(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の検査を行う検査装置において、
上下に移動可能であって、基板を後段に設けられた検査ステーションユニットへ搬入する搬入手段と、
上下に複数段の検査ステーションユニットを有し、前記搬入手段により搬入された基板を該所定の検査ステーションユニット内において検査する検査ステーション部と、
上下に移動可能であって、前記検査ステーション部の検査ステーションユニット内において検査された基板を該検査ステーションユニットから搬出する搬出手段とを備え、
前記搬入手段は前記複数の検査ステーションユニットのうち、基板が搬入されていない検査ステーションユニットに対向する位置まで移動して、前記基板を該検査ステーションユニットへ搬入し、
前記搬出手段は前記複数の検査ステーションユニットのうち、基板の検査が完了する検査ステーションユニットに対向する位置まで移動して、該基板を該検査ステーションユニットから搬出するものであることを特徴とする基板の検査装置。
【請求項２】
前記搬入手段にはストッパが設けられ、前記基板が該搬入手段に搭載された場合に該ストッパにより該基板を保持し、該基板を前記検査ステーションへ搬入するときに該ストッパを解除して該基板を該検査ステーションへ搬入するよう構成され、
前記搬出手段にはストッパが設けられ、前記検査ステーションから搬出した基板を該ストッパにより保持し、該搬出手段が予め定められた位置に移動したときに該ストッパを解除して該基板を後段へ搬送するよう構成されてなることを特徴とする請求項１記載の基板の検査装置。
【請求項３】
前記搬入手段の前段には、ストッパにより基板を保持すると共に該搬入手段が予め定められた位置に移動したときに該ストッパを解除して該基板を該搬入手段へ搬送する搬入待ちエリアユニットが設けられ、
前記搬出手段の後段には、前記搬出手段が予め定められた位置に移動したときに該搬出手段により搬出された基板を受け取ると共にストッパにより該基板を保持し、後工程である搬出コンベアに基板が存在しない場合に該ストッパを解除して該基板を該搬出コンベアへ搬送する搬出待ちエリアユニットが設けられてなることを特徴とする請求項１、又は２記載の基板の検査装置。
【請求項４】
第１及び第２の操作手段を設け、
前記第１の操作手段の操作により、前記搬入手段が前記搬入されていない検査ステーションユニットに対向する位置まで移動し、
前記第２の操作手段の操作により、前記搬出手段が前記基板の検査が完了する検査ステーションユニットに対向する位置まで移動するようにしたことを特徴とする請求項１記載の基板の検査装置。
【請求項５】
報知手段を設け、
前記検査ステーションユニットにより検査された基板が不良であると判断された場合は、該基板を前記搬出待ちエリアユニットのストッパにより保持すると共に前記報知手段を作動させてなることを特徴とする請求項３記載の基板の検査装置。
【請求項６】
報知手段を設け、
前記検査ステーションユニットにより検査された基板が不良であると判断された場合は、該基板を前記搬出手段のストッパにより保持すると共に前記報知手段を作動させてなることを特徴とする請求項２記載の基板の検査装置。
【請求項７】
不良と判断された基板を搬送するための不良基板搬送コンベア及び該基板を移動させる移動手段とを設け、
前記検査ステーションユニットにより検査された基板が不良であると判断された場合は、該基板を前記搬出待ちエリアユニットのストッパにより保持すると共に前記移動手段により該基板を前記不良基板搬送コンベアまで移動させてなることを特徴とする請求項３記載の基板の検査装置。
【請求項８】
不良と判断された基板を搬送するための不良基板搬送コンベア及び該基板を移動させる移動手段とを設け、
前記検査ステーションユニットにより検査された基板が不良であると判断された場合は、該基板を前記搬出手段のストッパにより保持すると共に前記移動手段により該基板を前記不良基板搬送コンベアまで移動させてなることを特徴とする請求項２記載の基板の検査装置。
【請求項９】
不良と判断された基板を搬送するための不良基板搬送コンベア及び前記搬出手段を移動させる移動手段を設け、
前記検査ステーションユニットにより検査された基板が不良であると判断された場合は、該基板を前記搬出手段のストッパにより保持すると共に前記移動手段により該搬出手段を前記不良基板搬送コンベアと対向する位置まで移動させてなることを特徴とする請求項２記載の基板の検査装置。
【請求項１０】
前記搬入手段と前記搬出手段とを共に上下方向に駆動させる移動手段を設け、前記移動手段により前記搬入手段と前記搬出手段とを同期させて移動させることを特徴とする請求項１記載の基板の検査装置。
【請求項１１】
基板の搬入手段が上下に移動可能であって、
上下に複数段に設けられた検査ステーションユニットのうち、基板が搬入されていない検査ステーションユニットに対向する位置まで移動して、前記基板を検査ステーションユニットへ搬入するステップと、
搬入手段により搬入された基板を検査ステーションユニット内において検査するステップと、
基板の搬出手段が上下に移動可能であって、
上下に複数段に設けられた検査ステーションユニットのうち、基板の検査が完了する検査ステーションユニットに対向する位置まで移動して、前記基板を該検査ステーションユニットから搬出するステップとを含むものであることを特徴とする基板の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数カ所に検査ステーションを設けて検査を行うようにした基板の自動検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
所定の製造工程を経て製造された電子回路基板（以降は基板と称す）は、出荷の前に検査に付され、不良品の排除と良品のイニシャライズが行われる。この基板の検査を行うラインにおける自動検査装置１５０は、検査ラインのラインタクトに応じて、同じ内容の検査を行う検査ステージが複数カ所に設けられたもので、図１２に示すように、基板１０を搬入搬出するステーション１５１と複数カ所からなる検査ステーション１５２の検査ステージ（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）に区分されている。図１２は従来の基板の検査装置を示す透視図で、（ａ）は全体透視図、（ｂ）は詳細透視図である。
【０００３】
基板１０は、コンベア等により搬入搬出するステーション１５１に自動搬送され、この搬送された基板１０は搬送ロボット１５３（１５３ａ，１５３ｂ，１５３ｃ，１５３ｄ）により、それぞれ検査ステーション１５２のステージ（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）に搬入される。そして、検査ステーション１５２で検査（図示せず）された基板１０は搬送ロボット１５３（１５３ａ，１５３ｂ，１５３ｃ，１５３ｄ）により、それぞれ搬入搬出するステーション１５１に戻され、コンベア等により搬出されている。
【０００４】
搬送ロボット１５３は、基板１０を挟み込ん（又は拡げて離す）で持ち上げるチャック部１５４と、チャック部１５４を駆動するソレノイド１５５と、チャック部１５４で取り込んだ基板１０を回転移動させるアーム部１５６と、アーム部１５６を駆動する駆動モータ１５７と、回転支持部１５８と、より構成されている。この搬送ロボット１５３は搬入搬出するステーション１５１の未検査基板１０をチャック部１５４で取り込んだ後、アーム部１５６を介して駆動モータ１５７を反時計方向Ｒ１に回転させ、未検査基板１０を検査ステーション１５２に移動搬入する。また、搬送ロボット１５３は検査ステーション１５２で検査された既検査基板１０をチャック部１５４で取り込んだ後、アーム部１５６を介して駆動モータ１５７を時計方向Ｒ２に回転させ、既検査基板１０を搬入搬出するステーション１５１に移動搬出する。
【０００５】
本検査ステーション１５２には、ラインタクトに対応させて、４つの同じ検査ステージ（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）が搬送ラインに並行して横方向に設けられている。
【０００６】
この検査ステージの数（ｎ）は、ラインタクト時間を（Ｔ）とし、１枚の基板の検査時間を（ｔ）とすると、Ｔ＝ｎ／ｔで表される。即ち、本従来例では、例えばラインタクト時間が１分で、１枚の基板の検査時間が４分必要である時には、４つの同じ検査ステージを設けることになる。尚、本従来例には基板１０を搬入搬出するステーション１５１を１つのラインにしているが、アーム部１５６に伸縮機能を持たせ、搬入と搬出を別ラインにしたものもある。また、アーム部１５６の回転による搬送ロボット１５３の替わりに、シリンダ又はコンベア等による駆動機構を用いたものもある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
