(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器内に配置された陰極と、この陰極が発生する電子ビームが一方向に長く長手方向をもつ軌道面上の焦点部分に入射しＸ線を放出する陽極ターゲットと、この陽極ターゲットが連結した回転体と、この回転体との間に軸受が設けられ前記回転体とともに前記陽極ターゲットを回転可能に保持する固定体と、前記陰極と前記陽極ターゲットとの間に配置され反跳電子を補足する反跳電子トラップとを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記反跳電子トラップの面が、前記焦点部分の長手方向を挾んで、前記陽極ターゲットの前記焦点部分の前記軌道面に接する基準面に垂直に設けた軸に対し角度をもって前記電子ビームが前記焦点部分に入射する側と反対側に位置することを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項２】
反跳電子トラップの陽極ターゲット側の面は、焦点に対向する部分が深くその両側が徐々に浅くなり延長方向が焦点部分の長手方向と一致する筒状の凹面、あるいは、焦点に対向する部分が深くその両側が徐々に浅くなり延長方向が焦点部分の長手方向と一致する筒状の凹面で、かつ延長方向においてＸ線焦点に対応する位置から離れた部分が徐々に浅くなる楕円球状の凹面に形成されている請求項１記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項３】
反跳電子トラップの一部に、冷却媒体が流れる熱交換チャンバが設けられている請求項１または請求項２記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項４】
反跳電子トラップは、その一部に冷却媒体が流れる熱交換チャンバが設けられず、実質的に中実である請求項１または請求項２記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項５】
反跳電子トラップは、少なくとも一部が銅または銅合金の熱伝導部材で形成され、前記熱伝導部材上に、鉄またはニッケルまたはクロム、あるいは、鉄およびニッケル、クロムの少なくとも１つを主成分とする蓄熱部材を直接または間接的に接合した構造である請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項６】
蓄熱部材の温度がキュリーポイントを１００℃以上越えない範囲で使用する請求項５記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項７】
反跳電子トラップの陽極ターゲットに対向する側の少なくとも一部の表面が、ニオブおよびニオブ合金、モリブデン、モリブデン合金、タンタル、タンタル合金、タングステン、タングステン合金、レニウム、レニウム合金の中の１つを主とする材料で形成されている請求項１乃至請求項６のいずれか１つに記載の回転陽極型Ｘ管。
【請求項８】
反跳電子トラップの陽極ターゲットに対向する側の少なくとも一部の表面に、細かいフロスト状の凹凸が形成されている請求項１乃至請求項７のいずれか１つに記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項９】
反跳電子トラップの陽極ターゲットに対向する側の少なくとも一部の表面は、原子番号が４５以下の材料で被覆されていることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１つに記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項１０】
陰極は複数個の電子放出部を有し、この電子放出部が放出した電子ビームを制御するグリッド電極が設けられた請求項１乃至請求項９のいずれか１つに記載の回転陽極型Ｘ線管。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は回転陽極型Ｘ線管に関する。
【０００２】
【従来の技術】
