(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置に並設された複数の基板受け渡し部に処理前の基板を搬入し、若しくは前記複数の基板受け渡し部から処理済の基板を搬出するため、前記複数の基板受け渡し部に対して前記基板を収納する複数のマガジンの位置決めを行うマガジン処理・回収装置であって、
前記複数の基板受け渡し部の配列と対応する配列で前記複数のマガジンを支持するマガジン支持ステージと、
前記マガジン支持ステージの側方で上下方向に離間して配設され、前記複数のマガジンを待機させるマガジン待機ステージと前記複数のマガジンを回収するマガジン回収ステージと、
前記複数のマガジンの上下方向に複数段形成された基板支持ラックを前記基板受け渡し部に対応する高さにレベル合わせするとともに前記マガジン支持ステージを前記マガジン待機ステージおよびマガジン回収ステージの側方で昇降させるマガジン昇降機構と、
前記マガジン待機ステージに待機させた前記複数のマガジンを前記マガジン支持ステージに同時に移送するマガジン供給機構と、
前記マガジン支持ステージに支持された前記複数のマガジンを前記マガジン回収ステージに同時に移送するマガジン回収機構と、
を備え、
前記複数の基板受け渡し部の配列と対応する配列で前記マガジン待機ステージに前記複数のマガジンを待機させるとともに、前記マガジン供給機構が、前記マガジン待機ステージに待機させた前記複数のマガジンの配列を維持して前記複数のマガジンを前記マガジン支持ステージに同時に移送するマガジン処理・回収装置。
【請求項２】
前記マガジン支持ステージにおいて前記複数のマガジンを両側方から保持する横クランプ機構をさらに備えた請求項１記載のマガジン処理・回収装置。
【請求項３】
前記マガジン支持ステージにおいて前記複数のマガジンを上下方から保持する縦クランプ機構をさらに備えた請求項１または２記載のマガジン処理・回収装置。
【請求項４】
前記マガジン待機ステージに待機させる前記複数のマガジンを前記複数の基板受け渡し部の配列と対応する配列に規制するガイド機構をさらに備えた請求項１乃至３の何れかに記載のマガジン処理・回収装置。
【請求項５】
前記マガジン待機ステージが、前記マガジン支持ステージに近接する第２の待機領域と前記第２の待機領域に隣接する第１の待機領域を含み、
前記マガジン供給機構が、前記第１の待機領域に待機させた前記複数のマガジンを前記第２の待機領域に移送し、さらに前記マガジン支持ステージに移送する請求項１乃至４の何れかに記載のマガジン処理・回収装置。
【請求項６】
前記マガジン供給機構が、前記第１の待機領域に待機させた前記複数のマガジンを前記第２の待機領域に移送する第１の移送機構と、前記第２の待機領域に移送された前記複数のマガジンを前記マガジン支持ステージに移送する第２の移送機構から構成される請求項５記載のマガジン処理・回収装置。
【請求項７】
前記第２の待機領域に待機させた前記複数のマガジンを前記複数の基板受け渡し部の配列と対応する配列に規制するガイド機構をさらに備えた請求項５または６記載のマガジン処理・回収装置。
【請求項８】
前記第２の移送機構が、前記第２の待機領域に待機させた前記複数のマガジンの配列を維持して前記マガジン支持ステージに同時に移送する請求項６または７記載のマガジン処理・回収装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のマガジンを同時に移送するマガジン処理・回収装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数の基板に対し連続的に同種の処理を施す場合、複数の基板を上下方向に段積みしたマガジンを用いて基板の処理効率の向上を図っている。