(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、この基板上に一定方向に延びて設けられた発熱抵抗体と、この発熱抵抗体をその長手方向において複数の領域に区分するようにこの発熱抵抗体の長手方向の複数箇所に交差して導通する櫛歯状の複数の延出部を有する共通電極と、この共通電極の互いに隣接する延出部どうしの間において一端部が上記発熱抵抗体に交差して導通する複数の個別電極と、を具備している、サーマルプリントヘッドであって、
上記発熱抵抗体の上記複数の領域としては、上記個別電極と導通する複数の発熱部と、これら複数の発熱部どうしの間に位置し、かつ上記個別電極との導通が図られていない複数の非発熱部と、が設けられていることを特徴とする、サーマルプリントヘッド。
【請求項２】
上記共通電極の複数の延出部は、一定間隔で設けられているとともに、上記複数の発熱部と上記複数の非発熱部とは、１つずつ交互に設けられている、請求項１に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項３】
上記共通電極の複数の延出部は、交互に切り替わる長短２種類の配列ピッチで設けられていることにより、上記各発熱部と上記各非発熱部とは、異なる幅とされている、請求項１に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項４】
上記複数の発熱部と上記複数の非発熱部とは、１つの発熱部と複数の非発熱部とが交互に並ぶ配列とされている、請求項１に記載のサーマルプリントヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、感熱方式または熱転写方式により記録紙に画像をプリントするのに用いられるサーマルプリントヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
厚膜型サーマルプリントヘッドの要部構造の一例を図１１に示す。このサーマルプリントヘッドは、絶縁基板９４上に、櫛歯状の複数の延出部９１を有する共通電極９０と、それら複数の延出部９１どうしの間に一端部が入り込んだ複数の個別電極９２とが設けられた構成を有している。各個別電極９２の一端部と各延出部９１との上には、これらを横切るようにして直線状に延びる発熱抵抗体９３が設けられている。図示説明は省略しているが、各個別電極９２の他端部にはパッド状の端子部が形成されており、この端子部が各個別電極９２に対する通電のオン・オフ制御を行なうための駆動ＩＣチップと電気的に接続されている。
【０００３】
このような構造のサーマルプリントヘッドにおいては、たとえば共通電極９０に正の電圧を印加しつつ、１つの個別電極９２（９２ａ）をグランド接続すると、発熱抵抗体９３のうち、個別電極９２（９２ａ）とこれを挟む２つの延出部９１，９１（９１ａ，９１ａ）との間の領域（クロスハッチング部分）に通電がなされる。すると、この部分が発熱することとなって、感熱タイプの記録紙に１ドット（１画素分）の画像をプリントすることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のサーマルプリントヘッドにおいては、次のような不具合があった。
【０００５】
すなわち、サーマルプリントヘッドとしては、その消費電力量を少なくすることが強く要請される場合がある。消費電力量を少なくする手段としては、発熱抵抗体９３の１ドットに相当する発熱領域Ｓのサイズを小さくすることが考えられる。発熱領域Ｓのサイズを小さくすれば、この領域Ｓを所定温度まで発熱させるのに必要なエネルギ量を少なくすることができるからである。
【０００６】
ところが、従来においては、発熱抵抗体９３の長手方向両端を除く箇所の全長域が発熱可能とされている。このため、共通電極９０の延出部９１の配列ピッチＰを小さくすることにより、発熱領域Ｓの幅を小さくしようとすると、延出部９１の総数および個別電極９２の総数は必然的に多くなってしまう。これでは、プリント画像の解像度は高まるものの、共通電極９０や個別電極９２のパターン形成作業が煩雑となる。さらには、個別電極９２に接続される駆動ＩＣチップの個数を増加しなければならない場合も生じ、サーマルプリントヘッドの製造コストが高価となる。また、従来においては、１ドット分の発熱領域Ｓのサイズを小さくすると、その熱容量が小さくなるために、この発熱領域Ｓを発熱させたときにはこれに隣接する他の発熱領域の温度の影響を受けることによってその温度が必要以上に上昇し、熱破壊を生じる虞れもあった。
