(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
近接場光発生素子を有する近接場光ヘッドに光束を導いて近接場光を発生させ、該近接場光を利用して記録媒体に情報を記録再生させるサスペンションであって、
樹脂性材料により板状に形成され、前記近接場光ヘッドに先端が接続されて前記光束を該近接場光ヘッドに導く可撓性の光導波路と、
金属性材料によりシート状に形成され、前記光導波路を間に挟んだ状態で上下から挟持固定する第１のビーム及び第２のビームと、
前記近接場光ヘッドを、前記記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で、前記第１のビームの先端に固定させるジンバル手段とを備え、
前記第１のビーム、前記第２のビーム及び前記光導波路が、前記記録媒体の表面に平行な方向に移動可能とされていることを特徴とするサスペンション。
【請求項２】
請求項１に記載のサスペンションにおいて、
前記第１のビーム又は前記第２のビームのうち少なくともいずれか一方のビームには、先端と基端との間の中間位置において、短手方向に延びた開口が形成されていることを特徴とするサスペンション。
【請求項３】
請求項１に記載のサスペンションにおいて、
前記第１のビーム又は前記第２のビームのうち少なくともいずれか一方のビームは、先端と基端との間の中間位置において、一定距離の隙間を空けた状態で２つに分断されていることを特徴とするサスペンション。
【請求項４】
請求項３に記載のサスペンションにおいて、
前記第１のビーム及び前記第２のビームが、共に２つに分断されていることを特徴とするサスペンション。
【請求項５】
請求項４に記載のサスペンションにおいて、
前記光導波路の外表面には、少なくとも前記隙間が空いた分断領域内に収まるように金属薄膜が積層されていることを特徴とするサスペンション。
【請求項６】
請求項２又は３に記載のサスペンションおいて、
前記光導波路は、前記いずれか一方のビームの中間位置に相当する位置において、短手方向に沿う断面積が他の位置における断面積よりも小さくなるように形成されていることを特徴とするサスペンション。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載のサスペンションと、
前記光導波路の基端側から該光導波路に対して前記光束を入射させる光源と、
前記第１のビーム、前記第２のビーム及び前記光導波路の基端側を支持すると共に、これらを前記記録媒体の表面に平行な方向に向けて移動させるモータ部と、
前記記録媒体を所定の方向に回転させる回転駆動部とを備えていることを特徴とする情報記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、近接場光を発生させるための近接場光発生素子を有する近接場光ヘッドを先端に有し、高密度な情報の記録再生を行うサスペンション、及び、該サスペンションを有する情報記録再生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータ機器におけるハードディスク等の容量増加に伴い、単一記録面内における情報の記録密度が増加している。例えば、磁気ディスクの単位面積当たりの記録容量を多くするためには、面記録密度を高くする必要がある。ところが、記録密度が高くなるにつれて、記録媒体上で１ビット当たりの占める記録面積が小さくなっている。このビットサイズが小さくなると、１ビットの情報が持つエネルギーが、室温の熱エネルギーに近くなり、記録した情報が熱揺らぎ等のために反転したり、消えてしまったりする等の熱減磁の問題が生じてしまう。
【０００３】
一般的に用いられてきた面内記録方式では、磁化の方向が記録媒体の面内方向に向くように磁気を記録する方式であるが、この方式では上述した熱減磁による記録情報の消失等が起こり易い。そこで、このような不具合を解消するために、記録媒体に対して垂直な方向に磁化信号を記録する垂直記録方式に移行しつつある。この方式は、記録媒体に対して、単磁極を近づける原理で磁気情報を記録する方式である。この方式によれば、記録磁界が記録膜に対してほぼ垂直な方向を向く。垂直な磁界で記録された情報は、記録膜面内においてＮ極とＳ極とがループを作り難いため、エネルギー的に安定を保ち易い。そのため、この垂直記録方式は、面内記録方式に対して熱減磁に強くなっている。
【０００４】
しかしながら、近年の記録媒体は、より大量且つ高密度情報の記録再生を行いたい等のニーズを受けて、さらなる高密度化が求められている。そのため、隣り合う磁区同士の影響や、熱揺らぎを最小限に抑えるために、保磁力の強いものが記録媒体として採用され始めている。そのため、上述した垂直記録方式であっても、記録媒体に情報を記録することが困難になっていた。
【０００５】
そこで、この不具合を解消するために、近接場光により磁区を局所的に加熱して一時的に保磁力を低下させ、その間に書き込みを行うハイブリッド磁気記録方式が提供されている。このハイブリッド磁気記録方式は、微小領域と、近接場光ヘッドに形成された光の波長以下のサイズの光学的開口との相互作用により発生する近接場光を利用する方式である。このように、光の回折限界を超えた微小な光学的開口、即ち、近接場光発生素子を有する近接場光ヘッドを利用することで、従来の光学系において限界とされていた光の波長以下となる領域における光学情報を扱うことが可能となる。よって、従来の光情報記録再生装置等を超える記録ビットの高密度化を図ることができる。
