(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源を射出元とする被検光路のズレを検知するための装置であって、
前記光源を射出元とする前記被検光路から光を採取して、少なくとも２つの光路に分岐する分岐手段と、
前記分岐手段の各分岐先から互いに異なる光路長を離して受光面がそれぞれ配置され、前記受光面上の受光位置をそれぞれ検出する光検出手段とを備え、
前記光検出手段は、前記光検出手段によりそれぞれ検出された受光位置の相違分から、前記光源を射出元とする前記被検光路のチルトを検知し、その相違分を除いた後の受光位置の共通分から、前記光源を射出元とする前記被検光路のシフトを検知し、
前記分岐手段は、前記分岐手段において発生する迷光の少なくとも一部が前記光検出手段の受光面に到達するのを阻止する迷光阻止手段を備えるとともに前記光源を射出元とする前記被検光路に斜設され、光を所定の割合で分割する光学素子を用いて、前記光源を射出元とする前記被検光路から光を採取する手段であり、
前記迷光阻止手段は、前記光学素子の入射光の通過範囲を制限して、前記光学素子で発生する迷反射光が正規の反射光の通過範囲に混入するのを阻止する入射制限手段と、前記光学素子の反射光の通過範囲を制限して、前記光学素子で発生する迷反射光を阻止する反射制限手段とを有することを特徴とする光路ズレ検知装置。
【請求項２】
光源を射出元とする被検光路のズレを検知するための装置であって、
前記光源を射出元とする前記被検光路から光を採取して、少なくとも２つの光路に分岐する分岐手段と、前記分岐手段の各分岐先に受光面がそれぞれ配置され、前記受光面上の受光位置をそれぞれ検出する光検出手段と、
前記分岐手段の少なくとも１つの分岐先に配置され、チルトの発生していない平行光束群を受光面上の所定位置に集光する集光手段とを備え、
前記光検出手段は、前記集光手段を備えた分岐先における受光位置と前記所定位置とのズレから前記被検光路のチルトを検知し、その他の分岐先における受光位置から該チルト分を除去して前記被検光路のシフトを検知し、
前記分岐手段は、前記分岐手段において発生する迷光の少なくとも一部が前記光検出手段の受光面に到達するのを阻止する迷光阻止手段を備えるとともに、前記光源を射出元とする前記被検光路に斜設され、光を所定の割合で分割する光学素子を用いて、前記光源を射出元とする前記被検光路から光を採取する手段であり、
前記迷光阻止手段は、前記光学素子の入射光の通過範囲を制限して、前記光学素子で発生する迷反射光が正規の反射光の通過範囲に混入するのを阻止する入射制限手段と、前記光学素子の反射光の通過範囲を制限して、前記光学素子で発生する迷反射光を阻止する反射制限手段とを有することを特徴とする光路ズレ検知装置。
【請求項３】
光源を射出元とする被検光路のズレを検知するための装置であって、
前記光源を射出元とする前記被検光路から光を採取して、少なくとも２つの光路に分岐する分岐手段と、
前記分岐手段の各分岐先から互いに異なる光路長を離して受光面がそれぞれ配置され、前記受光面上の受光位置をそれぞれ検出する光検出手段とを備え、
前記光検出手段は、前記光検出手段によりそれぞれ検出された受光位置の相違分から、前記光源を射出元とする前記被検光路のチルトを検知し、その相違分を除いた後の受光位置の共通分から、前記光源を射出元とする前記被検光路のシフトを検知し、
前記分岐手段は、前記分岐手段において発生する迷光の少なくとも一部が前記光検出手段の受光面に到達するのを阻止する迷光阻止手段を備えるとともに、前記光源を射出元とする前記被検光路に斜設され、光を所定の割合で分割する光学素子を用いて、前記光源を射出元とする前記被検光路から光を採取する手段であり、
前記迷光阻止手段は、前記光学素子をマスクする遮光マスクから構成され、前記遮光マスクの表面側は、前記光学素子の入射光の通過範囲を制限して、前記光学素子で発生する迷反射光が正規の反射光の通過範囲に混入するのを阻止する機能を果たし、かつ前記遮光マスクの裏面側は、前記光学素子の反射光の通過範囲を制限して、前記光学素子で発生する迷反射光を阻止する機能を果たすことを特徴とする光路ズレ検知装置。
【請求項４】
光源を射出元とする被検光路のズレを検知するための装置であって、
前記光源を射出元とする前記被検光路から光を採取して、少なくとも２つの光路に分岐する分岐手段と、前記分岐手段の各分岐先に受光面がそれぞれ配置され、前記受光面上の受光位置をそれぞれ検出する光検出手段と、
前記分岐手段の少なくとも１つの分岐先に配置され、チルトの発生していない平行光束群を受光面上の所定位置に集光する集光手段とを備え、
前記光検出手段は、前記集光手段を備えた分岐先における受光位置と前記所定位置とのズレから前記被検光路のチルトを検知し、その他の分岐先における受光位置から該チルト分を除去して前記被検光路のシフトを検知し、
前記分岐手段は、前記分岐手段において発生する迷光の少なくとも一部が前記光検出手段の受光面に到達するのを阻止する迷光阻止手段を備えるとともに前記光源を射出元とする前記被検光路に斜設され、光を所定の割合で分割する光学素子を用いて、前記光源を射出元とする前記被検光路から光を採取する手段であり、
前記迷光阻止手段は、前記光学素子をマスクする遮光マスクから構成され、前記遮光マスクの表面側は、前記光学素子の入射光の通過範囲を制限して、前記光学素子で発生する迷反射光が正規の反射光の通過範囲に混入するのを阻止する機能を果たし、かつ前記遮光マスクの裏面側は、前記光学素子の反射光の通過範囲を制限して、前記光学素子で発生する迷反射光を阻止する機能を果たすことを特徴とする光路ズレ検知装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の光路ズレ検知装置において、
前記迷光阻止手段は、前記光学素子の厚みおよび屈折率に起因して生じる『正規の反射光と迷反射光との光路ズレ間』に前記反射光の通過範囲の境界を設定することを特徴とする光路ズレ検知装置。
【請求項６】
照明用の光源と、
前記光源からの光を、試料に照射する照明光学系と、
前記試料からの反射光を集光する観測光学系と、
前記試料上の観測点と、前記観測光学系を介して光学的共役位置に配置されたピンホールと、
前記観測点を前記試料に対して光学的に走査移動させる走査手段と、