回転陽極型Ｘ線管は、Ｘ線を放出する陽極ターゲットを回転機構によって回転可能に支持し、高速回転する陽極ターゲットに対して電子ビームを照射し、陽極ターゲットからＸ線を放射させる構造になっている。陽極ターゲットを支持する回転機構は、陽極ターゲットが連結した回転体およびこの回転体内部に嵌合した固定体などから構成され、回転体と固定体間に軸受が設けられている。
【０００３】
回転陽極型Ｘ線管の軸受には、ボールベアリングのようなころがり軸受、あるいは、軸受面にらせん溝を形成し、ガリウム（Ｇａ）やガリウムーインジウムー錫（Ｇａ−Ｉｎ−Ｓｎ）合金のような液体金属潤滑剤を軸受間隙に満たした動圧式すべり軸受が用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
回転陽極型Ｘ線管は、陰極から放出された電子ビームが陰極と陽極間の電位勾配で加速収束され、たとえば１２０〜１５０ｋｅＶのエネルギーをもって陽極ターゲットに衝突し、陽極ターゲットの軌道面上にＸ線発生源となる焦点を形成する。高いエネルギーの電子が焦点に衝突すると、電子は急速に減速しＸ線を放出する。
【０００５】
陽極ターゲットに衝突する電子の運動エネルギーはその１％程度のわずかな部分がＸ線に変換される。残りのエネルギーは熱に変換され、陽極ターゲットを加熱する。陽極ターゲットの熱は、より大量のＸ線を放出させるために電子ビーム出力をより増加させる場合、あるいは、より頻繁にＸ線を放出させる場合、より長時間に亙りＸ線を連続的に放出させる場合などに障害となり、回転陽極型Ｘ線管の高性能化を妨げる原因になっている。
【０００６】
また、陽極ターゲットに衝突する電子の約５０％が後方に散乱されることが知られている。後方に散乱した電子（以下、反跳電子という）は、衝突した直後、陽極ターゲットの表面から遠ざかる。その後、陰極と陽極間の電位勾配によって陽極ターゲット方向に加速され、そのほとんどが陽極ターゲットの焦点から離れた表面に再び衝突する。陽極ターゲットに反跳電子が再衝突すると、陽極ターゲットを加熱させる。また、利用されないＸ線いわゆる焦点外Ｘ線を放射させ、Ｘ線画像の明瞭度を損う。
【０００７】
上記したように、反跳電子は、陽極ターゲットを加熱させるだけで、利用可能なＸ線の発生に寄与せず、回転陽極型Ｘ線管の高性能化を困難にしている。
【０００８】
従来、反跳電子による陽極ターゲットの加熱を減少させる方法として、たとえば、陰極と陽極ターゲットとの間に、反跳電子を捕捉するシールド構造体を配置する方法がある（米国特許第４３０９６３７号明細書、特表平１１−５１０９５５公報参照）。
【０００９】
シールド構造体は比較的薄い金属壁から構成され、反跳電子が衝撃する面と反対側の面を冷却面とし、冷却面を冷却媒体で冷却する構造になっている。この場合、反跳電子の衝撃で生じた金属壁の熱は、熱伝導によって冷却面に伝熱し、ただちに冷却媒体に熱交換される。
【００１０】
しかし、上記した方法は、反跳電子の衝撃で発生する熱が冷却媒体による熱交換の能力を上回ると、金属壁の温度が上昇し、金属壁の表面が溶融する場合がある。また、金属壁から管内に不所望のガスを放出し、耐電圧性能を低下させる場合がある。
【００１１】
そのため、シールド構造体を用いる方法は、高出力が要求されるＣＴ装置用のＸ線管には適用が困難である。たとえば、連続７２ｋＷのパワーのＣＴ装置に適用する場合、反跳電子が捕捉される割合を８０％とすると、約２９ｋＷの熱を冷却媒体に直接伝達させる必要がある。現状のＣＴ装置に搭載されている冷却装置は、冷却性能が最大でも１０ｋＷに満たず、ＣＴ装置への適用が困難である。
【００１２】
また、シールド構造体を用いる方法には以下の問題がある。
【００１３】
陰極が発生した電子は陽極ターゲットの軌道面に対しほぼ垂直に入射する。たとえばＣＴ装置の場合、入射角度は１０度以内になっている。陽極ターゲットの軌道面に対し垂直に近い方向から電子が入射すると、図８に示すように、焦点近傍における反跳電子の数密度分布Ｐは、電子が入射する方向ＩＮ（θ＝０°）で最大となり、入射方向ＩＮを軸とする軸対象になる。
【００１４】