なお、近接場光発生素子は、上述した光学的微小開口によるものだけでなく、例えば、ナノメートルサイズに形成された突起部により構成しても構わない。この突起部によっても、光学的微小開口と同様に近接場光を発生させることができる。
【０００６】
上述したハイブリッド磁気記録方式による情報記録再生装置としては、各種のものが提供されているが、その１つとして、近接場光の生成を行うための光を近接場光ヘッドに供給することで、微小開口から十分大きな近接場光を生成し、超高分解能の再生記録、高速記録再生、高ＳＮ比化を図ることができる情報記録再生装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
この情報記録再生装置５０は、図１６に示すように、金属材料で形成されたサスペンションアーム５１と、該サスペンションアーム５１の先端に形成されたジンバル５２と、該ジンバル５２を介してサスペンションアーム５１に固定された近接場光ヘッド（近視野光ヘッド）５３とを備えている。  
サスペンションアーム５１は、基端側が図示しないボイスコイルモータに接続されており、該モータの駆動によって水平方向に移動可能とされている。ジンバル５２は、近接場光ヘッド５３を、記録媒体５４の表面から所定距離（例えば、数十ｎｍ）離間した一定の高さで浮上させるように姿勢を安定させるものである（フライングヘッド技術）。近接場光ヘッド５３は、近接場光を発生させる図示しない微小開口を有すると共に、後述するレーザ光５５からの光束が入射される図示しない光結合部を有している。
【０００８】
また、サスペンションアーム５１の表面には、レーザー５５からレンズ５６を介して出射された光束を、ジンバル５２まで導く光ファイバー５７が基端側から先端側に亘って固定されていると共に、該光ファイバー５７の先端から出射された光束を、ジンバル５２に導くレンズ５８及びミラー５９が固定されている。
また、記録媒体５４を挟んで近接場光ヘッド５３に対向する位置に、受光ヘッド６０が配置されている。この受光ヘッド６０は、上記サスペンションアーム５１と同様に形成されたサスペンションアーム６１の先端に固定されており、近接場光と記録媒体５４との相互作用の結果発生した散乱光を受光して電気信号に変換して回路系６２に出力している。回路系６２は、この電気信号を増幅し、情報の再生信号を生成している。
【０００９】
このように構成された情報記録再生装置５０により、記録媒体５４に情報を書き込む場合には、まず、ボイスコイルモータによりサスペンションアーム５１を水平方向にスキャン移動させて、記録媒体５４の所望する位置に近接場光ヘッド５３を移動させる。この際、近接場光ヘッド５３は、ジンバル５２を介してサスペンションアーム５１に固定されているので、高速で回転している記録媒体５４のうねりに対応して姿勢が安定する。つまり、フライングヘッド技術により、記録媒体５４から一定の高さを維持するように浮上している。これにより、近接場光ヘッド５３の微小開口と記録媒体５４との距離が常に一定に維持される。
【００１０】
次いで、レーザー５５より光束を出射させる。出射された光束は、レンズ５６を介して光ファイバー５７に入り、該光ファイバー５７内を通ってサスペンションアーム５１の先端まで導かれる。そして、光ファイバー５７の先端から出射した光束は、レンズ５８を通ってミラー５９に達し、該ミラー５９で反射して角度が変化する。角度が変化した光束は、光結合部付きの近接場光ヘッド５３に入射して、微小開口まで導かれる。これにより、微小開口の近傍に、近接場光が発生する。この近接場光によって、記録媒体５４は局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。その結果、記録媒体５４に情報を書き込むことができる。
なお、記録媒体５４から情報を再生する場合には、上述したように近接場光によって発生した散乱光を、受光ヘッド６０で受光することで読み取りを行うことができる。
【特許文献１】特開２００１−２９７４６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上記特許文献１に記載されている従来の情報記録再生装置では、以下の課題が残されていた。
即ち、サスペンションアーム５１の表面には、近接場光を作り出すための光束を導く光ファイバー５７が基端側から先端側に亘って固定されているので、サスペンションアーム５１及びジンバル５２の動きを妨げてしてしまい、近接場光ヘッド５３の姿勢を不安定にしていた。つまり、近接場光ヘッド５３は、本来サスペンションアーム５１及びジンバル５２の動きによって、高速に回転する記録媒体のうねりに対応しながら一定の高さで浮上するように姿勢制御されている。ところが、サスペンションアーム５１の表面に光ファイバー５７が固定されているので、該光ファイバー５７が突っ張ってしまい、サスペンションアーム５１及びジンバル５２の動きを妨げてしまっていた。そのため、近接場光ヘッド５３と記録媒体５４との距離が変化してしまい、情報の記録再生を高精度に行うことができない場合があった。また、光ファイバー５７が突っ張るだけでなく、該光ファイバー５７の重さも影響するものであった。
