(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物理吸着層を少なくとも一層含むシート状物からなるか、若しくは物理吸着層を少なくとも一層含むシート状物と物理吸着層を含まないシート状物とが複合された複合シート状物からなるケミカルフィルタ素材がひだ折り加工されたケミカルフィルタであって、前記ケミカルフィルタ素材の上流側にのみ合成樹脂が塗布されることによって、前記ケミカルフィルタの上流側にのみ合成樹脂製の保形材を有することを特徴とするケミカルフィルタ。
【請求項２】
前記物理吸着層の吸着材が、物理吸着材のみからなることを特徴とする請求項１に記載のケミカルフィルタ。
【請求項３】
前記物理吸着層が、ホットメルト樹脂から成る連結部と樹脂凝集部とで構成されたウエブの一方の表面に、該樹脂凝集部を介して物理吸着粉粒体を固着してなる積層単位を有し、該ウエブの他方の表面と、他の積層単位を構成する物理吸着粉粒体とが樹脂凝集部を介して固着して成ることを特徴とする請求項１または２に記載のケミカルフィルタ。
【請求項４】
前記保形材がホットメルト樹脂であることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のケミカルフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧力損失が低く、アウトガス発生の少ない、ひだ折り加工されたケミカルフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や液晶の生産施設、または半導体や液晶の周辺技術関連で用いるクリーンルーム等においては、取り入れ外気や該クリーンルーム内の作業雰囲気中に含まれる、有機系ガス状汚染物質や無機系ガス状汚染物質を除去するケミカルフィルタが設置されている。このようなケミカルフィルタには、例えば活性炭、活性炭繊維、ゼオライト、イオン交換樹脂、その他化学吸着材等の吸着材が使用されている。そして、これら吸着材が単独で用いられたり、ネット状物や不織布等の基材に吸着材等が担持されている。また、ガス状汚染物質との接触面積を大きくして、圧力損失を低く抑えるため、ケミカルフィルタはひだ折り加工されたものが使用されている。そして、ケミカルフィルタを使用する際に、風圧によって、このようなひだ折りの形態が変形して、隣り合うひだが下流側で互いにくっ付いてしまうことを防ぐために、合成樹脂製のセパレータやリテーナ等の保形材が下流側、若しくは下流側と上流側の両方に設けられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年クリーンルーム内のガス状汚染物質の管理濃度の基準が厳しくなってきた。例えば、ガス状汚染物質のうち有機物質は、シリコンウェハやガラス基板表面上に物理吸着して、表面洗浄や加熱により除去が困難である場合があることが判ってきた。そして、これら有機物質のウェハ表面への吸着を防止するには、クリーンルーム雰囲気中の該有機物質の濃度をできるだけ低いレベルで管理しなければならない。このように、近年になって、クリーンルーム内のガス状汚染物質の管理濃度の基準が厳しくなってきた。
【０００４】
そこで、従来のケミカルフィルタの高性能化を検討したところ、下流側に設けた合成樹脂製の保形材から、主として有機質のガス状汚染物質が多量に発生していることがわかった。そこで、保形材として、アルミニウム製の波板状のセパレータを用いたが、圧力損失がかえって上昇してしまう場合があること、またアルミニウム製であるため重量が重くなってしまい、ＦＦＵ(ファンフィルタユニット)タイプとして天井に用いることができないことがわかった。そこで、ひだ折り加工されており、重量も重くならず、圧力損失が低く、しかもアウトガス発生の少ないケミカルフィルタを提供することを課題とした。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための手段は、請求項１の発明では、物理吸着層を少なくとも一層含むシート状物からなるか、若しくは物理吸着層を少なくとも一層含むシート状物と物理吸着層を含まないシート状物とが複合された複合シート状物からなるケミカルフィルタ素材がひだ折り加工されたケミカルフィルタであって、前記ケミカルフィルタ素材の上流側にのみ合成樹脂が塗布されることによって、前記ケミカルフィルタの上流側にのみ合成樹脂製の保形材を有することを特徴とするケミカルフィルタであり、重量も重くならず、圧力損失が低く、しかもアウトガス発生の少ないケミカルフィルタを提供することができる。