図８の横軸は単位立体角あたりの反跳電子の数（ｄη／ｄΩ）を示し、基準点０は焦点位置に対応している。この分布の場合、反跳電子は焦点から離れるにしたがって、電界の影響で陰極から遠ざけられ、基準方向たとえば軸まわりでは０となる。
【００１５】
そのため、シールド構造体を用いる場合、反跳電子は、入射電子の入射方向を中心とする狭い同心円状の領域に集中して捕捉される。したがって、シールド構造体の一部に集中的に反跳電子が衝撃し、表面温度が局部的に上昇する。
【００１６】
また、反跳電子を捕捉する方法として、シールド構造体を用いる方法とは別に、Ｘ線透過窓接合用の穴をもつ熱蓄積アセンブリを真空容器の一部に設ける方法がある（特開２０００−２００６９５）。熱蓄積アセンブリは、熱交換チャンバが内部に設けられ、熱交換チャンバ内に冷却媒体を流し、熱蓄積アセンブリを冷却する構造になっている。
【００１７】
熱蓄積アセンブリを用いる方法は、熱交換チャンバ内に冷却媒体を流すため、冷却媒体の導入口がＸ線放射窓の近傍に設けられる。したがって、Ｘ線管を管容器内に収納する場合に、Ｘ線管と管容器間の隙間を広くしなければならず、管容器が大きくなる。また、熱交換チャンバ内に冷却媒体を流す必要から冷却媒体用の通路を追加しなければならず、管容器の外部でも、ホースなど冷却媒体通路がこれまでよりも多く接続される。その結果、Ｘ線管を組み込むＸ線管装置が大型化する。また、Ｘ線管装置を搭載するＸ線撮影装置も、Ｘ線管装置との干渉を避ける必要から大型化する。
【００１８】
また、熱蓄積アセンブリを用いる方法の場合も、シールド構造体を用いる方法の場合と同様、反跳電子が熱蓄積アセンブリの一部に集中して捕捉され、表面温度が局部的に高くなる。
【００１９】
本発明は、上記した欠点を解決し、反跳電子トラップの局部的な温度上昇を抑えた回転陽極型Ｘ線管を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
この発明は、真空容器内に配置された陰極と、この陰極が発生する電子ビームが一方向に長く長手方向をもつ軌道面上の焦点部分に入射しＸ線を放出する陽極ターゲットと、この陽極ターゲットが連結した回転体と、この回転体との間に軸受が設けられ前記回転体とともに前記陽極ターゲットを回転可能に保持する固定体と、前記陰極と前記陽極ターゲットとの間に配置され反跳電子を補足する反跳電子トラップとを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記反跳電子トラップの面が、前記焦点部分の長手方向を挾んで、前記陽極ターゲットの前記焦点部分の前記軌道面に接する基準面に垂直に設けた軸に対し角度をもって前記電子ビームが前記焦点部分に入射する側と反対側に位置することを特徴としている。
【００２１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態について図１を参照して説明する。
【００２２】
符号１１は電子ビームを発生する陰極で、陰極１１は回転陽極型Ｘ線管を構成する真空容器（図示せず）内に設けられている。陰極１１に対向して円板状の陽極ターゲット１２が配置されている。
【００２３】
陽極ターゲット１２は回転機構１３によって回転可能に支持され、たとえば管軸に一致する回転軸ｍを中心に高速で回転する構造になっている。回転機構１３はたとえば陽極ターゲット１２が連結された円筒状の回転体１３ａおよびこの回転体１３ａ内に嵌合された固定体１３ｂなどから構成され、回転体１３ａおよび固定体１３ｂの嵌合部分に動圧式すべり軸受が設けられている。動圧式すべり軸受は、たとえば回転体１３ａおよび固定体１３ｂの軸受面の少なくとも一方にらせん溝を設け、らせん溝や軸受間隙などに液体金属潤滑剤を供給して構成されている。
【００２４】
陽極ターゲット１２は、陰極１１側に位置する表面の外周部分にＸ線を放出する軌道面１４が環状に設けられている。軌道面１４は回転軸ｍに対して傾斜し、回転軸ｍに近い内側１４ａが高く外側１４ｂが低くなっている。そして、陽極ターゲット１２と陰極１１間に反跳電子トラップ１５が配置されている。
【００２５】
