(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属性ペーストにより誘起される金属性ペースト廃棄物から金属性粉末を再生する方法において、
（ａ）前記金属性ペースト廃棄物と酸性水溶液またはアルカリ性水溶液とを混合、攪拌してスラリーを形成し、前記金属性ペースト廃棄物に含有された高分子樹脂成分またはフリットガラスと高分子樹脂成分を前記酸性またはアルカリ性水溶液で除去する化学的処理段階と、
（ｂ）スラリーを攪拌しながら超音波振動子を用いてスラリーに超音波を走査することによって、前記高分子樹脂の原子間結合が断絶されるようにして化学反応を促進し、スラリー内の気泡が激しく膨脹し、高い圧力によりその限界点で破裂し、気泡が破裂する時の衝撃波が前記金属性ペースト廃棄物に作用し、前記金属性粉末の周辺のフリットガラスまたは高分子樹脂を剥離させる超音波処理段階と、
（ｃ）前記スラリーから母液を除去するための濾過工程を行い、ケーキを形成する段階と、
（ｄ）前記濾過工程を通じて得られたケーキを乾燥させるための乾燥工程を行い、金属性粉末を得る段階と、を含む金属性粉末の再生方法。
【請求項２】
前記濾過工程を行い、ケーキを形成する段階の後に、
前記濾過工程を通じて得られたケーキとアルカリ性または酸性水溶液とを混合、攪拌してスラリーを形成し、前記金属性ペースト廃棄物に含有された高分子樹脂成分またはフリットガラスと高分子樹脂成分をアルカリ性または酸性水溶液で除去する２次化学的処理段階と、
スラリーを攪拌しながら超音波振動子を用いてスラリーに超音波を走査する２次超音波処理段階と、
前記スラリーから母液を除去するための濾過工程を行い、ケーキを形成する段階と、をさらに含み、
前記（ａ）の化学的処理段階で酸性水溶液を使用した場合には、前記２次化学的処理段階は、アルカリ性水溶液を使用して化学的処理を行い、前記（ａ）の化学的処理段階でアルカリ性水溶液を使用した場合には、前記２次化学的処理段階は、酸性水溶液を使用して化学的処理を行ったり、前記（ａ）の化学的処理段階で使われた水溶液と同じ物性の水溶液で前記２次化学的処理を行うことを特徴とする請求項１に記載の金属性粉末の再生方法。
【請求項３】
前記（ａ）の化学的処理段階の前に、前記金属性粉末と前記フリットガラスとの比重差を用いて前記金属性ペースト廃棄物を湿式分級機または乾式分級機を用いて分級する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の金属性粉末の再生方法。
【請求項４】
前記（ａ）の化学的処理段階の前に、前記フリットガラスの軟化点温度より低い温度で前記金属性ペースト廃棄物を燃焼し、前記高分子樹脂を除去する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の金属性粉末の再生方法。
【請求項５】
前記（ａ）の化学的処理段階の前に、前記金属性ペースト廃棄物を溶剤に投入攪拌し、前記高分子樹脂を溶解して除去する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の金属性粉末の再生方法。
【請求項６】
前記酸性水溶液または前記アルカリ性水溶液に溶剤を混合する段階をさらに含み、前記酸性水溶液と前記溶剤の混合液、または前記アルカリ性水溶液と前記溶剤の混合液で化学的処理することを特徴とする請求項１に記載の金属性粉末の再生方法。
【請求項７】
前記溶剤は、トルエン、キシレンまたはベンゼンよりなる芳香族炭化水素系と、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートまたはエチレングリコールジアセテートよりなるエステル系から選択された少なくともいずれか１つを含む物質を使用することを特徴とする請求項５又は６に記載の金属性粉末の再生方法。
【請求項８】
前記金属性ペーストは、銀（Ａｇ）ペースト、金（Ａｕ）ペースト、白金（Ｐｔ）ペースト、ニッケル（Ｎｉ）ペースト、銅（Ｃｕ）ペーストまたはパラジウム（Ｐｄ）ペーストであり、前記金属性粉末は、導電性の銀（Ａｇ）粉末、金（Ａｕ）粉末、白金（Ｐｔ）粉末、ニッケル（Ｎｉ）粉末、銅（Ｃｕ）粉末またはパラジウム（Ｐｄ）粉末であることを特徴とする請求項１に記載の金属性粉末の再生方法。
【請求項９】
前記金属性ペーストは、ＰＤＰ電極形成用ペーストであり、前記金属性ペースト廃棄物は、ＰＤＰ電極形成工程中の現像工程で排出される廃棄物であり、前記金属性粉末は、導電性のＡｇ粉末であることを特徴とする請求項１に記載の金属性粉末の再生方法。
【請求項１０】
前記酸性水溶液として、酢酸、乳酸及びクエン酸よりなる有機系酸から選択された少なくともいずれか１つを含む物質を使用することを特徴とする請求項１に記載の金属性粉末の再生方法。
【請求項１１】
前記アルカリ性水溶液として、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム及びアンモニアよりなる無機系アルカリ化合物から選択された少なくともいずれか１つを含む物質を使用したり、炭素数１〜１０の１次アミン、２次アミン及び３次アミンよりなる有機系アルカリ化合物から選択された少なくともいずれか１つを含む物質を使用することを特徴とする請求項１に記載の金属性粉末の再生方法。
【請求項１２】
前記酸性またはアルカリ性水溶液に界面活性剤を添加する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の金属性粉末の再生方法。
【請求項１３】
前記超音波処理段階は、２８〜４０ｋＨｚの超音波周波数で３０分〜２時間走査することを特徴とする請求項１に記載の金属性粉末の再生方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属性粉末の再生方法に関し、より詳細には、超音波を用いた物理的方法と親環境的な化学的方法とを複合適用して、高純度の金属性粉末を再生する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＰＤＰ（Plasma Display Panel）電極は、ＰＤＰの核心部品であって、上板ガラスからなる透明電極（ＩＴＯ）及びバス電極と、下板ガラスからなるアドレス電極とで構成されている。前記バス電極及び前記アドレス電極は、導電性の金属性ペーストを用いてフォトリソグラフィ法により形成する。
【０００３】
