(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれゴムまたはその類似物から成る第一種支持部材および第二種支持部材であって、第二種支持部材の圧縮方向の弾性係数が第一種支持部材のそれより大きくかつ第二種支持部材が第一種支持部材より低いものを、互いに隣接させた状態でそれぞれ複数個ずつ配置し、それら第一種，第二種支持部材により脆性材料製基板の下面を支持することを特徴とする脆性材料製基板支持方法。
【請求項２】
前記第一種支持部材と前記第二種支持部材との少なくとも一方として、軸方向において不変の横断面積を有し、上下方向に延びる柱状の部材を使用する請求項１に記載の脆性材料製基板支持方法。
【請求項３】
前記第一種支持部材と前記第二種支持部材とを、前記脆性材料製基板の下面に平行な平面に規則的に分布させて配置し、その規則的な配置を、同じ配置パターンの平面的な繰り返しとする請求項１または２に記載の脆性材料製基板支持方法。
【請求項４】
それぞれゴムまたはその類似物から成る第一種支持部材および第二種支持部材であって、第二種支持部材の圧縮方向の弾性係数が第一種支持部材のそれより大きいものと、
それら第一種支持部材と第二種支持部材とをそれぞれ複数個、互いに隣接して上方に延び、かつ、第一種支持部材の先端の高さが第二種支持部材の先端の高さより高い状態で保持する保持部材と
を含む回路基板支持装置。
【請求項５】
前記保持部材が概して平板状をなす保持板を含み、その保持板が、複数の保持穴を備え、前記第一種支持部材と前記第二種支持部材とがそれぞれの下端部を前記保持穴に固定的に保持された請求項４に記載の回路基板支持装置。
【請求項６】
部品供給装置から電気部品を吸着ノズルに取り出させ、脆性材料製基板に装着させることにより電気回路を製造する方法であって、
前記脆性材料製基板を、それぞれゴムまたはその類似物から成る複数個ずつの第一種支持部材および第二種支持部材であって、第二種支持部材の圧縮方向の弾性係数が第一種支持部材のそれより大きくかつ第二種支持部材が第一種支持部材より低いものに支持させることを特徴とする電気回路製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミックス等の脆性材料から成る脆性材料製基板にスポット状に接着剤を塗布し、あるいは電気部品を装着する等の目的で脆性材料製基板を支持する方法、およびそれに適した回路基板支持装置に関するものである。
【従来の技術】
プリント配線板等の回路基板に電気部品（電子部品を含む）を装着することによりプリント回路板等の電気回路を製造することが行われている。その場合、回路基板を保持する基板保持装置と、その基板保持装置に保持された回路基板の予め定められた箇所に作業を施す作業ヘッドと、それら基板保持装置と作業ヘッドとを相対移動させる相対移動装置とを備えた基板作業システムが使用される。作業ヘッドが、接着剤を塗布する塗布ヘッドとされれば接着剤塗布システムとなり、電気部品を装着する装着ヘッドとされれば電気部品装着システムとなる。
【０００２】
上記基板作業システムの基板保持装置は、回路基板の中央部（周辺部に対応する中央部であって、必ずしも中心近傍部のみを意味しない）を下方から支持する複数の支持部材を含むものとされることが多いが、保持される回路基板がセラミックス材料を主材料とするセラミック基板である場合には、それを適切に支持させることが難しい場合がある。セラミック基板は、一般的に脆く、大きい弾性変形力を作用させれば破損し易いためである。支持部材としては、従来から金属製のものが広く用いられている。金属製の支持部材は、回路基板を作業が施される面（この面を被作業面と称する）側とは反対側の面（この面を支持面と称する）側から支持し、被作業面が平らになるようにするのに適しているが、基板の振動を抑制することはできない。例えば、電気部品を回路基板に装着する際の衝撃や、回路基板の板面に平行な方向の移動の開始，停止時の衝撃等により回路基板が振動することがある。この振動が電気部品の装着時に収まっていればよいが、収まっていなければ、回路基板に対する電気部品の装着位置がずれ、装着精度が低下する。支持部材をゴム，スポンジ等振動吸収性を有する部材とすれば、基板の振動抑制効果は高まるが、材料が柔らかすぎると下反りの回路基板を平らに矯正して支持する機能が低下する。また、上反りの回路基板を支持する場合、上述の金属製支持部材による支持方法では支持面を効果的に支持できないため、吸着カップ等の吸着面を備える支持部材によって基板の支持面を負圧により吸着支持することが行われている。しかしながら、セラミック基板においては、吸着により大きく弾性変形させられれば割れる可能性がある。この事情は、セラミック基板に限らず、ガラス等の他の脆性材料から成る回路基板についても同じである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効果】
本発明は、以上の事情を背景とし、脆性材料製基板を適切に支持し得るようにすることを課題としてなされたものであり、本発明によって、下記各態様の脆性材料製基板支持方法，回路基板支持装置，電気回路製造方法，電気部品装着システムおよび基板作業システム等が得られる。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも本発明の理解を容易にするためであり、本明細書に記載の技術的特徴およびそれらの組合わせが以下の各項に記載のものに限定されると解釈されるべきではない。また、一つの項に複数の事項が記載されている場合、それら複数の事項を常に一緒に採用しなければならないわけではない。一部の事項のみを選択して採用することも可能なのである。
【０００４】
（１）それぞれゴムまたはその類似物から成る第一種支持部材および第二種支持部材であって、第二種支持部材の圧縮方向の弾性係数が第一種支持部材のそれより大きくかつ第二種支持部材が第一種支持部材より低いものを、互いに隣接させた状態でそれぞれ複数個ずつ配置し、それら第一種，第二種支持部材により脆性材料製基板の下面を支持することを特徴とする脆性材料製基板支持方法（請求項１）。
