(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
端面を凸型形状とした棒状部材の凸型端面と板状部材との接合面を加熱軟化させ、棒状部材及び／又は板状部材を接合面に垂直に押圧して圧着接合する石英ガラス部材の溶接方法。
【請求項２】
請求項１において、棒状石英ガラス部材と板状部材を相対移動させることによって押圧し、圧着する石英ガラス部材の溶接方法。
【請求項３】
請求項１〜２のいずれかにおいて、複数の棒状部材をワーク保持部に支持し、ワーク保持部と板状部材とを相対移動させることによって複数の棒状部材を同時に圧着する石英ガラス部材の溶接方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかにおいて、棒状部材の接合端面の凸型形状が、端面の中心に対して対称である楔型もしくは円錐型形状である石英ガラス部材の溶接方法。
【請求項５】
請求項４において、楔又は円錐の傾斜角が２度〜２０度である石英ガラス部材の溶接方法。
【請求項６】
請求項４又は５において、楔型もしくは円錐型形状の中心点から対称に少なくとも２方向から火炎を送り、溶接箇所を対向加熱する石英ガラス部材の溶接方法。
【請求項７】
請求項６において、板状部材面に対するバーナーの火炎角度が、５〜４５度である石英ガラス部材の溶接方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかにおいて、加熱手段が石英ガラス製の二股バーナーもしくはラインバーナーである石英ガラス部材の溶接方法。
【請求項９】
請求項８において、ラインバーナーの先端がループに形成してあり、先端部分に複数ノズルをライン状に形成した構造である石英ガラス部材の溶接方法。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかにおいて、加熱開始時における板状部材表面と棒状部材端面の凸部頂点との距離を１〜３ｍｍとする石英ガラス部材の溶接方法。
【請求項１１】
天板を位置決め固定し、端面を凸型形状とした複数の溝棒もしくは溝棒用棒状部材を天板に対して垂直に保持し、天板と溝棒もしくは溝棒用棒状部材との溶接部に対し少なくとも２方向から５〜４５度の火炎角度で火炎を送り、加熱しながら接合面に垂直方向から押圧力を加えて複数の溝棒もしくは溝棒用棒状部材を同時に天板に圧着接合し、同様に底板と溝棒もしくは溝棒用棒状部材を圧着接合する縦型ウエーハボートの組立方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエーハの熱処理時にウエーハの保持用として使用される石英ガラス製のウエーハボートや、ウエーハの移動、乾燥、洗浄時などにウエーハ保持用、移送用として用いられる石英ガラス製容器や洗浄治具などの石英ガラス製品を製作する方法に関し、こうした製品を組立製作する際の石英ガラス部材の溶接方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造工程では、高温においても安定しており、半導体に不純物を混入させることのない高純度の材料である石英ガラスが治具として用いられている。半導体製造用として用いられる石英ガラス製治具のうち、ウエーハボートや石英ガラス製洗浄用治具は、図２に示すような溝を設けた棒状部材に天板及び底板を溶接して組み立てられている。
【０００３】
従来は、板状石英ガラス部材表面に棒状の石英ガラス部材の端面を当て、手に持ったバーナーで溶接箇所の周囲を２〜３ｍｍφの石英ガラス製の溶接棒を酸水素火炎で溶融接合する方法が一般的である。また、特開平４−１８２３２２号のように溶接する二つの石英ガラス部材の溶接端部間に溶接棒を配置した後、レーザを用いて溶接する方法がある。
【０００４】
従来法は、いずれも溶接する部材同士を溶接棒を介して接合して組み立てる方法である。従って溶接棒で肉盛りした箇所が溶かし方が悪いと加熱不良で部分的に溶接不良となり、泡が発生したり、或いは、接合強度不足となる場合があり、また、加熱し過ぎによる溶接棒自体の変形や溶接面の窪みなど、組立精度上、外観上問題が生じることがあった。
