(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検量体を蓄えるリザーバと、
出口ノズルと、
前記リザーバと前記出口ノズルとの間を連通する導管と、
前記導管に挿入され、或測定量の検量体を蓄える計量室を有する挿入物と、
前記計量室に蓄えられた検量体を加圧する空気を該計量室へ供給する空気供給源と、
前記計量室に蓄えられた検量体を前記出口ノズルを通じて排出すべくなしてあるバルブ機構とを備え、
前記挿入物は、前記計量室であって前記リザーバと前記出口ノズルを連通させる第１孔と、前記第１孔とその中間部分で交叉して前記計量室と前記気体供給源とを連通させる第２孔とを有し、
前記バルブ機構は、前記計量室と前記出口ノズルの間に設けられて、前記計量室と前記出口ノズルの間を連通する開位置と前記計量室と前記出口ノズルの間を閉じる閉位置とを切り換え可能な第１のバルブと、前記計量室と前記空気供給源の間に設けられて、前記計量室と前記空気供給源の間を連通する開位置と前記計量室と前記空気供給源の間を閉じる閉位置とを切り換え可能な第２のバルブとを備える、
漏れセンサ較正装置。
【請求項２】
前記計量室と前記リザーバとの間に配されたフロー絞り弁を備える、請求項１記載の漏れセンサ較正装置。
【請求項３】
前記フロー絞り弁は、チェックバルブである、請求項２記載の漏れセンサ較正装置。
【請求項４】
前記導管は、前記計量室と前記リザーバとの間に設けられた部分を有し、この部分は前記測定量の検量体よりも大きい体積の検量体を保持できる容積を有する、請求項１記載の漏れセンサ較正装置。
【請求項５】
前記バルブ機構の前記第１のバルブは、リモートで操作可能である、請求項１記載の漏れセンサ較正装置。
【請求項６】
前記バルブ機構の前記第２のバルブは、リモートで操作可能である、請求項１記載の漏れセンサ較正装置。
【請求項７】
前記第１及び第２のバルブをリモートで操作するコントローラを更に備え、該第１及び第２のバルブは、電気的にリモートで操作可能であるバルブである、請求項１記載の漏れセンサ較正装置。
【請求項８】
前記コントローラは、所定の第１の時間の間、前記第１のバルブを開位置へ動作させ、所定の第２の時間の間、前記第２のバルブを開位置へ動作させるように構成されており、前記第２の時間は、前記第１の時間よりも短く且つ該第１の時間の間に発生する、請求項７記載の漏れセンサ較正装置。
【請求項９】
前記第１の時間は、５０ミリ秒であり、前記第２の時間は、１０ミリ秒である、請求項８記載の漏れセンサ較正装置。
【請求項１０】
前記コントローラは、所定の第３の時間の間、前記第２のバルブを開位置へ動作させるように構成されており、該第３の時間は、前記第１及び第２の時間に先立って発生する、請求項８記載の漏れセンサ較正装置。
【請求項１１】
前記計量室と前記リザーバとの間に配され、開位置と閉位置との間で切り替え可能であるチェックバルブを備え、該チェックバルブは、前記第２のバルブの開位置への動作に応じて、閉位置へ切り替えられる、請求項１記載の漏れセンサ較正装置。
【請求項１２】
前記計量室は、液状検量体を収容すべくなしてあり、前記計量室の容積は、約２×１０-6リットルである、請求項１記載の漏れセンサ較正装置。
【請求項１３】
前記計量室は、気化検量体を収容すべくなしてあり、前記計量室の容積は、約５００×１０-6リットルである、請求項１記載の漏れセンサ較正装置。
【請求項１４】
検量体を蓄えるリザーバと、
出口ノズルと、
前記リザーバと前記出口ノズルとの間を連通し、或測定量の検量体を蓄える計量室が設けられた第１部分と、前記計量室と隣接し該計量室と前記リザーバとの間に設けられた第２部分とを少なくとも有する導管と、
前記計量室に蓄えられた検量体を加圧する空気を該計量室へ供給する空気供給源と、
前記計量室に蓄えられた検量体を前記出口ノズルを通じて排出するバルブ機構とを備え、
前記第２部分は前記計量室の直径よりも大きい直径を有するとともに前記測定量の検量体よりも大きい体積の検量体を保持できる容積を有する、
漏れセンサ較正装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、化学センサ用の較正システムに関する。特に、本発明は、定量の検量体を計量室から大気へ解放する圧力作動較正装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
