(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体の表面に砥粒を散設することで砥面を形成してなる研削工具において、
前記基体表面に、前記砥粒に加え、予め定められた直径を有する円柱体により構成されかつ研削加工による摩耗後の先端面の前記基体表面からの突出量が前記砥粒の突き出し量と等しくなるように前記砥粒に比べ摩耗しやすい材料により形成された基準添加物を散設したことを特徴とする研削工具。
【請求項２】
基体の表面に砥粒を散設することで砥面を形成してなる研削工具において、
前記基体表面に、前記砥粒に加え、予め定められた半径を有する球体により構成されかつ研削加工による摩耗後の先端面の前記基体表面からの突出量が前記砥粒の突き出し量と等しくなるように前記砥粒に比べ摩耗しやすい材料により形成された基準添加物を散設したことを特徴とする研削工具。
【請求項３】
前記基準添加物は、前記砥面の検査時に当該砥面を撮像するカメラの単位撮像範囲に少なくとも１個が含まれる密度で前記基体の表面に散設されることを特徴とする請求項１又は２記載の研削工具。
【請求項４】
前記基体の表面の基準となる位置に、前記砥粒及び基準添加物とは形状又はサイズの異なる別の基準添加物を、さらに設けたことを特徴とする請求項１又は２記載の研削工具。
【請求項５】
基体の表面に、砥粒と、予め定められた直径を有する円柱体により構成されかつ研削加工による摩耗後の先端面の前記基体表面からの突出量が前記砥粒の突き出し量と等しくなるように前記砥粒に比べ摩耗しやすい材料により形成された基準添加物とをそれぞれ散設することで砥面を形成してなる研削工具の上記砥面を検査する方法において、
前記砥面を撮像して撮像画像データを得る第１の工程と、
前記得られた撮像画像データから、前記円柱体からなる基準添加物の平面形状を表す画像データを検出する第２の工程と、
前記検出された円柱体からなる基準添加物の平面形状を表す画像データから、当該円柱体の平面形状の寸法を検出する第３の工程と、
前記検出された円柱体の平面形状の寸法と、前記円柱体の直径の寸法とをもとに演算を行って、当該円柱体からなる基準添加物の前記基体表面から先端面までの突出量を算出する第４の工程と
を具備することを特徴とする研削工具の砥面検査方法。
【請求項６】
基体の表面に、砥粒と、予め定められた半径を有する球体により構成されかつ研削加工による摩耗後の先端面の前記基体表面からの突出量が前記砥粒の突き出し量と等しくなるように前記砥粒に比べ摩耗しやすい材料により形成された基準添加物とをそれぞれ散設することで砥面を形成してなる研削工具の上記砥面を検査する方法において、
前記砥面を撮像して撮像画像データを得る第１の工程と、
前記得られた撮像画像データから、前記球体からなる基準添加物の平面形状を表す画像データを検出する第２の工程と、
前記検出された球体からなる基準添加物の平面形状を表す画像データから、当該球体の平面形状の寸法を検出する第３の工程と、
前記検出された球体の平面形状の寸法と、当該球体の半径の寸法とをもとに演算を行って、当該球体からなる基準添加物の前記基体表面から先端面までの突出量を算出する第４の工程と
を具備することを特徴とする研削工具の砥面検査方法。
【請求項７】
前記基準添加物が、直径ｄの円柱体からなり、この円柱体が傾斜角θで基体に立設され、かつ当該円柱体の先端面が研削加工により長径Ｌの楕円形状に摩耗している場合に、
前記第３の工程は、前記検出された円柱体からなる基準添加物を表す画像データから、当該円柱体の先端面の長径Ｌと、当該円柱体の傾斜面に相当する部位の平面寸法ａとをそれぞれ検出し、
前記第４の工程は、前記検出された円柱体の先端面の長径Ｌと、前記円柱体の直径ｄとをもとに、前記円柱体の傾斜角θを
θ＝ｓｉｎ-1（ｄ／Ｌ）  
として計算し、かつ前記計算された傾斜角θと、前記検出された円柱体の傾斜面に相当する部位の平面寸法ａとをもとに、前記円柱体からなる基準添加物の基体表面から先端面までの突出量ｈを
ｈ＝ａ・ｔａｎθ
として計算することを特徴とする請求項５記載の研削工具の砥面検査方法。
【請求項８】
前記基準添加物が、半径ｒの球体からなり、この球体の一部分が基体に埋設され、かつ当該球体の先端面が研削加工により直径Ａ１の円形状に摩耗している場合に、
前記第３の工程は、前記検出された球体からなる基準添加物を表す画像データから、当該球体からなる基準添加物の先端面の面積Ａ１と、当該球体からなる基準添加物の基体表面から露出する部位の断面積Ａ２をそれぞれ検出し、
前記第４の工程は、前記球体からなる基準添加物の先端面の面積Ａ１と、前記球体の半径ｒとをもとに、当該球体の中心から前記先端面までの高さｈ１を
【数１】
0004427668.tif 000004
として計算すると共に、前記検出された露出部位の断面積Ａ２と、前記球体の半径ｒとをもとに、前記球体からなる基準添加物の中心から前記露出部位までの高さｈ２を
【数２】
0004427668.tif 000005
として計算し、さらに前記計算された高さｈ１及びｈ２をもとに、前記球体からなる基準添加物の基体表面から先端面までの高さＨを
Ｈ＝ｈ１−ｈ２
として計算することを特徴とする請求項６記載の研削工具の砥面検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、工具基体に砥粒を散設することで砥面を形成した研削工具と、この研削工具の砥面を撮像してその撮像画像データをもとに砥面の状態を検査する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
研削加工分野においては、研削工具として一般に無気孔砥石と有気孔砥石が使用される。このうち無気孔砥石は、例えば図１８に示すように砥石基体１の周面に砥粒２を結合剤３により固着させることにより砥面を形成したものとなっている。このような砥石を使用して研削加工を行う場合には、例えば図１９に示すように円盤又は円筒状をなす砥石を矢印Ａ方向に高速回転させた状態で、その砥面を被加工物としての工作物９の加工面に当接させ、さらに工作物９を矢印Ｂ方向に一定の速度で移動させる。そうすると、工作物９の加工面が砥粒２により一定の深さＤ分だけ削り取られ、これにより工作物３の表面が研削加工される。なお、４は上記砥粒２により削り取られた切り屑である。
【０００３】
