(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定体と移動体の間にリニアモータを設け、移動体をリニアモータにより移動させるリニアモータによる駆動装置において、
移動体の移動方向に対して直角方向の断面形状が縦方向に伸びた中央部材、およびこの中央部材の側面上部において左右の両横方向に突出した一対のガイド、を有する略Ｔ字形状の固定体と、
この固定体の上部に跨った状態で前記一対のガイドに沿って移動するとともに、移動方向に対して直角方向の両端部にそれぞれ下方に突出し、かつ固定体の中央部材の側面に対峙した位置に１対の取付板を有する移動体と、
固定体の中央部材の両側面に取り付けたリニアモータ用の永久磁石と、
この両側面のそれぞれの永久磁石に対向して設けられ、この永久磁石とともにリニアモータを構成するためのコイルと、
固定体中央部および移動体中央部に設置され、移動体の位置を感知するため移動位置感知装置と、
を有して成ることを特徴とするリニアモータによる駆動装置。
【請求項２】
前記固定体のガイドには、移動体からの流体静圧軸受の圧力流体を作用させるとともに、
前記移動体には、駆動するための前記コイルを冷却するための冷却ジャケットを配置した、
ことを特徴とする請求項１記載のリニアモータによる駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は固定体に対しリニアモータにより移動体を移動させるるリニアモータによる駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種装置を図３により説明すると、移動体であるテーブル１が同テーブル１の移動方向（紙面に対し直角方向）に対し直角方向の断面形状が凹状で、その外側面の上部に横方向に夫々突出したガイド２および３を有する固定体であるベース４に前記ガイド２および３を抱込み、跨った状態で移動自在に取付けられている。テーブル１の中央下部にはコイル取付部材５が固着されており、リニアモータ用の冷却ジャケット６およびコイル７が取付けてある。
【０００３】
ベース４の凹形状の両内壁部Ａには永久磁石８がコイル７に対向して取付けてあり、テーブル１を移動させるためのリニアモータ９を形成している。また凹形状の両外壁部Ｂの内のいずれか１側およびテーブル１の間にはテーブル１の移動位置を感知するスケール１０および読取センサ１１からなる移動位置感知装置１２が設けてある。
【０００４】
ベース４に設けたガイド２および３には図４のように（ガイド２についてのみ説明する）テーブル１から流体静圧軸受の圧力流体が矢印ａ、ｂおよびc方向から作用し、テーブル１とガイド２の間の摩擦を無くしテーブル１が滑らかに移動可能にしている。
【０００５】
【発明が解決しょうとする課題】
しかしながら、凹形状のベース４は内部にリニアモータ９を有するためベース４の幅方向の寸法Wは大きくなり、その結果テーブル１の幅も大きくなり、大型化して中型以上の機械構造となり、価格が高く、機械の設置面積も大きくなって小形の機械構造には不向きとなってしまう。
更に図４に示すようにガイド２に矢印ｂおよびc方向からの流体静圧軸受の圧力流体が作用することによりテーブル１のガイド２を抱込んだ部分が鎖線で示すように変形し、ガイド２の案内面と接触してカジリを生じたりあるいはベース４の外側面と移動体の間に取付けた移動位置感知装置１２の精度に影響するという欠点があった。
【０００６】
本発明の目的は、従来の固定体であるベースが大形になり、小形の機械構造に不向きであるという欠点およびガイドに矢印ｂおよびc方向からの流体静圧軸受の圧力流体が作用させたとき、移動位置感知装置の精度に影響するという欠点を取除き、固定体の幅方向の寸法を小さくし、固定体を小形にするとともに、ガイドに矢印ｂおよびc方向からの流体静圧軸受の圧力流体が作用させても移動位置感知装置の精度に影響がないリニアモータによる駆動装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前述の目的を達成するため本発明は、固定体と移動体の間にリニアモータを設け、移動体をリニアモータにより移動させるリニアモータによる駆動装置において、移動体の移動方向に対して直角方向の断面形状が縦方向に伸びた中央部材、およびこの中央部材の側面上部において左右の両横方向に突出した一対のガイド、を有する略Ｔ字形状の固定体とこの固定体の上部に跨った状態で前記一対のガイドに沿って移動するとともに、移動方向に対して直角方向の両端部にそれぞれ下方に突出し、かつ固定体の中央部材の側面に対峙した位置に１対の取付板を有する移動体と、固定体の中央部材の両側面に取り付けたリニアモータ用の永久磁石と、この両側面のそれぞれの永久磁石に対向して設けられ、この永久磁石とともにリニアモータを構成するためのコイルと、固定体中央部および移動体中央部に設置され、移動体の位置を感知するため移動位置感知装置と、を有して成ることを特徴とするリニアモータによる駆動装置とした。
