(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨材を混入したスラリーを供給する供給源と、前記スラリーを増圧する増圧装置と、前記スラリーの流れ方向を切換える開閉弁装置とを備え、前記開閉弁装置により前記スラリー流れ方向を切換えることで、前記供給源より供給される前記スラリーを前記増圧装置で増圧し、増圧された前記スラリーをワークに供給する流体研磨装置において、
前記開閉弁装置は、
前記スラリーの流れを流通および遮断するための弁体と、
前記弁体が当接および離間可能な弾性材料からなる受圧部材を有する弁座ホルダとを有しており、
前記受圧部材は、略円筒状体に形成され、その略円筒状体の外周を前記弁座ホルダに把持されていることを特徴とする流体研磨装置。
【請求項２】
受圧部材は、ゴムパッキンであって、
前記ゴムパッキンは、耐溶剤性を有する材料で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の流体研磨装置。
【請求項３】
前記受圧部材と前記弁体は、互いに離間および当接することで、増圧された前記スラリーの流れを流通および遮断することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流体研磨装置。
【請求項４】
前記開閉弁装置は、前記供給源より前記増圧装置への前記スラリーの第１流れと、前記増圧装置より前記ワークへの増圧された前記スラリーの第２流れを切換える三方弁であって、
前記弁体は、略筒状体に形成され、前記スラリーが流通可能なスラリー流路を内部に有していることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の流体研磨装置。
【請求項５】
前記弁体の一端部に、前記受圧部材が配置され、
前記弁体の他端部に、第２の受圧部材を有する第２の弁座ホルダが配置されていることを特徴とする請求項４に記載の流体研磨装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の流体研磨装置は、
前記開閉弁装置と前記増圧装置を組として、二組の、第１開閉弁装置および第１増圧装置と、第２開閉弁装置および第２増圧装置を有しており、
一方の組の、前記第１開閉弁装置によって前記供給源より前記スラリーを前記第１増圧装置へ供給している間、
他方の組の、前記第２開閉弁装置によって前記第２増圧装置で増圧された前記スラリーを前記ワークを供給することを特徴とする流体研磨装置。
【請求項７】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の流体研磨装置は、
前記開閉弁装置と前記増圧装置を組として、一組から構成されていることを特徴とする流体研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体研磨装置に関し、スラリーを増圧してワークに供給するための切換え開閉弁を有するスラリー供給装置に適用して好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えばオリフィス孔を有するワークに、砥粒などの研磨材を混入したスラリーを供給することで、その孔径を拡大加工しながら、オリフィス孔の流量を調整加工する流体研磨装置が知られている（特許文献１参照）
この種の流体研磨装置では、外部へ供給可能にスラリーを攪拌するタンクと、このスラリーを増圧するための増圧ピストン等の増圧装置と、タンク、増圧装置、およびワーク間でスラリー流れ方向を切換える開閉弁装置とを備えている。
【０００３】
この開閉弁装置の開閉動作により、流体研磨装置は、タンクより供給されるスラリーを増圧装置で増圧させ、増圧されたスラリーをワークに供給している。
【０００４】
一般に、開閉弁装置の開閉弁部は、図５に示すように、弁体９２１と、弁体９２１が離間および当接可能な受圧部材としてのゴムパッキン９４８を保持する弁座ホルダ９４０とで構成されており、弁体９２１がゴムパッキン９４８に当接および離間することによりスラリーの流れを遮断および流通するようにしている。
