(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被切断物を回転状態にある円盤状の切断砥石を用いて所定厚さの板状材に連続切断するスライシング装置であって、
前記切断砥石の側面の基準位置に対する変位を側面変位として順次検出する変位センサと、
該変位センサによって検出された切断開始から切断終了までの各切断位置における前記切断砥石の側面変位から側面変位曲線を生成するとともに、切断開始時における切断砥石の開始側面変位ｐ１と切断終了時における終了側面変位ｐ２とを結ぶ直線Ｌを算出し、該直線Ｌと前記側面変位に対する側面変位曲線Ｐとの偏差を切断面のそりデータとして算出する制御演算部と、
前記そりデータを表示する表示部と、を具備し、
制御演算部は、板状材の両面について各々算出された偏差の平均値をそりデータとして算出し、そりデータが所定のしきい値を越えると管理基準を満足していないと判断し次の被切断物の切断を自動停止させることを特徴とするスライシング装置。
【請求項２】
切断砥石をドレッシングするドレッシング装置を備え、
制御演算部は、そりデータが管理基準を満足しているものの所定の警戒範囲内にあると判断すると、ドレッシング装置に切断砥石のドレッシングを行わせることを特徴とする請求項１記載のスライシング装置。
【請求項３】
制御演算部は、所定の集計単位毎にそりデータの分布を算出することを特徴とする請求項１または２記載のスライシング装置。
【請求項４】
被切断物を回転状態にある円盤状の切断砥石を用いて所定厚さの板状材に連続切断するスライシング方法において、
板状材の両面について各々、切断砥石の側面の基準位置に対する変位を側面変位として順次検出し、切断開始から切断終了までの各切断位置における前記切断砥石の側面変位から側面変位曲線Ｐを生成するとともに、切断開始時における切断砥石の開始側面変位ｐ１と切断終了時における終了側面変位ｐ２とを結ぶ直線Ｌを算出し、該直線Ｌと前記側面変位に対する側面変位曲線Ｐとの偏差を算出し、前記各々算出された偏差の平均値をそりデータとして算出し、切断面のそりデータとしてこのそりデータを表示部に表示するとともに、
そりデータが所定のしきい値を越えて管理基準を満足しなくなると、次の被切断物の切断を自動停止させることを特徴とするスライシング方法。
【請求項５】
そりデータが管理基準を満足しているものの所定の警戒範囲内にあると、切断砥石のドレッシングを行うことを特徴とする請求項４記載のスライシング方法。
【請求項６】
所定の集計単位毎にそりデータの分布を算出することを特徴とする請求項４または５記載のスライシング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スライシング装置及び方法に係わり、特にシリコンインゴット等の半導体材料をスライスする技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
特開昭６１−２２６２６５号公報には、高速回転する円盤状の切断砥石を用いて上記半導体材料等の被切断物をスライスするに当たり、切断作業と平行して切断砥石の端面をドレッシングすることにより、均一な厚さで被切断物を切断すると共に切断作業性を効率化する技術が開示されている。この技術では、円盤状の切断砥石の側面に近接して変位センサを設け、該変位センサによって検出された切断砥石の変位に基づいてドレッシングを自動的に行う。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、半導体材料等のスライス技術では、スライスされた被切断物の厚さを高精度に管理する必要がある。上述のようなドレッシング技術は、このような管理要求にも答えるものである。すなわち、切断砥石の「切れ味」が悪化すると切断砥石の変位が大きくなり、この結果、切断面の「そり」が大きくなって均一な厚さで被切断物を切断できない状態に至る。したがって、切断砥石をドレッシングすることにより切断砥石の「切れ」を再生させて、より均一な厚さで被切断物を切断するように処置する必要がある。
【０００４】
しかしながら、上記変位センサは、あくまで切断砥石の変位を計測するものであり、切断面の「そり」を計測するものではない。実際の切断面の「そり」を計測すると、変位センサの検出値に対して相関がない。したがって、上述したような従来技術は、本来管理したい切断面の「そり」に基づいたドレッシングを実現するものではないため、所望品質（厚さ）のスライシングを効率的に行うものではなく、また不必要なドレッシングにより切断砥石の寿命を低下させる等の問題点がある。
