(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のフリップフロップと、該複数のフリップフロップの各々に対応して設けられるセレクタと、を有する半導体集積回路であって、
前記フリップフロップは、それぞれマスターラッチ及び該マスターラッチに電気的に接続されるスレイブラッチを有し、
前記セレクタは、該セレクタが対応する前記フリップフロップの前記マスターラッチと電気的に接続されており、かつ、前記セレクタのうちの少なくとも一つは前記セレクタが対応する前記フリップフロップとは別の前記フリップフロップの前記マスターラッチとも接続されている半導体集積回路。
【請求項２】
前記セレクタは、該セレクタが対応する前記フリップフロップとは別の前記フリップフロップにおける前記マスターラッチの出力が入力されるよう接続されていることを特徴とする請求項１記載の半導体集積回路。
【請求項３】
前記セレクタは、該セレクタが対応する前記フリップフロップとは別の前記フリップフロップの前記スレイブラッチの出力も入力されるよう接続されていることを特徴とする請求項１記載の半導体集積回路。
【請求項４】
前記複数のフリップフロップにおけるマスターラッチと、前記セレクタは、スキャンチェーンを構成することを特徴とする請求項１記載の半導体集積回路。
【請求項５】
第一の論理回路と、
該第一の論理回路からの信号を受け付ける複数のセレクタと、
該複数のセレクタ各々に対応して設けられ、かつ、対応する該セレクタからの信号を受け付けるマスターラッチと、
該マスターラッチ各々に対応して設けられ、かつ、対応する該マスターラッチからの信号を受け付けるスレイブラッチと、
該スレイブラッチからの信号を受け付ける第二の論理回路と、を有する半導体集積回路であって、
前記複数のセレクタのうちの一つは、前記半導体集積回路外部からの信号と前記第一の論理回路からの信号のいずれかを選択して対応する前記マスターラッチへ出力し、
他の前記セレクタは、当該セレクタが対応する前記マスターラッチとは別の前記マスターラッチの信号と前記第一の論理回路からの信号のいずれかを選択し、対応する前記マスターラッチへと出力することを特徴とする半導体集積回路。
【請求項６】
前記複数のセレクタと該セレクタに対応して設けられるマスターラッチは、スキャンチェーンを構成することを特徴とする請求項５記載の半導体集積回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体集積回路に関し、特に、半導体集積回路の検査に好適な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路は、半導体材料若しくは絶縁材料の表面又は半導体材料の内部にトランジスターその他の回路素子を生成させ、電子回路の機能を有するように設計したものであり、パーソナルコンピュータや携帯電話などに用いられ、近年益々その高機能化及び高集積化が求められている。【０００３】
一方、半導体集積回路は電子回路としての機能を発揮する必要から出荷する際の動作検査を欠かすことはできず、通常の動作のための回路に加え、検査用の回路を設けることが通常行われている。【０００４】
この動作権検査の従来技術として、図６及び図７に示すものがある。従来技術は、マスターラッチとスレイブラッチからなる複数のフリップフロップと、このフリップフロップに対応して設けられるセレクタと、を有する半導体集積回路であって、スレイブラッチの出力端子を他のフリップフロップに対応して設けられるセレクタの入力端子とが接続されている。【０００５】
例えば図６に記載の技術（以下単に「第一の従来技術」という。）では、スレイブラッチの出力端子と他のフリップフロップに対応して設けられるセレクタの入力端子と、を電気的に接続させることにより、複数のフリップフロップを直列に接続しスキャンチェーンを構成し、検査を行う。【０００６】
また図７に記載の技術（以下単に「第二の従来技術」という。）では、更に、各フリップフロップが他のテスト用ラッチを有しており、スキャンチェーンによる検査において２パターン検査を行うことができる。なお上記の第一および第二の従来技術については下記特許文献１に詳しい記載がある。
【非特許文献１】Ｂｕｌｅｎｔ  Ｉ．  Ｄｅｒｖｉｓｏｕｇｌｕら、“Ｄｅｓｉｇ  ｆｏｒ  ｔｅｓｔａｂｉｌｉｔｙ：ｕｓｉｎｇ  ｓｃａｎｐａｔｈ  ｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ  ｆｏｒ  ｐａｔｈ−ｄｅｌａｙ  ｔｅｓｔ  ａｎｄ  ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ”、Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ  ｏｆ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  ｏｆ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｔｅｓｔ  Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ、１９９１年１０月、３６５頁〜３７４頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記記載の第一の従来技術では、検査時においていわゆる２パターンテストを行うことができない。２パターンテストは、信号遅延の確認を行う必要から、高機能、高集積化した回路において欠かすことのできない検査である。【０００８】
一方で、上記第二の従来技術では、いわゆる２パターンテストを行うことができるが、テスト用ラッチを各フリップフロップ内に設けなければならず、占有面積の増大をもたらしてしまう。【０００９】
そこで、本発明は、占有面積の増加を大幅にもたらすことなく、いわゆる２パターンテストが可能となる半導体集積回路を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するための手段として、本発明は例えば以下の手段を採用する。【００１１】
第一の手段として、複数のフリップフロップと、複数のフリップフロップの各々に対応して設けられるセレクタと、を有する半導体集積回路であって、フリップフロップは、それぞれマスターラッチ及びマスターラッチに電気的に接続されるスレイブラッチを有し、セレクタは、セレクタが対応するフリップフロップのマスターラッチと電気的に接続されており、かつ、セレクタの少なくとも一つは、セレクタが対応するフリップフロップとは別のフリップフロップのマスターラッチとも接続されている半導体集積回路とする。【００１２】
またこの手段において、セレクタは、このセレクタが対応するフリップフロップとは別のフリップフロップにおけるマスターラッチの出力が入力されるよう接続されていることも望ましい。【００１３】
またこの手段において、セレクタは、このセレクタが対応するフリップフロップとは別のフリップフロップのスレイブラッチの出力も入力されるよう接続されていることも望ましい。【００１４】
またこの手段において、複数のフリップフロップと、セレクタは、スキャンチェーンを構成することも望ましい。【００１５】
また、第二の手段として、第一の論理回路と、この第一の論理回路からの信号を受け付ける複数のセレクタと、この複数のセレクタ各々に対応して設けられ、かつ、このセレクタからの信号を受け付けるマスターラッチと、マスターラッチ各々に対応して設けられ、かつ、このマスターラッチからの信号を受け付けるスレイブラッチと、スレイブラッチからの信号を受け付ける第二の論理回路と、を有する半導体集積回路であって、複数のセレクタのうちの一つは、半導体集積回路からの信号と第一の論理回路からの信号のいずれかを選択して対応する前記マスターラッチへ出力し、他のセレクタは、このセレクタが対応するマスターラッチとは別のマスターラッチの信号と第一の論理回路からの信号のいずれかを選択し、対応するマスターラッチへと出力することとする。またこの手段において、複数のセレクタと該セレクタに対応して設けられる複数のマスターラッチは、スキャンチェーンを構成することも望ましい。
【発明の効果】
【００１６】
以上の手段により本発明は、占有面積の増加を大幅にもたらすことなく、いわゆる１パターン及び２パターンテストが可能となる半導体集積回路を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面に基づいて説明する。【００１８】
（実施形態１）
本実施形態の半導体集積回路は、半導体材料若しくは絶縁材料の表面又は半導体材料の内部にトランジスターその他の回路素子を生成させ、電子回路の機能を有するように設計したものであって、回路配置以外は周知の構成を採用することができる。【００１９】
図１は、本実施形態に係る半導体集積回路のブロック図である。本実施形態に係る半導体集積回路は、マスターラッチ及びスレイブラッチをそれぞれ有する四つのフリップフロップＦＦ１１、ＦＦ１２、ＦＦ１３、ＦＦ１４（以下単に、ＦＦ１１を「第一のフリップフロップ」、ＦＦ１２を「第二のフリップフロップ」、ＦＦ１３を「第三のフリップフロップ」、ＦＦ１４を「第四フリップフロップ」ともいう。）と、これらフリップフロップの各々に対応して設けられ、各フリップフロップへの入力を制御する四つのセレクタＭＵＸ１１、ＭＵＸ１２、ＭＵＸ１３、ＭＵＸ１４（以下単に、ＭＵＸ１１を「第一のセレクタ」、ＭＵＸ１２を「第二のセレクタ」、ＭＵＸ１３を「第三のセレクタ」、ＭＵＸ１４を「第四のセレクタ」ともいう。）と、を有して構成されている。【００２０】
セレクタＭＵＸ１１、ＭＵＸ１２、ＭＵＸ１３、ＭＵＸ１４の各々は二つの入力端子と一つの出力端子とを有し、いずれのセレクタも入力端子の一方は上流側の論理回路ＣＫＴ１１と電気的に接続されている。なお、本明細書において「端子」とは、電気的な接続をするために設けた電流の出入り口をいい、金具等が取り付けられず単に導線によって構成されている場合も含まれることとする。【００２１】
第一のセレクタＭＵＸ１１の入力端子の他の一方は、スキャンテスト信号を入力するための端子であって、スキャンテストの際外部のスキャンテスト信号入力装置と電気的に接続可能となるよう構成されている（図１においてスキャンテスト信号装置からのスキャンテスト信号を「ＳＣＡＮ  ＩＮ  １」と表現する）。【００２２】
なお、各セレクタは二つの入力端子に入力される信号のいずれかを選択して出力するものであって、そのいずれかの信号を選択させるかは接続される電源によって制御される（図示省略）。【００２３】
本実施形態における各フリップフロップは先ほど述べたように、マスターラッチ及びスレイブラッチを有しており（以下、第一のフリップフロップにおけるマスターラッチを単に「第一のマスターラッチＭＬ１１」、スレイブラッチを単に「第一のスレイブラッチＳＬ１１」と呼ぶ。第二、第三、第四のフリップフロップにおいて同様。）、各マスターラッチ、各スレイブラッチは入力端子としてＧ端子及びＤ端子を、出力端子としてＱ端子をそれぞれ有している。なお、各マスターラッチのＤ端子は対応して設けられるセレクタの出力端子に、Ｑ端子は同じフリップフロップに設けられているスレイブラッチのＤ端子にそれぞれ電気的に接続されており、各スレイブラッチのＱ端子は下流側の論理回路ＣＫＴ１２にそれぞれ電気的に接続されている。【００２４】
第一、第三のフリップフロップＦＦ１１、ＦＦ１３における第一、第三のマスターラッチＭＬ１１、ＭＬ１３のＧ端子は外部の第一のクロック信号源ＣＬＫ１１に電気的に接続されており、第二、第四のフリップフロップＦＦ１２、ＦＦ１４における第二、第四のマスターラッチＭＬ１２、ＭＬ１４のＧ端子は外部の第二のクロック信号源ＣＬＫ１２に電気的に接続されている。なお動作については後に詳細に説明するが、これらクロック信号源は接続されるマスターラッチの動作のオンオフを制御するクロック信号を出力するものである。【００２５】
また、第一、第三のフリップフロップＦＦ１１、ＦＦ１３における第一、第三のスレイブラッチＳＬ１１、ＳＬ１３のＧ端子は外部の第三のクロック信号源ＣＬＫ１３に電気的に接続されており、第二、第四のフリップフロップＦＦ１２、ＦＦ１４における第二、第四のスレイブラッチＳＬ１２、ＳＬ１４のＧ端子は外部の第四のクロック信号源ＣＬＫ１４に電気的に接続されている。なおこれらクロック信号源も上述のマスターラッチの場合と同様、スレイブラッチの動作のオンオフを制御するクロック信号を出力するものである。【００２６】
更に、第二のフリップフロップＦＦ１２に対応して設けられる第二のセレクタＭＵＸ１２の上流側の論理回路ＣＫＴ１１と電気的に接続する入力端子とは別の入力端子は、第一のフリップフロップＦＦ１１の第一のマスターラッチＭＬ１１のＱ端子にも電気的に接続されており、同様に第三、第四のフリップフロップＦＦ１３、ＦＦ１４に対応して設けられる第三、第四のセレクタＭＵＸ１３、ＭＵＸ１４の上流側の論理回路ＣＫＴ１１と電気的に接続する入力端子とは別の入力端子は、第二、第三のフリップフロップＦＦ１２、ＦＦ１３のマスターラッチＭＬ１２、ＭＬ１３のＱ端子にもそれぞれ電気的に接続されている。また第四のフリップフロップＦＦ１４のＱ端子は、スレイブラッチＳＬ１４のＤ端子に接続されると共に、スキャンテストの際、スキャンテスト信号検出装置に電気的に接続可能となるべくスキャンテスト信号検出用の端子が分岐して形成されている（このように複数のフリップフロップのマスターラッチがセレクタを介して直列に接続されている状態は鎖のように延びていることから、本明細書では「スキャンチェーン」と表現する）。【００２７】
なおここで各フリップフロップにおけるラッチの構成について説明する。本実施形態におけるフリップフロップは、Ｇ端子に入力される電圧値がオン状態であるときはＤ端子から入力される電圧値をＱ端子から出力する一方、オフ状態であるときは外部の電源から入力される電圧値ＶＤＤを出力するマスターラッチ及びスレイブラッチを有するものであって、各ラッチは図２で示されるような構成を有している。図２におけるラッチはマスターラッチＭＬ１１を示したものであるが、他のマスターラッチだけでなく他のスレイブラッチのいずれにおいても図２と同様の構成を採用することができる。また、ラッチは他の周知な回路構成を採用することができるし、もちろんそれらの組み合わせをも採用することができる。【００２８】
