(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マガジンなどの容器に装填されたマスクの汚染を洗浄するマスク洗浄方法において、
マガジンなどの容器に装填された複数のマスクについて、優先順と作業時間の一方あるいは両者をもとにソートして作業順を決定するステップと、
前記マガジンなどの容器に装填されたマスクのうち、当該マスクの作業時間がマスクの表面への汚染物質の堆積が許容される、マスクをマスクホルダに装填あるいは更にマスクホルダをマガジンに装填あるいは洗浄してからの第１の所定時間よりも短いマスクが見つかった場合には当該マスクを優先的に作業順を決定する、または前記マガジンなどの容器に装填されたマスクあるいは未作業のマスクについて洗浄を行う第２の所定時間を経過したときあるいは第２の所定時間を経過する毎に取り出して洗浄した後にマガジンなどの容器内に戻す、のいずれか一方あるいは両者を実行するステップと、
前記決定した作業順に前記マスクを取り出し、装置本体に搬送あるいは洗浄した後に装置本体に搬送し、作業を実行させるステップと、
前記作業を実行させて終了したときにマスクを前記マガジンなどの容器に搬送して戻すステップと
を有するマスク洗浄方法。
【請求項２】
前記第２の所定時間を前記第１の所定時間と同じ時間にしたことを特徴とする請求項１記載のマスク洗浄方法。
【請求項３】
前記マスクの洗浄は、酸化性のガスあるいは不活性ガスをマスクの近傍に導入した状態で紫外線あるいは赤外線を当該マスクの表面に照射し、当該マスクの表面に付着した汚染物質を除去することを特徴とする請求項１あるいは請求項２記載のマスク洗浄方法。
【請求項４】
旧の請求項４
前記マスクを保持するマスクホルダあるいは当該マスク自体に無線で読み書きするＩＣタグを貼付し、前記優先度、作業に要する作業時間、および洗浄した洗浄時間のうちの１つ以上を記憶することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のマスク洗浄方法。
【請求項５】
マガジンなどの容器に装填されたマスクの汚染を洗浄するマスク洗浄装置において、
マガジンなどの容器に装填された複数のマスクについて、優先順と作業時間の一方あるいは両者をもとにソートして作業順を決定する手段と、
前記マガジンなどの容器に装填されたマスクのうち、当該マスクの作業時間がマスクの表面への汚染物質の堆積が許容される、マスクをマスクホルダに装填あるいは更にマスクホルダをマガジンに装填あるいは洗浄してからの第１の所定時間よりも短いマスクが見つかった場合には当該マスクを優先的に作業順を決定する、または前記マガジンなどの容器に装填されたマスクあるいは未作業のマスクについて洗浄を行う第２の所定時間を経過したときあるいは第２の所定時間を経過する毎に取り出して洗浄した後にマガジンなどの容器内に戻す、のいずれか一方あるいは両者を実行する手段と、
前記決定した作業順に前記マスクを取り出し、装置本体に搬送あるいは洗浄した後に装置本体に搬送し、作業を実行させる手段と、
前記作業を実行させて終了したときにマスクを前記マガジンなどの容器に搬送して戻す手段と
を備えたことを特徴とするマスク洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、マガジンなどの容器に装填されたマスクの汚染を洗浄するマスク洗浄方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  近年、マスクＣＤ−ＳＥＭ（マスク上のパターンの線幅などを走査型電子顕微鏡を用いて検査する装置）では、測定項目が多枝に亘って、１枚のマスクの測定時間も１０時間を超過するものが多くなってきた。【０００３】  これまでは、マスク１枚ごとに装置にセットして、測定作業が終了すると、作業者がマスクを交換し、次のマスクについて測定作業を開始するというように進捗させていた。  また、欠陥判定方法において、欠陥の種類の判定が不可能である場合には判定を保留し、再洗浄した後に再び検索を行い前回検出が消滅していれば異物と判定し、同じ位置に存在していれば、検査者が走査型電子顕微鏡を用いて欠陥の種類を最終的に判定する技術がある（特許文献１）。