(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の成分、すなわち（Ａ）砥粒微粒子と、（Ｂ）クエン酸、または炭酸カリウムあるいは炭酸ナトリウムよりなる塩で、水に溶解して酸性あるいは塩基性を示す化合物の少なくとも１種と、（Ｃ）結合材としての樹脂とを含有する砥石であり、前記（Ｂ）クエン酸、または炭酸カリウムあるいは炭酸ナトリウムよりなる塩で、水に溶解して酸性あるいは塩基性を示す化合物が砥石組織内で均質に存在しており、かつ、前記各成分の砥石全体に対する配合比が体積含有率で、（Ａ）砥粒微粒子が３０ないし７０％、（Ｂ）クエン酸、または炭酸カリウムあるいは炭酸ナトリウムよりなる塩で、水に溶解して酸性あるいは塩基性を示す化合物が１０ないし３０％の範囲、（Ｃ）結合材としての樹脂が２０ないし５０％の範囲にあることを特徴とするベアウェーハの表面あるいはデバイスウェーハ表面のポリッシング加工用合成砥石。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、例えばシリコンウェーハ、あるいはシリコンウェーハを素材とした半導体素子製造技術における表面加工方法に関わり、ベアウェーハ（表面にデバイスが形成されていないウェーハ）の表面のポリッシング加工、デバイスウェーハの層間絶縁膜の平坦化工程、埋め込み金属配線の形成工程等の研磨加工を行なうための合成砥石に関するものである。
【０００２】
【従来技術】
半導体素子の基板となるシリコンウェーハ、即ち、ベアウェーハの表面の加工はシリコン単結晶インゴッドをスライスしたウェーハをラッピング、エッチング、プレポリッシングおよびポリッシング等の数段の工程を経て鏡面に仕上げるのが一般的である。ラッピング工程において平行度、平坦度等の寸法精度、形状精度を得、ついでエッチング工程においてはラッピング工程でできた加工変質層を除去し、更にプレポリッシングおよびポリッシング工程において良好な形状精度を維持した上で鏡面レベルの面粗さを持ったウェーハを得るのが一般的な工程である。このプレポリッシングおよびポリッシング工程は、通常ポリッシングパッドおよび砥粒スラリーを含んだ研磨用組成物の液を用いて行われる。この研磨用組成物は酸性成分あるいは塩基性成分を含み、酸または塩基による化学的作用（シリコンに対する腐食作用）と、同時に含まれる微細砥粒による機械的作用を応用した作用により加工が進められる。
【０００３】
また、鏡面ウェーハを基板とした半導体素子の多層配線は、層間絶縁膜および金属膜の形成とエッチバックと平坦化（プラナリゼーション）との組み合わせで行なうのが一般的な方法である。ＳＴＩ（微細化素子分離）パターンウェーハやダマシン法によるウェーハ等デバイスウェーハの起伏のある金属膜の面、酸化絶縁膜の面の平坦化、あるいは微細回路を形成する金属と酸化膜とが共存する複合面に、精緻な寸法精度と平坦度及び面粗さとを形成するための平坦化加工方法としては、例えば表面にポリッシングパッドを貼付した定盤に被加工物（以下ワークと記す）を押しあて、研磨剤たる砥粒微粒子スラリーを含んだ研磨用組成物の液を供給しつつ、定盤およびワークを押圧回転させるという方法が用いられている。ポリッシング作用においては上述の砥粒微粒子は遊離砥粒としてワーク表面に押圧され転動し、その機械的な作用によりワーク表面の加工が進む。研磨用組成物の成分として、ワークに化学的な作用を起こす成分、例えば酸化剤や塩基性成分を加えておくと、その成分の化学的作用と砥粒のもつ機械的な作用の複合作用によりワーク表面の平坦化作用が進められる。このような化学的作用と機械的作用を組み合わせた加工方法は、一般的にＣＭＰ（ケミカルメカニカルポリッシング）加工と呼ばれ、シリコンウェーハの表面ポリッシングや半導体素子のプラナリゼーションの最近の手法として公知である。