つぎに本実施形態に係る半導体集積回路の検査（以下単に「本検査」という。）における動作について説明する。本検査は、様々な時点で行うことができるが、半導体集積回路を形成した後、この半導体集積回路を出荷する際などにおいて行うことがもっとも好ましい態様といえる。本実施形態に係る半導体集積回路は１パターンテスト及び２パターンテストが可能であるため、各パターンテストについて説明する。【００２９】
まず、本検査における１パターンテストについて説明する。図３は本実施形態に係る半導体集積回路における１パターンテストにおける各信号の電圧値を示す図である。【００３０】
以下図３を参照しつつ、順を追って説明する。図３は本検査における各信号の関係について説明する図であって、Ｉ１は上流側の論理回路ＣＫＴ１１から第一のセレクタＭＵＸ１１に入力される信号の電圧値を、Ｉ２は上流側の論理回路ＣＫＴ１１から第二のセレクタＭＵＸ１２に入力される信号の電圧値を、Ｉ３は上流側の論理回路ＣＫＴ１１から第三のセレクタＭＵＸ１３に入力される信号の電圧値を、Ｉ４は上流側の論理回路ＣＫＴ１１から第四のセレクタＭＵＸ１４に入力される信号の電圧値を、ＳＣＡＮ  ＩＮはスキャンテスト信号装置からのスキャンテスト信号の電圧値を、ＭＬ１１は第一のマスターラッチＭＬ１１におけるＱ端子からの信号の電圧値を、ＭＬ１２は第二のマスターラッチＭＬ１２におけるＱ端子からの出力信号の電圧値を、ＭＬ１３は第三のマスターラッチＭＬ１３におけるＱ端子からの出力信号の電圧値を、ＭＬ１４は第四のマスターラッチＭＬ１４におけるＱ端子からの出力信号の電圧値を、ＳＥＬはセレクタＭＵＸ１１、ＭＵＸ１２、ＭＵＸ１３、ＭＵＸ１４に入力される信号の電圧値、をそれぞれ示している。なおＭＬ１４の電圧値は、図１において示しているとおり、ＳＣＡＮ  ＯＵＴ  １と同じ値を示すため、ＭＬ１４とＳＣＡＮ  ＯＵＴは同じ箇所に示している。またＳＬ１１は第一のスレイブラッチＳＬ１１のＱ端子からの出力信号の電圧値を示し、ＳＬ１２、ＳＬ１３、ＳＬ１４において同様である。ＣＬＫ１１、ＣＬＫ１２、ＣＬＫ１３、ＣＬＫ１４は上記のとおりクロック信号の電圧値を示している。なお、横軸は時間を示す。【００３１】
まず図３のＴ１の期間においてスキャンテスト信号ＳＣＡＮ  ＩＮの電圧値をＳ１３、ＣＬＫ１１の電圧値をオン状態、ＣＬＫ１２の電圧値をオフ状態、ＳＥＬの電圧値をオン状態とする。なお、本実施形態ではＳＥＬの電圧値がオンである場合、セレクタがスキャンテスト信号、又は接続されるマスターラッチのＱ端子からの出力信号を選択するよう構成しているが、実施の態様によっては、ＳＥＬがオン状態のとき、上記以外の選択、上流側の論理回路ＣＫＴ１１からの入力を選択するようにしても良い。【００３２】
ＳＥＬの電圧値はオン状態であるため、第一のセレクタＭＵＸ１１はスキャンテスト信号装置から入力されるスキャンテスト信号（Ｓ１３）を第一のマスターラッチＭＬ１１に出力する。この期間において第一のマスターラッチはオン状態となっているため、スキャンテスト信号（Ｓ１３）をそのままＱ端子から出力する。【００３３】
期間Ｔ２ではスキャンテスト信号の電圧値をＳ１１、ＣＬＫ１１の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ１２の電圧値をオン状態、ＳＥＬの電圧値をオン状態とする。なお、ＣＬＫ１４は期間後述する期間Ｔ９以外はオフ状態となっている。【００３４】
この期間において第一のマスターラッチＭＬ１１では、Ｇ端子に印加される電圧値がオフ状態であるため第一のマスターラッチＭＬ１１のＱ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３となる。第二のマスターラッチＭＬ１２では、Ｇ端子に印加される電圧値がオン状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１１のＱ端子からの出力信号の電圧値が第二のマスターラッチＭＬ１２の出力信号の電圧値Ｓ１３となる。【００３５】
期間Ｔ３ではスキャンテスト信号の電圧値をＳ１１のまま、ＣＬＫ１１の電圧値をオン状態、ＣＬＫ１２の電圧値をオフ状態、ＳＥＬの電圧値をオン状態とする。【００３６】
この期間において第一のマスターラッチＭＬ１１では、Ｇ端子に印加される電圧がオン状態となるため、第一のマスターラッチのＱ端子からの出力はＳ１１となる。第二のマスターラッチではＧ端子に印加される電圧がオフ状態となっているため、第二のマスターラッチのＱ端子の出力はＴ２の期間における出力Ｓ１３に保持される。第三のマスターラッチＭＬ１３ではＧ端子に印加される電圧値がオン状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ１３のＱ端子からの出力はＳ１３となる。【００３７】
期間Ｔ４ではスキャンテスト信号の電圧値をＳ１４、ＣＬＫ１１、ＣＬＫ１２の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ１３の電圧値をオン状態とする。【００３８】
この期間において、第一のマスターラッチではＧ端子に印加される電圧値がオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１１のままである。第二のマスターラッチにおいても、Ｇ端子に印加される電圧値がオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３に保持される。また、第三のマスターラッチにおいても、Ｇ端子に印加される電圧値がオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。
一方、第一のスレイブラッチＳＬ１１におけるＧ端子に印加される電圧値はオン状態となるため、第一のスレイブラッチＳＬ１１のＱ端子からの出力信号の電圧値は、第一のマスターラッチのＱ端子からの出力信号の電圧値となり、Ｓ１１となる。また、第三のスレイブラッチＳＬ１３のＧ端子に印加される電圧値もオン状態となっているため、第三のスレイブラッチＳＬ１３のＱ端子からの出力信号の電圧値も第三のマスターラッチＭＬ１３のＱ端子からの出力信号の電圧値と同じとなり、Ｓ１３となる。【００３９】
期間Ｔ５では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ１４のまま、ＣＬＫ１１の電圧値をオン状態、ＣＬＫ１２の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ１３の電圧値をオフ状態とする。【００４０】
この期間において、第一のマスターラッチではＧ端子に印加される電圧値がオン状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４となる。第二のマスターラッチではＧ端子に印加される電圧値がオフ状態となるため、第二のマスターラッチＭＬ１２のＱ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。また第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に印加される電圧値はオン状態ではあるが、第二のマスターラッチＭＬ１２のＱ端子からの出力信号の電圧値がＳ１３のためＱ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままである。また、第一のスレイブラッチＳＬ１１のＧ端子に印加される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１１のままとなり、第三のスレイブラッチＳＬ１３のＱ端子からの出力信号の電圧値も同様にＳ１３のままとなる。【００４１】
期間Ｔ６では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ１２、ＣＬＫ１１の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ１２の電圧値をオン状態、ＣＬＫ１３の電圧値をオフ状態とする。【００４２】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１ではＧ端子に印加される電圧値がオフ状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のまま維持される。第二のマスターラッチＭＬ１２では、Ｇ端子に印加される電圧値がオン状態となるため、第二のマスターラッチＭＬ１２のＱ端子からの出力信号の電圧値は第一のマスターラッチのＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなり、Ｓ１４となる。また、第三のマスターラッチＭＬ１３ではＧ端子に印加される電圧値がオフ状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ１４ではＧ端子に印加される電圧値がオン状態となるため、第三のマスターラッチＭＬ１３のＱ端子からの出力信号の電圧値が第四のマスターラッチＭＬ１４のＱ端子からの出力信号の電圧値と同じ隣、Ｓ１３となる。なお第一及び第三のスレイブラッチにおけるＱ端子からの出力信号の電圧値は期間Ｔ５における値と同じである。【００４３】
期間Ｔ７では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ１２のまま、ＣＬＫ１１の電圧値をオン状態、ＣＬＫ１２の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ１３の電圧値をオフ状態とする。【００４４】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１ではＧ端子に印加される電圧値がオン状態となっているため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２となる。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に印加される電圧値はオフ状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ１２のＱ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。また第三のマスターラッチＭＫ１３のＧ端子に印加される電圧値はオン状態となっているため、第三のマスターラッチＭＬ１３のＱ端子からの出力信号は、Ｄ端子への入力信号即ち第二のマスターラッチＭＬ１２のＱ端子からの出力信号と同じとなり、Ｓ１４となる。第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子に印加される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。なお第一及び第三のスレイブラッチにおけるＱ端子からの出力信号の電圧値は期間Ｔ５における値と同じである。【００４５】
期間Ｔ８では、スキャンテスト信号は入力せず、ＣＬＫ１１の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ１２の電圧値をオン状態、ＣＬＫ１３の電圧値をオフ状態とする。【００４６】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１ではＧ端子に印加される電圧値がオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままである。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に印加される電圧値はオン状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ１２のＱ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２となる。第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に印加される電圧値はオフ状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ１３のＱ端子から出力される出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。また、第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子に印加される電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４となる。なお第一及び第三のスレイブラッチにおけるＱ端子からの出力信号の電圧値は期間Ｔ５における値と同じである。【００４７】
期間Ｔ９では、スキャンテスト信号は入力せず（以後の期間において同様）、ＣＬＫ１１の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ１２の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ１３の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ１４の電圧値をオン状態とする。また、Ｉ１の電圧値をＲ１、Ｉ２の電圧値をＲ２、Ｉ３の電圧値をＲ３、Ｉ４の電圧値をＲ４として夫々入力し、これらの値は以後一定とする。また期間Ｔ９中においてＳＥＬの電圧を切り替えることにより、各セレクタＭＵＸ１１、ＭＵＸ１２、ＭＵＸ１３、ＭＵＸ１４の入力先を切り替えており、Ｔ９では上流側の論理回路ＣＫＴ１１からの信号を入力させることとする。【００４８】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１におけるＧ端子への印加電圧はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に印加される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号はＳ１２のままとなる。また第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に印加される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号はＳ１４のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子に印加される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号はＳ１４のままとなる。この期間ではＣＬＫ１４がオン状態となるため、第二のスレイブラッチＳＬ１２のＧ端子に印加される電圧値はオン状態であるため第二のスレイブラッチＳＬ１２のＱ端子から出力される信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ１２からの出力信号の電圧値と等しくＳ１２となり、同様に第四のスレイブラッチＳＬ１４のＱ端子から出力される信号の電圧値は第四のマスターラッチＭＬ１４からの出力信号の電圧値と等しくなり、Ｓ１４となる。なお第一及び第三のスレイブラッチにおけるＱ端子からの出力信号の電圧値は期間Ｔ５における値と同じである。【００４９】
