(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を吸着固定した状態で切断工具により上記基板を切断する基板切断装置であって，
該基板切断装置は基板を固定するための固定テーブルと，基板を吸着するための複数の吸着部材とからなり，
上記複数の吸着部材は，上記切断工具が通過する基板切断箇所を除いた位置において，それぞれ独立して固定テーブルに取付けられており，
上記吸着部材は，基板を固定テーブルの上面よりも浮かせた状態で吸着固定するように，固定テーブルの上面よりも突出して設けた軟質材からなる吸着パッドを有すると共に，
該吸着パッドを固定テーブルに固定するための固定部を有してなり，
上記固定テーブルの裏面側には，真空室が設けられており，
上記吸着パッドには，上記真空室に通ずる吸引口が開口しており，
かつ，上記基板はプリント配線板であり，
また，上記吸着部材は，上記基板の中央部に対応する部分よりも，上記基板の両側端に対応する部分により多く配置され，上記両側端に対応する部分の吸着力がより強くなるよう構成されていることを特徴とする基板切断装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，プリント配線板などの基板を，吸着固定した状態で，切断工具により切断する基板切断装置に関する。
【０００２】
【従来技術】
プリント配線板は，パターン形成をした後に，ダイサーなどにより切断することにより個片化され，製品となる。ここで，プリント配線板の切断の際には，図６に示すごとく，バキューム固定方式にて，固定テーブル９７にプリント配線板９８を吸着させて固定する。固定テーブル９７の裏面側には，真空室９７０が設けられている。真空室９７０は，真空ポンプ９６１及び真空タンク９６２からなる真空装置９６に連結している。
【０００３】
真空室９７０の上面には，開口部９７１が設けられている。真空室９７０の上面は，開口部９７１に対応する部分に吸引穴９１０を有する板ゴム９１により被覆されている。
板ゴム９１により固定テーブル９７を被覆するのは，プリント配線板９８との吸着性を高めるためである。板ゴム９１は，ブロック型であり，部分的に劣化・損傷したときにその部分を含むブロックを交換するように構成されている。
なお，図６において，符号９２，９６３は，真空ホースである。
【０００４】
【解決しようとする課題】
しかしながら，プリント配線板には，反りが発生することがある。特に熱履歴が繰り返されるビルドアップ多層プリント配線板は，反りが大きく，最大１０ｍｍの反りが発生することもある。このため，反りが発生したプリント配線板９８を，固定テーブル９７により固定すると，板ゴム９１とプリント配線板９８との間から空気漏れ（リーク）が発生し，プリント配線板が浮いてしまう。
また，このような反りが発生したプリント配線板９８を固定テーブル９７に固定して切断すると，個片化されたプリント配線板９８が，固定テーブル９７から外れてしまうおそれもある。
【０００５】
また，板ゴムを部分的に取り換えた場合には，ゴムの硬度，厚さにばらつきがある。このため，板ゴム全体の表面性状を合せにくい。
また，板ゴムにはプリント配線板が当たり，板ゴムに傷が発生しやすく，ゴムの劣化が早い。
【０００６】
本発明はかかる従来の問題点に鑑み，基板を確実に固定することができると共に切断容易な基板切断装置を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題の解決手段】
説明の都合上，まず参考発明について説明する。
この参考発明は，基板を固定するための固定テーブルに取付けて基板を吸着するための吸着部材であって，
上記吸着部材は，基板を吸着するための吸着パッドと，該吸着パッドを固定テーブルに固定するための固定部とからなり，
上記吸着パッドは軟質材からなり，該吸着パッドには基板を吸引する吸引口が開口していることを特徴とする基板の吸着部材である。
【０００８】
上記の吸着部材は，吸引口が開口する軟質の吸着パッドを有している。この吸着部材を固定テーブルに取付け，基板をその上に載置する。すると，基板が，吸着パッドに開口している吸引口に吸引され，吸着パッドに対して吸着する。
