(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査対象の凹凸等の欠陥を検査する装置であって、
該被検査対象に対して光を照射する光源と、
前記被検査対象の表面で反射した光を受光する撮影手段とを備えており、
前記光源は、
略シート状の光を前記被検査対象に照射するものであり、
前記撮影手段は、
前記被検査対象で反射した反射光を受光する撮像装置と、
該撮像装置と前記被検査対象との間に設けられた、該撮像装置に入光する前記反射光を制限するスリットを有する絞り部材とからなり、
該絞り部材のスリットは、
その軸方向が、前記被検査対象の表面で反射した前記略シート状の光の反射光と斜めに交差するように形成されている
ことを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２】
前記絞り部材のスリットは、
前記略シート状の光と前記被検査対象との交線および前記撮像装置の光軸を含む平面に対して斜めに交差するように形成されている
ことを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項３】
前記略シート状の光は、
断面形状が、鋸刃状となるように形成されており、
前記絞り部材のスリットは、
その軸方向が、前記反射光の幅方向と直交するように形成されている
ことを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項４】
前記被検査対象が、連続して搬送されるシート状の部材であり、
前記光源は、
前記略シート状の光と前記被検査対象との交線が該被検査対象の搬送方向と交差するように、該被検査対象に対して前記略シート状の光を照射するものである
ことを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項５】
前記光源は、
発光体と、
該発光体と前記被検査対象との間に設けられた遮光部材とからなり、
該遮光部材には、スリットが形成されている
ことを特徴とする請求項１、２、３または４記載の欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、欠陥検査装置に関する。フィルムや金属等からなるシート状の部材は、その製造工程においてその表面に窪みやふくらみなどの欠陥が発生する可能性がある。
本発明は、かかるシート状部材の欠陥の検出に使用される欠陥検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、検査対象の表面欠陥の検出には、光を利用した技術が開発されている。かかる技術では、検査対象の表面に光源から光を照射して、その反射光をＣＣＤ等の撮像装置で測定する構成となっている。かかる構成の場合、凹凸部分は、他の部分に比べて明るくまたは暗く撮影されるので、撮影された画像を解析すれば、画像の明暗に基づいて凹凸等の有無を検出することができる。
【０００３】
しかるに、凹凸等が小さい場合やその凹凸が緩やかな場合には、撮影された画像において、フラットな部分と凹凸部分との明暗の差が小さくなる。しかも、凹凸部分以外からの散乱光の影響により、明暗の差はさらに小さくなるから、凹凸部分の検出が困難になる。
【０００４】
そこで、凹凸等の有無を検出する精度を高くするために、検査対象上に縞状パターンを形成し得るパターン化光源と、ピンホールを有する部材を利用する技術が開発されている（特許文献１）。
この特許文献１の技術では、検査対象に照射された光は、ピンホールによって主光線のみが選択されてカメラにパターン化光源像を形成するので、欠陥の強調および欠陥部位の特定が可能となる旨の記載がある。
【０００５】
しかるに、特許文献１の技術では、ピンホールによって主光線のみを選択しているので、凹凸部分以外からの散乱光の影響を少なくすることができるという点では好ましいが、ピンホールを通して入光される光の光量が非常に少ない。すると、特許文献１の技術は、フラットな部分と凹凸部分との明暗の差だけで欠陥を検出しているので、凹凸の影響による光量の変化とノイズの影響による光量の変化との識別が難しい。