このように、搬入搬出ステーションからの未検査基板の取り込みと、検査ステーションからの既検査基板の取り出しとを同一の搬送ロボット等で行うので、未検査基板を検査ステーションに搬入装着後の搬送ロボットは未検査基板の検査が終了するまで稼働できず、検査に要するサイクルタイムが長いのと、未検査基板と既検査基板との搬送が輻輳するため、製品の検査効率が悪く、しかも前後方向に複数カ所の検査ステーションを要し、それぞれに搬送ロボット等を必要とするため、設備の設置スペースが広く、高価なものになるという問題があった。
【０００８】
本発明は、このような問題を解決するもので、基板の検査を効率よく行うことができ、かつスペース効率が良好な基板の自動検査装置を実現することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、基板の検査を行う検査装置において、上下に移動可能であって、基板を後段に設けられた検査ステーションユニットへ搬入する搬入手段と、上下に複数段の検査ステーションユニットを有し、前記搬入手段により搬入された基板を該所定の検査ステーションユニット内において検査する検査ステーション部と、上下に移動可能であって、前記検査ステーション部の検査ステーションユニット内において検査された基板を該検査ステーションユニットから搬出する搬出手段とを備え、前記搬入手段は前記複数の検査ステーションユニットのうち、基板が搬入されていない検査ステーションユニットに対向する位置まで移動して、前記基板を該検査ステーションユニットへ搬入し、前記搬出手段は前記複数の検査ステーションユニットのうち、基板の検査が完了する検査ステーションユニットに対向する位置まで移動して、該基板を該検査ステーションユニットから搬出することを特徴とするものである。
【００１０】
また、前記搬入手段にはストッパが設けられ、前記基板が該搬入手段に搭載された場合に該ストッパにより該基板を保持し、該基板を前記検査ステーションへ搬入するときに該ストッパを解除して該基板を該検査ステーションへ搬入するよう構成され、前記搬出手段にはストッパが設けられ、前記検査ステーションから搬出した基板を該ストッパにより保持し、該搬出手段が予め定められた位置に移動したときに該ストッパを解除して該基板を後段へ搬送するよう構成されてなることを特徴とするものである。
【００１１】
また、前記搬入手段の前段には、ストッパにより基板を保持すると共に該搬入手段が予め定められた位置に移動したときに該ストッパを解除して該基板を該搬入手段へ搬送する搬入待ちエリアユニットが設けられ、前記搬出手段の後段には、前記搬出手段が予め定められた位置に移動したときに該搬出手段により搬出された基板を受け取ると共にストッパにより該基板を保持し、後工程である搬出コンベアに基板が存在しない場合に該ストッパを解除して該基板を該搬出コンベアへ搬送する搬出待ちエリアユニットが設けられてなることを特徴とするものである。
【００１２】
また、第１及び第２の操作手段を設け、前記第１の操作手段の操作により、前記搬入手段が前記搬入されていない検査ステーションユニットに対向する位置まで移動し、前記第２の操作手段の操作により、前記搬出手段が前記基板の検査が完了する検査ステーションユニットに対向する位置まで移動するようにしたことを特徴とするものである。
【００１３】
また、報知手段を設け、前記検査ステーションユニットにより検査された基板が不良であると判断された場合は、該基板を前記搬出待ちエリアユニットのストッパにより保持すると共に前記報知手段を作動させてなることを特徴とするものである。
【００１４】
また、報知手段を設け、前記検査ステーションユニットにより検査された基板が不良であると判断された場合は、該基板を前記搬出手段のストッパにより保持すると共に前記報知手段を作動させてなることを特徴とするものである。
【００１５】
また、不良と判断された基板を搬送するための不良基板搬送コンベア及び該基板を移動させる移動手段とを設け、前記検査ステーションユニットにより検査された基板が不良であると判断された場合は、該基板を前記搬出待ちエリアユニットのストッパにより保持すると共に前記移動手段により該基板を前記不良基板搬送コンベアまで移動させてなることを特徴とするものである。
【００１６】
また、不良と判断された基板を搬送するための不良基板搬送コンベア及び該基板を移動させる移動手段とを設け、前記検査ステーションユニットにより検査された基板が不良であると判断された場合は、該基板を前記搬出手段のストッパにより保持すると共に前記移動手段により該基板を前記不良基板搬送コンベアまで移動させてなることを特徴とするものである。
【００１７】
また、不良と判断された基板を搬送するための不良基板搬送コンベア及び前記搬出手段を移動させる移動手段を設け、前記検査ステーションユニットにより検査された基板が不良であると判断された場合は、該基板を前記搬出手段のストッパにより保持すると共に前記移動手段により該搬出手段を前記不良基板搬送コンベアと対向する位置まで移動させてなることを特徴とするものである。
【００１８】
また、前記搬入手段と前記搬出手段とを共に上下方向に駆動させる移動手段を設け、前記移動手段により前記搬入手段と前記搬出手段とを同期させて移動させることを特徴とするものである。
また、基板の搬入手段が上下に移動可能であって、上下に複数段に設けられた検査ステーションユニットのうち、基板が搬入されていない検査ステーションユニットに対向する位置まで移動して、前記基板を検査ステーションユニットへ搬入するステップと、搬入手段により搬入された基板を検査ステーションユニット内において検査するステップと、基板の搬出手段が上下に移動可能であって、上下に複数段に設けられた検査ステーションユニットのうち、基板の検査が完了する検査ステーションユニットに対向する位置まで移動して、前記基板を該検査ステーションユニットから搬出するステップとを含むものであることを特徴とするものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施の形態に係る基板の検査装置について、図面を参照して説明する。
【００２０】
図１は本発明の第１の実施の形態に係る基板の検査装置を示す全体透視図、図２は本発明の第１の実施の形態に係る基板の検査装置を示す断面図、図３は本発明の第１の実施の形態に係る基板の検査装置の検査ステーション部の詳細断面図、図４は本発明の第１の実施の形態に係る基板の検査装置の搬入部の詳細図である。尚、図中の構成部品は本発明に係る主要な部材を主に示している。
【００２１】
本発明の第１の実施の形態に係る基板の検査装置１は、１枚の基板１０の検査時間がラインタクトより４倍相当の長い時間を必要とする場合において、同じ内容の検査を行う検査ステージを上下方向に４ステージ（Ａステージ，Ｂステージ，Ｃステージ，Ｄステージ）に区分し、各検査ステージにそれぞれ検査ステーションユニット７０を設けてラインタクトに対応させたものである。そして、本検査装置１は検査前工程からの未検査基板１０の自動搬入から既検査基板１０の後工程への搬出までの諸動作をコントロール制御部３（検査装置１に装着したもの）に記憶された手順に従って、制御コントロールしている。
【００２２】
この検査装置１は、図１に示すように、主として、コンベア等を有する未検査基板１０を搬送するための搬入待ちエリアユニット２０、未検査基板１０を検査ステーションユニット７０に搬入するための搬入ドライブユニット５０（搬入手段）、搬入ドライブユニット５０を上下方向に移動駆動させる搬入ドライブステーション部４０（移動手段）、４区分された検査ステージ（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）に設置されている未検査基板１０を検査する検査ステーションユニット７０、検査ステーションユニット７０を上下方向に複数段設置した検査ステーション部６０、既検査基板１０を検査ステージ（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）より取り出す搬出ドライブユニット９０（搬出手段）、搬出ドライブユニット９０を上下方向に移動駆動させる搬出ドライブステーション部８０（移動手段）、既検査基板１０を搬出ドライブユニット９０から取り出し、後工程に搬出するコンベア等を有する搬出待ちエリアユニット３０、操作スイッチ４を有する操作制御盤２、操作制御手順をプログラミング処理するコントロール制御部３等より構成されている。
【００２３】
搬入待ちエリアユニット２０は、図２に示すように、未検査基板１０を搬送するコンベア２１と、コンベア２１を駆動するモータ２２と、コンベア２１を保持するホイール２３，２４，２５と、未検査基板１０を停止させるストッパー２６ａを有するソレノイド２６ｂ等より構成されている。この搬入待ちエリアユニット２０は前工程からコンベア２１等を介して自動搬送される未検査基板１０をストッパー２６ａを介して保持した後、搬入ドライブユニット５０が上段のイニシャル位置にある時、未検査基板１０を搬入ドライブユニット５０にコンベア２１を介して搬送するものである。この搬送は，コントロール制御部３からの指令信号により、搬入ドライブユニット５０に未検査基板１０が搬送されていない状態を検知（図示せず）した情報を基にして、搬入待ちエリアユニット２０のストッパー２６ａを下げて未検査基板１０の停止を解除して行われる。
