(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
整準部を有する測量機の所要位置にパターン投影部を固定的に取付け、該パターン投影部が球面状のハーフミラーと、該ハーフミラーにパターンを投影するパターン表示器とを具備し、ハーフミラーとパターン表示器により測量機の鉛直回転軸に一致する仮想鉛直基準線像が形成され、前記整準部の調整で前記仮想鉛直基準線像を鉛直下方にある基準点に一致させることを特徴とする求心案内装置。
【請求項２】
測量機の所要位置にパターン投影部を揺動自在に吊下げ、該パターン投影部が球面状のハーフミラーと、該ハーフミラーにパターンを投影するパターン表示器とを具備し、ハーフミラーとパターン表示器により仮想鉛直基準線像が形成される様構成したことを特徴とする求心案内装置。
【請求項３】
測量機の所要位置にパターン投影部を揺動自在に吊下げ、該パターン投影部が球面状のハーフミラーと、該ハーフミラーと一体に動きハーフミラーにパターンを投影する第１のパターン表示器と、前記測量機側に固定され、前記ハーフミラーに第２のパターンを投影する第２のパターン表示器とを具備し、ハーフミラーと第１のパターン表示器により仮想鉛直基準線像が形成され、ハーフミラーと第２のパターン表示器により測量機の鉛直回転軸心Ｏと合致する仮想基準線像が形成される様構成したことを特徴とする求心案内装置。
【請求項４】
パターン表示器がパターンを形成したマスクと、該マスクを透して照射する光源から構成された請求項２又は請求項３の求心案内装置。
【請求項５】
前記マスクにはスリットが形成され、前記光源はＬＥＤである請求項４の求心案内装置。
【請求項６】
パターン表示器がパターンを形成したマスクと、該マスクを透して照射する光源から構成され、第１のパターン表示器と第２のパターン表示器とで光源の色を変えた請求項３の求心案内装置。
【請求項７】
形成される仮想鉛直基準線像と共に高さ方向の位置を表す文字又は記号が形成される請求項２又は請求項３の求心案内装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は測量機、特に測量機を基準点に正確に設置する場合の位置決め作業を容易にする求心案内装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
測量作業を行う際、最初に行うことは、基準点である基準点上に測量機を設置することである。
【０００３】
図９、図１０に於いて、従来の測量機、求心案内装置及び該測量機を基準点に設置する場合の手順について説明する。
【０００４】
測量機１は基準点２の上方に三脚３を介して設置される。該三脚３は上端に前記測量機１が設置される脚頭４を有し、該脚頭４には前記測量機１が装着される装着孔（図示せず）が穿設されている。
【０００５】
前記測量機１は整準機能を具備する基盤部５、該基盤部５に鉛直回転軸心Ｏを中心に回転自在に設けられた托架部６、該托架部６に水平軸心を中心に回転自在に設けられた望遠鏡部７から概略構成される。
【０００６】
前記三脚３は前記装着孔が前記基準点２の直上に位置する様に、又前記脚頭４の上面が略水平となる様に設置される。
【０００７】
次に、前記測量機１が前記脚頭４に設置され、求心案内装置により前記測量機１の正確な位置合わせが行われる。
【０００８】
前記脚頭４には下側から定心桿８が螺着されており、前記脚頭４に設置された測量機１は前記定心桿８により軽く螺子止めされる。
【０００９】
前記測量機１の回転軸１１、前記定心桿８は中空となっている。前記測量機１には求心望遠鏡９が水平方向に設けられ、該求心望遠鏡９はミラー１９を介し、前記回転軸１１、定心桿８を通して下方を注視できる様になっている。
【００１０】
前記定心桿８の下方には垂球掛け１２が設けられており、該垂球掛け１２に吊り糸１３の長さを調整して垂球１４を吊下げる。該垂球１４の先端が前記基準点２と合致していなければ、前記定心桿８を緩め、前記三脚３上で前記測量機１をずらして前記垂球１４が前記基準点２と合致する様に位置を調整する。調整が完了すると前記定心桿８を締めて前記測量機１を固定する。
【００１１】
次に、軸立てと称される、測量機１を鉛直にする作業を行う。
【００１２】
