(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも下記一般式（１）
【化１】
0004421698.tif 000010
（式中、Ｒ１〜Ｒ４のうち少なくとも一つが、酸により分解する基を含む置換基であり、その他は水素、炭素数１〜２０のアルキル基、ハロゲン、炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数６〜２０のアリールカルボニルオキシ基、炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ基、炭素数６〜２０のアリールスルホニルオキシ基、カルボキシ基、ヒドロキシ基、炭素数２〜２０のカルボキシアルキル基、または炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基から選ばれ、Ｘ１は−Ｏ−または−ＣＨ２−から選ばれ、同一でも異なってもよい。ｍは０または１〜３の整数を表す。）で表される構造単位（Ａ）と
下記一般式（２）
【化２】
0004421698.tif 000011
（式中、Ｒ６〜Ｒ９のうち少なくとも一つが、カルボキシ、ヒドロキシを含む置換基であり、その他は水素、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素数１〜２０のアルキル基、ハロゲン、炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基、炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数６〜２０のアリールカルボニルオキシ基、炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ基、または炭素数６〜２０のアリールスルホニルオキシ基から選ばれ、Ｘ２は−Ｏ−または−ＣＨ２−から選ばれ、同一でも異なってもよい。ｎは０または１〜３の整数を表す。）で表される構造単位（Ｂ）と
下記一般式（３）
【化３】
0004421698.tif 000012
（式中、Ｒ１１〜Ｒ１４の少なくとも１つがシアノまたはラクトニルオキシカルボニルを含む置換基であり、その他は水素、カルボキシ基、ヒドロキシ基、炭素数２〜２０のカルボキシアルキル基、または炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル基、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素数１〜２０のアルキル基、ハロゲン、または炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基から選ばれ、Ｘ３は−Ｏ−または−ＣＨ２−から選ばれ、同一でも異なってもよい。ｌは０または１〜３の整数を表す。）で表される構造単位（Ｃ）から構成され、
その構成モル比（Ａ）／（Ｂ）が１／９９〜９９／１および構成モル比（Ｂ）／（Ｃ）が３０／７０〜１００／０であり、一般式（１）で表される構造単位（Ａ）のＸ１、一般式（２）で表される構成単位（Ｂ）のＸ２、および一般式（３）で表される構成単位（Ｃ）のＸ３のうち少なくとも１つが−Ｏ−であり、構成モル比（Ｂ）／（Ｃ）が１００／０の場合、Ｘ１とＸ２の少なくとも１つが−Ｏ−であり、かつ重量平均分子量Ｍｗと数平均分子量Ｍｎとの比（Ｍｗ／Ｍｎ）が１．０〜２．０であることを特徴とする開環メタセシス重合体の水素添加物。
【請求項２】
一般式（２）で表される構造単位（Ｂ）と一般式（３）で表される構成単位（Ｃ）の構成モル比（Ｂ）／（Ｃ）が１００／０である請求項１記載の開環メタセシス重合体の水素添加物。
【請求項３】
一般式（１）で表される構造単位（Ａ）が２種以上で構成され、および／または、一般式（２）で表される構成単位（Ｂ）が２種以上で構成され、および／または、一般式（３）で表される構成単位（Ｃ）が２種以上で構成されることを特徴とする請求項１記載の開環メタセシス重合体の水素添加物。
【請求項４】
一般式（１）のＲ１〜Ｒ４のうち少なくとも一つとして選ばれる酸により分解する基を含む置換基がtert−ブトキシカルボニルまたはテトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルである請求項１記載の開環メタセシス重合体の水素添加物。
【請求項５】
一般式（３）のＲ１１〜Ｒ１４のうち少なくとも一つとして選ばれるラクトニルオキシカルボニルを含む置換基がγ−ブチロラクトニル−２−オキシカルボニルまたはδ−バレロラクトニル−２−オキシカルボキシである請求項１記載の開環メタセシス重合体の水素添加物。
【請求項６】
ＧＰＣで測定したポリスチレン換算の数平均分子量が５００〜１００，０００である請求項１記載の開環メタセシス重合体の水素添加物。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の開環メタセシス重合体の水素添加物からなるフォトレジスト用ベースポリマー。
【請求項８】
一般式（４）で表される少なくとも１種類の環状オレフィン系単量体、または一般式（４）と一般式（５）で表される少なくとも２種類の環状オレフィン系単量体、または一般式（４）、一般式（５）と一般式（６）で表される少なくとも３種類の環状オレフィン系単量体をリビング開環メタセシス触媒で重合し、水素添加触媒のもとに水素添加し、その後部分的に加水分解することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の開環メタセシス重合体の水素添加物の製造方法。
一般式（４）
【化４】
0004421698.tif 000013
（式中、Ｒ１６〜Ｒ１９のうち少なくとも一つが、酸により分解する基を含む置換基であり、その他は水素または炭素数１〜２０のアルキル基、ハロゲン、炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数６〜２０のアリールカルボニルオキシ基、炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ基、または炭素数６〜２０のアリールスルホニルオキシ基から選ばれ、Ｘ４は−Ｏ−または−ＣＨ２−から選ばれ、同一でも異なってもよい。ｘは０または１〜３の整数を表す。）
一般式［５］
【化５】
0004421698.tif 000014
（式中、Ｒ２１〜Ｒ２４のうち少なくとも一つが、カルボキシ基、ヒドロキシ基、炭素数２〜２０のカルボキシアルキル基、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、または炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数６〜２０のアリールカルボニルオキシ基、炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ基、炭素数６〜２０のアリールスルホニルオキシ基、またはＲ２１〜Ｒ２４のうちＲ２１とＲ２３から形成されるカルボン酸無水物であり、その他は水素または炭素数１〜２０のアルキル基、ハロゲン、または炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基から選ばれ、Ｘ５は−Ｏ−または−ＣＨ２−から選ばれ、同一でも異なってもよい。ｙは０または１〜３の整数を表す。）
一般式（６）
【化６】
0004421698.tif 000015
（式中、Ｒ２６〜Ｒ２９の少なくとも１つがシアノまたはラクトニルオキシカルボニルを含む置換基であり、その他は水素、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル基、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素数１〜２０のアルキル基、ハロゲン、または炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基から選ばれ、Ｘ６は−Ｏ−または−ＣＨ２−から選ばれ、同一でも異なってもよい。ｚは０または１〜３の整数を表す。）
【請求項９】
請求項８において、部分的に加水分解した後、さらに、カルボキシ基及びヒドロキシ基の少なくとも一つを酸により分解する基を含む新たな置換基に変換することを特徴とする開環メタセシス重合体の水素添加物の製造方法。
【請求項１０】
一般式（４）で表される少なくとも１種類の環状オレフィン系単量体、または一般式（４）と一般式（５）で表される少なくとも２種類の環状オレフィン系単量体、または一般式（４）、一般式（５）及び一般式（６）で表される少なくとも３種類の環状オレフィン系単量体をオレフィンまたはジエンの存在下でリビング開環メタセシス触媒で重合することを特徴とする請求項８又は９記載の開環メタセシス重合体の水素添加物の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、新規な開環メタセシス重合体水素添加物に関し、更には、耐熱性、耐熱分解性、光透過性等に優れた紫外線や遠紫外線（エキシマーレーザー等を含む）を用いた半導体微細加工用フォトレジストに用いられるポリマーに適した開環メタセシス重合体の水素添加物を提供し、かつそのような重合体の水素添加物の製造方法を提供するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体集積回路は集積化が進んで大規模集積回路(LSI)や超大規模集積回路(VLSI)が実用化されており、また、これとともに、集積回路の最少パターンはサブミクロン領域におよび、今後更に微細化される傾向にある。微細パターンの形成には、薄膜を形成した被処理基板上をレジストで被覆し、選択露光を行って所望パターンの潜像を形成した後に、現像してレジストパターンを作り、これをマスクとしてドライエッチングを行い、その後にレジストを除去することにより所望のパターンを得るリソグラフィ技術の使用が必須である。
【０００３】
このリソグラフィ技術において使用される露光光源としてｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）の紫外線光が使用されているが、パターンの微細化に伴い、より波長の短い遠紫外線光、真空紫外線光、電子線（ＥＢ）、Ｘ線などが光源として使用されるようになってきている。特に最近では、エキシマレーザ（波長２４８ｎｍのＫｒＦレーザー、波長１９３ｎｍのＡｒＦレーザー）が露光光源として注目されており、微細パターンの形成に有効であると期待されている。
【０００４】
より短波長である真空紫外領域の露光光を用いてサブミクロンパターンを形成するためのレジスト材料に用いられる重合体又は共重合体としては、例えば、エステル部にアダマンタン骨格及び酸により脱離する保護基を有するアクリル酸エステル又はα置換アクリル酸エステルの重合体又は共重合体（特開平４−３９６６５号公報参照）、エステル部にノルボルナン骨格及び酸により脱離する保護基を有するアクリル酸エステル又はα置換アクリル酸エステルの重合体又は共重合体（特開平５−２５７２８１号公報参照）、シクロヘキシルマレイミドの重合体又は共重合体（特開平５−２５７２８５号公報参照）、セルロース骨格を主鎖に含み該主鎖が酸により開裂を起こす高分子化合物（特開平６−３４２２１２号公報参照）、ポリビニルアルコールまたはポリビニルアルコールの誘導体（特開平７−３３３８５０号公報参照）等数多くの重合体及び共重合体が提案されている。
【０００５】
しかしながら、耐ドライエッチング性、遠紫外線に対する透明性、レジスト溶剤に対する溶解性、現像液に対する濡れ性、シリコン等の基板への密着性及び剥離剤に対する溶解性等レジスト材として用いられるのに必要な諸性質全てを満足し、しかも合成容易な重合体及び共重合体は未だなく、更なる開発が求められている。
【０００６】
一方、脂肪族環状炭化水素を主鎖とし、酸により分解する官能基を有する環状骨格を有する高分子化合物からなるフォトレジスト組成物（ＷＯ９７／３３１９８号）に見られる様な環状高分子は、耐ドライエッチング性が優れ、遠紫外線に対する透明性に優れているが、高濃度でのレジスト溶剤に対する溶解性、現像液に対する濡れ性、シリコン基板への密着性が悪いと言う課題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、レジスト材用のポリマーとして用いられるのに必要な上記の諸性能全てを満足し、しかも狭い分子量分布を有する開環メタセシス重合体の水素添加物を提供し、かつそのような重合体の水素添加物の製造方法を提供することを目的とするものである。
【０００８】
又、本発明はそのような重合体の水素添加物を用いた、耐ドライエッチング性、遠紫外線に対する透明性、レジスト溶剤に対する溶解性、現像液に対する濡れ性、シリコン等の基板への密着性及び剥離剤に対する溶解性等の諸特性に優れたレジスト材料を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは上記問題点を解決するため種々検討し、環状オレフィン系単量体の開環メタセシス重合体の水素添加物が、優れた光学特性、電気特性、高剛性、耐熱性、基板密着性及び耐候性を有するレジスト材用のポリマーとして利用できる可能性を鋭意検討したところ、新規な開環メタセシス重合体の水素添加物がこれらレジスト材としての諸性能を満足することを見いだし、本発明を完成するに至った。
（ｉ）  即ち、少なくとも下記一般式（１）
【００１０】
【化７】
0004421698.tif 000002
【００１１】
（式中、Ｒ１〜Ｒ４のうち少なくとも一つが、酸により分解する基を含む置換基であり、その他は水素、炭素数１〜２０のアルキル基、ハロゲン、炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数６〜２０のアリールカルボニルオキシ基、炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ基、炭素数６〜２０のアリールスルホニルオキシ基、カルボキシ基、ヒドロキシ基、炭素数２〜２０のカルボキシアルキル基、または炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基から選ばれ、Ｘ１は−Ｏ−または−ＣＨ２−から選ばれ、同一でも異なってもよい。ｍは０または１〜３の整数を表す。）で表される構造単位（Ａ）と
下記一般式（２）
【００１２】
【化８】
0004421698.tif 000003
【００１３】
（式中、Ｒ６〜Ｒ９のうち少なくとも一つが、カルボキシ、ヒドロキシを含む置換基であり、その他は水素、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素数１〜２０のアルキル基、ハロゲン、炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基、炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数６〜２０のアリールカルボニルオキシ基、炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ基、または炭素数６〜２０のアリールスルホニルオキシ基から選ばれ、Ｘ２は−Ｏ−または−ＣＨ２−から選ばれ、同一でも異なってもよい。ｎは０または１〜３の整数を表す。）で表される構造単位（Ｂ）と
下記一般式（３）
【００１４】
【化９】
0004421698.tif 000004
【００１５】
（式中、Ｒ１１〜Ｒ１４の少なくとも１つがシアノまたはラクトニルオキシカルボニルを含む置換基であり、その他は水素、カルボキシ基、ヒドロキシ基、炭素数２〜２０のカルボキシアルキル基、または炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル基、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素数１〜２０のアルキル基、ハロゲン、または炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基から選ばれ、Ｘ３は−Ｏ−または−ＣＨ２−から選ばれ、同一でも異なってもよい。ｌは０または１〜３の整数を表す。）で表される構造単位（Ｃ）から構成され、
その構成モル比（Ａ）／（Ｂ）が１／９９〜９９／１および構成モル比（Ｂ）／（Ｃ）が３０／７０〜１００／０であり、一般式（１）で表される構造単位（Ａ）のＸ１、一般式（２）で表される構成単位（Ｂ）のＸ２、および一般式（３）で表される構成単位（Ｃ）のＸ３のうち少なくとも１つが−Ｏ−であり、（Ｃ）が０の場合、Ｘ１とＸ２の少なくとも１つが−Ｏ−であり、かつ重量平均分子量Ｍｗと数平均分子量Ｍｎとの比（Ｍｗ／Ｍｎ）が１．０〜２．０であることを特徴とする開環メタセシス重合体の水素添加物である。
【００１６】
本発明は、また、
（ii）一般式（４）で表される少なくとも１種類の環状オレフィン系単量体、または一般式（４）と一般式（５）で表される少なくとも２種類の環状オレフィン系単量体、または一般式（４）、一般式（５）と一般式（６）で表される少なくとも３種類の環状オレフィン系単量体をリビング開環メタセシス触媒で重合し、水素添加触媒のもとに水素添加し、その後部分的に加水分解する上記の開環メタセシス重合体の水素添加物の製造方法であり、
一般式（４）
【００１７】
【化１０】
0004421698.tif 000005
【００１８】
（式中、Ｒ１６〜Ｒ１９のうち少なくとも一つが、酸により分解する基を含む置換基であり、その他は水素または炭素数１〜２０のアルキル基、ハロゲン、炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数６〜２０のアリールカルボニルオキシ基、炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ基、または炭素数６〜２０のアリールスルホニルオキシ基から選ばれ、Ｘ４は−Ｏ−または−ＣＨ２−から選ばれ、同一でも異なってもよい。ｘは０または１〜３の整数を表す。）
一般式［５］
【００１９】
【化１１】
0004421698.tif 000006
【００２０】
（式中、Ｒ２１〜Ｒ２４のうち少なくとも一つが、カルボキシ基、ヒドロキシ基、炭素数２〜２０のカルボキシアルキル基、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、または炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数６〜２０のアリールカルボニルオキシ基、炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ基、炭素数６〜２０のアリールスルホニルオキシ基、またはＲ２１〜Ｒ２４のうちＲ２１とＲ２３から形成されるカルボン酸無水物であり、その他は水素または炭素数１〜２０のアルキル基、ハロゲン、または炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基から選ばれ、Ｘ５は−Ｏ−または−ＣＨ２−から選ばれ、同一でも異なってもよい。ｙは０または１〜３の整数を表す。）
一般式（６）
【００２１】
【化１２】
0004421698.tif 000007
【００２２】
（式中、Ｒ２６〜Ｒ２９の少なくとも１つがシアノまたはラクトニルオキシカルボニルを含む置換基であり、その他は水素、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル基、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素数１〜２０のアルキル基、ハロゲン、または炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基から選ばれ、Ｘ６は−Ｏ−または−ＣＨ２−から選ばれ、同一でも異なってもよい。ｚは０または１〜３の整数を表す。）
（iii）  （ii）において、部分的に加水分解した後、さらに、カルボキシ基及びヒドロキシ基の少なくとも一つを酸により分解する基を含む新たな置換基に変換することを特徴とする開環メタセシス重合体の水素添加物の製造方法であり、
（iv）  一般式（４）で表される少なくとも１種類の環状オレフィン系単量体、または一般式（４）と一般式（５）で表される少なくとも２種類の環状オレフィン系単量体、または一般式（４）、一般式（５）及び一般式（６）で表される少なくとも３種類の環状オレフィン系単量体をオレフィンまたはジエンの存在下でリビング開環メタセシス触媒で重合する開環メタセシス重合体の水素添加物の製造方法であり、
また、本発明は、
（ｖ）  前記（ｉ）の開環メタセシス重合体の水素添加物からなるフォトレジスト用ポリマーである。
【００２３】
【発明の実施の形態】
本発明の一般式（１）のＲ1〜Ｒ4の少なくとも１つにおいて、酸により分解する基を含む置換基とは、露光時に感光剤から発生する酸によって官能基が分解してカルボキシ基を生成する置換基であり、例えば、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル基、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニルオキシ基、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数３〜２０のアルキルカルボキシカルボニル基、または炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルオキシアルキル基が挙げられる。
【００２４】
具体的には、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル基としては、メトキシカルボニル、エトキシカルボニル、ｎ−プロポキシカルボニル、イソプロポキシカルボニル、ｎ−ブトキシカルボニル、tert−ブトキシカルボニル、シクロヘキシルオキシカルボニル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニル、テトラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニル、１−エトキシエトキシカルボニル、または１−ブトキシエトキシカルボニル等が挙げられ、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニルオキシ基としては、メトキシカルボニルオキシ、エトキシカルボニルオキシ、ｎ−プロポキシカルボニルオキシ、イソプロポキシカルボニルオキシ、ｎ−ブトキシカルボニルオキシ、tert−ブトキシカルボニルオキシ、シクロヘキシルオキシカルボニルオキシ、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルオキシ、テトラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニルオキシ、１−エトキシエトキシカルボニルオキシ、または１−ブトキシエトキシカルボニルオキシ等が挙げられ、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルアルキル基としては、メトキシカルボニルメチル、エトキシカルボニルメチル、イソプロポキシカルボニルメチル、tert−ブトキシカルボニルメチル、tert−ブトキシカルボニルエチル、tert−ブトキシカルボニルメンチル、シクロヘキシルオキシカルボニルメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルメンチル、テトラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニルメチル、１−エトキシエトキシカルボニルメチル、または１−ブトキシエトキシカルボニルメチル等が挙げられ、炭素数３〜２０のアルキルカルボキシカルボニル基としては、メチルカルボキシカルボニル、エチルカルボキシカルボニル、イソプロピルカルボキシカルボニル、tert−ブチルカルボキシカルボニル、またはシクロヘキシルカルボキシカルボニル等が挙げられ、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルオキシアルキル基としては、メトキシカルボニルオキシメチル、エトキシカルボニルオキシメチル、イソプロポキシカルボニルオキシメチル、tert−ブトキシカルボニルオキシメチル、tert−ブトキシカルボニルオキシエチル、tert−ブトキシカルボニルオキシメンチル、シクロヘキシルオキシカルボニルオキシメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルオキシメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルオキシメンチル、テトラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニルオキシメチル、１−エトキシエトキシカルボニルオキシメチル、または１−ブトキシエトキシカルボニルオキシメチル等が挙げられる。
【００２５】
これらのうち、２級または３級のアルコキシを有するアルコキシカルボニル基、アルコキシカルボニルオキシ基、アルコキシカルボニルアルキル基、またはアルコキシカルボニルオキシアルキル基が好ましく用いられ、特に、tert−ブトキシカルボニル基、tert−ブトキシカルボニルアルキル基、tert−ブトキシカルボニルオキシ基、tert−ブチルカルボキシカルボニル基、tert−ブトキシカルボニルオキシアルキル基、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニル基、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルアルキル基、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルオキシ基、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルオキシアルキル基が好ましく用いられる。
【００２６】
