(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
該基台に立設されたガイド軸と、
該ガイド軸を挿通させるガイド穴を有し、一の端部に一枚の平板を保持する溝幅Ｗの保持溝が形成された２Ｎ＋１（Ｎは整数）枚の保持板と、
該２Ｎ＋１枚の保持板の前記ガイド穴を前記ガイド軸に挿通させたときに、前記保持板に前記基台から順に番号を付し、該番号が２Ｎ＋１番目となる保持板を移動板とし、該移動板を、軸方向に往復移動させて前記基台との間の距離を伸縮させる直動装置とを備え、
前記基台と移動板との間の距離を最も縮めたときに、前記保持溝の保持ピッチを等ピッチＰｔとし、
前記基台と移動板との間の距離を最も伸ばしたときに、前記保持溝の保持ピッチを、前記等ピッチＰｔより狭い狭ピッチＰｓと、前記等ピッチＰｔより広い広ピッチＰｂとの一組の組ピッチの連続とすることを特徴とする保持ピッチ変換構造。
【請求項２】
請求項１において、
前記保持板一の面をおもて面とし、その反対側の面を裏面とし、前記番号が奇数番となる保持板と、次の偶数番となる保持板を１対とし、該１対の保持板のおもて面を互いに対向させて配置すると共に、前記番号が第２Ｎ番目となる保持板の裏面に前記移動板の裏面を対向させて配置し、
前記保持板の板厚Ｔを、前記等ピッチＰｔと狭ピッチＰｓとを加えた長さの１／２の厚さとし、前記保持溝の溝幅Ｗの中心Ｃを、前記保持板のおもて面から前記狭ピッチＰｓの１／２の長さとなる位置に設け、
前記番号が第２番目となる保持板を、該保持板のおもて面と前記基台との間の距離を、前記等ピッチＰｔと狭ピッチＰｓとの差の長さに、前記板厚Ｔを加えた長さで前記基板に固定する固定棒と、
前記保持板の裏面からの突出量を、前記等ピッチＰｔと狭ピッチＰｓとの差の長さに前記板厚Ｔを加えた長さとした係止部を有する第１の係止棒と、
隣り合う２対の保持板の間に延在し、最も前記基台側に位置する前記奇数番の保持板に固定され、外側の２枚の保持板に挟まれた内側の２枚の保持板を挿通する軸部と、前記外側の２枚の保持板の対向するおもて面間の距離を、前記広ピッチＰｂに狭ピッチＰｓを加えた長さに係止するストッパ部を有する第２の係止棒と、
前記番号が第２Ｎ−１番目となる保持板に固定され、前記番号が第２Ｎ番目となる保持板を挿通する軸部と、前記第２Ｎ−１番目となる保持板と前記移動板とのおもて面との間の距離を、前記広ピッチＰｂに狭ピッチＰｓを加えた長さに係止するストッパ部を有する第３の係止棒とを設け、
前記第１の係止棒を、前記番号が第１番目となる保持板を除き、前記移動板を含む、前記奇数番となる保持板に、該保持板の裏面から前記基台の方向に突出させた前記係止部を１つ前の前記偶数番の保持板を挿通させて固定すると共に、前記番号が第２Ｎ番目となる保持板を除く、前記偶数番となる保持板に、該保持板の裏面から前記基台とは反対方向に突出させた前記係止部を次の前記奇数番の保持板を挿通させて固定したことを特徴とする保持ピッチ変換構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ等の平板の搬送や工程作業において要求される平板の保持ピッチを所定の２種類の保持ピッチに相互に変換する保持ピッチ変換構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の平板としての半導体ウェハの保持ピッチ変換構造は、常用ピッチとその１／２の
