(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
現像廃液から水酸化テトラアルキルアンモニウムを回収する電気透析装置であって、脱塩液室、濃縮液室、電極液室以外の別液室を陽極液室及び陰極液室の二電極液室の両方の隣に又は陽極液室の隣のみに配置し、該別液室に水酸化テトラアルキルアンモニウム含有水溶液を通す様に構成されていることを特徴とする現像廃液再生用電気透析装置。
【請求項２】
該水酸化テトラアルキルアンモニウム含有水溶液が、更にフォトレジストを含む水溶液であることを特徴とする請求項１に記載の現像廃液再生用電気透析装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体デバイス（ＬＳＩ等）、液晶表示板（ＬＣＤ）、カラーフィルター、プリント基板等の電子部品の製造等で発生する現像廃液の再生用電気透析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＳＩ、ＬＣＤ、プリント基板、カラーフィルター等の現像工程では、フォトレジストと呼ばれる感光性樹脂をウェハやガラス板等の基板上に塗り、例えば、現像パターンが描かれたマスクを介するなどして、フォトレジストを露光して光反応させ、現像液によりフォトレジストをエッチング（溶解）することで現像パターンを形成するフォトリソグラフィー法が用いられている。フォトレジストの種類としては露光された部分が現像液に可溶になる（エッチングされる）ポジ型フォトレジストや露光された部分が現像液に不溶になるネガ型フォトレジストがあり、前者の現像にはアルカリ現像液が主に用いられ、また、後者の現像にも少ないもののアルカリ現像液を用いるものがある。近年のＬＳＩ、ＬＣＤなどの電子産業分野ではメタル成分の混入を極めて嫌うため、かかるアルカリ現像液として水酸化テトラメチルアンモニウム（以下、時に「ＴＭＡＨ」と略称する）やコリン等の水酸化テトラアルキルアンモニウム（以下、時に「ＴＡＡＨ」と略称する）の水溶液（有機アルカリ水溶液）を用いるのが一般的である。従って、この場合、ＬＳＩ、ＬＣＤなどの電子産業分野の現像工程で生じる現像廃液には主にＴＡＡＨ（特にＴＭＡＨ）と溶解フォトレジストが含まれる。
【０００３】
近年、現像廃液に含まれるＴＡＡＨを再利用する為に濃縮回収する試みがなされており、その装置の一つとして電気透析装置も利用されている。電気透析の原理や利用法については、例えば、特開平７−３２８６４２号公報に記載されている。電気透析装置では、陰極と陽極の間にカチオン交換膜とアニオン交換膜が交互に並べられて複数のセルを構成している。アニオン交換膜を陰極に面した側に有するセルは濃縮液室として機能し、ここではＴＡＡＨが濃縮されて濃縮液となり、アニオン交換膜を陽極に面した側に有するセルは脱塩液室として機能し、ここではＴＡＡＨが減少して脱塩液となる。
【０００４】
電気透析装置の電極液室としては陽極と接する陽極液室と陰極と接する陰極液室があり、陽極液と陰極液を別々の電極液として陽極液室と陰極液室にそれぞれ通す場合（図１０参照）や、陽極液室と陰極液室の両電極液室に一つの共通電極液を通す場合がある（図１１参照）。
【０００５】
いずれの場合も、回収再生ＴＡＡＨ溶液となる濃縮液への不純物の混入を少なくする為に電極液（陽極液／陰極液）には現像廃液に含まれるＴＡＡＨと同種のＴＡＡＨの水溶液が使用されている。
【０００６】
