(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１〜第Ｎ（Ｎ≧２）の駆動コイルを備えたステッピングモータと、
このステッピングモータの周囲温度を検出する温度センサと、
前記ステッピングモータの出力軸の回転角位置を検出する位置検出部と、
上位装置からの設定入力と前記位置検出部からの検出入力との偏差を求め、この偏差を零とするような位置決め制御信号を生成する位置決め制御部と、
前記位置決め制御部からの位置決め制御信号を受け、その位置決め制御信号に応じた第１〜第Ｎのパルス信号を第１〜第Ｎの出力端子から出力するモータドライバと、
前記モータドライバから出力された第１〜第Ｎのパルス信号を受けてそのパルス信号と同位相・同波形の第１〜第Ｎの電流を前記第１〜第Ｎの駆動コイルに供給する直流電源と、
前記温度センサからの検出温度を入力とし、その検出温度が所定の温度以下になると加熱指令を前記位置決め制御部に送る温度検知・処理部とを備え、
前記位置決め制御部は、前記駆動コイルの全てを非通電状態として前記ステッピングモータが静止状態にある場合、前記温度検知・処理部からの加熱指令を受けて、前記モータドライバにおける前記第１〜第Ｎのパルス信号のうちいずれかひとつのパルス信号のレベルのみをラッチして前記直流電源に与え、前記第１〜第Ｎの駆動コイルのうち所定の駆動コイルのみに非駆動加熱電流を供給する
ことを特徴とする保温機能付きステッピングモータ。
【請求項２】
第１〜第Ｎ（Ｎ≧２）の駆動コイルを備えたステッピングモータと、
このステッピングモータの周囲温度を検出する温度センサと、
前記ステッピングモータの出力軸の回転角位置を検出する位置検出部と、
上位装置からの設定入力と前記位置検出部からの検出入力との偏差を求め、この偏差を零とするような位置決め制御信号を生成する位置決め制御部と、
前記位置決め制御部からの位置決め制御信号を受け、その位置決め制御信号に応じた第１〜第Ｎのパルス信号を第１〜第Ｎの出力端子から出力するモータドライバと、
前記モータドライバから出力された第１〜第Ｎのパルス信号を受けてそのパルス信号と同位相・同波形の第１〜第Ｎの電流を前記第１〜第Ｎの駆動コイルに供給する直流電源と、
前記温度センサからの検出温度を入力とし、その検出温度が所定の温度以下になると加熱指令を前記位置決め制御部に送る温度検知・処理部とを備え、
前記位置決め制御部は、前記駆動コイルの全てを非通電状態として前記ステッピングモータが静止状態にある場合、前記温度検知・処理部からの加熱指令を受けて、前記モータドライバにおける前記第１〜第Ｎのパルス信号のうちいずれかひとつのパルス信号のみをデユーティ比５０％のパルスにして前記直流電源に与え、前記第１〜第Ｎの駆動コイルのうち所定の駆動コイルのみに非駆動加熱電流を供給する
ことを特徴とする保温機能付きステッピングモータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、寒冷地等で使用するバルブの開閉や位置決め制御などに用いて好適な、保温機能付きステッピングモータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、ステッピングモータを用いて、バルブの開閉や位置決め制御などを行っている。図１２はステッピングモータを用いた電子バルブの要部を示す一部破断側断面図である。電子バルブは空気バルブに比べ、空気源が不要であり、メンテナンス費用の削減やシステムの大幅なコストダウンを図ることが可能となる。図１２において、１はステッピングモータ、２はステッピングモータ１を駆動するための電子回路が構築された回路基板、３はステッピングモータ１や回路基板２を覆うカバーである。
【０００３】
