(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
縦型熱処理炉の炉口を開閉するシャッター機構を備えた縦型熱処理装置において、前記シャッター機構は、炉口を覆う蓋部と、該蓋部を側方の待機位置から炉口位置に直線運動で開閉移動する伸縮アーム機構と、該伸縮アーム機構の基部側を支持する支持部と、前記伸縮アーム機構を制御する制御部とを備え、前記伸縮アーム機構が基部側を支点に水平の炉口位置から下方に傾斜するメンテナンス位置に回動可能に構成されていることを特徴とする縦型熱処理装置。
【請求項２】
前記支持部には、前記蓋部を炉口に着脱させるべく伸縮アーム機構を上下方向に移動するための上下移動機構が設けられていることを特徴とする請求項１記載の縦型熱処理装置。
【請求項３】
前記蓋部が冷却構造とされていることを特徴とする請求項１記載の縦型熱処理装置。
【請求項４】
前記伸縮アーム機構は、前記蓋部を側方の待機位置から炉口位置に直線運動で開閉移動するための進退可能な基部側の第１アーム部及び先端側の第２アーム部を有し、前記制御部は、蓋部を支持部側から炉口位置に閉移動させる時には第２アーム部を前進させた後、第１アーム部を前進させ、蓋部を炉口位置から支持部側に開移動させる時には第１アーム部を後退させた後、第２アーム部を後退させることを特徴とする請求項１記載の縦型熱処理装置。
【請求項５】
縦型熱処理炉の炉口を覆う蓋部と、該蓋部を側方の待機位置から炉口位置に直線運動で開閉移動するための進退可能な基部側の第１アーム部及び先端側の第２アーム部を有する伸縮アーム機構と、該伸縮アーム機構の基部側を支持する支持部とを備えた縦型熱処理装置のシャッター機構であって、蓋部を支持部側から炉口位置に閉移動させる時には第２アーム部を前進させた後、第１アーム部を前進させ、蓋部を炉口位置から支持部側に開移動させる時には第１アーム部を後退させた後、第２アーム部を後退させる制御部を備えたことを特徴とする縦型熱処理装置のシャッター機構。
【請求項６】
縦型熱処理炉の炉口を覆う蓋部と、該蓋部を側方の待機位置から炉口位置に直線運動で開閉移動するための進退可能な基部側の第１アーム部及び先端側の第２アーム部を有する伸縮アーム機構と、該伸縮アーム機構の基部側を支持する支持部とを備えた縦型熱処理装置のシャッター機構の作動方法であって、蓋部を支持部側から炉口位置に閉移動させる時には第２アーム部を前進させた後、第１アーム部を前進させ、蓋部を炉口位置から支持部側に開移動させる時には第１アーム部を後退させた後、第２アーム部を後退させることを特徴とする縦型熱処理装置のシャッター機構の作動方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、縦型熱処理装置及びそのシャッター機構並びにその作動方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造においては、被処理体例えば半導体ウエハに例えば酸化、拡散、ＣＶＤ、アニール等の各種の熱処理を施す工程があり、これらの工程を実行するための熱処理装置の一つとして多数枚のウエハを一度に熱処理することが可能な縦型熱処理装置が用いられている。
【０００３】
この縦型熱処理装置は、下端に炉口を有する縦型熱処理炉を有し、この熱処理炉の下方には多数枚のウエハを上下方向に所定間隔で搭載するボートを載置すると共に炉口を開閉する蓋体が昇降機構（ボートエレベータ）を介して昇降可能に設けられている。また、前記縦型熱処理装置においては、前記蓋体を開けた時に熱処理炉内の高温の熱が炉口から逃げて下方に熱影響を与えるのを防止するために、前記炉口を遮蔽するシャッター機構を備えている。
【０００４】
