(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられて前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記流路形成基板の前記圧電素子側に接合される接合基板を有し、該接合基板上に前記圧電素子を駆動するための駆動配線と外部配線とが熱可塑性又は熱硬化性の材料からなる接着層を介して電気的に接続される実装部が設けられると共に、当該接合基板上の複数の前記駆動配線に対応する領域に前記接合基板よりも熱伝導性の低い材料からなる断熱層を有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項２】
前記断熱層が、複数の駆動配線に対応する領域に亘って連続的に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項３】
前記断熱層が、セラミックス材料からなることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項４】
前記断熱層が、ポリイミド樹脂からなることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項５】
前記接合基板がシリコン単結晶基板からなることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項６】
前記圧力発生室がシリコン単結晶基板に異方性エッチングにより形成され、前記圧電素子の各層が成膜及びリソグラフィ法により形成されたものであることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れかに記載のインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板の表面に圧電素子を形成して、圧電素子の変位によりインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの２種類が実用化されている。
【０００３】
前者は圧電素子の端面を振動板に当接させることにより圧力発生室の容積を変化させることができて、高密度印刷に適したヘッドの製作が可能である反面、圧電素子をノズル開口の配列ピッチに一致させて櫛歯状に切り分けるという困難な工程や、切り分けられた圧電素子を圧力発生室に位置決めして固定する作業が必要となり、製造工程が複雑であるという問題がある。
【０００４】
これに対して後者は、圧電材料のグリーンシートを圧力発生室の形状に合わせて貼付し、これを焼成するという比較的簡単な工程で振動板に圧電素子を作り付けることができるものの、たわみ振動を利用する関係上、ある程度の面積が必要となり、高密度配列が困難であるという問題がある。
【０００５】
一方、後者の記録ヘッドの不都合を解消すべく、特開平５−２８６１３１号公報に見られるように、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電素子を形成したものが提案されている。
【０００６】
また、このような圧電素子は、例えば、圧力発生室が画成される流路形成基板に接合される接合基板、例えば、各圧力発生室の共通インク室となるリザーバが形成されるリザーバ形成基板上で外部配線と接続されている。すなわち、圧電素子を駆動するための駆動配線が接合基板上に設けられた実装部まで延設され、この実装部にＦＰＣ等の外部配線が接続されることにより、駆動配線を介して圧電素子と外部配線とが電気的に接続される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成のインクジェット式記録ヘッドでは、実装部が接合基板上に形成されているため、駆動配線と外部配線とを接合する際の熱が接合基板を介して放熱されてしまい、駆動配線と外部配線との接合強度が低下してしまうという問題がある。
【０００８】
また、この熱によって接合基板が加熱されて反りが生じ、接合基板あるいは流路形成基板に割れが発生するという問題がある。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑み、駆動配線と外部配線との接合強度を向上できると共に、基板の割れを防止したインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられて前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板の前記圧電素子側に接合される接合基板を有し、該接合基板上に前記圧電素子を駆動するための駆動配線と外部配線とが熱可塑性又は熱硬化性の材料からなる接着層を介して電気的に接続される実装部が設けられると共に、当該接合基板上の複数の前記駆動配線に対応する領域に前記接合基板よりも熱伝導性の低い材料からなる断熱層を有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１１】
かかる第１の態様では、駆動配線と外部配線との接合時の放熱が抑えられ、接合強度が向上する。したがって、接着層を介して駆動配線と外部配線とを良好に接続することができる。
【００１４】
本発明の第２の態様は、前記断熱層が、複数の駆動配線に対応する領域に亘って連続的に設けられていることを特徴とする第１の態様のインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１５】
かかる第２の態様では、駆動配線と外部配線との接合時の放熱が、より確実に抑えられる。
【００１６】
本発明の第３の態様は、前記断熱層が、セラミックス材料からなることを特徴とする第１又は２の態様のインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１７】
かかる第３の態様では、断熱層を所定材料で形成することによって、駆動配線と外部配線との接続時の放熱を効果的に抑えることができる。
【００１８】
本発明の第４の態様では、前記断熱層が、ポリイミド樹脂からなることを特徴とする第１又は２の態様のインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１９】
かかる第４の態様では、断熱層を容易に形成でき、且つ駆動配線と外部配線との接続時の放熱を効果的に抑えることができる。
【００２０】
本発明の第５の態様では、前記接合基板がシリコン単結晶基板からなることを特徴とする請求項１〜４の何れかの態様のインクジェット式記録ヘッドにある。
【００２１】
かかる第５の態様では、断熱層によって接合基板の加熱が抑えられているため、接合基板がシリコン単結晶基板で形成されても割れが発生することがない。
【００２２】
