(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のマスターホログラムメディアを互いに対面するように所定の間隔をもって配置し、
前記一対のマスターホログラムメディア間に焦点が位置する球面波光と参照光とを各マスターホログラムメディア内で干渉するように照射し、前記各マスターホログラムメディアにマスターホログラムを形成し、
前記一対のマスターホログラムメディア間にホログラムメディアを配置し、
前記一対のマスターホログラムメディアに参照光を照射して前記ホログラムメディアにホログラムを形成するホログラムメディアの製造方法であって、
前記マスターホログラムメディアに前記マスターホログラムを形成するときに、前記マスターホログラムメディアを回転させると共に、前記球面波光を照射する位置を前記マスターホログラムメディアの半径方向に移動させるホログラムメディアの製造方法。
【請求項２】
一対のマスターホログラムメディアを互いに対面するように所定の間隔をもって配置し、
前記一対のマスターホログラムメディア間に焦点が位置する球面波光と参照光とを各マスターホログラムメディア内で干渉するように照射し、前記各マスターホログラムメディアにマスターホログラムを形成し、
前記一対のマスターホログラムメディア間にホログラムメディアを配置し、
前記一対のマスターホログラムメディアに参照光を照射して前記ホログラムメディアにホログラムを形成するホログラムメディアの製造方法であって、
前記マスターホログラムメディア及び前記ホログラムメディアは円板形状を有し、
前記マスターホログラムメディアの直径は、前記ホログラムメディアの直径より大きいホログラムメディアの製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載のホログラムメディアの製造方法であって、
前記参照光は平面波光であるホログラムメディアの製造方法。
【請求項４】
請求項１に記載のホログラムメディアの製造方法であって、
前記マスターホログラムメディアに前記マスターホログラムを形成するときの前記参照光は、前記球面波光が伝播する向きと反対向きに前記各マスターホログラムメディアに垂直に入射するホログラムメディアの製造方法。
【請求項５】
一対のマスターホログラムメディアを互いに対面するように所定の間隔をもって配置し、
前記一対のマスターホログラムメディア間に焦点が位置する球面波光と参照光とを各マスターホログラムメディア内で干渉するように照射し、前記各マスターホログラムメディアにマスターホログラムを形成し、
前記一対のマスターホログラムメディア間にホログラムメディアを配置し、
前記一対のマスターホログラムメディアに参照光を照射して前記ホログラムメディアにホログラムを形成するホログラムメディアの製造方法であって、
前記マスターホログラムメディアに前記マスターホログラムを形成するときの前記参照光は、前記球面波光が伝播する向きと反対向きに前記各マスターホログラムメディアに垂直に入射し、
前記ホログラムメディアに前記ホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムメディアの一方の外側から前記各マスターホログラムメディアに垂直に入射し透過して、反射ミラーで反射し、前記各マスターホログラムメディアに入射し透過するホログラムメディアの製造方法。
【請求項６】
請求項１に記載のホログラムメディアの製造方法であって、
前記マスターホログラムメディアに前記マスターホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムの一方の外側から前記各マスターホログラムメディアに斜めに入射するホログラムメディアの製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載のホログラムメディアの製造方法であって、
前記ホログラムメディアに前記ホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムの各外側から反対向きに前記各マスターホログラムメディアに斜めに入射するホログラムメディアの製造方法。
【請求項８】
請求項１に記載のホログラムメディアの製造方法であって、
前記マスターホログラムメディアに前記マスターホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムの各外側から反対向きに前記各マスターホログラムメディアに斜めに入射するホログラムメディアの製造方法。
【請求項９】
一対のマスターホログラムメディアを互いに対面するように所定の間隔をもって配置し、
前記一対のマスターホログラムメディア間に焦点が位置する球面波光と参照光とを各マスターホログラムメディア内で干渉するように照射し、前記各マスターホログラムメディアにマスターホログラムを形成し、
前記一対のマスターホログラムメディア間にホログラムメディアを配置し、
前記一対のマスターホログラムメディアに参照光を照射して前記ホログラムメディアにホログラムを形成するホログラムメディアの製造方法であって、
前記マスターホログラムメディアに前記マスターホログラムを形成するときに、前記一対のマスターホログラムメディア間に前記ホログラムメディアと同一の屈折率の補正板を配置するホログラムメディアの製造方法。
【請求項１０】
一対のマスターホログラムメディアを互いに対面するように所定の間隔をもって配置し、
前記一対のマスターホログラムメディア間に焦点が位置する球面波光と参照光とを各マスターホログラムメディア内で干渉するように照射し、前記各マスターホログラムメディアにマスターホログラムを形成し、
前記一対のマスターホログラムメディア間にホログラムメディアを配置し、
前記一対のマスターホログラムメディアに参照光を照射して前記ホログラムメディアにホログラムを形成するホログラムメディアの製造方法であって、
前記球面波光は、前記各マスターホログラムメディアの各外側から前記各マスターホログラムメディアに向けてそれぞれの焦点が一致するように球面波光が照射されて形成され、
前記マスターホログラムメディアに前記マスターホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムの一方の外側から前記各マスターホログラムメディアに斜めに入射するホログラムメディアの製造方法。
【請求項１１】
請求項８または１０に記載のホログラムメディアの製造方法であって、
前記ホログラムメディアに前記ホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムの一方の外側から前記各マスターホログラムメディアに斜めに入射するホログラムメディアの製造方法。
【請求項１２】
一対のマスターホログラムメディアを互いに対面するように所定の間隔をもって配置し、
前記一対のマスターホログラムメディア間に焦点が位置する球面波光と参照光とを各マスターホログラムメディア内で干渉するように照射し、前記各マスターホログラムメディアにマスターホログラムを形成し、
前記一対のマスターホログラムメディア間にホログラムメディアを配置し、
前記一対のマスターホログラムメディアに参照光を照射して前記ホログラムメディアにホログラムを形成するホログラムメディアの製造方法であって、
前記マスターホログラムメディアに前記マスターホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムの各外側かつ前記球面波光の伝播する領域に対して同じ側から前記各マスターホログラムメディアに斜めに入射するホログラムメディアの製造方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載のホログラムメディアの製造方法であって、
前記ホログラムメディアに前記ホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムの各外側かつ前記焦点に対して同じ側から前記各マスターホログラムメディアに斜めに入射するホログラムメディアの製造方法。
【請求項１４】
請求項７または１３に記載のホログラムメディアの製造方法であって、
前記ホログラムメディアに前記ホログラムを形成するときに、
前記参照光を第１の円錐ミラーの母線の各位置で反射し一方のマスターホログラムメディアに照射すると共に、前記参照光を第２の円錐ミラーの母線の各位置で反射し他方のマスターホログラムメディアに照射するホログラムメディアの製造方法。
【請求項１５】
請求項１に記載のホログラムメディアの製造方法であって、
前記一対のマスターホログラムメディアに替えて一対の別のマスターホログラムメディアを互いに対面するように所定の間隔をもって配置し、
前記一対の別のマスターホログラムメディア間の別の位置に焦点が位置する球面波光と参照光とをそれぞれ別のマスターホログラムメディア内で干渉するように照射し、それぞれ前記別のマスターホログラムメディアに別のマスターホログラムを形成し、
前記一対の別のマスターホログラムメディア間に前記ホログラムメディアを配置し、
前記一対の別のマスターホログラムメディアに参照光を照射して前記ホログラムメディアに別のホログラムを形成する
ホログラムメディアの製造方法。
【請求項１６】
請求項１に記載のホログラムメディアの製造方法であって、
前記一対のマスターホログラムメディア間の該マスターホログラムの厚さ方向の別の位置に焦点が位置する球面波光と参照光とを各マスターホログラムメディア内で干渉するように照射し、前記各マスターホログラムメディアに別のマスターホログラムを形成し、
前記一対のマスターホログラムメディアの前記別のマスターホログラムに参照光を照射して前記ホログラムメディアに別のホログラムを形成する
ホログラムメディアの製造方法。
【請求項１７】
請求項１に記載のホログラムメディアの製造方法であって、
前記ホログラムメディアは、書き込み型であり、
前記ホログラムはアドレス情報および／またはサーボ情報であるホログラムメディアの製造方法。
【請求項１８】
請求項１に記載のホログラムメディアの製造方法であって、
