(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の検査対象物における欠陥を検査する検査装置であって、
前記検査対象物の一方面が露出するように前記検査対象物を支持する支持部、及び、前記検査対象物の一方面を撮像する第一撮像手段を有する第一検査部と、
前記検査対象物の一方面を吸着して持ち上げるリフト手段、及び、前記検査対象物の他方面を撮像する第二撮像手段を有する第二検査部と、
前記第一撮像手段及び前記第二撮像手段が撮像した検査画像に基づいて前記検査対象物の欠陥を検出する判定装置とを備え、
前記支持部は、透明材料により形成されており、
前記支持部を挟んだ前記第一撮像手段の反対側に配置され、前記第一撮像手段に向けて光を照射する光源を更に備え、
前記判定装置は、前記光源からの照射によって強調された前記検査対象物の側縁を基準として、前記検査対象物の検査画像の傾き補正を行う検査装置。
【請求項２】
前記支持部は、前記検査対象物が載置される載置面を有する支持部上部と、
前記支持部上部の下部に配置され、前記支持部上部との間に内部空間を形成する支持部下部とを備えており、
前記載置面には、前記内部空間に向けて貫通する吸引孔が形成されており、
前記支持部上部及び前記支持部下部の少なくともいずれか一方には、前記内部空間の空気を吸引する吸引装置が接続される吸引流路が形成されており、
前記支持部上部は、前記支持部下部に対して着脱自在に取り付けられている請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記光源は、赤色光または赤外光を発する請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記第一検査部及び前記第二検査部は、互いに水平方向に隣接して配置されており、
前記第一検査部は、前記第一撮像手段の撮像エリア内を移動可能となるように前記支持部を搬送する第一搬送手段を備え、
前記第二検査部は、前記第二撮像手段の撮像エリア内を移動可能となるように前記リフト手段を搬送する第二搬送手段を備えており、
前記第一搬送手段及び前記第二搬送手段は、前記第一撮像手段及び前記第二撮像手段の撮像エリア外において、前記支持部が、前記リフト手段の下方に配置されるように構成されている請求項１〜３のいずれかに記載の検査装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、太陽電池用基板や電子回路基板等の平板状の検査対象物における外観上の欠陥を検出する装置として、例えば特許文献１に開示されている外観検査装置が知られている。
【０００３】
この装置は、検査対象物が搬送されるベルトコンベアと、基板反転供給機構と、撮像部とを備えている。検査対象物の外観検査を行うには、まず、撮像部による検査対象物の一方面の画像検出が行われ、この画像情報（画像）に基づいて検査対象物の一方面における欠陥の有無が検査される。その後、基板反転供給機構により検査対象物を反転し、検査対象物の他方面の画像検出が行われ、この画像に基づいて検査対象物の他方面における欠陥の有無が検査される。
【特許文献１】特開２０００−９７６７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の装置を用いて平板状の検査対象物の外観検査を行う場合、検査対象物をわざわざ反転させる必要があるため、効率よく検査対象物の欠陥の検査を行うことが困難であるという問題があった。
【０００５】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであって、効率よく平板状の検査対象物の欠陥を検査できる検査装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の前記目的は、平板状の検査対象物における欠陥を検査する検査装置であって、前記検査対象物の一方面が露出するように前記検査対象物を支持する支持部、及び、前記検査対象物の一方面を撮像する第一撮像手段を有する第一検査部と、前記検査対象物の一方面を吸着して持ち上げるリフト手段、及び、前記検査対象物の他方面を撮像する第二撮像手段を有する第二検査部と、前記第一撮像手段及び前記第二撮像手段が撮像した検査画像に基づいて前記検査対象物の欠陥を検出する判定装置とを備え、前記支持部は、透明材料により形成されており、前記支持部を挟んだ前記第一撮像手段の反対側に配置され、前記第一撮像手段に向けて光を照射する光源を更に備え、前記判定装置は、前記光源からの照射によって強調された前記検査対象物の側縁を基準として、前記検査対象物の検査画像の傾き補正を行う検査装置により達成される。 
