(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに超塑性成形加工を施すための超塑性成形装置において、
前記ワークに電気を供給してジュール熱を発生させる電気供給手段と、
前記ワークに対する超塑性成形加工を行う成形手段と、
を有し、
前記電気供給手段は、前記ワークに配される複数の電極を有し、且つ、前記各電極の中から選択した少なくとも２組の電極の間に所定の順序で電気を供給する
ことを特徴とする超塑性成形装置。
【請求項２】
請求項１記載の超塑性成形装置において、
前記電気供給手段は、
前記各電極を介して前記ワークに電気を供給するための電源装置と、
前記電源装置と前記各電極との間の接続を選択的に切り換える切換機と、
を有することを特徴とする超塑性成形装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超塑性成形装置に関し、一層詳細には、ワークを効率的に加熱することが可能な超塑性成形装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
金属材料、セラミクス材料等のワークを超塑性領域において加工する超塑性加工技術が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上述の超塑性加工技術を成形装置に適用して構成された超塑性成形装置は、例えば、成形用の型と、この型とともにワークを収容する炉を備えている。この炉には、該炉内に配置された型およびワークを加熱するための加熱装置が装着されている。また、超塑性成形装置は、ワークにエア圧を加えて該ワークを型に押しつけるためのエア供給装置を備えている。
【０００４】
ところで、この超塑性成形装置においては、炉内に配置された型およびワークを同時に加熱するようにする。さらに、製品を取り出す際には、炉を開ける必要があるため、炉内の熱が外部に放出されてしまう。この場合、１回の成形作業を行う度に炉全体を再加熱する必要があるため、成形作業に多くのエネルギを要することとなる。
【０００５】
本発明は、前記の不都合を解決するためになされたものであり、成形作業等の加工作業に要するエネルギの削減を図ることが可能な超塑性成形装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ワークに超塑性成形加工を施すための超塑性成形装置において、前記ワークに電気を供給してジュール熱を発生させる電気供給手段と、前記ワークに対する超塑性成形加工を行う成形手段とを有することを特徴とする（請求項１記載の発明）。
【０００７】
このように、ワークに電気を供給して該ワークを超塑性領域まで加熱するようにしているため、加熱用の炉を用いる場合に比べて、装置の小型化を図るとともに、エネルギ効率の向上を図ることができる。さらに、加工作業時間の短縮化を実現することもできる。
【０００８】
この場合、前記成形手段は、成形用の型と、前記ワークに流体圧を加えて該ワークを前記型に押しつける流体圧供給手段とを有するようにしてもよい。
【０００９】
また、前記成形手段は、前記ワークを超塑性変形させるためのツールを備えた成形ロボットを有するようにしてもよい。
【００１０】
この場合、前記ツールに温度調節手段を設けることによって、ワークの熱がツール側に伝わることを回避し、ワークの温度制御を正確に行うことができる。
【００１１】
また、前記超塑性成形装置は、前記ワークを収容する室を備え、前記室は、前記ワークを介して第１および第２の室に分割されており、前記室には、前記第１および第２の室内の気圧を調節することによって前記ワークの姿勢を制御する気圧調節手段が装着されている。このため、加工を行うのに最適な姿勢にワークを保持しながら加工作業を行うことができる。
【００１２】
さらに、前記電気供給手段は、前記ワークに配される複数の電極を有し、且つ、前記各電極の中から選択した少なくとも２組の電極の間に所定の順序で電気を供給することを特徴とする（請求項１記載の発明）。このため、ワーク中の電流の経路を変化させることによって、ワーク全体のヤング率を均一化することができる。
【００１３】