【００２４】
搬入ドライブユニット５０は、図４に示すように、未検査基板１０を搬送する左右のコンベア５１と、コンベア５１を駆動するモータ５２と、コンベア５１を保持するホイール５４と、未検査基板１０を停止させるストッパー５６ａを有するソレノイド５６ｂと、モータ５２を介して左右のコンベア５１を駆動連結する連結軸５９と、左右のコンベア５１を保持するユニット本体５７等より構成されている。搬入ドライブユニット５０は、搬入ドライブステーション部４０の搬入ドライブユニット５０を上下駆動するホルダー４３に取付設置されている。
【００２５】
この搬入ドライブユニット５０は、未検査基板１０を保持していない状態で、搬入ドライブステーション部４０により上段のイニシャル位置に戻された後、搬入待ちエリアユニット２０から未検査基板１０を取り出し、ストッパー５６ａを介して保持するものである。そして、搬入ドライブステーション部４０により、未検査基板１０が装着されていない検査ステージまで下降移動された後、未検査基板１０をこの検査ステージの検査ステーションユニット７０にコンベア５１を介して搬入するものである。この搬入は，コントロール制御部３からの指令信号により、検査ステーションユニット７０に未検査基板１０が装着されていない状態を検知（図示せず）した情報を基にして、搬入ドライブユニット５０のストッパー５６ａを下げて未検査基板１０の停止を解除して行われる。
【００２６】
ユニット本体５７は、断面がＵ形状の箱型に金属材等で形成されたもので、左右のコンベア５１及びストッパー５６ａを有するソレノイド５６ｂ等を取付保持した状態で搬入ドライブステーション部４０の駆動ホルダー４３に取付固定されている。このユニット本体５７には、左側面にコンベア５１を駆動するモータ５２とコンベア５１を回転保持するホイール用支持軸（図示せず）等が取付設置され、右側面にコンベア５１を回転保持するホイール用支持軸（図示せず）等が取付設置され、底面にソレノイド５６ｂがサポート（図示せず）を介して取付設置されている。又右側面が搬入ドライブステーション部４０の駆動ホルダー４３に取付固定されて上下方向に連動移動する。
【００２７】
搬入ドライブステーション部４０は、搬入ドライブユニット５０を取付固定して上下方向に移動する駆動ホルダー４３と、上下方向に移動するボールネジ部４１，４２と、傘歯車４５，４６と、駆動モータ４８と、スライド軸４４と、筐体４７等より構成されている。この搬入ドライブステーション部４０は搬入ドライブユニット５０が取付固定された駆動ホルダー４３を駆動モータ４８により傘歯車４５，４６とボールネジ部４１，４２を介して上下方向に駆動し、検査ステーション部６０の各検査ステージ（Ａステージ，Ｂステージ，Ｃステージ，Ｄステージ）に搬入ドライブユニット５０を移動させるものである。
【００２８】
駆動ホルダー４３は、箱型形状に金属材等で形成されたもので、左側端面に搬入ドライブユニット５０のユニット本体５７を取付固定するネジ孔（図示せず）が設けられ、内部にはボールネジ部のボール部４２を嵌め込み固定する孔とスライド軸４４にガイドされる勘合孔がそれぞれ設けられている。この駆動ホルダー４３は、駆動モータ４８の回転で、傘歯車４５，４６を介してボールネジ部のネジ部４１が連動回転することにより、ボールネジ部のボール部４２を介して、矢印Ｍ１に示すように上下移動する。
【００２９】
本実施例による検査ステーション部６０は、基板１０の検査が完了した順に、既検査基板１０の搬出と未検査基板１０の搬入をタイムリーに行うようにしたものである。この検査ステージの数（ｎ）は、ラインタクト時間を（Ｔ）とし、１枚の基板の検査時間を（ｔ）とすると、Ｔ＝ｎ／ｔで表される。即ち、本実施例では、例えばラインタクト時間が１分で、１枚の基板の検査時間が４分必要である時に、４つの同じ検査ステージが設けられたものに相当している。
【００３０】
これにより、検査の初期段階（即ち、全検査ステージに基板が全く存在せず、初めから検査を行う段階）においては、まず４枚相当の未検査基板１０が4 区分された検査ステージに１分間隔で順次搬入されて検査が開始され、初期段階から４分経過後に、最初に搬入された１枚目の基板が検査完了し、搬出されることになるが、５枚目の基板の搬入からは、搬入される未検査基板１０（即ち、この時は５枚目の基板に相当）と搬出される既検査基板１０（即ち、この時は前の１枚目の基板に相当）がラインタクトに対応して、１分間隔の作業ラインで検査処置される。つまり、５枚目の基板搬入時には１枚目の基板が搬出され、１分後の６枚目の基板搬入時には２枚目の基板が搬出されるというように作業が行われる。
【００３１】
検査ステーション部６０は、図２及び図４に示すように、既検査基板１０を搬送する左右のコンベア６１と、コンベア６１を駆動するモータ６２と、コンベア６１を保持するホイール６３、６４、６５と、未検査基板１０を停止させるストッパー６６ａを有するソレノイド６６ｂと、モータ６２を介して左右のコンベア６１を駆動連結する連結軸６９と、左右のコンベア６１を保持するユニット本体７５と、未検査基板１０を検査治具７１に押圧する数個からなるシリンダ６８と、未検査基板１０を保持するホールダー６７と、シリンダ６８とソレノイド６６ｂとを取付保持するベース部７４と、検査治具７１に装着された数個からなるアタッチメント７３及びガイドピン７２等より構成されている。検査ステーション部６０で検査された既検査基板１０は、コンベア６１により搬出ドライブユニット９０に搬出される。この搬出時には、ストッパー６６ａは下げられて既検査基板１０の停止が解除される。又、検査ステーション部６０に搬入ドライブユニット５０より搬入された未検査基板１０は、シリンダ６８によりホールダー６７を介して検査治具７１に押圧され、アタッチメント７３等を通じて検査される。この押圧時には、未検査基板１０はガイドピン７２により位置決めされる。
【００３２】
尚、本実施例では未検査基板１０をホールダー６７を介してシリンダ６８により検査治具７１に押圧しているが、これにこだわることなく、検査治具７１を移動して未検査基板１０に検査治具７１を押圧接触する等の機構を用いても良い。
【００３３】
搬出ドライブユニット９０は、検査ステーション部６０の各検査ステージ（Ａステージ，Ｂステージ，Ｃステージ，Ｄステージ）で検査さている未検査基板１０の検査が完了したところの検査ステージまで搬出ドライブステーション部８０により下降移動された後、その検査ステージの既検査基板１０を取り出し、ストッパー（図示せず）を介して保持するものである。そして搬出ドライブステーション部８０により上段のイニシャル位置に戻された後、既検査基板１０を搬出待ちエリアユニット３０にコンベア９１を介して搬出するものである。この搬出はコントロール制御部３からの指令信号により、検査ステーションユニット７０に装着されている未検査基板１０の検査が完了した状態を検出（図示せず）した情報を基にして、検査ステーションユニット７０のストッパー６６ａを下げて既検査基板１０の停止を解除して行われる。この搬出ドライブユニット９０の上記以外の機能については搬入ドライブユニット５０と同一なので、その説明を省略する。
【００３４】
搬出ドライブステーション部８０は、搬出ドライブユニット９０を取付固定して上下方向に移動するもので、検査ステーション部６０の各検査ステージ（Ａステージ，Ｂステージ，Ｃステージ，Ｄステージ）で検査されている未検査基板１０の検査が完了したところの検査ステージまで下降移動した後、その検査ステージの既検査基板１０を搬出ドライブユニット９０に取り出し、ストッパー（図示せず）を介して保持する。そして既検査基板１０を保持した状態で上段のイニシャル位置に搬出ドライブユニット９０を戻し、既検査基板１０を搬出待ちエリアユニット３０にコンベア９１を介して搬出するためのものである。この搬出ドライブステーション部８０の上記以外の機能については搬入ドライブステーション部４０と同一なので、その説明を省略する。
【００３５】
搬出待ちエリアユニット３０は、図２に示すように、既検査基板１０を搬送するコンベア３１と、コンベア３１を駆動するモータ３２と、コンベア３１を保持するホイール３３，３４，３５と、既検査基板１０を停止させるストッパー３６ａを有するソレノイド３６ｂ等より構成されている。この搬出待ちエリアユニット３０は搬出ドライブユニット９０からコンベア９１を介して搬出される既検査基板１０をストッパー３６ａを介して保持した後、後工程にコンベア３１を介して自動搬出するものである。この搬出はコントロール制御部３からの指令信号により、搬出待ちエリアユニット３０のストッパー３６ａを下げて既検査基板１０の停止を解除して行われる。
