(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高温かつ水素雰囲気とされた炉内に下向き姿勢で挿入される測温装置が、密閉された金属製保護管(1)の内部空間に白金熱電対(2)を内装した構成において、
前記金属製保護管(1)は、炉内を汚染しないようにモリブデンにより形成されると共に、炉内に挿入される下側の炉内領域(L1)と、炉外に位置する上側の炉外領域(L2)を構成し、該金属製保護管(1)の内部空間(s)に酸素駆逐用ガスを充満させて空気を排出した状態で該内部空間(s)を密閉しており、
前記炉内領域(L1)における内部空間(s)の最低位置となる先端近傍個所に酸素ゲッタ(8)を設けると共に、前記炉外領域(L2) における内部空間(s)に水素ゲッタ(9)を設け、
前記内部空間(s)において、微量の酸素は低位置に移動することにより前記酸素ゲッタ(8)に捕獲され、微量の水素は高位置に移動することにより前記酸素ゲッタ(8)に捕獲されるように、前記酸素駆逐用ガスを酸素よりも比重が小さく水素よりも比重が大きいガスにより構成して成ることを特徴とする連続測温装置。
【請求項２】
前記白金熱電対(2)は、前記炉内領域(L1)に位置して金属製保護管(1)の先端からの距離を相互に相違せしめた測温部(6a,6b,6c)を有する複数組の熱電対(2a,2b,2c)により構成され、該熱電対(2a,2b,2c)の尾端部を揃えて保持スリーブ(12)に挿通し、
前記水素ゲッタ(9)は、前記炉外領域(L2)に位置して金属製保護管(1)の内部空間を延びる線部(9b)の尾端に設けたフック(9c)を前記保持スリーブ(12)に挿入係止すると共に、該線部(9b)の先端に断面ほぼ半円状の箔板(9a)を設けており、
前記複数組の熱電対(2a,2b,2c)と線部(9b)をまとめて前記保持スリーブ(12)に固着し、熱電対(2a,2b,2c)を前記箔板(9a)の内面に沿わせて成ることを特徴とする請求項１に記載の連続測温装置。
【請求項３】
前記白金熱電対がシース熱電対又はシース無し熱電対から成ることを特徴とする請求項１又は２に記載の連続測温装置。
【請求項４】
酸素駆逐用ガスがアルゴンガスから成ることを特徴とする請求項１、２又は３に記載の連続測温装置。
【請求項５】
酸素ゲッタ及び／又は水素ゲッタがチタンから成ることを特徴とする請求項１、２、３又は４に記載の連続測温装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体製造工程におけるエピタキシャル炉のような高温かつ水素雰囲気とされた炉内に挿入され、炉内温度を連続的に測定するための連続測温装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、種々の炉内における過酷な高温雰囲気中において温度を連続的に測定するためには、密閉された金属製保護管の内部空間に熱電対を内装した構成の連続測温装置が使用されている。金属製保護管は、鉄、ニッケル、クロム等の卑金属により形成されるのが一般的であり、熱電対は、シース付き又はシース無しの貴金属熱電対、例えば、白金熱電対が使用される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、例えば、半導体製造工程におけるエピタキシャル炉の炉内は、１０００度Ｃ以上の高温であり、しかも、高い水素雰囲気を形成している。このため炉内の温度を連続的に測定するに際しては、炉内に挿入される測温装置が、このような過酷な条件に耐えると共に、該測温装置により炉内を汚染しないことが要求される。
【０００４】
ところが、前述の従来例のような測温装置を前記エピタキシャル炉に挿入すると、金属製保護管により炉内が汚染されるという問題がある。本発明者らが知見したところによると、金属製保護管を卑金属のうち、鉄、ニッケル、クロム等により形成した場合、炉内を汚染し、到底、使用できないことが判明した。しかも、このような金属素材は、高温雰囲気下において白金に近づけて配置すると低融点合金を形成しやすく、白金熱電対の耐用温度を低下せしめ断線等のトラブルの原因を形成する。