反跳電子トラップ１５は、陽極ターゲット１２と陰極１１間に位置するほぼ板状の突出部１６および管軸方向に伸びる角柱状の冷却部１７などから構成されている。突出部１６は、陰極１１から放出され陽極ターゲット１２の軌道面１４に向う電子ビームｅの進行方向に対して直交する方向に伸び、電子ビームｅの通路部分に貫通穴１８が設けられている。冷却部１７には、絶縁油などの冷却媒体が矢印Ｙ１方向に出入りする入口１７ａおよび出口１７ｂを設け、冷却用通路が内部に形成されている。
【００２６】
反跳電子トラップ１５の陽極ターゲット１２と対向する下面１９は、たとえば後述するＸ線焦点の真上に相当する位置が深くその両側が徐々に浅くなるほぼ円筒状の凹面に形成されている。このとき、Ｘ線焦点の形状の長さがたとえば一方向で長い場合、凹面を形成する筒状の延長方向とＸ線焦点の長手方向を一致させている。また、筒状の延長方向において、Ｘ線焦点に対応する位置から離れた部分が徐々に浅くなる、いわゆる楕円球状の凹面にすることもできる。
【００２７】
上記した構成において、陰極１１が発生した電子ビームｅは、反跳電子トラップ１５の貫通穴１８を通って、陽極ターゲット１２方向に進み、その軌道面１４上に焦点Ｆを形成し、焦点ＦからＸ線２０が放出される。反跳電子ｅｒはそのほとんどが、電子ビームｅが入射する側と反対側に位置する反跳電子トラップ１５の下面１９に捕捉される。
【００２８】
ここで、反跳電子トラップを断面にした構造について図２を参照して説明する。図２は図１の焦点Ｆ部分で断面にした図で、図１に対応する部分には同じ符号を付し重複する説明は一部省略する。
【００２９】
円Ｒ内を拡大した図（ｂ）に示すように、反跳電子トラップ１５の反跳電子ｅｒを捕捉する領域は、サンドブラスト加工などによって細い凹凸２１が表面に形成されている。凹凸２１を設けた場合、反跳電子ｅｒの衝撃によって発生する２次散乱電子の陽極ターゲット１２への帰還が減少し、陽極ターゲット１２の加熱や焦点外Ｘ線の放出が抑えられる。
【００３０】
次に、陽極ターゲット１２に入射する電子ビームｅの入射角度、および、焦点Ｆから放出されるＸ線の取り出し方向について図３を参照して説明する。図３では、図１に対応する部分には同じ符号を付し重複する説明を一部省略する。
【００３１】
陽極ターゲット１２の表面たとえば焦点Ｆ部分の軌道面１４に接する平面を基準面Ｓとし、この基準面Ｓ上の焦点Ｆ部分に垂直に設けた基準軸Ｊに対する電子ビームｅの電子入射角をθｅとし、また、基準面Ｓに対するＸ線の取り出し方向ＸすなわちＸ線の放出角をθｘとした場合、電子入射角θｅ≧Ｘ線放出角θｘに設定している。Ｘ線はある角度範囲に広がりをもって放出されるが、ここでは、その広がりの中心をＸ線の取り出し方向Ｘとしている。
【００３２】
次に、電子入射角が基準軸に対しある大きさをもつ場合の反跳電子数分布について図４を参照して説明する。図４の横軸は単位立体角あたりの反跳電子の数（ｄη／ｄΩ）を示している。
【００３３】
図の基準点０は焦点Ｆ位置に対応し、焦点Ｆ上に垂直に設けられた基準軸Ｊに対し電子の入射方向ＩＮがある角度θもつ場合（図はθ＝６０°）、焦点近傍における反跳電子の数密度分布Ｐは、入射電子の正反射方向たとえば角度−θ方向で最大となり、その方向からずれるにしたがってなだらかに減少し、図８の基準軸Ｊの方向から電子が入射する場合よりも広い角度範囲にわたって分布する。この分布は、反跳電子が焦点から離れた位置においても、電界により反跳電子が曲げられないため、正反射方向でなだらかな最大値となる分布となる。したがって、反跳電子が反跳電子トラップの広い範囲で捕捉され、局部的な温度上昇が防止される。
【００３４】
なお、反跳電子の衝撃で生じた反跳電子トラップの熱は、熱伝導によって反跳電子トラップ全体に伝わり蓄積され、反跳電子トラップの温度を上昇させる。その後、反跳電子トラップの熱輻射作用、あるいは、冷却媒体への緩やかな熱伝達作用により放散される。
【００３５】
上記の構成では、反跳電子トラップの陽極ターゲット側の表面を円筒状に形成している。この場合、反跳電子トラップが反跳電子を捕捉する面と焦点の距離が均一化し、局部的な加熱が防止される。
【００３６】
