(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転駆動手段により回転されてその回転に伴い制御対象負荷を直線移動させる駆動伝達手段と、
前記回転駆動手段の回転量を検出する回転量検出手段と、
前記制御対象負荷の移動量を検出する移動量検出手段と、
前記移動量検出手段から出力する移動量検出信号の情報の間隔を前記回転量検出手段からの回転量検出信号で補間して位置情報信号を生成する位置情報合成手
段と、
位置指令信号と前記位置情報信号とに基づき前記回転駆動手段の回転をフィードバック制御して前記制御対象負荷を前記位置指令信号に設定された目標位置に位置決め停止させるフィードバック制御系とを備えて構成されている位置決め制御装置によって、電子部品を保持しながらＸ−Ｙ方向に直線移動して回路基板の所定の実装位置の上方に位置決めする実装ヘッドを位置決め制御するよう構成されており、
移動量検出信号の情報の間隔を回転量検出信号で補間することにより、制御対象負荷の移動範囲が広くなった場合にも、移動量検出信号を、間隔の広いパルス信号として取り出すことができることを特徴とする部品実装装置。
【請求項２】
回転量検出手段は、移動量検出手段からの移動量検出信号の入力毎にクリアされながら回転駆動手段の回転量検出信号をカウントして補間量信号を生成し、前記回転量検出信号とデジタル信号の前記補間量信号とをシリアル伝送する機能を備え、
位置情報合成手段は、前記移動量検出信号のカウント値と前記補間量信号を加算して位置情報信号を生成するよう構成されている請求項１に記載の部品実装装置。
【請求項３】
位置情報信号をフィードバックして回転駆動手段を介し制御対象負荷を位置決め制御するとともに、回転量検出信号または移動量検出信号のいずれかをフィードバックして前記回転駆動手段を速度制御するよう構成されている請求項１または２に記載の部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アクチュエータとしてのサーボモータなどによって駆動されるボールねじなどの回転に伴い制御対象負荷を直線移動させて、この制御対象負荷を所定位置に位置決め停止させる部品実装装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、制御対象負荷を直線移動させて所定位置に位置決め制御する位置決め制御装置としては、図８に示すような構成を備えたものが存在する。この位置決め制御装置は、制御対象負荷１１を停止させるための目標位置を設定した位置指令信号Ｓ１を出力するメインコントローラ１と、上記位置指令信号Ｓ１と移動量検出信号Ｓ６とに基づいて算出した速度指令信号Ｓ３を出力する位置決め制御コントローラ２Ａと、上記速度指令信号Ｓ３に基づいて算出したトルク指令信号Ｓ４に対応する電流を回転駆動手段としてのサーボモータ９に供給してこのサーボモータ９を回転制御するサーボドライバ８と、サーボモータ９の回転量を直線移動量に変換して制御対象負荷１１を直線移動させる駆動伝達手段としてのボールねじ１２と、サーボモータ９から検出した回転量検出信号Ｓ５をサーボドライバ８にフィードバックするロータリエンコーダ１０と、制御対象負荷１１に取り付けられて制御対象負荷１１の移動を検出するリニアスケール１３と、このリニアスケール１３に基づき制御対象負荷１１の移動量を検出して上記移動量検出信号Ｓ６を出力する移動量検出手段７とを備えている。
【０００３】
位置決め制御コントローラ２Ａは、メインコントローラ１から出力される目標位置の位置指令信号Ｓ１に対し移動量検出手段７から出力される移動量検出信号Ｓ６を減算してその差分である位置偏差量検出信号Ｓ２を算出する減算器３と、位置偏差量検出信号Ｓ２に位置ループゲインを乗算して速度指令信号Ｓ３を算出する乗算器４とを備えている。この位置決め制御コントローラ２Ａは、サーボドライバ８を介してサーボモータ９の回転位置を位置指令信号Ｓ１に設定された目標位置に一致するようフィードバック制御する。
【０００４】