【特許文献１】特開２００３−１８５５９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  しかし、上述したように、マスク１枚の測定時間が１０時間を超過するようになると、作業者がマスクの交換作業を行ったのでは極めて作業効率が悪く、マスクの自動交換が必要となった。このため、測定しようとする複数のマスクを上記装置にセットして長時間、放置しておくと、マスクの表面が汚染物質に晒されて当該長時間に対応した汚染がマスク表面に付着してしまい、測定誤差が大きくなってしなうなどの問題が発生した。  また、上述した特許文献１の技術では、欠陥の種類の判定が不可能である場合に再洗浄するものであり、事前に異物などの汚染を防止したり除去したりなどができないという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  本発明は、これらの問題を解決するため、マガジンなどの容器に装填された複数のマスクについて、優先順、測定時間の短い順に取り出してクリーニングした後に測定したり、所定時間以上経過したときにマガジンなどの容器内のマスクを取り出してクリーニングして元に戻したりするようにしている。
【発明の効果】
【０００６】  本発明は、マスクが長時間、マガジンなどの容器内に装填されても汚染のない状態で測定、保持することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】  本発明は、マガジンなどの容器に装填された複数のマスクについて、優先順、測定時間の短い順に取り出してクリーニングした後に測定したり、所定時間以上経過したときにマガジンなどの容器内のマスクを取り出してクリーニングして元に戻したりし、マスクが長時間、マガジンなどの容器内に装填されても汚染のない状態で測定、保持することを実現した。
【実施例１】
【０００８】  図１は、本発明のブロック構成図を示す。  図１において、マガジン１は、マスクホルダ３に固定したマスク２を、複数装填するものであって、当該マガジン１内は外部から塵埃などが入り込まないように密閉された持ち運び用の箱である。【０００９】  マスクホルダ３は、マスク（ウェハ上にパターンを露光するための原版）を固定するホルダであって、ここでは、ＩＣタグを貼付したものである。【００１０】  予備排気室４は、マガジン１から取り出した、マスク２を固定したマスクホルダ２を入れて予備排気するための部屋（密閉空間）であって、ここでは、クリーニング用のランプ４１、ガス導入機構４２などを設けた部屋である。マスク２の取り込み時は大気圧から１０−３ｍｍＴｏｒｒ程度に予備排気し、排出時は逆に真空から大気圧に空気を入れる。クリーニング時は、ガス（酸化性のガス（例えば空気）、不活性ガス（窒素など））を所定圧力に導入するものである。【００１１】  ランプ４１は、酸化性、不活性ガスを導入した状態で、マスク２の表面に紫外線、赤外線などを照射して汚染物質を除去するためのものである。【００１２】  ガス導入機構４２は、予備排気室４にガス（酸化性のガス（例えば空気、酸素ガス）、不活性ガス（窒素など））を所定圧力（例えば１０−２ｍｍＴｏｒ以内）に導入するものである。【００１３】  メインチャンバ５は、マスク２を固定したマスクホルダ３をステージ５１上に載せた状態で、ここでは、電子光学系６から細く絞った電子線プローブを平面走査し、そのときに当該マスク２の表面から放出された２次電子、反射電子、光など、あるいは吸収された電子などを図示外の公知の検出器で検出し、ディスプレイ上にその輝度で変調した画像（例えば２次電子画像）を表示させるための部屋（１０−６ｍｍＴｏｒｒ以下の真空の部屋）である。【００１４】  ステージ５１は、マスク２を固定したマスクホルダ３を載せ、任意方向（例えばＸ方向およびＹ方向）の所定位置に高精度に移動させるための機構である。【００１５】  電子光学系６は、電子線を発生させ、集束して細く絞った電子ビームを、ここでは、マスク２の表面に照射しつつ平面走査し、そのときに発生した２次電子などを検出し、図示外のディスプレイ上に高倍率の画像（例えば２次電子画像）を表示し、マスク２上の微細パターンを拡大表示し、指定された多数の位置のパターンの幅を自動測長したりなどするためのものである。