(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに所定の作業を施す作業ヘッドを先端に保持する水平アームと、
前記水平アームを水平方向及び鉛直面内において移動自在に駆動する駆動機構と、
前記水平アームを遊挿させる開口部を画定すると共に前記駆動機構を前記作業ヘッドから隔離するべく鉛直方向に伸長する鉛直隔離壁と、
前記鉛直隔離壁と協働して前記水平アームの一部及び作業ヘッドを収容する作業エリアを画定するケースと、
前記開口部に通された前記水平アームの周りを遮蔽するべく、前記鉛直隔離壁と平行に隣接しかつ鉛直面内において相対的に移動自在に配置された遮蔽板と、
前記ケース内において鉛直下向きの気流を発生させる気流発生手段と、
前記作業エリアに対してワークを搬入及び搬出し得るべく前記ケースに形成された搬送口と、
を含む、ことを特徴とするワーク自動作業装置。
【請求項２】
前記遮蔽板は、鉛直面内において前記水平アームと一体的に移動するように前記駆動機構に保持され、かつ、前記水平アームを密接した状態で水平方向に移動自在に挿通させる挿通路を画定している、
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のワーク自動作業装置。
【請求項３】
前記遮蔽板は、前記鉛直隔離壁に対して、前記駆動機構が配置された側から隣接して対向するように配置されている、
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のワーク自動作業装置。
【請求項４】
前記遮蔽板は、前記鉛直隔離壁を両側から挟むように二重に隣接して配置されている、
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のワーク自動作業装置。
【請求項５】
前記ケース内の下方には、前記搬送口と略同一の高さにおいてワークを水平方向に搬送する搬送ユニットが設けられている、
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のワーク自動作業装置。
【請求項６】
前記ケース内の下方には、前記搬送口と略同一の高さにおいてワークを水平方向に搬送する搬送ユニットと、前記搬送ユニットの下方空間を隔離する水平隔離板が設けられている、
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のワーク自動作業装置。
【請求項７】
前記気流発生手段は、前記作業エリアの上方から下方に向けて清浄な空気を吹出す吹出しユニットを含む、
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のワーク自動作業装置。
【請求項８】
前記気流発生手段は、前記作業エリアの下方から外部に空気を吸出して排出する排出ユニットを含む、
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のワーク自動作業装置。
【請求項９】
前記気流発生手段は、前記作業エリアの上方から下方に向けて清浄な空気を吹出す吹出しユニットと、前記作業エリアの下方から外部に空気を吸出して排出する排出ユニットを含む、
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のワーク自動作業装置。
【請求項１０】
前記駆動機構は、前記水平アームを前記鉛直隔離壁に垂直な水平方向に駆動する第１駆動機構、前記水平アームを鉛直方向に駆動する第２駆動機構、前記水平アームを前記鉛直隔離壁に平行な水平方向に駆動する第３駆動機構を含む、
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のワーク自動作業装置。
【請求項１１】
前記ケース内の下方には、前記搬送口と略同一の高さにおいてワークを水平方向に搬送する搬送ユニットが設けられ、
前記ケースには、前記搬送ユニットの搬送方向に交差する方向から部品を供給する供給口が設けられている、
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のワーク自動作業装置。
【請求項１２】
前記ケース内の下方には、前記搬送口と略同一の高さにおいてワークを水平方向に搬送する搬送ユニット、及び前記搬送ユニットの下方空間を隔離する水平隔離板が設けられ、
前記ケースには、前記搬送ユニットの搬送方向に交差する方向から部品を供給する供給口が設けられている、
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のワーク自動作業装置。
【請求項１３】
前記ケース内の下方には、前記搬送口と略同一の高さに配置されて、ワークを水平方向に搬送する搬送ユニットが設けられ、
前記ケースには、前記搬送ユニットの搬送方向に交差する方向から部品を供給する供給口及び前記供給口から部品を供給する供給ユニットが設けられている、
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のワーク自動作業装置。
【請求項１４】
前記ケース内の下方には、前記搬送口と略同一の高さに配置されて、ワークを水平方向に搬送する搬送ユニットが設けられ、
前記ケースには、前記搬送ユニットの搬送方向に交差する方向から部品を供給する供給口及び前記供給口から部品を供給する供給ユニットが設けられ、
前記ケース内の下方には、前記搬送ユニット及び供給ユニットの下方空間を隔離する水平隔離板が設けられている、
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のワーク自動作業装置。
【請求項１５】
前記駆動機構を囲繞する駆動エリアを画定する第２ケースを含み、
前記気流発生手段は、前記作業エリアの上方から下方に向けて清浄な空気を吹出す吹出しユニット、前記作業エリアの下方から外部に空気を吸出して排気する排気ユニット、前記駆動エリアの下方から外部に空気を吸出して排気する第２排気ユニットを含む、
