(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
間隔を存し相対向して設けられ側壁及び底壁を備え上面を開口したガイドと、このガイドに沿って移動可能なビームと、このビームに設けられてこれに沿った方向に移動可能な装着ヘッドと、この装着ヘッドに設けられ電子部品を真空吸着してプリント基板上に装着する回転可能な吸着ノズルと、前記側壁の上面に間隔を存して設けられた左右の固定子及び前記ガイドの内側に前記左右の固定子、前記側壁及び前記底壁と間隔を存して前記ビームに取り付けられた可動子を有して前記ビームを駆動するリニアモータと、前記左右の固定子の表面及び前記側壁の表面に長手方向にわたり設けられ前記左右の固定子及び前記ガイドより熱伝導率が高い熱伝導部材とを備えたことを特徴とする電子部品装着装置。
【請求項２】
間隔を存し相対向して設けられ側壁及び底壁を備え上面を開口したガイドと、このガイドに沿って移動可能なビームと、このビームに設けられてこれに沿った方向に移動可能な装着ヘッドと、この装着ヘッドに設けられ電子部品を真空吸着してプリント基板上に装着する回転可能な吸着ノズルと、前記ガイドの側壁上面に設けられた固定子及び前記ガイドの内側に前記固定子、前記側壁及び前記底壁と間隔を存して設けられ、前記ビームに取り付けられた可動子を有して前記ビームを駆動するリニアモータと、前記ガイドの底壁上面に長手方向にわたりほぼ全面に設けられ、ガイドより熱伝導率が高い熱伝導部材とを備えたことを特徴とする電子部品装着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、駆動源により移動可能なビームにこれに沿った方向に駆動源により移動可能な装着ヘッドを設け、この装着ヘッドに設けられたノズルにより電子部品を吸着してプリント基板上に装着する電子部品装着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
かかる従来の電子部品装着装置は、例えば特開２０００−１６５０９６号公報等に開示され、この特開２０００−１６５０９６号公報には、２本のリニアモータ軸を備え、各リニアモータ軸には一対ずつ部品装着ヘッド、部品装着ヘッドを備え、これら４つの部品装着ヘッドにて、部品供給部からの電子部品の吸着動作、吸着している電子部品の認識動作、及び回路基板への装着動作を一部重複しながら行う技術が開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の技術において、リニアモータ軸（ビーム）の駆動源にリニアモータを使用した場合には、電子部品装着装置の運転に伴うリニアモータの駆動時に可動子が発熱する。そして、リニアモータの駆動時、電子部品装着装置の中央部付近にてリニアモータ軸（ビーム）が頻繁に往復動作するので、可動子の熱が輻射あるいは周囲の空気を介して固定子の例えば中央部に伝わる。このため、固定子の温度が部分的に上昇し、さらに、固定子が設けられリニアモータ軸（ビーム）を案内する例えば鉄にて形成されたガイドも部分的に温度上昇し、固定子あるいはガイドに部分的に熱変形が発生して位置決め精度が低下する虞があった。
【０００４】
そこで本発明は、固定子あるいはガイドの部分的な熱変形を回避した電子部品装着装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
このため第１の発明は、間隔を存し相対向して設けられ側壁及び底壁を備え上面を開口したガイドと、このガイドに沿って移動可能なビームと、このビームに設けられてこれに沿った方向に移動可能な装着ヘッドと、この装着ヘッドに設けられ電子部品を真空吸着してプリント基板上に装着する回転可能な吸着ノズルと、前記側壁の上面に間隔を存して設けられた左右の固定子及び前記ガイドの内側に前記左右の固定子、前記側壁及び前記底壁と間隔を存して前記ビームに取り付けられた可動子を有して前記ビームを駆動するリニアモータと、前記左右の固定子の表面及び前記側壁の表面に長手方向にわたり設けられ前記左右の固定子及び前記ガイドより熱伝導率が高い熱伝導部材とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
