(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工液に含有された砥粒によって被加工物を研磨する研磨装置であって、
被加工物が配置されるとともに加工液が供給され、回転駆動する定盤と、
両端が開口し、前記定盤の周縁部に一端の開口が配置されるとともに、前記定盤の中央部に他端の開口が配置され、加工液が通過する導管と、
前記定盤の周縁部を取り囲むように設けられた環状壁と、
前記環状壁の内側で前記定盤の周縁部に沿って形成された溝からなる液溜部と、
を備え、
前記定盤は、中央部に貫通穴が形成され、
前記導管は、該導管の一端の開口が前記液溜部内に配置され、前記導管の一端が前記液溜部に沿って延びてから、前記環状壁を乗り越えるようにして該環状壁の外側に回り込み、前記定盤の下方を定盤の中心に向かって延び、前記他端の開口が前記貫通穴に連通し、
前記導管内の空気を抜くために導管の頂上部分に設けられた吸引器をさらに備えることを特徴とする研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工液に含有された砥粒によって被加工物を研磨する研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、加工液に含有された砥粒によって被加工物を研磨する研磨装置が種々提案されている。例えば、特許文献１に記載された研磨装置は、回転する円盤状の定盤と、被加工物を保持する治具とを備えている。この研磨装置では、治具によって保持される被加工物を定盤上に配置し、タンクに貯留された加工液を定盤上に供給して、定盤を回転させている。この加工液には、砥粒が含有されており、定盤と被加工物との間に入り込んだ砥粒によって、被加工物の被加工面が研磨される。
【特許文献１】特開平５−８４６５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ここで、被加工物の被加工面を平坦に研磨するためには、被加工面が砥粒と均一に接触するように、定盤上に砥粒を均一に分散させておく必要がある。しかしながら、特許文献１の研磨装置では、回転する定盤上に加工液を供給しているため、加工液が遠心力によって定盤の周縁側に向かって流れていく。したがって、定盤上に砥粒を均一に分散させておくためには、研磨加工中に加工液を常時供給し続けなければならない。その結果、多量の加工液が必要となり、被加工物の加工コストが高くなるといった問題があった。
【０００４】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、被加工物の研磨に用いる加工液の量を減らし、加工コストを低くすることができる研磨装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る研磨装置は、上記問題を解決するためになされたものであり、加工液に含有された砥粒によって被加工物を研磨する研磨装置であって、被加工物が配置されるとともに加工液が供給され、回転駆動する定盤と、前記定盤の周縁部に一端の開口が配置されるとともに、前記定盤の中央部に他端の開口が配置され、加工液が通過する導管と、を備えることを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、定盤が回転すると、定盤上の加工液が遠心力によって定盤の周縁部に向かって流れる。この加工液は、定盤の周縁部に到達すると、この周縁部に配置された導管の一端の開口から導管内へ導入される。そして、導管内に導入された加工液は、導管を通過して定盤の中央部に配置された他端の開口から排出され、定盤上に供給される。こうして、加工液は、定盤上と導管内とを循環し、定盤の回転中に、定盤の中央部から定盤上に連続的に供給される。これにより、定盤上に供給された加工液が定盤と被加工物との間に連続的に流れ込む。定盤上に配置された被加工物は、定盤の回転によって定盤上を摺動し、定盤と被加工物との間に介在する加工液中の砥粒によって研磨される。その結果、定盤上に供給した所定量の加工液だけで被加工物を研磨することができ、従来例に比べて使用する加工液の量を減らして、加工コストを低くすることができる。
【０００７】
