(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
気流により飛翔させた洗浄媒体を被洗浄体に接触または衝突させることで付着物を除去する洗浄装置であって、
開口部を有する洗浄槽と、前記開口部から前記洗浄槽内に気流を導入する流入手段と、前記開口部に設けられ前記洗浄媒体に付着した前記付着物を除去する分離手段と、前記開口部に接続され前記分離手段により分離された前記付着物を外部に排出する吸引手段とを有し、前記分離手段に作用する気流の向きを変化させることにより前記分離手段に付着した前記洗浄媒体を再飛翔させることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
請求項１記載の洗浄装置において、
前記開口部には前記洗浄槽に気流を導入する流入口及び前記洗浄槽から気流を排出する吸引口が設けられ、前記流入口及び前記吸引口は前記分離手段に対してそれぞれ相対的に移動可能であることを特徴とする洗浄装置。
【請求項３】
請求項１記載の洗浄装置において、
前記洗浄槽内に気流を形成する気流形成手段を有し、前記気流形成手段の作動状態を切り替えることにより前記洗浄媒体の再飛翔を行うことを特徴とする洗浄装置。
【請求項４】
請求項１ないし３の何れか１つに記載の洗浄装置において、
前記分離手段は平面形状であることを特徴とする洗浄装置。
【請求項５】
請求項１または２記載の洗浄装置において、
前記分離手段は円筒状または円筒の一方の端部に円錐を重ねた形状であることを特徴とする洗浄装置。
【請求項６】
請求項５記載の洗浄装置において、
前記流入手段が前記吹き出し口を有し、該吹き出し口は前記分離手段の円筒面に沿って回転可能に設けられていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項７】
請求項５記載の洗浄装置において、
前記流入手段は気体の吹き出し口を有し、該吹き出し口は前記被洗浄体の存在する方向へと前記分離手段の内側において円筒面に沿って揺動可能に設けられ、前記吹き出し口の揺動範囲外における前記分離手段の外側にメッシュカバーを有することを特徴とする洗浄装置。
【請求項８】
請求項１ないし７の何れか１つに記載の洗浄装置において、
前記洗浄媒体が前記被洗浄体に対して静電気的に貼り付くことを防止する除電手段を有することを特徴とする洗浄装置。
【請求項９】
請求項１ないし８の何れか１つに記載の洗浄装置において、
前記洗浄媒体として、厚み１〜５００μｍ、面積１〜１０００ｍｍ２の薄片状のものが用いられることを特徴とする洗浄装置。
【請求項１０】
気流により飛翔させた洗浄媒体を被洗浄体に接触または衝突させることで付着物を除去する洗浄方法であって、
洗浄槽の開口部から流入手段により前記洗浄槽内に気流を導入し、前記開口部に設けられた分離手段により前記洗浄媒体に付着した前記付着物を除去し、前記開口部に接続された吸引手段により前記分離手段によって分離された前記付着物を外部に排出させ、前記分離手段に作用する気流の向きを変化させることにより前記分離手段に付着した前記洗浄媒体を再飛翔させることを特徴とする洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄対象物に付着した塵埃や粉体等の付着物を水や溶剤を使用せず固体洗浄媒体を用いて除去する装置に関し、特に電子写真装置（複写機やレーザプリンタ等）で用いられるトナー（平均粒径５〜１０μｍ程度）が付着した比較的複雑な形状の部品を洗浄する乾式洗浄装置に関する。また、粉体プロセス装置等の洗浄や研磨加工、あるいはバリ取り加工、塗膜の剥離にも応用可能な技術である。
【背景技術】
【０００２】
複写機、ファクシミリ、プリンタ等の事務機器メーカでは、資源循環型社会実現のため使用済みの製品ないしユニットをユーザから回収後に分解、清掃、再組立し、部品として再使用したり材料として再利用したりするリサイクル活動を積極的に行っている。これらの製品ないしユニットに使用されている部品を再利用するためには、それらユニットや部品に付着している微粒子粉体であるトナーを除去し清浄化する工程が必要であり、清浄化に必要なコストや環境負荷を減らすことが大きな課題となっている。  
水や溶剤を使用した湿式の洗浄方法の場合、トナーを含んだ廃液の処理及び洗浄後の乾燥処理のエネルギ消費や環境負荷が大きく、高コストである点が問題となっている。  
一方、エアブローによる乾式洗浄方法の場合、付着力の強いトナーに対しては洗浄能力が十分ではなく、人手によるウェス拭き等の後工程が必要なため、清浄化は製品リユース・リサイクルにおけるボトルネック工程の１つとなっている。
【０００３】
この課題を解決するため、本出願人は乾式洗浄媒体を利用した洗浄方法を提案した（「特許文献１」参照）。この提案によれば、洗浄媒体として電子写真プロセスに用いる現像剤（キャリア）を用い、洗浄対象物に付着しているトナー粉体を洗浄媒体に吸着させて取り出すことで乾式洗浄を実現している。しかし、より高い洗浄品質（清浄度）が求められる洗浄対象については、まだ十分な性能とはいえなかった。  
すなわち、静電気的吸着を利用した洗浄媒体の場合、洗浄媒体が汚れて（トナーが付着して）くるとトナー吸着力が低下したり、洗浄媒体から洗浄対象にトナーが再付着し易くなったりする。洗浄品質を高めるには洗浄媒体の清浄度を高める必要があるが、旋回気流による遠心分離作用（サイクロン方式）では分離性能が不十分であった。また、洗浄品質をより高めるにはトナーを吸着した洗浄媒体を何度も入れ替える必要があり、洗浄効率が悪く大量の洗浄媒体が必要であった。
【０００４】
軟質ウレタン発泡材等の弾性材からなる球状の接触部材と除電装置とを用い、帯電性物体に付着した塵埃を除去する装置が開示されている（例えば「特許文献２」参照）。「特許文献２」では、使用した接触部材を繰り返し利用して塵埃を除去しているが、接触部材をそのまま循環させて使用しているため、接触部材に塵埃が付着蓄積していくことによる洗浄品質の低下が懸念される。  
また、多数の洗浄対象部品を同時に収容して撹拌しているため、洗浄対象部品が傷つき易いものの場合や洗浄対象部品が大きく重い場合には、洗浄対象部品同士の衝突や接触により洗浄対象物が傷付いたり破損したりする虞がある。  
一方、複数のバレル研磨槽に通気しながら研磨粉を排出するバレル研磨装置が開示されている（例えば「特許文献３」参照）。「特許文献３」においては、外気吸込部と対向した面に網板状の粉塵排出部を形成し、集塵機による吸引力で粉塵を排出することにより被研磨物の汚れを防ぐ構成となっている。研磨粉と乾式メディアの分離性能を上げるために集塵機の吸引力を高めた場合、乾式メディアが網板状の粉塵排出部を閉塞してしまうので十分な分離性能を得ることが難しいと思われる。  
また、被研磨物と乾式メディアとをバレルポットに入れてそのまま撹拌するため、「特許文献２」記載の技術と同様に被研磨物によっては傷付きや破損が懸念される。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１２２１２３号公報
【特許文献２】特許第３２８８４６２号公報
【特許文献３】特許第２６４３１０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、乾式洗浄媒体の運動速度と清浄度とを高めることによって洗浄品質と洗浄効率とを高めることを目的とする。  
複雑な形状の部品であっても、傷を付けたり洗浄残しを発生することなく乾式洗浄可能な装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１記載の発明は、気流により飛翔させた洗浄媒体を被洗浄体に接触または衝突させることで付着物を除去する洗浄装置であって、開口部を有する洗浄槽と、前記開口部から前記洗浄槽内に気流を導入する流入手段と、前記開口部に設けられ前記洗浄媒体に付着した前記付着物を除去する分離手段と、前記開口部に接続され前記分離手段により分離された前記付着物を外部に排出する吸引手段とを有し、前記分離手段に作用する気流の向きを変化させることにより前記分離手段に付着した前記洗浄媒体を再飛翔させることを特徴とする。
【０００８】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の洗浄装置において、さらに前記開口部には前記洗浄槽に気流を導入する流入口及び前記洗浄槽から気流を排出する吸引口が設けられ、前記流入口及び前記吸引口は前記分離手段に対してそれぞれ相対的に移動可能であることを特徴とする。
【０００９】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の洗浄装置において、さらに前記洗浄槽内に気流を形成する気流形成手段を有し、前記気流形成手段の作動状態を切り替えることにより前記洗浄媒体の再飛翔を行うことを特徴とする。
【００１０】
請求項４記載の発明は、請求項１ないし３の何れか１つに記載の洗浄装置において、さらに前記分離手段は平面形状であることを特徴とする。
【００１１】
請求項５記載の発明は、請求項１または２記載の洗浄装置において、さらに前記分離手段は円筒状または円筒の一方の端部に円錐を重ねた形状であることを特徴とする。
【００１２】
請求項６記載の発明は、請求項５記載の洗浄装置において、さらに前記流入手段が前記吹き出し口を有し、該吹き出し口は前記分離手段の円筒面に沿って回転可能に設けられていることを特徴とする。