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のワーク自動作業装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塵埃等を嫌う電子部品等を、嵌合、ボンディング、かしめ、ねじ締め等により基板等に自動的に組付け（実装し）又は自動的に検査あるいは測定等の作業を行うワーク自動作業装置に関し、特に、清浄な雰囲気空間において自動的にワークに所定の作業を施すワーク自動作業装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、塵埃等を嫌う電子部品を基板等に組付ける組付けラインは、天井において清浄な空気（クリーンエア）を送風する送風装置及び床下に送風された空気を排気する排気装置を設けて下向きの気流（ダウンフロー）を形成するクリーンルーム内に設置され、組付けライン等の全体を高清浄な雰囲気に保つように形成されている。
このシステムでは、組付けを行う作業エリアを高い清浄度に維持するために、それ程高い清浄度を必要としない作業エリア以外の一般エリアまでも高い清浄度に維持されることになる。したがって、クリーンルームそのものの設備費あるいは維持費が高くなるという問題がある。【０００３】
そこで、これらの問題に対処するべく、ワークを載せたパレットを搬送するコンベア、コンベアの上方に位置する空間を囲繞して組付け作業を行う作業エリアを画定する略直方体状のケーシング、ケーシングに対して横方向から凹状に形成されかつ下向きに（ケーシングの内部に貫通するように）開口する開口部をもつように形成された凹部、ケーシングの外側に配置され水平方向から凹部内に入り込む水平アーム、水平アームに対して水平方向に移動自在に連結され鉛直下向きに垂下して開口部を通ると共にその先端にエンドエフェクタ（作業ヘッド）をもつ垂直アーム、開口部においてケーシング内の作業エリアとケーシング外の一般エリアとを遮断するべく設けられた蛇腹状のブーツ部材、ケーシング内において下向きの気流を生じさせるべくケーシングの上方に配置されたブロアー等を備え、作業エリアを画定するケーシング内部のみを清浄空気で満たすようにしたクリーン自動作業装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。【０００４】
しかしながら、このクリーン自動作業装置においては、ケーシング内の清浄な作業エリアとケーシング外の一般エリアを遮断するために、伸縮性（弾力性）のある蛇腹状のブーツ部材を用いているため、その弾性力がアームの円滑な移動を妨げる虞があり、基板等の全範囲において各種の部品を円滑に組付けるのが困難である。また、アームの駆動力を大きくして、ブーツ部材を強引に変形させると、塵埃等が発生し易くなり、又、ブーツ部材の亀裂あるいは破損等を招く虞もあり、好ましいものではない。【０００５】
また、ブーツ部材は作業エリアの上方において水平方向に広がるように設置されている、すなわち、ブーツ部材を設置する凹部がケーシングの内部空間を絞るように形成されているため、ケーシング内の全域において均一なダウンフローを得ることが難しく、又、ブーツ部材が伸縮することにより（ブーツ部材のポンプ作用により）ケーシング内の気流を乱す虞があり、この乱された気流により、ケーシング内部に溜まった塵埃等が掻き乱されて飛散し、あるいは、外部からコンベア周りの隙間を介してケーシング内に塵埃等が吸い込まれて飛散し、組付けを行う部品あるいは基板等に付着する虞がある。
さらに、作業エリアの上方に広がって配置されたブーツ部材の伸縮により、ブーツ部材の一部が摩耗して摩耗粉等が発生した場合、その摩耗粉は作業エリアの下方に位置する部品等に落下して付着する虞がある。
【特許文献１】特開平６−１５１２６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記従来技術の事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、組付け等の作業を施す作業ライン等の全てを収容するクリーンルーム等を必要とせず、設備の設置スペースが小さくて、作業エリアの清浄度を高く維持することができ、又、作業エリア内の気流を掻き乱すことなくワークに対して所望の作業（組付け、検査、測定等）を施すことができ、さらには、一連の作業を行う自動作業ラインを容易に形成することができるワーク自動作業装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成する本発明のワーク自動作業装置は、ワークに所定の作業を施す作業ヘッドを先端に保持する水平アームと、水平アームを水平方向及び鉛直面内において移動自在に駆動する駆動機構と、水平アームを遊挿させる開口部を画定すると共に駆動機構を作業ヘッドから隔離するべく鉛直方向に伸長する鉛直隔離壁と、鉛直隔離壁と協働して水平アームの一部及び作業ヘッドを収容する作業エリアを画定するケースと、開口部に通された水平アームの周りを遮蔽するべく，鉛直隔離壁と平行に隣接しかつ鉛直面内において相対的に移動自在に配置された遮蔽板と、ケース内において鉛直下向きの気流を発生させる気流発生手段と、作業エリアに対してワークを搬入及び搬出し得るべくケースに形成された搬送口と、を含む。
この構成によれば、作業ヘッドは、作業エリア内において水平アームにより保持され、直立した鉛直隔離壁を隔てた別の空間（駆動エリア）に配置された駆動機構の駆動動作により、搬送口を介して搬入されたワークに対して所定の作業を施す。
ここで、水平アームを通す鉛直隔離壁の開口部は、直立した鉛直隔離壁と平行に隣接しかつ鉛直面内において移動自在に配置された遮蔽板により遮蔽されている、すなわち、開口部をラビリンスシール機能により遮蔽することができるため、ケース内を所定の清浄な空間に維持することができる。
また、遮蔽板は、蛇腹状のブーツ部材のように完全に結合されて抵抗力を及ぼすものではなく、鉛直隔離壁との間に僅かな隙間をもって非接触（非結合）にて隣接して配置されるため、水平アームを円滑に作動させることができる。
また、鉛直隔離壁及び遮蔽板は鉛直方向に伸長（直立）しているため、気流発生手段による鉛直下向きの気流を掻き乱すこともなく、清浄な空気による所望の気流を得ることができ、塵埃等を効率良く取り除くことができる。
さらに、遮蔽板及び鉛直隔離壁は鉛直方向に伸長（直立）して配置され、作業が施されるワークの上方には配置されないため、仮に遮蔽板の相対的な移動により塵埃等が発生しても、それらの塵埃がワーク上に直接落下して付着するのを防止することができる。【０００８】
上記構成において、遮蔽板は、鉛直面内において水平アームと一体的に移動するように駆動機構に保持され、かつ、水平アームを密接した状態で水平方向に移動自在に挿通させる挿通路を画定している、構成を採用することができる。
