(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも水平一軸方向に移動可能な移動装置と、該移動装置上に載置され内部に載物台を有すると共に加工液の貯留が可能な加工槽と、該加工槽に加工液を供給すると共に加工槽から排出される加工液を貯留し循環させる加工液供給装置を備えた放電加工装置に於いて、
前記加工槽が、前記移動装置による移動方向の両方の外側に、所定の間隔を置くと共に、加工槽の槽壁高さ位置よりも高く平行に囲繞するように立設された側壁と、加工槽の槽壁上から溢れ出る加工液を受容し前記加工液供給装置につながる排出口を備えた前記側壁と槽壁間の底盤とから成る溢れ出る加工液の回収装置を有し、さらに、該回収装置の前記側壁の上縁部が加工槽側の内側に所定角度折り返された折り返し部を有する構成であることを特徴とする放電加工装置。
【請求項２】
前記回収装置の側壁と底板とが、前記加工槽を全周にわたって取り囲んで形成された内外２重槽の構成から成ることを特徴とする請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項３】
前記側壁上縁の折り返し部の下部に平行に一枚以上の整流板が設けられて成ることを特徴とする請求項１、または２に記載の放電加工装置。
【請求項４】
前記回収装置が、回収した加工液を前記加工槽内に直接汲み上げ帰還させる手段を有して成ることを特徴とする請求項１、２、または３に記載の放電加工装置。
【請求項５】
前記加工槽の槽壁が入れ子式で昇降操作可能に構成されていることを特徴とする請求項１、２、３、または４に記載の放電加工装置。
【請求項６】
少なくとも水平一軸方向に移動可能な移動装置と、該移動装置上に載置され内部に載物台を有すると共に加工液の貯留が可能な加工槽と、該加工槽に加工液を供給すると共に加工槽から排出される加工液を貯留し循環させる加工液供給装置を備えた放電加工装置に於いて、前記加工槽の前記移動装置による移動方向の槽壁が、該加工槽の所望最大貯留液面以上の上部槽壁部において加工液が流通する多孔壁に形成され、該形成された多孔の各孔中少なくとも下位の孔に、中からの液圧によって外向きに弾性的に湾曲して開き、外から中へ向かう液圧によって半ば閉じた状態を保つ吊るし膜形の一方向開閉蓋を設け、さらに、前記加工槽が、前記移動方向の外側に、所定の間隔を置くと共に加工槽の槽壁高さと同等以上の高さで平行に囲繞するように立設された側壁と、加工槽の上部多孔槽壁部から溢流する加工液を受容し、前記加工液供給装置に繋がる排出口を備えた前記側壁と槽壁間の底盤とから成る加工液回収装置を設けて成ることを特徴とする放電加工装置。
【請求項７】
前記回収装置の側壁の上縁部が加工槽側の内側に所定角度折り返された折り返し部を有することを特徴とする請求項６に記載の放電加工装置。
【請求項８】
前記加工槽の槽壁が入れ子式で昇降操作可能に構成されて成ることを特徴とする請求項６、または７に記載の放電加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、放電加工装置、特に加工槽内の載物台上に被加工体を設置し、前記加工槽中に加工液を所定液レベル（通常被加工体浸漬状態）に充填し、該加工槽をベッド上で、少なくとも水平一軸方向に送り移動させ得るように送り移動の駆動機構を配置構成した放電加工装置、および、該装置を使用して行う放電加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の放電加工装置は、形彫り放電加工機にせよ、またワイヤ放電加工機にせよ、その多くのものは、被加工体を取りつける載物台を収納する加工槽がベッド上に於いて、少なくとも水平一軸方向、通常水平直角２軸方向に送り移動させ得るように送り駆動機構が配置構成されている。そして鉛直軸方向に加工送りされる総型加工電極や、更新送りされるワイヤ電極に対して、被加工体を加工槽を介して前記水平一軸または２軸方向に位置換えまたは位置決め送りや加工のためのサーボ制御送りを付与したり、そしてさらに形彫り放電加工では、加工電極との間に相対的な水平方向の揺動移動を与えながら加工をするものである。
