(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被焼結品を収容させたセッターを、少なくともバーンオフ帯と予熱帯と焼結帯と冷却帯とに順々に導いて、上記の被焼結品を焼結させるようにした連続焼結炉において、上記の各帯にセッターを送る送りローラを設け、少なくとも焼結帯における送りローラに耐熱性の高い材料で構成された耐熱ローラを用いると共に、各帯の間に上記のセッターを次の帯に移行させる場合に開閉する仕切り扉を設け、上記の冷却帯に焼結用雰囲気ガスを供給するガス供給装置を設けると共に、上記の各帯の間に設けられた仕切り扉を閉じた状態で、仕切り扉と各帯の壁面との間に隙間を形成するようにしたことを特徴とする連続焼結炉。
【請求項２】
請求項１に記載した連続焼結炉において、上記の冷却帯に徐冷帯と強制冷却帯とを設け、この徐冷帯と強制冷却帯との間にセッターを移行させる場合に開閉する仕切り扉を設けたことを特徴とする連続焼結炉。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載した連続焼結炉において、上記の冷却帯に続いて真空置換帯を設け、この真空置換帯に焼結用雰囲気ガスを供給するガス供給装置を設けると共に、冷却帯とこの真空置換帯との間にセッターを移行させる場合に開閉する仕切り扉を設けたことを特徴とする連続焼結炉。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか１項に記載した連続焼結炉において、上記の各帯における入口側の仕切り扉と出口側の仕切り扉とが同時に開かないようにしたことを特徴とする連続焼結炉。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか１項に記載した連続焼結炉において、上記のバーンオフ帯に、燃焼ガスを発生させるバーナーの他に非燃焼式の加熱装置を設けたことを特徴とする連続焼結炉。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか１項に記載した連続焼結炉において、少なくとも上記の焼結帯における送りローラによるセッターの送りを連続して行うことを特徴とする連続焼結炉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、被焼結品を収容させたセッターを、少なくともバーンオフ帯と予熱帯と焼結帯と冷却帯との順に導いて、被焼結品を焼結させるようにした連続焼結炉に係り、特に、バーンオフ帯、予熱帯、焼結帯及び冷却帯における温度を適切に設定することが容易に行え、被焼結品を焼結させて焼結品を製造する時間を短縮させることができると共に設備が大型化するということもなく、また雰囲気ガスに酸素などの不純ガスが混入するのを抑制でき、被焼結品の焼結が安定して行えるようにした点に特徴を有するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、金属紛をプレス成形させた成形品からなる被焼結品を焼結炉において焼結させて、自動車部品などの焼結品を製造することが行われている。
【０００３】
そして、このような焼結炉としては、被焼結品を収容させたセッターを、少なくともバーンオフ帯と予熱帯と焼結帯と冷却帯との順に導いて、被焼結品を焼結させるようにした連続焼結炉が使用されている。
【０００４】
ここで、このような連続焼結炉としては、一般に、メッシュベルトの上に被焼結品を収容させたセッターをセットし、このメッシュベルトにより上記のセッターを連続焼結炉内において順々に搬送させ、バーンオフ帯と予熱帯と焼結帯と冷却帯との順に導いて、被焼結品を焼結させるようにしている（例えば、特許文献１〜３参照。）。
【０００５】
