(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ軸方向に対向配置される１対のリニアモータと、
前記Ｘ軸に直交するＹ軸方向に対向配置される１対のリニアモータと、
移載物を積載する可動テーブルと、
前記Ｘ軸Ｙ軸と同一平面内のθ軸方向に、前記可動テーブルを回転自在に支承する回転支承手段と、
前記２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、前記可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御する位置制御器とを備えたことを特徴とするＸＹθステージ装置。
【請求項２】
上記位置制御器として、
上記可動テーブルの所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値に対して、上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算する演算機能を有する位置制御器を用いたことを特徴とする請求項１に記載のＸＹθステージ装置。
【請求項３】
上記ＸＹθステージ装置に、
上記可動テーブルのＸ軸位置を検出するＸ軸位置検出器と、
上記可動テーブルのＹ軸位置を検出するＹ軸位置検出器と、
上記可動テーブルのθ軸位置を検出するθ軸位置検出器とを備えるようにしたことを特徴とする請求項１又は２に記載のＸＹθステージ装置。
【請求項４】
上記位置制御器として、
先ず、所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値と、上記Ｘ軸位置検出器、Ｙ軸位置検出器及びθ軸位置検出器で、上記可動テーブルのＸ軸位置、Ｙ軸位置及びθ軸位置を検出した測定値との偏差を計算し、
次に、可動テーブルの位置が所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値となるような上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算する偏差演算機能を有する位置制御器を用いたことを特徴とする請求項３に記載のＸＹθステージ装置。
【請求項５】
上記Ｘ軸位置検出器及びＹ軸位置検出器としてＸＹエンコーダを用い、
上記θ軸位置検出器としてθエンコーダを用いるようにしたことを特徴とする請求項３又は４に記載のＸＹθステージ装置。
【請求項６】
上記ＸＹエンコーダ及びθエンコーダを可動テーブル近傍に取り付けるようにしたことを特徴とする請求項５に記載のＸＹθステージ装置。
【請求項７】
上記可動テーブルの所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値に対して、上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算し、上記２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、上記可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御するようにしたことを特徴とする請求項２に記載のＸＹθステージ装置の制御方法。
【請求項８】
所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値と、上記Ｘ軸位置検出器、Ｙ軸位置検出器及びθ軸位置検出器で、上記可動テーブルのＸ軸位置、Ｙ軸位置及びθ軸位置を検出した測定値との偏差を計算し、可動テーブルの位置が所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値となるような上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算し、上記２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、上記可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御するようにしたことを特徴とする請求項４乃至６のいずれかに記載のＸＹθステージ装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、積載物を高速かつ正確に所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、θ軸位置に移動させるＸＹθステージ装置及びその制御方法に係り、特に、構成を簡略化したＸＹθステージ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
先ず、従来のＸＹθステージ装置について、図５及び図６を用いて説明する。
図５は従来のＸＹθステージ装置の構成を示す図で、同図（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）は縦断側面図である。
