(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部であって、本体領域及び磁気ヘッドサスペンション幅方向中央に先端側に開く凹部を画するように前記本体領域の幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片を有する支持部と、前記ロードビーム部に支持され且つ前記磁気ヘッドを支持するフレクシャ部と、基端側が平面視において前記凹部内に位置するように前記ロードビーム部に連結された平衡質量部であって、前記ロードビーム部，前記フレクシャ部及び前記磁気ヘッドと共に前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持されるアッセンブリを形成する平衡質量部とを備えた磁気ヘッドサスペンションにおいて、
前記磁気ヘッドサスペンションの中央長手線を基準にして左右対称に配置され、前記荷重曲げ部として作用する一対の第１弾性板部及び第２弾性板部を備え、
前記一対の第１弾性板部は、撓み弾性変形することで前記ディスク面の回転に伴う空気圧に抗した第１押し付け荷重を発生するように、板面が前記ディスク面と略平行な状態で基端部が前記一対の支持片にそれぞれ連結され且つ自由端部が前記アッセンブリに連結されており、
前記第２弾性板部は、磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記一対の第１弾性板部の間において該第２弾性板部の長手方向が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿うように配置され、
前記第２弾性板部は、前記一対の支持片にそれぞれ連結される一対の支持片連結領域と、長手方向中央に位置し前記アッセンブリに連結されるアッセンブリ連結領域と、前記一対の支持片連結領域及び前記アッセンブリ連結領域の間にそれぞれ延びる一対の延在領域とを備え、前記一対の延在領域が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った捩れ中心線回りに捩れ弾性変形することで前記ディスク面の回転に伴う空気圧に抗した第２押し付け荷重を発生し、
前記第１及び第２押し付け荷重の合力が前記磁気ヘッドを前記ディスク面へ向けて押し付ける為の荷重として作用することを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記一対の第１弾性板部は、前記磁気ヘッドサスペンションの長手方向に関し前記第２弾性板部の捩れ中心線と略同一位置において前記自由端部が前記ディスク面に近接するように曲げられていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記ロードビーム部，前記一対の第１弾性板部及び前記第２弾性板部は単一プレート状のロードビーム部形成部材によって一体形成されており、
前記ロードビーム部形成部材のうち前記ロードビーム部を形成する領域にはフランジが設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記平衡質量部を形成する平衡質量部形成部材は前記ロードビーム部形成部材とは別体とされており、
前記平衡質量部形成部材は、先端部が前記ロードビーム部形成部材のうち前記ロードビーム部を形成する領域と前記磁気ヘッドサスペンションの長手方向位置に関しオーバーラップされた状態で該ロードビーム部形成部材に溶接によって接合されていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記平衡質量部部材は、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し、前記第２弾性板に接合される中央部と、前記中央部から先端側へ延びて前記ロードビーム部形成部材に接合される先端部と、前記中央部から基端側へ延びる基端部とを有し、
前記先端部は、前記中央部の磁気ヘッドサスペンション幅方向最外端よりも磁気ヘッドサスペンション幅方向外方に位置し且つ磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し前記ロードビーム部とオーバーラップした状態で、前記ロードビーム部形成部材に接合されていることを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記先端部は、磁気ヘッドサスペンション幅方向中央から左右へ延びる一対の梁部を有していることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
前記一対の第１弾性板部は、それぞれ、基端部が前記一対の支持片に連結され且つ自由端部が前記一対の梁部に連結されていることを特徴とする請求項６に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項８】
前記一対の梁部は、自由端部が前記ロードビーム部より磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延在され、
前記一対の第１弾性板部の自由端部は、前記一対の梁部のうち前記ロードビーム部より磁気ヘッドサスペンション幅方向外方に位置する部位に連結されていることを特徴とする請求項７に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項９】
前記支持部は、前記一対の支持片の間を連結する連結片を有し、
前記連結片は、基端部が前記一対の支持片に連結され且つ先端部が基端部より前記ディスク面から離間するように構成された一対のアーム領域と、前記一対のアーム領域の先端部を連結するブリッジ領域とを含み、
前記ブリッジ領域は、平面視において前記捩れ中心線とオーバーラップし且つ前記アッセンブリの前記ディスク面とは反対側の裏面から前記ディスク面と直交する方向に所定の間隙を存しつつ、前記一対のアーム領域の間を連結していることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１０】
前記支持部は、前記一対の支持片の間を連結する連結片を有し、
前記連結片は、基端部が前記一対の支持片に連結され且つ先端部が基端部より前記ディスク面から離間するように構成された一対のアーム領域と、前記一対のアーム領域の先端部を連結するブリッジ領域とを含み、
前記ブリッジ領域は、平面視において前記捩れ中心線とオーバーラップする位置において前記一対のアーム領域の間を連結しており、
前記ブリッジ領域は、前記アッセンブリにおける前記ディスク面とは反対側の裏面に対し、磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し前記捩れ中心線と略同一位置で且つ磁気ヘッドサスペンション中央長手線を基準にして左右対称な当接構造を介して当接していることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１１】
前記支持部は、Ｅブロックのアームの先端にスウェッジ加工により接合されるボス孔を有するボス部を備えたベースプレートとされており、
前記ベースプレートは、前記本体領域，前記一対の支持片及び前記連結片に対応した領域を一体的に有する第１プレート部材と、前記ボス部を形成するボス部材とを備え、
前記第１プレート部材には、前記ボス部材の外径に対応した第１装着孔と、前記一対の支持片に対応した領域によって画される前記凹部を前記第１装着孔に連通させるスリットとが設けられており、
前記ボス部材は、前記第１装着孔に嵌入された状態で前記第１プレート部材に溶接により接合されていることを特徴とする請求項９又は１０に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１２】
前記ボス部材は、前記ボス孔を有し且つ外径が前記第１装着孔より若干小径とされた本体部と、前記本体部から径方向外方へ延在するかしめ片であって、外径が前記第１装着孔より若干大径とされたかしめ片とを備え、
前記ボス部材は、前記かしめ片がかしめられた状態で前記第１装着孔に嵌入されていることを特徴とする請求項１１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１３】
前記ロードビーム部形成部材は、前記ロードビーム部を形成する領域、前記一対の第１弾性板部を形成する領域及び前記第２弾性板部を形成する領域に加えて、前記支持部のうち前記連結片を除く支持部形成領域を一体的に有し、前記支持部形成領域には前記ボス孔よりも大径とされた第２装着孔が形成されており、
前記第１プレート部材は、前記第１装着孔が前記第２装着孔に同心上に位置された状態で前記ロードビーム部形成部材における前記ディスク面とは反対側の裏面に溶接によって接合されていることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１４】
前記第２装着孔は前記ボス部材の外径より小径とされており、
前記ボス部材は、前記ディスク面と対向する対向面の一部が前記ロードビーム部形成部材における前記ディスク面とは反対側の裏面に当接された状態で、前記第１装着孔に嵌入されていることを特徴とする請求項１３に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１５】
前記支持部を形成する部材は、前記本体領域と前記一対の支持片と前記連結片とを一体的に有し、
前記一対のアーム領域の基端部及び先端部が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った曲げ基準線回りに曲げ加工されることで、前記ブリッジ領域が前記アッセンブリの前記ディスク面とは反対側に位置されていることを特徴とする請求項９又は１０に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１６】
前記支持部を形成する部材は、互いに重合された状態で溶接によって接合される第１及び第２支持部形成プレート部材を有し、
前記第１支持部形成プレート部材は、前記本体領域に対応した領域及び前記一対の支持片に対応した領域を一体的に有し、
前記第２支持部形成プレート部材は、前記本体領域に対応した領域，前記一対の支持片に対応した領域及び前記連結片に対応した領域を一体的に有していることを特徴とする請求項１５に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１７】
前記支持部は、前記本体領域及び前記一対の支持片に加えて、前記一対の支持片の間を連結する連結片を一体的に有し、
前記連結片は、基端部が前記一対の支持片に連結され且つ先端部が基端部から磁気ヘッドサスペンション先端側へ延びる一対のアーム領域と、前記一対のアーム領域の先端部を連結するブリッジ領域とを有し、
前記ブリッジ領域が前記アッセンブリの前記ディスク面とは反対側に位置するように、前記一対のアーム領域が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った曲げ基準線回りに曲げられていることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１８】
前記一対の支持片は、前記本体領域と同一平面内に位置するように前記本体領域から磁気ヘッドサスペンション先端側へ延びる一対の第１平面部と、前記一対の第１平面部より前記ディスク面に近接された位置で前記ディスク面と略平行に延びる一対の第２平面部であって、前記一対の第１弾性板部及び前記第２弾性板部を介して前記アッセンブリを支持する第２平面部と、前記一対の第１平面部及び前記一対の第２平面部の間をそれぞれ連結する一対のアーム部とを一体的に有し、
前記支持部は、前記本体領域及び前記一対の支持片に加えて、前記アッセンブリの前記ディスク面とは反対側において前記一対の第１平面部の間を連結する連結片を一体的に有していることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１９】
前記第２弾性板部における前記一対の延在領域は、板面が前記ディスク面と略平行とされていることを特徴とする請求項１から１８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２０】
前記第２弾性板部における前記一対の延在領域は、板面が前記ディスク面と略直交していることを特徴とする請求項１から１８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドを支持する為の磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドを支持する磁気ヘッドサスペンションには、前記磁気ヘッドをハードディスク等の記憶媒体の所望トラック上へ高精度に移動させ得ること（位置決め精度の向上）、及び、前記磁気ヘッドを前記記憶媒体上に位置させている作動状態において高い耐衝撃性を有し得ること（耐衝撃性の向上）が求められている。
【０００３】
位置決め精度を向上させる為には、前記磁気ヘッドを所望トラックから変位させるような振動が前記磁気ヘッドサスペンションに生じ難くする必要があり、特に、主共振モードである首振り（sway）モードに関する共振周波数の高域化を図ることが重要となる。
【０００４】
例えば、前記磁気ヘッドサスペンションの一構成要素であるロードビーム部の板厚を厚くすることによって、前記ロードビーム部のオフトラック方向の剛性を高め、これにより、首振りモードの共振周波数を向上させることが可能である。
又、前記ロードビーム部の基端側の幅を広げ、前記ロードビーム部の支持点の幅を広げることによっても、前記ロードビーム部のオフトラック方向の剛性を高めることができる。
【０００５】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンションは、磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持するアーム等の支持部と、前記ロードビーム部に接合され且つ前記磁気ヘッドを支持するフレクシャ部とを備えている。
