(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃焼炉と、該燃焼炉に隣接して設けられたガス導入部と、該ガス導入部と配管により接続された湿式スクラバーとを有するＰＦＣガス燃焼除害装置であって、
前記ガス導入部と前記湿式スクラバーとを接続する配管に、重力方向に分枝する分枝管が設けられていることを特徴とするＰＦＣガス燃焼除害装置。
【請求項２】
前記ガス導入部がフッ素樹脂コーティングされている、請求項１に記載のＰＦＣガス燃焼除害装置。
【請求項３】
前記分枝管と前記ガス導入部との間に、更にガス導入配管が設けられている、請求項１又は２に記載のＰＦＣガス燃焼除害装置。
【請求項４】
前記ガス導入部と前記湿式スクラバーとを接続する配管の前記分枝管接続部の内側に、前記ガス導入部と前記湿式スクラバーとを結ぶ方向と交叉する方向に凸部が設けられている、請求項１〜３のいずれか１項に記載のＰＦＣガス燃焼除害装置。
【請求項５】
前記分枝管が、前記燃焼炉に連結されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載のＰＦＣガス燃焼除害装置。
【請求項６】
前記分枝管が、前記燃焼炉の内部にまで導入されており、前記分枝管の先端に前記分枝管により分取された水分を蓄積する手段を有している、請求項５に記載のＰＦＣガス燃焼除害装置。
【請求項７】
塩素系ガスと混合したＰＦＣガス中に含まれる塩素系ガスを湿式スクラバーで除去し、前記塩素系ガスが除去されたＰＦＣガス、及びキャリアガスと混合したＰＦＣガスをガス導入部に導入し、前記塩素系ガスが除去されたＰＦＣガスとキャリアガスと混合したＰＦＣガスとを燃焼炉内で燃焼するＰＦＣガス燃焼除害方法であって、
前記塩素系ガスが除去されたＰＦＣガスを前記ガス導入部に導入する前にＰＦＣガス内の水分量を調整することを特徴とするＰＦＣガス燃焼除害方法。
【請求項８】
前記ガス導入部がフッ素樹脂コーティングされている、請求項７に記載のＰＦＣガス燃焼除害方法。
【請求項９】
水分量を調整するために除去された水分を、前記ガス導入部に対する迂回路を介して前記燃焼炉内に導入する、請求項７又は８に記載のＰＦＣガス燃焼除害方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＰＦＣガス燃焼除害装置及びＰＦＣガス燃焼除害方法に関するものであり、更に詳細には、ＰＦＣガスを燃焼除害した際に、装置内部の腐食の発生及び副生成物の生成を防止でき、清掃、部品交換の回数を少なくすることのできる、ＰＦＣガス燃焼除害装置及びＰＦＣガス燃焼除害方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の製造工程においては、ドライエッチング装置を用いることが多く行われており、このようなドライエッチング装置においてはＳＦ６及びＣＨＦ３等のＰＦＣガスが用いられる。ＰＦＣガスの使用においては、塩素系ガスと混合して用いる場合と、Ｈｅガス等のキャリアガスと混合して用いられる場合がある。
ＰＦＣガスは有害ガスを含有するため、通常は燃焼して排気され、例えば特開平１０−２４９１４３号公報には排ガスの処理方法が開示されている。
【０００３】
従来より用いられているＰＦＣガス燃焼除害装置について図面を参照して説明する。図５は従来のＰＦＣガス燃焼除害装置の構造を示す図である。図５に示すように、ＰＦＣガス燃焼除害装置５０は、湿式スクラバー５２、ガス導入部５６及び燃焼炉５７を有している。塩素系ガスと混合されたＰＦＣガスは配管５１から導入され、湿式スクラバー５２にて塩素系ガスが除去され、配管５３及び５５を通過しガス導入部５６に導入される。
【０００４】
また、キャリアガスであるＨｅガスと混合されたＰＦＣガスは配管５４から導入され、配管５５を通過してガス導入部５６に導入される。