【０００４】
上述の方法は、一般的には例えばスェード調の合成皮革等よりなるポリッシングパッドを貼付した定盤上にシリコンウェーハ等のワークを押圧し、その表面に微細砥粒スラリーを含んだ研磨用組成物の液を供給しつつ、定盤およびワークの双方を回転させその作用でＣＭＰ加工を進めるという方法が採られている。ポリッシングパッドは微細な細孔を有する多孔質体であり、その構造ゆえに微細砥粒を含んだ研磨用組成物の液を効果的に把持し、その系外への散逸を防止する。ここで用いられるポリッシングパッドは、酸あるいはアルカリ等の成分と接触し、湿潤状態で高い加圧と摩擦状態で用いられるのであるから、化学的にも熱的にも強く、機械的な圧縮、擦過等の作用に耐え、外的条件により容易に変形するようなものであってはならない。即ち、繊維素材をベースとするものであっても構造的に強く形状安定性に優れたものが求められる。一般的には硬質ウレタンの発泡体や不織布の樹脂処理品、例えばスエード調合成皮革が用いられている。
【０００５】
また、研磨用組成物としては、例えば米国特許第３３２８１４１号公報に示されているように、塩基性成分を含んだ溶液に微細なコロイド状酸化珪素粒子（コロイダルシリカ）を分散した溶液が一般的に使用される。この加工のメカニズムは、その前工程であるラッピング工程で行われるような、例えば硬質な遊離状態のアルミナ系砥粒を用いた加工のメカニズムとは異なるものであって、その成分である塩基性成分の化学的作用、具体的にはシリコンウェーハ等ワークに対する腐食（浸蝕）作用を応用したものである。すなわち、塩基の持つ腐食性により、シリコンウェーハ等ワーク表面に薄い軟質の浸蝕層が形成される。その薄層を微細なコロイド状酸化珪素粒子の機械的作用により除去してゆくことにより加工が進むのである。更に、コロイド状シリカに加えて他の酸化セリウム等の砥粒を併用する技術も開示されている（例えば米国特許第５２６４０１０号公報）。
【０００６】
これら上述の従来方法はいずれも樹脂発泡体あるいは不織布の樹脂加工品等よりなるポリッシングパッドを加工用の砥粒の担体として用いるものである。このポリッシングパッドはその使用目的から、圧力、熱、摩擦、化学薬品により容易に変形することの少ないものが使用されているが、所詮は樹脂あるいは樹脂処理した繊維素材であるため、ミクロな見方から見れば圧力、熱、摩擦あるいは化学薬品の作用により多少は変形するものである。即ち、ワークへの押圧によりエッジあるいは段差のある部分に当接する部分は僅かに凹みが生じ、よって、それに伴なうベアウェーハに見られるワークのエッジ部分のダレ（ロールオフ）、ＳＴＩパターンウェーハやダマシン法によるウェーハ等デバイスウェーハの段差部分、境界部分あるいは相対的に軟質な部分に対するディッシング、エロージョン等好ましからざる現象の発生は避けられないものであった。また、ポリッシングパッドの目詰りや損傷による表面状態の変化で加工レートが刻々と変化するためルーチンでの加工が難しいという問題もある。更に、スラリーを用いることによるＣＭＰ加工特有の欠点、即ち、加工後のワーク自体の汚染、加工機の汚染、排液による環境汚染等は避けられず、それに伴なう洗浄工程の設置、加工機自体のメンテナンスサイクルの短縮、廃液処理設備への負荷増大等も問題点の一つとして大きく取り上げられている。
【０００７】
