(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
建物内で床面の上方である天井面の定位置に配置され疎密波を間欠的に送波する疎密波送波部を有した送信装置と、床面上を移動する移動体を位置検出の検出対象として移動体に搭載され送信装置から送波された疎密波を受波することにより送信装置に対する検出対象の相対位置を検出する受信装置と、受信装置が検出した検出対象の相対位置を時刻に対応付けて検出対象が移動した経路を追跡することにより動線を計測する管理装置とを備え、受信装置は、疎密波送波部から送波された疎密波を受波するとともに受波した疎密波を電気信号である受波信号に変換する受波素子を複数個配列したアレイセンサからなる疎密波受波部と、疎密波受波部の各受波素子による疎密波の受波時刻の時間差と各受波素子の配置位置とに基づいて受信装置に対する送信装置の相対位置を受信装置に設定したローカル座標において求めるローカル位置演算部と、受信装置の座標位置を特定するグローバル座標での座標位置が既知である基準位置に検出対象が位置するときにローカル位置演算部で得られるローカル座標での送信装置の相対位置を用いてグローバル座標における送信装置の座標位置を算出する送信位置演算部と、ローカル位置演算部で求めたローカル座標における受信装置の座標位置と送信位置演算部で求めたグローバル座標における送信装置の座標位置とを用いてグローバル座標における受信装置の座標位置を算出するグローバル位置演算部とを備え、送信装置は、疎密波送信部からの疎密波の送信と同時に電磁波を用いてトリガ信号を送信するトリガ送信部を備え、受信装置は、トリガ送信部から送信されたトリガ信号を受信するトリガ受信部を備え、ローカル位置演算部は、トリガ受信部がトリガ信号を受信してから疎密波受波部が疎密波を受信するまでの時間を検出対象までの距離に換算し、かつ各受波素子ごとの受波信号をそれぞれ疎密波の到来方向に対応付けて設定した時間差分だけ遅延させるとともに、遅延後の受波信号を加算した結果が最大になる遅延時間を求め、その遅延時間に対応付けられた到来方向を疎密波の到来方向として求める遅延加算処理を行い、遅延時間を複数の到来方向に対応付けて設定していることを特徴とする動線計測システム。
【請求項２】
前記受信装置は、グローバル座標の座標軸に対するローカル座標の座標軸の回転角を検出する方向センサを備え、前記グローバル位置演算部は、方向センサにより検出した座標軸の回転角を加味してグローバル座標における前記受信装置の座標位置を算出することを特徴とする請求項１記載の動線計測システム。
【請求項３】
前記送信装置を複数台備える動線計測システムであって、２台以上の送信装置からの疎密波を前記受信装置で同時に受波できる空間領域が存在するときに、当該空間領域に内に前記基準位置を設定することを特徴とする請求項１または請求項２記載の動線計測システム。
【請求項４】
前記疎密波送波部は、媒質の圧力変化が単発的に生じる圧力波を送波することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の動線計測システム。
【請求項５】
前記疎密波受波部は、複数個の前記受波素子を二次元的に配列してあることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の動線計測システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、媒質の圧力変化を周期的に繰り返す超音波や媒質の圧力変化が単発的であるいわゆる圧力波のような疎密波を利用して検出対象の位置を追跡する動線計測システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、定位置に固定した２台の送信装置（超音波発信装置）から超音波パルス信号を発信し、移動体に装着した受信装置（超音波受信装置）で超音波パルス信号を受信することにより、超音波の伝播時間に基づいて二次元平面における移動体の座標位置を求めるようにした位置検出システムが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平７−１４０２４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、受信装置の座標位置を特定するには送信装置の座標位置が特定されていなければならない。したがって、送信装置を設置する際に設置場所の座標位置を正確に計測することが必要であって、送信装置の設置施工に手間がかかるという問題を有している。とくに、送信装置は検知エリアを広くとるために天井のような高所に配置することが多く、高所作業において座標位置を正確に計測して設置することは困難を伴う。
【０００４】
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、検出対象の位置を追跡するにあたり、送信装置の設置施工を容易にしながらも送信装置の座標位置を正確に特定できるようにした動線計測システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明は、建物内で床面の上方である天井面の定位置に配置され疎密波を間欠的に送波する疎密波送波部を有した送信装置と、床面上を移動する移動体を位置検出の検出対象として移動体に搭載され送信装置から送波された疎密波を受波することにより送信装置に対する検出対象の相対位置を検出する受信装置と、受信装置が検出した検出対象の相対位置を時刻に対応付けて検出対象が移動した経路を追跡することにより動線を計測する管理装置とを備え、受信装置は、疎密波送波部から送波された疎密波を受波するとともに受波した疎密波を電気