(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
昇降対象物を昇降させるべく、巻上げ・巻下げ動作を行う油圧装置において、
互いの駆動部が機械的に連結された第１液圧アクチュエータおよび第２液圧アクチュエータと、
該第１液圧アクチュエータの巻上側管路に配され、該第１液圧アクチュエータの巻下側管路の圧力に応じて開閉動作する主動カウンタバランス弁と、
該第２液圧アクチュエータの巻上側管路に配され、該第２液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力が第１圧力伝達手段を介して伝達される第１圧力室および該第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力が第２圧力伝達手段を介して伝達される第２圧力室を備え、該第１圧力室の圧力と該第２圧力室の圧力との差圧に応じて開閉動作する従動カウンタバランス弁と、
該主動カウンタバランス弁及び従動カウンタバランス弁が閉じた状態で該両液圧アクチュエータの巻下げ動作が開始された場合に、該主動カウンタバランス弁が開くタイミングに関係なく従動カウンタバランス弁を開くことができるように該第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力よりも該第２圧力室の圧力を遅れて動的に変化させる圧力伝播遅れ手段とを有することを特徴とする油圧装置。
【請求項２】
前記第２圧力伝達手段が、前記第１液圧アクチュエータの巻上側管路と前記第２圧力室との間をつなぐ管路であって、該管路の途中に、前記圧力伝播遅れ手段として管路内の開口面積を減少させる少なくとも１つの絞りが配設されていることを特徴とする請求項１に記載の油圧装置。
【請求項３】
前記第２圧力伝達手段が、前記第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力を検出する圧力センサと、前記第２圧力室の圧力を制御する圧力制御弁との組合せからなるものであり、かつ、前記圧力伝播遅れ手段は、該圧力センサからの検出信号を入力すると共に該圧力制御弁を制御する信号を発生する信号処理装置であって、該第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力よりも該第２圧力室の圧力が遅れて動的に変化するように、該信号処理装置が該圧力センサからの検出信号を信号処理することを特徴とする請求項１に記載の油圧装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばクレーン、或いは作業船の油圧ウインチ装置、或いはラフテレーンクレーンや大型油圧ショベル等のブーム起伏装置などに用いられ、カウンタバランス弁を使用した油圧装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
通常、油圧装置のうち大型のものにおいては、一般に流通しているサイズの油圧アクチュエータを複数個用いた構成とすることが多い。その理由は、油圧アクチュエータのサイズが大きくなると用途が限られるため、大型の油圧アクチュエータは一般的に流通しておらず、また生産数が少ないために量産効果が得られず非常に割高であったり、品質が十分に確保されていなかったりするためである。
【０００３】
このような理由により複数の油圧アクチュエータが機械的につながれた大型の油圧回路として、例えば図５に示すものが従来から知られている。この油圧回路は、２つの油圧モータをギアを介して１つのドラムにつないだウインチ装置であり、主動側と従動側との各々にブレーキ弁としてのカウンタバランス弁を備える。このウインチ装置の具体的な構成は、以下のようになっている。
【０００４】
ドラム１にギアを介して主動モータ２ａと従動モータ２ｂが接続され、それぞれの駆動力がギアを介してドラム１に伝達される。通常、主動モータ２ａとドラム１とをつなぐギア比、および従動モータ２ｂとドラム１とをつなぐギア比とは同じになるように設計されるため、主動モータ２ａと従動モータ２ｂとは同じ回転数で回転することになる。
【０００５】
主動モータ２ａおよび従動モータ２ｂの下流側には、それぞれ主動カウンタバランス弁５ａおよび従動カウンタバランス弁５ｂが配設され、これらカウンタバランス弁５ａ、５ｂの開口面積と負荷の大きさによって、主動モータ２ａと従動モータ２ｂの通過流量、すなわち、ウインチの巻下げ速度が制御される。
