(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極と被加工物との加工間隙に加工液を供給すると共に前記電極で放電して前記被加工物を放電加工する放電加工方法において、
前記被加工物の被加工面に対して与えるべき加工追い込み量を実測する実測工程と、
前記電極を前記被加工物の被加工面に向かって加工方向に近づけていき、前記電極が放電し始めてから３秒以上２０秒以下経過したときにおける前記電極の位置を現在位置として取得する取得工程と、
前記取得工程により取得された前記電極の現在位置に前記実測工程により実測された加工追い込み量を加算した値を、前記電極が到達すべき最終位置として設定し、該設定した最終位置まで放電加工を行う加工工程とを有し、
前記取得工程と前記加工工程とでは、同じ電気的条件で且つ同じ電極で放電を行なうことを特徴とする被加工物の放電加工方法。
【請求項２】
前記実測工程により実測された加工追い込み量を追い込み量記憶部に記憶しておく第１記憶工程と、前記取得工程により取得された前記電極の現在位置を現在位置記憶部により記憶しておく第２記憶工程とをさらに有し、前記加工工程は、前記第２記憶工程において記憶された前記電極の現在位置に前記第１記憶工程において記憶された加工追い込み量を加算した値を前記電極が到達すべき最終位置として設定し、該設定された最終位置まで放電加工することにより、自動で放電加工を行うようにしたことを特徴とする請求項１記載の放電加工方法。
【請求項３】
前記実測工程は、前記加工追い込み量を、事前に行った前加工後であって前記被加工物の熱変形の影響が消失するに十分な時間が経過した後に実測することを特徴とする請求項１記載の放電加工方法。
【請求項４】
電極と被加工物との加工間隙に加工液を供給すると共に前記電極で放電して前記被加工物を放電加工する放電加工装置において、
前記被加工物の被加工面に対して与えるべき加工追い込み量を実測する実測手段と、
前記電極を前記被加工物の被加工面に向かって加工方向に近づけていき、前記電極が放電し始めてから３秒以上２０秒以下経過したときにおける前記電極の位置を現在位置として取得する取得手段と、
前記取得手段により取得された前記電極の現在位置に前記実測手段により実測された加工追い込み量を加算した値を、前記電極が到達すべき最終位置として設定し、該設定した最終位置まで放電加工を行う加工手段とを有し、
前記取得手段と前記加工手段とは、同じ電気的条件で且つ同じ電極で放電を行なうことを特徴とする放電加工装置。
【請求項５】
前記実測手段により実測された加工追い込み量を記憶する第１記憶手段と、前記取得手段により取得された前記電極の現在位置を記憶する第２記憶手段とをさらに備え、前記加工手段は、前記第２記憶手段により記憶された前記電極の現在位置に前記第１記憶手段により記憶された加工追い込み量を加算した値を前記電極が到達すべき最終位置として設定し、該設定された最終位置まで放電加工することにより、自動で放電加工を行うようにしたことを特徴とする請求項４記載の放電加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】
本発明は、加工間隙に加工液を供給し、電極で放電して被加工物を放電加工する放電加工方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電極と被加工物との加工間隙に加工液を供給すると共に電極で放電して被加工物を放電加工する放電加工方法が知られている。この放電加工方法では、例えば前加工した加工面に対し微少量の追い込み加工をして精度の高い寸法に仕上げる場合、放電させる電極と被加工物との位置関係を明確に把握し、追い込み加工量を正確に求める必要がある。