また第２の発明は、間隔を存し相対向して設けられ側壁及び底壁を備え上面を開口したガイドと、このガイドに沿って移動可能なビームと、このビームに設けられてこれに沿った方向に移動可能な装着ヘッドと、この装着ヘッドに設けられ電子部品を真空吸着してプリント基板上に装着する回転可能な吸着ノズルと、前記ガイドの側壁上面に設けられた固定子及び前記ガイドの内側に前記固定子、前記側壁及び前記底壁と間隔を存して設けられ、前記ビームに取り付けられた可動子を有して前記ビームを駆動するリニアモータと、前記ガイドの底壁上面に長手方向にわたりほぼ全面に設けられ、ガイドより熱伝導率が高い熱伝導部材とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
また第４の発明は、熱伝導部材は固定子あるいはガイドに長手方向にわたり設けられた板状のヒートレーンであることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき実施形態につき説明する。図１は電子部品装着装置１の平面図で、図２は該装着装置１の正面図で、該装置１の基台２上の前部には種々の電子部品をその部品取出し部（部品吸着位置）に１個ずつ供給する部品供給ユニット（図示せず）が複数並設されている。そして、該装着装置１の中間部には供給コンベア３(図２及び図４においては省略)、位置決め部(図２及び図６においては省略)４及び排出コンベア５(図２においては省略)がプリント基板Ｐの搬送方向が左右方向となるように設けられている。供給コンベア３は上流より受けたプリント基板Ｐを前記位置決め部４に搬送し、位置決め部４で図示しない位置決め機構により位置決めされた該基板Ｐ上に電子部品が装着された後、排出コンベア５に搬送される。
【００１０】
６はＸ方向に長いビームであり、リニアモータである左右一対のＹ軸モータ（以下Ｙ軸リニアモータという）７、７の駆動により左右一対のガイド８、８に沿ってプリント基板Ｐや部品供給ユニットの部品取出し部（部品吸着位置）上方を個別にＹ方向に移動する。Ｙ軸リニアモータ７、７は、それぞれ側壁１０及び底壁１１を備えて上面を開口したガイド８に設けられた一対の固定子１２、１２と、ガイド８及び固定子１２、１２の内側に位置してビーム６に取り付けられた例えば鉄を主体とした可動子１３とを有し、ビーム６を駆動する。そして、図３（装着装置１の右側上部の断面図）に示したように各固定子１２、１２は、ガイド８の長手方向に間隔を存し、かつ対向して設けられ、ガイド８の側壁１０の上部あるいは上端に固定されたベース１４と、ベース１４の内面に固定されたマグネット１５とから構成されている。ここで、各マグネット１５及び側壁１０と可動子１３の側面との間には僅かな隙間が形成されている。
【００１１】
１６は各ベース１４に取り付けられた熱伝導部材であり、この熱伝導部材１６は前後に分割されてベース１４の外側面ほぼ全面にわたり設けられている。また、各熱伝導部材１６はベース１４及びガイド８を構成する鉄より熱伝導率が高い例えばアルミあるいは銅などの金属でシート状に形成されたヒートパイプを折って重ねたヒートレーンであり、ガイド８の表面に密着するように例えば高熱伝導性接着剤により取り付けられている。また、熱伝導部材１６、１６の前あるいは後の端縁には折り曲げ部１７が可動子１３の移動範囲外に位置して形成されている。このように熱伝導部材１６を折り曲げて重ね合わせることにより、熱伝導を向上させることができる。熱伝導部材１６とベース１４との間に例えば高熱伝導性のグリースを挟み、夫々の間の熱伝導を良くした状態で、熱伝導部材１６を例えば帯状の金属板（図示せず）にてベース１４に固定しても良い。
