(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多層の記録層を有する記録可能な光ディスクにおける、隣接する記録層間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が、所定の範囲内であるか否かを検査する光ディスク検査装置において、
前記光ディスクの記録層に記録された信号を再生するため、再生対象の記録層に対してメインビームを集光して照射し、前記光ディスクから反射されてくる前記メインビームを受光するための第１の光電変換手段と、この第１の光電変換手段の周辺部に配置された第２の光電変換手段とを備えた光ピックアップと、
前記多層の記録層内の一の記録層を第１の記録層とし、その第１の記録層に隣接する第２の記録層に、記録済み領域と未記録領域とを、トラック上の記録開始アドレスである第１の所定アドレスとトラック上の記録終了アドレスである第２の所定アドレスとを境界にして配置した検査対象光ディスクに対して、前記光ピックアップによる前記第１の記録層の再生時に、前記第２の記録層で反射された前記メインビームを前記第２の光電変換手段により受光して得た受光信号の信号レベルを検出する信号検出手段と、
前記再生時に、前記第１の記録層で反射された前記メインビームを前記第１の光電変換手段により受光して得た受光信号から、再生している前記第１の記録層のトラックの位置のアドレスを読み出すアドレス復調手段と、
前記第２の記録層における前記第１の所定アドレスにより定まる、前記第１の所定アドレスと同一半径位置に対応する前記第１の記録層におけるアドレスである第１の基準アドレスを得て、前記第１の基準アドレスから、予め定められた最大許容誤差分だけ半径方向の前記記録済み領域側に移動させた位置の前記第１の記録層におけるアドレスである第１の最大許容誤差アドレスを求め、前記再生時において、前記アドレス復調手段で前記第１の最大許容誤差アドレスが読み出された時に、前記信号検出手段で得られる検出レベルが、前記第２の記録層における前記記録済み領域で前記メインビームが反射された際に得られる検出レベルである場合にのみ、前記隣接する記録層間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が前記所定の範囲内であると判定する検査手段と、
を備えたことを特徴とする光ディスク検査装置。
【請求項２】
多層の記録層を有する記録可能な光ディスクにおける、隣接する記録層間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が、所定の範囲内であるか否かを検査する光ディスク検査装置において、
前記光ディスクの記録層に記録された信号を再生するため、再生対象の記録層に対してメインビームを集光して照射し、前記光ディスクから反射されてくる前記メインビームを受光するための第１の光電変換手段と、この第１の光電変換手段の周辺部に配置された第２の光電変換手段とを備えた光ピックアップと、
前記多層の記録層内の一の記録層を第１の記録層とし、その第１の記録層に隣接する第２の記録層に、記録済み領域と未記録領域とを、トラック上の記録開始アドレスである第１の所定アドレスとトラック上の記録終了アドレスである第２の所定アドレスとを境界にして配置した検査対象光ディスクに対して、前記光ピックアップによる前記第１の記録層の再生時に、前記第２の記録層で反射された前記メインビームを前記第２の光電変換手段により受光して得た受光信号の信号レベルを検出する信号検出手段と、
前記再生時に、前記第１の記録層で反射された前記メインビームを前記第１の光電変換手段により受光して得た受光信号から、再生している前記第１の記録層のトラックの位置のアドレスを読み出すアドレス復調手段と、
前記第２の記録層における前記第２の所定アドレスにより定まる、前記第２の所定アドレスと同一半径位置に対応する前記第１の記録層におけるアドレスである第２の基準アドレスを得て、前記第２の基準アドレスから、予め定められた最大許容誤差分だけ半径方向の前記記録済み領域側に移動させた位置の前記第１の記録層におけるアドレスである第２の最大許容誤差アドレスを求め、前記再生時において、前記アドレス復調手段で前記第２の最大許容誤差アドレスが読み出された時に、前記信号検出手段で得られる検出レベルが、前記第２の記録層における前記記録済み領域で前記メインビームが反射された際に得られる検出レベルである場合にのみ、前記隣接する記録層間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が前記所定の範囲内であると判定する検査手段と、
を備えたことを特徴とする光ディスク検査装置。
【請求項３】
前記信号検出手段は、検出する前記受光信号の信号レベルとして、その受光信号のピーク値または平均値を検出する手段である、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の光ディスク検査装置。
【請求項４】
多層の記録層を有する記録可能な光ディスクにおける、隣接する記録層間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が、所定の範囲内であるか否かを検査する光ディスク検査方法において、
前記多層の記録層内の一の記録層を第１の記録層とし、その第１の記録層に隣接する第２の記録層に、記録済み領域と未記録領域とを、トラック上の記録開始アドレスである第１の所定アドレスとトラック上の記録終了アドレスである第２の所定アドレスとを境界にして配置した検査対象光ディスクに対して、前記第１の記録層に記録された信号を再生するために、前記第１の記録層に対してメインビームを集光して照射し反射光を得る再生ステップと、
前記第２の記録層で反射された前記メインビームを受光し光電変換して得た受光信号の信号レベルを検出する信号検出ステップと、
前記第１の記録層で反射された前記メインビームを受光し光電変換して得た受光信号から、再生している前記第１の記録層のトラックの位置のアドレスを読み出すアドレス復調ステップと、
