(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属物質の入った廃液に、水より比重の小さい樹脂を所定量混合する第１の工程と、
前記混合した廃液中にある金属物質を不溶化する第２の工程と、
前記樹脂とともに前記不溶化した物質を浮上分離する第３の工程と、
を具備したことを特徴とする排液処理方法。
【請求項２】
前記第２の工程は、前記第１の工程で混合した廃液のｐＨを一度下げて再び上げる処理であることを特徴とする請求項１に記載の排液処理方法。
【請求項３】
前記ｐＨは、６．５以下に下げた後、７以上に上げることを特徴とする請求項２に記載の排液処理方法。
【請求項４】
前記金属物質の入った廃液中における前記樹脂の濃度は、１％以下であることを特徴とする請求項１に記載の排液処理方法。
【請求項５】
前記樹脂は、廃現像液中に溶解している樹脂であって、前記第２の工程のｐＨ処理で析出されるものであることを特徴とする請求項２〜４のいずれか１つに記載の排液処理方法。
【請求項６】
前記第３の工程の浮上分離は、加圧水を注入することによって気泡を発生させる加圧浮上分離であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１つに記載の排液処理方法。
【請求項７】
前記第３の工程で浮上分離後に処理水として排出される排液の懸濁物質の濃度を測定する第４の工程を、更に具備し、
前記第４の工程にて測定した懸濁物質の濃度に応じて、前記第３の工程において加圧浮上分離を行う際の加圧量を調整することを特徴とする請求項６に記載の排液処理方法。
【請求項８】
前記第３の工程で浮上分離後に処理水として排出される排液の懸濁物質の濃度を測定する第４の工程を、更に具備し、
前記第４の工程にて測定した懸濁物質の濃度に応じて前記第１の工程における樹脂の混合量を調整することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１つに記載の排液処理方法。
【請求項９】
前記第３の工程で浮上分離後に処理水として排出される排液の懸濁物質の濃度を測定する第４の工程を、更に具備し、
前記第４の工程にて測定した懸濁物質の濃度に応じて、前記第１の工程における廃液に対しその廃液に溶解してその廃液の比重を上げることが可能な物質を添加することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１つに記載の排液処理方法。
【請求項１０】
金属物質の入った廃液に、水より比重の小さい樹脂を所定量混合する混合手段と、
前記混合した廃液中にある金属物質を不溶化する不溶化手段と、
前記樹脂とともに前記不溶化した物質を浮上分離する浮上分離手段と、
を具備したことを特徴とする排液処理装置。
【請求項１１】
前記浮上分離手段は、加圧水を注入することによって気泡を発生させる加圧浮上分離であることを特徴とする請求項１０に記載の排液処理装置。
【請求項１２】
前記浮上分離手段で浮上分離後に処理水として排出される排液の懸濁物質の濃度を測定する測定手段と、
前記浮上分離手段として加圧浮上分離を採用した場合、前記測定手段にて測定した懸濁物質の濃度に応じて、前記浮上分離手段において加圧浮上分離を行う際の加圧量を調整する手段と、
を更に具備したことを特徴とする請求項１０又は１１に記載の排液処理装置。
【請求項１３】
前記浮上分離手段で浮上分離後に処理水として排出される排液の懸濁物質の濃度を測定する測定手段と、
前記測定手段にて測定した懸濁物質の濃度に応じて前記混合手段における樹脂の混合量を調整する手段と、
を更に具備したことを特徴とする請求項１０又は１１に記載の排液処理装置。
【請求項１４】
前記浮上分離手段で浮上分離後に処理水として排出される排液の懸濁物質の濃度を測定する測定手段と、
前記測定手段にて測定した懸濁物質の濃度に応じて、前記混合手段における廃液に対しその廃液に溶解してその廃液の比重を上げることが可能な物質を添加する添加物供給手段と、