電極液室の隣は、現像廃液を通す脱塩液室（ＴＡＡＨが減って脱塩廃液となる）、または、純水又はＴＡＡＨ水溶液を通す濃縮液室（ＴＡＡＨが増えて濃縮液となる）である。但し、特開平７−３２８６４２号公報、特開平１１−１９０９０７号公報、特開平１１−１９２４８１号公報等に開示される様に、場合によっては、上記ＴＡＡＨ水溶液として現像廃液やそのＴＡＡＨ含有処理液を用いることもある。電極液室からの不純物（電極材からの溶質物、電極反応による生成物、発生ガス等）の回収再生ＴＡＡＨ溶液への混入の影響を極力少なくする為に電極液室と濃縮液室とを離し、電極液室の隣を脱塩液室とすることがあるが（図１２と図１３のセルスタック構造参照）、これに限られる訳ではない（図１４と図１５のセルスタック構造参照）。
【０００７】
電気透析装置においては、電極液を循環して運転することが多く、この様な循環運転を続けていると電極液室を流れる電極液中の不純物量が増えてくる。特に電極液室の隣を濃縮液室とした場合は、濃縮液室を流れる濃縮液（回収再生ＴＡＡＨ溶液）に不純物が混入してくるので、定期的な電極液の交換が必要である。電極液室の隣を脱塩液室とした場合には、その程度を少なくできるものの脱塩液室を経由して濃縮液に不純物が混入してくるのでやはり定期的な電極液の交換が必要である。なお、電極液室はその構成により脱塩液室又は濃縮液室と同様に機能するので、電極液の成分（ＴＡＡＨ）濃度はその構成様式により、装置運転に伴って増減することがある。従って、導電率を所望の範囲内に保つ為に、成分濃度が上昇する時は純水で希釈したり、成分濃度が低下する時は電極液の成分（ＴＡＡＨ）を添加したりして電極液の成分濃度が或る範囲内になる様に、常時、定期又は不定期に調整することがある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
特に、ＴＡＡＨは陽極で酸化されて強いアミン臭を発する酸化分解生成物となり、これが主な不純物となるので、陽極液と陰極液を別々の電極液として用いる場合には特に陽極液室を流れる陽極液中では不純物が多くなり、一つの共通電極液を陽極液室と陰極液室とに通す場合にも該共通電極液中の不純物濃度は上昇する。上記酸化分解生成物の同定は未だできていないが、強い異臭がするので判別できる。
【０００９】
従って、本発明は、電極液の不純物量の増加に起因する濃縮液への不純物の混入を可及的に少なくすると共に、電極液循環使用の場合は、電極液の交換頻度の低減も可能な現像廃液再生用電気透析装置を提供せんとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、現像廃液から水酸化テトラアルキルアンモニウムを回収する電気透析装置であって、脱塩液室、濃縮液室、電極液室以外の別液室を陽極液室及び陰極液室の二電極液室の両方の隣に又は陽極液室の隣のみに配置し、該別液室に水酸化テトラアルキルアンモニウム含有水溶液を通す様に構成されていることを特徴とする現像廃液再生用電気透析装置を提供するものである。
【００１１】
現像廃液に含まれる主な一成分は現像液の成分であり、上述の様にＬＳＩ、ＬＣＤなどの電子産業では、この成分はＴＡＡＨであるのが通常である。かかるＴＡＡＨとしては、例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）、水酸化テトラエチルアンモニウム、水酸化テトラプロピルアンモニウム、水酸化テトラブチルアンモニウム、水酸化メチルトリエチルアンモニウム、水酸化トリメチルエチルアンモニウム、水酸化ジメチルジエチルアンモニウム、水酸化トリメチル（２−ヒドロキシエチル）アンモニウム（即ち、コリン）、水酸化トリエチル（２−ヒドロキシエチル）アンモニウム、水酸化ジメチルジ（２−ヒドロキシエチル）アンモニウム、水酸化ジエチルジ（２−ヒドロキシエチル）アンモニウム、水酸化メチルトリ（２−ヒドロキシエチル）アンモニウム、水酸化エチルトリ（２−ヒドロキシエチル）アンモニウム、水酸化テトラ（２−ヒドロキシエチル）アンモニウムなど（特にＴＭＡＨ）を挙げることができる。
