(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体試験受託者が委託者からの委託を受け、受託者の所有する半導体試験装置を使用して受託半導体装置の試験を行なう方法において、
前記半導体試験装置に入出力制御部を設け、通信回線を利用して前記入出力制御部と委託者の端末とを接続して委託者の端末から実行命令を受け、その実行命令に従って試験を実行するようにするとともに、
前記入出力制御部では、委託者の端末から送られてきた実行命令を伝達する実行命令入力パスと、半導体試験装置の試験結果を出力する試験結果出力パスとを個別に制御するようにし、
複数の委託者の端末装置を前記入出力制御部に接続し、複数の委託者から実行命令を受けることができるようにし、
前記入出力制御部は委託者側の複数の端末装置から受けた実行命令を前記実行命令入力パスに記憶しておき、受け入れた順に実行するようにしたことを特徴とする半導体試験受託方法。
【請求項２】
委託者側の端末装置は前記入出力制御部に記憶された実行命令を確認することができるとともに、取り消すこともできるようにした請求項１に記載の半導体試験受託方法。
【請求項３】
委託者の所有する端末装置を前記半導体試験装置における試験を擬似的に実行できる擬似動作環境をもった仮想端末装置とし、その擬似動作環境を用いて前記半導体試験装置から送られてきた試験結果データーを表示する請求項１又は２に記載の半導体試験受託方法。
【請求項４】
前記入出力制御部は、前記半導体試験装置における試験結果データーをその半導体試験装置に接続されている受託者側の端末装置及び記憶装置、並びに委託者の端末装置のうち、何れに出力するかを決定し、委託者の端末装置に出力する際にはその試験結果データーを圧縮する請求項１から３のいずれかに記載の半導体試験受託方法。
【請求項５】
前記入出力制御部は、その半導体試験装置に接続されている受託者側の記憶装置にいったん記憶した試験結果データーを圧縮して委託者の端末装置に出力する請求項４に記載の半導体試験受託方法。
【請求項６】
委託者から送られる実行命令には受託者側のオペレーターに対する作業指示も含むことができるようにした請求項１から５のいずれかに記載の半導体試験受託方法。
【請求項７】
前記実行命令には画像データー及び音声データーの少なくとも一方も含めた請求項６に記載の半導体試験受託方法。
【請求項８】
半導体試験受託者が委託者からの委託を受け、受託者の所有する半導体試験装置を使用して受託半導体装置の試験を行なう半導体試験受託システムにおいて、
前記半導体試験装置は委託者の端末から受けた実行命令に従って半導体試験を実行するオペレーティングシステムを備えた実行部の他に、入出力制御部を備え、その入出力制御部を介し、通信回線を利用して委託者の端末と接続されているとともに、
前記入出力制御部は、委託者の端末装置から送られてきた実行命令を前記実行部に伝達する実行命令入力パスと、その実行命令入力パスとは個別に動作してこの半導体試験装置の試験結果を出力する試験結果出力パスとを備えており、
前記実行命令入力パスは、委託者の端末から受けた実行命令を一時記憶する入力命令スプール部と、その入力命令スプール部に記憶された実行命令を前記実行部に送る入力命令制御部とを備えており、
前記入出力制御部には複数の委託者の端末装置が接続されるようになっており、
前記入力命令スプール部はそれら複数の委託者の端末装置から送られてきた実行命令をすべて記憶するように構成され、
前記入力命令制御部は前記入力命令スプール部に記憶されている実行命令をこの入出力制御部が受け入れた順に前記実行部に送るように構成されていることを特徴とする半導体試験受託システム。
【請求項９】
委託者側の端末装置は前記入力命令スプール部に記憶されたその端末装置からの実行命令を確認することができ、かつ取り消すこともできるようになっている請求項８に記載の半導体試験受託システム。
【請求項１０】
委託者側の端末装置は前記半導体試験装置における試験を擬似的に実行できる擬似動作環境を構築するオペレーティングシステムを備えた仮想端末装置である請求項８又は９に記載の半導体試験受託システム。
【請求項１１】