【０００５】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、所望品質のスライシングを効率的に行うと共に、切断砥石の寿命を不必要に低下させることがないスライシング装置及び方法の提供を目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のスライシング装置では、被切断物を回転状態にある円盤状の切断砥石を用いて所定厚さの板状材に連続切断するスライシング装置であって、
前記切断砥石の側面の基準位置に対する変位を側面変位として順次検出する変位センサと、
該変位センサによって検出された切断開始から切断終了までの各切断位置における前記切断砥石の側面変位から側面変位曲線Ｐを生成するとともに、切断開始時における切断砥石の開始側面変位ｐ１と切断終了時における終了側面変位ｐ２とを結ぶ直線Ｌを算出し、該直線Ｌと前記側面変位に対する側面変位曲線Ｐとの偏差を切断面のそりデータとして算出する制御演算部と、
前記そりデータを表示する表示部と、を具備し、
制御演算部は、板状材の両面について各々算出された偏差の平均値をそりデータとして算出し、そりデータが所定のしきい値を越えると管理基準を満足していないと判断し次の被切断物の切断を自動停止させることを特徴とする。
本発明は、切断砥石をドレッシングするドレッシング装置を備え、
制御演算部は、そりデータが所定の警戒範囲内にあるとドレッシング装置に切断砥石のドレッシングを行わせることができる。
本発明は、制御演算部は、所定の集計単位毎にそりデータの分布を算出することができる。
本発明のスライシング方法は、被切断物を回転状態にある円盤状の切断砥石を用いて所定厚さの板状材に連続切断するスライシング方法において、
板状材の両面について各々、切断砥石の側面の基準位置に対する変位を側面変位として順次検出し、切断開始から切断終了までの各切断位置における前記切断砥石の側面変位から側面変位曲線Ｐを生成するとともに、切断開始時における切断砥石の開始側面変位ｐ１と切断終了時における終了側面変位ｐ２とを結ぶ直線Ｌを算出し、該直線Ｌと前記側面変位に対する側面変位曲線Ｐとの偏差を算出し、前記各々算出された偏差の平均値をそりデータとして算出し、切断面のそりデータとしてこのそりデータを表示部に表示するとともに、
そりデータが所定のしきい値を越えて管理基準を満足しなくなると、次の被切断物の切断を自動停止させることを特徴とする。
本発明は、そりデータが管理基準を満足しているものの所定の警戒範囲内にあると、切断砥石のドレッシングを行うことができる。
本発明は、所定の集計単位毎にそりデータの分布を算出することができる。
【０００７】
また、スライシング装置に係わる第２の手段として、上記第１の手段において、制御演算部は板状材の両面について各々算出された偏差の平均値をそりデータとして算出するという手段を採用する。
【０００８】
スライシング装置に係わる第３の手段として、上記第１または第２の手段において、制御演算部はそりデータが所定のしきい値を越えると被切断物の切断を自動停止させるという手段を採用する。
【０００９】
スライシング装置に係わる第４の手段として、上記第１〜第３いずれかの手段において、切断砥石をドレッシングするドレッシング装置を備え、制御演算部は、そりデータが警戒範囲内にあるとドレッシング装置に切断砥石のドレッシングを行わせるという手段を採用する。
【００１０】
スライシング装置に係わる第５の手段として、上記第１〜第４いずれかの手段において、制御演算部は、所定の集計単位毎にそりデータの分布を算出するという手段を採用する。なお、この場合、算出したそりデータの分布を記憶部に記憶収納したり、あるいは印刷するようにしても良い。
【００１１】
一方、本発明では、スライシング方法に係わる第１の手段として、被切断物を回転状態にある円盤状の切断砥石を用いて所定厚さの板状材に連続切断するスライシング方法において、切断砥石の側面の基準位置に対する変位を側面変位として順次検出し、切断開始時における切断砥石の開始側面変位ｐ1と切断終了時における終了側面変位ｐ2とを結ぶ直線Ｌを算出し、該直線Ｌと前記側面変位との偏差を切断面のそりデータとして算出し、このそりデータを表示部に表示するという手段を採用する。