従来のシャッター機構の一例としては、例えば図８に示すように、熱処理炉３の炉口４を覆う蓋部１８と、この蓋部１８を水平回動及び上下動可能に支持すべく基端部に水平回動機構６０及び上下動機構６１を有するアーム６２とを備えていた。このシャッター機構は、不使用時には蓋部１８を側方の待機位置に移動させた状態にあり、この状態からアーム６２を約６０度程度水平に回動（旋回）させて蓋部１８を炉口４下に移動し、更に蓋部１８を炉口４に当接するまで上昇させて炉口４を塞ぐようになっている。なお、シャッター機構の他の例としては、先端に蓋部を有するアームを基端部の垂直回動機構により上下方向に回動させて炉口を開閉するようにしたものもある（図示省略）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の縦型熱処理装置においては、シャッター機構がアーム６２を回動（旋回）させて重い蓋部１８を開閉移動するようになっていたので、開閉動作に多くの時間（例えば閉動作の場合、アームの回動に約２５秒、アームの上昇に約２秒の計約２７秒程度）がかかり、これがスループットの妨げになっていた。
【０００６】
本発明は、前記事情を考慮してなされたもので、シャッタ機構の開閉動作の時間を短縮することができ、スループットの向上が図れる縦型熱処理装置及びシャッター機構並びにその作動方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のうち、請求項１の発明は、縦型熱処理炉の炉口を開閉するシャッター機構を備えた縦型熱処理装置において、前記シャッター機構は、炉口を覆う蓋部と、該蓋部を側方の待機位置から炉口位置に直線運動で開閉移動する伸縮アーム機構と、該伸縮アーム機構の基部側を支持する支持部と、前記伸縮アーム機構を制御する制御部とを備え、前記伸縮アーム機構が基部側を支点に水平の炉口位置から下方に傾斜するメンテナンス位置に回動可能に構成されていることを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１記載の縦型熱処理装置において、前記支持部には、前記蓋部を炉口に着脱させるべく伸縮アーム機構を上下方向に移動するための上下移動機構が設けられていることを特徴とする。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項１記載の縦型熱処理装置において、前記蓋部が冷却構造とされていることを特徴とする。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項１記載の縦型熱処理装置において、前記伸縮アーム機構は、前記蓋部を側方の待機位置から炉口位置に直線運動で開閉移動するための進退可能な基部側の第１アーム部及び先端側の第２アーム部を有し、前記制御部は、蓋部を支持部側から炉口位置に閉移動させる時には第２アーム部を前進させた後、第１アーム部を前進させ、蓋部を炉口位置から支持部側に開移動させる時には第１アーム部を後退させた後、第２アーム部を後退させることを特徴とする。
【００１１】
請求項５に係る発明は、縦型熱処理炉の炉口を覆う蓋部と、該蓋部を側方の待機位置から炉口位置に直線運動で開閉移動するための進退可能な基部側の第１アーム部及び先端側の第２アーム部を有する伸縮アーム機構と、該伸縮アーム機構の基部側を支持する支持部とを備えた縦型熱処理装置のシャッター機構であって、蓋部を支持部側から炉口位置に閉移動させる時には第２アーム部を前進させた後、第１アーム部を前進させ、蓋部を炉口位置から支持部側に開移動させる時には第１アーム部を後退させた後、第２アーム部を後退させる制御部を備えたことを特徴とする。
【００１２】
請求項６に係る発明は、縦型熱処理炉の炉口を覆う蓋部と、該蓋部を側方の待機位置から炉口位置に直線運動で開閉移動するための進退可能な基部側の第１アーム部及び先端側の第２アーム部を有する伸縮アーム機構と、該伸縮アーム機構の基部側を支持する支持部とを備えたシャッター機構の作動方法であって、蓋部を支持部側から炉口位置に閉移動させる時には第２アーム部を前進させた後、第１アーム部を前進させ、蓋部を炉口位置から支持部側に開移動させる時には第１アーム部を後退させた後、第２アーム部を後退させることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を添付図面に基いて詳述する。図１は本発明の実施の形態を示す縦型熱処理装置の概略的縦断面図、図２はシャッター機構の概略的平面図、図３は同シャッター機構の概略的正面図、図４は同シャッター機構の概略的側面図である。図５はシャッター機構の作動を説明する図で、（ａ）は収納状態図、（ｂ）は第１アーム部伸張状態図、図６はシャッター機構の作動を説明する図で、（ａ）は第２アーム部伸張状態図、（ｂ）は第１アーム部収縮状態図である。
