(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１本以上の並設された光入力導波路の出射側に第１のスラブ導波路が接続され、該第１のスラブ導波路の出射側には該第１のスラブ導波路から導出された光を伝搬する互いに異なる長さの複数の並設されたアレイ導波路が接続され、該複数のアレイ導波路の出射側には第２のスラブ導波路が接続され、該第２のスラブ導波路の出射側には複数の並設された光出力導波路が接続されて成るアレイ導波路回折格子型光合分波器の導波路構成を基板面上に有し、前記基板と一体的に形成された前記第１のスラブ導波路と第２のスラブ導波路の少なくとも一方がスラブ導波路を通る光の経路と交わる面で分離されており、この分離された分離スラブ導波路の少なくとも一方側を前記分離面に沿ってスライド移動させるスライド移動部材が形成されており、該スライド移動部材は、前記基板の導波路形成領域よりも熱膨張係数が大きい部材により形成されていて、一端側は一方の分離スラブ導波路側の基板に固定され、他端側は他方の分離スラブ導波路側の基板に固定されて、使用環境温度の変化に応じた伸縮変形によって一方側の分離スラブ導波路を他方側の分離スラブ導波路に対して前記使用環境温度の変化に伴う前記アレイ導波路回折格子型光合分波器の各光透過中心波長の温度依存性を補償する量だけ前記分離面に沿って相対的にスライド移動させる構成と成しており、前記分離面にはマッチンググリースから成る屈折率整合剤が設けられており、前記基板には前記マッチンググリースから成る屈折率整合剤が設けられている領域をくるむように前記マッチンググリースから成る屈折率整合剤の蒸発を抑制する機能を具備したフィルム又はテープ又はシートの薄膜部材が巻かれて前記マッチンググリースから成る屈折率整合剤の配設領域を覆い前記マッチンググリースの蒸発を抑制する薄膜部材が設けられている構成と成していることを特徴とするアレイ導波路回折格子型光合分波器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば波長多重光通信において光合分波器として用いられるアレイ導波路回折格子型光合分波器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光通信においては、その伝送容量を飛躍的に増加させる方法として、光波長多重通信の研究開発が盛んに行なわれ、実用化が進みつつある。光波長多重通信は、例えば互いに異なる波長を有する複数の光を多重して伝送させるものであり、このような光波長多重通信のシステムにおいては、伝送される多重光から、光受信側で波長ごとの光を取り出すために、予め定められた波長の光のみを透過する光透過デバイス等を、システム内に設けることが不可欠である。
【０００３】
光透過デバイスの一例として、図４に示すような平板光導波路回路（ＰＬＣ；Ｐｌａｎｅｒ  Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）のアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ；Ａｒｒａｙｅｄ  Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ  Ｇｒａｔｉｎｇ）がある。アレイ導波路回折格子は、例えばシリコンなどの基板１上に石英系ガラスの導波路形成領域１０を形成したものであり、導波路形成領域１０には同図に示すような導波路構成がコアにより形成されている。
【０００４】
アレイ導波路回折格子の導波路構成は、１本以上の並設された光入力導波路２の出射側に、第１のスラブ導波路３が接続され、第１のスラブ導波路３の出射側には複数の並設されたアレイ導波路４が接続され、アレイ導波路４の出射側には第２のスラブ導波路５が接続され、第２のスラブ導波路５の出射側には複数の並設された光出力導波路６が接続されて形成されている。
【０００５】
前記アレイ導波路４は、第１のスラブ導波路３から導出された光を伝搬するものであり、互いに異なる長さに形成され、隣り合うアレイ導波路４の長さは互いにΔＬ異なっている。なお、光入力導波路２や光出力導波路６は、例えばアレイ導波路回折格子によって分波あるいは合波される互いに異なる波長の信号光の数に対応させて設けられるものであり、アレイ導波路４は、通常、例えば１００本といったように多数設けられるが、同図においては、図の簡略化のために、これらの光入力導波路２、アレイ導波路４、光出力導波路６の各々の本数を簡略的に示してある。
