(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光管内に一対の電極が対向配置されてなり、前記電極の一方は、基端側に開口する有底円筒状の金属製の基体部と、この基体部の開口を塞ぐ金属製の蓋部からなり、前記基体部と前記蓋部が当接された状態で周方向の全体にわたって溶接された環状の溶接部を有し、前記基体部と前記蓋部で形成された密閉空間に、前記基体部を構成する金属よりも融点が低い金属からなる伝熱体が封入され、前記基体部または前記蓋部の一方に、電極内の密閉空間と電極外の外部空間につながるガス導入用貫通孔が形成され、該ガス導入用貫通孔の電極外面の先端開口が溶融された溶融封止部を有する放電ランプにおいて、
前記基体部と前記蓋部は、タングステンからなり、
前記溶接部と前記溶融封止部の電極内最短離間距離が８ｍｍ以上であることを特徴とする放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電ランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から放電ランプとしては種々のものが知られているが、発光管内に水銀が封入された高圧水銀ランプのうち、特にショートアーク型の高圧水銀ランプは、波長３６５ｎｍのｉ線や、波長４３６ｎｍのｇ線を放出する発光特性を有することから、例えば半導体ウェハ、液晶基板などの露光処理に用いられる露光装置用の光源として使用されている。このようなショートアーク型の高圧水銀ランプにおいては、所期の露光処理を高い処理効率で実行できるよう、高出力化が強く要求されている。
【０００３】
高圧水銀ランプを高出力のものとするためには、通常、定格電力を大きくすることが行われるが、この場合には、通常、定格電流も大きくなる結果、特に直流点灯される高圧水銀ランプにおける陽極は、これに衝突する電子の量が多くなるために容易に高い温度となって溶解してしまう、という問題が生じる。
【０００４】
また、一対の電極が垂直方向に対向する姿勢で点灯される高圧水銀ランプにおいては、発光管内の熱対流などの影響を受けることも加わり、上方に位置する電極が、アークからの熱によって高温となって溶解に至る場合もある。
そして、電極の先端部分が溶解した場合には、アークが不安定になるばかりでなく、蒸発した電極を構成する物質が発光管の内壁に付着することにより、高圧水銀ランプから放射される光量が低下する、という問題が生ずる。
【０００５】
以上のような問題を解決するために、高圧水銀ランプの電極の内部に形成された内部空間内に、当該電極を構成する金属より融点の低い金属からなる伝熱体を封入した構造を有する電極が提案されている
【０００６】
図８を参照して説明すると、この放電ランプ１０は、略球状の発光管１１と、発光管１１の両端に連続して形成された封止管１２を備えており、発光管１１内には、いずれもタングステン金属製の陽極１４および陰極１５よりなる一対の電極が互いに対向して配置されている。
【０００７】
そして、陽極１４は、図９に示されているように、開口を有する有底円筒状の基体部１４０の開口を塞ぐように蓋部１４１が配置されており、具体的には基体部１４０の内部空間内に、蓋部１４１における円柱状の嵌入部１４２が嵌入された状態で、基体部１４０と蓋部１４１が当接された状態になっており、この当接された部分において、基体部１４０と蓋部１４１が周方向の全体にわたって溶接されて環状の溶接部Ｐが形成され、これにより当該陽極１４に形成された密閉空間Ｃ内に、当該陽極を構成するタングステン金属より融点が低い金属からなる伝熱体Ｍが封入されている。伝熱体Ｍは、例えば、金、銀、銅などである。
また、蓋部１４１には、陽極１４内の密閉空間Ｃと陽極１４外の外部空間につながるガス導入用貫通孔１４３が形成され、このガス導入用貫通孔１４３の陽極１４外面の先端開口が溶融された溶融封止部Ｑが形成されている。
【０００８】
図１０を用いて、このような電極の作り方を説明する。
予め、基体部１４０の内部空間に伝熱体Ｍを入れておき、伝熱体Ｍが入った基体部１４０に蓋部１４１の嵌入部１４２を嵌入し、この状態で、希ガス雰囲気の処理室内に搬入する。
