(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器部分（３４）を有し、該容器部分（３４）が、開口した内部と、開口側を限定するほぼ四角形のドアフレーム部分（７４）とを有し、該ドアフレーム部分（７４）が、前記開口側に関して互いに反対側に配置された少なくとも二つのラッチレシーバ（６８）を有し、協働するドア（３６）が、ドアフレーム部分（７４）へ挿入できるような寸法の外側周辺部（５４）を有するドア本体（５６）を有し、前記ドア周辺部（５４）が、前記ドアフレーム部分（７４）の前記ラッチレシーバ（６８）に対応した少なくとも二つの開口部（６６）を有する、半導体ウェハーのためのシール可能な容器（２０；３０）用のドア（３６）のための改良されたラッチ機構（６０）であって、
当該ラッチ機構（６０）は回転可能なカム部材（８０）と、該カム部材（８０）の回転に伴って前記ラッチレシーバ（６８）に対して出入り動可能なラッチ用アーム（８２）とを有し、
ａ）前記ラッチ用アーム（８２）は一体構造のものであり、該ラッチ用アーム（８２）が、一端に”Ｓ”字形状のカムフォロワ部分（１３６）を、また他端にラッチ部分（６２）を有しており、
ｂ）前記カム部材（８０）が、前記ドア本体（５６）の内部において該ドア本体（５６）へ回転可能な状態で取り付けられていて、前記ドア（３６）の外側から回転することができ、
前記ラッチ用アーム（８２）のカムフォロワ部分（１３６）が、前記カム部材（８０）のほぼ半径方向で外向きのカム係合面（１６０）と内向きのカム係合面（１５８）とを有し、また前記カム部材（８０）のほぼ軸方向で第１の側を向いた第１の軸方向カム係合面（１５０）と第１の側と反対の第２の側を向いた第２の軸方向カム係合面（１５３）とを有し、これらの係合面がすべて前記Ｓ字形状のカムフォロワ部分（１３６）の上に配置されており、前記第１の側及び第２の側は、前記容器（３４）が前記ドア（３６）により閉じられた状態において、それぞれ前記ドア（３６）の外に向かう側及びこれとは逆に容器（３４）の内部に向かう側であり、
また前記カム部材（８０）が、前記Ｓ字形状のカムフォロワ部分（１３６）の前記第１の軸方向カム係合面（１５０）及び前記第２の軸方向カム係合面（１５３）へ摺動的に係合してこれらと協働する、前記カム部材（８０）のほぼ軸方向で互いに反対側を向いた一対のカム面（１１８，１３０）を有しており、前記カム部材（８０）がさらに、前記Ｓ字形状のカムフォロワ部分（１３６）の前記ほぼ半径方向で内向きのカム係合面（１５８）及び外向きのカム係合面（１６０）へ摺動的に係合してこれらと協働する、前記カム部材（８０）のほぼ半径方向で互いに反対側を向いた一対のカム面（１４０，１４２）とを有し、これら一対のほぼ半径方向を向いた面と、前記一対のほぼ軸方向を向いた面との組合せにより、前記Ｓ字形状のカムフォロワ部分（１３６）を係合し捕捉するものであり、
前記ドア（３６）が前記ドアフレーム部分（７４）に挿入されているときに前記カム部材（８０）を回転させると、前記カム部材（８０）の半径方向の一対のカム面（１４０，１４２）とカムフォロワ部分（１３６）の半径方向のカム係合面（１５８，１６０）との摺動係合により、前記ラッチ用アーム（８２）の前記ラッチ部分（６２）がまず前記ドア（３６）から前記カム部材（８０）の半径方向で外側へ伸びて前記ドアフレーム部分（７４）のラッチレシーバ（６８）に入り込み、前記ラッチ部分（６２）が次に軸方向の一対のカム面（１１８，１３０）とカムフォロワ部分（１３６）の第１及び第２の軸方向カム係合面（１５０，１５３）との摺動係合により、前記カム部材（８０）の回転軸方向で前記容器部分（３４）の内部から離れる方向へ伸びて、前記ドア（３６）を引っ張って前記容器部分（３４）としっかりと係合させる、ラッチ機構。
【請求項２】
請求項１記載のラッチ機構を備えたシール可能な容器（２０；３０）であって、前記回転可能なカム部材（８０）が前記ドア本体（５６）の中央に配置されており、当該容器（２０；３０）が、一体化された前記ラッチ用アーム（８２）の二つを有していて、これらのアーム（８２）が反対方向に延びているシール可能な容器（２０；３０）。
【請求項３】
前記ラッチ用アーム（８２）の各々がＹ字形状を有している請求項２記載のシール可能な容器（２０；３０）。
【請求項４】