【００１４】
図１に示すように、この縦型熱処理装置１は外郭を形成する筐体２を有し、この筐体２内の上方に被処理体例えば半導体ウエハｗを収容して所定の処理例えば酸化処理を施すための縦型の熱処理炉３が設けられている。この熱処理炉３は、下部が炉口４として開口された縦長の処理容器例えば石英製の反応管５と、この反応管５の炉口４を開閉する昇降可能な蓋体６と、前記反応管５の周囲を覆うように設けられ、反応管（炉）５内を所定の温度例えば３００〜１２００℃に加熱制御可能なヒータ７とから主に構成されている。
【００１５】
前記筐体２内には、熱処理炉３を構成する反応管５やヒータ７を設置するための例えばＳＵＳ製のベースプレート８が水平に設けられている。ベースプレート８には反応管５を下方から上方に挿入するための図示しない開口部が形成されている。
【００１６】
反応管５の下端部には外向きのフランジ部が形成され、このフランジ部をフランジ保持部材にてベースプレート８に保持することにより、反応管５がベースプレート８の開口部を下方から上方に挿通された状態に設置されている。反応管５は、洗浄等のためにベースプレート８から下方に取り外せるようになっている。反応管５には反応管５内に処理ガスやパージ用の不活性ガスを導入する複数のガス導入管や反応管５内を減圧制御可能な真空ポンプや圧力制御弁等を有する排気管が接続されている（図示省略）。
【００１７】
前記筐体２内におけるベースプレート８より下方には、蓋体６上に設けられた熱処理用ボート９を熱処理炉３（すなわち反応管５）内に搬入（ロード）したり、熱処理炉３から搬出（アンロード）したり、或いはボート９に対するウエハｗの移載を行うための作業領域（ローディングエリア）１０が設けられている。この作業領域１０にはボート９の搬入、搬出を行うべく蓋体６を昇降させるための昇降機構（ボートエレベータ）１１が設けられている。
【００１８】
蓋体６は炉口４の開口端に当接して炉口４を密閉するように構成されている。蓋体６の下部にはボートを回転するための図示しないボート回転機構が設けられている。
【００１９】
前記ボート９は、例えば石英製であり、大口径例えば直径３００ｍｍの多数例えば２５〜１５０枚程度のウエハｗを水平状態で上下方向に間隔をおいて多段に支持するボート本体９ａと、このボート本体９ａをウエハｗの周方向に回転させるためのボート回転機構の回転軸に連結される脚部９ｂとを備え、これらボート本体９ａと脚部９ｂが一体に形成されている。前記蓋体６上には図示しない炉口加熱機構または保温筒が設置されている。
【００２０】
筐体２の前部には、複数例えば２５枚程度のウエハを収納した運搬容器であるキャリア（カセットともいう）１２を載置して筐体２内への搬入搬出を行うための載置台（ロードポートともいう）１３が設置されている。キャリア１２は前面に図示しない蓋を着脱可能に備えた密閉型運搬容器とされている。作業領域１０内の前部にはキャリア１２の蓋を取り外してキャリア１２内を作業領域１０内に連通開放するドア機構１４が設けられ、作業領域１０にはキャリア１２とボート９の間でウエハｗの移載を行う移載機構１５が設けられている。なお、作業領域１０外の前部上側には、上下に２個ずつキャリアをストックしておくための保管棚部１６と、載置台１３から保管棚部１６へまたはその逆にキャリアを搬送するための図示しない搬送機構とが設けられている。
【００２１】
また、縦型熱処理装置１は縦型熱処理炉３の炉口４を開閉するシャッター機構１７を備えている。このシャッター機構１７は、ボートエレベータ１１の蓋体６を開けた時に炉口４から高温の炉内の熱が下方の作業領域１０に放出されるのを抑制ないし防止するために炉口４を蓋部１８で覆う（または塞ぐ）ようになっている。このシャッター機構１７は、炉口４を覆う蓋部１８と、該蓋部１８を側方の待機位置Ａから炉口位置Ｂに直線運動で開閉移動する伸縮アーム機構１９と、この伸縮アーム機構１９の基部側を支持する支持部２０とを備えている。
【００２２】
図２〜図４に示すように、本実施例の支持部２０は前部支持部２０ａと後部支持部２０ｂとを有し、左右一対の前部支持部２０ａはベースプレート８の下部に固定され、後部支持部２０ｂは筐体２の架台２ａに固定されている。また、支持部２０には伸縮アーム機構１９を収縮させて蓋部１８を待機位置に収納するハウジング２１が設けられていることが好ましい。