そして、処理室内で、基体部１４０と蓋部１４１からなる物体を陽極側とし、放電電極となる物体側を陰極側として、基体部１４０と蓋部１４１からなる物体と放電電極との間で放電を発生させ、基体部１４０と蓋部１４１が当接された部分を放電によって溶接する。
この溶接の際に、基体部１４０と蓋部１４１の隙間とガス導入用貫通孔１４３を通して処理室内の希ガスが陽極１４の内部に流れ込み、密閉空間Ｃのガスが置換され、溶接時に発生する溶融部Ｐから蒸発した不純物が密閉空間Ｃに滞留することを防止するものである。
そして、環状の溶接部Ｐが形成された後に、さらに、基体部１４０と蓋部１４１からなる物体を陽極側とし、放電電極となる物体側を陰極側として、基体部１４０と蓋部１４１からなる物体と放電電極との間で放電を発生させ、ガス導入用貫通孔１４３の陽極１４外面の先端開口を溶融させて、溶融封止部Ｑを形成することにより、陽極１４内に密閉空間Ｃを形成するものである。
【０００９】
上記のような構成の陽極１４によれば、当該放電ランプの点灯時において、陽極１４の先端部（図９における下方の端部）の近傍に蓄積された熱が、伝熱体Ｍにより、当該先端部より低温である当該陽極１４の基端部側に向かって高い効率で輸送され、これにより、陽極１４の先端部が過熱状態となることが防止される。また、伝熱体Ｍがタングステン金属より融点が低い金属である場合には、陽極１４の密閉空間Ｃ内において対流が発生して陽極１４の先端部の熱が基端部側に向かって輸送されることにより、陽極の先端部が過熱状態となることが防止される。
【特許文献１】特開２００６−１７９４６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記のような構成の陽極を備える放電ランプにおいては、溶融封止部Ｑを形成する際に、先に形成された溶接部Ｐに熱が伝わり、溶接部Ｐにクラック（ひび）が発生することがあり、放電ランプの点灯中に伝熱体が密閉空間から漏れ出す問題があった。
また、基体部１４０と蓋部１４１の隙間とガス導入用貫通孔１４３を通して処理室内の希ガスが陽極１４の内部に流れ込み、密閉空間Ｃとなる空間のガスが置換され、溶接時に発生する溶接部Ｐから蒸発した酸素などの不純物が密閉空間Ｃに滞留することを防止するものであるが、ガス置換が良好に行えない場合、伝熱体Ｍと基体部１４０の内側や蓋部１４１の嵌入部１４２が酸化変質して、伝熱効果が低下し、陽極の先端部が過熱状態となる問題があった。
【００１１】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであって、その目的は、電極を構成している基体部と蓋部との溶接部にクラック（ひび）が発生せず、点灯時に電極が破損することがなく、さらに、電極内の伝熱体が酸化変質せず、確実に伝熱効果を発揮することができ、陽極の先端部の温度上昇を確実に抑制することができる放電ランプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１に記載の本発明の放電ランプは、発光管内に一対の電極が対向配置されてなり、前記電極の一方は、基端側に開口する有底円筒状の金属製の基体部と、この基体部の開口を塞ぐ金属製の蓋部からなり、前記基体部と前記蓋部が当接された状態で周方向の全体にわたって溶接された環状の溶接部を有し、前記基体部と前記蓋部で形成された密閉空間に、前記基体部を構成する金属よりも融点が低い金属からなる伝熱体が封入され、前記基体部または前記蓋部の一方に、電極内の密閉空間と電極外の外部空間につながるガス導入用貫通孔が形成され、該ガス導入用貫通孔の電極外面の先端開口が溶融された溶融封止部を有する放電ランプにおいて、前記溶接部と前記溶融封止部の電極内最短離間距離が８ｍｍ以上であることを特徴とする。
【００１３】
請求項２に記載の本発明の放電ランプは、請求項１に記載の放電ランプであって、特に、前記ガス導入用貫通孔の長さが２５mm以下であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の放電ランプは、基体部と蓋部とが嵌合され溶接されて環状の溶接部が形成され、基体部または蓋部の一方に設けられたガス導入用貫通孔の先端開口が溶融されて溶融封止部が形成され、基体部と蓋部によって形成された密閉空間内に伝熱体が封入された構成を有する電極において、基体部と蓋部はタングステンからなり、溶接部と溶融封止部の電極内最短離間距離を８ｍｍ以上とすることにより、溶融封止部を形成する際に発生する熱衝撃が基体部と蓋部の溶接部に到達することを防止でき、溶接部にクラック（ひび）が発生することを防止でき、放電ランプの点灯中に伝熱体が密閉空間から漏れ出さず、安定に作動する放電ランプが得られる。
