(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を収納したトレイを配置するトレイ収納領域と試験用のソケットをもつテストヘッドが配設されるテスト領域との間を移動して当該トレイ収納領域とテスト領域との間で部品を搬送する搬送用テーブルと、テスト領域において前記搬送用テーブルとテストヘッドとの間で部品を搬送する搬送用ヘッドと、トレイ収納領域において前記搬送用テーブルとトレイとの間で部品を搬送するヘッド部材とを備えた部品試験装置において、
前記搬送用テーブルをそれぞれ有し、かつ前記テストヘッドを挟んで互いに反対側に配置される第１シャトルロボット及び第２シャトルロボットを備えるとともに、
前記搬送用ヘッドとして、前記第１シャトルロボットの搬送用テーブルと前記テストヘッドとの間で部品を搬送する第１搬送用ヘッド及び第２シャトルロボットの搬送用テーブルと前記テストヘッドとの間で部品を搬送する第２搬送用ヘッドを備えており、
前記ヘッド部材は、前記トレイと第１シャトルロボットの搬送用テーブル及び第２シャトルロボットの搬送用テーブルとの間で直接部品を搬送するように構成され、
前記第１、第２搬送用ヘッドは、前記搬送用テーブル上の未試験部品をテストヘッドに搬送し、当該未試験部品を前記ソケットに挿入して試験を行わせた後、試験済み部品をテストヘッドから搬送用テーブル上に戻す部品搬送動作を行うとともに、当該部品搬送動作をテストヘッドの共通のソケットに対して交互に行うように構成され、
前記第１、第２シャトルロボットは、搬送用テーブルに試験済み部品を載置する第１エリアと未試験部品を載置する第２エリアとを別々に有しており、かつトレイ収納領域からテスト領域への未試験部品の搬送およびテスト領域からトレイ収納領域への試験済み部品の搬送をそれぞれ行うように構成されていることを特徴とする部品試験装置。
【請求項２】
請求項１に記載の部品試験装置において、
前記第１、第２シャトルロボットは、搬送用テーブル上においてその移動方向に前記第１、第２エリアが並ぶものであって、かつこの搬送用テーブルが、前記トレイ収納領域において搬送用テーブルの移動経路上に予め設定された第１部品受渡し位置と前記テスト領域において搬送用テーブルの移動経路上に予め設定された第２部品受け渡し位置との間を移動するように構成されており、
前記第２エリアが第１部品受渡し位置に対応するように搬送用テーブルが位置決めされた状態で、前記ヘッド部材によりトレイ内の未試験部品が搬送用テーブルの第２エリアに移載され、次いで前記第１エリアが第１部品受渡し位置に対応するように搬送用テーブルが位置決めされた状態で、前記第１エリア上に載置されている試験済み部品が前記ヘッド部材により保持され、その後、当該搬送用テーブルが第２部品受け渡し位置から第１部品受け渡し位置に移動する一方で、前記ヘッド部材により保持された前記試験済み部品がトレイに移載されるように前記第１、第２シャトルロボット及びヘッド部材が構成されていることを特徴とする部品試験装置。
【請求項３】
請求項２に記載の部品試験装置において、
前記第１エリアが第１部品受渡し位置に対応するように前記搬送用テーブルが位置決めされた状態で、前記搬送用ヘッドにより保持されている試験済み部品が搬送用テーブルの第１エリアに移載され、次いで前記第２エリアが第１部品受渡し位置に対応するように搬送用テーブルが位置決めされた状態で、前記第２エリア上に載置されている未試験部品が前記搬送用ヘッドにより保持され、その後、当該搬送用テーブルが第１部品受け渡し位置から第２部品受け渡し位置に移動する一方で、前記搬送用ヘッドに保持された未試験部品が当該搬送用ヘッドによりテストヘッドの前記ソケット内に挿入されるように前記第１、第２シャトルロボット及び第１、第２搬送用ヘッドが構成されていることを特徴とする部品試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＩＣチップ等の電子部品を試験する部品試験装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置などの製造過程においては、最終的に製造されたＩＣチップ等の電子部品に対して各種試験を施す必要があるが、そのような試験を自動的に行う装置として、従来特開平１１−３３３７７５号公報に開示されるような装置がある。
【０００３】
この装置は、トレイに収納された未試験のＩＣチップを部品吸着用のノズル部材を有する第１搬送装置により吸着して第１バッファ装置の搬送用テーブル上に載せ、第１バッファ装置の前記搬送用テーブルの移動によりＩＣチップをテストヘッド近傍まで搬送した後、部品吸着用のノズル部材を有する第２搬送装置により第１バッファ装置からＩＣチップを吸着してテストヘッドに移載して試験を行う。そして試験後は、第２搬送装置によりテストヘッドから第２バッファ装置の搬送用テーブル上にＩＣチップを移載して該搬送用テーブルの移動に伴いトレイ載置部まで搬送した後、第１搬送装置によって試験結果に応じた所定のトレイ上にＩＣチップを移し替えるように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この種の試験装置では、各搬送装置等の動作タクトを出来る限り短縮することにより試験をより効率良く行い得るようにすることが究極の課題とされるが、上記従来の試験装置では、テストヘッドに対する部品の搬入及び排出が上記のように２つのバッファ装置（第１バッファ装置、第２バッファ装置）によって行われ、しかも、各バッファ装置がテスト位置に対して互いに反対側に配置されているため上記課題を達成する上での大きな弊害となっている。
【０００５】
すなわち、上記従来の試験装置では、テストヘッドに対する部品の搬送及び搬出を共通の第２搬送装置により行うが、この場合、第２搬送装置は、まず部品を受け取って第１バッファ装置からテストヘッドに移動し、該部品を試験に供した後、そのまま第２バッファ装置まで移動して部品を受け渡す。そして、一旦テスト位置を挟んで反対側の第１バッファ装置の位置まで戻ってから次の部品を受け取ることとなる。つまり、第２搬送装置は、テスト位置を挟む広い範囲で移動することが必要であるため、この移動に多くの時間が費やされることとなり、これが動作タクトを短縮する上での妨げとなっている。
【０００６】
また、上記従来の試験装置では、トレイに対する部品の出し入れを共通の第１搬送装置により行うが、この場合も、各バッファ装置が離れて配置されているため、第１搬送装置が両バッファ装置の間を移動するのに時間がかかり、同様に動作タクトを短縮する上での妨げとなっている。
【０００７】