【０００８】
また、前記支持部は、前記検査対象物が載置される載置面を有する支持部上部と、前記支持部上部の下部に配置され、前記支持部上部との間に内部空間を形成する支持部下部とを備えており、前記載置面には、前記内部空間に向けて貫通する吸引孔が形成されており、前記支持部上部及び前記支持部下部の少なくともいずれか一方には、前記内部空間の空気を吸引する吸引装置が接続される吸引流路が形成されており、前記支持部上部は、前記支持部下部に対して着脱自在に取り付けられていることが好ましい。
【０００９】
また、前記光源は、赤色光または赤外光を発することが好ましい。
【００１０】
また、前記第一検査部及び前記第二検査部は、互いに水平方向に隣接して配置されており、前記第一検査部は、前記第一撮像手段の撮像エリア内を移動可能となるように前記支持部を搬送する第一搬送手段を備え、前記第二検査部は、前記第二撮像手段の撮像エリア内を移動可能となるように前記リフト手段を搬送する第二搬送手段を備えており、前記第一搬送手段及び前記第二搬送手段は、前記第一撮像手段及び前記第二撮像手段の撮像エリア外において、前記支持部が、前記リフト手段の下方に配置されるように構成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、効率よく平板状の検査対象物の欠陥を検査できる検査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明に係る検査装置について添付図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施形態に係る検査装置の平面図であり、図２は図１のＡ−Ａ断面図、図３は図１のＢ−Ｂ断面図である。
【００１３】
本実施形態に係る検査装置１００は、太陽電池用基板や電子回路基板等の平板状の検査対象物９における配線パターンの欠陥や、基板の割れ・欠け等を検査するための装置であり、互いに水平方向に隣接して配置される第一検査部１及び第二検査部２と、判定装置３と、第一検査部１及び第二検査部２を支持する筐体本体４と、図示しない制御装置とを備えている。
【００１４】
第一検査部１は、検査対象物９の一方面９ａにおける配線パターンの欠陥や割れ等の有無を検査するための検査部である。この第一検査部１は、検査対象物９の一方面９ａの全領域が露出するように当該検査対象物９を支持する支持部１１と、当該支持部１１を水平方向に移動させるための第一搬送手段１２と、検査対象物９ の一方面９ａを撮像する第一撮像手段１３と、第一照明装置１４とを備えている。
【００１５】
支持部１１は、検査対象物９の他方面９ｂを吸引して吸着固定できるように構成されており、第一搬送手段１２のアーム部１２１に保持されている。この支持部１１は、図４の要部拡大図に示すように、検査対象物９が載置される載置面１１１を有する平面視矩形状の支持台であり、その内部に内部空間１１２が形成されている。載置面１１１には、内部空間１１２に向けて貫通する吸引孔１１３が複数形成されている。また、支持部１１の側面にも、内部空間１１２に向けて貫通する吸引流路１１４が形成されており、この吸引流路１１４に図示しない第一吸引ポンプが接続されている。第一吸引ポンプを駆動させることにより、支持部１１の内部の内部空間１１２の空気が吸引され、支持部１１の載置面１１１に載置される検査対象物９は、吸引孔１１３を介して吸引され、載置面１１１に吸着固定されることになる。
【００１６】
第一搬送手段１２は、第一撮像手段１３の撮像エリア内を通過させて第二検査部２側に支持部１１を搬送する装置であり、支持部１１を保持するアーム部１２１と、アーム部１２１を支持するレール部材１２２と、アーム部１２１の一部に挿通されるボールネジ１２３と、当該ボールネジ１２３を正逆回転させるモータ１２４とを備えている。レール部材１２２及びボールネジ１２３は、互いに平行となるように配置されており、ボールネジ１２３の回転によって、アーム部１２１がレール部材１２２上を摺動するように構成されている。このような構成により、モータ１２４を正逆回転させることによって、アーム部１２１に保持される支持部１１を、図１及び図２の矢示Ｃ方向（図の左右方向）に沿って往復移動させて、第一撮像手段１３の撮像エリア内を移動させることが可能になる。なお、図２においては、レール部材１２２を省略して記載している。
【００１７】
