(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１洗浄液を蓄える前洗浄槽と上記第１洗浄液よりも沸点が低い第２洗浄液を蓄える本洗浄槽とを内蔵した洗浄ケースと、
該洗浄ケースの上流側に設けた搬入口、上記前洗浄槽の上流側に設けた前洗浄槽入口、上記前洗浄槽の下流側に設けた本洗浄槽出口、上記本洗浄槽の上流側に設けた本洗浄槽入口、上記本洗浄槽の下流側に設けた本洗浄槽出口、及び上記洗浄ケースの下流側に設けた搬出口を貫通するように配設された搬送コンベアと、
上記前洗浄槽と上記本洗浄槽との間に配設され、上記搬送コンベアを貫通させるスペースを設けた中間仕切壁とを有し、
該中間仕切壁よりも上流側に存在する開口部分は、上記前洗浄槽から溢れ出る上記第１洗浄液により封止するよう構成してあり、
上記洗浄ケースの内部は、上流側から下流側に向けて、前洗浄室、中間室、本洗浄室、及び乾燥室に区画されており、
上記前洗浄室と上記中間室、該中間室と上記本洗浄室、該本洗浄室と上記乾燥室との間は、それぞれ第１仕切壁、上記中間仕切壁、及び第２仕切壁によって仕切られており、
上記前洗浄室には、上記第１仕切壁を側壁の一部とすると共に該第１仕切壁に上記前洗浄槽出口を設けた上記前洗浄槽が配設されており、該前洗浄槽に供給される上記第１洗浄液が、上記前洗浄槽入口及び上記前洗浄槽出口からそれぞれ上記前洗浄室内及び上記中間室内に溢れ出るように構成されており、
上記本洗浄室には、上記第２仕切壁を側壁の一部とすると共に該第２仕切壁に上記本洗浄槽出口を設けた上記本洗浄槽が配設されており、該本洗浄槽に供給される上記第２洗浄液が、上記本洗浄槽入口及び上記本洗浄槽出口からそれぞれ上記本洗浄室内及び上記乾燥室内に溢れ出るように構成されており、
上記洗浄ケースには、上記前洗浄室内及び上記中間室内に溜まった上記第１洗浄液を回収し、直接又は間接的に上記前洗浄槽に供給する第１循環装置と、上記本洗浄室内及び上記乾燥室内に溜まった上記第２洗浄液を回収し、直接又は間接的に上記本洗浄槽に供給する第２循環装置が配設されており、
上記第１仕切壁は、上記前洗浄室と上記中間室とを連通させる第１連通穴を下方に有しており、上記第１循環装置における回収口が上記前洗浄室又は上記中間室の底部に配設されており、かつ、上記第１循環装置は、上記中間室に溜まった上記第１洗浄液の液面が上記第１連通穴の上端よりも上方に位置するよう制御可能に構成されていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
請求項１において、上記第２仕切壁は、上記本洗浄室と上記乾燥室とを連通させる第２連通穴を下方に有しており、上記第２循環装置における回収口が上記本洗浄室又は上記乾燥室の底部に配設されており、かつ、上記第２循環装置は、上記乾燥室に溜まった上記第２洗浄液の液面が上記第２連通穴の上端よりも上方に位置するよう制御可能に構成されていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項３】
第１洗浄液を蓄える前洗浄槽と上記第１洗浄液よりも沸点が低い第２洗浄液を蓄える本洗浄槽とを内蔵した洗浄ケースと、
該洗浄ケースの上流側に設けた搬入口、上記前洗浄槽の上流側に設けた前洗浄槽入口、上記前洗浄槽の下流側に設けた本洗浄槽出口、上記本洗浄槽の上流側に設けた本洗浄槽入口、上記本洗浄槽の下流側に設けた本洗浄槽出口、及び上記洗浄ケースの下流側に設けた搬出口を貫通するように配設された搬送コンベアと、
上記前洗浄槽と上記本洗浄槽との間に配設され、上記搬送コンベアを貫通させるスペースを設けた中間仕切壁とを有し、
該中間仕切壁よりも上流側に存在する開口部分は、上記前洗浄槽から溢れ出る上記第１洗浄液により封止するよう構成してあり、
上記洗浄ケースの内部は、上流側から下流側に向けて、前洗浄室、中間室、本洗浄室、及び乾燥室に区画されており、
上記前洗浄室と上記中間室、該中間室と上記本洗浄室、該本洗浄室と上記乾燥室との間は、それぞれ第１仕切壁、上記中間仕切壁、及び第２仕切壁によって仕切られており、
上記前洗浄室には、上記第１仕切壁を側壁の一部とすると共に該第１仕切壁に上記前洗浄槽出口を設けた上記前洗浄槽が配設されており、該前洗浄槽に供給される上記第１洗浄液が、上記前洗浄槽入口及び上記前洗浄槽出口からそれぞれ上記前洗浄室内及び上記中間室内に溢れ出るように構成されており、
