(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体通路が開口する第１流体給排口部を備えた第１流体デバイスの前記第１流体給排口部と、流体通路が開口する第２流体給排口部を備えた第２流体デバイスの前記第２流体給排口部とが、これら第１流体給排口部と第２流体給排口部との間に介在されるガスケットによって前記流体通路をシールする状態で連通接続されるにあたり、
前記第１及び第２流体デバイスのうちのいずれか一方に通されるボルトと、前記第１及び第２流体デバイスのうちのいずれか他方に装備されるナットとを螺合させての締付けにより、第１流体給排口部と前記第２流体給排口部とが前記ガスケットを介して連通接続される接合状態が維持自在に構成されるとともに、
前記ナットは、前記他方に前記ボルトの軸心方向に対して直交又はほぼ直交する方向に嵌入される棒状部材又は板状部材で構成されるとともに、前記他方には、これの前記一方との接続面から前記ナットの嵌入部に前記ボルトを通すための孔又は切欠きが形成され、
前記ナットは、前記ボルトに対する雌ねじ部を有する丸棒で成り、前記他方と前記丸棒との相対回動を阻止して前記孔又は切欠きと前記雌ねじ部とが合致する状態に前記丸棒を係止すべく、前記他方と前記丸棒とに跨って挿通固定される回り止めピンが設けられている流体デバイスどうしの接続構造。
【請求項２】
前記ボルトは、これの前記ナットへの螺合操作によって前記第１流体給排口部と前記第２流体給排口部とが互いに前記ガスケットを介して引き寄せられるように、その前記一方への通し方向が定められている請求項１に記載の流体デバイスどうしの接続構造。
【請求項３】
前記回り止めピンは、前記他方と前記丸棒との丸棒軸心方向での相対移動を阻止して前記孔又は切欠きと前記雌ねじ部とが合致する状態に前記丸棒が係止される位置決めピンを兼ねている請求項１又は２に記載の流体デバイスどうしの接続構造。
【請求項４】
前記雌ねじ部が前記丸棒の両端部それぞれに形成され、それら一対の雌ねじ部の間に前記回り止めピンが配されている請求項１〜３の何れか一項に記載の流体デバイスどうしの接続構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体デバイスどうしの接続構造に係り、詳しくは、半導体製造や医療・医薬品製造、食品加工、化学工業等の各種技術分野の製造工程で取り扱われる高純度液や超純水、或いは洗浄液の配管系等において今後需要が見込まれる集積パネル、マニホールド等の流体デバイスと、ポンプ、バルブ、アキュムレータ等の流体デバイスとを、ガスケットを介してシール状態で連通接続させるための接続構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
上記接続構造として、例えば、流体デバイスの一例であるバルブと、同じく流体デバイスの一例である流体通路が内部形成されたマニホールドとを、それらの給排流路どうしを連通させて接続連結するものがあり、例えば特許文献１において開示されたものが知られている。特許文献１においては、バルブ側の流路ブロック（符号４）とマニホールド（符号３）とを、シールガスケット（符号１）を介してボルト止めするに当り、平面視の形状が矩形を呈する流路ブロックの四隅に貫通される計４本のボルト（符号５）を、マニホールド（符号３）に形成されている雌ねじ部に螺合させて締め付ける構成が採られている。
【０００３】
しかしながら、マニホールドは合成樹脂部品であることが多いので、ボルトを直接にマニホールドに螺着させる構造は、ねじバカになり易いとともにクリープによって締付力が低下することでシール性能に悪影響が出るおそれもあり、あまり実用的ではない。その対策として、マニホールドを挟み込むべくその下側に配されるベースプレートを設け、マニホールドを貫通させてベースプレートにボルトを螺着させる手段が試されたが、前述のクリープがより顕著化する点で採用は困難であった。
【０００４】
そこで、マニホールドに形成された穴にヘリサート（商品名）やエンザート（商品名）等の所謂インサートナットを挿入して有効なナットを構成する手段が考えられる。ところが、インサートナットを用いる手段では、マニホールドへの挿入方向が少しでもずれると、ボルトをねじ込んで締め付けても、流体デバイスどうしの締付トルクは不足気味になるとか、インサートナットが共回りする不都合があるとともに、場合によってはねじどうし（ボルトとインサートナット）が焼付くおそれもあり、流体デバイスどうしの接続構造にはさらなる改善の余地が残されていた。
【特許文献１】２００１−８２６０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、ボルト・ナットによる締付連結手段をさらに工夫して、合成樹脂等の比較的軟らかい材料で成る場合の多い流体デバイスどうしの接続構造を、緩みやガタツキ、そしてクリープも生じることが無く、長期に亘って有効な締付トルクが維持できるものに改善させる点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に係る発明は、流体デバイスどうしの接続構造において、流体通路３，４が開口する第１流体給排口部１Ａを備えた第１流体デバイス１の前記第１流体給排口部１Ａと、流体通路７，８が開口する第２流体給排口部２Ａを備えた第２流体デバイス２の前記第２流体給排口部２Ａとが、これら第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとの間に介在されるガスケットＧによって前記流体通路３，４，７，８をシールする状態で連通接続されるにあたり、
前記第１及び第２流体デバイス１，２のうちのいずれか一方２に通されるボルト６６と、前記第１及び第２流体デバイス１，２のうちのいずれか他方１に装備されるナット６７とを螺合させての締付けにより、第１流体給排口部１Ａと前記第２流体給排口部２Ａとが前記ガスケットＧを介して連通接続される接合状態が維持自在に構成されるとともに、
