(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のコンポーネント部品を取り付けられるマニホールドブロックにおいて、
継手と第１連通流路とに連通する弁室形成部を備え、前記コンポーネント部品を取り付けられたときに前記弁室形成部と前記コンポーネント部品との間に弁室を形成するものであって、
前記第１連通流路が前記弁室形成部に開口する開口部の周りに、弁座が設けられた樹脂製の第１マニホールドブロックと、
前記第１マニホールドブロックに接触する面に、前記第１連通流路に連通する第２連通流路が複数形成され、各第２連通流路に接続する共通流路を形成された樹脂製の第２マニホールドブロックとを備え、
前記第１マニホールドブロックは、前記弁室形成部が開口する第１の面と前記第２マニホールドブロックに接触する第２の面が正方形状をなす直方体形状に成形したものであって、前記第１の面と前記第２の面に垂直に接続する外側面の１つ以上に前記継手が設けられており、
前記第１マニホールドブロックは、前記第１連通流路の、前記第２マニホールドブロックに接触する面の開口部の周りに第１凸凹条が設けられた第１シール溝が形成され、
前記第２マニホールドブロックは、前記第２連通流路の開口部の周りに第２凸凹条が設けられた第２シール溝が形成され、
前記第１シール溝と前記第２シール溝との間に配置され、前記第１連通流路と前記第２連通流路の接続部分をシールし、前記第１凸凹条に嵌合する第１凹凸条と、前記第２凸凹条に嵌合する第２凹凸条を設けており、前記第１凸凹条又は前記第１凹凸条の少なくとも一方が、肉厚方向に設けられた圧入代を有するとともに、前記第２凸凹条と前記第２凹凸条の少なくとも一方が、肉厚方向に設けられた圧入代を有するシール部材と、
前記第１マニホールドブロックと前記第２マニホールドブロックの互いに接触する面に取り付けられる雌ねじ部材と、
前記コンポーネント部品から前記第１マニホールドブロックに挿通されて前記雌ねじ部材の一端開口部に挿入して締結される第１締結部材と、
前記第２マニホールドブロックに挿通されて前記雌ねじ部材の他端開口部に挿入して締結される第２締結部材と、
を有することを特徴とするマニホールドブロック。
【請求項２】
請求項１に記載するマニホールドブロックにおいて、
前記第２締結部材を前記雌ねじ部材に締結する際に、前記雌ねじ部材の供回りを防止する回転防止機構を有することを特徴とするマニホールドブロック。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載するマニホールドブロックにおいて、
前記第２マニホールドブロックは、前記第１マニホールドブロックに接触する面と反対側に前記第２締結部材を挿入するためのザグリが設けられるとともに、前記第１マニホールドブロックに接触する面に対して垂直な面から前記ザグリに連通するように挿入孔が設けられ、
前記挿入孔に装填され、前記ザグリに挿入された前記第２締結部材を貫通させるための貫通孔が形成された座金部材を有すること、を特徴とするマニホールドブロック。
【請求項４】
請求項１に記載するマニホールドブロックにおいて、
前記雌ねじ部材は、前記第１マニホールドブロックの前記第２マニホールドブロックに接触する面に開設された第１装着孔と、前記第２マニホールドブロックの前記第１マニホールドブロックに接触する面に開設された第２装着孔とに両端部を挿入されていることを特徴とするマニホールドブロック。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４の何れか１つに記載するマニホールドブロックにおいて、
前記第２マニホールドブロックに接触する面が、前記第１マニホールドブロックが前記第２マニホールドブロックに接触する面と同一形状であるブロック体であって、前記第２連通流路に連通する継手を備える継手ブロックを有することを特徴とするマニホールドブロック。
【請求項６】
請求項５に記載するマニホールドブロックにおいて、
前記継手ブロックが、
前記第２連通流路に連通する継手部と、前記継手部を前記第２マニホールドブロックに取り付ける本体部とを分離可能に設けられ、
前記継手部が前記本体部に対して回転することを防止する回転止め機構を有することを特徴とするマニホールドブロック。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６の何れか１つに記載するマニホールドブロックにおいて、
前記第２マニホールドブロックの前記第１マニホールドブロックに接触する面と反対側の面に取り付けられる取付板と、
前記第２マニホールドブロックと前記取付板との間に配設され、前記第２マニホールドブロックを前記第１マニホールドブロックに押し付ける弾性部材と、を有することを特徴とするマニホールドブロック。
【請求項８】
複数のコンポーネント部品を取り付けられるマニホールドブロックにおいて、
継手と第１連通流路とに連通する弁室形成部を備え、前記コンポーネント部品を取り付
けられたときに前記弁室形成部と前記コンポーネント部品との間に弁室を形成するものであって、
前記第１連通流路が前記弁室形成部に開口する開口部の周りに、弁座が設けられた第１マニホールドブロックと、
前記第１マニホールドブロックに接触する面に、前記第１連通流路に連通する第２連通流路が複数形成され、各第２連通流路に接続する共通流路を形成された第２マニホールドブロックとを備え、
前記コンポーネント部品から前記第１マニホールドブロックを貫いて前記第２マニホールドブロックに締結される締結部材と、
前記第２マニホールドブロックの前記第１マニホールドブロックに接触する面と、前記共通流路との間に配設され、前記締結部材を締結するためのネジ孔が設けられたナット部材とを有し、
前記マニホールドブロックの第１マニホールドブロックに接触する面に対して垂直な面から前記ナット部材を挿入し、前記締結部材を前記ネジ孔に締結すること、
を特徴とするマニホールドブロック。
【請求項９】
請求項８に記載するマニホールドブロックにおいて、
前記第１マニホールドブロックは、前記第１連通流路の、前記第２マニホールドブロックに接触する面の開口部の周りに第１凸凹条が設けられた第１シール溝が形成され、
前記第２マニホールドブロックは、前記第２連通流路の開口部の周りに第２凸凹条が設けられた第２シール溝が形成され、
前記第１シール溝と前記第２シール溝との間に配置され、前記第１連通流路と前記第２連通流路の接続部分をシールし、前記第１凸凹条に嵌合する第１凹凸条と、前記第２凸凹条に嵌合する第２凹凸条を設けており、前記第１凸凹条又は前記第１凹凸条の少なくとも一方が、肉厚方向に設けられた圧入代を有するとともに、前記第２凸凹条と前記第２凹凸条の少なくとも一方が、肉厚方向に設けられた圧入代を有するシール部材と、を有すること、
を特徴とするマニホールドブロック。
【請求項１０】
請求項８又は請求項９に記載するマニホールドブロックにおいて、
前記第１マニホールドブロックは、前記弁室形成部が開口する第１の面と前記第２マニホールドブロックに接触する第２の面が正方形状をなす直方体形状に樹脂を成形したものであって、前記第１の面と前記第２の面に垂直に接続する外側面の１つ以上に前記継手が設けられていることを特徴とするマニホールドブロック。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０の何れか１つに記載するマニホールドブロックに、バルブを搭載したことを特徴とするバルブユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンポーネント部品を取り付けられるマニホールドブロック及びそれを用いたバルブユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体産業におけるスラリーラインや各種化学薬液ラインでは、スラリーの入った薬液、酸系薬液、アルカリ系薬液、洗剤溶液などの流体を一次側流路から分岐して二次側流路に供給したり、二次側流路から入力して合流することが行われている。流路切替を制御する複数の薬液弁を配管で接続すると、配管スペースが大きくなる問題があるので、薬液弁などのコンポーネント部品をマニホールドブロックに取り付けるバルブユニットが流路の分岐／合流位置に設けられる。
【０００３】
図２４は、従来のバルブユニット１００の外観斜視図である。図２５は、図２４に示すバルブユニットの平面図である。
バルブユニット１００は、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃがマニホールドブロック１１１の上面に取り付けられ、取付プレート１１７を介して半導体製造装置に取り付けられる。マニホールドブロック１１１には、継手１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃ，１１２Ｄが一体成形され、各々違う向きに設けられている。
【０００４】
図２６は、図２５に示すバルブユニット１００のＥ−Ｅ断面図である。図２７は、図２６に示すバルブユニットのＦ−Ｆ断面図である。図２８は、図２６に示すバルブユニットのＧ−Ｇ断面図である。
まず、バルブユニット１００が使用するマニホールドブロックについて説明する。マニホールドブロック１１１の上面には、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃをダイアフラム弁体１０２Ａ，１０２Ｂ，１０２Ｃを介して取り付けるための取付孔１１３Ａ，１１３Ｂ，１１３Ｃが形成され、継手１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃにそれぞれ連通している。マニホールドブロック１１１は、取付孔１１３Ａ，１１３Ｂ，１１３Ｃと同軸上に連通流路１１４Ａ，１１４Ｂ，１１４Ｃが穿設され、連通流路１１４Ａ，１１４Ｂ，１１４Ｃが取付孔１１３Ａ，１１３Ｂ，１１３Ｃの内壁に開口する開口部の周りに弁座１１５Ａ，１１５Ｂ，１１５Ｃが設けられている。マニホールドブロック１１１は、継手１１２Ｄから水平方向に共通流路１１６が穿設され、連通流路１１４Ａ，１１４Ｂ，１１４Ｃにそれぞれ連通している。
【０００５】
次に、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃについて説明する。
薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃは、エアオペレイト式のダイアフラム弁である。薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃは、ダイアフラム弁体１０２Ａ，１０２Ｂ，１０２Ｃがシリンダ１０３Ａ，１０３Ｂ，１０３Ｃとマニホールドブロック１１１との間で外縁部を狭持されている。シリンダ１０３Ａ，１０３Ｂ，１０３Ｃは、カバー１０４Ａ，１０４Ｂ，１０４Ｃを被せられ、カバー１０４Ａ，１０４，１０４Ｃとの間にピストン室１０５Ａ，１０５Ｂ，１０５Ｃを形成する。ピストン室１０５Ａ，１０５Ｂ，１０５Ｃには、ピストン１０６Ａ，１０６Ｂ，１０６Ｃが摺動自在に装填され、ピストン１０６Ａ，１０６Ｂ，１０６Ｃの下端部がシリンダ１０３Ａ，１０３Ｂ，１０３Ｃを貫いてマニホールドブロック１１１の取付孔１１３Ａ，１１３Ｂ，１１３Ｃ内へ突きだし、ダイアフラム弁体１０２Ａ，１０２Ｂ，１０２Ｃに連結する。
【０００６】
ピストン室１０５Ａ，１０５Ｂ，１０５Ｃは、ピストン１０６Ａ，１０６Ｂ，１０６Ｃにより上室と下室に気密に区画され、上室と下室にそれぞれパイロットポート１０７Ａ，１０７Ｂ，１０７Ｃと１０８Ａ，１０８Ｂ，１０８Ｃが連通する。従って、バルブユニット１００は、ピストン室１０５Ａ，１０５Ｂ，１０５Ｃの上室と下室の圧力バランスを調整すれば、ピストン１０６Ａ，１０６Ｂ，１０６Ｃを上下方向へ移動させて、ダイアフラム弁体１０２を弁座１１５Ａ，１１５Ｂ，１１５Ｃに当接又は離間させることができる。
なお、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃやマニホールドブロック１１１などは、外観及び接液部は全て樹脂で形成され、耐腐食性を確保する。
【０００７】
このようなバルブユニット１００は、図２７に示すように、取付プレート１１７Ａ，１１７Ｂ，１１７Ｃ上にマニホールドブロック１１１を設置し、さらに、マニホールドブロック１１１の上面に薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃを設置し、上方から薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃにそれぞれ貫き通したボルト１１８を、マニホールドブロック１１１に挿通し、先端部を取付プレート１１７Ａ，１１７Ｂ，１１７Ｃに締結することにより組み立てられる（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３、特許文献４、特許文献５参照）。
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−４１５１号公報
【特許文献２】特開２００３−２１２４８号公報
【特許文献３】特開２００３−１７２４６６号公報
【特許文献４】特開２００３−１８５０３９号公報
【特許文献５】特開２００４−３１６６６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来のバルブユニット１００には以下の問題があった。
（１）例えばスラリーの入った薬液をバルブユニット１００に流す場合、薬液が弁座１１５Ａ，１１５Ｂ，１１５Ｃやダイアフラム弁体１０２Ａ，１０２Ｂ，１０２Ｃに付着して凝結することがある。この場合、凝結箇所から流体漏れが生じるおそれがあるため、弁座１１５Ａ，１１５Ｂ，１１５Ｃやダイアフラム弁体１０２Ａ，１０２Ｂ，１０２Ｃを交換する必要がある。従来のバルブユニット１００は、１個のマニホールドブロック１１１に弁座１１５Ａ，１１５Ｂ，１１５Ｃを一体的に設けるため、たとえ、弁座１１５Ａにのみ薬液が凝結した場合でも、マニホールドブロック１１１をまるごと交換しなければならず、メンテナンス費用がかかっていた。
（２）また、半導体製造装置の流路構成は、周辺装置の設置状況などによって現場毎に異なる。従来のバルブユニット１００は、マニホールドブロック１１１に対して継手１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃ，１１２Ｄの位置が一義的に決められているため、各種流路構成に臨機応変に対応することができない。そのため、継手１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃの向きが異なるマニホールドブロック１１１をストックしなければならず、維持管理にコストがかかっていた。
【００１０】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、少ない部品数で種々の流路構成に対応できる安価なマニホールドブロック及びそれを用いたバルブユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明に係るマニホールドブロックは、以下の構成を有する。
（１）複数のコンポーネント部品を取り付けられるマニホールドブロックにおいて、継手と第１連通流路とに連通する弁室形成部を備え、前記コンポーネント部品を取り付けられたときに前記弁室形成部と前記コンポーネント部品との間に弁室を形成するものであって、前記第１連通流路が前記弁室形成部に開口する開口部の周りに、弁座が設けられた第１マニホールドブロックと、前記第１マニホールドブロックに接触する面に、前記第１連通流路に連通する第２連通流路が複数形成され、各第２連通流路に接続する共通流路を形成された第２マニホールドブロックとを備え、前記第１マニホールドブロックは、前記第１連通流路の、前記第２マニホールドブロックに接触する面の開口部の周りに第１凸凹条が設けられた第１シール溝が形成され、前記第２マニホールドブロックは、前記第２連通流路の開口部の周りに第２凸凹条が設けられた第２シール溝が形成され、前記第１シール溝と前記第２シール溝との間に配置され、前記第１連通流路と前記第２連通流路の接続部分をシールし、前記第１凸凹条に嵌合する第１凹凸条と、前記第２凸凹条に嵌合する第２凹凸条を設けており、前記第１凸凹条又は前記第１凹凸条の少なくとも一方が、肉厚方向に設けられた圧入代を有するとともに、前記第２凸凹条と前記第２凹凸条の少なくとも一方が、肉厚方向に設けられた圧入代を有するシール部材と、前記第１マニホールドブロックと前記第２マニホールドブロックの互いに接触する面に取り付けられる雌ねじ部材と、前記コンポーネント部品から前記第１マニホールドブロックを貫いて前記雌ねじ部材の一端開口部に挿入して締結される第１締結部材と、前記第２マニホールドブロックを貫いて前記雌ねじ部材の他端開口部に挿入して締結される第２締結部材と、を有することを特徴とする。
【００１２】
（２）複数のコンポーネント部品を取り付けられるマニホールドブロックにおいて、
継手と第１連通流路とに連通する弁室形成部を備え、前記コンポーネント部品を取り付けられたときに前記弁室形成部と前記コンポーネント部品との間に弁室を形成するものであって、前記第１連通流路が前記弁室形成部に開口する開口部の周りに、弁座が設けられた第１マニホールドブロックと、前記第１マニホールドブロックに接触する面に、前記第１連通流路に連通する第２連通流路が複数形成され、各第２連通流路に接続する共通流路を形成された第２マニホールドブロックとを備え、前記コンポーネント部品から前記第１マニホールドブロックを貫いて前記第２マニホールドブロックに締結される締結部材と、前記第２マニホールドブロックの前記第１マニホールドブロックに接触する面と、前記共通流路との間に配設され、前記締結部材を締結するためのネジ孔が設けられたナット部材とを有し、前記マニホールドブロックの第１マニホールドブロックに接触する面に対して垂直な面から前記ナット部材を挿入し、前記締結部材を前記ネジ孔に締結すること、を特徴とする。
【００１３】
（３）（２）に記載するマニホールドブロックにおいて、前記第１マニホールドブロックは、前記第１連通流路の、前記第２マニホールドブロックに接触する面の開口部の周りに第１凸凹条が設けられた第１シール溝が形成され、前記第２マニホールドブロックは、前記第２連通流路の開口部の周りに第２凸凹条が設けられた第２シール溝が形成され、前記第１シール溝と前記第２シール溝との間に配置され、前記第１連通流路と前記第２連通流路の接続部分をシールし、前記第１凸凹条に嵌合する第１凹凸条と、前記第２凸凹条に嵌合する第２凹凸条を設けており、前記第１凸凹条又は前記第１凹凸条の少なくとも一方が、肉厚方向に設けられた圧入代を有するとともに、前記第２凸凹条と前記第２凹凸条の少なくとも一方が、肉厚方向に設けられた圧入代を有するシール部材と、を有すること、を特徴とする。
【００１４】
（４）（１）乃至（３）何れか１つに記載するマニホールドブロックにおいて、前記第１マニホールドブロックは、前記弁室形成部が開口する第１の面と前記第２マニホールドブロックに接触する第２の面が正方形状をなす直方体形状に樹脂を成形したものであって、前記第１の面と前記第２の面に垂直に接続する外側面の１つ以上に前記継手が設けられていることを特徴とする。
（５）（１）に記載の発明において、第２締結部材を雌ねじ部材に締結する際に雌ねじ部材の供回りを防止する回転防止機構を有することを特徴とする。
【００１５】
（６）（１）乃至（３）の何れか１つに記載するマニホールドブロックにおいて、前記第２マニホールドブロックは、前記第１マニホールドブロックに接触する面と反対側に締結部材を挿入するためのザグリが設けられるとともに、前記第１マニホールドブロックに接触する面に対して垂直な面から前記ザグリに連通するように挿入孔が設けられ、前記挿入孔に装填され、前記ザグリに挿入された前記締結部材を貫通させるための貫通孔が形成された座金部材を有すること、を特徴とする。
【００１６】
（７）（１）に記載するマニホールドブロックにおいて、前記雌ねじ部材は、前記第１マニホールドブロックの前記第２マニホールドブロックに接触する面に開設された第１装着孔と、前記第２マニホールドブロックの前記第１マニホールドブロックに接触する面に開設された第２装着孔とに両端部を挿入されていることを特徴とする。
【００１７】
（８）（１）乃至（７）の何れか１つに記載するマニホールドブロックにおいて、前記第２マニホールドブロックに接触する面が、前記第１マニホールドブロックが前記第２マニホールドブロックに接触する面と同一形状であるブロック体であって、前記第２連通流路に連通する継手を備える継手ブロックを有することを特徴とする。
（９）（８）に記載するマニホールドブロックにおいて、前記継手ブロックが、前記第２連通流路に連通する継手部と、前記継手部を前記第２マニホールドブロックに取り付ける本体部とを分離可能に設けられ、前記継手部が前記本体部に対して回転することを防止する回転止め機構を有することを特徴とする。
【００１８】