ここで、このようにメッシュベルトにより被焼結品を収容させたセッターをバーンオフ帯と予熱帯と焼結帯と冷却帯の順に導くようにした場合、この連続焼結炉における入口及び出口が常に開いた状態になると共に、各帯の間も分離されずに連通された状態になる。
【０００６】
そして、このように連続焼結炉における入口及び出口が常に開いた状態で、各帯が連通された状態になると、連続焼結炉の入口及び出口から外気が連続焼結炉内に侵入して各帯に導かれるようになり、これにより得られる焼結品が着色されたり、劣化したりするおそれがある。
【０００７】
このため、従来においては、一般にこの連続焼結炉内に供給する焼結用雰囲気ガスの量を多くして、連続焼結炉の入口及び出口から外気が連続焼結炉内に侵入するのを抑制するようにしていたが、この場合に、多くの焼結用雰囲気ガスが必要になると共に、この焼結用雰囲気ガスを焼結帯において充分に加熱させるために、多くのエネルギーが必要になり、ランニングコストが高くつくという問題があった。
【０００８】
また、上記のように各帯が連通された状態になっているため、焼結帯において加熱された焼結用雰囲気ガスが冷却帯に流れ出して冷却帯の温度が上昇してしまい、焼結帯において焼結された焼結品を冷却帯において充分に冷却させるためには、冷却帯を長くして冷却時間を長くすることが必要になり、設備が大型化すると共に、焼結品の製造に要する時間も長くなるという問題があった。
【０００９】
また、バーンオフ帯においては、一般に、燃料ガスをバーナーにより燃焼させて、燃焼ガスを発生させると共に被焼結品を加熱して、被焼結品に存在するワックス成分等を分解させるようにしているが、上記のように各帯が連通された状態にあるため、このように分解されたワックス成分等を含む燃焼ガスが予熱帯や焼結帯に導かれて、得られる焼結品が劣化するという問題があった。また、上記のようにして被焼結品をバーンオフ帯において適切に加熱させるために、バーナーによって燃焼させる燃料ガスの量を調整する必要があり、発生する燃焼ガスの量が少なくなって、被焼結品に存在するワックス成分等を充分に分解させることができなくなる等の問題もあった。
【００１０】
さらに、上記のようにメッシュベルトにより被焼結品を収容させたセッターをバーンオフ帯と予熱帯と焼結帯と冷却帯との順に導くようにした場合、焼結帯における温度が一般に１１００℃以上になるため、メッシュベルトが次第に伸びて頻繁に取り替える必要が生じ、メンテナンス費用が高くつくという問題もあった。
【特許文献１】特開平６−１７２８１１号公報
【特許文献２】特開平１１−６００１号公報
【特許文献３】特開２００２−１２９２０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
この発明は、被焼結品を収容させたセッターを、少なくともバーンオフ帯と予熱帯と焼結帯と冷却帯との順に導いて、被焼結品を焼結させる連続焼結炉における上記のような問題を解決することを課題とするものである。
【００１２】
すなわち、この発明は上記のような連続焼結炉において、バーンオフ帯、予熱帯、焼結帯及び冷却帯における温度を適切に設定することが容易に行え、被焼結品を焼結させて焼結品を製造する時間を短縮させることができると共に設備が大型化するということもなく、また雰囲気ガスに酸素などの不純ガスが混入するのを抑制でき、被焼結品の焼結が安定して行えるようにすることを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明においては、上記のような課題を解決するため、被焼結品を収容させたセッターを、少なくともバーンオフ帯と予熱帯と焼結帯と冷却帯とに順々に導いて、被焼結品を焼結させるようにした連続焼結炉において、上記の各帯にセッターを送る送りローラを設け、少なくとも焼結帯における送りローラに耐熱性の高い材料で構成された耐熱ローラを用いると共に、各帯の間に上記のセッターを次の帯に移行させる場合に開閉する仕切り扉を設け、上記の冷却帯に焼結用雰囲気ガスを供給するガス供給装置を設けると共に、上記の各帯の間に設けられた仕切り扉を閉じた状態で、仕切り扉と各帯の壁面との間に隙間を形成するようにした。
