(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から照射されたレーザ光（１０９）を反射面（１０１）で反射させて所定対象物に照射し、前記反射面を揺動させることにより前記対象物に照射された光を所定方向に走査する共振型光スキャナにおいて、
前記反射面が該反射面の揺動中心から揺動の半径方向にオフセットした位置に設置されていると共に、前記反射面の裏面側において、前記反射面の一部に形成された貫通孔（１０８）を通じて、前記光源から照射されたレーザ光の一部が導かれる位置に受光素子（１０７、２０７、３０７ａ、３０７ｂ）が配置されており、
前記反射面の揺動によって導かれた前記レーザ光の照射位置が変化すると、該照射位置の変化に応じた電気信号が前記受光素子から出力され、前記電気信号に基づいて前記反射面の揺動により変位した前記反射面の角度を検出することを特徴とする共振型光スキャナ。
【請求項２】
前記貫通孔は、前記反射面の裏面に向かうにつれて孔が広がるテーパ形状であることを特徴とする請求項１に記載の共振型光スキャナ。
【請求項３】
前記受光素子は、１次元方向の光の位置を検出できるラインセンサ（１０７）であり、該ラインセンサは、前記反射面の揺動によって導かれた前記レーザ光の照射位置が変化する方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の共振型光スキャナ。
【請求項４】
前記受光素子は、１個のフォトダイオード（２０７）であることを特徴とする請求項１又は２に記載の共振型光スキャナ。
【請求項５】
前記受光素子は、２個のフォトダイオード（３０７ａ、３０７ｂ）であり、該２個のフォトダイオードは、前記反射面の揺動によって導かれた前記レーザ光の照射位置が変化する方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の共振型光スキャナ。
【請求項６】
前記受光素子は、２次元方向の光の位置を検出できるエリアセンサであることを特徴とする請求項１又は２に記載の共振型光スキャナ。
【請求項７】
光源から照射されたレーザ光（１０９）を第１反射面（４０１）で反射させて所定対象物に照射し、前記第１反射面を揺動させることによって前記対象物に照射された光を所定方向に走査する共振型光スキャナにおいて、
前記第１反射面の一部に形成され、該第１反射面とは異なった角度を成す第２反射面（４０８）と、
前記第２反射面にて反射された前記レーザ光（４１０）が照射される受光素子（４０７、５０７、６０７ａ、６０７ｂ）と、を備え、
前記第２反射面で反射した前記レーザ光の照射位置が前記第１反射面の揺動によって変化すると、該照射位置の変化に応じた電気信号が前記受光素子から出力され、前記電気信号に基づいて前記第１反射面の揺動により変位した前記第１反射面の角度を検出することを特徴とする共振型光スキャナ。
【請求項８】
前記受光素子は、１次元方向の光の位置を検出できるラインセンサ（４０７）であり、該ラインセンサは、前記第２反射面で反射した前記レーザ光の照射位置が前記第１反射面の揺動によって変化する方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項７に記載の共振型光スキャナ。
【請求項９】
前記受光素子は、１個のフォトダイオード（５０７）であることを特徴とする請求項７に記載の共振型光スキャナ。
【請求項１０】
前記受光素子は、２個のフォトダイオード（６０７ａ、６０７ｂ）であり、該２個のフォトダイオードは、前記第２反射面で反射した前記レーザ光の照射位置が前記第１反射面の揺動によって変化する方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項７に記載の共振型光スキャナ。
【請求項１１】
前記受光素子は、２次元方向の光の位置を検出できるエリアセンサであることを特徴とする請求項７に記載の共振型光スキャナ。
【請求項１２】