前記ナット６７は、前記他方に前記ボルト６６の軸心ｐ１方向に対して直交又はほぼ直交する方向に嵌入される棒状部材又は板状部材で構成されるとともに、前記他方１には、これの前記一方２との接続面１ａから前記ナット６７の嵌入部７０に前記ボルト６６を通すための孔又は切欠き１ｂが形成され、前記ナット６７は、前記ボルト６６に対する雌ねじ部６７ａを有する丸棒で成り、前記他方１Ａと前記丸棒６７との相対回動を阻止して前記孔又は切欠き１ｂと前記雌ねじ部６７ａとが合致する状態に前記丸棒６７を係止すべく、前記他方１Ａと前記丸棒６７とに跨って挿通固定される回り止めピン６８が設けられていることを特徴とするものである。
【０００７】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の流体デバイスどうしの接続構造において、前記ボルト６６は、これの前記ナット６７への螺合操作によって前記第１流体給排口部１Ａと前記第２流体給排口部２Ａとが互いに前記ガスケットＧを介して引き寄せられるように、その前記一方２への通し方向が定められていることを特徴とするものである。
【０００８】
請求項３に係る発明は、請求項１又は２に記載の流体デバイスどうしの接続構造において、前記回り止めピン６８は、前記他方１と前記丸棒６７との丸棒軸心ｐ２方向での相対移動を阻止して前記孔又は切欠き１ｂと前記雌ねじ部６７ａとが合致する状態に前記丸棒６７が係止される位置決めピンを兼ねていることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項４に係る発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載の流体デバイスどうしの接続構造において、前記雌ねじ部６７ａが前記丸棒６７の両端部それぞれに形成され、それら一対の雌ねじ部６７ａ，６７ａの間に前記回り止めピン６８が配されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１の発明によれば、ボルトとナットにより、第１流体給排口部と第２流体給排口部とがガスケットを介しての接合状態を維持させることができる。そして、一方の流体デバイスに通されるボルトに螺合自在なナットが、他方の流体デバイスにボルト軸心と直交又はほぼ直交する方向に嵌入される棒状部材で構成されているので、ナットの他方の流体デバイスとの接触面積を無理なく広くできるとともに、他方の流体デバイスにおける棒状部材と一方の流体デバイスとで挟まれる部分の肉厚を十分に小さくして、クリープによる寸法変化で締付トルクが次第に低下する不都合も回避又は抑制できるようになる。
【００１１】
従って、ガスケットに付与する面圧の低下も解消又は低減でき、安定したシール性能を発揮させることが可能になり、また、増し締めも必要なくなり、メンテナンス性の向上も図ることができる。その結果、ボルト・ナットによる締付連結手段をさらに工夫することにより、合成樹脂等の比較的軟らかい材料で成る場合の多い流体デバイスどうしの接続構造を、緩みやガタツキ、そしてクリープも生じることが無く、長期に亘って有効な締付トルクが維持できるものに改善して提供することができる。
【００１２】
また、雌ねじ部を有する丸棒でナットが形成されているので、第１又は第２流体給排口部にはドリリング等の経済的な加工手段で済む丸孔を開ければ済むものとなり、経済的にナットを装備することができる。そして、回り止めピンによって丸棒の回り止めが為されているので、ボルトを通すための孔又は切欠きと雌ねじ部とが合致する状態を維持でき、丸棒故に回動移動してボルトが螺着できない、という不都合も解消されており、良好に締付作動させることができる。
【００１３】
請求項２の発明によれば、ガスケットを介して第１流体給排口部と第２流体給排口部とを接合状態に維持させる手段であるボルトとナットとの締付操作により、ガスケットを介して第１流体給排口部と第２流体給排口部とを互いに引き寄せる引き寄せ機能も兼用できるので、他に専用の引き寄せ手段を設ける必要が無くなり、コストダウンしながら必要な機能が得られる合理的なものとなっている。
【００１４】
請求項３の発明によれば、回り止めピンは、第１流体給排口部と第２流体給排口部との丸棒軸心方向での相対移動を阻止して孔又は切欠きと雌ねじ部とが合致するように丸棒を係止する位置決めピンを兼ねているので、ボルトとナットとが良好に螺着できる状態をより経済的に得ることができ、請求項１又は２の発明による前記効果を強化することができる。
【００１５】
請求項４の発明によれば、二本のボルトに対して一つのナット及び一つの回り止めピンで済むとともに、一対のボルト間に回り止めピンを配置することで、バランス良くナットの回り止めが行えるようになり、さらに経済的で合理的な流体デバイスどうしの接続構造を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、本発明による流体デバイスどうしの接続構造の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。図１〜図７は実施例１による接続構造を示し、図８〜図１０は実施例２による接続構造を示している。そして、図１１は別実施例を示す図である。
【００１７】
〔実施例１〕
図１，図２に、マニホールドとエアオペバルブとの接続構造を示している。このマニホールドとエアオペバルブとの接続構造は、複数の管状の流体通路３，４が内部形成されたマニホールド（第１流体デバイスの一例）１と、これの上面１ａに内外の計２箇所のリング状ガスケット部Ｇ１，Ｇ２を有する流体用ガスケットＧを介して搭載されるエアオペバルブ（第２流体デバイスの一例）２とに跨って構成された縦向きの軸心Ｐを共有する同心状二重流路型のものである。エアオペバルブ２に代えて、開閉バルブ、ストップバルブ等、種々のバルブにすることが可能である。
【００１８】