【００１３】
請求項７記載の発明は、請求項５記載の洗浄装置において、さらに前記流入手段は気体の吹き出し口を有し、該吹き出し口は前記被洗浄体の存在する方向へと前記分離手段の内側において円筒面に沿って揺動可能に設けられ、前記吹き出し口の揺動範囲外における前記分離手段の外側にメッシュカバーを有することを特徴とする。
【００１４】
請求項８記載の発明は、請求項１ないし７の何れか１つに記載の洗浄装置において、さらに前記洗浄媒体が前記被洗浄体に対して静電気的に貼り付くことを防止する除電手段を有することを特徴とする。
【００１５】
請求項９記載の発明は、請求項１ないし８の何れか１つに記載の洗浄装置において、さらに前記洗浄媒体として、厚み１〜５００μｍ、面積１〜１０００ｍｍ２の薄片状のものが用いられることを特徴とする。
【００１６】
請求項１０記載の発明は、気流により飛翔させた洗浄媒体を被洗浄体に接触または衝突させることで付着物を除去する洗浄方法であって、洗浄槽の開口部から流入手段により前記洗浄槽内に気流を導入し、前記開口部に設けられた分離手段により前記洗浄媒体に付着した前記付着物を除去し、前記開口部に接続された吸引手段により前記分離手段によって分離された前記付着物を外部に排出させ、前記分離手段に作用する気流の向きを変化させることにより前記分離手段に付着した前記洗浄媒体を再飛翔させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００５０】
本発明によれば、洗浄槽を有し洗浄媒体を飛翔させて被洗浄体に付着した付着物を除去する洗浄装置において、洗浄槽と気流形成手段との間に気体及び付着物の通過を許容し洗浄媒体の通過を不可とする開口を備えた分離手段を有すると共に分離手段に付着した洗浄媒体が再飛翔するので、洗浄槽内の洗浄媒体を繰返し洗浄に利用することができ、洗浄媒体に粉塵が蓄積することがなく高い洗浄品質が得られる。
【００５１】
本発明によれば、洗浄槽を有し洗浄媒体を飛翔させて被洗浄体に付着した付着物を除去する洗浄装置において、洗浄槽と気体流入手段および気体吸引手段との間に気体および付着物は通過できるが洗浄媒体は通過できない大きさの開口から構成される分離手段を有し、気体の流入口と吸引口が分離手段と相対的に移動可能に構成されているので、分離手段において洗浄媒体に付着した付着物が分離され、分離手段の吸引口に堆積した洗浄媒体がすぐ流入口に相対移動するため、洗浄槽内の洗浄媒体を繰返し洗浄に利用することができ、洗浄媒体に粉塵が蓄積することがなく、高い洗浄品質が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５２】
先ず、本明細書中で使用する用語について説明する。  
洗浄槽とは、洗浄する対象物（ワーク）及び洗浄媒体を収容する中空体である。被洗浄体とは、洗浄すべき対象となる物体のことであり、洗浄対象物、洗浄対象ワーク、ワークというときがある。分離手段とは、洗浄媒体と洗浄媒体に付着した粉塵の分離をするためのフィルタ手段であり、粉塵等は通過させて洗浄媒体が通り抜けられない小孔を多数備えた網状ないしスリット状のものにより構成される。メッシュとは、分離手段に用いる網状ないしスリット状のものの代表として用い、例えば金網、プラスチック網、メッシュ、ネット、不織布やスポンジのフィルタ、パンチング（多孔）板、ハニカム板、多孔質板、スリット板等を指す。付着物とは、被洗浄体に付着している粉塵や皮膜等の異物あるいは汚れのことであり例えばトナー粉体を指し、粉塵、塵埃、粉体、付着粒子というときがある。ブロー手段とは、コンプレッサ（圧縮ポンプ）または高圧気体容器またはブロワ（送風機）に接続され、高速の気流を発生させる手段（いわゆるエアブローノズルやエアガン等）を指す。
【００５３】
気流、エアブローとは、一般的な空気の流れだけでなく窒素ガスや二酸化炭素ガス、アルゴンガス等の不活性ガス等、様々な気体の流れも含むものとする。高速の気流とは、洗浄槽内で洗浄媒体を飛翔撹拌させるために特に速くした少なくとも１０ｍ／ｓ以上の流速を有する気流をいう。乾式の洗浄媒体とは、金属、セラミック、樹脂、スポンジ、布等の固体であり、気流によって移動可能な大きさの物を指す。洗浄媒体の飛翔速度とは、気流により洗浄媒体が飛翔する速度のことである。薄片状の洗浄媒体とは、面積１〜１０００ｍｍ２、厚み１〜５００μｍ程度の樹脂フィルム片、布片、紙片、金属薄片を指す。
【００５４】
図１は本発明の第１の実施形態を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は側断面図である。  
同図において、符号１は洗浄槽外筒、２は分離手段としてのメッシュ、３は吸引手段、４は流入手段、５はメッシュカバー、６は回転支持ローラ、７は駆動ベルト、８はワーク保持手段、９は吸引ダクト、１０は洗浄槽、Ｍは洗浄媒体、Ｗは洗浄対象物（以下ワークと呼ぶ）をそれぞれ示す。以下の図において、同一の機能を有するものは同じ符号を用いるものとする。  
同図を用いて本発明の基本原理と作用を説明する。  
ワークＷと洗浄媒体Ｍを収容する洗浄槽外筒１は、筒状体に形成された側壁部１ａと、ワーク等を出し入れする上部開口部を覆う蓋部１ｂとからなり、下部開口部には保持部２ａに保持されたメッシュ２が開口全面を覆うようにはめ込まれている。メッシュ２のすぐ下側には気体の吸引手段３と流入手段４を備えたメッシュカバー５がメッシュ２及び保持部２ａに非接触で近接して固定配置されている。洗浄槽外筒１、メッシュ２、保持部２ａ、メッシュカバー５によって洗浄槽１０を構成している。  
保持部２ａの外周には段差を設けてあり、その段差部に複数の回転支持ローラ６が配置されており、その位置のままで筒状体の中心線を軸として回転できるように支持されている。  
保持部２ａの最外周には、駆動ベルト７が掛けられており、図示しない駆動源により駆動ベルト７が駆動されると洗浄槽の側が矢印Ｂの方向に回転する。このとき、洗浄槽１とメッシュ２は一体化されており、メッシュカバー５との間は非接触に構成されているので、固定配置されたメッシュカバー５は回転せず、洗浄槽１の回転を阻害することもない。
【００５５】
図２は洗浄槽内部を上から見た図であり、（ａ）はワークＷの保持方法を説明する図、（ｂ）は図１（ｂ）のＸＸ矢視を示す図である。  
洗浄槽１のほぼ中央部にワークＷをワーク保持手段８で保持し、多数の洗浄媒体Ｍを入れた後に蓋部１ｂで筒状体上部を密閉する。ワーク保持手段８は、側壁１ａに対してワークＷを固定する。  
図示しない集塵ブロワを稼動させ、吸引ダクト９から空気を吸い出す。すると大気に開放された流入手段４としてのダクトの流入口４ａから空気が流入し、多数の洗浄媒体Ｍが気流に乗って舞い上がる。それら洗浄媒体Ｍのいくつかは洗浄対象物Ｗに当たらないまま吸引ダクト９に吸い寄せられるものもあるが、多くは洗浄対象物Ｗに当たって汚れを掻き落としながら吸引ダクト９に吸い寄せられる。掻き落とされた粉塵はそのまま気流中に飛散するものと洗浄媒体Ｍに付着するものとがある。気流中に飛散した粉塵は吸引ダクト９にそのまま吸い込まれる。吸引ダクト９に吸い寄せられた洗浄媒体Ｍは吸引口３ａにおいてメッシュ２に衝突し、その衝撃で付着していた粉塵の大半は洗浄媒体Ｍから離れ、吸引ダクト９に吸い込まれていく。  
このままの状態が続けば吸引口３ａは洗浄媒体Ｍで埋め尽くされ、吸引力が低下して洗浄能力を失ってしまうので、矢印Ｂで示すようにメッシュ２を回転させる。吸引ダクト９と流入口４ａの位置は固定であるので、吸引口３ａに吸い寄せられた洗浄媒体Ｍはメッシュ２に吸い付けられた状態でメッシュ２と共に回転し、隣接した流入口４ａへと移動する。すると気流の向きが変わり、メッシュ２にへばりついていた洗浄媒体Ｍは洗浄槽１０の空間に吹き上げられる。洗浄媒体ＭはこのようにしてワークＷに付着した粉塵を洗浄しながら、自身に付着した粉塵もメッシュ２による分離手段によって洗浄されて循環を続ける。
【００５６】
上述した実施形態及び後述した実施形態では、洗浄媒体Ｍを特定しなくとも一応ある程度の目的を達成することは可能である。  
例えば樹脂ビーズ、各種ブラスト投射材、ブラシロール、スポンジボール等である。実際には、ワークの特性（形状や材質等）やワークへ付着している粉塵の特性（粒径や付着の強さ等）に応じて、洗浄媒体の材質、重さ、大きさ、形状を選択し、洗浄槽内で必要な気流の速度を決めることになる。  
本発明者らがトナー粉体（平均粒径５〜１０μｍ）の付着した洗浄対象部品（電子写真装置の構成部品；樹脂及び金属製）に対して様々な洗浄媒体を試した結果、本実施形態として示した洗浄装置では、洗浄媒体として特に薄片状の媒体を用いた場合に、他の洗浄媒体を用いた場合に比して飛躍的に洗浄性能が向上した。その理由として、以下のような作用が挙げられる。
【００５７】
図３は、洗浄媒体の複雑な動きを説明するための図である。薄片状の洗浄媒体Ｍによる洗浄性能が高かった理由としては、気流への追従性（高速飛翔と複雑な運動）及び接触あるいは衝突時の挙動（エッジ作用、滑り接触、撓み作用）が他の洗浄媒体よりも優れていたためであると考えられる。先ず、気流への追従性について説明する。
【００５８】
薄片状の洗浄媒体Ｍは、投影面積が大きい方向に気流の力が作用した場合には空気抵抗力に対する質量が非常に小さいため、気流によって容易に加速されて高速飛翔する。  
