(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ発振器と；
前記レーザ発振器から発振されるレーザを線形に照射する複数のレーザヘッドと；
前記複数のレーザヘッドの配列間隔を調節し、前記複数のレーザヘッドをＸ方向に駆動させる第１駆動手段と；
前記Ｘ方向と異なる方向であるＹ方向に前記複数のレーザヘッドを移動させる第２駆動手段と；
を備え、
前記第１駆動手段は、
前記各レーザヘッドに接続されたＸ字形状の単位体を複数連続して連結した構成を有するクロスハンガを含むことを特徴とする、レーザ照射装置。
【請求項２】
前記Ｘ方向と前記Ｙ方向とは、９０゜を成すことを特徴とする、請求項１に記載のレーザ照射装置。
【請求項３】
前記第１駆動手段は、
前記複数のレーザヘッドの一部を貫通する第１リードスクリュと；
少なくとも前記複数のレーザヘッドの一部を貫通し、前記第１リードスクリュと平行に備えられる少なくとも１つの第１ガイドバーと；
前記第１リードスクリュを回転させる第１モータと；
前記複数のレーザヘッドの残りの一部を貫通し、前記第１リードスクリュの延長線上に備えられる第２リードスクリュと；
少なくとも前記複数のレーザヘッドの残りの一部を貫通し、前記第２リードスクリュと平行に備えられる少なくとも１つの第２ガイドバーと；
前記第２リードスクリュを回転させる第２モータと；
を含むことを特徴とする、請求項１または２に記載のレーザ照射装置。
【請求項４】
前記クロスハンガの前記単位体は、同じ大きさであることを特徴とする、請求項３に記載のレーザ照射装置。
【請求項５】
前記第１リードスクリュと前記第２リードスクリュとを動力的に断絶し、
前記第１リードスクリュと前記第２リードスクリュとを互いに接続する接続部材を更に備えることを特徴とする、請求項３または４に記載のレーザ照射装置。
【請求項６】
前記第２駆動手段は、
前記第１リードスクリュまたは前記第２リードスクリュの端部と前記両ガイドバーの端部とに接続された滑走体と；
前記滑走体をガイドする滑走路と；
前記滑走体を駆動する第３モータと；
を含むことを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載のレーザ照射装置。
【請求項７】
設定される前記複数のレーザヘッドの間隔及び前記複数のレーザヘッドの移動経路に対応して、前記第１駆動手段及び前記第２駆動手段を制御する制御器を更に備えることを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載のレーザ照射装置。
【請求項８】
有機電界発光表示装置の有機発光層を外気から封止するフリットにレーザを照射するレーザ発振装置において：
前記レーザ発振装置は、
レーザ発振器と；
前記レーザ発振器から発振されたレーザを照射する複数のレーザヘッドと；
前記レーザヘッドを前記フリットが形成されたラインに沿って移動させるように、前記複数のレーザヘッドの配列間隔を調節し、前記複数のレーザヘッドをＸ方向に駆動させる第１駆動手段と；
を含み、
前記複数のレーザヘッドは、前記有機電界発光表示装置が個別の装置に切断される前の元板基板上に形成された複数の前記フリットにそれぞれ前記レーザを照射し、
前記第１駆動手段は、
前記各レーザヘッドに接続されたＸ字形状の単位体を複数連続して連結した構成を有するクロスハンガを含むことを特徴とする、レーザ照射装置。
【請求項９】
前記Ｘ方向と異なる方向であるＹ方向に前記複数のレーザヘッドを移動させる第２駆動手段を備えることを特徴とする、請求項８に記載のレーザ照射装置。
【請求項１０】
前記フリットは、略四角のライン状で形成され、
前記Ｘ方向は、前記フリットの横方向であり、
前記Ｙ方向は、前記フリットの縦方向であることを特徴とする、請求項９に記載のレーザ照射装置。
【請求項１１】
前記第１駆動手段は、
前記複数のレーザヘッドの一部を貫通する第１リードスクリュと；
少なくとも前記複数のレーザヘッドの一部を貫通し、前記第１リードスクリュと平行に備えられる少なくとも１つの第１ガイドバーと；
前記第１リードスクリュを回転させる第１モータと；
前記複数のレーザヘッドの残りの一部を貫通し、前記第１リードスクリュの延長線上に備えられる第２リードスクリュと；
少なくとも前記複数のレーザヘッドの残りの一部を貫通し、前記第２リードスクリュと平行に備えられる少なくとも１つの第２ガイドバーと；
前記第２リードスクリュを回転させる第２モータと；
を含むことを特徴とする、請求項８〜１０のいずれかに記載のレーザ照射装置。
【請求項１２】
前記クロスハンガの前記単位体は、同じ大きさであることを特徴とする、請求項１１に記載のレーザ照射装置。