【００１２】
また、底壁１１の上面には、ガイド８の長手方向にわたりほぼ全面に上記熱伝導部材１６と同様に構成された熱伝導部材１８が前後に分割されて例えば高熱伝導性接着剤により取り付けられている。熱伝導部材１８の前端縁あるいは後端縁には図４及び図５にも示したように折り曲げ部１９が可動子１３の移動範囲外に位置し、膨出して左右方向に形成されている。
【００１３】
２０は例えばアルミニウムにより形成されビーム６の左右両端の下部に設けられたベースであり、ベース２０の下面に熱絶縁部材２１を介して可動子１３が固定されている。そして、ベース２０の線膨張係数は主に鉄にて形成された可動子１３の線膨張係数より大きい。また、熱絶縁部材２１は熱伝導率が小さい例えばガラス繊維を主体とした樹脂などから構成され、この熱絶縁部材２１の可動子１３との接触面及びベース２０との接触面には長手方向に複数の溝２２、２３が形成されている。そして、溝２２、２３と可動子１３の上面との間及びベース２０の下面との間に空気通路２４及び２５が形成され、これらの空気通路２４、２５は熱絶縁部材２１の前端から後端にわたり形成され、図５に示したように前端及び後端に空気通路２４、２５を流れた空気の流出口２４Ａ、２５Ａが形成されている。また、熱絶縁部材２１のほぼ中央には、空気通路２４と空気通路２５とを連通する通路２６が形成されている。さらに、２７は空気通路２４及び空気通路２５に冷却用の空気を供給するためにベース２０に形成された空気供給路であり、この空気供給路２７に例えば部品装着装置本体に設けられた図示しない送風機あるいはポンプなどの空気供給源（空気供給手段）から例えばチューブを介して空気が送られ、各空気通路２４、２５に供給される。
【００１４】
２８は可動子１３の下面ぼぼ全面に設けられた放熱部材であり、この放熱部材２８は熱伝導が良好な例えばアルミニウムなどにより形成され、可動子１３の長手方向（ビーム６の移動方向であるY方向）に複数のフィン２９を一体に備えている。
【００１５】
３０はビーム６を支持し案内するリニアウェイであり、このリニアウェイ３０はガイド８の側部上面に固定され、ガイド８の長手方向に延びたレール３１と、このレール３１に対応してベース２０の下面に固定されたスライダ３２とから構成されている。そして、基台２の右側上部及び左側上部のガイド８及びＹ軸リニアモータ７は対象に構成されている。
【００１６】
以下、ビーム６の構成について、装着ヘッドを省略した図４乃至図７に基づいて詳細に説明する。３３は水平方向に設けられたビーム本体レールであり、このビーム本体レール３３は例えば熱伝導が良好なアルミニウムにより形成されている。また、ビーム本体レール３３は上壁３４、下壁３５、及び上壁と下壁とを接続する垂直壁３６を備え、垂直壁３６より前方の前部上壁３７と前部下壁３８との間に後述するビーム側可動子が位置する。さらに、垂直壁３６の適所には空気通路となる開口３９が複数形成されている。そしてビーム本体レール３３の左右両端部は金属製の支持部材４０を介してベース２０に支持されている。
【００１７】
４１は上記熱伝導部材１６、１８と同様に構成され、熱伝導率が高いビーム側の熱伝導部材である。これらの熱伝導部材４１は前部上壁３７及び前部下壁３８の相対向した内側の面に左右に分割され、例えば高熱伝導性接着剤により取り付けられている。さらに、各熱伝導部材４１の内側の面には後述する可動子と共にＸ軸リニアモータ４２を構成する固定子４３のベース４４が例えば高熱伝導性接着剤により対向して取り付けられている。また、各熱伝導部材４１の右端あるいは左端には折り曲げ部７１が形成されている。ベース４４の内側の面に固定子４３のマグネット４５、４５が対向して設けられている。そして、熱伝導部材４１、ベース４４及びマグネット４５は前部上壁４１及び前部下壁３８の前端より前方へ突出して設けられている。
【００１８】