【０００５】
このようなゴムパッキン９４８は、弁体９２１とのシールの安定性を図るために、弁座ホルダ９４０への固定のための穴９４８ａが、弁体９２１が当接することのない中央に開けられ、ボルト９５１などの螺合部材により弁座ホルダ９４０のねじ部９４９に螺合固定される。
【特許文献１】特開２００５−１７７９１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来技術では、ゴムパッキン４１８の穴９４８ａに近い周辺部は、螺合固定による初期応力が加わっているので、スラリー流れを遮断する時に弁体９２１をゴムパッキン９４８に強く押し当てると、穴９４８ａに近い部分に過剰な応力が加わり、穴９４８ａを起点にゴムパッキン割れを生じるおそれがある。
【０００７】
また、ゴムパッキン９４８を螺合固定する際に、ゴムパッキン９４８の外周は弁座ホルダ９４０へ押さえていないため、ゴムパッキン９４８外周部分でそりが発生するおそれがある。
【０００８】
このようなゴムパッキン９４８を長時間使用すると、上記穴９４８ａを起点した割れや、上記外周部分のそりによってシール不良が発生するという問題がある。
【０００９】
本発明は、このような事情を考慮してなされたものであり、スラリーの流れを流通および遮断する開閉弁装置を有するものにおいて、弁体とでシールする受圧部材のシール寿命を延ばすことを目的とする。
【００１０】
また、別の目的は、スラリーの流れを流通および遮断する開閉弁装置を有するものにおいて、弁体とでシールする受圧部材のシール寿命向上を図るとともに、ワークの加工において開閉弁装置等の稼動効率の向上を図れる流体研磨装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記目的を達成するために以下の技術的手段を備える。
【００１２】
即ち、請求項１乃至７記載の発明では、研磨材を混入したスラリーを供給する供給源と、スラリーを増圧する増圧装置と、スラリーの流れ方向を切換える開閉弁装置とを備え、開閉弁装置によりスラリー流れ方向を切換えることで、供給源より供給されるスラリーを増圧装置で増圧し、増圧されたスラリーをワークに供給する流体研磨装置において、
開閉弁装置は、スラリーの流れを流通および遮断するための弁体と、弁体が当接および離間可能な弾性材料からなる受圧部材を有する弁座ホルダとを有しており、
受圧部材は、略円筒状体に形成され、その略円筒状体の外周を弁座ホルダに把持されていることを特徴とする。
【００１３】
このように構成することで、ゴムパッキンなどの弾性材料からなる受圧部材は、応力集中し易い形状の穴などの切欠き部を有する必要がない。したがって、弁体とでシールする受圧部材のシール寿命を延ばすことができる。
【００１４】
なお、受圧部材を弁座ホルダに把持する方法が、受圧部材と弁座ホルダとを螺合により螺合固定する螺合部材によるものであったとしても、外周を把持される受圧部材の外周は略円筒状体の外周であるので、応力集中し易い外周形状ではないため、スラリー流れを遮断するときに、受圧部材に過剰な応力が加わるのを回避することができる。
【００１５】
また、請求項２に記載の発明では、受圧部材は、ゴムパッキンであって、
ゴムパッキンは、耐溶剤性を有する材料で形成されていることを特徴とする。
【００１６】
これにより、開閉弁装置の開閉動作が長時間にわたって実施されたとしても、受圧部材は、例えばウレタンゴムなどの耐溶剤性を有する材料で形成されているので、スラリー中で長時間使用されても、材料劣化を抑制できる。したがって、受圧部材のシール寿命の延長化が更に図れる。
【００１７】
また、請求項３に記載の発明では、受圧部材と弁体は、互いに離間および当接することで、増圧されたスラリーの流れを流通および遮断することを特徴とする。
【００１８】
