(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波振動により被洗物を洗浄する超音波洗浄装置であって、
９００ＫＨｚ（キロヘルツ）以上の超音波振動を発生する超音波振動発生手段と、
前記超音波振動発生手段が装着され、前記超音波振動を伝達する伝達媒体を貯留するための外槽と、前記外槽の内部に配置され、内部に貯留される洗浄液内に浸漬される前記被洗浄物を、前記伝達媒体を介して伝達される超音波振動により洗浄するための内槽とからなる洗浄槽とを備え、
前記内槽の底板は、超音波振動数の２分の１波長（半波長）の３から５の整数倍の板厚を有し、前記内槽の底板と前記外槽の底板とが平行とならないように、前記内槽の底板の傾斜の角度を、１°以上１０°以内となるように配置したことを特徴とする超音波洗浄装置。
【請求項２】
前記内槽の底板は、超音波振動の２次的音源として作用するように構成したことを特徴とする請求項１に記載の超音波洗浄装置。
【請求項３】
超音波振動により被洗物を洗浄する超音波洗浄方法であって、
９００ＫＨｚ（キロヘルツ）以上の超音波振動を発生する超音波振動発生手段と、
前記超音波振動発生手段が装着され、前記超音波振動を伝達する伝達媒体を貯留するための外槽と、前記外槽の内部に配置され、内部に貯留される洗浄液内に浸漬される前記被洗浄物を、前記伝達媒体を介して伝達される超音波振動により洗浄するための内槽とからなる洗浄槽とを備え、
前記内槽の底板は、超音波振動数の２分の１波長（半波長）の３から５の整数倍の板厚を有し、前記内槽の底板と前記外槽の底板とが平行とならないように、前記内槽の底板の傾斜の角度を、１°以上１０°以内となるように配置したことを特徴とする超音波洗浄方法。
【請求項４】
前記内槽の底板は、超音波振動の２次的音源として作用するように構成したことを特徴とする請求項３に記載の超音波洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品に付着した微細な塵埃（パーティクル）等を除去するための超音波洗浄装置に関し、特には９００ＫＨｚ以上の超音波振動を利用する超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、電子部品の製造工程において、半導体ウエハ、ハードディスク、ガラス基板等の電子部品に付着した微細なごみやちり等の塵埃を除去する手段として、被洗浄物である電子部品の表面を洗浄するために超音波振動を利用した種々の超音波洗浄装置が提案されている。
【０００３】
超音波洗浄装置の一例として、洗浄槽が、外槽と、外槽内に配置される内槽から構成される２槽構造の装置がある。この装置は、洗浄槽に金属を使用した場合に、溶出する金属イオンが被洗浄物に付着することを防止するため、石英ガラスなどから作製される内槽と、ステンレスなどの金属材料又は樹脂材料等から作製され、振動板が装着される外槽とを設ける構成である。
【０００４】
また、超音波振動子を駆動することで発生する超音波振動を、内槽に貯留される洗浄液に浸漬した被洗浄部材に伝達するための媒体液が外槽に貯留されている。内槽はその底板が媒体液に浸された状態で外槽内に配置される。このような構成の超音波洗浄装置において、所定の信号により振動板を振動させることで発生する超音波振動を用い、内槽内の洗浄液内に浸漬されている被洗浄物を洗浄する。
【０００５】
特許文献１に、超音波振動板の板厚が共振周波数のほぼ１／２波長の整数倍に形成することにより、高周波の超音波振動においても音響的損出の少ない超音波振動板が開示されている。
【０００６】
内槽と外槽との２槽構造を有し、内槽の底板と外槽の底板とを平行に配した超音波洗浄装置においては、超音波振動子から照射された超音波を被洗浄部材に効率的に伝達するために、特許文献１の超音波振動板と同様に内槽の底板の板厚は、超音波振動数の１／２波長の整数倍になるように形成している。すなわち、超音波振動数の波長をλ、整数をｎとすると、内槽の底板の板厚ｔは、
ｔ＝ｎ×λ／２・・・式（１）
で表される。
【０００７】
なお、整数ｎは１又は２の小さい整数が用いられている。これは、ｎが３以上になると、内槽の底板の板厚が厚くなり、内槽自身内部での超音波振動の減衰により、洗浄効率が悪くなるためである。