その他は、水素；メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、tert−ブチル、シクロヘキシルまたはメンチル等の炭素数１〜２０のアルキル基；メトキシ、エトキシ、イソプロポキシ、ｎ−ブトキシ、tert−ブトキシまたはメントキシ等の炭素数１〜２０のアルコキシ基；メトキシメチル、メトキシエチル、tert−ブトキシメチル、tert−ブトキシエチルまたはメトキシメントール等の、またはメチルグルコース等のアルコキシ糖類を含む炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基；塩素原子、臭素原子、沃素原子またはフッ素原子等のハロゲン；フルオロメチル、クロロメチル、ブロモメチル、ジフルオロメチル、ジクロロメチル、ジブロモメチル、トリフルオロメチル、トリクロロメチルまたはトリブロモメチル等の炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基；アセトキシ等の炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ基；ナフトイルオキシ等の炭素数７〜２０のアリールカルボニルオキシ基；メシルオキシ等の炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ基；トシルオキシ等の炭素数６〜２０のアリールスルホニルオキシ基；カルボキシ基またはヒドロキシ基；カルボキシメチル、カルボキシエチル、カルボキシプロピル、カルボキシブチル、カルボキシイソブチルまたはカルボキシシクロヘキシル等の炭素数２〜２０のカルボキシアルキル基；またはヒドロキシメチル、ヒドロキシエチル、ヒドロキシプロピル、ヒドロキシブチル、ヒドロキシヘキシルまたはメントール等の、またはグルコース等の糖類を含む炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基が具体例として挙げられる。
【００２８】
本発明の一般式（２）のＲ6〜Ｒ9の少なくとも１つにおいて、カルボキシ又はヒドロキシを含む置換基としては、カルボキシ基；ヒドロキシ基；カルボキシメチル、カルボキシエチル、カルボキシプロピル、カルボキシブチル、カルボキシイソブチルまたはカルボキシシクロヘキシル等の炭素数２〜２０のカルボキシアルキル基；ヒドロキシメチル、ヒドロキシエチル、ヒドロキシプロピル、ヒドロキシブチル、ヒドロキシヘキシル、メントール、またはグルコース等の糖類等の炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基が具体例として挙げられる。
【００２９】
その他は、水素；メトキシ、エトキシ、イソプロポキシ、ｎ−ブトキシ、tert−ブトキシまたはメントキシ等の炭素数１〜２０のアルコキシ基；メトキシメチル、メトキシエチル、tert−ブトキシメチル、tert−ブトキシエチル、メトキシメントール等の、またはメチルグルコース等のアルコキシ糖類を含む炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基；メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔ−ブチル、シクロヘキシル、メンチル等の炭素数１〜２０のアルキル基；塩素原子、臭素原子、沃素原子またはフッ素原子等のハロゲン；フルオロメチル、クロロメチル、ブロモメチル、ジフルオロメチル、ジクロロメチル、ジブロモメチル、トリフルオロメチル、トリクロロメチルまたはトリブロモメチル等の炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基；アセトキシ等の炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ基；ナフトイルオキシ等の炭素数７〜２０のアリールカルボニルオキシ基；メシルオキシ等の炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ基；またはトシルオキシ等の炭素数６〜２０のアリールスルホニルオキシ基、が具体例として挙げられる。
【００３１】
また、一般式（３）のＲ11〜Ｒ14の少なくとも１つにおいて、シアノを含む置換基としては、シアノ基、あるいはシアノメチルまたはシアノエチル等の炭素数２〜２０のシアノアルキル基が挙げられ、ラクトニルオキシカルボニルを含む置換基としては、γ−ブチロラクトニル−２−オキシカルボニル、γ−ブチロラクトニル−３−オキシカルボニル、γ−バレロラクトニル−２−オキシカルボニル、γ−バレロラクトニル−３−オキシカルボニル、α−メチル−γ−ブチロラクトニル−２−オキシカルボニル、（２−ジヒドロフラノン−５−イル）メトキシカルボニル、δ−バレロラクトニル−２−オキシカルボキル、δ−バレロラクトニル−３−オキシカルボキル、δ−バレロラクトニル−４−オキシカルボキル、２−メチル−δ−バレロラクトニル−２−オキシカルボキルまたは５，５−ジメチルシクロペンタンカルボラクトニル−１−オキシカルボニル等の炭素数５〜２０のラクトニルオキシカルボニル基が挙げらる。
【００３２】
その他は、水素；カルボキシ基；ヒドロキシ基；カルボキシメチル、カルボキシエチル、カルボキシプロピル、カルボキシブチル、カルボキシイソブチルまたはカルボキシシクロヘキシル等の炭素数２〜２０のカルボキシアルキル基；ヒドロキシメチル、ヒドロキシエチル、ヒドロキシプロピル、ヒドロキシブチル、ヒドロキシヘキシルまたはメントール等の、またはグルコース等の糖類を含む炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基；メトキシカルボニル、エトキシカルボニル、ｎ−プロポキシカルボニル、イソプロポキシカルボニル、ｎ−ブトキシカルボニル、tert−ブトキシカルボニル、シクロヘキシルオキシカルボニル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニル、テトラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニル、１−エトキシエトキシカルボニルまたは１−ブトキシエトキシカルボニル等の炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル基；メトキシカルボニルメチル、エトキシカルボニルメチル、イソプロポキシカルボニルメチル、tert−ブトキシカルボニルメチル、tert−ブトキシカルボニルエチル、tert−ブトキシカルボニルメンチル、シクロヘキシルオキシカルボニルメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルメンチル、テトラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニルメチル、１−エトキシエトキシカルボニルメチル、または１−ブトキシエトキシカルボニルメチル等の炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルアルキル基；メトキシ、エトキシ、イソプロポキシ、ｎ−ブトキシ、tert−ブトキシまたはメントキシ等の炭素数１〜２０のアルコキシ基；メトキシメチル、メトキシエチル、tert−ブトキシメチル、tert−ブトキシエチル、メトキシメントール等の、またはメチルグルコース等のアルコキシ糖類を含む炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基；メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔ−ブチル、シクロヘキシルまたはメンチル等の炭素数１〜２０のアルキル基；塩素原子、臭素原子、沃素原子またはフッ素原子等のハロゲン；またはフルオロメチル、クロロメチル、ブロモメチル、ジフルオロメチル、ジクロロメチル、ジブロモメチル、トリフルオロメチル、トリクロロメチルまたはトリブロモメチル等の炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基が具体例として挙げられる。
【００３４】
本発明においてリビング開環メタセシス触媒で重合する一般式（４）、一般式（５）または一般式（６）で表される環状オレフィン系単量体としては、ｘ、ｙまたはｚが０であるビシクロヘプトエンの誘導体、ｘ、ｙまたはｚが１であるテトラシクロドデセンの誘導体、ｘ、ｙまたはｚが２であるヘキサシクロヘプタデセンの誘導体、ｘ、ｙまたはｚが３であるオクタシクロドコセンの誘導体等が挙げられる。
【００３５】
一般式（４）において、Ｒ16〜Ｒ19の少なくとも１つが示す、酸により分解する基を含む置換基とは、露光時に感光剤から発生する酸によって官能基が分解してカルボキシを生成する置換基であり、例えば、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル基、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニルオキシ基、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数３〜２０のアルキルカルボキシカルボニル基、または炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルオキシアルキル基が挙げられる。
【００３６】
具体的には、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル基としては、メトキシカルボニル、エトキシカルボニル、ｎ−プロポキシカルボニル、イソプロポキシカルボニル、ｎ−ブトキシカルボニル、tert−ブトキシカルボニル、シクロヘキシルオキシカルボニル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニル、テトラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニル、１−エトキシエトキシカルボニル、または１−ブトキシエトキシカルボニル等が挙げられ、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニルオキシ基としては、メトキシカルボニルオキシ、エトキシカルボニルオキシ、ｎ−プロポキシカルボニルオキシ、イソプロポキシカルボニルオキシ、ｎ−ブトキシカルボニルオキシ、tert−ブトキシカルボニルオキシ、シクロヘキシルオキシカルボニルオキシ、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルオキシ、テトラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニルオキシ、１−エトキシエトキシカルボニルオキシ、または１−ブトキシエトキシカルボニルオキシ等が挙げられ、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルアルキル基としては、メトキシカルボニルメチル、エトキシカルボニルメチル、イソプロポキシカルボニルメチル、tert−ブトキシカルボニルメチル、tert−ブトキシカルボニルエチル、tert−ブトキシカルボニルメンチル、シクロヘキシルオキシカルボニルメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルメンチル、テトラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニルメチル、１−エトキシエトキシカルボニルメチル、または１−ブトキシエトキシカルボニルメチル等が挙げられ、炭素数３〜２０のアルキルカルボキシカルボニル基としては、メチルカルボキシカルボニル、エチルカルボキシカルボニル、イソプロピルカルボキシカルボニル、tert−ブチルカルボキシカルボニル、またはシクロヘキシルカルボキシカルボニル等が挙げられ、炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルオキシアルキル基としては、メトキシカルボニルオキシメチル、エトキシカルボニルオキシメチル、イソプロポキシカルボニルオキシメチル、tert−ブトキシカルボニルオキシメチル、tert−ブトキシカルボニルオキシエチル、tert−ブトキシカルボニルオキシメンチル、シクロヘキシルオキシカルボニルオキシメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルオキシメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルオキシメンチル、テトラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニルオキシメチル、１−エトキシエトキシカルボニルオキシメチル、または１−ブトキシエトキシカルボニルオキシメチル等が挙げられる。
【００３７】
これらのうち、２級または３級のアルコキシを有するアルコキシカルボニル基、アルコキシカルボニルオキシ基、アルコキシカルボニルアルキル基、またはアルコキシカルボニルオキシアルキル基が好ましく用いられ、特に、tert−ブトキシカルボニル基、tert−ブトキシカルボニルアルキル基、tert−ブトキシカルボニルオキシ基、tert−ブトキシカルボニルオキシアルキル基、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニル基、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルアルキル基、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルオキシ基、またはテトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルオキシアルキル基が好ましく用いられる。
【００３８】
その他は、水素；メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、シクロヘキシルまたはメンチル等の炭素数１〜２０のアルキル基；メトキシ、エトキシ、イソプロポキシ、ｎ−ブトキシ、tert−ブトキシまたはメントキシ等の炭素数１〜２０のアルコキシ基；メトキシメチル、メトキシエチル、tert−ブトキシメチル、tert−ブトキシエチルまたはメトキシメントール等の、またはメチルグルコース等のアルコキシ糖類を含む炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基；塩素原子、臭素原子、沃素原子またはフッ素原子等のハロゲン；フルオロメチル、クロロメチル、ブロモメチル、ジフルオロメチル、ジクロロメチル、ジブロモメチル、トリフルオロメチル、トリクロロメチルまたはトリブロモメチル等の炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基；アセトキシ等の炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ基；ナフトイルオキシ等の炭素数７〜２０のアリールカルボニルオキシ基；メシルオキシ等の炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ基；トシルオキシ等の炭素数６〜２０のアリールスルホニルオキシ基；カルボキシ基またはヒドロキシ基；カルボキシメチル、カルボキシエチル、カルボキシプロピル、カルボキシブチル、カルボキシイソブチルまたはカルボキシシクロヘキシル等の炭素数２〜２０のカルボキシアルキル基；またはヒドロキシメチル、ヒドロキシエチル、ヒドロキシプロピル、ヒドロキシブチル、ヒドロキシヘキシルまたはメントール等の、またはグルコース等の糖類を含む炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基が具体例として挙げられる。
【００４０】
本発明の一般式（５）のＲ21〜Ｒ24の少なくとも１つにおいて、炭素数２〜２０のカルボキシアルキル基としては、カルボキシメチル、カルボキシエチル、カルボキシプロピル、カルボキシブチル、カルボキシイソブチルまたはカルボキシシクロヘキシル等が挙げられ、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基としては、ヒドロキシメチル、ヒドロキシエチル、ヒドロキシプロピル、ヒドロキシブチル、ヒドロキシヘキシルまたはメントール等の、またはグルコース等の糖類が挙げられ、炭素数１〜２０のアルコキシ基としては、メトキシ、エトキシ、イソプロポキシ、ｎ−ブトキシ、tert−ブトキシまたはメントキシ等が挙げられ、炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基としては、メトキシメチル、メトキシエチル、tert−ブトキシメチル、tert−ブトキシエチル、メトキシメントール等のアルコキシアルキル基、またはメチルグルコース等のアルコキシ糖類が挙げられ、炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ基としては、アセトキシ等が挙げられ、炭素数７〜２０のアリールカルボニルオキシ基としては、ナフトイルオキシ等があげられ、炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ基としてはメシルオキシ等が挙げられ、炭素数６〜２０のアリールスルホニルオキシ基としては、トシルオキシ等が挙げられる。またＲ21〜Ｒ24のうちＲ21とＲ23から形成されるカルボン酸無水物が具体例として挙げられる。これらのうち、好ましくは、アルコキシ基、アルコキシアルキル基、アルキルカルボニルオキシ基、アリールカルボニルオキシ基、アルキルスルホニルオキシ基、アリールスルホニルオキシ基、またはカルボン酸無水物である。特に、好ましくはカルボン酸無水物である。
【００４１】
その他は、水素；メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、tert−ブチル、シクロヘキシルまたはメンチル等の炭素数１〜２０のアルキル基；塩素原子、臭素原子、沃素原子またはフッ素原子等のハロゲン；またはフルオロメチル、クロロメチル、ブロモメチル、ジフルオロメチル、ジクロロメチル、ジブロモメチル、トリフルオロメチル、トリクロロメチルまたはトリブロモメチル等の炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基が具体例として挙げられる。
【００４３】
また、一般式（６）のＲ26〜Ｒ29の少なくとも１つにおいて、シアノを含む置換基としては、シアノ基、あるいはシアノメチルまたはシアノエチル等の炭素数２〜２０のシアノアルキル基が挙げられ、ラクトニルオキシカルボニルを含む置換基としては、γ−ブチロラクトニル−２−オキシカルボニル、γ−ブチロラクトニル−３−オキシカルボニル、γ−バレロラクトニル−２−オキシカルボニル、γ−バレロラクトニル−３−オキシカルボニル、α−メチル−γ−ブチロラクトニル−２−オキシカルボニル、（２−ジヒドロフラノン−５−イル）メトキシカルボニル、δ−バレロラクトニル−２−オキシカルボキル、δ−バレロラクトニル−３−オキシカルボキル、δ−バレロラクトニル−４−オキシカルボキル、２−メチル−δ−バレロラクトニル−２−オキシカルボキルまたは５，５−ジメチルシクロペンタンカルボラクトニル−１−オキシカルボニル等の炭素数５〜２０のラクトニルオキシカルボニル基が挙げらる。
【００４４】
その他は、水素；メトキシカルボニル、エトキシカルボニル、ｎ−プロポキシカルボニル、イソプロポキシカルボニル、ｎ−ブトキシカルボニル、tert−ブトキシカルボニル、シクロヘキシルオキシカルボニル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニル、テトラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニル、１−エトキシエトキシカルボニル、または１−ブトキシエトキシカルボニル等の炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル基；メトキシカルボニルメチル、エトキシカルボニルメチル、イソプロポキシカルボニルメチル、tert−ブトキシカルボニルメチル、tert−ブトキシカルボニルエチル、tert−ブトキシカルボニルメンチル、シクロヘキシルオキシカルボニルメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルメンチル、テトラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニルメチル、１−エトキシエトキシカルボニルメチル、または１−ブトキシエトキシカルボニルメチル等の炭素数３〜２０のアルコキシカルボニルアルキル基；メトキシ、エトキシ、イソプロポキシ、ｎ−ブトキシ、tert−ブトキシ、またはメントキシ等の炭素数１〜２０のアルコキシ基；メトキシメチル、メトキシエチル、tert−ブトキシメチル、tert−ブトキシエチル、メトキシメントール等の、またはメチルグルコース等のアルコキシ糖類を含む炭素数２〜２０のアルコキシアルキル基；メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔ−ブチル、シクロヘキシル、またはメンチル等の炭素数１〜２０のアルキル基；塩素原子、臭素原子、沃素原子またはフッ素原子等のハロゲン；またはフルオロメチル、クロロメチル、ブロモメチル、ジフルオロメチル、ジクロロメチル、ジブロモメチル、トリフルオロメチル、トリクロロメチル、またはトリブロモメチル等の炭素数１〜２０のハロゲン化アルキル基が具体例として挙げられる。
【００４６】
本発明における一般式（４）の具体例としては、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−５−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−５−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−５−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−５−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−６−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−６−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−６−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−６−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−６−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−６−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−トリフルオロメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−６−トリフルオロメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−６−トリフルオロメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−６−トリフルオロメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシシクロヘキシル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルシクロヘキシル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−アセトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−６−アセトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−６−アセトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−６−アセトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−ナフトイルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−６−ナフトイルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−６−ナフトイルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−５−ナフトイルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−メシルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−６−メシルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−６−メシルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−６−メシルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−トシルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−６−トシルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−６−トシルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−６−トシルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等の７−オキサビシクロヘプトエン類、または上記の７−オキサビシクロヘプトエン類のオキサ（−Ｏ−）をメチレン（−ＣＨ2−）に代えて得られるビシクロヘプトエン類を挙げることができる。
【００４７】
