(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造の各工程について、処理開始される製品数量及び処理終了した製品数量が入力されると共に、最後の出荷工程について、出荷される数量が入力される入力手段と、
前記入力手段によって入力された数量に基づいて、各工程の仕掛り在庫量情報と、出荷量情報とを収集する情報収集手段と、
各工程で用いられる設備より運転状況の情報を受信して、設備不稼動時間を算出する算出手段と、
各工程で用いられる設備より運転状況の情報を受信して、設備の停止を検出する検出手段と、
前記検出手段によって設備の停止が検出され、該設備の停止が該設備の故障又は不具合でないと判定されたときに、前記情報収集手段によって収集された、停止した設備の工程についての仕掛り在庫量情報に基づいて、前記停止した設備が処理する製品の未処理の在庫が有るか無いかを判定する判定手段と、
未処理の在庫が有る場合、当該時点での設備不稼働時間を作業者待ちによる不稼働時間と設定し、未処理の在庫が無い場合、当該時点での設備不稼働時間を未処理の在庫待ちによる不稼働時間と設定する設定手段と、
作業者待ちによる不稼働時間と未処理の在庫待ちによる不稼働時間とに分類された所定期間内の設備不稼働時間の情報を表示端末に表示させる第３の出力手段と、
を有する生産管理情報出力装置。
【請求項２】
各工程で仕掛り在庫量が予め設定された各工程毎の在庫許容量を超過したか否かを判定する超過判定手段と、
少なくとも１つの工程で仕掛り在庫量が在庫許容量を超過した場合に、該当の工程で仕掛り在庫量が在庫許容量を超過したことを報知する報知手段と、
をさらに有する請求項１に記載の生産管理情報出力装置。
【請求項３】
仕掛り在庫量が在庫許容量を超過した場合に、超過要因情報を入力するための入力手段と、
入力された超過要因情報を記憶する記憶手段と、
記憶された超過要因情報に基づいて、所定の期間内での各超過要因毎の在庫超過発生件数を表すグラフを表示端末に表示させる第４の出力手段と、
をさらに有する請求項２記載の生産管理情報出力装置。
【請求項４】
半導体製造の各工程について、処理開始される製品数量及び処理終了した製品数量が入力されると共に、最後の出荷工程について、出荷される数量が入力され、
前記入力された数量に基づいて、各工程の仕掛り在庫量情報と、出荷量情報とを収集し、
各工程で用いられる設備より運転状況の情報を受信して、設備不稼動時間を算出し、
各工程で用いられる設備より運転状況の情報を受信して、設備の停止を検出し、
前記設備の停止が検出され、該設備の停止が該設備の故障又は不具合でないと判定されたときに、前記収集された、停止した設備の工程についての仕掛り在庫量情報に基づいて、前記停止した設備が処理する製品の未処理の在庫が有るか無いかを判定し、
未処理の在庫が有る場合、当該時点での設備不稼働時間を作業者待ちによる不稼働時間と設定し、未処理の在庫が無い場合、当該時点での設備不稼働時間を未処理の在庫待ちによる不稼働時間と設定し、
作業者待ちによる不稼働時間と未処理の在庫待ちによる不稼働時間とに分類された所定期間内の設備不稼働時間の情報を表示端末に表示させることを特徴とする生産管理情報出力方法。
【請求項５】
各工程で仕掛り在庫量が予め設定された各工程毎の在庫許容量を超過したか否かを判定し、
少なくとも１つの工程で仕掛り在庫量が在庫許容量を超過した場合に、該当の工程で仕掛り在庫量が在庫許容量を超過したことを報知することを特徴とする請求項４に記載の生産管理情報出力方法。
【請求項６】
仕掛り在庫量が在庫許容量を超過した場合に、超過要因情報が入力され、
入力された超過要因情報を記憶し、
