(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の原液と第二の原液との供給に基づいて、薬液を調合する混合タンクと、
前記調合時に、前記混合タンク内の薬液を循環させる循環配管と、
前記循環配管から分岐され、前記混合タンク内に貯留された薬液を被供給装置に供給する供給配管と、
前記混合タンク内の薬液を、前記循環配管若しくは供給配管に送出するポンプと、
前記循環配管と前記供給配管との分岐部分、又は、前記分岐部分の上流且つ前記ポンプの下流に配置され、前記薬液の濃度を常時測定する単一の濃度計である測定装置と、
前記薬液の調合と供給動作とを制御するとともに、前記測定装置から出力される測定値に基づいて、前記混合タンク内の薬液の濃度を調整する制御装置とを備え、
前記混合タンクには、第一の原液としてスラリー原液が供給されるとともに、第二の原液として酸化剤が供給されて、該スラリー原液と酸化剤とが混合されたスラリーが薬液として生成され、前記測定装置は、前記スラリー中の酸化剤の濃度を常時測定し、
前記混合タンクは、第一の混合タンクと第二の混合タンクとからなり、前記制御装置は、第一の混合タンクと第二の混合タンクでスラリーの調合と、スラリーの供給とを交互に行うとともに、前記スラリーの調合時及び供給時に前記測定値に基づいて前記酸化剤の濃度を調整することを特徴とする薬液供給装置。
【請求項２】
前記測定装置は、前記スラリー中の酸化剤の濃度を常時測定する超音波式濃度計であり、
前記超音波式濃度計内において、前記スラリーを下方から上方に向かって通過させることを特徴とする請求項１記載の薬液供給装置。
【請求項３】
前記制御装置は、前記スラリーの濃度を調整する濃度コントロールユニットを備え、前記濃度コントロールユニットは、前記超音波式濃度計から出力される測定値に基づいて、前記酸化剤の供給量を制御することを特徴とする請求項２記載の薬液供給装置。
【請求項４】
前記スラリーの液面を検出するセンサを備え、
前記濃度コントロールユニットは、前記超音波式濃度計から出力される測定値と、あらかじめ設定されている設定値とを比較して、前記測定値と前記設定値との誤差と前記センサから得られる前記混合タンク内のスラリーの量とに基づいて前記酸化剤の追加投入量を算出して、前記混合タンクに追加投入することを特徴とする請求項３記載の薬液供給装置。
【請求項５】
前記濃度コントロールユニットは、前記スラリーの調合時に前記測定値が前記設定値を下回るように前記酸化剤を供給する一次調合と、前記測定値と設定値とが一致するように前記酸化剤を追加投入する二次調合とを行うことを特徴とする請求項４記載の薬液供給装置。
【請求項６】
前記酸化剤として、過酸化水素水を供給することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の薬液供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製造工程において、化学的機械研磨装置（以下、ＣＭＰ〈chemical mechanical polishing〉装置という）にスラリーを供給するスラリー供給装置に関するものである。
【０００２】
半導体製造工程で使用されるＣＭＰ装置は、ウェハ表面に形成されたタングステン膜、銅膜等の金属膜をスラリーと呼ばれる薬液で研磨する装置である。スラリーは、原液に研磨剤と酸化剤とを混合して生成される。近年の半導体装置の高集積化にともない、パターンの微細化が益々進んでいる。そして、更なるコストダウンの要請により、パターン寸法を安定化させて、歩留まりの向上を図る必要があり、そのために酸化剤の濃度を一定に管理する必要がある。
【０００３】
【従来の技術】
従来、ウェハ表面に形成されたタングステン膜等の金属膜を研磨するスラリーには、研磨剤としてシリカ、アルミナ、セリウム等の砥粒が使用され、酸化剤として硝酸第二鉄を使用したものがある。
【０００４】
このスラリーは、研磨剤を混合したスラリー原液と、酸化剤とのＰＨ値が大きく異なるとともに、スラリー原液と酸化剤の混合比は、スラリー原液：酸化剤＝１：１あるいは２：１であるため、スラリー原液と酸化剤との混合後のＰＨ値を管理することにより酸化剤の濃度を容易に管理可能である。