【０００５】
そこで、本発明者らは、金属製保護管を形成すべき卑金属素材を鋭意探究したところ、モリブデンにより金属製保護管を形成すれば、炉内を汚染することがなく、前述の問題を解決できることを知得した。モリブデンは、エピタキシャル炉のような還元雰囲気中において良好に安定しており、金属蒸気をほとんど発生することがない。また、多くの卑金属素材中、モリブデンは、それが酸化しない限り、白金に近づけて配置しても、高温雰囲気下において低融点合金を最も形成し難く、白金熱電対の断線防止に優れている。
【０００６】
然しながら、モリブデンは非常に酸化しやすいため、これにより形成した金属製保護管がもしも酸化して酸化モリブデンを形成すると、白金熱電対と容易に反応して低融点合金を形成し、１０００度Ｃ以上のような高温下では白金熱電対を容易に溶融せしめ断線してしまうという新たな問題が知見された。しかも、モリブデンの酸化により熱電対の起電力がドリフトし、炉内温度を正確に測定できないという問題が知見された。更に、過酷な高温雰囲気中で長時間の連続測温を行う関係上、金属製保護管は、次第に劣化して炉内の水素を微量ながらも保護管の内部に侵入せしめることが不可避であり、これにより白金熱電対を劣化するので、連続測温装置の寿命を白金熱電対の所期の寿命よりも短命化してしまうという問題がある。
【０００７】
この点に関して、例えば、金属製保護管を２重管や３重管のような多重管構造にすれば、前述のような悪影響から白金熱電対を保護し、上記の問題を解決することが可能であるが、このような多重管構造は、コスト高は勿論のこと、連続測温装置を大型化せしめ、しかも、重量増を招くという問題がある。
【０００９】
本発明は、上記の課題を解決した連続測温装置を提供するものであり、その手段として構成したところは、高温かつ水素雰囲気とされた炉内に下向き姿勢で挿入される測温装置が、密閉された金属製保護管(1)の内部空間に白金熱電対(2)を内装した構成において、前記金属製保護管(1)は、炉内を汚染しないようにモリブデンにより形成されると共に、炉内に挿入される下側の炉内領域(L1)と、炉外に位置する上側の炉外領域(L2)を構成し、該金属製保護管(1)の内部空間(s)に酸素駆逐用ガスを充満させて空気を排出した状態で該内部空間(s)を密閉しており、前記炉内領域(L1)における内部空間(s)の最低位置となる先端近傍個所に酸素ゲッタ(8)を設けると共に、前記炉外領域(L2) における内部空間(s)に水素ゲッタ(9)を設け、前記内部空間(s)において、微量の酸素は低位置に移動することにより前記酸素ゲッタ(8)に捕獲され、微量の水素は高位置に移動することにより前記酸素ゲッタ(8)に捕獲されるように、前記酸素駆逐用ガスを酸素よりも比重が小さく水素よりも比重が大きいガスにより構成して成る点にある。
【００１０】
本発明の実施形態に関して、前記熱電対(2)は、前記炉内領域(L1)に位置して金属製保護管(1)の先端からの距離を相互に相違せしめた測温部(6a,6b,6c)を有する複数組の熱電対(2a,2b,2c)により構成され、該熱電対(2a,2b,2c)の尾端部を揃えて保持スリーブ(12)に挿通し、前記水素ゲッタ(9)は、前記炉外領域(L2)に位置して金属製保護管(1)の内部空間を延びる線部(9b)の尾端に設けたフック(9c)を前記保持スリーブ(12)に挿入係止すると共に、該線部(9b)の先端に断面ほぼ半円状の箔板(9a)を設けており、前記複数組の熱電対(2a,2b,2c)と線部(9b)をまとめて前記保持スリーブ(12)に固着し、熱電対(2a,2b,2c)を前記箔板(9a)の内面に沿わせている。
【００１１】