記憶された超過要因情報に基づいて、所定の期間内での各超過要因毎の在庫超過発生件数を表すグラフを表示端末に表示させることを特徴とする請求項５記載の生産管理情報出力方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、生産管理情報出力装置及び生産管理情報出力方法に係り、より詳しくは、半導体の生産管理を行うための各種情報を出力する生産管理情報出力装置及び生産管理情報出力方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体製品の技術は非常に速く進歩しており、半導体製品の技術革新のサイクルは他の電気製品に比べて非常に短くなっている。このため、半導体製品の生産に関して、その生産ターンアラウンドタイム（以下、生産ＴＡＴと称する）を短縮することが非常に強く求められるようになってきた。
【０００３】
現状の半導体製品の生産進捗管理では、生産設備におけるある同一処理単位をロットとしてまとめ、各ロット毎の各工程の処理開始時間・処理終了時間に基づいて各ロット毎の生産ＴＡＴを把握し、また各工程での未処理製品の在庫量や処理実績量を把握している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、半導体製品の生産ＴＡＴを左右する要因が各工程毎に多様であるため、上記の半導体製品の生産進捗管理のように各ロット毎の生産ＴＡＴを把握するだけでは上記各工程毎の多様な要因を正確に把握することは困難であった。また、半導体製品の出荷量を低下させずに生産ＴＡＴの短縮を図るために、どのくらいの生産ＴＡＴで半導体製品を生産するのが適当であるかの解を得るのも困難であった。
【０００５】
本発明は、上記問題点を解消するために成されたものであり、半導体製品の出荷量を低下させずに生産ＴＡＴの短縮を図る上で有用な情報を出力することができる生産管理情報出力装置及び生産管理情報出力方法を提供することを目的とする。
【０００９】
上記目的を達成するために、請求項１記載の生産管理情報出力装置は、半導体製造の各工程について、処理開始される製品数量及び処理終了した製品数量が入力されると共に、最後の出荷工程について、出荷される数量が入力される入力手段と、前記入力手段によって入力された数量に基づいて、各工程の仕掛り在庫量情報と、出荷量情報とを収集する情報収集手段と、各工程で用いられる設備より運転状況の情報を受信して、設備不稼動時間を算出する算出手段と、各工程で用いられる設備より運転状況の情報を受信して、設備の停止を検出する検出手段と、前記検出手段によって設備の停止が検出され、該設備の停止が該設備の故障又は不具合でないと判定されたときに、前記情報収集手段によって収集された、停止した設備の工程についての仕掛り在庫量情報に基づいて、前記停止した設備が処理する製品の未処理の在庫が有るか無いかを判定する判定手段と、未処理の在庫が有る場合、当該時点での設備不稼働時間を作業者待ちによる不稼働時間と設定し、未処理の在庫が無い場合、当該時点での設備不稼働時間を未処理の在庫待ちによる不稼働時間と設定する設定手段と、作業者待ちによる不稼働時間と未処理の在庫待ちによる不稼働時間とに分類された所定期間内の設備不稼働時間の情報を表示端末に表示させる第３の出力手段と、を有することを特徴とする。
【００１０】
また、請求項２記載の生産管理情報出力装置は、請求項１に記載の生産管理情報出力装置において、各工程で仕掛り在庫量が予め設定された各工程毎の在庫許容量を超過したか否かを判定する超過判定手段と、少なくとも１つの工程で仕掛り在庫量が在庫許容量を超過した場合に、該当の工程で仕掛り在庫量が在庫許容量を超過したことを報知する報知手段と、をさらに有することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項３記載の生産管理情報出力装置は、請求項２記載の生産管理情報出力装置において、仕掛り在庫量が在庫許容量を超過した場合に、超過要因情報を入力するための入力手段と、入力された超過要因情報を記憶する記憶手段と、記憶された超過要因情報に基づいて、所定の期間内での各超過要因毎の在庫超過発生件数を表すグラフを表示端末に表示させる第４の出力手段と、をさらに有することを特徴とする。
