(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の一方の面に形成された第１の配線パターンと、前記第１の配線パターンに電気的に接続されて前記基板の他方の面に形成された第２の配線パターンと、
前記第１の配線パターンにおける前記基板側とは反対側の面に形成された第１のメッキ層と、前記第２の配線パターンにおける前記基板側とは反対側の面に形成された第２のメッキ層と、
前記基板に搭載されて前記第１のメッキ層に電気的に接続された半導体チップと、
前記第１のメッキ層上に設けられた樹脂と、
前記第２のメッキ層上に設けられた導電材料と、
を含み、
前記第１のメッキ層は前記第２のメッキ層よりも薄い半導体装置。
【請求項２】
請求項１記載の半導体装置において、
前記第１及び第２のメッキ層は異なる材料で形成されている半導体装置。
【請求項３】
請求項１記載の半導体装置において、
前記樹脂は、接着剤であって導電粒子を含有して異方性導電材料を構成し、
前記半導体チップは、前記異方性導電材料を介してフェースダウン実装されている半導体装置。
【請求項４】
基板と、
前記基板の一方の面に形成された第１の配線パターンと、前記第１の配線パターンに電気的に接続されて前記基板の他方の面に形成された第２の配線パターンと、
前記第１の配線パターンにおける前記基板側とは反対側の面に形成された第１のメッキ層と、前記第２の配線パターンにおける前記基板側とは反対側の面に形成された第２のメッキ層と、
を含み、
前記第１のメッキ層は前記第２のメッキ層よりも薄く、
前記第１及び第２のメッキ層は異なる材料で形成されている実装基板。
【請求項５】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の半導体装置が搭載された回路基板。
【請求項６】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の半導体装置を備える電子機器。
【請求項７】
一方の面に第１の配線パターンが形成され、他方の面に前記第１の配線パターンに電気的に接続される第２の配線パターンが形成された基板をメッキ浴に浸せきし、前記第１及び第２の配線パターンを陰極に電気的に接続し、前記第１の配線パターンに向けて第１の陽極を配置し、前記第２の配線パターンに向けて第２の陽極を配置し、前記第１及び第２の陽極と前記陰極との間で異なる電流密度の電流を流す工程と、
を含み、
前記第１の陽極からの電流によって、第１のメッキ層を前記第１の配線パターン上に形成し、
前記第２の陽極からの電流によって、第２のメッキ層を前記第２の配線パターン上に形成し、
前記第１のメッキ層を前記第２のメッキ層よりも薄く形成し、
前記第２のメッキ層の上に導電材料を形成する、実装基板の製造方法。
【請求項８】
請求項７記載の実装基板の製造方法において、
前記第１及び第２のメッキ層は相互に異なる特性を有する実装基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置、実装基板及びその製造方法、回路基板並びに電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｔ−ＣＳＰ（Tape-Chip Scale/Size Package）のように、配線パターンが形成された基板を使用した半導体装置が知られている。基板には半導体チップが搭載され、配線パターンには半導体チップの電極が電気的に接続されるとともにハンダボールが設けられることが多い。ここで、配線パターンの表面に対して、半導体チップの電極を接続するために必要な性質と、ハンダボールなどを設けるために必要な性質が異なる。このように、配線パターンの表面には、部分的に異なる性質が要求されるが、従来、配線パターンの表面全体に単一のメッキを施しているだけであった。
【特許文献１】特開昭６０−２４４０９４号公報
【特許文献２】特開昭６４−６１９８６号公報
【特許文献３】特開平１１−４０６２０号公報
【特許文献４】特開平１０−２７０６２４号公報
【特許文献５】特開平２−２３２３９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、上述したような課題を解決するものであり、その目的は、表面において部分的に異なる特性を有する配線パターンを含む半導体装置、実装基板及びその製造方法、回路基板並びに電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
（１）本発明に係る半導体装置は、複数のスルーホールが形成された基板と、
前記スルーホール上を通って前記基板に形成された配線パターンと、
前記配線パターンにおける前記基板側とは反対側の面に形成された第１のメッキ層と、前記配線パターンにおける前記基板側の面であって前記スルーホール内に形成された第２のメッキ層と、
前記基板に搭載されて前記第１のメッキ層に電気的に接続された半導体チップと、
前記第１のメッキ層上に設けられた樹脂と、
前記第２のメッキ層上に設けられる導電材料と、
を含み、
前記第１及び第２のメッキ層は相互に異なる特性を有する。
【０００５】
本発明によれば、配線パターンに第１及び第２のメッキ層が形成されているので、配線パターンの表面の酸化が防止されるとともに、電気的な接触抵抗を低下させることができる。
【０００６】
第１及び第２のメッキ層は異なる特性を有する。樹脂との密着性に適するメッキ層と、導電材料との接合性に適するメッキ層とは、相反する性質が要求されることが多いが、その場合でも本発明は、異なる性質の第１及び第２のメッキ層によって対応することができる。
【０００７】
（２）本発明に係る半導体装置は、基板と、
前記基板の一方の面に形成された第１の配線パターンと、前記第１の配線パターンに電気的に接続されて前記基板の他方の面に形成された第２の配線パターンと、
前記第１の配線パターンにおける前記基板側とは反対側の面に形成された第１のメッキ層と、前記第２の配線パターンにおける前記基板側とは反対側の面に形成された第２のメッキ層と、
前記基板に搭載されて前記第１のメッキ層に電気的に接続された半導体チップと、
前記第１のメッキ層上に設けられた樹脂と、
前記第２のメッキ層上に設けられた導電材料と、
を含み、
前記第１及び第２のメッキ層は相互に異なる特性を有する。
【０００８】