上述の問題点を解消するために、ポリッシングパッド自体の硬度、寸法安定性を上げ、更により薄い均質なポリッシングパッド素材を用いることにより使用時の変形を小さくし、ロールオフ、ディッシング、エロージョン等の発生を抑制する対策も行われているが、その効果には限度がある。また、要求精度自体もナノメーターレベルでの更なる向上が求められている現状から見て、ポリッシングパッドの改良のみでその要求に追随して行くことには技術的に限界がある。
【０００８】
一方、ナノメーターレベルでのより精緻な形状精度、寸法精度を求める要求には、寸法安定性に問題のあるポリッシングパッドでは基本的に対応できないという観点から、砥石を加工手段として用いることも行なわれている。具体的には例えば研削力の強いダイヤモンド砥粒を金属あるいは硬質樹脂等で固定化した合成砥石を用い、精度の高い強制切り込みタイプの精密加工機を使用して鏡面仕上げを行うことも試みられている。この方法は、寸法安定性に問題のあるポリッシングパッドを使わないため加工におけるエッジ部分のダレ等を起こす要因がなく、かつ砥粒は砥石組織に把持された状態、即ち固定砥粒として作用するのであるから、遊離砥粒を用いた方法よりも仕上げ面の粗さも良好になるという利点を有する。また、ロールオフ、ディッシング、エロージョン等の加工材料の寸法安定性に起因する問題の解決に有効であるだけでなく、ポリッシング以前の工程を含めて一環加工を行なうことができるという可能性を有するが、反面、固定砥粒の使用により固定砥粒特有な方向性のある条痕が入り、それが潜在的欠陥となる他、微小チッピングやスクラッチ等の欠点も出やすく完全なものとは云い難かった。
特に、研削力に優れたダイヤモンド砥粒を使用した場合はその傾向が顕著である。なお、ここでいう合成砥石とは、砥粒微粒子を結合材をもって結合したものを指し、砥粒は砥石組織内に固定化されている。砥粒としては一般的に使用されているものが全て用いられ、また、結合材としては砥粒を固定する性能を有するものなら何でも使用できるが、一般的には金属、ゴム、セラミックス、樹脂等を用いることが多い。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者等は、上述のＣＭＰが持つ問題点に鑑み鋭意研究を行ない、砥石を用いた方法による解決を試みたものである。即ち、上述のＣＭＰが持つ問題点、つまりロールオフ、ディッシング、エロージョン等加工後のワークの形状精度や寸法精度の狂いの問題、加工性能の不安定さの問題、更には汚染の問題等の主たる原因はポリッシングパッドを使用する点にあることに留意し、砥粒微粒子と、ワークに対し反応性を有する化合物とを含み、それ等を特定の結合材をもって固定化した合成砥石の使用が問題解決に有効であることを見出したものである。更にその使用においては、ある特定のｐＨの範囲において行なうことがその効果がより顕著であることを見出し、本発明のケミカルメカニカル研削（以下ＣＭＧと略記する）用合成砥石を完成するに至ったものである。すなわち、本発明は、シリコンウェーハあるいはシリコンウェーハを素材とした半導体素子製造技術における表面加工方法に関わり、その目的はベアウェーハの表面のポリッシング加工、層間絶縁膜の平坦化工程、埋め込み金属配線の形成工程等の研磨加工を行なうためのＣＭＧ用合成砥石を提供することにある。
【００１０】
【問題を解決するための手段】