【０００３】
近時、前記水平方向の送り駆動機構の高精密化等および回転形モータの改良が進み、またその駆動制御装置の高度電子化および制御技術の発達により、例えば、回転形の交流サーボモータとハイリードボールねじとの組合せなどで、加工槽等の被移動体はかなり高重量にもかかわらず、高応答、高加速度で高速度で送り移動および高速移動状態からの急停止がさせられる様なってきている。そしてさらに、例えば特開平８−３０９，６２０号公報「形彫り放電加工機」および特開平８−３１８，４３３号公報「ワイヤカット放電加工機」に記載、開示されているように、前記送り駆動機構の駆動モータに交流サーボモータ等に代え、リニア直流モータや交流リニア同期モータ等のリニアモータが採用されるようになってきて、前記応答および加速度とも一段と高まり、移動速度は格段に高速度のものになってきているのが実情である。
【０００４】
ところで、近時の放電加工機に於いては、ワイヤ放電加工機で加工液として水系加工液を使用する一部の所謂ぶっ掛け方式などという加工機に於いて、被加工体を加工液非浸漬状態でノズルから加工部へ加工液を噴射供給する方式を採っているものを除けば、精密級の加工するものとか、加工液として主として鉱物油系の加工液を使用する放電加工機に於いては、加工精度上および防災上等のために、被加工体を加工液中に所定表面深さ以上浸漬させた状態、即ち加工槽中に所定液面高さまで加工液を満たした状態で加工を行うものが主流である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このため、加工槽を加工中または加工位置の変更や位置決め等のために、水平方向の一軸または二軸方向に電極に対して相対移動させると、特に移動開始の加速時と、高速移動状態から制動減速、更には停止時に加工液の移動方向前方または後方への片寄り、およびこの片寄り返しにより液面に波が発生し、このため加工液が加工槽の槽壁上縁から溢れ出たり、前記発生波が加工槽内壁にぶつかってさらに高く波立ち、槽壁上縁を越えて外部へ溢れたり、または飛散したりして作業環境を汚染させたり、火災等の事故を惹起させる可能性もあったのである。
【０００６】
而して、従来これを防止するために、例えば上述加工中の揺動運動を小さく抑えたり、移動速度に制限を設けたりすることが行なわれたことがあるが、前述のように加工性能の向上のために送り駆動機構の高応答化および高速化が計られている状況から到底採用し得ざる対応である。また、加工液の溢流および飛散防止のために液面から加工槽の槽壁上縁までの高さを大きくする手法として加工槽を深く、槽壁上縁を高くするか、揺動加工時には適用できないが、加工位置の変更等の際の移動開始時に予め加工槽中の加工液の一部を排出して液面を下げ、移動終了後に加工液を注入して所定液位まで戻して加工を再開すること等も行われたことがあるが、作業性の悪化や効率の低下は避けられなかった。
【０００７】
また、その他の対応手法として、例えば、特開昭５７−１６３，０２３号公報や同５７−１４４，６２４号公報に記載されているように、加工槽の内周壁上部域に、多孔状、あるいは金網状もしくは多繊維状の単体または組み合わせから成る多孔の簿い消波層を設けたものが開示され、さらに同５７−１４４，６２５公報には、前記消波層をフロートに浮動させて設けたものが開示されている。しかし、前記のような駆動源としてリニアモータ等を使用した高応答で高加速度、そして高速移動による加工槽からの加工液片寄りによる溢流や波立ち飛散等に対しては、不十分なものであった。
【０００８】
よって、本発明は、加工液を所要に満たした加工槽の移動開始の高加速度の加速時や、高速移動状態からの制動減速、さらには停止時に、加工槽内加工液の外部への溢流、飛散を効果的に防止するために、加工槽の外周壁を所定の間隔を置いた一種の二重壁の構成としたもので、これにより放電加工機外への加工液の溢流および飛散を防止し、高応答化および高速移動を可能とした送り駆動機構を備えた放電加工機の加工性能を充分に発揮させることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前述の本発明の目的は、（１）少なくとも水平一軸方向に移動可能な移動装置と、該移動装置上に載置され内部に載物台を有すると共に加工液の貯留が可能な加工槽と、該加工槽に加工液を供給すると共に加工槽から排出される加工液を貯留し循環させる加工液供給装置を備えた放電加工装置に於いて、
