(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複屈折材料を含み、この複屈折材料の透過特性を利用する光デバイスであって、
温度変化に因り前記透過特性が変化する前記複屈折材料と、
前記複屈折材料の温度変化に応じて前記複屈折材料の光路長を調整することで、前記複屈折材料の前記透過特性の変化を補償する光路長調整手段を備え、
前記複屈折材料は、光軸に直交する所定方向に沿って光軸方向の厚みが変化している楔型部材を含み、
前記光路長調整手段は、前記複屈折材料とは別体の部材として設けられ、温度変化に応じて膨張・収縮することで前記所定方向に前記複屈折材料の前記楔型部材を移動させる伸縮部材を含む、
ことを特徴とする光デバイス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複屈折材料の透過特性を利用する光デバイスに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
複屈折材料の透過特性を利用する光デバイスとして、例えば図７に示される構成のものが挙げられる。この図に示された光デバイス１は、偏光ビームスプリッタ１１，１２、ミラー２１，２２および複屈折材料３０を備えている。なお、この図に示されたｘｙｚ直交座標系において、複屈折材料３０を光がｚ軸方向に通過する。また、複屈折材料３０のＣ軸は、ｘｙ平面に平行であって、ｘ軸に対して４５度だけ傾斜している。
【０００３】
入力ポート１ａより入力した光は、偏光ビームスプリッタ１１により、第１方位（ｘ軸方向）および第２方位（ｙ軸方向）それぞれの偏光成分に分離されて、第１方位の偏光成分が第１経路Ｐ1へ出力され、第２方位の偏光成分が第２経路Ｐ2へ出力される。なお、第１経路Ｐ1は、偏光ビームスプリッタ１１よりミラー２２を経て偏光ビームスプリッタ１２へ到るまでの経路である。一方、第２経路Ｐ2は、偏光ビームスプリッタ１１よりミラー２１を経て偏光ビームスプリッタ１２へ到るまでの経路である。
【０００４】
偏光ビームスプリッタ１１より第１経路Ｐ1へ出力された第１方位の偏光成分の光は、複屈折材料３０を通過することで、波長λに応じた割合で第２方位の偏光成分に変換され、ミラー２２により反射されて偏光ビームスプリッタ１２へ入射する。一方、偏光ビームスプリッタ１１より第２経路Ｐ2へ出力された第２方位の偏光成分の光は、ミラー２１により反射された後に複屈折材料３０を通過することで、波長λに応じた割合で第１方位の偏光成分に変換され、偏光ビームスプリッタ１２へ入射する。
【０００５】
そして、偏光ビームスプリッタ１２により、第１経路Ｐ1より到達した第１方位の偏光成分と、第２経路Ｐ2より到達した第２方位の偏光成分とが偏波合成され、この合成された光が第１出力ポート１ｂより出力される。また、偏光ビームスプリッタ１２により、第１経路Ｐ1より到達した第２方位の偏光成分と、第２経路Ｐ2より到達した第１方位の偏光成分とが偏波合成され、この合成された光が第２出力ポート１ｃより出力される。
【０００６】
図８は、光デバイス１の透過特性を示す図である。この図に示すように、光デバイス１の入力ポート１ａから第１出力ポート１ｂへの光の透過率の波長依存性Ｔ1(λ)（図中で実線で示したもの）は周期的である。同様に、光デバイス１の入力ポート１ａから第２出力ポート１ｃへの光の透過率の波長依存性Ｔ2(λ)（図中で破線で示したもの）も周期的である。また、透過率Ｔ1(λ)が極大となる波長と、透過率Ｔ2(λ)が極大となる波長とは、交互に存在する。すなわち、この光デバイス１は、多波長信号光を分波するインターリーバとして動作する。なお、透過率Ｔ1(λ)（または透過率Ｔ2(λ)）が極大となる波長のうち隣合う２つの波長の周波数間隔はＦＳＲ（Free Spectral Range）と呼ばれる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような複屈折材料３０を含む光デバイス１の透過特性Ｔ(λ)（Ｔ1(λ)またはＴ2(λ)）は、