前記基盤部５に設けられている整準螺子１０を回し、前記基盤部５上の円形気泡管１６の泡が中心に来る様に前記基盤部５の姿勢を粗調整する。
【００１３】
次に、前記求心望遠鏡９で正確に標識１５の中心（基準点２）を視準する。前記求心望遠鏡９により正確に前記標識１５を視準した後、再び前記整準螺子１０を回して前記托架部６に設けられた棒状気泡管（図示せず）で軸立てを行う。この後、前記求心望遠鏡９による合わせと棒状気泡管による合わせを数回繰返し、測量機１の正確な垂直姿勢（軸立て）を得る。
【００１４】
正確な軸立て作業が完了した後、測量が開始される。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
測量機設置の最初の位置合わせに用いられる垂球１４は金属製で重量があり、該垂球１４を吊り糸１３によって吊下げ、目標物が求心望遠鏡９の視野に入る程度に、粗く位置を合わせる目的で用いられる。吊り糸１３は三脚３で決まる高さに応じて長さを変え、標識１５等の基準点２のある地表近く迄垂球１４を垂らして使われる。
【００１６】
一般的には定心桿８の下から地表近く迄１ｍ近い高さがある。三脚３は用途に応じては更に長く伸ばして使う場合もある。前記垂球１４は基本的には静かに鉛直に垂らして使用する為、少しの風でも揺れ、又揺れ始めるとなかなか止まらない。この為、正確な位置を決定するのは煩雑で根気のいる作業であった。更に、求心望遠鏡９は視野が狭い為、基準点２の概略の位置がつかめないと、なかなか測量機１の基準位置を基準点２に合わせられないという問題もあった。
【００１７】
本発明は斯かる実情に鑑み、垂球を使用することなく、風等の自然環境に影響されることなく簡単に測量機の設置が行える様にする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、整準部を有する測量機の所要位置にパターン投影部を固定的に取付け、該パターン投影部が球面状のハーフミラーと、該ハーフミラーにパターンを投影するパターン表示器とを具備し、ハーフミラーとパターン表示器により測量機の鉛直回転軸に一致する仮想鉛直基準線像が形成され、前記整準部の調整で前記仮想鉛直基準線像を鉛直下方にある基準点に一致させる求心案内装置に係り、又測量機の所要位置にパターン投影部を揺動自在に吊下げ、該パターン投影部が球面状のハーフミラーと、該ハーフミラーにパターンを投影するパターン表示器とを具備し、ハーフミラーとパターン表示器により仮想鉛直基準線像が形成される様構成した求心案内装置に係り、又測量機の所要位置にパターン投影部を揺動自在に吊下げ、該パターン投影部が球面状のハーフミラーと、該ハーフミラーと一体に動きハーフミラーにパターンを投影する第１のパターン表示器と、前記測量機側に固定され、前記ハーフミラーに第２のパターンを投影する第２のパターン表示器とを具備し、ハーフミラーと第１のパターン表示器により仮想鉛直基準線像が形成され、ハーフミラーと第２のパターン表示器により測量機の鉛直回転軸心Ｏと合致する仮想基準線像が形成される様構成した求心案内装置に係り、又パターン表示器がパターンを形成したマスクと、該マスクを透して照射する光源から構成された求心案内装置に係り、又前記マスクにはスリットが形成され、前記光源はＬＥＤである求心案内装置に係り、又パターン表示器がパターンを形成したマスクと、該マスクを透して照射する光源から構成され、第１のパターン表示器と第２のパターン表示器とで光源の色を変えた求心案内装置に係り、又形成される仮想鉛直基準線像と共に高さ方向の位置を表す文字又は記号が形成される求心案内装置に係るものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態を説明する。
【００２０】
本発明は、測量機の鉛直回転軸心と合致する仮想鉛直基準線像を実際の背景に重ね合わせて形成し、仮想鉛直基準線像と基準位置との関係を観察しつつ、仮想鉛直基準線像が基準位置に合致する様調整作業を進めるものである。
【００２１】
先ず、図１に於いて本発明の原理を説明する。
【００２２】
測量者の視野をカバーするに充分な大きさを有する半透明球面反射鏡２２が設けられ、該半透明球面反射鏡２２に対向して基準線パターン２１を投影するパターン表示器２３が設けられる。