【０００７】
一方、従来においては、次のようなことに起因して、サーマルプリントヘッドの消費電力が多くなる場合もあった。すなわち、発熱抵抗体９３の１ドット分の発熱領域Ｓを発熱させた場合、その発熱領域Ｓの温度分布は、個別電極９２（９２ａ）と各延出部９１（９１ａ）との中央部Ｃ１が最も高温となり、この中央部Ｃ１から離れた部分ほど低温となることが知られている。発熱領域Ｓの端部と中央部Ｃ１との温度差は、発熱領域Ｓのサイズが大きくなるほど顕著となる。このような温度差は、発熱領域Ｓの端部またはその近傍の温度を上昇させ難いことを意味する。したがって、従来においては、発熱領域Ｓの中央部Ｃ１のみならず、発熱領域Ｓの端部やその近傍をもプリントに適する所定の温度に高めるには、多くの電気エネルギを必要とし、サーマルプリントヘッドの消費電力量が多くなる場合があった。また、サーマルプリンタ用の感熱紙としては、所定の温度以上で黒色が発色する一方、それよりも低温の所定温度で赤色（またはそれ以外の所定の色）が発色するいわゆる二色感熱紙がある。従来において、このような二色感熱紙を記録紙として使用し、画像の１ドットの全体を黒色にプリントしようとする場合には、上記した発熱領域Ｓの温度差に起因して、黒色の周辺に赤色が大きな面積で発色するといった不具合もあった。
【０００８】
本願発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、製造コストが上昇するといった不具合を生じさせることなく、サーマルプリントヘッドの消費電力量の減少を図ることをその課題としている。
【０００９】
【発明の開示】
上記の課題を解決するため、本願発明では、次の技術的手段を講じている。
【００１０】
本願発明によって提供されるサーマルプリントヘッドは、基板と、この基板上に一定方向に延びて設けられた発熱抵抗体と、この発熱抵抗体をその長手方向において複数の領域に区分するようにこの発熱抵抗体の長手方向の複数箇所に交差して導通する櫛歯状の複数の延出部を有する共通電極と、この共通電極の互いに隣接する延出部どうしの間において一端部が上記発熱抵抗体に交差して導通する複数の個別電極と、を具備している、サーマルプリントヘッドであって、上記発熱抵抗体の上記複数の領域としては、上記個別電極と導通する複数の発熱部と、これら複数の発熱部どうしの間に位置し、かつ上記個別電極との導通が図られていない複数の非発熱部と、が設けられていることを特徴としている。
【００１１】
このような構成を有するサーマルプリントヘッドにおいては、次のような効果が得られる。
【００１２】
第１に、上記共通電極の延出部の配列ピッチを小さくすることによって上記各発熱部の幅を小さくする場合、上記延出部の配列ピッチが同一とされた従来のものと比較すると、上記発熱抵抗体に上記複数の非発熱部が設けられている分だけ、上記複数の発熱部の総数を少なくすることができる。すなわち、本願発明によれば、上記複数の発熱部の総数が増加することを抑制しつつ、上記各発熱部のサイズを小さくすることができる。このように、上記各発熱部のサイズの縮小化が達成されると、上記各発熱部を所望温度に発熱させるのに必要なエネルギ量を少なくし、省エネを図ることができる。その一方、上記発熱部の総数の増加を抑制すれば、上記発熱部の発熱駆動を制御するための駆動ＩＣチップの個数を多くする必要がなくなり、サーマルプリントヘッドの生産コストの低減化を図ることができる。本願発明においては、上記非発熱部に対応する個別電極を設ける必要はなく、個別電極の総数も少なくすることができるために、このことによっても生産コストの低減化を図ることもできる。
【００１３】
