(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
片端位置と他端位置との間を往復動せしめられるチャックテーブルと、該チャックテーブルの往復動方向に見て該チャックテーブルの少なくとも片側に配置され、一端が該チャックテーブルに固定され他端が静止部材に固定された蛇腹手段と、該チャックテーブル上に保持された被加工部を切断するための切断手段とを含み、
該チャックテーブルが往動及び／又は復動せしめられる際に、該チャックテーブル上に保持された被加工物に該切断手段が作用して該被加工物が切断され、切断屑が少なくとも該チャックテーブルの往復動方向に見て該片側に飛散され、該チャックテーブルが往動又は復動せしめられる際には該蛇腹手段が収縮せしめられ、該チャックテーブルが復動又は往動せしめられる際には該蛇腹手段が伸張せしめられる、切断機において、
該蛇腹手段の上面を覆う保護シートが配設されており、該保護シートの片端は該チャックテーブルの往復動に付随して往復動せしめられ、該保護シートの他端は巻き取り手段に接続されており、該チャックテーブルが往動又は復動せしめられる際には該チャックテーブルの往動又は復動に応じて該保護シートが該巻き取り手段に漸次巻き取られ、該チャックテーブルが復動又は往動せしめられる際には該チャックテーブルの復動又往動に応じて該保護シートが該巻き取り手段から漸次巻き戻される、ことを特徴とする切断機。
【請求項２】
該巻き取り手段は回転自在に装着された軸部材から構成されており、該保護シートは該保護シートに力が加えられていない状態においては該軸部材に巻き付けられた状態になる巻き癖を有し、該チャックテーブルが往動又は復動する際には該保護シートの該巻き癖に起因して該保護シートが該軸部材に漸次巻き取られる、請求項１記載の切断機。
【請求項３】
該巻き取り手段に巻き取られる該保護シートからその表面に付着している切断屑を離脱せしめるための切断屑離脱手段が配設されている、請求項１又は２記載の切断機。
【請求項４】
該切断屑離脱手段は該巻き取り手段に隣接して配設された離脱プレートから構成され、該離脱プレートは該巻き取り手段に巻き取られる直前位置にて該保護シートの表面に接触乃至近接する先端縁を有する、請求項３記載の切断機。
【請求項５】
該チャックテーブルの往動又は復動方向に見て該巻き取り手段の下流側には切断屑搬送手段が配設されており、該切断屑離脱手段は該保護シートの表面から離脱せしめた切断屑を該切断屑搬送手段上に導く、請求項３又は４記載の切断機。
【請求項６】
該切断屑搬送手段は無端搬送ベルト機構から構成されている、請求項５記載の切断機。
【請求項７】
該切断手段には冷却液噴射手段が付設されており、該無端搬送ベルト機構は多数の排液孔が形成されている無端ベルト、及び該無端ベルトの下方に配置された排液手段を含み、該無端ベルト上に流入した冷却液は該排液孔を通って該排液手段に流下せしめられる、請求項６記載の切断機。
【請求項８】
切断屑収集容器、及び該無端搬送ベルトによって搬送される切断屑を該無端ベルトから離脱せしめて該切断屑収集容器内に導く切断屑収集手段が配設されている、請求項６又は７記載の切断機。
【請求項９】
該切断屑収集手段は、該無端ベルトの表面に作用するブラシ手段から構成されている、請求項８記載の切断機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、切断機、殊に、それに限定されるものではないが、格子状に配列された切断ストリートによって区画された複数個の矩形領域の各々にＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｋａｇｅｓ）が形成されているＣＳＰ基板を、切断ストリートに沿って切断するのに適する切断機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
特に、携帯電話及びノートブック型パーソナルコンピュータの如き小型電子装置に使用するのに適した半導体デバイスとして、ＣＳＰが実用に供されている。かかるＣＳＰは、通常、次のとおりにして製造される。合成樹脂基板の如き適宜の基板上に格子状に配列された切断ストリートによって複数個の矩形領域を区画し、かかる矩形領域の各々にＩＣ、ＬＳＩの如きチップを配設してＣＳＰを形成する。基板上に複数個のＣＳＰが形成されたものを一般にＣＳＰ基板と称している。しかる後に、ＣＳＰ基板を切断ストリートに沿って切断し、個々のＣＳＰに分離する。
