(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状に繰り出される幅広シート状をした支持材（Ｗ）に対し、その幅方向に所定間隔をおいて複数本の細紐状導電材（Ｄ）を相互平行状態にしたうえで、これら支持材（Ｗ）と導電材（Ｄ）とを重ね合わせ、もって結合させることで一次製品としての導電材集合帯（Ｖ）を得、
しかる後、該導電材集合帯（Ｖ）を、必要本数の導電材（Ｄ）が含まれる幅方向寸法であって、且つ所定の長手方向寸法となる範囲ごとに切り出すことによって多数の薄型積層電気部品（Ｅ）を製造するための装置であって、
幅広帯状の支持材（Ｗ）を繰り出し可能にする支持材供給ステーション（２）と、
複数本の細紐状導電材（Ｄ）を一斉に繰り出し可能にする導電材供給ステーション（３）と、
支持材供給ステーション（２）からの支持材（Ｗ）に対して導電材供給ステーション（３）からの複数本の導電材（Ｄ）を重ね合わせつつこれら導電材（Ｄ）相互の所定間隔を整列させる重合・ピッチ揃えステーション（４）と、
該重合・ピッチ揃えステーション（４）を経た支持材（Ｗ）及び導電材（Ｄ）群の重合体を加熱圧着によって互いに結合させる貼付ステーション（５）とを有しており、
前記重合・ピッチ揃えステーション（４）には、各導電材（Ｄ）に貼付ステーション（５）から見て上流側へ引っ張る方向の張力を付与させるテンション調整部（３８）が付設されていることを特徴とする薄型積層電気部品の製造装置。
【請求項２】
前記支持材（Ｗ）と導電材（Ｄ）との重合結合は、これらの少なくとも一方に予め熱軟化性の結合剤（Ｙ）を塗布しておくと共に、この結合剤（Ｙ）の塗布面に保護フィルム（Ｆ）を付着させておき、支持材（Ｗ）と導電材（Ｄ）とを重ね合わせる直前に保護フィルム（Ｆ）を剥離させるフィルム回収部（１７）を設け、これら支持材（Ｗ）と導電材（Ｄ）とを前記重合・ピッチ揃えステーション（４）で重合後に前記貼付ステーション（５）で加熱圧着する手順で行うことを特徴とする請求項１記載の薄型積層電気部品の製造装置。
【請求項３】
前記支持材（Ｗ）と導電材（Ｄ）との重合結合を加熱圧着によって行うに際し、支持材（Ｗ）と導電材（Ｄ）とを重ね合わせるのに併せて導電材（Ｄ）側を伝熱性のカバーシート（Ｃ）で覆っておいて、該カバーシート（Ｃ）の上からヒータプレート（９１）を押し付け加熱することを特徴とする請求項２記載の薄型積層電気部品の製造装置。
【請求項４】
前記重合・ピッチ揃えステーション（４）には、導電材（Ｄ）をガタツキのない状態に挿通可能とする挿通溝（７０）が複数個１組で複数セット数横並びに所定間隔に設けられるテンション調整部（３８）が付設されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の薄型積層電気部品の製造装置。
【請求項５】
前記貼付ステーション（５）には、支持材（Ｗ）及び導電材（Ｄ）群の重合体に最初に加熱圧着を行うホットプレス部（８５）に対して、支持材（Ｗ）の幅方向端部にその長手方向に沿って一定ピッチで設けられる位置合わせ孔（Ｐ）を利用した位置決めを可能にする位置決め部（８６）が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の薄型積層電気部品の製造装置。
【請求項６】
前記貼付ステーション（５）には、支持材（Ｗ）の幅方向端部にその長手方向に沿って一定ピッチで設けられる位置合わせ孔（Ｐ）を送り爪（１１２）で引っ掛けてピッチ送りする定寸送り部（８７）が付設されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の薄型積層電気部品の製造装置。
【請求項７】
前記重合・ピッチ揃えステーション（４）には、導電材（Ｄ）を所定距離ずつ間欠送り可能にする尺取り送り部（３７）が設けられており、該尺取り送り部（３７）による送り動作と前記貼付ステーション（５）の定寸送り部（８７）による送り動作とが一体動作可能になっていることを特徴とする請求項６記載の薄型積層電気部品の製造装置。
【請求項８】
前記貼付ステーション（５）には、支持材（Ｗ）及び導電材（Ｄ）群の重合体に対する加熱圧着を少なくとも２回に分けて行う複数のホットプレス部（８５，８８）が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の薄型積層電気部品の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄型積層電気部品の製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
小型のセンサ類等を製造するうえで必要とされる電極部分は、予め、独立した電気部品として製作準備しておくことが考えられるが、この種の電気部品は、小型且つ薄型で、また導通性（低抵抗性）や低ノイズ性に優れている必要がある。
そこで、この電気製品は、シート状の薄い絶縁性のベースに対し、その片面に白金や金等より成る細紐状の導電部分を複数本、重合状に設けた積層構造にすることが考えらえる。
【０００３】
従来、このように薄型で、積層構造を有する電気部品を製造する方法としては、大別するとスクリーン印刷法、スパッタリング法、貼り合わせ法の３つの方法が考えられる。
簡単に説明すれば、スクリーン印刷法は、必要とされる導電部分を印刷パターンとして具備するスクリーンを、ベースとする支持材の上に載せ、このスクリーン上でペースト状にした導電材料を刷り付けるようにし、もって支持材の必要領域だけに導電材料の層を塗着形成させるものである。
【０００４】
スパッタリング法は、導電部分に対応した開口部を有するマスク材を支持材上に載せ、これらマスク及び支持材まわりを所定のガス雰囲気中に保持させつつ、導電材料製のターゲット側を陰極、支持材側を陽極としてこれらを所定距離関係において印加させることで、支持材上の必要領域（マスクの開口部内）だけに導電材料製の薄膜を析出形成させるものである。