前記仮想端末装置は前記半導体試験装置から送られてきた試験結果データーを表示するために、前記半導体試験装置に接続された受託者側の端末装置と同じ表示画面を備えている請求項１０に記載の半導体試験受託システム。
【請求項１２】
前記試験結果出力パスは、この半導体試験装置による試験結果データーの出力先を選別する出力先選別部を備えている請求項８から１１のいずれかに記載の半導体試験受託システム。
【請求項１３】
前記出力先選別部はこの半導体試験装置に接続されている受託者側の記憶装置にいったん記憶された前記試験結果データーを委託者側の端末装置に転送するように選別することもできるものである請求項１２に記載の半導体試験受託システム。
【請求項１４】
前記試験結果出力パスは、試験結果データーを委託者側の端末装置に出力する際にデーター圧縮する出力データー圧縮部を備えており、委託者側の端末装置は圧縮された試験結果データーを解凍する手段を備えている請求項８から１３のいずれかに記載の半導体試験受託システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路装置（本明細書では単に半導体と称す）の試験受託者（テストハウスとも称す）が委託者からの委託を受け、受託者の所有する半導体試験装置を使用して受託半導体装置の試験を行なう半導体試験受託ビジネスのための方法とシステムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
昨今、半導体試験設備の高騰により、半導体試験工程のアウトソーシングは益々加速している。また半導体の開発期間は益々短くなってきており、半導体生産者はテストハウスなど自社以外の外部設備で短期間に半導体試験が行える環境を構築する必要が生じている。
【０００３】
このような背景を考えると、半導体試験受託ビジネスはこれまでは量産設備としての製品試験請け負い業務が一般であったが、今後はもっと開発の前ステップからビジネスを請け負う事が必要になってくる。
【０００４】
しかしながら、一般に、テストハウスと委託者には物理的距離問題があるが為、遠隔地からの操作性の問題により、実際にはこのような製品開発ステップでの半導体の評価解析に半導体試験受託ビジネスを利用する事は極めて困難であった。
【０００５】
また、一般的な半導体試験受託ビジネスは、委託者の要望する半導体試験を請け負い、半導体試験終了後にアウトプット（例えばテスト結果データーと試験終了後の半導体）を委託者へ引き渡すものであり、通常、ある委託契約に基づき、定められたフローで作業を実施するものである。
このような従来の半導体試験受託ビジネスを開始する際には、当然の事ながら、委託者の依頼する半導体をテストハウスの所有する半導体試験装置で試験できるようにする必要がある。
【０００６】
従来は、委託者がテストハウスに赴き、半導体試験立上げの検証作業を実施したり、もしくは要望する特性が得られない場合は故障解析などの作業を実施したりしていた。そのため、委託者にとってはテストハウスへ赴く為の時間的ロスおよび費用が発生していたのが一般である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、半導体試験受託ビジネスにおいて、従来の単純な製品試験受託ビジネスだけではなく、テストハウスの所有する半導体試験装置を委託者が遠隔操作できるようにすることにより、委託者の要望する試験作業の能率を上げることができるようにすることを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体試験受託ビジネスの方法は、半導体試験受託者が委託者からの委託を受け、受託者の所有する半導体試験装置を使用して受託半導体装置の試験を行なう方法にであって、半導体試験装置に入出力制御部を設け、通信回線を利用してその入出力制御部と委託者の端末とを接続して委託者の端末から実行命令を受け、その実行命令に従って試験を実行するようにした方法である。
【０００９】
この方法を実現するために、本発明の半導体試験受託システムでは、半導体試験装置は委託者の端末から受けた実行命令に従って半導体試験を実行するオペレーティングシステムを備えた実行部の他に、入出力制御部を備え、その入出力制御部を介し、通信回線を利用して委託者の端末と接続されている。