上記の実施形態の場合、反跳電子トラップの一部に、絶縁油などの冷却媒体が流れる冷却用通路を設けている。反跳電子トラップ内に流す冷却媒体は、Ｘ線管やステータコイルの冷却用に管容器内に流れる絶縁油を利用できる。そのため、反跳電子トラップ内に冷却媒体を供給するための流路を新しく増やす必要がなく、Ｘ線管装置が大型化することもない。なお、冷却用通路を設けずに、電子ビームが通る貫通孔などを除いて、反跳電子トラップを実質的に中実な構造にすることもできる。
【００３７】
上記した構成によれば、反跳電子トラップは、比較的短時間の高いパワーのＸ線の照射で加熱される。この熱は、反跳電子トラップ全体に蓄積され、その後のＸ線の照射が中断される比較的長い時間で緩やかに放散される。この場合、反跳電子トラップの陽極ターゲットと反対側の面たとえば真空容器に対向する側の面に複数の凹凸溝を形成して放熱面積を広くし、あるいは、黒化皮膜を設けて熱放出を向上させれば、より良好な熱放散効率が得られる。
【００３８】
また、反跳電子トラップの陽極ターゲット側の表面の少なくとも一部を、耐熱性の高い材料で構成すれば、高温時の溶融や有害なガス発生を少なくできる。耐熱材料には、ニオブおよびニオブ合金、モリブデン、モリブデン合金、タンタル、タンタル合金、タングステン、タングステン合金、レニウム、レニウム合金の中の一つを主とする材料などが使用される。
【００３９】
また、反跳電子トラップの陽極ターゲット側の表面を原子番号が４５以下の材料で被覆すれば、反跳電子の衝撃で発生する２次散乱電子の数を低減できる。
【００４０】
また、反跳電子トラップの少なくとも一部、たとえば反跳電子トラップの延長方向で陽極ターゲット側の表面部分に銅または銅合金からなる熱伝導部材で形成し、たとえば陽極ターゲットと反対側の熱伝導部材上に、鉄やニッケル、クロムまたはこれらを主成分とする蓄熱部材を直接または間接的に軸方向に積層して接合した構造にすれば、反跳電子トラップの重量を大きくすることなく、蓄熱容量を増加できる。
【００４１】
ここで、蓄熱部材として使用される鉄やニッケル、クロムなどの単位体積あたりの定圧比熱（Ｃｐ・ρ）の温度依存性について図５を参照して説明する。図５の横軸は温度Ｔ（℃）、縦軸は定圧比熱×密度（Ｃｐ・ρ）（Ｊ／cm3 Ｋ）である。
【００４２】
温度ＴがＴ１からＴ２に変化する場合に、体積Ｖに蓄積される熱量Ｑは、
0004409120.tif 000002
で表される。
【００４３】
したがって、上記の蓄熱部材を、キュリーポイントを１００℃を越えない範囲の温度で使用すれば、同じ体積の銅（Ｃｕ）やモリブデン（Ｍｏ）に比べて蓄積効果が得られる。たとえば鉄（Ｆｅ）はキュリーポイントが７６０℃と高く、大きい蓄積効果が得られる。ニッケル（Ｎｉ）も、鉄より小さいものの有効な蓄熱効果が得られる。しかし、ニッケルはキュリーポイントが３６０℃と低くなっている。鉄とニッケルを含む合金は、両者の中間的な効果が得られる。鉄５０％−ニッケル５０％合金の１つの例では、中間の蓄熱効果を有し、キュリーポイントは５１０℃となっている。
【００４４】
次に、本発明の他の実施形態について図６の斜視図を参照して説明する。図６は、図１に対応する部分には同じ符号を付し重複する説明を一部省略する。
【００４５】
この実施形態の場合、陽極ターゲット１２は、図示上方の面が、たとえば中央に位置する内側面６１、内側面６１の外側に環状に設けられた中間面６２、中間面６２の外側に環状に設けられた外側面６３の３つの面から構成されている。
【００４６】
内側面６１は回転軸に対してほぼ直交する向きに設けられ、その中心には陽極ターゲット１２を支持する回転体が貫通する貫通穴６１ａが形成されている。中間面６２は、内側６２ａよりも外側６２ｂの方が下がる傾斜面に形成されている。外側面６３は中間面６２と同じ傾斜の向きでより急な傾斜面に形成され、この外側面６３にＸ線を放出する軌道面１４が設けられている。
【００４７】
そして、陽極ターゲット１２の外側面６３と対向する位置に陰極１１が配置され、陽極ターゲット１２と陰極１１間に反跳電子トラップが設けられている。
【００４８】
