(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
超薄振動部と、該超薄振動部の全周縁に一体化した厚肉環状囲繞部とから成る超薄圧電共振子素板を、大面積圧電ウェハを用いて複数個一括製造する方法であって、
前記圧電ウェハの面上にエッチングにより複数の凹陥部を所定の配列で形成することにより各凹陥部底面に前記超薄振動部を形成する凹陥部形成工程と、
前記圧電ウェハ上に形成した各超薄振動部の肉厚のバラツキを測定する肉厚測定工程と、
前記肉厚測定工程にて検出された個々の超薄振動部の肉厚についてのバラツキを修正して規定肉厚にまで減少させるために個々の凹陥部内にエッチング液を滴下し、エッチング液の滴下後所定時間経過後にエッチング液を中和する中和液を各凹陥部内に滴下する肉厚微調整工程と、
から成ることを特徴とする超薄圧電共振子素板の製造方法。
【請求項２】
底面に超薄振動部を備えた複数の凹陥部を所定の配列で面上に有した大面積圧電ウェハを用いて複数の超薄板圧電共振素板を製造する装置であって、
各凹陥部内に個別に肉厚微調整用のエッチング液を滴下するエッチング液用ディスペンサと、該エッチング液によるエッチング時間が所定時間に達した時に該凹陥部内にエッチングの進行を停止させる中和液を滴下する中和液用ディスペンサと、両ディスペンサの動作を個別に制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、複数の超薄振動部に対して順次エッチング液を滴下するようにエッチング液用ディスペンサを制御する一方で、上記複数の超薄振動部に対するエッチング時間が所定時間に達した時に順次中和液を滴下するように中和液用ディスペンサを制御することを特徴とする超薄圧電共振子素板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は超薄振動部の全周縁に厚肉環状囲繞部を一体化した構成の超薄圧電共振子素板の製造方法及び製造装置に関し、特に大面積の圧電ウェハ上にエッチングにより凹陥部を形成した後で、各凹陥部底面に形成された超薄振動部の肉厚を微調整して規定肉厚とするための製造方法及び製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
最近では、各種通信機器や電子機器に対して超小型化、超薄型化、更には高周波化が強く求められているが、これらの機器に使用する圧電振動子、フィルタの如き圧電デバイスに対しても超小型化が求められると共に、温度特性の向上や、オーバートーン発振回路の如きＩＣ化の困難な回路素子を含む付属回路の除去が強く求められている。
かかる趨勢に鑑み、本願発明者らは、例えばＡＴカット水晶板を用い、１５μｍ程度の肉厚を有した振動部の全周縁に厚肉の環状囲繞部を一体化した構成の超薄圧電共振子素板の製造方法を提案した。この超薄圧電共振子素板は、超薄肉の振動部の機械的形状を維持しつつ、基本周波数にて１００Ｍｐｐｍを越える共振を得ることができる利点を有する。
大面積圧電ウェハ上に複数の超薄圧電共振子素板を形成する場合には、圧電ウェハ上面に予めフォトレジストを均一に塗布してから、形成しようとする凹陥部の開口面積に見合った形状、配置の開口部を複数備えたマスクを用いてフォトレジストを露光し、露光後に現像液によって露光部を除去する。続いて、残ったフォトレジストをマスクとして、残留フォトレジストにより被覆されていない圧電ウェハ面をエッチング液により所定のエッチングレートにてエッチングすることにより凹陥部を形成する。凹陥部形成後には、レジスト剥離液にて残留フォトレジストを除去することにより、粗加工の半製品としての共振子素板を製造する。
このようにして圧電ウェハ上に形成された各凹陥部底面の超薄振動部の肉厚にはバラツキがあるため、各凹陥部内の超薄振動部の肉厚を規定値にするための微調整加工作業がさらに必要となる。