前記加工槽が、前記移動装置による移動方向の両方の外側に、所定の間隔を置くと共に、加工槽の槽壁高さ位置よりも高く平行に囲繞するように立設された側壁と、加工槽の槽壁上から溢れ出る加工液を受容し前記加工液供給装置につながる排出口を備えた前記側壁と槽壁間の底盤とから成る溢れ出る加工液の回収装置を有し、
さらに、該回収装置の前記側壁の上縁部が加工槽側の内側に所定角度折り返された折り返し部を有する構成である放電加工装置とすることにより達成される。
【００１０】
また、前述の本発明の目的は、（２）前記回収装置の側壁と底板とが、前記加工槽を全周にわたって取り囲んで形成された内外２重槽の構成から成る前記（１）に記載の放電加工装置とすることにより達成される。
【００１１】
また、前述の本発明の目的は、（３）前記側壁上縁の折り返し部の下部に平行に一枚以上の整流板が設けられて成る前記（１）、または（２）に記載の放電加工装置とすることにより達成される。
【００１２】
また、前述の本発明の目的は、（４）前記回収装置が、回収した加工液を前記加工槽内に直接汲み上げ帰還させる手段を有して成る前記（１）、（２）、または（３）に記載の放電加工装置とすることにより達成される。
【００１３】
また、前述の本発明の目的は、（５）前記加工槽の槽壁が入れ子式で昇降操作可能に構成され成る前記（１）、（２）、（３）、または（４）に記載の放電加工装置とすることにより達成される。
【００１４】
また、前述の本発明の目的は、（６）少なくとも水平一軸方向に移動可能な移動装置と、該移動装置上に載置され内部に載物台を有すると共に加工液の貯留が可能な加工槽と、該加工槽に加工液を供給すると共に加工槽から排出される加工液を貯留し循環させる加工液供給装置を備えた放電加工装置に於いて、
前記加工槽の前記移動装置による移動方向の槽壁が、該加工槽の所望最大貯留液面以上の上部槽壁部において加工液が流通する多孔壁に形成され、該形成された多孔の各孔中少なくとも下位の孔に、中からの液圧によって外向きに弾性的に湾曲して開き、外から中へ向かう液圧によって半ば閉じた状態を保つ吊るし膜形の一方向開閉蓋を設け、
さらに、前記加工槽が、前記移動方向の外側に、所定の間隔を置くと共に加工槽の槽壁高さと同等以上の高さで平行に囲繞するように立設された側壁と、加工槽の上部多孔槽壁部から溢流する加工液を受容し、前記加工液供給装置に繋がる排出口を備えた前記側壁と槽壁間の底盤とから成る加工液回収装置を設けて成る放電加工装置とすることにより達成される。
【００１５】
また、前述の本発明の目的は、（７）前記回収装置の側壁の上縁部が加工槽側の内側に所定角度折り返された折り返し部を有する前記（６）に記載の放電加工装置とすることにより達成される。
【００１６】
また、前述の本発明の目的は、（８）前記加工槽の槽壁が入れ子式で昇降操作可能に構成されて成る前記（６）、または（７）に記載の放電加工装置とすることにより達成される。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施例を図１乃至図４に基づいて説明する。なお、この実施例は、第１の発明を主として説明するものである。図１は前記第１発明を説明するため形彫り放電加工機またはワイヤ放電加工機の加工槽部分と該加工槽をベッド上に載置して水平直交２軸方向に軸送り移動させる送り機構部分にリニアモータを使用した場合の１例を示す断面説明図、図２は前記送り機構部のＡ−Ａ線矢視平面図である。
【００２２】
図に於いて、１はベッドで上面に案内面が形成されていて、該案内面上に、水平１軸（Ｘ軸）方向に一対の直動軸受２の各レール２Ａが、軸直角水平方向に所定の間隔を置いて平行に取り付けられ、これに対し、前記ベッド１に対し前記１軸方向に軸送りされるサドル３下面に前記各レール２Ａの長手方向に所定の間隔を置いて取り付けられたボールまたはローラを内蔵する軸受２Ｂが嵌め合わせられることにより、サドル３はベッド１上を前記１軸方向に移動自在に載置される。