本発明の第６の態様は、前記圧力発生室がシリコン単結晶基板に異方性エッチングにより形成され、前記圧電素子の各層が成膜及びリソグラフィ法により形成されたものであることを特徴とする請求項１〜５の何れかの態様のインクジェット式記録ヘッドにある。
【００２３】
かかる第６の態様では、高密度のノズル開口を有するインクジェット式記録ヘッドを大量に且つ比較的容易に製造することができる。
【００２４】
本発明の第７の態様は、第１〜６の何れかの態様のインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置にある。
【００２５】
かかる第７の態様では、ヘッドのインク吐出特性が安定し、信頼性を向上したインクジェット式記録装置を実現することができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２７】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図２はその平面図であり、図３はその断面図である。
【００２８】
図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなる。流路形成基板１０としては、通常、１５０〜３００μｍ程度の厚さのものが用いられ、望ましくは１８０〜２８０μｍ程度、より望ましくは２２０μｍ程度の厚さのものが好適である。これは、隣接する圧力発生室間の隔壁の剛性を保ちつつ、配列密度を高くできるからである。
【００２９】
流路形成基板１０の一方の面は開口面となり、他方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ１〜２μｍの弾性膜５０が形成されている。
【００３０】
一方、流路形成基板１０の開口面には、シリコン単結晶基板を異方性エッチングすることにより、複数の隔壁１１により区画された圧力発生室１２が幅方向に並設され、その長手方向外側には、後述するリザーバ形成基板のリザーバ部に連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００の一部を構成する連通部１３が形成され、各圧力発生室１２の長手方向一端部とそれぞれインク供給路１４を介して連通されている。
【００３１】
ここで、異方性エッチングは、シリコン単結晶基板をＫＯＨ等のアルカリ溶液に浸漬すると、徐々に侵食されて（１１０）面に垂直な第１の（１１１）面と、この第１の（１１１）面と約７０度の角度をなし且つ上記（１１０）面と約３５度の角度をなす第２の（１１１）面とが出現し、（１１０）面のエッチングレートと比較して（１１１）面のエッチングレートが約１／１８０であるという性質を利用して行われるものである。かかる異方性エッチングにより、二つの第１の（１１１）面と斜めの二つの第２の（１１１）面とで形成される平行四辺形状の深さ加工を基本として精密加工を行うことができ、圧力発生室１２を高密度に配列することができる。
【００３２】
本実施形態では、各圧力発生室１２の長辺を第１の（１１１）面で、短辺を第２の（１１１）面で形成している。この圧力発生室１２は、流路形成基板１０をほぼ貫通して弾性膜５０に達するまでエッチングすることにより形成されている。ここで、弾性膜５０は、シリコン単結晶基板をエッチングするアルカリ溶液に侵される量がきわめて小さい。また各圧力発生室１２の一端に連通する各インク供給路１４は、圧力発生室１２より浅く形成されており、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。すなわち、インク供給路１４は、シリコン単結晶基板を厚さ方向に途中までエッチング（ハーフエッチング）することにより形成されている。なお、ハーフエッチングは、エッチング時間の調整により行われる。
【００３３】
また、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側で連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。なお、ノズルプレート２０は、厚さが例えば、０．１〜１ｍｍで、線膨張係数が３００℃以下で、例えば２．５〜４．５［×１０-6／℃］であるガラスセラミックス、又は不錆鋼などからなる。ノズルプレート２０は、一方の面で流路形成基板１０の一面を全面的に覆い、シリコン単結晶基板を衝撃や外力から保護する補強板の役目も果たす。また、ノズルプレート２０は、流路形成基板１０と熱膨張係数が略同一の材料で形成するようにしてもよい。この場合には、流路形成基板１０とノズルプレート２０との熱による変形が略同一となるため、熱硬化性の接着剤等を用いて容易に接合することができる。
【００３４】
ここで、インク滴吐出圧力をインクに与える圧力発生室１２の大きさと、インク滴を吐出するノズル開口２１の大きさとは、吐出するインク滴の量、吐出スピード、吐出周波数に応じて最適化される。例えば、１インチ当たり３６０個のインク滴を記録する場合、ノズル開口２１は数十μｍの直径で精度よく形成する必要がある。
【００３５】
一方、流路形成基板１０の開口面とは反対側の弾性膜５０の上には、厚さが例えば、約０．２μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約１μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．１μｍの上電極膜８０とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０、及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜６０は圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。
【００３６】
また、流路形成基板１０の圧電素子３００側には、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部３１を有するリザーバ形成基板３０が接合されている。このリザーバ部３１は、本実施形態では、リザーバ形成基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。
【００３７】
このリザーバ形成基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。これにより、上述のノズルプレート２０の場合と同様に、熱硬化性の接着剤を用いた高温での接着であっても両者を確実に接着することができる。したがって、製造工程を簡略化することができる。
【００３８】
さらに、このリザーバ形成基板３０の各リザーバ部３１に対応する領域には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止され、内部圧力の変化によって変形可能な可撓部３２となっている。