この場合、前記電気供給手段は、前記各電極を介して前記ワークに電気を供給するための電源装置と、前記電源装置と前記各電極との間の接続を選択的に切り換える切換機とを有する（請求項２記載の発明）。このため、切り換え可能な複数の電流の経路をワーク中に網の目状に構成し、ワーク中の温度の制御を高い分解能で行うことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明に係る超塑性加工装置について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１７】
図１は、第１の実施の形態に係る超塑性成形装置１０の概略的な構成を示している。この超塑性成形装置１０は、ワークＷに超塑性成形加工を施すための成形手段を構成する成形装置１２と、該成形装置１２に装着されたワークＷに電気を供給するための電気供給手段を構成する電源装置１４と、成形装置１２にブロー用の流体（実際は、空気等の気体）を供給するための流体圧供給手段を構成するエア供給装置１６と、これら電源装置１４およびエア供給装置１６を制御するコントローラ２０とを備えている。
【００１８】
また、コントローラ２０には、超塑性成形装置１０の動作条件等を設定するための条件設定器２２と、コントローラ２０を図示しないマスタコントローラ（上位コントローラ）等と接続するためのインタフェース２４とが接続されている。
【００１９】
成形装置１２は、上型本体２８ａおよび下型本体２８ｂを備えている。そして、下型本体２８ｂには、実質的に成形用の型を構成する型インサート３０が装着されている。
【００２０】
上型本体２８ａの下端部における、例えば左右の位置には、電極３２ａおよび電極３４ａがそれぞれ設けられている。また、下型本体２８ｂの上端部における、例えば左右の位置には、電極３２ｂおよび電極３４ｂがそれぞれ設けられている。この場合、電極３２ａおよび電極３２ｂと、電極３４ａおよび電極３４ｂが、それぞれ電源装置１４の同じ極の端子に接続されている。
【００２１】
第１の実施の形態において、ワークＷは、例えば略平板状かつ平面略四辺形状に形成されており、その材質としては、アルミニウム合金、鉄合金、ニッケル合金、チタン合金等の超塑性材料が採用される。
【００２２】
ワークＷは、その四辺部が上型本体２８ａの下端部と下型本体２８ｂの上端部との間に挟まれた状態でこれら上型本体２８ａおよび下型本体２８ｂに保持される。さらに、ワークＷは、クランプ３６ａ、３６ｂで上型本体２８ａと下型本体２８ｂの間に加えられるクランプ力によって、これら上型本体２８ａおよび下型本体２８ｂと一体的に固定される。
【００２３】
図２は、ワークＷに電極３２ａ、３２ｂおよび電極３４ａ、３４ｂが装着された状態を平面的に示している。図１および図２に示すように、ワークＷが上型本体２８ａおよび下型本体２８ｂに保持された状態において、電極３２ａ、３２ｂおよび電極３４ａ、３４ｂは、ワークＷの左辺部および右辺部にそれぞれ接している。
【００２４】
図３は、電源装置１４の構成を示している。電源装置１４は、三相交流電源４４から供給される三相交流電流を直流電流に変換するコンバータ部（整流回路部）４６と、コンバータ部４６で得られた直流電流を二相交流電流に変換するインバータ部４８と、インバータ部４８で得られた二相交流電流を直流電流に変換する直流変換部５０とを備えている。
【００２５】
コンバータ部４６は、三相交流電源４４からの三相交流電流を整流する整流ブロック５２と、整流ブロック５２で得られた電流を平滑化させるコンデンサ（例えば、電解コンデンサ）５４とを備えている。
【００２６】
インバータ部４８は、トランジスタで構成された４つのスイッチング素子５６ａ〜５６ｄを備えており、これらスイッチング素子５６ａ〜５６ｄは、ドライバ５８から供給される信号に基づいてＯＮ／ＯＦＦ制御される。そして、スイッチング素子５６ａ〜５６ｄのＯＮ／ＯＦＦ制御に基づいて、インバータ部４８から二相交流電流が出力される。
【００２７】
直流変換部５０は、トランス５９と、整流回路を構成するダイオード６０ａ、６０ｂとを備えている。そして、インバータ部４８からの二相交流電流は、トランス５９によって変圧されるとともに、整流回路（ダイオード６０ａ、６０ｂ）によって整流され、その結果、直流電流が得られる。
【００２８】
直流変換部５０からの直流電流は、電極３２ａ、３２ｂおよび電極３４ａ、３４ｂを介して図１に示すワークＷに供給される。これに伴って、図２に示すワークＷ中を左右いずれかの方向に向かって電流が流れ、ワークＷにジュール熱が発生することとなる。
