(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造装置に供給されるウェハが内部に収納され、かつ底面に係合突起を有するウェハ搬送容器を装着するウェハ搬送容器装着装置であって、
前記ウェハ搬送容器が載置される載置部およびクランプ当接部を有するテーブルと、
一端が第１の回動中心となり、他端が第２の回動中心として該テーブルに軸支されたリンクと、
該リンクに設けられ、前記第１の回動中心を前記テーブル側に向けて押圧する押圧部材と、
前記リンクの第１の回動中心を回動中心として軸支されたクランプ本体と、該クランプ本体の一端側に形成され、駆動時に前記係合突起に係合する係合爪部と、前記クランプ本体の他端側に形成されたアクチュエータ連結部とを有するクランプと、
前記テーブルに固定され、前記クランプ当接部に前記クランプが当接するまで、該クランプを第１の回動中心を回動中心として回動駆動させ、クランプがクランプ当接部に当接した後、前記リンクを第２の回動中心を回動中心として回動駆動させるアクチュエータと、を具備した
ことを特徴とするウェハ搬送容器装着装置。
【請求項２】
半導体製造装置に供給されるウェハが内部に収納され、かつ底面に係合突起を有するウェハ搬送容器を装着するウェハ搬送容器装着装置であって、
前記ウェハ搬送容器が載置される載置部を有するテーブルと、
先端が第１の回動中心となり、他端が第２の回動中心として該テーブルに軸支され、クランプ当接部を有するリンクと、
該リンクに設けられ、前記第１の回動中心を前記テーブル側に向けて押圧する押圧部材と、
前記リンクの第１の回動中心を回動中心として軸支されたクランプ本体と、該クランプ本体の一端側に形成され、駆動時に前記係合突起に係合する係合爪部と、前記クランプ本体の他端側に形成されたアクチュエータ連結部とを有するクランプと、
前記テーブルに固定され、前記クランプ当接部に前記クランプが当接するまで、該クランプを第１の回動中心を回動中心として回動駆動させ、クランプがクランプ当接部に当接した後、前記リンクを第２の回動中心を回動中心として回動駆動させるアクチュエータと、を具備した
ことを特徴とするウェハ搬送容器装着装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のウェハ搬送容器装着装置において、
前記クランプの回動を規制する回動規制手段を設けた
ことを特徴とするウェハ搬送容器装着装置。
【請求項４】
請求項３記載のウェハ搬送容器装着装置において、
前記回動規制手段は、前記クランプ本体または前記クランプ当接部のうち少なくともいずれか一方に設けた当接部材と、当該当接部材に当接する相手側部材と、を備えた
ことを特徴とするウェハ搬送容器装着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハ搬送容器内のウェハを半導体製造装置に送る際、ウェハ搬送容器を装着するウェハ搬送容器装着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の製造工程においては、歩留まりを向上させるため、素子欠陥の原因となる塵埃を管理したクリーンルーム内でウェハを処理している。しかし、素子の高集積化および回路の微細化が進んでいる今日、小さな塵を管理するクリーンルームの実現は、技術的或いはコスト的に困難になってきているのが実情である。
【０００３】
このため、クリーンルームのクリーン度向上に代わる方法として、ウェハを取り囲む局所的な空間のみクリーン度を上げて、ウェハの搬送および処理を行う技術的手段が求められている。そして、そのための手段として、内部がクリーンに保たれ、前面が開閉可能なウェハ搬送容器（FOUP：Front Opening Unified Pod）を利用したウェハ搬送装置が提供されている。
このウェハ搬送装置には、ウェハ搬送容器を装着するウェハ搬送容器装着装置が備えられている。ウェハ搬送装置は、ウェハ搬送容器装着装置によりウェハ搬送容器を所定位置に装着した後に、このウェハ搬送容器の前面を開扉して容器内のウェハのみを半導体製造装置側に搬送するものである。
【０００４】
この種のウェハ搬送容器装着装置としては、例えば特開２０００−１６５８３号公報（以下、従来技術という）等が知られている。
【０００５】
この従来技術によるウェハ搬送容器装着装置ついて、図３０に基づいて説明する。