この構成によれば、水平アームが、遮蔽板に対して鉛直隔離壁に垂直な水平方向に相対的に移動する際に、遮蔽板の挿通路を相対的に移動するため、単なる開口ではなく所定の長さをもつ挿通路の内壁面と水平アームの外壁面によりラビリンスシール機能が得られて、この領域を確実に遮蔽することができ、ケース内を所定の清浄な空間に維持することができる。【０００９】
上記構成において、遮蔽板は、鉛直隔離壁に対して、駆動機構が配置された側から隣接して対向するように配置されている、構成を採用することができる。
この構成によれば、鉛直隔離壁の開口部を完全に覆うように（すなわち、鉛直隔離壁の開口部よりも広い面積をもつに）形成された遮蔽板が、鉛直隔離壁に対して駆動機構の側にだけ配置されているため、構造の簡素化を達成しつつ、作業エリアから駆動機構が配置された駆動エリアへ塵埃等が流れ易くする一方で、駆動エリアから作業エリアへの塵埃等の流れを防止することができる。また、遮蔽板と鉛直隔離壁との相対的な移動により塵埃等が発生した場合、遮蔽板は駆動エリアの側に配置されているため、発生した塵埃等は駆動エリア内において直接落下しあるいは飛散して、作業エリア内まで侵入するのを防止することができる。【００１０】
上記構成において、遮蔽板は、鉛直隔離壁を両側から挟むように二重に隣接して配置されている、構成を採用することができる。
この構成によれば、作業エリアの側からと駆動エリアの側から鉛直隔離壁に対向するように２つの遮蔽板が配置されているため、鉛直隔離壁の両側においてラビリンスシール機能を得ることができ、開口部をより一層確実に遮蔽することができ、ケース内を清浄度の高い空間に維持することができる。【００１１】
上記構成において、ケース内の下方には、搬送口と略同一の高さにおいてワークを水平方向に搬送する搬送ユニットが設けられている、構成を採用することができる。
この構成によれば、搬送口（搬入口）から搬入されたワークは、作業エリア内において搬送ユニットにより所定の位置に搬送されて、作業ヘッドにより所定の作業が施され、その後、搬送ユニットにより搬送されて、搬送口（搬出口）からケース外（作業エリアの外側）に搬出される。このように、作業エリア内に搬送ユニットを設けたことにより、一連の搬送作業を効率よく行うことができ、作業ヘッドによる組付け等の作業をより円滑に行わせることができる。【００１２】
上記構成において、ケース内の下方には、搬送口と略同一の高さに配置されて，ワークを水平方向に搬送する搬送ユニットと、搬送ユニットの下方空間を隔離する水平隔離板が設けられている、構成を採用することができる。
この構成によれば、搬送口（搬入口）から搬入されたワークは、作業エリア内において搬送ユニットにより所定の位置に搬送されて、作業ヘッドにより所定の作業が施され、その後、搬送ユニットにより搬送されて、搬送口（搬出口）からケース外（作業エリアの外側）に搬出される。また、搬送ユニットの下方において発生した塵埃等が水平隔離板により隔離されて作業エリア内に飛散するのを確実に防止することができる。このように、作業エリア内に搬送ユニット及び水平隔離板を設けたことにより、塵埃等を確実に取り除いて清浄な作業雰囲気を確保しつつ、一連の搬送作業を効率よく行うことができ、作業ヘッドによる組付け等の作業をより円滑に行わせることができる。【００１３】
上記構成において、気流発生手段は、作業エリアの上方から下方に向けて清浄な空気を吹出す吹出しユニットを含む、構成を採用することができる。
この構成によれば、吹出しユニットにより吹出された清浄な空気は、作業エリア内を上から下方に向けて流れ（ダウンフローを生じ）、塵埃等が作業エリア内において飛散するのを防止することができる。また、吹出しユニットの出力を適宜調整することにより、容易に作業エリア内の圧力を外部の圧力よりも高くすることができ、外部からの塵埃等の侵入を防止することができる。【００１４】
上記構成において、気流発生手段は、作業エリアの下方から外部に空気を吸出して排気する排気ユニットを含む、構成を採用することができる。
この構成によれば、作業エリア内の空気は、排気ユニットにより積極的に下方から外部に吸出されるため、ケースの一部にフィルター等を設けるだけで、結果的に鉛直下向きの清浄な空気の流れ（ダウンフロー）を生じさせることができ、塵埃等が作業エリア内において飛散するのを防止することができる。【００１５】
上記構成において、気流発生手段は、作業エリアの上方から下方に向けて清浄な空気を吹出す吹出しユニットと、作業エリアの下方から外部に空気を吸出して排気する排気ユニットを含む、構成を採用することができる。
この構成によれば、吹出しユニットにより吹出された清浄な空気は、作業エリア内を上から下方に向けて流れ（ダウンフローを生じ）、排気ユニットにより積極的に下方から外部に吸出されるため、安定したダウンフローを生じさせることができ、塵埃等が作業エリア内において飛散するのを防止することができ、又、発生した塵埃等を積極的に除去することができる。また、吹出しユニット及び排気ユニットの出力を適宜調整することにより、容易に作業エリア内の圧力を外部の圧力よりも高くすることができ、外部からの塵埃等の侵入を防止することができる。【００１６】
上記構成において、駆動機構は、水平アームを鉛直隔離壁に垂直な水平方向に駆動する第１駆動機構、水平アームを鉛直方向に駆動する第２駆動機構、水平アームを鉛直隔離壁に平行な水平方向に駆動する第３駆動機構を含む、構成を採用することができる。
この構成によれば、水平アーム（及び作業ヘッド）をリニア的に３次元駆動することができ、作業ヘッドの自由度を高めることができ、又、塵埃の発生源となる駆動機構（第１駆動機構、第２駆動機構、第３駆動機構）を全て作業エリアの外側に配置したことにより、作業エリア内をより清浄度の高い空間に維持することができる。【００１７】
上記構成において、ケース内の下方には、搬送口と略同一の高さにおいてワークを水平方向に搬送する搬送ユニットが設けられ、ケースには、搬送ユニットの搬送方向に交差する方向から部品を供給する供給口が設けられている、構成を採用することができる。
この構成によれば、搬送口（搬入口）から搬入されたワークは、作業エリア内において搬送ユニットにより所定の位置に搬送されて、又、供給口から部品が供給されて、作業ヘッドにより所定の作業（例えば、供給された部品をワークに組付ける作業）が施され、その後、搬送ユニットにより搬送されて搬送口（搬出口）からケース外（作業エリアの外側）に搬出される。このように、一連の搬送作業を効率よく行うと共に、部品も供給して種々のワークに対して様々な作業をより円滑に施すことができる。【００１８】