期間Ｔ１０では、ＣＬＫ１１の電圧値をオン状態、ＣＬＫ１２の電圧値をオフ状態とする。【００５０】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１におけるＧ端子へ印加する電圧値はオン状態となるため、Ｄ端子への入力信号の電圧値がＱ端子からの出力信号の電圧値となる。ところで、期間Ｔ９中でＳＥＬにより各セレクタの入力の切り替えがなされていることから、第一のマスターラッチＭＬ１１のＱ端子からの出力信号の電圧値はＲ１となる。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に印加される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に印加される電圧値はオン状態であるため、Ｄ端子への入力信号の電圧値がＱ端子からの出力信号の電圧値となるが、期間Ｔ９中でＳＥＬによりセレクタの入力の切り替えがなされていることから、第三のマスターラッチＭＬ１３のＱ端子からの出力信号の電圧値はＲ３となる。第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子へ入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４となる。なお第一乃至第四のスレイブラッチにおけるＱ端子からの出力信号の電圧値は期間Ｔ９における値と同じである。【００５１】
期間Ｔ１１では、ＣＬＫ１１をオフ状態、ＣＬＫ１２をオン状態とする。【００５２】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子に印加される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に印加される電圧値はオン状態であるため、第一のマスターラッチのＱ端子からの出力信号の電圧値が第二のマスターラッチＭＬ１２の出力信号の電圧値と等しくなり、Ｒ１となる。第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に印加される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ３のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子に印加される電圧値はオン状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ１３のＱ端子からの出力信号の電圧値がＱ端子からの出力信号の電圧値となりＲ３となる。なお第一乃至第四のスレイブラッチにおけるＱ端子からの出力信号の電圧値は期間Ｔ１０における値と同じである。【００５３】
期間Ｔ１２では、ＣＬＫ１１をオン状態、ＣＬＫ１２をオフ状態とする。【００５４】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子に印加される電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＤ端子から入力される信号の電圧値と等しくなるが、ＳＥＬはＴ１０の期間において既にスキャンテスト信号の入力を選択するよう切り替えられているため、入力の信号はなくなっている。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に印加される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１のままとなる。また、第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子の電圧値はオン状態となっており、ＳＥＬの電圧値により第三のセレクタＭＵＸ１３は第二のマスターラッチＭＬ１２のＱ端子からの出力信号の電圧値を選択するようになっているため、Ｑ端子からの出力はＲ１となる。第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ３のままとなる。なお第一乃至第四のスレイブラッチにおけるＱ端子からの出力信号の電圧値は期間Ｔ１１における値と同じである。【００５５】
期間Ｔ１３では、ＣＬＫ１１をオフ状態、ＣＬＫ１２をオン状態とする。【００５６】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子に印加される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＴ１２の状態と変化は無い。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に印加される電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＤ端子から入力される信号の電圧値と等しくなる。しかしながらＳＥＬはＴ１０の期間において既にスキャンテスト信号の入力を選択するよう切り替えられているため、入力の信号はなくなっている。第三のマスターラッチのＧ端子に印加される電圧はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子に入力される電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ１３のＱ端子からの出力信号と等しくなり、Ｒ１となる。なお第一乃至第四のスレイブラッチにおけるＱ端子からの出力信号の電圧値は期間Ｔ１２における値と同じである。【００５７】
期間Ｔ１４では、ＣＬＫ１１をオフ状態、ＣＬＫ１２もオフ状態とする。【００５８】
この期間において、第一及び第二のマスターラッチＭＬ１１、ＭＬ１２のＧ端子に印加される電圧はオフ状態であるため、Ｑ端子から出力される電圧値はＴ１３と同様である。第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に印加される電圧はオフ状態であるため、Ｑ端子から出力される電圧値はＲ１のままとなる。また、第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子に印加される電圧はオフ状態であるため、Ｑ端子から出力される信号の電圧値はＲ１のままとなる。なお第一乃至第四のスレイブラッチにおけるＱ端子からの出力信号の電圧値は期間Ｔ１３における値と同じである。【００５９】
期間Ｔ１５では、ＣＬＫ１１をオフ状態、ＣＬＫ１２をオン状態とする。また期間Ｔ１５中においてＳＥＬの電圧を切り替えることにより、各セレクタＭＵＸ１１、ＭＵＸ１２、ＭＵＸ１３、ＭＵＸ１４の入力先を切り替えており、Ｔ１５では論理回路上流側の１１からの信号を入力させることとする。【００６０】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子に印加される電圧はオフ状態であるため、Ｑ端子から出力される電圧値はＴ１４と同様である。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に印加される電圧はオン状態となっており、また、Ｔ１４期間中にＳＥＬの電圧値をオン状態としていることより、第二のセレクタは上流側の論理回路ＣＫＴ１１からの入力信号を選択するようになっているため、第二のマスターラッチＭＬ１２のＱ端子からの出力信号の電圧値はＲ２となる。第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に印加される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１のままとなる。また第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子に印加される電圧はオン状態であり、また、Ｔ１４期間中にＳＥＬの電圧値をオン状態としていることより、第四のセレクタは上流側の論理回路ＣＫＴ１１からの入力信号を選択するようになっているため、第四のマスターラッチＭＬ１４のＱ端子からの出力信号の電圧値はＲ４となる。なお第一乃至第四のスレイブラッチにおけるＱ端子からの出力信号の電圧値は期間Ｔ１４における値と同じである。【００６１】
期間Ｔ１６では、ＣＬＫ１１をオン状態、ＣＬＫ１２をオフ状態とする。なお、期間Ｔ１４ではＳＥＬの電圧値をオフ状態とすることにより、各セレクタは上流の論理回路以外の信号を選択するようにしている。【００６２】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子に印加される電圧はオン状態であるが、スキャンテスト信号の入力は無いためＱ端子からの出力も無い。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に印加される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子から出力される信号の電圧値はＲ２のままである。第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に印加される電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子から出力される信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ１２のＱ端子の出力信号の電圧値と等しくなりＲ２となる。第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ４のままとなる。【００６３】
期間Ｔ１７では、ＣＬＫ１１をオフ状態、ＣＬＫ１２をオン状態としている。【００６４】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子に印加される電圧はオフ状態であるため、Ｔ１６と同様の値となる。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に印加される電圧値はオン状態であるため、Ｄ端子に入力される電圧値がＱ端子からの出力信号の電圧値となるが、スキャンテスト信号は入力されていないため、Ｑ端子からの出力は特段に無い。第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に印加される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ２となる。第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子に印加される電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子から出力される信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ１３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＲ２となる。【００６５】
以上のようにして、本実施形態に係る半導体集積回路により１パターンテストを実現することができる。【００６６】
次に、同様にして２パターンテストについて説明する。図４は本検査における各信号の関係について説明する図であり、Ｉ１、Ｉ２…などは図３とほぼ同じである。【００６７】
まず図４のＴ１の期間ではスキャンテスト信号ＳＣＡＮ  ＩＮの電圧値をＳ１３、ＣＬＫ１１の電圧値をオン状態、ＣＬＫ１２の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ１３、ＣＬＫ１４の電圧値をオフ状態、ＳＥＬの電圧値をオン状態とする。なおＳＥＬは後述する期間Ｔ１３以外はオン状態となっている。またＣＬＫ１３は期間Ｔ４、Ｔ１３においてオン状態となるがそれ以外はオフ状態であり、ＣＬＫ１４は期間Ｔ９のみオン状態となり、それ以外はオフ状態である。【００６８】
ＳＥＬの電圧値はオン状態であるため、第一乃至第四のセレクタＭＵＸ１１、ＭＵＸ１２、ＭＵＸ１３、ＭＵＸ１４は上流側のＣＫＴ１１から入力される信号以外の信号をマスターラッチに出力する。即ち、期間Ｔ１において第一のマスターラッチＭＬ１１のＱ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３となる。【００６９】
期間Ｔ２では、スキャンテスト信号をＳ１１、ＣＬＫ１１の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ１２の電圧値をオン状態とする。【００７０】
この期間では、ＣＬＫ１１の電圧値はオフ状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１１の出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。また第二のマスターラッチＭＬ１２の出力信号の電圧値は、Ｇ端子に入力される電圧値がオン状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１１のＱ端子の出力と同じＳ１３となる。【００７１】
期間Ｔ３ではスキャンテスト信号の電圧値をＳ１１、ＣＬＫ１１の電圧値をオン状態、ＣＬＫ１２の電圧値をオフ状態とする。【００７２】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ１１におけるＧ端子の入力はオン状態となっているため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１１となる。第二のマスターラッチＭＬ１２におけるＧ端子の入力電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。また、第三のマスターラッチＭＬ１４におけるＧ端子の入力電圧値はオン状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ１２におけるＱ端子の出力信号の電圧値と等しく、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３となる。【００７３】
