(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
雌型部材及び該雌型部材に嵌合連結される雄型部材からなる管継手において、
該雄型部材は、
内側筒状部材と、
該内側筒状部材に同心状にされ、該内側筒状部材の軸線方向で変位可能とされた外側筒状部材であって、該内側筒状部材に対して、内側筒状部材を該外側筒状部材の雌型部材に面する先端から部分的に突出した状態とする第１位置と、該内側筒状部材を外側筒状部材に対して後方に引き込めた状態とする第２位置との間で変位可能とされた外側筒状部材と、
該外側及び内側筒状部材の間に設定されて該外側筒状部材を該第１位置となるように付勢するバネ部材と、
を有し、
該雌型部材は、
その先端から後端方向に向けて延びて該雄型部材を受け入れる雄型部材受入部を有する貫通孔を備える筒状の雌型本体であって、該雄型部材受入部は、該雄型部材を該外側筒状部材が該第１位置となった状態で収納するとともに、該外側筒状部材が該軸線方向で動かされて該第２位置に向けて変位するのを許容するようになされている雌型本体と、
該雌型本体の半径方向で変位可能とされ、該雄型部材受入部に収納された雄型部材に係合する内側位置と、該内側位置よりも半径方向外側で該雄型部材から外れる外側位置との間で変位可能とされた施錠子と、
該施錠子を該内側位置に保持する施錠位置と、該施錠子が該外側位置に変位するのを許容する開放位置との間で変位可能とされた施錠子操作部材と
を有し、
該外側筒状部材は、その外周面に該軸線方向に延びる細長い溝を有し、
該施錠子は該内側位置において、該雄型部材受入部内に収納された該雄型部材の該溝に係合し、該外側筒状部材の該軸線の周りでの回動を阻止すると共に、該外側筒状部材が該バネ部材に抗して該第２位置に向けて動かされるのを許容するようにされている
ことを特徴とする管継手。
【請求項２】
該溝が、該雄型部材受入部内に収納された該雄型部材の該外側筒状部材が該第１位置にあるときに、該施錠部材が該軸線方向で近接する第１端部と、該外側筒状部材が該第２位置にあるときに、該施錠部材が該軸線方向で近接する第２端部とを有する細長い溝とされていることを特徴とする請求項１に記載の管継手。
【請求項３】
該雌型本体の該貫通孔が、該雌型本体の先端から後方に向けて延びる大径の雄型部材受入部、及び、該雄型部材受入部の後端を画定する半径方向に延びる雄型部材受入部端面から当該雌型本体の後端まで貫通する小径孔部を有し、
該雄型部材受入部内に収納された該雄型部材の該外側筒状部材が該第１位置にあるときに、該内側筒状部材が該雄型部材受入部端面に当接する
ようにされたことを特徴とする請求項１又は２に記載の管継手。
【請求項４】
該外側筒状部材が、その先端から後方に向けて延び、該内側筒状部材を受け入れる内側部材受入部、及び、該内側部材受入部の後端を画定する半径方向に延びる内側部材受入部端面から当該外側筒状部材の後端まで貫通する小径孔部を有し、
該内側部材受入部の内周面に、ストップリングが設定されると共に、該内側筒状部材には、その外周面に、該内側部材受入部の内周面に摺動係合される大径部と、該大径部から当該内側筒状部材の先端まで延びる小径部と、該大径部及び該小径部間に形成された環状段部とが形成され、該バネ部材によって該外側筒状部材に対して離れる方向で付勢されている該内側筒状部材が、該環状段部が該ストップリングに係止されることにより、該外側筒状部材に対して係止され、該外側筒状部材が該第１位置となるようにした
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の管継手。
【請求項５】
該バネ部材が、該内側部材受入部端面と内側筒状部材との間で内側筒状部材に同軸状に設定された圧縮コイルバネとされていることを特徴とする請求項４に記載の管継手。
【請求項６】
該外側筒状部材の該小径孔部の内周面に真空吸着パッド取付け用のメネジが形成されていることを特徴とする請求項４又は５に記載の管継手。
【請求項７】
雌型部材及び該雌型部材に嵌合連結される雄型部材からなる管継手における雄型部材であって、
内側筒状部材と、
該内側筒状部材に同心状にされ、該内側筒状部材の軸線方向で変位可能とされた外側筒状部材であって、該内側筒状部材に対して、該内側筒状部材を該外側筒状部材の雌型部材に面する先端から部分的に突出した状態とする第１位置と、該内側筒状部材を外側筒状部材に対して後方に引き込めた状態とする第２位置との間で変位可能とされた外側筒状部材と、
該外側及び内側筒状部材の間に設定されて該外側筒状部材を該第１位置となるように付勢するバネ部材と、
