(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けられた複数の配線に接触させて該複数の配線に電圧を印加するための電圧印加プローブであって、
線材が網目状に編まれた網目状シートに導電性材料が付着された導電シートと、
該導電シートを前記配線に押付ける弾性体と、
前記導電シート及び弾性体を保持するブロックと、
該ブロックに前記導電シートの一部を固定する押さえ板とを備え、
前記電圧印加プローブを前記複数の配線に接触させた際に、前記導電シートが前記ブロックの側面で、凸状に膨らんだ変形をするように、前記押さえ板が前記ブロックの側面下部を覆わずに前記導電シートの一部を押さえていることを特徴とする電圧印加プローブ。
【請求項２】
前記網目状シートの表面が平滑加工されていることを特徴とする請求項１に記載の電圧印加プローブ。
【請求項３】
前記導電性材料は、前記網目状シートにスリットを有する形状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電圧印加プローブ。
【請求項４】
前記網目状シートが樹脂からなり、
前記導電性材料がアルミニウムまたは金であり、
前記導電シートの前記導電性材料の付着された面が、前記複数の配線に接触されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の電圧印加プローブ。
【請求項５】
基板上に形成された、複数の配線に接続された導電体に、該複数の配線を介して、電圧を印加することで、該導電体に電子放出部を形成する工程を含む電子源の製造方法であって、
前記導電体への前記電圧の印加が、請求項１〜４のいずれか１項に記載の電圧印加プローブを前記導電体に接続された複数の配線に接触させて行われることを特徴とする電子源の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電圧印加プローブ及び該プローブを備えた電子源の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電子源を構成する電子放出素子としては、大別して熱電子放出素子と冷陰極電子放出素子の２種類のものが知られている。冷陰極電子放出素子には、電界放出型、金属／絶縁層／金属型や表面伝導型電子放出素子等がある。
【０００３】
表面伝導型電子放出素子は基板上に形成された小面積の薄膜に、膜面に並行に電流を流すことにより、電子放出が生ずる現象を利用するものである。その基本的な構成、製造方法などは、例えば特開平７−２３５２５５号公報、特開平８−１７１８４９号公報などに開示されている。
【０００４】
表面伝導型電子放出素子は、基板上に、対向する一対の素子電極と、該一対の素子電極に接続されその一部に電子放出部を有する導電性膜とを有してなることを特徴とするものである。また、上記導電性膜には一部亀裂が形成されている。
【０００５】
また、上記亀裂の端部には、炭素または炭素化合物の少なくとも一方を主成分とする堆積膜が形成されている。
【０００６】
このような電子放出素子を基板上に複数個配置し、各電子放出素子を配線で結ぶことにより、複数個の表面伝導型電子放出素子を備える電子源を作成することができる。
【０００７】
また、上記電子源と蛍光体とを組み合わせることにより、画像形成装置の表示パネルを形成することができる。
従来、このような電子源のパネルの製造は以下のように行われていた。
【０００８】
即ち、第１の製造方法としては、まず、基板上に、導電性膜及び該導電性膜に接続された一対の素子電極からなる複数の素子と、該複数の素子を接続した配線とが形成された電子源基板を作成する。次に、作成した電子源基板全体を真空チャンバ内に設置する。次に、真空チャンバ内を排気した後、外部端子を通じて上記各素子に電圧を印加し各素子の導電性膜に亀裂を形成する。更に、該真空チャンバ内に有機物質を含む気体を導入し、有機物質の存在する雰囲気下で前記各素子に再び外部端子を通じて電圧を印加し、該亀裂近傍に炭素あるいは炭素化合物を堆積させる。