【００１２】
また、ボイルコイルモータの駆動によりサスペンションアーム５１を移動させて、記録媒体５４上をスキャンする度に、光ファイバー５７が抵抗となって風損が生じていた。そのため、スキャン速度が低減してしまい、性能低下を招いていた。また、抵抗が大きいため、スキャンに必要な消費電力が増大していた。
【００１３】
更に、サスペンションアーム５１は、強度を持たせるため金属材料により形成されているので、重量が大きかった。特に、このサスペンションアーム５１の重量に加え、光ファイバー５７の重量も加味されるので、全体的な重量軽減が困難であった。そのため、衝撃等が外力から加わったときに、自身の重量に起因してエネルギーが大きくなってしまい、耐衝撃性が劣ってしまうものであった。その結果、信頼性に劣るものであった。
【００１４】
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、近接場光ヘッドの姿勢制御を高精度に行って情報の記録、再生を正確に行うことができ、重量の軽減化、風損の低減化を図ることができるサスペンション及び該サスペンションを有する情報記録再生装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、前記課題を解決するために以下の手段を提供する。  
本発明のサスペンションは、近接場光発生素子を有する近接場光ヘッドに光束を導いて近接場光を発生させ、該近接場光を利用して記録媒体に情報を記録再生させるサスペンションであって、樹脂性材料により板状に形成され、前記近接場光ヘッドに先端が接続されて前記光束を該近接場光ヘッドに導く可撓性の光導波路と、金属性材料によりシート状に形成され、前記光導波路を間に挟んだ状態で上下から挟持固定する第１のビーム及び第２のビームと、前記近接場光ヘッドを、前記記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で、前記第１のビームの先端に固定させるジンバル手段とを備え、前記第１のビーム、前記第２のビーム及び前記光導波路が、前記記録媒体の表面に平行な方向に移動可能とされていることを特徴とするものである。
【００１６】
この発明に係るサスペンションにおいては、まず、回転している光ディスク等の記録媒体に対して、両ビーム及び両ビームの間に挟まれた光導波路を記録媒体の表面に平行な方向に移動させてスキャンさせる。これにより、記録媒体上の所望する位置に近接場光ヘッドを位置することができる。次いで、光導波路によって光束を導いて、該光束を近接場光ヘッドに入射させる。この光束の入射により、近接場光ヘッドが有する近接場光発生素子の周囲に近接場光が発生する。なお、この近接場光発生素子とは、光学的な微小開口やナノメートルサイズに形成された突起部から構成されているものである。
記録媒体は、この近接場光によって局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。その結果、近接場光ヘッドを用いて記録媒体に情報を記録、再生することができる。
【００１７】
ここで、近接場光ヘッドは、両ビーム及び光導波路によって支持されていると共に所定の力で記録媒体側に押さえ付けられている。また、これと同時に近接場光ヘッドは、回転する記録媒体によって生じる風圧の影響を受けて、浮上する力を受けている。この両者の力のバランスによって、近接場光ヘッドは記録媒体上から一定の距離離間した位置に浮遊している状態となっている。
特に、近接場光を発生させる光導波路が、可撓性を有する板状に形成されていると共に両ビーム間に挟まれているので、両ビームの撓みに追従して変形し易い。つまり、従来の光ファイバーのように突っ張ってしまうことがなく、両ビームの動きを妨げ難い。よって、両ビームを確実に撓ませて、近接場光ヘッドを安定して浮上させることができる。
【００１８】
また、近接場光ヘッドは、ジンバル手段によって、記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態、即ち、２軸を中心として捻れることができるようになっている。これにより、記録媒体にうねりがあったとしても、うねりに起因する風圧変化を捩じりにより吸収でき、浮上している際の近接場光ヘッドの姿勢を一定の姿勢に制御することができる。この場合においても、光導波路が上述した理由により突っ張ってしまうことがないので、高精度に姿勢を制御することができる。
これらの結果、近接場光ヘッドの浮上及び姿勢制御を、従来と比べてより安定させることができ、情報の記録再生を正確に行うことができる。
【００１９】
また、可撓性を有する板状の光導波路を両ビームで挟む構成であるので、光導波路自体にも強度を持たせることができる。そのため、金属材料により形成される両ビームの厚みを極力薄く（シート状）したとしても、従来と比べて全体的な強度が低下する恐れがない。よって、両ビームの重量をできるだけ軽くすることができる。その結果、全体の重量を従来と比べて軽くすることができ、重量の軽減化を図ることができる。
更に、光導波路は、両ビームによって挟まれているので、記録媒体上をスキャンさせる際に、従来の光ファイバーとは異なり、直接風が当たらず風損が生じ難い。よって、スキャン速度の低下を防止でき、スキャン性能を向上することができる。
【００２０】