【００２３】
該パターン表示器２３には仮想鉛直基準線像を形成する為の基準線パターン２１が表示される様になっており、前記パターン表示器２３に表示された基準線パターン２１は前記半透明球面反射鏡２２に投影され、更に該半透明球面反射鏡２２で測量者に向かって反射され、測量者は該半透明球面反射鏡２２で反射され形成される基準線パターン２１の虚像を視認する様になっている。
【００２４】
該基準線パターン２１の虚像が形成される位置は測量機の鉛直回転軸心Ｏと合致する様、前記半透明球面反射鏡２２に対する前記パターン表示器２３の位置、投影方向が設定されている。従って、測量者は前記半透明球面反射鏡２２を通して前記測量機の鉛直回転軸心Ｏ上に仮想鉛直基準線像を視認する。
【００２５】
尚、測量者は前記半透明球面反射鏡２２を透して後述する標識１５、更に基準点２も視認しており、仮想鉛直基準線像１８と標識１５、更に基準点２とが重合された状態を視認している。
【００２６】
前記パターン表示器２３に表示された基準線パターン２１は一対一の対応で虚像を形成するので、任意の物平面（Xo，Yo，Zo）座標、即ち基準点２の位置に虚像を形成するには、前記パターン表示器２３から発せられる光束が前記半透明球面反射鏡２２で反射され、測量者の瞳に入射する際の前記光束の位置、反射される角度が決定されればよい。
【００２７】
更に、前記半透明球面反射鏡２２での反射位置、反射方向は前記物平面（Xo，Yo，Zo）座標から逆算することで求められる。即ち、該物平面（Xo，Yo，Zo）座標で虚像が形成されるとした場合は、測量者の瞳に入射する光束の方向が分かり、この光束と前記半透明球面反射鏡２２との交点が前記パターン表示器２３から発せられる光束の反射位置であり、又測量者の瞳に入射する光束の方向から前記パターン表示器２３からの光束が前記半透明球面反射鏡２２で反射する方向が分かる。
【００２８】
而して、前記物平面（Xo，Yo，Zo）座標と前記測量者の瞳の位置が既知とすれば、前記半透明球面反射鏡２２での光束の反射位置、該半透明球面反射鏡２２での光束の反射角を求められた値となる様、前記パターン表示器２３の位置｛座標（X1，Y1，Z1）｝、照射方向を決定すればよい。
【００２９】
尚、上記説明は基準点２についてのみ説明したが、虚像が点でなく線分であっても、線分上の任意の２点について上記関係が満足される様にすれば同様にして前記パターン表示器２３の位置、照射方向を求めることができる。
【００３０】
次に、図２は測量機に本発明に係る求心案内装置を取付けた状態を示している。図２中、図９中で示したものと同等のものには同符号を付してあり、１７は求心案内装置、１８は仮想鉛直基準線像を示している。
【００３１】
前記求心案内装置１７は測量機１の測量者が見易い所要の位置に着脱可能であり、例えば托架部６の下部にいずれの方向にも自在に揺動可能な様に垂下される。
【００３２】
図３、図４、図５により具体的に説明する。
【００３３】
前記托架部６には水平に突出する支持軸２５が設けられ、該支持軸２５にパターン投影部２６が垂設されている。該パターン投影部２６は上端に前記支持軸２５と直交する水平な吊下げ軸２７を有している。前記支持軸２５は上辺がナイフエッジ状の断面鋭角３角形をしており、前記吊下げ軸２７は中央にＶ溝２８が刻設され、該Ｖ溝２８の頂角は前記支持軸２５の頂角より充分大きな角度となっている。而して、前記吊下げ軸２７は前記Ｖ溝２８を介して前記支持軸２５に載置され、前記パターン投影部２６は図４に於いて、紙面の左右方向、紙面に対して垂直方向のいずれにも揺動自在となっている。
【００３４】
前記パターン投影部２６について説明する。
【００３５】
下方に向って広がり扇形状に類似した形状の側板２９，２９が所要の間隔で平行に配設され、該側板２９，２９の上端に前記吊下げ軸２７が設けられている。又、前記側板２９，２９の下端には球面のハーフミラー３１が設けられ、該ハーフミラー３１に対向してマスク３２が設けられ、該マスク３２の反ハーフミラー３１側に光源３３が設けられる。該光源３３としては、例えばＬＥＤが好都合であり、ＬＥＤは低電力で駆動でき、而も赤、青等の色が選択できる。前記マスク３２にはスリット３５が穿設され、該スリット３５は鉛直線と平行な仮想面内に形成される。尚、明るい室外で、単に仮想鉛直基準線像を示すのみの場合には、必ずしも光源の必要はない。