また、図６は、従来のＸＹθステージ装置において、そのベースとなるＸＹステージ装置の構成を示す図で、同図（Ａ）は、このＸＹステージ装置の平面図、同図（Ｂ）は縦断側面図である。
【０００３】
図５に示すように、従来のＸＹθステージ装置１００は、図６に示すＸＹステージ装置２００のＸＹ可動テーブル２４０上に、θステージ装置３００を積載した構成である。
そこで、先ず、従来のＸＹステージ装置２００について、図６（Ａ）、（Ｂ）を用いて説明する。
【０００４】
図６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、従来のＸＹステージ装置２００は、ベース２１０、２対のリニアモータ２２０Ａ、２２０Ｂ、２３０Ａ、２３０Ｂ（以下「２２０Ａ〜２３０Ｂ」と記す場合がある。）、ＸＹ可動テーブル２４０を備えた構成である。
なお、図６（Ｂ）において、２５０Ａ、２５０Ｂ、２６０Ａ、２６０Ｂは、ＸＹ可動テーブル２４０を可動支持するクロスローラベアリングである。
また、２５５は、後述するθ可動テーブル３１０を可動支持するクロスローラベアリングである。
更に、２７０は、θ駆動用リニアアクチュエータ、２８０は、ＸＹ可動テーブル２４０の位置検出器である。
【０００５】
従来のＸＹステージ装置２００では、図６（Ａ）に示すように平面座標（Ｘ軸、Ｙ軸）を選択すると、２対のリニアモータ２２０Ａ〜２３０Ｂは、１対はＸ軸に平行に、もう１対はＸ軸に直交するＹ軸に平行に、それぞれベース２１０上に対向配置される。
また、従来のＸＹステージ装置２００は、この２対のリニアモータ２２０Ａ〜２３０Ｂを駆動して、ＸＹ可動テーブル２４０を位置制御する位置制御器（図示せず）を備えた構成である。
【０００６】
次に、従来のＸＹθステージ装置１００のθステージ装置３００について、図５（Ａ）、（Ｂ）を用いて説明する。
上述したように、θステージ装置３００は、ＸＹステージ装置２００のＸＹ可動テーブル２４０上に載置され、同図（Ａ）に示すように、Ｘ軸Ｙ軸平面内でθ軸方向に回転するθ可動テーブル３１０と、θ軸回転用アクチュエータ３２０とを備えた構成である。
【０００７】
以上の構成で、従来のＸＹθステージ装置１００を用いて、θ可動テーブル３１０上の積載物を、所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、θ軸位置に制御する場合は、この所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、θ軸位置の目標値に基づいて、図示しない位置制御器により、２対のリニアモータ２２０Ａ〜２３０Ｂに推力指令を与えて、可動テーブル２４０を制御してＸ軸位置及びＹ軸位置を、また、θ回転用アクチュエータを操作し、θ可動テーブル３１０のθ軸位置の制御を行う。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述したように、従来のＸＹθステージ装置では、ＸＹステージ装置にθステージ装置を載置し、Ｘ軸位置、Ｙ軸位置と、θ軸位置とを独立に制御するようにした構成であるために、次のような問題を備えている。
（１）ＸＹステージ装置とθステージ装置を組み合わせて構成するために、全体の構成部分が多く、製作コストが増大する。
（２）ＸＹステージ装置上にθステージ装置を載置した構成であるために、θステージ装置の高さ分だけのアッベ誤差が増大する。
（３）ＸＹステージ装置上にθステージ装置及びθ回転用アクチュエータを載置しているために、可動部の重量が増大し、この加減速の速度が遅くなる。
（４）ＸＹステージ装置上にθステージ装置を載置した構成であるために、加減速時の重心位置が高くなるのでピッチング方向の振動が増大し、整定時間が長くなる。
【０００９】
本発明は、上記課題（問題点）を解決し、構成を簡略化し、軽量化したＸＹθステージ装置及びその制御方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のＸＹθステージ装置は、請求項１に記載のものでは、Ｘ軸方向に対向配置される１対のリニアモータと、前記Ｘ軸に直交するＹ軸方向に対向配置される１対のリニアモータと、移載物を積載する可動テーブルと、前記Ｘ軸Ｙ軸と同一平面内のθ軸方向に、前記可動テーブルを回転自在に支承する回転支承手段と、前記２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、前記可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御する位置制御器とを備えた構成とした。
【００１１】
このように構成すると、２対のリニアモータをそれぞれ駆動することで、可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置が制御できると共に、可動テーブルを回転自在に支承する回転支承手段で支承しているためにθ軸位置を制御でき、別途、θステージ装置を備える必要が無く、構成が簡単で、軽量化したＸＹθステージ装置とすることができる。