【００１４】
ここで、上記の冷却帯として、徐冷帯と強制冷却帯とを設ける場合には、この徐冷帯と強制冷却帯との間にセッターを移行させる場合に開閉する仕切り扉を設けるようにする。
【００１６】
また、上記の冷却帯に続いて真空置換帯を設け、この真空置換帯に焼結用雰囲気ガスを供給するガス供給装置を設けると共に、冷却帯とこの真空置換帯との間にセッターを移行させる場合に開閉する仕切り扉を設けることが好ましい。
【００１７】
ここで、上記のように各帯の間にセッターを次の帯に移行させる場合に開閉する仕切り扉を設ける場合において、上記の各帯における入口側の仕切り扉と出口側の仕切り扉とが同時に開かないようにすることが好ましい。
【００１８】
また、この発明における連続焼結炉においては、上記のバーンオフ帯に、燃焼ガスを発生させるバーナーの他に非燃焼式の加熱装置を設けることが好ましい。
【００１９】
また、この発明における連続焼結炉において、被焼結品を収容させたセッターを送りローラによって各帯内を搬送させるにあたり、少なくとも上記の焼結帯におけるセッターの送りを連続して行うことが好ましい。
【発明の効果】
【００２０】
この発明における連続焼結炉においては、被焼結品を収容させたセッターを、送りローラにより少なくともバーンオフ帯と予熱帯と焼結帯と冷却帯とに順々に導いて被焼結品を焼結させるにあたり、上記の各帯の間に仕切り扉を設け、上記のセッターを次の帯に移行させる場合にだけこの仕切り扉を開閉させるようにしたため、外気が連続焼結炉内に侵入して各帯に導かれるのが防止され、得られる焼結品が着色されたり、劣化したりするのが防止されるようになる。このため、連続焼結炉内に供給する焼結用雰囲気ガスの量を多くして、多くの焼結用雰囲気ガスを焼結帯において充分に加熱させる必要がなく、ランニングコストが低減される。
【００２１】
また、上記のように各帯の間に仕切り扉を設け、上記のセッターを次の帯に移行させる場合にだけこの仕切り扉を開閉させるようにしたため、焼結帯において加熱された焼結用雰囲気ガスが常に冷却帯に流れ出して、冷却帯の温度が上昇するということがなく、従来のように冷却帯を長くして冷却時間を長くしなくても、焼結帯において焼結された焼結品を冷却帯において短時間で冷却させることができるようになり、設備を小型化できると共に、焼結品の製造に要する時間も短縮できるようになる。
【００２２】
また、この発明における連続焼結炉においては、少なくとも焼結帯に設ける送りローラに耐熱性の高い材料で構成された耐熱ローラを用いるようにしたため、この耐熱ローラが熱によって劣化するのも防止され、長期にわたって安定した焼結が行えるようになり、メンテナンス費用も低減される。
【００２３】
また、この発明における連続焼結炉において、上記の冷却帯として、徐冷帯と強制冷却帯とを設け、この徐冷帯と強制冷却帯との間に仕切り扉を設けて、セッターを移行させる場合にだけこの仕切り扉を開閉させるようにすると、焼結帯において焼結された焼結品を上記の徐冷帯においてある程度の温度まで冷却させた後、上記の強制冷却帯において焼結品を急速に冷却させることができ、急冷による焼結品の劣化を抑制しながら、焼結品をさらに短時間で冷却させることができるようになり、設備をより小型化できると共に、焼結品の製造に要する時間をさらに短縮できるようになる。
【００２４】
