(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
テスタに接続され、上記テスタとのデータ通信に基づいて、ローダ室からプローバ室へ被検査体を搬送し、上記プローバ室内で上記被検査体内の複数のチップのアライメントを行った後、上記被検査体の電気的特性検査を行い、検査後の上記被検査体を上記ローダ室へ搬送するように構成されたプローブ装置において、上記プローバ室内で上記被検査体の電気的特性検査に先立つ上記アライメントと並行して上記プローブ装置から上記テスタへ上記複数のチップの電気的特性検査に必要な測定用データを一括して送信する工程と、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性の測定を終了した後、上記被検査体を上記プローバ室から上記ローダ室へ搬送する間に、上記測定後の上記複数のチップの測定結果データを一括して上記テスタから上記プローブ装置へ送信する工程と、を備えたことを特徴とするデータ通信方法。
【請求項２】
上記測定用データ及び測定結果データそれぞれを、ＬＡＮ回線を介して伝送することを特徴とする請求項１に記載のデータ通信方法。
【請求項３】
上記被検査体内の複数のチップそれぞれの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへの測定開始信号を、上記各チップの検査毎にＴＴＬインターフェース回線を介して送信し、また、上記被検査体内の複数のチップそれぞれの電気的特性検査を終了した後上記テスタから上記プローブ装置への測定終了信号を、上記各チップの検査毎にＴＴＬインターフェース回線を介して送信することを特徴とする請求項１に記載のデータ通信方法。
【請求項４】
上記被検査体内の複数のチップそれぞれの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへの測定開始信号を、上記各チップの検査毎にＴＴＬインターフェース回線を介して送信し、また、上記被検査体内の複数のチップそれぞれの電気的特性検査を終了した後上記テスタから上記プローブ装置への測定終了信号を、上記各チップの検査毎にＴＴＬインターフェース回線を介して送信することを特徴とする請求項２に記載のデータ通信方法。
【請求項５】
プローブ装置とテスタとの間でデータ通信を行って、上記プローブ装置のローダ室からプローバ室へ被検査体を搬送し、上記プローバ室内で上記被検査体内の複数のチップのアライメントを行った後、上記被検査体の電気的特性検査を行い、検査後の上記被検査体を上記ローダ室へ搬送するように構成されたデータ通信システムであって、上記プローブ装置から上記テスタへ上記電気的特性検査の複数のチップの電気的特性検査を行うための測定用データを一括して送信するための回線と、上記テスタから上記プローブ装置へ上記複数のチップの測定結果データを一括して送信するための回線と、を有し、上記アライメント時に上記測定用データを送信し、上記測定後の被検査体を上記プローバ室から上記ローダ室へ搬送する時に上記測定結果データを送信することを特徴とするデータ通信システム。
【請求項６】
上記回線は、それぞれＬＡＮ回線であることを特徴とする請求項５に記載のデータ通信システム。
【請求項７】
上記被検査体内の複数のチップそれぞれの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへの測定開始信号、及び上記被検査体内の複数のチップそれぞれの電気的特性検査を終了した後上記テスタから上記プローブ装置への測定終了信号を、それぞれ送信するためのＴＴＬインターフェース回線を備えていることを特徴とする請求項５に記載のデータ通信システム。
【請求項８】
上記被検査体内の複数のチップそれぞれの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへの測定開始信号、及び上記被検査体内の複数のチップそれぞれの電気的特性検査を終了した後上記テスタから上記プローブ装置への測定終了信号を、それぞれ送信するためのＴＴＬインターフェース回線を備えていることを特徴とする請求項６に記載のデータ通信システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、データ通信方法及びデータ通信システムに関し、更に詳しくは、プローブ装置とテスタ間でデータ通信を行うデータ通信方法及びデータ通信システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工程では図３に示すようにウエハＷ表面に多数の集積回路（チップ）Ｔを形成し、ウエハＷ内の各チップＴについて電気的特性検査を行い、良品と不良品をスクリーニングしている。この検査には例えば図４に示すプローブ装置が用いられる。プローブ装置１０には通信回線を介してテスタ２０が接続され、プローブ装置１０を介して被検査体であるウエハＷの各チップＴとテスタ２０とを電気的に接続し、テスタ２０においてチップＴの種々の電気的特性の測定を行う。
【０００３】