【００３６】
コントロール制御部３は、操作制御手順をプログラミング処理し、操作制御盤２に設けられた操作スイッチ４の起動により、操作制御手順に基いた指令信号を、搬入待ちエリアユニット２０、搬入ドライブステーション部４０、搬入ドライブユニット５０、検査ステーションユニット７０、搬出ドライブステーション部８０、搬出ドライブユニット９０、搬出待ちエリアユニット３０等の主要構成部に送信し、各構成部に設けられた駆動モータ及びソレノイド等を起動し、基板１０の搬入から検査及び搬出までを制御コントロールするものである。このコントロール制御部３は、上記の主要構成部に基板１０が装着されているかどうかの情報を各構成部に設けた検出器（図示せず）から受信すると共に、検査ステーションユニット７０で検査されている基板１０の検査完了情報等も受信し、これらの受信情報をフィードバックして操作制御手順をプログラミング処理している。従って、基板１０の搬入・搬出手順は上記の主要構成部内に基板１０が装着されているかどうか（又は、基板１０の検査が完了しているかどうか）等の情報により、優先順位を決めて、タイムリーに搬入・搬出が行われることになる。即ち、基板１０の検査時間が長い場合において、検査ステーションユニット７０を複数カ所に設けて、基板１０の検査が完了した順に、各検査ステーションユニット７０から既検査基板１０を搬出し、新たに未検査基板１０を搬入して検査を開始することにより、ラインタクトに対応した検査工程を行うことが可能となる。
【００３７】
さらに、本第１の実施の形態に係わる検査装置１以外に、その他の実施の形態に係わるものとして、次のようなものもある。
【００３８】
まず、本第１の実施の形態に係わる検査装置１における搬入待ちエリアユニット２０と搬出待ちエリアユニット３０は、それぞれ前工程からの１本のコンベアによる未検査基板１０の自動搬送と、後工程への１本のコンベアによる既検査基板１０の自動搬送とそれぞれ自動化されているが、その他の実施の形態に係わるものとして、自動化されたものではなく、作業員が搬入待ちエリアユニット２０へ未検査基板１０を搬送すると共に、搬出待ちエリアユニット３０の既検査基板１０を搬出するように手動で行うことも可能である。この手動による搬入作業は、搬入待ちエリアユニット２０に作業開始スイッチを設けて、各種検査工程に対応して作業員が未検査基板１０を搬入待ちエリアユニット２０に載置した後、作業開始スイッチを操作して、未検査基板１０を検査ステーションユニット７０に搬入して検査を開始し、搬出作業では各種検査工程に対応して作業員が既検査基板１０を搬出待ちエリアユニット３０に載置し、後工程へ手動により運搬するようにしたものである。
【００３９】
また、本第１の実施の形態に係わる検査装置１には、搬入待ちエリアユニット２０と搬出待ちエリアユニット３０とを設けているが、その他の実施の形態に係わるものとして、この搬入待ちエリアユニット２０と搬出待ちエリアユニット３０とを省き、作業員が搬入ドライブユニット５０への未検査基板１０の搬送と搬出ドライブユニット９０への既検査基板１０の搬出をそれぞれ手動により行うようにすることも可能である。この搬入ドライブユニット５０は、作業開始前には常に元のイニシャル位置に戻され、搬入ドライブユニット５０に作業開始スイッチを設けて、各種検査工程に対応して作業員が未検査基板１０を載置した後、作業開始スイッチを操作して、未検査基板１０を検査ステーションユニット７０に搬入して検査を開始するようにしたものである。又、搬出ドライブユニット９０は、検査ステーションユニット７０から既検査基板１０を搬出保持し、搬出ドライブユニット９０にスイッチを設けて、各種検査作業工程に対応して作業員が作業開始スイッチを操作して、既検査基板１０をストッパー３６ａを介して搬出保持している搬出ドライブユニット９０を上段のイニシャル位置まで上昇移動させて、既検査基板１０を後工程へ運搬するようにしたものである。
【００４０】
また、上述したスイッチを用いることもなく、搬入待ちエリアユニット２０と搬出待ちエリアユニット３０を省いた状態で、搬入ドライブユニット５０への前工程からの未検査基板１０の搬入と搬出ドライブユニット９０から後工程への既検査基板１０の搬出を全自動化することも可能である。
【００４１】
また、搬入ドライブステーション部４０と、検査ステーション部６０、及び搬出ドライブステーション部８０において、それぞれのステーション部に設けられたコンベアを、引き込みと引き出しが可能なシリンダに替えて、未検査基板１０又は既検査基板１０をそれぞれ引き込み、引き出しすることも可能である。
【００４２】
上述のその他の実施の形態に係わるものにおける作業動作は、後述する本第１の実施の形態に係わる検査装置１の作業動作と、上記の内容以外は同一なのでその説明を省略する。
【００４３】
次に、未検査基板１０の自動搬入から既検査基板１０の自動搬出までの作業動作について、図５を参照して説明する。図５は本発明の第１の実施の形態に係る基板検査装置の作業手順を示すフローチャート図である。本フローチャート図は、初期検査時の作業手順を示したもので、この作業手順が繰り返して継続される。尚、このフローチャート図に示す作業手順の動作制御は、検査装置１に装着されたコントロール制御部３に記憶された手順に従って制御コントロールされる。
【００４４】
まず、基板検査装置１に設けられている操作制御盤２上の操作スイッチ４の操作でコントロール制御部３等を起動し、基板１０の検査を開始する。
【００４５】
ステップＳ５１において、搬入待ちエリアユニット２０（以降搬入待ちエリア２０と称する）に未検査基板１０が前工程からコンベア２１を介して、ロール制御部３の指令信号による駆動モータ２２の駆動で自動搬入される。
【００４６】
ステップＳ５２では、搬入ドライブユニット５０（以降搬入部５０と称する）の位置が上段のイニシャル位置にあるか否かが位置検出器（図示せず）により検知され、この検知信号がコントロール制御部３に送信される。この検知で搬入部５０がイニシャル位置にある場合は、次のステップＳ５３に進み、無い場合は搬入部５０がイニシャル位置に戻るまでステップＳ５２の前に戻される。
【００４７】
ステップＳ５３では、搬入部５０に未検査基板１０が搬入されているか否かが位置検出器（図示せず）により検知され、この検知信号がロール制御部３に送信される。この検知で搬入部５０に未検査基板１０が搬入されていなければ、次のステップＳ５４に進み、搬入されている場合はステップＳ５３の前に戻される。
【００４８】
ステップＳ５４では、搬入部５０に未検査基板１０が搬入待ちエリア２０からコンベア２１を介して、コントロール制御部３の指令信号による駆動モータ２２の駆動で搬入される。尚、この搬入部５０に搬入された未検査基板１０は、検査ステーション６０の各検査ステージ（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）内の未検査基板１０が搬入されていないところの検査ステージ（コントロール制御部３で識別処理された検査ステージ）に順次搬入されることになる。
【００４９】
ステップＳ６１では、まず検査ステーション６０のＡ検査ステージに未検査基板１０が搬入されているか否かが位置検出器（図示せず）により検知され、この検知信号がコントロール制御部３に送信される。この検知でＡ検査ステージに未検査基板１０が搬入されていなければ、次のステップＳ６２に進み、搬入されている場合はステップＳ７１のＢ検査ステージに進むことになる。
【００５０】
ステップＳ６２では、搬入ドライブステーション部４０の駆動モータ４８をコントロール制御部３からの指令信号で駆動し、傘歯車４５、４６とボールネジ部４１、４２を介して、搬入部５０をＡ検査ステージに移動する。そして、次のステップＳ６３で搬入部５０の未検査基板１０を、Ａ検査ステージの検査ステーションユニット７０にコンベア５１を介して、コントロール制御部３の指令信号による駆動モータ５２の駆動で搬入する。搬入後、搬入部５０は、ステップＳ５５でコントロール制御部３からの指令信号により搬入ドライブステーション部４０の駆動モータ４８を駆動し、元のイニシャル位置に戻される。そしてＡ検査ステージの検査ステーションユニット７０に搬入された未検査基板１０は、次のステップＳ６４で、検査が開始される。
【００５１】
ステップＳ６５では、Ａ検査ステージに搬入された未検査基板１０の検査が完了したか否かが検査治具７１により判断され、この判断された終了信号がコントロール制御部３に送信される。検査が終了している場合は、次のステップＳ６６に進み、検査が終了していない場合は、ステップＳ６５の前に戻される。
【００５２】