を更に具備したことを特徴とする請求項１０又は１１に記載の排液処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工場廃液などの金属物質の入った廃液を被処理水として浮上分離を行った際に、処理水として懸濁物質（Suspended Solid：ＳＳと呼ばれる）の少ない排水を排出することができる排液処理方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体装置や液晶装置などの製造工場において、金属物質の入った廃液を無害化して排液処理するために、固液分離が行われる。固液分離方法としては、沈降分離と浮上分離とが知られている。  
沈降分離は、重金属などの水に溶けた物質を不溶化させて水に溶けない形にして凝集して沈降させ、沈降分離槽の上水を処理水として排水する処理である。また、浮上分離は、前記のように不溶化させたフロック（粗大粒子）に対して加圧空気溶解水（以下、加圧水）を注入することによってフロックを浮上分離槽（加圧分離槽）内で浮上させ、浮上分離槽の中間位置から処理水として排水する処理である。浮上分離では、浮上分離槽の底面から加圧水を注入すると、小さな気泡が出て、それが汚泥に付いて浮上する。つまり、加圧水注入によって、汚泥は見かけ上の比重を下げられて分離される。
【０００３】
沈降分離については、例えば特許文献１に添加物を用いた凝集沈殿処理を行う凝集分離装置が開示されている。すなわち、固液分離槽での処理水濁度に応じて凝集反応槽内の混合物（凝集汚泥と添加物の混ざった物）の濃度を適正に制御することにより、処理性能を向上させて添加物を含んだフロックが固液分離槽から処理水と共に流出しないようにする凝集分離装置が記載されている。
【特許文献１】特開２００３−３２６１１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１は、沈降分離に適用されるものであって、浮上分離を行う装置に適用されるものではなかった。  
一方、浮上分離では、被処理液中の汚泥が多すぎたり、汚泥の比重が大きいと、気泡が付きにくく汚泥の見かけ上の比重が下がらないために、結果として浮上不足が生じ、排出される処理水に懸濁物質（SS）が生じる問題がある。  
これは、現状の浮上分離では、ー定の条件で運転していることも原因である。排液負荷は装置稼動状況により変動するため、その負荷にあった条件で運転することができれば、浮上分離を効率的に行って処理水中の懸濁物質を低減し、かつ省エネ、コスト削減を図れる。
【０００５】
そこで、本発明は上記の問題に鑑み、浮上分離処理において、浮上分離槽から排出される処理水の中に浮上不足のために懸濁物質（SS）が多く排出されるのを防ぎ、環境基準を満たした排液処理が行えるようにした排液処理方法及び装置を提供することを目的とするものである。さらに、排液負荷にあった条件で浮上分離を行い、浮上分離の効率化を図り、処理水中の懸濁物質を減少させることができる排液処理方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による排液処理方法は、金属物質の入った廃液に、水より比重の小さい樹脂を所定量混合する第１の工程と、前記混合した廃液中にある金属物質を不溶化する第２の工程と、前記樹脂とともに前記不溶化した物質を浮上分離する第３の工程と、を具備したものである。
このような本発明の方法によれば、工場廃液のような金属物質の入った廃液に、見かけ比重の小さい樹脂を混合した後、ｐＨ調整などを行って混合廃液中の金属物質を不溶化し、その後に加圧水を注入するなどして不溶化した物質を浮上分離する。その際、排液中に存在する比重の小さい樹脂によって不溶化物質の浮上を助けて、浮上分離を効率的に行うことが可能となる。
【０００７】
本発明の方法において、前記第２の工程は、前記第１の工程で混合した廃液のｐＨを一度下げて再び上げる処理であることを特徴とする。  
このような方法によれば、このｐＨ調整処理を行うと、廃液中に溶け込んだ樹脂を析出させ、しかもｐＨを上げてアルカリ性にしたときに廃液中の金属物質を金属水酸化物などに変えて不溶化し析出させることができる。
【０００８】
本発明の方法において、前記ｐＨは、６．５以下に下げた後に、７以上に上げることが好ましい。  
このような方法では、前述のｐＨ調整処理を最適値に数値限定したものである。  