前記ピンホールの通過光を受光する受光手段と、
前記受光手段から得た光強度と、前記走査手段による走査移動動作との関係から、前記試料の画像を生成する画像生成手段とを備えた共焦点顕微鏡において、
請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の光路ズレ検知装置を前記照明光学系の照明光路に備え、前記照明光路のシフトおよびチルトを検知可能にしたことを特徴とする共焦点顕微鏡。
【請求項７】
請求項６に記載の共焦点顕微鏡において、
前記光路ズレ検知装置において検知された照明光路のチルトに対応して前記照明光路を回動して、前記照明光路のチルトを自動補正するチルト制御手段と、
前記光路ズレ検出装置において検知された照明光路のシフトに対応して前記照明光路を平行移動して、前記照明光路のシフトを自動補正するシフト制御手段とを備えたことを特徴とする共焦点顕微鏡。
【請求項８】
請求項６または請求項７に記載の共焦点顕微鏡において、
前記光源として、複数種類の選択可能な光源を備え、
前記光路ズレ検知装置は、前記複数種類の光源に共通する照明光路に配置され、
前記光路ズレ検知装置の検知結果を参照しつつ、前記複数種類の光源の光路ズレを較正可能な較正手段を備えたことを特徴とする共焦点顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検光路のズレ（シフトおよびチルト）を検知する光路ズレ検知装置に関する。また、本発明は、この光路ズレ検知装置を搭載した共焦点顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】
共焦点顕微鏡は、一般的な顕微鏡に比べて分解能その他の諸性能に優れ、工業および生物分野などに広く使用されている。
図７は、この種の共焦点顕微鏡として、レーザ走査タイプの共焦点顕微鏡を示す図である。
図７において、光源１１は、直線偏光のレーザ光を出射する。ビームエキスパンダ１２は、このレーザ光のビーム径を拡大する。ビーム径の拡大されたレーザ光は、偏光ビームスプリッタ１３をまっすぐ透過し、１／４波長板１４に到達する。１／４波長板１４は、このレーザ光を円偏光に変換して、走査ユニット１５へ出射する。
この走査ユニット１５は、２軸のミラー駆動機構などを用いて、レーザ光を二次元方向へ走査する。対物レンズ１８は、この走査光を試料１９上の観測点に集める。
試料１９に反射された走査光は、逆回りの円偏光となる。この逆回りの円偏光は、対物レンズ１８および走査ユニット１５を逆に辿って、１／４波長板１４に到達する。
１／４波長板１４は、この円偏光を、照明時と偏光方向が直交する直線偏光に変換して、偏光ビームスプリッタ１３へ出射する。偏光ビームスプリッタ１３は、この直線偏光を反射する。集光レンズ２１は、反射された直線偏光を遮光板２２のピンホール２３に集光する。光電検出素子２４は、このピンホール２３の通過光を受光する。
Ａ／Ｄ変換器２５は、光電検出素子２４の輝度出力をデジタル信号に変換する。
ＣＰＵ２６は、Ａ／Ｄ変換器２５からのデジタル信号を、走査ユニット１５の走査動作に同期したサンプリングクロックで取り込み、試料１９の画像を生成する。この画像は、ディスプレイ２７に適宜表示される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような共焦点顕微鏡では、光源の特性変化や、波長切換時（例えばチタン・サファイアレーザのように波長切換可能な光源の場合）の内部光学素子の位置変化などに起因して、レーザ光の出射位置および出射角度が変動する。
図８（ａ）は、上記理由などにより光源１１の光路にシフトが発生した状態を点線で示した図である。このようなシフトが発生した場合、照明用のレーザ光が、対物レンズ１８の入射瞳１７の範囲からずれてしまう。その結果、試料１９に対する照明光量が低下して、試料画像のＳ／Ｎが低下するなどの不具合が生じていた。
【０００４】
また、図８（ｂ）は、光源１１の光路にチルトが発生した状態を点線で示した図である。このようなチルトが発生した場合、試料１９上の照明ポイントが変位してしまう。その結果、ピンホール２３と光学的共役関係にある試料１９上の観測点が、十分に照明されないこととなる。さらに最悪の場合には、ピンホール２３から集光位置が完全に外れてしまい、画像が得られなくなってしまう。
【０００５】
従来の共焦点顕微鏡は、レーザ光の出射位置および出射角度を検出する手段を備えない。そのため、操作者は、上記不具合に気づかないまま、共焦点顕微鏡を使い続けてしまうことが多かった。また、操作者は、上記不具合に気がついても正確に光路ズレを較正する手段がないため、サービスセンタなどにメンテナンスを逐一依頼しなければならなかった。
【０００６】
さらに、共焦点顕微鏡には、複数個の光源を有するものがある。このような複数光源の共焦点顕微鏡では、各光源のレーザ光を同一光軸上に正確に合わせ込むことが、困難かつ複雑であった。
【０００７】
そこで、上記した問題に鑑みて、請求項１、２に記載の発明では、光路ズレをシフトとチルトに区別して検知することが可能な光路ズレ検知装置を提供することを目的とする。
請求項３〜６に記載の発明は、内部で発生する迷光を効果的に低減して、光路ズレの検知精度を高めた光路ズレ検知装置を提供することを目的とする。
請求項７に記載の発明では、照明光路のズレをシフトとチルトに区別して検知することを可能にした共焦点顕微鏡を提供することを目的とする。
請求項８に記載の発明では、照明光路のズレ補正を自動化した共焦点顕微鏡を提供することを目的とする。
請求項９に記載の発明では、複数光源の光路較正を簡単に実行できる共焦点顕微鏡を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
以下、実施形態の符号を対応付けながら、課題を解決するための手段を説明する。なお、ここでの対応付けは、参考のためであり、本発明を限定するものではない。
【０００９】