【請求項１３】
前記第１リードスクリュと前記第２リードスクリュとを動力的に断絶し、
前記第１リードスクリュと前記第２リードスクリュとを互いに接続する接続部材を更に備えることを特徴とする、請求項１１または１２に記載のレーザ照射装置。
【請求項１４】
前記第２駆動手段は、
前記第１リードスクリュまたは前記第２リードスクリュの端部と前記両ガイドバーの端部とに接続された滑走体と；
前記滑走体をガイドする滑走路と；
前記滑走体を駆動する第３モータと；
を含むことを特徴とする、請求項８〜１２のいずれかに記載のレーザ照射装置。
【請求項１５】
前記滑走体は、ボールブッシュであり、前記滑走路は、シャフトであることを特徴とする、請求項１４に記載のレーザ照射装置。
【請求項１６】
設定される前記複数のレーザヘッドの間隔及び前記複数のレーザヘッドの移動経路に対応して、前記第１駆動手段及び前記第２駆動手段を制御する制御器を更に備えることを特徴とする、請求項８〜１５のいずれかに記載のレーザ照射装置。
【請求項１７】
前記レーザ照射装置から照射される前記レーザの波長は、８００ｎｍ〜１２００ｎｍであることを特徴とする、請求項８に記載のレーザ照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機電界発光素子は、所定の輝度を発光する素子である。この有機電界発光素子は、まず、互いに対向する電極の間に有機発光層を配置する。また、対向する両電極の間に電圧を印加すれば、一方の電極から注入された電子と、他方の電極から注入された正孔とが有機発光層で結合する。このときの結合により、有機発光層の発光分子がいったん励起された後、基底状態に戻りながらエネルギーを光として放出する。よって、有機電界発光素子は、所定の輝度を発光することができる。このような構成を有する有機電界発光素子は、有機電界発光表示装置に使用される。また、有機電界発光表示装置において、有機電界発光素子は、基材基板上に形成されて、当該素子の上部を封止基板で覆われる。
【０００３】
このとき、有機電界発光表示装置の製作にあたって、有機電界発光素子が形成された基板と封止基板との間の隙間に、外気が侵入するのを防止することが重要な課題となる。隙間を封止する方法として、特許文献１は、フリットで両基板の間を封止する方法を開示している。
【０００４】
特許文献１のフリットによれば、まず、封止基板上にフリットを塗布及び焼成させる。次に、封止基板と基材基板とを対向させ、フリットと基材基板とを接触させる。そして、フリットにレーザを照射して、基材基板に溶融接着される。このような方式により両基板を封止する。
【０００５】
また、大量の有機電界発光表示装置をより効率よく生産するために、複数の有機電界発光表示装置を１つの基板上で製作し、これを個別の有機電界発光表示装置に切断する、いわゆる、「元板単位生産」が導入されている。
【０００６】
すなわち、元板単位生産とは、以下のように有機電界発光表示装置を形成する方法である。元板単位生産によれば、まず、複数の個別の有機電界発光表示装置が形成される大きなサイズの基材基板元板に複数の有機電界発光素子を形成する。そして、基材基板元板に封止基板元板を貼り合わせる。その後、個別の有機電界発光表示装置に合うように切断、個別の有機電界発光表示装置を形成する。以上のように、元板単位生産によれば、有機電界発光表示装置を効率よく形成することができる。このとき、フリットを封止材として用いる場合は、封止基板元板を基材基板元板に貼り合わせる前に、フリットを個別表示装置が形成される位置に対応するように形成する。
【０００７】
図１は、元板単位生産において、有機電界発光表示装置が個別装置に切断される前の元板基板を示す斜視図である。また、図１は、元板単位で製作する工程において、基材基板元板と封止基板元板とを貼り合わせた合着基板を示す斜視図であり、封止材をフリットとして用いる場合を示している。
【０００８】
図１に示すように、合着基板元板１は、有機電界発光素子が複数形成された基材基板元板１０と、基材基板元板１０に貼り合わされた封止基板元板２０と、基材基板元板１０と封止基板元板２０との間に配置され、個別の有機電界発光素子（装置）毎に両基板を封止するフリット３０とを含む。
【０００９】
このとき、封止基板元板２０に塗布及び焼成されたフリット３０を基材基板元板１０と貼り合わせるためにレーザ照射装置を用いる。ここで、図２は、従来のレーザ照射装置の概略図を示している。図２に示すように、レーザ照射装置１００は、１つのレーザヘッド１５０を備える。よって、１つ１つ個別にフリット１３０を溶融及び硬化させるので、時間及びコストが多くかかるという問題点がある。図面において説明を省略した符号は、それぞれレーザ発振器１６０及び制御器１７０である。