貼り合わせ法は、予め製造しておいた細紐状の導電材を、適宜接着剤等を用いて支持材に貼り合わせるものでものである。
【０００５】
この場合、細紐状の導電材を製造するには、例えばスパッタリング法を採用することができ、このスパッタリング法で得られたシート状のものから、必要とされる幅の導電材を切り出すという方法を採用すればよい。
このときのスパッタリング法ではその処理上の基材（支持材よりも薄い）に対して全面的に導電材料製の薄膜を形成させればよいものであって、マスクは不要となるものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
スクリーン印刷法では、支持材上に形成される導電材料の層の厚さが、この種の電気部品で必要とされる導電部分としては必要以上に分厚く（数μｍ）なってしまう。
従って、導電材料が上記したように白金や金等の高価な材料であることから、高コスト化に繋がると言う不具合があった。しかも、スクリーンにおける印刷パターン以外の領域にも導電材料が大量に付着するという点も、高コスト化を助長するものとなっていた。
【０００７】
スパッタリング法では、作業に連続性を持たせることが困難であるため、製造能率（生産性）の面で問題があった。また、マスク等に対しても薄膜が形成されることになるので、スクリーン印刷法ほどではないにしても、コスト的に不経済な面があることは否めないものであった。
貼り合わせ法では、細紐状とされた導電材が非常に細くて薄く、腰や重量感がないことから取り扱い（ハンドリング）が難しいという事情があるうえに、殊に、そもそも支持材自体も、予め、取り扱い性に不適なほど小さく裁断されていたため、導電材を支持材に貼り合わせる時において導電材相互の間隔を一定にする（平行させる）のが、非常に難しいということがあった。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、薄型で、積層構造を有する電気部品（以下、「薄型積層電気部品」と言う）を製造するうえで低コスト化及び高生産性を図ることのできる薄型積層電気部品の製造装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明は次の手段を講じた。
即ち、本発明に係る薄型積層電気部品の製造装置の概略は、帯状に繰り出される幅広シート状をした支持材に対し、その幅方向に所定間隔をおいて複数本の細紐状導電材を相互平行状態に配置し、そのうえでこれら支持材と導電材とを重ね合わせ、結合させるものである。
なお、導電材は、適宜の基材表面にスパッタリング法等により全面的に導電材料を層形成させ、その後にこれを細紐状に切断することによって得ることができる。
【００１０】
これによって、まず一次製品として、帯状を呈した導電材集合帯を得る。
そして、このようにして得た導電材集合帯を、必要に応じて加工し、その幅方向においては必要本数の導電材が含まれる寸法範囲とし、またその長手方向では所定の寸法範囲となるようにしつつ、切断を繰り返す。
これにより、この導電材集合帯から、多数の薄型積層電気部品を切り出す（製造する）ことができるものである。
支持材と導電材との重合結合は、これらの少なくとも一方に、例えばホットメルト等の熱軟化性結合剤を予め塗布しておくことにより、この結合剤を一旦、熱的に軟化させることによって行うものとすればよい。
【００１１】
この場合、この結合剤の塗布面には、面性状の保護及び防塵等のために保護フィルムを付着させておくのが好ましい。
この保護フィルムは、支持材と導電材とを重ね合わせる直前に剥離すればよいものである。そして、そのうえで支持材と導電材とを加熱圧着させればよい。
なお、熱軟化性の結合剤としては、ホットメルトだけでなく、他に熱可塑性接着剤等を使用することもできる。
支持材と導電材とを加熱圧着によって重合結合させる場合では、支持材と導電材とを重ね合わせるのに併せて、導電材側を伝熱性のカバーシートで覆っておいて、このカバーシートの上からヒータプレートを押し付けるようにするのが好適である。これによって導電材を接触傷から保護できるし、結合剤のはみ出し分がヒータプレートに付着するのを防止する。
【００１２】
カバーシートは、加熱が終わった段階で支持材から剥離すればよい。
一方、本発明に係る薄型積層電気部品の製造装置の具体的な構成は、支持材供給ステーションと、導電材供給ステーションと、重合・ピッチ揃えステーションと、貼付ステーションとを有したものとすることができる。
支持材供給ステーションは、幅広帯状の支持材を繰り出し可能にするところである。
導電材供給ステーションは、複数本の細紐状導電材を一斉に繰り出し可能にするところである。
【００１３】
重合・ピッチ揃えステーションは、支持材供給ステーションからの支持材に対して、導電材供給ステーションからの複数本の導電材を重ね合わせ、そのうえで、これら導電材相互の所定間隔を整列させるところである。
貼付ステーションは、重合・ピッチ揃えステーションを経た支持材及び導電材群の重合体を加熱圧着によって互いに結合させるところである。
なお、重合・ピッチ揃えステーションには、次のようなテンション調整部を設けるのが好適とされる。
【００１４】
すなわち、このテンション調整部は、各導電材に撓ませ方向の押圧力を加えることで、貼付ステーションから見て上流側へ引っ張る方向の張力を付与させるためのものである。
また、貼付ステーションには、次のような位置決め部を設けておくのが好適とされる。
すなわち、この位置決め部は、支持材及び導電材群の重合体に最初に加熱圧着を行うホットプレス部に対して、支持材の幅方向端部にその長手方向に沿って一定ピッチで設けられた位置合わせ孔を利用した位置決めを可能にするためのものである。
【００１５】
また、貼付ステーションには、次のような定寸送り部を設けるのが好適とされる。
すなわち、この定寸送り部は、支持材の幅方向端部にその長手方向に沿って一定ピッチで設けられる位置合わせ孔を送り爪で引っ掛けてピッチ送りするためのものである。
上記した重合・ピッチ揃えステーションには、導電材を所定距離ずつ間欠送り可能にする尺取り送り部を設けることができる。
