(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持するための基板支持電極とその基板に対面する対向電極とを含む平行平板型高周波電極を備えた反応室の複数を用いて結晶質シリコン系薄膜をプラズマＣＶＤで形成する方法であって、
前記平行平板電極の各々は相互に対面する０．３６ｍ2以上の電極面を有し、
前記反応室内に導入される原料ガスはシランとその５０倍以上の流量比の水素とを含み、
前記反応室内は６６７Ｐａ以上の圧力に調整され、
前記基板と前記対向電極との間隔は１０ｍｍ以下に設定され、
前記複数の反応室としては、それらの各々内で堆積される前記結晶質シリコン系薄膜の局所的場所に依存する厚さの不均一性を互いに打ち消すような前記平行平板型電極の平行性を有する反応室が組み合わされて用いられることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記電極面より小さくかつ０．３６ｍ2以上の主面を有する前記基板上に前記結晶質シリコン系薄膜を堆積させた場合に、そのシリコン系薄膜の局所的場所に依存する厚さの不均一性が±１０％以内になることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はシリコン系薄膜をプラズマＣＶＤで形成する方法に関し、特に、大面積で均一な厚さを有する良質の結晶質シリコン系薄膜を比較的低温でかつ迅速に形成し得る方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
今日、シリコン系薄膜は、複写機の感光ドラム上の感光層、液晶表示パネルの透明基板上に形成されるＴＦＴ（薄膜トランジスタ）アレイ、薄膜太陽電池などにおける種々の半導体層として利用されている。シリコン系薄膜の中でも結晶質シリコン薄膜は、非晶質シリコン薄膜に比べて、低抵抗であってかつキャリアの移動度を大きくし得る点において好ましい。
【０００３】
ここで、液晶表示パネルはその画面の大型化が望まれており、薄膜太陽電池においては大きな発電能力と生産効率の向上のためにさらに大面積化が求められている。このように比較的大きな面積のシリコン系薄膜を簡便に形成し得る方法として、従来からプラズマＣＶＤ法がよく利用されている。
【０００４】
ところで、近年ではシリコン系薄膜を利用する装置の典型例である薄膜太陽電池も多様化し、従来の非晶質薄膜太陽電池の他に結晶質薄膜太陽電池も開発され、これらを積層したハイブリッド型薄膜太陽電池も実用化されつつある。
【０００５】
一般に、薄膜太陽電池は、基板上に順に積層された第１電極、１以上の半導体薄膜光電変換ユニット、および第２電極を含んでいる。そして、１つの光電変換ユニットは、ｐ型層とｎ型層でサンドイッチされたｉ型層を含んでいる。
【０００６】
光電変換ユニットの厚さの大部分を占めるｉ型層は実質的に真性の半導体層であって、光電変換作用は主としてこのｉ型層内で生じる。したがって、ｉ型光電変換層は光吸収のためには厚い方が好ましいが、必要以上に厚くすればその堆積のためのコストと時間が増大することになる。
【０００７】
他方、ｐ型やｎ型の導電型層は光電変換ユニット内に拡散電位を生じさせる役割を果たし、この拡散電位の大きさによって薄膜太陽電池の重要な特性の１つである開放端電圧の値が左右される。しかし、これらの導電型層は光電変換に直接寄与しない不活性な層であり、導電型層にドープされた不純物によって吸収される光は発電に寄与しない損失となる。したがって、ｐ型とｎ型の導電型層は、十分な拡散電位を生じさせる範囲内で、できるだけ小さな厚さを有することが好ましい。
【０００８】
このようなことから、光電変換ユニットまたは薄膜太陽電池は、それに含まれるｐ型とｎ型の導電型層が非晶質か結晶質かにかかわらず、その主要部を占めるｉ型光電変換層が非晶質のものは非晶質ユニットまたは非晶質薄膜太陽電池と称され、ｉ型光電変換層が結晶質のものは結晶質ユニットまたは結晶質薄膜太陽電池と称される。
