(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円板状の電子部材を複数枚重ねて収納可能な内円筒部が設けられた容器本体と、この容器本体の内円筒部に嵌合する外円筒部が設けられた蓋体とにより、底面が概略正方形の角柱状の形状に構成される電子部材用収納容器であって、
前記内円筒部には、円板状の電子部材の外周部を把持して出し入れ可能とする切欠きが設けられており、
この内円筒部と前記外円筒部との間には、１５〜４５°の相対回動角度で両者を着脱できる部分ねじ機構が両者の上部と下部とに離間して２組設けられていることを特徴とする電子部材用収納容器。
【請求項２】
下部の部分ねじ機構が、
蓋体の外円筒部の先端部内周に、円周方向に少なくとも２等配した位置に、少なくとも２個の突条体が部分オスネジとして１５〜４５°の右ネジリード角を以ってそれぞれ突設され、
容器本体の内円筒部の基端部外周に、蓋体の外円筒部の先端部が嵌合する円形の嵌合台部が形成され、この嵌合台部の外周面に、前記各突条体を嵌合してねじ込み可能とする少なくとも２個の傾斜溝が部分メスネジとして円周方向に少なくとも２等配した位置にそれぞれ形成され、
これらの突条体、嵌合台部および傾斜溝によって構成されることを特徴とする請求項１に記載の電子部材用収納容器。
【請求項３】
上・下部の部分ねじ機構の位置合わせを容易にするために、
容器本体の内円筒部の基端部外周面および蓋体の角筒部の外周面の下端部にそれぞれ合いマークが形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の電子部材用収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、円板状の電子部材、例えば、半導体ウエハ、あるいは半導体ウエハのダイシング工程で使用されるダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持された状態の半導体ウエハ（以下、ダイシングウエハという）を、それぞれ複数枚まとめて収納する電子部材用収納容器に関し、詳しくは、大径の半導体ウエハの収納および搬送に適するように改良され電子部材用収納容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、インゴットからワイヤーソー等によりスライスされたウエハは、両面が平面研削された後、少なくとも片面が鏡面にポリッシング加工され、その表面に回路パターンが形成される。このようなウエハは、例えば特許第２９４１１２５号公報に記載のような専用の収納容器に複数枚積み重ねて収納され、この状態で製造工程の次工程へと搬送される。
そして、この半導体ウエハは、必要に応じて保管された後、この収納容器から１枚づつ取り出され、例えば、ダイシング工程において、ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持されてダイシングウエハとなり、この状態で多数のチップにダイシングされる。
このダイシングウエハも、例えば、本発明者らにより特願２００１−４０８７７として提案された専用の収納容器に複数枚積み重ねて収納され、この状態で製造工程の次工程へと搬送され、必要に応じて保管された後、この収納容器から１枚づつ取り出される。
（以下、半導体ウエハやダンシングウエハをまとめて「半導体ウエハ」あるいは単に「ウエハ」ということもある。）
【０００３】
前記特許第２９４１１２５号公報に記載の収納容器は、円板状の半導体ウエハを複数枚重ねて収納可能な円筒部が略正方形の基底部上に突設された容器本体と、この容器本体の円筒部に嵌合する円筒部が略正方形の角筒部の内側に形成された蓋体とで構成されており、容器本体に蓋体を装着した状態では、底面が概略正方形の角柱状の輪郭を呈する。