上記本洗浄室には、上記第２仕切壁を側壁の一部とすると共に該第２仕切壁に上記本洗浄槽出口を設けた上記本洗浄槽が配設されており、該本洗浄槽に供給される上記第２洗浄液が、上記本洗浄槽入口及び上記本洗浄槽出口からそれぞれ上記本洗浄室内及び上記乾燥室内に溢れ出るように構成されており、
上記洗浄ケースには、上記前洗浄室内及び上記中間室内に溜まった上記第１洗浄液を回収し、直接又は間接的に上記前洗浄槽に供給する第１循環装置と、上記本洗浄室内及び上記乾燥室内に溜まった上記第２洗浄液を回収し、直接又は間接的に上記本洗浄槽に供給する第２循環装置が配設されており、
上記第２仕切壁は、上記本洗浄室と上記乾燥室とを連通させる第２連通穴を下方に有しており、上記第２循環装置における回収口が上記本洗浄室又は上記乾燥室の底部に配設されており、かつ、上記第２循環装置は、上記乾燥室に溜まった上記第２洗浄液の液面が上記第２連通穴の上端よりも上方に位置するよう制御可能に構成されていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項において、上記第２洗浄液は、フッ素系溶剤を含んでいることを特徴とする洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品や機械加工部品等を洗浄するための洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品や機械加工部品等の製造工程では、後工程の品質や製品性能を確保するために、部品に付着した汚れを除去する洗浄が行われる。洗浄の方法としては、付着した汚れの種類と要求される清浄度によって決定される。上記のような部品の洗浄の場合、湿式洗浄が主流となっている。湿式洗浄は、水系洗浄と非水系洗浄とに大別される。
【０００３】
水系洗浄としては、被洗浄品を水平搬送しながら効率よく連続的に洗浄を行う洗浄方法及び洗浄装置（特許文献１及び特許文献２）が提案されている。ところが、水系洗浄の場合、被洗浄品の形状が複雑になると、洗浄や洗浄液の乾燥における処理負荷が大きくなる。そのため、生産性が要求される場合においては、多数個の被洗浄品を洗浄かごや洗浄治具に同時に搭載して処理するバッチ洗浄を採用することとなる。その結果、洗浄装置が大型になるという問題が生じる。
【０００４】
これに対し、非水系洗浄は、水系洗浄よりも被洗浄品の腐食性が低い。また、非水系の洗浄液は、浸透性が良いため、複雑な形状の部品に対する洗浄に有効である。この中でも、フッ素系溶剤は、表面張力が低く、複雑な形状の部品に対して非常に有効である。また、低毒性であり、オゾン層を破壊することがない地球環境に優しい洗浄液である。
近年、洗浄に適したフッ素系溶剤組成物（特許文献３）やフッ素系溶剤を用いた洗浄装置（特許文献４）が考案されている。
【０００５】
しかしながら、フッ素系溶剤はコストが高い。そのため、低コスト化を実現するためには、フッ素系溶剤の蒸発ロスを抑制することが不可欠である。
フッ素系溶剤の蒸発ロスを抑制する手段として、例えば、図８に示すような洗浄装置９１の場合、洗浄装置９１に被洗浄品９７を搬入・搬出する開口部９３の面積を小さくする方法や、開口部９３の周辺に冷却管９５を備え、フッ素系溶剤を含む洗浄液９６の蒸気を冷却管９５によって冷却し、水分離器９５１によって分離して回収する方法がある。また、洗浄槽９２から被洗浄品９７を引き上げる速度を抑えたり、溶剤の蒸気密度が高い特性を利用して、開口部９３の開口寸法ａと、溶剤蒸気と空気との境界９４から開口部９３までの高さｂとの比であるｂ／ａを１以上にしたりする方法等もある。
【０００６】
このように、フッ素系溶剤を用いた洗浄装置は、蒸発ロスを抑制する目的から、被洗浄品を垂直方向に搬送して洗浄を行う。しかしながら、上記の洗浄装置は、溶剤の蒸発ロスをできるだけ抑えるために装置の高さが高くなる等、設計的な制約を受ける。
つまり、フッ素系溶剤を用いた洗浄装置において、小型化・低コスト化の両方を満たすような洗浄装置は、未だ見出されていない。また、このような問題は、フッ素系溶剤に限らず、比較的沸点の低い洗浄液を用いる場合においても同様である。
【０００７】
【特許文献１】特開平５−２２０４５９号公報
【特許文献２】特開平７−３２８５７３号公報
【特許文献３】特開平８−２４５５２５号公報