前記第２の記録層における前記第１の所定アドレスにより定まる、前記第１の所定アドレスと同一半径位置に対応する前記第１の記録層におけるアドレスである第１の基準アドレスを得て、前記第１の基準アドレスから、予め定められた最大許容誤差分だけ半径方向の前記記録済み領域側に移動させた位置の前記第１の記録層におけるアドレスである第１の最大許容誤差アドレスを求め、前記アドレス復調ステップで前記第１の最大許容誤差アドレスが読み出された時に、前記信号検出ステップで得られる検出レベルが、前記第２の記録層における前記記録済み領域で前記メインビームが反射された際に得られる検出レベルである場合にのみ、前記隣接する記録層間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が前記所定の範囲内であると判定する検査ステップと、
を備えたことを特徴とする光ディスク検査方法。
【請求項５】
多層の記録層を有する記録可能な光ディスクにおける、隣接する記録層間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が、所定の範囲内であるか否かを検査する光ディスク検査方法において、
前記多層の記録層内の一の記録層を第１の記録層とし、その第１の記録層に隣接する第２の記録層に、記録済み領域と未記録領域とを、トラック上の記録開始アドレスである第１の所定アドレスとトラック上の記録終了アドレスである第２の所定アドレスとを境界にして配置した検査対象光ディスクに対して、前記第１の記録層に記録された信号を再生するために、前記第１の記録層に対してメインビームを集光して照射し反射光を得る再生ステップと、
前記第２の記録層で反射された前記メインビームを受光し光電変換して得た受光信号の信号レベルを検出する信号検出ステップと、
前記第１の記録層で反射された前記メインビームを受光し光電変換して得た受光信号から、再生している前記第１の記録層のトラックの位置のアドレスを読み出すアドレス復調ステップと、
前記第２の記録層における前記第２の所定アドレスにより定まる、前記第２の所定アドレスと同一半径位置に対応する前記第１の記録層におけるアドレスである第２の基準アドレスを得て、前記第２の基準アドレスから、予め定められた最大許容誤差分だけ半径方向の前記記録済み領域側に移動させた位置の前記第１の記録層におけるアドレスである第２の最大許容誤差アドレスを求め、前記アドレス復調ステップで前記第２の最大許容誤差アドレスが読み出された時に、前記信号検出ステップで得られる検出レベルが、前記第２の記録層における前記記録済み領域で前記メインビームが反射された際に得られる検出レベルである場合にのみ、前記隣接する記録層間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が前記所定の範囲内であると判定する検査ステップと、
を備えたことを特徴とする光ディスク検査方法。
【請求項６】
前記信号検出ステップは、検出する前記受光信号の信号レベルとして、その受光信号のピーク値または平均値を検出するステップである、
ことを特徴とする請求項４または５に記載の光ディスク検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスク検査装置及び検査方法に係り、特に多層の記録層を持つ記録可能な光ディスクにおける、隣接する記録層間で相対するトラック位置が所定の誤差範囲内にあることを検査する装置及び方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光ディスク検査装置または検査方法として、ＤＶＤ−Ｒディスクの２層ディスクの検査のやり方が従来方式としてある。従来例の１つ目として顕微鏡を用いる方法がある。２層の０層目と１層目に所定トラック幅の記録を行い、０層目の記録領域と未記録領域の境の点を３箇所２次元測定することにより０層目のトラック中心位置と直径が測定できる。同様に１層目の記録領域と未記録領域の境の点を３箇所２次元測定することにより１層目のトラック中心位置と直径が測定できる。具体的には３点の内の２点間に２本の直線を引きその中間点から直角にトラック中心方向に線を引く。２つの直角のそれぞれの線が交わるところが中心位置として求まる。０層目と１層目のトラック中心点の距離は光ディスクが回転するときの中心ずれ量(Rd)（図４参照）となる。
【０００３】
光ディスクの製造上の誤差範囲の要求として最大相対誤差値Ｄｍａｘと最小相対誤差値Ｄｍｉｎが規定されている。具体的には０層目の開始アドレス（＝ＦＦＣＦＦＦｈ）とした場合、対応する１層目のトラック位置はアドレス（＝００３０００ｈ）の半径位置に＋０．２５８ｍｍ（Ax値）した位置となるが、製造で許容される誤差は、この＋０．２５８ｍｍ（Ax値）に対して＋０．１６８ｍｍから＋０．３４８ｍｍまでである（図８参照）。
【０００４】
前記中心ずれ量（Rd）が求まると最大相対誤差値Ｄｍａｘと最小相対誤差値Ｄｍｉｎは下記の式から求まる。
最大相対誤差値Ｄｍａｘ      ＝（ＤL0−ＤL1）／２＋Rd
最小相対誤差値Ｄｍｉｎ      ＝（ＤL0−ＤL1）／２−Rd
（ＤL0：０層目トラックの直径、ＤL1：１層目トラックの直径）
上記最大相対誤差値と最小相対誤差値は、図８に示す０層目トラックのＥＣＣブロック・アドレスに対して１層目トラック位置である斜線部分の誤差を満足する必要がある。尚、０層目の開始アドレス（＝ＦＦＣＦＦＦｈ）に対応する１層目のトラック位置のアドレス（＝００３０００ｈ）はビット反転で得られ、０層目の開始アドレス（＝ＦＦＣＦＦＦｈ）と同一半径の１層目のトラックの位置は前記アドレス（＝００３０００ｈ）に前記Ax値（０層に対する差分値）だけ外周へシフトさせて得られる（０層アドレスに対応するＡｘ値は図８を参照）。
【０００５】
次に従来例の２つ目として、光ディスクから信号を再生して電気的に測定する方法がある。ＤＶＤ−Ｒ２層ディスクに記録したＨＦ信号のアシンメトリを測定してそのアシンメトリ値の変化で光ディスクのアドレス位置を検出する。具体的には０層目に予め所定トラック幅の記録を行い、そのトラック幅の半径領域を覆うように１層目に記録を行う。このとき１層目記録は０層目の記録層を通過したレーザービームで記録が行われるため０層目の未記録領域と記録領域の境界から書き込みパワーが変化し１層目のＨＦ信号にアシンメトリ差として現れる。この現象を利用して予め記録する０層目の開始アドレスおよび終了アドレスを決めておけば１層目の再生時にアシンメトリ値が変化したところが０層目の記録開始アドレスまたは記録終了アドレスの位置として検出することができる。記録した領域のアドレスはＨＦ信号を復調することによりアドレス検出を行うことができる。
