(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外側部材と内側部材とを相対回転可能に支持する２つのベアリング間に配置され、
前記外側部材に固定され、前記ベアリングの外輪間に挟まれる外輪間座部材と、
前記内側部材に固定され、前記ベアリングの内輪間に配置され、前記外輪間座部材に対し半径方向に隙間をあけて配置される内輪間座部材と、
前記内輪間座部材とベアリングの内輪との間に挟まれ、外周部が前記ベアリングの外輪に対して軸方向に隙間をあけて配置される可撓性を有するリング板状のシール部材と、を有し、
前記内輪間座部材および外輪間座部材に、半径方向に貫通して流体を流通させる流路がそれぞれ設けられている流体供給用回転継手。
【請求項２】
前記外輪間座における前記軸方向の長さが、前記内輪間座における前記軸方向の長さよりも長く形成されるとともに、
前記外輪間座の前記外輪と対向する面には、前記内輪間座に向かって前記流路側へ凹む段差部が設けられている請求項１記載の流体供給用回転継手。
【請求項３】
前記内輪間座または前記外輪間座の少なくとも一方における前記流路と前記ベアリングとの間には、前記内輪間座と前記外輪間座との間の前記隙間が広くなる拡大部が設けられている請求項１または２に記載の流体供給用回転継手。
【請求項４】
前記シール部材が樹脂から形成された膜である請求項１から３のいずれかに記載の流体供給用回転継手。
【請求項５】
外側部材と内側部材とを相対回転可能に支持する２つのベアリング間に配置され、
前記外側部材に固定され、前記ベアリングの外輪間に挟まれる外輪間座部材と、
前記内側部材に固定され、前記ベアリングの内輪間に配置され、前記外輪間座部材に対し半径方向に隙間をあけて配置される内輪間座部材と、
前記外輪間座部材とベアリングの外輪との間に挟まれ、内周部が前記ベアリングの内輪に対して軸方向に隙間をあけて配置される可撓性を有するリング板状のシール部材と、を有し、
前記内輪間座部材および外輪間座部材に、半径方向に貫通して流体を流通させる流路がそれぞれ設けられている流体供給用回転継手。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体供給用回転継手、特に回転軸とともに回転するアクチュエータ等の機器に外部から流体を供給する回転継手に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体（例えば空気）により駆動されるアクチュエータを備えたチャック装置を回転する主軸に配置し、外部から流体を供給することで、チャック装置の爪を開閉駆動させる技術が知られている。
【０００３】
アクチュエータに流体を供給する流路は、外部に配置された流体供給装置から主軸を支持する筺体と、回転する主軸とを通ってアクチュエータに延びるように設けられている。ここで、回転しない筺体と回転する主軸との間には、接触シールを用いた回転継手、または、ラビリンスシール等の非接触シールを用いた回転継手が設けられ、流体が筺体から主軸に流入する際の漏れを防止している（例えば、特許文献１または２参照。）。
【０００４】
【特許文献１】特開平５−２９６３７６号公報（第３頁、第１図等）
【特許文献２】実開平５−８８８０９号公報（第５−６頁、第１図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の特許文献１においては、継手本体に回転軸を軸受および空気軸受部により回転自在に支持する回転継手であって、空気軸受部に外部からエアを供給することにより、非接触シールを形成する技術が開示されている。
この技術によれば、空気軸受に供給されるエアにより、空気軸受において継手本体から回転軸に供給される流体の漏れを減少させることができた。また、非接触シールであるため、接触シールと比較して、回転軸を高速で回転させたり、回転精度を高めたりすることが容易にできた。
【０００６】
しかしながら、上述の特許文献１などに開示された非接触シールを用いた回転継手においては、回転しない継手本体と回転する回転軸との間に、必ず隙間が形成されている。隙間が形成されていると、隙間からの流体の漏れを減少させることはできても、漏れを防止することは困難であった。