【０００８】
例えば、内槽に石英ガラスを使用した場合には、石英ガラスの音速は約６０００ｍ／ｓであり、超音波振動数が７５０ｋＨｚでは、波長λは８ｍｍであり、ｎ＝１とすると、式（１）より内槽の底板の板厚ｔは、４ｍｍであり、超音波振動数が９００ＫＨｚで、ｎ＝１とすると、板厚ｔは、３．３ｍｍとなり、これらの板厚の内槽が一般的に使用される。
【０００９】
また、２槽構造の洗浄装置の場合、外槽の媒介液中を伝搬する超音波振動によって媒介液中に気泡が発生すると、その気泡が内槽の底面に付着して超音波が内槽内に伝搬しなくなる現象が発生する。そこで、内槽の底面を超音波振動子が取り付けられた外槽の底面に対し傾斜させて、内槽の底面に付着した気泡を傾斜に沿って上昇させることにより泡切れを良くするようにした超音波洗浄装置が特許文献２、特許文献３に開示されている。
【００１０】
【特許文献１】実公昭６２−１６４９７９号公報
【特許文献２】特開平３−２２２４１９号公報
【特許文献３】特開平９−４７７３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
近年、被洗浄物の微細化に伴う超音波の高周波化が望まれている。また、被洗浄物としてのウエハは、大口径になりつつあり、これに伴って洗浄槽の内槽も大きくなり、内槽の機械的強度が要求される。しかしながら、超音波の高周波化に伴って内槽の板厚をさらに薄くしなければならない。例えば、超音波振動数を２ＭＨｚとすると、石英ガラスからなる内槽の場合、内槽の底板の板厚ｔは、ｎが１の場合には、式（１）から、１．５ｍｍとなり、ｎが２の場合には、板厚ｔが３ｍｍとなるため、内槽の製造や内槽の強度等の安全面から問題があった。また、被洗浄物の大型化に伴い、内槽の機械的強度を保つために、内槽の板厚を厚くすることが必要となる。
【００１２】
また、特許文献２、特許文献３に開示されているように、内槽の底面を超音波振動子が取り付けられた外槽の底面に対し傾斜させることにより、内槽の底面の気泡による超音波の伝達問題、超音波振動数と共振するための板厚の制限は、緩和される。しかしながら、外槽の底面に対する内槽の底面の傾斜角は２０°以上であり、内槽の底面を傾斜させると、被洗浄物を洗浄液中に没入させるために内槽の深さを深くしなければならないため、洗浄装置全体を大きくしなければならないという問題がある。
【００１３】
また、外槽の底板と内槽の底板との位置関係、内槽の底板の板厚誤差、底板の形状、振動子の振動特性のばらつきや振動子の取り付け精度によっては、内槽内の領域により音圧にばらつきが生じる恐れがある。結果として、洗浄工程の歩留まりが悪くなる。
【００１４】
そこで、本発明の発明者は、実験により、超音波振動数が２ＭＨｚを使用した超音波洗浄で、高周波に伴う洗浄槽の内槽の底板の板厚を十分な機械的強度を得るに必要な厚さにすることができ、かつ超音波洗浄の効率を低下させることなしに、超音波洗浄が可能なことを見いだした。本発明は、超音波の高周波化に伴う内槽の底板の板厚を従来のように薄くすることなく、洗浄槽の内槽内における音圧を確保しつつ、超音波の高周波化に対応した超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するため、本発明の超音波洗浄装置は、超音波振動により被洗物を洗浄する超音波洗浄装置であって、９００ＫＨｚ（キロヘルツ）以上の超音波振動を発生する超音波振動発生手段と、前記超音波振動発生手段が装着され、前記超音波振動を伝達する伝達媒体を貯留するための外槽と、前記外槽の内部に配置され、内部に貯留される洗浄液内に浸漬される前記被洗浄物を、前記伝達媒体を介して伝達される超音波振動により洗浄するための内槽とからなる洗浄槽とを備え、前記内槽の底板は、超音波振動数の２分の１波長（半波長）の３から５の整数倍の板厚を有し、前記内槽の底板と前記外槽の底板とが平行とならないように、前記内槽の底板の傾斜の角度を、１°以上１０°以内となるように配置したことを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の超音波洗浄装置の前記内槽の底板は、超音波振動の２次的音源として作用するように構成したことを特徴とする。
【００２０】