超薄振動部の肉厚を微調整加工する作業に先立って図４(a) に示した如き手法によって各凹陥部内の超薄振動部の肉厚を測定する工程が実施される。即ち、上面に複数の凹陥部２を有した圧電ウェハ１を、凹陥部２底面の超薄振動部３の外側面が電極となる金属板５上面に接触するように載置し、接地された金属板５に対しては周波数測定装置６から延びる一方のリード端子６ａを接続するとともに、他方の端子６ｂ（プローブ）を凹陥部側から超薄振動部３の適所に当接させ、この状態で各端子に通電することにより超薄振動部３を強制励振させ、その共振周波数を測定する。この共振周波数を振動部肉厚に換算して肉厚調整量を決定する。具体的には、各超薄振動部について測定された共振周波数が目標とする周波数、例えば３０ＭＨｚ，１００ＭＨｚ等に対してどの程度ずれているかを算出し、このずれ量を振動部肉厚のずれ量に換算する。なお、後述する微調整工程では超薄振動部の肉厚を減少させることにより微調整を行うため、前記エッチングによる凹陥部形成工程では、全ての超薄振動部３の肉厚が規定値よりも厚めになるように配慮する。
【０００３】
図４(b) は各超薄振動部３の周波数測定を終了した圧電ウェハ１の平面図であり、この例では一つの圧電ウェハ上に縦横７個づつ、合計４９個の凹陥部２が形成されているものとする。図中に示した＋５、＋６、・・・＋１０、・・・＋１４、＋１５という数字は、各凹陥部２内の超薄振動部３の共振周波数が目標とする共振周波数に対して有しているプラス方向へのずれ量（ｐｐｍ）を示している。従来のエッチング方法によって凹陥部を形成した場合には、エッチング精度が低い為、例えば共振周波数が＋１０ｐｐｍとなる肉厚の超薄振動部３を最多として、おおむね＋５ｐｐｍ〜＋１５ｐｐｍまでの大きな広がりで異なった肉厚の超薄振動部が分布していることとなる。具体的には、例えば、１０ｐｐｍのずれを有した超薄振動部が７個あり、９ｐｐｍ，１１ｐｐｍのずれを有した超薄振動部が夫々６個づつ、８ｐｐｍ，１２ｐｐｍのずれを有した超薄振動部が夫々５個づつ、７ｐｐｍ，１３ｐｐｍのずれを有した超薄振動部が夫々４個づつ、６ｐｐｍ，１４ｐｐｍのずれを有した超薄振動部が夫々３個、６ｐｐｍ，１４ｐｐｍのずれを有した超薄振動部が夫々２個づつ、５ｐｐｍ，１５ｐｐｍのずれを有した超薄振動部が夫々１個づつあるとする。
このように広い範囲で肉厚がばらついた多数の超薄振動部を、規定の共振周波数を出力可能な規定の肉厚にまで減ずる微調整を行うためには、各超薄振動部を夫々所要時間だけエッチング液に浸し、所要時間経過後に純水等によりエッチング液を一括洗浄してエッチングを終了させる作業を行う必要がある。例えば、エッチング液を超薄振動部上に滴下して１秒間浸すことにより１ｐｐｍ分に相当する肉厚を減ずることができるようにエッチングレートを設定した場合、最初に、エッチングに最も長時間を要する超薄振動部、即ち共振周波数が＋１５ｐｐｍと測定された超薄振動部（群）に対して図示しないディスペンサから一定量のエッチング液を滴下し、該滴下開始から１秒後にずれ量が＋１４ｐｐｍの超薄振動部（群）に対して一定量のエッチング液を滴下し、順次各振動部群に対する滴下開始から１秒の時間間隔にてエッチング液の滴下を行う。最後に、＋５ｐｐｍの超薄振動部（群）に対してエッチング液の滴下を行って所要時間（＋１５秒の超薄振動部に対する滴下を開始してから１５秒）経過した時点で全ての凹陥部内のエッチング液が除去されるように純水等によりウェハを一括洗浄する。
【０００４】
一つのディスペンサにて上記滴下作業を行う場合に、ディスペンサが一つの超薄振動部に滴下するのに要する時間が個々の移動時間を含めて０．１秒であるとすれば、４９個全ての超薄振動部に対する滴下作業を遅滞なく連続して行った場合の全所要時間は４．９秒となり、また＋５〜＋１５ｐｐｍの各ばらつき範囲に属する超薄振動部の個数は最多で７個（＋１０ｐｐｍの場合）、最少で１個（＋５ｐｐｍ、１５ｐｐｍの各場合）に過ぎない。従って、例えば、共振周波数のばらつきが＋１０ｐｐｍである７個の超薄振動部に対する連続したエッチング液滴下開始から１５秒後に一括洗浄を行うと７個目の超薄振動部に対するエッチング時間は１５秒よりも０．６秒短くなる。仮に、０．６秒短いエッチング時間により得られた超薄振動部の共振周波数が目的とする共振周波数との関係で許容し難いずれをもたらす場合には、当該超薄振動部を有した共振子素板は不良品となるが、許容範囲と判定される場合には十分に使用することが可能である。
