(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性変形が可能なガラス板と、該ガラス板に第１の方向に間隔をおいて該第１の方向と交差する第２の方向へ伸びる状態に形成された複数の配線であってそれぞれの配線が被検査体の電極に接触される接触部を備える複数の配線とを含み、各配線の前記接触部は、各配線から突出する複数の突起電極を含み、各配線に設けられた前記突起電極は前記被検査体の前記電極の１つに接触可能であり、各配線において前記突起電極は該各配線からの突出量を異にし、各配線の前記突起電極は該突起電極が設けられた前記配線の長手方向に間隔を置いて配置されている、プローブシート。
【請求項２】
前記ガラス板には、複数のアライメントマークが形成されている、請求項１に記載のプローブシート。
【請求項３】
前記ガラス板は矩形の平面形状を有しており、前記配線は前記矩形の対向する一対の縁部の一方から他方へ伸びており、前記接触部は前記配線の一端部に形成されている、請求項１または２のいずれか１項に記載のプローブシート。
【請求項４】
前記ガラス板及び前記配線は透明である、請求項３に記載のプローブシート。
【請求項５】
前記接触部は前記ガラス板の一方の面に形成されており、プローブシートは、さらに、前記ガラス板の他方の面を覆う樹脂層を含む、請求項１から４のいずれか１項に記載のプローブシート。
【請求項６】
プローブシートと、該プローブシートが装着されたプローブホルダと、複数のテレビカメラとを含み、前記プローブシートは、弾性変形が可能なガラス板と、該ガラス板に第１の方向に間隔をおいて該第１の方向と交差する第２の方向へ伸びる状態に形成された複数の配線であってそれぞれの配線が被検査体の電極に接触される接触部を備える複数の配線と、前記第１の方向に間隔をおいて前記ガラス板に形成された複数のアライメントマークであって前記テレビカメラにより撮影されるアライメントマークとを含み、各配線の前記接触部は、各配線から突出する複数の突起電極を含み、各配線に設けられた前記突起電極は前記被検査体の前記電極の１つに接触可能であり、各配線において前記突起電極は該各配線からの突出量を異にし、各配線の前記突起電極は該突起電極が設けられた前記配線の長手方向に間隔を置いて配置されている、プローブ装置。
【請求項７】
前記ガラス板は矩形の平面形状を有しており、前記配線は前記矩形の対向する一対の縁部の一方から他方へ伸びており、前記接触部は前記配線の一端部に形成されており、前記プローブシートは前記接触部の部位を前記第２の方向における前記プローブホルダの一端部から突出させており、前記ガラス板及び前記配線は透明である、請求項６に記載のプローブ装置。
【請求項８】
前記プローブ装置は、さらに、前記接触部の配置箇所を被検査体の電極に向けて変位させる力を前記プローブシートに作用させる押圧機構を備える、請求項６又は７に記載のプローブ装置。
【請求項９】
さらに、前記プローブホルダが着脱可能に配置されたプローブベースと、前記第２の方向における一端部及び他端部を有するアームであって前記他端部が前記プローブベースの上側となる状態に及び前記第１の方向へ伸びる軸線の周りに枢軸運動可能に前記他端部において前記プローブベースに結合されたアームとを含み、前記押圧機構は前記アームの一端部に配置されている、請求項８に記載のプローブ装置。
【請求項１０】
さらに、前記プローブホルダに配置されたタブであって前記プローブシートの配線に接続された集積回路を備えるタブと、前記集積回路を介して前記プローブシートの配線に接続された複数の第２の配線を備えるフラットケーブルとを含む、請求項６から９のいずれか１項に記載のプローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネル、集積回路等の平板状被検査体の検査に用いるプローブシート及びプローブ装置に関し、特に液晶パネルの検査に好適なプローブシート及びプローブ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
