(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータと、
前記モータの回転軸の回転運動を直線運動に変換する運動変換機構と、
前記運動変換機構により直線運動を行う移動体と、
前記モータの制御を行うモータ制御回路と、
前記モータ制御回路を制御する制御プログラムを記憶したメモリと
を備え、
前記移動体には一体移動するように被検出部が設けられ、電動アクチュエータ本体には前記被検出部を検出する位置検出器の取付け部が設けられ、
前記制御プログラムは、前記モータを制御する制御モードとして、流体圧シリンダが電磁弁で制御される場合に対応した動作モードで制御する流体圧シリンダ対応モードを有しており、該流体圧シリンダ対応モードとしては、搬送モード及び押付けモードと、前記搬送モード及び押付けモードにおいて流体圧シリンダが２位置シングルソレノイド弁、２位置ダブルソレノイド弁、３位置ダブルソレノイド弁の３種類の電磁弁で制御される場合にそれぞれ対応した動作モードで制御する６種類の流体圧シリンダ対応モードを前記制御プログラムは有しており、
前記モータ制御回路は、前記６種類の流体圧シリンダ対応モードから選択されたいずれかの制御モードで前記取付け部に取り付けられた位置検出器の検出信号に基づき前記移動体の動作と停止を制御することを特徴とする電動アクチュエータ。
【請求項２】
前記モータ制御回路は、前記モータを搬送モードで制御する際の前記移動体の移動速度、加速度及び目標移動距離と、前記モータを押し付けモードで制御する際のトルク、トルク低減開始位置及び目標移動距離とを設定変更可能に構成されている請求項１に記載の電動アクチュエータ。
【請求項３】
前記モータの回転軸の回転を検出する回転検出器をさらに備え、前記制御プログラムは前記モータを上位指令装置からの指令信号及び前記回転検出器の検出信号に基づいて制御するモータ対応モードを有しており、前記モータ制御回路は、前記流体圧シリンダ対応モード及び前記モータ対応モードの中から選択された制御モードで前記モータを制御する請求項１又は２に記載の電動アクチュエータ。
【請求項４】
前記移動体が流体の流れを遮断する状態と許容する状態とに制御する制御弁に組み込まれており、前記モータ制御回路は、前記制御弁の開閉速度を変更可能に制御する請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
【請求項５】
前記移動体が流体の流量又は圧力を制御する制御弁に組み込まれている請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電動アクチュエータに係り、詳しくは自動機を構成する流体圧シリンダに代替して使用可能な電動アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
工作機械や包装装置等の自動機では、物体を移動させたり物体に押圧力を加えて保持したり（押し付けたり）する手段として空圧シリンダが多く使用されている。ところが、空圧シリンダの駆動源となる圧縮空気を作り出すコンプレッサの効率が悪くトータルのエネルギー使用量で比較すると、駆動源として電力を使用する方が、エネルギー消費が少なくなる。そのため、空圧シリンダに代えて電動モータの回転運動を直線運動に変換して出力軸が往復直線運動を行うように構成された電動アクチュエータも使用されている。
【０００３】
電動アクチュエータは、モータ（出力軸）の回転をロータリエンコーダで検出し、ロータリエンコーダの検出信号から出力軸の移動量、移動速度を確認することができる。そのため、ロータリエンコーダの検出信号を用いてフィードバック制御を行うことができる。そして、電動アクチュエータは空圧シリンダに比較して出力軸の移動量や速度制御の自由度が高い。しかし、制御方法はモータの回転量や回転速度をフィードバック制御することで行われるため、電磁弁を用いてそのオン・オフ制御でピストンロッドの移動量を調整する空圧シリンダの制御方法と異なっている。そのため、空圧シリンダに代えて電動アクチュエータを使用する場合は、空圧シリンダと異なる制御方法が必要となる。
【０００４】
従来、モータ回転位置検出用エンコーダと、上位の指令装置からの指令によりモータを閉ループ制御するモータ制御回路と、モータパワーをコントロールするモータドライブ回路を一体的に搭載したモータと、前記モータの出力軸の回転運動を直線運動に変換する運動変換機構から成るリニアアクチュエータが提案されている（特許文献１参照）。モータの所定動作として、リニアアクチュエータの位置決め動作、エンドエフェクタの速度制御動作、エンドエフェクタの推力制御動作あるいはこれらの組み合わせがある。そして、モータ制御回路は、パーソナルコンピュータ（以下、この明細書ではＰＣと省略する。）やプログラマブルロジックコントローラ（以下、この明細書ではＰＬＣと省略する。）等の上位指令装置からの指令により、単発動作指令又は予め教示記憶された指令を実行することができるとされている。
【特許文献１】特開２０００−９２８１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載のリニアアクチュエータは、上位指令装置からの指令に基づき、単発動作指令又は予め教示された指令を実行することができる。しかし、空圧シリンダを制御する場合には、動作パターンにより、２位置シングルソレノイド弁、２位置ダブルソレノイド弁、３位置ダブルソレノイド弁の３種類の電磁弁の使い分けが行われている。そして、上位指令装置からの指令信号が同じでも使用する電磁弁の種類によって空圧シリンダの動作が異なる。
【０００６】
例えば、２位置シングルソレノイド弁の場合は、上位指令装置からの入力が一つで、上位指令装置からのオン信号が入力されている間はピストンが原点位置（基準位置）から離れる側へ移動するように動作し、オン信号が入力されなくなると、原点位置へ復帰するように動作する。
【０００７】
また、２位置ダブルソレノイド弁及び３位置ダブルソレノイド弁の場合は、上位指令装置からの入力が二つ使用される。そして、２位置ダブルソレノイド弁では、ピストンが原点位置にいる状態で上位指令装置からの第１入力がオンになると、ピストンが原点位置（基準位置）から離れる側へ移動するように動作し、その後、第１入力がオフになってもその動作を継続する。そして、ピストントンが目的位置に到達した後、第２入力がオンになると、ピストンが原点位置へ向かって移動するように動作し、その後、第２入力がオフになってもその動作を継続する。即ち、ピストンは中間位置で停止しない。