前記ホログラムメディアは読み取り型であるホログラムメディアの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ホログラムメディアの製造方法、マスターホログラムメディアの製造方法、記録媒体及びホログラムメディア製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
次世代光メモリの有力な候補として、R. R. McLeod et al.,"Microholographic multilayer optical disk data storage," Appl. Opt., Vol. 44, 2005, pp3197に記載の所謂マイクロホログラム方式が提案されている。
【０００３】
この方式においては、情報記録時に干渉性のある記録光を２つの対物レンズを用いて記録メディアの表面、及び裏面の両者から同時に記録メディア中にそれぞれの集光位置が一致するように照射し、微小なホログラムを記録する。
【０００４】
更に記録メディア中で３次元的に記録光の集光位置を変化させ、微小なホログラムを記録メディア中に体積記録してゆく。
【０００５】
情報の再生においては、記録メディア中に再生光を対物レンズにより集光し、記録された微小ホログラムから生じる再生光を検出する。
【０００６】
この方式によれば記録メディア中にビット状の情報が体積記録されるため、従来の光ディスクと比較して大幅な記録容量の増大が見込まれている（例えば、特許文献１参照。）。  
【非特許文献１】R. R. McLeod et al.,"Microholographic multilayer optical disk data storage," Appl. Opt., Vol. 44, 2005, pp3197
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来提案されている方法は、書き込み型の光メモリシステムを作り上げるには好適であるが、同一内容のデータを大量に複製する必要のある読み出し専用（ＲＯＭ）型の記録メディアを作製することが、記録時間の観点で極めて困難であった。
【０００８】
また、書き込み型の記録メディアの場合でも、予めサーボ情報やアドレス情報をマイクロホログラムとして記録メディア中に３次元で記録しておくことが極めて望ましいが、ＲＯＭの場合と同じ理由でこの様な情報を予め記録しておくことは極めて困難であった。
【０００９】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、マスターホログラムメディアを用いてホログラムメディアに大量の情報を短時間で記録することが可能なホログラムメディアの製造方法、マスターホログラムメディアの製造方法、記録媒体及びマスターホログラムメディア製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明に係るホログラムメディア製造方法は、一対のマスターホログラムメディアを互いに対面するように所定の間隔をもって配置し、参照光と前記一対のマスターホログラムメディア間に焦点が位置する球面波光とを各マスターホログラムメディア内で干渉するように照射し、前記各マスターホログラムメディアにマスターホログラムを形成し、前記一対のマスターホログラムメディア間にホログラムメディアを配置し、前記一対のマスターホログラムメディアに参照光を照射して前記ホログラムメディアにホログラムを形成する。
【００１１】
本発明では、互いに対面するように所定の間隔をもって一対のマスターホログラムメディアが配置された状態でマスターホログラムメディアにマスターホログラムを形成することで、この一対のマスターホログラムメディアを繰り返し用いて複数のホログラムメディアに大量のホログラムを短時間に形成することができる。つまり、一度製造したマスターホログラムメディア間に、ホログラムメディアを配置しマスターホログラムに参照光を照射することを繰り返すことで、大量のホログラムメディアにそれぞれ大量のホログラムを短時間で形成することができる。
【００１２】
前記マスターホログラムメディア及び前記ホログラムメディアは円板形状を有し、前記マスターホログラムメディアの直径が、前記ホログラムメディアの直径より大きくなるようにしてもよい。
【００１３】
これにより、ホログラムメディアにホログラムを形成できない領域をなくすことができる。
【００１４】
前記参照光は平面波光であることが好ましい。これにより、再生時に記録時と反対方向に進行する参照光をホログラムに照射して、記録時と反対方向に進行する信号光を発生させることができる。波面が全く同一で、進行方向だけが反対向きの参照光（位相共役光）をいかに発生させるかが重要であるが平面波を用いることで、この様な位相共役光を発生させることができる。
【００１５】
前記マスターホログラムメディアに前記マスターホログラムを形成するときの前記参照光は、前記球面波光が伝播する向きと反対向きに前記各マスターホログラムメディアに垂直に入射することが好ましい。
【００１６】
これにより、球面波光及び参照光をそれぞれ一方向からマスターホログラムに入射すればよいので、マスターホログラムメディアにマスターホログラムを形成する装置の部品数を低減させコスト低下を図ることができる。
【００１７】
この場合、前記ホログラムメディアに前記ホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムメディアの一方の外側から前記各マスターホログラムメディアに垂直に入射し透過して、反射ミラーで反射し、前記各マスターホログラムメディアに入射し透過する。
【００１８】
これにより、参照光を一方向からマスターホログラムメディアに入射すればよいので、ホログラムメディアにホログラムを形成する装置の部品数を減少させ低コスト化を図ることができる。
【００１９】
前記マスターホログラムメディアに前記マスターホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムの一方の外側から前記各マスターホログラムメディアに斜めに入射するようにしてもよい。
【００２０】
これにより、参照光をマスターホログラムメディアの一方の外側から照射すればよいので、参照光を照射するための構成部品数を低減することができる。
【００２１】
この場合、前記ホログラムメディアに前記ホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムの各外側から反対向きに前記各マスターホログラムメディアに斜めに入射すればよい。
【００２２】
これにより、各マスターホログラムメディアにマスターホログラムを形成することができる。
【００２３】
前記ホログラムメディアに前記ホログラムを形成するときに、前記参照光を円錐ミラーの母線の各位置で反射し一方のマスターホログラムメディアに照射すると共に、前記参照光を逆円錐ミラーの母線の各位置で反射し他方のマスターホログラムメディアに照射するようにしてもよい。
【００２４】
前記マスターホログラムメディアに前記マスターホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムの各外側から反対向きに前記各マスターホログラムメディアに斜めに入射してもよい。
【００２５】
この場合、前記ホログラムメディアに前記ホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムの一方の外側から前記各マスターホログラムメディアに斜めに入射すればよい。
【００２６】
前記マスターホログラムメディアに前記マスターホログラムを形成するときに、前記一対のマスターホログラムメディア間に前記ホログラムメディアと同一の屈折率、及び厚みを有する補正板を配置することが好ましい。
【００２７】
これにより、マスターホログラムメディアにマスターホログラムを形成するときの球面波光の波面と、一対のマスターホログラムメディア間にホログラムメディアが配置されているときの球面波光の波面とを同じにすることができる。
【００２８】
前記球面波光は、前記各マスターホログラムメディア間に前記ホログラムメディアを挿入し前記各マスターホログラムメディアの各外側から前記各マスターホログラムメディアに向けて平面波光を照射した際に、各マスターホログラムで生成された該２つの該球面波光の焦点が一致するように形成され、前記マスターホログラムメディアに前記マスターホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムの一方の外側から前記各マスターホログラムメディアに斜めに入射するようにしてもよい。
【００２９】
これにより、参照光を照射するための装置の部品数を低減することができる。
【００３０】
この場合、前記ホログラムメディアに前記ホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムの一方の外側から前記各マスターホログラムメディアに斜めに入射すればよい。
【００３１】
これにより、参照光を照射するための装置の部品数を低減することができる。
【００３２】
前記マスターホログラムメディアに前記マスターホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムの各外側かつ前記球面波光の伝播する領域に対して同じ側から前記各マスターホログラムメディアに斜めに入射してもよい。
【００３３】
この場合、前記ホログラムメディアに前記ホログラムを形成するときの前記参照光は、前記一対のマスターホログラムの各外側かつ前記焦点に対して同じ側から前記各マスターホログラムメディアに斜めに入射すればよい。
【００３４】
これにより、各マスターホログラムメディアのマスターホログラムで球面波光を生成し、各球面波光の干渉によりホログラムメディアにホログラムを形成することができる。
【００３５】
前記ホログラムメディアに前記ホログラムを形成するときに、前記参照光を第１の円錐ミラーの母線の各位置で反射し一方のマスターホログラムメディアに照射すると共に、前記参照光を第２の円錐ミラーの母線の各位置で反射し他方のマスターホログラムメディアに照射するようにしてもよい。
【００３６】