期間Ｔ４ではスキャンテスト信号の電圧値をＳ１４、ＣＬＫ１１及びＣＬＫ１２の電圧値をオフ状態とする。またこの期間ではＣＬＫ１３の電圧値をオン状態とする。【００７４】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ１１におけるＧ端子の入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１１のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ１２におけるＧ端子の入力電圧値もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。また、第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に入力される電圧値もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値もＳ１３のままとなる。またこの期間においてＣＬＫ１３はオン状態となっているため、第一のスレイブラッチＳＬ１１のＧ端子の入力電圧値がオン状態となっているため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第一のマスターラッチＭＬ１１のＱ端子の出力信号と等しくなりＳ１１となる。また第三のスレイブラッチＳＬ１１におけるＧ端子に入力される電圧値もオン状態となっているため、第三のスレイブラッチＳＬ１３のＱ端子の出力は第三のスレイブラッチＳＬ１３のＱ端子の出力信号の電圧値と等しくなりＳ１３となる。【００７５】
期間Ｔ５ではスキャンテスト信号の電圧値をＳ１４、ＣＬＫ１１の電圧値をオン状態、ＣＬＫ１２の電圧値をオフ状態とする。【００７６】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子に入力される電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子から出力される電圧値はスキャンテスト信号と等しくなり、Ｓ１４となる。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に入力される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子から出力される電圧値はＳ１３のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に入力される電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ１２のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１３となる。またＣＬＫ１３はオフ状態であるため、第一及び第三のスレイブラッチのＱ端子からの出力信号の電圧値はそれぞれＳ１１、Ｓ１３のままとなる。【００７７】
期間Ｔ６ではスキャンテスト信号の電圧値をＳ１２、ＣＬＫ１１の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ１２の電圧値をオン状態とする。【００７８】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子に入力される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に入力される電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第一のマスターラッチＭＬ１１のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１４となる。また第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に入力される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子に入力される電圧値はここでオン状態となるため、Ｑ端子から出力される信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ１３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなりＳ１３となる。【００７９】
期間Ｔ７ではスキャンテスト信号をＳ１２のまま、ＣＬＫ１１の電圧値をオン状態、ＣＬＫ１２の電圧値をオフ状態とする。【００８０】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２となる。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ１２におけるＱ端子の出力信号の電圧値と等しくＳ１４となる。第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子から入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子から出力される信号の電圧値はＳ１３のままとなる。【００８１】
期間Ｔ８ではスキャンテスト信号を入力せず、ＣＬＫ１１の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ１２の電圧値をオン状態とする。【００８２】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子から出力される信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子から出力される信号の電圧値は第一のマスターラッチＭＬ１１のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなりＳ１２となる。第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子から入力される信号の電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ１３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなりＳ１４となる。【００８３】
期間Ｔ９ではスキャンテスト信号をＳ２３、ＣＬＫ１１、ＣＬＫ１２をオフ状態、ＣＬＫ１４をオン状態とする。【００８４】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子から入力される信号の電圧値もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。また第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に入力される電圧値もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値もＳ１４のままとなる。また第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子に入力される電圧値もオフ状態となっているため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値もＳ１４のままとなる。また第二のスレイブラッチＳＬ１２のＧ端子に入力される信号の電圧値はここでオン状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のスレイブラッチＳＬ１２のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなりＳ１２となる。まだ第四のスレイブラッチＳＬ１４のＧ端子に入力される信号の電圧値もオン状態となっているため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第四のマスターラッチＭＬ１４のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなりＳ１４となる。【００８５】
期間Ｔ１０ではスキャンテスト信号をＳ２３のまま、ＣＬＫ１１をオン状態、ＣＫＬ１２をオフ状態、ＣＬＫ１３、ＣＬＫ１４をオフ状態とする。【００８６】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子に入力される電圧値はオン状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ２３となる。また第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に入力される電圧値はオフ状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に入力される信号もオン状態となるため、Ｑ端子からの出力信号は第二のマスターラッチＭＬ１２のＱ端子から出力される信号の電圧値等しくなりＳ１２となる。第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。【００８７】
期間Ｔ１１ではスキャンテスト信号をＳ２１、ＣＬＫ１１をオフ状態、ＣＬＫ１２をオン状態とする。【００８８】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ２３のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第一のマスターラッチＭＬ１１のＱ端子からの出力信号と等しくなりＳ２３となる。また第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子に入力される電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ１３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなりＳ１２となる。【００８９】
期間Ｔ１２ではスキャンテスト信号をＳ２１のまま、ＣＬＫ１１をオン状態、ＣＫＬ１２をオフ状態とする。【００９０】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態となり、Ｑ端子から出力される信号の電圧値はＳ２１となる。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子から出力される信号の電圧値はＳ２３のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態となるため、Ｑ端子から出力される信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ１２のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ２３となる。第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。【００９１】
期間Ｔ１３ではＩ１をＲ１、Ｉ２をＲ２、Ｉ３をＲ３、Ｉ４をＲ４、スキャンテスト信号は入力せず、ＣＬＫ１１、１２、１４をオフ状態、ＣＬＫ１３をオン状態とする。なおＩ１〜Ｉ４の電圧値は以後の期間同じに保たれる。また、この期間においてＳＥＬをオフ状態とし、セレクタにおける入力信号を入れ替える処理を行う。【００９２】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ
Ｓ２１のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に入力される電圧値もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ２３のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に入力される信号の電圧値もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値もＳ２３のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ１４に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値もＳ１２のままとなる。ここでＣＬＫ１３はオン状態であるため第一のスレイブラッチＳＬ１１のＧ端子に入力される信号の電圧値がオン状態となり、Ｑ端子からの出力信号の電圧値が第一のマスターラッチＭＬ１１のＱ端子の出力信号の電圧値と等しくなりＳ２１となる。また同様に、第三のスレイブラッチＳＬ１３のＧ端子に入力される信号の電圧値がオン状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ１３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ２３となる。【００９３】
期間Ｔ１４ではＣＬＫ１１をオン状態、ＣＬＫ１２をオフ状態とする。また期間Ｔ１４においてＳＥＬの値はオン状態に戻る。【００９４】
この期間では、ＳＥＬの電圧値がオフ状態となっているため、第一のセレクタＭＵＸ１１は上流側の論理回路ＣＫＴ１１から入力される信号を選択して第一のマスターラッチＭＬ１１に入力させる。従って第一のマスターラッチＭＬ１１におけるＧ端子に入力される信号の電圧値がオン状態であるため、Ｑ端子から出力される信号の電圧値は上流側の論理回路ＣＫＴ１１より入力されるＩ１の電圧値と等しくＲ１となる。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に入力される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子から入力される電圧値はＳ２３のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ１３においても、ＳＥＬの電圧値がオフ状態となっているため、上流側の論理回路ＣＫＴ１１からの出力信号が第三のマスターラッチに入力され、しかも第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に入力される信号の電圧値がオン状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ１３のＱ端子からの出力信号の電圧値はＲ３となる。なお第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子から入力される信号の電圧値はオフ状態であるためＳ１２のままとなる。なおＣＬＫ１３はオフ状態のままであるため、第一のスレイブラッチのＱ端子からの出力信号の電圧値はＳ２１のまま、第三のスレイブラッチのＱ端子からの出力信号の電圧値はＳ２３のままである。【００９５】