【０００６】
前記荷重曲げ部は、一般的に、前記記憶媒体のディスク面と直交するｚ方向に撓み弾性変形可能な弾性板によって形成されている。
詳しくは、前記弾性板は、基端部が前記支持部に連結され且つ自由端部が前記ロードビーム部の基端部に連結されており、前記ロードビーム部を片持ち状態で支持している。
【０００７】
斯かる構成において、前記ロードビーム部の基端側の幅を広げて、前記荷重曲げ部によって支持される前記ロードビーム部の支持点（前記ロードビーム部及び前記弾性板の自由端部の連結点）の磁気ヘッドサスペンション幅方向長さを広げることで、前記ロードビーム部のオフセット方向の剛性を高めることができる。
【０００８】
しかしながら、前記ロードビーム部の板厚を厚くすること及び前記ロードビーム部の基端側の幅を広げることは何れも、前記ロードビーム部の質量増大を招き、前記磁気ヘッドサスペンションの耐衝撃性に関してはマイナスに作用する。
【０００９】
即ち、耐衝撃性を向上させる為には、前記磁気ヘッドサスペンションが装着されたデータ記憶装置に外部から衝撃力が印可された際に、前記磁気ヘッドサスペンションが前記記憶媒体のディスク面と直交するｚ方向に変位し難くする必要がある。
特に、前記データ記憶装置に外部から前記磁気ヘッドを前記ディスク面から離間させる方向へ一定以上の大きさの衝撃力が加わった際に、前記磁気ヘッドが前記ディスク面から離間する動作（跳躍動作）を行うと、この跳躍の揺れ戻しの際に前記磁気ヘッドがディスク面に衝突して、前記ディスク面を損傷させる恐れがある。
【００１０】
耐衝撃性の向上には、前記ロードビーム部の薄肉化及び／又は狭小化等によって前記ロードビーム部の質量を低減させることで、衝撃が加わった際に該ロードビーム部に付加される慣性力を小さくするのが効果的であり、前記磁気ヘッドサスペンションの共振周波数高域化の為に前記ロードビーム部の板厚を厚くすること及び／又は幅を広げることは逆に耐衝撃性の悪化を招く。
【００１１】
前記ロードビーム部の板厚及び／又は幅を維持しつつ、前記磁気ヘッドサスペンションの耐衝撃性を向上させる構成として、前記ロードビーム部を形成する部材に前記荷重曲げ部を越えて基端側へ延びる基端側延在領域を設けた構成（下記特許文献１参照、以下、従来構成１という）や、前記ロードビーム部の基端側に平衡質量体を設けた構成（下記特許文献２及び３参照、以下、従来構成２という）が提案されている。
【００１２】
前記従来構成１及び２は、前記基端側延在領域及び／又は前記平衡質量体によって、前記荷重曲げ部を基準にして先端側の質量と基端側の質量とを可及的に平衡化させることで、外部からの衝撃印可時における磁気ヘッドの跳躍を抑えるものであり、前記ロードビーム部の剛性低下を招くことが無い点で有用である。
【００１３】
しかしながら、前記従来構成１及び２においては、前記ロードビーム部は、前記支持部に片持ち支持された状態の前記荷重曲げ部の自由端部に接合されている。この構成では、衝撃を受けた際に、前記ロードビーム部の支持点（即ち、前記ロードビーム部及び前記荷重曲げ部の接合点）がディスク面と直交するｚ方向に大きく変動してしまう。
従って、前記各特許文献に記載の磁気ヘッドサスペンションは、前記ロードビーム部の剛性低下を招くという問題は生じないものの、耐衝撃性を十分には向上できない。
【特許文献１】特開２００４−３４８８０４号公報
【特許文献２】特開平９−０８２０５２号公報
【特許文献３】特開平１１−０３９８０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、耐衝撃性の向上及び共振周波数の高域化の双方を図り得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部であって、本体領域及び磁気ヘッドサスペンション幅方向中央に先端側に開く凹部を画するように前記本体領域の幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片を有する支持部と、前記ロードビーム部に支持され且つ前記磁気ヘッドを支持するフレクシャ部と、基端側が平面視において前記凹部内に位置するように前記ロードビーム部に連結された平衡質量部であって、前記ロードビーム部，前記フレクシャ部及び前記磁気ヘッドと共に前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持されるアッセンブリを形成する平衡質量部とを備えた磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記磁気ヘッドサスペンションの中央長手線を基準にして左右対称に配置され、前記荷重曲げ部として作用する一対の第１弾性板部及び第２弾性板部を備え、前記一対の第１弾性板部は、撓み弾性変形することで前記ディスク面の回転に伴う空気圧に抗した第１押し付け荷重を発生するように、板面が前記ディスク面と略平行な状態で基端部が前記一対の支持片にそれぞれ連結され且つ自由端部が前記アッセンブリに連結されており、前記第２弾性板部は、磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記一対の第１弾性板部の間において該第２弾性板部の長手方向が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿うように配置され、さらに、前記第２弾性板部は、前記一対の支持片にそれぞれ連結される一対の支持片連結領域と、長手方向中央に位置し前記アッセンブリに連結されるアッセンブリ連結領域と、前記一対の支持片連結領域及び前記アッセンブリ連結領域の間にそれぞれ延びる一対の延在領域とを備え、前記一対の延在領域が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った捩れ中心線回りに捩れ弾性変形することで前記ディスク面の回転に伴う空気圧に抗した第２押し付け荷重を発生し、前記第１及び第２押し付け荷重の合力が前記磁気ヘッドを前記ディスク面へ向けて押し付ける為の荷重として作用する磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００１６】
好ましくは、前記一対の第１弾性板部は、前記磁気ヘッドサスペンションの長手方向に関し前記第２弾性板部の捩れ中心線と略同一位置において前記自由端部が前記ディスク面に近接するように曲げられる。
【００１７】
例えば、前記ロードビーム部，前記一対の第１弾性板部及び前記第２弾性板部は単一プレート状のロードビーム部形成部材によって一体形成される。斯かる構成においては、前記ロードビーム部形成部材のうち前記ロードビーム部を形成する領域にはフランジが設けられる。
【００１８】
一形態においては、前記平衡質量部を形成する平衡質量部形成部材は前記ロードビーム部形成部材とは別体とされる。斯かる構成においては、前記平衡質量部形成部材は、先端部が前記ロードビーム部形成部材のうち前記ロードビーム部を形成する領域と前記磁気ヘッドサスペンションの長手方向位置に関しオーバーラップされた状態で該ロードビーム部形成部材に溶接によって接合される。
【００１９】
前記一形態において、好ましくは、前記平衡質量部部材は、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し、前記第２弾性板に接合される中央部と、前記中央部から先端側へ延びて前記ロードビーム部形成部材に接合される先端部と、前記中央部から基端側へ延びる基端部とを有する。前記先端部は、前記中央部の磁気ヘッドサスペンション幅方向最外端よりも磁気ヘッド幅方向外方に位置し且つ磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し前記ロードビーム部とオーバーラップした状態で、前記ロードビーム部形成部材に接合される。
より好ましくは、前記先端部は、磁気ヘッドサスペンション幅方向中央から左右へ延びる一対の梁部を有し得る。
【００２０】
さらに好ましくは、前記一対の第１弾性板部は、それぞれ、基端部が前記一対の支持片に連結され且つ自由端部が前記一対の梁部に連結される。
さらに好ましくは、前記一対の梁部は、自由端部が前記ロードビーム部より磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延在され、前記一対の第１弾性板部の自由端部は、前記一対の梁部のうち前記ロードビーム部より磁気ヘッドサスペンション幅方向外方に位置する部位に連結される。
【００２１】
前記種々の構成において、前記支持部は、前記一対の支持片の間を連結する連結片を有し得る。
前記連結片は、基端部が前記一対の支持片に連結され且つ先端部が基端部より前記ディスク面から離間するように構成された一対のアーム領域と、前記一対のアーム領域の先端部を連結するブリッジ領域とを含む。
【００２２】
例えば、前記ブリッジ領域は、平面視において前記捩れ中心線とオーバーラップし且つ前記アッセンブリの前記ディスク面とは反対側の裏面から前記ディスク面と直交する方向に所定の間隙を存しつつ、前記一対のアーム領域の間を連結する。
【００２３】
これに代えて、前記ブリッジ領域は、平面視において前記捩れ中心線とオーバーラップする位置において前記一対のアーム領域の間を連結しており、前記ブリッジ領域は、前記アッセンブリにおける前記ディスク面とは反対側の裏面に対し、磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し前記捩れ中心線と略同一位置で且つ磁気ヘッドサスペンション中央長手線を基準にして左右対称な当接構造を介して当接する。
【００２４】
一形態においては、前記支持部は、Ｅブロックのアームの先端にスウェッジ加工により接合されるボス孔を有するボス部を備えたベースプレートとされる。
前記ベースプレートは、前記本体領域，前記一対の支持片及び前記連結片に対応した領域を一体的に有する第１プレート部材と、前記ボス部を形成するボス部材とを備える。
前記第１プレート部材には、前記ボス部材の外径に対応した第１装着孔と、前記一対の支持片に対応した領域によって画される前記凹部を前記第１装着孔に連通させるスリットとが設けられる。
前記ボス部材は、前記第１装着孔に嵌入された状態で前記第１プレート部材に溶接により接合される。
【００２５】
好ましくは、前記ボス部材は、前記ボス孔を有し且つ外径が前記第１装着孔より若干小径とされた本体部と、前記本体部から径方向外方へ延在するかしめ片であって、外径が前記第１装着孔より若干大径とされたかしめ片とを備え得る。前記ボス部材は、前記かしめ片がかしめられた状態で前記第１装着孔に嵌入される。
【００２６】
前記一形態において、好ましくは、前記ロードビーム部形成部材は、前記ロードビーム部を形成する領域、前記一対の第１弾性板部を形成する領域及び前記第２弾性板部を形成する領域に加えて、前記支持部のうち前記連結片を除く支持部形成領域を一体的に有し、前記支持部形成領域には前記ボス孔よりも大径とされた第２装着孔が形成される。
前記第１プレート部材は、前記第１装着孔が前記第２装着孔に同心上に位置された状態で前記ロードビーム部形成部材における前記ディスク面とは反対側の裏面に溶接によって接合される。
【００２７】
より好ましくは、前記第２装着孔は前記ボス部材の外径より小径とされる。
斯かる構成において、前記ボス部材は、前記ディスク面と対向する対向面の一部が前記ロードビーム部形成部材における前記ディスク面とは反対側の裏面に当接された状態で、前記第１装着孔に嵌入される。
【００２８】
前記支持部を形成する部材が、前記本体領域と前記一対の支持片と前記連結片とを一体的に有する構成において、好ましくは、前記一対のアーム領域の基端部及び先端部が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った曲げ基準線回りに曲げ加工されることで、前記ブリッジ領域が前記アッセンブリの前記ディスク面とは反対側に位置される。
【００２９】
好ましくは、前記支持部を形成する部材は、互いに重合された状態で溶接によって接合される第１及び第２支持部形成プレート部材を有し得る。前記第１支持部形成プレート部材は、前記本体領域に対応した領域及び前記一対の支持片に対応した領域を一体的に有する。前記第２支持部形成プレート部材は、前記本体領域に対応した領域，前記一対の支持片に対応した領域及び前記連結片に対応した領域を一体的に有する。
【００３０】
前記支持部は、前記本体領域及び前記一対の支持片に加えて、前記一対の支持片の間を連結する連結片を一体的に有し得る。
前記連結片は、基端部が前記一対の支持片に連結され且つ先端部が基端部から磁気ヘッドサスペンション先端側へ延びる一対のアーム領域と、前記一対のアーム領域の先端部を連結するブリッジ領域とを有し得る。
前記ブリッジ領域が前記アッセンブリの前記ディスク面とは反対側に位置するように、前記一対のアーム領域が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った曲げ基準線回りに曲げられる。
【００３１】
例えば、前記一対の支持片は、前記本体領域と同一平面内に位置するように前記本体領域から磁気ヘッドサスペンション先端側へ延びる一対の第１平面部と、前記一対の第１平面部より前記ディスク面に近接された位置で前記ディスク面と略平行に延びる一対の第２平面部であって、前記一対の第１弾性板部及び前記第２弾性板部を介して前記アッセンブリを支持する第２平面部と、前記一対の第１平面部及び前記一対の第２平面部の間をそれぞれ連結する一対のアーム部とを一体的に有し得る。
斯かる構成において、前記支持部は、前記本体領域及び前記一対の支持片に加えて、前記アッセンブリの前記ディスク面とは反対側において前記一対の第１平面部の間を連結する連結片を一体的に有し得る。
【００３２】
前記種々の形態において、前記第２弾性板部における前記一対の延在領域は、板面が前記ディスク面と略平行とされる。
これに代えて、前記第２弾性板部における前記一対の延在領域は、板面が前記ディスク面と略直交される。