《請求項１》請求項１に記載の発明は、光源を射出元とする被検光路の光路ズレを検知するための装置であって、光源を射出元とする被検光路から光を採取して、採取した光を少なくとも２つの光路に分岐する分岐手段と、分岐手段の各分岐先から互いに異なる光路長を離して受光面をそれぞれ配置して受光面上の受光位置をそれぞれ検出する光検出手段とを備え、光検出手段は、光検出手段によりそれぞれ検出された受光位置の相違分から被検光路のチルトを検知し、その相違分を除いた後の受光位置の共通分から被検光路のシフトを検知し、分岐手段は、分岐手段において発生する迷光の少なくとも一部が光検出手段の受光面に到達するのを阻止する迷光阻止手段を備えるとともに光源を射出元とする被検光路に斜設され、光を所定の割合で分割する光学素子を用いて、光源を射出元とする被検光路から光を採取する手段であり、迷光阻止手段は、光学素子の入射光の通過範囲を制限して、光学素子で発生する迷反射光が正規の反射光の通過範囲に混入するのを阻止する入射制限手段と、光学素子の反射光の通過範囲を制限して、光学素子で発生する迷反射光を阻止する反射制限手段とを有することを特徴とする。
【００１０】
図９に一例を示すように、光検出手段の受光面が、互いに異なる光路長を置いて、各分岐先に配置される。図１０に、この図９に示す受光面Ａ，Ｂを被検光路上に等価配置した状態を仮想的に示す。以下、図１０に示す仮想的な光路を用いて、上記構成に関する原理説明を行う。
【００１１】
まず、図１０（ａ）の場合、被検光には、（仰角θ，回転角ψ）のチルトが発生している。この被検光は、受光面Ａの受光位置Ｐａにまず到達する。その後、被検光は、（仰角θ，回転角ψ）の方向へ光路長差ΔＬだけ進み、受光面Ｂの受光位置Ｐｂに到達する。
そのため、２つの受光位置Ｐａ，Ｐｂのズレ幅は、（ΔＬ・tanθ）に等しくなる。このうち、光路長差ΔＬは既知であるから、受光位置Ｐａ，Ｐｂのズレ幅から、チルトの仰角θを求めることが可能となる。また、ズレの傾き方向からは、回転角ψを直接求めることができる。
このように、各分岐先の受光位置の相違分に基づいて、被検光路のチルトを確実に検知することが可能となる。また、受光位置の相違分を除くように（受光位置が一致するように）、被検光の角度を調整することにより、被検光のチルトを補正することも可能となる。
【００１２】
一方、図１０（ｂ）の場合、被検光には、シフトＳのみが生じている。この被検光は、受光面Ａの受光位置Ｐａにまず到達する。その後、被検光は、基準光軸と平行に進んで、受光面Ｂの受光位置Ｐｂに到達する。この場合、２つの受光位置Ｐａ、Ｐｂは一致し、ズレが生じない。このとき、受光位置Ｐａ（Ｐｂ）の絶対位置から、シフトＳを直接求めることができる。また、受光位置が原点などに一致するように、被検光の位置を調整することにより、被検光のシフトを補正することも可能となる。
また、上記構成では、入射制限手段が光学素子の入射範囲を制限することにより、迷反射光が正規の反射光の通過光路上に混入するのを阻止する。一方、反射制限手段は、光学素子で発生する迷反射光を直に阻止する。したがって、光学素子の入射側と反射側の双方で迷反射光を確実に阻止することが可能となる。
【００１３】
《請求項２》請求項２に記載の発明は、光源を射出元とする被検光路の光路ズレを検知するための装置であって、光源を射出元とする被検光路から光を採取して、採取した光を少なくとも２つの光路に分岐する分岐手段と、分岐手段の各分岐先に受光面をそれぞれ配置して受光面上の受光位置をそれぞれ検出する光検出手段と、分岐手段の少なくとも１つの分岐先に配置され、チルトの発生していない平行光束群を受光面の所定位置に集光する集光手段とを備え、光検出手段は、集光手段を備えた分岐先における受光位置と所定位置とのズレから被検光路のチルトを検知し、その他の分岐先における受光位置から該チルト分を除去して被検光路のシフトを検知し、分岐手段は、分岐手段において発生する迷光の少なくとも一部が光検出手段の受光面に到達するのを阻止する迷光阻止手段を備えるとともに、分岐手段は、光源を射出元とする被検光路に斜設され、光を所定の割合で分割する光学素子を用いて、光源を射出元とする被検光路から光を採取する手段であり、迷光阻止手段は、光学素子の入射光の通過範囲を制限して、光学素子で発生する迷反射光が正規の反射光の通過範囲に混入するのを阻止する入射制限手段と、光学素子の反射光の通過範囲を制限して、光学素子で発生する迷反射光を阻止する反射制限手段とを有することを特徴とする。
【００１４】
以下、図１１および図１２を用いて、上記構成に関する原理説明を行う。
まず、図１１において、被検光にチルトは発生せず、シフトのみが発生している。このような被検光は、集光手段を介して光路が曲げられ、受光面Ｑの所定位置Ｘに到達する。このように被検光の受光位置Ｐが所定位置Ｘに一致した場合、被検光には、チルトが発生していないと判断することができる。
【００１５】
一方、図１２では、被検光に（仰角θ，回転角ψ）のチルトが発生している。
このような被検光は、シフトに係わらず、受光面Ｑの受光位置Ｐ′に到達する。
この受光位置Ｐ′と所定位置Ｘとのズレ幅は、Ｆ１・tanθに等しくなる。このうち、Ｆ１は、集光手段の後側主点Ｈと受光面Ｑとの距離（焦点距離）に相当し、既知である。したがって、このズレ幅の値から、チルトの仰角θを求めることが可能となる。また、ズレの傾き方向からは、回転角ψを直接求めることができる。
【００１６】
このように、受光位置と所定位置とのズレに基づいて、被検光路のチルトを確実に検知することが可能となる。また、このズレを除くように（受光位置が所定位置に一致するように）、被検光の角度を調整することにより、被検光のチルトを補正することも可能となる。この場合、一致させるべき所定位置が固定点であるため、請求項１に比べて補正動作が容易になるという利点がある。
さらに、このように検知されたチルト分を、その他の分岐先における受光位置から除くことにより、被検光路のシフトを検知することも可能となる。
【００１７】