【００１０】
【特許文献１】大韓民国特許公開第２００６-０００５３６９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上述のように、従来のレーザー照射装置によれば、１つのレーザヘッドにより１つ１つ個別にフリット１３０を溶融及び硬化させるので、製造に時間及びコストが多くかかるという問題点がある。
【００１２】
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、レーザを照射するレーザヘッドを複数備え、複数のレーザヘッドの配列間隔を調整可能であり、被写体の形状によって自由に移動しながら照射可能な新規かつ改良されたレーザ照射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、レーザ発振器と、レーザ発振器から発振されるレーザを線形に照射する複数のレーザヘッドと、複数のレーザヘッドの配列間隔を調節し、複数のレーザヘッドをＸ方向に駆動させる第１駆動手段と、Ｘ方向と異なる方向であるＹ方向に複数のレーザヘッドを移動させる第２駆動手段と、を備えることを特徴とする、レーザ照射装置が提供される。
【００１４】
かかる構成によれば、レーザ照射装置は、レーザを照射するレーザヘッドを複数備える。また、第１駆動手段は、レーダヘッド間の配列間隔を調整し、複数のレーザヘッドを同時にＸ方向に移動させる。そして、第２駆動手段は、複数のレーザヘッドを同時にＹ方向に移動させる。よって、レーザ照射装置は、複数のレーザヘッドを被レーザ照射体の形状に合わせて自由に移動させると同時にレーザを照射することができる。また、被レーザ照射体がフリットの場合、複数のフリットを同時に溶融及び硬化することができる。
【００１５】
また、Ｘ方向とＹ方向とは、９０゜を成してもよい。
【００１６】
また、第１駆動手段は、各レーザヘッドに接続されたＸ字形状の単位体を複数連続して連結した構成を有するクロスハンガを含む。また、複数のレーザヘッドの一部を貫通する第１リードスクリュと、少なくとも複数のレーザヘッドの一部を貫通し、第１リードスクリュと平行に備えられる少なくとも１つの第１ガイドバーと、第１リードスクリュを回転させる第１モータと、複数のレーザヘッドの残りの一部を貫通し、第１リードスクリュの延長線上に備えられる第２リードスクリュと、少なくとも複数のレーザヘッドの残りの一部を貫通し、第２リードスクリュと平行に備えられる少なくとも１つの第２ガイドバーと、第２リードスクリュを回転させる第２モータと、を含んでもよい。係る構成によれば、第１モータは、第１リードスクリュを回転させ、第２モータは、第２リードスクリュを回転させる。各リードスクリュの回転に対向して、各リードスクリュに貫通されたレーザヘッドは、両リードスクリュの形成方向（Ｘ方向）に移動する。また、第１ガイドバー及び第２ガイドバーは、それぞれ貫通したレーザヘッドを支持する。よって、レーザヘッドは、両リードスクリュの形成軸周りに回転することなく、Ｘ方向に平行移動できる。また、各レーザヘッドは、Ｘ字形状の単位体に接続されている。そして、単位体は、両リードスクリュウの回転により折りたたまれるか、引き伸ばされ、結果として、クロスハンガのＸ方向の形成長は、短くなるか長くなるよう調整される。よって、各レーザヘッドの配列間隔を調整することができる。
【００１７】
また、クロスハンガの単位体は、同じ大きさでもよい。かかる構成によれば、レーザヘッドの各配列間隔を等しく保ちながら、調整することができる。
【００１８】
また、第１リードスクリュと第２リードスクリュとを動力的に断絶し、第１リードスクリュと第２リードスクリュとを互いに接続する接続部材を更に備えてもよい。かかる構成により、第１リードスクリュと第２リードスクリュとをお互いに同方向回転させるか、逆方向回転させることができる。
【００１９】
また、第２駆動手段は、第１リードスクリュまたは第２リードスクリュの端部と両ガイドバーの端部とに接続された滑走体と、滑走体をガイドする滑走路と、滑走体を駆動する第３モータと、を含んでもよい。かかる構成によれば、第３モータの回転により、滑走体は、滑走路に沿ってＹ方向に移動することができる。よって、滑走体に接続された各リードスクリュに接続された複数のレーザヘッドも、Ｙ方向に移動することができる。
【００２０】
また、設定される複数のレーザヘッドの間隔及び複数のレーザヘッドの移動経路に対応して、第１駆動手段及び第２駆動手段を制御する制御器を更に備えてもよい。かかる構成によれば、制御器は、第１移動手段及び第２移動手段を駆動することにより、複数のレーザヘッドの間隔を調整することができ、複数のレーザヘッドを同時にＸ方向またはＹ方向に移動させることができる。
