(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
機械的ウェーハ・ハンドリング装置用ブレードであって、前記ブレードは、
中央領域を有する細長平面部材を備え、
前記中央領域は細長開口部の第１アレイと円形開口部の第２アレイとを有し、
前記第１アレイの細長開口部は、前記細長平面部材の長手方向に沿って延びるとともに前記中央領域の中心点を通る長手方向中心軸に関して相対する側に、互いに対称的に設けられ、
前記第２アレイの円形開口部は、前記細長平面部材の幅方向に沿って延びるとともに前記中央領域の前記中心点を通る前記長手方向中心軸に対して垂直な垂直軸に関して相対する側に、互いに対称的に設けられ、
前記各細長開口部は、前記垂直軸に対して対称的であり、前記各円形開口部は前記長手方向中心線に対して対称的である、
機械的ウェーハ・ハンドリング装置用ブレード。
【請求項２】
前記細長開口部の第１アレイは、２つの楕円形開口部を備える、請求
項１記載のブレード。
【請求項３】
前記細長平面部材は、それぞれウェーハを支持する棚状突起を複数有する、対向する第１の短尺端部および第２の短尺端部を含み、前記第１の短尺端部は２つの前記棚状突起の部分の間に位置する切欠きを有する、請求項１記載のブレード。
【請求項４】
前記平面部材は、前記第１アレイ及び第２アレイと、前記第２の短尺端部との間に位置するとともに２つの前記第２の短尺端部の前記棚状突起の部分の間に位置する周辺開口部を有する、請求項３記載のブレード。
【請求項５】
前記細長平面部材の前記第１の短尺端部および前記第２の短尺端部はウェーハを支持する棚状突起を有する、請求項３記載のブレード。
【請求項６】
前記細長平面部材は石英でできている、請求項１記載のブレード。
【請求項７】
機械的ウェーハ・ハンドリング装置用ブレード組立体であって、前記
ブレード組立体は、
中央領域を有する細長平面部材であって、前記中央領域は細長開口部の第１アレイと円形開口部の第２アレイとを有し、前記第１アレイの細長開口部は、前記平面部材の長手方向に沿って延びるとともに前記中央領域の中心点を通る長手方向中心軸に関して相対する側に、互いに対称的に設けられ、前記第２アレイの円形開口部は、前記細長平面部材の幅方向に沿って延びるとともに前記中央領域の前記中心点を通る前記長手方向中心軸に対して垂直な垂直軸に関して相対する側に、互いに対称的に設けられ、前記第１アレイの各細長開口部は前記垂直軸に対して対称的であり、前記第２アレイの前記各円形開口部は前記長手方向中心線に対して対称的である、細長平面部材と、
リスト上部キャップであって、前記リスト上部キャップの２つの対向する側にある、前記細長平面部材を支持する第１のウィング支持部および第２のウィング支持部と、前記第１のウィング支持部と第２のウィング支持部との間に延びる、前記細長平面部材を支持しない第１の細幅リッジとを有する、リスト上部キャップと、
リスト下部キャップであって、前記リスト下部キャップの２つの対向する側にある、前記細長平面部材を支持する第３のウィング支持部および第４のウィング支持部と、前記第３のウィング支持部と第４のウィング支持部との間に延びる、前記細長平面部材を支持しない第２の細幅リッジとを有する、リスト下部キャップとを備え、
ブレード組立体の組立て時に、前記リスト上部キャップは前記細長平面部材の上面に固着され、前記リスト下部キャップは前記細長平面部材の底面に固着される、機械的ウェーハ・ハンドリング装置用ブレード組立体。
【請求項８】
前記細長平面部材と、前記第１のウィング支持部と、第２のウィング支持部と、第３のウィング支持部と、第４ウィング支持部とはねじ孔を有し、
前記ねじ孔は、ブレード組立体の組立て時に、前記細長平面部材のねじ孔が、前記第１のウィング支持部、第２のウィング支持部、第３のウィング支持部、第４ウィング支持部のねじ孔と整列するよう設けられる、請求項７記載のブレード組立体。
【請求項９】
