(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリット状の吐出口を有するディスペンスノズル先端に付着した液・乾燥物の除去に用いられるディスペンスノズルクリーニング装置において、次に示す手段、
（ａ）スリット状のディスペンスノズル先端形状に沿うように成形され、ノズルに押し当てられる少なくとも２分割されたブロックからなるクリーニングヘッド手段であって、前記ブロックは前記ディスペンスノズルのスリット状の吐出口を境として少なくとも２分割されており、
（ｂ）クリーニングフィルムをノズル先端とブロック間に供給するクリーニングフィルム供給手段、
（ｃ）クリーニングフィルムに溶剤を含浸する手段、
（ｄ）溶剤を含浸したクリーニングフィルムと上記クリーニングヘッドをディスペンスノズル先端に押し当てた状態で、クリーニングフィルム及びクリーニングヘッドを相対移動させる手段、
以上を少なくとも具備することを特徴とするディスペンスノズルクリーニング装置。
【請求項２】
上記クリーニングヘッドのノズル先端形状に沿うように成形されたブロックが、変形可能な弾性体であることを特徴とする請求項１記載のディスペンスノズルクリーニング装置。
【請求項３】
上記クリーニングヘッドのノズル先端形状に沿うように成形されたブロックが、中空で圧縮空気により膨張可能な弾性体であることを特徴とする請求項１記載のディスペンスノズルクリーニング装置。
【請求項４】
上記溶剤を含浸したクリーニングフィルムとクリーニングヘッドをディスペンスノズル先端に押し当てた状態で、クリーニングフィルム及びクリーニングヘッドを相対移動するに当たり、ディスペンスノズル孔先端形状がスリット状の場合は、クリーニングフィルム及びクリーニングヘッドをスリット幅方向にスライドさせる手段を具備することを特徴とする請求項１から３記載の何れかのディスペンスノズルクリーニング装置。
【請求項５】
クリーニングヘッド上面に繰り出された上記クリーニングフィルムをクランプする手段を具備することを特徴とする請求項１から４記載の何れかのディスペンスノズルクリーニング装置。
【請求項６】
クリーニングフィルムに溶剤を含浸するに当たり、上記クリーニングフィルムに一定量の洗浄液を含浸する流量制御手段を具備することを特徴とする請求項１から５記載の何れかのディスペンスノズルクリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はコーティングに用いられるディスペンスノズル先端に付着した液・乾燥物除去に用いられるディスペンスノズルクリーニング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のコーティングの際に用いられるディスペンスノズルの先端に付着した液・乾燥物（図１参照）の除去はライン停止・待機時間または規定時間・規定処理数終了後に行っていた。１つは洗浄液を含浸した拭き取り布で手作業で拭き取る方法である。もう１つはコーティング装置に装備された洗浄ユニットを用いてノズルの自動洗浄を行う方法である。これはノズル先端に向かって洗浄液を吐出させるもので、洗浄液の洗浄能力・洗浄液吐出圧・洗浄時間・洗浄頻度によってノズルの管理を行うのが一般的であった。
【０００３】
ところが前記従来の技術では次のような問題が生じていた。すなわち、
▲１▼手作業による拭き取りでは拭き残し（拭きムラ）があり、吐出する液に拭き残した液の乾燥物が混入し、製品（コーティング面）に悪影響を及ぼすという問題。
▲２▼液の乾燥速度が早く、吐出口ギャップ（スリット）（図１参照）が非常に狭いスリットノズルの場合、吐出口付近での乾燥物が障害となり液の出が悪くなってしまう。結果コーティング面にスジなどが発生してしまう。これを防ぐためには頻繁に手作業で拭き取り作業を行わなければならないという問題。
【０００４】
▲３▼ディスペンスノズルの１つであるスリットノズルで自動洗浄を行った場合、清浄度は洗浄液の洗浄能力と洗浄液吐出圧に支配されるが、コーティングした製品の品質を損なわないようにするためには、多量の洗浄液が必要となる。これにより作業者の洗浄液補充頻度が高くなり、完全自動化の妨げとなっているという問題。
▲４▼ディスペンスノズルの１つであるスリットノズルで自動洗浄を行った場合、多量の洗浄液使用により、洗浄液がノズル内部まで浸透し、コーティングする液を希釈してしまう。これにより製品にコーティングムラが発生してしまうという問題。
【０００５】
