(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
入口流路及び出口流路を備えたバルブボディと、前記バルブボディとボンネットとの間に挟持固定されたダイヤフラムと、前記ダイヤフラムを上下動させる操作機構とからなる流体制御器であって、
前記入口流路及び前記出口流路は突起の無い連絡通路を介して連通され、前記ダイヤフラムは下降時においては前記連絡通路に密接して流路を閉鎖し、上昇時においては中央部が窪んで外縁部近傍が隆起するように構成され、
前記ボンネットにはダイヤフラム挟持部の内方下面において前記隆起部の外方上面が密接する湾曲面が形成されてなり、
前記バルブボディには上面から前記入口流路に向けて穿設された入口流路側穴と前記出口流路に向けて穿設された出口流路側穴が設けられてなるとともに、前記入口流路側穴の流路軸と直交する方向の底面は前記入口流路の底面に向けて下向きに傾斜し且つ前記出口流路側穴の流路軸と直交する方向の底面は前記出口流路の底面に向けて下向きに傾斜してなり、前記入口流路側穴の直下における底面に至るまでの側面部は前記入口流路の底面に対して略垂直で且つ前記出口流路側穴の直下における底面に至るまでの側面部は前記出口流路の底面に対して略垂直となっており、
前記ダイヤフラムは下側ダイヤフラムと上側ダイヤフラムの二層構造とされ、前記下側ダイヤフラムの外縁部近傍には外環突条と内環突条とからなる円環状突条が形成され、前記外環突条は上下方向に突出してなる
ことを特徴とする流体制御器。
【請求項２】
前記入口流路及び前記出口流路が、同一軸線上に配置されてなることを特徴とする請求項１記載の流体制御器。
【請求項３】
前記入口流路及び前記出口流路が、前記バルブボディを貫通する貫通流路と、前記貫通流路から分岐された分岐流路とからなるＴ字状流路であって、前記貫通流路の底面が前記連絡通路の底面と面一とされてなることを特徴とする請求項１記載の流体制御器。
【請求項４】
前記入口流路及び前記出口流路が、前記バルブボディを貫通する貫通流路と、前記貫通流路から分岐された分岐流路とからなるＴ字状流路であって、前記貫通流路はその中心軸線が前記連絡通路の底面よりも下方に位置されるとともに、前記貫通流路から前記連絡通路に至る連絡面が前記貫通流路を水平にし前記分岐流路を下向きにしたときに水平もしくは下向きに傾斜してなることを特徴とする請求項１記載の流体制御器。
【請求項５】
前記貫通流路の径が前記分岐流路の径よりも大とされてなることを特徴とする請求項４記載の流体制御器。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は流体制御器に係り、その目的は加工性に優れており分岐配管も容易であって、しかも傾いた状態で配管した場合でも流路内に溜まりが発生しにくい流体制御器を提供することにある。
背景技術
従来より使用されている流体制御器としては、例えば第２３図に示す構造のものが挙げられる。
第２３図の流体制御器は、入口流路Ａと出口流路Ｂを備えたバルブボディＣと、ダイヤフラムＤと、このダイヤフラムの周縁部を挟持固定するボンネットＥと、ダイヤフラムＤを上下動させる操作機構Ｇとからなり、操作機構Ｇを操作して、ダイヤフラムＤを弁座Ｆに対して当接離反させることにより、入口流路Ａと出口流路Ｂを閉鎖状態若しくは連通状態とするように構成されている。
しかしながら、第２３図に示されたような従来の流体制御器では、入口流路Ａと出口流路Ｂとの間に弁座Ｆが突起して設けられており、入口流路Ａと出口流路Ｂが屈曲してバルブボディＣの上面に開口しているため、流路を加工する際には、横穴、即ち入口流路Ａ及び出口流路Ｂと、バルブボディＣの中心加工を精度良く合わせる必要があり、非常に加工性が悪かった。
また、流路が弁座Ｆの部分において屈曲されているために配管内部に流体の溜まりが発生し易いという問題もあった。
