(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空室内でフィルム上に成膜するフィルム成膜方法であって、
前記フィルムの周縁部を中央部が開口した一対の治具で挟持して前記フィルムを展張するとともに、前記一対の治具を締結具で締結し、この治具に展張したフィルムの非成膜側の面にＣｕからなる冷却治具を密着させて当該フィルムを冷却しつつ成膜することを特徴とするフィルム成膜方法。
【請求項２】
真空室内でフィルム上に成膜するフィルム成膜装置であって、
中央部が開口しており、前記フィルムの周縁部を挟持して前記フィルムを展張する一対の治具と、前記一対の治具を締結する締結具と、前記治具に展張されたフィルムの非成膜側の面に密着して前記フィルムを冷却するＣｕからなる冷却治具とを有することを特徴とするフィルム成膜装置。
【請求項３】
フィルムに密着する冷却治具の一側面が球面状をなすことを特徴とする請求項２に記載のフィルム成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルム上に薄膜を形成するフィルム成膜方法および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電子部品に使用する電極等の薄膜を樹脂フィルムなどのフィルム上に形成するには、たとえば図４に示すようなスパッタリング装置において、チャンバー３１の内部にフィルム３２を支持治具３３により展張して固定し、真空ポンプ３４でチャンバー３１内を真空状態としたうえで、Ａｒガス３５を導入しながら所定の圧力にてスパッタリングを行い、フィルム３２の上にターゲット３６の材料からなる薄膜を形成させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような従来の成膜方法では、成膜速度をあげると、フィルム３２が成膜時の熱で伸びたり破れてしまったりして、所望の商品が得られず、それを防止するために成膜速度を抑えざるをえなかった。
本発明は上記問題を解決するもので、成膜速度をあげてもフィルムに伸びや破れが生じにくいフィルム成膜方法および装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するために、本発明のフィルム成膜方法は、真空室内でフィルム上に成膜するに際し、前記フィルムの周縁部を中央部が開口した一対の治具で挟持して前記フィルムを展張するとともに、前記一対の治具を締結具で締結し、この治具に展張したフィルムの非成膜側の面にＣｕからなる冷却治具を密着させて当該フィルムを冷却しつつ成膜するようにしたものである。
この構成によれば、成膜によるフィルムの温度上昇を最小限に抑えることができ、従来より成膜速度をあげてもフィルムにダメージが生じにくい。
【０００５】
本発明のフィルム成膜装置は、真空室内でフィルム上に成膜するフィルム成膜装置において、中央部が開口しており、前記フィルムの周縁部を挟持して前記フィルムを展張する一対の治具と、前記一対の治具を締結する締結具と、前記治具に展張されたフィルムの非成膜側の面に密着して前記フィルムを冷却するＣｕからなる冷却治具とを有する構成としたものである。
この構成によれば、冷却治具によってフィルムを冷却しつつ成膜することが可能になり、成膜の際のフィルムの温度上昇を最小限に抑えることができる。
【０００６】
また本発明のフィルム成膜装置は、上記構成において、フィルムに密着する冷却治具の一側面が球面状をなす構成としたものである。
この構成によれば、冷却治具の球面状の一側面がフィルムにテンションをかける状態で密着するため、密着度がより高くなり、冷却効果が向上する。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図１において、電極をフィルム上に形成するフィルム成膜装置は、真空ポンプ１にバルブ２を介して連通する排気口３とＡｒガスＧを導入するガス導入口４とを有したチャンバー５の内部に、高周波電源６に接続したターゲット７と、成膜対象のフィルム８をターゲット７の下方に展張した支持治具９と、展張されたフィルム８のターゲット７側（成膜側）に背反する非成膜側の側面８ａに密着してフィルム８を冷却する冷却治具１０とを備えている。
【０００８】
支持治具９は、図２にも示すように、中央部が開口した上治具１１および下治具１２と、両治具１１，１２を締結する複数のボルト・ナットなどの締結具１３とを有して、両治具１１，１２の間にフィルム８の周縁部を挟持するものであり、チャンバー５の底部の台座１４の内周上部に設けられた受け具１５によりターゲット７の下方の所定位置に配置されている。
【０００９】
冷却治具１０は、下治具１２の開口上端に一側面１６ａの周縁部が対応するように設けられた冷却板１６と、この冷却板１６の背面１６ｂとの間に冷却板１６を冷却するための冷却水水路１７を形成する冷却ブロック１８と、この冷却ブロック１８に形成された貫通孔（図示せず）を通じて冷却水水路１７に一端が連通し、他端がチャンバー５の外部で開口して、冷却水水路１７内に冷却水１９を流通させる１対の冷却水シャフト２０とを有している。
【００１０】
冷却板１６はＣｕなどの熱伝導性のよい材料で製作されていて、上記一側面１６ａは、展張されたフィルム８の背面８ａに全面にわたって密着し、フィルム８に弾性限界に至らないテンションをかける球面状とされている。ここでは、厚さ４μｍのＰＥＴフィルムを内径φ１５５の支持治具９に挟持しているため、一側面１６ａはＳＲ１３６８の球面、表面粗度１．６Ｓ以下としており、ＰＥＴフィルムに弾性限界に近い２．５ｍｍのテンションをかけた状態で密着している。
【００１１】
ターゲット７に対向する支持治具９と冷却治具１０と台座１４の上部は、台座１４の上端面に取り付けられた防着板２１によって覆われている。
成膜を行うに際しては、上記した状態において、真空ポンプ１を動作させて排気口３から排気することによりチャンバー５内を真空状態とし、そして、冷却水シャフト２０により冷却水１９を冷却水水路１７に流通させて冷却板１６を冷却し、冷却板１６の一側面１６ａに密着したフィルム８を冷却しながら、ガス導入口４よりＡｒガスＧを導入して所定の圧力にてスパッタリングを行って、フィルム８の上にターゲット７の材料からなる薄膜を形成させる。
【００１２】
このような方法によれば、フィルム８を冷却板１６で冷却しながら成膜しているため、成膜によるフィルム８の温度上昇を最小限に抑えることができ、従来よりも成膜速度を高くしても、フィルム８の伸びや破れは生じにくい。フィルム８を冷却板１６から引き離した時にはフィルム８は自己の弾性で元に戻る。
【００１３】
【発明の効果】
以上のように、本発明のフィルム成膜方法によれば、展張されたフィルムの非成膜側の側面に冷却治具を密着させて、フィルムを冷却しつつ成膜するようにしたことで、フィルムのダメージの原因となる成膜時の温度上昇を最小限に抑えることができ、従来より成膜速度をあげることが可能になる。
【００１４】
本発明のフィルム成膜装置によれば、展張したフィルムの非成膜側の側面に密着してフィルムを冷却する冷却治具を設けたため、フィルムを冷却しつつ成膜することが可能になり、成膜の際のフィルムの温度上昇を最小限に抑えることができる。
フィルムに密着する冷却治具の一側面を球面状に形成したものにあっては、この球面状の一側面がフィルムにテンションをかける状態で密着するため、密着度がより高くなり、冷却効果が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態におけるフィルム成膜装置の概略全体構成を示す断面図
【図２】図１のフィルム成膜装置を構成する冷却治具の要部を示す断面図
【図３】図１のフィルム成膜装置に設けられる従来よりある支持治具を示す断面図
【図４】従来のフィルム成膜装置の概略全体構成を示す断面図
【符号の説明】
５  真空室
７  ターゲット
８  フィルム
8a  背面
９  支持治具
10  冷却治具
16  冷却板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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