(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＳＩレイアウトデータを用いて、該ＬＳＩレイアウトデータ上の任意の領域の図形情報を表示するための、表示装置であって、ＬＳＩレイアウトデータを記録する磁気ディスク装置と、前記磁気ディスク装置より、ＬＳＩレイアウトデータを読み込み、ＬＳＩレイアウトデータのデータファイル内の、個々の図形情報の連続した並びにおいて、順に、連続する任意の数の図形情報を１つの集合として捉えて、全体を複数の集合に分け、各集合毎に、集合内の図形情報、集合領域情報、集合内の図形情報のＬＳＩレイアウトデータのデータファイル上の位置情報を持たせた、ＬＳＩレイアウトデータに対応した地図情報を作成する前処理装置と、前処理装置により作成された地図情報を利用して、ＬＳＩレイアウトデータにおける任意の表示領域を構成する図形情報を検索する図形検索装置と、検索した図形情報を表示するディスプレイ装置と、表示するＬＳＩレイアウトデータ名を指定し、ＬＳＩレイアウトデータ上の任意の領域を拡大、縮小表示する為の領域を指定する入力装置とを備えていることを特徴とするＬＳＩレイアウトデータ表示装置。
【請求項２】
請求項１に記載のＬＳＩレイアウトデータ表示装置であって、前処理装置は、該磁気ディスク装置より、ＬＳＩレイアウトデータを読み込み、ＬＳＩレイアウトデータのデータファイル内の、個々の図形情報の連続した並びにおいて、順に、連続する任意の数の図形情報を１つの集合として捉えて、全体を複数の集合に分け、集合毎にそれに含まれる図形情報を割り振った集合情報を得る集合化処理を行なう、図形集合化手段と、各集合毎に、集合内の全ての図形情報がその内部に存在するレイアウトデータ内の方形領域を集合領域とし、集合領域を求める集合領域計算処理を行なう、図形集合領域計算手段と、各集合について、集合内の図形情報のＬＳＩレイアウトデータのデータファイル上の位置を特定する位置情報を持たせる、ファイル内位置検出処理を行なう、ファイル内位置検出手段と、前記各手段により個別に得られる集合情報、集合領域情報、位置情報を、各集合毎にまとめ、これを順に並べ、ＬＳＩレイアウトデータに対応した地図情報を作成する地図情報作成処理を行なう、地図情報作成手段とを備えたものであることを特徴とするＬＳＩレイアウトデータ表示装置。
【請求項３】
請求項１ないし２のいずれか１項に記載のＬＳＩレイアウトデータ表示装置であって、ＬＳＩレイアウトデータが大規模ＬＳＩレイアウトデータであることを特徴とするＬＳＩレイアウトデータ表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＬＳＩレイアウトデータを表示するためのデータ表示装置に関し、特に、ＬＳＩの大規模ＬＳＩレイアウトデータを拡大、縮小表示し、図形情報の目視確認ならぴに、解析等を行う場合に有利なデータ表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器の高機能化と軽薄短小の傾向から、ＡＳＩＣに代表される種々のＬＳｌには、ますます高集積化、高機能化が求められるようになってきた。
上記ＡＳＩＣ等のＬＳＩは、機能、論理設計、回路設計、レイアウト設計等を経て、フォトマスクパタン作製用の図形データを作製し、これを用いてフォトマスクを作製した後、フォトマスクのパタンをウエハ上に縮小投影露光等により転写して、半導体素子作製のプロセスを行うという数々の工程を経て作製されるものである。
【０００３】
このような中、ＬＳＩ産業界では、一般的に、ＬＳＩ設計工程及びフオトマスク製造工程における、ＬＳＩレイアウトデータのファイルフォーマットとし、ストリームフォーマット（ＳＴＲＥＡＭＦＯＲＭＡＴ）を使用している。
このストリームフォーマットのデータをディスプレイ装置上に表示し、拡大、縮小表示を行いながら、ＬＳＩレイアウトの確認ならびに欠陥解析を行っている。
ストリームフォーマットのデータをディスプレイ装置に表示する場合、ファイルの先頭から末尾まで、表示領域に存在する図形情報を逐次検索していき、全データ検索の結果、表示対象となった図形情報を表示している。
任意の表示領域を、拡大、縮小表示する場合においても、データの先頭から末尾まで全てのデータを検索した結果から、該当する図形情報を表示している。