また、ラビリンスシール等の非接触シールは、流体の漏れを減少させるために大型化しやすいため、継手の小型化が困難であるという問題があった。
【０００７】
回転継手からの流体漏れを減少させる方法の他に、流体の漏れ分を補うように流体の供給圧力を高める方法も知られている。
しかしながら、工場において供給されている流体の圧力には上限があるため、上述の推力低下を補うには不十分という問題があった。
また、工場における供給流体の圧力の上限を引き上げるのは、工場全体に配置された配管を強度の高いものに交換するなど多大な費用と時間がかかるため、簡単に行うことができないという問題があった。
【０００８】
上述の特許文献２においては、回転する主軸と接触して流体を主軸に供給するシールを有する回転継手であって、近傍に潤滑油のミストを混入したエアをシールに吹き付ける接触シールを用いた回転継手の技術が開示されている。
この技術によれば、主軸とシールとの摺動面に潤滑油を常に供給できる。特に、主軸を回転させ、潤滑油が上記摺動面から遠心力により飛ばされる場合においても、上記摺動面に潤滑油が供給される。そのため、潤滑油切れによるシールの磨耗を防止し、長期にわたってシール性を保持することができた。
【０００９】
しかしながら、特許文献２などに開示された接触シールを用いた回転継手においては、主軸とシールとの摺動面で摩擦熱が発生する。特に、主軸を高速回転させる場合には、摩擦熱により摺動面が高温となり、シール性や耐久性が低下するという問題があった。
【００１０】
また、主軸の支持にアンギュラベアリングを用いる場合には、アンギュラベアリングの予圧用間座に流体流路を設けて、主軸を支持する筐体から主軸に流体を供給する方法も知られている。
かかる場合においては、主軸の高速回転時における摺動摩擦による熱の発生を避けるため、非接触シールタイプのアンギュラベアリングが用いられる。さらに、内外輪の間座からの流体漏れを最小限にするため、隙間を可能な限り狭めたものが用いられる。
しかしながら、上述の方法を用いても、アンギュラベアリング等からの流体漏れが発生し、所定の流体供給量および供給圧力が得られない場合があるという問題があった。
【００１１】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、密閉性の向上を図るとともに高速回転への対応を可能とし、設置スペースを小さくすることができる流体供給用回転継手を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明は、外側部材と内側部材とを相対回転可能に支持する２つのベアリング間に配置され、前記外側部材に固定され、前記ベアリングの外輪間に挟まれる外輪間座部材と、前記内側部材に固定され、前記ベアリングの内輪間に配置され、前記外輪間座部材に対し半径方向に隙間をあけて配置される内輪間座部材と、前記内輪間座部材とベアリングの内輪との間に挟まれ、外周部が前記ベアリングの外輪に対して軸方向に隙間をあけて配置される可撓性を有するリング板状のシール部材と、を有し、前記内輪間座部材および外輪間座部材に、半径方向に貫通して流体を流通させる流路がそれぞれ設けられている流体供給用回転継手を提供する。
【００１３】
本発明によれば、内輪間座が外輪間座に対して半径方向に隙間をあけて配置され、シール部材の外周部と外輪との間に隙間が形成されている。そのため、上記流路に所定圧力の流体が供給されていない場合、外側部材と内側部材との相対回転による内輪間座と外輪間座、および、シール部材と外輪との摺動が防止され、摺動による熱の発生を防止できる。その結果、外側部材と内側部材との高速相対回転への対応を可能とすることができる。
【００１４】
例えば、外側部材が固定され、内側部材が回転されている場合、シール部材は、内輪および内輪間座に挟まれているため、内側部材の回転とともに回転する。かかる場合には、シール部材の外周部は遠心力により半径方向外側に延びるため、外輪との間に隙間が形成される。また、シール部材の近傍領域の流体は、その粘性によりシール部材とともに回転するため、回転する流体の圧力によりシール部材の外周部と外輪との間に隙間が形成される。