【００１６】
この場合、この尺取り送り部による送り動作を、貼付ステーションの定寸送り部による送り動作と一体動作可能にしておくのが好適となる。
貼付ステーションには複数のホットプレス部を設けて、支持材及び導電材群の重合体に対する加熱圧着を少なくとも２回に分けて行うようにするのが好適である。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面に基づき説明する。
図２は、本発明に係る製造装置によって製造しようとする薄型積層電気部品Ｅを示している。
この薄型積層電気部品Ｅは、ベースＢの片面に対し、複数本（図例では２本とした）の導電部分Ｓが設けられたもので、ベースＢは長方形の断片シート状をしており、また各導電部分Ｓは紐状に細く、ベースＢの長手方向を通り抜けるようになっている。
【００１８】
ベースＢは、導電部分Ｓの相互間隔を保持し且つ固定する作用と共に、それらの絶縁材としての作用も有している。このベースＢの素材には、薄くて好ましくは可撓性を有し、また廉価で入手し易い材料とするのが好適である。
本実施形態では、このベースＢとして２５０μｍの厚さのＰＥＴ材を用いた。
これに対し、導電部分Ｓは、基本的には導通性を有するものであればよいが、薄い形成膜を容易に得られる材料であることが必要とされ、また用途によっては低ノイズ性等に優れたものが必要とされる。
【００１９】
本実施形態では、この導電部分Ｓとして特に低抵抗性及び低ノイズ性を重要視して白金や金等より成るものとした。使用本数やサイズ的には特に限定はなく、例えば幅を１ｍｍ、相互間隙間を０．５ｍｍとする等、用途に応じて適宜変更可能である。
導電部分Ｓには、その他、用途等に応じてパラジウム、銅、銀、炭素、鉄等を採用することもできる。
そして、このような薄型積層電気部品Ｅを製造するための本発明に係る製造方法を端的に言えば、まず、ベースＢに比べて幅方向で数倍の大きさを有し、また長手方向ではロール状態から帯状に繰り出されるシート状をした支持材Ｗを準備する。
【００２０】
そして、この支持材Ｗに対し、導電部分Ｓの素材である細紐状導電材Ｄの複数本（一つの薄型積層電気部品Ｅで必要とされる導電部分Ｓの正数倍本数）を互いに平行させた配置にしつつ、これらを支持材Ｗに重合結合させて、一次製品としての導電材集合帯Ｖを得、そしてこの導電材集合帯Ｖから多数の薄型積層電気部品Ｅを切り出すという手順になる。
なお、図３に示すように、導電材Ｄには、ポリイミド等を基材Ｔとして、これにスパッタリング法を行って全面的に導電材料（金属製等の薄膜）を層形成したものを用いればよい。
【００２１】
この基材Ｔには、導電材Ｄを支持材Ｗに重合結合させるための前準備として、予め熱軟化性の結合剤Ｙを塗布形成しておき、更にこの結合剤Ｙを保護フィルムＦで保護しておけばよいものである。
この保護フィルムＦは、支持材Ｗと導電材Ｄとを重ね合わせる直前に剥離除去すればよい。
また、カバーシートＣはこれら支持材Ｗと導電材Ｄとを重合結合させる場合には、暫時的に導電材Ｄ側をカバーシートＣで覆って導電材Ｄを接触傷から保護すると共に、結合剤Ｙのはみ出し分がヒータプレートに付着するのを防止するのによいものである。このカバーシートＣは、支持材Ｗと導電材Ｄとの重合結合が終わった段階で剥離除去すればよい。或いは、カバーシートＣを剥離せずに覆った状態で巻取れば巻取時の汚れ付着防止になる。
【００２２】
支持材Ｗには、その幅方向の両端部に、その長手方向に沿って一定ピッチで位置合わせ孔Ｐを設けておくと、製造中の搬送を容易且つ重合時の位置精度の保持が確実にできると共に、その搬送精度を高めるうえで好適となる。
図１は、上記薄型積層電気部品Ｅを製造するための本発明に係る製造装置１における一実施形態を示している。
この製造装置１は、支持材供給ステーション２と、導電材供給ステーション３と、重合・ピッチ揃えステーション４と、貼付ステーション５と、集合帯巻取ステーション６とを有している。
【００２３】
またこの他、図示は省略するが、集合帯巻取ステーション６でロール状態に巻き取られた一次製品としての導電材集合帯Ｖを巻き出しつつ、必要に応じて加工し所定寸法に切断して、最終的に薄型積層電気部品Ｅとする（図２参照）切出しステーションも併設的又は別所設置で必要とされる。
なお、このような切出しステーションへは、上記集合帯巻取ステーション６を経ないで、貼付ステーション５から直接的に導電材集合帯Ｖを供給するようにしてもよい。すなわち、本発明に係る製造装置１において、上記した集合帯巻取ステーション６は必須不可欠となるものではない。
【００２４】
支持材供給ステーション２は、上記した支持材Ｗ（図２及び図３参照）を、下流側からの要求に応じて必要量だけ繰り出し可能にするところである。
図４に示すように、この支持材供給ステーション２は、支持材Ｗを当初のロール状態のまま回転自在に保持するリール部１０と、このリール部１０の回転駆動部１１と、支持材Ｗの繰り出し量を検出するダンサロール部１２とを有している。
なお、図例のダンサロール部１２は、揺動梃子方式のものを示している。
【００２５】
従って、ダンサロール部１２のロール１２ａが所定高さ分ずつ下降するたびに、回転駆動部１１がリール部１０を所定回転だけ回転駆動させるようになっている。
導電材供給ステーション３（図１参照）は、上記した導電材Ｄ（図２及び図３参照）の複数本を、下流側からの要求に応じて必要量だけ、また一斉に繰り出し可能にするところである。
この導電材供給ステーション３は、各導電材Ｄを当初のロール状態のまま、個々別々に回転自在に保持するリール集合盤１５と、各導電材Ｄ用の整列部１６と、各導電材Ｄから保護フィルムＦを剥離除去するフィルム回収部１７と、導電材Ｄの繰り出し量を検出するダンサローラ部１８を有している。
【００２６】
リール集合盤１５では、これを正面視した状態として碁盤の目状の配置となるように、多数のボビン２０（図例では計２０個とした）が縦横に整然と保持されるようになっている。ボビン２０の保持個数は、言うまでもなく、導電材集合帯Ｖとして必要とされる導電材Ｄの本数に合わせてある。