第二種支持部材の圧縮方向の弾性係数を第一種支持部材のそれより大きくするための手段としては、断面積を大きくすることと、材料の硬度を大きくすることとの少なくとも一方を採用することが望ましい。また、少なくとも第二種支持部材を平面状の上端面を備えたものとすることが望ましく、第一種支持部材も平面状の上端面を備えたものとすることも可能である。ここにおいて、「平面状」なる用語は、厳密な平面のみならず、僅かに凸または凹となった面をも包含する用語として使用する。
本発明に従って脆性材料製基板を支持する場合には、第一種支持部材と第二種支持部材とが共に脆性材料製基板の下面に接触する状態と、第一種支持部材のみが接触する状態とが生じる。例えば、脆性材料製基板の下面がほぼ平面である場合、あるいは脆性材料製基板が下反りのものである場合には、第一種支持部材が弾性的に圧縮された状態で、第一種支持部材および第二種支持部材が共に脆性材料製基板の下面に接触して脆性材料製基板を支持し、脆性材料製基板が上反りのものである場合には、第二種支持部材は接触せず、第一種支持部材のみが接触して脆性材料製基板を支持する状態が生じるのである。また、脆性材料製基板の下面がほぼ平面である場合には、第一種支持部材が圧縮された状態で第一種支持部材のみが脆性材料製基板の下面に接触し、脆性材料製基板が下反りのものである場合には、その下反りの程度に応じて第二種支持部材の一部のものも接触するようにすることもできる。第二種支持部材を平面状の上端面を備えたものとすれば、その平面状の上端面に脆性材料製基板の下面を支持させることにより、上端面が凹面や凸面である場合に比較して上端の局部的な弾性変形が少なくて済み、脆性材料製基板の下面の位置を明瞭に位置決めすることができる。ただし、第二種支持部材は第一種支持部材に比較すれば弾性係数が大きいとはいえ、弾性変形は可能であって、脆性材料製基板が下反りのものである場合には圧縮された状態となり、脆性材料製基板の下反りをある程度矯正しつつ支持する。
上記のように、ゴムまたはその類似物により支持部材を構成すれば、脆性材料製基板と支持部材との接触部の面圧が局部的に大きくなることを回避し、脆性材料製基板の破損を回避することができる。また、支持すべき脆性材料製基板の中に、下反りのものや上反りのものが存在する場合でも、それらに大きな弾性変形を強いて破損させてしまうことを回避しつつ、それらに対する作業を良好に行い得るようにすることができる。なお、ゴムまたはその類似物を、導電性を有するものとし、電気的に金属製部材に接続しておけば、電気絶縁材料製である脆性材料製基板の帯電を防止することができる。
（２）前記第一種支持部材と前記第二種支持部材との少なくとも一方として、軸方向において不変の横断面積を有し、上下方向に延びる柱状の部材を使用する (1)項に記載の脆性材料製基板支持方法（請求項２）。
単純な形状の支持部材により目的を達成することができる。
（３）前記第一種支持部材と前記第二種支持部材とを、前記脆性材料製基板の下面に平行な平面に規則的に分布させて配置する (1)項または (2)項に記載の脆性材料製基板支持方法。
特定の脆性材料製基板を支持させるために、第一種，第二種支持部材を脆性材料製基板の裏面の状況に合わせて不規則に配置することも可能であるが、本項に記載のように規則的に配置し、汎用基板保持装置を構成することも可能である。
（４）前記規則的な配置が、同じ配置パターンの平面的な繰り返しである (3)項に記載の脆性材料製基板支持方法（請求項３）。
（５）前記第一種支持部材と前記第二種支持部材とを前記脆性材料製基板の下面に平行な平面に千鳥状に配置する (1)項ないし (4)項のいずれかに記載の脆性材料製基板支持方法。
第一種支持部材と第二種支持部材との個数は互いに同じとしても異ならせてもよいが、同じにする場合には、両者を均一に配置する上で千鳥状に配置することが望ましい。
（６）それぞれゴムまたはその類似物から成る第一種支持部材および第二種支持部材であって、第二種支持部材の圧縮方向の弾性係数が第一種支持部材のそれより大きいものと、
それら第一種支持部材と第二種支持部材とをそれぞれ複数個、互いに隣接して上方に延び、かつ、第一種支持部材の先端の高さが第二種支持部材の先端の高さより高い状態で保持する保持部材と
を含む回路基板支持装置（請求項４）。
本回路基板支持装置の主たる対象は脆性材料製基板であるが、合成樹脂製基板等他の材質の回路基板を支持させることも可能であり、その場合でも類似の作用，効果が得られる。上記 (2)項ないし (5)項にそれぞれ記載の特徴は本項の回路基板支持装置にも適用可能である。
（７）前記保持部材が概して平板状をなす保持板を含む (6)項に記載の回路基板支持装置。
（８）前記保持板が、複数の保持穴を備え、前記第一種支持部材と前記第二種支持部材とがそれぞれの下端部を前記保持穴に固定的に保持された (7)項に記載の回路基板支持装置（請求項５）。
保持板に保持穴を形成し、各保持穴に第一種，第二種支持部材をそれぞれ保持させれば、支持部材の配設が容易となる。支持部材の成形と同時に保持穴内にもゴム材料を充填し、加硫接着により固着させてもよく、別途成形した支持部材の基端部を保持穴に挿入してもよい。後者の場合、接着剤により接着することが望ましいが、不可欠ではない。
（９）前記第一種支持部材と第二種支持部材との前記保持穴に保持される部分の太さが同一であり、第一種支持部材の少なくとも上端部が第二種支持部材より細い (8)項に記載の回路基板支持装置。
保持板に同一の保持穴を多数形成し、それら保持穴に第一種支持部材と第二種支持部材とを適宜選択的に保持させて所望の支持装置を構成することができる。