【００３６】
前記光源３３からの光はマスク３２を通過することでスリット光として、前記ハーフミラー３１に投影される。而して、前記マスク３２、前記光源３３は前記パターン表示器２３を構成する。又、前記側板２９の下部にはバランサ３４が設けられ、前記パターン投影部２６は重力の作用で前記支持軸２５の姿勢に拘らず、一定の姿勢が保たれる様になっている。尚、前記パターン投影部２６の吊下げ部は、該パターン投影部２６が自在に揺動できればよく、又直交する２の回転軸を有するジンバル構造でもよく、或は前記側板２９の上端にフックを設け、前記支持軸２５の先端にリングを設け、フックをリングに引っ掛ける様にしてもよい。
【００３７】
以下、作用を説明する。
【００３８】
三脚３の設置、該三脚３への測量機１の設置、該測量機１の整準については、従来と同様に行い、その後求心案内装置１７による前記測量機１の水平方向の位置合わせを行う。
【００３９】
支持軸２５にパターン投影部２６を吊下げる。該パターン投影部２６は前記支持軸２５に対していずれの方向にも揺動自在であり、又バランサ３４の作用により前記パターン投影部２６は鉛直姿勢が保持される。
【００４０】
測量者が前記ハーフミラー３１を注視することで、前記パターン表示器２３より投影されたパターンについての虚像、即ち仮想鉛直基準線像１８を視認することができる。又、測量者は前記ハーフミラー３１を透して標識１５等の背景も同時に見ており、前記仮想鉛直基準線像１８は前記標識１５、背景と重合した状態で視認される。尚、測量者の瞳位置は前記ハーフミラー３１の曲面の延長上の位置にあることが好ましい。
【００４１】
前記仮想鉛直基準線像１８は鉛直となる様、又該仮想鉛直基準線像１８が形成される位置は前記測量機１の鉛直回転軸心Ｏの所定点を通過する様に前記パターン表示器２３とハーフミラー３１との位置関係、該ハーフミラー３１の曲率が設定され、更に前記バランサ３４による前記パターン投影部２６の重心位置が設定される。
【００４２】
前記鉛直回転軸心Ｏの所定点としては、前記吊り糸１３が係着される垂球掛け１２の位置等である（図１０参照）。
【００４３】
測量者は前記仮想鉛直基準線像１８の下端が前記標識１５の基準点２と合致しているかどうか、或は前記仮想鉛直基準線像１８が前記基準点２を通過しているかどうかを観察する。前記仮想鉛直基準線像１８と基準点２に対してズレがあれば、定心桿８（図１０参照）を緩めて、前記測量機１の水平方向の位置を調整する。
【００４４】
前記仮想鉛直基準線像１８を前記基準点２と合致させ、前記測量機１を前記定心桿８（図１０参照）により最終的に固定する。前記測量機１の水平方向の位置合わせが完了すると、前記求心望遠鏡９による軸立てを行い、前記測量機１を鉛直とする。
【００４５】
軸立てについては、従来例と同様であるので説明を省略する。
【００４６】
上記、求心案内装置１７は前記パターン投影部２６を前記支持軸２５より垂下した構成であるので、強風等では揺れる可能性があるが、前記パターン投影部２６の揺動半径は小さく、特に垂球１４を吊下げる吊り糸１３に比べ著しく小さいので、減衰時間は極めて短い。更に、減衰時間を短くする為、前記パターン投影部２６が振れた時に指等で振れを止めることも可能である。又、前記パターン投影部２６を覆うカバー等を設ければ、風或は不注意で該パターン投影部２６に触れた場合等で該パターン投影部２６が振れることが防止できる。
【００４７】
尚、前記マスク３２を透明な板とし、板にスリットを印刷等してもよい、この場合、図２に示す様に高さ位置を示す目盛りを該マスク３２に同時に印刷しておけば、測量者は前記仮想鉛直基準線像１８で位置合わせを行うと共に前記測量機１の基準点２からの高さ調整も可能となる。又、前記光源３３を省略し、前記マスク３２を不透明板とし、該マスク３２にスリットを穿設する代わりに直線を印刷してもよい。自然光の反射のみでは光量が少ない場合、該マスク３２を照明してもよい。或は、蛍光塗料による印刷を行って視認性を向上させてもよい。
【００４８】
図６〜図８に於いて、第２の実施の形態について説明する。
【００４９】
該第２の実施の形態では、前記パターン表示器２３の他に更に第２の第２パターン表示器３９を具備したものである。