また、本発明の超音波洗浄方法は、超音波振動により被洗物を洗浄する超音波洗浄方法であって、９００ＫＨｚ（キロヘルツ）以上の超音波振動を発生する超音波振動発生手段と、前記超音波振動発生手段が装着され、前記超音波振動を伝達する伝達媒体を貯留するための外槽と、前記外槽の内部に配置され、内部に貯留される洗浄液内に浸漬される前記被洗浄物を、前記伝達媒体を介して伝達される超音波振動により洗浄するための内槽とからなる洗浄槽とを備え、前記内槽の底板は、超音波振動数の２分の１波長（半波長）の３から５の整数倍の板厚を有し、前記内槽の底板と前記外槽の底板とが平行とならないように、前記内槽の底板の傾斜の角度を、１°以上１０°以内となるように配置したことを特徴とする。
【００２４】
また、本発明の超音波洗浄方法の前記内槽の底板は、超音波振動の２次的音源として作用するように構成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、内槽の底板は、超音波振動数の２分の１波長（半波長）の整数倍の板厚を有し、内槽の底板と外槽の底板とが平行とならないように内槽の底板を傾斜するように配置したことにより、内槽の底板は、機械的な強度を満たす板厚が得られる。
【００２６】
また、本発明によれば、超音波振動数は、９００ＫＨｚ以上で使用可能であり、２ＭＨｚの周波数にも使用できるため、被洗浄物の微細化に伴う超音波の高周波化が可能となる。
【００２７】
また、本発明によれば、内槽の底板の傾斜の角度は、１°以上１０°以内であるため、従来のような傾斜角度が必要ないため、被洗浄物は、内槽の傾斜による影響を受けない。
【００２８】
また、本発明によれば、内槽の底板は、超音波振動の２次的音源として作用するため、定在波による超音波の透過のみならず、２次的音源としての内槽の底板の超音波振動により、音圧の低下を抑え、洗浄効率のよい超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明による超音波洗浄装置の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。図１は、実施形態に係る超音波洗浄装置の正面から見た断面図である。図２は、図１に示す超音波洗浄装置で内槽の底板の板厚に対する内槽内の音圧を測定した結果を示す図、図３は、内槽の底板と外槽の底板とが平行に設定した場合の内槽の底板の板厚に対する音圧を測定した結果を示す図、図４は、内槽の底板と外槽の底板とを平行に設定し、底板の板厚が共振周波数の１／２波長の２倍にした場合の超音波の透過状態を説明した図、図５は、内槽の底板が傾斜している場合の超音波の多重反射の様子を示す模式図である。
【００３０】
本実施形態の超音波洗浄装置１は、図1に示すように内槽３と外槽５とからなる洗浄槽を備える２槽構造である。内槽３は被洗浄物を洗浄するための槽であり、上端が開口し、傾斜する底板３ａを有する。内槽３の内部には被洗浄物ｗを洗浄するための洗浄液が貯留される。
【００３１】
なお、後述する外槽５内の純水等に超音波振動が付与されると、純水等に溶存している気体成分が気泡となって発現し、内槽３の底板３ａに気泡が付着することがある。気泡が付着すると、超音波が内槽３内に伝搬しづらくなる。そのため、この底板３ａを傾斜させ、底板３ａに付着した気泡の泡切れをよくしている。
【００３２】
外槽５は、超音波振動発生手段からの超音波振動を内槽３に間接的に伝達する間接槽である。外槽５は、上端が開口し、その内部に純水、薬液等を伝達媒体として貯留する。外槽の底板５ａには、超音波振動を発生する超音波振動発生手段が連結されている。なお、外槽の底板５ａは、ほぼ水平な面である。よって、内槽の底板３ａは、水平方向に対して所定の角度（図１に示すθ）で傾斜しているので、外槽の底板５ａに対して内槽３の底板３ａは角度θを形成して配置される。なお、外槽の底板５ａに対して内槽３の底板３ａの角度θは、１°以上１０°以内となるように設定されている。
【００３３】
超音波振動発生手段は、外槽の底板５ａに固定される振動板７と、振動板７に超音波振動９を伝達する振動子９と、振動子９に超音波振動を発生させるための電力を供給する発振器１１とを備える。発振器１１は、発振部１３とパワーアンプ１５を有する。発振部１３は、所定周波数を有する高周波信号を生成する。高周波信号はパワーアンプ１５により増幅され、振動子９に入力する。
