におけるパネル部材検査装置における機能構成図。
【図４】同実施形態におけるパネル部材検査装置における表示態様を示す図。
【図５】同実施形態におけるパネル部材検査装置における機器構成図。
【図６】同実施形態におけるパネル部材検査装置の動作を示すフローチャート。
【符号の説明】
【００４９】
１・・・・パネル部材検査装置
２・・・・ベース
３・・・・パネル載置台
４・・・・ヘッド支持体
５・・・・検査機器支持用ヘッド
６・・・・検査機器
６ａ・・・膜厚検査機器（光干渉式膜厚計）
６ｂ・・・膜厚検査機器（エリプソメータ）
６ｃ・・・膜歪検査機器（ラマン分光計）
６ｄ・・・抵抗検査機器（四探針計）
６ｅ・・・洗浄度検査機器（接触角計）
８ａ・・・検査レシピ受付部
８ｂ・・・移動制御部
８ｃ・・・検査レシピ実行制御部
Ｇ・・・・検査レシピ受付画面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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