（１０）前記保持穴が内のりの大きいものと小さいものとを含み、前記第一種支持部材と第二種支持部材とがそれぞれ全長にわたって太さが均一であり、それぞれ内のりの小さい保持穴と大きい保持穴とに保持された (8)項に記載の回路基板支持装置。
第一種支持部材も第二種支持部材も共に単純な棒状とすることができ、安価に製造することが可能となる。
（１１）前記ゴムまたはその類似物が、損失係数tan δが２０℃、１１０Ｈｚで０．５以上のものである (6)項ないし(10)項のいずれかに記載の回路基板支持装置。
損失係数tan δが２０℃、１１０Ｈｚで０．７以上であることが望ましく、０．９以上であることがさらに望ましい。なお、δは損失角である。このような条件を満たす材料としては、例えば、内外株式会社から「ハネナイト」の商品名で市販されている制振ゴムを使用し得る。第一種支持部材と第二種支持部材との少なくとも一方を、損失係数の大きい材料から成るものとすれば、脆性材料製基板の振動が速やかに減衰させられるため、脆性材料製基板の振幅が大きくなることを良好に回避することができる。
（１２）部品供給装置から電気部品を吸着ノズルに取り出させ、脆性材料製基板に装着させることにより電気回路を製造する方法であって、
前記脆性材料製基板を、それぞれゴムまたはその類似物から成る複数個ずつの第一種支持部材および第二種支持部材であって、第二種支持部材の圧縮方向の弾性係数が第一種支持部材のそれより大きくかつ第二種支持部材が第一種支持部材より低いものに支持させることを特徴とする電気回路製造方法（請求項６）。
前記 (2)項ないし (5)項， (7)項ないし(11)項にそれぞれ記載の特徴は本項の電気回路製造方法にも適用可能である。
（１３）電気部品を供給する部品供給装置と、
回路基板を保持する基板保持装置と、
前記部品供給装置から電気部品を受け取って前記基板保持装置に保持されている回路基板に装着する装着装置と
を含み、前記基板保持装置が、それぞれゴムまたはその類似物から成る第一種支持部材および第二種支持部材であって、第二種支持部材の圧縮方向の弾性係数が第一種支持部材のそれより大きくかつ第二種支持部材が第一種支持部材より低いものを、それぞれ複数個ずつ含む電気部品装着システム。
前記 (2)項ないし (5)項， (7)項ないし(11)項にそれぞれ記載の特徴は本項の電気部品装着システムにも適用可能である。
（１４）回路基板を保持する基板保持装置と、
その基板保持装置に保持された回路基板の予め定められた箇所に作業を施す作業ヘッドと、
それら基板保持装置と作業ヘッドとを相対移動させる相対移動装置と
を含み、前記基板保持装置が、それぞれゴムまたはその類似物から成る第一種支持部材および第二種支持部材であって、第二種支持部材の圧縮方向の弾性係数が第一種支持部材のそれより大きくかつ第二種支持部材が第一種支持部材より低いものを、それぞれ複数個ずつ含む基板作業システム。
前記 (2)項ないし (5)項， (7)項ないし(11)項にそれぞれ記載の特徴は本項の基板作業システムにも適用可能である。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態である回路基板支持装置を備える電気部品装着システムを図面に基づいて詳細に説明する。この電気部品装着システムにおいては、請求項１ないし３に記載の発明の一実施形態である脆性材料製基板支持方法および請求項６に記載の発明の一実施形態である電気回路製造方法を実施し得る。
図１において１０は部品装着装置、１２は部品供給装置である。部品装着装置１０は、垂直軸線まわりに間欠回転するインデックステーブル１４を備えている。インデックステーブル１４は、装着ヘッド（作業ヘッド）の一種であり、負圧により電気部品を吸着し、保持する複数の吸着ヘッド１６を等角度間隔に有し、図示しないカム，カムフォロワ，回転軸およびカムを回転させるインデックス用サーボモータ等により構成される間欠回転装置により間欠回転させられ、吸着ヘッド１６が順次部品吸着位置（部品取出位置），部品姿勢検出位置，部品姿勢修正位置，部品装着位置等の作用位置へ移動させられる。複数の吸着ヘッド１６は選択的に作用位置に位置決めされて、電気部品のプリント配線板２２への装着等を行い、電気回路としてのプリント回路板を製造する。プリント配線板２２は、回路基板の一種であり、本実施形態においては、脆性材料としてのセラミックス材料を主材料とするセラミック基板であり、以下、セラミック基板２２と称する。
【０００６】
部品供給装置１２は、フィーダ支持台３０上に搭載された複数個の電気部品フィーダ３２を有する。複数個の電気部品フィーダ３２は、各部品供給部が水平面内の１本の直線（この直線の方向をＸ方向とする）に沿って並ぶ状態でフィーダ支持台３０に支持されている。フィーダ支持台３０は、ボールねじ３６がＸ軸サーボモータ３８によって回転させられることにより、一対のガイドレール４０に沿ってＸ方向に移動させられ、電気部品フィーダ３２の部品供給部が部品供給位置へ選択的に移動させられる。これらボールねじ３６およびＸ軸サーボモータ３８等が支持台移動装置４２を構成している。電気部品フィーダ３２は、本実施形態では、フィーダ本体部に設けられた部品送り部の一種であるテープ送り部および部品保持部の一種であるリール保持部を有し、電気部品をテープ化電気部品として供給するものとされている。
【０００７】
プリント配線板２２は、ＸＹテーブル４４を備えた基板位置決め支持装置４６により支持され、ＸＹ平面内の任意の位置へ移動させられる。基板位置決め支持装置４６は、前記部品装着装置１０および部品供給装置１２と共に基台５０上に設けられており、図示しない搬入装置からセラミック基板２２が搬入され、図示しない搬出装置へ搬出される。これら搬入装置および搬出装置はそれぞれ、ベルトコンベアを備えており、プリント配線板２２をＸ方向に搬送する。ＸＹテーブル４４は、図１に示すように、基台５０に設けられたボールねじ５２がＸ軸サーボモータ５４によって回転させられることにより、一対のガイドレール５６に沿ってＸ方向へ直線移動させられるＸテーブル５８と、そのＸテーブル５８上に設けられ、ボールねじ６０がＹ軸サーボモータ６２によって回転させられることにより、一対のガイドレール６４に沿ってＹ軸方向へ直線移動させられるＹテーブル６６とを備えている。サーボモータは、駆動源たる電動モータの一種であって、回転角度の精度の良い制御が可能な電動回転モータであり、サーボモータに代えてステップモータを用いてもよい。また、電動回転モータに代えてリニアモータを用いてもよい。