【０００６】
図７にこの従来例の主要な構成部分を示し説明する。光ピックアップ７００から再生された光ディスクの記録情報はメインビーム７０１としてメインＰＤ（フォトディテクタ）７０６に受光されＩ／Ｖアンプ７０２によって電圧に変換されＨＦ信号７０７として得る。再生したＨＦ信号７０７は、アドレスを検出するアドレス復調手段７０３に入力されると共に、ＨＦ信号のアシンメトリ状態を検出するアシンメトリ検出手段７０４に入力される。検出されたアシンメトリ信号は、光ディスクの回転により０層目と１層目の１周のトラックの中心点ずれにより、前記０層目と１層目の記録領域の境界付近でアシンメトリ値の変化が回転と同期しながら変動する現象が発生する。アシンメトリ検出手段７０４は、この変動時常にアシンメトリ値の最小値を検出するように動作する。実際には１層目の記録領域を再生させたとき、その１層目と隣接する同じ半径位置の０層目が記録領域である場合はアシンメトリ値が大きくなり、逆に０層目が未記録領域である場合はアシンメトリ値が小さくなる。
【０００７】
検査手段７０５は、前記予め０層目に記録した記録開始アドレス値または記録終了アドレス値から１層目の同一半径のトラック位置に対する許容誤差範囲を求める。そして、前記アドレス復調手段７０３から１層目のアドレスを読み出し、この１層目のアドレスの値が、前記１層目の同一半径のトラック位置に対する最大許容誤差アドレスにあり、かつアシンメトリ検出手段で得られた信号レベルが０層目の記録領域から得られるアシンメトリの所定のレベルと同じであるとき、光ディスクの構造が規格内であるとする。
【特許文献１】特開平１１−２０３６９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明者はこの複数の記録層をもった書き換え型の光ディスクとしてＤＶＤ−ＲＷ２層光ディスクを用い、従来のＤＶＤ−Ｒ２層ディスクに使用していた電気的に測定する手法で検査を試みた。しかしＤＶＤ−ＲＷ２層光ディスクの場合には、アシンメトリ値の変化がほとんど検出されず電気的に測定する方法が困難となった。
【０００９】
本発明は、上記問題点を解決し複数の記録層を有する記録可能な光ディスクにおいて、電気的に良好に測定することができる検査装置、検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決するために、本発明は以下の装置及び方法を提供するものである。
（１）  多層の記録層を有する記録可能な光ディスクにおける、隣接する記録層間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が、所定の範囲内であるか否かを検査する光ディスク検査装置において、
前記光ディスクの記録層に記録された信号を再生するため、再生対象の記録層に対してメインビームを集光して照射し、前記光ディスクから反射されてくる前記メインビームを受光するための第１の光電変換手段と、この第１の光電変換手段の周辺部に配置された第２の光電変換手段とを備えた光ピックアップと、
前記多層の記録層内の一の記録層を第１の記録層とし、その第１の記録層に隣接する第２の記録層に、記録済み領域と未記録領域とを、トラック上の記録開始アドレスである第１の所定アドレスとトラック上の記録終了アドレスである第２の所定アドレスとを境界にして配置した検査対象光ディスクに対して、前記光ピックアップによる前記第１の記録層の再生時に、前記第２の記録層で反射された前記メインビームを前記第２の光電変換手段により受光して得た受光信号の信号レベルを検出する信号検出手段と、
前記再生時に、前記第１の記録層で反射された前記メインビームを前記第１の光電変換手段により受光して得た受光信号から、再生している前記第１の記録層のトラックの位置のアドレスを読み出すアドレス復調手段と、
前記第２の記録層における前記第１の所定アドレスにより定まる、前記第１の所定アドレスと同一半径位置に対応する前記第１の記録層におけるアドレスである第１の基準アドレスを得て、前記第１の基準アドレスから、予め定められた最大許容誤差分だけ半径方向の前記記録済み領域側に移動させた位置の前記第１の記録層におけるアドレスである第１の最大許容誤差アドレスを求め、前記再生時において、前記アドレス復調手段で前記第１の最大許容誤差アドレスが読み出された時に、前記信号検出手段で得られる検出レベルが、前記第２の記録層における前記記録済み領域で前記メインビームが反射された際に得られる検出レベルである場合にのみ、前記隣接する記録層間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が前記所定の範囲内であると判定する検査手段と、
を備えたことを特徴とする光ディスク検査装置。
（２）  多層の記録層を有する記録可能な光ディスクにおける、隣接する記録層間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が、所定の範囲内であるか否かを検査する光ディスク検査装置において、
前記光ディスクの記録層に記録された信号を再生するため、再生対象の記録層に対してメインビームを集光して照射し、前記光ディスクから反射されてくる前記メインビームを受光するための第１の光電変換手段と、この第１の光電変換手段の周辺部に配置された第２の光電変換手段とを備えた光ピックアップと、
前記多層の記録層内の一の記録層を第１の記録層とし、その第１の記録層に隣接する第２の記録層に、記録済み領域と未記録領域とを、トラック上の記録開始アドレスである第１の所定アドレスとトラック上の記録終了アドレスである第２の所定アドレスとを境界にして配置した検査対象光ディスクに対して、前記光ピックアップによる前記第１の記録層の再生時に、前記第２の記録層で反射された前記メインビームを前記第２の光電変換手段により受光して得た受光信号の信号レベルを検出する信号検出手段と、