前記第一の手段及び第二の手段の何れにおいても、前記白金熱電対は、シース熱電対により構成しても良く、シース無し熱電対により構成しても良い。
【００１２】
また、酸素駆逐用ガスはアルゴンガスから成るのが好ましく、酸素ゲッタ及び／又は水素ゲッタはチタンから成るのが好ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下図面に基づいて本発明の好ましい実施形態を詳述する。
【００１４】
連続測温装置は、例えば、半導体製造工程におけるエピタキシャル炉のような高温かつ水素雰囲気下とされた炉内に挿入され、炉内を汚染することなく炉内温度を連続的に長期間測定するために使用される。図１に示すように、連続測温装置は、密閉された金属製保護管１の内部空間ｓに熱電対２を内装しており、金属製保護管１の尾端部に接続スリーブ３を取付け、該接続スリーブ３の内部において熱電対２の素線を補償導線４に結線し、該接続スリーブ３から導出して延びる補償導線４の端部にコネクタ５を設けている。図例の場合、熱電対２は、シース熱電対を示しているが、シース無しの裸熱電対でも良く、何れの場合も、白金熱電対を使用するのが好ましい。図示実施例では、それぞれ金属製保護管１の先端からの距離を相互に相違せしめた測温部６ａ、６ｂ、６ｃを備えた３組の熱電対２ａ、２ｂ、２ｃを金属製保護管１に内装しており、従って、接続スリーブ３から３組の補償導線４ａ、４ｂ、４ｃが導出せしめられ、それぞれにコネクタ５ａ、５ｂ、５ｃを有する。然しながら、熱電対２の数は、図例の３組以外の複数としても或いは単数にしても良い。
【００１５】
図示省略しているが、連続測温装置は、炉内に挿入した設置状態において、金属製保護管１を下向きの傾斜姿勢とされる。そして、金属製保護管１の閉塞された先端部７から最も上位に位置する熱電対２ｃの測温部６ｃを越えて上方に延びる部分を炉内に挿入される炉内領域Ｌ１とされ、それよりも尾端方向の部分を炉外に位置する炉外領域Ｌ２とされる。例えば、エピタキシャル炉の場合、炉内温度は約１１００度Ｃとされているので、その温度で炉内領域Ｌ１を加熱されるが、炉外領域Ｌ２は５００度Ｃを越えない。
【００１６】
金属製保護管１は、炉内を汚染しないが酸化容易な卑金属によりチューブ状に形成され、先端７を同材質の卑金属板でロウ付け等により気密状に閉塞されている。上述のように炉内を汚染しない卑金属素材は、モリブデンを選択するのが最適であるが、モリブデンは容易に酸化する性質がある。このため連続測温装置を組立製造するに際し、金属製保護管１の内部空間ｓは、酸素が残存しないように、酸素を含む空気全体を駆逐される。即ち、組立時に金属製保護管１の内部空間ｓにアルゴンガスから成る酸素駆逐用ガスを充填しながら空気を排出し、酸素駆逐用ガスを充満した状態で金属保護管１の尾端部を接続スーリブ３に気密状に接続することにより内部空間ｓを密閉される。尚、酸素駆逐用ガスは、アルゴンガス等から選ばれる。
【００１７】
連続測温装置を炉内に挿入した設置状態において、金属製保護管１の内部空間ｓは、炉内領域Ｌ１を低位置とし、炉外領域Ｌ２を高位置とする。そこで、最低位置となる先端近傍個所に酸素ゲッタ８を設け、高位置となる炉外領域Ｌ２の任意個所に水素ゲッタ９を設けている。
【００１８】
酸素ゲッタ８は、チタンの細線（例えばφ０．６７mm）をコイル状に巻回（例えば３．５５巻）せしめたものであり、別途固着手段を必要とせず、コイルそれ自体が先端部７に臨む内部空間ｓにおいて金属製保護管１の内周面に密接し係止せしめられている。従って、連続測温装置を保管運搬又は炉に設置する際に、天地逆向き等に姿勢変更しても、酸素ゲッタ８が内部空間ｓを移動することはなく定位置に固定されている。
【００１９】