【０００３】
ＣＳＰ基板を切断ストリートに沿って切断するための切断機としては、片端位置と他端位置との間を往復動せしめられるチャックテーブルと、このチャックテーブル上に保持された被加工物、即ちＣＳＰ基板を切断するための切断手段とを含む切断機が使用されている。切断手段はダイヤモンド粒子を含有した円板形状の回転切断刃から構成されている。また、切断手段には純水でよい冷却液を噴射するための冷却液噴射手段が付設されている。チャックテーブルが往動及び／又は復動する際に、チャックテーブル上のＣＳＰ基板に回転切断刃が作用せしめられ、ＣＳＰ基板の切断が遂行される。回転切断刃は所定方向、例えばＳＰ基板に作用する部位がチャックテーブルの往動方向に移動する方向、に回転せしめられる。チャックテーブルを所要とおりに往復動せしめるための往復動機構は、往復動方向に延在する回転自在なねじ軸と、このねじ軸に螺合せしめられた雌ねじ部材とを含んでおり、チャックテーブルは雌ねじ部材に装着されている。ねじ軸及び雌ねじ部材は所謂精密機械要素であり、かかる要素に切断屑及び／又は冷却液が付着することは回避されるべきである。回転切断刃の回転方向に起因して切断屑及び冷却液は、主として、チャックテーブルの往復動方向に見て片側、例えばＳＰ基板に作用する部位がチャックテーブルの往動方向に移動する方向に回転切断刃が回転せしめられる場合にはチャックテーブルの往動方向に見て下流側、に飛散せしめられる。冷却液の一部は霧となりチャックテーブルの往動方向に見て上流側にも飛散する。そこで、チャックテーブルの往復動方向に見て少なくとも片側、通常は両側、に蛇腹手段を配設してねじ軸等の精密機械要素を覆っている。チャックテーブルが往動又は復動する場合には、チャックテーブルの往動方向に見て下流側に配置された蛇腹手段は収縮され、上流側に配置された蛇腹手段は伸張される。チャックテーブルが復動する場合には、チャックテーブルの往動方向に見て上流側に配置された蛇腹手段は収縮され、下流側に配置された蛇腹手段は伸張される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
而して、上述したとおりの従来の切断機には、次のとおりの解決すべき問題が存在する。特にＣＳＰ基板を切断する場合、ＣＳＰ基板の縁部にはＣＳＰが形成されていない所謂耳部が存在し、かかる耳部が比較的大きな切断屑として、チャックテーブルの往復動方向に見て片側、例えばＣＳＰ基板に作用する部位がチャックテーブルの往動方向に移動する方向に回転切断刃が回転せしめられる場合にはチャックテーブルの往動方向に見て下流側、に配置されている蛇腹手段上に飛散せしめられる。蛇腹手段上に飛散した比較的大きな切断屑は、蛇腹手段の円滑な収縮及び伸張を阻害する傾向がある。蛇腹手段は、円滑に収縮及び伸張せしめられることが必要である故に、通常、布或いはその類似材料で形成されている。従って、蛇腹手段上に飛散した比較的大きな切断屑によって、蛇腹手段に穴等の損傷が生成される虞も少なくない。
【０００５】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、飛散した切削屑によって蛇腹手段の円滑な収縮及び伸張が阻害され或いは蛇腹手段が損傷されることが効果的に防止される、新規且つ改良された切断機を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、蛇腹手段の上面を覆う保護シートを配設し、この保護シートがチャックテーブルの往復動に付随して、従って蛇腹手段の収縮及び伸張に付随して適宜に巻き取り及び巻き戻しされるように構成することによって、上記主たる技術的課題を達成することができることを見出した。
【０００７】