【００３４】
外槽５の材料としては、ステンレスやプラスチック等を、内槽の材料としては、熱や薬剤に耐久性のある石英ガラス、サファイア、シリコンカーバイト、タンタル、チタン、モリブデン等を使用できる。洗浄液としては、過酸化水素、アンモニウム、純水、過酸化水素−塩酸−純水からなるもの、フッ化水素−硝酸−純水等を使用できる。振動板の材料としては、ＳＵＳ、タンタル、モリブデン、チタン、タングステン等を使用できる。
【００３５】
本発明による超音波洗浄装置１の内槽３は、石英ガラスを用いており、内槽の底板３ａと外槽５の底板とが平行とならないように内槽の底板３ａに傾斜を持つように配置されている。また、内槽の底板３ａは、超音波振動数の２分の１波長（半波長）の３から５の整数倍の板厚を有することが可能となっている。また、本発明による超音波洗浄装置１は、９００ＫＨｚ以上の超音波振動数で洗浄を行うようになっている。
【００３６】
上記構成からなる超音波洗浄装置１において、液を洗浄槽に貯留して、内槽３の開口部からの所定の深さにおける音圧強度の測定を行った。音圧強度の測定は、２ＭＨｚの超音波振動数を使用し、内槽の底板３ａの外槽の底板５ａに対する傾斜の角度を２°に設定した状態で、内槽の底板３ａの板厚が、３ｍｍ、４．５ｍｍ、６ｍｍの３種類についてそれぞれの音圧強度の測定を行った。
【００３７】
なお、内槽の底板３ａの板厚は、超音波振動数の２分の１波長（半波長）の整数倍となるように設定されており、整数ｎは、２，３，４である。２ＭＨｚの超音波振動数における石英ガラスの波長λは、３ｍｍであり、ｎ＝２で内槽の底板３ａの板厚は３ｍｍ、ｎ＝３で内槽の底板３ａの板厚は４．５ｍｍ、ｎ＝４で内槽の底板３ａの板厚は６ｍｍとなる。
【００３８】
図２に上記条件において、内槽の底板３ａの板厚に対する内槽３内の音圧強度の測定した結果を示す。なお、図２のグラフの縦軸に示す相対音圧とは、内槽の底板３ａの板厚３ｍｍの時の音圧センサで得られた音圧値を１として、内槽の底板３ａの板厚３ｍｍでの音圧値を基準値として、板厚４．５ｍｍ、６ｍｍにおける音圧値を基準値との比率で表したものである。
【００３９】
図２に示すように、超音波振動数２ＭＨｚでの内槽の底板３ａの板厚３ｍｍにおける音圧強度と比較すると、板厚４．５ｍｍでは、板厚３ｍｍの１．４倍、板厚６ｍｍでは、板厚３ｍｍの１．４３倍にそれぞれ音圧強度が増加している。このように、内槽の底板３ａの板厚を超音波振動数の半波長毎に厚くしていくと、音圧強度が増加してことがわかった。
【００４０】
次に、内槽の底板３ａの外槽の底板５ａに対して傾斜を設けたことによる、内槽３への音圧の影響を調べるために、内槽の底板３ａと外槽の底板５ａとを平行に設定した場合の音圧強度の測定を行った。なお、音圧の測定は、図２に示す底板の板厚と同様に、超音波振動数の１／２波長の整数倍に形成されている。
【００４１】
図３に、内槽の底板３ａと外槽の底板５ａとが平行に設定した場合の内槽の底板３ａの板厚に対する音圧を測定した結果を示す。なお、図３のグラフの縦軸に示す相対音圧とは、内槽の底板３ａの板厚３ｍｍの時の音圧センサで得られた音圧値を１として、内槽の底板３ａの板厚３ｍｍでの音圧値を基準値として、板厚４．５ｍｍ、６ｍｍにおける音圧値を基準値との比率で表したものである。
【００４２】
図３に示すように、超音波振動数２ＭＨｚでの内槽の底板３ａの板厚３ｍｍにおける音圧強度と比較すると、板厚４．５ｍｍでは、板厚３ｍｍの０．８８倍、板厚６ｍｍでは、板厚３ｍｍの０．８８倍にそれぞれ音圧強度が減少している。
【００４３】
このように、内槽の底板３ａと外槽の底板５ａとが平行に設定した場合には、内槽の底板３ａの板厚が厚くなるにつれて、音圧が減少し、図２に示す測定データと異なっている。
【００４４】
図４は、内槽の底板３ａと外槽の底板５ａとを平行に設定し、底板の板厚が共振周波数の１／２波長の２倍にした場合の超音波の透過状態を説明した図である。
【００４５】