水素ゲッタ９は、図２（Ａ）に示すように、チタンの箔（例えば厚さ０．１mm、長さ８５mm）を断面ほぼ半円形（例えば半径１．５mm）となるように折曲形成した箔板９ａにチタンの細線（例えばφ０．６７mm、長さ５０mm）から成る線部９ｂをロウ付け等により連結し、該線部９ｂの尾端にフック９ｃ（例えば長さ２mmの鉤形）を折曲形成した構成とされ、後述するように接続スリーブ３に内挿されるインナースーリブ１０にフック９ｃを係止することにより、箔板９ａを炉外領域Ｌ２における内部空間ｓに内装固定している。
【００２０】
図２は、図示実施形態として例示した連続測温装置の組立方法を示しており、図２（Ａ）は前述のようにして水素ゲッタ９をインナースリーブ１０に係止せしめ取付けた状態を示している。インナースリーブ１０は、ステンレス（例えばＳＵＳ３０４）その他の卑金属から成り、尾端を開口せしめると共に、先端に設けたフランジ１１に小径の保持スリーブ１２を備えており、水素ゲッタ９のフック９ｃを保持スリーブ１２の先端から挿入しフランジ１１の内面に係止せしめている。
【００２１】
この状態から図２（Ｂ）に示すように、複数組、図例では３組の熱電対２（２ａ、２ｂ、２ｃ）の尾端部を揃えて保持スーリブ１２からインナースリーブ１０の内部に挿入し、保持スーリブ１２の先端部においてロウ付け等により３組の熱電対２（２ａ、２ｂ、２ｃ）と水素ゲッタ９の線部９ｂとをまとめて保持スリーブ１２に固着する。この状態で、熱電対２（２ａ、２ｂ、２ｃ）は水素ゲッタ９の断面ほぼ半円形の箔板９ａの内面に沿わしめられている。保持スリーブ１２に挿通せしめた際、熱電対２（２ａ、２ｂ、２ｃ）には補償導線４（４ａ、４ｂ、４ｃ）が結線され、該結線部分を含む補償導線４の一部がインナースリーブ１０の内部に所定間隔をあけてほぼ平行に配置される。そこで、インナースリーブ１０の内部にエポキシ樹脂等から成る絶縁充填剤１３を充填固化せしめ、これによりインナースリーブ１０の内部における熱電対２（２ａ、２ｂ、２ｃ）と補償導線４（４ａ、４ｂ、４ｃ）の対向部分が結線部を含んで絶縁充填剤１３に埋入固定される。尚、同時に水素ゲッタ９のフック９ｃも絶縁充填剤１３に埋入固定される。
【００２２】
図２（Ｃ）に示すように、接続スリーブ３は、ステンレス（例えばＳＵＳ３０４）その他の卑金属から成り、尾端を開口せしめると共に、先端に形成した厚肉部１４に外側に位置する大径孔１５と内側に位置する小径孔１６とを同心状に連通形成しており、大径孔１５に金属製保護管１の尾端部を挿入すると共にロウ付け等により気密状に固着している。
【００２３】
そこで、図２（Ｄ）に示すように、前述のインナースリーブ１０に絶縁充填剤１３で一体化された熱電対２（２ａ、２ｂ、２ｃ）を接続スリーブ３を通じて金属製保護管１に挿入する。尚、金属製保護管１における内部空間ｓの先端近傍には、予め酸素ゲッタ８が挿入固定されている。この際、インナースリーブ１０の保持スリーブ１２を小径孔１６に挿着し、フランジ１１を耐熱接着剤１７を介して接続スリーブ３の厚肉部１４の内面に接着固定する。インナースリーブ１０の外径は接続スリーブ３の内径よりもやや小径に形成され、両スリーブの間に空間を形成しているので、該空間にエポキシ樹脂等から成る絶縁充填剤１８を充填固化せしめ、これによりインナースリーブ１０を接続スリーブ３の内部に埋入固定する。
【００２４】
前述のように酸素ゲッタ８を備えた金属製保護管１と接続スリーブ３の組立体に対して、水素ゲッタ９を備えたインナースリーブ１０と熱電対２の組立体を組付けるに際し、金属製保護管１の内部空間ｓにはアルゴンガス等から成る酸素駆逐用ガスが充填され、これにより内部空間ｓの空気を外部に排出せしめながら該内部空間ｓに酸素駆逐用ガスを充満させる。更に、好ましくは接続スリーブ３の内部にも酸素駆逐用ガスが充満され空気を外部に排出せしめられる。従って、図２（Ｄ）に示すように組立を完了した連続測温装置は、金属製保護管１の内部空間ｓに空気を残存することなく酸素駆逐用ガスを充満しており、この充満状態で内部空間ｓを密閉している。
【００２５】
（半導体製造工程におけるエピタキシャル炉での使用時の作用）