マガジンは、マガジン処理・回収装置により基板処理装置に対して供給および回収されるようになっており、処理前の基板を収納したマガジンをマガジン処理・回収装置により基板処理装置に供給し、基板処理装置において処理が施された処理済の基板を収納したマガジンをマガジン処理・回収装置により回収する。このようなマガジン処理・回収装置として、従来、マガジンと基板処理装置の間で基板の受け渡しを行う基板受け渡し部にマガジンを位置決めすることで、処理前の基板を収納したマガジンを供給し、処理済の基板を収納したマガジンを回収するマガジン処理・回収装置が知られている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平７−１１７８１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、生産効率のさらなる向上を目的として、同時に複数の基板に処理を施す機能を備えた基板処理装置が用いられるようになっている。また、これに対応して複数の基板受け渡し部が設けられ、同時に複数の基板の受け渡しを行うことが可能となっている。
【０００４】
しかしながら、従来のマガジン処理・回収装置は、同時に複数のマガジンの移送を行うようには構成されていないため、複数の基板受け渡し部に複数のマガジンを同時に位置決めすることができず、基板の連続処理を実現して生産性を向上させることが困難であった。
【０００５】
そこで本発明は、複数のマガジンを同時に移送することができるマガジン処理・回収装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１記載の発明は、基板処理装置に並設された複数の基板受け渡し部に処理前の基板を搬入し、若しくは前記複数の基板受け渡し部から処理済の基板を搬出するため、前記複数の基板受け渡し部に対して前記基板を収納する複数のマガジンの位置決めを行うマガジン処理・回収装置であって、前記複数の基板受け渡し部の配列と対応する配列で前記複数のマガジンを支持するマガジン支持ステージと、前記マガジン支持ステージの側方で上下方向に離間して配設され、前記複数のマガジンを待機させるマガジン待機ステージと前記複数のマガジンを回収するマガジン回収ステージと、前記複数のマガジンの上下方向に複数段形成された基板支持ラックを前記基板受け渡し部に対応する高さにレベル合わせするとともに前記マガジン支持ステージを前記マガジン待機ステージおよびマガジン回収ステージの側方で昇降させるマガジン昇降機構と、前記マガジン待機ステージに待機させた前記複数のマガジンを前記マガジン支持ステージに同時に移送するマガジン供給機構と、前記マガジン支持ステージに支持された前記複数のマガジンを前記マガジン回収ステージに同時に移送するマガジン回収機構と、を備え、前記複数の基板受け渡し部の配列と対応する配列で前記マガジン待機ステージに前記複数のマガジンを待機させるとともに、前記マガジン供給機構が、前記マガジン待機ステージに待機させた前記複数のマガジンの配列を維持して前記複数のマガジンを前記マガジン支持ステージに同時に移送する。
【０００８】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記マガジン支持ステージにおいて前記複数のマガジンを両側方から保持する横クランプ機構をさらに備えた。
【０００９】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明において、前記マガジン支持ステージにおいて前記複数のマガジンを上下方から保持する縦クランプ機構をさらに備えた。
【００１０】
請求項４記載の発明は、請求項１乃至３の何れかに記載の発明において、前記マガジン待機ステージに待機させる前記複数のマガジンを前記複数の基板受け渡し部の配列と対応する配列に規制するガイド機構をさらに備えた。
【００１１】
