(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力の確認ないし出力の確認を、文字表示確認媒体ないし文字表示装置の文字表示により行う際に起こる目視誤認を防止する、目視誤認防止方法であって、前記文字表示確認媒体ないし文字表示装置の文字表示を得るための、前記文字表示確認媒体ないし文字表示装置に入力させる入力データについて、予め決められた所定の文字を含む文字列については、印刷ないし表示した場合に、その文字列と、その文字列隣に対比参照させて、誤認を防ぐための標記を併記、ないし併列表示するように、一括ないし順次連続して、データ変換処理した後、データ変換処理され、得られたデータを、一括ないし順次連続して、前記文字表示確認媒体ないし文字表示装置の入力とすることを特徴とする目視誤認防止方法。
【請求項２】
請求項１に記載の目視誤認防止方法であって、予め決められた所定の文字を含む文字列に、アルファベット大文字Ｏ（オウ）、およびアルファベット小文字のｌ（エル）を含む文字列が入っており、アルファベット大文字Ｏ（オウ）については、小文字のｏ（オウ）として、誤認を防ぐための標記を行ない、アルファベット小文字のｌ（エル）については、大文字のＬ（エル）として、誤認を防ぐための標記を行なうことを特徴とする目視誤認防止方法。
【請求項３】
入力の確認ないし出力の確認を、文字表示確認媒体ないし文字表示装置の文字表示により行なう際に起こる目視誤認を防止する、目視誤認防止機能を有する装置であって、前記文字表示確認媒体ないし文字表示装置の文字表示を得るための、前記文字表示確認媒体ないし文字表示装置に入力させる入力データについて、予め決められた所定の文字を含む文字列については、印刷ないし表示した場合に、その文字列と、その文字列隣に対比参照させて、誤認を防ぐための標記を併記、ないし併列表示するように、一括ないし順次連続して、データ変換処理を行なう誤認防止処理部を、設けていることを特徴とする目視誤認防止機能を有する装置。
【請求項４】
請求項３に記載の目視誤認防止機能を有する装置であって、フォトマスクパターンデータを作成するため、分割処理、データ合成処理、パタン発生処理の、各種処理を行なうためのデータ処理装置であることを特徴とする目視誤認防止機能を有する装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、入力の確認、ないし処理結果等の出力の確認など、印刷物やディスプレイ等の文字表示確認媒体ないし文字表示装置の文字表示による確認の際に起こる、目視誤認の防止方法と、該目視誤認の防止方法を実施するための目視誤認防止機能を有する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体素子（チップ）の高密度化は激しく、０３５μｍ設計ルールの６４ＭＤＲＡＭの量産もすでに始められ、０．２５μｍ設計ルールの２５６ＭＤＲＡＭの時代へと移ろうとしている。
このため、ウエハへの露光を行うためのマスタマスクを作成するための、あるいは、ウエハへ直接縮小投影するためのレチクルについても、ますますその精度が求められるようになってきた。
更に、最近では、コスト低減を目指したチップ縮小が著しく、６４ＭＤＲＡＭを０．２５設計ルールまで微細化して、あるいは、２５６ＭＤＲＡＭを０．１８設計ルールまで微細化してチップ縮小化を行っている。
ウエハサイズの大サイズ化をせず、現装置でコスト低減が達成されることとなる。
０．１８μｍ設計ルールは開発完了し、２０００年には０．１５μｍから０. １３μｍ設計ルールへの切り換えが行われている。
【０００３】
このような中、レチクル等のフォトマスク作製のためのパターン描画においては、その加工精度はますます厳しく求められ、０．１８μｍ以下の設計ルールでは、可変成形ビーム型ＥＢ描画装置が主流になっている。
このように、フォトマスク作製のためのパターン描画精度が厳しくなってきたが、更に最近では、精度面から、フォトマスクからウエハに投影する際の歪みを考慮した補正を取り入れた、描画用のパタンデータの作成が行われるようになってきた。
また、ウエハ処理の面からダミーパタンを発生させた描画用のパタンデータの作成も行われるようになってきた。