上記構成において、ケース内の下方には、搬送口と略同一の高さにおいてワークを水平方向に搬送する搬送ユニット、及び搬送ユニットの下方空間を隔離する水平隔離板が設けられ、ケースには、搬送ユニットの搬送方向に交差する方向から部品を供給する供給口が設けられている、構成を採用することができる。
この構成によれば、搬送口（搬入口）から搬入されたワークは、作業エリア内において搬送ユニットにより所定の位置に搬送されて、又、供給口から部品が供給されて、作業ヘッドにより所定の作業（例えば、供給された部品をワークに組付ける作業）が施され、その後、搬送ユニットにより搬送されて搬送口（搬出口）からケース外（作業エリアの外側）に搬出される。また、搬送ユニットの下方において発生した塵埃等が水平隔離板により隔離されて作業エリア内に飛散するのを確実に防止することができる。このように、作業エリア内に搬送ユニット及び水平隔離板を設けたことにより、塵埃等を確実に取り除いて清浄な作業雰囲気を確保しつつ、一連の搬送作業を効率よく行うと共に、部品も供給して種々のワークに対して様々な作業をより円滑に施すことができる。【００１９】
上記構成において、ケース内の下方には、搬送口と略同一の高さにおいてワークを水平方向に搬送する搬送ユニットが設けられ、ケースには、搬送ユニットの搬送方向に交差する方向から部品を供給する供給口及び供給口から部品を供給する供給ユニットが設けられている、構成を採用することができる。
この構成によれば、搬送口（搬入口）から搬入されたワークは、作業エリア内において搬送ユニットにより所定の位置に搬送されて、又、供給ユニットにより供給口を通して部品が供給されて、作業ヘッドにより所定の作業（例えば、供給された部品をワークに組付ける作業）が施され、その後、搬送ユニットにより搬送されて、搬送口（搬出口）からケース外（作業エリアの外側）に搬出される。このように、一連の搬送作業及び供給作業を効率よく行うと共に、部品も効率良く供給でき、種々のワークに対して様々な作業をより円滑に施すことができる。【００２０】
上記構成において、ケース内の下方には、搬送口と略同一の高さにおいてワークを水平方向に搬送する搬送ユニットが設けられ、ケースには、搬送ユニットの搬送方向に交差する方向から部品を供給する供給口及び供給口から部品を供給する供給ユニットが設けられ、ケース内の下方には、搬送ユニット及び供給ユニットの下方空間を隔離する水平隔離板が設けられている、構成を採用することができる。
この構成によれば、搬送口（搬入口）から搬入されたワークは、作業エリア内において搬送ユニットにより所定の位置に搬送されて、又、供給ユニットにより供給口を通して部品が供給されて、作業ヘッドにより所定の作業（例えば、供給された部品をワークに組付ける作業）が施され、その後、搬送ユニットにより搬送されて、搬送口（搬出口）からケース外（作業エリアの外側）に搬出される。また、搬送ユニット及び供給ユニットの下方において発生した塵埃等が水平隔離板により隔離されて作業エリア内に飛散するのを確実に防止することができる。このように、作業エリア内に搬送ユニット及び供給ユニット並びに水平隔離板を設けたことにより、塵埃等を確実に取り除いて清浄な作業雰囲気を確保しつつ、一連の搬送作業及び供給作業を効率よく行うと共に、部品も効率良く供給でき、種々のワークに対して様々な作業をより円滑に施すことができる。【００２１】
上記構成において、駆動機構を囲繞する駆動エリアを画定する第２ケースを含み、気流発生手段は、作業エリアの上方から下方に向けて清浄な空気を吹出す吹出しユニット、作業エリアの下方から外部に空気を吸出して排気する排気ユニット、駆動エリアの下方から外部に空気を吸出して排気する第２排気ユニットを含む、構成を採用することができる。
この構成によれば、作業エリアにおいてダウンフローを生じさせる吹出しユニット及び排気ユニットの他に、駆動機構を収容する第２ケース内に発生した塵埃等を積極的に除去できる第２排気ユニットを設けたことにより、駆動エリアから作業エリア内に塵埃等が侵入するのを確実に防止することができる。
【発明の効果】
【００２２】
上記構成をなすワーク自動作業装置によれば、作業ライン等の全てを収容するクリーンルーム等を必要とせず、設備の設置スペースが小さくて、作業エリアの清浄度を高く維持することができ、又、作業エリア内の気流を掻き乱すことなく円滑にワークに所定の作業を施すことができるワーク自動作業装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係るワーク自動作業装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すワーク自動作業装置の内部を示す縦断面図である。
【図３】図１に示すワーク自動作業装置の内部を示す横断面図である。
【図４】図２中のＥ１−Ｅ１における縦断面図である。
【図５】図２中のＥ２−Ｅ２における縦断面図である。
【図６】図２中のＥ３−Ｅ３における縦断面図である。
【図７】図１に示すワーク自動作業装置において、作業エリア内の空気の流れを示す縦断面図である。
【図８Ａ】図１に示すワーク自動作業装置の動作を示す平面図である。
【図８Ｂ】図１に示すワーク自動作業装置の動作を示す平面図である。
【図９Ａ】図１に示すワーク自動作業装置の動作を示す平面図である。
【図９Ｂ】図１に示すワーク自動作業装置の動作を示す平面図である。
【図１０Ａ】図１に示すワーク自動作業装置の動作を示す平面図である。
【図１０Ｂ】図１に示すワーク自動作業装置の動作を示す平面図である。
【図１１Ａ】図１に示すワーク自動作業装置の動作を示す平面図である。
【図１１Ｂ】図１に示すワーク自動作業装置の動作を示す平面図である。
【図１２Ａ】図１に示すワーク自動作業装置の動作を示す平面図である。
【図１２Ｂ】図１に示すワーク自動作業装置の動作を示す平面図である。
【図１３Ａ】図１に示すワーク自動作業装置の動作を示す平面図である。
【図１３Ｂ】図１に示すワーク自動作業装置の動作を示す平面図である。
【図１４】本発明に係るワーク自動作業装置の他の実施形態を示す縦断面図である。
【図１５】本発明に係るワーク自動作業装置のさらに他の実施形態を示す縦断面図である。
【図１６】本発明に係るワーク自動作業装置を複数配列して形成されたワーク自動作業ラインを示す平面図である。
【符号の説明】
【００２４】
ＷＡ  作業エリア
ＤＡ  駆動エリア
ＥＡ  排気エリア
１０  ベース
１１  通気孔
２０  ケース