また、従来では、図９に示すような構成を備えた位置決め制御装置も存在する。この位置決め制御装置が図８の装置と相違するのは、図８のサーボドライバ８を削除し、これに代えて、位置決め制御コントローラ２Ｂに、ロータリエンコーダ１０からの回転量検出信号Ｓ５に基づきサーボモータ９の位置検出信号Ｓ７を求めて出力する位置情報検出手段１４と、乗算器４からの速度指令信号Ｓ３と位置検出信号Ｓ７との差分を求める減算器１７と、この減算器１７からの差分信号に速度ループゲインを乗算して算出したトルク指令信号Ｓ４に基づく電流をサーボモータ９に供給する乗算器１８とを備えている構成のみである。図８に示す位置決め装置および図９に示す位置決め制御装置はいずれも制御対象負荷１１の位置をリニアスケール１３により直接検出しているので、ボールねじ１２の精度や熱膨張を補正して、制御対象負荷１１を高精度に位置決め制御することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の各位置決め制御装置では、ロータリエンコーダ１０が検出するサーボモータ９の回転量検出信号Ｓ５が制御対象負荷１１の位置決め制御に有効に利用されておらず、リニアスケール１３と移動量検出手段７とによって制御対象負荷１１の移動量を機械的に検出した移動量検出信号Ｓ６をフィードバックして、位置指令信号Ｓ１から移動量検出信号Ｓ６を減算した位置偏差量検出信号Ｓ２がゼロになった時点で制御対象負荷１１を移動停止させるように制御しているので、リニアスケール１３による制御対象負荷１１の位置の検出精度がそのまま位置決め精度となり、高精度な位置決め制御を行うことが困難である。また、制御対象負荷１１の直線移動の範囲が広くなると、それに伴ってリニアスケール１３の長さが長くなり、リニアスケール１３が高価なものとなる問題がある。
【０００６】
そこで、本発明は、上記従来の課題に鑑みてなされたもので、安価な構成によって制御対象負荷を高精度に位置決めすることのできる部品実装装置を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る部品実装装置は、回転駆動手段により回転されてその回転に伴い制御対象負荷を直線移動させる駆動伝達手段と、前記回転駆動手段の回転量を検出する回転量検出手段と、前記制御対象負荷の移動量を検出する移動量検出手段と、前記移動量検出手段から出力する移動量検出信号の情報の間隔を前記回転量検出手段からの回転量検出信号で補間して位置情報信号を生成する位置情報合成手段と、位置指令信号と前記位置情報信号とに基づき前記回転駆動手段の回転をフィードバック制御して前記制御対象負荷を前記位置指令信号に設定された目標位置に位置決め停止させるフィードバック制御系とを備えて構成されている位置決め制御装置によって、電子部品を保持しながらＸ−Ｙ方向に直線移動して回路基板の所定の実装位置の上方に位置決めする実装ヘッドを位置決め制御するよう構成されており、移動量検出信号の情報の間隔を回転量検出信号で補間することにより、制御対象負荷の移動範囲が広くなった場合にも、移動量検出信号を、間隔の広いパルス信号として取り出すことができることを特徴としている。
【０００８】
この部品実装装置では、移動量検出信号の情報の間隔を回転検出手段の回転量検出信号で補間した位置情報信号をフィードバック制御信号として用いているので、移動量検出手段による移動量検出信号に加えて、回転量検出手段の回転量検出信号をも利用して回転駆動手段の回転をフィードバック制御することができ、移動量検出信号のみをフィードバック制御信号として用いる従来装置に比較して、制御対象負荷を回転量検出手段の回転量検出信号の精度と同等の高精度に位置決め制御することができる。しかも、この部品実装装置は、従来装置の構成に対して、位置情報合成手段などの僅かな構成要素を新たに付設するだけであるのに加えて、制御対象負荷の移動範囲が広くなった場合にも、移動量検出信号の情報の間隔を回転量検出信号で補間することから、移動量検出信号を、例えば間隔の広いパルス信号として取り出すことができるので、安価な構成とすることができる。
【０００９】
上記発明において、回転量検出手段は、移動量検出手段からの移動量検出信号の入力毎にクリアされながら回転駆動手段の回転量検出信号をカウントして補間量信号を生成し、前記回転量検出信号とデジタル信号の前記補間量信号とをシリアル伝送する機能を備え、位置情報合成手段は、前記移動量検出信号のカウント値と前記補間量信号を加算して位置情報信号を生成するよう構成されていることが好ましい。