【０００６】
【特許文献１】特開平５−１８９０５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記事情に鑑み、凹凸等の欠陥を簡単な構成で精度よく検出できる欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１発明の欠陥検査装置は、被検査対象の凹凸等の欠陥を検査する装置であって、該被検査対象に対して光を照射する光源と、前記被検査対象の表面で反射した光を受光する撮影手段とを備えており、前記光源は、略シート状の光を前記被検査対象に照射するものであり、前記撮影手段は、前記被検査対象で反射した反射光を受光する撮像装置と、該撮像装置と前記被検査対象との間に設けられた、該撮像装置に入光する前記反射光を制限するスリットを有する絞り部材とからなり、該絞り部材のスリットは、その軸方向が、前記被検査対象の表面で反射した前記略シート状の光の反射光と斜めに交差するように形成されていることを特徴とする。
第２発明の欠陥検査装置は、第１発明において、前記絞り部材のスリットは、前記略シート状の光と前記被検査対象との交線および前記撮像装置の光軸を含む平面に対して斜めに交差するように形成されていることを特徴とする。
第３発明の欠陥検査装置は、第１発明において、前記略シート状の光は、断面形状が、鋸刃状となるように形成されており、前記絞り部材のスリットは、その軸方向が、前記反射光の幅方向と直交するように形成されていることを特徴とする。
第４発明の欠陥検査装置は、第１発明において、前記被検査対象が、連続して搬送されるシート状の部材であり、前記光源は、前記略シート状の光と前記被検査対象との交線が該被検査対象の搬送方向と交差するように、該被検査対象に対して前記略シート状の光を照射するものであることを特徴とする。
第５発明の欠陥検査装置は、第１、第２、第３または第４発明において、前記光源は、発光体と、該発光体と前記被検査対象との間に設けられた遮光部材とからなり、該遮光部材には、スリットが形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
第１発明によれば、撮影手段の撮像装置は、被検査対象の表面で反射した光を絞り部材のスリットを通して受光する。よって、撮影する位置以外の部分で反射した散乱光の影響を少なくすることができるから、凹凸等の欠陥の検出精度を高くすることができる。また、撮影する領域を制限する方法としてスリットを採用しているので、撮影する領域を制限しつつもある程度の光量の光を撮像装置に入光させることができ、ノイズが検出精度に与える影響を抑えることができる。しかも、スリットは、その軸方向が反射光の幅方向と斜めに交差するように形成されているので、光が被検査対象の凹凸等の欠陥で反射した場合にその光量の変化が強調されるから、検出精度を高めることができる。
第２発明によれば、光が被検査対象の凹凸等の欠陥で反射した場合に、その光量の変化が強調されるので、小さな凹凸でも検出精度を高めることができる。
第３発明によれば、鋸刃状のパターンが凹凸等の欠陥で反射したときにパターンのゆがみが生じ、このパターンのゆがみは光量の強弱強弱が連続する信号として検出される。このため、検出される信号強度の変化が強調されるので、被検査対象が大きな膨らみや凹みであっても正確に検出することができる。
第４発明によれば、被検査対象が連続して搬送されるシート状の部材であっても、略シート状の光と被検査対象との交線が形成される部分を連続的に検査することができる。
第５発明によれば、遮光部材のスリットで光を略シート状としているので、光源を簡単な構成とすることができる。しかも、遮光部材のスリットの幅を変えるだけで、略シート状の光の厚さを調整できるから、光が照射される領域、つまり、検査領域の調整を簡単にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