請求項１記載のラッチ機構を備えたシール可能な容器（２０；３０）であって、前記ドア本体（５６）が、前記ラッチ機構（６０）を収容する容器として形成されており、このドア本体（５６）の周辺部（５４）が複数の溝（１９８）を有し、前記ドア本体（５６）がさらに、前記複数の溝（１９８）と協働するように配置された複数の戻り止め（１８４）を有するドアパネル（１８０）とを有していて、金属ファスナを使用することなく、前記ドアパネル（１８０）が前記ドア本体（５６）内へスナップ嵌めされるシール可能な容器（２０；３０）。
【請求項５】
前記回転可能なカム部材（８０）が前記ドア本体（５６）の中央に配置されており、当該容器（２０；３０）が、一体化された前記ラッチ用アーム（８２）を二つ有していて、これらのアーム（８２）が反対方向に延びており、前記ドア（３６）が５個の別個の部品から形成されている請求項４記載のシール可能な容器（２０；３０）。
【請求項６】
前記回転式のカム部材（８０）が前記ドア本体（５６）の中央に配置されており、当該容器（２０；３０）が、一体化された前記ラッチ用アーム（８２）の二つを有していて、前記ラッチ機構（６０）が２個の可動部材を有している請求項４記載のシール可能な容器（２０；３０）。
【請求項７】
請求項１記載のラッチ機構を備えたシール可能な容器（３０）であって、前記容器部分（３４）が、水平な棚を形成する複数のウェハーサポートを有しており、前記開口側が前記容器部分（３４）の前部に設けられているシール可能な容器（３０）。
【請求項８】
ウェハーを収容するためのシール可能な容器（２０）であって、開口した底部側（５０）を備えた容器部分（３４）と、前記開口した底部側（５０）を閉じるための協働するドア（３６）とを有し、前記ドア（３６）が、周辺部（５４）と、平面状の内向水平面とを有するとともに、ラッチ機構（６０）を有しており、該ラッチ機構（６０）がカム部材（８０）とラッチ用アーム（８２）とを有し、該ラッチ用アーム（８２）がその一端に前記カム部材（８０）の回転軸方向に沿った断面においてＳ字形状のカムフォロワ部分（１３６）を、また他端にラッチ部分（６２）を有しており、前記Ｓ字形状のカムフォロワ部分（１３６）がカム部材（８０）によって係合されて捕捉され、前記カム部材（８０）が、該カム部材（８０）が回転するにつれて該カム部材（８０）の半径方向外側と軸方向とへ前記ラッチ用アーム（８２）を移動させるカム部分（１１８，１３０，１４０，１４２）を有しており、前記ドア（３６）が前記開口した底部側（５０）に位置しているときに前記ラッチ部分（６２）がまず前記ドア（３６）から  前記カム部材（８０）の半径方向で外側へ伸び、前記ラッチ部分（６２）が次に前記カム部材（８０）の回転軸方向で前記容器部分（３４）の内部から離れる方向へ伸びて、前記カム部材（８０）が回転するにつれて前記ドア（３６）を引っ張って前記容器部分（３４）としっかりと係合させるシール可能な容器（２０）。
【請求項９】
ウェハーを収容するためのシール可能な容器（３０）であって、開口した前部側（４８）を備えた容器部分（３４）と、前記開口した前部側（４８）を閉じるための協働するドア（３６）とを有し、前記ドア（３６）が、周辺部（５４）と、平面状の内向垂直面を有するとともに、ラッチ機構（６０）を有しており、該ラッチ機構（６０）がカム部材（８０）とラッチ用アーム（８２）を有し、該ラッチ用アーム（８２）がその一端に前記カム部材（８０）の回転軸方向に沿った断面においてＳ字形状のカムフォロワ部分（１３６）を、また他端にラッチ部分（６２）を有しており、前記Ｓ字形状のカムフォロワ部分（１３６）が前記カム部材（８０）によって係合されて捕捉され、前記カム部材（８０）が、該カム部材（８０）が回転するにつれて該カム部材（８０）の外方と軸方向とへラッチ用アーム（８２）を移動させるカム部分（１１８，１３０，１４０，１４２）を有しており、前記ドア（３６）が前記開口した前部側（４８）に位置しているときに前記ラッチ部分（６２）が前記ドア（３６）の周辺部（５４）から前記カム部材（８０）の半径方向で外側へ伸び、前記ラッチ部分（６２）が次に前記カム部材（８０）の回転軸方向で当該容器（３０）の内部から離れる方向へ伸びて、前記カム部材（８０）が回転するにつれて前記ドア（３６）を引っ張って前記容器部分（３４）としっかりと係合させるシール可能な容器（３０）。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明はウェハーキャリヤに関する。さらに詳しくは、この発明はラッチ機構を備えたドアを有するシール可能なウェハーエンクロージャ（ウェハーを囲む容器）に関する。