【００１０】
これにより、回転量検出手段がデジタル値の補間量信号を出力するので、配線数を減少させることができ、且つ回転量の検出精度が高くなるとともに、出力情報の密度が高くなった場合にもノイズなどの外乱の影響を殆ど受けることなく補間量信号を確実に伝送することができる。
【００１１】
また、上記発明において、位置情報信号をフィードバックして回転駆動手段を介し制御対象負荷を位置決め制御するとともに、回転量検出信号または移動量検出信号のいずれかをフィードバックして前記回転駆動手段を速度制御するよう構成することもできる。
【００１２】
これにより、回転量検出信号または移動量検出信号のいずれかをフィードバックして、制御対象負荷が目標位置から比較的離れている場合に高速移動させるとともに、目標位置に近づくに従って減速するように速度制御することができ、制御対象負荷を高速に且つ高精度に位置決め制御できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。図１は本発明の第１の実施の形態に係る位置決め制御装置を示すブロック構成図であり、同図において、図８と同一若しくは同等のものには同一の符号を付して、重複する説明を省略する。この位置決め制御装置が図８の従来装置と相違するのは、位置決め制御コントローラ１９Ａに、ロータリエンコーダ１０から出力する回転量検出信号Ｓ５からサーボモータ９の位置つまり制御対象負荷１１の位置を検出して位置検出信号Ｓ７を出力する位置情報検出手段１４と、移動量検出手段７から出力する移動量検出信号Ｓ６のパルス数をカウントするカウンタ２０と、上記移動量検出信号Ｓ６のパルスが入力する毎にカウント値をクリアされたのちに位置情報検出手段１４から出力する位置検出信号Ｓ７のパルス数をカウントするカウンタ２１と、両カウンタ２０，２１の各カウント値を加算する加算器２２とを新たに設けた構成のみである。
【００１６】
上記の両カウンタ２０，２１と加算器２２とは位置情報合成手段２３を構成する。この位置情報合成手段２３は、移動量検出信号Ｓ６のパルスのカウンタ２０によるカウント値と、移動量検出信号Ｓ６のパルスが入力される毎にカウント値をクリアされて位置検出信号Ｓ７のパルスをカウントしたカウンタ２１によるカウント値とを加算して、移動量検出信号Ｓ６の各パルス間を位置検出信号Ｓ７で補間した位置情報信号Ｓ８を生成して出力する。減算器３は、位置指令信号Ｓ１から上記位置情報信号Ｓ８を減算して位置偏差量検出信号Ｓ２を算出し、乗算器４が上記位置偏差量検出信号Ｓ２に位置ループゲインを乗算して速度指令信号Ｓ３を算出し、さらに、サーボドライバ８が速度指令信号Ｓ３に基づきトルク指令信号Ｓ４を算出してそのトルク指令信号Ｓ４に対応する電流をサーボモータ９に供給する。
【００１７】
したがって、この位置決め制御装置では、移動量検出信号Ｓ６のパルス間をロータリエンコーダ１０の回転量検出信号Ｓ５から求めた位置検出信号Ｓ７のパルスで補間した位置情報信号Ｓ８をフィードバック制御信号として用いているので、リニアスケール１３による移動量検出信号Ｓ６に加えて、ロータリエンコーダ１０の回転量検出信号Ｓ５をも利用してサーボモータ９の回転をフィードバック制御することができ、移動量検出信号Ｓ６のみをフィードバック制御信号として用いる図８の従来装置に比較して、制御対象負荷１１をロータリエンコーダ１０の回転量検出信号Ｓ５の精度と同等の高精度に位置決め制御できる。
【００１８】
しかも、この位置決め制御装置は、図８の従来装置の構成に対して、位置情報検出手段１４と位置情報合成手段２３とを新たに付設するだけであるのに加えて、制御対象負荷１１の移動範囲が広くなった場合にも、移動量検出信号Ｓ６のパルス間を位置検出信号Ｓ７で補間することから、移動量検出信号Ｓ６を間隔の広いパルス信号として取り出すことができるので、安価な構成とすることができる。
【００１９】
図２は本発明の第２の実施の形態に係る位置決め制御装置を示すブロック構成図であり、同図において、図９と同一若しくは同等のものには同一の符号を付して、重複する説明を省略する。この位置決め制御装置が図９の従来装置と相違するのは、位置決め制御コーントローラ１９Ｂに、第１の実施の形態で設けたと同一構成の位置情報合成手段２３を付設した構成のみである。