【００１２】
現像廃液中のテトラアルキルアンモニウム（ＴＡＡ）イオン（ＴＡＡ＋）の対イオンは、水酸化物イオン（ＯＨ−）でＴＡＡＨとして含まれるのが通常であるが、現像液に或る程度の緩衝機能を持たせる場合や工場によっては現像廃液が他の排水と混合されたり中和される場合があるので、弗化物イオン、塩化物イオン、臭化物イオン、炭酸イオン、炭酸水素イオン、硫酸イオン、硫酸水素イオン、硝酸イオン、燐酸イオン、燐酸水素イオン、燐酸二水素イオン等の無機陰イオン、及び、蟻酸イオン、酢酸イオン、蓚酸イオン等の有機陰イオンから選ばれる少なくとも一種のイオンがＴＡＡイオンの対イオンの少なくとも一部となるのが一般的である。特に炭酸イオン、炭酸水素イオンは、空気中の炭酸ガスが現像廃液中に溶け込んで少量存在することが多い。しかし、本明細書では説明の簡略化のために現像廃液が「ＴＡＡＨ」を含有するものとして、また、ＴＭＡＨを用いる場合が多いので、これらを中心に説明する。また、現像廃液自体を直接的に本発明の電気透析装置に送液するケース以外に、逆浸透膜処理、蒸発処理、ナノフィルトレーション膜処理、イオン交換処理等の各種処理の少なくとも一つの処理を現像廃液に対して行って得られるＴＡＡＨ含有処理液（例えば、特開平１１−１９０９０７号公報、特開平１１−１９２４８１号公報、特開平１０−８５７４１号公報等参照）を本発明の電気透析装置に送液するケースもあり、このケースも間接的ではあるが電気透析装置を用いて現像廃液の再生を図るものであり、本発明の範囲に含まれるが、本明細書では説明の簡略化のために前者のケースを中心に説明する。
【００１３】
電気透析装置に使用されるイオン交換膜としては、カチオンとアニオンを選択的に分離できるものであれば特に限定されるものではなく、例えば、アシプレックス［旭化成工業（株）製］、セレミオン［旭硝子（株）製］、ネオセプタ［徳山曹達（株）製］、イオンクラッドＥＤＳメンブレン［ポール（株）製］、ナフィオン（デュポン社製）等を挙げることができる。また、イオン交換膜の特性も一般的なものでよい。
【００１４】
電気透析装置の一般的な構造は、特に限定されず、例えば、カチオン交換膜とアニオン交換膜とを、脱塩される液の流入孔及び流出孔、濃縮される液の流入孔及び流出孔が設けられているガスケットで適当な間隔を保って交互に複数積層して複数のセルのスタックを構成し、両端を一組の電極で挟んで構成すればよいが、本発明の電気透析装置では、別液室が設けられているのが特徴である。一組の電極間に入れる膜対の数は、特に限定されるものではないが、通常は１０〜１００である。ここで、「別液室」とは、これに通す液が電極液や濃縮液や脱塩液とは別扱いされることを意味し、従って、別液用の配管や水槽が電極液や濃縮液や脱塩液用とは別に用意される。
【００１５】
ここで、アニオン交換膜の代りに、耐アルカリ性がアニオン交換膜よりも優れるポリビニールアルコール系等の中性膜を用いてもよい。中性膜はイオン性官能基の無い単なる高分子膜であるが、これはＴＡＡイオンを通すもののその透過性はカチオン交換膜よりも低いので、両者間の輸率の差を利用してＴＡＡイオンの電気透析による濃縮を行うことができるのである。但し、中性膜をアニオン交換膜の代りに用いた時は、アニオン交換膜の場合に比べて電流効率は悪くなる。
【００１６】