【特許文献４】特開平１０−２７７５０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、かかる従来の問題点を鑑みてなされたものであり、簡易的な構成によって洗浄液の蒸発ロスを抑制し、小型化・低コスト化を実現することができる洗浄装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の発明は、第１洗浄液を蓄える前洗浄槽と上記第１洗浄液よりも沸点が低い第２洗浄液を蓄える本洗浄槽とを内蔵した洗浄ケースと、
該洗浄ケースの上流側に設けた搬入口、上記前洗浄槽の上流側に設けた前洗浄槽入口、上記前洗浄槽の下流側に設けた前洗浄槽出口、上記本洗浄槽の上流側に設けた本洗浄槽入口、上記本洗浄槽の下流側に設けた本洗浄槽出口、及び上記洗浄ケースの下流側に設けた搬出口を貫通するように配設された搬送コンベアと、
上記前洗浄槽と上記本洗浄槽との間に配設され、上記搬送コンベアを貫通させるスペースを設けた中間仕切壁とを有し、
該中間仕切壁よりも上流側に存在する開口部分は、上記前洗浄槽から溢れ出る上記第１洗浄液により封止するよう構成してあり、
上記洗浄ケースの内部は、上流側から下流側に向けて、前洗浄室、中間室、本洗浄室、及び乾燥室に区画されており、
上記前洗浄室と上記中間室、該中間室と上記本洗浄室、該本洗浄室と上記乾燥室との間は、それぞれ第１仕切壁、上記中間仕切壁、及び第２仕切壁によって仕切られており、
上記前洗浄室には、上記第１仕切壁を側壁の一部とすると共に該第１仕切壁に上記前洗浄槽出口を設けた上記前洗浄槽が配設されており、該前洗浄槽に供給される上記第１洗浄液が、上記前洗浄槽入口及び上記前洗浄槽出口からそれぞれ上記前洗浄室内及び上記中間室内に溢れ出るように構成されており、
上記本洗浄室には、上記第２仕切壁を側壁の一部とすると共に該第２仕切壁に上記本洗浄槽出口を設けた上記本洗浄槽が配設されており、該本洗浄槽に供給される上記第２洗浄液が、上記本洗浄槽入口及び上記本洗浄槽出口からそれぞれ上記本洗浄室内及び上記乾燥室内に溢れ出るように構成されており、
上記洗浄ケースには、上記前洗浄室内及び上記中間室内に溜まった上記第１洗浄液を回収し、直接又は間接的に上記前洗浄槽に供給する第１循環装置と、上記本洗浄室内及び上記乾燥室内に溜まった上記第２洗浄液を回収し、直接又は間接的に上記本洗浄槽に供給する第２循環装置が配設されており、
上記第１仕切壁は、上記前洗浄室と上記中間室とを連通させる第１連通穴を下方に有しており、上記第１循環装置における回収口が上記前洗浄室又は上記中間室の底部に配設されており、かつ、上記第１循環装置は、上記中間室に溜まった上記第１洗浄液の液面が上記第１連通穴の上端よりも上方に位置するよう制御可能に構成されていることを特徴とする洗浄装置にある（請求項１）。
第２の発明は、第１洗浄液を蓄える前洗浄槽と上記第１洗浄液よりも沸点が低い第２洗浄液を蓄える本洗浄槽とを内蔵した洗浄ケースと、
該洗浄ケースの上流側に設けた搬入口、上記前洗浄槽の上流側に設けた前洗浄槽入口、上記前洗浄槽の下流側に設けた本洗浄槽出口、上記本洗浄槽の上流側に設けた本洗浄槽入口、上記本洗浄槽の下流側に設けた本洗浄槽出口、及び上記洗浄ケースの下流側に設けた搬出口を貫通するように配設された搬送コンベアと、
上記前洗浄槽と上記本洗浄槽との間に配設され、上記搬送コンベアを貫通させるスペースを設けた中間仕切壁とを有し、
該中間仕切壁よりも上流側に存在する開口部分は、上記前洗浄槽から溢れ出る上記第１洗浄液により封止するよう構成してあり、
上記洗浄ケースの内部は、上流側から下流側に向けて、前洗浄室、中間室、本洗浄室、及び乾燥室に区画されており、
上記前洗浄室と上記中間室、該中間室と上記本洗浄室、該本洗浄室と上記乾燥室との間は、それぞれ第１仕切壁、上記中間仕切壁、及び第２仕切壁によって仕切られており、
上記前洗浄室には、上記第１仕切壁を側壁の一部とすると共に該第１仕切壁に上記前洗浄槽出口を設けた上記前洗浄槽が配設されており、該前洗浄槽に供給される上記第１洗浄液が、上記前洗浄槽入口及び上記前洗浄槽出口からそれぞれ上記前洗浄室内及び上記中間室内に溢れ出るように構成されており、
上記本洗浄室には、上記第２仕切壁を側壁の一部とすると共に該第２仕切壁に上記本洗浄槽出口を設けた上記本洗浄槽が配設されており、該本洗浄槽に供給される上記第２洗浄液が、上記本洗浄槽入口及び上記本洗浄槽出口からそれぞれ上記本洗浄室内及び上記乾燥室内に溢れ出るように構成されており、