【０００５】
しかし、研磨剤と酸化剤との化学反応により砥粒が凝固しやすく、特に研磨剤としてアルミナを使用した場合には、砥粒の沈殿も早い。従って、研磨レートが不安定であるとともに、凝固した砥粒により研磨面にスクラッチが発生するという問題点がある。そこで、現在では酸化剤として過酸化水素水（Ｈ2Ｏ2）を使用するものが主流となっている。
【０００６】
過酸化水素水を酸化剤として使用したスラリーでは、過酸化水素水のＰＨ値は７.０の中性であり、スラリー原液と酸化剤との混合比も、スラリー原液：酸化剤＝１０:１以上である。
【０００７】
従って、スラリー原液に酸化剤を混合しても、ＰＨ値がほとんど変化しないので、ＰＨ値により酸化剤の濃度を管理することはできない。
そこで、スラリー中の過酸化水素水の濃度を測定するために、中和滴定を自動化した自動中和滴定装置をスラリー供給装置に組み込むことが提案されている。
【０００８】
しかし、自動中和滴定装置は分析に時間がかかる（最速でも１０分間隔）ため、酸化剤の濃度を常時監視することはできない。また、試薬を必要とするため、その試薬の補給が必要となり、分析間隔を短くすれば、試薬の補給間隔も短くなって、その補給作業が煩雑となる。さらに、分析作業により発生する廃液を浄化するための排水処理も必要となる。
【０００９】
また、過酸化水素水を混合したスラリーでは、図９に示すように、過酸化水素水の分解により、その濃度Ｃが時間の経過とともに低下する。このため、酸化剤の濃度を一定に維持するために、過酸化水素水の濃度を測定し、不足分を補充する作業が必要となる。
【００１０】
上記自動中和滴定装置は、このような不足分を補充するための濃度測定には適しているが、酸化剤の濃度を常時確認するために、測定結果を迅速に得る必要がある場合には、不適である。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
過酸化水素水の原液の濃度は、揮発により常に一定ではない。従って、スラリー原液と過酸化水素水とを所定の混合比で混合しても、スラリー中の過酸化水素水の濃度は一定とならず、所定の濃度を越えてしまうこともある。
【００１２】
この場合には、再度スラリー原液を補充し、さらに過酸化水素水を補充して、過酸化水素水の濃度を調整する必要があり、その作業が煩雑である。
また、スラリーを所定の濃度で調合後にも、時間の経過とともに過酸化水素水とスラリーとが化学的に反応して、スラリーの成分が劣化し、研磨レートの変動が発生する。
【００１３】
このため、常に新鮮なスラリーを研磨機に供給するために、特開平１１−１２６７６４では２タンク方式のスラリー供給装置が開示されている。
ところが、このような２タンク方式のスラリー供給装置では、各タンクでスラリーの調合と、調合されたスラリーを使い切ることとを交互に繰り返す。従って、調合時にも過酸化水素水の濃度を正確に調整しないと、各バッチで過酸化水素水の濃度にばらつきが出てしまうという問題点がある。
【００１４】
この発明の目的は、薬液の調合時及び供給時に、薬液の原料液の混合濃度を常時測定して、その測定結果に基づいて混合濃度を調整し得る薬液供給装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
図１に示すように、混合タンク１，２は、第一の原液と第二の原液との供給に基づいて薬液を調合し、その調合時には混合タンク１，２内の薬液がポンプＰ３，Ｐ４を介して循環配管１３ａ，１３ｂで循環され、薬液の供給時には混合タンク１，２内に貯留された薬液がポンプＰ３，Ｐ４及び供給配管９を介して被供給装置１０に供給される。循環配管１３ａ，１３ｂと供給配管９との分岐部分、又は、前記分岐部分の上流且つポンプＰ３，Ｐ４の下流に配置された単一の濃度計である測定装置８ａ，８ｂは、前記薬液の濃度を常時測定し、制御装置１６は前記薬液の調合と供給動作とを制御するとともに、前記測定装置８ａ，８ｂから出力される測定値に基づいて、前記混合タンク１，２内の薬液の濃度を調整する。