つまり、共振周波数にして１Ｍｚのずれの範囲内に属する超薄振動部の個数が多ければ多いほど、一括洗浄時にエッチング不足となる超振動部の個数が増大するが、従来のようにばらつきの範囲が広い場合には、各１Ｍｚのずれの範囲内に属する超薄振動部の個数が比較的少ない為、不足するエッチング時間が許容範囲内となることが多い。
なお、圧電ウェハ１は一辺が約１インチ程度の正方形の板材であり、各凹陥部は３ｍｍ角程度の開口寸法を有している。このように狭面積の圧電ウェハ上に多数（例えば、縦横７個づつ、合計４９個）近接配置した微小寸法の凹陥部内にエッチング液を個別に滴下するためのディスペンサ装置は、先端のノズルからエッチング液を滴下するが、圧電ウェハ上の狭いスペース内に多数近接配置された各凹陥部内に不規則な順序でエッチング液を滴下する必要があることから複数のディスペンサを用いることは困難であり、通常一つのディスペンサにより滴下作業を行っている。コストの面でも、複数のディスペンサを使用することは不利である。仮に複数のディスペンサを用いてエッチング液の滴下を行おうとしても、同じ肉厚寸法を有した超薄振動部が一定の順序で隣接して整列配置されている訳ではないため、各凹陥部に対する滴下順序は配置順列とは関係のない不規則な順序となり、ディスペンサ装置の制御プログラムを如何に改良したとしても複数のディスペンサを用いて複雑な順序の滴下作業を低コストで行うことは困難である。このため、一つのディスペンサを用いた作業が行われる。
また、上記のように超薄振動部の肉厚のばらつきが＋５〜＋１５ｐｐｍの広い範囲に分布している限り、個々の＋１Ｍｚの範囲内に属する超薄振動部の個数が少なくなる為、肉厚ばらつきが最大の超薄振動部から最小の超薄振動部まで連続してエッチング液の滴下作業を順次行ってから１５秒後に一括して洗浄したとしても、個々の超薄振動部に対するエッチング時間の不足はさほど深刻な問題とはならない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、年々エッチング液の質、及びエッチング関連技術の質が向上するのに伴って、凹陥部形成工程において形成される各凹陥部内の超薄振動部の肉厚がばらつく範囲が狭くなっている。即ち、例えば、一つの圧電ウェハ上に形成された各凹陥部内の超薄振動部の肉厚ばらつきが、例えば共振周波数にして＋１０ｐｐｍ±１ｐｐｍ程度の狭い範囲での周波数ばらつきとなるに過ぎない為、１ｐｐｍという共振周波数のずれ量が狭い範囲内に多数の超薄振動部が属している状況が出現する。従って、周波数微調整の為のエッチング時間に長時間を要する超薄振動部からエッチング液の滴下を開始し、最後に一括洗浄を行うという従来の方法では、エッチング時間が不足した超薄振動部を有した圧電共振子素板が多数製造されるという不具合がある。
即ち、上記例でいえば、＋９ｐｐｍ（１０個）、＋１０ｐｐｍ（２９個）、＋１１ｐｐｍ（１０個）といった３ｐｐｍの範囲内に全ての超薄振動部（４９個）が該当して含まれており、このため連続したエッチング及び一括洗浄作業を行う場合にはずれ量が＋１１ｐｐｍである超薄振動部から一個づつ滴下作業を開始し、ずれ量が＋９ｐｐｍである超薄振動部中の１０個目に対する滴下作業により全滴下作業を終了し、ずれ量が＋１１ｐｐｍである超薄振動部に対する滴下開始から１１秒後に一括して洗浄を行うこととなる。しかし、この場合、ずれ量が＋１０ｐｐｍである超薄振動部の２９個目に対して洗浄が行われるタイミングは、当該２９個目の振動部に対するエッチング液の滴下から７．２秒後となり、必要なエッチング時間である１０秒に対して２．８秒も不足することとなる。また、ずれ量が＋９ｐｐｍの超薄振動部に対する洗浄開始は、ずれ量が＋１１ｐｐｍの超薄振動部に対する滴下開始から３．８秒遅れて開始されることとなり、ずれ量が＋９ｐｐｍの超薄振動部のうちの最後の振動部（１０個目）に対するエッチング時間は当該振動部に対して本来必要とされる９秒よりも２．８秒短くなる。