本発明によれば、第１及び第２の配線パターンに第１及び第２のメッキ層が形成されているので、第１及び第２の配線パターンの表面の酸化が防止されるとともに、電気的な接触抵抗を低下させることができる。また、第１及び第２のメッキ層は異なる特性を有する。樹脂との密着性に適するメッキ層と、導電材料との接合性に適するメッキ層とは、相反する性質が要求されることが多いが、その場合でも本発明は、異なる性質の第１及び第２のメッキ層によって対応することができる。
【０００９】
（３）本発明に係る半導体装置は、基板と、
前記基板に形成された配線パターンと、
前記配線パターンにおける前記基板側とは反対側の面のうち第１の部分に形成された第１のメッキ層と、
前記配線パターンにおける前記基板側とは反対側の面のうち第２の部分に形成された第２のメッキ層と、
前記第１のメッキ層上に設けられた樹脂と、
前記第２のメッキ層上に設けられた導電材料と、
前記基板に搭載されて前記導電材料に電気的に接続された半導体チップと、
を含み、
前記第１及び第２のメッキ層は相互に異なる特性を有する。
【００１０】
本発明によれば、配線パターンに第１及び第２のメッキ層が形成されているので、配線パターンの表面の酸化が防止されるとともに、電気的な接触抵抗を低下させることができる。また、第１及び第２のメッキ層は異なる特性を有する。樹脂との密着性に適するメッキ層と、導電材料との接合性に適するメッキ層とは、相反する性質が要求されることが多いが、その場合でも本発明は、異なる性質の第１及び第２のメッキ層によって対応することができる。
【００１１】
（４）この半導体装置において、
前記第１のメッキ層は、前記第２のメッキ層よりも薄く形成されていてもよい。
【００１２】
メッキ層を薄くすることで樹脂との密着性が向上し、メッキ層を厚くすれば導電材料との接合性に優れるようになる。
【００１３】
（５）この半導体装置において、
前記第１及び第２のメッキ層は異なる材料で形成されていてもよい。
【００１４】
樹脂との密着性が向上する材料で第１のメッキ層を形成し、導電材料との接合性に優れる材料で第２のメッキ層を形成することができる。
【００１５】
（６）この半導体装置において、
前記樹脂は、接着剤であって導電粒子を含有して異方性導電材料を構成し、
前記半導体チップは、前記異方性導電材料を介してフェースダウン実装されていてもよい。
【００１６】
これによれば、第１のメッキ層には異方性導電材料が設けられ、第１のメッキ層は、異方性導電材料の接着剤との密着性に適している。また、第１のメッキ層が形成されていることで、半導体チップのフェースダウン実装において、電気的な接触抵抗が低下している。
【００１７】
（７）本発明に係る実装基板は、複数のスルーホールが形成された基板と、
前記スルーホール上を通って前記基板に形成された配線パターンと、
前記配線パターンにおける前記基板側とは反対側の面に形成された第１のメッキ層と、前記配線パターンにおける前記基板側の面であって前記スルーホール内に形成された第２のメッキ層と、
を含み、
前記第１及び第２のメッキ層は相互に異なる特性を有する。
【００１８】
本発明によれば、配線パターンに第１及び第２のメッキ層が形成されているので、配線パターンの表面の酸化が防止されるとともに、電気的な接触抵抗を低下させることができる。また、第１及び第２のメッキ層は異なる特性を有する。樹脂との密着性に適するメッキ層と、導電材料との接合性に適するメッキ層とは、相反する性質が要求されることが多いが、その場合でも本発明は、異なる性質の第１及び第２のメッキ層によって対応することができる。
【００１９】
（８）本発明に係る実装基板は、基板と、
前記基板の一方の面に形成された第１の配線パターンと、前記第１の配線パターンに電気的に接続されて前記基板の他方の面に形成された第２の配線パターンと、
前記第１の配線パターンにおける前記基板側とは反対側の面に形成された第１のメッキ層と、前記第２の配線パターンにおける前記基板側とは反対側の面に形成された第２のメッキ層と、
を含み、
前記第１及び第２のメッキ層は相互に異なる特性を有する。
【００２０】
本発明によれば、第１及び第２の配線パターンに第１及び第２のメッキ層が形成されているので、第１及び第２の配線パターンの表面の酸化が防止されるとともに、電気的な接触抵抗を低下させることができる。また、第１及び第２のメッキ層は異なる特性を有する。樹脂との密着性に適するメッキ層と、導電材料との接合性に適するメッキ層とは、相反する性質が要求されることが多いが、その場合でも本発明は、異なる性質の第１及び第２のメッキ層によって対応することができる。
【００２１】
（９）本発明に係る実装基板は、基板と、
前記基板に形成された配線パターンと、
前記配線パターンにおける前記基板側とは反対側の面のうち第１の部分に形成された第１のメッキ層と、
前記配線パターンにおける前記基板側とは反対側の面のうち第２の部分に形成された第２のメッキ層と、
を含み、
前記第１及び第２のメッキ層は相互に異なる特性を有する。
【００２２】
本発明によれば、配線パターンに第１及び第２のメッキ層が形成されているので、配線パターンの表面の酸化が防止されるとともに、電気的な接触抵抗を低下させることができる。また、第１及び第２のメッキ層は異なる特性を有する。樹脂との密着性に適するメッキ層と、導電材料との接合性に適するメッキ層とは、相反する性質が要求されることが多いが、その場合でも本発明は、異なる性質の第１及び第２のメッキ層によって対応することができる。
【００２３】
（１０）この実装基板において、
前記第１のメッキ層は、前記第２のメッキ層よりも薄く形成されていてもよい。
【００２４】
メッキ層を薄くすることで樹脂との密着性が向上し、メッキ層を厚くすれば導電材料との接合性に優れるようになる。
【００２５】
（１１）この実装基板において、
前記第１及び第２のメッキ層は異なる材料で形成されていてもよい。
【００２６】
樹脂との密着性が向上する材料で第１のメッキ層を形成し、導電材料との接合性に優れる材料で第２のメッキ層を形成することができる。
【００２７】
（１２）本発明に係る回路基板には、上記半導体装置が搭載されている。
【００２８】
（１３）本発明に係る電子機器は、上記半導体装置を備える。
【００２９】
（１４）本発明に係る実装基板の製造方法は、複数のスルーホールが形成され、前記スルーホール上を通って配線パターンが形成された基板をメッキ浴に浸せきし、前記配線パターンを陰極に電気的に接続し、前記基板における前記配線パターンが形成された面に向けて第１の陽極を配置し、前記基板における前記配線パターンとは反対側の面に向けて第２の陽極を配置し、前記第１及び第２の陽極と前記陰極との間で異なる電流密度の電流を流す工程と、