【０００８】
一方、３位置ダブルソレノイド弁では、ピストンが原点位置にいる状態で上位指令装置からの第１入力がオンになると、ピストンが原点位置（基準位置）から離れる側へ移動するように動作し、第１入力がオフになるとピストンは移動を停止する。また、ピストンが原点位置から離れた位置にいる状態で上位指令装置からの第２入力がオンになると、ピストンが原点位置に向かって移動するように動作し、第２入力がオフになるとピストンは移動を停止する。即ち、ピストンは中間位置で停止する。
【０００９】
したがって、空圧シリンダの制御に使用していた制御回路をそのまま用いてリニアアクチュエータ（電動アクチュエータ）を制御するためには、リニアアクチュエータのモータ制御回路にそれらの電磁弁にそれぞれ対応して、予めプログラムを教示する必要があり、容易な置き換えができない。特許文献１には、空圧シリンダを制御するために使用される電磁弁の種類との関係に関しては配慮がなされていない。  
【００１０】
本発明は、前記の問題に鑑みてなされたものであって、その目的は流体圧シリンダに代替して使用する場合、上位指令装置の制御プログラムとして流体圧シリンダの制御用と同じ制御プログラムを使用することができる電動アクチュエータを提供することにある。また、流体圧シリンダの場合と同じ位置検出器を使用することができる電動アクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、モータと、前記モータの回転軸の回転運動を直線運動に変換する運動変換機構と、前記運動変換機構により直線運動を行う移動体と、前記モータの制御を行うモータ制御回路と、前記モータ制御回路を制御する制御プログラムを記憶したメモリとを備え、前記制御プログラムは、前記モータを制御する制御モードとして、流体圧シリンダが電磁弁で制御される場合に対応した動作モードで制御する流体圧シリンダ対応モードを有しており、前記モータ制御回路は、前記流体圧シリンダ対応モードで前記移動体の動作と停止を制御する。ここで、「移動体」とは、前記運動変換機構により駆動される出力軸や、前記運動変換機構がボールネジ機構の場合、ボールナットと一体に移動する物を意味する。
【００１２】
流体圧シリンダは、圧力流体の供給・排出を、電磁弁を介して行うため、同じ流体圧シリンダを使用する場合でも使用する電磁弁の種類や使用モード（搬送モード又は押付けモード）によって上位指令装置からの指令信号が異ったり、指令信号が同じでも動作が異なる。そのため、電動アクチュエータを流体圧シリンダの代わりに用いる場合は、その流体圧シリンダの制御に使用されていた電磁弁の種類と使用モードによって出力軸の移動動作、即ちモータの制御方法が異なる。この発明では、電動アクチュエータに装備されたモータ制御回路を制御する制御プログラムは、制御モードとして流体圧シリンダが電磁弁で制御される場合に対応した動作モードで制御する流体圧シリンダ対応モードを有しており、前記モータ制御回路は、前記流体圧シリンダ対応モードで前記移動体の動作と停止を制御する。したがって、流体圧シリンダで使用されていた使用モード及び電磁弁に対応するモードを選択して使用することにより、流体圧シリンダの制御に使用されていた上位指令装置の制御プログラムとして同じプログラムを使用することができ、従来の電動アクチュエータよりも容易な置き換えが可能となる。
【００１３】
また、請求項１に記載の発明において、前記移動体には一体移動するように被検出部が設けられ、電動アクチュエータ本体には前記被検出部を検出する位置検出器の取付け部が設けられている。この発明では、上位指令装置は電動アクチュエータに取り付けられた流体圧シリンダの場合と同じ位置検出器を使用して移動体の位置を検出することができる。
【００１４】
さらに、請求項１に記載の発明において、前記制御プログラムは、前記流体圧シリンダ対応モードとして、搬送モード及び押付けモードと、前記搬送モード及び押付けモードにおいて空圧シリンダが２位置シングルソレノイド弁、２位置ダブルソレノイド弁、３位置ダブルソレノイド弁の３種類の電磁弁で制御される場合にそれぞれ対応した動作モードで制御する６種類の流体圧シリンダ対応モードを有しており、前記モータ制御回路は、選択された制御モードで前記取付け部に取り付けられた位置検出器の検出信号に基づき前記移動体の動作と停止を制御する。この発明では、電動アクチュエータに装備されたモータ制御回路を制御する制御プログラムは、制御モードとして流体圧シリンダの使用モードと電磁弁の種類に対応した流体圧シリンダ対応モードとして６種類の制御モードを有する。したがって、流体圧シリンダで使用されていた使用モード及び電磁弁に対応するモードを選択して使用することにより、流体圧シリンダの制御に使用されていた上位指令装置の制御プログラムとして同じプログラムを使用することができ、従来の電動アクチュエータよりも容易な置き換えが可能となる。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記モータ制御回路は、前記モータを搬送モードで制御する際の前記移動体の移動速度、加速度及び目標移動距離と、前記モータを押し付けモードで制御する際のトルク、トルク低減開始位置及び目標移動距離とを設定変更可能に構成されている。流体圧シリンダでは、ピストンロッドの移動速度や加速度等を、スピードコントローラを設けて調整するが、この発明では、それらの調整をモータの制御条件を変更することにより容易に行うことができる。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、前記モータの回転軸の回転を検出する回転検出器をさらに備え、前記制御プログラムは前記モータを上位指令装置からの指令信号及び前記回転検出器の検出信号に基づいて制御するモータ対応モードを有しており、前記モータ制御回路は、前記流体圧シリンダ対応モード及び前記モータ対応モードの中から選択された制御モードで前記モータを制御する。したがって、この発明の電動アクチュエータは、流体圧シリンダと同じ制御モードの他に、従来の電動アクチュエータの制御モードと同じ制御モードでも制御が可能となり、電動アクチュエータの使用方法の自由度が高くなる。
【００１８】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の発明において、前記移動体が流体の流れを遮断する状態と許容する状態とに制御する制御弁に組み込まれており、前記モータ制御回路は、前記制御弁の開閉速度を変更可能に制御する。この発明では、流路の開閉、遮断を行うタイプの流体制御弁の開閉速度を調整することができる。