【０００２】
【従来の技術】
貯蔵や搬送のために、容器の中にウェハーを閉じこめるために様々な方法が利用されており、ある容器は、ウェハーを受け入れるための垂直方向のスロットとフレキシブルなスナップオン式カバーとを備えた堅固な本体を有している。これらの容器は、ウェハーが周囲雰囲気に曝されてはいけないような用途における使用には不適である。
【０００３】
200mm以下のウェハーに対しては、ウェハーを周囲雰囲気へ曝すことなく処理装置までウェハーを搬送できるようにする清浄なシールされたミニ環境を提供するために、図１に示されているようなＳＭＩＦ（標準機械的インターフェース(standardized mechanical interface)）ポッド２０として知られている容器が利用されている。こうしたポッドの例が米国特許第4,532,970号や第4,534,389号に開示されている。こうしたＳＭＩＦポッドは、開口した底部を形成するフランジとして構成された下側のドアフレーム部分３５を備えた一般的に透明な容器部分３４と、開口した底部を閉じるためのラッチ可能なドア３６とを有している。ドアフレーム部分３５は処理装置へクランプされ、処理装置に設けられたドアが下側のＳＭＩＦポッドドアへ取り付けられる。前述した処理装置の中で、シールされた処理環境の中までシェルから下方へ両方のドアが同時に降ろされる。ＳＭＩＦポッドドア３６の上面４０の上に設けられていてウェハーが装填された別個のＨバーキャリヤ３８がポッドドアといっしょに降ろされ、ウェハーへアクセスして処理が行われる。
【０００４】
半導体処理産業は特に300mm以上の大きなウェハーを利用する方向に移行しつつある。工業規格の発展によって、そうしたウェハー用の搬送モジュールは、モジュールから下方へ落下する底部ドアではなくて、ウェハーを挿入したり取り出したりするためにフロント開口式ドアを利用することになろう。図２には、そうしたフロント開口式のエンクロージャ（以下容器という）が示されている。こうした容器は、別個の取り外し可能なキャリヤを用いずにウェハーを容器部分３４の中に支持できるけれども、ＳＭＩＦポッドと類似した部品を有している。
【０００５】
シール可能な容器に対するドアエンクロージャ（囲み構造のドアであり、以下ドア本体という）やラッチ機構については従来から様々な構造が知られている。これらは一般的には、容易に分解できないとか、多数の可動部材を有しているとか、ファスナなどの金属部材を利用しているなどの欠点を有している。金属ファスナやその他の金属部材を使用することは、半導体ウェハーのキャリヤや容器においては非常に好ましくない。金属部材は、擦ったり引っ掻いたりするときに非常に有害な粒子を発生する。ファスナを用いてモジュールを組み付けると、そうした擦ったり引っ掻いたりする事態が起きる。従って、金属ファスナや、ウェハーキャリヤにおける他の金属部材の使用は避けなければならない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
当該分野で周知のラッチ機構は回転式カム部材を通常は使用することになるであろう。こうしたカム部材は一般的には平らなプラスチックプレートから形成されており、カム面を形成する細長い溝を有している。これらのカム面は一方向へのカムフォロワの動きを提供するだけであり、これは一般にはラッチ部分の伸びたり引っ込んだりする動きへ変換される半径方向における一回の前後運動である。ドアを固定してシールするために、ラッチ部分を容器部分へ近づけたり遠ざけたりするためには、多くの構成部分を追加した別の手段が必要となろう。そうした追加構成部材は、製造コストが増大し、ラッチ機構が複雑になり、組み付けや分解が困難になり、擦ったり引っ掻いたりする表面の数が増えて粒子発生が多くなる。
【０００７】
上述した容器は比較的清浄な環境で使用されるけれども、時間が経つと、容器の上や中、そしてドア本体の内部には汚染物質が堆積して、最終的にはクリーニングが必要になる。このような汚染物質は、上述したドアのラッチ機構を操作するときなどに部材を擦ったりすることによって、またウェハー棚にウェハーを装着したり取り出したりすることによって、そしてドアを容器部分へ係合させたり外したりすることによって発生する。従来のラッチ機構では多数の部材が使われていること、ドアの分解が困難なこと、そして金属ファスナを使用していることで、ドアのクリーニングが困難である。分解が容易なラッチ機構を備えており、可動部材ができるだけ少ないような分解が容易なドアが必要とされている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