更には、このような弁座Ｆを備えた分岐型の流体制御器を配管に使用する場合、溜まりの発生を防止するために斜め方向にボディを傾けなければならないために配管全体の設置スペースが大きくなり、しかも操作機構が傾くために操作性やメンテナンス性が悪いという問題があった。
配管内への流体の溜まりを防止すべく創出された技術としては、例えば日本特開平１−３２０３７８号に開示の技術が存在している。
この日本特開平１−３２０３７８号の開示技術は、入口流路と出口流路を同一軸線上に配置するとともに、これら入口流路と出口流路を突起のない連絡流路で連結し、この連絡流路の下内面に対してダイヤフラムを当接離反させるように構成されているものである。
この開示技術は、同一軸線上に配置した入口流路と出口流路が突起のない連絡流路で連結されているので、従来の流体制御器に比べて流路の加工性が良く、しかも流路の屈曲が無いので配管内部における流体の溜まりが発生しにくいという点で優れたものであったが、ダイヤフラムの中心と連絡流路の幅方向中心を一致させるための位置合わせを精度良く行わないと確実に流路を閉鎖することができず、精密な位置合わせ作業が必要であった。
一方、パイプラインシステム等の配管には、流体をサンプリングするために、主通路とこの主通路と直交する分岐通路を有する平面視Ｔ字状の流体制御器が配管に接続されて使用されることが多い。
しかしながら、従来の分岐通路を有する流体制御器では、分岐通路からシール座に至る連絡面に段差が存在するため、分岐通路を略水平に、主通路を下方に向けて使用した場合にはこの段差部分に溜まりが発生してしまい、雑菌の繁殖等の原因となり好ましくなかった。
このような課題を解決するために創出された技術としては、日本特許第２５９１８７６号（ＰＣＴ／ＧＢ９１／０１０２５）に開示の技術が存在している。
この日本特許第２５９１８７６号（ＰＣＴ／ＧＢ９１／０１０２５）の開示技術は、平面視Ｔ字状の流体制御器において、分岐通路を略水平にし主通路を下方に向けた時に、分岐通路からシール座に至る連絡面が水平又は主通路側に傾斜するように構成したものである。
この開示技術によれば、従来存在していた段差が無くなったことによって段差による溜まりの発生が防止されるものの、加工性が非常に悪く実際上は段差を完全に無くすことは困難であった。
そこで、本願出願人は先にＰＣＴ／ＪＰ９９／０４５４４において、流路内に溜まりが発生しにくく且つ加工性に優れた流体制御器を提案している。
第２４図は本願出願人が提案した流体制御器の断面図であり、第２５図はこの流体制御器のバルブボディの平面図であり、第２６図は第２５図のＡ−Ａ線断面図である。
この流体制御器は、入口流路と出口流路が突起の無い連絡通路を介して連通されているために流路内に溜まりが発生しにくく、しかも入口及び出口流路の加工とバルブボディの中心加工を独立して行うことが可能であるため加工性にも優れていた。
しかも、ダイヤフラム上昇時において、ダイヤフラム隆起部の外方上面がボンネットのダイヤフラム挟持部の内方下面において形成された湾曲面に密接するように構成されているため、製造時においてバルブボディとボンネットの位置合わせを極めて容易且つ短時間で行うことが可能であり、組み立てにズレが生じにくいという特長も備えていた。
ところが、この本願出願人の提案に係る流体制御器には、傾いて配管された場合に第２７図に示すように流路内に液体の溜まりＴが発生してしまうという問題があった。
本発明は上記課題を解決するためになされたものであって、配管時に流体制御器が傾いた場合でも流路内の溜まりを最小限に抑えることができ、しかも優れた加工性を備えた流体制御器を提供せんとするものである。
発明の開示