【００２０】
この位置決め制御装置は、第１の実施の形態のサーボドライバ８を削減して、速度指令信号Ｓ３と位置検出信号Ｓ７の差分に速度ループゲインを乗算してトルク指令信号Ｓ４を算出するタイプのものにおいても、第１の実施の形態と同様に、制御対象負荷１１をロータリエンコーダ１０の回転量検出信号Ｓ５の精度と同等の高精度に位置決め制御することができ、位置情報合成手段２３を新たに付設するだけであるのに加えて、制御対象負荷１１の移動範囲が広くなった場合にも、移動量検出信号Ｓ６のパルス間を位置検出信号Ｓ７で補間することから、移動量検出信号Ｓ６を間隔の広いパルス信号として取り出すことができるので、安価な構成とすることができる。
【００２１】
図３は本発明の第３の実施の形態に係る位置決め制御装置を示すブロック構成図であり、同図において、図１と同一若しくは同等のものには同一の符号を付して、重複する説明を省略する。この位置決め制御装置が第１の実施の形態のものと相違するのは、サーボモータ９の回転検出に基づいてデジタル信号からなる回転量検出信号Ｓ９と補間量信号Ｓ１０とをシリアル伝送するロータリエンコーダ２４を設け、位置決め制御コントローラ１９Ｃに、ロータリエンコーダ２４から補間量信号Ｓ１０が入力される補間量入力手段２７と、補間量入力手段２７からの補間量信号Ｓ１０と移動量検出手段７からの移動量検出信号７とに基づき位置情報信号Ｓ８を算出して出力する位置情報合成手段２８とを設けた構成のみである。
【００２２】
上記ロータリエンコーダ２４は、サーボドライバ８に対し回転量検出信号Ｓ９を出力するとともに、自体に内蔵したカウンタがリニアスケール１３からの出力パルスが入力する毎にクリアされながら回転量検出信号Ｓ９のパルスをカウントして、そのカウント値である補間量信号Ｓ１０をデジタル値として出力するものである。したがって、位置決め制御コントローラ１９の位置情報合成手段２８は、補間量入力手段２７から補間量信号Ｓ１０が入力されることから、図１の第１の実施の形態の位置情報合成手段２３に設けた位置検出信号Ｓ７をカウントするためのカウンタ２１が割愛された構成になっている。
【００２３】
この位置決め制御装置では、第１の実施の形態と同様の効果を得られるのに加えて、ロータリエンコーダ２４がデジタル値の補間量信号Ｓ１０を出力するので、配線数を減少させることができ、且つ回転量の検出精度が高くなるとともに、出力情報の密度が高くなった場合にもノイズなどの外乱の影響を殆ど受けることなく補間量信号Ｓ１０を位置決め制御コントローラ１９Ｃに確実に伝送することができる。すなわち、パルス列の回転量検出信号Ｓ５を出力するロータリエンコーダ１０の場合には、サーボモータ９の３相に対し個々に配線しなければならないが、デジタル値の補間量信号Ｓ１０の場合には配線が２本でよい。また、パルス列信号では、出力情報の密度が高くなるのに伴ってパルス間隔が小さくなっていくので、ノイズの影響を受け易いが、デジタル値の場合には出力情報の密度が高くなってもノイズの影響を殆ど受けない。そのため、出力情報の密度を高くすることが容易となり、これにより、回転量の検出精度を高めることができる。
【００２４】
図４は本発明の第４の実施の形態に係る位置決め制御装置を示すブロック構成図であり、同図において、図２および図３と同一若しくは同等のものには同一の符号を付して、重複する説明を省略する。この位置決め制御装置が図２の第２の実施の形態のものと相違するのは、図２のパルス列信号を出力するロータリエンコーダ１０に代えて、図３と同様のシリアル出力可能なロータリエンコーダ２４を設け、位置決め制御コントローラ１９Ｄに、図２の位置情報検出手段１４および位置情報合成手段２３に代えて、補間量入力手段２７と回転量入力手段２９と図３と同様の位置情報合成手段２８とを設けた構成のみである。
【００２５】
この位置決め制御装置では、図２の第２の実施の形態と同様の効果を得られるのに加えて、図３の第３の実施の形態と同様に、ロータリエンコーダ２４がデジタル値の補間量信号Ｓ１０を出力するので、配線数を減少させることができ、且つ回転量の検出精度が高くなるとともに、出力情報の密度が高くなった場合にもノイズなどの外乱の影響を殆ど受けることなく補間量信号Ｓ１０を位置決め制御コントローラ１９Ｄに確実に伝送することができるという効果を得ることができる。