また、従来のＸＹθステージ装置とは異なり、ＸＹステージ装置にθステージ装置を積載しなくて済むため、θステージ装置の高さ分だけのアッベ誤差の増大を防止できる。
更に、全体重量の増大を軽減できる結果、加減速性能の低下を最小限に留めることができる。
その上、重心位置がほとんど変わらないため、ピッチング方向の振動に変化はほとんどなく、整定時間を短縮できる。
【００１２】
請求項２に記載のＸＹθステージ装置では、上記位置制御器として、上記可動テーブルの所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値に対して、上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算する演算機能を有する位置制御器を用いた構成とした。
【００１３】
このように構成すると、高速かつ正確な位置決めが、Ｘ軸、Ｙ軸、θ軸で可能な位置制御器を備えたＸＹθステージ装置とすることができる。
【００１４】
請求項３に記載のＸＹθステージ装置では、このＸＹθステージ装置に、上記可動テーブルのＸ軸位置を検出するＸ軸位置検出器と、上記可動テーブルのＹ軸位置を検出するＹ軸位置検出器と、上記可動テーブルのθ軸位置を検出するθ軸位置検出器とを備えるように構成した。
【００１５】
このように構成すると、可動テーブルの位置が常時検出できるようになり、可動テーブルの位置決め精度を一層向上させることができる。
【００１６】
請求項４に記載のＸＹθステージ装置では、上記位置制御器として、先ず、所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値と、上記Ｘ軸位置検出器、Ｙ軸位置検出器及びθ軸位置検出器で、上記可動テーブルのＸ軸位置、Ｙ軸位置及びθ軸位置を検出した測定値との偏差を計算し、次に、可動テーブルの位置が所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値となるような上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算する偏差演算機能を有する位置制御器を用いた構成とした。
【００１７】
このように構成すると、可動テーブルの位置の目標値と測定値の偏差を補正できるので、可動テーブルのＸ軸Ｙ軸θ軸の位置制御を正確に行えるようになる。
【００１８】
請求項５に記載のＸＹθステージ装置では、上記Ｘ軸位置検出器及びＹ軸位置検出器としてＸＹエンコーダを用い、上記θ軸位置検出器としてθエンコーダを用いるように構成した。
【００１９】
このように構成すると、非接触に計測が行え、好適な位置検出器を備えたＸＹθステージ装置とすることができる。
【００２０】
請求項６に記載のＸＹθステージ装置では、上記ＸＹエンコーダ及びθエンコーダを可動テーブル近傍に取り付けるように構成した。
【００２１】
このように構成すると、可動テーブルの近傍で可動テーブルの位置を計測できるため、可動テーブルのピッチング運動等による誤差を低減でき、より高い位置決め精度が得られる。
【００２２】
請求項７に記載のＸＹθステージ装置の制御方法では、上記可動テーブルの所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値に対して、上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算し、上記２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、上記可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御するようにした。
【００２３】
このようにすると、２対のリニアモータをそれぞれ駆動することで、可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御でき、別途、θステージ装置を備える必要が無く、構成が簡単で、軽量化したＸＹθステージ装置を制御することができる。
【００２４】
請求項８に記載のＸＹθステージ装置の制御方法では、所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値と、上記Ｘ軸位置検出器、Ｙ軸位置検出器及びθ軸位置検出器で、上記可動テーブルのＸ軸位置、Ｙ軸位置及びθ軸位置を検出した測定値との偏差を計算し、可動テーブルの位置が所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値となるような上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算し、上記２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、上記可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御するようにした。