本発明の方法において、前記金属物質の入った廃液中における前記樹脂の濃度は、１％以下であることが好ましい。  
このような方法において、樹脂の濃度は１％が限界であった。これ以上になると、不溶化工程（第２の工程）で凝集不足によって処理液に白濁が生じる。
【０００９】
本発明の方法において、前記樹脂は、廃現像液中に溶解している樹脂であって、前記第２の工程のｐＨ処理で析出されるものであることを特徴とする。  
このような方法によれば、ウエハ処理プロセスの一工程で排出される現像廃液に含まれる樹脂を利用できるので、添加剤として新たに樹脂を用意する必要がなく、コストの削減を図ることができる。  
本発明の方法において、前記第３の工程の浮上分離は、加圧水を注入することによって気泡を発生させる加圧浮上分離であることを特徴とする。  
このような方法においては、加圧水の注入による気泡を利用して浮上分離を行うことができる。
【００１０】
本発明の方法において、前記第３の工程で浮上分離後に処理水として排出される排液の懸濁物質の濃度を測定する第４の工程を、更に具備し、前記第４の工程にて測定した懸濁物質の濃度に応じて、前記第３の工程において加圧浮上分離を行う際の加圧量を調整することを特徴とする。  
このような方法においては、加圧浮上処理後の排液の懸濁物質の濃度を測定し、懸濁物質が多い場合は汚泥の見かけ比重を小さくする方法の１つとして、加圧水量を増やし気固比を上げることにより汚泥の見かけ比重を下げ、浮上分離性能を上げて懸濁物質の濃度を下げることが可能となる。
【００１１】
本発明の方法において、前記第３の工程で浮上分離後に処理水として排出される排液の懸濁物質の濃度を測定する第４の工程を、更に具備し、前記第４の工程にて測定した懸濁物質の濃度に応じて前記第１の工程における樹脂の混合量を調整することを特徴とする。
【００１２】
このような方法においては、加圧浮上処理後の排液の懸濁物質を測定し、懸濁物質が多い場合は汚泥の見かけ比重を小さくする方法の１つとして、比重の小さい樹脂の注入量を増やし汚泥の見かけ比重を下げ、浮上分離性能を上げて懸濁物質の濃度を下げることが可能となる。
【００１３】
本発明の方法において、前記第３の工程で浮上分離後に処理水として排出される排液の懸濁物質の濃度を測定する第４の工程を、更に具備し、前記第４の工程にて測定した懸濁物質の濃度に応じて、前記第１の工程における廃液に対しその廃液に溶解してその廃液の比重を上げることが可能な物質を添加することを特徴とする。
【００１４】
このような方法によれば、加圧浮上処理後の排液の懸濁物質を測定し、懸濁物質が多い場合は汚泥の見かけ比重を小さくする方法の１つとして、廃液に溶解してその廃液の比重を上げることが可能な物質（例えば塩類）を添加することにより、相対的に汚泥の見かけ比重を下げ、浮上分離性能を上げて懸濁物質の濃度を下げることが可能となる。  
本発明による排液処理装置は、金属物質の入った廃液に、水より比重の小さい樹脂を所定量混合する混合手段と、前記混合した廃液中にある金属物質を不溶化する不溶化手段と、前記樹脂とともに前記不溶化した物質を浮上分離する浮上分離手段と、を具備したものである。
【００１５】
このような本発明の構成によれば、工場廃液のような金属物質の入った廃液に、見かけ比重の小さい樹脂を混合した後、ｐＨ調整などを行って混合廃液中の金属物質を不溶化し、その後に加圧水を注入するなどして不溶化した物質を浮上分離する。その際、排液中に存在する比重の小さい樹脂によって不溶化物質の浮上を助けて、浮上分離を効率的に行うことが可能となる。
【００１６】
本発明の装置において、前記浮上分離手段は、加圧水を注入することによって気泡を発生させる加圧浮上分離であることを特徴とする。  
このような構成においては、加圧水の注入による気泡を利用して浮上分離を行うことができる。
【００１７】
本発明の装置において、前記浮上分離手段で浮上分離後に処理水として排出される排液の懸濁物質の濃度を測定する測定手段と、前記浮上分離手段として加圧浮上分離を採用した場合、前記測定手段にて測定した懸濁物質の濃度に応じて、前記浮上分離手段において加圧浮上分離を行う際の加圧量を調整する手段と、を更に具備することが好ましい。