電極の印刷工程に使われる導電性の金属性ペーストとして、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、パラジウム（Ｐｄ）などの導電性の金属性粉末が含有されたペーストを使用する。特に、導電性の金属性ペーストとして、Ａｇ粉末が含有されたＡｇペーストが主に使われる。このようなＡｇペーストは、１〜３μｍサイズのＡｇ粉末（約６０〜８０ｗｔ％）、ガラス基板との密着性を増進させるためのフリットガラス（２〜５ｗｔ％）、アクリレート系のバインダー（７〜１０ｗｔ％）、溶剤及び添加剤（分散剤、消泡剤、レベリング剤など）で構成されている。
【０００４】
図１Ａ乃至図１Ｅは、フォトリソグラフィ法を用いてＰＤＰ電極を形成する方法を説明するために示す断面図である。
図１Ａ乃至図１Ｅを参照すれば、Ａｇペースト２０をガラス基板１０の一面に塗布及び印刷した後、所定の乾燥工程を進行すれば、ガラス基板１０上にＡｇペースト２０が乾燥される。フォトマスク３０を用いて選択的に遮蔽して露光させた後、現像液で現像すれば、選択的にＡｇペースト２０が除去された電極パターンが形成される。現像工程の後に、焼成工程を進行すれば、電極４０が形成される。
【０００５】
このようにＰＤＰ電極は、印刷、乾燥、露光、現像、焼成などの一連の過程を通じて形成される。このような電極形成工程中の現像工程でＡｇペースト廃棄物が生成される。ＡｇペーストのうちＡｇ粉末は、高価なので、廃棄物として捨てられたり、再加工をするよりは、再生して使用する必要性が大きい。
【０００６】
このようなＡｇペースト廃棄物には、溶剤が除去されたＡｇペーストの乾燥粉と剥離剤である炭酸ナトリウム（Ｎａ2ＣＯ3）または苛性ソーダ（ＮａＯＨ）などが含有されている。
【０００７】
Ａｇペースト廃棄物には、Ａｇ粉末が略８０ｗｔ％を占め、残りの成分は、主にフリットガラスと高分子樹脂であるバインダーとからなる。前記フリットガラスは、主成分がＰｂＯ、Ｂ2Ｏ3及びＳｉＯ2であり、サイズが略０．５〜１μｍ程度である。また、前記高分子樹脂成分であるバインダーは、大部分がアクリレート系であり、乾燥工程を経てＡｇ粉末の表面またはフリットガラスの表面と化学的に結合された状態で存在する。
【０００８】
Ａｇペースト廃棄物からＡｇ粉末を再加工する場合、前記Ａｇペースト廃棄物を全量高温で融解して高分子樹脂成分を除去し、精製工程を通じてフリットガラス成分を除去してＡｇ塊を形成した後に、高純度のＡｇ粉末を合成する過程を進行している。しかし、このような再加工工程は、高温で行われるので、有機物の炭化による環境汚染を誘発する原因になることができ、エネルギーが多く消費され、費用が多くかかる。また、Ａｇ塊からマイクロメーター（μｍ）サイズのＡｇ粉末を合成するが、これは、有害な高価の化工薬品及び諸設備を必要とするので、多くの費用が所要される。
【０００９】
一方、特許文献１は、ＰＤＰ隔壁研磨用粉末の再生方法を提示している。前記特許文献１は、Ａｌ2Ｏ3粉末、ＳｉＣ粉末、ガラス粉末またはステンレススチール粉末などの研磨用粉末に適用される再生方法を提示している。
【００１０】
しかし、高純度で金属性粉末を再生する必要性が産業界において継続的に要請されてきた。特に、再生されたＡｇ粉末がＰＤＰ電極などに再使用されるためには、導電性や形状が損傷されなければならないだけでなく、フリットガラスと高分子樹脂成分がほぼ含有されない高い純度を持たなければならないため、現在までの技術では、金属性粉末を再生することが非常に難しかった。
【００１１】
再生が正しく行われなくて、再生されたＡｇ粉末にフリットガラスが多く残留すれば、再生Ａｇ粉末を使用するＰＤＰ電極は、伝導度が低下する。
【００１２】
また、変形された高分子樹脂成分である有機物成分が再生されたＡｇ粉末に残留する場合、このような再生されたＡｇ粉末でＡｇペーストを製造し、ＰＤＰ電極に使用すれば、印刷工程で粘度の増加、印刷性の悪化などに起因してＰＤＰ電極に深刻な不良を招くことができる。
【００１３】
【特許文献１】大韓民国特許出願第１０−２００３−８０５２９号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明の目的は、超音波を用いた物理的方法と酸性またはアルカリ性水溶液を使用した化学的方法とを複合化した方法で金属性ペースト廃棄物に存在する高分子樹脂またはフリットガラスと高分子樹脂を親環境で且つ容易に除去することができる金属性粉末の再生方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る金属性粉末の再生方法は、金属性ペーストにより誘起される金属性ペースト廃棄物から金属性粉末を再生する方法において、（ａ）前記金属性ペースト廃棄物と酸性水溶液またはアルカリ性水溶液とを混合、攪拌してスラリーを形成し、前記金属性ペースト廃棄物に含有された高分子樹脂成分またはフリットガラスと高分子樹脂成分を前記酸性またはアルカリ性水溶液で除去する化学的処理段階と、（ｂ）スラリーを攪拌しながら超音波振動子を用いてスラリーに超音波を走査することによって、前記高分子樹脂の原子間結合が断絶されるようにして化学反応を促進し、スラリー内の気泡が激しく膨脹し、高い圧力によりその限界点で破裂し、気泡が破裂する時の衝撃波が前記金属性ペースト廃棄物に作用し、前記金属性粉末の周辺のフリットガラスまたは高分子樹脂を剥離させる超音波処理段階と、（ｃ）前記スラリーから母液を除去するための濾過工程を行い、ケーキを形成する段階と、（ｄ）前記濾過工程を通じて得られたケーキを乾燥させるための乾燥工程を行い、金属性粉末を得る段階と、を含む。
【００１６】
前記濾過工程を行い、ケーキを形成する段階の後に、前記濾過工程を通じて得られたケーキとアルカリ性または酸性水溶液とを混合、攪拌してスラリーを形成し、前記金属性ペースト廃棄物に含有された高分子樹脂成分またはフリットガラスと高分子樹脂成分をアルカリ性または酸性水溶液で除去する２次化学的処理段階と、スラリーを攪拌しながら超音波振動子を用いてスラリーに超音波を走査する２次超音波処理段階と、前記スラリーから母液を除去するための濾過工程を行い、ケーキを形成する段階と、をさらに含むことができ、前記（ａ）の化学的処理段階で酸性水溶液を使用した場合には、前記２次化学的処理段階は、アルカリ性水溶液を使用して化学的処理を行い、前記（ａ）の化学的処理段階でアルカリ性水溶液を使用した場合には、前記２次化学的処理段階は、酸性水溶液を使用して化学的処理を行ったり、前記（ａ）の化学的処理段階で使われた水溶液と同じ物性の水溶液で前記２次化学的処理を行うことができる。
【００１７】
