(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板表面側に発熱抵抗体と測温抵抗体とを形成した測定素子を流体通路内に配置して流
量を測定する熱式流量計において、
前記測定素子の表面に対向する流体通路の壁面から前記測定素子側に向かって突出した
片持ち板部を設け、前記片持ち板部における突き出し方向の先端部と前記測定素子との間
に空隙を設け、前記片持ち板を前記測定素子の上流から下流まで延設し、前記片持ち板部の根元の板厚よりも先端部の板厚を薄く形成したことを特徴とする熱式流量計。
【請求項２】
請求項１に記載の熱式流量計において、
前記壁面と対向する支持部材によって前記測定素子を支持し、
前記流体通路を構成する第１の壁面と前記支持部材との間及び前記第１の壁面に対向する第２の壁面と前記支持部材との間にそれぞれ流体の流れる流路が構成されるように、かつ前記測定素子が前記第１の壁面と対向するように、前記支持部材を配置し、
前記片持ち板部を前記第２の壁面から前記支持部材に向かって突出させ、前記空隙を前記片持ち板部の先端部と前記支持部材との間に設け、前記片持ち板を前記支持部材の上流から下流まで延設したことを特徴とする熱式流量計。
【請求項３】
請求項１に記載の熱式流量計において、
前記片持ち板部を前記測定素子の面方向かつ流路軸とほぼ垂直となる方向に複数枚並べて形成したことを特徴とする熱式流量計。
【請求項４】
請求項１に記載の熱式流量計において、
前記測定素子の上流側と下流側に、前記壁面側から前記片持ち板部の先端部を越えて前記測定素子側又は前記支持部材側に延設された板状部を設けたことを特徴とする熱式流量計。
【請求項５】
請求項４に記載の熱式流量計において、
前記板状部は、前記壁面と前記支持部材とによって支持される両持ち板部を構成することを特徴とする熱式流量計。
【請求項６】
請求項４に記載の熱式流量計において、
前記片持ち板部と前記板状部とがほぼ連続面となることを特徴とする熱式流量計。
【請求項７】
請求項５に記載の熱式流量計において、
前記板状部の側面に、前記測定素子に近づくに従い前記測定素子側から前記壁面側に向かう凸または凹形状のガイド部を形成したことを特徴とする熱式流量計。
【請求項８】
請求項２に記載の熱式流量計において、
前記板状部の側面に、前記支持部材に近づくに従い前記支持板側から前記第２の壁面に向かう凸または凹形状のガイド部を形成したことを特徴とする熱式流量計。
【請求項９】
請求項３に記載の熱式流量計において、
前記片持ち板部の先端部から前記測定素子までの間隔をＧとし、前記複数の片持ち板部の先端部の間隔をＤとするとき、前記間隔Ｇと前記間隔Ｄとの関係がＧ＞Ｄとなる部位をもつことを特徴とする熱式流量計。
【請求項１０】
請求項１に記載の熱式流量計において、
前記流体通路は被計測流体が流れる主通路の流体の一部を取り込む副通路を形成し、
前記副通路内に、流路が直線になる直線部と、前記直線部の上流および下流に流路が湾曲した湾曲部とを有し、
前記直線部に前記測定素子を設置したことを特徴とする熱式流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被計測流体中に発熱抵抗体を設置し流量を測定する熱式流量計に係り、特に、自動車の内燃機関の吸入空気流量や排ガス流量の測定に関わる。
【背景技術】
【０００２】
自動車などの内燃機関の吸入空気量を検出する流量センサとして、質量流量を直接測定できる熱式の空気流量センサが主流になっている。
【０００３】
近年では、シリコン（Ｓｉ）などの半導体基板上にマイクロマシン技術を用いて熱式流量計のセンサ素子を製造するものが提案されている。このような半導体タイプの熱式流量計は、半導体基板に形成した数ミクロンの薄膜部に発熱抵抗体を形成している。薄膜であることから熱容量が小さく高速応答・低消費電力化が可能である。また、微細加工により発熱抵抗体の上下流の温度差を検出し、順流・逆流を判別する構造を形成することが容易である。