また、請求項４記載の生産管理情報出力方法は、半導体製造の各工程について、処理開始される製品数量及び処理終了した製品数量が入力されると共に、最後の出荷工程について、出荷される数量が入力され、前記入力された数量に基づいて、各工程の仕掛り在庫量情報と、出荷量情報とを収集し、各工程で用いられる設備より運転状況の情報を受信して、設備不稼動時間を算出し、各工程で用いられる設備より運転状況の情報を受信して、設備の停止を検出し、前記設備の停止が検出され、該設備の停止が該設備の故障又は不具合でないと判定されたときに、前記収集された、停止した設備の工程についての仕掛り在庫量情報に基づいて、前記停止した設備が処理する製品の未処理の在庫が有るか無いかを判定し、未処理の在庫が有る場合、当該時点での設備不稼働時間を作業者待ちによる不稼働時間と設定し、未処理の在庫が無い場合、当該時点での設備不稼働時間を未処理の在庫待ちによる不稼働時間と設定し、作業者待ちによる不稼働時間と未処理の在庫待ちによる不稼働時間とに分類された所定期間内の設備不稼働時間の情報を表示端末に表示させることを特徴とする。
また、請求項５における生産管理情報出力方法は、請求項４に記載の生産管理情報出力方法において、各工程で仕掛り在庫量が予め設定された各工程毎の在庫許容量を超過したか否かを判定し、少なくとも１つの工程で仕掛り在庫量が在庫許容量を超過した場合に、該当の工程で仕掛り在庫量が在庫許容量を超過したことを報知することを特徴とする。
また、請求項６における生産管理情報出力方法は、請求項５記載の生産管理情報出力方法において、仕掛り在庫量が在庫許容量を超過した場合に、超過要因情報が入力され、入力された超過要因情報を記憶し、記憶された超過要因情報に基づいて、所定の期間内での各超過要因毎の在庫超過発生件数を表すグラフを表示端末に表示させることを特徴とする。
【００１３】
図４にはモールド工程に関するグラフを示したが、半導体製品の生産管理者は、このような（入荷量＋在庫量）に対する出荷量をプロットしたグラフを見て、（入荷量＋在庫量）を増やしても出荷量が頭打ちになるところを検出し、例えば、図４のように該出荷量が頭打ちになるところ近辺で目標出荷量Ｓ１を設定し、該目標出荷量Ｓ１が得られる範囲で（入荷量＋在庫量）を絞ることができる（例えば、（入荷量＋在庫量）をＩ１に設定できる）。
【００１４】
このように第１の出力手段により出力される各工程での（入荷量＋在庫量）に対する出荷量をプロットしたグラフは、半導体製品の出荷量を低下させずに生産ターンアラウンドタイム（生産ＴＡＴ）の短縮を図る上で有用な情報である。即ち、請求項１記載の発明によれば、半導体製品の出荷量を低下させずに生産ＴＡＴの短縮を図る上で有用な情報を出力することができる。
【００２２】
請求項１記載の生産管理情報出力装置では、入力手段によって、半導体製造の各工程について、処理開始される製品数量及び処理終了した製品数量が入力されると共に、最後の出荷工程について、出荷される数量が入力される。そして、第１の算出手段が、入力手段によって入力された数量に基づいて、各工程の仕掛り在庫量情報と、出荷量情報とを算出する。算出手段が、各工程で用いられる設備より運転状況の情報を受信して、設備不稼動時間を算出する。そして、検出手段が、各工程で用いられる設備より運転状況の情報を受信して、設備の停止を検出する。判定手段が、検出手段によって設備の停止が検出され、該設備の停止が該設備の故障又は不具合でないと判定されたときに、情報収集手段によって収集された、停止した設備の工程についての仕掛り在庫量情報に基づいて、停止した設備が処理する製品の未処理の在庫が有るか無いかを判定する。ここで未処理の在庫が有れば、設定手段は当該時点での設備不稼働時間を作業者待ちによる不稼働時間と設定し、未処理の在庫が無ければ、当該時点での設備不稼働時間を未処理の在庫待ちによる不稼働時間と設定する。
【００２３】
そして、第３の出力手段は、作業者待ちによる不稼働時間と未処理の在庫待ちによる不稼働時間とに分類された所定期間内の設備不稼働時間の情報（図１１に例示）を表示端末に表示させる。
【００２４】