前記再生時に、前記第１の記録層で反射された前記メインビームを前記第１の光電変換手段により受光して得た受光信号から、再生している前記第１の記録層のトラックの位置のアドレスを読み出すアドレス復調手段と、
前記第２の記録層における前記第２の所定アドレスにより定まる、前記第２の所定アドレスと同一半径位置に対応する前記第１の記録層におけるアドレスである第２の基準アドレスを得て、前記第２の基準アドレスから、予め定められた最大許容誤差分だけ半径方向の前記記録済み領域側に移動させた位置の前記第１の記録層におけるアドレスである第２の最大許容誤差アドレスを求め、前記再生時において、前記アドレス復調手段で前記第２の最大許容誤差アドレスが読み出された時に、前記信号検出手段で得られる検出レベルが、前記第２の記録層における前記記録済み領域で前記メインビームが反射された際に得られる検出レベルである場合にのみ、前記隣接する記録層間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が前記所定の範囲内であると判定する検査手段と、
を備えたことを特徴とする光ディスク検査装置。
（３）  前記信号検出手段は、検出する前記受光信号の信号レベルとして、その受光信号のピーク値または平均値を検出する手段である、
ことを特徴とする上記（１）または（２）に記載の光ディスク検査装置。
（４）  多層の記録層を有する記録可能な光ディスクにおける、隣接する記録層間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が、所定の範囲内であるか否かを検査する光ディスク検査方法において、
前記多層の記録層内の一の記録層を第１の記録層とし、その第１の記録層に隣接する第２の記録層に、記録済み領域と未記録領域とを、トラック上の記録開始アドレスである第１の所定アドレスとトラック上の記録終了アドレスである第２の所定アドレスとを境界にして配置した検査対象光ディスクに対して、前記第１の記録層に記録された信号を再生するために、前記第１の記録層に対してメインビームを集光して照射し反射光を得る再生ステップと、
前記第２の記録層で反射された前記メインビームを受光し光電変換して得た受光信号の信号レベルを検出する信号検出ステップと、
前記第１の記録層で反射された前記メインビームを受光し光電変換して得た受光信号から、再生している前記第１の記録層のトラックの位置のアドレスを読み出すアドレス復調ステップと、
前記第２の記録層における前記第１の所定アドレスにより定まる、前記第１の所定アドレスと同一半径位置に対応する前記第１の記録層におけるアドレスである第１の基準アドレスを得て、前記第１の基準アドレスから、予め定められた最大許容誤差分だけ半径方向の前記記録済み領域側に移動させた位置の前記第１の記録層におけるアドレスである第１の最大許容誤差アドレスを求め、前記アドレス復調ステップで前記第１の最大許容誤差アドレスが読み出された時に、前記信号検出ステップで得られる検出レベルが、前記第２の記録層における前記記録済み領域で前記メインビームが反射された際に得られる検出レベルである場合にのみ、前記隣接する記録層間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が前記所定の範囲内であると判定する検査ステップと、
を備えたことを特徴とする光ディスク検査方法。
（５）  多層の記録層を有する記録可能な光ディスクにおける、隣接する記録層間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が、所定の範囲内であるか否かを検査する光ディスク検査方法において、
前記多層の記録層内の一の記録層を第１の記録層とし、その第１の記録層に隣接する第２の記録層に、記録済み領域と未記録領域とを、トラック上の記録開始アドレスである第１の所定アドレスとトラック上の記録終了アドレスである第２の所定アドレスとを境界にして配置した検査対象光ディスクに対して、前記第１の記録層に記録された信号を再生するために、前記第１の記録層に対してメインビームを集光して照射し反射光を得る再生ステップと、
前記第２の記録層で反射された前記メインビームを受光し光電変換して得た受光信号の信号レベルを検出する信号検出ステップと、
前記第１の記録層で反射された前記メインビームを受光し光電変換して得た受光信号から、再生している前記第１の記録層のトラックの位置のアドレスを読み出すアドレス復調ステップと、
前記第２の記録層における前記第２の所定アドレスにより定まる、前記第２の所定アドレスと同一半径位置に対応する前記第１の記録層におけるアドレスである第２の基準アドレスを得て、前記第２の基準アドレスから、予め定められた最大許容誤差分だけ半径方向の前記記録済み領域側に移動させた位置の前記第１の記録層におけるアドレスである第２の最大許容誤差アドレスを求め、前記アドレス復調ステップで前記第２の最大許容誤差アドレスが読み出された時に、前記信号検出ステップで得られる検出レベルが、前記第２の記録層における前記記録済み領域で前記メインビームが反射された際に得られる検出レベルである場合にのみ、前記隣接する記録層間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が前記所定の範囲内であると判定する検査ステップと、
を備えたことを特徴とする光ディスク検査方法。
（６）  前記信号検出ステップは、検出する前記受光信号の信号レベルとして、その受光信号のピーク値または平均値を検出するステップである、
ことを特徴とする上記（４）または（５）に記載の光ディスク検査方法。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、複数の記録層を持つ記録可能な光ディスク、例えばＤＶＤ−ＲＷの２層光ディスク、ＤＶＤ−Ｒの２層光ディスクにおいて、０層目と１層目の記録層で同一半径位置にあるべきトラックのアドレス誤差が、規格内で構成されているか否かを検査、確認することができる。
【００１２】
そして検査測定のための記録トラック領域を、内周、中周、外周などに設けることで、任意の半径位置で隣接する記録層間の相対トラックのアドレス誤差を検査することができ、光ディスク全面において規格に準拠しているか否かを正確に検査できる効果がある。