マニホールド１は、図１，図２に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のパネル材（又はブロック材）５の内部に、パネル上面１ａに開口する上下向きの縦通路３ａと横向きの横通路３ｂとから成る管状の供給側流体通路３と、縦通路３ａの外径側に形成されてパネル上面１ａに開口する環状の縦リング通路４ａとこれの底部に連通される横向きの横通路４ｂとで成る排出側流体通路４とが形成されたものである。このマニホールド１における給排流体通路３，４が二重配管状に開口する部分を第１流体給排口部１Ａと称するものとし、この第１流体給排口部１Ａにおいては、管状の縦通路３ａと環状の縦リング通路４ａとが互いに同一の軸心Ｐを有する同心状の通路に形成されている。また、第１流体給排口部１Ａには、その上端面に開口する各流体通路３，４の外径側部分のそれぞれには、軸心Ｐを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起２１，４１を有する下第１シール端部ｔ２１及び下第２シール端部ｔ２２が形成されている。
【００１９】
エアオペバルブ２は、図１，図２に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製で上下方向視形状が円形のバルブケース６を有しており、そのバルブケース６の下端部は、底面６ａに開口する状態でその中心に縦向きに配された管状の供給側流体通路７と、この供給側流体通路７の外径側に形成されて底面６ａに開口する状態で縦向きに配された環状の排出側流体通路８とを有した第２流体給排口部２Ａに形成されている。つまり、この第２流体給排口部２Ａにおいては、管状の供給側流体通路７と環状の排出側流体通路８が互いに同一の軸心Ｐを有する同心状の通路に形成されている。そして、バルブケース６の下部には、両端部のそれぞれに一対のボルト挿通孔９ａを有するガラス繊維入りＰＰＳやその他の材料によるフランジ部９が後述するボルト６６の共締めによって一体化されている。尚、バルブケース６とフランジ部９とは、切削加工や成形加工によって一体形成された一体型のものでも良い。また、第２流体給排口部２Ａには、その下端面に開口する各流体通路７，８の外径側部分のそれぞれには、軸心Ｐを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起１１，３１を有する上第１シール端部ｔ１１及び上第２シール端部ｔ１２が形成されている。
【００２０】
流体用ガスケットＧは、図１〜図５に示すように、内外のリング状ガスケット部Ｇ１，Ｇ２（以後、第１ガスケット部Ｇ１、第２ガスケット部Ｇ２と略称する）と、これらを連結一体化する四箇所のブリッジ部Ｂとから構成されてる。第１，第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２は、径が異なるのみで断面形状は同一のものに形成されている。その構造を内側の第１ガスケット部Ｇ１を例に挙げて説明する。尚、説明を省略する第２ガスケット部Ｇ２には、第１ガスケット部Ｇ１に対応する箇所には対応した符号を付す（例：５４ａ→６４ａ）ものとする。さて、第１ガスケット部Ｇ１は、第１，第２流体給排口部１Ａ，２Ａの相対応する流体通路である縦通路３ａ及び供給側流体通路７どうしを連通すべく形成された管状の流体経路ｗ１と、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの端面に形成された上第１シール端部ｔ１１の環状突起１１と上第２シール端部ｔ１２の環状突起３１のそれぞれに嵌合すべく流体経路ｗ１の外径側部分に形成された上下一対の環状溝５１，５１とを有するＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のものに構成されている。
【００２１】
つまり、第１ガスケット部Ｇ１の断面形状は、上下一対の環状溝５１，５１と、これら環状溝５１，５１を形成するための内周壁５４及び外周壁５５とを有するとともに、上下の環状溝５１，５１は深さ及び幅が同一となる上下対称であり、かつ、内及び外周壁５４，５５も左右対称であって、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの軸心Ｐ方向に沿う縦中心Ｚ、及び、その縦中心線Ｚに直交する横中心線Ｘの双方に関して線対称（ほぼ線対称でも良い）となる略Ｈ状の形状に形成されている。内周壁５４の上下端部は、内周面５４ａである流体経路ｗ１の上下端部が先拡がり状に外向き傾斜するテーパ内周面５２ａ，５２ａに形成されるとともに、外周壁５５の上下端部も、その外周面５５ａの上下端部が内向き傾斜するテーパ外周面５３ａ，５３ａに形成されている。
【００２２】
マニホールド１の第１流体給排口部１Ａの下第１及び下第２シール端部ｔ２１，ｔ２２の環状突起２１，４１及びエアオペバルブ２の第２流体給排口部２Ａの上第１及び上第２シール端部ｔ１１、ｔ１２における環状突起１１，３１の内及び外径側に、各ガスケット部Ｇ１，Ｇ２における環状溝５１，６１を形成するために軸心Ｐ方向に突出形成された内外の周壁端部５２，５３，６２，６３が、相対応する環状溝５１，６１と相対応する環状突起１１，２１，３１，４１との嵌合によって拡がり変形するのを阻止する環状押え突起１２，１３，２２，２３，３２，３３，４２，４３が形成されている。
【００２３】
上記環状押え突起に関する構造を、第１ガスケット部Ｇ１と上第１シール端部ｔ１１とについて説明する。内外の環状押え突起１２，１３は対称のものであり、これらと環状突起１１とで囲まれた谷部１４，１５が奥窄まり状（上窄まり状）となるように環状突起側の側周面が傾斜したテーパ外周面１２ａ及びテーパ内周面１３ａを有する先窄まり状の環状突起に形成されている。つまり、上第１シール端部ｔ１１は、環状時突起１１とその内外の両側に形成される環状押え突起１２，１３及び谷部１４，１５の総称である。
【００２４】
第１ガスケット部Ｇ１の内外の周壁５４，５５の上端部は、環状押え突起１２，１３のテーパ外周面１２ａとテーパ内周面１３ａのそれぞれに当接するテーパ内周面５２ａとテーパ外周面５３ａを有して１４，１５に入り込み自在な先窄まり状の環状シール突起である周壁端部５２，５３を有し、接合状態（図１参照）においては、内外の周壁５４，５５の端部である周壁端部５２，５３が対応する谷部１４，１５に入り込み、上第１シール端部ｔ１１のテーパ外周面１２ａと第１ガスケット部Ｇ１のテーパ内周面５２ａとが圧接され、かつ、上第１シール端部ｔ１１のテーパ内周面１３ａと第１ガスケット部Ｇ１のテーパ外周面５３ａとが圧接されるように構成されている。