この収納容器において、容器本体の円筒部には、内部に収納されたウエハの取出しを可能とする大気開放口が設けられている。また、容器本体の円筒部外面と蓋体の筒部内面との間には、１５〜４５°の相対回動角度で両者を着脱できる部分ねじ部が設けられており、容器本体に対する蓋体の着脱作業をワンタッチ操作で迅速かつ容易に行うことができるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前述した従来の収納容器において、容器本体の円筒部外面と蓋体の筒部内面との両者の間に設けられる部分ねじ部は、例えば両者の上部に配置して１組しか設けられていない。このため、重量の嵩む大径の半導体ウエハやダンシングウエハを多数枚収納した状態で蓋体のみを把持して搬送した場合など、蓋体に多大な荷重が作用した場合には、蓋体が弾性変形して前記部分ねじ部が外れ、容器本体が蓋体から不用意に脱落する虞れがあり、大径のウエハを確実に収納して搬送するには難点がある。
【０００５】
本発明は前記問題点を解消するためになされたものであり、縦置き横置き自在であって、容器本体と蓋体との着脱作業をワンタッチで容易かつ迅速に行うことができるのは勿論のこと、特に重量の嵩む大径の半導体ウエハやダイシングウエハ等の円板状の電子部材を収納して確実に搬送することができる電子部材用収納容器を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前述した課題を解決する手段として、本発明による電子部材用収納容器は、半導体ウエハやダンシングウエハ等の円板状の電子部材を、それぞれ複数枚重ねて収納可能な内円筒部が設けられた容器本体と、この容器本体の内円筒部に嵌合する外円筒部が設けられた蓋体とにより、底面が概略正方形の角柱状の形状に構成される電子部材用収納容器であって、前記内円筒部には、円板状の電子部材の外周部を把持して出し入れ可能とする切欠きが設けられており、この内円筒部と前記外円筒部との間には、１５〜４５°の相対回動角度で両者を着脱できる部分ねじ機構が両者の上部と下部とに離間して２組設けられていることを特徴とする。
【０００７】
このような手段を採用した本発明による電子部材用収納容器は、容器本体に蓋体が装着された状態で、底面が概略正方形の角柱状の輪郭を呈するため、縦置に限らず横置も可能である。このため、本発明による電子部材用収納容器を複数個まとめて搬送し、保管する際には、縦置および横置を交えて搬送用箱等にスペース効率の良い安定した状態で収容することができる。
また、容器本体の内円筒部には、円板状の電子部材の外周部を把持して出し入れ可能とする切欠きが設けられているため、容器本体を定位置においた状態で半導体ウエハの外周部を把持することができ、円板状電子部材の収納および取出し作業が容易となる。特に、ロボットハンド等を使用して各円板状電子部材の収納および取出し作業を行うことが可能となるため、自動化された加工工程に好適である。
【０００８】
ここで、容器本体の内円筒部と蓋体の外円筒部との間には、１５〜４５°の相対回動角度で両者を着脱できる部分ねじ機構が設けられているため、容器本体に対する蓋体の着脱作業をワンタッチ操作で容易かつ迅速に行うことができる。
そして、特に、この部分ねじ機構は、前記内円筒部と外円筒部との間において、両者の上部と下部とに分離して２組設けられているため、容器本体に対して蓋体を確実に装着することができる。例えば重量の嵩む大径の半導体ウエハを多数枚収納し、この状態で蓋体のみを把持した場合においても、容器本体が蓋体から不用意に脱落することがなく、大径の半導体ウエハを確実に収納して搬送することができる。
【０００９】
しかも、本発明において、前記下部の部分ねじ機構を、
前記蓋体の外円筒部の先端部内周に、円周方向に少なくとも２等配した位置に、少なくとも２個の突条体を部分オスネジとして１５〜４５°の右ネジリード角を以ってそれぞれ突設し、
一方、前記容器本体の内円筒部の基端部外周に、蓋体の外円筒部の先端部が嵌合する円形の嵌合台部を形成し、この嵌合台部の外周面に、前記各突条体を嵌合してねじ込み可能とする少なくとも２個の傾斜溝（前記リード角と同じ傾斜角）を部分メスネジとして円周方向に少なくとも２等配した位置にそれぞれ形成し、これらの突条体、嵌合台部および傾斜溝によって構成する場合は、前記した容器本体に対して蓋体の確実な装着を、簡単な操作によって実現することができ、容器本体に重量の嵩む大径の半導体ウエハを多数枚収納した場合であっても、この容器本体への蓋体の装着を簡便に行うことができる。