信号である受波信号に変換する受波素子を複数個配列したアレイセンサからなる疎密波受波部と、疎密波受波部の各受波素子による疎密波の受波時刻の時間差と各受波素子の配置位置とに基づいて受信装置に対する送信装置の相対位置を受信装置に設定したローカル座標において求めるローカル位置演算部と、受信装置の座標位置を特定するグローバル座標での座標位置が既知である基準位置に検出対象が位置するときにローカル位置演算部で得られるローカル座標での送信装置の相対位置を用いてグローバル座標における送信装置の座標位置を算出する送信位置演算部と、ローカル位置演算部で求めたローカル座標における受信装置の座標位置と送信位置演算部で求めたグローバル座標における送信装置の座標位置とを用いてグローバル座標における受信装置の座標位置を算出するグローバル位置演算部とを備え、送信装置は、疎密波送信部からの疎密波の送信と同時に電磁波を用いてトリガ信号を送信するトリガ送信部を備え、受信装置は、トリガ送信部から送信されたトリガ信号を受信するトリガ受信部を備え、ローカル位置演算部は、トリガ受信部がトリガ信号を受信してから疎密波受波部が疎密波を受信するまでの時間を検出対象までの距離に換算し、かつ各受波素子ごとの受波信号をそれぞれ疎密波の到来方向に対応付けて設定した時間差分だけ遅延させるとともに、遅延後の受波信号を加算した結果が最大になる遅延時間を求め、その遅延時間に対応付けられた到来方向を疎密波の到来方向として求める遅延加算処理を行い、遅延時間を複数の到来方向に対応付けて設定していることを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、検出対象である移動体を基準位置に位置させた状態において、グローバル座標での基準位置の既知の座標位置と、受信装置に設定したローカル座標での送信装置の座標位置とを用いることにより、グローバル座標における送信装置の座標位置を求めることができる。グローバル座標における送信装置の座標位置を求めた後には、検知対象が基準位置以外に位置するときにローカル座標における送信装置の座標位置を求めることにより、グローバル座標における送信装置の既知の座標位置とローカル座標において求めた送信装置の座標位置とを用いて、グローバル座標における受信装置の座標位置を求めることができる。
【０００７】
また、送信装置のグローバル座標をあらかじめ知っておく必要がなく、基準位置を決めておき、検出対象を基準位置に位置させるだけでグローバル座標における送信装置の座標位置を求めることができるから、送信装置の設置施工の際には送信装置の位置を計測する必要がなく、設置施工が容易になる。さらに、従来構成のように２台の送信装置に対する受信装置の距離を用いて受信装置の位置を求めるのではなく、受信装置にアレイセンサを用いているから１台の送信装置を用いるだけで受信装置の位置を特定することができ、結果的に送信装置からの疎密波が到達する空間領域の全体を検出対象の位置検出に利用することができ、検出対象の位置検出を広い空間領域において実現することができる。
【０００９】
しかも、受信装置ではトリガ信号を受信してから疎密波を受波するまでの時間を計測することによって、疎密波が送信装置から受信装置まで到達するのに要した時間を知ることができ、疎密波の既知の伝播速度と計測した時間とを用いて送信装置までの距離を求めることができる。すなわち、受信装置を搭載した検出対象と送信装置との距離を求めることができる。その結果、疎密波の到来方向と送信装置までの距離とによって送信装置（すなわち、検出対象）の三次元位置を求めることができる。
【００１０】
請求項２の発明では、請求項１の発明において、前記受信装置が、グローバル座標の座標軸に対するローカル座標の座標軸の回転角を検出する方向センサを備え、前記グローバル位置演算部は、方向センサにより検出した座標軸の回転角を加味してグローバル座標における前記受信装置の座標位置を算出することを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、基準位置を複数設けていることによりグローバル座標に対するローカル座標の回転角を求めることができる。すなわち、検出対象を基準位置に位置させたときに受信装置に設定したローカル座標の座標軸がグローバル座標の座標軸に対して回転している場合でも、受信装置の位置をグローバル座標の座標位置に換算することができる。
【００１２】
請求項３の発明では、請求項１または請求項２の発明において、前記送信装置を複数台備える動線計測システムであって、２台以上の送信装置からの疎密波を前記受信装置で同時に受波できる空間領域が存在するときに、当該空間領域に内に前記基準位置を設定することを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、検出対象を１つの基準位置に位置させるだけで複数台の送信装置についてグローバル座標における座標位置を求めることができるから、キャリブレーションの作業の負担が軽減される。また、検出対象の移動に伴って疎密波を受波する送信装置が切り替わっても座標位置の連続性が保たれる。
請求項４の発明では、請求項１ないし請求項３のいずれかの発明において、前記疎密波送波部は、媒質の圧力変化が単発的に生じる圧力波を送波することを特徴とする。