これにより、従来のように作業者による、設備不稼働時間に関する不稼働要因（作業者待ちか未処理の在庫待ちか）の入力を待つことなく、作業者待ちによる不稼働時間と未処理の在庫待ちによる不稼働時間とに分類された所定期間内の設備不稼働時間の情報を得ることができる。この情報により、作業者待ちによる不稼働時間の比率が高い場合は、例えばラインへ配置する作業者の数を増加させ、未処理の在庫待ちによる不稼働時間の比率が高い場合は、例えば物流コントロールを改善する等の対応を的確且つ迅速に行うことが可能となる。
【００２５】
次に、請求項２記載の生産管理情報出力装置では、超過判定手段が、各工程で仕掛り在庫量が予め設定された各工程毎の在庫許容量を超過したか否かを判定する。ここで、少なくとも１つの工程で仕掛り在庫量が在庫許容量を超過しておれば、報知手段が、該当の工程で仕掛り在庫量が在庫許容量を超過したことを報知する。
【００２６】
これにより、各工程で仕掛り在庫量が在庫許容量を超過していないか監視することができ、もし超過が検出されれば生産管理者は上記報知によって速やかに仕掛り在庫量の超過発生を認識することができる。
【００２７】
また、請求項３記載の生産管理情報出力装置では、生産管理者が、仕掛り在庫量が在庫許容量を超過した場合に、入力手段によって超過要因情報を入力すると、入力された超過要因情報は記憶手段に記憶される。そして、第４の出力手段は、記憶された超過要因情報に基づいて、所定の期間内（１週間や１カ月等）での各超過要因毎の在庫超過発生件数を表すグラフ（図１４に例示）を表示端末に表示させる。
【００２８】
生産管理者は、各超過要因毎の在庫超過発生件数を表すグラフを見て、在庫超過発生件数が多い超過要因を容易に認識することができる。これに伴い、例えば、在庫超過発生件数が多い順に優先順位を定め、優先順位の高い順に超過要因を解消するよう対応することが可能となり、効果的に超過要因を解消し生産ＴＡＴの短縮を図ることができる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
［第１参考例］
以下、図面を用いて、第１参考例を説明する。
【００３１】
図１に示すように、本参考例における生産進捗管理システム１０は、該システムのホストコンピュータとしての生産進捗管理ホスト１２と、生産進捗管理データを記憶する記憶装置１６と、生産進捗管理データに基づいて作成される各種グラフや警告メッセージ等を表示するデータ表示端末１８と、生産進捗管理ホスト１２に通信回線等で接続され半導体製造の各工程毎に設けられたデータ入力端末１４とを含んで構成されている。
【００３２】
図２には生産進捗管理システムの入力情報及び出力情報が示されている。この図２に示すように、製造ラインに製品を最初に投入する時、作業者によってデータ入力端末１４から生産進捗管理システム１０へ、投入通知情報として、製品名、ロット番号、製品数量、処理フロー、納期等の情報が入力され、これらの情報は生産進捗管理システム１０において管理ロット情報として登録される。
【００３３】
各ロットは工程を経る度に各工程の処理開始時に、処理開始されるロット番号、製品数量、処理設備等の情報が、各工程の処理終了時に、処理終了したロット番号、製品数量等の情報が、それぞれ入力される。
【００３４】
最後の出荷工程では、出荷通知情報として出荷されるロット番号、最終良品数量、出荷先等の情報が入力される。
【００３５】
なお、時刻の情報については、生産進捗管理ホスト１２が備えたカレンダ機能及び時計機能によって生産進捗管理システム１０により自動的に設定される。
【００３６】
生産進捗管理システム１０では、上記のように入力された情報に基づいて、製造ラインの状況を示す情報として、各工程の処理実績量、各設備の処理実績量、各工程の仕掛り在庫量（＝（入荷量＋在庫量））等が収集され、収集された各数値は予め設定された各々の計画量と比較される。また、各ロットについては各工程での生産ＴＡＴ及び投入から出荷までのトータルの生産ＴＡＴが算出される。このうち投入から出荷までの生産ＴＡＴについては、例えば、図３に示すヒストグラムとしてデータ表示端末１８に表示される。