または、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−８−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−８−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−８−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−８−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジ（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−メトキシカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−９−メトキシカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−９−メトキシカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−９−メトキシカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−９−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−９−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−９−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−トリフルオロメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−９−トリフルオロメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−９−トリフルオロメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−９−トリフルオロメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシシクロヘキシル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルシクロヘキシル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−アセトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−９−アセトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−９−アセトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−９−アセトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−ナフトイルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−９−ナフトイルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−９−ナフトイルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−９−ナフトイルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−メシルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−９−メシルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−９−メシルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−９−メシルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−トシルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−９−トシルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−９−トシルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−９−トシルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン等の１１−オキサテトラシクロドデセン類、または上記の１１−オキサテトラシクロドデセン類のオキサ（−Ｏ−）をチア（−Ｓ−）に代えた１１−チアテトラシクロドデセン類、または上記の１１−オキサテトラシクロドデセン類のオキサ（−Ｏ−）をメチレン（−ＣＨ2−）に代えたテトラシクロドデセン類を挙げることができる。
【００４８】
または、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１１−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１１−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１１−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１１−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジ（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−メトキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１２−メトキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１２−メトキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１２−メトキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１２−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１２−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１２−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−トリフルオロメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１２−トリフルオロメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１２−トリフルオロメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１２−トリフルオロメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシシクロヘキシル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルシクロヘキシル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−アセトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１２−アセトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１２−アセトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１２−アセトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−ナフトイルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１２−ナフトイルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１２−ナフトイルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１２−ナフトイルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−メシルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１２−メシルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１２−メシルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１２−メシルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−トシルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１２−トシルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１２−トシルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１２−トシルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン等の１５−オキサヘキサシクロヘプタデセン類、または上記の１５−オキサヘキサシクロヘプタデセン類のオキサ（−Ｏ−）をメチレン（−ＣＨ2−）に代えたヘキサシクロヘプタデセン類を挙げることができる。
【００４９】
または、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シクロヘキシルオキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１１−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１４−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１４−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１４−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジ（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シクロヘキシルオキシカルボニル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シクロヘキシルオキシカルボニルオキシ−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−メトキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１５−メトキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１５−メトキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１５−メトキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．���13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−トリフルオロメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１５−トリフルオロメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１５−トリフルオロメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１５−トリフルオロメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシシクロヘキシル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルシクロヘキシル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−アセトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１５−アセトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１５−アセトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１５−アセトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−ナフトイルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１５−ナフトイルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１５−ナフトイルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１５−ナフトイルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−メシルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１５−メシルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１５−メシルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１５−メシルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18
．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−トシルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１５−トシルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１５−トシルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルオキシ−１５−トシルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン等の１９−オキサオクタシクロドコセン類、または上記の１９−オキサオクタシクロドコセン類のオキサ（−Ｏ−）をメチレン（−ＣＨ2−）に代えたオクタシクロドコセン類を挙げることができる。
【００５０】
本発明における一般式（５）の具体例としては、５−カルボキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシシクロヘキシル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシシクロヘキシル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メントキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メントキシメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−アセトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ナフトイルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メシルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシメチル−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシシクロヘキシル−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチル−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシシクロヘキシル−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メトキシ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メントキシ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシメチル−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メントキシメチル−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−アセトキシ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ナフトイルオキシ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メシルオキシ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボン酸無水物、７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボン酸、５，６−ジヒドロキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジカルボキシシクロヘキシル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジヒドロキシメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジヒドロキシシクロヘキシル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジメトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジｔｅｒｔ−ブトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジメントキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジｔｅｒｔ−ブトキシメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジメントキシメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジアセトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジナフトイルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジメシルオキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等の７−オキサビシクロヘプトエン類、または上記の７−オキサビシクロヘプトエン類のオキサ（−Ｏ−）をメチレン（−ＣＨ2−）に代えたビシクロヘプトエン類を挙げることができる。
【００５１】
または、８−カルボキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ヒドロキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−カルボキシメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−カルボキシシクロヘキシル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ヒドロキシメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ヒドロキシシクロヘキシル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−メトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−メントキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−メントキシメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−アセトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ナフトイルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−メシルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−カルボキシ−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ヒドロキシ−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−カルボキシメチル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−カルボキシシクロヘキシル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ヒドロキシメチル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ヒドロキシシクロヘキシル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−メトキシ−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシ−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−メントキシ−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシメチル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−メントキシメチル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−アセトキシ−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ナフトイルオキシ−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−メシルオキシ−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−８−ドデセン−３，４−ジカルボン酸無水���、１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−８−ドデセン−３，４−ジカルボン酸、８，９−ジヒドロキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジカルボキシメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジカルボキシシクロヘキシル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジヒドロキシメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジヒドロキシシクロヘキシル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジメトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジｔｅｒｔ−ブトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジメントキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジｔｅｒｔ−ブトキシメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジメントキシメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジアセトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジナフトイルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジメシルオキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン等の１１−オキサテトラシクロドデセン類、または上記の１１−オキサテトラシクロドデセン類のオキサ（−Ｏ−）をメチレン（−ＣＨ2−）に代えたテトラシクロドデセン類を挙げることができる。
【００５２】