▲５▼ディスペンスノズルの１つであるスリットノズルで間欠コーティングを行った場合、コーティング開始時の膜の盛り上がりが問題となる。前基板のコーティング終了時に通常膜をきれいに切る、または液ダレを防止する目的でサックバック（体積変化を利用し、液吐出方向とは反対に液を吸い込む。）を行う。サックバックでは先端に付着した液が完全にスリット内に押し戻されるわけではないので液付着が残ってしまい、次のコーティング開始時に膜の盛り上がりが増大してしまうという問題。（図２参照）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は前記問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、ディスペンスノズルに付着した液・乾燥物除去可能なディスペンスノズルクリーニング装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決しようとする手段】
前記課題を解決するために本発明の第１の発明が提供する手段は、スリット状の吐出口を有するディスペンスノズル先端に付着した液・乾燥物の除去に用いられるディスペンスノズルクリーニング装置において、次に示す手段、
（ａ）スリット状のディスペンスノズル先端形状に沿うように成形され、ノズルに押し当てられる少なくとも２分割されたブロックからなるクリーニングヘッド手段であって、前記ブロックは前記ディスペンスノズルのスリット状の吐出口を境として少なくとも２分割されており、
（ｂ）クリーニングフィルムをノズル先端とブロック間に供給するクリーニングフィルム供給手段、
（ｃ）クリーニングフィルムに溶剤を含浸する手段、
（ｄ）溶剤を含浸したクリーニングフィルムと上記クリーニングヘッドをディスペンスノズル先端に押し当てた状態で、クリーニングフィルム及びクリーニングヘッドを相対移動させる手段、
以上を少なくとも具備することを特徴とするディスペンスノズルクリーニング装置である。
【０００８】
本発明の第２の発明は、上記クリーニングヘッドのノズル先端形状に沿うように成形されたブロックが、変形可能な弾性体であることを特徴とする請求項１記載のディスペンスノズルクリーニング装置である。
【０００９】
本発明の第３の発明は、上記クリーニングヘッドのノズル先端形状に沿うように成形されたブロックが、中空で圧縮空気により膨張可能な弾性体であることを特徴とする請求項１記載のディスペンスノズルクリーニング装置である。
【００１０】
本発明の第４の発明は、上記溶剤を含浸したクリーニングフィルムとクリーニングヘッドをディスペンスノズル先端に押し当てた状態で、クリーニングフィルム及びクリーニングヘッドを相対移動するに当たり、ディスペンスノズル孔先端形状がスリット状の場合は、クリーニングフィルム及びクリーニングヘッドをスリット幅方向にスライドさせる手段を具備することを特徴とする請求項１から３記載の何れかのディスペンスノズルクリーニング装置である。
【００１２】
本発明の第５の発明は、クリーニングヘッド上面に繰り出された上記クリーニングフィルムをクランプする手段を具備することを特徴とする請求項１から４記載の何れかのディスペンスノズルクリーニング装置である。
【００１３】
本発明の第６の発明は、クリーニングフィルムに溶剤を含浸するに当たり、上記クリーニングフィルムに一定量の洗浄液を含浸する流量制御手段を具備することを特徴とする請求項１から５記載の何れかのディスペンスノズルクリーニング装置である。
【００１４】
本発明における各手段は、次のような働きをする。すなわち、
クリーニングヘッドの少なくとも２分割されたブロックは、ディスペンスノズル先端形状に沿うように成形され、ノズルに押し当てられることで、ムラのない拭き取りが可能になる。またブロックが変形可能な弾性体や圧縮空気により膨張可能な中空の弾性体の場合は、ノズル先端に押しつけた際、弾性変形することでノズル先端形状に沿った形状になり、ムラのない拭き取りが可能になる。
クリーニングフィルム供給手段は、クリーニングヘッド上面に常に新たなクリーニング面の繰り出しを行なう。
【００１５】
クリーニングフィルムに洗浄液を含浸する手段は、クリーニングフィルムをノズルに押し当てた際にノズル先端に付着した液や特に乾燥物を、洗浄液が膨潤・溶解させ、除去し易くする。
溶剤を含浸したクリーニングフィルムとクリーニングヘッドをディスペンスノズル先端に押し当てた状態で、クリーニングフィルム及びクリーニングヘッドを相対移動する手段は、ノズル先端に付着した液・乾燥物のフィルム吸収を促進し、拭き取ることで完全除去を可能にする。
【００１６】
クリーニングフィルムをクランプする手段は、クリーニング動作時のフィルムのズレを防止することで、効率よくノズル先端に付着した液や乾燥物を除去できる。