（１０）（１）乃至（９）の何れか一つに記載するマニホールドブロックにおいて、前記第２マニホールドブロックの前記第１マニホールドブロックに接触する面と反対側の面に取り付けられる取付板と、前記第２マニホールドブロックと前記取付板との間に配設され、前記第２マニホールドブロックを前記第１マニホールドブロックに押し付ける弾性部材と、を有することを特徴とする。
【００１９】
（１１）上記目的を達成するため、本発明のバルブユニットは、上記（１）乃至（１０）の何れか１つに記載するマニホールドブロックに、バルブを搭載したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のマニホールドブロックは、コンポーネン部品の数に合わせて第１マニホールドブロックを第２マニホールドブロック上に並べ、第１マニホールドブロックの第１連通流路と第２マニホールドブロックの第２連通流路を連通させる。すると、第１マニホールドブロックの継手が、第１マニホールドブロックの弁室形成部、弁座、第１連通流路、第２マニホールドブロックの第２連通流路を介して共通流路に連通する。
【００２１】
例えば弁座の１つに薬液が凝結した場合には、該弁座を有する第１マニホールドブロックと、それに取り付けられるコンポーネント部品を第２マニホールドブロックから取り外し、新しい第１マニホールドブロックに交換してコンポーネント部品を取り付ける。そのため、弁座の１つに薬液が凝結したからといって、マニホールドブロックを丸ごと交換する必要がなく、メンテナンス費用が安価である。
また、本発明のマニホールドブロックは、第１マニホールドブロックを第２マニホールドブロックから分割されているので、継手の向きを変えて第１マニホールドブロックを第２マニホールドブロックに取り付けることができ、流路構造を簡単に変えることができる。そのため、マニホールドブロックのストック数を減らし、維持管理コストを安くできる。
よって、本実施形態のマニホールドブロックによれば、第１マニホールドブロックと第２マニホールドブロックという少ない部品点数で、種々の流路構成に対応でき、メンテナンスや維持管理にかかる費用を安くしてコストダウンを図ることができる。
【００２２】
また、本発明のマニホールドブロックは、弁室形成部が開口する第１の面と、第１マニホールドブロックの第２マニホールドブロックに接触する第２の面が正方形状であり、外側面の１つ以上に継手を設けるため、第１マニホールドブロックは第２マニホールドブロック上で継手の向きを９０度ずつ変え、第２マニホールドブロック５に取り付けることができる。よって、本発明のマニホールドブロックは、既存の第１マニホールドブロックを用いて流路構造を容易に変更することができる。
【００２３】
本発明のマニホールドブロックは、第１，第２シール溝に装着されたシール部材が第１連通流路と第２連通流路の接続部分を連通流路径方向にシールするので、第１マニホールドブロックと第２マニホールドブロックが温度変化、経時変化によって伸び縮みするような場合でも、流路接続部分をシールすることができる。
特に、第１シール溝の第１凸凹条と第２シール溝の第２凸凹条をシール部材の第１凹凸条と第２凹凸条にそれぞれ係合させると、第１凸凹条又は第１凹凸条の少なくとも一方に設けた肉厚方向の圧入代により、第１凸凹条と第１凹凸条が締まり嵌めされるとともに、第２凸凹条又は第２凹凸条の少なくとも一方に設けた肉厚方向の圧入代により、第２凸凹条と第２凹凸条がそれぞれ締まり嵌めされるため、第１マニホールドブロックと第２マニホールドブロックの接続部がシール部材を介して互いに径方向にシールされる。
【００２４】
本発明のマニホールドブロックは、第１マニホールドブロック（又は第２マニホールドブロック）に一体的に設けた環状の凸条と、第２マニホールドブロック（又は第１マニホールドブロック）に一体的に設けた環状の凹条とを嵌め合わせたときに、凸条に設けた突部が凹条の内壁によって流路の径方向に押し潰され、第１連通流路と第２連通流路との接続部分をシールする。よって、本発明のマニホールドブロックは、第１連通流路と第２連通流路との間にシール部材を装着する必要がなくなったので、部品点数を減らし、漏れの箇所を１箇所減らすことができる。
また、本発明のマニホールドブロックは、凸条の第１テーパ面と凹条の第２テーパ面とを圧接することにより、凸条が流路内側に倒れ込むことを防止することで、確実なシールを得ることができる。
【００２５】
本発明のマニホールドブロックは、第２マニホールドブロックに取り付けた雌ねじ部材に、第２マニホールドブロックから第１マニホールドブロック側へ貫き通した第２締結部材を締結することにより、雌ねじ部材を固定するため、第１締結部材を繰り返し着脱しても、雌ねじ部材がマニホールドブロックから外れない。
また、本発明のマニホールドブロックは、第２締結部材を雌ねじ部材に締結する際に雌ねじ部材の供回りを防止する回転防止機構を有するので、組立作業効率がよい。
【００２６】
本発明のマニホールドブロックは、第２マニホールドブロックの第１マニホールドブロックに接触する面と反対側の面に設けたザグリから第２マニホールドブロックに締結部材を挿入し、締結部材の先端部を雌ねじ部材に締結することにより、雌ねじ部材を固定するようにしたので、雌ねじ部材と締結部材との間に第２マニホールドブロックを挟み込む挟込量を減らし、第２マニホールドブロックの膨張収縮が締結部材の締結力に与える影響を小さくすることができる。
【００２７】
本発明のマニホールドブロックは、雌ねじ部材の両端部を第１マニホールドブロックの第１装着孔と、第２マニホールド部材の第２装着孔とに挿入することにより、第１マニホールドブロックが第２マニホールドブロックに対して横ずれすることを防止できる。
【００２８】
本発明のマニホールドブロックは、第２マニホールドブロックの第１マニホールドブロックに接触する面と共通流路との間にナット部材を配設し、コンポーネント部品から第１マニホールドブロックを貫いた締結部材をナット部材のネジ孔に締結し、第１マニホールドブロックと第２マニホールドブロックとを固定するので、締結部材とナット部材との間で第２マニホールドブロックを挟みこむ挟込量を減らし、第２マニホールドブロックの膨張収縮が締結部材の締結力に与える影響を小さくすることができる。
【００２９】
本発明のマニホールドブロックは、コンポーネント部品と第１マニホールドブロックに変えて継手ブロックを第２マニホールドブロックに取り付けることにより、コンポーネント部品の取付方向に沿って継手を設けることができるので、第１マニホールドブロック、継手ブロック、第２マニホールドブロックという少ない部品点数で三次元的な配管を実現することができ、配管バリエーションを増やすことができる。
継手ブロックが継手部と本体部とを分離可能にすると、例えば、ソケットを継手部にねじ込んで配管を接続するときに、回転力が継手部に作用するが、継手部は回転止め機構によって回転を制限されるため、ソケットと供回りしない。
そして、継手ブロックは、第２マニホールドブロックに接触する面が、第１マニホールドブロックに接触する面と同一形状であるため、第１マニホールドブロックと互換性を有し、第１マニホールドブロックに取り付けたコンポーネント部品を継手に容易に交換できる。
【００３０】
また、本発明のマニホールドブロックは、第２マニホールドブロックが膨張収縮を繰り返し、第２マニホールドブロックが塑性変形した場合でも、第２マニホールドブロックと取付板との間に配設された弾性部材が、第２マニホールドブロックを第１マニホールドブロックに押し付けるので、第１連通流路と第２連通流路との接続部分のシール性能を維持できる。
【００３１】
本発明のバルブユニットは、上記作用効果を奏するマニホールドブロックにバルブを搭載したものであるので、本発明のマニホールドブロックと同様の作用効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
次に、本発明に係るマニホールドブロック及びそれを用いたバルブユニットの一実施の形態について図面を参照して説明する。
【００３３】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係るバルブユニット１の外観斜視図である。図２は、図１に示すバルブユニット１の平面図である。
バルブユニット１は、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃがマニホールドブロック２に取り付けられ、取付プレート３Ａ，３Ｂ，３Ｃを介して半導体製造装置に組み付けられる。本実施形態のバルブユニット１は、マニホールドブロック２が第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃと第２マニホールドブロック５とに分割可能な点に特徴を有する。マニホールドブロック２は、図２４及び図２５に示すマニホールドブロック１１１と同様、継手６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄがそれぞれ異なる方向へ向いている。なお、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃは、従来技術で説明した通りであるので、本実施形態では図面に従来技術と同じ符号を付して説明を適宜省略する。
【００３４】
図３は、図２に示すバルブユニット１のＡ−Ａ断面図である。図４は、図３に示すバルブユニット１のＢ−Ｂ断面図である。図５は、図３に示すバルブユニット１のＣ−Ｃ断面図である。
マニホールドブロック２は、第１マニホールドブロック４が１個の薬液弁１０１に対して１個ずつ設けられる。第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃは、互いの面を接触又は近接させて第２マニホールドブロック５上に配置され、省スペース化している。第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃは、同一形状をなすため、ここでは第１マニホールドブロック４Ａについてのみ説明し、第１マニホールドブロック４Ｂ，４Ｃの説明を割愛する。
【００３５】