【００１２】
また、スライシング方法に係わる第２の手段として、上記第１の手段において、板状材の両面について各々算出された偏差の平均値をそりデータとして算出するという手段を採用する。
【００１３】
スライシング方法に係わる第３の手段として、上記第１または第２の手段において、そりデータが所定のしきい値を越えると、被切断物の切断を自動停止するという手段を採用する。
【００１４】
スライシング方法に係わる第４の手段として、上記第１〜第３いずれかの手段において、そりデータが所定の警戒範囲内にあると、切断砥石のドレッシングを行うという手段を採用する。この場合のドレッシングは、作業員による手動ドレッシングあるいはドレッシング装置による自動ドレッシングのいずれであっても良い。
【００１５】
スライシング方法に係わる第５の手段として、上記第１〜第４いずれかの手段において、所定の集計単位毎にそりデータの分布を算出するという手段を採用する。この場合、そりデータの分布を表示部に画像表示したり、記憶部に記憶収納したり、あるいは印刷するようにしても良い。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明に係わるスライシング装置及び方法の一実施形態について説明する。
【００１７】
図１は、本スライシング装置の切断砥石の概要構成を示す斜視図である。符号１は切断砥石、２は変位センサ、３は被切断物であるシリコンインゴットである。切断砥石１は、薄板状のリング形状に形成されており、図示するようにダイヤモンド粒子の付着によって内周に同じくリング状の刃部１ａが形成されている。この切断砥石１は、図示しない回転駆動機構によって回転駆動されると共に、円柱状のシリコンインゴット３が当該切断砥石１の回転面に対して直交するように内周つまり刃部１ａに対向するようにして配置されている。
【００１８】
この本スライシング装置は、２点鎖線矢印で示すようにシリコンインゴット３を高速回転状態にある切断砥石１に対して当該切断砥石１の回転面に平行な方向に相対移動させることにより、刃部１ａによってシリコンインゴット３に当接して切断するようになっている。
【００１９】
また、変位センサ２は、上記切断砥石１の刃部１ａ近傍に固定配置されるものであり、切断砥石１の側面の基準位置に対する変位を側面変位として検出するものである。固定配置された変位センサ２に対する切断砥石１の側面位置は、シリコンインゴット３の非切断時を基準位置とした場合、切断時には刃部１ａの局部の切れ味や刃部１ａの先端形状の変化等に起因して微妙に変位する。変位センサ２は、このような切断砥石１、特に刃部１ａの側面位置の変動を側面変位として検出するものである。なお、この変位センサ２の作用の詳細については後述するものである。
【００２０】
続いて、図２を参照して本スライシング装置の要部機能構成を説明する。この図において、符号４は上記切断砥石１を備えた本体、５はアンプ、６は記録計、７はＡ／Ｄコンバータ、８は制御演算部、９は表示部、１０はインタフェース、１１はリレーボックス、１２はドレッシング装置、１３はデータ保存部、１４はプリンタである。
【００２１】
本体４は、インタフェース１０及びリレーボックス１１を介して制御演算部８から入力される制御情報に基づいて切断砥石１を回転駆動かつ上述したように切断砥石１と上記シリコンインゴット３とを相対移動させることにより、シリコンインゴット３を所定厚さのシリコンウエハ（板状材）に連続切断するものである。また、この本体４は、インタフェース１０を介して制御演算部８に自らの動作状態情報を出力するように構成されている。
【００２２】
アンプ５は、上記変位センサ２の出力信号、つまり刃部１ａの側面変位を示す側面変位信号をバッファリングして記録計６に出力すると共に、当該側面変位信号を所定倍率で増幅してＡ／Ｄコンバータ７に出力するものである。記録計６は、当該アンプ５から入力された側面変位信号に基づいて刃部１ａの側面変位をシリコンインゴット３の切断毎に記録するものである。Ａ／Ｄコンバータ７は、アンプ５によって増幅された側面変位信号をサンプリングかつ量子化し、デジタル側面変位信号として制御演算部８に出力するものである。
【００２３】
