(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状のノズルプレート基材に対して、外形加工、ノズル孔加工を施した後にアクチュエータにノズルプレートを貼り付けるインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法であり、
前記ノズルプレート基材に対して第１のシートの貼り付けを行い、
前記第１のシートの貼付面上に第２のシートを貼り付け、
前記ノズルプレート基材側からノズルプレートの外形の切断を、前記ノズルプレート基材と前記第１のシートまで行ない、
前記第２のシートは一部切断して残し、前記ノズルプレートのノズル孔加工をレーザ光を照射して行い、
前記加工終了後、前記第２のシートのみを剥離し、前記第１のシートが貼り付いた状態のノズルプレートを得て、
前記ノズルプレートは前記第１のシートが貼られた状態で前記ノズルプレート基材側を前記アクチュエータに貼り付けることを特徴とするインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。
【請求項２】
前記第２のシートは紫外線照射等によって粘着力が低下する粘着剤付きシートであることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。
【請求項３】
前記ノズルプレートのノズル孔加工の際に、前記第１のシートを貫通しないようにすることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。
【請求項４】
前記ノズルプレートのノズル孔加工とは別に、貼付用位置決め孔加工を前記ノズル孔位置とは別に前記第１のシートを貫通させて行なうことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。
【請求項５】
前記ノズルプレート基材には、撥インク処理が施され、この撥インク処理面に前記第１のシートの貼り付けを行うことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドのノズルプレート組立方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
シート状のノズルプレート基材に対して、外形加工、ノズル孔加工を施した後にアクチュエータにノズルプレートを貼り付けてノズルプレートの組立を行なうが、ノズルプレート基材には撥インク処理が施されているから保護シートを貼って傷付けないようにして外形加工とノズル孔加工し、その後保護シートを剥がして、さらにノズル孔加工したノズルプレートをアクチュエータに貼り付け、このノズルプレートに再度保護シートを貼り付けている。インクジェットヘッドの検査を行なう時に、ノズルプレートの保護シートを剥がしている。
【０００３】
また、１枚のノズルプレート基材から複数のノズルプレートを作る加工において、先に行う外形加工ではノズルプレート基材だけの切断をして保種シートは切断をしない。そうすることで、次に行うノズル加工において連続的に並んでいるノズルプレートのノズル加工を効率的に行っているが、ノズルプレートの貼付工程のときは保護シートを剥離しないと複数連続に加工したノズルプレートがバラバラの状態にならない。
【０００４】
その後、ノズルプレートのアクチュエーターヘの貼付を行った後、再び表面の保護のために保護シートを貼り付けている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このようにノズルプレートに保護シートを貼ったり、剥がしたりすることが行なわれ、組立の作業性が悪いと共に、この組立の作業時にノズルプレートの表面を傷付ける虞がある。
【０００６】
また、ノズルプレートの外形加工の際に保護シートごと切断してしまうことも可能であるが、その後に行うノズル加工において、バラバラになったノズルプレートに対して１枚１枚位置合わせを行う必要がでてくるので極端に作業性が低下する問題がある。また、ノズル加工を先に行って外形加工を後に行うプロセスではノズル内部を汚す場合があり、品質を低下させる問題がある。
【０００７】
本発明は、これら問題を解決するもので、組立の作業時のノズルプレートの表面の傷付きを防止し、またノズル孔内へのゴミの進入を確実に防止し、またノズルプレートの貼付時の位置合わせが容易であることを課題としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、この発明は、以下のように構成した。
【０００９】
請求項１に記載の発明は、『シート状のノズルプレート基材に対して、外形加工、ノズル孔加工を施した後にアクチュエータにノズルプレートを貼り付けるインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法であり、
前記ノズルプレート基材に対して第１のシートの貼り付けを行い、
前記第１のシートの貼付面上に第２のシートを貼り付け、
前記ノズルプレート基材側からノズルプレートの外形の切断を、前記ノズルプレート基材と前記第１のシートまで行ない、
前記第２のシートは一部切断して残し、前記ノズルプレートのノズル孔加工をレーザ光を照射して行い、
前記加工終了後、前記第２のシートのみを剥離し、前記第１のシートが貼り付いた状態のノズルプレートを得て、
