(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータシャフト、前記ロータシャフトを半径方向に支持するラジアル磁気軸受、前記ロータシャフトを軸方向に支持するスラスト磁気軸受、及び前記ロータシャフトの下端部を囲んで配置された一対の転がり軸受からなるタッチダウン軸受、及び前記タッチダウン軸受とその保持部材との間の環状隙間に挿入された一対の波板状緩衝部材とを少なくとも具備する磁気軸受装置において、前記一対の波板状緩衝部材の間に金属薄板を配置し、前記波板状緩衝部材の軸方向の位置ずれを防止したことを特徴とする磁気軸受装置。
【請求項２】
ロータシャフト、前記ロータシャフトを半径方向に支持するラジアル磁気軸受、前記ロータシャフトを軸方向に支持するスラスト磁気軸受、及び前記ロータシャフトの下端部を囲んで配置された一対の転がり軸受からなるタッチダウン軸受、及び前記タッチダウン軸受とその保持部材との間の環状隙間に挿入された一対の波板状緩衝部材とを少なくとも具備する磁気軸受装置において、前記保持部材の内周面に前記一対の波板状緩衝部材を上下に分離する環状凸部を形成し、前記波板状緩衝部材の軸方向の位置ずれを防止したことを特徴とする磁気軸受装置。
【請求項３】
ロータシャフト、前記ロータシャフトを半径方向に支持するラジアル磁気軸受、前記ロータシャフトを軸方向に支持するスラスト磁気軸受、及び前記ロータシャフトの下端部を囲んで配置された一対の転がり軸受からなるタッチダウン軸受、及び前記タッチダウン軸受とその保持部材との間の環状隙間に挿入された波板状緩衝部材とを少なくとも具備する磁気軸受装置において、前記保持部材の内周面に形成した環状凹部に前記波板状緩衝部材を収納し、前記波板状緩衝部材の軸方向の位置ずれを防止したことを特徴とする磁気軸受装置。
【請求項４】
金属薄板の厚み、環状凸部の高さ又は環状凹部の深さＴと波状帯鋼板の厚みｔとの和（Ｔ＋ｔ）が、環状隙間の幅δの０．８〜１．３倍であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の磁気軸受装置。
【請求項５】
請求項１から３のいずれかに記載の磁気軸受装置を備えた真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一対の転がり軸受からなるタッチダウン軸受及びこのタッチダウン軸受とその保持部材との間に形成された環状隙間に挿入された一対の波板状緩衝部材を具備する磁気軸受装置及びこれを備えた真空ポンプに関し、特にタッチダウン時の衝撃を吸収し且つロータの振れ回り周波数をロータの回転周波数に対して十分に低く押さえる波板状緩衝部材及びタッチダウン軸受の耐久性能の向上に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ロータシャフト、前記ロータシャフトを半径方向に支持するラジアル磁気軸受、前記ロータシャフトを軸方向に支持するスラスト磁気軸受、及びタッチダウン軸受とを少なくとも具備する磁気軸受装置は、例えばターボ分子ポンプ等の真空ポンプに採用され、広く実施されている。前記タッチダウン軸受は、磁気軸受の故障などの非常時に前記ロータシャフトを受ける保護軸受であって、例えば前記ロータシャフトの下端部に配置された一対の転がり軸受から構成されている。このような磁気軸受装置及びこれを備えたターボ分子ポンプは、特開平１０−８９２８４号公報や特開昭６３−２３９３９７号公報等に開示されている。
【０００３】