図４に示すように、振動子９に入力した超音波振動が振動板７を介して伝達媒体としての純水等に付与されると、内槽３の底板３ａと、振動子９との間で定在波が形成される。なお、定在波とは、振動板７からの入射波と、外槽５内の伝達媒体を伝搬し、内槽３の底板３ａに当たり反射した反射波とが、重なりあって形成される音波である。内槽の底板３ａに下面から超音波が照射された時、内槽の底板３ａ内部では定在波が発生し、これにより底板が共振し、図４の矢印で示すように洗浄槽の内槽３へ超音波が透過されていく（定在波による超音波の透過現象）。
【００４６】
このように、内槽の底板３ａと外槽の底板５ａとが平行の場合には、超音波振動子による超音波振動は、外槽５の媒体液を通して内槽の底板３ａに伝達し、定在波による超音波の透過現象により内槽の底板３ａから洗浄液に放出される。なお、前述したように、ｎは１又は２の小さい整数が用いられている。これは、ｎが３以上になると、内槽の底板３ａの板厚が厚くなり、内槽３内での超音波振動の減衰が発生するためである。図３に示す測定結果でも明らかである。なお、定在波による超音波の透過現象は、本実施形態のように内槽の底板３ａと外槽の底板５ａとが傾斜している場合においても、発生している。
【００４７】
しかしながら、図２に示すように、内槽の底板３ａを外槽の底板５ａに対して傾斜させることにより音圧が増加している。内槽の底板３ａを傾斜させた状態で、内槽の底板３ａの板厚を厚くすることにより、音圧が増加する理由は次のように推定される。
【００４８】
図５は、内槽の底板３ａが傾斜している場合の超音波の多重反射の様子を示す模式図である。超音波洗浄槽においては、内槽３の底部に溜まる気泡を除去するため、内槽の底板３ａは、振動子９を装着した外槽の底板５ａに対して傾斜している。内槽の底板３ａから入射した超音波は、内槽の底板３ａの上部に到達する際、内槽の底板３ａが角度θで傾斜しているため、図５に示すように、内槽の底板３ａの内部で超音波の乱反射が生じる。そして内槽の底板３ａの内部で乱反射を繰り返すことにより内槽の底板３ａ内部の超音波エネルギーが上昇し、結果として、内槽の底板３ａが新たな振動源となって洗浄槽内に超音波を放射すると考えられる。すなわち、内槽の底板３ａが超音波振動の２次的音源として作用する。また、内槽の底板３ａの板厚が厚くなるほど、内槽の底板３ａ内部での乱反射が生じやすくなり、超音波エネルギーがより上昇するためと考えられる。ただし、あまりにも内槽の底板３ａの板厚を厚くし過ぎると底板３ａの質量が増し、剛体に近づいてしまうため、かえって逆効果である。このため、内槽の底板３ａの板厚は、超音波振動数の２分の１波長（半波長）の整数倍、好ましくは、整数ｎが３から５が最適である。
【００４９】
また、内槽の底板３ａの板厚は、超音波振動数の２分の１波長（半波長）の整数倍となるように設定されており、図４に示す定在波による超音波の透過現象も起こっている。
【００５０】
このため、前記内槽の底板３ａは、超音波振動数の２分の１波長（半波長）の整数倍の板厚を有し、前記内槽の底板３ａと前記外槽の底板５ａとが平行とならないように内槽の底板３ａを傾斜するように配置したことにより、定在波による超音波の透過現象に加え、内槽の底板３ａ内部の超音波エネルギーの上昇による超音波振動の２次的音源として作用する現象とが同時に起こり、内槽の底板３ａの板厚を厚くしても、内槽の底板３ａと外槽の底板５ａとが平行の場合の定在波による超音波の透過現象のみのものに対して、音圧が増加すると推定される。
【００５１】
このように、内槽の底板３ａの板厚を超音波振動数の２分の１波長（半波長）の整数倍となるように設定し、内槽の底板３ａに傾斜を持つように配置することにより、定在波による超音波振動の透過に加え、内板の底板内部での乱反射による超音波振動の２次的音源による超音波エネルギーの発生により、内槽３内の音圧が上昇する。
【００５２】
これにより、例えば、石英ガラスの洗浄槽で超音波振動数２ＭＨｚの超音波の場合には、内槽の底板３ａの板厚は、ｎ×λ／２でｎを３又は４を選択すると、３×λ／２＝４．５ｍｍ又は４×λ／２＝６．０ｍｍとなり、十分な機械的強度を得ることができる。また、超音波振動数が２ＭＨｚ以上の場合には、例えば、３ＭＨｚでは、ｎを４又は５を選択するようにする。
【００５３】
本発明による超音波洗浄装置１及び超音波洗浄方法によれば、超音波の高周波化に伴う洗浄槽の板厚を従来のように薄くすることなく、洗浄槽内における音圧を確保しつつ、超音波の高周波化に対応することが可能となる。