【００２３】
前記伸縮アーム機構１９は、基部アーム部２２と、この基部アーム部２２上にリニアガイド２３を介して長手方向に進退移動可能に設けられた第１アーム部（中間アーム部ともいう）２４と、この第１アーム部２４上にリニアガイド２５を介して長手方向に進退移動可能に設けられた第２アーム部（先端アーム部）２６と、これら第１アーム部２４及び第２アーム部２６を進退駆動する第１及び第２のエアシリンダ２７，２８とから主に構成されている。第１及び第２のエアシリンダ２７，２８は、いわゆるロッドレスシリンダからなっている。このロッドレスシリンダは、シリンダチューブ２９ａ内に磁石付きのピストンを摺動可能に嵌挿すると共に、シリンダチューブ２９ａの外周にピストンと連動する磁石付きの作動リング部２９ｂを摺動可能に嵌装してなる。
【００２４】
第１のエアシリンダ２７は基部アーム部２２に取付けられ、その作動リング部２９ｂが第１アーム部２４に連結されている。第２のエアシリンダ２８は第１アーム部２４に取付けられ、その作動リング部２９ｂが第２アーム部２６に連結されている。前記基部アーム部２２の下面にはハウジング２１の底部を構成する下部カバー部材３０が取付けられており、この下部カバー部材３０が伸縮アーム機構１９と一緒に下方に傾斜するようになっている。
【００２５】
前記伸縮アーム機構１９は、図４に示すように、基部側を支点に水平の炉口位置Ｂから下方に傾斜するメンテナンス位置Ｃに回動可能に構成されている。すなわち、基部アーム部２２の基端部が前記後部支持部２０ｂの下端部に支軸３１を介して垂直回動可能に支持されており、前部支持部２０ａにはリンクからなるステー３２を介して下部カバー部材３０が連結され、ステー３２により下部カバー部材３０を介して伸縮アーム機構１９を下向きに傾斜したメンテナンス位置Ｃに保持するようになっている。
【００２６】
また、下部カバー部材３０は前記前部支持部２０ａに図示しないネジで固定されることにより水平状態に保持され、このネジの締結を解除することにより下部カバー部材３０を前部支持部２０ａから切り離して下方に傾斜するように持ち下げることができる。本実施例では、下部カバー部材３０を含む伸縮アーム機構１９の持ち下げ持ち上げ（すなわちシャッター機構の水平状態の通常位置からメンテナンス位置への移動またはその逆への移動）は手作業で行うようになっている。
【００２７】
前記蓋部１８は第２アーム部２６の先端側上部に取付けられている。蓋部１８は、例えばＳＵＳ製であり、内部に冷却水通路３３を例えば渦巻き状に設けることにより水冷構造（冷却構造）とされている。第２アーム部２６の一側部には蓋部１８の冷却水通路３３と連通する金属製の導水管３４が突設され、この導水管３４には例えばテフロン（登録商標）製等の耐熱性及び可撓性を有する導水チューブ３５が接続されてハウジング２１側に導かれている。
【００２８】
導水チューブ３５を炉口４から放出される熱から保護するために、前記導水管３４の先端側には先端カバー３６が設けられ、第１アーム部２４の一側部には先端カバー３６の移動を許容する断面コ字状の中間カバー３７が設けられている。なお、図２中３８は第２エアシリンダ２８に圧力空気を供給する可撓性を有するエアチューブを弛まないように案内するためのエアチューブベアである。
【００２９】
伸縮アーム機構１９の伸縮による摺動で発生するごみの落下を抑制ないし防止するために、蓋部１８を待機位置Ａ（支持部２０側ないしハウジング２１内）から炉口位置Ｂに移動（閉移動）させる時には図５の（ａ），（ｂ），図６の（ｃ）に示すように第２アーム部２６を前進させた後、第１アーム部２４を前進させ、蓋部１８を炉口位置Ｂから待機位置Ａ（支持部２０側ないしハウジング２１内）に移動（開移動）させる時には図６の（ａ），（ｂ），図５の（ａ）に示すように第１アーム部２４を後退させた後、第２アーム部２６を後退させるように作動させることが好ましい。このため、シャッター機構１７はこのように作動させるための制御部５５を備えている。これにより伸縮アーム機構１９の伸縮時の摺動がハウジング２１内すなわち下部カバー部材３０上で行われるようになるため、摺動で発生したごみは下部カバー部材３０上に落下して受け止められ、作業領域１０へのごみの落下を抑制ないし防止することができ、ウエハの汚染を防止することができる。