【００１３】
また、信号検出手段（信号検出ステップ）において、検出する受光信号の信号レベルとして、その受光信号のピーク値を検出するようにした場合には、信号検出手段（信号検出ステップ）で得られる検出レベルのカーブの傾斜部が急峻になり、検査手段（検査ステップ）における検出レベルの判定がより容易となり、相対するトラックの位置の誤差が所定の範囲内であるか否かの判定がより容易に行えるようになる。
【００１４】
一方、信号検出手段（信号検出ステップ）において、検出する受光信号の信号レベルとして、その受光信号の平均値を検出するようにした場合には、信号検出手段（信号検出ステップ）で得られる検出レベルに対する前記受光信号のノイズの影響を軽減した、より安定したレベル検出が実現でき、検査手段（検査ステップ）における、相対するトラックの位置の誤差が所定の範囲内であるか否かの判定がより安定して行えるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の光ディスク検査装置の動作原理を図１乃至図３に示し説明する。
図１はこの発明が適用される複数の記録層を持つ記録可能な光ディスクの光ディスク検査装置のうちこの発明に係る部分のブロック構成を示したものである。
【００１６】
複数の記録層を持つ書き換え可能型光ディスクとしてＤＶＤ−ＲＷ２層ディスクを用いて説明する。この光ディスクの記録層の構成は、図３（a）に示すように光ピックアップ側から記録層の情報を読み出す状態とすると、光ピックアップに近い記録層を０層目の記録層といい、遠い側の記録層を１層目の記録層という。
【００１７】
光ピックアップは１つのメインビームと２つのサブビームとを照射し、図２の例では記録済みの０層目の記録層（０層記録領域３０１）のトラック溝のグルーブ２０３にメインビーム２００の焦点を合わせ、隣接トラック溝のランド２０４にそれぞれサブ１ビーム２０１とサブ２ビーム２０２を照射させている。
【００１８】
図１では再生している記録層を１層目とし、１層目の記録層で反射されたメインビームはメインＰＤ１０６に受光され、サブ１ビームはサブ１ＰＤ１０４に、サブ２ビームはサブ２ＰＤ１０５によって受光される。
【００１９】
図１において０層目反射フレア１０９は、メインビームが０層目の記録層で反射されてフォトディテクタ全体（メインＰＤ１０６、サブ１ＰＤ１０４、サブ２ＰＤ１０５）に照射されている状態を示している。この状態について図３を例にして説明する。
【００２０】
図３(a)において光ピックアップ１００は、レーザーダイオード（ＬＤ）３０５と、レーザー光を平行光にするコリメータレンズ（ＣＬ）３０６と、コリメータレンズ３０６からのビーム光を１つのメインビームと２つのサブビームの３ビームに分割するグレーティング３０７と、グレーティング３０７からのビーム光を対物レンズ（ＯＬ）３１０に導く偏光ビームスプリッタ３０８と、偏光ビームスプリッタ３０８からの直線偏光を円偏光にする１／４λ板３０９と、１／４λ板３０９からのビーム光を光ディスク上に集光する対物レンズ３１０とを備える。
【００２１】
さらに、光ピックアップ１００は、光ディスクから反射したビーム光であり、対物レンズ３１０と１／４λ板３０９と偏光ビームスプリッタ３０８とを通過したビーム光をフォトディテクタ（ＰＤ）上に集光する検出レンズ３１１と、集光されたメインビーム１０３を受光するメインＰＤ１０６と、サブ１ビーム１０１を受光するサブ１ＰＤ１０４と、サブ２ビーム１０２を受光するサブ２ＰＤ１０５とを備えている。
【００２２】
図３(a)に示した光ピックアップは一例であり、光ピックアップの構成を簡略化した場合には、グレーティング３０７、１／４λ板３０９を省略し、偏光ビームスプリッタ３０８をビームスプリッタとして構成しても同様の動作を実現できる。
【００２３】
光ピックアップ１００は、１層目の記録層３０３を再生しているのでメインビームは０層目の記録層３０１を通過する。このとき０層目と１層目の記録層の間にはスペース層（図示せず）があるが、非常に薄い層であるためメインビーム２００は０層目の記録層３０１で集光はされないがかなり近接した状態にある。このため０層目からの反射光は微弱ながら光ピックアップ１００の光路を通ってフォトディテクタ（ＰＤ）周辺に０層目反射フレア１０９として戻る。
【００２４】
通常このフレア光はメインビームが１層目で反射される各ビーム光より十分小さいためほとんど影響はない。しかし、記録系光ピックアップの場合など、メインビームに対しサブビームの光量を例えば1／１５のように小さく設計することが多く、サブ１ＰＤ１０４、サブ２ＰＤ１０５で受光されるサブビームの光量に対して、サブ１ＰＤ１０４、サブ２ＰＤ１０５で受光される０層目反射フレア１０９の光量が割合的に大きくなり、０層目反射フレア１０９による信号が、サブビーム信号の受光総和信号（ＳＢＡＤ信号１１０）として検出できるレベルとなる。本発明はこの信号を利用して検査を行っている。
【００２５】
尚、このフレア光はメインビーム用のメインＰＤ１０６でも受光されるが、メインビームの受光量はフレアの受光量に比較し非常に大きいのでフォーカス検出などで影響を受けることはない。またトラッキング検出で差動プッシュプル信号（ＤＰＰ方式）を検出する場合、メインビームとサブビームの光量から演算を行うが、メインビームとサブビームのフォトディテクタにほぼ同じフレア光が受光されるので、前記ＤＰＰ演算で相殺され影響はなくなる。
【００２６】
上述した例では図１にサブビームを持つ３ビームタイプの光ピックアップ１００を示したが、本発明を実施するためにはメインビームだけ発光する１ビームタイプの光ピックアップでも可能である。そしてこの場合、０層目反射フレア１０９を受光するＰＤ素子はメインＰＤ１０６の周辺に配置されていればフレアを検出できる。
【００２７】
０層目反射フレア１０９とこの０層目反射フレア１０９を受光するＰＤ素子（サブビーム用ＰＤ）の位置関係は、図３(b)に示すように、サブ１ＰＤ１０４およびサブ２ＰＤ１０５の最大間隔（フォトディテクタ素子の最大長ｄ２）が前記０層目反射フレア１０９の直径ｄ１より内側に配置されていることが望ましい（ｄ１＞ｄ２）。またサブ１ＰＤ１０４およびサブ２ＰＤ１０５の配置方向は、前記０層目反射フレア１０９の直径ｄ１の内側にあれば特に規定しなくてもフレア光を検出可能である。