【００２５】
つまり、第１ガスケット部Ｇ１の上端部には、環状溝５１とその内外の周壁端部５２，５３とで上シール部ｇ１１が形成されており、同様に下端部には下シール部ｇ１２が形成されている。上シール部ｇ１１は上第１シール端部ｔ１１と嵌合して嵌合シール部１０を形成し、下シール部ｇ１２は下第２シール端部ｔ２１と嵌合して嵌合シール部１０を形成する。同様に、第２ガスケットにも上シール部ｇ２１と下シール部ｇ２２とが形成されており、それぞれ上第２シール端部ｔ１２と下第２シール端部ｔ２２と嵌合して嵌合シール部１０を形成する。
【００２６】
嵌合シール部１０の嵌合構造を、上第１シール端部ｔ１１と第１ガスケット部Ｇ１の上シール部ｇ１１について詳細に説明すると、図２，図３に示すように、内外の谷部１４，１５どうし、及び内外の周壁端部５２，５３どうしは互いに対称であって、内外の谷部１４，１５全体の挟角α°と内外の周壁端部５２，５３全体の向い角β°との間には、α°＜β°という関係が設定されており、好ましくはα°＋（２０〜４０°）＝β°という関係に設定すると良い。この構成により、上第１シール端部ｔ１１の上環状突起１１と環状溝５１とが嵌り合った接合状態（後述）では、上内環状押え突起１２と上内周壁端部５２とは、それらのテーパ外周面１２ａとテーパ内周面５２ａとが最内径側部分で圧接される状態となり（図３の仮想線を参照）、流体通路ｗ１を通る流体がこれら外内のテーパ周面１２ａ，５２ａどうしの間に入り込むのことをも阻止する二次シール部Ｓ２として機能する利点が得られる。
【００２７】
そして、上環状突起１１の幅ｄ１と上環状溝５１の幅ｄ２との間には、ｄ１＞ｄ２という関係が設定されており、好ましくはｄ１×（０．７５〜０．８５）＝ｄ２という関係に設定すると良い。そして、上環状突起１１の突出長さｈ１と上環状溝５１の深さｈ２との間にはｈ１＜ｈ２という関係が設定されている。これらの構成により、上環状突起１１と上環状溝５１とが、詳しくは、上環状突起１１の内外の両側周面と相対応する上環状溝５１の内外の側周面とが強く圧接され、流体の漏れを阻止する優れたシール性能を発揮する一次シール部Ｓ１が形成されるとともに、上内環状押え突起１２のテーパ外周面１２ａと上内周壁端部５２のテーパ内周面５２ａとが必ず当接することになり、前述した二次シール部Ｓ２が良好に形成される利点がある。
【００２８】
また、環状押え突起１２，１３の先端、及び周壁端部５２，５３の先端はピン角とならないようにカットされた形状、即ち、傾斜カット面１２ｂ，１３ｂ、並びにカット面５２ｂ，５３ｂに形成されている。これらの構成により、上内環状押え突起１２の先端が流体通路ｗ１側に若干広がり変形したとしても、もともとカットされた形状であることから、流体通路ｗ１途中に大きく開いた断面三角形状の凹みができるだけとなり、その凹みに存在する流体が容易に流れ出すようになって実質的に液溜りが生じないようになる。加えて、その凹みの開き角度、即ち、傾斜カット面１２ｂとテーパ内周面５２ａとの挟角は十分に大きく、表面張力による液溜りのおそれも回避される。また、環状突起１１先端の内角及び外角は面取り加工された形状１１ａとしてあるので、幅の狭い環状溝５１への圧入移動をかじり等の不都合なく円滑に行えるものとなっている。
【００２９】
嵌合シール部１０についてさらに詳述する。図２，図３に示すように、環状押え突起１２，１３における環状突起側のテーパ周面１２ａ，１３ａの開き角（谷部１４，１５の開き角）Ｄは５０〜７０度の範囲の値（５０°≦Ｄ°≦７０°）に設定されており、周壁端部５２，５３のテーパ周面５２ａ，５３ａの尖り角Ｅは６０〜８０度の範囲の値（６０°≦Ｄ°≦８０°）に設定されている。そして、開き角Ｄと尖り角Ｅとには、開き角Ｄに１０〜２０度を加えたものが尖り角Ｅとなる［Ｄ°＋（１０〜２０°）＝Ｅ°］ように設定されている。より好ましい値としては、開き角Ｄが６９〜７１度（Ｄ°＝７０±１°）、尖り角Ｅが７９〜８１度（Ｅ°＝８０±１°）、及び尖り角Ｅは開き角Ｄ＋９〜１１度（Ｅ°−Ｄ°＝１０±１°）に設定すると良い。
【００３０】
また、環状押え突起１２，１３の傾斜カット面１２ｂ，１３ｂのカット角Ｄｓは４９〜５１度（Ｄｓ°＝５０°±１°）に設定されており、周壁端部５２，５３の先端カット面５２ｂ，５３ｂの迎え角Ｅｓは１２４〜１２６度（Ｅｓ°＝１２５°±１°）に設定されている。このような角度設定により、テーパ外周面１２ａとテーパ内周面５２ａ及びテーパ内周面１３ａとテーパ外周面５３ａの夫々は環状の線接触状態で当接されるようになり、シールリップ効果が二次シール部Ｓ２において発揮されるようになる。
【００３１】
つまり、前記第１流体給排口部１Ａと前記第２流体給排口部２Ａとが互いに引寄せられる方向である引寄せ方向に対する前記周壁端部５２，５３のテーパ周面５２ａ，５３ａ（テーパ内周面５２ａ、テーパ外周面５３ａ）の尖り角Ｅが、前記引寄せ方向に対する前記環状押え突起１２，１３における環状突起１１側のテーパ周面１２ａ，１３ａ（テーパ外周面１２ａ、テーパ内周面１３ａ）の開き角Ｄに１０〜２０度、好ましくは１０度又はほぼ１０度加えた値に設定されている。そして、前記尖り角Ｅが６０〜８０度、好ましくは８０度又はほぼ８０度に設定されている。
【００３２】
このように尖り角Ｅ及び開き角Ｄを９０度に近い鈍角的な値に設定する構成とすれば、環状押え突起１２，１３は、その径方向幅に比べて引寄せ方向（軸方向）の突出量が小さくなって相対的に強度、剛性が向上することとなり、周壁端部５２，５３の拡がりを規制しながらも、自身（環状押え突起１２，１３）が径方向へ拡がり変形するおそれをより効果的に抑制することができる利点がある。そして、周壁端部５２，５３の谷部１４，１５への刺さり込みによってテーパ周面５２ａ，５３ａが環状押え突起１２，１３を径方向に押し広げる分力を小さくでき、この点からも環状押え突起１２，１３の径方向への拡がり変形を抑制することができる。
【００３３】