【００１９】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の発明において、前記移動体が流体の流量又は圧力を制御する制御弁に組み込まれている。この発明では、流量制御弁を電動アクチュエータで駆動することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、流体圧シリンダに代替して使用する場合、上位指令装置の制御プログラムとして流体圧シリンダの制御用と同じ制御プログラムを使用することができる。また、流体圧シリンダの場合と同じ位置検出器を使用することもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（第１の実施形態）
以下、本発明をガイドロッド付きの電動アクチュエータに具体化した第１の実施形態を図１〜図３にしたがって説明する。
【００２２】
以下の説明において、電動アクチュエータの「前」「後」「上」「下」「左」「右」は、図１（ａ）に示す矢印Ｙ１の方向を前後方向、矢印Ｙ２の方向を上下方向、図１（ｂ）に示す矢印Ｙ３の方向を左右方向とする。
【００２３】
図１（ａ）に示すように、電動アクチュエータ１１は、シリンダケース１２を備えている。シリンダケース１２は、外形が直方体状に形成されるとともに、その長手方向に沿って延びるように収容孔１３及び挿通孔１４が形成されている。収容孔１３の後端側にはヘッドカバー１５が固定され、前端側にはロッドカバー１６が固定されている。ロッドカバー１６はＣリング１６ａにより抜け止めされた状態で固定されている。
【００２４】
シリンダケース１２には収容孔１３の後端開口を覆うようにモータ取付け板１７がボルト１８（図１（ｂ）にのみ図示）により固定されている。モータ取付け板１７は、ヘッドカバー１５の抜け止め部材の役割も兼ねている。モータ取付け板１７の中央にはヘッドカバー１５に形成された孔１５ａと対応する孔が形成され、モータ１９は回転軸２０が孔を貫通して先端が孔１５ａ内に達する状態でモータ取付け板１７に取り付けられている。モータ１９には正逆回転可能なモータが使用されている。
【００２５】
ヘッドカバー１５には、回転軸２０の回転運動を直線運動に変換する運動変換機構としてのボールネジを構成するボールスクリュウ２１が、その基端部においてベアリング２２を介して回転可能に支持されている。ヘッドカバー１５には、ベアリング２２の外輪前端に当接するＣリング２３が固定され、ボールスクリュウ２１にはベアリング２２の内輪後端に当接するスペーサ２４及びＣリング２５が固定されている。ボールスクリュウ２１の基端はカップリング２６を介して回転軸２０に連結されている。ヘッドカバー１５の前端にはクッション部材２７が、その一部がヘッドカバー１５の前端面から突出する状態で固定されている。クッション部材２７は例えばゴムリングで形成されている。
【００２６】
運動変換機構としてのボールネジを構成するボールナット２８には、ロッドカバー１６を貫通する状態で移動体としての出力軸２９が固定されている。出力軸２９は円筒状に形成されるとともに、ボールスクリュウ２１の外径より大径の孔の後端側でボールナット２８の前側に嵌合固着されている。出力軸２９の前端には、エンドプレート３０がその一端寄りにおいて取付けボルト３１により固定されている。エンドプレート３０の他端寄りには、ガイドロッド３２が挿通孔１４に挿通された状態で取付けボルト３３により固定されている。ガイドロッド３２は挿通孔１４内を前後方向に移動可能にブッシュ３４により支承され、エンドプレート３０が出力軸２９と一体回転するのを規制する。そのため、モータ１９によりボールスクリュウ２１が回転されると、ボールナット２８と共に出力軸２９が直線移動するようになっている。ロッドカバー１６の後端にはクッション部材１６ｂが、ロッドカバー１６の後端面から突出する状態で固定されている。クッション部材１６ｂは例えばゴムリングで形成されている。
【００２７】
出力軸２９の基端にはリング部材３５が嵌合されるとともに、リング部材３５はボールナット２８の基端に形成されたフランジ部２８ａに取付けねじ３６を介して固定されている。リング部材３５の外周面に形成された環状の溝部には被検出部としての永久磁石Ｍ及びウェアリング３５ａが嵌合固定されている。即ち、被検出部としての永久磁石Ｍは出力軸２９と一体移動するように設けられている。リング部材３５の外径は収容孔１３の径より小さく形成され、ウェアリング３５ａのみが収容孔１３と摺接する状態で移動可能になっている。
【００２８】
図１（ｂ）に示すように、電動アクチュエータ本体としてのシリンダケース１２の左右両側の側面１２ａ，１２ｂには、永久磁石Ｍを検出する位置検出器３７の取付け部としての装着溝３８が一対ずつ形成されている。装着溝３８は、シリンダケース１２の前後方向に延びるように、即ちボールスクリュウ２１と平行に延びるように形成されている。装着溝３８には、位置検出器３７が装着される（取り付けられる）ようになっている。位置検出器３７は、出力軸２９と共に移動する永久磁石Ｍを検出することにより、出力軸２９の位置を検出するようになっている。位置検出器３７としては、例えば、空圧シリンダ、油圧シリンダ等の流体圧シリンダにおいてピストン位置の検出のために使用され、磁気センサを備えた位置検出装置（位置検出スイッチ）が使用される。なお、図１（ａ）に示すように、シリンダケース１２には電動アクチュエータ１１を自動機に固定するためのねじ穴１２ｃが形成されている。
【００２９】
モータ１９の後端にはモータ制御部３９が取り付けられている。モータ制御部３９には、制御基板４０及びモータ１９の回転軸２０の回転を検出する回転検出器としてのロータリエンコーダ４１が設けられている。また、モータ１９には温度センサ１９ａ（図２に図示）が設けられている。
【００３０】
図２に示すように、制御基板４０にはモータ駆動回路４２と、モータ駆動回路４２を制御するためのマイクロプロセッサＭＰを含むモータ制御回路４３と、制御プログラムを記憶したメモリ４４とが搭載されている。マイクロプロセッサＭＰは、ＰＣやＰＬＣ等の上位指令装置４５からの指令信号及びロータリエンコーダ４１の検出信号に基づいてモータ駆動回路４２を介してモータ１９の制御を行う。
【００３１】
上位指令装置４５は、電動アクチュエータ１１に取り付けられた１個の位置検出器３７の検出信号により出力軸２９が原点位置（基準位置）に位置することを検出（確認）し、ロータリエンコーダ４１の出力信号に基づいて出力軸２９の基準位置からの移動量を演算して、マイクロプロセッサＭＰに指令信号を出力するようになっている。