を含み、
前記第１の陽極からの電流によって、第１のメッキ層を前記配線パターン上に形成し、
前記第２の陽極からの電流によって、第２のメッキ層を、前記配線パターンにおける前記基板側の面であって前記スルーホール内に形成する。
【００３０】
本発明によれば、第１の陽極からの電流によって、配線パターンの一方の面に第１のメッキ層を形成することができ、第２の陽極からの電流によって、配線パターンの他方の面に第２のメッキ層を形成することができる。なお、第２のメッキ層は、配線パターンにおけるスルーホールから露出する部分に形成される。
【００３１】
（１５）本発明に係る実装基板の製造方法は、複数のスルーホールが形成され、前記スルーホール上を通って配線パターンが形成された基板を第１のメッキ浴に浸せきし、前記配線パターンを陰極に電気的に接続し、前記基板における前記配線パターンが形成された面に向けて第１の陽極を配置して電気メッキを施して、第１のメッキ層を前記配線パターン上に形成する工程と、
前記基板を第２のメッキ浴に浸せきし、前記配線パターンを陰極に電気的に接続し、前記基板における前記配線パターンとは反対側の面に向けて第２の陽極を配置して電気メッキを施して、第２のメッキ層を、前記配線パターンにおける前記基板側の面であって前記スルーホール内に形成する工程と、
を含む。
【００３２】
本発明によれば、基板を第１及び第２のメッキ浴に浸せきして、配線パターンの一方の面に第１のメッキ層を形成し、配線パターンの他方の面に第２のメッキ層を形成する。
【００３３】
（１６）本発明に係る実装基板の製造方法は、基板に複数のスルーホールを形成し、前記スルーホール上を通る配線パターンを形成する工程と、
前記スルーホールを第１のレジストで覆って、前記配線パターンに無電解メッキを施して、第１のメッキ層を形成する工程と、
前記スルーホールから配線パターンの一部を露出させ、前記配線パターンにおける前記基板側とは反対側の面を第２のレジストで覆って、前記スルーホール内で配線パターンに無電解メッキを施して、第２のメッキ層を形成する工程と、
を含む。
【００３４】
本発明によれば、２回の無電解メッキによって第１及び第２のメッキ層を形成する。
【００３５】
（１７）本発明に係る実装基板の製造方法は、一方の面に第１の配線パターンが形成され、他方の面に前記第１の配線パターンに電気的に接続される第２の配線パターンが形成された基板をメッキ浴に浸せきし、前記第１及び第２の配線パターンを陰極に電気的に接続し、前記第１の配線パターンに向けて第１の陽極を配置し、前記第２の配線パターンに向けて第２の陽極を配置し、前記第１及び第２の陽極と前記陰極との間で異なる電流密度の電流を流す工程と、
を含み、
前記第１の陽極からの電流によって、第１のメッキ層を前記第１の配線パターン上に形成し、
前記第２の陽極からの電流によって、第２のメッキ層を前記第２の配線パターン上に形成する。
【００３６】
本発明によれば、第１の陽極からの電流によって、第１の配線パターンに第１のメッキ層を形成することができ、第２の陽極からの電流によって、第２の配線パターンに第２のメッキ層を形成することができる。
【００３７】
（１８）本発明に係る実装基板の製造方法は、一方の面に第１の配線パターンが形成され、他方の面に前記第１の配線パターンに電気的に接続される第２の配線パターンが形成された基板を第１のメッキ浴に浸せきし、前記第１の配線パターンを陰極に電気的に接続し、前記第１の配線パターンに向けて第１の陽極を配置して電気メッキを施して、第１のメッキ層を前記第１の配線パターン上に形成する工程と、
前記基板を第２のメッキ浴に浸せきし、前記第２の配線パターンを陰極に電気的に接続し、前記第２の配線パターンに向けて第２の陽極を配置して電気メッキを施して、第２のメッキ層を、前記第２の配線パターン上に形成する工程と、
を含む。
【００３８】
本発明によれば、基板を第１及び第２のメッキ浴に浸せきして、第１の配線パターンに第１のメッキ層を形成し、第２の配線パターンに第２のメッキ層を形成する。
【００３９】
（１９）本発明に係る実装基板の製造方法は、基板の一方の面に第１の配線パターンを形成し、他方の面に前記第１の配線パターンに電気的に接続される第２の配線パターンを形成する工程と、
前記第２の配線パターンを第１のレジストで覆って、前記第１の配線パターンに無電解メッキを施して、第１のメッキ層を形成する工程と、
前記第１の配線パターンを第２のレジストで覆って、前記第２の配線パターンに無電解メッキを施して、第２のメッキ層を形成する工程と、
を含む。
【００４０】
本発明によれば、２回の無電解メッキによって第１及び第２のメッキ層を形成する。
【００４１】
（２０）本発明に係る実装基板の製造方法は、基板に配線パターンを形成する工程と、
前記配線パターンの第１の部分を露出させて第２の部分をレジストで覆って、前記配線パターンに無電解メッキを施して前記第１の部分に第１のメッキ層を形成する工程と、
前記配線パターンの第２の部分を露出させて第１の部分をレジストで覆って、前記配線パターンに無電解メッキを施して前記第２の部分に第２のメッキ層を形成する工程と、
を含む。
【００４２】
本発明によれば、２回の無電解メッキによって第１及び第２のメッキ層を形成する。
（２１）この実装基板の製造方法において、
前記第１及び第２のメッキ層は相互に異なる特性を有していてもよい。
【００４３】
樹脂との密着性に適するメッキ層と、導電材料との接合性に適するメッキ層とは、相反する性質が要求されることが多い。この場合、第１及び第２の陽極と陰極との間の電流密度を異ならせることで、異なる厚みの第１及び第２のメッキ層を形成してもよい。あるいは、第１及び第２のメッキ浴のメッキ液を異ならせたり、第１及び第２の陽極と陰極との間の電流密度を異ならせることで、異なる厚みの第１及び第２のメッキ層を形成してもよい。
【００４４】
（２２）この実装基板の製造方法において、
前記第１のメッキ層を、前記第２のメッキ層よりも薄く形成してもよい。
【００４５】
メッキ層を薄くすることで樹脂との密着性が向上し、メッキ層を厚くすれば導電材料との接合性に優れるようになる。
【００４６】
（２３）この実装基板の製造方法において、
前記第１及び第２のメッキ層を異なる材料で形成してもよい。
【００４７】
樹脂との密着性が向上する材料で第１のメッキ層を形成し、導電材料との接合性に優れる材料で第２のメッキ層を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４８】