また、動作タクトの短縮とは直接関係はないが、上記従来の試験装置では、上記のように搬入用および搬出用の２つのバッファ装置が必ず必要であるため、装置構成の簡略化、あるいは低廉化を図るといった上でも改善の余地が残されている。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、ＩＣチップ等の試験装置において、動作タクトの短縮化を図ることにより試験をより効率良く行い得るようにする一方で、装置構成の簡略化、低廉化の要請にも良好に対応することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明は、部品を収納したトレイを配置するトレイ収納領域と試験用のソケットをもつテストヘッドが配設されるテスト領域との間を移動して当該トレイ収納領域とテスト領域との間で部品を搬送する搬送用テーブルと、テスト領域において前記搬送用テーブルとテストヘッドとの間で部品を搬送する搬送用ヘッドと、トレイ収納領域において前記搬送用テーブルとトレイとの間で部品を搬送するヘッド部材とを備えた部品試験装置において、前記搬送用テーブルをそれぞれ有し、かつ前記テストヘッドを挟んで互いに反対側に配置される第１シャトルロボット及び第２シャトルロボットを備えるとともに、前記搬送用ヘッドとして、前記第１シャトルロボットの搬送用テーブルと前記テストヘッドとの間で部品を搬送する第１搬送用ヘッド及び第２シャトルロボットの搬送用テーブルと前記テストヘッドとの間で部品を搬送する第２搬送用ヘッドを備えており、前記ヘッド部材は、前記トレイと第１シャトルロボットの搬送用テーブル及び第２シャトルロボットの搬送用テーブルとの間で直接部品を搬送するように構成され、前記第１、第２搬送用ヘッドは、前記搬送用テーブル上の未試験部品をテストヘッドに搬送し、当該未試験部品を前記ソケットに挿入して試験を行わせた後、試験済み部品をテストヘッドから搬送用テーブル上に戻す部品搬送動作を行うとともに、当該部品搬送動作をテストヘッドの共通のソケットに対して交互に行うように構成され、前記第１、第２シャトルロボットは、搬送用テーブルに試験済み部品を載置する第１エリアと未試験部品を載置する第２エリアとを別々に有しており、かつトレイ収納領域からテスト領域への未試験部品の搬送およびテスト領域からトレイ収納領域への試験済み部品の搬送をそれぞれ行うように構成されているものである（請求項１）。
【００１１】
上記の構成によると、テスト領域において、第１搬送用ヘッドがテストヘッドと第１シャトルロボットの搬送用テーブルとの間を往復移動するだけで、テストヘッドに対する部品の搬入および搬出を行うことができる。同様に、第２搬送用ヘッドがテストヘッドと第２シャトルロボットの搬送用テーブルとの間を往復移動するだけで、テストヘッドに対する部品の搬入および搬出を行うことができる。そのため、各搬送用ヘッドについてはその移動量が少なくて済み、動作タクトを短縮することが可能となる。また、未試験部品および試験済み部品を共通の搬送用テーブル（つまり、一つのシャトルロボットの共通の搬送用テーブル）で搬送するため、構成が合理的であり装置構成の簡略化、低廉化の要請にも良好に応えることができる。
この場合、前記第１、第２シャトルロボットは、搬送用テーブル上においてその移動方向に前記第１、第２エリアが並ぶものであって、かつこの搬送用テーブルが、前記トレイ収納領域において搬送用テーブルの移動経路上に予め設定された第１部品受渡し位置と前記テスト領域において搬送用テーブルの移動経路上に予め設定された第２部品受け渡し位置との間を移動するように構成されており、前記第２エリアが第１部品受渡し位置に対応するように搬送用テーブルが位置決めされた状態で、前記ヘッド部材によりトレイ内の未試験部品が搬送用テーブルの第２エリアに移載され、次いで前記第１エリアが第１部品受渡し位置に対応するように搬送用テーブルが位置決めされた状態で、前記第１エリア上に載置されている試験済み部品が前記ヘッド部材により保持され、その後、当該搬送用テーブルが第２部品受け渡し位置から第１部品受け渡し位置に移動する一方で、前記ヘッド部材により保持された前記試験済み部品がトレイに移載されるように前記第１、第２シャトルロボット及びヘッド部材が構成されているのが好ましい（請求項２）。
この構成によると、トレイ収納領域において、ヘッド部材による未試験部品の搬送用テーブルへの移載及びトレイへの試験済み部品の移載を各シャトルロボットの一つの搬送用テーブルに対して連続して効率良く行うことができる。特に、ヘッド部材よりも移動時の慣性が小さい搬送用テーブルを移動させながら部品の受渡しを行うことで、該部品受渡し時の搬送用テーブルとヘッド部材との相対的な位置決めを迅速に行わせることができ、動作タクトをさらに短縮することが可能となる。
さらに、前記第１エリアが第１部品受渡し位置に対応するように前記搬送用テーブルが位置決めされた状態で、前記搬送用ヘッドにより保持されている試験済み部品が搬送用テーブルの第１エリアに移載され、次いで前記第２エリアが第１部品受渡し位置に対応するように搬送用テーブルが位置決めされた状態で、前記第２エリア上に載置されている未試験部品が前記搬送用ヘッドにより保持され、その後、当該搬送用テーブルが第１部品受け渡し位置から第２部品受け渡し位置に移動する一方で、前記搬送用ヘッドに保持された未試験部品が当該搬送用ヘッドによりテストヘッドの前記ソケット内に挿入されるように前記第１、第２シャトルロボット及び第１、第２搬送用ヘッドが構成されているのが好ましい（請求項３）。
この構成によると、テスト収納領域において、各搬送用ヘッドにより、試験済み部品の搬送用テーブルへの移載及び未試験部品のテストヘッドへの搬送を各シャトルロボットの一つの搬送用テーブルに対して連続して効率良く行うことができる。特に、第１、第２搬送用ヘッドよりも移動時の慣性が小さい搬送用テーブルを移動させながら部品の受渡しを行うことで、該部品受渡し時の搬送用テーブルと第１、第２搬送用ヘッドとの相対的な位置決めを迅速に行わせることができ、動作タクトをさらに短縮することが可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。なお、図中には方向性を明確にするためにＸ軸、Ｙ軸を示している。
【００１９】
図１及び図２は、本発明に係る部品試験装置を概略的に示している。これらの図に示すように、部品試験装置１（以下、試験装置１と略す）は、部品の搬送及び試験中の部品保持（固定）という機械的な役割を担うハンドラ２と、このハンドラ２に組込まれる試験装置本体３とから構成されている。
【００２０】
試験装置本体３は、上面にテストヘッド４を備えた箱型の装置で、テストヘッド４に設けられたソケット（図示省略）に部品をセットして該部品の入力端子にテスト電流を供給しつつ部品の出力端子からの出力電流を受けることにより部品の品質を判断するように構成されている。
【００２１】
試験装置本体３は、前記ハンドラ２に対して脱着可能に構成されており、図示を省略するが、例えば試験装置本体３を専用の台車に載せた状態でハンドラ２の下側から所定の挿着位置に挿入し、テストヘッド４をハンドラ２の基台２ａに形成された開口部から後記テスト領域Ｔａに臨ませた状態で固定することによりハンドラ２に対して組付けられている。なお、テストヘッド４と試験装置本体３とは必ずしも一体である必要はなく、テストヘッド４のみをハンドラ２に組付け、その他の部分をハンドラ２から離間した位置に配置してテストヘッド４に対して電気ケーブル等で電気的に接続するようにしてもよい。この場合には、試験装置本体３を除くハンドラ２そのものを本発明の部品試験装置とみなすことができる。
【００２２】
ハンドラ２は、同図に示すように、上部が側方に迫出した略箱型の装置で、トレイに収納された部品を取出して前記テストヘッド４に搬送し、さらに試験済みの部品をその試験結果に応じて仕分けするように構成されている。以下、その構成について具体的に説明する。