【数１】
0004569017.tif 000002
なる式で表される。ここで、Ｌは複屈折材料３０のｚ軸方向の厚みであり、ｎeは複屈折材料３０の異常光線に対する屈折率であり、ｎoは複屈折材料３０の常光線に対する屈折率である。ｊは虚数である。
【０００８】
また、これらのパラメータＬ、ｎeおよびｎoそれぞれは温度に依存している。
基準温度に対して温度がΔＴだけ変化したときの各パラメータは、
【数２】
0004569017.tif 000003
なる式で表される。ここで、Ｌiは基準温度における複屈折材料３０のｚ軸方向の厚みであり、ｋLは複屈折材料３０の線膨張係数である。ｎeiは基準温度における複屈折材料３０の異常光線に対する屈折率であり、ｋeは複屈折材料３０の異常光線に対する屈折率の温度係数である。また、ｎoiは基準温度における複屈折材料３０の常光線に対する屈折率であり、ｋoは複屈折材料３０の常光線に対する屈折率の温度係数である。
【０００９】
したがって、複屈折材料３０の温度が変動すると、複屈折材料３０の屈折率ｎeおよびｎoならびに厚みＬそれぞれが変動するので、透過特性Ｔ(λ)も変動する。もし、この光デバイス１がインターリーバとして用いられるのであれば、温度変動に因り多波長信号光が正しく分波されず、この光デバイス１を含む光通信システムにおいては信号光の受信ができなくなる事態が生じる場合がある。
【００１０】
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、温度変動が生じても安定した透過特性を有する光デバイスを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る光デバイスは、複屈折材料を含み、この複屈折材料の透過特性を利用する光デバイスであって、温度変化に因り透過特性が変化する複屈折材料と、複屈折材料の温度変化に応じて複屈折材料の光路長を調整することで、複屈折材料の透過特性の変化を補償する光路長調整手段を備え、複屈折材料は、光軸に直交する所定方向に沿って光軸方向の厚みが変化している楔型部材を含み、光路長調整手段は、複屈折材料とは別体の部材として設けられ、温度変化に応じて膨張・収縮することで所定方向に複屈折材料の楔型部材を移動させる伸縮部材を含むことを特徴とする。この光デバイスでは、温度変化に因り、複屈折材料の膨張・収縮や屈折率変化が生じる一方で、複屈折材料の光路長が調整される。この光路長の調整により補償されることで、温度変化に因る透過特性の変化は小さくなる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１５】
初めに、本願発明の基本的な事項について説明する。基準温度に対して温度がΔＴだけ変化したときの位相変化δ(ΔＴ)は、上記(2a)〜(2c)式を上記(1b)式に代入することで得られ、
【数３】
0004569017.tif 000004
なる式で表される。この(3)式の最右辺の第１項は温度変化ΔＴに依存せず一定であるのに対して、第２項は温度変化ΔＴの寄与分を表している。しかし、温度変化ΔＴに応じて第１項の値を調整することで第２項の値の変化を相殺することができれば、温度変動が生じても光デバイスは安定した透過特性を有することができる。或いは、第１の複屈折材料と第２の複屈折材料とを組み合わせて、温度変化に因る第１および第２の複屈折材料それぞれの透過特性の変化が互いに相殺するようにすることができれば、温度変動が生じても光デバイスは安定した透過特性を有することができる。以下では、光デバイスに含まれる複屈折材料の周辺について説明するが、光デバイスは例えば図７に示した構成を有している。
【００１６】
（第１実施形態）
次に、本発明に係る光デバイスの第１実施形態について説明する。図１は、第１実施形態に係る光デバイスに含まれる複屈折材料の周辺を示す図である。なお、この図に示されたｘｙｚ直交座標系において光はｚ軸方向に通過する。この図に示すように、本実施形態に係る光デバイスは、３つの複屈折材料１３１〜１３３（図７中の複屈折材料３０に相当）、伸縮部材１４１，１４２および固定部材１５１，１５２を含んでいる。