以上述べた嵌合シール部１０の構造は、第１ガスケット部Ｇ１の下側、及び第２ガスケット部Ｇ２においても同様に構成されており、対応する箇所には対応する符号を付すものとする。第２ガスケット部Ｇ２は、径は異なるが断面形状に関しては第１ガスケット部Ｇ１のものと全く同じである。但し、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの上第２シール端部ｔ１２と下第２シール端部ｔ２２については、その外周側に流体通路が存在しないので、それぞれ上第１シール端部ｔ１１と下第２シール端部ｔ２１とやや形状が異なる。
【００３４】
即ち、上第２シール端部ｔ１２に関しては、環状押え突起３３のテーパ内周面３３ａに続く状態で、バルブケース６の下端部を形成するための下端内周部６ｂが存在している点である。この下端内周部６ｂは、第２ガスケット部Ｇ２の上シール部ｇ２１を上第２シール端部ｔ１２に嵌め合わす際のガイドとして機能するとともに、テーパ内周面３３ａと共に第２ガスケット部Ｇ２の外周壁６５の拡がり変形を阻止する機能も発揮可能である。そして、下第２シール端部ｔ２２に関しては、外側の環状押え突起４３の外周側にパネル材５が連続して存在している点であり、下シール部ｇ２２と下第２シール端部ｔ２２との嵌め合せ時に、第２ガスケット部Ｇ２の下シール部ｇ２２の外周壁端部６３の拡がり変形がテーパ内周面４３ａによって阻止される作用効果が強化されるようになる。
【００３５】
一方、第１及び第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２のうち、接合状態において内径側及び外径側の双方に流体通路７，８が存在する中間ガスケットである第１ガスケット部Ｇ１は、これの外周部である外周面５５ａが、第１ガスケット部Ｇ１の外径側に存する第１流体給排口部１Ａの環状の流体通路４ａと第２流体給排口部２Ａの環状の流体通路８とを連通する環状の流体経路ｗ２を形成するための壁面となる状態に形成されている。このように第１ガスケット部Ｇ１の内外周面５４ａ，５５ａの双方が流体通路ｗ１，ｗ２を形成する壁面を兼ねる構成とすれば、「第１ガスケット部Ｇ１の厚み」＝「環状流体通路３ａ，７と管状流体通路４ａ，８との間隔」となり、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの接続部をよりコンパクト化することが可能になる。
【００３６】
さて、ブリッジ部Ｂは、図１，２及び図４，５に示すように、流体経路ｗ１，ｗ２の軸心Ｐに対する径方向に沿う最短距離でもって第１，第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２に亘って架設形成されており、軸心Ｐを中心とする９０度の均等角度毎に計四箇所（２，３箇所又はそれ以上でも可）状形成されている。これにより、流体用ガスケットＧは、ブリッジ部Ｂがスポークに相当して、軸心Ｐ方向視においてホイール（タイヤが外装される自動車用のホイール）のような形状を呈している。ブリッジ部Ｂの断面形状は円形に設定されているとともに、各ガスケット部Ｇ１，Ｇ２への付け根部分は裾拡がり状に形成されている。尚、ブリッジ部Ｂの断面形状は、上下（軸心Ｐ方向）に長い楕円形状や、上下（軸心Ｐ方向）に長い菱形でも良く、要は、流体経路ｗ１，Ｅ２の軸心Ｐ方向に沿う寸法Ｈｂが、径方向に沿う寸法Ｓｂよりも大となる形状に設定されることが、流体流れの抵抗となり難いようにする点から望ましい。
【００３７】
そして、各ブリッジ部Ｂの流体経路ｗ１，ｗ２の軸心Ｐに沿う方向の厚みＨｂが、第１，第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２における第１環状溝５１，６１と第２環状溝５１，６１との夫々の溝底で挟まれる連結部分Ｒの軸心Ｐに沿う方向の厚みＨｒと同じ値（又はそれ以下の値でも良い）に設定され、かつ、ブリッジ部Ｂは、図５に示すように、軸心Ｐ方向において連結部分Ｒに相対応する位置に形成されている。
【００３８】
ブリッジ部Ｂの断面を円形として、排出側流体通路８（第２流体経路ｗ２）を流れる流体の抵抗となり難くしてある。そして、各ガスケット部Ｇ１，Ｇ２における連結部分Ｒを基本とする周壁端部５２，５３，６２，６３の径方向への変位の妨げとならないようにしてあり、それによってブリッジ部の有無に拘らずに優れたシール性が維持されるようになっている。もし、ブリッジ部Ｂの厚みＨｂが連結部分の厚みＨｒよりも厚いと、第１ガスケット部Ｇ１の外側の周壁端部５３と第２ガスケット部Ｇ２の内側の周壁端部６２とが剛結されたような状態に近付き、ブリッジ部Ｂ付近だけ径方向への移動が行い難くなってシール性に悪影響を与えるおそれがあるからである。尚、図示は省略するが、ブリッジ部Ｂの厚みＨｂを連結部分Ｒ厚みＨｒよりも薄くしても良い。つまり、Ｈｂ≦Ｈｒであれば良い。
【００３９】
次に、維持手段Ｉについて説明する。維持手段Ｉは、図１，２，６，７に示すように、マニホールド１の第１流体給排口部１Ａとエアオペバルブ２の第２流体給排口部２Ａとが互いに流体用ガスケットＧを介して引寄せるとともに、その引寄せ作用によって、第１流体給排口部１Ａの上第１シール端部ｔ１１及び上第２シール端部ｔ１２と、第１及び第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２の上シール部ｇ１１，ｇ２１とが、及び第２流体給排口部２Ａの下第１及び下第２シール端部ｔ２１，ｔ２２と、第１及び第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２の下シール部ｇ１２，ｇ２２とがそれぞれ嵌め合わされて各嵌合シール部１０が形成される接合状態を維持するものに構成されている。即ち、第２流体給排口部２Ａの環状突起１１，３１と第１及び第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２の上側の環状溝５１，６１とが、及び第１流体給排口部１Ａの環状突起２１，４１と第１及び第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２の下側の環状溝５１，６１とがそれぞれ嵌め合わされる。