【００１６】  ＰＣ１１は、プログラムに従い各種制御を行うパソコンであって、ここでは、主にマスク２の汚染をクリーニングさせるための各種制御を行うものであって、優先順序決定手段１２、クリーニング制御手段１３、測長手段１４などから構成されるものである。【００１７】  優先順序決定手段１２は、マガジン１に装填された複数のマスク２の作業する順序を決定するものである（図２、図５、図６などを用いて後述する）。【００１８】  クリーニング制御手段１３は、マスク２のクリーニングを制御するものである（図２、図３、図４などを用いて後述する）。【００１９】  測長手段１４は、マスク２上に形成されたパターンの線幅などを自動測長する公知のものである。【００２０】  次に、図２のフローチャートの順番に従い��図１の構成の全体の動作を詳細に説明する。【００２１】  図２は、本発明の動作説明フローチャートを示す。  図２において、Ｓ１は、優先度設定する。これは、マガジン１に装填したマスク２について、作業する順番の優先度を設定、例えば後述する図６の（ａ）の優先度テーブルにマスク名に対応づけて優先度（番号が小の程、優先度が高い）を設定する。【００２２】  Ｓ２は、マガジンをセットする。これは、図示外のクリーンルーム（前処理工程）内で複数のマスク２を固定したマスクホルダをマガジン１に装填した後、当該マガジン１を図１の装置（例えば測長装置）の部屋に搬送（自動あるいは作業者が搬送）し、図示の位置にセットする。【００２３】  Ｓ３は、マガジンから取り出し開始する。これは、Ｓ２で図示の位置にセットしたマガジン１からマスク２（マスクホルダ３に固定したマスク２、以下同様）の取り出しを開始する。【００２４】  Ｓ４は、優先順にソートする。これは、マガジン１内に装填されているマスク２について、Ｓ１で設定された優先順にソートする。【００２５】  Ｓ５は、測定作業時間を考慮して再ソートする。これはＳ４で優先順にソートした後、マスク２の測定作業時間を考慮して再ソート、例えば作業時間が大幅に短いものを優先するように再ソートする。具体的には、後述する図６の（ｃ）に示すように、優先順では、マスク名がＢ⇒Ａ⇒Ｃであったものを、作業時間が大幅に短いＡを優先し、Ａ⇒Ｂ⇒Ｃに再ソートする。【００２６】  Ｓ６は、搬送する。これは、Ｓ５で決定した順番のうちの先頭のマスク２を、マガジン１から取り出して予備排気室４に搬送し、予備排気する。【００２７】  Ｓ７は、クリーニング１を行う。これは、後述する図３のフローチャートに従い、ガスを、ここでは、予備排気室４に所定圧力に導入した後、ランプ４１を点灯して紫外線をマスク２の表面に照射して表面の汚染物質を除去してクリーニングする。【００２８】  Ｓ８は、搬送する。これは、Ｓ７でクリーニング１を完了した後、予備排気室４の予備排気を再度行って可及的に高真空にした後、当該予備排気室４とメインチャンバ５との間の仕切弁を開けて当該マスク２をメインチャンバ５の図示の測定作業する位置に搬送する。【００２９】  Ｓ９は、測定開始する。これは、図１のステージ５１の上に載置したマスク２（正確には、マスクホルダ３をステージ５１に載置し、当該マスクホルダ３に固定されたマスク２、以下同様）上の指定されたパターンの指定された場所の幅などの測長を開始する。【００３０】  Ｓ１０は、測定終了する。これは、Ｓ９で測定を開始し、指定された全てのパターンの全ての場所の測長を終了する。通常は、速くて１０分、長いと１０時間以上かかる。【００３１】  Ｓ１１は、マガジンに戻す。これは、Ｓ１０で作業終了したマスク２を予備排気室４に搬送し、更に、マガジン１の所定位置（通常は元の位置）に搬送して戻す。ここでは、マガジン１に戻すことは、正確には、図１のステージ５１に上に載置されているマスク２（マスクホルダ３に固定されたマスク２）について、予備排気室４が所定高真空であることを確認した後、当該予備排気室４とメインチャンバ５との間の仕切弁を開き、マスク２を予備排気室４に搬送した後、��該仕切弁を閉じる。そして、予備排気室４に乾燥空気（あるいは乾燥窒素ガス）を大気圧まで入れた後、予備排気室４とマガジン１との間の仕切弁を開き、マスク２をマガジン１の所定位置に搬送して入れて戻す。【００３２】  Ｓ１２は、終わりか判別する。これは、マガジン１内の全てのマスク２について、測長作業を終わったか判別する。ＹＥＳの場合には、終了する。ＮＯの場合には、Ｓ４に戻り、次のマスク２について繰り返す。