(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する圧力室と、この圧力室に流体抵抗部を介して連通する共通液室と、前記共通液室にインクを供給するインク供給口と、前記圧力室内のインクを加圧する圧力発生手段とを備えたインクジェットヘッドにおいて、
複数の圧力室の列を複数列設け、各圧力室の列間に前記共通液室を配置し、
前記共通液室は分離壁により複数に分割され、前記分離壁により前記インク供給口も複数に分割されている
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記インク供給口を前記圧力室の並び方向に沿う方向の分離壁で２つに分割していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記インク供給口を前記圧力室の並び方向と交差する方向の分離壁で２つに分離していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載のインクジェットヘッドにおいて、前記共通液室の前記インク供給口から離れた端部が平面形状で円弧状に形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】
インク滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが前記請求項１乃至４のいずれかに記載のインクジェットヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像記録装置或いは画像形成装置として用いるインクジェット記録装置において使用する液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドとしては、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する圧力室（加圧液室、液室、吐出室、インク流路等とも称される。）と、液室内のインクを加圧する圧力を発生する圧力発生手段とを備えて、圧力発生手段で発生した圧力で液室内インクを加圧することによってノズルからインク滴を吐出させる。
【０００３】
このようなインクジェットヘッドとしては、圧力発生手段として圧電素子などの電気機械変換素子を用いて液室の壁面を形成している振動板を変形変位させることでインク滴を吐出させるピエゾ型のもの、液室内に配設した発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いてインクの膜沸騰でバブルを発生させてインク滴を吐出させるバブル型（サーマル型）のもの、液室の壁面を形成する振動板（又はこれと一体の電極）とこれに対向する電極を用いて静電力で振動板を変形させることでインク滴を吐出させる静電型のものなどがある。
【０００４】
従来のインクジェットヘッドとして、例えば特開平１１−４８４７５号公報に記載されているように、複数の圧力室を並べた圧力室の列を２列有し、各圧力室の列に対応してそれぞれ圧力室にインクを供給する共通液室（リザーバ室）を配置したものがある。また、このインクジェットヘッドでは、リザーバ室とインク供給穴との間に、圧力室の並び方向に伸びるスリット状の気泡誘導溝を形成し、リザーバ室の気泡を気泡誘導溝で誘導することで気泡の効率的な排出を行おうとしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来のインクジェットヘッドにあっては、各圧力室の列毎にリザーバ室を設けていることから、カラープリンタのように、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂｋ）の４個のヘッド、或いはこれに淡いイエロー（ＦＹ）、淡いマゼンタ（ＦＭ）、淡いシアン（ＦＣ）の三色を加えた７個のヘッドを搭載するようなインクジェット記録装置に使用した場合、ヘッド部の幅が大きくなり、この結果、ヘッドの信頼性を回復するための回復装置の幅も大きくなり、インクジェット記録装置が大型化するという課題がある。
【０００６】
また、圧力室やリザーバ室をシリコン基板で形成したような場合には、結晶面方位の関係で共通液室の断面形状が台形状になり、またその断面積は一定となるため、リザーバ室の端部ではインクの流れが極端に低下し、澱みが発生し、気泡が排出されず共通液室の端部に留まり、圧力室へのインクの流入が悪くなり、インク滴吐出が不安定になり、画像品質が低下するという課題がある。そのために、従来のインクジェットヘッドのように気泡誘導溝を形成することは構成が複雑になる。
【０００７】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ヘッドの小型化及び記録装置の小型化を図ることを目的とし、更に気泡排出性に優れたヘッド及びこのヘッドを搭載することで画像品質を向上したインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係るインクジェットヘッドは、
インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する圧力室と、この圧力室に流体抵抗部を介して連通する共通液室と、前記共通液室にインクを供給するインク供給口と、前記圧力室内のインクを加圧する圧力発生手段とを備えたインクジェットヘッドにおいて、
複数の圧力室の列を複数列設け、各圧力室の列間に前記共通液室を配置し、
前記共通液室は分離壁により複数に分割され、前記分離壁により前記インク供給口も複数に分割されている
構成とした。
【０００９】
ここで、前記インク供給口を前記圧力室の並び方向に沿う方向の分離壁で２つに分割している構成とできる。また、前記インク供給口を前記圧力室の並び方向と交差する方向の分離壁で２つに分離している構成とできる。さらに、前記共通液室の前記インク供給口から離れた端部が平面形状で円弧状に形成されている構成とできる。
【００１１】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するインクジェットヘッドとして本発明に係るインクジェットヘッドを搭載したものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。図１は本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図、図２は同ヘッドの振動板長手方向に沿う断面説明図、図３は同ヘッドの振動板短手方向に沿う模式的断面説明図、図４は同ヘッドの共通液室形状の平面説明図である。
【００１３】
このインクジェットヘッド１は、ヘッドチップ２と、このヘッドチップ２に接合したインク供給部材３とを有している。ヘッドチップ２は、第１基板である流路基板１１と、流路基板１１の下側に設けた第２基板である電極基板１２と、流路基板１１の上側に設けた第３基板であるノズル板１３とを重ねて接合した積層構造体であり、これらにより複数のノズル１５が連通するインク流路である圧力室１６、圧力室１６に流体抵抗部１７を介して連通する共通液室１８を形成している。
【００１４】
ここで、複数のノズル１５、圧力室１６、流体抵抗部１７の列を２列設け、各列のノズル１５、圧力室１６、流体抵抗部１７は並び方向（以下「圧力室の並び方向」という。）で配列ピッチＰの１／２（Ｐ／２）だけ配列方向にずらして配置している（図１参照）。そして、各圧力室列１６Ａ、１６Ｂ間に１つの共通液室１８を配置し、この実施形態ではこの１つの共通液室１８から左右の（両側の）圧力室列１６Ａ、１６Ｂの各圧力室１６のインクを供給する。
【００１５】
流路基板１１には、各列の複数の圧力室１６及びこの圧力室１６の底部となる壁面を構成する振動板２０を形成する凹部、また個々の圧力室１６に流体抵抗部１７を介してインクを供給するための共通液室１８を形成するための開口部（貫通開口部）１９が形成されている。また、この流路基板１１の振動板２０が共通電極を兼ねるので外部回路と接続するための共通電極パッド部２０ａを設けている。
【００１６】
この流路基板１１は、結晶面方位（１１０）の単結晶シリコン基板に高濃度ｐ型不純物であるボロンを拡散して高濃度ボロン拡散層を形成し、この高濃度ボロン拡散層をエッチングストップ層としてシリコン基板を異方性エッチングして、圧力室１６及び共通液室１８とともに高濃度ボロン拡散層からなる振動板２０を形成したものである。なお、振動板２０を形成した後に共通液室１８となる部分に残存している高濃度ボロン拡散層をエッチング除去することで開口部１９が形成される。
【００１７】
なお、この実施形態では振動板２０は第１電極を兼ねているが、別途、振動板２０に電極膜を形成することもできる。また、振動板２０の電極基板１２側の表面には、図示しないが、ショート防止のため熱酸化によるシリコン酸化膜を形成している。
【００１８】
電極基板１２には結晶面方位（１００）の単結晶シリコン基板を用いて熱酸化法、ウエット酸化法などで酸化膜１２ａを形成し、この熱酸化膜１２ａに電極形成用溝（凹部）２４を形成し、この凹部２４の底面に振動板２０に所定のギャップ２６を介して対向する第２電極である個別電極２５を形成し、これらの振動板２０と電極２５で静電アクチュエータを構成している。
【００１９】
この実施形態の電極基板１２は、熱酸化膜１２ａを形成したシリコン基板上に、フッ化水素水溶液でエッチングにより凹部２４を所望の深さで形成し、この凹部２４に電極材料としてＴｉＮをスパッタ、ＣＶＤ、蒸着等の薄膜形成法で所望の厚さに成膜して、その後電極パターンにフォトレジストを形成してエッチングすることにより、凹部２４底面に電極２５を形成している。
【００２０】
また、電極２５の上にシリコン酸化膜からなる絶縁保護膜２７を形成し、ショート等による電極２５の破損を防止している。さらに、電極基板１２には共通液室１８にインクを供給するためのインク供給口２８を形成している。
【００２１】
そして、これらの電極基板１２と流路基板１１とは、接着剤による接合も可能であるが、より信頼性の高い物理的な接合、例えば電極基板１２をシリコン基板で形成しているので、酸化膜を介した直接接合法で接合している。この直接接合は１０００℃程度の高温下で実施する。
【００２２】