これに関し従来、放電加工による加工量を決定するために、放電加工の前に被加工物の基準面に接触して感知させる手法、あるいは特許番号２５５９７８９号公報に示すように、放電ギャップが特定値になるまで数十秒間放電させて加工の原点位置出しを行い、電極を加工部に移動させて放電加工する手法等が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記接触して感知させる手法では、接触感知の誤差が発生し、上記放電ギャップが特定値になるまで放電させる手法では、放電ギャップの変動幅による誤差（測定誤差±２μと記載）が発生する。また、特許番号２５５９７８９号公報では、被加工部を放電加工した後に狙い値との誤差を検知するために上記と同様に放電ギャップが特定値になるまで被加工部を数十秒間放電させるため、２度の放電ギャップの変動幅による測定誤差が累積する。そのため、加工精度に悪影響を与える。
【０００４】
また、加工に用いる放電条件で数十秒間放電させるとそれによる加工進行が無視できる量を超えることから、原点位置出しのために行う放電は加工進行が小さい弱い特別な条件で行う必要がある。そのため、放電ギャップが特定値に収束するまでに数十秒間（記載によれば２０〜６０秒）かかる。従って、速やかな原点位置出しができない。
【０００５】
また、電極の形状が平坦面状以外のテーパ状や曲面状等の異形状であった場合は、被加工物の平坦面に電極のテーパ面等を直接接触させて測定するようなことはできない。
【０００６】
図９は、従来の加工の原点位置出しの手法を説明するための図である。
【０００７】
例えば同図に示すように電極１００が先端部にテーパ部を有する形状をしている場合、同図（ｃ）に示すように電極１００の適所に平坦面１００ａを設け、この平坦面１００ａを仮の基準として被加工物１０１の基準面１０１ａに対して数十秒間放電させることになる。
【０００８】
そのため電極１００の仮の基準面（平坦面１００ａ）から先端部までのＺ方向（加工方向）における距離を測定しこれを考慮して加工量を演算しなければならず、放電作業が複雑化し、且つ電極１００の適所に平坦面１００ａを設ける必要から設計の手間もかかりコスト的にも不利となる等、問題があった。
【０００９】
また、放電ギャップは加工面積や被加工面の形状によっても変動するものであり、これらが放電ギャップの測定誤差を生じさせる要因となっていた。
【００１０】
例えば、同図（ａ）に示すように、被加工物１０１の基準面１０１ａと電極１００の先端部とで測定する手法では、被加工面は平坦で加工面積が小さい。一方、同図（ｂ）に示すように、被加工物１０１の被加工部１０１ｂと電極１００のテーパ面とで測定する場合は、被加工部１０１ｂは曲面状でありしかも加工面積が大きい。従って、同図（ａ）の場合と同図（ｂ）の場合とでは放電ギャップが相違する。
【００１１】
また、同図（ｃ）に示すように、加工面積が同図（ｂ）と等しくなるように設定した場合でも、被加工部の形状が異なることから放電ギャップの差異は生じる。
【００１２】
図１０は、加工面積と放電ギャップとの関係を示す図である。同図に示すように、加工面積の相違により放電ギャップが相違しているのがわかる。
【００１３】
図１１は、加工液に混入する粉末の濃度と放電ギャップとの関係を示す図である。同図に示すように、粉末混入濃度の相違によっても放電ギャップが相違する。
【００１４】
このように、加工面積、被加工面の形状の相違、さらには粉末混入濃度の相違によって、放電ギャップに差異が生じる。従って、上記従来の放電ギャップが特定値になるまで放電させる手法では、特定値の放電ギャップを求めたとしても上記誤差の影響を回避できず、精度上問題があった。すなわち、予め測定した放電ギャップが実際に加工したときに再現されず、その差異が測定誤差として現れ、これを考慮しないと高い加工精度を得ることはできなかった。
【００１５】
従来は、以上のような問題があるため、例えば前加工で仕上がった面から数μｍ〜数十μｍ程度の微少量の追い込み修正加工をして所望の寸法を得るような加工が困難とされていた。このような微少量の加工が必要となる場合としては、例えば一度制作された金型を試し打ちした場合に、樹脂の変形、変位により所望の寸法、形状の成形品ができない場合や、製品上寸法を変更した場合に修正加工の必要が生じる等、仕上がった金型部品に対して数μｍ〜数十μｍ程度だけ修正加工したいような場合である。