つぎに、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。
図１は本発明の一実施形態にかかわる欠陥検査装置１の説明図であって、（Ａ）は概略斜視図であり、（Ｂ）は概略側面図である。図２（Ａ）は光源１０の遮光部材１２の単体説明図であり、（Ｂ）は撮影手段２０の絞り部材２３、ラインセンサ２１の撮像素子21sおよび平面ＣＦの位置関係を表した図である。図３（Ａ）はラインセンサ２１、レンズ２２、絞り部材２３および被検査対象Ｓの位置関係を示した図であり、（Ｂ）は仮想平面ＩＳ上における反射光の像ＲＩ、スリット領域ＳＡおよび平面ＣＦの関係を示した概略説明図である。
なお、各図では、各装置等の配置等を分かり易くするために、相対的な大きさは、実際とは異なる寸法で記載されている。
【００１１】
図１に示すように、本実施形態の欠陥検査装置１は、フィルムや金属等からなるシート状の部材などの被検査対象Ｓに対して光を照射する光源１０と、被検査対象Ｓの表面で反射した反射光を受光する撮影手段２０とを備えている。
【００１２】
まず、光源１０を説明する。
図１（Ｂ）に示すように、光源１０は、被検査対象Ｓの表面に向けて光を放出する、例えば、蛍光灯やＬＥＤ等の発光体１１を備えている。
この発光体１１と被検査対象Ｓとの間には、発光体１１が放出する光を透過しない素材によって形成された遮光部材１２が設けられている。この遮光部材１２には、スリット12sが設けられており、スリット12sの軸方向12aが被検査対象Ｓの表面と平行となるように配設されている（図２（Ａ））。
【００１３】
このため、光源１０の発光体１１から放出された光のうち、遮光部材１２のスリット12sを通過した光だけが被検査対象Ｓの表面に照射される。この遮光部材１２のスリット12sを通過した光は厚さがスリット12sの幅ｗと同程度である略シート状の光となる。つまり、光源１０は、発光体１１から放出された光を略シート状の光として被検査対象Ｓに照射することができるのである。
以下では、光源１０から被検査対象Ｓの表面に照射される略シート状の光を、単に照射光と呼ぶ。
【００１４】
なお、光源１０を上記のごとき構成とすれば、略シート状の照射光を簡単な構成で形成することができるから、光源１０自体を簡単な構成とすることができる。しかも、遮光部材１２のスリット12sの幅ｗを変えるだけで、照射光の厚さを調整できるから、被検査対象Ｓにおいて照射光が照射される領域（図１では交線ＣＬの部分）、つまり、被検査対象Ｓの検査領域の幅を簡単に調整することができる。
また、光源１０は上記のごとき構成に限られず、被検査対象Ｓの表面に略シート状の光を照射することができるものであればとくに限定されない。
さらに、図１では、被検査対象Ｓの表面に対して斜めから照射光を照射するように光源１０が配設されているが、光を照射する角度はとくに限定されず、被検査対象Ｓの素材や検出する欠陥等に応じて最適な角度に設定することができる。例えば、被検査対象Ｓがやわらかいフィルムであれば、例えば、光を照射する角度が浅い、つまり、照射光と被検査対象Ｓとの間の角が小さい方が欠陥検出精度を高くすることができる。
【００１５】
つぎに、撮影手段２０を説明する。
図１に示すように、撮影手段２０は、被検査対象Ｓで反射した反射光を受光するラインセンサ２１と、このラインセンサ２１に反射光を集光して入光するレンズ２２と、ラインセンサ２１とレンズ２２との間に設けられた絞り部材２３とを備えている。
【００１６】
図２に示すように、ラインセンサ２１は、一列に並んで配置された複数の撮像素子21sを有するものである。このラインセンサ２１は、複数の撮像素子21sが被検査対象Ｓの表面と平行となるように配設されている。言い換えれば、ラインセンサ２１は、その複数の撮像素子21sが前記遮光部材１２のスリット12sの軸方向12aと平行に並ぶように配設されている。