【０００８】
Ｙテーブル６６上には、図２に示すように、第１昇降台７０がＸ方向およびＹ方向の相対移動不能かつ上下方向、すなわちＸ方向とＹ方向とに直角なＺ方向に相対移動可能に取り付けられている。Ｙテーブル６６には、上下方向に貫通する一対の貫通孔７２，７４が形成されるとともに、それぞれロッド７６，７８が軸方向への相対移動可能に挿通させられており、それらロッド７６，７８のＹテーブル６６から上方に突出した上端に第１昇降台７０が固定されている。
【０００９】
ロッド７６，７８の下端はＹテーブル６６から下方に突き出し、連結バー８０によって連結されているとともに、その連結バー８０には、ロッド７６，７８のＹテーブル６６から下方への突出部に嵌装された付勢手段の一種である弾性部材たる圧縮コイルスプリング８２（以下、スプリング８２と略称する）の一端が当接させられている。このスプリング８２の付勢力により、第１昇降台７０は常にはＹテーブル６６上に設けられたストッパ８４に当接する下降位置に保持されている。また、前記基台５０には駆動源たる流体圧シリンダの一種であるエアシリンダ８６が設けられており、そのエアシリンダ８６のピストンロッドに固定されたアジャストボルト８８により連結バー８０が上方に押し上げられ、第１昇降台７０がＹテーブル６６から一定距離だけ上方に離れた上昇位置へ移動させられる。
【００１０】
第１昇降台７０上には、固定ガイド９０および可動ガイド９２が設けられている。固定ガイド９０および可動ガイド９２はそれぞれ、断面形状が矩形の長手形状を成し、各上部にはそれぞれ、押さえ部９４，９６が突設されている。固定ガイド９０は、第１昇降台７０のＸ方向に平行な２辺のうちの一方にＸ方向に平行に固定された板状の支持部材９８にＸ方向に平行に固定されている。可動ガイド９２は、別の支持部材１００に固定されている。第１昇降台７０のＸ軸方向に隔たった２箇所にはそれぞれ、スライド（図示省略）がＹ方向に移動可能に嵌合されており、支持部材１００の長手方向の両端部はそれぞれ、一対のスライドの各上端部に固定されてＸ方向に延び、可動ガイド９２もＸ方向に配設されている。これらスライドの移動により、可動ガイド９２は固定ガイド９０に接近，離間させられ、プリント配線板２２の案内幅が調節される。
【００１１】
上記支持部材９８，１００の互いに対向する内側面の上部であって、固定ガイド９０および可動ガイド９２の下側にはそれぞれ、ベルトガイド１０４が固定されるとともに、無端のコンベアベルト１０６が巻き掛けられており、これらコンベアベルト１０６はベルト駆動モータを駆動源とする図示しないベルト駆動装置により、同期して駆動される。支持部材９８，１００にはまた、それぞれ突上部材１１０がそれぞれ昇降可能に嵌合されている。突上部材１１０は板状を成し、Ｘ方向に長く、コンベアベルト１０６の内側（他方のコンベアベルト１０６側）に配設され、スプリング１１２によって下方へ付勢されている。スプリング１１２の付勢による突上部材１１０の下降限度は図示しないストッパにより規定され、下降位置に位置する状態では、突上部材１００の上端はコンベアベルト１０６の上走部（無端のコンベアベルト１０６のうち、直線状を成し、上部に位置する部分）とほぼ同じ高さに位置している。２つの突上部材１１０にはそれぞれ、Ｘ方向に隔たった両端に係合ピン１１４が下方に延び出す向きに固定されている。
【００１２】
図２に示すように、第１昇降台７０が下降位置に保持された状態においては、第１昇降台７０およびそれに載置されたセラミック基板２２は、前記搬入装置，搬出装置より下方に位置し、それらと干渉することなく、Ｙテーブル６６と共にＸ方向およびＹ方向に移動させられる。なお、Ｘテーブル５８には、Ｙ方向に切欠１１６が形成されて、Ｙテーブル６６の下方に突き出すロッド７６，７８や連結バー８０等がＹテーブル６６と共にＹ軸方向へ移動することを許容している。
【００１３】
第１昇降台７０が原位置、すなわちＹ軸方向において搬入装置および搬出装置と一致する位置であって、Ｘ軸方向においては搬入装置と搬出装置との間に位置する位置にあり、エアシリンダ８６により上昇位置へ上昇させられた状態では、コンベアベルト１０６の基板搬送面（コンベアベルト１０６の上走部の上面により構成される）の高さが前記搬入装置および搬出装置の各ベルトコンベアの基板搬送面（それらベルトコンベアの各コンベアベルトの上走部の上面により構成される）の高さと一致し、回路基板の受渡しが行われる。
【００１４】
第１昇降台７０上には、第２昇降台１２０が昇降可能に設けられている。第２昇降台１２０は板状を成し、下面に固定の一対の案内部材たるガイドロッド１２２は、第１昇降台７０の下面に固定のガイドブッシュ１２４に軸方向に相対移動可能に嵌合されている。ガイドブッシュ１２４は、Ｙテーブル６６内に昇降可能に嵌合されている。第２昇降台１２０の下面にはまた、駆動源たる流体圧アクチュエータの一種であって、流体圧シリンダの一種であるエアシリンダ１２６のピストンロッド１２８が固定されている。エアシリンダ１２６は、第１昇降台７０に上下方向に固定されるとともに、Ｙテーブル６６に昇降可能に嵌合されている。エアシリンダ１２６は単動シリンダであり、ピストンロッド１２８がばねの付勢力によって伸長させられることにより、第２昇降台１２０が第１昇降台７０に対して上昇させられ、エア室への圧縮空気の供給によりピストンロッド１２８が収縮させられ、第２昇降台１２０が第１昇降台７０に対して下降させられる。第２昇降台１２０の下降端位置は、エアシリンダ１２６のピストン（図示省略）のストロークエンドにより決まる。