化学プラント、精製所、及び船荷ターミナルの如き工業上の製造、加工、及び保管設備は、典型的には、設備を通じて原産物又は完成品を輸送する配管系の膨大なネットワークを有している。このような配管系は、必然的に、設備を通じた物質の流れを制御する多数のバルブを有している。
【０００３】
上述のプラントにおいて扱われる多くの製品は、有害な揮発性有機化合物（VOC’s）である。残念ながら、設備を通じて物質の流れを制御するのに使用されるバルブは、概して「漏えい」排出と呼ばれる或る量の望ましくない漏れを経験する。漏えい排出は、環境保護局（EPA）により規制され、バルブの弁棒と本体との間のパッキン周囲で発生する。これらの漏えい排出は、EPAの排出規制に応じるために監視されなければならない。このことから、漏れ検出器が、バルブ近傍に、通常は、漏れ易い弁棒又はその他の非点源に隣接して配されている。
【０００４】
正確な示度を得るために、漏れ検出器は、定期的に較正されなければならず、これは、典型的には遠隔地から達成されなければならない。このような漏れ検出器を較正する１つの方法は、該漏れ検出器に隣接して少量の検量体を排出することである。それから、検出器の示度は、経験的データ又はルックアップテーブルに基づいた基準と比較され、それに応じて検出器が調整される。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の観点によれば、漏れセンサ較正装置は、検量体を蓄えるリザーバと、該リザーバに連通する導管と、出口ノズルと、空気供給源と、バルブ機構とを備えている。前記導管の一部は、測定量の検量体を蓄える計量室を規定し、前記出口ノズルは、前記計量室と連通している。前記空気供給源は、前記計量室に蓄えられた測定量の検量体に加圧すべくなしてある。前記バルブ機構は、前記計量室に蓄えられた測定量の検量体を前記出口ノズルを通じて排出すべくなしてある。
【０００６】
さらに、本発明の好ましい実施の形態によれば、フロー絞り弁が、前記計量室と前記リザーバとの間に配されている。該フロー絞り弁は、双安定チェックバルブであってよい。これに代えて、前記導管は、前記測定量の検量体よりも多い第２の量の検量体を保持すべくなしてある部分を有していてもよい。該導管の部分は、前記計量室と前記リザーバとの間に配され、従って、空気圧絞り弁を形成する。
【０００７】
前記バルブ機構は、好ましくは、前記計量室と前記出口ノズルとの間に配された第１のリモート操作可能なバルブを有している。該バルブ機構は、好ましくは、前記空気供給源と前記計量室との間に配された第２のリモート操作可能なバルブも有している。前記第１のバルブは、閉位置と開位置との間で切り替えが可能である。閉位置にある場合、前記第１のバルブは、前記計量室を前記出口ノズルから隔離する。前記第２のバルブは、閉位置と開位置との間で切り替えが可能である。閉位置にある場合、前記第２のバルブは、前記空気供給源を前記計量室から隔離する。開位置と閉位置との間で切り替えが可能であるチェックバルブが、前記計量室と前記リザーバとの間に配されてもよい。該チェックバルブは、前記第２のバルブの開位置への動作に応じて、その閉位置への切り替えが可能となっている。
【０００８】
前記第１及び第２のバルブは、好ましくは、電気的にリモートで操作可能であるバルブであり、該第１及び第２のバルブをリモートで操作するコントローラに操作可能に接続される。好ましくは、該コントローラは、所定の第１の時間の間、前記第１のバルブを開位置へ動作させ、所定の第２の時間の間、前記第２のバルブを開位置へ動作させるべくなしてある。更に好ましくは、前記第２の時間は、前記第１の時間よりも短く、該第１の時間の間に発生する。例えば、第１の時間は、約５０ミリ秒である一方、前記第２の時間は、約１０ミリ秒であってよい。上記第１及び第２のバルブの動作の前提条件として、前記コントローラは、前記第１及び第２の時間に先立つ所定の第３の時間の間、前記第２のバルブを開位置へ動作させてもよい。この前提条件によれば、前記計量室の検量体が効率的に入れ替わる。
【０００９】
本発明の第２の観点によれば、定量の気化物質を周囲の大気へ解放する漏れセンサ較正装置は、前記物質を蓄えるリザーバと、出口ノズルと、前記リザーバと前記出口ノズルとの間を連通する導管と、圧力源と、該圧力源を前記計量室に連通すべくなしてあるバルブ機構とを備えている。前記導管は、前記定量の物質を蓄える計量室を規定する第１の部分を有し、更に前記計量室と前記リザーバとの間に配された第２の部分を有している。前記導管の第２の部分は、前記定量のリザーバへ戻る流れを妨げるべくなしてある。前記バルブ機構の作動により、前記装置は、前記計量室に蓄えられた前記定量を前記出口ノズルを通じて大気へ排出する。