【０００８】
また、固定体のガイドには、移動体からの流体静圧軸受の圧力流体を作用させるとともに、移動体には、駆動するための前記コイルを冷却するための冷却ジャケットを配置した、リニアモータによる駆動装置とした。
【０００９】
これにより、従来の固定体が大形になり、小形の機械構造に不向きであるという欠点およびガイドに矢印ｂおよひc方向からの流体静圧軸受の圧力流体が作用しても移動位置感知装置の精度に影響がなくなった。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態を図１により説明する。
固定体２０は移動体の移動方向に対して直角方向の断面形状が縦方向に伸びた中央部材２１と同中央部材２１の２個の側面C上部において夫々横方向に突出したガイド２２および２３を有する略Ｔ字形をしている。移動体２４は固定体２０の上部に跨り、ガイド２２および２３を抱込んだ状体でガイド２２および２３に沿って移動するとともに、移動方向に対して直角方向の両端部に夫々下方に突出した固定体２０の中央部材２１の側面Cに対峙した１対の取付板２５、２６を有する。
【００１１】
取付板２５、２６は夫々固定体２０の中央部材２１の側面Cに対向する面には冷却ジャケット２７を介してコイル２８が取付けてあり、中央部材２１の側面Cに取付けた永久磁石２９により固定体２０と取付板２５、２６、即ち移動体２４の間にリニアモータ３０を形成している。ガイド２２および２３には夫々矢印ａ、ｂおよびc方向から流体静圧軸受の圧力流体が作用している。
また固定体２０中央部の移動体２４直下には移動体２４の位置を感知するためのセンサ３１を設けおよびセンサ３１と対峙した中央部材２１の上部にはスケール３２を設けて移動位置感知装置３３が構成されている。
【００１２】
本発明は以上説明したような構成となっており、固定体の外側面にリニアモータを取付けることにより、従来のリニアモータが固定体の内部にあり、固定体の幅寸法を大きくしていたという欠点が取除かれるとともに、図２に示すように矢印ｂおよびc方向からの流体静圧軸受の圧力流体が作用するため移動体のガイドを抱込む部材に変形も、リニアモータの永久磁石およびコイルによる吸引力により矢印Dのように相殺または減少させることが出来る。
また移動体の位置を感知するためのセンサも移動体中央部の直下に設けたので外部からの影響も少なく、コンパクトとなった。加えてリニアモータを固定体の外部に設けたためメンテナンスがし易く成ったばかりでなく、コイル冷却用ジャケットも大きく出来るため冷却効果も増加した。
【００１３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明においては、従来の固定体であるベースが大形になり、小形の機械構造に不向きであるという欠点およびガイドに矢印ｂおよびc方向からの流体静圧軸受の圧力流体が作用させたとき、移動位置感知装置の精度に影響するという欠点が取除かれ、固定体の幅方向の寸法を小さくし、固定体を小形にするとともに、ガイドに矢印ｂおよびc方向からの流体静圧軸受の圧力流体が作用させても移動位置感知装置の精度に影響がないリニアモータによる駆動装置とすることが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施形態例を示すリニアモータによる駆動装置の説明図である。
【図２】本発明の１実施形態例を示すリニアモータによる駆動装置の図で、ガイドに矢印ｂおよびc方向からの流体静圧軸受の圧力流体による移動体の変形を相殺または減少させるときの説明図である。
【図３】従来のリニアモータによる駆動装置の説明図である。
【図４】従来のリニアモータによる駆動装置の図で、ガイドに矢印ｂおよびc方向からの流体静圧軸受の圧力流体による移動体の変形を説明した図である。
【符号の説明】
２０  固定体
２１  中央部材
２２、２３  ガイド
２４  移動体
２５、２６  取付板
２７  冷却ジャケット
２８  コイル
２９  永久磁石
３０  リニアモータ
３１  センサ
３２  スケール
３３  移動位置感知装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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