【０００４】
上記タイプの熱式流量計の従来技術としては、特許文献１に記載されたものがある。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１４６６５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
たとえば、自動車用内燃機関の吸入空気流量を検出する場合、吸入空気に混入した水滴が流量検出素子に付着し測定誤差が発生する。特に半導体タイプの熱式流量計の場合、検出部が薄膜であることから熱容量が小さく発熱部に水滴が付着すると急激に薄膜部の温度が低下し流量の測定ができなくなってしまう恐れがある。また、水滴の付着により薄膜部が急激に冷却され測定素子が破壊される恐れもある。
【０００７】
従来技術では、センサ素子と一体に整流ブレードを形成している。このような構造の熱式流量計に水滴が飛来してくると、水滴は一度整流ブレードにトラップされ、風圧により整流部材の側面を這い、その後整流ブレードから離れ測定素子の抵抗体の形成領域に付着恐れがある。従来技術では水滴の付着に対する課題を残していた。
【０００８】
本発明は上記の点に鑑みなされたものであり、飛来してきた水滴や液状の汚損物が測定素子に付着することを防止した熱式流量計を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題は以下の構成によって解決される。
【００１０】
表面側に発熱抵抗体と測温抵抗体とを形成した測定素子を流体通路内に配置して流量を測定する熱式流量計において、測定素子の表面に対向する流体通路の壁面から測定素子側に突出した片持ち板部を設け、片持ち板部を測定素子の上流から下流まで延設し、片持ち板部の根元の板厚よりも先端部の板厚を薄く形成する。ここで、測定素子の表面に対向する壁面は、片持ち板部を支持するものであり、壁面と一体の構造であっても良い。また、片持ち板部の先端部（支持部の反対側）は測定素子から所定の距離はなれギャップを形成している。
【００１１】
このとき、前記壁面と対向する支持部材によって測定素子を支持し、流体通路を構成する第１の壁面と支持部材との間及び第１の壁面に対向する第２の壁面と支持部材との間にそれぞれ流体の流れる流路が構成されるように、かつ測定素子が第１の壁面と対向するように、支持部材を配置し、片持ち板部を第２の壁面から支持部材に向かって突出させ、空隙を片持ち板部の先端部と支持部材との間に設け、片持ち板を支持部材の上流から下流まで延設してもよい。
【００１２】
また、片持ち板部を測定素子の面方向かつ流路軸とほぼ垂直となる方向に複数枚並べて形成するとよい。
【００１３】
また、測定素子の上流側と下流側に、前記壁面側から片持ち板部の先端部を越えて測定素子側又は支持部材側に延設された板状部を設けるとよい。
【００１４】
また、板状部は、壁面と支持部材とによって支持される両持ち板部を構成するようにするとよい。
【００１５】
また、片持ち板部と板状部とがほぼ連続面となるようにするとよい。
【００１６】
また、板状部の側面に、測定素子に近づくに従い測定素子側から壁面側に向かう凸または凹形状のガイド部を形成するとよい。
【００１７】
或いは、板状部の側面に、支持部材に近づくに従い支持板側から第２の壁面に向かう凸または凹形状のガイド部を形成するとよい。
【００１９】
また、片持ち板部の先端部から測定素子までの間隔をＧとし、複数の片持ち板部の先端部の間隔をＤとするとき、間隔Ｇと間隔Ｄとの関係がＧ＞Ｄとなる部位をもつようにするとよい。
【００２０】