第１マニホールドブロック４Ａは、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やＰＦＡ（四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）など耐熱性や耐腐食性の高い樹脂を略直方体のブロック状に成形したものである。第１マニホールドブロック４Ａは、薬液弁１０１Ａを取り付けられる上面（取付面）と、第２マニホールドブロック５に接触する下面（接触面）が同一の正方形状にされ、４つの外側面が取付面と接触面に垂直に接続している。外側面の１つには、継手６Ａが中央に設けられている。第１マニホールドブロック４Ａは、薬液弁１０１Ａとの間に弁室を形成するための弁室形成部７Ａが上面から円柱状に開設され、弁室形成部７Ａの開口部外周に沿ってダイアフラム弁体１０２Ａを取り付けるための環状凹溝８Ａが同心円状に形成されている。第１マニホールドブロック４Ａは、弁室形成部７Ａと同軸上に第１連通流路９Ａが図中の上下方向に貫通して形成されており、第１連通流路９Ａが弁室形成部７Ａの内壁に開口する開口部の周りに弁座１０Ａが設けられている。また、マニホールドブロック４Ａには、弁室形成部７Ａと継手６Ａとを接続する接続孔１１Ａが第１連通流路９Ａの外側に円弧状に形成されている。
【００３６】
一方、第２マニホールドブロック５は、ＰＴＦＥやＰＦＡなど耐熱性や耐腐食性の高い樹脂を略直方体のブロック状に成形したものである。第２マニホールドブロック５は、第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃに接触する上面（接触面）と、取付プレート３Ａ，３Ｂ，３Ｃを取り付けられる下面（取付面）とが同一の長方形状をなし、４つの外側面が上面と下面に垂直に接続する。第２マニホールドブロック５は、上面の幅が第１マニホールドブロック４Ａの下面の一辺と同一寸法に設定され、第２連通流路１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃが長手方向に等間隔に穿設されている。第２連通流路１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃは、上面中央位置から垂直方向にそれぞれ穿設されている。第２マニホールドブロック５は、外側面の中央位置から水平方向に共通流路１３が穿設され、第２連通流路１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃにそれぞれ連通する。継手６Ｄは、共通流路１３が開設される端面に一体的に設けられ、共通流路１３に連通する。このような第２マニホールドブロック５には、Ｈ形リング（シール部材）１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃを介して第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃが取り付けられ、第１連通流路９Ａと第２連通流路１２Ａの接続部分をシールする。
【００３７】
図７は、シール部分の拡大断面図であって、（ａ）はシール部材装着前の状態を示し、（ｂ）はシール部材装着後の状態を示す。
Ｈ形リング１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃは、ＰＴＦＥよりやや硬いＰＦＡや変性ＰＴＦＥにより形成され、その断面がＨ形をなす。Ｈ形リング１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃは同一構造であるので、ここではＨ形リング１４Ａを例に挙げて説明し、Ｈ形リング１４Ｂ，１４Ｃの説明を割愛する。Ｈ形リング１４Ａは、肉厚なリング形状をなし、その下面において、図中矢印Ｘで示す肉厚方向（半径方向）中央に第２周溝１６Ａが形成され、リング状の第２凹凸条をなしている。同じく、Ｈ形リング１４Ａは、その上面において、図中矢印Ｘで示す肉厚方向（半径方向）中央に第１周溝１５Ａが形成され、リング状の第１凹凸条をなしている。
【００３８】
一方、第１マニホールドブロック４Ａの下面には、第１連通流路９Ａの開口部外側に第１シール溝１７Ａが環状に形成されている。第１シール溝１７Ａの底部には、第２マニホールドブロック５側へ延びる第１周状突起１８Ａが突設され、第１凸凹条を形成する。第１凸凹条は、Ｈ形リング１４Ａの第１周溝１５Ａに対応する第１周状突起１８Ａを有し、円環状に構成される。
また、第２マニホールドブロック５の上面には、第２連通流路１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃの開口部外側に第２シール溝１９Ａ，１９Ｂ，１９Ｃがそれぞれ環状に形成されている。第２シール溝１９Ａ，１９Ｂ，１９Ｃは同一構造をなすので、ここでは第２シール溝１９Ａを例に挙げて説明し、第２シール溝１９Ｂ，１９Ｃの説明を割愛する。第２シール溝１９Ａの底部には、第１マニホールドブロック４Ａ側へ延びる第２周状突起２０Ａが突設され、第２凸凹条を形成する。第２凸凹条は、Ｈ形リング１４Ａの第２周溝１６Ａに対応する第２周状突起２０Ａを有し、円環状に構成される。
【００３９】
図８は、第１周溝１５Ａの拡大図である。
図８に示すように、Ｈ形リング１４Ａの第１周溝１５Ａは、内環状壁１４１Ａと外環状壁１４２Ａにより形成され、その深さＨは、第１周状突起１８Ａの高さとほぼ同一である。第１周溝１５Ａの内壁には、Ｈ形リング１４Ａの肉厚方向（半径方向）に厚みを有する圧入代Ｐがそれぞれ設けられる。この圧入代Ｐは、内側段部１５２Ａの溝幅Ｗ１と外側段部１５１Ａの溝幅Ｗ２の差分により設けられる。すなわち、内側段部１５２Ａの溝幅Ｗ１は、第１周状突起１８Ａの肉厚方向の幅Ｗ３（図７（ａ）参照）より小さく設定され、外側段部１５１Ａの溝幅Ｗ２は、第１周状突起１８Ａの肉厚方向の幅Ｗ３（図７（ａ）参照）とほぼ同程度に設定されている。そのため、図７（ｂ）に示すように、第１，第２周状突起１８Ａ，２０Ａの先端部を第１，第２周溝１５Ａ，１６Ａの底部に突き当てるように、Ｈ形リング１４Ａを第１，第２シール溝１７Ａ，１９Ａの間に装着すると、第１，第２周状突起１８Ａ，２０Ａの両側に圧入代Ｐが設けられる。
なお、第２周溝１６Ａは、第１周溝１５Ａと同様の構成であるので、説明を省略する。
【００４０】
ところで、図６に示すように、本実施形態のバルブユニット１は、取付プレート３Ａ，３Ｂ，３Ｃ、第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃ、第２マニホールドブロック５、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃが上下方向から締結される第１ボルト（第１締結部材）２１と第２ボルト（第２締結部材）２２により連結され、一体化される。ここで、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃの取付構造は同様であるので、本実施形態では薬液弁１０１Ｃを例に挙げて取付構造を説明し、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂの取付構造については説明を割愛する。
【００４１】
薬液弁１０１Ｃと第１マニホールドブロック４Ｃには、第１ボルト２１を貫き通すための貫通孔２４，２５がそれぞれ形成され、薬液弁１０１Ｃの貫通孔２４の開口端面に第１ボルト２１の頭部を係止するための段部が設けられる。薬液弁１０１Ｃの貫通孔２４の図中上方開口部は、キャップ２９を取り付けられ、第１ボルト２１を腐食性雰囲気から遮断する。
第２マニホールドブロック５と取付プレート３Ｃには、第２ボルト２２を貫き通すための貫通孔２６，２７が、第１マニホールドブロック４Ｃの貫通孔２５に対応する位置に形成され、取付プレート３Ｃの貫通孔２７の開口端面に第２ボルト２２の頭部を係止するための段部が設けられる。取付プレート３Ｃの貫通孔２７の開口部には、キャップ２９が取り付けられ、第２ボルト２２を腐食性雰囲気から遮断する。
【００４２】
第１ボルト２１と第２ボルト２２は、第２マニホールドブロック５の上面に取り付けられたナット（雌ねじ部材）２３に図中上下方向から締結される。第２マニホールドブロック５は、貫通孔２６の図中上面側開口部に圧入孔２８が開設される。圧入孔２８は、内径がナット２３の外径より小さくされ、ナット２３を圧入保持する。ナット２３は、第２ボルト２２を締結する際に回転しない程度に圧入される。この場合、ナット２３の外周面を多角形形状にしたり、ナット２３の外周面にローレット目を設けたり、軸方向に平行なギザギザを設けるなどすれば、ナット２３と圧入孔２８の内周面の摩擦抵抗を大きくし、ナット２３の回転をより確実に防止しうる。なお、本実施形態では、圧入孔２８の内周面とナット２３の外周面との圧接面により「回転防止機構」が構成され、組立作用効率の向上を図っている。
【００４３】
このようなバルブユニット１の組立方法について説明する。図９は、図１に示すバルブユニット１の組立図である。なお、図９では、キャップ２９を省略して図示している。ここで、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃは同様に組立てられるので、本実施形態では、薬液弁１０１Ｃの組立てについて説明し、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂの組立てについては説明を割愛する。
【００４４】
バルブユニット１を組み立てる場合には、まず、第２マニホールドブロック５の圧入孔２８にナット２３を圧入する。そして、貫通孔２７，２８を重ねるように第２マニホールドブロック５の下面に取付プレート３Ｃを当接させ、取付プレート３Ｃ側から第２マニホールドブロック５側へ向かって第２ボルト２２を挿通し、第２ボルト２２の先端部をナット２３の下端開口部に挿入して締結する。これにより、ナット２３が第２ボルト２２によって下方へ引っ張られた状態で固定される。
【００４５】
そして、第２マニホールドブロック５の第２周状突起２０ＣをＨ形リング１４Ｃの第２周溝１６Ｃに軽く挿入することによりＨ形リング１４Ｃを第２シール溝１９Ｃに仮止めする。それから、第１マニホールドブロック４Ｃの第１周状突起１８ＣをＨ形リング１４Ｃの第１周溝１５Ｃに軽く挿入することにより、Ｈ形リング１４Ｃを介して第１マニホールドブロック４Ｃを第２マニホールドブロック５に対して位置合わせする。このとき、第１マニホールドブロック４Ｃの下面が、第２マニホールドブロック５の上面と同一面となるように、第１マニホールドブロック４Ｃの位置を調整すると、第１マニホールドブロック４Ｃの貫通孔２５がナット２３にそれぞれ位置決めされる。その後、薬液弁１０１Ｃの貫通孔２４に４本の第１ボルト２１を挿通し、第１ボルト２１の先端部を第１マニホールドブロック４Ｃの貫通孔２５に挿通するように、薬液弁１０１Ｃを第１マニホールドブロック４Ｃに対して位置合わせする。そして、各第１ボルト２１を第１マニホールドブロック４Ｃの貫通孔２５に貫き通し、ナット２３の上端開口部にそれぞれ挿入して締結する。
