(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のユニットを有する設備から各ユニットの可動状態データを受信する段階と、
前記ユニットに該当する基準データを検索する段階と、
各ユニットの前記可動状態データと前記基準データとを比較し、前記可動状態データが前記基準データから逸脱したユニットが前記ユニットの中にあると、前記可動状態データが前記基準データから逸脱したユニットの変数ＩＤキー値をオフ状態に変更する段階と、
前記変数ＩＤを所定のユニット制御メッセージに保存した後、前記ユニット制御メッセージを前記設備にダウンロードして前記可動状態データが前記基準データから逸脱したユニットの可動状態をオフにする段階と、
を含み当該各段階の順序で管理することを特徴とする半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法。
【請求項２】
前記ユニット制御メッセージは、ストリームファンクションメッセージであることを特徴とする請求項１記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法。
【請求項３】
前記ユニット制御メッセージのストリームファンクション形態は、Ｓ１Ｆ１２であることを特徴とする請求項２記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法。
【請求項４】
前記変数ＩＤは、ＥＣＩＤであることを特徴とする請求項１記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法。
【請求項５】
前記ユニットの可動状態をオフにする段階後、所定のアラームメッセージを前記設備にダウンロードする段階と、
前記設備からアラームが発生したかを判断する段階と、
前記設備からアラームが発生しなかった場合はアラームメッセージダウンロード過程を継続して反復し、前記設備からアラームが発生した場合は所定の警告メッセージを前記設備にダウンロードし、当該警告メッセージを設備モニタに表示する段階と、
をさらに含み当該各段階の順序で管理することを特徴とする請求項１記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法。
【請求項６】
前記アラームメッセージ及び前記警告メッセージは、ストリームファンクションメッセージであることを特徴とする請求項５記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法。
【請求項７】
前記アラームメッセージのストリームファンクション形態は、Ｓ２Ｆ４１であることを特徴とする請求項６記載の半導体製造設備管理システムのユニット状態管理方法。
【請求項８】
前記警告メッセージのストリームファンクション形態は、Ｓ１０Ｆ３またはＳ１０Ｆ５であることを特徴とする請求項６記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法。
【請求項９】
前記可動状態データが前記基準データから逸脱したユニットが前記ユニット内にないと、前記複数のユニットを有する設備から各ユニットの可動状態データを受信する段階に進行して継続して可動状態データを受信することを特徴とする請求項１記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法に関し、より詳細には、所定のユニット状態監視モジュールを通して設備に附属されたユニットの異常有無が実時間で把握されるようにすることにより、異常が発生した特定ユニットを正常状態のユニットから迅速に隔離して運用できるようにする半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体素子の製造には高い精密性が要求される。これによって、通常の半導体生産ラインでは精密加工が可能な高機能の設備を配置して大部分の半導体素子製造工程を実行し、作業者は各設備の動作状況を所定の半導体製造設備管理システムを用いて観察することによりライン作業効率の向上を図っている。
【０００３】
図４は従来の半導体製造管理システムの配置形状を概略的に示している。
図４に示されるように、生産ライン内には工程を実行する設備３が配置され、その設備３にはロット１０が投入されて該当工程が進行される。この時、作業者は設備３とオンラインで連結されたＯ／Ｉ ＰＣ(operator interface PC)２を通して設備３の作動状況を観察する。
【０００４】
ここで、設備３は設備サーバー(図示せず)を通してホスト１とオンラインで連結され、ホスト１はＯ／Ｉ ＰＣ２とオンラインで連結される。この時、作業者がＯ／Ｉ ＰＣ２を通してホスト１に生産基礎データ、例えば、対象ロットのＩＤや工程が進行される設備ＩＤ等の設定を入力すると、ホスト１はその入力された生産基礎データに基づいて自身のデータベースを検索して当該ロット１０に進行される工程条件データを算出する。
【０００５】
以後、作業者は前記工程条件データを確認した後、工程開始(または工程終了)命令を入力して設備３にロット１０を迅速にトラックイン／トラックアウトさせることにより該当工程を進行する。この時、設備３は自身に附属された多数個のユニット、例えば、ローディング／アンローディングポート(図示せず)、チャンバ４等を適切に可動させることにより上述した工程条件を実行する。