【００１５】
さらに、ガス導入用貫通孔の長さが２５mm以内とすることにより、電極製造時に、基体部と蓋部の隙間とガス導入用貫通孔を通して電極内の密閉空間となる空間のガスが確実に置換され、密閉空間内の伝熱体と基体部の内側や蓋部の内側が酸化変質せず、伝熱体によって電極先端部の温度上昇を確実に抑制できるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本願発明の放電ランプを図面を用いて説明する。
図１は、本発明に係る放電ランプの構成を示す図、図２は図１に示す陽極の拡大断面図である。
【００１７】
この放電ランプ１０は、石英ガラスからなる略球状の発光管１１と、発光管１１の両端に連続して形成された石英ガラスからなる封止管１２を備えており、発光管１１内には、いずれもタングステン金属製の陽極１３および陰極１５が対向して配置されており、それぞれの電極は内部リード棒１６に支持されている。
この内部リード棒１６は封止部１２において保持されると共に、当該封止部１２内において気密に設けられた金属箔（図示せず）を介して外部リード棒または外部端子に接続され、これに外部電源が接続される。そして、発光管１１内には、水銀、キセノン、アルゴンなどの発光物質や始動用ガスが所定量封入されている。
【００１８】
このような放電ランプにおいては、外部電源より電力が供給されることにより、陽極１３と陰極１５との間でアーク放電が生じ、これにより発光する。
なお、この例の放電ランプは、陽極１３が上、陰極１５が下となる状態、すなわち発光管１１の管軸が、地面に対して垂直方向に支持されて点灯される、いわゆる垂直点灯型のものである。
【００１９】
図２は、上記の放電ランプの陽極１３の説明用断面図であり、図３は、図２の陽極における溶接部と溶融封止部を含む部分の拡大投影図である。
陽極１３は、図２に示されているように、タングステンよりなる基端側に開口を有する有底円筒状の基体部１３０と、この基体部１３０の開口を塞ぐタングステンよりなる蓋部１３１からなり、具体的には、基体部１３０の内部空間内に、蓋部１３１における円柱状の嵌入部１３２が嵌入された状態で、基体部１３０の径方向外方に突出する基体部側フランジ部１３０ａと蓋部１３１の径方向外方に突出する蓋部側フランジ部１３１ａが当接された状態になっており、この当接された基体部側フランジ部１３０ａと蓋部側フランジ部１３１ａの径方向の端部において、基体部１３０と蓋部１３１が周方向の全体にわたって溶接された環状の溶接部Ｐが形成され、これにより当該陽極１３に形成された密閉空間Ｃ内に、当該陽極を構成するタングステン金属より融点が低い金属からなる伝熱体Ｍが封入されている。伝熱体Ｍは、例えば、金、銀、銅などである。
【００２０】
また、蓋部１３１には、陽極１３内の密閉空間Ｃと陽極１３外の外部空間につながるガス導入用貫通孔１３３が形成され、このガス導入用貫通孔１３３の陽極１３外面の先端開口が溶融された溶融封止部Ｑが形成されている。
また、蓋部１３１の中心に凹部１３４が形成されており、この凹部１３４に内部リード棒が嵌め込まれ、陽極１３を支持するものである。
【００２１】
なお、溶接部Ｐと溶融封止部Ｑの製造方法は、図１０で示した製造方法と同様にアーク溶接によって形成されるものである。
【００２２】
次に、図３を用いて、溶接部Ｐと溶融封止部Ｑの位置関係について説明する。
図３は、図２の陽極における溶接部と溶融封止部を含む部分の拡大投影図であり、陽極の前方に光源を配置し、その光源からの光を陽極に照射し、陽極後方に映し出される投影図を示すものである。
そして、実際の陽極の寸法と投影図の寸法で投影倍率を計算し、投影図における実測寸法と投影倍率によって、溶接部Ｐと溶融封止部Ｑの電極内最短離間距離ｄを計算するものである。
【００２３】