【００４６】
第１ボルト２１をナット２３に締め付けるにつれて、Ｈ形リング１４Ｃが軸方向に押し潰される。樹脂製のＨ形リング１４Ｃは、ゴムなどと比べて硬いため、第１ボルト２１を締め付ける際に第１マニホールドブロック４Ｃと第２マニホールドブロック５をガイドし、第１連通流路６Ｃと第２連通流路１２Ｃの開口部を位置合わせする。そして、Ｈ形リング１４Ｃの第１凹凸条と第１マニホールドブロック４Ｃの第１凸凹条と、Ｈ形リング１４Ｃの第２凹凸条と第２マニホールドブロック５の第２凸凹条がそれぞれ嵌合する。これにより、Ｈ形リング１４Ｃに設けた第１，第２周溝１５Ｃ，１６Ｃの圧入代Ｐに、第１マニホールドブロック４Ｃの第１周状突起１８Ｃと第２マニホールドブロック５の第２周状突起２０Ｃの先端部がそれぞれ圧入されると、第１，第２周溝１５Ｃ，１６Ｃの圧入代Ｐにより第１，第２周状突起１８Ｃ，２０Ｃがその肉厚方向（半径方向）に締まり嵌めされる。つまり、第１，第２周状突起１８Ｃ，２０Ｃが半径方向の両側から押圧され、第１凹凸条と第２凸凹条との間、及び、第２凹凸条と第２凸凹条の間がそれぞれシールされる。そのため、第１マニホールドブロック４Ｃと第２マニホールドブロック５との接続部が互いにＨ形リング１４Ｃを介して確実にシールされる。Ｈ形リング１４Ｃは、樹脂製であるので、酸やアルカリの薬液を扱う薬液弁１０１につき、流路接続部分のシール構造に耐腐食性を持たせることができる。
このようにして組み立てられたバルブユニット１は、第１，第２ボルト２１，２２を挿通する開口部にキャップ２９を取り付ける。
【００４７】
次に、本実施形態のマニホールドブロック２とバルブユニット１の作用効果について説明する。
図３に示すマニホールドブロック２とバルブユニット１は、ソケットなどを用いて継手６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄに外部配管が接続される。例えば、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃを閉弁した状態で継手６Ｄに流体を入力しても、流体は何れの継手６Ａ，６Ｂ，６Ｃからも出力されないが、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃを選択して開弁すれば、開弁した薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃを介して継手６Ａ，６Ｂ，６Ｃに流体を分配して出力できる。また、例えば、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃを閉弁した状態で継手６Ａ，６Ｂ，６Ｃに種類の異なる流体を入力しても、いずれの流体も継手６Ｄから出力されないが、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃを開弁すれば、流体を共通流路１３内で合流させて継手６Ｄから出力することができる。
【００４８】
ところで、バルブユニット１は、例えば、スラリーの入った薬液を流すと、弁座１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃやダイアフラム弁体１０２Ａ，１０２Ｂ，１０２Ｃに薬液が凝結することがある。この場合、凝結箇所から流体漏れを生じるおそれがあるので、弁座１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃやダイアフラム弁体１０２Ａ，１０２Ｂ，１０２Ｃを交換する必要がある。この場合、例えば、弁座１０Ａのみに薬液が凝結しているのであれば、第１ボルト２１を緩めて薬液弁１０１Ａと第１マニホールドブロック４Ａを取り外し、新しい第１マニホールドブロック４に交換して薬液弁１０１Ａを取り付ければよい。つまり、マニホールドブロック２及びバルブユニット１は、弁座１０Ａのみに薬液が凝結したからといって、図２４に示す従来のバルブユニット１００で使用するマニホールドブロック１１１のように、マニホールドブロック２を丸ごと交換する必要がない。よって、マニホールドブロック２及びバルブユニット１は、メンテナンス費用が安価である。
【００４９】
バルブユニット１を半導体製造装置に設置する場合、周辺装置の設置状況などによって流路構成が現場毎に異なる。マニホールドブロック２及びバルブユニット１は、第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃが第２マニホールドブロック５に対して分割されているため、第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃを第２マニホールドブロック５から取り外して継手６Ａ，６Ｂ，６Ｃの方向を変えることができ、簡単に流路構造を変えられる。そのため、マニホールドブロックのストック数が減り、維持管理コストが安くなる。
【００５０】
よって、本実施形態のマニホールドブロック２及びこれを用いたバルブユニット１によれば、第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃと第２マニホールドブロック５という少ない部品点数で、種々の流路構成に対応でき、メンテナンスや維持管理にかかる費用を安くしてコストダウンを図ることができる。
【００５１】
特に、本実施形態の第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃの下面が正方形状であるため、継手６Ａ，６Ｂ，６Ｃの向きを９０度ずつ変えて第２マニホールドブロック５に取り付けることができる。そのため、例えば、図５に示す継手６Ｃを継手６Ｂと同一方向に向けたい場合には、第１ボルト２１を緩めて薬液弁１０１Ｃと第１マニホールドブロック４Ｃを取り外し、第１マニホールドブロック４Ｃの向きを１８０度変えて、薬液弁１０１Ｃとともに第２マニホールドブロック５に第１ボルト２１で取り付ければ、継手６Ｃの向きを簡単に変えられる。よって、バルブユニット１は、既存の第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃを用いて流路構造を簡単に変更することができる。
【００５２】
マニホールドブロック２を第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃと第２マニホールドブロック５に分割した場合、第１連通流路９Ａ，６Ｂ，６Ｃと第２連通流路１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃの接続部のシールが問題になる。特に、第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃと第２マニホールドブロック５が樹脂であるため、例えば７０〜８０度の流体を流すと熱膨張して伸び、流体の供給を止めてブロックが冷えると縮み、第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃと第２マニホールドブロック５との間に作用する圧接力が不安定になることがある。しかし、バルブユニット１は、Ｈ形リング１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃが第１連通流路９Ａ，９Ｂ，９Ｃと第２連通流路１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃの接続部分を流路径方向にシールするため、第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃと第２マニホールドブロック５の伸び縮みに関係なく流路接続部分をシールすることができる。
【００５３】
このように、バルブユニット１は、第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃを第２マニホールドブロック５に対して着脱して、流路構造に変更を加えたり、メンテナンスを行う。図２７に示す従来のバルブユニット１００のように、ボルト１１８を薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃからマニホールドブロック１１１を貫いて取付プレート１１７Ａ，１１７Ｂ，１１７Ｃへ挿通して締結すると、規格品のボルト１１８を使用することが難しくなり、また、メンテナンス時に薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃと第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃの他、第２マニホールドブロック５と取付プレート３Ａ，３Ｂ，３Ｃまでもばらばらになってしまい、メンテナンス性が低下する。また、第２マニホールドブロック５の上面に圧入しただけのナット２３に対して第１ボルト２１を締め付けるようにすると、第１ボルト２１の着脱を繰り返すうちに、ナット２３が圧入孔２８から外れる恐れがある。これに対して、バルブユニット１は、取付プレート３Ａ，３Ｂ，３Ｃから第２マニホールドブロック５に挿通した第２ボルト２２をナット２３に締結することにより、ナット２３を第２マニホールドブロック５の上面に固定するため、第１ボルト２１の着脱を繰り返しても、ナット２３が外れにくく、メンテナンス性がよい。
【００５４】
（第２実施形態）
続いて、本発明のマニホールドブロック及びそれを用いたバルブユニットの第２実施形態について図面を参照して説明する。図１０は、本発明の第２実施形態バルブユニット３０の組立図である。図１１は、図１０に示す継手ブロック３２の断面図である。
本実施形態のバルブユニット３０は、継手ブロック３２を用いて上下方向に継手を向ける点で第１実施形態と相違し、その他の点が第１実施形態と共通する。よって、本実施形態では、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、第１実施形態の共通する点については説明を適宜省略する。
【００５５】