請求項１記載の発明は、入口流路及び出口流路を備えたバルブボディと、前記バルブボディとボンネットとの間に挟持固定されたダイヤフラムと、前記ダイヤフラムを上下動させる操作機構とからなる流体制御器であって、前記入口流路及び前記出口流路は突起の無い連絡通路を介して連通され、前記ダイヤフラムは下降時においては前記連絡通路に密接して流路を閉鎖し、上昇時においては中央部が窪んで外縁部近傍が隆起するように構成され、前記ボンネットにはダイヤフラム挟持部の内方下面において前記隆起部の外方上面が密接する湾曲面が形成されてなり、前記バルブボディには上面から前記入口流路に向けて穿設された入口流路側穴と前記出口流路に向けて穿設された出口流路側穴が設けられてなるとともに、前記入口流路側穴の流路軸と直交する方向の底面は前記入口流路の底面に向けて下向きに傾斜し且つ前記出口流路側穴の流路軸と直交する方向の底面は前記出口流路の底面に向けて下向きに傾斜してなり、前記入口流路側穴の直下における底面に至るまでの側面部は前記入口流路の底面に対して略垂直で且つ前記出口流路側穴の直下における底面に至るまでの側面部は前記出口流路の底面に対して略垂直となっており、前記ダイヤフラムは下側ダイヤフラムと上側ダイヤフラムの二層構造とされ、前記下側ダイヤフラムの外縁部近傍には外環突条と内環突条とからなる円環状突条が形成され、前記外環突条は上下方向に突出してなることを特徴とする流体制御器に関する。
請求項２記載の発明は、前記入口流路及び前記出口流路が、同一軸線上に配置されてなることを特徴とする請求項１記載の流体制御器に関する。
請求項３記載の発明は、前記入口流路及び前記出口流路が、前記バルブボディを貫通する貫通流路と、前記貫通流路から分岐された分岐流路とからなるＴ字状流路であって、前記貫通流路の底面が前記連絡通路の底面と面一とされてなることを特徴とする請求項１記載の流体制器に関する。
請求項４記載の発明は、前記入口流路及び前記出口流路が、前記バルブボディを貫通する貫通流路と、前記貫通流路から分岐された分岐流路とからなるＴ字状流路であって、前記貫通流路はその中心軸線が前記連絡通路の底面よりも下方に位置されるとともに、前記貫通流路から前記連絡通路に至る連絡面が前記貫通流路を水平にし前記分岐流路を下向きにしたときに水平もしくは下向きに傾斜してなることを特徴とする請求項１記載の流体制御器に関する。
請求項５記載の発明は、前記貫通流路の径が前記分岐流路の径よりも大とされてなることを特徴とする請求項４記載の流体制御器に関する。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明に係る流体制御器の好適な実施形態について図面に基づいて説明する。
第１図は本発明に係る流体制御器の第１実施例を示す断面図であり、第２図はその側面図である。
第１実施例に係る流体制御器１は、入口流路２と出口流路３を備えたバルブボディ４と、該バルブボディ４の上面とボンネット５の下面との間に挟持固定されたダイヤフラム６と、このダイヤフラム６を上下動させる操作機構７とから構成されている。
入口流路２と出口流路３は図示の如く同一軸線上に配置されており、且つ入口流路２と出口流路３は突起の無い連絡通路８を介して連通されている。
第１実施例に係る流体制御器１では、このように入口流路２と出口流路３が突起の無い連絡通路８を介して連通されていることによって、流路内に溜まりが発生することがない。
第３図は第一実施形態に係る流体制御器１のバルブボディ４を示す平面図であり、第４図は第３図のＡ−Ａ線断面図、第５図は第３図のＢ−Ｂ線断面図、第６図は第３図のＣ−Ｃ線断面図、第７図は第３図のＤ−Ｄ線断面図である。
バルブボディ４は、入口流路２と出口流路３が同一軸線上に配置されており、入口流路２と出口流路３が突起の無い連絡通路８を介して連通されている。
そして、バルブボディ４の上面から入口流路２に向けて入口流路側穴９１が穿設され、同じくバルブボディ４の上面から出口流路３に向けて出口流路側穴９２が穿設されている。