【０００６】
請求項２の発明では、前記物理吸着層の吸着材が、物理吸着材のみからなることを特徴とする請求項１に記載のケミカルフィルタであり、特にアウトガス発生の少ないケミカルフィルタを提供することができる。
【０００７】
また、請求項３の発明では、前記物理吸着層が、ホットメルト樹脂から成る連結部と樹脂凝集部とで構成されたウエブの一方の表面に、該樹脂凝集部を介して物理吸着粉粒体を固着してなる積層単位を有し、該ウエブの他方の表面と、他の積層単位を構成する物理吸着粉粒体とが樹脂凝集部を介して固着して成ることを特徴とする請求項１または２に記載のケミカルフィルタであり、特に、重量も重くならず、ひだ折り加工がし易く、圧力損失も高くならず、しかもフィルタの枠体に設置してユニット化する場合、ユニット加工も容易である。
【０００８】
また、請求項４の発明では、前記保形材がホットメルト樹脂であることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のケミカルフィルタである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るケミカルフィルタの好ましい実施の形態について詳細に説明する。
【００１０】
本発明のケミカルフィルタは図１に例示するように、ひだ折り加工されたケミカルフィルタであって、該ケミカルフィルタは物理吸着層を少なくとも一層含み、該ケミカルフィルタの上流側にのみ合成樹脂製の保形材３を有することを特徴とするケミカルフィルタである。
【００１１】
本発明のケミカルフィルタは、物理吸着層を少なくとも一層含むシート状物からなるか、若しくは物理吸着層を少なくとも一層含むシート状物と物理吸着層を含まないシート状物とが複合された複合シート状物からなるケミカルフィルタ素材からなり、該ケミカルフィルタ素材はひだ折り加工が可能であり、また通気性を有している必要がある。
【００１２】
前記物理吸着層を少なくとも一層含むシート状物のうち物理吸着層以外の層は、物理吸着層を保護する例えば不織布製のカバー材等であっても、強度を補強するネット状物等であっても、また物理吸着層の汚染物質除去の効率を向上させるイオン交換樹脂を不織布等の基材に担持したものであっても、或いは物理吸着作用以外の化学反応や触媒作用を持つ吸着材を不織布等の基材に担持したもの等であってもよいが、物理吸着層と一体化されている必要がある。
【００１３】
また、前記物理吸着層を含まないシート状物は、物理吸着層を少なくとも一層含むシート状物を保護する例えば不織布製のカバー材等であっても、強度を補強するネット状物等であっても、また物理吸着層の汚染物質除去の効率を向上させるイオン交換樹脂を不織布等の基材に担持したものであっても、或いは物理吸着作用以外の化学反応や触媒作用を持つ吸着材を不織布等の基材に担持したもの等であってもよいが、物理吸着層を少なくとも一層含むシート状物と積層され複合化されている必要がある。
【００１４】
前記物理吸着層とは、物理吸着能を有する繊維からなる通気性を有するシート状物の層、又は物理吸着能を有する繊維と物理吸着作用以外の化学反応や触媒作用やイオン交換作用を有する繊維とが混合された繊維からなる通気性を有するシート状物の層であるが、繊維が物理吸着能を有する繊維のみからなる前者の物理吸着層の場合、特にアウトガス発生の少ないケミカルフィルタとすることができるので好ましい。
【００１５】
或いは前記物理吸着層とは、粒子状の物理吸着材が集積してシート状になった層、又は粒子状の物理吸着材と物理吸着作用以外の化学反応や触媒作用やイオン交換作用を有する粒子とが混合された吸着材が集積してシート状になった層であるが、粒子状の吸着材が物理吸着材のみからなる前者の物理吸着層の場合、特にアウトガス発生の少ないケミカルフィルタとすることができるので好ましい。