前記マスターホログラムメディアに前記マスターホログラムを形成するときに、前記マスターホログラムメディアを回転させると共に、前記球面波光を照射する位置を前記マスターホログラムメディアの半径方向に移動させることが好ましい。
【００３７】
これにより、マスターホログラムメディアに螺旋状にマスターホログラムを形成することができる。
【００３８】
前記一対のマスターホログラムメディアに替えて一対の別のマスターホログラムメディアを互いに対面するように所定の間隔をもって配置し、前記一対の別のマスターホログラムメディア間の別の位置に焦点が位置する球面波光と参照光とをそれぞれ別のマスターホログラムメディア内で干渉するように照射し、それぞれ前記別のマスターホログラムメディアに別のマスターホログラムを形成し、前記一対の別のマスターホログラムメディア間に前記ホログラムメディアを配置し、前記一対の別のマスターホログラムメディアに参照光を照射して前記ホログラムメディアに別のホログラムを形成するようにしてもよい。
【００３９】
これにより、ホログラムメディアの厚さ方向に複数の層にホログラムを形成することができる。この結果、ホログラムメディアの記憶容量を大幅に増加させることができる。
【００４０】
前記一対のマスターホログラムメディア間の別の位置に焦点が位置する球面波光と参照光とを各マスターホログラムメディア内で干渉するように照射し、前記各マスターホログラムメディアに別のマスターホログラムを形成し、前記一対のマスターホログラムメディアの前記別のマスターホログラムに参照光を照射して前記ホログラムメディアに別のホログラムを形成するようにしてもよい。
【００４１】
これにより、一対のマスターホログラムメディアに複数のマスターホログラムが多重記録され、これらのマスターホログラムに参照光を照射することで、一対のマスターホログラムメディアを用いて厚さ方向の別の位置にホログラムを形成することができる。
【００４２】
前記ホログラムメディアは、書き込み型であり、前記ホログラムはアドレス情報である。これにより、書き込み型のホログラムメディアに大量のアドレス情報を短時間で記録することができる。
【００４３】
前記ホログラムメディアは、書き込み型であり、前記ホログラムはサーボ情報である。これにより、書き込み型のホログラムメディアに大量のサーボ情報を短時間で記録することができる。
【００４４】
前記ホログラムメディアは読み取り型である。これにより、同一内容のデータを大量に複製する必要のある読み取り型のホログラムメディアを短時間で製造することができる。
【００４５】
本発明に係るマスターホログラム製造方法は、一対のマスターホログラムメディアを互いに対面するように所定の間隔をもって配置し、前記一対のマスターホログラムメディア間に焦点が位置する球面波光と参照光とを各マスターホログラムメディア内で干渉するように照射し、前記各マスターホログラムメディアにマスターホログラムを形成する。
【００４６】
本発明では、所定の間隔をもって配置したマスターホログラムメディアにそれぞれマスターホログラムを形成することができるので、マスターホログラムメディア間にホログラムメディアを配置しマスターホログラムに参照光を照射することを繰り返すことで、大量のホログラムメディアにそれぞれ大量のホログラムを短時間に形成することができる。
【００４７】
前記マスターホログラムメディア及び前記ホログラムメディアは円板形状を有し、前記マスターホログラムメディアの直径が、前記ホログラムメディアの直径より大きくなるようにしてもよい。
【００４８】
これにより、ホログラムメディアにホログラムを形成できない領域をなくすことができる。
【００４９】
前記参照光は平面波光であることが好ましい。これにより、再生時に記録時と反対方向に進行する参照光をホログラムに照射して、記録時と反対方向に進行する信号光を発生させることができる。波面が全く同一で、進行方向だけが反対向きの参照光（位相共役光）をいかに発生させるかが重要であるが平面波を用いることで、この様な位相共役光を発生させることができる。
【００５０】
前記マスターホログラムメディアに前記マスターホログラムを形成するときの前記参照光は、前記球面波光が伝播する向きと反対向きに前記各マスターホログラムメディアに垂直に入射することが好ましい。
【００５１】
これにより、球面波光及び参照光をそれぞれ一方向からマスターホログラムに入射すればよいので、マスターホログラムメディアにマスターホログラムを形成する装置の部品数を低減させコスト低下を図ることができる。
【００５２】
本発明に係る記録媒体は、第１のマスターホログラムが形成された第１のマスターホログラムメディアと、前記第１のマスターホログラムメディアと所定の間隔をもって互いに対向するように配置され、第２のマスターホログラムが形成された第２のマスターホログラムメディアとを具備し、前記第１のマスターホログラム及び前記第２のマスターホログラムへの参照光の照射により、前記第１のマスターホログラム及び前記第２のマスターホログラム間に配置されたホログラムメディアで焦点を結ぶ球面波光を生成する。
【００５３】
本発明では、このような構造の一対のマスターホログラムメディアを用いることで、大量のホログラムメディアにそれぞれ大量のマイクロホログラムを短時間で転写することができる。
【００５４】
本発明に係るホログラムメディア製造装置は、一対のマスターホログラムメディアを互いに対面するように所定の間隔をもって配置する手段と、前記一対のマスターホログラムメディア間に焦点が位置する球面波光と参照光とを各マスターホログラムメディア内で干渉するように照射し、前記各マスターホログラムメディアにマスターホログラムを形成する光学機構と、前記一対のマスターホログラムメディア間にホログラムメディアを配置し固定する手段と、前記一対のマスターホログラムメディアに参照光を照射して前記ホログラムメディアにホログラムを形成する露光手段とを具備する。
【００５５】
本発明では、互いに対面するように所定の間隔をもって一対のマスターホログラムメディアが配置された状態でマスターホログラムメディアにマスターホログラムを形成することで、この一対のマスターホログラムメディアを繰り返し用いて複数のホログラムメディアに大量のホログラムを短時間に形成することができる。つまり、一度製造したマスターホログラムメディア間に、ホログラムメディアを配置しマスターホログラムに参照光を照射することを繰り返すことで、大量のホログラムメディアにそれぞれ大量のホログラムを短時間で形成することができる。
【発明の効果】
【００５６】
以上のように、本発明によれば、互いに対面するように所定の間隔をもって配置されそれぞれマスターホログラムが形成された一対のマスターホログラムメディアを用いて、ホログラムメディアに大量の情報を短時間で記録することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。  
図１は本発明の一実施形態に係るマスターホログラムの製造方法の原理を示すフローチャートである。  
図１に示すように、一対のマスターホログラムメディアを互いに対面するように所定の間隔をもって配置する（ＳＴ１０１）。
【００５８】
一対のマスターホログラムメディア間に焦点が位置する球面波光と参照光とを各マスターホログラムメディア内で干渉するように照射する（ＳＴ１０２）。これにより、各マスターホログラムメディアにマスターホログラムを形成する。
【００５９】
一対のマスターホログラムメディア間にホログラムメディアを配置する（ＳＴ１０３）。
【００６０】
一対のマスターホログラムメディアのマスターホログラムに平面波参照光を照射し、各マスターホログラムで生成された各球面波光をホログラムメディア内で干渉させ、ホログラムメディア内にホログラムを形成する（ＳＴ１０３）。
【００６１】
以下、マスターホログラムの記録原理及びマイクロホログラムの記録原理について図２〜図９を用いて説明する。  
図２は、マスターホログラムの記録原理（１）を説明するための図、図３はマイクロホログラムの記録原理（１）を説明するための図である。  
図２に示すように、一対のマスターホログラムメディア１、２を互いに対面するように所定の間隔ｈをもって外周をメディア押え３で押えて平行に配置する。このとき、一対のマスターホログラムメディア１、２間に後述するホログラムメディア６と屈折率、厚さが同じ（またはほぼ同じ）補正板４を配置する。補正板４は、例えばガラス板である。
【００６２】
図２に示すように、平面波光Ｐを対物レンズ５に照射し球面波光Ｓをマスターホログラムメディア１、２に入射すると共に、参照光Ｒを、球面波光Ｓが伝播する向きと反対向きにマスターホログラムメディア１、２に垂直に入射する。参照光Ｒは、球面波光Ｓと可干渉である。このとき、球面波光Ｓの光軸と、参照光Ｒの光軸とが一致し、一対のマスターホログラムメディア１、２間に焦点ｆが位置するようにする。この結果、球面波光Ｓと参照光Ｒとが各マスターホログラムメディア１、２内で干渉し、マスターホログラムメディア１内にマスターホログラムＨ１、マスターホログラムメディア２内にＨ２が形成される。
【００６３】
図３に示すように、一対のマスターホログラムメディア１、２の間にホログラムメディア６を配置する。ホログラムメディア６は、例えば書き込み型や読み取り型（ＲＯＭ型）であり、ホログラムメディア６内に形成されるホログラムは記録情報やアドレス情報やサーボ情報となる。
【００６４】
図３に示すように、参照光Ｒを、図２に示す球面波光Ｓが伝播する向きと反対向きに各マスターホログラムメディア１、２に垂直に入射する。
【００６５】
参照光Ｒは、マスターホログラムメディア２の外側から各マスターホログラムメディア１、２に垂直に入射し透過して、ミラーＭで反射し、反射した参照光Ｒ２は再び各マスターホログラムメディア１、２に入射し透過する。参照光Ｒと、参照光Ｒ２とは、互いに可干渉である。
【００６６】
参照光Ｒがマスターホログラムメディア１のマスターホログラムＨ１を透過するときに球面波光Ｓ１が生成され、参照光Ｒ２がマスターホログラムメディア２のマスターホログラムＨ２を透過するときに、球面波光Ｓ２が生成される。この結果、球面波光Ｓ１及び球面波光Ｓ２がホログラムメディア６内で干渉し、エネルギー密度の高い焦点ｆの近傍にのみマイクロホログラムＨ３が形成される。
【００６７】
