(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
投光部及び受光部を並設した光電スイッチ本体と、前記投光部からの光を反射して前記受光部に返すリフレクタとからなり、
前記光電スイッチ本体の投光部は所定方向の偏光面を有する偏光を出射し、前記受光部はその偏光とは９０度回転した偏光面を有する偏光を選択的に受光する構成とされ、前記投光部から出射され前記リフレクタにより返される光が前記受光部にて受光されるか否かに基づいて被検出物体の検出を行うリフレクタ反射型光電スイッチにおいて、
前記リフレクタは、一対の金属製の平面状の反射面を備えてその反射面間が直角となるように構成されると共に、その両反射面が交わる線と、前記光電スイッチ本体の投光部から出射される偏光の偏光面とがなす角度が、０度及び９０度以外であってそれらの間の角度となるように取り付けられることを特徴とするリフレクタ反射型光電スイッチ。
【請求項２】
投光部及び受光部を並設した光電スイッチ本体と、前記投光部からの光を反射して前記受光部に返すリフレクタとからなり、
前記光電スイッチ本体の投光部は所定方向の偏光面を有する偏光を出射し、前記受光部はその偏光とは９０度回転した偏光面を有する偏光を選択的に受光する構成とされ、前記投光部から出射され前記リフレクタにより返される光が前記受光部にて受光されるか否かに基づいて被検出物体の検出を行うリフレクタ反射型光電スイッチにおいて、
前記リフレクタは、凹部が形成され、その凹部の内面に形成される金属製の反射面が頂角が９０度の円錐状をなしていることを特徴とするリフレクタ反射型光電スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リフレクタの構造を改良したリフレクタ反射型光電スイッチに関する。
【０００２】
【従来の技術】
リフレクタ反射型光電スイッチは、投光部及び受光部を並設した光電スイッチ本体と、投光部からの光を反射して受光部に返すリフレクタとからなる。被検出物体がないとき、投光部から出射された光はリフレクタにて反射して受光部に入射する一方、リフレクタの前に被検出物体が存在すると、投光部からの光がその被検出物体によって遮られて受光部に入射しなくなる。この受光部での入射の有無に基づいて被検出物体の有無を検出することができる。なお、従来のリフレクタは、３面の反射面を互いに直交するように組み合わせたいわゆるコーナーキューブタイプのプラスチック製のものが一般的である。
【０００３】
ところが、被検出物体が、例えば半導体ウエハのような鏡面反射性の物質（以下、「鏡面物体」という）である場合には、鏡面物体で反射した光も受光部に入射するから、リフレクタからの反射とを区別できず鏡面物体を検出できない。そこで、これを解決するために、上述した構成において、投光部から所定方向の偏光面を有する偏光を出射させ、受光部はその偏光とは９０度回転した偏光面を有する偏光のみを受光させるように構成したものがある。この構成では、投光部から出射された偏光がプラスチック製のリフレクタで反射すると、反射時に偏光面が保存されず、受光部に返される光は楕円偏光となるから、その楕円偏光のうち投光部からの偏光とは９０度回転した偏光面を有する偏光成分が受光部に入射する。これに対して、鏡面物体が存在して、投光部からの偏光が鏡面物体で反射すると、鏡面反射時では偏光面が保存されるから、その偏光とは同じ向きの偏光面を有する偏光のみが受光部に戻されて受光部に入射しなくなる。これにより、鏡面物体であっても検出が可能になる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のコーナーキューブ構造のリフレクタはプラスチック製であるため耐熱性が低い。また、例えば湿度の高い環境下でコーナーキューブ構造のリフレクタを使用した場合に、その反射面の裏側に水滴が付着すると、水滴が付着した反射面では光の屈折率が極端に低下して所定以上の光量の光が受光部に戻らないという問題が生じる。これに対して、耐熱性を向上させるために従来のコーナーキューブタイプのリフレクタ全体をプラスチック製から耐熱性の高い金属製にしたり、水滴付着による屈折率低下の防止のために、リフレクタの母材を樹脂製として反射面に金属蒸着する構成が考えれる。しかしながら、こうした構成をした場合には、鏡面物体の鏡面反射とリフレクタからの反射とを区別できなくなるといった問題が再び発生してしまう。