【００１０】
その上、本発明では、前記上・下部の部分ねじ機構の位置合わせを容易にするために、容器本体の内円筒部の基端部外周面および蓋体の角筒部の外周面の下端部にそれぞれ合いマークを形成している場合は、前記の大重量の半導体ウエハを収納した後の容器本体への蓋体の装着をより一層簡便に行うことができる。
【００１１】
本発明による電子部材用収納容器において、前記容器本体および蓋体が導電性プラスチックスを素材として成形されている場合、静電気の帯電が防止されるため、内部に収容された半導体ウエハの回路パターンを静電気ショックによる損傷から保護することができる。
【００１２】
なお、前記容器本体の下面および蓋体の上面に、片手で把持できる回動操作用突部、例えば、滑り止め用のローレットまたは指掛け用の凹部等を有する円形または円環状の突部が形成されていると、容器本体に対する蓋体の着脱作業が一層容易となるので好ましい。
また、前記容器本体の下面および前記蓋体の上面に相互に嵌合可能な凹凸部が設けられていると、複数の電子部材用収納容器を上下方向に安定した状態で積み重ねることが可能となるので好ましい。この場合、容器本体に対する蓋体の着脱作業を容易とするための前記回動操作用突部は、前記凹凸部の一部として形成することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明に係る電子部材用収納容器の実施の形態を説明する。参照する図面において、図１は、円板状の電子部材として、ダイシングウエハではなく、半導体ウエハを収納するのに適した本発明の一実施形態に係る収納容器の全体構造を示す分解斜視図、図２は一実施形態に係る収納容器の半截横断面図、図３は一実施形態に係る収納容器の半截縦断面図、図４は収納容器のみを示す平面図である。
【００１４】
図１に示すように、一実施形態に係る電子部材用収納容器１は、例えば公称１２インチ程度の大径のウエハを複数枚重ねて収納可能な容器である。このウエハ収納容器１は、複数枚のウエハを積み重ね状態で収容する内円筒部２Ａが設けられた容器本体２と、この容器本体２の内円筒部２Ａに嵌合する外円筒部３Ａが設けられた蓋体３とで構成されている。なお、この電子部材用収納容器１に収納されるウエハには、シリコン、ＧａＡｓ（ガリウム・ヒ素）、ＧａＰ（ガリウム・リン）などの各種の材質のウエハが含まれる。
【００１５】
前記容器本体２に蓋体３が装着された状態のウエハ収納容器１は、図２，図３に示すように、底面が概略正方形の背の低い角柱状の輪郭形状を呈する。容器本体２および蓋体３は、導電性フィラーを添加した導電性プラスチックス、あるいはポリマーアロイによる導電性プラスチックスを素材として射出成形により一体成形されている。なお、添加する導電性フィラーとしては、カーボンブラック、グラファイトカーボン、グラファイト、炭素繊維、金属粉末、金属繊維、金属酸化物の粉末、金属コートした無機質微粉末、有機質微粉末および繊維が使用できる。
【００１６】
前記容器本体２は、図２〜図４に示すように、角部が丸みを帯びた概略正方形のベース部２Ｂを有し、このベース部２Ｂ上に前記内円筒部２Ａが一体的に突設されている。この内円筒部２Ａには、ウエハの外周部を把持して出し入れ可能とする例えば４つの切欠き２Ｃが形成されている。各切欠き２Ｃは、内円筒部２Ａの先端部からベース部２Ｂに向かって所定幅で形成されており、内円筒部２Ａの周方向に等間隔で配置されている。そして、各切欠き２Ｃによって４分割された内円筒部２Ａの各部分の外周面には、その幅方向両側に位置して上下方向に延びる２本のガイドリブ２Ｄがそれぞれ突設されている。
【００１７】
前記容器本体２のベース部２Ｂの上面における内円筒部２Ａの内側部分には、スペーサ・クッション（図示省略）を介してウエハを水平に載置するための同心状の複数の支持筒部２Ｅが突設されている。また、ベース部２Ｂの下面には、後述する蓋体３の円環状突部３Ｅの外周を嵌合する放射状リブ２Ｆがベース部２Ｂの角部付近に突設されており、複数の電子部材用収納容器１を上下方向に積み重ねて一体化できるように構成されている。