請求項５記載の発明は、請求項１乃至４の何れかに記載の発明において、前記マガジン待機ステージが、前記マガジン支持ステージに近接する第２の待機領域と前記第２の待機領域に隣接する第１の待機領域を含み、前記マガジン供給機構が、前記第１の待機領域に待機させた前記複数のマガジンを前記第２の待機領域に移送し、さらに前記マガジン支持ステージに移送する。
【００１２】
請求項６記載の発明は、請求項５記載の発明において、前記マガジン供給機構が、前記第１の待機領域に待機させた前記複数のマガジンを前記第２の待機領域に移送する第１の移送機構と、前記第２の待機領域に移送された前記複数のマガジンを前記マガジン支持ステージに移送する第２の移送機構から構成される。
【００１３】
請求項７記載の発明は、請求項５または６記載の発明において、前記第２の待機領域に待機させた前記複数のマガジンを前記複数の基板受け渡し部の配列と対応する配列に規制するガイド機構をさらに備えた。
【００１４】
請求項８記載の発明は、請求項６または７記載の発明において、前記第２の移送機構が、前記第２の待機領域に待機させた前記複数のマガジンの配列を維持して前記マガジン支持ステージに同時に移送する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、基板処理装置に並設された複数の基板受け渡し部の配列と対応する配列で支持した複数のマガジンを同時に移送し、複数の基板受け渡し部に対して位置決めすることができるので、複数の基板に同時に処理を施す連続処理が可能となり、生産性の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態の基板の連続処理システムの全体構成図、図２は本発明の実施の形態のマガジン処理・回収装置の全体構成図、図３（ａ）、（ｂ）は本発明の実施の形態のマガジン支持ステージの正面図、図４（ａ）は本発明の実施の形態のマガジン待機ステージの側面図、図４（ｂ）は本発明の実施の形態のマガジン待機ステージの正面図、図５（ａ）は本発明の実施の形態の第１の移送機構の側面図、図５（ｂ）は本発明の実施の形態の第１の移送機構の平面図、図６（ａ）は本発明の実施の形態の第１の移送機構の側面図、図６（ｂ）は本発明の実施の形態の第１の移送機構の平面図、図７は本発明の実施の形態の第１の待機領域の斜視図、図８（ａ）は本発明の実施の形態の第２の移送機構の側面図、図８（ｂ）は本発明の実施の形態の第２の移送機構の平面図、図９（ａ）は本発明の実施の形態の第２の移送機
構の側面図、図９（ｂ）は本発明の実施の形態の第２の移送機構の平面図、図１０乃至図１８は本発明の実施の形態のマガジン処理・回収装置の動作説明図である。
【００１７】
最初に、本発明の実施の形態の基板の連続処理システムについて説明する。図１において、基板処理装置１は基板に所定の処理を施す装置であり、例えば、基板を密閉したチャンバ２内にプラズマ放電を発生させて基板表面の改質を行う。基板処理装置１のベースとなる基台３上には、基板３の搬送を行う搬送コンベア４が基板処理装置１の一方の端部から他方の端部まで延伸して配設される。搬送コンベア４は、チャンバ２内で同時にプラズマ処理可能な基板の個数に対応して複数配設され、本実施の形態では３個の搬送コンベア４が並設されている。基板処理装置１の両側にはマガジン処理・回収装置１０が配設される。マガジン処理・回収装置１０は、複数の基板を段積みして収納する複数のマガジン１１を格納した装置であり、複数の搬送コンベア４との間で基板の受け渡しを行う位置に複数のマガジンを位置決めし、処理前の基板を基板処理装置１に供給するとともに処理済の基板を基板処理装置１から回収する機能を備える。搬送コンベア４は、マガジン処理・回収装置１０と基板処理装置１との間の基板の受け渡しを行う基板受け渡し部として機能し、一方のマガジン処理・回収装置１０からチャンバ２内に処理前の基板を搬入する際にチャンバ２内の処理済の基板を他方のマガジン処理・回収装置１０に搬出し、またこの逆の動作を行うことで効率的な基板の連続処理を可能にしている。
【００１８】