４６は後述する装着ヘッドが取り付けられるヘッドベースであり、このヘッドベース４６の背面のほぼ中央部にＸ軸リニアモータ４２の可動子４７が取り付けられている。可動子４７の上面及び下面とマグネット４５、４５との間には僅かな隙間が形成されている。また、可動子４７の背面には例えばアルミニウムにより形成され熱伝導が良好な放熱部材４８が垂直壁３６と対向すると共に間隔を存し、かつ背面のほぼ全幅にわたり取り付けられ、この放熱部材４８の表面には長手方向（水平方向）に複数のフィン４８が一体に形成されている。
【００１９】
４９、４９はヘッドベース４６を水平方向に案内するリニアウェイであり、リニアウェイ４９、４９はビーム本体レール３３の上下の前端面に取り付けられたレール５０と、ヘッドベース４５の背面にレール５０と対応して取り付けられたスライダ５１とから構成されている。
【００２０】
５２はフラットケーブルであり、後述する装着ヘッドのためのケーブル５３やエアチューブ５４などを並列状態にして、それぞれ接着剤で固定し概ね平板状にし、ビーム本体レール３３の後方に設けられている。また、５５はヘッドベース４５の上縁の取り付けられたヘッド天壁であり、ヘッド天壁５５によりエアチューブ５４の上部側が支持され、エアチューブ５４の下部側がビーム本体レール３３の背面に取り付けられた支持部材５６に支持されている。
【００２１】
以下、図８に基づいて装着ヘッドについて説明する。
【００２２】
図８に示すように、前記ヘッドベース４５に装着ヘッド５７が各上下軸モータ５８によりガイド６０に沿って上下動可能に設けられている。装着ヘッド５７のノズル取付体６１には６本の吸着ノズル６２が等間隔を存して設けられ、またノズル取付体６１はθ軸モータ６３により鉛直軸周りに回転可能であり、更にはノズル選択モータ６４により前記６本の吸着ノズル６２のうちの任意の吸着ノズル６２の吸着側端部が下方に向くように選択される。
【００２３】
従って、装着ヘッド５７及び吸着ノズル６２はＸ軸リニアモータ４２及びＹ軸リニアモータの駆動によりＸ方向及びＹ方向に移動可能であり、さらに、吸着ノズル６２は垂直線回りに回転可能で、かつ上下動可能となっている。そして、左右両ヘッドベース４５に装着ヘッド５７が取り付けられる。
【００２４】
また、６５、６５はガイド８、８の内側にＹ方向に設けられたＹ方向フラットケーブルであり、フラットケーブル６５はケーブルベア６６により支持されている。
【００２５】
以上の構成により、以下動作について説明する。先ず、プリント基板Ｐが図示しないコンベアにより上流装置より供給コンベア３を介して位置決め部４に搬送され、位置決め機構により位置決め固定される。
【００２６】
次に、図示しない記憶装置に格納されたプリント基板Ｐの装着すべきＸＹ座標位置、鉛直軸線回りへの回転角度位置及び各部品供給ユニットの配置番号等が指定された装着データに従い、装着順序に従い電子部品の部品種に対応した各吸着ノズル６２が装着すべき電子部品を所定の部品供給ユニットから吸着して取出す。
【００２７】
即ち、Ｙ方向はＹ軸リニアモータ４２が駆動して一対のガイド７に沿ってビーム６が移動し、Ｘ方向はＸ軸リニアモータ４２が駆動して装着ヘッド５７が衝突することなく移動し、順次装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニット上方に位置するよう移動する。
【００２８】
そして、既に所定の供給ユニットは駆動されて部品吸着位置にて部品が取出し可能状態にあるため、一方の装着ヘッド５７のノズル選択モータ６４により選択された吸着ノズル６２が上下軸モータ５８により下降して電子部品を吸着し取出し、次に吸着ノズル６２は上昇すると共に他方の装着ヘッド５８の吸着ノズル６２が次に装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニット上方に移動し、同じく前記吸着ノズル６２が下降して電子部品を吸着し取出す。