上記洗浄ケースには、上記前洗浄室内及び上記中間室内に溜まった上記第１洗浄液を回収し、直接又は間接的に上記前洗浄槽に供給する第１循環装置と、上記本洗浄室内及び上記乾燥室内に溜まった上記第２洗浄液を回収し、直接又は間接的に上記本洗浄槽に供給する第２循環装置が配設されており、
上記第２仕切壁は、上記本洗浄室と上記乾燥室とを連通させる第２連通穴を下方に有しており、上記第２循環装置における回収口が上記本洗浄室又は上記乾燥室の底部に配設されており、かつ、上記第２循環装置は、上記乾燥室に溜まった上記第２洗浄液の液面が上記第２連通穴の上端よりも上方に位置するよう制御可能に構成されていることを特徴とする洗浄装置にある（請求項３）。
【００１０】
第１及び第２の発明の洗浄装置は、上記のごとく、洗浄ケースと搬送コンベアと中間仕切壁とを有している。そして、上記中間仕切壁よりも上流側に存在する開口部分、つまり、上記スペースと上記搬入口とを連通させる通路となる開口部分は、上記前洗浄槽から溢れ出る上記第１洗浄液により封止するよう構成してある。これにより、上記第２洗浄液の蒸発ロスを抑制することができる。その理由は、次のとおりである。
【００１１】
上記本洗浄槽に蓄えられた本洗浄用の上記第２洗浄液は、上記第１洗浄液よりも沸点が低く、蒸発しやすい。例えば、上記第２洗浄液の蒸発によるロスは、蒸発して蒸気となった上記第２洗浄液が、上記洗浄ケース内から外部へと流出することによって生じる。
上記洗浄装置は、上記第２洗浄液が外部へと流出する通路となる上記開口部分を、上記前洗浄槽から溢れ出る前洗浄用の上記第１洗浄液により封止してある。
【００１２】
そのため、蒸気となった上記第２洗浄液が、上記前洗浄槽と上記本洗浄槽との間に設けられた上記スペースから上流側へと移動し、上記洗浄ケースの上流側に設けた上記搬入口から外部へと流出するのを防ぐことができる。これにより、簡易的な構成によって、上記第２洗浄液の蒸発ロスを抑制することができると共に、コストの削減を実現することができる。
【００１３】
また、上記洗浄装置は、洗浄を行う被洗浄品を搬送する上記搬送コンベアを水平方向に設けることができる。つまり、被洗浄品を垂直方向に搬送して洗浄する場合のように、洗浄装置の上部に被洗浄品を搬入・搬出するための開口部を設けたり、洗浄液の蒸発を抑制するために洗浄装置の高さを高くしたりする必要がない。そのため、装置全体の小型化を実現することができると共に、効率よく連続的に洗浄を行うことができる。
【００１４】
このように、本発明によれば、簡易的な構成によって洗浄液の蒸発ロスを抑制し、小型化・低コスト化を実現することができる洗浄装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
上記第１及び第２の発明において、前洗浄用の上記第１洗浄液は、沸点が高く、安価であることが好ましい。
この場合には、上記第１洗浄液の蒸発ロスを抑制することができる。そのため、コストをさらに抑えながら、上記効果を得ることができる。
なお、上記第１洗浄液としては、水、炭化水素系溶液、グリコールエーテル系溶液等を用いることができる。
【００１６】
また、上記第１及び第２の発明において、上記洗浄ケースの内部は、上流側から下流側に向けて、前洗浄室、中間室、本洗浄室、及び乾燥室に区画されており、
上記前洗浄室と上記中間室、該中間室と上記本洗浄室、該本洗浄室と上記乾燥室との間は、それぞれ第１仕切壁、上記中間仕切壁、及び第２仕切壁によって仕切られており、
上記前洗浄室には、上記第１仕切壁を側壁の一部とすると共に該第１仕切壁に上記前洗浄槽出口を設けた上記前洗浄槽が配設されており、該前洗浄槽に供給される上記第１洗浄液が、上記前洗浄槽入口及び上記前洗浄槽出口からそれぞれ上記前洗浄室内及び上記中間室内に溢れ出るように構成されており、
上記本洗浄室には、上記第２仕切壁を側壁の一部とすると共に該第２仕切壁に上記本洗浄槽出口を設けた上記本洗浄槽が配設されており、該本洗浄槽に供給される上記第２洗浄液が、上記本洗浄槽入口及び上記本洗浄槽出口からそれぞれ上記本洗浄室内及び上記乾燥室内に溢れ出るように構成されており、
上記洗浄ケースには、上記前洗浄室内及び上記中間室内に溜まった上記第１洗浄液を回収し、直接又は間接的に上記前洗浄槽に供給する第１循環装置と、上記本洗浄室内及び上記乾燥室内に溜まった上記第２洗浄液を回収し、直接又は間接的に上記本洗浄槽に供給する第２循環装置が配設されている。