尚、フォトマスクからウエハに投影する際の歪みを考慮した補正を、ＯＰＣ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｐｒｏｘｉｍｉｔｙ  Ｃｏｒｒｅｃｔ）と言う。
このような、可変成形ビーム型ＥＢ描画装置用の描画データの作成は、種々のデータ処理が伴ない、その作業は益々複雑化してきている。
【０００４】
このように、データ処理作業が益々複雑化してきたが、処理における入力ミスは、完全に防ぐことはできず、問題になっていた。
例えば、仕様書を見て、キー入力により、処理を行なうオペレータが、アルファベットの「Ｏ」を数字の「０」と入力ミスをする。
入力の確認のため、入力ログデータを用紙に印刷して仕様書と付け合せ確認するが、印刷された入力結果用紙を見ても、入力ミスを判断することは難しい。
ここでは入力ミスは見つけられないと、入力ミスが入った指示で処理が行われることとなり、処理が期待通りに正常に行われない場合が起きる。
そして、処理結果確認のための情報を用紙に印刷して確認しても、その原因が入力ミスにあることが簡単には確認できない。
このように、無駄な処理が行われ、処理結果が期待通りでない場合に、その原因を入力ミスとつかむまで多大な労力と時間が費やされ、問題となっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、フォトマスク作製のための描画用のパタンデータの作成のための種々のデータ処理においては、処理のための入力のミスは、完全に防ぐことはできず、入力ミスを簡単に把握できる方法が求められていた。
本発明は、これに対応したもので、入力の確認、ないし処理結果等の出力の確認など、印刷物やディスプレイ等の文字表示確認媒体ないし文字表示装置の、文字表示による確認の際に起こる、目視誤認の防止方法を提供しようとするものである。
同時に、目視誤認の防止ができる装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の目視誤認の防止方法は、入力の確認ないし出力の確認を、文字表示確認媒体ないし文字表示装置の文字表示により行う際に起こる目視誤認を防止する、目視誤認防止方法であって、前記文字表示確認媒体ないし文字表示装置の文字表示を得るための、前記文字表示確認媒体ないし文字表示装置に入力させる入力データについて、予め決められた所定の文字を含む文字列については、印刷ないし表示した場合に、その文字列と、その文字列隣に対比参照させて、誤認を防ぐための標記を併記、ないし併列表示するように、一括ないし順次連続して、データ変換処理した後、データ変換処理され、得られたデータを、一括ないし順次連続して、前記文字表示確認媒体ないし文字表示装置の入力とすることを特徴とするものである。
そして、上記において、予め決められた所定の文字を含む文字列に、アルファベット大文字Ｏ（オウ）、およびアルファベット小文字のｌ（エル）を含む文字列が入っており、アルファベット大文字Ｏ（オウ）については、小文字のｏ（オウ）として、誤認を防ぐための標記を行ない、アルファベット小文字のｌ（エル）については、大文字のＬ（エル）として、誤認を防ぐための標記を行なうことを特徴とするものである。
【０００７】
本発明の目視誤認防止機能を有する装置は、入力の確認ないし出力の確認を、文字表示確認媒体ないし文字表示装置の文字表示により行なう際に起こる目視誤認を防止する、目視誤認防止機能を有する装置であって、前記文字表示確認媒体ないし文字表示装置の文字表示を得るための、前記文字表示確認媒体ないし文字表示装置に入力させる入力データについて、予め決められた所定の文字を含む文字列については、印刷ないし表示した場合に、その文字列と、その文字列隣に対比参照させて、誤認を防ぐための標記を併記、ないし併列表示するように、一括ないし順次連続して、データ変換処理を行なう誤認防止処理部を、設けていることを特徴とするものである。
そして、上記の目視誤認防止機能を有する装置であって、フォトマスクパターンデータを作成するため、分割処理、データ合成処理、パタン発生処理の、各種処理を行なうためのデータ処理装置であることを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】