また、流体通路は被計測流体が流れる主通路の流体の一部を取り込む副通路を形成し、副通路内に、流路が直線になる直線部と、直線部の上流および下流に流路が湾曲した湾曲部とを有し、直線部に測定素子を設置するとよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、測定素子へ飛来する水滴や液状の汚損物が、測定素子周辺に形成した板によりトラップされ、測定素子を回避するように板の側面を這い下流に流されることにより、測定素子への付着や汚損を防止することができ、高精度な流量測定が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明に係る実施例を説明する。
【実施例１】
【００２３】
第１の実施例について以下説明する。
【００２４】
図１（ａ）は、測定素子１を設置する部位の断面図である。また、図１（ｂ）は図１（ａ）におけるＸ−Ｘ線上の断面図であり、図１（ｃ）は図１（ａ）におけるＹ−Ｙ線上の断面図である。測定素子１は、支持部材２に形成した矩形状の溝に設置する。また、支持部材２の対面には対面壁３を形成する。測定対象となる空気流４は、これらの支持部材２と対面壁３の間を流れる。
【００２５】
測定素子１に対面する対面壁３には、対面壁３から突出した片持ち板部５を形成する。片持ち板部５の先端部と測定素子１との間にギャップ６を設ける。図１（ｃ）に示すように対面壁３と片持ち板部５はＰＢＴなどの樹脂により一体成型すると製造工程が簡略化する。片持ち板部５は測定素子１の上流側端部から下流側端部まで延設される。片持ち板部５は、図１（ｃ）に示すように、空気流４の流れ方向に対して垂直な方向に複数枚配設する。ここで、片持ち板部５の先端部と測定素子１の表面とのギャップをＧとし、片持ち板部５を並設する間隔をＤとすると、Ｇ＞Ｄとなることが好ましい。ここでＧの値は１mm程度であり、これよりも小さくすると、片持ち板部５の先端部と測定素子１の表面との間に、水滴がブリッジするように付着する。
【００２６】
さらに、測定素子１の上流側には対面壁３から突出した両持ち板部７ａを形成する。この両持ち板部７ａは、片持ち板部５の先端部を越えて測定素子１側に延設された板状部を構成する。両持ち板部７ａ部は、対面壁３と一体成型すると製造工程が簡略化される。この場合、両持ち板部７ａの根元部は対面壁３となり、先端部は支持部材２に接触または、接着剤により接着する。もしくは、両持ち板部７ａと支持部材２を一体成型する。この場合、両持ち板部７ａの根元部は支持部材２となり、先端部は対面壁３に近接または接着剤により接着する構造としても良い。さらに、片持ち板部５と両持ち板部７ａが連続した一枚の板となるように一体成型すると良い。同様に、測定素子１の下流側にも両持ち板部７ｂを形成する。両持ち板部７ｂは両持ち板部７ａと測定素子１を中心に対称な構造であることが好ましい。
【００２７】
さらに、両持ち板部７ａ，７ｂの側面にはガイド部８を設ける。ガイド部８は両持ち板部７ａ，７ｂの側面に溝を形成することによりなる。ガイド部８は、測定素子１に近づくにしたがって、対面壁側へ向うように形成する。また、ガイド部８を複数形成する。ガイド部８は両持ち板部の両側面に形成すると良いが、片面に形成しても良い。
【００２８】
ここで、水滴の付着に対する本実施形態の効果を説明する。図３は、本実施形態において、水滴が上流側から飛来した場合における水滴の動きを示した図である。図において、水滴３５が上流から飛来してくると、上流側の両持ち板部７ａに衝突し付着する。付着した水滴は、空気の流れにより両持ち板部７ａの側面を這い下流側へ移動する。このとき、両持ち板部７ａの側面に形成したガイド部８により水滴は、測定素子１の対面壁側へ向かう。さらに、水滴は片持ち板部５の側面を這い、下流側の両持ち板部７ｂへ移動する。このように、水滴は、両持ち板部７ａ，７ｂ，片持ち板部５に捕獲され、測定素子１への付着を回避するように下流側へ移動する。