この様な電気透析装置は一回通液（ワンパス）方式でもよいが、例えば、特開平７−３２８６４２号公報に開示される様な循環処理方式や多段処理方式を採ることもでき、また、回分式であっても半回分式であっても或いは連続式であってもよい。
【００１７】
なお、ここで「濃縮液」、「脱塩液」とは、ＴＡＡＨ含有量が増加するか減少するかによって使い分けられる用語であり、どちらのＴＡＡＨ濃度が高いか低いかを示すものではない。
【００１８】
別液室を設け、その別液室にＴＡＡＨ水溶液を別液として通すことで、電極液（特に陽極液）の不純物が濃縮液に混入するのを防ぎ、高純度の濃縮液を得ることができる。また、電極液循環使用の場合は電極液の交換頻度を少なくできるので、電極液としてのＴＡＡＨ水溶液使用量及び排水量を減らせる利点がある。
【００１９】
陽極液としてＴＡＡＨ水溶液を使用すると、陽極でＴＡＡＨが酸化され、その酸化分解生成物が主な不純物として陽極液室で生じる。そこで、陽極液と陰極液を別個の電極液として用いる場合は、少なくとも陽極液室の隣には別液室を設ける。なお、この場合に、長時間の循環運転では陰極液の不純物（電極材からの溶質物等）濃度が上昇してくるので、陰極液室の隣にも別液室を設けてもよいのは勿論であるが、陰極液室ではＴＡＡＨの分解生成物は生じないのでその必要性がある場合は少なく、また、陰極液を濃縮液として扱える場合もある。陽極液及び陰極液として一つの共通電極液を用いる場合は、陽極で生成したＴＡＡＨの酸化分解生成物等の不純物は陰極液室にも入るので陰極液室の隣にも別液室を設ける。なお、別液室は陽極液室（及び陰極液室）の（各）隣に１室のみ設ける一室方式は勿論のこと、２室以上設ける多室方式であってもよい。後者の場合は、装置構成は複雑となるが、電極液からの不純物の濃縮液中への混入をより強力に防ぐことができる。
【００２０】
また、従来は電極液としてＴＡＡＨ水溶液を使用していたが、電極液室の隣りに別液室を設ける本発明の電気透析装置では、他の水溶液を電極液として使用することもできるようになる。例えば、陽極液と陰極液を別々の電極液として用いる場合は、陽極液として硫酸や硝酸等の水溶液を使用してもよく、別液室の隔離効果で脱塩液、濃縮液への不純物（この例では、特に硫酸イオンや硝酸イオン等）の混入が殆ど無く、また、この場合はＴＡＡＨを使用しないのでＴＡＡＨの酸化分解生成物も無く、強いアミン臭が生じない。この場合、陽極液室を形成する膜（陽極に隣接する膜）としては、硫酸イオンや硝酸イオン等のアニオン成分の脱塩液、濃縮液への混入（別液を介して）を少なくする為に、カチオン交換膜とするのが好ましい。なお、陰極液室ではＴＡＡＨの分解は生じないので、硫酸や硝酸等の他の水溶液を陰極液として用いるメリットはない。
【００２１】
別液室に通す別液は、ＴＡＡＨの水溶液とする。新品のＴＡＡＨ水溶液や、回収再生ＴＡＡＨ水溶液を使用できるのは言うまでもないが、現像廃液やそれに由来するＴＡＡＨ含有処理液を用いてもよい。また、本発明の電気透析装置から得られる脱塩廃液を別液として用いてもよい。この脱塩廃液は、脱塩液室に通していた液で、ＴＡＡＨ濃度は低下しているものの不純物濃度の上昇は殆どないので純度的に問題なく、これを直接系外へ排出するのではなく、排出前に更に別液室に通すことでＴＡＡＨ回収率の向上やトータルな排水量の減少等の利点を得ることができる。別液室に通す別液としてこの脱塩廃液を用いる場合は、そのＴＡＡＨ濃度は一般に０．０１〜１重量％の範囲となる。該濃度は、現像廃液のＴＡＡＨ濃度や回収再生ＴＡＡＨ溶液（濃縮液）の所望のＴＡＡＨ濃度やＴＡＡＨの回収率等の諸条件で決まってくる。
【００２２】