【００１５】
第２昇降台１２０上には、図２に示すように、主基板位置決めピン（図示省略）および副基板位置決めピン１３２が設けられ、セラミック基板２２を水平面内において位置決めするようにされている。これら主，副の各基板位置決めピン１３２は前記固定ガイド９０側に設けられ、主基板位置決めピンは、第２昇降台１２０に固定され、副基板位置決めピン１３２は第２昇降台１２０にＸ方向に移動可能に設けられている。第２昇降台１２０には、ガイドレール１３４がＸ方向に平行に固定されるとともにブロック１３６が移動可能に嵌合されており、副基板位置決めピン１３２はブロック１３６に固定され、主基板位置決めピンに接近，離間させられる。副基板位置決めピン１３２の位置は、セラミック基板２２の寸法に応じて調節される。
【００１６】
第２昇降台１２０上には、基板支持装置１４０が固定されている。基板支持装置１４０は、セラミック基板２２を下側から支持する。図２には、基板支持装置１４０が設けられる領域が二点鎖線で示されている。このセラミック基板２２の基板支持装置１４０により支持される支持面となるべき下面１４４とは反対側の面である上面１４７が、電気部品（図示省略）が装着される被作業面である。基板支持装置１４０は、図３に示すように、保持板１４８と、保持板１４８の一方の面に固定された２種類の複数個の基板支持部材１５０，１５２を含む。
【００１７】
保持板１４８は概して矩形を成し、例えば、フェノール樹脂等の合成樹脂により作られている。保持板１４８には、基板支持部材１５０，１５２が固定された側とは反対側の面に開口する位置決め部の一種である２個の位置決め凹部１６２，１６４が設けられている。位置決め凹部１６２は断面形状が円形を成し、位置決め凹部１６４は断面形状が楕円形状を成す。保持板１４８には更に、保持板１４８を厚さ方向に貫通するボルト穴１６６が２個ずつ形成されている。基板支持部材１５０，１５２については、後に詳細に説明する。
【００１８】
前記第２昇降台１２０の上面には、図２に示すように、位置決め部の一種である位置決め突部１６８が、２個を１対として２対設けられている。これら位置決め突部１６８はそれぞれ断面形状が円形を成し、各対の位置決め突部１６８に、保持板１４８の各位置決め凹部１６２，１６４が嵌合され、保持板１４８（ひいては基板支持装置１４０）が第２昇降台１２０に対して位置決めされた状態でボルト穴１６６を通ってボルト１７０が第２昇降台１２０に螺合され、基板支持装置１４０が第２昇降台１２０に固定されている。
【００１９】
なお、保持板１４８には、位置決め凹部に代えて、保持板１４８を厚さ方向に貫通する貫通穴を設けて位置決め穴としてもよく、位置決め穴に嵌合されて保持板１４８を位置決めするのは、位置決め突部でもよく、保持板１４８を貫通する位置決めピンでもよい。また、保持板１４８に位置決め突部を設け、第２昇降台１２０に位置決め凹部や位置決め穴を設けて位置決め部とし、両者の嵌合により保持板１４８を位置決めするようにしてもよい。
【００２０】
セラミック基板２２の基板位置決め支持装置４６への搬入時には、搬入装置および基板位置決め支持装置４６の各ベルトコンベアが駆動される。このとき、第１昇降台７０は上昇位置に位置させられ、第２昇降台１２０は下降位置に位置させられており、ベルトコンベアの駆動により搬入装置から基板位置決め支持装置４６へセラミック基板２２が搬入される。セラミック基板２２の移動は、作用位置に位置する図示しないストッパにより止められ、コンベアベルト１０６の停止後、第２昇降台１２０が第１昇降台７０に対して上昇させられる。第２昇降台１２０は上昇の途中で係合ピン１１４に係合し、突上部材１１０をスプリング１１２の付勢力に抗して上昇させ、セラミック基板２２をコンベアベルト１０６から突き上げさせる。第２昇降台１２０の上昇に伴って主，副の基板位置決めピン１３２および基板支持装置１４０，１４２も上昇し、主，副の各位置決めピン１３２はセラミック基板２２に形成された主基板位置決め穴（図示省略），副基板位置決め穴１７４（図２参照）にそれぞれ嵌入してセラミック基板２２を位置決めし、基板支持装置１４０は基板支持部材１５０，１５２がセラミック基板２２の下面１４４に接触し、セラミック基板２２を下面１４４側から支持する。この基板支持部材１５０，１５２によるセラミック基板２２の下面１４４の支持については、後の基板支持部材１５０，１５２の説明の際に詳しく説明する。セラミック基板２２が突上部材１１０により突き上げられてちょうど押さえ部９４，９６に当接したとき、基板支持部材１５０，１５２がセラミック基板２２に接触するとともに、主，副の各基板位置決めピン１３２が主，副の各基板位置決め穴１７４に嵌入してセラミック基板２２を位置決めする。セラミック基板２２は、主，副の基板位置決めピン１３２によって位置決めされるとともに、押さえ部９４，９６と突上部材１１０とに挟まれて支持され、さらに、基板支持部材１５０，１５２により下側から支持されるのである。上記押さえ部９４，９６を含む基板クランプ装置に代えて、特開平１１−１４５６８１号公報に記載のように、複数個のクランプ爪と、それらクランプ爪をクランプ位置と非クランプ位置とに回動させる爪駆動装置とを含む基板クランプ装置によってセラミック基板２２をクランプする構成としてもよい。
【００２１】
次いで、第１昇降台７０が下降位置へ下降させられ、電気部品の装着時には、Ｘテーブル５８，Ｙテーブル６６の移動により、セラミック基板２２が水平面内の任意の位置へ移動させられる。第１昇降台７０がセラミック基板２２を支持して移動する移動台であると考えてもよく、第２昇降台１２０を移動台と考えてもよく、両者が移動台を構成していると考えてもよく、Ｙテーブル６６が移動台であって、第１，第２昇降台７０，１２０を介してセラミック基板２２を支持していると考えてもよい。
【００２２】