これにより、従来技術で課題となる、半導体試験装置への遠隔操作を、半導体試験装置に組み込む入出力制御部のプログラムにより処理することができるようになる。その結果、従来の単に製品試験を請け負う受託ビジネスだけではなく、委託者がテストハウスの装置を遠隔地からあたかも自身の所有する装置であるがごとく、製品評価や解析などの半導体試験装置を必要とする業務に対し、テストハウスを活用することが可能となる。
【００１０】
また従来の製品試験受託ビジネスを開始する際には、委託者がテストハウスに赴き、半導体試験立上げ・検証作業・故障解析などの作業を実施していたが、本発明により、委託者はテストハウスに赴かなくとも遠隔地からの対応が可能となり、ビジネス立上げの時間およびコストの短縮が可能である。特にグローバル化の時代にあってリアルタイムの作業が可能になる。
【００１１】
入出力制御部では、委託者の端末から送られてきた実行命令を伝達する実行命令入力パスと、半導体試験装置の試験結果を出力する試験結果出力パスとを個別に制御することが好ましい。
【００１２】
このような半導体試験の立上げ業務の過程において、図７に示されるように、委託者がテストハウスの半導体試験装置２に電話回線８を介してアクセスし、委託者の所有する端末装置１０ａをテストハウスの所有する半導体試験装置２の端末装置として使用することが考えられる。１０はテストハウスにある端末装置である。
【００１３】
しかしながら、そのように接続した場合、実行命令を伝達する実行命令入力パスと半導体試験装置の試験結果を出力する試験結果出力パスは個別に制御されていないために、委託者の端末装置１０ａはテストハウスの所有する半導体試験装置２のオペレーティングシステムで動作する１つの端末（入出力）装置であり、端末装置１０ａから半導体試験装置２へ実行命令を入力し、その出力結果は同じく委託者の端末装置１０ａへ掃き出される。
【００１４】
この場合、委託者とテストハウスとを結ぶ接続回線状況により、委託者端末装置１０ａから入力した命令の出力結果を得るまでの応答速度が著しく影響される。特にテストハウスと委託者の物理的距離が離れている場合などでは、実行命令をテストハウスの半導体試験装置２が実行し、その結果を委託者端末装置１０ａに掃き出すまでに時間がかかり、実用が困難になる。
【００１５】
遠隔操作に関しては、医療分野において、端末装置間での遠隔操作を適切に行うために、複数の端末装置を通信回線で接続したネットワークにおいて１つの端末装置を他の端末装置で模擬して遠隔操作するものが提案されている（特開２０００−１７５８７０号公報参照）。しかし、互いの端末装置で送信と受信を個別に制御していないため、図７に示したシステムと同様の問題を抱えている。
【００１６】
また、操作端末装置にグラフィック画面表示機能と操作、指示を的確に画面上に対応させるポインディングデバイス機能を装備し、このグラフィック画面上での指示に基づいて高速通信可能な回線を使用して制御したいホームバスシステムに対し制御情報をやり取りし、家庭内の機器を直接コントロール可能とするとともに制御結果を同じ画面上に表示させるようにした操作表示方法も提案されている（特開平７−１３１５４２号公報参照）。その遠隔表示方法は、グラフィック画面上から機器を直接制御しており、実行命令を介して装置を制御する本発明とは異なるだけでなく、制御結果を直接同じ画面に出力しているため、この方法も図７に示したシステムと同様の問題を抱えている。
【００１７】
これに対し、実行命令入力パスと試験結果出力パスとを個別に制御するようにすれば、出力結果を委託者側に送信する際の自由度が増し、接続回線状況による影響を抑えることができる。
複数の委託者の端末装置を半導体試験装置の入出力制御部に接続し、複数の委託者から実行命令を受けることができるようにしてもよい。
【００１８】
実行命令入力パスは、委託者の端末から受けた実行命令を一時記憶する入力命令スプール部と、その入力命令スプール部に記憶された実行命令を実行部に送る入力命令制御部とを備えたものとすることができる。
【００１９】