このバルブボディ４は、横穴、即ち入口流路２及び出口流路３の加工と、バルブボディ４の中心加工を独立して行うことが可能であるため、非常に加工性に優れるとともに分岐配管も容易に行うことができる。
本発明に係る流体制御器の最大の特徴は、第６図及び第７図に示す如く、入口流路側穴９１の流路軸（入口流路２の中心軸）と直交する方向の底面９１ａが入口流路２の底面２ａに向けて下向きに傾斜し、出口流路側穴９２の流路軸（出口流路３の中心軸）と直交する方向の底面９２ａが出口流路３の底面３ａに向けて下向きに傾斜している点にある。
そして、これら入口流路側穴９１と出口流路側穴９２の底面９１ａ，９２ａは、傾斜の最下部において入口流路２と出口流路３の底面２ａ，３ａと面一となっており、また入口流路側穴９１と出口流路側穴９２の底面９１ａ，９２ａに至るまでの側面部は入口流路２と出口流路３の底面２ａ，３ａに対して略垂直となっている。
本発明に係る流体制御器はこの構成により、配管時に流体制御器が多少傾いたとしても流路内の液体は傾斜した底面９１ａ又は９２ａに沿って流下し入口流路２又は出口流路３へと達することができ、従って流路内における溜まりの発生を防止することができる。
本発明において、底面９１ａ及び底面９２ａの傾斜角度（バルブボディ上面を水平に配置したときの水平面に対する傾斜角度）は特に限定されるものではないが、好ましくは２０〜５０度の範囲とされる。これは傾斜角度が小さすぎると流体制御器の傾きが少し大きくなっただけで流路内に溜まりが発生してしまい効果に乏しくなり、好ましくないからである。尚、この好ましい傾斜角度の値は後述する実施例における底面９３ａ及び底面９４ａについても同様である。
第８図は本発明に係る流体制御器１を分岐弁として使用した場合を示す図である。尚、図示例ではバルブボディ４のみを示している。
本発明に係る流体制御器１では、入口流路２と出口流路３が同一軸線上に配置されており、且つ入口流路２と出口流路３が突起の無い連絡通路８を介して連通されているので、図示の如く、入口流路側穴９１又は出口流路側穴９２をそのまま下向きに貫通させることによってボディを傾けることなく垂直配管が可能であり、また入口流路側穴９１又は出口流路側穴９２をそのまま水平方向に貫通させることによってボディを傾けることなく水平配管が可能となり、分岐配管における溶接作業性や、アクチュエータの操作性、メンテナンス性に優れたものとなる。
しかも、入口流路側穴９１の底面９１ａ及び出口流路側穴９２の底面９２ａが、入口流路２及び出口流路３の底面２ａ，３ａに向けて下向きに傾斜しているために、このような水平または垂直の分岐配管をした場合において、水平に配置すべきバルブボディ４が多少傾いたとしても、流路内に発生する溜まりを最小限に抑えることができる。
第９図は本発明に係る流体制御器の第２実施例を示す断面図、第１０図は第２実施例に係る流体制御器のバルブボディの平面図、第１１図は第１０図のＡ−Ａ線断面図、第１２図は第１０図のＢ−Ｂ線断面図である。
第２実施例に係る流体制御器１は、流体の入口及び出口となる流路を備えたバルブボディ４と、該バルブボディ４の上面とボンネット５の下面との間に挟持固定されたダイヤフラム６と、このダイヤフラム６を上下動させる操作機構７とから構成されている。
第２実施例に係る流体制御器１が第１実施例のものと異なる点は、バルブボディ４に備えられた入口流路及び出口流路が、バルブボディ４を貫通する貫通流路１２と、この貫通流路１２から分岐された分岐流路１３とからなるＴ字状流路とされている点である。
そして、貫通流路１２と分岐流路１３とは突起の無い連絡通路８を介して連通されており、これによって流路内の溜まりの発生を防止している。
また、貫通流路１２と分岐流路１３の内径は同径とされており、貫通流路１２の底面は第９図に示す如く連絡通路８の底面と面一とされている。そして、貫通流路１２はその分岐流路１３側の内面が、バルブボディ４の中心よりも分岐流路１３の反対方向に少しずれた位置となるように設けられている。