【００２９】
図４は、図３におけるＹ−Ｙ断面を示す。
【００３０】
多量の水滴が飛来した場合、毛細管現象により片持ち板部５の先端と、測定素子１の表面とのギャップＧの部分に水が引っ張り込まれる可能性がある。上記のように、片持ち板部５の間隔Ｄと、ギャップＧとの関係がＤ＜Ｇとなるように形成する。こうすることで、ギャップＧ部よりも片持ち板部５のＤへの水の引き込み力が大きくなり、測定素子１への付着をより低減することができる。
【００３１】
本実施形態では、片持ち板部５，両持ち板部７ａ，７ｂを連続する１枚の板としているが、片持ち板部５と両持ち板部７ａ，７ｂが分離し、これらの板の側面がほぼ連続した面を持つように形成すればよい。また、両持ち板部７ａ，７ｂは、両壁面に固定された形状としているが、どちらかの壁面に固定し、他方の壁面とは微小な隙間がある構成でもよい。また、ガイド部８は、複数の溝を並行に並べる形状としているが、両持ち板部７ａ，７ｂの側面に形成し、付着した水滴を対面壁側へガイドする形状であればいかなる形状でもよい。また、ガイド部８は両持ち板部７ａ，７ｂに形成しているが、片持ち板部５の側面にも形成しても良い。
【００３２】
次に、測定素子１の構成と測定原理について説明する。
【００３３】
本実施形態による熱式流量計の測定素子１の構成を図４により説明する。図４は、測定素子１を示す平面図である。また図５は、図４におけるＡ−Ａ線に沿った断面図を示す。
【００３４】
図４，図５において測定素子１の基板９は、シリコンやセラミック等の熱伝導率の良い材料で構成される。そして、基板９上に絶縁膜１０を形成し、基板９を裏面からエッチングすることで絶縁膜１０の下部にダイアフラム部１１を形成する。
【００３５】
ダイアフラム部１１上の絶縁膜１０の表面には発熱抵抗体１２を形成する。発熱抵抗体１２は、空気流４の温度に対して一定温度高くなるように加熱されている。発熱抵抗体１２の両側には温度差センサ１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂを形成する。温度差センサ１３ａ，１３ｂは発熱抵抗体１２の上流側、温度差センサ１４ａ，１４ｂは発熱抵抗体１２の下流側に配置する。また、ダイアフラム部１１の外部の絶縁膜１０上には、空気流４の温度に応じて抵抗値が変化する感温抵抗体１５を配置する。これらの抵抗体を、絶縁保護膜１６により保護する。
【００３６】
上記の発熱抵抗体１２、温度差センサ１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ、感温抵抗体１５は、温度によって抵抗値が変化する比較的抵抗温度係数が大きい材料で形成することが好ましい。したがって、不純物をドープした多結晶シリコンや単結晶シリコンなどの半導体材料、また白金，モリブデン，タングステン，ニッケル合金などの金属材料などで形成すると良い。
【００３７】
測定素子１の端部には、上記抵抗体の電極を取り出し駆動・検出回路と接続するためのアルミなどで形成した電極パッド１７を設ける。
【００３８】
次に、測定原理について説明する。図５に、測定素子１の断面構成と共に測定素子１の表面温度の分布を同時に示した。実線は無風時のダイアフラム部１１の温度分布を示す。発熱抵抗体１２は、空気流４の温度よりもΔＴｈ高くなるように加熱する。図５の破線は、空気流４が発生したときのダイアフラム部１１の温度分布である。空気流が発生することにより、発熱抵抗体１２の上流側は空気流４により冷却され温度が下がり、下流側は発熱抵抗体１２を通過し加熱された空気が流れることから温度が上がる。したがって、温度差センサ１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂにより発熱抵抗体１２の上下流の温度を測定することにより空気流量に応じた温度差ΔＴｓが得られる。