【００１７】
この場合には、上記第１循環装置によって、上記前洗浄槽から溢れ出た上記第１洗浄液を回収し、それを上記前洗浄槽に供給することができる。また、上記第２循環装置によって、上記本洗浄槽から溢れ出た上記第２洗浄液を回収し、それを上記本洗浄槽に供給することができる。つまり、上記第１循環装置及び上記第２循環装置によって、それぞれ上記第１洗浄液及び上記第２洗浄液を循環させることができ、両洗浄液を効率よく、有効的に使用することができる。なお、各循環経路の途中には、バッファーのタンクや各洗浄液を浄化する浄化装置を設けることができる。
【００１８】
また、上記第１の発明において、上記第１仕切壁は、上記前洗浄室と上記中間室とを連通させる第１連通穴を下方に有しており、上記第１循環装置における回収口が上記前洗浄室又は上記中間室の底部に配設されており、かつ、上記第１循環装置は、上記中間室に溜まった上記第１洗浄液の液面が上記第１連通穴の上端よりも上方に位置するよう制御可能に構成されている。
【００１９】
この場合には、上記前洗浄室内及び上記中間室内に溢れ出た上記第１洗浄液を、上記前洗浄室又は上記中間室の底部に配設された上記回収口から共に回収することができる。そのため、上記第１洗浄液を効率よく回収することができる。
また、上記第１循環装置の制御によって、上記中間室に溜まった上記第１洗浄液は、上記中間仕切壁よりも上流側に存在する開口部分となる上記第１連通穴を封止することができる。これにより、上記第２洗浄液の蒸発によるロスを抑制する効果を充分に得ることができる。
【００２０】
また、上記第１の発明において、上記第２仕切壁は、上記本洗浄室と上記乾燥室とを連通させる第２連通穴を下方に有しており、上記第２循環装置における回収口が上記本洗浄室又は上記乾燥室の底部に配設されており、かつ、上記第２循環装置は、上記乾燥室に溜まった上記第２洗浄液の液面が上記第２連通穴の上端よりも上方に位置するよう制御可能に構成されていることが好ましい（請求項２）。
【００２１】
この場合には、上記本洗浄室内及び上記乾燥室内に溢れ出た上記第２洗浄液を、上記本洗浄室又は上記乾燥室の底部に設けられた上記回収口から共に回収することができる。そのため、上記第２洗浄液を効率よく回収することができる。
また、上記第２循環装置の制御によって、上記乾燥室に溜まった上記第２洗浄液は、上記第２連通穴を封止することができる。そのため、上記第２連通穴を設けたことによる、上記第２洗浄液の蒸発ロスの増加を防ぐことができる。
【００２２】
また、上記第１及び第２の発明において、上記第２洗浄液は、フッ素系溶剤を含んでいることが好ましい（請求項４）。
上記フッ素系溶剤は、表面張力が低いため、どのような形状の被洗浄品に対しても充分な洗浄を行うことができる。また、低腐食性であるため、洗浄後の被洗浄品の品質を充分に確保することができる。さらに、低毒性であり、地球環境にも優しい。
なお、フッ素系溶剤としては、ハイドロフルオロエーテル、ハイドロフルオロカーボン、ハイドロクロロフルオロカーボン等を用いることができる。
【実施例】
【００２３】
本発明の実施例にかかる洗浄装置について、図１〜図７を用いて説明する。
本例の洗浄装置１は、図１に示すごとく、第１洗浄液６１を蓄える前洗浄槽２１と第１洗浄液６１よりも沸点が低い第２洗浄液６２を蓄える本洗浄槽４１とを内蔵した洗浄ケース１０と、洗浄ケース１０の上流側に設けた搬入口１０１、前洗浄槽２１の上流側に設けた前洗浄槽入口２１１、前洗浄槽２１の下流側に設けた前洗浄槽出口２１２、本洗浄槽４１の上流側に設けた本洗浄槽入口４１１、本洗浄槽４１の下流側に設けた本洗浄槽出口４１２、及び洗浄ケース１０の下流側に設けた搬出口１０２を貫通するように配設された搬送コンベア１９と、前洗浄槽２１と本洗浄槽４１との間に配設され、搬送コンベア１９を貫通させるスペース１３１を設けた中間仕切壁１３とを有している。
そして、中間仕切壁１３よりも上流側に存在する開口部分は、前洗浄槽２１から溢れ出る第１洗浄液６１により封止するよう構成してある。
以下、これを詳説する。
【００２４】
図１、図２に示すごとく、洗浄装置１を構成している洗浄ケース１０は、上流側に被洗浄品７を搬入するための搬入口１０１が設けてあり、下流側に被洗浄品７を搬出するための搬出口１０２が設けてある。