しかも、ラインセンサ２１は、各撮像素子21sの光軸ＬＡが、前記照射光と被検査対象Ｓの交線ＣＬを通過するように配設されている（図１（Ａ））。
なお、各撮像素子21sの光軸ＬＡとは、各撮像素子21sとレンズ２２の中心を結ぶ線を意味しており、各撮像素子21sは光軸ＬＡと被検査対象Ｓとの交点部分を撮影するのである（図３（Ａ））。
【００１７】
前記絞り部材２３は、ラインセンサ２１に入光する反射光を制限するものである。この絞り部材２３は、反射光を透過しない素材によって形成されたものであり、略長方形状に形成された貫通孔であるスリット23sが設けられている。
そして、絞り部材２３は、そのスリット23sの軸方向23aが前記ラインセンサ２１における複数の撮像素子21sが並んでいる方向と斜めに交差するように配設されている（図２（Ｂ））。つまり、絞り部材２３は、そのスリット23sの軸方向23aが、ラインセンサ２１における複数の撮像素子21sの光軸ＬＡ、および、照射光と被検査対象Ｓの表面の交線ＣＬの両方を含む平面ＣＦに対して斜めに交差するように形成されている。
【００１８】
以上のごとき構成であるから、ラインセンサ２１における複数の撮像素子21sは、光源１０から被検査対象Ｓの表面で反射した反射光のうち、絞り部材２３のスリット23sを通過する反射光のみを受光することになる。
つまり、図１（Ｂ）に示すように、被検査対象Ｓとラインセンサ２１との間に平面ＣＦと直交する仮想平面ＩＳを設定したときに、各撮像素子21sは、実質的に、各撮像素子21sの光軸ＬＡと被検査対象Ｓの表面とが交差する領域の近傍からの反射光であって、各撮像素子21sの光軸ＬＡに沿って絞り部材２３のスリット23sを仮想平面ＩＳに投影した領域（以下、スリット領域ＳＡという）を通過する反射光を受光する（図３（Ｂ））。
すると、絞り部材２３を設けない場合に比べれば各撮像素子21sに入光する光量は少なくなるものの、絞り部材２３のスリット23sは略長方形状であるから、ピンホールを設けた場合に比べれば、各撮像素子21sに入光する光量を多く確保できる。
よって、入光量に起因して各撮像素子21sが出力する信号の強度を強くできるので、様々なノイズ等が検出精度に与える影響を抑えることができる。
【００１９】
しかも、絞り部材２３のスリット23sは、各撮像素子21sの光軸と交線ＣＬを含む平面ＣＦに対して斜めに交差するように形成されているから、照射光が被検査対象Ｓの凹凸等の欠陥で反射した場合に、各撮像素子21sに入光する反射光の光量の変化が強調される。つまり、被検査対象Ｓにおいて、凹凸等の欠陥部分で照射光が反射した場合における各撮像素子21sに入光する光量の変化が検出しやすくなり、凹凸等の欠陥を検出する精度を高めることができるのであるが、この理由は後述する。
【００２０】
つぎに、本実施形態の欠陥検査装置１によって欠陥を検出する作業を説明する。
図４は被検査対象Ｓの表面がフラットな場合の説明図であって、（Ａ）は照射光と反射光の関係を示した概略説明図であり、（Ｂ）は仮想平面ＩＳ上における反射光の像ＲＩとスリット領域ＳＡとの関係を示した概略説明図であり、（Ｃ）は検出される光量の位置による変化を示した図である。図５は被検査対象Ｓの表面にふくらみＰがある場合の説明図であって、（Ａ）は照射光と反射光の関係を示した概略説明図であり、（Ｂ）は仮想平面ＩＳ上における反射光の像ＲＩとスリット領域ＳＡとの関係を示した概略説明図であり、（Ｃ）は検出される光量の位置による変化を示した図である。
なお、図４（Ｃ）および図５（Ｃ）では、縦軸が各撮像素子21sによって検出される光量を示しており、横軸は各撮像素子21sが光量を検出する位置を示している。また、図４（Ｂ）および図５（Ｂ）における反射光の像ＲＩとスリット領域ＳＡとが交わる領域（ハッチング部分）を、以下では領域ＣＡで示す。
【００２１】