ところで、この種の研削加工では、工作物９の加工面の仕上げ品質が砥石１０の砥面の状態によって左右される。砥面の状態は、主として切れ刃として機能する砥粒２の表面部分の形状やサイズ、砥粒２の分布状態、砥粒２の突出量によって決まり、これら砥粒２の状態によっては工作物９の加工面に大きな研削条痕が残ってしまう。図２０は研削条痕５の一例を示した部分拡大図である。したがって、高品質の研削加工を行うには、砥面の状態つまり砥粒２表面部の形状やサイズ、砥粒２の分布状態や突き出し量等を正確に把握することが重要である。
【０００４】
そこで従来では、例えばカメラを装着した高倍率の金属顕微鏡を用いて砥石１０の砥面を撮像し、この撮像された画像データに所定の画像処理を施すことで砥粒２部分を他の部分と区別して表示した画像を作成して検査に供する技術が研究されている。
しかしながら、一般に切れ刃として機能する砥粒２の表面部分と基体１表面を覆っている結合剤３とは色の濃度が類似している。このため、撮像された画像データにおいて、色の濃度差を用いて砥粒２表面部分を結合剤等の他の部分と区別して表示することはきわめて困難である。また、砥粒２の表面部分は形状的に見ても際だった特徴を持っているわけではない。このため、形状をもとに砥粒２の表面部分を他の部分と区別して表示することも困難である。また、最近の進んだ画像処理技術を適用することで上記問題を解消することも考えられている。しかし、この方法は複雑な画像処理と高精細の撮像装置が必要となるため、システムがきわめて大掛かりで高価なものになり、実用に適さない。
【０００５】
このような中、本発明者等は砥粒の表面色を基体の表面色と異ならせた研削工具を提案した。この研削工具であれば、砥面を撮像した際に砥粒表面と基体とが明瞭に区別されて表示される。このため、砥面の状態を表す要素、例えば砥粒の分布密度や、各砥粒表面の形状やサイズ等を正確に検査することが可能となる（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００６】
しかしながら、このような構造の砥石を製作する場合には以下のような課題がある。  
（１）砥粒と結合剤との間に色度差を与えるために結合剤に色度要素を充填すると、砥面上で結合剤の色むらが発生し易い。砥面全面において均一な色度差を得ようとすると煩雑な工程管理が必要となり、生産コストが高くなる。
【０００７】
（２）結合剤は本来ＪＩＳ（例えばＪＩＳＳＢ４１３１ダイヤモンド／ＣＢＮ工具）で規定されている砥粒保持力を維持しなければならない。ところが、この規格上の条件を満たした上で、砥粒との間で所望の色度差を形成することが可能な結合剤の開発には多くの費用がかかる。
【０００８】
（３）砥石には、上記（２）の条件に加え弾性率や熱伝導率等のいくつかの特性上の条件が規定されている。ところが、このような規格上の条件を満たした上で上記色度差を得る結合剤の開発はさらに困難である。
【０００９】
一方、砥粒の突き出し量を計測する方法として、従来では例えば図２１に示すようにダイヤルゲージを改造して触針６を設け、この触針６により砥粒２の先端から底部の結合剤３までの高さを測定する方法が提案されている（例えば、非特許文献１を参照。）。
【００１０】
ところがこの測定方法では、触針６の先端が砥粒底部に接触しているかどうかを確認することができない。このため、触針６を接触させる位置によって測定値のばらつきが大きく、正確な測定値を得ることが難しい。また、測定精度を高めるために多数の測定点にて測定を行い、その測定値を平均化して砥粒２の高さを求めることも考えられる。しかし、このような方法では測定に多くの時間がかかり、作業能率がきわめて悪い。
【００１１】
また、例えば図２２（ａ）に示すように粗さ計７の触針８を砥石の最外周部に接触させながら砥石を超低速で回転させ、この状態で粗さ計７により得られる図２２（ｂ）に示すような信号を用いて砥粒２の突き出し量を計測する方法も提案されている。この方法は、ダイヤルゲージを使用する方法に比べて正確な計測が可能である。しかし、この方法は砥面の一部を線状にトレースするものであるため、砥面の一部においてしか砥粒突出量を計測できない。砥粒２の突き出し量を砥面全体にわたって計測するには、砥面上の多数の位置を繰り返しトレースする必要があり、計測にきわめて長い時間がかかる。
【００１２】
そこで本発明者等は、カメラの焦点位置を砥面と垂直の方向に可変しながら当該カメラにより砥面を撮像し、この撮像により得られた画像データを予め用意した砥粒の基本画像パターンと比較してこの基本画像パターンと近似する画像データを検出し、この検出された画像データを得たときの焦点位置をもとに砥粒の突出量を算出する方法を提案した。この方法によれば、砥面全面にわたり砥粒突出量を短時間に計測することが可能である（例えば、特許文献２を参照。）。
【００１３】
しかしながら、この方法は砥面上の１つの領域における砥粒突出量を計測するために複数回の画像照合処理が必要となり、短時間に計測するには画像処理能力の高い高価な情報処理装置を必要とすると云う問題点があった。
【００１４】
【特許文献１】特開２００４−０４２１５８号
【００１５】
【特許文献２】特開２００４−０４５０７８号
【００１６】
【非特許文献１】横川和彦，横川宗彦共著：ＣＢＮホイール研削加工技術，工業調査会刊，１９８８年１１月１日初版発行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
以上述べたように特許文献１に記載された研削工具では、規格上で規定された複数の条件を満たした上で、砥粒との間で所望の色度差を有する結合剤の開発が必要不可欠であり、実用化には多大な開発費用が必要となるという問題があった。また、特許文献２に記載された方法では、砥面上の１つの領域における砥粒の突出量を計測するために複数回の画像照合処理が必要となり、短時間に計測するには画像処理能力の高い高価な情報処理装置を必要とすると云う問題点があった。
【００１８】
この発明は上記事情に着目してなされたもので、その目的とするところは、本来工具が持つべき特性を損なうことなくかつ安価に製作でき、しかも簡単な画像処理技術を用いるだけで正確に砥面状態を検査することを可能にした研削工具とその砥面検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