一方、燃焼ガスが燃焼ガス導入部５９からガス導入部５６に導入された後、燃焼処理部５８の炎６０によってＰＦＣガスを燃焼する。ＰＦＣガスを燃焼した後は希釈空気導入部６１から希釈空気を導入し、燃焼後のガスを希釈しガス排気口６２から排ガスを排出する。
【０００５】
上述したＰＦＣガス燃焼除害装置５０においては、ほぼ１ヶ月使用すると、燃焼処理部に副生成物が付着し、燃焼効率が不充分となり、装置内部の清掃を実施する必要が生じていた。また、ガス導入部の内壁が腐食するという問題も生じていた。
そこで、副生成物の付着、内壁の腐食に関する原因を追求すべく副生成物の分析及び配管系統の接続変更実験を行ったところ、エッチング反応により生成される酸性ガス（ＨＦ、ＳＯＦ２等）系の酸、及び湿式スクラバーからの水分が腐食生成物を生成していることを見出し、特に水分の存在による影響が大きいことが判明した。また、腐食についても水分が存在すると加速されることが判明した。
【０００６】
上述したように、従来のＰＦＣガス燃焼除害装置５０においてはガス導入部５６に水分を多量に含むガス及び酸性ガスが導入されることになり、ガス導入部５６内で腐食が発生したり、副生成物が生成され、高い頻度でＰＦＣガス燃焼除害装置５０を清掃し、又は部品の交換をする必要が生ずる。
【０００７】
従って、装置内部の腐食の発生及び副生成物の生成を防止でき、清掃、部品交換の回数を少なくすることのできる、ＰＦＣガス燃焼除害装置及びＰＦＣガス燃焼除害方法が望まれていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的は、ＰＦＣガスの燃焼除害を行った際に、装置内部の腐食の発生及び副生成物の生成を防止でき、清掃、部品交換の回数を少なくすることのできる、ＰＦＣガス燃焼除害装置及びＰＦＣガス燃焼除害方法を提供することにある。
【０００９】
前記課題を解決する本出願の請求項１に記載の発明は、燃焼炉と、該燃焼炉に隣接して設けられたガス導入部と、該ガス導入部と配管により接続された湿式スクラバーとを有するＰＦＣガス燃焼除害装置であって、前記ガス導入部と前記湿式スクラバーとを接続する配管に、重力方向に分枝する分枝管が設けられていることを特徴とするＰＦＣガス燃焼除害装置である。
【００１０】
かかる構成とすることにより、塩素系ガスと混合されたＰＦＣガスに含まれる水分がガス導入部に導入される前に、水分量が調整されて分枝管に流出するのでガス導入部に導入されるガス中の水分含有量が少なくるので、本発明のＰＦＣガス燃焼除害装置の内部の腐食の発生及び副生成物の生成を防止でき、装置内部の清掃、及び部品交換の回数を少なくすることが可能となる。
【００１１】
また、本出願の請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のＰＦＣガス燃焼除害装置において、前記ガス導入部がフッ素樹脂コーティングされていることを特徴とする。
かかる構成とすることにより、ガス導入部の内壁がフッ素樹脂コーティングされているので、本発明のＰＦＣガス燃焼除外装置の内部の腐食の発生及び副生成物の生成防止効果が更に向上し、装置内部の清掃、及び部品交換の回数を更に少なくすることが可能となる。
【００１２】
また、本出願の請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のＰＦＣガス燃焼除害装置において、前記分枝管と前記ガス導入部との間に、更にガス導入配管が設けられていることを特徴とする。
かかる構成とすることにより、他のガスを同時にガス導入部に導入し、燃焼除害することができる。この場合、他のガスとは、例えばキャリアガスと混合されたＰＦＣガスである。
【００１３】
また、本出願の請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載のＰＦＣガス燃焼除害装置において、前記ガス導入部と前記湿式スクラバーとを接続する配管の前記分枝管接続部の内側に、前記ガス導入部と前記湿式スクラバーとを結ぶ方向と交叉する方向に凸部が設けられていることを特徴とする。