尚、図中の符号９３はバルブボディ４の上面から貫通流路１２に至る穴（出口流路側穴と称す）であり、符号９４はバルブボディ４の上面から分岐流路１３に至る穴（入口流路側穴と称す）である。
第２実施例に係る流体制御器１では、貫通流路１２及び分岐流路１３の加工と、バルブボディ４の中心加工を独立して行うことが可能であるため、非常に加工性に優れている。
また、この第２実施例に係る流体制御器では、第１２図に示す如く、入口流路側穴９４の流路軸（分岐流路１３の中心軸）と直交する方向の底面９４ａが、分岐流路１３の底面１３ａに向けて下向きに傾斜している。
そして、この入口流路側穴９４の底面９４ａは、傾斜の最下部において分岐流路１３の底面１３ａと面一となっており、また入口流路側穴９４の底面９４ａに至るまでの側面部は分岐流路１３の底面１３ａに対して略垂直となっている。
従って、配管時に流体制御器が多少傾いたとしても流路内の液体は傾斜した底面９４ａに沿って流下し分岐流路１３へと達することができ、流路内に溜まりが発生しにくい。
第１３図は本発明に係る流体制御器の第３実施例を示す断面図、第１４図は第３実施例に係る流体制御器のバルブボディの平面図、第１５図は第１４図のＡ−Ａ線断面図である。
第３実施例に係る流体制御器１は、流体の入口及び出口となる流路を備えたバルブボディ４と、該バルブボディ４の上面とボンネット５の下面との間に挟持固定されたダイヤフラム６と、このダイヤフラム６を上下動させる操作機構７とから構成されている。
第３実施例に係る流体制御器１も第２実施例のものと同様に、バルブボディ４に備えられた入口流路及び出口流路が、バルブボディ４を貫通する貫通流路１２と、この貫通流路１２から分岐された分岐流路１３とからなるＴ字状流路とされており、貫通流路１２と分岐流路１３とは突起の無い連絡通路８を介して連通されている。
そして、貫通流路１２はその分岐流路１３側の内面が、バルブボディ４の中心よりも分岐流路１３の反対方向に少しずれた位置となるように設けられている。
第３実施例に係る流体制御器１が第２実施例のものと異なる点は、貫通流路１２の径が分岐流路１３の径の約２倍の大きさとされ、貫通流路１２はその中心軸線が、連絡通路８の底面よりも下方に位置されている点にある。
そして、貫通流路１２から連絡通路８に至る連絡面１４は、貫通流路１２を水平にし分岐流路１３を下向きにしたときに、水平もしくは下向きに傾斜するように形成されている。
そのため、貫通流路１２と分岐流路１３とが突起の無い連絡通路８を介して連通されている構成と相まって、貫通流路１２を水平にし分岐流路１３を下向きにしたときに、流路内への溜まりの発生を完全に防止することができる。
尚、図中の符号９３はバルブボディ４の上面から貫通流路１２に至る穴（出口流路側穴と称す）であり、符号９４はバルブボディ４の上面から分岐流路１３に至る穴（入口流路側穴と称す）である。
第３実施例に係る流体制御器１でも、貫通流路１２及び分岐流路１３の加工と、バルブボディ４の中心加工を独立して行うことが可能であるため、非常に加工性に優れている。
また第３実施例に係る流体制御器でも、第１５図に示す如く、入口流路側穴９４の流路軸（分岐流路１３の中心軸）と直交する方向の底面９４ａが、分岐流路１３の底面１３ａに向けて下向きに傾斜している。
そして、この入口流路側穴９４の底面９４ａは、傾斜の最下部において分岐流路１３の底面１３ａと面一となっており、また入口流路側穴９４の底面９４ａに至るまでの側面部は分岐流路１３の底面１３ａに対して略垂直となっている。
従って、配管時に流体制御器が多少傾いたとしても流路内の液体は傾斜した底面９４ａに沿って流下し分岐流路１３へと達することができ、流路内に溜まりが発生しにくい。