【発明の効果】
【００３３】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、ディスク面の回転に伴う空気圧に抗して磁気ヘッドを前記ディスク面へ向けて押し付ける為の押し付け荷重を発生する荷重曲げ部として、撓み弾性変形することで前記ディスク面の回転に伴う空気圧に抗した第１押し付け荷重を発生するように、板面が前記ディスク面と略平行な状態で基端部が支持部における一対の支持片にそれぞれ連結され且つ自由端部がロードビーム部，フレクシャ部，磁気ヘッド及び平衡質量体を含むアッセンブリに連結された一対の第１弾性板部と、磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記一対の第１弾性板部の間において長手方向が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿うように配置された第２弾性板部であって、前記一対の支持片にそれぞれ連結される一対の支持片連結領域と、長手方向中央に位置し前記アッセンブリに連結されるアッセンブリ連結領域と、前記一対の支持片連結領域及び前記アッセンブリ連結領域の間にそれぞれ延びる一対の延在領域とを備え、前記一対の延在領域が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った捩れ中心線回りに捩れ弾性変形することで前記ディスク面の回転に伴う空気圧に抗した第２押し付け荷重を発生する第２弾性板部とが備えられているので、共振周波数の高域化を図りつつ、耐衝撃性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａを上方（ディスク面とは反対側）から視た斜視図を示す。
又、図２(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。なお、図２(b)における○印は溶接点を示している。
さらに、図３(a)及び(b)に、それぞれ、図２(a)におけるIII(a)-III(a)及びIII(b)-III(b)線に沿った断面図を示す。
【００３５】
前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を磁気ヘッド１００に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を含むアッセンブリを支持する支持部１０Ａと、前記ロードビーム部３０に接合され且つ前記磁気ヘッド１００を支持するフレクシャ部４０とを備えている。
【００３６】
前記支持部１０Ａは、前記荷重曲げ部２０を介して前記アッセンブリを支持する為の部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
本実施の形態においては、前記支持部１０Ａは、アクチュエータによって揺動されるキャリッジアームの先端にスウェッジ加工により接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。これに代えて、前記支持部１０Ａは、基端部がアクチュエータの揺動中心に連結されるアームとされ得る（下記図１２参照）。
前記支持部１０Ａは、例えば、厚さ０．０５ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００３７】
本実施の形態においては、前記支持部１０Ａは、図１、図２(a)及び図２(b)に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの幅方向中央に先端側に開く凹部１３を画するように、幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片１２を有している。
即ち、前記支持部１０Ａは、基端部が前記アクチュエータに直接又は間接的に連結される平板状の本体領域１１と、前記本体領域１１の先端部における幅方向両端部から先端側へ延びる前記一対の支持片１２とを有しており、前記一対の支持片１２の間に前記凹部１３が画されている。
【００３８】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッド１００に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
本実施の形態においては、図１、図２(a)及び図２(b)に示すように、前記ロードビーム部３０は、平板状の本体部３１と、前記本体部３１の幅方向両端部に曲げ形成されたフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００３９】
詳しくは、前記ロードビーム部３０は、先端部に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３３を有している。
前記突起３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３３は、前記フレクシャ部４０におけるヘッド搭載領域４３の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの突起３３を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４３に伝達される。
【００４０】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッド１００を支持した状態で前記ロードビーム部３０に接合される。
詳しくは、前記フレクシャ部４０は、図２(b)に示すように、前記ロードビーム部３０の対向面（ディスク面に対向する側の面）に溶接等によって接合される本体領域４１と、前記本体領域４１から先端側へ延びる一対の支持片４２と、前記支持片４２によって支持された前記ヘッド搭載領域４３とを有している。
【００４１】
前記ヘッド搭載領域４３は、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッド１００を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４３の裏面には前記突起３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４３は前記突起３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
前記フレクシャ部４０は、前記ヘッド搭載領域４３がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ部４０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板によって好適に形成される。
なお、前記フレクシャ部４０には、前記磁気ヘッド１００に書き込み信号及び／又は読み取り信号を伝達する為の配線をプリント回路として一体的に設けることも可能である。
【００４２】
前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、さらに、図１及び図２に示すように、基端側が平面視において前記凹部１３内に位置するように前記ロードビーム部３０に連結された平衡質量部５０Ａであって、前記ロードビーム部３０，前記フレクシャ部４０及び前記磁気ヘッド１００と共に前記荷重曲げ部２０を介して前記支持部１０Ａに支持されるアッセンブリを形成する平衡質量部５０Ａを備えている。
前記平衡質量部は、例えば、厚さ０．０５ｍｍ〜０．４ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００４３】
前記平衡質量部５０Ａは、前記支持部１０Ａに前記荷重曲げ部２０を介して支持される前記アッセンブリのうち前記荷重曲げ部２０を基準にして先端側に位置する部分と基端側に位置する部分との質量平衡化を図り、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの耐衝撃性を向上させる為の部材である。
【００４４】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが装着されたデータ記憶装置に外部から衝撃力が印可されると、他の部位に比して低剛性とされている前記荷重曲げ部２０が衝撃力の印可方向に応じて弾性変形する。
例えば、前記磁気ヘッド１００を前記ディスク面から離間させる方向への衝撃力（磁気ヘッド跳躍方向衝撃力）が印可されたとする。この際、前記アッセンブリのうち前記荷重曲げ部２０より先端側に位置する部分には磁気ヘッド跳躍方向衝撃力によって前記荷重曲げ部２０回り一方側への慣性モーメントが生じる。一方、前記アッセンブリのうち前記荷重曲げ部２０より基端側に位置する部分には前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力によって前記荷重曲げ部回り他方側への慣性モーメントが生じる。
前記平衡質量部５０Ａを備えることにより、前記荷重曲げ部回り他方側への慣性モーメントを荷重曲げ回り一方側への慣性モーメントに一致又は近づけることができ、これにより、衝撃力印可時の前記荷重曲げ部２０回りの前記アッセンブリの回動動作を有効に抑えることができる。
【００４５】
なお、本実施の形態においては、前記平衡質量部５０Ａは前記ロードビーム部３０を形成するロードビーム部形成部材３００Ａとは別体とされており、溶接によって前記ロードビーム部形成部材３００Ａに連結されているが、これに代えて、前記平衡質量部５０Ａを前記ロードビーム部３０と一体形成することも可能である。
即ち、前記ロードビーム部３０を形成する前記ロードビーム部形成部材３００Ａの磁気ヘッドサスペンション幅方向中央を前記荷重曲げ部２０より磁気ヘッドサスペンション長手方向基端側へ延在させて、この延在部を前記平衡質量部５０Ａとして作用させることも可能である。
【００４６】
前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、図１，図２(a)及び図２(b)に示すように、前記荷重曲げ部２０として作用する一対の第１弾性板部６０及び第２弾性板部７０を備えている。
【００４７】
前記一対の第１弾性板部６０は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの中央長手線ＣＬを基準にして左右対称に配置されている。
前記一対の第１弾性板部６０は、板面が前記ディスク面と略平行な状態で基端部が前記一対の支持片１２にそれぞれ連結され且つ自由端部が前記アッセンブリに連結されており、前記自由端部が前記ディスク面に接離するように撓み変形することで前記ディスク面の回転に伴う空気圧に抗した第１押し付け荷重を発生する。
【００４８】
好ましくは、前記一対の第１弾性板部６０は、前記基端部及び前記自由端部の間の所定の曲げ位置ＢＰで前記自由端部が前記基端部より前記ディスク面に近接するように曲げ加工される。
斯かる構成においては、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが回転する前記ディスク面上に前記磁気ヘッド１００を位置させる作動状態時に、前記ディスク面の回転に伴う空気圧によって前記磁気ヘッド１００が前記ディスク面上で浮上して前記ロードビーム部３０が前記一対の第１弾性板部６０を曲げ戻し、これにより、前記一対の第１弾性板部６０が前記磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける為の第１押し付け荷重を発生する。
【００４９】
即ち、前記第１弾性板部６０の曲げ戻し動作（弾性変形）によって生じる前記第１弾性板部６０の保有弾性が前記磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける第１押し付け荷重として作用し、この前記第１弾性板部６０による第１押し付け荷重及び前記第２弾性板部７０による後述する第２押し付け荷重が前記磁気ヘッド１００をディスク面から離間させる方向へ押圧する前記空気圧とつり合うことで、前記磁気ヘッド１００は作動状態において前記ディスク面上で所定距離だけ浮上する。
前記一対の第１弾性板部６０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００５０】
図４に、前記第２弾性板部７０の平面図を示す。
前記第２弾性板部７０は、図２及び図４に示すように、前記中央長手線ＣＬを基準にして左右対称で、且つ、磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記一対の第１弾性板部６０の間において長手方向が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿うように配置されている。
詳しくは、前記第２弾性板部７０は、図３(a)及び図４に示すように、前記一対の支持片１２にそれぞれ連結される一対の支持片連結領域７１ａ，７１ｂと、前記第２弾性板部７０の長手方向中央に位置し前記アッセンブリ（本実施の形態においては前記アッセンブリのうちの前記平衡質量部５０Ａ）に連結されるアッセンブリ連結領域７２と、前記一対の支持片連結領域７１ａ，７１ｂ及び前記アッセンブリ連結領域７２の間にそれぞれ延びる一対の延在領域７３ａ，７３ｂとを備えており、前記一対の延在領域７３ａ，７３ｂが磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った捩れ中心線ＴＬ回りに捩れ弾性変形することで前記ディスク面の回転に伴う空気圧に抗した第２押し付け荷重を発生するようになっている。
【００５１】
即ち、前記第２弾性板部７０は、前記一対の支持片連結領域７１ａ，７１ｂが前記一対の支持片１２のそれぞれに接合されることで拘束されている。従って、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの作動状態時に、前記ディスク面の回転に伴う空気圧によって前記磁気ヘッド１００が前記ディスク面上で浮上すると、前記アッセンブリ連結領域７２の先端側がディスク面から離間し且つ基端側がディスク面に近接するように前記一対の延在領域７２ａ，７３ｂが前記捩れ中心線ＴＬ回りに捩られ、この捩れ弾性変形によって生じる前記第２弾性板部７０の保有弾性が前記第２押し付け荷重として作用する。