そのため、シール部材と外輪との摺動、および、外輪間座と内輪間座との摺動が起きず、外側部材と内側部材との高速相対回転への対応を可能とすることができる。
【００１５】
流路に所定圧力の流体が供給されたときには、シール部材の外周部が外輪と接触する、または、外輪との隙間が狭くなるため、流体供給用回転継手の密閉性を向上させることができる。
具体的には、流路に所定圧力の流体が供給されると、流体の大半は上記流路を通って外側部材と内側部材との間を流通し、残りの流体は外輪間座と内輪間座との間の上記隙間に流入する。上記隙間に流入した流体は、ベアリングの外輪と内輪との間から外部に流出しようとする。このとき、流体はシール部材の外周部を外輪方向に押し、上記外周部は外輪と接触、または、外輪との隙間が狭くなる。上記外周部と外輪とが接触した場合には、外輪間座と内輪間座との間は完全に密閉され、流体供給用回転継手は密閉される。また、上記外周部と外輪との隙間が狭くなった場合には、外輪間座と内輪間座との間から流体が流出しにくくなり、流体供給用回転継手の密閉性は向上する。
【００１６】
本発明の流体供給用回転継手は、２つのベアリングの間に配置された外輪間座と、内輪間座と、シール部材とにより構成されるため、従来のように回転継手を設ける専用のスペースを設けることなく配置でき、設置スペースを小さくすることができる。
【００１７】
上記発明においては、前記外輪間座における前記軸方向の長さが、前記内輪間座における前記軸方向の長さよりも長く形成されるとともに、前記外輪間座の前記外輪と対向する面には、前記内輪間座に向かって前記流路側へ凹む段差部が設けられていることが望ましい。
【００１８】
本発明によれば、外輪間座の上記軸線方向の長さが、内輪間座の上記軸線方向の長さよりも長いため、内輪間座を挟む内輪の間隔より外輪間座を挟む外輪の間隔が広くなる。そのため、内輪と内輪間座とに挟まれたシール部材の外周部と外輪との間に隙間を形成することができる。
外輪間座の上記対向面には段差部が設けられているため、シール部材の外周部と外輪間座との間に隙間を形成することができる。
【００１９】
上記発明においては、前記内輪間座または前記外輪間座の少なくとも一方における前記流路と前記ベアリングとの間には、前記内輪間座と前記外輪間座との間の前記隙間が広くなる拡大部が設けられていることが望ましい。
本発明によれば、内輪間座または外輪間座の少なくとも一方に上記隙間を広くする拡大部が設けられているため、上記隙間を上記流路からベアリングに向かって流れる流体を拡大部で止めることができる。
【００２０】
上記発明においては、前記シール部材が樹脂から形成された膜であることが望ましい。
本発明によれば、シール部材が比較的摩擦係数の小さな樹脂から形成されているため、外側部材と内側部材とが相対回転している間にシール部材と外輪とが接触しても、摺動による熱が発生しにくくなる。また、シール部材が樹脂性の膜であるため、可撓性が高く、わずかな圧力でもシール部材と外輪とを接触させることができる。
【００２１】
本発明は、外側部材と内側部材とを相対回転可能に支持する２つのベアリング間に配置され、前記外側部材に固定され、前記ベアリングの外輪間に挟まれる外輪間座部材と、前記内側部材に固定され、前記ベアリングの内輪間に配置され、前記外輪間座部材に対し半径方向に隙間をあけて配置される内輪間座部材と、前記外輪間座部材とベアリングの外輪との間に挟まれ、内周部が前記ベアリングの内輪に対して軸方向に隙間をあけて配置される可撓性を有するリング板状のシール部材と、を有し、前記内輪間座部材および外輪間座部材に、半径方向に貫通して流体を流通させる流路がそれぞれ設けられている流体供給用回転継手を提供する。
【００２２】
本発明によれば、内輪間座が外輪間座に対して半径方向に隙間をあけて配置され、シール部材の外周部と外輪との間に隙間が形成されている。上記流路に所定圧力の流体が供給されていない場合、外側部材と内側部材との相対回転による内輪間座と外輪間座、および、シール部材と内輪との摺動が防止されるため、摺動による熱の発生を防止できる。その結果、外側部材と内側部材との高速相対回転への対応を可能とすることができる。
