(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ユーザートレーに積載されたディバイスをテストトレーにロードさせるロード装置と、
前記ロード装置によりディバイスのロードが終了した前記テストトレーを収納するために設けられるソークチャンバーと、
前記ソークチャンバーの内部に進入し終わった前記テストトレーを把持した後に姿勢変換させる姿勢変換装置と、
前記ソークチャンバーから供給される前記テストトレーに積載されたディバイスをテストするために設けられるテストチャンバーと、
前記テストトレーが前記テストチャンバーに供給される前に、前記テストトレーに積載されたディバイスを予熱／予冷するために設けられる温度制御手段と、
前記テストチャンバーにおいてテストが終了したディバイスをユーザートレーにアンロードさせるアンロード装置と、
を備え、
前記温度制御手段は、
前記テストトレーが前記ソークチャンバーに進入し終わった後から前記姿勢変換装置により姿勢変換されるまでの間、前記テストトレーのディバイスを持続的に予熱／予冷し続け、
前記姿勢変換装置は、
前記ソークチャンバーの内部に位置され、前記ソークチャンバーの内部に進入するテストトレーを把持し、前記テストトレーを姿勢変換するために設けられる回転体と、
前記回転体の姿勢変換作動に必要とされる動力を提供し、前記ソークチャンバーの外部に設けられて前記温度制御手段の予熱／予冷作用から隔離される、第１動力源と、
前記第１動力源からの動力を前記回転体に伝える第１伝動軸と、
前記テストトレーが姿勢変換される途中で前記回転体から離脱することを防ぐためのストッパーと、
前記ストッパーの作動に必要とされる動力を提供し、前記ソークチャンバーの外部に設けられて前記温度制御手段の予熱／予冷作用から隔離される、第２動力源と、
前記第２動力源からの動力を前記ストッパーに伝える第２伝動軸と、
を備えることを特徴とするテストハンドラー。
【請求項２】
前記第１伝動軸および前記第２伝動軸が、同じ軸中心を有するように配設されることを特徴とする請求項１に記載のテストハンドラー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産された半導体ディバイスを積載しているテストトレーをハンドリングするテストハンドラーに係るもので、詳しくは、テストトレーを姿勢変換させるための姿勢変換装置の配置構造及びその作動方法に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、テストハンドラーは、所定の製造工程を経て製造された半導体ディバイス（以下、ディバイスと略称する）を積載しているテストトレーをハンドリングし、テスターによりディバイスをテストした結果に基づいてディバイスを等級別に分類してユーザートレーに積載する機器である。このようなテストハンドラーは、テストトレーをテスターヘッドに対して循環させながらテスト結果に基づいてディバイスを分類させ、テスターとのドッキング方式によってアンダーヘッドドッキングタイプと、サイドドッキングタイプと、に区別される。
【０００３】
その中で、前記サイドドッキングタイプのテストハンドラーは、生産されたディバイスが積載されたユーザートレーから水平状態のテストトレーにディバイスをロードし、ディバイスが積載されたテストトレーを垂直状態に姿勢変換して予熱または予冷させてから垂直状態のテスターヘッドに接続させ、テストの終了後には垂直状態のテストトレーを常温に還元させてから水平状態に復帰させた後、テスト結果に基づいてディバイスを分類しながらユーザートレーにアンロードさせる過程を行うようになっている。
【０００４】
そのためにサイドドッキングタイプのテストハンドラーは、周知のように、ロード装置、垂直姿勢変換装置、ソークチャンバー、テストチャンバー、回復チャンバー、水平姿勢変換装置及びアンロード装置を備えて構成され、図１２を参照して簡略に説明すると、次の通りである。
【０００５】