光源から照射されたレーザ光（１０９）を反射面（７０１）で反射して所定対象物に照射し、該反射面が揺動することにより該対象物に照射した光を所定方向に走査する共振型光スキャナにおいて、
前記反射面の近傍に配置され、前記レーザ光が透過するように構成されていると共に、部分的に前記レーザ光を反射する反射体（７０９、８０９ａ、８０９ｂ、９０９ａ、９０９ｂ）が設けられた透過面（７０８、８０８、９０８）と、
前記反射体にて反射された前記レーザ光が照射される受光素子（７０７、８０７、９０７ａ、９０７ｂ）と、を備え、
前記反射面の揺動によって前記反射体で反射した前記レーザ光が受光素子に照射されると、該レーザ光の照射に基づく電気信号が前記受光素子から出力され、前記電気信号に基づいて前記反射面の揺動により変位した前記反射面の角度を検出することを特徴とする共振型光スキャナ。
【請求項１３】
前記反射体として１個所の乱反射体（７０９）が前記透過面（７０８）に設けられており、前記乱反射体による乱反射光の一部が１個の受光素子（７０７）に導かれるように構成されていることを特徴とする請求項１２に記載の共振型光スキャナ。
【請求項１４】
前記反射体として２個所の乱反射体（８０９ａ、８０９ｂ）が前記透過面（８０８）に設けられており、前記各乱反射体による各乱反射光の一部が１個の受光素子（８０７）に導かれるように構成されていることを特徴とする請求項１２に記載の共振型光スキャナ。
【請求項１５】
前記反射体として１個所の正反射体が前記透過面に設けられており、前記正反射体による正反射光が１個の受光素子に導かれるように構成されていることを特徴とする請求項１２に記載の共振型光スキャナ。
【請求項１６】
前記反射体として２個所の正反射体（９０９ａ、９０９ｂ）が前記透過面（９０８）に設けられており、前記各正反射体による各正反射光が２個の受光素子（９０７ａ、９０７ｂ）にそれぞれ導かれるように構成されており、該２個の受光素子は、前記反射面の揺動によって導かれた前記レーザ光の照射位置が変化する方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項１２に記載の共振型光スキャナ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハンディ型バーコードリーダ，自動車用レーザセンサ等において、光源から出力された所定の光を反射して所定対象物に照射すると共に、その照射光を走査するのに使用される光スキャナに関する。
【０００２】
【従来の技術】
レーザ式バーコードリーダや、障害物検知用レーザセンサ等において、レーザ光を走査するための光スキャナには、従来、多面体の鏡をモータで回転させるポリゴンミラー方式が一般的に使用されていた。しかしながら、昨今の小型化低コスト化への要求に応えるために、特開平７−１９９０９９号公報に示されるように、慣性体とバネからなる振動系の共振を利用した共振型光スキャナが各種提案されている。
【０００３】
この共振型光スキャナは、慣性体をバネで支持し、これを圧電素子や電磁石を利用して加振して共振させることにより、ミラーの角度を周期的に変化させ、対象物への照射光を１次元又は２次元方向に走査するものである。このような光スキャナ装置は構造が簡単にできるため、小型化、低コスト化に貢献でき、また、共振を利用しているため消費電力を小さくできる利点がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一般に、共振型光スキャナは、その駆動信号と反射面の傾き角の位相関係が正確に定まらないため、スキャナが何処を走査しているかを知るためには反射面の傾き角をモニタリングする必要がある。反射面の傾き角をモニタリングするためには、光エンコーダなどの計測手段が必要であり、装置の複雑化、高コスト化を招くという問題点があった。この問題について以下に詳細に説明する。
【０００５】
共振型光スキャナを駆動するためには、正弦波や矩形波などの周期的な電気信号を用い、圧電素子や電磁石などによりこの電気信号を周期的な加振力に変換する。
【０００６】