図１０に示すように、継手ブロック３２は、ＰＴＦＥやＰＦＡなどの樹脂成形品である本体部３３と、同じくＰＴＦＥやＰＦＡなどの樹脂成形品である継手部３４とを分離可能に設けたものであり、第２マニホールドブロック５に取り付けられる。本体部３３は、第２マニホールドブロック５に接触する下面（接触面）と下面に対向する上面（取付面）が、第１実施形態の第１マニホールドブロック４の下面及び上面と同じ正方形状にされ、第１マニホールドブロック４と同様の条件で第２マニホールドブロック５に取付けられる。図１１に示すように、本体部３３は、継手部３４を保持するための保持孔３５が接触面中央から円柱状に形成され、保持孔３５より小径の開口部３６が保持孔３５と同軸上に形成されており、保持孔３５と開口部３６との間に段差が設けられる。図１０に示すように、保持孔３５の内周面には、複数のキー溝３７が軸方向に平行に形成されている。そして、本体部３３の四隅には、図示しない第１ボルトを挿通するための貫通孔３８が形成されている。なお、この場合に使用する第１ボルトは、第１実施形態の第１ボルト２１より短いものとする。
【００５６】
図１１に示すように、継手部３４は、中央の胴部４１外周面に雌ネジが形成され、一端に胴部４１より細い出力部４２が設けられ、他端に胴部より太い連結部４３が設けられている。連結部４３は、外径が保持孔３５の内径とほぼ同一であり、保持孔３５と開口部３６との間の段差に端面を突き当てて本体部３３から抜けないようにされる。図１０に示すように、連結部４３の外周面には、凸状キー４４が設けられ、本体部３３のキー溝３７に係合するようになっている。本実施形態では、キー溝３７と凸状キー４４によって「回転止め機構」が構成される。なお、連結部４３の端面に、Ｈ形リング１４を装着するための第１シール溝１７Ａと第１周状突起１８Ａを備えることは、第１実施形態の第１マニホールドブロック４Ａと同様である。
【００５７】
このようなバルブユニット３０は、次のように組み立てられる。
図１０に示すように、取付プレート３、第２マニホールドブロック５、ナット２３の組立は第１実施形態と同様である。Ｈ形リング１４Ａを第２マニホールドブロック５の第２シール溝１９Ａに装着したら、継手部３４の第１シール溝１７ＡをＨ形リング１４Ａに嵌め合わせて継手部３４を第２マニホールドブロック５に対して位置決めする。それから、継手部３４の出力部４２を本体部３３の保持孔３５から開口部３６に挿通するように、本体部３３を継手部３４に被せる。このとき、本体部３３のキー溝３７に継手部３４の凸状キー４４に挿通するようにする。そして、図示しない第１ボルトを本体部３３の貫通孔３８に上方から下方へ貫き通し、ナット２３に締結する。
【００５８】
第１実施形態においては水平方向にしか継手６Ａ，６Ｂ，６Ｃを向けることができなかったが、本実施形態においては、図中上側から配管を継手ブロック３２の継手部３４に接続することができる。よって、本実施形態のマニホールドブロック及びそれを用いたバルブユニット３０によれば、第１マニホールドブロック４、継手ブロック３２、第２マニホールドブロック５という少ない部品点数で三次元的な配管を実現することができ、配管バリエーションを増やすことができる。
また、ソケットを継手部３４の胴部４１にねじ込んで配管を接続する場合、回転力が継手部３４に作用するが、継手部３４は凸状キー４４を介してキー溝３７に係止され、回転を制限されるため、ソケットと供回りしない。
また、継手ブロック３２の下面が、第１実施形態の第１マニホールドブロック４の下面と形状が同一であるため、第１マニホールドブロック４と互換性を有し、第１マニホールドブロック４に取り付けた薬液弁１０１を継手に容易に交換できる。
【００５９】
ここで、継手方向を変えた配管バリエーションの一例を説明する。図１２は、継手方向の変更例を示す図である。
図１２に示すバルブユニット４５は、第２マニホールドブロック４７の上面に第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃを取り付け、下面に第１マニホールドブロック４Ｅと継手ブロック３２を取り付けて、薬液弁１０１等のコンポーネント部品を搭載するマニホールドブロック４６が構成される。そのため、バルブユニット４５は、継手６Ａ〜６Ｅが三次元的に設けられる他、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃ，１０１Ｅが上下スペースを利用して取り付けられ、省スペース化されている。
【００６０】
図１３は、図１２に示すバルブユニット４５の断面図である。
第２マニホールドブロック４７は、第１実施形態の第２マニホールドブロック５に第２連通流路１２Ｅ，１２Ｆを下面から穿設して共通流路１３に連通させたものであり、図１０に示す組立方法により継手ブロック３２が第２連通流路１２Ｆに連通するように組み付けられ、図９に示す組立方法により薬液弁１０１Ｅが第１マニホールドブロック４Ｅを介して第２連通流路１２Ｅに連通するように組み付けられる。第２マニホールドブロック４７の内部流路は、一面（側面）から水平方向へ穿設された直線状の共通流路１３に対して、他の面（上面）から第２連通流路１２を共通流路１３に対して垂直に接続するように穿設しただけの簡単なものであり、現場においてドリルなどで第２連通流路１２を簡単に追加形成し、標準化された第１マニホールドブロック４や継手ブロック３２を用いて流路構造を三次元的に簡単に変えることができる。つまり、マニホールドブロック４６は、図２４に示す従来のマニホールドブロック１１１のようにブロック全体を丸ごと交換しなくても、流路加工が容易で安価な第２マニホールドブロック４７を交換すれば、流路構造を安価に変えられる。
【００６１】
（第３実施形態）
続いて、本発明のマニホールドブロック及びそれを用いたバルブユニットの第３実施形態について図面を参照して説明する。図１４は、本発明の第３実施形態に係るバルブユニット６０の断面図である。図１４は図３に対応している。
本実施形態のバルブユニット６０は、第１マニホールドブロック６１，６２，６３に設けた凸条７１，８１を、第２マニホールドブロック６４に設けた凹条７４，８４に圧入嵌合することにより、第１連通流路９Ａ，９Ｂ９Ｃと第２連通流路１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃの接続部分をシールしている点で、Ｈ形リング１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃを用いてシールする第１実施形態と相違する。よって、ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、共通する点については図面に同一符号を付し、説明を適宜省略する。
【００６２】
バルブユニット６０は、第２マニホールドブロック６４に第１マニホールドブロック６１，６２，６３を固定したものである。本実施形態では、説明の便宜上、第１マニホールドブロック６１，６２，６３を第２マニホールドブロック６４に固定する際のシール構造が各々相違するが、全て同じシール構造にしてもよい。全て同じシール構造とした場合には、第１マニホールドブロックを共用化して、コストダウンを図ることができる。
【００６３】
図１５は、図１４のＨ部拡大断面図である。
第１マニホールドブロック６３は、第１連通流路９Ｃの開口部外周に沿って、凸条７１が第２マニホールドブロック６４と接触する面から突出して設けられている。凸条７１は、円筒状に形成されている。凸条７１の先端部外周面には、流路の外径方向に向かって突出する突部７２が環状に設けられている。また、凸条７１の先端部内周には、突部７２と対応して第１テーパ面の一例であるテーパ７３が設けられている。
【００６４】
これに対して、第２マニホールドブロック６４は、凹条７４が第２連通流路１２Ｃの開口部に沿って環状に設けられている。凹条７４は、内側が第２連通流路１２Ｃに開放されている。凹条７４は、内側に支持突起７５を備え、凸条７１の先端部分を嵌合されるようになっている。すなわち、支持突起７５は、第２連通流路１２Ｃの軸線方向に立設され、外側の面に第２テーパ面の一例であるテーパ７６が設けられている。テーパ７６の傾斜角度は、テーパ７３の傾斜角度と対応している。
【００６５】
このシール構造では、第１マニホールドブロック６３の凸条７１を第２マニホールドブロック６４の凹条７４に嵌め込むと、凸条７１の突部７２が凹条７４の壁に押し潰され、シール力を発生する。このとき、凸条７１は、凹条７４の内壁から反力を受けて第１連通流路９Ｃ側へ倒れ込もうとする。しかし、凹条７４の支持突起７５が凸条７１の先端部分を支持し、凸条７１の倒れ込みを防止する。またこのとき、支持突起７５のテーパ７６が凸条７１のテーパ７３に面接触して、凸条７１の先端部分を突部７２側へ押し倒す。そのため、突部７２は、しっかりと凹条７４の内壁に密着してシールする。
【００６６】
図１６は、図１４のＩ部拡大断面図である。
第１マニホールドブロック６２は、第１連通流路９Ｂの開口部外周に沿って、凸条８１が第２マニホールドブロック６４と接触する面から突出して環状に設けられている。凸条８１は、略円筒状に形成されている。凸条８１には、図１５に示す凸条７１と同様の突部７２とテーパ７３が設けられている。凸条８１には、段差が設けられ、先端部より肉厚にされた基端部８２を備える。
【００６７】
これに対して、第２マニホールドブロック６４は、凸条８１に対応する凹条８４が、第２連通流路１２Ｃの開口部に沿って環状に設けられている。凹条８４は、内側が第２連通流路１２Ｂに開放されている。凹条８４には、図１５に示す凹条７４と同様の支持突起７５とテーパ７６が設けられている。凹条８４は、凸条８１の段差に対向する段差を備え、嵌合凹部８５が設けられている。嵌合凹部８５は、外径寸法が凸条８１に設けた基端部８２の外径寸法より小さく設定され、基端部７６を圧入するための圧入代が流路径方向に設けられている。
【００６８】
このシール構造では、凸条８１の突部７２が凹条８４の内壁に押し潰されてシール力を発生する他、基端部８２を嵌合凹部８５に圧入してシール力を発生する。従って、このシール構造では、第１連通流路９Ｂと第２連通流路１２Ｂとの接続部分が、突部７２と、突部７２より外側の基端部８２とによって２重にシールされる。そのため、例えば、突部７２から流体漏れが生じても、基端部８２にて流体漏れを防止することができ、シール性能を向上させることができる。
【００６９】
図１７は、図１４のＪ部拡大断面図である。
このシール構造は、図１４に示すＨ部のシール構造と基本的に同じであるが、凸条８６の外周面に第１突部７２と第２突部８７を流路の外側に向かって延びるように環状に設けている点が相違する。凸条８６は、凹条７４に嵌め合わされたときに、第１突部７２と第２突部８７が凹条７２の内壁に押し潰されてシール力を発生する。このとき、支持突起７５が凸条８６の倒れ込みを防止するため、第１突起７２と第２突起８７とを確実に押し潰して安定したシール力を得ることができる。また、第１突起７２と第２突起８７を押し潰して２重にシールするので、流体漏れをより確実に防止することができる。