【００２８】
図１に示すＳＢＡＤ信号１１０は、２つのサブビーム用のサブ１ＰＤ１０４、サブ２ＰＤ１０５で受光された信号の受光総和信号であり、サブ側Ｉ／Ｖアンプ１０７で電圧に変換された信号である。このＳＢＡＤ信号１１０は信号検出手段１１１に入力される。
【００２９】
尚、このＳＢＡＤ信号１１０は、２つのサブビーム用のサブ１ＰＤ１０４、サブ２ＰＤ１０５で受光された信号の受光総和信号を用いたが、１つのサブビーム用のサブＰＤ信号を用いてもよい。
【００３０】
ＳＢＡＤ信号１１０は、光ディスクの回転により０層目と１層目の１周のトラックの中心点ずれがあると、前記１層目のトラック再生中に０層目のトラックの記録領域（記録済み領域）と未記録領域の境界付近でＳＢＡＤ信号１１０の出力が回転と同期しながら変動する現象が発生する。信号検出手段１１１では、このＳＢＡＤ信号のピーク電圧もしくは平均値を検出するように動作する。
【００３１】
実際には図３(a)に示すように１層未記録領域３０３を再生させたとき、その１層目と隣接する０層における同じ半径位置に０層記録領域（記録済み領域）３０１がある場合は、信号検出手段１１０の出力は電圧Ｖ１Ｈと小さくなり、逆に０層未記録領域３０２がある場合は信号検出手段１１０の出力は電圧Ｖ２Ｈと大きくなる（３１７）。
【００３２】
０層目のトラックの記録領域と未記録領域の境界付近ではメインビームのビーム径の影響のためにＳＢＡＤ信号は中間的な電位を示す。
尚、図３(a)のグラフの傾斜部３１５と傾斜部３１６はＳＢＡＤ信号の平均電圧を信号検出手段１１１によって検出した場合を示し、傾斜部３１３と傾斜部３１４はＳＢＡＤ信号のピーク電圧を検出した場合を示す。ＳＢＡＤ信号の平均電圧を検出するか、ピーク電圧を検出するかは、光ディスクの回転で変動するＳＢＡＤ信号の状態に応じて適宜選択してよい。
【００３３】
また１層目の記録層は、記録済みであっても同様な検出が可能である。この場合、再生している１層目が記録済みであるため、光ディスクの反射率が低下するので信号検出手段１１１の出力が低い電圧側にシフトする。図３(a)において、１層目の記録済みのトラックと同じ半径位置に隣接する０層目が記録領域（記録済み領域）である場合は、信号検出手段１１０の出力は電圧Ｖ１Ｌと小さくなり、０層目が未記録領域である場合は信号検出手段１１０の出力は電圧Ｖ２Ｌと大きくなる（３１８）。
【００３４】
アドレス復調手段１１３は、１層目で反射されたメインビームをメインビーム用のメインＰＤ１０６で受光したメインビーム信号から１層目のアドレスを読み出す。
検査手段１１２は、０層目に予め記録した記録領域３０１の記録開始アドレス値（または記録終了アドレス値）と同一半径位置に対応すべき、１層目のトラック位置の最大許容誤差を含んだ最大許容誤差アドレスを求める。そして、検査手段１１２は、アドレス復調手段１１３により読み出された１層目のアドレスの値が１層目の最大許容誤差アドレスであり、かつ信号検出手段１１１で得られた信号レベルが、０層目の記録領域３０１から得られる０層目反射フレアにより得られる所定のレベルと同じであるとき、光ディスクの構造が規格内であるとする。なお、最大許容誤差とは、０層目の記録開始アドレス（または記録終了アドレス）に対して同一半径の１層目のトラック位置が許容できる最大の誤差範囲を示している。
【００３５】
より詳しく説明すれば、検査手段１１２は、０層に記録した記録領域３０１の記録開始アドレス値（または記録終了アドレス値）により定まる、記録開始アドレス値（または記録終了アドレス値）と同一半径位置に対応する１層におけるアドレスである基準アドレスを得て、その基準アドレスから、予め定められた最大許容誤差分だけ半径方向に移動させた位置の１層におけるアドレスである最大許容誤差アドレスを求める。そして、被測定光ディスクの１層再生時において、アドレス復調手段１１３で最大許容誤差アドレスが読み出された際に（即ち、１層の最大許容誤差アドレス位置の再生時に）、信号検出手段１１１で得られる検出レベルが、０層における記録領域３０１でメインビームが反射された際に得られる検出レベルと同一である場合にのみ、検査手段１１２は、隣接する記録層である０層と１層との間で同一半径位置にあるべき相対するトラックの位置の誤差が所定の範囲内、即ち被測定光ディスクの構造が規格内であると判定する。
［実施例１］
本発明の実施例１を図４および図５を用いて説明する。
【００３６】
図４は、０層目の記録層の所定トラック領域を記録（０層記録領域３０１）し、１層目の記録層は未記録（１層未記録領域３０３）として示している。光ディスクは製造上の誤差などにより、０層目の１トラック４０６の中心点と１層目の１トラック４０７の中心点が一致しない場合があり、中心ずれ量Ｒｄ４０８が発生する。０層目と１層目の半径はそれぞれ０層半径Ｒ０(４０５)、１層半径Ｒ１(４０４)として示す。
【００３７】
図４中の０層目の記録したトラック領域は回転中心Ｃ（４０９）で光ディスクが回転した場合、０層目のトラック中心点とずれがあるためトラック領域（０層記録領域３０１）の境界位置は回転と同期して直径方向の左右で変化する。
【００３８】
このため、例えば０層目の１トラック４０６の位置と半径位置が同じにある１層目のトラック位置は誤差を持つことになる。この誤差の最大値を最大相対誤差Ｄｍａｘ（４０３）、最小値を最小相対誤差Ｄｍｉｎ（４０２）として示す。
【００３９】
図４の光ディスク上のＸ領域４１０において、光ピックアップを内周から外周に再生しながら移動させた場合、信号検出手段１１１からの出力を図５に示す。
図５に使用される被測定光ディスク（ＤＶＤ−ＲＷ２層光ディスク５００）は、０層目の記録層に開始アドレスＺ５２０から終了アドレスＹ５３０まで記録を行っている。図中の最大許容誤差Ｂ５０４は、０層目の記録開始アドレスＺ５２０または記録終了アドレスＹ５３０に対して同一半径の１層目のトラック位置が許容できる最大の誤差範囲を示している。最大許容誤差Ｂ５０４は、検査対象の被測定光ディスクの検査に先立ち、次に示す計算式により予め定まる。
【００４０】