従って、＋９ｐｐｍ、＋１０ｐｐｍ、＋１１ｐｐｍといった３ｐｐｍの範囲内に属する超薄振動部を有した共振子素板の内の多くが振動部のエッチング不足により不良品となる可能性がでてくる。
本発明は上記に鑑みてなされたものであり、大面積の圧電ウェハを用いて複数の超薄圧電共振子を製造する為に、圧電ウェハ面にエッチングにより多数の凹陥部を形成してから行われる振動部肉厚の微調整作業において、各凹陥部底面の超薄振動部の肉厚を規定肉厚に微調整するためのエッチング液の個別滴下作業に続いて行われるエッチングの進行を停止させる作業を個別かつ効率的に行うことにより、微調整精度を高めて製品の品質低下を防止した超薄圧電共振子素板の製造方法及び製造装置を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、超薄振動部と、該超薄振動部の全周縁に一体化した厚肉環状囲繞部とから成る超薄圧電共振子素板を、大面積圧電ウェハを用いて複数個一括製造する方法であって、前記圧電ウェハの面上にエッチングにより複数の凹陥部を所定の配列で形成することにより各凹陥部底面に前記超薄振動部を形成する凹陥部形成工程と、前記圧電ウェハ上に形成した各超薄振動部の肉厚のバラツキを測定する肉厚測定工程と、前記肉厚測定工程にて検出された個々の超薄振動部の肉厚についてのバラツキを修正して規定肉厚にまで減少させるために個々の凹陥部内にエッチング液を滴下し、エッチング液の滴下後所定時間経過後にエッチング液を中和する中和液を各凹陥部内に滴下する肉厚微調整工程と、から成ることを特徴とする。
請求項２の発明は、底面に超薄振動部を備えた複数の凹陥部を所定の配列で面上に有した大面積圧電ウェハを用いて複数の超薄板圧電共振素板を製造する装置であって、各凹陥部内に個別に肉厚微調整用のエッチング液を滴下するエッチング液用ディスペンサと、該エッチング液によるエッチング時間が所定時間に達した時に該凹陥部内にエッチングの進行を停止させる中和液を滴下する中和液用ディスペンサと、両ディスペンサの動作を個別に制御する制御部と、を備え、前記制御部は、肉厚のばらつき量が同じ複数の超薄振動部に対して順次連続してエッチング液を滴下するようにエッチング液用ディスペンサを制御する一方で、上記複数の超薄振動部に対するエッチング時間が所定時間に達した時に順次連続して中和液を滴下するように中和液用ディスペンサを制御することを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示した実施の形態により詳細に説明する。
図１(a) 及び(b) は凹陥部を形成した圧電ウェハと仕切板を示す斜視図、及び振動部肉厚を微調整するためのエッチング工程を示す断面図である。また、図２は微調整のためにエッチングの進行を停止させる中和液滴下工程を示す断面図である。
この圧電ウェハ１はその上面に複数の凹陥部２を備え、各凹陥部２の底面には超薄振動部３が位置している。この凹陥部２は前記のごとき凹陥部形成の為の第１のエッチング工程（或は機械的な凹陥部形成工程）によって形成されている為、超薄振動部３の肉厚は均一でなく、規定肉厚よりも厚い方向にばらついている。この肉厚のばらつきは、共振周波数にして例えば＋１０ｐｐｍ±１ｐｐｍの範囲（＋９〜＋１１ｐｐｍ）に納まっている為、僅か＋３ｐｐｍのばらつきの範囲内に全ての超薄振動部（例えば、４９個）のばらつき量が該当していることになる。
エッチングに先立って、隣接する凹陥部内にエッチング液が流入することを阻止する為の仕切板１０を圧電ウェハ１上に接着剤１２を用いて接着固定する。この仕切板１０は、圧電ウェハ上の凹陥部２と整合する形状の貫通穴１１及び仕切壁１１ａを有し、図１(b) に示した如き状態で各凹陥部２は隣接する凹陥部から離隔される。
この状態で、同じエッチング時間を必要とする超薄振動部３（群）に対して図示のように一つのディスペンサ１５のノズルから貫通穴１１を介して凹陥部２内に所要量のエッチング液１６を順次滴下し（肉厚微調整のためのエッチング工程）、所定のエッチング時間の到来と同時に図２に示すようにディスペンサ２０から各超薄振動部３に対して中和液２１を順次滴下してエッチングの進行を停止させる（中和液滴下工程）。中和液２１としては、例えば水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）、水酸化カリウム（ＫＯＨ）、或は水酸化バリウム（Ｂａ（ＯＨ）2）等を用いることができる。
