(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電空間を形成するバルブ部と、
該バルブ部の両端に突出する封止管部と、
を持ち、
該バルブ部内には、一対の電極が対向配置されており、
該封止管部には、
該封止管部の外表面を覆うガラス製管状体と、
該ガラス製管状体内に配置され一方の端に該電極を保持する芯線と、
該芯線の他方の端に溶接された第１の金属板と、
該芯線が貫通し、該第１の金属板と対向するように配置された筒状体と、
該第１の金属板を挟んで該筒状体に対向するように配置された柱状体と、
該柱状体の側面に密着するように配置し、一方の端部が該第１の金属板に溶接された複数の金属箔と、
該金属箔の他端に溶接された第２の金属板と、該第２の金属板に接続され該封止管部から外部に導出した外部リード棒と、
が配置されているショートアーク型高圧放電ランプにおいて、
前記第１の金属板は、
中央部に穴部が設けられ、該穴部に該芯線の他方の端が挿入され、
該第１の金属板の、一方の面の該穴部の周方向、および、他方の面の該穴部の周方向の各々に沿って、該芯線と溶接された溶接部を持ち、
各々の溶接部の間であって、該穴部の内側と該芯線の外周との間に、タンタル（Ｔａ）、または、モリブデン（Ｍｏ）からなる導電性部材が配置され、該溶接部に挟み込まれた該導電性部材が該芯線と前記第１の金属板との双方に接触していることを特徴とするショートアーク型高圧放電ランプ。
【請求項２】
前記導電性部材は、箔状、または、線状の部材であることを特徴とする請求項１に記載のショートアーク型高圧放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ショートアーク型高圧放電ランプに関する。更に詳しくは、半導体や液晶等の製造時に用いられる紫外線光源であるショートアーク型の放電ランプや、映写機や舞台照明に用いられるキセノンランプ等、の封止部構造に特徴を持つショートアーク型高圧放電ランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から半導体や液晶等の製造工程では、紫外線光源として、ショートアーク型の放電ランプが多く用いられている。該ショートアーク型の放電ランプは、放電空間内部に水銀と希ガスを封入し、水銀からの発光を利用した紫外線光源である。一方、映写機や舞台照明等に用いられるキセノンランプは、放電空間内部にキセノンガスを高圧で封入し、キセノンからの発光を利用した可視光域に強い光を放射するショートアーク型の高圧放電ランプである。該ショートアーク型の放電ランプや、キセノンランプに代表される高圧放電ランプを以下、ショートアーク型高圧放電ランプと称する。
【０００３】
該ショートアーク型高圧放電ランプでは、希ガス等の封入された放電空間を気密に保つために、モリブデン（Ｍｏ）等から成る金属箔を用いた箔シール構造を採用した封止部が設けられている。また、該封止部には、電極に連接する芯線の一方の端に溶接された円盤状の金属板が設けられており、該金属板に前記金属箔が溶接されている。該金属板と該金属箔との間の溶接は、一般的に抵抗溶接法を用いて溶接している。しかし、該金属板と該芯線との溶接では、この材料の持つ熱容量が大きい等のために、抵抗溶接法による溶接では無く、これらの材料間にロウ材を介して接続する手法が採られている。特に、該ショートアーク型高圧放電ランプにおいては、高温に対する耐久性の観点から材料が選択されており、具体的には、タングステン（Ｗ）から成る該芯線とＭｏから成る該金属板との接続に、ロウ材として白金（Ｐｔ）を用いて溶接している。
【０００４】
しかし、該芯線と該金属板とをロウ材にＰｔを用いて溶接する場合、該芯線と該金属板との双方を該Ｐｔが溶融するまでの温度に加熱する必要がある。このため、金属板に仕様されているＭｏが熱により再結晶化し、機械的強度が低下し、該金属板が割れる等の不具合が発生していた。また、この傾向は、該ショートアーク型高圧放電ランプへの入力電力が高くなり、電極の形状が大型化するに伴って、顕著になってきた。
【０００５】