前記第１の細幅リッジおよび前記第２の細幅リッジは各々厚さ１／８インチ未満である、請求項７記載のブレード組立体。
【請求項１０】
前記リスト上部キャップ及び前記リスト下部キャップは各々ステンレス鋼でできている、請求項７記載のブレード組立体。
【請求項１１】
前記リスト上部キャップ及び前記リスト下部キャップは各々陽極酸化ニッケルで被覆される、請求項１０記載のブレード組立体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体処理装置用の機械的ウェーハ・ハンドリング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
機械的ウェーハ・ハンドリング装置はウェーハをウェーハキャリアからプロセッシングチャンバに、またその逆に、搬送する。アニーリング、酸化、窒化、エッチング、堆積を含む様々な製造処理がプロセッシングチャンバで行われる。ウェーハ・ハンドリング装置はロボットと、ロボットによって操作されるアームと、ウェーハを保持するアーム端部の手段とを含んでもよい。
【０００３】
処理前、ウェーハはウェーハキャリア内にある間は室温にあってもよい。処理中、ウェーハの温度は１２００℃以上になってもよい。従って、ウェーハはチャンバからまだ高温の状態、例えば５５０〜７５０℃以上で取出される場合がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従って、ウェーハ保持手段は高温ウェーハを含む様々な温度のウェーハを扱う必要がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
一般的に、一態様によれば、本発明は機械的ウェーハ・ハンドリング装置用ブレードを特徴とする。細長平面部材は中央領域を有する。第１開口部アレイと第２開口部アレイが中央領域内に供される。第１アレイの開口部は、平面部材の長さ方向に沿って伸長するとともに中央領域の中心点を通る縦方向中心軸の対向する側に、第２アレイの開口部に対し略対称的に設けられる。第１アレイの開口部は、細長平面部材の幅方向に沿って伸長するとともにする中央領域の中心点を通る垂直軸に対し略対称的に設けられる。第２アレイの開口部も該垂直軸に対し略対称的に設けられる。
【０００６】
各実施例は以下の一つ以上を含んでもよい。第１開口部アレイと第２開口部アレイは２つの円形開口部と２つの楕円形開口部とを備える。１つの短尺端部は切欠きを有する。平面部材は第１及び第２開口部アレイの開口部と細長平面部材の第２短尺端部との間に位置する周辺開口部を有する。細長平面部材の対向する短尺端部はウェーハを支持する棚状突起を有する。細長平面部材は石英でできている。
【０００７】
もう一つの態様によれば、本発明は機械的ウェーハ・ハンドリング装置用ブレード組立体を特徴とする。組立体は中央領域を有する細長平面部材を含む。中央領域は第１開口部アレイと第２開口部アレイとを有する。第１アレイの開口部は、平面部材の長さ方向に沿って伸長するとともに中央領域の中心点を通る縦方向中心軸の対向する側に、第２アレイの開口部に対し略対称的に設けられる。第１アレイの開口部は、細長平面部材の幅方向に沿って伸長するとともに中央領域の中心点を通る垂直軸に対し略対称的に設けられる。第２アレイの開口部も前記垂直軸に対し略対称的に設けられる。また組立体は、リスト上部キャップであって、該リスト上部キャップの２つの対向する側に第１、第２のウィング支持部と、第１、第２のウィング支持部間に伸長する第１の非支持細幅リッジとを有する、リスト上部キャップを含む。さらに、組立体は、リスト下部キャップであって、該リスト下部キャップの２つの対向する側に第３、第４のウィング支持部と、第３、第４のウィング支持部間に伸長する第２の非支持細幅リッジとを有する、リスト下部キャップを含む。ブレード組立体の組立て時に、リスト上部キャップは平面部材の上面に固着され、リスト下部キャップは平面部材の底面に固着される。
【０００８】
