(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に環状の凹部が設けられたケーシングと、
前記環状の凹部を閉塞するカバー部材と、
前記環状の凹部に配設されてピストンの位置を検出する検出素子と、
ケーシングの底部に設けられるシール部材と、
を有してシリンダチューブ内のシリンダ室に収装されたピストンの位置を検出する位置検出センサであって、
前記ケーシングとカバー部材とを貫通して前記シリンダチューブの側壁に螺入するねじ部材を備え、
前記ねじ部材の軸心を中心として前記ケーシングとカバー部材とが一体的に回動して前記検出素子の位置を変位自在とすることを特徴とする位置検出センサ。
【請求項２】
請求項１記載の位置検出センサにおいて、
前記ピストンはマグネットからなるリング体を有し、前記リング体の半径方向に沿って着磁することにより、リング体の大径な外周面と小径な内周面とにそれぞれ磁極が形成されることを特徴とする位置検出センサ。
【請求項３】
請求項１または２記載の位置検出センサにおいて、
前記ケーシングと前記カバー部材は円形状に形成されるとともに、前記ケーシングとカバー部材を貫通して、前記ねじ部材を挿入する取付用孔部を有することを特徴とする位置検出センサ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の位置検出センサにおいて、
前記センサ本体の外周面を外部に向かって凸状の湾曲面または球面と面取り部とによって形成することを特徴とする位置検出センサ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の位置検出センサにおいて、
前記環状の凹部が、樹脂製材料又はゴム製材料によって前記検出素子をモールドして固定することを特徴とする位置検出センサ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の位置検出センサにおいて、
前記カバー部材とねじ部材との間には、取付用孔部に対する液体等の進入を阻止するシール部材が設けられることを特徴とする位置検出センサ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の位置検出センサにおいて、
前記ケーシングの底面部には、シリンダへの取付面の液密性を保持するシール部材が設けられることを特徴とする位置検出センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、検出位置の調整機能を設けても、小型・軽量化を達成することが可能な位置検出センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、ワークの搬送および位置決め、あるいは種々の産業機械を駆動させる駆動手段として流体圧シリンダが用いられている。この流体圧シリンダは、例えば、小型化、オプション設定等の多機能化によるユーザの種々のニーズに対応するために、シリンダチューブおよび前記シリンダチューブに付設されるスイッチを含む付属部品等が備えられており、結果的に複雑な外形形状を有するに至っている。
【０００３】
また、シリンダチューブに付設されるスイッチには、ピストンの検出位置を変位させることが可能な検出位置調整機構が設けられたものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術に係るスイッチでは、検出位置調整機構が設けられていないスイッチ単体の場合と比較して、該検出位置調整機構を設けることによってその分だけスイッチ本体の形状が大きくなり、スイッチの小型・軽量化を達成することが難しいという問題がある。
【０００５】
また、前記の従来技術に係るスイッチが付設されたシリンダを食品機械等に組み込んだ場合、食品機械における必須条件である水等による洗浄作業や殺菌作業の後に、シリンダチューブの溝やスイッチ等の凹凸部分に液体が溜まりやすい構造となっている。これらの凹凸部分に液体等が滞留することによって雑菌の繁殖を招き、食品機械等のワークである食品そのものに雑菌を付着させることによる衛生上の問題が懸念されている。
【０００６】
このような理由から、シリンダチューブおよびスイッチの外表面に液体が溜まりにくく、付着した液体が自然に滴り落ちることにより、液体による雑菌の繁殖を防止するという衛生面での要求が高まっている。
【０００７】