【００４０】
維持手段Ｉの具体構造は、第２流体給排口部２Ａのフランジ部９の左右端部における前後端部に形成された計四箇所のボルト挿通孔９ａに挿通される四本のボルト６６と、それらボルト６６に対応して第１流体給排口部１Ａに（パネル材５に）装備された一対のナット６７，６７と、一対の回り止めピン６８，６８とによって構成されている。つまり、ボルト６６のナット６７との螺合により、第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとが流体用ガスケットＧを介して連通接続自在に構成されている。尚、６９はバネ座金（又は平ワッシャ）である。実施例１においては、ボルト６６は、内六角穴付で円形のボルト頭部６６ａと雄ねじ部６６ｂとを有する六角穴付ボルトを用いており、フランジ部９には、バネ座金６９及びボルト頭部６６ａを埋め込むための丸穴凹入部９ｂが形成されている。
【００４１】
ナット６７は、マニホールド１に（第１流体給排口部１Ａ）にボルト６６の軸心ｐ１方向に対して直交又はほぼ直交する方向ｐ２に嵌入される金属製の丸棒（棒状部材又は板状部材の一例）で構成されるとともに、第１流体給排口部１Ａ他方には、これの第２流体給排口部２Ａとの接続面１ａから丸棒６７の雌ねじ部６７ａにボルト６６を通すための挿通孔（又は切欠きでも良い）１ｂが形成されている。ナット６７は、図６，７に示すように、その軸心ｐ２方向の両端部それぞれの雌ねじ部６７ａ，６７ａと、その中央のピン穴６７ｂとの三者が互いに同一方向に向く状態でに形成されており、一対の雌ねじ部６７ａ，６７ａは丸棒を貫通している。マニホールド１には、各ナット６７を密嵌入するための貫通丸孔７０が形成されている。
【００４２】
図７に示すように、ナット６７を、マニホールド１の貫通丸孔（嵌入部の一例）７０に端面倒氏が揃うように丁度挿入する際には、各雌ねじ部６７ａ，６７ａと対応する挿通孔１ｂ、１ｂとが平面視で互いの軸心が一致する揃い状態となるように、第１流体給排口部１Ａに形成されている装着孔７１と丸棒のピン穴６７ｂとに亘るように回り止めピン６８を挿入する。つまり、回り止めピン６８は、丸棒製ナット６７の回り止めだけでなく、第１流体給排口部１Ａに対する軸心Ｐ２方向の位置決め、及び抜け止めの各機能を発揮する兼用構成化が図られた合理的部品に構成されている。この場合、ナット６７がマニホールド１に軽く圧入される寸法関係か、或いは回り止めピン６８が第１流体給排口部１Ａに軽く圧入される寸法関係かに設定すれば、ナット６７をマニホールド１とのガタツキが無い状態で装備できて好都合である。
【００４３】
ボルト６６の軸心ｐ１は、マニホールド１とエアオペバルブ２との接合方向である流体経路ｗ１，ｗ２の軸心Ｐと同方向に定められており、これによってナット６７への螺合操作によって第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとが互いにガスケットＧを介して引き寄せられるように構成されている。つまり、ボルト６６とナット６７等による維持手段Ｉは引き寄せ手段も兼ねる構成となっている。
【００４４】
〔実施例２〕
実施例２による流体デバイスどうしの接続構造を、図８，図９に示す。この流体デバイスどうしの接続構造は、一対の円管状の流体通路３，４が内部形成された集積パネル（第１流体デバイスの一例）１と、これの上面１ａに一対のリング状のガスケットＧ，Ｇを介して搭載されるバルブ（第２流体デバイスの一例）２とに跨って構成された縦向きの軸心Ｐを共有する単流路型のものである。つまり、給排用として一対の接続構造が互いに同一のものとして構成されている。
【００４５】
集積パネル１は、図８，図９に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のパネル材（又はブロック材）５の内部に、パネル上面１ａに開口する上下向きの縦通路３ａ，４ａと横向きの横通路３ｂ，４ｂとから成る一対の円管状の供給側流体通路３，４が形成されたものである。この集積パネル１における給排流体通路３，４が開口する部分を第１流体給排口部１Ａと称するものとし、この第１流体給排口部１Ａにおいては、円管状の縦通路３ａ，４ａのそれぞれが軸心Ｐを有する通路に形成されている。また、第１流体給排口部１Ａには、その上端面に開口する各流体通路３，４の外径側部分のそれぞれには、軸心Ｐを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起２１を有する下第１シール端部ｔ２１及び下第２シール端部ｔ２２が形成されている。
【００４６】
バルブ２は、図８，図９に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製で上下方向視形状が円形のバルブケース６を有しており、そのバルブケース６の下端部は、底面６ａから下方突出する状態で縦向きに配された円管状の供給側流体通路７と、この供給側流体通路７の横側方に離れて開口する状態で縦向きに配された円管状の排出側流体通路８とを有した第２流体給排口部２Ａに形成されている。つまり、この第２流体給排口部２Ａにおいては、円管状の供給側流体通路７，８のそれぞれが軸心Ｐを有する通路に形成されている。つまり、バルブケース６下端には、一対のボルト挿通孔９ａを有するガラス繊維入りＰＰＳやその他の材料による取付フランジ９の一対が下方突出形成されており、流体通路７，８を有する管部９Ａとフランジ部（外向きフランジ）９Ｂとで各取付フランジ９が形成されている。供給側の取付フランジ９が、下方突出する環状突起１１を有する上第１シール端部ｔ１１に形成され、排出側の取付フランジ９が、上方突出する環状突起１１を有する上第２シール端部ｔ１２に形成されている。
【００４７】
一対のガスケットＧは互いに同一のものであり、その構造を供給側のガスケットＧを例に挙げて説明する。さて、ガスケットＧは、供給側の上下の流体給排口部１Ａ，２Ａの相対応する流体通路である縦通路３ａ及び供給側流体通路７どうしを連通すべく形成された管状の流体経路Ｗと、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの端面に形成された上第１シール端部ｔ１１の環状突起１１と上第２シール端部ｔ１２の環状突起２１のそれぞれに嵌合すべく流体経路Ｗの外径側部分に形成された上下一対の環状溝５１，５１とを有するＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のものに構成されている。
