(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板に設けた基準マークを基準マーク撮像装置により撮像して回路基板の位置を検出し、その回路基板の位置に合わせて、電気部品を吸着した吸着ノズルを移動させるとともに、その吸着ノズルを回転中心まわりに回転させることにより電気部品を回転させ、その電気部品を前記回路基板の被装着面の予め定められた位置に予め定められた回転姿勢で装着する電気部品装着システムにおいて、部品装着精度に関連する部分の相対位置関係を取得する方法であって、
前記被装着面と平行な較正用載置面と、その較正用載置面の位置を規定する第一位置決め基準とを準備し、その較正用載置面に、第二位置決め基準を有する較正ゲージを載置し、それら第一位置決め基準と第二位置決め基準とを前記基準マーク撮像装置により同時に撮像して初回の撮像を行った後、その較正ゲージを前記載置時と同じ位置の吸着ノズルにより吸着してその吸着ノズルを前記回転中心まわりに回転させることによりその較正ゲージを予め定められた角度回転させ、その較正ゲージを再び前記較正用載置面に載置して前記第一位置決め基準と前記第二位置決め基準とを前記基準マーク撮像装置により同時に撮像することを１回以上行い、その１回以上の撮像と前記初回の撮像とを含む複数回の撮像により取得した画像の処理により、前記第一位置決め基準と前記吸着ノズルの回転中心との相対位置を検出する部品装着精度関連部分の相対位置関係取得方法。
【請求項２】
前記較正用載置面と前記第一位置決め基準との準備が、(a)前記回路基板の前記被装着面と同一平面上に位置する較正用載置面と、(b)前記第一位置決め基準とを有する較正台の準備である請求項１に記載の部品装着精度関連部分の相対位置関係取得方法。
【請求項３】
前記較正用載置面と前記第一位置決め基準との準備が、(a)その較正用載置面と、(b)前記回路基板の前記被装着面と同一平面上に位置する上面に形成された前記第一位置決め基準とを有する較正台の準備であり、かつ、前記較正ゲージとして、その較正ゲージが前記較正用載置面に載置された状態で、前記回路基板の前記被装着面と同一平面上に位置する上面に形成された前記第二位置決め基準を有するものを使用する請求項１に記載の部品装着精度関連部分の相対位置関係取得方法。
【請求項４】
前記第一位置決め基準として複数の第一基準マークを、前記第二位置決め基準として複数の第二基準マークをそれぞれ使用し、少なくとも１個の第一基準マークと少なくとも１個の第二基準マークとを前記基準マーク撮像装置により同時に撮像する請求項１ないし３のいずれかに記載の部品装着精度関連部分の相対位置関係取得方法。
【請求項５】
前記較正ゲージを吸着させた前記吸着ノズルを電気部品撮像装置の公称位置へ移動させ、その吸着ノズルに保持された較正ゲージの前記第二位置決め基準をその電気部品撮像装置に撮像させ、その吸着ノズルを前記較正用載置面の公称位置へ移動させて保持した較正ゲージをその較正用載置面に載置させ、その載置された較正ゲージの前記第二位置決め基準と前記較正用載置面の前記第一位置決め基準とを前記基準マーク撮像装置に撮像させて、その基準マーク撮像装置による撮像で得られた画像と、前記電気部品撮像装置による撮像で得られた画像との処理によって、前記電気部品撮像装置と前記第一位置決め基準との相対位置を取得する請求項１ないし４のいずれかに記載の部品装着精度関連部分の相対位置関係取得方法。
【請求項６】
前記基準マーク撮像装置に前記較正用載置面の前記第一位置決め基準を撮像させ、その撮像で得られた画像の処理によって前記基準マーク撮像装置と前記第一位置決め基準との相対位置を取得し、その基準マーク撮像装置と第一位置決め基準との相対位置と、前記第一位置決め基準と前記吸着ノズルの回転中心との前記相対位置と、前記電気部品撮像装置と前記第一位置決め基準との前記相対位置とに基づいて、前記吸着ノズルの回転中心と前記基準マーク撮像装置と前記電気部品撮像装置との相対位置関係を取得する請求項５に記載の部品装着精度関連部分の相対位置関係取得方法。
【請求項７】
前記較正ゲージとして、その較正ゲージを厚さ方向に貫通する複数個の基準穴をシルエット像と正面像との両方が取得可能な前記第二位置決め基準として備えたものを使用する請求項１ないし６のいずれかに記載の部品装着精度関連部分の相対位置関係取得方法。
【請求項８】
前記較正ゲージとして、互いに異なる距離離れて形成された複数ずつの基準マークの群である第一の基準マーク群と第二の基準マーク群との少なくとも２群を前記第二位置決め基準として備えたものを使用する請求項１ないし７のいずれかに記載の部品装着精度関連部分の相対位置関係取得方法。
【請求項９】
回路基板を保持する基板保持装置と、
電気部品を供給する部品供給装置と、
その電気部品供給装置から吸着ノズルにより電気部品を受け取り、吸着ノズルの回転中心まわりの回転により電気部品を回転させ、前記基板保持装置に保持されている回路基板の被装着面に装着する装着装置と、
前記被装着面と平行で前記電気部品が載置される較正用載置面と、その較正用載置面に近接して設けられた第一基準マークとを備えた較正台と、
第二基準マークを備え、前記較正台に載置される較正ゲージと、
前記基板保持装置により保持されている前記回路基板の前記被装着面に設けられた第三基準マークを撮像するとともに、前記較正ゲージが前記較正用載置面に載置された状態で前記第一基準マークと前記第二基準マークとを同時に撮像する基準マーク撮像装置と、
前記吸着ノズルに前記較正ゲージを前記較正用載置面に載置させ、前記基準マーク撮像装置に前記第一基準マークと前記第二基準マークとを同時に撮像させて初回の撮像を行った後、その較正ゲージを前記載置時と同じ位置の吸着ノズルに吸着させ、その吸着ノズルを前記回転中心まわりに回転させることによりその較正ゲージを予め定められた角度回転させ、その較正ゲージを再び前記較正用載置面に載置させ、前記基準マーク撮像装置に前記第一基準マークと前記第二基準マークとを同時に撮像させることを１回以上行い、その１回以上の撮像と前記初回の撮像とを含む複数回の撮像により取得した画像の処理によって、前記吸着ノズルの回転中心と前記較正台との相対位置を取得する相対位置関係取得部と
を含む電気部品装着システム。
【請求項１０】
前記較正台の前記較正用載置面が前記回路基板の前記被装着面と同一平面上に形成された請求項９に記載の電気部品装着システム。
【請求項１１】
前記較正台が、前記回路基板の前記被装着面と同一平面上に位置する上面に前記第一基準マークが形成されたものであり、かつ、前記較正ゲージが、その較正ゲージが前記較正用載置面に載置された状態で、前記回路基板の前記被装着面と同一平面上に位置する上面に前記第二基準マークが形成されたものである請求項９に記載の電気部品装着システム。
【請求項１２】
前記較正台が、前記第一位置決め基準として複数の第一基準マークを備え、前記較正ゲージが前記第二位置決め基準として複数の第二基準マークを備え、かつ、複数の第一基準マークの少なくとも１個と複数の第二基準マークの少なくとも１個とが前記基準マーク撮像装置により同時に撮像可能な相対位置に形成された請求項９ないし１１のいずれかに記載の電気部品装着システム。
【請求項１３】
前記相対位置関係取得部が、前記較正ゲージを吸着させた前記吸着ノズルを電気部品撮像装置の公称位置へ移動させ、その吸着ノズルに保持された較正ゲージの前記第二基準マークをその電気部品撮像装置に撮像させ、その吸着ノズルを前記較正用載置面の公称位置へ移動させて保持した較正ゲージをその較正用載置面に載置させ、その載置された較正ゲージの前記第二基準マークと前記較正用載置面の前記第一基準マークとを前記基準マーク撮像装置に同時に撮像させて、その基準マーク撮像装置による撮像で得られた画像と、前記電気部品撮像装置による撮像で得られた画像との処理によって、前記電気部品撮像装置と前記較正台との相対位置を取得する手段を含む請求項９ないし１２のいずれかに記載の電気部品装着システム。
【請求項１４】
前記相対位置関係取得部が、前記基準マーク撮像装置に前記第一基準マークを撮像させ、その撮像で得られた画像の処理によって前記基準マーク撮像装置と前記較正台との相対位置を取得し、その前記基準マーク撮像装置と前記較正台との相対位置と、前記較正台と前記吸着ノズルの回転中心との前記相対位置と、前記電気部品撮像装置と前記較正台との前記相対位置とに基づいて、前記吸着ノズルの回転中心と前記基準マーク撮像装置と前記電気部品撮像装置との相対位置関係を取得する手段を含む請求項１３に記載の電気部品装着システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は電気部品（電子部品を含む）をプリント配線板等の回路基板に装着する電気部品装着システム、ならびにそのシステムにおける部品装着精度に関連する部分の相対位置関係の取得に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電気部品装着システムは、負圧により電気部品を吸着して保持する吸着ノズルを備えたものが多いが、この吸着ノズルによる電気部品の吸着位置は多少ずれるのが普通である。そこで、従来から、吸着ノズルに保持された電気部品を撮像装置により撮像し、吸着ノズルに対する電気部品の位置ずれを検出して、その位置ずれを修正しつつ回路基板に装着することが行われている。上記位置ずれには、電気部品の中心点等基準点の吸着ノズルの中心軸線と直交する方向における位置ずれと、電気部品の、吸着ノズルの中心軸線まわりの回転位置ずれとの少なくとも一方を含む。また、電気部品が装着されるべき回路基板も、基板支持装置により位置決めされて支持されるのが普通であるが、それでも、回路基板に形成された回路パターンの電気部品を装着すべきパッドの位置が多少予定の位置からずれることが多い。そのため、回路基板に回路パターンの形成と同時に基準マークを形成し、基準マークを撮像装置により撮像して位置ずれを取得し、その位置ずれからパッドの位置ずれを推定して、その位置ずれも修正しつつ電気部品を装着することが行われている。