第２に、上記各非発熱部は、上記複数の発熱部どうしの間においていわば断熱部としての役割を果たすこととなり、上記各発熱部がその隣の発熱部の温度の影響を受けることによって大幅な温度上昇をきたす虞れを少なくすることができる。したがって、上記各発熱部の発熱温度を安定させて、質の良い画像のプリントが可能となるとともに、上記各発熱部のサイズを微小にした場合に過度の温度上昇によって上記各発熱部が熱破壊を生じないようにすることもでき、上記発熱抵抗体の耐久性を高めることもできる。
【００１４】
本願発明の好ましい実施の形態においては、上記共通電極の複数の延出部は、一定間隔で設けられているとともに、上記複数の発熱部と上記複数の非発熱部とは、１つずつ交互に設けられている。
【００１５】
このような構成によれば、上記各発熱部と上記各非発熱部とのそれぞれの幅および総数は、それぞれ略同一となり、解像度が同一である従来のサーマルプリントヘッドと比較すると、各発熱部の幅を約１／２にすることができる。
【００１６】
本願発明の他の好ましい実施の形態においては、上記共通電極の複数の延出部は、交互に切り替わる長短２種類の配列ピッチで設けられていることにより、上記各発熱部と上記各非発熱部とは、異なる幅とされている。
【００１７】
このように、本願発明においては、上記各発熱部と上記各非発熱部との幅を相違させることもできる。とくに、上記各発熱部を上記各非発熱部よりも幅狭にした場合には、上記各発熱部のサイズの微小化をより促進することができる。
【００１８】
本願発明の他の好ましい実施の形態においては、上記複数の発熱部と上記複数の非発熱部とは、１つの発熱部と複数の非発熱部とが交互に並ぶ配列とされている。
【００１９】
このような構成によれば、上記発熱部の総数が上記非発熱部の総数よりも少なくなり、上記発熱部に対応する個別電極の数や駆動ＩＣチップの数を少なくするのにより好適となる。また、互いに隣接する発熱部どうしの間には、複数の非発熱部が設けられているために、互いに連結する発熱部どうしの間隔を大きくとることが簡単となり、上記各発熱部が他の発熱部の温度の影響をより受け難いものとなるようにすることもできる。
【００２４】
本願発明のその他の特徴および利点については、以下に行う発明の実施の形態の説明から、より明らかになるであろう。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の好ましい実施の形態について、図面を参照しつつ具体的に説明する。
【００２６】
図１〜図３は、本願発明の第１実施形態を示している。図１および図３によく表われているように、本実施形態のサーマルプリントヘッドＡは、いわゆる厚膜型であり、基板１の表面（上面）上に、グレーズ層２、共通電極３ならびに複数の個別電極４、発熱抵抗体５、および保護層６が順次積層して設けられた構成を有している。ただし、図１および図２においては、保護層６の図示を省略している。基板１上には、１または複数の駆動ＩＣチップ８も搭載されている。
【００２７】
このサーマルプリントヘッドＡは、個別電極４に関する構成に最大の特徴があり、それ以外の部分の基本的な構成は、既存の厚膜型のサーマルプリントヘッドと同様である。すなわち、基板１は、たとえばアルミナセラミック製の絶縁基板であり、一定方向に長い矩形状を有している。グレーズ層２は、蓄熱層としての役割および共通電極３や個別電極４などが形成される表面を滑らかにしてその接着力を高める役割などを果たす部分であり、ガラスを主成分とし、基板１の表面の略全面にわたって形成されている。保護層６は、発熱抵抗体５、共通電極３、および個別電極４を被覆して保護するものであり、たとえばガラスペーストを印刷焼成することにより形成されている。
【００２８】
共通電極３は、銅などの導体膜により構成されており、端子部３０ａを有するコモンライン部３０と、このコモンライン部３０の基板１の長手方向に延びる直線部分から基板１の幅方向（短手方向）に櫛歯状に突出する複数の延出部３１とを有している。複数の延出部３１は、基板長手方向に一定間隔で設けられている。コモンライン部３０の端子部３０ａには、正の電圧が印加される。
【００２９】
各個別電極４は、たとえば共通電極３と同一材質の導体膜により構成されており、第１端部（一端部）４０ａとその反対端としての第２端部（他端部）４０ｂとを有する帯状に形成されている。第２端部４０ｂには、端子部４０ｃが形成されている。第１端部４０ａは、互いに隣接する延出部３１どうしの間に進入している。ただし、第１端部４０ａは、複数の延出部３１どうしの間に対して、１つ飛ばしの態様で進入しており、延出部３１どうしの間に第１端部４０ａが進入している部分と、第１端部４０ａが進入していない部分とが交互に並んでいる。