【００１８】
このような構成においては、加圧浮上処理後の排液の懸濁物質を測定し、懸濁物質が多い場合は汚泥の見かけ比重を小さくする方法の１つとして、加圧水量を増やし気固比を上げることにより汚泥の見かけ比重を下げ、浮上分離性能を上げて懸濁物質の濃度を下げることが可能となる。
【００１９】
本発明の装置において、前記浮上分離手段で浮上分離後に処理水として排出される排液の懸濁物質の濃度を測定する測定手段と、前記測定手段にて測定した懸濁物質の濃度に応じて前記混合手段における樹脂の混合量を調整する手段と、を更に具備することが好ましい。  
このような構成においては、加圧浮上処理後の排液の懸濁物質を測定し、懸濁物質が多い場合は汚泥の見かけ比重を小さくする方法の１つとして、比重の小さい樹脂の注入量を増やし汚泥の見かけ比重を下げ、浮上分離性能を上げて懸濁物質の濃度を下げることが可能となる。
【００２０】
本発明の装置において、前記浮上分離手段で浮上分離後に処理水として排出される排液の懸濁物質の濃度を測定する測定手段と、前記測定手段にて測定した懸濁物質の濃度に応じて、前記混合手段における廃液に対しその廃液に溶解してその廃液の比重を上げることが可能な物質を添加する添加物供給手段と、を更に具備することが好ましい。  
このような構成においては、加圧浮上処理後の排液の懸濁物質を測定し、懸濁物質が多い場合は汚泥の見かけ比重を小さくする方法の１つとして、廃液に溶解してその廃液の比重を上げることが可能な物質を添加することにより、相対的に汚泥の見かけ比重を下げ、浮上分離性能を上げて懸濁物質の濃度を下げることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
発明の実施の形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、例えば半導体装置や液晶装置を製造する工場の廃液を被処理水（原水）として使用した場合の排液処理について説明する。    
［第１の実施形態］
図１は本発明の第１の実施形態の排液処理装置を示すフロー図である。  
図１において、排液処理装置１０は、混合手段である混合槽１と、不溶化手段であるｐＨ調整槽２と、浮上分離手段である浮上分離槽３と、加圧水の加圧量制御が可能な加圧ポンプ４と、懸濁計５とを備えている。
【００２２】
（１）混合工程（第１の工程）
混合槽１は、工場の廃液に、廃現像液を混合する機能を有する。混合槽１には槽に収容可能な廃液の全部にその廃液に対して必要な量の廃現像液を一度に或いは徐々に添加して混合する。  
工場の廃液は、半導体装置や液晶装置の製造における基板（ウエハ）処理プロセスでの金属物質や各種材料の滓が溶け込んだ廃水である。例えば、液晶装置の製造においては、金属膜をエッチングして、電極、配線、反射膜などをパターニングする工程で排出される。
【００２３】
また、廃現像液としては、半導体装置や液晶装置の製造におけるフォトリソグラフィ（写真蝕刻）工程で基板（ウエハ）にフォトレジスト（感光性樹脂）を塗布してレジスト膜を形成した後、さらにフォトマスクを通して回路パターンを露光し、その露光部のレジスト膜を弱いアルカリの溶剤で溶かし、未露光部のレジストパターンを残す（現像と呼ばれる）際に得られる廃液が使用される。なお、その後の強いアルカリにてレジスト剥離を行った際に得られる廃液は使用しない。
【００２４】
従って、廃現像液には、水よりも見かけの比重が小さい樹脂が溶けている。この樹脂は、具体的にはアクリル樹脂又はノボラック樹脂である。従って、廃現像液は樹脂を添加する代替手段とて使用されており、廃現像液を工場廃液に混合することは、見かけの比重を下げる樹脂を廃液に添加することと等価である。ここで、金属物質の入った工場廃液中における前記樹脂の濃度は、０．００１％以上、１％以下とされる。つまり、樹脂の濃度は１％を限界とし、これ以上にすると後段のｐＨ調整槽２において、凝集不足によって処理液に白濁が生じることが実験的に確認されている。
【００２５】
（２）不溶化工程（第２の工程）
ｐＨ調整槽２は、前段の混合槽１で混合した廃液中にある廃現像液の樹脂を析出させる一方、工場廃液中の金属物質を不溶化する機能を有する。  