第一撮像手段１３は、支持部１１に載置された検査対象物９の一方面９ａを撮像し、検査画像を取り込む装置であり、ラインセンサカメラやＣＣＤカメラなどを例示することができる。この第一撮像手段１３は、筐体本体４に立設された支柱４１，４１間に設けられたビーム４２に取り付けられている。なお、第一撮像手段１３により取得された検査画像のデータは、判定装置３に送られる。
【００１８】
第一照明装置１４は、支持部１１に載置される検査対象物９の一方面９ａに光を照射する装置であり、支持部１１に載置される検査対象物９の上方に配置されている。第一照明装置１４としては、蛍光灯やハロゲンランプ等を例示することができる。なお、第一照明装置１４がなくても第一撮像手段１３が鮮明な検査画像を取得できるのであれば、第一照明装置１４を特に設ける必要はない。
【００１９】
第二検査部２は、検査対象物９の他方面９ｂにおける配線パターンの欠陥や、基板の割れ等の有無を検査するための検査部である。この第二検査部２は、検査対象物９の一方面９ａを吸着して持ち上げるリフト手段２１と、リフト手段２１を水平方向に移動させるための第二搬送手段２２と、検査対象物９の他方面９ｂを撮像する第二撮像手段２３と、第二照明装置２４とを備えている。
【００２０】
リフト手段２１は、検査対象物９の一方面９ａを吸引して上方に持ち上げることができるように構成されており、図５の要部拡大図に示すように、吸引昇降装置２５と、吸引昇降装置２５が取り付けられる基台２６とを備えている。基台２６は、第二搬送手段２２のアーム部に保持されている。吸引昇降装置２５は、基台２６に形成されている貫通孔２６ａを挿通する棒状の吸引アーム２５１と、この吸引アーム２５１を上下方向（図５中の矢視Ｅ方向）に移動させる昇降装置２５２とを備えている。吸引アーム２５１には、その一方端２５３から他方端２５４にかけて貫通する流路２５５が形成されている。吸引アーム２５１の一方端２５３には、検査対象物９の一方面９ａを吸着するための吸着部２５６が設けられており、この吸着部２５６は、基台２６の下面側に露出するように配置されている。また、吸引アーム２５１の他方端２５４には、図示しないチューブを介して第二吸引ポンプ（図示せず）が接続しており、この第二吸引ポンプの吸引作用により、吸着部２５６が検査対象物９の一方面９ａを吸引して固定できるように構成されている。
【００２１】
第二搬送手段２２は、第二撮像手段２３の撮像エリア内を移動可能となるようにリフト手段２１を搬送する装置である。この第二搬送手段２２は、上述の第一搬送手段１２と同様な構成を有しており、リフト手段２１を保持するアーム部２２１と、アーム部２２１を支持するレール部材２２２と、アーム部２２１の一部に挿通されるボールネジ２２３と、当該ボールネジ２２３を正逆回転させるモータ２２４とを備えている。レール部材２２２及びボールネジ２２３は、互いに平行となるように配置されており、ボールネジ２２３の回転によって、アーム部２２１がレール部材２２２上を摺動するように構成されている。ここで、上述の第一搬送手段１２及び第二搬送手段２２は、支持部１１とリフト手段２１との間で検査対象物９の授受ができるように、第一撮像手段１３及び第二撮像手段２３の撮像エリア外の一部分において、支持部１１が、リフト手段２１の下方に配置されるように構成されている。これにより、第一搬送手段１２の作用により第二検査部２側に搬送されてきた支持部１１上の検査対象物９の一方面９ａを、リフト手段２１が吸着して当該検査対象物９を上方に持ち上げることができると共に、第二搬送手段２２のモータ２２４を正逆回転させることによって、アーム部２２１に保持されるリフト手段２１を、図１及び図２の矢示Ｄ方向（図の左右方向）に沿って往復移動させて、第二撮像手段２３の撮像エリア内を移動させることが可能になる。なお、図２においては、レール部材２２２を省略して記載している。
【００２２】
また、本実施形態においては、第二搬送手段２２が備えるレール部材２２２と、上述の第一搬送手段１２が備えるレール部材１２２とを別体として構成しているが、例えば、これらを一本のレール部材により構成することもできる。
【００２３】
第二撮像手段２３は、リフト手段２１により持ち上げられた検査対象物９の他方面９ｂ（下面）を撮像し、その検査画像を取り込む装置であり、ラインセンサカメラやＣＣＤカメラなどを例示することができる。この第二撮像手段２３は、リフト手段２１により持ち上げられた検査対象物９の下方に配置されており、筐体本体４の上面に形成された開口４３を介して検査対象物９の他方面９ｂを撮影できるように構成されている。なお、第二撮像手段２３により取得された検査画像のデータは、判定装置３に送られる。