このため、溶接棒を使用した接合は、十分火をかけて接合強度を増す作業には適しているが、表面変形が大きいため手直しやカーボンこてなどで接合面を再度成形し直す必要があり、精度を要するものや、連続的な組立作業をおこなうものには不向きである。
【０００５】
図２に示すような縦型ウエーハボートを製作する場合、従来の方法では、通常、石英ガラス棒状部材をダイヤモンドホイールで切削してウエーハ載置用の溝を設け（ボートに組み上げた後に溝を設ける場合もある）、図３に示すように複数（この図では４本）の溝棒をカーボン治具を用いてそれぞれが所定の位置となるように配置し、同じくカーボン治具を用いて所定の間隔で左右平行に位置させた天板と底板に溝棒を順番に仮溶接してウエーハボートを仮組立し、カーボン治具から仮溶接した組立品を取出し、仕様にあっているかを３次元測定器などでチェックし、修正を要する場合は仮溶接をやり直し、所定の寸法公差内にあることを確認した後に、本溶接をおこない組み立てていた。
【０００６】
この従来の方法では、ウエーハボートの様々な規格、仕様に合わせていくつものカーボン治具を用意しなければならず、カーボン治具の摩耗の問題を含め、規定寸法となるようにカーボン治具内に天板や溝棒などの石英ガラス部材を配置するための微調整作業に多くの時間と労力を費やしていた。
また、溝棒のセットの微調整がうまくいったとしても溝棒自体の径の大きさにバラツキがあった場合には、セットした溝棒の径の中心から他の溝棒の径の中心までの距離が異なってくるため、完成した製品は、仕様と違った寸法公差で組み立てられるといった問題を生じていた。
いずれにしても各作業は手作業によるため、作業者の熟練度にも左右され、また、仮溶接工程という余分な工程を採らざるを得ないという問題点があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、こうした従来技術が抱えていた問題点を解決するものであり、溶接棒を介しての接合の場合に生じる表面変形を防止し、接合面を再度成形し直す必要のない石英ガラス部材の溶接方法を提供すると共に、カーボン治具を使用する組立工程を不要とすると同時に、この時の手作業による仮溶接工程をも省略しようとするもので、高寸法精度で再現性に優れた連続的な組立作業工程に適したウエーハボートの溶接方法及びその装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
板状の石英ガラス部材表面に棒状石英ガラス部材端面を溶接するに際し、接合面を加熱軟化させ垂直方向から圧力を加えて圧着接合すれば良いことを見い出し、さらに、この棒状部材の溶接する側の端面を凸型形状とし、バーナーの火炎で加熱しながら接合面に垂直な方向から圧力を加えて圧着接合することにより、前記課題を解決した。
【０００９】
そして棒状石英ガラス部材と板状部材を、どちらか一方を固定して他方を移動させ、もしくは双方を移動可能として、接合面方向に相対移動させ圧力を加えることによって圧着することが効果的であり、複数の棒状石英ガラス部材をワーク保持部に支持し、ワーク保持部と板状部材を、接合面方向に相対的に移動させ圧力を加えることによって複数の棒状部材を同時に圧着できるようにした。
【００１０】
さらに、棒状石英ガラス部材の接合する端面の凸型形状を、棒状端面の中心から対称となるように楔型もしくは円錐型形状とした。
棒状部材端面の凸状形状の中心点又は中心面頂点から周面までの傾斜角度を圧着による棒状石英ガラス部材の潰し量により適宜選択することにより、圧着が適切におこなわれるようにした。
楔型もしくは円錐型形状の棒状部材端面の中心点から対称となる少なくとも２方向から火炎を送り、溶接箇所を対向加熱することにより、圧着を確実なものとした。さらに、溶接する板状部材面に対して５〜４５度の火炎角度で対向加熱することが好ましいことを見出した。
【００１１】
石英ガラス製の二股バーナー、もしくは、ラインバーナーが溶接部の加熱に好ましく、さらに、ラインバーナーの先端部がＵターンさせてあり、供給管に接続してあるものが、燃焼ガスの均一供給に好ましい。
また、加熱開始時における板状部材表面と棒状部材端面の凸部頂点との距離を１〜３ｍｍとすることが有効である。