ロード装置１１２０は、ユーザートレー１１１０に積載されたディバイスを水平状態のテストトレーにロード（移送及び積載）させる。
【０００６】
垂直姿勢変換装置１１３０は、ソークチャンバー１２００の上部に位置され、該ソークチャンバー１２００にテストトレーを供給する前に水平状態のテストトレーを垂直状態に姿勢変換させる。
【０００７】
前記ソークチャンバー１２００は、前記垂直姿勢変換装置１１３０により垂直状態に姿勢変換されたテストトレーを並進移動させて順次収納し、テストトレーに積載されたディバイスを予熱／予冷させるための温度的環境が造成されている。このような前記ソークチャンバー１２００に進入されたテストトレーは、垂直状態を維持したままテストチャンバー１１００側に向かって並進移動しながら順次配列され、このように並進移動する時間の間、テストトレーに積載されたディバイスが十分に予熱／予冷される。
【０００８】
前記テストチャンバー１１００は、前記ソークチャンバー１２００から供給されるテストトレーに積載されたディバイスをテストするために用意される。そのために前記テストチャンバー１１００はディバイスをテストするための温度的環境が造成されている。
【０００９】
回復チャンバー１３００（de-soak  chamber）は、高温または冷却状態のディバイスを常温に還元させるためのものである。
【００１０】
水平姿勢変換装置１２３０は、前記回復チャンバー１３００の上部に位置され、該回復チャンバー１３００から移送された垂直状態のテストトレーを水平状態に姿勢変換させる。
【００１１】
アンロード装置１２６０は、テストが終了したディバイスを等級別に分類して再びユーザートレー１３１０にアンロード（移送及び積載）させる。
【００１２】
一方、最近、ディバイスの需要量及び生産量の増加に伴ってテストハンドラーの開発傾向は、一つのテストトレーにできれば数多くのディバイスを積載することで一回にテストできるディバイスの数量を増加させる方向、即ち、より多くのディバイスを積載するためにテストトレーが大きくなる方向に推進されている。このような開発傾向にしたがって多量のディバイスを一回にテストできるようにテストトレーが２次元的に拡大されると、必然的にテストトレーの姿勢変換に要求される空間は３次元的に拡大される。
【００１３】
ところが、このような従来のサイドドッキングタイプのテストハンドラーにおいては、ソークチャンバーの上部に姿勢変換装置が構成され、姿勢変換装置により姿勢変換されたテストトレーが下方向に移動しながらソークチャンバー内部に収納される構造になっている。従って、拡大されたテストトレーが適用された従来のサイドドッキングタイプのテストハンドラーの構造を考慮してみれば、テストトレーの姿勢変換空間とソークチャンバー上部の壁と間の干渉を防止するためにテストハンドラーの全体大きさがテストトレー大きさを拡大した分の何倍以上にも大きくなるべきであるという不都合な点があった。しかし、テストハンドラーは既存の設置空間を大幅に外れない外観規格（横幅、縦幅及び高さ等）を有してこそ商用化することができるため、単なるテストトレーの大型化において、従来のテストハンドラーは既にその大きさの限界点に至った状態であるということができる。
【００１４】
また、テストトレーの垂直姿勢変換を行った後から予熱または予冷が行われるためソークチャンバーの並進運動区間が比較的長くなるべきで、そのため、装備の縦幅を縮小することが困難で予熱／予冷時間が長くかかるという不都合な点があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、上述した問題点を解決するために行われたもので、テストハンドラーの全体的な大きさを大きく拡大せずにもテストトレーの大きさを拡張し得る技術を提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、テストトレーの姿勢変換及び予熱／予冷に必要な時間を確保しながらも、テストハンドラーで行われる全体過程にかかる時間を短縮しえる