ノズル板１３には、多数のノズル１５を形成するとともに、共通液室１８と圧力室１６を連通するための流体抵抗部１７となる溝部を形成している。ここでは、インク吐出面（ノズル表面側）には撥水性皮膜を成膜している。このノズル板１３にはガラス基板、プラスチック板、ステンレス等の金属板、シリコン基板、エレクトロフォーミング（電鋳）工法によるニッケルメッキ膜、ポリイミド等の樹脂にエキシマレーザー加工をしたもの、金属と樹脂とを積層したもの等を用いることができる。
【００２３】
インク供給部材３は、電極基板１２のインク供給口２８に連通するインク供給路３１を有し、このインク供給路３１の途中にはフィルタユニット３２を設けている。
【００２４】
そして、ヘッドチップ２の電極２５の電極パッド部２５ａにＦＰＣケーブル４１を熱圧着などで接続して、このＦＰＣケーブル４１には電極２５に対して駆動波形を印加するためのドライバＩＣ４２を搭載し、このドライバＩＣ４２はインク供給部材３の側面に形成した凹部３８に収納している。これらのヘッドチップ２及びインク供給部材３の外側にはフレーム部材４４を配設して、このフレーム部材４４とノズル板１３とを接合している。
【００２５】
このインクジェットヘッド１においては、振動板２０をグラウンドとして、第１電極を兼ねた振動板２０と第２電極である電極２５の間に、例えば１０〜１００Ｖ程度のパルス電位を印加することで、振動板２０の表面にマイナス電荷が誘起され、電極間（振動板２０と電極２５との間）の静電力により振動板２０が電極２５側に変形し、圧力室１６内にインクが充填される。続いて、電極２５の電圧印加をオフにすると、電極間に蓄積された電荷の放出に伴い、振動板２０が圧力室１６側に復元する。その際、圧力室１６内に急激な体積変化／圧力変化が生じ、充填されたインクがノズル１５よりインク滴として吐出される。
【００２６】
そして、このインクジェットヘッド１においては、複数の圧力室１６の列１６Ａ、１６Ｂを設け、各圧力室の列１６Ａ、１６Ｂは並び方向で１／２ピッチずつずらして配置し、各圧力室の列１６Ａ、１６Ｂ間に共通液室１８を配置し、この共通液室１８にインク供給口２８を臨ませて、図５に示すように、１つの共通液室１８から両側の列１６Ａ、１６Ｂの各圧力室１６に対してインクを供給するので、ヘッドの幅が小さくなる。
【００２７】
これにより、このインクジェットヘッド１を複数個搭載してカラー記録を行うインクジェット記録装置の小型化を図ることができる。
【００２８】
次に、本発明の第２実施形態について図６乃至図９を参照して説明する。なお、図６は同実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図、図７は同ヘッドの振動板短手方向に沿う断面説明図、図８は同ヘッドの共通液室形状の平面説明図、図９は同ヘッドの作用説明に供する平面説明図である。
この実施形態では、流路基板１１の共通液室１８の両端部１８ａ、１８ａに臨む平面形状で略三角形状のインクの流れを整える整流部材（整流板）５１、５１を一体に形成している。
【００２９】
このように整流板５１、５１を形成することによって共通液室１８の両端部１８ａ、１８ａにおける気泡の滞留を防止することができる。すなわち、前述した第１実施形態の共通液室１８では両端部が四角状になっているので、図５に示したようなインクの流れＲが生じてインク供給口２８から供給されたインクの流速が共通液室１８では両端部で急速に低下して淀みが生じ易くなり、この部分で同図に示すように気泡Ｂがトラップされると、気泡Ｂをうまく排出できないことがある。
【００３０】
これに対して、この実施形態では共通液室１８の両端部１８ａ、１８ａに略三角形状の整流板５１、５１を設けているので、この整流板５１、５１により流路断面積が狭められ、図９に示すようにインクの流れＲは整流板５１、５１で振り分けられて各圧力室の列１６Ａ、１６Ｂの圧力室１６に向かう方向に流れ易くなり、淀みが発生せず、流速の著しい低下も生じない。これにより、共通液室１８の両端部１８ａ、１８ａに気泡がトラップされることが防止されて、気泡排出性が向上し、気泡残留による吐出不良も生じない。
【００３１】
次に、本発明の第３実施形態について図１０及び図１１を参照して説明する。なお、図１０は同実施形態に係るインクジェットヘッドの共通液室形状の平面説明図、図１１は同ヘッドの作用説明に供する平面説明図である。
この実施形態でも、流路基板１１の共通液室１８の両端部１８ａ、１８ａに臨む平面形状で２つの円弧をつなぎ合わせた形状のインクの流れを整える整流部材（整流板）５２、５２を一体に形成している。
【００３２】
したがって、上述した第２実施形態と同様に、整流板５２、５２により共通液室１８の両端部１８ａ、１８ａの流路断面積が狭められ、図１１に示すようにインクの流れＲは整流板５２、５２で振り分けられて各圧力室の列１６Ａ、１６Ｂの圧力室１６に向かう方向に流れ易くなり、淀みが発生せず、流速の著しい低下も生じない。これにより、共通液室１８の両端部１８ａ、１８ａに気泡がトラップされることが防止されて、気泡排出性が向上し、気泡残留による吐出不良も生じない。
【００３３】
この第３実施形態の整流板５２と前記第２実施形態の整流板５１との形状の違いによる差は、整流板５１では直線的に流路断面積が減少するのに対して、整流板５２では端部に近づくほどに流路断面積が大きく減少することにある。