図５に示すように、各ボビン２０はいずれもリール集合盤１５の盤面から突出されている芯軸２１へ突き刺すようにすることで、回転自在にされる。また、各ボビン２０は、リール集合盤１５の盤面からの軸方向保持位置が少しずつズレるようにされており、各ボビン２０から繰り出される導電材Ｄが上部のハンガーアーム２２に横並び状態で引っ掛けられるときに、それぞれ接触干渉したり、絡まったりすることがないようにしてある。
【００２７】
図６に示すように、整列部１６では、横並び状態で繰り出されつつある導電材Ｄを、互いに所定間隔をおいて設けられた第１ピンチロール部２５と第２ピンチロール部２６との２カ所で挟持し、且つピンと張った状態に保持させておき、更にこの保持部分で、導電材Ｄの横並び間隔に合わせた複数の溝（図示略）を具備したガイド部材２７へ通過させるようにしており、これによって各導電材Ｄの相互間隔を正確に揃えさせるようになっている。
第１ピンチロール部２５及び第２ピンチロール部２６は、共通の回転駆動部２９によって同調駆動されるようになっている。
【００２８】
フィルム回収部１７では、各導電材Ｄが整列部１６の第１ピンチロール部２５と第２ピンチロール部２６との間を通過している間に、剥離誘導軸３０を介して保護フィルムＦを反転巻き出しし、これを回転駆動部３１によって回転される巻取ローラ３２，３３のいずれか一方で巻き取ってゆくようになっている。
なお、図例のダンサロール部１８は、エレベート方式のものを示している。
従って、ダンサロール部１８のロール１８ａが所定高さ分ずつ下降するたびに、整列部１６の回転駆動部２９やフィルム回収部１７の回転駆動部３１がそれぞれ所定回転だけ回転駆動させるようになっている。
【００２９】
重合・ピッチ揃えステーション４（図１参照）は、導電材供給ステーション３から繰り出される複数本の導電材Ｄの相互間隔を所定に整列させ、そのうえでこれら導電材Ｄを支持材供給ステーション２から繰り出される支持材Ｗと重ね合わせ、更に、これらに対してカバーシートＣをも重ね合わせるようにするところである。
すなわち、図７に示すように、この重合・ピッチ揃えステーション４は、導電材Ｄの搬送ラインと、支持材Ｗの搬送ラインと、カバーシートＣの搬送ラインとの３つの搬送ラインを、合流ローラ３４，３５によって挟み付け、その下流側（図７右方）で合流させるものとなっている。
【００３０】
導電材Ｄの搬送ラインは、他の２つの搬送ラインに対してそれらの上下中間部に位置付けられている。
また、この導電材Ｄの搬送ラインには、図８に拡大して示すように、その搬送方向の上流側（図８左方）から下流側（図８右方）へ向けて、ガイド部材３６と、尺取り送り部３７と、テンション調整部３８とが、この順番で設けられている。
ガイド部材３６は、ガイド台３６ａと蓋３６ｂとの上下間に、導電材Ｄの横並び間隔に合わせた複数の溝（図示略）を具備したものである。
【００３１】
尺取り送り部３７は、搬送支持台４０の上方に、それぞれ上下動可能な状態で前押さえローラ４１と後押さえローラ４２とが設けられたものである。
図９に示すように、前押さえローラ４１は昇降駆動具４４によって独自に昇降駆動されるようになっており、これに対して後押さえローラ４２は昇降駆動具４５によって独自に昇降駆動されるようになっている。
なお、搬送支持台４０には、後押さえローラ４２による接触面圧を高められるようにするためのローラ受け凹部４７（図８参照）が形成されている。
【００３２】
この尺取り送り部３７の搬送支持台４０や上記したガイド部材３６は、下部スライドテーブル４８上に固定されており、この下部スライドテーブル４８は、図９に示すようにその下部に設置される下段支持テーブル４９上で、下部スライドガイド部材５０を介して導電材Ｄの搬送方向に沿う方向（図７及び図８の左右方向）で移動自在に保持されている。
下部スライドテーブル４８には、その前縁部下面から下垂状にブラケット５１が固定されており、このブラケット５１には、下段支持テーブル４９の下方を通り抜けて後方へ突き出るリンクシャフト５２が設けられている。
【００３３】
一方、尺取り送り部３７の前押さえローラ４１やその昇降駆動具４４、及び後押さえローラ４２やその昇降駆動具４５は、上部スライドテーブル５４に対して設けられている。
この上部スライドテーブル５４は、その下部に設置される上段支持テーブル５５上で、上部スライドガイド部材５６を介して導電材Ｄの搬送方向に沿う方向（図７及び図８の左右方向）で移動自在に保持されている。
上部スライドテーブル５４には、その前後方向中間部の下面から下垂状にブラケット５７が固定されており、このブラケット５７に対して、上記した下部スライドテーブル４８側に設けられたリンクシャフト５２が串刺し状に貫通するようになっている。
【００３４】
以上の説明から判るように、これら下部スライドテーブル４８と上部スライドテーブル５４、即ち、ガイド部材３６及び尺取り送り部３７が、それら全体として、導電材Ｄの搬送方向に沿う方向（図７及び図８の左右方向）で移動自在になっているものである。
そして、実際に導電材Ｄを搬送する状況下では、このようなガイド部材３６及び尺取り送り部３７の搬送方向に沿った移動と、尺取り送り部３７における前押さえローラ４１や後押さえローラ４２の上下動とが相関的に組み合わされる。
【００３５】
これにより、前押さえローラ４１及び後押さえローラ４２は、まず搬送支持台４０に当接して導電材Ｄを挟持する下降位置となって、この状態のまま上流側から下流側へ向けた所定ストロークの送りと、送り後の上昇と、上昇後における送りとは逆向きである戻りと、戻り後の下降といった、立体箱形動作を繰り返し行うようになっている。
従って、導電材Ｄは、所定距離ずつ正確に、間欠送りされるものとなる。
但し、尺取り送り部３７の送り動作は下流側の後述する定寸送り部８７における送り動作と互いに物理的に一体なものとして間欠送りされるものであり、特に必要がなければ尺取り送り部３７は、固定方式としても可能である。
【００３６】