《請求項３》請求項３に記載の発明は、光源を射出元とする被検光路の光路ズレを検知するための装置であって、光源を射出元とする被検光路から光を採取して、採取した光を少なくとも２つの光路に分岐する分岐手段と、分岐手段の各分岐先から互いに異なる光路長を離して受光面をそれぞれ配置して受光面上の受光位置をそれぞれ検出する光検出手段とを備え、光検出手段は、光検出手段によりそれぞれ検出された受光位置の相違分から被検光路のチルトを検知し、その相違分を除いた後の受光位置の共通分から被検光路のシフトを検知し、分岐手段は、分岐手段において発生する迷光の少なくとも一部が光検出手段の受光面に到達するのを阻止する迷光阻止手段を備えるとともに、光源を射出元とする被検光路に斜設され、光を所定の割合で分割する光学素子を用いて、光源を射出元とする被検光路から光を採取する手段であり、迷光阻止手段は、光学素子をマスクする遮光マスクから構成され、遮光マスクの表面側は、光学素子の入射光の通過範囲を制限して、光学素子で発生する迷反射光が正規の反射光の通過範囲に混入するのを阻止する機能を果たし、かつ遮光マスクの裏面側は、光学素子の反射光の通過範囲を制限して、光学素子で発生する迷反射光を阻止する機能を果たすことを特徴とする。
【００１８】
上述した光路ズレ検知装置では、被検光路から光を採取する際に迷光が発生すく場合がある。このように発生した迷光は、分岐先の受光面に到達し、偽のスポット像を生じる（図１５ａ参照）。このような偽のスポット像が生じた場合、受光面上における光分布の重心位置が変位するため、光検出手段は受光位置を誤検出してしまう。その結果、光路ズレ検知装置の精度が下がってしまう。
【００１９】
ちなみに、使用する光源が一種類かつ固定ならば、重心位置の変位がほぼ毎回一定するため、光検出手段側で受光位置の変位を比較的簡単に補正することができる。
しかしながら、複数の光源が交換可能に使用された場合、光源の配置位置や波長や偏光方向などの微妙な違いから迷光と正規光との強度比や位置などが変化し、受光面上における光分布の重心位置が複雑に変位する。そのため、複数の光源を交換可能に使用するような光学装置では、受光位置の変位を正確に補正することが非常に困難となる。
そこで、上記構成では、迷光阻止手段を備えて、迷光の少なくとも一部が、光検出手段の受光面に到達するのを阻止する。その結果、偽のスポット像の影響がなくなり、光路ズレの検知精度を的確に向上させることが可能となる。
また、上記構成では、遮光マスクの表面側が光学素子の入射範囲を制限して、迷反射光が正規の反射光の通過光路上に混入するのを阻止する。一方、遮光マスクの裏面（光学素子に対向する側）側は、光学素子で発生する迷反射光を直に阻止する。したがって、光学素子の入射側と反射側の双方で迷反射光を確実に阻止することが可能となる。
【００２０】
《請求項４》請求項４に記載の発明は、光源を射出元とする被検光路の光路ズレを検知するための装置であって、光源を射出元とする被検光路から光を採取して、採取した光を少なくとも２つの光路に分岐する分岐手段と、分岐手段の各分岐先に受光面をそれぞれ配置して受光面上の受光位置をそれぞれ検出する光検出手段と、分岐手段の少なくとも１つの分岐先に配置され、チルトの発生していない平行光束群を受光面の所定位置に集光する集光手段とを備え、光検出手段は、集光手段を備えた分岐先における受光位置と所定位置とのズレから被検光路のチルトを検知し、その他の分岐先における受光位置から該チルト分を除去して被検光路のシフトを検知し、分岐手段は、分岐手段において発生する迷光の少なくとも一部が光検出手段の受光面に到達するのを阻止する迷光阻止手段を備えるとともに、光源を射出元とする被検光路に斜設され、光を所定の割合で分割する光学素子を用いて、光源を射出元とする被検光路から光を採取する手段であり、迷光阻止手段は、光学素子をマスクする遮光マスクから構成され、遮光マスクの表面側は、光学素子の入射光の通過範囲を制限して、光学素子で発生する迷反射光が正規の反射光の通過範囲に混入するのを阻止する機能を果たし、かつ遮光マスクの裏面側は、光学素子の反射光の通過範囲を制限して、光学素子で発生する迷反射光を阻止する機能を果たすことを特徴とする。
【００２４】
《請求項５》請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の光路ズレ検知装置において、迷光阻止手段は、光学素子の厚みおよび屈折率に起因して生じる『正規の反射光と迷反射光との光路ズレ間』に反射光の通過範囲の境界を設定することを特徴とする。
【００２５】
光学素子に入射する光は、光学素子の表面および裏面の２箇所でそれぞれ反射される。この内の一方（通常は光強度の大きい方）が正規の反射光となり、他方か迷反射光となる。そのため、正規の反射光と迷反射光とには、光学素子の厚みに比例した一定幅の光路ズレが生じる。そこで、迷光阻止手段において、反射光の通過範囲の境界をこの光路ズレの間に設定することにより、迷反射光を選択的に阻止することが可能となる。
【００２６】
《請求項６》請求項６に記載の発明は、照明用の光源と、光源からの光を、試料に照射する照明光学系と、試料からの反射光を集光する観測光学系と、試料上の観測点と、観測光学系を介して光学的共役位置に配置されたピンホールと、観測点を試料に対して光学的に走査移動させる走査手段と、ピンホールの通過光を受光する受光手段と、受光手段から得た光強度と、走査手段による走査移動動作との関係から、試料の画像を生成する画像生成手段とを備えた共焦点顕微鏡において、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の光路ズレ検知装置を照明光学系の照明光路に備え、照明光路のシフトおよびチルトを検知可能にしたことを特徴とする。
【００２７】
上記構成では、共焦点顕微鏡の照明光路に、請求項１または請求項２に記載の光路ズレ検知装置が設けられる。この照明光路の光路ズレは、共焦点顕微鏡の画像分解能や画像品質を大きく低下させる。したがって、この照明光路に光路ズレ検知装置を備えたことにより、共焦点顕微鏡の性能低下を迅速かつ確実に検知することが可能となる。また、この光路ズレ検知装置の検知結果を利用して、共焦点顕微鏡の較正作業を正確かつ容易に行うことも可能となる。
【００２８】
《請求項７》請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の共焦点顕微鏡において、光路ズレ検知装置において検知された照明光路のチルトに対応して照明光路を回動して、照明光路のチルトを自動補正するチルト制御手段と、光路ズレ検出装置において検知された照明光路のシフトに対応して照明光路を平行移動して、照明光路のシフトを自動補正するシフト制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００２９】