前記ノズルプレートは前記第１のシートが貼られた状態で前記ノズルプレート基材側を前記アクチュエータに貼り付けることを特徴とするインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。』である。
【００１０】
請求項１に記載の発明によれば、シート状のノズルプレート基材に対して、外形加工し、ノズル孔加工を行なう際には、第１のシートと第２のシートで保護され、ノズル孔加工を施した後は、第２のシートのみを剥離し、ノズルプレートは第１のシートが貼られた状態でノズルプレート基材側をアクチュエータに貼り付け、第１のシートで保護された状態でアクチュエータに貼り付けることで、組立の作業時のノズルプレートの表面の傷付きを防止し、またノズル孔内へのゴミの進入を確実に防止することができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、『前記第２のシートは紫外線照射等によって粘着力が低下する粘着剤付きシートであることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。』である。
【００１２】
請求項２に記載の発明によれば、第２のシートは紫外線照射等によって粘着力が低下する粘着剤付きシートであり、ノズル孔加工を施した後は、容易に剥離することができ作業性が向上する。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、『前記ノズルプレートのノズル孔加工の際に、前記第１のシートを貫通しないようにすることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。』である。
【００１４】
請求項３に記載の発明によれば、ノズルプレートのノズル孔加工の際に、第１のシートを貫通しないようにすることで、ノズル孔内へのゴミの進入を確実に防止することができる。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、『前記ノズルプレートのノズル孔加工とは別に、貼付用位置決め孔加工を前記ノズル孔位置とは別に前記第１のシートを貫通させて行なうことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。』である。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、ノズルプレートのノズル孔加工とは別に、貼付用位置決め孔加工をノズル孔位置とは別に第１のシートを貫通させて行なうことで、ノズルプレートの貼付時にカメラ等で貼付用位置決め孔を認識し、アクチュエータとの位置合わせが容易である。
【００１７】
また、第１のシートが不透明である場合などは、クチュエータの位置認識を行うために上から下を映し出すカメラ等の撮像手段とノズルプレートのノズル孔を認識するための下から上を覗くカメラ等の撮像手段の２つが必要となるが、第１のシートを貫通させた貼付用位置決め孔を設けることで、上から下方向を見るカメラ等の撮像手段のみで作業ができる。
【００１８】
請求項５に記載の発明は、『前記ノズルプレート基材には、撥インク処理が施され、この撥インク処理面に前記第１のシートの貼り付けを行うことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。』である。
【００１９】
請求項５に記載の発明によれば、ノズルプレート基材の撥インク処理面を第１のシートが保護でき、しかもノズル孔加工でノズル孔を精度よく開けることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法を、実施の形態を挙げて説明するが、この発明の態様はこれに限定されない。
【００２１】
本発明の第１の実施の形態のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法を図１及び図２を用いて説明する。図１はノズルプレートの加工を説明する図、図２はノズルプレートをアクチュエータに組み付ける状態を説明する図である。
【００２２】
シート状のノズルプレート基材に対して、外形加工、ノズル孔加工を施した後にアクチュエータにノズルプレートを貼り付けるインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法であり、撥インク処理を施したノズルプレート基材１に対して、撥インク処理面１ａに第１のシート２の貼り付けを行う（図１（ａ））。
【００２３】
ノズルプレート基材の材料には、ポリエステル、ポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルイミド、ポリアミド、アロマティックポリアミドといった樹脂シートが好ましく、撥水性のコーティングにはＰＴＦＥ，ＦＥＰ，ＰＦＡ，パーフルオロシクロポリマー等のフッ素樹脂が好ましい。
【００２４】
次に、第１のシート２の貼付面上に第２の保護シート３を貼り付け（図１（ｂ））、ノズルプレート基材１側からノズルプレート４の外形の切断５を、ノズルプレート基材１と第１のシート２まで行ない、第２のシート３は一部切断して残す（図１（ｃ））。
【００２５】