【００２５】
このようにすると、可動テーブルの位置の目標値と測定値の偏差を補正できるので、可動テーブルの位置制御を正確に行えるＸＹθステージ装置の制御方法とすることができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
本発明のＸＹθステージ装置の一実施の形態について、図１乃至図４を用いて説明する。
図１は、本実施の形態のＸＹθステージ装置の基本構成を示す平面図である。
図２は、本実施の形態のＸＹθステージ装置に用いるリニアモータの構成を示す側面図である。
図３は、図１のＷ−Ｗ′縦断面図である。
また、図４は、ＸＹθステージ装置により可動テーブルの位置制御を行うブロック図である。
【００２７】
先ず、本実施の形態のＸＹθステージ装置１０の基本構成について、図１乃至図３を用いて説明する。
本実施の形態のＸＹθステージ装置１０は、図１に示すように、同一平面内にＸ軸、Ｙ軸、θ軸を選択すると、先ず、図３に示すベース２０上に、Ｘ軸方向に対向配置される１対のリニアモータ、即ち、Ｘ１リニアモータ１２Ａ、Ｘ２リニアモータ１２Ｂを備えている。
また、このＸ軸に直交するＹ軸方向に、対向配置される１対のリニアモータ、即ち、Ｙ１リニアモータ１４Ａ、Ｙ２リニアモータ１４Ｂを備えている。
また、図１において、３０は移載物を積載する可動テーブルである。
【００２８】
本実施の形態のＸＹθステージ装置１０では、可動テーブル３０のＸ軸位置及びＹ軸位置を検出するＸＹエンコーダ４２と、可動テーブルのθ軸位置を検出するθエンコーダ４４を、図１又は図３に示すように可動テーブル３０の下面近傍に取り付けている。
このようにすると、可動テーブル３０のピッチング運動等による誤差を低減でき、より高い位置決め精度が得られる。
【００２９】
次に、各２対のリニアモータ１２Ａ〜１４Ｂについて、図２を用いて説明する。
なお、図２には、Ｘ１リニアモータ１２Ａのみが図示されているが、以下、このＸ１リニアモータ１２Ａについて説明し、他のリニアモータ１２Ｂ〜１４Ｂについては、構成が同一であるので説明は省略する。
【００３０】
本実施の形態に用いるリニアモータ１２Ａは、センターコア１２Ａ１を挟んで、永久磁石１２Ａ２、１２Ａ３が図２に示すような極性で配置されている。
１２Ａ４、１２Ａ５はコイルで、このコイル１２Ａ４、１２Ａ５に電流を流し、その電流量を制御することによりリニアモータ１２Ａの推力を調整し、可動テーブル３０の位置を制御する。
【００３１】
次に、図３において、５２、５４、５６は、クロスローラガイドで、可動テーブル３０をＸ軸方向、Ｙ軸方向にスライド可能に支持すると共に、特に、可動テーブル３０下面に設けたクロスローラガイド５２で、θ軸方向に回転自在に支承する。
【００３２】
以上の構成で、本実施の形態のＸＹθステージ装置１０の基本動作を図１乃至図３を用いて説明する。
本実施の形態のＸＹθステージ装置１０の基本原理は、上記２対のリニアモータ１２Ａ〜１４Ｂをそれぞれ対向配置し、クロスローラガイド５２、５４、５６で、可動テーブル３０をＸ軸方向、Ｙ軸方向にスライド可能に支持すると共に、θ軸方向に回転自在に支承することにより、この２対のリニアモータ１２Ａ〜１４Ｂをそれぞれ適宜制御することにより、可動テーブル３０を、所望の目標値にＸ軸位置、及びＹ軸位置に移動させると共に、所望のθ軸位置に回転制御することである。
【００３３】
このとき、可動テーブル３０のＸ軸位置、Ｙ軸位置、θ軸位置をＸＹエンコーダ４２とθエンコーダ４４により測定し、この測定値と目標値との偏差を算出し、後述する偏差演算機能を備えた位置制御器により、リニアモータ１２Ａ〜１４Ｂに推力の指令値を算出して、位置制御をする。
即ち、従来のＸＹθステージ装置１００とは異なり、別途θステージ装置を用いることなく、２対のリニアモータ１２Ａ〜１４Ｂのみで、可動テーブルのＸ軸位置、Ｙ軸位置及びθ軸位置を一括して制御することが可能である。
【００３４】
次に、本実施の形態のＸＹθステージ装置１０に用いられる偏差演算機能を備えた位置制御器６０による、可動テーブル３０の位置制御の方法を図４を用いて説明する。
【００３５】
先ず、図４に示すように、Ｘ軸位置目標値Ｘrefは、ＸＹエンコーダ４２より測定され、フィードバックされた可動テーブル３０のＸ軸位置ＸFBと減算器６２Ａで減算され、Ｘ軸位置目標値Ｘrefと実際のＸ軸位置ＸFBとの偏差演算を行い、位置制御器６０で推力指令値ＦXを算出する。
【００３６】
同様に、図４に示すように、θ軸位置目標値θrefは、θエンコーダ４４より測定され、フィードバックされた可動テーブル３０のθ軸位置θFBと減算器６２Ｂで減算され、θ軸位置目標値θrefと実際のθ軸位置θFBとの偏差演算を行い、位置制御器６０で推力指令値Ｆθを算出する。