別液室に通す別液には電極液からの不純物が徐々に移行してくるので、別液は常時ワンパス（一回通液）、または、循環使用して定期的又は一部ずつ定常的あるいは不定期的に排出する必要がある。循環使用する場合、電極液に比べて、別液中の電極液に由来する不純物の濃度は十分に低いので、定期的又は一部ずつ定常的あるいは不定期的に系外へ排出する別液量やその交換の頻度は少なくてすむ。なお、上述の様に、別液室は多室方式に設けてもよい。
【００２３】
別液室で用いる別液は電気透析槽の電気抵抗を大きく上げない程度の導電性を持っていれば良く、導電率の目安は１〜５０ｍＳ／ｃｍの範囲であるが、これに限定されず、この範囲以下やこの範囲以上の導電率であっても良い。但し、導電性が低すぎると電気透析槽の電気抵抗が上昇してしまう。また、逆に導電性が高すぎると、高ＴＡＡＨ濃度のために詰まる所ＴＡＡＨを無駄に消費することになる。
【００２４】
上述の様に、別液室で用いる別液は、ＴＡＡＨの水溶液であり、新品ＴＡＡＨ水溶液や回収再生ＴＡＡＨ溶液を使用したり、これで調製してもよく、また、現像廃液やそれに由来するＴＡＡＨ含有処理液、あるいは、本発明の電気透析装置から得られる脱塩廃液等を使用したり、これで調製してもよい。しかし、新品ＴＡＡＨ、回収再生ＴＡＡＨ溶液はそのまま現像液として使用が可能なこと、現像廃液やそれに由来するＴＡＡＨ含有処理液は回収再生ＴＡＡＨ溶液の原料となることなどを勘案して、資源の有効活用を考えると、上記脱塩廃液を別液として使用するのが特に好ましい。また、前記したナノフィルトレーション膜処理で得られる濃縮液などを別液として用いることもできる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
次に、図面を参照しつつ本発明の実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。従来の電気透析装置の電極液の流し方や電気透析槽のセルスタック構造を概念的に示す図１０〜１５を含めた各図において、Ｅは電極液室、Ｅａは陽極液室、Ｅｃは陰極液室、Ｏは別液室、Ｄは脱塩液室、Ｃは濃縮液室、Ａはアニオン交換膜、Ｋはカチオン交換膜、Ｎは中性膜、Ｅ液は電極液、Ｃ液は濃縮液、Ｄ液は脱塩液、Ｏ液は別液室を流れる別液を表し、（Ｃ）は濃縮液室と同様に機能し得ることを示し、（Ｄ）は脱塩液室と同様に機能し得ることを示し、（Ｎ）は中性膜Ｎをアニオン交換膜の代りに使用してもよいことを示し、「Ｃ／Ｄ」は濃縮液室と脱塩液室の積層したセルスタック状態を示す。
【００２６】
本発明の電気透析装置の電気透析槽のセルスタック構造としては、図１〜６に示される様な種々の方式を採ることができる。
【００２７】
図１は、本発明の電気透析装置の電気透析槽のセルスタック構造の一例を概念的に示す概略説明図である。陽極液室Ｅａの隣の別液室Ｏは陽極に面してアニオン交換膜を有しているので、陽極液中のＴＡＡイオンの該別液室への移動は殆ど阻まれるが、別液中の水酸化物イオンは該アニオン交換膜を通って陽極液室へ移動する。また、該別液室は陰極に面してカチオン交換膜を有するので、別液中のＴＡＡイオンはその隣の濃縮液室Ｃへ移動する。一方、陰極液室Ｅｃの隣の別液室Ｏは、陰極に面してカチオン交換膜を有しているので、別液中のＴＡＡイオンが該カチオン交換膜を通って陰極液室に移動する。また、この別液室は陽極に面してアニオン交換膜を有するので別液中の水酸化物イオンはその隣の濃縮液室Ｃへ移動する。従って、これらの別液室は脱塩液室と同様に機能する。陽極液と陰極液として一つの共通電極液を用いる時、陽極液室と陰極液室は協働して濃縮液室と同様に機能し得る。なお、陽極では水酸化物イオンが電子を放出し水と酸素ガスを生成し、陰極では水素イオンが電子を受け取って水素ガスと水酸化物イオンが生成し、陽極液と陰極液中のイオンバランスが保たれている。