また、図１に示すごとく、洗浄ケース１０の内部は、上流側から下流側に向けて、前洗浄室２、中間室３、本洗浄室４、及び乾燥室５に区画されている。そして、前洗浄室２と中間室３、中間室３と本洗浄室４、及び本洗浄室４と乾燥室５との間は、それぞれ第１仕切壁１１、中間仕切壁１３、及び第２仕切壁１２によって仕切られている。
【００２５】
前洗浄室２には、図１、図３、図４に示すごとく、前洗浄槽２１が設けられており、前洗浄槽２１の上流側及び下流側には、上述のとおり、それぞれ前洗浄槽入口２１１及び前洗浄槽出口２１２が設けられている。また、前洗浄槽２１の上部には、前洗浄槽開口部２１３が設けられている。本例の前洗浄槽２１は、第１仕切壁１１を下流側の側壁の一部として構成していると共に、この第１仕切壁１１に前洗浄槽出口２１２が設けられている。
また、図１、図４に示すごとく、前洗浄室２は、第１仕切壁１１の下方に設けられた第１連通穴によって、中間室３と連通している。
【００２６】
また、図１に示すごとく、前洗浄槽２１内には、前洗浄用の第１洗浄液６１が蓄えられている。前洗浄槽２１は、蓄えられた第１洗浄液６１が、前洗浄槽入口２１１及び前洗浄槽出口２１２からそれぞれ前洗浄室２内及び中間室３内に溢れ出て、溜まるように構成されている。なお、前洗浄槽２１は、溢れ出る量に比べて供給される量が多くなりすぎた場合には、第１洗浄液６１が、前洗浄槽入口２１１及び前洗浄槽出口２１２に加えて前洗浄槽開口部２１３からも溢れ出るように構成されている。
【００２７】
また、同図に示すごとく、前洗浄室２には、前洗浄槽２１と前洗浄室２の底部とを連通させる第１配管２９が設けられており、第１配管２９の途中には、第１循環装置２８が設けられている。第１循環装置２８は、前洗浄室２内及び中間室３内に溜まった第１洗浄液６１を、前洗浄室２の底部に設けた第１回収口２９１から共に回収し、第１配管２９を介して前洗浄槽２１に供給することができる。これにより、第１洗浄液６１を循環させることができる。
【００２８】
本洗浄室４には、図１、図３、図４に示すごとく、本洗浄槽４１が設けられており、本洗浄槽４１の上流側及び下流側には、上述のとおり、それぞれ本洗浄槽入口４１１及び本洗浄槽出口４１２が設けられている。また、本洗浄槽４１の上部には、本洗浄槽開口部４１３が設けられている。本例の本洗浄槽４１は、第２仕切壁１２を下流側の側壁の一部として構成していると共に、この第２仕切壁１２に本洗浄槽出口４１２が設けられている。
また、図１、図４に示すごとく、本洗浄室４は、第２仕切り壁１２の下方に設けられた第２連通穴１２１によって、乾燥室５と連通している。
【００２９】
また、図１に示すごとく、本洗浄槽４１内には、第１洗浄液６１よりも沸点が低い、本洗浄用の第２洗浄液６２が蓄えられている。本洗浄槽４１は、蓄えられた第２洗浄液６２が、本洗浄槽入口４１１及び本洗浄槽出口４１２からそれぞれ本洗浄室４内及び乾燥室５内に溢れ出て、溜まるように構成されている。なお、本洗浄槽４１は、溢れ出る量に比べて供給される量が多くなりすぎた場合には、第２洗浄液６２が、本洗浄槽入口４１１及び本洗浄槽出口４１２に加えて本洗浄槽開口部４１３からも溢れ出るように構成されている。
【００３０】
また、同図に示すごとく、本洗浄室４には、前洗浄槽４１と前洗浄室４の底部とを連通させる第２配管４９が設けられており、第２配管４９の途中には、第２循環装置４８が設けられている。第２循環装置４８は、本洗浄室４内及び乾燥室５内に溜まった第２洗浄液６２を、本洗浄室４の底部に設けた第２回収口４９１から共に回収し、第２配管４９を介して本洗浄槽４１に供給することができる。これにより、第２洗浄液６２を循環させることができる。
【００３１】
なお、前洗浄室２には、前洗浄槽２１又は前洗浄室２の底部に第１洗浄液６１を供給して補充する供給装置を設けることができる。また、同じく本洗浄室４には、本洗浄槽４１又は本洗浄室４の底部に第２洗浄液６２を供給して補充する供給装置を設けることができる。
また、第１洗浄液６１及び第２洗浄液６２の循環経路の途中には、バッファーのタンクや各洗浄液を浄化する浄化装置を設けることができる。
【００３２】
また、図５に示すごとく、中間室３と本洗浄室４とを区画するための中間仕切壁１３は、搬送コンベア１９を貫通させるためのスペース１３１を除いた部分に配設されている。中間仕切壁１３は、前洗浄室２に溜まった第１洗浄液６１と本洗浄室４に溜まった第２洗浄液６２とを隔てる役割も果たしている。