【００２３】
流路に所定圧力の流体が供給されたときには、シール部材の内周部が内輪と接触する、または、内輪との隙間が狭くなるため、流体供給用回転継手の密閉性を向上させることができる。
【００２４】
本発明の流体供給用回転継手は、２つのベアリングの間に配置された外輪間座と、内輪間座と、シール部材とにより構成されるため、従来のように回転継手を設ける専用のスペースを設けることなく配置でき、設置スペースを小さくすることができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の流体供給用回転継手によれば、内輪間座が外輪間座に対して半径方向に隙間をあけて配置され、シール部材の外周部と外輪との間に隙間が形成されているため、外側部材と内側部材との相対回転による内輪間座と外輪間座、および、シール部材と外輪との摺動が防止される。その結果、摺動による熱の発生を防止でき、外側部材と内側部材との高速相対回転への対応を可能とすることができるという効果を奏する。
【００２６】
流路に所定圧力の流体が供給されたときには、シール部材の外周部が外輪と接触する、または、外輪との隙間が狭くなるため、流体供給用回転継手の密閉性を向上させることができるという効果を奏する。
【００２７】
本発明の流体供給用回転継手は、２つのベアリングの間に配置された外輪間座と、内輪間座と、シール部材とにより構成されるため、従来のように回転継手を設ける専用のスペースを設けることなく配置でき、設置スペースを小さくすることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
この発明の一実施形態に係る回転継手について、図１から図４を参照して説明する。
図１は、本実施形態に係る回転継手を供えたチャック装置の全体構成を説明する図である。
回転継手（流体供給用回転継手）１は、図１に示すように、主軸ユニット３の主軸５の端部に把持機構７が備えられたチャック装置９に用いられている。
主軸ユニット３は、有底円筒状の筐体（外側部材）１１と、筐体１１内に配置された主軸（内側部材）５と、筐体１１と主軸５との間に配置されたモータ１３と、主軸５を中心軸線Ｃ回りに回転可能に支持する回転継手１および支持ベアリング１５と、から概略構成されている。
把持機構７は、外部から供給された供給エアＡＲにより駆動されるシリンダ部１７と、シリンダ部１７により駆動されるダイヤフラムチャック部１９とから概略構成されている。
【００２９】
図２は、図１のチャック装置におけるＡ−Ａ断面視図である。図３は、図２におけるＥ−Ｅ断面視図である。
筐体１１には、図２および図３に示すように、外部と回転継手１との間で所定圧力の供給エア（流体）ＡＲを流通させる供給ジョイント２１と、筐体流路２３と、が設けられている。
主軸５には、図１に示すように、回転継手１とシリンダ部１７との間で供給エアＡＲを流通させる主軸流路２５が形成され、後述する継手ベアリングの内輪を主軸５に固定する固定ナット２７が設けられている。
【００３０】
回転継手１は、図１から図３に示すように、２つの継手ベアリング（ベアリング）２９，２９と、継手ベアリング２９，２９の間に配置された外輪間座３１と、内輪間座３３と、密閉用シール（シール部材）３５とから概略構成されている。
継手ベアリング２９は、筐体１１に接して配置される外輪３７と、主軸５とともに回転するように配置される内輪３９と、外輪３７と内輪３９との間で転動する玉４１とから概略構成されている。外輪３７および内輪３９には玉４１が転動する軌道が形成されている。軌道は継手ベアリング２９が半径方向の荷重（ラジアル荷重）、および、中心軸線Ｃ方向（軸方向）の少なくとも一方向の荷重（アキシャル荷重）を受けることができる形状に形成されている。
なお、継手ベアリング２９としては、アンギュラベアリングを例示することができるが、他のベアリングを用いても構わない。
【００３１】
２つの継手ベアリング２９は、それぞれ受けることができるアキシャル荷重の方向が反対方向になるように配置されている。本実施形態においては、継手ベアリング２９の受けることができるアキシャル荷重の方向が、外輪間座３１および内輪間座３３から外側に向かう方向になるように継手ベアリングを配置している。