【００１６】
或いは前記物理吸着層とは、粒子状の物理吸着材が熱融着性の樹脂で互いに接合してシート状となった層、又は粒子状の物理吸着材と物理吸着作用以外の化学反応や触媒作用やイオン交換作用を有する粒子とが混合された吸着材が熱融着性の樹脂で互いに接合してシート状となった層であるが、粒子状の吸着材が物理吸着材のみからなる前者の物理吸着層の場合、特にアウトガス発生の少ないケミカルフィルタとすることができるので好ましい。
【００１７】
或いは前記物理吸着層とは、支持体に物理吸着材を担持して得られる層、又は物理吸着材と物理吸着作用以外の化学反応や触媒作用やイオン交換作用を有する物質とが混合された物理吸着材を支持体に担持して得られる層であるが、支持体に物理吸着材のみを担持して得られる前者の物理吸着層の場合、特にアウトガス発生の少ないケミカルフィルタとすることができるので好ましい。
【００１８】
物理吸着層が物理吸着能を有する繊維からなる通気性を有するシート状物の層である場合、物理吸着能を有する繊維としては、活性炭繊維や、活性炭繊維に酸性ガスもしくは塩基性ガスを吸着する能力を付加させた繊維などを使用することができ、比表面積が２００ｍ２／ｇ以上の多孔質のものを選択して使用するのが好ましく、５００ｍ２／ｇ以上のものがより好ましい。このような物理吸着能を有する繊維からなる通気性を有するシート状物の層の形態としては、不織布、織物、ろ紙、などの多孔質体などが挙げられ、なかでも不織布は通気性が高いので好ましい。
【００１９】
また、物理吸着層が物理吸着材の粒子が集積してシート状になった層である場合としては、例えば、図４に例示する形態のものがある。すなわち、ホットメルト樹脂から成る連結部１０と樹脂凝集部１２とで構成されたウエブの一方の表面に、該樹脂凝集部１２を介して物理吸着粉粒体１１を固着してなる積層単位１３ａを有し、該ウエブの他方の表面と、他の積層単位１３ｂを構成する物理吸着粉粒体とが樹脂凝集部を介して固着して成るように形成された物理吸着層１３ａ、１３ｂがあり、このようなケミカルフィルタ素材はひだ折り加工がし易く、圧力損失も高くならない。また、フィルタの枠体に設置してユニット化する場合、ユニット加工も容易であるため、ケミカルフィルタ素材として好ましい形態である。
【００２０】
また、物理吸着層が支持体に物理吸着材を担持して得られる層である場合、該支持体は通気性を有するシート状物ならばいずれも使用可能であり、このような通気性を有するシート状物としては、不織布、織物、膜、ろ紙、スポンジなどの多孔質体などが挙げられ、なかでも不織布は通気性が高いので好ましい。また、該支持体に用いるシート状物が高分子材料であれば、フィルタ加工におけるひだ折り加工などへの追従性が高く、耐久性に優れているので好ましく用いることができる。
【００２１】
前記物理吸着材は、脱臭用途に使用できるものならばいずれも使用可能で、活性炭、活性炭繊維、ゼオライトなどを好ましく使用でき、このような、物理吸着材にさらに、酸性ガスもしくは塩基性ガスを吸着する能力を付加されている物理吸着材を用いても良い。また、物理吸着材は、比表面積が２００ｍ２／ｇ以上の多孔質のものを選択して使用するのが好ましく、５００ｍ２／ｇ以上のものがより好ましい。また、物理吸着材を接合する熱融着性の樹脂は発生ガスの少ない樹脂を用いることが望ましい。
【００２２】
ケミカルフィルタに設けられる合成樹脂製の保形材の材質としては熱可塑性樹脂であっても熱硬化性樹脂であっても良いが、熱可塑性樹脂の中でもホットメルト樹脂であれば、本発明のケミカルフィルタを製造する際に、ホットメルト樹脂を加熱溶融しながら任意の形状にケミカルフィルタ素材の上流側に線状や、点状に塗布した後にひだ折り加工することができるので好ましい。このようなホットメルト樹脂としては、ポリエチレン、ポリアミド、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリビニルアルコールなど任意のホットメルト樹脂を用いることができる。