【００１２】
縦型ウエーハボートの溶接組立方法として、底板となる上フランジ及び天板となる側板へ、溝棒もしくは棒状部材を溶接して組み立てる場合、天板の板状部材をクランプチャックで位置決めし、板状部材の溶接面に対し５〜４５度の火炎角度を設け、少なくとも２方向から火炎を送るようにバーナーを対向配置し、棒状石英ガラス部材をスライド可能なワーク保持部に支持し、バーナーで加熱しながら接合面に垂直に押しつけるようにワーク保持部または天板もしくは双方を相対移動させて圧着接合し、続いて天板チャックのクランプを解除した後、クランプチャックで位置決めした底板に棒状部材の他方の端面を圧着接合することが多数の棒状部材を板材に同時溶接して製造でき縦型ウエーハボートを効率よく生産することができる。
【００１３】
そして、基台上に間隔をおいて設けた石英ガラス製天板、底板を支持、回転及び移動させるための支持・回転・移動手段と、バーナーの支持・回転・移動制御手段と、バーナーのガス流量制御手段と、石英ガラス棒状部材を支持及び軸方向に移動させる支持・移動手段と、天板、底板及び石英ガラス棒状部材を相対移動させて、接合面に垂直方向から圧力を加える圧力付与手段とを備えた縦型ウエーハボート組立装置を用いることにより、精度、及び再現性良くウエーハボートを製造することができる。
【００１４】
本発明を適用して組み立てる石英ガラス製品としては、半導体熱処理工程で使用されるＣＶＤボートや拡散ボートといった縦型の石英ガラス製ウエーハボートや、半導体ウエーハの搬送用容器や洗浄用治具などが挙げられる。
【００１５】
本発明の石英ガラス部材の溶接方法は、ウエーハボートの天板などのように平面状の石英ガラス部材に、溝棒などの棒状石英ガラス部材の端面を溶接接合して組み立てる際に特に有効である。
棒状部材は、先に丸棒に溝加工した後にボートに組み上げる先切り方式の場合は溝棒を使用するが、ボートに組み上げた後に丸棒に溝加工を施す後切り方式として、丸棒をそのまま使用してボートに組み上げても構わない。
一例として上記製品を挙げたが、種々の製品にも適用が可能である。
板状部材に接合する棒状部材の形状は丸棒でも角棒でも多角形状、その他の異型形状であっても適用可能である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１に示すように、φ２０ｍｍの石英ガラス棒（棒状部材）２の端面を傾斜角５．７度のＶ字型の楔形状に形成し、石英ガラスの板状部材１の面から３ｍｍ離して垂直に位置させた。丸棒２の両側に酸水素火炎バーナー３を対向配置し、板状部材に対して２０度の角度で１５ｍｍ離して位置させ、水素３０リットル／分、酸素１０リットル／分で火炎を接合面に供給し、加熱して軟化させ、丸棒２を先端から２ｍｍ潰れるまで板状部材１に押しつけて圧着した。
通常の溶接は加熱して被溶接物同士を十分に良く溶かして、その溶融流動で接合するものであるが、本願は加熱は部材面を予め軟化させておくためのものであり、加圧によって圧着接合するものである。
【００１７】
従って、従来のようにバーナーで棒材の周囲を加熱しながらその場所をカーボンローラーなどで加圧整形する場合のように、接合面を溶かして溶融流動させて溶融強度を増すためにおこなっている常用の加圧手段とは本質的に異なるものである。
【００１８】
圧着は、棒状部材２の軸が板状部材面に対して垂直になるようにして圧力を加える。棒状部材と板状部材を相対的に近接するように移動させるが、移動させる部材は棒状部材と板状部材のどちらでも良く、両部材を同時に移動させても良い。
相対的に移動させることで、溶接面に対して垂直方向からの押圧力が生じることとなり、この移動をシリンダー装置により移動速度・移動距離を設定してコントロールし、押圧力を制御する。
【００１９】
適切な押圧力を加えることで、均一で再現性の良い接合が可能となり、また、接合面を溶融状態まで加熱することなく石英ガラスの軟化点近傍までの加熱でよいため、接合面の変形を防止することが可能となる。
押圧力は、流体圧シリンダーによるものや、電気モータの回転トルクをワークの支持台等に伝達して移動させることによる方法があるが、電気モータは細かい移動制御が可能であり、一定の押圧力を得やすいので好ましい。
