(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部材(30)側に設けられ所定間隔で長さ方向に並設された複数の位置検出用コイル(20)と、前記位置検出用コイル(20)に接続された信号処理回路部(31)と、前記固定部材(30)側に設けられ前記各位置検出用コイル(20)と対応して設けられた給電用トランス(5)と、前記給電用トランス(5)に接続された励磁信号供給部(10)と、前記位置検出用コイル(20)と前記給電用トランス(5)間に配設され直線往復移動自在な磁気ヘッド(1)とを備え、前記位置検出用コイル(20)、給電用トランス(5)、信号処理回路部(31)及び励磁信号供給部(10)は薄膜プロセスにより形成され、
前記磁気ヘッド(1)の励磁コイル(4)に対して前記給電用トランス(5)から励磁信号(6)を供給し、前記磁気ヘッド(1)のコアギャップ部(2)から発生する磁束を前記位置検出用コイル(20)で検出することにより、前記磁気ヘッド(1)のアブソリュート位置を検出するように構成され、
前記信号処理回路部(31)は、前記各位置検出用コイル(20)が接続されたアナログスイッチ(32)と、前記アナログスイッチ(32)に接続され前記アナログスイッチ(32)で選択された出力信号(33)をＡ／Ｄ変換するためのＡ／Ｄ変換器(34)と、前記Ａ／Ｄ変換器(34)からのデジタル信号(35)と前記励磁信号供給部(10)からの励磁信号(6)とを入力するための比較部(36)と、前記比較部(36)からの比較出力(37)を入力するための判定部(39)と、前記判定部(39)からのアップ信号(39a)及びダウン信号(39b)を入力するためのカウンタ(40)と、前記カウンタ(40)からのカウンタ値(42)を入力し前記アナログスイッチ(32)に接続されたマルチプレクサ(43)と、前記カウンタ値(42)及び前記判定部(39)に接続されたラッチ部(41)とからなり、
電源投入時、前記カウンタ(40)を零からアップさせて前記アナログスイッチ(32)を切替え、前記磁気ヘッド(1)の位置をサーチし、前記サーチ完了後は前記カウンタ(40)をアップ／ダウンさせてステップトラッキング動作し、前記各位置検出用コイル(20)の誘起電圧が最大値となる位置をサーチし、前記最大値となった時の前記カウンタのカウンタ値(42)を前記磁気ヘッド(1)のアブソリュート位置として前記ラッチ部(41)から取り出すように構成したことを特徴とするアブソリュート位置検出装置。
【請求項２】
前記励磁信号供給部(10)は、発振器(11)とローパスフィルタ(12)と増幅器(13)とから構成されていることを特徴とする請求項１記載のアブソリュート位置検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アブソリュート位置検出装置に関し、特に、薄膜プロセスで形成された給電用トランス及び複数の位置検出用コイルと磁気ヘッドを用い、磁気ヘッドのアブソリュート位置を位置検出用コイルで検出し、高精度かつ高耐久性の装置を得るための新規な改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、用いられていたこの種のアブソリュート位置検出装置としては、例えば、サンテスト（株）製の磁歪式リニア変位センサ、インダクタンス式リニア変位センサ、セミアブソリュートリニアエンコーダ及び村田機械（株）製のインダクトコーダ（磁気誘導・位相検出方式）を挙げることができる。
【０００３】
前記磁歪式リニア変位センサは、磁歪線上に電流パルスを与えると磁歪線軸方向全域に円周方向磁場が生じ、マグネットを置いた部分にのみ軸方向磁場が与えられ、円周方向磁場との合成によって斜めの磁場が発生し、この部分にのみねじり歪が発生する。
この現象をＷｉｅｄｅｍａｎｎ効果と云い、このねじりは一種の機械振動であるため、金属である磁歪線上を超音波で伝播し、この伝播時間を計測し、マグネットの絶対位置を検出している。
【０００４】
また、前記インダクタンス式リニア変位センサは、センサのプローブ内にはソレノイド状コイルが収納され、このコイルを交流で励磁するとコイルの内周のみならず外周にも一様な交番磁界が発生し、このコイルの収納されたプローブの外周を取囲むように導電性の高い金属でできたチューブが配されているため、このチューブがソレノイド状コイルに対するショートリングの働きをし、交番磁界を弱める作用、即ちコイルのインダクタンスを小さくしようとする。
従って、チューブがセンサプローブ全体を覆っているときにコイルのインダクタンスが最も小さくなり、プローブに対するチューブの相対位置に比例してコイルのインダクタンスが変化することになり、このコイルに交流電流を印加しておくと、チューブの変位に比例した交流電圧の振幅変化を得ることができる。