【００３９】
次に、測定素子１の駆動・検出回路について説明する。
【００４０】
図６に、測定素子１の駆動・検出回路を示す。発熱抵抗体１２と抵抗体１８からなる直列回路と、感温抵抗体１５と抵抗体１９からなる直列回路を並列に接続したブリッジ回路を構成する。これらの直列回路の中間電圧の差電圧を取り出し、増幅器２０に接続する。増幅器２０の出力は、トランジスタ２１のベースに接続する。トランジスタ２１のコレクタは電源ＶＢに接続し、エミッタは、発熱抵抗体１２と感温抵抗体１５との間に接続しフィードバック回路を構成する。
【００４１】
上記回路により、ブリッジ回路の抵抗バランスが保たれるように制御される。空気流４の温度上昇により、感温抵抗体１５の抵抗値が増加すると，同時に発熱抵抗体１２に電流が流れ加熱する。これにより、感温抵抗体１５と発熱抵抗体１２の抵抗バランスが一定に保たれる。すなわち、空気流の温度に対する発熱抵抗体の加熱温度が一定に保たれる。
【００４２】
そして、温度差センサ１３ａと温度差センサ１４ａからなる直列回路と、温度差センサ１４ｂと温度差センサ１３ｂを並列に接続したブリッジ回路を構成し、基準電圧Ｖrefに接続する。空気流により温度差センサ１３ａ・１３ｂと温度差センサ１４ａ・１４ｂに温度差が発生すると、ブリッジ回路の差動電圧が変化し、増幅器２２によって検出することにより、空気流量に応じた出力が得られる。
【００４３】
次に、自動車などの内燃機関の吸気管路内に測定素子１を取り付けるための構造を図７に示す。図７において、吸気管路２３の壁面から突出するようにベース部材２４を設ける。ベース部材２４には、吸気管路２３内の空気流２５の一部を取り込む副通路２６を形成する。副通路２６内のベース部材２４に形成した矩形状の凹部に、測定素子１を設置する。測定素子１を設置する部分の副通路２６は、流路が直線となり、その上流側および下流側は湾曲した形状とする。また、ベース部材２４内部は、上記の駆動回路を搭載した回路基板２７が設けられ、金線ボンディングワイヤー２８により測定素子１と電気的に接続する。さらに、駆動回路の電源供給，出力信号の取り出しのための端子２９及びコネクタ３０を設け、アルミボンディングワイヤー３１により駆動回路に接続する。
【００４４】
図８は、図７におけるＹ−Ｙ線上の断面図を示す。ベース部材２４に、カバー部材３２を取り付ける。ベース部材２４とカバー部材３２に挟まれるように副通路２６を形成する。測定素子１と駆動回路を繋ぐ金線ボンディングワイヤー２８は、エポキシなどの封止剤３３により保護する。カバー部材３２とベース部材２４は、シリコン接着剤などにより接着する。また、カバー部材３２と回路基板２７をシリコン接着剤３４により接着し、副通路２６内の空気が駆動回路側に漏れないように分離する。カバー部材３２の副通路２６を成す部位に複数の突出した板を形成することにより上記の片持ち板５となる。片持ち板部５は、カバー部材３２と一体成型である。
【実施例２】
【００４５】
次に、第２の実施例について説明する。本実施例の説明では、上記の実施形態との相違点に関して説明する。
【００４６】
図９に本実施例における測定素子１の周辺の断面図を示す。測定素子１の対面に形成した片持ち板部５は、先端部の厚みＴ２が根元部の厚みＴ１よりも薄くなるように形成している。すなわち、片持ち板部５の断面形状は、台形や三角形、またはそれに近い形状となっている。このような形状とすることで、片持ち板部５の間に付着した水滴が、毛細管現象により、対面壁側へより引っ張られる効果がえられる。したがって、さらに測定素子１への水滴付着を低減することができる。本実施例においても、複数の片持ち板部５の先端部の間隔Ｄと、片持ち板部５と測定素子１との間隔Ｇとの関係がＤ＜Ｇとなることが好ましい。さらに、上記の形状とすることで、片持ち板部５の機械的強度が向上する。