また薄片状の洗浄媒体Ｍは、投影面積が小さい方向には空気抵抗が小さく、その方向へ飛翔した場合には高速運動が長距離維持される。洗浄媒体Ｍの速度が大きい方が洗浄媒体Ｍの持つエネルギが大きく、ワークＷに接触したときに作用する力が大きくなるので洗浄品質が高い。また洗浄媒体Ｍの速度が大きい方が洗浄媒体Ｍが洗浄槽１０の内部で繰り返し循環する回数が多くなり、ワークＷに接触する頻度が増加するので洗浄効率が高い。  
また薄片状の洗浄媒体Ｍは、姿勢によって空気抵抗が大きく変化するため、気流に沿って動くだけでなく急に方向を変える等、複雑な運動をするので、比較的複雑な形状のワークＷの洗浄においても高い洗浄能力を得られる。  
高速気流Ａの作用によってワークＷの周囲には図３に示すような乱気流Ａ’が発生する。質量に比して空気抵抗を受けやすい薄片状の洗浄媒体Ｍは、乱気流Ａ’への追従性が高く複雑な運動をする。また乱気流Ａ’の渦によって洗浄媒体Ｍが自転しながら回転しつつワークＷに繰り返し接触するので、比較的複雑な形状のワークＷの洗浄においても高い洗浄効率を得ることができる。
【００５９】
次に、接触あるいは衝突時の挙動について説明する。  
図４は、滑り接触による粉塵除去の様子を説明する模式図である。同図において符号ｄは粉塵（付着粒子）を示す。  
薄片状の洗浄媒体Ｍがその端部から衝突した場合、接触力がエッジに集中するため、質量が小さいにもかかわらず粉塵等の除去に必要な力が得られる。また薄片状の洗浄媒体の場合、接触力が大きくなると撓んで力を逃がすため、一般的なブラストショット材やバレル研磨用のメディア材とは異なり、必要以上の力でワークＷを傷付けてしまうことがない。  
接触あるいは衝突時に薄片が撓むと、空気から受ける粘性抵抗が大きく作用し非弾性衝突となる。従って薄片状の洗浄媒体Ｍでは衝突時に跳ね返りが起こりにくく、斜め衝突の場合は図４に示すように滑り接触するため、一度の衝突で広い面積に接触することで多くの粉塵ｄを除去でき洗浄効率が高い。これに対し、一般的なショット材や弾性スポンジでは衝突時に跳ね返りが生じ易く、一度の衝突での接触効率が薄片状の洗浄媒体Ｍに比して低い。  
薄片状の洗浄媒体Ｍでは、接触あるいは衝突時の滑り接触による掻き取り作用及び摺擦作用により、付着粒子ｄに対して接触面に平行な力を作用させ易い。一般に、付着粒子ｄに対しては付着面に垂直な方向に力を作用させるよりも付着面に平行な方向に力を作用させる方が小さな力で付着粒子ｄを分離できることが知られている。  
薄片状の洗浄媒体Ｍは、分離手段２に吸引されて衝突した際に、大きく撓んで変形したり振動したりすることで洗浄媒体Ｍに付着した付着粒子ｄが分離され易い。よって洗浄媒体Ｍの清浄度が保たれ、付着粒子ｄのワークＷへの再付着を抑えられるので洗浄品質が高い。
【００６０】
以上が、薄片状の洗浄媒体Ｍが比較的複雑な形状の部品に対しても洗浄品質及び洗浄効率が高い理由であると考えられる。薄片状の場合でもその面形状は様々な変形例があり、円板状、三角形状、方形状、星形状等であってもよい。またこれ等が混在していても構わない。それぞれの形状によって被洗浄体の形状に対する洗浄能力が異なるので、混在している方が総合的な洗浄能力は高まる。例えば面形状が方形の場合、直線的なエッジが長く取れ、かつ製造が容易である。三角形や星形は鋭角の先端部が被洗浄体の凹部等のコーナ部に入り易く、洗浄残しが少なくなる。  
洗浄媒体の大きさに関してもまったく同様のことが言える。洗浄媒体の材質についても、例えば一般の樹脂フィルム製の場合には柔軟性があり耐久性もある。ポリエチレン製であれば、同様に柔軟性があり被洗浄体を傷付けることがなく、かつ安価である。  
また、洗浄媒体Ｍを薄片状とすることにより、洗浄媒体Ｍとして使用する材料の使用量がごく僅かで済み、洗浄工程の環境負荷やランニングコストを低減することができる。これ等は従来のブラストショット材やバレル研磨用のメディア材にはない画期的な特徴である。本発明で開示する洗浄装置は、特に薄片状の洗浄媒体Ｍを高速で循環させて洗浄するのに適した構成となっている。
【００６１】
以下の実施例においては、除去対象付着物として複写機やレーザプリンタ等の電子写真装置に使用される乾式トナー（粒径５〜１０μｍ程度）を想定しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、一般的な粉体や塵埃付着物の洗浄装置や塗膜除去装置、バリ取り装置等にも応用可能である。その場合には、洗浄対象物及び付着物の性状に応じて洗浄媒体の種類及び気流の流速を適切に選択することは言うまでもない。  
例えば洗浄対象物（ワークＷ）が傷付き易いものである場合には、洗浄媒体として樹脂フィルム等の柔軟素材でかつ厚みの薄いもの（薄片）を使用することにより、薄片が柔軟に撓むので洗浄対象を傷付けることがない。また、バリ取り等、強い除去力が必要な場合は、金属薄片等を使用すれば強い除去作用を得ることができる。
【実施例１】
【００６２】
図１ないし２を用いて本発明の第１の実施例を説明する。先ず、装置の各部分の詳細な説明をする。  
上部の円板状の蓋部１ｂ、円筒形の側壁部１ａ、底面の円板状のメッシュ２、メッシュ２の一部を覆うメッシュカバー５、メッシュ２を保持する保持部２ａにより、一部の開口部を除いて閉じた空間を形成しこれを洗浄槽１０とする。  
側壁部１ａは円筒形状の部材であって保持部２ａに対して固定されており、保持部２ａを回転させることにより蓋部１ｂと共に回転する。側壁部１ａには後述するワーク保持手段８が取り付けられている。  
側壁部１ａを保持部２ａに対して固定せずに摺動可能に係合させ、メッシュ回転手段とは別の回転手段によって側壁部１ａを回転させることによりワーク姿勢を変えるように構成してもよい。装置構成は多少複雑になるが、洗浄対象となるワークＷが大きい場合や重い場合等、ワーク姿勢の変更を低速で行いたい場合に好適である。  
蓋部１ｂは、ワークＷの投入及び取り出しを行うため、洗浄槽１０の側壁部１ａに対して着脱可能あるいは開閉可能に構成されている。洗浄槽１０内が負圧となることにより蓋部１ｂは側壁部１ａに押し付けられて機密性が上昇する。
【００６３】
ワーク保持手段８は、ワークＷを保持するための線状物（ワイヤ、糸、ゴム等）であり、側壁部１ａに対してワークＷを固定する。ワーク保持手段８を線状物とすることにより、ワークＷに対する接触面積が小さくなりワークＷの全面に気流及び洗浄媒体が作用する空間を形成できる。  
側壁部１ａがメッシュ２と共に回転すると、ワーク保持手段８に固定されたワークＷも回転し、洗浄槽１０内に発生する気流に対するワークＷの姿勢を変化させることができる。基本的にはワークＷと流入口４ａとの相対的な位置関係が変化すればよいので、ワークＷ自身を移動させても流入口４ａを移動させても構わない。  
分離手段としてのメッシュ２は、ワークＷに付着した粉塵は通過可能であるが洗浄媒体Ｍは通過不可である大きさの穴またはスリットを多数形成したものである。上述のように金網やフィルタ等、様々なバリエーションが可能であるが、通気抵抗が小さく粉塵が付着しにくいものが好適である。本実施例では、円板状のメッシュ２を洗浄槽１０の底部に配置している。この構成により、重力で下側に集まった洗浄媒体Ｍを再び洗浄槽１０内へ飛翔させることができ、洗浄媒体Ｍの滞留をなくして効率的に洗浄を行うことができる。  
保持部２ａは円板状のメッシュ２の外周を保持する環状の枠体であり、その外周にはメッシュ２を回転させるタイミングベルトやギヤ等と噛合する歯が形成されている。
【００６４】
複数の穴を有する円板状のメッシュカバー５はメッシュ２に近接配置されており、メッシュ２の下側を覆い洗浄槽１０の底部に複数の開口部（吸引口３ａ及び流入口４ａ）を形成する。  
吸引口３ａには後述する吸引手段としての吸引ダクト９を配置する。メッシュカバー５は吸引ダクト３に固定されているため、メッシュ２や洗浄槽外筒１が動いても静止している。  
流入口４ａは大気に開放されている。または後述するブロー手段が接続される。流入口４ａの面積は吸引口３ａと同等以下とするのがよい。これにより流入口４ａを通る気流の流速が吸引口３ａを通る気流の流速以上となり、気体を高速で吹き込んだ場合と同等の効果が発生し、洗浄媒体Ｍの飛翔速度もそれに応じて速くなるので、より大きな洗浄能力を期待できる。  
開口部のパターンは、図１（ａ）、図２（ｂ）に示した以外に、後述するように複数の吸引口３ａと流入口４ａとを備えたパターンでもよい。何れのパターンでも吸引口３ａと流入口４ａとを隣接させて配置している。隣接させて配置することにより、吸引手段３でメッシュ２に引き付けられた洗浄媒体Ｍが、気流に流されてメッシュ２から離れる前に確実に流入手段４の噴出部に供給することができる。これにより洗浄媒体を高速で飛翔させることができ、洗浄品質と洗浄効率とを高めることができる。
【００６５】
吸引手段３は、洗浄槽１０に負圧を供給し洗浄槽１０から粉塵を排出するための手段であり、吸引口３ａに接続する吸引ダクト９及び図示しない集塵ブロワで構成される。集塵ブロワは、洗浄槽１０より排出される粉塵等を濾過可能なフィルタと、負圧を発生する送風機またはポンプを備える。集塵装置のフィルタと洗浄槽１０との間に周知のサイクロンフィルタを配置し、比較的大きな粉塵をこのサイクロンフィルタによって分離する構成としてもよい。
【００６６】