図４は、マスターホログラムの記録原理（２）を説明するための図、図５はマイクロホログラムの記録原理（２）を説明するための図である。  
図４に示すように、一対のマスターホログラムメディア１、２を互いに対面するように所定の間隔ｈをもって外周をメディア押え３で押えて平行に配置する。このとき、一対のマスターホログラムメディア１、２間にホログラムメディア６と屈折率、厚さが同じまたはほぼ同じ補正板４を配置する。補正板４は、例えばガラス板である。
【００６８】
図４に示すように、平面波光Ｐを対物レンズ５に照射し球面波光Ｓをマスターホログラムメディア１に入射すると共に、参照光Ｒを、マスターホログラムメディア１の外側から各マスターホログラムメディア１、２に斜めに入射する。このとき、一対のマスターホログラムメディア１、２間に焦点ｆが位置するようにする。この結果、球面波光Ｓと参照光Ｒとが各マスターホログラムメディア１、２内で干渉し、マスターホログラムメディア１内にマスターホログラムＨ１、マスターホログラムメディア２内にＨ２が形成される。
【００６９】
図５に示すように、一対のマスターホログラムメディア１、２の間にホログラムメディア６を配置する。
【００７０】
図５に示すように、参照光Ｒを、一対のマスターホログラムメディア１、２の各外側から反対向きに各マスターホログラムメディア１、２のマスターホログラムＨ１、Ｈ２に斜めに入射する。マスターホログラムメディア１に入射する参照光Ｒと、マスターホログラムメディア２に入射する参照光Ｒとは、互いに可干渉である。
【００７１】
参照光Ｒがマスターホログラムメディア１のマスターホログラムＨ１に入射するときに球面波光Ｓ１が生成され、参照光Ｒがマスターホログラムメディア２のマスターホログラムＨ２に入射するときに、球面波光Ｓ２が生成される。この結果、球面波光Ｓ１及び球面波光Ｓ２がホログラムメディア６内で干渉し、エネルギー密度の高い焦点ｆの近傍にのみマイクロホログラムＨ３が形成される。
【００７２】
図６は、マスターホログラムの記録原理（３）を説明するための図、図７はマイクロホログラムの記録原理（３）を説明するための図である。  
図６に示すように、一対のマスターホログラムメディア１、２を互いに対面するように所定の間隔ｈをもって外周をメディア押え３で押えて平行に配置する。このとき、一対のマスターホログラムメディア１、２間にホログラムメディア６と屈折率、厚さが同じまたはほぼ同じ補正板４を配置する。
【００７３】
図６に示すように、平面波光Ｐを対物レンズ５に照射し球面波光Ｓをマスターホログラムメディア１及び２に入射すると共に、参照光Ｒを、一対のマスターホログラムメディア１、２の各外側から反対向きに各マスターホログラムメディア１、２に斜めに入射する。このとき、一対のマスターホログラムメディア１、２間に焦点ｆが位置するようにする。この結果、球面波光Ｓと参照光Ｒとが各マスターホログラムメディア１、２内で干渉し、マスターホログラムメディア１内にマスターホログラムＨ１、マスターホログラムメディア２内にＨ２が形成される。
【００７４】
図７に示すように、一対のマスターホログラムメディア１、２の間にホログラムメディア６を配置する。
【００７５】
図７に示すように、参照光Ｒを、マスターホログラムメディア１の外側から各マスターホログラムメディア１、２のマスターホログラムＨ１、Ｈ２に斜めに入射する。マスターホログラムメディア１に入射する参照光Ｒと、マスターホログラムメディア２に入射する参照光Ｒとは、互いに可干渉である。マスターホログラムメディア１に入射する参照光Ｒと、マスターホログラムメディア２に入射する参照光Ｒとは、同一のレーザ光源から射出される同一の光であってもよい。マスターホログラムメディア１と補正板４とを透過した平面波参照光を、マスターホログラムメディア２に照射する参照光Ｒとしてもよい。
【００７６】
参照光Ｒがマスターホログラムメディア１のマスターホログラムＨ１に入射するときに球面波光Ｓ１が生成され、参照光Ｒ２がマスターホログラムメディア２のマスターホログラムＨ２に入射するときに、球面波光Ｓ２が生成される。この結果、球面波光Ｓ１及び球面波光Ｓ２がホログラムメディア６内で干渉し、エネルギー密度の高い焦点ｆの近傍にのみマイクロホログラムＨ３が形成される。
【００７７】
図８は、マスターホログラムの記録原理（４）を説明するための図、図９はマイクロホログラムの記録原理（４）を説明するための図である。  
図８に示すように、一対のマスターホログラムメディア１、２を互いに対面するように所定の間隔ｈをもって外周をメディア押え３で押えて平行に配置する。一対のマスターホログラムメディア１、２間には、補正板４を必ずしも配置する必要はない。
【００７８】
図８に示すように、平面波光Ｐ１を対物レンズ５に照射し球面波光Ｓ１をマスターホログラムメディア１に入射し、平面波光Ｐ２を対物レンズ５´に照射し球面波光Ｓ２をマスターホログラムメディア２に入射する。参照光Ｒと、球面波光Ｓ１及びＳ２とは可干渉である。このとき、平面波光Ｐ１と平面波光Ｐ２との光軸を一致させ、焦点ｆについては、ホログラムメディア６の挿入時に一致するように調整されている。参照光Ｒを、一対のマスターホログラムメディア１、２の各外側かつ球面波光Ｓ１及びＳ２の伝播する領域に対して同じ側（図８では球面波光Ｓ１及びＳ２の右側）から各マスターホログラムメディア１、２に斜めに入射する。この結果、球面波光Ｓ１と参照光Ｒとがマスターホログラムメディア１内で干渉し、マスターホログラムメディア１内にマスターホログラムＨ１が形成され、球面波光Ｓ２と参照光Ｒとがマスターホログラムメディア２内で干渉し、マスターホログラムメディア２内にマスターホログラムＨ２が形成される。
【００７９】
図９に示すように、一対のマスターホログラムメディア１、２の間にホログラムメディア６を配置する。
【００８０】
図９に示すように、参照光Ｒを、一対のマスターホログラムメディア１、２の各外側かつマスターホログラムＨ１、Ｈ２に対して同じ側（図９ではマスターホログラムＨ１、Ｈ２の右側）から各マスターホログラムメディア１、２に斜めに入射する。
【００８１】
参照光Ｒがマスターホログラムメディア１のマスターホログラムＨ１に入射するときに球面波光Ｓ１が生成され、参照光Ｒがマスターホログラムメディア２のマスターホログラムＨ２に入射するときに、球面波光Ｓ２が生成される。この結果、球面波光Ｓ１及び球面波光Ｓ２がホログラムメディア６内で干渉し、エネルギー密度の高い焦点ｆの近傍にのみマイクロホログラムＨ３が形成される。
【００８２】
図１０は、マスターホログラムの記録原理（５）を説明するための図、図１１はマイクロホログラムの記録原理（５）を説明するための図である。  
図１０に示すように、一対のマスターホログラムメディア１、２を互いに対面するように所定の間隔ｈをもって外周をメディア押え３で押えて平行に配置する。
【００８３】
図１０に示すように、平面波光Ｐ１を対物レンズ５に照射し球面波光Ｓ１をマスターホログラムメディア１に入射し、平面波光Ｐ２を対物レンズ５´に照射し球面波光Ｓ２をマスターホログラムメディア２に入射する。このとき、平面波光Ｐ１と平面波光Ｐ２との光軸を一致させ、焦点ｆについては、ホログラムメディア６の挿入時に一致するように調整されている。参照光Ｒを、一対のマスターホログラムメディア１の外側かつ球面波光Ｓ１及びＳ２の伝播する領域に対して同じ側（図１０では球面波光Ｓ１及びＳ２の右側）から各マスターホログラムメディア１、２に斜めに入射する。マスターホログラムメディア１に入射する参照光Ｒと、マスターホログラムメディア２に入射する参照光Ｒとは、同じレーザ光源から射出された同じ光でもよい。この結果、球面波光Ｓ１と参照光Ｒとがマスターホログラムメディア１内で干渉し、マスターホログラムメディア１内にマスターホログラムＨ１が形成され、球面波光Ｓ２と参照光Ｒとがマスターホログラムメディア２内で干渉し、マスターホログラムメディア２内にマスターホログラムＨ２が形成される。マスターホログラムメディア１と補正板４とを透過した平面波参照光を、マスターホログラムメディア２に入射する参照光Ｒとしてもよい。
【００８４】
図１１に示すように、一対のマスターホログラムメディア１、２の間にホログラムメディア６を配置する。
【００８５】
図１１に示すように、参照光Ｒを、一対のマスターホログラムメディア１の外側かつマスターホログラムＨ１、Ｈ２に対して同じ側（図１１ではマスターホログラムＨ１、Ｈ２の右側）から各マスターホログラムメディア１、２に斜めに入射する。マスターホログラムメディア１に入射する参照光Ｒと、マスターホログラムメディア２に入射する参照光Ｒとは、同じレーザ光源から射出された同じ光でもよい。
【００８６】
参照光Ｒがマスターホログラムメディア１のマスターホログラムＨ１に入射するときに球面波光Ｓ１が生成され、参照光Ｒがマスターホログラムメディア２のマスターホログラムＨ２に入射するときに、球面波光Ｓ２が生成される。この結果、球面波光Ｓ１及び球面波光Ｓ２がホログラムメディア６内で干渉し、エネルギー密度の高い焦点ｆの近傍にのみマイクロホログラムＨ３が形成される。マスターホログラムメディア１と補正板４とを透過した平面波参照光を、マスターホログラムメディア２に入射する参照光Ｒとしてもよい。
【００８７】
図１２はマスターホログラム露光装置の部分断面図、図１３はマスターホログラムメディア１、２がメディア押さえ３に押えられた斜視図である。
【００８８】
図１２に示すように、マスターホログラム露光装置１０は、マスターホログラムメディア１、２を着脱可能なスピンドル７と、スピンドル７に装着されたマスターホログラムメディア１、２を固定するためのメディア押さえ３と、球面波光Ｓをマスターホログラムメディア１、２に照射するための対物レンズ５と、参照光Ｒをマスターホログラムメディア１、２に照射するためのレーザ光源８とを備えている。
【００８９】
メディア押さえ３は、図１３に示すように円板状のマスターホログラムメディア１の外周を押え固定することができるように、略リング状を有している。メディア押え３により、マスターホログラムメディア１、２は、所定の間隔ｈをもって対面するように離間して固定される。マスターホログラムＨ４は、図１３に示すように、マスターホログラムメディア１の複数のトラックＴ１、Ｔ２及びＴ３に沿うように螺旋状に形成される。