即ち、本発明によれば、上記主たる技術的課題を達成する切断機として、片端位置と他端位置との間を往復動せしめられるチャックテーブルと、該チャックテーブルの往復動方向に見て該チャックテーブルの少なくとも片側に配置され、一端が該チャックテーブルに固定され他端が静止部材に固定された蛇腹手段と、該チャックテーブル上に保持された被加工部を切断するための切断手段とを含み、該チャックテーブルが往動及び／又は復動せしめられる際に、該チャックテーブル上に保持された被加工物に該切断手段が作用して該被加工物が切断され、切断屑が少なくとも該チャックテーブルの往復動方向に見て該片側に飛散され、該チャックテーブルが往動又は復動せしめられる際には該蛇腹手段が収縮せしめられ、該チャックテーブルが復動又は往動せしめられる際には該蛇腹手段が伸張せしめられる、切断機において、
該蛇腹手段の上面を覆う保護シートが配設されており、該保護シートの片端は該チャックテーブルの往復動に付随して往復動せしめられ、該保護シートの他端は巻き取り手段に接続されており、該チャックテーブルが往動又は復動せしめられる際には該チャックテーブルの往動又は復動に応じて該保護シートが該巻き取り手段に漸次巻き取られ、該チャックテーブルが復動又は往動せしめられる際には該チャックテーブルの復動又往動に応じて該保護シートが該巻き取り手段から漸次巻き戻される、ことを特徴とする切断機が提供される。
【０００８】
好ましくは、該巻き取り手段は回転自在に装着された軸部材から構成されており、該保護シートは該保護シートに力が加えられていない状態においては該軸部材に巻き付けられた状態になる巻き癖を有し、該チャックテーブルが往動又は復動する際には該保護シートの該巻き癖に起因して該保護シートが該軸部材に漸次巻き取られる。該巻き取り手段に巻き取られる該保護シートからその表面に付着している切断屑を離脱せしめるための切断屑離脱手段を配設することができる。該切断屑離脱手段は該巻き取り手段に隣接して配設された離脱プレートから構成され、該離脱プレートは該巻き取り手段に巻き取られる直前位置にて該保護シートの表面に接触乃至近接する先端縁を有するのが好適である。好適実施形態においては、該チャックテーブルの往動又は復動方向に見て該巻き取り手段の下流側には切断屑搬送手段が配設されており、該切断屑離脱手段は該保護シートの表面から離脱せしめた切断屑を該切断屑搬送手段上に導く。該切断屑搬送手段は無端搬送ベルト機構から構成することができる。該切断手段には冷却液噴射手段が付設されており、該無端搬送ベルト機構は多数の排液孔が形成されている無端ベルト、及び該無端ベルトの下方に配置された排液手段を含み、該無端ベルト上に流入した冷却液は該排液孔を通って該排液手段に流下せしめられるのが好適である。切断屑収集容器、及び該無端搬送ベルトによって搬送される切断屑を該無端ベルトから離脱せしめて該切断屑収集容器内に導く切断屑収集手段が配設することができる。該切断屑収集手段は、該無端ベルトの表面に作用するブラシ手段から構成することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に従って構成された切断機の好適実施形態を図示している添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【００１０】
図１は、本発明に従って改良された切断機の好適実施形態を図示している。全体を番号２で示す切断機はハウジング４を具備しており、このハウジング４上には待機域６、チャッキング域８、アライメント域１０、切断域１２、洗浄及び乾燥域１４が規定されている。切断すべき被加工物は適宜の搬入手段（図示していない）によって待機域８上に搬入せしめられる。
【００１１】
図２には待機域８に搬入せしめられる被加工物の典型例を図示している。図示の被加工物はＣＳＰ基板１６であり、このＣＳＰ基板１６は矩形板状である合成樹脂製基板１８を有する。合成樹脂製基板１８上には切断ストリート２０が格子状に配列されており、かかる切断ストリート２０によって複数個（図示の場合は３２個）の矩形領域が区画されている。矩形領域の各々にはＣＳＰ２２が配設されている。合成樹脂基板１８の４周縁部にはＣＳＰが形成されていない所謂耳部２４が存在する。図示の実施形態においては、ＣＳＰ基板１６がそれ単独で待機域６に搬入されるのではなく、ＣＳＰ基板１６は装着治具２６上に載置されて待機域８に搬入される。