(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物に対して加工を施す加工装置であって、
装置の不具合を認識する不具合認識部と、該不具合に対応した肉声音声データを記憶する音声データ記憶部と、該不具合認識部が認識した不具合に応じて該音声データ記憶部に記憶された肉声音声データを出力する音声出力部とを少なくとも備え、
該音声データ記憶部には、コード化された肉声音声データが記憶され、当初想定しなかった新たな不具合が発生したときには、該記憶された肉声音声データを該新たな不具合に対応させ、該音声出力部から出力する加工装置。
【請求項２】
新たに発生した不具合に対応した肉声音声データを作成して前記音声データ記憶部に記憶させる音声データ作成部を備え、
該音声データ作成部は、桁別の肉声音声データを記憶する複数の桁別音声データ記憶部と、該複数の桁別音声データ記憶部の記憶内容を合成して１つのコードの肉声音声データを作成する音声データ合成部とから構成される請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
前記不具合認識部が認識した不具合の内容を表示する表示部を備えた請求項１または２に記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発生した不具合に関する情報を音声によって報知する機能を有する加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
各種の加工装置においては、種々の不具合が生じることがある。加工装置には、オペレータが不在でも自動的に加工作業を行うことができるものもあるが、不具合が生じた場合にそのまま装置を停止させずに加工を続行させると、装置が故障したり、被加工物が破損したりすることがある。
【０００３】
そこで、装置に不具合が生じた場合には、不具合の内容に応じ、予め記憶させてある音声データを出力することにより、オペレータに対して不具合が発生したこと及びその不具合に関する情報を報知することとしている（例えば特許文献１参照）。不具合の内容を示す音声データについては、声優等の肉声を録音しておき、発生した不具合に応じて、録音しておいた肉声によって不具合を知らせる装置もある。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２０２４６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、当初想定しなかった新たな不具合が発生すると、同じ声優等に新たに肉声の登録を依頼しなければならず、煩に堪えないという問題がある。
【０００６】
また、同じ声優と連絡が取れない場合や、その声優から依頼を断られた場合には、新たな声優に肉声の登録を依頼し、既存の不具合に関する音声も含めてすべてのメッセージの肉声を録音し直さなければならず、不経済であるという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、新たな不具合が発生した場合においても、容易かつ経済的に、新たな不具合に対応した音声データを作成できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、被加工物に対して加工を施す加工装置に関するもので、装置の不具合を認識する不具合認識部と、不具合に対応した肉声音声データを記憶する音声データ記憶部と、不具合認識部が認識した不具合に応じて音声データ記憶部に記憶された肉声音声データを出力する音声出力部とを少なくとも備え、音声データ記憶部には、コード化された肉声音声データが記憶され、当初想定しなかった新たな不具合が発生したときには、記憶された肉声音声データを新たな不具合に対応させ、音声出力部から出力することを特徴とする。
【０００９】
上記加工装置は、新たに発生した不具合に対応した肉声音声データを作成して音声データ記憶部に記憶させる音声データ作成部を備え、音声データ作成部は、桁別の肉声音声データを記憶する複数の桁別音声データ記憶部と、複数の桁別音声データ記憶部の記憶内容を合成して１つのコードの肉声音声データを作成する音声データ合成部とから構成されることが好ましい。また、この加工装置には、不具合認識部が認識した不具合の内容を表示する表示部を備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、コード化された肉声音声データが記憶され、新たな不具合が発生したときには、既に記憶されている肉声音声データを新たな不具合に対応させて出力することとしたため、事前に同一人の声の肉声音声データを記憶させておくことにより、新たな不具合が生じた場合でも、新たに肉声音声データを録音する必要がなく、煩わしさから解放される。更に、既存の音声データの声の主と連絡が取れない場合でも、新たな声優等の肉声ですべての音声データを作り直す必要もなく、経済的である。