集積回路、液晶パネル等の平板状被検査体は、一般に、プローブカードのようなプローブ装置を用いて検査される。この種のプローブ装置の１つとして、互いに平行に伸びる複数の配線を電気絶縁性のフィルム又はガラス板の一方の面に形成し、各配線の一部を被検査体の電極への接触部として利用するプローブシートを用いるものがある。そのようなプローブシートは、平坦であることから、面プローブとも称されている。
【０００３】
プローブシートを用いたプローブ装置は、金属細線から形成されたプローブを用いたニードルタイプのプローブ装置や、ブレード状のプローブを用いたブレードタイプのプローブ装置に比べ、針立て作業が不要であることから、製作が容易で、廉価になる。
【０００４】
プローブシートを用いたプローブ装置は、種々提案され、実用に供されている。そのようなプローブ装置は、一般に、１以上のプローブシートを基板に組み付けている。また、被検査体の大きさ、被検査体の電極数、電極の配置ピッチ等は被検査体の種類に応じて異なることから、被検査体の種類に応じたプローブ装置が検査装置に組み付けられる。
【０００５】
【解決しようとする課題】
しかし、従来のプローブ装置では、プローブ装置が検査装置に正しく組み付けられていない場合や、プローブ装置又はプローブシートが熱伸縮をした場合に、検査装置に対するプローブ要素（特に、接触部）の座標位置が不正確になり、その結果プローブ要素が被検査体の電極に正しく接触せず、正しい検査（試験）をすることができない。
【０００６】
プローブシート及びこれを用いたプローブ装置においては、検査装置に対する接触部の位置を容易に調整し得ることが重要である。
【０００７】
本発明に係るプローブシートは、弾性変形が可能なガラス板と、該ガラス板に第１の方向に間隔をおいて該第1の方向と交差する第２の方向へ伸びる状態に形成された複数の配線であってそれぞれの配線が被検査体の電極に接触される接触部を備える複数の配線を含み、各配線の前記接触部は、各配線から突出する複数の突起電極を含み、各配線に設けられた前記突起電極は前記被検査体の前記電極の１つに接触可能であり、各配線において前記突起電極は該各配線からの突出量を異にし、各配線の前記突起電極は該突起電極が設けられた前記配線の長手方向に間隔を置いて配置されている。前記ガラス板に複数のアライメントマークを設けることができる。
【０００８】
本発明に係るプローブ装置は、プローブシートと、該プローブシートが装着されたプローブホルダと、複数のテレビカメラとを含み、前記プローブシートは、弾性変形が可能なガラス板と、該ガラス板に第１の方向に間隔をおいて該第1の方向と交差する第２の方向へ伸びる状態に形成された複数の配線であってそれぞれの配線が被検査体の電極に接触される接触部を備える複数の配線と、前記第１の方向に間隔をおいて前記ガラス板に形成された複数のアライメントマークであって前記テレビカメラにより撮影されるアライメントマークとを含み、各配線に設けられた前記突起電極は前記被検査体の前記電極の１つに接触可能であり、各配線において前記突起電極は該各配線からの突出量を異にし、各配線の前記突起電極は該突起電極が設けられた前記配線の長手方向に間隔を置いて配置されている。
【０００９】
アライメントマークは、プローブシートを用いたプローブ装置が検査装置に組み付けられた状態において、プローブ装置のテレビカメラにより撮影される。検査装置上におけるアライメントマークの座標位置は、テレビカメラの出力信号を用いて求められる。求めた座標位置は、検査用ソフトウエアにおける座標位置の調整に用いられる。これにより、検査装置に対する接触部の位置が調整される。
【００１０】
上記のように、本発明によれば、シート状部材としてガラス板を用い、複数のアライメントマークをガラス板に第１の方向に間隔をおいて形成したから、検査装置に対する接触部の位置を容易に調整することができる。
【００１２】