入力命令スプール部により、半導体試験装置の入出力制御部に複数の委託者の端末装置を接続してもよい。そして、その入力命令スプール部がそれら複数の委託者の端末装置から送られてきた実行命令をすべて記憶するように構成しておき、入力命令制御部は入力命令スプール部に記憶されている実行命令を入出力制御部が受け入れた順に実行部に送るように構成しておけば、委託者側の複数の端末装置から受けた実行命令を、受け入れた順に実行することができるようになる。
【００２０】
命令を一時記憶する点に関しては、計算機システムで障害が発生した際に、記録されている通報先に公衆回線を介してメーッセージを転送、もしくは、転送先端末装置とでコマンドデーターを送受信できる遠隔オペレーション制御方式に関し、その障害発生の状況において、遠隔の端末装置から入力されたコマンド・データーを第３の記憶手段に格納する手段を備えたものが提案されている（特開平２−９０３３５号公報参照）。しかし、その方法は障害発生時にのみコマンドデーターを送受信する点で本発明とは対象を異にしている。また、複数の端末を対象にしていない。
【００２１】
委託者側の端末装置は半導体試験装置の入出力制御部に記憶された実行命令を確認することができるとともに、取り消すこともできるようにしてもよい。
入力命令スプール部を設けた場合に、委託者側の端末装置は入力命令スプール部に記憶されたその端末装置からの実行命令を確認することができ、かつ取り消すこともできるようにしてもよい。
【００２２】
委託者側の端末装置は半導体試験装置における試験を擬似的に実行できる擬似動作環境を構築するオペレーティングシステムを備えた仮想端末装置として、半導体試験装置から送られてきた試験結果データーを表示することができるようになっているのが好ましい。そのために、半導体試験装置に接続された受託者側の端末装置と同じ表示画面を備えていることが好ましい。
【００２３】
ファクシミリにおける描画のやり取りと音声通話に関して、ラスタ情報とベクタ情報を有効に用いて自在な描画操作を行うことができる回線端末装置が提案されている（特開平６−６４７７号公報参照）。しかし、その端末装置は仮想端末装置ではない。
【００２４】
半導体試験装置の入出力制御部は、半導体試験装置における試験結果データーをその半導体試験装置に接続されている受託者側の端末装置及び記憶装置、並びに委託者の端末装置のうち、何れに出力するかを決定することができる。このような出力先の選別は、半導体試験装置の入出力制御部における試験結果出力パスに、この半導体試験装置による試験結果データーの出力先を選別する出力先選別部を備えることにより行なうことができる。
【００２５】
試験結果データーを委託者側の端末装置に出力する際にはその試験結果データーを圧縮することが好ましい。試験結果データーは半導体試験装置に接続されている受託者側の端末装置にいったん記憶された後に委託者側の端末装置に転送するようにしてもよい。
【００２６】
試験結果データーを圧縮するために、半導体試験装置の入出力制御における試験結果出力パスに、試験結果データーを委託者側の端末装置に出力する際にデーター圧縮する出力データー圧縮部を備えておくことができる。圧縮されたデーターは、委託者側の端末装置にデーター解凍手段を備えることにより、委託者側の端末装置に表示できるようになる。
【００２７】
委託者から送られる実行命令には受託者側のオペレーターに対する作業指示も含むようにすることができる。その作業指示を的確に伝えるために、実行命令には画像データー及び音声データーの少なくとも一方も含めることが好ましい。
【００２８】
【発明の実施の形態】
図１は一実施例における半導体試験装置２と委託者側の端末装置４ａ，４ｂとの接続を示したものである。半導体試験装置２には入出力制御部６が設けられており、入出力制御部６には通信回線８を介して委託者側の端末装置４ａ，４ｂが接続されている。接続される委託者の端末装置の数は１台でもよく、複数台でもよい。受託者側においては、半導体試験装置２には入出力制御部６を介して端末装置１０を初め、記憶装置その他必要な周辺機器が接続されている。
【００２９】
図２はこの実施例の構成をブロック図として示したものである。