【００３４】
次に、本発明の第４実施形態について図１２乃至図１４を参照して説明する。なお、図１２は同実施形態に係るインクジェットヘッドの要部斜視説明図、図１３は共通液室形状の平面説明図、図１４は図１３のＡ−Ａ線に沿う断面説明図である。
この実施形態では、流路基板１１の振動板短手方向（圧力室の並び方向に沿う方向）に沿う分離壁５５を形成することによって、共通液室を圧力室の列１６Ａの各圧力室１６に対応する共通液室５８Ａと圧力室の列１６Ｂの各圧力室１６に対応する共通液室５８Ｂとに分割分離している。
【００３５】
そして、インク供給口２８は分離壁５５に対応して配置し、１つのインク供給口２８から両側の共通液室５８Ａ、５８Ｂに供給する。また、共通液室５８Ａ、５８Ｂの両端部５８Ａａ、５８Ｂａはいずれも円弧状に形成している。
【００３６】
この実施形態の作用について図１５及び図１６を参照して説明する。先ず、図１５に示すように、分離壁５５を持たない共通液室１８を備えたインクジェットヘッドを駆動してノズル１５からインク滴を吐出させた場合、一方の列の圧力室１６で生じる圧力波５９は、流体抵抗部１７を介して共通液室１８に至り、更に他の列の流体抵抗部１７を介して他の列の圧力室１６まで伝搬することがある。このような状態になると、他の列の圧力室１６に連通するノズル１５のメニスカスが振動したり、他の列の圧力室１６を駆動するときの圧力が減殺されるなどして噴射特性が低下することなる。
【００３７】
これに対して、この実施形態のインクジェットヘッドでは、図１６に示すように分離壁５５があるために、一方の列の圧力室１６で生じる圧力波５９が流体抵抗部１７を介して共通液室５８Ａに至っても分離壁５５があるためにそれ以上に他の列の共通液室５８Ｂまで伝搬しない。これにより、安定した噴射特性が得られる。なお、共通液室５８Ａ、５８Ｂの両端部５８Ａａ、５８Ｂａはいずれも円弧状に形成しているので、前記第２、第３実施形態と同様に端部における流速の低下を低減することができて、気泡排出性を向上できる。
【００３８】
次に、本発明の第５実施形態について図１７を参照して説明する。なお、同図は同実施形態に係るインクジェットヘッドの共通液室形状の平面説明図である。
この実施形態では、流路基板１１の振動板長手方向（圧力室の並び方向と直交する方向）に沿う分離壁６５を形成することによって、共通液室を圧力室の並び方向で共通液室６８Ａと共通液室６８Ｂとに分割分離している。
【００３９】
そして、インク供給口２８は分離壁６５に対応して配置し、１つのインク供給口２８から両側の共通液室６８Ａ、６８Ｂに供給する。また、共通液室６８Ａ、６８Ｂのインク供給口２８から離れた側の端部６８Ａａ、６８Ｂａには前述した整流部材５３（整流部材５１でも良い。）を臨ませている。
【００４０】
このように構成すると、前記第４実施形態の共通液室５８Ａ、５８Ｂよりも共通液室の長さが短くなり、その分インク流速の低下も少なくなり、更にこの例では整流部材５３を設けているので、一層気泡排出性が向上する。
【００４１】
次に、本発明の第６実施形態について図１８及び図１９を参照して説明する。なお、図１８は同実施形態に係るインクジェットヘッドの要部斜視説明図、図１９は共通液室形状の平面説明図である。
この実施形態では、上記第４実施形態と同様に分離壁５５を形成して共通液室５８Ａと共通液室５８Ｂとに分割分離し、更に、各共通液室５８Ａと共通液室５８Ｂに独立してインクを供給するためのインク供給口２８Ａ、２８Ｂを電極基板１２に設けている。なお、この場合、インク供給部材３にも２つのインク供給路３１Ａ、３１Ｂを設け、各インク供給路３１Ａ、３１Ｂにはそれぞれフィルタユニット３２を配設する。
【００４２】
このように共通液室５８Ａと共通液室５８Ｂに対して独立したインク供給口２８Ａ、２８Ｂからインクを供給することで、共通液室５８Ａと共通液室５８Ｂとは完全に分離されることになり、圧力波の伝搬がなくなり、より噴射特性が安定する。
【００４３】
次に、本発明の第７実施形態について図２０を参照して説明する。なお、同図は同実施形態に係るインクジェットヘッドの共通液室形状の平面説明図である。
この実施形態では、上記第５実施形態と同様に分離壁６５を形成して共通液室６８Ａと共通液室６８Ｂとに分割分離し、更に、各共通液室６８Ａと共通液室６８Ｂに独立してインクを供給するためのインク供給口２８Ａ、２８Ｂを電極基板１２に設けている。なお、この場合も上記第６実施形態と同様に、インク供給部材３にも２つのインク供給路を設け、各インク供給路にはそれぞれフィルタユニットを配設する。
【００４４】
このように構成すれば、共通液室６８Ａと共通液室６８Ｂに対して独立したインク供給口２８Ａ、２８Ｂからインクを供給することになって、共通液室６８Ａと共通液室６８Ｂとは完全に分離されることになり、圧力波の伝搬がなくなり、より噴射特性が安定するとともに、共通液室の長さが短くなってインク流速の低下が低減し、気泡排出性が一層向上する。
【００４５】
次に、本発明に係るインクジェット記録装置の一例について図２１及び図２２を参照して説明する。なお、図２１は同記録装置の斜視説明図、図２２は同記録装置の機構部の側面説明図である。