【０００６】
ここで、作業者は上述したＯ／Ｉ ＰＣ２を通して設備３の動作状況を観察して設備３に附属された各ユニットの状態を継続して把握し、特定ユニット、例えば、上述したチャンバ４の中で一部に異常が発生すると、設備３をすぐオフにして全体工程を中止させる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の半導体製造設備管理システムでは、設備に附属された多数のユニットの中でいくつかのユニットでだけ異常が発生し他のユニットは正常に可動する場合、作業者はその異常発生ユニットを個別に実時間で把握できないことにより、異常が発生したユニットを正常な工程過程から迅速に隔離させることが不可能であり、また、異常が発生したユニットに製品がローディングされる場合があった。
また、作業者によりユニットの異常が発見されても一部の異常発生ユニットを修理するために全体設備をオフにしなければならないため製品の全体的な生産効率が低減するという問題があった。
【０００８】
したがって、本発明はこのような問題に着眼して案出されたもので、その目的は、ホストに所定のユニット状態監視モジュールを具備し、異常が発生したユニットを実時間で把握した後、それを正常工程過程から迅速に隔離させることにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、ユニット状態監視モジュールを用いて、異常が発生したユニットだけを個別にオフにして異常発生ユニットと正常ユニットが隔離して運用されるようにすることにより、全体設備がオフになることを防止し、製品の全体的な生産効率を顕著に向上させることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法は、複数のユニットを有する設備から各ユニットの可動状態データを受信する段階と、ユニットに該当する基準データを検索する段階と、各ユニットの可動状態データと基準データとを比較し、可動状態データが基準データから逸脱したユニットがユニットの中にあると、可動状態データが基準データから逸脱したユニットの変数ＩＤキー値をオフ状態に変更する段階と、変数ＩＤを所定のユニット制御メッセージに保存した後、ユニット制御メッセージを設備にダウンロードして可動状態データが基準データから逸脱したユニットの可動状態をオフにする段階とを含み当該各段階の順序で管理する。
【００１１】
本発明の請求項２記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法によると、ユニット制御メッセージは、ストリームファンクションメッセージ(stream function message)である。
本発明の請求項３記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法によると、ユニット制御メッセージのストリームファンクション形態は、Ｓ１Ｆ１２である。
本発明の請求項４記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法によると、変数ＩＤは、ＥＣＩＤ(equipment constant ID)である。
【００１２】
本発明の請求項５記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法によると、変数ＩＤを所定のユニット制御メッセージに保存してダウンロードする段階後、所定のアラームメッセージを設備にダウンロードする段階と、設備からアラームが発生したかを判断する段階と、設備からアラームが発生しなかった場合はアラームメッセージダウンロード過程を継続して反復し、設備からアラームが発生した場合には所定の警告メッセージを設備にダウンロードし、当該警告メッセージを設備モニタに表示する段階とをさらに含み当該各段階の順序で管理する。
【００１３】
本発明の請求項６記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法によると、アラームメッセージ及び警告メッセージは、ストリームファンクションメッセージである。
【００１４】
本発明の請求項７記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法によると、アラームメッセージのストリームファンクション形態は、Ｓ２Ｆ４１である。
【００１５】
本発明の請求項８記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法によると、警告メッセージのストリームファンクション形態は、Ｓ１０Ｆ３またはＳ１０Ｆ５である。
本発明の請求項９記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法によると、可動状態データが基準データから逸脱したユニットがユニット内にないと、複数のユニットを有する設備から各ユニットの可動状態データを受信する段階に進行して継続して可動状態データを受信することを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明による半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法について詳細に説明する。