または、１１−カルボキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−カルボキシメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−カルボキシシクロヘキシル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシシクロヘキシル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−メトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−メントキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−メントキシメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−アセトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ナフトイルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−メシルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−カルボキシ−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシ−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−カルボキシメチル−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−カルボキシシクロヘキシル−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシメチル−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシシクロヘキシル−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−メトキシ−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシ−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−メントキシ−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシメチル−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−メントキシメチル−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−アセトキシ−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ナフトイルオキシ−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−メシルオキシ−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−１１−ヘプタデセン−４，５−ジカルボン酸無水物、１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−１１−ヘプタデセン−４，５−ジカルボン酸、１１，１２−ジヒドロキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジカルボキシメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジカルボキシシクロヘキシル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジヒドロキシメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジヒドロキシシクロヘキシル−１５−オキサシクロヘキシルヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジメトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジｔｅｒｔ−ブトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジメントキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジｔｅｒｔ−ブトキシメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジメントキシメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジアセトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジナフトイルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジメシルオキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン等の１５−オキサヘキサシクロヘプタデセン類、または上記の１５−オキサヘキサシクロヘプタデセン類のオキサ（−Ｏ−）をメチレン（−ＣＨ2−）に代えたヘキサシクロヘプタデセン類を挙げることができる。
【００５３】
または、１４−カルボキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ヒドロキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−カルボキシメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−カルボキシシクロヘキシル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ヒドロキシメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ヒドロキシシクロヘキシル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−メトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−メントキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−メントキシメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−アセトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ナフトイルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−メシルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−カルボキシ−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ヒドロキシ−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−カルボキシメチル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−カルボキシシクロヘキシル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ヒドロキシメチル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ヒドロキシシクロヘキシル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−メトキシ−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシ−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−メントキシ−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシメチル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−メントキシメチル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−アセトキシ−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ナフトイルオキシ−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−メシルオキシ−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−１４−ドコセン−５，６−ジカルボン酸無水物、１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−１１−ドコセン−５，６−ジカルボン酸、１４，１５−ジヒドロキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジカルボキシメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジカルボキシシクロヘキシル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジヒドロキシメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジヒドロキシシクロヘキシル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジメトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジｔｅｒｔ−ブトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジメントキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジｔｅｒｔ−ブトキシメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジメントキシメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジアセトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジナフトイルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１１１，１８．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジメシルオキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン等の１９−オキサオクタシクロドコセン類、または上記の１９−オキサオクタシクロドコセン類のオ��サ（−Ｏ−）をメチレン（−ＣＨ2−）に代えたオクタシクロドコセン類を挙げることができる。
【００５４】
本発明における一般式（６）の具体例としては、５−シアノ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジシアノ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノメチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノエチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノ−６−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノ−６−エトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−シアノ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−６−シアノ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノ−６−メトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノ−６−エトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシ−６−シアノ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノ−６−クロロ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノ−６−ブロモ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノ−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノメチル−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノエチル−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノプロピル−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノブチル−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノ−６−エチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノメチル−６−エチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノエチル−６−エチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノプロピル−６−エチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シアノブチル−６−エチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等、
【００５５】
または、５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−６−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−６−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−６−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−６−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−６−エトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−６−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−６−メトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−６−メトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−６−メトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−６−メトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−６−エトキシ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシ−６−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−６−クロロ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−６−ブロモ−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシ���ルボニル）−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−６−メチル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等の７−オキサビシクロヘプトエン類、または上記の７−オキサビシクロヘプトエン類のオキサ（−Ｏ−）をメチレン（−ＣＨ2−）に代えたビシクロヘプトエン類を挙げることができる。
【００５６】
または、８−シアノ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジシアノ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノメチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノエチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ−９−メトキシカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ−９−エトキシカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−シアノ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−９−シアノ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ−９−メトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ−９−エトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシ−９−シアノ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ−９−クロロ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ−９−ブロモ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノメチル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノエチル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノプロピル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノブチル−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノ−９−エチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノメチル−９−エチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノエチル−９−エチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノプロピル−９−エチル１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−シアノブチル−９−エチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン等、
【００５７】
または、８−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８，９−ジ（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−９−メトキシカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−９−メトキシカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−９−メトキシカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−９−メトキシカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−９−エトキシカルボニル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−９−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−９−メトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−９−メトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−９−メトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−９−メトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−９−エトキシ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシ−９−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−９−クロロ−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−９−ブロモ−１１−オキサテト���シクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−９−メチル−１１−オキサテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン等の１１−オキサテトラシクロドデセン類、または上記の１１−オキサテトラシクロドデセン類のオキサ（−Ｏ−）をメチレン（−ＣＨ2−）に代えたテトラシクロドデセン類を挙げることができる。
【００５８】
または、１１−シアノ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジシアノ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノメチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノエチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノ−１２−メトキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノ−１２−エトキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−シアノ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１２−シアノ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノ−１２−メトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノ−１２−エトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシ−１２−シアノ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノ−１２−クロロ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノ−１２−ブロモ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノ−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノメチル−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノエチル−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノプロピル−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノブチル−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノ−１２−エチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノメチル−１２−エチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノエチル−１２−エチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノプロピル−１２−エチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−シアノブチル−１２−エチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン等、
【００５９】
または、１１−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジ（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１２−メトキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１２−メトキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−１２−メトキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１２−メトキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１２−エトキシカルボニル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１２−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１２−メトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１２−メトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−１２−メトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１２−メトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１２−エトキシ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシ−１２−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１２−クロロ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１２−ブロモ−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１２−メチル−１５−オキサヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン等の１５−オキサヘキサシクロヘプタデセン類、または上記の１５−オキサヘキサシクロヘプタデセン類のオキサ（−Ｏ−）をメチレン（−ＣＨ2−）に代えたヘキサシクロヘプタデセン類を挙げることができる。