【００３７】
全く同様に、Ｙ軸位置目標値Ｙrefは、ＸＹエンコーダ４２より測定され、フィードバックされた可動テーブル３０のＹ軸位置ＹFBと減算器６２Ｃで減算され、Ｙ軸位置目標値Ｙrefと実際のＹ軸位置ＹFBとの偏差演算を行い、位置制御器６０で推力指令値ＦYを算出する。
【００３８】
これらの推力指令値（ＦX，ＦY，Ｆθ）は、図４に示すように、加算器６４Ａ、６４Ｂ、減算器６６Ａ、６６Ｂで次式（１）〜（４）の変換式の通り、２対のリニアモータ１２Ａ〜１４Ｂの各々の推力指令値（ＦX1，ＦX2，ＦY1，ＦY2）に変換される。
ＦX1＝ＦX＋Ｆθ／２                                            （１）
ＦX1＝ＦX−Ｆθ／２                                            （２）
ＦY1＝ＦY＋Ｆθ／２                                            （３）
ＦY2＝ＦY−Ｆθ／２                                            （４）
これらの推力指令値（ＦX1，ＦX2，ＦY1，ＦY2）を各モータアンプ６８Ａ〜６８Ｄで増幅し、各２対のリニアモータ１２Ａ〜１４Ｂの各々に推力指令することにより可動テーブル３０の位置を目標値（Ｘref，Ｙref，θref）に制御する。
【００３９】
このように、本実施の形態では、可動テーブル３０をθ軸方向に回転自在に支承すると共に、２対のリニアモータ１２Ａ〜１４Ｂに各々所望の可動テーブル３０の目標値に適合するように推力指令値を与える結果、２対のリニアモータ１２Ａ〜１４Ｂで、Ｘ軸位置、Ｙ軸位置、θ軸位置に一括して制御できる。
【００４０】
即ち、本実施の形態のＸＹθステージ装置１０では、従来のＸＹθステージ装置とは異なり、ＸＹステージ装置にθステージ装置を積載した構成ではないために、構成が簡単で、軽量化したＸＹθステージ装置１０とすることができる。
また、ＸＹステージ装置にθステージ装置を積載した構成ではないため、θステージ装置の高さ分だけのアッベ誤差の増大を防止できる。
更に、全体重量の増大を軽減できる結果、加減速性能の低下を最小限に留めることができ、重心位置がほとんど変わらないため、ピッチング方向の振動に変化はほとんどなく、整定時間を短縮できる。
また、ＸＹエンコーダ及びθエンコーダにより可動テーブルの位置をフィードバック制御する構成としているために、位置決め精度を向上させることが可能になっている。
【００４１】
本発明のＸＹθステージ装置及びその制御方法は、上記実施の形態に限定されず種々の変更が可能である。
例えば、上記実施の形態では、位置検出器としてＸＹエンコーダ、θエンコーダを用いた例で説明したが、他の構成、例えば、可動部に光学系ミラー等を取り付けることにより、レーザー干渉計等を用いて位置を検出するようにしても良い。
また、可動テーブルを回転自在に支承する手段として、クロスローラガイドを用いた例で説明したが、これを他の支承手段として、静圧案内、滑り案内等を用いるようにしても良い。
【００４２】
【発明の効果】
本発明のＸＹθステージ装置及びその制御方法は、上記のように構成したために、以下のような優れた効果を有する。
（１）本発明のＸＹθステージ装置は、請求項１に記載したように、Ｘ軸方向に対向配置される１対のリニアモータと、Ｘ軸に直交するＹ軸方向に対向配置される１対のリニアモータと、移載物を積載する可動テーブルと、Ｘ軸Ｙ軸と同一平面内のθ軸方向に、可動テーブルを回転自在に支承する回転支承手段と、２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御する位置制御器とを備えた構成とすると、２対のリニアモータをそれぞれ駆動することで、可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置が制御できると共に、可動テーブルを回転自在に支承する回転支承手段で支承しているためにθ軸位置を制御でき、別途、θステージ装置を備える必要が無く、構成が簡単で、軽量化したＸＹθステージ装置とすることができる。
（２）また、従来のＸＹθステージ装置とは異なり、ＸＹステージ装置にθステージ装置を積載しなくて済むため、θステージ装置の高さ分だけのアッベ誤差の増大を防止できる。
（３）更に、全体重量の増大を軽減できる結果、加減速性能の低下を最小限に留めることができる。
（４）その上、重心位置がほとんど変わらないため、ピッチング方向の振動に変化はほとんどなく、整定時間を短縮できる。
【００４３】
（５）請求項２に記載したように、位置制御器として、可動テーブルの所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値に対して、各２対のリニアモータの各々の推力を演算する演算機能を有する位置制御器を用いた構成とすると、高速かつ正確な位置決めが可能な位置制御器を備えたＸＹθステージ装置とすることができる。