流入手段４を構成する流入口４ａは、基本的には大気に開放して洗浄槽１０内の負圧によって外部の空気が洗浄槽１０内に自然流入するように構成するが、流入口４ａから洗浄槽１０内へ入る気体の流速をより高めるため、流入手段４としてブロー手段を付加し、圧縮空気源、エアチューブ、エアブローノズル等を備えてもよい。ブロー手段の用い方として、ブロー手段自身若しくは少なくとも吹き出し口であるノズルを洗浄槽１０の内部に配置し、分離手段に堆積した洗浄媒体Ｍを、例えば斜め上方から吹き付ける方法も可能であるが、この方法では洗浄媒体Ｍの飛翔速度があまり大きくならないので、基本的にはブロー手段は洗浄槽１０の外側に配置するのがよい。その方が分離手段に吸引され付着した洗浄媒体Ｍを分離手段から確実に分離飛翔させることができる。  
ワークＷへの粉塵の付着力が比較的弱い場合には、ブロー手段を用いずに吸引手段３の吸引で負圧となった洗浄槽１０内に流入する気体により洗浄媒体Ｍを飛翔させるだけでも十分である。この場合、装置構成が簡単でエネルギ消費も減らすことができるという利点がある。ワークＷへの粉塵の付着力が比較的強い場合には、圧縮空気源によるブローノズルで発生する高速気流を用いることにより、より高速の気流を利用することができ洗浄能力を高めることができる。気流の流速が高まると洗浄槽１０内での洗浄媒体Ｍの循環速度が大きくなり、洗浄媒体ＭがワークＷへ接触する頻度も高まるので、短時間で洗浄を行うことができ洗浄効率が向上する。このとき、洗浄槽１０内を負圧に保ち粉塵が洗浄槽１０の外部へと漏出することを防止するため、ブロー手段の流速は吸引手段３の流速よりも小さくなるように設定する。  
上述の構成において、気流の流速はそれ自身が重要なのではなく、洗浄媒体Ｍの飛翔速度が重要な要素となる。薄片状の洗浄媒体Ｍの飛翔速度としては、少なくとも５ｍ／ｓ以上、より好ましくは１０ｍ／ｓ以上が必要である。この飛翔速度を得るための気流の流速は、上述の少なくとも１０ｍ／ｓ以上からより好ましくは５０ｍ／ｓ以上が必要である。
【００６７】
図５は、吸引口３ａと流入口４ａとを複数組設ける例を説明するための図である。同図において、メッシュ２のほぼ全面を吸引口３ａと流入口４ａとして開口させている。吸引口３ａと流入口４ａとは交互に配置されており、各吸引口３ａは各流入口４ａよりも開口面積が大きく（同図の例では数倍に）形成されている。両者の差あるいは比が大きいほど流入時の気流速度が大きくなる。ただし、その差若しくは比をあまり大きくしすぎると、洗浄媒体Ｍが吸引口３ａ付近のメッシュ２に衝突する速度があまり大きくならないため、洗浄媒体Ｍに付着した汚れが叩き落とされなくなってしまう。
【００６８】
メッシュ回転手段は、吸引口３ａのメッシュ２に引き付けられた洗浄媒体Ｍを流入口４ａへと運んでメッシュ２から飛翔分離させるためのものである。メッシュ２を回転させない場合、吸引口３ａのメッシュ２に洗浄媒体Ｍがすぐに目詰まりしてしまうが、メッシュ２を回転させることにより目詰まりすることなく洗浄媒体Ｍを連続的に再生（洗浄媒体Ｍに付着している塵埃を除去）することができる。しかし、吸引口３ａに吸い寄せられて堆積した洗浄媒体Ｍが、流入口４ａに到達するまで時間がかかりそのまま放置されると、洗浄槽１０内の気流によって自然に舞い上がる洗浄媒体Ｍが若干存在し、それらは高速な流入気流の影響を直接受けず、従って被洗浄体であるワークＷに高速で衝突することもなくなり、洗浄能力の低下を招く。この問題を避けるためには、メッシュ２側から見た吸引口３ａ及び流入口４ａの移動方向を、吸引口３ａが通過した後なるべくすぐに流入口４ａが通過するように配置するのがよい。両者をこの順で隣接させておけば、吸引手段３で分離手段に引き付けた洗浄媒体Ｍが自然に分離手段から離れる前に確実にブロー手段の噴出部に供給することができ、洗浄媒体Ｍをブロー手段の噴出部で加速して高速で飛翔させることにより洗浄品質と洗浄効率とを高めることができる。  
上述の構成ではメッシュ２を回転させたが、メッシュ２に対する吸引位置を相対的に移動させても同様の作用効果を得ることができるので、メッシュ２を回転させる代わりに吸引口３ａ側を移動させる構成としてもよい。
【００６９】
本実施例においては必須の構成要素ではないが、特に薄片状の洗浄媒体Ｍを用いる場合には、洗浄後に洗浄媒体Ｍが静電気的にワークＷに貼り付くことを防止するため、洗浄後に除電手段を用いることが好ましい。除電手段としては、高電圧を電極に加えて空気中の水蒸気や酸素分子をイオン化させるいわゆるイオナイザを使用することができる。除電手段を用いることにより、洗浄槽１０からのワークＷの取り出し時において、ワークＷへの洗浄媒体Ｍの貼り付きを防止することができる。  
除電手段は洗浄槽１０内に配置してもよいが、洗浄槽１０内に配置した場合には洗浄槽１０内の粉塵が除電手段の電極に付着して除電手段の性能を低下させ易いので、洗浄槽１０の外部であって流入口４ａ付近に配置するのが好ましい。また上述したブロー手段のエアブローノズルと一体化された除電手段を用いてもよい。この除電手段を用いることにより、洗浄媒体Ｍに付着した汚れがより分離し易くなり、高品質の洗浄が可能になる。なお洗浄槽１０の外部に設置して洗浄槽１０内部を除電する除電手段として、軟Ｘ線を照射して空気を電離するタイプの除電手段を用いることもできる。  
また洗浄動作中も除電手段を作動させて洗浄槽１０内部にイオン化エアを供給することにより、洗浄媒体Ｍに付着した粉塵等の付着物を分離し易くなり高品質の洗浄が可能になる、洗浄媒体Ｍ同士の貼り付きを防止して洗浄媒体Ｍの洗浄槽１０内における流動性を高めワークＷへの洗浄媒体Ｍの接触頻度を上昇させて洗浄効率を向上させる、洗浄媒体ＭがワークＷを覆って付着し洗浄の妨げとなることを防止するといった作用効果も期待できる。
【００７０】
次に、上述の洗浄装置の動作を説明する。  
１．吸引手段３の作動により洗浄槽１０内は負圧となり、流入口４ａのメッシュ２を通して外部から洗浄槽１０の内部に空気が流入する。上述のように流入口４ａの面積を適切に設定することにより、ブロー手段を用いずとも洗浄槽１０内に高速の気流を発生させることができる。ブロー手段を用いた場合には、ブロー手段の作動によりさらに高速の気流を発生させて戦場媒体Ｍを高速で運動させることができるため、高い洗浄性能を得ることができる。  
２．メッシュ２上の洗浄媒体Ｍは、流入口４ａ（若しくはブローノズル）から流入する気流によってメッシュ部から巻き上げられ、洗浄槽１０内の気流に乗って飛翔する。  
３．洗浄槽１０内を飛翔する洗浄媒体Ｍは、洗浄対象物Ｗに接触あるいは衝突し、洗浄対象物Ｗに付着している粉塵を叩き落とす。叩き落とされた粉塵は、吸引口３ａへと向かう気流の流れに乗って洗浄槽１０内より排出される。  
３’．洗浄対象物Ｗと洗浄媒体Ｍの接触あるいは衝突により、洗浄対象物Ｗに付着していた粉塵の一部は洗浄媒体Ｍへと付着する。洗浄媒体Ｍは吸引口３ａへ向かう気流に乗って吸引口３ａへと向かい、メッシュ２に衝突することで洗浄媒体Ｍに付着した粉塵が除去される。（洗浄媒体の再生）
４．吸引口３ａ付近のメッシュ部では、高速の吸引気流が洗浄媒体Ｍに作用する。洗浄媒体Ｍに付着している粉塵は、この高速吸引気流によっても洗浄媒体Ｍから分離され、洗浄対象物Ｗや洗浄媒体Ｍへ再付着することなく洗浄槽１０内より排出される。構成要素として除電手段（イオナイザ）を含む場合、洗浄媒体Ｍと粉塵との静電気的引力が弱まり、粉塵がより分離され易くなる。  
５．吸引によってメッシュ部に貼り付いている洗浄媒体Ｍは、メッシュ２を回転させることにより流入口４ａ（若しくはブローノズル）へと移動する。
【００７１】
上述した１〜５の動作を繰り返すことにより、洗浄媒体Ｍは高速飛翔→洗浄（洗浄対象物Ｗに接触）→再生（メッシュ２に吸引付着して付着粉塵を分離）を繰り返し、洗浄槽１０内を高速で循環する。洗浄槽１０内の気流及び洗浄媒体Ｍの流れは、例えば図１（ａ）に示すようになる。  
本実施例では、メッシュ２の回転に伴って洗浄槽１０も回転し、洗浄槽１０に固定された洗浄対象物Ｗには洗浄槽１０の回転に伴って様々な方向から気流及び洗浄媒体Ｍが作用する。洗浄媒体Ｍを洗浄対象物Ｗの全面に接触あるいは衝突させることができるため、複雑な形状の部品であってもムラなく洗浄することができる。  
比較的付着力が強くエアブローのみでは除去しにくい粉塵であっても、高速で飛翔する洗浄媒体Ｍが接触あるいは衝突することによって洗浄対象物Ｗから粉塵を分離することができる。特に、薄片状の洗浄媒体Ｍを用いた場合、上述の理由により高い洗浄品質と洗浄効率とを得ることができる。  
また、洗浄媒体Ｍに付着している粉塵が分離手段で効果的に除去され、洗浄媒体Ｍの清浄度が常に保たれるため、洗浄媒体Ｍに付着している粉塵が洗浄対象物Ｗに再付着することがなく、高い洗浄品質を得ることができる。  
以上説明した通り、本実施例に示した洗浄装置及び洗浄媒体を用いれば、比較的複雑な形状の対象物Ｗやエアブローのみでは除去が難しい付着力の強い粉塵等であっても、高品質でかつ効率よく洗浄することができる。
【００７２】
表１は、洗浄結果の一例を示す。  
洗浄媒体Ｍとして厚さ３０μｍ、５ｍｍ角のポリエチレン製フィルムからなる薄片状洗浄媒体Ｍを使用した。除去対象となる付着物（トナー）の付着力の違いによる影響を観察するため、トナーを付着させた後、所定温度で１時間加温し、付着量の異なるサンプルを作成した。  
比較例として、エアブローによる乾式洗浄及び超音波水洗浄による洗浄結果を示す。エアブローはＳｉｌｖｅｎｔ社製エアノズルを使用し、圧縮空気圧は０．７ＭＰａであった。超音波水洗浄はＳｈａｒｐ社製の超音波洗浄器（２５０Ｗ）を使用し、洗浄液としてアルカリ電解水と界面活性剤を使用した。表１により、本発明の実施例１は水を使用しないにも拘らず、超音波水洗浄に匹敵する洗浄能力が得られることがわかる。