【実施例３】
【００４７】
次に、第３の実施例について説明する。本実施例の説明では、上記の実施例との相違点に関して説明する。図１０（ａ）は、測定素子１を設置する部位の断面図である。また、図１０（ｂ）は図１（ａ）におけるＸ−Ｘ線上の断面図である。図１０（ａ）において、測定素子１の対面には、対面壁３から突出した片持ち板部５を形成し、さらに測定素子１の上流及び下流には測定素子１が設置される側の支持部材２にから突出した片持ち板部３６ａ，３６ｂを設ける。これらの板は複数枚設け、片持ち板部５と片持ち板部３６ａ，３６ｂは、近接し、これらの側面がほぼ連続した同一面となる。さらに、片持ち板部３６ａ，３６ｂの側面にはガイド部８を形成する。
【００４８】
このような構成の場合、片持ち板部３６ａに付着した水滴はガイド部８により対面壁側へ移動する。さらに、片持ち板部３６ａと片持ち板部５との隙間が微小であるため、水滴は片持ち板部５へ移動する。さらに、水滴は片持ち板部３６ｂへ移動する。このように、片持ち板部５と片持ち板部３６ａ，３６ｂが分離していても、近接させることによって同様な効果が得られる。
【００４９】
本実施例の利点について説明する。第１の実施例では、測定素子１の上流及び下流に形成した両持ち部板８ａ，８ｂは、両持ちとするため少なくとも片方の壁面では接着剤により接着する必要があった。本実施例では、片持ち板部３６ａ，３６ｂを片持ち構造としたことで接着の必要がなく製造工程が簡略化する。
【実施例４】
【００５０】
次に、第４の実施例について説明する。本実施例の説明では、上記の実施例との相違点に関して説明する。図１１（ａ）は、測定素子１を設置する部位の断面図である。また、図１１（ｂ）は図１１（ａ）におけるＸ−Ｘ線上の断面図である。図１１において、測定素子１の対面壁３から突出した片持ち板部５を設ける。測定素子１の上流及び下流には、測定素子１が設置される側の支持部材２と対面壁３によって支持された両持ち板部３７ａ，３７ｂを形成する。片持ち板部５と両持ち板部３７ａ，３７ｂとの位置関係を図１１（ｂ）により説明する。片持ち板部５は、測定素子１の面方向かつ流路軸に垂直な方向に複数枚設ける。両持ち板部３７ａ，３７ｂも同様に複数枚設ける。さらに、図１１（ｂ）中のＺ方向から見た場合、片持ち板部５と両持ち板部３７ａが重なる部分を持つように、交互に設ける。両持ち板部３７ｂも同様である。さらに、両持ち板部３７ａ，３７ｂの側面にはガイド部８を設ける。
【００５１】
以上の構成において、上流側から水滴が飛来した場合について説明する。飛来した水滴は、両持ち板部３７ａに付着する。付着した水滴は両持ち板部３７ａの側面に設けたガイド部８により対面壁側へ移動しながら下流側へ流れる。両持ち板部３７ａと片持ち板部５が重なる部分に到達すると、水滴は両持ち板部３７ａと片持ち板部５の両側面に付着する。そして、両持ち板部３７ａから離れ、片持ち板部５へと移る。水滴は片持ち板部５の側面を這い下流側への移動する。このように、片持ち板部５と両持ち板部３７ａ，３７ｂを分離しているが、水滴の付着を回避することが可能である。
【００５２】
本実施例の利点について説明する。本実施例では、片持ち板部５と両持ち板部３７ａ，３７ｂを交互に設けているため、形成する板の枚数を減らすことが可能である。これにより、片持ち板部５と両持ち板部３７ａ，３７ｂの形成工程が簡略化される。
【００５３】
本実施例における両持ち板部３７ａ，３７ｂは、支持部材２と対面壁３により支えられた構造であるが、支持部材２から突出した片持ち板としても良い。
【実施例５】
【００５４】