これによると、開閉弁装置において、上記受圧部材および弁体の配置される部位は、互いに離間および当接することで、増圧されたスラリーの流れを流通および遮断する部位であることが好ましい。これにより、増圧されたスラリーの流れを流通および遮断するために、弁体を受圧部材に強く押し当てる場合であっても、そのスラリー流れの遮断時に、受圧部材に過剰な応力が加わるのを回避することができるので、受圧部材のシール寿命向上が図れる。
【００１９】
また、請求項４および請求項５に記載の発明では、開閉弁装置を、弁体と、受圧部材とからなる比較的簡素な三方弁構造とすることができる。請求項４に記載によると、開閉弁装置は、供給源より増圧装置へのスラリーの第１流れと、増圧装置より前記ワークへの増圧された前記スラリーの第２流れを切換える三方弁であって、弁体は、略筒状体に形成され、スラリーが流通可能なスラリー流路を内部に有することができる。また、請求項５に記載によると、弁体の一端部に受圧部材が配置され、弁体の他端部に第２の受圧部材を有する第２の弁座ホルダが配置される構成とすることができる。
【００２０】
したがって、例えば筒状の弁体の延在する軸方向などの延在方向に往復運動させるという簡単な弁体動作によって、一端部側に配置された受圧部材と、他端部側に配置された第２の受圧部材に交互に弁体を押し当てて、第１流れおよび第２流れを切換えられる簡素な開閉弁装置を実現できる。
【００２１】
また、請求項６に記載の発明では、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の流体研磨装置は、開閉弁装置と増圧装置を組として、二組の、第１開閉弁装置および第１増圧装置と、第２開閉弁装置および第２増圧装置を有しており、
一方の組の、第１開閉弁装置によって供給源よりスラリーを第１増圧装置へ供給している間、
他方の組の、第２開閉弁装置によって第２増圧装置で増圧されたスラリーをワークを供給することを特徴とする。
【００２２】
このような構成を有する流体研磨装置において、第１開閉弁装置および第２開閉弁装置は、スラリー流れ遮断のための、弁体を受圧部材に押し当てる動作が、交互に行われるので、受圧部材のシール寿命が大幅に改善される。
【００２３】
また、請求項７に記載の発明では、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の流体研磨装置は、開閉弁装置と増圧装置を組として、一組から構成されていることを特徴とする。
【００２４】
このように流体研磨装置において、一組の開閉弁装置で、スラリー流れ遮断のための、弁体を受圧部材に押し当てる動作を繰り返し行なう場合であっても、受圧部材のシール寿命向上が図れる。
【００２５】
さらに、一組の開閉弁装置で繰り返し行なうので、例えば二組の開閉弁装置で交互に行なう場合に比べて、開閉弁装置およびこれに付随動作する増圧装置の稼動効率の向上が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の流体研磨装置を、具体化した実施形態を図面に従って説明する。
【００２７】
図１は、本実施形態に係わる開閉弁装置を示す断面図である。図２は、本実施形態の流体研磨装置の一実施例の全体構成を示すブロック図である。図３は、図１中のＩＩＩ部を拡大した本発明の要部を示す部分断面図である。図４は、図３中の弁体と受圧部材の開閉動作を示す図であって、弁体と受圧部材が離間した開状態を示す部分断面図である。
【００２８】
なお、図４に対して、図３は、弁体と受圧部材が当接した閉状態を示している。また、図３および図４は、図面作成の便宜上、図１の開閉弁装置を９０度回転して示したものである。
【００２９】
図２に示すように、流体研磨装置は、スラリー９の流れを切換える開閉弁装置としての三方弁１と、スラリー９を供給する供給源（以下、タンクと呼ぶ）２と、スラリー９を増圧する増圧装置としての増圧シリンダ３と、ワーク８へのスラリーの供給および供給停止を行なう遮断弁（以下、パーツバルブ）５とを含んで構成されている。なお、パーツバルブ５と三方弁１との間には、三方弁１へのスラリー９の逆流防止のため、逆止弁４が設けられていることが好ましい。
【００３０】
流体研磨装置は、オリフィス孔（図示せず）を有するワーク８にスラリー９を供給することで、その孔径を拡大加工しながら、オリフィス孔の流量を調整加工するものである。