【００１７】
複屈折材料１３１〜１３３それぞれは、光軸上に順に配置されている。複屈折材料１３１〜１３３それぞれのＣ軸は、ｘｙ平面に平行であって、ｘ軸に対して４５度だけ傾斜している。これらは、例えば、方解石（ＣａＣＯ3）、ルチル（ＴｉＯ2）、ＹＶＯ4、ＬｉＮｂＯ3等からなる。
【００１８】
複屈折材料１３１の光入射面１３１ａ、複屈折材料１３２の光出射面１３２ｂ、ならびに、複屈折材料１３３の光入射面１３３ａおよび光出射面１３３ｂそれぞれは、ｘｙ平面に平行である。しかし、複屈折材料１３１の光出射面１３１ｂおよび複屈折材料１３２の光入射面１３２ａそれぞれは、互いに平行であって、ｘ軸方向に対して平行ではあるが、ｘｙ平面に対しては平行ではない。すなわち、複屈折材料１３１は、ｙ座標値が大きいほどｚ軸方向の厚みが小さくなっていて、ｙ軸方向に沿ってｚ軸方向の厚みが変化している楔型部材となっている。一方、複屈折材料１３２は、ｙ座標値が大きいほどｚ軸方向の厚みが大きくなっていて、ｙ軸方向に沿ってｚ軸方向の厚みが変化している楔型部材となっている。
【００１９】
伸縮部材１４１，１４２それぞれは、線膨張係数が比較的大きい材料からなり、例えばアルミニウム（線膨張係数２．３１×１０-5／℃）等からなる。固定部材１５１，１５２それぞれは、伸縮部材１４１，１４２より小さい線膨張係数を有する材料からなり、例えばインバール（線膨張係数１．２０×１０-6／℃）等からなる。固定部材１５１，１５２それぞれは光軸を挟んで対向して配置されており、固定部材１５１の配置位置のｙ座標値は、固定部材１５２の配置位置のｙ座標値より大きい。固定部材１５１，１５２それぞれは複屈折材料１３３を直接に挟んでいる。伸縮部材１４１は、ｙ軸方向に関して固定部材１５１と複屈折材料１３１との間に設けられ、固定部材１５１および複屈折材料１３１それぞれと固定されている。また、伸縮部材１４２は、ｙ軸方向に関して固定部材１５２と複屈折材料１３２との間に設けられ、固定部材１５２および複屈折材料１３２それぞれと固定されている。
【００２０】
このような構成の複屈折材料１３１〜１３３等を含む光デバイスでは、温度変化ΔＴに因り、複屈折材料１３１〜１３３それぞれが膨張・収縮し（上記(2a)式）、また、複屈折材料１３１〜１３３それぞれの屈折率ｎeおよびｎoの値が変動する（上記(2b)式，(2c)式）。さらに、温度変化ΔＴに因り、伸縮部材１４１，１４２それぞれが膨張・収縮し、複屈折材料１３１，１３２それぞれがｙ軸方向に移動して、光路長が変化する。例えば、温度変化ΔＴが正（温度上昇）であれば、伸縮部材１４１，１４２それぞれが膨張して、複屈折材料１３１が−ｙ方向に移動し、複屈折材料１３２が＋ｙ方向に移動するので、このことに因り、複屈折材料１３１，１３２それぞれの光軸上の厚みが小さくなり、光路長が短くなる。したがって、この光デバイスでは、温度変化に因り、上記(3)式の最右辺の第２項の値が変化するだけでなく、第１項の値も変化する。そして、上記(3)式の最右辺の第１項の値の変化が第２項の値の変化を相殺することにより、位相変化δ(ΔＴ)の絶対値が小さくなり、光デバイスは安定した透過特性を有することができる。
【００２１】
図２は、第１実施形態に係る光デバイスにおける複屈折材料１３１の光出射面１３１ｂの傾斜角度θと伸縮部材１４１，１４２それぞれの長さとの関係を示すグラフである。複屈折材料１３１の光出射面１３１ｂの傾斜角度θは、ｘｙ平面との間の角度であり、複屈折材料１３２の光入射面１３２ａの傾斜角度と等しい。伸縮部材１４１，１４２それぞれの材料はアルミニウムであるとし、伸縮部材１４１，１４２それぞれの長さ（ｙ軸方向の長さ）は互いに等しいとした。固定部材１５１，１５２それぞれの材料はインバールであるとした。この図は、複屈折材料１３１〜１３３の材料がＴｉＯ2およびＹＶＯ4それぞれである場合について、位相変化δ(ΔＴ)が０となるときの傾斜角度θと伸縮部材１４１，１４２それぞれの長さとの関係を示している。この図から判るように、傾斜角度θの値に応じて伸縮部材１４１，１４２それぞれの長さを適切に設定することで、位相変化δ(ΔＴ)の絶対値を小さくすることができ、安定した透過特性を有する光デバイスを実現することができる。