また、混合タンク１，２には、第一の原液としてスラリー原液が供給されるとともに、第二の原液として酸化剤が供給されて、該スラリー原液と酸化剤とが混合されたスラリーが薬液として生成され、前記測定装置８ａ，８ｂは、前記スラリー中の酸化剤の濃度を常時測定する。さらに、前記混合タンク１，２は、第一の混合タンク１と第二の混合タンク２とからなり、前記制御装置１６は、第一の混合タンク１と第二の混合タンク２でスラリーの調合と、スラリーの供給とを交互に行うとともに、前記スラリーの調合時及び供給時に前記測定値に基づいて前記酸化剤の濃度を調整する。
【００１６】
また、図３に示すように、濃度計８ａ，８ｂは、薬液としてのスラリーがその内部を下方から上方に向かって通過するように配設される。
【００１７】
【発明の実施の形態】
（第一の実施の形態）
図１は、この発明を具体化したスラリー供給装置の第一の実施の形態を示す。このスラリー供給装置は、特開平１１−１２６７６４と同様に、第一及び第二の混合タンク１，２を備え、一方のタンクでスラリーの供給動作を行っているとき、他方のタンクではスラリーの調合動作を行って新鮮なスラリーを連続して供給可能としたものである。
【００１８】
前記第一及び第二の混合タンク１，２には、第一の原液タンク３からポンプＰ１を介して、あらかじめ研磨剤を混合したスラリー原液が供給される。
前記第一の混合タンク１には、第二の原液タンク４からポンプＰ２及び開閉弁５ａを介して酸化剤である過酸化水素水が供給され、前記第二の混合タンク２には、第二の原液タンク４からポンプＰ２及び開閉弁５ｂを介して過酸化水素水が供給される。
【００１９】
前記開閉弁５ａ，５ｂは、濃度コントロールユニット６から出力される制御信号に基づいて、過酸化水素水の流量を制御する。前記濃度コントロールユニット６は、このスラリー供給装置を制御する制御装置１６の一部を構成する。
【００２０】
前記第一及び第二の混合タンク１，２にはそれぞれ攪拌機７ａ，７ｂが設けられ、第一の原液タンク３から供給されるスラリー原液と、第二の原液タンク４から供給される過酸化水素水とを攪拌するようになっている。
【００２１】
そして、第一の混合タンク１でスラリーの調合が行われるとき、前記第一の混合タンク１は、ポンプＰ３及び濃度計８ａを介して循環配管１３ａに接続される。そして、ポンプＰ３の作動により、第一の混合タンク１内で調合されるスラリーが循環配管１３ａを介して循環しながら同タンク１内で攪拌される。
【００２２】
また、第二の混合タンク２でスラリーの調合が行われるとき、前記第一の混合タンク２は、ポンプＰ４及び濃度計８ｂを介して循環配管１３ｂに接続される。そして、ポンプＰ４の作動により、第二の混合タンク２内で調合されるスラリーが循環配管１３ｂを介して循環しながら同タンク２内で攪拌される。
【００２３】
このとき、前記濃度計８ａ，８ｂは、各混合タンク１，２から循環配管１３ａ，１３ｂに供給されるスラリーの過酸化水素水の濃度を検出して、その検出信号を前記濃度コントロールユニット６に出力する。
【００２４】
前記第一の混合タンク１からＣＭＰ装置１０にスラリーが供給されるとき、前記第一の混合タンク１は、ポンプＰ３及び濃度計８ａを介して供給配管９に接続される。そして、ポンプＰ３の作動により供給配管９を介してＣＭＰ装置１０にスラリーを供給可能となっている。
【００２５】
前記第二の混合タンク２からＣＭＰ装置１０にスラリーが供給されるとき、前記第二の混合タンク２は、ポンプＰ４及び濃度計８ｂを介して供給配管９に接続される。そして、ポンプＰ４の作動により供給配管９を介してＣＭＰ装置１０にスラリーを供給可能となっている。
【００２６】
このとき、前記濃度計８ａ，８ｂは、各混合タンク１，２からＣＭＰ装置１０に供給されるスラリーの過酸化水素水の濃度を検出して、その検出信号を前記濃度コントロールユニット６に出力する。
【００２７】