前記接触部は、前記配線から突出する複数の突起電極であって前記配線からの突出量が異なる複数の突起電極を含むことから、突出量の大きい突起電極に摩耗が生じると、突出量の小さい突起電極が被検査体の電極に接触するようになるから、プローブシートあるいはプローブ装置の寿命が長くなる。
【００１３】
各配線の前記突起電極は対応する配線の長手方向に間隔をおいていることができる。そのようにすれば、突出量の大きい突起電極に摩耗が生じると、突出量の小さい突起電極が被検査体の電極に確実に接触する。
【００１４】
前記接触部は前記ガラス板の一方の面に形成されており、プローブシートは、さらに、前記ガラス板の他方の面を覆う樹脂層を含むことができる。そのようにすれば、ガラス板が樹脂層により補強される。
【００１５】
前記ガラス板が矩形の平面形状を有しており、前記配線が前記矩形の対向する一対の縁部の一方から他方へ伸びており、前記接触部は前記配線の一端部に形成されており、前記プローブシートは前記接触部の部位を前記第２の方向における前記プローブホルダの一端部から突出させており、前記ガラス板及び前記配線を透明とすることができる。そのようにすれば、プローブホルダからのプローブシートの突出領域を介してプローブシートの配線と被検査体の電極との位置関係を確認することができる。
【００１６】
プローブ装置は、さらに、前記接触部の配置箇所を被検査体の電極に向けて変位させる力を前記プローブシートに作用させる押圧機構を備えることができる。そのようにすれば、プローブシートの接触部と被検査体の電極とが相対的に押圧されたとき、プローブシートの接触部の配置領域がその後方の領域に対し大きく曲げられることが防止される。
【００１７】
プローブ装置は、さらに、前記プローブホルダが着脱可能に配置されたプローブベースと、前記第２の方向における一端部及び他端部を有するアームであって前記他端部が前記プローブベースの上側となる状態に及び前記第１の方向へ伸びる軸線の周りに枢軸運動可能に前記他端部において前記プローブベースに結合されたアームを含み、前記押圧機構は前記アームの一端部に配置されていることができる。そのようにすれば、プローブベースに対するプローブホルダの着脱時、アームをプローブホルダの着脱の妨げにならない位置に変位させることができる。
【００１８】
プローブ装置は、さらに、前記プローブホルダに配置されたタブであって前記プローブシートの配線に接続された集積回路を備えるタブと、前記集積回路を介して前記プローブシートの配線に接続された複数の第２の配線を備えるフラットケーブルとを含むことができる。そのようにすれば、プローブシートが配線をガラス板に形成していることとあいまって、タブとフラットケーブルとを熱圧着することができるのみならず、プローブシートとタブとを熱圧着することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１から図６を参照するに、プローブ装置１０は、一部を図３及び図４に示す液晶パネル１２の検査装置、特に点灯すなわち通電検査装置にプローブユニットとして用いられる。本発明においては、液晶パネル１２側を前方といい、それと反対側を後方という。
【００２０】
液晶パネル１２は、長方形の形状をしており、また帯状をした複数の電極１４（図３及び図６参照）を長方形の１以上の辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。このため、検査装置は、電極が設けられた液晶パネル１２の縁部毎に図示のような１以上のプローブ装置１０を備えている。液晶パネル１２は、また、十字状のアライメントマーク１６（図５参照）を電極の配列方向（第1の方向）における各端部に有する。
【００２１】
プローブ装置１０は、プローブブロック２０を含む。プローブブロック２０は、図示の例では、プローブシート２２と、プローブシート２２に接続された複数の第１の接続シート２４と、各第１の接続シート２４に接続された第２の接続シート２６と、それらシート２２，２４及び２６が装着されたプローブホルダ２８とにより形成されている。