制御演算部８は、上記デジタル側面変位信号及びインタフェース１０を介して入力される動作状態情報に基づいて本体４及びドレッシング装置１２の動作を制御すると共に、デジタル側面変位信号に基づいて切断毎の切断面の「そり」を示すそりデータを生成して表示部９に出力するものである。また、この制御演算部８は、そりデータを予め記憶されたしきい値と比較することにより管理基準を満足していないと判断すると次の切断を停止させる制御情報を本体４宛に出力するように構成されている。
【００２４】
さらに、この制御演算部８は、各シリコンインゴット３毎あるいは摩耗によって交換される切断砥石１毎等、所定範囲内の複数回に亘る切断（切断面）に係わるそりデータの分布を算出して表示部９に出力するように構成されている。なお、この制御演算部８による本体４及びドレッシング装置１２の制御動作及びそりデータの生成処理の詳細については後述するものである。
【００２５】
表示部９は、制御演算部８から入力された上記そりデータあるいはその所定集計単位毎の分布を画像表示するものである。インタフェース１０は、本体４と制御演算部８との情報の送受信及び制御演算部８とドレッシング装置１２との情報の送受信を仲介するものであり、例えば本体４から入力された上記動作状態情報（アナログ情報）を所定フォーマットのデジタル信号に変換して制御演算部８に出力すると共に、制御演算部８から入力された制御情報（デジタル信号）をアナログ変換し、リレーボックス１１を介して本体４あるいはドレッシング装置１２に出力するものである。リレーボックス１１は、このようなインタフェース１０から入力された制御情報を、その送信先に応じて本体４あるいはドレッシング装置１２に振り分けるためのものである。
【００２６】
ドレッシング装置１２は、上記制御演算部８から入力された制御情報に基づいて上記切断砥石１の刃部１ａを自動的にドレッシングするものである。このドレッシング装置１２は、制御演算部８からドレッシングを実行する旨の制御情報が入力されると、次の切断を開始する直前にドレッシング用テープ（図示略）を高速回転する刃部１ａの先端に押し当てることにより、当該刃部１ａの先端の左右何れかを自動ドレッシングするものである。
【００２７】
データ保存部１３は、制御演算部８によって算出されたそりデータ及びその分布データを記憶保存するものである。このデータ保存部１３は、例えば固定式のハードディスク装置、記憶媒体の形態が容易なフロッピーディスク装置あるいは各種の光ディスク装置である。また、プリンタ１４は、上記そりデータ及びその分布データを印刷するものである。
【００２８】
次に、このように構成された本スライシング装置の動作及び本スライシング装置を用いたシリコンインゴット３のスライシング方法について、図３をも参照して詳しく説明する。
【００２９】
図１に示されるように、高速回転する切断砥石１（刃部１ａ）の回転面に直交配置されたシリコンインゴット３と切断砥石１とを回転面に平行な方向に相対移動させることにより、シリコンインゴット３の側面と刃部１ａの先端とが接触状態となり、さらに移動させることによりシリコンインゴット３が側面からさらに内部に亘って順次切断され、最終的に刃部１ａがシリコンインゴット３の直径分相対移動することにより１つの切断面について切断が終了する。そして、シリコンインゴット３を回転面に直交する方向に所定寸法Ｄだけ移動、かつシリコンインゴット３と切断砥石１とを初期相対位置に戻した後に次の切断を行うことにより上記寸法Ｄに相当する厚さＤのシリコンウエハが順次製造される。
【００３０】
このような順次行われる各切断（切断面）について、アンプ５には、変位センサ２によって検出された刃部１ａの側面の基準位置に対する変位が側面変位信号として連続的に入力される。そして、この側面変位信号は、アンプ５によって増幅された後、Ａ／Ｄコンバータ７によってデジタル側面変位信号に変換され、切断の進行とともに変化するシリコンインゴット３に対する刃部１ａの位置、つまりシリコンインゴット３の切断位置に対応した刃部１ａの側面変位を示す信号として制御演算部８に入力される。
【００３１】
図３の曲線Ｐは、ある切断面に対する上記側面変位を示す側面変位曲線である。この側面変位曲線Ｐは、切断開始時における刃部１ａの側面変位（開始側面変位）がｐ1であり、かつ、切断終了時における側面変位（終了側面変位）がｐ2であることを示している。シリコンインゴット３の切断開始から切断終了までの各切断位置における刃部１ａの側面変位は、当該側面変位曲線Ｐに示すように「そり」を持って変動している。この側面変位曲線Ｐの変動については、刃部１ａの切断能力（切れ味）の変動等、様々な要因が考えられる。