この発明に係わる研削工具の第１の観点は、基体の表面に、砥粒に加え、予め定められた直径を有する円柱体により構成されかつ研削加工による摩耗後の先端面の上記基体表面からの突出量が前記砥粒の突き出し量と等しくなるように上記砥粒に比べ摩耗しやすい材料により形成された基準添加物を散設することにより砥面を形成するものである。
また、この発明に係わる研削工具の第２の観点は、基体の表面に、砥粒に加え、予め定められた半径を有する球体により構成されかつ研削加工による摩耗後の先端面の上記基体表面からの突出量が前記砥粒の突き出し量と等しくなるように上記砥粒に比べ摩耗しやすい材料により形成された基準添加物を散設することにより砥面を形成するものである。
これらの研削工具であると、基準添加物の外形形状が既知であるため、砥面の撮像画像データに含まれる基準添加物の画像データをもとに当該基準添加物の突出量を計算することが可能となる。そして、基準添加物を砥粒に比べ摩耗しやすい材料により形成したことで、研削加工による摩耗によって基準添加物の先端面の突出量は砥粒の突き出し量と等しくなっているため、上記基準添加物の突出量から砥粒の突き出し量を推定可能となる。すなわち、砥粒の突き出し量を検出するために、形状が区々な砥粒自体の画像データを複雑な画像処理技術を使用して検出する必要がなくなる。このため、検出精度を高めることができ、さらに画像処理の負担を軽減して処理の高速化を図ることができる。
【００３０】
この発明に係わる砥面検査方法の第１の観点は、基体の表面に、砥粒と、予め定められた直径を有する円柱体により構成されかつ研削加工による摩耗後の先端面の前記基体表面からの突出量が前記砥粒の突き出し量と等しくなるように上記砥粒に比べ摩耗しやすい材料により形成された基準添加物とをそれぞれ散設することにより形成された研削工具の砥面を検査する際に、先ず上記砥面を撮像して撮像画像データを得、この得られた撮像画像データから上記円柱体からなる基準添加物の平面形状を表す画像データを検出する。次に、上記検出された円柱体からなる基準添加物の平面形状を表す画像データから当該円柱体の平面形状の寸法を検出し、この検出された円柱体の平面形状の寸法と当該円柱体の直径の寸法とをもとに演算を行って、当該円柱体からなる基準添加物の上記基体表面から先端面までの突出量を算出するものである。
また、この発明に係わる砥面検査方法の第２の観点は、基体の表面に、砥粒と、予め定められた半径を有する球体により構成されかつ研削加工による摩耗後の先端面の上記基体表面からの突出量が前記砥粒の突き出し量と等しくなるように上記砥粒に比べ摩耗しやすい材料により形成された基準添加物とをそれぞれ散設することにより形成された研削工具の砥面を検査する際に、先ず上記砥面を撮像して撮像画像データを得、この得られた撮像画像データから、上記球体からなる基準添加物の平面形状を表す画像データを検出する。次に、上記検出された球体からなる基準添加物の平面形状を表す画像データから当該球体の平面形状の寸法を検出し、この検出された球体の平面形状の寸法と当該球体の半径の寸法とをもとに演算を行って、当該球体からなる基準添加物の上記基体表面から先端面までの突出量を算出するものである。
【００３１】
したがって、外形形状が既知の基準添加物の画像データをもとに当該基準添加物の突出量を計算することができ、この基準添加物の突出量から砥粒の突き出し量を推定することが可能となる。すなわち、砥粒の突き出し量を検出するために、形状が区々な砥粒自体の画像データを複雑な画像処理技術を使用して検出する必要がなくなる。このため、検出精度を高めることができ、さらに検出画像処理の負担を軽減して処理の高速化を図ることができる。
【００３２】
また、上記基体の表面の基準となる位置に、外形形状が既知でかつ当該外形形状が砥粒及び第１の基準添加物とは異なるように成形された第２の基準添加物をさらに設けた研削工具の砥面検査方法にあって、上記砥面を撮像して撮像画像データを得て、この得られた撮像画像データから上記第２の基準添加物を表す画像データを検出し、この第２の基準添加物の検出位置を表す情報を上記基体の表面の基準位置を表す情報として出力することが好ましい。  
このようにすると、撮像画像データ中から上記第２の基準添加物の画像データが検出され、その検出位置が研削工具の基準位置、つまり原点を表す情報として出力される。この結果、検査者は上記出力された情報から研削砥石の原点を簡単かつ正確に把握することが可能となる。
【発明の効果】
【００３３】
したがってこれらの発明によれば、本来工具が持つべき特性を損なうことなく安価に製作でき、しかも簡単な画像処理技術を用いるだけで正確に砥面状態を検査することを可能にした研削工具とその砥面検査方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
（参考例）  
図１は、この発明に係わる研削工具の参考例を示すもので、砥石の砥面構成を拡大して示した斜視図である。  
この無気孔砥石１０は、円盤状又は円筒状をなす砥石基体１の周面に、砥粒２と、第１及び第２の基準添加物１１，１２とを、結合剤１３により固着させてこれを砥面としたものである。
【００３５】
第１及び第２の基準添加物１１，１２は、その光学特性がいずれも既知の値に設定される。すなわち、後述する砥面検査装置の照明ユニット３０から発光される検査光に対する反射特性又は波長に対する反射特性が既知で、かつ各々の光学特性が砥粒２に対し予め定められた色度差を持つように予め設定される。例えば、図３に示すように第１の基準添加物１１の光学特性は砥粒２に対し濃淡分布が小さい方向に濃度差Ｃ１を持つように、また第２の基準添加物１２の光学特性は砥粒２に対し濃淡分布が大きい方向に濃度差Ｃ２を持つようにそれぞれ設定される。
【００３６】
また、第１及び第２の基準添加物１１，１２は、結合剤３による砥粒２の保持力や熱伝導率、弾性率が規格により定められた許容範囲を超えないように、その形状、サイズ及び散設密度が設定される。例えば、図１に示すように形状が円柱体でかつサイズが砥粒２より小さくなるように設定され、さらに散設密度が砥粒２の散設密度より小さく設定される。具体的には、後述する砥面検査装置のカメラ付き顕微鏡２０による単位撮像範囲内に少なくとも１つが含まれる程度に設定される。図２にその散設状態の一例を示す。
【００３７】
なお、円柱体はその一端平面が砥石基体１の面に対し水平となるように垂直に立設することが好ましいが、円柱体をすべて垂直状態に立設することは砥面の凹凸形状等の影響により困難である。そこで、円柱体の代わりに６面体以上の多面体を用いるとよい。多面体を用いると、砥面の凹凸形状にかかわらずいずれかの面を砥石基体１の面に対し容易にしかも高い確率で水平に設定することが可能となる。