【００２４】
第二照明装置２４は、リフト手段２１により持ち上げられた検査対象物９の他方面９ｂに光を照射する装置であり、リフト手段２１により持ち上げられた検査対象物９の下方に配置されている。第二照明装置２４は、第一照明装置１４と同様に、蛍光灯やハロゲンランプ等を例示することができる。なお、第二照明装置２４がなくても第二撮像手段２３が鮮明な検査画像を取得できるのであれば、第二照明装置２４を特に設ける必要はない。
【００２５】
判定装置３は、第一撮像手段１３及び第二撮像手段２３により撮像された検査画像に基づいて検査対象物９の欠陥を検出する装置である。このような装置として、検査対象物９における欠陥を検出するための検査プログラムがインストールされたコンピュータを例示することができる。また、この判定装置３は、第一撮像手段１３および第二撮像手段２３により撮像した検査画像を表示するディスプレイなどの表示装置を備えている。検査対象物９の欠陥を検出する具体的方法は、予め記憶している欠陥のない良品における一方面９ａ及び他方面９ｂの基準画像と、第一撮像手段１３及び第二撮像手段２３からそれぞれ出力された一方面９ａ及び他方面９ｂの検査画像とを比較することにより行う。仮に、検査面である検査対象物９の一方面９ａ又は他方面９ｂに欠陥があり、これが検査画像に映し出されていると、欠陥の映し出されていない基準画像と比較することで欠陥を検出し、不良品と判定する。逆に、検査画像が基準画像に一致すると良品と判断する。
【００２６】
制御装置は、第一搬送手段１２及び第二搬送手段２２が有する各モータ１２４，２２４や、リフト手段２１の昇降装置２５２、図示しない第一吸引ポンプ及び第二吸引ポンプ、第一撮像手段１３、第二撮像手段２３等の作動を制御する装置である。
【００２７】
次に本実施形態に係る検査装置１００の作動について説明する。なお、検査開始時においては、図６に示すように、第一検査部１の支持部１１は、第二検査部２から最も離れた場所に配置されており、第二検査部２のリフト手段２１は、最も第一検査部１側となるように配置されている。また、第一および第二撮像手段２３としてラインセンサカメラを使用する。
【００２８】
まず、検査作業者が、検査対象物９を第一検査部１の支持部１１上の所定位置に載置した後、図示しない第一吸引ポンプを駆動させて、検査対象物９を支持部１１上に吸着させる。その後、第一搬送手段１２を駆動させることにより、検査対象物９を、第一撮像手段１３の撮像エリア内を通過させる（図７）。第一撮像手段１３は、搬送されてきた検査対象物９の一方面９ａを撮像することにより、検査対象物９の一方面９ａの検査画像を取得し、この検査画像を判定装置３に送る。
【００２９】
第一撮像手段１３による一方面９ａの撮影が終了した後、第一搬送手段１２は、図８に示すように、リフト手段２１の下方まで支持部１１を搬送して停止する。次に、図９に示すように、リフト手段２１の昇降装置２５２を作動させることにより、吸引アーム２５１を降下させて吸着部２５６を検査対象物９の一方面９ａに当接させると共に、第二吸引ポンプを駆動して検査対象物９を吸引する。このとき、検査対象物９の他方面９ｂを吸引するために供されていた第一吸引ポンプの駆動を停止し、検査対象物９の他方面９ｂの吸引を解除する。そして、図１０および図１１に示すように、昇降装置２５２を作動させることにより、吸引アーム２５１を上昇させて検査対象物９を上方に持ち上げた後、第二搬送手段２２を駆動させることにより、リフト手段２１に吊り下げられた検査対象物９を第二撮像手段２３の撮像エリア内に通過させる。第二撮像手段２３は、搬送されてきた検査対象物９の他方面９ｂを検査対象物９の下方から撮像することにより、検査対象物９の他方面９ｂの検査画像を取得し、この検査画像を判定装置３に送る。
【００３０】
第二撮像手段２３による撮影が終了した後、第二搬送手段２２を停止させる（図１２）。そして、昇降装置２５２を駆動させて吸引アーム２５１を降下させると共に、第二吸引ポンプの駆動を停止し、検査対象物９をリフト手段２１の吸着部２５６から離脱させる。その後、第一搬送手段１２および第二搬送手段２２をそれぞれ駆動させて、支持部１１およびリフト手段２１を初期位置（図６の状態）に戻して、次の検査対象物９の検査に備える。
【００３１】