次に、第５の実施例について説明する。本実施例の説明では、上記の実施形態との相違点に関して説明する。図１２（ａ）は、測定素子１を設置する部位の断面図である。また、図１２（ｂ）は図１２（ａ）におけるＸ−Ｘ線上の断面図である。図１２（ａ），図１２（ｂ）において、測定素子１は、支持部材２に矩形状の凹部を形成した中に配置する。そして、支持部材２は、流体が流れる通路の内壁から浮くように配置する。さらに、支持部材２の測定素子１が設置される面（表面）に対面するように対面壁３を設ける。さらに、支持部材２の裏面側に裏面壁３８を設ける。これにより、流路は支持部材２の表面を流れる表流路３９と、支持部材２の裏面を流れる裏流路４０に分岐する。支持部材２上流側で分岐した流路は、支持部材２の下流において合流する構成である。
【００５５】
上記のように構成した流路において、  裏面壁から突出した片持ち板部４１を複数枚設け、さらに上記流路の分岐点より上流から、上記流路の合流点より下流側まで延設する。また、流路の分岐点の上流側の片持ち板部４１は、対面壁３に近接もしくは接着するように形成する。また、流路の合流点の下流側の片持ち板部４１においても対面壁３に近接もしくは接着するように形成する。また、片持ち板部４１の側面には、測定素子１に近づくにしたがい裏面壁３８へ向かうガイド部８を形成する。また、片持ち板部４１と支持部材２との間にはギャップを設ける。
【００５６】
以上の構成において、上流側から水滴が飛来した場合について説明する。飛来した水滴は、片持ち板部４１の上流側に付着する。付着した水滴は片持ち板部４１の側面に設けたガイド部８により裏面壁３８側へ移動しながら下流側へ流れる。そして、水滴は片持ち板部４１の側面を這い下流側へ移動する。このように、片持ち板部４１を形成することにより、測定素子１を設けた表流路３９への水滴の進入を防止することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】第１の実施例におけるセンサ素子周辺を示す図である。
【図２】第１の実施例における水滴の動きを示す図である。
【図３】第１の実施例における水滴の状態を示す図である。
【図４】第１の実施例における測定素子を示す図である。
【図５】第１の実施例における測定素子の断面及び温度分布を示す図である。
【図６】第１の実施例における測定素子の駆動・検出回路を示す図である。
【図７】第１の実施例における測定素子を吸気管路に設置する場合の構成図である。
【図８】図７におけるＹ−Ｙ線上の断面を示す図である。
【図９】第２の実施例における測定素子周辺を示す断面図である。
【図１０】第３の実施例における測定素子周辺を示す図である。
【図１１】第４の実施例における測定素子周辺を示す図である。
【図１２】第５の実施例における測定素子周辺を示す図である。
【符号の説明】
【００５８】
１  測定素子
２  支持部材
３  対面壁
４，２５  空気流
５，３６ａ，３６ｂ，４１  片持ち板部
６  ギャップ
７ａ，７ｂ，３７ａ，３７ｂ  両持ち板部
８  ガイド部
９  基板
１０  絶縁膜
１１  ダイアフラム部
１２  発熱抵抗体
１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ  温度差センサ
１５  感温抵抗体
１６  絶縁保護膜
１７  電極パッド
１８，１９  抵抗体
２０，２２  増幅器
２１  トランジスタ
２３  吸気管路
２４  ベース部材
２６  副通路
２７  回路基板
２８  金線ボンディングワイヤー
２９  端子
３０  コネクタ
３１  アルミボンディングワイヤー
３２  カバー部材
３３  封止剤
３４  シリコン接着剤
３５  水滴
３８  裏面壁
３９  表流路
４０  裏流路
【図１】
0004576444.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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