【００１８】
さらに、前記ベース部２Ｂの下面中央部には、容器本体２に対して蓋体３を着脱する際の作業を容易にするため、片手で把持できる程度の大きさの回動操作用突部２Ｇが形成され、その外周には滑り止め用のローレット２Ｈが形成されている。また、前記回動操作用突部２Ｇの周囲には円環状突部２Ｉが形成され、両者の間には円環状凹部２Ｊが形成されている。なお、前記回動操作用突部２Ｇは、図示の例では、直径が１００ｍｍ程度の円形状であるが、円環状や多角形状であってもよい。また、回動操作用突部２Ｇの外周にはローレット２Ｈの代わりに指掛け用の凹部を形成してもよい。
【００１９】
一方、前記蓋体３は、前記容器本体２の内円筒部２Ａの外周面に突設されたガイドリブ２Ｄに嵌合して内円筒部２Ａの外周を覆う外円筒部３Ａと、この外円筒部３Ａに外接して一体に成形され、容器本体２のベース部２Ｂの周縁上に下端が当接して容器本体２の全体を覆う角筒部３Ｂとを有している。この蓋体３の上面中央部には、容器本体２に対して蓋体３を着脱する際の作業を容易にするため、前記容器本体２側の回動操作用突部２Ｇと同様の回動操作用突部３Ｃが形成され、その外周には滑り止め用のローレット３Ｄが形成されている。また、前記回動操作用突部３Ｃの周囲には円環状突部３Ｅが形成され、両者の間には円環状凹部３Ｆが形成されている。なお、前記回動操作用突部３Ｃは、図示の例では、直径が１００ｍｍ程度の円形状であるが、円環状や多角形状であってもよい。また、回動操作用突部３Ｃの外周にはローレット３Ｄの代わりに指掛け用の凹部を形成してもよい。
【００２０】
ここで、一実施形態のウエハ収納容器１においては、図５〜図８に示すように、前記容器本体２と蓋体３との間、具体的には容器本体２の内円筒部２Ａと、蓋体３の外円筒部３Ａとの間に、１５〜４５°の相対回動角度の範囲、好ましくは３０°前後の相対回動角度で両者を着脱できる部分ねじ機構４，５が両者の上部と下部とに離間して２組設けられている。
【００２１】
図５および図６に示すように、前記容器本体２の各切欠き２Ｃにより４分割された内円筒部２Ａの各部分の先端部外周には、その幅方向中央部に位置して長さ約２０ｍｍ、幅約２ｍｍ程度の突条体４Ａが部分オスネジとして、１５〜４５°、本実施形態では約６．５°の右ネジリード角を以ってそれぞれ突設されている。一方、前記蓋体３の外円筒部３Ａの基端部内周側には、容器本体２の内円筒部２Ａの先端部が嵌る円環状嵌合溝４Ｂが段部４Ｃを介して形成され、この円環状嵌合溝４Ｂの外側壁部には、前記各突条体４Ａを嵌合してねじ込み可能とする長さ約６５ｍｍ程度の４個の傾斜溝（前記リード角と同じ傾斜角）４Ｄが部分メスネジとして円周方向に４等配した位置にそれぞれ形成されている。また、前記段部４Ｃには、各傾斜溝４Ｄの下端部に連続して前記突条体４Ａを各傾斜溝４Ｄに導入可能とする周長約２５ｍｍ程度の突条体導入口４Ｅが形成されている。そして、これらの突条体４Ａ、円環状嵌合溝４Ｂ、段部４Ｃ、傾斜溝４Ｄおよび突条体導入口４Ｅによって、上部の部分ねじ機構４が構成されている。
【００２２】
また、図７および図８に示すように、前記蓋体３の外円筒部３Ａの先端部内周には、円周方向に少なくとも２等配、本例では４等配した位置に、長さ約２０ｍｍ、幅約２ｍｍ程度の４個の突条体５Ａが部分オスネジとして、前記リード角と同じ１５〜４５°、本実施形態では約６．５°の右ネジリード角を以ってそれぞれ突設されている。一方、前記容器本体２の内円筒部２Ａの基端部外周に臨むベース部２Ｂの上面には、蓋体３の外円筒部３Ａの先端部が嵌合する円形の嵌合台部５Ｂが形成され、この嵌合台部５Ｂの外周面には、前記各突条体５Ａを嵌合してねじ込み可能とする長さ約２５ｍｍ程度の４個の傾斜溝（前記リード角と同じ傾斜角）５Ｃが部分メスネジとして円周方向に４等配した位置にそれぞれ形成されている。また、前記嵌合台部５Ｂの上面には、各傾斜溝５Ｃの上端部に連続して前記各突条体５Ａを各傾斜溝５Ｃに導入可能とする周長約６５ｍｍ程度の突条体導入口５Ｄが形成されている。そして、これらの突条体５Ａ、嵌合台部５Ｂ、傾斜溝５Ｃおよび突条体導入口５Ｄによって、下部の部分ねじ機構５が構成されている。