前記（ａ）の化学的処理段階の前に、前記金属性粉末と前記フリットガラスとの比重差を用いて前記金属性ペースト廃棄物を湿式分級機または乾式分級機を用いて分級する段階をさらに含むことができる。
【００１８】
前記（ａ）の化学的処理段階の前に、前記フリットガラスの軟化点温度より低い温度で前記金属性ペースト廃棄物を燃焼し、前記高分子樹脂を除去する段階をさらに含むことができる。
【００１９】
また、前記（ａ）の化学的処理段階の前に、前記金属性ペースト廃棄物を溶剤に投入攪拌し、前記高分子樹脂を溶解して除去する段階をさらに含むことができる。
【００２０】
前記酸性水溶液または前記アルカリ性水溶液に溶剤を混合する段階をさらに含み、前記酸性水溶液と前記溶剤の混合液、または前記アルカリ性水溶液と前記溶剤の混合液で化学的処理することができる。
【００２１】
前記溶剤は、トルエン、キシレンまたはベンゼンよりなる芳香族炭化水素系と、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートまたはエチレングリコールジアセテートよりなるエステル系から選択された少なくともいずれか１つを含む物質を使用することができる。
【００２２】
前記金属性ペーストは、銀（Ａｇ）ペースト、金（Ａｕ）ペースト、白金（Ｐｔ）ペースト、ニッケル（Ｎｉ）ペースト、銅（Ｃｕ）ペーストまたはパラジウム（Ｐｄ）ペーストであり、前記金属性粉末は、導電性の銀（Ａｇ）粉末、金（Ａｕ）粉末、白金（Ｐｔ）粉末、ニッケル（Ｎｉ）粉末、銅（Ｃｕ）粉末またはパラジウム（Ｐｄ）粉末であることができる。
【００２３】
前記金属性ペーストは、ＰＤＰ電極形成用ペーストであり、前記金属性ペースト廃棄物は、ＰＤＰ電極形成工程中の現像工程で排出される廃棄物であり、前記金属性粉末は、導電性のＡｇ粉末であることができる。
【００２４】
前記酸性水溶液として、酢酸、乳酸及びクエン酸よりなる有機系酸から選択された少なくともいずれか１つを含む物質を使用することができる。
【００２５】
前記アルカリ性水溶液として、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム及びアンモニアよりなる無機系アルカリ化合物から選択された少なくともいずれか１つを含む物質を使用したり、炭素数１〜１０の１次アミン、２次アミン及び３次アミンよりなる有機系アルカリ化合物から選択された少なくともいずれか１つを含む物質を使用することができる。
【００２６】
前記酸性またはアルカリ性水溶液に界面活性剤を添加する段階をさらに含むことができる。
【００２７】
前記超音波処理段階は、２８〜４０ｋＨｚの超音波周波数で３０分〜２時間走査することによって行われることができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明に係る金属性粉末の再生方法によれば、超音波を用いた物理的方法と酸性またはアルカリ性水溶液を使用する化学的方法とを複合化した水洗工程で金属性ペースト廃棄物に存在する高分子樹脂またはフリットガラスと高分子樹脂を親環境で且つ容易に除去することによって、金属性粉末を再生することができる。
【００２９】
また、本発明によれば、特にＰＤＰ電極用Ａｇペースト廃棄物からＡｇ粉末をほぼ完璧に再生することができ、高価のＡｇ粉末を再生して、さらに産業現場で使用するようになるため、産業費用及び生産費用を大きく節減することができ、Ａｇペースト廃棄物を再加工する場合より環境汚染を抑制することができる。
【００３０】
また、本発明によれば、フリットガラスを含有しない金属性ペースト廃棄物にも適用できるので、従来、金属性ペースト廃棄物の再加工により引き起こされてきた環境汚染問題を改善することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、添付の図面を参照して本発明に係る好ましい実施例を詳細に説明する。しかし、以下の実施例は、この技術分野における通常の知識を有する者にとって本発明が十分に理解されるように提供されるものであって、様々な他の形態で変形されることができ、本発明の範囲が次に記述される実施例に限定されるものではない。図面で、同じ参照符号は、同じ構成要素を示す。
【００３２】
本発明は、導電性の金属性ペースト廃棄物から金属性粉末を再生する方法を提示する。前記金属性粉末には、銀（Ａｇ）粉末、金（Ａｕ）粉末、白金（Ｐｔ）粉末、ニッケル（Ｎｉ）粉末、銅（Ｃｕ）粉末、パラジウム（Ｐｄ）粉末などが含まれることができる。本発明の好ましい実施例では、Ａｇペースト廃棄物からＡｇ粉末を再生する方法を例示して説明し、以下の実施例で提示された再生方法は、金属性ペースト廃棄物から金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、パラジウム（Ｐｄ）などの金属性粉末を再生するのに適用されることができることはもちろんである。
【００３３】
また、前記金属性ペースト廃棄物には、フリットガラスのように酸化物微粒子を含有する金属性ペースト廃棄物はもちろん、フリットガラスが含有されていない金属性ペースト廃棄物をも含まれることができる。ガラス基板上にＰＤＰ電極が形成されるので、ガラス基板との密着性を高めるために、フリットガラスが含有された金属性ペーストがＰＤＰ電極の印刷工程に使われ、フリットガラスが含有されていない金属性ペーストは、一般的な印刷工程に主に使われている。
【００３４】
ＰＤＰ電極の印刷工程に主に使われるＡｇペーストは、Ａｇ粉末、ＰＤＰの上板（または下板）ガラス基板との密着性を増進させるためのフリットガラス、高分子樹脂成分であるアクリレート系のバインダー、溶剤及び添加剤などで構成されている。
【００３５】
Ａｇペースト廃棄物中に混在するフリットガラス粉末は、比重が１．４程度であり、平均粒径が１μｍ以下である。Ａｇ粉末は、比重が約１０程度であり、平均粒径が１〜３μｍ程度であり、球形である。フリットガラスとＡｇ粉末との比重差は、大きいばらつきを示すが、平均粒径はばらつきを示さない。また、Ａｇ粉末及びフリットガラスの最大粒子サイズが５μｍ以下であるので、一般的な分級工程を通じてフリットガラス粉末を選択的に除去することが容易でなく、本発明の好ましい実施例で提示した方法のような特殊な工程を通じて除去しなければならない。
【実施例】
【００３６】
以下、本発明の好ましい実施例に係る金属性粉末の再生方法を説明する。
＜実施例１＞
超音波及び酸性水溶液を用いた物理・化学的方法でＡｇペースト廃棄物からＡｇ粉末を選択的に分類することができる。
【００３７】