【００２８】
脱塩液室Ｄは、陽極に面してアニオン交換膜を有し且つ陰極に面してカチオン交換膜を有するセルであり、ＴＡＡＨの水酸化物イオンは該アニオン交換膜を通って陽極側に移動すると共にＴＡＡＨのＴＡＡイオンは該カチオン交換膜を通って陰極側に移動する。移動した水酸化物イオンは次のカチオン交換膜で殆ど阻止され、移動したＴＡＡイオンは次のアニオン交換膜で殆ど阻止される。濃縮液室Ｃは、陽極に面してカチオン交換膜を有し且つ陰極に面してアニオン交換膜を有するセルであり、その両側の脱塩液室からそれぞれ移動してくる水酸化物イオンとＴＡＡイオンによりＴＡＡＨが濃縮される。なお、溶解フォトレジストは、そのカルボン酸基やフェノール性水酸基等がイオン化しているものの、高分子物質であるために殆どアニオン交換膜を通って移動せず、その濃度は各液中で殆ど変化しない。
【００２９】
図２〜６は、本発明の電気透析装置の電気透析槽のセルスタック構造の他の例をそれぞれ概念的に示す概略説明図である。これらのセルスタック構造においても、各室の機能は、両イオン交換膜と陽極と陰極の関係から、図１のセルスタック構造について説明したと同様に考えることができる。
【００３０】
図２のセルスタック構造では、図１の場合とは逆に別液室Ｏが濃縮液室と同様に機能する場合で、この場合は両電極液室Ｅａ、Ｅｃは脱塩液室と同様に機能し得る。
【００３１】
図３のセルスタック構造では、陽極液室Ｅａの隣の別液室Ｏが濃縮液室と同様に機能し、陰極液室Ｅｃの隣の別液室Ｏが脱塩液室と同様に機能する。従って、この場合、両方の別液室の別液を合流させて循環使用すると、そのＴＡＡＨ濃度は実質的に変化しない。また、陽極液室Ｅａは脱塩液室と同様に機能し、陰極液室Ｅｃは濃縮液室と同様に機能するので、両電極液を合流する様に共通の電極液として循環使用すると、そのＴＡＡＨ濃度は殆ど変化しない。
【００３２】
図４のセルスタック構造は、陽極液室Ｅａの隣の別液室Ｏが２枚のカチオン交換膜で構成されたセルであることを除いて図３のセルスタック構造と類似している。この別液室には陽極液室ＥａからＴＡＡイオンが移動してくるが、この別液室の隣の濃縮液室Ｃにこの別液室からＴＡＡイオンが移動していくので、ＴＡＡＨ物質収支は変わらないが、陰極液室Ｅｃの隣の別液室Ｏ（脱塩液室と同様に機能）の別液と合流させるとＴＡＡＨ濃度が減少するので、陽極液室Ｅａの隣の別液室Ｏも便宜上「（Ｄ）」と表示した。
【００３３】
図５のセルスタック構造では、陽極液室Ｅａの隣の別液室Ｏが２枚のアニオン交換膜で構成されたセルであり、この別液室には隣の脱塩液室Ｄから水酸化物イオンが移動してくるが、陽極液室Ｅａにこの別液室から水酸化物イオンが移動していく。また、このセルスタック構造では、陰極液室Ｅｃの隣の別液室Ｏが２枚のカチオン交換膜で構成されたセルであり、この別液室から陰極液室ＥｃへＴＡＡイオンが移動していくが、この別液室の隣の脱塩液室Ｄからこの別液室へＴＡＡイオンが移動してくる。従って、両別液室中で別液のＴＡＡＨ濃度は実質的に変化しない。
【００３４】
図６のセルスタック構造では、陽極液室Ｅａの隣の別液室Ｏが２枚のカチオン交換膜で構成されたセルであり、この別液室には陽極液室ＥａからＴＡＡイオンが移動してくるが、この別液室の隣の濃縮液室Ｃにもこの別液室からＴＡＡイオンが移動していく。また、陰極液室Ｅｃの隣の別液室Ｏが２枚のアニオン交換膜で構成されたセルであり、この別液室からその隣の濃縮液室Ｃへ水酸化物イオンが移動していくが、陰極液室Ｅｃからこの別液室へ水酸化物イオンが移動してくる。従って、両別液室中で別液のＴＡＡＨ濃度は実質的に変化しない。