【００２１】
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、有機電界発光表示装置の有機発光層を外気から封止するフリットにレーザを照射するレーザ発振装置において、レーザ発振装置は、レーザ発振器と、レーザ発振器から発振されたレーザを照射する複数のレーザヘッドと、を含み、複数のレーザヘッドは、有機電界発光表示装置が個別の装置に切断される前の元板基板上に形成された複数のフリットにそれぞれレーザを照射することを特徴とする、レーザ照射装置が提供される。
【００２２】
また、レーザヘッドをフリットが形成されたラインに沿って移動させるように、複数のレーザヘッドの配列間隔を調節し、複数のレーザヘッドをＸ方向に駆動させる第１駆動手段を備える。また、Ｘ方向と異なる方向であるＹ方向に複数のレーザヘッドを移動させる第２駆動手段と、を備えてもよい。
【００２３】
また、フリットは、略四角のライン状で形成され、Ｘ方向は、フリットの横方向であり、Ｙ方向は、フリットの縦方向であってもよい。
【００２４】
また、第１駆動手段は、各レーザヘッドに接続されたＸ字形状の単位体を複数連続して連結した構成を有するクロスハンガを含む。また、第１駆動手段は、複数のレーザヘッドの一部を貫通する第１リードスクリュと、少なくとも複数のレーザヘッドの一部を貫通し、第１リードスクリュと平行に備えられる少なくとも１つの第１ガイドバーと、第１リードスクリュを回転させる第１モータと、複数のレーザヘッドの残りの一部を貫通し、第１リードスクリュの延長線上に備えられる第２リードスクリュと、少なくとも複数のレーザヘッドの残りの一部を貫通し、第２リードスクリュと平行に備えられる少なくとも１つの第２ガイドバーと、第２リードスクリュを回転させる第２モータと、を含んでもよい。
【００２５】
また、クロスハンガの単位体は、同じ大きさであってもよい。
【００２６】
また、第１リードスクリュと第２リードスクリュとを動力的に断絶し、第１リードスクリュと第２リードスクリュとを互いに接続する接続部材を更に備えてもよい。
【００２７】
また、第２駆動手段は、第１リードスクリュまたは第２リードスクリュの端部と両ガイドバーの端部とに接続された滑走体と、滑走体をガイドする滑走路と、滑走体を駆動する第３モータと、を含んでもよい。
【００２８】
また、滑走体は、ボールブッシュであり、滑走路は、シャフトであってもよい。
【００２９】
また、設定される複数のレーザヘッドの間隔及び複数のレーザヘッドの移動経路に対応して、第１駆動手段及び第２駆動手段を制御する制御器を更に備えてもよい。
【００３０】
また、レーザ照射装置から照射されるレーザの波長は、８００ｎｍ〜１２００ｎｍであってもよい。
【発明の効果】
【００３１】
以上説明したように、本発明によれば、レーザを照射するレーザヘッドを複数備え、複数のレーザヘッドの配列間隔を調整でき、被写体の形状によって自由に移動しながら照射できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００３３】
以下、本発明の実施形態にかかるレーザ照射装置について、詳細に説明する。また、このレーザ照射装置は、各種の産業的目的に幅広く用いられている。特に、このレーザー照射装置は、有機電界発光装置の製造に応用され使用されている。よって、以下の説明においては、レーザ照射装置の利用をより明確に説明するために、有機電界発光表示装置に用いられる場合を例に説明する。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、より広い分野で応用できることは、言うまでもない。
【００３４】
図３は、本発明の実施形態にかかるレーザ照射装置を示す斜視図である。図３に示すように、レーザ照射装置は、主にレーザ発振器２６０と、複数のレーザヘッド２５０とを含む。しかし、図３は、原理を概略的に説明するためのものであり、実際のレーザ発振器２６０と、レーザヘッド２５０と、の結合状態を示すものではない。
【００３５】
このとき、レーザ照射装置が照射される対象は、有機電界発光表示装置に封止材料として用いられるフリット２３０である。すなわち、レーザ照射対象は、前述した基材基板元板２１０と、封止基板元板２２０との間に備えられるフリット２３０である。
【００３６】
レーザ発振器２６０は、例えば、フリット（ガラスフリット等）２３０を溶融及び硬化させる８００ｎｍ〜１２００ｎｍの波長を有するレーザ光を発生させる装置であってもよい。また、レーザヘッド２５０は、例えば、発振されたレーザ光を線形に変換させる光学システムを備える装置であってもよい。そして、本実施形態においては、通常のレーザ発振器２６０及びレーザヘッド２５０を非制限的に使用できる。よって、通常のレーザ発振器２６０及びレーザヘッド２５０についての詳細な説明は、省略する。