【０００６】
光入力導波路２には、例えば送信側の光ファイバ（図示せず）が接続されて、波長多重光が導入されるようになっており、光入力導波路２を通って第１のスラブ導波路３に導入された光は、その回折効果によって広がって各アレイ導波路４に入射し、アレイ導波路４を伝搬する。
【０００７】
このアレイ導波路４を伝搬した光は、第２のスラブ導波路５に達し、さらに、光出力導波路６に集光されて出力されるが、全てのアレイ導波路４の長さが互いに異なることから、アレイ導波路４を伝搬した後に個々の光の位相にずれが生じ、このずれ量に応じて集束光の波面が傾き、この傾き角度により集光する位置が決まる。
【０００８】
そのため、波長の異なった光の集光位置は互いに異なることになり、その位置に光出力導波路６を形成することによって、波長の異なった光を各波長ごとに異なる光出力導波路６から出力できる。
【０００９】
すなわち、アレイ導波路回折格子は、光入力導波路２から入力される互いに異なる複数の波長をもった多重光から１つ以上の波長の光を分波して各光出力導波路６から出力する光分波機能を有しており、分波される光の中心波長は、隣り合うアレイ導波路４の長さの差（ΔＬ）及び光導波路４の実効屈折率ｎｃに比例する。
【００１０】
アレイ導波路回折格子は、上記のような特性を有するために、アレイ導波路回折格子を波長多重伝送用の波長多重分波器として用いることができ、例えば図４に示すように、１本の光入力導波路２から波長λ１，λ２，λ３，・・・λｎ（ｎは２以上の整数）の波長多重光を入力させると、これらの各波長の光は、第１のスラブ導波路３で広げられ、アレイ導波路４に到達し、第２のスラブ導波路５を通って、前記の如く、波長によって異なる位置に集光され、互いに異なる光出力導波路６に入射し、それぞれの光出力導波路６を通って、光出力導波路６の出射端から出力される。
【００１１】
そして、各光出力導波路６の出射端に光出力用の光ファイバ（図示せず）を接続することにより、この光ファイバを介して、前記各波長の光が取り出される。なお、各光出力導波路６や前述の光入力導波路２に光ファイバを接続するときには、例えば光ファイバの接続端面を１次元アレイ状に配列固定した光ファイバアレイを用意し、この光ファイバアレイを光出力導波路６や光入力導波路２の接続端面側に固定して光ファイバと光出力導波路６及び光入力導波路２を接続する。
【００１２】
上記アレイ導波路回折格子において、各光出力導波路６から出力される光の光透過特性（アレイ導波路回折格子の透過光強度の波長特性）は、各光透過中心波長（例えばλ１，λ２，λ３，・・・λｎ）を中心とし、それぞれの対応する光透過中心波長から波長がずれるにしたがって光透過率が小さくなる光透過特性を示す。
【００１３】
上記各光透過中心波長λ０は、アレイ導波路４の等価屈折率ｎｃと、隣り合うアレイ導波路４の長さの差ΔＬと、回折次数ｍとにより決定され、次式（１）により示されるものである。したがって、１つの光出力導波路６について、前記光透過特性を示す波長は１つとは限らず、設定される回折次数によって複数の中心波長が存在しうる。
【００１４】
λ０＝ｎｃΔＬ／ｍ・・・・・（１）
【００１５】
また、アレイ導波路回折格子は、光回路の相反性（可逆性）の原理を利用しているため、光分波器としての機能と共に、光合波器としての機能も有している。すなわち、図４とは逆に、各光出力導波路６から互いに波長が異なる複数の光を入射させると、これらの光は、上記と逆の伝搬経路を通り、アレイ導波路４によって合波され、１本の光入力導波路２から出射される。
【００１６】
このようなアレイ導波路回折格子においては、前記の如く、回折格子の波長分解能が回折格子を構成するアレイ導波路４の長さの差（ΔＬ）に比例するために、ΔＬを大きく設計することにより、従来の回折格子では実現できなかった波長間隔の狭い波長多重光の光合分波が可能となり、高密度の光波長多重通信の実現に必要とされている、複数の信号光の光合分波機能、すなわち、波長間隔が１ｎｍ以下の複数の光信号を分波または合波する機能を果たすことができる。
【００１７】