この電子バルブ１００は、各種の用途に使用され、その使用環境は様々である。例えば、雰囲気温度が０℃以下となる環境で使用されることがある。この場合、ステッピングモータ１が凍結して動作しなくなる虞れがある。そこで、従来は、カバー３の内部にスペースヒータ４を設け、内部空間を電気的に暖めることによってステッピングモータ１の凍結を防止していた。スペースヒータ４は、常時通電、あるいはサーモスタットによりオン／オフさせる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような電子バルブ１００によると、カバー３の内部にスペースヒータ４を設けることによって部品点数が多くなり、コストがアップする。また、カバー３の内部にスペースヒータ４の設置空間を確保しなければならず、小型化を促進することができない。また、スペースヒータ４を常時通電、あるいはサーモスタットによりオン／オフさせるというラフな温度制御を行っているので、消費電力が大きい。また、スペースヒータ４によってカバー３の内部空間を暖め、外側からステッピングモータ１へ熱を加えるようにしているので、加熱効率が悪い。
【０００５】
本発明はこのような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、寒冷地等で使用する電子バルブなどのステッピングモータを用いた機器からスペースヒータをなくし、電子制御による加熱保護を行うことにより、部品点数を削減してコストダウンや小型化を促進することが可能な、また正確な温度制御や加熱効率を高めて消費電力を低減することの可能な保温機能付きステッピングモータを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、請求項１に係る発明において、位置決め制御部は、、駆動コイルの全てを非通電状態としてステッピングモータが静止状態にある場合、温度検知・処理部からの加熱指令を受けて、モータドライバにおける第１〜第Ｎのパルス信号のうちいずれかひとつのパルス信号のレベルのみをラッチして直流電源に与え、第１〜第Ｎの駆動コイルのうち所定の駆動コイルのみに非駆動加熱電流を供給するようにしたものである。
この発明によれば、温度センサの検出温度が所定温度（例えば、０℃）以下となると、その駆動コイルの全てを非通電状態として静止状態にあるステッピングモータの第１〜第Ｎの駆動コイルのうち所定の駆動コイルのみに、このモータの回転角度に変化を与えない非駆動加熱電流が供給される。これにより、ステッピングモータが静止したままの状態で、所定の駆動コイルのみがジュール熱により発熱する。
特に、この請求項１に係る発明において、位置決め制御部は、モータドライバにおける第１〜第Ｎのパルス信号のうちいずれかひとつのパルス信号のレベルのみをラッチして直流電源に与え、第１〜第Ｎの駆動コイルのうち所定の駆動コイルのみに非駆動加熱電流を供給するので、ステッピングモータが直前に停止したときの励磁位相がどの位相であっても、加熱動作の開始時点ではステッピングモータを回転させる力が発生せず、ステッピングモータの回転角度が１ステップ変化してしまうことはない。すなわち、ステッピングモータの回転角度が変化せず、停止したままの状態で所定の駆動コイルのみがジュール熱により発熱する。なお、モータが回転中であれば、停止するまで待って、加熱動作に入る（モータが回転中はモータ発熱があるので、加熱のための通電は不要）。
請求項２に係る発明において、位置決め制御部は、駆動コイルの全てを非通電状態としてステッピングモータが静止状態にある場合、温度検知・処理部からの加熱指令を受けて、モータドライバにおける第１〜第Ｎのパルス信号のうちいずれかひとつのパルス信号のみをデユーティ比５０％のパルスにして直流電源に与え、第１〜第Ｎの駆動コイルのうち所定の駆動コイルのみに非駆動加熱電流を供給するようにしたものである。
この発明によれば、温度センサの検出温度が所定温度（例えば、０℃）以下となると、その駆動コイルの全てを非通電状態として静止状態にあるステッピングモータの第１〜第Ｎの駆動コイルのうち所定の駆動コイルのみに、このモータの回転角度に変化を与えない非駆動加熱電流が供給される。これにより、ステッピングモータが静止したままの状態で、所定の駆動コイルのみがジュール熱により発熱する。