部品装着装置１０において複数の吸着ヘッド１６は、インデックステーブル１４の間欠回転により、順次部品吸着位置へ移動させられ、部品供給部が部品供給位置に位置決めされた電気部品フィーダ３２から電気部品を取り出し、その後、部品姿勢検出位置等を経て部品装着位置へ移動させられて電気部品をセラミック基板２２の上面１４７に装着する。吸着ヘッド１６はインデックステーブル１４に昇降可能に設けられており、電気部品の吸着，装着時には、インデックステーブル１４に対して昇降させられる。
【００２３】
セラミック基板２２について予定された全部の電気部品が装着された後、Ｘ，Ｙテーブル５８，６６がそれぞれ原位置、すなわち基板位置決め支持装置４６と搬入，搬出装置との間でセラミック基板２２の受渡しが行われる位置へ戻された後、第１昇降台７０が上昇位置へ上昇させられるとともに、第２昇降台１２０が下降位置へ下降させられ、主，副の各位置決めピン１３２が主，副の各基板位置決め穴１７４から離脱し、基板支持装置１４０の基板支持部材１５０，１５２が下面１４４から離間し、突上部材１１０が押さえ部９４，９６から離れてセラミック基板２２の位置決め，支持が解除される。そして、搬出装置のベルトコンベアおよび基板位置決め支持装置４６のコンベアベルト１０６が駆動され、セラミック基板２２が搬出装置へ搬出される。この搬出の後、あるいは搬出と平行して、次に電気部品が装着されるべきセラミック基板２２が基板位置決め支持装置４６へ搬入される。
【００２４】
なお、基板支持装置１４０の保持板１４８は第２昇降台１２０より小さく、係合ピン１１４は、第２昇降台１２０の保持板１４８から外れた部分に当接する。また、可動ガイド９２は、前記図示しない一対のブロックが第１昇降台７０に対してＹ方向に移動させられることにより、固定ガイド９０との間の距離（基板案内幅）が調節されるが、これらブロックはＸ方向において第２昇降台１２０より外側に設けられていて、可動ガイド９２は第２昇降台１２０を跨いでおり、幅調節時に第２昇降台１２０，プリント基板支持装置１４８と干渉することはない。換言すれば、セラミック基板２２の寸法が変わった場合でも、第２昇降台１２０を変えずに済むとともに、基板支持装置１４０は、保持板１４８は共通の大きさのものを使用することができる。
【００２５】
基板支持部材１５０，１５２は、ゴムまたはその類似物からなる。本実施形態においては、基板支持部材１５０，１５２は、制振ゴムからなり、具体的には、、損失係数tan δが２０℃、１１０Ｈｚで０．５以上であるゴムからなる。このように構成される制振ゴムは、衝撃，振動吸収性に優れ、外力を受けても殆ど反発せずにエネルギを吸収するゴムであり、例えば、「ハネナイト」の商品名で知られる内外株式会社製のゴムが使用される。このゴムはまた、物性，耐久性は一般のゴムと同等であり、常温域（５〜３５℃）で優れた制振性能を有し、反発弾性は１０％未満である。さらに、一般ゴムと同様の成形が可能であり、金属との強力な接着が可能であり、シート材状を成す場合、切断，打抜加工もできる。
【００２６】
基板支持部材１５０，１５２はまた、図４に示すように、ともに軸方向において不変の横断面積を有し、上下方向に延びる柱状の部材である。ただし、基板支持部材１５２は、基板支持部材１５０より直径が大きく、高さ（軸方向長さ）が低い。基板支持部材１５０，１５２は、ともに平面状の上端面１８０，１８２を有する。また、基板支持部材１５２の圧縮方向の弾性係数は、基板支持部材１５０のそれより大きくされている。本実施形態の場合、基板支持部材１５２の形成材料の硬度が基板支持部材１５０のそれより大きくされることにより、圧縮方向の弾性係数が大きくされている。これら基板支持部材１５０，１５２は、図３に示すように、互いに隣接し、かつ、保持板１４８の上面である保持面１８４（セラミック基板２２の下面１４４に平行な平面をなす）に規則的に分布させて配置させられている。本実施形態においては、その配置が同じ配置パターンの平面的な繰り返しであり、具体的には、図３に示すように、それら基板支持部材１５０，１５２が保持面１８４に千鳥状に配置させられている。
【００２７】
基板支持部材１５０，１５２は、接着剤等、適宜の手段を用いて保持板１４８に固定されている。本実施形態においては、図４に示すように、保持板１４８の保持面１８４に複数の保持穴１８６，１８８が千鳥状の配置で形成されている。保持穴１８６，１８８はそれぞれ、基板支持部材１５０，１５２の外径よりやや大きい内径を有するものであり、つまり、保持穴１８８は、保持穴１８６よりその内径が大きくされている。基板支持部材１５０，１５２を保持板１４８に位置決めして固定する際には、基板支持部材１５０，１５２の一端部である基端部を保持板１４８の保持穴１８６，１８８に挿入するとともに、その基端部を接着剤により固定する。基板支持部材１５０，１５２を保持穴１８６，１８８に圧入させることも可能である。この場合、接着剤を省略することもできる。
【００２８】
本実施形態では、基板支持部材１５０，１５２は、全長にわたって太さが均一な単純な棒状をなしているが、太さを異ならせてもよい。例えば、図７に示すように、全て同じ内径の保持穴１９０を保持板１４８に千鳥状の配置で形成し、基板支持部材１５０，１５２のこの保持穴１９０に挿入される基端部がともに太さが同一とされるとともに、基板支持部材１５０の上端部を基板支持部材１５２の上端部より細くする。本実施形態においては、基板支持部材１５０は全長にわたって太さが均一とされ、基板支持部材１５２は上端部が基端部よりも太いものとされるのである。
【００２９】
基板支持装置１４０の構成要素である基板支持部材１５０，１５２は、セラミック基板２２が上反り，下反りのものであっても適切に支持することができる。セラミック基板２２の下面１４４がほぼ平面あるいは下反りのものである場合には、図５に示すように（図５にはセラミック基板２２が下反りのものである場合を図示）、基板支持部材１５０が弾性的に圧縮された状態で、基板支持部材１５０および１５２の各上端面１８０，１８２がともにセラミック基板２２の下面１４４に接触して支持する。一方、セラミック基板２２が上反りのものである場合には、図６に示すように、基板支持部材１５０の上端面１８０のみがセラミック基板２２の下面１４４に接触して支持する。