すなわち、廃現像液には現像処理によって樹脂が溶け込んでいる。ｐＨ調整槽２では、前段の混合槽１で混合した廃液に対して、ｐＨを一度下げて、再び上げる処理を行い、比重の小さい樹脂を析出させる。ｐＨを下げるには、例えば硫酸を使用し、ｐＨを上げるには、例えば石灰乳や水酸化ナトリウムを使用する。樹脂を析出させるためには、具体的には、ｐＨを一度６．５以下に下げ、再び７以上に上げる。これにより、比重の小さい樹脂が廃液中に析出されるので、後段の浮上分離槽３において、汚泥を浮き易くすることが可能となる。
【００２６】
一方、工場廃液中の金属物質は、上記のｐＨ調整処理でｐＨを上げたとき、例えば鉄（Ｆｅ），アルミニウム（Ａｌ），銅（Ｃｕ）はそれぞれ水酸化鉄，水酸化アルミニウム，水酸化銅になる。これらの金属水酸化物は、アルカリ性であると水に溶けない。つまり、ｐＨを上げて７以上にすると、前記金属水酸化物が不溶化して廃水から析出させることができる。この金属水酸化物を固めて後段の浮上分離槽３で浮上分離させるわけであるが、このとき前述の水より比重の小さい樹脂が金属水酸化物の浮上を助ける役割を果たすことになる。
【００２７】
なお、ｐＨ調整槽２では、金属水酸化物の帯電（主にプラス帯電）をなくし凝集を促進するために、無機の凝集剤として例えば塩化第１／第２鉄，硫酸第１／第２鉄又はポリ塩化アルミニウムを添加すれば、金属水酸化物が凝集し易くなり、後段の浮上分離をより効率化することができる。なお、凝集剤としては、有機の高分子凝集剤を用いてもよい。
【００２８】
（３）浮上分離工程（第３の工程）
浮上分離槽３は、前段のｐＨ調整槽２で不溶化した物質を浮上分離する機能を有する。  浮上分離槽３では、加圧ポンプ４を用いて槽の底面から加圧水を注入することによって、槽の底面から気泡を出す。水道水などの市水を加圧ポンプ４を通して加圧して、浮上分離槽３の底面側から注入することで、槽内で圧力が開放され、加圧水に含まれる空気が細かい気泡となって浮上する。これによって、気泡の周りに汚泥が付いて浮いてくる。つまり、水酸化鉄，水酸化アルミニウム，水酸化銅などの金属水酸化物の周りに空気がついて見かけの比重が下がって浮き上がる。このとき、金属水酸化物は集まってより大きなフロックになる。
【００２９】
加圧ポンプ４は、加圧量が調整可能となっており、その加圧量については、加圧量を多くすると気泡が多くなり、少なくすると気泡が少なくなる。  
また、前述の析出した樹脂の役割は、空気が付いてもフロックが重くて浮いてこない場合があり、そのような場合でも樹脂があるとその周りに金属水酸化物など各種の物質が付きかつ気泡も付き易くなって、巧く浮上するようになり、浮上不足を改善する。  
浮上分離槽３の上部に浮上した物質は槽から取り除いて、脱水した後、廃棄処理（図示せず）する。浮上分離槽３の中間位置から取り出した処理水は下水へ流すことになるが、環境基準を下回る安全な処理水として排出する必要がある。そこで、浮上分離槽３の後段には、浮上分離槽３で加圧浮上分離後の排液の懸濁物質の濃度（又は濁度）を測定する測定手段として懸濁計５が配設されている。濃度（又は濁度）は単位容積（１Ｌ）当たりの水に含まれるＳＳの質量（ｍｇ）の大小で表され、例えば投射光に対して直角方向に散乱された光量の大小を光電検出器などで測定して求められる。
【００３０】
懸濁計５は、加圧浮上処理後の排液の懸濁物質の濃度又は濁度を測定する。操作者は、懸濁計５を参照することにより、懸濁物質の濃度（濁度）に応じて、加圧ポンプ４の加圧量を調整したり、前記混合槽１における廃現像液（樹脂を含む）の混合量を調整したり、或いは前記混合槽１において、廃液に溶解してその廃液の比重を上げることが可能な物質を添加する（例えば塩類を溶解させる）ことにより、懸濁物質が多い場合は汚泥の見かけ比重を小さくして、工場廃液に含まれる金属物質の浮上分離性能を高めることが可能である。
【００３１】
なお、混合槽１，ｐＨ調整槽２，浮上分離槽３の順に排液を移動させるには、各槽間に送液ポンプを配置して行ってもよいし、或いは、混合槽１，ｐＨ調整槽２，浮上分離槽３の順に各槽の配置高さを順次低くすることで、落差を利用して排液を移動させるようにしてもよい。  