【０００６】
主動カウンタバランス弁５ａは、これに備わったバネの力と、主動モータ２ａの巻下側配管３ａの圧力との力の釣り合いに応じて開閉動作する。一方、従動カウンタバランス弁５ｂは、図６に示すように構成され、パイロット通路５０４を経由してパイロット圧力室５０３へ伝えられる従動側の巻上側配管４ｂの圧力と、圧力同調配管１５を経由してバネ室５０２へ伝えられる主動側の巻上側配管４ａの圧力と、バネ５０１の力との力の釣り合いに応じて開閉動作する。つまり、この従動カウンタバランス弁５ｂは、主動側の巻上側配管４ａの圧力と従動側の巻上側配管４ｂの圧力との押し合いにより開閉動作を行う。
【０００７】
したがって、この従動カウンタバランス弁５ｂは、従動側の巻上側配管４ｂの圧力が主動側の巻上側配管４ａの圧力よりもバネ５０１の設定圧力分だけ大きな圧力となるように自動調整する役割を果たしている。ここで、バネ５０１の設定力は、通常、非常に小さく設定され、例えば回路圧力よりも十分低い、圧力換算で５ｋｇｆ／ｃｍ2程度に設定され、主動側の巻上側配管４ａの圧力と従動側の巻上側配管４ｂの圧力とは、概ね等しくなる。
【０００８】
また、巻下側配管３ａと巻下側配管３ｂとが十分に太い圧力同調配管１５で接続されているため、主動側の巻下側配管３ａの圧力と従動側の巻下側配管３ｂの圧力については、ほぼ同圧である。
【０００９】
以上のことから、主動モータ２ａにおける前後の差圧と従動モータ２ｂにおける前後の差圧とは、ほぼ等しく、すなわち、同型式のモータを使用すれば、各モータ２ａと２ｂとの出力トルクは、ほぼ等しい状態になる。
【００１０】
このように主動側の巻上側配管４ａと従動側のバネ室５０２とをつなぐことによって、各モータ２ａと２ｂの出力トルクが等しくなり、ドラム１にかかる合計の負荷を各モータ２ａ、２ｂが等分に支えるようにして、一方のモータに偏って大きな負荷がかかることを防いでいる。
【００１１】
なお、図５中の６はヒューズ弁であり、７ａはカウンタバランス弁５ａに備わったチェック弁、７ｂはカウンタバランス弁５ｂに備わったチェック弁、１０はメインリリーフ弁、１２は操作レバー、１３はオーバーロードリリーフ弁、１４はアンチキャビテーション用の逆止め弁、１１はコントロールバルブである。コントロールバルブ１１の（ａ）は巻下側ポジション、（ｂ）は停止ポジション、（ｃ）は巻上側ポジションである。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のように各モータが負荷を等分に支えることになるのは静的な状態の場合であり、起動時のような動的な圧力変化状態の場合には、従動モータ２ｂに負荷が集中する場合が生じ、従動モータ２ｂの方が寿命が短くなる。以下に、このことを述べる。
【００１３】
起動時の動的な圧力変化挙動について説明する。まず、操作レバー１２が巻下げ側に操作されて、コントロールバルブ１１が巻下側ポジション（ａ）に切り替わると、ポンプ９の吐出流量は各モータ２ａ、２ｂの巻下側配管３ａ、３ｂへ導かれるようになる。
【００１４】
起動の初めには、主動カウンタバランス弁５ａと従動カウンタバランス弁５ｂとが共に閉じているため、各モータ２ａ、２ｂへ導かれたポンプ９の吐出流量は逃げ場がなく、図４（ａ）に示すように、各モータ２ａ、２ｂの巻下側配管３ａ、３ｂの圧力（巻下圧）と巻上側配管４ａ、４ｂの圧力（巻上圧）とは、ほぼ同様の挙動で急激に上昇する。つまり、主動側の巻上側配管４ａにおける圧力および従動側の巻上側配管４ｂにおける圧力の合計と、主動側の巻下側配管３ａにおける圧力および従動側の巻下側配管３ｂにおける圧力の合計との差は、負荷圧と等しく、かつ一定であるので、巻下圧が上昇するのに伴い巻上圧も上昇するからである。
【００１５】
然る後、主動側の巻下側配管３ａの圧力が上昇し、主動カウンタバランス弁５ａにおけるバネ５０１の設定圧力よりも大きくなった時点で、主動カウンタバランス弁５ａは開くことになる（Ａ点）。そして、主動カウンタバランス弁５ａが開くと、主動側の巻上側配管４ａの圧力上昇は衰え始める（Ａ→Ｂ）。
【００１６】
このように主動カウンタバランス弁５ａが開いて、主動側の巻上側配管４ａの圧力上昇が衰え始めると、主動モータ２ａが負荷を負担する割合が減少し始め、相対的に従動モータ２ｂの負担分が増加し、従動側の巻上側配管４ｂの圧力が上昇する（Ａ→Ｂ′）。これに伴って、従動側の巻上側配管４ｂの圧力と主動側の巻上側配管４ａの圧力との差が広がり始める。