このインクジェット記録装置は、記録装置本体１１１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部１１２等を収納し、装置本体１１１の下方部には前方側から多数枚の用紙１１３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）１１４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙１１３を手差しで給紙するための手差しトレイ１１５を開倒することができ、給紙カセット１１４或いは手差しトレイ１１５から給送される用紙１１３を取り込み、印字機構部１１２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ１１６に排紙する。
【００４６】
印字機構部１１２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド１２と従ガイドロッド１２２とでキャリッジ１２３を主走査方向（図１５で紙面垂直方向）に摺動自在に保持し、このキャリッジ１２３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係るインクジェットヘッドからなるヘッド１２４を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ１２３にはヘッド１２４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ１２５を交換可能に装着している。
【００４７】
インクカートリッジ１２５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。
【００４８】
また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド１２４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【００４９】
ここで、キャリッジ１２３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド１１２に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド１２２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ１２３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ１２７で回転駆動される駆動プーリ１２８と従動プーリ１２９との間にタイミングベルト１３０を張装し、このタイミングベルト１３０をキャリッジ１２３に固定しており、主走査モーター１２７の正逆回転によりキャリッジ１２３が往復駆動される。
【００５０】
一方、給紙カセット１１４にセットした用紙１１３をヘッド１２４の下方側に搬送するために、給紙カセット１１４から用紙１１３を分離給装する給紙ローラ１３１及びフリクションパッド１３２と、用紙１１３を案内するガイド部材１３３と、給紙された用紙１１３を反転させて搬送する搬送ローラ１３４と、この搬送ローラ１３４の周面に押し付けられる搬送コロ１３５及び搬送ローラ１３４からの用紙１１３の送り出し角度を規定する先端コロ１３６とを設けている。搬送ローラ１３４は副走査モータ１３７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００５１】
そして、キャリッジ１１３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１３４から送り出された用紙１１３を記録ヘッド１２４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１３９を設けている。この印写受け部材１３９の用紙搬送方向下流側には、用紙１１３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１４１、拍車１４２を設け、さらに用紙１１３を排紙トレイ１１６に送り出す排紙ローラ１４３及び拍車１４４と、排紙経路を形成するガイド部材１４５、１４６とを配設している。
【００５２】
記録時には、キャリッジ１１３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド１２４を駆動することにより、停止している用紙１１３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙１１３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙１１３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙１１３を排紙する。
【００５３】