上述の目的は、下記の成分、すなわち（Ａ）砥粒微粒子と、（Ｂ）クエン酸、または炭酸カリウムあるいは炭酸ナトリウムよりなる塩で、水に溶解して酸性あるいは塩基性を示す化合物の少なくとも１種と、（Ｃ）結合材としての樹脂とを含有する砥石であり、前記（Ｂ）クエン酸、または炭酸カリウムあるいは炭酸ナトリウムよりなる塩で、水に溶解して酸性あるいは塩基性を示す化合物が砥石組織内で均質に存在しており、かつ、前記各成分の砥石全体に対する配合比が体積含有率で、（Ａ）砥粒微粒子が３０ないし７０％、（Ｂ）クエン酸、または炭酸カリウムあるいは炭酸ナトリウムよりなる塩で、水に溶解して酸性あるいは塩基性を示す化合物が１０ないし３０％の範囲、（Ｃ）結合材としての樹脂が２０ないし５０％の範囲にあることを特徴とするベアウェーハの表面あるいはデバイスウェーハ表面のポリッシング加工用合成砥石によって達成される。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明において用いられる砥粒微粒子のサイズ（番手）については、特に限定を受けるものではないが、少なくともＪＩＳＲ６００１に定められた番手で１０００番より細かい番手のものを用いることが好ましい。１０００番よりも粗い番手の砥粒では本発明の目的であるポリッシングレベルの精密加工を行なうことはできない。また、本発明にいう砥粒微粒子とは、研削、研磨等の目的に使用される高硬度の粒状、粉末状あるいはコロイド状の物質全てを指すものであり特に限定を受けるものではなく、例えば、ダイヤモンド、エメリー、ガーネット、窒化硼素、炭化珪素、酸化珪素（シリカ）、酸化セリウム（セリア）、酸化アルミニウム（アルミナ）、酸化クロム、酸化鉄（ベンガラ）、酸化ジルコニウム（ジルコニア）、酸化マンガン、炭酸バリウム等を挙げることができる。これらの中で、ダイヤモンド、炭化珪素、酸化珪素、酸化セリウム、酸化アルミニウムうちいずれか一つあるいはそれ以上を用いることが好ましく、特に好ましくはダイヤモンド、酸化珪素、酸化セリウムを挙げることができる。
また、本発明においては、砥粒微粒子の配合比は体積含有率で３０ないし７０％とすることが必要である。３０％以下であると、砥粒の比率が少なく所期の研削力を得ることができない。また、７０％以上であると砥粒が多すぎてスクラッチ等の欠点が出やすく、また製造も困難である。
【００１２】
本発明の肝要は、上述の砥粒微粒子の他に、水に溶解して酸性あるいは塩基性を示す化合物を含有することにある。すなわち、水に溶解して酸性あるいは塩基性を示す化合物を含有することにより、それぞれのワークが化学反応を起こすに適した環境が形成され、その環境下において好ましいＣＭＧ加工が行なわれるのである。水に溶解して酸性あるいは塩基性を示す化合物としては特に限定を加えるものではないが、水溶性の酸あるいは塩類等を挙げることができ、その中で特に水溶性の塩類が好適である。ここでいう塩類とは、酸と塩基との組み合わせで形成されるものを云い、その中で特に加工対象であるワークが化学的反応を起こし易いものが用いられる。例えば、シリコンベアウェーハの表面や酸化珪素よりなる層間絶縁膜の加工に対しては水に溶けて塩基性を示す塩類、すなわち、弱酸と強塩基よりなる塩あるいは塩基性塩の使用が好ましい。また、例えば銅やアルミ等の埋め込み金属配線用の金属膜の除去加工については水に溶けて酸性を示す塩類、即ち、強酸と弱塩基よりなる塩や水素塩あるいは酸類の使用が好ましい。
【００１３】
これらの化合物は加工時に水と会ってそれぞれ酸性あるいは塩基性を示し、それがワークに対して化学的作用を起こし、砥石組織内に固定されている砥粒微粒子の機械的作用と相俟ってＣＭＧ加工を進めるのであるから、不使用時には安定した形で存在することが求められる。また、例えば揮発性を持ち、経時的に消滅するようなものであってもならない。すなわち、合成砥石製造時には粉体等安定な固体の状態であることが好ましい。好ましい弱酸と強塩基よりなる塩類の例としては、炭酸ナトリウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸カリウム、カルボン酸のアルカリ金属塩、等を挙げることができる。また、好ましい強酸と弱塩基よりなる塩の例としては、硫酸亜鉛、硫酸アンモニウム、硝酸亜鉛、塩化アンモニウム、分子量の高いアルキルスルホン酸のアミン塩等を挙げることができる。更に、水素酸としては例えば炭酸水素ナトリウムを挙げることができる。