【００２３】
４は、前記ベッド１上面とサドル３下面とに前記水平１軸方向に延在するように取り付けられた同期機型のリニアモータで、図示実施例では、界磁を形成する永久磁石片を所定のピッチで磁路形成用の電磁軟鉄板等に所要軸移動ストロークにわたって列設した磁石板４Ａがベッド１上面の前記一対の直動軸受２間の中央に設けられるのに対し、励磁コイルが巻回され前記移動方向に積層硅素鋼板等から成る鉄芯の磁極が所要推力大きさ等に応じて並ぶ電磁石４Ｂが所定の微小間隔を隔てて相対向するようにサドル３下面に取り付けられる。
【００２４】
５は、前記サドル３の上部において、該サドル３に対し前記水平１軸と直交する水平軸（Ｙ軸）方向に直線移動可能に設けられる加工槽載置テーブルで、両者間に設けられる直動軸受６とリニアモータ７とから成る軸送り機構は、その直動軸受６のレール６Ａと軸受６Ｂ、およびリニアモータ７の磁石板７Ａと電磁石７Ｂの各上下取り付けの関係が、前述ベッド１とサドル３間のそれと逆になっている点のみ相違するものであるから、重複することとなる説明は省略する。
【００２５】
なお、図示および上述の固定子と可動子とが磁気的に強力に吸引し合うリニアモータを駆動源として使用する水平直交２軸の送り機構としては、ベッド１とサドル３移動体間および該サドル３とテーブル５移動体間各直動軸受２、６は、夫々一対の案内レール２Ａと６Ａと各４個の軸受２Ｂと６Ｂから成り、該軸受２Ｂと６Ｂとはそれぞれサドル３の上下両面のほぼ四隅の対応する位置で、背向して鉛直軸方向の各軸受の中心位置が一致した重なる位置にあるようにバランスよく配置されているという好ましい構成が付与されている。また、各軸送り駆動のリニアモータ４および７も、夫々の電磁石４Ｂと７Ｂとがサドル３の上下両面に背向すると共に中心が一致して重なるように取り付けられるので、各リニアモータ４と７における磁気吸引力は、サドル３に対して相殺され、サドル３の変形等による障害は防止されているものである。
【００２６】
以上により、加工槽を載置するテーブルは、水平直交２軸方向にリニアモータ４、７の高応答および高加速度で、高速移動の特性に応じた軸送りと移動制御が可能となる。なお、図示ではベッド１とサドル３間、およびサドル３とテーブル５間の位置検出、制御のためのリニアエンコーダおよびリニアスケールの組み合わせから成るリニア位置検出装置は省略してある。
【００２７】
以上のような高応答および高加速度で高速移動可能な軸送り機構によって送り移動制御されるテーブル５に加工槽８が載置して取り付けられ、該加工槽８は内部に被加工体９を取り付ける載物台１０を有すると共に常時は閉の排液用ドレーン８Ｅを有し、加工液１１の貯留が可能であって、加工液供給装置１２から、常時または制御により随時加工液が供給されていて、加工液１１は加工槽８の槽壁上縁から溢れて外部外側に溢流を続けている状態か、その限度状態にあるように保たれる。
【００２８】
また、図示の場合は、放電加工電極１３は、所望断面形状の棒状または所望総型電極で、Ｚ軸方向に相対向する被加工体９が穿孔または形彫り加工されるように、前記ベッド１上に立設された図示しないコラムに保持された主軸１４下端のチャック１５に保持されている。また、放電加工機がワイヤ放電加工機の場合には、主軸１４およびその下端の加工電極１３に替えて、ワイヤ電極がほぼＺ軸方向に更新送りされながら被加工体９と水平方向に相対向して加工し得るように、一対のワイヤ位置決めガイドが被加工体９の上下に対向配置される構成となる。
【００２９】
加工槽８の左右の槽壁８Ａ、８Ｂは、図示のものの場合互いに平行で、ベッド１とサドル３間の軸送り移動装置による移動方向の水平一軸に直交し、図示しない紙面表裏方向の槽壁がサドル３とテーブル５間の軸送り移動装置による移動方向の軸と直交する水平断面が長方形の加工槽８につき説明するが、加工槽８は水平断面が円形、楕円形、その他多角形であっても良い。
【００３０】