【００７３】
【表１】
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【００７４】
図６は、メッシュ２に密接配置した隔壁の一例を示す図である。同図において符号Ｓｐは隔壁を示す。この隔壁Ｓｐは筒状のハニカム板を輪切りにしたもので、ハニカム構造の各セル（開口部）は洗浄媒体Ｍに比して十分に大きく形成されている。隔壁Ｓｐをメッシュ２に密着させることで、メッシュ面近傍でメッシュ面に平行な方向の気流をなくすことができ、これにより洗浄媒体Ｍがメッシュ２上で転がって移動することを規制できる。特に吸引口３ａ近くのメッシュ２に引き寄せられた洗浄媒体Ｍがメッシュ２及び隔壁Ｓｐの回転によって流入口４ａの上方に移動した際に、吸引口３ａに引き寄せられて吸引口３ａ側に戻ることが防止され、洗浄媒体Ｍを確実に洗浄槽１０内へ飛翔させることができる。また、ブローノズルの先端が延長されたような作用効果を得ることができ、ブロー手段から噴出する気流を整え、洗浄媒体Ｍの飛翔速度を高め、洗浄性能を高めることができる。
【実施例２】
【００７５】
図７は、本発明の第２の実施例の構成を説明するための図であり、（ａ）は洗浄槽平面図を、（ｂ）は一部断面側面図をそれぞれ示している。  
同図において符号９は吸引ダクト、１１はベース板、１２は支柱、１３は天板、１４は回転軸受、１５は回転駆動手段、Ｄは吸引ダクトの回転方向をそれぞれ示す。本実施例はメッシュ２を固定し、吸引口及び流入口を回転させる構成を採用している。以下に各構成要素を順に説明する。  
分離手段としてのメッシュ２は、洗浄媒体Ｍは通過不可であるが除去すべき粉塵は通過可能である目開きのメッシュであり、円筒籠型形状を呈していて天板１３に固定されている。メッシュカバー５は、円筒形状のメッシュ２の外側を覆い洗浄槽１０と外気とを遮断しており、その内壁が円筒のメッシュ２に近接して回転する。メッシュカバー５の一端には第１の吸引口３ａが、他端には第２の吸引口３ａ’が設けられており、第１の吸引口３ａは洗浄槽１０の下部に、第２の吸引口３ａ’は洗浄槽１０の上部にそれぞれ配置されている。第１の吸引口３ａに隣接する位置には第１の流入口４ａが、第２の吸引口３ａ’に隣接する位置には第２の流入口４ａ’がそれぞれ配置されている。各流入口４ａ，４ａ’はそれぞれ大気に開放されている。各流入口４ａ，４ａ’から洗浄槽１０内に流入する気体の流速を高めるため、各流入口４ａ，４ａ’の面積は各吸引口３ａ，３ａ’の面積の１０〜９０％程度とすることが好ましい。
【００７６】
図８は、メッシュ側壁に近接させた隔壁を示す図である。同図に示すように、メッシュ２の内側（洗浄対象ワークＷ側）に円筒の軸方向に長く伸びたリブあるいはフィン状の隔壁Ｓｐを形成したものであり、メッシュ２上で洗浄媒体Ｍが円周方向に移動することを規制して流入口４ａから流入する気流によって洗浄媒体Ｍが飛翔せずすぐに吸引口３ａに戻ってしまうことを防止するという作用、及び流入口４ａから流入する気体の方向を整え速度を高めることにより洗浄槽１０内の気流及び洗浄媒体Ｍの飛翔速度を高めて洗浄効果を高めるという作用を有している。このような作用を持つものであれば、隔壁Ｓｐの形状として例えば格子型やハニカム型のものを用いてもよい。
【００７７】
符号５ｂは風向制御板を示しており、これはメッシュカバー５と共に回転して洗浄槽１０内に流入する気流の向きを方向付けるためのガイド板である。風向制御板５ｂは、メッシュカバー５に別部材を取り付けて構成してもよいが、吸引口３ａ及び流入口４ａとなる部分のメッシュカバー５を外側に折り曲げて一体形成してもよい。  
第１の吸引口３ａ及び第２の吸引口３ａ’は、それぞれ図示しない集塵ブロワに接続された吸引ダクト９に接続される。吸引ダクト９は、回転軸受１４によってベース板１１に対して回転可能に支持されており、回転駆動手段１５によって回転する。回転駆動手段１５としてモータ及びベルトによる駆動の例を示す。吸引ダクト９と図示しない集塵ブロワとの間の接続には、一般的な回転継手を用いることができる。
【００７８】
ワーク保持手段８は、洗浄媒体Ｍは容易に通過可能であるが洗浄対象物Ｗは落下しない粗さの目を有する籠であり、天板１３に固定されている。ワーク保持手段８に対する洗浄対象物Ｗの投入及び取り出しは、天板１３にはめ込んだ洗浄槽１０の蓋部１ｂを開けて行う。なおワークＷの図示は省略している。  
本実施例ではワーク保持手段８は動かずに固定であるが、吸引口３ａ及び流入口４ａの位置がワークＷに対して回転することにより、ワークＷに対して様々な方向から気流及び洗浄媒体Ｍを作用させることができ、ワークＷの全面を洗浄することができる。  
洗浄媒体Ｍとしては、固体状であり気流によって飛翔可能なものであれば様々な形状及び材質のものが利用可能であるが、上述の理由により特に薄片状の洗浄媒体を用いることが好ましい。
【００７９】
上記洗浄装置の動作を説明する。集塵ブロワの動作を開始すると、洗浄槽１０内が負圧となり流入口４ａから洗浄槽１０内に外気が流入する。このとき、上述のように吸引口３ａと流入口４ａの面積を適切に設定することで、洗浄槽１０の内部に高速の噴流を発生させることができる。本実施例の場合、第１の流入口４ａから第１の吸引口３ａ及び第２の吸引口３ａ’へ向かう流れと、第２の流入口４ａ’から第１の吸引口３ａ及び第２の吸引口３ａ’へ向かう流れとが生じる。洗浄媒体Ｍの多くは気流に乗って飛翔し、各吸引口３ａ，３ａ’のメッシュ部に引き付けられる。  
ここで回転駆動手段１５を作動させ矢印Ｄ方向に吸引ダクト９を回転させると、吸引口３ａのメッシュ部に引き付けられていた洗浄媒体Ｍは流入口４ａから洗浄槽１０内へと流れ込む気流によって飛翔し、高速で洗浄対象ワークＷに衝突あるいは接触する。洗浄媒体Ｍが洗浄対象ワークＷへ衝突あるいは接触することにより、洗浄対象ワークＷに付着している粉塵は掻き取られ、あるいは擦られて洗浄対象ワークＷから分離される。分離された粉塵の多くは気流に乗って吸引口３ａへと向かい、洗浄槽１０内より排出される。このとき一部の粉塵は洗浄媒体Ｍに付着するが、洗浄媒体Ｍが再び吸引口３ａに引き付けられ、メッシュ２に衝突する過程で洗浄媒体Ｍと分離し、吸引口３ａから排出される。  
吸引ダクト９の回転によって吸引口３ａ及び流入口４ａの位置が移動するので、洗浄槽１０内では気流の状態が変化する。また第１の流入口４ａ及び第１の吸引口３ａの高さと第２の流入口４ａ’及び第２の吸引口３ａ’の高さが異なるため、洗浄槽１０内では水平方向及び鉛直方向において気流の状態が変化する。よって洗浄対象ワークＷには、あらゆる方向から洗浄媒体Ｍが衝突あるいは接触し、比較的複雑な形状のワークＷであってもムラなく全面を洗浄することができる。
【実施例３】
【００８０】
図９は、本発明の第３の実施例の構成を説明するための図であり、（ａ）は洗浄槽の斜視図を、（ｂ）は側断面図をそれぞれ示している。  
同図において符号１６は円筒型の内筒を、符号Ｎはエアブローノズルをそれぞれ示している。本実施例は、メッシュ２を内筒１６の側面に配置して横型としたものであり、比較的長尺の部品を洗浄する際に用いると好適である。本実施例において、上述した実施例１と同じ部品には同じ符号を付すに止め、個々の詳細な説明は省略する。  
メッシュ保持部である内筒１６の側面全周には、軸方向に延びた目の粗いスリット１６ａが形成されており、このスリット１６ａの外側にはスリット１６ａよりさらに目の細かいメッシュ２が巻き付けられ溶着固定されている。洗浄媒体Ｍは、スリット１６ａは通過できるがメッシュ２は通過できないように構成されている。ここで実施例２と同様に、メッシュ２の内側にリブあるいはフィン状の隔壁Ｓｐを配置すればさらに洗浄性能を高めることが可能である。  
メッシュカバー５は、内筒１６の外側に固定されたメッシュ２のさらに外側を覆う円筒形状のカバーであり、内筒１６及びメッシュ２を摺動回転可能に支持し、洗浄槽１０を閉空間とする機能を有している。メッシュカバー５の一端５ｂは図９（ｂ）に示すように外側に向けて折り曲げられており、エアブローノズルＮから洗浄槽１０へと流入する気体の流れを整える機能を有している。本実施例ではエアブローノズルＮを用いた例を示しているが、洗浄能力に問題がなければ大気に開放する構成としてもよい。本実施例では、吸引ダクト９に接続されたメッシュ部が吸引口３ａとなり、ブローノズルＮに接続されたメッシュ部が流入口４ａとなる。
【００８１】
図１０は、実施例３の正面断面図を示している。同図において、符号１７はワーク保持手段回転爪を、符号１８はワーク保持手段回転モータを、符号１９はメッシュ回転モータを、符号２０はメッシュ駆動ベルトをそれぞれ示している。  
内筒１６及びメッシュ２は、ベース１１に固定されたメッシュ回転モータ１９及びタイミングベルト２０によって回転駆動される。  
吸引ダクト９は装置のベース部に固定されており、メッシュカバー５の開口部に接続された状態でメッシュカバー５を保持する。吸引ダクト９の先は粉塵を捕集するフィルタを備えた吸引ブロワ等の図示しない負圧発生手段よりなる集塵手段に接続され、集塵手段の作動により洗浄槽１０内の粉塵が吸引される。  
吸引ダクト９に隣接した流入口４ａ（図９と同様であるので図示を省略する）にはブロー手段である複数のエアブローノズルＮが配設されている。本実施例においても吸引口３ａと流入口４ａとは隣接して配置しており、この構成により吸引手段でメッシュ部に引き付けた洗浄媒体Ｍがメッシュ部から離れる前に洗浄媒体Ｍを確実にブロー手段の噴出部に供給することができる。これにより洗浄媒体Ｍを高速で飛翔させることができ、洗浄品質と洗浄効率とを共に高めることができる。