【００２３】
ハンドラ２の基台２ａ上は、大きく分けて、トレイＴｒが収納されるトレイ収納領域Ｓａと、テストヘッド４等が配置されるテスト領域Ｔａの二つの領域に分けられている。
【００２４】
トレイ収納領域Ｓａには、Ｘ軸方向に複数のトレイ収納部が並設されており、当実施形態では、図２の左側から順に第１〜第５の５つのトレイ収納部１１〜１５が並設されている。そして、第２トレイ収納部１２及び第４トレイ収納部１４に未試験（未検査）の部品を載せたトレイＴｒが、第１トレイ収納部１１に空のトレイＴｒが、第３トレイ収納部１３に試験済みの部品のうち合格品（Pass）を載せたトレイＴｒが、第５トレイ収納部１５に試験済み部品のうち不合格品（Fail）を載せたトレイＴｒが夫々収納されている。なお、各トレイＴｒは何れも共通の構造を有しており、図示を省略するが、例えばその表面には格子状に区画形成された複数の部品収納部が設けられ、ＩＣチップ等の部品が各部品収納部に収納されるように構成されている。
【００２５】
各トレイ収納部１１〜１５は、夫々昇降可能なテーブル上に複数のトレイＴｒを積み重ねた状態で収納するように構成されており、最上位のトレイＴｒのみを基台２ａ上に臨ませた状態で配置し、それ以外のトレイＴｒを基台下のスペースに収納するように構成されている。
【００２６】
具体的には、図３及び図４に示すように、各トレイ収納部１１〜１５には、上下方向（Ｚ軸方向）に延びるレール１７が設けられ、このレール１７にテーブル１６が移動可能に装着されている。また、サーボモータ１８により作動する前記レール１７と平行なボールねじ軸１９が設けられ、このボールねじ軸１９がテーブル１６のナット部分１６ａに螺合装着されている。そして、テーブル１６上に複数のトレイＴｒが積み重ねられた状態で載置され、サーボモータ１８によるボールねじ軸１９の回転駆動に伴いテーブル１６が昇降することにより、テーブル１６上に積み重ねられたトレイＴｒの数に応じてその最上位のものが各開口部１１ａ〜１５ａを介して基台上に配置されるように構成されている。
【００２７】
また、ハンドラ２の側壁には、図１に示すように各トレイ収納部１１〜１５に対応して扉１１ｂ〜１５ｂが設けられており、これらの扉１１ｂ〜１５ｂを開くことにより各トレイ収納部１１〜１５に対してトレイＴｒを出し入れできるように構成されている。
【００２８】
なお、試験に供される部品のうち大部分は合格品であることを考慮して、上記トレイ収納部１１〜１５のうち合格部品を収納する第３トレイ収納部１３は他のトレイ収納部１１，１２，１４，１５に比べてトレイＴｒの収納容量が大きく設定されている。これにより第３トレイ収納部１３に対するトレイＴｒの出し入れ頻度が他のトレイ収納部に比べてあまりに多くなることがないように構成されている。
【００２９】
トレイ収納領域Ｓａには、さらに図１及び図２に示すようにＰ＆Ｐロボット（Pick & Place Robot）２０が設けられている。
【００３０】
Ｐ＆Ｐロボット２０は、移動可能なヘッド２３（本発明のヘッド部材に相当）を有しており、このヘッド２３によって第２又は第４トレイ収納部１２，１４のトレイＴｒから部品を取出して後述するシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂに受け渡すとともに、試験済みの部品をシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂから受け取って第３トレイ収納部１３又は第５トレイ収納部１５のトレイＴｒに移載するもので、さらに第１トレイ収納部１１とその他のトレイ収納部１２〜１５との間で空トレイＴｒを搬送するトレイ搬送装置としても機能するように構成されている。
【００３１】
詳しく説明すると、上記基台２ａ上にはＹ軸方向に延びる一対の固定レール２１が設けられ、これら固定レール２１にヘッド支持部材２２が移動可能に装着されている。また、図示を省略するが、サーボモータにより回転駆動されて前記固定レール２１と平行に延びるボールねじ軸が基台２ａ上に設けられ、このボールねじ軸が前記支持部材２２に設けられたナット部材（図示省略）に螺合装着されている。さらに、詳しく図示していないが、前記支持部材２２にＸ軸方向に延びる固定レールが設けられてこの固定レールにヘッド２３が移動可能に装着されるとともに、サーボモータにより回転駆動されて前記固定レールと平行に延びるボールねじ軸が設けられ、このボールねじ軸がヘッド２３に設けられたナット部分に螺合装着されている。そして、上記各サーボモータによるボールねじ軸の回転駆動に応じて支持部材２２がＹ軸方向に、ヘッド２３がＸ軸方向に夫々移動することにより、ヘッド２３が前記トレイ収納部１１〜１５及びシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの後記部品受渡し位置Ｐ１を含む範囲で平面的に移動（Ｘ−Ｙ平面上を移動）し得るように構成されている。
【００３２】
ヘッド２３には、複数のノズル部材が搭載されており、当実施の形態では部品吸着用の一対のノズル部材２４ａ，２４ｂ（第１ノズル２４ａ，第２ノズル２４ｂという）とトレイ吸着用のノズル部材２５（トレイ用ノズル部材２５という）との合計３つのノズル部材が搭載されている。
【００３３】
部品吸着用の各ノズル部材２４ａ，２４ｂは、ヘッド２３に対して昇降及び回転（ノズル軸回りの回転）が可能となっており、図示を省略するがサーボモータを駆動源とする駆動機構により夫々作動するように構成されている。そして、第２トレイ収納部１２等のトレイＴｒ上、あるいはシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの後記テーブル３２の上方にヘッド２３が配置された状態で、各ノズル部材２４ａ，２４ｂの昇降動作に伴いトレイＴｒに対する部品の出し入れ等を行うように構成されている。なお、トレイＴｒへの部品の収納に際しては、このようなノズル昇降動作に加えて各ノズル部材２４ａ，２４ｂが回転することによりトレイＴｒに対して予め定められた方向で部品を収納し得るように構成されている。
【００３４】
トレイ用ノズル部材２５は、ヘッド２３に対して昇降動作のみが可能となっており、サーボモータを駆動源とする駆動機構により作動するように構成されている。そして、部品の取出しに伴い空になったトレイＴｒを吸着した状態で、ヘッド２３の移動に伴い第２及び第４トレイ収納部１２，１４から第１トレイ収納部１１にトレイＴｒを移送するとともに、必要に応じて第１トレイ収納部１１に収納されている空のトレイＴｒを吸着して第３又は第５のトレイ収納部１３，１５に移送するように構成されている。なお、トレイ用ノズル部材２５については、トレイＴｒを良好に吸着すべくその先端部（下端部）に例えば矩形板型の吸着パッドが組付けられることにより広い吸着面積が確保されている。
【００３５】
トレイ収納領域Ｓａには、さらに各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ１の間にＣＣＤエリアセンサからなる部品認識カメラ３４が配設されている。このカメラ３４は、Ｐ＆Ｐロボット２０の前記ヘッド２３に吸着されている部品を下側から撮像するもので、試験終了後の部品をトレイＴｒへの収納に先立って撮像するように構成されている。なお、該部品認識カメラ３４は、ヘッド２３の各ノズル部材２４ａ，２４ｂに吸着されている２つの部品を同時に撮像し得るように構成されている。
