(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
銅張り積層板の銅箔表面に感光性樹脂ドライフィルムをラミネートし、マスクフィルムを真空引きで密着させて紫外線露光する工程を経て銅回路を形成するプリント配線板の製造方法において、ドライフィルムに真空引きで密着させるマスクフィルムにあらかじめ真空引きに際しての空気抜け道を形成する透明テープ片を、斜め方向、または中心部から放射状の配置で貼着しておくことを特徴とするプリント配線板の製造方法。
【請求項２】
マスクフィルムの２箇所以上に透明テープ片を貼着しておくことを特徴とする請求項１記載のプリント配線板の製造方法。
【請求項３】
透明なテープ片を連続的に貼着しておくことを特徴とする請求項１または２に記載のプリント配線板の製造方法。
【請求項４】
透明テープ片を、マスクフィルムに貼り付ける露光ガラス焼き枠の空気抜き溝よりも内側に貼着しておくことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のプリント配線板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はマスクフィルムを用いる紫外線露光の工程を経てのプリント配線板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、銅張り積層板からプリント配線板を製造する方法としては、銅張り積層板の銅箔表面に感光性樹脂からなるドライフィルムを加温、加圧しながらラミネートし、その上に、光を遮光もしくは透過する部分を形成したマスクフィルムを密着させ、紫外線の照射による露光と現像、そしてエッチングと剥離の工程を経て銅張り積層板の表面に銅による回路を形成するようにした方法が知られている（たとえば特許文献１および２）。
【０００３】
このような方法においては、通常、紫外線による露光に際して、あらかじめ、マスクフィルムとドライフィルムをラミネートされた銅張り積層板との間の隙間の空隙部をなくすために、ポンプを使用して真空引きが行われている。この真空引きによって、マスクフィルムはドライフィルムに密着されることになる。
【０００４】
しかしながら、従来、パッケージ用途等の回路間の幅が狭いものを回路形成すると、紫外線露光にともなって、マスクフィルムとドライフィルムとの間に空隙部分が残り、露光時の紫外線が乱反射して十分にドライフィルムが硬化しない部分が発生し、つまり露光ボケが発生し、ショート不良が多発しやすくなるという問題があった。この問題は製品不良の発生として好ましくないものであった。
【特許文献１】特開平６−３１８７８４号公報
【特許文献２】特許第２５５２０３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、以上のとおりの背景から、従来の問題点を解消し、細線パターンを形成するに際しても露光ボケによるショート不良を低減することのできる、銅張積層板からのプリント配線板の改善された新しい製造方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のプリント配線板の製造方法は、上記の課題を解決するものとして以下のことを特徴としている。
【０００７】
第１：銅張り積層板の銅箔表面に感光性樹脂ドライフィルムをラミネートし、マスクフィルムを真空引きで密着させて紫外線露光する工程を経て銅回路を形成するプリント配線板の製造方法において、ドライフィルムに真空引きで密着させるマスクフィルムにあらかじめ真空引きに際しての空気抜け道を形成する透明テープ片を、斜め方向、または中心部から放射状の配置で貼着しておく。
【０００８】
第２：上記方法において、マスクフィルムの２箇所以上に透明テープ片を貼着しておく。
【０００９】
第３：透明なテープ片を連続的に貼着しておく。
【００１１】
第４：透明テープ片を、マスクフィルムに貼り付ける露光ガラス焼き枠の空気抜き溝よりも内側に貼着しておく。
【発明の効果】
【００１２】
上記のとおりの第１の発明によれば、従来の問題点を解消し、細線パターンを形成するに際しても露光ボケによるショート不良を低減して、銅張積層板からのプリント配線板の製造が可能とされる。
【００１３】
また、第２から第４の発明によれば、上記の効果は実際の製造プロセスに沿ってより確実に顕著なものとして実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明は上記のとおりの特徴をもつものであるが、以下にその実施の形態について説明する。
【００１５】