以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照して説明する。
【００４９】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置を示す図である。この半導体装置１は、半導体チップ１０と、基板２０と、を含む。半導体チップ１０の平面形状が矩形（正方形又は長方形）である場合には、少なくとも一辺（対向する二辺又は全ての辺を含む）に沿って、半導体チップ１０の一方の面（能動面）に複数の電極１２が形成されていてもよい。あるいは、複数の電極１２が半導体チップ１０の中央部又はその付近に並んでいても良い。電極１２には、ハンダボール、金ワイヤーボール、金メッキなどによってバンプ１４が設けられている。電極１２自体がバンプの形状をなしていてもよい。電極１２とバンプ１４との間にバンプ金属の拡散防止層として、ニッケル、クロム、チタン等を付加してもよい。
【００５０】
基板２０の全体形状は特に限定されず、矩形、多角形、あるいは複数の矩形を組み合わせた形状のいずれであってもよいが、半導体チップ１０の平面形状の相似形とすることができる。基板２０の厚みは、その材質により決まることが多いが、これも限定されない。基板２０は、有機系又は無機系のいずれの材料から形成されたものであってもよく、これらの複合構造からなるものであってもよい。また、基板２０は、フレキシブル基板であっても、リジッド基板であってもよい。有機系の樹脂から形成されたテープ状のフレキシブル基板を打ち抜いて基板２０を形成することもできる。
【００５１】
図２は、図１に示す半導体装置の基板の平面図である。図１及び図２に示すように、基板２０の一方の面には、複数の配線（リード）２２が形成されて、配線パターン２１を構成している。それぞれの配線２２には、ランド部２４、２６が形成されている。ランド部２４、２６は、配線２２よりも大きい幅を有するように形成されていることが多い。一方のランド部２６を基板２０の中央に近い位置に形成し、他方のランド部２４を配線２２の途中に形成してもよい。複数の配線２２のうち少なくとも一つ又は全部は、他の配線２２と電気的に導通しておらず、電気的に独立している。複数の配線２２のうち、半導体チップ１０の電源やグランドなどに接続される共通の配線などは、ランド部２４、２６同士が接続されていてもよい。
【００５２】
基板２０には、複数のスルーホール２８が形成されている。それぞれのスルーホール２８上を、いずれかの配線２２が通る。配線２２の端部がスルーホール２８上に位置してもよい。配線２２の端部にランド部２６が形成されている場合には、ランド部２６がスルーホール２８上に位置する。
【００５３】
図１に拡大して示すように、配線２２には第１及び第２のメッキ層３０、３２が形成されている。配線２２を銅や、白金及びニッケルの２層構造で形成し、メッキ層３０、３２の材料をニッケル、パラジウム、ニッケル−金、ニッケル−パラジウム−金、金、ハンダ及びスズの中から選択することができる。第１のメッキ層３０は、配線２２における基板２０とは反対側の面に形成されている。第２のメッキ層３２は、配線２２における基板２０を向く面においてスルーホール２８内に形成されている。スルーホール２８上にランド部２６が位置している場合には、ランド部２６に第２のメッキ層３２が形成される。第１及び第２のメッキ層３０、３２は、厚み又は材料の少なくとも一方において異なっていることなどにより、異なる特性を有する。
【００５４】
第１のメッキ層３０は、少なくともランド２４上の酸化を防止して導電性を確保し、電気的な接触抵抗を低下させている。また、第１のメッキ層３０を形成しても、配線２２の上に樹脂と密着できるようになっている。例えば、樹脂として異方性導電材料の接着剤を例に挙げると、メッキ層３０の下地としてニッケルが形成されている場合に、接着剤に含有される例えばシランカップリング材がニッケルもしくはその酸化物や水酸化物と化学的結合を生じるように、メッキ層３０を薄く形成することが好ましい。例えば、０．０５μｍ程度の厚みの金メッキを第１のメッキ層３０とすることができる。これにより強固な接着が可能になる。
【００５５】
一方、第２のメッキ層３２は導電材料、例えば外部端子との接合性に適している。例えば、０．３μｍ程度の厚みの金メッキを第２のメッキ層３２として、導電材料との接合性を確保する。導電材料がハンダである場合には、ハンダメッキを第２のメッキ層３２としてハンダ付け性を確保してもよい。
【００５６】
半導体チップ１０は、基板２０に対してフェースダウン実装される。半導体チップ１０のバンプ１４と、基板２０に形成された配線２２と、が電気的に接続される。配線２２には、メッキ層３０が形成されているので良好な電気的接続が得られる。配線２２にランド部２４、２６が形成される場合には、一方のランド部２４とバンプ１４とが電気に接続される。電気的接続の手段として、樹脂からなる接着剤に導電粒子が含有されてなる異方性導電材料３４を使用してもよい。その場合には、導電粒子が配線２２とバンプ１４との間に介在して電気的な導通が図られる。異方性導電材料３４は、異方性導電膜又は異方性導電接着剤であってもよい。
【００５７】
異方性導電材料３４が使用される場合には、これによって配線２２における基板２０との接着面とは反対側の表面、側面及び先端面、すなわち基板２０との非接触面が覆われる。異方性導電材料３４が使用されない場合には、アンダーフィル材などの樹脂によって、配線２２における基板２０との非接触面を覆う。配線２２を覆う材料は、基板２０の一方の面の全面を覆ってもよい。配線２２に形成された第１のメッキ層３０は、樹脂との密着性に適しているので、配線２２の上に設けられる樹脂が剥離しにくくなっている。すなわち、異方性導電材料３４が剥離しにくくなっている。
【００５８】
配線２２における基板２０を向く面でスルーホール２８内には、導電材料３６が設けられている。詳しくは、導電材料３６は、第２のメッキ層３２上に形成されてスルーホール２８から突出している。導電材料３６は外部端子を構成する。第２のメッキ層３２が導電材料との接合性に適しているので、導電材料３６と第２のメッキ層３２との良好な電気的接続が得られる。導電材料３６は、ハンダボールであることが多いが、メッキ、導電樹脂などの導電性突起であってもよい。
【００５９】