【００３５】
以上、本発明で採り得る電気透析槽のセルスタック構造について簡単に説明したが、脱塩液室からの脱塩廃液を別液として用いる場合に該脱塩廃液中の残留ＴＡＡＨを更に効率的に濃縮液中に取り込む点では図１のセルスタック構造が好ましく、電極液と別液とを長期間循環使用できる点では図３のセルスタック構造が好ましい。また、電極液室と濃縮液室とを遠く隔てるという点では、図２や図５のセルスタック構造が好ましい。
【００３６】
図７は、本発明の電気透析装置の一例を概念的に示す概略フロー図である。電極液（Ｅ液）、濃縮液（Ｃ液）、脱塩液（Ｄ液）、別液（Ｏ液）がそれぞれの水槽から電気透析槽に送液され、電気透析処理を受けた後にそれぞれの水槽に戻される様に循環する為のライン（配管）が設けられている。この例においては、必要に応じて、脱塩液槽には現像廃液が補給され、濃縮液槽には純水が補給され、電極液槽と別液室にはＴＭＡＨや純水が補給され、また、必要に応じて、電極液槽と別液室からは液のブローが行われる。なお、別液（Ｏ液）はワンパス（一回通液）としても定常的に一部をブローしてもよい。
【００３７】
図８は、本発明の電気透析装置の他の一例を概念的に示す概略フロー図である。この例においては、電気透析処理で得られる脱塩廃液を別液（Ｏ液）として用いる点を除いて図７の例と実質的に同じであり、そのため図８の装置には脱塩液槽から別液槽へのライン（配管）が設けられている。その他は図７と同じなので、説明を省略する。下記の実施例１では、この様な装置をバッチ処理方式で用いた。
【００３８】
図９は、従来の電気透析装置の一例を概念的に示す概略フロー図である。図７や図８の装置と異なり、別液室、別液槽が設けられていない。下記の比較例１では、この様な装置をバッチ処理方式で用いた。
【００３９】
【実施例】
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。なお、フォトレジスト濃度は、フォトレジスト由来の２９０ｎｍでの吸光度（Abs290nm）そのもので表した。
【００４０】
実施例１
液晶工場から排出された現像廃液［ＴＭＡＨ＝２．１重量％、フォトレジスト濃度（Abs290nm）＝３．０］を原料として、図８の様なバッチ処理方式の電気透析装置を用い、脱塩液終点ＴＭＡＨ濃度０．１重量％、濃縮液終点ＴＭＡＨ濃度２．４重量％の条件でＴＭＡＨを濃縮回収した。ここで、バッチ処理方式と言うのは、脱塩液あるいは濃縮液が上記の終点条件になったところで更新されることを意味し、脱塩液槽から脱塩廃液を取り出して現像廃液を代りに入れ、濃縮液槽から濃縮液を取り出して純水を代りに入れることにより更新した。なお、電極液は一度も更新せずに循環使用し、別液室に通す別液としては脱塩廃液（脱塩液室に通して脱塩液終点ＴＭＡＨ濃度０．１重量％となった廃液で、従来はそのまま捨てていたもの）を用い、１日１回更新をした。電気透析槽は、カチオン交換膜（旭化成工業株式会社製アシプレックスＫ−５０１）とアニオン交換膜代替の中性膜（旭化成工業株式会社製アシプレックスＰＶＡ＃１００）で図３の様なセルスタック構造に構成したものである。電極液は、４０ｍＳ／ｃｍのＴＭＡＨ水溶液を共通電極液として陽極液室と陰極液室に通した。別液は、導電率２．５ｍＳ／ｃｍの脱塩廃液であり、更新時を除いて循環して別液室に供給した。なお、最初の別液としては、ＴＭＡＨの新液を純水を用いて導電率２．５ｍＳ／ｃｍに調整したものを用いた。
【００４１】