次に、マガジン処理・回収装置１０について説明する。なお、基板処理装置１の両側に配設されるマガジン処理・回収装置１０は同等の機能を備えた装置であり、基板の搬送方向が逆となる点において相違する。図２において、マガジン処理・回収装置１０には、複数のマガジン１１を所定の配列で支持するマガジン支持ステージ１２と、マガジン支持ステージ１２を昇降させるマガジン昇降機構１３と、マガジン支持ステージ１２に供給する複数のマガジン１１を待機させるマガジン待機ステージ１４と、マガジン待機ステージ１４に待機させた複数のマガジン１１をマガジン支持ステージ１２に移送するマガジン供給機構１５と、マガジン支持ステージ１２に支持された複数のマガジン１１を回収するマガジン回収ステージ１６と、マガジン支持ステージ１２に支持された複数のマガジン１１をマガジン回収ステージ１６に移送するマガジン回収機構１７が配設される。マガジン待機ステージ１４とマガジン回収ステージ１６は、マガジン昇降機構１３の駆動により任意の位置に昇降するマガジン支持ステージ１２の側方で上下に離間して配設される。なお、マガジン待機ステージ１４とマガジン回収ステージ１６は何れが上下であってもよいが、本実施の形態ではマガジン待機ステージ１４をマガジン回収ステージ１６の上方に配設している。
【００１９】
図３（ａ）において、マガジン支持ステージ１２は、複数のマガジン１１を基板処理装置１の複数の搬送コンベア４に対応した配列で支持する機能を備える。マガジン支持ステージ１２には、複数のマガジン１１を上下方向および一側方から囲繞する形状に形成されており、マガジン支持ステージ１２の下部は、マガジン１１を支持するマガジン支持部１２ａとなっている。マガジン支持部１２ａには、複数のマガジン１１を基板処理装置１の複数の搬送コンベア４に対応した配列で保持する横クランプ機構が設けられている。横クランプ機構は、マガジン支持部１２ａに固定された固定ストッパ１２ｂと、固定ストッパ１２ｂに対し接離自在に移動する移動ストッパ１２ｃにより構成される。各マガジン１１は、一方の側部を固定ストッパ１２ｂに当接させた状態でマガジン支持部１２ａに支持されることで搬送コンベア４に対応した配列となり、移動ストッパ１２ｃと固定ストッパ１２ｂにより両側方から保持される。移動ストッパ１２ｃは、マガジン支持部１２ａに設けられた開口部１２ｄに配設され、マガジン支持部１２ａの下部に設けられたストッパ移動機構１２ｅとシャフト１２ｆで連結されている。移動ストッパ１２ｃは、ストッパ移動機構１２ｅの駆動により開口部１２ｄで移動し、各マガジン１１の他方の側部に対して接離する（矢印Ａ参照）。移動ストッパ１２ｃが他方の側部に近接する方向に移動することで
、マガジン１１は固定ストッパ１２ｂと移動ストッパ１２ｃにより両側方から保持される（図３（ｂ）参照）。これにより、マガジ支持ステージに基板処理装置１の複数の搬送コンベア４に対応した配列で支持された複数のマガジン１１に位置ずれが生じないように保持することができる。
【００２０】
マガジン支持部１２ａの上部には、マガジン支持部１２ａに支持された複数のマガジン１１を上下から保持するホルダ１２ｇが設けられている。ホルダ１２ｇは、天板１２ｈに設けられたホルダ昇降機構１２ｈの駆動により昇降し、マガジン支持部１２ａに支持されたマガジン１１の上部に接離する（矢印Ｂ参照）。ホルダ１２ｇがマガジン１１の上部に向けて下降することで、マガジン１１はホルダ１２ｇとマガジン支持部１２ａの間で上下方から支持される（図３（ｂ）参照）。このように構成される縦クランプ機構により、マガジン支持ステージに基板処理装置１の複数の搬送コンベア４に対応した配列で支持された複数のマガジン１１に転倒や傾斜が生じないように保持することができる。
【００２１】