【０００３】
上記のように、電気部品の吸着ノズルに対する位置ずれや、回路基板の基準マークの基板支持装置に対する位置ずれを取得するためには、電気部品や基準マークの撮像時における吸着ノズル，電気部品撮像装置，基準マーク撮像装置等の相対位置が既知であることが必要である。電気部品装着システムの組立時や保守点検時に、専用の検出装置を使用してそれらの相対位置を検出しておき、その相対位置が維持されているものとして、電気部品や基準マークの位置ずれを取得することも可能である。しかし、そのためには大がかりな検出装置が必要である。また、一旦それらの相対位置を検出しても、吸着ノズル，基板支持装置，撮像装置等を相対移動させる相対移動装置のボールねじの温度変化に基づく伸縮や負荷に基づく弾性変形、電気部品装着システムの本体フレームや、撮像装置を保持しているブラケット等の温度変化に基づく変形等により、吸着ノズル，基板支持装置，撮像装置等の相対位置が変化する。なお、上記温度変化に基づく伸縮や変形を熱変形と総称することとする。
【０００４】
さらに、電気部品装着システムの各構成要素の経年変化や使用に伴う摩耗、さらには固定装置の緩みによる移動等によって、吸着ノズル，基板支持装置，撮像装置等の相対位置が変化することもある。そのため、特に、高い装着位置精度が要求される電気部品装着システムにおいては、リニアエンコーダを設けて実際の相対位置を検出したり、撮像装置を保持するブラケット等を剛性が高くかつ熱膨張係数が小さい材料から成るものとしたり、カメラのレンズ等を耐震構造のものにしたりすることが行われている。しかし、これらの対策を施せば装置コストが高くなることを避け得ず、しかも未だ完全とは言い難い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効果】
本発明は、以上の事情を背景とし、装置コストの上昇をできる限り回避しつつ、電気部品装着システムの電気部品装着位置精度を向上させたり、電気部品装着位置精度に関連する部分の相対位置関係を取得したりすることを可能にすることを課題としてなされたものであり、本発明によって、回路基板に設けた基準マークを基準マーク撮像装置により撮像して回路基板の位置を検出し、その回路基板の位置に合わせて、電気部品を吸着した吸着ノズルを移動させるとともに、その吸着ノズルを回転中心まわりに回転させることにより電気部品を回転させ、その電気部品を前記回路基板の被装着面の予め定められた位置に予め定められた回転姿勢で装着する電気部品装着システムにおいて、前記被装着面と平行な較正用載置面と、その較正用載置面の位置を規定する第一位置決め基準とを準備し、その較正用載置面に、第二位置決め基準を有する較正ゲージを載置し、それら第一位置決め基準と第二位置決め基準とを前記基準マーク撮像装置により同時に撮像して初回の撮像を行った後、その較正ゲージを前記載置時と同じ位置の吸着ノズルにより吸着してその吸着ノズルを前記回転中心まわりに回転させることによりその較正ゲージを予め定められた角度回転させ、その較正ゲージを再び前記較正用載置面に載置して前記第一位置決め基準と前記第二位置決め基準とを前記基準マーク撮像装置により同時に撮像することを１回以上行い、その１回以上の撮像と前記初回の撮像とを含む複数回の撮像により取得した画像の処理により、前記第一位置決め基準と前記吸着ノズルの回転中心との相対位置を検出する部品装着精度関連部分の相対位置関係取得方法が得られる。
本発明に係る相対位置関係取得方法によれば、第一位置決め基準を媒介として、吸着ノズルの回転中心と基準マーク撮像装置との相対位置誤差を簡単にかつ精度良く検出することができる。
また、本発明によって、(a)回路基板を保持する基板保持装置と、(b)電気部品を供給する部品供給装置と、(c)その電気部品供給装置から吸着ノズルにより電気部品を受け取り、吸着ノズルの回転中心まわりの回転により電気部品を回転させ、前記基板保持装置に保持されている回路基板の被装着面に装着する装着装置と、(d)前記被装着面と平行で前記電気部品が載置される較正用載置面と、その較正用載置面に近接して設けられた第一基準マークとを備えた較正台と、(e)第二基準マークを備え、前記較正台に載置される較正ゲージと、(f)前記基板保持装置により保持されている前記回路基板の前記被装着面に設けられた第三基準マークを撮像するとともに、前記較正ゲージが前記較正用載置面に載置された状態で前記第一基準マークと前記第二基準マークとを同時に撮像する基準マーク撮像装置と、(g)前記吸着ノズルに前記較正ゲージを前記較正用載置面に載置させ、前記基準マーク撮像装置に前記第一基準マークと前記第二基準マークとを同時に撮像させて初回の撮像を行った後、その較正ゲージを前記載置時と同じ位置の吸着ノズルに吸着させ、その吸着ノズルを前記回転中心まわりに回転させることによりその較正ゲージを予め定められた角度回転させ、その較正ゲージを再び前記較正用載置面に載置させ、前記基準マーク撮像装置に前記第一基準マークと前記第二基準マークとを同時に撮像させることを１回以上行い、その１回以上の撮像と前記初回の撮像とを含む複数回の撮像により取得した画像の処理によって、前記吸着ノズルの回転中心と前記較正台との相対位置を取得する相対位置関係取得部とを含む電気部品装着システムが得られる。
本発明に係る相対位置関係取得方法を実施するのに好適な電気部品装着システムが得られる。
さらに、本発明によって、下記各態様の吸着ノズル回転中心位置検出方法，電気部品装着システム，電気部品装着システム用プログラムおよび記録媒体が得られる。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも本発明の理解を容易にするためであり、本明細書に記載の技術的特徴およびそれらの組合わせが以下の各項に記載のものに限定されると解釈されるべきではない。また、一つの項に複数の事項が記載されている場合、それら複数の事項を常に一緒に採用しなければならないわけではない。一部の事項のみを選択して採用することも可能なのである。
なお、以下の項の中には、補正によって、特許請求の範囲に記載の発明でも、それの下位概念の発明でもなくなったものも存在するが、特許請求の範囲に記載の発明を理解する上で有益な記載を含んでいるため、そのまま残すこととする。
【０００６】
（１）電気部品を吸着ノズルにより吸着し、その吸着ノズルの回転により電気部品を回転させた後、回路基板の被装着面に装着する電気部品装着装置における吸着ノズルの回転中心の位置を検出する方法であって、
前記被装着面と同一平面上において前記回転中心を検出することを特徴とする吸着ノズル回転中心位置検出方法。
従来は、吸着ノズルが電気部品を回路基板に装着する高さより高い位置にある状態で、吸着ノズルの回転中心の位置が検出されていたため、その検出された位置から吸着ノズルが装着高さまで下降させられた状態では、回転中心の位置が変わってしまい、それが電気部品の回路基板への装着精度低下の一因となることがあったのに対し、本発明に従えば、そのような不都合の発生を回避することができる。
（２）前記吸着ノズルをほぼ垂直な姿勢で、その吸着ノズルの下端面が、前記被装着面とほぼ同じ高さとなる位置まで下降させた状態で、撮像装置により吸着ノズルの下端面を撮像し、吸着ノズルを前記回転中心まわりに予め定められた角度、少なくとも１回回転させ、再び前記撮像装置により前記下端面を撮像し、それら複数回の撮像によって得られた画像を処理することにより、前記回転中心の位置を取得する (1)項に記載の吸着ノズル回転中心位置検出方法。
吸着ノズルを、電気部品を装着する際の高さまで下降させて下端面を撮像装置に撮像させ、吸着ノズルの回転中心を検出すれば、被装着面と同一平面上において回転中心を検出することができる。この発明に従う場合には、吸着ノズルに吸着された電気部品を撮像する撮像装置を利用することが望ましく、その場合には電気部品の撮像も、吸着ノズルを下降させた状態で行うことが望ましい。
（３)前記被装着面と同一平面上に、第一位置決め基準を有する較正用の載置面を準備し、その載置面に、第二位置決め基準を有する較正ゲージを載置し、第一位置決め基準と第二位置決め基準とを撮像装置により同時に撮像した後、前記吸着ノズルにより吸着してその吸着ノズルを前記回転中心まわりに回転させることにより、較正ゲージを予め定められた角度回転させ、その較正ゲージを再び較正台に載置して前記第一位置決め基準と前記第二位置決め基準とを前記撮像装置により同時に撮像することを１回以上行い、複数回の撮像により取得した画像の処理により、前記較正台の基準点と前記吸着ノズルの回転中心との相対位置を検出する (1)項に記載の吸着ノズル回転中心位置検出方法。