【００６０】
または、１４−シアノ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジシアノ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノメチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノエチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノ−１５−メトキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノ−１５−エトキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−シアノ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１５−シアノ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノ−１５−メトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノ−１５−エトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシ−１５−シアノ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノ−１５−クロロ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノ−１５−ブロモ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノ−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノメチル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノエチル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノプロピル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノブチル−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノ−１５−エチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノメチル−１５−エチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノエチル−１５−エチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノプロピル−１５−エチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−シアノブチル−１５−エチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン等、
【００６１】
または、１４−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジ（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−メトキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−メトキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−１５−メトキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−メトキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−エトキシカルボニル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−１５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−メトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−メトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−１５−メトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−メトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン���１４−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−エトキシ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシ−１５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−クロロ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−ブロモ−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（γ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（（２’−ジヒドロフラノン−５’−イル）メトキシカルボニル）−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−１５−メチル−１９−オキサオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン等の１９−オキサオクタシクロドコセン類、または上記の１９−オキサオクタシクロドコセン類のオキサ（−Ｏ−）をメチレン（−ＣＨ2−）に代えたオクタシクロドコセン類を挙げることができる。
【００６２】
本発明においては、一般式（４）で表される少なくとも１種類の環状オレフィン系単量体、または一般式（４）と一般式（５）で表される少なくとも２種類の環状オレフィン系単量体、または一般式（４）、一般式（５）と一般式（６）で表される少なくとも３種の環状オレフィン系単量体をリビング開環メタセシス触媒で重合する。更には、一般式（４）または一般式（４）と一般式（５）または一般式（４）、一般式（５）と一般式（６）と共に、ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メチルビシク［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−クロロビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ブロモビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メチル−６−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等のビシクロヘプトエン誘導体、テトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−メチルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−エチルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−クロロテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−ブロモテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン、８−メチル−９−メチルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン等のテトラシクロドデセン誘導体、ヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−メチルヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン、１１−エチルヘキサシクロ［６．６．１．１3,6．１10,13．０2,7．０9,14］−４−ヘプタデセン等のヘキサシクロヘプタデセン誘導体、オクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−メチルオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン、１４−エチルオクタシクロ［８．８．０．１2,9．１4,7．１11,18．１13,16．０3,8．０12,17］−５−ドコセン等のオクタシクロドコセン誘導体、またはシクロブテン、シクロペンテン、シクロヘプテン、シクロオクテン等のシクロオレフィン類等と共重合しても良い。
【００６３】
また、本発明に使用される重合触媒としては、リビング開環メタセシス重合する触媒であればどのようなものでもよいが、開環メタセシス触媒の具体例としては、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＢｕt）（ＯＢｕt）2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＢｕt）（ＯＣＭｅ2ＣＦ3）2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＢｕt）（ＯＣＭｅ2（ＣＦ3）2）2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＭｅ2Ｐｈ）（ＯＢｕt）2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＭｅ2Ｐｈ）（ＯＣＭｅ2ＣＦ3）2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＭｅ2Ｐｈ）（ＯＣＭｅ2（ＣＦ3）2）2、（式中のＰｒiはiso−プロピル基、Ｂｕtはtert−ブチル基、Ｍｅはメチル基、Ｐｈはフェニル基を表す。）等のタングステン系アルキリデン触媒、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅＰｈ）（ＯＢｕt）2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅ2）（ＯＢｕt）2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＰｈ2）（ＯＢｕt）2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅＰｈ）（ＯＣＭｅ2（ＣＦ3））2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅ2）（ＯＣＭｅ2（ＣＦ3））2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＰｈ2）（ＯＣＭｅ2（ＣＦ3））2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅ2）（ＯＣＭｅ（ＣＦ3）2）2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅ2）（ＯＣＭｅ（ＣＦ3）2）2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＰｈ2）（ＯＣＭｅ（ＣＦ3）2）2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅＰｈ）（ＯＣＭｅ2（ＣＦ3））2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅＰｈ）（ＯＣＭｅ（ＣＦ3）2）2（ＰＭｅ3）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅＰｈ）（ＯＰｈ）2（ＰＭｅ3）、（式中のＰｒiはiso−プロピル基、Ｂｕtはtert-ブチル基、Ｍｅはメチル基、Ｐｈはフェニル基を表す。）等のタングステン系アルキリデン触媒、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＢｕt）（ＯＢｕt）2、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＢｕt）（ＯＣＭｅ2ＣＦ3）2、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＢｕt）（ＯＣＭｅ（ＣＦ3）2）2、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＭｅ2Ｐｈ）（ＯＢｕt）2、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＭｅ2Ｐｈ）（ＯＣＭｅ2ＣＦ3）2、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＭｅ2Ｐｈ）（ＯＣＭｅ（ＣＦ3）2）2、（式中のＰｒiはiso−プロピル基、Ｂｕtはtert-ブチル基、Ｍｅはメチル基、Ｐｈはフェニル基を表す。）等のモリブデン系アルキリデン触媒、Ｒｅ（ＣＢｕt）（ＣＨＢｕt）（Ｏ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）2、Ｒｅ（ＣＢｕt）（ＣＨＢｕt）（Ｏ−２−ＢｕtＣ6Ｈ4）2、Ｒｅ（ＣＢｕt）（ＣＨＢｕt）（ＯＣＭｅ2ＣＦ3）2、Ｒｅ（ＣＢｕt）（ＣＨＢｕt）（ＯＣＭｅ（ＣＦ3）2）2、Ｒｅ（ＣＢｕt）（ＣＨＢｕt）（Ｏ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）2、（式中のＢｕtはtert-ブチル基を表す。）等のレニウム系アルキリデン触媒、Ｔａ［Ｃ（Ｍｅ）Ｃ（Ｍｅ）ＣＨＭｅ3］（Ｏ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）3Ｐｙ、Ｔａ［Ｃ（Ｐｈ）Ｃ（Ｐｈ）ＣＨＭｅ3］（Ｏ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）3Ｐｙ、��式中のＭｅはメチル基、Ｐｈはフェニル基、Ｐｙはピリジン基を表す。）等のタンタル系アルキリデン触媒、Ｒｕ（ＣＨＣＨＣＰｈ2）（ＰＰｈ3）2Ｃｌ2、Ｒｕ（ＣＨＣＨＣＰｈ2）（Ｐ（Ｃ6Ｈ11）3）2Ｃｌ2（式中のＰｈはフェニル基を表す。）等のルテニウム系アルキリデン触媒やチタナシクロブタン触媒が挙げられる。上記開環メタセシス触媒は、単独にまたは２種以上混合してもよい。
【００６４】
また、上記の他に、有機遷移金属錯体と助触媒としてのルイス酸との組合せによるリビング開環メタセシス触媒系、例えば、モリブデン、タングステン等の遷移金属ハロゲン錯体と助触媒として有機アルミニウム化合物、有機錫化合物またはリチウム、ナトリウム、マグネシウム、亜鉛、カドミウム、ホウ素等の有機金属化合物とから成る開環メタセシス触媒を用いることもできる。
【００６５】
有機遷移金属ハロゲン錯体の具体例としては、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＢｕt）2Ｃｌ2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ2ＣＦ3）2Ｃｌ2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ2（ＣＦ3）2）2Ｃｌ2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＢｕt）2Ｃｌ2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ2ＣＦ3）2Ｃｌ2、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ2（ＣＦ3）2）2Ｃｌ2、（式中のＰｒiはiso−プロピル基、Ｂｕtはtert-ブチル基、Ｍｅはメチル基、Ｐｈはフェニル基、ｔｈｆはテトラヒドロフランを表す。）等のタングステン系ハロゲン錯体と助触媒としての下記有機金属化合物の組み合わせからなる触媒、またはＭｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＢｕt）2Ｃｌ2、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ2ＣＦ3）2Ｃｌ2、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ（ＣＦ3）2）2Ｃｌ2、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＢｕt）2Ｃｌ2、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ2ＣＦ3）2Ｃｌ2、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ（ＣＦ3）2）2Ｃｌ2、（式中のＰｒiはiso−プロピル基、Ｂｕtはtert-ブチル基、Ｍｅはメチル基、Ｐｈはフェニル基、ｔｈｆはテトラヒドロフランを表す。）等のモリブデン系ハロゲン錯体と助触媒としての下記有機金属化合物の組み合わせからなる触媒が挙げられる。
【００６６】
また、助触媒としての有機金属化合物の具体例としては、トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウム、トリヘキシルアルミニウム、トリオクチルアルミニウム、トリフェニルアルミニウム、トリベンジルアルミニウム、ジエチルアルミニウムモノクロリド、ジ−ｎ−ブチルアルミニウム、ジエチルアルミニウムモノブロミド、ジエチルアルミニウムモノイオジド、ジエチルアルミニウムモノヒドリド、エチルアルミニウムセスキクロリド、エチルアルミニウムジクロリド等の有機アルミニウム化合物、テトラメチル錫、ジエチルジメチル錫、テトラエチル錫、ジブチルジエチル錫、テトラブチル錫、テトラオクチル錫、トリオクチル錫フルオリド、トリオクチル錫クロリド、トリオクチル錫ブロミド、トリオクチル錫イオジド、ジブチル錫ジフルオリド、ジブチル錫ジクロリド、ジブチル錫ジブロミド、ジブチル錫ジイオジド、ブチル錫トリフルオリド、ブチル錫トリクロリド、ブチル錫トリブロミド、ブチル錫トリイオジド等の有機錫化合物、ｎ−ブチルリチウム等の有機リチウム化合物、ｎ−ペンチルナトリウム等の有機ナトリウム化合物、メチルマグネシウムイオジド、エチルマグネシウムブロミド、メチルマグネシウムブロミド、ｎ−プロピルマグネシウムブロミド、ｔ−ブチルマグネシウムクロリド、アリルマグネシウムクロリド等の有機マグネシウム化合物、ジエチル亜鉛等の有機亜鉛化合物、ジエチルカドミウム等の有機カドミウム化合物、トリメチルホウ素、トリエチルホウ素、トリ−ｎ−ブチルホウ素等の有機ホウ素化合物等が挙げられる。
【００６７】
本発明のリビング開環メタセシス重合において、環状オレフィン系単量体と開環メタセシス触媒のモル比は、タングステン、モリブデン、レニウム、タンタル、またはルテニウム等の遷移金属アルキリデン触媒やチタナシクロブタン触媒の場合は、環状オレフィン系単量体が触媒に対してモル比で２〜１００００であり、好ましくは１０〜５０００である。また、有機遷移金属ハロゲン錯体と有機金属化合物から成る開環メタセシス触媒の場合、環状オレフィン系単量体が有機遷移金属ハロゲン錯体に対してモル比で２〜１００００、好ましくは１０〜５０００であり、助触媒としての有機金属化合物が有機遷移金属ハロゲン錯体に対してモル比で０．１〜１０、好ましくは１〜５となる範囲である。
【００６８】
また、本発明の開環メタセシス重合は無溶媒でも溶媒を使用しても良いが、特に使用する溶媒としては、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、ジブチルエーテル、ジメトキシエタンまたはジオキサン等のエーテル類、ベンゼン、トルエン、キシレンまたはエチルベンゼン等の芳香族炭化水素、ペンタン、ヘキサンまたはヘプタン等の脂肪族炭化水素、シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ジメチルシクロヘキサンまたはデカリン等の脂肪族環状炭化水素、またはメチレンジクロライド、ジクロロエタン、ジクロロエチレン、テトラクロロエタン、クロロベンゼンまたはトリクロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素等が挙げられ、これらの２種類以上を混合使用しても良い。
【００６９】
また、本発明において触媒効率を高めるために連鎖移動剤を使用しても良い。このような連鎖移動剤としては、例えば、エチレン、プロピレン、ブテン、ペンテン、ヘキセン、オクテン等のα−オレフィンが挙げられ、さらに、ビニルトリメチルシラン、アリルトリメチルシラン、アリルトリエチルシラン、アリルトリイソプロピルシラン等のケイ素含有オレフィンが挙げられ、また、１、４−ペンタジエン、１-5-ヘキサジエン、１、６−ヘプタジエン等の非共役系ジエンが挙げられる。さらに、これらオレフィンまたはジエンはそれぞれ単独または２種類以上を併用しても良い。
【００７０】
本発明において共存させる連鎖移動剤の使用量は、連鎖移動剤が環状オレフィン系単量体に対して０．００１〜１０００、好ましくは０．０１〜１００の範囲である。また、連鎖移動剤が遷移金属アルキリデン錯体のアルキリデンの１当量に対して０．１〜１０００、好ましくは１〜５００の範囲である。
【００７１】
開環メタセシス重合では、単量体の反応性および重合溶媒ヘの溶解性によっても異なるが、単量体／開環メタセシス触媒と溶媒の濃度は０．１〜１００ｍｏｌ／Ｌの範囲が好ましく、通常−３０〜１５０℃の反応温度で１分〜１０時間反応させ、ブチルアルデヒド等のアルデヒド類、アセトン等のケトン類、メタノール等のアルコール類等の失活剤で反応を停止し、開環メタセシス重合体溶液を得ることができる。
【００７２】
本発明において、リビング開環メタセシス重合によって得られる重合体は、開環メタセシス重合がリビング重合反応であるため、単量体と触媒のモル比を制御することによって、所望の分子量の重合体を得ることができる。また、連鎖移動剤としてオレフィンまたはジエンの存在下でリビング開環メタセシス重合を行うことでリビング重合反応を保ちながら、単量体と連鎖移動剤と触媒のモル比を制御することによっても、所望の分子量の重合体を得ることができる。このリビング重合で得られた分子量は、ポリスチレン換算での数平均分子量Ｍｎが５００〜１００，０００である。好ましくは、１，０００〜５０，０００であり、特に、好ましくは３，０００〜２０，０００である。また、単量体及び連鎖移動剤の性質によって多少の差異はあるものの重量平均分子量Ｍｗと数平均分子量Ｍｎとの比（Ｍｗ／Ｍｎ）が１．０〜２．０の狭い分子量分布の範囲に制御され、この開環メタセシス重合体を水素添加触媒の存在下で水素添加した後でも、あるいは加水分解した後でもこの分子量分布の範囲は変わらない。この範囲の分子量と狭い分子量分布は、レジスト材を溶媒に溶解させ、シリコンウェハーに回転塗布機で塗布する工程において、均一な平滑コーティング膜を形成する上で極めて重要なことである。したがって、レジスト材として分子量及び分子量分布を決める重合をリビング重合で行うことは、その後に重合体の主鎖部分のオレフィンを水素添加し、官能基を加水分解して製造したポリマーが、極性溶媒に対する溶解度、シリコンウェハー表面との密着性または、その表面への塗布性を高めたレジスト材の機能を発現するために極めて重要である。
【００７３】
本発明の開環メタセシス重合体の主鎖部分におけるオレフィンの水素添加反応は、公知の水素添加触媒を使用することができる。開環メタセシス重合体の主鎖部分のオレフィンを水素添加することによって、紫外線（ＵＶ）最大吸収波長の領域を下げることができ、特に、波長１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザー領域に対してこの領域でのＵＶ透過率を最大限高める為には、この水素添加反応が必要となる。水素添加触媒の具体例として不均一系触媒ではパラジウム、白金、ニッケル、ロジウム、ルテニウム等の金属をカーボン、シリカ、アルミナ、チタニア、マグネシア、ケイソウ土、合成ゼオライト等の担体に担持させた担持型金属触媒、または均一系触媒では、ナフテン酸ニッケル／トリエチルアルミニウム、ニッケルアセチルアセトナート／トリイソブチルアルミニウム、オクテン酸コバルト／ｎ−ブチルリチウム、チタノセンジクロリド／ジエチルアルミニウムクロリド、酢酸ロジウム、ジクロロビス（トリフェニルホスフィン）パラジウム、クロロトリス（トリフェニルホスフィン）ロジウム、ジヒドリドテトラキス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム等の公知の水素添加触媒が挙げられ、さらに、均一系触媒として水素の存在下に下記一般式（７）で表わされる有機金属錯体とアミン化合物からなる水素添加触媒を用いて水素添加することもできる。
【００７４】
一般式（７）
ＭＨkＱhＴpＺq              （７）