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上述した目的を達成するための本発明に係るテストハンドラーにおいては、ユーザートレーに積載されたディバイスをテストトレーにロードさせるロード装置と、前記ロード装置によりロードが終了してディバイスが積載されたテストトレーを姿勢変換させる姿勢変換装置と、前記姿勢変換装置により姿勢変換されたテストトレーを順次収納するソークチャンバーと、前記ソークチャンバーから供給されるテストトレーに積載されたディバイスがテスターによりテストされるテストチャンバーと、前記テストトレーが前記テストチャンバーに供給される前に、前記テストトレーに積載されたディバイスを予熱／予冷する温度制御手段と、前記テストチャンバーでテストが終了したディバイスをユーザートレーにアンロードさせるアンロード装置と、を包含して構成され、前記温度制御手段は、前記テストトレーが前記姿勢変換装置により姿勢変換される間及び前記ソークチャンバーにより順次収納される間、前記テストトレーのディバイスを持続的に予熱／予冷し、前記姿勢変換装置は、前記ソークチャンバーの内部に位置し、該ソークチャンバーの内部に進入するテストトレーを把持することで姿勢変換を可能にさせる回転体と、前記回転体を姿勢変換させるための動力を提供する第１動力源と、を備えることを特徴とする。
【００１７】
前記第１動力源は、前記ソークチャンバーの外部に配置して前記温度制御手段の予熱／予冷作用から隔離されることを特徴とする。
【００１８】
前記回転体が姿勢変換される途中で前記テストトレーが離脱することを防止するためのストッパー装置を更に包含することを特徴とする。
【００１９】
前記ストッパー装置は、前記回転体に進入されたテストトレーの後端部を係止するか係止を解除する動作を行うストッパーと、前記ストッパーの動作に必要な動力を供給する第２動力源と、前記第２動力源から供給される動力を前記ストッパーに伝達する動力伝達軸と、を包含して構成されることを特徴とする。
前記第２動力源は、前記ソークチャンバーの外部に配置して前記温度制御手段の予熱／予冷作用から隔離されることを特徴とする。
【００２０】
また、上述した目的を達成するための本発明に係るテストハンドラーの作動方法においては、ユーザートレーからテストトレーにディバイスをロードするロード段階と、前記ロード段階でロードが終了するとテストトレーを姿勢変換させながら該テストトレーのディバイスを予熱／予冷させる姿勢変換段階と、前記姿勢変換段階で姿勢変換された前記テストトレーを並進移動させながら該テストトレーのディバイスを持続的に予熱／予冷させる並進移動段階と、前記姿勢変換段階及び並進移動段階で予熱／予冷されたディバイスにテスト環境を造成してテストを行うテスト段階と、前記テスト段階でテストが終了したディバイスをテストトレーからユーザートレーにアンロードするアンロード段階と、を順次行うことを特徴とする。
【００２１】
前記ロード段階では、ユーザートレーから水平状態のテストトレーにディバイスをロードし、前記姿勢変換段階では、水平状態の前記テストトレーを垂直状態に姿勢変換させることを特徴とする。
【００２２】
前記並進移動段階では、姿勢変換されたテストトレーを並進移動させて順次収納しながらそれぞれのテストトレーに収納されたディバイスを予熱／予冷させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
以上説明した本発明に係るテストハンドラー及びその作動方法においては、次のような効果がある。
先ず、テスト対象であるディバイスの積載されたテストトレーがソークチャンバーの内部に配置された姿勢変換装置、より具体的には、ソークチャンバーの内部に配置された回転体に把持されて姿勢変換を行うため、姿勢変換中や姿勢変換して並進移送装置に安着するまで持続的に予熱／予冷が行われるため、ディバイスをテストするためにかかる全体時間を短縮し得るという効果がある。
【００２４】
