(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを、プッシャによって、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
キャリアテープの搬送経路上、前記プッシャの前段側および／または後段側に、キャリアテープをガイドするガイドが設けられており、前記ガイドは、キャリアテープから加えられる力だけによって、少なくともキャリアテープの平面方向においてスライド変位および回転変位できるように、かつ弾性体を介してフローティング状態で、設けられていることを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。
【請求項２】
前記ガイドは、上下一対のガイドスプロケットを備えており、前記上下一対のガイドスプロケットの中間にキャリアテープを挟み込んで、当該キャリアテープを支持することを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項３】
前記ガイドは、所定の高さ位置に設けられ、キャリアテープの高さ位置を規制することを特徴とする請求項１または２に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項４】
前記ガイドは、回転支持部材上に載置されていることを特徴とする請求項３に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項５】
前記プッシャは、キャリアテープを保持し当該キャリアテープをその平面方向に移動させることおよび／またはその垂直軸回りに回転移動させることができるように構成されており、
前記ガイドは、前記プッシャの移動に伴って動くキャリアテープに応じて、前記キャリアテープに加わる応力を緩和するように変位することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のＴＣＰハンドリング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、ＩＣデバイスの１種であるＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）やＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）（以下、ＴＣＰ、ＣＯＦ、その他ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）実装技術によって製造されたデバイスを纏めて「ＴＣＰ」という。）を試験するのに用いられるＴＣＰハンドリング装置に関するものである。
【背景技術】  ＩＣデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造されたＩＣデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が必要であり、ＴＣＰの場合には、ＴＣＰ用の試験装置が使用される。
ＴＣＰ用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、ＴＣＰハンドリング装置（以下「ＴＣＰハンドラ」という場合がある。）とから構成される。このＴＣＰハンドラは、テープ（フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。）上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブにキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子をプローブにコンタクトさせることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付す機能を備えている。
このようなＴＣＰハンドラは、キャリアテープを支持するとともにプローブに押し付けることのできるプッシャ（ユニット）を備えている。ＴＣＰの試験時に、このプッシャはキャリアテープを支持しつつ下方（Ｚ軸方向）に移動し、キャリアテープ上のＴＣＰをプローブカードのプローブに接触させる。
ＴＣＰハンドラにおける上記プッシャの前段側および後段側には、通常、キャリアテープの高さを規制するガイドが設けられている。しかしながら、従来のＴＣＰハンドラでは、これらのガイドがＴＣＰハンドラに固定的に設置されているため、プッシャの移動に伴ってキャリアテープがその平面方向、特にキャリアテープの搬送方向（Ｘ軸方向）と直交する方向（Ｙ軸方向）や垂直軸回りの回転方向（θ方向）にずれると、ガイドに支持されているキャリアテープに応力が加わり、キャリアテープ上のＴＣＰ（特にリードまたはテストパッド）やキャリアテープ自体（特にスプロケットの爪が入る穴部またはその周辺部）を損傷してしまうことがある。かかる問題は、被試験ＴＣＰの位置ずれ補正のためにプッシャを平面方向に移動させたときに特に生じ易い。
【発明の開示】