このように、従来は、ＬＳＩレイアウトデータの図形情報の表示に際、表示領域の拡大・縮小表示の度に大規模なデータを全検索していたが、近年、ＬＳＩレイアウトデータの大規模化は急で、所望の図形情報を表示させる為の時間がファイルサイズに比例して増大して、実用レベルでなくなってきた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、近年、ＬＳＩレイアウトデータの大規模化がますます進む中、ＬＳＩレイアウトデータの図形情報の表示において、あるいは、表示領域の拡大、縮小表示の度に、表示のための所要時間が実用レベル以上かかり、その対応が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、ＬＳＩレイアウトデータのファイルサイズが大規模化した場合でも、サイズに依存せず、ＬＳＩレイアウトデータの図形情報の表示、あるいは、表示領域の拡大、縮小表示を、実用レベルの時間内で行なえる表示装置を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明のＬＳＩレイアウトデータ表示装置は、ＬＳＩレイアウトデータを用いて、該ＬＳＩレイアウトデータ上の任意の領域の図形情報を表示するための、表示装置であって、ＬＳＩレイアウトデータを記録する磁気ディスク装置と、前記磁気ディスク装置より、ＬＳＩレイアウトデータを読み込み、ＬＳＩレイアウトデータのデータファイル内の、個々の図形情報の連続した並びにおいて、順に、連続する任意の数の図形情報を１つの集合として捉えて、全体を複数の集合に分け、各集合毎に、集合内の図形情報、集合領域情報、集合内の図形情報のＬＳＩレイアウトデータのデータファイル上の位置情報を持たせた、ＬＳＩレイアウトデータに対応した地図情報を作成する前処理装置と、前処理装置により作成された地図情報を利用して、ＬＳＩレイアウトデータにおける任意の表示領域を構成する図形情報を検索する図形検索装置と、検索した図形情報を表示するディスプレイ装置と、表示するＬＳＩレイアウトデータ名を指定し、ＬＳＩレイアウトデータ上の任意の領域を拡大、縮小表示する為の領域を指定する入力装置とを備えていることを特徴とするものである。
そして、上記ＬＳＩレイアウトデータ表示装置であって、前処理装置は、該磁気ディスク装置より、ＬＳＩレイアウトデータを読み込み、ＬＳＩレイアウトデータのデータファイル内の、個々の図形情報の連続した並びにおいて、順に、連続する任意の数の図形情報を１つの集合として捉えて、全体を複数の集合に分け、集合毎にそれに含まれる図形情報を割り振った集合情報を得る集合化処理を行なう、図形集合化手段と、各集合毎に、集合内の全ての図形情報がその内部に存在するレイアウトデータ内の方形領域を集合領域とし、集合領域を求める集合領域計算処理を行なう、図形集合領域計算手段と、各集合について、集合内の図形情報のＬＳＩレイアウトデータのデータファイル上の位置を特定する位置情報を持たせる、ファイル内位置検出処理を行なう、ファイル内位置検出手段と、前記各手段により個別に得られる集合情報、集合領域情報、位置情報を、各集合毎にまとめ、これを順に並べ、ＬＳＩレイアウトデータに対応した地図情報を作成する地図情報作成処理を行なう、地図情報作成手段とを備えたものであることを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれか１項に記載のＬＳＩレイアウトデータ表示装置であって、ＬＳＩレイアウトデータが大規模ＬＳＩレイアウトデータであることを特徴とするものである。
【０００６】
尚、大規模ＬＳＩレイアウトデータとは、ここでは、一般に知られるところの数百万個以上のトランジスタを搭載したロジックＬＳＩ、メモリーＬＳＩ、ＡＳＩＣのレイアウトデータであり、そのファイルサイズもギガバイトオーダーであることを意味する。
【０００７】
【作用】
本発明のＬＳＩレイアウトデータ表示装置は、上記のような構成にすることにり、ＬＳＩレイアウトデータのファイルサイズが大規模化した場合でも、サイズに依存せず、ＬＳＩレイアウトデータの図形情報の表示、あるいは、表示領域の拡大、縮小表示を、実用レベルの時間内で行なえる表示装置の提供を可能としている。