【０００９】
また、第２の製造方法としては、まず、基板上に、導電性膜及び該導電性膜に接続された一対の素子電極からなる複数の素子と、該複数の素子を接続した配線とが形成された電子源基板を作成する。次に、作成した電子源基板と蛍光体が配置された基板とを支持枠を挟んで接合して画像形成装置のパネルを作成する。その後、該パネル内をパネルの排気管を通じて排気し、パネルの外部端子を通じて上記各素子に電圧を印加し各素子の導電性膜に亀裂を形成する。更に、該パネル内に該排気管を通じて有機物質を含む気体を導入し、有機物質の存在する雰囲気下で前記各素子に再び外部端子を通じて電圧を印加し、該亀裂近傍に炭素あるいは炭素化合物を堆積させる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
以上の製造方法が採られていたが、第１の製造方法は、とりわけ、電子源基板が大きくなるに従い、より大型の真空チャンバ及び高真空対応の排気装置が必要になる。また、第２の製造方法は、画像形成装置のパネル内空間からの排気及び該パネル内空間への有機物質を含む気体の導入に長時間を要する。
本発明は、電圧印加プローブの導通性能と耐久性を向上させ、小型化と操作性の簡易化が可能な電子源の製造装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、コストと組み立てる手間及び時間を削減し、製造スピードが向上し量産性に適した電子源の製造方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、電子放出特性の優れた電子源を製造し得る電子源の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る電圧印加プローブは、基板上に設けられた複数の配線に接触させて該複数の配線に電圧を印加する電圧印加プローブであって、線材が網目状に編まれた網目状シートに導電性材料が付着された導電シートと、該導電シートを前記配線に押付ける弾性体と、前記導電シート及び弾性体を保持するブロックと、該ブロックに前記導電シートの一部を固定する押さえ板とを備え、前記電圧印加プローブを複数の配線に接触させた際に、前記導電シートが前記ブロックの側面で、凸状に膨らんだ変形をするように、前記押さえ板が前記ブロックの側面下部を覆わずに前記導電シートの一部を押さえていることを特徴とする。
【００１５】
本発明について以下に更に詳述する。
本発明に係る製造装置は、まず、予め導電体が形成された基板を支持するための支持体と、該支持体にて支持された該基板上を覆う容器とを具備する。ここで、該容器は、該基板表面の一部の領域を覆うもので、これにより該基板上の導電体に接続され該基板上に形成されている配線の一部分が該容器外に露出された状態で該基板上に気密な空間を形成し得る。また、該容器には、気体の導入口と気体の排気口が設けられており、これら導入口及び排気口にはそれぞれ該容器内に気体を導入するための手段及び該容器内の気体を排出するための手段が接続されている。これにより該容器内を所望の雰囲気に設定することができる。また、前記導電体が予め形成された基板とは、電気的処理を施すことで該導電体に電子放出部を形成し電子源となす基板である。よって、本発明の製造装置は、更に、電気的処理を施すための手段、例えば、該導電体に電圧を印加する手段をも具備する。以上の製造装置にあっては、小型化が達成され、上記電気的処理における電源との電気的接続などの操作性の簡易化が、上述のような電圧印加プローブを備えることにより達成されるほか、上記容器の大きさや形状などの設計の自由度が増して、容器内への気体の導入、容器外への気体の排出を短時間で行うことが可能となる。
【００１６】