上記構成では、共焦点顕微鏡に、チルト制御手段およびシフト制御手段が設けられる。これらの制御手段は、光路ズレ検知装置の検知結果に基づいて、照明光路のチルトおよびシフトを自動的に補正する。このように照明光路の光路ズレが自動補正されることにより、画像分解能や画像品質などの諸性能が安定した、信頼性の高い共焦点顕微鏡が実現する。
【００３０】
《請求項８》請求項８に記載の発明は、請求項６または請求項７に記載の共焦点顕微鏡において、光源として、複数種類の選択可能な光源を備え、光路ズレ検知装置は、複数種類の光源に共通する照明光路に配置され、光路ズレ検知装置の検知結果を参照しつつ、複数種類の光源の光路ズレを較正可能な較正手段を備えたことを特徴とする。
【００３１】
上記の共焦点顕微鏡において、光路ズレ検知装置は、複数光源に共通する照明光路に配置される。したがって、複数光源の光路ズレを、単体の光路ズレ検知装置で検知することが可能となる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明における実施の形態を説明する。
【００３３】
《第１の実施形態》
第１の実施形態は、請求項１、７に記載の発明に対応する実施形態である。
図１は、第１の実施形態の構成を示す図である。なお、上述した従来例（図７）と同じ構成要素については、同一の参照番号を付与して図１に示し、ここでの説明を省略する。
【００３４】
図１において、光源１１とビームエキスパンダ１２との間のレーザ導入系６１には、ハーフミラー５１が配置される。このハーフミラー５１の反射方向には、ハーフミラー５２が配置される。このハーフミラー５２の透過方向には、光路長Ｌ１を置いて光電検出素子５３が配置される。一方、ハーフミラー５２の反射方向には、光路長Ｌ２を置いて光電検出素子５４が配置される。これらの光電検出素子５３、５４としては、撮像素子やＰＳＤ（Position Sensing Detector）や４分割ダイオードなどの受光位置を検出可能な素子が使用される。
【００３５】
これらの光電検出素子５３、５４の検出出力は、Ａ／Ｄ変換器５５を介してＣＰＵ２６に入力される。ＣＰＵ２６は、２つの光電検出素子５３、５４の検出出力に基づいて、各受光面の受光位置をそれぞれ検出する。ＣＰＵ２６は、これらの受光位置について処理演算（例えば、光電検出素子５４側の鏡像補正や、ハーフミラー５２の設置角度や受光面の設置角度によるズレ量の補正）を実行する。
ＣＰＵ２６は、このように処理された受光位置をディスプレイ２７上に拡大してグラフィック表示する。
【００３６】
図２は、第１の実施形態における光路ズレの検知動作を説明する図である。以下、図２を用いて、光路ズレの検知動作について説明する。
まず、図２（ａ）に、光源１１の照明光路にシフトのみが発生した状態を点線で示す。図に示されるように、各分岐先の各受光位置は同様に変位する。その結果、ディスプレイ２７上では各受光位置が一致して表示される。この場合、操作者は、ディスプレイ２７上の各受光位置が原点などに一致するように、光源１１を平行移動して、照明光路のシフトを補正する。
【００３７】
一方、図２（ｂ）に、光源１１の照明光路にチルトが発生した状態を点線で示す。この場合、光電検出素子５３、５４の光路長差により、各受光位置にはズレが生じる。その結果、ディスプレイ２７上では各受光位置がずれて表示される。
操作者は、ディスプレイ２７上の各受光位置が一致するように、光源１１の出射角度を補正することにより、照明光路のチルトを補正することが可能となる。なお、このようなチルトの補正後に、シフトが残存している場合、操作者は、上述したシフトの補正動作を実行する。
【００３８】
以上説明したように、第１の実施形態では、各受光位置のディスプレイ表示に基づいて、照明光路のチルトおよびシフトを明確に区別して検知することが可能になる。また、ディスプレイ２７上に示される各受光位置を参考に、照明光路のチルトおよびシフトを適切に補正することも可能となる。
次に、別の実施形態について説明する。
【００３９】
《第２実施形態》
第２の実施形態は、請求項２、７に記載の発明に対応する実施形態である。
図３は、第２の実施形態の構成を示す図である。なお、上述した従来例（図７）と同じ構成要素については、同一の参照番号を付与して図３に示し、ここでの説明を省略する。
【００４０】
図３において、光源１１とビームエキスパンダ１２との間のレーザ導入系６１には、ハーフミラー５１が配置される。このハーフミラー５１の反射方向には、ハーフミラー５２が配置される。このハーフミラー５２の透過方向には、光電検出素子５３が配置される。一方、ハーフミラー５２の反射方向には、結像レンズ７１を介して、光電検出素子５４が配置される。この結像レンズ７１は、チルトの発生していない平行光束群を、受光面の所定位置（例えば、受光面の中心）に集光する。
【００４１】
これらの光電検出素子５３、５４の検出出力は、Ａ／Ｄ変換器５５を介してＣＰＵ２６に入力される。ＣＰＵ２６は、２つの光電検出素子５３、５４の検出出力に基づいて、各受光面の受光位置をそれぞれ検出する。ＣＰＵ２６は、これらの受光位置を、ディスプレイ２７上に拡大してグラフィック表示する。
図４は、第２の実施形態における光路ズレの検知動作を説明する図である。以下、図４を用いて、光路ズレの検知動作について説明する。
【００４２】
まず、図４（ａ）に、光源１１の照明光路にシフトのみが発生した状態を点線で示す。この場合、結像レンズ７１による平行光束の集光作用により、光電検出素子５４の受光位置は所定位置となる。このように受光位置が所定位置に一致した場合、操作者は、照明光路にチルトが発生していないと判断することができる。この状態において、操作者は、他方の光電検出素子５３の受光位置が原点などに一致するように、光源１１の出射位置や光路を平行移動することにより、照明光路のシフトを補正することが可能となる。
【００４３】
一方、図２（ｂ）に、光源１１の照明光路にチルトが発生した状態を点線で示す。この場合、結像レンズ７１の入射光は、チルトの発生していない平行光束群に含まれないため、光電検出素子５４の受光位置は所定位置からずれる。このズレ幅Ｗは、下式で表される。
Ｗ＝Ｆ１・tanθ    ・・・（１）
ただし、Ｆ１は結像レンズ７１の焦点距離に相当し、θはチルトの仰角に相当する。