また、押圧力は、部材の形状や接合面の軟化の状態に応じて適宜選択するが、０．１〜１００ｇ／ｍｍ2の範囲が好ましい。
【００２０】
棒状部材の接合端面は凸状に加工しておく。凸状とすることにより加熱の際、端面中心部が先に軟化され、さらに、圧力を加えることにより端面中心部から外周部方向へ順次圧着されていくため、溶接面に泡が発生しにくく、発生しても外方向へ逃がされるため残りにくい。また中心から順次外側に向かって溶接されるので少ない加熱量でも溶接強度を高められる。このため、従来方法のようにバーナーで溶接面のみならずその周囲をも加熱し、その熱容量だけで溶接する必要がないので、熱量を最小限に絞ることができ、溶接面の変形が防止できる。
凸状の棒状部材端面形状は、軟化の面分布を均一にするため端面の中心から対称となる形状が好ましく、具体的には楔型もしくは円錐型が効果的である。
【００２１】
棒状部材２の端面の凸状形状の中心点又は中心面頂点から周面までの傾斜角度を、圧着による石英ガラス棒状部材２の潰し量により適宜選択する。例えば、円錐の傾斜角を一定とすると棒状部材２の直径によって円錐の高さが異なるため潰される棒状部材の長さが異なってくる。棒状部材の断面形状、凸状の傾斜角度が定まると、溶接時に潰される凸状体の体積が求まるので、予め対照表を作成しておくことにより、棒状部材の潰し量が予測でき高精度の溶接が可能となる。最適範囲としては、楔または円錐の傾斜角は２度〜２０度の範囲であり、潰し量は０．５〜８ｍｍである。
棒状部材の径が２０ｍｍφの場合、潰し量で２ｍｍ、円錐型の傾斜角は６度程度が好ましい。
【００２２】
組立装置に棒状部材の径、潰し量、凸状の傾斜角の対照関係を記憶させておき、部材の相対移動量を自動的に制御することにより表面性状に優れた溶接接合を再現性良く連続的におこなうことができる。
【００２３】
バーナー３による加熱は、楔型もしくは円錐型形状の棒状部材端面の中心点から対称となる少なくとも２方向から、火炎を送り溶接箇所を対向加熱する。バーナー火口から棒状部材の外周面までの距離はバーナー３のノズル径にもよるが１０〜３０ｍｍの間の一定距離とする。また、バーナーの火炎角度は、溶接する板状部材面に対して５〜４５度の火炎角度で対向加熱することが望ましい。
【００２４】
溶接面を変形させることなく均一に軟化させることが重要で、部材からの輻射熱や煽り火の影響を極力避ける上で上述した方法が効果的である。バーナーの火炎角度が５度より小さいと棒状部材の凸部頂点部の軟化が他の溶接箇所に比べて早すぎてバランスが悪く、全体的な溶接強度が低くなり好ましくない。また４５度より大きいと逆に凸状部材の外周面が他の溶接箇所に比べて早すぎて溶接後の外周形状が外側に膨らんだ形の変形が生じると同時に板状部材表面層にも凹みが生じるため好ましくなく、１０〜３０度の火炎角度とすることがより好ましい。
【００２５】
バーナー３による加熱開始時における板状部材表面と棒状部材端面の凸部頂点との距離を１〜３ｍｍとすることが効果的である。
板状部材と棒状部材端面とを接触させた状態としておくと、ガラスを軟化状態にするための時間が必要なため、その間に火炎が板状部材から反射される輻射熱と共に反射流として交錯し、結果的には輻射熱で棒状部材２端面周囲壁面が溶かされ、反射流で外周面が膨らんだ形状に変形し、好ましくない。また、板状部材と棒状部材端面との距離を１ｍｍ未満とすると、バーナー３からの火炎流は部材間で滞留しやすく、ガスの流れが悪いため同様な変形を生じやすい。また、３ｍｍを超えると加熱効率が悪くなり、強い火炎流が必要となる。従って部材間の当初の間隔としては１〜３ｍｍに設定しておくことが好ましい。
【００２６】
バーナー３は、石英ガラス製の二股バーナーもしくはラインバーナーを使用するのが好ましい。小さい熱量で軟化させるためには加熱領域に供給する熱量のバランスが大切である。このため供給するガス量を均一に供給する上で、棒状部材２端面の凸型形状が楔型の場合には二股バーナーが、円錐型の場合にはラインバーナーが適している。
【００２７】