前記濃度計８ａの取り付け位置の詳細を図２に従って説明すると、濃度計８ａは、ポンプＰ３の直後において上下方向に配設される配管１７の中途部分に介在され、ポンプＰ３から吐出されるスラリーが濃度計８ａ内を下方から上方に向かって通過するように構成される。そして、濃度計８ａを通過したスラリーは開閉弁１８及び前記供給配管９を経て、前記ＣＭＰ装置１０に供給される。
【００２８】
前記濃度計８ａの具体的構成を図３に従って説明する。濃度計８ａは、例えば公知の超音波式濃度計で構成され、その内部には測定部１１と反射部１２とが対向して設けられ、測定部１１から出力された超音波が反射部１２で反射されて測定部１１に戻るまでの時間を計測して、スラリーの音速を測定することにより、過酸化水素水の濃度を測定する。
【００２９】
そして、スラリーが濃度計８ａ内を下方から上方に向かって通過する際、スラリー中に含まれる気泡Ｂが測定部１１及び反射部１２に付着しようとしても、ポンプＰ３から吐出されるスラリーの勢いにより上方へ吹き飛ばされる。濃度計８ｂの構成も濃度計８ａと同様である。
【００３０】
前記濃度コントロールユニット６は、前記濃度計８ａ，８ｂから出力される検出信号に基づいて、前記混合タンク１，２内のスラリーの過酸化水素水の濃度が所定値となるように、前記開閉弁５ａ，５ｂを制御する。
【００３１】
前記第一及び第二の混合タンク１，２には、スラリーの液面を検出するセンサー（図示しない）がそれぞれ設けられ、その検出信号は前記制御装置１６に出力される。
【００３２】
また、各混合タンク１，２にスラリー原液あるいは過酸化水素水を供給するためのポンプＰ１，Ｐ２及び各混合タンク１，２からスラリーを吐出するためのポンプＰ１，Ｐ２は、前記制御装置１６により制御され、制御装置１６はポンプＰ１，Ｐ２の回転量により、各タンク１，２へのスラリー原液あるいは過酸化水素水の供給量を把握可能となっている。
【００３３】
次に、上記のように構成されたスラリー供給装置の動作を説明する。
第一及び第二の混合タンク１，２では、スラリーの調合と、ＣＭＰ装置１０へのスラリーの供給が交互に行われる。例えば第一の混合タンク１でスラリーの調合が行われるとき、同タンク１には第一の原液タンク３からスラリー原液が供給されるとともに、第二の原液タンク４から過酸化水素水が供給されて、攪拌機７ａで攪拌される。
【００３４】
第一の混合タンク１内のスラリーは、同タンク１からポンプＰ３、濃度計８ａ及び循環配管１３ａを介して循環し、かつ攪拌されて、濃度計８ａにより循環するスラリー内の過酸化水素水の濃度が常時検出される。
【００３５】
そして、濃度コントロールユニット６による開閉弁５ａの制御に基づいて、過酸化水素水の供給量が調整され、所定濃度の過酸化水素水が混合されたスラリーが生成される。
【００３６】
このとき、第二の混合タンク２では、ＣＭＰ装置１０へスラリーが供給される。すなわち、第二の混合タンク２内のスラリーは、同タンク２からポンプＰ４、濃度計８ｂ及び供給配管９を介してＣＭＰ装置１０に供給される。
【００３７】
そして、濃度計８ｂによりＣＭＰ装置１０に供給されるスラリー内の過酸化水素水の濃度が常時検出され、濃度コントロールユニット６による開閉弁５ｂの制御に基づいて、供給中の過酸化水素水の濃度が調整される。
【００３８】
前記制御装置１６及び濃度コントロールユニット６の動作を図４及び図５に従って説明する。
第一の混合タンク１あるいは第二の混合タンク２でスラリーの調合を行うとき、制御装置はまずポンプＰ１を作動させて第一の原液タンク３から第一の混合タンク１若しくは第二の混合タンク２にスラリー原液の投入を開始する（ステップ１）。
【００３９】
次いで、スラリー原液が所定量投入されると、ポンプＰ１の作動を停止させ（ステップ２）、ポンプＰ２を作動させるとともに開閉弁５ａ若しくは同５ｂを開放して、第二の原液タンク４から酸化剤すなわち過酸化水素水を当該タンクに投入する（ステップ３）。
【００４０】
そして、過酸化水素水を所定量投入後、ポンプＰ２の作動を停止させるとともに開閉弁を閉じる（ステップ４）。このとき、過酸化水素水の投入量は、スラリー中の過酸化水素水の濃度が所定値となる投入量より少なめに設定される。
【００４１】