【００１６】
従来は、このような加工をする場合、熟練工が少し加工してはダイヤルゲージや顕微鏡等で寸法を測定し、不足分を慎重に再度加工するという作業を繰り返すようにしている。しかし、取りすぎ等の失敗が生じるだけでなく、測定、加工の繰り返しによる煩雑な作業が必要であり、自動化が困難で、効率が著しく悪かった。
【００１７】
このように、従来の放電加工方法では、放電ギャップの変動幅による誤差に起因して高精度な加工が困難で、高精度の加工には熟練を要することから失敗のない加工が容易でなく、測定や加工等のための煩雑で非効率的な作業が必要とされるという問題があった。
【００１８】
本発明は上記従来技術の問題を解決するためになされたものであり、その目的は、熟練や煩わしい作業を要することなく微少量の追い込み加工を効率的に精度よく行うことができる放電加工方法及び装置を提供することにある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の請求項１の放電加工方法は、電極と被加工物との加工間隙に加工液を供給すると共に前記電極で放電して前記被加工物を放電加工する放電加工方法において、前記被加工物の被加工面に対して与えるべき加工追い込み量を実測する実測工程と、前記電極を前記被加工物の被加工面に向かって加工方向に近づけていき、前記電極が放電し始めてから３秒以上２０秒以下経過したときにおける前記電極の位置を現在位置として取得する取得工程と、前記取得工程により取得された前記電極の現在位置に前記実測工程により実測された加工追い込み量を加算した値を、前記電極が到達すべき最終位置として設定し、該設定した最終位置まで放電加工を行う加工工程とを有し、前記取得工程と前記加工工程とでは、同じ電気的条件で且つ同じ電極で放電を行なうことを特徴とする。
【００３０】
同じ目的を達成するために本発明の請求項４の放電加工装置は、電極と被加工物との加工間隙に加工液を供給すると共に前記電極で放電して前記被加工物を放電加工する放電加工装置において、前記被加工物の被加工面に対して与えるべき加工追い込み量を実測する実測手段と、前記電極を前記被加工物の被加工面に向かって加工方向に近づけていき、前記電極が放電し始めてから３秒以上２０秒以下経過したときにおける前記電極の位置を現在位置として取得する取得手段と、前記取得手段により取得された前記電極の現在位置に前記実測手段により実測された加工追い込み量を加算した値を、前記電極が到達すべき最終位置として設定し、該設定した最終位置まで放電加工を行う加工手段とを有し、前記取得手段と前記加工手段とは、同じ電気的条件で且つ同じ電極で放電を行なうことを特徴とする。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００３５】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る放電加工装置の構成を示すブロック図である。
【００３６】
本装置は自動制御装置１１（加工制御手段）を備え、自動制御装置１１は、コンピュータ数値制御装置（以下、「ＮＣ装置１２」と称する）（現在位置記憶部（手段）、間隙値記憶部（手段）、追い込み量記憶手段、現在位置記憶手段）、電源制御装置１３、放電回路１４、放電検知手段１５及びコントローラ装置１６（追い込み量取得手段）から構成される。
【００３７】
加工テーブル４上には被加工物３が固定されている。Ｘ軸方向駆動装置５、Ｙ軸方向駆動装置７は、ＮＣ装置１２の指示に基づき、水平面上で互いに直交するＸ／Ｙ方向に加工テーブル４を移動させる。Ｘ軸方向位置検出装置６、Ｙ軸方向位置検出装置８は、加工テーブル４の動作位置を検出してＮＣ装置１２にその信号を送出する。
【００３８】
加工ヘッド１は下端部に放電加工用電極２が着脱自在に構成されている。本装置は、図示しないが、電極２をオートハンドで他の電極と自動で交換可能に構成されている。