期間Ｔ１５ではＣＬＫ１１をオフ状態、ＣＬＫ１２をオン状態とする。【００９６】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態となっているため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力は第一のマスターラッチのＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなりＲ１となる。第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に入力される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ３のままとなる。また第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子に入力される信号電圧の値はオン状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ１３のＱ端子からの出力信号と等しくＲ３となる。なお第一のスレイブラッチＳＬ１１からの出力信号の電圧値はＳ２１のまま、第二のスレイブラッチＳＬ１２からの出力信号の電圧値はＳ１２のまま、第三のスレイブラッチＳＬ１３からの出力信号の電圧値はＳ２３のまま、第四のスレイブラッチＳＬ１４からの出力信号の電圧値はＳ１４のままである。【００９７】
期間Ｔ１６ではＣＬＫ１１をオン状態、ＣＬＫ１２をオフ状態とする。【００９８】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子への入力信号の電圧値はオン状態であるものの、スキャンテスト信号の入力は無いため、Ｑ端子からの入力は無い。また第二のマスターラッチＭＬ１２のＧ端子への入力信号の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１のままとなる。また第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子から出力される信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ１２のＱ端子から出力される信号の電圧値と等しくなりＲ１となる。第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子から出力される信号の電圧値はＲ３のままとなる。。なお第一のスレイブラッチＳＬ１１からの出力信号の電圧値はＳ２１のまま、第二のスレイブラッチＳＬ１２からの出力信号の電圧値はＳ１２のまま、第三のスレイブラッチＳＬ１３からの出力信号の電圧値はＳ２３のまま、第四のスレイブラッチＳＬ１４からの出力信号の電圧値はＳ１４のままである。【００９９】
期間Ｔ１７ではＣＬＫ１１をオフ状態、ＣＬＫ１２をオン状態とする。【０１００】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ１１のＧ端子への入力信号の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は無いまま保持される。また第二のマスターラッチのＧ端子に入力される信号の電圧値もオン状態であるが、第一のマスターラッチＭＬ１１のＱ端子からの出力信号が無いため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値も無いものとなる。また第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に入力される電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子から出力される信号の電圧値はＲ１のまま保持される。第四運のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ１３のＱ端子から出力される信号の電圧値となりＲ１となる。【０１０１】
期間Ｔ１８ではＣＬＫ１１をオン状態、ＣＬＫ１２をオフ状態とする。【０１０２】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ１１、第二のマスターラッチＭＬ１２は期間Ｔ１７と変化は無い。第三のマスターラッチＭＬ１３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態となっているため、Ｑ端子からの出力信号は第二のマスターラッチのＱ端子にから出力される信号の電圧値と等しくなるが、第二のマスターラッチＭＬ１２のＱ端子から出力される電圧値は無いため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値も無い。第四のマスターラッチＭＬ１４のＧ端子はオフ状態であるため、Ｒ１の値を保持する。【０１０３】
以上のように、スキャンテスト信号、クロック信号等を入力し、あらかじめ計算により求めた予想信号と同様であるか否かを検出し、予測の範囲内場合は規格品として、予測の範囲外となっている場合は規格外品として処理することができる。なお本検査では上記のように印加したスキャンテスト信号、クロック信号等を繰り返しにゅうりょくすることでテストを繰り返し、パターンテストを繰り返すことができる。【０１０４】
以上、本実施形態に係る半導体集積回路により、回路面積の増大を伴うことなく容易に１パターンテスト、２パターンテストのいずれも可能な半導体集積回路を提供することができる。【０１０５】
また、本実施形態において、説明のためにフリップフロップが四つの例について記載しているが、フリップフロップの数は四以上であってもかまわない。その場合セレクタの数もフリップフロップの数と同数設けることとなる。【０１０６】
（実施形態２）
次に、本発明の第二の実施形態について図面を用いて説明する。まず本実施形態に係る半導体集積回路のブロック図を図５に示す。【０１０７】
本実施形態に係る半導体集積回路は、セレクタが他のフリップフロップのスレイブラッチからの出力を受け付けることができるよう入力端子を設け電気的に接続可能とした点、第四のスレイブラッチのＱ端子側においてもスキャンテスト信号の出力を検出可能なように入力端子を分岐させた点、を除いてほぼ実施形態１と構成は同じである。具体的に説明すると、基本的な構成は実施形態１に記載の構成と同じであるものの、第二のフリップフロップに対応して設けられる第二のセレクタＭＵＸ２２は入力端子を三つ有し、その追加された一つは第一のフリップフロップにおける第一のスレイブラッチのＱ端子に電気的に接続可能となっている。第三のセレクタＭＵＸ２３についても同様である。なお、本実施形態ではセレクタが三つの入力端子を有している太陽としているが、二つの入力端子を有するセレクタを複数接続して実質的に三つの入力のうちいずれかが出力されるよう構成しても良い（但しこの場合、セレクタの選択を制御する電圧値ＳＥＬは設けるセレクタの数だけ必要となる）。【０１０８】
つぎに本実施形態に係る半導体集積回路の検査（以下単に「本検査」という。）における動作について説明する。本検査は、様々な時点で行うことができるが、半導体集積回路を形成した後、この半導体集積回路を出荷する際などにおいて行うことがもっとも好ましい態様といえる。【０１０９】
本実施形態に係る半導体集積回路では１パターンテストと２パターンテストの２種類の検査が可能である。まず、図６は１パターンテストにおける各信号の関係について説明する図であり、Ｉ１、Ｉ２…などは図３とほぼ同じである。ただし、第四のスレイブラッチＳＬ１４からの出力についてはスキャンテスト信号の出力ともなっているためＳＣＡＮＯＵＴ２と重複して記載している。【０１１０】
本検査において、セレクタＭＵＸ２１、ＭＵＸ２２、ＭＵＸ２３、ＭＵＸ２４は、接続する電源（図示せず）によって、三つある入力端子のうちいずれかからの入力を対応するフリップフロップのマスターラッチに入力するよう構成されている。【０１１１】
まず図６のＴ１の期間ではスキャンテスト信号ＳＣＡＮ  ＩＮの電圧値をＳ１４、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオン状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオフ状態とする。なおＳＥＬの電圧値は後述する期間Ｔ８からＴ９の間以外はオン状態となっており、この期間以外は接続するスレイブラッチのＱ端子からの出力を対応するマスターラッチのＤ端子に入力するようになっており、第一のセレクタＭＵＸ２１についてはスキャンテスト信号を選択するようになっている。【０１１２】
この期間では、第一のマスターラッチのＧ端子への入力される信号の電圧値がオン状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４となる。【０１１３】
期間Ｔ２では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ１３、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオン状態とする。【０１１４】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力がオフ状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ２１の出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。また第一のスレイブラッチＳＬ２１のＧ端子への入力はオン状態であるため、第一のスレイブラッチＳＬ２１のＱ端子からの出力信号の電圧値は第一のマスターラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力信号の電圧値に等しくＳ１４となる。【０１１５】
期間Ｔ３では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ１３、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオン状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオフ状態とする。【０１１６】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力がオン状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力はスキャンテスト信号と等しくＳ１３となる。第一のスレイブラッチＳＬ２１のＧ端子への入力信号はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオン状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ２２のＱ端足からの出力信号の電圧値は第一のスレイブラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力信号と等しくＳ１４となる。【０１１７】
期間Ｔ４では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ１２、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオン状態とする。【０１１８】
この期間では、第一のマスターラッチのＧ端子への入力がオフ状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままである。第一のスレイブラッチＳＬ２１のＧ端子への入力はオン状態であるため、第一のスレイブラッチＳＬ２１のＱ端子からの出力信号の電圧値は、第一のマスターラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力と等しくＳ１３となる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のままである。第二のスレイブラッチＳＬ２２のＧ端子への入力はオン状態であるため、第二のスレイブラッチＳＬ２２の出力信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ２２のＱ端子からの出力と等しくＳ１４となる。【０１１９】
期間Ｔ５では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ１２のまま、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオン状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオフ状態とする。【０１２０】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力がオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はスキャンテスト信号の電圧値と等しくなりＳ１２となる。第一のスレイブラッチＳＬ２１のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第一のスレイブラッチＳＬ２１のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１３となる。第二のスレイブラッチＳＬ２２のＧ端子の入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のスレイブラッチＳＬ２２のＱ端子からの出力と等しくＳ１４となる。【０１２１】