まず、ウェハ搬送容器１について説明する。このウェハ搬送容器１は、その内部に複数のウェハ（図示せず）が収納され、ウェハ搬送容器装着装置１００の載置部１０１ａに装着される。この際、ウェハ搬送容器１は、その前面を半導体製造装置２００のラッチキー２０１側に密着させ、その下面が載置部１０１ａに装着される。ウェハ搬送容器１の底面２には係合凹溝３が形成され、この係合凹溝３の後端から前方へ向けて係合突起４が突出形成されている。
【０００６】
次に、ウェハ搬送容器装着装置１００は、その上面が載置部１０１ａとなり、取付板体１３０に固定されたアクチュエータ１３１によって前後方向に移動可能に支持されたテーブル１０１と、このテーブル１０１の近傍に設けられ、上下方向に移動可能に支持された係合棒１１０とを有している。
このテーブル１０１には、このテーブル１０１が前方へ移動したときに載置部１０１ａに載置されたウェハ搬送容器１の位置決め凹部（図示せず）に係合して、このウェハ搬送容器１を同方向へ移動させる位置決め突起１０２が例えば４個形成されている。
また、係合棒１１０の上端には後方へ向けて突出させることにより突出突起４に係合される係合部１１１が形成されると共に、長さ方向中間部にはローラからなる第１のガイド部１１２が設けられている。さらに、係合棒１１０の下端にはコイルスプリング１１３が取付板体１３０との間に配置され、このコイルスプリング１１３は、係合棒１１０が上側に移動して圧縮されることにより、係合棒１１０を下方へ付勢させるものである。
【０００７】
さらに、テーブル１０１には、このテーブル１０１をウェハ搬送容器１と共に前方に移動したときに、第１のガイド部１１２を上側に移動させる第２のガイド部１０３が設けられている。
【０００８】
そして、アクチュエータ１３１により、テーブル１０１を前方へ移動させると、第２のガイド部１０３が第１のガイド部１１２に当接し、第１のガイド部１１２が上昇し、係合棒１１０全体が上昇して係合部１１１が係合凹溝３内へ進入する。そしてさらに、テーブル１０１を前方へ移動させることにより、係合部１１１が係合突起４の上面側に係合する。
この際、コイルスプリング１１３が取付板体１１４との間で圧縮されることにより、係合棒１１０全体が下方へ付勢され、係合部１１１を係合突起４に対して保持する。かくして、ウェハ搬送容器１は、載置部１０１ａに装着されることになる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来のウェハ搬送容器装着装置１００においては、テーブル１０１を前方に移動させたときに、係合棒１１０の係合部１１１によってウェハ搬送容器１の係合突起４を係合して、載置部１０１ａにウェハ搬送容器１を装着するものである。
このウェハ搬送容器装着装置１００では、テーブル１０１の位置決め突起１０２がウェハ搬送容器１の位置決め凹部にしっかりと位置決めされていなかった場合、テーブル１０１が前方に移動したときに、係合棒１１０の係合部１１１が係合突起４に係合できないことをもって始めて気付くことになる。
このような場合には、テーブル１０１を元の位置に戻して、改めて載置部１０１ａにウェハ搬送容器１を装着し直さなくてはならず、ウェハの搬送効率を低下させてしまう、という問題があった。
【００１０】
本発明は、以上の問題に鑑みてなされたものであり、ウェハ搬送容器を載置部に載置した後に、テーブルの移動を待つことなしに、クランプによってウェハ搬送容器を載置部に確実に保持することのできるウェハ搬送容器装着装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、半導体製造装置に供給されるウェハが内部に収納され、かつ底面に係合突起を有するウェハ搬送容器を装着するウェハ搬送容器装着装置であって、
前記ウェハ搬送容器が載置される載置部およびクランプ当接部を有するテーブルと、
一端が第１の回動中心となり、他端が第２の回動中心として該テーブルに軸支されたリンクと、
該リンクに設けられ、前記第１の回動中心を前記テーブル側に向けて押圧する押圧部材と、
前記リンクの第１の回動中心を回動中心として軸支されたクランプ本体と、該クランプ本体の一端側に形成され、駆動時に前記係合突起に係合する係合爪部と、前記クランプ本体の他端側に形成されたアクチュエータ連結部とを有するクランプと、
前記テーブルに固定され、前記クランプ当接部に前記クランプが当接するまで、該クランプを第１の回動中心を回動中心として回動駆動させ、クランプがクランプ当接部に当接した後、前記リンクを第２の回動中心を回動中心として回動駆動させるアクチュエータと、を具備した