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、プッシャの移動等に伴ってキャリアテープがずれた場合であっても、キャリアテープに加わる応力を緩和することのできるＴＣＰハンドリング装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は、テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを、プッシャによって、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、キャリアテープの搬送経路上、前記プッシャの前段側および／または後段側に、キャリアテープをガイドするガイドが設けられており、前記ガイドは、少なくともキャリアテープの平面方向において変位可能となっていることを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（発明１）。
なお、本明細書における「プッシャ」には、キャリアテープをコンタクト部に押し付けるプッシャ本体や、そのプッシャ本体の近傍でキャリアテープを支持・搬送するスプロケット、さらにはそれらプッシャ本体およびスプロケットを含んで構成されるプッシャユニットのいずれの概念も含まれるものとする。
上記発明（発明１）によれば、プッシャの移動等に伴ってキャリアテープがずれた場合であっても、キャリアテープをガイドしているガイドがキャリアテープの平面方向において変位することにより、キャリアテープに加わる応力を緩和することができる。
上記発明（発明１）において、前記ガイドは、キャリアテープの平面方向においてスライド変位および回転変位できるように設けられていることが好ましい（発明２）。
ガイドがこのように変位することにより、プッシャの移動等に伴ってキャリアテープがキャリアテープの搬送方向（Ｘ軸方向）と直交する方向（Ｙ軸方向）や垂直軸回りの回転方向（θ方向）にずれた場合であっても、キャリアテープに加わる応力を緩和することができる。
上記発明（発明１，２）において、前記ガイドは、弾性体を介してフローティング状態で設けられていることが好ましい（発明３）。
ガイドは、このような構成で設けらることにより、少なくともキャリアテープの平面方向において自在に変位することが可能である。
上記発明（発明１〜３）において、前記ガイドは、所定の高さ位置に設けられ、キャリアテープの高さ位置を規制するものであってもよい（発明４）。
上記発明（発明４）によれば、キャリアテープにおいてプッシャによって上下移動される部分以外の部分の高さを規制し、キャリアテープと他の部材（例えば、カメラ、パンチ等）との位置関係を正常に保つことができる。
上記発明（発明４）において、前記ガイドは、回転支持部材（例えば、ボールキャスター等）上に載置されていることが好ましい（発明５）。これによって、ガイドは、キャリアテープの平面方向において自在に変位、しかもスムーズに変位することが可能である。
上記発明（発明１〜５）において、前記プッシャは、キャリアテープを保持し当該キャリアテープをその平面方向に移動させることおよび／またはその垂直軸回りに回転移動させることができるように構成されており、前記ガイドは、前記プッシャの移動に伴って動くキャリアテープに応じて、前記キャリアテープに加わる応力を緩和するように変位することが好ましい（発明６）。
【図面の簡単な説明】  図１は、本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図である。
図２は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおける高さ規制ガイドの正面断面図である。
図３は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおける高さ規制ガイドの側面断面図である。
図４は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおける高さ規制ガイドの底部の平面図である。
図５は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおける高さ規制ガイドの平面図である。
【発明を実施するための最良の形態】  以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を図１に示す。
ＴＣＰ試験装置１は、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド１０と、テストヘッド１０の上側に設けられたＴＣＰハンドラ２とから構成される。
ＴＣＰハンドラ２は、キャリアテープ５上に複数形成された各ＴＣＰを順次試験に付すものであり、本実施形態では、説明の簡略化のためにＴＣＰを１個ごと試験に付すものとする。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、キャリアテープ５上において直列方向および／または並列方向に並んだ複数のＴＣＰを同時に試験に付すようにしてもよい。
ＴＣＰハンドラ２は、巻出リール２１と巻取リール２２とを備えており、巻出リール２１には試験前のキャリアテープ５が巻き取られている。キャリアテープ５は、巻出リール２１から巻き出され、試験に付された後に巻取リール２２に巻き取られる。