そして、本第１発明の加工槽８は、前記移動装置による移動方向の両側の外側に、所定の間隔を置くと共に加工槽８の槽壁８Ａ、８Ｂの高さよりも高く、ほぼ平行に囲繞するように立設された側壁１６Ａ、１６Ｂと、加工槽８の槽壁８Ａ、８Ｂ上縁から溢れて溢流する加工液を受容し、前記加工液供給装置１２につながる排出口１７Ａ１、１７Ｂ１を備えた前記側壁１６Ａ、１６Ｂと槽壁８Ａ、８Ｂ間の底盤１７Ａ、１７Ｂとから成る溢れ出る加工液の回収装置１６を備えたものである。なお、前記底盤１７Ａ、１７Ｂは、回収装置の容量が十分ならば、下すぼまり状等変更可能であり、排出口１７Ａ１、１７Ｂ１も例えば後者の一つとすることができる。
【００３１】
また、図示の場合、加工槽８に対する水平方向の移動装置は、水平直交２軸について設けられているので、前記槽壁８Ａ、８Ｂと底盤１７Ａ、１７Ｂとから成る加工液の回収装置１６は、加工槽８を全周にわたって囲んで形成された内外２重槽状を成しているが、加工液供給装置１２から加工槽８に対する加工液の供給制御の態様が、加工槽８の槽壁８Ａ，８Ｂ上縁から外に溢れない状態のものであれば、前記加工液の回収装置１６は、加工槽８に与えられる移動装置による移動方向の両側にのみ設けられれば良い。
【００３２】
以上に於いて、加工槽８の槽壁８Ａ、８Ｂの上縁高さは、従来型の加工槽を備えた放電加工機の加工槽最大液面高さとほぼ同一で、側壁１６Ａ、１６Ｂの高さを前記従来型加工槽の槽壁外周上縁高さとほぼ同一か少し高い位の設定として、高さによる使いにくさが生じないようにする。この場合、上記両槽壁８Ａ、８Ｂは、所望高さ位置の設定が可能な昇降式の壁とすることができる。そして、本第１発明における最適の実施の態様としては、加工液供給装置１２の加工液供給ポンプ１２Ａおよび必要に応じて設けられる回収装置１６の回収加工液の直接帰還手段のポンプ１８の両方または一方によって、加工槽８に加工液１１を供給し、加工槽８の液位は移動停止時においてほぼ一杯か、全周縁から常時溢れ出ている状態に維持させて、加工槽８に加工中の揺動移動や加工前または加工途中の位置決めまたは加工位置変更のための移動を行わせるようにするものである。
【００３３】
このようにすると、加工槽８が停止状態から急速に移動を開始するか高増速時には移動方向の後方部の槽壁側に、また高速移動状態から急減速または停止時には前方部の槽壁側に加工槽８内の加工液が片寄って盛り上がることになるが、槽壁８Ａ、８Ｂの上縁以上に盛り上がった加工液の大部分は、そっくりそのまま側壁１６Ａ、１６Ｂとの隙間の回収装置１６内に落ち込み回収される。この時、側壁１６Ａ、１６Ｂに衝突する溢流加工液は、側壁１６Ａ、１６Ｂの隙間を大きく設定しておくことにより、勢いを減じ、飛散を減じることが出来るが、図示のように側壁１６Ａ、１６Ｂの上縁部に、加工槽８側の内側に所定幅を所定角度に折り返した折り返し部１６Ａ１、１６Ｂ１と加工槽８の槽壁上縁との間に、平行に１枚以上の整流板１６Ａ２、１６Ｂ２を設けて前記側壁の１６Ａ、１６Ｂからの跳ね返りや飛散を防止するようにするのが良い。かくすることにより、槽壁８Ａ、８Ｂから反射する加工液の波は軽減され、跳ね返りも殆ど生じなくなり、加工液の溢流、飛散は防止される。
【００３４】
上述の場合、側壁１６Ａ、１６Ｂと底盤１７Ａ、１７Ｂとによって形成される回収装置１６の容積は、瞬間最大溢流加工液の約２倍程度あれば良く、常時ドレーン弁１７Ａ２，１７Ｂ２を開いて回収装置１６を空の状態で使用するか、回収装置１６内の液位が前記容積レベル以上ある時、前記ポンプ１８により加工槽８に汲み上げ帰還させると共に該ポンプ１８の空転を防止する液位検出器１９を設け、加工槽８内液位の変動回復を速める使用の態様とするのが良い。
【００３５】
また、上述の場合、特に放電加工中にあっては、加工槽８内の加工液面の減少レベルに制約がある訳で、液面が基準レベル以下になる等の場合によっては、例えば加工槽８に液面検出器と該検出信号による液面制御装置を設け、リニアモータ４、７等の移動装置による移動の加速度や制動速度を変更設定または制御ができるようにするとか、加工槽の槽壁８Ａ、８Ｂ高さを前述のように変更設定可能に構成しておいて加工に際し、変更、調整設定をすると良い。
【００３６】
