(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体における対向する一組の溝支持部により支持される第１の側壁と第２の側壁とに間に設けられた溝を対向する状態にかつ等間隔に形成したウエハキャリアケースにおいて、
前記第１の側壁と前記第２の側壁とのいずれか一方の側壁上に設けられたウエハ支持部と、
前記ウエハ支持部と前記ウエハ支持部を設けていない他の側壁との間に前記溝の一部として前記溝に連なって形成される案内溝と、を有し、
前記ウエハ支持部は、前記ウエハキャリアケースの上部に位置する、前記溝の上端部から、前記ウエハキャリアケースの中央部に位置する、前記溝の中心部にかけて設けられ、前記上端部において高さが低く、前記中心部において高さが最も高くなるように、設定されており、前記案内溝の幅を前記上端部から前記中心部に向かって狭めるよう設けられていることを特徴とするウエハキャリアケース。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハを収納するウエハキャリアケースに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図５の平面図と図６に示す図中のＣ−Ｃ線断面図に示すように、従来のウエハキャリアケース２０ａは筐体１ａにおける対向する一組の溝支持部２ａ、３ａに、複数の溝４ａ、５ａを対向する状態にかつ等間隔に形成したものである。上記各溝４ａ、５ａのそれぞれの開口側の幅はウエハ１００の厚さはおよそ６倍程度の寸法に形成されている。
【０００３】
ここで更に、特開平５−２２９５８１号公報には、上記構造のウエハキャリアケースにおけるウエハキャリアケースからピンセットでウエハを取り出す際に隣接するウエハとの接触による損傷を防ぎウエハに形成されるキズによる製品の歩留まりの低下を防止する発明が記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構造の図５に示すウエハキャリアケースでは、人の手若しくは搬送装置による搬送の際に、ウエハが大きく振動ないしはウエハの傾斜方向が変化し、ウエハキャリアケースの側壁６ａ、７ａ、８ａ、９ａと接触することによりウエハの損傷、ないしパーティクルの発生が起こり製品の歩留まりが低下する。叉、特開平５−２２９５８１号公報に記載のウエハキャリアケースの構造においては、半導体製造装置等でウエハを取り出す際、ウエハキャリアケースを真横に倒してウエハを取り出すことが有り、ウエハ係止部が存在する為に支持されていない部分とのバランスが崩れた場合にはウエハが水平ではなく、傾くこととなりロボットによる搬送トラブルが生じ得る問題が考えられる。
【０００５】
本発明は、上記問題を生じること無く、ウエハをウエハキャリアケースに収納し、人の手若しくは搬送装置等により搬送する際にウエハキャリアケース内のウエハの振動を抑制することにより、ウエハの損傷及びパーティクルの発生を低減し製品の歩留まりの低下を抑制することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明は、筐体における対向する一組の溝支持部により支持される複数の溝を対向する状態にかつ等間隔に形成したウエハキャリアケースにおいて、前記対向する各溝のうち少なくとも一組の前記溝の一方の側壁にウエハを支持するウエハ支持部を有するようにする。
【０００７】
またこの発明は、さらにウエハを支持するウエハ支持部を有する前記側壁を、一組の前記溝の対向する側壁のうち第2の側壁とする。
【０００８】
またこの発明は、溝の上端部の側壁上から当該溝の中心部の当該側壁上に向けて案内溝を有し、案内溝は、溝の上端部の前記側壁上において側壁上面からの高さが低く、当該溝の中心部に近づくにつれて側壁からの高さが高くなるように設定されたウエハ支持部からなる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の実施の形態１にかかるウエハキャリアケース１０の平面図である。図2は図1中のA−A線断面である。尚、図１、２中では省略した部分を一点鎖線で示す。図１に示すように、第１の側壁６と第２の側壁７からなる溝４と第１の側壁８と第２の側壁９からなる溝４は、溝支持部２及び溝支持部３により支持されている。更に、溝支持部２及び溝支持部３と第１支持板１及び第２支持板１uにより筐体１２が形成されている。ここで、上記第２の側壁７及び第２の側壁９の上面の溝４の中心部４ｓに位置するようにウエハ支持部１１が設けられている。当該ウエハ支持部１１によりウエハ１００が溝４内で第１の側壁６、８に接し得る様に支持されている。ウエハ支持部１１が設置されている溝の中心部４ａはウエハ溝支持部が接する部分に位置している。ウエハ支持部１１の形状は図中に示すように直方体であっても良いしドーム状であっても良い。ここで第１の側壁６、８からウエハ支持部１１までの距離は市販されているウエハの厚さ以上である。
