(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
励起光の照射によって蓄積性蛍光体シートから発生した輝尽発光光を光電変換素子の受光面で受光し、該光電変換素子に蓄積された電荷に基づいて電気的な画像信号を取得する画像信号取得方法であって、
前記受光面の周辺部分を、前記輝尽発光光のみ吸収するフィルタで覆って該輝尽発光光を受光することを特徴とする画像信号取得方法。
【請求項２】
励起光の照射によって蓄積性蛍光体シートから発生した輝尽発光光を光電変換素子の受光面で受光し、該光電変換素子に蓄積された電荷に基づいて電気的な画像信号を取得する画像信号取得方法であって、
前記受光面の周辺部分を、青色光のみ吸収するフィルタで覆って前記輝尽発光光を受光することを特徴とする画像信号取得方法。
【請求項３】
励起光の照射によって蓄積性蛍光体シートから発生した輝尽発光光を受光する受光面を有する光電変換素子と、該光電変換素子に蓄積された電荷に基づいて電気的な画像信号を取得する画像信号取得手段とを備えた画像信号取得装置であって、
前記受光面の周辺部分が、前記輝尽発光光のみを吸収するフィルタで覆われていることを特徴とする画像信号取得装置。
【請求項４】
励起光の照射によって蓄積性蛍光体シートから発生した輝尽発光光を受光する受光面を有する光電変換素子と、該光電変換素子に蓄積された電荷に基づいて電気的な画像信号を取得する画像信号取得手段とを備えた画像信号取得装置であって、
前記受光面の周辺部分が、青色光のみを吸収するフィルタで覆われていることを特徴とする画像信号取得装置。
【請求項５】
複数の前記光電変換素子を備え、各光電変換素子の前記受光面が直線状に並んでいることを特徴とする請求項３または４記載の画像信号取得装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、画像信号取得方法および装置に関し、詳しくは、励起光の照射によって蓄積性蛍光体シートから発生した輝尽発光光を受光する画像信号取得方法および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
放射線（Ｘ線、α線、β線、γ線、電子線、紫外線等）を照射すると、この放射線エネルギの一部が蓄積され、その後可視光等の励起光を照射すると蓄積されたエネルギに応じて輝尽発光を示す蓄積性蛍光体（輝尽性蛍光体）を利用して、人体等の被写体の放射線画像情報をシート状の蓄積性蛍光体層を備えてなる蓄積性蛍光体シートに一旦記録し、この蓄積性蛍光体シートに励起光を走査して輝尽発光光を生じせしめ、得られた輝尽発光光を光電的に読み取って画像信号を得、この画像信号に基づいて写真感光材料等の記録媒体あるいはＣＲＴ等の表示装置に被写体の放射線画像を可視画像として表示する放射線画像記録再生システムが知られている（特開昭55-12429号、同56-11395号、同56-11397号等）。
【０００３】
上記輝尽発光光を光電的に読み取って画像信号を取得する装置としては、例えば、直線状に並んだフォトダイオードからなる光電変換素子を有するＣＣＤ型のラインセンサを用いた装置が知られている。このラインセンサは、蓄積性蛍光体シートから発生した輝尽発光光を多数の光電変換素子の受光面で受光し、各光電変換素子中に蓄積された電荷に基づいて電気的な画像信号を取得するものであり、この電気的な画像信号に基づいて蓄積性蛍光体シートに記録された被写体の放射線画像情報を表す可視画像が作成される。
【０００４】
上記ラインセンサは、受光面以外の領域、例えば電荷転送路等において反射、散乱した輝尽発光光が受光面に入射し、これらの反射光や散乱光に基づいて生じた信号がノイズとして画像信号に混入して擬画像が発生するのを防止するために、受光面の周辺（例えば電荷転送路等）に白色光を吸収する（すなわち赤色、緑色および青色を吸収する）、金属膜で覆った光吸収層が形成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記放射線画像記録再生システムにおいては、一般に光電変換素子に入射する光は輝尽発光光のみであり、その他の光、例えば励起光は光電変換素子に入射する前にフィルタ等により遮断されている。そして、輝尽発光光の波長領域は青色光の波長領域に含まれるので、光電変換素子の受光面の周辺を、必ずしも赤色、緑色および青色のすべてを吸収する光吸収層からなるフィルタで覆う必要はなく、より簡単な方式によって光電変換素子周辺の反射および散乱を防止することが望まれる。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、輝尽発光光の反射光および散乱光の受光面への入射を容易かつ安価に防止することができる画像信号取得方法および装置を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の画像信号取得方法は、励起光の照射によって蓄積性蛍光体シートから発生した輝尽発光光を光電変換素子の受光面で受光し、この光電変換素子に蓄積された電荷に基づいて電気的な画像信号を取得する画像信号取得方法であって、前記受光面の周辺部分を、前記輝尽発光光のみ吸収するフィルタで覆ってこの輝尽発光光を受光することを特徴とするものである。