また、このような磁気軸受装置に採用される波板状緩衝部材は、ロータシャフトを含むロータがタッチダウン軸受にタッチダウンするときの振れ回り即ち旋回運動を抑制すると共にタッチダウンの衝撃を吸収する部材である。この波板状緩衝部材は、特公平７−１０３８９４号公報に詳細に開示されている如く、１つの部材でバネとダンパと機械的ストッパの３つの部材として機能するものであって、例えば図６に示す如き波状帯鋼板である。
【０００４】
図５においては、波板状緩衝部材はタッチダウン軸受４を構成する一対の転がり軸受４ａ、４ｂの外輪とタッチダウン軸受の保持部材９の内周面との間に形成された環状隙間Ｇに挿入された一対の波状帯鋼板８ａ、８ｂである。この波状帯鋼板８ａ、８ｂの剛性ｋとロータ質量ｍによって定まる周波数f＝（ｋ／ｍ）１／２が、タッチダウン時のロータの振れ回り周波数と一致する。ロータのタッチダウン時の衝撃エネルギーＥは、周波数fの２乗、従って（ｋ／ｍ）に比例する。これらの関係から、波状帯鋼板８ａ、８ｂは剛性ｋが小さい方が緩衝材としての効果が大きいことが分かる。剛性ｋを小さくするためには、例えば波状帯鋼板８ａ、８ｂの厚みｔを薄くすることが有効であるが、厚みｔの減少に伴い波状帯鋼板８ａ、８ｂのストッパとして機能は低下する。
【０００５】
ロータのタッチダウン時の衝撃に対し、波状帯鋼板８が或る程度の剛性を持ってストッパとして機能するためには、波状帯鋼板８はその波形のピッチｐ、無荷重状態での高さｈ、厚みｔはやたらに小さくできず、結果的に幅Ｂを小さくせざるを得なかった。このため、転がり軸受の高さＨが波状帯鋼板８の幅Ｂの２倍よりも大きくなることが生じた。換言すれば、転がり軸受の高さＨに対して、その半分にも満たない幅の狭い波状帯鋼板８を用いざるを得ない場合が生じた。ピッチｐ、高さｈ、厚みｔが小さく、且つ転がり軸受の高さＨの半分に満たない幅の狭い波状帯鋼板８ａ、８ｂは、保持力が弱い。従って、このような幅の狭い波状帯鋼板８ａ、８ｂを環状隙間Ｇに挿入した場合、長時間の使用による振動などで上側の波状帯鋼板８ａが下方にずれて下側の波状帯鋼板８ｂに接触し、第１転がり軸受４ａが径方向に幅δだけフリーになりロータと接触し異音を発生したり異常摩耗を招くことがあった。なお、幅δは環状隙間Ｇの幅である。このような状態になると波板状緩衝部材は本来の機能を発揮できなくなり、磁気軸受装置或いは磁気軸受を備えた真空ポンプに異常な振動や振れを発生させ、装置全体に故障をもたらすことがあった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明が解決しようとする課題は、ロータシャフト、前記ロータシャフトを半径方向に支持するラジアル磁気軸受、前記ロータシャフトを軸方向に支持するスラスト磁気軸受、前記ロータシャフトの下端部に配置された一対の転がり軸受からなるタッチダウン軸受、及び前記タッチダウン軸受とその保持部材との間の環状隙間に挿入された波板状緩衝部材とを少なくとも具備する磁気軸受装置及びこれを備えた真空ポンプにおいて、前記一対の波板状緩衝部材を軸方向の位置ずれを防止して所定位置に確実に保持し続けるようにすることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、ロータシャフト、前記ロータシャフトを半径方向に支持するラジアル磁気軸受、前記ロータシャフトを軸方向に支持するスラスト磁気軸受、及び前記ロータシャフトの下端部を囲んで配置された一対の転がり軸受からなるタッチダウン軸受、及び前記タッチダウン軸受とその保持部材との間の環状隙間に挿入された一対の波板状緩衝部材とを少なくとも具備する磁気軸受装置及びこれを備えた真空ポンプにおいて、前記環状隙間に波板状緩衝部材の位置ずれ防止手段を備えた。
【０００８】
そして、前記一対の波板状緩衝部材の間に挿入配置された金属薄板を波板状緩衝部材の位置ずれ防止手段として用いた。
【０００９】