その理由は、金属製のリフレクタでは反射時に偏光面が保存されるから、コーナキューブタイプでは１回の反射によって６０度ずつ偏光面が回転し、結局、３回の反射で１８０度偏光面が回転して元に戻ることになり、鏡面物体の鏡面反射と偏光面の向きが同じになるためである。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、被検出物体が鏡面反射を行う場合であっても、被検出物体からの反射光とリフレクタからの反射光とを区別して確実な検出動作を行うことが可能なリフレクタ反射型光電スイッチを提供するところにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１の発明に係るリフレクタ反射型光電スイッチは、投光部及び受光部を並設した光電スイッチ本体と、投光部からの光を反射して受光部に返すリフレクタとからなり、光電スイッチ本体の投光部は所定方向の偏光面を有する偏光を出射し、受光部はその偏光とは９０度回転した偏光面を有する偏光を選択的に受光する構成とされ、投光部から出射されリフレクタにより返される光が受光部にて受光されるか否かに基づいて被検出物体の検出を行うリフレクタ反射型光電スイッチにおいて、リフレクタは、一対の金属製の平面状の反射面を備えてその反射面間が直角となるように構成されると共に、その両反射面が交わる線と、光電スイッチ本体の投光部から出射される偏光の偏光面とがなす角度が、０度及び９０度以外であってそれらの間の角度となるように取り付けられるところに特徴を有する。
なお、本発明でいう「直角」とは厳密な意味での直角を必ずしも意味するものではない。一対の反射面が直角をなすように構成したのは、投光部からの光をその投光部に隣接した受光部に戻すためである。そして投光部からの光は実際には一定の幅（広がり）を有しており、両反射面を厳密的な意味での「直角」から多少ずれた角度で構成されていてもその一部の光は受光部に返すことができる。従って、本発明でいう「直角」とは、投光部から出射される一定の幅を持った光をそれに隣接した受光部に返すことができる実質的な意味での「直角」を意味する。
【０００７】
また、請求項２の発明に係るリフレクタ反射型光電スイッチは、投光部及び受光部を並設した光電スイッチ本体と、投光部からの光を反射して受光部に返すリフレクタとからなり、光電スイッチ本体の投光部は所定方向の偏光面を有する偏光を出射し、受光部はその偏光とは９０度回転した偏光面を有する偏光を選択的に受光する構成とされ、投光部から出射されリフレクタにより返される光が受光部にて受光されるか否かに基づいて被検出物体の検出を行うリフレクタ反射型光電スイッチにおいて、リフレクタは、凹部が形成され、その凹部の内面に形成される金属製の反射面が頂角が９０度の円錐状をなしているところに特徴を有する。
なお、本発明でいう「円錐の頂角が９０度」とは厳密的な意味での９０度を必ずしも意味するものではない。このような構成としたのは、投光部からの光をその投光部に隣接した受光部に戻すためである。そして投光部からの光は実際には一定の幅（広がり）を有しており、反射面を構成する円錐の頂角を厳密的な意味での「９０度」から多少ずれた角度で構成されていてもその一部の光は受光部に返すことができる。従って、本発明でいう「円錐の頂角が９０度」とは、投光部から出射される一定の幅を持った光をそれに隣接した受光部に返すことができる実質的な意味での「９０度」を意味する。
【０００８】
【発明の作用及び効果】
＜請求項１の発明＞
請求項１の構成によれば、光電スイッチ本体の投光部から出射された光は、まずリフレクタの一方の反射面で反射して他方の反射面に向かい、ここで再び反射して光電スイッチ本体の受光部に入射する。このとき、投光部は所定方向の偏光面を有する光を出射しており、リフレクタの両反射面は互いに９０度の角度で交わる形態であるから、リフレクタにおいて２回の反射を繰り返すことにより、偏光面は９０度回転して受光部に向かうことになる。そして、光電スイッチ本体の受光部は、投光部からの偏光とは９０度回転した偏光面を有する偏光を選択的に受光する構成であるから、リフレクタによって反射された光が受光部に入射することになる。