【００３２】
図４は、図３の回転継手の要部を説明する部分拡大図である。
外輪間座３１は、図３および図４に示すように、筐体１１に接するとともに継手ベアリング２９の外輪３７に挟まれて配置されている。
外輪間座３１の外周面には円環状の外溝（流路）４３が形成され、外溝４３の底面の３から４箇所には半径方向に延びる外側供給孔（流路）４５が形成されている。外溝４３は、筐体１１の筐体流路２３と連通するように配置されている。外輪間座３１の外輪３７に対向する面には、半径方向内側に向かって外側供給孔４５側へ凹む外側段差部（段差部）４７が形成されている。
【００３３】
内輪間座３３は、主軸５に接するとともに継手ベアリング２９の内輪３９に挟まれて配置されている。
内輪間座３３の外周面および内周面には、それぞれ円環状の中溝（流路）４９、内溝（流路）５１が形成されている。中溝４９および内溝５１の底面には、両溝４９，５１を連通させる内側供給孔（流路）５３が３から４箇所に半径方向に延びるように形成されている。中溝４９は、外輪間座３１の外側供給孔４５の開口部と対向するように配置され、内溝５１は、主軸５の主軸流路２５と連通するように配置されている。
内輪間座３３の内輪３９に対向する面には、半径方向外側に向かって内側供給孔５３側へ凹む内側段差部５５が形成されている。
【００３４】
なお、上述の外側供給孔４５および内側供給孔５３は、上述のように３から４箇所に形成されていてもよいし、３から４箇所よりも多くの箇所に形成されていてもよいし、３から４箇所よりも少ない箇所に形成されていてもよく、特に限定するものではない
【００３５】
外輪間座３１の中心軸線Ｃ方向の幅（長さ）Ｌｏは、内輪間座３３の中心軸線Ｃ方向の幅（長さ）Ｌｉよりも広く（長く）形成されている。
また、外輪間座３１および内輪間座３３は、外輪間座３１の内周面と内輪間座３３の外周面との間に所定間隔（例えば数十μｍ）のクリアランス（隙間）が形成されるように配置されている。
内輪間座３３の内周面には、上記所定間隔を広くする円環状の溝である緩衝溝（拡大部）５７が形成されている。緩衝溝５７は、中溝４９と内輪間座３３の継手ベアリングに対する面との間に形成され、いわゆるラビリンスシールを形成している。
【００３６】
内輪３９と内輪間座３３との間には、図３および図４に示すように、ポリ４フッ化エチレン（テフロン（登録商標））から形成された密閉用シール３５が配置されている。密閉用シール３５は、略リング板状に形成された膜部材である。密閉用シール３５の外周部は、外輪間座３１の外側段差部４７の内側近傍まで延び、外周部は撓むことにより外輪３７に接触するように形成されている。
なお、密閉用シール３５の膜厚としては、約０．３ｍｍを例示することができるが、この膜厚に限定されるものではない。
また、密閉用シール３５は、上述のようにポリ４フッ化エチレンから形成されていてもよいし、その他の樹脂であって、摩擦係数が小さいものを用いてもよい。
外輪３７と外輪間座３１との間には、密閉用シール３５と略同じ膜厚を有する調整シール３６が配置されている。
【００３７】
密閉用シール３５の外周部と外輪３７との間には、所定の幅の隙間ＣＬが形成される。隙間ＣＬの幅は、外輪間座３１の幅Ｌｏおよび内輪間座３３の幅Ｌｉの差により調整されている。
また、内輪３９，３９および外輪３７，３７は中心軸線Ｃ方向に締め付けられ、継手ベアリング２９は、外輪間座３１と内輪間座３３との幅寸法の差により、定位置与圧方式で予圧されている。
【００３８】
次に、上記の構成からなるチャック装置９における作用について説明する。
チャック装置９は、図１に示すように、主軸５が停止している状態において、外部から回転継手１を介してシリンダ部１７に供給エアＡＲが供給される。シリンダ部１７にエアが供給されると、ダイヤフラムチャック部１９が開き、ワークＷを取り付け、取り外すことができる。
その後、シリンダ部１７に供給されたエアを、回転継手１を介して外部に流出させると、ダイヤフラムチャック部１９が閉じて、ワークＷを把持する。この状態で主軸５を回転させ、例えば、ワークＷの加工を行う。