【００１４】
かかる構成とすることにより、ガス導入部と湿式スクラバーとを接続する配管の分枝管接続部の内側に凸部が設けられているので、水分を含有するＰＦＣが配管内を通過する際に水分が凸部により除去され、分枝管に流出しやすくなり、請求項１に記載の効果が更に向上する。
【００１５】
また、本出願の請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載のＰＦＣガス燃焼除害装置において、前記分枝管が、前記燃焼炉に連結されていることを特徴とする。
ＰＦＣガス中に含有され、水分量を調整されるために除去された水分は分枝管に流出するが、本出願の請求項４に記載の構成とすることにより、かかる水分を燃焼炉内に導入し、他の排ガスとともに排気することが可能となり、排水装置を別に設ける必要がなくなる。また、燃焼炉内に導入された水分は燃焼炉内が高温であるため、蒸発し、水蒸気圧が低下することにより、ガス導入部に導入されるＰＦＣガスに含まれる水分量の除去が更に促進される。
【００１６】
また、本出願の請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のＰＦＣガス燃焼除害装置において、前記分枝管が、前記燃焼炉の内部にまで導入されており、前記分枝管の先端に前記分枝管により分取された水分を蓄積する手段を有していることを特徴とする。
かかる構成とすることにより、分枝管に流出した水分が分子枝の先端に設けられた水分を蓄積する手段に蓄積され、燃焼炉内の高温のために蒸発することとなる。
【００１７】
また、本出願の請求項７に記載の発明は、塩素系ガスと混合したＰＦＣガス中に含まれる塩素系ガスを湿式スクラバーで除去し、前記塩素系ガスが除去されたＰＦＣガス、及びキャリアガスと混合したＰＦＣガスをガス導入部に導入し、前記塩素系ガスが除去されたＰＦＣガスとキャリアガスと混合したＰＦＣガスとを燃焼炉内で燃焼するＰＦＣガス燃焼除害方法であって、前記塩素系ガスが除去されたＰＦＣガスを前記ガス導入部に導入する前にＰＦＣガス内の水分量を調整することを特徴とするＰＦＣガス燃焼除害方法である。
【００１８】
かかる構成とすることにより、塩素系ガスと混合されたＰＦＣガスに含まれる水分がガス導入部に導入される前に、水分量が調整されて分枝管に流出するのでガス導入部に導入されるガス中の水分含有量が少なくなり、装置内部の腐食の発生及び副生成物の生成を防止でき、装置内部の清掃、及び部品交換の回数を少なくすることのできる方法となる。
【００１９】
また、本出願の請求項８に記載の発明は、請求項７に記載のＰＦＣガス燃焼除害方法において、前記ガス導入部がフッ素樹脂コーティングされていることを特徴とする。
かかる構成とすることにより、ガス導入部の内壁がフッ素樹脂コーティングされているので、装置内部の腐食の発生及び副生成物の生成の防止効果が更に向上し、装置内部の清掃、及び部品交換の回数を更に少なくすることが可能となる。
【００２０】
また、本出願の請求項９に記載の発明は、請求項７又は８に記載のＰＦＣガス燃焼除害方法において、水分量を調整するために除去された水分を、前記ガス導入部に対する迂回路を介して前記燃焼炉内に導入することを特徴とする。
【００２１】
水分量を調整するために除去された水分を燃焼炉内に導入し、他の排気ガスとともに排気することが可能となり、排水装置を別に設ける必要がなくなる。また、燃焼炉内に導入された水分は燃焼炉内は高温であるため、蒸発し、水蒸気圧が低下することにより、ガス導入部に導入されるＰＦＣガスに含まれる水分量の除去が更に促進される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、先ず本発明のＰＦＣガス燃焼除害装置について図面を参照して説明する。図１は、本発明のＰＦＣガス燃焼除害装置の構成を示す図である。図１に示す本発明のＰＦＣガス燃焼除害装置１０は、燃焼炉１７と、該燃焼炉１７に隣接して設けられたガス導入部１６と、該ガス導入部１６と配管１３、１５により接続された湿式スクラバー１２とを有している。