２１，２２，２３  縦壁
２１ａ  搬入口（搬送口）
２２ａ  搬出口（搬送口）
２３ａ  供給口
３０  第２ケース
４０  第３ケース
５０  第４ケース
６０  鉛直隔離壁
６０ａ  開口部
７０  駆動機構
７１  第１駆動機構
７１ａ  ガイド部材
７１ｂ  リードスクリュー
７１ｃ  雌ネジ部材
７１ｄ  モータ
７２  第２駆動機構
７２ａ  ガイド部材
７２ｂ  リードスクリュー
７２ｃ  雌ネジ部材
７２ｄ  モータ
７３  第３駆動機構
７３ａ  ガイド部材
７３ｂ  リードスクリュー
７３ｃ  雌ネジ部材
７３ｄ  モータ
８０  水平アーム
９０  作業ヘッド
１００  遮蔽板
１０１  通路部材
１０１ａ  挿通路
１０２  第１遮蔽板
１０３  第２遮蔽板
１１０  搬送ユニット
１１１  コンベア
１１２  位置決め昇降機
１２０  吹出しユニット（気流発生手段）
１３０  排気ユニット（気流発生手段）
１４０  第２排気ユニット
１５０  供給ユニット
１５１  テーブルユニット
１５２  搬送ユニット
１５３  移載ユニット
１６０  水平隔離板
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の最良の実施形態について添付図面を参照しつつ説明する。
このワーク自動作業装置は、図１ないし図３に示すように、ベース１０、ベース１０の上方に設けられて作業エリアＷＡを画定するケース２０、ベース１０の上方でかつケース２０に隣接して設けられて駆動エリアＤＡを画定する第２ケース３０、ベース１０の下方に設けられた第３ケース４０及び第４ケース５０、ケース２０と第２ケース２０とを隔離する鉛直隔離壁６０、第２ケース２０内に配置された駆動機構７０、駆動機構７０に連結されて鉛直隔離壁６０の開口部６０ａを挿通されて駆動エリアＤＡから作業エリアＷＡまで伸長する水平アーム８０、水平アーム８０の先端に保持された作業ヘッド９０、鉛直隔離壁６０に隣接して配置された遮蔽板１００、ケース２０内においてベース１０上に配置された搬送ユニット１１０、ケース２０の上方に設けられた気流発生手段としての吹出しユニット１２０、第３ケース４０内に設けられた気流発生手段としての排気ユニット１３０、第４ケース５０内に設けられた第２排気ユニット１４０、ケース２０内に一部が収容されるようにベース１０上に配置された供給ユニット１５０、ケース２０内に配置されて搬送ユニット１１０及び供給ユニット１５０の下方空間を隔離する水平隔離板１６０等を備えている。【００２６】
尚、この装置の外側には、搬送ユニット１１０に連なるように搬送ラインＬが配置される。この搬送ラインＬは、ワークＷ（基板Ｂ、部品Ｃ等）を載置したパレットＰを搬入口２１ａから作業エリアＷＡに搬入すると共に、所定の作業が済んだパレットＰを搬出口２２ａから作業エリアＷＡの外部に搬出するようになっている。また、供給ユニット１５０には、搬送ラインＬ１が連なるように配置される。この搬送ラインＬ１は、別の部品Ｃ１をパレットＰ１に載置して作業エリアＷＡ内に供給すると共に、空になったパレットＰ１を戻すようになっている。【００２７】
ベース１０は、図１ないし図３に示すように、水平方向（ＸＹ方向）に拡がる略矩形の平板状に形成されて、駆動機構８０、搬送ユニット１１０、供給ユニット１５０等を支持するものである。ベース１０は、空気の流れを許容する通気孔１１を備え、作業エリアＷＡから第３ケース４０内へ又駆動エリアＤＡから第４ケース５０内へ空気を通すようになっている。尚、通気孔１１としては、塵埃等を含む空気が容易に流れるように形成され、例えば、複数の貫通孔、網目状あるいは格子状のものを採用することができる。【００２８】
ケース２０は、図１ないし図３に示すように、搬送口としての搬入口２１ａを画定する縦壁２１、搬送口としての搬出口２２ａを画定する縦壁２２、及び供給口２３ａを画定する縦壁２３、開口部２４ａを画定する天板２４等を備え、開口部６０ａを画定する鉛直隔離壁６０と協働して、ベース１０の上部において略直方体状の作業エリアＷＡを画定している。
搬送口（搬入口）２１ａ、搬送口（搬出口）２２ａ、及び供給口２３ａは、水平方向（Ｙ方向、Ｘ方向）に細長い矩形形状に形成されている。
また、搬送口（搬入口）２１ａ及び搬送口（搬出口）２２ａは、搬送ユニット１１０の搬送面と略同一の高さでかつ搬送ユニット１１０の伸長方向（Ｘ方向）の両端に隣接した位置に設けられている。供給口２３ａは、供給ユニット１５０の供給面の直上に隣接するように形成されている。【００２９】
第２ケース３０は、図１ないし図３に示すように、ベース１０の上部において駆動機構８０を囲繞するべく、鉛直隔離壁６０と協働して略直方体状の駆動エリアＤＡを画定するように形成されている。
第３ケース４０は、図１ないし図３に示すように、ベース１０の下部においては排気ユニット１３０を囲繞するべく、作業エリアＡの下方において略直方体状の排気エリアＥＡを画定するように形成されている。
第４ケース５０は、図１ないし図３に示すように、ベース１０の下部においては第２排気ユニット１４０を囲繞するべく、駆動エリアＤＡの下方において略直方体状の排気エリアＥＡを画定するように形成されている。【００３０】
鉛直隔離壁６０は、ケース２０により囲繞される作業エリアＷＡと第２ケース３０により囲繞される駆動エリアＤＡを隔離するべく、鉛直方向（Ｚ方向）に伸長するようにベース１０上に直立して設けられている。そして、鉛直隔離壁６０は、水平アーム８０を通すと共に鉛直面（ＸＺ面）内において水平アーム８０の２次元的な移動を許容するように、略矩形形状に形成された開口部６０ａを画定している。【００３１】
駆動機構７０は、図３及び図６に示すように、水平アーム８０（及び作業ヘッド９０）を鉛直隔離壁６０に垂直な水平方向（Ｙ方向）に駆動する第１駆動機構７１、水平アーム８０を鉛直方向（Ｚ方向）に駆動する第２駆動機構７２、水平アーム８０を鉛直隔離壁６０に平行な水平方向（Ｘ方向）に駆動する第３駆動機構７３により形成されている。【００３２】
第１駆動機構７１は、図３及び図６に示すように、水平アーム８０を水平方向（Ｙ方向）にガイドするガイド部材７１ａ、ガイド部材７１ａ内においてＹ方向に伸長して配置されたリードスクリュー７１ｂ、水平アーム８０に結合されリードスクリュー７１ｂに螺合する雌ネジ部材７１ｃ、リードスクリュー７１ｂを回転駆動するモータ７１ｄ等により形成されている。