なお、肉厚微調整のためのエッチング工程と、中和液滴下工程は、一つの肉厚微調整工程を構成している。
【０００８】
本発明では、圧電ウェハ１上の各薄超振動部３の共振周波数を図４(a) に示した如き測定装置により測定することにより得た結果を肉厚に換算して肉厚調整量を決定し、同等の肉厚調整量を有した超薄振動部群、例えば共振周波数にして＋１１ｐｐｍのずれを有した超薄振動部群（例えば、１０個）に対して連続して順次肉厚微調整用のエッチング液１６を滴下した後、所定のエッチング時間（例えば、１１秒）経過時に順次個別にエッチング液を中和する溶液（中和液）２１を滴下してエッチングの進行を停止させる。次いで、目標とする共振周波数に対して＋１０ｐｐｍのずれを有した超薄振動部群（例えば、２９個）に対して、連続して順次肉厚微調整用のエッチング液１６を滴下した後、各振動部についての所定エッチング時間（例えば、１０秒）経過時に順次エッチング液を中和する溶液２１を他のディスペンサ２０から滴下してエッチングの進行を停止させる。この作業を残りの全ての超薄振動部３（＋９ｐｐｍのずれを有した超薄振動部、１０個）に対して行うことにより、無理なく、全ての超薄振動部について肉厚のずれを解消して規定肉厚にまで減少させる作業を正確に行うことが可能となる。
【０００９】
中和溶液２１を滴下するディスペンサ２０と、エッチング液１６を滴下するディスペンサ１５とを別個に動作するように制御することにより、連続、かつ効率的な作業性が保証される。つまり、先行して動作を開始するエッチング液滴下用ディスペンサの動作とは関係なく、中和液滴下用のディスペンサを動作させることにより、個々の超薄振動部に対して求められているエッチング時間が到来するジャストのタイミングで中和液２１を個別に滴下できるので、エッチング不足が発生することが皆無となり、規定の肉厚にてエッチングを停止することができる。
作業性を高めて加工時間を短縮する為には、上記のように微調整の為のエッチング時間が最も長い超薄振動部群からエッチング液の滴下を開始し、各超薄振動部について中和液を滴下する時間が到来した時に順次中和液の滴下を行う。この際、エッチング液滴下用のディスペンサ１５は作動を停止せずに連続して次の超薄振動部群に対するエッチング液の滴下を行い続け、中和液用のディスペンサ２０も連続して順次中和液の滴下作業を実行する。
また、同一の肉厚を有した超薄振動部群に対するエッチング液滴下と、中和液滴下を一連の工程として実施完了したあとで、次の超薄振動部群に対するエッチング液滴下、中和液滴下を実施するようにしてもよい。例えば、ずれ量が＋１１ｐｐｍである超薄振動部１０個に対して順次０．１秒間隔でエッチング液の滴下を行った後で、エッチング液の滴下開始から１１秒経過時に中和液の滴下作業を開始することにより、１０個全ての超薄振動部に対して１１秒間の正確なエッチングを行う。続いて、ずれ量が＋１０ｐｐｍの超薄振動部２９個に対する微調整作業と、ずれ量が＋９ｐｐｍの超薄振動部１０個に対する微調整作業を順次行う。なお、この場合には、必ずしもエッチング時間が長い方の超薄振動部群から微調整作業を開始する必要はなく、任意の肉厚の超薄振動部群から開始することができる。
なお、上記振動部肉厚微調整工程を終了した後の工程としては、まず仕切板１０を接着剤剥離用の溶剤を用いて圧電ウェハ１から剥離し、圧電ウェハの凹陥部２側には例えばアルミニウムや金を全面蒸着して全面電極２５（図３）を成膜し、超薄振動部３の外側面のほぼ中央部に部分電極２６（図３）をマスク蒸着又はフォトエッチングにて形成し、然る後に圧電ウェハを凹陥部相互の境界線に沿って縦横に切断分割し、図３(a) (b) に示した如き超薄圧電共振子エレメントを得る。この超薄圧電共振子エレメントは、図示しないセラミックパッケージ内に組み込まれ、所要の配線を行った後で電極に対する付加蒸着による最終的な共振周波数の合わせ込みを施され、パッケージを封止して完成される。
