(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
隔離壁により仕切られている複数のインク圧力室と、各インク圧力室にそれぞれ連通しているインクノズルと、各インク圧力室の一部を規定している面外方向に弾性変位可能な振動板と、各振動板に対峙している個別電極とを有し、前記振動板と前記個別電極の間に駆動電圧を印加して前記振動板を前記個別電極に吸着させた後に、駆動電圧を解除して前記振動板を弾性変位させることにより前記インクノズルからインク液滴を吐出させる静電式インクジェットヘッドにおいて、
任意の一つの前記インクノズルのみからインク液滴を吐出させた時の前記振動板が前記個別電極に吸着された際の前記インク圧力室のコンプライアンスと、複数の全ての前記インクノズルからインク液滴を吐出させた時の前記振動板が前記個別電極に吸着された際の前記インク圧力室のコンプライアンスとの比、下記式のαが１以上で且つ、１．０９３以下となることを特徴とする静電式インクジェットヘッド。
0004560983.tif 000012
Ｃ１：隔離壁のコンプライアンス
Ｃｉｎｋ：インク圧力室内のインクのコンプライアンス
【請求項２】
請求項１において、
前記隔離壁のコンプライアンスと前記インク圧力室内のインクのコンプライアンスの比、下記式のβが０．５９２以下となることを特徴とする静電式インクジェットヘッド。
0004560983.tif 000013
【請求項３】
請求項２において、
前記隔離壁のコンプライアンスと前記インク圧力室内のインクのコンプライアンスの比が０．３３１以下となることを特徴とする静電式インクジェットヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至３において、
前記複数のインクノズルの間隔が１８０ｎｐｉ以上のノズル密度となる様に設定されていることを特徴とする静電式インクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクノズルに連通したインク圧力室の一部に形成した振動板を静電力によって振動させることによりインクノズルからインク液滴の吐出を行う静電式のインクジェットヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
静電式インクジェットヘッドは、例えば、特開平２−２１９３５１号公報に開示されているように、インク流路を構成しているインク圧力室の底面に形成された共通電極としての振動板と、この振動板に対して僅な隙間を隔てて対峙している個別電極としての電極板とを有している。これらの対向電極間に駆動電圧を印加し静電力を作用させて振動板を撓ませることによりインク圧力室内の容積を変化させ、これにより生ずるインク圧力変動を利用して、インク圧力室に連通しているインクノズルからインク液滴を吐出させて記録を行うものである。
【０００３】
このような静電式インクジェットヘッドにおいて、出力画像の高品質化を図るためには多数のインクノズルを高密度配置する必要がある。このためには、各インクノズルが連通しているインク流路、すなわち、各インク圧力室も高密度配置する必要があり、この結果、インク圧力室間を仕切っている隔離壁も薄くする必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、インク圧力室間を仕切っている隔離壁が薄くなると、インク圧力室の内圧変動によって当該隔離壁も撓む可能性がある。すなわち、図８（ａ）に示すように、インク液滴の吐出を行う駆動インクノズル２１（３）が連通しているインク圧力室２２（３）の振動板２３（３）を個別電極２５（３）に吸引した場合、当該インク圧力室２２（３）の内圧変動によって隔離壁２４（２）、２４（３）が撓むおそれがある。
【０００５】
同様に、図８（ｂ）に示すように、インク吐出時においても、振動板２３（３）を個別電極２５（３）から離脱させた場合に、当該インク圧力室２２（３）の内圧変動によって隔離壁２４（２）、２４（３）が撓むおそれがある。
【０００６】