【００３０】
また、前記伸縮アーム機構１９の第１アーム部２４及び第２アーム部２６の伸縮位置（ストロークエンド）を炉口４からの熱影響を受け難いハウジング２１内で、しかもできるだけ少ない数のセンサで検知するために、基部アーム部２２上にはその長手方向に所定の配置で３個のセンサ例えばリミットスイッチ３８ａ，３８ｂ，３８ｃが取付けられていると共に、これらリミットスイッチ３８ａ〜３８ｃを順次オン、オフするためのキッカー３９が前記基部アーム部２２上にガイドレール４０を介して摺動可能に設けられている。キッカー３９には前後に離れた位置に引掛け部３９ａ，３９ｂが設けられている。
【００３１】
また、前記第１アーム部２４と第２アーム部２６には、前記引掛け部３９ａ，３９ｂに引掛けてキッカー３９を操作するための操作棒４１ａ，４１ｂがそれぞれ側部から突出して設けられている。図５の（ａ）に示すように蓋部１８が待機位置Ａ（ハウジング内）に来るように伸縮アーム機構１９を収縮させた状態から、蓋部１８を閉移動させるべく先ず第２アーム部２６を前進させると、図５の（ｂ）に示すように第２アーム部２６の操作棒４１ｂがキッカー３９の前側の引掛け部３９ａを引掛けてキッカー３９を中間のリミットスイッチ３８ｂの位置まで移動させ、このリミットスイッチ３８ｂがオンすることにより第２アーム部２６が伸張したことを検知することができる。次に、第１アーム部２４を前進させると、図６の（ａ）に示すように第２アーム２６の操作棒４１ｂがキッカー３９の前側の引掛け部３９ａを引掛けた状態でキッカー３９を更に前部のリミットスイッチ３８ｃの位置まで移動させ、このリミットスイッチ３８ｃがオンすることにより第１アーム部２４が伸張したことすなわち蓋部１８が炉口位置Ｂに来たことを検知することができる。
【００３２】
一方、蓋部１８を開移動させるべく先ず第１アーム２４を後退させると、図６の（ｂ）に示すように第１アーム部２４の操作棒４１ａがキッカー３９の後側の引掛け部３９ｂを引掛けてキッカー３９を中間のリミットスイッチ３８ｂの位置まで移動させ、このリミットスイッチ３８ｂがオンすることにより第１アーム部２４が収縮したことを検知することができる。次に、第２アーム部２６を後退させると、図５の（ａ）に示すように第２アーム部２６の操作棒４１ｂがキッカー３９の後側の引掛け部３９ｂを引掛けてキッカー３９を後部のリミットスイッチ３８ａの位置まで移動させ、このリミットスイッチ３８ａがオンすることにより第２アーム部２６が収縮したことすなわち蓋部１８が待機位置Ａに来たことを検知することができる。このように動作するようにシャッター機構１７は例えばシーケンス制御により制御するための制御部５５を備えている。
【００３３】
次に、以上の構成からなる縦型熱処理装置の作用効果を説明する。通常時にはシャッター機構１７は蓋部１８が待機位置Ａ（ハウジング２１内）に来るように伸縮アーム機構１９を収縮させた収納状態にあり、熱処理炉３内へのボート９の搬入、搬出作業の邪魔にならないようになっている。そして、ボートエレベータ（昇降機構）１１の蓋体６を下方に開けた時、すなわち熱処理後にボート９を作業領１０域に搬出した時に、シャッター機構１７は伸縮アーム機構１９を伸張させて蓋部１８を炉口位置Ｂに移動し、蓋部１８で炉口４を覆う。これにより、炉口４から炉内の高温の熱が作業領域１０へ放出されるのを抑制ないし防止することができる。
【００３４】
シャッター機構１７のメンテナンスを行う場合には、伸縮アーム機構１９を水平に保持すべく下部カバー部材３０を前部支持部２０ａに固定しているネジの締結を解除し、シャッター機構１７を基部の支軸３１を支点に下方に回動させてステー３２により傾斜状態に保持されるまで持ち下げる。この場合、伸縮アーム機構１９は収縮させておくことが好ましいが、図４に示すように伸縮アーム機構１９を伸張させたままの状態で斜め下方に傾斜させるようにしてもよい。シャッター機構１７を斜め下方に傾斜させると、シャッター機構１７の上方にメンテナンス作業用の広いスペースが形成されるため、シャッター機構１７のメンテナンス例えば蓋部１８や伸縮アーム機構１９のメンテナンス作業を容易に行うことができる。
【００３５】