且つ、ソークチャンバーの内部で水平状態に進入されるテストトレーを垂直状態に姿勢変換させること及び並進移送長さが短縮されるため、テストハンドラーの全体的な大きさを拡大せずにもテストトレーの大きさを拡張し得るという効果がある。
【００２５】
また、回転体及びストッパーはソークチャンバーの内部に構成し、それら回転体及びストッパーを作動させる各動力源はソークチャンバーの外部に構成することでそれら動力源がソークチャンバー内部の環境に影響を受けないようにしてあるため、それら動力源の寿命や作動状態がソークチャンバーの環境に影響を受けずにソークチャンバーの内部でテストトレーの姿勢変換を行い得るという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する。
本発明に係るテストハンドラーは、ロード装置、ソーク姿勢変換装置（垂直姿勢変換装置）、ソークチャンバー、テストチャンバー、回復チャンバー、回復姿勢変換装置（水平姿勢変換装置）及びアンロード装置などを包含して構成され、それらの構成中、本発明の特徴とそれほど関連のないロード装置、テストチャンバー、回復チャンバー及びアンロード装置に関しては既に詳しい技術的内容が周知され、かつ、従来技術の説明部分で簡略に述べたので、その詳細な説明は省略する。
【００２７】
本発明の主な技術的特徴は、垂直姿勢変換装置がソークチャンバーの内部に構成されること、より具体的には、姿勢変換装置の回転体がソークチャンバーの内部に構成されているため垂直姿勢変換中にもテストトレーの予熱／予冷ができることであり、したがって、このような構造的特徴に関して図１〜図８を参照しながら説明すれば次の通りである。
【００２８】
図１は、本発明に係るテストハンドラーにおいて、ソークチャンバーの内部構造を示した側面概略図、図２は、図１のテストハンドラーに適用された姿勢変換装置を示した斜視図、図３は、図２のＶ-Ｖ線から見た断面図、図４は、図２の矢印III-III方向から見た側面図、図５は、図２の姿勢変換装置に配置されたストッパー及び第２動力伝達軸の構造を示した底部概略図である。
【００２９】
本発明に係るテストハンドラー１においては、図１に示したように、ソークチャンバー１０、ソーク姿勢変換装置１００、テストチャンバー１３０、第１温度制御装置１５０及び第２温度制御装置１８０を包含して構成され、前記ソーク姿勢変換装置１００は、前記ソークチャンバー１０内部でテストトレーの垂直姿勢変換を行う。前記ソークチャンバー１０とテストチャンバー１３０は連通され、平面図上で、例えば“Ｌ”状を形成する。前記テストチャンバー１３０の側面には、前記ソークチャンバー１０と対称的に回復チャンバー（未図示）が位置され、該回復チャンバーの上部には回復姿勢変換装置（未図示）が位置され、該回復姿勢変換装置は、例えば、前記ソーク姿勢変換装置１００と同一構成を有することができる。前記ソークチャンバー１０、テストチャンバー１３０及び回復チャンバーは平面図上で例えば“Ｕ”字状を形成する。
【００３０】
前記ソークチャンバー１０の内部ではテストトレーの垂直姿勢変換と並進移動が順次実行されると同時にテストトレーの予熱／予冷が持続的に行われ、詳しくは、垂直姿勢変換中のテストトレーは主に前記テストチャンバー１３０の側上部に位置した前記第１温度制御装置１５０により予熱／予冷され、並進移動中のテストトレーは主に前記ソークチャンバー１０の下方に位置した前記第２温度制御装置１８０により予熱／予冷される。ここで、前記第１温度制御装置１５０は、前記ソークチャンバー１０の後方側のテストチャンバー領域（並進移動及び予熱／予冷が終了されたテストトレーがテスト部に進入する前に待機する待機部に該当する）に熱または冷気を選択的に供給する機能も共に行う。もちろん、前記第１温度制御装置１５０及び第２温度制御装置１８０中の少なくとも１つは、熱を発散させるヒーター、該ヒーターから発散された熱をテストトレー側に拡散させるヒーターファン及びＬＮ２ガス噴射ノズルを包含して構成することができる。
【００３１】