巻出リール２１と巻取リール２２との間には、キャリアテープ５から剥離した保護テープ５１を巻出リール２１から巻取リール２２に架け渡す３個のスペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃが設けられている。各スペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃは、保護テープ５１の張力を調整することができるように、それぞれ上下可動となっている。
巻出リール２１の下側には、テープガイド２４ａ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃが設けられており、巻出リール２１から巻き出されたキャリアテープ５は、テープガイド２４ａによってガイドされつつ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃを経てプッシャユニット３に搬送される。
また、巻取リール２２の下側には、テープガイド２４ｂ、巻取リミットローラ２５ｆ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよびアウト側ガイドローラ２５ｄが設けられており、試験に付された後のキャリアテープ５は、アウト側ガイドローラ２５ｄ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよび巻取リミットローラ２５ｆを経て、テープガイド２４ｂによってガイドされつつ、巻取リール２２に巻き取られる。
イン側ガイドローラ２５ｃと、アウト側ガイドローラ２５ｄとの間には、プッシャユニット３が設けられており、プッシャユニット３の前段側（図１中左側）には第１カメラ６ａが、プッシャユニット３の下側（後述するプローブカードステージ７の内側）には第２カメラ６ｂが、プッシャユニット３の後段側（図１中右側）には第３カメラ６ｃが設けられている。また、プッシャユニット３と第３カメラ６ｃとの間には、マークパンチ２６ａおよびリジェクトパンチ２６ｂが設けられている。
マークパンチ２６ａは、試験の結果に基づいて、該当するＴＣＰにつき所定の位置に１個または複数個の孔を開けるものであり、リジェクトパンチ２６ｂは、試験の結果不良品であると判断されたＴＣＰを打ち抜くものである。
各カメラ６ａ，６ｂ，６ｃは、図示しない画像処理装置に接続されており、第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃは、キャリアテープ５上におけるＴＣＰの有無やマークパンチ２６ａによる孔の位置や数を判断するためのものであり、第２カメラ６ｂは、キャリアテープ５上のＴＣＰとプローブとの位置ずれの情報を取得するためのものである。本実施形態における第２カメラ６ｂは、視野内の複数の対象についての位置ずれ情報を取得することができるようになっている。
第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１上に搭載されており、カメラステージ６１が有するアクチュエータによって平面視縦横方向（Ｘ軸−Ｙ軸方向）および上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能となっている。
ＴＣＰハンドラ２の本体部には、ボールねじ３２を回転させることのできるサーボモータ３１がブラケット３６１を介して取り付けられているとともに、ボールねじ３２が螺合しているプッシャ本体部３３が２本のＺ軸方向のリニアモーションガイド３７を介して取り付けられている。このプッシャ本体部３３は、サーボモータ３１を駆動させることにより、リニアモーションガイド３７にガイドされながら上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能となっている。また、プッシャ本体部３３とプッシャユニット３のフレーム（プッシャフレーム）３６とは、図示しない連動機構によって接続されており、上記のようにプッシャ本体部３３が上下動すると、それに伴ってプッシャフレーム３６も上下動するようになっている。
上記プッシャ本体部３３の下端部には、エアを吸引することによりキャリアテープ５を吸着保持することのできる吸着プレート３４が設けられている。
プッシャフレーム３６におけるプッシャ本体部３３の前段側（図１中左側）には、テンションスプロケット３５ａが設けられており、プッシャ本体部３３の後段側（図１中右側）には、メインスプロケット３５ｂが設けられている。
メインスプロケット３５ｂは、ステッピングモータ等によって駆動されてキャリアテープ５を搬送し、テンションスプロケット３５ａは、キャリアテープ５の走行方向と逆方向に回転することによりキャリアテープ５に所定のテンションをかけ、キャリアテープ５の位置精度を向上させる。
プッシャユニット３は、図示しないプッシャステージに接続されている。プッシャステージは、複数のボールネジを介してサーボモータに接続されており（図示省略）、サーボモータの駆動により、プッシャユニット３を水平方向（ＸＹ平面方向）に移動させることができるとともに、プッシャユニット３を垂直軸回り（Ｚ軸回り）に回転させることができる。
プッシャユニット３の下側であって、テストヘッド１０の上部には、プローブカード８を搭載したプローブカードステージ７が設置されている。プローブカードステージ７は、複数のボールネジを介してサーボモータに接続されており（図示省略）、サーボモータの駆動により、プローブカード８を水平方向（ＸＹ平面方向）に移動させることができるとともに、プローブカード８を垂直軸回り（Ｚ軸回り）に回転させることができる。