【０００９】
ところで、薄膜太陽電池の変換効率を向上させる方法として、２以上の光電変換ユニットを積層してタンデム型にする方法がある。この方法においては、薄膜太陽電池の光入射側に大きなバンドギャップを有する光電変換層を含む前方ユニットを配置し、その後ろに順に小さなバンドギャップを有する（たとえばＳｉ−Ｇｅ合金などの）光電変換層を含む後方ユニットを配置することにより、入射光の広い波長範囲にわたって光電変換を可能にし、これによって薄膜太陽電池全体としての光電変換効率の向上が図られる。このようなタンデム型薄膜太陽電池の中でも、非晶質光電変換ユニットと結晶質光電変換ユニットの両方を含むものは特にハイブリッド型薄膜太陽電池と称される。
【００１０】
たとえば、非晶質ｉ型シリコンが光電変換し得る光の波長は長波長側において８００ｎｍ程度までであるが、結晶質ｉ型シリコンはそれより長い約１１００ｎｍ程度の波長の光までを光電変換することができる。ここで、光吸収係数の大きな非晶質シリコン光電変換層は光吸収のためには単層でも０．３μｍ以下の厚さで十分であるが、光吸収係数の小さな結晶質シリコン光電変換層は長波長の光をも十分に吸収するためには単層では２〜３μｍ程度以上の厚さを有することが好ましい。すなわち、結晶質光電変換層は、通常は、非晶質光電変換層に比べて約１０倍程度の大きな厚さを有することが望まれる。
【００１１】
従来の非晶質薄膜太陽電池（タンデム型を含む）では、その透明絶縁基板として、主として安価なソーダライム系ガラス基板が用いられてきた。この場合、ソーダライム系ガラス基板は比較的軟化点が低くて３５０℃以下で用いられることが望まれるが、非晶質光電変換ユニットは２００℃以下の基板温度におけるプラズマＣＶＤによって形成することが可能であるので、ソーダライム系ガラス基板を問題なく用いることができるのである。
【００１２】
ところで、一般的なプラズマＣＶＤ法によれば、多結晶シリコン薄膜を形成するためには、結晶化促進のための何らかの工夫をしなければ、基板温度を６００℃以上にしなければならない。しかし、このように高い基板温度を要する場合には、安価なソーダライム系ガラス基板などを用いることができない。他方、薄膜太陽電池の普及のためには、そのコストの低減が不可欠であり、結晶質シリコン系光電変換層を含む薄膜太陽電池においても、高価な石英ガラス基板などではなくて安価なソーダライム系ガラス基板などを用いることが望まれている。
【００１３】
また、上述のように結晶質シリコン系光電変換層は非晶質光電変換層に比べてはるかに大きな厚さを有することが必要である。したがって、少なくとも１の結晶質光電変換ユニットを含む薄膜太陽電池の製造においては、その生産効率を高めるために、結晶質シリコン系光電変換層の堆積速度を高めることも望まれている。
【００１４】
そこで、  特開平１１−３３０５２０は、従来から比較的薄い非晶質ｉ型光電変換層の堆積の場合に用いられていた１３３Ｐａ（１Ｔｏｒｒ）以下のプラズマ反応室内圧力の代わりに、６６７Ｐａ（５Ｔｏｒｒ）以上の高い反応室内圧力を利用することによって、高品質の厚い結晶質ｉ型光電変換層を比較的低温において高速度で堆積し得ることを開示している。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、平行平板型高周波プラズマＣＶＤ装置において、プラズマ放電を発生させて維持するためには、一般に、プラズマ反応室内のガス圧と平行平板電極間距離とは逆の関係にある。すなわち、ガス圧が小さいときには電極間距離を比較的大きくしなければならず、逆にガス圧が大きいときには電極間距離を小さくしなければならない。
【００１６】