前記ソーク姿勢変換装置（または垂直姿勢変換装置）１００は、水平状態に入力されるテストトレー２０を前記ソークチャンバー１０の内部で垂直状態に姿勢変換させる装置であって、回転体１１０、第１動力源１１１、第１動力伝達軸１１２R、ストッパー１２０、第２動力源１２１、第２動力伝達軸１２２、フランジー１３０及びベアリング１４０などを包含して構成される。一方、回復姿勢変換装置（未図示）は、垂直状態に入力される前記テストトレー２０を回復チャンバー（未図示）の内部または外部で水平状態に姿勢変換させる装置であって、前記ソーク姿勢変換装置１００と同一構成であるがそれに限定されない（以下“姿勢変換装置”はソーク姿勢変換装置を意味する）。好ましくは、回復姿勢変換装置もやはり回復チャンバーの内部でテストトレーの水平姿勢変換を行うものであるが、このように構成することによってテストトレーの水平姿勢変換中にも半導体ディバイスの加熱または冷却が可能で、半導体ディバイスの常温復帰がより安定的になる。このような場合、回復チャンバーの内部温度は比較的常温に近いため、回復姿勢変換装置の構成要素全体が回復チャンバーの内部に設けられても回復姿勢変換装置の耐久性などが低下することはない。一方、前記ソーク姿勢変換装置１００は、回復姿勢変換装置とは違ってかなりの高温または低温で作動するべきであるため、耐久性の低下防止ができる構成であることが好ましく、これに対しては後で詳細に説明する。
【００３２】
前記回転体１１０は、前記ソークチャンバー１０内部空間の上部に、該ソークチャンバー１０の一方側壁面には回転可能な第１動力伝達軸１１２Rにより軸結合され、他方側壁面には空回転軸１１２Lにより軸結合されて回転できるように配置されて、テスト対象であるディバイスが積載された前記テストトレー２０を把持する。そして前記回転体１１０の後方領域には一対の進入レール１１０-１R、１１０-１Lに乗って進入される前記テストトレー２０を支持するための支持台１１０-２が形成され、前記回転体１１０の上部領域には該回転体１１０を覆って前記一対の進入レール１１０-１R、１１０-１Lの中央部を連結する上部カバー１１０-３がボルト締結される。
【００３３】
前記第１動力源１１１は、前記ソークチャンバー１０の外部に配置されて、空圧シリンダー（以下、後述する第２動力源の空圧シリンダーと区別するために‘第１動力源’と称す）により構成される。前記第１動力源１１１のピストン棒１１１aは、リンク１１１bを介して第１動力伝達軸１１２Rに接線方向に結合される。本実施例の場合は、前記第１動力源１１１の作動により前記ピストン棒１１１aが前進すると前記回転体１１０が水平状態になり、前記ピストン棒１１１aが後進すると前記回転体１１０が垂直状態を維持するように構成した。もちろん、本実施例においては第１動力源１１１を空圧シリンダーにより構成しているが、場合によっては、正逆回転モーターや、ソレノイド装置などを応用して構成することもできる。そして、前記第１動力源１１１をソークチャンバーの内部に配置する構成もできるが、ソークチャンバー内に造成された環境が前記第１動力源の作動や寿命に影響を及ぼすこともあり得るため、本実施例のように前記第１動力源１１１が前記ソークチャンバー１０の外部に配置されるように構成することが好ましい。また、高温及び低温特性や耐久性に優れたシリンダーやモーターならばソークチャンバーの内部に配置される第１動力源として適合であるが、このようなシリンダーやモーターは高価であるため装備価格を上昇させる要因として作用するはずである。
【００３４】
前記第１動力伝達軸１１２Rは、前記ソークチャンバー１０の壁面を貫通して回転できるように配置され、中空管状であって、前記リンク１１１bを介して前記第１動力源１１１から供給される動力により回転することで前記回転体１１０に回転力を伝達する。
【００３５】