【００２６】
図５は本発明の第５の実施の形態に係る位置決め制御装置を示すブロック構成図であり、同図において、図３と同一若しくは同等のものは同一の符号を付して、重複する説明を省略する。この位置決め制御装置が図３の第３の実施の形態のものと相違するのは、図３においてロータリエンコーダ２４からの回転量検出信号Ｓ９をサーボドライバ８にフィドバックしていたのに代えて、リニアスケール１３の移動量検出情報をサーボドライバ８にフィードバックしている構成のみである。
【００２７】
したがって、この位置決め制御装置では、移動量検出信号Ｓ６のパルス間をロータリエンコーダ２４からの補間量信号Ｓ１０で補間した位置情報信号Ｓ８をフィードバックしてサーボモータ９の回転つまり制御対象負荷１１の停止位置を位置決め制御するとともに、図３の第３の実施の形態においてロータリエンコーダ２４の回転量検出信号Ｓ９をサーボドライバ８にフィードバックして速度制御を行っているのに代えて、リニアスケール１３の移動量情報に基づき速度制御を行うようになっている。
【００２８】
この位置決め制御装置では、図３の第３の実施の形態と同様に、ロータリエンコーダ２４がデジタル値の補間量信号Ｓ１０を出力するので、配線数を減少させることができ、且つ回転量の検出精度が高くなるとともに、出力情報の密度が高くなった場合にもノイズなどの外乱の影響を殆ど受けることなく補間量信号Ｓ１０を位置決め制御コントローラ１９Ｅに確実に伝送することができるという効果を得ることができる。
【００２９】
図６は本発明の第６の実施の形態に係る位置決め制御装置を示すブロック構成図であり、同図において、図４と同一若しくは同等のものには同一の符号を付して、その説明を省略する。この位置決め制御装置が図４の第４の実施の形態のものと相違するのは、位置決め制御コントローラ１９Ｆにおいて、図４の回転量入力手段２９を削除し、これに代えて、移動量検出手段７から出力する移動量検出信号Ｓ６を減算器１７に入力するようにした構成のみである。
【００３０】
図４の第４の実施の形態では回転量検出信号Ｓ９をフィードバックして速度制御していたが、これに代えて、この実施の形態の位置決め制御装置では、移動量検出信号Ｓ６をフィードバックして速度制御するようにしている。この位置決め制御装置では、第４の実施の形態と同様に、ロータリエンコーダ２４がデジタル値の補間量信号Ｓ１０を出力するので、配線数を減少させることができ、且つ回転量の検出精度が高くなるとともに、出力情報の密度が高くなった場合にもノイズなどの外乱の影響を殆ど受けることなく補間量信号Ｓ１０を位置決め制御コントローラ１９Ｄに確実に伝送することができるという効果を得られる。
【００３１】
図７は、上述した第１ないし第６の実施の形態の位置決め制御装置のうちのいずれかを電子部品の供給手段に適用して構成した電子部品実装装置を示す概略平面図である。この電子部品実装装置は、部品装着機構部５９とこれの後方側に配置された部品供給機構部３０とにより構成されている。部品装着機構部５９は、電子部品（図示せず）を実装すべき回路基板３１を供給する基板供給手段３２と、供給された回路基板３１を所定の部品実装位置に位置決めするＸ−Ｙテーブル３３と、部品供給機構部３０から供給された電子部品をノズル３４で吸着して取り出したのちに回転して、位置決め状態の回路基板３１の所定の部品装着位置に実装するロータリ方式の実装ヘッド３７と、電子部品が実装済みの回路基板３１を排出する基板排出手段３８とを備えている。
【００３２】
一方、部品供給機構部３０は、多数の電子部品を収納した電子部品供給手段としての複数の部品供給カセット３９を並列配置で搭載した複数（この実施の形態では２つ）の部品供給テーブル４０が、個々のサーボモータ９によって回転駆動されるボールねじ１２に沿って各々独立して左右方向に直線移動するよう配設されている。この部品供給機構部３０は、部品実装時に、いずれか一方の部品供給テーブル４０を、実装ヘッド３７に対向する供給エリア内において部品供給カセット３９の並列方向に沿って移動させながら、装着する電子部品の順序に従って部品供給カセット３９を所定の部品供給位置に順次位置決め停止させる。この一方の部品供給テーブル４０により電子部品を供給しているときには、他方の部品供給テーブル４０が左右何れかの側の待機エリア内において部品供給カセット３９の交換や部品供給カセット３９への電子部品の補充が行われる。