【００３０】
発熱抵抗体５は、複数の延出部３１と複数の個別電極４の各第１端部４０ａとを一連に跨ぐようにして基板１の長手方向に延びた直線状に設けられている。各延出部３１および各第１端部４０ａは、発熱抵抗体５と交差する部分においてこの発熱抵抗体５と導通接触している。発熱抵抗体５は、たとえば酸化ルテニウムを導体成分とする厚膜抵抗ペーストを印刷・焼成することによって形成されたものである。この発熱抵抗体５は、共通電極３の互いに隣接する延出部３１によって挟まれた複数の領域７に区分されている。ただし、既述したとおり、このサーマルプリントヘッドＡにおいては、個別電極４の第１端部４０ａが各延出部３１どうしの間に一つ飛ばしで進入しているために、発熱抵抗体５の複数の領域７としては、個別電極４の第１端部４０ａと導通していることにより発熱が可能とされた発熱部７（７Ａ）と、個別電極４の第１端部４０ａとの導通が図られていないことにより発熱が不能とされた非発熱部７（７Ｂ）とが設けられている。これら発熱部７Ａと非発熱部７Ｂとは１つずつ交互に並んでいる。
【００３１】
駆動ＩＣチップ８は、外部から送信されてくるプリント用の画像データに基づいて発熱抵抗体５の発熱駆動を制御するための回路が内部に造り込まれたものである。この駆動ＩＣチップ８に具備されている複数の電極８０は、ワイヤＷを介して複数の個別電極４の端子部４０ｃと電気的に接続されており、駆動ＩＣチップ８はこれら複数の端子部４０ｃを選択的にグランド接続する機能を有している。図面においては、駆動ＩＣチップ８の電極６０、個別電極４、および共通電極３の延出部３１などの数が少なめに表わされているが、実際には、１つの駆動ＩＣチップ８は、３２ビットあるいは６４ビットなどの多数ビットで複数の個別電極４に対するグランド接続のオン・オフ制御が可能とされている。
【００３２】
次に、上記構成のサーマルプリントヘッドＡの作用について説明する。
【００３３】
まず、このサーマルプリントヘッドＡにおいては、発熱抵抗体５に発熱部７Ａと非発熱部７Ｂとが１つずつ交互に設けられているために、発熱部７Ａの総数は、発熱抵抗体５の複数の領域７の総数の半分に過ぎない。したがって、発熱部７Ａの総数を少なくしつつ、各発熱部７Ａの幅を小さくすることが簡単に行えることとなる。各発熱部７Ａの幅を小さくし、その微小化を図れば、１つの発熱部７Ａを発熱させるのに必要な電気エネルギ量は少なくて済むため、サーマルプリントヘッドＡの消費電力量を少なくすることができる。
【００３４】
また、各発熱部７Ａの幅を小さくすると、図２に示すように、各延出部３１と個別電極４との間の最も高温となる中央部ｎ１と各発熱部７Ａの端部ｎ２との温度差を小さくすることができる。したがって、記録紙として、前述した黒色と赤色との２色感熱紙を用いることにより、黒色画像のみをプリントしようとする場合に、各発熱部７Ａの略全体を高温にして、黒色画像のまわりに赤色が大きな面積で現出しないようにすることも可能となる。
【００３５】
このサーマルプリントヘッドＡにおいては、複数の個別電極４が発熱抵抗体５の発熱部７Ａのみに対応して設けられており、これら複数の個別電極４の総数は、発熱抵抗体５の複数の領域７の総数、あるいは共通電極３の延出部３１の総数の半分となっている。したがって、これら複数の個別電極４のパターン形成は容易である。また、このように個別電極４の総数が少なくされていれば、それに対応する駆動ＩＣチップ８の使用個数も少なくなる。したがって、サーマルプリントヘッドＡの生産コストを廉価にすることもできる。
【００３６】