各実施例はまた以下の一つ以上を含んでもよい。細長平面部材と、第１、第２、第３、第４ウィング支持部はねじ孔を有する。ブレード組立体の組立て時に、平面部材のねじ孔は第１、第２、第３、第４ウィング支持部のねじ孔と整列するよう設けられる。第１リッジと第２リッジは各々厚さ１／８インチ未満である。上部及び下部リストキャップは各々ステンレス鋼でできている。上部及び下部キャップは各々陽極酸化ニッケルで被覆される。
【０００９】
本ブレードの利点とは、ブレードによってピックアップされる時、該ブレードの開口部アレイが高温のウェーハに発生する熱勾配を著しく低減することである。さらに、リスト組立体の構成はブレードとの接点を実質的に減少させ、これによってリスト組立体のヒートシンク作用を低減する。最後に、リスト組立体とブレード間の移行部のリッジは、粒子がウェーハに到達しないようにする一方ブレード上の障壁として機能する。
【００１０】
さらなる態様、特徴、利点は以下で示す。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１は、ここに記したウェーハ・ハンドリングロボット装置を用いた代表的タイプの装置であるクラスタツール１０を示す。
【００１２】
クラスタツール１０はロードロックチャンバ１２、１４を有する。ロードロックチャンバ１２、１４は、処理前後、ウェーハ１６が保管されるウェーハカセット１５を保持する。ロードロックチャンバ１２、１４はウェーハカセット１５を保持する間真空に保たれ、通常運転中周囲環境に開放されるクラスタツール１０の唯一の部分を構成する。またクラスタツール１０は中央トランスファチャンバ１７を有し、ウェーハ１６は様々なステーション間を搬送される際、該中央トランスファチャンバを貫通移動する。ウェーハ１６はプロセスチャンバ１８で処理されるが、該プロセスチャンバにおいてウェーハは酸化、窒化、アニーリング、堆積、エッチング等考え得る処理のいずれかに付されてもよい。処理後、ウェーハはロードロックチャンバ１２、１４に戻される前にクールダウンチャンバ２０に搬送される。処理後、ウェーハが高温である場合、ウェーハの汚染とカセット１５の損傷を防ぐため、ウェーハを冷却してからカセット１５に収納する必要がある。このため、ウェーハは、処理後、クールダウンチャンバ２０で冷却される。市販で入手可能なクラスタツールの一例は、アプライド・マテリアルズ・センツーラ・プラットフォーム(Applied Materials Centura platform)（アプライドマテリアルズ、９５０５０カリフォルニア州サンタクララスコット大道り２８８１番地）である。
【００１３】
ロボット装置２１は各チャンバ１２、１４、１７、１８、２０の内外およびそれらの間でウェーハ１６を搬送する。図１、２を参照すると、ロボット装置２１は２つのロボットアーム２２、２３とブレード２４を含む。ロボットアーム２２、２３は各々Ｌ字継手２５を有し、中央ハブ２７の一端部に固着されて該中央ハブを軸として回転する。ブレード２４はリスト２６によってロボットアーム２２、２３の他端部に接続される。ウェーハ搬送中、ブレード２４はウェーハ１６を支持する。ウェーハ１６は例えばロードロックチャンバ１２から来る時は低温であってよく、 例えばプロセスチャンバ１８で処理後は高温であってよい。
【００１４】
図２、３に明示したように、ブレード２４は２種類の開口部アレイ３０、３２を持つ中央領域２８を有し、該開口部アレイの開口部は互いに対称的に設けられる。ブレード２４によって支持されている間、ウェーハ１６は中央領域２８を覆い、ウェーハの端縁部はブレード２４の両側２９、３１に張り出す。
【００１５】
