(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送方向と交差する方向に所定の角度で傾斜して搬送される基板をほぼ水平に角度変換する基板の角度変換装置において、
軸線を上記基板の搬送方向と交差する方向に対して所定の角度で傾斜させるとともに上記基板の搬送方向に対して所定の間隔で配置された複数の搬送ローラと、
これら搬送ローラの間に配置され上昇方向に駆動されることで上記基板を傾斜した状態からほぼ水平に角度変換して上記搬送ローラから上記基板を受け取る複数の受け渡しアームと、
この受け渡しアームを上下方向に駆動する駆動手段を具備し、
上記搬送ローラによって搬送される基板の傾斜方向下端には、この下端と転接して基板が傾斜方向下端側にずれるのを防止する位置ずれ防止ローラが転接するとともに、
上記受け渡しアームには、上昇時に上記基板の傾斜方向下端に転接して上記基板が上記位置ずれ防止ローラと摺接するのを防止する摺接防止ローラが設けられていることを特徴とする基板の角度変換装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は洗浄された基板を傾斜させて搬送し、板面に付着した洗浄液を流して乾燥処理する際に、この基板を傾斜状態から水平に角度変換する基板の角度変換装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば、液晶表示装置や半導体装置の製造工程においては、ガラス基板や半導体ウエハなどの基板に回路パタ−ンを形成するための成膜プロセスやフォトプロセスがある。これらのプロセスにおいては、上記基板を所定の薬液で処理した後、純水などの洗浄液で洗浄処理するということが行われる。基板の洗浄処理としては、基板を搬送ローラで搬送しながら、たとえば超音波振動を与えた洗浄水によって洗浄するメガソニック洗浄や洗浄ブラシで洗浄するブラシ洗浄などが行われる。
【０００３】
上記基板を洗浄液で洗浄処理したならば、この基板を搬送方向に対して交差する方向に所定の角度で傾斜した搬送ローラによって搬送することで、この基板の板面に付着した洗浄液をある程度流し落として均一化したのち、スピン処理装置に受け渡して高速回転させることで、乾燥処理するということが行なわれている。
【０００４】
所定の角度で傾斜した基板をロボットなどによってスピン処理装置に受け渡す場合、スピン処理装置では基板をほぼ水平に保持して回転させる。そのため、基板を傾斜した状態からほぼ水平に角度変換してからロボットによって受け渡すということが行なわれる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
搬送ローラによって所定の角度で傾斜した基板をほぼ水平に角度変換する場合、従来は複数の搬送ローラをユニット化し、このユニット上に基板が搬送されてきたならば、ユニット全体の角度を制御することで、基板を所定の角度で傾斜した状態からほぼ水平状態に角度変換するということが行われていた。
【０００６】
しかしながら、基板が大型化すると、複数の搬送ローラを有するユニットも大型化するため、そのユニットを角度変換するための駆動機構が大型化や複雑化するということがあり、設置スペースやコストなどの点で好ましくないということがあった。
【０００７】
この発明は、大型化や複雑化を招くことなく、所定の角度で傾斜して搬送される基板をほぼ水平に角度変換できるようにした基板の角度変換装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明は、搬送方向と交差する方向に所定の角度で傾斜して搬送される基板をほぼ水平に角度変換する基板の角度変換装置において、
軸線を上記基板の搬送方向と交差する方向に対して所定の角度で傾斜させるとともに上記基板の搬送方向に対して所定の間隔で配置された複数の搬送ローラと、