【００３１】
スラリー９は、砥粒などの研磨材を混入されており、スラリーは例えばセラミック粘土等からなり、所定の粘度範囲内に調整されている。
【００３２】
タンク２内では、常圧のスラリー９が攪拌され、例えば所定の粘度範囲内等のスラリー供給条件で供給が可能なようにスラリー９を貯留している。
【００３３】
増圧ピストン３は、プランジャの往復移動により内容積を可変にする装置であって、その内容積は、プランジャの図示下方向移動により容積が拡大し、上方向移動により容積が狭くなる。プランジャの下方向移動時に、タンク２より供給されるスラリー９を吸入するとともに、上方向移動時にはスラリー９を加圧し、高圧のスラリーを形成する。
【００３４】
パーツバルブ５は、流体研磨の加工対象のワーク８を交換する際に、ワーク８へのスラリー９供給を停止し、ワーク８を、例えば流体研磨完了品から、流体研磨前品に交換した後、ワーク８へのスラリー９供給を開始する周知の遮断弁である。
【００３５】
三方弁１は、図１および図２に示すように、スラリー９の流れを切換える装置である。この三方弁１は、スラリー流れは、タンク２内の常圧のスラリー９を増圧ピストン３へ導くスラリー９の第１流れ（図１中の実線で示す矢印方向の流れ）と、増圧シリンダ３で増圧されたスラリー９を、逆止弁（図２参照）を経由してパーツバルブ５へ導くスラリー９の第２流れとを切換える。
【００３６】
詳しくは、図２に示すように、三方弁１は、弁ハウジング１０と、弁体２１と、弁体２１が離間および当接することにより特定のスラリー９流れを流通および遮断する受圧部材（以下、ゴムパッキン）４８とを含んで構成されている。
【００３７】
弁ハウジング１０は、タンク２内のスラリー９が流入するスラリー導入口１１と、増圧シリンダ３へスラリー９を導く増圧シリンダ側開口１２と、パーツバルブ５へスラリー９を導くパーツバルブ側開口１３とを備えている。
【００３８】
弁ハウジング１０内には、隔壁によって、常圧スラリー貯留室１４と、容積可変空間１５と、高圧スラリー貯留室１６、１７が形成されている。この隔壁は弁体２１が液密に挿通可能に配置されている。なお、常圧スラリー貯留室１４、容積可変空間１５、および高圧スラリー貯留室１６、１７は、隔壁を挟んで、各内壁１４ａ、１５ａ、１６ａが形成されている。
【００３９】
常圧スラリー貯留室１４には、スラリー導入口１１および増圧シリンダ側開口１２が内壁１４ａに形成されている。増圧シリンダ側開口１２は、弁体２１の他端部２１ａ（詳しくは、当接部２５）と第２ゴムパッキン３８の離間および当接に応じて常圧スラリー貯留室１４へ流通および遮断するように構成されている。
【００４０】
高圧スラリー貯留室１６、１７には、パーツバルブ側開口１３が内壁１６ａに形成されている。パーツバルブ側開口１３は、第１ゴムパッキン４８を保持するホルダ４０を介して、高圧スラリー貯留室１６、１７と常に連通している。また、パーツバルブ側開口１３は、弁体２１の一端部２１ｂ（詳しくは、当接部２５）と、第１ゴムパッキン４８の離間および当接に応じて、弁体２１内のスラリー流路２３を介して、増圧シリンダ側開口１２に流通および遮断するように構成されている。
【００４１】
弁体２１は、略筒状体に形成され、略中央にフランジ部２２が設けられている。このフランジャ部２２は、容積可変空間１５内を軸方向移動可能に配置されている。詳しくは、フランジャ部２２は、容積可変空間１５を、第１容積可変空間１５ｂと第２容積可変空間１５ｃとに機密に区画する隔壁として機能する。なお、第１容積可変空間１５ｂと第２容積可変空間１５ｃは、それぞれ、内壁１５ａに形成された第１エア供給口１８、第２エア供給口１９を介して工場エアなどの空気が図示しない空気供給源より供給されるようになっている。
【００４２】
弁体２１の当接部２５、２６は、図１および図３に示すように、ゴムパッキン３８、４８に当接および離間することによりシールするため、樹脂材料で形成されている。
【００４３】