請求項５の発明では、請求項１ないし請求項４のいずれかの発明において、前記疎密波受波部は、複数個の前記受波素子を二次元的に配列してあることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の構成によれば、送信装置のグローバル座標をあらかじめ知っておく必要がなく、基準位置を決めておき、検出対象を基準位置に位置させるだけでグローバル座標における送信装置の座標位置を求めることができるから、送信装置の設置施工の際には送信装置の位置を計測する必要がなく、設置施工が容易になるという利点がある。さらに、受信装置にアレイセンサを用いているから１台の送信装置を用いるだけで受信装置の位置を特定することができ、送信装置からの疎密波が到達する空間領域の全体を検出対象の位置検出に利用することができ、検出対象の位置検出を広い空間領域において実現することができるという利点がある。その上、複数個の受波素子ごとの受波信号を時間軸方向に偏移させた後に加算する遅延加算処理を行って、加算結果が最大になるときの遅延時間を求めるから、加算結果の評価のみでただちに到来方向を求めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本実施形態では、図２、図３に示すように、建物内で床面ＦＬ上を移動する移動体（たとえば、ショッピングカート）を位置検出の検出対象Ｏｂとし、検出対象Ｏｂが移動した位置を追跡する動線計測システムを例示する。検出対象Ｏｂの位置を追跡するために、床面ＦＬの上方である天井面ＣＬの定位置には疎密波を送波する送信装置１を設置し、検出対象Ｏｂの上面には疎密波を受波する受信装置２を搭載する。本実施形態では、疎密波として媒質（空気）の圧力変化が単発的に生じる圧力波を用いる。
【００１６】
送信装置１は、図１に示すように、疎密波を送波する疎密波送波部１１と、電磁波（赤外線または電波）を伝送媒体としたワイヤレス信号を送信するトリガ送信部１２および識別情報送信部１３とを備える。疎密波送波部１１、トリガ送信部１２、識別情報送信部１３は、それぞれドライバ１４〜１６を介して制御部１０からの指示を受けて動作する。制御部１０はワンチップマイコンからなり、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、シリアル通信用インターフェイスを包含している。疎密波送波部１１からは疎密波を間欠的に送波し、トリガ送信部１２は疎密波の送信と同時（実際には、マイコンの命令処理の時間差がある）にトリガ信号としてのワイヤレス信号（以下では、単に「トリガ信号」という）を送信する。また、識別情報送信部１３は識別データを含むワイヤレス信号（以下では、「識別情報信号」という）をトリガ信号に引き続いて送信する。識別データは制御部１０に設定されており、受信装置２ごとに固有の識別データが設定される。疎密波の送波タイミング、トリガ信号の送信タイミング、識別情報信号の送信タイミングは制御部１０において制御される。疎密波とトリガ信号と識別情報信号とは所定の時間間隔で間欠的に出力される。上述した受信装置２の機能は制御部１０を構成しているワンチップマイコンに適宜のプログラムを搭載することにより実現される。
【００１７】
受信装置２は、送信装置１に設けた疎密波送波部１１から送波された疎密波を受波する疎密波受波部２１を備え、疎密波受波部２１は疎密波を受波すると電気信号である受波信号を出力する。つまり、疎密波受波部２１は疎密波を受波信号に変換する。また、受信装置２は、送信装置１に設けたトリガ送信部１２から送信されたトリガ信号を受信するトリガ受信部２２と、識別情報送信部１３から送信された識別情報信号を受信する識別情報受信部２３とを備える。トリガ受信部２２ではトリガ信号を波形整形し、識別情報受信部２３は識別情報信号からキャリアを除去する。トリガ受信部２２の出力は受信装置の動作開始のタイミングを指示し、送信装置１に設けた位置演算部２４およびタイマ部２５を起動する。また、識別情報受信部２３から出力されるパルス列からなる識別データはメモリ２６に格納される。タイマ部２５は現在時刻を計時する時計機能も備え、トリガ受信部２２でトリガ信号を受信した時刻がメモリ２６に格納される。
【００１８】
位置演算部２４は、トリガ受信部２２の出力が発生した時点で待機状態から受信状態に移行し、受信状態において得られる疎密波受波部２１の出力を用いて送信装置１と受信装置２との位置を算出する。受信状態はあらかじめ定めた一定時間継続する。
【００１９】
疎密波受波部２１の出力を用いて得られる送信装置１の位置は、受信装置２に対する送信装置１の相対位置であり、図３に示すように受信装置２に設定されたローカル座標ＸＬ−ＹＬの座標位置として求められる。ここに、本実施形態では床面ＦＬから天井面ＣＬまでの高さは一定とみなしている。したがって、検出対象Ｏｂの移動する空間において受信装置２の高さ位置は変化しないから、ローカル座標ＸＬ−ＹＬを床面ＦＬの上の二次元座標として扱う。後述するように、受信装置２にはグローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける送信装置１の座標位置が格納されており、疎密波受波部２１の出力を用いてローカル座標ＸＬ−ＹＬにおける送信装置１の座標位置を求めることにより、グローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける受信装置２の座標位置を求めることができるようにしてある。グローバル座標ＸＧ−ＹＧも高さについては考慮せず、床面ＦＬの上の二次元座標として扱う。
【００２０】
本実施形態では、受信装置２のキャリブレーションが必要であって、キャリブレーションの際には、位置演算部２４において、疎密波受波部２１の出力を用いてローカル座標ＸＬ−ＹＬでの送信装置１の座標位置を求め、受信装置２がグローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける既知の座標位置に位置するときに、両座標位置を用いてグローバル座標ＸＧ−ＹＧでの送信装置１の座標位置を求める。また、グローバル座標ＸＧ−ＹＧでの送信装置１の座標位置を求めた後には、ローカル座標ＸＬ−ＹＬでの送信装置１の座標位置を用いることにより、グローバル座標ＸＧ−ＹＧでの受信装置２の座標位置を求めることができる。