また、本発明の製造方法は、まず、導電体と該導電体に接続された配線とが予め形成された基板を支持体上に配置し、前記配線の一部分を除き前記基板上の導電体を容器で覆う。これにより、該基板上に形成されている配線の一部分が該容器外に露出された状態で、前記導電体は、該基板上に形成された気密な空間内に配置されることとなる。次に、前記容器内を所望の雰囲気とし、前記容器外に露出された一部分の配線を通じて前記導電体に電気的処理、例えば、前記導電体への電圧の印加がなされる。ここで、前記所望の雰囲気とは、例えば、減圧された雰囲気、あるいは、特定の気体が存在する雰囲気である。また、前記電気的処理は、前記導電体に電子放出部を形成し電子源となす処理である。また、上記電気的処理は、異なる雰囲気下にて複数回なされる場合もある。例えば、前記配線の一部分を除き前記基板上の導電体を容器で覆い、まず、前記容器内を第１の雰囲気として上記電気的処理を行う工程と、次に、前記容器内を第２の雰囲気として上記電気的処理を行う工程とがなされ、以上により前記導電体に良好な電子放出部が形成され電子源が製造される。ここで、上記第１及び第２の雰囲気は、好ましくは、後述する通り、第１の雰囲気が減圧された雰囲気であり、第２の雰囲気が炭素化合物などの特定の気体が存在する雰囲気である。以上の製造方法にあっては、上記電気的処理における電源との電気的接続などが、上述のような電圧印加プローブを用いることにより容易に行うことが可能となる。また、上記容器の大きさや形状などの設計の自由度が増すので容器内への気体の導入、容器外への気体の排出を短時間で行うことができ、製造スピードが向上する他、製造される電子源の電子放出特性の再現性、とりわけ複数の電子放出部を有する電子源における電子放出特性の均一性が向上する。
【００２６】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の好ましい第１の実施の形態を示す。
図１、図２及び図３は、本実施形態に係る電子源の製造装置を示しており、図１及び図３はいずれも断面図と配管等の接続図、図２は図１における電子源基板の周辺部分を示す斜視図である。図１、図２及び図３において、６は電子放出素子となる導電体、７はＸ方向配線、８はＹ方向配線、１０は電子源基板、１１は該基板１０を所定位置で支持する支持体、１２は真空容器、１５は気体の導入口、１６は排気口、１８はシール部材である。１９は拡散板、２０はヒータ、２１は容器に入っている水素または有機物質ガス、２２は容器に入っているキャリヤガス、２３は水分除去フィルタ、２４はガス流量制御装置、２５ａ〜２５ｆはバルブ、２６は真空ポンプ、２７は真空計、２８は配管、３０は取り出し配線、３２（３２ａ，３２ｂ）は電源及び電流制御系からなる駆動ドライバ、３１（３１ａ，３１ｂ）は電子源基板１０の取り出し配線３０と駆動ドライバ３２ａ，３２ｂとを接続する配線、３３は拡散板１９の開口部、４１は熱伝導部材、４６は昇降軸、４７は支持体１１を昇降させる昇降駆動ユニット、４８は支持体１１の昇降を制御する昇降制御装置である。
【００２７】
支持体１１は、電子源基板１０を所定位置で保持して固定するものであって、真空チャッキング機構、静電チャッキング機構若しくは固定冶具などにより、機械的に電子源基板１０を固定する機構を有する。支持体１１の内部には、ヒータ２０が設けられ、必要に応じて電子源基板１０を熱伝導部材４１を介して加熱することができる。
【００２８】
熱伝導部材４１は、支持体１１上に設置され、電子源基板１０を保持して固定する機構の障害にならないように、支持体１１と電子源基板１０の間で挟持されるか、あるいは、支持体１１に埋め込まれるように設置されていてもよい。
【００２９】
熱伝導部材４１は、電子源基板１０の反り、うねりを吸収し、電子源基板１０への電気的処理工程における発熱を、確実に支持体１１へ伝え、放熱することができ、電子源基板１０のクラック、破損の発生を防ぐことができ、歩留まりの向上に寄与できる。
【００３０】