【００４４】
ここで、操作者は、ディスプレイ２７上で光電検出素子５４の受光位置が所定位置に一致するように、光源１１の出射方向や光路を角度補正することにより、照明光路のチルトを補正することが可能となる。
なお、このようなチルトの補正後に、シフトが残存している場合、操作者は、上述したシフトの補正動作を実行する。
【００４５】
以上説明したように、第２の実施形態では、各受光位置のディスプレイ表示に基づいて、照明光路のチルトおよびシフトを検知することが可能となる。また、ディスプレイ２７上に示される各受光位置を参考に、照明光路のチルトおよびシフトを補正することにより、照明光路の光路ズレを容易に補正することも可能となる。
次に、別の実施形態について説明する。
【００４６】
《第３の実施形態》
第３の実施形態は、請求項２、７、８に記載の発明に対応した実施形態である。
図５は、第３の実施形態の構成を示す図である。なお、上述した従来例（図７）と同じ構成要素については、同一の参照番号を付与して図５に示し、ここでの説明を省略する。
【００４７】
図５において、光源１１から出射したレーザ光は、ミラーホルダ８１に把持された全反射ミラー８２によって反射される。このミラーホルダ８１は、２つの回動軸を有し、駆動機構８５を介して駆動される。
全反射ミラー８２で反射されたレーザ光は、入射位置シフタ８３に入射される。この入射位置シフタ８３は、直交方向に回転する２枚の電動ハービング板などから構成される。駆動機構８４は、この入射位置シフタ８３を駆動制御して、レーザ光の光路を平行移動する。
【００４８】
この入射位置シフタ８３とビームエキスパンダ１２との間には、ハーフミラー５１が配置される。このハーフミラー５１の反射方向には、ハーフミラー５２が配置される。このハーフミラー５２の透過方向には、光電検出素子５３が配置される。一方、ハーフミラー５２の反射方向には、結像レンズ７１を介して、光電検出素子５４が配置される。この結像レンズ７１は、チルトの発生していない平行光束群を、受光面の所定位置（例えば、受光面の中心）に集光する。
【００４９】
これらの光電検出素子５３、５４の検出出力は、Ａ／Ｄ変換器５５を介してＣＰＵ２６に入力される。ＣＰＵ２６は、光電検出素子５４の検出出力に基づいて、
光電検出素子５４の受光位置と所定位置とのズレ幅およびズレ方向を算出する。
ＣＰＵ２６は、このズレ幅およびズレ方向を駆動機構８５に伝達する。駆動機構８５は、このズレ幅およびズレ方向をうち消すように、全反射ミラー８２の傾きをフィードバック制御する。その結果、全反射ミラー８２において照明光路のチルトが自動補正される。
【００５０】
次に、ＣＰＵ２６は、光電検出素子５３の検出出力に基づいて、光電検出素子５３の受光位置と原点とのシフトを二次元座標として算出する。
ＣＰＵ２６は、このシフトを駆動機構８４に伝達する。駆動機構８４は、このシフトをうち消すように、入射位置シフタ８３のシフトをフィードバック制御する。その結果、入射位置シフタ８３を介して照明光路のシフトが自動補正される。
【００５１】
以上説明したように、第３の実施形態では、共焦点顕微鏡における照明光路の光路ズレを自動的に補正することが可能となる。したがって、メンテナンスフリーかつ信頼性の高い共焦点顕微鏡が実現する。
なお、光源１１が波長切り替え可能な場合には、ＣＰＵ２６（制御手段）が、波長切り替え操作を契機にして、光路ズレの補正制御を実行することが好ましい。この場合、波長切り替えに伴う照明光路の光路ズレを適宜に自動補正することが可能となる。
次に、別の実施形態について説明する。
【００５２】
《第４の実施形態》
第４の実施形態は、請求項２、７、９に記載の発明に対応した実施形態である。
図６は、第４の実施形態の構成を示す図である。なお、上述した第２の実施形態（図３）と同じ構成要素については、同一の参照番号を付与して図６に示し、ここでの説明を省略する。
【００５３】
第４の実施形態では、複数種類の光源として、第１レーザ光源９１，第２レーザ光源９２，第３レーザ光源９３などが設けられる。これら複数のレーザ光源９１〜９３などから出射されたレーザ光は、ダイクロイックミラー９４〜９６などを介して波長選択的に反射されて合成され、共通の照明光路上に乗せられる。この共通の照明光路上に、レーザ光を一部採取するためのハーフミラー５１が配置される。
【００５４】
また、これら複数のレーザ光源９１〜９３の出射位置および出射角は、光軸微調整機構１００を介して個別に調整される。
このような構成では、単体の光路ズレ検知装置で、複数光源の光路ズレを同様に検知することが可能となる。さらに、ディスプレイ２７の表示を参照しながら、光軸微調整機構１００を調整することにより、複数光源の光路を同一光軸上に容易に乗せることが可能となる。
【００５５】
《第５の実施形態》
第５の実施形態は、請求項３、４、６〜９に記載の発明に対応した実施形態である。
図１３は、第５の実施形態における光路ズレ検知装置の構成を示す図である。
なお、共焦点顕微鏡としての全体構成については、上述した実施形態（図１，図３，図５，図６）と共通するため、ここでの説明を省略する。
【００５６】
共焦点顕微鏡のレーザ導入系には、被検光路の光を採取するために、ハーフミラー５１が基台１１１に固定された状態で配置される。この基台１１１には、２枚の遮光板１１２、１１３がそれぞれ固定される。このハーフミラー５１の反射方向には、ハーフミラー５２を介して光電検出素子５３、５４がそれぞれ配置される。
【００５７】
この遮光板１１３の配置は、次の手順で決定される。
▲１▼まず、本装置の開発者は、被検光路に光路ズレがない状態において、ハーフミラー５１の表面反射光１１４と裏面反射光１１５との光路ズレ（図１３に示すｂ）を求める。このような光路ズレは、例えば、ハーフミラーの厚さおよび屈折率から計算によって求めることができる。
▲２▼次に、開発者は、迷反射光である裏面反射光１１５を遮る側に遮光板１１３を置き、かつ光路ズレｂの間（好ましくは中間点）を反射光の通過境界とするように、遮光板１１３の縁を配置する。
【００５８】
一方、遮光板１１２の配置関係は、次の手順で決定される。
▲１▼開発者は、遮光板１１３の縁（反射光の通過境界）においてぎりぎり遮られる裏面反射光１３０を想定する。開発者は、この裏面反射光１３０を発生させる入射光１３１を求める。