本項の発明に従えば、被装着面と同一平面上において回転中心を検出することができる。しかも、較正台の第一位置決め基準を媒介として、吸着ノズルの回転中心と撮像装置との相対位置誤差を検出することができる。本項の発明に従う場合は、撮像装置として、回路基板の基準マークを撮像する基準マーク撮像装置を利用することが望ましく、その場合には、基準マーク撮像装置と吸着ノズルの回転中心との相対位置誤差を簡単にかつ精度よく検出することができる。
（４）回路基板に設けた基準マークを基準マーク撮像装置により撮像して回路基板の位置を検出し、その回路基板の位置に合わせて、電気部品を吸着した吸着ノズルを移動させるとともに、その吸着ノズルを回転させることにより電気部品を回転させ、その電気部品を前記回路基板の被装着面の予め定められた位置に予め定められた回転姿勢で装着する電気部品装着システムにおいて前記吸着ノズルの回転中心の位置を検出する方法であって、
前記被装着面と平行でかつ第一位置決め基準を有する較正用の載置面を準備し、その載置面に、第二位置決め基準を有する較正ゲージを載置し、第一位置決め基準と第二位置決め基準とを前記基準マーク撮像装置により同時に撮像した後、前記吸着ノズルにより吸着してその吸着ノズルを前記回転中心まわりに回転させることにより、較正ゲージを予め定められた角度回転させ、その較正ゲージを再び較正台に載置して前記第一位置決め基準と前記第二位置決め基準とを前記基準マーク撮像装置により同時に撮像することを１回以上行い、複数回の撮像により取得した画像の処理により、前記較正台の基準点と前記吸着ノズルの回転中心との相対位置を検出する (1)項に記載の吸着ノズル回転中心位置検出方法。
本項の発明に従えば、基準マーク撮像装置と吸着ノズルの回転中心との相対位置誤差を簡単にかつ精度よく検出することができる。なお、本項においては、較正台の載置面を回路基板の被装着面と同一平面上に位置させることは不可欠ではない。
（５）前記第一位置決め基準と前記第二位置決め基準との少なくとも一方として、較正台と前記較正ゲージとの少なくとも一方の表面に形成した複数個の基準マークを使用することを特徴とする (3)項または (4)項に記載の吸着ノズル回転中心位置検出方法。
例えば、較正台や較正ゲージの縁等を撮像し、位置決め基準として利用することも可能であるが、表面に設けた複数の基準マークを利用する方が、較正台や較正ゲージの位置を容易にかつ精度よく検出することができる。
（６）前記較正ゲージを厚さ方向に貫通する複数個の基準穴を形成し、それら基準穴を前記複数個の基準マークとして使用する(5)項に記載の吸着ノズル回転中心位置検出方法。
貫通穴を基準マークとして利用すれば、シルエット像と正面像との両方による基準マークの位置検出が可能となる。正面像による基準マークの撮像を容易とするために、較正ゲージは白等、明るい色の表面を有するものとすることが望ましい。
（７）前記較正ゲージとして、前記基準マークを、互いに異なる距離離れて形成された第一の基準マーク群と、第二の基準マーク群との少なくとも２群備えたものを使用する (5)項 または(6)項に記載の吸着ノズル回転中心位置検出方法。
較正ゲージに少なくとも２群の基準マーク群を設けておけば、撮像装置の視野や撮像倍率に合わせて、いずれかの基準マーク群を使用して較正ゲージの位置を検出することができる。
（８）前記較正台に、前記較正ゲージの上面と同じ高さの上面を設け、その上面に前記基準マークを設ける (5)項 ないし(7)項のいずれかに記載の吸着ノズル回転中心位置検出方法。
較正台の、較正ゲージの上面と同じ高さの上面に基準マークを設ければ、両者の基準マークを同時に撮像する際、両者のシャープな像を得ることができ、位置検出精度を向上させることが容易となる。
（９）前記較正台に載置した前記較正ゲージを負圧により前記載置面に吸着させる (1)項ないし (8)項のいずれかに記載の吸着ノズル回転中心位置検出方法。
較正ゲージを較正台の載置面に吸着させれば、較正ゲージのずれを良好に防止し、例えば、吸着ノズルの回転中心と較正台との相対位置誤差，吸着ノズルの回転中心と基準マーク撮像装置との相対位置誤差等を、精度よく検出することが可能となる。
（１０）前記較正台の前記第一位置決め基準を、前記回路基板の被装着面に設けられた基準マークを撮像する撮像装置に撮像させ、その撮像装置と前記較正台との相対位置誤差を取得する行程を含む (1)項ないし (9)項のいずれかに記載の吸着ノズル回転中心位置検出方法。
較正台と基準マーク撮像装置との相対位置誤差を取得することができる。
（１１）回路基板を保持する基板保持装置と、
電気部品を供給する部品供給装置と、
その電気部品供給装置から吸着ノズルにより電気部品を受け取り、吸着ノズルの回転により電気部品を回転させ、前記基板保持装置に保持されている回路基板に装着する装着装置と、
前記電気部品が載置される載置面とその載置面に近接して設けられた第一基準マークとを備えた較正台と、
第二基準マークを備え、前記較正台に載置される較正ゲージと
前記基板保持装置により保持されている前記回路基板に設けられている第三基準マークを撮像するとともに、前記較正ゲージが前記較正台に載置された状態で前記第一基準マークと前記第二基準マークとを同時に撮像する撮像装置と
を含む電気部品装着システム。
前記 (1)， (3)， (4)項等の発明を実施するのに好適な電気部品装着システムが得られる。
（１２)前記較正台が、前記較正ゲージの載置される載置面が前記被装着面と同一平面上に位置する位置に配設された(11)項に記載の電気部品装着システム。
（１３）前記第一基準マークと前記第二基準マークとの少なくとも一方が互いに離間して複数個設けられた(11)項または(12)項に記載の電気部品装着システム。
（１４）前記較正ゲージが、前記第二基準マークとして、その較正ゲージを厚さ方向に貫通する基準穴を備えた(11)項ないし(13)項のいずれかに記載の電気部品装着システム。
（１５）前記較正ゲージとして、前記第二基準マークを、互いに異なる距離離れて形成された第一の基準マーク群と、第二の基準マーク群との少なくとも２群備えた(11)項ないし(14)項のいずれかに記載の電気部品装着システム。
（１６）前記較正台が、前記較正ゲージの上面と同じ高さの上面を備え、その上面に前記第一基準マークが設けられた(11)項ないし(15)項のいずれかに記載の電気部品装着システム。
（１７）前記較正台が、前記載置面に空気を吸引する吸引穴を備えた(11)項ないし(16)項のいずれかに記載の電気部品装着システム。
（１８）前記 (1)項ないし(10)項の方法を実施するための制御プログラム。
（１９）前記 (1)項ないし(10)項の方法を実施するための制御プログラムがコンピュータにより読み取り可能な状態で記録された記録媒体。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明の実施形態の１つである電子部品装着システムが図１および図２に示されている。図１において１０は電子部品装着システムのベースである。ベース１０上には、回路基板の一種であるプリント配線板１２をＸ軸方向（図１においては左右方向）に搬送する配線板コンベヤ１４，プリント配線板１２に電気部品の一種である電子部品を装着する部品装着装置１８および部品装着装置１８に電子部品を供給する部品供給装置２０，２２等が設けられている。
【０００８】
本実施形態においてプリント配線板１２は、配線板コンベヤ１４により水平な姿勢で搬送され、図示を省略する停止装置によって予め定められた部品装着位置において停止させられるとともに、ベース１０の部品装着位置に対応する部分に設けられた回路基板保持装置たる配線板保持装置２６（図５参照）により支持される。本実施形態においてプリント配線板１２は、その電子部品が装着される被装着面２８が水平な姿勢で支持される。前記Ｘ軸方向は、被装着面２８に平行であって水平なＸＹ座標面の一座標軸に平行な方向である。
【０００９】
配線板コンベヤ１４は、図２および図５に概略的に示すように、一対のガイドレール３０，３２を備えている。本実施形態において、ガイドレール３０，３２のうちの一方はベース１０に位置を固定して設けられた固定ガイドレールであり、他方は固定ガイドレールに接近，離間可能に設けられた可動ガイドレールであり、配線板コンベヤ１４の幅（搬送方向に直角な方向の寸法）に応じて可動ガイドレールが移動させられ、搬送幅が変更される。
【００１０】
一対のガイドレール３０，３２にはそれぞれ、無端の巻掛体たるコンベヤベルト３４が巻き掛けられており、プリント配線板１２はコンベヤベルト３４上に載せられ、これら１対のコンベヤベルト３４が、配線板搬送用モータ３６（図１３参照）を駆動源とするベルト駆動装置によって同期して周回させられることにより、プリント配線板１２が搬送される。
【００１１】
配線板保持装置２６は、図５に概略的に示すように、１対のクランプ部材４０およびを複数の支持部材４２を有するものとすることができる。１対のクランプ部材４０は板状を成し、昇降台４４の、配線板搬送方向に平行な両縁にそれぞれ、配線板搬送方向に平行に立設されており、複数の支持部材４２は、昇降台４４の１対のクランプ部材４０の間の部分であって、プリント配線板１２の裏面（当該電子部品装着システムにおいて電子部品が装着される側とは反対側の面）の被支持部に対応する位置に立設されている。
【００１２】