【００２９】
さらに、前述したように、装着ヘッド５７を水平方向に移動させ、位置決め部４上のプリント基板Ｐ上方に移動し、各装着ヘッド５７の吸着ノズル６２を下降させてプリント基板Ｐ上にそれぞれ電子部品を装着する。
【００３０】
この場合、各装着ヘッド５７（ヘッドベース４５）がＸ軸リニアモータ４２によりガイド８に沿ってＸ方向に移動する際、フラットケーブル５２は屈曲可能であり、またビーム６がＹ軸リニアモータ７によりガイド８に沿ってＹ方向に移動する際、Ｙ方向フラットケーブル６５を保持するケーブルベア６６も屈曲可能であるから、装着ヘッド５７及びビーム６は滑らかに移動できるものである。
【００３１】
また、Ｙ軸リニアモータ７の駆動により、可動子１３は発熱するが、ビーム６の左右下部のベース２０、２０と可動子１３との間に熱伝導率が小さい熱絶縁部材２１が設けられているので、熱絶縁部材２１を設けるという簡単な構成によりビーム６の温度上昇を防止するための構造を簡略し、かつビーム６駆動時の可動子１３、１３からビーム６のベース２０、２０への熱伝導は熱絶縁部材２１により僅かに抑えられる。さらに、冷却用の空気が図示しない空気供給源から熱絶縁部材２１に形成された空気供給路２７へ流れ、さらにベース２０側の空気通路２５にその中央部から流入する。そして、空気通路２５を流れて前後の流出口２５Ａから流出する間に周囲のベース２０及び熱絶縁部材２１から熱を奪う。さらに、空気供給路２７から流入した空気は空気通路２５の中央部及び通路２６を介して空気通路２４にその中央部から流入する。そして、空気通路２４を流れて前後の流出口２４Ａから流出する間にベース２０側より温度が高い周囲のベース２０の可動子側部分及び熱絶縁部材２１から熱を奪い外部へ放出する。
【００３２】
この結果、熱絶縁部材２１自体の温度上昇を小さく抑えることができ、可動子１３からビーム６のベース２０への熱伝導を僅かに抑えることができ、ビーム６のベース２０の熱変形（線膨張）を抑えることができ、さらに、空気供給手段からの空気をベース２０側の溝２５から可動子１３側の溝２４へ流すことによって、温度の低い空気が最初にベース２０側の溝に流れ、ベース２０の温度を一層低く抑えることができ、ベース２０の熱変形を極力抑えることができる。また、ベース２０に支持部材４０を介して支持されたビーム本体レール３３への熱伝導も僅かに抑えることができ、ビーム本体レール３３の熱変形も極力小さくすることができる。さらに、ベース２０の局部的な温度上昇を防止して熱変形を回避できるので、電子部品装着時の位置決め精度を向上することができる。
【００３３】
また、各ベース２０及びビーム本体レール３３の線膨張係数は可動子１３の線膨張係数より大きいので、温度が低い各ベース２０及びビーム本体レール３３と温度が高い可動子１３との温度差によって発生する各ベース２０及びビーム本体レール３３の熱変形を抑えることができる。
【００３４】
また、部品装着運転に伴うＹ軸リニアモータ７の駆動により、可動子１３が発熱してこの熱により対向した一対の固定子１２、１２の温度が上昇する。このとき、固定子１２、１２の外側の面には、熱伝導部材１６、１６が固定子１２、１２の長手方向、すなわち前後方向ほぼ全幅にわたり設けられているので、固定子１２、１２の熱は熱伝導部材１６、１６に伝わり、短時間で熱伝導率が高い熱伝導部材１６、１６の全体に伝わり放熱され、固定子１２、１２特にベース１４の局部的な温度上昇、すなわち、装着装置１の運転時、ビーム６が頻繁に移動する装置中央部に対応した固定子１２、１２のベース１４の中央部の温度上昇（部分的温度上昇）を抑制でき、固定子１２、１２全体をほぼ同じ温度に保つことができる。この結果、固定子１２、特にベース１４の部分的な熱変形を回避することができる。また、ガイド８の熱も熱伝導部材１６、１６に伝わり、ガイド８の部分的な温度上昇を極力防止することができ、部分的な熱変形を回避することがきる。
【００３５】