具体的には、ＬＳＩレイアウトデータを記録する磁気ディスク装置と、前記磁気ディスク装置より、ＬＳＩレイアウトデータを読み込み、ＬＳＩレイアウトデータのデータファイル内の、個々の図形情報の連続した並びにおいて、順に、連続する任意の数の図形情報を１つの集合として捉えて、全体を複数の集合に分け、各集合毎に、集合内の全ての図形情報がその内部に存在するレイアウトデータ内の方形領域を集合領域とし、データファイル上で、図形情報に位置情報を持たせ、更に、各集合毎に、図形情報、集合領域情報、位置情報を持たせて、集合順に並べ、ＬＳＩレイアウトデータに対応した地図情報を作成する前処理装置と、前処理装置により作成された地図情報を利用して、ＬＳＩレイアウトデータにおける任意の表示領域を構成する図形情報を検索する図形検索装置と、検索した図形情報を表示するディスプレイ装置と、表示するＬＳＩレイアウトデータ名を指定し、ＬＳＩレイアウトデータ上の任意の領域を拡大、縮小表示する為の領域を指定する入力装置とを備えていることにより、これを達成している。
即ち、本発明のＬＳＩレイアウトデータ表示装置では、ＬＳＩレイアウトの指定領域を、実用レベルの所定時間の範囲内で表示するため、前処理装置によって図形集合の地図情報を予め準備しておき、実際の表示の際、この地図情報を基に、ＬＳＩレイアウトデータ中の特定箇所から図形検索し表示するもので、従来に見られるような、全てのデータの検索を必要としないことから、データサイズに依存せず、表示時間を実用レベルの所定時間の範囲内に抑えることが可能となる。
特に、ＬＳＩレイアウトデータが大規模ＬＳＩレイアウトデータである場合には、有効である。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態例を挙げ、図に基づいて説明する。
図１は本発明のＬＳＩレイアウトデータ表示装置の実施の形態の１例の構成と、その動作を説明するための概略図で、図２は集合情報と集合情報の作成を説明するための図で、図３は領域情報と領域情報の作成を説明するための図で、図４は位置情報と位置情報の作成を説明するための図で、図５は地図情報を示した図で、図６は表示領域指定による表示図形抽出を説明するための図である。
図１〜図６中、１１０は入力装置、１２０はディスプレイ装置、１３０は磁気ディスク装置、１３０ｄはＬＳＩレイアウトデータ、１４０は前処理装置、１４１は図形集合化手段、１４１ｄは集合情報、１４２は図形集合領域計算手段、１４２ｄは領域情報、１４３はファイル内位置検出手段、１４３ｄは位置情報、１４４は地図情報作成手段、１４４ｄは地図情報、１５０は図形検索装置、１５１は図形検索範囲取得手段、１５１ｄは検索範囲情報、１５２は図形検索手段、１５２ｄは表示図形、３１０はレイアウトデータ領域、３２０は図形集合１の集合領域、６１０はＬＳＩレイアウトデータ領域、６２０は表示領域、６３０は図形集合１の集合領域、６３１は図形１、６３２は図形２、６３３は図形３、６４０は図形集合２の集合領域、６５０は図形集合３の集合領域である。
【０００９】
本発明のＬＳＩレイアウトデータ表示装置の実施の形態の１例を、図１に基づいて説明する。
本例は、ＬＳＩレイアウトデータを記録する磁気ディスク装置１３０と、磁気ディスク装置１３０より、ＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄを読み込み、ＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄのデータファイル内の、個々の図形情報の連続した並びにおいて、順に、連続する任意の数の図形情報を１つの集合として捉えて、全体を複数の集合に分け、各集合毎に、集合内の図形情報、集合領域情報、集合内の図形情報のＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄのデータファイル上の位置情報を持たせた、ＬＳＩレイアウトデータに対応した地図情報１４４ｄを作成する前処理装置１４０と、前処理装置１４０により作成された地図情報１４４ｄを利用して、ＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄにおける任意の表示領域を構成する図形情報を検索する図形検索装置１５０と、検索した図形情報を表示するディスプレイ装置１２０と、表示するＬＳＩレイアウトデータ名を指定し、ＬＳＩレイアウトデータ上の任意の領域を拡大、縮小表示する為の領域を指定する入力装置１１０とを備えるものである。