特に、この請求項２に係る発明において、位置決め制御部は、モータドライバにおける第１〜第Ｎのパルス信号のうちいずれかひとつのパルス信号のみをデユーティ比５０％のパルスにして直流電源に与え、第１〜第Ｎの駆動コイルのうち所定の駆動コイルのみに非駆動加熱電流を供給するので、ステッピングモータが直前に停止したときの励磁位相がどの位相であっても、加熱動作の開始時点ではステッピングモータを回転させる力が発生せず、ステッピングモータの回転角度が１ステップ変化してしまうことはない。すなわち、ステッピングモータの回転角度が変化せず、停止したままの状態で所定の駆動コイルのみがジュール熱により発熱する。なお、モータが回転中であれば、停止するまで待って、加熱動作に入る（モータが回転中はモータ発熱があるので、加熱のための通電は不要）。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を実施の形態に基づき詳細に説明する。図２は本発明に係る保温機能付きステッピングモータを使用した電子バルブの要部を示すブロック図である。同図において、１はステッピングモータ、５はステッピングモータ１の回転軸に連結されたギア機構、６は弁体に機械的に接続される出力軸、７はステッピングモータ１に取り付けられた温度センサ、８は位置決め制御部、９はモータドライバ、１０は直流電源、１１は温度検知・処理部、１２は出力軸６の回転角位置を検出する位置検出部である。
【０００９】
一般に、ステッピングモータは、２つ以上の駆動コイルを有している。図３にバイポーラ型ステッピングモータの原理図を示す。図３において、１−１，１−２は駆動コイルであり、駆動コイル１−１，１−２に流れる電流の方向を予め定めた順序で変化させることにより、ロータ１−３を１ステップずつ回転させる。説明を簡単にするために、本実施の形態におけるステッピングモータ１は、このタイプのステッピングモータとする。
【００１０】
図４にステッピングモータ１を２相励磁方式で回転させる場合の励磁位相とコイル極性との関係を示す。▲１▼〜▲４▼は励磁位相であり、ＡおよびＢは駆動コイル１−１の一端および他端、ＣおよびＤは駆動コイル１−２の一端および他端を示す。励磁位相▲１▼では、駆動コイル１−１のＡの極性を「＋」、Ｂの極性を「−」、駆動コイル１−２のＣの極性を「＋」、Ｄの極性を「−」とする。励磁位相▲２▼では、駆動コイル１−１のＡの極性を「＋」、Ｂの極性を「−」、駆動コイル１−２のＣの極性を「−」、Ｄの極性を「＋」とする。励磁位相▲３▼では、駆動コイル１−１のＡの極性を「−」、Ｂの極性を「＋」、駆動コイル１−２のＣの極性を「−」、Ｄの極性を「＋」とする。励磁位相▲４▼では、駆動コイル１−１のＡの極性を「−」、Ｂの極性を「＋」、駆動コイル１−２のＣの極性を「＋」、Ｄの極性を「−」とする。
【００１１】
ステッピングモータ１の回転方向はコイル極性の切換順序で制御する。回転速度はコイル極性の切換速度で制御する。正転させるときは、▲１▼，▲２▼，▲３▼，▲４▼，▲１▼，▲２▼・・・・という具合に、逆転させるときは▲４▼，▲３▼，▲２▼，▲１▼，▲４▼，▲３▼・・・・という具合に、コイル極性を切り換えて行く。
【００１２】
ステッピングモータ１を正転させる場合、ＡとＣの極性に注目すれば、図５に示すようなタイムチャートとなる。ステッピングモータ１を逆転させる場合、ＡとＣの極性に注目すれば、図６に示すようなタイムチャートとなる。
【００１３】
ここで、励磁コイル１−１への電流をＩ１，励磁コイル１−２への電流をＩ２とすると、正転時には図７に示すような電流Ｉ１，Ｉ２が励磁コイル１−１および１−２へ流れる。Ｉ１はＩ２よりも位相が９０゜遅れている。逆転時には図８に示すような電流Ｉ１，Ｉ２が励磁コイル１−１および１−２へ流れる。Ｉ１はＩ２よりも位相が９０゜進んでいる。停止時には、励磁コイル１−１および１−２への電流Ｉ１，Ｉ２は遮断され、非通電状態とされる。ステッピングモータ１は、励磁コイル１−１および１−２への電流Ｉ１，Ｉ２が遮断されると、そのときの磁気的安定点で静止する。安定点からずらそうとする外力に対しては強い反抗力を示す。
【００１４】
図９に回転（正転，逆転）・停止（静止）が繰り返される場合の励磁コイル１−１および１−２への電流Ｉ１，Ｉ２の供給例を示す。この例では、期間Ｔ１において「逆転」、期間Ｔ２において「静止」、期間Ｔ３において「正転」、期間Ｔ４において「静止」、期間Ｔ５において「逆転」させている。この図からも分かるように、通常、「静止」状態では、励磁コイル１−１および１−２への電流が遮断され、非通電状態とされる。