クリーニングフィルムに一定量の洗浄液を含浸する流量制御手段は、エア圧によって弁の開閉を行う洗浄液吐出バルブを用い、エア圧を電空レギュレータまたは精密レギュレータの調整によって弁開度を変更し、一定量（１ｃｃ以下）の洗浄液の吐出を行う。これによって、コーティング装置に装備された自動洗浄と比較して、洗浄液の消費を抑えることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下に本発明のディスペンスノズルクリーニング装置を、図面に基づいて詳細に説明するが、各図面は一実施例であり、請求項の要件を満たすものであれば良く、実施例だけに制限するものではない。はじめに装置構成から説明する。
【００１８】
１  クリーニングヘッド手段（図３、４、５、６）
図３は圧縮空気により膨張可能な２分割の中空弾性体ブロックの非膨張時の状態を示し、図４は膨張時の状態、図５はクリーニング時の状態を示している断面図である。中空弾性体ブロック３３には口栓３４がついており、ここから圧縮空気を送り込み、弾性体を膨張させる仕組みになっており、空気抜きも口栓３４から行う。中空弾性体ブロック３３はプレート３５に固定されている。クリーニング時はクリーニングヘッドをディスペンスノズルに押し当てると、中空弾性体ブロック３３がディスペンスノズル５に沿うように変形する。弾性体としてはゴム、スポンジなどを用いる。
図６はディスペンスノズル先端形状に沿うように成形され、ノズルに押し当てられる２分割されたブロックの断面図である。サイドフレーム１はベースフレーム２と固定されている。シャフト３は上記サイドフレーム１と固定されている。ブロック４はディスペンスノズル形状５に沿うように成型かつ２分割されており、これらは２本のシャフト３が通る貫通穴とシャフト外周にあるノズルに押し当てる圧縮スプリング６が入るようにザグリ穴を設けている。圧縮スプリング６によりブロック４及びその上面にあるクリーニングフィルム７がディスペンスノズル５への押しつけ力を有する。ブロック４には、例えば耐溶剤性のテフロン（登録商標）加工などを行った樹脂ブロックなどが好適である。
【００１９】
▲２▼クリーニングフィルム供給手段（図９・１０）
図９はクリーニングフィルムの巻取手段の断面図であり、図１０はクリーニングフィルムを繰り出す手段を示す断面図である。ニップローラ８とフィードローラ９に直結されたモーターとクラッチ内蔵の巻出１０によりクリーニングフィルム７の繰り出しを行う。巻取１１はクリーニングフィルム７が繰り出されて、テンショナー１２がセンサー１３の検知を外れた時点で巻取モーターが動作を開始する。センサーが再度検知するまでクリーニングフィルム７の巻取を行う。
【００２０】
▲３▼クリーニングフィルムへの洗浄液含浸手段（図８）
図８は洗浄液の含浸手段を示す断面図である。中空パイプ１８の開口部を溶接等によってフランジ１９で塞ぎ、一方のフランジ１９ａを継手接続を可能とし、洗浄液の供給を可能とする。長手方向に洗浄液吐出口２０をもうけ、洗浄液の吐出を可能にする。
▲４▼クリーニング手段（図１２）
図１２はディスペンスノズルクリーニング装置の概略を示す三面図である。ベース２７上にリニアモーションガイド２８を２列配置し、クリーニングユニット２９はリニアモーションガイド２８、およびボールネジナット３０に固定されている。ボールネジはカップリングによってモーター３１と結合されており、これによりクリーニングユニット２９の往復動作を行う。また、直動、揺動、旋回運動はエアシリンダー１５、３２との組み合わせで行われる。
【００２１】
▲５▼クリーニングフィルムクランプ手段（図７・１０）
図７はクリーニングフィルムクランプ手段の断面図である。クリーニングヘッド４近傍に設けられたフィルム受け１４とその上面のクリーニングフィルム７に対し、リンク手段を用いてエアシリンダー等１５（図１０）により駆動するフィルム押さえ１６を下降させることによりクリーニングフィルム７のクランプを行う。尚、クリーニングフィルム７の押さえしろ全面を均等にクランプすることは困難なため、例えば突起１７またはくさびを設けることによってクリーニングフィルム７のクランプを確実にする。
【００２２】
▲６▼洗浄液流量制御手段（図１１）
図１１は洗浄液流量制御手段を示す概略図である。供給エアを分岐し、一方は精密レギュレータ２１を介して洗浄タンク２２に加圧を行い、洗浄液吐出バルブ２３に洗浄液を供給する。もう一方は電空レギュレータ２４を介して洗浄液吐出バルブ２３のバルブの開閉を行い、これによって洗浄液が供給される。電空レギュレータ２４は電圧変化によりエア圧力を変化させる事が可能であり、また時間設定を行い、緩やかな電圧制御することも可能である。電圧制御はコントローラ２５のアナログ信号出力により行う。洗浄液吐出バルブ２３はスプリングの力によって通常バルブが閉状態となっている。洗浄液吐出バルブ２３のスプリングによりバルブを閉じる力と電空レギュレータ２４で設定されたエア圧との力のバランスでバルブの弁開度を変更する事が可能となる。洗浄液の吐出指令はシーケンサ２６で行う。以上より洗浄液の少量吐出（１ｃｃ以下）が可能となる。