昇降台４４は、昇降台駆動装置５０によって昇降させられる。昇降台駆動装置５０は、図示の例においては、駆動源として昇降用シリンダ５２を備えている。昇降用シリンダ５２は、流体圧アクチュエータたる流体圧シリンダの一種であり、本実施形態においてはエアシリンダとされている。昇降用シリンダ５２は上下方向に設けられ、ピストンロッド５４が昇降台４４に係合させられている。したがって、ピストンロッド５４が伸縮させられれば、昇降台４４は複数組のガイドロッド５６およびガイド筒５８を含む案内装置６０により案内されつつ昇降させられ、クランプ部材４０および支持部材４２が、プリント配線板１２の被装着面２２に直角な方向に移動させられてプリント配線板１２に接近，離間させられる。１対のクランプ部材４０は、プリント配線板１２をコンベヤベルト３４から持ち上げて、その縁部をガイドレール３０，３２にそれぞれ設けられた押さえ部６２との間に挟んでプリント配線板１２をクランプし、支持部材４２はプリント配線板１２の裏面に接触し、下方から支持する。
【００１３】
部品供給装置２０，２２は、図１および図２に示すように、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向互いに隔たって、配線板コンベヤ１４の両側に設けられている。図示の例においては、部品供給装置２０がフィーダ型部品供給装置とされ、部品供給装置２２がトレイ型部品供給装置とされている。フィーダ型電子部品供給装置２０においては、多数のフィーダ７０がＸ軸方向に並べて設置される。各フィーダ７０にはテーピング電子部品がセットされる。テーピング電子部品は、キャリヤテープに等間隔に形成された部品収容凹部の各々に電子部品が収容され、それら部品収容凹部の開口がキャリヤテープに貼り付けられたカバーフィルムによって塞がれることにより、キャリヤテープ送り時等における電子部品の部品収容凹部からの飛び出しが防止されたものである。このキャリヤテープがＹ軸方向に所定ピッチずつ送られ、カバーフィルムが剥がされるとともに、部品供給位置へ送られる。フィーダ７０により供給される電子部品には、リードを有する電子部品もあれば、リードを有さない電子部品もある。いずれにしても、電子部品はほぼ位置決めされて部品収容凹部に収容されているため、部品装着装置１８は電子部品のほぼ中央を保持し、ほぼ正しい回転姿勢で取り出すことができる。
【００１４】
トレイ型電子部品供給装置２２は、電子部品を部品トレイ７６（図３参照）に収容して供給する。部品トレイ７６は、上下方向に配設された多数の部品トレイ収容箱７８内にそれぞれ１枚ずつ支持されている。これら部品トレイ収容箱７８はそれぞれ図示しない支持部材により支持され、コラム７９内に設けられた昇降装置により順次部品供給位置へ上昇させられるのであるが、部品供給位置の上方には後述する保持装置が電子部品を取り出すためのスペースを確保することが必要である。そのため、電子部品を供給し終わった部品トレイ収容箱７８は、次の部品トレイ収容箱７８が部品供給位置へ上昇させられるのと同時に、上記スペース分上昇させられ、上方の退避領域へ退避させられる。このトレイ型電子部品供給装置２２は、特公平２−５７７１９号公報に記載の電子部品供給装置と同じであり、説明は省略する。
【００１５】
上記のように、上方にスペースが形成されたトレイ収容箱７８内の部品トレイ７６から部品装着装置１８が１個ずつ電子部品を取り出す。各部品トレイ７６は、マトリックス状に形成された多数の収容凹部８０（図６参照）にそれぞれ電子部品８２を収容しており、各収容凹部８０は電子部品８２をほぼ位置決めした状態で収容している。したがって、部品装着装置１８は電子部品８２のほぼ中央を保持し、ほぼ正しい回転姿勢で取り出すことができる。図示の電子部品８２は、矩形の本体９０の４つの側面からそれぞれ多数本のリード９２が延び出させられたものであり、リード９２がプリント配線板１２に接続される際、プリント配線板１２側となる面を底面９６、反対側の面を上面９４と称することとする。ただし、ボールグリッドアレイを備えた電子部品やリードを備えない電子部品もすべて符号８２で表すこととする。
【００１６】
部品装着装置１８は、図３に示す保持装置１００が互いに直交するＸ軸方向およびＹ軸方向の成分を有する方向に直線移動して電子部品８２を搬送し、プリント配線板１２の表面ないし上面である装着面１８に装着するものとされている。そのため、図１に示すように、ベース１０の配線板コンベヤ２２のＹ軸方向における両側にはそれぞれボールねじ１０４がＸ軸方向に平行に設けられるとともに、Ｘ軸スライド１０６に設けられたナット１０８（図４に１個のみ図示されている）の各々に螺合されており、これらボールねじ１０４がそれぞれ、Ｘ軸スライド駆動用モータ１１０によって回転させられることにより、Ｘ軸スライド１０６がＸ軸に平行な方向の任意の位置へ移動させられる。Ｘ軸スライド１０６は、図１に示すように、フィーダ型電子部品供給装置２０から配線板コンベヤ１４を越えてトレイ型電子部品供給装置２２にわたる長さを有する。なお、ベース１０上には、２つのボールねじ１０４の下側にそれぞれ案内部材たるガイドレール１１２（図４参照）が設けられており、Ｘ軸スライド１０６は被案部材たるガイドブロック１１４においてガイドレール１１２に摺動可能に嵌合され、移動が案内される。以上、ナット１０８，ボールねじ１０４およびＸ軸スライド駆動用モータ１１０等がＸ軸スライド移動装置１１６を構成している。
【００１７】
Ｘ軸スライド１０６上には、ボールねじ１２０（図４参照）がＹ軸方向に平行に設けられるとともに、Ｙ軸スライド１２２がナット１２４において螺合されている。このボールねじ１２０がＹ軸スライド駆動用モータ１２６（図１参照）によりギヤ１２８，１３０を介して回転させられることにより、Ｙ軸スライド１２２は案内部材たる一対のガイドレール１３２に案内されてＹ軸方向に平行な任意の位置に移動させられる。以上、ナット１２４，ボールねじ１２０およびＹ軸スライド駆動用モータ１２６がＹ軸スライド移動装置１３４を構成し、前記Ｘ軸スライド１０６，Ｘ軸スライド移動装置１１６およびＹ軸スライド１２２と共に移動装置１３６を構成しており、保持装置１００は、移動装置１３６により、水平面内の任意の位置へ移動させられる。
【００１８】
Ｙ軸スライド１２２の垂直な側面１４０に、図２および図３に示すように、保持装置１００，保持装置１００を昇降させる昇降装置１４４，保持装置１００をその軸線まわりに回転させる回転装置１４６が設けられており、これら保持装置１００等が部品装着ユニット１４８を構成している。本実施形態では、３組の部品装着ユニット１４８がＹ軸方向に平行に１列に並べて設けられているのであるが、並べ方はこれに限らず、また、部品装着ユニット１４８の組数も任意であって１組設けるのみでもよい。
【００１９】
本実施形態の部品装着ユニット１４８の各々は、特開平４−３７２１９９号公報に記載の部品装着ユニットと同様に構成されており、簡単に説明する。
Ｙ軸スライド１２２の側面１４０に設けられた支持部１５０には、図７に示すように、ナット１５２およびスプライン部材１５４がそれぞれ同心にかつ上下方向に距離を隔てた状態で、自身の軸線まわりであって、本実施形態においては垂直軸線まわりに回転可能に支持されており、ナット１５２には中空ロッド１５６の雄ねじ部１５８が螺合され、スプライン部材１５４には中空ロッド１５６の雄ねじ部１５８の下方に形成されたスプライン部１６０が嵌合されている。これらナット１５２およびスプライン部材１５４は、多数のボールを保持したボールナットおよびボールスプライン部材である。
【００２０】
ナット１５２は、ノズル昇降用モータ１６４，歯車１６６，１６８を含む回転駆動装置により軸線まわりに回転させられ、それにより中空ロッド１５６が軸方向に移動させられ、昇降させられる。ナット１５２，歯車１６６，１６８およびノズル昇降用モータ１６４が昇降装置１４４を構成しているのである。昇降装置１４４は、中空ロッド１５６、ひいては保持装置１００をその軸線に平行な方向に移動させる移動装置でもあり、保持装置１００をプリント配線板１２の表面に直角な方向に移動させ、プリント配線板１２に接近，離間させる接近・離間装置でもある。なお、ノズル昇降用モータ１６４の回転角度はエンコーダ１７０（図１３参照）により検出される。
【００２１】
また、スプライン部材１５４の支持部１５０から突出した下端部には歯車１７２が固定され、ノズル回転用モータ１７４（図１３参照）の出力軸に固定の歯車に噛み合わされており、ノズル回転用モータ１７４によってスプライン部材１５４が回転させられることにより、中空ロッド１５６がその垂直な軸線まわりに回転させられる。それにより、保持装置１００がその軸線まわりに回転させられ、保持装置１００に保持された電子部品８２が、その上面９４に直角でかつ上面９４のほぼ中央をとおる回転軸線であって、本実施形態においては垂直な軸線まわりに回転させられる。ノズル回転用モータ１７４の回転角度はエンコーダ１７６（図１３参照）により検出される。
【００２２】
上記中空ロッド１５６の下端部には、図８に示すように、チャックアダプタ１８０が着脱可能に、かつ抜け出し不能に取り付けられ、チャックアダプタ１８０にはチャック１８２が着脱可能に、かつ抜け出し不能に取り付けられている。これら３部材が吸着ノズル１８４を着脱可能に保持するホルダ１８６を構成し、吸着ノズル１８４およびホルダ１８６が保持装置１００を構成している。
【００２３】