本発明は、前記の問題点に鑑みてなされたものであり、センサ本体の形状が大きくならず、小型・軽量化を達成することができ、しかも、外表面に液体が溜まりにくく、衛生上の問題を回避することが可能な位置検出センサを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、内部に環状の凹部が設けられたケーシングと、前記環状の凹部を閉塞するカバー部材と、前記環状の凹部に配設されてピストンの位置を検出する検出素子と、ケーシングの底部に設けられるシール部材と、を有してシリンダチューブ内のシリンダ室に収装されたピストンの位置を検出する位置検出センサであって、前記ケーシングとカバー部材とを貫通して前記シリンダチューブの側壁に螺入するねじ部材を備え、前記ねじ部材の軸心を中心として前記ケーシングとカバー部材とが一体的に回動して前記検出素子の位置を変位自在とすることを特徴とする。
【０００９】
この場合、前記マグネットはピストンに装着されたリング体からなり、前記リング体の半径方向に沿って着磁することにより、リング体の大径な外周面と小径な内周面とにそれぞれ磁極を形成するとよい。このようにラジアル着磁することにより、検出素子の回動角度に影響されることがなく、マグネットの磁界を確実に検知することができる。
【００１０】
また、前記センサ本体は、略円盤状に形成されたケーシングと、前記ケーシングに形成された凹部を閉塞する略円板状のカバー部材と、前記ケーシングおよびカバー部材を貫通する取付用孔部に挿入されるねじ部材とを有し、前記ケーシングおよびカバー部材を、取付用ねじの軸心を回動中心として周方向に沿って一体的に回動自在に設けている。これより構成が簡素化され、好適である。
【００１１】
この場合、前記ケーシングに形成された環状の凹部内には、検出素子および基板を、例えば、樹脂製材料によってモールドした樹脂体として装着し、前記検出素子はケーシングと一体的に周方向に沿って回動自在に設けられる。なお、前記検出素子および基板は、樹脂製材料に代替してゴム製材料等によってモールドしてもよい。
【００１２】
なお、前記センサ本体の外周面を外部に向かって凸状の湾曲面または球面と面取り部とによって形成することにより、該センサ本体の外表面に付着した液体が自然に滴り落ちるため、液体により雑菌が繁殖することがなくなり、衛生上の問題が回避される。その際、前記カバー部材とねじ部材との間に、取付用孔部に対する液体等の進入を阻止するシール部材を設け、しかも、前記ケーシングの底面部に、シリンダへの取付面の液密性を保持するシール部材を設けると好適である。
【００１３】
本発明によれば、マグネットの磁界を検知する検出素子の検出位置を調整する際、センサ本体の中心部を回動中心として周方向に沿って回動させればよいため、センサ本体の形状が大きくなることがなく、小型・軽量化が達成される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明に係る位置検出センサについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１５】
図１は、本発明の実施の形態に係る位置検出センサをシリンダの側面に付設した状態を示す斜視図である。
【００１６】
このシリンダ１０は、略円筒状に形成され、所定間隔離間する一組の圧力流体出入ポート１２ａ、１２ｂが設けられたシリンダチューブ１４と、前記シリンダチューブ１４の一端部に固着されたヘッドカバー１６と、前記シリンダチューブ１４の他端側のねじ孔に嵌着されたロッドカバー１８とを有する（図３参照）。
【００１７】
なお、前記シリンダチューブ１４には、軸線方向に沿って貫通する４個の取付用孔部２０ａ〜２０ｄが形成され、前記取付用孔部２０ａ〜２０ｄのねじ部に図示しないねじ部材を螺入し、あるいは該取付用孔部２０ａ〜２０ｄに対して図示しないボルトを挿入することにより、該シリンダ１０を壁面等に簡便に取り付けることができる。
【００１８】
さらに、シリンダ１０は、図３に示されるように、前記シリンダチューブ１４内にヘッドカバー１６とロッドカバー１８とによって閉塞されたシリンダ室２２に沿って変位するピストン２４と、一端部が前記ピストン２４に係着されその他端部が外部に露呈するピストンロッド２６と、前記ロッドカバー１８の環状凹部に装着され、ピストンロッド２６の外周面を囲繞する孔部２８が形成されたスクレーパ３０とを有する。
【００１９】
なお、前記一組の圧力流体出入ポート１２ａ、１２ｂは、それぞれ通路３２ａ、３２ｂを介してシリンダ室２２と連通するように設けられている。
【００２０】
図２に示されるように、前記シリンダチューブ１４の外周面は、周方向に沿って、一組の圧力流体出入ポート１２ａ、１２ｂが形成された上面３４と、前記上面３４に連続して所定角度傾斜する一組の傾斜面３６ａ、３６ｂと、前記傾斜面３６ａ、３６ｂに連続し且つ相互に対向する一組の側面３８ａ、３８ｂと、前記一組の側面３８ａ、３８ｂにそれぞれ連続する底面４０とを含む。