また、前記保持部材の内周面に設けられた環状凸部を波板状緩衝部材の位置ずれ防止手段として用いた。
【００１０】
更に、前記保持部材の内周面に設けられた環状凹部を波板状緩衝部材の位置ずれ防止手段として用いた。
【００１１】
更にまた、波板状緩衝部材の位置ずれ防止手段を構成するに際しては、金属薄板の厚み、環状凸部の高さ又は環状凹部の深さＴと波状帯鋼板の厚みｔとの和（Ｔ＋ｔ）が、環状隙間の幅δの０．８〜１．３倍であるようにした。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図７は本発明が適用されるターボ分子ポンプの一実施例の縦断面図である。このターボ分子ポンプは、特開平１０−８９２８４号公報に開示されているものと基本的には同じであり、ロータシャフト１を含むロータ６、ステータ７、及びロータ６を回転自在に支持する磁気軸受装置とから構成されている。ロータ６は、ロータシャフト１の他に、上側に多数のロータ翼が取り付けられ且つ下側に平坦な外周面を有する円筒部が形成されたロータ円筒体を含む。ステータ７は、上側に多数のステータ翼が取り付けられ且つ下側にネジ付内周面を有する円筒部が形成されたステータ円筒体を含む。
【００１３】
前記磁気軸受装置は、いわゆる５軸制御型磁気軸受装置であって、ロータシャフト１の上側に配置された第１ラジアル磁気軸受２ａと下側に配置された第２ラジアル磁気軸受２ｂとからなるラジアル磁気軸受２と、ロータシャフト１の下端部に配置された第１スラスト磁気軸受３ａと第２スラスト磁気軸受３ｂとからなるスラスト磁気軸受３、及びロータシャフト１の中側に配置された高周波モータ５で構成されている。
【００１４】
前記磁気軸受装置は更に、上段の第１スラスト磁気軸受３ａとロータシャフトの下端部との間に配置されたタッチダウン軸受４と、タッチダウンの衝撃を吸収し且つロータの旋回周波数を減衰させる波板状緩衝部材とを含む。タッチダウン軸受４は、上下２段にして配置された一対の転がり軸受、即ち第１転がり軸受４ａと第２転がり軸受４ｂとで構成されている。波板状緩衝部材は、図７には示されていないが、タッチダウン軸受４とその保持部材との間に形成された環状隙間に挿入されている。
【００１５】
本発明の第１実施形態の図１において、円筒状保持部材９はスラスト軸受保持部材であると同時にタッチダウン軸受保持部材でもある。即ち、保持部材９は図７のスラスト軸受３ａを構成している電磁石を収納し樹脂モールドで被覆すると共に円筒状に成形された保持部材である。そして、保持部材９の内周部にはタッチダウン軸受４、即ち上下２段に配置された一対の転がり軸受４ａ、４ｂが収納されている。円筒状保持部材９の内周面と一対の転がり軸受４ａ、４ｂの外輪との間には環状隙間Ｇが形成され、この環状隙間Ｇには波板状緩衝部材である一対の波状帯鋼板８ａ、８ｂが挿入され、且つ上段の波状帯鋼板８ａと下段の波状帯鋼板８ｂに挟まれて帯状の金属薄板１０ａが挿入されている。波状帯鋼板８ａ、８ｂは、例えば図６の如き形状の波状帯鋼板である。
【００１６】
一対の転がり軸受４ａ、４ｂは波状帯鋼板８ａ、８ｂの弾性によって半径方向に押圧され、保持部材９の内周部に保持されている。波状帯鋼板８ａ、８ｂもそれ自体の弾性によって、環状隙間Ｇ内の所定位置に保持されている。しかも、波状帯鋼板８ａ、８ｂは軸方向に帯状の金属薄板１０ａを介在させて環状隙間Ｇ内に挿入されているから、位置ずれやずれ落ちがなくなって常時確実に所定位置に保持されている。要するに、帯状の金属薄板１０ａは波板状緩衝部材の位置ずれ防止手段である。
【００１７】