発熱抵抗体５の各発熱部７Ａの両隣には、非発熱部７Ｂが存在しており、この非発熱部７Ｂは、複数の発熱部７Ａどうしを熱的に遮断する役割、あるいはそれに近い役割をも果たす。このため、１つの発熱部７Ａを発熱させたときに、その発熱部７Ａの温度がその隣の発熱部７Ａの影響を受け難くなる。その結果、各発熱部７Ａの発熱温度を安定させることができ、プリント画像の質向上を図ることができる。また、各発熱部７Ａが他の発熱部の影響を受けてその温度が異常に上昇することも防止することが可能となり、発熱部７Ａを微小化した場合であっても、その熱的耐久性が極力低下しないようにすることもできる。さらに、１つの発熱部７Ａを発熱させる場合に、他の発熱部に対する熱的影響をさほど考慮する必要がなくなるために、各発熱部７Ａを比較的高温に発熱させることも可能となる。したがって、たとえば２枚重ねの複写方式の感熱紙を記録紙として用いる場合に、１枚目のみらず、２枚目の感熱紙に対しても充分に熱を与えることができ、鮮明な画像をプリントすることが可能となる。
【００３７】
図４〜図６は、本願発明の第２ないし第４実施形態を示している。なお、図４以降の図においては、上記第１実施形態と同一または類似の要素には、上記第１実施形態と同一符号を付している。
【００３８】
図４に示す第２実施形態においては、共通電極３の複数の延出部３１が、交互に切り替わる長短２種類の配列ピッチＰａ，Ｐｂで設けられている。これにより、発熱抵抗体５の各発熱部７Ａは、各非発熱部７Ｂよりも小さな幅とされている。このような構成によれば、各発熱部７Ａの幅を、上記第１実施形態の場合よりもさらに小さくする場合に好ましいものとなる。一方、各非発熱部７Ｂの幅については大きくすることができるために、発熱部７Ａどうしの間の熱遮断効果をより高めることもできる。
【００３９】
図５に示す第３実施形態においては、複数の延出部３１の配列ピッチＰａ，Ｐｂの長短関係が、上記第２実施形態とは反対にされていることにより、各発熱部７Ａが各非発熱部７Ｂよりも大きな幅とされている。このような構成は、記録紙にプリントされる画像の１ドットをある程度の大きさにしなければならない場合に好ましいものとなる。
【００４０】
図６に示す第４実施形態においては、複数の発熱部７Ａと複数の非発熱部７Ｂとは、１つの発熱部７Ａと２つの非発熱部７Ｂとが交互に並ぶ配列とされている。このようにすれば、発熱部７Ａの総数を、さらに少なくすることができる。したがって、各発熱部７Ａの微小化や、個別電極４の総数の減少などを図るのにさらに好適となる。また、互いに隣接し合う発熱部７Ａどうしの間隔を大きくとることも可能となり、各発熱部７Ａが他の発熱部７Ａの温度の影響を受けにくくするのにも一層好適となる。もちろん、本願発明においては、互いに隣接し合う発熱部７Ａどうしの間に配置される非発熱部７Ｂの数は、１つまたは２つに限定されず、それ以上の数にすることもできる。
【００４１】
図７は、本願発明の第１参考例を示している。
【００４２】
同図に示すサーマルプリントヘッドＡａは、個別電極４に関する構成が上述の実施形態とは相違しており、それ以外の基本的な構成は、上記第１実施形態のサーマルプリントヘッドＡと共通している。本実施形態のサーマルプリントヘッドＡａの各個別電極４は、各端子部４０ｃから発熱抵抗体５に向けて延びる帯状に形成されているものの、その中間部において２つに分岐した形態とされており、２つの第１端部４０ａを具備している。これら２つの第１端部４０ａは、発熱抵抗体５の複数の領域７のうち、互いに隣り合う２つの領域７にそれぞれ導通している。したがって、このサーマルプリントヘッドＡａにおいては、上記第１実施形態とは異なり、発熱抵抗体５の複数の領域７の全てが発熱可能な発熱部となっている。
【００４３】
このような構成を有するサーマルプリントヘッドＡａにおいては、たとえば１つの個別電極４（４ａ）の端子部４０ｃをグランド接続すると、その個別電極４（４ａ）の２つの第１端部４０ａの双方がグランド接続される。すると、これらと導通する２つの領域７（７ａ，７ｂ）に通電がなされ、これら２つの領域７（７ａ，７ｂ）が一斉に発熱する。このことから理解されるように、このサーマルプリントヘッドＡａにおいては、発熱抵抗体５の複数の領域７は、互いに隣接し合う２つの領域７が常に同時に発熱するものとなる。したがって、２つの領域７をトータルした部分が、プリント画像の１ドットに対応したものとなる。
【００４４】