図１および図３に示すように、第１パッキン４８は、ウレタンゴムなどの弾性材料からなる略円筒状体に形成され、ホルダ４０に保持されている。詳しくはホルダ４０のホルダ円筒部４３に形成された段差部４３ｄに、第１パッキン４８が収容されている。第１ゴムパッキン４８は、パッキン押さえ部材４５と段差部４３ｄとの間に挟み込まれてホルダ４０に保持されている。
【００４４】
パッキン押さえ部材４５は、外周に雄ねじ部が形成され、段差部４３ｄの内周に形成された雌ねじ部とねじ締めにより螺合固定される。なお、ここで、パッキン押さえ部材４５は、第１パッキン４８の外周４８ｂを把持する把持部材を構成する。
【００４５】
ホルダ４０は、図１に示すように、ホルダ外周部４１と、ホルダ円筒部４３と、ホルダ円錐部４２が一体的に形成されている。
【００４６】
なお、本実施形態では、上記第１ゴムパッキン４８は、ウレタンゴムなどのスラリー９に対して耐溶剤性を有する材料で形成されていることが好ましい。また、第１ゴムパッキン４８の硬度は、ウレタンゴムなどのように比較的高い方が好ましい。
【００４７】
第２ゴムパッキン３８は、図１に示すように、略円環状体に形成され、第２ホルダ３０に保持されている。詳しくはホルダ４０内に第２ゴムパッキン３８の内周３８ａおよび外周３８ｂが挟み込まれている。なお、第２ホルダ３０には連通穴３１が設けられており、この連通穴３１は、増圧シリンダ側開口１２と弁体２１内のスラリー流路２３とを常に連通している。
【００４８】
本実施形態では、図２に示すように、流体研磨装置において、上述した三方弁１と増圧シリンダ３の組を、一つのワーク８を加工するために、二組を用意する構成としている。すなわち、二組の、第１三方弁１Ａおよび第１増圧シリンダ３と、第２三方弁１Ｂおよび第２シリンダ（図示せず）を備えている。例えば一方の組の、第１三方弁１Ａによってタンク２よりスラリー９を第１増圧シリンダ３へ供給している間、他方の組の、第２三方弁１Ｂによって第２増圧シリンダで増圧されたスラリー９をワーク８を供給するように構成されている。
【００４９】
次に、上述の構成を有する流体研磨装置、特に三方弁１の動作を、以下図１、図３および図４に従って説明する。
【００５０】
エア供給口１８より工場エア（以下、エア）が供給されると、第１可変容積空間１５ｂの内容積が拡大し、弁体２１のフランジ部２２が図１右方向に移動する。弁体２１が右方向に移動すると、弁体２１の他端部２１ａは第２ゴムパッキン３８より離間し、他端部２１ａと第２ゴムパッキン３８とは開状態なる。一方、弁体２１の一端部２１ｂは第１ゴムパッキン４８に当接し、一端部２１ｂと第１ゴムパッキン４８とは閉状態となる。
【００５１】
このとき、スラリー導入口１１より、タンク２内の常圧のスラリー９が、常圧スラリー貯留室１４内に流入すると、連通穴３１および増圧シリンダ側開口１２を介して増圧シリンダ３へ導かれる。
【００５２】
増圧シリンダ３はプランジャ下方向移動しており、内容積の拡大により、増圧シリンダ３へ導かれた常圧のスラリー９は内容積量に応じて所定量吸入される。プランジャ移動が上方向移動に転じると、内容積が縮小するので、吸入された常圧のスラリー９は増圧され、高圧のスラリー９が形成される。
【００５３】
次に、エア供給口１８より第１可変容積空間１５ｂ内のエアを抜き、エア供給口１９よりエアを供給する。エア供給口１９よりエアが供給されると、第２可変容積空間１５ｃの内容積が拡大し、弁体２１のフランジ部２２が図１左方向に移動する。弁体２１が左方向に移動すると、弁体２１の他端部２１ａは第２ゴムパッキン３８に当接し、他端部２１ａと第２ゴムパッキン３８とは閉状態なる。一方、弁体２１の一端部２１ｂは第１ゴムパッキン４８より離間し、一端部２１ｂと第１ゴムパッキン４８とは開状態となる。
【００５４】
このとき、増圧シリンダ３で増圧された高圧のスラリー９が、連通穴３１およびスラリー流路２３を介して高圧スラリー貯留室１６、１７に流入し、パーツバルブ側開口１３を経由して、パーツバルブ５へ高圧のスラリー９が供給される。
【００５５】
次に、弁体２１の一端部２１ｂと第１ゴムパッキン４８とのシール状態を、図３および図４に従って説明する。