また、この発明における連続焼結炉においては、上記の冷却帯に焼結用雰囲気ガスを供給するガス供給装置を設けると共に、上記の各帯の間に設けられた仕切り扉を閉じた状態で、仕切り扉と各帯の壁面との間に隙間を形成するようにしたため、この冷却帯に焼結用雰囲気ガスを供給させると、冷却帯に供給された焼結用雰囲気ガスが焼結帯，予熱帯，バーンオフ帯の順に導かれて炉外に排出されるようになり、バーンオフ帯において発生したワックス成分等を含む燃焼ガスが予熱帯や焼結帯に導かれるのが抑制され、ワックス成分等を含むガスによって焼結品が劣化するのがより一層防止されるようになる。
【００２５】
また、上記の冷却帯に続いて真空置換帯を設け、この真空置換帯に焼結用雰囲気ガスを供給するガス供給装置を設けると共に、冷却帯とこの真空置換帯との間に仕切り扉を設けるようにすると、この真空置換帯内を真空排気し、この真空置換帯内に上記のガス供給装置から焼結用雰囲気ガスを供給した状態で、上記の仕切り扉を開閉させて、上記のように冷却帯において冷却された焼結体をこの真空置換帯に導くことができる。このため、上記の仕切り扉を開けて、冷却帯から冷却された焼結体をこの真空置換帯に導く際に、外気が冷却帯内に侵入のも防止されるようになる。
【００２６】
また、上記のように各帯の間に仕切り扉を設け、セッターを次の帯に移行させる場合にこの仕切り扉を開閉させるにあたり、上記の各帯における入口側の仕切り扉と出口側の仕切り扉とが同時に開かないようにすると、各帯におけるガスが一気に他の帯に流れ込むのが防止されるようになり、各帯における温度の変化が一層抑制されるようになる。
【００２７】
また、上記のバーンオフ帯に燃焼ガスを発生させるバーナーの他に非燃焼式の加熱装置を設けると、このバーンオフ帯の温度を適切に制御しながら、このバーンオフ帯に一定した燃焼ガスを安定して供給することができ、被焼結品に存在するワックス成分等を安定して分解させることができるようになる。
【００２８】
また、この発明における連続焼結炉において、被焼結品を収容させたセッターを送りローラによって各帯内を搬送させるにあたり、上記の焼結帯におけるセッターの送りを連続して行うようにすると、セッター内に収容された被焼結品に対する焼結時の温度ムラが抑制されて、焼結品における歪みの発生等が防止されるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、この発明の実施形態に係る連続焼結炉を添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、この発明に係る連続焼結炉は下記の実施形態に示すものに限定されず、発明の要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施できるものである。
【００３０】
この実施形態においては、図１に示すように、焼結させる複数の被焼結品２を収容させたセッター１を用いるにようにしている。
【００３１】
そして、この実施形態における連続焼結炉においては、上記のように複数の被焼結品２を収容させたセッター１を、図２に示すように、バーンオフ帯２０の入口２１に設けた入口扉２２からバーンオフ帯２０内に導き、このバーンオフ帯２０から送りローラ１１によって予熱帯３０、焼結帯４０、冷却帯５０及び真空置換帯６０の順に導いて上記の被焼結品２を焼結させて冷却させた後、このセッター１を真空置換帯６０の出口６１に設けた出口扉６２から取り出すようにしている。
【００３２】
ここで、この実施形態における連続焼結炉においては、上記の冷却帯５０として、第１及び第２の徐冷帯５１ａ，５１ｂと強制冷却帯５２とを設けている。
【００３３】