ここで、図１７（ａ）に、振動系における加振力と慣性体の振幅の倍率の関係を示し、図１７（ｂ）に、加振力と慣性体の振動の位相差の関係を示す。なお、図１７（ａ）、（ｂ）の横軸は加振力の周波数と振動系の共振周波数の比を表わし、図１７（ａ）の縦軸は慣性体の振幅と加振力の振幅の比を表わしている。また、図１７（ｂ）の縦軸は慣性体の振動と加振力の位相差を表わす。
【０００７】
図１７（ａ）、（ｂ）の横軸で１を示す位置が振動系の共振点を示しており、振幅の倍率が最大になる。この共振点となる周波数で共振型光スキャナ駆動することにより、最も大きい走査角度が得られ、消費電力を最小にすることができる。
【０００８】
ここで、図１７（ｂ）に示す位相差に注目すると、共振点において加振力と慣性体の振動の位相差の関係がほぼ垂直になっており、位相差が急激に変化することが分かる。
【０００９】
このため、正確に共振周波数で駆動することができれば、位相差が９０度となるが、実際には振動系の共振周波数が温度変化等によって変化するため、駆動信号と慣性体の振動の位相差を正確に把握することができない。
【００１０】
共振型光スキャナをバーコード読取装置に用いる場合には、バーコード側に読み取る記号の始まり情報が記載されているため、反射面の角度を把握する必要は無い。しかし、例えば、レーザ光を走査して障害物を検知するような用途に共振型光スキャナを用いる場合には、反射面の角度が分からないと障害物が右にあるのか左にあるのか分からないことになる。
【００１１】
本発明は上記点に鑑みて成され、共振型光スキャナにおいて反射面の角度をモニタリングできるようにすることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、光源から照射されたレーザ光（１０９）を反射面（１０１）で反射させて所定対象物に照射し、反射面を揺動させることにより対象物に照射された光を所定方向に走査する共振型光スキャナにおいて、反射面が該反射面の揺動中心から揺動の半径方向にオフセットした位置に設置されていると共に、反射面の裏面側において、反射面の一部に形成された貫通孔（１０８）を通じて、光源から照射されたレーザ光の一部が導かれる位置に受光素子（１０７、２０７、３０７ａ、３０７ｂ）が配置されており、反射面の揺動によって導かれたレーザ光の照射位置が変化すると、該照射位置の変化に応じた電気信号が受光素子から出力され、電気信号に基づいて反射面の揺動により変位した反射面の角度を検出することを特徴としている。
【００１３】
このような構成の共振型光スキャナにより、受光素子から出力される電気信号を計測することで、反射面の角度を直接的にモニタリングすることができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明においては、貫通孔は、反射面の裏面に向かうにつれて孔が広がるテーパ形状であることを特徴としている。このように、反射面の裏面に向かうにつれて孔が広がるテーパ形状とすれば、反射面が揺動しても貫通孔を通過してレーザ光が受光素子に導かれるようにできる。
【００１５】
請求項３に記載の発明では、受光素子は、１次元方向の光の位置を検出できるラインセンサ（１０７）であり、該ラインセンサは、反射面の揺動によって導かれたレーザ光の照射位置が変化する方向に沿って配置されていることを特徴としている。このようにラインセンサを使用すれば、ラインセンサの出力と実際の反射面の角度とが一対一の対応関係を示すため、ラインセンサの出力に基づいて反射面の角度をモニタリングすることができる。
【００１６】
請求項４に記載の発明では、受光素子は、１個のフォトダイオード（２０７）であることを特徴としている。このように、１個のフォトダイオードを使用することにより、実際の反射面の角度に対応したパルス状の電気信号を得ることができるため、このパルス状信号に基づいて反射面の角度を検出することができる。
【００１７】