半ピッチとの２種類の等ピッチに保持ピッチを変換する場合に、載置部に常用ピッチで形成した半導体ウェハの保持溝を、ウェハガイドに半ピッチで形成された保持溝を設け、ウェハガイドの保持枚数の半分の枚数の半導体ウェハを載置部からウェハガイドへ搬送して１枚おきにウェハガイドに保持させ、残りの半分を載置部からウェハガイドへ搬送して１枚おきに保持された半導体ウェハの間の保持溝に保持させて常用ピッチを半ピッチに変換し、ウェハガイドに保持させた多数の半導体ウェハの洗浄、乾燥後に、前記と逆の作動で半ピッチを常用ピッチに変換している（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平５−１２９２６７号公報（第２頁段落００２０−第４頁段落００３０、第１０図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上述した従来の技術は、常用ピッチとその半ピッチの２種類の等ピッチに保持ピッチを変換する技術であるので、洗浄工程や乾燥工程における装置の小型化を図るためには有用な技術であるが、適用する工程によっては常用ピッチの等ピッチと、所定の不等ピッチとに保持ピッチを相互に変換することを求められる場合がある。
例えば、半導体ウェハの製造工程における半導体ウェハの素子形成面へのイオン注入工程やパネル等の平板の所定の塗装面への塗装工程においては、素子形成面や塗装面を外側にして背中合わせに狭い間隔で配置した一対の平板を対毎に広い間隔で配置し、広い間隔で配置されている素子形成面や塗装面の間に不純物や塗料を導入して、素子形成面の拡散層や塗装面の塗膜の均一性を確保しながら効率的にイオン注入工程や塗装工程を行う場合等である。
【０００４】
このような、常用ピッチで搬送された平板を狭いピッチと広いピッチとの組合せによる組ピッチに相互に保持ピッチを変換する場合は、ロボットアームや人により１枚ずつその工程に用いるラック等や搬送用のキャリア等に移し変えているのが現状であり、保持ピッチの変換に時間を要し、保持ピッチの変換工程における作業効率を低下させるという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、常用ピッチとして用いる等ピッチと、適用工程により要求される組ピッチとの２種類の保持ピッチを効率的に相互に変換する手段を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するために、保持ピッチ変換構造が、基台と、該基台に立設されたガイド軸と、該ガイド軸を挿通させるガイド穴を有し、一の端部に一枚の平板を保持する溝幅Ｗの保持溝が形成された２Ｎ＋１（Ｎは整数）枚の保持板と、該２Ｎ＋１枚の保持板の前記ガイド穴を前記ガイド軸に挿通させたときに、前記保持板に前記基台から順に番号を付し、該番号が２Ｎ＋１番目となる保持板を移動板とし、該移動板を、軸方向に往復移動させて前記基台との間の距離を伸縮させる直動装置とを備え、前記基台と移動板との間の距離を最も縮めたときに、前記保持溝の保持ピッチを等ピッチＰｔとし、前記基台と移動板との間の距離を最も伸ばしたときに、前記保持溝の保持ピッチを、前記等ピッチＰｔより狭い狭ピッチＰｓと、前記等ピッチＰｔより広い広ピッチＰｂとの一組の組ピッチの連続とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
これにより、本発明は、直動装置により移動板を移動させるだけで保持ピッチを常用ピッチとして用いる等ピッチＰｔと、適用工程により要求される組ピッチの連続とに即座に相互変換することができ、保持ピッチの変換時間を短縮して保持ピッチの変換工程における作業効率を向上させることができるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下に、図面を参照して本発明による保持ピッチ変換構造の実施例について説明する。
【実施例】
【０００９】
図１は実施例の保持ピッチ変換構造の側面を示す説明図、図２は実施例の保持ピッチ変換構造の組ピッチへの変換後の状態を示す説明図、図３は実施例の保持板の保持溝を示す説明図、図４は図３のＡ方向矢視図、図５は実施例の第１の係止棒を示す説明図、図６は実施例の第２の係止棒を示す説明図である。
なお、図１は保持溝を等ピッチとしたときの状態を示している。
【００１０】