期間Ｔ６では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ１１とし、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオン状態とする。【０１２２】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力がオフ状態であるためＱ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第一のスレイブラッチＳＬ２１のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は、第一のマスターラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１２となる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。第二のスレイブラッチＳＬ２２のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ２２のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなりＳ１３となる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。第三のスレイブラッチＳＬ２３のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力新語の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ２３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１４となる。【０１２３】
期間Ｔ７では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ１１のままとし、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオン状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオフ状態とする。【０１２４】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１の入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力はスキャンテスト信号の電圧値と等しくＳ１１となる。第一のスレイブラッチＳＬ２１のＧ端子への入力はオフ状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第一のスレイブラッチＳＬ２１のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１２となる。第二のスレイブラッチＳＬ２２のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は、第二のスレイブラッチＳＬ２２のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１３となる。第三のスレイブラッチＳＬ２３のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子の出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のスレイブラッチＳＬ２３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１４となる。【０１２５】
期間Ｔ８では、スキャンテスト信号の電圧値を無くし（期間Ｔ９以降同じ）、Ｉ１の入力電圧をＲ１、Ｉ２の入力電圧値Ｒ２、Ｉ３の入力電圧をＲ３、Ｉ４の入力電圧をＩ４とする。またＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオン状態とする。【０１２６】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力がオフ状態であるためＱ端子からの出力信号の電圧値はＳ１１のままとなる。第一のスレイブラッチＳＬ２１のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力は第一のマスターラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１１となる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第二のスレイブラッチＳＬ２２のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ２２のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１２となる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。第三のスレイブラッチＳＬ２３のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ２３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１３となる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。第四のスレイブラッチＳＬ２４のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第四のマスターラッチＭＬ２４のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１４となる。【０１２７】
期間Ｔ９では、Ｉ１をＲ１のまま、Ｉ２をＲ２のまま、Ｉ３をＲ３のまま、Ｉ４をＲ４のままとし、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオン状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオフ状態とする。またＳＥＬはオフ状態となり、各セレクタは上流側の論理回路ＣＫＴ２１からの入力信号を選択するようになっている。【０１２８】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力がオン状態であり、セレクタはスキャンテスト信号以外の上流側の論理回路ＣＫＴ２１からの入力信号を受け付けるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１となる。第一のスレイブラッチＳＬ２１のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１１のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は上流側の論理回路ＣＫＴ２１からの入力信号の電圧値と等しくなりＲ２となる。第二のスレイブラッチＳＬ２２のＧ端子への入力はオフ状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は上流側の論理回路ＣＫＴ２１からの入力信号の電圧値と等しくＲ３となる。第三のスレイブラッチＳＬ２３のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は上流側の論理回路ＣＫＴ２１からの入力信号の電圧値と等しくなりＲ４となる。第四のスレイブラッチＳＬ２４のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。なおＳＥＬはこの期間にオン状態に戻り、上流側の論理回路ＣＫＴ２１以外のスキャンテスト信号又はスレイブラッチからの信号を選択する。【０１２９】
期間Ｔ１０では、Ｉ１〜Ｉ４への入力は行わず、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオン状態とする。【０１３０】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１のままとなる。第一のスレイブラッチＳＬ２１のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第一のマスターラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力信号と等しくＲ１となる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ２のままとなる。第二のスレイブラッチＳＬ２２のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ２２のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＲ２となる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ３のままである。第三のスレイブラッチＳＬ２３のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ２３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＲ３となる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ４のままとなる。第四のスレイブラッチＳＬ２４のＧ端子への入力信号はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第四のマスターラッチＭＬ２４のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＲ４となる。【０１３１】
期間Ｔ１１では、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオン状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオフ状態とする。【０１３２】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力がオン状態となるため、スキャンテスト信号の電圧値と等しくなるが、スキャンテスト信号からの入力は無いため、Ｑ端子からの特段の出力も無い（以後同じである）。第一のスレイブラッチＳＬ２１のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第一のスレイブラッチＳＬ２１のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなりＲ１となる。第二のスレイブラッチＳＬ２２の入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ２のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子からの入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は、第二のスレイブラッチＳＬ２２のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＲ２となる。第三のスレイブラッチＳＬ２３のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ３のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のスレイブラッチＳＬ２４のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＲ３となる。第四のスレイブラッチＳＬ２４のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ４のままとなる。【０１３３】
期間Ｔ１２では、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオン状態とする。【０１３４】
この期間では、第一のスレイブラッチＳＬ２１のＧ端子への入力がオン状態となり、Ｑ端子からの出力は第一のマスターラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなるが第一のマスターラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力は無いため、無くなる（以後の期間において同じ）。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力はＲ１のままである。第二のスレイブラッチＳ２１２のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ２２のＱ端子からの出力と等しくＲ１となる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ２のままである。第三のスレイブラッチＳＬ２３のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号電圧値は第三のマスターラッチＭＬ２３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＲ２となる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ３のままである。第四のスレイブラッチＳＬ２４のＧ端子への入力はオン状態であり、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第四のマスターラッチＭＬ２４のＱ端子からの出力信号の電圧値に等しくＲ３となる。【０１３５】
期間Ｔ１３では、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオン状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオフ状態とする。【０１３６】