ここで、リフレクタの両反射面が交わる線と、投光部から出射される偏光の偏光面とが、０度又は９０度の角度をなすようにリフレクタが取り付けられていると、投光部からの偏光の偏光面は反射を繰り返しても回転しないが、本発明では、両者がそれらの角度を避けるように取り付けられているから、偏光面は確実に回転して受光部に入射する。なお、リフレクタの両反射面が交わる線と、投光部から出射される偏光の偏光面とがなす角度は４５度とすることが最も好ましいが、０度及び９０度以外の角度なら受光部に光の入射を得られる。
【０００９】
そして、被検出物体が移動して光電スイッチ本体の投光部とリフレクタとの間の光軸を遮るようになると、受光部への光の入射が断たれるから、これに基づき検出動作が行われる。
ここで、被検出物体が半導体ウエハのような鏡面反射性の物質であると、投光部からの光は偏光面を保存して受光部に向けて反射される。ところが、本発明では、受光部は、投光部から出射される偏光とは９０度回転した偏光面を有する偏光を選択的に受光する構成であるから、その被検出物体によって鏡面反射された光は、偏光面が回転していないから、受光部に入射することがなく、これに基づき検出動作が行われる。
このように、被検出物体が鏡面反射を行う場合であっても、被検出物体からの反射光とリフレクタからの反射光とを区別して確実な検出動作を行うことができる。
【００１０】
＜請求項２の発明＞
請求項２の構成によれば、投光部からの光は、まずリフレクタの凹部の内面に形成された円錐状の反射面で反射して、その円錐の中心軸側に向い、その向い側の反射面で再び反射して受光部に入射する。このとき、投光部は所定方向の偏光面を有する光を出射しており、金属製のリフレクタの反射面を構成する円錐は、その頂角が９０度であるから、請求項１の発明と同様に、リフレクタにおいて２回の反射を繰り返すことにより、９０度回転した偏光面を有する光が受光部に向かうことになる。ここで、リフレクタの反射面は、光電スイッチ本体側から見て上下左右方向に対称な円錐形状をなしているから、この反射面に対して円錐の頂角を中心とするあらゆる角度から投光部の光が入射しても、上記の反射を繰り返してその全部又は一部の偏光面が回転して受光部に戻すことが可能になる。これにより、受光部において一定の光量を受光することができるだけでなく、請求項１の発明に比べて光電スイッチ本体に対するリフレクタの取り付け作業が簡単になるという効果がある。
【００１１】
【発明の実施の形態】
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態を図１ないし図４によって説明する。
本実施形態に係るリフレクタ反射型光電スイッチは、例えば半導体製造装置において移送される半導体ウエハＷを検出するためのものであり、図１に示すように、光電スイッチ本体１０と、光電スイッチ本体１０に対向して配されるリフレクタ１３とを備えてなる。光電スイッチ本体１０には、リフレクタ１３に向って光Ｒ１を投光する投光部１１と、リフレクタ１３から返ってきた反射光Ｒ２を受光する受光部１２とが並設されている。投光部１１は、投光素子１１Ａと、投光素子１１Ａの前面に配された偏光フィルタ１１Ｂとからなる。偏光フィルタ１１Ｂは、その投光素子１１Ａから出射された光のうち例えば同図の上下方向を偏光面とした光（以下「第１成分の光」という）のみの通過を許容する構造をなしている。従って、投光部１１から出射される光Ｒ１は、第１成分の光のみで構成されたものとなる。一方、受光部１２は、受光素子１２Ａと、受光素子１２Ａの前面に配された偏光フィルタ１２Ｂとからなる。偏光フィルタ１２Ｂは、リフレクタ１３から返された反射光Ｒ２のうち前記第１成分の光とは９０度回転した偏光面（同図の図面の表裏方向）を有する光（以下「第２成分の光」という）のみの通過を許容する構造をなしている。従って、受光部１２は、その第２成分の光とは偏光面の向きが異なる光は受光しない。
【００１２】
さて、リフレクタ１３は、例えば、図２に示すように、円形の取り付け基板と、その取り付け基板の片面側に突設された短円柱状の反射部とが一体成形された金属（例えば、ステンレスやアルミ等）製部材である。反射部のうち前記光電スイッチ本体１０に向けられる上面側には、断面Ｖ字型の一対の反射面Ｍ１，Ｍ２が形成され、例えばリフレクタ１３を切削後に必要に応じて電解研磨して鏡面を得ることができる。なお、両反射面Ｍ１，Ｍ２がなす角度は直角をなすように形成されている。また、前記取り付け基板には、反射部を挟むように一対の取付孔Ｈ，Ｈが貫通形成れており、両取付孔Ｈ，Ｈの並列方向と、反射部の両反射面Ｍ１，Ｍ２の交わる線（以下、「交線Ｌ」という）とは４５度の角度をなす。