【００３６】
一方、テスト領域Ｔａには、前記テストヘッド４、一対のシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ（第１シャトルロボット３０Ａ，第２シャトルロボット３０Ｂ）及びテストロボット４０が配設されている。なお、シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂは実際にはテスト領域Ｔａとトレイ収納領域Ｓａとに跨って設けられているが、ここでは説明の便宜上テスト領域Ｔａに属することとして説明する。
【００３７】
テストヘッド４は、上述の通り基台２ａに形成された開口部からテスト領域Ｔａの略中央部分に露出した状態で配設されている。テストヘッド４の表面には、部品をセットするための複数のソケット（図示省略）が配設されており、当試験装置１においては２つのソケットがＸ軸方向に並んだ状態で設けられている。
【００３８】
各ソケットには、それぞれ部品（ＩＣチップ等）の各リードに対応する接触部（図示せず）が設けられており、各ソケットに部品を夫々位置決めすると、部品の各リードとこれに対応する接触部とが接触して該部品に対して導通試験や、入力電流に対する出力特性試験等の電気的試験が施されるように構成されている。
【００３９】
シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ（本発明の第１シャトルロボット及び第２シャトルロボットに相当する）は、トレイ収納領域Ｓａとテスト領域Ｔａとの間で部品を搬送しつつ前記Ｐ＆Ｐロボット２０およびテストロボット４０に対して部品の受渡しを行う装置で、図２に示すように夫々Ｙ軸方向に延びる固定レール３１と、サーボモータを駆動源とする駆動機構により駆動されて前記固定レール３１に沿って移動するテーブル３２（搬送用テーブル）とを有している。そして、第１トレイ収納部１１及び第５トレイ収納部１５の近傍に設定されたＰ＆Ｐロボット２０に対する部品受渡し位置Ｐ１（本発明の第１部品受渡し位置に相当する）と、テストヘッド４側方に設定されたテストロボット４０に対する部品受渡し位置Ｐ２（本発明の第２部品受渡し位置に相当する）との間で前記テーブル３２を固定レール３１に沿って往復移動させながら該テーブル３２により部品を搬送するように構成されている。なお、部品受渡し位置Ｐ１及び部品受渡し位置Ｐ２は、テーブル３２の移動経路上に設定されている。
【００４０】
テーブル３２には、未試験の部品を載置するためのエリアと、試験済みの部品を載置するエリアとが予め定められており、当実施形態では、図５に示すようにテーブル３２のうちトレイ収納領域Ｓａ側（同図では下側）が試験済みの部品を載置する第１エリアａ１とされ、その反対側が未試験の部品を載置する第２エリアａ２と定められている。各エリアａ１，ａ２には、夫々一対の吸着パッド３３ａ，３３ｂがＸ軸方向に所定間隔で、具体的にはテストロボット４０の各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂに設けられる一対のヘッド本体４３ａ，４３ｂの最小ピッチ、あるいはそれ以上のピッチであって、かつＰ＆Ｐロボット２０の前記ヘッド２３のノズル部材２４ａ，２４ｂに対応する間隔で設けられおり、部品搬送時には、これらのパッド３３ａ，３３ｂ上に部品が置かれて吸着された状態で搬送されるように構成されている。
【００４１】
なお、各シャトルロボット３０Ａ，３０ＢとＰ＆Ｐロボット２０及びテストロボット４０との部品の受渡しは、例えば、以下のようにして行われる。
【００４２】
まず、Ｐ＆Ｐロボット２０から各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂに未試験の部品を移載する際には、図６（ａ）に示すように、部品受渡し位置Ｐ１にＰ＆Ｐロボット２０のヘッド２３（ノズル部材２４ａ，２４ｂ）が位置決めされる一方、ヘッド２３に対して第２エリアａ２が対応するようにテーブル３２が位置決めされ（この位置を第２ポジションという）、この状態でヘッド２３の各ノズル部材２４ａ，２４ｂの昇降に伴いテーブル３２上に部品が移載される。一方、シャトルロボット３０Ａ（３０Ｂ）からＰ＆Ｐロボット２０に試験済み部品を移載する際には、図６（ｂ）に示すようにヘッド２３に対して第１エリアａ１が対応するようにテーブル３２が位置決めされ（この位置を第１ポジションという）、この状態でテーブル３２上の部品がノズル部材２４ａ，２４ｂの昇降に伴い吸着される。
【００４３】
また、テストロボット４０からシャトルロボット３０Ａ（３０Ｂ）に試験済みの部品を移載する際には、図６（ｃ）に示すように部品受渡し位置Ｐ２にテストロボット４０のヘッド本体４３ａ，４３ｂ（後記ノズル部材６０ａ，６０ｂ）がＸ軸方向に夫々位置決めされる一方、ヘッド本体４３ａ，４３ｂに対して第１エリアａ１が対応するようにテーブル３２が位置決めされ（第１ポジション）、この状態（すなわち、前記両固定レール３１の内側（図５では右側）に位置する吸着パッド３３ｂとノズル部材６０ｂ、固定レール３１の外側（図５では左側）に位置する吸着パッド３３ａとノズル部材６０ａとが夫々一致する状態）でノズル部材６０ａ，６０ｂの昇降に伴ってテーブル３２上に部品が載置される。一方、シャトルロボット３０Ａ（３０Ｂ）からテストロボット４０に未試験の部品を移載する際には、図６（ｄ）に示すようにヘッド本体４３ａ，４３ｂに対して第２エリアａ２が対応するようにテーブル３２が位置決めされ（第２ポジション）、この状態でノズル部材６０ａ，６０ｂの昇降に伴いテーブル３２上から部品が吸着されるようになっている。
【００４４】
テストロボット４０は、上述のように各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂによりトレイ収納領域Ｓａからテスト領域Ｔａに供給される部品をテストヘッド４に搬送（供給）して該試験の間テストヘッド４に対して部品を押圧した状態で保持（固定）し、試験後は、部品をそのままシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂに受け渡す（排出する）装置である。
【００４５】
このテストロボット４０は、シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂを跨ぐように基台２ａ上に設けられた高架２ｂに沿って移動する一対の搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂ（第１搬送用ヘッド４２Ａ，第２搬送用ヘッド４２Ａという；第１ヘッド部材）を有しており、これら搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂに夫々搭載された一対のヘッド本体４３ａ，４３ｂ（第１ヘッド本体４３ａ，第２ヘッド本体４３ｂという）によりテストヘッド４に対して部品の供給及び排出を行うように構成されている。以下、図１，図２及び図７〜図９を参照しつつ搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂの構成について具体的に説明する。