吸着ノズル１８４は、スリーブ１９０と、スリーブ１９０に嵌合された吸着管１９２とを有している。スリーブ１９０はチャックアダプタ１８０に嵌合されるとともに、チャックアダプタ１８０との間に配設された圧縮コイルスプリング１９８（以下、スプリング１９８と略称する。）によりチャックアダプタ１８０から抜け出す向きに付勢されており、１対の耳部２００にそれぞれ設けられ、互に同一平面上に位置する１対の傾斜面２０２が、チャック１８２に設けられた１対のピン２０４に係合することにより、吸着ノズル１８４はチャック１８２によって軸方向に相対移動不能かつ相対回転不能に保持されている。圧縮コイルスプリング１９８は、付勢手段の一種である弾性部材たるばね部材である。
【００２４】
スリーブ１９０には、チャック１８２からの突出端部の外周面に発光板２０６が嵌合固定される一方、内周面に吸着管１９２が嵌合され、発光板２０６を貫通して下方へ突出させられている。発光板２０６は、吸着ノズル１８４による電子部品８２の保持姿勢の検出時に紫外線を受けて可視光線を放射するものである。
【００２５】
吸着ノズル１８４は電子部品８２を負圧により吸着し、装着対象部材としてのプリント配線板１２に装着する。そのため、吸着ノズル１８４は、中空ロッド１５６内に軸方向に相対移動可能に嵌合されたパイプ２１０，パイプ２１０の中空ロッド１５６から突出させられた上端部に固定のハウジング２１２，ハウジング２１２に取り付けられたニップル２１４等を経て図示を省略する負圧源，正圧源および大気に接続されており、電磁方向切換弁装置（図示省略）の切換えにより、吸着管１９２が負圧源，正圧源および大気に択一的に連通させられる。吸着管１９２は、負圧の供給により電子部品８２を、その本体９０の上面９４において吸着し、正圧の供給により電子部品８２を開放する。本実施形態において吸着ノズル１８４は、電子部品８２を水平な姿勢で吸着し、保持する。
【００２６】
パイプ２１０はその自重により、図８に示すように、ホルダ１８６により保持された吸着ノズル１８４のスリーブ１９０の上面に当接しており、吸着ノズル１８４と共に昇降させられる。本実施形態においては、パイプ２１０の移動に基づいて、ホルダ１８６と吸着ノズル１８４との相対移動の開始を検出するようにされている。そのため、パイプ２１０の上端部には、図７に示すように、ドッグ２２２が固定され、前記ハウジング２１２の上部には光電スイッチ２２６が固定されている。
【００２７】
光電スイッチ２２６は電子部品８２の非装着時においてドッグ２２２から上側に外れた位置に設けられている。この光電スイッチ２２６は本実施形態においては反射型であり、発光器および受光器を有し、発光器が発する光が反射されて受光する場合にＯＮ信号を発し、光が反射されず、受光しない場合にＯＦＦ信号を発する。したがって、吸着ノズル１８４がホルダ１８６から最も長く突出した状態では、光電スイッチ２２６が発する光を反射するものがなく、受光しないためＯＦＦ信号を発するが、吸着ノズル１８４が僅かにホルダ１８６内に引っ込めば、ドッグ２２２により光が反射されてＯＮ信号を発し、それにより吸着ノズル１８４とホルダ１８６との相対移動の開始が検出される。本実施例においては、パイプ２１０，ドッグ２２２および光電スイッチ２２６がホルダ１８６と吸着ノズル１８４との相対移動の開始を検出する検出装置を構成しているのである。
【００２８】
プリント配線板１２には、複数種類の電子部品８２が装着されるが、種類が異なれば大きさ（横断面積と高さとの少なくとも一方）が異なることが多く、電子部品８２が大きいほど吸着管１９２の直径が大きい吸着ノズル１８４が使用される。そのため、吸着管１９２の直径が異なる複数種類の吸着ノズル１８４が用意され、図示しないノズル収容装置に収容されており、装着する電子部品８２の種類に応じて交換される。なお、吸着管１９２の直径が異なれば長さも異なるようにすることも可能であるが、ここでは理解を容易にするために吸着管１９２の長さはすべて同じであることとする。
【００２９】
Ｙ軸スライド１２２にはまた、プリント配線板１２に設けられた基準マークを撮像する撮像装置たる基準マークカメラ２４０（図１参照）が移動不能に設けられている。基準マークカメラ２４０は、本実施形態においては、ＣＣＤ（電荷結合素子）とレンズ系とを備えており、被写体の二次元像を一挙に取得するＣＣＤカメラとされている。基準マークカメラ２４０に対応して照明装置２４２が配設されており、基準マークおよびその周辺を照明する。
【００３０】
Ｘ軸スライド１０６には、ちょうどＸ軸スライド１０６を移動させる２つのボールねじ１０４にそれぞれ対応する位置であって、フィーダ型電子部品供給装置２０とプリント配線板１２との間およびトレイ型電子部品供給装置２２とプリント配線板１２との間の位置にそれぞれ、撮像装置２４８が移動不能に取り付けられている。これら撮像装置２４８の構成は同じであり、一方の撮像装置２４８を代表的に説明する。
【００３１】
撮像装置２４８は、図４に示すように、電子部品８２を撮像する部品カメラ２５０および導光装置２５１を備え、導光装置２５１は、反射装置としての反射鏡２５２，２５４を有している。反射鏡２５２，２５４は、図示しないブラケットによりＸ軸スライドの下部に固定されており、一方の反射鏡２５２は、保持装置１００のＹ軸方向の移動経路の真下において、吸着ノズル１８４の中心線を含む垂直面に対して約４５度傾斜させられ、それのＸ軸スライドに近い側の端部が下方に位置する反射面２５６を有する。
【００３２】
それに対して他方の反射鏡２５４は、Ｘ軸スライドを挟んだ反対側に反射鏡２５２の反射面２５６と垂直面に対して対称に傾斜し、Ｘ軸スライドに近い側の端部が下方に位置する反射面２５８を有する。Ｘ軸スライド１０６の保持装置１００が設けられた側とは反対側であって、前記反射鏡２５４の反射面２５８に対向する位置において、吸着ノズル１８４に保持された電子部品８２を撮像する部品カメラ２５０が下向きに固定されている。したがって、保持装置１００が移動装置１３６によって移動させられ、Ｙ軸方向においてボールねじ１０４に対応する位置であって、反射鏡２５２上に位置する位置に至れば、部品カメラ２５０は電子部品８２を撮像することができる。撮像装置２４８は、Ｙ軸スライド１２２がＸ軸スライド１０６に対して移動する際における電子部品８２の移動軌跡上において、その電子部品８２の像を撮像可能な位置に配設されているのである。本実施形態においては、部品カメラ２５０は、前記基準マークカメラ２４０と同様に、面撮像装置であって、ＣＣＤカメラとされている。なお、反射鏡２５４を省略し、部品カメラ２５０を水平な姿勢で反射鏡２５２に対向する位置に配設することも可能である。また、基準マークカメラ２４０と部品カメラ２５０との少なくとも一方をラインスキャンカメラとすることも可能である。
【００３３】
反射鏡２５２の近傍には、紫外線照射装置としてのストロボ２６０が設けられ、吸着ノズル１８４の発光板２０６に向かって紫外線を照射するようにされている。発光板２０６は紫外線を吸収して可視光線を放射し、吸着ノズル１８４に吸着された電子部品８２を背後から照明し、部品カメラ２５０は発光板２０６を明るい背景として、電子部品８２のシルエット像であって、回転軸線に平行な方向から見た電子部品８２の像を撮像する。本実施形態においては、発光板２０６および紫外線照射装置が照明装置を構成している。また、上記ストロボ２６０に比較して吸着ノズル１８４に近い位置に可視光線を照射する別のストロボ２６２が設けられており、ボールグリッドアレイを電子部品８２の底面に対して小さい傾斜角で照明するための照明装置を構成している。なお、上記ストロボ２６０を可視光線を電子部品８２の底面に向かって照射する正面像取得のための照明装置とすることも可能であり、シルエット像取得用の照明装置と正面像取得のための照明装置との両方を設け、選択的に使用可能とすることもできる。
【００３４】
前記保持装置１００が前記移動装置１３６によって移動させられる矩形の領域の対角線上の２隅に近い部分、本実施形態おいては、図１に示すように、ボールねじ１０４のＸ軸スライド駆動用モータ１１０に近い側の端近傍と、部品供給装置２２側のボールねじ１０４のＸ軸スライド駆動用モータ１１０から遠い側の端近傍との各１ヶ所に、較正台２６６，２６８が設定されている。較正台２６６はＸ軸スライド１０６およびＹ軸スライド１２２の移動の原点に近い位置に設定されており、較正台２６８はＸ軸スライド１０６およびＹ軸スライド１２２の移動の原点からできる限り隔たった位置に設定されているのである。
【００３５】
上記ボールねじ１０４および１２０は、Ｘ軸スライド駆動用モータ１１０およびＹ軸スライド駆動用モータ１２６により駆動される側の端部が回転可能かつ軸方向に移動不能にベース１０およびＸ軸スライド１０６に保持されており、反対側の端部は回転および軸方向の移動を共に許容された状態で保持されている。したがって、ボールねじ１０４，１２０の熱変形や弾性変形の量は、較正台２６６側で小さく、較正台２６８側で大きくなる。較正台２６６は、熱変形や弾性変形の量が無視できるほど小さい位置に設定されることが望ましい。ただし、配線板保持装置２６に保持されることが予定されているプリント配線板１２の対角位置にある２隅の近傍に較正台２６６，２６８を設けてもよい。
【００３６】
