(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
トレイと蓋とにより枠体にペリクル膜が接着されたペリクルを収納するペリクル収納容器において、
前記蓋は半透明の有色で且つその明度がマンセル値８以下とし、暗室においてハロゲンランプ照明を該蓋に照射した時、目視によりその明度が前記マンセル値８以下の半透明で有色の背景から該蓋に付着した異物が際立って白く光って見えるよう構成したことを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
トレイと蓋とにより枠体にペリクル膜が接着されたペリクルを収納するペリクル収納容器に付着した異物検査方法において、
前記蓋は半透明の有色で且つその明度がマンセル値８以下で構成され、
暗室においてハロゲンランプ照明を前記蓋に照射した時、目視によりその明度が前記マンセル値８以下の半透明で有色の背景から該蓋に付着した異物が際立って白く光って見えることで、該蓋に付着した異物を目視検査することを特徴とするペリクル収納容器に付着した異物検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）、ＴＦＴＬＣＤ（薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルを収納するペリクル収納容器及び該ペリクル収納容器に付着した異物の検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体回路パターン等の製造においては、フォトマスクやレティクルの両面側にペリクルと称する防塵手段を配置して該フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。
【０００３】
ペリクルはフォトマスクやレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の一方の縁面に厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース或いはセルロース誘導体等の透明な高分子膜からなるペリクル膜を展張して接着し、且つ該枠体の他方の縁面に粘着材を介してフォトマスクやレティクルの表面に貼着される。
【０００４】
ペリクルを製造者から使用者に運搬するに当たっては、ペリクルが破損するのを防止すると共にペリクル膜等にゴミや塵埃等の異物が付着するのを防止するためにペリクルをトレイと蓋とからなる容器に収納して運搬するようになっている。
【０００５】
また、トレイや蓋に異物が付着していると、運搬中等に該容器の内部に収納された製品となるペリクル膜等に異物が転移する虞があり、使用者側で異物が転移したペリクルをフォトマスクやレティクルの表面に貼着して使用した場合、ペリクルからフォトマスクやレティクルに異物が転移して半導体回路パターンに欠損が生じる虞がある。
【０００６】
これを未然に防止するためにトレイ及び蓋は精密洗浄を施して乾燥させた後、全数について異物の目視検査を行う。この目視検査はクリーンルーム内の暗室において、数万ルクス程度の高輝度のハロゲンランプ照明をトレイ及び蓋の夫々に個別に照射し、目視により白く光って見える異物を粘着材等のクリーニング手段を用いて手作業により除去している。
【０００７】
一方、使用者側では納品検査時等において容器内に収納されたペリクルの有無を目視により検査出来ることが望ましく、従来では容器の蓋を無色透明で構成してペリクルの有無の目視検査を容易にしているのが一般であった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ペリクル容器の目視検査における作業能率は、異物の背景となる容器の色に依存するため、前述の従来例のように無色透明で構成されたペリクル容器の蓋の目視検査には多大な手間と時間がかかり、目視可能な異物の検査限界も異物の背景となる容器が無色透明の場合では外径２０μｍ程度の異物が目視検査の限界であった。
【０００９】