【００５０】
図６〜図８中、図３〜図５中で示したものと同等のものには同符号を付し、その説明を省略する。
【００５１】
支持軸２５よりマスク支持部材４０が垂設され、該マスク支持部材４０の下端にマスク３２が固着され、光源３３は該マスク３２と対向して前記マスク支持部材４０に設けられる。該マスク３２にはスリット３５が穿設され、前記光源３３からの光が前記スリット３５を通ってハーフミラー３１に投影される。尚、前記マスク３２は透明板に仮想鉛直基準線像、目盛り等を抜き印刷したものでもよい。
【００５２】
前記マスク３２、光源３３の位置は形成される仮想基準線像１８′の虚像が測量機１の鉛直回転軸心Ｏと合致する様に設定される。
【００５３】
パターン投影部２６を前記支持軸２５に吊下げた状態で鉛直となる様、第２ハーフミラー３８を前記ハーフミラー３１に立設する。前記測量機１を鉛直状態で、前記第２ハーフミラー３８の反射面に関して前記マスク３２と対称に第２マスク３７を設け、前記光源３３に対して第２光源３６を設ける。又、前記第２マスク３７は透明板に鉛直基準線、目盛り、文字を抜いた状態の印刷をする。
【００５４】
前記第２光源３６、第２マスク３７、第２ハーフミラー３８の位置関係は、形成される仮想鉛直基準線像１８が鉛直となる様に設定する。又、第２光源３６、第２マスク３７の位置は該第２マスク３７に設けられたパターンが測量機１の鉛直状態で前記パターン表示器２３により形成されるパターンと重合する様に位置関係が設定されている。
【００５５】
前記光源３３と第２光源３６とは色を異ならせる。例えば、前記光源３３が赤色を発する場合は、前記第２光源３６は青色又は緑色を発する様にする。又、前記マスク３２にはスリット３５のみを設ける。而して、前記第２マスク３７、第２光源３６は第２の第２パターン表示器３９を構成する。
【００５６】
前記パターン表示器２３からのパターンは前記第２ハーフミラー３８を透過し、前記ハーフミラー３１に反射され、測量者の瞳に入射し、仮想基準線像１８′の虚像を形成し、又前記第２マスク３７の目盛り、文字は前記第２ハーフミラー３８、ハーフミラー３１に順次反射され、測量者の瞳に入射し、仮想鉛直基準線像１８を形成する。
【００５７】
前記パターン表示器２３、第２パターン表示器３９により投影されたパターンは、仮想基準線像１８′が赤で示され、仮想鉛直基準線像１８が青又は緑で示されることで視認性は更に向上する。
【００５８】
尚、パターンは仮想鉛直基準線像１８、目盛り、文字に限らず、任意の図形、記号であってもよい。又、光源マスクに代え液晶表示装置としてもよい。
【００５９】
以下、作用について説明する。
【００６０】
三脚３の設置、該三脚３への測量機１の設置、該測量機１の整準については、従来と同様に行い、その後求心案内装置１７による測量機１の水平方向の位置合せを行う。
【００６１】
前記支持軸２５にパターン投影部２６を吊下げる。該パターン投影部２６は前記支持軸２５に対していずれの方向にも揺動自在であり、又バランサ３４の作用により前記パターン投影部２６は鉛直姿勢が保持される。
【００６２】
前記光源３３を消灯した状態とする。該光源３３が消灯されることで、第２パターン表示器３９による仮想鉛直基準線像１８のみが形成される。
【００６３】
該仮想鉛直基準線像１８を前記基準点２に合致させることで前記測量機１の水平位置の調整を行う。水平位置合わせの手順については、第１の実施の形態と同様であるので説明を省略する。
【００６４】
次に、前記光源３３を点灯する。前記パターン表示器２３による仮想基準線像１８′と前記第２パターン表示器３９による仮想鉛直基準線像１８とが同時に形成され、而も異なった色で形成される。
【００６５】
前記パターン表示器２３は前記支持軸２５に固定されるので、常に前記測量機１の鉛直回転軸心Ｏと合致する様に仮想基準線像１８′が形成され、前記パターン投影部２６は常に鉛直状態であるので、該パターン投影部２６に固定された第２パターン表示器３９は常に鉛直な仮想鉛直基準線像１８を形成する。従って、前記測量機１が鉛直でない場合は、仮想基準線像１８′と仮想鉛直基準線像１８とは一致していない。
【００６６】