図１において、１は保持ピッチ変換構造であり、保持ピッチを、搬送時や貯留時等の場合の常用ピッチである等ピッチＰｔと、等ピッチＰｔより狭い狭ピッチＰｓと、等ピッチＰｔより広い広ピッチＰｂとの一組の組ピッチの連続とに変換する機能を有している。
２は保持ピッチ変換構造１の基台である。
３はガイド軸であり、その一端は基台２の一方の面に固定され、他端はシリンダ設置台４にボルト等により着脱可能に取付けられている。本実施例では２以上のガイド軸３が基台２に立設形成されている。
【００１１】
シリンダ設置台４は、ベース板４ａに位置出し具４ｂを介してボルト４ｃにより組み付けられたシリンダ固定板４ｄ等で構成されている。
５は直動装置としてのシリンダであり、シリンダ設置台４のシリンダ固定板４ｄに固定され、ベース板４ａに設けられた穴４ｅに挿通させたシャフト６をその軸方向に直線的に往復移動させる機能を有している。本実施例のシリンダ５は空気圧でシャフト６を移動させるエアシリンダである。
【００１２】
８は保持板であり、一の端部に一枚の平板を保持する保持溝９が形成された板状部材であって、その厚さ方向に貫通するガイド穴１０が設けられており、このガイド穴１０にガイド軸３を挿通させて基台２とシリンダ設置台４との間に２Ｎ＋１（Ｎは整数）枚、つまり奇数枚（図１の例では７枚）配置される。
本説明においては、それぞれの保持板８を区別するために、基台２側から順に番号を付し、最も基台２側の番号が第１番目となる保持板８を第１の保持板８ａとし、これからシリンダ設置台４に向かって第２の保持板８ｂ、第３の保持板８ｃ、・・・と称し、番号が第２Ｎ＋１番目となる保持板８（図１の例では第７番目となる第７の保持板８ｇ）を移動板１２として説明する。
【００１３】
シリンダ５のシャフト６の先端部はこの移動板１２に連結され、シャフト６の移動に連動して移動板１２が軸方向に移動し、基台２と移動板１２との間の距離を伸縮させる。
本実施例の保持溝９は、図３、図４に示すように、円形状の平板としての半導体ウェハ１４をその厚さ方向で保持する溝であって、図３に示すようにその溝幅Ｗは、半導体ウェハ１４の厚さＨに所定の隙間代を加えた半導体ウェハ１４の厚さＨとほぼ同等の幅に設定され、その中心Ｃは保持板８の一の面（図３の例では右側の面、おもて面１６という。）から狭ピッチＰｓの１／２の長さになる位置に設定され、おもて面１６の反対側の面である裏面１７からは等ピッチＰｔの１／２の長さになるよう設定されている。
【００１４】
従って、保持板８の厚さである板厚Ｔは、等ピッチＰｔと狭ピッチＰｓとを加えた長さの１／２の厚さに設定される。
また、保持溝９の溝底は、図４に示すように、円弧状に形成されており、この溝底で半導体ウェハ１４の外周を半径方向に支持しながら、保持溝９の側面で半導体ウェハ１４の外周縁の表裏の面を厚さ方向に保持するよう構成されている。
【００１５】
１８は案内面であり、保持溝９の口元に形成された、保持溝９の溝幅Ｗを拡大する方向に傾斜した斜面であって、半導体ウェハ１４を保持溝９に挿入する時に外周を保持溝９に案内する機能を有している。
本実施例の保持板８は、第１の保持板８ａ、第３の保持板８ｃ等の奇数番となる保持板８と、第１の保持板８ａの次の第２の保持板８ｂ、第３の保持板８ｃの次の第４の保持板８ｄ等の次の偶数番となる保持板８を１対とし、この第１の保持板８ａ、第２の保持板８ｂ等の奇数番と次の偶数番の保持板８で構成される１対の保持板８のおもて面１６を互いに対向させて配置される。
【００１６】
また、移動板１２の裏面１７は、第２Ｎ番目となる保持板８（本実施例では第６の保持板８ｆ）の裏面１７に対向させて配置される。
図１において、１９は固定棒であり、その一端を第１の保持板８ａの固定棒挿通穴２０に挿通させて圧入等により基板２の嵌合穴２ａに固定され、鍔部１９ａを有する他端が第２の保持板８ｂに圧入等により固定された、第２の保持板８ｂを基台２に固定する固定部材であって、第２の保持板８ｂのおもて面１６と基台２との間の距離Ｌ２を、等ピッチＰｔと狭ピッチＰｓとの差の長さに１枚の保持板８の板厚Ｔを加えた長さに固定する。