特に、可動子１３の左側に位置した固定子１２及び側壁１０が可動子１３により部分的に加熱された場合にも、熱はガイド８の内側の側壁１０と内側の固定子１２とに下部が挟まれた内側の熱伝導部材１６（図３における左側の熱伝導部材）から長手方向全体に伝わり、固定子１２及び側壁１０の部分的な温度上昇を回避でき、この結果、ガイド８の部分的な熱変形を防止することができ、例えば側壁１０に長手方向に設けられたスケールに誤差が発生することを回避し、熱変形による電子部品装着時の位置決め精度の低下を回避することができる。
【００３６】
また、固定子１４からの熱伝導あるいは可動子１３からの輻射などによりガイド８に伝わった熱は、ガイド８の底壁１１に設けられた熱伝導部材１８に伝わり、さらに、可動子１３の近傍に位置した部分以外の開放されている部分も含む熱伝導部材１８全体に短時間で伝わり放熱される。このため、ガイド８の局部的な温度上昇を抑制でき、ガイド８の熱変形を一層確実に回避することができる。
【００３７】
また、可動子１３で発生した熱は下面の放熱部材２８に伝わり、この放熱部材２８から放熱される。このとき、放熱部材２８は複数のフィン２９を一体に備えているので、放熱面積が増加して放熱量を増やすことができるのはもちろん、ビーム６のＹ方向の移動に伴い、フィン２９の周囲を空気が流れ、放熱を一層促進することができ、この結果、可動子１３の温度上昇を極力抑制することができる。
【００３８】
さらに、ビーム６の移動時には、Ｘ軸リニアモータ４２の駆動により、可動子４７が発熱してこの熱により対向した一対の固定子４３、４３の温度が上昇する。このとき、固定子４３、４３の外側の面には、一部がビーム本体レール３３との間に挟まれた熱伝導部材４１、４１が固定子４３、４３の長手方向、すなわちビーム６の左右方向ほぼ全幅にわたり設けられているので、固定子４３、４３の熱は熱伝導部材４１、４１に伝わり、短時間で熱伝導率が高い熱伝導部材４１、４１の全体に伝わり放熱され、固定子４３、４３の温度上昇を抑制できると共に、局部的な温度上昇、すなわち、装着装置１の運転時、装着ヘッド５７が頻繁に移動するビーム６の中央部に対応した固定子４３、４３の中央部の温度上昇を抑制でき、固定子４３、４３全体をほぼ同じ温度に保つことができる。この結果、固定子４３、４３、特にベース４４、４４の熱変形を回避することができる。
【００３９】
また、熱伝導部材４１、４１全体からの放熱により、ビーム本体レール３３全体の温度上昇あるいは局部的な温度上昇を抑制でき、ビーム本体レール３３の熱変形を回避することができる。
【００４０】
また、可動子４７で発生した熱は背面の放熱部材４８に伝わり、この放熱部材４８から放熱される。このとき、放熱部材４８は複数のフィン４８Ｆを一体に備えているので、放熱面積を増加させて放熱量を増やすことができるのはもちろん、装着ヘッド５７のＸ方向の移動に伴い、フィン２９の周囲を空気が流れ、放熱を一層促進することができ、この結果、可動子１３の温度上昇を極力抑制することができる。また、フィン４８Ｆ周囲の温度上昇した空気は開口３９を介して外部へ流れるので、フィン４８Ｆからの放熱が促進され、フィン４８Ｆの放熱効果を一層向上することができる。
【００４１】
その他の実施形態
図３に破線にて示したように、ガイド８の側面長手方向ほぼ全面にガイド８より熱伝導率が高い例えばアルミ、銅あるいは上記ヒートレーンなどの板状の熱伝導部材７０を取り付ける。熱伝導部材７０はガイド８を構成する鉄より熱伝導率が高く、ガイド８の表面に密着するように例えば高熱伝導性接着剤により取り付けられている。また、熱伝導部材７０とガイド８との間に例えば高熱伝導性のグリースを挟み、夫々の間の熱伝導を良くした状態で、熱伝導部材を例えば帯状の金属板にてガイド８に固定しても良い。このようにガイド８の側面に熱伝導部材７０を設けることにより、可動子１３からの輻射熱あるいは周囲の温度上昇した空気によって温度上昇したガイド８の特に中央部付近から熱伝導部材７０に伝わった熱は、熱伝導部材７０全体に伝わり、特に熱伝導部材７０にヒートレーンを用いた場合には、極短時間で熱伝導部材７０全体に伝わり、放熱される。このため、ガイド８の局部的な温度上昇を抑制することができ、ガイド８の部分的な熱変形を回避することができる。なお、熱伝導部材１６と熱伝導部材７０とを一体に形成してもよい。