適宜の金属板から形成することができる装着治具２６はＣＳＰ基板１６よりも幾分大きい矩形板状である。装着治具２６の上面中央部には溝２８が格子状に配列されており、かかる溝２８によって複数個（図示の場合は３２個）の矩形領域３０が区画されている。矩形領域３０の各々はＣＳＰ基板１６におけるＣＳＰ２２の各々に対応せしめられており、平面図における矩形領域３０の寸法はＣＳＰ２２の寸法と実質上同一である。装着治具２６の矩形領域３０の各々には厚さ方向に貫通せしめられている吸引孔３２が形成されている。装着治具２６の裏面には全ての吸引孔３２を接続している吸引溝（図示していない）が形成されている。ＣＳＰ基板１６は複数個のＣＳＰ２２の各々を装着治具２６の矩形領域３０の各々に整合せしめて装着治具２６上に載置される。そして、その上面にＣＳＰ基板１６が載置された装着治具２６が切断機２の待機域８上に搬入される。
【００１２】
再び図１を参照して説明を続けると、待機域６、チャッキング域８並びに洗浄及び乾燥域１４に関連せしめて、第一の搬送手段３４が配設されている。この第一の搬送手段３４は、待機域６に搬入された装着治具２６を吸引して、装着治具２６とその上面に載置されているＣＳＰ基板１６をチャッキング域８に搬送し、チャッキング域８に位置せしめられているチャックテーブル３６上に載置する。図示の実施形態におけるチャックテーブル３６は、装着治具２６よりも幾分大きい矩形吸引盤３８を有する。この吸引盤３８の中央部には矩形状の吸引開口４０が形成されており、かかる吸引開口４０には吸引管４２の先端が開口せしめられている。チャックテーブル３６の吸引盤３８上に装着治具２６が搬入されると、吸引管４２が真空源（図示していない）に連通せしめられ、これによって吸引盤３８上に装着治具２６が真空吸引され、そしてまた装着治具２６に形成されている吸引孔３２の各々が真空源に連通せしめられる故に、ＣＳＰ基板１６（更に詳しくはそのＣＳＰ２２の各々）が装着治具２６に真空吸着される。
【００１３】
チャックテーブル３６は図１に矢印４４及び４６で示す方向に往復動自在に装着されており（チャックテーブル３６の往復動については後に更に言及する）、そして更に実質上鉛直に延びる中心軸線を中心として回転自在に装着されている。チャッキング域８においてチャックテーブル３６上に装着治具２６が載置され真空吸着されると、チャックテーブル３６が矢印４４で示す方向に往動せしめられ、装着治具２６上のＣＳＰ基板１６がアライメント域１０に位置せしめられる。アライメント域１０には顕微鏡を含有している撮像手段４８が配設されており、ＣＳＰ基板１６の表面が撮像手段４８によって撮像される。そして撮像された画像を解析することによって、ＣＳＰ基板１６の配置状態、更に詳しくはＣＳＰ基板１６上の切断ストリート２０の各々の位置、即ちチャックテーブル３６の往復動方向４４及び４６であるｘ方向及びこれに垂直なｙ方向の位置、が認識されると共に、チャックテーブル３６の往復動方向４４及び４６に対する切断ストリート２０の傾斜が認識される。撮像手段４８によって撮像される画像はハウジング４上に配設されているモニター５０にも表示される。次いで、チャックテーブル３６が切断域１２に移動せしめられ、ＣＳＰ基板１６の切断が遂行される。切断域１２に関連せしめて切断手段５２が配設されている。図示の実施形態における切断手段５２は、実質上水平に延びる回転軸５４の先端部に固定された回転切断刃５６から構成されている。回転切断刃５６はダイヤモンド粒子を含有した薄肉円板形状の切断刃でよい。切断手段５２には、純水の如き冷却液を噴射するための冷却液噴射手段５８も付設されている。ＣＳＰ基板１６の切断は、次のとおりにして遂行されるのが好都合である。最初に、ＣＳＰ基板１６におけるｘ方向に延びる複数個の切断ストリート２０の延在方向がチャックテーブル３６の往復動方向４４及び４６に充分精密に平行に設定され、そして複数本の切断ストリート２０の特定の１個のｙ方向位置が回転切断刃５６のｙ方向位置に充分精密に整合せしめられる。かかる位置合わせの際には、撮像手段４８によって撮像されたＣＳＰ基板１６の表面の画像の解析結果が利用される。