これら搬送ローラの間に配置され上昇方向に駆動されることで上記基板を傾斜した状態からほぼ水平に角度変換して上記搬送ローラから上記基板を受け取る複数の受け渡しアームと、
この受け渡しアームを上下方向に駆動する駆動手段を具備し、
上記搬送ローラによって搬送される基板の傾斜方向下端には、この下端と転接して基板が傾斜方向下端側にずれるのを防止する位置ずれ防止ローラが転接するとともに、
上記受け渡しアームには、上昇時に上記基板の傾斜方向下端に転接して上記基板が上記位置ずれ防止ローラと摺接するのを防止する摺接防止ローラが設けられていることを特徴とする基板の角度変換装置にある。
【００１１】
この発明によれば、搬送ローラの角度を変えることなく、搬送ローラ間に設けられた受け渡しアームを上昇させることで、上記搬送ローラによって所定の角度で傾斜して搬送される基板をほぼ水平に角度変換する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１に示すこの発明の基板の角度変換装置は搬送機構１を有する。この搬送機構１は液晶表示装置に用いられる矩形状のガラス製の基板２の搬送方向に対して所定間隔で配置された複数の搬送ローラ３を備えている。この搬送ローラ３はローラ軸３ａと、このローラ軸３ａの軸方向に所定間隔で設けられた複数の鍔状のローラ部材３ｂとから形成されている。
【００１４】
上記搬送ローラ３の下方にはドレンパン４が設けられている。このドレンパン４の基板２の搬送方向に対して交差する両側には支持板５が設けられ、この支持板５には上記複数の搬送ローラ３のローラ軸３ａの両端部が基板２の搬送方向に沿って所定間隔で回転自在に支持されている。
【００１５】
上記ドレンパン４はフレーム６に支持され、このフレーム６はベースプレート７に支持部材８によって所定の角度で傾斜して支持されている。つまり、搬送ローラ３の軸線が基板２の搬送方向と交差する方向に対して所定の角度で傾斜するよう上記ドレンパン４がベースプレート７に設けられている。
【００１６】
上記搬送ローラ３のローラ軸３ａの両端部にはそれぞれスプロケット１１が設けられ、隣り合うローラ軸３ａのスプロケットにはチェーン１２が掛け渡されている。複数の搬送ローラ３のうちの１つのローラ軸３ａの一端部は駆動源１０に連結されている。この駆動源１０によって１つのローラ軸３ａが回転駆動されると、チェーン１２を介して他の搬送ローラ３が回転されるようになっている。それによって、上記基板２は、下面を搬送ローラ３に支持されるとともに、搬送ローラ３の傾斜角度に応じた角度で搬送方向と交差する幅方向に傾斜して図１に矢印で示す方向へ搬送されるようになっている。
【００１７】
なお、図２に示すようにドレンパン４の底部は中央に向かって低くなる傾斜面になっていて、最も低い部位にはドレン管１３が接続されている。それによって、ドレンパン４内に滴下するドレンは上記ドレン管１３から排出されるようになっている。
【００１８】
上記ドレンパン４内には、上記基板２の傾斜方向下端に転接する複数の位置ずれ防止ローラ１４が回転軸線を基板２の板面に対してほぼ直交させ、かつ基板２の搬送方向に沿って所定間隔で配置されている。これらの位置ずれ防止ローラ１４が基板２の傾斜方向下端に転接することで、搬送される基板２が傾斜方向下端側にずれるのが防止されるようになっている。
【００１９】
所定間隔で配置された搬送ローラ３の間には、それぞれ受け渡しアーム１５が配設されている。この実施の形態では合計で４本の受け渡しアーム１５が設けられている。
【００２０】
図２と図３に示すように、上記搬送ローラ３の傾斜方向下端側に位置する上記受け渡しアーム１５の一端部にはそれぞれ逆Ｕ字状に形成されたブラケット１６の一端部が連結固定されている。このブラケット１６の他端部は、上記ドレンパン４の側壁を跨いで外部に導出されている。
【００２１】
４本のブラケット１６の他端部は帯板状の連結板１７によって一体的に結合されている。図３に示すように、この連結板１７の長手方向両端部にはレール部材１８が上下方向に沿って設けられている。このレール部材１８にはガイド部材１９が摺動可能に係合している。