【００４６】
各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂは、夫々、前記高架２ｂ上に配設されたＸ軸方向の固定レール４５に沿って移動可能な一対の可動フレーム４６ａ，４６ｂ（第１可動フレーム４６ａ，第２可動フレーム４６ｂという；単位フレーム）を有している。これらの可動フレーム４６ａ，４６ｂのうち第１可動フレーム４６ａにはサーボモータ４７が固定されており、このサーボモータ４７の出力軸にＸ軸方向に延びるボールねじ軸４８が一体的に連結されるとともに、このボールねじ軸４８が第２可動フレーム４６ｂに設けられたナット部分４９に螺合装着されている。また、サーボモータ５０により夫々回転駆動される前記固定レール４５と平行な一対のボールねじ軸５１が基台２ａに設けられ、これらボールねじ軸５１が搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂの各第１可動フレーム４６ａに設けられたナット部分５２に螺合装着されている。すなわち、サーボモータ５０によるボールねじ軸５１の回転駆動に伴い各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂが固定レール４５に沿って夫々Ｘ軸方向に移動するとともに、前記サーボモータ４７によるボールねじ軸４８の回転駆動に伴い、各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂにおいて、図９の二点鎖線に示すように第２可動フレーム４６ｂが第１可動フレーム４６ａに対して相対的にＸ軸方向に移動し得るように構成されている。
【００４７】
各可動フレーム４６ａ，４６ｂ上には、図８及び図９に示すようにＹ軸方向に延びる固定レール５４が夫々配設されている。各レール５４には、ヘッド支持部材５５が夫々移動可能に支持されており、これらヘッド支持部材５５の先端部（図８では左側端部）に前記ヘッド本体４３ａ，４３ｂが夫々組付けられている。そして、各可動フレーム４６ａ，４６ｂに、サーボモータ５７により駆動される前記固定レール５４と平行なボールねじ軸５８が夫々固定台５６を介して支持され、これらボールねじ軸５８がヘッド支持部材５５に設けられたナット部分５９に夫々螺合装着されている。これにより各サーボモータ５７によるボールねじ軸５８の回転駆動に伴い各ヘッド本体４３ａ，４３ｂが可動フレーム４６ａ，４６ｂに対して夫々Ｙ軸方向に移動するように構成されている。
【００４８】
各ヘッド本体４３ａ，４３ｂには、図８に示すように部品吸着用のノズル部材６０ａ，６０ｂ（第１ノズル部材６０ａ，第２ノズル部材６０ｂ）が夫々設けられている。各ノズル部材６０ａ，６０ｂは、ヘッド本体４３ａ，４３ｂのフレームに対して昇降及び回転（ノズル軸回りの回転）が可能となっており、サーボモータを駆動源とする図外の駆動機構により駆動するように構成されている。
【００４９】
また、各ヘッド本体４３ａ，４３ｂには、テストヘッド４への部品供給の際にソケットに付された基準マークを撮像するためのＣＣＤエリアセンサからなるソケット認識カメラ６２が夫々搭載されている。
【００５０】
テスト領域Ｔａには、さらに前記シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ２とテストヘッド４との間に、夫々ＣＣＤエリアセンサからなる部品認識カメラ６４Ａ，６４Ｂが配設されている。これらのカメラ６４Ａ，６４Ｂは、各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂにより吸着されている２つの部品をその下側から同時に撮像し得るように構成されており、図１０に示すように、ヘッド本体４３ａ，４３ｂにより各シャトルロボット３０Ａ（３０Ｂ）から部品が取り上げられた後、該ヘッド本体４３ａ，４３ｂの移動に伴い部品認識カメラ６４Ａ（６４Ｂ）上方に部品が配置されることにより部品を撮像するように構成されている。なお、部品受渡し位置Ｐ２、部品認識カメラ６４Ａ，６４Ｂ及びテストヘッド４は、Ｘ軸と平行な同一軸線上に配置されており、これにより搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂを夫々部品受渡し位置Ｐ２からテストヘッド４に亘って最短距離で移動させながその途中で未試験の部品を撮像し得るように構成されている。
【００５１】
なお、ハンドラ２の上部には、図１に示すように防塵用のカバー２ｃが装着されており、テスト領域Ｔａ及びトレイ収納領域Ｓａを含む基台２ａ上の空間がこのカバー２ｃによって覆われている。
【００５２】
図１１は、試験装置１の制御系をブロック図で示している。この図に示すように、試験装置１は、論理演算を実行する周知のＣＰＵ７０ａと、そのＣＰＵ７０ａを制御する種々のプログラムなどを予め記憶するＲＯＭ７０ｂと、装置動作中に種々のデータを一時的に記憶するＲＡＭ７０ｃとを備えた制御部７０を備えている。
【００５３】
この制御部７０には、Ｉ／Ｏ部（図示せず）を介して試験装置本体３、部品認識カメラ３４，６４Ａ，６４Ｂ及びソケット認識カメラ６２が電気的に接続されるとともに、前記Ｐ＆Ｐロボット２０、テストロボット４０、シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの各コントローラ７１，７２，７３Ａ，７３Ｂが電気的に接続されている。また、各種情報を制御部７０に入出力するための操作部７５及び試験状況等の各種情報を報知するためのＣＲＴ７６等がこの制御部７０に電気的に接続されている。
【００５４】
そして、前記ＲＯＭ７０ｂに記憶されたプログラムに従ってハンドラ２の各ロボット等の動作が制御部７０により以下のように制御されるようになっている。
【００５５】
次に、上記制御部７０の制御に基づく試験装置１の動作について図１２のタイミングチャートに基づいて説明することにする。
【００５６】
なお、このタイミングチャートは試験動作中の特定の時点（ｔ０時点）からの動作を示しており、該ｔ０時点における各ロボット２０，３０Ａ，３０Ｂ，４０（搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂ）の状態は以下の通りである。
【００５７】
・Ｐ＆Ｐロボット２０  ；試験済みの部品をトレイＴｒに収納すべくヘッド２３が移動中の状態にある。つまり、ヘッド２３が第１シャトルロボット３０Ａの部品受渡し位置Ｐ１から、部品認識カメラ３４の上方を通過して第３トレイ収納部１３上又は第５トレイ収納部１５上に向って移動中の状態になる。なお、認識カメラ３４による部品の撮像は終了しており、既に部品の吸着誤差（ずれ）等が求められている。
【００５８】
・第１シャトルロボット３０Ａ  ；次回第１搬送用ヘッド４２Ａに供給する部品をテーブル３２上に保持した状態で部品受渡し位置Ｐ１に待機した状態にある。
【００５９】
・第１搬送用ヘッド４２Ａ  ；次に試験を行う部品を各ヘッド本体４３ａ，４３ｂにより吸着し、かつ各部品を部品認識カメラ６４Ａ上方に配置（待機）した状態、すなわち部品認識カメラ６４Ａによる部品の撮像に基づき前記吸着誤差演算手段７６により各ノズル部材６０ａ，６０ｂに吸着されている部品の吸着誤差（ずれ）が求められた状態になる。