また、電気的処理工程における発熱を素早く、確実に放熱することにより、温度分布による導入ガスの濃度分布の低減、基板熱分布が影響する素子の不均一性の低減に寄与でき、均一性に優れた電子源の製造が可能となる。
【００３１】
熱伝導部材４１としては、シリコングリスや、シリコンオイル、ジェル状物質等の粘性液状物質を使用することができる。粘性液状物質である熱伝導部材４１が支持体１１上を移動する弊害がある場合は、支持体１１に、粘性液状物質が所定の位置及び領域、すなわち、少なくとも電子源基板１０の導電体６を形成する領域下で滞留するように、その領域に合わせて、支持体１１に滞留機構を設置してあってもよい。これは、例えば、Ｏ−リングや、あるいは、耐熱性の袋に粘性液状物質を入れ、密閉した熱伝導部材とした構成とすることができる。
【００３２】
Ｏリングなどを設置して粘性液状物質を滞留させる場合において、基板１０との間に空気層ができて正しく接しない場合は、空気抜けの通孔や、電子源基板１０を設置した後に、粘性液状物質を基板１０と支持体１１の間に注入する方法も採ることができる。図３は、粘性液状物質が所定の領域で滞留するように、Ｏ−リングと、粘性液状物質導入口に連通する導入管４５とを設けた装置の概略断面図である。
【００３３】
この粘性液状物質は、支持体１１及び電子源基板１０間で挟持し、かつ温度制御を行いながら循環させる機構が付与されれば、ヒータ２０に替わり、電子源基板１０の加熱手段、あるいは、冷却手段となる。また、目的温度に対する温度調節が可能であり、例えば、循環型温度調節装置と液状媒体などからなる機構を付与することができる。
【００３４】
熱伝導部材４１は、弾性部材であってもよい。弾性部材の材料としては、テフロン（登録商標名）樹脂などの合成樹脂材料、シリコンゴム等のゴム材料、アルミナなどのセラミック材料、銅やアルミニウムの金属材料等を使用することができる。これらは、シート状、あるいは、分割されたシート状で使用されていてもよい。あるいは、円柱状、角柱状等の柱状、電子源基板の配線に合わせたＸ方向、あるいは、Ｙ方向に伸びた線状、円錐状などの突起状、球体や、ラグビーボール状（楕円球状体）などの球状体、あるいは、球状体表面に突起が形成されている形状の球状体などが支持体上に設置されていてもよい。
【００３５】
真空容器１２は、ガラスやステンレス鋼製の容器であり、容器からの放出ガスの少ない材料からなるものが好ましい。真空容器１２は、電子源基板１０に対し位置決めして配置され、電子源基板１０の取り出し配線部を除き、導電体６が形成された領域を覆い、かつ、少なくとも、１．３３×１０-1Ｐａ（１×１０-3Ｔｏｒｒ）から大気圧までの圧力範囲に耐えられる構造のものである。
【００３６】
シール部材１８は、電子源基板１０と真空容器１２との気密性を保持するためのものであり、Ｏリングやゴム性シートなどが用いられる。
【００３７】
有機物質ガス２１には、後述する電子放出素子の活性化に用いられる有機物質、または、有機物質を窒素、ヘリウム、アルゴンなどで希釈した混合気体が用いられる。また、後述するフォーミングの通電処理を行う際には、導電性膜への亀裂形成を促進するための気体、例えば、還元性を有する水素ガス等を真空容器１２内に導入することも可能である。このように他の工程で気体を導入する際には、導入配管、バルブ２５ｅを用いて、真空容器１２を配管２８に接続すれば、使用することができる。
【００３８】
上記電子放出素子の活性化に用いられる有機物質としては、アルカン、アルケン、アルキンの脂肪族炭化水素類、芳香族炭化水素類、アルコール類、アルデヒド類、ケトン類、アミン類、ニトリル類、フェノール、カルボン、スルホン酸等の有機酸類などを挙げることができる。より具体的には、メタン、エタン、プロパンなどのＣn Ｈ2n+2で表される飽和炭化水素、エチレン、プロピレンなどのＣn Ｈ2n等の組成式で表される不飽和炭化水素、ベンゼン、トルエン、メタノール、エタノール、アセトアルデヒド、アセトン、メチルエチルケトン、メチルアミン、エチルアミン、フェノール、ベンゾニトリル、アセトニトリル等が使用できる。