また、前記熱可塑性樹脂に気体を混入して２〜４倍程度に発泡させた独立気泡型熱可塑性樹脂を用いることもできる。この熱可塑性樹脂の塗布量としては任意であるが、ケミカルフィルタ素材の層、大きさ、折りひだの数、その間隔などによって増減するので、これらを考慮して適宜決定することができる。熱可塑性樹脂の塗布形態としては、図２に例示するように例えば巾４ｍｍ×長さ４０ｍｍ（寸法ｂ）の大きさの線状に、その線の巾方向に５０ｍｍ（寸法ａ）の間隔をあけて、折り山の線４にまたがるようにして、且つ谷線５にはまたがらないようにして、熱可塑性樹脂からなる保形材３が塗布されるのが好ましい。
【００２３】
図１に例示するように、ケミカルフィルタの上流側に合成樹脂製の保形材３を設ける方法としては、上述のように、ケミカルフィルタ素材の上流側にホットメルト樹脂を塗布することによって保形材が形成され、その後にケミカルフィルタ素材がひだ折り加工される方法が好ましいが、必ずしもその方法に限定されず、ケミカルフィルタ素材がひだ折り加工された後に、合成樹脂の保形材をケミカルフィルタ素材の上流側に設置して、隣り合う折り山４相互の間隔を保持する方法も可能である。このような方法としては、例えば、図３に例示するように、隣り合う折り山の頂点部分４を合成樹脂の保形材である細巾の薄板状部材３と接着させながら、その細巾の薄板状部材同士の間隔を一定間隔に保ちながら、折り山の頂点間を繋げた方法がある。
【００２４】
ケミカルフィルタ素材または保形材付きのケミカルフィルタ素材のひだ折り加工方法としては、レシプロ方式、ロータリー方式などのプリーツ加工機によって、ケミカルフィルタ素材または保形材付きのケミカルフィルタ素材にジグザグ形状を付与する方法がある。また、ジグザグ形状に成形された押型でケミカルフィルタ素材または保形材付きのケミカルフィルタ素材をプレスすることによって、ジグザグ形状を付与するなど、従来より知られた方法を用いることができる。
【００２５】
このようにしてひだ折り加工されたケミカルフィルタは、図１又は図３に例示するように、隣合う折り山４相互の間隔がケミカルフィルタ上流側に設けられた合成樹脂からなる保形材３によって保持されている。尚、従来の粉塵除去を目的としたひだ折り加工されたエアフィルタでは、図６のように、ひだ折りの形状を保持するため保形材３がエアフィルタの上流側と下流側に配置されているか、若しくは下流側にのみ配置されている。その大きな理由として、粉塵の捕集に伴いエアフィルタが目詰まりを生じてエアフィルタ前後に大きな差圧が生じてしまい、このため、ひだ折りの形状が下流側で大きく膨らんでしまうことを防止することがあげられる。しかし、本発明のケミカルフィルタは、粉塵の除去ではなくガス状汚染物質を除去するのが目的であるため、粉塵によって上記のように、ひだ折りの形状が下流側で大きく膨らんでしまうことがなく、上流側に保形材を設けるのみでケミカルフィルタの形状を十分に保つことができるのである。
【００２６】
このようにして形成された本発明のケミカルフィルタは、物理吸着層を含んでいるので、ケミカルフィルタの上流側にのみ設けられた合成樹脂製の保形材から発生するガス状汚染物質を吸着することができる。その結果、ケミカルフィルタの下流側の空気中のガス状汚染物質の濃度を極めて少なくすることができる。すなわち、本発明のケミカルフィルタによって、ガス状汚染物質の濃度が極めて少ない処理空気を得ることができる。
【００２７】
【実施例】
以下、本発明の実施例につき説明するが、これは発明の理解を容易とするための好適例に過ぎず、本願発明はこれら実施例の内容に限定されるものではない。