【００３３】  以上によって、複数のマスク２を装填したマガジン１を図１の装置の予備排気室４の所定位置に自動セット（あるいは作業者がセット）するのみで、図１のＰＣ１１がＳ４からＳ１２までの制御を自動的に行い、優先順にマスク２を取り出してクリーニングした後、作業（ここでは、測長作業）を行うことを繰り返し、全ての作業を終了するまで自動的に繰り返し、自動作業（自動測長作業）することが可能となる。この際、測長に先立ち、自動的にマスク２の表面にガスを導入すると共にランプ４１から紫外線を照射して汚染物質を除去した後に測長することが可能となり、常に清掃なマスク２の表面の測長を自動的に行うことが可能となる。【００３４】  尚、予備排気室４内でガスを導入してランプ４１から紫外線を照射してマスク２の表面の汚染物質を除去したが、予備排気室４とは異なる隣接した別の部屋内にマスク２を搬送してガス導入およびランプ４１から紫外線照射してマスク２の表面の汚染物質を除去するようにしてもよい。この場合には、装置の予備排気室４を従来のものと同じにしておき、新たに別の部屋を設けてガス導入およびランプ４１から紫外線をマスク２の表面に照射する機構および自動搬送機構を追加するのみの構成で実現可能となる。【００３５】  図３は、本発明の動作説明フローチャート（クリーニング１）を示す。これは、既述した図２のＳ７のクリーニング１の詳細フローチャートである。【００３６】  図３において、Ｓ２１は、ガス導入する。これは、図１の予備排気室４にマスク２を搬送した状態で、当該予備排気室４を一旦、空気を排気した後、ガスを導入する。ガスとしては、右側に記載したように、    ・酸化性ガス：例えば酸素、空気など    ・不活性ガス：アルゴン、窒素などを所定圧力（例えば大気圧から１０−６パスカル位までの所定圧力）まで導入あるいは連続した微量を導入する。【００３７】  Ｓ２２は、紫外・赤外線を照射する。これは、    ・例えば４００ｎｍ以下から１７２ｎｍ程度の波長を放射する重水素ランプでマスク２の表面を照射したり、    ・例えば１０６４ｎｍ程度の波長を発生するＹＡＧレーザでマスク２の表面を照射したりする。照射時間は、マスク２の表面の汚染物質が除去できる時間を実験で求めて設定する（通常は数分から６０分程度の範囲内である）。【００３８】  Ｓ２３は、クリーニング完了する。  以上のように、図１の予備排気室４にマスク２を搬送した状態で、ガスを導入してランプ４１などから紫外線、赤外線を当該マスク２の表面に照射し、活性化したガスにより当該マスク２の表面の汚染物質をガス化して除去し、当該マスク２の表面のクリーニングを行うことが可能となる。【００３９】  図４は、本発明の動作説明フローチャート（クリーニング２）を示す。���れは、図１のマガジン１内に装填されたマスク２が長時間滞留した場合に、所定時間経過あるいは所定時間経過する毎に、マスク２の表面のクリーニングを行うときの処理の詳細を示す。【００４０】  図４において、Ｓ３１は、未測定かつ、所定時間以上経過したマスク２は有るか判別する。これは、図１のマガジン１内に装填されたマスク２のうち、未測定（未作業）、かつマスク２がマガジン１に装填（あるいはマガジン１が予備排気室４にセットあるいはマスク２をマスクホルダ３にセット）した時を起点（マスクホルダ３あるいはマスク２に貼付したＩＣタグに当該起点の日時を記録しておきこれを読み出す、あるいは図１のＰＣ１１のハードディスク装置内に当該起点の日時を記録しておきこれを読み出す）に、所定時間経過したマスク２が有るか判別する。ＹＥＳの場合には、Ｓ３２に進む。ＮＯの場合には、終了する。【００４１】  Ｓ３２は、取り出す。これは、Ｓ３１のＹＥＳとなったマスク２の取り出し、図１の予備排気室４内へ搬送する。【００４２】  Ｓ３３は、クリーニング１を実行する。これは、既述した図３のフローチャートに従い、クリーニング１（Ｓ２１からＳ２３）を実行し、マスク２の表面の汚染物質を除去する。【００４３】  Ｓ３４は、戻す。これは、Ｓ３３でクリーニング１でマスク２の表面の汚染物質を除去した後、マガジン１に当該マスク２を戻す。【００４４】  Ｓ３５は、終わりか判別する。ＹＥＳの場合には、終了する。ＮＯの場合には、マガジン１内に装填された次のマスク２についてＳ３１以降を繰り返す。