【００２２】
プローブシート２２は、左右方向（第１の方向）に間隔をおいて前後方向（第２の方向）へ伸びる複数の配線３０を印刷配線技術によりガラス板３２の一方の面に形成したフィルム状プローブユニット（面プローブ）である。プローブシート２２は、平面的にみて配線３０の配列方向（第１の方向）に長い長方形の形状を有する。図示の例では、液晶パネル１２の１つの縁部に設けられた電極の数と同数の配線３０がガラス板３２に形成されている。
【００２３】
各配線３０は、帯状の形をしており、またガラス板３２の幅方向（前後方向＝第２の方向）における一端（前端）から他端（後端）まで伸びている。配線３０の配列ピッチは、液晶パネル１２の電極の配列ピッチと同じである。各配線３０は、インジウムとすずとの合金酸化膜（ＩＴＯ）のような透明電極とすることができる。配線３０は、第１の接続シート２４に対応された複数の配線群に分けられており、配線群毎に対応する第１の接続シート２４に接続されている。
【００２４】
プローブシート２２は、また、第２の方向に間隔をおいた複数の接触子３４を各配線３０の前端部に有する。各接触子３４は、ニッケルのような導電性金属材料から形成されており、また図示の例では角錐状の突起電極である。各配線３０からの接触子３４の突出高さは、図６に示すように互いに異なる。
【００２５】
ガラス板３２は、液晶パネル１４のガラス基板と同様に、透明な強化ガラスから形成されており、また他方の面をポリイミドのような透明の樹脂層３６により覆われている。この樹脂層３６により、ガラス板３２の破損が防止され、プローブシート２２が補強されている。
【００２６】
ガラス板３２は、十字状をしたアライメントマーク３８を長手方向（第１の方向）の各端部に有する。アライメントマーク３８は、後に説明するテレビカメラ４０（図５参照）により撮影可能である。液晶パネル１２に設けられたアライメントマーク１６も、テレビカメラ４０により撮影可能である。
【００２７】
第１の接続シート２４は、帯状をした複数の配線４２及び４４を印刷配線技術によりポリイミドのような電気絶縁性フィルム４６の一方の面に形成したタブ（ＴＡＢ＝テープ自動化実装）であり、また配線４２，４４に電気的に接続された駆動用集積回路４８を一方の面に有する。
【００２８】
各第１の接続シート２４の各配線４２は、プローブシート２２の配線３０に一対一の形に対応されており、対応する配線３０の後端部に電気的に接続されている。集積回路４８は、液晶パネル１２の駆動に用いられ、駆動用制御信号を配線４４から受けて、駆動信号を配線４２に出力する。プローブシート２２と第１の接続シート２４とは、加熱圧着、接着等の適宜な手法により接合することができる。
【００２９】
第２の接続シート２６は、帯状をした複数の配線５０を印刷配線技術によりポリイミドのような電気絶縁性フィルム５２の一方の面に形成したフレキシブル印刷配線板（ＦＰＣ）又はフラットケーブル（ＦＦＣ）である。各第２の接続シート２６の各配線５０は、第１の接続シート２４の配線４４に一対一の形に対応されており、対応する配線４４の後端部に電気的に接続されている。第１及び第２の接続シート２４及び２６も、加熱圧着、接着等の適宜な手法により接合することができる。
【００３０】
プローブホルダ２８は、プローブシート２２の長手方向（第１の方向）に長い厚板状のブロックであり、電気絶縁材料から形成されている。シート２２，２４，２６は、プローブホルダ２８の下面に配置されて、接着、ねじ止め等の適宜な手法によりプローブホルダ２８に装着されている。
【００３１】
プローブシート２２は、接触子３４の配置領域がプローブホルダ２８から液晶パネル１２側（前方）に突出し、アライメントマーク３８の形成箇所がプローブホルダ２８から第１の方向に突出し、樹脂層３６がプローブホルダ２８側となる状態に、プローブホルダ２８に装着されている。
【００３２】