以下に開示し、そして請求項に記載されている特徴を有するドアは、上述したようなタイプの容器での使用に適しており、上述した要求を満足している。
【０００９】
ウェハー用のシール可能な容器は、最小限の可動部材を利用していて容易にアクセスできかつ分解することのできるラッチ機構を備えたドアを有している。このドアはカム部材を備えたドア本体を有しており、カム部材はポストの上で回転可能であり、一対のラッチ用アームと係合する。ドアが前部側ドアか底部ドアかによって、ラッチ用アームは、上方及び下方へ、あるいは前方及び後方へ伸びたり後退したり、移動したりする。ラッチ用アームの移動は、ラッチ用アームのカムフォロワ部分をカム部材に対して軸方向に、また半径方向に移動させるように形成されたカム部材のカム部分によって行われる。ラッチ用アームはドア本体の中の支点の上で旋回する。ラッチ機構はパネルを介してアクセス可能であり、このパネルは、ドア本体の内部端壁の上に設けられた溝と協働するパネルの上に一体化された戻り止めによって取り付けられる。回転部材はスロットが設けられた中心を有しており、ポストの上へ挿入回転位置で設置することによってドア本体から延びるＴ字形のポストの上に固定される。組み付けられると、カム部材の回転はドア本体に設けられたストップによって動作範囲が制限される。
【００１０】
この発明の特徴及び利点は、洗浄やその他の目的のために、ドアが容易に分解及び組み付けできることである。
【００１１】
この発明の別の利点及び特徴は、ラッチ機構がすべて射出成形で形成することのできる最小限の数の部材を利用していることである。
【００１２】
この発明の別の利点及び特徴は、ドアに金属製の部材やファスナが不要であり、使用されていないことである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
従来技術の図１及び図２は、この発明が非常に適している底部開口式のＳＭＩＦポッド２０とフロント開口式の搬送モジュール３０とをそれぞれ示している。シール可能な各エンクロージャ（以下容器という）は、容器部分３４と、これと協働するドア３６とを有している。ＳＭＩＦポッド２０は別個のウェハーキャリヤ３８も有している。このウェハーキャリヤは当該分野において周知のＨバーキャリヤであり、ドア３６の上面４０に着座する。
【００１４】
各容器は、容器部分３４と、上部側４６と、前部側４８と、底部側５０とを有している。ＳＭＩＦポッドにおいては、底部側５０は、ウェハーキャリヤ３８とドア３６とを受容するために開口している。搬送モジュール３０においては、前部側４８が開口していて、ドア３６によって閉じられるようになっている。
【００１５】
ドアは、内向側５２と、外向側５３と、四つの側壁５５から成る周辺部５４とを有している。各ドア３６はエンクロージャ５６（以下ドア本体５６という）を有している。ドア本体５６は、ラッチ機構６０を収容する開口した内部５８を有している。ラッチ機構の一部が図１及び図２に示されている。ラッチ機構はラッチ部分６２を有している。ラッチ部分６２はスロット（開口部）６６から外へ伸びて、容器部分３４のドアフレーム部分７４の中に配置されているラッチ部分レシーバ６８に係合できる。
【００１６】
ここで、この発明を構成する改良点の詳細を説明する。図３Ａ及び図３Ｂを参照すると、外向パネル７７を切り取って取り除いた状態のドア３６が、ラッチ機構６０を収容する内部５８を見せている。ラッチ機構６０は回転可能なカム部材８０と、一対のラッチ用アーム８２とから成っている。カム部材８０の詳細は図４、図５、図６、図７Ａ、図７Ｂ及び図７Ｃにさらに示されている。カム部材８０は上面９０と、底面９２と、中央のハブ９６と、カム部分１００と、連結開口部１０２と、構造緩和部分１０４とを有している。
【００１７】
カム部材８０の上面９０は、内向側５２の内側ドアパネル１０５の方を向いている。カム部材８０のハブ９６内にはスロット１０６が設けられている。スロット１０６は、内側ドアパネル１０５のところでドア本体５６から延びているＴ字形状のポスト１１０の保持部分１０８へ嵌合するような寸法を有している。図８を参照のこと。