▲２▼開発者は、この入射光１３１を通過境界とするように、遮光板１１２の縁を配置する。
【００５９】
以上のような構成により、図１３に示す範囲ｄ内の入射した光のみが、遮光板１１２、１１３に遮られずに、正規の表面反射光としてハーフミラー５２側へ送り出される。このとき、この範囲ｄ内の入射光によって発生する裏面反射光は、遮光板１１３によって確実に遮られる。また、遮光板１１２によって入射範囲を予め制限することにより、正規の表面反射光の通過範囲に裏面反射光は一切混入しない。
【００６０】
このように、遮光板１１２、１１３をそれぞれ設けることにより、裏面反射光を確実に阻止することが可能となる。
なお、本実施形態では、ハーフミラー５２側にも遮光板１１６、１１７が同様に設けられる。その結果、ハーフミラー５２で発生する裏面反射光についても確実に阻止することが可能となる。
以上のようにハーフミラー５１、５２において迷光（ここでは裏面反射光）が確実に阻止されるので、偽のスポット像は全く発生せず（図１５ｂ参照）、光路ズレ検知装置の検知精度を高めることが可能となる。
【００６１】
《第６の実施形態》
第６の実施形態は、請求項３、５〜９に記載の発明に対応した実施形態である。
図１４は、第６の実施形態における光路ズレ検知装置の構成を示す図である。
なお、共焦点顕微鏡としての全体構成については、上述した実施形態（図１，図３，図５，図６）と共通するため、ここでの説明を省略する。
【００６２】
上述した第５の実施形態と本実施形態との構成上の相違点は、遮光板１１２、１１３の代わりに、遮光マスク１１８、１１９がハーフミラー５１のミラー表面を覆って設けられている点である。このような遮光マスク１１８、１１９としては、遮光材をミラー表面に張り付けてもよいし、遮光性を有する塗料を塗ってもよいし、遮光性を有する光学薄膜をミラー表面に形成してもよい。また、遮光マスク１１８、１１９が一種の光トラップとして機能するように、マスク表面に凹凸を付加してもよい。
【００６３】
この遮光マスク１１９の配置は、ミラー表面を覆っている点をのぞいて遮光板１１３と同様の手順で決定される。また、遮光マスク１１８の配置も、遮光板１１２と同様の手順で決定される。
以上のような構成により、図１４に示す範囲ｄ内の入射した光のみが、遮光マスク１１８、１１９に遮られずに、正規の表面反射光としてハーフミラー５２側へ送り出される。このとき、この範囲ｄ内の入射光によって発生する裏面反射光は、遮光マスク１１９の裏面側によって確実に遮られる。また、遮光マスク１１８の表面で入射範囲の制限がなされるので、正規の表面反射光の通過範囲に混入するような裏面反射光は発生しない。
【００６４】
このように、遮光マスク１１８、１１９をそれぞれ設けることにより、裏面反射光を確実に阻止することが可能となる。
なお、本実施形態では、ハーフミラー５２側にも遮光マスク１２０、１２１が同様に設けられる。その結果、ハーフミラー５２で発生する裏面反射光についても確実に阻止することが可能となる。
以上のようにハーフミラー５１、５２において迷光（ここでは裏面反射光）が確実に阻止されるので、偽のスポット像は全く発生せず（図１５ｂ参照）、光路ズレ検知装置の検知精度を高めることが可能となる。
【００６５】
《実施形態の補足事項》
なお、上述した第３〜４の実施形態では、請求項２に対応した光路ズレ検知装置を搭載しているが、これに限定されるものではない。請求項１に対応した光路ズレ検知装置を代わりに搭載しても、もちろんかまわない。
なお、上述した第１〜４の実施形態では、ハーフミラー５１で被検光を採取した後、ハーフミラー５２で光路を分岐している。このような光路設計では、被検光路に追加配置する光学要素が少なく、被検光路側の狭いスペースにも配置できるという利点がある。しかしながら、本発明は、このような光路設計に限定されるものではなく、例えば、被検光路上の異なる２点にハーフミラーをそれぞれ配置することにより、２本の分岐光路を段階的に形成してもよい。
【００６６】
また、上述した第１〜２の実施形態では、受光位置を光電検出素子５３，５４によって検知し、その受光位置をディスプレイ２７上に拡大してグラフィック表示している。このような構成により、被検光路の光路ズレ（シフトおよびチルト）を視覚的にわかりやすく表示できるという利点がある。しかしながら、これに限定されるものではない。例えば、ＣＰＵ２６が、受光位置の検出結果からシフトおよびチルトを算出し、そのシフトおよびチルトを区別してディスプレイ２７上にバーグラフや絵表示や数値などで表示してもよい。また、受光位置の検出結果に基づいて光路ズレの異常を判定して警報を発する監視手段を設けてもよい。
【００６７】
このように、請求項１に係る発明に対して、光検出手段によりそれぞれ検出された受光位置の相違分から被検光路のチルトを検知可能にし、かつその相違分を除いた後の受光位置の共通分から被検光路のシフトを検知可能にする検知手段（好ましい具体例としては、上述した、ディスプレー２７などの表示手段、シフトおよびチルトを算出する手段、光路ズレの監視手段のいずれか）を追加してもよい。この場合、操作者などによる光路ズレの検知作業が格段に容易となり、光路ズレ検知装置の用途を広げることが可能となる。
【００６８】
また、請求項２に係る発明に対して、集光手段を備えた分岐先における受光位置と所定位置とのズレから被検光路のチルトを検知可能にし、かつその他の分岐先における受光位置から該チルト分を除去して被検光路のシフトを検知可能にする検知手段（好ましい具体例としては、上述した、ディスプレー２７などの表示手段、シフトおよびチルトを算出する手段、光路ズレの監視手段のいずれか）を追加してもよい。この場合も、操作者などによる光路ズレの検知作業が格段に容易となり、光路ズレ検知装置の用途を広げることが可能となる。
【００６９】
なお、上述した第５〜６の実施形態では、請求項１に対応した光路ズレ検知装置に迷光対策を搭載しているが、これに限定されるものではない。請求項２に対応した光路ズレ検知装置に同様の迷光対策を施しても、もちろんかまわない。