【００２３】
前記容器本体２側の各突条体４Ａと蓋体３側の各突条体導入口４Ｅとの位置合せを容易にし、かつ、前記蓋体３側の各突条体５Ａと容器本体２側の各突条体導入口５Ｄとの位置合わせを容易にするため、容器本体２のベース部２Ｂの周辺部付近の上面および前記蓋体３の角筒部３Ｂの外周面の下端部には、それぞれ矢印等の合いマークｉが形成されている。そして、この合いマークｉを合わせて前記各突条体導入口４Ｅに各突条体４Ａを挿入すると同時に、前記各突条体導入口５Ｄに各突条体５Ａを挿入し、この状態から容器本体２に対して蓋体３を時計方向に３０°程度回動させると、蓋体３が容器本体２に装着され、電子部材用収納容器１は概略正方形の底面を有する背の低い角柱状の輪郭を呈する。
【００２４】
次に、以上のように構成された一実施形態の電子部材用収納容器１の使用例を説明する。この収納容器１は、例えば公称１２インチの大径の半導体ウエハを複数枚重ねて収容し、これを保管、搬送するために使用される。前記ウエハを収容するには、容器本体２をテーブル等の定位置に置き、帯電防止のクッションシート等のクッション材（図示省略）を敷き、さらに導電性等の静電防止対策スペーサシート（図示省略）を敷き、容器本体２の４分割された内円筒部２Ａの各部分の内周に各ウエハを水平に収納する。この収納作業においては、内円筒部２Ａを４分割する各切欠き２Ｃがウエハの外周を把持可能とするため、手作業による収納が容易に行えると共に、ロボットハンドを使用した収納作業も容易に行うことができる。
【００２５】
前記容器本体２の内円筒部２Ａ内に、前記静電防止対策スペーサシートを間に挟みサンドイッチ状態にして、所定数のウエハを積み重ねて収納したら、その上部空間を塞ぐスペーサとして前記クッショシート等のクッション材をウエハの上に載せ、容器本体２に蓋体３を装着する。容器本体２に対して蓋体３を装着するには、容器本体２のベース部２Ｂの周辺部付近の上面に形成された合いマークｉと、蓋体３の角筒部３Ｂの外周面の下端部に形成された合いマークｉとを合わせて容器本体２の内円筒部２Ａに蓋体３の外円筒部３Ａを被せ、この状態から容器本体２に対して蓋体３を時計方向に３０°程度相対回動させる。この作業は、容器本体２をテーブル等の上に置き、容器本体２のベース部２Ｂの角部を押さえて蓋体３の角筒部３Ｂを回すことによって容易に行うことができる。また、容器本体２のベース部２Ｂの下面に突設された回動操作用突部２Ｇと蓋体３の上面に突設された回動操作用突部３Ｃとを把持することで、ワンタッチ操作により一層容易に行うことができる。そして、この作業により、上部の部分ねじ機構４においては、容器本体２側の各突条体４Ａが蓋体３側の各突条体導入口４Ｅから各傾斜溝４Ｄへと相対的にねじ込まれ、下部の部分ねじ機構５においては、蓋体３側の各突条体５Ａが容器本体２側の各突条体導入口５Ｄから各傾斜溝５Ｃへと相対的にねじ込まれるのであり、蓋体３の角筒部３Ｂの下部が９ｍｍ程度下方に移動して容器本体２のベース部２Ｂの周縁上に当接し、こうして蓋体３が容器本体２に確実に装着される。そして、この装着状態において、電子部材用収納容器１は、概略正方形の底面を有する背の低い角柱状の輪郭を呈する。
【００２６】
容器本体２に蓋体３が装着されて複数のウエハを収納した電子部材用収納容器１は、前述したように概略正方形の底面を有する背の低い角柱状の輪郭を呈するため、容器本体２のベース部２Ｂを下にした通常の縦置に限らず蓋体３の角筒部３Ｂの外周面を下にした横置も可能となる。このため、前記収納容器１は、縦置および横置を交えて搬送箱等にスペース効率の良い安定した状態で収容することができる。また、複数の収納容器１を上下に積み重ねる場合、下方の収納容器１の蓋体３の上面に形成された円環状突部３Ｅの外周を上方の収納容器１の容器本体２の下面に形成された放射状リブ２Ｆに嵌合させることで、複数の収納容器１を上下方向に安定した状態で積み重ねることができる。そして、各収納容器１に収容されたウエハは、容器本体２および蓋体３が導電性プラスチックスを素材として成形されて静電気の帯電が防止されているため、ＩＣ回路の静電気ショックによる損傷が未然に防止されて保護される。