判定装置３においては、第一撮像手段１３および第二撮像手段２３により撮像された各検査画像に基づいて、検査対象の一方面９ａおよび他方面９ｂにおける欠陥の有無を判定する。欠陥がある場合には、不良品であると判定し、例えば、表示装置上に不良品である旨を表示したり、アラーム音を発することにより、検査作業者に知らせる。一方、検査の結果、検査対象物９が良品であると判断された場合には、例えば、表示装置上に良品である旨を表示して検査作業者に知らせる。
【００３２】
上述のように、本実施形態に係る検査装置１００は、第一撮像手段１３により検査対象物９の一方面９ａを撮像して当該一方面９ａの検査画像を取得した後、検査対象物９の一方面９ａをリフト手段２１により上方に持ち上げることにより露出した検査対象物９の他方面９ｂを第二撮像手段２３により撮像して当該他方面９ｂの検査画像を取得するように構成しているので、従来のように、検査対象物９の他方面９ｂ側（裏面側）を検査する際に検査対象物９をわざわざ反転させる必要がなく、検査対象物９の一方面９ａ及び他方面９ｂ（表裏面）における欠陥の有無を効率よくスムーズに検査することが可能になる。
【００３３】
また、本実施形態に係る検査装置１００は、検査対象物９の他方面９ｂの欠陥を検査する際に、リフト手段２１が検査対象物９の一方面９ａを吸着して検査対象物９を上方に持ち上げるように構成されているため、検査対象物９を持ち上げる装置の一部分が、検査対象物９の他方面９ｂと第二撮像手段２３との間に介在することはない。したがって、例えば、太陽電池基板のように発電効率を高めるために基板の表裏面全領域に配線パターンが形成されている検査対象物９の欠陥を検査する場合であっても、検査対象物９の他方面９ｂの全領域を第二撮像手段２３が撮影することができ、確実な欠陥検査が可能になる。
【００３４】
また、本実施形態においては、第一検査部１及び第二検査部２は、互いに水平方向に隣接して配置されており、第一撮像手段１３の撮像エリア内を移動可能となるように支持部１１を搬送する第一搬送手段１２と、第二撮像手段２３の撮像エリア内を移動可能となるようにリフト手段２１を搬送する第二搬送手段２２とを備えており、第一搬送手段１２及び第二搬送手段２２は、第一撮像手段１３及び第二撮像手段２３の撮像エリア外において、支持部１１が、リフト手段２１の下方に配置されるように構成されているので、検査対象物９の一方面９ａ及び他方面９ｂにおける欠陥の検査を流れ作業で行うことができ、効率的な欠陥検査が可能になる。
【００３５】
以上、本発明に係る検査装置１００の一実施形態について説明したが、本発明の具体的な構成は上記実施形態に限定されない。例えば、検査対象物９が載置される支持部１１を透明材料により形成すると共に、図１３に示すように、支持部１１を挟んだ第一撮像手段１３の反対側に、第一撮像手段１３に向けて光を照射する補助光源５を配置するように構成してもよい。このような構成により、補助光源５から照射された光は、第一撮像手段１３の撮像エリア内を移動する透明な支持部１１を透過して検査対象物９に照射されることになる。これにより、検査対象物９の全領域を検査対象として、検査対象物９の表裏面を貫通する微細な割れや、表裏面上に露出しない内部クラック、検査対象物９の側縁における欠け等の欠陥を第一撮像手段１３が確実に捉えることが可能になり、検査対象物９の欠陥を容易にかつ高精度で検査することが可能になる。具体的に説明すると、例えば、検査対象物９にその表裏面を貫通する微細な割れが存在する場合には、補助光源５から照射されて微細な割れを通過する光が検査画像上に現れるため、微細な割れを検出することができる。また、表裏面に露出しない内部クラックが検査対象物９に存在する場合には、検査対象物９を透過する光の濃淡の差が生ずる検査画像が得られるため、内部クラックの存在を検出することが可能になる。また、検査対象物９の側縁に欠けが発生している場合には、検査対象物９によって光が遮られることにより検査対象物９の側縁形状が影となって強調された検査画像を取得できるため、側縁における微細な欠けを容易に把握することができる。
【００３６】
また、補助光源５から照射された光が検査対象物９によって遮られることにより、検査対象物９の側縁が影となって強調された検査画像が取得されるため、この側縁を基準として、検査対象物９の検査画像の傾き補正を行うことが可能になる。この結果、検査対象物９上の配線パターンの形成位置を正確に検査することが可能になる。
【００３７】
ここで、補助光源５として、蛍光灯やハロゲンランプ等を例示することができるが、赤色光や赤外光を発する光源を使用することが好ましい。補助光源５として赤色光や赤外光を発する光源を採用した場合、これらの光は、検査対象物９を透過しやすいので、内部クラックの存在を効果的に検出することが可能になる。
【００３８】