このような反応ガス圧と電極間距離との関係からわかるように、従来のように非晶質光電変換層が１３３Ｐａ以下の低い反応ガス圧の下でプラズマＣＶＤによって堆積される場合では、基板表面と対向電極との間（Ｅ／Ｓ間）にプラズマ放電を発生かつ維持させるためには、そのＥ／Ｓ間隔を２〜２．５ｃｍの比較的広い間隔に設定することができる。しかし、結晶質光電変換層を高速度で堆積するために反応ガス圧を６６７Ｐａ以上に高く設定した場合には、基板と対向電極との間にプラズマ放電を適切に発生かつ維持させるためには、そのＥ／Ｓ間隔を約１．５ｃｍ以下で好ましくは約１ｃｍ以下の狭い範囲に設定しなければならない。
【００１７】
したがって、反応ガス圧を高く設定することに伴って、基板表面と対向電極表面との間のプラズマ放電を適切に維持するためにそれらの間隔を１０ｍｍ以下に設定する場合、たとえば一辺が１ｍの大きな矩形の基板の両端部における対向電極との距離の差がわずかに２ｍｍであっても、その電極間距離の変動率は２０％にもなる。他方、従来のように１３３Ｐａ以下の反応ガス圧の下でプラズマＣＶＤを行なう場合には、基板表面と対向電極表面との間隔はそれらの間にプラズマ放電を維持するために２０〜２５ｍｍの範囲内にあればよいので、基板の両端部において対向電極までの距離が２ｍｍの変動が生じたとしても、その誤差は１０％以下になる。
【００１８】
ここで、平行平板電極の対向面積が大きくなれば、両電極間の平行性を機械的に高精度に設定することが困難になる。その結果、大面積の基板上に均一な厚さを有する結晶質シリコン系薄膜を比較的高いガス圧のもとでプラズマＣＶＤで高速度で堆積することが困難となる。
【００１９】
したがって、たとえ均一な厚さを有する結晶質シリコン薄膜を形成するように平行平板電極の平行性を設定したつもりでも、たとえば、図１の模式的な断面図において誇張されて示されているように、大面積の基板１上に堆積された結晶質シリコン薄膜２において、中央部が厚くて周辺部が薄くなることがある。逆に、図２において示されているように、基板１上に堆積された結晶質シリコン薄膜２において、中央部が薄くて周辺部が厚くなることがある。さらに、図３において示されているように、基板１上に堆積された結晶質シリコン薄膜２において、一方端縁側が厚くて他方端縁側が薄くなることもある。
【００２０】
ところで、基板上にプラズマＣＶＤで半導体層を形成して結晶質薄膜太陽電池を作製する場合、一般には、複数の反応室を有するインライン型のプラズマＣＶＤ装置が用いられる。ただし、複数の反応室を利用する場合に、それらの反応室は必ずしもインライン型に配列される必要はない。
【００２１】
たとえば、図４の模式的なブロック図で示されたインライン型プラズマＣＶＤ装置は、光電変換ユニットに含まれるｐ型層を堆積するためのｐ層用反応室ｐ１、ｉ型層を堆積するための第１と第２のｉ層用反応室ｉ１、ｉ２、およびｎ型層を堆積するためのｎ層用反応室ｎ１を含んでいる。なお、図面の簡略化のために図４においてはｐ層用反応室ｐ１とｎ層用反応室ｎ１との間に２つのｉ層用反応質ｉ１、ｉ２のみが示されているが、一般には３〜８程度のｉ層用反応室が設けられる。
【００２２】
ｐ層用、ｉ層用およびｎ層用の反応室をそれぞれ個別に設けるのは、各層間でドーパントが混入することを防止するためである。また、ｉ層用反応室を複数設けるのは、ｐ層やｎ層に比べてはるかに厚いｉ層を効率的に堆積するためである。
【００２３】
図４に示されているようなインライン型プラズマＣＶＤ装置においては、一般に、第１のｉ層用反応室ｉ１内では均一な厚さを有するｉ型層の部分的層を堆積するように平行平板電極の平行性が設定される。そして、第２のｉ層用反応室ｉ２内においても、同様の意図のもとにおいて、平行平板電極の平行性が第１のｉ層用反応室ｉ１の場合と同様の条件に設定される。
【００２４】