テンション調整部３８は、搬送支持台６０の上方に、それぞれ上下動可能な状態で前押さえ６１と中押さえ６２と後押さえ６３とが設けられ、また搬送支持台６０には前押さえ６１に対応して前ガイド台６５が設けられ、中押さえ６２に対応して可撓作用開口６６が設けられ、後押さえ６３に対応して後ガイド台６７が設けられたものとして構成されている。
なお、図示は省略するが、前押さえ６１、中押さえ６２、及び後押さえ６３にはそれぞれ各別個の昇降駆動具が設けられており、従って、これら各押さえ６１〜６３の上下動は独自のタイミングとすることも又は同調させることも、できるものとなっている。通常は、前押さえ６１と後押さえ６３は操業の初期セット時に下降し作業終了時に上昇する。
【００３７】
前押さえ６１と前ガイド台６５との組み合わせ、及び後押さえ６３と後ガイド台６７との組み合わせは、互いに略同じものとなっている。
そこでまず、図１０を用いて前押さえ６１と前ガイド台６５との組み合わせについてだけ説明すると、前ガイド台６５は、導電材Ｄの搬送方向に直交する方向に長い角棒材６５ａを、導電材Ｄの搬送方向で所定間隔をおいて２本並設したものとなっている。
各角棒材６５ａには、その長手方向を通り抜けるかたちで、導電材Ｄをガタツキのない状態にしつつ挿通可能とする挿通溝７０が、導電材Ｄの横並び間隔に合わせて複数設けられている。
【００３８】
なお、導電材Ｄは、上記したように図例では２本一組で一つの薄型積層電気部品Ｅ（図２参照）に用いられることになるので、前ガイド台６５に設けられる挿通溝７０も、２個一組で、これが所定セット数（本実施形態では上記説明から明らかなように１０セットである）設けられていることになる。薄型積層電気部品上の導電部分Ｓが３本であれば３個一組というように必要に応じて組合わせて設けると良い。
これに対して前押さえ６１には、その下面に、前ガイド台６５の各角棒材６５ａを個々に嵌め込み可能とする嵌合溝７１が設けられている。
【００３９】
この前押さえ６１は、導電材Ｄに対して擦過傷等を生起させることなく、また導電材Ｄの滑りを阻害することがないように、適度な硬さを有する樹脂材により形成しておくのが好適とされる。
なお、搬送支持台６０には、前ガイド台６５における各角棒材６５ａの両端部に当接する配置で、Ｌ型のアングル材状を呈したゲージプレート７２が取り付けられている。
このゲージプレート７２は、前押さえ６１の下降端位置を当て止め規制する作用を有しているが、このゲージプレート７２を搬送支持台６０に取り付けている取付ボルト７３の挿通孔７４は、上下方向に長い長孔となっている。
【００４０】
そのため、例えばゲージプレート７２の下にスペーサ（図示略）を挟み込む等すれば、搬送支持台６０に対してゲージプレート７２の上面レベルを調節することができることになり、これによって前押さえ６１の下降端位置を調節することができるものとなっている。
すなわち、このような前押さえ６１の下降端位置調節により、前ガイド台６５の挿通溝７０に対して前押さえ６１の嵌合溝７１を嵌め付ける量（挿通溝７０内で導電材Ｄを挿通させるための隙間量）を調節することができるものである。
【００４１】
次に中押さえ６２と可撓作用開口６６との組み合わせについて説明する。
図１１及び図１２に示すように、可撓作用開口６６は、搬送支持台６０に対して全ての導電材Ｄが通過（架設）する範囲に跨るように開口したものとされている。
これに対して中押さえ６２は、この可撓作用開口６６内に没入可能な大きさであって、且つ全ての導電材Ｄを下方へ押圧可能にする長さを有して形成されたものとなっている。
【００４２】
この中押さえ６２の下面部６２ａは、導電材Ｄに対して擦過傷等を生起させることなく、また導電材Ｄの滑りを阻害することがないように、適度な硬さを有する樹脂材又はゴム等により形成されたものとしておくのが好適とされる。実施例ではゴム硬度２０のゴム材を使用している。
以上の説明から判るように、このテンション調整部３８では、中押さえ６２によって全導電材Ｄに下方へ向けた撓ませ方向の押圧力を加えることによって、全導電材Ｄに、貼付ステーション５から見て上流側へ引っ張る方向の張力を付与させることができるようになっている。
【００４３】
またこのとき、中押さえ６２の上流側と下流側との２カ所で、前押さえ６１と前ガイド台６５との組み合わせ、及び後押さえ６３と後ガイド台６７との組み合わせによって全導電材Ｄをガイドしているので、全ての導電材Ｄは、蛇行や上下のうねり等が生じない状態が保障されるようになっている。
図７に示したように、この重合・ピッチ揃えステーション４において、支持材Ｗの搬送ラインは、上記導電材Ｄの搬送ラインに対してその下側から接近するようになっている。
【００４４】
そして、上記した下側の合流ローラ３５の直前部で、支持材供給ステーション２から繰り出される支持材Ｗを、揺動梃子型の駆動装置７６に装備された押圧ローラ７７によって合流ローラ３５側へと押し付けるようにして、この合流ローラ３５への巻き付け角度を大きくし、もって、支持材Ｗにスリップや巻き掛けゆるみが生じないようにしている。押圧ローラ７７は、必要に応じて使用すれば良いものである。
また、カバーシートＣの搬送ラインは、上記導電材Ｄの搬送ラインに対してその上側から接近するようになっている。
【００４５】
このカバーシートＣの搬送ラインでは、カバーシートＣを当初のロール状態のまま回転自在に保持するブレーキ機構付きリール部８０と、このリール部８０のブレーキ機構解除時にカバーシートＣに引き出し動力をかけるピンチロール部８１と、カバーシートＣの繰り出し量を検出するダンサロール部８２とを有している。
貼付ステーション５（図１参照）は、上記した重合・ピッチ揃えステーション４を経ることによって重合された重合体（支持材Ｗ及び導電材Ｄ群）を、加熱圧着によって互いに結合させるところである。
【００４６】
なお、カバーシートＣについても加熱圧着が施されることになるが、これによって支持材Ｗや導電材Ｄ群と結合するわけではない。
この貼付ステーション５は、第１ホットプレス部８５と、位置決め部８６と、定寸送り部８７と、第２ホットプレス部８８とを、この順番に並んだ状態で有したものとなっている。