【００２２】
一対のガイド部材１９は、上記ベースプレート７に立設された支持体２１の一側面の両端部に取付けられている。この支持体２１の中途部には連結片２２が設けられ、この連結片２２には上記ベースプレート７上にほぼ垂直に立設されたシリンダ２３のロッドが連結されている。したがって、上記シリンダ２３のロッドが突出方向に駆動されれば、上記受け渡しアーム１５はブラケット１６を介して上昇する。
【００２３】
上記連結片２２には図２に示すように当接部材２４が設けられている。上記支持体２１には上記シリンダ２３が作動して連結片２２が所定寸法上昇したときに上記当接部材２４が当接して受け渡しアーム１５の上昇位置を制限するストッパ部材２５が設けられている。
【００２４】
上記受け渡しアーム１５は、その上面がほぼ水平になるよう上記ブラケット１６に一端部が連結固定されている。この受け渡しアーム１６の上面には長手方向に沿って所定間隔で複数の接触子２６が設けられている。
【００２５】
図４に示すように、上記接触子２６は上面が球形状に形成されていて、受け渡しアーム１５が上記シリンダ２３によって上昇方向に駆動されると、上記搬送ローラ３によって所定位置まで搬送されてきた基板２の下面に点接触し、この基板２を搬送ローラ３のローラ部材３ｂから上昇させるようになっている。
【００２６】
各受け渡しアーム１５の上記ブラケット１６に固定された一端部には摺接防止ローラ２７が回転軸線を上記位置ずれ防止ローラ１４の回転軸線に対してほぼ直交させて回転可能に設けられている。
【００２７】
上記摺接防止ローラ２７と上記位置ずれ防止ローラ１４との位置関係を図５（ａ）〜（ｃ）に示す。すなわち、図５（ａ）に示すように摺接防止ローラ２７は、位置ずれ防止ローラ１４と干渉しないよう、基板２の搬送方向に対して位置をずらして配置されている。
【００２８】
しかも、図５（ｂ）に示すように摺接防止ローラ２７は、外周面の一部が位置ずれ防止ローラ１４の基板２の傾斜方向の下端に接触した外周面よりも基板２側に突出している。この突出寸法を同図にδで示す。そして、図５（ｂ）に示すように、基板２の傾斜方向下端が位置ずれ防止ローラ１４の外周面に接触した状態においては、摺接防止ローラ２７は外周面の基板２側に突出した部分が基板２の傾斜方向の下端に接触しないよう、その突出部分が基板２の下端よりも下方になるよう配置されている。
【００２９】
したがって、基板２の傾斜方向下端が位置ずれ防止ローラ１４の外周面に接触した状態で図５（ｃ）に矢印Ａで示すように受け渡しアーム１５が上昇方向に駆動されると、摺接防止ローラ２７の外周面が基板２の傾斜方向下端に転接して基板２を同図に矢印Ｂで示す方向へ押圧するから、基板２の下端が位置ずれ防止ローラ１４の外周面から離れる。つまり、摺接防止ローラ２７は、回転しながら基板２の下端を押圧する。
【００３０】
それによって、回転方向が基板２の上昇方向と交差する位置ずれ防止ローラ１４の外周面に基板２の下端が摺接することがなくなるから、基板２の下端にかけ（チッピング）が生じるのや摺接によりパーティクルが発生するのを防止できるようになっている。
【００３１】
基板２の傾斜方向下端が位置ずれ防止ローラ２７の外周面から離れるとほぼ動時に、受け渡しアーム１５の末端に位置する接触子２６が基板２の傾斜方向下端側の端部下面に点接触する。
【００３２】
なお、基板２の搬送方向に沿うドレンパン４の一端側には、図示しない基板２を洗浄するための洗浄ユニットが設けられている。上記ドレンパン４の基板２の搬送方向に沿う一端は、この洗浄ユニットの出口側に接近している。それによって、洗浄ユニットで洗浄された基板２は、ドレンパン４に設けられた搬送ローラ３に円滑に受け渡されるようになっている。
【００３３】