ことを特徴としている。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、半導体製造装置に供給されるウェハが内部に収納され、かつ底面に係合突起を有するウェハ搬送容器を装着するウェハ搬送容器装着装置であって、
前記ウェハ搬送容器が載置される載置部を有するテーブルと、
先端が第１の回動中心となり、他端が第２の回動中心として該テーブルに軸支され、クランプ当接部を有するリンクと、
該リンクに設けられ、前記第１の回動中心を前記テーブル側に向けて押圧する押圧部材と、
前記リンクの第１の回動中心を回動中心として軸支されたクランプ本体と、該クランプ本体の一端側に形成され、駆動時に前記係合突起に係合する係合爪部と、前記クランプ本体の他端側に形成されたアクチュエータ連結部とを有するクランプと、
前記テーブルに固定され、前記クランプ当接部に前記クランプが当接するまで、該クランプを第１の回動中心を回動中心として回動駆動させ、クランプがクランプ当接部に当接した後、前記リンクを第２の回動中心を回動中心として回動駆動させるアクチュエータと、を具備した
ことを特徴としている。
【００１３】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載のウェハ搬送容器装着装置において、
前記クランプの回動を規制する回動規制手段を設けたことを特徴としている。
【００１４】
請求項４記載の発明は、請求項３記載のウェハ搬送容器装着装置において、
前記回動規制手段は、前記クランプ本体または前記クランプ当接部のうち少なくともいずれか一方に設けた当接部材と、当該当接部材に当接する相手側部材と、を備えた
ことを特徴としている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
次に、図面を参照して本発明の好適な実施形態について説明する。
【００１７】
［１］ 第１実施形態
［１・１］  第１実施形態の大略構成
図１は、第１実施形態によるウェハ搬送容器装着装置１０の構成を示している。なお、前述した従来技術と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとする。
このウェハ搬送容器装着装置１０は、ウェハ搬送容器１を載せる載置部２１および矩形状の貫通孔２２を有するテーブル２０と、このテーブル２０の近傍に位置して設けられたクランプ３０と、テーブル２０に固定され、このクランプ３０を動かす電磁リニアアクチュエータからなるクランプ用アクチュエータ４０と、を具備している。また、貫通孔２２をなす各壁面のうち、後述するクランプ用フランジ２４側の壁面が、クランプ３０の回動を規制するクランプ当接面２２ａとなっている。
【００１８】
ここで、テーブル２０は前後方向（矢示ｍ方向）に移動可能に支持され、取付板体５０に固定されたテーブル用アクチュエータ５１によって移動させられる。
また、テーブル２０の載置部２１上にはウェハ搬送容器１の位置決め凹部（図示せず）に係合する位置決め突起２３が例えば４個形成されている。
さらに、テーブル２０の下側には、クランプ３０を回動可能に支持する一対のクランプ用フランジ２４と、クランプ用アクチュエータ４０を支持するアクチュエータ用フランジ２５と、テーブル用アクチュエータ５１のロッド５２に連結されるテーブル用フランジ２６とが突出形成されている。
【００１９】
クランプ用アクチュエータ４０は、図２に示す如く、アクチュエータ用フランジ２５に回動可能に軸支され、進退するロッド４１を備えている。このロッド４１の先端には、後述するクランプ３０のアクチュエータ連結部３６を前後方向（矢示ａ方向）に移動させる押動部材４２が設けられている。
一方、テーブル用アクチュエータ５１はロッド５２を進退させることにより、図１に示すように、テーブル用フランジ２６を矢示ｍ方向に移動させる。これにより、テーブル２０は矢示Ｍ方向に移動する。
【００２０】
［１・２］  クランプ３０の構成
次に、クランプ３０の構成について、図２および図３を参照しつつ説明する。
クランプ３０は、断面略Ｆ字状に形成され、クランプ本体３１と、このクランプ本体３１の長さ方向途中に突出形成され、クランプ用フランジ２４にピン３２によって回動可能に軸支される軸支部３３と、クランプ本体３１の一端側に形成され、テーブル２０の貫通孔２２を通ってウェハ搬送容器１の係合突起４に係合する係合爪部３４と、クランプ本体３１の他端側に形成され、クランプ用アクチュエータ４０の押動部材４２にピン３５によって連結されたアクチュエータ連結部３６と、を備えて構成されている。