このように、前記縦型熱処理装置１によれば、縦型熱処理炉３の炉口４を開閉するシャッター機構１７が、炉口４を覆う蓋部１８と、この蓋部１８を側方の待機位置Ａから炉口位置Ｂに直線運動で開閉移動する伸縮アーム機構１９と、この伸縮アーム機構１９の基部側を支持する支持部２０とを備えているため、シャッター機構１７の開閉動作の時間を短縮することができ、スループットの向上が図れる。すなわち、重い蓋部１８を直線運動で開閉移動させるため、重い蓋部１８を旋回運動で開閉移動する場合と比べて蓋部１８を短時間（例えば閉動作または開動作に１０秒程度）で且つ小スペースで開閉移動することができ、スループットの向上及び省スペース化を図ることができる。
【００３６】
また、前記蓋部１８は冷却水を循環させる冷却水通路３３を設けて水冷構造（冷却構造）とされているため、蓋部１８自体の熱変形や熱劣化を抑制ないし防止できることは勿論、蓋部１８からの熱伝導による伸縮アーム機構１９の熱変形や熱劣化を抑制ないし防止することができ、耐久性の向上が図れる。更に、前記伸縮アーム機構１９が基部側を支点に水平の炉口位置Ｂから下方に傾斜するメンテナンス位置Ｃに回動可能に構成されているため、蓋部１８や伸縮アーム機構１９のメンテナンス作業を容易に行うことができ、作業性の向上が図れる。また、シャッター機構１７を開閉操作する場合、蓋部１８を支持部２０側（すなわちハウジング２１内）である待機位置Ａから炉口位置Ｂに閉移動させる時には第２アーム部２６を前進させた後、第１アーム部２４を前進させ、蓋部１８を炉口位置Ｂから待機位置Ａに開移動させる時にはず第１アーム部２４を後退させた後、第２アーム部２６を後退させるようにしたので、伸縮アーム機構１９の摺動により発生するごみの落下を抑制ないし防止することができる。
【００３７】
図７はシャッター機構の変形例を示す概略的側面図である。図７において、前記実施例と同一部分は同一参照符号を付して説明を省略し、異なる部分について説明を加える。本実施例のシャッター機構１７は、蓋部１８を伸縮アーム機構１９による直線運動により開閉移動するように構成されていると共に、蓋部１８を炉口４に着脱させるべく伸縮アーム機構１９を上下方向に移動するための上下移動機構４２が設けられている。上下移動機構４２は例えばエアシリンダとガイドからなっている。シャッター機構１７は、ベースプレート８の下部に伸縮アーム機構１９を挟んで設けられた左右一対の支持部２０に上下移動機構４２を介して上下移動可能に設けられた上下移動枠４３を備えている。この上下移動枠４３に伸縮アーム機構１９の基部アーム部２２の後端側が支軸４４を介して垂直回動可能に支持されていると共に基部アーム部２２の前端側が上下移動枠４３に対して図示しないネジで着脱可能に連結されている。
【００３８】
伸縮アーム機構１９は、待機位置Ａ（支持部２０側ないしハウジング２１内）に収縮されているときには上下移動機構４２により下降された状態にあり、この状態から伸張して蓋部１８を炉口４下に移動させ、次いで上下移動機構４２により上昇されることにより蓋部１８を炉口４の開口端に当接させて炉口４を塞ぐようになっている。
【００３９】
このように本実施例のシャッター機構１７によれば、前記実施例と同様の作用効果が得られる他に、前記支持部２０には、前記蓋部１８を炉口４に着脱させるべく伸縮アーム機構１９を上下方向に移動するための上下移動機構４２が設けられているため、蓋部１８を上昇させて炉口４に当接させることにより炉口４を塞ぐことができる。これにより炉口４を蓋部１８で気密に塞ぐことができるため、炉口４からの放熱を十分に防止することができると共に、炉内を減圧にすることも可能となる。
【００４０】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。例えば、被処理体としては、半導体ウエハ以外に、例えばＬＣＤ基板等であっても良い。
【００４１】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００４２】
（１）請求項１に係る発明によれば、縦形熱処理炉の炉口を開閉するシャッター機構を備えた縦形熱処理装置において、前記シャッター機構は、炉口を覆う蓋部と、該蓋部を側方の待機位置から炉口位置に直線運動で開閉移動する伸縮アーム機構と、該伸縮アーム機構の基部側を支持する支持部戸を備えているため、シャッター機構の開閉動作の時間を短縮することができ、スループットの向上が図れ、特に、前記伸縮アーム機構が基部側を支点に水平の炉口位置から下方に傾斜するメンテナンス位置に回動可能に構成されているため、蓋部や伸縮アーム機構のメンテナンス作業を容易に行うことができ、作業性の向上が図れる。
