(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送しようとするガラス板の上方に位置する搬送フレーム(1)と、ガラス板の下面に添設されている合紙の下方に挿入される平板ないしフォーク状の搬送爪(6)と、上記合紙のガラス板からはみ出している周縁部を吸着する吸着ヘッド(14)とを備え、前記搬送爪は、前記搬送フレームの対向辺下方部分に向い合わせに配置されて互いに接近離隔する方向に進退駆動され、前記吸着ヘッドは、各搬送爪の両側方に位置して当該搬送爪の下面より低い高さと上面より高い高さとの間を昇降し、当該吸着ヘッドの昇降装置(11)は、吸着ヘッドが上昇したときに、搬送爪の両側の吸着ヘッドが互いに離隔する方向に若干傾斜した昇降運動を当該吸着ヘッドに与え、搬送爪(6)は側部に水平方向に空気を噴出して重力による前記合紙の垂れ下がりを防止する空気噴出孔(10)を備えていることを特徴とする、ガラス板の搬送装置。
【請求項２】
搬送爪(6)がその上面に、搬送途中のガラス板を前記合紙と共に負圧空気で吸引する空気吸引孔(9)を備えていることを特徴とする、請求項１記載のガラス板の搬送装置。
【請求項３】
搬送しようとするガラス板の上方に搬送フレーム(1)を下降し、この搬送フレームの四隅部分に配置された吸着ヘッド(14)を搬送しようとするガラス板の周縁外側部に向けて進出して、当該ガラス板の下面に添設されている合紙(16)の周縁部を吸着し、吸着ヘッド(14)を吸着した合紙の周縁部に張力を付与する方向に退避させつつ上昇した後、ガラス板(15)の対向側辺の下方に搬送爪(6)を挿入し、搬送フレーム(1)を上昇して搬送爪(6)の上面で合紙(16)を介してガラス板(15)の下面を支持して搬送を行い、その搬送時に搬送爪(6)の側部からガラス板の下面に沿う方向に空気を噴出してガラス板周縁部における合紙(16)の垂れ下がりを防止することを特徴とする、ガラス板の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ガラス板を平面的な姿勢を保持して搬送する搬送装置及び方法に関するもので、特にガラス板の表面の傷付きを防止するために、合紙が添設されているガラス板を当該合紙と共に搬送する装置及び方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ、ハードディスクの基板などの製造ラインにおいて、ガラス板を加工する各工程毎の加工機械の間で加工途中のガラス板を搬送するガラス板搬送装置が設けられている。この種のガラス板搬送装置は、前工程の加工機械のテーブル上で水平に載置されているガラス板を次工程の加工機械のテーブル上へと搬送するものであり、搬送途中のガラス板は、通常水平状態を保持している。
【０００３】
ガラス板の搬送装置として、図４に模式的に示すように、空気吸引式の吸着ヘッド１４でガラス板１５の上面を吸着して搬送する装置が一般的に広く用いられている。また図５に示すように、ガラス板１５の周囲の複数箇所をクランプ爪２０で上下方向に軽くクランプして搬送する装置も多く用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
表示デバイスないし電子デバイスの製造に用いるガラス板は、表面の傷付きを極度に嫌う。従ってこれらの製造ラインにおけるガラス板の搬送装置においても、搬送途中におけるガラス板表面の傷付きを避けなければならない。上述した吸着ヘッドやクランプ爪を用いる搬送装置は、ガラス板表面に吸着ヘッドやクランプ爪の痕跡を残すおそれがあるため、この種のガラス板の搬送装置としては、あまり好ましくはない。
【０００５】
ガラス板は表面の傷付きを避けるために、ガラス板相互の間に合紙を挟んだ状態で流通していることが多い。このようなガラス板を加工機械のテーブルに載置して加工をする時、加工上支障がなければ、ガラス板の下面に合紙を添設した状態で加工機械のテーブル上に載置すれば、テーブル上の細かい塵やガラス片などによって、ガラス板の下面が傷付けられるのを防止することができる。そこでガラス板は、下面に合紙を添設した状態で搬送可能とするのが望ましいが、合紙はガラス板に単に添設されているだけであって、重力によってガラス板から離脱したり、周辺部が垂れ下がったりし、更にクランプ爪で挟持するときや、テーブル上に載置するときに折れ曲がったりするため、上述したような従来装置では、下面に合紙を添設した状態でガラス板を搬送することは困難である。合紙はガラス板の周縁を保護するために、ガラス板より寸法が大きなものが用いられており、従って合紙の周縁部は、ガラス板の周縁より外側に突出している。