【００１５】
本実施の形態では、このような基本原理に従って動作するステッピングモータ１に対し、温度センサ７を取り付けている。温度センサ７はステッピングモータ１の周囲温度としてその表面温度を検出する。また、温度検知・処理部１１を設け、温度センサ７の検出温度を与えるようにしている。温度検知・処理部１１は、温度センサ７からの検出温度が０℃以下となった場合、位置決め制御部８へ加熱指令を送る。
【００１６】
図１に温度検知・処理部１１から位置決め制御部８へ加熱指令が送られた場合の励磁コイル１−１および１−２への電流Ｉ１，Ｉ２の供給例（参考例）を示す。この供給例では期間Ｔ４内のｔ０点で加熱動作が始まっている。
【００１７】
期間Ｔ１において、位置決め制御部８は上位装置からの設定入力と位置検出部１２からの検出入力との偏差を求め、この偏差を零とするような位置決め制御信号を生成し、モータドライバ９へ送る。モータドライバ９は、位置決め制御部８からの位置決め制御信号を受けて、位相が９０゜ずれたデューティ比５０％のパルス信号Ｓ１，Ｓ２を直流電源１０へ送る。
【００１８】
モータドライバ９はパルス信号Ｓ１，Ｓ２を常に生成している。パルス信号Ｓ１はパルス信号Ｓ２よりも位相が９０゜進んでいる。期間Ｔ１では、ステッピングモータ１を逆転させるべく、出力端子９−１，９−２からパルス信号Ｓ１，Ｓ２を出力する。このパルス信号Ｓ１，Ｓ２を受けて、直流電源１０からパルス信号Ｓ１と同位相・同波形の電流Ｉ１が励磁コイル１−１へ供給され、パルス信号Ｓ２と同位相・同波形の電流Ｉ２が励磁コイル１−２へ供給される。これにより、▲４▼，▲３▼，▲２▼，▲１▼という順序でコイル極性が切り換えられ、ステッピングモータ１が逆転する。
【００１９】
期間Ｔ２において、位置決め制御部８は上位装置からの設定入力と位置検出部１２からの検出入力との偏差が零となったことを確認し、モータドライバ９へ停止指令を送る。これにより、モータドライバ９は、直流電源１０へのパルス信号Ｓ１，Ｓ２の送出を中断し、直流電源１０からステッピングモータ１への電流Ｉ１，Ｉ２を遮断する。これにより、ステッピングモータ１は、そのときの磁気的安定点で静止する。
【００２０】
期間Ｔ３において、位置決め制御部８は上位装置からの設定入力と位置検出部１２からの検出入力との偏差を求め、この偏差を零とするような位置決め制御信号を生成し、モータドライバ９へ送る。モータドライバ９は、位置決め制御部８からの位置決め制御信号を受けて、パルス信号Ｓ１，Ｓ２を直流電源１０へ送る。期間Ｔ３では、ステッピングモータ１を正転させるべく、出力モードを切り換えて、出力端子９−１，９−２からパルス信号Ｓ２，Ｓ１を出力する。このパルス信号Ｓ２，Ｓ１を受けて、直流電源１０からパルス信号Ｓ２と同位相・同波形の電流Ｉ１が励磁コイル１−１へ供給され、パルス信号Ｓ１と同位相・同波形の電流Ｉ２が励磁コイル１−２へ供給される。これにより、▲１▼，▲２▼，▲３▼，▲４▼という順序でコイル極性が切り換えられ、ステッピングモータ１が正転する。
【００２１】
期間Ｔ４において、位置決め制御部８は上位装置からの設定入力と位置検出部１２からの検出入力との偏差が零となったことを確認し、モータドライバ９へ停止指令を送る。これにより、モータドライバ９は、直流電源１０へのパルス信号Ｓ１，Ｓ２の送出を中断し、直流電源１０からステッピングモータ１への電流Ｉ１，Ｉ２を遮断する。これにより、ステッピングモータ１は、そのときの磁気的安定点で静止する。
【００２２】
図１では期間Ｔ４内のｔ０点で加熱動作が始まっている。温度検知・処理部１１は、温度センサ７からの検出温度を入力とし、ステッピングモータ１の周囲温度（表面温度）を監視している。ステッピングモータ１の表面温度が０℃以下となると、温度検知・処理部１１は位置決め制御部８へ加熱指令を送る。
【００２３】