【００１０】
以上の様に構成されたウエハキャリアケース１０によれは、ウエハ１００がウエハ支持部１１と第１の側壁６、８によって支持される為、ウエハ１００が大きく振動ないしはウエハ１００の傾斜方向の変化が低減される。
【００１１】
叉、半導体製造装置等でウエハを取り出す際、第２支持板1ｕが上方に位置するように設置される為、ウエハ支持部１１にウエハ１００との間にマージンがある場合にウエハ１００が接触していないこととなるのでウエハは第１の側壁６、８上に水平に載置されることとなる。従って、特開平５−２２９５８１号公報に記載のウエハキャリアケースの構造に基づいて想定されるようなロボット等による搬送のトラブルが生じ得ない。
【００１２】
尚、第１の側壁６、８の上面からウエハ支持部１１までの距離はウエハ１００をピンセット、ロボット等で出し入れする際にマージンが十分取れるように広く設定することも考えられる。
【００１３】
叉、第2の側壁７、９の上面にウエハ支持部１１を設置するのではなく、第１の側壁６、８の上面にウエハ支持部１１を設置した場合においても、ウエハキャリアケース内のウエハの振動を抑制ないし低減することができる。
【００１４】
以上のようにウエハキャリアケース１０の構造を設定することにより、ウエハキャリアケース１０内のウエハ１０の振動を抑制ないし低減し、特に第2の側壁７、９の上面にウエハ支持部１１を設置した場合にはロボット等による搬送トラブルを生じること無く、ウエハの損傷及びパーティクルの発生を低減し製品の歩留まりの低下を抑制することができる。
【００１５】
図３は、実施の形態１の変形例にかかるウエハキャリアケース１０の図1中のA−A線断面である。叉、図４は実施の形態１の変形例にかかるウエハキャリアケース１０の図1中のB−B線断面である。図３、４中においてウエハ支持部１１ｂの形状が異なる以外は実施の形態１と同様の構造である。図３、４において溝の上端部４ｔの第２の側壁９の上面から当該溝の中心部４ｓの当該第２の側壁９の上面に案内溝（ウエハ支持部１１ｂ）を有する。尚、図４においてはB‐B線により溝支持部３側の溝の断面図となっているが、溝支持部２においても断面図は同様の構造である。図４に示すように、ウエハ支持部１１ｂは溝の上端部４ｔの第２の側壁９の上面においては、ウエハ支持部１１ｂの第２の側壁９の上面からウエハ支持部１１ｂの上面までの高さが低いが、当該溝の中心部４ｓの当該第２の側壁９の上面に近づくにつれてウエハ支持部１１ｂの高さが高くなるように設定されている。このように設定することにより、ウエハキャリアケース１０にウエハ１００をスムーズに収納若しくは取り出すことができる。ここでも実施の形態１と同様にウエハ支持部１１ｂの上面から第１の側壁の上面までの距離はウエハ１００の出し入れでマージンが取れるように広く設定することも考えられる。叉、第2の側壁７、９の上面にウエハ支持部１１ｂを設置するのではなく、第１の側壁６、８の上面にウエハ支持部１１ｂを設置した場合においても、ウエハキャリアケース１０内のウエハの振動を抑制ないし低減することができる。
【００１６】
【発明の効果】
この発明によれば、ウエハをウエハキャリアケースに収納し人の手若しくは搬送装置等により搬送する際にウエハキャリアケース内のウエハの振動を抑制することにより、ウエハの損傷及びパーティクルの発生を低減し製品の歩留まりの低下を抑制することができる。
【００１７】
この発明によれば、ウエハをウエハキャリアケースにロボットで収納する際に、ウエハキャリアケースの形状に基づいたウエハの傾きによる搬送トラブルを生じることがない。
さらに、この発明によれば、ウエハをウエハキャリアケースに収納する際にスムーズに収納することができ、更に人の手若しくは搬送装置等により搬送する際にウエハキャリアケース内のウエハの振動を抑制することにより、ウエハの損傷及びパーティクルの発生を低減し製品の歩留まりの低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１の平面図である。
【図２】図１中のA-A線断面図である。
【図３】図１中のA-A線断面図である。
【図４】実施の形態１の変形例にかかる図１中のB-B線断面図である。
【図５】従来例の断面図である。
【図６】図５中のC-C線断面図である。
【符号の説明】
１  第１支持板
１ｔ  第２支持板
２  溝支持部
３  溝支持部
４  溝
６  第１の側壁
７  第２の側壁
８  第１の側壁
９  第２の側壁
１０  ウエハキャリアケース
１１  ウエハ支持部
１２  筐体
１００  ウエハ
【図１】
0004497731.tif 000002
【図２】
0004497731.tif 000003
【図３】
0004497731.tif 000004
【図４】
0004497731.tif 000005
【図５】
0004497731.tif 000006
【図６】
0004497731.tif 000007