【００１３】
そして、光電スイッチ本体１０及びリフレクタ１３は、図１に示すように、半導体ウエハＷの通過経路を挟む位置で、光電スイッチ本体１０の投光部１１及び受光部１２と、リフレクタ１３の反射面Ｍ１，Ｍ２とを互いに対向して配置される。ここで、上述したように、リフレクタ１３は、取付孔Ｈ，Ｈの並列方向と、反射面Ｍ１，Ｍ２の交線Ｌとは４５度の角度をなすように形成されているから、図２（Ａ）に示すように光電スイッチ本体１０側から見ると、一対の反射面は、４５度傾いた状態で配置されることになる。
【００１４】
次に、本実施形態の作用について図３及び図４を参照しつつ説明する。なお、図３及び図４において、両矢印の記号は光Ｒ１及び反射光Ｒ２の偏光面の向きを表したものである。
まず、リフレクタ１３の前面に半導体ウエハＷがないとき、投光部１１から出射された偏光Ｒ１は、リフレクタ１３の一方の反射面Ｍ１で反射して他方の反射面Ｍ２に向い、ここで再び反射して光電スイッチ本体１０の受光部１２に戻される。このとき、リフレクタ１３の両反射面Ｍ１，Ｍ２は、互いに９０度の角度で交わる形態であって共に金属で形成されている。従って、図３に示すように、第１成分の光のみで構成された光Ｒ１は、その偏光面が保存されつつ両反射面Ｍ１，Ｍ２での２回の反射を繰り返すことにより、９０度回転した偏光面を有する光が、受光部１２に向うことになる。受光部１２は、上述したように第２の成分の光のみを受光する構成とされているが、受光部１２に戻される光Ｒ２には第１成分の光だけでなく第２成分の光も含まれているから、その光が受光部１２に入射することになる。
【００１５】
ここで、本実施形態のように投光部１１から出射される光Ｒ１の偏光面と、リフレクタ１３の両反射面Ｍ１，Ｍ２の交線Ｌとが０度又は９０度の角度をなすようにリフレクタ１３が取り付けられていると、図４（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように、２度の反射を繰り返しても偏光面は回転しない。従って、反射光Ｒ２は光Ｒ１と同様に第１成分の光のみで構成された光として受光部１２に向うことになり、受光部１２に入射しなくなってしまう。しかしながら、本実施形態では、０度又は９０度の角度を避けて４５度の角度をなすように構成されているから上述のように偏光面は確実に回転して受光部１２に入射させることが可能になる。なお、０度又は９０度以外の角度であれば、必ずしも４５度でなくてもよいが、４５度の角度に設定した場合には、光Ｒ１のうち最も多くの光が反射面Ｍ１，Ｍ２により回転されることが実験的に認められている。従って、本実施形態では一対の取付孔Ｈ，Ｈの並列方向と、反射部の交線Ｌとは４５度の角度をなすように形成することで、光電スイッチ本体１０とリフレクタ１３との位置調整の際より簡単にその角度に設定できるような工夫がしてある。
【００１６】
そして、半導体ウエハＷが移動して光電スイッチ本体１０の投光部１１とリフレクタ１３との間の光軸を遮るようになるが、半導体ウエハＷのような鏡面反射性の物質では、投光部１１からの光Ｒ１は半導体ウエハＷで回転せずに反射して受光部１２に向うことになる。しかしながら受光部１２は、第２成分の光のみの入射を許容して、光Ｒ１と同じ第１成分の光は受光部１２に入射しない。従って、受光部１２の入射の有無に基づいて検出動作を行うことが可能になる。
【００１７】
このように、本実施形態に係るリフレクタ反射型光電スイッチによれば、投光部１１及び受光部１２は互いに位相が９０度異なる光のみをそれぞれ投光及び受光するようにし、リフレクタ１３は、直角をなす一対の反射面Ｍ１，Ｍ２を備えて、両反射面Ｍ１，Ｍ２の交線Ｌと、投光部１１から出射される光Ｒ１の偏光面が０度又は９０度を避けて４５度の角度になるような向きにリフレクタ１３を配置した。これにより、半導体ウエハＷのように鏡面反射を行うものであっても、半導体ウエハＷからの反射光とリフレクタ１３からの反射光とを区別して確実な検出動作を行うことができる。
【００１８】
＜第２実施形態＞
図５及び図６は（請求項２の発明に対応する）第２実施形態のリフレクタ２０を示す。前記第１実施形態とは、リフレクタの反射面の形状が異なり、その他の点は前記第１実施形態と同様である。従って、第１実施形態と同一符号を付して詳細な説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。