すなわち、モータ７１ｄが起動して、リードスクリュー７１ｂが回転することにより、雌ネジ部材７１ｃを介して、水平アーム８０がガイド部材７１ａにガイドされつつ鉛直隔離壁６０に垂直な水平方向（Ｙ方向）に移動させられるようになっている。【００３３】
第２駆動機構７２は、図３及び図６に示すように、水平アーム８０を支持したガイド部材７１ａを鉛直方向（Ｚ方向）にガイドするガイド部材７２ａ、ガイド部材７２ａ内においてＺ方向に伸長して配置されたリードスクリュー７２ｂ、ガイド部材７１ａに結合されリードスクリュー７２ｂに螺合する雌ネジ部材７２ｃ、リードスクリュー７２ｂを回転駆動するモータ７２ｄ等により形成されている。
すなわち、モータ７２ｄが起動して、リードスクリュー７２ｂが回転することにより、雌ネジ部材７２ｃ及びガイド部材７１ａを介して、水平アーム８０が鉛直隔離壁６０と平行な鉛直方向（Ｚ方向）に移動させられるようになっている。【００３４】
第３駆動機構７３は、図３及び図６に示すように、水平アーム８０を支持したガイド部材７２ａを鉛直隔離壁６０に平行な水平方向（Ｘ方向）にガイドするガイド部材７３ａ、ガイド部材７３ａ内においてＸ方向に伸長して配置されたリードスクリュー７３ｂ、ガイド部材７２ａに結合されリードスクリュー７３ｂに螺合する雌ネジ部材７３ｃ、リードスクリュー７３ｂを回転駆動するモータ７３ｄ等により形成されている。
すなわち、モータ７３ｄが起動して、リードスクリュー７３ｂが回転することにより、雌ネジ部材７３ｃ及びガイド部材７２ａ，７１ａ等を介して、水平アーム８０が鉛直隔離壁６０と平行な水平方向（Ｘ方向）に移動させられるようになっている。【００３５】
すなわち、この駆動機構７０（７１，７２，７３）によれば、水平アーム８０（及び作業ヘッド９０）をリニア的に３次元駆動することができ、作業ヘッド９０を移動させる自由度を高めることができる。また、塵埃の発生源となる駆動機構７０（第１駆動機構７１、第２駆動機構７２、第３駆動機構７３）を全て作業エリアＷＡの外側の駆動エリアＥＡに配置したことにより、作業エリアＷＡ内をより清浄度の高い空間に維持することができる。【００３６】
水平アーム８０は、図１、図２、図３、図５、図６に示すように、略矩形断面をなすと共に鉛直隔離壁６０に垂直な水平方向（Ｙ方向）に伸長するように形成され、その先端において、作業ヘッド９０を保持している。【００３７】
作業ヘッド９０は、ワークＷに対して種々の作業を施すものであり、作業として部品の組み付けを行う場合は部品を掴んで組み込む機構を備えたハンドラユニット等が適用され、作業としてワークＷの測定あるいは検査等を行う場合は測定ユニットあるいは検査ユニット等が適用される。
すなわち、作業ヘッド９０は、駆動機構７０の駆動により水平アーム８０を介して、パレットＰ上に載置されたワークＷ（基板等）に所定の作業、例えば、パレットＰに載置された部品Ｃあるいは供給ユニット１５０により供給された部品Ｃ１を掴んで持ち上げると共にワークＷの所定位置に組み付けるように作動する。【００３８】
遮蔽板１００は、図１ないし図５に示すように、水平アーム８０が僅かな隙間をもって挿通される挿通路１０１ａを画定する通路部材１０１を挟んで、開口部６０ａよりも広い面積をもつ略矩形形状に形成されると共に、鉛直隔離壁６０に対して、駆動エリアＤＡの側から隣接して配置された第１遮蔽板１０２及び作業エリアＷＡの側から隣接して配置された第２遮蔽板１０３により形成されている。
すなわち、第１遮蔽板１０２は、駆動機構７０のガイド部材７１ａの端部に固定（保持）され、通路部材１０１を介して、第２遮蔽板１０３が第１遮蔽板１０２と一体的に移動するように連結されている。【００３９】
このように、遮蔽板１００は鉛直隔離壁６０と平行に僅かな隙間をもって二重に隣接して配置されかつ水平アーム８０を僅かな隙間をもって挿通路１０１ａに挿通させているため、ラビリンスシール機能が得られて、開口部６０ａ及び挿通路１０１ａを確実に遮蔽することができ、駆動エリアＤＡから作業エリアＷＡ内に塵埃等が侵入するのを確実に防止することができる。
また、遮蔽板１００は、水平アーム８０の鉛直隔離壁６０に垂直な水平方向（Ｙ方向）への相対的な移動を許容すると共に、鉛直面（ＸＺ面）内において鉛直隔離壁６０と非接触にて相対的に２次元移動できるため、完全に結合された蛇腹状のブーツ部材のように抵抗力を及ぼすことはなく、水平アーム８０及び作業ヘッド９０を円滑自在に作動させることができる。【００４０】
また、鉛直隔離壁６０及び遮蔽板１００（第１遮蔽板１０２、第２遮蔽板１０３）は、鉛直方向（ＸＺ面方向）に伸長（直立）しているため、気流発生手段（吹出しユニット１２０、排気ユニット１３０）による鉛直下向きの気流を掻き乱すこともなく、清浄な空気による所望の気流を得ることができ、塵埃等を効率良く取り除くことができる。
さらに、遮蔽板１００（第１遮蔽板１０２、第２遮蔽板１０３）及び鉛直隔離壁６０は、作業が施されるワークＷの上方に臨むようには配置されないため、仮に遮蔽板１００の相対的な移動により塵埃等が発生しても、それらの塵埃がワークＷ上に直接落下して付着するのを防止することができる。
ここでは、特に遮蔽板１００を二重構造（第１遮蔽板１０２、第２遮蔽板１０３）にすることで、ラビリンスシール機能をより確実にすることができ、開口部６０ａをより確実に遮蔽することができ、ケース２０内（作業エリアＷＡ）を清浄度の高い空間に維持することができる。【００４１】
搬送ユニット１１０は、図２ないし図４に示すように、Ｘ方向に伸長して搬入口２１ａ及び搬出口２２ａと略同一の高さに搬送面をもつように配置されたローラ式のコンベア１１１、コンベア１１１の搬送方向（Ｘ方向）の略中央下部に配置されてコンベア１１１により搬送されてきたパレットＰを下方から担持して若干持ち上げつつ位置決めする位置決め昇降機１１２等を備えている。【００４２】
そして、外部の搬送ラインＬにより搬送されてきたパレットＰ（ワークＷ）は、ケース２０内のコンベア１１１により作業エリアＷＡ内の所定停止位置まで搬入されると、鉛直方向（Ｚ方向）に出没する位置決め昇降機１１２により若干持ち上げられて高精度に位置決めされるようになっている。
ここでは、パレットＰを所定位置に位置決めする機構として、ローラ式のコンベア１１１との組み合わせにおいて、鉛直方向（Ｚ方向）に出没して位置決めする位置決め昇降機１１２を示したが、ベルト式のコンベアとの組み合わせにおいて水平方向（Ｙ方向）に出没して位置決めする機構を採用してもよい。【００４３】