【００３２】
詳述すると、上位指令装置４５は、位置検出器３７の検出信号に基づいて出力軸２９の原点位置を確認し、ロータリエンコーダ４１の出力信号に基づいて出力軸２９の原点位置からの移動量を演算する。そして、出力軸２９の位置に基づいて、空圧シリンダの制御時と同様な指令信号をマイクロプロセッサＭＰに出力する。また、上位指令装置４５は、モータ１９が過熱状態になるのを防止するため温度センサ１９ａの出力を入力するとともに、その検出温度が予め設定された温度以上になると、異常と判断して、マイクロプロセッサＭＰに非常停止指令を出力する。
【００３３】
前記制御プログラムは、モータ１９を制御する制御モードとして、流体圧シリンダ対応モード（この実施形態では空圧シリンダ対応モード）及びモータ対応モードを有している。流体圧シリンダ対応モードとは、流体圧シリンダを電磁弁を介して制御する場合の動作と対応する動作を、上位指令装置４５からの指令に基づいて電動アクチュエータ１１に行わせる制御モードであり、物品を所定位置まで移動させる搬送モードと、物品を所定の力で押圧する押付けモードとがある。そして、搬送モード及び押付けモードにおいて、流体圧シリンダが２位置シングルソレノイド弁、２位置ダブルソレノイド弁、３位置ダブルソレノイド弁の３種類の電磁弁で制御される場合にそれぞれ対応した動作を行わせるように制御する合計６種類の流体圧シリンダ対応モードがある。また、モータ対応モードとは、一般の電動アクチュエータの制御と同様にプログラムされた一連の動作をロータリエンコーダ４１の検出信号に基づいて自立的に実行可能な制御モードであり、上位指令装置４５からの指令に基づきその実行を開始する制御モードである。
【００３４】
電動アクチュエータ１１は複数の入力端子と複数の出力端子を備えており、この実施形態では流体圧シリンダ用モードで制御を行う際に上位指令装置４５からの指令信号を入力するための３つの入力（入力１、入力２、入力３）に加えて、非常停止及び原点復帰用の２つの入力（入力４、入力５）が入力可能に構成されている。また、ロータリエンコーダ４１の出力信号及びモータ異常のアラーム信号を上位指令装置４５に出力する出力端子を備えている。流体圧シリンダ対応モードにおける相当する電磁弁と、上位指令装置４５からの入力信号の役割（指示内容）との関係を表１に示す。
【００３５】
【表１】
0004533928.tif 000002
表１に示すように、２位置シングルソレノイド弁対応の制御モードの場合は、マイクロプロセッサＭＰには入力１、入力３、入力４、入力５の４種の入力が上位指令装置４５から出力されて、出力軸２９の前進、後退、停止、非常停止、原点復帰動作が行われる。２位置ダブルソレノイド弁及び３位置ダブルソレノイド弁対応の制御モードの場合は、マイクロプロセッサＭＰには入力１、入力２、入力３、入力４、入力５の５種の入力が上位指令装置４５から出力されて、出力軸２９の前進、後退、停止、非常停止、原点復帰動作が行われる。なお、入力３は、出力軸２９が前進移動時に前進端に到達した際及び後退移動時に基端位置に到達した時に上位指令装置４５から出力される。
【００３６】
流体圧シリンダ対応モードの搬送モードにおけるマイクロプロセッサＭＰへの上位指令装置４５からの入力信号と、モータ１９への指令、モータ１９の動作、出力軸２９の動作の関係を表２及び表３に示す。
【００３７】
【表２】
0004533928.tif 000003
【００３８】
【表３】
0004533928.tif 000004
モータ制御回路４３は、モータ１９をいずれの制御モードで制御するかを、ティーチングボックス又はＰＣにより設定可能に構成されている。また、モータ制御回路４３は、モータ１９を搬送モード及び押付けモードで制御する際に必要な制御条件をティーチングボックス又はＰＣにより設定変更可能に構成されている。制御条件としては、搬送モードにおける出力軸２９の突出側（前進側）への移動速度、突出側への加速度、没入側（後退側）への移動速度、没入側への加速度及び目標移動距離と、押付けモードで制御する際のトルク（推力）、トルク低減開始位置及び目標移動距離とがある。目標移動距離とは電動アクチュエータ１１を使用する際における、出力軸２９の原点位置から前進端までの移動距離を意味する。
【００３９】
また、電動アクチュエータ１１を押付けモードで使用する場合、モータ１９は出力軸２９が目標位置に達してエンドプレート３０が押圧すべき物体に当接した状態においても正転動作を継続することで物体に押圧力を付与する。その際、出力軸２９の移動開始時と同じトルク（出力）でモータ１９の運転を継続すると、モータ１９の温度上昇が大きくなって過熱する事態となる。トルク低減開始位置とは、モータ１９の過熱を避けるため、モータ１９の出力を移動開始時より下げて、トルクの低減を開始する位置を意味する。
【００４０】
上位指令装置４５は、押付けモードの場合、出力軸２９がトルク低減開始位置に到達したことをロータリエンコーダ４１の出力信号に基づいて確認すると、入力３にオン信号を出力する。そして、マイクロプロセッサＭＰは、押付けモードの際には、出力軸２９の前進動作時に入力３がオンになると、トルク及び出力を低減させた状態でモータ１９を駆動する。即ち、入力３の役割は搬送モード時と、押付けモード時とで異なり、搬送モード時には入力３のオン信号が停止指令の役割を果たし、押付けモード時には入力３のオン信号がトルク低減指令の役割を果たす。
【００４１】
次に前記のように構成された電動アクチュエータ１１を自動機に組み付けて使用する場合の作用を説明する。作業者は電動アクチュエータ１１を自動機の所定位置に組み付けた後、電動アクチュエータ１１の使用目的に応じてマイクロプロセッサＭＰがモータ１９を制御するのに必要な制御モードの選択及び選択された制御モードを実行するのに必要なパラメータの設定、位置検出器３７の取付け等を行う。
【００４２】
詳述すると、作業者は、図３に示すフローチャートの手順にしたがって電動アクチュエータ１１を使用する準備作業等を行う。作業者は、先ずステップＳ１において電動アクチュエータ１１を流体圧シリンダの代替として使用するのか否かを判断する。流体圧シリンダの代替として使用する場合はステップＳ２に進み、流体圧シリンダの代替ではなく通常の電動アクチュエータと同様な使用の場合はステップＳ３に進む。
【００４３】