そこで、該芯線と該金属板との接続にロウ材としてＰｔを用いる方法に代えて、電子ビームやレーザ光照射により該芯線と該金属板とを局所的に溶融することで直接溶接する方法が開発された。このような技術としては、例えば、特開２００７−１１５４９８号公報が知られている。該公報によれば、該金属板の略中央部に形成された穴部に、該芯線の一方の端を挿入し、該芯線と該金属板の一方の面とに、例えば、レーザ光を照射し、溶接している。以下、図６に、このような従来のショートアーク型高圧放電ランプの構成を表す概略断面図を示す。
【０００６】
図６−ａ）は、従来のショートアーク型高圧放電ランプ１００の概略断面図であって、放電空間を形成するバルブ部１０１と、該バルブ部１０１の両端に突出する封止管部１０２と、該バルブ部１０１の内部に対向配置された一対の電極である陽極１０３、陰極１０４と、から構成されている。また、該封止管部１０２は、一方の端に該陽極１０３または該陰極１０４を保持した芯線１０５、該芯線１０５に溶接された金属板１０６、該芯線１０５が貫通し該金属板１０６に略当接するように配置された石英ガラス製の筒状体１０７、該筒状体１０７と該金属板１０６を挟んで対向するように配置された石英ガラス製の柱状体１０８、該柱状体１０８の側面に密着配置され該金属板１０６に溶接されたＭｏ製の金属箔１０９、該金属箔１０９の他端を溶接した第２の金属板１１０、該第２の金属板１１０に接続され該封止管部１０２から外部に導出された外部リード棒１１１、該外部リード棒１１１が貫通する外部リード保持用筒体１１２、該柱状体１０８の側面に密着配置された該金属箔１０９を該柱状体１０８と挟み込み封着するガラス製管状体１０２ａと、から構成されている。
【０００７】
また、図６−ｂ）に示したのは、該芯線１０５と該金属板１０６との溶接部を拡大した説明用拡大図である。同図には、該芯線１０５の外周に配置された該金属板１０６が、溶接部１１４、１１５によって該芯線１０５に溶接された様子を示している。ここで、該金属板１０６は、円盤状であり、その略中央部に円形の穴部１１３が設けられている。該穴部１１３には、該芯線１０５の一方の端が挿入され、該金属板１０６の一方の面側から、例えば、レーザ光を照射し、該芯線１０５と該金属板１０６とが該穴部１１３の周方向に沿って溶接される。このレーザ光の照射によって、該芯線１０５と該金属板１０６の一部が溶融し接合された溶接部１１４、１１５を形成している。また、このように該金属板１０６の両面に該溶接部１１４、１１５を形成する場合、該金属板１０６の厚みによっては、該芯線１０５と該金属板１０６との間に溶融されない部分が発生し、この溶融されない部分が微小空間１１８を形成している。
【０００８】
ところで、該ショートアーク型高圧放電ランプ１００に対しては、市場からは更なる高出力化が望まれている。これらの要求に応えるために、該ショートアーク型高圧放電ランプ１００への入力電力は高くなり、電極形状も更に大型化してきた。これに伴い、該ショートアーク型放電ランプ１００の該芯線１０５と該金属板１０６との溶接部１１４、１１５に、ランプ輸送時の振動等に伴うストレスが加わり、該溶接部１１４、１１５にクラックが生じるといった現象が発生した。該クラックの発生によって、ランプ点灯時に該溶接部１１４、１１５の電気抵抗が高くなる。このように電気抵抗が高くなった該溶接部１１４、１１５に、高い電流を流すことで、該溶接部１１４、１１５が局所的に発熱し、異常加熱された該溶接部１１４、１１５自身が再度溶融して、該金属板１０６から該芯線１０５が欠落するという問題が発生した。また、該溶接部１１４、１１５周辺も加熱され、更に電気抵抗が高くなるといった悪循環を繰り返すことで、投入電力が熱として消費されることになる。これにより、例えば、該ショートアーク型高圧放電ランプ１００への入力電力を定電力制御とすれば、発光に寄与する電力が、熱として消費される電力分だけ低下し、結果として、同じ入力電力で点灯してもランプ照度が低下する、といった問題が発生する。
【特許文献１】特開２００７−１１５４９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