本例における前処理装置１４０は、磁気ディスク装置１３０より、ＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄを読み込み、ＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄのデータファイル内の、個々の図形情報の連続した並びにおいて、順に、連続する任意の数の図形情報を１つの集合として捉えて、全体を複数の集合に分け、集合毎にそれに含まれる図形情報を割り振った集合情報１４１ｄを得る集合化処理を行なう、図形集合化手段１４１と、各集合毎に、集合内の全ての図形情報がその内部に存在するレイアウトデータ内の方形領域を集合領域とし、集合領域を求める集合領域計算処理を行なう、図形集合領域計算手段１４２と、各集合について、集合内の図形情報のＬＳＩレイアウトデータのデータファイル上の位置を特定する位置情報を持たせる、ファイル内位置検出処理を行なう、ファイル内位置検出手段１４３と、各手段により個別に得られる集合情報１４１ｄ、集合領域情報１４２ｄ、位置情報１４３ｄを、各集合毎にまとめ、これを順に並べ、ＬＳＩレイアウトデータに対応した地図情報１４４ｄを作成する地図情報作成処理を行なう、地図情報作成手段１４４とを備えたものである。
【００１０】
更に、各部について説明する。
ディスプレイ装置１２０は、従来と同様の図形情報を基に画面上に図形を表示するものである。
入力装置１１０は、例えば、表示するＬＳＩレイアウトデータ名を入力するキーボードと、ＬＳＩレイアウト中の任意の表示領域を指定するマウスから構成される。
磁気ディスク装置１３０は、ＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄをストリームフォーマット（ＳＴＲＥＡＭＦＯＲＭＡＴ）形式等のファイルとして保存している。
磁気ディスク装置１３０は、検索範囲情報１５１ｄが指定されると、ファイル内の指定された始点位置から図形データを１つづつ出力し、指定された終点位置に達するまで繰り返し図形データを出力する。
尚、指定のない場合は、ファイル先頭から図形データを１つづつファイルの最後まで順に出力する。
前処理装置１４０は、４つの手段（１４１〜１４４）を用い、磁気ディスク装置１３０から表示対象のＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄを読み込み、地図情報１４４ｄを出力する。
図形集合化手段１４１はＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄの図形情報を順に読み、読み込んだ図形情報の順に個数をカウントし、図形情報の数が一定個数に達した時点で一つの集合と認識し、集合情報を作成する。
図形集合領域計算手段１４２は、各図形集合毎に、図形集合の構成要素である全ての図形情報が存在しうる最小の領域（方形領域）、即ち、２次元座標系における左下Ｘ、Ｙ座標、及び右上Ｘ、Ｙ座標を求め、領域情報１４２ｄを作成する。
ファイル内位置検出手段１４３は、各図形集合毎に、図形集合の構成要素である図形情報の１つめのファイル内位置と最後の図形情報のファイル内位置を、ファイル先頭からの長さによって求め、図形集合の、ＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄ上での始点及び終点を位置情報１４３ｄとして作成する。
地図情報作成手段１４４は、図形データから作成された各図形集合毎の集合情報１４１ｄ、領域情報１４２ｄ、位置情報１４３ｄを１つにまとめ、地図情報１４４ｄを作成する。
【００１１】
図形検索装置１５０は、図形検索範囲取得手段１５１、図形検索手段１５２の２つの手段を用いて、表示領域と、地図情報１４４ｄとから、表示対象の集合を特定し、これを基に、ＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄから、特定された集合に対応する目的の図形情報を得て、表示図形１５２ｄ抽出し、これをディスプレイ装置１２０に出力する。
図形検索範囲取得手段１５１は、表示領域を入力とし、ＬＳＩレイアウトデータ内の表示領域を認識する。