【００６０】
・第２シャトルロボット３０Ｂ  ；次に第２搬送用ヘッド４２Ｂに供給する部品をテーブル３２上に保持した状態で部品受渡し位置Ｐ１に待機した状態にある。
【００６１】
・第２搬送用ヘッド４２Ｂ  ；テストヘッド４において試験終了直後の状態にある。
【００６２】
以上のような状態下において、まず、第２シャトルロボット３０Ｂのテーブル３２が部品受渡し位置Ｐ２に移動するとともに（ｔ１時点）、第２搬送用ヘッド４２Ｂの各ノズル部材６０ａ，６０ｂが部品をソケットに押圧する状態から該部品を吸着する状態に切換し、該試験済みの部品を吸着したまま上昇し、上昇が完了すると、試験済みの部品を受け渡すべく第２搬送用ヘッド４２Ｂが第２シャトルロボット３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ２に移動を開始する（ｔ３時点）。この際、第２搬送用ヘッド４２Ｂの各ヘッド本体４３ａ，４３ｂに吸着されている部品同士のピッチがテーブル３２における吸着パッド３３ａ，３３ｂのピッチ（Ｘ軸方向の間隔）と一致しない場合は、第２搬送用ヘッド４２Ｂの移動中にヘッド本体４３ａ，４３ｂの間隔が両ソケットの間のピッチに一致するように第２搬送用ヘッド４２Ｂが駆動制御される。
【００６３】
部品受渡し位置Ｐ２に第２搬送用ヘッド４２Ｂが到達すると（ｔ７時点）、まず第２搬送用ヘッド４２Ｂから第２シャトルロボット３０Ｂのテーブル３２上に試験済みの部品が移載され、次いで、該テーブル３２に予め載置されている次の部品（未試験の部品）が第２ロボット本体４２Ｂに受け渡される。詳しくは、第２シャトルロボット３０Ｂのテーブル３２がまず部品受渡し位置Ｐ２において第１ポジション（図６（ｃ）参照）に位置決めされ、各ノズル部材６０ａ，６０ｂの昇降に伴いテーブル３２上の第１エリアａ１に部品が移載される（ｔ９時点）。その後、テーブル３２が第２ポジション（図６（ｄ）参照）に位置決めされ、テーブル上の第2エリアａ２に保持されている部品が各ノズル部材６０ａ，６０ｂの昇降に伴い吸着される（ｔ１２時点）。
【００６４】
第２搬送用ヘッド４２Ｂと第２シャトルロボット３０Ｂとの間での部品の受渡しが完了すると、第２搬送用ヘッド４２Ｂの移動に伴い各部品が部品認識カメラ６４Ｂ上に配置されて（ｔ１８時点）、該部品の撮像に基づき吸着状態を調べるための処理が行われ、この処理が完了するとテストヘッド４への搬送待機状態となる。
【００６５】
一方、上記のように第２搬送用ヘッド４２Ｂが部品受渡し位置Ｐ２に移動すると、これと同じタイミングで第１搬送用ヘッド４２Ａが次の部品の試験を行うべくテストヘッド４に移動を開始する（ｔ３時点）。そして、第１搬送用ヘッド４２Ａがテストヘッド４に到達すると（ｔ５時点）、各ノズル部材６０ａ，６０ｂが下降し、この下降に伴い各ノズル部材６０ａ，６０ｂに吸着されている部品がテストヘッド４の各ソケットに夫々同時に押し付けられた状態で位置決めされ、これにより該部品の試験が開始される（ｔ８時点）。
【００６６】
同タイミングチャートでは詳細に示していないが、ソケットへの部品の位置決めは、まず、第１搬送用ヘッド４２Ａがテストヘッド４上の目標位置に配置され、ソケット認識カメラ６２によるマークの撮像に基づいてソケットに対する第１搬送用ヘッド４２Ａの位置誤差（ずれ）が求められる。そして、上述したように、主制御手段７４においてこの誤差と先に求められている部品の吸着誤差（ずれ）とに基づいてソケットに対する各部品の補正量が求められ、この補正量に基づいて第１搬送用ヘッド４２Ａが駆動制御されることにより各ヘッド本体４３ａ，４３ｂの吸着部品の位置が補正された後、各ノズル部材６０ａ，６０ｂの下降に伴い各部品がソケット内に位置決めされる。
【００６７】
各部品位置の補正は、まずサーボモータ５０の作動により第１搬送用ヘッド４２Ａ全体がＸ軸方向に移動した後、サーボモータ４７の作動により第２可動フレーム４６ｂのみがＸ軸方向に移動する。これにより各ヘッド本体４３ａ，４３ｂに吸着されている部品が夫々Ｘ軸方向に位置補正される。そして、各サーボモータ５７の作動により各ヘッド本体４３ａ，４３ｂが夫々Ｙ軸方向に移動することにより各部品がＹ軸方向に夫々位置補正され、さらに不図示の各サーボモータによりヘッド本体４３ａ，４３ｂの各ノズル部材６０ａ，６０ｂがノズル軸回り回転することにより各部品が夫々回転方向に位置補正される。これにより各ヘッド本体４３ａ，４３ｂに吸着されている部品が夫々Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及び回転方向に位置補正されることとなる。なお、ここでは説明の便宜上、各部品の位置補正をＸ軸方向、Ｙ軸方向及び回転方向に分けて時系列的に説明したが、実際にはこれら各方向の補正が並行して行われることにより各部品の位置補正が速やかに行われる。
【００６８】
テストヘッド４に位置決めされている部品の試験が終了すると（ｔ２０時点）、各ノズル部材６０ａ，６０ｂの上昇に伴い部品がソケットから取り外され（ｔ２３時点）、さらに第１搬送用ヘッド４２Ａの移動に伴い該試験済みの部品が第１シャトルロボット３０Ａとの部品受渡し位置Ｐ２に搬送される（ｔ２５時点）。そして、上述した第２搬送用ヘッド４２Ｂと第２シャトルロボット３０Ｂとの部品受け渡し動作と同様にして、第１搬送用ヘッド４２Ａと第１シャトルロボット３０Ａとの間で部品の受け渡しが行われる。
【００６９】
また、部品受渡し位置Ｐ２への第１搬送用ヘッド４２Ａの移動開始と同じタイミングで第２搬送用ヘッド４２Ｂがテストヘッド４に移動し（ｔ２３時点）、第２搬送用ヘッド４２Ｂの各ヘッド本体４３ａ，４３ｂに吸着されている次の部品がテストヘッド４に押し付けられた状態で位置決めされることとなる（ｔ２６時点）。この際、第２搬送用ヘッド４２Ｂの各ヘッド本体４３ａ，４３ｂに吸着されている部品同士のピッチがテストヘッド４上のソケットのピッチと異なる場合には、この移動中にヘッド本体４３ａ，４３ｂの間隔が両ソケットの間のピッチに一致するように第２搬送用ヘッド４２Ｂが駆動制御される。
【００７０】
一方、Ｐ＆Ｐロボット２０及び各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂについては、テストロボット４０の各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂに対する部品の受け渡しが連続的に行われ得るように以下のようにそれらの動作が制御される。
【００７１】
まず、第２シャトルロボット３０Ｂについては、第２搬送用ヘッド４２Ｂが部品受渡し位置Ｐ２に到達すると同時（ｔ７時点）に試験済みの部品を受け取るべく、テーブル３２が部品受渡し位置Ｐ２に移動する。そして、上記の通りまずテーブル３２が第１ポジション（図６（ｃ）参照）に配置された状態で第２搬送用ヘッド４２Ｂからテーブル３２へ試験済みの部品が受け渡され（ｔ９時点）、さらにテーブル３２が第２ポジション（図６（ｄ）参照）に配置されて（ｔ１０時点）未試験の部品がテーブル３２から第２搬送用ヘッド４２Ｂに受け渡される（ｔ１２時点）。