また、酒石酸、クエン酸、没食子酸、蓚酸、硼酸等常温で固体の酸も使用することができる。
本発明において、水に溶解して酸性あるいは塩基性を示す化合物の配合比が砥石組織全体に対する体積含有率で１０ないし３０％の範囲であることが必要である。１０％以下であると、その効果が十分でなく安定した加工が行なえない。また、３０％を越えると量的に過剰であり、むしろ砥石の強度あるいは硬度等の物性に悪影響を与える。
【００１４】
本発明の合成砥石を構成する樹脂系の結合材については、特に限定を受けるものではないが、水系の加工液を用いて加工を行なうのであるから、少なくとも水で膨潤したり溶解したり変質したりするものであってはならない。具体的には熱硬化性樹脂、例えばフェノール系樹脂、エポキシ系樹脂、メラミン系樹脂、硬質ウレタン系樹脂、尿素系樹脂、不飽和ポリエステル系樹脂、アルキッド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリビニールアセタール系樹脂等を挙げることができる。これらの樹脂は単独で用いてもよいしまた、２種類以上を組み合わせて用いてもよい。これらの熱硬化性樹脂を硬化させたものは、耐水性、対薬品性、耐熱性に優れ、また適度な硬度を持ち、使用時の形状安定性、寸法安定性に優れるものである。本発明においては、これらの性質に加え、すぐれた機械的強度と対磨耗性に優れたフェノール系樹脂を用いることが特に好ましい。本発明になる合成砥石においては、結合材としての樹脂の配合比が砥石全体に対する体積含有率で２０ないし５０％の範囲であることが必要である。２０％以下であると、結合材としての効果が低く、良好な砥石構造を得ることができない。また、５０％を越えると結合材が多すぎて砥石としての性能を引き出すことができない。
【００１５】
本発明の合成砥石の製造については、特に限定を受けるものではないが、一般的な樹脂系の合成砥石の製造方法に準拠して製造することが可能である。特に、フェノール系樹脂を用いる場合は、以下のような方法で製造することができる。すなわち、原料である砥粒微粒子、水に溶解して酸性あるいは塩基性を示す化合物の粉末、およびフェノール系の樹脂の粉末を所定量均質混合し、所定の型枠に入れ加圧成型し、然るのちフェノール系の樹脂の硬化温度以上の温度で熱処理を行なうことによって得られる。フェノール系樹脂として液状の樹脂を使用し、混合成型時に添加しペースト状にして混練してもよい。この液状のフェノール系樹脂は、比較的分子量の低い液状のプレポリマーであってもよいし、また、溶剤に溶解した溶液状のものであってもよく、粉末状のノボラック型フェノール系樹脂と併用してもよい。水に溶解して酸性あるいは塩基性を示す化合物は、粉末あるいは顆粒状で加えてもよい。
【００１６】
本発明の合成砥石を用いて、ベアウェーハの表面のポリッシング加工、ＳＴＩパターンウェーハやダマシン法によるウェーハ等デバイスウェーハの層間絶縁膜の平坦化工程、埋め込み金属配線の形成工程等の研磨加工を行なう場合、各加工目的に合致した化合物を含有させた合成砥石を用いることが肝要である。すなわち、ワークの表面は砥石に含有される化合物により化学的浸蝕作用を受け、同時に固定砥粒として含まれる砥粒微粒子の機械的作用により総合的に加工が進むのであるから、本発明の合成砥石中に含まれる化合物は水に溶解して対象とするワークに均質に作用するものでなければならない。