複数のプローブ８１を備えたプローブカード８は、ピンによってプローブカードステージ７のカードリングに着脱自在に取り付けられている（図示省略）。なお、プローブカード８の各プローブ８１は、テストヘッド１０を介してテスタ本体に電気的に接続されており、プローブカード８の下側であって、プローブカードステージ７の内側には第２カメラ６ｂが位置している。
このＴＣＰ試験装置１では、キャリアテープ５はプッシャユニット３の下側を通過するように搬送され、このキャリアテープ５をプッシャユニット３が吸着・支持しながらテストヘッド１０上のプローブカード８に押圧する。すると、キャリアテープ５上のＴＣＰがプローブカード８のプローブ８１にコンタクトしてテスト信号がＴＣＰに印加され、ＴＣＰから読み出された応答信号は、テストヘッド１０を通じてテスタ本体に送られる。これによりＴＣＰの性能や機能等が試験される。
かかる試験は、キャリアテープ５が搬送されることにより、キャリアテープ５上の全てのＴＣＰについて順次行われる。そして、試験結果に基づいてマークパンチ２６ａまたはリジェクトパンチ２６ｂが駆動される。
［高さ規制ガイド］
図２〜図５は、図１に記載したＴＣＰハンドラの高さ規制ガイドを示す正面図（図２）、側面図（図３）および平面図（図４，図５）である。また、図５は、高さ規制ガイドの動作を示す説明図でもある。
このＴＣＰハンドラ２は、プッシャユニット３の前後（図１中の左右）に高さ規制ガイド４（４ａ，４ｂ）を有する。高さ規制ガイド４は、キャリアテープ５の搬送方向に対してプッシャユニット３の前段側および後段側（キャリアテープ５の入口側および出口側）に配置されており、キャリアテープ５を支持してキャリアテープ５の高さを規制する。具体的には、プッシャユニット３に入るときのキャリアテープ５の高さを前段側の高さ規制ガイド４ａが規制し、プッシャユニット３から出るときのキャリアテープ５の高さを後段側の高さ規制ガイド４ｂが規制する。
この高さ規制ガイド４は、筐体４１と、上下一対のガイドスプロケット４２ａ，４２ｂとを含んで構成され、ＴＣＰハンドラ２の本体壁面から正面側に差し出された設置台２９上に設置されている（図２〜図４参照）。筐体４１は、側面視四角形の枠型形状を有している。上下一対のガイドスプロケット４２ａ，４２ｂは、筐体４１の正面側および背面側の壁部を軸受として筐体４１内に回転可能に収容されている。また、これらのガイドスプロケット４２ａ，４２ｂは、筐体４１内にて上下並べて配置されており、その中間にキャリアテープ５を挟み込んで支持するとともに、キャリアテープ５の搬送方向に合わせて回転できる（図２および図３参照）。
この高さ規制ガイド４は、ガイドスプロケット４２ａ，４２ｂが回転軸をＹ軸方向に向けつつキャリアテープ５を上下方向（Ｚ軸方向）から挟み込み、キャリアテープ５の搬送方向に沿って回転できるように、Ｘ軸方向に開口するようにして設置台２９上に設置されている（図１参照）。
また、高さ規制ガイド４は、設置台２９上、筐体４１の底面にて回転支持部材４３により四点支持されている（図２〜図４参照）。この回転支持部材４３は、例えば、４つのボールキャスター４３１からなり、設置台２９上に固定されている。この回転支持部材４３は、高さ規制ガイド４が水平方向において滑らかにスライド変位（ＸＹ平面方向に変位）および回転変位（Ｚ軸回りのθ方向に変位）できるように、その筐体４１を水平に支持している。
また、高さ規制ガイド４は、筐体４１の底部にて係留機構４４により設置台２９上に留められている（図３および図４参照）。係留機構４４は、係留ピン４４１と弾性部材４４２とを含み構成される。
この係留機構４４は、係留ピン４４１が筐体４１の底部に設けられた孔４４３に挿通されて設置台２９に固定されることにより、高さ規制ガイド４を設置台２９に係留している。ここで、筐体４１の孔４４３は、係留ピン４４１の径よりも大きく形成されており、ある程度の範囲をもって高さ規制ガイド４が設置台２９上をスライド変位および回転変位できるように構成されている。また、この係留ピン４４１は、筐体４１を設置台２９上に係留することにより、高さ規制ガイド４の上下方向の変位を拘束する。これにより、高さ規制ガイド４が変位したときにも、キャリアテープ５の搬送高さが一定に維持される。
この係留機構４４では、例えば、ゴム製の環状部材からなる弾性部材４４２が、係留ピン４４１に嵌め込まれるとともに係留ピン４４１と筐体４１の孔との間に挟み込まれて設置されている。この弾性部材４４２は、高さ規制ガイド４が設置台２９上にて変位したときに、筐体４１と係留ピン４４１との接触による衝撃を緩和する緩衝材として機能する。
また、高さ規制ガイド４は、設置台２９上にて保持部材４５により弾性変位可能に保持されている（図２〜図４参照）。保持部材４５は、６本のコイルバネ４５１を含んで構成される。コイルバネ４５１は、筐体４１の底部に設置された固定ピン４５２ａと、設置台２９上に設けられた固定ピン４５２ｂとの間に掛け渡されて設置されている。また、これらのコイルバネ４５１は、設置台２９の平面上にて、２本がＹ軸方向に設置されており、４本がＺ軸方向に設置されている（図４参照）。この状態で、各コイルバネ４５１には、収縮方向の力が働いている。これらの保持部材４５は、高さ規制ガイド４を四方から弾性的に保持し、これにより高さ規制ガイド４はフローティング状態となっている。