まず、図４（Ａ）に示すように、被検査対象Ｓの表面がフラットである場合には、被検査対象Ｓの表面上のどの位置でもほぼ同じような反射を示す。
このため、図４（Ｂ）に示すように、仮想平面ＩＳ上における反射光の像ＲＩは、照射光の断面と相似形、つまり、光源１０における遮光部材１２のスリット12sの形状と相似形となる。この場合、仮想平面ＩＳ上において、反射光の像ＲＩとスリット領域ＳＡとが交わる領域ＣＡ（ハッチング部分）の面積は、どの位置でも同じになる。
すると、図４（Ｃ）に示すように、各撮像素子21sが撮影する位置にかかわらず、各撮像素子21sに入光する光量はほぼ同じ光量となるから、各撮像素子21sが出力する信号の強度もほぼ同じとなるので、被検査対象Ｓの表面が欠陥を有しないことを確認できる。
【００２２】
一方、図５（Ａ）に示すように、被検査対象ＳにふくらみＰが存在する場合、このふくらみＰの部分で反射する反射光は、フラットな部分で反射される反射光に対してその反射状態が変化し、仮想平面ＩＳ上における反射光の像ＲＩは、ふくらみＰの部分の像が歪んだ状態となる（図５（Ｂ））。
すると、絞り部材２３のスリット23sが各撮像素子21sの光軸と交線ＣＬを含む平面ＣＦに対して斜めに交差するように形成されているから（図３（Ｂ））、仮想平面ＩＳ上において、反射光の像ＲＩとスリット領域ＳＡとが交わる領域ＣＡの面積は位置によって変化し、ふくらみＰの部分（Ａ〜Ｃの領域）とフラットな部分（Ｄの領域）とで異なることとなる。しかも、ふくらみＰの部分でも領域ＣＡの面積は一定ではなく、図５（Ｂ）の場合であれば、領域ＣＡの面積は、Ａ、Ｂ、Ｃの順で大きくなる。しかも、Ｂの部分、つまり、ふくらみＰの部分の頂点付近では、領域ＣＡの面積がフラットな部分における領域ＣＡの面積とほぼ同じ面積となる。
このため、Ｂの部分近傍を撮影した各撮像素子21sに入光する光量は、フラットな部分（Ｄの部分）を撮影した各撮像素子21sに入光する光量とほぼ同じ光量となる一方、Ａの部分近傍を撮影した撮像素子21sに入光する光量は、フラットな部分を撮影した撮像素子21sに入光する光量が少なくなる。逆に、Ｃの部分近傍を撮影した撮像素子21sに入光する光量は、フラットな部分を撮影した撮像素子21sに入光する光量よりも多くなる。
【００２３】
したがって、本実施形態の欠陥検査装置１では、一つのふくらみＰの部分を撮影した場合でも、各撮像素子21sに入光する光量は、ふくらみＰの部分の頂点を境として、フラットな部分よりも光量が少ない部分と多い部分が連続する波形となる（図５（Ｃ））。つまり、一つのふくらみＰに対して山と谷が一つずつ存在する波形が形成される。
すると、本実施形態の欠陥検査装置１では、検出される信号の波形をも含めてふくらみＰの有無を判断できるから、ふくらみＰの検出精度を高めることができる。
【００２４】
図６には、本実施形態の欠陥検査装置１によって、ふくらみが形成されたシートを撮影した写真を示す。なお、この写真では、上下方向に沿って交線ＣＬが形成されるように本実施形態の欠陥検査装置１を配置して撮影している
図６の写真において、丸で囲まれた部分の中央にふくらみ欠陥が存在しているが、その部分には、上下方向に沿って明るい領域と暗い領域がならんで存在していることが確認できる。つまり、明るい領域が図５におけるＣの領域に相当し、暗い領域が図５におけるＡの領域に相当する。
以上の結果からも、本実施形態の欠陥検査装置１がシート等における表面欠陥の検出に有効であることが確認できる。
【００２５】
なお、絞り部材２３のスリット23sが平面ＣＦに対してなす角θは限定されないが、なす角θが３０〜４５度であれば、光が被検査対象Ｓの凹凸等の欠陥で反射した場合において、その光量の変化がより強調されるから、検出精度を高めることができる。
【００２６】
上記例では、被検査対象Ｓの表面にふくらみＰが存在する場合を例として説明したが、本実施形態の欠陥検査装置１は、凹みであっても検出にも適用できるのはいうまでもない。
【００２７】