【００３９】
Ｚ軸方向駆動装置９は、ＮＣ装置１２の指示に基づき、垂直方向、すなわちＺ方向（同図上下方向）に加工ヘッド１を移動させる。Ｚ軸方向位置検出装置１０（現在位置取得手段）は、加工ヘッド１の動作位置を検出してＮＣ装置１２にその信号を送出する。
【００４０】
被加工物３は加工槽１８内に配置される。放電加工時には、加工槽１８内に放電加工用の粉末を混入した加工液１７を蓄えた状態にされる。粉末としては、例えばクロム、アルミニウム、半導体等の鉄系・非鉄系の金属粉末が好ましい。
【００４１】
ＮＣ装置１２は、上記のようにＸ軸方向駆動装置５、Ｙ軸方向駆動装置７、Ｚ軸方向駆動装置９に駆動信号を送信すると共に、Ｘ軸方向位置検出装置６、Ｙ軸方向位置検出装置８、Ｚ軸方向位置検出装置１０からの各検出信号を受信して得た加工ヘッド１及び加工テーブル４の各位置情報をメモリ部Ｍに書き込む。メモリ部ＭはＭ１、Ｍ２、Ｍ３から成る。
【００４２】
ＮＣ装置１２は、コントローラ装置１６で予め入力設定された情報（例えば微少加工追い込み量、電気的条件、加工順序等）であってメモリ部Ｍに格納したものと、制御プログラム（加工動作、送り量、加工方向、電気的条件等の設定）とに従って、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向駆動装置５、７、９に駆動信号を与え、また、電源制御装置１３から放電回路１４を介して電極２へ所用の放電電圧を印加するように、電源制御装置１３及び放電回路１４に対して電圧出力信号を与える。微少加工追い込み量としては、実測等により事前に把握したものが入力される。放電検知手段１５は電極２の放電を検知してその検知信号をＮＣ装置１２に送出する。
【００４３】
図２は、本実施の形態における微少量放電加工の手順のフローチャートを示す図である。図３は、図２に対応して加工状況を示す模式図である。以下、図２及び図３を参照して説明する。
【００４４】
この加工は、いわゆる形彫り放電加工であり、被加工物３の被加工面３Ａは、図３（ａ）に示すように前加工による既加工部となっている。装置の始動前に、ＮＣ装置１２において、被加工物３について決められた原点（Ｘ０，Ｙ０，Ｚ０）から被加工面３Ａの狙い深さまでの距離を示す第１の位置情報（Ｘ１，Ｙ１，Ｚ１）をメモリ領域Ｍ１に記憶する。加工開始始点は、この第１の位置情報（Ｘ１，Ｙ１，Ｚ１）より１ｍｍ程度上方の位置に設定すると効率がよい。
【００４５】
次に加工槽１８内に放電加工用の粉末を混入した加工液１７を充満させ、動作を開始させる。まず、この加工で使用する電極２に交換（ＡＴＣ交換）し（図２のステップＳ２０１）、電極２を加工位置、すなわち被加工面３Ａの上方に移動させる（ステップＳ２０２）。
【００４６】
次いで、電源制御装置１３から放電回路１４を介して電極２へ粉末最終仕上げ段階の条件（所定条件）による放電電圧を印加し、その状態でＺ軸方向駆動装置９を駆動して電極２を被加工面３Ａの上方から降下させていく。これが放電測定である（ステップＳ２０３）。そして、所定時間（例えば３秒間）放電したら加工ヘッド１を止め、そのときの加工ヘッド１の位置情報（Ｘ２，Ｙ２，Ｚ２）を第２の位置情報（電極２の加工点）としてメモリ領域Ｍ２に記憶する（ステップＳ２０４）。このとき、電極２と被加工面３Ａとには放電ギャップＡ（間隙値）が生じている（図３（ｂ））。この第２の位置情報が加工ヘッド１乃至電極２のＺ方向における現在位置を示すものである。
【００４７】
次に、コントローラ装置１６に予め入力設定された微少加工追い込み量（メモリ部Ｍに記憶したもの）を上記メモリ領域Ｍ２に記憶された第２の位置情報に加算して、新たな加工の狙い深さ位置として第３の位置情報（Ｘ３，Ｙ３，Ｚ３）（狙い深さ加工点）をメモリ領域Ｍ３に記憶する（ステップＳ２０５）（図３（ｃ））。加算演算はコントローラ装置１６によりなされる。
【００４８】