【００２３】
次に動作手順について説明する。▲１▼少量の洗浄液を中空パイプ１８より吐出させ、クリーニングフィルム７裏面より洗浄液を含浸する。▲２▼ブロック４等から成るクリーニングヘッドまで洗浄液を含浸したクリーニングフィルム７をフィードローラ９によって繰り出す。ブロック４が圧縮空気により膨張可能な中空弾性体ブロックである場合は、この時点で膨張させる。▲３▼クリーニングフィルム７をエアシリンダー等１５によりフィルム押え１６を下降し、クランプする。▲４▼エアシリンダー等３２によりクリーニングユニット２９を上昇させ、ディスペンスノズル５に押し当てる。▲５▼モーター３１によりクリーニングユニット２９の往復動作を行い、あるいはエアシリンダー等１５、３２との組み合わせによりブロック４等から成るクリーニングヘッドを直動、揺動、旋回運動させて、ディスペンスノズル５の先端をクリーニングする。▲６▼クリーニングユニット２９の下降・クリーニングフィルム７のクランプ開放を行い、待避位置まで移動する。
【００２４】
【発明の効果】
以上詳細に記述してきたように、本発明に係わるディスペンスノズルクリーニング装置によれば以下のような効果を得ることができる。すなわち、
少なくとも２分割されたブロックからなるクリーニングヘッドと洗浄液を含んだクリーニングフィルムによってノズル先端に付着した液・乾燥物の完全除去が可能となり、
▲１▼拭き取り作業を自動化することができる。
▲２▼製品（コーティング面）へ乾燥物の混入を防止することができる。
▲３▼特に乾燥速度の早い液または間欠コーティングにおいても安定的な液吐出が可能となり、品質面・生産性の向上を図ることができる。
また、クリーニングフィルムをクランプする手段を設けることで、クリーニング動作時のフィルムのズレを防止する効果があり、ノズル先端に付着した液や乾燥物を効率良く除去できる。
更に、洗浄液の流量制御手段を設けることで、コーティング装置に装備された自動洗浄と比較して、本装置の洗浄液省液効果が大きくなり、完全自動化の促進となる。
つまり、本発明が目的とするディスペンスノズルクリーニング装置を提供することができた。
【００２５】
【図面の簡単な説明】
【図１】従来技術におけるディスペンスノズル先端の液付着状態を示す説明図である。
【図２】従来技術におけるガラス基板コーティングの場合の課題を示す説明図である。
【図３】本発明に係わる非膨張時の２分割の中空弾性体からなるクリーニングヘッドの断面図である。
【図４】本発明に係わる膨張時の２分割の中空弾性体からなるクリーニングヘッドの断面図である。
【図５】本発明に係わるクリーニング時の２分割の中空弾性体からなるクリーニングヘッドの断面図である。
【図６】本発明に係わる２分割されたブロックからなるクリーニングヘッドの断面図である。
【図７】本発明に係わるクリーニングフィルムクランプ手段の断面図である。
【図８】本発明に係わる洗浄液の含浸手段の断面図である。
【図９】本発明に係わるクリーニングフィルムの巻取手段の断面図である。
【図１０】本発明に係わるクリーニングフィルムを繰り出す手段を示す断面図である。
【図１１】本発明に係わる洗浄液の流量制御手段を示す概略図である。
【図１２】本発明に係わるディスペンスノズルクリーニング装置の概略を示す三面図である。
【００２６】
【符号の説明】
１・・・サイドフレーム
２・・・ベースフレーム
３・・・シャフト
４・・・ブロック
５・・・ディスペンスノズル
６・・・圧縮スプリング
７・・・クリーニングフィルム
８・・・ニップローラ
９・・・フィードローラ
１０・・・巻出
１１・・・巻取
１２・・・テンショナー
１３・・・センサー
１４・・・フィルム受け
１５・・・エアシリンダー
１６・・・フィルム押え
１７・・・突起
１８・・・中空パイプ
１９・・・フランジ
２０・・・洗浄液吐出口
２１・・・精密レギュレータ
２２・・・洗浄タンク
２３・・・洗浄液吐出バルブ
２４・・・電空レギュレータ
２５・・・コントローラ
２６・・・シーケンサ
２７・・・ベース
２８・・・リニアモーションガイド
２９・・・クリーニングユニット
３０・・・ボールネジナット
３１・・・モーター
３２・・・エアシリンダー
３３・・・中空弾性体ブロック
３４・・・口栓
３５・・・プレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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