を有し、
該外側筒状部材は、その外周面に該軸線方向に延びる細長い施錠子係合溝を有することを特徴とする管継手における雄型部材。
【請求項８】
該外側筒状部材が、その先端から後方に向けて延び、該内側筒状部材を受け入れる内側部材受入部、及び、該内側部材受入部の後端を画定する半径方向に延びる内側部材受入部端面から当該外側筒状部材の後端まで貫通する小径孔部を有し、
該内側部材受入部の内周面に、ストップリングが設定されると共に、該内側筒状部材には、その外周面に、該内側部材受入部の内周面に摺動係合される大径部と、該大径部から当該内側筒状部材の先端までの延びる小径部と、該大径部及び該小径部間に形成された環状段部とが形成され、該バネ部材によって該外側筒状部材に対して離れる方向で付勢されている該内側筒状部材が、該環状段部が該ストップリングに係止されることにより、該外側筒状部材に対して係止され、該外側筒状部材が該第１位置となるようにした
ことを特徴とする請求項７に記載の雄型部材。
【請求項９】
該バネ部材が、該内側部材受入部端面と内側筒状部材との間で内側筒状部材に同軸状に設定された圧縮コイルバネとされていることを特徴とする請求項８に記載の雄型部材。
【請求項１０】
該外側筒状部材の該小径孔部の内周面に真空吸着パッド取付け用のメネジが形成されていることを特徴とする請求項８又は９に記載の雄型部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は管継手に関し、特に、ICチップなどの物品を真空吸着して移送するための物品移送装置における真空吸着パッドの交換を容易にするのに適した管継手に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体装置の製造においては、製造したICチップを真空吸着パッドで吸着して検査装置に移送し、該検査装置を通して良品、不良品を振り分ける作業が行われる。この場合、真空吸着パッドは、移送するICチップの大きさに応じて交換し、吸着を適正に行えるようにする。従って、この真空吸着パッドは、容易に交換可能にすることが望まれる。
【０００３】
このため、真空パッドを容易に交換可能とする試みがなされてきている（特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−３４４５２９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記の点に鑑み、真空吸着パッドにより物品を吸着して移送する移送装置において、真空吸着パッドの交換をより容易に行えるようにする管継手を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
すなわち、本発明は
雌型部材及び該雌型部材に嵌合連結される雄型部材からなる管継手において、
該雄型部材は、
内側筒状部材と、
該内側筒状部材に同心状にされ、該内側筒状部材の軸線方向で変位可能とされた外側筒状部材であって、内側筒状部材を該外側筒状部材の雌型部材に面する先端から部分的に突出した状態とする該内側筒状部材に対する第１位置と、該内側筒状部材を外側筒状部材に対して、該第１位置よりも後方に引き込めた状態とする該内側筒状部材に対する第２位置との間で変位可能とされた外側筒状部材と、
該外側及び内側筒状部材の間に設定されて該外側筒状部材を該第１位置となるように付勢するバネ部材と、
を有し、
該雌型部材は、
その先端から後端方向に向けて延びて該雄型部材を受け入れる雄型部材受入部を有する貫通孔を備える筒状の雌型本体であって、該雄型部材受入部は、該雄型部材を該外側筒状部材が該第１位置となった状態で収納するとともに、該外側筒状部材が該軸線方向で動かされて該第２位置に向けて変位するのを許容するようになされている雌型本体と、
該雌型本体の半径方向で変位可能とされ、該雄型部材受入部に収納された雄型部材に係合する内側位置と、該内側位置よりも半径方向外側で該雄型部材から外れる外側位置との間で変位可能とされた施錠子と、
該施錠子を該内側位置に保持する施錠位置と、該施錠子が該外側位置に変位するのを許容する開放位置との間で変位可能とされた施錠子操作部材と
を有し、
該外側筒状本体は、その外周面に該軸線方向に延びる細長い溝を有し、
該施錠子は該内側位置において、該雄型部材受入部内に収納されて、該外側筒状部材が該第１位置にある状態とされている該雄型部材の該溝に係合し、該外側筒状部材の該軸線の周りでの回動を阻止すると共に、該外側筒状部材が該バネ部材に抗して該第２位置に向けて動かされるのを許容するようにされている