【００１０】
本発明の更に別の観点によれば、漏れセンサ較正装置は、液状検量体を蓄えるリザーバと、該蓄積リザーバに連通する導管とを備えている。該導管は、出口ノズルを終端とし、測定量の液状検量体を蓄える計量室を規定する中央部分を有している。前記装置は、前記計量室に蓄えられた前記測定量に加圧する圧力源と、前記計量室を周囲の大気から隔離するバルブ機構と、該バルブ機構に操作可能に接続された制御系とを更に備えている。
【００１１】
さらに、好ましい実施の形態によれば、前記リザーバは、液状分析物を収容すべくなしてあってもよく、前記計量室は、２マイクロリットルの範囲の体積を収容するサイズであってもよい。前記リザーバは、気相の分析対象検量体をそこに収容すべくなしてあってもよい。この場合には、前記計量室は、５００マイクロリットルの範囲の体積を収容するサイズであることが可能である。
【００１２】
本発明の更なる観点によれば、装置は、導管を通じて流れる液状物質を有するプロセス系で使用するために提供され、測定量の液状物質をセンサに排出する。該装置は、前記導管に連通し、その一部が前記測定量の液状物質を蓄える計量室を規定するポートを備えている。出口ノズルは、前記計量室に連通し、空気供給源は、前記計量室に蓄えられた測定量の液状物質に加圧する。バルブ機構は、前記計量室に蓄えられた測定量の液状物質を前記出口ノズルを通じて大気へ排出すべく提供及び構成されている。それによって、前記液状物質の構成物が前記センサにより判定される。
【００１３】
本発明の更なる利点及び特徴は、以下の記述を読むことによって当業者には明白となるであろう。
【００１４】
【発明の実施の形態】
ここに記述される実施の形態は、開示された厳密な形態に本発明を限定することを意図するものではない。むしろ、本実施の形態は、当業者が本発明の教示に従うことが可能なように選択され、また、記述されている。
【００１５】
さて、図１の図面を参照して、本発明の教示に従って構成された漏れセンサ較正装置は、主として参照符号10により参照されている。較正装置10は、ガスセンサアレイ（図示せず）に概ね近接して配される。該較正装置10は、代わりに、バルブ、配管系、若しくはシール、又は任意の他の放出源（図示せず）の如き、漏れを監視すべき系に概ね近接して配置される。前記装置10は、多量の分析物検量体14を含んでおり、該分析物検量体14は、好ましくは、監視すべきバルブ又はその他の系要素（図示せず）を通じて流れるのと同一の物質である。以下に更に詳細に説明するように、分析物検量体14は、液相又は気相の何れかである。
【００１６】
上記装置10は、複数の交叉する導管又は孔18，20，及び22を有する本体又はハウジング16を備えている。該ハウジング16は、好ましくは、ステンレス鋼又はその他の適切な材料から製作される。孔18は、それぞれ第１及び第２の部分19，21を有している。該孔18は、ハウジング16を実質的に通じて延び、リザーバ12と孔20とに連通している。該孔20は、孔18へ延び、出口ノズル24に連通している。出口ノズル24は、好ましくは、漏れを監視すべきバルブ（又はその他の系要素）（図示せず）に近接して配される。孔26は、孔18及び20に接続し、計量室28を規定している。該計量室28は、好ましくは、所定の容積のものである。例えば、分析物検量体14が液相で利用される場合には、計量室28の容積は、２マイクロリットル（２×１０-6立方センチメートル）の範囲であることが可能である。比較として、分析物検量体14が気相で利用される場合には、計量室28の容積は、５００マイクロリットル（５００×１０-6立方センチメートル）の範囲であることが可能である。計量室28が所定の体積の検量体14を蓄える限り、その他の容積が考慮される。出口ノズル24から排出される望ましい量又は体積の検量体14は、選ばれた検量体の種類、濃度、純度、及び相（つまり、液体又は気体）、並びに周囲環境の温度、湿度等を含む多数の要因に基づいて選定され得、これらの全ては、当業者には良く知られている。排出される望ましい量の検量体14は、計量室28の容積を変更することによって増減することができる。