ステップＳ２において作業者は６種類の流体圧シリンダ対応モードの中から適切な制御モードを選択した後、ステップＳ４に進み、選択された制御モードを実行するのに必要なパラメータの設定を行う。制御モードの選択及びパラメータの設定は、モータ制御部３９にＰＣ又はティーチングボックスを接続して行う。次に、ステップＳ５に進み、出力軸２９が原点位置に存在する状態で、位置検出器３７が永久磁石Ｍを検出するように、位置検出器３７を装着溝３８に取り付ける。そして、ステップＳ６に進み、電動アクチュエータ１１を駆動電源及び上位指令装置４５に接続することで全ての準備作業が完了する。
【００４４】
電動アクチュエータ１１を通常の電動アクチュエータと同様に使用する場合は、ステップＳ３において作業者はモータ対応モードを選択した後、ステップＳ６に進む。即ち、電動アクチュエータ１１を通常の電動アクチュエータと同様に使用する場合は、作業者は、マイクロプロセッサＭＰによる制御モードをモータ対応モードに設定する操作を行うだけで、流体圧シリンダ対応モードを選択した場合と異なり、パラメータの設定操作や位置検出器３７の取り付け作業を行う必要はない。
【００４５】
モータ対応モードが選択された電動アクチュエータ１１は、上位指令装置４５からの駆動指令信号を入力すると、マイクロプロセッサＭＰが制御プログラムにしたがって一連の動作を自律的に実行する。この時、マイクロプロセッサＭＰはロータリエンコーダ４１の出力信号から出力軸２９の位置を演算し、制御プログラムにしたがってモータ１９を制御して出力軸２９を所定の位置まで移動させる。
【００４６】
流体圧シリンダ対応モードが選択された電動アクチュエータ１１は、上位指令装置４５からの駆動指令信号を入力すると、マイクロプロセッサＭＰが選択された制御モードの制御プログラムにしたがってモータ１９を制御する。マイクロプロセッサＭＰには上位指令装置４５から入力１〜入力５の５種類の入力信号が入力可能で、マイクロプロセッサＭＰは入力信号によって、モータ１９を出力軸２９が表２及び表３のうち、選択されたモードに対応する動作を行うように制御する。
【００４７】
先ず搬送モードの場合について説明すると、２位置シングルソレノイド弁対応モードでは、入力１、入力３、入力４及び入力５の４種類が入力される。そして、入力１がオンになるとモータ１９は正転動作を開始し、入力１がオンの間、出力軸２９は前進動作を行う。出力軸２９が前進端に達すると入力３のオン信号が入力されてモータ１９の回転が停止され、出力軸２９の移動が停止する。次に入力３がオフになるとともに入力１がオフになると、モータ１９は逆転動作を開始し、出力軸２９は入力１がオフの間、後退動作を行う。そして、出力軸２９が原点位置に達すると、入力３がオンになり、モータ１９は回転を停止し、出力軸２９は移動を停止する。
【００４８】
また、モータ１９の回転中に、入力４、即ち非常停止信号がオンになるとモータ１９は回転を停止し、出力軸２９は移動を停止する。入力４がオフになると、入力１がオン時にはモータ１９は正転動作を開始し、出力軸２９は前進を開始する。入力４がオフになった時、入力１がオフであれば、モータ１９は逆転動作を開始し、出力軸２９は後退を開始する。また、入力５、即ち原点復帰指令信号がオンになると、モータ１９は逆転開始後、原点位置で回転停止し、出力軸２９は入力５がオンになった時の位置に拘わらず原点位置まで移動して停止する。
【００４９】
２位置ダブルソレノイド弁対応モードでは、入力１〜入力５の５種類が入力される。入力１及び入力２はパルス信号として入力され、入力１がオンになると、その立ち上がりでモータ１９は正転動作を開始し、出力軸２９は前進動作を行う。入力１がオフになってもモータ１９は正転を継続し、出力軸２９も前進動作を継続する。出力軸２９が前進端に達すると入力３のオン信号が入力されてモータ１９の回転が停止され、出力軸２９の移動が停止する。次に入力３がオフになるとともに入力２がオンになると、その立ち上がりでモータ１９は逆転動作を開始し、出力軸２９は後退動作を行う。入力２がオフになってもモータ１９は逆転を継続し、出力軸２９も後退動作を継続する。そして、出力軸２９が原点位置に達すると、入力３がオンになり、モータ１９は回転を停止し、出力軸２９は移動を停止する。
【００５０】
また、モータ１９の回転中に、入力４、即ち非常停止信号がオンになるとモータ１９は回転を停止し、出力軸２９も動作を停止する。入力４がオフになると、入力１がオンであればモータ１９は正転動作を開始し、出力軸２９は前進動作を行う。入力４がオフになった時、入力２がオンであれば、モータ１９は逆転動作を開始し、出力軸２９は後退動作を行う。また、入力４がオフになった時、入力１及び入力２がオフであれば、モータ１９は回転停止を維持し、出力軸２９も動作停止を継続する。また、入力５、即ち原点復帰指令信号がオンになると、モータ１９は逆転開始後、原点位置で回転停止し、出力軸２９は入力５がオンになった時の位置に拘わらず原点位置まで移動して停止する。
【００５１】
３位置ダブルソレノイド弁対応モードでは、入力１〜入力５の５種類が入力される。入力１がオンになると、モータ１９は正転動作を開始し、出力軸２９は前進動作を行う。入力１がオフになると、モータ１９は回転を停止し、出力軸２９も動作を停止する。出力軸２９が前進端に達すると入力３のオン信号が入力されてモータ１９の回転が停止され、出力軸２９の移動が停止する。次に入力１及び入力３がオフになるとともに入力２がオンになると、モータ１９は逆転動作を開始し、出力軸２９は後退動作を行う。入力２がオフになると、モータ１９は回転を停止し、出力軸２９も動作を停止する。出力軸２９が原点位置に達すると入力３のオン信号が入力されてモータ１９の回転が停止され、出力軸２９の移動が停止する。
【００５２】
また、入力４、即ち非常停止信号がオンになるとモータ１９は回転を停止し、出力軸２９も動作を停止する。入力４がオフになると、入力１がオンであればモータ１９は正転動作を開始し、出力軸２９は前進動作を行う。入力４がオフになった時、入力２がオンであれば、モータ１９は逆転動作を開始し、出力軸２９は後退動作を行う。また、入力４がオフになった時、入力１及び入力２がオフであれば、モータ１９は回転停止を維持し、出力軸２９も動作停止を継続する。また、入力５、即ち原点復帰指令信号がオンになると、モータ１９は逆転開始後、原点位置で回転停止し、出力軸２９は入力５がオンになった時の位置に拘わらず原点位置まで移動して停止する。
【００５３】
一方、押付けモードの場合は、搬送モードにおける出力軸２９の前進移動時に、出力軸２９がトルク低減位置に到達した時点から、モータ１９のトルクが予め設定された割合低減するよう制御される。そして、出力軸２９が前進端に達した後もモータ１９の駆動が継続され、エンドプレート３０が押付け動作を行う。