加えて、これら隣接するインク圧力室の壁面に形成された振動板２３（２）、２３（４）が隔離壁２２（２）、２２（４）の撓みによる圧力変動により、さらに撓むおそれがある。
【０００７】
インク吐出時に隔離壁が撓んでしまうと、インク圧力室２２（３）に圧力損失が発生し、駆動インクノズル２１（３）から適切な量あるいは粒径のインク液滴が吐出されないおそれがある。
【０００８】
また、駆動インクノズル２１（３）に隣接している非駆動インクノズル２１（２）、２１（４）の側においては、隔離壁２４（２）、２４（３）が撓むことにより、当該非駆動インクノズル側のインク圧力室２２（２）、２２（４）に内圧変動が起き、場合によっては、僅かの量のインク液滴が不必要に吐出してしまうおそれもある。
【０００９】
さらには、このように隔離壁２４（２）、２４（３）を介して圧力変動が隣接インク圧力室に漏れるために、換言すると、圧力のクロストークが発生するために、一つのインクノズルにおいて、隣接インクノズルが同時に駆動される場合と、駆動されない場合とでは、インク圧力室内に発生する圧力変動状態が異なってしまう。この結果、一つのインクノズルのインク吐出特性（インク吐出速度、インク吐出量）が、隣接インクノズルの駆動状態に応じて変動して、印刷品位の低下を招くおそれもある。
【００１０】
これに対して、特開平５−６９５４４号公報や同７−１７０３９号公報では偶数ノズルと奇数ノズルの相互に隣接するノズルからのインク液滴の吐出時間を遅延回路により遅延させて吐出させることにより対応していた。しかしながら、これら従来の技術では、更に駆動装置が複雑化してしまうという課題や、印刷に要する時間が長くなってしまうという更なる課題を有していた。
【００１１】
本発明の課題は、このような問題点に鑑みて、インク圧力室間の隔離壁を撓ませることなくインク吐出動作を行い得るようにし、以て、高密度化してもインク圧力室間での圧力のクロストークを防止し、インクジェットヘッドの駆動装置の複雑化を招かずに、高精細で緻密な印字品位を印刷速度の低下を招かず容易に確保できる静電式インクジェットヘッドを提案することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、隔離壁により仕切られている複数のインク圧力室と、各インク圧力室にそれぞれ連通しているインクノズルと、各インク圧力室の一部を規定している面外方向に弾性変位可能な振動板と、各振動板に対峙している個別電極とを有し、前記振動板と前記個別電極の間に駆動電圧を印加して前記振動板を前記個別電極に吸着させた後に、駆動電圧を解除して前記振動板を弾性変位させることにより前記インクノズルからインク液滴を吐出させる静電式インクジェットヘッドにおいて、
任意の一つの前記インクノズルのみからインク液滴を吐出させた時の前記振動板が前記個別電極に吸着された際の前記インク圧力室のコンプライアンスと、複数の全ての前記インクノズルからインク液滴を吐出させた時の前記振動板が前記個別電極に吸着された際の前記インク圧力室のコンプライアンスとの比が１．１以下となることを特徴としている。
【００１３】
また、前述の静電式インクジェットヘッドにおいて、前記隔離壁のコンプライアンスと前記インク圧力室内のインクのコンプライアンスの比が０．６以下となることを特徴とする。
【００１４】
更には、前述の静電式インクジェットヘッドにおいて、前記隔離壁のコンプライアンスと前記インク圧力室内のインクのコンプライアンスの比が０．３４以下となることを特徴とする。
【００１５】
本発明による静電式インクジェットヘッドにおいては、駆動側であるインクノズルからインク液滴が吐出されるときに、振動板が対向する個別電極に吸引されて吸着した際のインク圧力室のコンプライアンスが、隣接するインクノズルに連通するインク圧力室の振動板が駆動されて対向する個別電極に吸着されたときと、非駆動時であり該振動板が該個別電極に吸着されていないときのそれぞれのインク圧力室のコンプライアンスの比が小さく設定された構成となっているので、インク液滴の吐出時のインク圧力室の振動系に大きな差が生じない。
【００１６】
