(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性の金属薄板１の一表面に金属薄板１上でのメッキ成長位置を規定する第１レジストパターン８を、他表面に金属薄板１の所定位置をエッチング除去するための第２レジストパターン９をリソグラフィー工程により各々同時に形成するとともに、金属薄板１の他表面側からのエッチングにより金属薄板１に所定開口２もしくは凹部を形成するエッチング工程と、金属薄板１の一表面側のみに所定メッキパターン３を形成するメッキ工程と、第１，第２両レジストパターンを除去する工程とを経て形成される、表面にメッキパターンを備えた金属部品の製造方法。
【請求項２】
金属薄板１の両面に上記第１，第２各レジストパターン８，９を形成するにあたり、金属薄板１の両面に各々所定厚のフォトレジスト層４，５を形成する工程と、第１レジストパターン８と第２レジストパターン９に対応するフォトマスク６，７を予め位置合わせした両面露光機にセットし、該露光機により金属薄板１両面のフォトレジスト層４，５を露光させるとともに、露光後現像処理することで、第１，第２レジストパターン８，９を各々同時に形成する工程とからなる請求項１記載の表面にメッキパターンを備えた金属部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば、半田ボールを電子部品の電極上に移載するための吸着プレートやスルーホールを備えた印刷用マスクあるいはリードフレーム等の用途に適し、かつ、導電性の金属薄板にエッチングによる凹部もしくは開口と、表面上にメッキパターンとを各々形成した形態で使用する金属部品の製造方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
従来、この種エッチングによる開口あるいは凹部と表面にメッキパターンを備えた金属部品を形成するための工程にあっては、例えば図３（ａ）乃至（ｈ）に示すような工程で製造を行っていた。すなわち、基板となるステンレス板等の導電性金属薄板５１の両面にエッチング用のレジストパターンを形成し（ａ）、化学的エッチングにより所定位置に開口（もしくは凹部）を形成する（ｂ）。次いでレジストパターンを除去した後（ｃ）、金属薄板の両面に再度フォトレジスト層５４，５４を形成し（ｄ）、一表面側のみをフォトマスク５５に対して位置合わせして配した状態で（ｅ）、ＵＶ露光を行なう（ｆ）。次いで、現像液によりフォトレジスト層５４，５４の未露光部分のみを溶解除去する現像工程により所定のレジストパターン５６を形成し（ｆ）、水洗後、金属薄板５１の一表面にニッケル，金，ハンダ合金等の所定金属によるメッキ処理を行い（ｇ）、レジストパターンを除去することで所定のメッキパターン５７を備えた金属薄板を得る（ｈ）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の工程による製造方法によれば、エッチング用のレジストパターンとメッキ用のレジストパターンとを各々別工程で形成しなければならないため、工数が多く、また、エッチング工程の後、メッキ用レジストパターンを形成する際、予めエッチングにより金属薄板に形成した開口（もしくは凹部）等の所定パターンと、メッキ用パターンを形成するための露光機側のフォトマスクとの間の位置合わせをその都度行なわなければならず、極めて熟練度が要求されるとともに、非常に手間のかかるものであった。
【０００４】
この発明の目的は、金属薄板の所定位置にエッチング工程で形成する開口（もしくは凹部）パターンと、一表面上に所定のメッキパターンとを備えた金属部品を製造するにあたり、工数が少なく、また、エッチングパターンに対するメッキパターン形成時の位置合わせについてもその都度行う必要が無く、容易にかつ連続的な生産を行うことができる製造方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記目的を達成するために、導電性の金属薄板の一表面に金属薄板上でのメッキ成長位置を規定する第１レジストパターンを、他表面に金属薄板の所定位置をエッチング除去するための第２レジストパターンをリソグラフィー工程により各々同時に形成するとともに、金属薄板の他表面側からのエッチングにより金属薄板に所定開口もしくは凹部を形成するエッチング工程と、金属薄板の一表面側のみに所定メッキパターンを形成するメッキ工程と、第１，第２両レジストパターンを除去する工程とを経て形成される、表面にメッキパターンを備えた金属部品の製造方法にある。
【０００６】
さらにこの発明のメッキパターンを備えた金属部品の製造方法においては、金属薄板の両面に上記第１，第２各レジストパターンを形成するにあたり、金属薄板の両面に各々所定厚のフォトレジスト層を形成する工程と、第１レジストパターンと第２レジストパターンに対応するフォトマスクを予め位置合わせした両面露光機にセットし、該露光機により金属薄板両面のフォトレジスト層を露光させるとともに、露光後現像処理することで、第１，第２レジストパターンを各々同時に形成する工程とからなるものである。