この加熱指令を受けて、位置決め制御部８は、ステッピングモータ１の静止状態において、すなわち励磁コイル１−１，１−２への電流Ｉ１，Ｉ２を遮断している状態において、モータドライバ９において常時発生しているパルス信号Ｓ１，Ｓ２のその時のレベルをラッチし、このラッチした信号Ｓ１′，Ｓ２′を直流電源１０へ与える。図１のｔ０点では、パルス信号Ｓ１が「Ｈ」レベル、パルス信号Ｓ２が「Ｌ」レベルの時点でそのレベルラッチし、「Ｈ」レベルの信号Ｓ１′を出力端子９−１を介して直流電源１０へ与え、「Ｌ」レベルの信号Ｓ２′を出力端子９−２を介して直流電源１０へ与えている。これによって、ステッピングモータ１の駆動コイル１−１へＡＢ方向への電流Ｉ１が流れ、駆動コイル１−２へＤＣ方向への電流Ｉ２が流れる。
【００２４】
これにより、ステッピングモータ１が静止したままの状態で、駆動コイル１−１，１−２がジュール熱により発熱し、すなわち駆動コイル１−１，１−２に上記電流Ｉ１，Ｉ２が非駆動加熱電流として供給され、加熱動作が始まる。なお、ステッピングモータ１が最後に停止したときの励磁位相と加熱動作に入る時の励磁位相との関係で、ステッピングモータ１の回転角度が１ステップ変化することがある。しかし、１ステップ回転しても、すなわちステッピングモータ１の回転軸が１ステップ回転しても、ギア機構５を介し、ギヤダウンしてその回転力が出力軸６へ伝達されるので、出力軸６の回転角度変化は極僅かであり問題はない。１ステップ回転後、非駆動加熱電流の供給中は、ステッピングモータ１の回転角度に変化は生じない。
【００２５】
期間Ｔ５において、位置決め制御部８は上位装置からの設定入力と位置検出部１２からの検出入力との偏差を求め、この偏差を零とするような位置決め制御信号を生成し、モータドライバ９へ送る。この場合、位置決め制御部８は先に温度検知・処理部１１からの加熱指令を受けて加熱動作を行わせているが、位置決め制御信号に基づく回転制御を優先させる。すなわち、モータが回転中はモータ発熱があるので、加熱のための通電は不要と判断して加熱動作を中断し、位置決め制御信号に基づく回転制御を行わせる。
【００２６】
また、図１のタイムチャートでは示していないが、ステッピングモータ１の回転中に温度センサ７の検出温度が万一０℃以下となった場合でも、加熱のための通電は不要と判断する。この場合、ステッピングモータ１の回転が停止するまで待って、加熱動作に入る。
また、加熱動作中、温度センサ７の検出温度がもしある程度以上（例えば、２０℃以上）になれば、温度検知・処理部１１は位置決め制御部８へ加熱停止指令を送り、これにより、駆動コイル１−１，１−２への非駆動加熱電流の供給が遮断され、加熱動作が停止する。
【００２７】
〔実施の形態１〕
なお、図１では、参考例として、加熱指令が出された時のパルス信号Ｓ１，Ｓ２のレベルをラッチし、このラッチした信号Ｓ１′，Ｓ２′を直流電源１０へ与えるようにしたが、実施の形態１では、パルス信号Ｓ１のレベルのみをラッチして直流電源１０へ与えるようにする。すなわち、図１０に示すように、駆動コイル１−２へは電流を供給せずに、駆動コイル１−１側のみに非駆動加熱電流を供給するようにする。この逆、すなわち駆動コイル１−１へは電流を供給せずに、駆動コイル１−２側のみに非駆動加熱電流を供給するようにしてもよいことは勿論である。
【００２８】
〔実施の形態２〕
また、実施の形態２では、パルス信号Ｓ１（又はＳ２）のみを直流電源１０へ与えるようにする。すなわち、図１１に示すように、駆動コイル１−２（又は２−１）へは電流を供給せずに、駆動コイル１−１（又は１−２）側のみにデューティ比５０％のパルス状の非駆動加熱電流を供給するようにする。実際には、検出温度を０℃とし、加熱時の駆動コイルへの電圧を２４Ｖ、電流を２Ａ程度とし、デューティ比を５０％程度で通電すると、環境温度が−５℃の時、モータ表面はほゞ１０℃まで加熱される。
【００２９】
図１０や図１１のような非駆動加熱電流の供給方法とした場合、ステッピングモータ１が直前に停止したときの励磁位相がどの位相であっても、加熱動作の開始時点ｔ０ではステッピングモータ１を回転させる力が発生せず、ステッピングモータ１の回転角度が１ステップ変化してしまうということはない。すなわち、ステッピングモータ１の回転角度が変化せず、停止したままの状態で駆動コイル１−１，１−２がジュール熱により発熱する。
【００３０】