【００３７】
本実施形態でレーザヘッド２５０は、複数備えられ、１列に配列される。しかし、レーザヘッド２５０は、複数の列に配列されてもよい。このとき、複数のレーザヘッド２５０を配列することにより、各ヘッド２５０から出たレーザ光２５１によって、合着基板元板上に複数形成されているフリット２３０を同時に溶融及び硬化させることができる。
【００３８】
一方、有機電界発光表示装置は、その大きさを多様に製造できる。よって、封止するフリット２３０の模様や大きさも異なってくる。したがって、フリット２３０の形状に沿ってレーザを照射するためには、レーザヘッド２５０の間隔を調節するか、レーザヘッド２５０を少なくともＸ、Ｙ方向へ移動させるための駆動手段が必要である。
【００３９】
したがって、レーザ照射装置は、レーザヘッド２５０を移動するための第１駆動手段と、第２駆動手段と、制御器とを備える。
【００４０】
第１駆動手段は、レーザヘッド２５０をフリット２３０の形成されたラインに沿って移動するようにレーザヘッド２５０の配列間隔を調節し、レーザヘッド２５０をＸ方向に駆動させる装置である。ここで、Ｘ方向とは、クロスハンガー２７０が折り畳まれ、または、引き伸ばされることで、複数のレーザヘッド２５０の各間隔が狭くなり、または、広くなる方向のことである。
【００４１】
第１駆動手段は、一例としてクロスハンガ２７０と、２個のリードスクリュ２８１、２８２と、２個のガイドバー２９１、２９２と、２個のモータ３１１、３１２とを含む。また、２個のリードスクリュ２８１、２８２を第１リードスクリュ２８１及び第２リードスクリュ２８２とし、２個のガイドバー２９１、２９２を第１ガイドバー２９１及び第２ガイドバー２９２とし、２個のモータ３１１、３１２を第１モータ３１１及び第２モータ３１２とする。
【００４２】
クロスハンガ２７０は、Ｘ字形状の単位体が連続して結合されて構成される。また、クロスハンガ２７０は、各単位体が等間隔に広がったり、収縮したりする装置である。ここで、各単位体は、同じ大きさを有する。また、レーザヘッド２５０は、クロスハンガ２７０の各Ｘ字形状単位体内の中央の交差部に備えられる。よって、レーザヘッド２５０は、等間隔に配列される。また、各レーザヘッド２５０は、クロスハンガ２７０による間隔の拡張または収縮に際しても、等間隔に配置されうる。
【００４３】
第１リードスクリュ２９１及び第２リードスクリュ２９２は、Ｘ方向に、レーザヘッド２５０を貫通して配置される。また、第１リードスクリュ２９１と第２リードスクリュ２９２とは、互いに直線の延長線上に位置する。そして、第１リードスクリュ２９１は、後述する接続部材３２０の一方のレーザヘッド２５０を貫通し、第２リードスクリュ２９２は、接続部材３２０の他方のレーザヘッド２５０を貫通する。各リードスクリュ２９１、２９２は、中央の接続部材３２０にそれぞれ接続される。しかし、各リードスクリュ２９１、２９２は、接続部材３２０によって、互いに動力的に断絶される。ここで、動力的に断絶されるとは、各リードスクリュ２９１、２９２間で、動力の伝達が行われないことを意味する。
【００４４】
第１ガイドバー２８１及び第２ガイドバー２８２は、第１リードスクリュ２９１及び第２リードスクリュ２９２に対して平行に形成され、各レーザヘッド２５０を貫通するように設置される。また、第１ガイドバー２８１及び第２ガイドバー２８２は、それぞれが貫通したレーザヘッド２５０を支持する。よって、レーザヘッド２５０は、両リードスクリュ２９１、２９２の形成軸周りに回転することなく、Ｘ方向に平行移動できる。
【００４５】
よって、両リードスクリュ２９１、２９２が回転することにより、貫通されたレーザヘッド２５０は、各レーザヘッド２５０間の間隔を等しく保ちながら、Ｘ方向に移動することができる。すなわち、各レーザヘッド２５０の両ガイドバー２８１、２８２が貫通する貫通口は、両ガイドバー２８１、２８２の断面の形状より大きく形成される。よって、各レーザヘッド２５０と両ガイドバー２８１、２８２との間での動力伝達（摩擦等）は行われないか、最小限に抑えられる。
【００４６】
また、第１リードスクリュが貫通したレーザヘッドのうち１つは、第１リードスクリュに螺合され、第２リードスクリュウが貫通したレーザヘッドのうち１つは、第２リードスクリュに螺合されている。
【００４７】