導電材料３６によって外部端子を構成する代わりに、スルーホール２８内に導電材料３６を充填し、この導電材料３６に電気的に接続される第２の配線を基板２０の他方の面に形成して、その第２の配線に外部端子を設けてもよい。この場合には、基板２０は、両面に配線が形成されるので両面基板である。さらに、基板２０として、多層基板やビルドアップ型基板を用いても良い。ビルドアップ型基板や多層基板を利用した場合、平面的に拡がるベタグランド層上に配線パターンを形成すれば、余分な配線パターンのないマイクロストリップ構造となるので、信号の伝送特性を向上させることができる。
【００６０】
以上の説明は、異方性導電材料３４を用いる方式のフェースダウン型接合について述べてきたが、この方式のフェースダウン型接合に限られることはなく、ハンダバンプ付きの半導体チップを加熱（必要に応じて加圧）する方式や、金バンプ付きの半導体チップを加熱・加圧（必要に応じて超音波接合）する方式や、樹脂の硬化収縮力を利用した方式のフェースダウン接合にも本発明を適用することができる。このことは、以下の実施の形態でも同じである。
【００６１】
図１には、外部端子を構成する導電材料３６が半導体チップ１０の搭載領域内にのみ設けられたＦＡＮ−ＩＮ型の半導体装置が示されているが、これに限定されるものではない。例えば、半導体チップ１０の搭載領域外にのみ外部端子が設けられたＦＡＮ−ＯＵＴ型の半導体装置や、これにＦＡＮ−ＩＮ型を組み合わせたＦＡＮ−ＩＮ／ＯＵＴ型の半導体装置にも本発明を適用することができる。ＦＡＮ−ＯＵＴ型又はＦＡＮ−ＩＮ／ＯＵＴ型の半導体装置では、配線２２の上に設けられる樹脂によって、半導体チップの外側にスティフナを貼り付けても良い。このことは、以下の実施の形態でも同じである。
【００６２】
図３は、本発明の第１の実施の形態に係る実装基板を示す図である。図３に示す実装基板４０は、テープキャリアであって、複数の半導体装置のための複数の配線パターン２１（図１参照）が形成されている。それぞれの配線パターン２１には第１及び第２のメッキ層３０、３２（図１参照）が形成されている。テープキャリアとしての実装基板４０が打ち抜かれて、個々の半導体装置に対応する実装基板が得られる。少なくとも１つの配線パターン２１が形成された基板が実装基板であり、図１示す配線パターン２１が形成された状態での基板２０も実装基板である。あるいは、完成品としての半導体装置の外形よりも大きい実装基板を用意してもよい。この場合には、半導体チップの実装前に予め、半導体装置の外形位置の一部好ましくは半分以上に、一つ好ましくは複数の穴（例えば長穴）を形成しておき、半導体チップの実装後に、外形位置の残りの部分（例えば複数の穴の間の部分）を打ち抜いてもよい。
【００６３】
図３に示す実装基板４０は、複数のスルーホール２８（図１参照）が形成された基板４２と、基板４２に形成された複数の配線パターン２１と、配線パターン２１を構成する配線２２に形成された第１及び第２のメッキ層３０、３２と、少なくとも１つのメッキリード４４と、を含む。図１に示す符号と同じ符号の構成は、上述した通りであるので説明を省略する。また、実装基板４０には一般的なテープキャリアの構成も適用されている。
【００６４】
メッキリード４４は、打ち抜き位置、すなわち完成した半導体装置の基板２０の外形位置よりも外側に形成されている。したがって、実装基板４０が打ち抜かれると、メッキリード４４を除去することができる。配線２２はメッキリード４４に電気的に接続されている。したがって、メッキリード４４を使用して、配線２２に電気メッキを施すことができる。
【００６５】
次に、図４は、本実施の形態に係る実装基板の製造方法を説明する図である。まず、実装基板４０から第１及び第２のメッキ層３０、３２を除いた構成を備える基板４２を用意する。この状態で、基板４２には、少なくとも１つ又は複数の配線パターン２１と、メッキリード４４と、が形成されている。
【００６６】
また、メッキ槽４８にメッキ液を入れてメッキ浴４６を用意する。メッキ浴４６には、第１及び第２の陽極５０、５２が配置されており、両者の間に上述した基板４２を送り出す。詳しくは、基板４２の一方の面を第１の陽極５０に向け、他方の面を第２の陽極５２に向ける。なお、基板４２がテープであれば、リール・ツウ・リールの工程を適用することができる。
【００６７】
基板４２に形成されているメッキリード４４を、陽極５０、５２に印加される電圧よりも低い電圧例えばＧＮＤの陰極５４に接続すると、メッキリード４４及びこれに接続される配線パターン２１（配線２２）と、第１及び第２の陽極５０、５２のそれぞれと、の間に電流が流れる。こうして、配線パターン２１（配線２２）における基板４２とは反対側の面と、スルーホール２８から露出する部分とに電気メッキを施し、第１及び第２のメッキ層３０、３２を形成することができる。
【００６８】
ここで、第１及び第２の陽極５０、５２のそれぞれに、異なる電圧Ｖ１、Ｖ２を印加するなどして、それぞれから流れる電流の電流密度が異なるようになっている。こうすることで、第１及び第２のメッキ層３０、３２の厚みを異ならせることができる。
【００６９】
こうして、第１及び第２のメッキ層３０、３２が配線パターン２１（配線２２）に形成されて、実装基板４０が得られる。なお、基板４２がテープであれば、実装基板４０はテープキャリアとなる。
【００７０】
また、図示していないが、電気的な接点となる部位以外は、ソルダーレジスト等の永久レジストで覆われていても良く、これは以降の実施の形態でも同様である。この場合、電気的な接点となる部位以外はメッキが施されない。
【００７１】
次に、本実施の形態に係る実装基板を使用した半導体装置の製造方法を説明する。上述した実装基板４０に形成されたそれぞれの配線パターン２１に、半導体チップ１０をフェースダウン実装する。例えば、図１に示すように、異方性導電材料３４を使用することができる。異方性導電材料３４は、半導体チップ１０における電極１２が形成された面に予め設けておいても良いし、実装基板４０における配線２２が形成された面に予め設けておいても良い。個々の配線パターン２１ごとに覆うように異方性導電材料３４を設けてもよいし、複数の配線パターン２１を覆うように異方性導電材料３４を設けてもよい。
【００７２】
また、図１に示すように、外部端子となる導電材料３６を設ける。こうして、実装基板４０に複数の半導体チップ１０が実装されて、複数の半導体装置１が一体化された半導体装置アッセンブリが得られる。
【００７３】