半導体試験装置２は、委託者の端末から受けた実行命令に従って半導体試験を実行するオペレーティングシステムを備えた実行部５の他に、入出力制御部６を備え、その入出力制御部６を介し、通信回線８を利用して委託者の端末装置４ａ〜４ｎと接続されている。入出力制御部６は、委託者の端末から送られてきた実行命令を実行部５に伝達する実行命令入力パスと、その実行命令入力パスとは個別に動作してこの半導体試験装置２の試験結果を出力する試験結果出力パスとを備えている。
【００３０】
実行命令入力パスは、委託者の端末から受けた実行命令を一時記憶する入力命令スプール部１２と、その入力命令スプール部１２に記憶された実行命令を実行部５に送る入力命令制御部１４とを備えている。
【００３１】
入出力制御部には複数の委託者の端末装置４ａ〜４ｎが接続されるようになっており、入力命令スプール部１２はそれら複数の委託者の端末装置４ａ〜４ｎから送られてきた実行命令をすべて記憶するように構成されている。入力命令制御部１４は入力命令スプール部１２に記憶されている実行命令を入出力制御部６が受け入れた順に実行部５に送るように構成されている。
【００３２】
委託者側の端末装置４ａ〜４ｎは、入力命令スプール部１２に記憶されたその端末装置からの実行命令を確認することができ、かつ取り消すこともできるようになっている。
【００３３】
委託者側の端末装置４ａ〜４ｎは、半導体試験装置２における試験を擬似的に実行できる擬似動作環境を構築するオペレーティングシステムを備えた仮想端末装置である。その仮想端末装置は半導体試験装置２から送られてきた試験結果データーを表示するために、半導体試験装置に接続された受託者側の端末装置１０と同じ表示画面を備えている。
【００３４】
入出力制御部６における試験結果出力パスは、この半導体試験装置２による試験結果データーの出力先を選別する出力先選別部１８を備えている。出力先選別部１８は試験結果データーをその半導体試験装置２に接続されている受託者側の端末装置１０及び記憶装置、並びに委託者側の端末装置４ａ〜４ｎのうち、何れに出力するかを決定する。出力先選別部１８はまた、半導体試験装置２に接続されている受託者側の端末装置１０にいったん記憶された試験結果データーを委託者側の端末装置４ａ〜４ｎに転送するように選別することもできるものである。
【００３５】
入出力制御部６における試験結果出力パスは、試験結果データーを委託者側の端末装置４ａ〜４ｎに出力する際にデーター圧縮する出力データー圧縮部１６を備えており、委託者側の端末装置４ａ〜４ｎは圧縮された試験結果データーを解凍する手段を備えている。データーを圧縮して転送することにより、転送すべきデーター量を削減することができる。委託者側の端末装置４ａ〜４ｎでは、送られてきた試験結果データーを半導体試験オペレーティングシステムを用いて解凍し、画面上に表示する。
【００３６】
図３はこの実施例の受託試験システムの動作を示したフローチャート図である。仮想端末装置４ａ〜４ｎから送られる実行命令は、仮想端末の半導体試験オペレーティングシステムによってデーター化され（ステップS１）、通信回線８を介して転送される（ステップS２）。
【００３７】
半導体試験装置２の入出力制御部６では、送られてきた実行命令を入力命令スプール部１２に一時保管する（ステップS３）。入力命令スプール部１２から入力命令制御部１４に入力命令を受け付けたことを示す信号が送られると（ステップS４）、入力命令制御部１４から受付が可能であるか否かが指示される。受付が可能でない場合は、入力命令スプール部１２に保管され続け、受付が可能になった時点で入力した順に実行命令が入力命令制御部１４に送られ、実行命令がデーター化されて（ステップS５）、半導体試験装置２の実行部５に送られ、命令が実行される（ステップS６）。
【００３８】
半導体試験装置２で試験が実行された後、その試験結果は出力先選別部１８に送られる（ステップS７）。出力先選別部１８ではその試験結果データーを委託先の端末装置に出力するか否かが判断され、委託側に出力される場合には、試験結果の出力データーを出力データー圧縮部１６で一時記憶（スプール）するとともに、情報量を減らすためにデーター圧縮が行なわれる（ステップS８）。その後通信先の割付けが行なわれ（ステップS９）、通信回線８を介して委託先の端末装置にデーターが転送される（ステップS１０）。委託先の端末装置では送られてきたデーターが解凍され、半導体試験オペレーティングシステムを用いて端末画面上にテスト結果が表示される。