ステップＳ６６では、Ａ検査ステージに搬入された未検査基板１０の検査が終了しているので、搬出ドライブステーション部８０の駆動モータ（図示せず）をコントロール制御部３からの指令信号で駆動し、傘歯車４５、４６とボールネジ部４１、４２を介して、搬出ドライブユニット９０（以降搬出部９０と命名する）をＡ検査ステージに移動する。そして、次のステップＳ６７でＡ検査ステージの検査ステーションユニット７０の既検査基板１０を、搬出部９０にコンベア６１を介して、コントロール制御部３の指令信号による駆動モータ６２の駆動で搬出する。そして次のステップＳ６８で、既検査基板１０を装着した搬出部９０を上段のイニシャル位置に、搬出ドライブステーション部８０の駆動モータ（図示せず）をコントロール制御部３からの指令信号で駆動し、傘歯車４５、４６とボールネジ部４１、４２を介して、上昇移動させる。そして次のステップＳ６９に進む。
【００５３】
ステップＳ６９では、搬出待ちエリアユニット３０（以降搬出待ちエリア３０と称する）に既検査基板１０が搬出されているか否かが位置検出器（図示せず）により検知され、この検知信号がコントロール制御部３に送信される。この検知で搬出待ちエリア３０に既検査基板１０が搬出されていなければ、次のステップＳ７０に進み、搬出されている場合はステップＳ６９の前に戻される。
【００５４】
ステップＳ７０では、Ａ検査ステージの検査ステーションユニット７０の既検査基板１０を、搬出待ちエリア３０にコンベア９１を介して、コントロール制御部３の指令信号による駆動モータ３２の駆動で搬出される。このステップＳ７０で、既検査基板１０を搬出待ちエリア３０に搬出した後の工程は最初のステップＳ５１に戻されて繰り返される。尚、このステップＳ７０では、検査ステーション６０の各検査ステージ（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）の検査ステーションユニット７０で検査された既検査基板１０を、それぞれ、搬出待ちエリア３０に順次搬出させている。この搬出は、搬出ドライブステーション部８０の駆動モータ（図示せず）をコントロール制御部３からの指令信号で駆動し、傘歯車４５、４６とボールネジ部４１、４２を介して、検査ステーションユニット７０を上段のイニシャル位置に上昇移動させた後に行われている。
【００５５】
上記に述べたステップＳ５４からステップＳ７０までの作業手順は、Ａ検査ステージにおける基板１０の検査に係るフローチャートを示したものである。従って、Ｂ検査ステージとＣ検査ステージ及びＤ検査ステージにおける基板１０の検査に係るフローチャートについては、主要内容を説明し、他はＡ検査ステージに係るものと同一なので説明を省略する。
【００５６】
ステップＳ７１では、検査ステーション６０のＢ検査ステージに未検査基板１０が搬入されているか否かが位置検出器（図示せず）により検知され、この検知信号がコントロール制御部３に送信される。この検知でＢ検査ステージに未検査基板１０が搬入されていなければ、次のステップＳ７２に進み、搬入されている場合はステップＳ８１のＣ検査ステージに進むことになる。尚、このステップＳ７１では、ステップＳ５４からの作業フロー以外に、Ａ検査ステージに未検査基板１０が搬入されている場合のステップＳ６１からの作業フローに連携されることになる。
【００５７】
ステップＳ７２では、搬入ドライブステーション部４０の駆動モータ４８をコントロール制御部３からの指令信号で駆動し、傘歯車４５、４６とボールネジ部４１、４２を介して、搬入部５０をＢ検査ステージに移動する。そして、次のステップＳ７３で搬入部５０の未検査基板１０を、Ｂ検査ステージの検査ステーションユニット７０にコンベア５１を介して、コントロール制御部３の指令信号による駆動モータ５２の駆動で搬入する。搬入後、搬入部５０は、ステップＳ５５でコントロール制御部３からの指令信号により搬入ドライブステーション部４０の駆動モータ４８を駆動し、元のイニシャル位置に戻される。そしてＢ検査ステージの検査ステーションユニット７０に搬入された未検査基板１０は、次のステップＳ７４で、検査が開始される。次のステップＳ７５からステップＳ６９までの作業フローはＡ検査ステージに係るものと同一なので説明を省略する。
【００５８】
ステップＳ８１では、検査ステーション６０のＣ検査ステージに未検査基板１０が搬入されているか否かが位置検出器（図示せず）により検知され、この検知信号がコントロール制御部３に送信される。この検知でＣ検査ステージに未検査基板１０が搬入されていなければ、次のステップＳ８２に進み、搬入されている場合はステップＳ９１のＣ検査ステージに進むことになる。尚、このステップＳ８１では、ステップＳ５４からの作業フロー以外に、Ｂ検査ステージに未検査基板１０が搬入されている場合のステップＳ７１からの作業フローに連携されることになる。
【００５９】
ステップＳ８２では、搬入ドライブステーション部４０の駆動モータ４８をコントロール制御部３からの指令信号で駆動し、傘歯車４５、４６とボールネジ部４１、４２を介して、搬入部５０をＣ検査ステージに移動する。そして、次のステップＳ８３で搬入部５０の未検査基板１０を、Ｃ検査ステージの検査ステーションユニット７０にコンベア５１を介して、コントロール制御部３の指令信号による駆動モータ５２の駆動で搬入する。搬入後、搬入部５０は、ステップＳ５５でコントロール制御部３からの指令信号により搬入ドライブステーション部４０の駆動モータ４８を駆動し、元のイニシャル位置に戻される。そしてＣ検査ステージの検査ステーションユニット７０に搬入された未検査基板１０は、次のステップＳ８４で、検査が開始される。次のステップＳ８５からステップＳ６９までの作業フローはＡ検査ステージに係るものと同一なので説明を省略する。
【００６０】
ステップＳ９１では、検査ステーション６０のＤ検査ステージに未検査基板１０が搬入されているか否かが位置検出器（図示せず）により検知され、この検知信号がコントロール制御部３に送信される。この検知でＤ検査ステージに未検査基板１０が搬入されていなければ、次のステップＳ９２に進み、搬入されている場合はステップＳ６１のＡ検査ステージに戻されることになる。尚、このステップＳ９１では、ステップＳ５４からの作業フロー以外に、Ｃ検査ステージに未検査基板１０が搬入されている場合のステップＳ８１からの作業フローに連携されることになる。
【００６１】
ステップＳ９２では、搬入ドライブステーション部４０の駆動モータ４８をコントロール制御部３からの指令信号で駆動し、傘歯車４５、４６とボールネジ部４１、４２を介して、搬入部５０をＤ検査ステージに移動する。そして、次のステップＳ９３で搬入部５０の未検査基板１０を、Ｄ検査ステージの検査ステーションユニット７０にコンベア５１を介して、コントロール制御部３の指令信号による駆動モータ５２の駆動で搬入する。搬入後、搬入部５０は、ステップＳ５５でコントロール制御部３からの指令信号により搬入ドライブステーション部４０の駆動モータ４８を駆動し、元のイニシャル位置に戻される。そしてＤ検査ステージの検査ステーションユニット７０に搬入された未検査基板１０は、次のステップＳ９４で、検査が開始される。次のステップＳ９５からステップＳ６９までの作業フローはＡ検査ステージに係るものと同一なので説明を省略する。
【００６２】
以上に述べた作業手順は、初期検査時のものであり、ステップＳ５４からステップＳ６１、ステップＳ７１、ステップＳ８１、ステップＳ９１へのそれぞれのステップへ進む順序は特定したものではなく、各検査ステージへの未検査基板１０の搬入の有無により、この未検査基板１０が搬入されていない検査ステージへステップＳ５４から優先して順次進むことになる。従って、ステップＳ６９、ステップＳ７９、ステップＳ８９、ステップＳ９９のそれぞれのステップからステップ７０へ進む順序は特定したものではなく、未検査基板１０の検査が完了した検査ステージラインから優先してステップ７０へ順次進むことになる。この工程手順はコントロール制御部３で処理された指令信号により行われる。
【００６３】
これにより、基板の検査装置では、１枚の基板の検査時間がラインタクトより複数倍相当の長い時間を必要とする場合においては、このラインタクトに対応させて、同じ複数倍の数に区分した検査ステージを上下方向に設けて、検査前工程からの未検査基板の自動搬入から検査後の既検査基板の後工程への自動搬出までの諸動作を、コントロール制御部に記憶させた手順に従って、制御コントロールすることにより、基板の搬入搬出が輻輳することなく、検査効率の向上と省人化が可能となり、さらにスペースの効率化と品質の向上を図ることができる。
【００６４】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る基板の検査装置について、図面を参照して説明する。
【００６５】
図６は本発明の第２の実施の形態に係る基板の検査装置を示す全体透視図、図７は本発明の第２の実施の形態に係る基板の検査装置の搬出待ちエリアユニット部の詳細図で、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は正面右側の側面断面図である。尚、図中の構成部品は本発明に係る主要な部材を主に示している。
【００６６】