【００１７】
このように圧力差が広がり始め、従動カウンタバランス弁５ｂのバネ力に相当するΔＰを超えた時点（Ｂ点またはＢ′点）で、従動カウンタバランス弁５ｂは開き始める。
【００１８】
以上説明した通り、主動カウンタバランス弁５ａが開くことが起因になって、ΔＰの差圧が生じることになるので、主動カウンタバランス弁５ａが開くタイミング（Ａ点）と従動カウンタバランス弁５ｂが開くタイミング（Ｂ点）とは必ず同じ順序関係になる。それ故、従動カウンタバランス弁５ｂが閉じて主動カウンタバランス弁５ａが開いている時間が、短時間ではあるが必ず存在する。この間、開いていない従動カウンタバランス弁５ｂ側が余計に負荷を負担することになるので、前述のように従動モータに荷重が集中して従動モータの寿命が短くなる。
【００１９】
本発明は、このような技術の課題を解決すべくなされたものであり、起動時における従動側での負荷集中を防ぐことができる油圧装置を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明の油圧装置は、昇降対象物を昇降させるべく、巻上げ・巻下げ動作を行う油圧装置において、互いの駆動部が機械的に連結された第１液圧アクチュエータおよび第２液圧アクチュエータと、該第１液圧アクチュエータの巻上側管路に配され、該第１液圧アクチュエータの巻下側管路の圧力に応じて開閉動作する主動カウンタバランス弁と、該第２液圧アクチュエータの巻上側管路に配され、該第２液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力が第１圧力伝達手段を介して伝達される第１圧力室および該第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力が第２圧力伝達手段を介して伝達される第２圧力室を備え、該第１圧力室の圧力と該第２圧力室の圧力との差圧に応じて開閉動作する従動カウンタバランス弁と、該主動カウンタバランス弁及び従動カウンタバランス弁が閉じた状態で該両液圧アクチュエータの巻下げ動作が開始された場合に、該主動カウンタバランス弁が開くタイミングに関係なく従動カウンタバランス弁を開くことができるように該第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力よりも該第２圧力室の圧力を遅れて動的に変化させる圧力伝播遅れ手段とを有することを特徴とする。
【００２１】
本発明にあっては、従動カウンタバランス弁の第２圧力室の圧力が、第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力よりも遅れて立ち上がるようになる。一方、第１圧力室に伝達される第２液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力は、第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力とほぼ同様の挙動で上昇する。このため、従動カウンタバランス弁を開口させ得る差圧が生じる。ここで、その差圧が生じるタイミングを、主動カウンタバランス弁が開くタイミングに接近させていると、主動カウンタバランス弁が開くタイミングに接近させて従動カウンタバランス弁を開くようにすることができる。または、前記差圧が生じるタイミングを、主動カウンタバランス弁が開くタイミングよりも少し早くしていてもよい。この場合には、従動カウンタバランス弁を主動カウンタバランス弁よりも早く開くようにすることができる。よって、主動カウンタバランス弁が開くタイミングと関係なく、従動カウンタバランス弁を開くようにすることができる。
【００２２】
本発明の油圧装置において、前記従動カウンタバランス弁は、スプールと、該スプールの一端側を他端側へ押圧するバネとを備え、前記第１圧力室が該スプールの他端側に配され、前記第２圧力室が該スプールの一端側に配されている構成とすることができる。この構成にあっては、スプールに対するバネの押圧力が前記差圧となる。
【００２３】
また、本発明の油圧装置において、前記第２圧力伝達手段が、前記第１液圧アクチュエータの巻上側管路と前記第２圧力室との間をつなぐ管路であって、該管路の途中に、前記圧力伝播遅れ手段として管路内の開口面積を減少させる少なくとも１つの絞りが配設されている構成とすることができる。