【００３８】
図４は、以上のように構成された砥石１０の砥面検査装置の概略構成を示すブロック図である。  
砥石１０は、図示しない回転軸に軸着された状態で駆動機構により矢印Ｗ方向に一定角度ずつステップ的に回転可能となっている。上記砥石１０の砥面と対向する位置には、カメラ付き顕微鏡２０が配設されている。このカメラ付き顕微鏡２０は、図示しない焦点調整機構と共に撮像ユニットを構成する。カメラ付き顕微鏡２０は、高倍率の金属顕微鏡にディジタルカメラを装着したもので、検査制御ユニット４０からの駆動指示に従い砥石１０の砥面を所定の倍率で撮像し、その撮像画像データを検査制御ユニット４０へ出力する。焦点調整機構は、検査制御ユニット４０からの焦点制御指示に従いカメラ付き顕微鏡２０の光学系を図中Ｚ方向に移動させ、これにより砥面に対するカメラ付き顕微鏡２０の焦点位置を砥面と垂直方向に可変する。
【００３９】
上記カメラ付き顕微鏡２０には照明ユニット３０が併設されている。この照明ユニット３０は、例えば電球又は発光ダイオードを光源とし、砥面の上記カメラ付き顕微鏡２０による撮像範囲を検査光によりスポット照明する。また照明ユニット３０は、照度及び波長の調整回路を備える。この調整回路は、検査制御ユニット４０から与えられる制御信号により動作し、上記検査光の照度及び波長を当該制御信号により指定された値に可変設定する。
【００４０】
検査制御ユニット４０は、例えばパーソナル・コンピュータからなり、アプリケーション・プログラムをＣＰＵ（Central Processing Unit）に実行させることにより、上記回転駆動機構、カメラ付き顕微鏡２０及び照明ユニット３０を駆動制御し、これにより砥石１０の砥面の検査画像データを得る。また、検査制御ユニット４０には、表示デバイス５０及び入力デバイス６０が接続されている。入力デバイス６０は、例えばキーボードやマウス等のポインティングデバイスからなり、検査に先立ち第１及び第２の基準添加物１１，１２の形状やサイズ、光学特性等、検査に必要な種々パラメータ情報を入力するために使用される。表示デバイス５０は、例えば液晶表示器からなり、カメラ付き顕微鏡２０により撮像されさらに上記検査制御ユニット４０により画像処理された検査画像データ等を表示するために使用される。
【００４１】
次に、以上のように構成された砥面検査装置の動作と、当該砥面検査装置による砥面検査方法について説明する。図５は、検査制御ユニット４０による制御手順及び制御内容を示すフローチャートである。  
検査に先立ち検査者は、検査対象の砥石１０を回転軸に装着する。そして、この砥石１０の装着完了後に入力デバイス６０を操作して第１及び第２の基準添加物１１，１２の形状やサイズ、光学特性等、検査に必要な種々パラメータ情報を入力する。入力される光学特性には、検査光の照度及び波長に対する反射特性を表すパラメータと、砥粒２に対し予め定められた濃度差Ｃ１，Ｃ２を表すパラメータが含まれる。検査制御ユニット４０は、ステップ５ａにより上記入力デバイス６０において入力された各種パラメータ情報を取り込み、自ユニット４０内の記憶部に格納する。
【００４２】
なお、検査制御ユニット４０の記憶部に、検査対象となる各砥石の識別情報に対応付けて、その砥面を構成する砥粒２や第１及び第２の基準添加物１１，１２のパラメータ情報を予め記憶させておく。そして、入力デバイス６０から入力された砥石の識別情報に対応するパラメータ情報を上記記憶部から読み出すようにしてもよい。
【００４３】
上記パラメータ情報が入力されると検査制御ユニット４０は、ステップ５ｂにおいて、上記入力された第１及び第２の基準添加物１１，１２の光学特性のパラメータ情報のうち、検査光に対する反射特性を表すパラメータに応じて、第１及び第２の基準添加物１１，１２を撮像するために最適な検査光の照度及び波長を設定する。この照度及び波長の設定は計算により行ってもよいが、反射特性と検査光の照度及び波長との対応関係を表すテーブルを予め記憶部に記憶しておき、このテーブルから上記入力された反射特性に対応する検査光の照度及び波長を読み出すようにしてもよい。
【００４４】
次に検査制御ユニット４０は、ステップ５ｃにおいて、回転駆動機構により砥石１０を回転させて砥面の所望の検査対象位置をカメラ付き顕微鏡２０の撮像位置に位置決めする。そして、この状態でステップ５ｄ，ステップ５ｅによりそれぞれ照明ユニット３０及びカメラ付き顕微鏡２０を駆動する。この結果、照明ユニット３０から先に設定された照度及び波長の検査光が出力され、この検査光により上記砥面の検査対象部位が照明される。そして、この照明がなされた状態で、上記砥面の検査対象部位がカメラ付き顕微鏡２０により撮像され、その撮像画像データが検査制御ユニット４０に入力される。検査制御ユニット４０は、ステップ５ｆにおいて、上記カメラ付き顕微鏡２０から出力された撮像画像データを取り込んで記憶部に保存する。
【００４５】
以上の砥面撮像動作は、照明ユニット３０の検査光の照度及び波長を第１及び第２の基準添加物１１，１２の各反射特性に応じた値にそれぞれ設定するごとに繰り返し行われる。したがって、カメラ付き顕微鏡２０では第１及び第２の基準添加物１１，１２の各反射特性に応じた撮像画像データがそれぞれ得られ、記憶部に保存される。
【００４６】
続いて検査制御ユニット４０は、ステップ５ｇに移行し、上記保存された第１及び第２の基準添加物１１，１２の各反射特性に対応する撮像画像データ中からそれぞれ、第１及び第２の基準添加物１１，１２を表す画像データを抽出する。そして、ステップ５ｈにおいて、上記抽出された各画像データの色濃度と、先にパラメータ情報として入力された砥粒２との間の濃度差Ｃ１，Ｃ２とをもとに、砥粒２を撮像する上で最適な検査光の照度及び波長を算出する。
【００４７】
次に検査制御ユニット４０は、ステップ５ｉにより、上記算出された照度及び波長となるように照明ユニット３０を調整し、この状態でカメラ付き顕微鏡２０から出力される撮像画像データをステップ５ｊにより取り込んで記憶部に保存する。そして、ステップ５ｋにおいて、上記照明調整後に得られた撮像画像データに対し画像処理を施し、これにより砥粒２を表す検査画像データを抽出する。上記画像処理では、例えば上記抽出された第１及び第２の基準添加物１１，１２の画像データの濃度と、上記濃度差Ｃ１，Ｃ２とをもとに、砥粒２に対応する濃度領域のみを抽出するための濃度のフィルタ特性を可変設定し、この可変設定したフィルタ特性に従い上記撮像画像データをフィルタリングする処理が行われる。そして検査制御ユニット４０は、ステップ５ｍにおいて、上記抽出された砥粒２の検査画像データを記憶部に保存すると共に表示デバイス５０に表示させる。