本発明は前記課題を解決するものであり、その目的とするところは、ペリクル容器の目視検査における作業能率を向上すると共に目視可能な異物の検査限界を向上することが出来、更には使用者側の納品検査時等において容器内に収納されたペリクルの有無を目視により検査し得るペリクル収納容器及び該ペリクル収納容器に付着した異物の検査方法を提供せんとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための本発明に係るペリクル収納容器は、トレイと蓋とにより枠体にペリクル膜が接着されたペリクルを収納するペリクル収納容器において、前記蓋は半透明の有色で且つその明度がマンセル値８以下とし、暗室においてハロゲンランプ照明を該蓋に照射した時、目視によりその明度が前記マンセル値８以下の半透明で有色の背景から該蓋に付着した異物が際立って白く光って見えるよう構成したことを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係るペリクル収納容器に付着した異物検査方法は、トレイと蓋とにより枠体にペリクル膜が接着されたペリクルを収納するペリクル収納容器に付着した異物検査方法において、前記蓋は半透明の有色で且つその明度がマンセル値８以下で構成され、暗室においてハロゲンランプ照明を前記蓋に照射した時、目視によりその明度が前記マンセル値８以下の半透明で有色の背景から該蓋に付着した異物が際立って白く光って見えることで、該蓋に付着した異物を目視検査することを特徴とする。
【００１２】
本発明は、上述の如く構成したので、異物の背景となるペリクル収納容器の蓋が半透明の有色で且つその明度がマンセル値８以下であるため、目視検査時にクリーンルーム内の暗室において、数万ルクス程度の高輝度のハロゲンランプ照明を蓋に照射した時、目視によりその明度がマンセル値８以下の有色の背景から該蓋に付着した異物が際立って白く光って見えるため目視検査における作業能率を向上することが出来、より小さな外径の異物を目視出来るため目視可能な異物の検査限界を向上することが出来る。
【００１３】
また、前記蓋が半透明の有色であることで、使用者側の納品検査時等において容器内に収納されたペリクルの有無を目視により検査することが出来る。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図により本発明に係るペリクル収納容器及び該ペリクル収納容器に付着した異物の検査方法の一実施形態を具体的に説明する。図１は本発明に係るペリクル収納容器のトレイを示す図であり、図１（ａ）はトレイの平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１（ｃ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【００１５】
また、図２は本発明に係るペリクル収納容器の蓋を示す図であり、図２（ａ）は蓋の平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＣ−Ｃ断面図、図２（ｃ）は図２（ａ）のＤ−Ｄ断面図、図２（ｄ）は本発明に係るペリクル収納容器の蓋の側面透視図である。また、図３はトレイと蓋とによりペリクルを収納した様子を示す断面説明図である。
【００１６】
図１に示すトレイ１及び図２に示す蓋２は、その内部にペリクル３を保持して収納するペリクル収納容器を構成するものであり、図３に示すように、ペリクル膜が上面に接着された枠体３ａの下面がトレイ１の外周部に設けられた台座１ａ上に載置された後、トレイ１の台座１ａよりも更に外周部に設けられた凹形リブ１ｂに蓋２の外周部に設けられた凹形リブ２ａを嵌合することで蓋２の斜壁面２ｂが枠体３ａの上角部に当接してペリクル３が支持され、図示しない係止手段により蓋２がトレイ１に対して係止される。
【００１７】
尚、枠体３ａの下面にはペリクル３をフォトマスクやレティクルに接着するための粘着材が設けてあり、該粘着材の表面にはペリクル３をフォトマスクやレティクルに接着するまで該粘着材を保護する保護フィルムが貼着されている。従って、枠体３ａの下面は粘着材及び保護フィルムを介してトレイ１の台座１ａ上に載置される。
【００１８】
トレイ１及び蓋２の材質としては、例えば、アクリル樹脂やポリエチレンテレフタレート樹脂、アクリルニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂やポリエステル樹脂、ポリエチレンやポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリスチレンやアクリロニトリル・スチレン樹脂等のポリスチレン系樹脂等をベースとして所定の色素を所定の割合だけ混合して射出成型や真空成型等の公知の製法により半透明の有色で且つその明度がマンセル値８以下のものを作成することが出来る。
【００１９】
蓋２は有色で且つその明度がマンセル値８以下で構成するのが好ましく、更に好ましくは明度がマンセル値４以下である。また、蓋２は、使用者側の納品検査時等において容器内に収納されたペリクル３の有無を目視により検査するためには半透明であることが好ましい。
【００２０】