【０００８】
本発明の画像信号取得方法は、励起光の照射によって蓄積性蛍光体シートから発生した輝尽発光光を光電変換素子の受光面で受光し、この光電変換素子に蓄積された電荷に基づいて電気的な画像信号を取得する画像信号取得方法であって、前記受光面の周辺部分を、青色光のみ吸収するフィルタで覆って輝尽発光光を受光することを特徴とするものである。
【０００９】
本発明の画像信号取得装置は、励起光の照射によって蓄積性蛍光体シートから発生した輝尽発光光を受光する受光面を有する光電変換素子と、この光電変換素子に蓄積された電荷に基づいて電気的な画像信号を取得する画像信号取得手段とを備えた画像信号取得装置であって、前記受光面の周辺部分が、前記輝尽発光光のみを吸収するフィルタで覆われていることを特徴とするものである。
【００１０】
本発明の画像信号取得装置は、励起光の照射によって蓄積性蛍光体シートから発生した輝尽発光光を受光する受光面を有する光電変換素子と、この光電変換素子に蓄積された電荷に基づいて電気的な画像信号を取得する画像信号取得手段とを備えた画像信号取得装置であって、前記受光面の周辺部分が、青色光のみを吸収するフィルタで覆われていることを特徴とするものである。
【００１１】
前記画像信号取得装置は複数の光電変換素子を備え、各光電変換素子の受光面は直線状に並んでいるものとすることができる。
【００１２】
前記受光面の周辺部分とは、受光面の周辺部分の一部であってもよいし、受光面の周辺部分の全部であってもよい。
【００１３】
前記青色光のみを吸収するとは、輝尽発光光と一致する波長領域の光のみを吸収するようにしてもよいし、少なくとも輝尽発光光の波長領域を含む青色の波長領域の光のみを吸収するようにしてもよいし、青色の波長領域の全領域に亘る光のみを吸収するようにしてもよい。
【００１４】
前記フィルタとは、金属膜を積層して形成したものであってもよいし、顔料や染料を塗布して形成したものであってもよい。
【００１５】
【発明の効果】
本発明の画像信号取得方法および装置によれば、励起光の照射によって蓄積性蛍光体シートから発生した輝尽発光光を光電変換素子の受光面で受光して、この光電変換素子に蓄積された電荷に基づいて電気的な画像信号を取得するにあたり、受光面の周辺部分を、輝尽発光光のみ吸収するフィルタで覆ってこの輝尽発光光を受光するようにしたので、従来のように輝尽発光光と共に輝尽発光光以外の光の吸収をも考慮したフィルタで受光面の周辺部分を覆う場合に比して、容易かつ安価に上記輝尽発光光の反射光および散乱光の受光面への入射を防止することができる。
【００１６】
本発明の画像信号取得方法および装置によれば、励起光の照射によって蓄積性蛍光体シートから発生した輝尽発光光を光電変換素子の受光面で受光して、この光電変換素子に蓄積された電荷に基づいて電気的な画像信号を取得するにあたり、受光面の周辺部分を、青色光のみ吸収するフィルタで覆って輝尽発光光を受光するようにしたので、従来のように青色光と共に青色光以外の光の吸収をも考慮したフィルタで受光面の周辺部分を覆う場合に比して、容易かつ安価に上記輝尽発光光の反射光および散乱光の受光面への入射を防止することができる。
【００１７】
なぜなら、例えば、青色光のみを吸収する金属膜は、青色光と共に赤色光あるいは緑色光の吸収をも考慮した膜に比して膜構成が単純であり、この膜を従来より容易かつ安価に受光面の周辺部分に形成することができ、また、青色光のみを吸収する顔料や染料は、青色光と共に赤色光あるいは緑色光の吸収をも考慮した顔料や染料に比して安価であり、これらの材料を従来より容易に受光面の周辺部分の塗布に用いることができるからである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的な実施の形態について、図面を用いて説明する。図１は、本発明の画像信号取得方法を実施する画像信号取得装置の実施の形態の概略構成を示す平面図、図２は図１におけるＪ−Ｊ′断面を示す断面図、図３は図１におけるＫ−Ｋ′断面を示す断面図である。
【００１９】
本発明の実施の形態による画像信号取得装置１００は、励起光の照射によって蓄積性蛍光体シートから発生した輝尽発光光を受光する受光面１０を上面に有する複数の光電変換素子１１（図２の断面図参照）と、光電変換素子１１に蓄積された電荷に基づいて電気的な画像信号を取得する画像信号取得手段１５とを備えたものであり、受光面１０の周辺部分は、青色光のみを吸収するフィルタで覆われている。受光面１０を上面に有する複数の光電変換素子１１は、画像信号取得装置１００中に直線状に１列に並んでいる。
【００２０】