【００４８】
最後に検査制御ユニット４０は、ステップ５ｎによりすべての検査対象部位に対する検査が終了したか否かを判定し、未検査部位が残っている場合にはステップ５ｃに戻る。そして、回転駆動機構を駆動して砥石１０を一定角度回転させることにより次の検査対象部位を撮像位置に設定し、以後ステップ５ｄからステップ５ｍにより先に述べた照明の調整を含む撮像制御動作と、検査画像データの抽出処理動作とを実行する。以後、砥面のすべての検査対象部位について上記一連の検査制御を繰り返し実行し、すべての検査対象部位に対する検査画像データが得られると１個の砥石１０に対する検査制御を終了する。
【００４９】
以上述べたようにこの参考例では、砥石基体１の周面に、砥粒２に加え、検査光に対する反射特性が既知でかつ砥粒２との間に予め設定した色濃度差Ｃ１，Ｃ２を持つ第１及び第２の基準添加物１１，１２を、結合剤３により固着させることで砥面を形成している。
【００５０】
そして、上記砥面を検査する際には、先ず上記反射特性を表すパラメータに応じて、照明ユニット３０の検査光を上記第１及び第２の基準添加物１１，１２を撮像するために最適な照度及び波長に設定し、この状態でカメラ付き顕微鏡２０により砥面を撮像する。次に、その撮像画像データから上記第１及び第２の基準添加物１１，１２を表す画像データを抽出し、この抽出された画像の濃度と上記色濃度差Ｃ１，Ｃ２とをもとに、砥粒２を撮像する上で最適な照度及び波長を求める。そして、照明ユニット３０の検査光を上記最適な照度及び波長となるように調整したのち、カメラ付き顕微鏡２０により砥面を撮像し、これにより得られた撮像画像データから砥粒２を表す検査画像データを抽出するようにしている。
【００５１】
したがって、たとえ砥粒２と結合剤３との間の濃度分布が類似していても、砥粒２を表す高品質の画像データを比較的簡単かつ短時間に抽出することが可能となる。そして、この抽出された画像データをもとに砥粒２表面形状と大きさ、及び砥粒２の分布密度等を正確に求めることが可能となる。
【００５２】
また、従来のように砥石基体１に色度要素を充填着色したり、砥石基体１を異なる材質に変更する必要がない。このため、砥面全面において均一な色度差を得るための煩雑な工程管理は不要となり、さらに工具が本来持つべき規格上の特性、例えば砥粒保持力や弾性率、熱伝導率等を損なう心配もない。
【００５３】
（第１の実施形態）  
図６は、この発明に係わる研削工具の第１の実施形態である砥石の砥面構造を拡大して示した斜視図である。  
この実施形態に係わる無気孔砥石１０は、円盤状又は円筒状をなす砥石基体１の周面に、砥粒２と、突出量検出用の基準添加物１３とを、結合剤３により固着させてこれを砥面としたものである。基準添加物１３の散設密度は、砥粒２の散設密度より低く設定される。具体的には、砥面検査装置のカメラ付き顕微鏡２０による単位撮像範囲内に少なくとも１つが含まれる程度に設定される。
【００５４】
基準添加物１３は、例えば図７に示すように直径ｄを有する円柱体により構成され、この円柱体が図８に示すように砥面に対し傾斜した状態で結合剤３により固定される。この基準添加物１３は、砥粒２に比べ摩耗しやすい材料により形成されている。このため、研削加工に供することでその先端部が摩耗し、突出量が図９に示すように砥石１０の最外周面の高さ、つまり砥粒２の突き出し量ｈと等しくなる。
【００５５】
また基準添加物１３の光学特性は、前記参考例で述べた第１及び第２の基準添加物１１，１２と同様に予め定められた既知の値に設定され、さらに砥粒２及び結合剤３との間に一定量以上の濃度差を持つように設定されている。さらに、結合剤３による砥粒２の保持力や熱伝導率、弾性率が規格により定められた許容範囲を超えないように、その形状、サイズ及び散設密度が設定されている。  
なお、本実施形態では、砥粒２と基準添加物１３とを結合剤３に混ぜ合わせて基体１に焼結させることにより砥石１０を製作するので、基準添加物１３の多くを砥面に対し傾斜した状態に設定することは比較的容易であり、特別な生産技術を要しない。
【００５６】
次に、以上のように構成された砥石１０の砥面検査方法について説明する。  
なお、本実施形態においても砥面検査装置は前記図４に示した装置を使用して説明を行う。図１１は、この砥面検査装置を使用して本実施形態の砥面検査を実施する際の、検査制御ユニット４０の制御手順と制御内容を示すフローチャートである。
【００５７】
検査に先立ち検査者は、検査対象の砥石１０を回転軸に装着する。そして、この砥石１０の装着完了後に入力デバイス６０を操作して基準添加物１３の形状とそのサイズ、光学特性等、検査に必要な種々パラメータ情報を入力する。入力されるサイズは円柱体の直径ｄである。また光学特性は、検査光の照度及び波長に対する反射特性を表すパラメータである。検査制御ユニット４０は、ステップ１１ａにより上記入力デバイス６０において入力された各種パラメータ情報を取り込み、自ユニット４０内の記憶部に格納する。
【００５８】
なお、この実施形態においても、検査制御ユニット４０の記憶部に、検査対象となる各砥石の識別情報に対応付けて基準添加物１３のパラメータ情報を予め記憶させておき、入力デバイス６０から砥石の識別情報が入力された場合に、当該識別情報に対応するパラメータ情報を上記記憶部から読み出すようにしてもよい。
【００５９】
上記パラメータ情報が入力されると検査制御ユニット４０は、先ずステップ１１ｂにおいて、上記入力された基準添加物１３の検査光に対する反射特性に応じて、基準添加物１３を撮像するために最適な検査光の照度及び波長を設定する。この照度及び波長の設定は計算により行ってもよいが、反射特性と検査光の照度及び波長との対応関係を表すテーブルを予め記憶部に記憶しておき、このテーブルから上記入力された反射特性に対応する検査光の照度及び波長を読み出すようにしてもよい。
【００６０】