この表示領域と重なる図形集合を、地図情報１４４ｄ内から検索する。
検索の結果得られる図形集合の位置情報１４４ｄからファイル内の図形検索を行う始点と終点を検索範囲情報１５１ｄとして出力する。
図形検索手段１５２は、検索範囲情報１５１ｄから得られるファイル内の始点から、１つづつ図形データを読み込む。
図形データが表示領域にある場合は、図形データをディスプレイ装置１２０へ表示図形１５２ｄとして出力する。
【００１２】
以下、具体的に、本例のＬＳＩレイアウトデータ表示装置の、各部の動作を、簡単に説明する。
尚、ここでは、説明を分かり易くするため、磁気ディスク装置１３０に格納されている、図形１から図形ｎまでのｎ個の図形からなるＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄを処理対象とし、図形３個を１つの図形集合として処理を行い、その表示領域を指定して、ディスプレイ装置１２０にＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄの表示領域内の図形のみを表示させる場合について、各部の動作を説明する。
先ず、入力装置１１０は、処理対象のＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄを、そのデータ名で指定し、処理を指示すると、前処理装置１４０は、磁気ディスク装置１３０から出力される図形データを図形集合化手段１４１にて１つづつ読み込み、図形３個を１つの図形集合とする集合情報１４１ｄを作成する。
ＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄは、図２（ａ）のようなファイル構造で、図形１〜図形３が図形集合１、図形４〜図形６が図形集合２のように、図形３個を１つの図形集合としていく。
そして、図２（ｂ）に示すファイル構造の集合情報１４１ｄを作成する。
【００１３】
同時に、図形集合化された図形をもとに、図形集合領域計算手段１４２にて、各図形集合の領域を計算し、領域情報１４２ｄを作成する。
図３（ａ）に示すように、ＬＳＩレイアウトデータの各図形は、各図形集合にわけられるが、図形集合１の３個の図形にいて、その領域を示すと、図３（ｂ）のようになる。
図形１〜図形３を囲む最小領域（方形領域）を図形集合１の集合領域３２０として求める。
これは、図３（ｂ）の点線方形内領域で、ここでは、領域の左下座標（０，０）と、右上座標（１，１）で、その領域を示すものとする。
領域情報１４２ｄのファイル構造は、図３（ｃ）のようになる。
【００１４】
一方、ファイル内位置検出手段１４３にて、図４（ａ）に示すように、データファイルには、通常、ファイル内位置（シークポイント）が付与され、図形情報にはファイル上の位置情報があるが、これより、図４（ｂ）に示すようなファイル構造の、各図形集合毎に、データファイル上での位置情報を持たせた、位置情報１４３ｄを作成する。
図４（ａ）から、図形集合１を例にすると、図形１の先頭位置はファイル先頭から０の位置にあり、図形３の末尾は１５の位置にある。
図形集合１の始点は０、終点は１５となる。
同様に、図形集合２の始点は１５、終点は３０となり、図形集合ｍの始点はｉ、終点はｉ＋１５となる。
これより、集合毎に、始点、終点情報を持つ、位置情報１４３ｄを得ることができる。
【００１５】
次いで、ＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄの全ての図形データについて、前述の図形集合化手段１４１、図形集合領域計算手段１４２、ファイル内位置検出手段１４３による処理が終了した時点において、得られた、全図形集合に対する集合情報１４１ｄ、領域情報１４２ｄ、位置情報１４３ｄを基に、地図情報作成手段１４４にて、これらの集合情報１４１ｄ、領域情報１４２ｄ、位置情報１４３ｄを図形集合単位でまとめ、図５に示す、ファイル構造の地図情報１４４ｄを作成する。
【００１６】
次に、地図情報１４４ｄを基に、表示領域を指定して、ＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄの、その領域内の図形を表示する。
入力装置１１０により、図形検索装置１５０に対し、表示領域６２０が指示されると、図形検索範囲取得手段１５１にて、表示領域と地図情報１４４ｄを比較し、検索範囲情報１５１ｄを求める。