【００３２】
従来、このようにして変位センサ２によって得られる側面変位曲線Ｐは、当該切断面の実際の「そり」を示していないため、刃部１ａのドレッシングの要否を判定するためのデータとして活用されていた。当該切断面について表面性を別途精密計測すると、上記側面変位曲線Ｐとは異なる結果が得られ、当該側面変位曲線Ｐは切断面のそり管理に適用することはできなかった。
【００３３】
しかし、本発明者は、以下に説明するように、側面変位曲線Ｐに対して簡単な加工を施すことにより、切断面の「そり」を忠実に反映するそりデータを取得することが可能であることを見出した。すなわち、開始側面変位ｐ1と終了側面変位ｐ2とを結ぶ直線Ｌに対する側面変位曲線Ｐの偏差（例えばシリコンインゴット３の切断位置ａについては偏差ｄa）は、切断面の「そり」を忠実に反映するものとなる。
【００３４】
このような知見に基づき、上記制御演算部８は、Ａ／Ｄコンバータ７から各切断面に関するデジタル側面変位信号が順次入力されると、このデジタル側面変位信号つまり側面変位曲線Ｐをシリコンウエハの両面分記憶し、当該両面の各片面の側面変位曲線Ｐについて直線Ｌをそれぞれ算出し、各片面について直線Ｌと側面変位曲線Ｐとの偏差を算出して、当該各片面の偏差の平均値を当該シリコンウエハのそりデータとして算出する。そして、このそりデータを表示部９に出力すると共に予め記憶されたしきい値と比較することにより評価し、当該切断面の「そり」が管理基準を満足していない場合には、次の切断を停止させる制御情報をインタフェース１０及びリレーボックス１１を介して本体４に出力する。
【００３５】
すなわち、本実施形態によれば、本体４による切断作業は変位センサ２の側面変位に基づいて自動停止されると共に、この作業停止の根拠となる側面変位に対応するそりデータが表示部９に表示される。したがって、シリコンインゴット３のスライス工程を管理する作業監理者は、表示部９のそりデータを確認することによって速やかに適切な処置を取ることができるので、スライス工程の作業効率が向上される。
【００３６】
しかも、シリコンウエハの両面についてそれぞれ算出された側面変位曲線Ｐと直線Ｌとの偏差の平均値をそりデータとするので、そりデータは、シリコンウエハの片面のみの側面変位曲線Ｐと直線Ｌとの偏差に基づく場合に比較して、シリコンウエハの「そり」をより正確に反映したものとなる。したがって、シリコンウエハの両面における各々の側面変位曲線Ｐと直線Ｌの偏差の平均値をそりデータとすることにより、シリコンウエハの実際の「そり」をより正確に把握することができる。
【００３７】
また、制御演算部８は、当該切断面の「そり」が管理基準を満足しているものの警戒範囲内にあると判断すると、刃部１ａのドレッシングの実行を指示する制御情報をインタフェース１０及びリレーボックス１１を介してドレッシング装置１２に出力する。すなわち、本実施形態によれば、シリコンインゴット３の切断を繰り返すことにより刃部１ａの切れ味は徐々に低下して切断面の「そり」が大きくなるが、この「そり」が警戒範囲内に入るまでに悪化すると、自動的に刃部１ａのドレッシングが実行されて刃部１ａの切れ味が復元されて良好な切断を続行できる状態に回復されるので、切断作業の停止回数が低減されてスライス工程の作業効率が向上される。
【００３８】
なお、本実施形態は、ドレッシング装置１２を備えることにより刃部１ａを自動ドレッシングするものであるが、手動用のドレッシング装置を備えて作業員による手動ドレッシングを行うようにしても良い。この場合、作業員は、表示部９に画像表示されたそりデータに基づいて刃部１ａの先端部の左右の何れをドレッシングすべきかを判断して、手動ドレッシングを行う。
【００３９】
また、制御演算部８は、所定の集計単位毎、例えば各シリコンインゴット３毎、摩耗によって交換される切断砥石１毎あるいは作業日毎等に係わる複数のそりデータの分布を算出して表示部９に出力する。例えば、制御演算部８は各そりデータにおける「そり」の最大値のヒストグラムをそりデータの分布として算出して表示部９に表示させる。ただし、制御演算部８におけるそりデータの分布算出処理は、当該スライス工程の作業計画や品質管理に供するためのものであり、よって上記例示に限るものではなく、様々な集計単位でそりデータの分布を算出するようにしても良い。また、当該分布の表示形式も上記ヒストグラムに限定されるものではない。