しかる後に、所定高さに位置せしめられている回転切断刃５６が矢印６０で示す方向（即ち、回転切断刃５６のＣＳＰ基板１６に作用する下端部がチャックテーブル３６の往動方向４４に移動する方向）に回転せしめられると共に、チャックテーブ３６が矢印４４で示す方向に往動せしめられ、回転切断刃５６の作用によってＣＳＰ基板１６が特定の切断ストリート２０に沿って切断される（回転切断刃５６によるＣＳＰ基板１６の切断については後に更に言及する）。ＣＳＰ基板１６を切断する回転切断刃５６の、ＣＳＰ基板１６の下面を越えて下方に突出する部分は、装着治具２６の上面に配設されている溝２８内に位置せしめられる。回転切断刃５６によってＣＳＰ基板１６が切断される際には、冷却液噴射手段５８が冷却液を噴射する。１個の切断ストリート２０に沿った切断が終了すると、回転切断刃５６が固定されている回転軸５４が非作用位置まで上昇せしめられ、チャックテーブル３６が所要位置まで矢印４６で示す方向に復動せしめられる。そして、チャックテーブル３６がｙ方向にインデックス移動せしめられると共に回転切断刃５６が固定されている回転軸５４が所定位置まで下降せしめられる。しかる後に、チャックテーブル３６が再び往動せしめられ、次の切断ストリート２０に沿ってＣＳＰ基板１６が切断される。かようにしてｘ方向に延びる複数個の切断ストリート２０に沿ってＣＳＰ基板１６が切断せしめられると、チャックテーブル３６が９０度の角度範囲に渡って回転せしめられ、それまでｙ方向に延在していた複数個の切断ストリート２０がｘ方向に延在する状態にせしめられる。そして、ｘ方向に延在する複数個の切断ストリート２０の各々に沿ったＣＳＰ基板１６の切断が遂行される。
【００１４】
切断域１２においてＣＳＰ基板１６が所要とおりに切断された後には、チャックテーブル３６はチャッキング域８に戻される。チャッキング域８並びに洗浄及び乾燥域１４に関連せしめて第二の搬送手段６１が配設されている。第二の搬送手段６１はチャックテーブル３６上の装着治具２６を吸引保持して、装着治具２６及びその上に載置されている既に切断ストリート２０に沿って切断されたＣＳＰ基板１６を洗浄及び乾燥域１４に搬送し、洗浄及び乾燥域１４に配置されているチャック手段（図示していない）上に載置する。そして、洗浄及び乾燥域１４に配設されている洗浄及び乾燥手段（図示していない）によって、装着治具２６及びその上に存在する切断されたＣＳＰ基板１６が洗浄され乾燥される。しかる後に、上記第一の搬送手段３４によって装着治具２６及びその上に存在する切断されたＣＳＰ基板１６が待機域６に搬送される。そして、装着治具２６及びその上の切断されたＣＳＰ基板１６は、適宜の搬出手段（図示していない）によって、例えば個々に切断されたＣＳＰ２２を装着治具２６上から収容ケースに移送するための移送装置（図示していない）に搬送される。
【００１５】
図１を参照して説明を続けると、図示の実施形態においては、チャックテーブル３６は図１に実線で示す片端位置（チャックテーブル３６はアライメント域１０の上流側に位置する）と図１に二点鎖線で示す他端位置（チャックテーブル３６は切断手段５２の下流側に位置する）との間を矢印４４及び４６で示す方向に往復動自在に装着されている。そして、チャックテーブル３６にはこれを往復動せしめるための往復動機構（図示していない）が配設されている。それ自体は周知の形態でよい往復動機構は、チャックテーブル３６の下方に回転自在に装着されたねじ軸を含んでいる。このねじ軸はチャックテーブル３６の往復動方向４４及び４６に延在している。チャックテーブル３６には雌ねじ部材が固定され、かかる雌めじ部材がねじ軸に螺合せしめられている。従って、ねじ軸の正転に応じてチャックテーブル３６がねじ軸に沿って矢印４４で示す方向に往動され、ねじ軸の逆転に応じてチャックテーブル３６がねじ軸に沿って矢印４６で示す方向に復動せしめられる。かような往復動機構におけるねじ軸及び雌ねじ部材は精密機械要素であり、切断域１２において生成される切断屑、切断域１２において噴射される冷却液からから防護することが必要である。
【００１６】