また、上述した第５〜６の実施形態では、ハーフミラー５２にも遮光板または遮光マスクを設けている。しかしながら、ハーフミラー５２は、副次的な光路に配置されるため、被検光路に直接配置されるハーフミラー５１に比べて、迷光の発生強度が著しく小さい。そのため、ハーフミラー５２で発生する迷光が十分小さければ、ハーフミラー５２の迷光対策を省いてもよい。
【００７０】
なお、上述した第５〜６の実施形態では、遮光板１１２、１１３や遮光マスク１１８、１１９の素材して、遮光性能が偏光方向や波長に依存しない遮光材や遮光塗料を使用することが好ましい。この場合は、偏光方向や波長の異なる複数光源が交換可能に使用されても、同程度の迷光除去性能を安定に得ることが可能となる。
【００７１】
また、上述した第５〜６の実施形態では、光路ズレ検知装置および共焦点顕微鏡の迷光対策に関して説明を行った。ところで、このような迷光対策を、ハーフミラーを有する光学装置一般で実施する場合には、次のような構成にすればよい。すなわち、光学装置として、光学装置内の少なくとも一つのハーフミラーと、前記ハーフミラーの厚みおよび屈折率によって生じる『正規の反射光と迷反射光との光路ズレ間』に反射光の通過境界を設定して境界外側の迷反射光を阻止する反射制限手段とを備えればよい。さらには、この光学装置に、前記ハーフミラーの入射光の通過範囲を制限して前記ハーフミラーで発生する迷反射光が正規の反射光の通過範囲に混入するのを阻止する入射制限手段を備えるようにしてもよい。このような反射制限手段および入射制限手段の好ましい具体例としては、第５〜６の実施形態における遮光板１１２，１１３や遮光マスク１１８、１１９が該当する。
【００７２】
【発明の効果】
請求項１に記載の光路ズレ検知装置では、光路長の異なる各位置に受光面を配置し、各受光面において受光位置をそれぞれ検出する。このように検出した受光位置の相違分に基づいて被検光路のチルトを検知することが可能となる。また、受光位置の共通分に基づいて被検光路のシフトを検知することが可能となる。
【００７３】
請求項２に記載の光路ズレ検知装置では、集光手段を介して被検光のシフトを光学的にキャンセルする。したがって、集光手段を備えた受光面の受光位置から被検光路のチルトを直に検知することが可能となる。さらに、その他の受光面の受光位置からチルト分を除くことにより、被検光路のシフトを検知することも可能となる。
【００７４】
請求項３に記載の光路ズレ検知装置では、迷光阻止手段によって分岐手段で発生する迷光を阻止するので、光路ズレの検知精度を向上させることが可能となる。
【００７５】
請求項４に記載の光路ズレ検知装置では、入射制限手段および反射制限手段を備えることにより、ハーフミラーの迷反射光を確実に阻止することが可能となる。
【００７６】
請求項５に記載の光路ズレ検知装置では、遮光マスクの表面側および裏面側を用いて、ハーフミラーの迷反射光を確実に阻止することができる。
【００７７】
請求項６に記載の光路ズレ検知装置では、ハーフミラーにおける正規の反射光と迷反射光との光路ズレの間に、反射光の通過境界を設定する。その結果、迷反射光のみを選択的に阻止することが可能となる。
【００７８】
請求項７に記載の共焦点顕微鏡では、照明光路に光路ズレ検知装置を備えたことにより、共焦点顕微鏡の性能低下の主要因（照明光路の光路ズレ）を確実に検知することが可能となる。また、この光路ズレ検知装置の検知結果を利用することにより、共焦点顕微鏡の較正作業を容易に行うことも可能となる。
【００７９】
請求項８に記載の共焦点顕微鏡では、チルト制御手段およびシフト制御手段が光路ズレ検知装置の検知結果に基づいて、照明光路の光路ズレを自動的に補正する。したがって、画像分解能や画像品質などの諸性能が安定した、信頼性の高い共焦点顕微鏡が実現する。
【００８０】
請求項９に記載の共焦点顕微鏡では、光路ズレ検知装置を、複数光源に共通する照明光路に配置する。したがって、単体の光路ズレ検知装置で各光源の光路ズレを検知することが可能となる。さらに、較正手段を備えるので、各光源の光路ズレの検知結果を参照しながら、複数光源の光路を同一光軸上に容易に乗せることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態の構成を示す図である。
【図２】第１の実施形態における光路ズレの検知動作を説明する図である。
【図３】第２の実施形態の構成を示す図である。
【図４】第２の実施形態における光路ズレの検知動作を説明する図である。
【図５】第３の実施形態の構成を示す図である。
【図６】第４の実施形態の構成を示す図である。
【図７】共焦点顕微鏡の従来例を示す図である。
【図８】共焦点顕微鏡における光路ズレの弊害を説明する図である。
【図９】請求項１の発明に係わる受光面の配置関係を示す図である。
【図１０】受光面を被検光路上に仮想配置した状態を示す図である。
【図１１】請求項２の発明を説明するための図である。
【図１２】請求項２の発明を説明するための図である。
【図１３】第５の実施形態の構成を示す図である。
【図１４】第６の実施形態の構成を示す図である。
【図１５】ハーフミラーの迷光除去効果を説明する図である。
【符号の説明】
１１  光源
１２  ビームエキスパンダ
１３  偏光ビームスプリッタ
１４  １／４波長板
１５  走査ユニット
１６  リレーレンズ
１７  対物レンズの瞳
１８  対物レンズ
１９  試料
２０  ステージ
２１  集光レンズ
２２  遮光板
２３  ピンホール
２４  光電検出素子
２５  Ａ／Ｄ変換器
２６  ＣＰＵ
２７  ディスプレイ
５１  ハーフミラー
５２  ハーフミラー
５３  光電検出素子
５４  光電検出素子
５５  Ａ／Ｄ変換器
６１  レーザ導入系
７１  結像レンズ
７２  ビームエキスパンダ
８１  ミラーホルダ
８２  全反射ミラー
８３  入射位置シフタ
８４  入射位置シフタの駆動機構
８５  全反射ミラーの駆動機構
９１  第１レーザ光源
９２  第２レーザ光源
９３  第３レーザ光源
９４  ダイクロイックミラー
９５  ダイクロイックミラー
９６  ダイクロイックミラー
１００  光軸微調整機構
１１２、１１３  遮光板
１１８、１１９  遮光マスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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