請求項５に記載の発明では、受光素子は、２個のフォトダイオード（３０７ａ、３０７ｂ）であり、該２個のフォトダイオードは、反射面の揺動によって導かれたレーザ光の照射位置が変化する方向に沿って配置されていることを特徴としている。このように、２個のフォトダイオードを使用することにより、反射面の角度だけでなく、共振型光スキャナの振幅を求めることも可能となり、スキャンの広さを求めることができる。
【００１８】
なお、請求項６に示すように、受光素子として、２次元方向の光の位置を検出できるエリアセンサを使用し、２次元スキャナにおいても反射面の角度を検出することができる。
【００１９】
請求項７に記載の発明においては、第１反射面の一部に形成され、該第１反射面とは異なった角度を成す第２反射面（４０８）と、第２反射面にて反射されたレーザ光（４１０）が照射される受光素子（４０７、５０７、６０７ａ、６０７ｂ）と、を備え、第２反射面で反射したレーザ光の照射位置が第１反射面の揺動によって変化すると、該照射位置の変化に応じた電気信号が受光素子から出力され、電気信号に基づいて第１反射面の揺動により変位した第１反射面の角度を検出することを特徴としている。
【００２０】
このように、第１反射面の一部に、第１反射面とは異なった角度を成す第２反射面を設けることによっても、請求項１と同様の効果を得ることができる。
【００２１】
なお、この場合においても、請求項８乃至１１に示す構成とすれば、請求項３乃至６と同様の効果を得ることができる。
【００２２】
請求項１２に記載の発明においては、反射面の近傍に配置され、レーザ光が透過するように構成されていると共に、部分的にレーザ光を反射する反射体（７０９、８０９ａ、８０９ｂ、９０９ａ、９０９ｂ）が設けられた透過面（７０８、８０８、９０８）と、反射体にて反射されたレーザ光が照射される受光素子（７０７、８０７、９０７ａ、９０７ｂ）と、を備え、反射面の揺動によって反射体で反射したレーザ光が受光素子に照射されると、該レーザ光の照射に基づく電気信号が受光素子から出力され、電気信号に基づいて反射面の揺動により変位した反射面の角度を検出することを特徴としている。
【００２３】
このように、透過面の一部に、反射体を備えることによっても、請求項１と同様の効果を得ることができる。
【００２４】
この場合、請求項１３に示すように、反射体として１個所の乱反射体（７０９）を透過面（７０８）に設け、乱反射体による乱反射光の一部が１個の受光素子（７０７）に導かれるように構成することができる。このように、乱反射体による乱反射光に基づいてモニタリングを行なうことができ、乱反射体を１個所に設けることにより、請求項４と同様の効果を得ることができる。
【００２５】
なお、反射体としては、請求項１５に示すように、正反射体を使用することも可能であり、正反射体を使用しても請求項１３と同様の効果を得ることができる。
【００２６】
また、請求項１４に示すように、反射体として２個所の乱反射体（８０９ａ、８０９ｂ）を透過面（８０８）に設け、各乱反射体による各乱反射光の一部が１個の受光素子（８０７）に導かれるように構成することもできる。この場合には、受光素子に２個所の乱反射体からの乱反射光が照射されることになるため、１つの受光素子によって請求項５と同様の効果を得ることができる。
【００２７】
なお、この場合にも、請求項１６に示すように、反射体として正反射体を使用することができ、請求項１４と同様の効果を得ることができる。ただし、この場合には、正反射体での反射光が所定方向に導かれるため、２個の受光素子（９０７ａ、９０７ｂ）が必要とされ、該２個の受光素子を反射面の揺動によって導かれたレーザ光の照射位置が変化する方向に沿って配置されるようにする。
【００２８】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施例について、図面を用いて説明する。
【００３０】
（第１実施形態）
図１に共振型光スキャナの概略図を示し、図２に反射面の角度をモニタリングする手段の説明図を示す。以下、図１、図２に基づいて、本実施形態の共振型光スキャナ１００の構成を説明する。
【００３１】