【００２３】
図１に示すように、ＰＦＣガス燃焼除害装置１０は、ガス導入部１６と湿式スクラバー１とを接続する配管１３、１５に、重力方向に分枝する分枝管２３が設けられている。
図１に示すＰＦＣガス燃焼除害装置１０に設けられた分枝管２３は、その中に流出した水分をそのまま排水するようになされている。
【００２４】
また、前記ＰＦＣガス燃焼除害装置１０のガス導入部１６は、その内壁がフッ素樹脂コーティングされている。フッ素樹脂コーティングの材質及びコーティング方法については特に制限はなく、従来より用いられている材質のものが用いられ、またコーティング方法についても従来公知の方法により実施することができる。
図１に示すＰＦＣガス燃焼除害装置１０においては、ガス導入部１６がフッ素樹脂コーティングされているが、本発明のＰＦＣガス燃焼除害装置においては、ガス導入部１６はフッ素樹脂コーティングされていないものであってもよい。
【００２５】
図１に示すＰＦＣガス燃焼除害装置１０は、分枝管２３とガス導入部１６との間に、更にガス導入配管１４が設けられている。図１に示される配管１４からは、湿式スクラバー１２を通過させる必要のないガス、すなわちキャリアガスと混合されたＰＦＣガスが導入される。一方、配管１３からは湿式スクラバー１２を通過したＰＦＣガスが導入される。
【００２６】
また、図１に示すＰＦＣガス燃焼除害装置１０においては、ガス導入部１６と湿式スクラバー１２とを接続する配管１３、１５の分枝管接続部２４の内側に、ガス導入部１６と湿式スクラバー１２とを結ぶ方向と交叉する方向に凸部が設けられている。
図４は、凸部を有する分枝管接続部２４の一例の拡大断面図を示す図である。
図４に示すように、分枝管接続部２４の内側には、ガス導入部１６と湿式スクラバー１２とを結ぶ方向と交叉する方向に複数の凸部２５が設けられている。
【００２７】
図４に示すように、水分を含んだＰＦＣガスは、導気として分枝管接続部２４内部に導入され、分枝管接続部２４内部を通過し、排気として排出される。水分を含んだＰＦＣガスが分枝管接続部２４内部を通過する際に、ガス中に含まれる凝縮した水分が凸部２５に付着し、ある程度増加すると、水滴となり分枝管接続部２４の下部に落下するようになっている。分枝管接続部２４の下部に落下した水滴は、分枝管２４の内部に入り、そのまま排水となって排出される。
【００２８】
なお、図１に示すＰＦＣガス燃焼除害装置１０の材質については特に制限はなく、従来より用いられているＰＦＣガス燃焼除害装置を製造するために用いられる材質を用いて製造することができる。
【００２９】
次に、図１に示す、本発明のＰＦＣガス燃焼除害装置１０を用いてＰＦＣガスを燃焼除害する動作について図１を用いて説明する。
塩素系ガスと混合されたＰＦＣガスは配管１１から導入され、湿式スクラバー１２にて塩素系ガスが除去され、配管１３及び１５を通過してガス導入部１６に導入される。ＰＦＣガスは湿式スクラバー１２を通過するので、水分を多量に含むものとなるが、ＰＦＣガス燃焼除害装置１０は分枝管２３を有しているので、含まれる水分量が調整され、水分量を調整するために水分が除去され、分枝管２３に水分が流出し、そのまま排水される。
【００３０】
一方、キャリアガスであるＨｅガスと混合されたＰＦＣガスは配管１４から導入され、配管５５を通過してガス導入部１６に導入される。
また、燃焼ガスが燃焼ガス導入部１９からガス導入部１６に導入された後、燃焼処理部１８の炎２０によってＰＦＣガスが燃焼される。ＰＦＣガスが燃焼された後は希釈空気導入部２１から希釈空気を導入し、燃焼後のガスを希釈しガス排気口２２から排ガスを排出する。
【００３１】