上記研磨装置においては、前記定盤の周縁部を取り囲むように設けられた環状壁をさらに備えることが好ましい。この構成によれば、環状壁によって定盤が取り囲まれているので、定盤上に供給された加工液が定盤上に貯留される。そして、定盤が回転駆動されると、定盤上の加工液が遠心力によって定盤の周縁部へ向かって流れるが、定盤を取り囲む環状壁によって加工液の流れがせき止められる。そうすると、せき止められた加工液が定盤の周縁部上で滞留して、定盤上の加工液の水面が、定盤の中央部上に底部を配置したすり鉢状となる。そのため、定盤の周縁部における加工液の液面位置が、定盤の中央部における加工液の液面位置より高くなり、両液面間に高低差が生じ、この液面の高低差によっていわゆるサイホン作用が生じる。これにより、定盤の回転中に遠心力によって定盤の周縁部へ流れた加工液が、定盤の周縁部に配置された導管の一端の開口から導管内に導入されて、導管内を流れる。そして、加工液は、定盤の中央部に配置された導管の他端の開口から放出されて、再び定盤上に供給される。その結果、いわゆるサイホン作用を利用して、特別な装置を用いずに加工液の循環を行うことができるため、研磨装置全体の構成を簡単にすることができる。
【０００８】
また、上記のように環状壁を備える研磨装置においては、前記定盤における前記導管の一端の開口が配置された側が、その反対側より高くなるように設置されていることが好ましい。こうすることで、定盤の周縁部が、導管の一端の開口が配置される位置において、定盤の中央部より高い位置に配置される。そのため、上記のように遠心力によって生じる加工液の液面の高低差に加え、定盤の周縁部における加工液の液面位置と、定盤の中央部における加工液の液面位置との間の高低差がより大きくなる。その結果、いわゆるサイホン作用をより大きくすることができ、加工液の循環をより効果的に行うことができる。
【０００９】
また、上記のように環状壁を備える研磨装置においては、導管内の空気を抜くための吸引器をさらに備えるように構成してもよい。上記のようにサイホン効果を利用する場合、導管内に空気が入ると、導管内で連続する加工液が断ち切られ、導管内の加工液が流れないことがある。この場合、このような吸引器を備えることで、導管内の空気を抜いて、断ち切られた加工液を連続させることで、加工液を流すことができる。
【発明の効果】
【００１０】
以上の説明から明らかなように、本発明に係る研磨装置によれば、被加工物の研磨に用いる加工液の量を減らし、加工コストを低くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明に係る研磨装置の一実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１は、本実施形態に係る研磨装置の側面要部断面図である。図２は、図１の研磨装置の平面図である。
【００１２】
本実施形態に係る研磨装置は、加工液に含有された砥粒によって被加工物を研磨するものであって、図１及び図２に示すように、被加工物が配置される円盤状の定盤１と、定盤１上で被加工物Ｔを保持する保持具３と、加工液が流通する導管５とを備えている。定盤１の上面には、その周縁に沿って定盤１を取り囲む環状壁７が上方へ向けて設けられている。定盤１上には後述のように加工液が供給されるが、この環状壁７によって、定盤１上に加工液を貯留可能になっている。また、定盤１の上面には、定盤１の中心を中心にして、同心状の複数（図では、５つ）の環状の溝９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ，９ｅが形成されている。この環状の溝９ａ〜９ｅの最も外側の溝９ｅは、環状壁７の内側で、定盤１の周縁部に沿って形成されている。この最も外側の溝９ｅは、以下、液溜部９ｅと称する。また、図１に示すように、定盤１の上面は、最も内側の溝９ａに囲まれた部分１ａが、この溝９ａの外側の部分より低くなるように形成されている。
【００１３】
定盤１の中心部には、図３に詳細に示すように、定盤１を貫通する貫通孔１１と、貫通孔１１と連続し、貫通孔１１の孔径より大きな内径を有する軸受部１３が形成されている。この軸受部１３には、後述する導管５の支軸部材１５が嵌合され、定盤１を回転自在に支持するようになっている。
【００１４】
定盤１の下面には、図３に示すように、軸受部１３を取り囲む周壁１７が下方に向けて設けられており、この周壁１７と導管５の支軸部材１５との間にリング状のパッキン１９を介在させて、これらの間に隙間が生じないようにしている。これによって、後述する導管５の内部を流通する加工液が、周壁１７と導管５の支持部との間から漏れないようにしている。
【００１５】