【０００７】
【作用および発明の効果】
金属薄板の一表面側に形成すべきメッキの成長位置を規定するための第１レジストパターンと、他表面側に形成すべきエッチング用の第２レジストパターンとを、各々同時形成することにより、エッチングあるいはメッキの各々工程前に別々にレジストパターンを形成した従来の製法に比して、製造工数の低減を図ることができ、生産コストの削減効果がある。特に、金属薄板の両面に第１，第２各レジストパターンを形成するにあたって、フォトレジスト層を露光，硬化するための両面露光機にセットする第１レジストパターンに対応するフォトマスクと第２レジストパターンに対応するフォトマスクとを予め位置合わせした状態でセッティングしておけば、露光工程時において、その都度位置合わせを行う必要がなく、連続的な露光作業が可能となり、生産効率を大幅に改善することができる。
【０００８】
【実施例】
以下本発明に係る製造方法について、図１（ａ）乃至（ｆ）に基づいてその工程を説明する。
【０００９】
本工程により生産される金属部品としては、例えば図２に示すような形態を呈しており、図２（ａ）は金属部品の平面図，図２（ｂ）は図２（ａ）におけるＡ・Ａ断面図である。ステンレス，銅等の導電性の金属薄板１にエッチングにより穿設された開口部２を備えるとともに、その一表面側Ｆに例えば短冊状に多数列設したニッケル，金，ハンダ等のメッキパターン３を形成している。
【００１０】
具体的製造工程としては、まず図１（ａ）に示すごとく、厚さ２５μｍ〜２ｍｍ程度、本実施例においては３００μｍ厚の導電性の金属薄板の１上下両面に、各々１０μｍ〜２００μｍ、本実施例においては５０μｍ厚で例えば同じアルカリ系のフォトレジスト層４，５を形成する。
次いで金属薄板１を露光機へ送り、フォトレジスト層４，５を所定のパターンで露光硬化させるものであるが、その際、露光機は両面露光機とし、一面側にメッキの成長位置を規定する後述の第１レジストパターン８に対応するフォトマスク６を、他面側に金属薄板の上記開口２をエッチング除去するための後述第２レジストパターン９に対応するフォトマスク７を、予め位置合わせした状態でセッティングしておき、この両面露光機で金属薄板１の上下両面に配した上記フォトレジスト層４，５を、図２（ｂ）のごとくそれぞれのフォトレジストマスク６，７を介してＵＶ露光を行なう。露光後現像液でフォトレジスト層４，５の未硬化部分を溶解除去し、図２（ｃ）のごとく金属薄板１の上下両面に各々第１レジストパターン８及び第２レジストパターン９を同時形成する。
【００１１】
次いで、金属薄板１の裏面側からエッチング液を噴射して、片面エッチングを行い、図２（ｄ）のごとく、第２レジストパターン９の開口部１０に相当する位置に上記開口２を穿設する。その後図２（ｅ）の示すように、第２レジストパターン９の開口１０にビニールテープ１１等で目止めを行なった後、金属薄板１をメッキ槽に浸漬して周知の方法によるメッキ処理を行い、金属薄板の表面側のみにメッキパターン３を形成する。メッキ材料としては、ニッケル，金，ハンダ等種々考えられるが、本実施例においては、スルファミン酸ニッケル浴を用いた、ニッケルにより形成するものとする。またメッキ厚としては第１レジストパターン８の厚みを超えない範囲、本実施例では４０μｍ厚で形成する。最後にアルカリ系溶剤等により第１，第２各々のレジストパターン８，９を溶解除去することにより図２（ｆ）のごとく、所定の開口２を備えるとともに、表面に所定のメッキパターン３を備えた金属部品を得るものである。
【００１２】
なお、本発明におけるメッキパターンの形状，材質，厚さ等は、用途に応じて種々変更できるものであり、また、フォトレジストについてもアルカリタイプ，溶剤タイプあるいはフィルム状，液状等選択可能である。
さらに、両面露光機に各フォトマスク同士を一度位置合わせさえしておけば、以降金属薄板に形成される第１，第２レジストパターン間の位置合わせは全く行う必要がないため、連続生産が可能となり、生産効率を大幅に向上できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による金属部品を形成する工程を概念的に示す工程説明図である。
【図２】本発明による金属部品の具体的形態を示す説明図である。
【図３】従来の金属部品を形成する工程を概念的に示す工程説明図である。
【符号の説明】
１  金属薄板
２  開口
３  メッキパターン
４，５  フォトレジスト層
８，９  レジストパターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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