図３を参照すると、ブレード２４は数個の開口部を有する略平面部材である。アレイ３０は開口部３６、３８を含み、該開口部は細長溝であり、ブレード２４の長さ方向に沿って伸長する中心軸３４から等距離かつ対向する側に位置する。アレイ３２は開口部４０，４２を含み、該開口部は円形であり、軸３４に垂直でブレード２４の幅方向に伸長する軸４３から等距離かつ対向する側に位置する。開口部３６、３８、４０、４２は低温ブレード２４に置かれた時、高温ウェーハ１６に発生する熱勾配を低減するよう配置・寸法決めされる。ウェーハ１６が高温、例えば５５０℃以上である場合、低温のブレード２４はヒートシンクとして機能し、ウェーハ１６に熱勾配を生成する。ブレード２４に張出したウェーハ１６の周辺部はブレード２４の真上のウェーハ１６の部分より迅速に冷却しない。結果としての熱勾配はウェーハ１６中に応力を生じ、十分大きい場合には、この応力によってウェーハ１６が破損することがある。応力がウェーハ１６を破損させるほど大きくない場合でも、ウェーハの結晶構造に滑り転位を発生させる可能性があり、これによってウェーハ１６上の個々のデバイスを破壊し、機能デバイスの可能なウェーハ歩留まりを減少させる。熱勾配の発生を抑制するため、ブレード２４は特に高温ウェーハ１６の適宜個所の熱損失を低減するよう配置・形成された開口部３６、３８、４０、４２を有する。開口部３６、３８、４０、４２に近接するウェーハ１６の部分は、ブレード２４の材料に近接したウェーハ１６の部分よりゆっくり冷却する傾向がある。これはウェーハ１６に近接したブレード２４の材料がヒートシンクとして機能し、ブレード材料の除去がこうした除去区域のヒートシンク作用を低減するからである。ここに記した穴部３６、３８、４０、４２の個々の配列および大きさは公知の熱モデルツールを用いて決定されたが、その目的はブレード２４の強度を損なわずに熱応力を著しく低減することであった。
【００１６】
ブレード２４の一端部４４は切欠き４６を有する。ブレード２４の反対側の端部４８は開口部５０を有する。切欠き４６および開口部５０は共に、ウェーハ１６上のブレード２４の熱負荷を低減することによってブレード２４に支持されるウェーハ１６の熱勾配を減少させるのに役立つ。切欠き４６および開口部５０の寸法はブレード２４の質量を低減する一方、ウェーハ搬送強度を損なわないよう選択される。さらに、処理のため所定位置に置かれた時、ウェーハ１６は３本のリフトピン（図示せず）上にある。切欠き４６はこれら３本のリフトピンの一つに隙間を付与するよう形成・配置される。ブレード２４は残りの２本のピン間に挿入され、ブレード２４に張出したウェーハ１６部分は残りの２本のピンの上方に位置する。
【００１７】
ブレード２４は端部４８でねじ（図示せず）によってリスト２６に固定される。端部４８はリスト２６によって把持された２つのウィング５２、５４を有する。各ウィング５２、５４はブレード２４をリスト２６に固着するねじを受けるねじ孔５６、５８を有する。ブレード２４をリスト２６に固着する補助ねじを受ける２つの補助ねじ孔６０、６２は、ねじ孔５６、５８に近接したブレード２４上に位置する。
【００１８】
ピン６４、６６はねじ孔６０、６２に近接したブレード２４上に位置する。ブレード２４がウェーハを保持する時、ピン６４、６６はウェーハが所定位置から摺動したり、金属製でウェーハ１６を汚染する可能性のあるリスト２６に偶発的に接触しないようにする。
【００１９】
ブレード２４はウィング５２、５４を橋絡する細幅条片６７を含む。細幅条片６７は開口部５０の一側面を形成する。細幅条片６７と開口部５０の組合せはブレード２４に安定性を付与する一方、ウェーハ１６の熱負荷を低減する。
【００２０】
ブレード２４は端部４４、４８に位置する棚状突起６８、７０を有する。棚状突起６８の横断面を示す図４も参照すると、各棚状突起６８、７０はそれぞれ３つの段部７２、７４、７６および７８、８０、８２を含み、同心円の輪郭線をなぞっている。搬送中、ウェーハ１６は内側段部７６、７８上にある。内側段部７６、７８はウェーハのブレード２４との接触を減少させる。中間段部７４、８０は起こり得るウェーハ１６の横方向移動に対して止め具を具備することで、ウェーハ１６を所定位置に保持する。外側段部７２、８２は、ロボット装置２１の最初の手動調整時に、ウェーハ１６をブレード２４上の中心におくための視覚的ガイドとして用いられる。
【００２１】