また、定盤１１の下面には、図１に示すように、定盤１の中心を中心にして環状に形成された環状ギヤ２１が設けられている。この環状ギヤ２１は、モーター等の駆動装置２３に連結されて、定盤１を回転させるようになっている。
【００１６】
図１及び図２に示されるように、導管５は、両端が開口しており、一端の開口５ａが、定盤１の周縁部に配置され、他端の開口５ｂ（図３参照）が、定盤１の中央部に配置されている。より詳細には、導管５は、一端の開口５ａが液溜部９ｅ内に配置され、この液溜部９ｅに沿って延びた後、環状壁７を乗り越えるようにして環状壁７の外側に回り込み、定盤１の下方を定盤１の中心に向かって延びている。液溜部９ｅ内に配置された導管５の一端の開口５ａは、後述する定盤１の回転方向Ｒとは反対方向に向けられている。そして、定盤１の中心へ延びた導管５の端部には、上下方向に延びる筒状の支軸部材１５が、導管５の内部空間と支軸部材１５の内部空間とを連通するように一体的に設けられている。この支軸部材１５は、図３に示すように、下軸部１５ａと、下軸部１５ａと一体化され、下軸部１５ａの外径より大きな外径を有する上軸部１５ｂとを備えている。下軸部１５ａの下端は、支持台２５に固定され、これによって下軸部１５ａの下端の開口が閉塞されている。上軸部１５ｂは、定盤１中央部の軸受部１３に嵌合され、定盤１を回転自在に支持している。また、上軸部１５ｂの上端の開口は、定盤１中央部の貫通孔１１と連続している。なお、支軸部材１５は、導管５の一部であり、本発明における定盤の中央部に配置された導管の他端の開口は、上軸部１５ｂの上端の開口に相当する。
【００１７】
また、図１に示すように、環状壁７を乗り越えるように延びている導管５の頂上部分には、導管５内の空気を抜くための吸引器２７が設けられている。図４に詳細に示すように、この吸引器２７は、筒状のシリンダ部材２９と、シリンダ部材２９に挿入されたピストン部材３１と、シリンダ部材２９内部に取り付けられ、ピストン部材３１を上方へ付勢するコイルばね３３とを備えている。シリンダ部材２９は、下端部の開口２９ａと、この開口２９ａの径より大きい径を有する拡径部２９ｂとを有している。シリンダ部材２９の下端部は、導管５に取り付けられており、開口２９ａが導管５に形成された孔５ｃと連続するようになっている。シリンダ部材２９の上部には、後述するピストン部材３１の下端部に形成された係止リング３１ａを係止して、ピストン部材３１の上方への移動を規制する環状部材３５が取り付けられている。この環状部材３５は、左右の２部品で構成されており、シリンダ部材２９にピストン部材３１を挿入した後に、この２部品を左右からシリンダ部材２９に取り付け、溶接等で結合するようになっている。
【００１８】
ピストン部材３１は、軸方向に貫通孔３１ｂを有するとともに、この貫通孔３１ｂと連続し、貫通孔３１ｂの径より大きい径を有する拡径部３１ｃを有している。ピストン部材３１の上端開口部には、蓋板３７が取り付けられているが、蓋板３７の中央部には孔３７ａが設けられており、ピストン部材３１の内部空間と外部空間とが連通している。ピストン部材３１の下端部には、外方へ突出する係止リング３１ａが形成されており、この係止リング３１ａが環状部材３５に係止されて、ピストン部材３１の上方への移動が規制されている。また、係止リング３１は、シリンダ部材２９の拡径部２９ｂの内周面に密着した状態で上下方向に摺動し、係止リング３１とシリンダ部材２９の拡径部２９ｂとの間を気密にしている。
【００１９】
吸引器２７は、以上の構成よって、導管５の孔５ｃ，シリンダ部材２９の内部空間，及びピストン部材３１の内部空間が連続し、導管５の内部と外部空間とが連通するようになっている。なお、シリンダ部材２９の内部には、下弁体３８が収容されており、拡径部２９ｂの下部がすり鉢状に形成されることで下弁体３８が自重によって下方へ移動し、シリンダ部材２９の開口２９ａを閉塞可能となっている。また、ピストン部材３１の拡径部３１ｃには、上弁体３９が収容されており、拡径部３１ｃの下端部がすり鉢状に形成されることで上弁体３９が自重によって下方へ移動し、ピストン部材３１の貫通孔３１ｂを閉塞可能となっている。
【００２０】
後述するように、導管５内は加工液が流通して循環するようになっているが、導管５内に空気が存在すると、その空気によって導管５内で連続する加工液が断ち切られて、加工液が流れない。また、循環している間に導管内の加工液中に空気が混入しても、連続する加工液が同様に断ち切られて、加工液の流れが止まることがある。本実施形態の導管５は環状壁７を乗り越えるように延びているので、吸引器２７が取り付けられた頂上部分に、導管５内に入った空気が集まる。そのため、この吸引器２７によって、導管５内から空気を抜くことで、断ち切られた加工液をつなぎ、加工液を流すことができるようになっている。具体的には、以上のように構成された吸引器２７は、次のようにして、導管５内の空気を排出するようになっている。