図１と共に図３を参照して説明すると、図示の実施形態においては、チャックテーブル３６の往復動方向に見てチャックテーブル３６の両側に蛇腹手段６２及び６４が配設されており、往復動機構におけるねじ軸及び雌ねじ部材の如き精密機械要素はチャクテーブル３６自体と共にその両側に配設された蛇腹手段６２及び６４によって覆われている。蛇腹手段６２はその両端に連結部材６６及び６８を有し、連結部材６６はチャックテーブル３６が上記片端位置に位置せしめられている時にその上流側に位置する静止部材（図示していない）に連結され、連結部材６８はチャックテーブル３６の上流側面に連結されている。蛇腹手段６２自体は布の如き折り畳み自在な適宜の材料から形成することができ、その両端に配設される連結部材６６及び６８は金属板から形成することができる。同様に、布の如き折り畳み自在な適宜の材料から形成することができる蛇腹手段６４の両端にも金属板から形成することができる連結部材７０及び７２が接続されており、連結部材７０はチャックテーブル３６の下流側面に連結され、連結部材７２はチャックテーブル３６が上記他端位置に位置せしめられている時にその下流側に位置する静止ブラッケ部材７４に連結されている（ブラケット部材７４については後に更に言及する）。連結部材６６、６８、７０及び７２の所定部位への連結は、止めねじの如き適宜の連結手段によって遂行することができる。図３を参照することによって理解される如く、蛇腹部材６２及び６４並びに連結部材６６、６８、７０及び７２は逆チャッネル形状の横断面形状を有する。ハウジング４内には仕切部材７６が固定されている。この仕切部材７６は底壁７８とその両側縁から上方に延びる両側壁８０及び８２を有する。底壁７８の幅方向中央部には逆チャンネル形状に上方に隆起せしめられている隆起部８４が形成されており、かかる隆起部８４の両側にはチャンネル形状部８６及び８８が形成されている。後述するとおりチャンネル形状部８６及び８８上には冷却液と共に切断屑が飛散するが、かかる冷却液及び切断屑をチャックテーブル３６の往動方向に見て下流側に流動せしめるために、チャンネル形状部８６及び８８はチャックテーブル３６の往動方向４４に見て下流に向かって若干下方に傾斜せしめられているのが好都合である。加えて、チャックテーブル３６の往動方向に見て下流側に指向された、水でよい液体流を生成せしめる液体噴射手段（図示していない）を配設することができる。蛇腹部材６２及び６４並びに連結部材６６、６８、７０及び７２の両側垂下脚部は、隆起部８４に隣接してその両側に位置し、蛇腹部材６２及び６４並びに連結部材６６、６８、７０及び７２の主部は隆起部８４の上方に位置せしめられている。上述した往復動機構におけるねじ軸は蛇腹部材６２及び６４並びに連結部材６６、６８、７０及び７２の主部と仕切部材７６の隆起部８４との間を延在せしめられている。チャックテーブル３６が上記片端位置から上記他端位置に向けて矢印４４で示す方向に往動せしめられる際には、チャックテーブル３６の往動に応じて蛇腹手段６２は漸次伸張せしめられ蛇腹部材６４は漸次収縮せしめられる。逆に、チャックテーブル３６が上記他端位置から上記片端位置に向けて復動せしめられる際には、蛇腹手段６２は漸次収縮せしめられ蛇腹手段６４は漸次伸張せしめられる。
【００１７】
而して、図示の切断機２における上述したとおりの構成は、本発明に従って改良された新規特徴をなすものではなく、それら自体は既に公知の形態でよく、それ故にそれらの詳細については本明細書においては説明を省略する。
【００１８】
図１及び図３を参照して説明を続けると、図示の実施形態においては、上述したとおりＣＳＰ基板１６の切断は、チャックテーブル３６が往動せしめられる間に矢印６０で示す方向に回転せしめられている回転切断刃５６の作用によって遂行される。それ故に、切断によって生成される切断屑は主としてチャックテーブル３６の往動方向４４に見てチャックテーブル３６の下流側に飛散する。切断の際には冷却液噴射手段５８から冷却液が噴射され、従って冷却液も飛散する。冷却液はチャックテーブル３６の下流側のみならず霧状になってチャックテーブル３６の上流側にも飛散する。しかしながら、チャックテーブル３６の往復動機構におけるねじ軸及び雌ねじ部材（図示していない）等の精密機械要素は蛇腹手段６２及び６４によって覆われている故に、飛散する切断屑及び冷却液によって損傷せしめられることはない。しかしながら、特に切断すべき被加工物が図２に図示する如きＣＳＰ基板１６である場合、格子状に配設された切断ストリート２０に沿って切断を遂行すると、ＣＳＰ基板１６の４周縁部に存在する耳部２４が比較的大きな切断屑９０として、特にチャックテーブル３６の往動方向４４に見てチャックテーブル３６の下流側に飛散し、その一部は仕切部材７６によって規定されているチャンネル形状部８６及び８８に収容されるが、その相当部分は蛇腹手段６４上に飛散する。本発明者等の経験によれば、蛇腹手段６４上に比較的大きい切断屑９０が飛散すると、蛇腹手段６４が収縮及び伸張せしめられる際に蛇腹手段６４が破損され、或いは蛇腹手段６４の円滑な収縮及び伸張が毀損される傾向がある。