そして、その作用は特有のｐＨ範囲において、最も効果的に発揮されるのであるから、実際の加工においてはその特有のｐＨ範囲を安定に維持させるようにしなければならない。例えば、シリコンベアウェーハやデバイスウェーハの酸化絶縁膜の表面研磨を目的とするような場合、ｐＨ９−１２程度の塩基性雰囲気において、水に溶解して塩基性を示す化合物を含んだ合成砥石との接触により効果的な加工が行なえるのであり、また、金属膜の加工に対しては水に溶解して酸性を示す化合物を含んだ合成砥石を、ｐＨ２−６程度の酸性雰囲気で用いての加工が求められる。本発明の合成砥石に含まれる化合物の持つかかる化学的作用は、水の存在において、安定にかつ、円滑に発現されるのであるから、使用時には水系の加工液を供給しながら行なうことが好ましい。水系の加工液としては、上述のｐＨ環境を安定に維持するものが更に好ましく、少なくとも逆のｐＨを示すようなものであってはならない。水単独でもよいが、含有される塩類の持つｐＨを安定に維持するような緩衝作用を持った加工液を用いてもよい。
【００１７】
本発明においては、砥石を装着し加工を行なう装置、即ち加工機のタイプについては特に限定を受けるものではない。一般的にポリッシング用として使用されている装置、すなわち、ポリッシングパッドの代わりに砥石を配置した定盤上にワークを一定圧力で押し当て、双方を回転させながら加工液を供給し、加工を行なう装置を加工手段として使用することができる。この場合、砥石は砥石自体で一つの定盤状の研磨作用面を形成するようにすることが必要である。さらにまた、砥石とワークを同一軸上に対向するように配置し、双方を高速回転しながら加工面に加工液を供給し、予め設定された微小切込み量に従って砥石およびワークの双方あるいはその一方を微小移動させ、ワークの加工を行なうといういわゆる精密研削盤を加工手段として用いてもよい。この場合は砥石はカップ型あるいはディスク状の形態とし、砥石とワークの双方を高速回転して使用する。後者の装置を、例えばベアウェーハの加工に用いる場合は、ポリッシングだけでなく、それに先立つラッピング、エッチング、プレポリッシングの工程までを一貫して行なうことができるという利点をも有する。
【００１８】
【実施例】
以下、実施例に従い本発明の具体的実施態様を説明するが、それにより限定を受けるものではない。
砥石製造例１
砥粒として３０００番の酸化セリウム（ＣｅＯ2）および３０００番の酸化珪素（ＳｉＯ2）を用い、その各々の砥粒と粉末状の炭酸カリウム（Ｋ2ＣＯ3）とを混合し、その所定量を溶剤溶液型のフェノール樹脂溶液中に投入し、十分に撹拌、混練して均質な粘性ぺースト状混合物を得た。これを所定の型枠中に注型し、乾燥して溶剤を飛ばした後、熱プレスを行ない成型硬化せしめ、更に熱処理を行ないフェノール樹脂の硬化反応を完結せしめ合成砥石を得た。
粉末状の炭酸カリウム（Ｋ2ＣＯ3）を加えない他は上述と同様の方法で砥石製造を行ない、炭酸カリウムを含まない合成砥石を得た。
得られた砥石の組成を表１に示す。
【００１９】
【表１】
0004573492.tif 000002
【００２０】
実施例１、２および比較例１、２
上述の砥石製造例で得られた４種類の合成砥石を用いて、シリコンベアウェーハ（３インチサイズ）のＣＭＧ加工を行ない、加工量（除去量）、表面粗さ（Ｒａ）の測定を行ない、また、表面状態の観察をＳＥＭを用いて行なった。加工条件は以下に示す通りである。
加工機：東芝機械（株）製片面研削盤、ＵＬＰ−３００Ａ
砥石周速度：３０ｍ／ｍｉｎ
ワーク周速度：６．５ｍ／ｍｉｎ
加工圧力：１０ｇｆ／ｃｍ2
加工液：市水
加工液流量：２０ｍｌ／ｍｉｎ
加工量（除去量）は加工前後のワークの重量の変化を単位時間当たりに換算した。また、表面粗さ（Ｒａ）の測定はＺｙｇｏ ＮｅｗＶｉｅｗ２００ 干渉計にて行なった。