【００２９】
また、電源装置１４は、図３に示すように、コンバータ部４６で得られた直流電流の電流値Ｉ１を検出する電流値検出器６４と、直流変換部５０で得られた直流電流の電流値Ｉ２を検出する電流値検出器６６とを備えている。そして、これら電流値検出器６４、６６からの電流値Ｉ１、Ｉ２は、コントローラ２０にそれぞれ供給され、後述するように、該コントローラ２０によって電流値Ｉ２がフィードバック制御される。
【００３０】
この場合、電源装置１４、電極３２ａ、３２ｂおよび電極３４ａ、３４ｂ、並びに電流値検出器６４、６６等は、図１のワークＷに電気を供給するための電気供給手段を構成している。
【００３１】
図４は、電源装置１４からワークＷに供給される電流値Ｉ２、ワークＷの電気抵抗値Ｒおよびヤング率Ｅの、時間ｔに対する特性を示している。
【００３２】
コントローラ２０は、予め定められた電流値制御スケジュールに基づいて、電源装置１４からワークＷに供給すべき電流の電流値Ｉ２を制御する。この電流値制御スケジュールは、ワークＷを発熱させてその状態を超塑性状態に移行させ、その後、超塑性状態に維持させることができるように、例えば実験データ等に基づいて構成されている。
【００３３】
具体的には、電流値制御スケジュールは、電流値Ｉ２を例えばゼロ値（０）からＩａまで傾斜状に増加させる時点ｔ０〜ｔ１の期間と、電流値Ｉ２をＩａに維持してワークＷの状態を超塑性状態に移行させる時点ｔ１〜ｔ２の期間と、電流値Ｉ２をＩａからＩｂまで低下させ、その後、Ｉｂに保ってワークＷの状態を超塑性状態に維持させる時点ｔ２以降の期間とを有する。
【００３４】
この電流値制御スケジュール中の時点ｔ０〜ｔ１の期間において、電流値Ｉ２を傾斜状に増加させるのは、ワークＷに電流が流れることによって該ワークＷに加わるローレンツ力が急激に変化することを防ぐためである。
【００３５】
この電流値制御スケジュールに従って電流値Ｉ２を制御することによって、ワークＷのヤング率Ｅは、固体領域に含まれる値Ｅ０から超塑性領域に含まれる値Ｅ１に遷移し、その後、この値Ｅ１に維持される。この場合、このヤング率Ｅの値Ｅ１は、ワークＷに対する超塑性成形加工を行うのに適した値に設定されている。
【００３６】
なお、ワークＷの抵抗値Ｒは、ワークＷの状態が超塑性状態に移行するのに伴って増加する。従って、この抵抗値Ｒを検出することによって、電流値Ｉ２をフィードバック制御することもできる。
【００３７】
また、図１に示すように、上型本体２８ａに赤外線温度解析装置（サーモビュア装置）７０を装着し、この赤外線温度解析装置７０によって得られたワークＷの温度分布情報に基づいて、電流値Ｉ２をフィードバック制御するようにしてもよい。
【００３８】
図５は、ワークＷに対する超塑性成形加工の作業を示している。ワークＷの状態を超塑性状態に維持しながら（すなわち、図４に示すワークＷに電流を供給して、ワークＷのヤング率Ｅを所望の値Ｅ１に維持しながら）、上型本体２８ａとワークＷの間にエア供給装置１６からのエアを供給してワークＷにエア圧（流体圧）を加えると、ワークＷが下型本体２８ｂ側に押される。そして、ワークＷが型インサート３０に押しつけられると、この型インサート３０の形状に沿ってワークＷが変形し、所望の形状の成形品が得られる。
【００３９】
このように、本発明の第１の実施の形態に係る超塑性成形装置１０においては、ワークＷに電気を供給して該ワークＷを発熱させることによって、ワークＷを超塑性領域に移行させるようにしている。このため、ワークＷを上型本体２８ａおよび下型本体２８ｂと同時に加熱するための炉を設ける場合に比べて、超塑性成形装置１０の小型化を図るとともに、エネルギ効率の向上を図ることができる。
【００４０】
また、炉の中に配置されたワークＷ、上型本体２８ａおよび下型本体２８ｂを同時に加熱する作業が不要となるため、成形作業時間の短縮を図ることもできる。
【００４１】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る超塑性成形装置について説明する。
【００４２】