（式中、Ｍはルテニウム、ロジウム、オスミウム、イリジウム、パラジウム、白金またはニッケルを表し、Ｈは水素を表し、Ｑはハロゲンを表し、ＴはＣＯ、ＮＯ、トルエン、アセトニトリルまたはテトラヒドロフランを表し、ＺはＰＲ’1Ｒ’2Ｒ’3（Ｐはリンを示し、Ｒ’1、Ｒ’2、Ｒ’3はそれぞれ同一もしくは異なる直鎖、分岐または環状のアルキル、アルケニル、アリール、アルコキシまたはアリロキシを示す。）で表せる有機リン化合物を表し、ｋは０または１、ｈは１〜３の整数、ｐは０または１、ｑは２〜４の整数を表す。）
【００７５】
一般式（７）おいて、Ｑで表されるハロゲン原子としては、塩素、フッ素、臭素または沃素原子を例示できる。更に、Ｚで表される有機リン化合物の具体例としては、トリメチルホスフィン、トリエチルホスフィン、トリイソプロピルホスフィン、トリｎ−プロピルホスフィン、トリｔ−ブチルホスフィン、トリイソブチルホスフィン、トリｎ−ブチルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリフェニルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン、ジメチルフェニルホスフィン、トリｏ−トリルホスフィン、トリｍ−トリルホスフィン、トリｐ−トリルホスフィン、ジエチルフェニルホスフィン、ジクロロ（エチル）ホスフィン、ジクロロ（フェニル）ホスフィン、クロロジフェニルホスフィン、トリメチルホスフィト、トリイソプロピルホスフィト、トリフェニルホスフィトを例示できる。
【００７６】
一般式（７）で表せられる有機金属錯体の具体例としては、ジクロロビス（トリフェニルホスフィン）ニッケル、ジクロロビス（トリフェニルホスフィン）パラジウム、ジクロロビス（トリフェニルホスフィン）白金、クロロトリス（トリフェニルホスフィン）ロジウム、ジクロロトリス（トリフェニルホスフィン）オスミウム、ジクロロヒドリドビス（トリフェニルホスフィン）イリジウム、ジクロロトリス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、ジクロロテトラキス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、トリクロロニトロシルビス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、ジクロロビス（アセトニトリル）ビス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、ジクロロビス（テトラヒドロフラン）ビス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、クロロヒドリド（トルエン）トリス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、クロロヒドリドカルボニルトリス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、クロロヒドリドカルボニルトリス（ジエチルフェニルホスフィン）ルテニウム、クロロヒドリドニトロシルトリス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリメチルホスフィン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリエチルホスフィン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリシクロヘキシルホスフィン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリメチルジフェニルホスフィン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリジメチルフェニルホスフィン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリｏ−トリルホスフィン）ルテニウム、ジクロロトリス（ジクロロエチルホスフィン）ルテニウム、ジクロロトリス（ジクロロフェニルホスフィン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリメチルホスフィト）ルテニウム、ジクロロトリス（トリフェニルホスフィト）ルテニウム等が挙げられる。
【００７７】
また、アミン化合物の具体例としては、メチルアミン、エチルアミン、アニリン、エチレンジアミン、１，３−ジアミノシクロブタン等の一級アミン化合物、ジメチルアミン、メチルイソプロピルアミン、Ｎ−メチルアニリン等の二級アミン化合物、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリフェニルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、ピリジン、γ−ピコリン等の三級アミン化合物等を挙げることができ、好ましくは三級アミン化合物が用いられ、特にトリエチルアミンを用いた場合が水素添加率の向上が著しい。
【００７８】
これらの有機金属錯体及びアミン化合物は、それぞれ２種以上任意の割合で併用することもできる。
【００７９】
本発明における開環メタセシス重合体を水素添加する公知の水素添加触媒を使用する場合、開環メタセシス重合体と水素添加触媒の使用量は、公知の水素添加触媒が開環メタセシス重合体に対して５〜５００００ｐｐｍであり、好ましくは１００〜１０００ｐｐｍである。また、一般式（７）で表される有機金属錯体とアミン化合物からなる水素添加触媒を使用する場合は、一般式（７）で表される有機金属錯体が開環メタセシス重合体に対して５〜５００００ｐｐｍであり、好ましくは１０〜１００００ｐｐｍ、特に好ましくは５０〜１０００ｐｐｍである。また、アミン化合物は併用する一般式（７）の有機金属錯体に対して、０．１当量〜１０００当量、好ましくは０．５当量〜５００当量、特に好ましくは１〜１００当量である。
【００８０】
一般式（７）の有機金属錯体とアミン化合物からなる水素添加触媒は、予め有機金属錯体にアミン化合物を接触処理したものを用いても可能であるが、有機金属錯体にアミン化合物を予め接触処理することなく、直接それぞれを反応系に添加してもよい。
【００８１】
開環メタセシス重合体の水素添加反応に於いて用いられる溶媒としては開環メタセシス重合体を溶解し溶媒自体が水素添加されないものであればどのようなものでもよく、例えば、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、ジブチルエーテル、ジメトキシエタンなどのエーテル類、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼンなどの芳香族炭化水素、ペンタン、ヘキサン、ヘプタンなどの脂肪族炭化水素、シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ジメチルシクロヘキサン、デカリンなどの脂肪族環状炭化水素、メチレンジクロリド、ジクロロエタン、ジクロロエチレン、テトラクロロエタン、クロルベンゼン、トリクロルベンゼンなどのハロゲン化炭化水素等が挙げられ、これらは２種以上混合して使用してもよい。
【００８２】
開環メタセシス重合体の水素添加反応は、水素圧力が通常、常圧〜３０ＭＰａ、好ましくは０．５〜２０ＭＰａ、特に好ましくは２〜１５ＭＰａの範囲で行われ、その反応温度は、通常０〜３００℃の温度であり、好ましくは室温〜２５０℃、特に好ましくは５０〜２００℃の温度範囲である。
【００８３】
本発明における開環メタセシス重合体水素添加物の製造は、開環メタセシス重合体溶液から開環メタセシス重合体を単離した後再度溶媒に溶解しても可能であるが、単離することなく、上記有機金属錯体とアミン化合物からなる水素添加触媒を加えることにより水素添加反応を行う方法を採用することもできる。
【００８４】
開環メタセシス重合または水素添加反応の終了後、公知の方法により重合体溶液に残存する開環メタセシス触媒または水素添加触媒を除去することができる。例えば、濾過、吸着剤による吸着法、良溶媒による溶液に乳酸等の有機酸と貧溶媒と水とを添加し、この系を常温下或いは加温下において触媒を抽出除去する方法、更には良溶媒による溶液または重合体スラリーを塩基性化合物と酸性化合物で接触処理した後、洗浄除去する方法等が挙げられる。
【００８５】
開環メタセシス重合体水素添加物溶液から重合体水素化物の回収法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、撹拌下の貧溶媒中に反応溶液を排出し重合体水素化物を凝固させ濾過法、遠心分離法、デカンテーション法等により回収する方法、反応溶液中にスチームを吹き込んで重合体水素化物を析出させるスチームストリッピング法、反応溶液から溶媒を加熱等により直接除去する方法等が挙げられる。
【００８６】
本発明における水素添加方法を用いると、９０％以上の水素添加率が容易に達成でき、９５％以上、特に９９％以上とすることが可能であり、そうして得られる開環メタセシス重合体水素添加物は容易に酸化されることがなく、優れた開環メタセシス重合体の水素添加物となる。
【００８７】
また、本発明では、開環メタセシス重合体を水素添加した後、官能基を部分的に加水分解し、カルボン酸又はアルコールに変換してもよいし、カルボン酸又はアルコールに変換したのち、更に酸により分解する基を含む新たな置換基に変換しても良い。即ち、加水分解により生成したカルボン酸またはアルコールを酸により分解する基を含む新たな置換基でエステルまたはエーテルに変換することができる。
【００８８】
加水分解される開環メタセシス重合体の水素添加物の官能基は、アルコキシカルボニル、アルコキシカルボニルオキシ、アルコキシカルボニルアルキル、アルコキシカルボニルオキシアルキル、アルキルカルボニルオキシ、アルキルスルホニルオキシ、アリールスルホニルオキシ、アルコキシ、アルコキシアルキル、カルボン酸無水物である。この加水分解は、硫酸、塩酸、硝酸、トルエンスルホン酸、トリフルオロ酢酸または酢酸等の酸性触媒存在下で行う酸性加水分解、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化バリウム等のアルカリ性触媒存在下で行うアルカリ性加水分解、または酸、アルカリに代えて酢酸ナトリウム、ヨウ化リチウム等を用いる中性加水分解のいずれで行っても良い。また、カルボン酸無水物をアルコールで加水分解し、カルボン酸とエステルに変換しても良い。
【００８９】
本発明における加水分解反応は、水溶媒でも有機溶媒を使用して良いが、特に使用する有機溶媒としては、メタノール、エタノール等のアルコール類、アセトン等のケトン類、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、ジブチルエーテル、ジメトキシエタン、ジオキサン等のエーテル類、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素、酢酸等のカルボン酸、ニトロメタン等のニトロ化合物、ピリジン、ルチジン等のピリジン類、ジメチルホルムアミド等のホルムアミド類などが挙げられ、水またはアルコール類と混合しても良く、また有機溶媒のみで使用しても良い。更に、これらの２種類以上を混合使用しても良い。反応温度は、通常０〜３００℃の温度であり、好ましくは室温〜２５０℃の温度範囲である。
【００９０】
また、酸性またはアルカリ性加水分解の後にアルカリまたは酸で適宜、中和処理しても良い。加水分解の後、開環メタセシス重合体の水素添加物溶液またはスラリーからの重合体の回収法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、溶液の場合、撹拌下の貧溶媒中に反応溶液を排出し重合体水素化物を沈殿させスラリーとし、濾過法、遠心分離法、デカンテーション法等により回収する方法、反応溶液にスチームを吹き込んで重合体を析出させるスチームストリッピング法、反応溶液から溶媒を加熱等により直接除去する方法等が挙げられ、スラリーの場合、そのまま濾過法、遠心分離法、デカンテーション法等により回収する方法等が挙げられる。
【００９１】
カルボン酸またはアルコールをエステル化する方法、またはエーテル化する方法としては通常の方法が適用できる。カルボン酸をエステル化する方法としては、例えば、鉱酸、有機酸あるいはルイス酸存在下でのアルコール類との脱水縮合反応によるエステル化、オルト−アルキル化剤によるエステル化、酸存在下でのオレフィン類の付加によるエステル化、有機塩基性化合物を用いたハロゲン化物との間での縮合反応によるエステル化、またはアルキルビニルエーテル類の付加によるアルコキシアルキルエステル化などが挙げられる。また、カルボン酸をチオニルクロライド等により酸ハロゲン化物に変換した後、アルコール類と接触させエステル化する方法、カルボン酸の金属塩をハロゲン化物と接触させエステル化する方法などが挙げられる。また、アルコールをエステル化する方法としては、例えば、鉱酸、有機酸あるいはルイス酸存在下でのカルボン酸との間での脱水縮合反応によるエステル化、酸無水物を用いたエステル化、酸ハロゲン化物との反応によるエステル化等が挙げられる。
【００９２】
また、アルコールをエーテル化する方法としては、例えば、塩基性化合物存在下でのハロゲン化物との間での縮合によるエーテル化、塩基性化合物存在下でのジメチル硫酸を用いたメチルエーテル化、鉱酸、有機酸あるいはルイス酸存在下でのアルコール類との脱水縮合反応によるエーテル化、ジアゾ化合物を用いたエーテル化、酸性触媒存在下でのオレフィン類の付加によるエーテル化、塩化水素存在下でのカルボニル化合物への付加によるα−クロロエーテル化、またはアルキルビニルエーテル類の付加によるアルコキシアルキルエーテル化等が挙げられる。また、アルコールから金属アルコキシドを形成し、これを分離した後さらにハロゲン化物等と接触させエーテル化を行う方法等が挙げられる。
【００９３】
上記のエステル化、またはエーテル化において、特に、反応条件が比較的穏和で、副生物を生じず、また使用する触媒の除去が容易という点でアルキルビニルエーテル類の付加によるエステル化またはエーテル化が好ましく用いられる。使用されるアルキルビニルエーテル類としては、例えば、メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、ｎ−プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテル、ｎ−ブチルビニルエーテル、sec−ブチルビニルエーテル、ｔｅｒｔ−ブチルビニルエーテル、イソオクチルビニルエーテル、デシルビニルエーテル、ドデシルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエーテル、２−エチルヘキシルビニルエーテル、ｔｅｒｔ−ペンチルビニルエーテル、オクタデシルビニルエーテル、セシルビニルエーテル、２−メトキシエチルビニルエーテル、ビニル−２−(２−エトキシエトキシ)エチルエーテル、エチレングリコ−ルブチルビニルエーテル、ｔｅｒｔ−アミルビニルエーテル、または２，３−ジヒドロフラン、３，４−ジヒドロ−２H−ピラン、１，４−ジオキセン等のアルコキシ置換、無置換または環状のアルキルビニルエーテル類が挙げられる。さらに、これらのうちエチルビニルエーテル、ｎ−プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテル、ｎ−ブチルビニルエーテル、２，３−ジヒドロフラン、３，４−ジヒドロ−２H−ピランが好ましく用いられる。
【００９４】
これらのアルキルビニルエーテル類の使用量は、開環メタセシス重合体の水素添加物のカルボン酸またはアルコール１モルに対して通常１０モル以下であり、好ましくは０．１〜５モルの範囲であり、更に好ましくは０．４〜３．５モルの範囲である。アルキルビニルエーテル類を用いたエステル化またはエーテル化反応は触媒の存在なしでも行えるが、酸触媒を用いることによって効率的に行うことができる。酸触媒としては、例えば、塩化水素ガス等のハロゲン化水素、硫酸、リン酸、塩酸、もしくは臭化水素酸等の鉱酸、ヘテロポリ酸もしくはナフィオン等の固体酸、またはｐ−トルエンスルホン酸、トリフルオロ酢酸、プロピオン酸、マロン酸、シュウ酸、クロルスルホン酸・ピリジン塩、トリフルオロ酢酸・ピリジン塩、硫酸・ピリジン塩もしくはｐ−トルエンスルホン酸・ピリジン塩等の有機酸が挙げられ、これらのうち塩化水素ガス、塩酸、トリフルオロ酢酸、トリフルオロ酢酸・ピリジン塩、ｐ−トルエンスルホン酸・ピリジン塩または硫酸・ピリジン塩が好ましく用いられる。また、これらの酸触媒は単独でも、または２種以上の組み合わせで、かつ同時に、または逐次的にに使用することもできる。これらの酸触媒の使用量は、開環メタセシス重合体の水素添加物のカルボン酸またはアルコール１モルに対して通常２モル以下であり、好ましくは０．００００１〜０．２モルの範囲であり、更に好ましくは０．００１〜０．０５モルの範囲である。
【００９５】
本発明において、上記の方法で使用する溶媒としては、反応を阻害しないものであれば特に制限されないが、具体的には、水、またはペンタン、ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素類、またはベンゼン、トルエン、エチルベンゼン、クメン等の芳香族炭化水素類、またはジクロロメタン、クロロホルム、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン等のハロゲン化合物、またはジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、１，４−ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル等のエーテル類、またはアセトン、エチルメチルケトン、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、アセトフェノン等のケトン類、またはアセトニトリル、プロピオニトリル等のニトリル類、または酢酸エチル等のエステル類等が挙げられる。これらは単独でもまたは２種以上を混合して使用してもよい。また、これらの溶媒の使用によって、反応を均一溶液中あるいは不均一な懸濁液中のいずれで行っても良い。
【００９６】
本発明の方法における反応の実施形態は特に制限されるものではなく、エステル化またはエーテル化が効果的に実施できる方法であれば如何なる形態であって良く、窒素等の不活性ガス下でも、空気下でも、または減圧、常圧、加圧、または回分、半回分、連続の何れの実施形態であっても良い。また、反応温度および時間は、エステル化、またはエーテル化の形態によって異なるが、通常温度は、−５０〜２００℃であり、好ましくは、０℃〜１５０℃である。また、反応時間は、通常１００時間以内であり、好ましくは５分〜４８時間である。
【００９７】
カルボン酸またはアルコールを酸により分解する基を含む新たな置換基でエステルまたはエーテルに変換した開環メタセシス重合体の水素添加物の溶液またはスラリーからの重合体の回収方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば溶液の場合、撹拌下の貧溶媒中に反応溶液を排出し重合体水素化物を沈殿させスラリーとし、濾過、遠心分離法、デカンテーション法等により回収する方法、反応溶液にスチームを吹き込んで重合体を析出させるスチームストリッピング法、反応溶液から溶媒を加熱などにより直接除去する方法などが挙げられ、スラリーの場合、そのまま濾過法、遠心分離法、デカンテーション法などにより回収する方法などが挙げられる。
【００９８】
本発明において、一般式（１）で表される構造単位（Ａ）と一般式（２）で表される構造単位（Ｂ）の構造単位のモル比（Ａ）／（Ｂ）が１／９９〜９９／１および、一般式（２）で表される構造単位（Ｂ）と一般式（３）で表される構造単位（Ｃ）の構造単位のモル比（Ｂ）／（Ｃ）が３０／７０〜１００／０である。ここで、構造単位（Ａ）は、露光時に感光剤から発生する酸により分解される基を含んでおり、露光後、アルカリ水溶液で現像してレジストパターンを作るために必要であり、構造単位（Ｂ）は、シリコン基板のような被処理基板との密着性を発現するのに必要である。これらのモル比（Ａ）／（Ｂ）が１／９９未満であると、現像が不十分となる傾向にあり、９９／１を超えると被処理基板との密着性が発現しない場合がある。また、構造単位（Ｃ）はシアノまたはラクトニルオキシカルボニルを含んでおり、シリコン基板のような被処理基板との密着性を改善すること、および溶剤への溶解性を改善することができる。さらに、構造単位（Ｂ）と構造単位（Ｃ）の構造単位のモル比（Ｂ）／（Ｃ）が３０／７０〜１００／０の範囲にあることは、露光後のアルカリ水溶液による現像時に濡れ張力を改善し、現像むらを解決するのに重要である。これらの構造単位がこの範囲にあることは、レジスト組成を調製するのに好適であり、極性の高い感光剤と共に、例えば２−ヘプタノンなどの極性溶媒に溶解し、シリコン基板のような被処理基板に塗布するレジスト材として極めて重要である。すなわち、開環メタセシス重合体の水素添加物が、レジスト組成物を調製する時に、極性溶媒に対する溶解度、または溶解速度を高めることで均一な平滑コーティング膜を形成することができる。
【００９９】
特に、少なくともＸ1，Ｘ2またはＸ3のうち１つが、−Ｏ−である一般式（１）で表される構造単位（Ａ）、一般式（２）で表される構造単位（Ｂ）または一般式（３）で表される構造単位（Ｃ）で構成される開環メタセシス重合体の水素添加物は、シリコン基板のような被処理基板への密着性、アルカリ水溶液による現像時に濡れ張力の改善、レジスト材のシリコンウェハーに塗布する工程で使用されるケトン類、アルコール類等の極性有機溶媒に対する溶解性をさらに向上させる効果がある。また、水に対する親和性も向上し、露光後のアルカリ水溶液等の剥離剤（または現像剤）に対する現像性も向上する。
【０１００】
以上のように、本発明における少なくとも一般式（１）で表される構造単位（Ａ）と下記一般式（２）で表される構造単位（Ｂ）と下記一般式（３）で表される構造単位（Ｃ）から構成され、その構成モル比（Ａ）／（Ｂ）が１／９９〜９９／１および構成モル比（Ｂ）／（Ｃ）が３０／７０〜１００／０であり、かつ重量平均分子量Ｍｗと数平均分子量Ｍｎとの比（Ｍｗ／Ｍｎ）が１．０〜２．０である開環メタセシス重合体の水素添加物は、フォトレジスト用ポリマーとして有用である。例えば、光酸発生剤及び溶剤とともにポジ型レジスト組成物として用いられる。ここで光酸発生剤とは、エキシマレーザー等の活性化放射線に露光されるとブレンステッド酸またはルイス酸を発生する物質である。また更に、レジスト組成物中には、溶解調節剤、界面活性剤、保存安定剤、増感剤、またはストリエーション防止剤等を添加することができる。このレジスト組成物は、例えば、該組成物をシリコンウエハー等の基板表面にスピンコーティング等の常法により塗布した後、溶剤を乾燥除去することによりレジスト膜を形成することができ、また、パターン形成のための露光は、遠紫外線やＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、電子線をレジスト膜へ照射することにより行われ、更に熱処理（露光後ベーク）を行うと、より高感度化することができる。次いで、露光部分をアルカリ水溶液等の現像液で洗い出す事によりレリーフパターンを得る。本発明の開環メタセシス重合体の水素添加物を用いて形成されたレリーフパターンは解像性、コントラストともに極めて良好である。更には、上記の如くに形成したパターンをマスクとして基板をエッチングすることも出来る。
【０１０１】
以下、実施例にて本発明を詳細に説明するが、本発明がこれらによって限定されるものではない。
【０１０２】
なお、実施例において得られた重合体の物性値は、以下の方法により測定した。
【０１０３】
平均分子量；ＧＰＣを使用し、得られた環状オレフィン系開環メタセシス重合体、該重合体水素添加物または加水分解した該重合体水素添加物をテトラヒドロフランに溶解し、検出器として日本分光製８３０−ＲＩおよびＵＶＩＤＥＣ−１００−ＶＩ、カラムとしてＳｈｏｄｅｘ  ｋ−８０５，８０４，８０３，８０２．５を使用し、室温において流量１．０ｍｌ／ｍｉｎでポリスチレンスタンダードによって分子量を較正した。
【０１０４】
水素添加率；環状オレフィン系開環メタセシス重合体水素添加物の粉末を重水素化クロロホルムに溶解し、９０ＭＨｚまたは４００ＭＨｚ−1ＨＮＭＲを用いてδ＝４．５〜６．０ｐｐｍにおける主鎖の炭素−炭素間二重結合に帰属するピークが、水素添加反応によって減少する大きさを算出した。
【０１０５】
重合体中に含まれるカルボン酸の割合は、ブロモチモールブルーを指示薬とする、中和滴定により測定した。または、重合体中に含まれる構造単位（Ｃ）のシアノ基の割合は、パーキンエルマー社製ＣＨＮ分析装置ＰＥ２４００IIで窒素含量を測定し、算出した。または、島津ＦＴＩＲ−８１００Ｍで赤外吸収スペクトル測定し、エステルのカルボニル伸縮振動１７６０〜１７００ｃｍ-1とカルボン酸のカルボニル伸縮振動１７４０〜１７８０ｃｍ-1またはヒドロキシの伸縮振動３７００〜３２００ｃｍ-1とニトリルの伸縮振動２２００〜２３００ｃｍ−１から、および1Ｈ−ＮＭＲスペクトルの特性吸収から構造単位（Ａ）と（Ｂ）及び（Ｃ）の組成比を算出した。
【０１０６】
ＵＶ吸収スペクトルは、石英ガラス板にスピンコーターを用いて回転数３０００ｒｐｍで膜厚１．０μｍの厚みで塗布し、島津ＵＶ−３１００で測定した。
【０１０７】
また、シリコンウエハー基板への密着性は、同様にスピンコーターで基板に塗布し膜し、１２０℃で１０分間ベークし、ＪＩＳＤ０２０２の試験方法にしたがって碁盤目上に傷を入れ、セロハンテープでピーリングし、剥がれの状態を目視で観察した。判定はＡ：５％未満の剥離、Ｂ：５〜２０％未満の剥離、Ｃ：２０〜５０％未満の剥離、Ｄ：５０％以上の剥離とする。
【０１０８】
実施例１
窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレーブに環状オレフィン系単量体として５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（３．７７ｇ、１９．２ｍｍｏｌ）と８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン（５．００ｇ、１９．２ｍｍｏｌ）をテトラヒドロフラン（３００ｍｌ）（以後ＴＨＦと言う）に溶解し撹拌を行った。これに開環メタセシス重合触媒としてＷ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅ2）（０Ｂｕt）2（ＰＭｅ3）（３２６ｍｇ、０．５５ｍｍｏｌ）を加え室温で１時間反応させた。その後、ブチルアルデヒド（１９８ｍｇ、３．８５ｍｍｏｌ）を加え３０分間撹拌し、反応を停止させた。