このように本発明のサスペンションによれば、近接場光ヘッドの姿勢制御を高精度に行って情報の記録、再生を正確に行うことができ、重量の軽減化、風損の低減化を図ることができる。
【００２１】
また、本発明のサスペンションは、上記本発明のサスペンションにおいて、前記第１のビーム又は前記第２のビームのうち少なくともいずれか一方のビームには、先端と基端との間の中間位置において、短手方向に延びた開口が形成されていることを特徴とするものである。
【００２２】
この発明に係るサスペンションにおいては、開口が形成された少なくともいずれか一方のビームが、短手方向（幅方向）に沿った断面積が他の領域に比べて小さくなっている。そのため、この開口を中心にビームは記録媒体の表面に垂直な方向に向けて撓み易くなっている。よって、近接場光ヘッドは、記録媒体からの風圧を受けたときに、容易に浮上して安定し易い。その結果、さらに正確な情報の記録再生を行うことができる。
【００２３】
また、本発明のサスペンションにおいては、上記本発明のサスペンションにおいて、前記第１のビーム又は前記第２のビームのうち少なくともいずれか一方のビームが、先端と基端との間の中間位置において、一定距離の隙間を空けた状態で２つに分断されていることを特徴とするものである。
【００２４】
この発明に係るサスペンションにおいては、少なくともいずれか一方のビームが、中間位置において２つに分断されているので、この分断領域を中心に記録媒体の表面に垂直な方向に向けて撓み易くなっている。よって、近接場光ヘッドは、記録媒体からの風圧を受けたときに、容易に浮上して安定し易い。その結果、さらに正確な情報の記録再生を行うことができる。
【００２５】
また、本発明のサスペンションは、上記本発明のサスペンションにおいて、前記第１のビーム及び前記第２のビームが、共に２つに分断されていることを特徴とするものである。
【００２６】
この発明に係るサスペンションにおいては、両ビームが共に２つに分断されているので、この中間位置では板状の光導波路だけが露出している状態となっている。そのため、サスペンションは、両ビームの剛性に影響されずに、可撓性を有する光導波路の弾性のみで撓む。よって、さらに撓み易くなり近接場光ヘッドをさらに安定して浮上させることができる。
【００２７】
また、本発明のサスペンションは、上記本発明のサスペンションにおいて、前記光導波路の外表面には、少なくとも前記隙間が空いた分断領域内に収まるように、金属薄膜が積層されていることを特徴とするものである。
【００２８】
この発明に係るサスペンションにおいては、少なくとも両ビームが分断されている分断領域、即ち、光導波路が露出している領域において、該光導波路上に金属薄膜が積層されて強度的な補強がされている。そのため、近接場光ヘッドの浮上に伴って、光導波路に撓み変形に伴う繰り返し荷重が作用したとしても、光導波路の強度低下を極力防止することができる。よって、耐久性を向上させることができる。なお、厚みの薄い金属薄膜であるので、近接場光ヘッドの浮上に影響を与えることはない。
【００２９】
また、本発明のサスペンションは、上記本発明のサスペンションおいて、前記光導波路が、前記いずれか一方のビームの中間位置に相当する位置において、短手方向に沿う断面積が他の位置における断面積よりも小さくなるように形成されていることを特徴とするものである。
【００３０】
この発明に係るサスペンションにおいては、板状の光導波路のが、中間位置において断面積が小さくなるように、例えば、幅狭になるように形成されている。よって、板状の光導波路自身も、この部分を中心に撓み易くなっている。つまり、少なくともいずれか一方のビームと光導波路は、共に中間位置を中心に撓み易くなっている。従って、近接場光ヘッドが、さらに浮上し易い。
【００３１】
また、本発明の情報岐路着再生装置は、上記本発明のいずれかに記載のサスペンションと、前記光導波路の基端側から該光導波路に対して前記光束を入射させる光源と、前記第１のビーム、前記第２のビーム及び前記光導波路の基端側を支持すると共に、これらを前記記録媒体の表面に平行な方向に向けて移動させるモータ部と、前記記録媒体を所定の方向に回転させる回転駆動部とを備えていることを特徴とするものである。
【００３２】
この発明に係る情報記録再生装置においては、回転駆動部により記録媒体を回転させた後、モータ部により両ビーム及び光導波路を移動させて、近接場光ヘッドをスキャンさせる。そして、近接場光ヘッドを記録媒体上の所望する位置に配置させる。その後、光源から光導波路に光束を入射させる。これにより、サスペンションの近接場光ヘッドを利用して、記録媒体に各種情報の記録再生を行うことができる。
特に、近接場光ヘッドの姿勢制御を高精度に行えるサスペンションを備えているので、情報の記録再生を正確に行うことができ、高品質化を図ることができる。また、重量が軽減されたサスペンションでもあるので、仮に外部から衝撃を受けたとしても、エネルギーを小さくでき耐衝撃性を向上することができる。更に、風損が低減化されたサスペンションでもあるので、スキャン速度を向上することができると共に、消費電力の低減化を図ることができる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明に係るサスペンションによれば、近接場光ヘッドの姿勢制御を高精度に行って情報の記録、再生を正確に行うことができ、重量の軽減化、風損の低減化を図ることができる。