【００５４】
そして、２位置シングルソレノイド弁対応モードでは、押付け状態において入力１がオフになると、モータ１９が逆転動作を開始して、出力軸２９が後退してエンドプレート３０による押圧動作が解除される。
【００５５】
２位置ダブルソレノイド弁対応モードでは、押付け状態において入力２がオンになると、モータ１９が逆転動作を開始し、その後、入力２がオフになってもモータ１９の逆転動作が継続される。したがって、出力軸２９が後退してエンドプレート３０による押圧動作が解除された後、出力軸２９は原位置まで後退する。
【００５６】
また、３位置ダブルソレノイド弁対応モードでは、押付け状態において入力２がオンになると、モータ１９が逆転動作を開始し、出力軸２９が後退してエンドプレート３０による押圧動作が解除される。
【００５７】
この実施形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
（１）電動アクチュエータ１１は、モータ１９の回転軸２０の回転運動を出力軸２９の直線運動に変換する運動変換機構（ボールねじ）と、出力軸２９と一体移動する被検出部（永久磁石Ｍ）を検出する位置検出器３７の検出信号と、上位指令装置４５からの指令に基づいてモータ１９の制御を行うモータ制御部３９を備えている。モータ制御部３９はモータを制御する制御プログラムを記憶したメモリ４４を備えている。制御プログラムは、モータ１９を制御する制御モードとして、流体圧シリンダが電磁弁で制御される場合に対応した動作モードで制御する流体圧力シリンダ対応モードを有しており、モータ制御回路４３は、流体圧シリンダ対応モードで出力軸２９の動作と停止を制御する。したがって、電動アクチュエータ１１を流体圧シリンダ制御用のプログラムを備えた上位指令装置４５に接続して、使用することにより、流体圧シリンダの制御に使用されていた上位指令装置４５の制御プログラムを使用して電動アクチュエータ１１を制御することができる。そのため、従来の電動アクチュエータよりも流体圧シリンダとの容易な置き換えが可能となる。また、モータの制御を熟知していない人でも十分取り扱いが可能となり得る。
【００５８】
（２）制御プログラムは、流体圧シリンダ対応モードとして、搬送モード及び押付けモードにおいて流体圧シリンダが２位置シングルソレノイド弁、２位置ダブルソレノイド弁、３位置ダブルソレノイド弁の３種類の電磁弁で制御される場合にそれぞれ対応した動作モードで制御する６種類の流体圧シリンダ対応モードを有している。そして、選択された制御モードでモータ１９が制御される。したがって、流体圧シリンダ対応モードの中から所望の制御モードを選択して使用することにより、流体圧シリンダの制御に使用されていた上位指令装置４５の制御プログラムを使用して電動アクチュエータ１１を制御することができる。そのため、従来の電動アクチュエータよりも流体圧シリンダとの容易な置き換えが可能となる。また、モータの制御を熟知していない人でも十分取り扱いが可能となり得る。
【００５９】
（３）シリンダケース１２の側面１２ａ，１２ｂに、出力軸２９と一体移動する被検出部（永久磁石Ｍ）を検出する位置検出器３７の取付け部（装着溝３８）を備えている。したがって、流体圧シリンダで使用するものと同じ位置検出器３７を同じ取付け方法で所定の位置に取り付けることができる。そのため、位置検出器の仕様変更が不要で設置工数や予備品の削減が可能となる。また、上位指令装置４５の種類や電動アクチュエータ１１の使用環境に合わせて位置検出器３７の構造や出力タイプの選択が可能であり、位置検出器３７の故障時に位置検出器３７のみの交換も可能である。これに対して、出力軸２９の位置検出をロータリエンコーダのみで行う従来の電動アクチュエータでは、出力形態が限定されるとともに故障時にロータリエンコーダのみの交換が難しい。
【００６０】
（４）電動アクチュエータ１１は、モータ１９の回転軸２０の回転を検出する回転検出器（ロータリエンコーダ４１）を備え、制御プログラムはモータ１９を上位指令装置４５からの指令信号及びロータリエンコーダ４１の検出信号に基づいて制御するモータ対応モードを有している。そして、流体圧シリンダ対応モード及びモータ対応モードの中から選択された制御モードでモータ１９が制御される。したがって、電動アクチュエータ１１は、流体圧シリンダと同じ制御モードの他に、従来の電動アクチュエータの制御モードでも制御が可能となり、電動アクチュエータ１１の動作の自由度が高くなる。
【００６１】
（５）上位指令装置４５は、モータ１９に設けられた温度センサ１９ａの検出信号によりモータ１９の温度が予め設定された所定温度以上になると、マイクロプロセッサＭＰに非常停止指令を出力する。したがって、電動アクチュエータ１１が異常状態で駆動を継続してモータ１９が過熱することを回避することができる。
【００６２】
（６）マイクロプロセッサＭＰは、モータ１９を搬送モードで制御する際の出力軸２９の突出側への移動速度、突出側への加速度、没入側への移動速度、没入側への加速度及び目標移動距離と、モータ１９を押付けモードで制御する際の推力（トルク）、トルク低減位置及び目標移動距離とを設定変更可能に構成されている。したがって、流体圧シリンダにおいてはスピードコントローラを設けて調整していたピストンロッドの移動速度や加速度等に対応する出力軸２９のそれらの調整をモータ１９の制御条件を変更することにより容易に行うことができる。
【００６３】
（７）電動アクチュエータ１１はガイドロッド３２を備えているため、出力軸２９をがたつきが抑制された状態で往復移動させることができるとともに、出力軸２９が固定されたボールナット２８の回り止め部の役割を兼用することができ、専用の回り止め部を設ける必要がない。
【００６４】
（８）上位指令装置４５は、電動アクチュエータ１１が流体圧シリンダ対応モードで制御される場合でも、ロータリエンコーダ４１の検出信号により出力軸２９が前進端に達したことを確認することができるため、位置検出器３７を原点位置確認用に１つ設けるだけでよい。
【００６５】
（９）流体圧シリンダを使用する際、制御弁の種類に拘わらずピストンロッドを現在の位置で非常停止させたいという要望や、非常停止後、原点位置に復帰させてからピストンロッドの作動を開始させたいという要望がある。電動アクチュエータ１１は、流体圧シリンダ対応モードで制御される場合、上位指令装置４５からの原点復帰指令を入力すると流体圧シリンダ対応モードに拘わらず、出力軸２９が原点位置に復帰するように制御される。したがって、流体圧シリンダの制御では使用する電磁弁によっては難しい原点復帰を容易に行うことができる。