ラインバーナーは、ノズル径が１〜３ｍｍφから針穴に至るものまであり、溶接部材に会わせて適宜選択する。火炎同士の干渉を防ぎ、安定した溶融状態を得るように最適なノズルの径、個数、及びピッチを選択する。
【００２８】
ラインバーナーのノズル３１を例えば７個一列に配置して火炎を放射した場合、供給管のガス供給側から最も離れた位置のノズルのガス流量が最も多く、供給管の一番手前のノズルから放出されるガス量が最も少ないため、熱量の供給量がノズルの位置で異なることとなりバランスが崩れるのでノズル径を配置された順に変えてバランスを取っていた。また、ノズル径を同じにして供給管から突き出すノズルの長さを配置順に変えることでバランスを取っていた。
しかし、この方法ではバーナーの加工に手間がかかり、また、ガス圧やガス供給量の変化には対応しきれないという問題があった。
【００２９】
図４に示すような、ノズル先端をループ３０に形成したラインバーナーは、ノズル３１の位置によらず各ノズルからの火炎流が均一に放射され熱量が均一に供給されるので本発明方法のバーナーとして適している。
先端をループ３０に形成し、ループ部分にノズル３１をライン状に形成した構造とすることで、供給された酸水素ガスの混合ガスはガス管路中を周回することとなるためノズル３１の位置による供給管路中のガスの流れの偏りが解消され、ラインバーナーの各ノズルを同一形状とすることができると共に均一なガス流の供給が可能になり、均一な火炎を供給することができる。
【００３０】
縦型ウエーハボートの組立装置
本発明の溶接方法を使用した縦型ウエーハボートの組立装置について説明する。
図５に示すように、基台４上に天板チャック５１と底板チャック５２が間隔をおいて設けてある。両チャック５１、５２は、天板１１及び底板１２をクランプする真空吸着装置が設けてあり、回転可能であり、また、軸方向に移動可能である。移動は、シリンダー装置で移動速度・移動距離を設定、コントロールして、溶接面に付与する押圧力を制御する。
両チャック５１、５２の側には軸方向及び上下方向に移動可能な加熱用のラインバーナー３が２個１組を対向配置したものが、溶接する溝棒２に対応する個数が設けてある。天板１１及び底板１２に対する火炎放射角度を調整するため、ラインバーナー３は回転可能に保持されている。
【００３１】
さらに、棒状部材２を板状部材１に圧着溶接した後、溶接部分の線取り処理するためのバーナー３２が６軸多関節ロボットのアーム６に取り付けてある。
また、ラインバーナー３への水素及び酸素ガスの供給を一定に制御するマスフローメーターが４系統設けてある。
【００３２】
天板チャック５１と底板チャック５２の間には、４本の溝棒２を所定の位置に保持し、基台４の上を軸方向に移動することによって溶接時に押圧力を加えて溝棒２と天板１１及び底板１２を圧着するスライド装置７が設けてある。
スライド装置７の溝棒２を保持固定するクランプ７１は、溝棒２の中心が設定の中心となる構造としてあるので溝棒２の径に変更があっても、溶接位置がずれることがないようにしてある。なお、棒状部材が溝棒の場合には溝形状に合わせて作製したくし型の受け台に溝棒を嵌めこんで固定保持することにより、精度維持、再現性がより高められる。
【００３３】
天板１１及び底板１２を真空チャック５１、５２で固定し、端面を円錐形状とした４本の溝棒２を、スライド装置７のクランプ７１で所定の位置に固定する。
【００３４】
天板１１の溶接面に対しラインバーナー３を回転して２５度の角度にセットし、各溝棒２に対して２方向から火炎を送られるようにラインバーナー３を対向配置する。スライド装置７を天板１１側に移動させ、溝棒２の円錐先端と天板１１の間の距離を２ｍｍにする。４箇所にセットしたラインバーナー３で天板１１と溝棒４本を同時に加熱し、軟化したところで加熱した状態のままスライド装置７を天板１１側に移動させて溝棒２の端部が２ｍｍ押しつぶされるまで天板１１に押しつけ、４本に溝棒２を同時に圧着する。
圧着後、天板チャック５１による天板の保持を解除し、ラインバーナー３を上下方向へそれぞれ移動退避させ、６軸多関節ロボットのアーム６に取り付けた線取りバーナー３２で圧着部４個所の線取りをおこなう。
【００３５】