【００３７】
本実施形態の生産進捗管理システム１０は、各工程での所定期間（例えば１日）毎の仕掛り在庫量に対する出荷量を収集し、該収集結果をプロットした各工程毎のグラフをデータ表示端末１８に表示する。
【００３８】
図４にはモールド工程に関するグラフを例示している。半導体製品の生産管理者は、このような仕掛り在庫量に対する出荷量をプロットしたグラフを見て、仕掛り在庫量を増やしても出荷量が頭打ちになるところを検出でき、例えば、図４のように該出荷量が頭打ちになるところ近辺で目標出荷量Ｓ１を設定し、該目標出荷量Ｓ１が得られる範囲で仕掛り在庫量を絞ることができる。例えば、仕掛り在庫量をＩ１に設定することができる。
なお、上記のような分析は、全工程について行っても良いが、生産ラインにおける重要な工程についてのみ行っても良い。
【００３９】
以上のように本実施形態の生産進捗管理システム１０から提供される各工程での仕掛り在庫量に対する出荷量をプロットしたグラフによって、半導体製品の生産管理者は、半導体製品の出荷量を低下させずに生産ＴＡＴの短縮を図る上で有用な情報を得ることができる。
【００４０】
［第２参考例］
次に、第２参考例を説明する。
【００４１】
本参考例では図７に示すように、前述した生産進捗管理システム１０と、各種設備の稼働率に関する管理を行う稼働率管理システム２０と、生産進捗管理システム１０の情報及び稼働率管理システム２０の情報に基づいて生産ＴＡＴの管理を行うＴＡＴ管理システム４０とが、ネットワーク４６を介して接続されている。ＴＡＴ管理システム４０にはＴＡＴ管理用データを記憶した記憶装置４４と、ＴＡＴ管理に係る各種グラフ等を表示するデータ表示端末４２とが接続されている。
【００４２】
図５に示すように、上記稼働率管理システム２０は、設備稼働率集計サーバ２２と、設備稼働率に関連するデータを記憶した記憶装置２６と、稼働率管理に係る各種グラフ等を表示するデータ表示端末２４と、各工程の設備３４より運転状況の情報を受信し該設備３４の稼働時間情報等を算出しリピータ３０及びネットワーク２８を介して設備稼働率集計サーバ２２へ稼働時間情報等を送信する各工程毎の設備情報受信装置３２とを含んで構成されている。
【００４３】
このうち設備情報受信装置３２はパーソナルコンピュータにより構成され、作業者がそのキーボードより設備３４の不稼働要因を入力できるよう構成されている。設備情報受信装置３２では、設備３４の処理実績時間、設備３４の故障時間及び故障要因がまとめられる。
【００４４】
なお、設備情報受信装置３２では、設備３４からは受信できない段取り替え等の情報については、作業者に設備３４の不稼働要因として入力してもらう。これにより、段取り替え等も含めて不稼働要因の分類分けが行われる。
【００４５】
また、設備３４における処理開始時及び処理終了時には、作業者によって設備情報受信装置３２のキーボードより製品情報と数量とが入力され、入力された情報は設備稼働率集計サーバ２２へ送信される。そして、設備稼働率集計サーバ２２において該設備３４の稼働時間、稼働率、不稼働時間、作業記録及び処理履歴の各情報がまとめられる。
【００４６】
以上のように稼働率管理システム２０には、図６に示すように、設備３４における処理開始時及び処理終了時に製品情報及び数量情報が入力され、設備停止時の不稼働要因が設備３４から直接的に又は作業者により入力される。一方、稼働率管理システム２０からは、設備３４の稼働時間、稼働率、不稼働時間、不稼働要因、作業記録及び処理履歴の各情報が出力される。
【００４７】
本実施形態のＴＡＴ管理システム４０（図７）は、生産進捗管理システム１０の情報及び上記の稼働率管理システム２０の情報より各工程での仕掛り在庫量に対する出荷量の情報を算出し、上記収集された設備毎の稼働情報より各工程での仕掛り在庫量に対する設備不稼働時間の情報を算出する。また、上記収集された処理開始時間情報及び処理終了時間情報より各工程での仕掛り在庫量に対する平均生産ＴＡＴの情報を算出する。そして、ＴＡＴ管理システム４０は、仕掛り在庫量に対する、出荷量、設備不稼働時間及び平均生産ＴＡＴの３種類のデータをプロットしたグラフを各工程毎にデータ表示端末４２に表示する。