【００４２】
また、図７に破線にて示したように上記ガイド８と同様に、ビーム本体レール３３の上壁３４の上面ほぼ全体にビーム本体レール３３の熱伝導率より高い例えばヒートレーンである熱伝導部材７４を取り付けた場合には、ビーム本体レール３３から熱伝導部材７４に伝わった熱は、熱伝導部材７４の全体に極短時間で伝わり、放熱される。このため、ビーム本体レール３３の局部的な温度上昇を抑制することができ、ビーム本体レール３３の部分的な熱変形を一層確実に回避することができる。
【００４３】
以上本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【００４５】
【発明の効果】
以上のように本願の請求項１に係る発明によれば、ガイドに設けられた左右の固定子及びビームに設けられた可動子を備えてビームを駆動するリニアモータの左右の固定子の表面及びガイドの側壁表面に固定子及びガイドより熱伝導率が高い熱伝導部材を長手方向にわたり設けたので、ビームの駆動時に、リニアモータの可動子の熱は輻射あるいは周囲の空気を介して可動子から左右の固定子あるいはガイドへ伝わり、この熱は熱伝導部材により左右の固定子及びガイドの長手方向に短時間で伝わり、左右の固定子及びガイドの局部的温度上昇を回避して左右の固定子あるいはガイドの部分的な熱変形を極力小さくすることができ、この結果、電子部品装着時の位置決め精度を向上することができる。
【００４６】
また、ビームを駆動するリニアモータの可動子の下方に位置したガイドの底壁上面にガイドより熱伝導率が高い熱伝導部材を長手方向にわたりほぼ全面に設けたので、固定子からの熱伝導あるいは可動子からの輻射などによりガイドに伝わった熱は、熱伝導部材に伝わり、さらに、可動子の近傍に位置した部分以外の開放されている部分も含む熱伝導部材全体に短時間で伝わり放熱される。このため、ガイドの局部的な温度上昇を抑制でき、ガイドの局部的な熱変形を確実に回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】電子部品装着装置の平面図である。
【図２】図１に示した電子部品装着装置のＡ−Ａ概略断面図である。
【図３】図２の要部拡大断面図（電子部品装着装置の右側上部の断面図）である。
【図４】図１に示した電子部品装着装置のＢ−Ｂ概略断面図である。
【図５】図４の要部拡大断面図である。
【図６】図１に示した電子部品装着装置のＣ−Ｃ概略断面図である。
【図７】図６の要部拡大断面図である。
【図８】装着ヘッドの側面図である。
【符号の説明】
１            電子部品装着装置
３            供給コンベア
５            排出コンベア
６            ビーム
７            Ｙ軸リニアモータ
８            ガイド
１２          固定子
１３          可動子
１６          熱伝導部材
１８          熱伝導部材
２０          ベース
２１          熱絶縁部材
【図１】
0004551015.tif 000002
【図２】
0004551015.tif 000003
【図３】
0004551015.tif 000004
【図４】
0004551015.tif 000005
【図５】
0004551015.tif 000006
【図６】
0004551015.tif 000007
【図７】
0004551015.tif 000008
【図８】
0004551015.tif 000009