前記第２弾性板部７０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００５２】
好ましくは、前記第２弾性板部７０の前記捩れ中心線ＴＬと前記一対の第１弾性板部６０の前記曲げ位置ＢＰとを磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し略同一位置に位置させることができる。
斯かる構成を備えることにより、前記第１弾性板部６０の撓み弾性変形動作及び前記第２弾性板部７０の捩れ弾性変形動作を無理なく行わせることができる。
【００５３】
本実施の形態においては、図４に示すように、前記第２弾性板部７０は、該第２弾性板部７０の長手方向中心線を基準にして略対称な形状を有している。斯かる構成においては、前記長手方向中心線が前記捩れ中心線ＴＬとなる。
従って、前記一対の第１弾性板部６０を、磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し前記第２弾性板部７０の長手方向中心線と同一位置において曲げ加工することで、前記第１弾性板部６０の前記曲げ位置ＢＰと前記第２弾性板部７０の前記捩れ中心線ＴＬとを磁気ヘッドサスペンション１Ａの長手方向位置に関し同一位置に位置させることができる。
【００５４】
より好ましくは、前記第２弾性板部７０は、前記ディスクの回転による空気圧を受けない状態においては前記アッセンブリ連結領域７２における磁気ヘッドサスペンション長手方向先端側（前記磁気ヘッド１００に近接する側）の側縁７２ａが前記ディスク面に近接するように、前記一対の延在領域７３ａ，７３ｂが前記捩れ中心線ＴＬ回りに捩り加工される。図５(a)に、前記一対の延在領域７３ａ，７３ｂが捩られた状態の前記第２弾性板部７０の模式斜視図を示す。
【００５５】
斯かる構成においては、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの作動状態時に、前記ディスク面の回転に伴う空気圧によって前記磁気ヘッド１００が前記ディスク面上で浮上して前記ロードビーム部３０が前記第２弾性板部７０の前記一対の延在領域７３ａ，７３ｂを捩り戻し、これにより、前記第２弾性板部７０が前記磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける為の第２押し付け荷重を発生する。図５(b)に、前記一対の延在領域７３ａ，７３ｂが前記空気圧によって捩り戻された状態の前記第２弾性板部７０の模式斜視図を示す。
【００５６】
即ち、前記第２弾性板部７０の捩り戻し動作（弾性変形）によって生じる前記第２弾性板部７０の保有弾性が前記磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける第２押し付け荷重として作用し、この第２弾性板部７０による第２押し付け荷重及び前記第１弾性板部６０による第１押し付け荷重の合力が前記磁気ヘッド１００をディスク面から離間させる方向へ押圧する前記空気圧とつり合うことで、前記磁気ヘッド１００は作動状態において前記ディスク面上で所定距離だけ浮上する。
【００５７】
このように、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記荷重曲げ部２０が、撓み弾性変形することで前記第１押し付け荷重を発生する前記一対の第１弾性板部６０に加えて、磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記一対の第１弾性板部６０の間に位置する第２弾性板部７０であって、捩り弾性変形することで前記第２押し付け荷重を発生する前記第２弾性板部７０を備えており、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの共振周波数の高域化及び耐衝撃性の向上を同時に図り得るようになっている。
【００５８】
即ち、前記一対の第１弾性板部を備えることにより、前記アッセンブリの支持点（前記アッセンブリが前記荷重曲げ部２０によって支持される点）の幅（磁気ヘッドサスペンション幅方向に関する長さ）を可及的に広げることができ、前記アッセンブリのオフトラック方向（ディスク面と平行な方向）の剛性を高めて前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの共振周波数、特に、首振りモードの共振周波数を高域化することができる。
【００５９】
さらに、長手方向一端側及び他端側が前記支持部１０Ａにおける一対の支持片１２によって両持ち支持された前記第２弾性板部７０が、前記第１弾性板部６０と共に前記荷重曲げ部２０として作用している。
従って、外部から衝撃力が印可された際に、前記アッセンブリの支持点（アッセンブリ及び荷重曲げ部２０の接合点）がディスク面と直交する方向に動くことを効果的に抑制することができ、前記磁気ヘッド１００の跳躍動作を引き起こす衝撃力の加速度（限界加速度）を飛躍的に向上させることができる。
【００６０】
即ち、基端部が前記支持部１０Ａに連結され且つ自由端部が前記アッセンブリを支持する片持ち構成の前記一対の第１弾性板部６０だけが前記荷重曲げ部２０を形成する場合には、外部からの衝撃力印可時に、前記アッセンブリの支持点がディスク面と直交する方向に大きく変動してしまう。特に、前記アッセンブリのオフトラック方向の剛性を高める為に、前記ロードビーム部の基端側の幅を広げる場合には、その傾向が大きくなる。
従って、前記荷重曲げ部２０を基準にして前記アッセンブリの先端側及び基端側の質量を前記平衡質量部５０Ａによって平衡化したとしても、衝撃力印可時における前記磁気ヘッド１００の跳躍動作を十分には抑えることはできない。
【００６１】
これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記一対の第１弾性板部６０に加えて、両持ち支持され且つ捩り弾性変形によって第２押し付け荷重を発生する前記第２弾性板部７０が備えられている。
【００６２】
斯かる構成によれば、外部から衝撃力が印可された際に、前記アッセンブリの支持点がディスク面に直交する方向に変動することを有効に防止できる。従って、前記磁気ヘッド１００の跳躍を引き起こす衝撃力の加速度（限界加速度）を飛躍的に向上させることができ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの耐衝撃性を向上させることができる。
【００６３】
前記第１弾性板部６０及び前記第２弾性板部７０は、前記支持片１２の同一面側に連結される。
本実施の形態においては、前記第１及び第２弾性板部６０，７０は、前記支持片１２における前記ディスク面と対向する対向面に連結されている。
斯かる構成においては、前記アッセンブリは、前記第１及び第２弾性板部６０，７０における前記ディスク面とは反対側の裏面に連結される。
【００６４】
なお、本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記第１弾性板部６０及び前記第２弾性板部７０は、前記ロードビーム部３０を形成する単一プレート状の前記ロードビーム部形成部材３００Ａによって一体形成され、前記平衡質量部５０Ａは、前記プレート部材３００Ａとは別体の平衡質量体形成部材３１０Ａによって形成されている。
前記ロードビーム部形成部材３００Ａは前記支持片１２における対向面に連結され、前記平衡質量部形成部材３１０Ａは、長手方向中央部が前記第２弾性板部７０における前記ディスク面とは反対側の裏面に溶接された状態で、先端部が前記ロードビーム形成部材３００Ａの前記ディスク面とは反対側の裏面に溶接される。
【００６５】
なお、前記ロードビーム部３０，前記第１及び第２弾性板部６０，７０が単一の前記ロードビーム部形成３００Ａによって形成される場合には、前記ロードビーム部形成部材３００Ａは、前記第１弾性板部６０及び前記第２弾性板部７０の弾性変形動作に適した板厚とされ、且つ、前記ロードビーム部３０を形成する領域にフランジ３２を設けることで前記ロードビーム部３０の剛性が確保される。
当然ながら、前記第１弾性板部６０及び前記第２弾性板部７０を前記ロードビーム部３０とは別体形成することも可能である。
【００６６】
又、本実施の形態におけるように、前記平衡質量部形成部材３１０Ａが、前記ロードビーム部３０を形成するロードビーム部形成部材３００Ａとは別体とされている場合には、好ましくは、前記平衡質量部形成部材３１０Ａは、先端部が前記ロードビーム部形成部材３００Ａのうち前記ロードビーム部３０を形成する領域と前記磁気ヘッドサスペンションの長手方向位置に関しオーバーラップされた状態で該ロードビーム部形成部材３００Ａに溶接によって接合される。
斯かる構成によれば、前記ロードビーム部３０の剛性を効果的に向上させることができる。
【００６７】
本実施の形態においては、前述の通り、前記ロードビーム部３０は、前記ロードビーム部形成部材３００Ａによって前記第１弾性板部６０及び前記第２弾性板部７０と共に一体形成されている。
従って、前記平衡質量部形成部材３１０Ａは、先端部が前記ロードビーム形成部材３００Ａのうち前記フランジ３２が形成された領域と磁気ヘッドサスペンション長手方向に関しオーバーラップされた状態で、前記ロードビーム部形成部材３００Ａに溶接によって接合される。
【００６８】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図６(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。なお、図６(b)における○印は溶接点を示している。
又、図中、前記実施の形態１における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００６９】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、前記平衡質量部５０Ａが、前記ロードビーム部形成部材３００Ａとは別体とされた平衡質量部形成部材３１０Ｂによって形成される平衡質量部５０Ｂに変更されている点においてのみ、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【００７０】
図７に、前記平衡質量部５０Ｂの平面図を示す。
図７に示すように、前記平衡質量部５０Ｂは、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し、前記第２弾性板７０に接合される中央部５２Ｂと、前記中央部５２Ｂから先端側へ延びて前記ロードビーム部形成部材３００Ａに接合される先端部５１Ｂと、前記中央部５２Ｂから基端側へ延びる基端部５３Ｂとを有している。
【００７１】
前記中央部５２Ｂ及び前記基端部５３Ｂは、前記実施の形態１における前記平衡質量部５０Ａと同一形状とされている。
これに対し、前記先端部５１Ｂは、図６及び図７に示すように、前記中央部５２Ｂの磁気ヘッドサスペンション幅方向最外端よりも磁気ヘッド幅方向外方に位置し且つ磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し前記ロードビーム部３０とオーバーラップした領域を有しており、溶接によって前記ロードビーム部形成部材３００Ａに接合されている。
【００７２】
このように、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し前記ロードビーム部３０とオーバーラップする前記平衡質量部５０Ｂの前記先端部５１Ｂを、前記中央部５２Ｂより磁気ヘッドサスペンション幅方向外方に位置させることにより、前記アッセンブリの捩れモードに関する剛性を高めることができ、捩れモードに関する共振周波数を有効に向上させることができる。
【００７３】
本実施の形態においては、前記先端部５１Ｂは、図７に示すように、磁気ヘッドサスペンション幅方向中央から左右へ延びる一対の梁部５１１Ｂを有している。
斯かる構成によれば、前記アッセンブリのうち前記荷重曲げ部２０より先端側に位置する部位の質量増加を抑えつつ、前記アッセンブリの捩れモードの共振周波数を有効に高域化させることができる。
【００７４】
実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図８(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。なお、図８(b)における○印は溶接点を示している。
又、図９(a)及び(b)に、それぞれ、図８(a)におけるIX(a)-IX(a)線及びIX(b)-IX(b)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１及び２における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００７５】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃは、前記一対の支持片１２の間を連結する連結片１４Ｃが設けられている点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【００７６】
前記連結片１４Ｃは、図８及び図９に示すように、前記アッセンブリの前記ディスク面とは反対側に位置し、且つ、前記アッセンブリとは前記ディスク面と直交する方向に所定の間隙を存しつつ前記一対の支持片１２の間を連結している。
【００７７】
詳しくは、前記連結片１４Ｃは、図９(a)に示すように、基端部が前記一対の支持片１２に連結され且つ先端部が基端部より前記ディスク面から離間するように構成された一対のアーム領域１４１Ｃと、前記アッセンブリの裏面より前記ディスク面から離間された側へ所定の間隔だけオフセットされた位置において前記一対のアーム領域１４１Ｃの先端部を連結するブリッジ領域１４２Ｃとを含んでいる。