図１３及び図１４に示すように、第１ホットプレス部８５では、ヒータ受け台９０上で支持材Ｗ、導電材Ｄ群、カバーシートＣの重合体を支持しつつ、この重合体に向けてその上方からヒータプレート９１を下降させ、所定温度、所定圧で、所定時間の加熱圧着を行うようになっている。
【００４７】
なお、図１３に示してあるように、この第１ホットプレス部８５には進退機構９３が付設されている。
この進退機構９３は、ヒータプレート９１を、ヒータ受け台９０の真上の昇降動作位置とこの昇降動作位置を開放する退避位置（図１３中の右方側）との間で移動させるためのものである。
この進退機構９３は、ヒータ受け台９０の背後からその上方へオーバーハング状に設けられた装置フレーム９５の内部で、ヒータプレート９１の移動方向に沿わせてガイドレール９６が設けられ、このガイドレール９６に対して、ヒータプレート９１及びその昇降用プレス駆動部９７を搭載する移動フレーム９８が移動自在に保持された状態とされ、そのうえでこの移動フレーム９８が進退駆動具９９によって移動駆動されるものとなっている。
【００４８】
このような進退機構９３を具備することにより、支持材Ｗ、導電材Ｄ群、カバーシートＣの重合体について、そのセット作業やロット替え時や事故時等の必要時における取り外し、及びヒータ受け台９０の周辺部に対するメンテナンス等が簡単に行えるようになっている。
位置決め部８６は、第１ホットプレス部８５のヒータプレート９１が昇降する位置において、支持材Ｗの幅方向両側へ振り分けられる配置で一対の押圧体１０２が設けられており、これら押圧体１０２がその下方に設けられた連接機構１０３を介して共通の上下駆動具１０４により、互いに一体に上下動可能になされたものである。
【００４９】
これら各押圧体１０２には、支持材Ｗの幅方向両端部にその長手方向に沿って一定ピッチで設けられた位置合わせ孔Ｐ（図２参照）を突き刺し可能とする位置決めピン１０５が、下向きに突設されており、この位置決めピン１０５をピッチ送り孔Ｐへ突き刺すことによって支持材Ｗの位置決め及び位置ズレ阻止を可能にしている。
一方の押圧体１０２に設けられる位置決めピン１０５の本数は、２本以上とするのが好適であり、この場合、言うまでもなく、位置決めピン１０５の相互間隔は支持材Ｗにおける位置合わせ孔Ｐの形成ピッチに正確に一致したものとする必要がある。
【００５０】
また、これら位置決めピン１０５が上下動する位置の周部には、支持材Ｗ等の浮き上がりを防止するための押さえプレート１０６（図１４にのみ示す）を設けておくのが好適とされている。
図１５に示すように、定寸送り部８７は、搬送支持台１１０の上方に、それぞれ上下動可能な状態で前押さえローラ１１１と送り爪１１２と後押さえローラ１１３とが設けられたものである。
また、搬送支持台１１０の下流側（図１５の右方）には、ガイド部材１１４が設けられている。
【００５１】
このガイド部材１１４は、ガイド台１１４ａと蓋１１４ｂとの上下間で、支持材Ｗ、導電材Ｄ群、カバーシートＣの重合体を適度に挟み付け、それらに蛇行や上下のうねり等が生じないようにしたものである。
前押さえローラ１１１と送り爪１１２とは、共通するブラケット盤１１５に設けられており、昇降駆動具１１６によって互いに一体的に昇降駆動されるようになっている。
そして、搬送支持台１１０には、前押さえローラ１１１及び送り爪１１２が下降されたときに、送り爪１１２との干渉を避けるための爪入孔１０９が設けられている。
【００５２】
送り爪１１２は、支持材Ｗの幅方向両端部にその長手方向に沿って一定ピッチで設けられた位置合わせ孔Ｐ（図２参照）を突き刺し可能とするピン形状をしている。そのため、搬送支持台１１０の爪孔１０９も真下へ向かう丸孔として形成されている。
一方、後押さえローラ１１３は昇降駆動具１１７（図１６にのみ示す）によって独自に昇降駆動されるようになっており、必要に応じて用いられる。
この定寸送り部８７の搬送支持台１１０は、下部スライドテーブル１１８上に固定されており、この下部スライドテーブル１１８は、その下部に設置される下段支持テーブル１１９上で、下部スライドガイド部材１２０を介して上記重合体（Ｗ，Ｄ，Ｃ）の搬送方向に沿う方向（図１５の左右方向）で移動自在に保持されている。
【００５３】
下部スライドテーブル１１８には、その前縁部下面から下垂状にブラケット１２１が固定されており、このブラケット１２１には、下段支持テーブル１１９の下方を通り抜けて後方へ突き出るリンクシャフト１２２が設けられている。
一方、定寸送り部８７の前押さえローラ１１１及び送り爪１１２やそれらの昇降駆動具１１６、及び後押さえローラ１１３やその昇降駆動具１１７は、上部スライドテーブル１２４に対して設けられている。
そして、この上部スライドテーブル１２４は、その下部に設置される上段支持テーブル１２５（図１６にのみ示す）上で、上部スライドガイド部材１２６を介して上記重合体の搬送方向に沿う方向（図１５の左右方向）で移動自在に保持されている。
【００５４】
上部スライドテーブル１２４には、その前後方向中間部の下面から下垂状にブラケット１２７が固定されており、このブラケット１２７に対して、上記した下部スライドテーブル１１８側に設けられたリンクシャフト１２２が串刺し状に貫通するようになっている。
以上の説明から判るように、これら下部スライドテーブル１１８と上部スライドテーブル１２４、即ち、定寸送り部８７の全体が、上記重合体の搬送方向に沿う方向（図１５の左右方向）で移動自在になっているものである。
【００５５】
そして、実際に上記重合体を搬送する状況下では、このような定寸送り部８７及びガイド部材１１４の搬送方向に沿った移動と、定寸送り部８７における前押さえローラ１１１及び送り爪１１２や後押さえローラ１１３の上下動とが相関的に組み合わされる。
これにより、前押さえローラ１１１及び送り爪１１２、並びに後押さえローラ１１３は、まず搬送支持台１１０に当接して上記重合体を挟持する下降位置となって、この状態のまま上流側から下流側へ向けた所定ストロークの送りと、送り後の上昇と、上昇後における送りとは逆向きである戻りと、戻り後の下降といった、立体箱形動作を繰り返し行うようになっている。