【００２１】
つまり、受信装置２には、ローカル座標ＸＬ−ＹＬでの送信装置１の座標位置を用いて、グローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける送信装置１の座標位置を求める動作モード（キャリブレーションモード）と、グローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける受信装置２の座標位置を求める動作モード（運転モード）とがある。位置演算部２４は、どちらの動作モードにおいてもローカル座標ＸＬ−ＹＬでの送信装置１の座標位置を求めるローカル位置演算部の機能を有する。また、運転モードであるときにはグローバル位置演算部として機能する。グローバル位置演算部とローカル位置演算部との動作については後述する。
【００２２】
メモリ２６には、位置演算部２４で求めたグローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける受信装置２の座標位置と、当該座標位置に位置していたときの時刻（トリガ受信部２２でトリガ信号を受信した時刻）と、当該受信装置２の識別データとが対応付けられて１レコードとして格納される。メモリ２６に格納されたデータは制御部２０において必要に応じて読み出され、出力部２７を通して外部の管理装置に出力される。制御部２０はマイクロコンピュータを主構成要素としており、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、シリアル通信インターフェイスを包含している。また、出力部２７は出力用のインターフェイスであって、ＴＩＡ／ＥＩＡ−２３２−ＥやＵＳＢなどの仕様のシリアルインターフェイスのほかＳＣＳＩのような仕様のパラレルインターフェイスなどが採用される。出力部２７から取り出された検出結果は、別に設けた管理装置において利用され、本実施形態では、検出対象Ｏｂが移動した経路を追跡することにより動線を計測する。ここに、受信装置２は検出対象Ｏｂに搭載されているから、出力部２７から取り出された検出結果は無線により管理装置に伝送するのが望ましい。
【００２３】
受信装置２の各部の構成をさらに詳しく説明する。疎密波受波部２１は、複数個の受波素子を配列したアレイセンサであって、位置演算部２４では各受波素子による疎密波の受波時刻の時間差と受波素子の配列位置とに基づいて疎密波の到来方向、すなわち検出対象Ｏｂの存在する方向を求める。
【００２４】
疎密波の到来方向を求めるには、疎密波を受波した受波素子での受波時刻の時間差を含む情報が必要であるから、疎密波受波部２１から出力される受波信号をＡ／Ｄ変換器２４ａをデジタル信号である受波データに変換した後、各受波素子に対応する出力を一時記憶するデータ格納部２４ｂに格納する。疎密波受波部２１は到来する疎密波を常時受波しているが、位置演算部２４での処理はトリガ受信部２２の出力が得られてから一定時間である受波ゲート期間に制限される。
【００２５】
データ格納部２４ｂに格納された受波データは受波ゲート期間の終了後に処理部２４ｃに読み込まれ、各受波素子での受波時刻の時間差に相当する時間を求めるために、隣接する受波素子に対応する受波データを時間軸方向に既定した時間分だけシフトして加算する。処理部２４ｃはマイクロコンピュータを主構成要素とする。
【００２６】
この処理について簡単に説明する。いま、疎密波受波部２１において受波素子４０が図４に示すように同一平面上において一次元的に等間隔で配列されているものとする（実際には二次元的に配列されている）。受波素子４０が配列された面に対する超音波の波面の角度がθ０であるとき、疎密波の到来方向もθ０になる。音速をｃ、受波素子４０の配列ピッチ（中間間の距離）をＬとすれば、到来方向がθ０である疎密波の波面が隣接する受波素子４０に到達する際の時間差ΔＴ０は、ΔＴ０＝Ｌ・ｓｉｎθ０／ｃである。すなわち、θ０＝ｓｉｎ−１（ΔＴ０・ｃ／Ｌ）であって、時間差ΔＴ０を求めると到来方向θ０を求めることができる。
【００２７】
以上の関係から、各受波素子４０で受波した疎密波に対応する受波信号を到来方向θ０に対応した時間差ΔＴ０分だけ遅延させると、時間軸方向において受波信号の位置を一致させることができることがわかる。たとえば、隣り合う３個の受波素子４０から図５（ａ）〜（ｃ）のような受波信号が出力され、隣接する受波素子４０から出力される受波信号が時間差ΔＴ０を有しているものとする。この場合、隣接する受波素子４０から得られる受波信号を、適宜の遅延手段によって互いにΔＴ０だけ遅延させる。つまり、図５（ｃ）の受波信号を２ΔＴ０だけ遅延させ、図５（ｂ）の受波信号をΔＴ０だけ遅延させると、両受波信号は時間軸方向において図５（ａ）の受波信号の位置に一致する。各受波素子４０の出力である受波信号の時間軸方向における位置が一致していれば、これらの受波信号を加算したときに加算結果は大きな振幅になる。言い換えると、加算結果の振幅が大きければ、疎密波の到来方向θ０は当該遅延時間ΔＴ０に対応しているといえる。
【００２８】
本実施形態では、受信信号を時間軸方向に偏移させるのではなく、受波データを時間軸方向に偏移させる構成を採用しているが、到来方向θ０を算出する目的においては差異はない。しかして、処理部２４ｃではデータ格納部２４ｂに格納された受波データに対して、あらかじめ設定した複数種類の遅延時間を適用して遅延させた後に加算し、加算結果が最大になるときの遅延時間を求める。この遅延時間は時間差ΔＴ０に対応するから、遅延時間にあらかじめ到来方向θ０を対応付けておくことにより、疎密波の到来方向をただちに求めることができる。遅延時間は、たとえば到来方向を５度刻みで検出することができるように設定される。上述のように受波データを時間軸方向に偏移させた後に加算する処理を遅延加算処理と呼ぶ。遅延加算処理は処理部２４ｃに設定したプログラムにより実現される。