また、絞り部材２３のスリット23sと光源１０の相対的な位置は、必ずしも上記のごとき構成でなくてもよく、スリット23sの軸方向23aが被検査対象Ｓの表面で反射した反射光と斜めに交差、つまり、スリット23sの軸方向23aが反射光の表面と交差するようになっていれば、ふくらみＰや凹み等の検出精度を向上することができる。
とくに、ふくらみＰや凹みが大きい場合、つまり、一つのふくらみＰ等の面積が大きい場合であれば、絞り部材２３のスリット23sと光源１０の相対的な位置を以下のごとき構成とすれば、その検出精度を向上することができ、ふくらみＰや凹みを正確に検出することができる。
【００２８】
図７（Ａ）に示すように、光源１０の遮光部材１２において、遮光部材１２の幅方向に沿ってスリット12sの隙間が鋸刃状に変化するように形成する。すると、被検査対象Ｓに照射される略シート状の照射光は、断面形状が鋸刃状になるので、仮想平面ＩＳ上に形成される反射光の像ＲＩも幅方向に沿って鋸刃状に変化する像となる。
一方、前記絞り部材２３のスリット23sは、その軸方向23aが前記ラインセンサ２１における複数の撮像素子21sが並んでいる方向と直交（θ＝９０°）するように配設する（図７（Ｂ））。
かかる構成とすれば、図８（Ａ）に示すように、仮想平面ＩＳ上に形成される反射光の像ＲＩが幅方向に沿って鋸刃状に変化する像となるから、仮想平面ＩＳ上において、反射光の像ＲＩとスリット領域ＳＡとが斜めに交差することになる。つまり、スリット23sの軸方向23aが反射光と斜めに交差することになる。
【００２９】
すると、被検査対象Ｓの表面がフラットである場合には、被検査対象Ｓの表面上のどの位置でもほぼ同じような反射を示すため、仮想平面ＩＳ上における反射光の像ＲＩは、照射光の断面と相似形となるから、絞り部材２３のスリット23sと光源１０が図２に示すような構成の場合と同様に、仮想平面ＩＳ上において、反射光の像ＲＩとスリット領域ＳＡとが交わる領域ＣＡ（ハッチング部分）の面積は、どの位置でも同じになる。
よって、各撮像素子21sが撮影する位置にかかわらず、各撮像素子21sに入光する光量はほぼ同じ光量となり、各撮像素子21sが出力する信号の強度もほぼ同じとなるので、被検査対象Ｓの表面が欠陥を有しないことを確認できる。
【００３０】
一方、被検査対象Ｓにふくらみが存在する場合には、このふくらみの部分で反射する反射光は、フラットな部分で反射される反射光に対してその反射状態が変化し、仮想平面ＩＳ上における反射光の像ＲＩは、ふくらみの部分の像が歪んだ状態となる。
すると、仮想平面ＩＳ上において、ふくらみの部分にはフラットな部分と領域ＣＡの面積が異なる部分が形成されるから、ふくらみが存在することを確認できる（図８（Ｂ）参照）。
【００３１】
しかも、ふくらみの部分内において、領域ＣＡの面積は鋸刃状に変化する像に対応して連続的にかつ小刻みに変化する。すると、絞り部材２３のスリット23sと光源１０が図２に示すような構成の場合に検出される信号は一つのふくらみに対して一つの単位波形（山と谷が一つずつ存在する波形）を有する信号となるのに対し（図５参照）、絞り部材２３のスリット23sと光源１０が図７に示すような構成の場合に検出される信号は一つのふくらみに対して単位波形が複数連続する部分が存在する信号となる。
つまり、欠陥検査装置１によって検出される信号は、強弱強弱が連続する信号となり信号強度の変化が強調されるので、被検査対象Ｓの表面に形成されている一つのふくらみＰや凹みの面積が広くなっていても正確に検出することができる。
【００３２】
また、図９に示すように、被検査対象Ｓが、例えば、製造ラインや検品ラインなどにおいて連続して搬送されるシート状の部材である場合には、光源１０から被検査対象Ｓの表面に入射される照射光と被検査対象Ｓとの交線ＣＬが被検査対象Ｓの搬送方向と交差するように、被検査対象Ｓに対して照射光を照射すれば、被検査対象Ｓを連続して検出することができる。
【００３３】