また、クランプ本体３１の上面のうち、軸支部３３と係合爪部３４との間には、クランプ３０が回動して貫通孔２２のクランプ当接面２２ａに当接する弾性材（例えば、ゴム材等）からなる当接部材３７が設けられている。
【００２１】
図３の分解斜視図に示すように、クランプ３０のアクチュエータ連結部３６は、クランプ用アクチュエータ４０の押動部材４２に嵌め込まれた上で、ピン３５によって回動可能に連結される。軸支部３３は、クランプ用フランジ２４に嵌め込まれた上で、ピン３２によって回動可能に連結される。
これにより、クランプ３０は、軸支部３３のピン３２が回動中心（支点）となり、アクチュエータ連結部３６のピン３５が力点となり、係合爪部３４が作用点となって、テーブル２０に組み付けられる。
また、当接部材３７およびクランプ当接面２２Ａは、クランプ３０の回動を規制する回動規制手段を構成している。
【００２２】
［１・３］  ウェハ搬送容器装着装置１０の動作
ウェハ搬送容器装着装置１０の動作について、図１、図２、図４および図５を参照しつつ説明する。
【００２３】
まず、図１に示すように、作業者は、テーブル２０の載置部２１上にウェハ搬送容器１を載せる。この際、各位置決め突起２３をウェハ搬送容器１の係合凹部に係合させる。
次に、作業者は、図示しないスイッチを作動させて、クランプ用アクチュエータ４０を起動させる。
これにより、クランプ用アクチュエータ４０は、ロッド４１を進行させることにより、図２に示すように、ピン３５を矢示ａ方向に移動させる。これにより、クランプ３０の係合爪部３４は、ピン３２を回動中心として矢示ｂ方向（時計方向）に回動する。
【００２４】
そして、クランプ３０は、図４に示すように、係合爪部３４が係合凹溝３内に挿入される状態を経て、さらにクランプ用アクチュエータ４０のロッド４１を矢示ａ´方向に進行させることにより、係合爪部３４は矢示ｂ´方向に回動し、図５に示す状態になる。
この際、クランプ３０の当接部材３７が貫通孔２２のクランプ当接面２２ａに当接した状態になり、係合爪部３４が係合突起４に係合された状態となる。これにより、ウェハ搬送容器１はテーブル２０の載置部２１にクランプ３０によって装着されたことになる。
【００２５】
この後、ウェハ搬送容器装着装置１０では、テーブル用アクチュエータ５１を動作させることにより、ウェハ搬送容器１をテーブル２０に装着したまま、半導体製造装置２００側に移動させる。
このように、本実施形態によるウェハ搬送容器装着装置１０では、載置部２１へのウェハ搬送容器１の装着と、テーブル２０の移動とを別個の動作とすることにより、載置部２１へのウェハ搬送容器１の装着を確実に行った上で、テーブル２０の移動に移ることができる。
【００２６】
一方、ウェハ搬送容器１を載置部２１から取り外す場合には、前述した動作の逆を行えばよい。即ち、クランプ用アクチュエータ４０がロッド４１を退行させることにより、クランプ３０はピン３２を回動中心として反時計方向に回動し、係合突起４に対する係合爪部３４の係合が外されることになる。
【００２７】
［１・４］  第１実施形態の効果
本実施形態によるウェハ搬送容器装着装置１０は、テーブル２０にウェハ搬送容器１を載せた状態で、載置部２１にウェハ搬送容器１をクランプ３０によって確実に装着させることができる。このため、載置部２１にウェハ搬送容器１を載せた状態で、位置決め突起２３がウェハ搬送容器１の位置決め凹部にしっかりと位置決めされていなかった場合には、係合突起４に対する係合爪部３４の係合が確実に行うことができないため、ウェハ搬送容器１を載置部２１に確実に装着できていないことを、直ぐに知ることができる。
【００２８】
しかも、従来技術では、テーブルの移動に伴って係合突起４に係合させるものであったため、装着を失敗した場合には、テーブルを元の位置に戻してから、再度ウェハ搬送容器１を装着し直さなくてはならなかった。これに対し、本実形態では、載置部２１へのウェハ搬送容器１の装着と、テーブル２０の移動とを別個の動作とすることにより、載置部２１へのウェハ搬送容器１の装着を失敗した場合でも、直ぐに装着をし直すことが可能となる。
この結果、ウェハの搬送効率を高めることができ、半導体製造工程における製造効率を向上させることができる。
【００２９】
［２］ 第２実施形態
［２・１］  第２実施形態の大略構成
次に、図６ないし図１０に本発明による第２実施形態を示す。本実施形態の特徴は、クランプ３０をリンク７０によって回動可能に支持し、クランプ３０がテーブル２０´のクランプ当接面２２ａによって回動規制された点にある。なお、前述した第１実施形態と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとする。