【００４５】  以上によって、図１のマガジン１が予備排気室４にセットされた後は、未作業かつ所定時間経過したマスク２は、予備排気室４へ搬送して当該マスク２の表面の汚染物質を除去した後に戻すことにより、マガジン１内に滞留するマスク２の表面が時間の経過に従い汚染物質が堆積してしまう問題を解決し、常に当該マスク２の表面を清掃な状態に自動的に保持することが可能となる。【００４６】  図５は、本発明の動作説明フローチャートを示す。これは、マスク２の作業の順番を、優先度および処理時間をもとに決定する詳細なフローチャート例を示す。【００４７】  図５において、Ｓ４１は、３０分以内の測定はあるか判別する。これは、例えば後述する図６の（ａ）の優先度テーブルに設定されている、図１のマガジン１に装填されているマスク２のマスク名に対応づけて設定されている測定（作業）時間が３０分以内のものがあるか判別する。３０分以内は、ここで対象とする測定（作業）では非常に短い作業時間に相当する。Ｓ４１のＹＥＳの場合には、Ｓ４２に進む。ＮＯの場合には、測定（作業）時間が短いマスク２が無いと判明したので、Ｓ４３でそのまま（優先度順のまま）にし、終了する。【００４８】  Ｓ４２は、Ｓ４１のＹＥＳで当該マスク２の測定（作業）時間が３０分以内と判明したので、更に、優先度は１番か判別する。ＹＥＳの場合には、優先度が１番で優先しているので、Ｓ４３でそのまま（優先度順のまま）とし、終了する。一方、Ｓ４２のＮＯの場合には、優先度が１番でないと判明したので、Ｓ４４で入れ替え、即ち、３０分以内と判明したマスク２の優先度と、ここでは、１番の優先度のマスク２の���先度とを入れ替える。具体的には、図６の（ｃ−１）のマスク２の作業順番、Ｂ⇒Ａ⇒Ｃを、図４の（ｃ−２）のＡ⇒Ｂ⇒Ｃのように入れ替える（ＢとＡとの順番を逆に入れ替える）。【００４９】  以上のように、マガジン１内に装填されたマスク２について、通常は優先度順に測定（作業）を行うが、マスク２の測定（作業）の時間が短い（ここでは、例えば３０分以下）の場合には、当該短い測定（時間）のマスク２について、ここでは、優先度が１番でないときは他の優先度が１番のマスク２と順番を入れ替え、先に測定（作業）を行い、短い測定（作業）時間のマスク２が長時間、マガジン１内で待たされて汚染物質が堆積してしまう事態を解消することが可能となる。そして、未測定（未作業）で長時間、マガジン１内に滞留したマスク２については、既述した図４のフローチャートに従い、所定時間毎にマスク２の表面のクリーニングを実施し、汚染物質がマスク２の表面に堆積しないようにすることが可能となる。【００５０】  図６は、本発明の説明図を示す。  図６の（ａ）は、優先度テーブル例を示す。優先度テーブル７は、既述した図１のマガジン１に装填されたマスク２のマスク名に対応づけて図示の下記の情報を対応つけて登録して管理するものである。【００５１】    ・マスク名：    ・優先度：    ・測定（作業）時間：    ・その他：ここで、マスク名は図１のマガジン１に装填したマスク２を識別する一意の名前である。優先度は、マスク名で識別されるマスク２の測定（作業）の優先度であって、１，２，３・・・の順番に優先度が高いことを表すものである。測定（作業）時間は、マスク名で識別されるマスク２の測定（作業）に要する時間（推定した概略の時間）である。【００５２】  以上のように、図１のマガジン１に装填したマスク２について、優先度、測定（作業）時間を予め設定（既述した図２のＳ１で設定）することにより、マガジン１内の複数のマスク２について、優先度順に測定（作業）を実行したり、更に、図５のフローチャートのように、測定（作業）の時間が短い（ここでは、３０分以内）のときに優先して測定（作業）を実行して短い測定（作業）時間で済むマスク２への汚染物質の堆積を無くして迅速に測定（作業）を行うことなどが可能となる。【００５３】  図６の（ｂ）は、条件テーブルの例を示す。条件テーブル８は、測定（作業）の時間が短いときに、他のマスク２に優先して測定（作業）を実行するための条件を設定したものであって、ここでは、    ・３０分以内の測定はあるかを設定すると、既述した図５のＳ４１に、当該条件が設定され、３０分以内のマスク２の測定（作業）を優先的に実行することが可能となる（図５のフローチャートおよびその説明を参照）。【００５４】  図６の（ｃ）は、入れ替え例を示す。