また、本例の中間仕切壁１３は、図５に示したように搬送コンベア１９の周辺部を除いた部分に設けてあるが、図６のように搬送コンベア１９を挟んで上下に設けたり、図７のように搬送コンベア１９の下方だけに設けたりすることもできる。
【００３３】
また、図１に示すごとく、搬送コンベア１９は、略水平位置に設けられた搬入口１０１、前洗浄槽入口２１１、前洗浄槽出口２１２、スペース１３１、本洗浄槽入口４１１、本洗浄槽出口４１２、及び搬出口１０２を貫通するように設けられている。搬送コンベア１９は、搬送コンベア１９上に被洗浄品７を載置し、搬入口１０１から搬出口１０２まで略水平方向に搬送することができるように構成されている。
また、乾燥室５には、搬出口１０２のすぐ下流側に、搬送コンベア１９を挟んで対向するように一対の冷却器５９が設けられている。本例のように、搬出口１０２からの第２洗浄液６２の蒸発ロスを抑制するための冷却器５９を設けることが好ましい。
【００３４】
また、本例の洗浄装置１において、第１循環装置２８は、前洗浄槽２１に供給される第１洗浄液６１の量が前洗浄槽２１から溢れ出る量よりも多くなるように制御している。これにより、第１洗浄液６１は、常に前洗浄槽２１内を満たし、かつ、前洗浄槽入口２１１及び前洗浄槽出口２１２から溢れ出ている状態となる。また、第１循環装置２８の制御により、中間室３に溜まった第１洗浄液６１の液面Ｌは、第１連通穴１１１の上端１１２よりも上方に位置している（図１参照）。
【００３５】
また、第２循環装置４８は、本洗浄槽４１に供給される第２洗浄液６２の量が本洗浄槽４１から溢れ出る量よりも多くなるように制御している。これにより、第２洗浄液６２は、常に本洗浄槽４１内を満し、かつ、本洗浄槽入口４１１及び本洗浄槽出口４１２から溢れ出ている状態となる。また、第２循環装置４８の制御により、乾燥室５に溜まった第２洗浄液６２の液面Ｍは、第２連通穴１２１の上端１２２よりも上方に位置している（図１参照）。
【００３６】
また、第１洗浄液６１としては、沸点が高く、安価な水を用いた。これ以外にも、炭化水素系溶液、グリコールエーテル系溶液等を用いることができる。
また、第２洗浄液６２としては、フッ素系溶剤、フッ素系溶剤とアルコールとの混合溶液等を用いることができる。上記フッ素系溶剤としては、例えば、ハイドロフルオロエーテル、ハイドロフルオロカーボン、ハイドロクロロフルオロカーボン等を用いることができる。また、上記アルコールとしては、例えば、エタノール、メタノール、イソプロピルアルコール等を用いることができる。
【００３７】
次に、洗浄装置１を用いて被洗浄品７を洗浄する動作について、簡単に説明する。
まず、搬送コンベア１９上に載置された被洗浄品７は、搬入口１０１から洗浄ケース１０の内部の前洗浄室２に搬入される。そして、前洗浄槽入口２１１から前洗浄槽２１に搬入され、前洗浄槽２１内に蓄えられた第１洗浄液６１によって前洗浄される。前洗浄された被洗浄品７は、前洗浄槽出口２１２から中間室３に搬出される。
【００３８】
被洗浄品７は、中間室３を通過し、スペース１３１から本洗浄室４に搬入される。そして、本洗浄槽入口４１１から本洗浄槽４１に搬入され、本洗浄槽４１内に蓄えられた第２洗浄液６２によって本洗浄される。本洗浄された被洗浄品７は、本洗浄槽出口４１２から乾燥室５に搬出される。そして、乾燥室５で乾燥した後、搬出口１０２から洗浄ケース１０の外部へと搬出される。
このようにして、被洗浄品７の洗浄を行う。図１のように、被洗浄品７を搬送コンベア１９上に連続的に載置すれば、被洗浄品７の洗浄を連続的に行うことができる。
【００３９】
次に、本例の洗浄装置１における作用効果について説明する。
本例の洗浄装置１は、洗浄ケース１０と搬送コンベア１９と中間仕切壁１３とを有している。そして、中間仕切壁１３よりも上流側に存在する開口部分、つまり、スペース１３１と搬入口１０１とを連通させる通路となる前洗浄槽出口２１２及び第１連通穴１１１は、前洗浄槽２１から溢れ出る第１洗浄液６１により封止するよう構成してある。
【００４０】
そのため、蒸発して蒸気となった本洗浄用の第２洗浄液６２が、本洗浄室４からスペース１３１を通過して洗浄ケース１０の上流側へと移動したとしても、さらに前洗浄室２を通過して搬入口１０１から外部へと流出するのを防ぐことができる。これにより、簡易的な構成によって、第２洗浄液６２の蒸発ロスを抑制することができると共に、コストの削減を実現することができる。