上記のようなアレイ導波路回折格子を作製するときには、例えば、まず、火炎加水分解堆積法を用いて、シリコン基板上に下部クラッド膜、コア膜を順に形成し、アレイ導波路回折格子の導波路構成が描かれたフォトマスクを介してフォトリソグラフィーし、その後、反応性イオンエッチング法を用い、コア膜にアレイ導波路回折格子パターンを転写する。その後、再度、火炎加水分解堆積法を用いて上部クラッド膜を形成することにより、アレイ導波路回折格子が作製される。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のアレイ導波路回折格子は、元来、石英系ガラス材料を主とするために、この石英系ガラス材料の温度依存性に起因してアレイ導波路回折格子の前記光透過中心波長が温度に依存してシフトする。この温度依存性は、例えば従来の一般的な設計値を用いて構成したアレイ導波路回折格子において、使用環境温度変化が５０℃以上になったときに前記光透過中心波長のシフト量が０．５ｎｍ以上になってしまうほど大きいものであり、この値は、１ｎｍ以下の非常に狭い間隔で波長を分波または合波するアレイ導波路回折格子にとって致命的な値である。
【００１９】
そこで、上記課題を解決するために、光透過中心波長の温度依存性を抑制することができるアレイ導波路回折格子型光合分波器が特願２０００−１７６６９１号に提案されている。この提案は未だ公開になっていないものであり、この提案のアレイ導波路回折格子型光合分波器の基本構成が図３に示されている。
【００２０】
同図に示すアレイ導波路回折格子型光合分波器は、基板１上に石英系ガラスによって形成された導波路形成領域１０を形成している。導波路形成領域１０には従来例と同様に、１本以上の光入力導波路２、第１のスラブ導波路３、複数のアレイ導波路４、第２のスラブ導波路５、複数の光出力導波路６が設けられており、前記アレイ導波路４、光出力導波路６は、それぞれ予め定められた導波路間隔を介して並設されているが、同図に示すアレイ導波路回折格子においては、第１のスラブ導波路３が、第１のスラブ導波路３を通る光の経路と交わる面（交差面）の分離面（交差分離面）８で例えば切断により分離されている。
【００２１】
なお、同図では、交差分離面８は導波路形成領域１０の一端側（図の上端側）から導波路形成領域の途中部にかけてＸ方向に形成されており、この交差分離面８に連通させて、第１のスラブ導波路３と交差しない非交差分離面１８が形成されている。非交差分離面１８は交差分離面８と直交しないで設けられている。なお、非交差分離面１８は交差分離面８と直交してもよく、同図は直交している態様を記載している。
【００２２】
同図に示すアレイ導波路回折格子型光合分波器は、交差分離面８と非交差分離面１８とによって、導波路形成領域１０を、一方側の分離スラブ導波路３ａを含む第１の導波路形成領域１０ａと、他方側の分離スラブ導波路３ｂを含む第２の導波路形成領域１０ｂとに分離している。導波路形成部１０ｂの平面形状はＬ字形状と成しており、ベース９に固定されている。
【００２３】
また、導波路形成領域１０よりも熱膨張係数が大きいスライド移動部材１７が、第１の導波路形成領域１０ａと第２の導波路形成領域とに跨る態様で設けられており、このスライド移動部材１７によって、第１の導波路形成領域１０ａを第２の導波路形成領域１０ｂに対して、交差分離面８に沿って移動させる構成と成している。なお、この移動は、アレイ導波路回折格子型光合分波器の温度に依存して行われるものである。
【００２４】
上記スライド移動部材１７は、例えば熱膨張係数が１．６５×１０−５（１／Ｋ）の銅板により形成されており、スライド移動部材１７の下側には、破線の斜線で示す部位に半田３０が設けられ、この半田３０の下側には金属膜（図３には図示せず）が設けられており、金属膜と半田３０とを介して、導波路形成領域１０ａ，１０ｂの固定用部位にスライド移動部材１７が固定されている。
【００２５】
同図に示すアレイ導波路回折格子型光合分波器において、アレイ導波路回折格子型光合分波器の使用環境温度が変化すると、スライド移動部材１７がベース９よりも大きく膨張または収縮するので、ベース９に固定されていない導波路形成領域１０ａおよびその基板１が、前記交差分離面８に沿って、図の矢印Ｃ方向または矢印Ｄ方向にスライド移動し、それにより、分離スラブ導波路３ａ及び光入力導波路２がスライド移動する。
【００２６】