【００３９】
有機ガス物質２１は、有機物質が常温で気体である場合にはそのまま使用でき、有機物質が常温で液体、または、固体の場合は、容器内で蒸発または昇華させて用いるか、或いは更にこれを希釈ガスと混合するなどの方法で用いることができる。キャリヤガス２２には、窒素またはアルゴン、ヘリウムなどの不活性ガスが用いられる。
【００４０】
有機物質ガス２１と、キャリヤガス２２は、一定の割合で混合されて、真空容器１２内に導入される。両者の流量、及び混合比は、個別のガス流量制御装置２４によって制御される。ガス流量制御装置２４は、マスフローコントローラ及び電磁弁等から構成される。これらの混合ガスは、必要に応じて配管２８の周囲に設けられた図示しないヒータによって適当な温度に加熱された後、導入口１５より、真空容器１２内に導入される。混合ガスの加熱温度は、電子源基板１０の温度と同等にすることが好ましい。
【００４１】
なお、配管２８の途中に、水分除去フィルタ２３を設けて、導入ガス中の水分を除去することがより好ましい。水分除去フィルタ２３には、シリカゲル、モレキュラーシーブ、水酸化マグネシウム等の吸湿材を用いることができる。
【００４２】
真空容器１２に導入された混合ガスは、排気口１６を通じて、真空ポンプ２６により一定の排気速度で排気され、真空容器１２内の混合ガスの圧力は一定に保持される。本発明で用いられる真空ポンプ２６は、ドライポンプ、ダイヤフラムポンプ、スクロールポンプ等、低真空用ポンプであり、オイルフリーポンプが好ましく用いられる。
【００４３】
活性化に用いる有機物質の種類にもよるが、本実施形態において、上記混合気体の圧力は、混合気体を構成する気体分子の平均自由行程λが真空容器１２の内側のサイズに比べて十分小さくなる程度の圧力以上であることが、活性化工程の時間の短縮や均一性の向上の点で好ましい。これは、いわゆる粘性流領域であり、数百Ｐａ（数Ｔｏｒｒ）から大気圧までの圧力である。
【００４４】
また、真空容器１２の気体導入口１５と電子源基板１０との間に拡散板１９を設けると、混合気体の流れが制御され、基板全面に均一に有機物質が供給されるため、電子放出素子の均一性が向上し好ましい。
【００４５】
電子源基板１０の取り出し電極３０は、真空容器１２の外部にあり、プローブユニット７０を用いて配線３０と接続し、駆動ドライバ３２に接続する。
【００４６】
本実施形態、さらには後述する実施形態においても同様であるが、真空容器１２は、電子源基板１０上の導電体６のみを覆えばよいため、装置の小型化が可能である。また、電子源基板１０の配線部が真空容器１２外に有るため、電子源基板１０と電気的処理を行うための電源装置（駆動ドライバ３２）との電気的接続を容易に行うことができる。
【００４７】
以上のようにして真空容器１２内に有機物質を含む混合ガスを流した状態で、駆動ドライバ３２ａ，３２ｂを用い、配線３１ａ，３１ｂを通じて基板１０上の各電子放出素子にパルス電圧を印加することにより、電子放出素子６の活性化を行うことができる。
【００４８】
以上述べた製造装置を用いての電子源の製造方法の具体例に関しては、以下の実施例にて詳述する。
上記電子源と画像形成部材とを組み合わせることにより、図４に示すような画像形成装置を形成することができる。図４は画像形成装置の概略図である。図４において、６は電子放出素子、１０は電子源基板、６２は支持枠、６６はフェースプレートであって、ガラス基板６３、蛍光体膜６４及びメタルバック６５からなっており、６８は画像形成装置である。
【００４９】
この画像形成装置６８は、各電子放出素子６に、容器外端子Ｄx1乃至Ｄxm、及びＤy1乃至Ｄynを通じて、走査信号及び変調信号を図示しない信号発生手段によりそれぞれ印加することにより、電子を放出させ、高圧端子６７を通じて、メタルバック６５、あるいは、図示しない透明電極に５ｋＶの高圧を印加し、電子ビームを加速し、蛍光体膜６４に衝突させて、励起し、発光させることで画像を表示する。