【００１７】
２１は第１の係止棒であり、図５に示すように、鍔部２２ａを有する固定端２２と係止部２３とで形成された段付軸状部材であって、その係止部２３の長さは、固定端２２を圧入等により保持板８に固定したときに、保持板８の裏面１７からの突出量Ｌｊが、等ピッチＰｔと狭ピッチＰｓとの差の長さに１枚の保持板８の板厚Ｔを加えた長さ（＝Ｌ２）となるように形成されている。
【００１８】
図１等に示す第１の係止棒２１ａと、第１の係止棒２１ｂは、同じ構成の第１の係止棒２１であるが、その固定方向を区別するために２つの符号を付して示してある。
すなわち、第１の係止棒２１ａは、第１の保持板８ａを除き、移動板１２（第７の保持板８ｇ）を含む、第３の保持板８ｃ等の奇数番となる保持板８に、これらの保持板８の裏面１７から基台２の方向に突出量Ｌｊで突出させた係止部２３を、１つ前の偶数番の保持板８（第３の保持板８ｃの１つ前の第２の保持板８ｂ等）の係止部挿通穴２４を挿通させて固定される。
【００１９】
また、第１の係止棒２１ｂは、番号が移動板１２の１つ前の番号となる第２Ｎ番目の保持板８（本実施例では第６の保持板８ｆ）を除く、第２の保持板８ｂ等の偶数番となる保持板８に、これらの保持板８の裏面１７から基台２とは反対方向に突出量Ｌｊで突出させた係止部２３を、第３の保持板８ｃ等の次の奇数番の保持板８の係止部挿通穴２４を挿通させて固定される。
【００２０】
２５は第２の係止棒であり、軸部２６の一端にストッパ部２７が形成された段付軸状部材であって、その軸部２６は、隣り合う２対の保持板８（例えば、第１および第２の保持板８ａ、８ｂと第３および第４の保持板８ｃ、８ｄ）の間に延在し、外側の２枚の保持板８（前記の例では第１と第４の保持板８ａ、８ｄ）に挟まれた内側の２枚の保持板８（前記の例では第２と第３の保持板８ｂ、８ｃ）の軸部挿通穴２９に挿通し、他端を最も基台２側に位置する奇数番の保持板８（前記の例では第１の保持板８ａ）のおもて面１６に設けられた嵌合穴に嵌合させ、図６に示すように、六角穴付ボルト状の固定ねじ２８により固定される。
【００２１】
また、ストッパ部２７は、図６に示すように、最もシリンダ設置台４側の保持板８（前記の例では第４の保持板８ｄ）の軸部挿通穴２９に挿通する軸部２６の一端に設けられた鍔状の係止部材であって、最もシリンダ設置台４側の保持板８の裏面１７の設けられたストッパ穴３０の底面３０ａにその軸部２６側の面を当接させて、外側の２枚の保持板８の対向するおもて面１６間の距離Ｌｋを、広ピッチＰｂに狭ピッチＰｓを加えた長さに係止する。
【００２２】
３２は第３の係止棒であり、第２の係止棒２５と同様に形成されているが、図１、図２に示すように軸部３３の長さが異なっている。
すなわち、軸部３３の長さは、移動板１２の１つ前の一対の保持板８（本実施例では第５および第６の保持板８ｅ、８ｆ）の番号が第２Ｎ−１番目となる保持板８（本実施例では第５の保持板８ｅ）に固定ねじ２８により他端を固定され、番号が第２Ｎ番目となる保持板８（本実施例では第６の保持板８ｆ）の軸部挿通穴２９を挿通し、移動板１２の軸部挿通穴２９を挿通する軸部３３の一端に設けられたストッパ部２７が、その軸部３３側の面を移動板１２のおもて面１６に形成されたストッパ穴３０の底面３０ａに当接させたときに、第２Ｎ−１番目となる保持板８と移動板１２とのおもて面１６との間の距離Ｌｍが、広ピッチＰｂに狭ピッチＰｓを加えた長さ（＝Ｌｊ）なるように設定されている。
【００２３】
３５はストッパ部逃げ穴であり、第２の係止棒２５のストッパ部２７が通過できる大きさの断面形状を有する穴であって、図１に示すように、基台２と移動台１２との間の距離を最も縮めたときに第２の係止棒２５のストッパ部２７が当接する保持板８の該当部位に形成されている。