ウェハ搬送容器装着装置６０は、テーブル２０´と、一対のリンク７０と、これらのリンク７０に設けられたネジリコイルバネ８０と、リンク７０に回動可能に設けられたクランプ３０と、このクランプ３０を駆動するアクチュエータ４０と、を具備している。
【００３０】
ここで、テーブル２０´は、前述したテーブル２０とほぼ同様に構成されるものの、その下側には、リンク７０を回動可能に支持する一対のリンク用フランジ２７が形成されている。また、リンク用フランジ２７にはネジリコイルバネ８０の短尺部を回動規制する規制部２７ａが突出形成されている。
【００３１】
また、クランプ用アクチュエータ４０は、アクチュエータ用フランジ２５に回動可能に軸支され、ロッド４１の先端には、後述するクランプ３０のアクチュエータ連結部３６を前後方向（矢示ａ方向）に移動させる押動部材４２が設けられている。
【００３２】
リンク７０は、図６および図７に示すように、起端がリンク用フランジ２７にピン７１（一方のみ図示）によって軸支され、先端にはピン３２によってクランプ３０の軸支部３３が軸支されている。そして、先端側にはネジリコイルバネ８０の長尺部を回動規制する規制部７０ａが突出形成されている。
また、ネジリコイルバネ８０はリンク７０に設けられ、規制部２７ａ、７０ａで回動が規制されることにより、ピン７１を回動中心として回動するリンク７０をテーブル２０´側に向けて押圧する。
【００３３】
図７の分解斜視図に示すように、クランプ３０のアクチュエータ連結部３６は、クランプ用アクチュエータ４０の押動部材４２に嵌め込まれた上で、ピン３５によって回動可能に連結される。軸支部３３は、リンク７０の先端に合わせた上で、ピン３２によって回動可能に連結される。また、リンク７０はリンク用フランジ２７に合わせてネジリコイルバネ８０を嵌め込んだ上で、ピン７１によって回動可能に連結される。
これにより、クランプ３０およびリンク７０においては、軸支部３３のピン３２が第１の回動中心（第１支点）となり、リンク７０のピン７１が第２の回動中心（第２支点）となり、アクチュエータ連結部３６のピン３５が力点となり、係合爪部３４が作用点となって、テーブル２０´に組み付けられる。
【００３４】
［２・２］  ウェハ搬送容器装着装置の動作
ウェハ搬送容器装着装置の動作について、図６、図８ないし図１０を参照しつつ説明する。
【００３５】
作業者は、テーブル２０´の載置部２１上にウェハ搬送容器１を載せた上で、図示しないスイッチを作動させて、クランプ用アクチュエータ４０を起動させる。
これにより、クランプ用アクチュエータ４０は、ロッド４１を進行させることにより、図６に示すように、ピン３５を矢示ａ方向に移動させる。これにより、クランプ３０の係合爪部３４は、ピン３２（第１の回動中心）を中心として矢示ｂ方向（時計方向）に回動する。
そして、クランプ３０は、図８に示す状態を経て、図９に示すように、クランプ３０の当接部材３７が貫通孔２２のクランプ当接面２２ａに当接した状態になる。この際、係合爪部３４と係合突起４との間には若干の隙間ｓがある。
【００３６】
さらに、クランプ用アクチュエータ４０のロッド４１を矢示ａ´方向に進行させることにより、クランプ３０は、その当接部材３７が貫通孔２２のクランプ当接面２２ａに当接されている。この状態で、クランプ用アクチュエータ４０のロッド４１を押し出す力がネジリコイルバネ８０のバネ力に勝ち、ピン３２を回動中心とするクランプ３０の回動動作から、ピン７１を回動中心とするリンク７０の回動動作に切換わる。そして、リンク７０がピン７１を回動中心として矢示ｃ方向（時計方向）に回動することになる。
そして、図１０に示すように、リンク７０がピン７１を回動中心として先端が下側に移動することにより、これに伴ってクランプ３０が下側に移動する。これにより、クランプ３０の係合爪部３４が係合突起４の上側に当接されることになる。
【００３７】
一方、ウェハ搬送容器１を載置部２１から取り外す場合には、前述した動作の逆を行えばよい。即ち、クランプ用アクチュエータ４０がロッド４１を退行させることにより、リンク７０がピン７１を回動中心とする反時計方向に回動した後に、フランジ３０のピン３２を回動中心とした反時計方向の回動を行う。そして、ロッド４１を退行させることにより、係合突起４に対する係合爪部３４の係合が外されることになる。
【００３８】