また、本発明に係る情報記録再生装置によれば、上述したサスペンションを備えているので、高品質化、耐衝撃性を向上することができると共に、スキャン速度の向上化、消費電力の低減化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明に係るサスペンション及び情報記録再生装置の第１実施形態を、図１から図８を参照して説明する。なお、図２、図３、図７及び図８においては、サスペンションを裏返しにした状態を図示している。
本実施形態の情報記録再生装置１は、図１に示すように、サスペンション２と、該サスペンション２の光導波路１１の基端側から該光導波路１１に対して光束を入射させる光信号コントローラ（光源）３と、サスペンション２の下部ビーム（第１のビーム）１２、上部ビーム（第２のビーム）１３及び光導波路１１の基端側を固定すると共に、これらをディスク（記録媒体）Ｄの表面に平行なＸＹ方向に向けてスキャン移動させるアクチュエータモータ（モータ部）４と、ディスクＤを所定の方向に向けて回転させるスピンドルモータ（回転駆動部）５と、これら各構成品を内部に収容するハウジング６とを備えている。
【００３５】
ハウジング６は、アルミニウム等の金属材料により、上面視四角形状に形成されていると共に、内側に各構成品を収容する凹部６ａが形成されている。また、このハウジング６には、凹部６ａの開口を塞ぐように図示しない蓋が着脱可能に固定されるようになっている。
凹部６ａの略中心には、上記スピンドルモータ５が取り付けられており、該スピンドルモータ５に中心孔を嵌め込むことでディスクＤが着脱自在に固定される。凹部６ａの隅角部には、上記アクチュエータモータ４が取り付けられている。このアクチュエータモータ４には、軸受７を介してキャリッジ８が取り付けられており、該キャリッジ８の先端にサスペンション２が取り付けられている。そして、キャリッジ８及びサスペンション２は、アクチュエータモータ４の駆動によって共に上記ＸＹ方向に移動可能とされている。なお、キャリッジ８及びサスペンション２は、ディスクＤの回転停止時にアクチュエータモータ４の駆動によって、ディスクＤ上から回避するようになっている。上記光信号コントローラ３は、このアクチュエータモータ４に隣接するように、凹部６ａ内に取り付けられている。
【００３６】
サスペンション２は、図示しない近接場光発生素子を有する近接場光ヘッド１０に、光信号コントローラ３からの光束を導いて近接場光を発生させ、該近接場光を利用してディスクＤに各種情報を記録再生させるものである。なお、近接場光発生素子は、例えば、光学的微小開口や、ナノメートルサイズに形成された突起部等により構成されている。
即ち、サスペンション２は、図２及び図３に示すように、樹脂性材料により板状に形成され、近接場光ヘッド１０に先端が接続されて光束を該近接場光ヘッド１０に導く可撓性の光導波路１１と、金属性材料によりシート状に形成され、光導波路１１を間に挟んだ状態で上下から挟持固定する下部ビーム１２及び上部ビーム１３と、近接場光ヘッド１０を、ディスクＤの表面に平行で且つ互いに直交する２軸（Ｘ軸、Ｙ軸）回りに回動自在な状態、即ち、２軸を中心として捻れることができるように、下部ビーム１２の先端に固定させるジンバル手段１４とを備えている。  
【００３７】
光導波路１１は、図４に示すように、基端側から中間位置にかけて上面視四角状に形成されると共に、中間位置から先端側にかけてテーパ状に形成されて板状となっている。更に先端からは、幅が狭い帯状の最先端部１１ａが突出するように形成されている。
この光導波路１１は、図４及び図５に示すように、屈折率の異なるコア１１ｂと、該コア１１ｂの周囲を覆うクラッド１１ｃとから構成されている。なお、コア１１ｂの形状は、基端側から最先端部１１ａに亘って同一形状とされている。また、コア１１ｂの屈折率をクラッド１１ｃの屈折率よりも大きくするには、コア１１ｂの成膜時にゲルマニウムをドープすれば良く、クラッド１１ｃの屈折率をコア１１ｂの屈折率よりも小さくするには、クラッド１１ｃの成膜時にフッ素をドープすれば良い。このような場合には、光束はコア１１ｂ内を全反射して伝搬していくため、伝搬ロスを減少することができる。
【００３８】
また、光導波路１１の基端側には、図４に示すように、開口１１ｃが形成されており、該開口１１ｃを介してキャリッジ８の先端に固定されるようになっている。また、この光導波路１１の基端側は、キャリッジ８の下面を進むように一部が幅狭の帯状に延び、図１に示す光信号コントローラ３に接続されている。
【００３９】
上記下部ビーム（一方のビーム）１２は、図２及び図３に示すように、ステンレス等の厚みの薄い金属材料によって形成され、光導波路１１の下面側に貼り付けられている。この際、下部ビーム１２は、光導波路１１の最先端部１１ａを除く領域で重ね合わせができるように、該光導波路１１の基端側から先端側に亘って同じ形状になるように形成されている。但し、図３に示すように、下部ビーム１２の先端は、光導波路１１の先端を越えてさらに突出するように形成されている。そして、この先端に突出した位置に、下部ビーム１２の長手方向Ｌ１に長穴の貫通孔１２ａが形成されている。光導波路１１の最先端部１１ａは、この貫通孔１２ａを通って下部ビーム１２の下面側に引き出されるようになっている。