表示領域６２０は、ＬＳＩレイアウトデータ領域上の任意の領域を矩形（方形）で表現した座標とする。
各集合について、表示領域６２０と地図情報１４４ｄの領域情報とを比較することにより、表示領域に対応する集合のみが得られる。
ここでは、分かり易くするため、（−０. ５、０. ５）〜（０. ５、２）の範囲の表示領域６２０の図形のみをディスプレイ装置１２０に表示する場合を挙げ、説明する。
表示領域と地図情報の領域情報とを比較により、この場合（図３（ｃ）の領域情報参照）、図形集合１が表示領域に対応する集合として検索される。
図６（ａ）に示すように、表示領域６２０は、図形集合１の集合領域６３０と重なる。
これにより、ＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄ中の図形検索範囲は、地図情報１４４ｄにより、始点０から終点１５と判断することができる。
即ち、検索範囲がＬＳＩレイアウトデータ１３０ｄのファイル内の始点０から終点１５であるという検索範囲情報１５１ｄが得られる。
【００１７】
次に、図形検索手段１５２によって、表示図形１５２ｄを特定する。
図形検索手段１５２は、磁気ディスク装置１３０をアクセスし、検索範囲情報１５１ｄに基づく、ファイル内の始点位置０から終点１５まで、図形データを１つづつ繰り返し読み込む。
繰返し読み込まれた図形データは、その図形情報から、表示領域に重なるもののみが抽出され、ディスプレイ装置１２０に出力される。
即ち、図形集合１の各図形、図形１〜図形３が図３（ｂ）に示されるものである場合、図６（ｂ）に示すように、図形３（６３３）のみが、表示領域に含まれ、図形３（６３３）のみがディスプレイ装置１２０へ出力される。
【００１８】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、ＬＳＩレイアウトデータのファイルサイズが大規模化した場合でも、サイズに依存せず、ＬＳＩレイアウトデータの図形情報の表示、あるいは、表示領域の拡大、縮小表示を、実用レベルの時間内で行なえる表示装置の提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＬＳＩレイアウトデータ表示装置の実施の形態の１例の構成と、その動作を説明するための概略図
【図２】集合情報と集合情報の作成を説明するための図
【図３】領域情報と領域情報の作成を説明するための図
【図４】位置情報と位置情報の作成を説明するための図
【図５】地図情報を示した図
【図６】表示領域指定による表示図形抽出を説明するための図
【符号の説明】
１１０            入力装置
１２０            ディスプレイ装置
１３０            磁気ディスク装置
１４０            前処理装置
１４１            図形集合化手段
１４１ｄ          集合情報
１４２            図形集合領域計算手段
１４２ｄ          領域情報
１４３            ファイル内位置検出手段
１４３ｄ          位置情報
１４４            地図情報作成手段
１４４ｄ          地図情報
１５０            図形検索装置
１５１            図形検索範囲取得手段
１５１ｄ          検索範囲情報
１５２            図形検索手段
１５２ｄ          表示図形
３１０            レイアウトデータ領域
３２０            図形集合１の集合領域
６１０            ＬＳＩレイアウトデータ領域
６２０            表示領域
６３０            図形集合１の集合領域
６３１            図形１
６３２            図形２
６３３            図形３
６４０            図形集合２の集合領域
６５０            図形集合３の集合領域
【図１】
0004422317.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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