本発明の第２の実施の形態に係る基板の検査装置１は、第１の実施の形態に係るものに対し、図６及び図７に示すように、検査ステーションユニット７０で良品と不良品とに識別区分された既検査基板１０を搬出待ちエリアユニット３０にストッパ３６ａを介して保持し、更に搬出待ちエリアユニット３０の下部面に不良品搬出ドライブ部１００を設け、不良品を不良品置場又は不良品搬送用コンベア部へ移動し、不良品処置も自動化するようにしたものである。従って、本発明の第２の実施の形態に係る基板の検査装置１の構成と検査装置１の作業手順は、第１の実施の形態に係るものに対し、既検査基板１０を良品と不良品とに識別区分して、後工程に搬送する搬出待ちエリアユニット３０が相違している以外は同一なのでその説明を省略し、搬出待ちエリアユニット３０部についてのみ説明する。
【００６７】
搬出待ちエリアユニット３０の下部面には、不良品搬出ドライブ部１００が連結されており、搬出待ちエリアユニット３０に装着されている既検査基板１０が良品の場合には、図７（ｂ）に示す右側の所定位置で、良品の既検査基板１０を後工程の良品搬出ライン３０Ｙに搬出し、不良品の場合には、搬出待ちエリアユニット３０を、コントロール制御部３の指令信号による不良品搬出ドライブ部１００のシリンダ１０１の駆動で、矢印Ｍ３に示すように左側に移動させる。そして不良品の既検査基板１０を後工程の不良品搬出ライン３０Ｎに搬出する。
【００６８】
搬出待ちエリアユニット３０は、図６及び図７に示すように、既検査基板１０を搬送するコンベア３１と、コンベア３１を駆動するモータ３２と、コンベア３１を保持するホイール３３，３４，３５と、既検査基板１０を停止させるストッパー３６ａを有するソレノイド３６ｂと、モータ３２を介して左右のコンベア３１を駆動連結する連結軸３９と、左右のコンベア３１を保持するユニット本体３７等より構成されている。この搬出待ちエリアユニット３０は搬出ドライブユニット９０からコンベア９１を介して搬出される良品と不良品とを識別区分した既検査基板１０をストッパー３６ａを介して保持した後、良品の既検査基板１０は後工程の良品搬出ライン３０Ｙに自動搬出し、不良品の既検査基板１０は、搬出待ちエリアユニット３０を矢印方向Ｍ３に移動させ、不良品搬出ライン３０Ｎに自動搬出するものである。この搬出はコントロール制御部３からの指令信号により、搬出待ちエリアユニット３０のストッパー３６ａを下げて既検査基板１０の停止を解除して行われる。
【００６９】
ユニット本体３７は、裏面に突起部を有する断面がＵ形状の箱型に金属材等で形成されたもので、左右のコンベア３１及びストッパー３６ａを有するソレノイド３６ｂ等を取付保持し、不良品搬出ドライブ部１００のスライド軸部１０４とシリンダ１０１の固定ボス部１０１ａに取付ホールドされている。このユニット本体３７には、左側面にコンベア３１を駆動するモータ３２とコンベア３１を回転保持するホイール用支持軸（図示せず）等が取付設置され、右側面にコンベア３１を回転保持するホイール用支持軸（図示せず）等が取付設置され、底面にソレノイド３６ｂがサポート（図示せず）を介して取付設置されている。又裏面の突起部３７ａには不良品搬出ドライブ部１００のスライド軸部１０４を挿入してスライドする勘合孔とシリンダ１０１の固定ボス部１０１ａに嵌め込まれて、取付ホールドされている突出部３７ｂが形成され、シリンダ１０１により、左右方向に移動される。
【００７０】
不良品搬出ドライブ部１００は、搬出待ちエリアユニット３０を左右方向に移動駆動するシリンダ１０１と、搬出待ちエリアユニット３０の移動をガイドするスライド軸部１０４と、シリンダ１０１とスライド軸部１０４を取付固定しているホルダー１０２等より構成されている。この不良品搬出ドライブ部１００は搬出待ちエリアユニット３０に装着されている既検査基板１０が不良品の場合に、コントロール制御部３の指令信号により不良品搬出ドライブ部１００に設けられたシリンダ１０１を駆動し、この搬出待ちエリアユニット３０を、矢印Ｍ３に示すように左側に移動させるものである。この移動した搬出待ちエリアユニット３０に装着されている不良品の既検査基板１０は不良品搬出ライン３０Ｎに自動搬出される。搬出後に、搬出待ちエリアユニット３０は、矢印方向Ｍ３とは逆の右方向に移動して戻される。又、不良品搬出ドライブ部１００は搬出待ちエリアユニット３０を連結ホールドした状態で、検査装置１の本体５に取付設置されている。
【００７１】
ホルダー１０２は、上部に突出壁１０２ａを有し、上部が開口した箱型形状に金属材等で形成されたもので、底部内面にはシリンダ１０１を取付固定するネジ孔（図示せず）が、上部突出壁１０２ａにはスライド軸部１０４を取付固定する取付孔（図示せず）が、右側面にはホルダー１０２を検査装置１の本体５に取付設置する取付孔（図示せず）がそれぞれ設けられている。このホルダー１０２はシリンダ１０１とスライド軸部１０４を取付固定して、搬出待ちエリアユニット３０のユニット本体３７の裏面突起部３７ａに設けられた勘合孔をスライド軸部１０４に挿入勘合し、ユニット本体３７の突出部３７ｂをシリンダ１０１の固定ボス部１０１ａに嵌め込み固定し、搬出待ちエリアユニット３０を連結するようにしたものである。そして、ホルダー１０２に取付固定したシリンダ１０１の駆動で、シリンダ１０１の固定ボス部１０１ａを左方向（矢印Ｍ３に示す方向）、又は逆の右方向へ移動させることにより、ユニット本体３７の突出部３７ｂが連動し、ユニット本体３７がスライド軸部１０４にガイドされながら移動する。
【００７２】
さらに、本第２の実施の形態に係わる検査装置１以外に、その他の実施の形態に係わるものとして、次のようなものもある。
【００７３】
まず、本第２の実施の形態に係わる検査装置１における搬出待ちエリアユニット３０は、搬出ドライブユニット９０から搬出された良品と不良品とを識別区分した既検査基板１０をストッパー３６ａを介して保持した後、それぞれを別ラインの後工程へ１本のコンベアにより自動搬出しているが、その他の実施の形態に係わるものとして、別ラインによる良品と不良品の自動搬出をそれぞれに行うのではなく、搬出待ちエリアユニット３０には、ストッパー３６ａを介して保持された基板１０が不良品として識別区分された場合、その不良品を作業者に知らせるためのランプ、ブザー等を設置し、不良品の知らせを受けた作業者が不良品を不良品置場等に載置することも可能である。
【００７４】
また、本第２の実施の形態に係わる検査装置１には、搬入待ちエリアユニット２０と搬出待ちエリアユニット３０とを設けているが、その他の実施の形態に係わるものとして、この搬入待ちエリアユニット２０と搬出待ちエリアユニット３０とを省き、作業員が未検査基板１０を搬入ドライブユニット５０へ直接搬送すると共に、検査ステーションユニット７０から搬出された良品と不良品とを識別区分した既検査基板１０を搬出ドライブユニット９０にストッパー３６ａを介して保持した後、既検査基板１０が不良品として識別区分された場合、ランプ、ブザー等による知らせを作業員が受けて、作業員が不良品を不良品置場等に手動で載置することも可能である。この搬入ドライブユニット５０には、作業開始前には常に元のイニシャル位置に戻される機能が設けられ、各種検査作業工程に対応して作業員が未検査基板１０をこの搬入ドライブユニット５０に載置後、搬入ドライブユニット５０に設けられたスイッチを操作して、作業を開始するようにしたものである。又、搬出ドライブユニット９０は、各検査ステージまで移動し、検査ステーションユニット７０から良品と不良品に識別区分された既検査基板１０を搬出した後、ラインタクトに対応して、常に元のイニシャル位置に戻る機能を有し、搬出した既検査基板１０が不良品の場合には作業者にその旨を知らせるためのランプ、ブザー等を設置するようにしたものである。
【００７５】
また、本第２の実施の形態に係わるものと同じように、搬出ドライブユニット９０に装着された既検査基板１０を良品と不良品とに識別区分して、それぞれ別ラインに直接シリンダ等で移動して、後工程へ１本のコンベアにより自動搬出するようにして、搬入待ちエリアユニット２０と搬出待ちエリアユニット３０とを省くことも可能である。上述のその他の実施の形態に係わるものにおける作業動作は、後述する本第２の実施の形態に係わる検査装置１の作業動作と、上記の内容以外は同一なのでその説明を省略する。
【００７６】
次に、本第２の実施の形態に係わる検査装置１における未検査基板１０の自動搬入から既検査基板１０の自動搬出までの作業動作は、本発明の第１の実施の形態に係るものに対し、図５に示すステップＳ７０において、搬出部９０から搬出待ちエリアユニット３０に搬出される既検査基板１０が良品と不良品とに識別区分され、良品の既検査基板１０はそのまま後工程の良品搬出ライン３０Ｙに自動搬出し、不良品の既検査基板１０は、コントロール制御部３の指令信号により不良品搬出ドライブ部１００に設けられたシリンダ１０１を駆動して搬出待ちエリアユニット３０を矢印方向Ｍ３に移動させ、不良品搬出ライン３０Ｎに自動搬出するようにしたもので、それ以外は同一なので説明を省略する。
【００７７】