第１の接続シート２４は、配線４２，４４及び集積回路４８がプローブホルダ２８側下側となる状態に、フィルム４６においてプローブホルダ２８に装着されている。第２の接続シート２６は、フィルム５２がプローブホルダ２８側となる状態に、フィルム５２においてプローブホルダ２８に装着されている。配線３０，４２の電気的接続及び配線４４,５０の電気的接続は、配線同士を直接接触させることにより行ってもよいし、導電性部材を介して行ってもよい。
【００３３】
各配線３０の前端部、その前端部に対応するガラス板３２の部位及び接触子３４は、プローブ要素として作用する。したがって、プローブシート２２の前端部、特に接触子３４が形成された領域は、プローブ領域として作用し、またプローブホルダ２８から前方へ突出されている。
【００３４】
プローブホルダ２８は、複数のねじ部材５４（図３参照）により板状のプローブベース５６の下面に組み付けられている。プローブベース５６は、検査装置のフレーム（図示せず）に組み付けられる。
【００３５】
プローブ装置１０は、また、プローブベース５６に連結されたアーム５８と、アーム５８の前端部に配置されてプローブシート２２の前端部を下方へ押する押圧機構６０と、押圧機構６０がプローブシート２２を押圧している状態に解除可能にアーム５８を維持する複数のねじ部材６２とを含む。プローブシート２２の前端部は押圧機構６０からさらに前方へ突出されている。
【００３６】
アーム５８は、プローブシート２２の幅方向（第２の方向）における一端部（前部）及び他端部（後部）によりほぼへ字状の形をしており、また第１の方向へ伸びる枢軸６４と第１の方向へ間隔をおいた一対のブラケット６６とにより他端部においてプローブベース５６に結合されている。
【００３７】
アーム５８の一端部はプローブホルダ２８及びプローブベース５６の前側を斜め上下方向へ伸びており、またアーム５８の他端部はプローブベース５６の上側に位置している。ブラケット６６は、プローブベース５６に設けられている。ねじ部材６２は、プローブベース５６に形成されたねじ穴に螺合されている。
【００３８】
図３及び図４に示すように、押圧機構６０は、アーム５８の前端部下側に配置された角柱状のベース部材６８と、アーム５８の前端部を上下方向に貫通してベース部材６８に螺合する１以上の調整ねじ７０と、アーム５８とベース部材６８との間に配置されてベース部材６８をアーム５８に対し下方へ付勢する一対以上の第１の弾性体７２と、ベース部材６８の下面に配置されてプローブシート２２の前端部上面に接触する第２の弾性体７４と、調整ねじ７０を間にして左右方向に間隔をおいて上下方向へ伸びる一対以上のガイドピン７６とを備える。
【００３９】
図示の例では、３つの調整ねじ７０と、三対の第１の弾性体７２と、三対のガイドピン７６とが備えられている。第１の弾性体７２は、ガイドピン７６毎に備えられている。調整ねじ７０は、接触子３４が電極１４に押圧されない状態において、プローブシート２２を変形させないように、調整されている。
【００４０】
ベース部材６８は、第１の方向へ伸びており、また調整ねじ７０及びガイドピン７６によりアーム５８に上下方向へ移動可能に組み付けられている。ガイドピン７６は、アーム５８及びベース部材６８のいずれか一方に支持されていると共にアーム５８及びベース部材６８の他方に上下方向へ相対的移動可能に受け入れられており、また第１の弾性体７２を貫通して伸びている。
【００４１】
第１の弾性体７２は、図示の例では圧縮コイルばねであるが、ゴムのような他の部材であってもよい。第２の弾性体７４は、シリコーンゴムのような弾性材料により厚い板状に形成されており、またベース部材６８に第１の方向へ伸びる状態に組み付けられている。
【００４２】
図５に示すように、アライメントマーク１６，３８は、プローブ装置１０と液晶基板１２との位置関係が正し場合に一致する位置に形成されている。アライメントマーク１６と電極１４とは、それらが所定の位置関係を有するように、形成されている。同様に、アライメントマーク３８と配線３０（特に、接触子３４）とは、それらが所定の位置関係を有するように、形成されている。