そして、上記の予熱帯３０、冷却帯５０及び真空置換帯６０に設ける送りローラ１１としては、耐熱鋼で構成されたものを用いることができるが、上記の焼結帯４０においては、その温度が１１００℃以上になるため、焼結帯４０に設ける送りローラ１１としては、黒鉛などの炭素系材料で構成された耐熱ローラを用いるようにする。
【００３４】
また、この実施形態における連続焼結炉においては、上記のバーンオフ帯２０と予熱帯３０との間、予熱帯３０と焼結帯４０との間、焼結帯４０と第１徐冷帯５１ａとの間、第２徐冷帯５１ｂと強制冷却帯５２との間及び強制冷却帯５２と真空置換帯６０との間に、それぞれ仕切り扉１３ａ〜１３ｅを設けており、これらの仕切り扉１３ａ〜１３ｅをそれぞれ上記のセッター１を次の帯に移行させる場合に開閉するように制御すると共に、各帯における入口側と出口側とにおける仕切り扉１３ａ，１３ｂ；１３ｂ，１３ｃ；１３ｃ，１３ｄ；１３ｄ，１３ｅとが同時に開かないように制御している。なお、焼結帯４０の入口側と出口側とにおける仕切り扉１３ｂ，１３ｃは高温に曝されるため、カーボンコンポジットフレームにセラミックファイバーを装着させた耐熱性の高い断熱扉を用いることが好ましい。
【００３５】
また、上記のようにバーンオフ帯２０と予熱帯３０との間、予熱帯３０と焼結帯４０との間、焼結帯４０と第１徐冷帯５１ａとの間及び第２徐冷帯５１ｂと強制冷却帯５２との間に設ける仕切り扉１３ａ〜１３ｄについては、図３に示すように、これらの仕切り扉１３ａ〜１３ｄを閉じた状態においても、これらの仕切り扉１３ａ〜１３ｄが各帯の壁面に接触せずに隙間Ｓが形成され、ガスがこの隙間Ｓを通して流れるようにしている。
【００３６】
そして、上記のバーンオフ帯２０に、燃料ガスを燃焼させて燃焼ガスを発生させるバーナー２３を設けると共に、非燃焼式の加熱装置２４としてエレクトロチューブヒータを設け、上記のバーナー２３によりこのバーンオフ帯２０内に燃焼ガスを供給すると共に、上記の非燃焼式の加熱装置２４によりバーンオフ帯２０内の温度が６５０℃程度になるように調整している。
【００３７】
また、上記の予熱帯３０には、非燃焼式の加熱装置３１として、バーンオフ帯２０と同じエレクトロチューブヒータを設け、この予熱帯３０内の温度が８２０℃程度になるように調整している。
【００３８】
また、上記の焼結帯４０には、非燃焼式の加熱装置４１としてＳｉＣヒータを設け、この焼結帯４０内の温度が１１２０℃程度になるように調整している。
【００３９】
また、上記の第１及び第２の徐冷帯５１ａ，５１ｂには、非燃焼式の加熱装置５３として上記のバーンオフ帯２０や予熱帯３０と同じエレクトロチューブヒータを設け、第１徐冷帯５１ａにおいてはその温度が８４０℃程度、第２徐冷帯５１ｂにおいてはその温度が６００℃程度になるように調整すると共に、この第１及び第２の徐冷帯５１ａ，５１ｂにガス供給装置７０から焼結用雰囲気ガスとして窒素ガス等の不活性ガスを供給するようにしている。
【００４０】
また、上記の強制冷却帯５２には、循環ファン５４と水冷クーラ５５とを設け、徐冷された焼結品を８０℃程度まで冷却させるようにすると共に、この強制冷却帯５２に上記のガス供給装置７０から焼結用雰囲気ガスとして窒素ガス等の不活性ガスを供給するようにしている。
【００４１】
また、上記の真空置換帯６０には、この真空置換帯６０内を真空排気させる真空排気装置６３を設けると共に、上記のガス供給装置７０からこの真空置換帯６０にも焼結用雰囲気ガスである窒素ガス等の不活性ガスを供給するようにしている。
【００４２】
そして、上記のように複数の被焼結品２が収容されたセッター１を順々にこの実施形態における連続焼結炉内に導いて被焼結品２を連続して焼結させるにあたっては、上記のバーンオフ帯２０と予熱帯３０との間に設けられた仕切り扉１３ａを閉じた状態で、上記の入口扉２２から被焼結品２が収容されたセッター１をバーンオフ帯２０内に導入させる。