【００７８】
斯かる連結片１４Ｃを備えることにより、前記一対の支持片１２が形成された支持部１０Ｃの首振り方向及び捩れ方向の剛性を向上させることができると共に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｃの作動状態時に前記第２弾性板部７０が前記捩れ中心線ＴＬ回りに捩れ弾性変形することを許容しつつ、外部からの衝撃力印可時における前記磁気ヘッド１００の跳躍動作量を有効に抑えることができる。
【００７９】
好ましくは、前記ブリッジ領域１４２Ｃは、平面視において、前記第２弾性板部７０の前記捩れ中心線ＴＬとオーバーラップするように配置される。
斯かる構成によれば、衝撃力印可時に、前記アッセンブリと前記荷重曲げ部２０との連結点が前記ディスク面と直交する方向に変動することを有効に防止することができ、これにより、前記磁気ヘッド１００の跳躍動作量をより有効に抑えることができる。
【００８０】
本実施の形態においては、前記連結片１４Ｃは、図８(a)及び図９(a)に示すように、磁気ヘッドサスペンション長手方向に沿った４本の曲げ基準線ＢＬ(1)〜ＢＬ(4)回りに曲げ加工されることで、前記ブリッジ領域１４２Ｃが前記アッセンブリのディスク面とは反対側に位置するようになっている。
詳しくは、前記一対のアーム領域１４１Ｃのそれぞれにおいて、基端部及び先端部が磁気ヘッドサスペンション長手方向に沿った曲げ基準線ＢＬ(1)〜ＢＬ(4)回りに曲げ加工されており、これにより、前記ブリッジ領域１４２Ｃが前記アッセンブリの前記ディスク面とは反対側に位置するようになっている。
【００８１】
なお、本実施の形態においては、図８及び図９に示すように、前記連結片１４Ｃは支持部１０Ｃに一体形成されており、これにより、部品点数の増加を防止している。
即ち、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ｃは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記支持部１０Ａの代わりに、前記本体領域１１及び前記一対の支持片１２に加えて前記連結片１４Ｃを一体的に備えた前記支持部１０Ｃを備えている。
当然ながら、斯かる構成に代えて、前記連結片１４Ｃを前記支持部１０Ｃとは別体形成し、前記支持部１０Ｃに溶接することも可能である。
【００８２】
なお、当然ながら、前記各実施の形態及び後述する各実施の形態における一又は複数の構成部材を他の実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションに適宜に置換適用することができる。
例えば、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ｃにおいて、前記平衡質量部５０Ａに代えて前記平衡質量部５０Ｂを備えることができる。
【００８３】
実施の形態４
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１０(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。なお、図１０(b)における○印は溶接点を示している。
又、図１１(a)及び(b)に、それぞれ、図１０(a)におけるXI(a)-XI(a)線及びXI(b)-XI(b)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜３における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００８４】
本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ｄは、図１０及び図１１に示すように、前記連結片１４Ｃに代えて連結片１４Ｄを有している。
前記連結片１４Ｄは、前記連結片１４Ｃと同様に、基端部が前記一対の支持片１２に連結され且つ先端部が基端部より前記ディスク面から離間するように構成された一対のアーム領域１４１Ｄと、前記一対のアーム領域１４１Ｄの先端部を連結するブリッジ領域１４２Ｄとを含んでいる。
【００８５】
前記連結片１４Ｄの前記ブリッジ領域１４２Ｄは、当接構造を介して、前記アッセンブリにおける前記ディスク面とは反対側の裏面に当接している。前記当接構造は、磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し前記捩れ中心線ＴＬと略同一位置に位置し且つ磁気ヘッドサスペンション中央長手線ＣＬを基準にして左右対称とされる。
【００８６】
前記当接構造は、前記アッセンブリが前記連結片１４Ｄに当接した状態で、前記捩れ中心線ＴＬ回りに回動することを許容する。
従って、前記実施の形態３における効果を奏しつつ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｄの作動状態時における前記アッセンブリの首振り方向及び捩れ方向の剛性をさらに向上させることができる。又、衝撃力が印可された際の前記磁気ヘッド１００の跳躍動作をさらに有効に防止することができる。
【００８７】
本実施の形態においては、図１１(a)及び(b)に示すように、前記ブリッジ領域１４２Ｄに、前記アッセンブリの裏面に当接するように前記アッセンブリへ向けて突出された突出部１４３Ｄであって、前記当接構造を形成する突出部１４３Ｄが設けられている。
前記突出部１４３Ｄは縦断側面視湾曲形状で且つ前記中央長手線ＣＬを基準にして左右対称とされている。即ち、前記突出部１４３Ｄは、前記アッセンブリの裏面に当接される頂部が磁気ヘッドサスペンション長手方向位置に関し捩れ中心線ＴＬと同一位置において該捩れ中心線ＴＬに沿い且つ磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして対称となるように、構成されている。
【００８８】
前記第２弾性板部７０と前記アッセンブリとが線状に当接する前記突出部１４３Ｄに代えて、両者が点状に当接する突出部によって前記当接構造を構成することも可能である。
例えば、磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線ＣＬ上で且つ捩れ中心線ＴＬ上に単一の点状突出部を設けることも可能であるし、捩れ中心線ＴＬ上に位置する複数の点状突出部であって、磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして対称に配置された複数の点状突出部を設けることも可能である。
【００８９】
又、本実施の形態においては、前記当接構造が前記連結片１４Ｄに設けられているが、これに代えて、前記当接構造を前記アッセンブリ（例えば前記平衡質量部）に設けることも可能である。
即ち、前記アッセンブリの裏面に、前記ブリッジ領域１４Ｄに線状に当接する突出部、若しくは、点状に当接する単一又は複数の突出部を設けることも可能である。
【００９０】
なお、前記各実施の形態において、及び、後述する他の実施の形態においては、前記支持部１０Ａ，１０Ｃ，１０Ｄとしてベースプレートが採用されているが、当然ながら、前記支持部としてアームを採用することも可能である。
図１２(a)及び(b)に、実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄにおいて、前記支持部１０Ｄとして前記ベースプレートの代わりにアームが備えられた変形形態１Ｄ’の上面図及び下面図を示す。なお、図１２(b)における○印は溶接点を示している。
【００９１】
実施の形態５
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１３(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｅの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。なお、図１３(b)における○印は溶接点を示している。
又、図１４(a)及び(b)に、それぞれ、図１３(a)におけるXIV(a)-XIV(a)線及びXIV(b)-XIV(b)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜４における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００９２】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｅは、前記連結片１４Ｄが前記一対の支持片１２を備えた支持部１０Ｅに一体的に備えられる構成において、前記連結片１４Ｄの形成加工時に前記一対の支持片１２に歪みが生じることを防止又は低減させ得るようになっている。
【００９３】
詳しくは、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｅは、図１３に示すように、前記本体領域１１，前記一対の支持片１２及び前記連結片１４Ｄを一体的に備えた支持部１０Ｅを備えている。
なお、本実施の形態においては、前記支持部１０Ｅは、Ｅブロックのアームの先端にスウェッジ加工により接合されるボス孔を有するボス部を備えたベースプレートの形態をなしている。
【００９４】
前記支持部１０Ｅは、前記本体領域１１，前記一対の支持片１２及び前記連結片１４Ｄに対応した領域を一体的に有する第１プレート部材１１０Ｅと、前記ボス部１５を形成するボス部材１２０Ｅであって、前記第１プレート部材１１０Ｅに溶接によって接合されるボス部材１２０Ｅとを備えている。
【００９５】
図１５に、前記第１プレート部材１１０Ｅ及び前記ボス部材１２０Ｅの分解平面図を示す。
図１５に示すように、前記第１プレート部材１１０Ｅは、前記本体領域１１、前記一対の支持片１２及び前記連結片１４Ｄに対応した領域を有しており、前記本体領域１１には、前記ボス部材１２０Ｅが装着される第１装着孔１１１Ｅと、前記一対の支持片１２によって画される前記凹部１３を前記第１装着孔１１１Ｅに連通させるスリット１１２Ｅとが設けられている。
そして、前記ボス部材１２０Ｅは、前記第１装着孔１１１Ｅに嵌入された状態で前記第１プレート部材１１０Ｅに溶接により接合されている。
【００９６】
斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンション１Ｅは、前記連結片１４Ｄによる効果を得つつ、前記連結片１４Ｄを形成する際に前記一対の支持片１２に歪みが生じることを防止又は低減させ得るという効果を得ることができる。
【００９７】
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｅにおいては、前記実施の形態３及び前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃ，１Ｄにおけると同様に、磁気ヘッドサスペンション長手方向に沿った曲げ基準線ＢＬ(1)〜ＢＬ(4)回りに曲げ加工されることで、前記連結片１４Ｄが前記支持部１０Ｅに一体形成されている。
【００９８】
つまり、前記ブリッジ領域１４２Ｄが前記一対の支持片１２よりも前記ディスク面から離間される方向へ変位されるように、前記連結片１４Ｄは、前記一対の支持片１２と前記一対の延在領域１４１Ｄとの間、並びに、前記一対の延在領域１４１Ｄと前記ブリッジ領域１４２Ｄとの間において、磁気ヘッドサスペンション長手方向に沿った曲げ基準線ＢＬ(1)〜ＢＬ(4)回りにそれぞれ曲げ加工されている。
【００９９】
このように、前記支持部１０Ｅに一体形成された前記連結片１４Ｄに対し、磁気ヘッドサスペンション長手方向に沿った曲げ基準線ＢＬ(1)〜ＢＬ(4)回りに曲げ加工することで、前記ブリッジ領域１４２Ｄを前記一対の支持片１２よりも前記ディスク面から離間させると、前記曲げ加工の際に前記一対の支持片１２には他方の支持片１２へ向かわせるような応力が加わり、この応力によって前記一対の支持片１２に歪みが生じる。
従って、前記実施の形態３及び前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃ，１Ｄにおいては、前記連結片１４Ｃ，１４Ｄの形成によって前記一対の支持片１２に生じた歪みを矯正するプロセス（例えば、前記一対の支持片１２にプレス圧を加えることで、前記一対の支持片１２に生じた歪みを矯正するプロセス）が必要となる。
【０１００】
これに対し、本実施の形態においては、前述の通り、前記一対の支持片１２及び前記連結片１４Ｄを備えた前記第１プレート部材１１０Ｅに、前記一対の支持片１２によって画される凹部１３を前記第１装着孔１１１Ｅに連通させる前記スリット１１２Ｅが設けられている。
斯かる構成によれば、前記ブリッジ領域１４Ｄを前記一対の支持片１２よりも前記ディスク面から離間させる為の前記曲げ加工時に、前記応力が前記第１プレート部材１１０Ｅにおける低剛性部位近傍（本実施の形態においては、図１５におけるＷ部近傍）に集中することになる。従って、前記一対の支持片１２が前記応力によって歪むことを有効に防止又は低減させることができる。
【０１０１】
図１６(a)及び(b)に、それぞれ、前記ボス部材１２０Ｅの平面図及び側面図を示す。
又、図１７に、図１３(a)におけるXVII-XVII線に沿った断面図を示す。
好ましくは、前記ボス部材１２０Ｅは、図１６に示すように、前記ボス孔を有し且つ外径が前記第１装着孔１１１Ｅよりやや小径とされた本体部１２１Ｅと、前記本体部１２１Ｅから径方向外方へ延在するかしめ片１２２Ｅであって、外径が前記第１装着孔１１１Ｅより若干大径とされたかしめ片１２２Ｅとを備え得る。
【０１０２】
前記ボス部材１２０Ｅは、図１７に示すように、前記かしめ片１２２Ｅがかしめられた状態で前記第１装着孔１１１Ｅに嵌入される。
斯かる構成を備えることにより、前記ボス部材１２０Ｅの前記第１プレート部材１１０Ｅへの接合を容易且つ強固に行うことができる。
【０１０３】
本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ｅは、さらに、前記連結片１４Ｄの形成容易化を図るべく前記第１プレート部材１１０Ｅの板厚を薄くしつつ、前記支持部１０Ｅの剛性を確保する為に、下記構成を備えている。