【００２１】
まず、ピストン部材３１をコイルばね３３による付勢力に抗して下方へ押し下げる。そうすると、シリンダ部材２９の開口２９ａが下弁体３８で閉塞されるとともに、ピストン部材３１の係止リング３１ａとシリンダ部材２９の拡径部２９ｂとの間が気密であるので、シリンダ部材２９の拡径部２９ｂ内及びピストン部材３１の貫通孔３１ｂ内の気圧が上がる。これにより、シリンダ部材２９の拡径部２９ｂ内及びピストン部材３１の貫通孔３１ｂ内の空気が、上弁体３９を押し上げ、ピストン部材３１の拡径部３１ｃ及び蓋板３７の孔３７ａを介して吸引器２７の外部へ放出される。
【００２２】
そして、ピストン部材３１を下方へ押すのを止めると、ピストン部材３１がコイルばね３３による付勢力によって上方へ押し戻される。そうすると、ピストン部材３１の貫通孔３１ｂが上弁体３９で閉塞されるとともに、ピストン部材３１の係止リング３１ａとシリンダ部材２９の拡径部２９ｂとの間が気密であるので、ピストン部材３１の貫通孔３１ｂ内及びシリンダ部材２９の拡径部２９ｂ内の気圧が下がる。これにより、導管５から流入したシリンダ部材２９下部の開口２９ａ内及び導管５内の空気が、下弁体３８を押し上げ、シリンダ部材２９の拡径部２９ｂ内に流入する。
【００２３】
こうして導管５内の空気が排出されるが、以上の動作で導管５内にまだ空気が残っている場合は、以上の動作を繰り返す。
【００２４】
続いて、保持具３について説明する。図１及び図２に示すように、保持具３は、修正リング４１と、修正リング４１の内側に配置される位置決めリング４３，布状パッド４５及び押圧体４７とを備えている。なお、図２では、説明の便宜のため、布状パッド４５及び押圧体４７の図示を省略している。また、本実施形態では、保持具３を３つ設けているが、１つ又はそれ以上であってもよい。修正リング４１は、定盤１の上面に配置され、外周面が環状壁７の内周面に接するとともに、定盤１上に配置された保持ベアリング４９に接している。保持ベアリング４９は、定盤１に固定されたものではなく、図外の保持機構によって所定の位置で回転自在に保持されている。そのため、修正リング４１は、定盤１が図２に示す矢印Ｒ方向に回転駆動されると、その回転方向に移動しようとするが、この移動が保持ベアリング４９によって阻止される。一方で、修正リング４１は、その外周面と環状壁７の内周面との摩擦抵抗によって回転力を与えられるので、その位置において矢印Ｓ方向に回転する。このようにして、修正リング４１は、定盤１の中心に対して公転はせず、定盤１上で自転するようになっている。
【００２５】
図５に示すように、修正リング４１の下端部は、定盤１と当接する複数の平坦部５１と、複数の切欠部５３とを備えている。平坦部５１は、自重によって定盤１の上面に当接しており、定盤１が回転すると、修正リング４１が自転しつつこの平坦部５１が定盤１上を摺動する。そのため、定盤１の上面が平坦となるように研削され、被加工物Ｔが常に定盤１上の平坦な面で研磨されるようになっている。
【００２６】
なお、上記のように、定盤１上面の最も内側の溝９ａに囲まれた部分１ａは、この溝９ａの外側の部分より低くなるように形成されている（図１参照）。これは、修正リング４１が、定盤１の溝９ａに囲まれた部分１ａに接触することで生じる不具合を回避するためのものである。つまり、図１及び図２に示すように、修正リング４１の平坦部５１は、定盤１の溝９ａより外側の部分に接触している。そのため、この接触部分が上記のように修正リング４１によって研削されると、それに伴い修正リング４１の位置が下方へ移動する。そうすると、定盤１の溝９ａに囲まれた部分１ａとその外側の部分の高さが同じである場合には、修正リングの下端部が、定盤１の溝９ａに囲まれた部分１ａに接触することがある。その結果、修正リング４１の自転がスムーズに行われないという不具合が生じる。これに対し、定盤１の溝９ａに囲まれた部分１ａの高さを予め低くしておくことで、外側の部分が研削されても、溝９ａに囲まれた部分１ａと修正リング４１とが接触せず、修正リング４１の自転をスムーズに行うことができる。
【００２７】