この場合も、図１の実施形態と同様、陽極ターゲット１２の表面たとえば焦点Ｆ部分の軌道面１４に接する平面を基準面Ｓとし、この基準面Ｓ上の焦点Ｆに垂直に設けた基準軸Ｊに対する電子ビームｅの電子入射角θｅとし、また、基準面Ｓに対するＸ線の取り出し方向ＸであるＸ線放出角θｘとした場合、電子入射角θｅ≧Ｘ線放出角θｘに設定されている。
【００４９】
次に、本発明の他の実施形態について図７を参照して説明する。図７は焦点を通る部分における縦断面図で、図１に対応する部分には同じ符号を付し重複する説明を一部省略する。
【００５０】
この実施形態はＸ線管が３極管構造になっている。たとえば陰極１１の周囲に絶縁物７１を介してグリット電極７２が取り付けられている。グリット電極７２は電子ビームｅが適正な焦点を形成するように収束し、あるいは、反跳電子ｅｒを反跳電子トラップ側に集めるための電界を形成する。この場合、グリット電極によって、反跳電子ｅｒがＸ線を取り出すＸ線窓に行かないような電界を形成させることもできる。また、反跳電子トラップ１５の陽極ターゲット１２と反対側の面に接して、矢印Ｙｒで示すように、たとえば冷却媒体が流れる構造になっている。
【００５１】
なお、上記の各実施形態は、Ｘ線管の陰極に１つの電子放出部が設けられる場合で説明している。しかし、本発明は、陰極に複数の電子放出部を設け、これらの電子放出部を切り換え、たとえば形状が相違する複数の焦点を軌道面に形成するマルチフォーカスのＸ線管にも適用できる。この場合、グリット電極があると、たとえば電子放出部の切り換えに対応してグリット電圧を制御すれば、複数の電子放出部から放出された電子を陽極ターゲット上の軌道面のほぼ同一の位置に焦点を形成でき、ＣＴ装置用などに有効である。
【００５２】
また、上記の実施形態において、Ｘ線管の電極や反跳電子トラップに電圧を印加する場合、Ｘ線管を構成する真空容器を接地し、陰極に負の電圧を、反跳電子トラップおよび陽極に同じ正の電圧を印加する、いわゆる中性点接地構造にすることができる。また、真空容器および反跳電子トラップを接地し、陰極に負の電圧を、陽極に同じ正の電圧を印加する中性点接地構造にすることもできる。また、真空容器および反跳電子トラップ、陽極を接地し、陰極に負の電圧を印加する陽極接地構造にすることもできる。
【００５３】
また、反跳電子トラップの一部を真空容器の所定箇所に接合し、真空容器の一部として用いることができ、あるいは、真空容器に取り付けられた所定部材に接合する構造にすることもできる。
【００５４】
【発明の効果】
本発明によれば、反跳電子トラップの局部的な温度上昇を抑えた回転陽極型Ｘ線管を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を説明するための斜視図である。
【図２】本発明の実施形態を説明するための断面図である。
【図３】本発明の動作を説明するための斜視図である。
【図４】本発明の特性を説明するための特性図である。
【図５】本発明の他の特性を説明するための特性図である。
【図６】本発明の他の実施形態を説明するための斜視図である。
【図７】本発明の他の実施形態を説明するための斜視図である。
【図８】従来例の特性を説明するための特性図である。
【符号の説明】
１１…陰極
１２…陽極ターゲット
１３…回転機構
１３ａ…回転体
１３ｂ…固定体
１４…陽極ターゲットの軌道面
１５…反跳電子トラップ
１６…反跳電子トラップの突出部
１７…反跳電子トラップの冷却部
１８…反跳電子トラップの下面
１９…貫通穴
２０…Ｘ線
Ｓ…基準面
Ｊ…基準軸
ｅ…電子ビーム
θｅ…電子ビームの入射角度
θｘ…ターゲット角度
【図１】
0004409120.tif 000003
【図２】
0004409120.tif 000004
【図３】
0004409120.tif 000005
【図４】
0004409120.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
0004409120.tif 000009
【図８】
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