以上のように構成されるマガジン支持ステージ１２は、上下方向に昇降するとともに水平方向に移動できるようになっている。マガジン昇降機構１３は、上下に延伸された支柱１３ａに送りねじ１３ｂを配設し、送りねじ１３ｂに螺着された送り部材１３ｃを上下方向に移動させる構成となっている。支柱１３ａの側方には、送り部材１３ｃの上下移動と連動して移動する昇降部材１３ｄが配設されており、支柱１３ａの側部に設けられたガイド１３ｅに沿って昇降する。昇降部材１３ｄには水平方向に延伸されたレール１３ｆが備えられ、マガジン支持ステージ１２の側部１２ｊに設けられたスライダ１２ｋがレール１３ｆに水平方向に摺動自在に装着されている。昇降部材１３ｄにはエアーシリンダー等のアクチュエータ１３ｇが装着されており、その出力端はマガジン支持ステージ１２の側部１２ｊに連結されている。このアクチュエータ１３ｇを作動させることによりマガジン支持ステージ１２をレール１３ｆに沿って水平移動させ、支持ステージ１２に保持されたマガジン１１を搬送コンベア４へ接近させる。これにより、マガジン１１と搬送コンベア４との間の隙間が狭められ、マガジン１１と搬送コンベア４間における基板Ｗの搬送を容易にしている。
【００２２】
図３（ｂ）において、マガジン１１の内部には基板支持ラック１１ａが上下方向に間隔をおいて複数段形成されており、各基板支持ラック１１ａに基板Ｗが水平方向に出し入れ可能に支持されている。基板Ｗを基板処理装置１に搬入するには、マガジン１１を支持したマガジン支持ステージ１２の昇降位置をマガジン昇降機構１３の駆動により調整し、任意の基板Ｗを支持した基板支持ラック１１ａを搬送コンベア４に対応する高さにレベル合わせし、基板搬送装置１に備えられた基板引き込み機構（図示省略）によりマガジン１１内の基板Ｗを引き出して搬送コンベア４に受け渡す。基板Ｗは搬送コンベア４上を搬送され、チャンバ２内に搬入される。一方、プラズマ処理が施された処理済の基板Ｗを基板処理装置１から搬出するには、マガジン１１を支持したマガジン支持ステージ１２の昇降位置をマガジン昇降機構１３の駆動により調整し、収納先の基板支持ラック１１ａを搬送コンベア４に対応する高さにレベル合わせし、搬送コンベア４上を搬送されてきた処理済の基板Ｗを基板処理装置１に備えられたプッシャー（図示省略）によりマガジン１１内に搬出する。基板Ｗの搬出入の際には、マガジン支持ステージ１２を水平方向に移動させてマガジン１１を搬送コンベア４に接近させることで基板Ｗの受け渡しを容易にする。
【００２３】
このように、横クランプ機構および縦クランプ機構により複数のマガジン１１を搬送コンベア４の配列に対応した配列でマガジン支持ステージ１２に保持することで、各マガジン１１の位置精度が向上し、複数のマガジン１１をそれぞれ対応する搬送コンベア４に対して正確に位置決めすることが可能になるとともに、各マガジン１１の内部に複数段形成された基板支持ラック１１ａを搬送コンベア４に正確に位置合わせすることが可能となり、マガジン１１と搬送コンベア４との間で基板Ｗの円滑な受け渡しが実現できる。
【００２４】
図４において、マガジン待機ステージ１４には、第１の移送機構２０および第２の移送機構２１の組み合わせにより構成されたマガジン供給機構１５が備えられている。第１の移送機構２０と第２の移送機構２１は、マガジン待機ステージ１４の側壁１４ａと天板１４ｂに支持された複数のマガジン１１をマガジン支持ステージ１２に移送する動作を連動して行う機能を備えている。
【００２５】
図５において、第１の移送機構２０は、複数のマガジン１１を下方から支持する第１のマガジン支持部２０ａと、第１のマガジン支持部２０ａに設けられた摺動部２０ｂを水平方向に摺動させるレール２０ｃを備えた第１の水平プレート２０ｄと、第１の水平プレート２０ｄをマガジン待機ステージ１４に対して昇降させる第１の昇降部と、第１のマガジン支持部２０ａをマガジン待機ステージ１４に対して水平移動させる第１の水平移動部から構成される。