これにより、基板の検査装置では、既検査基板を良品と不良品とに識別区分し、不良品搬出ドライブ部を設けて不良品の別ラインへの移動処置も自動化しているので、基板の良品と不良品の搬出が輻輳することなく、さらなる検査効率の向上と品質の向上を図ることができる。
【００７８】
次に、本発明の第３の実施の形態に係る基板の検査装置について、図面を参照して説明する。
【００７９】
図８は本発明の第３の実施の形態に係る基板の検査装置を示す全体透視図、図９は本発明の第３の実施の形態に係る基板の検査装置の搬出部の詳細図で、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は正面右側の側面断面図である。尚、図中の構成部品は本発明に係る主要な部材を主に示している。
【００８０】
本発明の第３の実施の形態に係る基板の検査装置１は、第１の実施の形態に係るものに対し、図８及び図９に示すように、搬出ドライブステーション部８０において、検査ステーション部６０から搬出された良品と不良品とに識別区分された既検査基板１０をストッパ３６ａを介して搬出ドライブユニット９０に保持し、既検査基板１０が不良品の場合には搬出ドライブステーション部８０の下部面に設けられた不良品搬出ドライブ部１１０により、搬出ドライブステーション部８０の本体８７を不良品搬送用コンベアライン部３０Ｎへ移動し、不良品の既検査基板１０を不良品搬送用コンベアライン部３０Ｎに搬出して不良品処置も自動化するようにしたものである。従って、本発明の第３の実施の形態に係る基板の検査装置１の構成と検査装置１の作業手順は、第１の実施の形態に係るものに対し、搬出待ちエリアユニット３０が省かれ、既検査基板１０を良品と不良品とに識別区分して搬出する搬出ドライブステーション部８０が相違している以外は同一なのでその説明を省略し、搬出ドライブステーション部８０についてのみ説明する。
【００８１】
搬出ドライブステーション部８０は、第１の実施の形態に係るものと同様に、複数カ所からなる検査ステージ（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）と対応した各位置に搬出ドライブユニット９０を、搬出ドライブステーション部８０に設けた駆動モータ８８を駆動して移動させた後、再び上段の元のイニシャル位置に戻すような機能を備えたもので、搬出ドライブユニット９０を装着保持している。そして、この搬出ドライブステーション部８０は、第１の実施の形態に係るものに対し、搬出ドライブステーション部８０の下部面には、不良品搬出ドライブ部１１０が連結されており、搬出ドライブユニット９０にストッパー３６ａを介して装着されている既検査基板１０が良品の場合には、右側の所定位置で、良品の既検査基板１０を後工程の良品搬出用コンベアライン部３０Ｙに搬出し、不良品の場合には、コントロール制御部３からの指令信号により不良品搬出ドライブ部１１０に設けられたシリンダ１１１を駆動して搬出ドライブステーション部８０を矢印Ｍ４に示すように左側に移動させるようにしたものである。そして不良品の既検査基板１０は後工程の不良品搬出用コンベアライン部３０Ｎに搬出している。
【００８２】
不良品搬出ドライブ部１１０は、図８及び図９に示すように、搬出ドライブステーション部８０の本体８７を移動駆動するシリンダ１１１と、シリンダ１１１の移動突出部１１１ａに嵌め込まれて設置された保持部１１３と、ストッパー１１４を有するソレノイド１１４ａと、スライドベアリング（又はガイドレール）１１５と、ベース部１１２等より構成されている。この不良品搬出ドライブ部１１０は、搬出ドライブステーション部８０の下部面に設けられ、検査ステーションユニット７０からコンベア６１を介して搬出ドライブユニット９０に搬出された既検査基板１０が不良品の場合に、搬出ドライブステーション部８０をコントロール制御部３からの指令信号によりシリンダ１１１を駆動して矢印方向Ｍ４に移動させ、不良品の既検査基板１０を不良品搬出用コンベアライン部３０Ｎに自動搬出するものである。この搬出は搬出ドライブユニット９０をコントロール制御部３からの指令信号により搬出ドライブステーション部８０に設けられた駆動モータ８８を駆動して上段の元のイニシャル位置に戻した後、搬出ドライブユニット９０のストッパー９６ａを下げて既検査基板１０の停止を解除して行われる。
【００８３】
保持部１１３は、先端に突出部１１３ａが設けられ、断面がコ字型に金属材等で形成されたもので、搬出ドライブステーション部８０の本体８７の底部右側面に取付固定されている。この保持部１１３はシリンダ１１１の移動突出部１１１ａに嵌め込まれて設置され、シリンダ１１１の移動突出部１１１ａの移動駆動に連動して搬出ドライブステーション部８０の本体８７を移動させるものである。
【００８４】
ベース部１１２は、箱型形状に金属材で形成されたもので、底面にシリンダ１１１を取付固定し、スライドベアリング１１５を介して搬出ドライブステーション部８０の本体８７を連結保持している。このベース部１１２はシリンダ１１１の移動駆動により、保持部１１３を介して搬出ドライブステーション部８０の本体８７をスライドベアリング１１５に沿って、移動させるものである。
【００８５】
次に、未検査基板１０の自動搬入から既検査基板１０の自動搬出までの作業動作は、本発明の第１の実施の形態に係るものに対し、図５に示すステップＳ６８において、検査ステーションユニット７０から搬出ドライブユニット９０に搬出された既検査基板１０を良品と不良品とに識別区分し、良品の既検査基板１０はそのまま後工程の良品搬出ライン３０Ｙに自動搬出し、不良品の既検査基板１０は、搬出ドライブステーション部８０を矢印方向Ｍ４に移動させ、不良品搬出ライン３０Ｎに自動搬出するようにしたもので、それ以外は同一なので説明を省略する。
【００８６】
これにより、基板の検査装置では、既検査基板を良品と不良品とに識別区分し、搬出ドライブステーション部に不良品搬出ドライブ部を設けて、搬出待ちエリアユニットを省いた状態で、不良品は直接不良品の別ラインへ搬出ドライブステーション部を移動処置し自動化しているので、基板の良品と不良品の搬出がより輻輳することなく、コスト削減と、さらなる検査効率の向上と品質の向上を図ることができる。
【００８７】
次に、本発明の第４の実施の形態に係る基板の検査装置について、図面を参照して説明する。
【００８８】
図１０は本発明の第４の実施の形態に係る基板の検査装置を示す全体透視図、図１１は本発明の第４の実施の形態に係る基板の検査装置を示す断面図で、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は正面右側の側面断面図である。尚、図中の構成部品は本発明に係る主要な部材を主に示している。
【００８９】
本発明の第４の実施の形態に係る基板の検査装置１は、第１の実施の形態に係るものに対し、図１０及び図１１に示すように、搬入ドライブユニット５０が複数カ所からなる各検査ステーションユニット７０へ移動し、未検査基板１０を検査ステーションユニット７０に搬入した後、元のイニシャル位置に戻る動作は、搬出ドライブユニット９０が複数カ所からなる各検査ステーションユニット７０へ移動し、既検査基板１０を検査ステーションユニット７０から搬出した後、元のイニシャル位置に戻る動作に対し、ラインタクトに対応させた同期が設定され、搬入ドライブユニット５０と搬出ドライブユニット９０とを一体化して、コントロール制御部３からの指令信号により移動させる駆動機構部１４０が設けられたものである。従って、第１の実施の形態に係るもの（搬入ドライブユニット５０と搬出ドライブユニット９０との上下移動をそれぞれ個別にコントロール制御部３からの指令信号によりコントロール制御する）の替わりに、駆動機構部１４０を設けて、搬入ドライブユニット５０と搬出ドライブユニット９０とを一体化して移動させるようにしている部分以外は同一なのでその説明を省略し、搬入ドライブユニット５０と搬出ドライブユニット９０を上下駆動する駆動機構部１４０についてのみ説明する。
【００９０】
駆動機構部１４０は、搬入ドライブユニット５０と搬出ドライブユニット９０とを取付固定して上下方向に一体として移動する駆動ホルダー１４３と、上下方向に移動するボールネジ部１４５，１４６と、傘歯車１５１，１５２と、駆動モータ１４９と、スライド軸１４７と、スライド軸１４７を取付固定する筐体１５４の上面部に取付設置されたホルダー１４１ａと筐体１５４の下部側面に取付設置されたホルダー１４１ｂと、ボールネジ部のネジ部１４６を保持するベアリング１４２ａ、１４２ｂと、筐体１５４等より構成されている。この駆動機構部１４０は搬入ドライブユニット５０のユニット本体１５３ａと搬出ドライブユニット９０のユニット本体１５３ｂとが取付固定された駆動ホルダー１４３を、コントロール制御部３からの指令信号による駆動モータ１４９の駆動で、傘歯車１５１，１５２とボールネジ部１４５，１４６を介して上下方向に移動し、検査ステーション部６０の各検査ステージ（Ａステージ，Ｂステージ，Ｃステージ，Ｄステージ）に対応した位置へ、搬入ドライブユニット５０と搬出ドライブユニット９０とを一体として移動させるものである。