【００５０】
また、走査信号配線は、例えば、Ｄx1の容器外端子に近い電子放出素子と遠い電子放出素子との間で印加電圧降下の影響の無い素子数であれば、図４で示すような、片側走査配線で構わないが、素子数が多く、電圧降下の影響がある場合には、配線幅を広くするか、配線厚を厚くするか、あるいは、両側から電圧を印加する手法等を採ることができる。
【００５１】
本発明は、以上述べた実施の形態において、特にプローブの部分に関するものである。特に本実施形態は、基板１０上に形成されている配線に対するプローブの導通性能の向上とプローブの耐久性という課題を解決するものである。更に、１本の配線に対して１本のプローブを使う方式の多大なコストと組立てる手間と時間を削減するという課題も解決するものである。
特に、本実施形態ではそのために、線材が網目状に編まれて形成されたシートに導電性材料が付着された導電シートと、該導電シートを配線に押付ける弾性体と、導電シートと弾性体を保持する保持手段としてのブロック及び押さえ板からなる、電圧印加プローブを備えることを特徴とするものである。
【００５２】
【実施例】
以下、具体的な実施例を挙げて本発明を詳しく説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではなく、本発明の目的が達成される範囲内での各要素の置換や変形、または変更がなされたものをも包含する。
【００５３】
［実施例１］
本実施例は、本発明に係る製造装置を用いて表面伝導型電子放出素子を複数備える電子源を製造する例である。
【００５４】
図５乃至図１０は、本発明に係る製造装置のプローブに関する実施形態を説明するための図である。図７において、網目状シート１１５は樹脂でできた線材１０６Ａ、１０６Ｂが網目状に編まれている。この線材は金属でもよい。図８において導電シート１０２は、ＮＢＣ工業製ＭＣＣを用い、これは網目状シート１１５に銅などの導電性材料１０８を付着したものである。この導電性材料１０８は、アルミや金などの材料を使っても良く、また銅―ニッケル−金といった多層構造としても良い。また、導電性材料１０８のシートへの付着方法としてめっきを用いた。図９及び図１０は図８の断面図であり、導電性材料１０８を片面に付着させた例と両面に付着させた例を示した図である。図５はプローブ１０１の構成の一例を示した斜視図である。このプローブ１０１は導電シート１０２と、導電シート１０２を不図示の配線に押付けるシリコンゴムでできた弾性体１０３、導電シート１０２と弾性体１０３を保持するブロック１０５、及び押さえ板１０４から構成される。
【００５５】
また、プローブ１０１は、図６に示すような構造であっても良く、弾性体１０３は板バネやコイルバネのような弾性体であっても良い。このように構成されたプローブ１０１を図２に示す基板１０上に形成された複数の配線３０に押付けて、プローブ１０２に接続された図１または図３に示す駆動ドライバ３２ａ，３２ｂを用いて電圧を印加し、配線３０や導電体の断線・短絡・抵抗値などの測定をしたり、導電体に電力を供給することができた。
【００５６】
本発明に係る電子源の製造装置を用いて、電子源基板の電子源作成と、電子放出特性の優れた電子放出素子の活性化処理を行うことができた。
【００５７】
更に、配線の高さにばらつきがあっても柔軟に配線に接触することができ、導通性能が良く安定した電力の供給ができ、ばらつきのない安定した電子放出素子を作成することができた。
【００５８】
更に複数の配線に対して１つのプローブを使用するため、コストと組立ての手間と時間を大幅に削減することができた。
【００５９】
［実施例２］
本実施例は、実施例１で用いたプローブと概略構成は同じであり、図１１に示すようにブロック１０５の側面下部を押さえ板１０４が覆わない構造とした。同図のようなプローブ１０１を基板１０９上の配線（不図示）に押付けた断面図を図１２に示す。図１２に示すように導電シート１０２は、ブロック１０５の側面で凸状に膨らむように変形する。このように変形することで、導電シート１０２に屈曲ができたり、 局所的に負荷がかかることはなく、基板１０９上の配線に押付けることができた。