【００２２】
（第２実施形態）
次に、本発明に係る光デバイスの第２実施形態について説明する。図３は、第２実施形態に係る光デバイスに含まれる複屈折材料の周辺を示す図である。なお、この図に示されたｘｙｚ直交座標系において光はｚ軸方向に通過する。この図に示すように、本実施形態に係る光デバイスは、３つの複屈折材料２３１〜２３３（図７中の複屈折材料３０に相当）、伸縮部材２４０および固定部材２５０を含んでいる。
【００２３】
複屈折材料２３１〜２３３それぞれは、光軸上に順に配置されている。複屈折材料２３１〜２３３それぞれのＣ軸は、ｘｙ平面に平行であって、ｘ軸に対して４５度だけ傾斜している。これらは、例えば、方解石（ＣａＣＯ3）、ルチル（ＴｉＯ2）、ＹＶＯ4、ＬｉＮｂＯ3等からなる。
【００２４】
複屈折材料２３１の光入射面２３１ａおよび複屈折材料２３３の光出射面２３３ｂそれぞれは、ｘｙ平面に平行である。しかし、複屈折材料２３１の光出射面２３１ｂおよび複屈折材料２３２の光入射面２３２ａそれぞれは、互いに平行であって、ｘ軸方向に対して平行ではあるが、ｘｙ平面に対しては平行ではない。
複屈折材料２３２の光出射面２３２ｂおよび複屈折材料２３３の光入射面２３３ａそれぞれは、互いに平行であって、ｘ軸方向に対して平行ではあるが、ｘｙ平面に対しては平行ではない。すなわち、複屈折材料２３１および２３３それぞれは、ｙ座標値が大きいほどｚ軸方向の厚みが小さくなっていて、ｙ軸方向に沿ってｚ軸方向の厚みが変化している楔型部材となっている。一方、複屈折材料２３２は、ｙ座標値が大きいほどｚ軸方向の厚みが大きくなっていて、ｙ軸方向に沿ってｚ軸方向の厚みが変化している楔型部材となっている。
【００２５】
伸縮部材２４０は、線膨張係数が比較的大きい材料からなり、例えばアルミニウム等からなる。固定部材２５０は、伸縮部材２４０より小さい線膨張係数を有する材料からなり、例えばインバール等からなる。複屈折材料２３１および２３３それぞれは固定部材２５０に直接に固定されている。伸縮部材２４０は、ｙ軸方向に関して固定部材２５０と複屈折材料２３２との間に設けられ、固定部材２５０および複屈折材料２３２それぞれと固定されている。
【００２６】
このような構成の複屈折材料２３１〜２３３等を含む光デバイスでは、温度変化ΔＴに因り、複屈折材料２３１〜２３３それぞれが膨張・収縮し（上記(2a)式）、また、複屈折材料２３１〜２３３それぞれの屈折率ｎeおよびｎoの値が変動する（上記(2b)式，(2c)式）。さらに、温度変化ΔＴに因り、伸縮部材２４０が膨張・収縮し、複屈折材料２３２がｙ軸方向に移動して、光路長が変化する。例えば、温度変化ΔＴが正（温度上昇）であれば、伸縮部材２４０が膨張して、複屈折材料２３２が＋ｙ方向に移動するので、このことに因り、複屈折材料２３２の光軸上の厚みが小さくなり、光路長が短くなる。したがって、この光デバイスでは、温度変化に因り、上記(3)式の最右辺の第２項の値が変化するだけでなく、第１項の値も変化する。そして、上記(3)式の最右辺の第１項の値の変化が第２項の値の変化を相殺することにより、位相変化δ(ΔＴ)の絶対値が小さくなり、光デバイスは安定した透過特性を有することができる。
【００２７】
（第３実施形態）
次に、本発明に係る光デバイスの第３実施形態について説明する。図４は、第３実施形態に係る光デバイスに含まれる複屈折材料の周辺を示す斜視図である。
図５は、第３実施形態に係る光デバイスに含まれる複屈折材料の周辺を示す断面図である。図５の断面図は、光軸を含む面で切断したときのものである。なお、これらの図において光はｚ軸方向に通過する。この図に示すように、本実施形態に係る光デバイスは、複屈折材料３３０（図７中の複屈折材料３０に相当）、伸縮部材３４１，３４２および固定部材３５０を含んでいる。