次に、図５に示すように、それぞれの半導体チップ１０よりも外側で、実装基板４０を打ち抜く。打ち抜き形状は、特に限定されないが、半導体チップ１０の平面形状の相似形としてもよい。打ち抜きのために、切断治具５６、５８を使用することができる。こうして、半導体装置１を連続して製造することができる。
【００７４】
（第２の実施の形態）
図６は、本発明を適用した第２の実施の形態に係る実装基板の製造方法を説明する図である。本実施の形態では、図３に示す実装基板４０から第１及び第２のメッキ層３０、３２を除いた構成を備える基板４２を用意する。この状態で、基板４２には、少なくとも１つ又は複数の配線パターン２１と、メッキリード４４と、が形成されている。
【００７５】
また、第１及び第２のメッキ槽６０、６２にメッキ液を入れて第１及び第２のメッキ浴６４、６６を並べて用意する。第１及び第２のメッキ浴６４、６６には、第１及び第２の陽極６８、７０が配置されている。基板４２は、第１のメッキ浴６４中で一方の面を第１の陽極６８に向けて送り出され、その次に、第２のメッキ浴６６中で他方の面を第２の陽極７０に向けて送り出される。なお、基板４２がテープであれば、リール・ツウ・リールの工程を適用することができる。
【００７６】
基板４２に形成されているメッキリード４４を、陽極６８、７０に印加される電圧よりも低い電圧例えばＧＮＤの陰極７２に接続すると、メッキリード４４及びこれに接続される配線パターン２１（配線２２）と、第１及び第２の陽極６８、７０のそれぞれと、の間に電流が流れる。こうして、配線パターン２１（配線２２）における基板４２とは反対側の面と、スルーホール２８から露出する部分とに電気メッキを施し、第１及び第２のメッキ層３０、３２を形成することができる。
【００７７】
ここで、第１及び第２の陽極６８、７０のそれぞれに、異なる電圧Ｖ3、Ｖ4を印加するなどして、それぞれから流れる電流の電流密度が異なるようになっている。こうすることで、第１及び第２のメッキ層３０、３２の厚みを異ならせることができる。
【００７８】
こうして、第１及び第２のメッキ層３０、３２が配線パターン２１（配線２２）に形成されて、図３に示す実装基板４０が得られる。なお、基板４２がテープであれば、実装基板４０はテープキャリアとなる。
【００７９】
なお、本実施の形態では、基板４２を第１及び第２のメッキ浴６４、６６に連続的に浸せきしたが、それぞれの浸せき工程を別々に行っても良い。また、第１及び第２のメッキ浴６４、６６は、同じ金属イオンを含む場合に限らず、別の金属イオンを含んでよい。その場合には、第１及び第２のメッキ層３０、３２の材料が異なることになる。さらに、第１及び第２のメッキ層３０、３２の材料及び厚みの両方を異ならせてもよい。
【００８０】
（第３の実施の形態）
図７Ａ及び図７Ｂは、本発明の第３の実施の形態に係る実装基板の製造方法を示す図である。本実施の形態では、図１に示す配線パターン２１（配線２２）が形成され、メッキ層３０、３２が形成される前の基板２０を用意する。
【００８１】
まず、図７Ａに示すように、スルーホール２８内にレジスト８０を充填する。レジスト８０は、樹脂であっても除去可能なテープなどでもよい。これによって、配線２２におけるスルーホール２８内で露出する部分が覆われる。そして、無電解メッキを施すと、配線２２における露出する面がメッキされる。配線２２における基板２０とは反対側の面に第１のメッキ層３０が形成される。第１のメッキ層３０は、第１の実施の形態で説明した通りの性質を有する。
【００８２】
次に、レジスト８０を除去し、図７Ｂに示すように、配線２２におけるレジスト８０にて覆われていた部分以外の部分をレジスト８２で覆う。レジスト８２は、樹脂であっても除去可能なテープなどでもよい。配線２２における基板２０とは反対側の面の上方はレジスト８２にて覆われ、スルーホール２８内では配線２２の一部が露出する。第１のメッキ層３０はレジスト８２にて覆われている。そして、無電解メッキを施すと、配線２２における露出する面がメッキされる。配線２２におけるスルーホール２８内で露出する部分には、第２のメッキ層３２が形成される。第２のメッキ層３２は、第１の実施の形態で説明した通りの性質を有する。
【００８３】
以上の工程により、図１に示すように、配線２２に第１及び第２のメッキ層３０、３２が形成された基板２０が得られるので、これが実装基板となる。本実施の形態では、第１及び第２のメッキ層３０、３２を形成する順序は問わない。無電解メッキの工程では、同じ材料の溶液を使用して異なる厚みの第１及び第２のメッキ層３０、３２を形成してもよいし、異なる材料の溶液を使用して異なる材料からなる第１及び第２のメッキ層３０、３２を形成してもよい。さらに、第１及び第２のメッキ層３０、３２の材料及び厚みの両方を異ならせてもよい。
【００８４】
また、第１及び第２のメッキ層３０、３２の少なくとも厚さを変える場合は、レジストを塗布せずに両面のメッキ層を形成した後に、厚さを厚くしたい層とは逆の層にレジストを塗布し、厚くしたい層のみに追加のメッキを施し、その後レジストを取り除いても良い。
【００８５】
（第４の実施の形態）
図８は、本発明の第４の実施の形態に係る半導体装置を示す図である。半導体装置２は、半導体チップ１０と、基板１２０と、を含む。半導体チップ１０は、第１の実施の形態で説明したもので、電極１２及びバンプ１４を有する。基板１２０には、複数のスルーホール１２８が形成されており、形状、厚み、材質については基板２０と同じである。
【００８６】
図９Ａは、図８に示す半導体装置の基板の一方の平面図であり、図９Ｂは他方の平面図である。基板１２０の一方の面には、複数の配線（リード）１２２が形成されて、第１の配線パターン１２１を構成している。それぞれの配線１２２には、ランド部１２４、１２６が形成されている。第１の配線パターン１２１は、第１の実施の形態で説明した配線パターン２１と同じ構成であってもよい。図９Ａに示すランド部１２６は、基板１２０における両面間の電気的導通を図ることができればよく、外部端子を設けるのではないので、図１のランド部２６よりも小さく形成されている。
【００８７】
基板１２０の他方の面には、複数の配線（リード）１４２が形成されて、第２の配線パターン１４１を構成している。それぞれの配線１４２には、ランド部１４４、１４６が形成されている。第２の配線パターン１４１は、第１の実施の形態で説明した配線パターン２１と同じ構成であってもよい。図９Ｂに示す一方のランド部１４４は、外部端子を設けるために大きく形成されている。他方のランド部１４６は、基板１２０の両面間の電気的な導通を図ることができればよく、外部端子を設けるわけではないので、一方のランド部１４４よりも小さく形成されている。