本発明の目視誤認の防止方法は、このような構成にすることにより、入力の確認、ないし処理結果等の出力の確認など、印刷物やディスプレイ等の文字表示確認媒体ないし文字表示装置の、文字表示による確認の際に起こる、判別を間違え易い文字の目視誤認を簡単に防止できる、目視誤認の防止方法の提供を可能にしている。
これにより、フォトマスク作製のための描画用のパタンデータの作成のための種々のデータ処理においては、処理のための判別を間違え易い文字の入力のミスを、簡単に把握することを可能にしている。
本発明の目視誤認の防止方法は、字表示確認媒体ないし文字表示装置の、文字表示による確認の際に表示を変更するもので、入力値や、ログ本文自体に対して変更は全く加わらいものである。
特に、予め決められた所定の文字を含む文字列には、アルファベット大文字Ｏ（オウ）、およびアルファベット小文字のｌ（エル）を含む文字列が入っていることにより、判別を間違え易い文字の目視誤認の大半を防止できるものとしている。
また、本発明の目視誤認防止機能を有する装置は、このような構成にすることにより、文字表示による確認の際に起こる、判別を間違え易い文字の目視誤認を簡単に防止できる装置の提供を可能としている。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態例を挙げ、図に基づいて説明する。
図１は本発明の目視誤認の防止方法の実施の形態の１例を説明するための装置概略構成図で、図２は入力ログの印刷例の図で、図３は従来の印刷例の図である。
図１〜図３中、１１０は入力部、１２０はデータ処理部（補助パタン発生データ処理部、あるいは単に演算部とも言う）、１３０はログ出力部、１４０は誤認防止処理部、１５０は印刷装置、１６０はディスプレイ、２１０、２１１は入力情報印刷用紙、２２０、２２１は入力項目、２３０、２３１は入力内容である。
【００１０】
先ず、本発明の目視誤認防止方法の実施の形態の１例を図１、図２に基づいて説明する。
本例の目視誤認防止方法は、描画装置用のフォトマスクパタンデータに対しダミーパタンデータを発生させる場合の演算処理をする際に、所定の処理を指示する入力データの入力が正常に行われたか否かを、印刷装置にて印刷して目視確認、あるいはディスプレイにて表示し目視確認する際に用られるものであって、例えば図１に示す構成のデータ処理装置にて行なうものであり、目視確認が容易に判別しにくい、数字の０（ゼロ）、数字の１（いち）と、それぞれ、判別が難しい、アルファベット大文字Ｏ（オウ）、アルファベット小文字のｌ（エル）を含む文字列に対し、誤認防止処理部１４０により、その文字列と、その文字列隣に対比参照させて、誤認を防ぐための標記を併記、ないし併列表示するように、一括ないし順次連続して、誤認防止処理（データ変換処理でもある）した後、誤認防止処理により得られたデータを、一括ないし順次連続して、印刷装置１５０ないしディスプレイ１６０に入力して、印刷ないし表示を行ない、印刷された印刷物や文字表示により、入力が正常に行なわれているか否かを確認するものである。
【００１１】
作業者は、仕様書をみて入力し、入力が正常に行なわれたか否かを確認するため、例えば、従来、図３に示すような入力データに対応した印刷結果（入力情報２１１）をみて、仕様書と付け合せをしていたが、この場合、入力項目２２１のＤＡＴＡ  Ｅに対応する入力内容２３１はｍｎｏＭＮＯ０１２３であるが、この印刷表示では文字列「ＭＮＯ」の「Ｏ」がアルファベットのＯ（オウ）なのか、数字の０（ゼロ）なのか判別が難しい。
また、入力項目２２１のＤＡＴＡ  Ｄに対応する入力内容２３１はｊｋｌＪＫＬ０１２３であるが、この印刷表示では文字列「ｊｋｌＪ」の「ｌ」がアルファベットのｌ（エル）なのか、数字の１（いち）なのか判別が難しい。
これに対し、本例の誤認防止方法によれば、図３の場合と同じ入力が行われた場合、図２に示すような、印刷結果（入力情報２１０のこと）が得られ、この印刷結果（入力情報２１０）をみて、仕様書と付け合せをすることになる。