ところで、金属薄板１０ａの選定、並びに環状隙間の幅δの決定には、金属薄板１０ａの厚みＴ、波状帯鋼板の厚みｔ、環状隙間の幅δが相互に関係する。環状隙間の幅δから波状帯鋼板の厚みｔを差し引いた値が小さい場合、波状帯鋼板の波状部分の可動量、即ちロータの径方向可動量が小さくなり、必要な弾性力が得られない。逆に環状隙間の幅δから波状帯鋼板の厚みｔを差し引いた値が大きい場合、金属薄板の位置ずれ防止の効果が失われる。そこで、第１実施形態においては、金属薄板１０ａの厚みＴと波状帯鋼板の厚みｔとの和（Ｔ＋ｔ）が、環状隙間の幅δの０．８〜１．３倍となるように、金属薄板１０ａの選定、並びに環状隙間の幅δの決定を行った。これによって、波板状緩衝部材の位置ずれ防止効果が一段と高まった。
【００１８】
本発明の第２実施形態の図２において、波板状緩衝部材の位置ずれ防止手段は円筒状保持部材９の内周面に形成された環状凸部１０ｂである。この環状凸部１０ｂによって環状隙間Ｇは上段と下段に分離される。そして、下段の環状隙間には波状帯鋼板８ｂが、且つ上段の環状隙間には波状帯鋼板８ａがそれぞれ挿入されている。従って、第２実施形態においても、波状帯鋼板８ａ、８ｂは環状隙間Ｇの所定位置に常時確実に保持されている。なお、環状凸部の高さＴと波状帯鋼板の厚みｔとの和（Ｔ＋ｔ）が環状隙間の幅δの０．８〜１．３倍となるようにして、環状凸部の高さＴ並びに環状隙間の幅δの決定を行った。これによって、波板状緩衝部材の位置ずれ防止効果が一段と高まった。
【００１９】
本発明の第３実施形態の図３において、波板状緩衝部材の位置ずれ防止手段は円筒状保持部材９の内周面に形成された環状凹部１０ｃである。この環状凹部１０ｃには１枚の波状帯鋼板８ｃが挿入されている。従って、第３実施形態においても、波状帯鋼板８ｃは環状隙間Ｇの所定位置に常時確実に保持されている。なお、環状凹部の深さＴと波状帯鋼板の厚みｔとの和（Ｔ＋ｔ）が環状隙間の幅δの０．８〜１．３倍となるようにして、環状凹部の深さＴ並びに環状隙間の幅δの決定を行った。これによって、波板状緩衝部材の位置ずれ防止効果が一段と高まった。第１実施形態や第２実施形態では２枚の波板状緩衝部材を用いるものであったが、第３実施形態においては１枚の幅広の波板状緩衝部材を用いているから、コスト的にも有利である。
【００２０】
本発明において、金属薄板の厚み、環状凸部の高さ又は環状凹部の深さＴと波状帯鋼板の厚みｔとの和（Ｔ＋ｔ）が、環状隙間の幅δの０．８〜１．３倍であるとしたが、その根拠は次の通りである。
【００２１】
例えば波状帯鋼板の厚みｔが０．１ｍｍ、波状帯鋼板の高さｈが０．２５ｍｍ、環状隙間の幅δが０．２ｍｍの実施例において、波状帯鋼板が長期使用によってへたり、高さがｈ’になったとする。波状帯鋼板の高さｈが０．２５ｍｍの半分になったとすると、ｈ’は０．１２５ｍｍとなる。長期使用によってへたりを生じた波状帯鋼板が、波板状緩衝部材として機能するためには、δ＜（ｈ’＋Ｔ）との関係が成立しなければならない。この関係が成立しなければ、波状帯鋼板は所定位置からずれてしまうからである。この数式に上記の数値を入れると、Ｔ＞０．０７５ｍｍとなる。この数式の左辺と右辺に厚みｔ＝０．１ｍｍを加えると、（Ｔ＋ｔ）＞０．１７５ｍｍとなる。この値、０．１７５ｍｍは環状隙間の幅δ＝０．２ｍｍの約０．８倍となる。
【００２２】
また、ロータのタッチダウン時に必要なロータの可動量（波板状緩衝部材の変形量）χは、χ＝（δ−ｔ）／２で表される。これに上記の数値を入れると、χ＝０．０５ｍｍとなる。このとき、金属薄板の厚み、環状凸部の高さ又は環状凹部の深さＴによりロータの動きが規制されないようにするためには、（δ−χ）＞Ｔとする必要がある。この数式に上記の数値を入れると、Ｔ＜０．１５ｍｍとなる。この数式の左辺と右辺に厚みｔ＝０．１ｍｍを加えると、（Ｔ＋ｔ）＜０．２５ｍｍとなる。この値、０．２５ｍｍは環状隙間の幅δ＝０．２ｍｍの約１．３倍となる。