［作用］
上記ＴＣＰハンドラ２では、キャリアテープ５はプッシャユニット３の下側を通るようにして搬送される。このとき、高さ規制ガイド４ａ，４ｂは、プッシャユニット３の入口側および出口側にそれぞれ位置してキャリアテープ５を所定の高さにて支持し、プッシャユニット３の他、第１カメラ６ａ、第３カメラ６ｃ、マークパンチ２６ａおよびリジェクトパンチ２６ｂに対するキャリアテープ５の高さ位置が正常に維持されるように、キャリアテープ５の搬送高さを規制する。
ＴＣＰの試験時にプッシャユニット３が上下方向（Ｚ軸方向）に移動すると、あるいは被試験ＴＣＰの位置ずれ補正のためにプッシャユニット３が水平方向（ＸＹ平面方向）に移動または垂直軸回り（Ｚ軸回り）に回転すると、そのプッシャユニット３（プッシャ本体部３３の吸着プレート３４およびテンションスプロケット３５ａ・メインスプロケット３５ｂ）に支持されたキャリアテープ５は、高さ規制ガイド４ａ，４ｂにおいて、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向またはθ方向にずれることとなる。
このとき、フローティング状態にある高さ規制ガイド４ａ，４ｂは、回転支持部材４３上をスムーズにスライド変位および／または回転変位することにより、キャリアテープに加わる応力を緩和する。具体的には、高さ規制ガイド４ａ，４ｂが回転支持部材４３上をＸ軸方向、Ｙ軸方向またはθ方向に変位することにより、高さ規制ガイド４ａ，４ｂによるキャリアテープ５の支持方向が変化して、キャリアテープ５に加わる応力が緩和される。
ここで、高さ規制ガイド４ａ，４ｂは、回転支持部材４３上に水平に載置されているとともに、係留機構４４によって係留されているので、水平方向（ＸＹ平面方向）にのみ変位する。これにより、キャリアテープ５の搬送高さが所定の高さにて一定に維持される。
また、高さ規制ガイド４ａ，４ｂは、コイルバネ４５１によってフローティング状態とされているため、高さ規制ガイド４ａ，４ｂの変位時に生ずる衝撃がコイルバネ４５１の弾性力によって緩和されるとともに、変位終了後はコイルバネ４５１の弾性力によって原点位置（変位前の位置）に引き戻される。
以上のとおり、本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２によれば、フローティング状態にある高さ規制ガイド４が、キャリアテープ５に加わる応力を緩和するように変位するため、プッシャユニット３の移動に伴ってキャリアテープ５がずれた場合であっても、キャリアテープ５に加わる応力を効果的に低減することができる。特に、プッシャユニット３がキャリアテープ５を吸着・支持した状態で水平方向（ＸＹ平面方向）に移動および／または垂直軸回り（Ｚ軸回り）に回転移動した場合であっても、それによってキャリアテープ５に加わる応力を、フローティング状態にある高さ規制ガイド４により効果的に低減することができる。
このようにして、キャリアテープ５に加わる応力に起因するキャリアテープ５上のＴＣＰ（特にリードまたはテストパッド）やキャリアテープ５自体（特にテンションスプロケット３５ａ、メインスプロケット３５ｂおよびガイドスプロケット４２ａ，４２ｂの爪が入る穴部またはその周辺部）の損傷を防止することができる。
［変形例］
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
例えば、上記ＴＣＰハンドラ２では、高さ規制ガイド４の回転支持部材４３が４つのボールキャスター４３１からなり、筐体４１がこれらのボールキャスター４３１によって四点支持されており、かかる構成は、筐体４１が設置台２９上にて安定的に支持され、また、設置台２９上を滑らかにスライド変位および回転変位できる点で好ましい。しかし、これに限らず、回転支持部材４３の種類や回転支持部材４３による筐体４１の支持構造は、当業者自明の範囲内で任意に選択できる。
また、上記ＴＣＰハンドラ２では、高さ規制ガイド４の係留機構４４が係留ピン４４１により構成されているが、かかる構成は、筐体４１を簡易な構成により設置台に係留できる点で好ましい。しかし、これに限らず、係留機構４４は、かかる係留ピン４４１以外の部材により構成されても良いし、省略されてもよい。
また、上記ＴＣＰハンドラ２では、高さ規制ガイド４の保持部材４５がコイルバネ４５１により構成されているが、これに限らず、保持部材４５がゴム製部材その他の弾性部材により構成されても良い。また、高さ規制ガイド４（筐体４１）に対する保持部材４５の設置構造は、図２〜図４に記載される構造に限定されず、例えば、複数のコイルバネ４５１により筐体４１がＴＣＰハンドラ２の壁部に結合されている構成としても良い。
【産業上の利用可能性】  以上説明したように、本発明に係るＴＣＰハンドリング装置によれば、プッシャの移動等に伴ってキャリアテープがずれた場合であっても、キャリアテープに加わる応力を緩和することができるため、キャリアテープ上のＴＣＰを破損することなく試験に付すことができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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