即ち、入力項目２２０のＤＡＴＡ  Ｅに対応する入力内容２３０は、ｍｎｏＭＮＯ０１２３（＊ｍｎｏＭＮｏ０１２３）と印刷され、入力項目２２０のＤＡＴＡ  Ｄに対応する入力内容２３０はｊｋｌＪＫＬ０１２３（＊ｊｋＬＪＫＬ０１２３）と印刷される。
ここで印刷される（＊ｍｎｏＭＮｏ０１２３）部、（＊ｊｋＬＪＫＬ０１２３）部が、誤認防止の標記で、対象となる文字列隣に対比参照させて、誤認を防ぐため印刷されている。
これにより、入力項目２２０のＤＡＴＡ  Ｅに対応する入力内容２３０には、ｍｎｏＭＮＯ０１２３に（＊ｍｎｏＭＮｏ０１２３）を併記してあることにより、入力文字列「ＭＮＯ」の「Ｏ」がアルファベットのＯ（オウ）であると判断できる。
また、入力項目２２０のＤＡＴＡ  Ｄに対応する入力内容２３０には、ｊｋｌＪＫＬ０１２３に（＊ｊｋＬＪＫＬ０１２３）を併記してあることより、入力文字列「ｊｋｌＪ」の「ｌ」がアルファベットのｌ（エル）であると判断できる。
【００１２】
次いで、図１に示す構成のデータ処理装置における、本例の目視誤認防止方法の動作を簡単に説明する。
これを以って、本発明の目視誤認防止機能を有する装置の説明に代える。
先ず、仕様書に基づき、データ処理部１２０で行なうデータ処理の条件を、入力装置１１０にてキー入力して設定し、この条件の下でデータ処理を行なう。
本例では、図２の各入力項目に対応する入力内容（入力データとも言う）が、それぞれ条件に相当する。
入力条件にしたがいデータ処理部１２０は演算処理を行ない、所望のダミーパタンを発生させるデータを得るとともに、ログ出力部１３０は、入力内容、処理結果内容にそった印刷ないし表示させるデータ準備する。
尚、データ処理部１２０はダミーパタンを発生させるデータ処理部であるが、ダミーパタンを発生させるデータ処理は、図形演算処理を伴なうもので、本願出願人の関連出願もあり、その詳細はここでは省略する。
ログ出力部１３０は、準備した、入力内容、処理結果内容にそった印刷ないし表示させるデータを、従来は、そのまま、印刷装置１５０やディスプレイ１６０に送るための処理部であるが、本例の場合は、入力内容、処理結果内容にそった印刷ないし表示させるデータを、いったん誤認防止処理部１４０に送る。
次いで、誤認防止処理部１４０は、目視確認が容易に判別しにくい、数字の０（ゼロ）、数字の１（いち）と、それぞれ、判別が難しい、アルファベット大文字Ｏ（オウ）、アルファベット小文字のｌ（エル）を含む文字列に対し、図２の示すように、その文字列と、その文字列隣に対比参照させて、誤認を防ぐための標記を併記するようなデータに変換を一括ないし順次連続して行なう。
誤認防止処理部１４０は、このような処理を行なう処理部である。
次いで、誤認防止処理部１４０の処理を経て得られたデータが印刷装置１５０やディスプレイ１６０に送られて、印刷ないし表示が行なわれる。
このようにして、印刷ないし表示が行われる。
【００１３】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、入力の確認、ないし処理結果等の出力の確認など、印刷物やディスプレイ等の文字表示確認媒体ないし文字表示装置の、文字表示による確認の際に起こる、目視誤認の防止方法の提供を可能とした。
同時に、目視誤認の防止ができる装置の提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の目視誤認の防止方法の実施の形態の１例を説明するための装置概略構成図
【図２】本発明の目視誤認の防止方法の実施の形態例における入力ログの印刷例の図
【図３】従来の入力ログの印刷例の図
【符号の説明】
１１０            入力部
１２０            データ処理部（補助パタン発生データ処理部、あるいは単に演算部とも言う）
１３０            ログ出力部
１４０            誤認防止処理部
１５０            印刷装置
１６０            ディスプレイ
２１０、２１１    入力情報印刷用紙
２２０、２２１    入力項目
２３０、２３１    入力内容
【図１】
0004422366.tif 000002
【図２】
0004422366.tif 000003
【図３】
0004422366.tif 000004