このような問題を鑑み、この発明が解決しようとする課題は、ショートアーク型高圧放電ランプにおいて、一方の端に電極を保持する芯線と該芯線の他端に設けられた金属板とをレーザ光等により溶接する場合に、該溶接部にクラックが生じても、点灯中に該溶接部の電気抵抗が高くなり、局所的に発熱することがなく、該金属板から該芯線が欠落することが無いショートアーク型高圧放電ランプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明のショートアーク型高圧放電ランプは、放電空間を形成するバルブ部と、該バルブ部の両端に突出する封止管部と、を持ち、該バルブ部内には、一対の電極が対向配置されており、該封止管部には、該封止管部の外表面を覆うガラス製管状体と、該ガラス製管状体内に配置され一方の端に該電極を保持する芯線と、該芯線の他方の端に溶接された第１の金属板と、該芯線が貫通し、該第１の金属板と対向するように配置された筒状体と、該第１の金属板を挟んで該筒状体に対向するように配置された柱状体と、該柱状体の側面に密着するように配置し、一方の端部が該第１の金属板に溶接された複数の金属箔と、該金属箔の他端に溶接された第２の金属板と、該第２の金属板に接続され該封止管部から外部に導出した外部リード棒と、が配置されているショートアーク型高圧放電ランプにおいて、前記第１の金属板は、中央部に穴部が設けられ、該穴部に該芯線の他方の端が挿入され、該第１の金属板の、一方の面の該穴部の周方向、および、他方の面の該穴部の周方向の各々に沿って、該芯線と溶接された溶接部を持ち、各々の溶接部の間であって、該穴部の内側と該芯線の外周との間に、タンタル（Ｔａ）、または、モリブデン（Ｍｏ）からなる導電性部材が配置され、該溶接部に挟み込まれた該導電性部材が該芯線と前記第１の金属板との双方に接触していることを特徴とする。更には、同構成に加えて前記導電性部材は、箔状、または、線状の部材であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のショートアーク型高圧放電ランプは、該芯線と該第１の金属板との溶接部分に、運搬時の振動等によって、クラックが発生しても、該第１の金属板に設けられた穴部の内側と該芯線の外周との間に、Ｔａ、または、Ｍｏからなる導電性部材が配置されているので、該第１の金属板と該芯線との双方に該導電性部材が同時に接触しているので、該溶接部分の電気抵抗が高くなること無く、一定レベルの抵抗値に保つことができる。結果として、該溶接部が局所的に発熱することによる該第１の金属板からの該芯線の脱落や、異常な発熱による電力消費にともなうランプ照度の低下といった不具合の発生が抑制される。更には、該導電性部材が箔状、または、線状の部材であるので、容易に変形でき、取り扱いが簡便であると共に、該部材自身が容易に塑性変形し、該芯線と該金属板との接触性を向上できる、といった利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明のショートアーク型高圧放電ランプは、放電空間を形成するバルブ部の両端に突出する封止管部に配置された芯線と第１の金属板との溶接部にクラックが発生しても、該溶接部の抵抗値が上昇すること無く、一定レベルの抵抗値に保つことが出来るように、該第１の金属板の中心部に形成された穴部の内側と、該芯線の外周面との間に、Ｔａ、または、Ｍｏから成る導電性部材が該芯線と該第１の金属板との双方に接触するように配置したものである。このような配置とすることにより、該溶接部の抵抗値が一定レベル以上に上昇することが無く、結果として、該溶接部が局所的に加熱されず、該第１の金属板からの該芯線の脱落や、ランプ照度の劣化等の不具合が抑制できる、といった効果がある。
【実施例１】
【００１３】