【００４３】
図５に示すように、テレビカメラ４０は、アライメントマーク１６，３８の対毎に備えられており、また鏡筒８０を介してアライメントマーク１６，３８を選択的に又は同時に撮影するように、プローブベース５６に配置されている。
【００４４】
プローブシート２２は、プローブホルダ２８に装着された状態において、アライメントマーク３８がプローブホルダ２８及び押圧機構６０により隠蔽されないように、アライメントマーク３８の位置をプローブホルダ２８及び押圧機構６０から第１の方向に突出させており、また前端部を押圧機構６０から前方に突出させている。
【００４５】
検査に先立って、プローブ装置１０とこれを用いる検査装置とのアライメントが行われる。このアライメントは、例えば、先ずプローブ装置１０が検査装置に組み付けられた状態において、プローブシート２２のアライメントマーク３８をテレビカメラ４０により撮影し、次いでテレビカメラ４０の出力信号を基に検査装置上におけるアライメントマーク３８の座標位置を求め、次いで求めた座標位置を基に検査用ソフトウエアにおけるアライメントマーク３８の座標位置調整又は変更することにより、行うことができる。これにより、検査用ソフトウエアにおける検査装置に対する接触子３４の座標位置が見かけ上修正される。
【００４６】
そのような検査用ソフトウエア上におけるアライメントは、検査装置に組み付けるプローブ装置１０を交換したとき、一定期間毎、液晶パネルの検査毎等、所定の機会に行われる。しかし、検査装置に対する接触子３４の位置は、上記のようにアライメントマーク３８を利用して、容易に調整することができる。
【００４７】
また、液晶パネル１２の実際の検査に先立って、プローブ装置１０に対する液晶パネル１２のアライメントが行われる。このアライメントは、アライメントマーク１６，３８を交互に撮影しつつ、アライメントマーク１６，３８の位置がテレビカメラ４０により撮影した画像内において一致するように、液晶パネル１２をプローブシート２２に対して二次元的に移動させことにより、行うことができる。このアライメントは、液晶基板１２を交換するたびに行われる。
【００４８】
検査時、先ずプローブ装置１０と液晶パネル１２とが相寄る方向へ相対的に移動される。これにより、図６（Ａ）に示すように、１以上の接触子３４が液晶パネル１２の電極１４に接触される。この時点においては、プローブシート２２は液晶パネル１２に対しわずかに傾いており、１又はそれ以上の接触子３４は電極に接触していない。しかし、接触子３４が配線３０の下方から突出しているから、接触子３４は電極１４に接触するが，配線３０は電極に接触しない。
【００４９】
次いで、プローブ装置１０と液晶パネル１２とがさらに相寄る方向へ相対的に移動される。これにより、図６（Ｂ）に示すように、プローブシート２２の上方への湾曲が押圧機構６０により阻止された状態で、オーバードライブがプローブシート２２の先端部すなわちプローブ領域に作用するから、プローブシート２２が弾性体７２の力に抗してわずかに弾性変形し、１以上の接触子３４が電極１４に押圧される。
【００５０】
プローブシート２２の接触子３４が液晶パネル１２の電極１４に押圧されたとき、アーム５８及び押圧機構６０は、プローブシート２２の前端部（接触子３４の配置領域）がその後方の領域に対し大きく曲げられることを防止する。また、プローブシート２２の接触子３４が液晶パネル１２の電極１４に押圧されたとき、弾性体７４が弾性変形するから、接触子３４と電極１４との間の接触圧（針圧）が大きくなる。
【００５１】
プローブシート２２がオーバードライブにより湾曲されると、１以上の接触子３４は電極１４に接触している状態で電極１４に対し滑る。これにより、電極１４の表面の酸化膜が掻き取られ、電極１４と接触子３４との間の電気的接続状態が良好になる。
【００５２】