この期間では、第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第一のスレイブラッチＳＬ２１のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなるが、第一のスレイブラッチＳＬ２１のＱ端子からの出力信号は無いため、無くなる（以後の期間において同じ）。第二のスレイブラッチＳＬ２２のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のスレイブラッチＳＬ２３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＲ１となる。第三のスレイブラッチＳＬ２３のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ２のままである。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のスレイブラッチＳＬ２３のＱ端子からの出力と等しくＲ２となる。第四のスレイブラッチＳＬ２４のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力はＲ３のままとなる。【０１３７】
期間Ｔ１４では、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオン状態とする。【０１３８】
この期間では、第二のスレイブラッチＳＬ２２のＧ端子がオン状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ２２のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなるが、第二のマスターラッチＭＬのＱ端子からの出力信号は無いため、無くなる（以後の期間において同じである）。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオフ状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１のままである。第三のスレイブラッチＳＬ２３のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１となる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ２のままである。第四のスレイブラッチＳＬ２４のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第四のマスターラッチＭＬ２４のＱ端子からの出力信号の電圧値に等しくＲ２となる。【０１３９】
期間Ｔ１５では、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオン状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオフ状態とする。【０１４０】
この期間では、第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力がオン状態であり、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のスレイブラッチＳＬ２２のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなるが、第二のスレイブラッチＳＬ２２の出力はなくなっているため、無くなる（以後の期間において同じ）。第三のスレイブラッチＳＬ２３のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のスレイブラッチＳＬ２３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＲ１となる。第四のスレイブラッチＳＬ２４のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ２のままとなる。【０１４１】
期間Ｔ１６では、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオン状態とする。【０１４２】
この期間では、第三のスレイブラッチＳＬ２３のＧ端子への入力がオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ２３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなるが、この信号は無いため、無くなる（以後の期間において同じ）。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１のままである。第四のスレイブラッチＳＬ２４のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第四のマスターラッチＭＬ２４のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＲ１となる。【０１４３】
期間Ｔ１７では、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオン状態、ＣＬＫ２３、ＣＬＫ２４の電圧値をオフ状態とする。【０１４４】
この期間において、第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオン状態となり、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のスレイブラッチＳＬ２３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなるが、この信号は無いため、無くなる（以後の期間において同じ）。第四のスレイブラッチＳＬ２４の電圧値はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力はＲ１のままとなる。【０１４５】
以上のように、本実施形態に係る半導体集積回路において１パターンテストを実施することができる。【０１４６】
また次に、本実施形態に係る半導体集積回路における２パターンテストを実施する。図７は２パターンテストにおける各信号の関係について説明する図であり、Ｉ１、Ｉ２…などは図３とほぼ同じである。ただし、第四のスレイブラッチＳＬ２４からの出力についてはスキャンテスト信号の出力ともなっているためＳＣＡＮＯＵＴ２と重複して記載している。【０１４７】
本検査において、セレクタＭＵＸ２１、ＭＵＸ２２、ＭＵＸ２３、ＭＵＸ２４は、接続する電源（図示せず）によって、三つある入力端子のうちいずれかからの入力を対応するフリップフロップのマスターラッチに入力するよう構成されており、ＳＥＬがオン状態の場合、第一のセレクタＭＵＸ２１はスキャンテスト信号を選択し、第二乃至第四のセレクタＭＵＸ２２、ＭＵＸ２３、ＮＵＸ２４は他のマスターラッチのＱ端子からの出力信号を選択する。【０１４８】
まず図７のＴ１の期間ではスキャンテスト信号ＳＣＡＮ  ＩＮの電圧値をＳ１３、ＣＬＫ２１の電圧値をオン状態、ＣＬＫ２２の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ２３の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ２４の電圧値をオフ状態とする。なおＣＬＫ２３は期間Ｔ４、Ｔ１３を除いてオフ状態であり、ＣＬＫ２４は期間Ｔ９を除いてオフ状態である。またＳＥＬは期間Ｔ１３中にオフ状態となり期間Ｔ１４中にオン状態に戻る以外はオン状態となっている。【０１４９】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオン状態となっているため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３となる。【０１５０】
期間Ｔ２では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ１１とし、ＣＬＫ２１の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ２２の電圧値をオン状態とする。【０１５１】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力がオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。第一のスレイブラッチＳＬ２１のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第一のマスターラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力信号と等しくＳ１３となる。【０１５２】
期間Ｔ３では、スキャンテスト信号の電圧値はＳ１１のままであり、ＣＬＫ２１の電圧値はオン状態、ＣＬＫ２２の電圧値はオフ状態とする。【０１５３】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力はオン状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はスキャンテスト信号と等しくＳ１１となる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオン状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ２２のＱ端子からの出力信号と等しくなり、Ｓ１３となる。【０１５４】
期間Ｔ４では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ１４とし、ＣＬＫ２１の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ２２の電圧値もオフ状態、ＣＬＫ２３の電圧値はオン状態とする。【０１５５】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１１のままである。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値もＳ１３のままである。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号もＳ１３のままである。第一のスレイブラッチＳＬ２１のＧ端子への入力はオン状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第一のマスターラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなりＳ１１となる。また第三のスレイブラッチＳＬ２３のＧ端子への入力もオン状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ２３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１３となる。【０１５６】
期間Ｔ５では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ１４のままとし、ＣＬＫ２１の電圧値をオン状態、ＣＬＫ２２の電圧値をオフ状態とする。【０１５７】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力がオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４となる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオン状態であり、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ２２のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなりＳ１３となる。但しこの出力はＴ４と同様である。第一のスレイブラッチＳＬ２１のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１１のままとなる（Ｔ１２まで以後同じである）。また第三のスレイブラッチＳＬ２３のＧ端子への入力もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる（これもＴ１２まで以後同じである）。【０１５８】
期間Ｔ６では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ１２とし、ＣＬＫ２１の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ２２の電圧値をオン状態とする。【０１５９】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４となる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ２３のＱ端子からの出力信号と等しくＳ１３となる。【０１６０】
期間Ｔ７では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ１２のままとし、ＣＬＫ２１の電圧値をオン状態とし、ＣＬＫ２２の電圧値の状態をオフ状態とする。【０１６１】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力がオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はスキャンテスト信号と等しくなりＳ１２となる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力信号はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ２２のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１４となる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１３のままとなる。【０１６２】
期間Ｔ８では、スキャンテスト信号の入力は行わず、ＣＬＫ２１の電圧値はオフ状態とし、ＣＬＫ２２の電圧値はオン状態とする。【０１６３】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオン状態であり、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第一のマスターラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力信号の電圧値に等しくＳ１２となる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ２３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１４となる。【０１６４】