また、キャリッジ１１３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド１２４の吐出不良を回復するための回復装置１４７を配置している。回復装置１４７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。回復装置１３７のキャップ手段はヘッド１２４を構成するインクジェットヘッド１毎に設けられ、インクジェットヘッド１のノズル１５のすべてを覆う大きさに設定される。
【００５４】
そして、キャリッジ１２３は印字待機中にはこの回復装置１４７側に移動されてキャッピング手段でヘッド１２４をキャッピングされ、吐出口部（ノズル部）を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口（ノズル）のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【００５５】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド１２４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００５６】
ここで、上記各実施形態に係るインクジェットヘッドをヘッド１２４として搭載することによってヘッド１２４の主走査方向の幅が狭くなるので、回復装置１４７の主走査方向の幅も小さくなり、記録装置の小型化を図れる。
【００５７】
また、ヘッド１２４として前記第６、第７実施形態のインクジェットヘッドのように共通液室を分離して各共通液室毎にインク供給口を設けたインクジェットヘッドを搭載した場合には、各インク供給口から異なる色のインクを供給することで、使用するインクの色数に対してヘッドの数を半分にすることができて、更に小型化を図れる。この場合には、第６実施形態のように圧力室の並び方向に沿う方向の分離壁で共通液室を分離したインクジェットヘッドの用いる方が一列のノズルがすべて同じ色になるので制御が容易になる。
【００５８】
なお、上記実施形態においては、本発明を振動板変位方向とインク滴吐出方向が同じになるサイドシュータ方式のインクジェットヘッドに適用したが、振動板変位方向とインク滴吐出方向とが直交するエッジシュータ方式のインクジェットヘッドにも同様に適用することができる。
【００５９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るインクジェットヘッドによれば、複数の圧力室の列を複数列設け、各圧力室の列間に前記共通液室を配置し、共通液室は分離壁により複数に分割され、分離壁によりインク供給口も複数に分割されている構成としたので、ヘッドの小型化及びインクジェット記録装置の小型化を図れる。
【００６２】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、インク滴を吐出するインクジェットヘッドとして本発明に係るインクジェットヘッドを搭載したので、装置の小型化を図れ、また気泡残留による吐出不良もなく、安定した画像記録を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図
【図２】同ヘッドの振動板長手方向に沿う断面説明図
【図３】同ヘッドの振動板短手方向に沿う断面説明図
【図４】同ヘッドの共通液室形状を説明する平面説明図
【図５】同実施形態の作用説明に供する平面説明図
【図６】本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図
【図７】同ヘッドの振動板短手方向に沿う断面説明図
【図８】同ヘッドの共通液室形状を説明する平面説明図
【図９】同実施形態の作用説明に供する平面説明図
【図１０】本発明の第３実施形態に係るインクジェットヘッドの共通液室形状を説明する平面説明図
【図１１】同実施形態の作用説明に供する平面説明図
【図１２】本発明の第４実施形態に係るインクジェットヘッドの要部分解斜視説明図
【図１３】同ヘッドの共通液室形状を説明する平面説明図
【図１４】図１３のＡ−Ａ線に沿う断面説明図
【図１５】同実施形態の作用説明に供する断面説明図
【図１６】同実施形態の作用説明に供する断面説明図
【図１７】本発明の第５実施形態に係るインクジェットヘッドの共通液室形状を説明する平面説明図
【図１８】本発明の第６実施形態に係るインクジェットヘッドの要部分解斜視説明図
【図１９】同ヘッドの共通液室形状を説明する平面説明図
【図２０】本発明の第７実施形態に係るインクジェットヘッドの共通液室形状を説明する平面説明図
【図２１】本発明に係るインクジェット記録装置の機構部を説明する斜視説明図
【図２２】同記録装置の側面説明図
【符号の説明】
１…インクジェットヘッド、２…ヘッドチップ、３…インク供給部材、１１…流路基板、１２…電極基板、１３…ノズル板、１５…ノズル、１６…圧力室、１６Ａ、１６Ｂ…圧力室の列、１７…流体抵抗部、１８…共通液室、１９…開口部、２０…振動板、２５…電極、２８…インク供給口、５１、５２…整流部材、５５、６５…分離壁、５８Ａ、５８Ｂ、６８Ａ、６８Ｂ…共通液室。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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