【００４３】
そして、このようにバーンオフ帯２０内に導入されたセッター１を、上記の送りローラ１１により上記の予熱帯３０側に順々に間欠的に移動させて、このバーンオフ帯２０内に所定時間維持させるようにし、このセッター１内に収容された被焼結品２を、上記の非燃焼式の加熱装置２４により６５０℃程度まで加熱させると共にバーナー２３により発生した燃焼ガスを作用させて、被焼結品２に存在するワックス成分等を分解させるようにする。
【００４４】
ここで、この実施形態における連続焼結炉においては、上記のように第１及び第２の徐冷帯５１ａ，５１ｂと強制冷却帯５２とからなる冷却帯５０にガス供給装置７０から焼結用雰囲気ガスを供給すると共に、バーンオフ帯２０と予熱帯３０との間、予熱帯３０と焼結帯４０との間、焼結帯４０と第１徐冷帯５１ａとの間及び第２徐冷帯５１ｂと強制冷却帯５２との間に設ける仕切り扉１３ａ〜１３ｄが各帯の壁面に接触せずに隙間Ｓが形成されるようにしているため、焼結用雰囲気ガスが冷却帯５０側から上記の仕切り扉１３ａ〜１３ｄと各帯の壁面との隙間Ｓを通して、上記の焼結帯４０，予熱帯３０，バーンオフ帯２０の順に流れるようになる。このため、上記のようにバーンオフ帯２０において、被焼結品２に存在するワックス成分等が分解され、このように分解されたワックス成分等を含む燃焼ガスが発生しても、この燃焼ガスが上記の隙間Ｓを通して流れる焼結用雰囲気ガスにより予熱帯３０や焼結帯４０に導かれるのが防止される。
【００４５】
そして、上記のようにバーンオフ帯２０内においてセッター１が予熱帯３０側に間欠的に移動されて所定時間経過すると、上記の入口扉２２及び予熱帯３０と焼結帯４０との間の仕切り扉１３ｂを閉じた状態で、バーンオフ帯２０と予熱帯３０との間の仕切り扉１３ａを開閉させて、このセッター１をバーンオフ帯２０から予熱帯３０に移動させるようにする。
【００４６】
次に、このように予熱帯３０内に導かれたセッター１を、上記の送りローラ１１により焼結帯４０側に順々に間欠的に移動させて、この予熱帯３０内に所定時間維持させるようにし、この予熱帯３０内において上記の非燃焼式の加熱装置３１により、セッター１に収容された被焼結品２を８２０℃程度まで加熱させるようにする。
【００４７】
そして、このように予熱帯３０内においてセッター１が焼結帯４０側に間欠的に移動されて所定時間経過すると、バーンオフ帯２０と予熱帯３０との間の仕切り扉１３ａ及び焼結帯４０と第１徐冷帯５１ａとの間の仕切り扉１３ｃを閉じた状態で、予熱帯３０と焼結帯４０との間の仕切り扉１３ｂを開閉させて、このセッター１を予熱帯３０から焼結帯４０に移動させるようにする。
【００４８】
次に、このように焼結帯４０内に導かれたセッター１を、上記の送りローラ１１により第１徐冷帯５１ａ側に連続して順々に移動させて、この焼結帯４０内に所定時間維持させるようにし、この焼結帯４０内において上記の非燃焼式の加熱装置４１により、セッター１に収容された被焼結品２を１１２０℃程度の温度で充分に焼結させるようにする。ここで、このように焼結帯４０内に導かれたセッター１を送りローラ１１により連続して順々に移動させるようにすると、セッター１を間欠的に移動させる場合のように、セッター１が停止する位置によって、このセッター１内に収容された各被焼結品２に対する加熱装置４１による加熱条件が変化するのが抑制され、セッター１に収容された各被焼結品２が同様の条件で焼結されるようになり、焼結品における品質のバラツキや焼結品における歪みの発生等が防止されるようになる。
【００４９】
そして、このように焼結帯４０内においてセッター１が第１徐冷帯５１ａ側に連続して移動されて所定時間経過すると、予熱帯３０と焼結帯４０との間の仕切り扉１３ｂ及び第２徐冷帯５１ｂと強制冷却帯５２との間の仕切り扉１３ｄを閉じた状態で、焼結帯４０と第１徐冷帯５１ａとの間の仕切り扉１３ｃを開閉させ、このセッター１を焼結帯４０から第１徐冷帯５１ａに移動させるようにする。