ノズルプレート４のノズル孔加工をレーザ光を照射して行う（図１（ｄ））。このノズルプレート４のノズル孔加工の際に、第１のシート２を貫通しないようにすることで、ノズル孔６内へのゴミの進入を確実に防止することができる。
【００２６】
ノズルプレート４のノズル孔加工に使用するレーザは、エキシマレーザ等の紫外線レーザが適している。
【００２７】
このノズル孔６の加工終了後、第２のシート３側から紫外線を照射する（図１（ｅ））。第２のシート３は紫外線照射等によって粘着力が低下する粘着剤３ａ付きシートであり、第２のシート３を剥離する時に、第２のシート３に紫外線等を照射することで粘着剤３ａの粘着力が低下し、ノズル孔加工を施した後は、容易に第２のシート３のみを剥離することができ作業性が向上する。
【００２８】
この第２のシート３側から紫外線を照射することで、第２のシート３のみを剥離し、第１のシート２が貼り付いた状態のノズルプレート４を得る（図１（ｆ））。
【００２９】
このようにして得られたノズルプレート４は、図２に示すように、第１のシート２が貼られた状態で、インク室１０ａを有するアクチュエータ１０に貼り付ける。
【００３０】
このように、シート状のノズルプレート基材１に対して、外形加工し、ノズル孔加工を行なう際には、第１のシート２と第２のシート３で保護され、ノズル孔加工を施した後は、第２のシート３のみを剥離し、第１のシート１で保護された状態でアクチュエータ１０に貼り付けることで、組立の作業時のノズルプレート４の表面の傷付きを防止し、またノズル孔６内へのゴミの進入を確実に防止することができる。
【００３１】
また、図１（ｄ）に示す工程で、ノズルプレート４のノズル孔加工とは別に、貼付用位置決め孔２０の加工をノズル孔位置とは別に第１のシート２を貫通させて行なう。
【００３２】
このノズルプレート４の貼付時に、図２に示すように、カメラ等の撮像手段３０で貼付用位置決め孔２０を認識し、この位置情報を制御手段３１に送り、制御手段３１では位置情報に基づいて移動手段３２を介してノズルプレート４を移動してアクチュエータ１０に組み付ける。
【００３３】
このように、ノズルプレート４のノズル孔加工とは別に、貼付用位置決め孔加工をノズル孔位置とは別に第１のシート２を貫通させて行なうことで、ノズルプレート４の貼付時にカメラ等で貼付用位置決め孔２０を認識し、アクチュエータ１０との位置合わせが容易である。
【００３４】
また、第１のシート２が不透明である場合などは、ノズルプレート４の貼付面側から位置認識を行う必要があり、この場合アクチュエータ１０の位置認識を行うために上から下を映し出すカメラ等の撮像手段とノズルプレート４のノズル孔を認識するための下から上を覗くカメラ等の撮像手段の２つが必要となるが、第１のシート２を貫通させた貼付用位置決め孔２０を設けることで、上から下方向を見るカメラ等の撮像手段３０のみで作業ができる。
【００３５】
【発明の効果】
前記したように、請求項１に記載の発明では、シート状のノズルプレート基材に対して、外形加工し、ノズル孔加工を行なう際には、第１のシートと第２のシートで保護され、ノズル孔加工を施した後は、第２のシートのみを剥離し、ノズルプレートは第１のシートが貼られた状態でノズルプレート基材側をアクチュエータに貼り付け、第１のシートで保護された状態でアクチュエータに貼り付けることで、組立の作業時のノズルプレートの表面の傷付きを防止し、またノズル孔内へのゴミの進入を確実に防止することができる。
【００３６】
請求項２に記載の発明では、第２のシートは紫外線照射等によって粘着力が低下する粘着剤付きシートであり、ノズル孔加工を施した後は、容易に剥離することができ作業性が向上する。
【００３７】
請求項３に記載の発明では、ノズルプレートのノズル孔加工の際に、第１のシートを貫通しないようにすることで、ノズル孔内へのゴミの進入を確実に防止することができる。
【００３８】
請求項４に記載の発明では、ノズルプレートのノズル孔加工とは別に、貼付用位置決め孔加工をノズル孔位置とは別に第１のシートを貫通させて行なうことで、ノズルプレートの貼付時にカメラ等で貼付用位置決め孔を認識し、アクチュエータとの位置合わせが容易である。
【００３９】
また、第１のシートが不透明である場合などは、クチュエータの位置認識を行うために上から下を映し出すカメラ等の撮像手段とノズルプレートのノズル孔を認識するための下から上を覗くカメラ等の撮像手段の２つが必要となるが、第１のシートを貫通させた貼付用位置決め孔を設けることで、上から下方向を見るカメラ等の撮像手段のみで作業ができる。
【００４０】
請求項５に記載の発明では、ノズルプレート基材の撥インク処理面を第１のシートが保護でき、しかもノズル孔加工でノズル孔を精度よく開けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ノズルプレートの加工を説明する図である。
【図２】ノズルプレートをアクチュエータに組み付ける状態を説明する図である。
【符号の説明】
１  ノズルプレート基材
２  第１のシート
３  第２のシート
４  ノズルプレート
１０  アクチュエータ
【図１】
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【図２】
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