そして、図２〜図５を参照すると、前記ストッパー１２０は、前記回転体１１０の前方上部領域にほぼ９０度回転可能に配置され、先端部が前記テストトレー２０の後端部に隣接するように延びた延長部１２０aと、該延長部１２０aの先端部に位置して一体回転され、前記回転体１１０内部に完全に進入した前記テストトレー２０の後端部に直接的にかかる係止部１２０bと、図５に詳細に図示されたように、前記延長部１２０aの後端部に偏心突起１２０c-１が形成された偏心突起部１２０cと、を備えて構成されている。このように構成された前記ストッパー１２０の延長部１２０aは、前記上部カバー１１０-３の中央上部に支持ブラケット１２０dを介して正逆方向に回転可能に固定されている。したがって、前記延長部１２０aが回転すると、前記係止部１２０bが回転しながら前記回転体１１０に収納された前記テストトレー２０を係止するか係止解除させるようになる。そして、前記偏心突起部１２０cには、前記延長部１２０aの回転中心とずれて前記偏心突起１２０c-１が形成されているので、該偏心突起１２０c-１を押すか引くと前記延長部１２０aが回転するようになっている。また、第２動力伝達軸１２２の長孔１２２a-１が形成されたすべりブロック１２２aがカムとしての役割を行い、カム偏心突起部１２０cがカム従動子（cam  follower）として機能するが、その連結関係について説明すると次のようである。
【００３６】
前記第２動力源１２１はソークチャンバー１０の外部に空圧シリンダー１２１（以下、上述した第１動力源である空圧シリンダーと区別するために‘第２動力源’と称す）として用いられ、本実施例では前記第１動力伝達軸１１２Rの側方向に構成されることで前記ソークチャンバー１０の外部に位置される。
【００３７】
前記第２動力伝達軸１２２は、図２及び図３により確認されるように、第１動力伝達軸１１２Rの内部を貫通しながら該第１動力伝達軸１１２Rと同じ軸中心を有するように配置され、前記上部カバー１１０-３に乗ってスライディングできるように取り付けられ、より具体的には、その一端部は前記第２動力源１２１のピストン棒１２１a側に延長され、その他端部は前記ソークチャンバー１０の内部に延長配置される。そしてこのような前記第２動力伝達軸１２２は、一端部が該第２動力源１２１のピストン棒１２１aと同軸に配置及び固定結合（もちろん、実施例によっては前記ピストン棒１２１aと一体に構成することもできる）され、前記ソークチャンバー１０の内部に延びる他端側には前記ストッパー１２０の偏心突起部１２０cに形成された偏心突起１２０c-１が余白をあけて収納されるように長孔１２２a-１が穿孔形成されたすべりブロック１２２aが固定結合されている。したがって、前記第２動力源１２１が作動して前記ピストン棒１２１aが進退すると、前記第２動力伝達軸１２２とすべりブロック１２２aが一緒に進退し、それに伴って前記偏心突起１２０c-１を押すか引くことで全体的に前記ストッパー１２０を回転させるようになるので、前記係止部１２０bにより前記回転体１１０に把持された前記テストトレー２０を係止するか係止解除させるようになるのである。
【００３８】
前記フランジー１３０は、前記ソークチャンバー１０の壁面を貫通して固定結合され、中空棺状を有して前記１第１動力伝達軸１１２Rがその内部を貫通する。そして前記第２動力伝達軸１２２は、前記第１動力伝達軸１１２Rを貫通するので、結果的に前記フランジー１３０の内部に前記第１動力伝達軸１１２R及び第２動力伝達軸１２２が貫通するようになっている。
【００３９】
前記ベアリング１４０は、前記フランジー１３０と第１動力伝達軸１１２R間に介在されて該第１動力伝達軸１１２Rが滑らかに回転できるようにする。
以下、このように構成された前記姿勢変換装置１００の作動に対し、図６〜図１０を参照して説明する。
【００４０】
図６〜図１０は、前記姿勢変換装置１００の姿勢変換過程を図２のVI方向から見た作動状態図である。
【００４１】
先ず、初期には姿勢変換装置１００の回転体１１０がソークチャンバー１０の上部空間で水平状態に維持され（この時、ピストン棒１１１aは前進した状態）、ストッパー１２０は係止解除方向に回転されてテストトレー２０の進入を許容する図６の状態になる。このような状態でロード部でディバイスロードが終了した前記テストトレー２０が水平移送装置（未図示）により前記ソークチャンバー１０の内部に進入される。