【００２４】
この構成にあっては、第１液圧アクチュエータの巻上側管路と前記第２圧力室との間をつなぐ管路に絞りが設けられているので、その絞りによる開口面積の減少化が図れ、また、前記管路が十分に太く、かつ第２圧力室の容積も管路の容積に加わっているため、第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力が第２圧力室へ伝わるのを遅らせることができる。このとき、第１圧力室に伝達される第２液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力は、第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力とほぼ同様の挙動で上昇しているので、第１圧力室の圧力と第２圧力室の圧力との間に、従動カウンタバランス弁を開口させるに必要な差圧が、主動カウンタバランス弁の開くタイミングに接近またはより早く生じるようにすることができる。よって、主動カウンタバランス弁が開くタイミングと関係なく、従動カウンタバランス弁を開くようにすることができる。
【００２５】
また、本発明の油圧装置において、前記第２圧力伝達手段が、前記第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力を検出する圧力センサと、前記第２圧力室の圧力を制御する圧力制御弁との組合せからなるものであり、かつ、前記圧力伝播遅れ手段は、該圧力センサからの検出信号を入力すると共に該圧力制御弁を制御する信号を発生する信号処理装置であって、該第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力よりも該第２圧力室の圧力が遅れて動的に変化するように、該信号処理装置が該圧力センサからの検出信号を信号処理する構成とすることができる。
【００２６】
この構成にあっては、圧力センサにて検出された第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力信号を入力した信号処理装置が、その入力信号を、第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力よりも第２圧力室の圧力が遅れて動的に変化するように信号処理し、その処理後の信号が圧力制御弁に与えられ、その圧力制御弁が第２圧力室の圧力を制御する。これにより、第２圧力室の圧力が、第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力よりも遅れて動的に変化するようになる。よって、従動カウンタバランス弁を開口させ得る差圧が生じる。ここで、その差圧が生じるタイミングを、主動カウンタバランス弁が開くタイミングに接近させていると、主動カウンタバランス弁が開くタイミングに接近させて従動カウンタバランス弁を開くようにすることができる。または、前記差圧が生じるタイミングを、主動カウンタバランス弁が開くタイミングよりも少し早くしていてもよい。この場合には、従動カウンタバランス弁を主動カウンタバランス弁よりも早く開くようにすることができる。よって、主動カウンタバランス弁が開くタイミングと関係なく、従動カウンタバランス弁を開くようにすることができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態につき具体的に説明する。
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について図面に基づいて説明する。
【００２８】
図１は、本発明の油圧装置を適用した、ウインチ装置の油圧回路図である。図２は、そのウインチ装置に備わった従動カウンタバランス弁を示す断面図（従動カウンタバランス弁の近傍も併せて示す）である。
【００２９】
このウインチ装置は、昇降対象である吊り荷を昇降させるものである。なお、このウインチ装置は、従来技術で説明したウインチ装置と基本的な回路構成が同様であり、基本的な回路構成の詳細な説明は省略し、従来技術と異なる点について説明する。
【００３０】