【００５６】
図３に示す開状態では、弁体２１内のスラリー流路２３より高圧のスラリー９が勢いよく高圧スラリー貯留室１６、１７へ放出し、放出された高圧のスラリー９が外部のパーツバルブ５へ流出する。
【００５７】
図４に示す閉状態では、弁体２１の一端部２１ｂと第１ゴムパッキン４８とでスラリー流路２３が閉塞され、高圧のスラリー９はスラリー流路２３内に閉じ込められた状態で保たれる。このため、高圧のスラリー９の圧力の大きさに応じた押し当て荷重で、一端部２１ｂ（詳しくは、当接部２６）が第１ゴムパッキン４８に押し当てられる。
【００５８】
このような開状態（図３参照）および閉状態（図４参照）がワーク８の加工中に繰り返される。
【００５９】
本実施形態では、第１ゴムパッキン４８は、略円筒状体に形成され、その略円筒状体の外周４８ｂをホルダ４０に把持されるように構成されている。
【００６０】
このように構成することで、第１ゴムパッキン４８は、従来技術のような応力集中し易い形状の穴９４８ａ（図５参照）などの切欠き部を有する必要がない。したがって、弁体２１の一端部２１ｂとで閉状態にシールする第１ゴムパッキン４８のシール寿命を延ばすことができる。
【００６１】
なお、第１ゴムパッキン４８をホルダ４０に把持する方法として、本実施形態では、第１ゴムパッキン４８とホルダ４０（詳しくはホルダ円筒部４３）とをパッキン押さえ部材４５によって螺合により螺合固定している。このような構成により第１ゴムパッキン４８をホルダ４０に把持するものであっても、第１ゴムパッキン４８の外周４８ｂは略円筒状体の外周形状であるので、応力集中し易い外周形状ではない。したがって、スラリー９流れの遮断時に、第１ゴムパッキン４８に過剰な応力が加わるのを回避することができる。
【００６２】
また、本実施形態では、第１ゴムパッキン４８をパッキン押さえ部材４５とホルダ円筒部４３との間に挟み込んで螺合により把持する構成であるため、第１ゴムパッキン４８をホルダ４０より着脱する作業が容易にできる。
【００６３】
また、本実施形態では、第１ゴムパッキン４８は、ウレタンゴムなどのスラリー９に対して耐溶剤性を有する材料で形成されていることが好ましい。これにより、三方弁１の開閉動作が長時間にわたって実施されたとしても、第１ゴムパッキン４８は、ウレタンゴムなどの耐溶剤性を有する材料で形成されているので、スラリー９中で長時間使用されても、材料劣化を抑制できる。したがって、第１ゴムパッキン４８のシール寿命の延長化が更に図れる。
【００６４】
また、本実施形態では、第１ゴムパッキン４８の硬度は、ウレタンゴムなどのように比較的高い方が好ましい。これにより、第１ゴムパッキン４８の硬度を比較的高く設定しているので、上記押し当て荷重に対し硬度が比較的低いものに比べて第１ゴムパッキン４８の変形を小さく抑えられる。したがって、弁体２１の一端部２１ｂが押し当てられる部位で局部的に発生する応力集中を回避することが可能である。
【００６５】
また、本実施形態では、三方弁１において、第１ゴムパッキン４８とこれにシールする弁体２１の一端部２１ｂとを配置する部位を、高圧のスラリー９の流れを流通および遮断する部位で使用している。このように、高圧のスラリー９の流れを流通および遮断するために、弁体２１の一端部２１ｂを受圧部材に強く押し当てる場合であっても、そのスラリー流れの遮断時に、受圧部材に過剰な応力が加わるのを回避することができるので、受圧部材のシール寿命向上が図れる。
【００６６】
また、本実施形態では、三方弁１は、スラリー流れは、タンク２内の常圧のスラリー９を増圧ピストン３へ導くスラリー９の第１流れ（図１中の実線で示す矢印方向の流れ）と、増圧シリンダ３で増圧されたスラリー９を、逆止弁（図２参照）を経由してパーツバルブ５へ導くスラリー９の第２流れとを切換えるものであって、弁体２１は、略筒状体に形成され、スラリー９が流通可能なスラリー流路２３を内部に有するように構成されている。
【００６７】
さらに、弁体２１の一端部２１ｂには第１ゴムパッキン４８が配置され、弁体２１の他端部２１ａには第２ゴムパッキン３８が配置されているように構成されている。