【００５６】
従って、上記重合体は、所定距離ずつ正確に、ピッチ送りされるものとなる。
ところで、このような定寸送り部８７における送り動作は、前記した重合・ピッチ揃えステーション４における尺取り送り部３７（図７乃至図９参照）による送り動作と、互いに物理的に一体なものとして行われるようになっている。
すなわち、この定寸送り部８７に対して送り動作を行わせるための駆動は、図示は省略するが、上記したリンクシャフト１２２に対して、例えばクランク機構やリンク機構、カム機構等を介して、或いは流体圧シリンダ等により直接的に入力されるようになる。
【００５７】
これに対し、前記尺取り送り部３７に対して送り動作を行わせるための駆動についても、原理的に同じであって、上記したリンクシャフト５２（図９参照）に対して入力されるものとなっている。
そして、ここにおいて、これらリンクシャフト１２２とリンクシャフト５２とがタイロッド（図示略）によって連接されたものとなっているのである。
従って図１を見れば理解し易いが、結果として、第１ホットプレス部８５を中央に挟んだ状態で、その上流側に配されている尺取り送り部３７と下流側に配されている定寸送り部８７とによって、少なくとも導電材Ｄについて２点挟持状態にしたままで、これを間欠送りであって且つピッチ送りの状態で搬送するものとなる。
【００５８】
一方、尺取り部３７を定寸送り部８７と一体的に送り動作させることなく、固定方式での駆動形態も可能であり、適宜選択可能である。この場合、定寸送り部８７のみによる定ピッチ送りを行うと、同定寸送り部８７よりも上流側に配置されている重合・ピッチ揃えステーション４、導電材供給ステーション３，支持材供給ステーション２等に設置される各種ロール、ガイド等により発生する抵抗により、テンション調整部３８の中押さえ６２を作動させることがなくても貼付ステーション５から見て上流側へ引っ張る方向の張力を付与させることが可能となる。支持材Ｗ、ローラ表面の材質、ガイドの挿通溝の隙間等の条件に左右されるので適宜採用すれば良い。このようなことから、少なくとも導電材Ｄについては第１ホットプレス部８５を通過中に伸びや撓みが起こることが決してないものであり、第１ホットプレス部８５での加熱圧着が高精度・高品質で行われることになる。
【００５９】
第２ホットプレス部８８（図１参照）は、その基本構成としては前記した第１ホットプレス部８５（図１３及び図１４参照）と略同様なものであるので、ここでの詳説は省略する。
但し、この第２ホットプレス部８８の位置では、既に支持材Ｗと導電材Ｄとが第１ホットプレス部８５による加熱圧着を受けて仮付け状態とされ、位置ズレは生じ難くなっているので、この第２ホットプレス部８８には位置決め部８６が併設されないものである。
【００６０】
そのため、この第２ホットプレス部８８では、第１ホットプレス部８５の場合と比べてメンテナンスの必要性や事故等の発生も低くなっている。従って、進退機構９３の必要性もそれだけ低く、この進退機構９３を省略することも十分に可能である。
なお、言うまでもなく、この貼付ステーション５では第１ホットプレス部８５と第２ホットプレス部８７との計２つのホットプレス部を有しているため、支持材Ｗ、導電材Ｄ群、カバーシートＣの重合体に対する加熱圧着は２回に分けて行うことになり、従って、それぞれで行う加熱圧着の設定温度、設定圧、設定時間を、いずれも抑えたレベルに設定することが可能であり、このようにしても全体としての処理速度（生産性）が低下することはない。むしろ、高速化できるものである。
【００６１】
このようにすることで、製造品としての高品質化が図れることになる。
集合帯巻取ステーション６（図１参照）は、上記した貼付ステーション５を経て製造された導電材集合帯ＶからカバーシートＣを剥離除去すると共に、この導電材集合帯Ｖを巻き取るところである。但し、カバーシートＣは、剥離せずに導電材集合帯Ｖと共に巻取っても良い。
図１７に示すように、この集合帯巻取ステーション６は、未だカバーシートＣが張り付いている導電材集合帯Ｖに対して適度なテンションを付与するダンサローラ部１３２と、この導電材集合帯ＶからカバーシートＣを剥離除去するシート回収リール部１３３と、このシート回収リール部１３３の回転駆動部１３４と、導電材集合帯Ｖを巻き取るリール部１３５と、このリール部１３５の回転駆動部１３６とを有している。
【００６２】
なお、図例のダンサロール部１３２は、揺動梃子方式のものを示している。
次に、この製造装置１（主として図１参照）による動作を説明する。
まず、ロール状態とされた支持材Ｗを支持材供給ステーション２のリール部１０にセットし、繰り出し可能な状態にする。
また、ボビン２０においてロール状態とされた複数本の導電材Ｄを導電材供給ステーション３のリール集合盤１５にセットし、一斉に繰り出し可能な状態にする。
【００６３】
更に、ロール状態とされたカバーシートＣを重合・ピッチ揃えステーション４のリール部８０にセットし、繰り出し可能な状態にする。
そして、これら支持材Ｗ、複数本の導電材Ｄ、カバーシートＣをそれぞれ引き出して、貼付ステーション５の位置決め部８６へ向けて所定に掛け渡しし、互いに集束状態にする。
なお、導電材Ｄに関しては、支持材Ｗに対して重ね合わせる前準備段階として、フィルム回収部１７において結合剤Ｙの塗布面側から保護フィルムＦを剥離除去できる状態にセットして、このフィルム回収部１７以降では導電材Ｄの結合剤Ｙを露呈させるものとする。
【００６４】
また、これら支持材Ｗ、複数本の導電材Ｄ、カバーシートＣの重合体を貼付ステーション５から集合帯巻取ステーション６へと所定に掛け渡しし、途中、この集合帯巻取ステーション６のシート回収リール部１３３でカバーシートＣの剥離回収を行える状態にセットする。
このように準備が整った段階で製造装置１を稼働開始させる。
すると、まず、貼付ステーション５では位置決め部８６（図１４参照）において両押圧体１０２が下降し、位置決めピン１０５を支持材Ｗの位置合わせ孔Ｐへ突き刺し、これで主として支持材Ｗを位置決め状態で、且つ位置ズレ阻止状態にする。