しかし、前述のように、第１のｉ層用反応室ｉ１において均一な厚さを有するｉ型層を堆積するように精度良く平行平板電極の平行性を設定したつもりであっても、図１から図３のいずれかに示された膜厚不均一性を生じることが多い。そして、第１のｉ層用反応室ｉ１において堆積されたｉ型層の部分的層がたとえば図１に示されているように厚い中央部を有していれば、第１のｉ層用反応室ｉ１と同様に平行平板電極の平行性が設定された第２のｉ層用反応室ｉ２においても中央部の厚いｉ型層の部分的層を堆積する傾向にあり、得られるｉ型層における厚さの不均一性をさらに助長する傾向になる。
【００２５】
そこで、本発明では、比較的低い耐熱温度を有する安価な基板を用いながら簡便かつ低コストで、大面積で均一な厚さを有する良質の結晶質シリコン系薄膜を迅速にプラズマＣＶＤで形成し得る方法を提供することを目的としている。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、基板を支持するための基板支持電極とその基板に対面する対向電極とを含む平行平板型高周波電極を備えた反応室の複数を用いて結晶質シリコン系薄膜をプラズマＣＶＤで形成する方法において、平行平板電極の各々は相互に対面する０．３６ｍ2以上の電極面を有し、反応室内に導入される原料ガスはシランとその５０倍以上の流量比の水素とを含み、反応室内は６６７Ｐａ以上の圧力に調整され、基板と対向電極との間隔は１０ｍｍ以下に設定され、複数の反応室としては、それらの各々内で堆積される結晶質シリコン系薄膜の局所的場所に依存する厚さの不均一性を互いに打ち消すような平行平板型電極の平行性を有する反応室が組み合わされて用いられることを特徴としている。
【００２７】
この方法では、電極面より小さくかつ０．３６ｍ2以上の主面を有する基板上に結晶質シリコン系薄膜を堆積させた場合に、そのシリコン系薄膜の局所的場所に依存する厚さの不均一性が±１０％以内にされ得る。
【００２８】
【発明の実施の形態】
本発明による結晶質シリコン系薄膜をプラズマＣＶＤで形成する方法においては、その結晶質シリコン系薄膜を堆積するために少なくとも２以上のＣＶＤ反応室が用いられる。そして、本発明の方法は、少なくとも０．３６ｍ2以上の大きな面積を有する基板上に結晶質シリコン系薄膜を形成する場合に好ましく適用され得る。したがって、本発明において用いられるＣＶＤ反応室の各々は、少なくとも０．３６ｍ2以上の大きな対向面積を有する平行平板電極を備えている。なぜならば、本発明の方法は、大面積の結晶質シリコン系薄膜を均一な厚さで形成することを可能ならしめるものだからである。
【００２９】
各反応室内にはシランとその５０倍以上の流量比の水素とを含む原料ガスが導入され、反応室内ガス圧は６６７Ｐａ以上に設定される。これは、水素による希釈率が高いほどシリコン系薄膜の結晶化が促進され、ガス圧が高いほどシリコン系薄膜の堆積速度が高まるからである。また、このように高いガス圧のもとでは、基板と対向電極との間隔（Ｓ／Ｅ間隔）が、１０ｍｍ以下に設定される。これは、６６７Ｐａ以上の高いガス圧のもとでは、良好なプラズマ放電を発生維持させるためにＳ／Ｅ間隔を小さくする必要があるからである。
【００３０】
そして、複数の反応室としては、それらの各々内で堆積される結晶質シリコン系薄膜の局所的場所に依存する厚さの不均一性を互いに打ち消すような平行平板型電極の平行性を有する反応室が組み合わされて用いられる。こうすることによって、単一の反応室では結晶質シリコン系薄膜に厚さの不均一性を生じさせる場合であっても、複数の反応室を通して得られる結晶質シリコン系薄膜は均一な厚さを有することができる。
【００３１】
以下において、本発明のより具体的ないくつかの実施例が、いくつかの比較例とともに説明される。
【００３２】
（比較例１)