【００２１】
前記上面３４と傾斜面３６ａ、３６ｂとの境界部分には、それぞれ所定の曲率半径からなる第１面取り部４２が形成され、また、前記傾斜面３６ａ、３６ｂと側面３８ａ、３８ｂとの境界部分には、それぞれ所定の曲率半径からなる第２面取り部４４が形成され、さらに、前記側面３８ａ、３８ｂと底面４０との境界部分には、それぞれ所定の曲率半径からなる第３面取り部４６が形成されている。
【００２２】
この場合、シリンダチューブ１４の外周面を構成する上面３４、一組の傾斜面３６ａ、３６ｂ、一組の側面３８ａ、３８ｂおよび底面４０は、それぞれ、所定の曲率半径からなり、外部に向かって凸状の湾曲面によって形成されている。
【００２３】
このように、シリンダチューブ１４の周方向に沿った外周面を全て外部に向かって凸状の湾曲面と第１〜第３面取り部４２、４４、４６とによって構成し、さらに、前記周方向に沿った外周面を除いた他の側面を立設面（略鉛直面）４８に形成することにより、シリンダチューブ１４の外表面に付着した液体が自然に滴り落ちるような形状に設けられている。
【００２４】
従って、シリンダチューブ１４の周方向に沿った外周面に液だまりとなる凹部が形成されていないため、液だまりが発生することがなくなり、液体により雑菌が繁殖するという衛生上の問題を回避することができる。
【００２５】
図３に示されるように、前記ヘッドカバー１６はシリンダチューブ１４の孔部内に加締められ、該ヘッドカバー１６とシリンダチューブ１４の連結部位は、シリンダ室２２を気密に保持するとともに、外部からの液体等の進入を阻止するメタルシールとして機能するように形成されている。
【００２６】
前記ロッドカバー１８の内周面には環状溝を介してロッドパッキン５０が装着され、前記ロッドパッキン５０によってピストンロッド２６の外周面を囲繞することにより、シリンダ室２２が気密および液密に保持される。また、前記ロッドカバー１８の内周面に形成された環状凹部には円筒状のブッシュ５２が装着され、該ロッドカバー１８の端部に形成された環状凹部には、ゴム製材料によって金属片５４がモールドされたスクレーパ３０が装着されている。前記スクレーパ３０とロッドカバー１８との間には、ピストンロッド２６の外周面に付着された潤滑油の油溜まり部として機能する環状の室５６が形成されている。
【００２７】
ピストン２４の外周面には、シリンダ室２２の内壁面に摺接して該シリンダ室２２を一方のシリンダ室２２ａと他方のシリンダ室２２ｂとに分割するピストンパッキン５８が環状溝を介して装着され、さらに、ピストンパッキン５８に近接する部位には、前記ピストン２４を囲繞するリング体からなるマグネット６０が環状溝を介して装着されている。
【００２８】
この場合、前記マグネット６０は、リング体の内周面側にＳ極（あるいはＮ極）の磁性を有し、リング体の外周面側にＮ極（あるいはＳ極）の磁性を有するように、ピストン２４の半径方向（ラジアル方向）に沿ってその極磁性が着磁（ラジアル着磁）されている（図９および図１１参照）。
【００２９】
シリンダチューブ１４とロッドカバー１８との軸線方向に沿った結合部位の一端部にはゴム等の可撓性材料によって形成された環状のシール部材６２が設けられ、前記シール部材６２の一部分は、図４に示されるように、ロッドカバー１８に形成された環状突起部６４とシリンダチューブ１４の内周面６６との狭小な離間間隔によって挟圧された状態で装着されている。
【００３０】
すなわち、周方向に沿ってその肉厚が略一定に形成された環状のシール部材６２には、ロッドカバー１８の外周面に形成された環状突起部６４とシリンダチューブ１４の内周面６６との間で挟圧されるつぶし代が予め設けられている。従って、シリンダチューブ１４とロッドカバー１８との結合部位に対して、外部から液体等が進入しようとしても、前記シール部材６２の挟圧部分６８によって確実にシールされ、シリンダチューブ１４の内部への液体等の進入が阻止される。
【００３１】
なお、シリンダチューブ１４の側面には、後述する位置検出センサ１００を取り付けるためのねじ穴（図示せず）が形成されている。
【００３２】
次に、本発明の実施の形態に係る位置検出センサ１００を図６乃至図１２に示す。
【００３３】
この位置検出センサ１００は、例えば、アルミニウム合金、ステンレスあるいは合成樹脂等の材料からなり、略円盤状に形成されたケーシング１０２と、エポキシ樹脂等の樹脂製材料によって形成され、前記ケーシング１０２の環状の凹部１０４内に装着された樹脂体１０６と、前記ケーシング１０２の上面部に装着されて前記凹部１０４を閉塞する略円板状のカバー部材１０７とを有する（図８参照）。
【００３４】