本第１の実施形態によれば、工場廃液のような金属物質の入った廃液に、見かけ比重の小さい樹脂を混合した後、ｐＨ調整などを行って混合廃液中の金属物質を不溶化し、その後に加圧水を注入するなどして不溶化した物質を浮上分離する。その際、排液中に存在する比重の小さい樹脂によって不溶化物質の浮上を助けて、汚泥の浮上分離を効率的に行うことが可能となる。
【００３２】
［第２の実施形態］
図２は本発明の第２の実施形態の排液処理装置を示すフロー図である。  
図２において、排液処理装置１０Ａは、混合手段である混合槽１と、不溶化手段であるｐＨ調整槽２と、浮上分離手段である浮上分離槽３と、懸濁計５と、懸濁計５の測定結果に応じて加圧量が自動的に調整される加圧ポンプ４と、を備えている。  
図２の第２の実施形態で、図１の第１の実施形態と異なる点は、浮上分離槽３で浮上分離した後に排出される排液中に含まれる懸濁物質の濃度又は濁度（即ち懸濁計５の測定結果）に応じて、加圧水を供給する加圧ポンプ４の加圧量が自動的に制御される点である。その他の構成は、図１と同様である。
【００３３】
図２おいては、浮上分離槽３にて加圧浮上処理を行い、加圧浮上処理後の排液の懸濁物質の濃度（濁度）を測定し、懸濁物質が多い場合は汚泥の見かけ比重を小さくする方法の１つとして、加圧水量を増やし気固比を上げることにより、汚泥の見かけ比重を下げる方法を採っている。換言すれば、懸濁物質が多い場合は、浮上分離槽３に接続する加圧ポンプ４の加圧水量を増やし気固比を上げることによって、気泡発生を多くして汚泥の見かけ比重を小さくし、工場廃液に含まれる金属物質の浮上分離性能を高めて、効率的な排液処理を行うことができる。
【００３４】
本第２の実施形態によれば、工場廃液（被処理水）に廃現像液を加えて樹脂を析出させることにより、浮上分離を効率化することができるが、この場合、廃現像液を多量に人れると、浮上しやすいが逆に処理水に懸濁物質が出ることも実験的に判明しているので、その懸濁物質の濃度（濁度）を懸濁計５にて測定し、その測定値に応じて加圧水量を自動的に調整して、懸濁物質の濃度（濁度）を最も少ない状態で安定且つ効率的（省エネ）に運転させることが可能となる。
【００３５】
［第３の実施形態］
図３は本発明の第３の実施形態の排液処理装置を示すフロー図である。  
図３において、排液処理装置１０Ｂは、混合手段である混合槽１と、不溶化手段であるｐＨ調整槽２と、浮上分離手段である浮上分離槽３と、加圧ポンプ４と、懸濁計５と、懸濁計５の測定結果に応じて、混合槽１で工場廃液に対して廃現像液を混合する際の混合量が自動的に調整可能な調整器などで構成される混合量調整器６と、を備えている。  
図３の第３の実施形態で、図１の第１の実施形態と異なる点は、浮上分離槽３で浮上分離した後に排出される排液中に含まれる懸濁物質の濃度（即ち懸濁計５の測定結果）に応じて、混合槽１で工場廃液に対して廃現像液を混合する際の廃現像液の注入量が混合量調整器６で自動的に制御される点である。その他の構成は、図１と同様である。
【００３６】
図３においては、浮上分離槽３にて加圧浮上処理を行い、加圧浮上処理後の排液の懸濁物質の濃度（濁度）を測定し、懸濁物質が多い場合は汚泥の見かけ比重を小さくする方法の１つとして、比重の小さい樹脂の注入量を増やすことにより、汚泥の見かけ比重を下げる方法を採っている。換言すれば、懸濁物質が多い場合は、混合槽１に接続する混合量調整器６による廃現像液の注入量を増やすことによって、汚泥の見かけの比重を下げ、工場廃液に含まれる金属物質の浮上分離性能を高めて、効率的な排液処理を行うことができる。
【００３７】
本第３の実施形態によれば、工場廃液（被処理水）に廃現像液を加えて樹脂を析出させることにより、浮上分離を効率化することができるが、この場合、廃現像液を多量に人れると、浮上しやすいが逆に処理水に懸濁物質が出ることも実験的に判明しているので、その懸濁物質の濃度（濁度）を懸濁計５にて測定し、その測定値に応じて廃現像液の混合量を自動的に調整して、懸濁物質の濃度（濁度）を最も少ない状態で安定且つ効率的（省エネ）に運転させることが可能となる。
【００３８】
［第４の実施形態］