まず、比較例１として、単一のｉ層用ＣＶＤ反応室のみを用いて、ノンドープの結晶質シリコン薄膜が大面積の基板上に形成された。すなわち、このときの基板は０．９１ｍｘ０．９１ｍ＝０．８２８ｍ2の面積を有し、反応室内の平行平板電極は１．３６ｍ2の対向面積を有していた。そして、プラズマＣＶＤ条件としては、基板温度が１５０℃、原料ガスとしてのシランと希釈水素ガスとの混合比が１：１４０、反応室内ガス圧が１４００Ｐａ、プラズマ励起用高周波電源周波数が２７．１２ＭＨｚ、放電電力密度が０．５１Ｗ／ｃｍ2、基板と対向電極との距離（Ｓ／Ｅ距離）が８ｍｍに設定された。このとき、基板と対向電極との間の平行性はできる限り正確に設定された。このような条件のもとで、３０分間の堆積時間で結晶質シリコン薄膜が形成された。
【００３３】
図５はこうして得られた結晶質シリコン薄膜２の上面を表しており、その全面に渡って２５点について膜厚が測定された。その結果が、図５において、各測定点の膜厚としてｎｍ単位の数値で示されている。この膜厚数値分布からわかるように、図５のシリコン薄膜は、図２に示されているように周辺部に比べて中央部が薄い膜になっている。
【００３４】
また図５からわかるように、その膜厚不均一性において最大膜厚Ｄｍａｘは２０７９ｎｍ（堆積速度６９ｎｍ／分に相当）であり、最小膜厚Ｄｍｉｎは１４７６ｎｍ（堆積速度４９ｎｍ／分に相当）である。そして、膜面の２５点についての算術平均膜厚は、１７３３ｎｍ（堆積速度５８ｎｍ／分に相当）である。この場合において、膜厚不均一性は、±（Ｄｍａｘ−Ｄｍｉｎ）／（Ｄｍａｘ＋Ｄｍｉｎ）ｘ１００＝±１７．０％になる。
【００３５】
（比較例２）
比較例２においても、単一のｉ層用ＣＶＤ反応室のみを用いて、特に言及されない限り比較例１の場合と同じプラズマＣＶＤ条件のもとで、大面積の基板上に結晶質シリコン薄膜が形成された。なお、この比較例２の反応室は、比較例１の反応室とまったく同じに設計されたものである。しかし比較例２においては、基板と対向電極との間の平行性のみが比較例１の場合に比べて変化させられた。より具体的には、比較例１の場合に比べて比較例２では、基板に対向する電極の表面の中央部がその周辺部に比べて基板側に少し近づくように意図して電極設定が修正された。このように意図的に電極設定を少し変更することは、比較的容易になし得るものである。
【００３６】
図６は、こうして得られた比較例２の結晶質シリコン薄膜２の上面図を表している。この比較例２のシリコン薄膜においても、その全面に渡って２５点について膜厚が測定された。その結果が、図６において、各測定点の膜厚としてｎｍ単位の数値で示されている。この膜厚数値分布からわかるように、図６のシリコン薄膜は、図１に示されているように周辺部に比べて中央部が厚い膜になっている。
【００３７】
また図６からわかるように、その膜厚不均一性において最大膜厚Ｄｍａｘは１７７９ｎｍ（堆積速度５９ｎｍ／分に相当）であり、最小膜厚Ｄｍｉｎは１３０６ｎｍ（堆積速度４４ｎｍ／分に相当）である。そして、膜面の２５点についての算術平均膜厚は、１５６０ｎｍ（堆積速度５２ｎｍ／分に相当）である。この場合において、膜厚不均一性は、±（Ｄｍａｘ−Ｄｍｉｎ）／（Ｄｍａｘ＋Ｄｍｉｎ）ｘ１００＝±１５．３％になる。
（実施例１）
実施例１においては、比較例１と２におけるそれぞれの設定条件による２つのＣＶＤ反応室の両方を用いて、結晶質シリコン薄膜が形成された。ただし、それら２つの反応室のそれぞれにおける成膜時間は、比較例１と２の場合の半分の１５分にされた。
【００３８】
図７は、こうして得られた実施例１の結晶質シリコン薄膜２の上面図を表している。この実施例１のシリコン薄膜においても、その全面に渡って２５点について膜厚が測定された。その結果が、図７において、各測定点の膜厚としてｎｍ単位の数値で示されている。
【００３９】