そして、前記交差分離面８に沿っての移動は、アレイ導波路回折格子の各光透過中心波長の温度依存変動を低減する方向に行われる（図のＪの長さを適宜設定することによって、上記スライド移動量をアレイ導波路回折格子の使用環境温度変化に伴う各光透過中心波長の温度依存性を補償できる適切な値としている）ため、この提案のアレイ導波路回折格子においては、アレイ導波路回折格子の使用環境温度変化に伴う各光透過中心波長の温度依存性が補償される。
【００２７】
また、上記第１の導波路形成領域１０ａと第２の導波路形成領域１０ｂは分離されたため間隔を介して配置されているので、上記提案では、例えばこの間隔に屈折率整合剤としてのマッチンググリースを塗布することにより交差分離面８における反射等を抑制して分離スラブ導波路３ａ，３ｂ間の接続損失増加を抑制し、アレイ導波路回折格子型光合分波器の挿入損失を抑制している。
【００２８】
なお、図３の図中、１５はベース９をパッケージ（図示せず）に固定するための穴部、１９はクリップ、３５はシリコン板、２１，２２は光ファイバ配列具、２３は光ファイバ、２４は光ファイバテープ心線をそれぞれ示す。
【００２９】
しかしながら、上記構成のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、高温多湿の環境下にあると、交差分離面８に塗布したマッチンググリースが蒸発してしまうため、マッチンググリースがその機能を果たすことができず、挿入損失の増大等を招くといった問題があった。
【００３０】
例えば東レ・ダウコーニング株式会社製のＳＣ１０７をマッチンググリースとして適用した上記構成のアレイ導波路回折格子型光合分波器を、８５℃、８５％ＲＨの環境下に３３６時間放置する湿熱試験を行ない、波長１．５５μｍ帯での挿入損失を湿熱試験前後で測定したところ、アレイ導波路回折格子型光合分波器の挿入損失は、湿熱試験前に４．５ｄＢであったものが湿熱試験後は８．０ｄＢになり、湿熱試験後はアレイ導波路回折格子型光合分波器の挿入損失が劣化することが分かった。
【００３１】
そこで、このマッチンググリースの蒸発を防止するために、アレイ導波路回折格子をハーメチックシールやオイルシールのパッケージ内に収容する構成の提案も成されている（未だ公開になっていない）が、本発明者は、これらのようなシール構成を備えなくとも、従来のパッケージを用いて、高温多湿の環境下でもマッチンググリースの機能を維持できるアレイ導波路回折格子型光合分波器ができないかと考えた。
【００３２】
本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、その目的は、光透過中心波長の温度依存性を確実に解消することができ、高温多湿の条件下でも挿入損失の増加を抑制できる簡単な構成のアレイ導波路回折格子型光合分波器を提供することにある。
【００３３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は次のような構成をもって課題を解決するための手段としている。すなわち、本発明は、１本以上の並設された光入力導波路の出射側に第１のスラブ導波路が接続され、該第１のスラブ導波路の出射側には該第１のスラブ導波路から導出された光を伝搬する互いに異なる長さの複数の並設されたアレイ導波路が接続され、該複数のアレイ導波路の出射側には第２のスラブ導波路が接続され、該第２のスラブ導波路の出射側には複数の並設された光出力導波路が接続されて成るアレイ導波路回折格子型光合分波器の導波路構成を基板面上に有し、前記基板と一体的に形成された前記第１のスラブ導波路と第２のスラブ導波路の少なくとも一方がスラブ導波路を通る光の経路と交わる面で分離されており、この分離された分離スラブ導波路の少なくとも一方側を前記分離面に沿ってスライド移動させるスライド移動部材が形成されており、該スライド移動部材は、前記基板の導波路形成領域よりも熱膨張係数が大きい部材により形成されていて、一端側は一方の分離スラブ導波路側の基板に固定され、他端側は他方の分離スラブ導波路側の基板に固定されて、使用環境温度の変化に応じた伸縮変形によって一方側の分離スラブ導波路を他方側の分離スラブ導波路に対して前記使用環境温度の変化に伴う前記アレイ導波路回折格子型光合分波器の各光透過中心波長の温度依存性を補償する量だけ前記分離面に沿って相対的にスライド移動させる構成と成しており、前記分離面にはマッチンググリースから成る屈折率整合剤が設けられており、前記基板には前記マッチンググリースから成る屈折率整合剤が設けられている領域をくるむように前記マッチンググリースから成る屈折率整合剤の蒸発を抑制する機能を具備したフィルム又はテープ又はシートの薄膜部材が巻かれて前記マッチンググリースから成る屈折率整合剤の配設領域を覆い前記マッチンググリースの蒸発を抑制する薄膜部材が設けられている構成と成している構成をもって課題を解決する手段としている。