図１に本発明の第１の実施例を示す。図１−ａ）は、本発明のショートアーク型高圧放電ランプの略断面図を表したものである。該ショートアーク型高圧放電ランプ１は、放電空間を形成するバルブ部１１と、該バルブ部１１の両端に突出する封止管部１２と、該バルブ部１１の内部に対向配置された一対の電極である陽極１３、陰極１４、とから構成されている。また、該封止管部１２は、一方の端に該陽極１３または該陰極１４を保持した芯線１５、該芯線１５に溶接された第１の金属板１６、該芯線１５が貫通し該第１の金属板１６に略当接するように配置された石英ガラス製の筒状体１７、該筒状体１７と該第１の金属板１６を挟んで対向するように配置された石英ガラス製の柱状体１８、該柱状体１８の側面に密着配置され該第１の金属板１６に溶接されたＭｏ製の金属箔１９、該金属箔１９の他端を溶接した第２の金属板２０、該第２の金属板２０に接続され該封止管部１２から外部に導出された外部リード棒２１、該外部リード棒２１が貫通する外部リード保持用筒体２２、該柱状体１８の側面に密着配置された該金属箔１９を該柱状体１８と挟み込み封着するガラス製管状体１２ａと、から構成されている。
【００１４】
次に、図１−ｂ）には、図１−ａ）に示した該ショートアーク型高圧放電ランプ１の該芯線１５と該第１の金属板１６との溶接部を拡大した説明用拡大図を示す。該芯線１５の外周に配置された該第１の金属板１６が、溶接部２４、２５によって該芯線１５に溶接されている。ここで、該第１の金属板１６は、円盤状であり、その略中央部に円形の穴部２３が設けられている。該穴部２３には、該芯線１５の一方の端が挿入され、該第１の金属板１６の一方の面側から、例えば、レーザ光を照射し、該芯線１５と該第１の金属板１６とが該穴部２３の周方向に沿って溶接される。このレーザ光の照射によって、該芯線１５と該第１の金属板１６の一部が溶融し接合された溶接部２４、２５を形成している。また、該芯線１５の外周面と該第１の金属板１６の該穴部２３の内面の間であって、該溶接部２４、２５で囲まれる部分には、金属箔２６が該芯線１５と該第１の金属板１６の双方に接触するように配置されている。これにより、該溶接部２４、２５にクラック等が生じても、該金属箔２６によって、該芯線１５と該第１の金属板１６とが電気的に接続され、一定レベルの抵抗値を保つことができるといった利点がある。結果として、該溶接部２４、２５が局所的に発熱することによる該第１の金属板１６からの該芯線１５の脱落や、異常な発熱による電力消費にともなうランプ照度の低下といった不具合の発生が抑制される。
【００１５】
尚、本実施例では、該芯線１５を該第１の金属板１６に挿入した一方の面とは反対側に位置する他方の面側に該芯線１５の端部が突出する場合を示したが、その形態は、種々の形態を採ることができる。例えば、該芯線１５の端部が該他方の面側から突出せず同じ面とすることもできる。また、該第１の金属板１６に挿入する側の該芯線１５の径が細く、該第１の金属板１６の一方の面側に続く側は太くなる段形状を採ることもできる。
【００１６】
次に、図２は、本発明の第１の実施例に示した該芯線１５と該第１の金属板１６とを接合している部分の作製方法の一例を示したものである。図２のａ）からｆ）までが、作製時の各工程を示している。ａ）は、該芯線１５であって、その先端にはテーパー状部３１が設けられている。ｂ）は、該芯線１５の外周を覆う為の金属箔３２である。該金属箔３２は、例えば、厚み５０μｍ、幅１０ｍｍ、長さ２２ｍｍとなるようにＭｏ製金属箔を切断したものである。ｃ）が示しているのは、該芯線１５のテーパー状部３１に該金属箔３２を巻き付けた状態のものを該第１の金属板１６に設けられた穴部２３に挿入する前の状態である。ｄ）は、該芯線１５を該第１の金属板１６に挿入した後の状態を示す図である。この段階では、該金属箔３２は、該第１の金属板１６の一方の面３３、および、他方の面３４の各々の側に、はみ出した部分３５がある。ｅ）は、該第１の金属板１６に設けられた穴部２３の周方向に沿って、レーザ光を照射し、溶接している状態を示している。ｆ）は、該芯線１５と該第１の金属板１６とがレーザ光により溶接された完成品を示している。このような手順により、図１−ｂ）に示した該芯線１５の外周面と該第１の金属板１６の該穴部２３の間であって、該溶接部２４、２５に囲まれる領域にＭｏから成る金属箔２６の少なくとも一部が該芯線１５と該第１の金属板１６の双方に接触するように接続される。尚、該はみ出した部分３５は、レーザ光照射後に脱落、または、該はみ出した部分３５全体が溶融し、溶接部２４、２５の一部になっている。
【００１７】