次いで、メモリ領域Ｍ３に記憶された第３の位置情報（Ｘ３，Ｙ３，Ｚ３）に基づき、前記ステップＳ２０３の放電測定で使用したのと全く同一の条件で最後まで放電加工していく（ステップＳ２０６）（図３（ｄ））。すなわち、上記粉末最終仕上げ段階の放電電圧により、同一の電極２にて同一加工面積、同一条件（電気条件）、同一の加工液状態の下で最終加工が行われる。また、微少量加工のため消耗や熱変位を生じにくい。これにより、図３（ｂ）の場合の放電ギャップＡと略同一の放電ギャップＡ’が再現され、誤差の要因が排除される。
【００４９】
加工終了後（ステップＳ２０７）は、コントローラ装置１６により指示を出し、次の加工部へ移動して同様の加工をするか、あるいは他の電極２に交換して異なる加工部に移行する。
【００５０】
図４は、粉末放電加工による放電ギャップの再現性のテスト結果を示す図である。同図は、同一電極で同一加工箇所に３秒間の放電を繰り返し行った場合における加工箇所の放電ギャップを示したものである。
【００５１】
同図によれば、７回の繰り返しによっても放電ギャップの誤差が１μ程度に収まることがわかる。なお、同図には示していないが、８回目からは同一箇所を繰り返し加工したことによる加工進行がみられてきた。この事実から、加工精度維持のためには、放電測定は３秒×７回に相当する時間より十分に短い３秒間程度は適当といえるが、これより長くても２０秒以下であれば支障はないと考えられる。なお、３秒間より短くてもよく、例えば放電の有無の誤検知の問題が生じない限りなるべく短く設定すれば効率はよいし、加工進行もさらに小さく抑えられる。
【００５２】
また、粉末は混入しないよりも混入した方が放電ギャップの再現性が優れている。これは、粉末混入加工液の場合の方が放電ギャップが２倍ほど大きく、加工屑のはけがよいため放電ギャップが安定するからと考えられる。
【００５３】
本実施の形態によれば、粉末最終仕上げ段階の条件による放電測定で電極２の現在位置を把握し、これに予め把握してある微少加工追い込み量を加算して最終加工の狙い深さ位置を設定し、粉末最終仕上げ段階の条件で最終まで加工するようにしたので、電極２の現在位置の把握時の放電ギャップＡと最終仕上げ完了時の放電ギャップＡ’とを極めて小さい誤差の範囲で一致させることができる。従って、放電ギャップ自体の値が不明であっても、放電測定時の電極２の現在位置をよりどころとして相対的な位置関係から最終加工位置が判明するので、再度の測定確認の必要がなく、各種要因から生じる誤差を排除して精度の高い微少量放電加工が可能になる。また、人による間違いの発生も少なく、異形状の被加工面にも容易に対応可能である。よって、熟練や煩わしい作業を要することなく微少量の追い込み加工を効率的に精度よく行うことができる。
【００５４】
また、メモリ部Ｍやコントローラ装置１６を設け、放電測定による電極２の現在位置や最終加工の狙い深さ等の各種データを記憶、演算するようにしたので、微少量の追い込み加工を自動で精度よく行うことができる。
【００５５】
なお、粉末最終仕上げ段階の条件（所定条件）及び１回当たりの放電測定の時間は、放電ギャップＡのばらつきが被加工面の目標仕上げ精度に対して十分に小さい値となるような条件及び時間に設定すればよい。
【００５６】
（第２の実施の形態）
第１の実施の形態では、微少加工追い込み量を事前に把握しておき、放電測定時の電極２の現在位置を手がかりとして最終加工位置を設定したが、本第２の実施の形態では、粉末最終仕上げ段階の条件での放電ギャップＡを事前に把握しておき、これと放電測定時の電極２の現在位置とから、微少加工追い込み量を算出するようにした。従って、本実施の形態の構成は第１の実施の形態（図１）と同様であるが、粉末最終仕上げ段階の条件と同一の条件で放電した場合における放電ギャップＡを事前に測定してメモリ部Ｍに記憶しておく点、放電測定後に微少加工追い込み量を算出する点が第１の実施の形態と異なる。
【００５７】
図５は、本実施の形態における微少量放電加工の手順のフローチャートを示す図である。図６は、図５に対応して加工状況を示す模式図である。以下、図５及び図６を参照して説明する。
【００５８】