共振型光スキャナ装置１００は、反射面としてのミラー１０１、フレーム１０２、スプリング１０３、マグネット１０４、ソレノイド１０５、ベース１０６、１次元フォトダイオードアレイによって構成された受光素子としての光ラインセンサ１０７とにより構成されている。
【００３２】
フレーム１０２の一端側の先端にはミラー１０１が取り付けられており、フレーム１０２の他端側にはマグネット１０４が配置されている。ソレノイド１０５は、ベース１０６のうちマグネット１０４に磁界を印加できる位置に固定されている。
【００３３】
また、フレーム１０２はスプリング１０３を介してベース１０６に架設されている。スプリング１０３は、厚さ５０μｍ程度のバネ用ステンレス鋼の金属箔で構成されており、ベース１０６の平面と平行な方向に容易に変位できるようになっている。
【００３４】
ミラー１０１は、マグネット１０４の反対側の表面でレーザ光１０９を反射できるようになっている。このミラー１０１には部分的にピンホール（貫通孔）１０８が形成されている。このピンホール１０８は、図２に示すように、ミラー１０１の裏面に向かうにつれて孔が広がるテーパ形状を成している。
【００３５】
光ラインセンサ１０７は、レーザ光１１０の照射位置に応じた電気信号を出力する。光ラインセンサ１０７はミラー１０１の裏面側においてベース１０６に固定されており、ピンホール１０８を通じてミラー１０１の裏面側に導かれたレーザ光１１０が光ラインセンサ１０７に照射されるようになっている。
【００３６】
次に、共振型光スキャナ１００の動作を説明する。まず、図示されていない光源より出射されたレーザ光１０９をミラー１０１に照射し、所定の方向に反射させる。このとき、レーザ光１０９の一部はピンホール１０８を通じて、光ラインセンサ１０７に導かれる。
【００３７】
そして、図示しない信号発生器や増幅器を用いて、正弦波や矩形波などの周期的な信号波形を生成させ、ソレノイド１０５に入力する。その結果、ソレノイド１０５が交番磁界を発生する。この交番磁界による磁力がマグネット１０４に作用し、フレーム１０２が仮想的な軸１１１に対して揺動する。このとき、信号波形の周波数を共振型光スキャナ装置の共振周波数に合せれば、スキャン動作を行うことができる。
【００３８】
この際、ピンホール１０８をテーパ形状としているため、ミラー１０１が揺動してもレーザ光１０９が常に裏面に導かれるようにできる。
【００３９】
次に、共振型光スキャナ１００の作動中におけるレーザ光１１０の照射状態を図３に示し、この図に基づいてミラー１０１の角度のモニタリング方法を説明する。なお、図３において、太い実線はミラー１０１とフレーム１０２の中立位置を示しており、また、太い破線は反射ミラー１０１とフレーム１０２が軸１１１に対して回転した時の位置を示している。
【００４０】
ミラー１０１が中立位置にある場合は、ピンホール１０８を通過したレーザ光１１０が光ラインセンサ１０７のａ部に到達する。そして、ミラー１０１が変位して、太い破線に示す位置に移動した場合、ピンホール１０８の位置も移動し、レーザ光１１０のラインセンサ１０７上への到達位置もｂまたはｃへ移動する。この移動は光ラインセンサ１０７から電気信号として出力される。
【００４１】
図４に、実際のミラー１０１の角度１１３と光ラインセンサ１０７の出力１１４とを比較した図を示す。この図に示すように、光ラインセンサ１０７からの出力１１４が実際のミラー１０１の角度１１３と一対一の対応関係を示す。このため、光ラインセンサ１０７の出力１１４に基づいて、ミラー１０１の角度１１３をモニタリングすることが可能である。
【００４２】
なお、本実施形態では、光ラインセンサ１０７として、１次元フォトダイオードアレイを用いた例を示したが、この他、１ラインのＣＣＤ、１次元ＣＭＯＳイメージャ、１次元ＰＳＤなどを使用することもできる。
【００４３】
（第２実施形態）
図５に、本発明の第２実施形態における共振型光スキャナ２００を示す。本実施形態の共振型光スキャナ２００では、受光素子として１個のフォトダイオードからなる光センサ２０７を用いている点が第１実施形態と異なる。
【００４４】