測定結果を表２に示す。
【００２１】
【表２】
0004573492.tif 000003
【００２２】
表２の結果から明らかな如く、炭酸カリウムを内添した本発明の砥石は、除去量、面粗さともに炭酸カリウムを内添しない砥石よりも優れた結果が得られた。
また、使用している砥粒の番手は３０００番で、その平均径は約５μｍであるにもかかわらず、サブミクロンオーダーあるいはナノメーターオーダーの超微粉を遊離砥粒として用いた従来のＣＭＰ加工と同等な加工結果を得ることができた。
すなわち、炭酸カリウムを内添した本発明の合成砥石は、水を加工液として供給することにより、加工段階で炭酸カリウムが少しずつ溶出し、それがウェーハ表面に接触することによりウェーハとの化学反応を起こし浸蝕層が形成される。その浸蝕層が固定砥粒により効果的に除去されるため、炭酸カリウムを内添しない砥石よりも加工速度（除去量）が格段に改良されるのである。また、ウェーハ表面と固定砥粒との接触は上記浸蝕層を介して行われるため、スクラッチ等固定砥粒特有の欠点も殆ど出ないのである。更に、ポリッシングパッドよりもはるかに寸法安定性および形状安定性に優れた合成砥石を使用するのであるから、ポリッシングパッドを用いた従来のＣＭＰ加工につきものの面ダレ（ロールオフ）の現象の発生は認められない。更にまた、使用する砥粒即ち、ＣｅＯ2とＳｉＯ2との比較を行なうと、ＣｅＯ2はＳｉＯ2に比較して除去量（加工速度）は及ばないが、面粗さについては顕著に優れた結果が得られている。
【００２３】
砥石製造例２
砥粒として３０００番の酸化セリウム（ＣｅＯ2）を用い、それと粉末状の炭酸ナトリウム（Ｎａ2ＣＯ3）、粉末状のフェノール樹脂の各々所定量を均質混合し、所定の型枠中に圧縮注型し、熱プレスを行ない成型硬化せしめ、更に熱処理を行ないフェノール樹脂の硬化反応を完結せしめ本発明の合成砥石を得た。
粉末状の炭酸ナトリウム（Ｎａ2ＣＯ3）を加えない他は上述と同様の方法で砥石製造を行ない、炭酸ナトリウム（Ｎａ2ＣＯ3）を含まない合成砥石を得た。
得られた砥石の組成を表３に示す。
【００２４】
【表３】
0004573492.tif 000004
合成砥石Ｅが本発明の砥石、合成砥石Ｆが比較例の砥石である。
【００２５】
実施例３−６および比較例３−７
上述の砥石製造例で得られた２種類の合成砥石を用いて、実施例１で用いたと同じ加工機を用いてシリコンベアウェーハ（３インチサイズ）のＣＭＧ加工を行なった。加工条件は表４に示す通りである。
なお、加工の際のｐＨは使用後の液のｐＨを測定したものである。更に、アンダーサーフェスダメージ（結晶歪）は加工後のウェーハをアングルスライスしてＳＥＭにて観察した結果を示すものである。
【００２６】
【表４】
0004573492.tif 000005
*1 ：外観は良好なるも顕著なスクラッチが認められる
【００２７】
表４の結果から明らかな如く、炭酸ナトリウムを内添した本発明の砥石は、同一加工条件での結果を比較すると除去量において炭酸ナトリウムを内添しない砥石よりも優れた結果を示している。また、ｐＨはアルカリ性の数値を示している。結晶歪層の深さにおいても４．１μｍという優れた数値を示しており同一条件での比較例よりも良好であり、更にダイヤモンド砥石を用いた方法での結晶歪層の深さが１５μｍ程度であることを勘案すると本発明方法の優位点は明らかである。炭酸カルシウムを内添した本発明の合成砥石は、水を加工液として供給することにより、加工段階で炭酸ナトリウムが少しずつ溶出し９.４程度のｐＨを保ち、それがウェーハ表面に接触することによりウェーハとの化学反応を起こし浸蝕層が形成される。