Ａｇ粉末だけを選択的に分類するために、酸性スラリー（slurry）を製造する。
【００３８】
具体的に説明すれば、酸性水溶液にＡｇペースト廃棄物を投入した後、これを攪拌器で攪拌して０．０１〜５０ｗｔ％程度の酸性スラリーを形成し、前記Ａｇペースト廃棄物に含有された高分子樹脂成分またはフリットガラスと高分子樹脂成分を前記酸性水溶液で除去する化学的処理工程を行う。この時、攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波（ultrasonic wave）振動子を用いてスラリーに超音波を走査し、超音波処理工程を行う。前記酸性水溶液には、界面活性剤が添加されることもできる。また、前記酸性水溶液には、溶剤が添加されることもできる。前記溶剤には、トルエン、キシレン、ベンゼンなどの芳香族炭化水素系、またはブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールジアセテートなどのエステル系が使われることができる。Ａｇペースト廃棄物の高分子樹脂は、一般的に感光性のアクリレート系であり、溶剤は、このようなアクリレート系高分子樹脂を溶解して除去する役目をすることができる。
【００３９】
前記酸性水溶液の濃度は、０．００１〜３０ｗｔ％程度であることが好ましく、投入されるＡｇペースト廃棄物の濃度は、０．０１〜５０ｗｔ％程度であることが好ましい。前記酸性スラリーは、１０〜１００℃程度で製造することが好ましい。
【００４０】
前記酸性スラリーの製造時の攪拌速度は、Ａｇペースト廃棄物内に混在するフリットガラス粉末が十分に分散されて反応することができるように、３００〜２０００ｒｐｍであることが好ましい。
【００４１】
前記酸性水溶液としては、酢酸、乳酸及びクエン酸よりなる有機系酸から選択された少なくともいずれか１つを含む物質を使用することができる。硝酸、硫酸、塩酸などの無機系酸には、Ａｇが溶解されることができるので、有機系酸を使用することが好ましい。
【００４２】
攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに超音波を走査する。走査される超音波の周波数は、２８〜４０ｋＨｚ程度であることができる。超音波は、３０分〜２時間程度注入することが好ましい。一般的に、超音波とは、２０ｋＨｚ以上の周波数を有する音波を言う。スラリーに超音波が照射されれば、前記スラリー内の気体分子（気泡）は、激しく膨脹し、前記気体分子は、非常に高い圧力を有するため、その限界点で破裂する。気泡が破裂する時の衝撃波がＡｇペースト廃棄物に作用し、Ａｇ粒子から周辺のフリットガラスまたは高分子樹脂を剥離させる作用をする。
【００４３】
また、スラリーに超音波を走査すれば、アクリレート系高分子樹脂成分であるバインダーは、原子間の結合が断絶され、したがって、高分子樹脂成分であるバインダーと酸性水溶液との化学的反応が促進される。これにより、Ａｇを取り囲んでいるバインダーは、Ａｇ粒子から剥離を促進させることができる。また、酸性水溶液とフリットガラスとの反応を促進し、一部のフリットガラスは、酸性水溶液に溶解され、溶解されない一部のフリットガラスは、酸性水溶液に均一に分散される。
【００４４】
このように化学的方法及び物理的方法である超音波により、Ａｇを取り囲んでいるバインダーは、Ａｇ粒子から剥離され、フリットガラスは、酸性水溶液に均一に分散され、溶解される。高分子樹脂成分であるバインダーは、原子間の結合が断絶され、溶解される。
【００４５】
スラリーの母液を除去するための濾過工程を行う。前記濾過工程は、遠心分離機、加圧濾過装置（Filter Press）、減圧濾過装置（Nutsche Filter）または傾斜母液除去（Decantation）方法などを利用することができ、前記濾過工程により前記スラリーから母液が除去され、ケーキ（Cake）が形成される。
【００４６】
前記濾過工程を通じて得られたケーキを乾燥させるための乾燥工程を行う。前記乾燥工程は、熱風乾燥、真空乾燥、噴霧乾燥または凍結乾燥などの一般的な乾燥工程を通じて行われることができ、前記乾燥工程の後にＡｇ粉末を得ることができる。
【００４７】
なお、前記乾燥工程の前に、さらに前記酸性水溶液を用いた化学的処理工程、前記超音波を用いた超音波処理工程及び前記濾過工程を少なくとも１回以上繰り返して行うこともできることはもちろんである。
【００４８】
＜実施例２＞
超音波及びアルカリ性水溶液を用いた物理・化学的方法でＡｇペースト廃棄物からＡｇ粉末を選択的に分類することができる。
【００４９】
Ａｇ粉末だけを選択的に分類するために、アルカリ性スラリーを製造する。
【００５０】
具体的に説明すれば、アルカリ性水溶液にＡｇペースト廃棄物を投入した後、これを攪拌器で攪拌して、０．０１〜５０ｗｔ％程度のアルカリ性スラリーを形成し、前記Ａｇペースト廃棄物に含有された高分子樹脂成分またはフリットガラスと高分子樹脂成分を前記アルカリ性水溶液で除去する化学的処理工程を行う。この時、攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに超音波を走査して、超音波処理工程を行う。前記アルカリ性水溶液には、界面活性剤が添加されることもできる。また、前記アルカリ性水溶液には、溶剤が添加されることもできる。前記溶剤としては、トルエン、キシレン、ベンゼンなどの芳香族炭化水素系、またはブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールジアセテートなどのエステル系が使われることができる。Ａｇペースト廃棄物の高分子樹脂は、一般的に感光性のアクリレート系であり、溶剤は、このようなアクリレート系高分子樹脂を溶解して除去する役目をすることができる。
【００５１】
前記アルカリ性水溶液の濃度は、０．００１〜１０ｗｔ％程度であることが好ましく、投入されるＡｇペースト廃棄物の濃度は、０．０１〜５０ｗｔ％程度であることが好ましい。前記アルカリ性スラリーは、１０〜１００℃程度で製造することが好ましい。
【００５２】
前記アルカリ性スラリーの製造時の攪拌速度は、Ａｇペースト廃棄物内に混在するフリットガラス粉末が十分に分散され反応されることができるように、３００〜２０００ｒｐｍであることが好ましい。
【００５３】
前記アルカリ性水溶液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム及びアンモニアよりなる無機系アルカリ化合物から選択された少なくともいずれか１つを含む物質を使用することができる。また、前記アルカリ性水溶液としては、炭素数１〜１０の１次アミン、２次アミン及び３次アミンよりなる有機系アルカリ化合物から選択された少なくともいずれか１つを含む物質を使用することもできる。