【００２９】
ここに、トリガ信号と疎密波とはほぼ同時に出力されており、トリガ送信部１２からのトリガ信号の送信とトリガ受信部２２でのワイヤレス信号の受信とは実質的に同時とみなせるから、トリガ受信部２２でのトリガ信号の受信時刻と、疎密波受波部２１での疎密波の受波時刻との時間差は、実質的に疎密波が媒質中を伝播する時間とみなすことができる。したがって、ワイヤレス信号を受信してから疎密波を受波するまでの時間によって受信装置２に対する送信装置１の相対的な距離を知ることができる。つまり、送信装置１の方向と距離とを知ることができるから、受信装置２では送信装置１の三次元位置を求めることができる。ただし、上述したように本実施形態では床面ＦＬの上の二次元座標での座標位置を求める。つまり、三次元位置に対して既知の高さ寸法を用いることにより床面ＦＬの上での二次元座標を求めることができる。なお、この演算は処理部２４ｃにおいて行う。
【００３０】
以上説明したように、受信装置２では送信装置１からのトリガ信号を受信すると、受波ゲート期間の制限内で受波信号を待ち受け、受波ゲート期間内に受波した疎密波のみを用いて疎密波の到来方向および送信装置１までの距離を算出し、検出対象Ｏｂの床面ＦＬの上の二次元座標（ローカル座標ＸＬ−ＹＬ）での座標位置を求める。また、トリガ信号を受信した時刻およびトリガ信号に対応する識別データをメモリ２６に格納する。
【００３１】
なお、データ格納部２４ｂの容量は、受波素子４０の素子数と受波ゲート期間とＡ／Ｄ変換器２４ａのサンプリング周期とに依存する。たとえば、受波素子４０を８素子とし、Ａ／Ｄ変換器２４ａのサンプリング周期を１μｓ、受波ゲート期間を３０ｍｓ（受信装置２までの距離が約１０ｍの範囲内）とし、１データを１ワードで保存するとすれば（つまり、Ａ／Ｄ変換器２４ａの分解能が８ビットであるとすれば）、３０ｋワード×８素子＝２４０ｋワードの容量が必要になる。この程度の容量であれば、２５６ｋｂｙｔｅの容量を有するＳＲＡＭを用いることができる。
【００３２】
上述した処理によってローカル座標ＸＬ−ＹＬでの送信装置１の座標位置を求めることができる。すなわち、位置演算部２４のうちデータ格納部２４ｂ、処理部２４ｃによりローカル座標ＸＬ−ＹＬでの受信装置２の座標位置を求めるローカル位置演算部が構成される。一方、本実施形態では、グローバル座標ＸＧ−ＹＧでの送信装置１の座標位置を求める必要があり、そのため、検出対象Ｏｂをグローバル座標ＸＧ−ＹＧの座標位置が既知である基準位置に位置させる。
【００３３】
受信装置２のローカル位置演算部では、ローカル座標ＸＬ−ＹＬにおける送信装置１の座標位置を求めることができるから、この座標位置を（ＸＬ１，ＹＬ１）とする。ここで、グローバル座標ＸＧ−ＹＧとローカル座標ＸＬ−ＹＬとの座標軸との向きが一致するという制約条件を設定すれば、図６に示すように、送信装置１のグローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける座標位置（ＸＧ１，ＹＧ１）と、送信装置１のローカル座標ＸＬ−ＹＬにおける座標位置（ＸＬ１，ＹＬ１）と、グローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける受信装置２の座標位置（ＸＲ，ＹＲ）との間には、ＸＧ１＝ＸＲ＋ＸＬ１、ＹＧ１＝ＹＲ＋ＹＬ１の関係が成立する。つまり、受信装置２が座標位置（ＸＲ，ＹＲ）に位置するときに、送信装置１のローカル座標ＸＬ−ＹＬにおける座標位置（ＸＬ１，ＹＬ１）を用いて、グローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける送信装置１の座標位置（ＸＧ１，ＹＧ１）を求めることができる。逆に、送信装置１についてグローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける座標位置（ＸＧ１，ＹＧ１）が既知であれば、ローカル座標ＸＬ−ＹＬにおける座標位置（ＸＬ１，ＹＬ１）を計測することにより、グローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける受信装置２の座標位置（ＸＲ，ＹＲ）を求めることができる。
【００３４】
ここで、検出対象Ｏｂに対する受信装置２の位置は変化しないから、以下では検出対象Ｏｂの位置は受信装置２の位置を表しているものとみなして説明する。
【００３５】
グローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける受信装置２の座標位置（ＸＲ，ＹＲ）を求めるには、位置演算部２４をキャリブレーションモードとし、グローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける送信装置１の座標位置（ＸＧ１，ＹＧ１）を求める必要がある。つまり、床面ＦＬの上でグローバル座標ＸＧ−ＹＧの座標位置が既知である基準位置を設定し、位置演算部２４をキャリブレーションモードに設定した状態で、検出対象Ｏｂを基準位置に位置させる。基準位置に検出対象Ｏｂを位置させると、グローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける受信装置２の座標位置（ＸＲ，ＹＲ）が既知であり、ローカル座標ＸＬ−ＹＬにおける送信装置１の座標位置（ＸＬ１，ＹＬ１）を計測することができるから、グローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける送信装置１の座標位置（ＸＧ１，ＹＧ１）を求めることができる。