ことを特徴とする管継手を提供する。
【０００７】
この管継手を前述の真空吸着移送装置に用いる場合には、例えば、雌型部材を真空源に連通した導管に連結するとともに、雄型継手部材に吸着パッドを取り付け、該雄型継手部材を雌型部材に対して着脱することにより、当該吸着パッドの交換を行えるようにする。従って、種々のサイズの吸着パッドを取り付けた雄型部材を複数用意しておけば、必要とされるサイズの吸着パッドを備えた雄型部材を雌型部材に対して容易に交換することができる。雄型部材及び雌型部材に対する導管及び吸着パッドの取付けを逆にすることも可能である。そして、真空吸着移送装置において、該吸着パッドを吸着すべきＩＣチップなどの物品に接近させた場合に、該吸着パッドが該物品に対して行き過ぎたとしても、上記外側筒状部材が上記第１位置から上記第２位置に向けて変位可能とされているので、該物品を損傷したりするのを防止することが可能である。
【０００８】
上記溝は、雄型部材受入部内に収納された雄型部材の外側筒状部材が該第１位置にあるときに、施錠部材が軸線方向で近接する第１端部と、外側筒状部材が該第２位置にあるときに、施錠部材が軸線方向で近接する第２端部とを有する細長い溝とされるのが好ましい。
【０００９】
このようにすることにより、雄型部材受入部内に収納されて、外側筒状部材が第１位置にある状態での雄型部材の雄型部材受入部内での軸線方向位置が特定される。
【００１０】
具体的には、
雌型本体の該貫通孔が、雌型本体の先端から後方に向けて延びる大径の雄型部材受入部、及び、雄型部材受入部の後端を画定する半径方向に延びる雄型部材受入部端面から当該雌型本体の後端まで貫通する小径孔部を有し、
雄型部材受入部内に収納された雄型部材の外側筒状部材が該第１位置にあるときに、内側筒状部材が雄型部材受入部端面に当接する
ようにすることができる。
【００１１】
また、
外側筒状部材が、その先端から後方に向けて延び、内側筒状部材を受け入れる内側部材受入部、及び、内側部材受入部の後端を画定する半径方向に延びる内側部材受入部端面から当該外側筒状部材の後端まで貫通する小径孔部を有し、
内側部材受入部の内周面に、ストップリングが設定されると共に、内側筒状部材には、その外周面に、内側部材受入部の内周面に摺動係合される大径部と、該大径部から当該内側筒状部材の先端まで延びる小径部と、大径部及び小径部間に形成された環状段部とが形成され、該バネ部材によって外側筒状部材に対して離れる方向で付勢されている内側筒状部材が、その環状段部がストップリングに係止されることにより、外側筒状部材に対して係止され、該外側筒状部材が該第１位置となるようにすることができる。
【００１２】
バネ部材は、具体的には、内側筒状部材受入部端面と内側筒状部材との間で該内側筒状部材に同軸状に設定された圧縮コイルバネとすることができる。
【００１３】
また、外側筒状部材の小径孔部の内周面にメネジを形成し、真空吸着パッドを該外側筒状部材に取り付けるようにすることができる。
【００１４】
本発明はまた、
雌型部材及び該雌型部材に嵌合連結される雄型部材からなる管継手における雄型部材であって、
内側筒状部材と、
該内側筒状部材に同心状にされ、該内側筒状部材の軸線方向で変位可能とされた外側筒状部材であって、該内側筒状部材に対して、該内側筒状部材を該外側筒状部材の雌型部材に面する先端から部分的に突出した状態とする第１位置と、該内側筒状部材を外側筒状部材に対して後方に引き込めた状態とする第２位置との間で変位可能とされた外側筒状部材と、
該外側及び内側筒状部材の間に設定されて該外側筒状部材を該第１位置となるように付勢するバネ部材と、
を有し、
該外側筒状部材が、その外周面に該軸線方向に延びる細長い施錠子係合溝を有することを特徴とする管継手における雄型部材を提供する。
【００１５】
該雄型部材は、使用に当たっては、雌型本体の雄型部材受入部内に、該雄型部材の外側筒状部材が上記第１位置となった状態で収納するとともに、雌型部材の施錠子を該外側筒状部材の溝に係合するようにする。外側筒状部材は内側筒状部材に対して上記第２位置に変位可能とされているので、本発明に係る管継手に関し上述したと同様に真空吸着移送装置において用いることができる。
【００１６】
具体的には、
該外側筒状部材が、その先端から後方に向けて延び、該内側筒状部材を受け入れる内側部材受入部、及び、該内側部材受入部の後端を画定する半径方向に延びる内側部材受入部端面から当該外側筒状部材の後端まで貫通する小径孔部を有し、