【００５４】
攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに超音波を走査する。走査される超音波の周波数は、２８〜４０ｋＨｚ程度であることができる。超音波は、３０分〜２時間程度注入することが好ましい。スラリーに超音波が照射されれば、気体分子（気泡）は、激しく膨脹し、気体分子は、非常に高い圧力を有するため、その限界点で破裂する。気泡が破裂する時の衝撃波がＡｇペースト廃棄物に作用し、Ａｇ粒子から周辺のフリットガラスまたは高分子樹脂を剥離させる作用をする。
【００５５】
また、スラリーに超音波を走査すれば、アクリレート系高分子樹脂成分であるバインダーは、原子間の結合が断絶され、したがって、高分子樹脂成分であるバインダーとアルカリ性水溶液との化学的反応が促進される。高分子樹脂成分であるバインダーは、アルカリ性水溶液と一部反応し、石鹸化される。
【００５６】
このように化学的方法及び物理的方法である超音波により、Ａｇを取り囲んでいるバインダーは、Ａｇ粒子から剥離され、フリットガラスは、アルカリ性水溶液に均一に分散され溶解される。高分子樹脂成分であるバインダーは、原子間の結合が断絶され、アルカリ性水溶液に石鹸化されたり、溶解される。
【００５７】
スラリーの母液を除去するための濾過工程を行う。前記濾過工程は、遠心分離機、加圧濾過装置（Filter Press）、減圧濾過装置（Nutsche Filter）または傾斜母液除去（Decantation）方法などを利用することができ、前記濾過工程により前記スラリーから母液が除去され、ケーキ（Cake）が形成される。
【００５８】
前記濾過工程を通じて得られたケーキを乾燥させるための乾燥工程を行う。前記乾燥工程は、熱風乾燥、真空乾燥、噴霧乾燥または凍結乾燥などの一般的な乾燥工程を通じて行われることができ、前記乾燥工程の後にＡｇ粉末を得ることができる。
【００５９】
なお、前記乾燥工程の前に、さらに前記アルカリ性水溶液を用いた化学的処理工程、前記超音波を用いた超音波処理工程及び前記濾過工程を少なくとも１回以上繰り返して行うことができることはもちろんである。
【００６０】
＜実施例３＞
１次的に超音波及び酸性水溶液を用いた物理・化学的方法で金属性粉末を再生した後に、さらに２次的に超音波及びアルカリ性水溶液を用いた物理・化学的方法で金属性粉末を再生することによって、高純度の金属性粉末を得ることもできる。このように２段階にわたって金属性粉末を再生する場合、得られる金属性粉末は、その純度が非常に高い。
【００６１】
具体的に説明すれば、まず、酸性スラリーを製造する。このために、酸性水溶液にＡｇペースト廃棄物を投入した後、これを攪拌器で攪拌し、０．０１〜５０ｗｔ％程度の酸性スラリーを形成する。この時、攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに超音波を走査する。前記酸性水溶液には、界面活性剤が添加されることもできる。また、前記酸性水溶液には、溶剤が添加されることもできる。
【００６２】
スラリーの母液を除去するための濾過工程を行う。前記濾過工程により前記スラリーから母液が除去され、ケーキが形成される。
【００６３】
前記ケーキをアルカリ性水溶液に投入した後、これを攪拌器で攪拌し、０．０１〜５０ｗｔ％程度のアルカリ性スラリーを形成する。この時、攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに超音波を走査する。前記アルカリ性水溶液には、界面活性剤が添加されることもできる。また、前記アルカリ性水溶液には、溶剤が添加されることもできる。
【００６４】
スラリーの母液を除去するための濾過工程を行う。前記濾過工程により前記スラリーから母液が除去され、ケーキが形成される。
【００６５】
前記濾過工程を通じて得られたケーキを乾燥させるための乾燥工程を行い、Ａｇ粉末を得る。
【００６６】
＜実施例４＞
１次的に超音波及びアルカリ性水溶液を用いた物理・化学的方法で金属性粉末を再生した後に、また２次的に超音波及び酸性水溶液を用いた物理・化学的方法で金属性粉末を再生することによって、高純度の金属性粉末を得ることもできる。このように２段階にわたって金属性粉末を再生する場合、得られる金属性粉末は、その純度が非常に高い。
【００６７】
具体的に説明すれば、まず、アルカリ性スラリーを製造する。このために、アルカリ性水溶液にＡｇペースト廃棄物を投入した後、これを攪拌器で攪拌し、０．０１〜５０ｗｔ％程度のアルカリ性スラリーを形成する。この時、攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに超音波を走査する。前記アルカリ性水溶液には、界面活性剤が添加されることもできる。また、前記アルカリ性水溶液には、溶剤が添加されることもできる。
【００６８】
スラリーの母液を除去するための濾過工程を行う。前記濾過工程により前記スラリーから母液が除去され、ケーキが形成される。
【００６９】
前記ケーキを酸性水溶液に投入した後、これを攪拌器で攪拌し、０．０１〜５０ｗｔ％程度の酸性スラリーを形成する。この時、攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに超音波を走査する。前記酸性水溶液には、界面活性剤が添加されることもできる。また、前記酸性水溶液には、溶剤が添加されることもできる。
【００７０】
スラリーの母液を除去するための濾過工程を行う。前記濾過工程により前記スラリーから母液が除去され、ケーキが形成される。
【００７１】
前記濾過工程を通じて得られたケーキを乾燥させるための乾燥工程を行い、Ａｇ粉末を得る。
【００７２】
＜実施例５＞
Ａｇペースト廃棄物は、Ａｇ粉末成分、フリットガラス成分及びバインダー成分を含有していて、バインダー成分は、Ａｇ粉末及びフリットガラスに化学的に結合された状態で存在する。Ａｇ粉末の比重がフリットガラスの比重より相対的に大きいため、Ａｇにバインダーが結合された形態の廃棄物は、フリットガラスにバインダーが結合された形態の廃棄物に比べて重い。
【００７３】
Ａｇ粉末の比重がフリットガラスの比重より相対的に大きいという性質を用いてＡｇペースト廃棄物を物理的方法を用いて分類することができる。前記物理的方法は、湿式分級機または乾式分級機を用いて比重が大きい廃棄物と相対的に比重が小さい廃棄物とを分類する方法である。