次に検査制御ユニット４０は、ステップ１１ｃにおいて、回転駆動機構により砥石１０を回転させて砥面の所望の検査対象位置をカメラ付き顕微鏡２０の撮像位置に位置決めする。そして、この状態でステップ１１ｄ，ステップ１１ｅによりそれぞれ照明ユニット３０及びカメラ付き顕微鏡２０を駆動する。この結果、照明ユニット３０から先に設定された照度及び波長の検査光が出力され、この検査光により上記砥面の検査対象部位が照明される。そして、この照明がなされた状態で、上記砥面の検査対象部位がカメラ付き顕微鏡２０により撮像され、その撮像画像データが検査制御ユニット４０に入力される。検査制御ユニット４０は、ステップ１１ｆにおいて、上記カメラ付き顕微鏡２０から出力された撮像画像データを取り込んで記憶部に保存する。
【００６１】
次に検査制御ユニット４０は、ステップ１１ｇに移行し、上記保存された撮像画像データ中から基準添加物１３を表す画像データを抽出する。そして、この抽出された画像データをもとに、ステップ１１ｈにおいて図１０に示すように、基準添加物１３の先端面の長径Ｌと、基準添加物１３の傾斜面に対応する部位の平面寸法ａをそれぞれ検出する。続いてステップ１１ｉにより、基準添加物１３の傾斜角θを  
θ＝ｓｉｎ-1（ｄ／Ｌ）      …(1)  
として計算し、さらにステップ１１ｊにおいて、上記計算された傾斜角θと、上記検出された基準添加物１３の傾斜面に対応する部位の平面寸法ａとをもとに、基準添加物１３の結合剤３の表面から最外周面までの突出量ｈを  
ｈ＝ａ・ｔａｎθ      …(2)  
として計算する。そして、この(2) 式により計算された１個の基準添加物１３の突出量ｈを、ステップ１１ｋにより記憶部に保存する。
【００６２】
なお、上記ステップ１１ｇにおいて撮像画面データ中から複数の基準添加物１３の画像データが抽出された場合には、これら複数の画像データのそれぞれについて突出量ｈを求めて保存する。そして、この求められた複数の基準添加物１３の突出量ｈの平均値を求め、この突出量ｈの平均値を上記検査対象部位における砥粒２の突き出し量の検査結果として記憶部に記憶する。
【００６３】
最後に検査制御ユニット４０は、ステップ１１ｍによりすべての検査対象部位に対する検査が終了したか否かを判定し、未検査部位が残っている場合にはステップ１１ｃに戻る。そして、回転駆動機構を駆動して砥石１０を一定角度回転させることにより次の検査対象部位を撮像位置に設定し、以後ステップ１１ｄからステップ１１ｋにより、先に述べた照明の調整を含む撮像制御動作と、検査画像データの抽出処理動作と、抽出された画像データをもとに基準添加物１３の突出量ｈを計算する処理動作とをそれぞれ実行する。以後、砥面のすべての検査対象部位について上記一連の検査制御を繰り返し実行し、すべての検査対象部位について基準添加物１３の突出量ｈが求められると、１個の砥石１０に対する検査制御を終了する。
【００６４】
以上述べたように第１の実施形態では、砥石基体１の周面に、砥粒２に加え、検査光に対する反射特性が既知でかつ砥粒２との間に予め設定した色濃度差を持つ円柱体からなる基準添加物１３を結合剤３により固着させることで砥面を形成している。  
そして、上記砥面を検査する際には、先ず上記反射特性を表すパラメータに応じて、照明ユニット３０の検査光を上記基準添加物１３を撮像するために最適な照度及び波長に設定し、この状態でカメラ付き顕微鏡２０により砥面を撮像する。次に、その撮像画像データから上記基準添加物１３を表す画像データを抽出し、この抽出された画像データと予め入力された基準添加物１３の形状とそのサイズを表すデータとから基準添加物１３の突出量ｈを算出し、この基準添加物１３の突出量ｈを砥粒２の突き出し量として認識するようにしている。
【００６５】
したがって、砥粒２や結合剤３の画像も混在する撮像画像データの中から、基準添加物１３を表す画像を高品質に抽出することができ、かつこの抽出された画像と予め入力された基準添加物１３の形状とそのサイズを表すデータとから基準添加物１３の突出量ｈを正確に計算することができる。すなわち、形状が区々な砥粒２自体の画像データをまったく参照せずに、砥粒２の突き出し量を検出することができる。このため、複雑な画像処理技術を駆使する必要がなくなって検出精度を高めることができ、さらに検出画像処理の負担を軽減して処理の高速化を図ることが可能となる。
【００６６】
（第２の実施形態）  
図１２は、この発明に係わる研削工具の第２の実施形態である砥石の砥面構造を拡大して示した斜視図である。  
この実施形態に係わる無気孔砥石１０は、円盤状又は円筒状をなす砥石基体１の周面に、砥粒２と、突出量検出用の基準添加物１４とを、結合剤３により固着させてこれを砥面としたものである。基準添加物１４の散設密度は、砥粒２の散設密度より低く設定される。具体的には、砥面検査装置のカメラ付き顕微鏡２０による単位撮像範囲内に少なくとも１つが含まれる程度に設定される。
【００６７】
基準添加物１４は、例えば図１４に示すように半径ｒの球体により構成され、球体の上半分の一部が砥面に露出した状態で結合剤３により固定される。この基準添加物１４は、砥粒２に比べ摩耗しやすい材料により形成されている。このため、研削加工に供することでその先端部が摩耗し、突出量が図１３に示すように砥石１０の最外周面の高さ、つまり砥粒２の突き出し量ｈ１と等しくなる。
【００６８】
また基準添加物１４の光学特性は、前記第１の実施形態で述べた基準添加物１３と同様に予め定められた既知の値に設定され、さらに砥粒２及び結合剤３との間に一定量以上の濃度差を持つように設定されている。さらに、結合剤３による砥粒２の保持力や熱伝導率、弾性率が規格により定められた許容範囲を超えないように、その形状、サイズ及び散設密度が設定されている。  
なお、本実施形態においても、砥粒２と基準添加物１４とを結合剤３に混ぜ合わせて基体１に焼結させることにより砥石１０を製作するので、基準添加物１４の多くを図１３に示すようにその上半分の一部が砥面から突出する状態に設置することは容易である。
【００６９】
次に、以上のように構成された砥石１０の砥面検査方法について説明する。  
なお、本実施形態においても、前記第１の実施形態と同様に砥面検査装置は前記図４に示した装置を使用して説明を行う。また、図１６はこの砥面検査装置を使用して本実施形態の砥面検査を実施する際の、検査制御ユニット４０の制御手順と制御内容を示すフローチャートである。同図において前記図１１と同一部分には同一符号を付して詳しい説明は省略する。
【００７０】