【０１０９】
この開環メタセシス重合体溶液にトリメチレンジアミン（５７０ｍｇ、７．７０ｍｍｏｌ）を加え、水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した後、メタノール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセシス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空乾燥して８．６０ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１１０】
その後、２０００ｍｌのオートクレーブにこの開環メタセシス重合体８．６０ｇをＴＨＦ（８００ｍｌ）に溶解して、水素添加触媒として予め調製したジクロロテトラキス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム（５．０ｍｇ、０．００４ｍｍｏｌ）とトリエチルアミン（２．１ｍｇ、０．０２０ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（８０ｍｌ）溶液を加え、水素圧８．１ＭＰａ、１６５℃で５時間水素添加反応を行った後、温度を室温まで戻し、次いで水素ガスを放出した。この開環メタセシス重合体水素添加物溶液をメタノールに加えて開環メタセシス重合体の水素添加物を沈殿させ、濾別分離後真空乾燥を行うことにより白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物８．６５ｇを得た。得られた開環メタセシス重合体水素添加物の1Ｈ−ＮＭＲから算出した水素添加率は主鎖のオレフィンのプロトンに帰属するピークが認められず、その水素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１６，２００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０４であった。
【０１１１】
得られた開環メタセシス重合体水素添加物８．５０ｇを１０００ｍｌのフラスコ中でベンゼン７５３ｍｌ、トリフルオロ酢酸１．３ｍｌに加え、７０℃で１時間攪拌し、溶媒留去の後、さらにＴＨＦに溶解させ、メタノールに加え、沈殿、濾過し、真空乾燥して白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物８．２ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比は９０／１０であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１６，０００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０６であった。
【０１１２】
比較例１
実施例１と同様にして合成した開環メタセシス重合体を水素添加反応をせずに、実施例１と同様に部分的に加水分解した開環メタセシス重合体を得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比は９０／１０であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１４，８００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０５であった。
【０１１３】
比較例２
実施例１と同様にして合成した開環メタセシス重合体を実施例１と同様に水素添加反応を行った。その後、実施例１の部分的な加水分解を行わなかった。結果、水素添加率は１００％、構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比は１００／０であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１５，７００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０４である開環メタセシス重合体水素添加物を得た。
【０１１４】
比較例３
実施例１において５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（３．７７ｇ、１９．２ｍｍｏｌ）に代えて５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（３．１２ｇ、１９．２ｍｍｏｌ）を使用したこと以外は実施例１と同様にして合成した開環メタセシス重合体を実施例１と同様に水素添加反応を行い、その後、実施例１と同様に部分的な加水分解した。結果として、水素添加率は１００％、構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比は９０／１０であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１６，１００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０５である開環メタセシス重合体水素添加物を得た。
【０１１５】
実施例２
窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレーブに環状オレフィン系単量体として５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（３．４０ｇ、１７．３ｍｍｏｌ）、７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボン酸無水物（０．３３ｇ、１．９６ｍｍｏｌ）と８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン（５．００ｇ、１９．２ｍｍｏｌ）をＴＨＦ（３００ｍｌ）に溶解し撹拌を行った。これに開環メタセシス重合触媒としてＷ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅ2）（０Ｂｕt）2（ＰＭｅ3）（３２６ｍｇ、０．５５ｍｍｏｌ）を加え室温で１時間反応させた。その後、ブチルアルデヒド（１９８ｍｇ、３．８５ｍｍｏｌ）を加え３０分間撹拌し、反応を停止させた。
【０１１６】
この開環メタセシス重合体溶液にトリメチレンジアミン（５７０ｍｇ、７．７０ｍｍｏｌ）を加え、水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した後、メタノール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセシス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空乾燥して８．４０ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１１７】
その後、２０００ｍｌのオートクレーブにこの開環メタセシス重合体８．４０ｇをＴＨＦ（８００ｍｌ）に溶解して、水素添加触媒として予め調製したジクロロテトラキス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム（５．０ｍｇ、０．００４ｍｍｏｌ）とトリエチルアミン（２．１ｍｇ、０．０２０ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（８０ｍｌ）溶液を加え、水素圧８．１ＭＰａ、１６５℃で５時間水素添加反応を行った後、温度を室温まで戻し、次いで水素ガスを放出した。この開環メタセシス重合体水素添加物溶液をメタノールに加えて開環メタセシス重合体の水素添加物を沈殿させ、濾別分離後真空乾燥を行うことにより白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物を得た。得られた開環メタセシス重合体水素添加物の1Ｈ−ＮＭＲから算出した水素添加率は主鎖のオレフィンのプロトンに帰属するピークが認められず、その水素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１５，０００、Ｍｗ／Ｍｎは１．１０であった。
【０１１８】
得られた開環メタセシス重合体水素添加物８．３５ｇを１０００ｍｌのフラスコ中でベンゼン７５３ｍｌ、トリフルオロ酢酸１．３ｍｌに加え、７０℃で０．５時間攪拌し、溶媒留去の後、さらにＴＨＦに溶解させ、メタノールに加え、沈殿、濾過し、真空乾燥して白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物７．９ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比は８５／１５であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１５，４００、Ｍｗ／Ｍｎは１．１３であった。
【０１１９】
実施例３
窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレーブに環状オレフィン系単量体として５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（７．５３ｇ、３８．４ｍｍｏｌ）をＴＨＦ（３００ｍｌ）に溶解し撹拌を行った。これに開環メタセシス重合触媒としてＭｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒi2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＭｅ3）（０Ｂｕt）2（３７５ｍｇ、０．７７ｍｍｏｌ）を加え室温で１時間反応させた。その後、ブチルアルデヒド（２７８ｍｇ、３．８５ｍｍｏｌ）を加え３０分間撹拌し、反応を停止させた。
【０１２０】
この開環メタセシス重合体溶液にトリメチレンジアミン（５７０ｍｇ、７．７０ｍｍｏｌ）を加え、水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した後、水／メタノール混合液（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセシス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空乾燥して７．４０ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１２１】
その後、２０００ｍｌのオートクレーブにこの開環メタセシス重合体７．５３ｇをＴＨＦ（８００ｍｌ）に溶解して、水素添加触媒として予め調製したジクロロテトラキス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム（５．０ｍｇ、０．００４ｍｍｏｌ）とトリエチルアミン（２．１ｍｇ、０．０２０ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（８０ｍｌ）溶液を加え、水素圧８．１ＭＰａ、１６５℃で５時間水素添加反応を行った後、温度を室温まで戻し、次いで水素ガスを放出した。この開環メタセシス重合体水素添加物溶液をメタノールに加えて開環メタセシス重合体の水素添加物を沈殿させ、濾別分離後真空乾燥を行うことにより白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物を得た。得られた開環メタセシス重合体水素添加物の1Ｈ−ＮＭＲから算出した水素添加率は主鎖のオレフィンのプロトンに帰属するピークが認められず、その水素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは９，９００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０４であった。
【０１２２】
得られた開環メタセシス重合体水素添加物７．３１ｇを１０００ｍｌのフラスコ中でベンゼン７５３ｍｌ、トリフルオロ酢酸１．３ｍｌに加え、７０℃で３時間攪拌し、溶媒留去の後、さらにＴＨＦに溶解させ、メタノールに加え、沈殿、濾過し、真空乾燥して白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物６．８９ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比は６９／３１であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは８，９００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０６であった。
【０１２３】
実施例４
窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレーブに環状オレフィン系単量体として５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（２．８５ｇ、１４．５ｍｍｏｌ）、５−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（２．２４ｇ、１４．５ｍｍｏｌ）、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン（３．７８ｇ、１４．５ｍｍｏｌ）と８−メトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン（３．１６ｇ、１４．５ｍｍｏｌ）をＴＨＦ（４００ｍｌ）に溶解し撹拌を行った。さらに、１，５−ヘキサジエン（１．０ｇ、１２ｍｍｏｌ）を加え、８０℃に加熱し、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣ(Ｍｅ)Ｐｈ）（ＯＢｕt）2（ＰＭｅ3）（５２ｍｇ、０．０８ｍｍｏｌ）を加え３時間反応させた。その後、ブチルアルデヒド（４０ｍｇ、０．７ｍｍｏｌ）を加え３０分間撹拌し、反応を停止させた。
【０１２４】
この開環メタセシス重合体溶液にトリメチレンジアミン（９０ｍｇ、１．２２ｍｍｏｌ）を加え、水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した後、メタノール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセシス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空乾燥して１０．９ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１２５】
その後、２０００ｍｌのオートクレーブにこの開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００ｍｌ）に溶解して、実施例１と同様に白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物を得た。得られた開環メタセシス重合体水素添加物の1Ｈ−ＮＭＲから算出した水素添加率は主鎖のオレフィンのプロトンに帰属するピークが認められず、その水素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１３，２００、Ｍｗ／Ｍｎは１．４６であった。
【０１２６】
得られた開環メタセシス重合体水素添加物９．０ｇを１０００ｍｌのフラスコ中で５％水酸化カリウムメタノール水溶液４００ｍｌに加え、７０℃で１時間攪拌し、その後、２％塩酸水溶液１０００ｍｌに加え、中和し、沈殿、濾過し、水洗浄し、真空乾燥して白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物８．２ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比（モル比）は５４／４６あり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１２，７００、Ｍｗ／Ｍｎは１．４８であった。
【０１２７】
実施例５
実施例４において、４種類の環状オレフィン系単量体を５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（７．１２ｇ、２８ｍｍｏｌ）と８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン（７．２９ｇ、２８ｍｍｏｌ）に代えたこと以外は実施例４と同様に行い、１３．１ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１２８】
その後、２０００ｍｌのオートクレーブにこの開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００ｍｌ）に溶解して、実施例４と同様に白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物を得た。その水素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１６，８００、Ｍｗ／Ｍｎは１．４２であった。
【０１２９】
得られた開環メタセシス重合体水素添加物１０．０ｇを実施例４と同様に加水分解して白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物９．１２ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比（モル比）は５８／４２あり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１６，２００、Ｍｗ／Ｍｎは１．４２であった。
【０１３０】
実施例６
実施例５において、環状オレフィン系単量体として５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−メキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンと８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセンを５，６−ジｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（５．４６ｇ、１８．４ｍｍｏｌ）と８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−メトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン（８．９ｇ、２８ｍｍｏｌ）に代えたこと以外は実施例５と同様に行い、１２．２ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１３１】
その後、２０００ｍｌのオートクレーブにこの開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００ｍｌ）に溶解して、実施例５と同様に白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物を得た。その水素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１８，５００、Ｍｗ／Ｍｎは１．４５であった。
【０１３２】
得られた開環メタセシス重合体水素添加物９．８ｇを実施例５と同様に加水分解して白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物を得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比（モル比）は５２／４８あり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１８，０００、Ｍｗ／Ｍｎは１．４４であった。
【０１３３】
実施例７
窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレーブに環状オレフィン系単量体として５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（５．３８ｇ、２４ｍｍｏｌ）、８−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン（６．９２ｇ、２４ｍｍｏｌ）をＴＨＦ（４００ｍｌ）に溶解し撹拌を行った。さらに、１，５−ヘキサジエン（２．０ｇ、２４．０ｍｍｏｌ）を加え、８０℃に加熱し、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣ(Ｍｅ)Ｐｈ）（ＯＢｕt）2（ＰＭｅ3）（５２ｍｇ、０．０８ｍｍｏｌ）を加え３時間反応させた。その後、ブチルアルデヒド（４０ｍｇ、０．７ｍｍｏｌ）を加え３０分間撹拌し、反応を停止させた。
【０１３４】
この開環メタセシス重合体溶液にトリメチレンジアミン（９０ｍｇ、１．２２ｍｍｏｌ）を加え、水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した後、メタノール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセシス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空乾燥して１０．９ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１３５】
その後、２０００ｍｌのオートクレーブにこの開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００ｍｌ）に溶解して、水素添加触媒として予め調製したクロロヒドリドカルボニルトリス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム（３．８ｍｇ、０．００４ｍｍｏｌ）とトリエチルアミン（２．１ｍｇ、０．０２０ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（８０ｍｌ）溶液を加え、水素圧８．１ＭＰａ、１５５℃で７時間水素添加反応を行った後、温度を室温まで戻し水素ガスを放出した。この開環メタセシス重合体水素添加物溶液をメタノールに加えて開環メタセシス重合体の水素添加物を沈殿させ、濾別分離後真空乾燥を行うことにより白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物を得た。得られた開環メタセシス重合体水素添加物の1H−ＮＭＲから算出した水素添加率は主鎖のオレフィンのプロトンに帰属するピークが認められず、１００％であり、またＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１２，９００、Ｍｗ／Ｍｎは１．５４であった。
【０１３６】
得られた開環メタセシス重合体水素添加物９．８ｇを１０００ｍｌのフラスコ中で０．１Ｎ塩化水素含有メタノール溶液２０ｍｌと１，４−ジオキサン４００ｍｌの溶液に加え、室温で２０分攪拌し、その後、濾過し、メタノール洗浄し、真空乾燥して白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物９．３ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比（モル比）は７０／３０あり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１１，６００、Ｍｗ／Ｍｎは１．５４であった。
【０１３７】
比較例４
実施例７と同様にして合成した開環メタセシス重合体粉末を実施例７と同様に水素添加反応を行った。その後、実施例７の部分的な加水分解を行わなかった。結果として、水素添加率は１００％、構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比は１００／０であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１３，５００、Ｍｗ／Ｍｎは１．４９である開環メタセシス重合体水素添加物を得た。
【０１３８】
比較例５
実施例７において５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（５．３８ｇ、２４ｍｍｏｌ）に代えて５−（テトラヒドロピラン−２’−イル）オキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（５．３３ｇ、２４ｍｍｏｌ）を使用したこと以外は実施例７と同様にして合成した開環メタセシス重合体を実施例７と同様に水素添加反応を行い、その後、実施例７と同様に部分的な加水分解を行った。その結果、水素添加率は１００％、構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比は７０／３０であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１２，１００、Ｍｗ／Ｍｎは１．５０である開環メタセシス重合体水素添加物を得た。
【０１３９】
表−１に上記の実施例及び比較例で得られた開環メタセシス重合体水素添加物のＵＶ透過率及び密着性評価の結果を示す。
【０１４０】
【表１】
0004421698.tif 000008
【０１４１】
実施例８
窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレーブに環状オレフィン系単量体として５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（９．６４ｇ、４９．２ｍｍｏｌ）と、５−シアノビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（３．９０ｇ、３２．８ｍｍｏｌ）を、テトラヒドロフラン（３００ｍｌ）に溶解し撹拌を行った。これに開環メタセシス重合触媒としてＷ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3)（ＣＨＣＨＣＭｅ2)（ＯＢｕt)2(ＰＭｅ3)（０．６９５ｇ、１．１７ｍｍｏｌ）を加え室温で１時間反応させた。その後、ブチルアルデヒド（４２０ｍｇ、５．８５ｍｍｏｌ）を加え３０分間撹拌し、反応を停止させた。