図７からわかるように、その膜厚不均一性において最大膜厚Ｄｍａｘは１８１１ｎｍ（堆積速度６０ｎｍ／分に相当）であり、最小膜厚Ｄｍａｘは１５２８ｎｍ（堆積速度５１ｎｍ／分に相当）である。そして、膜面の２５点についての算術平均膜厚は、１６４８ｎｍ（堆積速度５５ｎｍ／分に相当）である。この場合において、膜厚不均一性は、±（Ｄｍａｘ−Ｄｍｉｎ）／（Ｄｍａｘ＋Ｄｍｉｎ）ｘ１００＝±８．５％になる。
【００４０】
すなわち、比較例１と２のいずれにおいても膜厚不均一性が±１０％より大きいのに対して、実施例１においては膜厚不均一性が±１０％以下になり、明らかに膜厚不均一性が改善されていることがわかる。
【００４１】
（比較例３)
比較例３として、単一のｉ層用ＣＶＤ反応室のみを用いて、ノンドープの結晶質シリコン薄膜が大面積の基板上に形成された。ただし、比較例３において用いられた反応室は、比較例１と２の場合の反応室とは別に設計されたものである。この比較例３の反応室においても、基板と対向電極との間の平行性はできる限り正確に設定された。比較例３におけるその他のプラズマＣＶＤ条件は、比較例１と２の場合と同様に設定された。
【００４２】
図８はこうして得られた比較例３の結晶質シリコン薄膜２の上面を表しており、その全面に渡って２５点について膜厚が測定された。その結果が、図８において、各測定点の膜厚としてｎｍ単位の数値で示されている。この膜厚数値分布からわかるように、図８のシリコン薄膜は、図３に示されているように基板の左方辺側に比べて右方辺側が薄い膜になっている。
【００４３】
また図８からわかるように、その膜厚不均一性において最大膜厚Ｄｍａｘは１８５６ｎｍ（堆積速度６２ｎｍ／分に相当）であり、最小膜厚Ｄｍｉｎは１２４４ｎｍ（堆積速度４１ｎｍ／分に相当）である。そして、膜面の２５点についての算術平均膜厚は、１５７７ｎｍ（堆積速度５３ｍ／分に相当）である。この場合において、膜厚不均一性は、±（Ｄｍａｘ−Ｄｍｉｎ）／（Ｄｍａｘ＋Ｄｍｉｎ）ｘ１００＝±１９．７％になる。
【００４４】
（比較例４）
比較例４においても、単一の層用ＣＶＤ反応室のみを用いて、特に言及されない限り比較例３の場合と同じプラズマＣＶＤ条件のもとで、大面積の基板上に結晶質シリコン薄膜が形成された。なお、この比較例４の反応室は、比較例３の反応室とまったく同じに設計されたものである。しかし比較例４においては、基板と対向電極との間の平行性のみが比較例３の場合に比べて変化させられた。より具体的には、比較例３の場合に比べて比較例４では、基板に対向する電極の表面の右方辺側がその左方辺側に比べて基板側に少し近づくように意図して電極設定が修正された。
【００４５】
図９は、こうして得られた比較例４の結晶質シリコン薄膜２の上面図を表している。この比較例４のシリコン薄膜においても、その全面に渡って２５点について膜厚が測定された。その結果が、図９において、各測定点の膜厚としてｎｍ単位の数値で示されている。この膜厚数値分布からわかるように、図９のシリコン薄膜は、図３に示されているのとは逆に基板の左方辺側に比べて右方辺側が厚い膜になっている。
【００４６】
また図９からわかるように、その膜厚不均一性において最大膜厚Ｄｍａｘは１１８４９ｎｍ（堆積速度６２ｎｍ／分に相当）であり、最小膜厚Ｄｍｉｎは１２６２ｎｍ（堆積速度４２ｎｍ／分に相当）である。そして、膜面の２５点についての算術平均膜厚は、１６３６ｎｍ（堆積速度５５ｎｍ／分に相当）である。この場合において、膜厚不均一性は、±（Ｄｍａｘ−Ｄｍｉｎ）／（Ｄｍａｘ＋Ｄｍｉｎ）ｘ１００＝±１８．９％になる。
（実施例２）
実施例２においては、比較例３と４におけるそれぞれの設定条件による２つのＣＶＤ反応室の両方を用いて、結晶質シリコン薄膜が形成された。ただし、それら２つの反応室のそれぞれにおける成膜時間は、比較例３と４の場合の半分の１５分にされた。
【００４７】