【０００６】
この発明は、ガラス板の下面に合紙を添設した状態で、周縁部における合紙の垂れ下がりや折れ曲がりを生ずることなく搬送する技術手段を得ることを課題としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明のガラス板の搬送装置は、下面に合紙１６が添設されている状態のガラス板１５の対向辺の下面（従って合紙の下面）に差込んだ搬送爪６でガラス板１５を支持して搬送する構造を備えている。搬送爪６は搬送フレームの対向辺の下方部分に位置しており、搬送フレーム１の対向側辺部から側面視でＬ形ないしコの字形に延びる部材の下辺部分に形成されている。この搬送爪６は、互いに対向する方向に延びる板状ないしフォーク状であって、対向して近接及び離隔する方向に移動することにより、ガラス板１５の（合紙１６の）下方に挿入され、また離脱される。
【０００８】
搬送爪６の両側には吸着ヘッド１４が配置されている。この吸着ヘッド１４は、昇降装置１１を介して搬送フレーム１に装着されている。昇降装置１１は吸着ヘッド１４を搬送爪６の下面より低い位置から搬送爪６の上面より高い位置までのストロークで昇降させる。吸着ヘッド１４は、その上昇時にそれぞれの搬送爪の両側に位置する対となる吸着ヘッド相互が互いに離隔する方向に移動するように若干斜めに昇降する。この斜めの昇降動作は、空気シリンダのような直動型の昇降駆動装置を搬送フレーム１に若干傾斜させて装着することにより実現できる。
【０００９】
搬送爪６は、その側部に水平方向に空気を噴出する空気噴出孔１０を備えている。搬送爪６を４個以上設けるときは、必ずしも必須でないが、好ましくは搬送爪６の上面に空気吸引孔９を設けて、搬送途中のガラス板１５を合紙１６と共に負圧空気で吸引することにより、搬送中のガラス板の姿勢を安定させる。
【００１０】
吸着ヘッド１４は、ガラス板１５の下面に添設されている合紙１６のガラス板からはみ出している周縁部を吸着するためのものである。ガラス板１５の下面に搬送爪６を差込む前に、吸着ヘッド１４で合紙１６を吸着し、吸着ヘッド１４が上動したときに、対となる吸着ヘッド相互が離隔する方向に動いて、合紙に張力を与えることにより、搬送爪６をガラス板１５の下方に差込むときに、合紙１６が垂れ下がって搬送爪と衝突して折れ曲がるのを防止している。搬送爪６の挿入深さは、ガラス板の周辺からはみ出した合紙１６の周縁部に干渉しない差込み深さである。
【００１１】
ガラス板が小面積で軽量であれば、吸着ヘッド１４で合紙１６を引き上げることによってガラス板１５を持ち上げて、その下方に搬送爪６を挿入することができるが、一般的にはガラス板１５が載置されているテーブルに内蔵した昇降ロッドによりガラス板１５を持ち上げて、テーブルとガラス板と共に持ち上げられた合紙との間に搬送爪６を差込む。もしテーブルがガラス板の全面を支持する必要がなければ、テーブルの対向辺部分に搬送爪を挿入する凹部を予め設けておいてもよい。
【００１２】
ガラス板の下方に搬送爪６を挿入した状態で、搬送フレーム１を上昇し、かつ水平方向にも移動させることにより、ガラス板１５は下面を合紙１６を介して搬送爪６で支持されて搬送される。従ってテーブル上においても搬送途中においても、ガラス板表面が傷付くおそれはない。
【００１３】
ガラス板搬送中の、特にガラス板を次工程のテーブルに載置する際には、搬送爪６の空気噴出孔１０から空気をガラス板の下面に沿って噴出して、当該噴出空気により合紙１６を浮揚させ、重力による合紙の垂れ下がりを防止する。これにより合紙が搬送途中に、特に次工程の加工機械のテーブル上にガラス板を載置するときに、垂れ下がって折れ曲がるのを回避することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、実施例を示す図面を参照して、この発明の実施の形態を述べる。図示実施例の搬送装置の搬送フレーム１は、各一対のスライドフレーム２Ｒ、２Ｌとスライドブラケット８Ｒ、８Ｌとを備えている。一対のスライドフレーム２Ｒ、２Ｌは、一端にハンドル４を設けたねじ杆５の右ねじと左ねじとにそれぞれ螺合しており、ハンドル４を手動で回転させて、搬送するガラス板の大きさに合せてスライドフレーム２Ｒ、２Ｌの間隔を調整できるようになっている。一対のスライドブラケット８Ｒ、８Ｌは、サーボモータ２１に連結された第２のねじ杆２２の右ねじと左ねじとにそれぞれ螺合しており、サーボモータ２１の正逆回転により、互いに近接離隔する。
【００１５】