【０１０４】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｅは、前記ロードビーム部形成部材３００Ａに代えて、ロードビーム部形成部材３００Ｅを備えている。
前記ロードビーム部形成部材３００Ｅを図１５に併せて示す。
【０１０５】
前記ロードビーム部形成部材３００Ｅは、図１３(b)及び図１５に示すように、前記ロードビーム部３０に対応した領域、前記一対の第１弾性板部６０に対応した領域及び前記第２弾性板部７０に対応した領域加えて、前記支持部１０Ｅのうち前記連結片１４Ｄを除く領域に対応した支持部形成領域３１０Ｅを一体的に有している。
そして、前記支持部形成領域３１０Ｅには、前記ボス孔と同心上に配置される第２装着孔３１１Ｅが形成されている。前記第２装着孔３１１Ｅは、前記ボス孔よりも大径とされている。
【０１０６】
前記第１プレート部材１１０Ｅは、前記第１装着孔１１１Ｅが前記第２装着孔３１１Ｅに同心上に位置された状態で前記ロードビーム部形成部材３００Ｅにおける前記ディスク面とは反対側の裏面に溶接によって接合されている。
【０１０７】
つまり、本実施の形態においては、前記第１プレート部材１１０Ｅと前記ロードビーム部形成部材３００Ｅのうちの前記支持部形成領域３１０Ｅと前記ボス部材１２０Ｅとによって前記支持部１０Ｅが形成されている。
斯かる構成によれば、前記第１プレート部材１１０Ｅの板厚を薄くして前記連結片１４Ｄの形成容易化を図りつつ、前記ロードビーム部形成部材３００Ｅの前記支持部形成領域３１０Ｅによって前記支持部１０Ｅの剛性を確保することができる。
【０１０８】
さらに、本実施の形態においては、図１７に示すように、前記ボス部材１２０Ｅの前記第１プレート部材１１０Ｅへの接合作業の容易化を図る為に、前記第２装着孔３１１Ｅの内径を前記ボス部材１２０Ｅの前記本体部１２１Ｅの外径よりも小径としている。
斯かる構成においては、前記ボス部材１２０Ｅを前記第１装着孔１１１Ｅに嵌入させる際に、前記ボス部材１２０Ｅの前記本体部１２１Ｅにおける前記ディスク面と対向する対向面の一部を前記ロードビーム部形成部材３００Ｅの前記支持部形成領域３１０Ｅにおける前記ディスク面とは反対側の裏面に当接させることで、前記ボス部材１２０Ｅの位置決めを行うことができる。
従って、前記ボス部材１２０Ｅの前記第１プレート部材１１０Ｅへの接合作業の容易化を図ることができる。
【０１０９】
実施の形態６
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１８(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｆの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。なお、図１８(b)における○印は溶接点を示している。
又、図１９(a)及び(b)に、それぞれ、図１８(a)におけるXIX(a)-XIX(a)線及びXIX(b)-XIX(b)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜５における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１１０】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｆは、前記一対の支持片１２を有する支持部１０Ｆを備えている。
前記支持部１０Ｆは、前記実施の形態３〜５におけると同様に、前記アッセンブリより前記ディスク面から離間された側において前記一対の支持片１２の間を連結する連結片１４Ｆを一体的に有している。
【０１１１】
前記連結片１４Ｆは、図１８(a)及び図１９(a)に示すように、基端部が前記一対の支持片１２に連結され且つ先端部が基端部より前記ディスク面から離間するように構成された一対のアーム領域１４１Ｆと、前記一対のアーム領域１４１Ｆの先端部を連結するブリッジ領域１４２Ｆとを含んでいる。
前記連結片１４Ｆは、前記ブリッジ領域１４２Ｆが平面視において捩れ中心線ＴＬとオーバーラップするように前記アッセンブリのディスク面とは反対側に位置されている点において前記実施の形態３〜５における前記連結片１４Ｃ，１４Ｄと共通するが、下記点において相違している。
【０１１２】
即ち、前記実施の形態３〜５における前記連結片１４Ｃ，１４Ｄにおいては、前記一対のアーム領域１４１Ｄの基端部及び先端部が磁気ヘッドサスペンション長手方向に沿った曲げ基準線ＢＬ(1)〜ＢＬ(4)回りに曲げ加工されることで前記ブリッジ領域１４２Ｃ，１４２Ｄが前記アッセンブリの前記ディスク面とは反対側に位置されている。
【０１１３】
これに対し、本実施の形態においては、図１８及び図１９に示すように、前記連結片１４Ｆは、前記一対のアーム領域１４１Ｆの基端部及び先端部が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った曲げ基準線ＢＬ(5)，ＢＬ(6)回りに曲げ加工されることで前記ブリッジ領域１４２Ｆが前記アッセンブリの前記ディスク面とは反対側に位置するように構成されている。
【０１１４】
斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンション１Ｆにおいては、前記連結片１４Ｆの曲げ加工時に前記一対の支持片１２には他方の支持片１２へ向かわせるような応力が付加されない。従って、前記連結片１４Ｆの形成に起因して前記一対の支持片１２に歪みが生じることを有効に防止することができる。
【０１１５】
なお、本実施の形態においては、前記支持部１０Ｆを、互いに重合された状態で溶接によって接合される第１及び第２支持部形成プレート部材１１０Ｆ，１２０Ｆによって形成しており、これにより、前記支持部１０Ｆの剛性を維持しつつ、前記連結片１４Ｆの形成容易化を図っている。
【０１１６】
図２０に、前記第１及び第２支持部形成プレート部材１１０Ｆ，１２０Ｆの分解平面図を示す。
詳しくは、図２０に示すように、前記第１支持部形成プレート部材１１０Ｆは、前記本体領域１１に対応した領域及び前記一対の支持片１２に対応した領域を一体的に有している。
一方、前記第２支持部形成プレート部材１２０Ｆは、前記本体領域１１に対応した領域及び前記一対の支持片１２に対応した領域に加えて、前記連結片１４Ｆに対応した領域を一体的に有している。
【０１１７】
斯かる構成によれば、前記第１支持部形成プレート部材１１０Ｆによって前記支持部１０Ｆの剛性を確保しつつ、前記連結片１４Ｆを一体的に備えた前記第２支持部形成プレート部材１２０Ｆの板厚を薄くして前記連結片１４Ｆの形成容易化を図ることができる。
【０１１８】
前記第１支持部形成プレート部材１１０Ｆは曲げ加工を要しない。従って、板厚を厚くすることで前記第１支持部形成プレート部材１１０Ｆの剛性を確保することも可能であるし、及び／又は、両側縁にフランジ１１１Ｆを設けることで前記第１支持部形成プレート部材１１０Ｆの剛性を確保することも可能である（図２０参照）。
【０１１９】
実施の形態７
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図２１(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｇの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。なお、図２１(b)における○印は溶接点を示している。
又、図２２(a)及び(b)に、それぞれ、図２１(a)におけるXXII(a)-XXII(a)線及びXXII(b)-XXII(b)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜６における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１２０】
本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ｇは、前記実施の形態１に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記平衡質量部５０Ａに代えて平衡質量部５０Ｇを有し、且つ、前記一対の第１弾性板部６０に代えて一対の第１弾性板部６０Ｇを有している。
【０１２１】
図２１に示すように、前記平衡質量部５０Ｇは、前記ロードビーム部を形成するロードビーム部形成部材３００Ｇとは別体の平衡質量部形成部材３１０Ｇによって形成されており、前記ロードビーム部形成部材３００Ｇに溶接によって接合されている。
なお、本実施の形態においては、前記ロードビーム部形成部材３００Ｇは、前記ロードビーム部３０に加えて、前記一対の第１弾性板部６０Ｇ及び前記第２弾性板部７０を一体的に備えている。
従って、前記ロードビーム部形成部材３００Ｇは、前記各実施の形態におけると同様に、前記ロードビーム部３０を形成する領域の両側縁にフランジ３２を有している。
【０１２２】
前記平衡質量部５０Ｇは、前記実施の形態２における前記平衡質量部と同様に、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し、前記第２弾性板７０に接合される中央部５２Ｇと、前記中央部５２Ｇから先端側へ延びて前記ロードビーム部形成部材３００Ｇに接合される先端部５１Ｇと、前記中央部５２Ｇから基端側へ延びる基端部５３Ｇとを有している。
【０１２３】
前記先端部５１Ｇは、図２１(a)に示すように、前記中央部５２Ｇの磁気ヘッドサスペンション幅方向最外端よりも磁気ヘッド幅方向外方に位置した領域を有しており、溶接によって前記ロードビーム部形成部材３００Ｇに接合されている。
【０１２４】
前記一対の弾性板部６０Ｇは、図２１(a)及び(b)に示すように、基端部が前記一対の支持片１２に連結され且つ自由端部が前記平衡質量部５０Ｇの先端部５１Ｇに連結されている。
【０１２５】
斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンション１Ｇにおいては、前記ロードビーム部３０の幅を必要以上に広げることなく、前記一対の第１弾性板部６０Ｇによって支持される支持点の間隔を広げることができる。
従って、前記ロードビーム部３０の質量増大を防止しつつ、前記アッセンブリの首振り方向及び捩れ方向の剛性を向上させることができる。
【０１２６】
さらに、本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０の幅を広げることなく、前記一対の第１弾性板部６０Ｇの長手方向を磁気ヘッドサスペンション長手方向に沿わせることができる。従って、前記第１弾性板部６０Ｇによる発生される第１押し付け荷重の安定化を図ることができる。
【０１２７】
本実施の形態においては、前記平衡質量部５０Ｇの前記先端部５１Ｇは、図２１(a)に示すように、前記実施の形態２におけると同様に、磁気ヘッドサスペンション幅方向中央から左右へ延びる一対の梁部５１１Ｇを有している。
【０１２８】
好ましくは、図２１(a)に示すように、前記一対の梁部５１１Ｇは、自由端部が前記ロードビーム部３０より磁気ヘッドサスペンション幅方向外方へ延在され、前記一対の第１弾性板部６０Ｇの自由端部は、前記一対の梁部５１１Ｇのうち前記ロードビーム部３０より磁気ヘッドサスペンション幅方向外方に位置する部位に連結される。
斯かる構成によれば、前記一対の第１弾性板部６０Ｇによって支持される前記アッセンブリの支持点の間隔をさらに広げることができ、前記アッセンブリの首振り方向及び捩れ方向の剛性をさらに効果的に向上させることができる。
【０１２９】
実施の形態８
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図２３(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｈの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。なお、図２３(b)における○印は溶接点を示している。
又、図２４に、図２３(a)におけるXXIV-XXIV線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜７における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１３０】
本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ｈは、前記一対の支持片１２を有する支持部１０Ｈを備えている。
前記支持部１０Ｈは、前記実施の形態３〜６におけると同様に、前記アッセンブリより前記ディスク面から離間された側において前記一対の支持片１２の間を連結する連結片１４Ｈを一体的に有している。
【０１３１】
詳しくは、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｈは、前記支持部１０Ｈと、前記一対の第１弾性板部６０Ｇと、前記第２弾性板部７０と、前記ロードビーム部３０及び前記平衡質量部５０Ｇを含み、前記一対の第１弾性板部６０Ｇ及び前記第２弾性板部７０を介して前記支持部１０Ｈに支持される前記アッセンブリと、前記ロードビーム部３０に接合される前記フレクシャ部４０とを含んでいる。
【０１３２】
図２５(a)〜(c)に、それぞれ、前記支持部１０Ｈの平面図，正面図及び側面図を示す。
図２５に示すように、前記支持部１０Ｈは、前記本体領域１１及び前記一対の支持片１２に加えて、前記連結片１４Ｈを一体的に備えている。
【０１３３】
前記連結片１４Ｈは、基端部が前記一対の支持片１２に連結され且つ先端部が基端部から磁気ヘッドサスペンション先端側へ延びる一対のアーム領域１４１Ｈと、前記一対のアーム領域１４１Ｈの先端部を連結するブリッジ領域１４２Ｈとを有している。
【０１３４】