図６は、第２の実施の形態に係る超塑性成形装置１１０の概略的な構成を示している。超塑性成形装置１１０は、図１の第１の実施の形態に係る超塑性成形装置１０とほぼ同じ構成のコントローラ２０、条件設定器２２およびインタフェース２４を備えている。なお、図６中では、条件設定器２２およびインタフェース２４の図示は省略している。
【００４３】
また、図６の第２の実施の形態に係る超塑性成形装置１１０が適用されるワークＷの形状は、図１の例と同じである。
【００４４】
図６に示すように、超塑性成形装置１１０は、電気供給手段を構成する複数（例えば、１２個）の電極１１２ａ〜１１２ｌを備えている。これら電極１１２ａ〜１１２ｌは、例えばワークＷの四辺部にそれぞれ３つずつ接続されている。また、超塑性成形装置１１０は、電気供給手段を構成する電源ユニット１１４を備えており、この電源ユニット１１４から電極１１２ａ〜１１２ｌを介して、ワークＷに電気が供給される。
【００４５】
図７は、電源ユニット１１４の構成を示している。電源ユニット１１４は、図３に示す電源装置１４とほぼ同じ構成の複数（例えば、６つ）の電源装置１４ａ〜１４ｆを備えている。そして、これら電源装置１４ａ〜１４ｆには、電極１１２ａ〜１１２ｌが、例えば、それぞれ２つずつ接続されている。
【００４６】
なお、各電源装置１４ａ〜１４ｆに３つ以上の電極１１２ａ〜１１２ｌを接続するようにしてもよく、また、各電源装置１４ａ〜１４ｆに接続される電極１１２ａ〜１１２ｌの数を不均等にしたり、各電極１１２ａ〜１１２ｌを複数の電源装置１４ａ〜１４ｆと接続させるようにしてもよい（図７中、破線で示す接続線参照）。
【００４７】
この場合、コントローラ２０から電源装置１４ａ〜１４ｆ（実際には、ドライバ５８）に選択的に制御信号を供給することによって、ワークＷに電気を供給するための電極１１２ａ〜１１２ｌを選択的に切り換えることができる。
【００４８】
図６に示すように、例えば、ワークＷの上辺部の略中心に設けられた電極１１２ｂと、ワークＷの下辺部の略中心に設けられた電極１１２ｈとに同じ電源装置１４ａ〜１４ｆを接続し、また、ワークＷの右辺部の略中心に設けられた電極１１２ｅと、ワークＷの左辺部の略中心に設けられた電極１１２ｋとに同じ電源装置１４ａ〜１４ｆを接続する。そして、電極１１２ｂ、１１２ｈの間および電極１１２ｅ、１１２ｋの間に所定の時間間隔で交互に電流を流す。すなわち、ワークＷ中の経路α、βに沿って、交互に電流を流す。このとき、ワークＷにおいては、経路α、βが交差する部分（図６中、２点鎖線で囲まれた部分）における発熱量が最も多くなる。
【００４９】
この原理を利用して、電気を供給すべき電極１１２ａ〜１１２ｌの組を所定の時間間隔および順序で選択的に切り換えることによって、ワークＷ中の温度分布を制御することができる。
【００５０】
このように、第２の実施の形態に係る超塑性成形装置１１０においては、電気を供給すべき電極１１２ａ〜１１２ｌを選択的に切り換えて、ワークＷ中の電流の経路を変化させることによって、例えば、ワークＷ全体の温度が均一化するように、ワークＷの温度分布を制御するようにしている。このため、ワークＷ全体のヤング率Ｅを均一化することができ、その結果、成形品の良好な加工品質を確保することができる。
【００５１】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る超塑性成形装置の変形例について説明する。
【００５２】
図８は、第２の実施の形態の変形例に係る超塑性成形装置１５０の、特に、電源ユニット１５２の概略的な構成を示している。電源ユニット１５２は、例えば１つの電源装置１４と、この電源装置１４と電極１１２ａ〜１１２ｌとの接続を切り換える複数（例えば、４つ）の切換機１５４ａ〜１５４ｄとを備えている。切換機１５４ａ〜１５４ｄは、例えば、３つの電極１１２ａ〜１１２ｌとそれぞれ接続されている。
【００５３】
切換機１５４ａ〜１５４ｄは、コントローラ２０からの制御信号に従って、電源装置１４と接続すべき電極１１２ａ〜１１２ｌを選択的に切り換える。この場合、図６に示す第２の実施の形態に係る超塑性成形装置１１０と同様に、ワークＷ中における電流の経路を変化させ、ワークＷ中の温度分布を制御することができる。
【００５４】