【０００５】
また、前記セミアブソリュートリニアエンコーダは、コイルを有するプローブの外周にスリーブを可動式に設け、可動するスリーブには導電率の異なる２種類の非磁性金属が所定の間隔毎に組み込まれ、コイルの外周をスリーブが移動するとインダクタンスが変化してバランスが崩れ、搬送波ｓｉｎωｔが位置αの関数で変調された信号が得られる。
【０００６】
また、インダクトコーダは、変換回路部と、一次巻線コイル、二次巻線コイル及びコイル内を移動する磁性体から構成されている。
すなわち、一次巻線コイルを基準となる一次交流信号で励磁することで交流磁場が発生し、この交流磁場内の所定の位置に配置された二組の二次巻線コイル内を磁性体が移動することによって、二組のコイルの位置それぞれに対応した二組の誘導出力が得られる構成である。尚、前述の従来構成は、村田機械（株）、（株）リベックス、エヌエスディ（株）及びサンテスト（株）の各インターネットのホームページに開示されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来のアブソリュート位置検出装置は、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。
すなわち、前述の各従来構成においては、いずれの構成においてもコイルを用いているため、製造時、使用時のいずれにおいてもコイル自体の信頼性に問題があり、耐振動及び耐衝撃性に課題が存在していた。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によるアブソリュート位置検出装置は、固定部材側に設けられ所定間隔で長さ方向に並設された複数の位置検出用コイルと、前記位置検出用コイルに接続された信号処理回路部と、前記固定部材側に設けられ前記各位置検出用コイルと対応して設けられた給電用トランスと、前記給電用トランスに接続された励磁信号供給部と、前記位置検出用コイルと前記給電用トランス間に配設され直線往復移動自在な磁気ヘッドとを備え、前記位置検出用コイル、給電用トランス、信号処理回路部及び励磁信号供給部は薄膜プロセスにより形成され、前記磁気ヘッドの励磁コイルに対して前記給電用トランスから励磁信号を供給し、前記磁気ヘッドのコアギャップ部から発生する磁束を前記位置検出用コイルで検出することにより、前記磁気ヘッドのアブソリュート位置を検出するようにした構成であり、また、前記信号処理回路部は、前記各位置検出用コイルが接続されたアナログスイッチと、前記アナログスイッチに接続され前記アナログスイッチで選択された出力信号をＡ／Ｄ変換するためのＡ／Ｄ変換器と、前記Ａ／Ｄ変換器からのデジタル信号と前記励磁信号供給部からの励磁信号とを入力するための比較部と、前記比較部からの比較出力を入力するための判定部と、前記判定部からのアップ信号及びダウン信号を入力するためのカウンタと、前記カウンタからのカウンタ値を入力し前記アナログスイッチに接続されたマルチプレクサと、前記カウンタ値及び前記判定部に接続されたラッチ部とからなり、電源投入時、前記カウンタを零からアップさせて前記アナログスイッチを切替え、前記磁気ヘッドの位置をサーチし、前記サーチ完了後は前記カウンタをアップ／ダウンさせてステップトラッキング動作し、前記各位置検出用コイルの誘起電圧が最大値となる位置をサーチし、前記最大値となった時の前記カウンタのカウンタ値を前記磁気ヘッドのアブソリュート位置として前記ラッチ部から取り出すようにした構成であり、また、前記励磁信号供給部は、発振器とローパスフィルタと増幅器とからなる構成である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によるアブソリュート位置検出装置は、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、往復移動する磁気ヘッドに対して給電するための給電用トランスと、前記磁気ヘッドの位置を検出するための各位置検出用コイルとを薄膜プロセスで形成されているため、実際のコイルを用いることはなく、耐衝撃性及び耐振動性で高耐久性を得ることができる。
また、製造においても、薄膜プロセスによる印刷工程であるため、大量生産及びローコストが可能である。