【００４３】
（２）請求項２に係る発明によれば、前記支持部には、前記蓋部を炉口に着脱させるべく伸縮アーム機構を上下方向に移動するための上下移動機構が設けられているため、蓋部を上昇させて炉口に当接させることにより炉口を塞ぐことができる。
【００４４】
（３）請求項３に係る発明によれば、前記蓋部が冷却構造とされているため、蓋部や伸縮アーム機構の熱変形や熱劣化を抑制ないし防止することができ、耐久性の向上が図れる。
【００４５】
（４）請求項４に係る発明によれば、前記伸縮アーム機構は、前記蓋部を側方の待機位置から炉口位置に直線運動で開閉移動するための進退可能な基部側の第１アーム部及び先端側の第２アーム部を有し、前記制御部は、蓋部を支持部側から炉口位置に閉移動させる時には第２アーム部を前進させた後、第１アーム部を前進させ、蓋部を炉口位置から支持部側に開移動させる時には第１アーム部を後退させた後、第２アーム部を後退させるため、シャッター機構の開閉動作の時間を短縮することができ、スループットの向上が図れると共に、ごみの落下を抑制ないし防止することができる。
【００４６】
（５）請求項５に係る発明によれば、縦型熱処理炉の炉口を覆う蓋部と、該蓋部を側方の待機位置から炉口位置に直線運動で開閉移動するための進退可能な基部側の第１アーム部及び先端側の第２アーム部を有する伸縮アーム機構と、該伸縮アーム機構の基部側を支持する支持部とを備えた縦型熱処理装置のシャッター機構であって、蓋部を支持部側から炉口位置に閉移動させる時には第２アーム部を前進させた後、第１アーム部を前進させ、蓋部を炉口位置から支持部側に開移動させる時には第１アーム部を後退させた後、第２アーム部を後退させる制御部を備えているため、シャッタ機構の開閉動作の時間を短縮することができ、スループットの向上が図れると共に、ごみの落下を抑制ないし防止することができる。
【００４７】
（６）請求項６に係る発明によれば、縦型熱処理炉の炉口を覆う蓋部と、該蓋部を側方の待機位置から炉口位置に直線運動で開閉移動するための進退可能な基部側の第１アーム部及び先端側の第２アーム部を有する伸縮アーム機構と、該伸縮アーム機構の基部側を支持する支持部とを備えたシャッター機構の作動方法であって、蓋部を支持部側から炉口位置に閉移動させる時には第２アーム部を前進させた後、第１アーム部を前進させ、蓋部を炉口位置から支持部側に開移動させる時にはず第１アーム部を後退させた後、第２アーム部を後退させるため、シャッタ機構の開閉動作の時間を短縮することができ、スループットの向上が図れると共に、ごみの落下を抑制ないし防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示す縦型熱処理装置の概略的縦断面図である。
【図２】シャッター機構の概略的平面図である。
【図３】同シャッター機構の概略的正面図である。
【図４】同シャッター機構の概略的側面図である。
【図５】シャッター機構の作動を説明する図で、（ａ）は収納状態図、（ｂ）は第１アーム部伸張状態図である。
【図６】シャッター機構の作動を説明する図で、（ａ）は第２アーム部伸張状態図、（ｂ）は第１アーム部収縮状態図である。
【図７】シャッター機構の変形例を示す概略的側面図である。
【図８】従来の縦型熱処理装置におけるシャッター機構の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
Ａ  待機位置
Ｂ  炉口位置
Ｃ  メンテナンス位置
１  縦型熱処理装置
３  熱処理炉
４  炉口
１７  シャッター機構
１８  蓋部
１９  伸縮アーム機構
２０  支持部
２４  第１アーム部
２６  第２アーム部
３３  冷却水通路
４２  上下移動機構
５５  制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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