【００６５】
これとやや遅れるタイミングで、重合・ピッチ揃えステーション４の尺取り送り部３７（図８参照）において前押さえローラ４１と後押さえローラ４２とが下降し、各導電材Ｄに対して適度な押圧をかける。
次に、テンション調整部３８では、中押さえ６２が下降し、これにより、各導電材Ｄに対して貼付ステーション５から見て上流側へ引っ張る方向に適度な張力を付与する。
次に、貼付ステーション５では、支持材Ｗ、導電材Ｄ群、及びカバーシートＣの重合体に対して、第１ホットプレス部８５（図１４参照）による加熱圧着が行われる。
【００６６】
また、これと略同じタイミングで、上記重合体の下流側部位に対して第２ホットプレス部８８による加熱圧着が行われる。
連続サイクルにおいては、加熱圧着が行われているタイミング中に尺取り送り部３７の前後押さえロール４１，４２による押圧と、テンション調整部３８の中押さえ６２の下降とが解除され、定寸送り部８７が上流側に復帰移動している。
そして、これら第１ホットプレス部８５と第２ホットプレス部８８との各加熱圧着が終了するとこれにやや遅れて、定寸送り部８７（図１５参照）において前押さえローラ１１１、送り爪１１２、後押さえローラ１１３が下降し、各ローラ１１１，１１３による押圧と、送り爪１１２による支持材Ｗのピッチ送り孔Ｐへの突き刺しとが行われる。重合・ピッチ揃えステーション４の尺取り送り部３７において導電材Ｄを１動作分、間欠送りする送り動作と、貼付ステーション５の定寸送り部８７において支持材Ｗ、導電材Ｄ群、及びカバーシートＣの重合体を１ピッチ分、ピッチ送りする送り動作とが、互いに物理的一体の状態で行われる。
【００６７】
以後、このようなサイクル動作が繰り替えされる。
これにより、第２ホットプレス部８８の出側（下流側）では、一次製品としての導電材集合帯Ｖが得られるものである。
そこで、このようにして得られた導電材集合帯Ｖは、集合帯巻取ステーション６（図１７参照）のシート回収リール部１３３においてカバーシートＣが剥離除去され、リール部１３５によってロール状態に巻き取られる。
このようにして得られた導電材集合帯Ｖは、その後、ロール状態から巻き出しながら、その幅方向においては必要本数の導電材Ｄが含まれる寸法範囲とし、またその長手方向では所定の寸法になる範囲となるように、切断すればよい。
【００６８】
これにより、この導電材集合帯Ｖから、多数の薄型積層電気部品Ｅが切り出されるところとなる。
ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、実施の形態に応じて適宜変更可能である。
【００６９】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明に係る薄型積層電気部品の製造装置では、基材表面にスパッタリング法等により全面的に導電材料を層形成した後にこれを細紐状に切断して成る複数本の導電材を、互いに平行させつつ、幅広シート状をした支持材に対して重合結合させることで、一旦、一次製品としての導電材集合帯を得、この導電材集合帯から多数の薄型積層電気部品を切り出すようにしているので、薄型積層電気部品の製造が低コストで、しかも高能率で行える（高生産性が得られる）ものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る製造装置の一実施形態を示した全体正面図である。
【図２】  本発明に係る製造装置によって製造しようとする薄型積層電気部品とその製造過程の最終段階を判り易く示した斜視図である。
【図３】  本発明に係る製造装置で製造される導電材集合帯の層構造の拡大分解図である。
【図４】  製造装置における支持材供給ステーションを拡大して示す正面図である。
【図５】  図１のＡ−Ａ線矢視（導電材供給ステーションのリール集合盤）拡大図である。
【図６】  製造装置における導電材供給ステーションの整列部を拡大して示す正面図である。
【図７】  製造装置における重合・ピッチ揃えステーションを拡大して示す正面図である。
【図８】  重合・ピッチ揃えステーションにおけるガイド部材と尺取り送り部とテンション調整部の各主要部を更に拡大して示す正面図である。
【図９】  図７のＢ−Ｂ線矢視拡大図である。
【図１０】  重合・ピッチ揃えステーションにおけるテンション調整部の一部（前押さえ）を更に拡大して示す一部破砕斜視図である。
【図１１】  重合・ピッチ揃えステーションにおけるテンション調整部の一部（中押さえ）を更に拡大して示す斜視図である。
【図１２】  テンション調整部の中押さえによる動作状況を拡大して示す正面断面図である。
【図１３】  図１のＣ−Ｃ線矢視（貼付ステーションの第１ホットプレス部）拡大図である。
【図１４】  第１ホットプレス部を更に拡大して示す斜視図である。
【図１５】  貼付ステーションにおける定寸送り部を更に拡大して示す正面図である。
【図１６】  図１５のＤ−Ｄ線矢視図である。
【図１７】  製造装置における集合帯巻取ステーションを拡大して示す正面図である。
【符号の説明】
１    薄型積層電気部品の製造装置
２    支持材供給ステーション
３    導電材供給ステーション
４    重合・ピッチ揃えステーション
５    貼付ステーション
３７    尺取り送り部
３８    テンション調整部
８５    ホットプレス部（第１ホットプレス部）
８６    位置決め部
８７    定寸送り部
８８    ホットプレス部（第２ホットプレス部）
１１２    送り爪
Ｅ    薄型積層電気部品
Ｂ    ベース
Ｓ    導電部分
Ｗ    支持材
Ｐ    ピッチ送り孔
Ｄ    導電材
Ｖ    導電材集合帯
Ｙ    結合剤
Ｆ    保護フィルム
Ｃ    カバーシート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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