開口部８４はブレード２４の中央領域２８の中心軸３４、４３の交点に位置する。開口部８４はクラスタツール１０でのリスト２６・ブレード２４組立体の位置決めを調整するのに用いられる。より具体的には、クラスタツール１０の設置時、ブレード２４は完全に伸長されるが、ウェーハをプロセスチャンバ１８に押しやることはない。ロッド（図示せず）はプロセスチャンバ１８の上部から降下し、開口部８４に挿入されてプロセスチャンバ１８の底面に接触する。ロッドの位置はプロセスチャンバ１８の底面の中心と整列しているか調べられる。適切に整列されていない場合、ロボット装置２１のプログラミングはウェーハ１６をプロセスチャンバ１８内に正確に配置するよう調整される。すなわち、ロボット装置２１はウェーハ１６をプロセスチャンバ１８の中央に配置するのに必要な正確な距離だけ伸長するよう設定される。
【００２２】
ブレード２４は高純度の石英で出来ている。該ブレード２４は、処理されるウェーハ１６に通常見出されるのと同じ要素から作られるので、ウェーハ１６を汚染する可能性は低減する。ブレード２４はレーザ工作機械のレーザ機械加工によって形成される。
【００２３】
図５を参照すると、ピン６４、６６はブレード２４から上方に突出している。切欠き８６はセンタリング・スロットであり、ブレード２４及びリスト２６を組立てる補助具である。
【００２４】
リスト２６はリスト上部キャップ８６とリスト下部キャップ１３６から成る。図６、６Ａ、７及び８を参照すると、リスト上部キャップ８６は２つの湾曲隅部８７、８９と１つの湾曲側面１０６を有する略矩形平面部材である。リスト上部キャップ８６はリスト上部キャップ８６の凹部のある中心部９６の段状基部９２、９４にそれぞれ位置する２つの柱状部８８、９０を有する。ロボット装置２１が組立てられると、適宜形成されたロボットアーム２２の端部は柱状部８８に係合し、同様に形成されたロボットアーム２３の端部は柱状部９０に係合する。凹部９６は段部９８と縁部１００によって画成される。２つのねじ孔１０２、１０４は縁部１００内に凹部９６に近接して配置される。これらの孔部を貫通するねじがリスト上部キャップ８６をリスト下部キャップ１３６に接続する（リスト下部キャップ１３６の説明に関連して図９〜１１参照）。
【００２５】
湾曲側面１０６は２つの半円状のくぼみ１０８、１１０を有する。ブレード２４がリスト２６に固定されると、くぼみ１１０、１０８はそれぞれピン６４、６６に嵌合する。くぼみ１０８、１１０から伸長し且つ該くぼみ１０８、１１０を含む端縁部１０６の一部は、上昇リッジ１１１を有する。ブレード２４がリスト上部キャップ８６に固定されると、リッジ１１１はブレード２４に到達する粒子を阻止するのに役立ち、従ってウェーハの汚染防止に役立つ。リッジ１１１はブレード２４から０.００２〜 ０.００４インチの隙間を有する。
【００２６】
２つのウィング１１２、１１４はそれぞれ半円状のくぼみ１０８、１１０に隣接する。各ウィング１１２、１１４はそれぞれねじ孔１１６、１１８を有する。２つの補助ねじ孔１２０、１２２は、ねじ孔１１６、１１８に近接するとともに縁部１００上に配置される。ブレード２４がリスト２６に固定されると、リスト上部キャップ８６のねじ孔１１６はブレード２４のねじ孔６２と整列し、リスト上部キャップ８６のねじ孔１１８はブレード２４のねじ孔６０と整列する。また、リスト上部キャップ８６のねじ孔１２０はブレード２４のねじ孔５８と整列し、リスト上部キャップ８６のねじ孔１２２はブレード２４のねじ孔５６と整列する。４本のねじ（図示せず）が、該孔を貫通してリスト上部キャップ８６をブレード２４に固着する。ねじはリスト上部キャップ８６とブレード２４を貫通し、リスト下部キャップ１３６にねじ込まれる。
【００２７】
リスト上部キャップ８６の横断面図を示す図７を参照すると、円筒部８８は中心部に穴部１２４を、外周部近傍に２つの穴部１２６、１２８を有する。穴部１２４、１２６、１２８は回転軸受（図示せず）の固着に用いられるねじ孔である。回転軸受はリスト２６・ブレード２４組立体をロボットアーム２２、２３に固着するのに必要である。図８を参照すると、円筒部９０は同様配置の穴部１３０、１３２、１３４を有する。