図３には、本発明の第１の実施例における効果確認実験の方法について示す。本発明の第１の実施例に示した該溶接部２４、２５に振動を加えるために、擬似的に図３−ａ）に示す試料台４０を用いた。すなわち、該芯線１５の先端に電極、例えば該陽極１３を保持し、他端には該第１の金属板１６を溶接した擬似試験サンプル４１を作製する。該擬似試験サンプル４１の該第１の金属板１６を囲むような金属製の試料台４０に該芯線１５を差し込み保持し、固定する。ここで、４４は、石英ガラス製の筒状体であり、該芯線１５が挿通されている。この試料台４０を振動試験機４０ａにセットして、加速度０．５Ｇ、振動周波数１０〜４０Ｈｚで振動試験を１時間行なった。尚、該擬似試験サンプル４１としては、芯線の長さ１００ｍｍ、芯線径約φ８ｍｍ、先端に保持した電極は外径φ３８ｍｍ、長さ４５ｍｍの電極（重さ約３００ｇ）を用いた。
【００１８】
次に、この振動試験後の該擬似試験サンプル４１を図３−ｂ）に示す抵抗測定装置４２にて電気抵抗を測定し、該振動試験前の抵抗値と比較した。該抵抗測定装置４２としては、該擬似試験サンプル４１の芯線部１５を保持部品４３で保持し、石英ガラス製の筒状体４４を挟んで、該第１の金属板１６の外周部を第２の保持部品４５で保持する。保持部品４３と第２の保持部品４５との間には、シャント抵抗４６を挟んで最大出力１００Ａの定電流電源４７が接続されている。また、該シャント抵抗４６の間には電圧計４８が並列接続されている。この回路により、定電流電源４７から該芯線１５に電流を流し、該第１の金属板１６と該芯線１５とで消費される電圧を測定する。また、別系統の回路として、該第１の金属板１６の外周と該芯線１５の端部との間にテスター４９を入れた直列回路を組み抵抗値を測定する。
【００１９】
試験用には、該擬似試験サンプル４１と従来の形態である比較用サンプルを準備した。両サンプル共、芯線径は約φ８ｍｍ、該第１の金属板の厚みは２ｍｍのものを用いた。レーザ光照射により溶接した部分の溶接強度は両サンプル共５０００Ｎであった。該擬似試験サンプル４１の振動試験前の電気抵抗値は０．０２ミリオーム（ｍΩ）であり、該振動試験後（１時間振動後）の電気抵抗には、変化が見られず、０．０２ｍΩであった。同擬似試験サンプル４１を更に振動試験（更に４９時間振動後）にかけた後に同じ方法で電気抵抗を測定したが、電気抵抗値は振動試験前と変わらず、０．０２ｍΩであった。一方、比較サンプル５０として、該芯線１５と該第１の金属板１６との間に金属箔等の導電性部材を介在しないサンプル（従来品）で振動試験前後の電気抵抗値を測定した。同比較サンプル５０でも、振動試験前の電気抵抗値は０．０２ｍΩであった。しかし、該振動試験後（１時間振動後）の電気抵抗値は２ｍΩと上昇していた。また、該擬似試験サンプル４１、該比較サンプル５０共に、該溶接部近傍には振動試験によりクラックが発生していた。
【００２０】
図４は、本発明における該金属箔２６が挟み込まれた該芯線１５と該第１の金属板１６のテーパー状部３１の種々の形状をａ）〜ｄ）までに示している。各々の図は、点線の右側が溶接前の形態を示しており、点線の左側が溶接後の形態を表している。ａ）は、該芯線１５にテーパー状部３１が設けられている例である。これにより、該芯線１５と該第１の金属板１６との間であって、溶接部２４、２５に挟み込まれた該金属箔２６が確実に該芯線１５と該第１の金属板１６との双方に接触することができるという利点が発生する。ｂ）は、該第１の金属板１６側に該テーパー状部３１が設けられている。これにより、該芯線１５と該第１の金属板１６との間であって、溶接部２４、２５に挟み込まれた該金属箔２６が確実に該芯線１５と該第１の金属板１６との双方に接触するといった利点に加えて、該第１の金属板１６に設けられた穴部２３の加工時に該テーパー状部３１を形成できるので余分な工程が必要ないという利点も有る。ｃ）は、該芯線１５、および、該第１の金属板１６の双方にテーパー状部３１が設けられた例である。これにより、該芯線１５と該第１の金属板１６との間であって、溶接部２４、２５に挟み込まれた該金属箔２６が確実に該芯線１５と該第１の金属板１６との双方に接触するといった利点に加えて、接触面積を広く確保でき、電気抵抗をより低く保つことができるといった利点が発生する。ｄ）は、該芯線１５、該第１の金属板１６の双方ともにテーパー状部３１を設けていない例である。このような場合でも、挟み込む金属箔２６の厚みや枚数を調整することにより、十分な電気抵抗を確保することができる。尚、ａ）〜ｃ）までと同様に図ｄ）中では、１５は該芯線、１６は該第１の金属箔、２４、２５は該溶接部、２６は該金属箔を示している。