最大許容誤差Ｂ５０４は、最大偏心誤差｜Ｒｄ｜５０１と０層ビーム半径Ｒｂ５０２と最大公差|Ｔ|５０３を加算した値である。この最大許容誤差Ｂ５０４の値は０層目の所定のトラック位置に対する１層目の同一半径でのトラック位置が許容できる最大の誤差範囲を示し下記の計算式で示される。
最大許容誤差Ｂ＝最大公差|Ｔ|＋最大偏心誤差|Ｒｄ|＋０層ビーム半径Ｒｂ
・最大公差|Ｔ|＝０．０４ｍｍ
・最大偏心誤差|Ｒｄ|＝０．０５ｍｍ
・０層ビーム半径Ｒｂ＝Ｌ×tan(sin-1（ＮＡ/ｎ)）
（Ｌ＝スペース層の厚み、ＮＡ＝測定装置のレーザーＮＡ、ｎ＝屈折率）
０層目の記録開始アドレスＺ５２０（第１の所定アドレス）と同一半径で相対する１層目のトラック位置のアドレスはアドレスｚ５２１（第１の基準アドレス）が相当し、０層目の記録終了アドレスＹ５３０（第２の所定アドレス）と同一半径で相対する１層目のトラック位置のアドレスはアドレスｙ５３１（第２の基準アドレス）が相当する。そして最大許容誤差Ｂ５０４を考慮して、被測定光ディスクの検査に用いる１層目の測定アドレスは、外周側の場合、アドレスｙ５３１（第２の基準アドレス）から内周方向（半径方向の記録領域３０１側）へ最大許容誤差Ｂ５０４だけシフトさせたアドレスＭｙ５３２（第２の最大許容誤差アドレス）となり、内周側の場合、アドレスｚ５２１（第１の基準アドレス）から外周方向（半径方向の記録領域３０１側）へ最大許容誤差Ｂ５０４だけシフトさせたアドレスＭｚ５２２（第１の最大許容誤差アドレス）となる。
【００４１】
測定アドレスＭｙ５３２とＭｚ５２２のＥＣＣブロックアドレスは下記の式から求められる。
測定アドレスＭｙ＝ＹＹ＋Ａｘ−（Ｂ×（２×Ｒｙ−Ｂ）×π）／Ｃ
測定アドレスＭｚ＝ＺＺ＋Ａｘ＋（Ｂ×（２×Ｒｚ−Ｂ）×π）／Ｃ
・ＹＹ＋Ａｘ：アドレスｙと同じ
・ＺＺ＋Ａｘ：アドレスｚと同じ
・Ｂ：最大許容誤差（ｍｍ）
・Ｒｙ：アドレスＹの半径
・Ｒｚ：アドレスＺの半径
・Ｃ：変換係数・・・１ブロック当たりの面積（ｍｍ2）
・ＹＹ：Ｙのアドレスデータをピット反転した値
・ＺＺ：Ｚのアドレスデータをピット反転した値
・Ａｘ：０層に対する差分値
図５において、光ピックアップをアドレスｙ５３１からアドレスＭｙ５３２へ移動させていき、アドレスＭｙ５３２に到達するまでに信号検出手段１１１の出力が電圧Ｖ１になれば内周方向に対する誤差が許容範囲内となる。一方、光ピックアップをアドレスｚ５２１からアドレスＭｚ５２２へ移動させていき、アドレスＭｚ５２２に到達するまでに信号検出手段１１１の出力が電圧Ｖ１（０層における記録領域３０１でメインビームが反射された際にその反射光である０層目反射フレアにより信号検出手段１１１で得られる検出レベル）になれば外周方向に対する誤差が許容範囲内となる。なお電圧Ｖ２は、０層における未記録領域３０２でメインビームが反射された際にその反射光である０層目反射フレアにより信号検出手段１１１で得られる検出レベルである。
【００４２】
よって、検査手段１１２において、それぞれの測定アドレスＭｙ５３２およびＭｚ５２２のアドレス位置で信号検出手段１１１の出力が共に所定のレベルである電圧Ｖ１（０層における記録領域３０１でメインビームが反射された際にその反射光である０層目反射フレアにより信号検出手段１１１で得られる検出レベル）であれば、相対するトラック位置の誤差が光ディスク構造の規格を満足しているという結果となる。それ以外では、相対するトラック位置の誤差が光ディスク構造の規格を満足していないと判定する。図９にこの判定についての条件を示している。
【００４３】
尚、図５のグラフの傾斜部５３３と傾斜部５３６はＳＢＡＤ信号の平均電圧を信号検出手段１１１で検出した場合を示し、傾斜部５３４と傾斜部５３５はＳＢＡＤ信号のピーク電圧を検出した場合を示す。ピーク電圧を検出するようにした場合は、信号検出手段の出力カーブの傾斜部が急峻になり測定アドレスＭｙ５３２や測定アドレスＭｚ５２２の電圧判定がより容易となる。また平均値を検出するようにした場合は、ＳＢＡＤ信号のノイズの影響を軽減でき、より安定した電圧を検出することができる。実施に当たっては、光ディスクの回転で変動するＳＢＡＤ信号の状態でどちらを用いるか適宜選択してよい。
【００４４】
上記例では、アドレスｙ５３１からアドレスＭｙ５３２までの移動範囲内と、アドレスｚ５２１からアドレスＭｚ５２２までの移動範囲内の、両方の移動範囲内において、信号検出手段１１１の出力として電圧Ｖ１が得られることが、誤差が許容範囲内と判定する必要条件であった。状況に応じて、例えば、片方の移動範囲内で電圧Ｖ１が得られることが保証されているような場合には、もう一方の移動範囲内のみで電圧Ｖ１が得られることを、誤差が許容範囲内と判定する必要条件としてもよい。
【００４５】
尚、アドレス復調手段１１３において、未記録領域および記録領域を問わずアドレス検出する場合には、トラック溝に形成されたＬＰＰ信号を復調することによって光ディスクのアドレス位置を検出することができる。本発明で使用するアドレス値としては、例えば記録領域にはＥＣＣブロックアドレスを用い、未記録領域にはＬＰＰアドレスを用いることができる。ＬＰＰのアドレス情報については特開平１０−２９３９２６号公報に記載されている。
【００４６】
図５、図９に示す実施例１の検出動作をプログラムで実行した時のフローチャートを図１０に示し説明する。１層目にフォーカスを掛けて１層目再生動作をさせる（再生ステップ１０）。
【００４７】
０層目が記録領域３０１の位置で１層目を再生し、０層目の記録領域３０１でのメインビームの反射フレアの受光信号の信号レベルを検出し、その検出レベルを所定のレベルＶ１とする（所定レベル検出ステップ１１）。このとき受光信号レベルのピーク値を検出してもよいし、受光信号レベルの平均値を検出してもよい。
【００４８】
次に、０層目の記録開始アドレス値Ｚ５２０および記録終了アドレス値Ｙ５３０とそれぞれ同一半径上の１層目トラック位置に対する最大許容誤差Ｂ５０４を含んだ各最大許容誤差アドレス値Ｍｚ５２２，Ｍｙ５３２を算出する（最大許容誤差アドレスの算出ステップ１２）。
【００４９】
そして１層目の各最大許容誤差アドレス位置Ｍｚ５２２，Ｍｙ５３２を再生する。即ち、アドレス復調により、各最大許容誤差アドレスＭｚ５２２，Ｍｙ５３２が読み出される。（測定アドレス再生ステップ１３）。