【００１９】
図１と共に図３、図４及び図５を参照して説明すると、本発明においては、蛇腹手段６４を比較的大きな切断屑９０を含む切断屑から保護するために、蛇腹手段６４を覆う保護シート９２が配設される。この保護シート９２の片端には連結部材９４が固定されており、かかる連結部材９４がチャックテーブル３６の上面片縁部に止めねじの如き適宜の連結手段によって連結されている。一方、図示の実施形態においては、上記静止ブラケット部材７４は蛇腹手段６４の連結部材７２が連結される主壁部９６に加えて、主壁部９６の両側から下流側に突出する両側壁部９８を有し、この両側壁部９８間には巻き取り手段を構成する軸部材１００が回転自在に装着されている。蛇腹手段６４上を延在する保護シート９２の他端部はかかる軸部材１００に固定されている。保護シート９２はポリエステルシート或いはポリエチレンテレフタレートシートの如き適宜の合成樹脂シートから形成することができ、軸部材１００に巻き付けられた状態になる所謂巻き癖を有する。保護シート１００にかかる巻き癖を施すには、例えば軸部材１００に保護シート９２を巻き付けた状態で保護シート９２を適宜温度に加熱すればよい。チャックテーブル３６が矢印４４で示す方向に往動せしめられる際には、保護シート９２の片端はチャックテーブル３６の往動に付随して矢印４４で示す方向に移動せしめられ、かかる移動に応じて保護シート９２が軸部材１００に漸次巻き取られる。チャックテーブル３６が矢印４６で示す方向に復動せしめられる際には、保護シート９２の片端はチャックテーブル３６の往動に付随して矢印４６で示す方向に移動せしめられ、かかる移動に応じて軸部材１００から保護シート９２が漸次巻き出される。上記静止ブラケット部材７４の主壁部９６には上方及び上流側に湾曲して延出せしめられている案内片１０２が一体に形成されており、かかる案内片１０２は保護シート９２が軸部材１００に巻き取られる際及び軸部材１００から巻き出される際に保護シート９２を案内する。巻き癖を有する保護シート９２を使用することに代えて、所望ならば軸部材１００を正転及び逆転駆動せしめることによって保護シートを巻き取り及び巻き出しすることもできる。
【００２０】
図３乃至図５を参照して説明すると、上記静止ブラケット部材７４の両側壁部９８間には、切断屑離脱手段１０４も装着されている。この切断屑離脱手段１０４は軸部材１００に巻き取られる直前位置において保護シート９２の表面に接触乃至近接せしめられている先端縁を有する離脱プレートを有する。切断屑離脱手段１０４の下流側で且つ切断屑離脱手段１０４の下方には、切断屑搬送手段１０６が配設されている。図示の実施形態における切断屑搬送手段１０６は、軸部材１００の軸線方向に延在せしめられている無端搬送ベルト機構から構成されており、被駆動ローラ１０８並びに従動ローラ１１０及び１１２と共にかかるローラ１０８、１１０及び１１２に巻き掛けられた無端ベルト１１４を含んでいる。被駆動ローラ１０８は電動モータでよい回転駆動源に接続されており、矢印１１６で示す方向に体験駆動され、これによって無端ベルト１１４が矢印１１６で示す方向に駆動せしめられる。合成ゴムの如き適宜の材料から形成することができる無端ベルト１１４には、多数の排液孔１１８が形成されているのが好適である。切断屑搬送手段１０６には切断屑収集手段１２０及び切断屑収集容器１２２が付設されている。図示の実施形態における切断屑収集手段１２０は、無端ベルト１１４の下方走行部の下端部において無端ベルト１１４の表面に接触乃至近接するブラシ手段から構成されている。切断屑収集容器１２２は切断屑収集手段１２０の下方に配置されており、その上面は開放されている。
【００２１】