図８（ａ）によく表われているように、互いに隣接する２つの領域７（７ａ，７ｂ）を同時に発熱させると、これらの発熱部分には、発熱温度が最も高くなる各延出部３１と各第１端部４０ａとの中央部ｎ１が計４箇所発生する。しかも、これら４箇所の高温部分は、互いに分散している。これに対し、同図（ｂ）に示すように、１つの領域７９のみを単独で発熱させる従来技術においては、発熱温度が最も高くなる部分ｎ３が計２箇所のみとなる。また、同図（ｂ）に示す領域７９の幅Ｌ２と、同図（ａ）に示す２つの領域７のトータルの幅Ｌ１とを同一寸法にした場合を比べると、同図（ａ）に示す本参考例の延出部３１と個別電極４の第１端部４０ａとの間の距離Ｌ３は、同図（ｂ）に示す場合のそれらの間の距離Ｌ４の半分となる。このようなことにより、本参考例においては、同図（ｂ）に示すものよりも、プリント画像の１ドットに対応する発熱領域の各所の温度のバラツキを少なくすることが可能となる。
【００４５】
このように、温度のバラツキを少なくすれば、発熱領域の全体または略全体を所望温度まで上昇させるのに必要な電気エネルギ量を少なくすることが可能となり、やはり省エネを図ることができる。また、たとえば黒色と赤色とを発色させる前述の２色感熱紙を記録紙として用いる場合には、黒色のまわりに赤色が広い面積で現出しないようにすることも可能となる。
【００４６】
図９および図１０は、本願発明の他の参考例を示している。
【００４７】
図９に示す第２参考例においては、互いに隣り合う２つの個別電極４が、互いに共通する１つの端子部４０ｃから発熱抵抗体５に向けて帯状に延びた形態に形成されている。このように、第２参考例においては、１つの個別電極４を複数に分岐させるのではなく、複数の個別電極４が１つの端子部４０ｃを共用したかたちに構成することもできる。この場合であっても、１つの端子部４０ｃをグランド接続することによって、発熱抵抗体５の互いに隣接する２つの領域７に通電を行わせることができ、上記第１参考例において得られるのと同様な効果が得られることとなる。
【００４８】
図１０に示す第３参考例においては、１つの個別電極４が３つの第１端部４０ａを有しており、これら３つの第１端部４０ａが、発熱抵抗体５の互いに隣接する３つの領域７に導通した構成とされている。このような構成によれば、互いに隣接する３つの領域７を同時に発熱させることができ、これら３つの領域７をプリント画像の１ドットに対応したものとすることができる。この参考例から理解されるように、発熱抵抗体５の領域７を複数同時に発熱させる場合には、その領域７の具体的な数はとくに限定されるものではなく、図１０に示す場合よりもさらに多い数の領域７を同時に発熱させるようにすることもできる。
【００４９】
本願発明に係るサーマルプリントヘッドの各部の具体的な構成は、上述した実施形態に限定されるものではなく、種々に設計変更自在である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本願発明の第１実施形態に係るサーマルプリントヘッドの概略構造を示す平面図である。
【図２】  図１の要部拡大図である。
【図３】  図１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。
【図４】  本願発明の第２実施形態を示す要部平面図である。
【図５】  本願発明の第３実施形態を示す要部平面図である。
【図６】  本願発明の第４実施形態を示す要部平面図である。
【図７】  本願発明の第１参考例に係るサーマルプリントヘッドの概略構造を示す平面図である。
【図８】  （ａ）は、図７に示すサーマルプリントヘッドの要部平面図であり、（ｂ）は、（ａ）との対比例を示す要部平面図である。
【図９】  本願発明の第２参考例を示す要部平面図である。
【図１０】  本願発明の第３参考例を示す要部平面図である。
【図１１】  従来技術の一例を示す要部平面図である。
【符号の説明】
Ａ，Ａａ  サーマルプリントヘッド
１  基板
３  共通電極
４  個別電極
５  発熱抵抗体
７  領域（発熱抵抗体の）
７Ａ  発熱部
７Ｂ  非発熱部
８  駆動ＩＣチップ
３１  延出部（共通電極の）
４０ａ  第１端部（個別電極の）
４０ｂ  第２端部（個別電極の）
４０ｃ  端子部（個別電極の）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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