検査に先立ち検査者は、検査対象の砥石１０を回転軸に装着する。そして、この砥石１０の装着完了後に入力デバイス６０を操作して基準添加物１４の形状とそのサイズ、光学特性等、検査に必要な種々パラメータ情報を入力する。入力されるサイズは球体の半径ｒである。また光学特性は、検査光の照度及び波長に対する反射特性を表すパラメータである。検査制御ユニット４０は、ステップ１１ａにより上記入力デバイス６０において入力された各種パラメータ情報を取り込み、自ユニット４０内の記憶部に格納する。
【００７１】
なお、この実施形態においても、検査制御ユニット４０の記憶部に、検査対象となる各砥石の識別情報に対応付けて基準添加物１４のパラメータ情報を予め記憶させておき、入力デバイス６０から砥石の識別情報が入力された場合に、当該識別情報に対応するパラメータ情報を上記記憶部から読み出すようにしてもよい。
【００７２】
カメラ付き顕微鏡２０から出力された撮像画像データを取り込んで記憶部に保存すると、検査制御ユニット４０はステップ１１ｇに移行する。そして、上記保存された撮像画像データ中から基準添加物１４を表す画像データを抽出する。そして、この抽出された画像データをもとに、ステップ１６ａにおいて図１５に示すように、基準添加物１４の先端面の面積Ａ１と、砥面に露出した部位の面（以後露出底面と称する）の面積Ａ２をそれぞれ計算する。これらの面積Ａ１，Ａ２の計算は、上記画像データから先端面及び露出底面の直径をそれぞれ検出することにより可能である。
【００７３】
次に検査制御ユニット４０は、ステップ１６ｂにおいて、球体の中心から先端面までの高さｈ１と、球体の中心から上記露出底面までの高さｈ２をそれぞれ計算する。これらの高さｈ１，ｈ２の計算は、図１４に示す数式をもとに、  
【００７４】
【数３】
0004427668.tif 000002
【数４】
0004427668.tif 000003
により可能である。
【００７５】
続いて検査制御ユニット４０は、上記(3) 式及び(4) 式により算出された高さｈ１，ｈ２をもとに、露出底面から先端面までの高さ、つまり基準添加物１４の突出量Ｈを  
Ｈ＝ｈ１−ｈ２  
として計算する。そして、この計算された１個の基準添加物１４の突出量Ｈを、ステップ１６ｄにより記憶部に保存する。
【００７６】
なお、上記ステップ１１ｇにおいて撮像画面データ中から複数の基準添加物１４の画像データが抽出された場合には、これら複数の画像データのそれぞれについて突出量Ｈを求めて保存する。そして、この求められた複数の基準添加物１４の突出量Ｈの平均値を求め、この突出量Ｈの平均値を上記検査対象部位における砥粒２の突き出し量の検査結果として記憶部に記憶する。
【００７７】
ただし、上記抽出された複数の基準添加物１４の画像データのうち、例えば図１７（ａ）に示すように球体の先端面に相当する画像のみで露出底面に相当する画像が検出されない場合や、図１７（ｂ）に示すように球体の露出底面に相当する画像の直径が球体の直径２ｒ以上の場合には、これらの画像データから高さＨを計算することは不可能なので、これらに該当する基準添加物１４の画像データは破棄する。
【００７８】
以上述べたように第２の実施形態では、砥石基体１の周面に、砥粒２に加え、検査光に対する反射特性が既知でかつ砥粒２との間に予め設定した色濃度差を持つ球体からなる基準添加物１４を結合剤３により固着させることで砥面を形成している。  
そして、上記砥面を検査する際には、先ず上記反射特性を表すパラメータに応じて、照明ユニット３０の検査光を上記基準添加物１４を撮像するために最適な照度及び波長に設定し、この状態でカメラ付き顕微鏡２０により砥面を撮像する。次に、その撮像画像データから上記基準添加物１４を表す画像データを抽出し、この抽出された画像データと予め入力された基準添加物１４の形状とそのサイズを表すデータとから基準添加物１４の突出量Ｈを算出し、この基準添加物１４の突出量Ｈを砥粒２の突き出し量として認識するようにしている。
【００７９】
したがって、基準添加物１４が持つ既知の光学特性を利用して、砥粒２や結合剤３の画像も混在する撮像画像データの中から、基準添加物１４を表す画像を高品質に抽出することができ、かつこの抽出された画像と予め入力された基準添加物１４の形状とそのサイズを表すデータとから基準添加物１４の突出量Ｈを正確に計算することができる。すなわち、形状が区々な砥粒２自体の画像データをまったく参照せずに、砥粒２の突き出し量を検出することができる。このため、複雑な画像処理技術を駆使する必要がなくなって検出精度を高めることができ、さらに検出画像処理の負担を軽減して処理の高速化を図ることが可能となる。
【００８０】
（他の実施形態）  
前記参考例において、砥石基体１の表面の基準となる位置に、既知の光学特性を有しかつ当該光学特性が砥粒２及び基準添加物１１，１２の光学特性と異なる別の基準添加物をさらに設けることが好ましい。このようにすると、上記撮像画像データ中から上記別の基準添加物の画像データを検出することで、その検出位置を砥石１の基準位置、つまり原点位置を表す情報として検査者に提示することが可能となる。
【００８１】
また、前記第１及び第２の実施形態においては、砥石基体１の周面の基準位置（原点位置）に、基準添加物１３又は基準添加物１４とは形状又はサイズの異なる別の基準添加物をさらに設けるとよい。このようにすることによっても、撮像画像データ中から上記別の基準添加物の画像データを検出することで、その検出位置を砥石１の基準位置、つまり原点位置を表す情報として検査者に提示することが可能となる。この結果、検査者は上記出力された情報から砥石１の原点を簡単かつ正確に把握することが可能となる。
【００８２】
以上のような構成とすることにより、実用上において次のような効果が奏せられる。すなわち、一般に砥石製造メーカは、砥粒を所要の分布及び突き出し量に設定した砥石を出荷し、加工メーカではこの砥石を研削盤に取り付けて研削作業を行う。この場合、出荷時のデータ（砥石作業面の場所のよる砥粒分布・突き出し量）を研削過程で確認する場合、同一場所を比べることができると大変便利である。ところが、砥石の最外周面には数１００万個の砥粒が散在しているため、砥石を一旦取り外して再度装着した場合に、砥面上の同一の検査対象部位を見つけることは極めて困難である。これは、研削盤に高精度の位置決め機能があっても不可である。これに対し、上記したように砥石表面の基準位置に特有の光学特性又は形状を有する基準添加物を設けておき、この基準添加物を撮像画像データ中から検出することにより、砥面上の同一の検査対象部位を簡単かつ正確に把握することができる。