【００３９】
一方、ステップＳ７において、直ちには委託側の端末装置に試験結果データーを転送しないと判断された場合には、その試験結果データーを半導体試験装置２に接続されているハードディスクなどの記憶装置に記憶するか否かが判断される（ステップＳ１２）。
【００４０】
その試験結果データーを記憶装置に記憶すると判断された場合は記憶装置に記憶された後（ステップＳ１３）、ステップＳ１２で記憶装置に記憶しないと判断された場合は記憶装置に記憶されないで、半導体試験装置２の端末装置１０に表示するか否かが判断される（ステップＳ１４）。その判断に従って端末に表示されるか（ステップＳ１５）、そうでない場合は表示しないで終了となる。
【００４１】
図４は委託者側の端末装置４が仮想端末である場合について、委託者側の端末装置４と半導体試験装置側の端末装置１０の両方の表示画面の一例を示したものである。受託者側の端末装置１０の表示画面は半導体試験装置２と接続されてオンラインで表示するものであり、委託者側の端末装置４での表示は通信回線８を介してデーター圧縮して送られ、委託者側の端末装置４の仮想端末上で解凍されたデータが表示されるオフラインでの表示であるが、両端末装置４，１０には同じ試験結果データーが表示される。また、受託者側の端末装置１０は半導体試験装置２のテストプラグムをオンライン状態で点検し修正するオンラインデバッガを備えており、委託者側の端末装置４はそのテストプラグムをシミュレーションで点検し修正するオフラインデバッガを備えている。
【００４２】
この実施例では、半導体試験装置２に接続される試験委託者の端末装置４ａ〜４ｎは１台に限定されず、複数台が同時に存在できる。昨今半導体の開発拠点は複数にまたがっている。この実施例によれば、例えば東京と大阪に在する２名の委託側技術者が、同じテストハウスの半導体試験装置に同時にオンライン接続して、それぞれが所望の命令を実行し、３者間でのオンラインビジネスが可能となる。
【００４３】
この実施例では、委託者の端末装置４ａ〜４ｎは半導体試験装置の仮想端末として存在する。つまり、この仮想端末は半導体試験装置２のプログラム制御の全てを負うものではなく、擬似的な半導体試験装置の動作環境（シミュレーションモード）の上で、半導体試験装置２とのやり取りを行うものである。
【００４４】
その結果、仮想端末と半導体試験装置の回線接続に要求される情報伝達量を大幅に軽減し、応答速度を向上させる。例えば、半導体試験装置で波形データーやシュムプロットデーターなどを取得する場合、そのデーター量は膨大であるが為に、その出力結果を通信回線を通してオンラインで委託者側の端末装置へ逐次出力すると、通信回線の応答速度が送信するデーター量の多さに対応できず、極端に応答速度が悪くなり、実用が困難であったが、この実施例により実現が可能となる。
【００４５】
仮想端末装置は半導体試験オペレーティングシステムを備えた擬似的な動作環境にあるので、半導体試験装置で取得するデーターは逐次仮想端末へ出力する必要はなく、データー取得が終了した後に、そのデーターを仮想端末装置に転送し、仮想端末装置上の擬似的な動作環境で、その取得データーを再現すればよいのである。
【００４６】
また、昨今のデーター圧縮・解凍技術を用いることにより、この転送すべき取得データーの量を大幅に削減する事が可能である。
半導体試験装置で実行された試験結果データーの出力先は、半導体試験装置２の出力先選別部１８を構成する出力制御プログラムにより選別される。その１つの例は、図１に示されるように、半導体試験装置２に直接接続されているテストハウスの端末装置１０である。データー出力先を端末装置１０とすることにより、従来遠隔操作で応答速度を悪くさせた要因である半導体試験装置２から通信回線８を通した遠隔地端末装置へのデーター逐次出力をなくし、遠隔操作での応答速度を向上できる。
【００４７】
端末装置１０の画面へ出力されたデーターは、テストハウスのオペレーターの操作により、データーファイルへ格納することもできる。