【００３６】
グローバル座標ＸＧ−ＹＧでの送信装置１の座標位置（ＸＧ１，ＹＧ１）は座標変換処理部２４ｄに格納され、処理部２４ｃでの以後の処理に用いられる。また、座標変換処理部２４ｄには、グローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける基準位置の座標位置も格納されている。したがって、処理部２４ｃと座標変換処理部２４ｄとはキャリブレーションモードでは送信位置演算部として機能する。座標変換処理部２４ｄに格納されたデータの変更頻度は少ないから、座標変換処理部２４ｄにはＥＥＰＲＯＭのような不揮発性メモリを用いるのが望ましい。グローバル座標ＸＧ−ＹＧでの基準位置の座標位置は実測により設定される。なお、基準位置の計測は床面ＦＬの上で行うから作業は容易である。
【００３７】
グローバル座標ＸＧ−ＹＧでの送信装置１の座標位置（ＸＧ１，ＹＧ１）を求めた後には、位置演算部２４を動作モードとしてグローバル座標ＸＧ−ＹＧでの受信装置２の座標位置（ＸＲ，ＹＲ）を求めることができる。動作モードでは、座標変換処理部２４ｄに格納された送信装置１の座標位置（ＸＧ１，ＹＧ１）を用いることで、受信装置２の座標位置（ＸＲ，ＹＲ）を算出する。すなわち、処理部２４ｃと座標変換処理部２４ｄとは動作モードではグローバル位置演算部として機能する。
【００３８】
ところで、上述の説明では、グローバル座標ＸＧ−ＹＧとローカル座標ＸＬ−ＹＬとの座標軸との向きが一致しているという制約条件を設定したが、この制約条件があると検出対象Ｏｂの移動にも制約が生じる。そこで、上述の制約条件を取り除くために、本実施形態では、検出対象Ｏｂにジャイロセンサのような方向センサ２８を設けている。方向センサ２８の出力はＡ／Ｄ変換器２４ｅを介して処理部２４ｃに入力される。
【００３９】
上述の動作ではグローバル座標ＸＧ−ＹＧに対するローカル座標ＸＬ−ＹＬの回転角、すなわち検出対象Ｏｂの向きを考慮していないから未知数は２であって、上述したように１個の基準位置について２式を設定すれば未知数を求めることができる。一方、座標軸の回転角を考慮する場合にはグローバル座標ＸＧ−ＹＧの座標軸に対するローカル座標ＸＬ−ＹＬの座標軸の回転角θＲを求めなければならないから未知数が３個（ＸＲ，ＹＲ，θＲ）になる。つまり、１個の基準位置Ｐｓから得られる２式のみでは未知数を求めることができない。そこで、回転角θＲを求めるために方向センサ２８を設けている。
【００４０】
座標軸の回転角θＲを考慮すると、図７に示すように、送信装置１のグローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける座標位置（ＸＧ１，ＹＧ１）と、送信装置１のローカル座標ＸＬ−ＹＬにおける座標位置（ＸＬ１，ＹＬ１）と、グローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける受信装置２の座標位置（ＸＲ，ＹＲ）との間には、数１の関係が成立する。
【００４１】
【数１】
0004569585.tif 000002
【００４２】
回転角θＲを考慮するする場合であっても演算式が異なるだけであって、上述した処理と同様の処理になる。すなわち、キャリブレーションモードでグローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける送信装置１の座標位置（ＸＧ１，ＹＧ１）を求めて座標変換処理部２４ｄに格納し、動作モードにおいてグローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける受信装置２の座標位置（ＸＲ，ＹＲ）を求める際には、座標変換処理部２４ｄに格納した送信装置１の座標位置（ＸＧ１，ＹＧ１）を用いるのである。
【００４３】
ところで、上述したように検出対象Ｏｂを基準位置に位置させることによって送信装置１の位置を求めることができるが、送信装置１が複数台設けられている場合に、各送信装置１ごとに基準位置を各別に設定するとすれば、基準位置の計測に手間がかかる。そこで、図８に示すように、複数台の送信装置１からの疎密波を同時に受波できる空間領域が存在するときには、当該空間領域に基準位置を設定するのが望ましい。
【００４４】
この場合、１箇所の基準位置を複数台の送信装置１で共用することができるから、受信装置２を移動させることなく、複数台の送信装置１についてグローバル座標ＸＧ−ＹＧにおける座標位置（ＸＧ１，ＹＧ１）を求めることが可能になる。つまり、複数台の送信装置１の座標位置（ＸＧ１，ＹＧ１）を短時間で求めることが可能になる。ここに、各送信装置１には個別に識別データが設定されており、受信装置２では識別情報信号によって各送信装置１を識別する。
【００４５】
ところで、送信装置１における疎密波送波部１１を構成している送波素子には、圧電素子からなる超音波振動子を用いてもよいが、圧電素子は一般にせん鋭度（Ｑ値）が１００を越えるから残響時間が比較的長く、残響時間を考慮すると疎密波を送波する時間間隔が長くなる。つまり、受信装置２を搭載する検出対象が移動体であるときには、移動体の位置を細かく計測することができない。
【００４６】
そこで、疎密波送波部１１には、図９に示す構造を有した残響時間の短い送波素子３０を用いるのが望ましい。この送波素子３０は、単結晶のｐ形のシリコン基板からなる支持基板３１の一表面（図９における上面）側に多孔質シリコン層からなる熱絶縁層３２が形成され、熱絶縁層３２上に金属薄膜（たとえば、タングステン薄膜）からなる発熱体層３３が形成され、さらに、支持基板３１の上記一表面側に発熱体層３３と電気的に接続された一対の電極パッド３４が形成されている。支持基板３１の平面形状は長方形状であって、熱絶縁層３２、発熱体層３３も平面形状はそれぞれ長方形状に形成される。