図１は本発明の複数の実施例による半導体製造設備管理システムの配置形状を概略的に示すブロック図である。
(第１実施例)
図１に示されるように、ホスト１には設備サーバー(図示せず)を通して設備３からアップロードされる設備３の附属ユニットの可動状態データを受信するユニット状態監視モジュール２０が具備される。ここで、作業者はユニット状態監視モジュール２０を設置する時、ユニット状態監視モジュール２０と対応する設備３にも適切な報告機能を附与することにより、設備３の各ユニット別可動状態がユニット状態監視モジュール２０に実時間で報告されるようにする。
【００１７】
一方、前記ユニット状態監視モジュール２０はホスト１に保存された基準データを参照し、ユニットの可動状態を継続して監視してこれらの異常有無を実時間で把握することにより、異常が発生したユニットは正常な他のユニットから迅速に隔離されてその可動状態がオフ状態に変更される。
【００１８】
ここで、特定ユニット、例えば、第１チャンバ４ａで異常が発生した場合、ユニット状態監視モジュール２０はそれを制御してオフ状態に変更することにより、第１チャンバ４ａの運用を他の正常のチャンバである第２チャンバ４ｂ及び第３チャンバ４ｃの運用から隔離させる。設備３は全体がオフにされず第１チャンバ４ａだけをオフ状態で維持した状態でも他の第２チャンバ４ｂ及び第３チャンバ４ｃを用いて半導体製造工程が進行できることにより生産性が顕著に向上する。
【００１９】
図２は本発明の第１実施例による半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法を順次的に示している。
図２に示されるように、ユニット状態監視モジュール２０は、設備３から継続してアップロードされる各ユニット別可動状態データを実時間で受信する(Ｓ１０段階)。これによって、設備３に附属された各ユニットの可動状態はユニット状態監視モジュール２０により迅速に把握される。
【００２０】
次に、ユニット状態監視モジュール２０は、ホスト１のデータベース領域に保存された設備３の各ユニット別基準データを検索し、受信された可動状態データを発生させた各ユニットの中にその可動状態データが上述した基準データから逸脱したユニットがあるか否かを判断する(Ｓ２０、Ｓ３０段階)。
【００２１】
この時、各ユニットの可動状態データが基準データ内にあり、設備のユニットの中で基準データから逸脱した可動状態データを発生させたユニットがないと判定されると、ユニット状態監視モジュール２０はＳ１０段階に進行して継続して上述した可動状態データを受信する。
【００２２】
反面、各ユニットの可動状態データの中で一部が基準データ内になく、設備ユニットの中で基準データから逸脱した可動状態データを発生させたユニットがあると判定されると、ユニット状態監視モジュール２０はその結果をホスト１に伝達し、ホスト１は、すぐに該当するユニットの変数ＩＤキー値をオフ状態に変更する(Ｓ４０段階)。これによって異常が発生したユニットは正常状態のユニットから隔離可能な条件を具備するようになる。例えば、第１チャンバ４ａの基準データに包含された基準可動時間が１００００時間であるのに対し、第１チャンバ４ａから受信された可動状態データに包含された可動時間は１００１時間であると把握されて、第１チャンバ４ａの可動状態データがその基準データから逸脱したと判定されると、ユニット状態監視モジュール２０は第１チャンバ４ａに異常状況が発生したと判断して、その判断結果をホスト１に伝達する。これによって、ホスト１は第１チャンバ４ａの変数ＩＤキー値をオフ状態に変更することにより、第１チャンバ４ａは他の正常状態のチャンバである第２チャンバ４ｂ、第３チャンバ４ｃから迅速に隔離される。ここでホスト１が変更する変数ＩＤは、チャンバ４の可動状態を一括的に変更させることができるＥＣＩＤであることが望ましい。
【００２３】
Ｓ４０段階後、ユニット状態監視モジュール２０は上述した過程を通してキー値が変更された変数ＩＤをホスト１から伝達を受けユニット制御メッセージに保存した後設備３にダウンロードする(Ｓ５０段階)。これによって、設備３は該当ユニットを迅速にオフにすることができる。
【００２４】
この時、ユニット状態監視モジュール２０からダウンロードされるユニット制御メッセージは通信伝達が円滑なストリームファンクションメッセージで、ユニット制御メッセージのストリームファンクション形態は標準化規格に適切なＳ１Ｆ１２であることが望ましい。
例えば、ユニット状態監視モジュール２０が上述した過程を通して第１チャンバ４ａの異常を発見した後、第１チャンバ４ａをオフさせてそれを他の正常状態のチャンバ４ｂ、４ｃから隔離させようとすると、ユニット状態監視モジュール２０はホスト１を通してキー値がオフ状態に変更された変数ＩＤ、即ち、ＥＣＩＤの伝達を受けた後これをストリームファンクションメッセージＳ１Ｆ１２に保存して設備３にダウンロードする。これによって、設備３は変更されたＥＣＩＤのキー値によって第１チャンバ４ａを適切にオフさせることにより、異常状態の第１チャンバ４ａが正常状態の第２チャンバ４ｂ、第３チャンバ４ｃから迅速に隔離されるようにする。