【００６６】
（第２の実施形態）
次に第２の実施形態を図４にしたがって説明する。この実施形態では、電動アクチュエータ１１の出力部位が圧力制御弁に組み込まれている点が前記第１の実施形態と大きく異なっている。前記第１の実施形態と同様の部分は同じ番号を付して詳しい説明を省略する。
【００６７】
電動アクチュエータ１１は、電動アクチュエータ部４６と圧力制御弁部４７とを備え、電動アクチュエータ部４６を構成するシリンダケース１２は円筒状に形成されている。  ボールスクリュウ２１はシリンダケース１２の中心部に配置され、ボールナット２８の先端には有底筒状でフランジ部４８ａを有する移動体４８が固定され、フランジ部４８ａの外周面がシリンダケース１２の内周面に沿って回転方向には規制されて直線運動方向には摺動可能に設けられている。
【００６８】
圧力制御弁部４７の弁本体４９は、シリンダケース１２端部に固定されている。弁本体４９の内部には、流体としての空気が流通する流路５０が形成されている。流路５０の一端部としての前端部には弁本体４９の側面に開口する一次側ポート５１が形成され、流路５０の他端部としての後端部には弁本体４９の側面に開口する二次側ポート５２が形成されている。そして、一次側ポート５１には、一次側圧力の空気（流体）が入力され、二次側ポート５２には、二次側圧力の空気が出力されるようになっている。
【００６９】
また、弁本体４９には、流路５０の一部を構成し、一次側ポート（入力ポート）５１と二次側ポート（出力ポート）５２とを互いに連通させる第１の弁孔５３が形成されている。弁本体４９において、第１の弁孔５３の周囲には第１の弁座５４が形成されている。弁本体４９内の下部には、第１の室５５が設けられ、第１の室５５内には、第１の弁座５４に接離可能な第１弁体５６が設けられている。第１弁体５６は第１の室５５の第１の弁孔５３と反対側の開口を閉鎖する蓋体５７との間に介装されたコイルバネ５８により閉鎖側に付勢されている。第１弁体５６には、中央部を外れた位置に小さな孔５６ａが形成されている。
【００７０】
第１の室５５の上方には、第２の弁孔５９を介して流路５０と連通可能な第２の室６０が形成され、第２の室６０内には、第２の弁座６１が第２の弁孔５９の周囲に形成されるとともに、第２の弁座６１に接離可能な第２弁体６２が設けられている。第２弁体６２は第２の室６０の上部に設けられたストッパ６３との間に介装されたコイルバネ６４により閉鎖側に付勢されている。第２弁体６２には、中央部を外れた位置に小さな孔６２ａが形成されている。
【００７１】
第２の室６０の上側には第２の室６５が形成され、第２の室６５内にピストン６６が収容され、ピストン６６のピストンロッド６７は、第２弁体６２を貫通して流路５０内に挿通されている。第２の室６５は、図示しない排気ポートに連通されている。ピストンロッド６７は、ピストン６６が下降移動する際に第１弁体５６と係合して、第１弁体５６をコイルバネ５８の付勢力に抗して下降させることが可能な長さに形成されている。また、ピストンロッド６７には、第２弁体６２の下方に大径部６７ａが形成され、図４に示すように、第１弁体５６及び第２弁体６２が閉鎖位置にある状態において、大径部６７ａが第２弁体６２の下面に当接した状態に形成されている。
【００７２】
したがって、この電動アクチュエータ１１は、図４の状態からピストン６６が下降移動されるとピストン６６とともにピストンロッド６７が下降移動して、その先端が第１弁体５６と当接して第１弁体５６をコイルバネ５８の付勢力に抗して押し下げ、第１弁体５６が開放状態になる。この状態では、一次側ポート５１から供給される圧力空気が第１の弁孔５３を介して二次側ポート５２へ供給、二次側ポート５２から所定の箇所（機器）に供給される。
【００７３】
第１弁体５６の開放状態からピストン６６が上昇移動されると、ピストンロッド６７が同時に上昇移動され、第１弁体５６が閉鎖される。第１弁体５６の閉鎖状態よりピストン６６が上昇移動されて、大径部６７ａが第２弁体６２と係合した図４の状態になる。その状態よりピストン６６がさらに上昇移動されると、第２弁体６２が大径部６７ａに係合した状態でピストンロッド６７と共に上昇移動されて、第２弁体６２が開放状態になる。この状態では、二次側ポート５２内の圧力空気が排気ポートから大気に放出される。
【００７４】
第１弁体５６及び第２弁体６２の開度は、基準位置からのピストン６６の移動量によって決まる。また、第１弁体５６及び第２弁体６２の開閉速度は、ピストン６６の移動速度によって決まる。この実施形態では、モータ制御回路４３は、ロータリエンコーダ４１の出力信号によってピストン６６の移動量を検出して制御を行っている。
【００７５】
実施形態は前記に限定されるものではなく、例えば、次のように具体化してもよい。
○  上位指令装置４５は、モータ１９の温度が所定温度以上になったときに異常と判断して非常停止指令を出力する代わりに、出力軸２９の移動速度に基づいて異常の有無を判断してもよい。例えば、上位指令装置４５は、ロータリエンコーダ４１の出力信号に基づいて出力軸２９の位置を演算して、位置の時間変化から出力軸２９の移動速度を演算するとともに、設定された移動速度との差が予め設定された値より大きな場合は異常と判断して、マイクロプロセッサＭＰに非常停止指令を出力するようにしてもよい。この場合も電動アクチュエータ１１が異常状態で長時間駆動を継続することを回避することができる。
【００７６】
○  モータ１９を流体圧シリンダ対応モードで制御する場合に、上位指令装置４５はロータリエンコーダ４１の出力信号に基づいて出力軸２９の移動速度を演算するとともに、移動速度の値から異常の有無を判断する処理を行わない構成としてもよい。この場合、一般の流体圧シリンダと同様な制御のみ可能で、出力軸２９の移動速度に基づく異常判断に伴う非常停止は行われない。
【００７７】
○  ロータリエンコーダ４１を備えた構成においていて、モータ１９を流体圧シリンダ対応モードで制御する場合、位置検出器３７を取り付けずに、上位指令装置４５は、ロータリエンコーダ４１の検出信号により出力軸２９の原点位置及び前進端位置を確認する構成としてもよい。
【００７８】
○  電動アクチュエータ１１にロータリエンコーダ４１を設けず、マイクロプロセッサＭＰはモータ１９を流体圧シリンダ対応モードでのみ制御可能で、モータ対応モードでの制御を行わない構成としてもよい。この場合は、出力軸２９の位置を示す信号は位置検出器３７からの検出信号のみとなるため、位置検出器３７は、出力軸２９の原点位置確認用及び前進端位置確認用に一つずつ取り付けて使用する必要がある。