【００４０】
また、下部ビーム１２には、図２に示すように、先端と基端との間の中間位置（上面視四角形状からテーパ状に切り替わる境位置）において、短手方向Ｌ２に延びた開口１２ｂが形成されている。これにより、短手方向Ｌ２に沿う断面積が他の部分の断面積よりも小さくなっている。これにより、下部ビーム１２は、この中間位置を中心に屈曲して、ディスクＤの表面に垂直Ｚ方向に向けて撓み易くなっている。即ち、開口１２ｂを挟んだ両側は、ヒンジ部１２ｃとなっている。更に、下部ビーム１２の基端側には、光導波路１１の開口１１ｃと位置が重なるように、同じ大きさの開口１２ｄが形成されている。
【００４１】
上記上部ビーム（他方のビーム）１３は、図３に示すように、下部ビーム１２と同様にステンレス等の厚みの薄い金属材料によって形成され、光導波路１１の上面側に貼り付けられている。この際、上部ビーム１３は、光導波路１１の最先端部１１ａを除く領域で重ね合わせができるように、該光導波路１１の基端側から先端側に亘って同じ形状になるように形成されている。
また、本実施形態の上部ビーム１３は、先端と基端との間の中間位置（上面視四角形状からテーパ状に切り替わる境位置）において、一定距離の隙間Ｈを空けた状態で２つに分断された状態で貼り付けられている。これにより、下部ビーム１２及び光導波路１１は、上部ビーム１３の剛性に影響を受けることなく、撓み易くなっている。
【００４２】
更に、下部ビーム１２の基端側にも上部ビーム１３と同様に、光導波路１１の開口１１ｃと位置が重なるように同じ大きさの開口１３ａが形成されている。つまり、図７に示すように、下部ビーム１２の開口１２ｄ、上部ビーム１３の開口１３ａ、光導波路１１の開口１１ｃは、全て同じ位置で同じ大きさに形成されている。よって、キャリッジ８により、両ビーム１２、１３及び光導波路１１を３層重ねた状態で一度に固定できるようになっている。
【００４３】
また、下部ビーム１２の下面側には、図２、図３及び図８に示すように、外形が上面視四角形状に形成されたシート状のジンバル２０が取り付けられている。このジンバル２０は、アルミニウム等の金属材料により、基端側が下部ビーム１２を挟んで光導波路１１及び上部ビーム１３の先端側に重なる大きさに形成されている。また、ジンバル２０の基端側には、下部ビーム１２に形成された貫通孔１２ａの周囲を囲むように略四角状の貫通孔２０ａが形成されている。そして、下部ビーム１２の貫通孔１２ａから下面側に引き出された光導波路１１の最先端部１１ａが、さらにこの貫通孔２０ａを通してジンバル２０の下面側に引き出されるようになっている。そして、引き出された最先端部１１ａは、後述するパッド部２０ｂに固定された近接場光ヘッド１０に接続されている。
【００４４】
また、このジンバル２０は、図８に示すように、中間付近から先端にかけて下方側に僅かながら反るように形成されている。そして、この反りが加わった先端側が下部ビーム１２に接触しないように、基端側から中間付近にかけて下部ビーム１２に固定されている。
この浮いた状態のジンバル２０の先端側には、周囲がコ形状に刳り貫かれたパッド部２０ｂが形成されており、該パッド部２０ｂのみが下部ビーム１２の下面と平行になるように角度調整されている。そして、このパッド部２０ｂ上に上記近接場光ヘッド１０が載置固定されている。つまり、近接場光ヘッド１０は、パッド部２０ｂを介して下部ビーム１２にぶら下がった状態となっている。
【００４５】
また、下部ビーム１２の先端には、パッド部２０ｂ及び近接場光ヘッド１０の略中心に向かって突出する突起部２１が形成されている。この突起部２１の先端は、丸みを帯びた状態となっている。そして突起部２１は、近接場光ヘッド１０がディスクＤから受ける風圧により下部ビーム１２側に浮上したときに、パッド部２０ｂの表面に点接触するようになっている。この浮上する力は、突起部２１から下部ビーム１２に伝わって、該下部ビーム１２を撓ませるように作用する。
また、ディスクＤのうねり等により、近接場光ヘッド１０にＸＹ方向に向かう風圧が加わったときに、近接場光ヘッド１０及びパッド部２０ｂは、突起部２１を中心としてＸ軸、Ｙ軸（２軸）回りに捩じれるようになっている。これにより、ディスクＤのうねりに起因する風圧を吸収でき、近接場光ヘッド１０の姿勢が安定するようになっている。
即ち、これら突起部２１及びパッドを有するジンバル２０は、上述したジンバル手段１４を構成している。
【００４６】
次に、このように構成された情報記録再生装置１により、ディスクＤに各種の情報を記録再生する場合について以下に説明する。
まず、スピンドルモータ５を駆動させてディスクＤを所定方向に回転させる。次いで、アクチュエータモータ４を作動させて、キャリッジ８を介してサスペンション２をＸＹ方向にスキャンさせる。これにより、ディスクＤ上の所望する位置に近接場光ヘッド１０を位置させることができる。次いで、光信号コントローラ３から光束を光導波路１１に入射させる。この光束は、光導波路１１のコア１１ｂによって導かれて、近接場光ヘッド１０に入射する。この光束の入射により近接場発生素子の周囲には、近接場光が滲み出るように発生する。ディスクＤは、この近接場光によって局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。その結果、近接場光ヘッド１０を利用してディスクＤの各種の情報を、記録再生することができる。