なお、本実施の形態では、温度センサ７をステッピングモータ１に取り付け、ステッピングモータ１の周囲温度として表面温度を検出するようにしたが、ステッピングモータ１から離れた内部空間の温度を検出するようにしてもよい。
また、本実施の形態では、ステッピングモータ１の駆動コイルを２つとしたが、２つ以上の駆動コイルを有するステッピングモータについても同様にして適用することができる。
【００３１】
また、温度検知・処理部１１に過熱保護機能を付加してもよい。すなわち、予め過熱保護温度を例えば１００℃として定めておき、温度センサ７の検出温度がこの過熱保護温度を超えた場合、例えモータが回転中であっても温度検知・処理部１１より位置決め制御部８へ給電停止指令を送り、ステッピングモータ１の駆動コイル１−１，１−２への電流Ｉ１，Ｉ２の供給を遮断あるいは制限するようにしてもよい。これにより、駆動コイル１−１，１−２の焼損等の故障を回避することができる。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明したことから明らかなように本発明によれば、温度センサの検出温度が所定温度以下となると、その駆動コイルの全てを非通電状態として静止状態にあるステッピングモータの第１〜第Ｎの駆動コイルのうち所定の駆動コイルのみに、このモータの回転角度に変化を与えない非駆動加熱電流が供給されるものとなり、ステッピングモータが静止した状態で所定の駆動コイルのみがジュール熱により発熱する。これにより、電子バルブなどのステッピングモータを用いた機器からスペースヒータをなくし、部品点数を削減してコストダウンや小型化を促進するとが可能となり、また正確な温度制御や加熱効率を高めて消費電力を低減することが可能となる。また、ステッピングモータが直前に停止したときの励磁位相がどの位相であっても、加熱動作の開始時点ではステッピングモータを回転させる力が発生せず、ステッピングモータの回転角度が１ステップ変化してしまうことはない。
【図面の簡単な説明】
【図１】  温度検知・処理部から位置決め制御部へ加熱指令が送られた場合のステッピングモータへの非駆動加熱電流の供給例（参考例）を示す図である。
【図２】  本発明に係る保温機能付きステッピングモータを使用した電子バルブの要部を示すブロック図である。
【図３】  バイポーラ型ステッピングモータの原理図である。
【図４】  このステッピングモータを２相励磁方式で回転させる場合の励磁位相とコイル極性との関係を示す図である。
【図５】  このステッピングモータを正転させる場合の駆動コイルのＡとＣの極性に注目したタイムチャートである。
【図６】  このステッピングモータを逆転させる場合の駆動コイルのＡとＣの極性に注目したタイムチャートである。
【図７】  正転時にステッピングモータに供給される励磁電流Ｉ１，Ｉ２を示す図である。
【図８】  逆転時にステッピングモータに供給される励磁電流Ｉ１，Ｉ２を示す図である。
【図９】  回転（正転，逆転）・停止（静止）が繰り返される場合のステッピングモータへの電流Ｉ１，Ｉ２の供給例を示す図である。
【図１０】  温度検知・処理部から位置決め制御部へ加熱指令が送られた場合のステッピングモータへの非駆動加熱電流の他の供給例（実施の形態１）を示す図である。
【図１１】  温度検知・処理部から位置決め制御部へ加熱指令が送られた場合のステッピングモータへの非駆動加熱電流の別の供給例（実施の形態２）を示す図である。
【図１２】  ステッピングモータを用いた電子バルブの要部を示す一部破断側断面図である。
【符号の説明】
１…ステッピングモータ、１−１，１−２…駆動コイル、１−３…ロータ、２…回路基板、３…カバー、５…ギア機構、６…出力軸、７…温度センサ、８…位置決め制御部、９…モータドライバ、９−１，９−２…出力端子、１０…直流電源、１１…温度検知・処理部、１２…位置検出部、１００…電子バルブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
0004494593.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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