(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
共振ミラー（１１）を内装した共振器ミラーカバー（１３）を光軸方向の左右両側に備え、この両側の共振器ミラーカバー（１３）の間に備えたチャンバーケース（７）内に、ロッドホルダ（３）により左右両側を固定されたレーザロッド（５）を備えた固体レーザ発振器であって、前記ロッドホルダ（３）が貫通して取付けられた左右の取付けブロック（３１）を、前記チャンバーケース（７）の底面（３９）に上方向へ取り出し可能に取付け、前記チャンバーケース（７）の左右両壁（１５Ｌ，１５Ｒ）に設けた左右の光路用パイプ（１７Ｌ，１７Ｒ）の先端部に、前記取付けブロック（３１）に押し付けて密閉状態を保持するシールパイプ（２９）をそれぞれ左右方向へ移動可能に備えると共に、前記シールパイプ（２９）を前記取付けブロック（３１）に押し付けるための締め付けナット（２３）を、左右の前記光路用パイプ（１７Ｌ，１７Ｒ）に備えていることを特徴とする固体レーザ発振器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、チャンバーケースに設けられた励起ランプまたはレーザダイオードによりレーザロッドを励起し、発生したレーザ光を共振器ミラーにより共振させる固体レーザ発振器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図４および図５を参照するに、従来より一般的な固体レーザ発振器１０１としては、円筒形状のロッドホルダ１０３により左右両側を固定されたレーザ媒質であるレーザロッド１０５を内部に含む固定チャンバー１０７が中央に設けられている。この固定チャンバー１０７の光軸方向左右両側には共振器ミラー１０９が共振器ミラーホルダ１１１により保持されており、埃等の侵入を防止するためにカバー１１３により覆われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながらこのような従来の技術にあっては、レーザロッド１０５を取り外す際に、図５に示されているように、レーザロッド１０５およびレーザロッド１０５の両端に取付けられているロッドホルダ１０３を固定チャンバー１０７から光軸方向へ例えば左側へ抜き出すために、光軸上に設けられている例えば左側の共振器ミラーホルダ１１１を取り外す必要がある。このため、レーザロッド１０５の交換後、再組立ての際に毎回共振器ミラー１０９のアライメント調整が必要となり面倒である。
【０００４】
また、共振器ミラー１０９部のカバー１１３を開けて作業する必要があるため、共振器ミラー１０９の焼損の原因となる埃や、汚れの侵入および付着のおそれがあるという問題がある。
【０００５】
この発明の目的は、以上のような従来の技術の問題点に着目してなされたものであり、レーザロッドの交換の際に埃等の侵入および付着を防止すると共に、交換後に共振器ミラーの再アライメント調整をする必要のない固体レーザ発振器を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前述のごとき従来の問題に鑑みてなされたもので、共振ミラー（１１）を内装した共振器ミラーカバー（１３）を光軸方向の左右両側に備え、この両側の共振器ミラーカバー（１３）の間に備えたチャンバーケース（７）内に、ロッドホルダ（３）により左右両側を固定されたレーザロッド（５）を備えた固体レーザ発振器であって、前記ロッドホルダ（３）が貫通して取付けられた左右の取付けブロック（３１）を、前記チャンバーケース（７）の底面（３９）に上方向へ取り出し可能に取付け、前記チャンバーケース（７）の左右両壁（１５Ｌ，１５Ｒ）に設けた左右の光路用パイプ（１７Ｌ，１７Ｒ）の先端部に、前記取付けブロック（３１）に押し付けて密閉状態を保持するシールパイプ（２９）をそれぞれ左右方向へ移動可能に備えると共に、前記シールパイプ（２９）を前記取付けブロック（３１）に押し付けるための締め付けナット（２３）を、左右の前記光路用パイプ（１７Ｌ，１７Ｒ）に備えていることを特徴とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１１】
図３には、この発明に係る固体レーザ発振器１の全体が示されている。この固体レーザ装置１では、ロッドホルダ３により左右両側を固定されたレーザ媒質であるレーザロッド５を内部に含むチャンバーケース７が中央に設けられ、このチャンバーケース７の光軸方向左右両側には共振器ミラーホルダ９により保持された共振器ミラー１１が共振器ミラーカバー１３により、埃等から保護されている。
【００１２】
図１および図２を参照するに、チャンバーケース７の左右両壁１５Ｌ、１５Ｒを貫通して内部まで中心部にレーザ光ＬＢが通る空間を有する光路用パイプ１７Ｌ、１７Ｒが設けられており、Ｏリング１９により壁１５Ｌ、１５Ｒに密着されている。
【００１３】
チャンバーケース７の内部における前述の光路用パイプ１７Ｌ、１７Ｒの外周には止めナット２１が設けられており、光路用パイプ１７Ｌ、１７Ｒをチャンバーケース７の壁１５Ｌ、１５Ｒに固定している。また光路用パイプ１７Ｌ、１７Ｒのチャンバーケース７中心方向（以後「ケース中心側」という）先端部にはナット部材としての締め付けナット２３が左右方向に締め付け可能に設けられており、この締め付けナット２３のケース中心側にはＯリング２５を有するＯリングホルダ２７が一体的に設けられている。このＯリングホルダ２７のケース中心側にはシール部材としてのシールパイプ２９が設けられている。