また、インク圧力室では振動板を対向する個別電極に吸着したときに最も高い圧力が生ずる。よって、任意の単一のインクノズルのみが駆動されているときと、全てのインクノズルが駆動されているときのインク圧力室において、最も高い圧力が生ずる際に振動系に大きな差が生じない。この結果、任意の単一ノズルのみを駆動してインク液滴を吐出した際のインク液滴の吐出量、吐出速度と飛翔形態と、全てのノズルを駆動してインク液滴を吐出した際のインク液滴の吐出量、吐出速度と飛翔形態とに大きな差を生じない。
【００１７】
加えて、本発明の静電式インクジェットヘッドは、前記複数のインクノズルの間隔が１８０ｎｐｉ以上のノズル密度となる様に設定されていることを特徴とする。
【００１８】
ここで、インクノズルの間隔が小さくなり、その密度が高くなって、インク圧力室間の間隔が小さくなった場合においても、インク圧力室の幅と隔離壁の幅と高さの最適化がなされ、単一ノズル駆動時と全ノズル駆動時の振動板吸着時の振動系に大きな差が生ぜず、インクノズルの駆動形態、即ちどのインクノズルを選択して駆動するかによらず、インク液滴の吐出量、吐出速度と飛翔形態に大きな差が生ぜず、高密度なインクノズルによる高密度な印刷結果が得られる。
【００１９】
これらの構成によれば、簡単な制御で高精細な印刷を高速に行うことを可能とするインクジェットプリンタに適用可能なインクジェットヘッドを提供することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した静電式インクジェットヘッドの駆動方法を説明する。
（全体構成）
まず、図１〜３を参照して、本発明の駆動方法を適用可能な静電式インクジェットヘッドの構成を説明する。ここで、図１は本例の静電式インクジェットヘッドの横断面図であり、図２はその平面図であり、図３は縦断面図である。図１は図２におけるＩ−Ｉ断面を示し、図３は図２におけるIII−III断面を示している。
【００２１】
これらの図に示すように、本例の静電式インクジェットヘッド１は、シリコン基板２を挟み、上側に同じくシリコン製のノズルプレート３、下側にシリコンと熱膨張率が近いホウ珪酸ガラス基板４がそれぞれ積層された３層構造となっている。
【００２２】
中央のシリコン基板２には、（１１０）面方位のその表面からＫＯＨ（水溶液による異方性のウエットエッチングを施すことにより、独立した５つの細長いインク圧力室５（１）〜５（５）と、１つの共通インク室６と、この共通インク室６を各インク圧力室５（１）〜５（５）に連通しているインク供給口７としてそれぞれ機能する溝が加工されている。これらの溝がノズルプレート３によって塞がれ、各部分５、６、７が区画形成されている。各インク圧力室５（１）〜５（５）は、それぞれ隔離壁８（１）〜８（４）によって仕切られている。
【００２３】
また、インク供給口７に連通するように、共通インク室６の下面を規定する部分に、インク取入れ口１２が形成されている。したがって、インクは、外部のインクタンク（不図示）から、インク取入れ口１２を通って共通インク室６に供給され、さらにここから各インク供給口７を通って、独立した各インク圧力室５（１）〜５（５）に供給される。
【００２４】
ノズルプレート３には、各インク圧力室５（１）〜５（５）の先端側の部分に対応する位置、すなわち、インク供給口７とは反対側となる位置に、インクノズル１１（１）〜１１（５）が形成されており、これらがそれぞれ対応する各圧力室５（１）〜５（５）に連通している。
【００２５】
独立した各インク圧力室５（１）〜５（５）の底面は、薄肉で、面外方向、すなわち、図１において上下方向に弾性変位可能な振動板５１（１）〜５１（５）として機能するように設定されている（図においては振動板５１（１）のみを示してある。）。
【００２６】
次に、シリコン基板２の下側に位置しているガラス基板４において、シリコン基板２に接合されるその上面には、シリコン基板２の各圧力室５（１）〜５（５）の底面を規定している各振動板５１（１）〜５１（５）に対峙する位置に、浅くエッチングされた凹部９（１）〜９（５）がそれぞれ形成されている。各凹部９（１）〜９（５）の底面には振動板５１（１）〜５１（５）にそれぞれ対応する個別電極１０（１）〜１０（５）が形成されている。各個別電極１０（１）〜１０（５）は、それぞれ、ＩＴＯからなるセグメント電極１０ａと端子部１０ｂを有している。