【００４０】
さらに、制御演算部８は、上記そりデータ及び各種分布データを算出すると、これらをデータ保存部１３に順次記憶させると共に、図示しない操作手段からの指示に基づいてそりデータや各種分布データをプリンタ１４に印刷させる。したがって、当該スライス工程の監理者は、データ保存部１３に記憶されたそりデータや各種分布データを任意に読み出して確認することができると共に、プリンタ１４によって作業日報等として保存することもできる。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係わるスライシング装置及び方法によれば、以下のような効果を奏する。
【００４２】
（１）請求項１あるいは６記載の発明によれば、切断砥石の側面の基準位置に対する変位を側面変位として順次検出し、切断開始時における切断砥石の開始側面変位ｐ1と切断終了時における終了側面変位ｐ2とを結ぶ直線Ｌを算出し、該直線Ｌと前記側面変位との偏差を切断面のそりデータとして算出し、このそりデータを表示部に表示するので、スライシングの品質を迅速かつ正確に確認することが可能であり、よって所望品質（厚さ）のスライシングを効率的に行うことができる。
【００４３】
すなわち、従来では切断面の「そり」と側面変位との相関がなかったため、当該側面変位から切断面の「そり」を判断することができなかったが、切断開始時における切断砥石の開始側面変位ｐ1と切断終了時における終了側面変位ｐ2とを結ぶ直線Ｌと側面変位との偏差は、切断面の「そり」を示すことが見出された。したがって、所定厚さの板状材を連続的にスライスするスライシング方法において、先行してスライスされた切断面のそりデータを上記直線Ｌと側面変位との偏差として算出・表示することにより、その後のスライス作業を続行すべきかあるいは中断すべきかを迅速に判断することが可能であり、よって所望品質のスライシングを効率的に行うことができる。
【００４４】
（２）請求項２あるいは７記載の発明によれば、板状材の両面について算出された偏差の平均値をそりデータとして算出するので、片面のみについて算出された偏差をそりデータとして算出する場合に比較して、切断品質をより正確に確認することが可能である。すなわち、被切断物を所定厚さにスライスする場合、その品質項目である「そり」は、片面のスライス状態のみに依存するものではなく、両面のスライス状態によって決定される。したがって、板状材の両面の偏差の平均値をそりデータとして算出・表示することにより、切断品質をより正確に把握することが可能である。
【００４５】
（３）請求項３あるいは８記載の発明によれば、そりデータが所定のしきい値を越えると、被切断物の切断を自動停止するので、手動にて切断を停止する場合に比較して不良スライスを効果的に防止することができる。
【００４６】
（４）請求項４あるいは９記載の発明によれば、そりデータが警戒範囲内にあると切断砥石のドレッシングを行うので、ドレッシングの必要性をより正確に判断することが可能であり、よって切断砥石の寿命を不必要に低下させることを防止することができる。
【００４７】
（５）請求項５あるいは１０記載の発明によれば、所定の集計単位毎にそりデータの分布を算出するので、被切断物のスライス作業の全体的な状況を容易に把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態に係わるスライシング装置の切断砥石の概要構成を示す斜視図である。
【図２】  本発明の一実施形態に係わるスライシング装置の要部機能構成を示すブロック図である。
【図３】  本発明の一実施形態の要部処理を示すする説明図である。
【符号の説明】
１……切断砥石
１ａ……刃部
２……変位センサ
３……シリコンインゴット（被切断物）
４……本体
５……アンプ
６……記録計
７……Ａ／Ｄコンバータ
８……制御演算部
９……表示部
１０……インタフェース
１１……リレーボックス
１２……ドレッシング装置
１３……データ保存部
１４……プリンタ
Ｌ……直線
ｐ1……開始側面変位
ｐ2……終了側面変位
Ｐ……側面変位曲線
【図１】
0004427868.tif 000002
【図２】
0004427868.tif 000003
【図３】
0004427868.tif 000004