本実施の形態では、図６（ａ）に示すように被加工物３に既加工面がない状態から加工する。加工液の条件は第１の実施の形態と同様である。
【００５９】
まず、電極２を加工位置、すなわち被加工面３Ａの上方に移動させる（図５のステップＳ５０１）。そして、加工狙い深さを仕上げ寸法より浅め（数μ〜１０μ程度）に設定して、粗加工のときの条件、すなわち高出力の電流で加工する（ステップＳ５０２）（図６（ｂ））。
【００６０】
次いで、図２のステップＳ２０３と全く同様に、粉末最終仕上げ段階の放電電圧にて放電測定を行う（ステップＳ５０３）。そして、電極２の現在位置を検出し、検出した電極２の現在位置と予め把握して記憶している放電ギャップＡとに基づいて、狙い値までの不足分、すなわち必要な微少加工追い込み量を算出する（ステップＳ５０４）（図６（ｃ））。
【００６１】
次いで、算出した微少加工追い込み量が所定量（例えば３μ）以上であるか否かを判別し（ステップＳ５０５）、その判別の結果、算出した微少加工追い込み量が所定量以内であればその時点で加工を終了する。一方、算出した微少加工追い込み量が所定量以上であれば、取り足らないので、算出した微少加工追い込み量、すなわち加工誤差分を電極２の現在位置に加算して新たな加工位置を算出する（ステップＳ５０６）（図６（ｄ））。
【００６２】
次いで、算出した新たな加工位置まで、前記ステップＳ５０３の放電測定で使用したのと全く同一の粉末最終仕上げ段階の条件で放電加工していき（ステップＳ５０７）（図６（ｅ））、加工終了する（ステップＳ５０８）。
【００６３】
本実施の形態によれば、所定条件での放電ギャップが判明していれば、これと放電測定時の電極２の現在位置とから、微少加工追い込み量を算出して微少量加工するので、電極２の消耗量による誤差をキャンセルすることができ、また多数回の放電測定による累積誤差という弊害もない。よって、第１の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００６４】
また、被加工物３が未加工であっても最終仕上げまでの加工位置を正確に求めて加工できるので、円滑な自動加工を可能にすることができる。
【００６５】
また、放電測定の前加工は効率の高い条件で加工が可能であるので、加工代が多くても前加工での加工効率を悪化させることがない。
【００６６】
なお、本実施の形態は、被加工物３の熱的変位が小さい場合に特に有用であり、加工時間が短いものに適している。
【００６７】
（第３の実施の形態）
第１の実施の形態では、既加工面に対して微少量加工する場合の微少加工追い込み量を事前に把握しておき、放電測定時の電極２の現在位置を手がかりとして最終加工位置を設定したが、本第３の実施の形態では、未加工面に対して粗加工を経て微少量加工する場合に、被加工物の加工熱による変形や変位が消失してから微少加工追い込み量を実測し、これと放電測定時の電極２の現在位置とを手がかりとして最終加工位置を設定する。従って、構成としては第１の実施の形態（図１）と同様である。
【００６８】
図７は、本実施の形態における微少量放電加工の手順のフローチャートを示す図である。図８は、図７に対応して加工状況を示す模式図である。以下、図７及び図８を参照して説明する。
【００６９】
本実施の形態では、図８（ａ）に示すように被加工物３に既加工面がない状態から加工する。加工液の条件は第１の実施の形態と同様である。
【００７０】
まず、電極２を加工位置、すなわち被加工面３Ａの上方に移動させる（図７のステップＳ７０１）。そして、加工狙い深さを仕上げ寸法より浅め（数μ〜１０μ程度）に設定して、粗加工のときの条件、すなわち高出力の電流で加工する（ステップＳ７０２）（図８（ｂ））。
【００７１】
次いで、被加工物３の熱変形、熱変位が消失するに十分な時間が経過した後（例えば翌日）に、オペレータが微少加工追い込み量を実測する（ステップＳ７０３）。その後、加工を再開する（ステップＳ７０４）。
【００７２】