本実施形態によるウェハ搬送容器装着装置６０では、ウェハ搬送容器１の係合突起４に対してクランプ３０の係合爪部３４を上側から押さえ付けるように係合させることができ、第１実施形態によるウェハ搬送容器装着装置１０に比べ、ウェハ搬送容器１を載置部２１上により確実に装着させることができる。
【００３９】
［３］ 第３実施形態
［３・１］  第３実施形態の大略構成
次に、図１１ないし図１５に本発明による第３実施形態を示す。本実施形態の特徴は、クランプ３０をリンク７０によって回動可能に支持し、クランプ３０がリンク７０によって回動規制された点にある。なお、前述した各実施形態と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとする。
【００４０】
本実施形態によるウェハ搬送容器装着装置９０は、テーブル２０´と、一対のリンク７０と、このリンク７０に設けられたネジリコイルバネ８０と、リンク７０に回動可能に設けられたクランプ３０と、このクランプ３０を駆動するアクチュエータ４０と、を具備している。
【００４１】
ここで、リンク７０は、図１１および図１２に示すように、起端がリンク用フランジ２７にピン７１（一方のみ図示）によって軸支され、先端にはピン３２によってクランプ３０の軸支部３３が軸支されている。また、先端側にはネジリコイルバネ８０の長尺部を回動規制する規制部７０ａが突出形成される。さらに、各リンク７０は、ストッパ板７０ｂによって連結されている。このストッパ板７０ｂは、図１１に示すように、クランプ３０のピン３２を回動中心とした時計方向の動き（矢示ｂ）を規制するものである。
【００４２】
また、クランプ３０には、クランプ本体３１の上面のうち、軸支部３３と係合爪部３４との間に、クランプ３０が回動してストッパ板７０ｂに当接する弾性材（例えば、ゴム材等）からなる当接部材３７´が設けられている。
【００４３】
図１２の分解斜視図に示すように、クランプ３０のアクチュエータ連結部３６は、クランプ用アクチュエータ４０の押動部材４２に嵌め込まれた上で、ピン３５によって回動可能に連結される。軸支部３３は、リンク７０の先端に合わせた上で、ピン３２によって回動可能に連結される。また、リンク７０はリンク用フランジ２７に合わせてネジリコイルバネ８０を嵌め込んだ上で、ピン７１によって回動可能に連結される。
これにより、クランプ３０およびリンク７０においては、軸支部３３のピン３２が第１の回動中心（第１支点）となり、リンク７０のピン７１が第２の回動中心（第２支点）となり、アクチュエータ連結部３６のピン３５が力点となり、係合爪部３４が作用点となって、テーブル２０´に組み付けられる。
【００４４】
［３・２］  ウェハ搬送容器装着装置の動作
ウェハ搬送容器装着装置９０の動作について、図１１、図１３ないし図１５を参照しつつ説明する。
【００４５】
作業者は、テーブル２０´の載置部２１上にウェハ搬送容器１を載せた上で、図示しないスイッチを作動させて、クランプ用アクチュエータ４０を起動させる。
これにより、クランプ用アクチュエータ４０は、ロッド４１を進行させることにより、図１１に示すように、ピン３５を矢示ａ方向に移動させる。これにより、クランプ３０の係合爪部３４は、ピン３２（第１の回動中心）を中心として矢示ｂ方向（時計方向）に回動する。
そして、クランプ３０は、図１３に示す状態を経て、図１４に示すように、クランプ３０の当接部材３７´がリンク７０のストッパ板７０ｂの側面に当接した状態になる。この際、係合爪部３４と係合突起４との間には若干の隙間Ｓがある。
【００４６】
さらに、クランプ用アクチュエータ４０のロッド４１を矢示ａ´方向に進行させると、クランプ３０は当接部材３７´がストッパ板７０ｂに当接した状態にあるため、フランジ用アクチュエータ４０のロッド４１を押し出す力がネジリコイルバネ８０のバネ力に勝り、クランプ３０は、ピン３２を回動中心とする動作から、ピン７１を回動中心とする動作に切換わる。そして、リンク７０がピン７１を回動中心として矢示ｃ方向（時計方向）に回動させることになる。
そして、図１５に示すように、リンク７０がピン７１を回動中心として先端が下側に移動することにより、これに伴ってクランプ３０が下側に移動する。これにより、リンク係合爪部３４が係合突起４の上側に当接されることになる。
【００４７】
一方、ウェハ搬送容器１を載置部２１から取り外す場合には、前述した動作の逆を行えばよい。即ち、クランプ用アクチュエータ４０がロッド４１を退行させることにより、リンク７０がピン７１を回動中心とする反時計方向に回動した後に、フランジ３０のピン３２を回動中心とした反時計方向の回動を行う。そして、ロッド４１を退行させることにより、係合突起４に対する係合爪部３４の係合が外されることになる。