プローブ装置１０は、図４に示すように、ウエハＷを搬送すると共にウエハＷをプリアライメントするローダ室１１と、このローダ室１１からウエハＷを受け取って電気的特性検査を行うプローバ室１２とを備えている。プローバ室１２はウエハＷを載せる載置台１３と、ウエハＷを所定の位置に位置決めする位置決め機構１４と、ウエハＷ表面のチップＴの検査用電極と電気的に接触するプローブ１５Ａを有するプローブカード１５とを備えている。プローバ室１２内では位置決め後のウエハＷを載置台１３を介してインデックス送りをしながらチップＴを一つずつあるいは複数個ずつ電気的特性の測定を行う。プローバ室１２のヘッドプレート１６上にはテストヘッド２１が設置され、このテストヘッド２１はプローブカード１５と電気的に接続されている。
【０００４】
ところで、プローブ装置１０（より詳しくは、テストヘッド２１）とテスタ２０は互いにデータ通信を行う。例えば、プローブ装置１０は、載置台１３上に載置されたウエハＷの検査内容を示す情報、各チップＴの位置座標、測定順序や、一度に検査すべきチップ数に関するチャンネル情報あるいは図３の斜線で囲んだコンタクト領域における欠損のあるチップ（検査が無駄になるチップ数）（以下、「オンウエハ情報」と称す。）等の情報を測定用データ信号として測定開始信号と共にテスタ２０へ送信する。また、テスタ２０は、各チップＴの電気的特性の測定結果に関する情報を測定結果データ信号として測定終了信号と共にプローブ装置１０へ送信する。
【０００５】
図４に示すようにテストヘッド２１とテスタ２０は、通常、測定機器に汎用されているＧＰ-ＩＢインターフェース端子及びケーブル（以下、単に「ＧＰ-ＩＢ回線」と称す。）３０を介して接続され、上述のオンウエハ情報、チャンネル情報及び測定結果情報等のデータ信号を送受信している。また、場合によってはプローブ装置１０とテスタ２０は、例えばＴＴＬインターフェース及びケーブル（以下、単に「ＴＴＬ回線」と称す。）（図示せず）を介して接続されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ウエハＷが大口径化すると共にチップＴの集積度が大きくなるに連れてスループットが益々低下する傾向にあるため、検査の高速化が重要な課題になっている。現在汎用されているＧＰ-ＩＢ回線３０は一度に大量のデータ通信ができるという利点はあるものの、通信に時間が掛かり通信の高速化が望めないため、今後のスループット向上には限界があった。即ち測定時には、プローブ装置１０とテスタ２０との間でインデックス毎に測定開始時に測定用信号及び測定開始信号を、また、測定終了時に測定結果データ及び測定終了信号を送信しているが、ＧＰ-ＩＢ回線３０ではインデックス毎にテスタ２０からプローブ装置１０へ測定終了信号を送信してから次の測定開始信号をプローブ装置１０からテスタ２０へ送信するまでにテスタ２０とプローブ装置１０間の測定用信号及び測定結果データの送受信に例えば最小限０．２〜０．３秒程度の時間が掛かり、この時間がスループットを高める上での障害になっている。一方、ＴＴＬ回線はデータ通信の高速化には適しているものの、通信できるデータ量が少なく、例えば一括して測定できるチップ数が８個までのデータ量に限られ、これを超えるチップ数の大容量のデータ通信を行うことができない。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、被検査体の搬送時に被検査体に関する全ての測定用データや測定結果データ等の大容量のデータを一括して高速で通信することができ、スループットの向上を図ることができるデータ通信方法及びデータ通信システムを提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載のデータ通信方法は、テスタに接続され、テスタに接続され、上記テスタとのデータ通信に基づいて、ローダ室からプローバ室へ被検査体を搬送し、上記プローバ室内で上記被検査体内の複数のチップのアライメントを行った後、上記被検査体の電気的特性検査を行い、検査後の上記被検査体を上記ローダ室へ搬送するように構成されたプローブ装置において、上記プローバ室内で上記被検査体の電気的特性検査に先立つ上記アライメントと並行して上記プローブ装置から上記テスタへ上記複数のチップの電気的特性検査に必要な測定用データを一括して送信する工程と、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性の測定を終了した後、上記被検査体を上記プローバ室から上記ローダ室へ搬送する間に、上記測定後の上記複数のチップの測定結果データを一括して上記テスタから上記プローブ装置へ送信する工程と、を備えたことを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の請求項２に記載のデータ通信方法は、請求項１に記載の発明において、上記測定用データ及び測定結果データそれぞれを、ＬＡＮ回線を介して伝送することを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の請求項３に記載のデータ通信方法は、請求項１に記載の発明において、上記被検査体内の複数のチップそれぞれの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへの測定開始信号を、上記各チップの検査毎にＴＴＬインターフェース回線を介して送信し、また、上記被検査体内の複数のチップそれぞれの電気的特性検査を終了した後上記テスタから上記プローブ装置への測定終了信号を、上記各チップの検査毎にＴＴＬインターフェース回線を介して送信することを特徴とする
