(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続的な流体潤滑層を介して向かい合う平行で平坦な第１摺動面及び第２摺動面であって、これら摺動面の少なくとも一方に、第１領域と第２領域を形成し、第１領域は流体のスリップ流れを生じさせるように摺動面が形成され、第２領域はスリップ流れが０もしくは第１領域よりも小さくなるように摺動面が形成されることにより、流体潤滑層に軸受支持圧力を発生させるようにし、第１領域は撥水性もしくは撥油性を有し、第２領域は親水性もしくは親油性を有するように形成したことを特徴とする流量修正係数を制御した軸受構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体潤滑層を介して向かい合う第１摺動面及び第２摺動面を有する流量修正係数を制御した軸受構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
荷重が支えられた状態で、第１摺動面と第２摺動面との間に流体潤滑膜（流体潤滑層に相当）を形成するためには、荷重に釣り合うだけの圧力を流体潤滑膜中に発生させる必要がある。また、摺動面外に流出する流体の量に見合うだけの流体が摺動面に供給されなければならない。
【０００３】
そこで、上記のような圧力を発生させる原因の主たるものとしてくさび膜効果があげられる。これは、摺動面間の隙間が運動方向において狭くなるように形成された軸受構造により、粘性力でくさび状の隙間に引き込まれた流体分子同士の押し合いにより生じるものである。これを図１４により概念的に説明する。
【０００４】
図１４において、下部摺動面１と上部摺動面２とが流体潤滑膜を介して向かい合っている。下部摺動面１は固定された状態であり、上部摺動面２は速度ｕで左側から右側へと移動しているものとする。また、下部摺動面１には、機械的な段差１ａが形成されている。したがって、流体は隙間が広い部分から隙間の狭い部分へと引き込まれ、これにより、くさび膜効果が生じ動圧が発生する。理論的には、段差１ａの位置で最も高い圧力（Ｐmaxで示されている）が発生する。このような段差により、荷重に釣り合うだけの圧力を発生させることができる。
【０００５】
特に、流体が低粘度で負荷の発生が期待できないような水潤滑下（プロセス流体による潤滑の１例である。）での流体潤滑膜の形成においては、上記のような動圧発生構造は、不可欠である。そのため、動圧発生構造を備えた軸受構造 が知られており、これを図１５に示す。図１５（ａ）は、流体機械４の外観を示し、（ｂ）はその内部構造の一部を示し、（ｃ）は使用されている軸受部材の１例を示すものである。図１５（ｂ）において、中央部に回転軸５が設けられ、その周りに下側軸受部材６と上側軸受部材７とが設けられている。荷重は図示のように上方向から下方向へと作用する。下側軸受部材６は固定されており、上側軸受部材７が回転移動する。潤滑膜を形成する流体は、プロセス流体である水である。そして、下側軸受部材６の形状は（ｃ）に示されており、その摺動面にスパイラルグルーブ６ａが形成されている。
【０００６】
この軸受部材６は、素材としては炭化ケイ素や窒化ケイ素等のシリコン系セラミックスが用いられる。図１５（ｃ）において、黒い部分が溝に相当する。かかる構造を形成する方法は、次のように行う。摺動面の表面のうち白い部分をマスク手段によりマスクし、ショットブラスト法により溝を形成する。この溝により、図１４で説明したような、段差を形成することができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように機械的な段差（溝）を形成する場合、例えば、上記ショットブラスト法による溝加工は、コストが高くなるという問題がある。軸受部材としては、シリコン系セラミックスのほかにも、銅等のような塑性変形しやすい素材があり、この場合には、転造加工やサイジングパンチによっても溝を形成することが可能である。しかし、シリコン系セラミックスの場合には、加工が難しいため、ショットブラスト法によらざるを得ない状況である。
【０００８】
本発明は上記実情に鑑みてなされたものであり、その課題は、軸受部材の摺動面に動圧発生構造を持たせる場合、加工コストを安価にできる流量修正係数を制御した軸受構造を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため本発明に係る流量修正係数を制御した軸受構造は、