前記樹脂体１０６の内部には、検出素子１０８が配設された図示しない基板が埋設され、前記基板にはケーシング１０２の外部に露呈するリード線１１２の一端部が電気的に接続されている。なお、前記検出素子１０８は、例えば、ホール素子、磁気抵抗素子等の無接点方式のものを用いると好適である。
【００３５】
前記ケーシング１０２およびカバー部材１０７の略中心部には、図８に示されるように、取付用孔部１１４が貫通して形成され、前記取付用孔部１１４には六角形状の頭部を有するねじ部材１１６が挿入される。従って、ケーシング１０２およびカバー部材１０７は、シリンダ１０の側面にねじ締結された前記ねじ部材１１６を緩めることにより、該ねじ部材１１６の軸心を回動中心として周方向に沿って回動自在に設けられている。
【００３６】
なお、前記ねじ部材１１６の頭部とカバー部材１０７の上面部との間には、取付用孔部１１４内に液体等が進入することを阻止するためのパッキン１１８が介装されている。
【００３７】
また、ケーシング１０２の底面部には周縁部に沿って円形状のリング体からなるガスケット１２０が装着され、前記ガスケット１２０によってシリンダ１０の取付面とケーシング１０２の底面部との間に液体等が進入することを阻止している。
【００３８】
位置検出センサ１００は、図８に示されるように、所定の曲率半径（例えば、曲率半径Ｒが約２００ｍｍ）によって形成された外部に向かって凸状に湾曲する上面部１２２と、前記上面部１２２に連続する円周状の側面部１２４と、前記上面部１２２と側面部１２４との境界部分に形成され、所定の曲率半径（例えば、曲率半径Ｒが１．０ｍｍ）によって形成された面取り部１２６とを有する。
【００３９】
なお、前記上面部１２２を、前記凸状の湾曲面に代替して、所定の曲率半径からなる球面によって形成すると好適である。
【００４０】
本発明の実施の形態に係る位置検出センサ１００が付設されたシリンダ１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００４１】
先ず、位置検出センサ１００の取付用孔部１１４にねじ部材１１６を挿入し、前記ねじ部材１１６の一端部をシリンダ１０の図示しないねじ穴に螺入することにより、シリンダ１０の側面３８ｂに位置検出センサ１００が装着される（図１参照）。
【００４２】
この場合、図９に示されるように、マグネット６０の中心（図示せず）を通る半径外方向の延長線Ｂ上に検出素子１０８が位置するように配設し、このときの検出素子１０８の回動位置を０度とする。
【００４３】
次に、図１０に示されるように、位置検出センサ１００の中心Ｏ（ねじ部材１１６の軸心）を回動中心として所定方向に回動させ、検出センサ１０８の検出位置を所定位置に調整する。その際、位置検出センサ１００を前記回動位置０度のときから約１８０度だけ周方向に沿って回動させ回動位置１８０度とすることにより、位置検出センサ１００の最大調整量を、位置検出センサ１００の中心Ｏから検出素子１０８までの半径Ｃの２倍の距離とすることができる。
【００４４】
続いて、図示しない圧力流体供給源から一方の圧力流体出入ポート１２ａに圧力流体（例えば、エアー）を供給する。前記一方の圧力流体出入ポート１２ａに供給された圧力流体は、通路３２ａを介して一方のシリンダ室２２ａに導入され、ピストン２４を他方のシリンダ室２２ｂに向かって押圧する。
【００４５】
圧力流体の作用下にピストン２４が変位終端位置に到達したとき、前記ピストン２４に装着されたマグネット６０の磁界が位置検出センサ１００の検出素子１０８によって検知され、前記位置検出センサ１００は、基板に接続されたリード線１１２を介して図示しないコントローラ等の外部機器に検出信号を導出する。
【００４６】
なお、図示しない切換弁の切換作用下に、圧力流体の供給を一方の圧力流体出入ポート１２ａから他方の圧力流体出入ポート１２ｂに切り換えることにより、ピストン２４が前記とは反対方向に変位して初期位置に復帰する。このようにして、シリンダチューブ１４内に収装されたピストン２４をシリンダ室２２に沿って往復動作させることができる。
【００４７】
本実施の形態に係る位置検出センサ１００では、その中心Ｏを回動中心として検出素子１０８を周方向に沿って回動自在に設けることにより、検出素子１０８のスライド量に対応してケーシング１０２を大きく形成する必要がなく、検出位置調整機構を設けた場合であっても、小型・軽量化を達成することができる。
【００４８】
また、本実施の形態に係る位置検出センサ１００では、図１１に示されるようにマグネット６０の磁性をピストン２４の半径方向（ピストンロッド２６の軸線と略直交する方向）に沿って着磁するとともに、図１１に示されるように検出素子１０８の感知容易方向をラジアル方向に設定することにより、前記検出素子１０８の回動角度が変化してもマグネット６０から発生する磁界を確実に検知することができるという効果を奏する。