すなわち、レーザヘッド２５０の両リードスクリュ２９１、２９２が貫通する貫通口は、以下のように形成される。第１リードスクリュ２９１に貫通される複数のレーザヘッド２５０のうち１つのレーザヘッド２５０と、第２リードスクリュ２９２に貫通される複数のレーザヘッド２５０のうち１つのレーザヘッド２５０とは、各リードスクリュ２９１、２９２のセレーションまたはスプライン形状に対応したセレーションまたはスプライン形状を有する。ここで、第１リードスクリュ２９１に貫通された最外部（接続部材３２０より一番遠い位置に配置された）のレーザヘッド２５０と、第２リードスクリュ２９１に貫通された最外部のレーザヘッド２５０とを、それぞれ最外第１レーザヘッドと最外第２レーザヘッドとする。
【００４８】
ここでは、この最外第１レーザヘッドと最外第２レーザヘッドが、各リードスクリュ２９１、２９２のセレーションまたはスプライン形状に対応したセレーションまたはスプライン形状を有する。また、最外第１レーザヘッド及び最外第２レーザヘッドとを含む全てのレーザヘッドは、Ｘ形状の単位体を介して接続されている。よって、各リードスクリュ２９１、２９２の回転力は、各レーザヘッド２５０のＸ方向への平行移動力として伝達される。ここで、最外のレーザヘッド以外のレーザヘッドにおける各リードスクリュ２９１、２９２が貫通する貫通口は、ガイドバー２８１、２８２が貫通する貫通口と同様に、リードスクリュ２９１、２９２の断面形状より大きく形成される。ここで、これらの貫通口の形状及びセレーションまたはスプライン形状は、本発明を限定するものではない。例えば、最内部（接続部材３２０に一番近い位置に配置された）のレーザヘッド２５０や、他のレーザヘッド２５０が、セレーションまたはスプライン形状を有してもよい。
【００４９】
したがって、両リードスクリュ２９１、２９２が回転することにより、レーザヘッド２５０は、各レーザヘッド２５０間の間隔を等しく保ちながら、Ｘ方向に移動することができる。すなわち、両リードスクリュ２９１、２９２の回転により、最外第１レーザヘッドと最外第２レーザヘッドとは、Ｘ方向上の同方向に移動するか、逆方向に移動する。両最外レーザヘッドが同方向に移動する場合、最外の第１及び第２レーザヘッド間の距離は、一定に保たれ、クロスハンガ２７０を介して全てのレーザヘッド２５０は、最外第１及び第２レーザヘッドと共に、平行移動する。また、両最外レーザヘッドが逆方向に移動する場合、最外の第１及び第２レーザヘッド間の距離は、縮むか伸びる。また、両最外レーザヘッド間の距離が伸縮することにより、クロスハンガの単位体は等しく、折りたたまれるか引き伸ばされる。よって、単位体に接続された各レーザヘッドは、その間隔をお互いに等しく保ったまま、レーザヘッド間の間隔を長くしたり短くしたり調整することができる。
【００５０】
また、ここで、第１リードスクリュ２９１のセレーションまたはスプラインを、第１スプラインとし、及び第２リードスクリュウ２９２のセレーションまたはスプラインを、第２スプラインとする。また、以下では、説明の便宜上、第１スプラインのねじ山の切られた方向と第２スプラインのねじ山の切られた方向は、お互いに同じ方向であると仮定する。すなわち、第１スプラインが、右ねじの方向のねじ山を有するとき、第２スプラインは、右ねじの方向のねじ山を有する。ただし、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、第１スプラインと第２スプラインは、逆の方向のねじ山を有してもよい。すなわち、第１スプラインが、右ねじの方向のねじ山を有するとき、第２スプラインは、左ねじの方向のねじ山を有する。しかし、逆の方向のねじ山を有する場合、後述の第１モータ３１１による第１リードスクリュ２９１の回転方向と第２リードスクリュ２９２の回転方向との関係は、逆になる。すなわち、後述の作動の説明中、各リードスクリュ２９１、２９２が互いに反対方向に回転する場合は、各リードスクリュ２９１、２９２は同方向に回転し、各リードスクリュ２９１、２９２が互いに同方向に回転する場合は、各リードスクリュ２９１、２９２は互いに逆方向に回転するとする。
【００５１】
第１モータ３１１及び第２モータ３１２は、それぞれ第１リードスクリュ２９１及び第２リードスクリュ２９２の端部に設置されてリードスクリュ２９１、２９２を回転させる。このとき、第１モータ３１１及び第２モータ３１２は、正方向及び逆方向に回転できる双方向モータである。
【００５２】
第２駆動手段は、第１駆動手段と異なる方向（Ｙ方向）にレーザヘッド２５０を移動させる駆動装置である。一例として、第２駆動手段は、滑走体３３０と、滑走路３４０と、第３モータ（図示せず）とを含む。また、Ｘ方向とＹ方向とがなす角度は、９０°としてもよい。
【００５３】