また，吸着パッドは，軟質材からなるため，反りが発生した基板であっても，基板の反りに追従して，基板を吸着する。
したがって，基板と吸着パッドとの間に空気漏れが発生しにくく，基板の浮きを防止でき，基板を確実に固定することができる。
【０００９】
吸着パッドに用いる軟質材としては，ゴムを用いることが好ましい。ゴムは軟質で弾性を有するため，これを吸着パッドに用いることにより，空気漏れを防止し，吸着パッドが更に基板に吸着しやすくなる。
吸着パッドに開口している吸引口は，減圧吸引力により，基板を吸引する。吸引口は，例えば，固定テーブルの裏面側に設けた真空室に通じている。
吸着パッドの形状は，固定テーブル側から外方側に向けて徐々に拡大していることが好ましい。これにより，吸着パッドの基板に対する吸着力が増大する。
【００１０】
本発明にかかる請求項１の発明は，基板を吸着固定した状態で切断工具により上記基板を切断する基板切断装置であって，
該基板切断装置は基板を固定するための固定テーブルと，基板を吸着するための複数の吸着部材とからなり，
上記複数の吸着部材は，上記切断工具が通過する基板切断箇所を除いた位置において，それぞれ独立して固定テーブルに取付けられており，
上記吸着部材は，基板を固定テーブルの上面よりも浮かせた状態で吸着固定するように，固定テーブルの上面よりも突出して設けた軟質材からなる吸着パッドを有すると共に，
該吸着パッドを固定テーブルに固定するための固定部を有してなり，
上記固定テーブルの裏面側には，真空室が設けられており，
上記吸着パッドには，上記真空室に通ずる吸引口が開口しており，
かつ，上記基板はプリント配線板であり，
また，上記吸着部材は，上記基板の中央部に対応する部分よりも，上記基板の両側端に対応する部分により多く配置され，上記両側端に対応する部分の吸着力がより強くなるよう構成されていることを特徴とする基板切断装置である。
【００１１】
本基板切断装置は，上記吸着部材を，基板固定用の固定テーブルに取付けたものである。
基板を固定するための固定テーブルには，吸着パッドを有する吸着部材が設けられ，吸着パッドには，吸引口が開口している。そのため，基板を固定テーブルの上に配置し真空吸引を開始すると，吸引口付近が減圧される。このため，基板が吸引口に吸引され，吸引口が設けられている吸着パッドに対して吸着する。
【００１２】
また，吸着パッドは，軟質材からなるため，反りが発生した基板に対しても吸着する。
したがって，基板と吸着パッドとの間に空気漏れが発生しがたく，両者の間の基板の浮きを防止でき，基板を確実に固定することができる。
【００１３】
また，複数の吸着部材は，切断工具が通過する基板切断位置を除いた位置において，それぞれ独立して固定テーブルに対して固定されている。そのため，切断工具によって吸着部材が損傷するおそれがない。また，吸着部材の個別交換が可能である。また，新旧の吸着パッドが固定テーブル上に混在したり又は吸着パッドに材質劣化や損傷が生じても，吸着パッドは軟質材であるため，基板の形状に追従して，基板に対する高い吸着性を保持できる。
また，本発明においては，上記吸着部材は，上記基板の中央部に対応する部分よりも，上記基板の両側端に対応する部分により多く配置され，上記両側端に対応する部分の吸着力がより強くなるよう構成されている。
そのため，反りが大きくなる傾向にあるプリント配線板の両側端を吸着部材が強く吸着し，プリント配線板をより強固に固定できる。
そのため，切断工具はプリント配線板のみをスムースに切断することができ，切断時に固定テーブルを損傷することもない。
【００１４】
基板の両端は反り量が大きい部分である。そのため，ここからの空気の漏れを防止するには，基板の形状に追従して吸着する吸着部材を，固定テーブルにおける，少なくとも基板の両端が配置される部位に，１または２以上設けられていることが好ましい。
【００１５】
また，上記吸着部材は，基板を固定テーブルの上面よりも浮かせた状態で吸着固定するように，固定テーブルの上面よりも突出して設けた軟質材からなる吸着パッドを有する。
そのため，切断工具は基板のみをスムースに切断することができ，切断時に固定テーブルを損傷することもない。