【００１７】
図１、図４、及び図５に示す如く、孔30は、孔22を計量室28に接続し、空気供給入口32は、孔22と交叉している。該空気供給入口32は、圧縮空気源（図示せず）に接続され、この目的については、以下に詳細に説明する。好ましくは、空気は、約３ｐｓｉｇで供給源から供給されており、そこからの適切な偏差は、当業者により予期されるように可能である。上記装置10は、バルブ機構34を備え、該バルブ機構34は、以下に詳細に説明されるように、望ましい量の検量体14を出口ノズル24を通じて計量室28から排出すべくなしてある。
【００１８】
計量室28は、図５に示す如く、入力端36と、出力端38と、中間部分40とを有している。孔30は、中間部分40で計量室28と交叉している。図５Ａに示す如く、孔26の入力端36は、代わりに、フレア形又は円錐形の部分37を有していてもよい。
【００１９】
図１に示す如く、チェックバルブ39は、計量室28の入力端36に概して隣接した孔18の部分19に配されている。図６及び図７を参照して、チェックバルブ39は、孔18の部分19に受容されるサイズのハウジング41を有している。該チェックバルブ39は、弁座45に受容されるサイズである板又は円盤43を有し、更に、図７に示す如く円盤43を開位置へ通常付勢するバネ47を有している。図７に示されるように、孔18の部分19は、環状座49を有し、チェックバルブ39を所定の位置に（例えば、図７で下から）押圧することを可能にしている。
【００２０】
バルブ機構34が以下に詳述する方法で作動される場合、円盤43に対する作動圧の導入は、該円盤43を（図で）上方へ動作させ、円盤43は、弁座45に着座する。これにより、検量体14のリザーバ12へ戻る流れが阻止される。従って、チェックバルブ39は、バルブ機構34の動作に応じて自動的に動作され、更に、双安定チェックバルブのような挙動をするであろう点に注意する。図７から注目されるように、チェックバルブ39は、好ましくは、チャンバ35を規定すべく、孔26の入力端36から僅かに離れて配される。リザーバ12の体積は、好ましくは、計量室28に蓄えられた測定量が出口ノズル24を通じて排出された後での計量室28の急速な補充を容易にするために、計量室28の体積よりもずっと大きい。好ましい実施の形態においては、リザーバ12の体積は、計量室28の体積の約２０倍であることが可能である。
【００２１】
図１、図２、及び図３を再び参照して、バルブ機構34は、孔18の部分21に配された第１のバルブ42を有している。該バルブ42は、計量室28の出口端38を閉じるべくなされた先端44を有している。また、バルブ機構34は、孔22に配された第２のバルブ46を有し、孔30の入口端を閉じるべくなされた先端48を有している。バルブ42及び46の各々は、閉位置と開位置との間で切り替え可能である。バルブ42が閉位置にある場合には、該バルブ42は、計量室28を出口ノズル24から隔離する。バルブ42が開位置にある場合には、計量室28は、出口ノズル24に連通する。第２のバルブ46が閉位置にある場合には、該バルブ46は、空気入口32を計量室28から隔離する。バルブ46が開位置にある場合には、空気入口32は、計量室28に連通する。好ましくは、バルブ42及び46の各々は、リモートで操作可能である、電気的に作動するマイクロバルブである。更に好ましくは、バルブ42，46の各々は、共通の制御系からリモートで操作可能である。
【００２２】
図２及び図３を参照して、バルブ42が示されている。バルブ46の構造及び動作は実質的に同一であると理解されるであろう。しかしながら、バルブ42の構造及び動作のみが詳細に記述される。バルブ42は、本体54と、電磁式ボビン56と、一対の軟磁極片58，60と、希土類永久磁石62と、絶縁体64と、アーマチュア66とを有している。バルブ本体54と、磁極片58，60と、アーマチュア66とは、好ましくは、１７−４ステンレス鋼を使用して製作される一方、絶縁体64は、好ましくは、３１６ステンレス鋼から製作される。磁石62は、好ましくは、ニッケル鉄ホウ素（Nickel Iron Boron）から製作される。バルブ42及び46は、好ましくは、電気的に操作可能なバルブであり、１０ミリ秒で２５０ｍＡを流す６ボルト作動エネルギを有する。その他の適切なバルブで代用してもよい。
【００２３】