（実施例１）図４のように、支持体９としてポリエステルスパンボンド不織布（面密度３０ｇ／ｍ２）を準備し、片面に、熱可塑性ポリアミド樹脂からなる面密度２０ｇ／ｍ２のホットメルト不織布を接着層として積層した。次に、該接着層の上に粒径０．３〜０．５ｍｍの活性炭粒子１１を１ｍ２当たり３５０ｇ／ｍ２の量になるように散布した。続いて、約５ｋｇ／ｃｍ２の水蒸気処理を支持体側から７秒間行い、該接着層を溶融せしめた後、固着されていない活性炭粒子を除去することにより、支持体９に樹脂凝集部１２を介して活性炭粒子１１を固着し１層目の積層単位１３ａを得た。更にこの状態の積層単位１３ａに上記と同様の熱可塑性ポリアミド不織布を積層し、活性炭粒子を散布、水蒸気処理、並びに固着されていない活性炭粒子の除去を経て２層目の積層単位１３ｂを形成した。その後更に、その積層単位１３ｂの上に、熱可塑性ポリエチレン樹脂からなる面密度２０ｇ／ｍ２のホットメルト不織布を積層し、その上にカバー材として面密度３０ｇ／ｍ２のポリエステルスパンボンド不織布１４を積層した後、水蒸気処理を支持体側から行って、物理吸着層を含むケミカルフィルタ素材８を得た。次に、図２のように該ケミカルフィルタ素材にポリ酢酸ビニルからなるホットメルト樹脂３を巾４ｍｍ×長さ４０ｍｍ（寸法ｂ）の大きさの線状に、その線の巾方向に５０ｍｍ（寸法ａ）の間隔をあけて、折り山の線にまたがるようにして、且つ谷線にはまたがらないようにして、塗布加工することにより、合成樹脂からなる保形材をケミカルフィルタの上流側のみに形成した。以上の処理により、スパンボンド不織布の間に、物理吸着能力を有する活性炭層を設け、ケミカルフィルタの上流側のみにホットメルト樹脂加工による保形材を設けた、保形材付きのケミカルフィルタ素材を得た。その後、図１のように、保形材付きのケミカルフィルタ素材２を折高さ４０ｍｍ、山間隔が６ｍｍになるようにひだ折り加工を施し、ケミカルフィルタ１を作製した。その後、そのケミカルフィルタ１の周囲をポリエステル不織布で取り囲み縦３００ｍｍ、横３００ｍｍ、高さ４０ｍｍのケミカルフィルタユニット（図示せず）を作製した。
【００２８】
（比較例１）ホットメルト樹脂を巾４ｍｍ×長さ４０ｍｍの大きさの線状に、その線の巾方向に５０ｍｍの間隔をあけて、折り山の線にまたがるようにして、且つケミカルフィルタ素材の反対面の谷線にまたがるようにして、ケミカルフィルタ素材の上流側と下流側に塗布加工を施した以外、実施例１と同様にして、図６に示すケミカルフィルタ２０を作製した。その後、実施例１と同様にして、ケミカルフィルタユニットを作製した。
【００２９】
（比較例２）ホットメルト樹脂を塗布加工しないこと以外は実施例１と同様にして、ケミカルフィルタを作製した。その後、実施例１と同様にして、ケミカルフィルタユニットを作製した。
【００３０】
（比較例３）ホットメルト樹脂を塗布加工しないこと以外は実施例１と同様にして、ケミカルフィルタを作製した後、隣り合う折り山相互の間隔を保持する冶具として、厚さ０．５ｍｍアルミニウムから予め成型された波状の保形材をケミカルフィルタの上流側と下流側に挿入してケミカルフィルタを作製した。その後、実施例１と同様にして、ケミカルフィルタユニットを作製した。
【００３１】
本発明のケミカルフィルタの圧力損失、及びガス発生量を評価するため下記の試験方法を用いた。このうち、ガス発生量の評価はケミカルフィルタ素材または保形材付きのケミカルフィルタ素材を用いて行った。また、比較例３については、アルミニウム製の波板からの有機質のガス発生がほとんどないため、ケミカルフィルタ素材からのガス発生量は、ホットメルト樹脂の保形材を塗布加工しなかった比較例２と同等と見なされるので、ガス発生量の試験は行わず、比較例２と同じ値を推定値として用いた。
（圧力損失の評価方法）
実施例１、比較例１〜３のケミカルフィルタユニットを間口３００ｍｍ×３００ｍｍのダクトに取り付け、風速３０ｃｍ／ｓｅｃにおけるフィルタユニット前後の圧力損失を測定した。その結果を表１にまとめた。
【００３２】
（ケミカルフィルタ素材または保形材付きケミカルフィルタ素材からのガス発生量の評価方法）