【００１１】
新たに発生した不具合に対応した肉声音声データを作成して音声データ記憶部に記憶させる音声データ作成部を加工装置に備え、音声データ作成部が、桁別の肉声音声データを記憶する複数の桁別音声データ記憶部と、複数の桁別音声データ記憶部の記憶内容を合成して１つのコードの肉声音声データを作成する音声データ合成部とから構成される場合は、新たに発生した不具合に対応する新たなコードに関する肉声音声データを作成することができる。したがって、予め記憶させておく肉声音声データの数を少なくしておくことができると共に、拡張性も増す。
【００１２】
不具合認識部が認識した不具合の内容を表示する表示部を加工装置に備える場合は、音声出力部が出力する肉声音声データと共に、不具合の内容をオペレータに対して的確に伝えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１に示す切削装置１は、本発明が適用される加工装置の一例であり、チャックテーブル２に保持された被加工物に対して切削手段３を構成する切削ブレード３０を作用させて切削加工を施す機能を有する装置である。
【００１４】
例えば半導体ウェーハＷを切削する場合は、半導体ウェーハＷがテープＴを介してリング状のフレームＦと一体になった状態でウェーハカセット４０に収容される。ウェーハカセット４０は、昇降可能なカセットテーブル４に載置されており、カセットテーブル４が適宜の高さに位置している状態で、搬出入手段５によってウェーハＷがフレームＦと共に仮置き領域６に搬出され、更に第一の搬送手段７によってチャックテーブル２に搬送される。
【００１５】
チャックテーブルは回転可能であると共にＸ軸方向に移動可能となっており、そのＸ軸方向の移動経路の上方には、被加工物の切削すべき領域を撮像部８０によって撮像して検出するアライメント手段８が配設されている。チャックテーブル２が＋Ｘ方向に移動して撮像部８０の直下に位置付けられ、アライメント手段８によって切削すべきストリートが検出されると、切削手段３を構成する切削ブレード３０との位置合わせがなされる。
【００１６】
そして、チャックテーブル２が更に＋Ｘ方向に移動すると共に、切削ブレード３０が高速回転しながら切削手段３が下降して半導体ウェーハＷの検出されたストリートに切り込むことにより当該ストリートが切削される。また、切削手段３をＹ軸方向にインデックス送りしながら同様の切削を行うことにより同方向のストリートがすべて切削され、更に、チャックテーブル２を９０度回転させてから同様の切削を行うことにより、すべてのストリートが縦横に切削され、個々のデバイスに分割される。
【００１７】
こうしてデバイスに分割された半導体ウェーハＷは、チャックテーブル２が元の位置に戻った後に、第二の搬送手段９によって洗浄手段１０に搬送される。そして、半導体ウェーハＷは、洗浄手段１０において切削屑等が洗い流された後に仮置き領域６に搬送され、搬出入手段５によってウェーハカセット４０に収容される。半導体ウェーハＷをウェーハカセット４０に収容する際には、カセットテーブル４が昇降して適宜の高さに位置付けられる。
【００１８】
切削装置１における上記の作業は、オペレータが不在でも自動的に行われるが、種々の不具合が生じることがある。例えば、半導体ウェーハＷをウェーハカセット４０に搬入したりウェーハカセット４０から搬出したりする場合には、カセットテーブル４が適切な高さに位置していないという不具合が生じると、搬出入に失敗したり、搬出入を円滑にできないことがある。また、アライメント手段８において切削すべきストリートが検出できないという不具合が生じると、切削を行うことはできない。
【００１９】
このように、装置内の種々の部位で不具合が生じると、その不具合の内容が、不具合認識部２０において認識される。不具合認識部２０においては、不具合が生じた箇所から転送されてくる体系化された数値により、不具合の内容を認識することができる。そして、認識した不具合の内容を表示部２１に表示させることができる。
【００２０】
不具合認識部２０における認識内容は、音声データ記憶部２２に伝達される。音声データ記憶部２２には、不具合に対応した肉声の音声データが予め記憶されており、不具合認識部２０における認識内容に対応する肉声音声データが音声出力部２３に転送される。音声出力部２３では、「エラーナンバー○○○が発生しました。」という音声データが予め記憶されており、「○○○」の部分に、音声データ記憶部２２から転送されてきた肉声音声データを挿入し、スピーカー等を通じて出力してオペレータに知らせる。オペレータは、そのコードに基づいて不具合の内容を把握することにより、適切に対処することができる。コードだけで不十分な場合は、表示部２１に表示されたメッセージを参照することにより、より確実に不具合の内容を把握することができる。図１の例では、“１０”というエラーナンバーに加え、そのエラーナンバーが「アライメント不能」を意味する旨が表示部２１に表示されているため、オペレータは、不具合の内容を即座に把握することができる。