ピンホール１０８を通過したレーザ光１１０は共振型光スキャナ２００の動作に伴って移動し、所定の位置に来ると光センサ２０７に照射される。その結果、図６に示すように、光センサ２０７の出力２１４から、実際のミラー１０１の角度２１３に対応したパルス状の電気信号を得ることができる。
【００４５】
このパルスの得られる位置を基準として外挿演算を行なうことにより、ミラー１０１の角度をモニタリングすることが可能である。すなわち、ミラー１０１の角度が基本的にサインカーブ状に変位することが判っているため、パルス信号に基づいてミラー１０１の角度（位相角）を検出することが可能となり、上記モニタリングを行なうことができる。
【００４６】
ただし、本実施形態の場合には、一個所での情報しか得られないため、共振型スキャナの振幅が変動した場合には誤差が発生することになる。
【００４７】
（第３実施形態）
図７に、本発明の第３実施形態における共振型光スキャナ３００を示す。本実施形態の共振型光スキャナ３００では、受光素子として２個のフォトダイオードからなる光センサ３０７ａ、３０７ｂを用いている点が第１実施形態と異なる。
【００４８】
ピンホール１０８を通過したレーザ光１１０は共振型光スキャナ３００の動作に伴って移動し、所定の位置に来ると光センサ３０７ａ、３０７ｂに照射される。その結果、図８に示すように、光センサ３０７ａ、３０７ｂの出力３１４から、実際のミラー１０１の角度３１３に対応したパルス状の電気信号を得ることができる。
【００４９】
このパルスの得られる位置を基準として外挿演算を行なうことにより、ミラー１０１の角度をモニタリングすることが可能である。この場合、２個所の光センサ３０７ａ、３０７ｂからの信号を得ることができるため、ミラー１０１の角度だけでなく、ミラー１０１の走査角度や共振型光スキャナ３００の振幅を求めることも可能となり、現在のスキャンの広さを求めることができる。これにより、常にミラー１０１の正確な位置をモニタリングすることができる。
【００５０】
（第４実施形態）
図９に、本発明の第４実施形態における共振型光スキャナ４００を示す。本実施形態の共振型光スキャナ４００では、ミラー４０１の一部に、ミラー４０１の反射面（第１反射面）とは異なった角度を成す微小なミラー（第２反射面）４０８を設けている点と、ミラー４０８によって反射したレーザ光４１０が照射されるように、ミラー４０１の表面側に光ラインセンサ４０７を配置した点が第１実施形態と異なる。
【００５１】
このように、ミラー４０１の一部に部分的に、モニタリング用のミラー４０８を形成すれば、図１１に示すように、ミラー４０１が揺動するとレーザ光４１０が移動し、第１実施形態と同じ効果で、ミラー４０１の傾き角をモニタリングすることができる。
【００５２】
なお、この場合にも、図１２に示すように、１個のフォトダイオードによって光センサ５０７を構成した共振型光スキャナ５００により、第２実施形態と同様の効果を得ることができ、図１３に示すように、２個のフォトダイオードによって光センサ６０７ａ、６０７ｂを構成した共振型光スキャナ６００により、第３実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５３】
（第５実施形態）
図１４に、本発明の第５実施形態における共振型光スキャナ７００を示す。本実施形態の共振型光スキャナ７００では、ミラー７０１にではなく、スキャンするレーザ光１０９を透過する透明な部材７０８の一部に、レーザ光１０９を乱反射させる反射体７０９が取り付けられている点が第２実施形態と異なる。
【００５４】
このような構成では、共振型光スキャナ７００を動作させると所定のタイミングでスキャンするレーザ光１０９の一部が反射体７０９で乱反射され、乱反射光の一部が光センサ７０７に到達するため、第２実施形態と同じ効果でミラー４０１の傾き角をモニタリングすることができる。
【００５５】
なお、通常、共振型光スキャナ７００には、スキャンするレーザ光１０９を透過する透明な窓が配置されるため、この窓を透明な部材７０８として使用することができる。
【００５６】
（第６実施形態）