上述第１発明の変更例および付加構成としては、外側の側壁１６Ａ、１６Ｂの折り返し部１６Ａ１、１６Ｂ１として、側壁１６Ａ、１６Ｂに対して約９０度折り曲げた構成のものを示したが、図３に示すように９０度以下の設定とすることもでき、側壁上部に沿ってせり上がる加工液１１をより確実に加工槽８に矢符２０のように打ち返すよう前記折り返し部１６Ａ１、１６Ｂ１の先縁に、さらに第２の折り返し部１６Ａ３を設けることができる。また、加工槽８と側壁１６Ａ、１６Ｂおよび底盤１７Ａ、１７Ｂからなる回収装置１６は、図４に示すように前面壁を左右の一端に設けた蝶番で開閉する前扉８Ｃ、１６Ｃ開閉方式とするか、内側の加工槽８を、２段以上の入れ子式で昇降操作可能な構成（例えば、特公平５−１２，０８５号公報参照）として、被加工体９やパレット等の出し入れ容易な良作業性のものとすることができる。
【００３７】
図５乃至図８は、本第２発明を説明するための加工槽要部部分の断面説明図、および部分拡大説明図である。図５に於いて、８Ａは前述第１発明の加工槽８の一方の槽壁、１６Ａは同じく回収装置１６の一方の側壁に対応するものであるが、前記第１発明の槽壁８Ａの上縁から上方に伸長した溢流槽壁部８Ｄを有し、この溢流槽壁部８Ｄは全面にわたって加工液が流通する丸、楕円等適宜の形状、および寸法の孔８ａが形成された多孔壁に形成されていて、加工槽８の加工中の最高液面高さは、大凡前記溢流槽壁部８Ｄの下限位置であるから、前述第１発明における加工槽８静止状態で加工中の最高液面高さと同一ということになり、仕様を同一とすると、前記槽壁８Ａおよび側壁１６Ａの高さは、前述第１発明のそれより夫々大きくなるものである。
【００３８】
図６は、前記溢流槽壁部８Ｄに設けられた加工液が流通する各孔８ａに、加工槽８内側から外へ向かって働く液圧によって外向きに弾性的に湾曲して開き、外から中へ向かう液圧によって半ば閉じた状態を保つ吊るし膜形の一方向開閉蓋８ｂをある程度の液面レベルまで設けたものである。この開閉蓋８ｂは、各孔８ａを各個に覆う大きさのゴム製、プラスチック製、またはばね鋼板製の薄板片８ｂ１で、その上縁部において抑え具８ｂ２で槽壁８Ａの側壁面に取り付け吊持させたもので、内側からの液圧により容易に外側に開いて加工液を流出させるのに対し、回収装置１６内の液が加工槽８内に還流するのが阻まれることになるので、この還流を或る程度許容するように、前記蓋の簿板片８ｂ１を孔８ａ寸法に対し寸足らずに構成するのが良い。
【００３９】
以上、図５および図６の本第２発明の構成によれば、加工槽８に対する移動があってもゆっくりしたものか、移動の無い状態での放電加工は、加工槽８内の加工液の液位が、前記溢流槽壁部８Ｄの下限位置を上限位置として加工が行われており、この状態から加工槽８に送り指令が与えられて移動を開始し、高い加速度で増速されると、該送り方向の後部側槽壁８Ａ側に加工液が迫り上ってくるが、この迫り上り加工液は、前記溢流槽壁部８Ｄの下限位置を越えると孔８ａを通り、さらには簿板片８ｂ１の蓋８ｂを押し開けて回収装置１６の隙間に流入して行くので、前記迫り上がり加工液の液位は低位のものとなり、跳ね返り液も少なくなるので、加工液の溢れや飛散は防止されることになる。
【００４０】
この場合、前記回収装置１６内の液位は、迫り上がり加工液の孔８ａからの流入を自由に障害なく、場合によってはかなりの液量を急速に受け入れる容量を必要とするので、図５のように充分低位にしておくか、排出口１７Ａ１、１７Ｂ１のドレーン弁１７Ａ２、１７Ｂ２を開いた状態にしても良い。また、加工槽８内の加工液を回収装置１６内に回収した時に、該回収装置１６側の液位が、溢流槽壁部８Ｄの下限位置よりも上位にあるように回収可能な条件がある場合には、例えば図６のように、回収装置１６内の液位をその条件に合った液位に調節保持しておいて、前記上位にある加工液を孔８ａおよび周りの隙間から加工槽８内に還流させて加工槽８内の液位回復を促進させるのが好ましい。
【００４１】
図７および図８は、夫々前記溢流槽壁部８Ｄの蓋８ｂ部の変更例の部分図とその矢視断面図を示したものである。そして、図７は前記槽壁部８Ｄの孔８ａを加工液の還流を許容するために、簿ばね鋼板８ｂ３を孔８ａ開口寸法に対して寸足らずで隙間開口８ａ１を残して取り付けた状態を示している。また、図８は、ゴム製あるいは軟質のプラスチックの射出成形品を用いた場合の例で、孔８ａに成形品の蓋材８ｂ４を嵌め込み取り付けるための同じく成形品である取付枠材８ｂ５を嵌め込み、該取付枠材８ｂ５の嵌め込み溝８ｂ６に蓋材８ｂ４の上縁を振り子自在状に取り付けるものである。なお、その他の変更構成は、前述第１発明のものと実質同一である。