スライドブラケット８Ｒ、８Ｌの外側端には、スライドフレーム２Ｒ、２Ｌの外側下方に延びるブラケット７が固定されており、このブラケットの下端にフォーク状の搬送爪６が内向きにして固定されている。
【００１６】
搬送爪６のガラス板の下方に挿入される先端部分上面には、複数個の空気吸引孔９が開口しており、これらの空気吸引孔は搬送爪６及びブラケット７内の通孔及び図示しない吸気パイプを経て、搬送フレームに搭載した図示しない真空ポンプに連結されている。また搬送爪６の側面には、爪の延在方向の両側方に向けて水平に空気を噴射する複数の噴出孔１０が設けられており、これらの噴出孔１０は搬送爪６及びブラケット７に設けた通孔及び図示しない空圧パイプを経て、搬送フレームに搭載した図示しないブロワに連結されている。複数の噴出孔の爪の先端側のものは、斜め前方外側に向けて空気を噴射するように設けられている。
【００１７】
スライドフレーム２Ｒ、２Ｌには、搬送爪６を挟む両側の位置に、昇降シリンダ１１が若干斜めにして装着されている。この昇降シリンダのロッドの先端には水平に外側に延びるブラケット１２が固定され、このブラケットの先端に下方に延びる空気パイプ１３の円筒形のホルダ２３が固定されている。空気パイプ１３は、ホルダ２３に内蔵した付勢ばね２４で下方に付勢した状態で設けられており、この空気パイプの下端に吸着ヘッド１４が装着されている。昇降シリンダ１１は、搬送爪６の基端側から見て上端が開く逆ハの字状に若干傾斜して装着されている。従って、昇降シリンダ１１が縮退して吸着ヘッド１４が上動したとき、搬送爪６を挟む両側の吸着ヘッド１４は互いに離隔する方向に若干移動する。
【００１８】
次に上記実施例装置のガラス板搬送動作を説明する。
【００１９】
搬送しようとするガラス板１５は、下面に合紙１６を添設した状態でテーブル１７上に載置されている。合紙１６の周縁部１８は、ガラス板１５の外周より外側にはみ出している。テーブル１７には、そのテーブル面から上方に突出する複数の押上げロッド１９を備えている。
【００２０】
搬送装置は、吸着ヘッド１４を上昇させ、搬送爪６を外側に退避させた状態で、搬送フレーム１をガラス板１５の上方に移動させ、更に下動させてガラス板１５の上面に接近させる。搬送フレーム１はガラス板１５の上方に接近した位置で停止し、吸着ヘッド１４に負圧を作用させて吸着ヘッド１４を下降させる。吸着ヘッド１４は、ガラス板１５からはみ出した合紙１６の周縁部１８に向けられており、上記下降動作により吸着ヘッド１４が合紙の周縁部１８に付勢ばね２４の力で押し付けられて合紙を吸引する。次に吸着ヘッド１４を上昇させると、合紙１６の周縁部が持ち上げられ、同時に吸着ヘッド１４の斜めの動きによって、搬送爪６が差込まれる部分の合紙１６に張力が付与される。
【００２１】
この状態でテーブルの押上げロッド１９を上動して、ガラス板１５及びその下面に添設されている合紙１６をテーブル１７から離隔させる。そして搬送爪６を互いに近接する方向に進出させることにより、搬送爪６の先端がテーブル１７と合紙１６との間に挿入される。そこでこの状態で、搬送爪の吸引孔９に負圧を作用させながら、搬送フレーム１を上動すると、ガラス板１５の対向辺下面が搬送爪６で支持され、かつ吸引孔９の負圧で吸引されて、搬送爪６上でのガラス板１５及び合紙１６の移動が固定される。この状態で搬送爪６の噴出孔１０から空気をガラス板１５の下面に沿って噴出して、その空気流によって合紙１６の垂れ下がりを防止しながら、搬送フレーム１を所望の位置に移動することにより、ガラス板１５はその下面に合紙１６を添設した状態で搬送される。所望の位置に搬送されたガラス板は、上記と逆の動作で次工程のテーブル上に載置される。この一連の搬送工程中、テーブル上に載置されているときも含めて、ガラス板１５の下面は合紙１６で保護されており、かつ上面に接触する部材が存在しないので、搬送中におけるガラス板の表面の傷付きが完全に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例の模式的な斜視図
【図２】図1の正面図
【図３】図1の側面図
【図４】従来装置の模式的な斜視図
【図５】他の従来装置の模式的な斜視図
【符号の説明】
１  搬送フレーム
６  搬送爪
10  噴出口
11  昇降シリンダ
14  吸着ヘッド
16  合紙
【図１】
0004516686.tif 000002
【図２】
0004516686.tif 000003
【図３】
0004516686.tif 000004
【図４】
0004516686.tif 000005
【図５】
0004516686.tif 000006