上記構成の角度変換装置によれば、基板２が洗浄ユニットで洗浄されると、ドレンパン４に設けられた搬送ローラ３が駆動源１０によって回転駆動されることで、その基板２が上記搬送ローラ３によって搬送方向に対して交差する方向に所定の角度で傾斜して搬送される。
【００３４】
それによって、洗浄ユニットで基板２に付着した洗浄液が傾斜方向下端側から流れ落ちるから、基板２に付着残留する洗浄液の量を少なく、しかもほぼ均一にすることができる。
【００３５】
傾斜して搬送される基板２の傾斜方向下端には位置ずれ防止ローラ１４が転接する。そのため、搬送ローラ３によって搬送される基板２が搬送の途中で傾斜方向下方へずれるのが防止される。つまり、基板２は位置ずれ防止ローラ１４によって幅方向（傾斜方向）に位置ずれすることなく搬送される。
【００３６】
基板２がドレンパン４上の所定位置まで搬送されてくると、駆動源１０が停止して基板２が位置決めされる。ついで、シリンダ２３が作動して受け渡しアーム１５が上昇方向に駆動される。それによって、受け渡しアーム１５の上端面に設けられた複数の接触子２６が基板２の下面の傾斜方向下方側から順次接触してこの基板２を搬送ローラ３のローラ部材３ｂから浮上させる。
【００３７】
上記受け渡しアーム１５はその上端面がほぼ水平になるよう設けられている。そのため、基板２は、搬送ローラ１５から受け渡しアーム１５に受け渡されることで、傾斜状態から水平状態になる。したがって、基板２は、図示しないロボットによって受け渡しアーム１５上から取り出されて図示しないスピン処理装置の回転テーブルにほぼ水平な状態で受け渡されることになる。
【００３８】
基板２を傾斜した状態からほぼ水平に角度変換する際、受け渡しアーム１５の上端面に所定間隔で設けられた複数の接触子２６が基板２の下面に順次点接触して角度変換する。
【００３９】
そのため、基板２の下面に傷が付き難いばかりか、基板２と接触子２６とが点接触であるため接触抵抗が小さいから、基板２を傾斜状態から水平状態へ円滑に回動させることができる。
【００４０】
しかも、基板２を傾斜状態から水平状態へ回動させる際、基板２の傾斜方向下端には摺接防止ローラ２７が転接し、この摺接防止ローラ２７によって基板２をその下端が位置ずれ防止ローラ１４の外周面から離れる方向へ押圧する。
【００４１】
それによって、基板２の傾斜方向の下端には、位置ずれ防止ローラ１４の外周面が摺接せず、摺接防止ローラ２７の外周面が転接するから、基板２の下端にかけが生じたり、摺接によるパーティクルの発生を招くなどのことを防止できる。
【００４２】
上記一実施の形態では、受け渡しアームを上下駆動する駆動手段としてシリンダを用いたが、ソレノイドやリニアモータなどの他の駆動手段を用いるようにしてもよい。
【００４３】
【発明の効果】
以上のようにこの発明によれば、搬送ローラの角度を変えることなく、搬送ローラ間に設けられた受け渡しアームを上昇させることで、上記搬送ローラによって所定の角度で傾斜して搬送された基板をほぼ水平に角度変換することができるようにした。
【００４４】
そのため、搬送ローラの角度を変える場合に比べて装置の小型化や簡略化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態を示す装置全体の平面図。
【図２】搬送ローラと受け渡しアームとの関係を示す側面図。
【図３】受け渡しアームの構造を示す平面図。
【図４】受け渡しアームの一部分の拡大図。
【図５】（ａ）は位置ずれ防止ローラと摺接防止ローラとの位置関係を示す平面図、（ｂ）は同じく側面図、（ｃ）は摺接防止ローラを上昇させたときの側面図。
【符号の説明】
２…基板
３…搬送ローラ
１４…位置ずれ防止ローラ
１５…受け渡しアーム
２３…シリンダ（駆動手段）
２６…接触子
【図１】
0004515649.tif 000002
【図２】
0004515649.tif 000003
【図３】
0004515649.tif 000004
【図４】
0004515649.tif 000005
【図５】
0004515649.tif 000006