【００４２】
図９乃至図１０は、本発明の応用例を説明するために、加工槽８部分の断面を線図として示したものである。図９において、２１は加工槽で、水平一軸方向にのみリニアモータ駆動等の高速移動装置で移動する構成のものであり得るが、ここでは水平直交２軸に移動するものの場合につき説明することとする。前記加工槽２１は上縁の全周が内側に所定の幅を所定の角度折り返した折り返し部２１Ａを有し、さらに該折り返し部２１Ａの先端に槽壁内面を迫り上って前記折り返し部２１Ａに誘導された加工液を加工槽２１内に戻すための第２の折り返し部２１Ａ１が設けてある。そして、さらに前記加工槽２１内には、移動方向の加工槽各内壁面に所定の間隔Ｄを置いた入れ子状の状態で、前記移動方向に弾性移動可能で、加工液の内外流通可能に挿設された、加工槽の槽壁高さよりも低い隔壁枠２２が挿設されて成る。
【００４３】
前記隔壁枠２２は、その下側の隔壁部分が全周において、加工槽２１の槽壁と相対向する部分で互いにほぼ平行であるのに対し、上方部が図示のように上方に行くに従い斜めに広がるように拡開部２２Ａを形成しており、その上縁端全周が加工槽２１の前記第２の折り返し部２１Ａ１で形成される上方開口に下方から包み込むように一種の嵌め合いの形状、寸法、および配置関係にある。そしてこの隔壁枠２２は、加工槽２１中に挿入しただけで加工槽２１の対応する部分の底の上に載置状態にあり、加工液の移動または流動により加工槽２１内を横行移動し得る状態にある。
【００４４】
そして、隔壁枠２２は、好ましくは図示のような中央位置に、移動偏倚後自動戻り等により位置していることが好ましいことから、図示のように、複数の圧縮コイルばね２３により、加工槽２１の内側壁に係留されることになる。従って、この隔壁枠２２の偏倚には、隔壁と加工槽槽壁間の隙間に介在するばね２３とともに加工液も、ダンパとして作用し、隔壁枠２２は概ね中央位置を保持しつづけ得る。そして、このように隔壁枠２２の横行移動に抵抗を増加付与するようにすると、加工液の波のエネルギが吸収低減されるから好ましいものである。
【００４５】
図１０は、前記隔壁枠２２に浮き２４を取り付けて浮設状態としたもので、下部が底と離隔している分内外間の液が移動し易いので、横行に抵抗を与え拘束する前記圧縮コイルばね２３を設けておくのがよい。また、この場合、前記隔壁枠２２の高さは、液面変化に追従するので注意を要する。
【００４６】
以上図９および図１０の本発明の応用例の構成によれば、例えば加工槽２１が高加速度で右側へ横行を開始すると、隔壁枠２２内の加工液１１は全体として左向きに移動し、左壁に迫り上がる液は左壁を左向きに押すと共に右壁は引き波により左向きに引っ張られる。この現象は、加工槽２１の左壁と隔壁枠２２の左壁間にある加工液、および加工槽２１の右壁と隔壁枠２２の右壁間にある加工液、そしてさらに図示していない加工槽２１の（紙面の）前後における細長い液路の液と加工槽２１の前後内壁間においてもほぼ同様に加工液１１の流動があり（なお、図１０の場合は、さらに加工槽２１底面近くの加工液が左行する。）、隔壁枠２２は左へ移動することになる。
【００４７】
上述の隔壁枠２２の左行移動を阻止するエネルギに対し枠２２内の加工液に与えられた左行エネルギが上廻る分迫り上り波を生じることになり、大波の発生は避けられる。そして、加工槽２１の左壁と隔壁枠２２の左壁間の加工液は、枠左壁に押され、加工槽２１前後の各液路の加工液も槽左壁の前後の部分に押し寄せ、さらに隔壁枠２２下部の加工液も左行しているので行き場が無く、加工槽２１のある程度以上の急加速度の移動開始時や、移動状態から急制動の停止時等には前記加工液の迫り上りは、加工槽２１の高さを越えることになるが、その迫り上り加工液は、前記折り返し部２１Ａおよび第２の折り返し部２１Ａ１に衝突誘導されて隔壁枠２２の上周縁を越えて隔壁枠２２内に、拡開部２２Ａ上面枠壁に沿って迫り上る加工液と干渉しながら戻ることとなる。