【００９０】
スピンドル７は、円板状のマスターホログラムメディア１、２及び円板状の補正板４を装着した状態で、図示しない駆動部により回転可能である。補正板４は、マスターホログラムメディア１、２間でスピンドル７に装着される。
【００９１】
対物レンズ５は、複数枚のレンズを有するリレーレンズ９と共に後述する光学系の一部を構成している。対物レンズ５は、リレーレンズ９からの平面波光Ｐを球面波光Ｓにする。リレーレンズ９は、図１２では図示しないレーザ光源からのレーザ光が入射され、球面波光Ｓの焦点ｆの位置をマスターホログラムメディア１の厚さ方向に調節するために用いられる。
【００９２】
レーザ光源８は、平面波レーザ光源であり、平面波である参照波Ｒを球面波光Ｓの伝播方向とは反対向きにマスターホログラムメディア２に垂直に入射する。
【００９３】
マスターホログラム露光装置１０は、対物レンズ５、リレーレンズ９及びレーザ光源８をマスターホログラムメディア１、２の半径方向ｒに移動させるための図示しない移動駆動機構を備えている。移動駆動機構は、例えばモータなどにより構成されている。
【００９４】
図１４はホログラム露光装置の部分断面図である。  
図１４に示すように、ホログラム露光装置２０は、光源レーザ２１、シャッタ２２、露光制御装置２３、ミラー２４、レンズ２５、レンズ２６及びミラー２７を備えている。
【００９５】
光源レーザ２１は、ホログラムメディア６にマイクロホログラムを形成するための平面波光を射出するレーザ光源である。
【００９６】
シャッタ２２は、光源レーザ２１から射出されシャッタ２２を透過するレーザ光の光量を調節するためのシャッタである。
【００９７】
露光制御装置２３は、シャッタ２２を透過するレーザ光の光量を制御する。
【００９８】
ミラー２４は、光源レーザ２１から射出されたレーザ光をレンズ２５に向けて反射する。
【００９９】
レンズ２５は、ミラー２４から入射したレーザ光を発散しレンズ２６に入射させる。
【０１００】
レンズ２６は、レーザ光を平面波光にして一対のマスターホログラムメディア１、２に入射させる。
【０１０１】
ミラー２７は、マスターホログラムメディア１、２を透過したレーザ光を反射し、再びマスターホログラムメディア１、２に入射させる。
【０１０２】
次に、図１２に示したマスターホログラム露光装置１０を用いたマスターホログラムメディア１、２の製造方法、図１４に示すホログラム露光装置２０を用いたホログラムメディア６の製造方法について説明する。
【０１０３】
図１５はホログラムをホログラムメディア６に記録する方法のフローチャート、図１６は１つの記録層にマスターホログラムが記録されたマスターホログラムメディア１、２を示す部分断面図、図１７は別の記録層にマスターホログラムが記録されたマスターホログラムメディアを示す部分断面図、図１８はマイクロホログラムが形成されたホログラムメディアの部分断面図である。
【０１０４】
図１２に示すように、２枚一組のマスターホログラムメディア１、２を、スピンドル７に装着し、メディア押さえ３でそれらの外周を押さえ、マスターホログラムメディア１、２が所定の間隔ｈで離間して平行に対面するようにセットする（ＳＴ１３０１）。
【０１０５】
リレーレンズ９を制御し、球面波光Ｓの焦点ｆを一対のマスターホログラムメディア１、２間の所定の位置に位置させると共に、レーザ光源８から参照光Ｒを照射する（ＳＴ１３０２）。
【０１０６】
マスターホログラムメディア１、２を回転させつつ対物レンズ５及びレーザ光源８をマスターホログラムメディア１の半径方向ｒに移動させる。このとき、後述する光学機構（光学系）によりレーザ光源のオンオフを制御することで、平面波光Ｐのオンオフを制御し、マスターホログラムＨ４の形成、未形成の位置を制御する。これにより、平面波光Ｐが照射されているときに、マスターホログラムメディア１、２と、参照光Ｒとがそれぞれ干渉し、図１２、図１３、図１６に示すように、マスターホログラムメディア１にマスターホログラムＨ４、マスターホログラムメディア２にマスターホログラムＨ５が螺旋状に形成される（ＳＴ１３０３）。
【０１０７】
２枚一組のマスターホログラムメディア１、２をスピンドル７から取り外す（ＳＴ１３０４）。
【０１０８】
図１２に示すように、別の２枚一組のマスターホログラムメディア１´、２´をスピンドル７に装着し、メディア押さえ７で外周を押さえ平行に固定する（ＳＴ１３０５）。
【０１０９】
図１２に示すリレーレンズ９の位置を調整し、球面波光Ｓの焦点ｆの位置を、マスターホログラムメディア１の厚さ方向で異なる位置にし、スピンドル７を回転すると共に対物レンズ５及びレーザ光源８を半径方向ｒに移動させる（ＳＴ１３０６）。これにより、図１７に示すようにマスターホログラムメディア１の所定の位置にマスターホログラムＨ６、マスターホログラムメディア２の所定の位置にマスターホログラムＨ７を螺旋状に形成する。
【０１１０】
同様に所定記録層分ステップ１３０４〜ステップ１３０６を繰り返し、所定記録層に螺旋状にマスターホログラムが形成された一対のマスターホログラムメディアの組を形成する（ＳＴ１３０７）。
【０１１１】
図１４に示すように、ホログラム露光装置２０を用いて、マスターホログラムメディア１、２の間に、ホログラムメディア６を配置する（ＳＴ１３０８）。
【０１１２】
光源レーザ２１からレーザ光を射出する。射出されたレーザ光は、シャッタ２２により透過光量が制御される。シャッタ２２を透過したレーザ光は、ミラー２４で反射され、レンズ２５で発散し、レンズ２６で平面波となり、マスターホログラムメディア１、２に参照光Ｒとして入射する。
【０１１３】
図１４に示すように、参照光Ｒ１を、図１２に示す球面波光Ｓが伝播する向きと反対向きに各マスターホログラムメディア１、２に垂直に入射する。マスターホログラムメディア１、２に入射し透過した参照光Ｒ１は、ミラー２７で反射し、この反射した参照光Ｒ２は再びマスターホログラムメディア１、２に入射し透過する。
【０１１４】
参照光Ｒ１がマスターホログラムメディア１のマスターホログラムＨ４を透過するときに球面波光Ｓ４が生成され、参照光Ｒ２がマスターホログラムメディア２のマスターホログラムＨ５を透過するときに、球面波光Ｓ５が生成される。この結果、球面波光Ｓ４及び球面波光Ｓ５がホログラムメディア６内で干渉し、図１８に示すマイクロホログラムＨ８が形成される（ＳＴ１３０９）。
【０１１５】
図１６に示すマスターホログラムメディア１及び２をホログラム露光装置２０からの取り外し、図１７に示す別のマスターホログラムメディア１´及び２´を図２２に示すホログラム露光装置２０にセットする（ＳＴ１３１０）。
【０１１６】
参照光Ｒ１が図１７に示すマスターホログラムメディア１´のマスターホログラムＨ６を透過するときに同様に図示しない球面波光が生成され、参照光Ｒ２が図１７に示すマスターホログラムメディア２´のマスターホログラムＨ７を透過するときに、同様に図示しない球面波光が生成される。この結果、同様にこれらの球面波光同士がホログラムメディア６内で干渉し、図１８に示すマイクロホログラムＨ９が形成される（ＳＴ１３１１）。
【０１１７】
ステップ１３１０及びステップ１３１１を所定回数繰り返すことで、図１８に示すように所定記録層のホログラム群が形成されたホログラムメディア６を製造することができる（ＳＴ１３１２）。
【０１１８】
図１９は本発明に係るマスターホログラムメディア１、２の構造の詳細を示す断面図である。  
図１９は、マスターホログラムメディア１、２に例えばそれぞれマスターホログラムｈ１及びｈ２が形成されている例である。図１２に示すように、球面波光Ｓと、参照光Ｒとがそれぞれマスターホログラムメディア１、２内で干渉して、図１９に示すように、干渉縞が形成され、マスターホログラムｈ１及びｈ２が多重記録されている。  
具体的には、マスターホログラムメディア１、２は、所定の間隔をもって互いに対向するように配置され、それぞれマスターホログラムｈ１、ｈ２が多重記録され、マスターホログラム１及びマスターホログラム２への参照光Ｒの照射により、マスターホログラム１及びマスターホログラム２間に配置されたホログラムメディア６で焦点を結ぶ球面波光を生成する。なお、球面波光の焦点位置は２枚のマスターホログラムメディア１、２の中心に位置しない場合の方が一般的である。
【０１１９】
このような構造の一対のマスターホログラムメディア１、２を用いることで、大量のホログラムメディア６にそれぞれ大量のマイクロホログラムＨ３を短時間で転写することができる。
【０１２０】
第１の変形例のマイクロホログラムメディアの製造方法について説明する。なお、本変形例以降においては、上記実施形態と同様の構成部材には同じ符号を付し説明を省略し異なる箇所を中心に説明する。
【０１２１】
図２０は第１の変形例のマスターホログラム露光装置の部分断面図である。  
図２０に示すように、マスターホログラム露光装置３０は、レーザ光源８の代わりに、レーザ光源３１と、レーザ光源３１からのレーザ光を各マスターホログラムメディア１、２に斜めに入射させるミラー３２とを更に備えている。
【０１２２】
レーザ光源３１は、レーザ光を射出し、ミラー３２に入射させる。  
ミラー３２は、レーザ光源３１からのレーザ光を参照光Ｒとしてマスターホログラムメディア１の外側から各マスターホログラムメディア１、２に斜めに入射させる。
【０１２３】
図２０に示すように、平面波光Ｐを対物レンズ５に照射し球面波光Ｓをマスターホログラムメディア１に入射すると共に、参照光Ｒを、ミラー３２で反射し、マスターホログラムメディア１の外側から各マスターホログラムメディア１、２に斜めに入射する。このとき、一対のマスターホログラムメディア１、２間に焦点ｆが位置するようにする。この結果、球面波光Ｓと参照光Ｒとが各マスターホログラムメディア１、２内で干渉し、マスターホログラムメディア１内にマスターホログラムＨ１、マスターホログラムメディア２内にＨ２が形成される。
【０１２４】
このような構成によれば、球面波光Ｓを形成するために平面波光Ｐを射出する図示しない光源を１つ備えていればよいので、マスターホログラム露光装置３０の部品数を低減し低コスト化を図ることができる。また、レーザ光源３１から射出したレーザ光を、マスターホログラムメディア１、２に参照光Ｒとして照射することができる。従って、光源やレンズなどの部品数を低減し更にコストを削減することができる。