このように、第２の実施の形態の変形例に係る超塑性成形装置１５０においては、電源装置１４と電極１１２ａ〜１１２ｌとの間に設けられた切換機１５４ａ〜１５４ｄによって、電源装置１４から電気を供給すべき電極１１２ａ〜１１２ｌを選択的に切り換えることができる。この場合、電極１１２ａ〜１１２ｌの組み合わせ方に応じて、切り換え可能な複数の電流の経路を、ワークＷ中に網の目状に構成することができる。このため、ワークＷ中の温度分布の制御を高い分解能で行うことができる。
【００５５】
また、ワークＷ中よりも電極１１２ａ〜１１２ｌの方を電流が流れやすくなっている場合には、これら電極１１２ａ〜１１２ｌ側に回り込むように電流が流れてしまうおそれがあるが、この場合、電極１１２ａ〜１１２ｌと電源装置１４との間の接続を切換機１５４ａ〜１５４ｄによって選択的にＯＮ／ＯＦＦさせて、電流の経路を、例えば、所望の方向に曲げさせるように制御することにより、電流の回り込みを防止することができる。
【００５６】
次に、本発明の第３の実施の形態に係る超塑性成形装置について説明する。
【００５７】
図９は、第３の実施の形態に係る超塑性成形装置２１０の概略的な構成を示している。超塑性成形装置２１０は、図１の第１の実施の形態に係る超塑性成形装置１０とほぼ同じ構成の電源装置１４および電極３２ａ、３２ｂ、３４ａ、３４ｂ、コントローラ２０、条件設定器２２、並びにインタフェース２４を備えている。なお、図９中では、条件設定器２２およびインタフェース２４の図示は省略している。
【００５８】
超塑性成形装置２１０は、ワークＷに超塑性成形加工を施すための成形装置２１２を備えており、この成形装置２１２は、上室壁２１４ａおよび下室壁２１４ｂを備えている。そして、上室壁２１４ａの下端部に電極３２ａおよび電極３４ａが設けられ、下室壁２１４ｂの上端部に電極３２ｂおよび電極３４ｂが設けられている。
【００５９】
ワークＷは、その四辺部が上室壁２１４ａの下端部と下室壁２１４ｂの上端部との間に挟まれた状態でこれら上室壁２１４ａおよび下室壁２１４ｂに保持される。さらに、ワークＷは、クランプ２２０ａ、２２０ｂによって上室壁２１４ａと下室壁２１４ｂの間に加えられるクランプ力によって、これら上室壁２１４ａおよび下室壁２１４ｂと一体的に固定される。このとき、上室壁２１４ａとワークＷの間には上室（第１の室）２２２ａが形成され、下室壁２１４ｂとワークＷの間には下室（第２の室）２２２ｂが形成される。
【００６０】
また、ワークＷには、図２に示す例と同様に、その左右の両辺部に電極３２ａ、３２ｂおよび３４ａ、３４ｂがそれぞれ接続される。そして、電源装置１４から電極３２ａ、３２ｂおよび３４ａ、３４ｂを介してワークＷに供給すべき電流の電流値Ｉ２は、例えば図４の例と同じ電流値制御スケジュールに基づいて制御される。
【００６１】
上室壁２１４ａおよび下室壁２１４ｂには、上室２２２ａおよび下室２２２ｂ内の気圧を調節するための気圧調節装置２２６ａ、２２６ｂがそれぞれ装着されている。これら気圧調節装置２２６ａ、２２６ｂは、圧力コントローラ２２７からの指示に基づいて制御される。この場合、気圧調節装置２２６ａ、２２６ｂ、圧力コントローラ２２７および後述する気圧検出センサ２２８ａ、２２８ｂは、気圧調節手段を構成している。
【００６２】
上室壁２１４ａおよび下室壁２１４ｂには、上室２２２ａおよび下室２２２ｂ内の気圧を検出するための気圧検出センサ２２８ａ、２２８ｂがそれぞれ設けられている。そして、これら気圧検出センサ２２８ａ、２２８ｂで得られた上室２２２ａの気圧（上室気圧）Ｐａおよび下室２２２ｂの気圧（下室気圧）Ｐｂは、圧力コントローラ２２７にそれぞれ供給される。
【００６３】
図１０は、図９に示される圧力コントローラ２２７における制御処理をブロック的に示している。この場合、気圧Ｐａ、Ｐｂのそれぞれの変化量ΔＰL、ΔＰGは気圧検出センサ２２８ａ、２２８ｂにより検出され、その変化量ΔＰL、ΔＰGに応じて供給空気量が制御される。これによって、気圧Ｐａ、Ｐｂの値になるようにフィードバック制御がなされる。
【００６４】
このように、上室気圧Ｐａおよび下室気圧Ｐｂを制御することによって、ローレンツ力によるワークＷの張り、あるいはワークＷの自重による垂下を阻止することができる。
【００６５】
図９に示すように、上室壁２１４ａおよび下室壁２１４ｂの内壁部には、１つまたは複数（図９の例では１つ）の成形用多軸ロボット（成形ロボット）２３０ａ、２３０ｂがそれぞれ装着されている。そして、これら成形ロボット２３０ａ、２３０ｂのロボットアーム２３２ａ、２３２ｂには、ツール２３４ａ、２３４ｂがそれぞれ保持されている。