【００２１】
図５には、本発明におけるその他の実施例として、図１−ｂ）に示した該芯線１５と該第１の金属板１６との間に挟み込む該金属箔２６の形状を示す。図５−ａ）は、該芯線１５と該第１の金属板１６の該穴部２３内面と該溶接部２４、２５とによって囲まれる部分の一部に該金属箔５１が設けられ、微小空間５２が残存している場合である。このような場合であっても、該金属箔５１の一部が該芯線１５と該第１の金属板１６との双方に接触していれば、一定レベルの抵抗値を確保でき、該溶接部２４、２５が異常発熱する等の不具合が回避できる。図５−ｂ）は該金属箔５１の代わりにＭｏやＴａからなる金属線５３を該芯線１５に巻き付けた場合を示している。この場合でも、該金属線５３の少なくとも一部が該芯線１５と該第１の金属板１６との双方に接触していれば、金属箔５１の場合と同様の効果を得ることができる。図５−ｃ）に示すのは、該芯線１５の軸方向に直交する面から見た断面図である。該芯線１５に対して、該金属箔５１が該芯線１５の外周全体を覆うのでは無く、略Ｃ字形状に配置されており、該芯線１５と該第１の金属板１６との間に微小空間５２が形成されている。このような略Ｃ字形状に該金属箔５１を配置し、微小空間５２が形成された場合であっても、該金属箔５１が該芯線１５と該第１の金属板１６との双方に接触していれば、一定レベルの抵抗値を確保でき、溶接部が異常発熱する等の不具合を回避できる、といった利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】この発明のショートアーク型高圧放電ランプの概略を示す断面図。
【図２】この発明の芯線と金属板との間に金属箔を挟み込む作製手順を示す説明図。
【図３】この発明の効果を確認する実験方法を説明する説明図。
【図４】この発明の芯線と金属板との溶接部の形態を示す拡大断面図。
【図５】その他の実施例における芯線と金属板との溶接部の形態を示す拡大断面図。
【図６】従来のショートアーク型高圧放電ランプの概略を示す断面図。
【符号の説明】
【００２３】
１      ショートアーク型高圧放電ランプ
１１    バルブ部
１２    封止管部
１２ａ  ガラス製管状体
１３    陽極
１４    陰極
１５    芯線
１６    第１の金属板
１７    筒状体
１８    柱状体
１９    金属箔
２０    第２の金属板
２１    外部リード棒
２２    外部リード保持用筒体
２３    穴部
２４    溶接部
２５    溶接部
２６    金属箔
３１    テーパー状部
３２    金属箔
３３    一方の面
３４    他方の面
３５    はみ出した部分
４０    試料台
４０ａ  振動試験機
４１    擬似試験サンプル
４２    抵抗測定装置
４３    保持部品
４４    筒状体
４５    第２の保持部品
４６    シャント抵抗
４７    定電流電源
４８    電圧計
４９    テスター
５０    比較サンプル
５１    金属箔
５２    微小空間
５３    金属線
１００  ショートアーク型高圧放電ランプ
１０１  バルブ部
１０２  封止管部
１０２ａ  ガラス製管状体
１０３  陽極
１０４  陰極
１０５  芯線
１０６  金属板
１０７  筒状体
１０８  柱状体
１０９  金属箔
１１０  第２の金属板
１１１  外部リード棒
１１２  外部リード保持用筒体
１１３  穴部
１１４  溶接部
１１５  溶接部
１１６  一方の面
１１７  他方の面
１１８  微小空間
【図１】
0004548496.tif 000002
【図２】
0004548496.tif 000003
【図３】
0004548496.tif 000004
【図４】
0004548496.tif 000005
【図５】
0004548496.tif 000006
【図６】
0004548496.tif 000007