吹出しユニット１２０は、図１及び図２、図７に示すように、風量及び風圧を制御可能な送風機（不図示）、フィルター１２１等を備えており、ケース２０の天板２４上に（開口部２４ａの上方に）配置されている。そして、吹出しユニット１２０は、作業エリアＷＡの上方から鉛直下向きに、清浄な空気を吹出してダウンフローを生じさせるようになっている。
排気ユニット１３０は、図２及び図７に示すように、空気を強制的に吸引する吸引ファン等を備えており、第３ケース４０内に配置されている。そして、排気ユニット１３０は、ベース１０の通気孔１１を通して、作業エリアＷＡの下方領域から第３ケース４０内に（すなわち作業エリアＷＡの外部に）空気を吸出して排気するようになっている。
すなわち、吹出しユニット１２０により吹出された清浄な空気は、作業エリアＷＡ内を上から下方に向けて流れ（ダウンフローを生じ）、排気ユニット１３０により積極的に下方から外部に吸出されるため、安定したダウンフローを生じさせることができ、塵埃等が作業エリアＷＡ内において飛散するのを防止することができ、又、発生した塵埃等を積極的に除去することができる。【００４４】
第２排気ユニット１４０は、図２及び図７に示すように、空気を強制的に吸引する吸引ファン等を備えており、駆動エリアＤＡを画定する第２ケース３０の下方に位置する第４ケース５０内に配置されている。そして、第２排気ユニット１４０は、ベース１０の通気孔１１を通して、駆動エリアＤＡの下方領域から第４ケース５０内に空気を吸出して排気するようになっている。
すなわち、第２排気ユニット１４０により、駆動機構７０を収容する第２ケース３０内において発生した塵埃等を積極的に吸出して除去することができるため、駆動エリアＤＡから作業エリアＷＡ内に塵埃等が侵入するのをより確実に防止することができる。【００４５】
供給ユニット１５０は、図１ないし図３に示すように、その載置面が供給口２３ａと略同一の高さに位置付けされるようにケース２０内においてベース１０上に固定されたテーブルユニット１５１、供給口２３ａの直下すなわち搬送面が略同一の高さに位置付けられるようにかつ部分的にケース２０の外部に露出するようにベース１０上に固定された搬送ユニット１５２、搬送ユニット１５２とテーブルユニット１５１との間において部品Ｃ１を載置したパレットＰ１を移載するようにベース１０上に設けられた移載ユニット１５３等を備えている。
そして、外部の搬送ラインＬ１により搬送されてきた部品Ｃ１を載置したパレットＰ１を、搬送ユニット１１０の搬送方向（Ｘ方向）に交差する方向（Ｙ方向）から、搬送ユニット１５２により供給口２３ａを経てケース２０内に搬入し、作業ヘッド９０が部品Ｃ１を掴み上げることができるように、移載ユニット１５３でテーブルユニット１５１上に移載するようになっている。【００４６】
水平遮蔽板１６０は、図２、図３、図７に示すように、ケース２０内の下方において、搬送ユニット１１０及び供給ユニット１５０（テーブルユニット１５１）の下方空間を隔離するように、搬送ユニット１１０及び供給ユニット１５０の上方縁領域と若干の隙間を開けて配置されている。
これにより、搬送ユニット１１０及び供給ユニット１５０の下方において発生した塵埃等が、水平隔離板１６０により隔離されると共に隙間を通って下向きに流れる気流により、作業エリアＷＡ内に飛散するのを確実に防止することができ、塵埃等を確実に取り除いて清浄な作業雰囲気を確保することができる。【００４７】
次に、上記ワーク自動作業装置の動作について、図７ないし図１３Ｂを参照しつつ説明する。
先ず、吹出しユニット１２０、排気ユニット１３０及び第２排気ユニット１４０が起動した状態においては、作業エリアＷＡ内に吹出した清浄な空気は、図７中の矢印で示すように、上方から下方に向かうダウンフローを生じ、排気ユニット１３０により積極的に下方から作業エリアＷＡの外部に吸出される。これにより、安定したダウンフローが得られ、作業エリアＷＡ内において塵埃等の飛散が防止され、又、発生した塵埃等が積極的に除去される。特に、水平隔離板１６０を設けているため、搬送ユニット１１０及び供給ユニット１５０の下方領域にて発生した塵埃等は作業エリアＷＡの上方に飛散することなく確実に除去される。【００４８】
また、駆動機構７０を収容する第２ケース３０内において発生した塵埃等は、第２排気ユニット１４０により積極的に吸出されて除去されるため、駆動エリアＤＡから作業エリアＷＡ内へのこれらの塵埃等の侵入が確実に防止される。
さらに、作業エリアＷＡは、吹出しユニット１２０により積極的に吹出される清浄な空気の圧力を所定レベルにすることにより外部よりも圧力が高くなるように設定されるため、搬入口２１ａ，搬出口２２ａ，供給口２３ａにおいては、作業エリアＷＡから外部に向かう流れを生じ、この流れにより外部から作業エリアＷＡ内への塵埃等の侵入が防止される。以上により、作業エリアＷＡ内は清浄度の高い雰囲気に維持される。【００４９】
この状態において、前工程を終えたワークＷは、図８Ａに示すように、パレットＰに載置された状態で搬送ラインＬにより搬入口２１ａから作業エリアＷＡ内に搬入される。
そして、パレットＰが、図８Ｂに示すように、コンベア１１１により作業エリアＷＡ内の所定停止位置まで搬送れて停止する。
続いて、図９Ａに示すように、位置決め昇降機１１２が上昇して、パレットＰをコンベア１１１から若干持ち上げつつ位置決めピンをパレットＰの位置決め孔に嵌合させて、所定高さの作業位置に位置決めする。【００５０】
続いて、図９Ｂに示すように、第１駆動機構７１及び第３駆動機構７３により水平アーム８０がテーブルユニット１５１の上方の部品取出し位置まで水平方向に（ＸＹ平面内で）移動し、第２駆動機構７２により水平アーム８０が下降して作業ヘッド９０をパレットＰ１に載置された部品Ｃ１の直上に位置付け、作業ヘッド９０が部品Ｃ１を取り出す。【００５１】
続いて、図１０Ａに示すように、第２駆動機構７２により水平アーム８０が所定高さまで上昇し、第１駆動機構７１及び第３駆動機構７３により水平アーム８０が水平方向に（ＸＹ平面内で）移動して、作業ヘッド９０をワークＷ上の部品組付け位置に位置付ける。
その後、図１０Ｂに示すように、第２駆動機構７２により水平アーム８０が下降して作業ヘッド９０を組付け位置の直上に位置付け、作業ヘッド９０が部品Ｃ１をワークＷに組み付ける。【００５２】
組み付けが完了すると、図９Ａ及び図１１Ａに示すように、第２駆動機構７２により水平アーム８０が所定高さまで上昇し、作業ヘッド９０がワークＷ（部品Ｃ１）から離れる。尚、供給ユニット１５０により供給された複数種の部品Ｃ１をワークＷに組み付ける場合は、図９Ａないし図１０Ｂに示す動作を繰り返す。【００５３】