【００４７】
ここで、近接場光ヘッド１０は、両ビーム１２、１３及び光導波路１１によって支持されていると共に、所定の力でディスクＤ側に押さえ付けられている。また、これと同時に近接場光ヘッド１０は、回転するディスクＤによって生じる風圧の影響を受けて、浮上する力を受ける。この両者の力のバランスによって、近接場光ヘッド１０はディスクＤ上から一定の距離離間した位置に浮遊している状態となっている。
この際、近接場光ヘッド１０は、風圧を受けて下部ビーム１２側に押されるので、近接場光ヘッド１０を固定するジンバル２０のパッド部２０ｂと下部ビーム１２に形成された突起部２１とが、点接触した状態となる。そして、この浮上する力は、突起部２１を介して下部ビーム１２に伝わり、さらに、下部ビーム１２に接する光導波路１１及び上部ビーム１３に伝わる。その結果、これらをディスクＤの表面に垂直なＺ方向に向けて撓ませる。
【００４８】
特に、本実施形態の光導波路１１は、可撓性を有する板状に形成されていると共に、両ビーム１２、１３間に挟まれているので、両ビーム１２、１３の撓みに追従して変形し易い。つまり、従来の光ファイバーのように突っ張ってしまうことがなく、両ビーム１２、１３の動きを妨げ難い。よって、近接場光ヘッド１０を、確実に浮上させることができる。
更に、この近接場光ヘッド１０の浮上の際、本実施形態では下部ビーム１２の中間位置に開口１２ｂが形成されてヒンジ部１２ｃが設けられていると共に、上部ビーム１３が中間位置で隙間Ｈを空けて２つに分断されているので、下部ビーム１２及び光導波路１１のみが容易に撓み易くなっている。よって、近接場光ヘッド１０は、より浮上し易くなっている。その結果、近接場光ヘッド１０を安定して浮上させることができ、情報の記録再生を正確に行うことができる。
【００４９】
また、近接場光ヘッド１０は、ディスクＤのうねりに起因して発生する風圧（ＸＹ方向に向かう風圧）を受けたとしても、ジンバル手段１４、即ち、突起部２１の先端に点接触したパッド部２０ｂを介してＸＹ軸回りに捩じれるようになっている。そのため、うねりに起因する風圧を吸収でき、浮上している際の近接場光ヘッド１０の姿勢を一定の姿勢に制御することができる。この場合においても、光導波路１１が上述した理由により突っ張ってしまうことがないので、高精度に姿勢を制御することができる。  
これらの結果、近接場光ヘッド１０の浮上及び姿勢制御を、従来と比べてより安定させることができ、情報の記録再生を正確に行うことができる。
【００５０】
また、本実施形態のサスペンション２は、可撓性を有する板状の光導波路１１を、両ビーム１２、１３で挟む構成であるので、光導波路１１自体にも強度を持たせることができる。そのため、金属材料により形成される両ビーム１２、１３の厚みを極力薄く（シート状）したとしても、従来と比べて全体的な強度が低下する恐れがない。よって、両ビーム１２、１３の重量をできるだけ軽くすることができる。その結果、全体の重量を従来と比べて軽くすることができ、重量の軽減化を図ることができる。
【００５１】
更に、光導波路１１は、両ビーム１２、１３によって挟まれているので、ディスクＤ上をスキャンさせる際に、従来の光ファイバーとは異なり、直接風が当たらず風損が生じ難い。よって、スキャン速度の低下を防ぎ、スキャン性能を向上することができる。
【００５２】
また、本実施形態の情報記録再生装置１によれば、近接場光ヘッド１０の姿勢制御を高精度に行えるサスペンション２を備えているので、情報の記録再生を正確に行うことができ、高品質化を図ることができる。また、重量が軽減されたサスペンション２でもあるので、仮に外部から衝撃等を受けたとしても、エネルギーを小さくでき耐衝撃性を向上することができる。更に、風損が低減化されたサスペンション２でもあるので、スキャン速度を向上することができると共に、消費電力の低減化を図ることができる。
【００５３】
次に、本発明に係るサスペンション２の第２実施形態について、図９から図１１を参照して説明する。なお、第２実施形態において第１実施形態と同一の構成については、同一の符号を付しその説明を省略する。
第２実施形態と第１実施形態との異なる点は、第１実施形態では、下部ビーム１２及び上部ビーム１３のみが、中間位置において開口１２ｂが形成されたり、分断されたりして撓み易くなっていたのに対し、第２実施形態のサスペンション３０では、これに加え、光導波路１１自身も撓み易くなっている点である。
【００５４】
即ち、本実施形態のサスペンション３０は、図９から図１１に示すように、光導波路１１が両ビーム１２、１３の中間位置に相当する位置において、短手方向Ｌ２に沿う断面積が他の位置に置ける断面積よりも小さくなるように形成されている。つまり、光導波路１１は、中間位置を横切る領域のみ幅狭に形成された撓み部３１を有している。そのため、光導波路１１自身も、この撓み部３１を中心に撓み易くなっている。
このように形成された光導波路１１を有するサスペンション３０によれば、ディスクＤからの風圧を受けたときに近接場光ヘッド１０がより容易に浮上して安定し易い。その結果、さらに正確な情報の記録再生を行うことができる。
【００５５】
次に、本発明に係るサスペンションの第３実施形態について、図１２を参照して説明する。なお、第３実施形態において第１実施形態と同一の構成については、同一の符号を付しその説明を省略する。