図４は本発明の第４の実施形態の排液処理装置を示すフロー図である。  
図４において、排液処理装置１０Ｃは、混合手段である混合槽１と、不溶化手段であるｐＨ調整槽２と、浮上分離手段である浮上分離槽３と、加圧ポンプ４と、懸濁計５と、の測定結果に応じて、混合槽１における廃液に溶解してその廃液の比重を上げることが可能な物質を添加する添加物供給手段７とを備えている。ここで、添加物供給手段７で廃液に添加する物質はＮａＣｌなどの塩類である。  
図４の第４の実施形態で、図１の第１の実施形態と異なる点は、浮上分離槽３で浮上分離した後に排出される排液中に含まれる懸濁物質の濃度（即ち懸濁計５の測定結果）に応じて、混合槽１で廃液に溶解してその廃液の比重を上げることが可能な物質（例えば塩類）の供給が添加物供給手段７で自動的に制御される点である。その他の構成は、図１と同様である。
【００３９】
図４においては、浮上分離槽３にて加圧浮上処理を行い、加圧浮上処理後の排液の懸濁物質の濃度（濁度）を測定し、懸濁物質が多い場合は汚泥の見かけ比重を小さくする方法の１つとして、廃液に溶解してその廃液の比重を上げることが可能な物質（塩類）を添加することにより、廃液中における汚泥物質の見かけ比重を相対的に小さくする方法を採っている。換言すれば、懸濁物質が多い場合は、混合槽１に接続した添加物供給手段７によって添加物の注入量を増やし、これによって廃液の見かけの比重を上げることで、工場廃液に含まれる金属物質の見かけ比重を相対的に小さくでき、浮上分離性能を高めて、効率的な排液処理を行うことができる。
【００４０】
本第４の実施形態によれば、工場廃液（被処理水）に廃現像液を加えて樹脂を析出させることにより、浮上分離を効率化することができるが、この場合、廃現像液を多量に人れると、浮上しやすいが逆に処理水に懸濁物質が出ることも実験的に判明しているので、その懸濁物質の濃度（濁度）を懸濁計５にて測定し、その測定値に応じて廃液の比重を上げる添加物の注入量を自動的に設定して、懸濁物質の濃度（濁度）を最も少ない状態で安定且つ効率的（省エネ）に運転させることが可能となる。
【００４１】
［第５の実施形態］
図５は本発明の第５の実施形態の排液処理装置を示すフロー図である。  
図５において、排液処理装置１０Ｄは、混合手段である混合槽１と、不溶化手段であるｐＨ調整槽２と、浮上分離手段である浮上分離槽３と、加圧ポンプ４と、懸濁計５と、混合量調整器６とを備えている。  
図５の第５の実施形態では、図２の第２の実施形態による加圧量制御と、図３の第３の実施形態による混合量制御とを備えた構成とし、被処理水である工場廃液の種類によって、第２，第３の実施形態のどちらか一方又は両方の浮上分離促進機能を使用できるようにしたものである。加圧ポンプ４による加圧量制御又は混合量調整器６による混合量制御については図２，図３で説明したので、説明を省略する。図５の構成に加えて、さらに、図４の第４の実施形態による添加物供給制御を備えた構成とすることも可能であることは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明の排液処理方法及び装置は、金属物質の入った廃液から、浮上分離法を用いて金属物質を取り除き、懸濁物質を殆ど含まない処理水を得る方法及び装置として広く応用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の第１の実施形態の排液処理装置を示すフロー図。
【図２】本発明の第２の実施形態の排液処理装置を示すフロー図。
【図３】本発明の第３の実施形態の排液処理装置を示すフロー図。
【図４】本発明の第４の実施形態の排液処理装置を示すフロー図。
【図５】本発明の第５の実施形態の排液処理装置を示すフロー図。
【符号の説明】
【００４４】
１…混合槽（混合手段）、２…ｐＨ調整槽（不溶化手段）、３…浮上分離槽（浮上分離手段）、４…加圧ポンプ、５…懸濁計（測定手段）、６…混合量調整器、７…添加物供給手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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