【００４８】
図８（Ａ）には仕掛り在庫量に対する出荷量のグラフを、図８（Ｂ）には仕掛り在庫量に対する設備不稼働時間のグラフを、図８（Ｃ）には仕掛り在庫量に対する平均生産ＴＡＴのグラフを、それぞれ例示している。
【００４９】
半導体製品の生産管理者は、図８（Ａ）のグラフより仕掛り在庫量を増やしても出荷量が頭打ちになるところを検出し、図８（Ｂ）のグラフより仕掛り在庫量を減らしていって設備不稼働時間が増加し始めるところを検出し、図８（Ｃ）のグラフより仕掛り在庫量を増やしていって平均生産ＴＡＴが増加し始めるところを検出することができる。
【００５０】
このように、生産管理者は、設備不稼働時間及び平均生産ＴＡＴが低いレベルにあり且つ出荷量がある程度以上確保できる範囲で、仕掛り在庫量を設定することができる。例えば、仕掛り在庫量をＩ２に設定できる。
このように第２実施形態によれば、設備不稼働時間を低く抑えつつ、ある程度以上の出荷量を確保しながら、平均生産ＴＡＴを短縮できる適正な仕掛り在庫量を設定することが可能となる。
【００５１】
［第３参考例］
次に、第３参考例を説明する。
【００５２】
本参考例では図７のＴＡＴ管理システム４０において別の情報のまとめ方が行われる。
【００５３】
ＴＡＴ管理システム４０は、生産進捗管理システム１０からの処理開始時間情報及び処理終了時間情報より各工程での生産ＴＡＴの情報を得、稼働率管理システム２０からの設備毎の稼働情報（該設備で製品生産に係る処理を実行している時間）より各工程での工程内実作業時間の情報を得る。
【００５４】
そして、ＴＡＴ管理システム４０は、各工程での生産ＴＡＴから工程内実作業時間を減算することにより各工程での工程内無作業時間を得、１つの工程の処理終了時間情報と次の工程の処理開始時間情報より、これら２つの工程間の工程間製品移動時間を得る。
【００５５】
さらに、ＴＡＴ管理システム４０は、上記各工程での工程内実作業時間、工程内無作業時間及び工程間製品移動時間の各情報を、各工程毎にデータ表示端末４２に表示する。ここでは例えば、図９のように縦軸の単位が時間とされた各工程毎の棒グラフを表示しても良いし、図１０のように縦軸の単位が比率（％）とされた各工程毎の棒グラフを表示しても良い。
【００５６】
半導体製品の生産管理者は、表示された各工程での工程内実作業時間、工程内無作業時間及び工程間製品移動時間の各情報より、生産能力の阻害要因がどこにあるか（例えば、工程間の物流にあるか工程内の設備にあるか）を判断するのが容易になる。即ち、本実施形態によれば、生産能力の阻害要因がどこにあるかを判断する上で有用な情報を得ることができる。
【００５７】
［第１実施形態］
次に、請求項１、４記載の発明に対応する第１実施形態を説明する。
【００５８】
本実施形態でも図７に示すように、生産進捗管理システム１０と稼働率管理システム２０とはネットワーク４６を介して接続されている。このような構成で稼働率管理システム２０は、自ら管理している設備３４の稼働に関する情報と生産進捗管理システム１０より得られる各設備に関する未処理在庫量の情報とに基づいて、製品の処理待ち時間を、作業者待ちによる不稼働時間（人待ち時間）と未処理の在庫待ちによる不稼働時間（物待ち時間）とに自動的に分類し、分類された処理待ち時間の情報を出力する。
【００５９】
以下、図１２を用いて稼働率管理システム２０の設備稼働率集計サーバ２２によって実行される処理ルーチンを説明する。設備稼働率集計サーバ２２によって何れか１つの設備３４の停止が検出されると、図１２の処理ルーチンが実行開始される。
【００６０】
図１２のステップ１０２では設備３４からの停止要因信号の内容をチェックし、次のステップ１０４では該停止要因信号の内容が該設備３４の故障や不具合であるか否かを判定する。ここで、停止要因信号の内容が設備３４の故障や不具合であれば、ステップ１０６へ進み、停止要因信号の内容に基づいて該当する停止要因を設定する。