【００２７】
ガラス基板４をシリコン基板２に接合することにより、各インク圧力室５の底面を規定している振動板５１（１）〜５１（５）と、対応する個別電極におけるセグメント電極１０ａとは、非常に狭い隙間Ｇを隔てて対向している。この隙間Ｇは、シリコン基板２とガラス基板４の間に配置された封止剤６０によって封止され、密閉状態とされている。
【００２８】
シリコン基板２には、ノズルプレート３側のその表面に白金等の貴金属薄膜を付着させて共通電極端子２２が形成されており、ここと各個別電極１０（１）〜１０（５）との間に、電圧印加手段２１によって、駆動電圧パルスが印加される。シリコン基板２は導電性があるので、各振動板５１（１）〜５１（５）は共通電極として機能する。
【００２９】
振動板５１（１）〜５１（５）と個別電極１０（１）〜１０（５）の間に駆動電圧を印加することにより発生する静電力により、各振動板５１（１）〜５１（５）を個別電極側に吸引すると、振動板５１（１）〜５１（５）が弾性変位してセグメント電極１０ａの側に撓み、当該セグメント電極１０ａの表面に吸着する。この結果、インク圧力室５（１）〜５（５）の容積が拡大して、インク供給口７からインク圧力室５（１）〜５（５）にインクが供給される。
【００３０】
静電吸引力が解除されると、振動板５１（１）〜５１（５）はその弾性力によってセグメント電極１０ａの表面から離れて初期状態に復帰し、インク圧力室５（１）〜５（５）の容積が急激に減少する。このときインク圧力室内に発生するインク圧力振動により、インク圧力室内のインクの一部が、このインク圧力室５（１）〜５（５）に連通しているインクノズル１１からインク液滴として吐出される。
【００３１】
本例では、基板３上面に設けたノズル孔からインク液滴を吐出させるフェイスイジェクトタイプであるが、インク液滴を基板の端部に設けたノズル孔から吐出させるエッジイジェクトタイプでもよい。
【００３２】
（インク圧力室の構成）
図４を参照して、本例のインクジェットヘッド１のインク圧力室の構成の概要を説明する。図４は図２におけるII−II断面の略図を示している。いま、インク液滴が吐出されるインクノズル（「駆動ノズル」と呼ぶ）がインクノズル１１（３）であるとする。また、この駆動ノズル１１（３）の両側にインクノズル１１（２）、１１（４）が隣接している。駆動ノズル１１（３）のみが駆動ノズルの場合は、両側に隣接しているインクノズル１１（２）、１１（４）はインク液滴の吐出が行われないインクノズル（「非駆動ノズル」と呼ぶ）となる。また、全ノズルの駆動が行われる場合は、両側に隣接しているインクノズル１１（２）、１１（４）も駆動ノズルとなる。
【００３３】
図４において、インク圧力室５およびノズル１１のピッチ寸法をｐとし、インク圧力室５（２）〜（４）の幅寸法をｂ、インク圧力室５（２）〜（４）および隔離壁８（２）〜（４）の高さ寸法をｈ、同長さ寸法をｌ、隔離壁８（２）〜（４）の厚さ寸法をｗとして各寸法諸元が設定されている。
【００３４】
ここで、各隔離壁とインク圧力室内のインクのコンプライアンスをそれぞれ以下の通りとする。
【００３５】
Ｃ０：振動板のコンプライアンス
Ｃ１：隔離壁のコンプライアンス
Ｃｉｎｋ：インク圧力室内のインクのコンプライアンス
コンプライアンスＣとは規定の圧力変化ΔＰに対して生じた排除体積ΔＶによって定義される定数であり、物質や構造の柔らかさを示す。値が大きい程、構造が柔らかいことを示す。コンプライアンスＣの定義は以下の通りである。
【数１】
0004560983.tif 000002
コンプライアンス算出の対象がインク圧力室５内のインクの場合、Ｃｉｎｋはインクの圧縮率κにインク圧力室５内の容積Ｗを乗じた値となる。即ち、
【００３６】
【数２】
0004560983.tif 000003
本例においてインクの主成分が水であるため、インクの圧縮率κは理化年表から０．４５／ＧＰａである。本例においては、インク圧力室５内のインクのコンプライアンスＣｉｎｋはこの圧縮率を用いて算出している。
【００３７】