流体潤滑層を介して向かい合う第１摺動面及び第２摺動面であって、これら摺動面の少なくとも一方に、第１領域と第２領域を形成し、第１領域は流体のスリップ流れを生じさせるように摺動面が形成され、第２領域はスリップ流れが０もしくは第１領域よりも小さくなるように摺動面が形成されることにより、流体潤滑層に軸受支持圧力を発生させるようにしたことを特徴とするものである。
【００１０】
かかる構成による軸受構造の作用・効果を説明する。軸受構造を構成する第１摺動面と第２摺動面の間に、流体潤滑層が形成される。流体潤滑層は、油膜・水のような液体層でもよいし、空気のような気体層、あるいは空気と油のミストのような混相流でもよい。そして、これら摺動面の少なくとも一方に第１領域と第２領域を形成し、第１領域には流体のスリップ流れを生じさせるような摺動面が形成される。第２領域は、スリップ流れが０か第１領域よりも小さくなるようにする。
【００１１】
この構成を図１に概念的に示す。下部摺動面１が固定されており、上部摺動面２が速度Ｕで移動しているものとする。下部摺動面１に第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２が形成されており、第１領域R１における流速分布がＶR1で示され、第２領域Ｒ２における流速分布がＶR2で示される。第２領域Ｒ２においては、下部摺動面１における流速は０（スリップ流れが０の場合）であるが、第１領域Ｒ１においては、すべり流れが生じて流速が有限となる。従って、第１領域Ｒ１には、より多くの流体が持ち込まれようと作用し、流量バランスをとるために圧力が発生することになる。この圧力により軸受荷重を支持することができる。かかるスリップ流れの大きさが異なる第１領域と第２領域は、以下説明するように、機械的な段差を形成する方法以外の種々の方法で形成することができ、加工コストを安価にすることができる。
【００１２】
本発明において、第１領域は撥水性もしくは撥油性を有し、第２領域は親水性もしくは親油性を有することが好ましい。
【００１３】
かかる構成によれば、第１領域においてスリップ流れを生じさせることができ、第２領域においてスリップ流れを０もしくはほぼ０にすることができる。これにより、軸受支持圧力を発生させることができる。
【００１４】
本発明において、第１領域の表面にフッ素樹脂膜を形成していることが好ましい。この構成によれば、摺動面を部分的にフッ素樹脂膜でコーティング等することで、撥水性もしくは撥油性を有する領域を形成することができる。コーティングの厚さはごく僅かでよく、コストも安価にすることができる。
【００１５】
本発明において、第１領域の表面に多数の凹部を形成し、この凹部に撥水性もしくは撥油性を有する材料が充填されることが好ましい。
【００１６】
第１領域の全面を撥水性もしくは撥油性を有する材料で形成する方法に比べて、安価に構成することができる。
【００１７】
本発明において、第１領域と第２領域の表面の材質を異ならせていることが好ましい。
【００１８】
例えば、空気層により支持する場合、空気のスリップが生じやすい材質とそうでない材質とがある。かかる流体の特性に鑑みて、表面に異なる材質を形成することで、スリップ流れを生じさせ、圧力を発生させることができる。
【００１９】
上記課題を解決するため本発明に係る流量修正係数を制御した軸受構造は、
流体潤滑層を介して向かい合う第１摺動面及び第２摺動面であって、これら摺動面の少なくとも一方に、第１領域と第２領域を形成し、第１領域と第２領域で表面粗さを異ならせていることを特徴とするものである。
【００２０】
かかる構成による軸受構造によれば、第１領域と第２領域とで表面粗さが異なっている。表面粗さにより表面に凹凸が形成されるため、例えば、流体潤滑膜を形成する場合の平均膜厚が第１領域と第２領域とで異なってくる。従って、第１領域に持ち込まれる流体と第２領域から出て行く流体の量が異なることになり、流量バランスをとるため、軸受支持圧力が発生する。このように第１領域と第２領域とで表面粗さを異ならせるだけでよいため、安価なコストで構成することができる。
【００２１】
本発明において、第１領域は、少なくとも表面が多孔質に形成されることが好ましい。
【００２２】
表面を多孔質とすることで、持ち込まれる流量を変えることができ、さらに効果的に軸受支持圧力を発生させることができる。
【００２３】