【００１８】
カム部材８０は回転挿入位置においてポスト１１０の保持部分１０８と位置が揃うようにポスト１１０に組み付けられる。この位置において、カムホイールを若干回転して、作動回転範囲へ移動させる。この作動回転範囲は、図３Ａ及び図３Ｂに示されているような限界位置を含めたその間の回転位置によって限定される。回転限界は、参照番号１１２で点線によって示されたドア本体５６から延びるストップによって与えられている。
【００１９】
図４，図７Ａ、図７Ｂ及び図７Ｃを参照すると、カム部分１００は細長いストリップ１２２の上に一対の第１の係合部分１１８を有している。細長いストリップ１２２の高さと、それに対応した係合部分１１８の高さは、ストリップ上の半径方向の位置によって変化する。カム部材８０は補足的な第１の係合部分１３０も有している。係合部分１３０は、ラッチ用アーム８２のカムフォロワ部分１３６を捕捉してガイドするときに、第１の係合部分１１８と協働する。カム部材はまた、補足的な第２の係合部分１４２と協働して動作する第２の係合部分１４０も有している。これらの係合部分はラッチ用アーム８２のカムフォロワ部分１３６へ係合して捕捉する。
【００２０】
ラッチ用アーム８２は図３Ａ、図３Ｂ、図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃ及び図９に示されている。ラッチ用アーム８２は、第１の端部１５２と、対向する第２の端部１５４と、第１の端部に設けられたカムフォロワ部分１３６と、対向する第２の端部に設けられたラッチ部分６２を有している。カムフォロワ部分１３６は図７Ａ、図７Ｂ及び図７Ｃに示されているようにカム部材１００の回転軸方向に沿った断面においてほぼＳ字形状を有していて、カム部材１００の中へ組み付けて、その中に保持して継続的に係合できるようになっている。カムフォロワ部分は、カム部材８０の第１の係合部分１１８と係合する、第１の係合面１５０と、補足的な第１の係合部分１３０と係合する補足的な第１の係合面１５３とを有している。ここで、第１の係合面１５０と補足的な第１の係合部分１３０とはカム部材８０のほぼ軸方向で互いに反対側を向いており、第１の係合面１５０の向きは、容器３４が前記ドア３６により閉じられた状態において、前記ドア３６の外に向かう向きであり、補足的な第１の係合部分１３０の向きは逆に、容器３４が前記ドア３６により閉じられた状態において、容器３４の内部に向かう向きである。また、第２の係合面１５８は回転可能なカム部材８０の第２の係合部分１４０と係合し、補足的な第２の係合面１６０が補足的な第２の係合部分１４２と接触して係合する。ここで、第２の係合面１５８はカム部材８０のほぼ半径方向で外向きであり、補足的な第２の係合面１６０は逆に半径方向内向きとなっている。
【００２１】
図３Ａ、図３Ｂ、図７Ａ、図７Ｂ及び図７Ｃを参照すると、回転可能なカム部材８０に対するラッチ用アームの動きが示されている。図３Ａ及び図７Ａはドア本体５６の内側へ完全に引っ込んだ状態のラッチ部分６２を示している。図７Ｂは、伸びた状態にあり、内側ドアパネル１０５に近接した、従って容器部分３４の内部に近接した状態にあるラッチ部分６２を示している。図７Ｃ及び図３Ｂは、伸びた状態にあり、内側ドアパネル１０５から離れた状態、従ってほぼ容器部分３４の内部及び容器部分３４から離れた状態にあるラッチ部分６２を示している。内側ドアパネル１０５から離れるこの動きによって、ドア３６全体が容器部分３４の内部へ向けて内側へ付勢され、その結果、完全に固定されシールされた関係が実現される。
【００２２】
図７Ａ、図７Ｂ及び図７Ｃに示されているように、ラッチ部分６２の最初の伸びは、回転可能なカム部材８０が図３Ａに示されている位置から約20゜まず回転することによって行われる。この位置にあるカム部分は、第２の係合部分１４０によって半径方向に押される。この点から、カム部分１００の第１の係合部分１１８の高さは図７Ｃに示されている高さまで徐々に増大する。この点においてカム部分１００が図７Ｃに示されているように上方へ隆起し、ラッチ用アーム８２は、内側ドアパネル１０５と一体化された支点１７０のまわりに回動する。支点１７０のまわりの前述した回動によって、ラッチ部分６２がカム部分１００の動きと反対の方向へ移動する。これによって、ドア３６が、ドアフレーム部分７４、従って容器部分３４と完全に係合する位置まで内側に引っ張られる。