【００３４】
上記構成の本発明において、第１のスラブ導波路と第２のスラブ導波路の少なくとも一方がスラブ導波路を通る光の経路と交わる面で分離されているが、この分離面には屈折率整合剤が設けられており、該屈折率整合剤の配設領域を覆う薄膜部材が設けられている構成と成しているために、アレイ導波路回折格子型光合分波器がたとえ高温高湿の雰囲気下にあっても、前記薄膜部材によって屈折率整合剤の蒸発を抑制でき、非常に簡単な構成により、高温多湿の条件下でも挿入損失の増加を抑制可能となる。
【００３５】
また、本発明は、第１と第２のスラブ導波路の少なくとも一方をその光の経路と交わる交差面で分離して分離面とし、分離スラブ導波路の少なくとも一方側をスライド移動部材によって前記分離面に沿って移動させるものであるから、例えばスライド移動部材を温度に依存して移動させて、アレイ導波路回折格子の使用環境温度変動によって変化するアレイ導波路回折格子の光透過中心波長を補償することが可能となる。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明において、従来例または提案例と同一名称部分には同一符号を付し、その重複説明は省略する。図１には、本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の第１実施形態例の要部構成が平面図により模式的に示されている。
【００３７】
本実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、図３に示した提案例のアレイ導波路回折格子型光合分波器とほぼ同様に構成されており、図１には図示されていないが、ベース９やクリップ１９等が設けられている。また、アレイ導波路回折格子型光合分波器の入出力側には光ファイバ配列具２１，２２に配列された光ファイバ２３、光ファイバテープ心線２４がそれぞれ接続される構成と成している。
【００３８】
本実施形態例が上記提案例と異なる特徴的なことは、交差分離面８と非交差分離面１８に塗布されているマッチンググリースの配設領域を覆う薄膜部材４０が設けられていることである。この該薄膜部材４０はマッチンググリースの蒸発を抑制する構成と成している。
【００３９】
本実施形態例において、薄膜部材４０はサランラップ（商標）であり、同図に示すように、本実施形態例では、マッチンググリースの配設領域（マッチンググリースの塗布部およびその近傍領域）を薄膜部材４０でくるむようにしてアレイ導波路回折格子チップに２周巻いてある。
【００４０】
また、本実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、図３に示した提案例の製造方法（すなわち、特願２０００−１７６６９１号に提案した製造方法）と同様の作製方法により製造されている。ただし、上記提案例においては、マッチングオイルを充填したパッケージ内にアレイ導波路回折格子を収容しているが、本実施形態例では、交差分離面８と非交差分離面１８に塗布したマッチンググリースの配設領域を薄膜部材４０でくるむようにしてアレイ導波路回折格子チップに２周巻いてアレイ導波路回折格子型光合分波器を製造している。
【００４１】
本実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、１００ＧＨｚの波長間隔で１６波の光合波および光分波ができるアレイ導波路回折格子型光合分波器であり、ＦＳＲ（Ｆｒｅｅ  Ｓｐｅｃｔｒａｌ  Ｒａｎｇｅ）は２５．６ｎｍ、回折次数ｍは５９、隣り合うアレイ導波路４同士の長さの差ΔＬは２５℃において６３．１μｍである。
【００４２】