【００１６】
本切断装置は，上記のように基板を固定テーブルの上面よりも浮かせた状態で上記吸着部材により固定している。そのため，基板を確実に固定した状態で切断することができる。
なお，切断工具としては，ダイサー，ルータなどがある。
【００１７】
【発明の実施の形態】
実施形態例１
本発明の実施形態に係る基板の切断装置について，図１〜図５を用いて説明する。
本例の切断装置は，図１に示すごとく，プリント配線板８を固定するための固定装置４と，プリント配線板８を切断するための切断工具５とを有している。
固定装置４は，プリント配線板８を固定するための固定テーブル７と，プリント配線板８を吸着するための複数の吸着部材１とからなる。
複数の吸着部材１は，それぞれ独立して固定テーブル７に取付けられている。
【００１８】
即ち，本例の基板切断装置は，プリント配線板８を吸着固定した状態で切断工具５により上記プリント配線板８を切断する基板切断装置であって，該基板切断装置はプリント配線板８を固定するための固定テーブル７と，プリント配線板８を吸着するための複数の吸着部材１とからなる。
上記複数の吸着部材１は，上記切断工具５が通過する基板切断箇所８１（図４）を除いた位置において，それぞれ独立して固定テーブル７に取付けられている。
上記吸着部材１は，プリント配線板８を固定テーブル７の上面よりも浮かせた状態で吸着固定するように，固定テーブルの上面よりも突出して設けた軟質材からなる吸着パッド１１（図１，図２）を有すると共に，該吸着パッド１１を固定テーブル７に固定するための固定部１３（図３）を有している。
上記固定テーブル７の裏面側には，真空室７４（図１）が設けられている。
上記吸着パッド１１には，上記真空室７４に通ずる吸引口１５（図２，図３）が開口している。
図２に示すごとく，吸着部材１は，プリント配線板８を吸着するように固定テーブル７から突出して設けられた吸着パッド１１と，胴体部１２と，吸着パッド１１を固定テーブル７に固定するための固定部１３とからなる。
【００１９】
吸着パッド１１は，ゴム製の軟質材（ＰＩＳＣＯ  ＶＰ４×２０ＥＥＡ）であり，図３（ａ）に示すごとく，逆長円錐台形状である。
胴体部１２は，固定テーブル７に設けた凹状の取付穴７０の中に挿入されている。固定部１３は，ネジ切りされており，ネジ穴７３にネジ留めされている。
吸着パッド１１の中央には，胴体部１２及び固定部１３を貫通する吸引口１５が開口している。吸引口１５は，固定部１３の端部において，固定テーブル７の裏面側に設けられた真空室７４にも開口している。
【００２０】
図２に示すごとく，固定テーブル７には，吸着部材１を取付けるための凹状の取付穴７０が多数設けられている。取付穴７０の底部には，ネジ穴７３が開口している。ネジ穴７３には，吸着部材１の固定部１３がネジ留めされている。
【００２１】
図４（ｂ）に示すごとく，固定テーブル７における，プリント配線板８の両端に対応する部分には，多数の吸着部材１がそれぞれ独立して取付けられている。
即ち，上記複数の吸着部材１は，上記切断工具５が通過する基板切断箇所８１を除いた位置において，それぞれ独立して固定テーブル７に取付けられている。
上記吸着部材１は，プリント配線板８を固定テーブル７の上面よりも浮かせた状態で吸着固定するように，固定テーブル７の上面よりも突出して設けた軟質材からなる吸着パッド１１を有する。
固定テーブル７における，プリント配線板８の中央部に対応する部分には，真空室７４に通ずる吸引用の円形状の開口部９７１が複数開口している。
【００２２】
図１，図２に示すごとく，固定テーブル７の裏面側には，テーブル支持部７５が設けられている。テーブル支持部７５の内部には，真空ホース２が開口する真空室７４が設けられている。
図１に示すごとく，固定テーブル７の真空室７４は，真空ホース２を介して真空装置６と連結している。真空装置６は，空気を吸引するための真空ポンプ６１と，真空タンク６２と，真空ポンプ６１と真空タンク６２との間を連結する真空ホース６３とからなる。
【００２３】
固定テーブル７は，平面方向（Ｘ−Ｙ方向）に移動するように移動装置（図示略）に装着されている。