該内側部材受入部の内周面に、ストップリングが設定されると共に、該内側筒状部材には、その外周面に、該内側部材受入部の内周面に摺動係合される大径部と、該大径部から当該内側筒状部材の先端までの延びる小径部と、該大径部及び該小径部間に形成された環状段部とが形成され、該バネ部材によって該外側筒状部材に対して離れる方向で付勢されている該内側筒状部材が、該環状段部が該ストップリングに係止されることにより、該外側筒状部材に対して係止され、該外側筒状部材が該第１位置となるようにしたものとすることができる。
【００１７】
更に、具体的には、
該バネ部材を、該内側部材受入部端面と内側筒状部材との間で内側筒状部材に同軸状に設定された圧縮コイルバネとすることができる。
【００１８】
また、外側筒状部材の小径孔部の内周面には、真空吸着パッド取付け用のメネジを形成するようにすることもできる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る管継手及び該管継手の雄型部材は、上記のように構成されるものであり、真空吸着物品移送装置における真空吸着パッドの交換用に用いるのが適している。すなわち、例えば、雌型部材を真空源に連通した導管に連結し、真空吸着パッドを雄型部材の外側筒状部材に装着するようにすれば、該雄型部材を雌型部材に嵌合・嵌合解除するだけで、当該真空吸着パッドの交換を行うことができる。雄型部材の雌型部材に対する嵌合・嵌合解除は施錠子操作部材を施錠位置若しくは開放位置とすることだけで行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に係る管継手の実施形態を添付図面に基づき説明する。
【００２１】
図１は本発明に係る管継手１０の雌型部材１２及び雄型部材１４を分離した状態、図２は雄型部材１４を雌型部材１２に連結した状態、図３は雌型部材１２に連結された雄型部材１４が収縮した状態を示している。図示の管継手１０は、（図示しない）真空吸着物品移送装置において、真空吸着物品移送装置の真空源に連通された導管Ｃを雌型部材１２に連結し、真空吸着パッドＰを雄型部材１４に連結した例を示している。
【００２２】
雄型部材１４は、内側筒状部材１６と、該内側筒状部材に同心状にされ、その軸線方向で変位可能とされた外側筒状部材１８とを有している。
【００２３】
外側筒状部材１８は、該内側筒状部材に対して、該内側筒状部材１６を、図１に示すように、外側筒状部材１８の雌型部材１２に面する先端から部分的に突出した状態とする第１位置と、図３に示すように、内側筒状部材１６を後方に引き込めた状態とする第２位置との間で変位可能とされている。該外側及び内側筒状部材の間には、圧縮コイルバネ１９が同軸状に設定されており、外側筒状部材１８を内側筒状部材１６に対して、図１に示す第１位置となるように付勢している。
【００２４】
雌型部材１２は、その先端から後端方向に向けて延びて雄型部材１４を受け入れる雄型部材受入部２０を有する貫通孔２１を備える筒状の雌型本体２２を有する。雄型部材受入部２０は雄型部材１４を、外側筒状部材１８が内側筒状部材１６に対して図１及び図２に示す第１位置となった状態で収納するとともに、該外側筒状部材１８が軸線方向で動かされて、内側筒状部材１６に対して図３に示す第２位置に向けて変位するのを許容するようになされている。
【００２５】
雌型本体２２は、該雌型本体の半径方向で変位可能とされた施錠子２４が設けられており、該施錠子は、雄型部材受入部２０に収納された雄型部材１４に係合する内側位置と、該内側位置よりも半径方向外側で該雄型部材から外れる外側位置との間で変位可能とされている。雌型本体の内周面には、シールリング２３が設定されており、雄型部材１４が雌型本体２２の雄型部材受入部２０に収納され、外側筒状部材１８が圧縮コイルバネ１９によって図２に示す上記第１位置とされている状態で、該外側筒状部材１８の外周面と密封係合されるようになっている。外側筒状部材１８は図で見て左方への力が加えられることにより、該シールリング２３に対して摺動しながら上記第２位置（図３）に向けて変位可能とされている。
【００２６】
雌型本体２２には更に、その外周面上に、軸線方向で変位可能とされた筒状の施錠子操作部材２６が設けられている。該施錠子操作部材２６は、施錠子２４を上記内側位置に保持する施錠位置と、該施錠子が該外側位置に変位するのを許容する開放位置との間で変位可能とされている。具体的には、施錠子操作部材２６は、雌型本体２２との間に設けられたコイルバネ２８によって、図示の施錠位置に付勢されており、該コイルバネ２８の付勢力に抗して（図で見て）左方へ変位して上記開放位置とすることができるようになされている。