上述したように、湿式スクラバー１２を通過したＰＦＣガス中の水分は分枝管２３を通過して除去されており、またガス導入部１６の内壁はフッ素樹脂コーティングされているので、ＰＦＣガス燃焼除害装置は、内部に腐食が発生せず、副生成物が生成されないので、装置内部の清掃、部品交換の回数を減らすことができる。
【００３２】
次に、本発明のＰＦＣガス燃焼除害装置の第２の実施形態について図面を参照して説明する。図２は、本発明のＰＦＣガス燃焼除害装置の第２の実施形態の構成を示す図である。
図２に示すＰＦＣガス燃焼除害装置１１０においては、分枝管１２３が燃焼炉１１７に連結されている。
【００３３】
図１を用いて説明したように、ＰＦＣガス中に含有され、水分量を調整するために除去された水分は分枝管２３に流出するが、そのためには、別に排水装置を設ける必要がある。
図２に示すＰＦＣガス燃焼除害装置１１０においては、分枝管１２３が燃焼炉１１７に連結されており、迂回路となっている。分枝管１２３に流出した水分は燃焼炉１１７内に導入される。燃焼炉１１７は、燃焼処理部１１８の炎１２０により高温となっており、燃焼炉内に導入された水分は蒸発し、他の排ガスとともに希釈空気導入部１２１から導入された希釈空気により希釈されガス排気口１２２から排ガスとして排出される。このため、排水装置を別に設ける必要がなくなる。
【００３４】
また、燃焼炉１１７内に導入された水分は上述したように、燃焼炉１１７内が高温となっているため蒸発し、水蒸気圧が低下し、そのため湿式スクラバー１１２を通過した水分を多量に含むＰＦＣガス中の水分が、分枝管１２３の方に流出しやすくなり、ガス導入部１１６に導入されるＰＦＣガスに含まれる水分量の除去が更に促進される。なお、図２に示すＰＦＣガス燃焼除害装置１１０について本明細書において特に説明していない部分については図１に示したＰＦＣガス燃焼除害装置と同様である。
【００３５】
次に、本発明のＰＦＣガス燃焼除害装置の第３の実施形態について図面を参照して説明する。図３は、本発明のＰＦＣガス燃焼除害装置の第３の実施形態の構成を示す図である。
図３に示すＰＦＣガス燃焼除害装置２１０においては、分枝管２２３が燃焼炉２１７の内部にまで導入されており、分枝管２２３の先端に分枝管により分取された水分を蓄積する手段２２６を有している。
【００３６】
図３に示すＰＦＣガス燃焼除害装置２１０においては、分枝管２２３が燃焼炉２１７に連結されており、分枝管２２３に流出した水分が燃焼炉２１７内に導入される。燃焼炉２１７は上述したように高温になっており、燃焼炉２１７内に導入された水分は蒸発するが、水分を蓄積する手段２２６にいったん水分を蓄積することにより、水分が燃焼炉２１７の下部に流れ、ガス排気口２２２から排出されることが防止される。
【００３７】
水分を蓄積する手段２２６は、どのような構造でもよく、例えば皿状の構造のものが用いられる。水分が水分を蓄積する手段２２６に蓄積されてから、又は蓄積されるとほとんど同時に蒸発し、他の排ガスとともに希釈空気導入部２２１から導入された希釈空気により希釈されガス排気口２２２から排ガスとして排出される。
なお、図３に示すＰＦＣガス燃焼除害装置２１０において本明細書において特に説明していない部分については図１及び図２に示したＰＦＣガス燃焼除害装置と同様である。
【００３８】
次に、本発明のＰＦＣガス燃焼除害方法について説明する。
本発明のＰＦＣガス燃焼除害方法は、塩素系ガスと混合したＰＦＣガス中に含まれる塩素系ガスを湿式スクラバーで除去し、前記塩素系ガスが除去されたＰＦＣガス、及びキャリアガスと混合したＰＦＣガスをフッ素樹脂コーティングされたガス導入部に導入し、前記塩素系ガスが除去されたＰＦＣガスとキャリアガスと混合したＰＦＣガスとを燃焼炉内で燃焼するＰＦＣガス燃焼除害方法であって、前記塩素系ガスが除去されたＰＦＣガスを前記ガス導入部に導入する前に水分量を調整することを特徴とする。
【００３９】
本発明のＰＦＣガス燃焼除害方法は、上述した本発明のＰＦＣガス燃焼除害装置を用いて実施することができる。本発明のＰＦＣガス燃焼除害方法について図１を参照して説明する。