さて、図１及び図４を参照して、テフロン（登録商標）製の挿入物68は、孔18，20，及び22の交叉で使用されてもよい。テフロン（登録商標）製の挿入物68は、そこに計量室28と孔30とが規定されるように、好ましくは、公知の技術を使用して圧縮成形される。このようにハウジング16とは別体の挿入物68が計量室28と孔30を規定するために用いられることにより、第１のセットの寸法公差でハウジング16を製造し、より厳密な第２のセットの寸法公差で挿入物68を製造することが許容されるので、製造工程が大幅に簡易化される。また、当該挿入物68は、それぞれバルブ42及び46の先端44及び48でより良いシール性を提供する。
【００２４】
作動にあっては、上記装置10が非作動である場合、バルブ42及び46は両方とも閉じており、リザーバ12内の検量体14は、チェックバルブ39が開位置にあることにより、計量室28内へ自由に流れる。上記装置10を作動することが望まれる場合には、制御系は、まず、好ましくは５０ミリ秒の間、バルブ46を開く。バルブ46が開いている間、制御系は、次に、バルブ42を開き、圧縮空気が空気入口32を通じて空気源から流れるのを許容する。結果としての圧力増加は、チェックバルブ39をその閉位置に即座に切り替えさせる。入って来る空気は、計量室28に蓄えられた測定量の検量体14を入れ替えるべく作用し、該測定量を出口ノズル24から排出させる。作動圧力の導入に基づいてその閉位置に動作するチェックバルブ39により、計量室28からリザーバ12への検量体14の如何なる流れも阻止され、計量室28内の検量体14は、出口ノズル24から排出される。望ましい１０ミリ秒の間隔の後で、バルブ42は閉じられる。その少し後で、バルブ46が閉じられる。作動圧力の閉鎖に伴い、チェックバルブ39は、バネ47の力により補助されて通常の開位置へ戻り、検量体14は、リザーバ12から計量室28へ自由に流れる。
【００２５】
その過程において、排出された検量体14は、プロセス系のバルブ（図示せず）の周囲からの既知の量の大気と、該バルブからの漏えい排出を測定又は予測する目的で混ざる。漏れセンサ（図示せず）は、得られたセンサの示度を経験的データと比較することによって、又はその他の公知の方法を使用することによって、較正されることができる。液相の検量体14を使用することが有利であり得ることは、当業者には理解されるであろう。上記装置10内で気化検量体14を使用する場合には、バルブ42，46の各々での漏れの可能性は、特に、上記装置10が高温環境下で使用される場合には、大幅に小さくされる。気化検量体14が使用される場合には、出口ノズル24から排出された検量体14の混入量を計算するために、周囲温度及び検量体14の蒸気圧を考慮して、漏れセンサ（図示せず）が較正され得る。
【００２６】
上述したのと同一の原理を利用して、工業プロセス系（図示せず）における管路又はその他の運搬路を通じて流れる物質の構成物質又は純度を定期的に試験するために、当該装置10が使用されてもよいことは、当業者には理解されるであろう。このような用途においては、リザーバ12は、管路又は配管系を通じて流れる物質に一定流量で連通し、出口ノズル24は、適切なセンサに近接して配される。
【００２７】
さて、図８を参照して、第２の好ましい実施の形態が示され、ここでは、上述した実施の形態と同一又は同様である全ての要素は、同一の参照文字を保持するが、100だけ増加している。漏れセンサ較正装置110は、多量の分析物検量体114を収容するリザーバ112を備えている。該装置110は、複数の交叉する導管又は孔118，120，及び122を有する本体又はハウジング116を備えている。孔118は、それぞれ第１及び第２の部分119，121を有し、実質的にハウジング116を通じて延びている。孔120は、孔118に延び、出口ノズル124に連通している。孔126は、孔118及び120を接続し、計量室128を規定している。計量室128は、所定の体積の検量体114を蓄え、所定の又は望ましい量は、計量室128の内容積により定められる。
【００２８】
孔130は、孔122を計量室128と接続し、空気供給入口132は、孔122と交叉する。空気供給入口132は、圧縮空気源に接続され、圧縮空気は、約３ｐｓｉｇで供給源から供給される。上記装置110は、孔118の部分121に配された第１のバルブ142を有するバルブ機構134を備え、該バルブ機構134は、更に、計量室128の出口端138を閉じるべくなされた先端144を有している。また、バルブ機構134は、孔122に配された第２のバルブ146を備え、孔130の入口端150を閉じるべくなされた先端148を有している。バルブ機構134は、上記第１の好ましい実施の形態に関して上述されたものと同様の方法で動作可能である。