図１と共に図３乃至図５を参照して説明を続けると、切断域１２におけるＣＳＰ基板１６の切断に起因して仕切部材７６によって規定されているチャンネル形状部８６及び８８上に飛散した切断屑及び冷却液は、チャックテーブル３６の往動方向４４にチャンネル形状部８６及び８８を流下し、チャンネル形状部８６及び８８の下流端から切断屑搬送手段１０６の無端ベルト１１４上に落下せしめられる。チャックテーブル３６の往動方向４４に見てチャックテーブル３６の下流側に飛散した切断屑及び冷却液は、蛇腹手段６４を覆っている保護シート９２上に落下する。蛇腹手段６４上に直接的に切断屑、特に比較的大きい切断屑９０が落下せしめられることはない。チャックテーブル３６が往動方向４４に往動せしめられ、これに応じて保護シート９２の片端が往動方向４４に移動せしめられると、保護シート９２上に飛散した切断屑及び冷却液も保護シート９２と共に往動方向４４に移動せしめられる。そして、軸部材１００の近傍まで移動せしめられると、切断屑離脱手段１０４の作用によって切断屑が保護シート９２から離脱せしめられ、切断屑離脱手段１０４を構成している離脱プレートの表面に案内されて切断屑搬送手段１０６の無端ベルト１１４上に導かれる。保護シート９２上の冷却液も切断屑と共に無端ベルト１１４上に導かれる。無端ベルト１１４上に落下せしめられた切断屑は無端ベルト１１４の移動に付随して矢印１１６で示す方向に搬送され、無端ベルト１１４の方向変化部位において切断屑収集容器１２２内に落下され、或いは切断屑収集手段１２０の作用によって無端ベルト１１４から離脱せしめられて切断屑収集容器１２２内に導かれる。一方、無端ベルト１１４上の落下せしめられた冷却液は、無端ベルト１１４に形成されている排液孔１１８を通って流下して、切断屑搬送手段１０６の下方に配設されている排液ホース（図示していない）に収集される。
【００２２】
以上、本発明に従って改良された切断機の好適実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形乃至修正が可能であることは多言を要しない。例えば、図示の実施形態においては、チャックテーブルの両側に配設した蛇腹手段の一方に関して保護シート及びその関連手段を配設しているが、切断屑が双方の蛇腹手段に飛散する虞がある場合等においては、双方の蛇腹手段に関して保護シート及びその関連手段を配設することもできる。また、図示の実施形態においては、チャックテーブルの両側に蛇腹手段を配設しているが、切断屑及び冷却液はチャックテーブルの片側のみに飛散する場合には、他側の蛇腹手段を省略することができる。
【００２３】
【発明の効果】
本発明の切断機においては、飛散した切削屑によって蛇腹手段の円滑な収縮及び伸張が阻害され或いは蛇腹手段が損傷されることが効果的に防止される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従って改良された切断機の全体を示す斜面図。
【図２】図１の切断機によって切断されるＣＳＰ基板及びこれをチャックテーブルに装着するために使用される装着治具を示す分解斜面図。
【図３】図１の切断機における蛇腹手段、保護シート及びこれらの関連手段を示す部分斜面図。
【図４】図１の切断機における蛇腹手段、保護シート及びこれらの関連手段を示す分解斜面図。
【図５】図１の切断機における保護シート及び切断屑離脱手段を示す部分断面図。
【符号の説明】
２：切断機
４：ハウジング
６：待機域
８：チャッキング域
１０：アライメント域
１２：切断域
１４：洗浄及び乾燥域
１６：ＣＳＰ基板
２０：切断ストリート
２２：ＣＳＰ
２４：耳部
２６：装着治具
３６：チャックテーブル
５２：切断手段
５６：回転切断刃
５８：冷却液噴射手段
６２：蛇腹手段
６４：蛇腹手段
９０：比較的大きな切断屑
９２：保護シート
１００：軸部材（巻き取り手段）
１０４：切断屑離脱手段
１０６：切断屑搬送手段
１１４：無端ベルト
１１８：排液孔
１２０：切断屑収集手段
１２２：切断屑収集容器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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