上記実施形態の連続測温装置をエピタキシャル炉に使用する場合、炉内に挿入した設置状態において、金属製保護管１は、下向きの傾斜姿勢とされ、炉内領域Ｌ１を炉内に挿入され、炉外領域Ｌ２を炉外に位置せしめられる。エピタキシャル炉の炉内温度は約１１００度Ｃであり、炉内領域Ｌ１を加熱されるが、炉外領域Ｌ２は５００度Ｃを越えない。図例の場合、金属製保護管１に内装された複数組の熱電対２ａ、２ｂ、２ｃがそれぞれの測温部６ａ、６ｂ、６ｃを金属製保護管１の先端からの距離を相違せしめて配置されているので、１本の連続測温装置により炉内の複数個所の測温を同時に行うことを可能にする。
【００２６】
上述のように金属製保護管１は、卑金属のうち炉内を汚染しない金属、特に、モリブデンから選ばれた金属素材により形成されているので、過酷な温度条件の下でも炉内を汚染する虞れがなく、しかも、白金熱電対２に対して低融点合金を形成せしめることはない。
【００２７】
モリブデンは極めて容易に酸化するため、もしも、酸化して酸化モリブデンを生成すると白金熱電対２に低融点合金を形成せしめ断線の原因となるが、前述のように金属製保護管１の内部空間ｓは、充満された酸素駆逐用ガスにより酸素を除去しているので、モリブデンを酸化させることなく安定状態を持続する。
【００２８】
ところで、製造上、酸素駆逐用ガスの充満によっても、微量の空気、即ち酸素が内部空間ｓに残存する危険を完全に払拭することは困難である。例えば、酸素駆逐用ガス（アルゴンガス）それ自体に微量の空気が含まれている虞れがあり、或いは、内部空間ｓに酸素駆逐用ガスを充填しても該内部空間ｓ内に微量の空気が残存する可能性もある。このため万一、微量であっても酸素が残存していると、極めて酸化容易なモリブデンを酸化せしめ、白金熱電対２の断線の原因を形成する危険があるが、万一残存した酸素は酸素ゲッタ８に捕獲されるので、モリブデンから成る金属製保護管１を酸化せしめる危険はない。
【００２９】
チタン（Ｔｉ）は、酸素（Ｏ2 ）を侵入せしめ吸収することが知られており、この現象は、低温環境では時間がかかりゲット量が少ないが、高温、特に、エピタキシャル炉のような１０００度Ｃ以上の高温環境では、短時間で、しかもゲット量が多い。従って、金属製保護管１の内部空間ｓに残存した酸素は、瞬時のうちに酸素ゲッタ８に侵入され、モリブデン製の保護管１の内面を酸化することが防止される。このため、前述のように仮に万一、内部空間ｓに微量の酸素が残存していても、モリブデンを酸化せしめることにより熱電対２の起電力を不安定ならしめるようなことはなく、安定した正確な測温を可能ならしめ、しかも、白金熱電対２の断線が防止されるので、熱電対２の所期寿命に対応した連続測温の耐用時間を保証する。尚、チタン（Ｔｉ）の融点は１７２５度Ｃであり、エピタキシャル炉における炉内温度は１１００度Ｃであるから、金属製保護管１の内部に何ら悪影響を与えることはない。
【００３０】
過酷な高温雰囲気中で長時間の連続測温を行うと、金属製保護管１が次第に劣化し、炉内の水素を微量ながらも内部空間ｓに侵入せしめる虞れがある。そこで水素（Ｈ）が内部空間ｓに侵入すると、白金熱電対２に悪影響を及ぼし起電力を不安定ならしめる危険がある。この点に関して、金属製保護管１に侵入した水素（Ｈ）は、内部空間ｓに充満されたアルゴンガス等の酸素駆逐用ガスに対して、その比重により浮上し、炉外領域Ｌ２へと移動する。そこで、水素は水素ゲッタ９に捕獲されるので、白金熱電対２を劣化せしめたり、起電力を不安定ならしめることはない。
【００３１】
チタン（Ｔｉ）は、水素（Ｈ）を侵入せしめ吸収することが知られている。この現象は、温度環境が３２０度Ｃまでは水素を吸収し続け、５００度Ｃまでは平衡状態で、５００度Ｃを超えると吸収量が激減し又は吸収した水素を排出する。前述のように水素ゲッタ９は、炉熱の影響が小さい炉外領域Ｌ２に設けられており、５００度Ｃよりも十分に低い温度環境下にあり、少なくとも５００度Ｃを超えることはないので、内部空間ｓを浮上する水素を好適に捕獲する。しかも、図例の場合、水素ゲッタ９は、断面ほぼ半円状の箔板９ａを構成し、内部空間ｓに対して広い接触面積を形成しているので、水素のゲット機能が高い。このため、微量の水素が金属製保護管１に侵入する程度であれば、水素ゲッタ９により水素をゲットし熱電対２に対する悪影響を阻止するので、多量の水素が侵入されるような劣化損傷に至るまで、連続測温装置の寿命を延命化できる。