【００２８】
伸縮部材３４１，３４２それぞれは、線膨張係数が比較的大きい材料からなり、例えばアルミニウム等からなる。固定部材３５０は、伸縮部材３４１，３４２より小さい線膨張係数を有する材料からなり、例えばインバール等からなる。伸縮部材３４１および３４２は、ｚ軸に対して垂直な方向に複屈折材料３３０を挟んでいる。固定部材３５０は、ｚ軸方向に貫通する孔を有しており、その貫通孔の中に複屈折材料３３０および伸縮部材３４１，３４２が挿入されている。
【００２９】
このような構成の複屈折材料３３０等を含む光デバイスでは、温度変化ΔＴに因り、複屈折材料３３０が膨張・収縮し（上記(2a)式）、また、複屈折材料３３０の屈折率ｎeおよびｎoの値が変動する（上記(2b)式，(2c)式）。さらに、温度変化ΔＴに因り、伸縮部材３４１，３４２それぞれが膨張・収縮し、複屈折材料３３０に対して加えられる応力が変化して、複屈折材料３３０の屈折率ｎe，ｎoそれぞれの値が変化する。したがって、この光デバイスでは、温度変化に因り、上記(3)式の最右辺の第２項の値が変化するだけでなく、第１項の値も変化する。そして、上記(3)式の最右辺の第１項の値の変化が第２項の値の変化を相殺することにより、位相変化δ(ΔＴ)の絶対値が小さくなり、光デバイスは安定した透過特性を有することができる。
【００３０】
（第４実施形態）
次に、本発明に係る光デバイスの第４実施形態について説明する。図６は、第４実施形態に係る光デバイスに含まれる複屈折材料の周辺を示す図である。なお、この図に示されたｘｙｚ直交座標系において光はｚ軸方向に通過する。この図に示すように、本実施形態に係る光デバイスは、２つの複屈折材料４３１，４３２（図７中の複屈折材料３０に相当）を含んでいる。
【００３１】
第１の複屈折材料４３１および第２の複屈折材料４３２それぞれは、互いに異なる材料からなり、光軸上に順に配置されている。複屈折材料４３１，４３２それぞれのＣ軸は、ｘｙ平面に平行であって、ｘ軸に対して４５度だけ傾斜しており、また、互いに直交している。これらは、例えば、方解石（ＣａＣＯ3）、ルチル（ＴｉＯ2）、ＹＶＯ4、ＬｉＮｂＯ3等からなる。
【００３２】
このような構成の複屈折材料４３１，４３２を含む光デバイスでは、温度変化ΔＴに因り、複屈折材料４３１，４３２それぞれは、膨張・収縮し（上記(2a)式）、また、屈折率ｎeおよびｎoの値が変動して、（上記(2b)式，(2c)式）、位相変化δ(ΔＴ)が変動する（上記(3)式）。しかし、本実施形態では、温度変化ΔＴに因る第１の複屈折材料４３１の位相変化δ1(ΔＴ)と、温度変化ΔＴに因る第２の複屈折材料４３２の位相変化δ2(ΔＴ)とが、互いに相殺するように構成されている。したがって、全体の位相変化（δ1(ΔＴ)＋δ2(ΔＴ)）の絶対値が小さくなり、光デバイスは安定した透過特性を有することができる。
【００３３】
次に、第４実施形態の光デバイスの具体的な実施例について説明する。この実施例では、第１の複屈折材料４３１として方解石を用い、第２の複屈折材料４３２としてルチルを用いる。方解石は、ｎoi＝１．６３４５７、ｎei＝１．４７７４４、ｋo＝２．１０×１０-6、ｋe＝１．１８×１０-5、ｋL＝５．５４×１０-6 である。一方、ルチルは、ｎoi＝２．４５３１８、ｎei＝２．７０９３０、ｋo＝−５．９５×１０-5、ｋe＝−８．３８×１０-5、ｋL＝７．１４×１０-6 である。これらの値に基づいて、上記(3)式の最右辺の第２項の中に現れる因子［(ｋe−ｋo)＋ｋL・(ｎei−ｎoi)］の値を求めると、方解石の場合には＋８．８２９×１０-6であり、ルチルの場合には−２．２４７×１０-5であって、両者の符号が異なる。
【００３４】
方解石の光軸方向の厚みをＬ1とし、ルチルの光軸方向の厚みをＬ2とすると、
【数４】
0004569017.tif 000005