前記測量機１の鉛直状態の調整は、測量者が求心案内装置１７を覗き、仮想基準線像１８′と仮想鉛直基準線像１８とを一致させる様に前記測量機１を整準させればよい。
【００６７】
而して、前記求心案内装置１７により概略の軸立てを行うことができ、最後に求心望遠鏡９（図１０参照）を用いて最終的な軸立てを行う。
【００６８】
尚、前記求心案内装置１７は托架部６に設けたが、基盤部５の該托架部６と一体に整準される部分に設けてもよい。
【００６９】
以上は求心案内装置が測量機に揺動自在に設けられている場合を示したものであるが、求心案内装置は測量機に固定的に設けられていてもよい。このとき仮想鉛直基準線像は常に測量機の鉛直回転軸に一致させる。基準点上に測量機の鉛直回転軸を一致させるには、先ず、円形気泡管１６を見ながら、整準螺子１０を回し整準させる。整準により鉛直となった仮想鉛直基準線像が基準点２上に来る様に、基盤部５を水平方向にずらして調整する。求心案内装置で概略調整後、求心望遠鏡で最終的な位置合わせを行う。尚、基盤部５は従来例で示したと同様に水平２方向に調整可能な機能を有している。
【００７０】
【発明の効果】
以上述べた如く本発明によれば、測量機がパターン投影部を有し、該パターン投影部が球面状のハーフミラーと、該ハーフミラーにパターンを投影するパターン表示器とを具備し、ハーフミラーとパターン表示器により仮想鉛直基準線像が形成される様構成したので、垂球を使用することなく、又風等の自然環境に影響されることなく、簡単、迅速に測量機の設置を行うことができ、又測量機の所要位置にパターン投影部を揺動自在に吊下げ、該パターン投影部が球面状のハーフミラーと、該ハーフミラーと一体に動きハーフミラーにパターンを投影する第１のパターン表示器と、前記測量機側に固定され、前記ハーフミラーに第２のパターンを投影する第２のパターン表示器とを具備し、ハーフミラーと第１のパターン表示器により仮想鉛直基準線像が形成され、ハーフミラーと第２のパターン表示器により測量機の鉛直回転軸心Ｏと合致する仮想基準線像が形成される様構成しているので、仮想鉛直基準線像により水平方向の位置合わせ、仮想鉛直基準線像と仮想基準線像との合わせにより測量機の軸立てを行え、簡単、迅速に測量機の設置を行うことができるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理図である。
【図２】本発明の実施の形態を示す全体図である。
【図３】本発明の実施の形態を示す骨子図である。
【図４】本発明の実施の形態を示す要部断面図である。
【図５】本発明の実施の形態を示す要部側面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態を示す骨子図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態を示す要部断面図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態を示す要部側面図である。
【図９】従来例を示す全体図である。
【図１０】従来例の要部断面図である。
【符号の説明】
１          測量機
３          三脚
４          脚頭
５          基盤部
１７        求心案内装置
２３        パターン表示器
２５        支持軸
２６        パターン投影部
２７        吊下げ軸
２９        側板
３２        マスク
３３        光源
３６        第２光源
３７        第２マスク
３９        第２パターン表示器
４０        マスク支持部材
【図１】
0004588240.tif 000002
【図２】
0004588240.tif 000003
【図３】
0004588240.tif 000004
【図４】
0004588240.tif 000005
【図５】
0004588240.tif 000006
【図６】
0004588240.tif 000007
【図７】
0004588240.tif 000008
【図８】
0004588240.tif 000009
【図９】
0004588240.tif 000010
【図１０】
0004588240.tif 000011