また、プローブ１０１を繰り返し使用しても導電シート１０２に付着された導電性材料１０８が切れたり、剥がれたりすることがなくなり、耐久性を向上させることができた。更に、本実施例の場合も実施例１と同様の効果が得られた。
【００６０】
［比較例］
図１３及び図１４に実施例２に対する比較例を示す。図１３はブロック１０５の側面下部を押さえ板で覆った構造の断面図であり、同図のように構成されたプローブ１０１を基板上の配線に押し付けると図１４のように導電シート１０２は屈曲してしまった。これを繰り返すと、導電シート１０２は屈曲した部分の導電性材料が切れてしまったり剥がれたりして電気的接続ができなくなった。
更に、配線や導電体の断線・短絡・抵抗値などの測定をしたり、導電体に電力を供給することができなくなった。
【００６１】
［実施例３］
本実施例の特徴を表す図を図１５に示す。同図において、弾性体１０３は、弾性体固定板１１０と弾性体上下棒１１１を介して保持板１１４に固定されており、導電シート１０２は両側の押さえ板１０４で押さえられた部分がブロック１０５に固定され、該ブロック１０５はブロック保持板１１２に固定されている。また、ブロック保持板１１２と保持板１１４をスプリング１１３で接続することで、弾性体１０３は導電シート１０２を保持するブロック１０５とは別構造として保持され、独立に動く構造とした。スプリング１１３は、ゴムのような弾性体でも良い。このような構造のプローブ１０１を不図示の基板上に形成された少なくとも１本以上の配線に押付けると、弾性体１０３は縮むが導電シート１０２は変形しないため、導電シート１０２が屈曲したり局所的に負荷がかかることはなく、基板上の配線に押付けることができた。また、プローブ１０１を繰り返し使用しても導電シート１０２に付着された導電性材料が切れたり、剥がれたりすることがなくなり、耐久性を向上させることができた。更に実施例１と同様の効果が得られた。
【００６２】
［実施例４］
本実施例は、図７における編目状シート１１５に導電性材料１０８をスリットがある形状に形成させたものであり、その例を図１６に示す。同図のような導電シート１０２を用いてプローブを構成することで、柔軟性が良く基板上の配線に押付けることができた。また導電性材料のパターンは図１７のように斜めになっていても良い。
また、この導電シート１０２は柔軟性が良いため、多数の配線すべてに確実に接触させることができ、すべての配線に電気的接続ができた。更に、本実施例の場合も実施例１と同様の効果が得られた。
【００６３】
［実施例５］
図１８は本実施例における導電シート１０２の特徴を表す図である。同図において、導電シート１０２を構成する線材１０６Ａは、不図示の基板上に形成されている配線１１６に対して２２．５°の傾きで編まれている。同図のような導電シート１０２を用いてプローブを構成することで、１本の配線に対して複数の線材が接触できるため、配線に確実に接触することができた。また、この傾きは、配線の本数や幅、ピッチ等によって角度を変更しても良い。更に、本実施例の場合も実施例１と同様の効果が得られた。
【００６４】
［実施例６］
図１９は本実施例における導電シート１０２の特徴を表す図である。この導電シート１０２は、線材１０６Ａ，１０６Ｂが編まれたシートを熱にかけながらローラにかけ、網目の凸部を平滑加工して、その両面に導電性材料１０８Ａ，１０８Ｂを付着させて作成した。平滑加工する方法としてプレス加工をしても良い。
同図のような導電シート１０２を用いてプローブを構成することで、不図示の配線に対して点で接触するのではなく、面で接触できるようになり、接触抵抗が低くでき、また抵抗のばらつきも小さくすることができ、安定した電力の供給をすることができた。更に、本実施例の場合も実施例１と同様の効果が得られた。
【００６５】