較正台２６６は、図９に示すように、配線板コンベヤ１４の固定のガイドレール３０に固定されている。ガイドレール３０には、ブラケット２７０が固定されており、そのブラケット２７０に別のブラケット２７２が、アジャストボルト２７３を備えた高さ調整装置２７４と一対のボルト２７５および長穴２７６とによって、高さ調節可能に取り付けられている。較正台２６６には、図１０に示すように、アジャストスクリュ２７８が３本以上（図示の例では４本）上下方向に配設されており、これらアジャストスクリュ２７８によりブラケット２７２に対する相対高さが調整された状態で、３個以上のボルト穴２８０に図示しないボルトが締め込まれることにより、ブラケット２７２に固定される。この高さ調整は、図１１に示すように、ベース１０上に高さゲージ２８２を載せ、ホルダ１８６にダイヤルゲージ２８４を取り付けて、高さゲージ２８２の上面と較正台２６６の３つ以上（図示の例では４つ）の基準面２８６の高さとが等しくなるように行われる。このように調整された基準面２８６の高さは、前記配線板保持装置２６に保持されたプリント配線板１２の上面、すなわち電子部品８２が装着される装着面と正確に同じ高さになる。そのように、高さゲージ２８２が製作されているのである。
【００３７】
上記基準面２８６の各々には基準マーク２８８が設けられている。基準マーク２８８は、基準面２８６と光学的特性が異なるものとされることが必要であり、例えば、一方が白、他方が黒とされることが望ましい。基準マーク２８８の形状は任意であるが、撮像により位置の検出が容易である形状とされることが望ましく、図示のものは円形とされている。基準面２８６に穴を形成し、その穴を基準マークとすることも可能である。また、較正台２６６上には、図１２に示すように、較正ゲージ２９０が載置される。そのために、較正台２６６の上面には、較正ゲージ２９０を多少の余裕をもって収容し得る収容凹部２９２が形成されている。較正ゲージ２９０が収容凹部２９２に収容された状態で、較正ゲージ２９０の上面が基準面２８６と同一レベルとなるように収容凹部２９２の深さが決定されている。収容凹部２９２の底面の中央部には、吸引穴２９４が形成され、継手を介して負圧供給装置２９６（図１３参照）に接続されている。吸引穴２９４にはフィルタ２９７が設けられている。
【００３８】
較正台２６８の詳細な図示および説明は省略するが、配線板コンベヤ１４のガイドレールにではなく、ベース１０に固定されている点以外は較正台２６６と同様に較正されている。ただし、較正ゲージ２９０は両較正台２６６，２６８に共用とされており、通常は較正台２６６上に載置されている。較正台２６６，２６８の材質は、金属，セラミックス，合成樹脂等何でもよいが、熱膨張係数の小さい材料が望ましく，本実施形態では「ニレジスト」の商品名で市販されている低熱膨張鋼製とされている。
【００３９】
較正ゲージ２９０の形状は任意であるが、四角形（図示の例では正方形）とされることが望ましく、複数群の基準穴２９８,２９９が形成されている。第一群の基準穴２９８は、較正ゲージ２９０の外周部に、正方形の４辺に沿って複数個ずつ形成されている。第二群の基準穴２９９は、較正ゲージ２９０の一隅に、小さい正方形の４つの頂点上に位置する状態で形成されている。ただし、両群の基準穴２９８,２９９の数は上記の数に限定されるわけではなく、それぞれ２個以上設けられればよく、例えば、一対角線上に２個の基準穴２９８が設けられ、同じ対角線上に２個の基準穴２９９が設けられるようにすることができる。そして、上記２個ずつの基準穴２９８，２９９が設けられれる場合に、１個の基準穴を両群に共通の基準穴とするというように、基準穴の一部を両群に兼用とすることもできる。基準マークカメラ２４０および部品カメラ２５０は共に撮像倍率の可変なものであり、第一群の基準穴２９８は低い倍率で撮像される場合に使用され、第二群の基準穴２９９は高い倍率で撮像される場合に使用される。較正ゲージ２９０の材質は、金属（例えば、ステンレス鋼），セラミックス，合成樹脂等何でもよいが、熱膨張係数の小さい材料から成るものとされることが望ましく、本実施形態においては白いセラミックス製とされている。そのため、較正ゲージ２９０が表面からの反射光で撮像される場合には、基準穴２９８，２９９が明るい背景に囲まれた暗い像として取得され、背面側側からの照明光でシルエット像として撮像される場合には、基準穴２９８，２９９が暗い背景に囲まれた明るい像として取得される。
【００４０】
上記のように、本実施形態においては、較正台２６６，２６８および較正ゲージ２９０には、基準マーク２８８や基準穴２９８，２９９等が設けられ，これらの撮像により較正台２６６，２６８や較正ゲージ２９０の位置が検出されるようになっているが、これは不可欠ではなく、較正台や較正ゲージの縁の撮像により、較正台や較正ゲージの位置が検出されるようにしてもよい。
【００４１】
本電子部品装着システムは、制御手段として、図１３に示す制御装置３００を備えている。制御装置３００は、ＣＰＵ３０２，ＲＯＭ３０４，ＲＡＭ３０６およびそれらを接続するバス３０８を有するコンピュータを主体とするものである。バス３０８には画像処理装置３１２が接続され、これに前記基準マークカメラ２４０および部品カメラ２５０が接続されている。バス３０８にはまた、サーボインタフェース３１４が接続され、Ｘ軸スライド駆動用モータ１１０等の各種アクチュエータが接続されている。Ｘ軸スライド駆動用モータ１１０は駆動源たる電動モータの一種であり、本実施形態ではサーボモータとされているが、回転角度を制御可能なモータであれば採用可能であり、ステップモータ等を用いることもできる。
【００４２】
バス３０８にはまた、デジタル入力インタフェース３１８が接続され、前記エンコーダ１７０，１７６を始めとし、図示は省略するが、Ｘ軸スライド駆動用モータ１１０等の回転角度を検出するエンコーダが接続されている。バス３０８にはさらに、デジタル出力インタフェース３２０が接続され、配線板搬送用モータ３６，昇降用シリンダ５２，負圧供給装置２９６等が接続されている。上記ＲＡＭ３０６には、図示を省略するメインルーチン，図１４の自動較正第一ステップ,図１５の自動較正第二ステップ，電子部品装着ルーチン等を始めとする種々の制御プログラムが記憶させられている。なお、接続の図示は省略するが、制御装置３００は各種カメラによる撮像も制御する。
【００４３】
以上のように構成された電子部品装着システムは、自身で装着精度に関連する部分の相対位置関係を取得し、その相対位置関係の正規の相対位置関係からのずれに基づく装着精度の低下を回避しつつ電子部品８２をプリント配線板１２に装着することができる。すなわち、部品カメラ２５０および導光装置２５１から成る撮像装置２４８と、基準マークカメラ２４０と、吸着ノズル１８４との相対位置の本来あるべき相対位置からのずれ、つまりずれの大きさと方向とを電子部品装着システム自身が自動で検出し、その相対位置のずれを修正しつつ電子部品８２をプリント配線板１２に装着し得るようになっているのである。撮像装置２４８および基準マークカメラ２４０の位置は、本実施形態おいてはそれらの光軸の位置、つまり撮像画面の中心点の位置で表される。そして、本実施形態においては、基準マークカメラ２４０と吸着ノズル１８４との位置が撮像装置２４８の撮像画面の中心点の位置を基準とし、前記Ｘ軸およびＹ軸により規定される図１６のＸＹ座標面上の位置で表されるようになっている。また、ＸＹ座標面の原点（０，０）は、Ｘ軸スライド１０６およびＹ軸スライド１２２の移動領域のうち、最もＸ軸スライド駆動用モータ１１０およびＹ軸スライド駆動用モータ１２６に近い部分に設定されている。各構成要素の位置は、図１６に示す原点からの距離AないしMで表される位置であり、各位置を規定する座標値が本電子部品装着システムの固有値の一部としてＲＡＭ３０６に登録されている。
【００４４】
まず、自動較正第一ステップから説明する。最初にＳ１の実行により、配線板コンベヤ１４により較正用基板３２４が搬入され、配線板保持装置２６により所定の位置に保持される。Ｓ２において吸着ノズル１８４が部品供給装置２２のフィーダ７０の一つから基準チップ３２６を受け取る。本実施形態においては、較正実行用に特別に製造されたものが基準チップ３２６として使用されるが、通常の電子部品の一種が基準チップ３２６として使用されてもよい。基準チップ３２６を吸着して保持した吸着ノズル１８４は、Ｓ３において撮像装置２４８の光軸の位置として設定されている座標（Ｅ，Ｆ ）の位置へ移動させられて停止させられる。この際の座標位置は、Ｘ軸スライド駆動用モータ１１０およびＹ軸スライド駆動用モータ１２６に付属して設けられているエンコーダの出力信号に基づいて制御装置３００により取得される。本電子部品装着システムが設計通りに製作されていれば、吸着ノズル１８４の回転中心、すなわちホルダ１８６の回転中心は、撮像装置２４８の光軸の位置、すなわち撮像画面の中心に位置しているはずであるが、実際には僅かにずれているのが普通である。停止した吸着ノズル１８４に保持された基準チップ３２６が撮像装置２４８により撮像される。この撮像により取得された画像データが画像処理装置３１２へ送られ，公知の方法で処理されて、撮像装置２４８の撮像画面の中心からの基準チップ３２６の中心の位置ずれが取得される。
【００４５】