続くステップＳ７０５〜Ｓ７０９では、図２のステップＳ２０３〜Ｓ２０７と同様の手順で加工していく。すなわち、放電測定により粉末最終仕上げ段階の条件で電極２の現在位置を把握し、これに上記実測した微少加工追い込み量を加算して最終加工の狙い深さ位置を設定し、粉末最終仕上げ段階の条件で最終まで加工する（図８（ｃ）、（ｄ）、（ｅ））。
【００７３】
本実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の効果を奏するだけでなく、被加工物３の熱変形等を排除して微少加工追い込み量を求めるようにしたので、より高精度な微少量の追い込み加工を行うことができる。
【００７４】
本実施の形態は、放電ギャップが不明であってもよく、熱変形が大きい被加工物や加工時間が長い場合に特に有用である。
【００７５】
なお、上記各実施の形態では、形彫り放電加工での実施を例示したが、これに限るものでなく、例えばワイヤーカット放電加工で既加工面から微少量の追い込み加工をする場合にも適用可能である。この場合は、既加工面をワイヤ線で最終段階の条件で放電し、その位置から追い込み加工量分を加えて加工するようにすればよい。
【００７６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１、４によれば、熟練や煩わしい作業を要することなく微少量の追い込み加工を効率的に精度よく行うことができる。
【００７７】
本発明の請求項２、５によれば、微少量の追い込み加工を自動で精度よく行うことができる。
【００７８】
本発明の請求項３によれば、熱変形の影響を排除して微少量の追い込み加工をより高精度に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る放電加工装置の構成を示すブロック図である。
【図２】同形態における微少量放電加工の手順のフローチャートを示す図である。
【図３】図２に対応して加工状況を示す模式図である。
【図４】粉末放電加工による放電ギャップの再現性のテスト結果を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態における微少量放電加工の手順のフローチャートを示す図である。
【図６】図５に対応して加工状況を示す模式図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態における微少量放電加工の手順のフローチャートを示す図である。
【図８】図７に対応して加工状況を示す模式図である。
【図９】従来の加工の原点位置出しの手法を説明するための図である。
【図１０】加工面積と放電ギャップとの関係を示す図である。
【図１１】加工液に混入する粉末の濃度と放電ギャップとの関係を示す図である。
【符号の説明】
１  加工ヘッド
２  放電加工用電極
３  被加工物
３Ａ  被加工面
４  加工テーブル
１０  Ｚ軸方向位置検出装置（現在位置取得手段）
１１  自動制御装置（加工制御手段）
１２  コンピュータ数値制御装置（ＮＣ装置）（現在位置記憶部（手段）、間隙値記憶部（手段）、追い込み量記憶手段、現在位置記憶手段）
１３  電源制御装置
１４  放電回路
１６  コントローラ装置（追い込み量取得手段）
【図１】
0004463901.tif 000002
【図２】
0004463901.tif 000003
【図３】
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【図４】
0004463901.tif 000005
【図５】
0004463901.tif 000006
【図６】
0004463901.tif 000007
【図７】
0004463901.tif 000008
【図８】
0004463901.tif 000009
【図９】
0004463901.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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