前記連結片１４Ｈは、前記一対のアーム領域１４１Ｈが磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った曲げ基準線ＢＬ(7)回りに一カ所においてのみ曲げられることで、前記ブリッジ領域１４２Ｈが前記アッセンブリの前記ディスク面とは反対側に位置するようになっており、これにより、前記支持部１０Ｈに一体的に備えられた前記連結片１４Ｈの形成容易化を図り得るようになっている。
【０１３５】
即ち、前記支持部１０Ｃ〜１０Ｅに前記連結片１４Ｃ，１４Ｄが一体的に備えられた前記実施の形態３〜５においては、前記連結片１４Ｃ，１４Ｄは、前記一対のアーム領域１４１Ｃ，１４１Ｄの基端部及び先端部が磁気ヘッドサスペンション長手方向に沿った４本の曲げ基準線ＢＬ(1)〜ＢＬ(4)回りに曲げ加工されている。
前記支持部１０Ｆに前記連結片１４Ｆが一体的に備えられた前記実施の形態６においては、前記連結片１４Ｆは、前記一対のアーム領域１４１Ｆの基端部及び先端部が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った２本の曲げ基準線ＢＬ(5)，ＢＬ(6)回りに曲げ加工されている。
【０１３６】
これに対し、本実施の形態においては、前記連結片１４Ｈは、前記一対のアーム領域１４１Ｈにおける基端部及び先端部の間の中間部が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った１本の曲げ基準線ＢＬ(7)回りに曲げ加工されるだけで、前記ブリッジ領域１４２Ｈが前記アッセンブリにおける前記ディスク面とは反対側に位置するようになっている。
従って、前記実施の形態２〜６に比して、前記連結片１４Ｈの形成容易化を図ることができる。
【０１３７】
図２４に示すように、前記一対のアーム領域１４１Ｈが曲げ加工された後の状態において、前記ブリッジ領域１４２Ｈと前記アッセンブリとの間には、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｈの作動状態時に前記アッセンブリが捩り中心線ＴＬ回りに回動することを許容し得る程度の間隙が設けられる。
前記間隙の調整は、前記曲げ基準線ＢＬ(7)の磁気ヘッドサスペンション長手方向位置を変更することによって容易に行うことができる。
【０１３８】
図２６に、前記支持部１０Ｈの分解平面図を示す。なお、図２６には、前記ロードビーム部形成部材３００Ｇも併せて示している。
図２６に示すように、本実施の形態においては、前記支持部１０Ｈは、前記本体領域１１，前記一対の支持片１２及び前記連結片１４Ｈを一体的に備えた支持部形成プレート部材１１０Ｈと、前記ボス部１５を備えたボス部材１２０Ｈであって、支持部形成プレート部材１１０Ｈに溶接によって接合されるボス部材１２０Ｈとを有している。
【０１３９】
好ましくは、図２６に示すように、前記支持部形成プレート部材１１０Ｈには、前記ボス部材との溶接を容易とする為に、薄肉領域１１８Ｈが備えられる。前記薄肉領域１１８Ｈは、例えば、エッチング処理によって容易に形成することができる。
【０１４０】
前記連結片１４Ｈの曲げ加工を容易ならしめる為に、前記支持部形成プレート部材１１０Ｈの板厚を薄くするのが好ましい。従って、本実施の形態においては、図２６に示すように、前記支持部形成プレート部材１１０Ｈの両側縁にフランジ１１２Ｈを設けることで、前記支持部１０Ｈの板厚を薄くしつつ前記支持部１０Ｈの剛性を確保している。
【０１４１】
実施の形態９
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図２７(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｉの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。なお、図２７(b)における○印は溶接点を示している。
なお、図中、前記実施の形態１〜８における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１４２】
本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ｉは、異なる形状の平衡質量部５０Ｉを備えている点において、記各実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションと主に相違している。
【０１４３】
詳しくは、前記平衡質量部５０Ｉは、前記各実施の形態におけると同様に、前記ロードビーム部３０を形成する前記ロードビーム部形成部材３００Ｇとは別体の平衡質量部形成部材３１０Ｉによって形成されており、前記ロードビーム部形成部材３００Ｇに溶接によって接合されている。
【０１４４】
前記平衡質量部５０Ｉは、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し、前記第２弾性板に接合される中央部５２Ｉと、前記中央部５２Ｉから先端側へ延びて前記ロードビーム部形成部材３００Ｇに接合される先端部５１Ｉと、前記中央部５２Ｉから基端側へ延びる基端部５３Ｉとを有している。
【０１４５】
前記先端部５１Ｉは、図２７(a)に示すように、前記一対の梁部５１１Ｇと、平面視において前記ロードビーム部３０とオーバーラップするように前記一対の梁部５１１Ｇから磁気ヘッドサスペンション長手方向先端側へ延びる追加梁部５１１Ｉとを有している。
前記一対の梁部５１１Ｇ及び前記追加梁部５１１Ｉは、適宜の位置において前記ロードビーム部形成部材３００Ｇに溶接によって接合される。
【０１４６】
斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンション１Ｉによれば、前記ロードビーム部３０の剛性を効果的に向上させることができ、これにより、首振り方向及び捩れ方向の共振周波数を高域化させることができる。
【０１４７】
実施の形態１０
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図２８(a)〜(c)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｊの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図），下面図（ディスク面側から見た底面図）及び側面図を示す。なお、図２８(a)及び(b)における○印は溶接点を示している。
なお、図中、前記実施の形態１〜９における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１４８】
本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ｊは、異なる形状の支持部１０Ｊを備えている点において、前記各実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションと主に相違している。
【０１４９】
図２９に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｊの分解平面図を示す。
前記支持部１０Ｊは、図２８及び図２９に示すように、前記本体領域１１と、前記本体領域１１の先端部における幅方向両端部から先端側へ延びる一対の支持片１２Ｊと、前記本体領域１１と同一平面内に位置した状態で前記一対の支持片１２Ｊを連結する連結片１４Ｊとを備えている。
【０１５０】
前記一対の支持片１２Ｊは、前記本体領域１１と同一平面内に位置する一対の第１平面部１２１Ｊであって、前記連結片１４Ｊによって連結される一対の第１平面部１２１Ｊと、前記一対の第１平面部１２１Ｊより前記ディスク面に近接された位置で前記ディスク面と略平行に延びる一対の第２平面部１２２Ｊと、前記一対の第１平面部１２１Ｊ及び前記一対の第２平面部１２２Ｊの間をそれぞれ連結する一対のアーム部１２３Ｊとを備えている。
【０１５１】
前記一対の第２平面部１２２Ｊが、前記一対の第１弾性板部６０及び前記第２弾性板部７０を介して前記アッセンブリを支持する。
即ち、前記一対の第１弾性板部６０は、基端部が前記一対の第２平面部１２２Ｊに連結され且つ自由端部が前記アッセンブリに連結される。
前記第２弾性板部７０は、一端部及び他端部が前記一対の第２平面部１２２Ｊに連結され且つ一端部及び他端部の間の中央部が前記アッセンブリに連結される。
【０１５２】
斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション１Ｊは、前記ロードビーム部３０及び前記平衡質量部５０Ｇを含む前記アッセンブリが前記一対の第１弾性板部６０及び前記第２弾性板部７０を介して前記支持部１０Ｊに支持されており、従って、前記各実施の形態におけると同様に、共振周波数の高域化及び耐衝撃性の向上を図ることができる。
【０１５３】
さらに、前記本体領域１１より前記ディスク面に近接配置されている前記第２平面部１２２Ｊが前記アッセンブリを支持している為、前記本体領域１１と同一平面内に位置する前記連結片１４Ｊと前記アッセンブリとの間に前記ディスク面と直交する方向の間隙を確保することができる。
【０１５４】
従って、前記連結片１４Ｊによって前記支持部１０Ｊの剛性を向上させつつ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｊの作動状態時に前記アッセンブリが捩れ中心線ＴＬ回りに回動動作する際に前記連結片１４Ｊが前記アッセンブリに干渉することを有効に防止することができる。さらに、前記連結片１４Ｊによって、衝撃力の印可時に前記アッセンブリが前記ディスク面から離間する方向へ大きく変位動作することを有効に防止することができ、これにより、前記磁気ヘッド１００の跳躍動作を効果的に抑えることができる。
【０１５５】
なお、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ｊは、図２９に示すように、前記ロードビーム部３０を形成するロードビーム部形成部材３００Ｊと、前記平衡質量部０Ｇを形成する平衡質量部形成部材３１０Ｇと、前記一対の第１弾性板部６０及び前記第２弾性板部７０を一体的に備えた荷重曲げ部形成部材３２０Ｊと、前記支持部１０ｊを形成する支持部形成部材１００Ｊとを備えている。
【０１５６】
前記ロードビーム部形成部材３００Ｊ及び前記平衡質量部形成部材３１０Ｊは互いに別体とされており、溶接によって接合されることで前記アッセンブリを形成している。
【０１５７】
前記荷重曲げ部形成部材３２０Ｊは、前記ロードビーム部形成部材３００Ｊ，前記平衡質量部形成部材３１０Ｇ及び前記支持部形成部材１００Ｊとは別体とされている。
詳しくは、前記荷重曲げ部形成部材３２０Ｊは、前記支持部１０Ｊにおける前記一対の第２平面部１２２Ｊに溶接によって接合される一対の支持部接合領域３２５Ｊと、前記一対の支持部接合領域３２５Ｊから磁気ヘッドサスペンション長手方向先端側へ延び、前記一対の第１弾性板部６０を形成する一対の第１弾性板部形成領域３２１Ｊと、前記一対の支持部接合領域３２５Ｊの間において磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿って延び、前記第２弾性板部７０を形成する一対の第２弾性板部形成領域３２２Ｊとを有している。
【０１５８】
本実施の形態においては、図２９に示すように、前記支持部形成部材１００Ｊは、前記一対の支持片１２の曲げ加工容易化を図る為に、前記本体領域１１，前記一対の支持片１２及び前記連結片１４Ｊを一体的に備えた支持部形成プレート部材１１０Ｊと、前記ボス部１５を形成するボス部材１２０Ｊであって、前記支持部形成プレート部材１１０Ｊに溶接によって接合されるボス部材１２０Ｊとを備えている。
【０１５９】
斯かる構成によれば、前記支持部形成プレート部材１１０Ｊの板厚を薄くすることで前記一対の支持片１２の曲げ加工容易化を図りつつ、前記ボス部材１２０Ｊによって前記支持部１０Ｊの剛性を確保することができる。
好ましくは、前記支持部形成プレート部材１１０Ｊの両側縁にフランジ１１２Ｊを設けることができ、これにより、前記支持部形成プレート部材１１０Ｊの板厚を厚くすることなく前記支持部１０Ｊの剛性をさらに向上させることができる。
なお、図２９中の符号１１８Ｊは、前記支持部形成プレート部材１１０Ｊと前記ボス部材１２０Ｊとの溶接容易化を図る為に、前記支持部形成プレート部材１１０Ｊに設けられた薄肉領域である。
【０１６０】
実施の形態１１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図３０(a)〜(c)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｋの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図），下面図（ディスク面側から見た底面図）及び側面図を示す。なお、図３０(a)及び(b)における○印は溶接点を示している。
又、図３１に、図３０(a)におけるXXXI-XXXI線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜１０における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１６１】
前記各実施の形態においては、前記第２弾性板部７０における前記一対の延在領域７３ａ，７３ｂは、板面が前記ディスク面と略平行とされている。
これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｋは、前記一対の延在領域７３ａ，７３ｂの板面が前記ディスク面と略直交された第２弾性板部７０Ｋを有している。
【０１６２】
詳しくは、前記第２弾性板部７０Ｋは、板面が前記ディスク面と略平行とされ且つ前記一対の支持片１２にそれぞれ連結される一対の支持片連結領域と、板面が前記ディスク面と略平行とされるように前記一対の支持片連結領域から磁気ヘッドサスペンション長手方向先端側へ延びる一対のアーム片７１Ｋと、前記一対のアーム片の先端部の間を連結する連結片７２Ｋとを備え、前記一対のアーム片７１Ｋが基端部及び先端部の間の中間部位において曲げられることで前記連結片７２Ｋの板面が前記ディスク面に対して略直交するようになっている。