次いで、当該タンクでは、攪拌機７ａ若しくは同７ｂを作動させて、あらかじめ設定された所定時間、タンク内のスラリーの攪拌を行う（ステップ５）。このようなステップ１からステップ５の処理により一次調合が終了する。
【００４２】
次いで、濃度計８ａ若しくは同８ｂによりスラリー中の過酸化水素水の濃度を測定し（ステップ６）、その測定値とあらかじめ設定されている設定値とを比較する(ステップ７)。そして、測定値と設定値とが一致すると、調合処理動作を終了する。
【００４３】
ステップ７において、測定値の濃度が設定値より低い場合には、その誤差に基づいて過酸化水素水の追加量を算出し（ステップ８）、ポンプＰ２を作動させる頭ともに開閉弁を開放して、その追加量分の過酸化水素水を投入する（ステップ９）。
【００４４】
次いで、当該タンクでは、攪拌機７ａ若しくは同７ｂを作動させて、あらかじめ設定された所定時間、タンク内の攪拌を行い（ステップ１０）、その後ステップ６に復帰する。
【００４５】
そして、測定値と設定値とが一致するまでステップ６からステップ１０が繰り返され、測定値と設定値とが一致すると、調合処理動作を終了する。このようなステップ６からステップ１０の処理により二次調合が終了する。
【００４６】
第一の混合タンク１あるいは第二の混合タンク２からＣＭＰ装置１０にスラリーの供給を行っているとき、図５に示すように、濃度コントロールユニット６では濃度計８ａ若しくは同８ｂの検出信号を常時監視している（ステップ１１，１２）。
【００４７】
そして、測定値が設定値を下回ったとき、測定値と設定値との誤差と、当該混合タンク内のスラリーの残量に基づいて過酸化水素水の追加量を算出し（ステップ１３）、ポンプＰ２を作動させるとともに開閉弁５ａ若しくは同５ｂを開放して、その追加量分の過酸化水素水を投入する（ステップ１４）。
【００４８】
そして、測定値と設定値とが一致するまでステップ１１からステップ１４を繰り返しながらスラリーの供給を継続する。
このような動作により、図７に示すように、スラリーの供給動作時にスラリー中の過酸化水素水の濃度が化学反応等により時間の経過とともに徐々に低下しても、その濃度は常時監視されていて各供給ポイントＰＰで過酸化水素水が補充されるため、スラリー中の過酸化水素水の濃度が一定に維持される。
【００４９】
上記のように構成されたスラリー供給装置では、次に示す作用効果を得ることができる。
（１）各混合タンク１，２でスラリーの調合と、ＣＭＰ装置１０へのスラリーの供給を交互に行うことができるので、ＣＭＰ装置１０に常に新鮮なスラリーを供給して、研磨レートを一定に維持することができる。
（２）各混合タンク１，２におけるスラリーの調合時には、濃度計８ａ，８ｂにより調合されたスラリーの濃度を測定し、その測定値とあらかじめ設定された設定値とを濃度コントロールユニット６で比較する。そして、その比較動作を常時行いながら、その比較結果に基づいて過酸化水素水を補充して濃度を調整することができる。従って、常に過酸化水素水が所定の濃度で混合されたスラリーを生成することができる。
（３）各混合タンク１，２におけるスラリーの一次調合時において、過酸化水素水の濃度が設定値より少なめとなるように、過酸化水素水の投入量が設定される。このため、第二の原液タンク４内の過酸化水素水の濃度にばらつきが生じても、一次調合におけるスラリー中の過酸化水素水の濃度が設定値を上回ることはない。従って、一次調合に続く二次調合では濃度の検出に基づく過酸化水素水の追加処理のみにより濃度調整を行うことができるので、濃度調整制御を迅速にかつ簡便に行うことができる。
（４）各混合タンク１，２からＣＭＰ装置１０へのスラリーの供給時には、スラリー中の過酸化水素水の濃度を濃度計８ａ，８ｂで常時監視し、濃度が不足する場合には直ちにその不足分を追加して投入することができる。従って、ＣＭＰ装置１０に供給するスラリー中の過酸化水素水の濃度を一定に維持することができる。