【０１２５】
図２１は第１の変形例のホログラム露光装置の部分断面図である。  
図２１に示すホログラム露光装置４０は、図２０に示すマスターホログラム露光装置３０を用いた場合に用いられる。
【０１２６】
図２１に示すように、ホログラム露光装置４０は、図１４に示すホログラム露光装置２０に比べて、図１４に示すレンズ２６やミラー２７等に代えて円錐ミラー４１及び逆円錐ミラー４２を備えている。
【０１２７】
円錐ミラー４１は、円錐ミラー４１の母線の各部で平面波光Ｐ１を反射し、円錐状光Ｃ１を生成し、マスターホログラムメディア１に参照光として入射させる。円錐ミラー４１は、マスターホログラムメディア１のほぼ中央に対応する位置でマスターホログラムメディア１から離間して設けられている。
【０１２８】
逆円錐ミラー４２は、逆円錐ミラー４２の傾斜曲面（母線）の各部で平面波光Ｐ２を反射し、円錐状光Ｃ２を生成し、マスターホログラムメディア２に参照光として入射させる。逆円錐ミラー４２は、マスターホログラムメディア１及び２を挟んで円錐ミラー４１側とは反対側で、マスターホログラムメディア１及び２の外周より外側に環状に配置されている。
【０１２９】
図２１に示す平面波光Ｐ１及びＰ２は、例えば図１４に示すように光源レーザ２１から射出されレンズ２６を透過して生成される。平面波光Ｐ１と平面波光Ｐ２とは互いに可干渉である。
【０１３０】
図２１に示すように、参照光としての円錐状光Ｃ１及びＣ２を、一対のマスターホログラムメディア１、２の各外側から反対向きに各マスターホログラムメディア１及び２のマスターホログラムＨ１及びＨ２に同時に斜めに入射する。
【０１３１】
参照光としての円錐状光Ｃ１がマスターホログラムメディア１の各マスターホログラムＨ１に入射するときに多数の球面波光Ｓ１が生成され、参照光としての円錐状光Ｃ２がマスターホログラムメディア２の各マスターホログラムＨ２に入射するときに、多数の球面波光Ｓ２が生成される。この結果、多数の球面波光Ｓ１及び球面波光Ｓ２がホログラムメディア６内で干渉し、同時に多数のマイクロホログラムＨ３が形成される。円錐状光Ｃ１は、２つの母線に挟まれた極狭い範囲で見た場合に平面波に近似できることから、ホログラムを再生することができる。
【０１３２】
このような構成によれば、平面波光Ｐ１を円錐ミラー４１に照射し、円錐ミラー４１の母線ｂの各位置で反射し、円錐状光Ｃ１を一度に複数のマスターホログラムＨ１に照射すると共に、平面波光Ｐ２を逆円錐ミラー４２に照射し、逆円錐ミラー４２の傾斜曲面の各位置で反射し、円錐状光Ｃ２を一度に複数のマスターホログラムＨ２に照射することができる。従って、大量のマイクロホログラムＨ３を一度に形成することができるので、短時間でホログラムメディア６を形成することができる。
【０１３３】
図２２は第２の変形例のマスターホログラム露光装置の部分断面図である。  
図２２に示すように、マスターホログラム露光装置５０は、図２０に示すマスターホログラム露光装置３０に比べて、ミラー５１を備えている点が異なる。
【０１３４】
ミラー３２は、入射する参照光Ｒを反射し、反射した参照光Ｒをマスターホログラムメディア１の外側からマスターホログラムメディア１に斜めに入射させる。入射した参照光Ｒは、球面波光Ｓとマスターホログラムメディア１内で干渉し、マスターホログラムＨ１が形成される。
【０１３５】
ミラー５１は、対物レンズ５などと連動してマスターホログラムメディア１の半径方向に移動可能に設けられている。ミラー５１は、入射する参照光Ｒを反射し、反射した参照光Ｒをマスターホログラムメディア２の外側からマスターホログラムメディア２に斜めに入射させる。ミラー５１で反射された参照光Ｒは、ミラー３２で反射された参照光Ｒと反対向きに進む。マスターホログラムメディア２に入射した参照光Ｒは、球面波光Ｓとマスターホログラムメディア２内で干渉し、マスターホログラムＨ２が形成される。
【０１３６】
このような構成にしても、マスターホログラムメディア１にマスターホログラムＨ１を形成し、マスターホログラムメディア２にマスターホログラムＨ２を螺旋状に形成することができる。
【０１３７】
図２３は第２の変形例のホログラム露光装置の部分断面図である。  
図２３に示すように、ホログラム露光装置６０は、円錐ミラー６１を備えている。円錐ミラー６１は、円錐ミラー６１に入射する参照光である平面波光Ｐを母線ｂの各位置で反射し、反射した円錐状光Ｃ１をマスターホログラムメディア１の外側からマスターホログラムメディア１及び２に斜めに入射させる。
【０１３８】
参照光である円錐状光Ｃ１がマスターホログラムメディア１のマスターホログラムＨ１に入射することで球面波光Ｓ１が生成され、参照光である円錐状光Ｃ１がマスターホログラムメディア２のマスターホログラムＨ２に入射することで球面波光Ｓ２が生成される。この結果、球面波光Ｓ１及び球面波光Ｓ２がホログラムメディア６内で干渉し、マイクロホログラムＨ３が形成される。
【０１３９】
図２４は第３の変形例のマスターホログラム露光装置の部分断面図である。  
図２４に示すように、マスターホログラム露光装置７０は、図２２に示すマスターホログラム露光装置５０に比べて、対物レンズ７１を更に備え、ミラー５１の代わりにミラー７２を備えている点が異なる。
【０１４０】
対物レンズ７１は、対物レンズ７１に入射する平面波光Ｐ２を球面波光Ｓ２にする。球面波光Ｓ２の焦点ｆは、対物レンズ５を透過した球面波光Ｓの焦点ｆと一致する。球面波光Ｓと球面波光Ｓ２との光軸は、例えばマスターホログラムメディア１に垂直になるように設定されている。
【０１４１】
ミラー７２は、マスターホログラムメディア１及び２を挟んで、ミラー３２と対称な位置に配置されている。ミラー７２は、ミラー７２に入射した参照光Ｒを反射しマスターホログラムメディア２の外側からマスターホログラムメディア２に斜めに入射させる。
【０１４２】
図２４に示すように、平面波光Ｐを対物レンズ５に照射し球面波光Ｓをマスターホログラムメディア１に入射し、平面波光Ｐ２を対物レンズ７１に照射し球面波光Ｓ２をマスターホログラムメディア２に入射する。このとき、マスターホログラムメディア１，２間にホログラムメディアを挿入した際に、２つの球面波Ｓ、Ｓ２の焦点が一致するようになっている。参照光Ｒを、一対のマスターホログラムメディア１の外側かつ球面波光Ｓ及びＳ２の伝播する領域に対して同じ側（図２４では球面波光Ｓ及びＳ２の右側）から各マスターホログラムメディア１、２に斜めに入射する。この結果、球面波光Ｓと参照光Ｒとがマスターホログラムメディア１内で干渉し、マスターホログラムメディア１内にマスターホログラムＨ１が形成され、球面波光Ｓ２と参照光Ｒとがマスターホログラムメディア２内で干渉し、マスターホログラムメディア２内にマスターホログラムＨ２が形成される。
【０１４３】
図２５は第３の変形例のホログラム露光装置の部分断面図である。  
図２５に示すように、ホログラム露光装置８０は、図２３のホログラム露光装置６０に比べて、円錐ミラー８１を更に備えている点が異なる。
【０１４４】
円錐ミラー８１は、マスターホログラムメディア１及び２を挟んで円錐ミラー６１と対称に配置されている。円錐ミラー８１は、入射する平面波光Ｐ２をその母線の各位置で反射し円錐状光Ｃ３を生成し、円錐状光Ｃ３をマスターホログラムメディア２に入射させる。
【０１４５】
図２５に示すように、露光する前に、一対のマスターホログラムメディア１、２の間にホログラムメディア６を配置する。
【０１４６】
図２５に示すように、参照光である円錐状光Ｃ１を、マスターホログラムメディア１の外側からマスターホログラムメディア１に斜めに入射し、参照光である円錐状光Ｃ３をマスターホログラムメディア２の外側からマスターホログラムメディア２に斜めに入射する。
【０１４７】
参照光である円錐状光Ｃ１がマスターホログラムメディア１の多数のマスターホログラムＨ１に入射するときに多数の球面波光Ｓ１が生成され、参照光である円錐状光Ｃ２がマスターホログラムメディア２の多数のマスターホログラムＨ２に入射するときに、多数の球面波光Ｓ２が生成される。この結果、多数の球面波光Ｓ１及び球面波光Ｓ２がホログラムメディア６内で干渉し、多数のマイクロホログラムＨ３が形成される。
【０１４８】
このような構成によれば、円錐ミラー６１により生じた円錐状光Ｃ１をマスターホログラムメディア１の複数のマスターホログラムＨ１に入射させ、円錐ミラー８１により生じた円錐状光Ｃ２をマスターホログラムメディア２の複数のマスターホログラムＨ２に入射させることができる。この結果、各マスターホログラムＨ１で生成された球面波光Ｓ１と、各マスターホログラムＨ２で生成された球面波光Ｓ２とが、それぞれホログラムメディア６内で干渉し、一度の露光で複数のマイクロホログラムＨ３を短時間で形成することができる。
【０１４９】
これを実現するために、図２４のマスターホログラム露光装置７０のミラー３２及び７２により、参照光Ｒをマスターホログラムメディア１の中心側から外側に向かうようにすることができる。つまり、ミラー７２に参照光Ｒを射出する図示しないレーザ光源と、スピンドル７との機械的な干渉を回避することができる。
【０１５０】
図２６は第４の変形例のマスターホログラム露光装置の部分断面図である。  
図２６に示すように、マスターホログラム露光装置９０は、図２４に示すマスターホログラム露光装置７０に比べて、ミラー７２を備えず、参照光Ｒをマスターホログラムメディア１及び２に向けて反射するミラー３２を備えている点が異なる。
【０１５１】
図２６に示すように、平面波光Ｐを対物レンズ５に照射し球面波光Ｓ１をマスターホログラムメディア１に入射し、平面波光Ｐ２を対物レンズ７１に照射し球面波光Ｓ２をマスターホログラムメディア２に入射する。このとき、マスターホログラムメディア１，２間にホログラムメディアを挿入した際に、２つの球面波Ｓ、Ｓ２の焦点が一致するようになっている。参照光Ｒを、マスターホログラムメディア１の外側かつ球面波光Ｓ及びＳ２の伝播する領域に対して同じ側（図２６では球面波光Ｓ及びＳ２の右側）から各マスターホログラムメディア１、２に斜めに入射する。この結果、球面波光Ｓと参照光Ｒとがマスターホログラムメディア１内で干渉し、マスターホログラムメディア１内にマスターホログラムＨ１が形成され、球面波光Ｓ２と参照光Ｒとがマスターホログラムメディア２内で干渉し、マスターホログラムメディア２内にマスターホログラムＨ２が形成される。  
