(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリーブの両端に摺動し得るように嵌合させるプランジャーと、該両プランジャーを抜け出る方向に弾性付勢する弾性体とを具備してなり、前記スリーブと前記両プランジャーとは、摺動するが回転しないように形成し、一方のプランジャー摺動部は、端部からパイプの長さ方向に切り欠きを形成した形状に構成し、他方のプランジャー摺動部は、該切り欠きに嵌合する突片をパイプに連設した形状としたことを特徴とする両端摺動型コンタクトプローブ。
【請求項２】
前記弾性体が、コイルスプリングである請求項１に記載のコンタクトプローブ。
【請求項３】
前記スリーブと前記両プランジャー摺動部とを、多角形若しくは楕円形に形成して、互いに回転しないようにした請求項１又は２に記載のコンタクトプローブ。
【請求項４】
前記コイルスプリングは、前記両プランジヤー摺動部に内装され得るように形成した請求項２記載のコンタクトプローブ。
【請求項５】
略平行に配設した２枚の回路基板間に介装させて、高周波信号の回路検査に使用する請求項１〜４のいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
この発明は、略平行に配設した２枚の回路基板間に介装させて、２枚の回路基板を電気的に接続し、回路検査等に使用する両端摺動型コンタクトプローブに係り、詳記すれば、高周波信号の電子回路でも支障なく検査することができる両端摺動型コンタクトプローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年の電子機器等の小型化に伴い、これらの機器に内蔵される回路は、小面積の複数枚の回路基板を略平行に配設し、これらの回路基板間に両端摺動型コンタクトプローブを介装して、高周波路線で電気的に接続して構成する傾向にある。
【０００３】
例えば、図１の円盤状のプローブカードの断面図に示すように、円形基板１の中央の半導体デバイス２に多数の針３を併設し、同針３の後部に形成した孔に、両端摺動型コンタクトプローブ５を嵌合し、同コンタクトプローブ５の上部プランジャー６と下部プランジャー６′とは、コンピュータ基板７，７′に接触するようにして、半導体デバイス２等を検査している。
【０００４】
上記従来のコンタクトプローブにあっては、コンタクトプローブ５の上部プランジャー６と下部プランジャー６′とが基板１から突出するので、信号の減少及びこの部分からノイズが侵入し、これが特に高周波数信号の場合は、効果的な検査ができない問題があった。
【０００５】
また、従来の両端摺動型コンタクトプローブは、信号が低周波であるため、全長が少なくとも１０ｍｍ程度はあっても大きな問題とされていなかった。ただし、このようなプローブで高速動作（動作周波数５００ＭＨｚ以上）するＩＣを検査する場合、プローブの長さから生じるインダクタンス分によって正確な検査が行えない問題が生じる。
【０００６】
扱う信号が高周波数になるほど、プローブのインダクタンス分によって生じるインピーダンスは高くなるので、従来の長さのコンタクトプローブでは、将来更なる高周波に向かうＩＣの検査は、極めて困難となる。
【０００７】
プローブで生じるインダクタンス分の大きさは、プローブの全長が長いほど大きくなるから、高周波数での検査を正確に行うには、インダクタンス分の小さい、即ち全長の短いプローブが必要になる。
【０００８】
ところで、従来の両端摺動型コンタクトプローブは、図２に示すように、スリーブ８の両端側にプランジャー６，６′が軸心方向に移動自在に嵌合され、プランジャー６と６′との間には、小球９，９′を介してコイルスプリング１０が縮設されて、プランジャー６，６′が可動するように構成されている。
【０００９】
プランジャー６，６′の長さは、スリーブ８の内径の最低３倍程度必要であり、コイルスプリング１０は縮んだ状態で、スリーブ８の内径の４倍程度必要であったので、直径（内径）１ｍｍ程度のコンタクトプローブでは、プランジャー６，６′が内方に移動した状態での長さで、導通の信頼性を確保するには、１０ｍｍ程度以下にすることは不適当であった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、このような問題点を解消しようとするものであり、従来よりも著しく短くすることができ、高周波の電子回路でも支障なく検査することができる両端摺動型コンタクトプローブを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、スリーブの両端に摺動し得るように嵌合させるプランジャーと、該両プランジャーを抜け出る方向に弾性付勢する弾性体とを具備してなり、前記スリーブと前記両プランジャーとは、摺動するが回転しないように形成し、一方のプランジャー摺動部は、端部からパイプの長さ方向に切り欠きを形成した形状に構成し、他方のプランジャー摺動部は、該切り欠きに嵌合する突片をパイプに連設した形状としたことを特徴とする。