【００２５】
従来の場合、作業者は多数のユニットの中で異常が発生した個別ユニットを実時間で把握できず、異常が発生したユニットを正常な工程過程で迅速に隔離させることが不可能であった。また、異常発生ユニットに製品がローディングされる場合があった。しかし、本発明の場合、ホスト１は作業者がいなくてもユニット状態監視モジュールを通して異常が発生したユニットを実時間で把握し、それをユニット制御メッセージを通して正常な工程過程から迅速に隔離することができる。
【００２６】
(第２実施例)
図３は本発明の第１実施例によるＳ５０段階後の半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法を第２実施例として順次的に示す。
図示されるように、第１実施例のＳ５０段階後にユニット状態監視モジュール２０は警告音を発生させるアラームメッセージを設備３にダウンロードして、設備３がそのアラームメッセージに保存されたリモートコマンドに合わせて一定大きさの警告音を発生させるようにする(Ｓ６１段階)。このような警告音によって作業者は設備３の特定ユニットに異常が発生したことを実時間で把握でき、それを克服するための適切な推後処置を迅速に行うことが可能である。
【００２７】
アラームメッセージは上述したユニット制御メッセージと同様に通信伝達が円滑なストリームファンクションメッセージであり、アラームメッセージのストリームファンクション形態は標準化規格に適切なＳ２Ｆ４１であることが望ましい。
【００２８】
次に、ユニット状態監視モジュール２０は設備３を継続して観測して設備３からアラームが発生したかを判断する(Ｓ６２段階)。この時、設備３からアラームが発生しないと、ユニット状態監視モジュール２０は通信上に異常があったと判定して、Ｓ６１段階に進行して上述したアラームメッセージダウンロード過程を継続して反復する。
【００２９】
反面、設備３からアラームが発生した場合には、ユニット状態監視モジュール２０は次の段階を進行してテキストを保存している警告メッセージを設備モニタに表示することにより、作業者が異常の発生したユニットを視覚的に確認できるようにする(Ｓ６３段階)。このような警告メッセージのテキストによって作業者は異常が発生したユニットのＩＤを即時に把握して上述した推後処置を迅速に実行できる。
【００３０】
警告メッセージは、上述したユニット制御メッセージまたはアラームメッセージと同様に通信伝達が円滑なストリームファンクションメッセージであり、前記アラームメッセージのストリームファンクション形態は標準化規格に適切なＳ１０Ｆ３またはＳ１０Ｆ５であることが望ましい。このような二つのストリームファンクション形態において、Ｓ１０Ｆ５はＳ１０Ｆ３より多量のテキストが伝送できる。
【００３１】
一方、前記警告メッセージは、単純に上述した設備モニタだけではなくＯ／ＩＰＣ２にもダウンロードされることによって、作業者が設備３ではないＯ／Ｉ ＰＣ２の近傍にいる時にもチャンバの異常を迅速に把握して上述した推後処置を迅速に実行できる。
以後、ホスト１はユニット状態監視モジュール２０を通して上述した各段階を継続して反復することにより効率的に全体の設備を管理する。
【００３２】
このように、上述の各実施例ではユニット状態監視モジュールを通して設備に附属されたユニットの異常有無を実時間で把握することにより、異常が発生した特定ユニットを正常状態のユニットから迅速に隔離して運用できる。また本実施例は生産ライン内に配置されて一定の管理を必要とする多様な半導体製造設備で幅広く使用することができる。
【００３３】
【発明の効果】
以上のように本発明による半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法では、ホストに所定のユニット状態監視モジュールを具備し、それを通して異常が発生したユニットを実時間で把握し、正常的な工程過程から迅速に隔離させることにより、製品の全体的な生産効率を顕著に向上させる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例による半導体製造設備管理システムの配置形状を示すブロック図である。
【図２】本発明の第１実施例による半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法を示す流れ図である。
【図３】本発明の第２実施例による半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法を示す流れ図である。
【図４】従来の半導体製造設備管理システムの配置形状を示すブロック図である。
【符号の説明】
１    ホスト
２    Ｏ／Ｉ ＰＣ
３    設備
４ａ    第１チャンバ
４ｂ    第２チャンバ
４ｃ    第３チャンバ
１０    ロット
２０    ユニット状態監視モジュール
【図１】
0004564602.tif 000002
【図２】
0004564602.tif 000003
【図３】
0004564602.tif 000004
【図４】
0004564602.tif 000005