【００５０】
次に、このように第１徐冷帯５１ａ内に導かれたセッター１を、上記の送りローラ１１により第１徐冷帯５１ａ及び第２徐冷帯５１ｂを通して強制冷却帯５２側に順々に間欠的に移動させて所定時間維持させるようにし、上記のように焼結された焼結品を、第１徐冷帯５１ａ内において８４０℃程度まで冷却させ、さらに第２徐冷帯５１ｂ内において６００℃程度まで冷却させるようにする。
【００５１】
そして、このようにセッター１が第１徐冷帯５１ａ及び第２徐冷帯５１ｂ内において強制冷却帯５２側に間欠的に移動されて所定時間経過すると、焼結帯４０と第１徐冷帯５１ａとの間の仕切り扉１３ｃ及び強制冷却帯５２と真空置換帯６０との間の仕切り扉１３ｅを閉じた状態で、第２徐冷帯５１ｂと強制冷却帯５２との間の仕切り扉１３ｄを開閉させ、このセッター１を第２徐冷帯５１ｂから強制冷却帯５２に移動させるようにする。
【００５２】
次に、このように強制冷却帯５２内に導かれたセッター１を、上記の送りローラ１１により真空置換帯６０側に順々に間欠的に移動させて、この強制冷却帯５２内に所定時間維持させ、この強制冷却帯５２内において上記のように徐冷された焼結品を、前記の循環ファン５４と水冷クーラ５５との作用によって８０℃程度まで冷却させるようにする。
【００５３】
そして、このようにセッター１が強制冷却帯５２内において真空置換帯６０側に間欠的に移動されて所定時間経過すると、第２徐冷帯５１ｂと強制冷却帯５２との間の仕切り扉１３ｄ及び前記の出口扉６２が閉じた状態で、かつ上記のガス供給装置７０から真空置換帯６０内に焼結用雰囲気ガスが供給された状態で、上記の強制冷却帯５２と真空置換帯６０との間の仕切り扉１３ｅを開閉させて、このセッター１を強制冷却帯５２から真空置換帯６０に移動させ、その後、上記の出口扉６２を開き、真空置換帯６０内に導かれた上記のセッター１を出口６１から取り出すようにする。
【００５４】
また、このようにしてセッター１を真空置換帯６０内から取り出した後は、上記の出口扉６２を閉じ、この真空置換帯６０内に入り込んだ外気を前記の真空排気装置６３により真空排気させ、その後、上記のガス供給装置７０からこの真空置換帯６０内に焼結用雰囲気ガスを供給させるようにする。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】この発明の一実施形態に係る連続焼結炉によって焼結させる被焼結品をセッター内に複数収容させた状態を示した概略平面図である。
【図２】上記の実施形態に係る連続焼結炉の概略説明図である。
【図３】同実施形態に係る連続焼結炉において、バーンオフ帯と予熱帯との間、予熱帯と焼結帯との間、焼結帯と第１徐冷帯との間及び第２徐冷帯と強制冷却帯との間に設ける各仕切り扉を閉じた状態の一部を示した断面説明図である。
【符号の説明】
【００５６】
１  セッター
２  被焼結品
１１  送りローラ
１３ａ〜１３ｅ  仕切り扉
２０  バーンオフ帯
２１  入口
２２  入口扉
２３  バーナー
２４  加熱装置
３０  予熱帯
３１  加熱装置
４０  焼結帯
４１  加熱装置
５０  冷却帯
５１ａ  第１徐冷帯
５１ｂ  第２徐冷帯
５２  強制冷却帯
５３  加熱装置
５４  循環ファン
５５  水冷クーラ
６０  真空置換帯
６１  出口
６２  出口扉
６３  真空排気装置
７０  ガス供給装置
Ｓ  隙間
【図１】
0004576331.tif 000002
【図２】
0004576331.tif 000003
【図３】
0004576331.tif 000004