（５）濃度計８ａ，８ｂは、各混合タンク１，２の直後に配設され、スラリーは濃度計８ａ，８ｂ内を下方から上方に向かって勢いよく通過する。従って、濃度計８ａ，８ｂの測定部１１及び反射部１２に付着しようとする気泡を、濃度計８ａ，８ｂ内を通過するスラリーにより確実に除去して、正確な濃度を測定することができる。濃度計の測定部及び反射部に気泡が付着したり、除去されたりすると、図８に示すように、気泡が付着した状態から急に除去される検出ポイントＣＰにおいて、測定される濃度が大きく変動して測定値の信頼性が損なわれるが、この実施の形態では、濃度計８ａ，８ｂの測定部１１及び反射部１２への気泡の付着を防止することができるので、正確な濃度を測定することができる。
（第二の実施の形態）
図６は、スラリー供給装置の第二の実施の形態を示す。この実施の形態は、前記第一の実施の形態の濃度計８ａ，８ｂに代えて、濃度自動滴定装置を使用したものであり、その他の構成は第一の実施の形態と同様である。
【００５０】
すなわち、ポンプＰ３，Ｐ４から送出されるスラリーは、それぞれ抽出バルブ１４ａ，１４ｂを介して循環配管１３ａ，１３ｂあるいは供給配管９に送られる。
【００５１】
前記抽出バルブ１４ａ，１４ｂは、各混合タンク１，２におけるスラリーの調合時あるいはＣＭＰ装置１０へのスラリーの供給時に、ポンプＰ３，Ｐ４から送出されるスラリーの一部を常時濃度自動滴定装置１５に供給する。
【００５２】
濃度自動滴定装置１５は、供給されるスラリーに基づいて中和滴定法によりスラリー中の過酸化水素水の濃度を自動的に測定し、その測定値を濃度コントロールユニット６に出力する。
【００５３】
濃度コントロールユニット６は、濃度自動滴定装置１５から出力される測定値に基づいて前記第一の実施の形態と同様に動作する。
上記のように構成されたスラリー供給装置では、濃度自動滴定装置１５の測定速度が第一の実施の形態の濃度計８ａ，８ｂに比して遅いため、第一の実施の形態に比して、スラリー供給時における濃度調整の応答速度が劣る。
【００５４】
しかし、スラリー調合時において、スラリー中の過酸化水素水の濃度を測定し、不足する過酸化水素を再投入する処理を行う場合には、十分に対応可能である。
【００５５】
上記各実施の形態は、次に示すように変更することもできる。
・酸化剤は、過酸化水素水に限定されるものではない。
・混合タンクは、２タンク以外任意の数としてもよい。
・酸化剤は、メスシリンダーで計量して各混合タンク１，２に供給するようにしてもよい。
・・酸化剤は、重量計で計量して各混合タンク１，２に供給するようにしてもよい。
【００５６】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明は薬液の調合時及び供給時に、薬液の原料液の混合濃度を常時測定して、その測定結果に基づいて混合濃度を調整し得る薬液供給装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第一の実施の形態を示す概要図ある。
【図２】  濃度計の取り付け位置示す概要図である。
【図３】  濃度計を示す概要図である。
【図４】  濃度コントロールユニットの動作を示すフローチャート図である。
【図５】  濃度コントロールユニットの動作を示すフローチャート図である。
【図６】  第二の実施の形態を示す概要図である。
【図７】  スラリー供給時の酸化剤の濃度を示す説明図である。
【図８】  気泡により濃度計の測定値が変動する場合を示す説明図である。
【図９】  スラリー中の過酸化水素水の濃度の時間経過にともなう変化を示す説明図である。
【符号の説明】
１，２      混合タンク
８ａ，８ｂ    濃度計
９          供給配管
１３ａ，１３ｂ      循環配管
１６        制御装置
Ｐ３，Ｐ４          ポンプ
【図１】
0004456308.tif 000002
【図２】
0004456308.tif 000003
【図３】
0004456308.tif 000004
【図４】
0004456308.tif 000005
【図５】
0004456308.tif 000006
【図６】
0004456308.tif 000007
【図７】
0004456308.tif 000008
【図８】
0004456308.tif 000009
【図９】
0004456308.tif 000010