【００６８】
このような構成により、比較的簡素な三方弁１の構造とすることができる。すなわち、筒状の弁体２１を軸方向に往復運動させるという簡単な弁体動作によって、一端部２１ｂ側に配置された第１ゴムパッキン４８と、他端部２１ｂ側に配置された第２ゴムパッキン３８に交互に弁体２１を押し当てて、上記第１流れおよび第２流れを切換えられる簡素な三方弁１を実現できる。
【００６９】
また、本実施形態では、流体研磨装置において、一つのワーク８を加工するために、二組の、第１三方弁１Ａおよび第１増圧シリンダ３と、第２三方弁１Ｂおよび第２シリンダを備えている。
【００７０】
これにより、例えば一方の組の、第１三方弁１Ａによってタンク２よりスラリー９を第１増圧シリンダ３へ供給している間、他方の組の、第２三方弁１Ｂによって第２増圧シリンダで増圧されたスラリー９をワーク８を供給することができる。
【００７１】
このような構成を有する流体研磨装置において、第１三方弁１Ａおよび第２三方弁１Ｂは、スラリー９流れ遮断のための、弁体２１を第１ゴムパッキン４８に押し当てる動作が、交互に行われるので、第１ゴムパッキン４８のシール寿命が大幅に改善される。
【００７２】
（他の実施形態）
（１）以上説明した本実施形態では、開閉弁装置の構造として、三方弁１の構造で説明したが、開閉弁装置の構造は、三方弁構造に限らず、スラリー流れを流通および遮断するための弁体と、この弁体が当接および離間可能な弾性材料からなる受圧部材とを有する弁装置の構造であれば、いずれの構造であってもよい。
【００７３】
（２）以上説明した本実施形態では、流体研磨装置において、三方弁１と増圧シリンダ３の組を、一つのワーク８を加工するために、二組を用意する構成で説明した。流体研磨装置は、三方弁１と増圧シリンダ３の組を二組を用意するものに限らず、一組で対応するものであってもよい。
【００７４】
このような流体研磨装置において、一組の三方弁１で、スラリー流れ遮断のための、弁体２１を第１ゴムパッキンなどの受圧部材４８に押し当てる動作を繰り返し行なう場合であっても、受圧部材４８のシール寿命向上が図れる。
【００７５】
さらに、一組の三方弁１で繰り返し行なうので、二組の三方弁１Ａ、１Ｂで交互に行なう場合に比べて、三方弁１およびこれに付随動作する増圧シリンダ３の稼動効率の向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の実施形態に係わる開閉弁装置を示す断面図である。
【図２】本発明の実施形態の流体研磨装置の一実施例の全体構成を示すブロック図である。
【図３】図１中のＩＩＩ部を拡大した本発明の要部を示す部分断面図である。
【図４】図３中の弁体と受圧部材の開閉動作を示す図であって、弁体と受圧部材が離間した開状態を示す部分断面図である。
【図５】従来技術の弁体と受圧部材周りの構造を示す部分断面図である。
【符号の説明】
【００７７】
１  三方弁（開閉弁装置）
１Ａ  第１三方弁（第１開閉弁装置）
１Ｂ  第２三方弁（第２開閉弁装置）
２  タンク（供給源）
３  増圧シリンダ（増圧装置）
４  逆止弁
５  パーツバルブ（遮断弁）
８  ワーク
１０  弁ハウジング
１１  スラリー導入口
１２  増圧シリンダ側開口
１３  パーツバルブ側開口
１４  常圧スラリー貯留室
１５  容積可変空間
１５ｂ、１５ｃ  第１容積可変空間、第２容積可変空間
１６、１７  高圧スラリー貯留室
２１  弁体
２１ａ  他端部
２１ｂ  一端部
２３  スラリー流路
２５、２６  当接部
３０  第２ホルダ
３８  第２ゴムパッキン
４０  第１ホルダ（弁座ホルダ）
４１  ホルダ外周部
４２  ホルダ円筒部
４３  ホルダ円錐部
４３ｄ  段差部
４５  パッキン押さえ部材（把持部材）
４８  第１ゴムパッキン（受圧部材）
４８ｂ  外周
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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