【００８８】
基板１２０に形成された複数のスルーホール１２８上を、それぞれの面に形成されたいずれかの配線１２２、１４２が通る。配線１２２、１４２の端部がスルーホール１２８上に位置してもよい。配線１２２、１４２の端部にランド部１２６、１４６が形成されている場合には、ランド部１２６、１４６がスルーホール１２８上に位置する。スルーホール１２８には、導電材料１４８が設けられており、基板１２０の一方の面の配線１２２と、他方の面の配線１４２とが電気的に導通している。
【００８９】
なお、スルーホール１２８と連通する穴を、基板１２０の両面の配線１２２、１４８の一部例えばランド部１２６、１４６に形成しておき、これらの穴及びスルーホール１２８の内壁面に、メッキなどによって導電材料を設けて、基板１２０の両面の配線１２２、１４８を電気的に導通させてもよい。
【００９０】
図８に拡大して示すように、基板１２０の一方の面に形成された配線１２２には第１のメッキ層１３０が形成され、基板１２０の他方の面に形成された配線１４２には第２のメッキ層１３２が形成されている。第１及び第２のメッキ層１３０、１３２は、厚み又は材料の少なくとも一方において異なっていることなどにより性質が異なっている。第１のメッキ層１３０は、第１の実施の形態で説明した第１のメッキ層３０と同じ性質を有し、第２のメッキ層１３２は、第１の実施の形態で説明した第２のメッキ層３２と同じ性質を有する。すなわち、第１のメッキ層１３０は、樹脂との密着性に適しており、第２のメッキ層１３２は、導電材料との接合性に適している。
【００９１】
半導体チップ１０は、基板１２０に対してフェースダウン実装される。半導体チップ１０のバンプ１４と、基板１２０の一方の面に形成された配線１２２と、が電気的に接続される。配線１２２には、第１のメッキ層１３０が形成されているので良好な電気的接続が得られる。配線１２２にランド部１２４、１２６が形成される場合には、一方のランド部１２４とバンプ１４とが電気に接続される。電気的接続の手段として、樹脂からなる接着剤に導電粒子が含有されてなる異方性導電材料３４を使用してもよい。その場合には、導電粒子が配線１２２とバンプ１４との間に介在して電気的な導通が図られる。異方性導電材料３４は、異方性導電膜又は異方性導電接着剤であってもよい。
【００９２】
異方性導電材料３４が使用される場合には、これによって配線１２２における基板１２０との接着面との非接触面が覆われる。異方性導電材料３４が使用されない場合には、アンダーフィル材などの樹脂によって、配線１２２における基板１２０との非接着面を覆う。配線１２２を覆う材料は、基板１２０の一方の面の全面を覆ってもよい。配線１２２に形成された第１のメッキ層１３０は、樹脂との密着性に適しているので、配線１２２の上に設けられる樹脂が剥離しにくくなっている。
【００９３】
基板１２０の他方の面に形成された配線１４２には、導電材料１３６が設けられている。詳しくは、導電材料１３６は、第２のメッキ層１３２上に形成されている。導電材料１３６は外部端子を構成する。第２のメッキ層１３２が導電材料との接合性に適しているので、導電材料１３６と第２のメッキ層１３２との良好な電気的接続が得られる。導電材料１３６は、ハンダボールであることが多いが、メッキ、導電樹脂などの導電性突起であってもよい。
【００９４】
この際、第２のメッキ層１３２側の外部端子の形成場所以外を、レジストで覆っても良い。こうすれば、例えば外部端子をハンダで形成する際に、外部端子の形成場所以外にハンダが濡れ拡がらず、ハンダによる外部端子の高さ及び位置精度の少なくとも一方を保持することができる。
【００９５】
図８において、基板１２０の両面に第１及び第２の配線パターン１２１、１４１を形成し、かつ、第１及び第２のメッキ層１３０、１３２を形成することで、実装基板が得られる。この実装基板の製造方法として、図４に示す方法を適用することができる。すなわち、基板１２０の一方の面を第１の陽極５０に向けて、基板１２０の他方の面を第２の陽極５２に向けて、第１の実施の形態で説明した通りの方法を適用して、性質の異なる第１及び第２のメッキ層１３０、１３２を形成することができる。
【００９６】
あるいは、この実装基板の製造方法として、図６に示す方法を適用することができる。すなわち、基板１２０の一方の面を第１の陽極６８に向けて、基板１２０の他方の面を第２の陽極７０に向けて、第２の実施の形態で説明した通りの方法を適用して、性質の異なる第１及び第２のメッキ層１３０、１３２を形成することができる。
【００９７】
あるいは、この実装基板の製造方法として、図７Ａ及び図７Ｂに示す方法を適用することができる。すなわち、基板１２０の一方の面に形成された第１の配線パターン１２１を第１のレジストで覆って無電解メッキを施し、そのレジストを除去して、基板１２０の他方の面に形成された第２の配線パターン１４１を第２のレジストで覆って無電解メッキを施してもよい。この場合には、第３の実施の形態で説明した方法が適用される。
【００９８】
（第５の実施の形態）
図１０は、本発明の第５の実施の形態に係る半導体装置を示す図である。
半導体装置３は、半導体チップ１０と、基板２２０と、を含む。半導体チップ１０は、第１の実施の形態で説明したもので、電極１２及びバンプ１４を有する。基板２２０には、複数のスルーホール２２８が形成されており、形状、厚み、材質については基板２０と同じである。基板２２０には、配線パターン２２１を構成する複数の配線２２が形成されている。配線パターン２２１及び配線２２２は、第１の実施の形態で説明した配線パターン２１及び配線２２と同じ構成であってもよい。また、配線２２２は、スルーホール２２８上を通る。
【００９９】
本実施の形態では、図１０に拡大して示すように、第１及び第２のメッキ層２３０、２３２が、配線パターン２２２における基板２２０とは反対側の面に形成されている。これ以外の構成は、第１の実施の形態と同じ構成を適用することができ、同じ構成には図１０にも同じ符号を付してある。また、図１０には示されないが、配線２２２におけるスルーホール２２８内で露出する部分に、外部端子となる導電材料３６を設けるために、図１に示す第１のメッキ層３２と同じ性質のメッキ層を形成してもよい。
【０１００】
第１のメッキ層２３０は、樹脂との密着性に適しており、第１の実施の形態で説明した第１のメッキ層３０と同じ構成であってもよい。第２のメッキ層２３２は、導電材料との接合性に適しており、第１の実施の形態で説明した第２のメッキ層３２と同じ構成であってもよい。