第１の昇降部は、マガジン待機ステージ１４の底部に設けられた第１のシリンダ２０ｅから第１のロッド２０ｆを上下に伸縮することで第１のロッド２０ｆに支持された第１の水平プレート２０ｄを水平を維持した状態で昇降させる（矢印Ｃ参照）。第１の水平移動部は、第１の水平プレート２０ｄに沿って水平方向に設けられた第１のボールねじ２０ｇを第１のモータ２０ｈで回転駆動させ、第１のボールねじ２０ｇに螺着された第１のナット２０ｉに連結された第１のマガジン支持部２０ａを水平移動させる（矢印Ｄ参照）。図４および図５（ｂ）において、マガジン待機ステージ１４の天板１４ｂと両側壁１４ａの間は開口されて第１のマガジン支持部２０ａの通路を形成しており、複数のマガジン１１を天板１４ｂと両側壁１４ａから離反させた状態で支持した第１のマガジン支持部２０ａを水平移動可能にしている。
【００２６】
このように構成される第１の移送機構２０は、マガジン待機ステージ１４に設定された第１の待機領域１４Ａから第２の待機領域１４Ｂに複数のマガジン１１を同時に移送する機能を備える。すなわち、図５（ａ）に示すように、第１の待機領域１４Ａに支持された複数のマガジン１１の下方に第１のマガジン支持部２０ａを位置させ、第１の水平プレート２０ｄを上昇させて第１のマガジン支持部２０ａに複数のマガジン１１を天板１４ｂと両側壁１４ａから離反させた状態で支持させ、図６（ａ）に示すように、第１のマガジン支持部２０ａを水平移動させ、複数のマガジン１１を第２の待機領域１４Ｂに移送する。なお、図５および図６においては説明の便宜のため第２の移送機構２１を省略している。
【００２７】
図７に示すように、マガジン待機ステージ１４の第１待機領域Ａにはガイド機構が設けられ、複数のマガジン１１を基板受け渡し部４の配列に対応する配列で待機させるように各マガジン１１の配列を規制する。このガイド機構は、両側壁１４ａの上部に形成された一対の第１のガイド１４ｃと、天板１４ｂの上部にマガジン１１の個数に対応して形成された複数の一対の第２のガイド１４ｄからなり、各マガジン１１の基板搬送方向における位置と隣り合うマガジン１１間の間隔を規制する。この一対の第１のガイド１４ｃおよび複数の一対の第２のガイド１４ｄにより、第１待機領域Ａに支持される複数のマガジン１１は基板受け渡し部４の配列に対応する配列で待機され、この配列を維持した状態で第２待機領域Ｂに移送される。
【００２８】
図８において、第２の移送機構２１は、第２の待機領域１４Ｂに移送された複数のマガジン１１を下方から支持する第２のマガジン支持部２１ａと、第２のマガジン支持部２１ａに連結されたレール２１ｂを水平方向に摺動させるガイド２１ｃを備えた第２の水平プレート２１ｄと、第２の水平プレート２１ｄをマガジン待機ステージ１４に対して昇降させる第２の昇降部と、第２のマガジン支持部２１ａをマガジン待機ステージ１４に対して水平移動させる第２の水平移動部から構成される。第２の昇降部は、マガジン待機ステージ１４の底部に設けられた第２のシリンダ２１ｅから第２のロッド２１ｆを上下に伸縮することで、第２のロッド２１ｆに支持された第２の水平プレート２１ｄを水平を維持した
状態で昇降させる（矢印Ｅ参照）。第２の水平移動部は、第２の水平プレート２０ｄに沿って水平方向に設けられた第２のボールねじ２１ｇを第２のモータ２１ｈで回転駆動させ、第２のボールねじ２１ｇに螺着された第２のナット２１ｉに一端が連結されたレール２１ｂを水平移動させることによりレール２１ｂの他端に連結された第２のマガジン支持部２１ａを水平移動させる（矢印Ｆ参照）。図４および図８（ｂ）において、マガジン待機ステージ１４の天板１４ｂと両側壁１４ａの間は開口されて第２のマガジン支持部２１ａの通路を形成しており、複数のマガジン１１を天板１４ｂと両側壁１４ａから離反させた状態で支持した第２のマガジン支持部２１ａを水平移動可能にしている。
【００２９】