【００３９】
次に、本発明の特徴部である回転継手１の作用について説明する。
初めに、回転継手１に所定圧力の供給エアが流入した際の作用について説明する。
まず、外部から供給エアＡＲが、図３に示すように、供給ジョイント２１および筐体流路２３を介して回転継手１に供給される。
供給エアＡＲは、図３および図４に示すように、外輪間座３１の外溝４３に流入し、外側供給孔４５内を内輪間座３３方向へ流れる。外側供給孔４５から流出した供給エアＡＲの大半は、内輪間座３３の中溝４９に流入し、内側供給孔５３、内溝５１に流入する。内溝５１に流入した供給エアＡＲは、主軸５の主軸流路２５に流入する。
【００４０】
一方、外側供給孔４５から流出した供給エアＡＲの残りは、外輪間座３１と内輪間座３３との間のクリアランスに流入する。クリアランスに流入した供給エアＡＲは継手ベアリング２９方向に流れ、緩衝溝５７に流入し、緩衝溝５７で堰き止められる。
緩衝溝５７を越えて更に継手ベアリング２９方向に流出した供給エアＡＲは、密閉用シール３５と外輪３７との隙間ＣＬを通って外輪３７と内輪３９の間の空間に流入しようとする。この時、供給エアＡＲは密閉用シール３５を外輪３７方向に押圧するため、密閉用シール３５は外輪３７方向に撓み、密閉用シール３５の外周部は外輪３７と接触する。
【００４１】
以後、密閉用シール３５には供給エアＡＲの圧力が作用するため、密閉用シール３５の外周部と外輪３７とは密着する。回転継手１に供給エアＡＲが供給されている際には、上述のように主軸５は回転していないため、密閉用シール３５と外輪３７との間には摺動は発生せず、摺動熱も発生していない。
【００４２】
次に、主軸５が回転している場合の回転継手１の作用について説明する。
主軸５が回転していると、図３および図４に示すように、内輪３９、内輪間座３３および密閉用シール３５は主軸とともに回転する。
密閉用シール３５が回転すると、密閉用シール３５に遠心力が働くため、その外周部は半径方向外側へ真っ直ぐに延びる。そのため、密閉用シール３５の外周部と外輪３７および外輪間座３１との間に隙間が形成される。
また、密閉用シール３５の近傍領域の空気は、その粘性により密閉用シール３５とともに回転するため、回転する空気の圧力により密閉用シール３５の外周部と外輪３７および外輪間座３１との間に隙間が形成される。
【００４３】
密閉用シール３５と外輪３７および外輪間座３１とは接触していないため、密閉用シール３５が回転しても外輪３７および外輪間座３１とは摺動せず、摺動熱は発生しない。主軸５が回転されている場合には、回転継手１に供給エアＡＲが供給されていないため、密閉用シール３５は外輪３７方向に押圧されず、外輪３７と接触することがない。
【００４４】
上記の構成によれば、内輪間座３３と外輪間座３１との間には所定間隔のクリアランスが設けられ、密閉用シール３５の外周部と外輪３７および外輪間座３１との間に隙間が形成されている。そのため、回転継手１に供給エアＡＲが供給されていない場合には、主軸５の回転による密閉用シール３５と外輪３７および外輪間座３１との摺動が防止され、摺動による熱の発生を防止できる。その結果、主軸５の高速回転への対応を可能とすることができる。
【００４５】
回転継手１に供給エアＡＲが供給されたときには、密閉用シール３５の外周部が供給エアＡＲに押圧されて隣接する外輪３７と接触する、または、隣接する外輪３７との隙間が狭くなるため、回転継手１の密閉性を向上させることができる。
【００４６】
回転継手１は、継手ベアリング２９の間に配置された外輪間座３１と、内輪間座３３と、密閉用シール３５とにより構成されるため、従来のように回転継手を設ける専用のスペースを設けることなく配置でき、設置スペースを小さくすることができる。
【００４７】
外輪間座３１の中心軸線Ｃ方向の幅Ｌｏが、内輪間座３３の中心軸線Ｃ方向の幅Ｌｉよりも広いため、内輪間座３３を挟む内輪３９の間隔より外輪間座３１を挟む外輪３７の間隔が広くなる。そのため、内輪３９と内輪間座３３とに挟まれた密閉用シール３５の外周部が半径方向外側に延びた場合に、上記外周部と外輪３７との間に隙間を形成することができる。