この場合に、ホログラムメディア６にホログラムを形成する場合には、図２３に示すホログラム露光装置６０を用いることで、同様にホログラムメディア６内にホログラムを短時間に形成することができる。
【０１５２】
図２７は第５の変形例のマスターホログラム露光装置の部分断面図である。  
図２７に示すように、マスターホログラム露光装置１００は、リレーレンズ９１及びリレーレンズ９２を備えている。
【０１５３】
リレーレンズ９１は、位置を調節可能な複数のレンズを備えており、球面波光Ｓの焦点ｆの位置を、マスターホログラムメディア１の厚さ方向に調整するために用いられる。リレーレンズ９１に入射した平面波光Ｐ１は、リレーレンズ９１を透過し、平面波光Ｐ１を対物レンズ５に入射させる。
【０１５４】
リレーレンズ９２は、マスターホログラムメディア１及び２を挟んで配置されている。リレーレンズ９２は、位置を調節可能な複数のレンズを備えており、マスターホログラムメディア１及び２間にホログラムメディアを挿入した際に、２つの球面波Ｓ、Ｓ２の焦点が一致させるようになっている。リレーレンズ９２に入射した平面波光Ｐ２は、リレーレンズ９２を透過し、平面波光Ｐ２を対物レンズ７１に入射させる。
【０１５５】
図２８は第５の変形例のマスターホログラム露光装置の焦点位置を説明するための図である。  
図２７に示すリレーレンズ９１のレンズの位置を調整することで、図２８に示す球面波光Ｐ１´が形成される。球面波光Ｐ１´は対物レンズ５に入射し、焦点位置が焦点ｆ２である球面波光Ｓ１´が生成される。
【０１５６】
図２７に示すリレーレンズ９２のレンズの位置を調整することで、図２８に示す球面波光Ｐ２´が形成される。球面波光Ｐ２´は対物レンズ７１に入射し、焦点位置が焦点ｆ２である球面波光Ｓ２´が生成される。
【０１５７】
つまり、リレーレンズ９１及び９２の各レンズ位置を調整することで、例えばマスターホログラムメディア１及び２間にホログラムメディアを挿入した際に２つの球面波Ｓ、Ｓ２の焦点が一致するようにし、例えば一対のマスターホログラムメディア１及び２に複数のマスターホログラムを多重記録することができる。
【０１５８】
図２９は、図２７に示すマスターホログラム露光装置１００及び図２５に示すホログラム露光装置８０を用いたホログラムメディアの製造方法のフローチャート、図３０はマスターホログラムが形成されたマスターホログラムメディアの部分断面図である。
【０１５９】
図２９に示すように、２枚一組のマスターホログラムメディア１及び２をマスターホログラム露光装置１００のスピンドル７に所定の間隔ｈで対面するように装着し、メディア押さえ３でマスターホログラムメディア１及び２の外周を押さえ平行に固定する（ＳＴ２７０１）。
【０１６０】
リレーレンズ９１及びリレーレンズ９２の各レンズの位置を調整し、マスターホログラムメディア１及び２間にホログラムメディアを挿入した際に２つの球面波Ｓ、Ｓ２の焦点ｆ１が一致するようにすると共に、参照光Ｒをミラー３２を介してマスターホログラムメディア１にマスターホログラムメディア１の外側から斜めに照射し、参照光Ｒをミラー７２を介してマスターホログラムメディア２にマスターホログラムメディア２の外側から斜めに照射する（ＳＴ２７０２）。
【０１６１】
図示を省略した駆動モータを駆動することで、マスターホログラムメディア１及び２を回転させると共に、対物レンズ５及び７１等をマスターホログラムメディア１の半径方向ｒに移動させる。これにより、マスターホログラムメディア１及び２と、参照光Ｒとがそれぞれ干渉し、図３０に示すようにマスターホログラムメディア１及び２にマスターホログラムＨ１が螺旋状に形成される（ＳＴ２７０４）。
【０１６２】
リレーレンズ９１及びリレーレンズ９２のレンズの位置を調整し、マスターホログラムメディア１及び２間にホログラムメディアを挿入した際に２つの球面波Ｓ１´及びＳ２´の焦点ｆ２が一致するようにすると共に、参照光Ｒをミラー３２を介してマスターホログラムメディア１にマスターホログラムメディア１の外側から斜めに照射し、参照光Ｒをミラー７２を介してマスターホログラムメディア２にマスターホログラムメディア２の外側から斜めに照射する。これにより、図３０に示すように、マスターホログラムメディア１及び２にマスターホログラムＨ２が螺旋状に形成される。これを所定の記録層分繰り返すことで、図３０に示すように複数層のホログラム群が形成されたホログラムメディア６を製造する（ＳＴ２７０５）。
【０１６３】
図２５に示すように、一対のマスターホログラムメディア１及び２間にホログラムメディア６を配置しメディア押さえ３で各外周部を押さえ平行に固定する（ＳＴ２７０６）。
【０１６４】
円錐ミラー６１に平面波光Ｐ１を入射し、円錐状光Ｃ１を生成すると共に、円錐ミラー８１に平面波光Ｐ２を入射し、円錐状光Ｃ２を生成する。
【０１６５】
円錐状光Ｃ１を図３０に示すマスターホログラムメディア１の各マスターホログラムＨ１に入射し複数の球面波光Ｓ１を生成し、円錐状光Ｃ２を図３０に示すマスターホログラムメディア２の複数のマスターホログラムＨ１に入射し複数の球面波光Ｓ２を生成する。複数の球面波光Ｓ１と球面波光Ｓ２とがホログラムメディア６内で干渉し、図１８で示したように複数のマイクロホログラムＨ８が形成される。同様に円錐状光Ｃ１は図３０に示すマスターホログラムメディア１の各マスターホログアムＨ２に入射し複数の球面波光を生成し、円錐状光Ｃ２は図３０に示すマスターホログラムメディア２の複数のマスターホログアムＨ２に入射し複数の球面波光を生成する。これらの球面波光がホログラムメディア６内で干渉し、図１８で示したようにホログラムが複数層に形成される。
【０１６６】
このように、リレーレンズ９１及び９２の各レンズの位置を調整することで、一対のマスターホログラムメディア１及び２に、図３０に示すように複数層のホログラム群が形成されたホログラムメディア６を製造することができる。この一対のマスターホログラムメディア１及び２を用いることで、図２５に示したホログラム露光装置８０を用いて一度露光することで、図１８に示したような複数層のホログラム群が形成されたホログラムメディア６を製造することができる。従って、マスターホログラムメディア１及び２にマスターホログラムを形成するときに、別の一対のマスターホログラムメディアをマスターホログラム露光装置にセットする必要がなくかつ一度の露光で多数のホログラムを形成することができるので、製造時間を大幅に短縮することができる。これにより、今まで困難と考えられていたマイクロホログラムを用いた読み取り専用型（ＲＯＭ型）のホログラムメディア６の大量生産が可能となる。
【０１６７】
マスターホログラムメディア１及び２以外のマスターホログラムメディアは不要となるので、マスターホログラムメディアの製造コストを削減することができる。
【０１６８】
ホログラムメディア６の各深さの位置に予めアドレス情報やサーボ情報をマイクロホログラムにより上述したように記録しておき、これらに基づいて、光学系を制御しながら記録情報であるマイクロホログラムを形成する書き込み型のホログラムメディア６を短時間で製造することができる。
【０１６９】
図３１は他のホログラム露光装置の部分断面図である。  
図３１に示すように、ホログラム露光装置１１０で用いられるマスターホログラムメディア１（マスターホログラムメディア２も同じ）の直径Ｌ１は、ホログラムメディア６の直径Ｌ２より大きくなっている。
【０１７０】
マスターホログラムメディア１、２及びホログラムメディア６を合わせた厚さが厚さｄ、参照光Ｒのマスターホログラムメディア１に対する入射角が入射角θのときには、マスターホログラムメディア１の直径Ｌ１は、ホログラムメディア６の直径Ｌ２より、長さｘ（＝ｄ・ｔａｎθ）の２倍分だけ長くなっている。
【０１７１】
このような構成によれば、マスターホログラムメディア１の直径Ｌ１を、ホログラムメディア６の直径Ｌ２より、長さｘ（＝ｄ・ｔａｎθ）の２倍分だけ長くすることで、ホログラムメディア６の最外周部までホログラムを形成することができる。
【０１７２】
例えば、対物レンズ５の開口数ＮＡが０．８の場合、参照光Ｒの入射角θを最小で５５度程度にすることが可能である。マスターホログラムメディア１、２の厚さがそれぞれ２００μｍ、ホログラムメディア６の厚さが６００μｍにすると、厚さｄは、１０００μｍ程度となり、長さｘ＝１４２８μｍになる。この場合、マスターホログラムメディア１及び２の直径Ｌ１をホログラムメディア６の直径Ｌ２より、長さｘ（＝１４２８μｍ）の２倍分長くすることで、ホログラムメディア６の最外周部までホログラムを形成することができる。この結果、大量生産するホログラムメディア６の露光不能部分をなくすことができる。ホログラム露光装置４０のメディア押さえ３等を透明な部材にすることで、ホログラムメディア６の露光不能部分をなくすようにすることもできる。
【０１７３】
図３２は上述したマスターホログラム露光装置１０等の光学サーボ機構を示す図である。  
図３２に示すように、光学サーボ機構１２０は、サーボ専用レーザ２０１、レンズ２０２、ビームスプリッタ２０３、ビームスプリッタ２０４、集光レンズ２０５、フォーカスサーボ用のフォトディテクタ２０６、対物レンズフォーカスサーボ装置２０７及び対物レンズアクチュエータ２０８を備えている。
【０１７４】
サーボ専用レーザ２０１は、例えば波長が６３０ｎｍのフォーカスサーボ専用のフォーカスサーボ光Ｆをレンズ２０２に向けて射出する。リレーレンズ９１を透過するレーザ光は、例えば波長が４０５ｎｍの記録用のレーザ光である。
【０１７５】
レンズ２０２は、フォーカスサーボ光Ｆをビームスプリッタ２０３に照射する。
【０１７６】
ビームスプリッタ２０３は、フォーカスサーボ光Ｆを対物レンズ５に向けて反射する。
【０１７７】