【００２９】
計量室128は、入力端136と、出力端138と、中間部分140とを有している。孔130は、中間部分140で計量室128と交叉している。孔118は、部分139を有し、該部分139は、計量室128の入力端136に隣接して配されている。部分139は、計量室128の直径よりも大きい直径を有し、該部分139が、検量体114のリザーバ112へ戻る流れを阻止する流体圧的制約として作用する。孔118は、異なる直径の２つの部分を有するように示されているが、該孔118は、これに代えて、計量室128の入力端136に近接する部分139の断面積が、計量室128の断面積よりも極めて大きい限り、均一な直径であってもよい。この断面積の相違は、計量室128の入力端136に近接する孔118の部分139に配された検量体114の体積が、計量室128に蓄えられた検量体114の体積よりも極めて大きいことを確実にする。このように、バルブ機構134の動作、及び計量室128に蓄えられた検量体114への作動圧の導入に応じて、検量体114は、最も小さい流体圧抵抗の経路を辿り、従って出口ノズル124から排出される。
【００３０】
上述した何れの実施の形態において、リザーバは、代わりに、液状物質のプロセス流れを収容する配管系であってもよく、また、既知の量の液状物質を検出装置に排出することによってプロセス流れの純度又は構成物質を定期的にサンプリングするために採用してもよい。
【００３１】
さらに、上記の記載は本発明を上述の内容に限定するものではないことは理解されるであろう。様々な改変及び置換が請求の範囲の精神及び範疇から逸脱しない限りなされ得ることは予期される。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の教示に従って構成された漏れセンサ較正装置の部分断面概略図である。
【図２】  本発明の教示に従って構成された装置で使用されるリモート操作可能なマイクロバルブの斜視図である。
【図３】  図２に示されたマイクロバルブの分解斜視図である。
【図４】  そこに計量室を規定しているテフロン（登録商標）製の挿入物の拡大平面図である。
【図５】  図４の線５−５に沿ったテフロン（登録商標）製の挿入物の拡大断面図である。
【図５Ａ】  図５と同様の拡大断面図であるが、その入力側で円錐部分を有するテフロン（登録商標）製の挿入物を示している。
【図６】  本発明で使用すべくなされたチェックバルブの拡大斜視図である。
【図７】  計量室と検量体のリザーバとに対するチェックバルブの位置を示す断片概略図である。
【図８】  図１と同様の部分断面概略図であるが、本発明の第２の好ましい実施の形態に従って組み立てられている。
【符号の説明】
10，110  漏れセンサ較正装置
12，112  リザーバ
14，114  検量体
16，116  ハウジング（本体）
18，20，22，118，120，122  孔（導管）
19，119  第１の部分
21，121  第２の部分
24，124  出口ノズル
26，30，126，130  孔
28，128  計量室
32，132  空気供給入口（空気入口）
34，134  バルブ機構
35  チャンバ
36，136  入力端
37  フレア形又は円錐形の部分
38，138  出力端（出口端）
39  チェックバルブ
40，140  中間部分
41  ハウジング
42，142  第１のバルブ
43  板又は円盤
44，48，144，148  先端
45  弁座
46，146  第２のバルブ
47  バネ
49  環状座
54  バルブ本体
56  電磁式ボビン
58，60  軟磁極片
62  希土類永久磁石
64  絶縁体
66  アーマチュア
68  挿入物
139  部分
150  入口端
【図１】
0004554823.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図５Ａ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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