【００１４】
光路用パイプ１７Ｌ、１７Ｒのケース中心側には、ロッドホルダ３が貫通して取付けられており、左右の取付けブロック３１が、位置決めピン３３により位置決めされ、ボルト３５によりチャンバーケース３７の底面３９に取付けられている。この左右の取付けブロック３１間にはフローチューブ４１が密閉して取付けられている。
【００１５】
左右の取付けブロック３１の外側（ケース中心側と反対側）面にはＯリング４３が設けられており、前述の光路用パイプ１７L、１７Ｒに設けられている締め 付けナット２３をケース中心側に締め付けることによりシールパイプ２９を取付けブロック３１に設けられているＯリング４３に押し付けて密閉状態を保持してロッドホルダ３およびレーザロッド５が取付けられている。
【００１６】
なお、左右の取付けブロック３１の図２中上下に隣接して、レーザロッド５に光を当てて励起させる例えば励起ランプ４５がレーザロッド５と平行に設けられている。なお、チャンバーケース７には冷却水４７が充填されている。
【００１７】
次に、レーザロッド５の取外しおよび取付け方について説明する。
【００１８】
まず、レーザロッド５を取り外す際には、左右の締め付けナット２３を外側方向へ緩め、Ｏリングホルダ２７およびシールパイプ２９をチャンバーケース７の両外側方向へスライドさせてロッドホルダ３から切り離す。そして、ボルト３５を緩めて、ロッドホルダ３が貫通したままの状態で取付けブロック３１を取り外し、レーザロッド５、ロッドホルダ３、取付けブロック３１を一体で取り出す。
【００１９】
一方、レーザロッド５を取付ける場合には、レーザロッド５が取付けられたロッドホルダ３を取付けブロック３１に取付け、この状態でチャンバーケース７の位置決めピン３３に取付けブロック３１を嵌め込んで位置決めして、ボルト３５により取付けブロック３１をチャンバーケース７に固定する。シールパイプ２９およびＯリング２５をチャンバーケース７のケース中心側に向かってスライドさせてロッドホルダ３を接続し、締め付けナット２３をケース中心側へ締め付けてＯリング２５，４３をつぶしてシールする。
【００２０】
以上の結果から、共振器ミラー１１を外すことなくレーザロッド５を取り外すことができる。これにより、再度レーザロッド５を取付ける際に、再アライメントが不要となる。
【００２１】
また、共振器ミラーカバー１３を取り外す必要がなくなるので、共振器ミラー１１へ埃や汚れが侵入および付着して焼損することを防止することができる。
【００２２】
なお、この発明は前述の発明の実施の形態に限定されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他の態様で実施し得るものである。前述の実施の形態では励起ランプを例にして説明したが、励起ランプの代りにレーザダイオードであっても構わない。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明による固体レーザ発振器では、レーザロッドは両端部にロッドホルダが取付けられており、このロッドホルダは取付けブロックを介してチャンバーケースに着脱自在に取付けられている。そして、レーザロッド取付け時には、レーザロッドを固定するロッドホルダがシールパイプ及び締付けナットにより、チャンバーケースに設けられている光路用パイプに密閉状態を保持して取付けられる。また、レーザロッド取外し時には、前記締付けナットを緩めてロッドホルダを光路用パイプから切り離して取付けブロックを上側へ取り外すことにより、共振器ミラーを取外すことなく、レーザロッド、ロッドホルダ、取付けブロックを一体でチャンバーケースから上方向へ取り外すことができる。これにより、再度レーザロッドを取付ける際に再アライメントが不要となる。また、共振器ミラーカバーを取り外す必要がなくなるので、共振器ミラーへの埃や汚れの侵入および付着による焼損等を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る固体レーザ発振器の要部を示す断面図である。
【図２】図１中II方向から見た平面図である。
【図３】この発明に係る固体レーザ発振器の全体を示す断面図である。
【図４】従来における固体レーザ発振器の全体を示す断面図である。
【図５】従来の固体レーザ発振器からレーザロッドを取り外す状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１  固体レーザ発振器
３  ロッドホルダ
５  レーザロッド
７  チャンバーケース
１１  共振器ミラー
１５Ｌ、１５Ｒ  壁
１７Ｌ、１７Ｒ  光路用パイプ
１９、２５、４３  Ｏリング
２３  締め付けナット（接続部、ナット部材）
２９  シールパイプ（接続部、シール部材）
３１  取付けブロック
４５  励起ランプ
ＬＢ  レーザ光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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