期間Ｔ９では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ２３、ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２の電圧値をオフ状態とし、ＣＬＫ２４の電圧値をオン状態とする。【０１６５】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値もＳ１４のままとなる。第四のｍスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のままとなる。第二のスレイブラッチＳＬ２２のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は、第二のマスターラッチＭＬ２２のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１２となる。第四のスレイブラッチＳＬ２４のＧ端子への入力もオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第四のマスターラッチＭＬ２４のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１４となる。【０１６６】
期間Ｔ１０では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ２３とし、ＣＬＫ２１の電圧値をオン状態、ＣＬＫ２２の電圧値をオフ状態とする。【０１６７】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はスキャンテスト信号の電圧値と等しくＳ２３となる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオン状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ２３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１２となる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力はＳ１４のままとなる。なお第二のスレイブラッチＳＬ２２のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままである（以後の期間同じである）。また第四のスレイブラッチＳＬ２４のＧ端子への入力もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１４のままである（以後の期間同じである）。【０１６８】
期間Ｔ１１では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ２１とし、ＣＬＫ２１の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ２２の電圧値をオン状態とする。【０１６９】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力はオフ状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ２３のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオン状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は、第一のマスターラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ２３となる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ２３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ１２となる。【０１７０】
期間Ｔ１２では、スキャンテスト信号の電圧値をＳ２１のままとし、ＣＬＫ２１の電圧値をオン状態、ＣＬＫ２２の電圧値をオフ状態とする。【０１７１】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力はスキャンテスト信号の電圧値と等しくＳ２１となる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ２３のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ２２のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＳ２３となる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオフ状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。【０１７２】
期間Ｔ１３では、スキャンテスト信号の入力は行わず（以後の期間において同じ）、上流側の論理回路ＣＫＴ２１からの入力信号としてＩ１からＲ１、Ｉ２からＲ２、Ｉ３からＲ３、Ｉ４からＲ４を入力する（以後の期間において同じ）。またＣＬＫ１１、ＣＬＫ１２の電圧値はオフ状態、ＣＬＫ１３の電圧値はオン状態、ＣＬＫ１４の電圧値はオフ状態とする。またこの期間においてＳＥＬの電圧値をオフ状態と切り替える。【０１７３】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ２１のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ２３のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ２３のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第一のスレイブラッチＳＬ２１のＧ端子への入力はオン状態となるため、Ｑ端子からの出力の電圧値は第一のマスターラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくなりＳ２１となる。第三のスレイブラッチＳＬ２３のＧ端子への入力信号もオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ２３のＱ端子からの出力信号と等しくなりＳ２３となる。【０１７４】
期間Ｔ１４では、ＣＬＫ２１をオン状態、ＣＬＫ２２をオフ状態とする。またＳＥＬの電圧値はこの期間において再びオン状態に切り替えられる。【０１７５】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は上流側の論理回路ＣＫＴ２１からの入力信号と等しくＲ１となる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ２３のままとなる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は、上流側の論理回路ＣＫＴ２１からの入力信号の電圧値と等しくＲ３となる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオフ状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ１２のままとなる。第一のスレイブあっちＳＬ２１のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ２１のままとなる（以後の期間において同じである）。また第三のスレイブラッチＳＬ２３のＧ端子への入力もオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＳ２３のままとなる（以後の期間において同じである）。【０１７６】
期間Ｔ１５では、ＣＬＫ２１の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ２１の電圧値をオン状態とする。【０１７７】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力がオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１のままとなる。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第一のマスターラッチＭＬ２１のＱ端子からの出力信号と等しくＲ１となる。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ３のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力信号の電圧値はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ２３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＲ３となる。【０１７８】
期間Ｔ１６では、ＣＬＫ２１の電圧値をオン状態、ＣＬＫ２２の電圧値をオフ状態とする。【０１７９】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ２１のＧ端子への入力がオン状態であり、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はスキャンテスト信号と等しくなるが、スキャンテスト信号の入力は無いため、出力も特段には無い（以後の期間において同じ）。第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１のまｍである。第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第二のマスターラッチＭＬ２２のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＲ１となる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出漁区信号の電圧値はＲ３のままである。【０１８０】
期間Ｔ１７では、ＣＬＫ２１の電圧値をオフ状態、ＣＬＫ２２の電圧値をオン状態とする。【０１８１】
この期間では、第二のマスターラッチＭＬ２２のＧ端子への入力はオン状態となるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はスキャンテスト信号と等しくなるが、スキャンテスト信号の入力は無いため、出力は無い（以後の期間において同じ）。 第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１のままとなる。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオン状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値は第三のマスターラッチＭＬ２３のＱ端子からの出力信号の電圧値と等しくＲ１となる。【０１８２】
期間Ｔ１８では、ＣＬＫ２１の電圧値をオン状態、ＣＬＫ２２の電圧値をオフ状態とする。【０１８３】
この期間では、第三のマスターラッチＭＬ２３のＧ端子への入力はオン状態であり、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はスキャンテスト信号と等しくなるが、スキャンテスト信号の入力は無いため、出力も無くなる（以後同じ）。第四のマスターラッチＭＬ２４のＧ端子への入力はオフ状態であるため、Ｑ端子からの出力信号の電圧値はＲ１のままである。【０１８４】
以上のように、本実施形態の半導体集積回路を用いることにより、１パターンテスト及び２パターンテストをラッチの増加をもたらすことなく容易に行うことができる。【０１８５】
なお、実施形態２にて用いた２パターンテストの信号の電圧関係については、実施形態１における２パターンテストとしても用いることができるし、実施形態１にて用いた２パターンテスト及び１パターンテストの信号を実施形態２の２パターンテスト、１パターンテストに用いることも（セレクタの選択の制御について調整することが必要であるが）適宜可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１８６】
【図１】実施形態１に係る半導体集積回路のブロック図
【図２】実施形態１に係る半導体集積回路におけるマスターラッチの等価回路図
【図３】実施形態１に係る半導体集積回路の１パターンテストにおける各構成要素の信号電圧を示す図
【図４】実施形態１に係る半導体集積回路の２パターンテストにおける各構成要素の信号電圧を示す図
【図５】実施形態２に係る半導体集積回路のブロック図
【図６】実施形態２に係る半導体集積回路の１パターンテストにおける各構成要素の信号電圧を示す図
【図７】実施形態２に係る半導体集積回路の２パターンテストにおける各構成要素の信号電圧を示す図
【図８】従来技術１に係る半導体集積回路のブロック図
【図９】従来技術２に係る半導体集積回路のブロック図
【符号の説明】
【０１８７】
ＭＵＸ１１、ＭＵＸ２１…第一のセレクタ、ＭＵＸ１２、ＭＵＸ２２…第二のセレクタ、ＭＵＸ１３、ＭＵＸ２３…第三のセレクタ、ＭＵＸ１４、ＭＵＸ２４…第四のセレクタ、ＭＬ１１、ＭＬ２１…第一のマスターラッチ、ＭＬ１２、ＭＬ２２…第二のマスターラッチ、ＭＬ１３、ＭＬ２３…第三のマスターラッチ、ＭＬ１４、ＭＬ２４…第四のマスターラッチ、ＳＬ１１、ＳＬ２１…第一のスレイブラッチ、ＳＬ１２、ＳＬ２２…第二のスレイブラッチ、ＳＬ１３、ＳＬ２３…第三のスレイブラッチ、ＳＬ１１、ＳＬ２４…第四のスレイブラッチ、ＦＦ１１、ＦＦ２１…第一のフリップフロップ、ＦＦ１２、ＦＦ２２…第二のフリップフロップ、ＦＦ１３、ＦＦ２３…第三のフリップフロップ、ＦＦ１４、ＦＦ２４…第四のフリップフロップ、ＣＫＴ１１、２１…上流側の論理回路、ＣＫＴ１２，２２…下流側の論理回路、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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