【００１９】
リフレクタ２０は、図５に示すように、全体として円柱形をなし、その一方の端面に凹部が形成され、その凹部の内面に形成された面が頂角が９０度の円錐をなして反射面Ｍ３を構成している。なお、反射面Ｍ３の円錐状の頂点に相当する部分には、取り付け基板の裏側まで貫通した貫通孔２１が形成されており、切削の際、加工逃げとして機能する。
【００２０】
さて、本実施形態の作用について図６を参照しつつ説明する。なお、図６において、両矢印の記号は光Ｒ１及び反射光Ｒ２の偏光面の向きを表したものである。
まず、リフレクタ２０の前面に半導体ウエハＷがないとき、投光部１１から出射された偏光Ｒ１は、リフレクタ２０の円錐形をなす反射面Ｍ３の一部で反射して、その円錐の中心軸側に向い、その向い側の反射面Ｍ３で再び反射して受光部１２に戻される。リフレクタ２０の反射面Ｍ３を構成する円錐は、その頂角が９０度であって金属で形成されているから、図６に示すように、第１実施形態のリフレクタ１３と同様に、反射面Ｍ３において２回の反射を繰り返すことにより、９０度回転した偏光面を有する光が受光部１２に向かうことになる。
【００２１】
ここで、リフレクタ２０の反射面Ｍ３は、図６に示すように、光電スイッチ本体１０側から見て上下左右方向に対称な円錐形状をなしているから、この反射面Ｍ３に対して円錐の頂点を中心とするあらゆる角度から投光部１１の光Ｒ１が入射しても、上記の反射を繰り返してその全部又は一部の偏光面が回転して受光部１２に戻すことが可能になる。
【００２２】
そして、鏡面反射性の物体である半導体ウエハＷが移動して投光部１１及びリフレクタ２０との間の光軸を遮る場合では、第１実施形態と同様に、投光部１２からの光Ｒ１は半導体ウエハＷでは回転せずに反射して受光部１２に戻されることになり、もって半導体ウエハＷの検出が可能になる。
【００２３】
このような構成であれば、受光部１２により一定の光量を受光することが可能になり鏡面反射を行う半導体ウエハ等であっても検出できる。さらに、本実施形態のリフレクタ２０の反射面Ｍ３は円錐で構成されその軸に対して上下・左右対称の形状であって、その軸を中心としたあらゆる方向から投光部１１の光Ｒ１が入ってくる場合でも反射して受光部１２に戻すことができるから、光電スイッチ本体１０に対するリフレクタ１３の取り付け作業が第１実施形態に比べてより簡単になる。
【００２４】
＜第３実施形態＞
図７は第３実施形態に係るリフレクタ３０を示す。第１実施形態のリフレクタ１３との相違は、交線Ｌに沿って溝３１が形成されているところにある。この構成によれば、リフレクタ成形時に溝３１が加工逃げとして機能する。なお、その他の点は前記第１実施形態と同様であり同様の効果を得ることができる。
【００２５】
＜第４実施形態＞
図８は第４実施形態に係るリフレクタ４０を示す。一対の反射面Ｍ１，Ｍ２で構成されるＶ字溝は第１実施形態のリフレクタ１３のように１列とは限られず、本実施形態のように複数列形成したものであっても前記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００２６】
＜第５実施形態＞
図９は第５実施形態に係るリフレクタ５０を示す。第１実施形態のリフレクタ１３との相違は、取り付け基板のうち取付孔の並列方向と直角をなす方向の両端を切断した形状とした点にあり、例えば狭い内壁等にも取付けることができる。
【００２７】
＜第６実施形態＞
図１０は第６実施形態に係るリフレクタ６０を示す。第１実施形態のリフレクタ１３は、Ｖ字溝が交線に沿って貫かれた形状となっていたが、リフレクタ６０は、反射部の上面の周縁部を残しつつＶ字溝が形成され、その両端に壁面が残存した形状となっている。この構成であれば第１実施形態のリフレクタ１３に比べて外力による損傷を防止することができる。
【００２８】
＜第７実施形態＞
図１１は第７実施形態に係るリフレクタ７０を示す。一対の反射面Ｍ１，Ｍ２が直角をなして構成されていれば、第６実施形態のリフレクタ６０のように各反射面Ｍ１，Ｍ２の形状が矩形以外でなくても、本実施形態に係るリフレクタ７０のように三角形であってもよい。
【００２９】
＜第８実施形態＞