半導体試験装置２の出力制御プログラムにより、図５に示されるように、半導体試験装置２で実行された試験結果データーの出力先を半導体試験装置２の磁気ディスクや磁気ドラムなどの記憶装置２０とし、そのデーターを端末装置１０の画面に出力させずに、記憶装置２０に直接書き込んで保存するようにすることもできる。
【００４８】
記憶装置２０に保管された出力結果データーは、図６に示されるように、入出力制御プログラムにより、委託者側の端末装置４ａ〜４ｎへ自動転送することもできる。これによりテストハウスの所有する半導体試験装置２にて取得されたデーターを、複数の委託者がそれぞれの端末装置上で同時に閲覧することができるようになる。
【００４９】
委託者側の複数の端末装置４ａ〜４ｎから送信される実行命令は、テストハウスの半導体試験装置２の入力制御プログラムにより記録管理され、命令を受けつけた順に実行される。
また、記録管理された実行命令を各端末装置４ａ〜４ｎで確認することができ、任意にキャンセルすることもできる。
【００５０】
テストハウスが半導体試験装置２のオペレーターを提供することにより、委託者はネットワークでは対処できない所望の試験操作を達成できる。例えば、次のような操作が可能になる。
ａ）被試験サンプルの交換をする。
ｂ）被試験サンプルに温度を印加する。
ｃ）オシロスコープで被試験サンプルの波形を観測し、その波形データーを委託者へ転送する。
ｄ）半導体試験装置２の端末装置１０に表示された出力結果をコピーして委託者側の端末装置４ａ〜４ｎへ転送する。
【００５１】
委託者とテストハウスとのコミュニケーション方法として、テレビモニターなどに代表される通信システムを併用し、音声データー情報や画像データー情報を提供することにより、半導体試験装置２を操作している環境を画像情報などとして、遠隔地の委託者へもリアルタイムに提供するものである。
【００５２】
【発明の効果】
請求項１の発明方法では、半導体試験装置に入出力制御部を設け、通信回線を利用して委託者の端末から実行命令を受けるようにしたので、テストハウスの所有する半導体試験装置を委託者が遠隔操作できるようになり、委託者の要望する試験作業の能率を上げることができる。そして、従来の単純な半導体製品の請け負い試験ビジネスに限られず、製品評価や解析など半導体試験装置を必要とする広汎な業務に対し、受託ビジネスを活用するができるようになる。
半導体試験装置の入出力制御部で、実行命令入力パスと試験結果出力パスとを個別に制御するようにしたので、出力結果を委託者側に送信する際の自由度が増し、接続回線状況による影響を抑えることができる。また、試験結果データーを圧縮して出力することができるようになり、遠隔操作における伝達情報量を減らして通信回線に与える負荷を軽減することができ、ひいては応答性の向上につながる。
半導体試験受託ビジネスにおける拡張形態の１つとして、複数の委託者の端末装置を接続し、複数の委託者から実行命令を受けることができるようにしたので、グローバル化する近年において、複数の拠点での遠隔操作による同時試験が可能になる。
さらに、複数の実行命令を記憶しておき、受け入れた順に実行するようにして、複数の実行命令の実行を可能にした。
請求項２の発明方法では、委託者側から実行命令を確認することができるとともに、取り消すこともできるようにしたので、実用性が増す。
請求項３の発明方法では、委託者の所有する端末装置を仮想端末装置としたので、半導体試験装置から送られてきた試験結果データーを表示できるだけでなく、遠隔操作における伝達情報量を減らして通信回線に与える負荷を軽減することができ、ひいては応答性の向上につながる。
請求項４の発明方法では、試験結果データーの出力先を委託者の端末装置に限らずに選択できるようにし、委託者の端末装置に出力する際にはその試験結果データーを圧縮するようにしたので、通信回線の状態に束縛されるのを避けることができるようになる。
請求項５の発明方法では、受託者側の記憶装置にいったん記憶した試験結果データーを圧縮して委託者の端末装置に出力できるようにしたので、試験結果データーを複数の委託者がそれぞれの端末装置上で同時に閲覧することができるようになる。
請求項６の発明方法では、委託者から送られる実行命令には受託者側のオペレーターに対する作業指示も含むことができるようにしたので、半導体試験受託ビジネスで提供されるサービスの一部として、ネットワーク操作で対応できないサービスを提供することができるようになる。