また、図１に示すように、修正リング４１の下面は定盤１の上面に当接しているが、上記のように定盤１の周縁部に沿って環状の溝９ｅ（液溜部）を形成することによって、修正リング４１の下面の外縁４１ａが、環状壁７の内周面と定盤１とが交わる縁部１ｂとは接触しないようなっている。これにより、この縁部１ｂとの接触による修正リング４１の外縁４１ａの磨耗を防止している。
【００２８】
図１及び図２に示されるように、位置決めリング４３は、定盤１上に配置され、その中央の孔に被加工物Ｔを配置して保持するようになっている。
【００２９】
図１に示すように、押圧体４７は、被加工物Ｔとの間に布状パッド４５を介在させた状態で、自重によって被加工物Ｔを定盤１に押圧するようになっている。布状パッド４５は、被加工物Ｔの上面に傷がつかないように、フェルト等の柔軟なもので形成されている。
【００３０】
本実施形態に係る研磨装置に使用される加工液は、高硬度の微粒状研磨材を液体に含有させたものであり、例えば、水，なたね油，オリーブ油，マシン油，パラフィン油等の液体に、金剛砂，アルミナ粉末，炭化ケイ素粉末，ダイヤモンド粉末等を含有させたものが挙げられる。
【００３１】
なお、図示していないが、本実施形態に係る研磨装置は、導管５の一端の開口５ａが配置された側（図１では右側であり、以下、導管５側という。）が、その反対側（図１では左側）より高い位置に配置されるように、装置全体が傾いた状態で設置されている。例えば、定盤１の左右両端で数ミリメートルの程度の高低差がつくように設置されている。
【００３２】
次に、本実施形態に係る研磨装置の使用方法及びその動作について説明する。図１及び図２に示されるように、まず、被加工物Ｔを定盤１上に配置するとともに、保持具３によって被加工物Ｔを保持する。詳細には、修正リング４１を、外周面が定盤１の環状壁７の内周面及び保持ベアリング４９に接するようにして定盤１上に配置する。そして、修正リング４１の内部に位置決めリング４３を配置し、位置決めリング４３の中央の孔に被加工物Ｔを配置して定盤１上に載せる。次いで、被加工物Ｔの上面に布状パッド４５を載せ、その上に押圧体４７を載せる。これによって、定盤１上に配置された被加工物Ｔは保持具３によって保持される。
【００３３】
そして、定盤１の上面全体が加工液で覆われるように、定盤１上に所定量の加工液を供給する。そうすると、定盤１の中央部の貫通孔１１及び支軸部材１５の内部を介して、導管５内に加工液が流入するとともに、導管５の一端の開口５ａからも定盤１の液溜部９ｅ内の加工液が流入する。このとき、導管５内には空気が存在しているので、吸引器２７のピストン部材３１を上下動させ、導管５内から空気を排出する。これにより、定盤１の貫通孔１１から流入した加工液と、導管５の一端の開口５ａから流入した加工液とが、導管５内で連続した状態となり、導管５に加工液が充填される。
【００３４】
この状態で、駆動装置２３によって定盤１を図２の矢印Ｒ方向に回転させる。そうすると、被加工物Ｔは、定盤１上を摺動しつつ、修正リング４１と共に図２の矢印Ｓ方向に自転する。そして、定盤１上の加工液は、遠心力によって定盤１の周縁部に向かって流れる。このとき、定盤１の周縁部に流入した加工液は、定盤１を取り囲む環状壁７によってせき止められる。そうすると、せき止められた加工液が定盤１の周縁部上で滞留して、定盤１上の加工液の水面が、図１に二点差線Lで例示するように、定盤１の中央部上に底部を配置したすり鉢状となる。これにより、定盤１の周縁部における加工液の液面Pが中央部における加工液の液面Qより高くなり、加工液の液面に高低差が生じる。また、定盤１は、導管５側（図１の右側）が、中央部より高くなっているので、定盤１の周縁部が、導管５の一端の開口５ａが配置される位置において、定盤１の中央部より高い位置に配置されている。そのため、上記のように遠心力によって生じる加工液の液面の高低差に加え、定盤１の周縁部における加工液の液面位置と、定盤１の中央部における加工液の液面位置との間の高低差がより大きくなる。
【００３５】
そして、このような液面の高低差によって、いわゆるサイホン作用が生じるため、定盤１の回転中に遠心力によって定盤１の周縁部へ流れた加工液が、定盤１の周縁部に配置された導管５の一端の開口５ａから導管５内に導入される。導管５内に導入された加工液は、導管５内を流れ、定盤１の中央部に配置された他端の開口５ｂから排出されて定盤１上に供給される。定盤１の中央部に供給された加工液は、遠心力によって再び定盤１の周縁部に向かって流される。こうして、定盤１上に供給された所定量の加工液は、定盤１の回転中に、定盤１上と導管５内とを循環し、定盤１の中央部から定盤１上に連続的に供給される。これにより、定盤１上に供給された加工液が定盤１と被加工物Ｔとの間に連続的に流れ込む。定盤１上に配置された被加工物Ｔは、定盤１の回転によって定盤１上を摺動し、定盤１と被加工物Ｔとの間に介在する加工液中の砥粒によって研磨される。