【００４９】
ここで、ピストンロッド２６の軸線方向に沿ってマグネット２００の磁極を着磁し、検出素子２０２をピストンロッド２６の軸線と略平行（矢印Ｄ方向）に変位させることが可能に設けられた比較例を図１２に示す。
【００５０】
前記比較例では、磁力が強すぎるとき（あるいは、検出素子２０２の検知感度が高すぎるとき）、検出素子２０２が多数発生している各々の磁力のピーク値をそれぞれ検出するために前記検出素子２０２が誤作動して複数回、オン状態となるという不具合がある。
【００５１】
これに対して、本実施の形態に係る位置検出センサ１００では、図１１に示されるように、その中心Ｏを回動中心として検出素子１０８を周方向に沿って回動自在に設けるとともに、マグネット６０の磁極をラジアル方向に着磁してラジアル方向に沿って磁界を発生させることにより、磁力のピークを、実際上、一山として検知し、磁力の強度、検出素子１０８の検知感度に影響されないという利点がある。換言すると、本実施の形態に係る位置検出センサ１００では、磁力と検知感度の設定に対する幅を広く設定することができる。
【００５２】
なお、ピストンロッド２６の軸線方向と略平行に磁極が着磁されたマグネット２００の磁力を、本実施の形態に係る位置検出センサ１００によって検知した場合、位置検出センサ１００の回動位置によって磁力の検知が困難な場合がある。すなわち、検出素子１０８の回動位置が０度および１８０度の場合には、磁力の検知が可能であるが、例えば、検出素子１０８の回動位置が約９０度の場合には、磁力の検知が困難である。
【００５３】
次に、本実施の形態に係る位置検出センサ１００が付設されたシリンダ１０を図示しない食品加工機械等に組み付けて洗浄作業等を行った場合、シリンダチューブ１４の周方向に沿った外周面を全て外部に向かって凸状の曲面と第１〜第３面取り部４２、４４、４６とによって構成し、しかも位置検出センサ１００のケーシング１０２およびカバー部材１０７を、所定の曲率半径によって形成された湾曲する上面部１２２と、前記上面部１２２に連続する円形状の側面部１２４と、前記上面部１２２と側面部１２４との境界部分に形成され、所定の曲率半径によって形成された面取り部１２６とによって構成することにより、シリンダチューブ１４および位置検出センサ１００の外周面に付着した液体が落下しやすくなり、該シリンダチューブ１４および位置検出センサ１００の外周面に液だまりが発生することを防止することができる。
【００５４】
このように、本実施の形態に係る位置検出センサ１００および前記位置検出センサ１００が付設されたシリンダ１０では、外表面に液体が溜まりにくく、且つ付着した液体が自然に滴り落ちるような外形形状とすることにより、雑菌の繁殖を阻止して衛生上の問題を回避することができる。
【００５５】
本実施の形態に係る位置検出センサ１００では、図８に示されるように、検出素子１０８が配設された基板を樹脂材料等によってモールドした樹脂体１０６を形成し、前記樹脂体１０６をケーシング１０２とカバー部材１０７とによって一体的に被覆するように設けている。
【００５６】
従って、本実施の形態に係る位置検出センサ１００では、ケーシング１０２の内部に液体等が進入可能な間隙が形成されていないため、温度変化による呼吸作用がないとともに、ケーシング１０２の内部において湿気等に起因するカビやバクテリア等の発生を懸念する必要がない。
【００５７】
また、ケーシング１０２およびカバー部材１０７に形成された取付用孔部１１４に挿入されるねじ部材１１６によって、前記検出素子１０８、図示しない基板、カバー部材１０７およびケーシング１０２等を一体的にシリンダ１０に装着することができるという利点がある。
【００５８】
さらに、本実施の形態に係る位置検出センサ１００では、ケーシング１０２およびカバー部材１０７の表面積を減少させ液体の滞留総量を抑制することができるという利点がある。
【００５９】
本実施の形態に係る位置検出センサ１００を使用しない場合には、図示しないシールワッシャを有するボルト等の閉塞手段によってシリンダ１０の側面３８ｂに形成されたねじ穴を閉塞すればよい。
【００６０】
なお、シリンダ１０では、図４に示されるように、ロッドカバー１８の外周面に形成された環状突起部６４とシリンダチューブ１４の内周面６６との間で挟圧されるつぶし代が予め設けられたシール部材６２を用いている。これに対して、図５に示されるように、シリンダチューブ７２とロッドカバー７４との結合部位に断面円形状のＯリング７６が装着された比較例に係るシリンダ７８では、シリンダチューブ７２とロッドカバー７４との結合部位を通じて前記Ｏリング７６が装着された部位まで外部から液体等が進入し、前記液体等によって雑菌が繁殖するという不具合がある。