また、磁気のみの検出方式であるため、光学式エンコーダ並みの検出精度が可能であるにも拘わらず、ＬＥＤ及びフォトセンサ等の光学部品を必要としないため、長寿命を達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明は、薄膜プロセスで形成された給電用トランス及び複数の位置検出用コイルと磁気ヘッドを用い、磁気ヘッドのアブソリュート位置を位置検出用コイルで検出し、高精度かつ高耐久性のアブソリュート位置検出装置を提供することを目的とする。
【実施例】
【００１１】
以下、図面と共に本発明によるアブソリュート位置検出装置の好適な実施の形態について説明する。
図１において符号１で示されるものは、図示しない直線案内部材により往復直線移動自在に設けられた磁気ヘッドであり、この磁気ヘッド１は、コアギャップ部２を有する磁気コア３と、この磁気コア３に巻き付けられた励磁コイル４とから構成されている。
【００１２】
前記磁気ヘッド１の励磁コイル４側には、この励磁コイル４に接近して対向配置された給電用トランス５がプリント基板等からなる固定部材３０が設けられており、この給電用トランス５は前記磁気ヘッド１が往復移動する距離分に対応できる長さで形成され、この給電用トランス５から電磁結合によって後述の励磁信号６を給電するように構成されている。
【００１３】
前記給電用トランス５は、前記励磁信号６を出力するための励磁信号供給部１０に接続され、この励磁信号供給部１０は発振器１１とローパスフィルタ１２と増幅器１３とから構成されている。
【００１４】
前記磁気ヘッド１の磁束を発生するコアギャップ部２に対向する状態で、複数の位置検出用コイル２０が前記固定部材３０上に長手方向に沿って所定の間隔で形成されており、各位置検出用コイル２０は信号処理回路部３１の電子回路よりなるアナログスイッチ３２に接続されている。
【００１５】
前記アナログスイッチ３２からの出力信号３３はＡ／Ｄ変換器３４にてデジタル信号３５に変換され、このデジタル信号３５は前記励磁信号６が入力される比較部３６に入力されて比較される。
【００１６】
前記比較部３６からの比較出力３７は、クロック信号３８で駆動される判定部３９は入力され、この判定部３９からのアップ信号３９ａとダウン信号３９ｂはカウンタ４０に入力され、判定部３９からの判定信号３９ｃはラッチ部４１に接続されている。
【００１７】
前記カウンタ４０からのカウンタ値４２は、前記アナログスイッチ３２に接続されたマルチプレクサ４３及びラッチ部４１に接続されている。尚、前述の固定部材３０上の給電用トランス５、励磁信号供給部１０、位置検出用コイル２０及び信号処理回路部３１は、全て周知の薄膜ＩＣ等の薄膜プロセスで形成されている。
【００１８】
次に、動作について述べる。まず、前述の図１の磁気ヘッド１の状態において、電源を投入すると、その時の磁気ヘッド１の位置に対応した位置検出用コイル２０からの出力信号３３がＡ／Ｄ変換器３４によってデジタル信号３５に変換される。このデジタル信号３５が励磁信号６となるまで、前記カウンタ４０を零からアップさせて前記アナログスイッチ３２を切替え、前記各位置検出用コイル２０を介して磁気ヘッド１の位置、すなわち、コアギャップ部２の位置を選択するためにサーチする。
【００１９】
前記サーチ完了後は、前記カウンタ４０をアップ／ダウンさせてステップトラッキング動作を行い、前記各位置検出用コイル２０の磁気ヘッド１からの磁界に基づく誘起電圧が最大値となる位置をサーチして選択し、前記最大値となった時の前記カウンタ４０のカウンタ値４２を前記磁気ヘッド１のアブソリュート位置として前記ラッチ部４１からアブソリュート位置信号Ｐを得ることができる。
尚、前述の動作は、図示しない制御部に内蔵されたプログラムによって遂行される。
【産業上の利用可能性】
【００２０】
本発明は、リニアセンサの場合について述べているが、ロータリセンサに対して適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明によるアブソリュート位置検出装置を示すブロック構成図である。
【符号の説明】
【００２２】
１    磁気ヘッド
２    コアギャップ部
５    給電用トランス
６    励磁信号
１０    励磁信号供給部
１１    発振器
１２    ローパスフィルタ
１３    増幅器
２０    位置検出用コイル
３０    固定部材
３１    信号処理回路部
３２    アナログスイッチ
３３    出力信号
３４    Ａ／Ｄ変換器
３５    デジタル信号
３６    比較部
３７    比較出力
３９    判定部
３９ａ    アップ信号
３９ｂ    ダウン信号
４０    カウンタ
４１    ラッチ部
４２    カウンタ値
４３    マルチプレクサ
【図１】
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