【００３３】
部品供給機構部３０には、上述した実施の形態の位置決め制御装置が適用されている。すなわち、サーボモータ９は、上述の各実施の形態のようにフィードバック制御されて、各実施の形態の制御対象負荷１１に相当する部品供給テーブル４０を位置決め制御する。この部品供給テーブル４０の位置決め制御は一般に高速移動によって行われるが、各実施の形態の位置決め制御装置を適用することより、部品供給テーブル４０を高速移動させながらも高精度に位置決め停止させることができるとともに、各実施の形態で各々説明したと同様の効果を得ることができる。
【００３４】
このように、本発明の位置決め制御装置は、特に、電子部品実装装置に適用して顕著な効果を得られるものであるが、その制御対象負荷１１は図７に示した部品供給テーブル４０に限らず、例えば、回路基板３１を移動させて位置決め制御するためのＸ−Ｙテーブル３３、電子部品を保持しながらＸ−Ｙ方向に直線移動して回路基板の所定の実装位置の上方に位置決めする実装ヘッドまたはＸ−Ｙロボット方式の実装装置における部品実装アームなどの位置決め制御に適用して顕著な効果を得ることができる。
【００３５】
【発明の効果】
以上のように本発明の部品実装装置によれば、移動量検出信号の情報の間隔を回転検出手段の回転量検出信号で補間した位置情報信号をフィードバック制御信号として用いているので、移動量検出手段による移動量検出信号に加えて、回転量検出手段の回転量検出信号をも利用して回転駆動手段の回転をフィードバック制御することができ、移動量検出信号のみをフィードバック制御信号として用いる従来装置に比較して、制御対象負荷を回転量検出手段の回転量検出信号の精度と同等の高精度に位置決め制御することができる。しかも、この部品実装装置は、従来装置の構成に対して、位置情報合成手段などの僅かな構成要素を新たに付設するだけであるのに加えて、制御対象負荷の移動範囲が広くなった場合にも、移動量検出信号の情報の間隔を回転量検出信号で補間することから、移動量検出信号を、例えば間隔の広いパルス信号として取り出すことができるので、安価な構成とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る位置決め制御装置を示すブロック構成図。
【図２】本発明の第２の実施の形態に係る位置決め制御装置を示すブロック構成図。
【図３】本発明の第３の実施の形態に係る位置決め制御装置を示すブロック構成図。
【図４】本発明の第４の実施の形態に係る位置決め制御装置を示すブロック構成図。
【図５】本発明の第５の実施の形態に係る位置決め制御装置を示すブロック構成図。
【図６】本発明の第６の実施の形態に係る位置決め制御装置を示すブロック構成図。
【図７】本発明の位置決め制御装置を適用した電子部品実装装置を示す概略平面図。
【図８】従来の位置決め制御装置を示すブロック構成図。
【図９】従来の他の位置決め制御装置を示すブロック構成図。
【符号の説明】
７  移動量検出手段
９  サーボモータ（回転駆動手段）
１０，２４  ロータリエンコーダ（回転量検出手段）
１１  制御対象負荷
１２  ボールねじ（駆動伝達手段）
１３  リニアスケール（移動量検出手段）
２３，２８  位置情報合成手段
３３  Ｘ−Ｙテーブル（基板移動部）
４０  部品供給テーブル（部品供給部）
Ｓ１  位置指令信号
Ｓ５，Ｓ９  回転量検出信号
Ｓ６  移動量検出信号
Ｓ８  位置情報信号
Ｓ１０  補間量信号
【図１】
0004595271.tif 000002
【図２】
0004595271.tif 000003
【図３】
0004595271.tif 000004
【図４】
0004595271.tif 000005
【図５】
0004595271.tif 000006
【図６】
0004595271.tif 000007
【図７】
0004595271.tif 000008
【図８】
0004595271.tif 000009
【図９】
0004595271.tif 000010