【００８３】
さらに、上記砥面の基準位置から所定距離だけ離間した検査対象部位における砥面の定格値を表すパラメータデータ（原画像画像も含む）を砥石メーカがウエブ上に公開しておき、加工メーカが上記パラメータデータを閲覧できるようにするとさらによい。このようにすると加工メーカは、研削盤に装着されている砥石の検査対象部位における砥粒分布及び突き出し量の定格データを容易に入手して検査に利用することができる。また、加工メーカが自社で砥粒の分布や突き出し量を調整した場合でも、上記基準位置を検出することにより検査対象部位の位置を常に正確に特定することができる。このため、砥石を研削盤から一旦取り外して他の研削盤に装着した場合でも、取り外し前のデータとの比較を容易に行うことが可能になる。
【００８４】
さらに、前記参考例において、撮像画像データから基準添加物の画像を抽出する際に、当該抽出対象の基準添加物の光学特性をもとに濃淡のフィルタ特性を可変設定し、この可変設定したフィルタ特性に従い上記撮像画像データをフィルタリング処理するようにしてもよい。このようにすると、撮像画像データに抽出対象の基準添加物の色濃度に類似する物質の画像が含まれていても、この類似画像を排除して基準添加物の画像データをより高い確率で抽出することが可能となる。
【００８５】
また、前記第１及び第２の実施形態において、上記基準添加物の画像を抽出する際に、当該抽出対象の基準添加物の形状とサイズに応じて基準画像パターンを設定し、撮像画像データに含まれる画像をこの基準画像パターンとパターンマッチング処理することにより上記基準添加物の画像を抽出するようにしてもよい。このようにすると、撮像画像データに抽出対象の基準添加物の色濃度とほぼ同一の物質の画像が含まれていても、上記画像のパターンマッチング処理により上記同一色濃度の画像を排除して、基準添加物の画像データをより高い確率で抽出することが可能となる。
【００８６】
その他、基準添加物の材質や形状、寸法、散設密度、砥面検査装置による砥粒画像の検出制御手順とその内容、砥粒の突き出し量の検出制御手順とその内容などについても、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施できる。  
要するにこの発明は、上記各実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、各実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】この発明に係わる研削工具の参考例を示すもので、砥石の砥面構成を拡大して示した斜視図。
【図２】図１に示した研削工具の砥面を撮像して得た画像の一例を示す図。
【図３】図１に示した研削工具の砥面における色度濃度差分布特性を示す図。
【図４】図１に示した研削工具の砥面を検査するために使用する砥面検査装置の構成を示すブロック図。
【図５】図４に示した砥面検査装置による砥面検査の制御手順と制御内容を示すフローチャート。
【図６】この発明に係わる研削工具の第１の実施形態である砥石の砥面構成を拡大して示した斜視図。
【図７】図６に示した研削工具に用いられる基準添加物の構造を示す斜視図。
【図８】図６に示した研削工具における基準添加物の初期設置状態を示す図。
【図９】図６に示した研削工具の使用開始後における基準添加物の状態を示す図。
【図１０】図９に示した基準添加物の突出量計算方法を説明するための図。
【図１１】図６に示した研削工具の砥粒突き出し量を検出する制御の手順と内容を示すフローチャート。
【図１２】この発明に係わる研削工具の第２の実施形態である砥石の砥面構成を拡大して示した斜視図。
【図１３】図１２に示した研削工具の使用開始後における基準添加物の状態を示す図。
【図１４】図１３に示した基準添加物の突出量計算方法を説明するための図。
【図１５】図１３に示した基準添加物の突出量計算方法を説明するための図。
【図１６】図１２に示した研削工具の砥粒突き出し量を検出する制御の手順と内容を示すフローチャート。
【図１７】図１３に示した基準添加物の突出量計算方法を説明するための図。
【図１８】従来の研削工具の砥面部分を拡大して示した模式図。
【図１９】図１８に示した研削工具を使用する研削加工の一例を示す図。
【図２０】研削加工後の被加工物の加工面の状態を拡大して示す図。
【図２１】従来の砥粒突出量測定方法の一例を説明するための図。
【図２２】従来の砥粒突出量測定方法の他の例を説明するための図。
【符号の説明】
【００８８】
１…砥石基体、２…砥粒、３…結合剤、４…切り屑、５…研削条痕、６…ダイヤルゲージの触針、７…粗さ計、８…粗さ計の触針、９…工作物、１０…砥石、１１…第１の基準添加物、１２…第２の基準添加物、１３，１４…突出量測定用の基準検査物、２０…カメラ付き顕微鏡、３０…照明ユニット、４０…検査制御ユニット、５０…表示デバイス、６０…入力デバイス。
【図１】
0004427668.tif 000006
【図２】
0004427668.tif 000007
【図３】
0004427668.tif 000008
【図４】
0004427668.tif 000009
【図５】
0004427668.tif 000010
【図６】
0004427668.tif 000011
【図７】
0004427668.tif 000012
【図８】
0004427668.tif 000013
【図９】
0004427668.tif 000014
【図１０】
0004427668.tif 000015
【図１１】
0004427668.tif 000016
【図１２】
0004427668.tif 000017
【図１３】
0004427668.tif 000018
【図１４】
0004427668.tif 000019
【図１５】
0004427668.tif 000020
【図１６】
0004427668.tif 000021
【図１７】
0004427668.tif 000022
【図１８】
0004427668.tif 000023
【図１９】
0004427668.tif 000024
【図２０】
0004427668.tif 000025
【図２１】
0004427668.tif 000026
【図２２】
0004427668.tif 000027