また、コンプライアンスの算出の対象が隔離壁８の場合、Ｃ1は、材料のヤング率をＥとして、材料力学的な両端固定の梁の解析解を適用することにより算出され、以下の式で示される。
【００３８】
【数３】
0004560983.tif 000004
ここで、コンプライアンスＣ１の算出に上述の式を用いたが、数式１の定義により、有限要素法を用いた計算により求めてもよい。
【００３９】
本発明のインクジェットヘッドの構成は、図４に示された例において、以下の式に示すαの値が１．１以下となる様に上述の各寸法諸元を設定している。
【００４０】
【数４】
0004560983.tif 000005
ここで示した値αは、インクノズル１１（３）のみが駆動しているときのインク圧力室５（３）の振動板５１（３）が対向する個別電極１０（３）に吸着している際のコンプライアンスと、隣接するインクノズルを含めた全てのインクノズル（２）〜（４）が駆動しているときインク圧力室５（３）の各振動板５１（２）〜（４）が対向する個別電極１０（２）〜（４）にそれぞれ吸着している際のコンプライアンスとの比を示している。詳細な計算過程と、αの値を１．１以下となる様に各寸法緒元を設定したときの実施結果については後述する。
【００４１】
更に、上述のαの値の設定に際して支配的な以下のβの値が０．６以下となる様に図４に示した例の各寸法諸元を設定している。
【００４２】
【数５】
0004560983.tif 000006
ここで示した値βは隔離壁８（３）のコンプライアンスＣ１とインク圧力室５（３）内のインクのコンプライアンスＣｉｎｋの比を示している。
【００４３】
（インク圧力室の等価回路）
本例のインクジェットヘッドのインク圧力室の構成では、インク圧力室５（３）のコンプライアンスは、振動板の待機時、吸着時と吐出時といったタイミングでそれぞれ異なる。更に、これらは隣接ノズル１１（２）、１１（４）が駆動ノズルであるか、非駆動ノズルであるかといった駆動条件により変化する。これら各駆動のタイミングや駆動条件によって変化するインク圧力室５（３）のコンプライアンスについて、図５に示すインク圧力室の等価回路により以下に説明する。
【００４４】
前述の、インク圧力室を構成する各壁のコンプライアンスＣ０およびＣ１とインク圧力室内のインクのコンプライアンスＣｉｎｋを用いると、図４に示したインク圧力室の電気回路モデルは、それぞれの場合で、図５の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）および（ｄ）の様になる。図５（ａ）は、全ての振動板が、フリーな場合であり、待機状態をモデル化したものである。図５（ｂ）は、インク圧力室５（３）の振動板５１（５）を対向する個別電極１０（３）へ吸着し、保持した状態をモデル化したものである。また、図５（ｃ）は、全ての圧力室の振動板が個別電極へ吸着／保持された、状態をモデル化したものである。これは、全ノズルを同時に駆動した場合の吸引保持した状態に当たる。
【００４５】
更に図５（ｄ）は、圧力室が独立し、他の圧力室から干渉を受けない状態をモデル化したものである。これは、全ノズル駆動をしている場合のインク液滴吐出時のモデルに当たる。
【００４６】
これらのそれぞれの場合について、中央のインク圧力室５（３）の流路のコンプライアンスを計算すると、以下の通りとなる。計算を簡単にするために、一部の計算過程ではＣｉｎｋ、Ｃ１≪Ｃ０という近似を前提に用いた。本実施例においてはＣｉｎｋ、Ｃ１が共に１０の−２０乗ｍ５／Ｎのオーダであるのに対して、Ｃ０は１０の−１８〜−１９乗オーダであり、十分この計算の前提が成り立っている。コンプライアンスＣａ、Ｃｂ、ＣｃおよびＣｄはそれぞれ図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）および（ｄ）に図示した等価回路におけるインク圧力室５（３）のコンプライアンスを示す。
【００４７】
【数６】
0004560983.tif 000007
上記の各駆動条件による各コンプライアンスをステップごとに整理すると表１の様になる。ここで、各駆動条件とは、コンプライアンスの計算対象となる駆動ノズルのみを単一駆動した場合と、同駆動ノズルを含む全てのノズルを同時に駆動した場合の２条件を示す。