【００４８】
本実施形態によるウェハ搬送容器装着装置９０では、ウェハ搬送容器１の係合突起４に対してクランプ３０の係合爪部３４を上側から押さえ付けるように係合させることができ、第１実施形態によるウェハ搬送容器装着装置１０に比べ、ウェハ搬送容器１を載置部２１上により確実に装着させることができる。
【００４９】
さらに、ウェハ搬送容器装着装置９０では、クランプ３０の当接部材３７´をストッパ板７０ｂの側面に当接させることにより、クランプ３０の回動を規制するようにしたから、第２実施形態に比べ、クランプ３０によりウェハ搬送容器１を保持する力が大きくなる。
【００５０】
［４］変形例
（１）変形例１
前記第１実施形態においては、クランプ３０に設けた当接部材３７をクランプ当接面２２ａに当接させることにより、クランプ３０の回動を規制するようにしているが、本発明はこれに限らず、図１６および図１７に示すクランプ用アクチュエータ４０´により、アクチュエータ４０´のストロークエンドによってクランプ３０の回動を規制させるようにしてもい。
この場合、クランプ用アクチュエータ４０´は、ロッド４１と、押動部材４２と、シリンダ４３と、ピストン４４とを備えている。アクチュエータ４０´は、シリンダ４３内をピストンピストン４４が摺動することにより、ロッド４１がシリンダ４３に対して進退させる。そして、図１７に示すように、シリンダ４３の端部にピストン４４を当接してロッド４１の動きが規制されたときに、クランプ３０の係合爪部３４が係合突起４に係合した状態となる。
【００５１】
（２）変形例２
前記第３実施形態においては、クランプ３０の当接部材３７´をリンク７０のストッパ板７０ｂの側面に当接させることにより、クランプ３０の回動を規制するようにしているが、本発明はこれに限らず、図１８ないし図２０に示すように、当接部材３７´の代わりにボルト部材４６によってクランプ３０の回動を規制するようにしてもよい。
この場合、ボルト部材４６は、軸支部３３の起端側に取り付けられ、その先端部を軸支部３３から係合爪部３４側に突出させる。そして、図２０に示すように、ボルト部材４６の先端部をストッパ板７０ｂに当接させることにより、ピン３２に対するクランプ３０の回動を規制するようにしてもよい。
また、ボルト部材４６は、軸支持３３から突出する先端部の長さを調整することにより、クランプ３０の回動を規制する位置を任意に設定することが可能である。
なお、クランプ３０の回動を規制する手段は、各実施形態および変形例１、２の構成に限らず、クランプ３０の係合爪部３４が係合突起４に係合した際に、クランプ３０の回動を規制する構成であればよい。
【００５２】
（３）変形例３
前記第２実施形態においては、リンク７０の回動規制をネジリコイルバネ８０のバネ力によって行うようにしているが、本発明はこれに限らず、図２１ないし図２３に示すように、テーブル２０´の下面部分のうち、リンク７０のピン３２側端部と対向する位置にバンパ７２を設けるようにしてもよい。
【００５３】
また、第３実施形態においても、リンク７０の回動規制をネジリコイルバネ８０のバネ力によって行うようにしているが、本発明はこれに限らず、図２４ないし図２７に示すように、テーブル２０´の下面部分のうち、リンク７０のストッパ板７０ｂと対向する位置にバンパ７２´を設けるようにしてもよい。
このバンパ７２´は、ネジリコイルバネ８０のバネ力に抗してリンク７０の回動を規制するリンクストッパとして機能する。バンパ７２´は、バンパ７２と同様に、弾性材（例えば、ゴム材、樹脂材等）からなる。なお、バンパ７２´は、リンク７０のストッパ板７０ｂ、或いはテーブル２０´の下面側およびリンク７０のストッパ板７０ｂに設けてもよい。
【００５４】
さらに、バンパ７２´は、ボルト部材４６によってクランプ３０の回動を規制する変形例２に用いてもよい。この場合、図２８および図２９に示すように、テーブル２０´の下面部分のうち、リンク７０のストッパ板７０ｂと対向する位置にバンパ７２´を設けるようにしてもよい。なお、バンパ７２´は、リンク７０のストッパ板７０ｂ、或いはテーブル２０´の下面側およびリンク７０のストッパ板７０ｂに設けてもよい。
【００５５】
（４）変形例４
前記各実施形態では、ウェハ搬送容器１を載置部２１上に載せた後に、作業者はスイッチ等を操作してクランプ用アクチュエータ４０を動かすようにしたが、本発明はこれに限らず、載置部２１等に容器検出センサを設け、この容器検出センサからの信号によってクランプ用アクチュエータ４０を自動的に作動させるようにしてもよい。