【００５４】
また、本発明による超音波洗浄装置１及び超音波洗浄方法は、定在波による超音波の透過現象のみならず、底板内部の超音波エネルギーの上昇による超音波振動の２次的音源として作用する現象も利用しているため、超音波振動数や内槽の底板３ａの板厚に多少のズレが生じた場合でも、定在波による超音波の透過現象のみが多少の影響を受けるが、底板による２次的音源も併用しているため、内槽３内は、洗浄に必要な超音波の音圧を得ることができる。
【００５５】
以上説明した超音波洗浄装置１は、２ＭＨｚの超音波振動数を使用し、内槽の底板３ａの外槽の底板５ａに対する傾斜の角度を２°に設定した状態で、内槽の底板３ａの板厚が、超音波振動数の２分の１波長（半波長）の２，３，４倍の板厚についてのべたが、本発明による超音波洗浄装置１及び超音波洗浄方法は、９００ＫＨｚ以上の超音波振動数に使用することができ、内槽の底板３ａの外槽の底板５ａに対する傾斜の角度は、１°以上１０°以内に対して有効である。
【００５６】
また、内槽の底板３ａは、超音波振動数の半波長の３から５の整数倍の板厚を有することができる。このため、超音波洗浄に使用する超音波振動数、被洗浄物の大きさに応じて、内槽３の板厚、底板傾斜角度を適宜選択するようにする。
【００５７】
以上述べたように、本発明によれば、内槽の底板３ａは、超音波振動数の２分の１波長（半波長）の整数倍の板厚を有し、内槽の底板３ａと外槽の底板５ａとが平行とならないように内槽の底板３ａを傾斜するように配置したことにより、内槽の底板３ａは、機械的な強度を満たす板厚が得られる。
【００５８】
また、本発明によれば、超音波振動数は、９００ＫＨｚ以上で使用可能であり、２ＭＨｚ、３ＭＨｚの周波数にも使用できるため、被洗浄物の微細化に伴う超音波の高周波化が可能となる。
【００５９】
また、本発明によれば、内槽の底板３ａは、超音波振動の２次的音源として作用するため、定在波による超音波の透過のみならず、２次的音源としての内槽の底板３ａの超音波振動により、音圧の低下を抑え、洗浄効率のよい超音波洗浄装置を提供できる。
【００６０】
また、本発明は、超音波振動を加えながら洗浄液をノズルから被洗浄物にシャワー状に噴出する超音波シャワー洗浄で、超音波振動子と洗浄液の間に媒体液を貯留する仕切り板を設け、仕切り板を振動子に対して傾斜させることにより、超音波シャワー洗浄に対しても適用できる。なお、仕切り板の板厚は、ｎ×λ／２とし、整数ｎは３から５を用いるようにする。
【００６１】
この発明は、その本質的特性から逸脱することなく数多くの形式のものとして具体化することができる。よって、上述した実施形態は専ら説明上のものであり、本発明を制限するものではないことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】実施形態に係る超音波洗浄装置の正面から見た断面図である。
【図２】図１に示す超音波洗浄装置で内槽の底板の板厚に対する内槽内の音圧を測定した結果を示す図である。
【図３】内槽の底板と外槽の底板とが平行に設定した場合の内槽の底板の板厚に対する音圧を測定した結果を示す図である。
【図４】内槽の底板と外槽の底板とを平行に設定し、底板の板厚が共振周波数の１／２波長の２倍にした場合の超音波の透過状態を説明した図である。
【図５】内槽の底板が傾斜している場合の超音波の多重反射の様子を示す模式図である。
【符号の説明】
【００６３】
１      超音波洗浄装置
３      内槽
３ａ    内槽の底板
５      外槽
５ａ    外槽の底板
７      振動板
９      振動子
１１    発振器
１３    発振部
１５    パワーアンプ
ｗ      被洗浄物（ウエハ）
【図１】
0004533406.tif 000002
【図２】
0004533406.tif 000003
【図３】
0004533406.tif 000004
【図４】
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【図５】
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