なお、上記例では、撮影手段２０の撮影装置としてラインセンサを採用した場合を説明したが、撮影装置はラインセンサに限られず、ＣＣＤエリアカメラや、その他のレンズ等を使用した撮像装置等も採用することができる。
また、上記例では、撮影手段２０において、絞り部材２３をレンズ２２と撮影装置２１の間に配設した場合を説明しているが、絞り部材２３は、レンズ２２と被検査対象Ｓとの間に配設してもよく、この場合でも同様の効果を奏する。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明の欠陥検査装置は、フィルムや金属等からなるシート状の部材における窪みやふくらみなど検出に適した装置である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の一実施形態にかかわる欠陥検査装置１の概略説明図であって、（Ａ）は斜視図であり、（Ｂ）は側面図である。
【図２】（Ａ）は光源１０の遮光部材１２の単体説明図であり、（Ｂ）は撮影手段２０の絞り部材２３、ラインセンサ２１の撮像素子21sおよび平面ＣＦの位置関係を表した図である。
【図３】（Ａ）はラインセンサ２１、レンズ２２、絞り部材２３および被検査対象Ｓの位置関係を示した図であり、（Ｂ）は仮想平面ＩＳ上における反射光の像ＲＩ、スリット領域ＳＡおよび平面ＣＦの関係を示した概略説明図である。
【図４】被検査対象Ｓの表面がフラットな場合の説明図であって、（Ａ）は照射光と反射光の関係を示した概略説明図であり、（Ｂ）は仮想平面ＩＳ上における反射光の像ＲＩとスリット領域ＳＡとの関係を示した概略説明図であり、（Ｃ）は検出される光量の位置による変化を示した図である。
【図５】被検査対象Ｓの表面にふくらみＰがある場合の説明図であって、（Ａ）は照射光と反射光の関係を示した概略説明図であり、（Ｂ）は仮想平面ＩＳ上における反射光の像ＲＩとスリット領域ＳＡとの関係を示した概略説明図であり、（Ｃ）は検出される光量の位置による変化を示した図である。
【図６】本実施形態の欠陥検査装置１によってふくらみが形成されたシートを撮影した写真である。
【図７】他の実施形態の欠陥検査装置１の概略説明図であって、（Ａ）は光源１０の遮光部材１２の単体説明図であり、（Ｂ）は撮影手段２０の絞り部材２３、ラインセンサ２１の撮像素子21sおよび平面ＣＦの位置関係を表した図である。
【図８】図７の欠陥検査装置１において仮想平面ＩＳ上における反射光の像ＲＩとスリット領域ＳＡとの関係を示した概略説明図であって、（Ａ）は被検査対象Ｓの表面がフラットな場合の説明図であり、（Ｂ）は被検査対象Ｓの表面にふくらみＰがある場合における部分拡大説明図である。
【図９】連続して搬送される被検査対象Ｓを検査している状態における欠陥検査装置１の概略説明図であって、（Ａ）は斜視図であり、（Ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１          欠陥検査装置
１０          光源
１１          発光体
１２          遮光部材
１２ｓ        スリット
２０          撮影手段
２１          ラインセンサ
２１ｓ        撮像素子
２３          絞り部材
２３ｓ        スリット
Ｓ          被検査対象
ＣＬ          照射光と被検査対象Ｓの表面の交線
ＣＦ          撮像素子の光軸と交線ＣＬとを含む平面
【図１】
0004496257.tif 000002
【図２】
0004496257.tif 000003
【図３】
0004496257.tif 000004
【図４】
0004496257.tif 000005
【図５】
0004496257.tif 000006
【図７】
0004496257.tif 000007
【図８】
0004496257.tif 000008
【図９】
0004496257.tif 000009
【図６】
0004496257.tif 000010