【００３６】
また、遠心力によって加工液が定盤１の周縁部に流入した加工液は、液溜部９ｅから溢れた状態になる。そのため、その溢れた加工液は、修正リング４１の複数の切欠部５３内に流入する。そして、切欠部５３内の加工液は、修正リング４１の自転に伴って切欠部５３と共に移動し、定盤１の中央部に向かう間に切欠部５３から流出するようになっている。
【００３７】
以上のように、本実施形態の研磨装置によれば、遠心力によって定盤１の周縁部に流れた加工液を導管５の一端の開口５ａから導入し、導管５内に導入した加工液を定盤１の中央部に配置された他端の開口５ｂから排出して、定盤１上に再び供給するようになっている。そのため、定盤１上に供給した所定量の加工液を循環させて使用することができるので、従来例に比べて使用する加工液の量を減らして、加工コストを低くすることができる。また、いわゆるサイホン作用を利用して、特別な装置を用いずに加工液の循環を行うことができるため、研磨装置全体の構成を簡単にすることができる。
【００３８】
また、修正リング４１の切欠部５３によって、液溜部９ｅから溢れている加工液を定盤１の中央部に向けて運ぶことができるので、定盤１の周縁部に流れた加工液を、再び定盤１上に分散させることができる。そのため、上記の導管５を用いて定盤１の中央部に加工液を供給し、定盤１上へ加工液を分散させることに加え、修正リング４１の切欠部５３によっても加工液を分散させることができる。したがって、加工液をより効果的に分散させることができ、加工液中の砥粒を定盤１上に均一に分配して、被加工物Ｔの研磨精度をより向上させることができる。
【００３９】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、種々の変更が可能である。上記実施形態では、導管５は、図１〜図３に示すように、一端の開口５ａを定盤１の周縁部に配置し、定盤１の下方に回り込ませて、他端の開口５ｂを定盤の中央部に配置しているが、これに限定されるものではない。例えば、導管の一端の開口を定盤１の周縁部に配置した後、定盤１の上方を中央部に向かって延ばし、導管の他端の開口を定盤１の中央部上方に配置してもよい。この場合、上記実施形態では、図３に示す定盤１の中央部の貫通孔１１は不要となり、定盤１を回転可能に支持するための導管５の支軸部材１５のみが必要となる。なお、この場合、導管の他端の開口は、定盤１上に供給される加工液に浸すように配置する。
【００４０】
また、上記実施形態に係る研磨装置は、装置全体が傾いた状態で設置されているが、例えば、上記のように遠心力によって、定盤１の周縁部における加工液の液面位置と、中央部における加工液の液面位置との間で高低差がつくのであれば、装置全体を傾けずに、水平な状態で設置してもよい。
【００４１】
また、吸引器２７は、必要に応じて適宜設ければよく、不要の場合は、導管５の孔５ｃは閉塞される。この場合、例えば定盤１の貫通孔１１から導管５内の加工液を吸引する、或いは逆に定盤１の貫通孔１１から加工液を導入するポンプ等の手段等によって、導管５内から空気を排出すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本実施形態に係る研磨装置の側面要部断面図である。
【図２】図１の研磨装置の平面図である。
【図３】図１におけるＡ部の拡大要部断面図である。
【図４】図１におけるＢ部の拡大断面図である。
【図５】修正リング４１の断面及び背面を示す図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  定盤
３  保持具
５  導管
７  環状壁
５ａ  導管の一端の開口
５ｂ  導管の他端の開口
２７  吸引器
４１  修正リング
４３  位置決めリング
４５  布状パッド
４７  押圧体
Ｔ  被加工物
【図１】
0004598095.tif 000002
【図２】
0004598095.tif 000003
【図３】
0004598095.tif 000004
【図４】
0004598095.tif 000005
【図５】
0004598095.tif 000006