第１実施形態のウインチ装置は、ヒューズ弁６と従動カウンタバランス弁５ｂとをつなぐ圧力同調配管１５の途中、この例ではヒューズ弁６側端に絞り８が配されており、この絞り８を有する点で従来のウインチ装置と違っている。
【００３１】
この第１実施形態のウインチ装置にあっては、圧力同調配管１５に絞り８が設けられているので、その絞り８による開口面積の減少化が図れ、また、前述のように圧力同調配管１５が十分に太く、かつ従動側バネ室５０２の容積も圧力同調配管１５の容積に加わっているため、主動側の巻上側配管４ａの圧力が、従動側のバネ室５０２へ伝わるのを遅らせることができる。
【００３２】
したがって、第１実施形態のウインチ装置による場合には、起動時における従動側での負荷集中を防ぐことができる。以下に、その理由につき説明する。
【００３３】
図４（ｂ）は、第１実施形態のウインチ装置における動き始めの圧力挙動を例示する図である。
【００３４】
主動カウンタバランス弁５ａが開くＡ点までは、主動側の巻上側配管４ａにおける圧力および従動側の巻上側配管４ｂの圧力は、ほぼ同じ挙動を示す。このとき、従動側のバネ室５０２の圧力（点線で示す）は、上述した理由により圧力の立ち上がり当初（Ｏ点）から主動側の巻上側配管４ａの圧力上昇に遅れて圧力が上昇する。
【００３５】
然る後、従動側の巻上側配管４ｂの圧力（パイロット圧力室５０３の圧力）と従動側のバネ室５０２の圧力との圧力差が、ΔＰを超えると（Ｂ点のタイミング）、従動カウンタバランス弁５ｂが開き、従動側の巻上側配管４ｂの圧力上昇が衰え始める。一方、主動カウンタバランス弁５ａは、主動側の巻下側配管３ａの圧力が主動カウンタバランス弁５ａのバネの設定圧力を超えると開く。
【００３６】
したがって、従動カウンタバランス弁５ｂが開くタイミングを、主動カウンタバランス弁５ａが開くタイミングに接近させることが可能になる。ここで、絞り８の内径と、圧力同調配管１５の容量（従動側バネ室５０２の容積を含む）とを適切に調整することにより、主動カウンタバランス弁５ａが開いていなくても（Ａ点に達していなくても）、従動側の巻上側配管４ｂの圧力と従動側のバネ室５０２の圧力との圧力差がΔＰを超えて従動カウンタバランス弁５ｂが開くようにすることも可能である。よって、主動カウンタバランス弁５ａが開くタイミングに関係なく従動カウンタバランス弁５ｂを開くようにすることができるので、この従動カウンタバランス弁５ｂの開きタイミングを適切に設定することにより、従動側の巻上側配管４ｂでのサージ圧力を低く抑えることができ、従動モータ２ｂに荷重が集中して従動モータ２ｂの寿命が短くなるのを防止することが可能になる。
【００３７】
ここで、ヒューズ弁６内の通路上に、主動側の巻上側配管４ａと圧力同調配管１５との間を結ぶ絞り６ａが存在するが、圧力伝播を遅らせるための絞り８の径と、ヒューズ弁６が機能するための絞り６ａの径とは、適切なサイズが異なるので、本実施形態ではヒューズ弁６内の絞り６ａとは別の絞り８を設けるようにしている。
【００３８】
なお、上述した第１実施形態では主動側の巻上側配管４ａと従動側のバネ室５０２との間を、ヒューズ弁６を経由するようにして配管（圧力同調配管１５を含む）でつなぐようにしているが、本発明はこれに限らず、配管でなくホースを使ってもよい。また、主動側の巻上側配管４ａと従動側のバネ室５０２との間を、ヒューズ弁を経由せずに直接つなぐ構成であってもよい。また、主動側の巻上側配管４ａと従動側のバネ室５０２との間の一部、例えば圧力同調配管１５を除く部分にホースを用いた構成であっても、同様に適用できる。
【００３９】
また、上述した第１実施形態では圧力同調配管１５に絞り８を１つ設けた構成としているが、本発明はこれに限らず、圧力同調配管１５に絞り８を２つ以上設けた構成としてもよいことは勿論である。このようにすると、従動カウンタバランス弁５ｂが開くタイミングの調整を容易に行うようにできるという利点がある。
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。
【００４０】
図３は、第２実施形態に係るウインチ装置の油圧回路図である。この図３は、図５および図６と同一部分には同一番号を付している。第２実施形態のウインチ装置も、従来技術で説明したウインチ装置と基本的な回路構成が同様であり、基本的な回路構成の詳細な説明は省略し、従来技術と異なる点について説明する。
【００４１】