【００８２】
図１１は、エアブローノズルＮの作動タイミングを説明する図であり、（ａ）は制御の構成を説明する図、（ｂ）はタイミングチャートの一例を示す図、（ｃ）はタイミングチャートの他の例を示す図である。  
同図（ａ）に示すように、各エアブローノズルＮは切り替え手段としてそれぞれ独立した電磁弁に接続されており、制御装置からの信号に基づいて各エアブローノズルＮの組み合わせや順序、タイミングを変えることが可能に構成されている。エアブローの制御パターンを同図（ｂ）、（ｃ）に示す。洗浄効率を向上するためには全てのエアブローノズルＮを作動させるべきであるが、その場合、長尺のワーク等、比較的大きなワークを洗浄する場合にはそれに見合った大きな圧縮空気源が必要となり、コストアップしてしまう。また、洗浄槽１０内を負圧に保つための吸引ブロワもより大きな能力が必要となり、消費エネルギや設備コストが大きくなってしまう。そこで、各エアブローノズルＮの作動、すなわち空気の吹き出しをタイムシェアリングで行うことを考える。  
同図（ｂ）は、各エアブローノズルＮを一端側のエアブローノズル１から順番にかつ吹き込み時間も均等となるように作動させる例である。他端側のエアブローノズル５が作動した後はエアブローノズル１に戻るように構成されており、作動時間と休止時間との比は圧縮空気源の能力を考慮して決定する。  
同図（ｃ）は、各エアブローノズルＮ毎に作動時間（吹き込み時間）を変化させる例を示している。吹き込み時間が長いほど洗浄媒体Ｍの循環は早くなるので、特に重点的に洗浄したい領域に対応したエアブローノズルＮは長時間作動させるとよい。  
上述の構成ではエアブローノズルＮからの吹き出しタイミングを変化させる例を示しているが、吹き出しの強度を各エアブローノズルＮ毎に変化させる構成としてもよい。特に重点的に洗浄したい領域に対応したエアブローノズルＮの吹き出しを強くすることにより、洗浄効果の均質化を図ることができる。この吹き出し強度の変化には、流量制御弁を用いてもよい。
【００８３】
上述の構成において、同時に複数のエアブローノズルＮを作動させればさせるほど、洗浄媒体Ｍを高速で撹拌することができる。そこで、洗浄の初期は作動させるエアブローノズルＮの数を少なくして弱い付着力の付着物を除去し、洗浄の後期に仕上げとして作動させるエアブローノズルＮの数を増やし、強い付着力の付着物を除去するように制御してもよい。この場合には、エアの消費量を低減して消費エネルギを低減することができる。  
これ等の制御は洗浄対象物であるワークＷに合わせて切り替え、異なるワークＷであってもプログラムを変更することで対応できる。また洗浄動作の途中で切り替えることにより洗浄媒体Ｍの流れを複雑に変化させることができ、これにより比較的複雑な形状の洗浄対象物であっても洗浄残しなく良好に洗浄することが可能となる。
【００８４】
上記実施例において、図示してはいないがコロナ放電式の除電手段を、エアブローノズルＮに隣接あるいは内蔵して配置して使用することができる。  
蓋部１ｂは内筒１６に対して緩く係合し、洗浄槽１０に対するワークＷの投入及び取り出しを行うことができる。  
ワーク保持手段８は、中心軸８ａから放射状に延びる４本のアームと各アーム先端に配設されたリング部材とを有しており、４本のワークを回転自在に保持することができる、リング部材はワークの両端の軸部を支えており、ワーク両端の軸部の外径よりリング部材の内径を大きくしてあるため、ワークはリング内で自転可能である。  
ワーク保持手段回転モータ１８はベース１１に固定されており、その軸は内筒１６の中心に開けられた穴を介して洗浄槽１０内に臨んでいる。ワーク保持手段８の回転軸８ａの一端はワーク保持手段回転モータ１８の回転軸先端に設けられた穴に嵌合し、他端は洗浄槽（蓋部１ｂ）に設けられたボスと嵌合する。ワーク保持手段回転モータ１８の回転によりワーク保持手段回転爪１７が回転し、ワーク保持手段８を介してワークＷが回転する。その他、洗浄媒体Ｍの形状等は上記各実施例と同様である。
【００８５】
上記洗浄装置の動作を説明する。ワーク保持手段８にワーク８を取り付け、ワーク保持手段８を蓋部１ｂに取りつけた状態で蓋部１ｂと内筒１６とをはめ合わせる。これによりワークＷが洗浄槽１０内に配置される。  
集塵手段の吸引ブロワを作動させて洗浄槽１０内を負圧にすると共にメッシュ回転モータ１９を作動させて内筒１６及びメッシュ２を回転させると、洗浄槽１０内で洗浄媒体Ｍが高速飛翔を開始する。基本的な洗浄のメカニズムは実施例１及び実施例２と同様である。  
エアブローノズルＮを作動させることで、さらに洗浄槽１０内における気流の速度を増加させることにより洗浄能力を高めることができる。また、エアブローノズルＮの作動やタイミングの組み合わせにより洗浄槽１０内に複雑な気流を生成でき、洗浄対象ワークＷの全面に洗浄媒体Ｍを衝突あるいは接触させることができる。  
さらに本実施例では、ワーク保持手段回転手段によりワークＷを自転及び公転させることができ、洗浄対象ワークＷの全面に洗浄媒体Ｍを衝突あるいは接触させることができるので、洗浄残りの発生がなく高い洗浄品質を得ることができる。またワーク保持手段８によりワークＷを確実に保持するので、洗浄中にワークＷ同士が衝突してワークＷが破損したり傷付いたりすることがない。
【００８６】
所定時間洗浄後にメッシュ回転モータ１９を停止すると、洗浄槽１０の内部で飛翔乱舞していた洗浄媒体Ｍは吸引口３ａのメッシュ部に集まる。ここで除電手段を作動させることにより、ワークＷに付着した洗浄媒体ＭもワークＷから分離されて吸引口３ａのメッシュ部に集まる。次にエアブロー及び集塵手段の吸引ブロワを停止させ、蓋部１ｂを内筒１６から取り外してワーク保持手段８より洗浄後のワークＷを取り外す。
【実施例４】
【００８７】
図１２は第４の実施例の構成を説明する外観斜視図、図１３は第４の実施例の一部断面図であって（ａ）平面図、（ｂ）側面図、図１４は円筒形状のメッシュとエアブローノズルＮの断面図である。各図において符号２１はブロー供給管を示している。以下、本実施例の構成を説明する。  
直方体の洗浄槽１０の内部に、ワーク保持部材としてのワーク支持テーブル８と４本の円筒２重管メッシュとが配置されている。洗浄槽１０の側壁１ａには、ワーク投入口及びワーク取り出し口としての蓋部１ｂが設けられている。  
洗浄媒体Ｍが楽に通過可能な目の粗い網からなるワーク支持テーブル８は、図示しないモータ等の回転駆動手段によりワーク支持テーブル回転軸８ａを中心として回転可能に構成されている。図示しない回転駆動手段は洗浄槽１０内に配置できるが、粉塵環境による不具合の発生等を避けるためには洗浄槽１０の外部に配置するほうが望ましい。例えば、ワーク支持テーブル回転軸８ａよりも若干大きな穴を洗浄槽１０の底部に穿設し、回転駆動手段からの回転を伝達するように構成することができる。洗浄槽１０の内部は吸引手段３の作動によって負圧となり、回転軸８ａと穴との間の隙間においては洗浄槽１０の内部へと向かう気流が生じるため、洗浄媒体Ｍあるいは粉塵が洗浄槽１０の外部に漏れ出ることはない。  
分離手段であるメッシュ部２は、洗浄媒体Ｍが通過不可である目の粗さの円筒形状のメッシュである。円筒形状のメッシュ２の外側（洗浄対象ワークＷ側）には、リブ状あるいはフィン状の隔壁Ｓｐを形成する。リブあるいはフィンは、その間隔が洗浄媒体Ｍの大きさよりも大きくなるように設定する。メッシュ２に隔壁Ｓｐを形成することにより、ブロー手段のノズルが延長されたと同様の効果が生じ、気流が広がらずに洗浄媒体Ｍを加速することができると共に、流入口４ａから流入する気流によって洗浄媒体Ｍが飛翔せずすぐに吸引口３ａに戻ってしまうことを防止できる。この構成の場合、エアブローノズルＮの向いているメッシュ部が流入口４ａに相当し、その他のメッシュ部が全て吸引口３ａに相当する。隔壁Ｓｐを設けることにより、設けない場合に比して洗浄槽１０内において洗浄媒体Ｍを高速で飛翔させることができ、かつ確実に循環させることができ、より高い洗浄品質と洗浄効率とを得ることができる。
【００８８】
円筒形状のメッシュ２の内部には円筒の軸方向に延びたブロー手段としてのエアブローノズルＮのアレイが配設されており、このアレイは図示しない回転手段により回転駆動され回転継手を介して電磁弁及び圧力空気源に接続されたブロー供給管２１に接続されている。エアブローノズルＮの先端は、円筒メッシュの内側に近接しかつ接しない位置でメッシュ２に対して回転する。本実施例では、エアブローノズルＮの先端も洗浄槽１０に気体を流入させる流入口であり、メッシュ２を固定して流入口４ａを移動させることによりメッシュ２への洗浄媒体Ｍの目詰まりを防止している。エアブローノズルＮの移動は一方向への連続回転でも構わないが、被洗浄体の存在しない方向に高速気流を噴出しても洗浄効果は小さいため、被洗浄体方向に向けての往復揺動としてもよい。この場合、エアブローノズルＮの吹き出し口が向き合わないメッシュ部にはメッシュカバーを掛け、洗浄媒体Ｍを吸引することが不可となるように構成することが望ましい。  