【００４０】
先ず、塩素系ガスと混合したＰＦＣガスを配管１１から湿式スクラバー１２に導入し、該湿式スクラバー１２で塩素系ガスを除去する。次いで、塩素系ガスが除去されたＰＦＣガスを配管１３及び１５を介してガス導入部１６に導入する。本発明のＰＦＣガス燃焼除害方法においては、塩素系ガスが除去されたＰＦＣガスがガス導入部１６に導入される前にＰＦＣガス内に含まれる水分量を調整する。
【００４１】
ＰＦＣガス内に含まれる水分量の調整は、図１に示すＰＦＣガス燃焼除害装置１０の分枝管２３により実施される。分枝管２３により、ＰＦＣガス内に含まれる水分量を調整するために水分が除去され、水分量が調整されたＰＦＣガスがガス導入部１６に導入される。
【００４２】
本発明のＰＦＣガス燃焼除害方法において用いられるＰＦＣガス燃焼除害装置１０においては、ガス導入部１６と湿式スクラバー１２とを接続する配管１３、１５の分枝管接続部２４の内側に、ガス導入部１６と湿式スクラバー１２とを結ぶ方向と交叉する方向に凸部を設けてもよい。
そのような凸部としては、例えば図４に示すようなものが挙げられる。
【００４３】
水分を含んだＰＦＣガスは、図４に示すように、導気として分枝管接続部２４内部に導入され、分枝管接続部２４内部を通過し、排気として排出される。水分を含んだＰＦＣガスが分枝管接続部２４内部を通過する際に、水分が凸部２５に吸着し、ある程度増加すると、水滴となり分枝管接続部２４の下部に落下するようになっている。分枝管接続部２４の下部に落下した水滴は、分枝管２４の内部に入り、そのまま排水となって排出される。
【００４４】
一方、キャリアガスと混合したＰＦＣガスを配管１４から導入し、配管１５を介してガス導入部１６に導入する。
次いで、燃焼ガス導入部１９から燃焼ガスをガス導入部１６に導入し、燃焼処理部１８の炎２０によって、ガス導入部１６に導入されたガスを燃焼し、希釈空気導入部２１から希釈空気を導入し、燃焼後のガスを希釈空気で希釈しながらガス排気口２２から排ガスを排出する。
【００４５】
上述したように、本発明のＰＦＣガス燃焼除害方法においては、ガス導入部１６に導入されるＰＦＣガスに含まれる水分含有量は減少しており、またガス導入部１６はフッ素節コーティングされているので、ＰＦＣガス燃焼除害装置の内部に腐食が発生せず、副生成物が生成されないので、装置内部の清掃、部品交換の回数を減らすことのできる、ＰＦＣガス燃焼除害方法となる。
【００４６】
次に、本発明のＰＦＣガス燃焼除害方法の第２の実施形態について説明する。本発明のＰＦＣガス燃焼除害方法の第２の実施形態においては、調整するために除去された水分を、前記ガス導入部に対する迂回路を介して燃焼炉に導入するようになされている。
本発明のＰＦＣガス燃焼除害方法の第２の実施形態について図２を参照して説明する。
図２に示すＰＦＣガス燃焼除害装置１１０においては、分枝管１２３が燃焼炉１１７に連結され、迂回路となっている。
【００４７】
第１の実施形態におけるＰＦＣガス燃焼除害方法において、水分量を調整するために除去された水分は分枝管２３に流出し、別に排水装置を設ける必要がある。
第２の実施形態におけるＰＦＣガス燃焼除害方法においては、分枝管１２３が燃焼炉１１７に連結され、迂回路となっており、該迂回緒を介して水分量を調整するために除去された水を燃焼炉１１７内に導入する。燃焼炉１１７は、燃焼処理部１１８の炎により高温となっており、燃焼炉１１７内に導入された水分は蒸発し、他の排ガスとともに希釈空気導入部１２１から導入された希釈空気により希釈されガス排気口１２２から排ガスとして排出される。従って、排水装置を別に設ける必要がなくなり、より簡易な設備でＰＦＣガス燃焼除害方法を実施することが可能となる。
【００４８】