従来技術では、主動側の巻上側配管４ａと従動側のバネ室５０２との間を、ヒューズ弁６および圧力同調配管１５を経由するように配管でつないで、主動側の巻上側配管４ａの圧液を従動側のバネ室５０２へ伝える構成としていた。これに対して、第２実施形態では、図３に示すように、主動側の巻上側配管４ａに圧力センサ１６を設けると共に、従動側のバネ室５０２の圧力を制御する圧力制御弁１８を備える構成としている点で異なっている。
【００４２】
この第２実施形態のウインチ装置では、まず主動側の巻上側配管４ａの圧力を圧力センサ１６で計測し、計測した圧力を信号処理装置１７に取り込む。信号処理装置１７に取り込まれた圧力信号は、例えばローパスフィルタなどで高周波信号をカットする信号処理が施され、急速な信号変化（圧力センサ１６で計測した圧力の急速な変化）については、動的な遅れが生じるようにする。なお、信号処理装置１７はハードウェア的に処理を行うアナログフィルタであっても良いし、ソフトウェア的に処理を行うディジタルコントローラであっても良い。
【００４３】
信号処理が施された後の信号は、圧力制御弁１８へ指令信号として出力される。その指令信号に従って、圧力制御弁１８は従動側のバネ室５０２の圧力を制御する。
【００４４】
この第２実施形態による場合は、第１実施形態と同様、図４（ｂ）に示すように、従動側のバネ室５０２の圧力と主動側の巻上側配管４ａの圧力との間に遅れが生じ、主動カウンタバランス弁５ａの開口タイミングと関係なく、従動カウンタバランス弁５ｂを開くことができるようになる。よって、従動側の巻上側配管４ｂでのサージ圧力を低く抑えることができ、従動モータ２ｂに荷重が集中して従動モータ２ｂの寿命が短くなるのを防止することが可能になる。
【００４５】
なお、上述した第１、第２実施形態ではウインチ装置に適用しているが、本発明はこれに限らず、複数のアクチュエータによりドラムを回転させて巻上げ、巻下げ動作をする油圧装置、例えばクレーン、或いはラフテレンクレーンや大型油圧ショベル等のブーム起伏装置などにも同様に適用することができる。
【００４６】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明による場合には、従動カウンタバランス弁の第２圧力室の圧力が、第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力よりも遅れて立ち上がるようになり、一方、第１圧力室の圧力に導かれる第２液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力が、第１液圧アクチュエータの巻上側管路の圧力とほぼ同様の挙動で圧力が上昇するため、従動カウンタバランス弁を開口させられる差圧が生じ、主動カウンタバランス弁が開くタイミング、従動カウンタバランス弁を開くタイミングを近接させることができ、起動時における従動側での負荷集中を防ぐことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１実施形態に係るウインチ装置の油圧回路図である。
【図２】  第１実施形態に係るウインチ装置に備わった従動カウンタバランス弁の構造を示す断面図（従動カウンタバランス弁の近傍も併せて示す）である。
【図３】  第２実施形態に係るウインチ装置の油圧回路図である。
【図４】  （ａ）は従来技術のウインチ装置における動き始めの圧力挙動を例示する図であり、（ｂ）は第１実施形態のウインチ装置における動き始めの圧力挙動を例示する図である。
【図５】  従来技術のウインチ装置の油圧回路図である。
【図６】  従来技術のウインチ装置に備わった従動カウンタバランス弁の構造を示す断面図（従動カウンタバランス弁の近傍も併せて示す）である。
【符号の説明】
３ａ  主動側の巻下側配管
４ａ  主動側の巻上側配管
４ｂ  従動側の巻上側配管
５ａ  主動カウンタバランス弁
５ｂ  従動カウンタバランス弁
６  ヒューズ弁
８  絞り
１５  圧力同調配管
１６  圧力センサ
１７  信号処理装置
１８  圧力制御弁
５０２  従動側バネ室
【図１】
0004560863.tif 000002
【図２】
0004560863.tif 000003
【図３】
0004560863.tif 000004
【図４】
0004560863.tif 000005
【図５】
0004560863.tif 000006
【図６】
0004560863.tif 000007