Ｓ４において、吸着ノズル１８４が座標（Ｊ，Ｋ)を上記位置ずれを修正するに必要な量補正した座標位置へ移動させられ、基準チップ３２６が較正用基板３２４に載置される。較正用基板３２４は低熱膨張鋼製であり、表面に両面粘着シートが貼り付けられているため、載置された基準チップ３２４がずれることはない。Ｓ５において、基準マークカメラ２４０により撮像され、基準マークカメラ２４０の撮像画面の中心からの位置ずれΔＸ１，ΔＹ１が取得され、ＲＡＭ３０６の所定のメモリに格納される。なお、ここにおいては、単純化のために較正用基板３２４に１個の基準チップ３２６が装着されるのみとするが、実際には複数個の基準チップ３２６が較正用基板３２４の種種の位置に装着され、多数の位置ずれΔＸ１，ΔＹ１のデータが取得され、格納される。
【００４６】
続いて、Ｓ６ないしＳ９において、較正用基板３２４および基準チップ３２６の代わりに較正台２６６および較正ゲージ２９０を使用して、Ｓ２ないしＳ５におけると同様のことが実行され、位置ずれΔＸ２，ΔＹ２が取得され、格納される。なお、較正ゲージ２９０が較正台２６６に載置される際には、較正ゲージ２９０が較正台２６６の収容凹部２９２の底面に接触する直前から直後までの間の適当な時期に吸引穴２９４に負圧が供給され、較正ゲージ２９０が較正台２６６に吸着されてずれが防止された後に、吸着ノズル１８４への負圧の供給が遮断され、較正ゲージ２９０が解放される。この解放が迅速に行われるように、負圧から大気圧への切換時に瞬間的に正圧が供給されるようにすることが望ましい。また、較正ゲージ２９０の撮像装置２４８による撮像は背後からの照明により行われてシルエット像が取得され，基準マークカメラ２４０による撮像は正面からの照明により正面像が取得される。較正ゲージ２９０の位置は、ここでは４隅にある４個の基準穴２９８の中心座標の平均値で取得されるが、さらに多くの基準穴２９８の中心座標に基づいて取得されるようにすることも、２個または４個の基準穴２９９の中心座標の平均値で取得されるようにすることも可能である。
【００４７】
さらに、Ｓ１０において、較正ゲージ２９０が較正台２６６から吸着ノズル１８４により吸着され、Ｓ１１において較正台２６８に載置される。その較正ゲージ２９０がＳ１２において基準マークカメラ２４０により撮像され、それの撮像画面の中心からの位置ずれΔＸ３，ΔＹ３が取得され、格納される。
【００４８】
そして、Ｓ１３において、ΔＸ１−ΔＸ２，ΔＹ１−ΔＹ２と、ΔＸ１−ΔＸ３，ΔＹ１−ΔＹ３とが演算され、それぞれ較正用基板３２４への装着時と較正台２６６への載置時とにおける位置ずれの差、ならびに較正用基板３２４への装着時と較正台２６８への載置時とにおける位置ずれの差として、ＲＡＭ３０６の所定のメモリに登録される。これらの値も本電子部品装着システムの固有値の一つであり，後に電子部品８２がプリント配線板１２に装着される際装着位置の修正値の一つとして使用される。
【００４９】
続いて、自動較正第二ステップを説明する。Ｓ２１において、較正台２６６上に較正ゲージ２９０が載置された状態で、吸着ノズル１８４が較正台２６６の中心として設定されている座標（Ｇ，Ｈ）の位置、すなわち較正台２６６の公称位置へ移動させられ、較正ゲージ２９０が吸着される。Ｓ２２において吸着ノズル１８４が撮像装置２４８の公称位置へ移動させられて撮像され、画像処理により部品カメラ２５０の撮像画面の中心に対する較正ゲージ２９０の中心（４隅の４個の基準穴２９８の、部品カメラ２５０の撮像画面の中心を原点とする座標面における中心座標の平均値として取得される）の位置ずれΔＸ４，ΔＹ４が取得され、ＲＡＭ３０６の所定のメモリに格納される。Ｓ２３において、吸着ノズル１８４が較正台２６６の公称位置へ移動させられ、較正ゲージ２９０が較正台２６６に載置される。その較正ゲージ２９０が、Ｓ２４において、基準マークカメラ２４０により較正台２６６と共に撮像され、画像処理により較正台２６６と較正ゲージ２９０との中心の基準マークカメラ２４０の撮像画面の中心に対する相対位置ΔＸ５，ΔＹ５とΔＸ６，ΔＹ６とが取得される。両者の中心の位置はそれぞれ４個ずつの基準マーク２８８および基準穴２９８の中心座標の平均値として取得され、相対位置ΔＸ５，ΔＹ５とΔＸ６，ΔＹ６とがそれぞれＲＡＭ３０６の所定のメモリに格納される。次に、Ｓ２５において、カウンタのカウント値ｎがインクリメントされ、Ｓ２６において、吸着ノズル１８４が較正台２６６の公称位置へ移動させられて、較正ゲージ２９０が吸着される。そして、Ｓ２７において吸着ノズル１８４と共に所定の角度（ここでは９０度）回転させられ、Ｓ２８において、較正ゲージ２９０が較正台２６６に載置される。Ｓ２９において，基準マークカメラ２４０が較正台２６６の公称位置へ移動させられ、較正台２６６と較正ゲージ２９０とが共に撮像され，両者の中心の座標が取得され、格納される。Ｓ３０の判定結果がＹＥＳになるまでＳ２５ないしＳ２９が繰り返され、結局、吸着ノズル１８４の０，９０，１８０，２７０度の回転位置における４回の撮像によって４組の中心座標が取得される。そして、Ｓ３０の判定結果がＹＥＳになったとき、Ｓ３１において、上記４組の中心座標から、吸着ノズル１８４の回転中心の較正台２６６の中心からの位置ずれが取得され、ＲＡＭ３０６の所定のメモリに格納される。また、較正台２６６の中心座標の平均値も取得され、ＲＡＭ３０６の所定のメモリに格納される。
【００５０】
以上のようにして取得された各データは、部品カメラ２５０を主体とする撮像装置２４８と，基準マークカメラ２４０と，吸着ノズル１８４の回転中心との相対位置誤差を表すものである。すなわち、上記「較正台２６６の中心座標の平均値」、つまり較正台２６６の中心の基準マークカメラ２４０の撮像画面の中心からの位置ずれは，較正台２６６の中心と基準マークカメラ２４０中心との相対位置誤差を表す。また、上記「吸着ノズル１８４の回転中心の較正台２６６の中心からの位置ずれ」は、正に吸着ノズル１８４の回転中心と較正台２６６の中心との相対位置誤差を表す。そして、前記Ｓ２４において取得された「較正台２６６と較正ゲージ２９０との中心の基準マークカメラ２４０の撮像画面の中心に対する相対位置ΔＸ５，ΔＹ５とΔＸ６，ΔＹ６」との差（ΔＸ５−ΔＸ６），（ΔＹ５−ΔＹ６）は、較正ゲージ２９０の中心と較正台２６６の中心との位置ずれを表し、前記Ｓ２２において取得された「部品カメラ２５０の撮像画面の中心に対する較正ゲージ２９０の中心の位置ずれΔＸ４，ΔＹ４」と共同して、部品カメラ２５０の撮像画面の中心と較正台２６６の中心との相対位置誤差を表す。
【００５１】
したがって、図１７に示すように、較正台２６６の中心に対する部品カメラ２５０を主体とする撮像装置２４８の中心，基準マークカメラ２４０の中心および吸着ノズル１８４の回転中心の相対位置誤差が取得されたこととなり、結局、部品カメラ２５０を主体とする撮像装置２４８の中心と基準マークカメラ２４０の中心と吸着ノズル１８４の回転中心との３者の相対位置誤差が取得されたこととなる。しかも、本実施形態においては、基準マークカメラ２４０の中心と吸着ノズル１８４の回転中心との相対位置誤差が、部品カメラ２５０を主体とする撮像装置２４８を媒介とすることなく、静止して設けられた較正台２６６のみを媒介として取得されるため、Ｘ軸スライド１０６およびＹ軸スライド１２２を主体とするＸＹロボットの移動誤差の影響を受けることがない。
【００５２】
また、部品カメラ２５０を主体とする撮像装置２４８の中心と、基準マークカメラ２４０の中心との相対位置誤差の取得が、較正ゲージ２９０を媒介として行われる。それによって取得される相対位置誤差は、ＸＹロボットによる較正ゲージ２９０の搬送誤差を包含するが、本実施形態においては、上記搬送距離が小さいため搬送誤差も小さくて済み、撮像装置２４８の中心と基準マークカメラ２４０の中心との相対位置誤差を高精度で検出することができる。また、較正台２６６，撮像装置２４８および基準マークカメラ２４０がいずれもＸＹロボットの原点に近い位置に配設されているため、原点から遠いほど大きくなるボールねじ１０４，１２０等の製造誤差，弾性変形，熱変形等の影響を殆ど受けることなく、撮像装置２４８の中心と基準マークカメラ２４０の中心との相対位置誤差を検出することができる。
【００５３】
その上、前述の自動較正第一ステップの実行により、ＸＹロボットの原点から遠い位置における装着位置誤差が取得されるため、実際の電子部品の装着作業時に、撮像装置２４８，基準マークカメラ２４０及び吸着ノズル回転中心の相対位置誤差のみならず、上記装着位置誤差をも加味して装着位置の制御を行うことにより、電子部品の装着精度を著しく向上させることができる。しかも、本実施形態の電子部品装着システムにおいては、上記各種の位置誤差の検出を、システム自体の機能を使用して行い得るため、安価に目的を達成し得るとともに、電子部品装着作業の間の任意の時期に位置誤差検出を行うことができ、熱変形に起因する装着位置誤差を良好に排除することができる。例えば、所定の運転時間毎に、あるいは、電子部品８２の装着作業の邪魔にならない時期に、上記と同様の位置ずれ検出を行い、ＸＹロボットの作動誤差を排除することができるのである。
【００５４】
なお、以上の説明おいては、撮像装置２４８，基準マークカメラ２４０および吸着ノズル回転中心の相対位置誤差の検出についてのみ説明したが、本実施形態においては、撮像装置２４８，基準マークカメラ２４０および吸着ノズルの回転位置誤差も勿論取得することができ、その回転位置誤差の取得にも較正台の基準マークを効果的に利用することができる。
【００５５】