本実施例では、第１の保持板８ａに固定された第２の係止棒２５のストッパ部２７のストッパ部逃げ穴３５は、隣合う２対の保持板８（図１、図２の例では第１から第４の保持板８ａ〜８ｄ）の次の２枚の保持板８（第５および第６の保持板８ｅ、８ｆ）に設けられている。第３の保持板８ａに固定された第２の係止棒２５の場合も同様である。
【００２４】
上記の構成の保持ピッチ変換構造１を組立てる場合は、第１の保持板８ａと第２Ｎ番目の保持板８である第６の保持板８ｆを除く保持板８に、それぞれの裏面１７から突出量Ｌｊで係止部２３を突出させた第１の係止棒２１を固定し、第２の保持板８ｂに固定棒１９をおもて面１６側に突出させて固定する。
移動板１２とする２Ｎ＋１番目の保持板８である第７の保持板８ｇの軸部挿通穴２９にそのストッパ穴３０側から第３の係止棒３２の軸部３３を挿入する。
【００２５】
次いで、ストッパ穴３０側から第２の係止棒２５の軸部２６を軸部挿通穴２９に挿入した第６の保持板８ｆの裏面１７を、移動板１２の裏面１７に向け、第１の係止棒２１ａの係止部２３と第３の係止棒３２の軸部３３とをそれぞれ係止部挿通穴２４と軸部挿通穴２９とに挿通させながら移動板１２に第６の保持板８ｆを重ねる。
そして、第２Ｎ−１番目の保持板８である第５の保持板８ｅのおもて面１６を第６の保持板８ｆのおもて面１６に向け、第２の係止棒２５の軸部２６を軸部挿通穴２９に挿通させながら第３の係止棒３２の軸部３３の端部を嵌合穴に嵌合させ、固定ねじ２８により第５の保持板８ｅに第３の係止棒３２を固定して、第６の保持板８ｆに第５の保持板８ｅを重ねる。
【００２６】
次いで、ストッパ穴３０側から第２の係止棒２５の軸部２６を軸部挿通穴２９に挿入した第４の保持板８ｄの裏面１７を、第５の保持板８ｅの裏面１７に向け、第１の係止棒２１ａ、２１ｂの係止部２３と第２の係止棒２５の軸部２６とをそれぞれ係止部挿通穴２４と軸部挿通穴２９とに挿通させながら第５の保持板８ｅに第４の保持板８ｄを重ねる。
そして、第３の保持板８ｃのおもて面１６を第４の保持板８ｄのおもて面１６に向け、第１の係止棒２１ａ、２１ｂの係止部２３と第２の係止棒２５の軸部２６をそれぞれ係止部挿通穴２４と軸部挿通穴２９に挿通させながら第２の係止棒２５の軸部２６の端部を嵌合穴に嵌合させ、固定ねじ２８により第３の保持板８ｃに第２の係止棒２５を固定して、第４の保持板８ｄに第３の保持板８ｃを重ねる。
【００２７】
次いで、第２の保持板８ｂの裏面１７を、第３の保持板８ｃの裏面１７に向け、第１の係止棒２１ａ、２１ｂの係止部２３と第２の係止棒２５の軸部２６とをそれぞれ係止部挿通穴２４と軸部挿通穴２９とに挿通させながら第３の保持板８ｃに第２の保持板８ｂを重ねる。
そして、第１の保持板８ａのおもて面１６を第２の保持板８ｂのおもて面１６に向け、固定棒１９を固定棒挿通穴２０に挿通させながら第２の係止棒２５の軸部２６の端部を嵌合穴に嵌合させ、固定ねじ２８により第１の保持板８ａに第２の係止棒２５を固定して、第２の保持板８ｂに第１の保持板８ａを重ね、図１に示す保持板８のみの組立体を形成する。
【００２８】
その後に、各保持板８のガイド穴１０に、基台２に立設されたガイド軸３を挿通させながら、第１の保持板８ａの裏面１７を基台２側に向けて差込み、固定棒１９の先端を基台２の嵌合穴２ａに嵌合させ、治具等を用いて第２の保持板８ｂのおもて面１６と基台２との間を距離Ｌ２となるように設定して固定する。
そして、ガイド軸３の端部にシリンダ５を取付けたシリンダ設置台４を取付け、シリンダ５の先端を移動板１２のおもて面１６に連結して、本実施例の保持ピッチ変換構造１を組立てる。
【００２９】
上記のようにして組立てられた保持ピッチ変換構造１の作用について説明する。
保持ピッチ変換構造１の保持ピッチを等ピッチＰｔとする場合には、シリンダ５によりシャフト６を介して移動板１２を基台２の方向へ移動させ、図１に示す基台２と移動板１２との間の距離を最も縮めた状態にする。