また、第６実施形態のリフレクタ以外に、図１２に示す第８実施形態に係るリフレクタ８０のように、半円形状のものであってもよい。
【００３０】
＜第９実施形態＞
図１３は第９実施形態に係るリフレクタ９０を示す。リフレクタ９０は、図１３に示すように概ねＳ字状の金属板であって、その両端部分に一対の取付孔Ｈ，Ｈを形成すると共に、両取付孔Ｈ，Ｈで挟まれる中央部分を両取付孔Ｈ，Ｈの並列方向と４５度の角度をなす方向に沿って互いに同方向に折り曲げて、第１実施形態のリフレクタ１３同様の直角をなす一対の反射面を構成するようにした。
【００３１】
＜第１０実施形態＞
図１４は第１０実施形態に係るリフレクタ１００を示す。リフレクタ１００は、第１実施形態のリフレクタ１３の取り付け基板がない代わりに、反射面Ｍ１，Ｍ２が形成された面と反対の面に、やはり一対のねじ穴Ｎ，Ｎが形成されている。
【００３２】
＜第１１実施形態＞
図１５は第１１実施形態に係るリフレクタ１１０を示す。第１実施形態のリフレクタ１３との相違は、取り付け基板及び反射部の並断面が円形ではなく矩形をなしている。
【００３３】
＜第１２実施形態＞
図１６は第１２実施形態に係るリフレクタ１２０を示す。第１１実施形態のリフレクタ１１０との相違は、一対の取付孔Ｈ，Ｈが反射面Ｍ１，Ｍ２が形成された面と面一をなす面から貫通形成されている。
【００３４】
＜第１３実施形態＞
図１７は第１３実施形態に係るリフレクタ１３０を示す。リフレクタ１３０は、概ね直方体をなし、その一側面には長手方向に対して４５度傾いた方向に沿って一対の反射面Ｍ１，Ｍ２がやはり直角をなして形成されている。なお、その反射面Ｍ１，Ｍ２とは反対側の面及びその側面には一対のねじ穴Ｎ，Ｎがそれぞれ形成されている。
【００３５】
＜第１４実施形態＞
図１８は第１４実施形態に係るリフレクタ１４０を示す。第１３実施形態のリフレクタ１３０は、Ｖ字溝が交線に沿って貫かれた形状となっていたが、リフレクタ１４０は、反射部の上面の周縁部を残しつつＶ字溝が形成され、その両端に壁面が残存した形状となっている。この構成であれば第１３実施形態のリフレクタ１３０に比べて外力による損傷を防止することができる。
【００３６】
＜第１５実施形態＞
図１９は第１５実施形態に係るリフレクタ１５０を示す。一対の反射面Ｍ１，Ｍ２が直角をなして構成されていれば、第１４実施形態のリフレクタ１４０の各反射面Ｍ１，Ｍ２の形状と異なり、本実施形態に係るリフレクタ７０のように略台形であってもよい。
【００３７】
＜第１６実施形態＞
図２０は第１６実施形態に係るリフレクタ１６０を示す。第２実施形態のリフレクタ２０との相違は、取り付け基板のうち取付孔の並列方向と直角をなす方向の両端を切断した形状とした点にあり、例えば狭い内壁等にも取付けることができる。
【００３８】
＜第１７実施形態＞
図２１は第１７実施形態に係るリフレクタ１７０を示す。リフレクタ１７０は、第２実施形態のリフレクタ２０の取り付け基板がない代わりに、反射面Ｍ３が形成された面と反対の面に、やはり一対のねじ穴Ｎ，Ｎが形成されている。
【００３９】
＜第１８実施形態＞
図２２は第１８実施形態に係るリフレクタ１８０を示す。リフレクタ１８０は、概ね直方体をなし、その一側面に形成した凹部の内面に円錐状の反射面Ｍ３が形成されている。本実施形態のように反射面Ｍ３はその全体が円錐である必要はなく、実際に光を反射させる面のみが円錐形状の一部を構成していればよい。なお、その反射面Ｍ３とは反対側の面及びその側面には一対のねじ穴Ｎ，Ｎがそれぞれ形成されている。
【００４０】
＜第１９実施形態＞
図２３は第１９実施形態に係るリフレクタ１９０を示す。第１８実施形態のリフレクタ１８０とは異なり、反射部の上面の周縁部を残しつつ円錐形状が形成され、その両端に壁面が残存した形状となっている。この構成であれば第１８実施形態のリフレクタ１８０に比べて外力による損傷を防止することができる。
【００４１】
＜他の実施形態＞
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に説明するような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
（１）上記各実施形態では、リフレクタを同一金属で一体成形したが、少なくとも反射面が金属製であれば本発明の効果を得ることができる。従って、反射面以外の部分は例えば安価なステンレスとしたり、又は母材を樹脂製として反射面に金属蒸着したりして、リフレクタ全体として低コスト化を図ったものであってもよい。