滑走体３３０は、第１リードスクリュ２９１または第２リードスクリュ２９２の接続部材が接続した端部に対して反対側の端部と、両ガイドバー２８１、２８２の端部にそれぞれ接続される。また、滑走体３３０は、滑走路３４０を滑走する。この第２駆動手段により、リードスクリュ２９１、２９２及び両ガイドバー２８１、２８２に接続されたレーザヘッド２５０が移動する。このとき、滑走体３３０がリードスクリュ２９１、２９２及びガイドバー２８１、２８２の両端部に接続されるということは、直接接続されることはもちろん、任意の装置を経由して接続されることも含む。
【００５４】
滑走路３４０は、滑走体３３０がガイドされる経路であり、滑走体３３０の滑走面に対応する形状の溝を有するように構成される。また、第３モータ（図示せず）は、滑走体３３０が滑走路３４０を滑走するように動力を提供する。第３モータも双方向モータである。滑走体と滑走路とは、多様な方法で構成され得るが、例えば、滑走体３３０は、ボールブッシュで構成され、滑走路３４０は、シャフトで構成されてもよい。また、例えば、滑走体３３０と滑走路３４０とは、ボールねじで構成されてもよい。すなわち、滑走体３３０は、ボールねじの軸受けで構成され、滑走路３４０は、ボールねじの軸で構成されてもよい。この場合、第３モータは、滑走路３４０を正回転または逆回転させることにより、滑走体３３０をＹ方向に移動させる。しかし、本発明はこれに限定されるものでななく、滑走体３３０と滑走路３４０とは、多様な方法で構成され得る。
【００５５】
制御器３５０は、第１駆動手段及び第２駆動手段を設定されたレーザヘッド２５０の間隔及びレーザヘッド２５０の移動経路に沿って制御する装置である。すなわち、フリット２３０の形状によってレーザヘッド２５０の間隔及び移動経路を変更するために、制御部３５０は、フリット２３０の形状間隔に関するデータを入力され、入力データからレーザヘッド２５０の走行経路を演算して各モータの駆動を制御する。
【００５６】
以下、図４Ａ〜図６Ｂを参照して、図３の本実施形態にかかるレーザ照射装置の作動について説明する。図４Ａ及び図４Ｂは、図３の本実施形態にかかるレーザ照射装置のレーザヘッドの間隔調節を示す動作図である。また、図５Ａ及び図５Ｂは、図３の本実施形態にかかるレーザ照射装置のＸ方向の位置調節を示す動作図である。そして、図６Ａ及び図６Ｂは、図３の本実施形態にかかるレーザ照射装置のＹ方向の位置調節を示す動作図である。
【００５７】
まず、レーザ照射装置は、レーザを照射するフリットの形状及び間隔に対するデータの入力を受ける。レーザ照射装置は、当該データに基づき、制御器３５０によって第１モータ３１１、第２モータ３１２及び第３モータを駆動させる。各モータの駆動により、各レーザヘッド２５０間の間隔は、フリット２３０の形状に対応した間隔に設定される。そして、各モータの駆動により、レーザヘッド２５０は、フリットの形状に対応してＸ方向及びＹ方向へ移動すると同時に、レーザを照射してフリットを溶融及び硬化させる。
【００５８】
まず、図４Ａ及び図４Ｂを参照して、各レーザヘッド２５０間の間隔の調整について説明する。各レーザヘッド２５０間の間隔は、第１モータ３０１及び第２モータ３０２とを互いに反対方向に回転させることによって調節される。第１モータ３０１と第２モータ３０２とを互いに反対方向に駆動させる場合、両リードスクリュ２９１、２９２と両ガイドバー２８１、２８２によりレーザヘッド２５０は、中心に向かって移動するか、両側へ移動する。このとき、クロスハンガ２７０が同じ大きさを有する単位体を接続することで構成されていれば、各レーザヘッド２５０の間隔は、同じ間隔を維持しながら、その間隔を大きくまたは小さくなるよう調節することができる。これにより、基板上に同じ間隔で連続して形成されるフリットの間隔に対応するように、レーザヘッド２５０の間隔を調節できる。
【００５９】
すなわち、第１リードスクリュ２９１に接続された最外第１レーザヘッドと第２リードスクリュ２９２に接続された最外第２レーザヘッドとは、両リードスクリュが逆方向に回転することにより、互いに逆方向に移動する。そして、各最外レーザヘッド間の距離は、長くなるか、短くなる。よって、クロスハンガ２７０のＸ方向の長さ（形成長）は、伸縮される。また、同時に単位体は、折りたたまれるか、引き伸ばされる。また、単位体の折りたたみまたは引き伸ばしにより、各レーザヘッド２５０の間隔は、小さくまたは大きくなるように調整される。ただし、単位体が全て同じ大きさであるので、各レーザヘッド２５０の間の各間隔は、互いに等しく保たれたまま、調整される。
【００６０】