この縮める過程において、第１の保持板８ａを除く奇数番の保持板８に、基板２側に向けて固定された第１の係止棒２１ａの係止部２３の先端が、一つ前の奇数番のおもて面１６を押圧しながら移動し、第３の保持板８ｃの第１の係止棒２１ａの係止部２３の先端でおもて面１６を押圧された第１の保持板８ａの裏面１７が基台２に当接すると、第２の保持板８ｂは基台２に固定棒１９により固定されているので、第６の保持板８ｆを除く偶数番の保持板８に、基板２とは反対側に向けて固定された第１の係止棒２１ｂの係止部２３の先端が、次の偶数番の保持板８のおもて面１６に当接し、図１に示す状態になって停止する。
【００３０】
このとき、偶数番の保持板８と、第１の保持板８を除く奇数番の保持板８の裏面１７同士が当接し、一対の保持板８のおもて面１６間は第１の係止棒２１ａ、２１ｂにより等ピッチＰｔと狭ピッチＰｓとの差の長さに相当する隙間が形成された状態で係止され、図３に示すように保持溝９の溝幅Ｗの中心Ｃは、その裏面１７との間が等ピッチＰｔの１／２に、おもて面１６との間が狭ピッチＰｓの１／２に形成されているので、各保持溝９間の保持ピッチは図１に示すように等ピッチＰｔになる。
【００３１】
このようにして、各保持溝９間の保持ピッチを等ピッチＰｔとした保持ピッチ変換構造１の各保持溝９には、常用ピッチである等ピッチＰｔで半導体ウェハ１４を搭載したキャリア等により搬送された半導体ウェハ１４が図示しないウェハ移載装置によって保持溝９の数と同数まとめて移送され、図３、図４に矢印Ｅで示す方向に半導体ウェハ１４を挿入して移し変えられる。
【００３２】
各保持溝９に等ピッチＰｔで保持された半導体ウェハ１４の保持ピッチを、狭ピッチＰｓと広ピッチＰｂとを組合せた組ピッチの連続に変換する場合は、シリンダ５によりシャフト６を介して移動板１２をシリンダ設置台４の方向へ移動させ、図２に示す基台２と移動板１２との間の距離を最も伸ばした状態にする。なお図２は図を見やすくするために半導体ウェハ１４を除いた状態で描いてある。
【００３３】
この図１の状態から図２の状態に伸ばす過程において、移動板１２の移動に伴って、まず第３の係止棒３２のストッパ部２７が移動板１２のストッパ穴３０の底面３０ａに当接して第３の係止棒３２が固定されている第５の保持板８ｅをシリンダ設置台４の方向へ引張り、第５の保持板８ｅのおもて面１６を第６の保持板８ｆのおもて面１６に当接させ、第６の保持板８ｆを更に引張って第２の係止棒２５のストッパ部２７を第６の保持板８ｆのストッパ穴３０の底面３０ａに当接させる。
【００３４】
これにより、第２の係止棒２５が固定されている第３の保持板８ｃが引張られ、第３の保持板８ｃのおもて面１６を第４の保持板８ｄのおもて面１６に当接させ、第４の保持板８ｄを更に引張って第２の係止棒２５のストッパ部２７を第４の保持板８ｄのストッパ穴３０の底面３０ａに当接させる。
そして、第２の係止棒２５が固定されている第１の保持板８ａが引張られてそのおもて面１６が、基台２に固定棒１９により固定されている第２の保持板８ｂのおもて面１６に当接すると、図２に示す状態になって停止する。
【００３５】
このとき、一対の保持板８のおもて面１６同士が当接し、２対の保持板８のそれぞれの外側の保持板８の対抗するおもて面１６間は距離Ｌｋと、第５の保持板８ｅのおもて面１６と移動板１２のおもて面１６との間の距離Ｌｍとは、第２の係止棒２５と第３の係止棒３２とによりそれぞれ広ピッチＰｂと狭ピッチＰｓとを加えた長さにそれぞれのストッパ部２７により係止され、図３に示すように保持溝９の溝幅Ｗの中心Ｃは、その裏面１７との間が等ピッチＰｔの１／２に、おもて面１６との間が狭ピッチＰｓの１／２に形成されているので、各保持溝９間の保持ピッチは図２に示すように基台２側から狭ピッチｐｓと広ピッチＰｂとを組合せた組ピッチの連続に形成される。
【００３６】