第１６図は本発明に係る流体制御器の第４実施例を示す断面図、第１７図は第４実施例に係る流体制御器のバルブボディの平面図、第１８図は第１７図のＡ−Ａ線断面図である。
第４実施例に係る流体制御器１は、流体の入口及び出口となる流路を備えたバルブボディ４と、該バルブボディ４の上面とボンネット５の下面との間に挟持固定されたダイヤフラム６と、このダイヤフラム６を上下動させる操作機構７とから構成されている。
第４実施例に係る流体制御器１も第２実施例のものと同様に、バルブボディ４に備えられた入口流路及び出口流路が、バルブボディ４を貫通する貫通流路１２と、この貫通流路１２から分岐された分岐流路１３とからなるＴ字状流路とされており、貫通流路１２と分岐流路１３とは突起の無い連絡通路８を介して連通されている。
そして、貫通流路１２はその分岐流路１３側の内面が、バルブボディ４の中心よりも分岐流路１３の反対方向に少しずれた位置となるように設けられている。
第４実施例に係る流体制御器１が第２実施例のものと異なる点は、貫通流路１２の径が分岐流路１３の径の約４〜５倍の大きさとされ、貫通流路１２はその中心軸線が、連絡通路８の底面よりも下方に位置されている点にある。
そして、貫通流路１２から連絡通路８に至る連絡面１４は、第３実施例と同様に、貫通流路１２を水平にし分岐流路１３を下向きにしたときに、水平もしくは下向きに傾斜するように形成されている。
そのため、この第４実施例に係る流体制御器１でも、貫通流路１２と分岐流路１３とが突起の無い連絡通路８を介して連通されている構成と相まって、貫通流路１２を水平にし分岐流路１３を下向きにしたときに流路内への溜まりの発生を完全に防止することができる。
尚、図中の符号９３はバルブボディ４の上面から貫通流路１２に至る穴（出口流路側穴と称す）であり、符号９４はバルブボディ４の上面から分岐流路１３に至る穴（入口流路側穴と称す）である。
第４実施例に係る流体制御器１でも、貫通流路１２及び分岐流路１３の加工と、バルブボディ４の中心加工を独立して行うことが可能であるため、非常に加工性に優れている。
また第４実施例に係る流体制御器でも、第１８図に示す如く、入口流路側穴９４の流路軸（分岐流路１３の中心軸）と直交する方向の底面９４ａが、分岐流路１３の底面１３ａに向けて下向きに傾斜している。
そして、この入口流路側穴９４の底面９４ａは、傾斜の最下部において分岐流路１３の底面１３ａと面一となっており、また入口流路側穴９４の底面９４ａに至るまでの側面部は分岐流路１３の底面１３ａに対して略垂直となっている。
従って、配管時に流体制御器が多少傾いたとしても流路内の液体は傾斜した底面９４ａに沿って流下し分岐流路１３へと達することができ、流路内に溜まりが発生しにくい。
以上説明した本発明に係る流体制御器１（第１乃至第４実施例）において、ダイヤフラム６は、吊り金具１１の先端が埋設された下側ダイヤフラム６１と、この下側ダイヤフラム６１の上面に密着して設けられた上側ダイヤフラム６２の二層構造とされている。
下側ダイヤフラム６１としてはポリ四沸化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）等からなる合成樹脂膜が好適に使用され、上側ダイヤフラム６２としては天然ゴムや、ニトリルゴム、スチレンゴム、フッ素ゴム（ＦＰＭ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）などの合成ゴムからなるゴム膜が好適に使用される。
第１９図は下側ダイヤフラム６１の底面図であり、第２０図はその縦断面図である。
図示の如く、下側ダイヤフラム６１の外縁部近傍には、外環突条６６と内環突条６４とからなる円環状突条と、内環突条６４を縦断する縦断突条６５が形成されている。