【００４８】
図１１および図１２は、前記加工槽２１内の隔壁枠２２の変更例を示す部分等の断面図を示す。図１１では前記隔壁枠２２が，上部枠２２Ｂと下部枠２２Ｃとの２段の入れ子式の昇降自在な構成を有すると共に、前記上部枠２２Ｂの内面側の所定の高さ位置の部位に環状または複数個の浮き２４Ａを取り付けたものであり、加工作業に際し加工液を加工槽２１内所定液位レベル２５まで充填すると、上部枠２２Ｂは浮き２４Ａにより浮上し、上部枠２２Ｂと下部枠２２Ｃが所定に組み上がり、所定の隔壁枠２２を形成するものである。
【００４９】
図１２は、被加工体の交換時等の前記昇降式の多段隔壁枠２２の好ましいあるべき状態の説明図で、前記上部枠２２Ｂが下降して最下位の位置にある時、その上縁が、被加工体や被加工体を位置決めして取り付けるパレット等を設置する底盤５Ａの上面位置以下にあるように構成して、パレット等の自動着脱を可能とするものである。
【００５０】
【発明の効果】
本第１発明によれば、加工槽の移動方向に、または全周を取り囲んで加工槽より背高の側壁を持つ加工液の回収装置を設け、内側の加工槽は加工液が一杯で常時溢れる状態で運転使用することにより、加工槽の高加速横行の開始時や減速停止時に、従来槽壁上部で迫り上り波立ちの原因となっていた加工液は、そっくりそのまま回収装置に流入落下して、跳ね返りによる波立ちや跳ね飛び等を生じさせず、前記回収装置を含む加工槽部分が従来型の加工槽に対して大幅に大きくなるようなことはなく、加工液の溢流を防止して加工槽を高応答および高加速度で高速度に移動させるリニアモータ等を使用する移動装置を備えた放電加工機の加工性能を充分発揮させることができる。
【００５１】
また、本第２発明によれば、前述第１発明の加工槽の上縁上に、開放孔または該孔に内から外に開く半閉塞蓋を設けた加工液流通孔を有する溢流槽壁部を設けたので、槽壁上部での加工液の迫り上がり、波立ち、跳ね返りが減殺され、またこの溢流槽壁部から回収装置へ溢流した加工液の一部を加工槽に還流させて加工槽内の液位を迅速に保って安定した放電加工を遂行させることができる。
【００５２】
また、本発明の応用例によれば、外側の槽壁に沿って迫り上がり、そして内側の隔壁枠によって押圧される両者間に介在する加工液は、上縁を越えて迫り上がっても、隔壁枠の内側に戻り落下し、他方の隔壁枠内の加工液は迫り上がり量が、隔壁枠の移動によって低下するから、結局加工液は、放電加工機外へ溢れたり、跳ね返り波によって飛散することがないことになる。
【００５３】
【図面の簡単な説明】
【図１】本第１発明の加工槽部分の実施例を送り駆動機構部分とともに示す正断面説明図。
【図２】図１のＡ−Ａ線矢視断面図。
【図３】本第１発明の部分の変更例を示す部分断面説明図。
【図４】加工槽および回収装置の開閉状態の説明斜視図。
【図５】本第２発明の要部の部分断面説明図。
【図６】図５に対する付加変更例の部分断面説明図。
【図７】図６と同じ変更例の部分図とその斜視断面図。
【図８】図６と同じさらに他の変更例の部分図とその斜視断面図。
【図９】本発明の応用例を説明するための加工槽部分の線断面図。
【図１０】図９に対す付加変更のある加工槽部分の線断面図。
【図１１】図９及び図１０に対し変更部分のある部分の断面説明図。
【図１２】図１１に対し変更部分のある加工槽部分の線断面図。
【００５４】
【符号の説明】
１、 ベッド
２，６、直動軸受
３、サドル
４、７、リニアモータ
５、テーブル
８、２１、加工槽
８Ａ、８Ｂ、槽壁
９、被加工体
１０、載物台
１１、加工液
１２、加工液供給装置
１３、加工電極
１４、主軸
１５、チャック
１６、回収装置
１６Ａ、１６Ｂ、側壁
１７Ａ、１７Ｂ、底盤
１７Ａ１、１７Ｂ１、排出口
１８、汲み上げポンプ
１９、液位検出器
２０、矢符
２２、隔壁枠
２３、圧縮コイルばね
２４、２４Ａ浮き
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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