続いてスライド装置７を底板１２側の溶融位置に移動させ、溝棒２の端面と底板１２間の距離を同様に２ｍｍとする。ラインバーナー３で底板１２と４本の溝棒２を同時に加熱し、軟化したところでスライド装置７を底板１２側に移動させて底板１２と４本の溝棒２を同時に圧着する。圧着部は、６軸多関節ロボットに取り付けた線取りバーナー３２で圧着部４個所の線取りをおこなう。底板１２と溝棒２との溶接完了後、底板チャック５２のクランプを解除し、スライド装置７を両チャックの中央に戻して停止させる。溝棒２のクランプ７１の固定を解除して、組み立てられた縦型ウエーハボートを取出す。
【００３６】
こうして得られた縦型ウエーハボートを検査した結果、溝棒を天板及び底板へ圧着接合した箇所は、８箇所とも膨らみやへこみなどの変形は認められず、また、溝棒の溝形状が崩れることもなく、ウエーハボートの基準面から第１溝までの規格公差は±０．１ｍｍの範囲内にあり、高精度仕様を満足するものであった。
【００３７】
ウエーハボート組立装置の他の実施例として、棒状部材の溝棒２を固定しておき、板状部材１を棒状部材２の端面に向かって移動させて圧着する例について説明する。
【００３８】
実施例１と同様に、天板１１の溶接面に対し２５度の火炎角度を設けて、２方向から火炎を送るようにラインバーナー３を対向配置する。天板チャック５１を溶融位置に移動させ、天板溶接面と溝棒端面間を２ｍｍの距離に保持する。ラインバーナー３で天板１１と４本の溝棒２を同時に加熱し、軟化したところで天板チャック５１を溝棒２側へスライドさせ、溝棒２を接合面に垂直に押しつけて加圧し、天板１１と４本の溝棒２を同時に圧着する。６軸多関節ロボットアームに取り付けたバーナー３２で圧着部４個所の線取りをおこなう。天板１１と溝棒２の溶接完了後、天板チャック５１を解除する。
【００３９】
続いて底板１２のチャック５２を溝棒２に向かって移動させ、溝棒２の他方の端面と底板１２の間を２ｍｍの距離に保持する。ラインバーナー３で底板１２と４本の溝棒２を同時に加熱して軟化させ、底板チャック５２を溝棒端面方向へ移動させ、底板１２と４本の溝棒２を同時に圧着し、同様に圧着部の線取りをおこなう。
底板１２のチャックを解除し、次に溝棒２のクランプを解除して組み立てられた縦型ウエーハボートを装置から取出す。
【００４０】
得られた製品を検査した結果、溝棒を天板及び底板へ接合した箇所は、８箇所とも膨らみやへこみといった変形は認められず、また、フランジから１０ｍｍの位置にある溝棒の第１溝の溝形状が崩れることもなく、ウエーハボートの基準面から第１溝までの規格公差も±０．１ｍｍの範囲内にあり、高精度仕様を満足するものであった。
【００４１】
【発明の効果】
棒状部材の端面を凸型形状とし、バーナーの火炎により加熱しながら接合面に垂直方向から圧力を加えて圧着接合するため、従来石英ガラス部材の溶接に必要とされた溶接棒が不要となり、接合面の表面変形を防止することができ、接合面を再成形する必要がなくなった。
また、ウエーハボートの組立工程において、カーボン治具の使用を不要とし、同時に、手作業でおこなっていた仮溶接工程をも省略できる。
【００４２】
さらに、棒状部材の径にバラツキがあっても、棒状部材をクランプで常に径の中心位置で保持するため、高精度で再現性良く組み立てることができ、 溶接部の手直しの必要がなく、効率よく接合組立ができる。
高寸法精度で再現性に優れた石英ガラス部材の溶接方法によって、複数の棒状部材を板状体に同時に溶接接合することができ、ウエーハボートを効率的に製造することが可能になった。
【図面の簡単な説明】
【図１】溶接状態の説明図。
【図２】縦型ウエーハボートの斜視図。
【図３】カーボン治具の説明図。
【図４】ループを有するラインバーナーの平面図。
【図５】ウエーハボート組立装置の正面図。
【符号の説明】
１    板状部材
２    棒状部材
３    バーナー
【図１】
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【図２】
0004560200.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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