請求項７の発明方法では、実行命令には画像データーや音声データーも含むようにしたので、受託者側のオペレーターに対する作業指示をより的確に伝えることができるようになる。
請求項８の発明システムでは、半導体試験装置に入出力制御部を備えて通信回線を利用して委託者の端末と接続し、半導体試験装置の入出力制御部に個別に動作する実行命令入力パスと試験結果出力パスとを備え、実行命令入力パスが委託者の端末から受けた実行命令を一時記憶する入力命令スプール部によって、実行命令入力パスを実現する手段を与え、入出力制御部に複数の委託者の端末装置を接続できるようにし、入力命令スプール部に複数の実行命令を記憶し、その実行命令を受け入れた順に送りだすようにしたので、請求項１の方法を実現可能にした。
請求項９の発明システムでは、委託者側の端末装置の機能を明確にしたことにより、請求項２の方法を実現する１つの手段を与えることができる。
請求項１０の発明システムでは、委託者側の端末装置が半導体試験装置における試験を擬似的に実行できる擬似動作環境を構築するオペレーティングシステムを備えた仮想端末装置としたので、請求項３の方法を実現する１つの手段を与えることができる。
請求項１１の発明システムでは、委託者側の端末装置が仮想端末装置であって、かつ受託者側の端末装置と同じ表示画面を備えているので、半導体試験装置から送られてきた試験結果データーを受託者側の端末装置と同じ画面として表示することができるようになる。
請求項１２の発明システムでは、入出力制御部における試験結果出力パスに試験結果データーの出力先を選別する出力先選別部を備えたので、請求項４の方法を実現する１つの手段を与えることができる。
請求項１３の発明システムでは、出力先選別部が受託者側の記憶装置にいったん記憶された試験結果データーを委託者側の端末装置に転送できるようにしたので、試験結果データーを複数の委託者がそれぞれの端末装置上で同時に閲覧することができるようになる。
請求項１４の発明システムでは、半導体試験装置側に試験結果データーを出力する際にデーター圧縮する出力データー圧縮部を備え、委託者側の端末装置には圧縮された試験結果データーを解凍する手段を備えたので、遠隔操作における伝達情報量を減らして通信回線に与える負荷を軽減することができ、ひいては応答性の向上につながる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  一実施例の受託試験システムにおける半導体試験装置と委託者側の端末装置との接続を示す概略構成図である。
【図２】  同実施例の受託試験システムの構成を示すブロック図である。
【図３】  同実施例の受託試験システムの動作を示すフローチャート図である。
【図４】  委託者側の端末装置が仮想端末である場合について、委託者側の端末装置と半導体試験装置側の端末装置の両方の表示画面の一例を示す図である。
【図５】  試験結果データーの出力先を半導体試験装置の記憶装置とした実施例を示す概略構成図である。
【図６】  半導体試験装置の記憶装置の記憶装置に保管された出力結果データーを委託者側の端末装置へ転送する実施例を示す概略構成図である。
【図７】  委託者の端末装置をテストハウスの半導体試験装置の端末装置として使用することを想定した概略構成図である。
【符号の説明】
２      半導体試験装置
４ａ，４ｂ，４ｎ      委託者側の端末装置
６      入出力制御部
８      通信回線
１０      受託者側の端末装置
５      実行部
１２      入力命令スプール部
１４      入力命令制御部
１８      出力先選別部
２０      記憶装置
【図１】
0004480290.tif 000002
【図２】
0004480290.tif 000003
【図３】
0004480290.tif 000004
【図４】
0004480290.tif 000005
【図５】
0004480290.tif 000006
【図６】
0004480290.tif 000007
【図７】
0004480290.tif 000008