【００６６】
図１１は、ツール２３４ａ、２３４ｂの先端部を示している。ツール２３４ａ、２３４ｂは、例えば、その先端部が略球面状の略円柱状に形成されている。なお、ツール２３４ａ、２３４ｂの形状としては、先端部が尖った形状や、平面部または鋭角部を有する形状等の種々の形状を採用することができる。
【００６７】
また、ツール２３４ａ、２３４ｂの先端部には、温度調節手段を構成する例えばペルチェ素子２３６がそれぞれ埋め込まれている。
【００６８】
図９に示すように、成形ロボット２３０ａ、２３０ｂは、ロボットコントローラ２４０ａ、２４０ｂからの駆動電流によって駆動され、ワークＷに対する成形作業を行う。
【００６９】
また、このとき、ペルチェ素子２３６（図１１参照）は、ロボットコントローラ２４０ａ、２４０ｂからの制御電流によってツール２３４ａ、２３４ｂの先端部を加熱または冷却して、該先端部の温度が所望の温度となるように調節する。このように、ツール２３４ａ、２３４ｂの温度を調節することによって、例えば、ワークＷの熱がツール２３４ａ、２３４ｂ側に伝わらないようにすることができるため、ワークＷの温度制御を正確に行うことが可能となる。
【００７０】
図１２は、成形ロボット２３０ａ、２３０ｂによるワークＷに対する成形作業を示している。
【００７１】
図１２に示すように、例えば、上下の成形ロボット２３０ａ、２３０ｂに装着されたツール２３４ａ、２３４ｂの先端部を互いに対向させながらこれら先端部をワークＷに接触させる。そして、ロボットアーム２３２ａ、２３２ｂを介してツール２３４ａ、２３４ｂの先端部を上下左右に変位させると、これら先端部の軌跡に沿ってワークＷが変形形成される。
【００７２】
【発明の効果】
本発明に係る超塑性成形装置によれば、ワークに電気を供給して該ワークを発熱させることによって、ワークを超塑性状態に移行させるようにしている。このため、エネルギ効率の優れた超塑性成形装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係る超塑性成形装置の概略的な構成を示すブロック図である。
【図２】ワークに電極が装着された状態を示す平面図である。
【図３】電源装置の構成を示すブロック図である。
【図４】電源装置からワークに供給される電流値、ワークの電気抵抗値およびヤング率の時間に対する特性を示すグラフである。
【図５】ワークに対する超塑性成形加工の作業を示す説明図である。
【図６】第２の実施の形態に係る超塑性成形装置の特に電気供給手段の概略的な構成を示すブロック図である。
【図７】電源ユニットの構成を示すブロック図である。
【図８】第２の実施の形態の変形例に係る超塑性成形装置の特に電源ユニットの概略的な構成を示すブロック図である。
【図９】第３の実施の形態に係る超塑性成形装置の概略的な構成を示すブロック図である。
【図１０】圧力コントローラにおける制御処理を示すブロック図である。
【図１１】ツールの先端部を示す正面図である。
【図１２】成形ロボットによるワークに対する成形作業を示す説明図である。
【符号の説明】
１０、１１０、１５０、２１０…超塑性成形装置
１２、２１２…成形装置          １４、１４ａ〜１４ｆ…電源装置
１６…エア供給装置              ２０…コントローラ
２８ａ…上型本体                ２８ｂ…下型本体
３０…型インサート
３２ａ、３２ｂ、３４ａ、３４ｂ、１１２ａ〜１１２ｌ…電極
１１４、１５２…電源ユニット    １５４ａ〜１５４ｄ…切換機
２１４ａ…上室壁                ２１４ｂ…下室壁
２２２ａ…上室                  ２２２ｂ…下室
２２６ａ、２２６ｂ…気圧調節装置
２２７…圧力コントローラ
２２８ａ、２２８ｂ…気圧検出センサ
２３０ａ、２３０ｂ…成形ロボット
２３２ａ、２３２ｂ…ロボットアーム
２３４ａ、２３４ｂ…ツール      ２３６…ペルチェ素子
２４０ａ、２４０ｂ…ロボットコントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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