【００４８】
つまり、ガスケットＧの断面形状は、上下一対の環状溝５１，５１と、これら環状溝５１，５１を形成するための内周壁５４及び外周壁５５とを有するとともに、上下の環状溝５１，５１は深さ及び幅が同一となる上下対称であり、かつ、内及び外周壁５４，５５も左右対称であって、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの軸心Ｐ方向に沿う縦中心Ｚ、及び、その縦中心線Ｚに直交する横中心線Ｘの双方に関して線対称（ほぼ線対称でも良い）となる略Ｈ状の形状に形成されている。内周壁５４の上下端部は、内周面５４ａである流体経路Ｗの上下端部が先拡がり状に外向き傾斜するテーパ内周面５２ａ，５２ａに形成されるとともに、外周壁５５の上下端部も、その外周面５５ａの上下端部が内向き傾斜するテーパ外周面５３ａ，５３ａに形成されている。
【００４９】
集積パネル１の第１流体給排口部１Ａの下第１シール端部ｔ２１の環状突起２１及びバルブ２の第２流体給排口部２Ａの上第１シール端部ｔ１１における環状突起１１の内及び外径側に、ガスケットＧにおける環状溝５１を形成するために軸心Ｐ方向に突出形成された内外の周壁端部５２ａ，５３ａが、環状溝５１と環状突起１１，２１との嵌合によって拡がり変形するのを阻止する環状押え突起（環状押え部分の一例）１２，１３，２２，２３が形成されている。
【００５０】
上記環状押え突起に関する構造を、ガスケットＧと上第１シール端部ｔ１１とについて説明する。内外の環状押え突起１２，１３は対称のものであり、これらと環状突起１１とで囲まれた谷部１４，１５が奥窄まり状（上窄まり状）となるように環状突起側の側周面が傾斜したテーパ外周面１２ａ及びテーパ内周面１３ａを有する先窄まり状の環状突起に形成されている。つまり、上第１シール端部ｔ１１は、環状突起１１とその内外の両側に形成される環状押え突起１２，１３及び谷部１４，１５の総称である。
【００５１】
ガスケットＧの内外の周壁５４，５５の上端部は、環状押え突起１２，１３のテーパ外周面１２ａとテーパ内周面１３ａのそれぞれに当接するテーパ内周面５２ａとテーパ外周面５３ａを有して１４，１５に入り込み自在な先窄まり状の環状シール突起（周壁端部の一例）５２，５３を有し、接合状態（図８参照）においては、内外の周壁５４，５５の上端部である環状シール突起５２，５３が対応する谷部１４，１５に入り込み、上第１シール端部ｔ１１のテーパ外周面１２ａとガスケットＧのテーパ内周面５２ａとが圧接され、かつ、上第１シール端部ｔ１１のテーパ内周面１３ａとガスケットＧのテーパ外周面５３ａとが圧接されるように構成されている。
【００５２】
つまり、ガスケットＧの上端部には、環状溝５１とその内外の環状シール突起５２，５３とで上シール部ｇ１１が形成され、同様に下端部には下シール部ｇ１２が形成されている。上シール部ｇ１１は上第１シール端部ｔ１１と嵌合して嵌合シール部１０を形成し、下シール部ｇ１２は下第２シール端部ｔ２１と嵌合して嵌合シール部１０を形成する。
【００５３】
嵌合シール部１０の嵌合構造を、上第１シール端部ｔ１１とガスケットＧの上シール部ｇ１１について詳細に説明すると、図９，図１０に示すように、内外の谷部１４，１５どうし、及び内外の環状シール突起５２，５３どうしは互いに対称であって、内外の谷部１４，１５全体の挟角α°と内外の環状シール突起５２，５３全体の向い角β°との間には、α°＜β°という関係が設定されており、好ましくはα°＋（２０〜４０°）＝β°という関係に設定すると良い。この構成により、上第１シール端部ｔ１１の上環状突起１１と環状溝５１とが嵌り合った接合状態（後述）では、上内環状押え突起１２と上内環状シール突起５２とは、それらのテーパ外周面１２ａとテーパ内周面５２ａとが最内径側部分で圧接される状態となり（図１０の仮想線を参照）、流体通路Ｗを通る流体がこれら外内のテーパ周面１２ａ，５２ａどうしの間に入り込むのことをも阻止する二次シール部Ｓ２として機能する利点が得られる。
【００５４】
そして、上環状突起１１の幅ｄ１と上環状溝５１の幅ｄ２との間には、ｄ１＞ｄ２という関係が設定されており、好ましくはｄ１×（０．６〜０．８）＝ｄ２という関係に設定すると良い。そして、上環状突起１１の突出長さｈ１と上環状溝５１の深さｈ２との間にはｈ１＜ｈ２という関係が設定されている。これらの構成により、上環状突起１１と上環状溝５１とが、詳しくは、上環状突起１１の内外の両側周面と相対応する上環状溝５１の内外の側周面とが強く圧接され、流体の漏れを阻止する優れたシール性能を発揮する一次シール部Ｓ１が形成されるとともに、上内環状押え突起１２のテーパ外周面１２ａと上内環状シール突起５２のテーパ内周面５２ａとが必ず当接することになり、前述した二次シール部Ｓ２が良好に形成される利点がある。
【００５５】
また、内側の環状押え突起１２の先端、及び環状シール突起５２，５３の先端はピン角とならないようにカットされた形状、即ち、傾斜カット面１２ｂ、並びにカット面５２ｂ，５３ｂに形成されている。これらの構成により、上内環状押え突起１２の先端が流体通路Ｗ側に若干広がり変形したとしても、もともとカットされた形状であることから、流体通路Ｗ途中に大きく開いた断面三角形状の凹みができるだけとなり、その凹みに存在する流体が容易に流れ出すようになって実質的に液溜りが生じないようになる。加えて、その凹みの開き角度、即ち、傾斜カット面１２ｂとテーパ内周面５２ａとの挟角は十分に大きく、表面張力による液溜りのおそれも回避される。また、環状突起１１先端の内角及び外角は面取り加工された形状１１ａとしてあるので、幅の狭い環状溝５１への圧入移動をかじり等の不都合なく円滑に行えるものとなっている。
【００５６】