【００２７】
前記電子部材用収納容器１に収容されたウエハを取り出すには、前述と反対の手順で蓋体３を容器本体２に対して反時計方向に３０°程度相対回動させ、この状態で容器本体２から蓋体３を引き離す。そして、容器本体２の内円筒部２Ａ内に収容されたウエハを順次取り出す。この取り出し作業は、内円筒部２Ａの各切欠き２Ｃからウエハの外周を手作業または図示しないロボットハンドにより把持して行うこともできる。
【００２８】
本実施形態に係る電子部材用収納容器１では、前述のように、容器本体２に対して蓋体３を着脱自在に装着する手段として、容器本体２の内円筒部２Ａと、蓋体３の外円筒部３Ａとの間に、１５〜４５°の相対回動角度の範囲、好ましくは３０°前後の相対回動角度で両者を着脱できる部分ねじ機構４，５を設けているため、容器本体２および蓋体３の射出成形の際には、成形品を捩じりつつ脱型する工程を必要とせず、製造コストを低減することができる。
そして特に、前記部分ねじ機構４，５は、容器本体２の内円筒部２Ａと蓋体３の外円筒部３Ａとの嵌合部における上部と下部に離間して設けた上部の部分ねじ機構４と、下部の部分ねじ機構５とで構成されているため、容器本体２に対して蓋体３を確実に装着することができる。その結果、公称１２インチ程度の重量の嵩む大径のウエハを多数枚収納し、この状態で蓋体３のみを把持した場合においても、容器本体２が蓋体３から不用意に脱落することがなく、大径のウエハに収納して搬送することができる。
【００２９】
なお、本実施形態に係る電子部材用収納容器１では、容器本体２の内円筒部２Ａを４つの切欠き２Ｃにより周方向に４分割したが、２つの切欠き２Ｃにより内円筒部２Ａを半円弧状に２分割するようにしてもよい。
この２分割の実施形態を図９（容器本体の斜視図）、図１０（Ａ），（Ｂ）（同側面図）、図１１（同平面図）、図１２（同底面図）に示す。図９〜図１２中、図１〜図５と同一符号は図１〜図５と同一機能部を示す。
【００３０】
図９〜図１２に示す実施形態では、容器本体２のベース部２Ｂ上に、上記の２分割の内円筒部２１Ａが一体的に突設されている。この２分割の内円筒部２１Ａには、前記ウエハの外周を把持可能とする２つの切欠き２１Ｃが形成されており、各切欠き２１Ｃは、内円筒部２１Ａの先端部からベース部２Ｂに向かって所定幅で形成され、内円筒部２１Ａの周方向を２（等）分割するように配置されている。図１０（Ａ）は一方の切欠き２１Ｃが正面に位置し、従って他方の切欠き２１Ｃがこれと相対して位置する方向からの側面図であり、図１０（Ｂ）は切欠き２１Ｃが両側面に位置するため図には現れない方向からの側面図である。
【００３１】
そして、この２分割された内円筒部２１Ａの各部分の外周面には、上下方向に延びる複数本（本実施形態では２本）のガイドリブ２Ｄがそれぞれ平行に突設されている。この２分割された容器本体２の平面は図１１に示され、底面は図１２に示される。本実施形態の場合、放射状リブ２Ｆと共に、底面（ベース部２Ｂ）の各辺の中央部にも、蓋体３の円環状突部３Ｅの外周を嵌合するためのリブ２Ｆ１、２Ｆ２が突設されている。
【００３２】
ここで、図９〜図１２に示す実施形態においても、前記上部の部分ねじ機構４および下部の部分ねじ機構５がそれぞれ円周方向に２等分配置して設けられており、また、容器本体２側の各突条体４Ａと蓋体３側の各突条体導入口４Ｅとの位置合せと、蓋体３側の各突条体５Ａと容器本体２側の各突条体導入口５Ｄとの位置合わせを容易にするため、容器本体２のベース部２Ｂの周辺部付近の上面および蓋体３の角筒部３Ｂの外周面の下端部に、それぞれ前記した矢印等の合いマークｉが形成されている。
【００３３】
さらに、本発明に係る電子部材用収納容器を、円板状電子部材として、半導体ウエハではなく、ダイシングウエハを収納するのに適した一実施形態にした場合について図１３を参照して説明する。