また、検査対象物９が載置される支持部１１を透明材料により形成する場合、以下に示すように当該支持部１１を形成することが好ましい。すなわち、図１４に示すように、支持部１１が、検査対象物９が載置される載置面１１１を有する支持部上部１１ａと、支持部上部１１ａの下部に配置され、支持部上部１１ａとの間に内部空間１１２を形成する支持部下部１１ｂとを備え、支持部上部１１ａが、支持部下部１１ｂに対して着脱自在に取り付けられているように構成することが好ましい。このような構成により、内部空間１１２内に溜まった埃や汚れを容易に清掃することが可能になり、透明な支持部１１の透明度を高い状態に維持することが可能になる。この結果、検査対象物９の欠陥の検査における検査精度が低下することを効果的に防止することができる。なお、吸引流路１１４は、支持部上部１１ａに形成してもよく、また、支持部上部１１ａ及び支持部下部１１ｂの両方に形成してもよい。また、図１４においては、支持部下部１１ｂの上面に凹部１１５を形成することにより、支持部下部１１ｂと、この支持部下部１１ｂの上部に配置される支持部上部１１ａとの間に内部空間１１２を形成する構成を示しているが、支持部上部１１ａの下面に凹部１１５を形成することにより、或いは、支持部上部１１ａの下面及び支持部下部１１ｂの上面に凹部１１５をそれぞれ形成することにより、支持部下部１１ｂと支持部上部１１ａとの間に内部空間１１２を形成する構成を採用することもできる。
【００３９】
また、上述した本実施形態に係る検査装置１００の作動の説明において、最初に第一検査部１において検査対象物９の一方面９ａを第一撮像手段１３により撮影した後、第二検査部２において検査対象物９の他方面９ｂを第二撮像手段２３により撮影することにより、検査対象物９の欠陥の検査を行う旨を説明したが、例えば、最初に第二検査部２において検査対象物９の他方面９ｂを第二撮像手段２３により撮影した後、第一検査部１において検査対象物９の一方面９ａを第一撮像手段１３により撮影することにより、検査対象物９の欠陥の検査を行うようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施形態に係る検査装置を示す概略平面図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１におけるB-B断面図である。
【図４】本発明に係る検査装置が備える支持部を示す概略構成断面図である。
【図５】本発明に係る検査装置が備えるリフト手段を示す概略構成断面図である。
【図６】本発明に係る検査装置の作動を説明するための説明図である。
【図７】本発明に係る検査装置の作動を説明するための説明図である。
【図８】本発明に係る検査装置の作動を説明するための説明図である。
【図９】本発明に係る検査装置の作動を説明するための説明図である。
【図１０】本発明に係る検査装置の作動を説明するための説明図である。
【図１１】本発明に係る検査装置の作動を説明するための説明図である。
【図１２】本発明に係る検査装置の作動を説明するための説明図である。
【図１３】本発明に係る検査装置の変形例を示す概略断面図である。
【図１４】本発明に係る検査装置が備える支持部の変形例を示す概略構成断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１００  検査装置
１  第一検査部
１１  支持部
１２  第一搬送手段
１３  第一撮像手段
１４  第一照明装置
２  第二検査部
２１  リフト手段
２２  第二搬送手段
２３  第二撮像手段
２４  第二照明装置
３  判定装置
４  筐体本体
５  補助光源
９  検査対象物
【図１】
0004392557.tif 000002
【図２】
0004392557.tif 000003
【図３】
0004392557.tif 000004
【図４】
0004392557.tif 000005
【図５】
0004392557.tif 000006
【図６】
0004392557.tif 000007
【図７】
0004392557.tif 000008
【図８】
0004392557.tif 000009
【図９】
0004392557.tif 000010
【図１０】
0004392557.tif 000011
【図１１】
0004392557.tif 000012
【図１２】
0004392557.tif 000013
【図１３】
0004392557.tif 000014
【図１４】
0004392557.tif 000015