また、外輪間座３１の外輪３７に対向する面には外側段差部４７が設けられているため、密閉用シール３５の外周部が半径方向外側に延びた場合に、上記外周部と外輪間座３１との間に隙間を形成することができる。
【００４８】
内輪間座３３の内周面に上記クリアランスの所定間隔を広くする緩衝溝５７が設けられているため、外輪間座３１と内輪間座３３との間のクリアランスを外側供給孔４５から継手ベアリング２９に向かって流れる供給エアＡＲを緩衝溝５７で止めることができる。
【００４９】
密閉用シール３５が摩擦係数の小さなポリ４フッ化エチレンから形成されているため、主軸５が回転している間に密閉用シール３５と外輪３７とが接触しても、摺動による熱が発生しにくくなる。また、密閉用シール３５がポリ４フッ化エチレンの膜であるため、可撓性が高く、わずかな圧力でも密閉用シール３５と外輪３７とを接触させることができる。
また、ポリ４フッ化エチレン性の膜は非常に安価に入手できるため、本発明の回転継手１を安価に製造することができる。
【００５０】
なお、上述のように、主軸５を停止した状態で回転継手１に供給エアＡＲを供給してもよいし、主軸５を回転した状態で回転継手１に供給エアＡＲを供給しても構わない。このときの主軸５の回転数は、ワークを加工などする場合の回転数よりも低い回転数であることが望ましい。
この場合、密閉用シール３５に供給エアＡＲによる押圧力が働くため、密閉用シール３５と外輪３７との隙間ＣＬは、エアが供給されていない場合と比較して狭くなる。一方、密閉用シール３５は、密閉用シール３５の回転により働く遠心力と、粘性により密閉用シール３５の近傍を密閉用シール３５とともに回転する空気とにより、外輪３７と接触しない。
【００５１】
なお、上述のように、外輪間座３１の幅Ｌｏを内輪間座３３の幅Ｌｉよりも広く形成して、密閉用シール３５と外輪３７との隙間を形成してもよいし、外輪間座３１の幅Ｌｏと内輪間座３３の幅Ｌｉとを略同じ、または、幅Ｌｏを幅Ｌｉよりも狭く形成するとともに、外輪３７に段差部を形成して、密閉用シール３５と外輪３７との隙間を形成しても構わない。
【００５２】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記の実施の形態においては、本発明の回転継手をチャック装置に適用して説明したが、チャック装置に限られることなく、外部から回転軸内に流体を供給するその他の装置全般に適用することができるものである。
【００５３】
また、上記の実施形態においては、外側に固定された筐体が配置され、内側に回転する主軸が配置された場合における回転継手に適用して説明したが、この構成に限られることなく、外側に回転する筐体が配置され、内側に固定された軸が配置された場合における回転継手にも適用することができるものである。
【００５４】
さらに、上記の実施形態においては、内輪間座と内輪との間にシール部材が挟まれた構成の回転継手に適用して説明したが、この構成に限られることなく、外輪間座と外輪との間にシール部材が挟まれた構成の回転継手にも適用することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の一実施形態に係る回転継手を供えたチャック装置の全体構成を説明する図である。
【図２】図１のチャック装置におけるＡ−Ａ断面視図である。
【図３】図２におけるＥ−Ｅ断面視図である。
【図４】図３の回転継手の要部を説明する部分拡大図である。
【符号の説明】
【００５６】
１  回転継手（流体供給用回転継手）
５  主軸（内側部材）
１１  筐体（外側部材）
２９  継手ベアリング（ベアリング）
３１  外輪間座
３３  内輪間座
３５  密閉用シール（シール部材）
４３  外溝（流路）
４５  外側供給孔（流路）
４７  外側段差部（段差部）
４９  中溝（流路）
５１  内溝（流路）
５３  内側供給孔（流路）
５７  緩衝溝（拡大部）
ＡＲ  供給エア（流体）
ＣＬ  隙間
【図１】
0004573230.tif 000002
【図２】
0004573230.tif 000003
【図３】
0004573230.tif 000004
【図４】
0004573230.tif 000005