画像信号取得手段１５は、電荷転送路１６および出力回路１７からなり、各受光面１０による輝尽発光光の受光によって各光電変換素子に蓄積された電荷を電荷転送路１６を通して転送し、転送された電荷を出力回路１７によって電気的な画像信号に変換して出力する。
【００２１】
画像信号取得装置１００の基板近傍は、図２の断面図に示すようにＮ型半導体基板２１上に濃度の低いＰ型半導体層からなるＰ型ウエル層２２が形成され、さらにＰ型ウエル層２２上にＮ型拡散層２３が形成されており、このＰ型ウエル層２２とＮ型拡散層２３とによるｐｎ接合によって光電変換素子１１が構成されている。光電変換素子１１を構成するＮ型拡散層２３上には濃度の高い透明なＰ型拡散層２４が形成され暗電流を防止する働きをしている。また、Ｎ型拡散層２３の隣には、濃度の高いＰ型ウエル層２６の領域を介して、光電変換素子１１に蓄積された電荷を出力回路１７に転送する経路となるＮ型拡散層からなる埋め込みチャンネル２５がウエル層２２上に形成されている。
【００２２】
このように種々の拡散層が形成された主表面Ｓ上には透明絶縁膜２７が形成されており、この透明絶縁膜２７中に第１の転送電極３０Ａと、主平面Ｓに垂直な方向にこの第１の転送電極３０Ａと一部分が重複している第２の転送電極３０Ｂとが形成されている。すなわち図１におけるＫ―Ｋ′断面を表す図３に示すように、電荷が転送される埋め込みチャンネル２５に沿って、第１の転送電極３０Ａと第２の転送電極３０Ｂとが交互に一部重なり合って配置されており、これらの転送電極の電圧の制御によって光電変換素子１１に蓄積された電荷が埋め込みチャンネル２５中を出力回路１７に向けて転送される。なお、第１の転送電極３０Ａは光電変換素子１１に蓄積された電荷を埋め込みチャンネル２５に移動させる制御を行う電極も兼ねている。
【００２３】
電荷転送路１６は、上記第１の転送電極３０Ａ、第２の転送電極３０Ｂ、埋込みチャンネル２５、およびこれらの電極やチャンネル間の隙間を満たす透明絶縁膜２７等によって構成されており、受光面１０の周辺部分の一部となる電荷転送路１６を構成する透明絶縁膜２７上の表面領域Ｕは、青色光のみを吸収するフィルタ２８Ａによって覆われている。
【００２４】
一方、受光面１０の周辺部分の一部となる各受光面の周縁領域１２を構成する透明絶縁膜２７上の表面領域Ｖは受光用開口部の周縁に形成された矩形状につながる青色光のみを吸収するフィルタ２８Ｂによって覆われている。
【００２５】
なお、表面領域Ｕ上のフィルタ２８Ａおよび表面領域Ｖ上のフィルタ２８Ｂは同一工程により一体的に形成されている。
【００２６】
上記のように、電荷転送路１６上の表面領域Ｕや、受光面の周縁領域１２上の表面領域Ｖを、青色光のみを吸収するフィルタによって覆えば、輝尽発光光の受光面以外の領域における反射、散乱を防止することができ、これにより輝尽発光光の受光面への入射によって生じるノイズによる擬画像の発生を防止することができる。
【００２７】
なお、フィルタ２８Ａおよび２８Ｂは、青色光のみを吸収する金属膜を透明絶縁膜２７上に形成したものであってもよいし、あるいは、青色光のみを吸収する顔料や染料を透明絶縁膜２７上に塗布することによって形成したもの等であってもよい。
【００２８】
また、上記画像信号取得装置に配設される受光面は、ライン状に並んだものであっても、あるいはマトリクス状に並んだものであってもよく、その数および配列等が限定されるものではない。
【００２９】
また、青色光のみを吸収するフィルタによって覆う領域は、電荷転送路上の表面領域のみ、あるいは受光面分離領域上の表面領域のみであってもよい。
【００３０】
なお、上記実施の形態においては、電荷転送路を有する画像信号取得装置の例を示したが、電荷転送路を持たないＭＯＳ型の画像信号取得装置等についても、上記と同様に、受光面の周辺部分を青色光のみ吸収するフィルタで覆うことにより、従来に比して、容易かつ安価に輝尽発光光の反射光および散乱光の受光面への入射を防止することができる。
【００３１】
また、上記実施の形態においては、受光面の周辺部分（すなわち電荷転送路上の表面領域や受光面分離領域上の表面領域）は、青色光のみを吸収するフィルタで覆うようにしたが、輝尽発光光のみを吸収するフィルタで覆うようにしてもよく、このようなフィルタによって受光面の周辺部分を覆うことにより上記と同様の効果が得られることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による画像信号取得装置の概略構成を示す平面図
【図２】図１におけるＪ−Ｊ′断面を示す断面図
【図３】図１におけるＫ−Ｋ′断面を示す断面図
【符号の説明】
１０    受光面
１１    光電変換素子
１２    受光面分離領域
１５    画像信号取得手段
１６    電荷転送路
１７    出力回路
２１    電荷転送路
２２    出力回路
２８Ａ    フィルタ
２８Ｂ    フィルタ
１００    画像信号取得装置
【図１】
0004412522.tif 000002
【図２】
0004412522.tif 000003
【図３】
0004412522.tif 000004