【００７９】
○  電動アクチュエータ１１がロータリエンコーダ４１を備えている場合でも、原点位置及び前進端位置確認用にそれぞれ位置検出器３７を装着溝３８に取り付けて、位置検出器３７の検出信号で原点位置及び前進端位置を確認する構成としてもよい。
【００８０】
○  電動アクチュエータ１１にロータリエンコーダ４１を設けず、流体圧シリンダ対応モードでのみ制御可能な構成とした場合、上位指令装置４５は、出力軸２９の移動が開始された時点からの経過時間に基づいて異常の有無を判断して、非常停止信号を出力する構成としてもよい。例えば、出力軸２９の移動が開始された時点から所定時間経過までに出力軸２９が前進端（突出完了位置）あるいは原点位置に到達せず、対応する位置検出器３７から位置検出信号が出力されない場合に異常と判断してもよい。
【００８１】
○  電動アクチュエータ１１にロータリエンコーダ４１を設けない構成の場合は、上位指令装置４５は出力軸２９の移動の異常判断を行わない構成としてもよい。この場合、電動アクチュエータ１１の出力軸２９は、選択された流体圧シリンダ対応モードの流体圧シリンダのピストンロッドと同様に移動を行い、非常停止は行わない。
【００８２】
○  モータ１９を流体圧シリンダ対応モードで制御する場合、制御モードによっては原点復帰指令用の入力５に代えて他の入力を使用して出力軸２９に原点復帰を行わせる構成にしてもよい。例えば、２位置シングルソレノイド弁対応モードにおいて、上位指令装置４５は、出力軸２９の前進移動途中で原点復帰用の入力５をオンにする代わりに、入力１をオフにしてもよい。
【００８３】
○  モータ１９を流体圧シリンダ対応モードで制御する場合に出力軸２９の突出側への移動速度及び加速度、引き込み側への移動速度や加速度を設定変更可能に構成せずに、移動速度や加速度を予め設定された値から変更不能としてもよい。この場合、それらの値を設定する手間が不要になる。
【００８４】
○  位置検出器３７を取り付けるためにシリンダケース１２の側面１２ａ，１２ｂに形成される装着溝３８の数は２本ずつに限らず１本ずつ設けてもよい。この場合、位置検出器３７を２個必要とする場合は、１本の装着溝３８に２個の位置検出器３７を取り付ける。また、装着溝３８はいずれか一方の側面１２ａ，１２ｂにのみ形成してもよい。しかし、両側面１２ａ，１２ｂに装着溝３８が形成されている方が、電動アクチュエータ１１を自動機に組み付ける際の自由度が高くなる。
【００８５】
○  電動アクチュエータ１１はガイドロッド３２を備えないタイプに構成してもよい。その場合は、例えば、ボールナット２８のフランジ部２８ａの外周面にキー溝を形成し、シリンダケース１２の内面には前記キー溝と係合してボールナット２８の回転を規制するキーをボールスクリュウ２１と平行に固定する。
【００８６】
○  モータ１９は正逆回転可能であればよく、交流モータ及び直流モータのいずれであってもよい。
○  メモリ４４に、モータ１９を搬送モードで制御する際の出力軸２９の突出側への移動速度、突出側への加速度、没入側への移動速度、没入側への加速度の組み合わせと、モータ１９を押付けモードで制御する際の推力、推力低減位置の組み合わせとをそれぞれ複数組記憶させておく。そして、その中からそれらの値を選択して設定するようにしてもよい。この場合、それらの値を数値で設定する場合に比較して設定が容易になる。
【００８７】
○  運動変換機構としてボールネジ機構を用い、ボールナットと一体に移動するテーブルやブロックを移動体として用い、その移動体の移動を制御する電動アクチュエータに適用してもよい。
【００８８】
○  第２の実施形態のように、圧力制御弁部４７を備えた電動アクチュエータ１１において、圧力制御弁部４７を流量制御が可能な構成ではなく、第１弁体５６及び第２弁体６２が、全開と全閉の両状態で切り換えられ、開度調整が不能なタイプの制御弁としてもよい。
【００８９】
○  制御弁に前記電動アクチュエータが組み込まれる場合には、制御弁の出力部に圧力センサや流量センサを組み込み、そのセンサ出力をモータ制御信号としてフィードバックすることによって、制御弁の出力圧力や出力流量を高精度に制御する制御弁にも適用してもよい。
【００９０】
○  流体圧シリンダは空圧シリンダに限らず、空気以外の気体を使用するシリンダや、流体として気体ではなく液体を使用する、例えば油圧シリンダに適用してもよい。
以下の技術的思想（発明）は前記実施形態から把握できる。
【００９１】
（１）電動アクチュエータと、前記電動アクチュエータに取り付けられた位置検出器と、前記電動アクチュエータ及び前記位置検出器に電気的に接続された上位指令装置とを備え、前記上位指令装置は前記回転検出器の出力信号に基づいて電動アクチュエータの異常の有無を判断し、前記制御プログラムは、流体圧シリンダ対応モードで前記モータを制御する際、前記上位指令装置からの非常停止指令信号及び原点復帰指令信号に基づいて前記モータの非常停止及び前記出力軸を原点に復帰させるように前記モータを制御可能に構成されている電動アクチュエータ制御システム。
【００９２】
（２）電動アクチュエータと、流体圧シリンダ制御用の制御プログラムにより前記電動アクチュエータ１１に制御信号を出力する制御装置とを備えた電動アクチュエータ制御システム。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】第１の実施形態を示し、（ａ）は電動アクチュエータの側断面図、（ｂ）は背面図。
【図２】電動アクチュエータ、位置検出器及び上位指令装置との関係を示す模式図。
【図３】電動アクチュエータを使用する準備作業等の手順を示すフローチャート。
【図４】第２の実施形態における電動アクチュエータの側断面図。
【符号の説明】
【００９４】
Ｍ…被検出部としての永久磁石、１９…モータ、２０…回転軸、２１…運動変換機構を構成するボールスクリュウ、２８…同じくボールナット、２９…出力軸、３７…位置検出器、３８…取付け部としての装着溝、４１…回転検出器としてのロータリエンコーダ、４３…モータ制御回路、４４…メモリ、４５…上位指令装置、４８…移動体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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