【００６１】
一方、ステップ１０４で停止要因信号の内容が設備３４の故障や不具合でなければ、ステップ１０８へ進み、生産進捗管理システム１０に該当設備３４の未処理在庫量を問い合わせる。
【００６２】
この問合せを受けた生産進捗管理システム１０は、該当設備３４の未処理在庫量の情報を稼働率管理システム２０へ返答する。
【００６３】
そして、ステップ１１０で生産進捗管理システム１０からの返答を受信すると、ステップ１１２へ進み、該返答内容（該当設備３４の未処理在庫量）に基づいて未処理在庫が有るか無いかを判定する。
【００６４】
ここで、該当設備３４の未処理在庫が有れば（未処理在庫量が０でなければ）、作業者不在が該当設備３４の停止要因であると判断できるので、ステップ１１４へ進み、停止要因として人待ち状態を設定する。一方、ステップ１１２で該当設備３４の未処理在庫が無ければ（未処理在庫量が０であれば）、未処理在庫が無いことが該当設備３４の停止要因であると判断できるので、ステップ１１６へ進み、停止要因として物待ち状態を設定する。
【００６５】
以上のような処理ルーチンにより、従来のように作業者による不稼働要因（人待ちか物待ちか）の入力を待つことなく、該当設備３４の不稼働時間を人待ちによる不稼働時間と物待ちによる不稼働時間とに自動的に且つ精度良く分類することができる。
【００６６】
稼働率管理システム２０は、上記処理ルーチンによって人待ちによる不稼働時間と物待ちによる不稼働時間とに分類された所定期間内の設備不稼働時間の情報（図１１に例示）をデータ表示端末２４に表示する。
【００６７】
これにより、稼働率管理システムの管理者は、データ表示端末２４に表示された上記情報を見て、人待ちによる不稼働時間と物待ちによる不稼働時間との比率を容易に確認することができる。そして、この情報により、作業者待ちによる不稼働時間の比率が高い場合は、例えばラインへ配置する作業者の数を増加させ、未処理の在庫待ちによる不稼働時間の比率が高い場合は、例えば物流コントロールを改善する等の対応を的確且つ迅速に行うことが可能となる。
【００６８】
［第２実施形態］
次に、請求項２、３、５、６に記載の発明に対応する第２実施形態を説明する。この第２実施形態では、生産進捗管理システム１０が、図１３に示すように日別の仕掛り在庫量と出荷量とを表すグラフ及び所定期間（１カ月間）の仕掛り在庫量の平均値と出荷量の平均値とを表すグラフを各工程毎に作成し、データ表示端末１８に表示する。
【００６９】
生産進捗管理者は、上記２種類のグラフを確認して各工程の在庫量許容値を決定し、データ表示端末１８のキーボードより入力する。
【００７０】
このようにして入力された又は予め設定された各工程の在庫量許容値に対して、各工程の在庫量が超過した場合、生産進捗管理システム１０はデータ表示端末１８に警告メッセージを表示する。なお、データ表示端末１８にアラーム音発生機能を持たせ、在庫量の超過時に警告メッセージを表示させると共にアラーム音を発生させても良い。
【００７１】
これにより、各工程での仕掛り在庫量が在庫許容量を超過していないか監視することができ、もし超過が検出されれば生産管理者は上記の警告により速やかに仕掛り在庫量の超過発生を認識することができる。
【００７２】
工程の在庫量許容値に対して在庫量が超過して、警告メッセージを見た又はアラームを聞いた生産進捗管理者は、在庫量の超過を認識しその超過要因を調査する。超過要因としては、例えば、該当工程での処理可能量に対して仕掛り在庫量が多過ぎる、設備の故障、作業者の不在などが挙げられる。
【００７３】
そして、生産進捗管理者は、調査結果としての超過要因をデータ表示端末１８のキーボードより生産進捗管理システム１０に入力する。なお、このとき、想定される超過要因について予めコード化し準備しておくことによって、超過要因の入力操作が簡単になる。ここで入力された超過要因の情報は記憶装置１６に記憶される。
【００７４】
そして、所定のタイミング（例えば一週間に一度又は一月に一度の検査タイミングなど）で、それまでに記憶された超過要因情報に基づいて、所定期間内の各超過要因毎の在庫超過発生件数を表すグラフ（図１４に例示）をデータ表示端末１８に表示する。