本発明において、第１領域と第２領域が摺動方向に沿って交互に形成されることが好ましい。かかる構成により、摺動面全体にわたって軸受支持圧力を発生し、摺動面全体を均等に支持することができる。
【００２４】
本発明において、第１領域が第２領域の中に点在していることが好ましい。かかる構成によっても、摺動面全体にわたって軸受支持圧力を発生し、摺動面全体を均等に支持することができる。
【００２５】
本発明において、第１領域は第２領域の中に形成される多数の凹部であり、この凹部の中にスリップ流れを生じさせる材料を充填させることが好ましい。
【００２６】
かかる構成によれば、摺動面の中に多数の凹部を適宜の手法により形成し、その凹部にスリップ流れを生じさせる材料を充填すればよく、安価なコストで第１領域の中に第２領域を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本発明にかかる流量修正係数を制御した軸受構造の好適な実施形態を図面を用いて説明する。まず、本発明による軸受構造において圧力が発生する原理を説明する。スリップ流れにより圧力が発生する原理については、図１に概念図により簡単に説明した通りであるが、さらに理論的な説明を行なう。
【００２８】
数式１は、スリップ流れを考慮したレイノルズ方程式であり、流量の連続の式である。この式を満足するように流体が流れる。
【数１】
0004536667.tif 000002
【００２９】
【数２】
0004536667.tif 000003
【００３０】
数式１の左辺は、発生する圧力に伴う流量を表し、右辺はその圧力を発生する元となる持ち込まれる流量である。ｘｙｚ座標は図２に示すように流れ方向をｘ、軸受幅方向をｙ、膜厚方向をｚとしている。ｈは膜厚、ηは粘度、Ｕは流速、ｐは圧力である。右辺第２項は、多孔質性を考慮したものであり、Ψは通気度を表している。通気度が大きくなればなるほど、多孔質内を流体が通過しやすいことを表している。多孔質でなければ（稠密であれば）Ψ＝０であり、右辺第２項は０である。従って、数式１により、摺動面が鏡面の場合と多孔質面の場合の両方をカバーすることができる。
【００３１】
ξ1は、圧力流れ（入口部では押し返される方向、出口部では押し出される方向）に対する流量修正係数であり、ξ0は持ち込まれる流量に対する流量修正係数である。ξ1が０であればスリップ流れがないということを示す。
【００３２】
ξ1、ξ0は数式２に示すような関数で表される。すなわち、ξ1、ξ0は夫々通気度Ψと膜厚ｈの関数で表され、さらに、通気度はαP、ｒの関数で表される。αPは多孔質体における空孔率（全体積に対して占める割合）を表し、ｒは空孔の平均径を表している。Ψは通気度を表す。以上がスリップ流れを考慮した場合の式である。
【数３】
0004536667.tif 000004
【００３３】
一方、表面粗さを有する場合のレイノルズ方程式を数式３に示す。この式３においてφｘはｘ方向の圧力流れに対する修正係数を表し、φyはｙ方向の圧力流れに対する修正係数を表す。φsは剪断流れに対する修正係数を表す。φyについては、幅が長い軸受の場合は小さくなるので無視することができる。表面粗さを有する場合には、表面突起の高さに応じて圧力値が変わる。すなわち、膜厚が薄いところでは圧力が高くなり、膜厚が大きなところでは圧力が低くなる。従って、圧力については平均値ｐバー（局所平均圧力）により表す。σは表面粗さの標準偏差を表している。
【数４】
0004536667.tif 000005
【００３４】
この式３と式１を対比すると、
ｐバー  →  ｐ
φx      →  １＋ξ1
φy      →  １＋ξ1
φs      →  ξ0
φsσ    →  ξ0ｈ
のように対応する。
【００３５】
そこで、y方向（軸受幅方向）が無限に長いものとした場合は、スリップ流れの方向に比べて、幅方向の流れは非常に小さなものになる。従って、数式３において左辺第２項を０と置くことができ数式４となる。そこで、数式４を所定条件下で解くと、図３に示すようなｐmaxの解が得られる。添字のＯは出口側をｉは入口側を表す。Ｂiは入口側における流れ方向の長さB0は出口側における流れ方向の長さを示す。
【００３６】
計算をするにあたり、入口側と出口側の両方が多孔質体であるものとし、入口側の膜厚がｈi、出口側の膜厚がｈ0であるとしている。図３に示す解は、表面粗さを考慮した解であるが、スリップ流れを考慮した場合の解は、次のように変数を置き換えればよい。