上記実施形態におけるように、較正台２６６，２６８に基準マーク２８８を設ければ、その基準マーク２８８を利用して、撮像装置２４８，基準マークカメラ２４０および吸着ノズル回転中心の相対位置誤差の検出を高精度で行うことが可能となるのであるが、基準マークを省略することも可能である。例えば、基準マークの代わりに基準マークカメラの撮像画面の中心を使用することができるのである。この基準マークを省略した態様が、段落〔０００６〕の(1)項に記載の吸着ノズル回転中心位置検出方法の一実施形態である。
【００５６】
本発明は、図１８に示すタイプの電子部品装着システムに適用することも可能である。この電子部品装着システムは、吸着ノズルの回転中心に対する電子部品の位置ずれを取得するための撮像装置である部品カメラ３５６がベース１０に対して固定的に設けられている点において前記実施形態の電子部品装着システムと異なっている。部品カメラ３５６が、部品供給装置２０と配線板コンベヤ１４との間の、配線板保持装置に保持されたプリント配線板１２の長手方向（配線板コンベヤ１４の搬送方向）のほぼ中央に対応する位置において、ベース１０に固定的に設けられているのである。吸着ノズル１８４および基準マークカメラ２４０は、前記図１および図２の電子部品装着システムと同様に、Ｙ軸スライド１２２に固定されている。本電子部品装着システムにおいても、前述の較正台２６６，２６８および較正ゲージ２９０を設ければ、前記実施形態におけるのと同様の作用，効果を得ることができる。
【００５７】
図１９に示すタイプの電子部品装着システムに本発明を適用することも可能である。本電子部品装着システムは、それぞれ吸着ノズルを備えた部品保持具３６０が１つの間欠回転盤３６２に保持されており、間欠回転盤３６２が一定角度ずつ間欠回転させられることにより、間欠回転盤３６２の回転中心線たる旋回軸線まわりに部品保持具３６０を旋回させるとともに、その旋回の軌跡上に予め設定された複数の停止位置で停止させるノズル移動装置３６４を備えている。また、配線板保持装置３６６をその配線板保持装置３６６に保持されたプリント配線板１２の表面に平行な平面内において互いに直交するＸ軸とＹ軸とにそれぞれ平行な２方向に移動させる配線板移動装置３７０も備えている。配線板移動装置３７０は、Ｘ軸スライド駆動用モータ３７２および送りねじとしてのボールねじ３７４により移動させられるＸ軸スライド３７６と、そのＸ軸スライド３７６上においてＹ軸スライド駆動用モータ３７８および送りねじとしてのボールねじ３８０により移動させられるＹ軸スライドとを備えている。Ｙ軸スライドは配線板保持装置３６６を下方から支持している。そして、上記複数の停止位置の一つに停止した吸着ノズルの先端面に対向する位置に、部品カメラと導光装置とを含み、電子部品を撮像する撮像装置３８４が静止して設けられるとともに、その撮像装置３８４および部品保持具３６０の上方に部品保持具３６０を回転させる保持具回転装置（図示省略）がやはり静止して設けられている。保持具回転装置は、撮像装置３８４が設けられた停止位置と、電子部品８２をプリント配線板１２に装着するための停止位置との間の停止位置にも、電子部品８２の回転位置誤差を修正するために設けられている。また、図示は省略するが、電子部品の吸着や装着のために吸着ノズルを昇降させる装置も設けられている。さらに、配線板保持装置３６６に保持されたプリント配線板１２の基準マークを撮像する基準マークカメラ３８６も静止して設けられている。なお、図１９においては、間欠回転盤３６２，撮像装置３８４，基準マークカメラ３８６等を保持する保持装置は煩雑さを避けるため、図示が省略されている。また、間欠回転盤３６２の代わりに、共通の回動軸線のまわりにそれぞれ回動可能に設けられ、カム装置により予め定められた速度パターンに従って回動させられ、互に異なる時期に所定の停止位置（複数）に順次停止させられる複数の回動部材を採用することも可能である。例えば、複数の回動部材の各々に、部品保持具３６０をそれぞれ１個ずつ、回転および軸方向の移動可能に保持させるのである。本電子部品装着システムにおいても、前述の較正台２６６，２６８および較正ゲージ２９０を設ければ、前記実施形態におけるのと同様の作用，効果を得ることができる。
【００５８】
また、図１に示した電子部品装着システムや、図１８に示した電子部品装着システムにおいて、較正台２６６，２６８および較正ゲージ２９０を省略し、撮像装置２４８や部品カメラ３５６による撮像位置において、吸着ノズル１８４を電子部品をプリント配線板１２に装着する際の高さまで下降させ、従来と同様の方法で吸着ノズル１８４の回転中心を検出することができる。吸着ノズル１８４の下端面の撮像と、吸着ノズル１８４の９０度，１８０度等、予め定められた角度の回転とを繰り返し、得られた複数の画像の処理により、吸着ノズル１８４の回転中心を取得するのである。この実施形態は、段落〔０００６〕の(1)項または(2)項に記載の吸着ノズル回転中心位置検出方法の一実施形態である。
【００５９】
第一，第二撮像装置は面撮像装置に限らず、ラインセンサにより構成してもよい。ラインセンサは、一直線状に並べられた多数の撮像素子を有し、被写体と相対移動させつつ繰り返し撮像を行うことによって二次元像が得られる。第一撮像装をラインセンサにより構成する場合、例えば、ラインセンサを多数の撮像素子が、電子部品の上面と平行な方向において一直線状に設け、ラインセンサと電子部品とを、電子部品の上面に平行でかつ上記一直線と直交する方向に相対移動させればよい。
【００６０】
以上、本発明のいくつかの実施形態を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、本発明は、前記〔発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効果〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態である電子部品装着システムを示す平面図である。
【図２】上記電子部品装着システムの側面図である。
【図３】上記電子部品装着システムの部品装着装置を示す正面図である。
【図４】上記部品装着装置を示す側面図（一部断面）である。
【図５】上記電子部品装着システムの配線板保持装置を概略的に示す側面図である。
【図６】上記電子部品装着システムの部品トレイに収容された電子部品を示す側面図である。
【図７】上記部品装着装置の部品装着ユニットを示す側面図（一部断面）である。
【図８】上記部品装着ユニットの保持装置を示す側面断面図である。
【図９】上記部品装着ユニットの較正台とそれの取付装置を示す斜視図である。
【図１０】上記較正台の分解斜視図である。
【図１１】上記較正台の高さ調整作業を説明するための斜視図である。
【図１２】上記較正台の平面図である。
【図１３】上記電子部品装着システムの制御装置を概略的に示すブロック図である。
【図１４】上記制御装置のＲＡＭに格納された制御プログラムを示すフローチャートである。
【図１５】上記制御装置のＲＡＭに格納された別の制御プログラムを示すフローチャートである。
【図１６】前記電子部品装着システムの作動を説明するための略図である。
【図１７】前記電子部品装着システムの作用，効果を説明するための図である。
【図１８】本発明の別の実施形態である電子部品装着システムの平面図である。
【図１９】本発明のさらに別の実施形態である電子部品装着システムの平面図である。
【符号の説明】
１２：プリント配線板    １４：配線板コンベヤ    １８：部品装着装置    ２０，２２：部品供給装置    ２６：配線板保持装置    ８２：電子部品    １００：保持装置    １０６：Ｘ軸スライド    １１６：Ｘ軸スライド移動装置
１２２：Ｙ軸スライド    １３４：Ｙ軸スライド移動装置    １３６：移動装置
１４４：昇降装置    １４６：回転装置    １８４：吸着ノズル    ２４８：撮像装置    ２５０：部品カメラ    ２５１：導光装置   ２６６，２６８：較正台    ２８６：基準面    ２８８：基準マーク    ２９０：較正ゲージ
２９２：収容凹部    ２９４：吸引穴    ３００：制御装置    ３５６：部品カメラ    ３８４：撮像装置    ３８６：基準マークカメラ
【図１】
0004516220.tif 000002
【図２】
0004516220.tif 000003
【図３】
0004516220.tif 000004
【図４】
0004516220.tif 000005
【図５】
0004516220.tif 000006
【図６】
0004516220.tif 000007
【図７】
0004516220.tif 000008
【図８】
0004516220.tif 000009
【図９】
0004516220.tif 000010
【図１０】
0004516220.tif 000011
【図１１】
0004516220.tif 000012
【図１２】
0004516220.tif 000013
【図１３】
0004516220.tif 000014
【図１４】
0004516220.tif 000015
【図１５】
0004516220.tif 000016
【図１６】
0004516220.tif 000017
【図１７】
0004516220.tif 000018
【図１８】
0004516220.tif 000019
【図１９】
0004516220.tif 000020