また、燃焼炉１１７内に導入された水分は上述したように、燃焼炉１１７内が高温となっているため蒸発し、水蒸気圧が低下し、そのため湿式スクラバー１１２を通過した水分を多量に含むＰＦＣガス中の水分が、分枝管１２３の方に流出しやすくなり、ガス導入部１１６に導入されるＰＦＣガスに含まれる水分量の除去が更に促進され、本発明のＰＦＣガス燃焼除害方法における効果が更に向上する。
【００４９】
実施例
実験装置として、図１に示すＰＦＣガス燃焼除害装置、及び図５に示すＰＦＣガス燃焼除害装置を用いた。
半導体製造工程におけるドライエッチング装置から排出されるＰＦＣガスの除害を図１（実施例）及び図５（比較例）に示すＰＦＣガス燃焼除害装置を用いて行った。何れの装置を用いた場合も、半導体製造工程においてドライエッチング装置から排出されるＰＦＣガスの除害を長期間に渡って行い、配管１５、５５（入り口配管）、ガス導入部１６、５６、燃焼処理部１８、５８及びスレクーパー部（図示していない）につき、使用後に肉眼観察を行った。なお、図１に示す装置については４ヶ月使用した後観察を行い、図５に示す装置については４５日間の使用後に観察を行った。
【００５０】
観察結果を表１に示す。なお、表中の評価基準は以下の通りである。
◎：腐食が全くない
○：黄色の付着物がわずかに付着した。
△：腐食物が生成されるか、またはわずかに剥がれが生じた。
×：腐食された。
【００５１】
【表１】
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【００５２】
表１から明らかなように、比較例のＰＦＣガス燃焼除害装置は、４５日間の使用によって、ほとんどの部位に腐食生成物が生成され、スクレーパー部においては腐食（侵食）がひどく、交換が必要であった。また、排気配管部においても腐食がひどく、排気が漏洩が激しかった。
【００５３】
これに対し、実施例のＰＦＣガス燃焼除害装置は、４ヶ月使用した後においても、入り口配管部にわずかにフッ素樹脂コーティングが剥がれたのみであり、その他の部位においても、わずかに付着物が付着した程度であった。
【００５４】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明にかかるＰＦＣガス燃焼除害装置によれば、ＰＦＣガスの燃焼除害を行なう際に、装置内部の腐食の発生及び副生成物の生成を防止でき、装置内部の清掃、部品交換の回数を少なくすることができる。
【００５５】
また、本発明にかかるＰＦＣガス燃焼除害方法は、装置内部の腐食の発生及び副生成物の生成を防止でき、装置内部の清掃、部品交換の回数を少なくすることができる方法である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のＰＦＣガス燃焼除害装置の構成を示す図である。
【図２】  本発明のＰＦＣガス燃焼除害装置の第２の実施形態の構成を示す図である。
【図３】  本発明のＰＦＣガス燃焼除害装置の第３の実施形態の構成を示す図である。
【図４】  凸部を有する分枝管接続部の一例の拡大断面図を示す図である。
【図５】  従来のＰＦＣガス燃焼除害装置の構造を示す図である。
【符号の説明】
１０  ＰＦＣガス燃焼除害装置
１１  配管
１２  湿式スクラバー
１３  配管
１４  配管
１５  配管
１６  ガス導入部
１７  燃焼炉
１８  燃焼処理部
１９  燃焼ガス導入部
２０  炎
２１  希釈空気導入部
２２  ガス排気口
２３  分枝管
２４  分枝接続部
２５  凸部
５０  ＰＦＣガス燃焼除害装置
５１  配管
５２  湿式スクラバー
５３  配管
５４  配管
５５  配管
５６  ガス導入部
５７  燃焼炉
５８  燃焼処理部
５９  燃焼ガス導入部
６０  炎
６１  希釈空気導入部
６２  ガス排気口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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