このようにして、保持ピッチを組ピッチの連続に変換した保持溝９に保持された半導体ウェハ１４は、図示しないウェハ移載装置によって適用工程に用いられるラック等にまとめて移し変えられ、適用工程での処理の終了後にラック等から保持ピッチ変換構造１へ移し変えられた半導体ウェハ１４は、上記と逆の作動によって等ピッチＰｔに変換され、キャリア等にまとめて移し変えられて次工程へ搬送される。
【００３７】
なお、本実施例では、第２の係止棒２５のストッパ部２７のストッパ部逃げ穴３５を隣合う２対の保持板８の次の２枚の保持板８に設けるとして説明したが、広ピッチＰｂを更に広げる場合は、次の３枚以上の保持板８に設けるようにするとよい。要は、等ピッチＰｔより狭い狭ピッチＰｓと等ピッチＰｔより広い広ピッチＰｂとの組合せによる組ピッチであれば、どのような組合せの組ピッチであっても上記の構成を用いれば容易に等ピッチＰｔと組ピッチの連続とに容易に相互変換することができる。
【００３８】
以上説明したように、本実施例では、保持ピッチ変換構造を、基台に立設されたガイド軸にガイド穴を挿通させて、端部に一枚の半導体ウェハを保持する溝幅Ｗの保持溝を形成した２Ｎ＋１枚の保持板を配置し、その２Ｎ＋１番目となる保持板を移動板とし、この移動板を軸方向に往復移動させて基台との間の距離を伸縮させるシリンダを設け、基台と移動板との間の距離を最も縮めたときに、保持溝の保持ピッチを等ピッチＰｔとし、基台と移動板との間の距離を最も伸ばしたときに、保持溝の保持ピッチを狭ピッチＰｓと広ピッチＰｂとの組ピッチの連続とするようにしたことによって、シリンダにより移動板を移動させるだけで保持ピッチを常用ピッチとして用いる等ピッチＰｔと、適用工程により要求される組ピッチの連続とに即座に相互変換することができ、保持ピッチの変換時間を短縮して保持ピッチの変換工程における作業効率を向上させることができる他、簡易な動力で様々な組ピッチへの変換要求に容易に対応することができ、保持ピッチ変換構造の製作コストを低減することができると共に、その設置面積の減少を図ることができる。
【００３９】
なお、上記実施例においては、平板は半導体ウェハであるとして説明したが、平板は前記に限らず、円形状や矩形状、多角形状等の金属板や樹脂板等であってもよい。この場合に保持溝の溝底の形状は保持する平板の形状に応じて適宜に定めるようにする。
また、上記実施例においては、直動装置は空圧式のシリンダであるとして説明したが、直動装置は前記に限らず、油圧式のシリンダやボールねじ装置等であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】実施例の保持ピッチ変換構造の側面を示す説明図
【図２】実施例の保持ピッチ変換構造の組ピッチへの変換後の状態を示す説明図
【図３】実施例の保持板の保持溝を示す説明図
【図４】図３のＡ方向矢視図
【図５】実施例の第１の係止棒を示す説明図
【図６】実施例の第２の係止棒を示す説明図
【符号の説明】
【００４１】
１    保持ピッチ変換構造
２    基台
２ａ  嵌合穴
３    ガイド軸
４    シリンダ設置台
４ａ  ベース板
４ｂ  位置出し具
４ｃ  ボルト
４ｄ  シリンダ固定板
４ｅ  穴
５    シリンダ
６    シャフト
８    保持板
８ａ〜８ｆ  第１〜第６の保持板
９    保持溝
１０  ガイド穴
１２  移動板（第７の保持板８ｇ）
１４  半導体ウェハ
１６  おもて面
１７  裏面
１８  案内面
１９  固定棒
１９ａ、２２ａ  鍔部
２０  固定棒挿通穴
２１、２１ａ、２１ｂ  第１の係止棒
２２  固定端
２３  係止部
２４  係止部挿通穴
２５  第２の係止棒
２６、３３  軸部
２７  ストッパ部
２８  固定ねじ
２９  軸部挿通穴
３０  ストッパ穴
３０ａ  底面
３２  第３の係止棒
３５  ストッパ部逃げ穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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