【００４７】
この送波素子３０は熱励起式であって、発熱体層３３に温度変化が生じるように発熱体層３３に通電し、発熱体層３３に接触している媒質の膨張収縮を促すことによって疎密波を発生させる。つまり、発熱体層３３の両端の電極パッド３４間に通電し発熱体層３３に温度変化を生じさせることで、発熱体層３３に接触している媒質である空気に温度変化を生じさせる。発熱体層３３に接触している空気は、発熱体層３３の温度上昇時には膨張し発熱体層３３の温度下降時には収縮するから、発熱体層３３への通電を制御することによって空気中を伝搬する疎密波を発生させることができるのである。
【００４８】
圧電素子からなる送波素子はせん鋭度（Ｑ値）が大きいものであるから、疎密波を瞬間的に発生させたとしても、圧電素子の駆動を停止した後も図１０（ｂ）に示すように、共振によって残響が継続する。これに対して、図９に示した熱励起式の送波素子３０は、せん鋭度が小さく、実質的に共振周波数を持たないものである。熱励起式の送波素子３０では、上述したように、一対の電極パッド３４を介した発熱体層３３への通電に伴う発熱体層３３の温度変化に伴って疎密波を発生する。
【００４９】
つまり、発熱体層３３へ与える駆動電圧ないし駆動電流の波形が正弦波形状であるときには、当該正弦波形の２倍の周波数の疎密波を発生させることができる。したがって、電極パッド３４に印加する駆動電圧の波形を、正弦波の半周期に相当する孤立波とすれば、図１０（ａ）に示すような正弦波形の１周期分の疎密波を発生させることができる。しかも、熱励起式の送波素子３０は実質的に共振周波数を持たないから残響時間はごく短くなる。また、圧電素子は固有の共振周波数を有するので発生可能な疎密波の周波数範囲が狭いが、熱励起式の送波素子３０は実質的に共振周波数を持たないので発生可能な疎密波の周波数範囲が広範囲になる。しかも、駆動電圧もしくは駆動電流の波形を孤立波とすれば、図１０（ａ）に示すように１周期程度の疎密波を発生させることができる。
【００５０】
上述した熱励起式の送波素子３０は、支持基板３１としてｐ形のシリコン基板を用いており、熱絶縁層３２を多孔度が略７０％の多孔質シリコン層により構成している。この熱絶縁層３２は、支持基板３１として用いるシリコン基板の一部をフッ化水素水溶液とエタノールとの混合液からなる電解液中で陽極酸化処理することにより形成することができる。ここに、陽極酸化処理の条件（たとえば、電流密度、通電時間など）を適宜設定することにより、熱絶縁層３２となる多孔質シリコン層の多孔度や厚みそれぞれを所望の値とすることができる。
【００５１】
多孔質シリコン層は、多孔度が高くなるにつれて熱伝導率および熱容量が小さくなることが知られている。たとえば、熱伝導率が１４８Ｗ／（ｍ・Ｋ）、熱容量が１．６３×１０６Ｊ／（ｍ３・Ｋ）の単結晶のシリコン基板を陽極酸化し、多孔度が６０％の多孔質シリコン層を形成すると、この多孔質シリコン層は、熱伝導率が１Ｗ／（ｍ・Ｋ）、熱容量が０．７×１０６Ｊ／（ｍ３・Ｋ）になる。本実施形態では、上述のように多孔度が略７０％の多孔質シリコン層により熱絶縁層３２を形成してあり、熱絶縁層３２の熱伝導率が０．１２Ｗ／（ｍ・Ｋ）、熱容量が０．５×１０６Ｊ／（ｍ３・Ｋ）になっている。
【００５２】
なお、熱伝導度および熱容量について熱絶縁層３２を支持基板３１に比べて小さくし、熱伝導度と熱容量との積についても熱絶縁層３２を支持基板３１に比べて十分に小さくすることにより、発熱体層３３の温度変化を空気に効率よく伝達することができ、発熱体層３３と空気との間で効率よく熱交換させることができる。しかも、支持基板３１が熱絶縁層３２からの熱を効率よく受け取るから熱絶縁層３２の熱を逃がすことができ発熱体層３３からの熱が熱絶縁層３２に蓄積されるのを防止することができる。
【００５３】
発熱体層３３は、高融点金属の一種であるタングステンにより形成してあり、熱伝導率が１７４Ｗ／（ｍ・Ｋ）、熱容量が２．５×１０６Ｊ／（ｍ３・Ｋ）となっている。発熱体層３３の材料はタングステンに限らず、たとえば、タンタル、モリブデン、イリジウムなどを採用してもよい。
【００５４】
上述の熱励起式の送波素子３０は、支持基板３１の厚さを５２５μｍ、熱絶縁層３２の厚さを１０μｍ、発熱体層３３の厚さを５０ｎｍ、各電極パッド３４の厚さを０．５μｍとしてある。ただし、これらの厚さは一例であり、とくに限定する主旨ではない。また、支持基板３１の材料としてＳｉを採用しているが、支持基板３１の材料はＳｉに限らず、たとえば、Ｇｅ，ＳｉＣ，ＧａＰ，ＧａＡｓ，ＩｎＰなどの陽極酸化処理による多孔質化が可能な他の半導体材料でもよい。
【００５５】
ところで、受信装置２の疎密波受波部２１に用いる受波素子４０は、疎密波を受波するとともに受波した疎密波を電気信号である受波信号に変換するものであり、疎密波受波部２１には１枚の基板（図示せず）に複数個の受波素子４０を配列して構成してある。ここでは、受波素子４０を二次元的に配列したアレイセンサを構成しているものとする。アレイセンサにおいて、受波素子４０の中心間距離（配列ピッチ）は疎密波送波部１１から発生させる疎密波の波長程度（たとえば、疎密波の波長の０．５〜５倍程度）に設定することが望ましい。これは、疎密波の波長の０．５倍よりも小さいと疎密波の波面が隣り合う受波素子４０にそれぞれ到達する時刻の時間差が小さくなり、時間差の検出が困難になるからである。受波素子４０として、圧電素子を用いることが可能であるが、疎密波送波部１１と同様に、残響の少ない構成が望ましい。したがって、疎密波の圧力（音圧）を静電容量の変化に変換する静電容量式の受波素子４０を用いることが望ましい。