【００５０】
１層目の各最大許容誤差アドレス位置再生時に、メインビームの０層目反射フレア光による受光信号の検出信号レベルが、共に０層目の記録領域３０１でのメインビームの０層目反射フレア光から得られる前記所定レベルＶ１と同じである時、相対するトラック位置の誤差が光ディスク構造の規格を満足していると判定する。（検査ステップ１４）。
［実施例２］
実施例１では、図５に示すように１層目の記録層を再生しながら、０層目の記録層からの反射フレアをサブビーム用フォトディテクタで検出したが、他の実施例として０層目の記録層を再生しながら、１層目の記録層からの反射フレアをサブビーム用フォトディテクタで検出してもよい。
【００５１】
図６を用いて実施例２を説明する。図３と同一部分は同一番号で示し説明を省略する。
使用される被測定光ディスク（ＤＶＤ−ＲＷ２層光ディスク６００）は、１層記録領域６０１と１層未記録領域６０２を設け、０層未記録領域６０３を再生させる。この場合メインビームは０層目の記録層（０層未記録領域６０３）に集光される。
【００５２】
しかしこのメインビームのビーム光の一部は０層目の記録層（０層未記録領域６０３）を透過して隣接する１層目の記録層（１層記録領域６０１）に照射される。この０層目と１層目にスペース層があるが非常に薄い層であるためメインビーム２００は０層目の記録層を透過し１層目の記録層で反射され、メインビーム２００はほぼ同じ光路を通って光ピックアップ１００内のフォトディテクタ周辺に１層目反射フレア６０９として戻る。
【００５３】
この１層目反射フレア６０９はサブビーム用のフォトディテクタであるサブ１ＰＤ１０４とサブ２ＰＤ１０５からサブビーム信号の受光総和信号（ＳＢＡＤ信号１１０）として検出される。
【００５４】
尚、このＳＢＡＤ信号１１０は、２つのサブビーム用のサブ１ＰＤ１０４、サブ２ＰＤ１０５で受光された信号の受光総和信号を用いたが、１つのサブビーム用のサブＰＤ信号を用いてもよい。
【００５５】
メインビームが０層目の記録層（０層未記録領域６０３）を再生しているとき、１層目の記録層が１層記録領域６０１である場合は信号検出手段１１１の出力は電圧Ｖ３Ｈであり、１層目の記録層が１層未記録領域６０１である場合は信号検出手段の出力は電圧Ｖ４Ｈとなる（６１７）。１層目のトラックの記録領域６０１と未記録領域６０２の境界付近ではメインビームのビーム径の影響のためにＳＢＡＤ信号は中間的な電位を示す。
【００５６】
尚、図６のグラフの傾斜部６１５と傾斜部６１６はＳＢＡＤ信号の平均電圧を信号検出手段１１１で検出した場合を示し、傾斜部６１３と傾斜部６１４はＳＢＡＤ信号のピーク電圧を検出した場合を示す。
【００５７】
０層目の記録層が記録済みの場合にも同様な検出ができる。この場合は０層目が記録されることで反射率が下がるため出力電圧が低い側へシフトする。即ち電圧Ｖ３Ｈは電圧Ｖ３Ｌにシフトし、電圧Ｖ４Ｈは電圧Ｖ４Ｌにシフトする。（６１８）。
【００５８】
実施例２においては、被測定光ディスクの記録する領域を１層目に行い、記録開始アドレスをアドレスｚ５２１と終了アドレスをアドレスｙ５３１として行えば、測定アドレスはそれぞれＭＺ５２３とＭＹ５２４として換算して得ることが可能である（図５参照）。
【００５９】
また、図３および図６の信号検出手段１１１の出力特性は同じである。このため検出の仕方の部分を除けば構成および動作は実施例１と同様であり、隣接する記録層間のトラック位置の誤差を検査することができる。実施例１の電圧Ｖ１（電圧Ｖ１Ｈまたは電圧Ｖ１Ｌ）と電圧Ｖ２（電圧Ｖ２Ｈまたは電圧Ｖ２Ｌ）を実施例２ではそれぞれ電圧Ｖ３（電圧Ｖ３Ｈまたは電圧Ｖ３Ｌ）と電圧Ｖ４（電圧Ｖ４Ｈまたは電圧Ｖ４Ｌ）として読み替えることとする。
【００６０】
この実施例２の場合も、状況に応じて、例えば、片側の移動範囲内で電圧Ｖ３が得られることが保証されているような場合には、もう一方の移動範囲内のみで電圧Ｖ３が得られることを、誤差が許容範囲内と判定する必要条件としてもよい。
【００６１】
なお、図１０においても説明したが、上記した各光ディスク検査装置の機能をプログラムによりコンピュータに実現させるようにしいもよい。このプログラムは、記録媒体から読みとられてコンピュータに取り込まれてもよいし、通信ネットワークを介して伝送されてコンピュータに取り込まれてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の動作原理を説明するための光ディスク検査装置のブロック図である。
【図２】レーザービームとトラック溝との位置関係を示した図である。
【図３】本発明の動作原理を説明するための検出動作例を示す図である。
【図４】実施例１における最大相対誤差と最少相対誤差とを説明するための図である。
【図５】実施例１における動作を説明するための図である。
【図６】実施例２における検出動作を説明するための図である。
【図７】従来の光ディスク検査装置のブロック図である。
【図８】隣接する記録層間のトラック位置の許容誤差を示す図である。
【図９】実施例１における検査の判定を説明する図である。
【図１０】実施例１における検出動作のフローチャートを示す図である。
【符号の説明】
【００６３】
１００  光ピックアップ
１０１  サブ１ビーム
１０２  サブ２ビーム
１０３  メインビーム
１０４  サブ１ＰＤ
１０５  サブ２ＰＤ
１０６  メインＰＤ
１０７  サブ側Ｉ／Ｖアンプ
１０８  メイン側Ｉ／Ｖアンプ
１０９  ０層目反射フレア
１１０  ＳＢＡＤ信号
１１１  信号検出手段
１１２  検査手段
１１３  アドレス復調手段
【図１】
0004466603.tif 000002
【図２】
0004466603.tif 000003
【図３】
0004466603.tif 000004
【図４】
0004466603.tif 000005
【図５】
0004466603.tif 000006
【図６】
0004466603.tif 000007
【図７】
0004466603.tif 000008
【図８】
0004466603.tif 000009
【図９】
0004466603.tif 000010
【図１０】
0004466603.tif 000011