【００７２】
その後、テーブル３２が部品受渡し位置Ｐ１に移動を開始し（ｔ１２時点）、まず第２ポジション（図６（ｂ）参照）にテーブル３２が配置された状態で（ｔ１４時点）、Ｐ＆Ｐロボット２０からテーブル３２に次ぎの部品（未試験の部品）が受け渡される（ｔ１６時点）。次いで、テーブル３２が第１ポジション（図６（ａ）参照）に配置され（ｔ１７時点）、この状態でテーブル３２からＰ＆Ｐロボット２０に試験済みの部品が受け渡され（ｔ１９時点）、その後、次回の部品受渡しまで部品受渡し位置Ｐ１において待機状態におかれる。なお、これは第２シャトルロボット３０Ｂの動作制御であるが、第１シャトルロボット３０Ａについても第１搬送用ヘッド４２Ａとの関係で同様にその動作が制御される。
【００７３】
一方、Ｐ＆Ｐロボット２０は、先に試験が終了した部品をその試験結果に応じたトレイＴｒに収納すべくその動作が制御される。
【００７４】
具体的には、各ノズル部材２４ａ，２４ｂに吸着された２つの部品（試験済みの部品）のうち少なくとも一つが合格品の場合には、まずヘッド２３が第３トレイ収納部１３上に配置され（ｔ２時点）、例えば第１ノズル部材２４ａの昇降に伴い該合格品がトレイＴｒに収納される（ｔ４時点）。次いで、第２ノズル部材２４ｂの吸着部品が合格品である場合にはヘッド２３が同トレイＴｒ上の次の部品収納部に僅かに移動した後、一方、不合格品である場合にはヘッド２３が第５トレイ収納部１５上に移動した後、第２ノズル部材２４ｂの昇降に伴い残りの部品がトレイＴｒに収納される（ｔ６時点）。こうして第２ノズル部材２４ｂの昇降に伴い部品がその試験結果に応じて第３トレイ収納部１３、あるいは第５トレイ収納部１５のトレイＴｒ内に収納される（ｔ８時点）。なお、両方の部品が不合格品の場合には、ヘッド２３が第５トレイ収納部１５上に配置され（ｔ２時点）、例えば第１ノズル部材２４ａの昇降に伴い最初の部品がトレイＴｒに収納され（ｔ４時点）、その後、ヘッド２３が同トレイＴｒ上の次の部品収納部上に配置されて（ｔ６時点）、第２ノズル部材２４ｂの昇降に伴い残りの部品がトレイＴｒ内に収納される（ｔ８時点）。
【００７５】
なお、各トレイＴｒへの部品の収納時には、部品認識カメラ３４の撮像に基づく各部品の吸着誤差に基づいてヘッド２３の移動及び各ノズル部材２４ａ，２４ｂの回転が制御されることによりトレイＴｒ内に部品が正確に収納されることとなる。
【００７６】
試験済みの部品のトレイＴｒへの収納が完了すると、ヘッド２３が第２トレイ収納部１２又は第４トレイ収納部１４の上方に配置され（ｔ１１時点）、新たな部品がトレイＴｒから取出される（ｔ１３時点）。そして、ヘッド２３が第２シャトルロボット３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ１に移動配置され、上述したように当該新たな部品が第２シャトルロボット３０Ｂに受け渡されるとともに（ｔ１６時点）、試験済みの部品が第２シャトルロボット３０ＢからＰ＆Ｐロボット２０に受け渡される（ｔ１９時点）。
【００７７】
このような第２シャトルロボット３０Ｂに対する部品の受渡しが完了すると、ヘッド２３が部品認識カメラ３４上に配置され、試験済みの部品の撮像に基づき該部品の吸着状態を調べるための処理が行われ、この処理が完了すると、該部品をトレイＴｒに収納すべくヘッド２３等の動作が制御されることとなる（ｔ２２時点）。なお、ｔ２２時点からｔ２７時点（試験済みの次ぎの部品を収納すべく第３トレイ収納部１３等の上方にヘッド２３が位置決めされた時点）の間においては、試験結果に応じて部品が所定のトレイＴｒへ収納された後、第２トレイ収納部１２等から新たな部品が取出されて第１シャトルロボット３０Ａのテーブル３２に受け渡されるとともに、試験終了後の部品を受け取るための一連の動作が第１第１シャトルロボット３０Ａ及びＰ＆Ｐロボット２０により行われる。この一連の動作は、ｔ２時点からｔ１９時点の間の動作と同様なものである。また、ｔ２６時点からｔ２８時点（次の部品の試験が終了した時点）の間における第２搬送用ヘッド４２Ｂによる試験動作も、ｔ８時点からｔ２０時点の間における第１搬送用ヘッド４２Ａによる動作と同様にその動作が制御される。
【００７８】
このようにして以後、図１０に示すように、第１搬送用ヘッド４２Ａ（又は第２搬送用ヘッド４２Ｂ）によりテストヘッド４に２ずつ部品を搬送、位置決めして試験を行う一方で、これと並行して第２搬送用ヘッド４２Ｂ（又は第１搬送用ヘッド４２Ａ）と第２シャトルロボット３０Ｂ（又は第２シャトルロボット３０Ｂ）との間で部品の受け渡し（つまり試験済みの部品と次回の部品との受け渡し）を行いながら、さらにこのような第１搬送用ヘッド４２Ａ及び第２搬送用ヘッド４２Ｂに対する部品の受け渡し等が連続的に行われるように各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ及びＰ＆Ｐロボット２０の動作が制御される。
【００７９】
なお、図１３のタイミングチャート中には示していないが、試験の進行に伴い第２トレイ収納部１２又は第４トレイ収納部１４のトレイＴｒ（最上位のトレイ）が空になると、ヘッド２３により該空トレイＴｒを吸着して第２トレイ収納部１２等から第１トレイ収納部１１に移載するようにＰ＆Ｐロボット２０の動作が制御される。これにより第２トレイ収納部１２等において次ぎのトレイＴｒからの部品の取出しが可能となる。同様に、第３トレイ収納部１３又は第５トレイ収納部１５において、トレイＴｒ（最上位のトレイ）に部品が満載状態となると、第１トレイ収納部１１に収納されている空トレイＴｒをヘッド２３により吸着して第３トレイ収納部１３等に移載するようにＰ＆Ｐロボット２０の動作が制御される。これにより第３トレイ収納部１３等において試験終了後の次ぎの部品をトレイＴｒに収納することができるようになる。
【００８０】
このように本発明に係る試験装置１では、トレイ収納領域Ｓａ〜テスト領域Ｔａ間の部品（未試験部品および試験済み部品）の搬送を共通のテーブル３２で行うことにより、テスト領域Ｔａにおける第１搬送用ヘッド４２Ａ（又は第２搬送用ヘッド４２Ｂ）の部品の受渡し、すなわちテーブル３２への試験済み部品の移載およびテーブル３２からの未試験部品の受取りを上述したように一箇所（部品受渡し位置Ｐ２）で連続して行うように構成されているので、第１搬送用ヘッド４２Ａ（又は第２搬送用ヘッド４２Ｂ）については、これをテストヘッド４と部品受渡し位置Ｐ２との間で往復させるだけで済む。そのため、当該部品の受渡しのためにテストヘッドを挟んだ広い範囲で搬送用ヘッドを移動させる必要がある従来のこの種の試験装置に比べると、第１搬送用ヘッド４２Ａ（又は第２搬送用ヘッド４２Ｂ）の移動距離が少なく、その分、動作タクトを有効に短縮することができる。また、トレイ収納領域Ｓａにおけるヘッド２３（Ｐ＆Ｐロボット２０）の部品の受渡し、すなわちテーブル３２への未試験部品の移載およびテーブル３２からの試験済み部品の受取りについても、同様に、一箇所（部品受渡し位置Ｐ１）で連続して行うように構成されているので、該部品受渡しのためのヘッド２３の動作に関しても、テスト領域Ｔａの第１搬送用ヘッド４２Ａ（第２搬送用ヘッド４２Ｂ）と同様に動作タクトを有効に短縮することができる。
【００８１】