溶接部Ｐと溶融封止部Ｑの電極内最短離間距離ｄとは、投影図における溶接部Ｐの頂点をＰ０として、投影図における溶融封止部Ｑの頂点をＱ０とし、それぞれの頂点Ｐ０，Ｑ０を電極内において直線で結び、その直線のＰ０，Ｑ０間の距離を電極内最短離間距離ｄとする。
【００２４】
図４（ａ）は、本願発明の放電ランプにおいて、他の実施例を示す陽極の説明用断面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）の陽極における溶接部と溶融封止部を含む部分の拡大投影図である。
この実施例の陽極１３は、蓋部１３１の構造が図２で示す蓋部と異なり、蓋部側フランジ部１３１ａの上方に突起部１３１ｂが形成されている。その他、図２と同一符号は同一部分であるため説明は省略する。
【００２５】
この突起部１３１ｂを有することにより、陽極の拡大投影図において、突起部１３１ｂの角部Ｒ１とＲ２が写し出されることになる。
このような形状の蓋部１３１の場合、電極内最短離間極ｄは、投影図における溶接部Ｐの頂点Ｐ０とＲ１を電極内において直線で結び、その離間距離をｄ１とし、さらに、Ｒ１とＲ２を電極内において直線で結び、その離間距離をｄ２とし、さらに、溶融封止部Ｑの頂点Ｑ０とＲ２を電極内において直線で結び、その離間距離をｄ３として、ｄ１、ｄ２、ｄ３の合計の離間距離のことを言うものである。
【００２６】
図５（ａ）は、本願発明の放電ランプにおいて、他の実施例を示す陽極の説明用断面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）の陽極における溶接部と溶融封止部を含む部分の拡大投影図である。
この実施例の陽極１３は、蓋部１３１の構造が図２で示す蓋部と異なり、蓋部１３１の中心に電極軸に沿って円柱部１３１ｃが形成されており、この円柱部１３１ｃの中心に電極軸方向に伸びるようにガス導入用貫通孔１３３が形成されており、円柱部１３１ｃの先端でガス導入用貫通孔１３３の先端開口が溶融された溶融封止部Ｑが形成されている。
この円柱部１３１ｃに、適宜の継ぎ手機構を用いて電極を支持する内部リードが取り付けられるものである。その他、図２と同一符号は同一部分であるため説明は省略する。
【００２７】
この円柱部１３１ｃを有することにより、陽極の拡大投影図において、円柱部１３１ｃの角部Ｒ１が写し出されることになる。
このような形状の蓋部１３１の場合、電極内最短離間極ｄは、投影図における溶接部Ｐの頂点Ｐ０とＲ１を電極内において直線で結び、その離間距離をｄ１とし、さらに、溶融封止部Ｑの頂点Ｑ０とＲ１を電極内において直線で結び、その離間距離をｄ２として、ｄ１、ｄ２の合計の離間距離のことを言うものである。
【００２８】
図６（ａ）は、本願発明の放電ランプにおいて、他の実施例を示す陽極の説明用断面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）の陽極における溶接部と溶融封止部を含む部分の拡大投影図である。
この実施例の陽極１３は、基体部１３０と蓋部１３１との構造が図２で示す基体部と蓋部と異なり、基体部１３０の側壁の外面側にリング状の切削溝１３６が形成されており、この切削溝１３６の内側には基体部１３０の残部１３７があり、この残部１３７を通り電極軸と交差する方向に伸びるようのガス導入用貫通孔１３３が形成されており、側壁の外面でガス導入用貫通孔１３３の先端開口が溶融された溶融封止部Ｑが形成されている。
【００２９】
また、基体部１３０には、蓋部１３１の嵌入部１３２の先端が当接する段部１３５が形成されており、蓋部１３１の嵌入部１３２が段部１３５に当接した状態において、基体部１３０の上面外縁と蓋部１３１の上面外縁が周方向の全体にわたって溶接されて環状の溶接部Ｐが形成されている。その他、図２と同一符号は同一部分であるため説明は省略する。
【００３０】
図６（ｂ）に示す溶接部と溶融封止部を含む部分の拡大投影図では、実際には、基体部１３０の切削溝１３６は写し出されないものであるが、陽極の切削溝１３６を実測し、投影図に、切削溝１３６の形状を描写し、切削溝１３６の残部１３７側の角部をＲ１としている。