第３実施形態と第１実施形態との異なる点は、第１実施形態では、上部ビーム１３のみが中間位置にて２つに分断されていたのに対し、第３実施形態のサスペンション４０では、図１２に示すように下部ビーム１２及び上部ビーム１３が、共に中間位置で隙間Ｈを空けて２つに分断されている点である。
【００５６】
このように構成されたサスペンション４０によれば、中間位置において両ビーム１２、１３が共に分断されているので、この中間位置では板状の光導波路１１だけが露出している状態となっている。そのため、サスペンション４０は、両ビーム１２、１３の剛性に影響されずに可撓性を有する光導波路１１の弾性のみで撓む。そのため、近接場光ヘッド１０をさらに容易に浮上させることができる。
【００５７】
なお、本実施形態の場合において、図１３から図１５に示すように、少なくとも両ビーム１２、１３が分断された分断領域内に収まるように、光導波路１１の外表面に金属薄膜４１を積層しても構わない。なお、図１３では、最先端部１１ａの以外の外表面に金属薄膜４１を積層している場合を図示している。
このようにすることで、両ビーム１２、１３が分断されている分断領域、即ち、光導波路１１が露出している領域において、該光導波路１１を強度的に補強することができる。そのため、近接場光ヘッド１０の浮上に伴って、光導波路１１に撓み変形に伴う繰り返し荷重が作用したとしても、光導波路１１の強度低下を極力防止することができる。よって、耐久性を向上させることができる。なお、厚みの薄い金属薄膜４１であるので、近接場光ヘッド１０の浮上に影響を与えることはない。
【００５８】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００５９】
例えば、上記第１実施形態及び第２実施形態では、中間位置において下部ビームに開口を形成すると共に上部ビームを分断し、また、第３実施形態では、中間位置において両ビームを分断したが、これらの場合に限られるものではない。例えば、下部ビーム及び上部ビームの両方に開口を形成しても構わない。また、いずれか一方のビームのみに開口を形成しても良いし、いずれか一方のビームのみを２つに分断しても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明に係るサスペンションを有する情報記録再生装置の第１実施形態を示す構成図である。
【図２】図１に示すサスペンションを、下部ビーム側から見た斜視図である。
【図３】図１に示すサスペンションを、上部ビーム側から見た斜視図である。
【図４】図２に示すサスペンションを構成する光導波路の斜視図である。
【図５】図４に示す断面矢視Ａ−Ａ’図である。
【図６】図４に示す断面矢視Ｂ−Ｂ’図である。
【図７】図３に示すサスペンションの基端側を拡大した断面図である。
【図８】図３に示すサスペンションの先端側を拡大した断面図である。
【図９】本発明に係るサスペンションの第２実施形態を示す図であって、下部ビーム側から見た斜視図である。
【図１０】図９に示すサスペンションを、上部ビーム側から見た斜視図である。
【図１１】図９に示すサスペンションを構成する光導波路の斜視図である。
【図１２】本発明に係るサスペンションの第３実施形態を示す図であって、下部ビーム側から見た斜視図である。
【図１３】図１２のサスペンションを構成する光導波路の変形例を示す斜視図である。
【図１４】図１３に示す断面矢視Ｃ−Ｃ’図である。
【図１５】図１３に示す断面矢視Ｅ−Ｅ’図である。
【図１６】従来の情報記録再生装置の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
【００６１】
Ｄ    ディスク（記録媒体）
Ｌ２    短手方向
Ｘ軸、Ｙ軸    記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸
１    情報記録再生装置
２、３０、４０    サスペンション
３    光信号コントローラ（光源）
４    アクチュエータモータ（モータ部）  
５    スピンドルモータ（回転駆動部）
１０    近接場光ヘッド
１１    光導波路
１２    下部ビーム（第１のビーム）
１２ｂ    開口
１３    上部ビーム（第２のビーム）
１４    ジンバル手段
４１    金属薄膜
【図１】
0004443511.tif 000002
【図２】
0004443511.tif 000003
【図３】
0004443511.tif 000004
【図４】
0004443511.tif 000005
【図５】
0004443511.tif 000006
【図６】
0004443511.tif 000007
【図７】
0004443511.tif 000008
【図８】
0004443511.tif 000009
【図９】
0004443511.tif 000010
【図１０】
0004443511.tif 000011
【図１１】
0004443511.tif 000012
【図１２】
0004443511.tif 000013
【図１３】
0004443511.tif 000014
【図１４】
0004443511.tif 000015
【図１５】
0004443511.tif 000016
【図１６】
0004443511.tif 000017