プローブ装置１０と液晶パネル１２とを相寄る方向へ相対的に移動させるとき、プローブシート２２の突出領域を介してプローブシート２２の配線３０と液晶パネル１２の電極１４との位置関係を肉眼で又は適宜なテレビカメラを用いて確認することができる。
【００５３】
上記の状態で各配線３０に通電されて、液晶パネル１２の検査が行われる。検査が終了すると、プローブ装置１０と液晶パネル１２との相対的な押圧が解除され、これによりプローブシート２２の前端部は元の形状に戻る。
【００５４】
液晶パネル１２の検査を繰り返すと、図６（Ｃ）に示すように、配線３０からの突出量の大きい接触子３４が摩耗し、配線３０からの突出量の小さい接触子３４が配線３０に接触し始める。このため、いずれかの接触子３４が電極１４に確実に接触し、プローブシート２２の寿命が長くなる。
【００５５】
配線３０、ガラス板３２及び樹脂層３６が透明であると、液晶パネル１２をプローブシート２２に対し位置決めるとき、プローブシート２２の配線３０と液晶パネル１２の電極１４との位置関係を、プローブホルダ２８及び押圧機構６０から前方へ突出するプローブシート２２の前端部を通して確認することができる。また、液晶パネル１２のアライメントマーク１６を、プローブホルダ２８及び押圧機構６０から第１の方向へ突出するプローブシート２２の領域を通して確認することができるし、テレビカメラ４０により撮影することができる。
【００５６】
プローブブロック２０をプローブベース５６から外すときは、先ずねじ部材６２がプローブベース５６から外され、次いでねじ部材５４の頭部が上方に露出する位置までアーム５８が立ち上げられ、次いで、プローブブロック２０がプローブブロック２０から取り去られる。
【００５７】
プローブブロック２０をプローブベース５６に装着するときは、プローブブロック２０が上記のようにプローブベース５６から外され、次いでねじ部材５４が新たなプローブブロック２０にねじ込まれ、次いでアーム５８が下げられ、ねじ部材６２がプローブベース５６にねじ込まれる。
【００５８】
プローブブロック２０が新たにプローブベース５６に装着された状態において、押圧機構６０の弾性体７４は、プローブシート２２の先端部に当接しており、また押圧機構６０によるプローブシート２２の押圧力が調整ねじ７０により調整調整される。その後、新たなプローブブロック２０のアライメントマーク３８を利用するアライメントが行われる。
【００５９】
上記のようにねじ部材５４，６２の締め緩めをすることにより、プローブブロック２０をプローブベース５６に対し着脱することができると、プローブベース５６へのプローブブロック２０の着脱作業が容易になる。また、アーム５８を上げた状態で、プローブベース５６に対するプローブブロック２０の着脱作業を行うことができると、アーム５８及び押圧機構６０はプローブブロック２０の着脱の妨げにならない。
【００６０】
図７に示すように、複数のプローブ要素からなるプローブ要素群（プローブ領域）を区画するスリット７８をガラス板３２及び樹脂層３６に形成してもよい。また、接触子３４は、半球状、短い円柱状、短い多角柱状、直方体状、リング状等、他の形状を有する電極であってもよい。
【００６１】
図１に示す実施例においては、プローブシート２２は、隣り合うプローブ要素が分離されていないから、プローブ領域が変形する際、プローブ要素の左右方向への変位を弾性体７４により阻止される。
【００６２】
これに対し、図７に示す実施例においては、隣り合うプローブ領域がスリット７８により分離されているから、プローブシート２２のプローブ領域が弾性変形するとき、隣り合うプローブ領域が独立して変形する。この際、各プローブ要素は、弾性体７４の対応する箇所を圧縮変形させつつ、弾性変形するから、プローブ要素の第１の方向への変位を、隣り合うプローブ要素の先端が切り離されていないことと相まって、弾性体７４により阻止される。
【００６３】
上記の実施例においては、プローブシート２２が液晶パネル１２の１つの縁部に形成された電極１４と同数の配線３０を有するから、検査装置は、電極１４が設けられた液晶パネル１２の各縁部に１つのプローブ装置１０が配置される。