なお、上記肉厚微調整工程を実施するための製造装置（肉厚微調整装置）は、各凹陥部２内に個別に肉厚微調整用のエッチング液１６を滴下するエッチング液用ディスペンサ１５と、該エッチング液によるエッチング時間が所定時間に達した時に該凹陥部内にエッチングの進行を停止させる中和液２１を滴下する中和液用ディスペンサ２０と、両ディスペンサの動作を個別に制御する図示しない制御部と、を備えている。
【００１０】
前記制御部は、肉厚のばらつき量が同等な複数の超薄振動部３に対して順次連続してエッチング液を滴下するようにエッチング液用ディスペンサ１５を所要のの経路にて移動させて滴下作業を行うように制御する一方で、エッチング液の滴下を受けた各超薄振動部３がエッチング液に浸っている時間（エッチング時間）が所定に達した時に所定の順序で順次連続して中和液２１を滴下するように中和液用ディスペンサ２０の移動経路及び滴下タイミングを制御する。
また、肉厚微調整工程を可能な限り短時間で実施する場合には、一つの圧電ウェハ上の全ての超薄振動部に対して連続して中断することなく両滴下作業を一部並行して行う必要がある。即ち、エッチング時間が最長となる超薄振動部（群）に対するエッチング液滴下動作（順序）及び当該超薄振動部（群）に対する中和液の滴下動作（順序）と、次にエッチング時間が長い超薄振動部（群）に対するエッチング液滴下動作（順序）及び当該超薄振動部（群）に対する中和液の滴下動作（順序）というように、順次、作業手順と動作タイミングを入力設定した上で、中断することなく連続したエッチング液滴下、中和液滴下、といった作業を並行して実施する。
中和液の滴下動作は、既に先行して開始されているエッチング液の滴下動作により超薄振動部がエッチング液に浸されている時間が規定時間、例えば９秒に達した時に開始され、同じ肉厚を有する超薄振動部群に対して一つづつ所定の時差を以て中和液の滴下が行われる。従って、例えば、一つの超薄振動部に対する中和液の滴下に要する時間が０．１秒であるとすれば、１０個の超薄振動部に対する滴下終了には１秒を要することとなる。しかし、１０個の超薄振動部の個々の振動部に着目して見れば、エッチング液の滴下から正確に９秒後に中和液が滴下されたことになるので、全ての超薄振動部に対して均一な時間のエッチングが実施されたことになり、エッチング作業の歩留が向上する。
【００１１】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、大面積の圧電ウェハを用いて複数の超薄圧電共振子素板を製造する為に、圧電ウェハ面にエッチングにより多数の凹陥部を形成してから行われる振動部肉厚の微調整作業において、各凹陥部底面の超薄振動部の肉厚を規定肉厚に微調整するためのエッチング液の個別滴下作業に続いて行われるエッチングの進行を停止させる作業を個別かつ効率的に並行して行うことにより、微調整精度を高めて製品の品質低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  (a) 及び(b) は本発明の一実施形態の製造方法及び製造装置に使用する仕切板の説明図、及びエッチング液滴下状態を示す断面図。
【図２】中和液滴下状態を示す断面図。
【図３】  (a) 及び(b) は本発明により製造される超薄圧電共振子素板の平面図、及び断面図。
【図４】  (a) は凹陥部内の超薄振動部の肉厚を測定する方法を説明する図、(b) は測定後の圧電ウェハの平面図。
【符号の説明】
１  圧電ウェハ、２  凹陥部、３  超薄振動部、５  金属板、６  周波数測定装置、１０  仕切板、１１  貫通穴、１２  接着剤、１５  ディスペンサ、１６  エッチング液、２０  ディスペンサ、２１  中和液。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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