図１３は、このダイシングウエハ用の収納容器における容器本体２の部分のみを示す斜視図である。
この実施形態では、容器本体２の内円筒部２Ａを、２つの切欠き２Ｃにより内円筒部２Ａを半円弧状に２分割し、また２分割された内円筒部２Ａの各部分の内周面には、ダイシングウエハの外周を案内可能なガイドリブ２Ｋを突設している。このガイドリブ２Ｋは、内円筒部２Ａの２分割された各部分の幅方向両側にそれぞれ２本づつ配置されて上下方向に延びている。
なお、容器本体２の他の部分の構成、蓋体の構成は、前記した半導体ウエハ収納に適した電子部材用収納容器１と全く同じである。
【００３４】
このように構成された一実施形態のダイシングウエハ収納に適した電子部材用収納容器の使用例を説明する。
この収納容器は、例えば公称１２インチの大径の半導体ウエハをダイシングフィルムを介してダイシングフレームに支持した状態のダイシングウエハを、複数枚重ねて収容し、これを保管、搬送するために使用される。
このダイシングウエハを収容するには、前記半導体ウエハ収納の場合と同様に、容器本体２をテーブル等の定位置に置き、帯電防止のクッションシート等のクッション材（図示省略）を敷き、さらに導電性等の静電防止対策スペーサシート（図示省略）を敷く。
その後、容器本体２の２分割された内円筒部２Ａの各部分の内周に、各ダイシングウエハをガイドリブ２Ｋに沿って水平に収納する。この収納作業は、内円筒部２Ａを２分割する各切欠き２Ｃがダイシングウエハの外周を把持可能とするため、手作業による収納が容易に行えると共に、ロボットハンドを使用した収納作業も容易に行うことができる。
【００３５】
そして、以上の半導体ウエハあるいはダイシングウエハの収納に適した各実施形態に係る電子部材用収納容器１においては、導電性プラスチックスを素材として電子部材用収納容器１の容器本体２および蓋体３をそれぞれ一体成形したが、帯電防止剤を混入したプラスチックスを素材にして一体成形してもよい。ここで帯電防止剤としては、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、多価アルコール脂肪酸エステルなどの非イオン系界面活性剤、第４級アンモニウム塩などの陽イオン系界面活性剤、高級アルコールリン酸エステル塩、高級アルコール硫酸エステル塩などの陰イオン系界面活性剤、アルキルベタインなどの両性界面活性剤及びこれらの任意の組合せ等、一般に合成樹脂に練り込み、又は塗布して帯電防止剤として使用される界面活性剤であれば何でも使用できる。
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る電子部材用収納容器は、容器本体に蓋体が装着された状態で、底面が概略正方形の角柱状の輪郭を呈するため、縦置に限らず横置も可能である。このため、電子部材用収納容器を複数個まとめて搬送し、保管する際には、縦置および横置を交えて搬送用箱等にスペース効率の良い安定した状態で収容することができる。
また、容器本体の内円筒部には、半導体ウエハやダイシングウエハ等の円板状電子部材の外周部を把持して出し入れ可能とする切欠きが設けられているため、容器本体を定位置においた状態で半導体ウエハやダイシングウエハの外周部を把持することができ、円板状電子部材の収納および取出し作業を容易に行うことができる。特に、ロボットハンド等を使用して各円板状電子部材の収納および取出し作業を行うことが可能となるため、自動化された加工工程に好適である。
【００３７】
ここで、容器本体の内円筒部と蓋体の外円筒部との間には、１５〜４５°の相対回動角度で両者を着脱できる部分ねじ機構が設けられているため、容器本体に対する蓋体の着脱作業をワンタッチ操作で容易かつ迅速に行うことができる。
特に、この部分ねじ機構は、前記内円筒部と外円筒部との間において、両者の上部と下部とに分離して２組設けられているため、容器本体に対して蓋体を確実に装着することができる。例えば重量の嵩む大径の半導体ウエハやダイシングウエハを多数枚収納し、この状態で蓋体のみを把持した場合においても、容器本体が蓋体から不用意に脱落することがなく、大径の半導体ウエハやダイシングウエハを確実に収納して搬送することができる。