【００６４】
しかし、液晶パネル１２の１つの縁部に形成された電極１４の数より少ない複数の配線（例えば、１つの第１の接続シート２４に接続された配線）を備えるプローブシートとし、そのようなプローブシートを用いた複数のプローブ装置１０を電極１４が設けられた液晶パネル１２の縁部に配置してもよい。この場合、複数のプローブ装置１０は、図８に示すように、共通のプローブベース５６に装着することができる。
【００６５】
第１及び第２の方向におけるプローブブロック２０とプローブベース５６とを機械的に位置決めるストッパ及びこれが当接するストッパ面をプローブブロック２０及びプローブベース５６に設けておくことが好ましい。
【００６６】
また、プローブシート２２の前端部を上記実施例のように押圧機構６０から前方へ突出させるならば、上記したように、プローブシート２２の配線３０と液晶パネル１２の電極１４との位置関係をプローブシート２２の前端部を通して確認することができる、という利点を得ることができる。しかし、プローブシート２２の前端部をそのように突出させなくてもよい。
【００６７】
ガラスは、ポリイミドのような合成樹脂製のフィルムに比べ、温度変化、経時変化、環境変化等による寸法変化が著しく小さい。そのようなガラス板３２を用いたプローブシート２２は、配線の配列ピッチ、アライメントマークと配線との相対的位置関係等、各種の寸法が長期間安定である。また、プローブシート２２と接続シート２４とを加熱圧着により接合しても、それによる寸法変化はほとんど生じない。
【００６８】
本発明は、液晶パネルの検査装置に用いるプローブシート及びプローブ装置に適用すると、ガラス板３２として、液晶パネル１２のガラス基板と同じ材質で同じ性状を有するガラス板とすることにより、温度変化のような環境変化に対する変形量が液晶パネル１２のガラス基板とガラス板３２とで同じになる、という利点を有し、好適である。しかし、本発明は、集積回路のような他の平板状被検査体の検査に用いるプローブシート及びプローブ装置にも適用することができる。
【００６９】
本発明は、水平に配置された被検査体用のプローブシート及びプローブ装置のみならず、斜めに傾斜された被検査体用のプローブシート及びプローブ装置にも適用することができる。後者の場合、上下方向は斜めの方向となる。
【００７０】
本発明は、上記実施例に限定されない。本発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るプローブシートの一実施例を示す斜視図
【図２】図１に示すプローブシートの一部を詳細に示す平面図
【図３】本発明に係るプローブ装置の一実施例を示す断面図
【図４】図３に示すプローブ装置の斜視図
【図５】図３に示すプローブ装置の一部を詳細に示す斜視図
【図６】プローブシートの作用を説明するための図
【図７】プローブシートの他の実施例を示す斜視図
【図８】プローブ装置の他の実施例を示す図
【符号の説明】
１０  プローブ装置
１２  液晶パネル
１４  液晶パネルの電極
１６  液晶パネルのアライメントマーク
２０  プローブブロック
２２  プローブシート
２４  第１の接続シート（タブ）
２６  第２の接続シート（ＦＰＣ）
２８  プローブホルダ
３０  プローブシートの配線
３２  プローブシートのガラス板
３４  接触子（突起電極）
３６  樹脂層
３８  プローブシートのアライメントマーク
４０  テレビカメラ
４２，４４，５０  接続シートの配線
４６，５２  接続シートのフィルム
４８  駆動用集積回路
５６  プローブベース
５８  アーム
６０  押圧機構
６８  ベース部材
７０  調整ねじ
７２，７４  弾性体
７６  ガイドピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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