本発明の方法が対象とする銅張積層板については、表面に銅箔を有し、この銅箔から回路が形成されるものであれば、片面、両面、単層あるいは多層の区別は問われない。また、積層板を構成する樹脂や接着剤、あるいは内層材の種類や組成、そして構成は各種の任意のものであってよい。
【００１６】
また、ドライフィルム、マスクフィルム、そして紫外線露光や現像、真空引き、そしてエッチング等の手段についても従来公知のものをはじめとして各種であってよい。
【００１７】
本発明において特徴とするマスクフィルムにあらかじめ貼着する透明テープ片については、その素材は紫外線露光において使用可能なもので、密着性のあるものであれば各種でよく、たとえばリソグラフィック用透明樹脂のテープであってよい。その厚みは、５０μｍ以下とすることが好ましく、実際的には、１０〜４０μｍの範囲のものがより好ましい。あまり薄いものは空気の抜け道形成において効果的でなく、５０μｍを超えるように厚いものは紫外線露光そのものに影響を与えかねない。
【００１８】
このような透明テープ片は、幅、長さは、対象とするマスクフィルムの平面積や、回路形成のためのパターンに応じて定めることができる。透明テープ片の貼着パターンについても同様である。前記のとおり少なくとも２箇所以上の部分に透明テープ片を貼ることや、透明なテープ片を連続的に張ること、透明テープ片を斜め方向、中心部から放射状に貼ること、そしてより実際的には、透明テープ片を図１に示したマスクフィルムを貼り付ける露光ガラス焼き枠のエア抜き溝（スリット）よりも内側に貼着することが好適に考慮される。
【００１９】
そこで、以下に、実施例を示し、本発明についてさらに詳しく説明する。もちろん以下の例によって発明が限定されることはない。
【実施例】
【００２０】
細線パターンの製品をマスクフィルムへ貼る透明テープ片が有りと無しの露光条件でショート発生率の差を確認した。
【００２１】
（ａ）サンプル
１２μｍ銅箔が貼られたロール片面銅張り積層板（パッケージ基板向けパターンＳ４０５Ｊ００）を用い、（ライン／スペース＝５０μｍ／５０μｍ）を形成したマスクフィルムを使用し、露光〜回路形成〜検査まで実施した。
【００２２】
（ｂ）処理ライン
オーク社製自動露光機、東京加工機社製エッチングラインを用い、また、大日本スクリーン社製ＡＯＩ検査機ＰＩ−６４００を使用して検査した。
【００２３】
（ｃ）露光条件
ドライフィルム：旭化成製  ＡＱ２５７５使用  厚み２５μｍ
露光光量：７０ｍＪ  使用スペーサ高  １．０ｍｍ×２枚、
使用した透明なテープ片：積水ポリエステルテープ２０リソグラフィック用透明タイプ（実厚３０μｍ、幅１７ｍｍ）
（ｄ）エッチング条件
現像：スプレー圧力０．１７ＭＰａ、温度設定４０℃  スピード３．５ｍ／ｍｉｎ  炭酸ナトリウム  １０ｇ／Ｌ
エッチング：スプレー圧力０．〜０．０５ＭＰａ  温度設定４３℃  スピード３．５ｍ／ｍｉｎ
剥離：スプレー圧力０．１ＭＰａ  温度設定５０℃  スピード３．５ｍ／ｍｉｎ  水酸化ナトリウム  ３０ｇ／Ｌ
（ｅ）実施条件
図２に示した下記内容で露光を実施し露光ボケによるショートの発生個数を確認した。図中の黒線表示は透明なテープ片のマスクフィルムへの貼着位置を示している。
１．  マスクフィルムへテープ貼り付け無し
２．  マスクフィルムへテープ貼り付け有り（流れ方向一本  幅方向２本）
３．  マスクフィルムへテープ貼り付け有り（斜め方向２本）
４．  マスクフィルムへテープ貼り付け有り（中心部より放射状６本）
５．  マスクフィルムへテープ貼り付け有り（格子状６本）
その結果、ショート発生個数は、次の表１に示したとおりとなった。被験総数２３０シート当りのショート発生シート数として結果を示している。この表１の結果より、露光時のマスクフィルムへの透明テープ片の貼り付けを実施することにより、露光ボケによるショート不良が大幅に低減できることが確認された。
【００２４】
【表１】
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【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】露光ガラス焼き枠とエア抜き溝について示した平面概要図である。
【図２】実施例での透明テープ片（黒線表示）の貼着位置を示した平面概要図である。
【図１】
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【図２】
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