【００７４】
前記物理的方法を用いて分類する方法をさらに具体的に説明する。
【００７５】
Ａｇペースト廃棄物を遠心力型の湿式分級機または強制渦流型の乾式分級機で分級する。
【００７６】
遠心力型の湿式分級機を利用する場合、Ａｇペースト廃棄物の濃度が５〜８０ｗｔ％程度となるように水に希釈してスラリーを形成し、前記スラリーを遠心力型の湿式分級機に投入し分級する。湿式分級機の回転速度は、５００〜３０００ｒｐｍ程度にすることが好ましく、スラリーの投入速度は、５〜５０ｋｇ／ｈｒ程度にすることが好ましい。
【００７７】
強制渦流型の乾式分級機を利用する場合、Ａｇペースト廃棄物の投入速度を１０〜５００ｋｇ／ｈｒ程度にすることが好ましく、乾式分級機の回転速度は、５００〜５０００ｒｐｍ程度にすることが好ましい。圧縮空気は、０．０５〜０．５ＭＰａ程度にして分級することが好ましい。
【００７８】
前述したように、湿式分級機または乾式分級機を用いて物理的方法でＡｇペースト廃棄物の中から比重が大きいＡｇが含有された廃棄物を選択的に分類することができる。フリットガラスが含有された廃棄物は、Ａｇが含有された廃棄物に比べて相対的に軽いため、前記分級過程を通じて選択的に分類することができる。前記分級工程によりＡｇがバインダーにより結合された形態の廃棄物、及びＡｇとフリットガラスが共にバインダーにより結合されて混在する形態の廃棄物を１次的に分類することができる。
【００７９】
フリットガラスのような酸化物微粒子が含有されていないＡｇペースト廃棄物の場合、前述のような分級工程を行わなくてもよい。
【００８０】
次に、前記実施例１で説明したように、超音波及び酸性水溶液を用いた物理・化学的方法でＡｇ粉末を再生する工程を行う。
【００８１】
具体的に説明すれば、まず、遠心力型の湿式分級機または強制渦流型の乾式分級機で分級されたＡｇペースト廃棄物を酸性水溶液に投入した後、これを攪拌器で攪拌して、０．０１〜５０ｗｔ％程度の酸性スラリーを形成する。この時、攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに超音波を走査する。前記酸性水溶液には、界面活性剤が添加されることもできる。また、前記酸性水溶液には、溶剤が添加されることもできる。
【００８２】
スラリーの母液を除去するための濾過工程を行う。前記濾過工程により前記スラリーから母液が除去され、ケーキが形成される。
【００８３】
前記濾過工程を通じて得られたケーキを乾燥させるための乾燥工程を行い、Ａｇ粉末を得る。
【００８４】
＜実施例６＞
実施例５と同様に、Ａｇペースト廃棄物を遠心力型の湿式分級機または強制渦流型の乾式分級機で分級する。
【００８５】
次に、前記実施例２で説明したように、超音波及びアルカリ性水溶液を用いた物理・化学的方法でＡｇ粉末を再生する工程を行う。
【００８６】
具体的に説明すれば、まず、遠心力型の湿式分級機または強制渦流型の乾式分級機で分級されたＡｇペースト廃棄物をアルカリ性水溶液に投入した後、これを攪拌器で攪拌して、０．０１〜５０ｗｔ％程度のアルカリ性スラリーを形成する。この時、攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに超音波を走査する。前記アルカリ性水溶液には、界面活性剤が添加されることもできる。また、前記アルカリ性水溶液には溶剤が添加されることもできる。
【００８７】
スラリーの母液を除去するための濾過工程を行う。前記濾過工程により前記スラリーから母液が除去され、ケーキが形成される。
【００８８】
前記濾過工程を通じて得られたケーキを乾燥させるための乾燥工程を行い、Ａｇ粉末を得る。
【００８９】
＜実施例７＞
実施例５と同様に、Ａｇペースト廃棄物を遠心力型の湿式分級機または強制渦流型の乾式分級機で分級する。
【００９０】
次に、実施例３と同様の過程を行う。すなわち、１次的に超音波及び酸性水溶液を用いた物理・化学的方法でＡｇ粉末を再生した後に、さらに２次的に超音波及びアルカリ性水溶液を用いた物理・化学的方法でＡｇ粉末を再生する過程を行う。実施例３に具体的に例示されているいるので、ここではその説明は省略する。
【００９１】
＜実施例８＞
実施例５と同様に、Ａｇペースト廃棄物を遠心力型の湿式分級機または強制渦流型の乾式分級機で分級する。
【００９２】
次に、実施例４と同様の過程を行う。すなわち、１次的に超音波及びアルカリ性水溶液を用いた物理・化学的方法でＡｇ粉末を再生した後に、さらに２次的に超音波及び酸性水溶液を用いた物理・化学的方法でＡｇ粉末を再生する過程を行う。実施例４に具体的に例示されているので、ここではその説明は省略する。
【００９３】
一方、Ａｇペースト廃棄物内のフリットガラスが軟化して変形する軟化点温度（Softening Point；Ｔｓ）以下でＡｇペースト廃棄物を燃焼させる工程（Binder-Burn Out Step；以下、‘ＢＢＯ’という）を行い、Ａｇペースト廃棄物内に存在する高分子樹脂の一部を除去したり、変形させることができる。具体的に説明すれば、Ａｇとフリットガラスは、損傷されずに、高分子樹脂だけが分解され得る温度（軟化点温度以下の温度）である３００〜４００℃程度で３０分〜２時間程度ＢＢＯ工程を進行し、Ａｇペースト廃棄物内に存在する高分子樹脂の一部を除去することができる。このようなＢＢＯ工程は、前述の各実施例で酸性水溶液またはアルカリ性水溶液を用いた化学的処理段階の前に行うことによって、一部の高分子樹脂成分を除去することができる。
【００９４】
また、ＰＤＰ電極用Ａｇペーストの高分子樹脂は、一般的に感光性のアクリレート系であり、このようなアクリレート系高分子樹脂を溶解して除去するために、溶剤を使用することもできる。前記溶剤としては、トルエン、キシレン、ベンゼンなどの芳香族炭化水素系と、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールジアセテートなどのエステル系が使われることができる。このような溶剤に前記金属性ペースト廃棄物を投入攪拌し、前記高分子樹脂を溶解して除去することもできる。溶剤を用いて高分子樹脂を除去することは、酸性水溶液またはアルカリ性水溶液を用いた化学的処理段階の前に行うことができる。
【００９５】
一方、前述の実施例で説明したように、酸性水溶液またはアルカリ性水溶液に溶剤を混合してスラリーを形成し、前記酸性水溶液と前記溶剤の混合液または前記アルカリ性水溶液と前記溶剤の混合液で化学的処理することもできる。このように溶剤を酸性水溶液またはアルカリ性水溶液と併用する時には、酸性水溶液またはアルカリ性水溶液に対して約２０〜５０ｗｔ％程度の溶剤を混合して使用することが好ましい。