【００３６】
【発明の効果】
本発明によれば、金属製保護管１が卑金属のうち炉内を汚染しない金属、特にモリブデンから選ばれた金属素材により形成されているので、過酷な温度条件の下でも炉内を汚染する虞れがなく、しかも、金属製保護管１の内部空間ｓに酸素駆逐用ガスを充満しているので、極めて酸化容易なモリブデン製の金属製保護管１を酸化せしめることがなく、白金熱電対２を好適に保護することができ、その結果、熱電対２の所期寿命に対応した連続測温の耐用時間を保証する。
【００３７】
そして、万一、微量の酸素が金属製保護管１の内部空間ｓに存在する場合は、酸素ゲッタ８により捕獲する構成であるから、モリブデンから成る金属製保護管１の酸化を完璧に防止する。この点に関して、酸素ゲッタ８を構成するチタンは、低温では酸素ゲット機能が良好でなく、高温で酸素ゲット機能を良好に発揮する性質を有するところ、本発明によれば、酸素ゲッタ８を炉内領域Ｌ１に位置して設けているので、好適に酸素をゲットできる。
【００３８】
更に、水素雰囲気下のエピタキシャル炉に使用する連続測温装置の構成においては、長時間の連続測温により金属製保護管１が次第に劣化し、炉内の水素を微量ながらも内部空間ｓに侵入せしめ熱電対２を汚損する虞れがあるが、本発明によれば、内部空間ｓに充満された酸素駆逐用ガスに対して水素を金属製保護管１の高位置へと移動させ、そこで水素ゲッタ９により捕獲する構成であるから、熱電対２に対する悪影響を阻止できる。この点に関して、水素ゲッタ９を構成するチタンは、５００度Ｃを超えると水素ゲット機能が良好でなく、５００度Ｃに至らない低温で水素ゲット機能を良好に発揮する性質を有するところ、本発明によれば、水素ゲッタ９を炉熱の影響が小さい炉外領域Ｌ２に位置して設けているので、好適に水素をゲットすることができ、多量の水素が侵入されるほどに金属製保護管１が劣化損傷するに至るまで、連続測温装置の寿命を延命化できる。
上記に加えて、本発明によれば、金属製保護管１に内装された複数組の熱電対２ａ、２ｂ、２ｃがそれぞれの測温部６ａ、６ｂ、６ｃを金属製保護管１の先端からの距離を相違せしめて配置されているので、１本の連続測温装置により炉内の複数個所の測温を同時に行うことが可能となり、この際、水素ゲッタ９が前記炉外領域Ｌ２に位置して金属製保護管１の内部空間を延びる線部９ｂの尾端に設けたフック９ｃ保持スリーブ１２に挿入係止すると共に、該線部９ｂの先端に断面ほぼ半円状の箔板９ａを設けた構成とされているので、前記複数組の熱電対２ａ、２ｂ、２ｃと線部９ｂをまとめて前記保持スリーブ１２に固着することができ、固着状態で該熱電対２ａ、２ｂ、２ｃを前記箔板９ａの内面に沿わせることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施形態を部分的に断面にて示す正面図である。
【図２】本発明の１実施形態の組立方法を示しており、（Ａ）はインナースリーブと水素ゲッタの組立体を示す断面図、（Ｂ）はインナースリーブに熱電対と補償導線を結合した組立体を示す断面図、（Ｃ）は接続スリーブと金属製保護管の組立体を示す断面図、（Ｄ）は組立を完成した連続測温装置を示す断面図である。
【符号の説明】
１    金属製保護管
２    熱電対
３    接続スリーブ
４    補償導線
８    酸素ゲッタ
９    水素ゲッタ
１０    インナースリーブ
【図１】
0004567131.tif 000002
【図２】
0004567131.tif 000003