このように構成される第２の移送機構２１は、マガジン待機ステージ１４に設定された第２の待機領域１４Ｂからマガジン支持ステージ１２に複数のマガジン１１を同時に移送する機能を備える。すなわち、図８（ａ）に示すように、マガジン支持ステージ１２の昇降位置をマガジン待機ステージ１４の高さ位置とレベル合わせし、第２の待機領域１４Ｂに支持された複数のマガジン１１の下方に第２のマガジン支持部２１ａを位置させ、第２の水平プレート２１ｄを上昇させて第２のマガジン支持部２１ａに複数のマガジン１１を天板１４ｂと両側壁１４ａから離反させた状態で支持させ、図９（ａ）に示すように、第２のマガジン支持部２１ａを水平移動させ、複数のマガジン１１をマガジン支持ステージ１２に移送する。図９（ｂ）に示すように、第２のマガジン支持部２１ａとレール２１ｂは、マガジン支持ステージ１２の底部１２ａを両側方から挟む位置に対となって形成されている。従って、複数のマガジン１１を底部１２ａの上方に位置させた状態で第２の水平プレート２１ｄを下降させると、第２のマガジン支持部２１ａに支持された複数のマガジンが底部１２ａに支持され、マガジン支持ステージ１２へのマガジン１１の供給が行われる。なお、図８および図９においては説明の便宜のため第１の移送機構２０を省略している。
【００３０】
図２において、マガジン回収ステージ１６には、一対のコンベア３０から構成されるマガジン回収機構１７が配設される。一対のコンベア３０は、マガジン支持ステージ１２の下方まで延伸され、マガジン昇降機構１３の駆動により下降するマガジン支持ステージ１２の底部１２ａを両側方から挟む位置に離間して配設されている。従って、マガジン支持ステージ１２を下降させて一対のコンベア３０の間に底部１２ａを下降させると、底部１２ａに支持された複数のマガジン１１が一対のコンベア３０に支持された状態となる。一対のコンベア３０を駆動させることで複数のマガジン１１がマガジン回収ステージ１６に移送され、マガジン１１の回収が行われる。
【００３１】
次に、マガジン処理・回収装置１０におけるマガジンの供給・回収動作を説明する。図１０において、複数の処理前の基板Ｗが収納された複数のマガジン１１をマガジン待機ステージ１４の第１の待機領域１４Ａに支持する。図１１において、第１のマガジン支持部２０ａの上昇動作（矢印Ｇ参照）および水平移動動作（矢印Ｈ参照）、下降動作（矢印Ｉ参照）により第１の待機領域１４Ａに支持された複数のマガジン１１を第２の待機領域１４Ｂに同時に移送する（図１２参照）。マガジン１１の移送後、第１のマガジン支持部２０ａを水平移動（矢印Ｊ参照）させ、第１の待機領域１４Ａに位置させる。
【００３２】
図１３において、マガジン支持ステージ１２の昇降位置をマガジン待機ステージ１４の高さ位置とレベル合わせし、第２のマガジン支持部２１ａの上昇動作（矢印Ｋ参照）および水平移動動作（矢印Ｌ参照）、下降動作（矢印Ｍ参照）により第２の待機領域１４Ａに支持された複数のマガジン１１をマガジン支持ステージ１２に同時に移送する（図１４参照）。マガジン１１の移送後、第２のマガジン支持部２１ａを水平移動（矢印Ｎ参照）させ、第２の待機領域１４Ｂに位置させる。
【００３３】
図１５において、マガジン支持ステージ１２に移送された複数のマガジン１１を固定ス
トッパ１２ｂ、移動ストッパ１２ｃ、ホルダ１２ｅにより搬送コンベア４（図１参照）の配列に対応した配列で支持する。
【００３４】
図１６において、マガジン支持ステージ１２を下降（矢印Ｏ参照）させ、マガジン１１の下段から上段に向けて処理前の基板Ｗを順次搬送コンベア４に対応する高さにレベル合わせし、チャンバ２（図１参照）内に搬出する。この基板Ｗの搬入動作に並行して、新たな処理前の基板Ｗを収納した複数のマガジン１１をマガジン待機ステージ１４の第１の待機領域１４Ａに支持する。
【００３５】
図１７において、マガジン１１内の処理前の基板Ｗを全て搬出し終えると、マガジン支持ステージ１２を下降させ、複数のマガジン１１をコンベア３０に受け渡すとともに固定ストッパ１２ｂ、移動ストッパ１２ｃ、ホルダ１２ｅによる支持を解除する。また、第１の待機領域１４Ａに支持された複数のマガジン１１を第２の待機領域１４Ｂに同時に移送する。