【００３７】
Φx0    →    １＋ξ1i
Φxi    →    １＋ξ1i
σ0φs0    →    ξ0oｈ0
σiφsi    →    ξ0iｈi
以上のように、スリップ流れの場合と表面粗さを有する場合とで理論的には同じように扱うことができる。上記結果に関し、次に示す４つの場合について発生する圧力の大きさを検討する。
【００３８】
１）摺動面の入口側と出口側が共に鏡面（共にスリップ流れなし）である場合
鏡面であるため多孔質に関する項は０になる。また、表面粗さがない状態であり、ｈ0＝-ｈiとなる。従って、図４に示すように、ｐmax＝０となる。すなわち、圧力は発生しないことになり、軸受支持構造には不適である。
【００３９】
２）摺動面の入口側が表面粗さのない多孔質（スリップ流れを考慮しない状態）で出口側が鏡面（スリップ流れなし）である場合
この場合もｈ0＝-ｈiであり、同様にｐmax＝０となる。
【００４０】
３）摺動面の入口側が表面粗さを有するな多孔質（スリップ流れを考慮する状態）で出口側が鏡面（スリップ流れなし）である場合
この場合、表面粗さがあるため、表面に凹凸があり、ｈ0≠ｈ1となる。すなわち、表面粗さの存在により流体力学的な透過膜厚が変化するためである。従って、図４の式に示すように、ｐmaxはある値を持ち、圧力が発生する。従って、軸受支持構造として適しているといえる。
【００４１】
４）摺動面の入口側が表面粗さを有する面で、出口側が鏡面である場合
この場合もｈ0≠ｈ1となるため、ｐmaxはある値を持ち、軸受支持構造として適している。
【００４２】
５）摺動面の入口側も出口側も鏡面で入口側にのみスリップ流れを生じさせる場合
この場合、図４の４）においてσφiをξ0iｈiで置き換えてみると、ｈo＝ｈiであるものの、ξ0iが０ではない（スリップ流れがある場合は０にならない）ため、圧力が発生する。従って、軸受支持構造として好適である。
【００４３】
以上のような理論式と図１で説明した圧力発生原理とから次のような軸受構造が好ましい。すなわち、図５に示すように、流体潤滑膜３（流体潤滑層）を介して第1摺動面１と第２摺動面２があり、これら摺動面１，２のうち少なくとも一方（図５では第２摺動面のみ）に第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２を形成し、第１領域Ｒ１の表面２ａはスリップ流れを生じさせるような面を形成し、第２領域Ｒ２の表面２ｂはスリップ流れが０あるいは第１領域Ｒ１よりも小さなスリップ流れとする。これにより、第１領域Ｒ１に持ち込まれる流量と第２領域Ｒ２から押し出される流量に差が生じ、バランスを取るために圧力が発生し軸受支持を行なうことができる。スリップ流れを生じさせる具体的な手法については後述する。
【００４４】
もう１つは、図６に示すように、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２において各表面２ａ，２ｂの表面粗さを異ならせることである。表面粗さを異ならせることで、各領域における平均膜厚が異なり、第１領域Ｒ１に持ち込まれる流量と第２領域Ｒ２から押し出される流量に差が生じ、バランスを取るために圧力が発生し軸受支持を行なうことができる。第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２のいずれか一方は鏡面に形成されていてもよい。
【００４５】
本発明にかかる軸受構造の好適な使用例について説明する。本発明に係る軸受構造は、例えば、上下水供給、雨水排水、海水取水、河川水取水等に用いられている立軸斜流ポンプ等の流体機械において使用されている。これら流体機械では、その構成要素である軸受において、その機械自身が取り扱っている流体、すなわち、プロセス流体である水により、軸受構造の簡略化を実現している。流体機械４の具体例については、例えば、図１５に示したとおりである。
【００４６】
水潤滑においては水の粘度が低いため、油潤滑のような効率的な動圧の発生が期待できない。特に、軸受の起動停止時の過渡期においては、摺動面に十分な流体潤滑膜が形成されなくなり、混合潤滑や境界潤滑となる可能性が高い。また、定常状態においても、流体潤滑膜の剛性が低いため、局部的には摺動面同士の固体接触が生じることもありうる。油潤滑の場合は、有効な添加剤を添加することで、摺動面に吸着膜を形成し、上記の場合の潤滑特性を改善することができる。しかし、上記のような水潤滑の場合は、添加剤による方法は一般的には用いられていない。