また、第１、第２のスラブ導波路３，５の焦点距離Ｌｆはそれぞれ１２３２７．０６μｍ、アレイ導波路４のピッチＤは２０μｍ、アレイ導波路４の等価屈折率ｎｃは１．４５１１５、アレイ導波路群屈折率ｎｇは１．４７５１２、第１、第２のスラブ導波路３，５の等価屈折率ｎｓはそれぞれ１．４５３、アレイ導波路回折格子の中心波長λ０は１．５５１μｍである。
【００４３】
本実施形態例は以上のように構成されており、本実施形態例も上記提案のアレイ導波路回折格子型光合分波器と同様の動作（温度に依存してスライド移動部材１７により導波路形成領域１０ａおよびその基板１を前記交差分離面８に沿って移動する動作）により、光透過中心波長の温度依存性が補償される。
【００４４】
また、本実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、交差分離面８と非交差分離面１８にマッチンググリースを塗布し、このマッチンググリースの配設領域を覆う薄膜部材４０を設けてマッチンググリースの蒸発を抑制しているために、非常に簡単な構成により、高温多湿の条件下でも挿入損失の増加を抑制できる。
【００４５】
実際に、アレイ導波路回折格子型光合分波器を８５℃、８５％ＲＨの環境下に３３６時間放置する湿熱試験を行ない、波長１．５５μｍ帯での挿入損失を湿熱試験前後で測定したところ、本実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器の挿入損失は、湿熱試験前が４．５ｄＢ、湿熱試験後が４．７ｄＢであり、湿熱試験後の挿入損失の増加は殆どなかった。
【００４６】
さらに、本実施形態例によれば、従来のアレイ導波路回折格子型光合分波器のパッケージを用いて形成できるので、コストの安いアレイ導波路回折格子型光合分波器とすることができる。
【００４７】
図２には、本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の第２実施形態例が示されている。本第２実施形態例は上記第１実施形態例とほぼ同様に構成されているが、本第２実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、非交差分離面１８を形成せずに交差分離面８によって導波路形成領域を第１の導波路形成領域１０ａと第２の導波路形成領域１０ｂとに分離し、スライド移動部材１７を第１と第２の導波路形成領域１０ａ，１０ｂの境界領域の表面側に設けて形成されている。
【００４８】
なお、本第２実施形態例でも、スライド移動部材１７の下側には破線の斜線で示す部位に半田３０が設けられ、この半田３０の下側には金属膜（図示せず）が設けられており、金属膜と半田３０とを介して、導波路形成領域１０ａ，１０ｂの固定用部位にスライド移動部材１７が固定されている。
【００４９】
また、前記交差分離面８にはマッチンググリースが塗布されており、本第２実施形態例においては、このマッチンググリースの配設領域を覆う薄膜部材４０として、テフロンテープ（テフロンシート）を適用し、このテフロンテープによりアレイ導波路回折格子チップをその表面側と裏面側から挟んでいる。
【００５０】
なお、同図には示されていないが、本第２実施形態例においても、アレイ導波路型回折格子の基板１の下部側にベース９が設けられ、第２の導波路形成領域１０ｂ側はクリップ１９によってベース９に固定されている。
【００５１】
本第２実施形態例は以上のように構成されており、本第２実施形態例も上記第１実施形態例とほぼ同様に動作し、同様の効果を奏することができる。本第２実施形態例において、上記湿熱試験を実施してアレイ導波路回折格子型光合分波器の挿入損失を求めたところ、湿熱試験前の挿入損失は４．５ｄＢ、湿熱試験後の挿入損失は４．８ｄＢであり、上記第１実施形態例と同様に湿熱試験後の挿入損失の増加を抑制することができた。
【００５２】
なお、本発明は上記実施形態例に限定されることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば上記第１実施形態例ではマッチンググリースの配設領域を覆う薄膜部材４０としてとしてサランラップを適用し、上記第２実施形態例では上記薄膜部材４０としてテフロンテープを適用したが、薄膜部材４０の構成は特に限定されるものでなく適宜設定されるものであり、マッチングオイルの蒸発を抑制でき、耐熱耐湿性に優れたフィルムやテープ（シート）等であればよい。
【００５３】