また、本発明の請求項４に記載のデータ通信方法は、請求項２に記載の発明において、上記被検査体内の複数のチップそれぞれの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへの測定開始信号を、上記各チップの検査毎にＴＴＬインターフェース回線を介して送信し、また、上記被検査体内の複数のチップそれぞれの電気的特性検査を終了した後上記テスタから上記プローブ装置への測定終了信号を、上記各チップの検査毎にＴＴＬインターフェース回線を介して送信することを特徴とする５ものである。
【００１１】
また、本発明の請求項５に記載のデータ通信システムは、プローブ装置とテスタとの間でデータ通信を行って、上記プローブ装置のローダ室からプローバ室へ被検査体を搬送し、上記プローバ室内で上記被検査体内の複数のチップのアライメントを行った後、上記被検査体の電気的特性検査を行い、検査後の上記被検査体を上記ローダ室へ搬送するように構成されたデータ通信システムであって、上記プローブ装置から上記テスタへ上記電気的特性検査の複数のチップの電気的特性検査を行うための測定用データを一括して送信するための回線と、上記テスタから上記プローブ装置へ上記複数のチップの測定結果データを一括して送信するための回線と、を有し、上記アライメント時に上記測定用データを送信し、上記測定後の被検査体を上記プローバ室から上記ローダ室へ搬送する時に上記測定結果データを送信することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項６に記載のデータ通信システムは、請求項５に記載の発明において、上記回線は、それぞれＬＡＮ回線であることを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の請求項７に記載のデータ通信システムは、請求項５に記載の発明において、上記被検査体内の複数のチップそれぞれの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへの測定開始信号、及び上記被検査体内の複数のチップそれぞれの電気的特性検査を終了した後上記テスタから上記プローブ装置への測定終了信号を、それぞれ送信するためのＴＴＬインターフェース回線を備えていることを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の請求項８に記載のデータ通信システムは、請求項６に記載の発明において、上記被検査体内の複数のチップそれぞれの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへの測定開始信号、及び上記被検査体内の複数のチップそれぞれの電気的特性検査を終了した後上記テスタから上記プローブ装置への測定終了信号を、それぞれ送信するためのＴＴＬインターフェース回線を備えていることを特徴とするものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図１、図２に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態のデータ通信システム１は、例えば図１に示すように、プローブ装置２のプローブ（図示せず）と被検査体であるウエハ（図３参照）とを電気的に接触させてテスタ３とウエハ間を導通してウエハの電気的特性を測定し、プローブ装置２とテスタ３間でイーサネット（登録商標）回線４を介してデータ通信を行う。即ち、本実施形態ではプローブ装置２とテスタ３はイーサネット回線４を介して接続され、測定前にイーサネット回線４を介してプローブ装置２からテスタ３へウエハに関するオンウエハ情報、チャンネル情報等の大量の測定用データを一括して測定用データ信号として送信するようにしてある。また、テスタ３における測定結果データはウエハの全てのチップの測定が終了した後、または複数のチップの測定が終了した後、チップの測定結果を一括して、または数チップ分纏めてテスタ３からプローブ装置２へ測定結果データ信号として送信するようにしてある。また、プローブ装置２及びテスタ３はイーサネット回線４を介してホストコンピュータ５に接続され、各ウエハの測定結果データを纏めて保存し、ウエハのデータ管理を行うようにしてある。
【００１５】
また、プローブ装置２、テスタ３及びホストコンピュータ５はＴＴＬ回線６を介して接続されている。そして、データ量の少ない情報はＴＴＬ回線６を用いてデータ通信するようにしてある。例えば、ウエハの検査を実施する際に、チップの測定を行う前にプローブ装置２からテスタ３へ測定開始信号を送信し、各チップの電気的測定を行い、各チップの検査が終了した時点でテスタ３からプローブ装置２へ測定終了信号を送信する。このような測定開始信号及び測定終了信号の送受信にＴＴＬ回線６が用いられる。