外環突条６６は、第１図等に示すように、下側ダイヤフラム６１をバルブボディ４とボンネット５との間にしっかりと挟持固定させるための役割を果たし、内環突条６４は上側ダイヤフラム６２をボンネット５下面との間でしっかりと挟持固定させるための役割を果たしている。
また、縦断突条６５はダイヤフラム６の下降時において、下側ダイヤフラム６１の下面を連絡通路８に確実に密接させて流路を閉鎖する役割を果たしている。
ダイヤフラム６は、下降時においては第１図に示す如く下側ダイヤフラム６１の下面が連絡通路８に密接して流路を閉鎖する。
また、流路を開放するためにダイヤフラム６を上昇させた際には、第９図、第１３図、第１６図及び第２１図に示す如く中央部が窪んで外縁部近傍が隆起して断面略Ｍ字状となる。このとき、ダイヤフラム隆起部の外方上面６３は、ボンネット５のダイヤフラム挟持部５１の内方（中心軸方向）下面において形成された湾曲面５２に密接する。
このように、ダイヤフラム上昇時において、ダイヤフラム隆起部の外方上面がボンネットのダイヤフラム挟持部の内方下面において形成された湾曲面に密接するように構成したことによって、製造時においてバルブボディ４とボンネット５の位置合わせを極めて容易且つ短時間で行うことが可能となり、しかも組み立てにズレが生じにくい。
尚、本発明に係る流体制御器１においては、ダイヤフラム６を上下動させる操作機構７については特に限定されず、第１図に示すようなコンプレッサーを使用する空圧作動式としてもよいし、第９図や第２２図に示すような手動操作式のものとしてもよく、また他の公知の操作機構を使用することも適宜可能である。
産業上の利用可能性
以上説明したように、本発明に係る流体制御器は、流路内に溜まりが発生することがなく、管内洗浄性に優れているので、微生物の培養装置におけるサンプリング配管や供給液配管などに好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係る流体制御器の第１実施例を示す断面図であり、第２図は第１実施例に係る流体制御器の側面図であり、第３図は第１実施例に係る流体制御器のバルブボディの第一実施形態を示す平面図であり、第４図は第３図のＡ−Ａ線断面図であり、第５図は第３図のＢ−Ｂ線断面図であり、第６図は第３図のＣ−Ｃ線断面図であり、第７図は第３図のＤ−Ｄ線断面図であり、第８図は本発明に係る流体制御器を分岐弁として使用した場合を示す図であり、第９図は本発明に係る流体制御器の第２実施例を示す断面図であり、第１０図は第２実施例に係る流体制御器のバルブボディの平面図であり、第１１図は第１０図のＡ−Ａ線断面図であり、第１２図は第１０図のＢ−Ｂ線断面図であり、第１３図は本発明に係る流体制御器の第３実施例を示す断面図であり、第１４図は第３実施例に係る流体制御器のバルブボディの平面図であり、第１５図は第１４図のＡ−Ａ線断面図であり、第１６図は本発明に係る流体制御器の第４実施例を示す断面図であり、第１７図は第４実施例に係る流体制御器のバルブボディの平面図であり、第１８図は第１７図のＡ−Ａ線断面図であり、第１９図は本発明に係る流体制御器の下側ダイヤフラムの底面図であり、第２０図は下側ダイヤフラムの断面図であり、第２１図は第１実施例の流体制御器においてダイヤフラムを上昇させた状態を示す断面図であり、第２２図は本発明に係る流体制御器の別の実施形態を示す断面図であり、第２３図は従来の流体制御器の一例を示す断面図であり、第２４図は本願出願人が先に創出した流体制御器を示す断面図であり、第２５図は第２４図の流体制御器のバルブボディの平面図であり、第２６図は第２５図のＡ−Ａ線断面図であり、第２７図は本願出願人が先に創出した流体制御器の問題点を説明する図である。
【図１】
0004459500.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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