【００４２】
即ち、前記テストトレー２０は、一対の進入レール１１０-１R、１１０-１Lに乗って前記回転体１１０の内部に水平進入される。このような前記テストトレー２０の水平進入は、支持台１１０-２に前記テストトレー２０が当接するまで進行される。
【００４３】
前記テストトレー２０の進入が終了すると、第２動力源１２１が作動しながら第２動力伝達軸１２２が前記ソークチャンバー１０の内部側にスライディング進入され、従ってすべりブロック１２２aが一緒にスライディングしながら偏心突起１２０c-１を押すようになるので、ストッパー１２０は係止方向にほぼ９０度回転して図７の状態になり、前記テストトレー２０の離脱を防止する。即ち、前記ストッパー１２０が前記テストトレー２０の端部に係止されるので、該テストトレー２０は前記回転体１１０の内部にしっかりと安着した状態を維持するようになる。
【００４４】
このような状態で第１動力源１１１が作動してピストン棒１１１aが後進すると、図８に示したように、前記回転体１１０は空回転軸１１２L及び第１動力伝達軸１１２Rを中心に９０度回転され、そのため前記テストトレー２０は垂直状態に変換される。そのように垂直状態に姿勢変換された該テストトレー２０の下端は垂直移動レール３０により支持される。この時、第２動力伝達軸１２２は、前記第１動力伝達軸１１２Rを貫通して配置されるため、前記回転体１１０が回転しても人為的な力を加えない限り作動状態がそのまま維持される。
【００４５】
次いで、図９に示したように、垂直移動レール３０による前記テストトレー２０の支持がセンサー（未図示）により確認されると、前記第２動力源１２１が再び作動して前記ピストン棒１２１aが後進され、従って前記第２動力伝達軸１２２が後進しながら前記ストッパー１２０が係止解除方向にほぼ９０度回転するため、前記テストトレー２０が離脱する環境が提供される。上述した過程において前記テストトレーは２０主に第１温度制御装置１５０により予熱／予冷される。
【００４６】
次いで、図１０に示したように、垂直移動レール３０が下降すると、前記テストトレー２０も自重により下降され、並進移動装置（図１参照、４０）により前記ソークチャンバー１０の下部で並進移動しながら主に第２温度制御装置１８０により十分に予熱／予冷される。
【００４７】
一方、前記回転体１１０から前記テストトレー２０が完全に離脱したことが確認されれば、再び前記第１動力源１１１が作動して前記ピストン棒１１１aが前進する。したがって、図６に示したように、前記回転体１１０は水平状態に姿勢変換されて、新しいディバイスがロードされたテストトレーが進入できる状態に戻る。
【００４８】
上述したような一連の過程を繰返して前記ソークチャンバー１０の下部空間内にディバイスの積載されたテストトレー２０が複数積層され、それらテストトレー２０は順次収納されるように並進移動装置４０によりテストチャンバー（未図示）に近い側に並進移動しながら予熱／予冷される。したがって、それらテストトレー２０はテストチャンバーに進入する以前に充分に予熱／予冷される。
【００４９】
即ち、上述したように前記テストトレー２０が姿勢変換される過程、また、それら姿勢変換されたテストトレー２０を下方向に移動させる過程などでも予熱／予冷が行われるから、テスト対象であるディバイスの積載されたテストトレー２０がテストチャンバー側（図１の左側）へ移動する並進移動長さ（D、図１参照）を短縮させることが可能で、且つ、ディバイスが予熱／予冷される時間を十分に確保することができる。更に、並進移動長さ（D）が短縮されるに連れ発生する余裕長さ（E、図１参照）により確保される余裕空間は他の装置の配置空間として活用することができるため、テストトレーの大きさが拡大されても全体装置の大きさはそれほど変わらないのである。
【００５０】
このように作動する本発明に係るテストハンドラーの全体的な作動方法に対し、図１１のフローチャートを参照し順番を付けて要約すれば次の通りである。
【００５１】