【００２８】
図９、９Ａ、１０、１１を参照すると、リスト下部キャップ１３６はリスト上部キャップ８６と全体的形状が同一であり、２つの湾曲角部１３８、１４０と１つの湾曲側面部１４２を有する。また、リスト下部キャップ１３６も凹部のある中心部１４８に２つの開口部１４４、１４６を有する。凹部１４８は段部１５０と縁部１５２によって画成される。２つのねじ孔１５４、１５６が縁部１５２内に凹部１４８に近接して配置される。これらの孔部１５４、１５６を貫通するねじ(図示せず）が、リスト下部キャップ１３６をリスト上部キャップ８６に接続する。
【００２９】
リスト下部キャップ１３６は湾曲端縁部１４２を有する。端縁部１４２は２つのくぼみ１５８、１６０を有する。ブレード２４がリスト２６に固定されると、ピン６４、６６はそれぞれくぼみ１５８、１６０に嵌合する。くぼみ１５８、１６０から伸長し且つ該くぼみ１５８、１６０を含む端縁部１４２の一部は、リッジ１６２を有する。ブレード２４がリスト下部キャップ１３６に固定されると、リッジ１６２はブレード２４に到達する粒子を阻止するのに役立ち、従ってウェーハ１６の汚染防止に役立つ。
【００３０】
リスト下部キャップ１３６はそれぞれくぼみ１５８、１６０に隣接する２つのウィング１６４、１６６を有する。各ウィング１６４、１６６はそれぞれねじ孔１６８、１７０を有する。２つの補助ねじ孔１７２、１７４がねじ孔１６８、１７０に近接するとともに縁部１５２上に配置される。ブレード２４がリスト２６に固定されると、リスト下部キャップ１３６のねじ孔１６８はブレード２４のねじ孔６０と整列し、リスト下部キャップ１３６のねじ孔１７０はブレード２４のねじ孔６２と整列する。また、リスト下部キャップ１３６のねじ孔１７２はブレード２４のねじ孔５６と整列し、リスト下部キャップ１３６のねじ孔１７４はブレード２４のねじ孔５８と整列する。 従って、４本のねじ（図示せず）がリスト下部キャップ１３６をブレード２４に固着する。
【００３１】
リスト上部キャップ８６及びリスト下部キャップ１３６は、ニッケルめっき陽極酸化鋼、耐食材料で作られている。
【００３２】
リスト２６が組立てられると、リスト上部キャップ８６の円筒部８８、９０はリスト下部キャップ１３６の開口部１４４、１４６に嵌合する。リスト上部キャップ８６とリスト下部キャップ１３６はウィング支持部１１２、１１４、１６４、１６６でのみブレード２４と接触する。従って、ブレード２４との接触は最小限となり、これによってリスト２６のヒートシンク作用を低減する。
【００３３】
図示した実施例においては、ブレード２４は８インチのウェーハを搬送するようになっている。図３に示したように、ブレード２４は幅Ｗ１が３.８インチ、長さＬ１が８.４２インチである。開口部３６、３８は各々長さＬ２が２.５インチ、幅Ｗ２が０.５インチであり、半径Ｒ１が０.２５インチの丸端部を有する。開口部４０、４２は半径Ｒ２が０.６５インチの円形である。各開口部４０、４２の中心は中心線４３からの距離Ｄ１が０.８４０インチである。切欠き４６は矩形の切欠きであり、長さＬ３が１.０７０インチ、幅Ｗ３が１.５００インチである。開口部５０は矩形であり、長さＬ４が１.０８０インチ、幅Ｗ４が１.５００インチである。細幅の条片６７は幅Ｗ５が０.１７０インチである。中心孔８４は０.０６３インチの半径Ｒ３を有する。
【００３４】
図４に示したように、段部７２の外側端縁は４.１５インチの半径Ｒ４において形成される。段部７２の内側端縁は直径Ｄ２が８.１１８インチの円の一部である。段部７２は高さＨ１が０.００７±０.００２インチである。段部７４の内側端縁は直径Ｄ３が７.８９２インチの円の一部である。段部７４は高さＨ２が０.０１４±０.００２インチである。段部７６の内側端縁は直径Ｄ４が７.４０インチの円の一部である。段部７６は高さＨ３が０.０１５±０.００３インチである。端部４４のブレード２４は合計厚Ｔ１が０.１２０インチである。