次に、パレットＰ上の部品Ｃを取り出してワークＷに組み付ける場合は、図１１Ａの状態から図１１Ｂに示すように、第１駆動機構７１及び第３駆動機構７３により水平アーム８０がパレットＰの上方の部品Ｃの取出し位置まで水平方向に（ＸＹ平面内で）移動し、続いて、第２駆動機構７２により水平アーム８０が下降して作業ヘッド９０を部品Ｃの直上に位置付け、作業ヘッド９０が部品Ｃを取り出す。【００５４】
続いて、第２駆動機構７２により水平アーム８０が所定高さまで上昇し、第１駆動機構７１及び第３駆動機構７３により水平アーム８０が水平方向に（ＸＹ平面内で）移動して、図１２Ａに示すように、作業ヘッド９０をワークＷ上の部品組付け位置に位置付ける。
その後、第２駆動機構７２により水平アーム８０が下降して作業ヘッド９０を組付け位置の直上に位置付け、作業ヘッド９０が部品ＣをワークＷに組み付ける。【００５５】
組み付けが完了すると、図１２Ｂに示すように、第２駆動機構７２により水平アーム８０が所定高さまで上昇し、作業ヘッド９０がワークＷ（部品Ｃ）から離れる。尚、パレットＰ上に載置された複数の部品ＣをワークＷに組み付ける場合は、図１１Ｂないし図１２Ｂに示す動作を繰り返す。【００５６】
そして、全ての組み付けが完了すると、図１３Ａに示すように、位置決め昇降機１１２が下降して、パレットＰをコンベア１１１上に移し替え、位置決め昇降機１１２は所定の待機位置に待機する。
その後、コンベア１１１が起動して、作業が完了したワークＷを載せたパレットＰは、図１３Ｂに示すように、搬出口２２ａから搬出されて、搬送ラインＬにより後工程に搬送される。【００５７】
上記一連の作業を行うにあたって、水平アーム８０は、遮蔽板１００の挿通路１０１ａ内を移動すると共に、第１遮蔽板１０２及び第２遮蔽板１０３は開口部６０ａを遮蔽しつつ鉛直隔離壁６０に沿って鉛直面（ＸＺ面）内を２次元的に移動する。
したがって、鉛直隔離壁６０と遮蔽板１００の間には、ラビリンスシール機能が確保されて、開口部６０ａ及び挿通路１０１ａは確実に遮蔽されて、作業エリアＷＡ内は、清浄度の高い雰囲気に維持されることになる。【００５８】
図１４は、本発明に係るワーク自動作業装置の他の実施形態を示すものである。この実施形態においては、遮蔽板１００´の構造を変更し対外は前述の実施形態と同一であるため、同一の構成については同一の符号を付してその説明を省略する。
この装置においては、図１４に示すように、遮蔽板１００´は、挿通路１０１ａを画定する通路部材１０１、鉛直隔離壁６０に対して、駆動機構７０が配置された駆動エリアＤＡ側から隣接して対向すうように配置された第１遮蔽板１０２により形成されている。【００５９】
このように、第１遮蔽板１０２は、鉛直隔離壁６０の開口部６０ａを完全に覆うように（すなわち、鉛直隔離壁の開口部よりも広い面積をもつに）形成され、鉛直隔離壁６０に対して駆動機構７０の側にだけ配置されているため、構造の簡素化を達成しつつ、作業エリアＷＡから駆動機構７０が配置された駆動エリアＤＡへ塵埃等が流れ易くする一方で、駆動エリアＤＡから作業エリアＷＡへの塵埃等の流れを防止することができる。
また、第１遮蔽板１０２は駆動エリアＤＡの側に配置されているため、第１遮蔽板１０２と鉛直隔離壁６０との相対的な移動により塵埃等が発生した場合、この発生した塵埃等は駆動エリアＤＡ内において直接落下し又は飛散し、あるいは、第２排気ユニット１４０により積極的に吸出されて除去され、作業エリアＤＡ内まで侵入するのを防止することができる。【００６０】
図１５は、本発明に係るワーク自動作業装置のさらに他の実施形態を示すものである。この実施形態においては、前述の図１に示す実施形態に対して、駆動機構７０、水平アーク８０、作業ヘッド９０、遮蔽板１００、位置決め昇降機１１２（図１５中では不図示）、供給口２３ａ、供給ユニット１５０をそれぞれ１個ずつ追加した構造になっている。
この装置によれば、作業エリアＷＡ内に２つの作業ヘッド９０が設けられているため、同時に２つのワークＷに対して所定の作業を施すことができ、作業効率を向上させることができる。【００６１】
図１６は、本発明に係るワーク自動作業装置のさらに他の実施形態を示すものである。この実施形態においては、図１６に示すように、上記構成をなすワーク自動作業装置Ｍを複数連ねて配列し、ワーク自動作業ラインを形成したものである。
すなわち、複数の作業工程を連続して行う作業ラインを形成する場合も、個々に清浄化された作業エリアＷＡをもつ装置Ｍをモジュール化して接続することにより、従来のようなライン全体を収容する大きなクリーンルームを必要とせず、容易にかつ多様に作業ラインを形成することができる。【００６２】
上記実施形態においては、気流発生手段として、吹出しユニット１２０、排気ユニット１３０、さらには第２排気ユニット１４０を全て備える構成を示したが、吹出しユニット１２０だけを備える構成、排気ユニット１３０だけを備える構成、あるいは、吹出しユニット１２０及び排気ユニット１３０のみを備える構成を採用することができる。
上記実施形態においては、部品を供給する供給ユニット１５０を備える構成を示したが、搬送ラインＬにより搬送されるパレットＰに部品を載置するだけで足りる場合には、供給ユニット１５０を採用しなくてもよい。
上記実施形態においては、水平遮蔽板１６０を備える構成を示したが、これを廃止した構成を採用してもよい。
上記実施形態においては、作業エリアＷＡを画定するケース２０内に搬送ユニット１１０を配置した構成を示したが、例えば、外部に設置されたロボット等を用い、搬送口を通してワークの搬入，位置付け，搬出等が行われる構成であれば、搬送ユニット１１０を廃止した構成を採用してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
以上述べたように、本発明のワーク自動作業装置は、組付け等の作業を施す作業ライン等の全てを収容するクリーンルーム等を必要とせず、設備の設置スペースが小さくて、作業エリアの清浄度を高く維持することができ、又、作業エリア内の気流を掻き乱すことなくワークに対して所望の作業（組付け、検査、測定等）を施すことができるため、塵埃等を嫌う電子部品の実装分野で適用できるのは勿論のこと、清浄な雰囲気下でワークに対して所定の作業を施す必要があるところであれば、その他の分野でも有用である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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