また、上記各実施形態例では、スライド移動部材１７として銅板を用いたが、スライド移動部材１７は必ずしも銅により形成するとは限らず、銅以外の金属部材により形成してもよいし、導波路形成領域１０よりも熱膨張係数が大きい、金属以外の部材により形成してもよい。
【００５４】
さらに、上記各実施形態例では、導波路形成領域１０の表面側にスライド移動部材１７を設けたが、導波路形成領域１０の裏面側（上記各実施形態例では基板１の裏面側）にスライド移動部材１７を設けてもよい。
【００５５】
さらに、上記各実施形態例では、第１のスラブ導波路３を分離したが、アレイ導波路回折格子は光回路の相反性を利用して形成されているものであり、第２のスラブ導波路５側を分離して、分離された分離スラブ導波路の少なくとも一方側を、スライド移動部材１７によって前記交差分離面８に沿って前記各光透過中心波長の温度依存変動を低減する方向にスライド移動させても、上記各実施形態例と同様の効果が得られ、前記各光透過中心波長の温度依存変動を解消することができる。
【００５６】
さらに、第１のスラブ導波路３や第２のスラブ導波路５の交差分離面８は上記実施形態例のようにＸ軸とほぼ平行な面とするとは限らず、Ｘ軸に対して斜めの面としてもよく、分離するスラブ導波路を通る光の経路と交わる分離面で分離すればよい。
【００５７】
さらに、上記各実施形態例では、アレイ導波路回折格子の導波路構成において、光入力導波路２は１本設けられていたが、光入力導波路２は複数本設けてもよい。
【００５８】
さらに、上記各実施形態例では、交差分離面８、非交差分離面１８等の分離面を切断により形成したが、これらの分離面は例えば劈開等の他の方法によって形成した分離面としてもよい。
【００５９】
【発明の効果】
本発明によれば、第１のスラブ導波路と第２のスラブ導波路の少なくとも一方をスラブ導波路を通る光の経路と交わる交差面で分離しているが、この分離面には屈折率整合剤が設けられており、該屈折率整合剤の配設領域を覆う薄膜部材を設けているために、アレイ導波路回折格子型光合分波器がたとえ高温高湿の雰囲気下にあっても、前記薄膜部材によって屈折率整合剤の蒸発を抑制でき、非常に簡単な構成により、高温多湿の条件下でも挿入損失の増加を抑制できる。
【００６０】
また、本発明によれば、第１と第２のスラブ導波路の少なくとも一方をその光の経路と交わる交差面で分離して分離面とし、分離スラブ導波路の少なくとも一方側をスライド移動部材によって前記分離面に沿って移動させるものであるから、例えばスライド移動部材により前記分離スラブ導波路の少なくとも一方を温度に依存して移動させ、アレイ導波路回折格子の使用環境温度変動によって変化するアレイ導波路回折格子の光透過中心波長を補正（解消）できる。
【００６１】
したがって、本実施形態例によれば、アレイ導波路回折格子の光透過中心波長の温度依存性を抑制でき、かつ、非常に簡単な構成で、高温高湿下でも挿入損失の増加を抑制でき、さらに、従来のアレイ導波路回折格子型光合分波器のパッケージを用いて形成できるので、コストの安いアレイ導波路回折格子型光合分波器とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の第１実施形態例を示す要部構成図である。
【図２】本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の第２実施形態例を示す要部構成図である。
【図３】従来提案されているアレイ導波路回折格子型光合分波器の構成例を平面図（ａ）と側面図（ｂ）により示す説明図である。
【図４】従来の一般的なアレイ導波路型回折格子の構成と動作を示す説明図である。
【符号の説明】
１  基板
２  光入力導波路
３  第１のスラブ導波路
３ａ，３ｂ  分離スラブ導波路
４  アレイ導波路
５  第２のスラブ導波路
６  光出力導波路
８  交差分離面
９  ベース
１０  導波路形成領域
１０ａ  第１の導波路形成領域
１０ｂ  第２の導波路形成領域
１７  スライド移動部材
１８  非交差分離面
３０  半田
４０  薄膜部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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