【００９１】
駆動ホルダー１４３は、断面が凸型で直方体形状に金属材等で形成されたもので、左右両端部の左側端面には搬入ドライブユニット５０のユニット本体１５３ａと搬出ドライブユニット９０のユニット本体１５３ｂがそれぞれ取付固定されるネジ孔（図示せず）が設けられ、中央の凸部にはボールネジ部のボール部１４５を嵌め込み固定する孔とスライド軸１４７にガイドされる勘合孔がそれぞれ設けられている。この駆動ホルダー１４３は、コントロール制御部３からの指令信号による駆動モータ１４９の回転で、傘歯車１５１，１５２を介してボールネジ部のネジ部１４６が連動回転することにより、ボールネジ部のボール部１４５を介して、矢印Ｍ７に示すように上下移動する。この駆動ホルダー１４３の移動により、駆動ホルダー１４３に取付固定されている搬入ドライブユニット５０と搬出ドライブユニット９０とが一緒に矢印Ｍ７方向に移動することになる。
【００９２】
また、本第４の実施の形態に係わる検査装置１では、搬入ドライブユニット５０と搬出ドライブユニット９０とが一体として取付固定された駆動ホルダー１４３と、ボールネジ部１４５，１４６と、傘歯車１５１，１５２等を用いて、駆動モータ１４９で搬入ドライブユニット５０と搬出ドライブユニット９０とを一体に上下方向に移動駆動しているが、その他の実施の形態に係わるものとして、本発明の形態に係わる検査装置１で用いられた駆動モータ１４９と傘歯車１５１，１５２、及びボールネジ部１４５、１４６等による駆動機構の替わりに、シリンダによる上下駆動機構、又は油圧制御（又は空気圧制御）による上下駆動機構を用いて、搬入ドライブユニット５０と搬出ドライブユニット９０とを一体に取付固定した駆動ホルダーを移動駆動するようにしたものもある。
【００９３】
次に、未検査基板１０の自動搬入から既検査基板１０の自動搬出までの作業動作は、本発明の第１の実施の形態に係るものに対し、搬入ドライブユニット５０と搬出ドライブユニット９０とを同期させて制御コントロールされた動作が相違している以外は基本的に同一なので、搬入ドライブユニット５０と搬出ドライブユニット９０とを同期させて制御コントロールされた動作についてのみ、図５を参照して説明し、その他についてはその説明を省略する。
【００９４】
本発明の第４の実施の形態に係る検査装置１の検査ステーション６０では、搬入ドライブユニット５０と搬出ドライブユニット９０とを同期させて制御コントロールするようにしているので、搬入される未検査基板１０と搬出される既検査基板１０がそれぞれラインタクトに対応して、同時に処置される。即ち、所定の検査ステージの検査が完了し、既検査基板１０の搬出が行われると同時に、次の未検査基板１０がこの検査ステージに搬入されることになる。
【００９５】
図５に示すフローチャート図は、初期検査時の作業手順を示したもので、この作業手順が繰り返して継続される。尚、このフローチャートに示す作業手順の動作制御は、検査装置１に装着されたコントロール制御部３に記憶された手順に従って、制御コントロールされる。まず、基板検査装置１に設けられている操作制御盤２上の操作スイッチ４の操作でコントロール制御部３等を起動し、未検査基板１０の検査を開始する。
【００９６】
この動作は、図５に示すように、例えば、Ａ検査ステージにおいては、ステップＳ６２における搬入部５０のＡ検査ステージへの移動とステップＳ６６における搬出部９０のＡ検査ステージへの移動が同期して一緒に行われると共に、ステップＳ５５における搬入部５０のイニシャル位置へ戻される移動とステップＳ６８における搬出部９０のイニシャル位置へ戻される移動とが同期して一緒に行われるものである。そして、Ｂ検査ステージとＣ検査ステージ及びＤ検査ステージにおいても、Ａ検査ステージと同じように搬入部５０と搬出部９０は同期して移動処理されているので、その説明を省略する。
【００９７】
これにより、第１から第３の実施の形態に係るものに対し、搬入ドライブユニット５０と搬出ドライブユニット９０とを同期させて制御コントロールしているので、動作をより簡略化することによる検査効率の向上と、構造をより簡素化することによるコストの低減を図ることができる。
【００９８】
尚、以上説明した実施の形態では搬入部、搬出部はそれぞれ検査ステージの有無や検査の完了を検出してから移動させるようにしているが、これに限らず、検査ステージに基板が無くなることや検査が完了したことを予め予想して先に移動を始めるようにしても良い。
【００９９】
【発明の効果】
以上説明した様に、本発明によれば、検査がラインタクトより数倍の時間を要する場合、ラインタクトに対応させて、この数倍に相当する複数の検査ステージを上下方向に区分した検査ステーションを設けるようにしているため、基板の搬入搬出が輻輳することなく、検査効率の向上と省人化が可能となり、さらにスペースの効率化と品質の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る基板の検査装置を示す全体透視図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る基板の検査装置を示す断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る基板の検査装置の検査ステーション部の詳細断面図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る基板の検査装置の搬入部の詳細図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る基板検査装置の作業手順を示すフローチャート図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係る基板の検査装置を示す全体透視図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る基板の検査装置の搬出待ちエリアユニット部の詳細図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態に係る基板の検査装置を示す全体透視図である。
【図９】本発明の第３の実施の形態に係る基板の検査装置の搬出部の詳細図である。
【図１０】本発明の第４の実施の形態に係る基板の検査装置を示す全体透視図である。
【図１１】本発明の第４の実施の形態に係る基板の検査装置を示す断面図である。
【図１２】従来の基板の検査装置を示す透視図である。
【符号の説明】
１・・・検査装置
２・・・操作制御盤
３・・・コントロール制御部
４・・・操作スイッチ
５・・・検査装置本体
１０・・・基板
２０・・・搬入待ちエリアユニット
２１、３１、５１、６１・・・コンベア
２２、３２、５２、６２・・・モータ
２３、２４、２５、３３、３４、３５、５４、６３、６４・・・ホイール
２６ａ、３６ａ、５６ａ、６６ａ・・・ストッパー
２６ｂ、３６ｂ、５６ｂ、６６ｂ・・・ソレノイド
３０・・・搬出待ちエリアユニット
３７・・・ユニット本体
３９、５９、６９・・・連結軸
４０・・・搬入ドライブステーション部
４１、４３・・・ボールネジ部
４３・・・駆動ホルダー
４４・・・スライド軸
４５、４６，１５１，１５２・・・傘歯車
４７、５７、・・・本体
４８・・・駆動モータ
５０・・・搬入ドライブユニット
６０・・・検査ステーション部
６７・・・ホールダー
６８・・・シリンダ
７０・・・検査ステーションユニット
７１・・・検査治具
７２・・・ガイドピン
７３・・・アタッチメント
７４・・・ベース部
７５・・・ユニット本体
８０・・・搬出ドライブステーション部
９０・・・搬出ドライブユニット
１００、１１０・・・不良品搬出ドライブ部
１０１、１１１、１２１・・・シリンダ
１１０・・・不良品搬出ドライブ部
１１２・・・ベース部
１１４・・・ストッパー
１１４ａ、１２４・・・ソレノイド
１１５・・・スライドベアリング（又はガイドレール）
１４１ａ、１４３・・・ホルダー
１４０・・・駆動機構部
１４２・・・ベアリング
１４５，１４６・・・ボールネジ部
１４７・・・スライド軸
１４９・・・駆動モータ
【図１】
0004563552.tif 000002
【図２】
0004563552.tif 000003
【図３】
0004563552.tif 000004
【図４】
0004563552.tif 000005
【図５】
0004563552.tif 000006
【図６】
0004563552.tif 000007
【図７】
0004563552.tif 000008
【図８】
0004563552.tif 000009
【図９】
0004563552.tif 000010
【図１０】
0004563552.tif 000011
【図１１】
0004563552.tif 000012
【図１２】
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