【００４８】
【表１】
表１：各駆動条件による各コンプライアンスの計算結果
0004560983.tif 000008
【００４９】
表１より数式４で示したαは振動板５１の吸着保持された時のコンプライアンス比を示していることが分かる。
インクノズルとインク圧力室５とインク供給口とからなるインク流路の固有振動数ｆ０は、インク流路のイナータンスをＭ、インク圧力室のコンプライアンスをＣとして、以下の式で示される。
【００５０】
【数７】
0004560983.tif 000009
インク流路のイナータンスは、流路の断面積によって決まるものの、振動板の個別電極への吸着動作によって殆ど変化しないので、ここでは、固有振動数は、コンプライアンスによってきまる。コンプライアンス比αが１に近いということは、駆動条件によってインク流路の固有振動数に変化がないことを示している。
【００５１】
コンプライアンス比αを１に近い値に設定することにより、流路の振動系を安定化させ、クロストークの生じない流路を実現することが可能であることがわかる。
【００５２】
（各設計例と実験結果）
本発明のインクジェットヘッドの設計例とその実施結果について以下に説明する。
【００５３】
本発明のインクジェットヘッドの図４に示した構造における各寸法諸元の設計例と各コンプライアンスの計算結果を表２に示す。表２において、各寸法は設計して製作したサンプルの寸法の測定結果の代表値で示してある。また、表２に示された設計例のインク圧力室５および隔離壁８の長さｌは全て約２．５ｍｍとした。
【００５４】
【表２】
表２：インクジェットヘッドの設計例
0004560983.tif 000010
※1 コンプライアンスの単位  ×１０-20 [m5/N]
【００５５】
また、表２に示した設計例のインクジェットヘッドのサンプルを製作し、実施した結果を表３に示す。表３において、実施結果として、全ノズル駆動時に対する単一ノズル駆動時の吐出インク液滴吐出速度の低下率としてのＣＴ（クロストーク）量の測定結果と、最適な駆動電圧パルス幅Ｐｗの差（ズレ）量の測定結果と、印刷装置にインクジェットヘッドを取りつけて各種パターンの印刷を行った結果を示す。ここで、製作したインクジェットヘッドのノズル数は６４ノズルであり、全ノズル駆動とは６４ノズル全てから同時にインク液滴を吐出させたことを示す。
表３には併せて前述した数式４で示したαおよび数式５で示したβの値の計算結果を示す。
【００５６】
【表３】
表３：ヘッド特性比較調査結果
0004560983.tif 000011
※１  印刷結果  ○・・・良好    △・・・ドット抜けなし    ×・・・ドット抜け有り
【００５７】
ここで、表中のＰｗズレは単一ノズル駆動時と全ノズル駆動時で、それぞれインク液滴の量が最も多く吐出する駆動電圧パルス幅Ｐｗを測定し、その差を調査した結果を示す。また、インク速度は設定した駆動電圧パルス幅Ｐｗにて駆動した時に吐出したインク液滴の内のメインとなる液滴即ち、一回の駆動により吐出する複数のインク液滴の内、最も大きなインク液滴の射出速度の測定を単一ノズル駆動時と全ノズル駆動時でそれぞれ行った結果からＣＴ量を比として算出した結果を示す。
【００５８】
表３に示す実施結果において、隔離壁８のコンプライアンスとインク圧力室５内のインクのコンプライアンス比βを０．５９とした設計例▲１▼の結果では、同比βが１．０９とした比較対象において同一の駆動電圧パルス幅Ｐｗではインク液滴が吐出不能で印刷結果においてドット抜が生ずる場合があったのに対して、同一の駆動電圧パルス幅Ｐｗによる駆動でも印刷が可能である。同例▲２▼のコンプライアンス比β以下の流路緒元によれば、駆動するノズル本数によって、ドット抜け等の不具合を生ぜず、安定した印刷が可能となることを示している。
【００５９】
また、コンプライアンス比βの値を０．３４以下にした設計例▲２▼〜▲５▼においては、単ノズル駆動でも全ノズル駆動でも同一の最適駆動電圧パルス幅Ｐｗｓ（最適駆動電圧パルス幅）にて駆動が可能であり、略同一のインク液滴吐出特性、即ちインク液滴の速度を得ることができ、良好な印刷が可能である。コンプライアンス比βの値を０．３４以下にした本発明の流路緒元によれば、駆動するノズル本数によらず、安定的に高品質な印刷が簡単な制御方法により可能である。