【００６１】
換言すると、比較例に係るシリンダ７８に設けられた前記Ｏリング７６は、シリンダ室内のエアーを外部に向かって導出することを阻止する機能を有するのみであり、シリンダチューブ７２とロッドカバー７４との結合部位を通じて進入した液体は、さらにＯリング７６が装着された部位まで進入可能であるため、液体により雑菌が繁殖し易くなっている。
【００６２】
これに対して本実施の形態に係る位置検出センサ１００が付設されたシリンダ１０では、前記シール部材６２の挟圧部分６８によって確実にシールされることにより、シリンダチューブ１４とロッドカバー１８との結合部位を通じて外部からシリンダチューブ１４の内部への液体等の進入が確実に阻止される。この結果、シリンダチューブ１４の内部に進入した液体等に起因して雑菌が繁殖することが阻止され、この点からも衛生上の問題が回避される。
【００６３】
なお、本実施の形態に係る位置検出センサ１００をシリンダ１０に付設した場合を例示して説明しているがこれに限定されるものではなく、図示しないリニアアクチュエータ等の種々の流体圧機器、電動アクチュエータ等に適用してもよいことは勿論である。
【００６４】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００６５】
すなわち、センサ本体の中心部を回動中心として検出素子が周方向に沿って回動する検出位置調整機構を設けることにより、検出位置調整機構を設けてもセンサ本体の形状が大きくなることがなく、前記センサ本体を小型・軽量化することができる。
【００６６】
また、位置検出センサの外表面に付着した液体が、前記位置検出センサに形成された湾曲面および面取り部に沿って自然に落下するため、該位置検出センサの外表面に液だまりが発生することがなく、衛生上の問題を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る位置検出センサが付設されたシリンダの斜視図である。
【図２】図１に示すシリンダの正面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図４】図３に示されるＡ部の拡大縦断面図である。
【図５】比較例に係るシリンダの一部拡大縦断面図である。
【図６】本発明の実施の形態に係る位置検出センサの斜視図である。
【図７】図６に示す位置検出センサの平面図である。
【図８】図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩに沿った縦断面図である。
【図９】図１に示す位置検出センサが付設されたシリンダの軸線方向に沿った縦断面図である。
【図１０】前記位置検出センサの検出位置を調整する際の動作説明図である。
【図１１】前記位置検出センサを構成する検出素子とマグネットとの関係を示す説明図である。
【図１２】比較例に係る検出素子とマグネットとの関係を示す説明図である。
【符号の説明】
１０…シリンダ                  １２ａ、１２ｂ…圧力流体出入ポート
１４…シリンダチューブ          １６…ヘッドカバー
１８…ロッドカバー              ２２、２２ａ、２２ｂ…シリンダ室
２４…ピストン                  ２６…ピストンロッド
３０…スクレーパ                ３４…上面
３６ａ、３６ｂ…傾斜面          ３８ａ、３８ｂ…側面
４０…底面                      ４２、４４、４６、１２６…面取り部
４８…立設面                    ５０…ロッドパッキン
６０…マグネット                ６２…シール部材
６４…環状突起部                ６６…内周面
６８…挟圧部分                  １００…位置検出センサ
１０２…ケーシング              １０４…凹部
１０６…樹脂体                  １０７…カバー部材
１０８…検出素子                １１２…リード線
１１４…取付用孔部              １１６…ねじ部材
１１８…パッキン                １２０…ガスケット
１２２…上面部                  １２４…側面部
１２８…底面部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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