【００４７】
したがって、混合・境界潤滑特性の優れた軸受材料の選定と、摺動面への十分な流体潤滑膜の形成が期待できるように、安価でかつ効果的な動圧発生構造を付与することが、軸受の特性向上が必要不可欠である。そこで、本発明の原理による軸受構造が好適に用いられる。
【００４８】
＜撥水面の形成＞
図７は、本発明に係る軸受構造の第１実施形態を概念的に示す図である。第１摺動面１と第２摺動面２のうち、第２摺動面２の第１領域Ｒ１には、フッ素樹脂膜１０が形成される。フッ素樹脂膜１０は、例えば、テフロン（登録商標）をコーティングすることで形成することができる。第２領域Ｒ２の表面には、かかるコーティングは施されない。フッ素樹脂膜１０は、撥水性を有しており、摺動面１の表面においてすべり流れを生じさせる。第２領域Ｒ２では、そのようなすべり流れを生じさせない。このすべり流れを発生させることで、圧力を生じさせ軸受荷重を支持することができる。
【００４９】
図７において、フッ素樹脂膜１０のＡ部拡大図を示しており、その表面は粗面であり、微小凹凸が形成される。かかる微小凹凸を形成することで、接触角を大きくすることができ、すべり流れの大きさを大きくすることができる。これにより、より大きな圧力を発生させることができる。なお、微小凹凸は、例えば、イオン照射等の方法により形成することができる。
【００５０】
図７の構成例において、フッ素樹脂膜１０には僅かではあるが厚みがあるため、第２領域Ｒ２と比べた場合、第１領域Ｒ１の方が若干高くなるが、実質的に無視できるレベルであり、性能的には全く問題のないレベルであると考えられる。
【００５１】
図８は、摺動面における第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２の分布状態を示す図である。図８（ａ）は円周方向に沿って第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２が交互に配置される構成例である。交互に配置する場合のピッチについては、適宜決めることができる。
【００５２】
図８（ｂ）は、第２領域Ｒ２の中に微小な大きさの第１領域を点在させた構成例である。点在させる場合は、規則的にしてもよいしランダムにしてもよい。第１領域Ｒ１の大きさや密度については、適宜決めることができる。また、第１・第２領域Ｒ１，Ｒ２を扇状に形成するのではなく、例えば、図１５で説明したようなスパイラル状に形成してもよい。
【００５３】
図９は、図８（ａ）（ｂ）を組み合わせた構成例であり、第１領域を点在させた領域を所定ピッチで配列した構成例である。
【００５４】
図１０は、別の実施形態にかかる軸受構造を示す図である。図１０において、第１領域Ｒ１には、摺動面の表面に多数の凹部１ｄが形成されている。この凹部１ｄに、撥水性を有する材料（フッ素樹脂等）が充填される。これにより、撥水性を有する第１領域Ｒ１を形成することができる。
【００５５】
図１０における実施形態では、第１領域Ｒ１にも第２領域Ｒ２にも凹部１ｄ，１ｅが夫々形成されている。第１領域Ｒ１の凹部１ｄには、撥水性を有する材料が充填され、第２領域Ｒ２の凹部１ｅには、親水性を有する材料が充填される。これにより、撥水性を有する第１領域Ｒ１と親水性を有する第２領域Ｒ２を形成することができる。
【００５６】
＜実験結果＞
次に、本発明による構成の効果を確認するために簡単な実験を行った。図１１（ａ）において、市販のガラス板２０の表面（鏡面）をＡ，Ｂ，Ｃの３つの部分に分けて、部分Ａには第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２を交互に形成する。第１領域Ｒ１には撥水処理（フッ素樹脂膜の形成）が施される。部分Ｂの表面は、未処理であり、部分Ｃの表面は全面が撥水処理が施されている。
【００５７】
ガラス板２０を水中に入れて、ガラス板２０の上に摺動体２１（鏡面を有する）を載せておもり２２により負荷を作用させる。本発明による構成を採用した部分Ａの上を滑らせると、摺動体２１は所定条件下で２分以内で滑走した。未処理の部分Ｂでは、摺動体２１は途中で停止した。部分Ｃでは、動きが遅く３分程度で滑走するか途中で停止した。この傾向は、おもり２２の重さを大きくすると、さらに顕著な差が現れる。
【００５８】