次に、図５Ａ及び図５Ｂを参照して、各レーザヘッド２５０のＸ方向への移動について説明する。Ｘ方向への移動は、第１モータ３０１及び第２モータ３０２を互いに同じ方向に回転させることによって行われる。第１モータ３０１及び第２モータ３０２を同じ方向に回転させる場合、各レーザヘッド２５０は、同じ一本のリードスクリュに貫通されたのと同じ状態になる。すなわち、第１リードスクリュ２９１と第２リードスクリュ２９２とは、一本のリードスクリュのように振舞う。よって、全てのレーザヘッド２５０が、Ｘ方向に一体となって移動することができる。これにより、通常、略四角形に形成されたフリットの横ライン（Ｘ方向のフリットが形成された線上）に沿ってレーザヘッドを移動させることができる。
【００６１】
すなわち、第１リードスクリュ２９１に接続された最外第１レーザヘッドと第２リードスクリュ２９２に接続された最外第２レーザヘッドとは、両リードスクリュが同方向に回転することにより、同距離同方向に移動する。よって、クロスハンガ２７０は、形成長を変化することなく、両最外のレーザヘッドとともに移動する。また、残りのレーザヘッド２５０は、クロスハンガ２７０に接続されているので、両最外レーザヘッドとともに移動する。よって、全てのレーザヘッド２５０が、Ｘ方向に一体となって移動することができる。
【００６２】
次に、図６Ａ及び図６Ｂを参照して、各レーザヘッド２５０のＹ方向への移動について説明する。Ｙ方向への移動は、第３モータ（図示せず）を駆動させることによって調節される。すなわち、第３モータを稼動することで、第３モータに連結されたリードスクリュなどの動力伝達手段にて滑走体３３０がシャフトに沿って移動されるようにし、これによって、レーザヘッド２５０が滑走体３３０に連動して移動する。これにより、例えば、略四角形に形成されたフリットの縦ライン（Ｙ方向のフリットが形成された線上）に沿ってレーザヘッドを移動させることができる。
【００６３】
以上説明したように、本実施形態にかかるレーザ照射装置によれば、レーザを照射するレーザヘッド２５０を複数備え、複数のレーザヘッド２５０の配列間隔を調整することが可能であり、複数のレーザヘッド２５０を被レーザ照射体の形状に合わせて自由に移動させると同時にレーザを照射することができる。すなわち、本実施形態にかかるレーザ照射装置によれば、基板上に形成された複数のフリット２３０の間隔及び形状に合わせて、複数のレーザヘッド２５０を移動させることができる。よって、１回のレーザ照射時間により複数のフリット２３０を溶融及び硬化することができる。したがって、製造時間を短縮することができ、製造コストを減少できる。また、フリット２３０の間隔に応じて、別途レーザ照射装置を用意しなくても済む。
【００６４】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００６５】
例えば、上記実施形態では、各レーザヘッド２５０間の間隔を同一に保ち調節する手段として、クロスハンガを用いたが、本発明はかかる例に限定されない。例えば、各レーザヘッド２５０の位置を自動演算する自動制御システムによって間隔を調節してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明は、レーザ照射装置に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】従来技術にかかる有機電界発光表示装置が個別の装置に切断される前の元板基板を示す斜視図である。
【図２】従来技術にかかるレーザ照射装置の概略図である。
【図３】本発明の実施形態にかかるレーザ照射装置を示す斜視図である。
【図４Ａ】図３の同実施形態にかかるレーザ照射装置のレーザヘッドの間隔調節を示す動作図である。
【図４Ｂ】図３の同実施形態にかかるレーザ照射装置のレーザヘッドの間隔調節を示す動作図である。
【図５Ａ】図３の同実施形態にかかるレーザ照射装置のＸ方向の位置調節を示す動作図である。
【図５Ｂ】図３の同実施形態にかかるレーザ照射装置のＸ方向の位置調節を示す動作図である。
【図６Ａ】図３の同実施形態にかかるレーザ照射装置のＹ方向の位置調節を示す動作図である。
【図６Ｂ】図３の同実施形態にかかるレーザ照射装置のＹ方向の位置調節を示す動作図である。
【符号の説明】
【００６８】
２１０    蒸着基板
２２０    封止基板
２３０    フリット
２５０    レーザヘッド
２６０    レーザ発振器
２７０    クロスハンガ
２８１    第１ガイドバー
２８２    第２ガイドバー
２９１    第１リードスクリュ
２９２    第２リードスクリュ
３１１    第１モータ
３１２    第２モータ
３２０    接続部材
３３０    滑走体
３４０    滑走路
３５０    制御器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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