【００７０】
このように、本実施形態のバルブユニット６０は、Ｈ形リング１５などのシール部材を用いずに、第１マニホールドブロック６１，６２，６３に一体的に設けた凸条７１，８１を第２マニホールドブロック６４の凹条７４，８４に嵌め合わせたときに、凸条７１，８１，８６に設けた突部７２，８７が流路の径方向に押し潰され、第１連通流路９Ａ，９Ｂ，９Ｃと第２連通流路１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃとの接続部分をシールする。よって、本実施形態のバルブユニット６０は、第１連通流路９Ａ，９Ｂ，９Ｃと第２連通流路１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃとの接続部分にＨ形リング１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃを装着する必要がなくなり、部品点数を減らすことができる。
【００７１】
また、図７に示すようにＨ形リング１４を用いるシール構造では、例えば、第１マニホールドブロック４ＡとＨ形リング１５Ａとの間、及び、第２マニホールドブロック５とＨ形リング１４Ａとの間をそれぞれシールしなければならなかった。しかし、本実施形態のバルブユニット６０が適用するシール構造では、凸条７１，８１，８６を凹条７４，８４に嵌め込んだ部分だけをシールすればよい。よって、本実施形態のバルブユニット６０によれば、第１連通流路９Ａ，９Ｂ，９Ｃと第２連通流路１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃの接続部分をシールする箇所を減らすことができる。
【００７２】
また、本実施形態のバルブユニット６０は、突部７２，８７を押し潰した部分でシールすることにより、シール応力を突部７２，８７に集中させることができる。またた、第１，第２連通流路９，１２に加わる流体圧により、凸条７１，８１，８６が凹条７４，８４の外側内壁に強く押しつけられて突部７２，８７を強く押し潰すので、シール応力を増すことができる。
【００７３】
また、本実施形態のバルブユニット６０は、凸条７１，８１，８６のテーパ７３と凹条７４，８４のテーパ７６とを圧接することにより、凸条７１，８１，８６が流路内側に倒れ込むことを防止することで、確実なシールを得ることができる。
【００７４】
（第１参考例）
続いて、マニホールドブロック及びそれを用いたバルブユニットの第１参考例について図面を参照して説明する。図１８は、第１参考例に係るバルブユニット２００の第１マニホールドブロック４Ｃと第２マニホールドブロック５との固定構造を示す断面図である。尚、図１８は、図６に対応している。
本参考例のバルブユニット２００は、ナット２３の両端部分を第１マニホールドブロック４Ｃと第２マニホールドブロック５に挿入している点で第１実施形態と相違し、その他の点が第１実施形態を共通する。よって、本参考例では、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、第１実施形態の共通する点については図面に同一符号を付して説明を適宜省略する。
【００７５】
第１マニホールドブロック４Ｃは、第２マニホールドブロック５に接触する面から、貫通孔２５と同軸上に装着孔２０１（第１装着孔の一例）が形成されている。バルブユニット２００は、ナット２３の一端を第２マニホールドブロック５の圧入孔２８（第２装着孔の一例）に圧入固定する。ナット２３の上端部分は、第２マニホールドブロック５の上面から突出しており、その突出部分を第１マニホールドブロック４Ｃの装着孔２０１に挿入する。そのため、バルブユニット２００は、ナット２３の上端部分が装着孔２０１に挿入され、ナット２３の下端部分が圧入孔２８に挿入されるため、第１，第２マニホールドブロック４Ｃ，５の横ずれを防止できる。そして、このように横ずれを防止することによって、第１連通流路９Ｃと第２連通流路１２Ｃとの接続部分をシールする箇所に加わる負荷をなくし、流体漏れをより確実に防止することができる。
【００７６】
（第４実施形態）
続いて、本発明のマニホールドブロック及びそれを用いたバルブユニットの第４実施形態について図面を参照して説明する。図１９は、本発明の第４実施形態に係るバルブユニット２１０Ａの断面図である。尚、図１９は、図４に対応している。
本実施形態のバルブユニット２１０Ａは、取付プレート３Ｂと第２マニホールブロック５との間にＯリングや板ばねなどの弾性部材２１１が配設されている点が、第１実施形態のバルブユニット１と相違する。よって、ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、共通する点については図面に第１実施形態と同一の符号を付し、説明を適宜省略する。
【００７７】
第２マニホールドブロック５は、取付プレート３Ｂと接触する面に、第１，第２ボルト２１，２２の下方を通るように環状溝が形成されている。環状溝には、弾性部材２１１が装着され、第２マニホールドブロック５と取付プレート３Ｂとの間で弾性部材２１１を押し潰している。そのため、弾性部材２１１は、第２マニホールドブロック５と取付プレート３Ｂとの間で弾性変形し、反発力を発生している。
【００７８】
ところで、第１，第２マニホールドブロック４Ｂ，５は、樹脂成形品である。バルブユニット２１０Ａに高温流体を制御させた場合、薬液弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃの弁開閉動作によって高温流体が共通流路１３に流れたり、流れなかったりする。高温流体が共通流路１３に流れるときには、第２マニホールドブロック５が温度上昇して熱膨張する。一方、高温流体が共通流路１３に流れないときには、第２マニホールドブロック５が温度低下して収縮する。このように、第２マニホールドブロック５は、膨張収縮を繰り返し易く、膨張時にボルト２１，２２に押し当てられて変形した部分が収縮時にもとの形状に戻らずに塑性変形することがある。第２マニホールドブロック５が塑性変形すると、ボルト２１，２２が緩み、第１連通流路９と第２連通流路１２の接続部分のシール力が低下する恐れがある。
【００７９】
この点、本実施形態のバルブユニット２１０Ａは、第２マニホールドブロック５が膨張収縮を繰り返して塑性変形した場合には、弾性部材２１１の反発力によって第２マニホールドブロック５が第１マニホールドブロック４Ｂに押し付けられる。そのため、第１連通流路９Ｂと第２連通流路１２Ｂとの接続部分のシール性能が維持される。
【００８０】
特に、弾性部材２１１を第１，第２ボルト２１，２２に対応する位置に配設しているので、ボルト２１，２２の緩み止めを効率よく行うことができる。
【００８１】
図２０は、図１９に示すバルブユニット２１０Ａの変形例を示す断面図である。
第２マニホールドブロック５は、熱膨張率が大きい材料で設けられている場合には、熱膨張に伴う塑性変形量が大きく、弾性部材２１１が第２マニホールドブロック５に接触する面が歪な形状に変形すると、弾性部材２１１の反発力が第２マニホールドブロック５に十分に作用しないことがある。そこで、図２０に示すバルブユニット２１０Ａは、塑性変形しにくい材料で設けたプレート２１２を第２マニホールドブロック５と弾性部材２１１との間に配設する。プレート２１２は、第２マニホールドブロック５に高温流体を流した場合でも変形しないので、弾性部材２１１はプレート２１２を介して第２マニホールドブロック５を第１マニホールドブロック４Ｂ側へ適切に押し上げることができる。
【００８２】
（第２参考例）
続いて、マニホールドブロック及びそれを用いたバルブユニットの第２参考例について図面を参照して説明する。図２１は、第２参考例に係るバルブユニット２２０の断面図である。図２２は、図２１のＫ−Ｋ断面図である。尚、図２１は図３に対応し、図２２は図６に対応する。
本参考例のバルブユニット２２０は、第１マニホールドブロック４Ｃの上面から挿通した第１ボルト２１を、第２マニホールドブロック２２１に取り付けたナット部材２２３に締結することにより、第１マニホールドブロック４Ｃを第２マニホールドブロック５に固定した点が、第１実施形態と相違する。よって、ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、共通する点については図面に第１実施形態と同一の符号を付し、説明を適宜省略する。
【００８３】
第２マニホールドブロック２２１は、基本的には第１実施形態の第２マニホールドブロック５と同様であるが、取付孔２２２が設けられている。取付孔２２２は、第２マニホールドブロック２２１が第１マニホールドブロック４Ｃと接触する面と、共通流路１３との間に設けられている。また、取付孔２２２は、第１ボルト２１と対応する位置において共通流路１３と直交するように、第２マニホールドブロック２２１の第１マニホールドブロック４Ｃに接触する面に対して垂直な面（側面）から円柱状に貫通して設けられている。ナット部材２２３は、円柱状をなし、取付孔２２２に圧入固定若しくは接着固定される。ナット部材２２３には、第１ボルト２１を締結するためのネジ孔２２４，２２４が設けられている。ナット部材２２３は、第１ボルト２１との締結力を得るために剛性を有する金属材料からなる。ナット部材２２３の表面には、耐腐食性を得るためのコーティングが施されている。
【００８４】
このようなバルブユニット２２０は、カバー１０４Ｃからシリンダ１０３Ｃ、第１マニホールドブロック４Ｃに貫き通された第１ボルト２１を、ナット部材２２３のネジ孔２２４に締結する。ナット部材２２３は、第２マニホールドブロック２２１が第１マニホールドブロック４Ｃに接触する面と共通流路１３との間に配設されている。そのため、ナット部材２２３と第１マニホールドブロック４Ｃとの間で挟みこまれる第２マニホールドブロック２２１の挟込量Ｍが少ない。このように挟込量Ｍが小さいので、第２マニホールドブロック２２１の熱膨張率が大きくても、膨張収縮の影響が第１ボルト２１とナット部材２２３との締結部分に影響しにくい。
【００８５】
よって、本参考例のバルブユニット２２０によれば、第２マニホールドブロック２２１の絶対変形量を減らして、第２マニホールドブロック２２１の膨張収縮が第１ボルト２１をナット部材２２３に締結する締結力に与える影響を小さくすることができる。換言すれば、第１ボルト２１の緩みを防止して、シール性能を維持することができる。
【００８６】
（第５実施形態）
続いて、本発明のマニホールドブロック及びそれを用いたバルブユニットの第５実施形態について図面を参照して説明する。図２３は、本発明の第５実施形態に係るバルブユニット２３０の断面図である。尚、図２３は図６に対応する。