【００２３】
ところで図１に示す第１実施形態において、波板状緩衝部材である一対の波状帯鋼板８ａと８ｂと、これらの間に挟まれた金属薄板１０ａは軸方向端面に互いに接触する部分を有する。このため、波状帯鋼板８ａと８ｂがバネとして作用するのを阻害する。即ち、ロータの質量をｍ、波板状緩衝部材のバネ剛性をｋとしたとき、ロータのタッチダウン時の固有振動数f〔Ｈｚ〕は、ｆ＝（１／２π）（ｋ／ｍ）１／２で表される。タッチダウン時に円筒状保持部材９にかかるエネルギーＥは、質量ｍと周波数fの二乗f２との積ｍf２と比例相関を有する。例えば固有振動数fがロータの定格回転周波数f０の１／３の場合、波板状緩衝部材により前記エネルギーＥは理論的には１／９に低減できる。しかし実際には一対の波状帯鋼板８ａと８ｂと、これらの間に挟まれた金属薄板１０ａは軸方向端面に互いに接触する部分を有するため、波板状緩衝部材がバネとして作用するのを阻害する。そうなれば、タッチダウン時に円筒状保持部材９にかかるエネルギーＥを大幅に低減するという波板状緩衝部材の効果が下がってしまうという問題がある。
【００２４】
この問題を解決する各種の実施例を図４に示す。即ち、図４（Ａ）の基本実施例の変形である図４（Ｂ）〜図４（Ｅ）の変形実施例は、いずれも軸方向の接触部分を低減させたものである。即ち図４（Ｂ）は、切り欠きのない長方形の波状帯鋼板８ａと切り欠きのない長方形の波状帯鋼板と８ｂと上下側面に切り欠きを設けた長方形の金属薄板１０ａの組合せとしたものである。また図４（Ｃ）は、下側面に切り欠きを設けた長方形の波状帯鋼板８ａと上側面に切り欠きを設けた長方形の波状帯鋼板８ｂと切り欠きのない長方形の金属薄板１０ａの組合せとしたものである。更に図４（Ｄ）は、上側面に切り欠きを設けた長方形の波状帯鋼板８ａと下側面に切り欠きを設けた長方形の波状帯鋼板８ｂと切り欠きのない長方形の金属薄板１０ａの組合せとしたものである。更にまた図４（Ｅ）は、上下側面に切り欠きを設けた長方形の波状帯鋼板８ａと上下側面に切り欠きを設けた長方形の波状帯鋼板８ｂと上下側面に切り欠きを設けた長方形の金属薄板１０ａの組合せとしたものである。
【００２５】
以下、これらの変形実施例がもたらすエネルギー低減効果について説明する。図４（Ａ）の基本実施例においてタッチダウン時の全体エネルギーＥｔ１は、Ｅｔ１＝α｛（Ｇ１／２π）f２＋（Ｇ２／２π）ｆ０２｝で表される。但し、αは比例定数である。そして固有振動数fがロータの定格回転周波数f０の１／３の場合の全体エネルギーＥｔ１は、Ｅｔ１＝α（ｆ０２／２π）（Ｇ１／９＋Ｇ２）となる。但し、Ｇ１はタッチダウン時のロータの振動レベル、Ｇ２はロータの定格回転周波数での振動レベルである。
【００２６】
図４（Ａ）の基本実施例の場合のタッチダウン時のロータの振動レベルＧ１は０．５であり、ロータの定格回転周波数での振動レベルＧ２は０．１である。従って、タッチダウン時の全体エネルギーＥｔ１は、Ｅｔ１＝α（ｆ０２／２π）（０．５／９＋０．１）＝０．１５６α（ｆ０２／２π）となる。
【００２７】
図４（Ｂ）〜図４（Ｅ）の変形実施例において、タッチダウン時の全体エネルギーＥｔ２は、Ｅｔ２＝α｛（Ｇ３／２π）f２＋（Ｇ４／２π）ｆ０２｝で表される。固有振動数fがロータの定格回転周波数f０の１／３の場合の全体エネルギーＥｔ２は、Ｅｔ２＝α（ｆ０２／２π）（Ｇ３／９＋Ｇ４）となる。但し、Ｇ３は波板状緩衝部材の金属薄板との接触部分が非接触部分の１／３とした場合のタッチダウン時のロータの振動レベル、Ｇ４はロータの定格回転周波数での振動レベルである。
【００２８】