【００２７】
雄型部材１４の外側筒状本体１８は、その外周面に軸線方向に延びる細長い溝３４を複数有している。施錠子２４は上記内側位置において、雄型部材受入部２０内に収納された雄型部材１４の溝３４に係合し、外側筒状部材１８の軸線の周りでの回動を阻止すると共に、外側筒状部材１８が圧縮コイルバネ１９に抗して図３に示す第２位置に向けて動かされるのを許容するようにされている。
【００２８】
溝３４は、具体的には、雄型部材受入部２０内に収納された雄型部材１４の外側筒状部材１８が第１位置（図２）にあるときに、施錠部材２４が軸線方向で近接する第１端部３４−１と、外側筒状部材１８が第２位置（図３）にあるときに、施錠部材２４が軸線方向で近接する第２端部３４−２とを有する細長い溝とされている。
【００２９】
雌型本体２２の貫通孔は、具体的には、雌型本体２２の先端から後方に向けて延びる大径の雄型部材受入部２０、及び、該雄型部材受入部２０の後端を画定する半径方向に延びる雄型部材受入部端面３８から当該雌型本体２２の後端まで貫通する小径孔部３９を有しており、雄型部材受入部２０内に収納された雄型部材１４の外側筒状部材１８が第１位置（図２）にあるときに、内側筒状部材１６が雄型部材受入部端面３８に当接するようにされている。
【００３０】
また、外側筒状部材１８は、具体的には、その先端から後方に向けて延び、内側筒状部材１６を受け入れる内側部材受入部４０、及び、該内側部材受入部４０の後端を画定する半径方向に延びる内側部材受入部端面４２から当該外側筒状部材の後端まで貫通する小径孔部４４を有し、該内側部材受入部４０の内周面には、ストップリング４６が設定されている。これに対し、内側筒状部材１６には、その外周面に、内側部材受入部４０の内周面に摺動係合される大径部４８と、該大径部から当該内側部材の先端までの延びる小径部５０と、大径部４８及び該小径部５０間に形成された環状段部５２とが形成され、コイルバネ１９によって外側筒状部材１８に対して離れる方向で付勢されている内側筒状部材１６が、その環状段部５２が該ストップリング４６に係止されることにより、該外側筒状部材１８に対して係止され、外側筒状部材１８が上記した第１位置となるようにされている。
【００３１】
前述のように、図示の例では、真空吸着パッドＰが雄型部材１４に取り付けられるようになっており、具体的には、外側筒状部材１８の小径孔部４４内にメネジ５６が形成され、真空吸着パッドＰのオネジを該メネジに螺合して取り付けるようになっている。これに対して、真空源に連通された導管Ｃは、雌型部材に形成されたオネジ５８に螺合されて雌型部材に連結されるようになっている。
【００３２】
雄型部材１４における外側筒状部材１８が、内側筒状部材１６に対して以上のように設定されているために、物品真空吸着装置が真空吸着パッドＰを吸着すべき物品に近づけた場合に、該パッドＰが物品に接する位置よりも更に進んだとしても、該パッドＰが連結されている外側筒状部材１８が図２の位置から図３の位置に変位することができるので、当該物品に対する衝撃を与えることなく、吸着パッドＰを物品に対して接触させることが可能となる。
【００３３】
以上、本発明に係る管継手を物品真空吸着装置に利用する場合につき述べたが、本発明に係る管継手は、これに限定されるものではなく、種々の態様での利用が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明に係る管継手の上半部分を断面で示す側面図であり、雌型部材及び雄型部材を分離した状態を示す。
【図２】同管継手の同様の側面図であり、雌型部材及び雄型部材を連結した状態を示す。
【図３】同管継手の同様の側面図であり、雌型部材１２に連結された雄型部材１４が収縮した状態を示している
【符号の説明】
【００３５】
導管Ｃ；  真空吸着パッドＰ；  管継手１０；  雌型部材１２；  雄型部材１４；  内側筒状部材１６；  外側筒状部材１８；  圧縮コイルバネ（バネ部材）１９；  雄型部材受入部２０；  雌型本体２２；  施錠子２４；  施錠子操作部材２６；  コイルバネ２８；    細長い溝３４；  第１端部３４−１；  第２端部３４−２；  雄型部材受入部端面３８；  小径孔部３９；  内側部材受入部４０；  内側部材受入部端面４２；  小径孔部４４；  ストップリング４６；  大径部４８；  小径部５０；  環状段部５２；  メネジ５６；  オネジ５８
【図１】
0004551317.tif 000002
【図２】
0004551317.tif 000003
【図３】
0004551317.tif 000004