［実施例７］
本実施例は、導電シートを構成する線材のピッチを約７０μｍとし、配線の幅約９０μｍに対して狭いピッチとした。このようなピッチで編まれた導電シートを用いてプローブを構成することで、多数の配線全てに確実に接触させることができ、電気的接続ができた。更に、本実施例の場合も実施例１と同様の効果が得られた。
【００６６】
【発明の効果】
本発明によれば、小型化と操作性の簡易化が可能な電圧印加プローブ、電子源の製造装置及び製造方法を提供することができる。
【００６７】
また、本発明によれば、製造スピードが向上し量産性に適した電子源の製造装置及び方法を提供することができる。
【００６８】
更に、本発明によれば、電子放出特性の優れた電子源を製造し得る電子源の製造装置及び方法を提供することができる。
【００６９】
更に、本発明によれば、画像品位の優れた画像形成装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態に係る電子源の製造装置の構成を示す断面図及び配管等の接続図である。
【図２】  図１及び図３における電子源基板の周辺部分を一部を破断して示す斜視図である。
【図３】  本発明に係る電子源の製造装置の構成の他の形態を示す断面図及び配管等の接続図である。
【図４】  画像形成装置の構成を一部を破断して示す斜視図である。
【図５】  本発明に係るプローブの構成を示す斜視図である。
【図６】  本発明に係るプローブの別の形態を示す斜視図である。
【図７】  本発明に係る線材が網目状に編まれたシートの形態を示す図である。
【図８】  本発明に係る導電シートの形態を示す図である。
【図９】  本発明に係る導電シートの形態を示す断面図である。
【図１０】  本発明に係る導電シートの形態を示す断面図である。
【図１１】  本発明に係るプローブの構成を示す断面図である。
【図１２】  本発明に係る実施例を示す断面図である。
【図１３】  本発明に係る比較例を示す断面図である。
【図１４】  本発明に係る比較例を示す断面図である。
【図１５】  本発明に係るプローブの構成を示す断面図である。
【図１６】  本発明に係る導電シートの形態を示す図である。
【図１７】  本発明に係る導電シートの形態を示す図である。
【図１８】  本発明に係る導電シートの形態を示す図である。
【図１９】  本発明に係る導電シートの形態を示す断面図である。
【符号の説明】
５：電子放出部、６：電子放出素子、７：Ｘ方向配線、８：Ｙ方向配線、１０：電子源基板、１１：支持体、１２：真空容器、１５：気体の導入口、１６：排気口、１８：シール部材、１９：拡散板、２０：ヒータ、２１：有機ガス物質、２２：キャリヤガス、２３：水分除去フィルタ、２４：ガス流量制御装置、２５（２５ａ〜２５ｆ）：バルブ、２６：真空ポンプ、２７：真空計、２８：配管、３０：取り出し配線、３１（３１ａ，３１ｂ）：電子源基板の取り出し配線３０と駆動ドライバ３２とを接続する配線、３２（３２ａ，３２ｂ）：電源、電流測定装置及び電流−電圧制御系装置からなる駆動ドライバ、３３：拡散板１９の開口部、４１：熱伝導部材、４５：粘性液状物質導入管、４６：昇降軸、４７：昇降駆動ユニット、４８昇降制御装置、６２：支持枠、６３：ガラス基板、６４：蛍光体膜、６５：メタルバック、６６：フェースプレート、６８：画像形成装置、７０：プローブユニット、１０１：プローブ、１０２：導電シート、１０３：弾性体、１０４：押さえ板、１０５：ブロック、１０６Ａ，１０６Ｂ：線材、１０８（１０８Ａ，１０８Ｂ）：導電性材料、１０９：基板、１１０：弾性体固定板、１１１：弾性体上下棒、１１２：ブロック保持板、１１３：スプリング、１１４：保持板、１１５：網目状シート、１１６：配線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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