【００３８】
そして、下部の部分ねじ機構として、蓋体の外円筒部の先端部内周に、円周方向に少なくとも２等配した位置に、少なくとも２個の突条体を部分オスネジとして１５〜４５°の右ネジリード角を以ってそれぞれ突設する一方で、容器本体の内円筒部の基端部外周に、蓋体の外円筒部の先端部が嵌合する円形の嵌合台部を形成し、この嵌合台部の外周面に、前記各突条体を嵌合してねじ込み可能とする少なくとも２個の傾斜溝（前記リード角と同じ傾斜角）を部分メスネジとして円周方向に少なくとも２等配した位置にそれぞれ形成し、これらの突条体、嵌合台部および傾斜溝によって構成することにより、重量の嵩む大径の半導体ウエハやダイシングウエハを多数枚収納した容器本体への蓋体の確実な装着を、簡単な操作によって実現することができる。
特に、上・下部の部分ねじ機構の位置合わせを容易にするために、容器本体の内円筒部の基端部外周面および蓋体の角筒部の外周面の下端部にそれぞれ合いマークを形成しておけば、この装着作業をより一層簡便にすることができる。
【００３９】
本発明による電子部材用収納容器において、前記容器本体および蓋体が導電性プラスチックスを素材として成形されている場合、静電気の帯電が防止されるため、内部に収容された半導体ウエハやダイシングウエハの回路パターンを静電気ショックによる損傷から保護することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】半導体ウエハ収納に適した本発明の一実施形態に係る電子部材用収納容器の全体構造を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示す電子部材用収納容器の半截横断面図である。
【図３】図１に示す電子部材用収納容器の半截縦断面図である。
【図４】図１に示す電子部材用収納容器の容器本体のみを示す平面図である。
【図５】図１に示す電子部材用収納容器の上部の部分ねじ機構を容器の直径方向に破断して示す部分断面図である。
【図６】図１に示す電子部材用収納容器の上部の部分ねじ機構を容器の円周方向に破断して示す部分断面図である。
【図７】図１に示す電子部材用収納容器の下部の部分ねじ機構を容器の直径方向に破断して示す部分断面図である。
【図８】図１に示す電子部材用収納容器の下部の部分ねじ機構を容器の円周方向に破断して示す部分断面図である。
【図９】半導体ウエハ収納に適した本発明の他の実施形態に係る電子部材用収納容器の容器本体のみを示す斜視図である。
【図１０】図９に示すに電子部材用収納容器の容器本体のみを示す側面図で、（Ａ）が切欠きを正面に位置させた図、（Ｂ）が切欠きを側面に位置させた図である。
【図１１】図９に示すに電子部材用収納容器の容器本体のみを示す平面図である。
【図１２】図９に示す電子部材用収納容器の容器本体のみを示す底面図である。
【図１３】ダイシングウエハ収納に適した本発明の他の実施形態に係る電子部材用収納容器の容器本体のみを示す斜視図である。
【符号の説明】
１  ：電子部材用収納容器
２  ：容器本体
２Ａ：内円筒部
２Ｂ：ベース部
２Ｃ：切欠き
２Ｄ：ガイドリブ
２Ｅ：支持筒部
２Ｆ：放射状リブ
２Ｇ：回動操作用突部
２Ｈ：ローレット
２Ｉ：円環状突部
２Ｊ：円環状凹部
２Ｋ：ガイドリブ
３  ：蓋体
３Ａ：外円筒部
３Ｂ：角筒部
３Ｃ：回動操作用突部
３Ｄ：ローレット
３Ｅ：円環状突部
３Ｆ：円環状凹部
４  ：上部の部分ねじ機構
４Ａ：突条体
４Ｂ：円環状嵌合溝
４Ｃ：段部
４Ｄ：傾斜溝
４Ｅ：突条体導入口
５  ：下部の部分ねじ機構
５Ａ：突条体
５Ｂ：嵌合台部
５Ｃ：傾斜溝
５Ｄ：突条体導入口
ｉ  ：合いマーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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