なる関係式が成り立てば、全体の位相変化が０となり、光デバイスは安定した透過特性を有することができる。この(4)式より、方解石の厚みＬ1とルチルの厚みＬ2との比は、
【数５】
0004569017.tif 000006
なる式で表される。すなわち、ルチルの厚みＬ2を方解石の厚みＬ1の０．３９２９倍に設定すれば、全体の位相変化が０となり、光デバイスは安定した透過特性を有することができる。このとき、常光線および異常光線それぞれの光路長の差は、上記の各パラメータの値を用いると、０．０５６５０・Ｌ1 である。また、ＦＳＲ＝１００ＧＨｚとすると、方解石の厚みＬ1は５３．１ｍｍとなり、ルチルの厚みＬ2は２０．９ｍｍとなる。
【００３５】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したとおり、本発明に係る光デバイスは、複屈折材料の温度変化に応じて複屈折材料の光路長を調整することで、その温度変化に因る透過特性の変化を補償する光路長調整手段を備えている。したがって、この光デバイスでは、温度変化に因り、複屈折材料の膨張・収縮や屈折率変化が生じる一方で、複屈折材料の光路長が調整される。この光路長の調整により補償されることで、温度変化に因る透過特性の変化は小さくなる。
【００３６】
また、他の本発明に係る光デバイスは、複屈折材料の温度変化に応じて複屈折材料の応力を調整することで、その温度変化に因る透過特性の変化を補償する応力調整手段を備えている。したがって、この光デバイスでは、温度変化に因り、複屈折材料の膨張・収縮や屈折率変化が生じる一方で、複屈折材料の応力が調整される。この応力の調整により補償されることで、温度変化に因る透過特性の変化は小さくなる。
【００３７】
さらに他の本発明に係る光デバイスは、第１の複屈折材料および第２の複屈折材料を含み、これらの複屈折材料の透過特性を利用する光デバイスであって、温度変化に因る第１の複屈折材料の透過特性の変化と、その温度変化に因る第２の複屈折材料の透過特性の変化とが、互いに相殺するものである。したがって、この光デバイスでは、第１および第２の複屈折材料それぞれの透過特性の変化が互いに相殺するので、温度変化に因る全体の透過特性の変化は小さくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係る光デバイスに含まれる複屈折材料の周辺を示す図である。
【図２】第１実施形態に係る光デバイスにおける複屈折材料１３１の光出射面１３１ｂの傾斜角度θと伸縮部材１４１，１４２それぞれの長さとの関係を示すグラフである。
【図３】第２実施形態に係る光デバイスに含まれる複屈折材料の周辺を示す図である。
【図４】第３実施形態に係る光デバイスに含まれる複屈折材料の周辺を示す斜視図である。
【図５】第３実施形態に係る光デバイスに含まれる複屈折材料の周辺を示す断面図である。
【図６】第６実施形態に係る光デバイスに含まれる複屈折材料の周辺を示す断面図である。
【図７】複屈折材料の透過特性を利用する光デバイス１の構成図である。
【図８】光デバイス１の透過特性を示す図である。
【符号の説明】
１…光デバイス、１１，１２…偏光ビームスプリッタ、２１，２２…ミラー、３０…複屈折材料、１３１〜１３３…複屈折材料、１４１，１４２…伸縮部材、１５１，１５２…固定部材、２３１〜２３３…複屈折材料、２４０…伸縮部材、２５０…固定部材、３３０…複屈折材料、３４１，３４２…伸縮部材、３５０…固定部材、４３１…第１の複屈折材料、４３２…第２の複屈折材料。
【図１】
0004569017.tif 000007
【図２】
0004569017.tif 000008
【図３】
0004569017.tif 000009
【図４】
0004569017.tif 000010
【図５】
0004569017.tif 000011
【図６】
0004569017.tif 000012
【図７】
0004569017.tif 000013
【図８】
0004569017.tif 000014