【００６０】
更に、設計例▲３▼〜▲５▼の異なるノズルピッチｐ（解像度またはノズル密度）においても、コンプライアンス比αまたはβを本発明の構成にすることによって、安定的な吐出特性を得、良好な印刷結果が得られることが分かる。これにより、本発明により、解像度として１８０ｎｐｉ以上のノズル密度を有するインクノズル間隔にすることにより、高密度で高精細な印刷を複雑な制御を行わずに可能である。
（製造方法）
以下に、本発明の静電式インクジェットヘッドを製造方法を実施例を示して説明する。
【００６１】
まず、２２０μｍ以下の均一な厚みの（１１０）結晶方位を有する単結晶シリコンウエハをポリシングして作成し準備する。このシリコンウエハ表面に形成されたＳｉＯ２膜を露光現像してエッチングすることにより、シリコン基板２のインク圧力室５となる平面を区画を形成し、更に、シリコンをＫＯＨ水溶液で異方性エッチングしてインク圧力室５となる溝と振動板５１を形成する。
【００６２】
このとき、インク圧力室５および隔離壁８の高さｈは振動板５１が薄いので、シリコンウエハの厚みとほぼ同一になる。このめ前述したシリコンウエハは厚みが高さｈと略同一のものを作成している。シリコンウエハの厚みとしては、例えばノズルの解像度が１８０ｎｐｉのインクジェットヘッドを得ようとする場合は、１８０μｍが好ましく、同解像度が３６０ｎｐｉのインクジェットヘッドを得ようとする場合には、１４０μｍの厚みが好ましい。シリコンウエハの厚みは隔離壁のクロストークを防止する観点では薄いほうが好ましい。しかし、薄くなりすぎると、インク圧力室５の深さｈの値が小さくなりインク圧力室５のイナータンスＭが大きくなり、応答性が悪化してしまう。また、製造上の割れや取り扱いが難しくなる。このため、シリコンウエハの厚みは、薄くなりすぎないようにその厚みの下限を８０μｍ程度を目安として設定する。
【００６３】
次に振動板５１、隔離壁８、インク圧力室５を含むシリコン基板２が区画形成され、共通電極端子２２を形成したシリコンウエハと、ガラス基板４が区画形成されたガラスウエハとを陽極接合して接合し、ギャップ部を封止剤６０により封止する。
【００６４】
更に、ガラスウエハと接合されたシリコンウエハの反対側にノズルプレート３が区画形成されたノズルウエハを接着剤により接着接合してインク圧力室５を閉溝してインク流路を完成させる。
【００６５】
最後に、これら接合されたウエハを切断又は割断してインクジェットヘッド１を得る。
【００６６】
（インクジェットプリンタ）
次に、図６に本発明による印刷装置の実施例の外観斜視図を示す。印刷装置２００には静電式インクジェットヘッド１５１を含む印刷機構部１５０が搭載されている。インクジェットヘッド１５１はラインインクジェットヘッドとして印刷機構部１５０に搭載されている。インクジェットヘッド１５１には７０μmピッチ（３６０ｎｐｉ＝ノズルパーインチ）にて１４４０のインクノズルが記録紙１５２に対向する面に、長手方向に一列に配列されている。
【００６７】
図７において、印刷機構部１５０は、搬送機構１５５により、記録紙１５２を矢印Ａ方向に搬送し、記録紙１５２の搬送速度に同期してインクジェットヘッド１５１からインク液滴を吐出し、これにより記録紙１５２に印刷を行う。
【００６８】
上述の例では、インクジェットヘッド１５１は印刷機構部１５０に固定して記録紙１５２を搬送して印刷を行なうラインタイプのインクジェットプリンタについて説明した。しかしながら、本発明の印刷装置としては、インクジェットヘッドを記録紙上を副走査させてインク液滴を吐出し、記録紙を主走査方向に搬送しながら印刷を行なうシリアルタイプのインクジェットプリンタでもよい。
【００６９】
本発明によれば、高密度のインクジェットヘッド１５１を印刷装置２００に取り付けて、印刷を行なうので、高精細な印刷を高速に行なうことが可能である。
また、記録紙１５２上をインクジェットヘッド１５１が１回走査するのみで印刷が完了するので、インクジェットヘッド１５１の複雑な制御を必要としない。よって、簡単な制御で前述の高精細で高速な印刷が可能な印刷装置２００を実現できる。