図示しない負圧源（集塵装置）に接続された吸引ダクト９は４本に分岐しており、それぞれ円筒２重管メッシュに接続されている。吸引ダクト９の一部にはブロー供給管２１が通る穴が開けられており、ブロー供給管２１を通りエアブローノズルＮから噴出した気体はメッシュ２を通って洗浄槽１０の内部に吹き込まれ、さらにメッシュ２の流入口４ａ以外の部分から吸引されて吸引ダクト９へと流れていく。この構成において、円筒型のメッシュ２のうちエアブローノズルＮが対面している部位のみが流入口４ａとなり、他の部分は全て吸引口３ａとなる。本実施例では右側より吸引及びブローを供給し、メッシュ２及びブロー供給管２１の左側は閉じている構成としたが、左側からも同時に吸引（負圧）及びブロー（正圧）を供給するように構成してもよい。  
洗浄槽１０の側壁１ａに開閉可能な蓋部１ｂを設け、洗浄槽１０内へのワークＷの投入及び取り出しを行う。洗浄槽１０内の洗浄媒体Ｍは、そのまま繰り返し使用することができる。
【００８９】
上記洗浄装置の動作を説明する。粉塵の付着したワークＷを洗浄槽１０内のワーク支持テーブル８上に載置する。洗浄槽１０内の気流速度に対してワークＷの質量が軽い場合は、ワークＷをワーク支持テーブル８に固定する。  
ワークＷの設置後、集塵装置による吸引及びエアブローノズルＮの回転及びエア噴出を開始する。洗浄槽１０の底部に溜まっていた洗浄媒体Ｍはエアブローによって洗浄槽１０内へと拡散飛翔し、洗浄対象ワークＷに接触してワークＷの表面に付着している粉塵を除供する。ワークＷの表面から除去された粉塵のうち洗浄槽１０内を浮遊している粉塵は、メッシュ２を通過して吸引ダクト９へと吸引される。洗浄槽１０内を飛翔している洗浄媒体Ｍは、吸引口３ａとなっているメッシュ２に吸い寄せられて貼り付き、メッシュ部に作用する高速吸引気流で粉塵を取り除かれる。メッシュ部に貼り付いた洗浄媒体Ｍは、エアブローノズルＮの回転により流入口４ａと変わったメッシュ部に対しエアブローノズルＮから噴出する高速気流によって吹き飛ばされ、再び洗浄槽１０内へ拡散飛翔する。
【００９０】
本実施例では、ワーク姿勢を変更する手段（回転するワーク支持テーブル）を有しワークＷを回転させながら洗浄を行うと共に、ワークＷに対して上下左右４箇所に円筒形状のメッシュ２及びエアブローノズルＮのアレイを有しており、各メッシュ２のエアブローノズルＮから噴射方向を変えながら放射状に洗浄媒体Ｍを噴射させることができる。この構成によりワークＷに対して様々な方向から気流及び洗浄媒体Ｍを作用させることができ、洗浄対象ワークＷが比較的複雑な形状であってもムラなく確実に洗浄することができる。
さらに実施例３と同様に、４本のエアブローノズルアレイの動作タイミングや組み合わせを変化させたりそれぞれの回転速度や回転方向を変化させたりすることでさらに洗浄槽１０内に複雑な気流を生じさせることができ、これにより洗浄対象ワークＷに対して様々な方向から気流及び洗浄媒体Ｍを作用させることによりより一層洗浄品質を向上することができる。  
洗浄後のワークＷの取り出しは、洗浄中あるいは取り出し前に除電ブローを作用させ、ワークＷに付着した洗浄媒体Ｍを分離した後に行う。
【実施例５】
【００９１】
図１５は第５の実施例を説明するための外観斜視図である。同図において符号２２はノズルベースを、符号２３はノズル回転手段を、符号２４は流入口として機能するメッシュ付開口部をそれぞれ示している。以下に本実施例の構成を説明する。  
図１５に二点鎖線で示すように、直方体形状の洗浄槽１０の内部中央にはワーク支持テーブル８が設置されており、洗浄槽１０の上下左右４箇所には円錐／円筒メッシュ付ノズルが取り付けられている。洗浄槽１０の底部四隅には、洗浄槽１０の内部が負圧となったときに外部から空気を導入するためのメッシュ付開口部２４が設けられており、これにより洗浄媒体Ｍを洗浄槽１０の隅に滞留させずに洗浄槽１０内を循環させることが可能となっている。ワーク支持テーブル８は、洗浄媒体Ｍが楽に通過可能な目の粗いスリット状の網で構成されており、ワークＷをその上面に載置して支持する。
【００９２】
図１６は円錐／円筒メッシュ付ノズルの斜視図であり、同図（ａ），（ｂ）は回転ノズルの位置が互いに異なる状態を説明するための図である。図１７は円錐／円筒メッシュ付ノズルの詳細図であり、（ａ）は側断面図、（ｂ）は吸引ダクト側正面図である。  
円錐型のメッシュ部と円筒形状のメッシュ部とを有するメッシュ２の内側に接するように配置されたエアブローノズルＮは、圧縮空気源につながったブロー供給管２１に接続される。本実施例では、エアブローノズルＮの先端も洗浄槽１０内に気体を流入させる流入口であり、メッシュ２を固定して流入口４ａを移動させることによりメッシュ２への洗浄媒体Ｍの目詰まりを防止している。本実施例も実施例４と同様に、メッシュ２のうち流入口４ａ以外の部分が全て吸引口となる。  
メッシュ２はノズルベースに固定された円筒メッシュと円錐メッシュとで構成されており、エアブローノズルＮを覆っている。メッシュ２は、洗浄媒体Ｍの通過を不可とし、粉塵の通過を許可する。  
ブロー供給管２１はノズル回転手段２３に回転自在に支持されており、ブロー供給管２１を回転させることによりエアブローノズルＮを回転させることが可能に構成されている。ノズル回転手段２３としては、例えば中空軸のモータを用いることができる。ブロー供給管２１と圧縮空気源とは、図示しない回転継手を介して接続されている。  
メッシュ２の内側に吸引ダクト９からの負圧を供給するノズルベース２２は、メッシュ２及びノズル回転手段２３を保持している。吸引ダクト９は、図示しない集塵装置（粉塵を捕集するフィルタ付吸引ブロワ）に接続されている。
【００９３】
上記洗浄装置の動作を以下に説明する。集塵装置によって吸引ダクト９に負圧が供給され洗浄槽１０内が負圧となると、洗浄槽１０底部のメッシュ部から洗浄槽１０内に気体が流入し、この気流によって洗浄媒体Ｍが巻き上げられる。さらにエアブローノズルＮからのエア噴射及び回転を行うことにより、洗浄槽１０内で洗浄媒体Ｍが高速で循環飛翔し、洗浄対象物Ｗに衝突あるいは接触して洗浄を行う。  
基本的な洗浄メカニズムは上述した実施例と同様であり、本実施例で示したノズルを用いることにより、洗浄媒体Ｍを時間経過と共に放射状（半球状）に噴射することができ、少ない数のノズルで効率的に洗浄を行うことができる。本実施例ではワーク（洗浄対象物）Ｗの姿勢を変更する手段は示していないが、実施例４に示したものと同様のワーク姿勢変更手段を用いてもよい。またメッシュ２の円錐部及び円筒部の外側に、実施例４と同様のリブ状の隔壁Ｓｐを形成してもよい。  
実施例１では円板状のメッシュを、実施例３では円筒状の分離手段（メッシュ）をそれぞれ回転させて流入口及び吸引口に対して相対移動させる例を示したが、平板状あるいはベルト状のメッシュを併進移動させることによりメッシュを流入口及び吸引口に対して相対移動させる構成としてもよい。実施例２及び実施例４では流入口（またはエアブローノズルＮ）を回転させることでメッシュに対して相対移動させる例を示したが、流入口（またはエアブローノズルＮ）を併進移動させることによりメッシュを流入口及び吸引口に対して相対移動させる構成としてもよい。実施例５では、円筒の一方の端に円錐を重ねた形状の分離手段（メッシュ）を示したが、分離手段を単純な円錐形状としてもよく、また半球形状としてもよい。もちろんその場合のエアブローノズルＮの形状は、メッシュの形状に沿ったものに変更することとなる。
【００９４】
以下に、本発明の第２及び第３の実施形態を示す。上述した実施例１〜５では分離手段と流入口及び吸引口を相対的に移動させることにより分離手段に付着した洗浄媒体を再飛翔させるのに対し、以下に説明する第２及び第３の実施形態では気流形成手段の作動状態を切り替えることにより分離手段に付着した洗浄媒体を再飛翔させる点が相違している。
【００９５】
図１８は、本発明の第２の実施形態を示している。同図において、符号２５は分離手段としてのメッシュ、符号２６は気流形成手段、Ｍは洗浄媒体、Ｗは被洗浄体としてのワークをそれぞれ示している。図１８に示した構成では洗浄槽は設けられておらず、ワークＷはメッシュ２５の上方に配置された図示しない保持手段によって保持されている。また洗浄媒体Ｍとしては、上記実施形態及び各実施例と同様のもの、すなわち樹脂ビーズ、各種ブラスト投射材、ブラシロール、スポンジボール、薄片状の洗浄媒体（面積１〜１０００ｍｍ２、厚み１〜５００μｍ程度であり樹脂フィルム片、熱可塑性エラストマフィルム片、布片、セラミック片、紙片、金属箔片等からなる）等が用いられる。
【００９６】
気流形成手段２６は、本体２６ａ、送風装置２６ｂ、吸引装置２６ｃ等を有している。本体２６ａは上面が開放された円筒形状を呈しており、開放面である上面には、ワークＷに付着した付着物である粉塵は通過可能であるが洗浄媒体Ｍは通過不可である大きさの穴またはスリットからなる開口を多数形成した構成の、上述したメッシュ２と同様に構成されたメッシュ２５が取り付けられている。送風装置２６ｂは図示しないコンプレッサに接続されており、図示しない送風口から上方に向けて送風を行う。吸引装置２６ｃは図示しない吸引ブロワに接続されており、本体２６ａ内の空気を吸引する。気流形成手段２６により気流を形成される気体としては、一般的な空気の他、窒素ガス、二酸化炭素ガス、アルゴンガス等の不活性ガス等、様々なものを使用可能である。気流形成手段２６により形成される気流の流速は、洗浄媒体Ｍを飛翔させるために少なくとも５ｍ／ｓ以上とすることが望ましい。
【００９７】
上述の構成に基づき、以下に第２の実施形態の動作を説明する。  