【００５６】
この種の受波素子４０は、図１１に示す構成のものがある。図示する受波素子４０は、マイクロマシンニング技術により形成され、シリコン基板に厚み方向に貫通する窓孔４１ａを設けることで形成された矩形枠状のフレーム４１と、フレーム４１の一表面側において窓孔４１ａを囲む四辺のうちの一辺に固定されるとともに窓孔４１ａを覆う形に配置されたカンチレバー型の受圧板４２とを備える。フレーム４１の上記一表面には熱酸化膜４５を介してシリコン酸化膜４６が積層され、さらにシリコン酸化膜４６の表面はシリコン窒化膜４７で覆われる。受圧板４２の一端部は熱酸化膜４５を介してフレーム４１に固定され、受圧板４２の他端部はシリコン基板の厚み方向においてシリコン酸化膜４６に対向する。シリコン酸化膜４６における受圧板４２の他端部との対向面には金属薄膜（たとえば、クロム膜など）からなる固定電極４３ａが形成され、受圧板４２の他端部において固定電極４３ａと対向している部位であって固定電極４３ａとの対向面の背面側には金属薄膜（たとえば、クロム膜など）からなる可動電極４３ｂが形成される。フレーム４１の他表面にはシリコン窒化膜４８が形成される。ここに、受圧板４２は、各シリコン窒化膜４７，４８とは別工程で形成されるシリコン窒化膜により構成される。
【００５７】
図１１に示す静電容量式の受波素子４０では、受圧板４２に疎密波の圧力（音圧）が作用すると、疎密波の圧力に応じて固定電極４３ａと可動電極４３ｂとの距離が変化するから、固定電極４３ａと可動電極４３ｂとの間の静電容量を検出することにより、疎密波の圧力を検出することができる。したがって、固定電極４３ａと可動電極４３ｂとの間に直流バイアス電圧を印加しておけば、固定電極４３ａと可動電極４３ｂとの間には疎密波の圧力に応じた電圧変化が生じ、疎密波の音圧を電気信号に変換することができる。この種の静電容量式の受波素子４０はせん鋭度が圧電素子よりも小さいから、圧電素子を用いる場合よりも受波できる疎密波の周波数帯域幅を広くとることができる。
【００５８】
なお、受波素子４０は図１１の構造に限定されるものではなく、たとえば、シリコン基板などをマイクロマシンニング技術などにより加工して形成され疎密波の圧力を受けるダイヤフラム部からなる可動電極と、ダイヤフラム部に対向する背板部からなる固定電極との間の静電容量を検出する構成を採用してもよい。この構成では、疎密波の圧力が作用していない状態でのダイヤフラム部と背板部とのギャップ長を規定する絶縁膜からなるスペーサ部を設け、背板部には複数の排気孔を貫設する。
【００５９】
図９に示した熱励起式の送波素子３０のせん鋭度（Ｑ値）は１程度であり、図１１に示した静電容量式の受波素子４０のせん鋭度は３〜４程度であって、圧電素子に比較するとせん鋭度が大幅に小さい。したがって、送波素子および受波素子に圧電素子を用いる場合に比較すると、疎密波送波部１１から送波される疎密波に含まれる残響成分の割合が少なくなり、疎密波受波部２１から出力される受波信号に含まれる残響成分の割合が少なくなる。つまり、送波時には疎密波の送波間隔を短くすることができ、受波時には短い時間間隔で疎密波を受波しても疎密波に対応する受波信号が重複しないように分離することができる。その結果、複数台の送信装置１からの疎密波を次々に受信することが可能であり、受信装置２の検知エリア内に比較的多くの送信装置１が存在していても、各別に分離して位置を求めることが可能になる。なお、送波素子３０および受波素子４０のせん鋭度（Ｑ値）はいずれも１０以下が望ましく、望ましくは５以下とする。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】実施形態を示すブロック図である。
【図２】同上の使用例を示す概略構成図である。
【図３】同上の使用例を示す概略斜視図である。
【図４】同上の動作説明図である。
【図５】同上の動作説明図である。
【図６】同上の原理説明図である。
【図７】同上の他の動作での原理説明図である。
【図８】同上の使用例を示す概略構成図である。
【図９】同上に用いる送波素子の一例を示す断面図である。
【図１０】同上の動作説明図である。
【図１１】同上に用いる受波素子の一例を示し、（ａ）は一部破断した斜視図、（ｂ）は断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１  送信装置
２  受信装置
１０  制御部
１１  疎密波送波部
１２  トリガ送信部
１３  識別情報送信部
２０  制御部
２１  疎密波受波部
２２  トリガ受信部
２３  識別情報受信部
２４  位置演算部
２４ａ  Ａ／Ｄ変換器
２４ｂ  データ格納部（ローカル位置演算部）
２４ｃ  処理部（ローカル位置演算部、送信位置演算部、グローバル位置演算部）
２４ｄ  座標変換処理部（送信位置演算部、グローバル位置演算部）
２４ｅ  Ａ／Ｄ変換器
２８  方向センサ
４０  受波素子
【図１】
0004569585.tif 000003
【図２】
0004569585.tif 000004
【図３】
0004569585.tif 000005
【図４】
0004569585.tif 000006
【図５】
0004569585.tif 000007
【図６】
0004569585.tif 000008
【図７】
0004569585.tif 000009
【図８】
0004569585.tif 000010
【図９】
0004569585.tif 000011
【図１０】
0004569585.tif 000012
【図１１】
0004569585.tif 000013