【００４２】
（２）また、上記第１実施形態において、例えば半導体ウエハＷが真空槽を移送される場合であっても同様の効果を奏する。この場合、光電スイッチ本体１０を真空槽に形成した透光窓の外側に設けると共に、金属製のリフレクタ１３等を真空槽内であって、光電スイッチ本体１０との間で半導体ウエハＷの通過経路を挟む位置に設けて、投光部１１から透光窓を通して真空槽内に光を出射し、リフレクタ１３等で反射する光を受光部１２に戻され受光するように構成すればよい。
【００４３】
（３）上記各実施形態の光電スイッチ１０の投光部１１を偏光を出射する半導体レーザで構成してもよい。この構成であれば、偏光フィルタ１１Ｂが不要になるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る真空搬送装置の構成図
【図２】そのリフレクタの平面図等
【図３】光電センサ本体及びリフレクタ間の投受光を説明するための説明図
【図４】リフレクタの設置角度による反射光の相違を説明するための説明図
【図５】本発明の第２実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図６】光電センサ本体及びリフレクタ間の投受光を説明するための説明図
【図７】本発明の第３実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図８】本発明の第４実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図９】本発明の第５実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図１０】本発明の第６実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図１１】本発明の第７実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図１２】本発明の第８実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図１３】本発明の第９実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図１４】本発明の第１０実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図１５】本発明の第１１実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図１６】本発明の第１２実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図１７】本発明の第１３実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図１８】本発明の第１４実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図１９】本発明の第１５実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図２０】本発明の第１６実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図２１】本発明の第１７実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図２２】本発明の第１８実施形態に係るリフレクタの平面図等
【図２３】本発明の第１９実施形態に係るリフレクタの平面図等
【符号の説明】
１０…光電スイッチ本体
１１…投光部
１２…受光部
１３，２０，３０，４０，５０，６０，７０，８０，９０，１００，１１０，１２０，１３０，１４０，１５０，１６０，１７０，１８０，１９０…リフレクタ
Ｌ…交線
Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３…反射面
Ｒ１…光
Ｒ２…反射光
Ｗ…半導体ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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