図示しないコンプレッサが作動すると送風装置２６ｂより上方に向けた気流Ａが発生し、この気流Ａに乗って各洗浄媒体Ｍが上方に向けて飛翔する。飛翔した洗浄媒体ＭはワークＷに衝突し、この衝突によりワークＷに付着している粉塵を除去する。除去された粉塵は、そのまま空気中に飛散するものと洗浄媒体Ｍに付着するものとに２分される。一定時間の後に図示しないコンプレッサの作動を停止させると、空気中に飛散した粉塵は吸引装置２６ｃの作動により発生する下向きの気流Ｂによって引き付けられ、メッシュ２５を通過して本体２６ａの内部に吸引される。一方洗浄媒体Ｍに付着した粉塵は、洗浄媒体Ｍが気流Ｂによってメッシュ２５に引き付けられた際に衝突時の衝撃によって叩き落とされ、本体２６ａの内部に吸引される。
【００９８】
この吸引状態が継続されるとメッシュ２５が洗浄媒体Ｍで埋め尽くされ、吸引力が低下して洗浄能力が低下してしまうため、一定時間後に図示しないコンプレッサを作動させて再び気流Ａを発生させる。これによりメッシュ２５に貼り付いていた各洗浄媒体ＭはワークＷへと再飛翔する。洗浄媒体ＭはこのようにしてワークＷに付着した粉塵を洗浄しながら、自身に付着した粉塵もメッシュ２５により洗浄されて循環を続ける。この実施形態において、メッシュ２５上における気流Ａ通過部位が流入口として機能し、気流Ｂ通過部位が吸引口として機能する。
【００９９】
本実施形態によれば、飛翔により被洗浄体を洗浄する洗浄媒体自身を洗浄しつつ再飛翔させて繰り返し洗浄に利用することができるので、被洗浄体が複雑な形状であっても被洗浄体を傷付けることなく洗浄品質及び洗浄効率を高めることができ、さらに洗浄媒体の使用量を低減できることからランニングコストを大幅に低減することができる。
【０１００】
図１９は、第２の実施形態の変形例を示している。この変形例は、上記実施形態と比較すると、気流形成手段２６の上方に洗浄槽２７を設け、洗浄槽２７の内部に図示しない保持手段によってワークＷを保持し、本体２６ａと洗浄槽２７とを接続した点においてのみ相違しており、他の構成は同一である。洗浄槽２７は下面の一部が開放された円筒形状を呈しており、この開放部に本体２６ａが接続されていて洗浄槽２７の内部は密閉状態を保っている。
【０１０１】
この変形例において上記実施形態と同様に図示しないコンプレッサの作動を制御することにより、上記実施形態と同様にワークＷに対して飛翔した洗浄媒体Ｍが衝突し、ワークＷから粉塵の除去が行われる。洗浄媒体ＭはワークＷから付着した粉塵をメッシュ２５に衝突することにより叩き落とされて洗浄されつつ、気流形成手段２６により再飛翔して再びワークＷを洗浄する。
【０１０２】
この変形例によれば、ワークＷの洗浄に関係しない余分な空間の気体を吸引することがなくなって粉塵の吸引効率が上昇すると共に、除去された粉塵が気流Ａによって周囲に飛散することを防止でき、洗浄効率を大幅に上昇させることができる。
【０１０３】
図２０は、第２の実施形態の他の変形例を示している。この変形例は、上記実施形態と比較すると、メッシュ２５上にマスク部材２８を設けた点においてのみ相違しており、他の構成は同一である。ドーナツ状の円板からなるマスク部材２８は、その中央に設けられた開口の大きさが送風装置２６ｂからの気流Ａの吹き出し面積に相当するように構成されている。
【０１０４】
この他の変形例において上記実施形態と同様に図示しないコンプレッサの作動を制御することにより、洗浄媒体Ｍが再飛翔して上記実施形態と同様にワークＷの洗浄が行われる。この他の変形例によれば、メッシュ２５上の気流Ａが及ばない部分に吸引されたまま再飛翔できない洗浄媒体Ｍをなくすことができ、洗浄媒体Ｍの全てをワークＷの洗浄に寄与させることができるため、洗浄媒体Ｍの利用効率を高めて洗浄効率を向上することができる。
【０１０５】
図２１は、本発明の第３の実施形態を示している。この第３の実施形態は、上述した第２の実施形態と比較すると、気流形成手段２６を複数設け、これらを並列に配置してその作動を切り替える点においてのみ相違しており、他の構成は同一である。
【０１０６】
図２１に示した例では、２つの気流形成手段２６Ａ，２６Ｂを並列に配置し、一方の気流形成手段２６Ａによって気流Ａを生成すると共に他方の気流形成手段２６Ｂによって気流Ｂを生成している。これにより各気流形成手段２６Ａ，２６Ｂの上方には気流Ｃが生成され、この気流Ｃに乗って飛翔する洗浄媒体ＭによってワークＷが洗浄される。そして、所定時間後に各気流形成手段２６Ａ，２６Ｂの作動を制御し、気流形成手段２６Ａによって気流Ｂを生成すると共に気流形成手段２６Ｂによって気流Ａを生成する。これにより各気流形成手段２６Ａ，２６Ｂの上方には気流Ｃとは逆向きの気流Ｄが生成され、気流Ｃによって気流形成手段２６Ａ側から気流形成手段２６Ｂ側に移動してきた洗浄媒体Ｍが気流Ｄに乗って再飛翔し、この再飛翔によって再びワークＷが洗浄される。
【０１０７】
この第３の実施形態によれば、複数の気流形成手段２６Ａ，２６Ｂ間を洗浄媒体Ｍが飛翔するので、ワークＷの形状や配置に合わせて各気流形成手段を配置することにより、ワークＷをムラなく洗浄することができ洗浄品質及び洗浄効率を向上することができる。上記実施形態では各気流形成手段２６Ａ，２６Ｂを並列配置して各気流形成手段２６Ａ，２６Ｂ間に気流Ｃあるいは気流Ｄを生成させる構成としたが、図２２に示すように各気流形成手段２６Ａ，２６Ｂを直列に対向配置して各気流形成手段２６Ａ，２６Ｂ間に気流Ｅあるいは気流Ｆを生成させ、各気流Ｅ，ＦによってワークＷを洗浄する構成としてもよい。
【０１０８】
以上、代表的な実施の形態を示したが、説明した実施例以外にも本発明の思想の範囲を逸脱しない範囲で様々な変形例が可能である。  
これまでに説明してきた洗浄装置を用いて粉塵の付着した製品またはその構成部品を乾式洗浄することにより、製品または部品の生産あるいは再使用時の洗浄工程での環境負荷を低く抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す乾式洗浄装置の（ａ）概略斜視図（ｂ）正面断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に用いられる（ａ）保持手段を説明する概略平面図（ｂ）図１のＸ−Ｘ断面図である。
【図３】本発明の一実施形態における洗浄媒体の挙動を説明する概略図である。
【図４】本発明の一実施形態に用いられる洗浄媒体による粉塵除去の様子を説明する該略図である。
【図５】本発明の一実施形態に使用可能な吸引口と流入口の構成を示す概略図である。
【図６】本発明の一実施形態に使用可能な隔壁の（ａ）平面図（ｂ）側面図である。
【図７】本発明の第２の実施例の構成を説明する（ａ）平面図（ｂ）正面図である。
【図８】本発明の第２の実施例に用いられる隔壁を説明する概略図である。
【図９】本発明の第３の実施例の構成を説明する（ａ）斜視図（ｂ）側面図である。
【図１０】本発明の第３の実施例を説明する正面断面図である。
【図１１】本発明に用いられるエアブローノズルの（ａ）制御構成図（ｂ）タイミングチャート（ｃ）他のタイミングチャートである。
【図１２】本発明の第４の実施例の構成を説明する斜視図である。
【図１３】本発明の第４の実施例を示す（ａ）部分断面平面図（ｂ）正面図である。
【図１４】本発明に用いられる円筒形状メッシュ及びエアブローノズルの断面図である。
【図１５】本発明の第５の実施例を示す斜視図である。
【図１６】本発明に用いられる円錐／円筒メッシュ付ノズルの斜視図である。
【図１７】本発明に用いられる円錐／円筒メッシュ付ノズルの（ａ）断面正面図（ｂ）側面図である。
【図１８】本発明の第２の実施形態を示す乾式洗浄装置の概略図である。
【図１９】本発明の第２の実施形態の変形例を示す乾式洗浄装置の概略図である。
【図２０】本発明の第２の実施形態の他の変形例を示す乾式洗浄装置の概略図である。
【図２１】本発明の第３の実施形態を示す乾式洗浄装置の概略図である。
【図２２】本発明の第３の実施形態の変形例を示す乾式洗浄装置の概略図である。
【符号の説明】
【０１１０】
２，２５  分離手段（メッシュ）
３  吸引手段
３ａ  吸引口
４  流入手段
４ａ  流入口
５  メッシュカバー
８  保持手段（ワーク保持手段）
１０，２７  洗浄槽
２６  気流形成手段
Ｍ  洗浄媒体
Ｓｐ  隔壁
Ｗ  被洗浄体（ワーク）
【図１】
0004598694.tif 000003
【図２】
0004598694.tif 000004
【図３】
0004598694.tif 000005
【図４】
0004598694.tif 000006
【図５】
0004598694.tif 000007
【図６】
0004598694.tif 000008
【図７】
0004598694.tif 000009
【図８】
0004598694.tif 000010
【図９】
0004598694.tif 000011
【図１０】
0004598694.tif 000012
【図１１】
0004598694.tif 000013
【図１２】
0004598694.tif 000014
【図１３】
0004598694.tif 000015
【図１４】
0004598694.tif 000016
【図１５】
0004598694.tif 000017
【図１６】
0004598694.tif 000018
【図１７】
0004598694.tif 000019
【図１８】
0004598694.tif 000020
【図１９】
0004598694.tif 000021
【図２０】
0004598694.tif 000022
【図２１】
0004598694.tif 000023
【図２２】
0004598694.tif 000024