【００４４】
（６）請求項３に記載したように、可動テーブルのＸ軸位置を検出するＸ軸位置検出器と、可動テーブルのＹ軸位置を検出するＹ軸位置検出器と、可動テーブルのθ軸位置を検出するθ軸位置検出器とを備えるように構成すると、可動テーブルの位置が常時検出できるようになり、可動テーブルの位置決め精度を一層向上させることができる。
【００４５】
（７）請求項４に記載したように、位置制御器として、先ず、所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値と、Ｘ軸位置検出器、Ｙ軸位置検出器及びθ軸位置検出器で、可動テーブルのＸ軸位置、Ｙ軸位置及びθ軸位置を検出した測定値との偏差を計算し、次に、可動テーブルの位置が所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値となるような上記各２対のリニアモータの各々の推力を演算する偏差演算機能を有する位置制御器を用いた構成とすると、可動テーブルの位置の目標値と測定値の偏差を補正できるので、可動テーブルのＸ軸Ｙ軸θ軸の位置制御を正確に行えるようになる。
【００４６】
（８）請求項５に記載したように、Ｘ軸位置検出器及びＹ軸位置検出器としてＸＹエンコーダを用い、θ軸位置検出器としてθエンコーダを用いるように構成すると、非接触に計測が行え、好適な位置検出器を備えたＸＹθステージ装置とすることができる。
【００４７】
（９）請求項６に記載したように、ＸＹエンコーダ及びθエンコーダを可動テーブル近傍に取り付けるように構成すると、可動テーブルの近傍で可動テーブルの位置を計測できるため、可動テーブルのピッチング運動等による誤差を低減でき、より高い位置決め精度が得られる。
【００４８】
（１０）ＸＹθステージ装置の制御方法では、請求項７に記載したように、可動テーブルの所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値に対して、各２対のリニアモータの各々の推力を演算し、２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、上記可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御するようにすると、２対のリニアモータをそれぞれ駆動することで、可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御でき、別途、θステージ装置を備える必要が無く、構成が簡単で、軽量化したＸＹθステージ装置を制御することができる。
【００４９】
（１１）請求項８に記載したように、所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値と、Ｘ軸位置検出器、Ｙ軸位置検出器及びθ軸位置検出器で、可動テーブルのＸ軸位置、Ｙ軸位置及びθ軸位置を検出した測定値との偏差を計算し、可動テーブルの位置が所望のＸ軸位置、Ｙ軸位置、及び、θ軸位置の目標値となるような各２対のリニアモータの各々の推力を演算し、２対のリニアモータをそれぞれ駆動し、可動テーブルのＸ軸位置とＹ軸位置及びθ軸位置を制御するようにすると、可動テーブルの位置の目標値と測定値の偏差を補正できるので、可動テーブルの位置制御を正確に行えるＸＹθステージ装置の制御方法とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＸＹθステージ装置の基本構成を示す平面図である。
【図２】本発明のＸＹθステージ装置に用いるリニアモータの構成を示す側面図である。
【図３】図１のＷ−Ｗ′縦断面図である。
【図４】本発明のＸＹθステージ装置により可動テーブルの位置制御を行うブロック図である。
【図５】従来のＸＹθステージ装置の構成を示す図で、同図（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）は縦断側面図である。
【図６】従来のＸＹθステージ装置において、そのベースとなるＸＹステージ装置の構成を示す図で、同図（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）は縦断側面図である。
【符号の説明】
１０：ＸＹθステージ装置
１２Ａ〜１４Ｂ：リニアモータ
３０：可動テーブル
４２：ＸＹエンコーダ
４４：θエンコーダ
５２：クロスローラガイド（回転支承手段）
６０：位置制御器
【図１】
0004475483.tif 000002
【図２】
0004475483.tif 000003
【図３】
0004475483.tif 000004
【図４】
0004475483.tif 000005
【図５】
0004475483.tif 000006
【図６】
0004475483.tif 000007