特に、テスト領域Ｔａでは、上述のように第１搬送用ヘッド４２Ａ（又は第２搬送用ヘッド４２Ｂ）を部品受渡し位置Ｐ２に固定的に配置しておき、第１搬送用ヘッド４２Ａ（又は第２搬送用ヘッド４２Ｂ）よりも移動時の慣性が小さいテーブル３２を移動させることにより第１搬送用ヘッド４２Ａ（又は第２搬送用ヘッド４２Ｂ）に対してテーブル３２の各エリアａ１，ａ２を位置決めしながら部品の受渡しを行い（図６（ｃ），（ｄ）参照）、また、トレイ収納領域Ｓａにおいても、同様にヘッド２３を部品受渡し位置Ｐ１に固定的に配置しておき、テーブル３２を移動させることによりヘッド２３に対してテーブル３２の各エリアａ１，ａ２を位置決めしながら部品の受渡しを行うようにしているので（図６（ａ），（ｂ）参照）、該部品受渡し時のテーブル３２の各エリアａ１，ａ２と第１搬送用ヘッド４２Ａ等との相対的な位置決めを迅速に行うことができ、これによっても動作タクトの短縮化が図られる。
【００８２】
従って、上記試験装置１によると、このように動作タクトを短縮できる分、従来のこの種の試験装置に比べてより効率良く部品の試験を行うことができるという効果がある。
【００８３】
また、トレイ収納領域Ｓａからテスト領域Ｔａへの未試験部品の搬送、およびテスト領域Ｔａからトレイ収納領域Ｓａへの試験済み部品の搬送を共通のテーブル３２で行うため、構成が合理的であり、装置構成の簡略化、低廉化の要請にも良好に応えることができるという効果もある。
【００８４】
ところで、以上説明した試験装置１は、本発明に係る部品試験装置の一の実施形態であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００８５】
例えば、この試験装置１では、テストヘッド４の稼働率を高めるため、テストロボット４０に２つの搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂを設けるとともに、これら搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂに夫々対応するシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂを設けているが、必ずしもこのような一対の構成を採る必要はなく、例えば、一方の搬送用ヘッド４２Ｂと、これに対応するシャトルロボット３０Ｂを省略するように構成しても構わない。
【００８６】
また、この試験装置１では、テスト領域Ｔａにおける部品の受渡し動作において、例えば、慣性の影響が少ないような場合には、部品受渡し位置Ｐ２にテーブル３２を固定的に配置しておき、第１搬送用ヘッド４２Ａ（又は第２搬送用ヘッド４２Ｂ）を移動させることによりテーブル３２の各エリアａ１，ａ２に対して第１搬送用ヘッド４２Ａ等を位置決めするようにしてもよい。同様に、トレイ収納領域Ｓａにおける部品の受渡し動作においても、部品受渡し位置Ｐ１にテーブル３２を固定的に配置しておき、ヘッド２３（Ｐ＆Ｐロボット２０）を移動させるようにしてもよい。
【００８７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、トレイ収納領域とテスト領域との間に移動可能な搬送用テーブルをそれぞれ備える第１、第２シャトルロボットと、第１シャトルロボットの搬送用テーブルとテストヘッドとの間で部品を搬送する第１搬送用ヘッド及び第２シャトルロボットの搬送用テーブルと前記テストヘッドとの間で部品を搬送する第１搬送用ヘッドとを備え、第１搬送用ヘッドがテストヘッドと第１シャトルロボットの搬送用テーブルとの間を往復移動するだけで、テストヘッドに対する部品の搬入および搬出を行うことができ、同様に、第２搬送用ヘッドがテストヘッドと第２シャトルロボットの搬送用テーブルとの間を往復移動するだけで、テストヘッドに対する部品の搬入および搬出を行うことができるようにしているので、従来のものに比べて各搬送用ヘッドの移動距離を大幅に短縮することができる。従って、各搬送用ヘッドの動作タクトを有効に短縮することができ、これにより部品の試験をより効率良く行うことができるようになる。また、未試験部品および試験済み部品を共通の搬送用テーブル（つまり、一つのシャトルロボットの共通の搬送用テーブル）によって搬送するため、構成が合理的であり装置構成の簡略化、低廉化の要請にも良好に応えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る部品試験装置を示す斜視概略図である。
【図２】部品試験装置を示す平面図である。
【図３】トレイ収納領域のトレイ収納部の構成を示す断面図である。
【図４】トレイ収納部の構成を示す図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】シャトルロボットのテーブルの構成を示す平面略図である。
【図６】シャトルロボットの部品受渡し位置におけるテーブルの位置を示す図２のＢ矢指図である（（ａ），（ｃ）はテーブルが第１ポジションに配置された状態、（ｂ），（ｄ）はテーブルが第２ポジションに配置された状態を示す）。
【図７】テストロボットの具体的な構成を示す平面図である。
【図８】テストロボットの具体的な構成を示す図７のＣ−Ｃ断面図である。
【図９】テストロボットの具体的な構成を示す図８のＤ−Ｄ断面図である。
【図１０】テスト領域の構成を示す模式図である。
【図１１】部品試験装置の制御系を示すブロック図である。
【図１２】図１１に示す制御系の制御に基づく部品試験装置の動作を示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
１  部品試験装置
２  ハンドラ
３  試験装置本体
４  テストヘッド
１１〜１５  トレイ収納部
２０  Ｐ＆Ｐロボット
２３  ヘッド（第２ヘッド部材）
３０Ａ  第１シャトルロボット
３０Ｂ  第２シャトルロボット
３２  テーブル（搬送用テーブル）
４０  テストロボット
４２Ａ  第１搬送用ヘッド（第１ヘッド部材）
４２Ｂ  第２搬送用ヘッド（第１ヘッド部材）
４３ａ，４３ｂ  ヘッド本体
６０ａ，６０ｂ  ノズル部材
７０  制御部
Ｓａ  トレイ収納領域
Ｔａ  テスト領域
Ｐ１，Ｐ２  部品受渡し位置
Ｔｒ  トレイ
ａ１  第１エリア
ａ２  第２エリア
【図１】
0004588923.tif 000002
【図２】
0004588923.tif 000003
【図３】
0004588923.tif 000004
【図４】
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【図５】
0004588923.tif 000006
【図６】
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【図７】
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【図８】
0004588923.tif 000009
【図９】
0004588923.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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