図１０は、こうして得られた実施例２の結晶質シリコン薄膜２の上面図を表している。この実施例１のシリコン薄膜においても、その全面に渡って２５点について膜厚が測定された。その結果が、図１０において、各測定点の膜厚としてｎｍ単位の数値で示されている。
【００４８】
図１０からわかるように、その膜厚不均一性において最大膜厚Ｄｍａｘは１６８９ｎｍ（堆積速度５６ｎｍ／分に相当）であり、最小膜厚Ｄｍｉｎは１４５６ｎｍ（堆積速度４９ｎｍ／分に相当）である。そして、膜面の２５点についての算術平均膜厚は、１６０２ｎｍ（堆積速度５３ｎｍ／分に相当）である。この場合において、膜厚不均一性は、±（Ｄｍａｘ−Ｄｍｉｎ）／（Ｄｍａｘ＋Ｄｍｉｎ）ｘ１００＝±７．４％になる。
すなわち、比較例３と４のいずれにおいても膜厚不均一性が±１０％より大きいのに対して、実施例２においては膜厚不均一性が±１０％以下になり、明らかに膜厚不均一性が改善されていることがわかる。
【００４９】
なお、以上の実施例において２つの反応室のうちの一方内で平行平板型電極が正確に平行と思われる状態から意図的に少し変位するように修正して設定されたが、たまたま意図せずして互いに逆の膜厚不均一性を生じさせる２つの反応室を選択し得る場合に、それらを組み合わせて膜厚不均一性を互いに打ち消すことによって大面積で均一膜厚の結晶質シリコン系薄膜を形成してもよいことは言うまでもない。また、以上の実施例では２つのみの反応室を用いた例が説明されたが、３以上の反応室が用いられてもよいことも言うまでもない。
【００５０】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、比較的低い耐熱温度を有する安価な基板を用いながら簡便かつ低コストで、大面積かつ均一な厚さを有する良質の結晶質シリコン系薄膜を迅速にプラズマＣＶＤで形成し得る方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  単一のプラズマＣＶＤ反応室を用いて大面積の基板上に形成された結晶質シリコン薄膜の厚さ分布の一例を示す模式的な断面図である。
【図２】  単一のプラズマＣＶＤ反応室を用いて大面積の基板上に形成された結晶質シリコン薄膜の厚さ分布の他の例を示す模式的な断面図である。
【図３】  単一のプラズマＣＶＤ反応室を用いて大面積の基板上に形成された結晶質シリコン薄膜の厚さ分布の他の例を示す模式的な断面図である。
【図４】  インライン型プラズマＣＶＤ装置の一例を示す模式的なブロック図である。
【図５】  比較例１による大面積の結晶質シリコン薄膜における膜厚分布を示す模式的な平面図である。
【図６】  比較例２による大面積の結晶質シリコン薄膜における膜厚分布を示す模式的な平面図である。
【図７】  実施例１による大面積の結晶質シリコン薄膜における膜厚分布を示す模式的な平面図である。
【図８】  比較例３による大面積の結晶質シリコン薄膜における膜厚分布を示す模式的な平面図である。
【図９】  比較例４による大面積の結晶質シリコン薄膜における膜厚分布を示す模式的な平面図である。
【図１０】  実施例２による大面積の結晶質シリコン薄膜における膜厚分布を示す模式的な平面図である。
【符号の説明】
１  ガラス基板、２  結晶質シリコン薄膜、ｐ１  ｐ層用ＣＶＤ反応室、ｉ１、ｉ２  ｉ層用反応室、ｎ１  ｎ層用反応室。
【図１】
0004450350.tif 000002
【図２】
0004450350.tif 000003
【図３】
0004450350.tif 000004
【図４】
0004450350.tif 000005
【図５】
0004450350.tif 000006
【図６】
0004450350.tif 000007
【図７】
0004450350.tif 000008
【図８】
0004450350.tif 000009
【図９】
0004450350.tif 000010
【図１０】
0004450350.tif 000011