本実施形態のバルブユニット２３０は、第２マニホールドブロック２３３に取り付けた座金部材２３６に締結部材の一例である第２ボルト２２を挿通し、その第２ボルト２２を第１マニホールドブロック２３１に装着した雌ねじ部材の一例であるナット２３に締結している点が、第２参考例と相違する。よって、ここでは、第２参考例と相違する点を中心に説明し、共通する点については図面に第２参考例と同一の符号を付し、説明を適宜省略する。
【００８７】
第１マニホールドブロック２３１は、第２マニホールドブロック２３３に接触する面に、ナット２３を装着するための装着孔２３２が貫通孔２５と同軸上に開設されている。第２マニホールドブロック２３３は、第１マニホールドブロック２３１に接触する面に対して垂直な面から、挿入孔２３５が貫通して設けられている。挿入孔２３５は、第２マニホールドブロック２３３の上面と共通流路１３との間に設けられている。挿入孔２３５には、座金部材２３６が装填される。座金部材２３６には、貫通孔２６に対応する位置に貫通孔２３７が形成されている。座金部材２３６は、金属材料を成形したものであり、腐食防止コーティングが施されている。また、第２マニホールドブロック２３３は、第１マニホールドブロック２３１と接触する面と反対側の面（図中下面）からザグリ２３４が設けられている。ザグリ２３４は挿入孔２３５に連通するように設けられている。ザグリ２３４には、第２ボルト２２の腐食を防止するためにキャップ２９が取り付けられる。
【００８８】
このような構成を有するバルブユニット２３０は、第２マニホールドブロック２３３のザグリ２３４から座金部材２３６の貫通孔２３７に第２ボルト２２を挿通し、第２ボルト２２の頭部が座金部材２３６に突き当たるまで、第２ボルト２２の先端部を第１マニホールドブロック２３１のナット２３にねじ込む。これにより、ナット２３が第２ボルト２２によって固定される。そして、第１ボルト２１をカバー１０４Ｃからシリンダ１０３Ｃ、第１マニホールドブロック２３１に挿入してナット２３に締結し、カバー１０４Ｃとシリンダ１０３Ｃを第１マニホールドブロック２３１に固定する。
【００８９】
このようなバルブユニット２３０は、ナット２３と座金部材２３６との間で挟みこむ第２マニホールドブロック２３３の挟込量Ｍが少ない。そのため、第２マニホールドブロック２３３の熱膨張率が大きい場合でも、ナット２３と座金部材２３６との間で挟み込まれる第２マニホールドブロック２３３の絶対変形量が小さくなるので、第２マニホールドブロック２３３の塑性変形が第１，第２ボルト２１，２２をナット２３に締め付ける締結力に与える影響を小さくできる。換言すれば、本実施形態のバルブユニット２３０は、第１，第２ボルト２１，２２をナット２３に締め付ける締め付け力が低下しにくく、第１連通流路９Ｃと第２連通流路１２Ｃとの接続部分をシールするシール力を維持できる。
【００９０】
また、第２ボルト２２を金属製の座金部材２３６に突き当てるように貫通孔２３７に挿通してナット２３にねじ込んでいるため、第２ボルト２２の頭部が第２マニホールドブロック２３３に直接接触せず、第２マニホールドブロック２３３が膨張収縮した場合でも、第２ボルト２２の頭部付近が塑性変形し、第２ボルト２２の締結力が弱くならない。よって、第２ボルト２２の締結力を維持して、流体漏れを防止することができる。
【００９１】
尚、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
【００９２】
（１）例えば、上記実施の形態では、シール部材であるＨ形リング１４に第１，第２周溝を形成して第１，第２凹凸条を設け、第１マニホールドブロック４に第１周状突起を突設して第１凸凹条を設け、第２マニホールドブロック５に第２周状突起を突設して第２凸凹条を設けた。これに対して、シール部材に第１，第２周状突起を設けて第１，第２凹凸条を形成し、第１マニホールドブロック４に第１周溝を形成して第１凸凹条を設け、第２マニホールドブロックに第２周溝を形成して第２凸凹条を形成し、流路径方向へシールするようにしてもよい。また、シール部材としてＯリングなどの弾性部材を使用してもよい。
【００９３】
（２）例えば、上記実施の形態では、インサート形式のナット２３を圧入により回転防止機構としたが、接着剤で固定して回転防止機構としてもよい。
【００９４】
（３）例えば、上記実施の形態では、コンポーネント部品としてエアオペレイト式開閉弁である薬液弁１０１を用いたが、手動式開閉弁、流量計、レギュレータなどをコンポーネント部品として用いてもよい。
（４）例えば、上記実施形態では、第１マニホールドブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃの外側面の１つに継手６Ａ，６Ｂ，６Ｃをそれぞれ設けたが、第１マニホールドブロック４の隣り合う外側面に継手６を設けるなど、１個の第１マニホールドブロック４に２個以上の継手６を設けるようにしてもよい。
【００９５】
（５）例えば、上記第２実施形態では、キー溝３７と凸状キー４４により回転止め機構を設けたが、継手部に係止孔を設け、本体部に貫き通した係止棒を係止孔に挿入して回転止め機構を構成してもよい。
（６）例えば、上記第２実施形態では、本体部３３と継手部３４に分離可能な継手ブロック３２を使用したが、本体部と継手部を一体的に成形した継手ブロックを用いてもよい。
【００９６】
（７）例えば、上記第３実施形態では、第１マニホールドブロック側に凸条を設け、第２マニホールドブロック側に凹条を設けたが、第１マニホールドブロック側に凹条を設け、第２マニホールドブロック側に凸条を設けてもよい。
（８）例えば、上記第２参考例では、ナット部材２２３を円柱状とした。これに対して、ナット部材２２３の一部を軸方向にカットして、断面Ｄ形状としてもよい。この場合、ナット部材２２３の廻り止めをして、ネジ孔２３４を貫通孔２４，２６に簡単に位置合わせできる。
（９）例えば、上記第５実施形態では、ナット２３を第１マニホールドブロック２３１に設けたが、ナット２３の両端部を第１マニホールドブロック２３１と第２マニホールドブロック２３３に挿入し、第１マニホールドブロック２３１と第２マニホールドブロック２３３の横ずれを防止するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】本発明の第１実施形態に係るバルブユニットの外観斜視図である。
【図２】図１に示すバルブユニットの平面図である。
【図３】図２に示すバルブユニットのＡ−Ａ断面図である。
【図４】図３に示すバルブユニットのＢ−Ｂ断面図である。
【図５】図３に示すバルブユニットのＣ−Ｃ断面図である。
【図６】図３に示すに示すバルブユニットのＤ−Ｄ断面図である。
【図７】シール部分の拡大断面図であって、（ａ）はシール部材装着前の状態を示し、（ｂ）はシール部材装着後の状態を示す。
【図８】第１周溝の拡大図である。
【図９】図１に示すバルブユニットの組立図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係るバルブユニットの組立図である。
【図１１】図１０に示す継手ブロックの断面図である。
【図１２】継手方向の変更例を示す図である。
【図１３】図１２に示すバルブユニットの断面図である。
【図１４】本発明の第３実施形態に係るバルブユニットの断面図である。
【図１５】図１４のＨ部拡大断面図である。
【図１６】図１４のＩ部拡大断面図である。
【図１７】図１４のＪ部拡大断面図である。
【図１８】第１参考例に係るバルブユニットの第１マニホールドブロックと第２マニホールドブロックとの固定構造を示す断面図である。
【図１９】本発明の第４実施形態に係るバルブユニットの断面図である。
【図２０】図１９に示すバルブユニットの変形例を示す断面図である。
【図２１】第２参考例に係るバルブユニットの断面図である。
【図２２】図２１のＫ−Ｋ断面図である。
【図２３】本発明の第５実施形態に係るバルブユニットの断面図である。
【図２４】従来のバルブユニットの外観斜視図である。
【図２５】図２４に示すバルブユニットの平面図である。
【図２６】図２５に示すバルブユニットのＥ−Ｅ断面図である。
【図２７】図２６に示すバルブユニットのＦ−Ｆ断面図である。
【図２８】図２６に示すバルブユニットのＧ−Ｇ断面図である。
【符号の説明】
【００９８】
１  バルブユニット
２  マニホールドブロック
４  第１マニホールドブロック
５  第２マニホールドブロック
６  継手
７  弁室形成部
９  第１連通流路
１０  弁座
１２  第２連通流路
１３  共通流路
１４  Ｈ形リング（シール部材）
１７  第１シール溝
１９  第２シール溝
２１  第１ボルト
２２  第２ボルト
２３  ナット（雌ねじ部材）
２８  圧入孔（第２装着孔）
３０  バルブユニット
３１  マニホールドブロック
３２  継手ブロック
３３  本体部
３４  継手部
３７  キー溝
４４  凸状キー
４５  バルブユニット
４６  マニホールドブロック
４７  第２マニホールドブロック
１０１    薬液弁（コンポーネント部品）
６０  バルブユニット
６１  第１マニホールドブロック
６２  第１マニホールドブロック
６３  第１マニホールドブロック
６４  第２マニホールドブロック
７１  凸条
７３  テーパ（第１テーパ面）
７４  凹条
７５  支持突起
７６  テーパ（第２テーパ面）
８１  凸条
８６  凸条
８４  凹条
２００  バルブユニット
２０１  装着孔（第１装着孔）
２１０Ａ、２１０Ｂ  バルブユニット
２１１  弾性部材
２２０  バルブユニット
２２１  第２マニホールドブロック
２２３  ナット部材
２２４  ネジ孔
２３０  バルブユニット
２３１  第１マニホールドブロック
２３３  第２マニホールドブロック
２３４  ザグリ
２３５  取付孔
２３６  座金部材
２３７  貫通孔
【図１】
0004437553.tif 000002
【図２】
0004437553.tif 000003
【図３】
0004437553.tif 000004
【図４】
0004437553.tif 000005
【図５】
0004437553.tif 000006
【図６】
0004437553.tif 000007
【図７】
0004437553.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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