【００３９】
一方、リザーバ形成基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を確保した状態で、その空間を密封可能な圧電素子保持部３３が設けられ、圧電素子３００はこの圧電素子保持部３３内に密封されている。
【００４０】
また、本実施形態では、リザーバ形成基板３０の圧電素子保持部３３に対応する領域上には、リザーバ形成基板３０よりも熱伝導性の低い材料からなる断熱層１１０が設けられている。この断熱層１１０の材料は、特に限定されないが、例えば、セラミックス材料、あるいはポリイミド樹脂等を用いることが好ましい。
【００４１】
また、この断熱層１１０上には、各圧電素子３００を駆動するための、例えば、回路基板あるいは半導体集積回路（ＩＣ）等の駆動回路１２０が搭載されている。さらに、断熱層１１０上には、この駆動回路１２０に信号を供給するための駆動配線１３０が駆動回路１２０からリザーバ形成基板３０の端部近傍まで延設され、この駆動配線１３０の端部近傍が、外部配線１４０の接続される実装部１５０となっている。
【００４２】
なお、駆動回路１２０と圧電素子３００とは、上電極膜８０の長手方向一端部近傍から弾性膜５０上に延設される例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０と、このリード電極９０の端部近傍からリザーバ形成基板３０に設けられた貫通溝３７を介して延設される接続配線１６０とによって電気的に接続されている。
【００４３】
ここで、駆動配線１３０と外部配線１４０とは、図３に示すように、接着層１７０を介して接合されている。この接着層１７０としては、特に限定されないが、熱可塑性又は熱硬化性の材料を用いる好ましい。例えば、本実施形態では、接着層１７０として半田を用いており、この接着層１７０を２２０℃程度の温度に加熱することによって駆動配線１３０と外部配線１４０とを接続している。
【００４４】
上述したように、本実施形態では、駆動配線１３０は、リザーバ形成基板３０上に断熱層１１０を介して設けられている。したがって、この断熱層１１０によって、駆動配線１３０と外部配線１４０とを接続する際の放熱が抑えられ、両者を接続する際、接着層１７０を所望の温度とすることができる。したがって、接着層１７０による駆動配線１３０と外部配線１４０との接合強度を著しく向上することができる。また、駆動配線１３０と外部配線１４０とを短時間で接続することができ、製造効率を向上することができる。
【００４５】
なお、従来、駆動配線と外部配線とを接合する際には、５５０℃で５秒程度加熱し、その時の接合部分の温度は、約２４０℃程度であったが、本実施形態では、４００℃で５秒程度加熱することによって駆動配線１３０と外部配線１４０とを接続することができ、その時の接合部分の温度は、約２８０℃程度であった。
【００４６】
また、このような断熱層１１０によって、駆動配線１３０と外部配線１４０とを接続する際の熱によってリザーバ形成基板３０が加熱されるのを抑制することができるため、リザーバ形成基板３０又は流路形成基板１０の熱による反りが抑えられ、これら基板の割れ等の発生を防止することができる。
【００４７】
なお、本実施形態では、リザーバ形成基板３０の圧電素子保持部３３に対応する領域に亘って断熱層１１０を形成するようにしたが、勿論これに限定されず、断熱層１１０は、少なくとも駆動配線１３０が形成される領域に形成されていればよい。すなわち断熱層１１０は、複数の駆動配線１３０に対応する領域に連続的に設けるようにしてもよいし、各駆動配線１３０に対応する領域にそれぞれ独立して設けるようにしてもよい。
【００４８】
また、このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口３５からインクを取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、外部配線を介して圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００４９】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００５０】
例えば、上述の実施形態では、リザーバ形成基板３０上に駆動回路１２０が実装されたタイプのインクジェット式記録ヘッドについて説明したが、勿論、駆動回路は、リザーバ形成基板３０上に実装されている必要はなく、インクジェット式記録ヘッドとは別途に設けられていてもよい。
【００５１】
また、例えば、上述の各実施形態では、成膜及びリソグラフィプロセスを応用して製造される薄膜型のインクジェット式記録ヘッドを例にしたが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のインクジェット式記録ヘッドにも本発明を採用することができる。
【００５２】
また、このような実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図４は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００５３】
図４に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００５４】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上に搬送されるようになっている。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、流路形成基板に接合される接合基板上に圧電素子を駆動するための駆動配線と外部配線とが接続される実装部を設け、この接合基板上の少なくとも駆動配線が形成される領域に接合基板よりも熱伝導性の低い材料からなる断熱層を設けるようにしたので、実装部に外部配線を接続する際の熱が、放熱されるのを抑えることができる。したがって、駆動配線と外部配線との接合強度を向上することができると共に、この熱による流路形成基板又は接合基板に割れが発生するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【符号の説明】
１０  流路形成基板
１２  圧力発生室
２０  ノズルプレート
２１  ノズル開口
３０  リザーバ形成基板
４０  コンプライアンス基板
６０  下電極膜
７０  圧電体層
８０  上電極膜
１００  リザーバ
１１０  断熱層
１２０  駆動回路
１３０  駆動配線
１４０  外部配線
１５０  実装部
１７０  接着層
３００  圧電素子
【図１】
0004420585.tif 000002
【図２】
0004420585.tif 000003
【図３】
0004420585.tif 000004
【図４】
0004420585.tif 000005