【００９６】
また、前述の各実施例で、化学的処理段階の前に、または後に、超音波処理工程を別途に行うこともできる。これを具体的に説明すれば、水（Ｈ2Ｏ）とＡｇペースト廃棄物を投入して混合した後、これを攪拌器で攪拌してスラリーを形成し、攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに超音波を走査し、超音波処理工程を別途に行うこともできる。
【００９７】
以下では、下記の実験例を参照して本発明をさらに詳細に説明するが、これらの実験例が、本発明を限定するものではない。
【００９８】
＜実験例１＞
アルカリ性スラリーを製造した。具体的に、８ｗｔ％ＮａＯＨ水溶液４ｋｇとＡｇペースト廃棄物１ｋｇとを５Ｌビーカーに投入して混合した後、これを攪拌器で攪拌して、アルカリ性スラリーを形成し、化学的処理工程を行った。
【００９９】
攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに２８ｋＨｚの超音波を１時間走査し、超音波処理工程を行った。前記攪拌器の攪拌速度は、８００ｒｐｍにし、攪拌温度は、７０℃にし、攪拌時間は、２時間にした。
【０１００】
前記アルカリ性スラリーから母液を除去するための濾過工程を行った。前記濾過工程は、遠心分離機を用いた。前記遠心分離機の回転速度は、２０００ｒｐｍとした。
【０１０１】
前記濾過工程を通じて得られたケーキを乾燥させるための乾燥工程を行った。前記乾燥工程は、熱風乾燥器を利用し、１１０℃で２４時間乾燥し、高純度のＡｇ粉末を得た。
【０１０２】
＜実験例２＞
酸性スラリーを製造した。具体的に、１０ｗｔ％酢酸水溶液４ｋｇと前記濾過工程により得られたケーキ１ｋｇとを５Ｌビーカーに投入して混合した後、これを攪拌器で攪拌して、酸性スラリーを形成し、化学的処理工程を行った。
【０１０３】
攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに３０ｋＨｚの超音波を１時間走査し、超音波処理工程を行った。前記攪拌器の攪拌速度は、１２００ｒｐｍにし、攪拌温度は、５０℃にし、攪拌時間は、２時間にした。
【０１０４】
前記酸性スラリーから母液を除去するための濾過工程を行った。前記濾過工程は、減圧濾過装置（Nutsche Filter）を用いた。
【０１０５】
前記濾過工程を通じて得られたケーキを乾燥させるための乾燥工程を行った。前記乾燥工程は、熱風乾燥器を利用し、１１０℃で２４時間乾燥し、高純度のＡｇ粉末を得た。
【０１０６】
＜実験例３＞
Ａｇペースト廃棄物を遠心力型の湿式分級機で分級した。スラリーの濃度は、３０ｗｔ％にし、Ａｇペースト廃棄物の投入速度は、５０ｋｇ／ｈｒにし、湿式分級機の回転速度は、１５００ｒｐｍにした。
【０１０７】
アルカリ性スラリーを製造した。具体的に、８ｗｔ％ＮａＯＨ水溶液４ｋｇとＡｇペースト廃棄物１ｋｇとを５Ｌビーカーに投入して混合した後、これを攪拌器で攪拌して、アルカリ性スラリーを形成し、化学的処理工程を行った。攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに２８ｋＨｚの超音波を１時間走査し、超音波処理工程を行った。前記攪拌器の攪拌速度は、８００ｒｐｍにし、攪拌温度は、７０℃にし、攪拌時間は、２時間にした。
【０１０８】
前記アルカリ性スラリーから母液を除去するための濾過工程を行った。前記濾過工程は、遠心分離機を用いた。前記遠心分離機の回転速度は、２０００ｒｐｍにした。
【０１０９】
次に、酸性スラリーを製造した。具体的に、１０ｗｔ％酢酸水溶液４ｋｇと前記濾過工程により得られたケーキ１ｋｇとを５Ｌビーカーに投入して混合した後、これを攪拌器で攪拌して、酸性スラリーを形成し、化学的処理工程を行った。攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに３０ｋＨｚの超音波を１時間走査し、超音波処理工程を行った。前記攪拌器の攪拌速度は、１２００ｒｐｍにし、攪拌温度は、５０℃にし、攪拌時間は、２時間にした。
【０１１０】
前記酸性スラリーから母液を除去するための濾過工程を行った。前記濾過工程は、減圧濾過装置（Nutsche Filter）を用いた。
【０１１１】
前記濾過工程を通じて得られたケーキを乾燥させるための乾燥工程を行った。前記乾燥工程は、熱風乾燥器を利用し、１１０℃で２４時間乾燥し、高純度のＡｇ粉末を得た。
【０１１２】
＜実験例４＞
分級工程を進行せず、酸性スラリーを製造した。具体的に、５ｗｔ％酢酸水溶液８ｋｇと湿式分級による乾燥物２ｋｇとを１０Ｌビーカーに投入して混合した後、これを攪拌器で攪拌して、酸性スラリーを形成し、化学的処理工程を行った。攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに２８ｋＨｚの超音波を３０分間走査し、超音波処理工程を行った。前記攪拌器の攪拌速度は、１０００ｒｐｍにし、攪拌温度は、５０℃にし、攪拌時間は、２時間にした。
【０１１３】
前記酸性スラリーから母液を除去するための濾過工程を行った。前記濾過工程は、減圧濾過装置（Nutsche Filter）を用いた。
【０１１４】
次に、アルカリ性スラリーを製造した。具体的に、１０ｗｔ％ＫＯＨ水溶液８ｋｇと前記濾過工程により得られたケーキ２ｋｇとを１０Ｌビーカーに投入して混合した後、これを攪拌器で攪拌して、アルカリ性スラリーを形成し、化学的処理工程を行った。攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに２８ｋＨｚの超音波を３０分間走査し、超音波処理工程を行った。前記攪拌器の攪拌速度は、５００ｒｐｍにし、攪拌温度は、３０℃にし、攪拌時間は、２時間にした。
【０１１５】
前記アルカリ性スラリーから母液を除去するための濾過工程を行った。前記濾過工程は、遠心分離機を用いた。
【０１１６】
前記濾過工程を通じて得られたケーキを乾燥させるための乾燥工程を行った。前記乾燥工程は、真空乾燥器を利用し、７００ｍｍＨｇ、９０℃で１２時間乾燥し、高純度のＡｇ粉末を得た。
【０１１７】
＜実験例５＞