【００３５】
図６に示したように、リスト上部キャップ８６は、くぼみ１０８、１１０を有し、該くぼみは外半径Ｒ５が０.１６０インチ、内半径Ｒ６が０.１４０インチのリッジ１１１を有する。湾曲側面１０６は外半径Ｒ７が４.１３０インチ、内半径Ｒ８が４.１１０インチのリッジ１１１を有する。
【００３６】
図９に示したように、リスト下部キャップ１３６は、くぼみ１５８、１６０を有し、該くぼみは外半径Ｒ９が０.１６０インチ、内半径Ｒ１０が０.１４０インチのリッジ１６２を有する。湾曲側面１４２に沿ったリッジ１６２は外半径Ｒ１１が４．１３０インチ、内半径Ｒ１２が４．１１０インチである。リッジ１６２は高さＨ４が０．０５０インチである。
【００３７】
図３のアレイ３０、３２を各々２つの同一開口部を含むものとして説明したが、同じ開口部配置を、ブレードの長さ方向に伸長する中心軸の両側に互いに対称に設けられた２つのアレイと見ることもできる。後者の場合、第１アレイは開口部３６と開口部４０、４２の上半部を含み、第２アレイは開口部３８と開口部４０、４２の下半部を含む。さらに、各実施例はブレードの中心軸の両側に略対称的に設けられた種々の開口部アレイを含んでもよい。必要とされる対称度はウェーハの熱勾配を著しく減少させ、熱応力によるウェーハ損傷あるいは転位形成を防止するのに必要な程度である。
【００３８】
こうした開口部の最適な構成、大きさ、位置は公知の技術を用いて決定可能である。こうした熱モデルの目的は各開口部アレイを寸法決めして配置し、損傷を引起す応力防止に必要な程度までブレード上のウェーハの熱勾配を低減することである。このようなモデルは一般にブレード構成材料のヒートシンク作用、保持されるウェーハの大きさ、ブレードの寸法を考慮している。さらに、ブレードを使用するチャンバにおけるウェーハの上下の反射面の作用も考慮することがある。ウェーハの対称性およびブレードの略対称性により、開口部はブレード全体に略対称的に設けられる。しかしながら、ブレードによる熱負荷の影響のため略対称として十分熱勾配を低減する必要はあるが、実際の孔部の厳密な対称性は必要とされない。他の実施例は請求項に示されている。
【図面の簡単な説明】
【図１】機械的ウェーハ・ハンドリング装置の概略図である。
【図２】リスト組立体によって保持されたブレードの平面図である。
【図３】機械的ウェーハ・ハンドリング装置用ブレードの平面図である。
【図４】図３のブレードの端縁部の横断面図である。
【図５】図３のブレードの斜視図である。
【図６】リスト上部キャップの平面図である。
【図６Ａ】図６のリスト上部キャップの横断面図である。
【図７】図６のリスト上部キャップの横断面図である。
【図８】図７のリスト上部キャップの斜視図である。
【図９】リスト下部キャップの平面図である。
【図９Ａ】図９のリスト下部キャップの横断面図である。
【図１０】図９のリスト下部キャップの横断面図である。
【図１１】図８のリスト下部キャップの斜視図である。
【符号の説明】
１０・・・クラスタツール、１２、１４・・・ロードロックチャンバ、１５・・・ウェーハカセット、１６・・・ウェーハ、２４・・・ブレード、２６・・・リスト、２８・・・中央領域、３０、３２・・・開口部アレイ、３６、３８、４０、４２・・・開口部、８６、１３６・・・リスト上部、下部キャップ、１１１、１６２・・・リッジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図６Ａ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図９Ａ】
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【図１０】
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【図１１】
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