このような形状の電極の場合、電極内最短離間距離ｄは、投影図における溶接部Ｐの頂点Ｐ０とＲ１を電極内において直線で結び、その離間距離をｄ１とし、さらに、溶融封止部Ｑの頂点Ｑ０とＲ１を電極内において直線で結び、その離間距離をｄ２として、ｄ１、ｄ２の合計の離間距離のことを言うものである。
なお、陽極の形状が図２〜図６に示す以外の場合であっても、電極内最短離間距離ｄとは、電極内部を通り、溶接部Ｐの頂点Ｐ０と溶融封止部Ｑの頂点Ｑ０との最短の離間距離のことである。
【００３１】
なお、図２から図６に示す陽極１４では、蓋部１３１に嵌入部１３２が形成されている例を示しているが、嵌入部１３２は必須構造ではなく、基体部１３０の基端側の開口が蓋部１３１で塞がれていれば、蓋部１３１はどのような形状であってもよい。
【００３２】
次に、ガス導入用貫通孔について説明する。
図７は、ガス導入用貫通孔の長さを説明するための陽極の一部断面図である。
図７（ａ）に示すように、ガス導入用貫通孔１３３は、電極軸と並行であって直線状に蓋部１３１に形成されており、ガス導入用貫通孔１３３の開口径は一端側から他端側まで一定した開口径であり、ガス導入用貫通孔１３３の長さＬとは、溶融封止部Ｑの頂点Ｑ０から、陽極１３の密閉空間Ｃとの境界部分までの長さのことである。
【００３３】
図７（ｂ）は、蓋部１３１に電極軸と交差する方向にガス導入用貫通孔１３３が形成されており、ガス導入用貫通孔１３３の開口径は一端側から他端側まで一定した開口径であり、ガス導入用貫通孔１３３の長さＬとは、溶融封止部Ｑの頂点Ｑ０から、ガス導入用貫通孔に沿って密閉空間Ｃとの境界部分までの長さのことである。
【００３４】
図７（ｃ）は、蓋部１３１の嵌入部１３２に凹部１３２ａを有するものであり、この凹部１３２ａにつながるように、一定の開口径を有するガス導入用貫通孔１３３が形成されている。
そして、この凹部１３２ａは、密閉空間Ｃの一部と見なすものであり、ガス導入用貫通孔１３３の長さＬは、溶融封止部Ｑの頂点Ｑ０から、一定の開口径を保ちながら凹部１３２ａとの境界部分までの長さのことである。
なお、溶融封止部Ｑの頂点Ｑ０とは、陽極１３を溶融封止部Ｑとガス導入用貫通孔１３３を含む平面で電極軸に沿って切断し、その切断面において、溶融封止部Ｑの頂点をＱ０と定義したものである。
【００３５】
本発明の効果を確認するために以下の実験を行った。
〔実験例〕
この実験で用いた陽極は図２に示す構造の陽極であって、下記の構造の陽極を用いた放電ランプを使用した。
基体部１３０の円筒の外径が２９ｍｍ、基体部１３０の高さが６０ｍｍ、基体部側フランジ部１３０ａの外径が２７ｍｍ。
蓋部１３１の嵌入部１３２の外形が２０ｍｍ、蓋部側フランジ部１３１ａの外径が２７ｍｍ。
基体部１３０と蓋部１３1は、各々、タングステン（1気圧の下での融点が３６６０Ｋ）よりなる金属体を切削加工により作製し、この基体部と蓋部とを溶接し、密閉空間内に伝熱体Ｍとして銀（1気圧の下での融点が１２３５Ｋ）を封入した。
【００３６】
そして、図２中、蓋部１３１の蓋部側フランジ部１３１ａより上方に位置する部分の高さを変えて、溶接部Ｐと溶融封止部Ｑの電極内最短離間距離を変えた複数の陽極を作製し、電極作製後の基体部１３０と蓋部１３１の溶接部Pにおけるクラック発生の有無を調べた。その結果を表１に示す。
なお、この実験では、溶接部Ｐと溶融封止部Ｑの電極内最短離間距離が同一の陽極をそれぞれ５本作製し、この５本の陽極を試料全体本数として、試料全体本数のうちクラックが発生した陽極の本数を破壊本数とした。
【００３７】
【表１】
0004466731.tif 000002
【００３８】
さらに、図６中、基体部１３０に設けられたリング状の切削溝１３６の位置を変えることによってガス導入用貫通孔１３３の位置を変えて、溶接部Ｐと溶融封止部Ｑの電極内最短離間距離を変えた複数の陽極を作製し、電極作製後の基体部１３０と蓋部１３１の溶接部Pにおけるクラック発生の有無を調べた。その結果を表２に示す。
なお、この実験でも、溶接部Ｐと溶融封止部Ｑの電極内最短離間距離が同一の陽極をそれぞれ５本作製し、この５本の陽極を試料全体本数として、試料全体本数のうちクラックが発生した陽極の本数を破壊本数とした。
【００３９】
【表２】
0004466731.tif 000003
【００４０】