これは、図６の（ａ）の優先度テーブル７をもとに、図６の（ｂ）の条件テーブル８の条件を設定した既述した図５のフローチャートに従い、  ・単純に、優先度順のみでは図６の（ｃ−１）に示す      ・Ｂ⇒Ａ⇒Ｃの順番に測定（作業）を実行するが、しかし、  ・測定（作業）時間が３０分以内は優先的に測定（作業）を行う条件（図６の（ｂ）の条件）を設定した図５のフローチャートに従うと、図６の（ｃ−２）に示す      ・Ａ⇒Ｂ⇒Ｃとなる。【００５５】  以上のように、測定（作業）の時間が短い（ここでは、図６の（ｂ）の条件テーブル８に設定した３０分以内）のマスク２があるときは優先的に測定（作業）を実行することにより、当該短い測定（作業）の時間で済むマスク２の表面への汚染物質の堆積を防止して迅速に測定（作業）することが可能となる。【００５６】  図７は、本発明のＩＣタグおよびＩＣタグ情報例を示す。  図７の（ａ）は、ＩＣタグをマスクホルダ３に貼付した例を示す。ＩＣタグ９は、無線でデータを読み書きできるものであって、ここでは、マスクホルダ３に貼付している。尚、ＩＣタグ９を、マスク２の裏面などに直接に貼付してもよい。【００５７】  図７の（ｂ）は、ＩＣタグ９に記録する情報例を示す。ＩＣタグ９には、無線でここでは、図示の下記の情報の読み書きをする。【００５８】    ・ＩＤ：    ・マスク名：    ・日時：      ・マスクホルダ３にセットした日時：      ・マスク２をマガジン１にセットした日時：      ・装置にセットした日時      ・洗浄した日時    ・その他：  ここで、ＩＤはＩＣタグ９を一意に識別するＩＤである。マスク名は、ＩＣタグ９を貼付したマスク２のマスク名である。日時は、マスク２をマスクホルダ３にセットした日時、マスク２をマガジン１にセットした日時、および装置（図１の装置）にマガジン１をセットした日時、マスク２をクリーニング（洗浄）した日時である。【００５９】  以上のように、マガジン１内に装填するマスク２（あるいはマスク２を固定したマスクホルダ３）にＩＣタグ９を貼付してマスク名、日時を書き込んでおくことにより、図１のように、マガジン１が図示の位置にセットされたときに当該マガジン１内に装填されているマスク２の情報（マスク名と、日時）を読み出し、優先度順、更に、測定（作業）の時間の短いものを優先して測定（作業）することが可能となる。この際、測定（作業）の直前にクリーニングしてマスク２の表面を清掃にして測長したり、更に、マガジン１内にマスク２が所定時間以上滞留したとき（あるいは所定時間以上滞留する毎）に取り出してクリーニング（洗浄、図４参照）して戻し、マスク２の表面を自動的に綺麗に保持することが可能となる。【００６０】  尚、マガジン１内にマスク２が滞留した場合についいて、クリーニングするとしたが（図５）、マガジン１内のマスク２を別の部屋（容器）に移して保持（滞留）し、当該別の部屋からマスク２を順次取り出し、測定（作業）を実行する場合にも同様に本発明は当該別の部屋内でマスク２の表面に堆積する汚染物質のクリーニングについて適用できるものである。
【産業上の利用可能性】
【００６１】  本発明は、マスクが長時間、マガジンなどの容器内に装填されても汚染のない状態で測定、保持するマスク洗浄方法に関するものである。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明のブロック構成図である。
【図２】本発明の動作説明フローチャートである。
【図３】本発明の動作説明フローチャート（クリーニング１）である。
【図４】本発明の動作説明フローチャート（クリーニング２）である。
【図５】本発明の動作説明フローチャートである。
【図６】本発明の説明図である。
【図７】本発明のＩＣタグおよびＩＣタグ情報例である。
【符号の説明】
【００６３】１：マガジン２：マスク３：マスクホルダ４：予備排気室４１：ランプ４２：ガス導入機構５：メインチャンバ５１：ステージ６：電子光学系７：優先度テーブル８：条件テーブル９：ＩＣタグ１１：ＰＣ（パソコン）１２：優先順序決定手段１３：クリーニング制御手段１４：測長手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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