本発明のケミカルフィルタ素材または保形材付きケミカルフィルタ素材からの発生ガスの評価方法として、ダイナミックヘッドスペース法を用いた。図５はこの方法に用いる発生ガス捕集装置（ジーエルサイエンス(株)製  ＭＳＴＤ−２５８Ｍ）である。まず、実施例１、比較例１〜２のケミカルフィルタ素材または保形材付きケミカルフィルタ素材を、その周縁を覆うことができる内径２．５ｃｍの円筒形のガラスセルの間に挟み込んで周囲をＰＴＦＥ製テープ（テフロンテープ）で封じ、非処理気体であるヘリウムガス１７が試料を通過後に再度回りこんで吸着材に接することのないようにした。次に、試料がはめ込まれたセル１５を、発生ガス捕集装置のチャンバー１６の中央の噴出し口１９の上に置いた。このとき実施例１の保形材付きケミカルフィルタ素材の場合は、ホットメルト加工面が非処理気体が流れる上流側になるように設置した。次いで、清浄なヘリウムガス１７を流速２４０ｍｌ／ｍｉｎで連続的に流通させながらチャンバー内を８０℃に加熱して、３０分間後に捕集速度１００ｍｌ／ｍｉｎで固体吸着材１８（成分；2,6‐diphenylene oxiside）に２０分間捕集した。次いで固体吸着材１８に捕集した物質をガスクロマトグラフ質量分析計（(株)島津製作所製  ＱＰ−５０５０を使用）で分析し、ケミカルフィルタ素材または保形材付きケミカルフィルタ素材からのガス発生量を計算した。ガス発生量（μｇ／ｍ２・ｈｒ）は、ケミカルフィルタ素材または保形材付きケミカルフィルタ素材の単位面積（ｍ２）あたり、単位時間（ｈｒ）あたりの発生量（μｇ）をトルエン換算で計算して求めた。
【００３３】
【表１】
ケミカルフィルタの圧力損失とガス発生量
0004454886.tif 000002
【００３４】
実施例１に示すように、上流側のみにポリエチレン樹脂の保形材を設けた本発明のケミカルフィルタでは、その下流側で発生する発生ガス量は、８０℃におけるトルエン換算で４０μｇ／ｍ２・ｈｒであり、この値は保形材を使用しなかった比較例２の３７μｇ／ｍ２・ｈｒに匹敵する低い値である。これに対して、上流側及び下流側にポリエチレン樹脂の保形材を設けた比較例１では、発生ガス量が７０００μｇ／ｍ２・ｈｒと高い値を示している。また、比較例２では保形材を用いなかったために、ケミカルフィルタのひだが変形して、圧力損失が高くなってしまい、長期間の使用が困難であった。また、比較例３では保形材としてアルミニウム製の波板を用いたため、発生するガス状汚染物質量は少ないものの、圧力損失が高くなってしまい、また重量が重くなってしまったためケミカルフィルタとして用いることができなかった。このように、本発明のケミカルフィルタによれば、合成樹脂製の保形材を用いているにもかかわらず、発生するガス状汚染物質量を極めて少なくすることができる。
【００３５】
【発明の効果】
本発明のケミカルフィルタは、クリーンルームなどでケミカルフィルタユニットとして使用した場合、重量も重くならず、圧力損失が低く、しかもケミカルフィルタ自身よりガス状汚染物質が発生しないか、または発生するガス状汚染物質が極めて少なく、クリーンルーム内の製品などへ悪影響を及ぼすことがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のケミカルフィルタ
【図２】本発明のケミカルフィルタのひだ折り加工前の図
【図３】本発明のケミカルフィルタの保形材が異なる一例
【図４】本発明のケミカルフィルタの物理吸着層の一例の模式的断面図
【図５】ダイナミックヘッドスペース法に用いる発生ガス捕集装置の説明図
【図６】従来のケミカルフィルタ  または  従来のエアフィルタ
【符号の説明】
１    ケミカルフィルタ
２    物理吸着層を含むケミカルフィルタ素材
３    保形材
４    ひだ折りの山または山線
５    ひだ折りの谷または谷線
６    披処理気体の通過方向
７    ひだ折り加工前のケミカルフィルタ
８    物理吸着層
９    支持体
１０  連結部
１１  物理吸着材
１２  樹脂凝集部
１３  積層単位
１４  カバー材
１５  試料
１６  チャンバー
１７  ヘリウムガス
１８  固体吸着剤
１９  ガス吹出し口
２０  従来のケミカルフィルタ  または  従来のエアフィルタ
【図１】
0004454886.tif 000003
【図２】
0004454886.tif 000004
【図３】
0004454886.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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