(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光材料を含む対象物と、
対象物に近接して配置され、感光材料に対して露光焼き付けするために用いられる原版と、
対象物と原版との間に設けられ、対象物と原版との間の平行を維持するための平行形成治具とを備え、
平行形成治具は支持板と、この支持板に組込まれ各々が対象物と原版とに当接する３個のボールとからなることを特徴とする平行形成治具の組合体。
【請求項２】
対象物はその姿勢を可変とする姿勢可変部を有する保持機構により保持されることを特徴とする請求項１記載の平行形成治具の組合体。
【請求項３】
保持機構は対象物を弾性可能に保持するスプリングを有することを特徴とする請求項１または２のいずれか記載の平行形成治具の組合体。
【請求項４】
平行形成治具の各ボールはセラミックボールからなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載の平行形成治具の組合体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はホログラム装置を作製するために用いられる平行形成治具およびその組合体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来からホログラム装置は次のような工程を経て作製される。まずガラス基板上にホログラム感光材料および保護層を順次設けることにより対象物を作製する。次にこの対象物に対して原版を介して露光焼き付けを行うことによりホログラム感光材料にホログラム層を形成する。このようにしてホログラム層を有するホログラム装置を作製することができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、対象物に原版を介して露光焼き付けを行うことによりホログラム層を形成している。
【０００４】
しかしながら露光焼き付けする際、対象物と原版との間の平行度を正確に維持する必要があるが、対象物と原版との間の平行度を正確に保つことはむずかしい。
【０００５】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、対象物と原版との間の平行度を正確に維持することができる平行形成治具およびその組合体を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、感光材料を含む対象物と、対象物に近接して配置され、感光材料に対して露光焼き付けするために用いられる原版と、対象物と原版との間に設けられ、対象物と原版との間の平行を維持するための平行形成治具とを備え、平行形成治具は支持板と、この支持板に組込まれ各々が対象物と原版とに当接する３個のボールとからなることを特徴とする平行形成治具の組合体である。
【０００８】
本発明によれば、原版と対象物との間に介在された平行形成治具の３個のボールが、各々原版と対象物に当接する。このことにより、原版と対象物との間の平行度を正確に維持することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１０】
図１乃至図３は本発明の一実施の形態を示す図である。図１乃至図３において、ガラス基板１７上にホログラム感光材料１８および保護層１９を順次積層することにより対象物２０が得られる。
【００１１】
この場合、ホログラム感光材料１８としては、デュポン社製ＯＭＮＩＤＥＸが用いられ、また保護層１９としては、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）が用いられる。
【００１２】
また対象物２０に対して露光焼き付けを行うために、対象物２０の上方に原版１５が固定治具１５ａにより固定配置されている。この原版１５としては、例えばＥＢマスクが用いられる。
【００１３】
また対象物２０と原版１５との間に、対象物２０と原版１５との間の平行を維持するため、平行形成治具１０が設けられている。この平行形成治具１０は支持板１１と、支持板１１に組込まれた３個のセラミックボール１２ａ，１２ｂ，１２ｃとを有している。
【００１４】
３個のセラミックボール１２ａ，１２ｂ，１２ｃは、各々同一形状をなし、各々が対象物２０と原版１５とに当接して対象物２０と原版１５との間を３点で規制して対象物２０と原版１５との間の平行度を維持している。また３個のセラミックボール１２ａ，１２ｂ，１２ｃは平面から見て三角形を形成している。（図２）。
【００１５】
また上記の平行形成治具１０と、原版１５と、対象物２０とにより平行形成治具の組合体が構成される。
【００１６】
ところで、対象物３０は保持機構２５により保持される（図３）。この保持機構２５は対象物３０を真空吸着するとともに球面部２１ａを有する真空チャック２１と、球面部２１ａを受ける受部２２と、受部２２をスプリング２４を介して支持するベース２４とを有している。
【００１７】
このように保持機構２５は、球面部２１ａおよびスプリング２４を有するため、対象物３０の姿勢を可変とすることができ、かつ対象物３０を弾性可能に保持している。
【００１８】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００１９】
まず原版１５が固定治具１５ａにより固定配置され、保持機構２５により保持された対象物２０上に平行形成治具１０が配置される。
【００２０】
次に保持機構２５は、昇降機構３０により上昇し、これに伴って保持機構２５により保持された対象物２０も上昇する。次に対象物２０上に配置された平行形成治具１０の３個のセラミックボール１２ａ，１２ｂ，１２ｃが原版１５に順次当接する。この間、保持機構２５により保持された対象物２０は、球面部２１ａが受部２２上で摺動することによりその姿勢が変化し、このようにして原版１５と対象物２０との間の平行度を正確に保つことができる。
【００２１】
また昇降機構３０の上昇により３個のセラミックボール１２ａ，１２ｂ，１２ｃは原版１５に当接するが、この場合、保持機構２５のスプリング２３によりセラミックボール１２ａ，１２ｂ，１２ｃを弾性的に原版１５に当接させることができるためセラミックボール１２ａ，１２ｂ，１２ｃが破損することはない。
【００２２】
このようにして平行形成治具１０のセラミックボール１２ａ，１２ｂ，１２ｃが原版１５に当接した後、この状態で球面部２１と受部２２とが図示しない第１固定手段により固定され、さらに受部２２とベース２４とが、スプリング２３を押圧した状態で図示しない第２固定手段により固定される。
【００２３】
このようにして原版１５に対して対象物２０の位置を精度良く定めた後、昇降機構３０により対象物２０が降下し、対象物２０上から平行形成治具１０が取除かれる。
【００２４】
その後再び対象物２０が昇降機構３０により上昇し、対象物２０と原版１５との間の平行状態を精度良く維持した状態で、原版１５側から光が照射され、対象物２０のホログラム感光材料１８に対する露光焼き付けが行われる。このようなホログラム感光材料１８に対する露光焼き付け処理により、ホログラム感光材料１８にホログラム層が得られる。
【００２５】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、原版と対象物との間の平行度を正確に維持することができるので、原版を用いて対象物の感光材料に対して精度良い露光焼き付け作業を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による平行形成治具の組合体を示す側面図。
【図２】本発明による平行形成治具を示す平面図。
【図３】対象物の保持機構を示す図。
【符号の説明】
１０  平行形成治具
１１  支持板
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ  セラミックボール
１５  原版
１７  ガラス基板
１８  ホログラム感光材料
１９  保護層
２０  対象物
２１  真空チャック
２１ａ  球面部
２２  受部
２３  スプリング
２４  ベース
２５  保持機構
【図１】
0004475754.tif 000002
【図２】
0004475754.tif 000003
【図３】
0004475754.tif 000004