表１と表２に示す実験結果から、基体部と蓋部はタングステンからなり、溶接部と溶融封止部の電極内最短離間距離ｄが８ｍｍ以上であれば、蓋部に形成されたガス導入用貫通孔を溶融して溶融封止部を形成する際に発生する熱衝撃が基体部と蓋部の溶接部に到達することを防止でき、溶接部にクラック（ひび）が発生しないことが確認された。
一方、溶接部と溶融封止部の電極内最短離間距離ｄが７ｍｍ以下では、蓋部に形成されたガス導入用貫通孔を溶融して溶融封止部を形成する際に発生する熱衝撃が基体部と蓋部の溶接部に到達してしまい、溶接部にクラック（ひび）が発生する陽極があった。
【００４１】
さらに、図２中、蓋部１３１の嵌入部１３２の電極軸方向の長さを変えると、ガス導入用貫通孔の長さＬが変化するので、ガス導入用貫通孔の長さＬを変えた複数の陽極を作製し、作製後の陽極の基体部を電極軸と直交する方向で切断して、基体部の密閉空間を形成する内部表面の酸化物の有無を目視で観察した。その結果を表３に示す。
なお、この実験では、ガス導入用貫通孔１３３の開口径は、０．５ｍｍの一定の開口径の場合と、１．０ｍｍの一定の開口径の場合の２種類のガス導入用貫通孔を用いて実験を行った。
【００４２】
【表３】
0004466731.tif 000004
【００４３】
表３に示す実験結果から、ガス導入用貫通孔の長さＬが２５ｍｍ以下であれば、陽極製作時に、基体部と蓋部の隙間とガス導入用貫通孔を通して電極内の密閉空間となる空間のガスが確実に置換され、基体部の内表面が酸化物しておらず、従って、密閉空間内の伝熱体も酸化していないことが確認された。
一方、ガス導入用貫通孔の長さＬが２５ｍｍより長い場合、陽極製作時に、基体部と蓋部の隙間とガス導入用貫通孔を通して電極内の密閉空間となる空間のガスが置換され難く、基体部の内表面が酸化し、密閉空間内の伝熱体も酸化するものである。この結果、このような陽極を用いた放電ランプでは、伝熱体が酸化変質して、伝熱効果が低下し、陽極の先端部が過熱状態となる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本願発明の放電ランプの構成を示す説明図である。
【図２】図１に示す放電ランプの陽極の説明用断面図である。
【図３】図２の陽極における溶接部と溶融封止部を含む部分の拡大投影図である。
【図４】本願発明の放電ランプにおいて、他の実施例を示す陽極の説明用断面図と、その陽極における溶接部と溶融封止部を含む部分の拡大投影図である。
【図５】本願発明の放電ランプにおいて、他の実施例を示す陽極の説明用断面図と、その陽極における溶接部と溶融封止部を含む部分の拡大投影図である。
【図６】本願発明の放電ランプにおいて、他の実施例を示す陽極の説明用断面図と、その陽極における溶接部と溶融封止部を含む部分の拡大投影図である。
【図７】本願発明の放電ランプにおける電極に形成されたガス導入用貫通孔を示す断面説明図である。
【図８】従来の放電ランプの構成を示す説明図である。
【図９】図８に示す放電ランプの陽極の説明用断面図である。
【図１０】電極を製作する説明図である。
【符号の説明】
【００４５】
１０        放電ランプ
１１        発光管
１２        封止管
１３        陽極
１５        陰極
１６        内部リード棒
１３０      基体部
１３０ａ    基体部側フランジ部
１３１      蓋部
１３１ａ    蓋部側フランジ部
１３２      嵌入部
１３３      ガス導入用貫通孔
１３４      凹部
Ｐ          溶接部
Ｑ          溶融封止部
Ｍ          伝熱体
【図１】
0004466731.tif 000005
【図２】
0004466731.tif 000006
【図３】
0004466731.tif 000007
【図４】
0004466731.tif 000008
【図５】
0004466731.tif 000009
【図６】
0004466731.tif 000010
【図７】
0004466731.tif 000011
【図８】
0004466731.tif 000012
【図９】
0004466731.tif 000013
【図１０】
0004466731.tif 000014