【００２３】
図５及び図７Ｃに最もよく示されているように、ラッチ用アーム８２が支点１７０のまわりに回動するにつれて、第１の係合部分１１８と、補足的な第１の係合部分１３０は傾斜して、ラッチ用アーム８２の第１の係合面１５０と補足的な第１の係合面１５２の傾斜に完全に整合する。これによって、ラッチ用アーム８２の荷重を、カム部材８０の上へ完全に分配することが可能となり、従って荷重を広い面積にわたって分配させて、構成部材を擦ることによる粒子の発生を最小限に抑えることが可能となる。
【００２４】
図３Ａ及び図１０を参照して、外側ドアパネル１８０の構造とラッチ動作を詳細に説明する。ドアパネル１８０はばね部材１８６に配置された複数の戻り止め１８４を有している。ばね部材は前述した戻り止め１８４及びドアパネル１８０の残りの部分と一体化されている。前記戻り止めとばね部材とは、ドアパネルの外側端部１９０に配置されている。ドアパネル１８０はまた一対のキャッチ１９４も有している。キャッチ１９４は協働するばね部材１８６を有していない。ドアパネル１８０はまずドア本体５６の側壁５５の上へ組み付けられる。キャッチ１９４は、周辺部５４の上側あるいは下側に設けられた協働する溝１９８と係合している。次にドアパネル１８０を下方へ回転して、キャッチ部材の反対側の戻り止め１８４と、キャッチ１９４と隣接するドアパネル１８０の側部に設けられた戻り止め１８４とを、ドア本体５６の周辺部５４に設けられた対応する溝に隣接させる。次に戻り止め１８４を所定の位置へスナップして、金属ファスナを用いずにドアパネルを周辺部へ固定する。戻り止め１８４と、ばね部材と、キャッチ１９４の寸法は、ドア３６が所定の位置へラッチされたとき、ばね部材がドアパネル１８０の面内の方向とドアパネル１８０と直角な方向の両方に荷重を受けるようなものになっている。この荷重によって、ドアパネル１８０は周辺部５４との係合が保持され、また戻り止め１８４を引っ込めると戻り止め１８４がドア本体５６から外側へ外れる。これによって、ドアパネル１８０を周辺部５４から本質的に自動的かつ簡便に分離することができ、ドアパネル１８０の取り外しが容易になる。
【００２５】
上述した構成部材は、ガラス及び／もしくはカーボンファイバが充填されたナイロンあるいはポリカーボネートなどの射出成形されたプラスチック材料か、フィラーを含み、あるいはＰＴＦＥフィラーを含んだ上述のプラスチックから形成される。こうした部材は機械加工することもできる。
【００２６】
この発明は、その精神あるいは本質から逸脱することなく、他の形態で実現することが可能である。従って、上述した実施の形態は単に説明のためのものであり、発明を限定するものではない。この発明の範囲に関しては、上述した説明よりも添付されている特許請求の範囲を参照すべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のＳＭＩＦポッドの斜視図である。
【図２】従来の搬送モジュールの斜視図である。
【図３Ａ】カバーの一部を取り除いたドアの斜視図である。
【図３Ｂ】カバーが取り外されたドアの斜視図である。
【図４】回転可能なカム部材の斜視図である。
【図５】図４の回転可能なカム部材の側面図である。
【図６】回転可能なカム部材の底部側の斜視図である。
【図７Ａ】図３Ａの７−７線断面図である。
【図７Ｂ】ラッチ部分が伸びた状態にある図７Ａの断面図である。
【図７Ｃ】ラッチ部分が伸びて傾斜した状態にある図７Ａ及び図７Ｂの断面図である。
【図８】ドアの内側パネルの斜視図であり、Ｔ字形状のポストを示している。
【図９】ラッチ用アームの斜視図である。
【図１０】フロントパネルカバーの斜視図である。
【図１】
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【図２】
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【図８】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図１０】
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【図９】
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