ここで、マンセル表色系は、色を色感覚の３属性である色相、明度、彩度によって円筒座標系の三次元空間に尺度化した表色系であり、明度を示す円筒座標系の中心軸（無彩軸）から該中心軸を中心とする円周方向に伸びる枝の方向を色相、該枝の長さを彩度として表し、該枝の高さとなる中心軸方向を明度として表したものである。
【００２１】
明度は無彩色を円筒座標系の中心軸（無彩軸）に置き、その原点となるマンセル値０（黒；０に近いほど暗い色）からマンセル値１０（白；１０に近いほど明るい色）までを順次上方に向かって次第に明るさを増す種々の灰色が感覚的に等しい段階に分割される。そして無彩軸上で明度が所定のマンセル値となる該無彩軸と直交する平面上には同明度の全ての有彩色が配列される。
【００２２】
本実施形態のトレイ１はゴミや塵埃等の異物を最も目視し易い背景色となる黒色で構成しているが、必要に応じて蓋２と同様に半透明の有色でマンセル値８以下で構成しても良い。
【００２３】
上記構成によれば、異物の背景となるペリクル収納容器の蓋２が有色で且つその明度がマンセル値８以下であるため目視検査時にクリーンルーム内の暗室において、数万ルクス程度の高輝度のハロゲンランプ照明を蓋２に照射した時、目視によりその明度がマンセル値８以下の有色の背景から異物が際立って白く光って見えるため目視検査における作業能率を向上することが出来、より小さな外径の異物を目視出来るため目視可能な異物の検査限界を向上することが出来る。
【００２４】
また、蓋２が半透明の有色であることで、使用者側の納品検査時等において容器内に収納されたペリクル３の有無を目視により検査することが出来、使用者側の納品検査等の作業能率を向上することが出来る。
【００２５】
特に、大型のＴＦＴＬＣＤ（薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに使用される大型ペリクルの収納容器の場合は、容器の面積が広いため目視検査における作業能率や信頼性の向上が著しいものとなる。
【００２６】
以下に本発明に係る蓋２と従来の無色透明の蓋との比較例として、夫々大型ペリクル用収納容器で縦横の寸法が６５３mm×４１９mmの蓋を用意し、クリーンルーム内の暗室において数万ルクス程度の高輝度のハロゲンランプ照明を照射して目視検査した場合の一例を示す。
【００２７】
【表１】
0004458310.tif 000002
【００２８】
上記表１において、従来の蓋は無色透明であり、本発明に係る蓋２は半透明で色相が赤、明度がマンセル値４で構成したものである。外径が４０μｍ以上の異物を目視検査するのに要した時間は従来の無色透明の蓋の場合で平均４０分程度かかったが、マンセル値４の明度で構成した本発明に係る蓋２の場合では平均２０分程度で目視検査が完了した。
【００２９】
また、目視検査の限界として目視可能な異物の外径では、従来の無色透明の蓋の場合で外径が２０μｍ程度以上の異物を目視検査することが可能であったが、マンセル値４の明度で構成した本発明に係る蓋２の場合では外径が１０μｍ程度以上の異物を目視検査することが可能であった。
【００３０】
【発明の効果】
本発明は、上述の如き構成と作用とを有するので、異物の背景となるペリクル収納容器の蓋が半透明の有色で且つその明度がマンセル値８以下であるため、目視検査時にクリーンルーム内の暗室において、数万ルクス程度の高輝度のハロゲンランプ照明を蓋に照射した時、目視によりその明度がマンセル値８以下の有色の背景から該蓋に付着した異物が際立って白く光って見えるため目視検査における作業能率を向上することが出来、より小さな外径の異物を目視出来るため目視可能な異物の検査限界を向上することが出来る。
【００３１】
また、蓋が半透明の有色であることで、使用者側の納品検査時等において容器内に収納されたペリクルの有無を目視により検査することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】  （ａ）はトレイの平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図２】  本発明に係るペリクル収納容器の蓋を示す図であり、（ａ）は蓋の平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図、（ｃ）は（ａ）のＤ−Ｄ断面図、（ｄ）は本発明に係るペリクル収納容器の蓋の側面透視図である。
【図３】  トレイと蓋とによりペリクルを収納した様子を示す断面説明図である。
【符号の説明】
１…トレイ
１ａ…台座
１ｂ…凹形リブ
２…蓋
２ａ…凹形リブ
２ｂ…斜壁面
３…ペリクル
３ａ…枠体
【図１】
0004458310.tif 000003
【図２】
0004458310.tif 000004
【図３】
0004458310.tif 000005