【０１６３】
前記連結片７２Ｋは、図３０及び図３１に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記一対の支持片連結領域に対応した位置に位置し且つ板面が前記ディスク面に対して略直交する一対の端部領域７５１ａ，７５１ｂと、板面が前記ディスク面に対して略直交する状態で磁気ヘッドサスペンション幅方向略中央に位置する中央領域７５２と、板面が前記ディスク面に対して略直交する状態で前記一対の端部領域７５１ａ，７５１ｂ及び前記中央領域７５２の間にそれぞれ延びる前記一対の延在領域７３ａ，７３ｂと、板面が前記ディスク面に対して略平行となるように前記中央領域７５２における前記ディスク面に近接する側のエッジから折り曲げられ、前記アッセンブリが連結されるアッセンブリ連結領域７２を備えている。
【０１６４】
図３２に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｋの分解平面図を示す。
前記磁気ヘッドサスペンション１Ｋは、図３２に示すように、前記第２弾性板部７０Ｋが一体形成された支持部１０Ｋを有している。
前記支持部１０Ｋは、前記本体領域１１と、前記一対の支持片１２と、前記一対の支持片１２に一体形成された前記第２弾性板部７０Ｋとを備えている。
斯かる構成においては、前記支持部１０Ｋにおける前記一対の支持片１２が前記一対の支持片連結領域として作用している。
【０１６５】
前記一対の延在領域７３ａ，７３ｂは、板面が前記ディスク面に対して略直交しており、前記捩れ中心線ＴＬ回りに捩れ弾性変形することで前記ディスク面の回転に伴う空気圧に抗した前記第２押し付け荷重を発生する。
【０１６６】
前記アッセンブリ連結領域７２は、図３０及び図３２に示すように、前記ディスク面に対して略平行とされており、前記ディスク面と対向する対向面が前記アッセンブリ（図示の形態においては前記平衡質量部５０Ｇ）における前記ディスク面とは反対側の裏面に溶接によって接合されている。
【０１６７】
斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション１Ｋによれば、前記各実施の形態におけると同様に、首振り方向及び捩れ方向の共振周波数の高域化、並びに、耐衝撃性の向上を図ることができる。
さらに、本実施の形態においては、前述の通り、前記第２弾性板部７０Ｋの前記連結片７２Ｋのうち前記アッセンブリ連結領域７２を除く部分が、前記アッセンブリの前記ディスク面とは反対側において、前記ディスク面に対して略直交した状態で前記一対の支持片１２の間を連結しており、且つ、前記連結片７２Ｋにおける前記アッセンブリ連結領域７２が前記アッセンブリにおける前記ディスク面とは反対側の裏面に接合されている。
斯かる構成においては、前記第２弾性板部７０Ｋは、第２押し付け荷重を発生する作用に加えて、衝撃力印可時に前記アッセンブリが前記ディスク面から離間する方向へ変位動作することを防止する作用も奏する。従って、衝撃力印可時における前記磁気ディスクの跳躍動作量を効果的に抑えることができる。
【０１６８】
なお、本実施の形態においては、図３２に示すように、前記ロードビーム部３０は前記ロードビーム部形成部材３００Ｊによって形成され、前記一対の第１弾性板部６０は一対の第１弾性板部形成部材３２０Ｋによって形成されている。
斯かる構成に代えて、前記ロードビーム部３０及び前記一対の第１弾性板部６０を単一の部材によって一体形成することも可能である。
【０１６９】
又、本実施の形態においては、図３２に示すように、前記支持部１０Ｋを形成する支持部形成部材１００Ｋは、前記本体領域１１，前記一対の支持片１２及び前記第２弾性板部７０Ｋを一体的に備えた支持部形成プレート部材１１０Ｋと、前記ボス部１５を形成するボス部材１２０Ｊであって、前記支持部形成プレート部材１１０Ｋに溶接によって接合されるボス部材１２０Ｊとを備えている。
【０１７０】
斯かる構成によれば、前記支持部形成プレート部材１１０Ｋの板厚を薄くすることで前記第２弾性板部７０Ｋの曲げ加工容易化を図りつつ、前記ボス部材１２０Ｊによって前記支持部１０Ｋの剛性を確保することができる。
好ましくは、前記支持部形成プレート部材１１０Ｋの両側縁にフランジ１１２Ｋを設けることができ、これにより、前記支持部形成プレート部材１１０Ｋの板厚を厚くすることなく前記支持部１０Ｋの剛性をさらに向上させることができる。
なお、図３０及び図３２中の符号１１８Ｋは、前記支持部形成プレート部材１１０Ｋと前記ボス部材１２０Ｊとの溶接容易化を図る為に、前記支持部形成プレート部材１１０Ｋに設けられた薄肉領域である。
【図面の簡単な説明】
【０１７１】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上方斜視図である。
【図２】図２(a)及び(b)は、それぞれ、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図３】図３(a)及び(b)は、それぞれ、図２(a)におけるIII(a)-III(a)及びIII(b)-III(b)線に沿った断面図である。
【図４】図４は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける第２弾性板部の平面図である。
【図５】図５は、前記第２弾性板部の斜視図であり、図５(a)及び(b)は、それぞれ、前記第２弾性板部が捩られた状態及びディスク面の回転に伴う空気圧によって捩り戻された状態を示している。
【図６】図６(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の本実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図７】図７は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションにおける平衡質量部の平面図である。
【図８】図８(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図９】図９(a)及び(b)は、それぞれ、図８(a)におけるIX(a)-IX(a)線及びIX(b)-IX(b)線に沿った断面図である。
【図１０】図１０(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図１１】図１１(a)及び(b)は、それぞれ、図１０(a)におけるXI(a)-XI(a)線及びXI(b)-XI(b)線に沿った断面図である。
【図１２】図１２(a)及び(b)は、それぞれ、支持部としてアームが備えられた前記実施の形態４の変形形態に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図１３】図１３(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図１４】図１４(a)及び(b)は、それぞれ、図１３(a)におけるXIV(a)-XIV(a)線及びXIV(b)-XIV(b)線に沿った断面図である。
【図１５】図１５は、前記実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションの部分分解平面図である。
【図１６】図１６(a)及び(b)は、それぞれ、前記実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるボス部材の平面図及び側面図である。
【図１７】図１７は、図１３(a)におけるXVII-XVII線に沿った断面図である。
【図１８】図１８(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態６に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図１９】図１９(a)及び(b)は、それぞれ、図１８(a)におけるXIX(a)-XIX(a)線及びXIX(b)-XIX(b)線に沿った断面図である。
【図２０】図２０は、前記実施の形態６に係る磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の分解平面図である。
【図２１】図２１(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態７に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図２２】図２２(a)及び(b)は、それぞれ、図２１(a)におけるXXII(a)-XXII(a)線及びXXII(b)-XXII(b)線に沿った断面図である。
【図２３】図２３(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態８に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図２４】図２４は、図２３(a)におけるXXIV-XXIV線に沿った断面図である。
【図２５】図２５(a)〜(c)は、それぞれ、前記実施の形態８に係る磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の平面図，正面図及び側面図である。
【図２６】図２６は、前記実施の形態８に係る磁気ヘッドサスペンションの部分分解平面図である。
【図２７】図２７(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態９に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図２８】図２８(a)〜(c)は、それぞれ、本発明の実施の形態１０に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図，下面図及び側面図である。
【図２９】図２９は、前記実施の形態１０に係る磁気ヘッドサスペンションの分解平面図である。
【図３０】図３０(a)〜(c)は、それぞれ、本発明の実施の形態１１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図，下面図及び側面図である。
【図３１】図３１は、図３０(a)におけるXXXI-XXXI線に沿った断面図である。
【図３２】図３２は、前記実施の形態１１に係る磁気ヘッドサスペンションの部分分解平面図である。
【符号の説明】
【０１７２】
１Ａ〜１Ｋ    磁気ヘッドサスペンション
１０Ａ，１０Ｃ〜１０Ｆ，１０Ｈ〜１０Ｋ    支持部
１１    本体領域
１２    支持片
１３    凹部
１４Ｃ，１４Ｄ，１４Ｆ，１４Ｈ，１４Ｊ    連結片
１５    ボス部
２０    荷重曲げ部
３０    ロードビーム部
３２    フランジ
４０    フレクシャ部
５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｇ，５０Ｉ    平衡質量部
５１Ｂ    平衡質量部の先端部
５２Ｂ    平衡質量部の中央部
５３Ｂ    平衡質量部の基端部
６０，６０Ｇ    第１弾性板部
７０，７０Ｋ    第２弾性板部
７１ａ，７１ｂ    支持片連結領域
７２    アッセンブリ連結領域
７３ａ，７３ｂ    延在領域
１００    磁気ディスク
１１０Ｅ    第１プレート部材
１１１Ｅ    第１装着孔
１１２Ｅ    スリット
１２０Ｅ    ボス部材
１２１Ｅ    ボス部材の本体部
１２２Ｅ    ボス部材のかしめ片
１２１Ｊ    支持片の第１平面部
１２２Ｊ    支持片の第２平面部
１２３Ｊ    支持片のアーム部
１１０Ｆ，１２０Ｆ    第１及び第２支持部形成プレート部材
１４１Ｃ，１４１Ｄ，１４１Ｆ，１４１Ｈ    連結片のアーム領域
１４２Ｃ，１４２Ｄ，１４２Ｆ，１４２Ｈ    連結片のブリッジ領域
１４３Ｄ    突出部（連結片とアッセンブリとの当接構造）
３００Ａ，３００Ｅ，３００Ｇ，３００Ｊ    ロードビーム部形成部材
３１０Ａ，３１０Ｂ，３１０Ｇ    平衡質量部形成部材
３１０Ｅ    ロードビーム部形成部材における支持部形成領域
３１１Ｅ    第２装着孔
５１１Ｂ，５１１Ｇ    平衡質量部の梁部
ＣＬ    中央長手線
ＴＬ    第２弾性板部の捩れ中心線
ＢＰ    第１弾性板部の曲げ位置
【図２】
0004475600.tif 000002
【図３】
0004475600.tif 000003
【図４】
0004475600.tif 000004
【図６】
0004475600.tif 000005
【図７】
0004475600.tif 000006
【図８】
0004475600.tif 000007
【図９】
0004475600.tif 000008
【図１０】
0004475600.tif 000009
【図１１】
0004475600.tif 000010
【図１２】
0004475600.tif 000011
【図１３】
0004475600.tif 000012
【図１４】
0004475600.tif 000013
【図１５】
0004475600.tif 000014
【図１６】
0004475600.tif 000015
【図１７】
0004475600.tif 000016
【図１８】
0004475600.tif 000017
【図１９】
0004475600.tif 000018
【図２０】
0004475600.tif 000019
【図２１】
0004475600.tif 000020
【図２２】
0004475600.tif 000021
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図１】
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【図５】
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