さらに、クランプ３０によってウェハ搬送容器１を確実に保持した後に、テーブル用アクチュエータ５１を自動的に作動させるようにしてもよい。
【００５６】
（５）変形例５
アクチュエータ４０，５１を電磁リニアアクチュエータとした場合について述べたが、これに限らず、アクチュエータは、油圧シリンダまたはボール螺子等によって構成してもよく、要は制御対象を直線的に移動させるものであればよい。
【００５７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によるウェハ搬送容器装着装置においては、ウェハ搬送容器を載置部に載置した後に、テーブルの移動を待つことなしに、クランプによってウェハ搬送容器を載置部に確実に保持することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施形態によるウェハ搬送容器装着装置を示す構成図である。
【図２】  同実施形態による要部を示す拡大図である。
【図３】  同実施形態に用いられるクランプ等を示す斜視図である。
【図４】  同実施形態によるクランプを回動させた状態を示す図である。
【図５】  図４に続く、クランプを回動させた状態を示す図である。
【図６】  第２実施形態によるウェハ搬送容器装着装置の要部を示す拡大図である。
【図７】  同実施形態に用いられるクランプおよびリンク等を示す斜視図である。
【図８】  同実施形態によるクランプを回動させた状態を示す図である。
【図９】  図８に続く、クランプを回動させた状態を示す図である。
【図１０】  図９に続く、リンクを回動させた状態を示す図である。
【図１１】  第２実施形態による要部を示す拡大図である。
【図１２】  同実施形態に用いられるクランプおよびリンク等を示す斜視図である。
【図１３】  同実施形態によるクランプを回動させた状態を示す図である。
【図１４】  図１３に続く、クランプを回動させた状態を示す図である。
【図１５】  図１４に続く、リンクを回動させた状態を示す図である。
【図１６】  変形例１によるウェハ搬送容器装着装置の要部を示す拡大図である。
【図１７】  クランプを回動させた状態を示す図である。
【図１８】  変形例２によるウェハ搬送容器装着装置の要部を示す拡大図である。
【図１９】  同変形例に用いられるクランプおよびリンク等を示す斜視図である。
【図２０】  クランプを回動させた状態を示す図である。
【図２１】  変形例３によるウェハ搬送容器装着装置の要部を示す拡大図である。
【図２２】  同変形例によるクランプを回動させた状態を示す図である。
【図２３】  図２２に続く、リンクを回動させた状態を示す図である。
【図２４】  変形例４によるウェハ搬送容器装着装置の要部を示す拡大図である。
【図２５】  同変形例によるクランプを回動させた状態を示す図である。
【図２６】  図２５に続く、クランプを回動させた状態を示す図である。
【図２７】  図２６に続く、リンクを回動させた状態を示す図である。
【図２８】  変形例５によるウェハ搬送容器装着装置の要部を示す拡大図である。
【図２９】  同変形例によるリンクを回動させた状態を示す図である。
【図３０】  従来技術によるウェハ搬送容器装着装置を示す構成図である。
【符号の説明】
１・・・ウェハ搬送容器
３・・・係合凹溝
４・・・係合突起
１０、６０、９０・・・ウェハ搬送容器装着装置
２０、２０´・・・テーブル
２１・・・載置部
２２・・・貫通孔
２２ａ・・・クランプ当接面
２３・・・位置決め突起
２４・・・クランプ用フランジ
２５・・・アクチュエータ用フランジ
２６・・・テーブル用フランジ
２７・・・リンク用フランジ
２７ａ、７０ａ・・・規制部
３０・・・クランプ
３１・・・クランプ本体
３２、３５、７１・・・ピン
３３・・・軸支部
３４・・・係合爪部
３６・・・アクチュエータ連結部
３７、３７´・・・当接部材
４０、４０´・・・クランプ用アクチュエータ
４１、５２・・・ロッド
４２・・・押動部材
４３・・・シリンダ
４４・・・ピストン
４６・・・ボルト部材
５１・・・テーブル用アクチュエータ
７０・・・リンク
７０ｂ・・・ストッパ板
８０・・・ネジリコイルバネ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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