【００２１】
音声データ記憶部２２には、コード化された肉声音声データが記憶されている。過去に発生したことのある不具合や予め想定されている不具合のコードが記憶されているのみならず、新たに発生する不具合に利用できる未使用のコードの肉声音声データも予め記憶されている。
【００２２】
例えば、カセットテーブル４に関する不具合は１０番台（「じゅう」、「じゅういち」、・・・）、アライメント手段８に関する不具合は２０番台（「にじゅう」、「にじゅういち」、・・・）、切削手段３に関する不具合は３０番台（「さんじゅう」、「さんじゅういち」）というように、体系的にコード化された番号の肉声が記憶されている。記憶された肉声コードのうち、未使用のものは、将来発生しうる新たな不具合のためにストックされている。したがって、新たな不具合が生じた場合は、ストックされた肉声音声データを使用することで、新たに肉声音声データを録音する必要がなく、煩わしさから解放される。更に、既存の音声データの声の主と連絡が取れない場合でも、新たな声優等の肉声ですべての音声データを作り直す必要もなく、経済的である。
【００２３】
また、新たな不具合に対応する肉声音声データは、図２に示す音声データ作成部３０によって作成して音声データ記憶部２２に記憶させることもできる。音声データ作成部３０は、不具合別のコードを桁別に肉声音声データとして記憶する複数の桁別音声データ記憶部３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、・・・と、複数の桁別音声データ記憶部の記憶内容を合成して１つのコードの肉声音声データを作成する音声データ合成部３２とから構成される。図２の例は、不具合コードが３桁で構成される場合の例であり、複数の桁別音声データ記憶部が、一位音声データ記憶部３１ａと十位音声データ記憶部３１ｂと百位音声データ記憶部３１ｃとから構成される。すなわち、図２の例では、一位音声データ記憶部３１ａと十位音声データ記憶部３１ｂと百位音声データ記憶部３１ｃとが、それぞれ桁別音声データ記憶部となる。
【００２４】
一位音声データ記憶部３１ａには、一の位の肉声データが「いち」〜「きゅう」まで同一人の声にて記憶されている。十位音声データ記憶部３１ｂには、十の位の肉声データが「じゅう」〜「きゅうじゅう」まで同一人の声にて記憶されている。百位音声データ記憶部３１ｃには、「ひゃく」〜「きゅうひゃく」まで同一人の声で記憶されている。なお、“０”については発音することがないため、記憶させておく必要はない。
【００２５】
例えば、“２３４”というコードを新たに作成する場合は、音声データ合成部３２が、一位音声データ記憶部３１ａから「よん」を読み出し、十位音声データ記憶部３１ｂから「さんじゅう」を読み出し、百位音声データ記憶部３１ｃから「にひゃく」を読み出し、これらを合成することにより、「にひゃくさんじゅうよん」という肉声音声データを生成し、音声データ記憶部２２記憶させる。こうして、“２３４”というコードが後に不具合コードとして利用できるようになる。それぞれの桁の音声は同一人の音声であるため、違和感はない。
【００２６】
このように、音声データ合成部３２において新たに肉声音声データを作成できるようにすると、予め記憶させておく肉声音声データの数を少なくしておくことができると共に、拡張性も増す。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】加工装置の一例を示す斜視図である。
【図２】音声データ作成部の構成の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００２８】
１：切削装置
２：チャックテーブル
３：切削手段
３０：切削ブレード
４：カセットテーブル
４０：ウェーハカセット
５：搬出入手段  ６：仮置き領域  ７：第一の搬送手段
８：アライメント手段
８０：撮像部
９：第二の搬送手段  １０：洗浄手段
２０：不具合認識部  ２１：表示部  ２２：音声データ記憶部  ２３：音声出力部
３０：音声データ作成部
３１ａ、３１ｂ、３１ｃ：桁別音声データ記憶部  ３２：音声データ合成部
【図１】
0004564903.tif 000002
【図２】
0004564903.tif 000003