【００１６】
次に、上記データ通信システム１を用いた本発明のデータ通信方法の一実施形態を図２を参照しながら説明する。ローダ室からプローバ室内の載置台上にウエハが載置（ロード）されると、イーサネット回線４を介してプローブ装置２からテスタ３へオンウエハ情報、チャンネル情報等の大容量の測定用データを一括して高速で送信する（ステップＳ１）。この間に、プローバ室内では載置台及びアライメント機構を介してウエハの位置決めを行う。アライメント終了後、載置台がオーバドライブ位置まで上昇してプローブとウエハの最初の１個または複数個のチップ（スタートチップ）とが電気的にコンタクトし（ステップＳ２）、スタートチップとテスタ３とが導通し測定可能な状態になる。コンタクトと同時にプローブ装置２からテスタ３へＴＴＬ回線６を介して測定開始信号を高速で送信する（ステップＳ３）。テスタ３において測定開始信号を受信すると、テスタ３では測定用データ信号に基づいて所定の電気的特性の測定を行い（ステップＳ４）、測定結果データをテスタ３内の記憶装置に格納する。測定終了後、テスタ３からプローブ装置２へＴＴＬ回線６を介して測定終了信号を高速で送信し、プローブ装置２においてこの信号を受信すると（ステップＳ５）、プローブ装置２では測定したチップが最後のチップか否かを判断し（ステップＳ６）、最後のチップでないと判断すると、載置台を介してウエハをインデックス送りする（ステップＳ７）。
【００１７】
インデックス送りによりプローブと次のチップがコンタクトするとステップＳ３からステップＳ７の動作を最後のチップに達するまで繰り返し行う。そして、最後のチップに達するとステップＳ６において、最後のチップとして判断し、その旨をプローブ装置２からテスタ３へ通知する。テスタ３はプローブ装置２からの通知に基づいてウエハ一枚分の蓄積測定結果データを一括してイーサネット回線４を介してプローブ装置２へ送信する。プローブ装置２では測定結果データを受信すると（ステップＳ８）、この間に載置台上のウエハをプローバ室からローダ室へアンロードする（ステップＳ９）。引き続き、次のウエハの各チップの測定を上述の要領で繰り返す。
【００１８】
ところで、検査途中でその測定結果をリアルタイムでウエハマップを作成する場合には、インデックス送りを適宜繰り返した時点で、テスタ３からプローブ装置２へそれまでの測定結果データを送信するようにする。このような手続きをすれば、リアルタイムでウエハマップを作成することができ、それまでの検査経過及び測定結果を把握することができる。また、測定中に装置が止まり、測定を再開する場合には再開後の最初のチップの位置座標をプローブ装置２からテスタ３へ通知する。
【００１９】
以上説明したように本実施形態によれば、オンウエハ情報やチャンネル情報等の測定用データを測定前に一括してプローブ装置２からテスタ３へイーサネット回線４を介して送信し、また、ウエハ一枚分の測定結果データを一括してテスタ３からプローブ装置２へイーサネット回線４を介して測定終了後に送信するようにしたため、ローダ室とプローバ室間でウエハを搬送する時間を利用して測定用データ及び測定結果データの送受信を行い、インデックス毎の測定結果データの送信を行わなくて済み、通信時間を短縮することができスループットを高めることができる。
【００２０】
また、本実施形態によれば、プローブ装置２とテスタ３をイーサネット回線４及びＴＴＬ回線６を介して接続するだけで済むため、データ通信システムを低コストで構築することができる。
【００２１】
尚、上記実施形態ではイーサネット回線４、ＴＴＬ回線６を用いてプローブ装置２とテスタ３とを接続する場合について説明したが、本発明は上記各実施形態に何等制限されるものではなく、その他のＬＡＮシステムにおけるネットワーク回線を用いることができる。要は本発明の構成要素は必要に応じて適宜設計変更することができる。
【００２２】
【発明の効果】
本発明によれば、被検査体の電気的特性検査を行う際にプローブ装置とテスタとの間で測定用データ、測定結果データ及び測定開始信号の通信を行う際に、プローブ装置内での被検査体の搬送時間を利用して被検査体に関する大容量の測定用データや測定結果データをそれぞれ一括して高速で通信することができ、検査のスループットの向上を図ることができるデータ通信方法及びデータ通信システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のデータ通信システムの一実施形態を示す概念図である。
【図２】図１に示すデータ通信システムを用いたデータ通信方法の動作を示す流れ図である。
【図３】ウエハとプローブカードのコンタクタ状態を示す概念図である。
【図４】従来のプローブ装置とテスタとの関係を示す構成図である。
【符号の説明】
１ データ通信システム
２ プローブ装置
３ テスタ
４ イーサネット回線
６ ＴＴＬ回線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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