【００３６】
図１８において、コンベア３０の駆動により空のマガジン１１をマガジン回収ステージ１６に移送する（矢印Ｐ参照）。また、マガジン支持ステージ１２を上昇（矢印Ｑ参照）させ、マガジン待機ステージ１４の高さ位置とレベル合わせする。また、新たな処理前の基板Ｗを収納した複数のマガジン１１を第１の待機領域１４Ａに支持する。
【００３７】
以上の動作によりマガジン処理・回収装置１０におけるマガジンの供給・回収動作が一巡し、以後この動作を繰り返すことで、基板処理装置１およびマガジン処理・回収装置１０から構成される基板の連続処理システムにおいて停滞することなく基板に所定の処理を施すことができる。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明によれば、基板処理装置に並設された複数の基板受け渡し部の配列と対応する配列で支持した複数のマガジンを同時に移送し、複数の基板受け渡し部に対して位置決めすることができるので、複数の基板に同時に処理を施す基板の連続処理分野において有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施の形態の基板の連続処理システムの全体構成図
【図２】本発明の実施の形態のマガジン処理・回収装置の全体構成図
【図３】（ａ）、（ｂ）本発明の実施の形態のマガジン支持ステージの正面図
【図４】（ａ）本発明の実施の形態のマガジン待機ステージの側面図、（ｂ）本発明の実施の形態のマガジン待機ステージの正面図
【図５】（ａ）本発明の実施の形態の第１の移送機構の側面図、（ｂ）本発明の実施の形態の第１の移送機構の平面図
【図６】（ａ）本発明の実施の形態の第１の移送機構の側面図（ｂ）本発明の実施の形態の第１の移送機構の平面図
【図７】本発明の実施の形態の第１の待機領域の斜視図
【図８】（ａ）本発明の実施の形態の第２の移送機構の側面図、（ｂ）本発明の実施の形態の第２の移送機構の平面図
【図９】（ａ）本発明の実施の形態の第２の移送機構の側面図、（ｂ）本発明の実施の形態の第２の移送機構の平面図
【図１０】本発明の実施の形態のマガジン処理・回収装置の動作説明図
【図１１】本発明の実施の形態のマガジン処理・回収装置の動作説明図
【図１２】本発明の実施の形態のマガジン処理・回収装置の動作説明図
【図１３】本発明の実施の形態のマガジン処理・回収装置の動作説明図
【図１４】本発明の実施の形態のマガジン処理・回収装置の動作説明図
【図１５】本発明の実施の形態のマガジン処理・回収装置の動作説明図
【図１６】本発明の実施の形態のマガジン処理・回収装置の動作説明図
【図１７】本発明の実施の形態のマガジン処理・回収装置の動作説明図
【図１８】本発明の実施の形態のマガジン処理・回収装置の動作説明図
【符号の説明】
【００４０】
１  基板処理装置
４  搬送コンベア（基板受け渡し部）
１０  マガジン供給・回収装置
１１  マガジン
１２  マガジン支持ステージ
１２ｂ  固定ストッパ（横クランプ機構）
１２ｃ  移動ストッパ（横クランプ機構）
１２ｄ  ストッパ移動機構（横クランプ機構）
１２ｅ  ホルダ（縦クランプ機構）
１２ｆ  ホルダ昇降機構（縦クランプ機構）
１３  マガジン昇降機構
１４  マガジン待機ステージ
１４ｃ  第１のガイド（ガイド機構）
１４ｄ  第２のガイド（ガイド機構）
１４Ａ  第１の待機領域
１４Ｂ  第２の待機領域
１５  マガジン供給機構
１６  マガジン回収ステージ
１７  マガジン回収機構
２０  第１の移送機構
２１  第２の移送機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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