図５に示すごとく，切断装置５は，ダイサーであり，高速回転する切断ブレード５０と，切断ブレード５０を支持するための支持体５１とを有している。支持体５１は，平面方向に移動するプリント配線板８に対して，その切断部位のみを切断するように，切断ブレード５０を上下動させるように制御されている。
【００２４】
次に，本例の切断装置を用いて，プリント配線板の切断方法について説明する。
まず，図１に示すごとく，固定テーブル７の上にプリント配線板８を配置する。次に，真空ポンプ６１を作動させ，真空タンク６２を開弁する。すると，固定テーブル７の内部の真空室７４が急激に減圧され，吸着パッド１中央の吸引口１５にプリント配線板８が吸引され吸着パッド１に吸着する。また，プリント配線板８の中央部は，それに対応する位置に設けた開口部９７１によって吸引される。これにより，プリント配線板８が固定テーブル７に対して固定される。
【００２５】
次に，図４に示すごとく，プリント配線板８を固定したまま固定テーブル７を平面方向に移動させて，プリント配線板８を平面方向に移動させる。プリント配線板８の切断箇所８１が切断ブレード５０の下方に位置したときに，切断ブレード５０は下降してプリント配線板８の切断箇所８１を切断する。切断箇所８１の切断が終了すると，切断ブレード５０は上昇し，次の切断箇所が下方に位置するのを待つ。
このようにしてプリント配線板のすべての切断箇所の切断を行う。これにより，個片化基板８０を得る。
【００２６】
次に，本例の作用及び効果について説明する。
吸着パッド１１は，ゴム製の軟質材からなるため，プリント配線板８に反りが生じていても，プリント配線板８の形状に追従して，プリント配線板８に対して吸着する。したがって，プリント配線板８と吸着パッド１１との間に空気漏れが発生しがたく，プリント配線板の浮きを防止でき，プリント配線板を確実に固定することができる。
【００２７】
本例では，固定テーブル７におけるプリント配線板８の中央部に対応する部分にも開口部９７１を設けてプリント配線板８を吸引しているが，プリント配線板８の両側端に対応する部分にはより吸着力の強い吸着部材１を配列している。このため，反りが大きくなる傾向にあるプリント配線板８の両側端に吸着部材１が強く吸着する。それゆえ，かかる両端に対応する部分に吸着部材１を設けることにより，単に開口部９７１ばかりでプリント配線板８を固定テーブル７に固定するよりも，より強固に固定できる。
また，上記吸着部材１は，プリント配線板８を固定テーブル７の上面よりも浮かせた状態で吸着固定するように，固定テーブル７の上面よりも突出して設けた軟質材からなる吸着パッド１１を有する。
そのため，切断工具５はプリント配線板８のみをスムースに切断することができ，切断時に固定テーブル７を損傷することもない。
【００２８】
【発明の効果】
本発明によれば，基板を確実に固定することができると共に切断容易な基板切断装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態例１の切断装置の説明図。
【図２】実施形態例１における，固定テーブルの断面図。
【図３】実施形態例１における，吸着部材の平面図（ａ），斜視図（ｂ），及び側面図（ｃ）。
【図４】実施形態例１における，プリント配線板を配置した固定テーブルを示すための図４（ｂ）のＡ−Ａ線矢視断面図（ａ），及び固定テーブルの平面図（ｂ）。
【図５】実施形態例１における，切断装置の平面図（ａ）及び側面図（ｂ）。
【図６】従来例における，基板の固定装置の説明図。
【符号の説明】
１．．．吸着部材，
１１．．．吸着パッド，
１２．．．本体部，
１３．．．固定部，
１５．．．吸引口，
２．．．真空ホース，
４．．．固定装置，
５．．．切断工具，
６．．．真空装置，
７．．．固定テーブル，
７４．．．真空室，
８．．．プリント配線板，
８０．．．個片化基板，
【図１】
0004538872.tif 000002
【図２】
0004538872.tif 000003
【図３】
0004538872.tif 000004
【図４】
0004538872.tif 000005
【図５】
0004538872.tif 000006
【図６】
0004538872.tif 000007