【００３０】
インデックステーブル１４の間欠回転、吸着ヘッド１６の下降による電気部品のセラミック基板２２への当接、ＸＹテーブル４４によるセラミック基板２２の移動，停止、電気部品フィーダ３２の移動，停止等によりセラミック基板２２に振動が加えられても、基板支持部材１５０，１５２を含む基板支持装置１４０によって振動エネルギが吸収され、セラミック基板２２は振動しないか、あるいは振動しても迅速に収束し、電気部品がセラミック基板２２の上面１４７に装着されるときには、セラミック基板２２は振動しておらず、部品装着箇所に電気部品を精度良く装着することができる。また、セラミック基板２２と基板支持部材１５０，１５２の上端面１８０，１８２との面圧が局部的に大きくなることを回避し、セラミック基板２２の下面１４４の位置を明瞭に位置決めすることができ、電気部品の装着ミス等を回避し、装着作業を精度良く行うことができる。さらに、セラミック基板２２を簡単な構成で振動少なく、あるいは振動を生じさせることなく支持する基板支持装置１４０が得られる。本基板支持装置１４０によれば、下反り基板や上反り基板でも大きな弾性変形を強いて破損させることなく支持することができる。上反り基板を支持する場合、基板支持部材１５０の上端面１８２が接触するのみであるが、セラミック基板２２の振動を抑制して支持する機能は十分に果たす。本実施形態のように、複数個の基板支持部材１５０，１５２を千鳥状に配置すれば、セラミック基板２２を複数の箇所でまんべんなく支持することができ、かつ、セラミック基板２２の基板支持部材１５０，１５２に支持されている部分間の距離が短くなるため、セラミック基板２２をほぼ平らに支持するのに適している。
【００３１】
基板支持部材１５０が第一種支持部材を構成し、基板支持部材１５２が第二種支持部材を構成している。また、吸着ヘッド１６がセラミック基板２２の予め定められた装着個所に装着作業を施す作業ヘッドの一例であり、基板位置決め支持装置４６がセラミック基板２２を保持する基板保持装置を構成している。さらに、ナット，ボールねじ５２，Ｘ軸サーボモータ５４，Ｘテーブル５８およびナット、ボールねじ６０，Ｙ軸サーボモータ６２，Ｙテーブル６６を含むＸＹ移動装置、第１昇降台７０，エアシリンダ８６を含む昇降装置、インデックステーブル１４およびそれを間欠回転させる前記間欠回転装置および吸着ヘッド１６を昇降させる昇降装置等が、基板保持装置と作業ヘッドとを相対移動させる相対移動装置を構成している。
【００３２】
基板支持部材１５０，１５２の配置は、上記千鳥状に限らず、支持する基板に応じて種々の配置とすることができる。基板支持部材１５０，１５２は、ともに同じ硬度のゴムまたはその類似物を形成材料とすることも可能であり、その場合、基板支持部材１５０，１５２の各断面積を変える（例えば基板支持部材１５０の断面積を基板支持部材１５２のそれより小さくする）のみで、基板支持部材１５０と基板支持部材１５２との圧縮方向の弾性係数を変える（基板支持部材１５２の弾性係数を基板支持部材１５０のそれより大きくする）こともできる。その他、基板支持部材１５０，１５２の直径，高さ，材料の硬度および配置は、種々のものを採用可能であり、状況に応じて最適な条件を選択することができる。
【００３３】
また、基板支持部材は、横断面形状が円形の部材に限らず、断面形状が矩形や正方形，台形等、他の形状のものとすることも可能である。さらに、基板支持部材は、制振ゴム以外の材料、例えば発泡材により作られたものとすることも可能である。
【００３４】
本実施形態において、基板支持部材１５０，１５２の保持板１４８への固定手段は保持穴１８６，１８８への嵌合および接着剤による接着とされていたが、永久磁石とすることも可能である。例えば、基板支持部材１５０，１５２の一端面に永久磁石を埋設する。この場合、保持板１４８は磁性材料、例えば鉄により作られる。また、上記実施形態において、基板支持部材１５０，１５２は接着剤によって保持板１４８に固定されていたが、粘着剤により固定してもよい。さらにまた、固定手段は、粘着剤や永久磁石の他に、マジックテープ等、再利用可能な部材により構成してもよい。
【００３５】
また、基板支持部材を、セラミック基板２２の下面１４４に接触する接触部を含む上端部と、その上端部を支持するとともに、保持板１４８に固定するための固定手段を含む基端部とが別体に構成されたものとしてもよい。
【００３６】
さらに、本発明に係るセラミック基板支持方法および電気回路製造方法は、プリント基板が一方向に直線移動させられ、装着ヘッドがプリント基板の移動方向と一平面内において直交する方向に直線移動させられる電気部品装着システム、プリント基板が位置を固定して設けられ、装着ヘッドが一平面内の任意の位置へ移動させられる電気部品装着システムにおいても実施し得る。複数の装着ヘッドは、ヘッド移動装置上において移動平面に平行な方向において移動しないものとしてもよく、あるいは複数の装着ヘッドが共通の軸線のまわりに旋回させられて順次作業位置に位置決めされる装着装置がヘッド移動装置によって一平面内の任意の位置へ移動させられるようにしてもよい。
【００３７】
さらに、電気部品フィーダは、ケーシング内に収容された電気部品を振動，傾斜，空気流，コンベアベルト等やそれらの組合わせにより、一列に並べて部品供給部へ送り、１個ずつ供給するもの等、種々の態様の電気部品フィーダが採用可能である。また、部品送り部と部品保持部とを共通のフィーダ本体部に設けることは不可欠ではなく、部品保持部を部品送り部とは別に設け、部品保持部は位置を固定して設け、部品送り部のみを移動させて部品供給部を部品供給位置に順次位置決めしてもよく、あるいは部品送り部と部品保持部とを別々に移動させてもよい。
【００３８】