図４（Ｂ）と図４（Ｃ）の変形実施例の場合のタッチダウン時のロータの振動レベルＧ３は１．０であり、ロータの定格回転周波数での振動レベルＧ４は０．０１である。従って、タッチダウン時の全体エネルギーＥｔ２は、Ｅｔ２＝α（ｆ０２／２π）（１／９＋０．０１）＝０．１２１α（ｆ０２／２π）となる。これは、基本実施例の場合のタッチダウン時の全体エネルギー０．１５６α（ｆ０２／２π）の７８％である。従って、図４（Ｂ）と図４（Ｃ）の変形実施例によれば、図４（Ａ）の基本実施例よりも更に２２％のエネルギー低減が可能となった。同様に、図４（Ｄ）と図４（Ｅ）の変形実施例についても、図４（Ａ）の基本実施例よりも更にエネルギー低減が可能となった。
【００２９】
なお、図１ないし図３において、円筒状保持部材９はスラスト軸受３ａを構成している電磁石を収納し樹脂モールドで被覆すると共に円筒状に成形された保持部材であるとしたが、他の構成のもの、例えば磁気軸受装置のステータコラムと一体に構成されたものでもよい。
【００３０】
【発明の効果】
本発明は、タッチダウン軸受とその保持部材との間の環状隙間に挿入された波板状緩衝部材とを少なくとも具備する磁気軸受装置及びこれを備えた真空ポンプにおいて、前記環状隙間に波板状緩衝部材の位置ずれ防止手段を備えたものである。従って、前記波板状緩衝部材は幅の狭い波状帯鋼板であってもその所定位置に確実に保持されるから、波板状緩衝部材が位置ずれしてロータとタッチダウン軸受とが異常接触することが防止された。しかも、前記波板状緩衝部材の位置ずれ防止手段はいずれも簡単な構成のものであるから、これによる製造コストの上昇を極力軽減できた。更に、位置ずれが起きなくなり、無理な外力が作用しなくなることで、波板状緩衝部材そのものの耐久性能が高まり、オーバーホール時の交換の必要性も解消された。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る磁気軸受装置の第１実施形態のタッチダウン軸受及び波板状緩衝部材の部分斜視図である。
【図２】本発明に係る磁気軸受装置の第２実施形態のタッチダウン軸受及び波板状緩衝部材の断面図である。
【図３】本発明に係る磁気軸受装置の第３実施形態のタッチダウン軸受部及び波板状緩衝部材の断面図である。
【図４】本発明に係る磁気軸受装置の第１実施形態における上段の波状帯鋼板８ａ、下段の波状帯鋼板８ｂ、及びこれらに挟まれた帯状の金属薄板１０ａの各種実施例を示す展開図である。
【図５】従来の磁気軸受装置のタッチダウン軸受及び波板状緩衝部材の部分斜視図である。
【図６】波板状緩衝部材である波状波状帯鋼板の部分斜視図である。
【図７】本発明に係る真空ポンプの一実施例の縦断面図である。
【符号の説明】
１  ロータシャフト
２  ラジアル磁気軸受
２ａ  第１ラジアル磁気軸受
２ｂ  第２ラジアル磁気軸受
３  スラスト磁気軸受
３ａ  第１スラスト磁気軸受
３ｂ  第２スラスト磁気軸受
４  タッチダウン軸受
４ａ  第１転がり軸受
４ｂ  第２転がり軸受
５  モータ
６  ターボ分子ポンプのロータ
７  ターボ分子ポンプのステータ
８  波板状緩衝部材
８ａ  第１波状帯鋼板
８ｂ  第２波状帯鋼板
９  円筒状保持部材
１０  位置ずれ防止手段
１０ａ  金属薄板
１０ｂ  環状凸部
１０ｃ  環状凹部
１１  吸気口
１２  排気口
Ｇ  環状隙間
δ  環状隙間Ｇの幅
Ｈ  転がり軸受の高さ
Ｂ  波状帯鋼板の幅
ｈ  波状帯鋼板の無荷重状態での高さ
ｐ  波状帯鋼板のピッチ
ｔ  波状帯鋼板の厚み
【図１】
0004426049.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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