上記装置を１日８時間の稼動率で１５日間の運転を行った。１５日後の電極液は強いアミン臭がし、別液も多少強いアミン臭がした。しかし、濃縮液については、試験当初から１５日目に得られた全バッチの濃縮液のいずれも強いアミン臭はしなかった。
【００４２】
比較例１
別液室を設けなかった図９の装置を用い、別液を使わなかった以外は、実施例１と実質的に同じ方法で試験を行った。電気透析槽は、カチオン交換膜（旭化成株式会社製アシプレックスＫ−５０１）とアニオン交換膜代替の中性膜（旭化成株式会社製アシプレックスＰＶＡ＃１００）で図１５の様なセルスタック構造に構成したものである。１５日後の電極液は強いアミン臭がし、１５日目の濃縮液は試験初期のものと比べて僅かながらアミン臭が強かった。このことより、電極液のＴＭＡＨ酸化分解生成物（特に陽極の酸化反応で生成）が不純物として濃縮液に混入したことが分かった。
【００４３】
【発明の効果】
本発明の現像廃液再生用電気透析装置では、別液室を設けたために、電極液の不純物量の増加に起因する濃縮液への不純物の混入を可及的に少なくすることができ、また、電極液循環使用の場合は、電極液の交換頻度の低減も可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の電気透析装置の電気透析槽のセルスタック構造の一例を概念的に示す概略説明図である。
【図２】図２は、本発明の電気透析装置の電気透析槽のセルスタック構造の他の一例を概念的に示す概略説明図である。
【図３】図３は、本発明の電気透析装置の電気透析槽のセルスタック構造の更に他の一例を概念的に示す概略説明図である。
【図４】図４は、本発明の電気透析装置の電気透析槽のセルスタック構造の更に他の一例を概念的に示す概略説明図である。
【図５】図５は、本発明の電気透析装置の電気透析槽のセルスタック構造の更に他の一例を概念的に示す概略説明図である。
【図６】図６は、本発明の電気透析装置の電気透析槽のセルスタック構造の更に他の一例を概念的に示す概略説明図である。
【図７】図７は、本発明の電気透析装置の一例を概念的に示す概略フロー図である。
【図８】図８は、本発明の電気透析装置の他の一例を概念的に示す概略フロー図である。
【図９】図９は、従来の電気透析装置の一例を概念的に示す概略フロー図である。
【図１０】図１０は、陽極液と陰極液を別々の電極液として陽極液室と陰極液室にそれぞれ通す従来の電気透析方式を概念的に示す概略説明図である。
【図１１】図１１は、陽極液室と陰極液室の両方の電極液室に一つの共通電極液を通す従来の電気透析方式を概念的に示す概略説明図である。
【図１２】図１２は、従来の電気透析装置のセルスタック構造の一例を概念的に示す概略説明図である。
【図１３】図１３は、従来の電気透析装置のセルスタック構造の他の一例を概念的に示す概略説明図である。
【図１４】図１４は、従来の電気透析装置のセルスタック構造の更に他の一例を概念的に示す概略説明図である。
【図１５】図１５は、従来の電気透析装置のセルスタック構造の更に他の一例を概念的に示す概略説明図である。
【符号の説明】
Ｅ    電極液室
Ｅａ  陽極液室
Ｅｃ  陰極液室
Ｏ    別液室
Ｃ    濃縮液室
Ｄ    脱塩液室
Ａ    アニオン交換膜
Ｋ    カチオン交換膜
Ｎ    中性膜
Ｅ液  電極液
Ｃ液  濃縮液
Ｄ液  脱塩液
Ｏ液  別液
Ｐ    ポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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