【００７５】
生産管理者は、各超過要因毎の在庫超過発生件数を表すグラフを見て、在庫超過発生件数が多い超過要因を容易に認識することができる。これに伴い、在庫超過発生件数が多い順に優先順位を定め、優先順位の高い順に超過要因を解消するよう対応することが可能となり、効果的に超過要因を解消し生産ＴＡＴの短縮を図ることができる。
【００７６】
なお、上記第２実施形態では、生産進捗管理システム１０は、ある工程の在庫量が許容値を超過した場合、警告メッセージをデータ表示端末１８のみならず該当の工程のデータ入力端末１４にも表示しても良い。これにより、該当の工程の管理者は上記警告により速やかに仕掛り在庫量の超過発生を認識することができる。
【００８０】
以上説明したように、請求項１、４記載の発明によれば、従来のように作業者による、設備不稼働時間に関する不稼働要因の入力を待つことなく、作業者待ちによる不稼働時間と未処理の在庫待ちによる不稼働時間とに分類された所定期間内の設備不稼働時間の情報を得ることができるので、この情報に基づいて、ラインへの作業者の再配置や物流コントロールの改善等の対応を的確且つ迅速に行うことが可能となる。
【００８１】
また、請求項２、５記載の発明によれば、少なくとも１つの工程での仕掛り在庫量が在庫許容量を超過しておれば、該当の工程で仕掛り在庫量が在庫許容量を超過したことを報知するので、生産管理者は速やかに仕掛り在庫量の超過発生を認識することができる。
【００８２】
また、請求項３、６記載の発明によれば、各超過要因毎の在庫超過発生件数を表すグラフを出力するので、生産管理者は、該グラフを見て、在庫超過発生件数が多い超過要因を容易に認識することができる。 
【図面の簡単な説明】
【図１】半導体製造ラインと生産進捗管理システムの全体構成図である。
【図２】生産進捗管理システムの入力情報及び出力情報を示す図である。
【図３】半導体製造ラインの生産ＴＡＴのヒストグラムである。
【図４】工程毎の（（入荷量＋在庫量），出荷量）データをプロットしたグラフである。
【図５】稼働率収集システムの全体構成図である。
【図６】稼働率収集システムの入力情報及び出力情報を示す図である。
【図７】ＴＡＴ管理システムの全体構成図である。
【図８】（Ａ）は工程毎の（（入荷量＋在庫量），出荷量）データをプロットしたグラフであり、（Ｂ）は工程毎の（（入荷量＋在庫量），設備の不稼働時間）データをプロットしたグラフであり、（Ｃ）は工程毎の（（入荷量＋在庫量），平均生産ＴＡＴ）データをプロットしたグラフである。
【図９】縦軸の単位を時間とした工程毎の製品滞留時間の分類を示す棒グラフである。
【図１０】縦軸の単位を割合とした工程毎の製品滞留時間の分類を示す棒グラフである。
【図１１】設備の不稼働時間の分類を示す棒グラフである。
【図１２】設備の不稼働要因を人待ちと物待ちとに分離する処理の処理ルーチンを示す流れ図である。
【図１３】各工程毎の（入荷量＋在庫量）及び出荷量の日別実績値・平均値を示すグラフである。
【図１４】在庫超過要因毎の超過発生件数を示すパレート図である。
【符号の説明】
１０    生産進捗管理システム
１２    生産進捗管理ホスト
１８、２４、４２  データ表示端末
２０    稼働率管理システム
２２    稼働率集計サーバ
４０    ＴＡＴ管理システム
【図１】
0004502414.tif 000002
【図２】
0004502414.tif 000003
【図３】
0004502414.tif 000004
【図４】
0004502414.tif 000005
【図５】
0004502414.tif 000006
【図６】
0004502414.tif 000007
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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