【０１０１】
第１のメッキ層２３０は、配線パターン２２１（配線２２２）における樹脂が接触する部分（第１の部分）に形成されており、その上に設けられる樹脂が剥離しないようになっている。異方性導電材料３４の接着剤が樹脂の一例である。第２のメッキ層２３２は、配線パターン２２１（配線２２２）における導電材料としてのバンプ１４との接合部分（第２の部分）に形成されており、半導体チップ１０との確実な電気的接続が図られる。
【０１０２】
図１０に示す基板２２０に配線パターン２２１を形成し、かつ、第１及び第２のメッキ層２３０、２３２を形成して、実装基板を得ることができる。
【０１０３】
図１１Ａ及び図１１Ｂは、本発明の第５の実施の形態に係る実装基板の製造方法を説明する図である。本実施の形態では、図１０に示す配線パターン２２１（配線２２２）が形成され、第１及び第２のメッキ層２３０、２３２が形成される前の基板２２０を用意する。
【０１０４】
まず、図１１Ａに示すように、配線パターン２２１（配線２２２）における樹脂が接触する部分（第１の部分）を露出させて、配線パターン２２１（配線２２２）上にレジスト２４０を形成する。レジスト２４０は、導電材料との接合部分（第２の部分）を除いて形成される。なお、スルーホール２２８内にもレジスト２４０を充填してもよい。レジスト２４０は、樹脂であっても除去可能なテープなどでもよい。そして、無電解メッキを施すと、配線２２２における露出する面がメッキされる。例えば、配線２２２における基板２０とは反対側の面であって、樹脂との接触部分（第１の部分）に第１のメッキ層２３０が形成される。
【０１０５】
次に、レジスト２４０を除去し、図１１Ｂに示すように、配線２２２における樹脂が接触する部分（第１の部分）をレジスト２４２で覆う。レジスト２４２は、樹脂であっても除去可能なテープなどでもよい。スルーホール２２８内では配線２２２の一部を露出させてもよい。また、第１のメッキ層２３０はレジスト２４２にて覆われている。そして、無電解メッキを施すと、配線２２２における露出する面がメッキされる。配線２２２におけるバンプ１４との接合部分（第２の部分）には、第２のメッキ層２３２が形成される。また、配線２２２におけるスルーホール２２８内で露出する部分にも、同じメッキ層を形成してもよい。
【０１０６】
また、配線パターン２２１全面にメッキを施し、必要部分以外、例えば第２の部分及びスルーホール２２８内以外をレジストで覆った後、追加のメッキを施せば、必要部分のみに必要な厚さ及び種類のメッキを施すことができる。
【０１０７】
以上の工程により、配線２２２に第１及び第２のメッキ層２３０、２３２が形成された基板２２０が得られるので、これが実装基板となる。本実施の形態では、第１及び第２のメッキ層２３０、２３２を形成する順序は問わない。また、第１及び第２のメッキ層２３０、２３２を形成する無電解メッキの工程では、同じ材料の溶液を使用する場合に限らず、別の材料の溶液を使用してもよい。その場合には、第１及び第２のメッキ層２３０、２３２の材料が異なることになる。さらに、第１及び第２のメッキ層２３０、２３２の材料及び厚みの両方を異ならせてもよい。
【０１０８】
図１２には、本実施の形態に係る半導体装置１を実装した回路基板１０００が示されている。回路基板１０００には例えばガラスエポキシ基板等の有機系基板を用いることが一般的である。回路基板１０００には例えば銅からなる配線パターン１１００が所望の回路となるように形成されていて、それらの配線パターンと半導体装置１の外部端子３６とを機械的に接続することでそれらの電気的導通を図る。
【０１０９】
そして、本発明を適用した半導体装置１を有する電子機器１２００として、図１３には、ノート型パーソナルコンピュータが示されている。
【０１１０】
なお、上記本発明の構成要件「半導体チップ」を「電子素子」に置き換えて、半導体チップと同様に電子素子（能動素子か受動素子かを問わない）を、基板に実装して電子部品を製造することもできる。このような電子素子を使用して製造される電子部品として、例えば、抵抗器、コンデンサ、コイル、発振器、フィルタ、温度センサ、サーミスタ、バリスタ、ボリューム又はヒューズなどがある。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置を示す図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の基板を示す図である。
【図３】図３は、本発明の第１の実施の形態で使用する実装基板を示す図である。
【図４】図４は、本発明の第１の実施の形態に係る実装基板の製造方法を説明する図である。
【図５】図５は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を説明する図である。
【図６】図６は、本発明の第２の実施の形態に係る実装基板の製造方法を説明する図である。
【図７】図７Ａ〜図７Ｂは、本発明の第３の実施の形態に係る実装基板の製造方法を説明する図である。
【図８】図８は、本発明の第４の実施の形態に係る半導体装置を示す図である。
【図９】図９Ａ〜図９Ｂは、本発明の第４の実施の形態に係る半導体装置の基板を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の第５の実施の形態に係る半導体装置を示す図である。
【図１１】図１１Ａ〜図１１Ｂは、本発明の第５の実施の形態に係る実装基板の製造方法を示す図である。
【図１２】図１２は、本発明を適用した回路基板を示す図である。
【図１３】図１３は、本発明に係る方法を適用して製造された半導体装置を備える電子機器を示す図である。
【符号の説明】
【０１１２】
１    半導体装置、  １０  半導体チップ、  ２０  基板、  ２１  配線パターン、  ２２  配線、  ２８  スルーホール、  ３０  第１のメッキ層、  ３２  第２のメッキ層、  ３４  異方性導電材料、  ３６  導電材料、  ４０  実装基板、  ４６  メッキ浴、  ５０  第１の陽極、  ５２  第２の陽極、  ５４  陰極
【図１】
0004396863.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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