ビームスプリッタ２０４は、ビームスプリッタ２０３からのフォーカスサーボ光Ｆを透過する。ビームスプリッタ２０４を透過したフォーカスサーボ光Ｆは、対物レンズ５で集光され、マスターホログラムメディア１の基準面で反射する。マスターホログラムメディア１の基準面は、フォーカスサーボ光Ｆは反射するが、記録用のレーザ光を透過する波長選択膜である。基準面で反射したフォーカスサーボ光Ｆは、対物レンズ５を透過してビームスプリッタ２０４に入射する。ビームスプリッタ２０４は、入射したフォーカスサーボ光Ｆを集光レンズ２０５に向けて反射する。
【０１７８】
集光レンズ２０５は、ビームスプリッタ２０４で反射されたフォーカスサーボ光Ｆをフォトディテクタ２０６に集光する。
【０１７９】
フォトディテクタ２０６は、集光レンズ２０５からのフォーカスサーボ光Ｆに基づき、例えば非点収差法により対物レンズフォーカスサーボ装置２０７に信号を出力する。
【０１８０】
対物レンズフォーカスサーボ装置２０７は、フォトディテクタ２０６からの信号に基づき、対物レンズアクチュエータ２０８を制御するための制御信号を出力する。
【０１８１】
対物レンズアクチュエータ２０８は、対物レンズフォーカスサーボ装置２０７からの制御信号に基づき、対物レンズ５をフォーカス制御するために移動させる。
【０１８２】
このような構成により、対物レンズ５の位置を調整し、対物レンズ５とマスターホログラムメディア１との距離を一定に保ち、平面波光のフォーカスサーボ制御を正確に行い、正確な位置にマスターホログラムを形成することができる。基準面に予めグループやピットを記録しておくことにより、対物レンズ５に対してトラッキングサーボ制御を行うことができる。
【０１８３】
図３３はマスターホログラム露光装置７０等の光学サーボ機構を示す図である。  
図３３に示すように、光学サーボ機構１３０は、リレーレンズ９２、対物レンズ５´に加えて、ミラー２０９、集光レンズ２１０、フォトディテクタ２１１、対物レンズフォーカスサーボ装置２１２及び対物レンズアクチュエータ２０８´を備えている。
【０１８４】
リレーレンズ９２は、図示しないレーザ光源からの波長４０５ｎｍの平面波光が入射し、対物レンズ５´により形成される球面波光の焦点ｆの位置をマスターホログラムメディア２の厚さ方向に調整するために用いられる。
【０１８５】
対物レンズ５´は、リレーレンズ９２からの平面波光を焦点ｆがマスターホログラムメディア１及び２の間に位置する球面波光にする。
【０１８６】
ミラー２０９は、対物レンズ５´、マスターホログラムメディア１及び２、対物レンズ５、ビームスプリッタ２０４、２０３、リレーレンズ９１を透過したレーザ光（図３３の下からを上に向かうレーザ光）を、集光レンズ２１０に向けて反射する。
【０１８７】
集光レンズ２１０は、ミラー２０９からのレーザ光をフォトディテクタ２１１に集光する。
【０１８８】
フォトディテクタ２１１は、集光レンズ２１０からのレーザ光をフォーカスサーボ光として用いる。つまり、フォトディテクタ２１１は、このフォーカスサーボ光に基づき、例えば非点収差法により対物レンズフォーカスサーボ装置２１２に信号を出力する。
【０１８９】
対物レンズフォーカスサーボ装置２１２は、フォトディテクタ２１１からの信号に基づき、対物レンズアクチュエータ２０８´を制御するための制御信号を出力する。
【０１９０】
対物レンズアクチュエータ２０８´は、対物レンズフォーカスサーボ装置２１２からの制御信号に基づき、対物レンズ５´をフォーカス制御するために移動させる。
【０１９１】
このような構成により、対物レンズ５及び５´の位置を調整し、対物レンズ５と対物レンズ５´との相対距離を一定に保ち、対物レンズ５とマスターホログラムメディア１との距離を一定に保ち、対物レンズ５´とマスターホログラムメディア２との距離を一定に保ち、平面波光のフォーカスサーボ制御を正確に行い、正確な位置にマスターホログラムを形成することができる。
【０１９２】
なお、本発明は以上説明した実施の形態には限定されるものではなく、本発明の技術思想の範囲内で種々の変形が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１９３】
【図１】図１は本発明の一実施形態に係るマスターホログラムの製造方法の原理を示すフローチャートである。
【図２】マスターホログラムの記録原理（１）を説明するための図である。
【図３】マイクロホログラムの記録原理（１）を説明するための図である。
【図４】マスターホログラムの記録原理（２）を説明するための図である。
【図５】マイクロホログラムの記録原理（２）を説明するための図である。
【図６】マスターホログラムの記録原理（３）を説明するための図である。
【図７】マイクロホログラムの記録原理（３）を説明するための図である。
【図８】マスターホログラムの記録原理（４）を説明するための図である。
【図９】マイクロホログラムの記録原理（４）を説明するための図である。
【図１０】マスターホログラムの記録原理（５）を説明するための図である。
【図１１】マイクロホログラムの記録原理（５）を説明するための図である。
【図１２】マスターホログラム露光装置の部分断面図である。
【図１３】マスターホログラムメディアがメディア押さえに押えられた斜視図である。
【図１４】ホログラム露光装置の部分断面図である。
【図１５】ホログラムをホログラムメディアに記録する方法のフローチャートである。
【図１６】１つの記録層にマスターホログラムが記録されたマスターホログラムメディアを示す部分断面図である。
【図１７】別の記録層にマスターホログラムが記録されたマスターホログラムメディアを示す部分断面図である。
【図１８】マイクロホログラムが形成されたホログラムメディアの部分断面図である。
【図１９】マイクロホログラムの構造の詳細を示す断面図である。
【図２０】第１の変形例のマスターホログラム露光装置の部分断面図である。
【図２１】第１の変形例のホログラム露光装置の部分断面図である。
【図２２】第２の変形例のマスターホログラム露光装置の部分断面図である。
【図２３】第２の変形例のホログラム露光装置の部分断面図である。
【図２４】第３の変形例のマスターホログラム露光装置の部分断面図である。
【図２５】第３の変形例のホログラム露光装置の部分断面図である。
【図２６】第４の変形例のマスターホログラム露光装置の部分断面図である。
【図２７】第５の変形例のマスターホログラム露光装置の部分断面図である。
【図２８】マスターホログラム露光装置の焦点位置を説明するための図である。
【図２９】図２７のマスターホログラム露光装置を用いたホログラム記録方法のフローチャートである。
【図３０】マスターホログラムが形成されたマスターホログラムメディアの部分断面図である。
【図３１】他のホログラム露光装置の部分断面図である。
【図３２】マスターホログラム露光装置１０等の光学サーボ機構を示す図である。
【図３３】マスターホログラム露光装置７０等の光学サーボ機構を示す図である。
【符号の説明】
【０１９４】
ｂ  母線
ｆ、ｆ１、ｆ２  焦点
ｈ  間隔
ｒ  半径方向
θ  入射角
Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３  円錐状光
Ｈ１、Ｈ２、Ｈ４、Ｈ５、Ｈ６、Ｈ７  マスターホログラム
Ｈ３  ホログラム
Ｈ８、Ｈ９  マイクロホログラム
Ｐ、Ｐ１  平面波光
Ｓ、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ４、Ｓ５  球面波光
Ｒ、Ｒ１、Ｒ２  参照光
１、２  マスターホログラムメディア
４  補正板
５、５´、７１  対物レンズ
６  ホログラムメディア
７  スピンドル
８、３１  レーザ光源
９、９１、９２  リレーレンズ
１０、３０、５０、７０、９０、１００  マスターホログラム露光装置
２０、４０、６０、８０、１１０  ホログラム露光装置
２１  光源レーザ
Ｍ、２４、２７、３２、５１、７２、２０９  ミラー
２５、２６、２０２  レンズ
４１、６１、８１  円錐ミラー
４２  逆円錐ミラー
１２０、１３０  光学サーボ機構
２０１  サーボ専用レーザ
２０５、２１０  集光レンズ
２０６、２１１  フォトディテクタ
２０７、２１２  対物レンズフォーカスサーボ装置
２０８  対物レンズアクチュエータ
【図１】
0004450062.tif 000002
【図２】
0004450062.tif 000003
【図３】
0004450062.tif 000004
【図４】
0004450062.tif 000005
【図５】
0004450062.tif 000006
【図６】
0004450062.tif 000007
【図７】
0004450062.tif 000008
【図８】
0004450062.tif 000009
【図９】
0004450062.tif 000010
【図１０】
0004450062.tif 000011
【図１１】
0004450062.tif 000012
【図１２】
0004450062.tif 000013
【図１３】
0004450062.tif 000014
【図１４】
0004450062.tif 000015
【図１５】
0004450062.tif 000016
【図１６】
0004450062.tif 000017
【図１７】
0004450062.tif 000018
【図１８】
0004450062.tif 000019
【図１９】
0004450062.tif 000020
【図２０】
0004450062.tif 000021
【図２１】
0004450062.tif 000022
【図２２】
0004450062.tif 000023
【図２３】
0004450062.tif 000024
【図２４】
0004450062.tif 000025
【図２５】
0004450062.tif 000026
【図２６】
0004450062.tif 000027
【図２７】
0004450062.tif 000028
【図２８】
0004450062.tif 000029
【図２９】
0004450062.tif 000030
【図３０】
0004450062.tif 000031
【図３１】
0004450062.tif 000032
【図３２】
0004450062.tif 000033
【図３３】
0004450062.tif 000034