その浸蝕層が固定砥粒により効果的に除去されるため、炭酸ナトリウムを内添しない砥石よりも加工速度（除去量）が改良されるのである。また、ウェーハ表面と固定砥粒との接触は上記浸蝕層を介して行われるため、スクラッチ等固定砥粒特有の欠点も殆ど出ないのである。更に、ポリッシングパッドよりもはるかに寸法安定性および形状安定性に優れた合成砥石を使用するのであるから、ポリッシングパッドを用いた従来のＣＭＰ加工につきものの面ダレ（ロールオフ）現象の発生はいずれの加工条件においても認められず、またデバイスウェーハの加工においてもディッシング、エロージョン等形状精度上好ましからざる現象の発生は認められない。
【００２８】
砥石製造例３
砥粒として３０００番の酸化セリウム（ＣｅＯ2）を用い、その各々の砥粒と粉末状のクエン酸とを混合し、その所定量を溶剤溶液型のフェノール樹脂溶液中に投入し、十分に撹拌、混練して均質な粘性ぺースト状混合物を得た。これを所定の型枠中に注型し、乾燥して溶剤を飛ばした後、熱プレスを行ない成型硬化せしめ、更に熱処理を行ないフェノール樹脂の硬化反応を完結せしめ合成砥石を得た。
粉末状のをクエン酸を加えない他は上述と同様の方法で砥石製造を行ない、クエン酸を含まない合成砥石を得た。
得られた砥石の組成を表５に示す。
【００２９】
【表５】
0004573492.tif 000006
合成砥石Ｇ、Ｈ、Ｉが本発明の砥石、合成砥石Ｊが比較例の砥石である。
【００３０】
実施例７−９および比較例８
上述の砥石製造例で得られた２種類の合成砥石を用いて、実施例１で用いたと同じ加工機を用いてシリコンベアウェーハ（３インチサイズ）のＣＭＧ加工を行なった。加工条件は、砥石回転数；６０ＲＰＭ、ウェーハ回転数；６０ＲＰＭ、加工圧力；０．２１ｋｇｆ/ｃｍ2、流量10ｍｌ/ｍｉｎである。
結果は表６に示す通りである。
【００３１】
【表６】
0004573492.tif 000007
【００３２】
上述の実験は、クエン酸を含んだ砥石の使用時における液のｐＨを確認するために行ったものである。実施例の砥石は含有するクエン酸の量により、使用時のｐＨが変わることは明らかである。本実験においては、アルカリ環境下で好ましく加工が行われるシリコンベアウェーハをワークとして用いたため、好ましい加工結果を示してはいない。別途、銅膜を施与されたウェーハをワークとして定性的に行なった研磨実験では、クエン酸を含む砥石が、含まない砥石に対して、除去量、面粗さともに、極めて良好な研磨加工結果が得られているとともにディッシング、エロージョン等従来のポリッシングパッドを使用した方法で見られた研磨に伴なう問題点も明らかに改善されている。
【００３３】
【発明の効果】
本発明になる合成砥石の使用により、従来ポリッシングパッドと遊離砥粒を含んだスラリーによって行われて来たＣＭＰ加工を、固定砥粒を有する合成砥石で行なうことを可能にしたものである。すなわち、合成砥石を用いるＣＭＧ加工の採用により、従来のＣＭＰ加工により加工されたワークの持つ品質上の問題点、つまり、ベアウェーハの加工に見られるロールオフ、ＳＴＩパターンウェーハやダマシン法によるウェーハ等デバイスウェーハ、特に材質や硬度に格差のある面の加工に見られるディッシング、エロージョン等形状面での欠点の発生を一気に解決したのみならず、ポリッシングパッドと遊離砥粒を用いるＣＭＰ加工に伴なう他の問題点も解決されたのである。即ち、加工の不安定さ、遊離砥粒を用いることによる使用加工機やワーク自体の汚染、排水による環境汚染等の問題点の解決である。更に、高価な遊離砥粒を多量に使用することによる加工コストを、大きく引き下げることもできたのである。即ち、本発明の業界に及ぼす効果は極めて大なるものがあるのである。