【０１４２】
この開環メタセシス重合体溶液にトリメチレンジアミン（１．３０ｇ、１７．６ｍｍｏｌ）を加え、水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した後、メタノール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセシス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空乾燥して１３．３５ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１４３】
その後、２０００ｍｌのオートクレーブにこの開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００ｍｌ）に溶解して、水素添加触媒として予め調製したジクロロテトラキス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム（５．０ｍｇ、０．００４ｍｍｏｌ）とトリエチルアミン（２．１ｍｇ、０．０２０ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（８０ｍｌ）溶液を加え、水素圧８．１ＭＰａ、１６５℃で５時間水素添加反応を行った後、温度を室温まで戻し、次いで水素ガスを放出した。この開環メタセシス重合体水素添加物溶液をメタノールに加えて開環メタセシス重合体の水素添加物を沈殿させ、濾別分離後真空乾燥を行うことにより白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物９．９６ｇを得た。得られた開環メタセシス重合体水素添加物の1H−ＮＭＲから算出した水素添加率は主鎖のオレフィンのプロトンに帰属するピークが認められず、その水素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１１，７００、Ｍｗ／Ｍｎは１．００であった。
【０１４４】
得られた開環メタセシス重合体水素添加物８．０ｇを１０００ｍｌのフラスコ中でベンゼン８００ｍｌ、トリフルオロ酢酸６．８５ｍｌに加え、７０℃で３時間撹拌し、メタノールに加え、沈殿、濾過し、乾燥した。さらに、ＴＨＦに溶解させ、メタノールに加え、沈殿、濾過し、真空乾燥して白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物７．７ｇを得た。得られた重合体の算出した構造単位（Ａ）／（Ｂ）／（Ｃ）の組成比（モル比）は３９／２１／４０であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１０，９００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０２であった。
【０１４５】
実施例９
窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレーブに環状オレフィン系単量体として５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（５．４２ｇ、２７．６ｍｍｏｌ）、５−シアノビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（０．３６ｇ、３．０ｍｍｏｌ）と８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン（７．１９ｇ、２７．６ｍｍｏｌ）をＴＨＦ（４００ｍｌ）に溶解し撹拌を行った。これに開環メタセシス重合触媒としてＷ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣＭｅ2）（ＯＢｕt）2（ＰＭｅ3）（４９３ｍｇ、０．８３ｍｍｏｌ）を加え室温で１時間反応させた。その後、ブチルアルデヒド（２９３ｍｇ、５．７ｍｍｏｌ）を加え３０分間撹拌し、反応を停止させた。
【０１４６】
この開環メタセシス重合体溶液にトリメチレンジアミン（５７０ｍｇ、７．７０ｍｍｏｌ）を加え、水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した後、メタノール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセシス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空乾燥して１２．７ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１４７】
その後、２０００ｍｌのオートクレーブにこの開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００ｍｌ）に溶解して、実施例１と同様に白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物を得た。その水素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１６，２００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０８であった。
【０１４８】
得られた開環メタセシス重合体水素添加物９．８０ｇを１０００ｍｌのフラスコ中でベンゼン７５３ｍｌ、トリフルオロ酢酸１．３ｍｌに加え、７０℃で１時間攪拌し、溶媒留去の後、さらにＴＨＦに溶解させ、メタノールに加え、沈殿、濾過し、真空乾燥して白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物９．１５ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）／（Ｃ）の組成比（モル比）は８５／１０／５であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１５，４００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０９であった。
【０１４９】
比較例６
実施例９において５−シアノビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンの使用量０．３６ｇ（３．０ｍｍｏｌ）を１．５６ｇ（１３．０ｍｍｏｌ）、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセンの使用量７．１９ｇ（２７．６ｍｍｏｌ）を４．６９ｇ（１７．６ｍｍｏｌ）に代えたこと以外は実施例９と同様にして合成した開環メタセシス重合体を実施例９と同様に水素添加反応を行い、その後、実施例９の部分的な加水分解を行わなかった。結果として、水素添加率は１００％、構造単位（Ａ）／（Ｂ）／（Ｃ）の組成比は７８／０／２２であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１４，１００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０９である開環メタセシス重合体水素添加物を得た。
【０１５０】
実施例１０
実施例９において環状オレフィン系単量体として５−シアノビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（０．３６ｇ、３．０ｍｍｏｌ）を５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（１．７９ｇ、８．０ｍｍｏｌ）に代えたこと以外は実施例９と同様にして１３．８ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１５１】
その後、２０００ｍｌのオートクレーブにこの開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００ｍｌ）に溶解して、実施例９と同様に白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物を得た。得られた開環メタセシス重合体水素添加物の1Ｈ−ＮＭＲから算出した水素添加率は主鎖のオレフィンのプロトンに帰属するピークが認められず、１００％であり、またＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１６，６００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０７であった。
【０１５２】
得られた開環メタセシス重合体水素添加物９．７ｇを実施例９と同様にして白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物８．８ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）／（Ｃ）の組成比（モル比）は７５／１２／１３であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１５，６００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０８であった。
【０１５３】
比較例７
実施例１０において５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンの使用量１．７９ｇ（８．０ｍｍｏｌ）を３．９６ｇ（１８．０ｍｍｏｌ）、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセンの使用量７．１９ｇ（２７．６ｍｍｏｌ）を４．６９ｇ（１７．６ｍｍｏｌ）に代えたこと以外は実施例１０と同様にして合成した開環メタセシス重合体を実施例１０と同様に水素添加反応を行い、その後、得られた開環メタセシス重合体水素添加物をベンゼン中でトリフルオロ酢酸１．３ｍｌに加え、７０℃で０．５時間攪拌し、溶媒留去の後、さらにＴＨＦに溶解させ、メタノールに加え、沈殿、濾過し、真空乾燥して水素添加率１００％の白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物を得た。その構造単位（Ａ）／（Ｂ）／（Ｃ）の組成比は６７／５／２８であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１４，１００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０９であった。
【０１５４】
実施例１１
実施例１０において環状オレフィン系単量体として５−（γ−ブチロラクトニル−２’−オキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンを５−（δ−バレロラクトニル−２’−オキシカルボニル）−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（１．９０ｇ、８．０ｍｍｏｌ）に代えたこと以外は実施例１０と同様にして１３．７ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１５５】
その後、２０００ｍｌのオートクレーブにこの開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００ｍｌ）に溶解して、実施例１０と同様に白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物を得た。その水素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１７，０００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０８であった。
【０１５６】
得られた開環メタセシス重合体水素添加物９．８０ｇを実施例１０と同様にして白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物９．０ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）／（Ｃ）の組成比（モル比）は７３／１５／１２であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１６，３００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０８であった。
【０１５７】
実施例１２
窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレーブに環状オレフィン系単量体として５−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（２．７８ｇ、２２．８ｍｍｏｌ）、５−シアノビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、（０．６７ｇ、３．０ｍｍｏｌ）、７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボン酸無水物（０．８０ｇ、４．８ｍｍｏｌ）と８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン（７．１９ｇ、２７．６ｍｍｏｌ）をＴＨＦ（４００ｍｌ）に溶解し撹拌を行った。これに開環メタセシス重合触媒としてＷ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣ(Ｍｅ)Ｐｈ）（ＯＢｕt）2（ＰＭｅ3）（５４５ｍｇ、０．８３ｍｍｏｌ）を加え室温で１時間反応させた。その後、ブチルアルデヒド（２９３ｍｇ、５．７ｍｍｏｌ）を加え３０分間撹拌し、反応を停止させた。
【０１５８】
この開環メタセシス重合体溶液にトリメチレンジアミン（５７０ｍｇ、７．７０ｍｍｏｌ）を加え、水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した後、メタノール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセシス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空乾燥して１０．９５ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１５９】
その後、２０００ｍｌのオートクレーブにこの開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００ｍｌ）に溶解して、実施例１と同様に白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物を得た。その水素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１４，５００、Ｍｗ／Ｍｎは１．１２であった。
【０１６０】
得られた開環メタセシス重合体水素添加物９．７ｇを実施例１と同様にして白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物９．３ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）／（Ｃ）の組成比（モル比）は８８／７／５であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１３，０００、Ｍｗ／Ｍｎは１．１３であった。
【０１６１】
実施例１３
窒素下で磁気撹拌装置を備えた５００ｍｌのオートクレーブに環状オレフィン系単量体として５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（５．４９ｇ、２９ｍｍｏｌ）、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン（７．５５ｇ、２９ｍｍｏｌ）をＴＨＦ（４００ｍｌ）に溶解し撹拌を行った。さらに、１，５−ヘキサジエン（２．０ｇ、２４ｍｍｏｌ）を加え、８０℃に加熱し、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ2Ｃ6Ｈ3）（ＣＨＣＨＣ(Ｍｅ)Ｐｈ）（ＯＢｕt）2（ＰＭｅ3）（５２ｍｇ、０．０８ｍｍｏｌ）を加え３時間反応させた。その後、ブチルアルデヒド（４０ｍｇ、０．７ｍｍｏｌ）を加え３０分間撹拌し、反応を停止させた。
【０１６２】
この開環メタセシス重合体溶液にトリメチレンジアミン（５７０ｍｇ、７．７０ｍｍｏｌ）を加え、水素分圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間撹拌した後、メタノール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセシス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空乾燥して１１．７ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１６３】
その後、２０００ｍｌのオートクレーブにこの開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００ｍｌ）に溶解して、水素添加触媒として予め調製したジクロロテトラキス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム（５．０ｍｇ、０．００４ｍｍｏｌ）とトリエチルアミン（２．１ｍｇ、０．０２０ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（８０ｍｌ）溶液を加え、水素圧８．１ＭＰａ、１６５℃で５時間水素添加反応を行った後、温度を室温まで戻し、次いで水素ガスを放出した。この開環メタセシス重合体水素添加物溶液をメタノールに加えて開環メタセシス重合体の水素添加物を沈殿させ、濾別分離後真空乾燥を行うことにより白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物１０．１ｇを得た。その水素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１３，７００、Ｍｗ／Ｍｎは１．４２であった。
【０１６４】
得られた開環メタセシス重合体水素添加物９．８ｇを１０００ｍｌのフラスコ中でトルエン７００ｍｌ、トリフルオロ酢酸１５ｍｌに加え、７０℃で３時間攪拌し、溶媒留去の後、さらにＴＨＦに溶解させ、メタノールに加え、沈殿、濾過し、真空乾燥して黄白色粉末状の加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物７．３２ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比は１３／８７であった。これをＴＨＦ２５ｍｌに溶解し、３，４−ジヒドロ−２H−ピラン３．２８ｇ、ｐ−トルエンスルホン酸・ピリジン塩０．１ｇを加え、室温で２０時間攪拌した。その後、メタノール（２０００ｍｌ）に加え、沈殿させ、濾過し、メタノール洗浄し、真空乾燥して白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物８．３９ｇを得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比（モル比）は５５／４５あり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１２，９００、Ｍｗ／Ｍｎは１．５０であった。
【０１６５】
実施例１４
実施例１３において、環状オレフィン系単量体として５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセンを５−メトキシカルボニル−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（４．４１ｇ、２９ｍｍｏｌ）と８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−メトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１2,5．１7,10］−３−ドデセン（９．２３ｇ、２９ｍｍｏｌ）に代えたこと以外は実施例１３と同様にして１２．５４ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。
【０１６６】
その後、２０００ｍｌのオートクレーブにこの開環メタセシス重合体１０．０ｇをＴＨＦ（８００ｍｌ）に溶解して、実施例１３と同様に白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物９．９５ｇを得た。得られた開環メタセシス重合体水素添加物の1Ｈ−ＮＭＲから算出した水素添加率は主鎖のオレフィンのプロトンに帰属するピークが認められず、１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１４，６００、Ｍｗ／Ｍｎは１．５３であった。
【０１６７】
得られた開環メタセシス重合体水素添加物９．７ｇを１０００ｍｌのフラスコ中で５％水酸化カリウムメタノール水溶液５００ｍｌに加え、７０℃で１時間攪拌し、その後、３％塩酸水溶液に加え、中和し、沈殿、濾過し、水洗浄し、真空乾燥して白色粉末状の加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物を得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比（モル比）は５５／４５であった。これをＴＨＦ２５ｍｌに溶解し、３，４−ジヒドロ−２H−ピラン３．２８ｇ、ｐ−トルエンスルホン酸・ピリジン塩０．１ｇを加え、室温で２０時間攪拌した。その後、メタノール（２０００ｍｌ）に加え、沈殿させ、濾過し、メタノール洗浄し、真空乾燥して白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物を得た。得られた重合体の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比（モル比）は６８／３２あり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１４，９００、Ｍｗ／Ｍｎは１．５３であった。
【０１６８】
表−２に、以上の実施例８〜１４及び比較例６、７で得られた開環メタセシス重合体水素添加物のＵＶ透過率及び密着性評価の結果を示す。
【０１６９】
【表２】
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【０１７０】
参考例１
実施例１で得た開環メタセシス重合体水素添加物１０グラム及びビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムトリフルオロメタンスルホネート０．２グラムをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７０グラムに溶解した後、０．１μｍのミクロフィルターで濾過してポジ型フォトレジスト溶液を調製した。
【０１７１】
次いで、このフォトレジスト溶液をスピンコータを用いてシリコンウエハ上に塗布し、ホットプレート上で１２０℃にて９０秒間乾燥することにより、膜厚０．５μｍのポジ型フォトレジスト層を形成した。次いで、ＡｒＦ露光装置（ニコン社製）により、ＡｒＦエキシマレーザー光（１９３ｎｍ）を選択的に照射したのち、１１０℃で９０秒間加熱処理後、２．３８重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で６０秒間現像し、３０秒間蒸留水にて水洗した後、乾燥し、レジストパターンプロファイルを得た。
【０１７２】
このような操作で形成された０．２５μｍのラインアンドスペースが１：１に形成される露光時間を感度としてｍＪ／ｃｍ2（エネルギー量）単位で測定したところ、１５ｍＪ／ｃｍ2であった。
【０１７３】
さらに、このようにして形成された０．２５μｍのレジストパターンの断面形状をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）写真により観察したところ、基板に対して垂直な矩形のレジストパターンであった。また、このような操作で０．２０μｍのレジストパターンまで解像され、パターン倒れはなかった。
【０１７４】
次に、酸素とテトラフルオロメタンの混合ガスをエッチングガスとして、エッチング装置ＯＡＰＭ−４０６［東京応化工業（株）製］でドライエッチング処理し、耐ドライエッチング性を単位時間当りの膜減り量で評価したところ、ポリヒドロキシスチレンを１．０とした場合、０．９０であった。
【０１７５】
【発明の効果】
本発明のフォレジスト用開環メタセシス重合体の水素添加物は、密着性、耐熱性、耐熱分解性、光透過性等に優れた紫外線や遠紫外線を用いた半導体微細加工用フォトレジストに適した重合体であり、工業的に極めて価値がある。又、本発明の製造方法によれば、このように有用な開環メタセシス重合体の水素添加物を効率よく、容易に得られる方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比９０／１０の開環メタセシス重合体の水素添加物のＩＲスペクトルを示す。
【図２】実施例１の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比９０／１０の開環メタセシス重合体の水素添加物の1Ｈ−ＮＭＲスペクトルを示す。
【図３】実施例１の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比９０／１０の開環メタセシス重合体の水素添加物のＵＶスペクトルを示す。
【図４】比較例１の構造単位（Ａ）／（Ｂ）の組成比９０／１０の開環メタセシス重合体のＵＶスペクトルを示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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