分級工程を進行せず、スラリーを製造して、超音波処理工程を行った。具体的に、水（Ｈ2Ｏ）とＡｇペースト廃棄物２ｋｇを１０Ｌビーカーに投入して混合した後、これを攪拌器で攪拌して、スラリーを形成した。攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに２８ｋＨｚの超音波を２時間走査した。前記攪拌器の攪拌速度は、５００ｒｐｍにし、攪拌温度は、３０℃にし、攪拌時間は、２時間にした。
【０１１８】
酸性スラリーを製造した。具体的に、５ｗｔ％クエン酸水溶液８ｋｇと前記超音波処理建造物２ｋｇとを１０Ｌビーカーに投入して混合した後、これを攪拌器で攪拌して、酸性スラリーを形成し、化学的処理工程を行った。攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに２８ｋＨｚの超音波を３０分間走査し、超音波処理工程を行った。前記攪拌器の攪拌速度は、８００ｒｐｍにし、攪拌温度は、５０℃にし、攪拌時間は、２時間にした。
【０１１９】
前記酸性スラリーから母液を除去するための濾過工程を行った。前記濾過工程は、減圧濾過装置（Nutsche Filter）を用いてケーキを得た。
【０１２０】
前記濾過工程を行った後、さらにクエン酸水溶液を用いた酸性スラリーを製造し、化学的処理工程及び超音波処理工程を行った。
【０１２１】
前記酸性スラリーから母液を除去するための濾過工程を行った後、さらに超音波処理工程を行った。具体的に、水（Ｈ2Ｏ）と前記濾過工程で得られたケーキ２ｋｇとを１０Ｌビーカーに投入して混合した後、これを攪拌器で攪拌して、スラリーを形成した。攪拌器を用いてスラリーを攪拌しながら、超音波振動子を用いてスラリーに２８ｋＨｚの超音波を２時間走査した。前記攪拌器の攪拌速度は、５００ｒｐｍにし、攪拌温度は、３０℃にし、攪拌時間は、２時間にした。
【０１２２】
前記スラリーから母液を除去するための濾過工程を行った。前記濾過工程は、減圧濾過装置（Nutsche Filter）を用いた。
【０１２３】
前記濾過工程を通じて得られたケーキを乾燥させるための乾燥工程を行った。前記乾燥工程は、真空乾燥器を利用し、７００ｍｍＨｇ、１１０℃で２４時間乾燥し、高純度のＡｇ粉末を得た。
【０１２４】
図２は、再生前のＡｇペースト廃棄物に対する走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope；以下、‘ＳＥＭ’という）写真である。図３は、前記実験例１によってＡｇ粉末を再生したが、再生過程中に超音波を走査しない場合のＳＥＭ写真であり、図４は、前記実験例１によって再生したＡｇ粉末のＳＥＭ写真である。図５は、前記実験例２によって再生したＡｇ粉末のＳＥＭ写真である。図６は、前記実験例３によって再生したＡｇ粉末のＳＥＭ写真である。図７は、前記実験例４によって再生したＡｇ粉末のＳＥＭ写真である。図８は、前記実験例５によって再生したＡｇ粉末のＳＥＭ写真である。図９は、ＰＤＰ電極の形成に使われる前のＡｇ粉末正規品に対するＳＥＭ写真である。
【０１２５】
表１は、再生前のＡｇペースト廃棄物と、前記実験例３によって再生したＡｇ粉末及びＰＤＰ電極形成に使われる前の正規品に対するＸ線蛍光（X-Ray Fluorescence；ＸＲＦ）分析結果である。表１で、‘ＮＤ’は、‘Ｎｏ  Ｄｅｔｅｃｔ’を意味するものであって、成分が検出されていないことを示す。
【０１２６】
【表１】
0004523617.tif 000002
【０１２７】
図２乃至図９及び表１を参照すれば、図３に示されたように、再生過程中に超音波を走査しない場合には、再生品にフリットガラス成分と高分子樹脂成分が相変らず存在することが分かる。しかし、本発明の好ましい実施例に係る再生品においてＡｇ粉末の形状及び含有された不純物の分布は、Ａｇペースト廃棄物とは全く異なり、正規品とほぼ同一であることが分かる。特に、表１に示されたように、本発明の好ましい実施例に係る再生品には、フリットガラスの主成分であるＰｂ、Ｂｉが含有されていないことが分かるが、これは、本発明の好ましい実施例に係る金属性粉末の再生方法によりフリットガラスが完全に除去されたことを意味する。
【０１２８】
以上において説明した本発明は、本発明が属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で、様々な置換、変形及び変更が可能であるので、上述した実施例及び添付された図面に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【０１２９】
【図１Ａ】フォトリソグラフィ法を用いてＰＤＰ電極を形成する方法を説明するために示す断面図である。
【図１Ｂ】フォトリソグラフィ法を用いてＰＤＰ電極を形成する方法を説明するために示す断面図である。
【図１Ｃ】フォトリソグラフィ法を用いてＰＤＰ電極を形成する方法を説明するために示す断面図である。
【図１Ｄ】フォトリソグラフィ法を用いてＰＤＰ電極を形成する方法を説明するために示す断面図である。
【図１Ｅ】フォトリソグラフィ法を用いてＰＤＰ電極を形成する方法を説明するために示す断面図である。
【図２】再生前のＡｇペースト廃棄物に対する走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope；ＳＥＭ）写真である。
【図３】実験例１によってＡｇ粉末を再生したが、攪拌する間には超音波を走査しない場合のＳＥＭ写真である。
【図４】実験例１によって再生したＡｇ粉末のＳＥＭ写真である。
【図５】実験例２によって再生したＡｇ粉末のＳＥＭ写真である。
【図６】実験例３によって再生したＡｇ粉末のＳＥＭ写真である。
【図７】実験例４によって再生したＡｇ粉末のＳＥＭ写真である。
【図８】実験例５によって再生したＡｇ粉末のＳＥＭ写真である。
【図９】ＰＤＰ電極形成に使われる前のＡｇ粉末正規品に対するＳＥＭ写真である。
【図１Ａ】
0004523617.tif 000003
【図１Ｂ】
0004523617.tif 000004
【図１Ｃ】
0004523617.tif 000005
【図１Ｄ】
0004523617.tif 000006
【図１Ｅ】
0004523617.tif 000007
【図２】
0004523617.tif 000008
【図３】
0004523617.tif 000009
【図４】
0004523617.tif 000010
【図５】
0004523617.tif 000011
【図６】
0004523617.tif 000012
【図７】
0004523617.tif 000013
【図８】
0004523617.tif 000014
【図９】
0004523617.tif 000015