上記撥水処理は、厚みにすると１０ｎｍ程度であり、仮に従来技術のような機械的な段差（図  １４参照）を１０ｎｍ程度にしたとしても、圧力を発生するような軸受効果はない。
【００５９】
＜希薄流体について＞
次に、第１摺動面と第２摺動面の間の流体潤滑層として希薄流体を用いる場合について説明する。例えば、音速の１／１００〜１／１０程度で摺動面が移動し、空気あるいは混相流（空気と油のミスト）を流体潤滑層として用いる。
【００６０】
この場合、摺動面を黄銅や鋼の面とするとスリップ流れがほとんど生じなくなり、塗料の塗布面とするとスリップ流れが生じる。このような希薄流体の特性に鑑みて、第１領域と第２領域の表面材質を選択することで、軸受支持圧力を発生させることができる。
【００６１】
表面がガラスの場合も空気は滑りやすく、シェラック（ワニスや赤色塗料の原料になる樹脂状物質）の場合はさらに滑りやすくなる。また、油上の空気は比較的滑りやすい。
【００６２】
＜多孔質表面＞
図１２に示すように、第１領域Ｒ１の表面を多孔質面とし、その凹部に油を保持させる。油の表面の空気は滑りやすいため、部分的に含油軸受とすることで圧力を発生させることができる。多孔質とする場合は、通気度が大きいほどスリップしやすくなる。通気度の大きさは、空孔が大きいこと（例えば、５０μｍ以上）、粘度が大きいこと（水より油で生じやすい）に依存する。
【００６３】
また、多孔質面とする場合は、空孔率や空孔径を変えることですべりの大きさを変えることができる。これにより、スリップ流れの程度を制御することができる。
【００６４】
＜表面粗さ＞
表面粗さの形成については図６において説明したように、第１領域と第２領域で平均膜厚が異なるように表面粗さを形成することで圧力を発生させることができる。表面粗さを形成する場合には、図８及び図９で示したような分布状態を採用してもよいし、例えば、図１３に示すように表面粗さを有する第１領域Ｒ１と鏡面に形成される第２領域Ｒ２を交互に形成してもよい。かかる面の形成方法としては、まず摺動面の全体を所定の表面粗さとなるように製作し、その後、第２領域Ｒ２の表面粗さを埋めることで表面粗さの異なる部分を形成することができる。表面粗さを埋める場合に接着剤を使用することができる。
【００６５】
以上のように本発明による軸受構造は、摺動面に部分的にスリップ流れを生じさせたり、表面粗さを付与することで、流量修正係数を制御した軸受構造を提供することができ、軸受支持圧力を発生させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】スリップ流れにより圧力が発生する原理
【図２】理論式を説明するための図
【図３】理論式による計算結果を説明するための図
【図４】理論式による計算結果を説明するための図
【図５】好ましい軸受構造の概念図
【図６】好ましい軸受構造の概念図
【図７】好ましい軸受構造の概念図
【図８】第１領域と第２領域の分布例を示す図
【図９】第１領域と第２領域の分布例を示す図
【図１０】好ましい軸受構造の概念図
【図１１】実験装置を示す概念図
【図１２】多孔質表面の構成例を示す図
【図１３】第１領域と第２領域の分布例を示す図
【図１４】流体機械の構成例を示す図
【図１５】軸受部材の形状例を示す図
【符号の説明】
【００６７】
１        第１摺動面
１ｄ，１ｅ      凹部
２        第２摺動面
３        流体潤滑層
Ｒ１      第１領域
Ｒ２      第２領域
【図１】
0004536667.tif 000006
【図２】
0004536667.tif 000007
【図３】
0004536667.tif 000008
【図４】
0004536667.tif 000009
【図５】
0004536667.tif 000010
【図６】
0004536667.tif 000011
【図７】
0004536667.tif 000012
【図８】
0004536667.tif 000013
【図９】
0004536667.tif 000014
【図１０】
0004536667.tif 000015
【図１１】
0004536667.tif 000016
【図１２】
0004536667.tif 000017
【図１３】
0004536667.tif 000018
【図１４】
0004536667.tif 000019
【図１５】
0004536667.tif 000020