【００１２】
次に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図３は、本発明の実施例を示すものであり、導電性材料から形成された断面四角形のスリーブ８ａの両端に、導電性材料から形成された断面四角形のプランジャー６ａ，６ａ′が、摺動自在に嵌合されている。
【００１４】
プランジャー６ａ，６ａ′の摺動部は、断面四角形の筒体７ａ，７ａ′に形成され、両筒体内に導電性材料から形成されたコイルスプリング１０ａの両端部が嵌合されている。
【００１５】
プランジャー６ａ′の筒体端部には、対向面に切り欠き１２，１２′（突片１４，１４′）が形成され、プランジャー６ａの端部には、同切り欠き１２，１２′に嵌合する突片１３，１３′が、筒体に連設されている。
【００１６】
プランジャー６ａと６ａ′とが軸心方向に移動すると、切り欠き１２（１２′）と突片１３（１３′）とが嵌合するので、嵌合した分両プランジャー摺動部の長さは短くなる。
【００１７】
切り欠き１２（１２′）と突片１３（１３′）との嵌合は、密嵌するようにしても、或いは隙間を形成した遊嵌状態であっても良い。
【００１８】
スリーブ８ａの両端開口部は、内方に向けて若干カシメて小さく形成され、該狭小部４，４′でプランジャー６ａ，６ａ′の段部を係止し、プランジャー６ａ，６ａ′の抜けを防止している。この抜けを防止する手段自体は公知であり、従来の図２に示すプローブも同様に構成されている。
【００１９】
突片１３，１３′及び１４，１４′は、上方に向けて若干折曲している。従って、プランジャー６ａ，６ａ′の摺動部は、確実にスリーブ８ａに接触するので、従来必要とした小球を不要とすることができ、その結果プローブの長さを短くすることができる。
【００２０】
上記実施例では、スリーブとプランジャーの摺動部とは、断面四角形に形成されているが、多角形若しくは楕円形であっても良い。また、回転しないなら他の形状であっても良く、回転止めを形成するなら、円形であっても良い。要は、回転しないようにするなら、その形状は特に限定されない。
【００２１】
また、両プランジャーの対向面に形成する切り欠き及び突片の形状も、嵌合し得るなら、その形状は特に限定されない。
【００２５】
図３に示す実施例においては、スリーブ８ａとプランジャー６ａ及び６ａ′とは回転しないようになっている。
【００２６】
上記実施例に示すように、本発明においては、プランジャー６ａと６ａ′とを内方に摺動させた状態で、コイルスプリング（弾性体）１０ａは両プランジャーに内装され、且つプランジャー同士が嵌合するので、従来のコンタクトプローブと比べて著しく短く構成することができる。
【００２７】
具体的には、内径１ｍｍのコンタクトプローブの場合で、縮めた場合で５ｍｍ位の長さにすることができる。これは、従来の半分程度の長さに相当する。
【００２８】
上記したように、本発明においては、コイルスプリングの長さと、両プランジャーの嵌合した長さ分プローブの長さを短くすることができるが、更に、本発明によれば、従来必要とした小球を不要とすることができるので、その分プローブの長さを短くすることができる。
【００２９】
本発明のコンタクトプローブは、ＩＣソケット等電子回路全般の導通に応用可能である。
【００３０】
【発明の効果】
以上述べた如く、本発明によれば、両端摺動型コンタクトプローブの長さを従来の半分程度の長さにすることができるので、従来の高周波回路はもとより、更なる高周波回路も支障なく検査することができるというこの種公知のコンタクトプローブには、全く見られない絶大な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の両端摺動型コンタクトプローブの使用例を示す断面図（プローブカードの断面図）である。
【図２】従来の両端摺動型コンタクトプローブの断面図である。
【図３】本発明の実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
５，５ａ・・………両端摺動型コンタクトプローブ
６，６ａ，６ａ′・・………プランジャー
８，８ａ・・………スリーブ
１０，１０ａ・・………コイルスプリング
１２，１２′・・………切り欠き
１３，１３′・・………突片
【図１】
0004450397.tif 000002
【図２】
0004450397.tif 000003
【図３】
0004450397.tif 000004