１．ディバイスロード＜S９１０＞
ユーザートレーから水平状態のテストトレーにディバイスをロードする。
【００５２】
２．姿勢変換及び予熱／予冷＜S９２０＞
ディバイスのロードが終了すると、水平状態のテストトレーを垂直状態に姿勢変換しながら予熱／予冷させる。
【００５３】
３．予熱／予冷及び並進移動＜S９３０＞
垂直状態に姿勢変換されたテストトレーを持続的に予熱／予冷させながら垂直状態を維持した状態でテストチャンバー側に近い方向に並進移動させる。
【００５４】
４．テスト＜S９４０＞
ディバイスをテストするための環境が造成されたテストチャンバーに移動してきたテストトレーに収納されたディバイスをテストする。
【００５５】
５．回復、並進移動及び姿勢変換＜S９５０＞
テストが終了すると、テストトレーを垂直状態を維持した状態でテストチャンバー側から遠い方向に並進移動させながら高温／冷却状態のディバイスを常温に回復させ、次いでテストトレーを垂直状態から水平状態に姿勢変換させる。
【００５６】
６．アンロード＜S９６０＞
水平状態に姿勢変換されたテストトレーに積載されたディバイスを、テスト結果に基づいて等級別に区分しながらユーザートレーにアンロードさせる。
【００５７】
以上のような方法によると、テストトレーを垂直に姿勢変換する過程でも予熱／予冷が行われるから予熱／予冷にかかる時間を短縮することが可能で、その結果、全体的なテスト過程に必要な時間を短縮することができる。
【００５８】
以上、本発明に関する具体的な説明を添付の図面を参照した実施例に基づいて行ったが、上述した実施例は本発明の好ましい例を挙げて説明しただけであるので、本発明が前記実施例だけに限定されるものと理解されては困難で、本発明の権利範囲は後述する特許請求の範囲及びその等価概念として理解されるべきである。例えば、テストトレーの垂直姿勢変換がソークチャンバーの内部で行われて垂直姿勢変換中にも半導体ディバイスに対する予熱／予冷ができるテストハンドラーであれば、テストトレーの水平姿勢変換が回復チャンバーの内部で実行されるか否かに限られず、本発明の権利範囲に含まれることを当業者であれば明確に理解するはずである。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明に係るテストハンドラーにおいて、ソークチャンバーの内部構造を示した側面概略図である。
【図２】図１のテストハンドラーに適用された姿勢変換装置を示した斜視図である。
【図３】図２のＶ-Ｖ線から見た断面図である。
【図４】図２の矢印III-III方向から見た側面図である。
【図５】図２の姿勢変換装置に配置されたストッパー及び第２動力伝達軸の構造を示した底部概略図である。
【図６】図２の矢印VI方向から見た姿勢変換装置の水平状態中、テストトレーの進入許容状態を示した側面図である。
【図７】図２の姿勢変換装置において、テストトレーが進入終了して離脱防止されている状態を示した側面図である。
【図８】図２の姿勢変換装置が垂直状態に姿勢変換された状態を示した側面図である。
【図９】図２の姿勢変換装置において、テストトレーの下降許容状態を示した側面図である。
【図１０】図２の姿勢変換装置において、テストトレーの下降過程を示した側面図である。
【図１１】本発明に係るテストハンドラーの作動方法を示したフローチャートである。
【図１２】従来のサイドドッキング式テストハンドラーの構成を示した概略図である。
【符号の説明】
【００６０】
１００ 姿勢変換装置
１１０ 回転体
１１１ 第１動力源
１２０ ストッパー
１２１ 第２動力源
１２２ 第２動力伝達軸
１３０ フランジー
【図１】
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【図２】
0004486078.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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