【００７０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の静電式インクジェットヘッドにおいては、駆動ノズルにおいて、駆動ノズルのみからインク液滴を吐出させた時に振動板が個別電極に吸着された際のインク圧力室のコンプライアンスと、複数の全てのインクノズルからインク液滴を吐出させた時に振動板が前記個別電極に吸着された際のインク圧力室のコンプライアンスとの比が１．１以下となる
ようにしている。
【００７１】
従って、駆動ノズルを駆動する際、隣接ノズルが非駆動であるときと同時に駆動する時での駆動ノズル側のインク圧力室のコンプライアンスの変化を小さくできるので、駆動ノズルのインク流路の振動系の各ノズルの駆動条件による変化を防止あるいは抑制できる。
【００７２】
このとき、単ノズル駆動の時と、全ノズル駆動時では、インク圧力室を含むインク流路の固有振動数に大きな差が生じないので、吐出タイミング（駆動Ｐｗ特性）に差が生じない。また、振動系に大きな差を生じていないので、インク液滴吐出後、の液滴の切れ方も略同一であり、インク液滴の飛翔形態にも駆動条件による大きな差が生じない。よって、任意の単一ノズルであるインクノズルのみを駆動してインク液滴を吐出した際のインク液滴の吐出量、吐出速度と飛翔形態と、全てのノズルを駆動してインク液滴を吐出した際のインクノズルのインク液滴の吐出量、吐出速度と飛翔形態とに大きな差を生じない。駆動するノズルの本数といった駆動条件による吐出特性に差が生じないので、印刷するパターンによらず、安定した印刷品位を確保することができる。
【００７３】
よって、隔離壁を介した圧力のクロストークを防止あるいは抑制できるので、当該クロストークに起因したインク吐出特性の劣化を防止あるいは抑制できる。
【００７４】
この結果、本発明のインクジェットヘッドによれば、インクジェットヘッドの高密度化を、インク吐出特性の劣化を招くことなく実現できるので、高精細で緻密な印刷品位での印刷を達成できる。
【００７５】
更に、より少ない部品点数でより簡単な製造方法によって、高密度で多ノズルのインクジェットを容易に製造することが可能である。
【００７６】
加えて、インクジェットヘッドの高密度化を、駆動装置の複雑化と印刷速度の低下を招くことなく実現できるので、印刷速度が速く、高精細な印刷が可能な印刷装置を容易に実現可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した静電式インクジェットヘッドの一例を示す概略縦断面図。
【図２】図１に示す静電式インクジェットヘッドの概略平面構成図。
【図３】図１に示す静電式インクジェットヘッドを直交する方向で切断した場合の概略横断面図。
【図４】図１の静電式インクジェットヘッドの構成を示すための説明図。
【図５】  図４の静電式インクジェットヘッドのモデルの説明図。
【図６】本発明のインクジェットヘッドを適用したインクジェットプリンタを表す図。
【図７】本発明のインクジェットヘッドを適用したラインタイプのインクジェットプリンタの印刷機構部を表す図。
【図８】従来のインクジェットヘッドの駆動方法における不具合を説明するための説明図。
【符号の説明】
１    静電式インクジェットヘッド
２    シリコン基板
３    ノズルプレート
４    ガラス基板
５（１）〜５（５）    圧力室
６    共通インク室
７    インク供給口８（１）〜８（５）  隔離壁９（１）〜９（５）  凹部
１０（１）〜１０（５）    個別電極
１０ａ    セグメント電極
１０ｂ    端子部
１１（１）〜１１（５）    インクノズル
１２    インク取出し口
２１    電圧印加手段
２２    共通電極端子
５１（１）〜５１（５）    振動板
６０    封止剤
１５１  ラインインクジェットヘッド
２００  印刷装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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