図１５に、本発明の第６実施形態における共振型光スキャナ８００を示す。本実施形態の共振型光スキャナ８００では、透明な部材７０８に２個、レーザ光１０９を乱反射させる反射体８０９ａ、８０９ｂを設けている点が第５実施形態と異なる。
【００５７】
このように、２個所の反射体８０９ａ、８０９ｂを設け、乱反射光を１個のフォトダイオードで構成された光センサ８０７に到達させることにより、１個のフォトダイオードで、第３実施形態と同様の効果を得ることが可能となる。
【００５８】
（第７実施形態）
図１６に、本発明の第７実施形態における共振型光スキャナ９００を示す。本実施形態の共振型光スキャナ９００では、透明な部材９０８の２個所に正反射体９０９ａ、９０９ｂを設けると共に、正反射体９０９ａ、９０９ｂからの正反射光を各２個のフォトダイオードで構成された光センサ９０７ａ、９０７ｂのそれぞれに到達させるようにしている点が第５実施形態と異なる。
【００５９】
このように、透明な部材９０８に正反射体９０９ａ、９０９ｂを備えても上記第５実施形態と同様の効果を得ることができ、さらに、２個の正反射体９０９ａ、９０９ｂとすることにより、第３実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００６０】
なお、この場合には、正反射光は特定の方向に向かうため、２個の正反射体９０９ａ、９０９ｂを備える場合には、２個の光センサ９０７ａ、９０７ｂが必要となる。
【００６１】
（他の実施形態）
上記の各実施形態では、共振型光スキャナとして１ライン上のスキャンを行なう１次元スキャナを対象としているが、２次元スキャンを行なう共振型２次元スキャナに本発明を適用することもできる。この場合、反射面の角度の検出を行なうために、２次元のＣＣＤ素子や２次元ＰＳＤ、２次元ＣＭＯＳイメージャ、２次元フォトダイオードアレイ等を使用すればよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態における共振型光スキャナ１００の概略図である。
【図２】図１の共振型光スキャナ１００のモニタリング手段を具体的に示した図である。
【図３】共振型光スキャナ１００のモニタリング方法を説明するための図である。
【図４】実際のミラー１０１の角度と光ラインセンサ１０７の出力とを比較した図である。
【図５】本発明の第２実施形態における共振型光スキャナ２００の概略図である。
【図６】実際のミラー１０１の角度と光ラインセンサ２０７の出力とを比較した図である。
【図７】本発明の第３実施形態における共振型光スキャナ３００の概略図である。
【図８】実際のミラー１０１の角度と光ラインセンサ３０７ａ、３０７ｂの出力とを比較した図である。
【図９】本発明の第４実施形態における共振型光スキャナ４００の概略図である。
【図１０】図９の共振型光スキャナ４００のモニタリング手段を具体的に示した図である。
【図１１】共振型光スキャナ４００のモニタリング方法を説明するための図である。
【図１２】第４実施形態の他の例における共振型光スキャナ５００の概略図である。
【図１３】第４実施形態の他の例における共振型光スキャナ６００の概略図である。
【図１４】本発明の第５実施形態における共振型光スキャナ７００の概略図である。
【図１５】本発明の第６実施形態における共振型光スキャナ８００の概略図である。
【図１６】本発明の第７実施形態における共振型光スキャナ９００の概略図である。
【図１７】（ａ）は、振動系における加振力と慣性体の振幅の倍率の関係を示す図であり、（ｂ）は、加振力と慣性体の振動の位相差の関係を示す図である。
【符号の説明】
１０１…ミラー、１０２…フレーム、１０３…スプリング、
１０４…マグネット、１０５…ソレノイド、１０６…ベース、
１０７…光ラインセンサ、１０８…ピンホール、１０９…レーザ光、
１１０…レーザ光、１１１…軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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