本発明に係る回路基板支持装置を、回路基板に高粘性流体としての接着剤の塗布を行う作業ヘッド（塗布ヘッド）を備える基板作業システム（接着剤塗布システム）に採用してもよい。その接着剤塗布システムの一実施形態を図８に概略的に示す。本接着剤塗布システム２００のベース２０２上には、接着剤塗布装置２０４と、セラミック基板２２を搬送し、位置決め支持する基板搬送支持装置２１０とが設けられている。基板搬送支持装置２１０は、Ｘ軸方向（図８においては左右方向）に配設された基板コンベア２１２，基板コンベア２１２の途中に設けられ、前記基板支持装置１４０と同様の構成を有する基板支持装置（図示省略）を備え、セラミック基板２２は、基板コンベア２１２により搬送されるとともに、予め設定された塗布位置に位置決めされ、前記基板支持部材１５０，１５２と同様の構成を有する第一種支持部材および第二種支持部材により支持されるとともに、基板クランプ装置（図示省略）によりクランプされた状態で塗布剤の一種である高粘性流体たる接着剤がセラミック基板２２の予め定められた箇所に塗布される。上記基板支持装置および基板クランプ装置が基板保持装置を構成している。
【００３９】
接着剤塗布装置２０４は、塗布ヘッド２１６が互いに直交するＸ軸方向およびＹ軸方向の成分を有する方向に移動してセラミック基板２２の被作業面である上面に接着剤を塗布する。そのため、接着剤塗布装置２０４は、送りねじ２２０，Ｘ軸スライド２２２，ナットおよびＸ軸スライド駆動用モータ２２４、および送りねじ２２６，Ｙ軸スライド２２８，ナットおよびＹ軸スライド駆動用モータ（図示省略）等から構成されるＸＹロボット２３２を備えている。塗布ヘッド２１６は、ＸＹロボット２３２により、セラミック基板２２の上面に平行な一平面である水平面内の任意の位置へ移動させられる。ＸＹロボット２３２等が、基板保持装置と接着剤塗布装置２０４とを相対移動させる相対移動装置を構成している。
【００４０】
本実施形態においても、上反り，下反りの基板を適切に支持することができ、接着剤の印刷むら等を回避できる。接着剤塗布装置２０４にストッパが設けられている場合には、そのストッパのセラミック基板２２への当接により、接着剤塗布装置２０４とセラミック基板２２との間の距離が一定に保たれる。したがって、本基板保持装置によって前記実施形態と同じ理由でセラミック基板２２の振動が抑制されれば、ストッパがセラミック基板２２に安定して当接し、接着剤塗布装置２０４とセラミック基板２２との距離が一定に保たれて適切な量，形状で接着剤がセラミック基板２２に塗布される。接着剤塗布装置２０４にストッパが設けられていない場合でも、本基板保持装置によってセラミック基板２２の振動が抑制されれば、接着剤塗布装置２０４とセラミック基板２２との距離が一定に保たれ、適切な量，形状の接着剤がセラミック基板２２に塗布される。
【００４１】
以上、本発明のいくつかの実施形態を詳細に説明したが、これは例示に過ぎず、本発明は、前記〔発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効果〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態である脆性材料製基板支持方法および電気回路製造方法の実施に好適であり、かつ、それ自身も本発明の一実施形態である回路基板支持装置を備える電気部品装着システムを概略的に示す平面図である。
【図２】上記回路基板支持装置を示す側面図（一部断面）である。
【図３】上記回路基板支持装置の第一種支持部材および第二種支持部材を示す斜視図である。
【図４】上記回路基板支持装置の第一種支持部材および第二種支持部材を示す正面断面図である。
【図５】上記第一種および第二種支持部材によって下反り基板が支持された状態を示す正面断面図である。
【図６】上記第一種および第二種支持部材によって上反り基板が支持された状態を示す正面断面図である。
【図７】本発明の別の実施形態である脆性材料製基板支持方法および電気回路製造方法の実施に好適であり、かつ、それ自身も本発明の別の実施形態である回路基板支持装置の第一種支持部材および第二種支持部材を示す正面断面図である。
【図８】本発明のさらに別の実施形態である脆性材料製基板支持方法および電気回路製造方法の実施に好適であり、かつ、それ自身も本発明のさらに別の実施形態である回路基板支持装置を備える基板作業システムを概略的に示す平面図である。
【符号の説明】
１０：部品装着装置    １２：部品供給装置    １４：インデックステーブル
１６：吸着ヘッド    ２２：セラミック基板（プリント配線板）    ４４：ＸＹテーブル    ４６：基板位置決め支持装置    ５２：ボールねじ    ５４：Ｘ軸サーボモータ    ５６：ガイドレール    ５８：Ｘテーブル    ６０：ボールねじ    ６２：Ｙ軸サーボモータ    ６４：ガイドレール    ６６：Ｙテーブル
９４，９６：押さえ部    １４０：基板支持装置    １４４：下面    １４７：上面    １４８：保持板    １５０，１５２：基板支持部材    １８０，１８２：上端面    １８４：保持面    １８６，１８８：保持穴    １９０：保持穴    ２００：接着剤塗布システム    ２０４：接着剤塗布装置    ２１０：基板搬送支持装置    ２１２：基板コンベア    ２１６：塗布ヘッド    ２２０：送りねじ    ２２２：Ｘ軸スライド    ２２４：Ｘ軸スライド駆動用モータ
２２６：送りねじ    ２２８：Ｙ軸スライド    ２３２：ＸＹロボット
【図１】
0004450526.tif 000002
【図２】
0004450526.tif 000003
【図３】
0004450526.tif 000004
【図４】
0004450526.tif 000005
【図５】
0004450526.tif 000006
【図６】
0004450526.tif 000007
【図７】
0004450526.tif 000008
【図８】
0004450526.tif 000009