【００４１】
また、洗浄装置１は、被洗浄品７を搬送する搬送コンベア１９を略水平方向に設けている。つまり、被洗浄品７を垂直方向に搬送して洗浄する場合のように、洗浄装置１の上部に被洗浄品７を搬入・搬出するための開口部を設けたり、洗浄液の蒸発を抑制するために洗浄装置１の高さを高くしたりする必要がない。そのため、装置全体の小型化を実現することができると共に、効率よく連続的に洗浄を行うことができる。
【００４２】
また、第１仕切壁１１は、前洗浄室２と中間室３とを連通させる第１連通穴１１１を下方に有しており、第１洗浄液６１を回収する第１回収口２９１が前洗浄室２の底部に配設されている。そのため、前洗浄室２内及び中間室３内に溢れ出た第１洗浄液６１を、第１回収口２９１から共に回収することができる。これにより、第１洗浄液６１を効率よく回収することができる。
【００４３】
また、第１循環装置２８は、中間室３に溜まった第１洗浄液６１の液面Ｌが第１連通穴１１１の上端１１２よりも上方に位置するよう制御することができる。そのため、中間仕切壁１３よりも上流側に存在する開口部分となる第１連通穴１１１は、第１洗浄液６１により封止される。これにより、第２洗浄液６２の蒸発ロスを抑制する効果を充分に得ることができる。
【００４４】
また、第２仕切壁１２は、本洗浄室４と乾燥室５とを連通させる第２連通穴１２１を下方に有しており、第２洗浄液６２を回収する第２回収口４９１が本洗浄室４の底部に配設されている。そのため、本洗浄室４内及び乾燥室５内に溢れ出た第２洗浄液６２を、第２回収口４９１から共に回収することができる。これにより、第２洗浄液６２を効率よく回収することができる。
【００４５】
また、第２循環装置４８は、乾燥室５に溜まった第２洗浄液６２の液面Ｍが第２連通穴１２１の上端１２２よりも上方に位置するよう制御することができる。そのため、第２連通穴１２１は、第２洗浄液６２により封止される。これにより、第２連通穴１２１を設けたことによる、第２洗浄液６２の蒸発ロスの増加を防ぐことができる。
【００４６】
また、第１洗浄液６１は、沸点が高く、安価な水を用いた。そのため、さらにコストを抑えながら、上記効果を得ることができる。
また、第２洗浄液６２は、フッ素系溶剤を含んでいる。フッ素系溶剤は、表面張力が低いため、どのような形状の被洗浄品７に対しても充分な洗浄を行うことができる。また、低腐食性であるため、洗浄後の被洗浄品７の品質を充分に確保することができる。さらに、低毒性であり、地球環境にも優しい。
【００４７】
また、乾燥室５には、搬出口１０２のすぐ下流側に、搬送コンベア１９を挟んで対向するように一対の冷却器５９が設けられている。そのため、蒸発して蒸気となった第２洗浄液６２が、洗浄ケース１０の下流側へと移動し、さらに乾燥室５を通過して搬出口１０２から外部へと流出するのを防ぐことができる。即ち、蒸気となった第２洗浄液６２を冷却器によって冷却し、液体の状態で乾燥室５内に回収することができる。これにより、第２洗浄液６２の蒸発ロスをさらに抑制することができる。
【００４８】
このように、本例によれば、簡易的な構成によって洗浄液の蒸発ロスを抑制し、小型化・低コスト化を実現することができる洗浄装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】実施例における、洗浄装置の構成を示す説明図。
【図２】図１における、Ａ、Ｇ位置の断面図。
【図３】図１における、Ｂ、Ｅ位置の断面図。
【図４】図１における、Ｃ、Ｆ位置の断面図。
【図５】図１における、Ｄ位置の断面図。
【図６】図１における、その他の中間仕切壁の構成を示すＤ位置の断面図。
【図７】図１における、その他の中間仕切壁の構成を示すＤ位置の断面図。
【図８】従来例における、洗浄装置の構成を示す説明図。
【符号の説明】
【００５０】
１  洗浄装置
１０  洗浄ケース
１０１  搬入口
１０２  搬出口
１３  中間仕切壁
１３１  スペース
１９  搬送コンベア
２１  前洗浄槽
２１１  前洗浄槽入口
２１２  前洗浄槽出口
４１  本洗浄槽
４１１  本洗浄槽入口
４１２  本洗浄槽出口
６１  第１洗浄液
６２  第２洗浄液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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