外側の環状押え突起１３は、環状押え突起１３のテーパ内周面１３ａに続く状態で、バルブケース６の下端部を形成するための下端内周部９ｂが存在しており、内側の環状押え突起１２とは全体としての形状は異なる。そして、下第１シール端部ｔ２１に関しても、環状押え突起２３のテーパ内周面２３ａに続く状態で、パネル材５の上端部を形成するための上端内周部５ｂが存在しており、やはり、内側の環状押え突起２２とは全体としての形状が異なる。これら上及び下端内周部５ｂ，９ｂは、ガスケットＧの上及び下シール部ｇ１１，ｇ１２を上及び下第１シール端部ｔ１１，ｔ２１に嵌め合わす際のガイドとして機能するとともに、テーパ内周面１３ａ，２３ａと共にガスケットＧの外周壁５５の拡がり変形を阻止する機能も発揮可能である。
【００５７】
嵌合シール部１０についてさらに詳述する。図９，図１０に示すように、環状押え突起１２，１３のテーパ周面１２ａ，１３ａの開き角（谷部１４，１５の開き角）Ｄは５０〜７０度の範囲の値（５０°≦Ｄ°≦７０°）に設定されるとともに、環状シール突起（周壁端部）５２，５３のテーパ周面５２ａ，５３ａの尖り角Ｅは６０〜８０度の範囲の値（６０°≦Ｄ°≦８０°）に設定されている。そして、開き角Ｄと尖り角Ｅとには、開き角Ｄに１０〜２０度を加えたものが尖り角Ｅとなる［Ｄ°＋（１０〜２０°）＝Ｅ°］ように設定されている。より好ましい値としては、開き角Ｄが６９〜７１度（Ｄ°＝７０±１°）、尖り角Ｅが７９〜８１度（Ｅ°＝８０±１°）、及び尖り角Ｅは開き角Ｄ＋９〜１１度（Ｅ°−Ｄ°＝１０±１°）に設定すると良い。
【００５８】
また、環状押え突起１２の傾斜カット面１２ｂのカット角Ｄｓは４９〜５１度（Ｄｓ°＝５０°±１°）に設定されており、周壁端部５２，５３の先端カット面５２ｂ，５３ｂの迎え角Ｅｓは１２４〜１２６度（Ｅｓ°＝１２５°±１°）に設定されている。このような角度設定により、テーパ外周面１２ａとテーパ内周面５２ａとは環状の線接触状態で当接されるようになり、シールリップ効果が二次シール部Ｓ２において発揮されるようになる。また、テーパ内周面１３ａとテーパ外周面５３ａとの間にも、それらの外径側端部においてシール作用が生じる。尚、図示は省略するが、下端内周部９ｂが存在しない場合（集積パネルや流体デバイスにおけるガスケットＧとの嵌合部の断面形状が左右対称である場合）は、外側の環状押え突起１３にも傾斜カット面１２ｂと同様な傾斜カット面が形成され、前記シールリップ効果が生じる。
【００５９】
つまり、前記第１流体給排口部１Ａと前記第２流体給排口部２Ａとが互いに引寄せられる方向である引寄せ方向に対する前記環状シール突起（周壁端部）５２，５３のテーパ周面５２ａ，５３ａ（テーパ内周面５２ａ、テーパ外周面５３ａ）の尖り角Ｅが、前記引寄せ方向に対する前記環状押え突起１２，１３における環状突起１１側のテーパ周面１２ａ，１３ａ（テーパ外周面１２ａ、テーパ内周面１３ａ）の開き角Ｄに１０〜２０度、好ましくは１０度又はほぼ１０度加えた値に設定されている。そして、前記尖り角Ｅが６０〜８０度、好ましくは８０度又はほぼ８０度に設定されている。
【００６０】
このように尖り角Ｅ及び開き角Ｄを９０度に近い鈍角的な値に設定する構成とすれば、環状押え突起１２，１３は、その径方向幅に比べて引寄せ方向（軸方向）の突出量が小さくなって相対的に強度、剛性が向上することとなり、環状シール突起５２，５３の拡がりを規制しながらも、自身（環状押え突起１２，１３）が径方向へ拡がり変形するおそれをより効果的に抑制することができる利点がある。そして、環状シール突起５２，５３の谷部１４，１５への刺さり込みによってテーパ周面５２ａ，５３ａが環状押え突起１２，１３を径方向に押し広げる分力を小さくでき、この点からも環状押え突起１２，１３の径方向への拡がり変形を抑制することができる。
【００６１】
次に、維持手段Ｉについて説明する。維持手段Ｉは、図９，図１０に示すように、集積パネル１の第１流体給排口部１Ａとバルブ２の第２流体給排口部２Ａとが互いにガスケットＧを介して引寄せられるとともに、その引寄せ作用によって、第１流体給排口部１Ａの上第１シール端部ｔ１１と、ガスケットＧの上シール部ｇ１１とが、及び第２流体給排口部２Ａの下第１シール端部ｔ２１と、ガスケットＧの下シール部ｇ１２とがそれぞれ嵌め合わされて各嵌合シール部１０が形成される接合状態を維持するものに構成されている。即ち、第２流体給排口部２Ａの環状突起１１とガスケットＧの上側の環状溝５１とが、及び第１流体給排口部１Ａの環状突起２１とガスケットＧの下側の環状溝５１とがそれぞれ嵌め合わされる。
【００６２】
維持手段Ｉの具体構造は、実施例１に用いられている維持手段Ｉと基本的には全く同じである。違いは、実施例２においては、実施例１による維持手段Ｉが各流体経路Ｗ毎に構成されていること、即ちであり、計８本のボルト６６、計４個のナット６７、そして計４個の回り止めピン６８が使用されている。従って、実施例２における維持手段Ｉとしては、図８，９に図１，２と同一の符号を付すことでその説明が為されたものであるとして、ここではこれ以上の文章説明は割愛する。
【００６３】
〔別実施例〕
ナット６７は、図１１（ａ），（ｂ）に示すように、上面６７ｊ、下面６７ｋ、左右の側面６７ｍ，６７ｎを有する金属製の角棒から成るものであっても良い。この場合は、第１流体給排口部１Ａには貫通角孔７０が形成されており、それ以外は、実施例１や実施例２における丸棒製のナット６７と同じである。但し、この場合は回り止めの必要は無いので、ピン６８はナット６６の軸方向の位置決めと、抜け止めとを行う位置決めピン６８として機能する。この角棒製のナット６６は、厚肉の鋼板（板状部材の一例）から成るものでも良い。
【００６４】
丸棒や角棒によるナット６７は、各ボルト毎に個別に設けられる構造（個別ナット）も可能であり、その場合は、第１流体給排口部１Ａに形成される貫通丸孔７０や貫通角孔７０に代えて、図示は省略するが、軸心ｐ２方向の両端から個別ナットを挿入するための奥止り穴に形成される。この手段では、角孔と角棒嵌合では、挿入し切った状態で雌ねじ部と挿通穴とが合致するように設定して、位置決めピンを省略することが可能である。さらに、ナットは、回り止め機能を省略すべく断面形状がＤ型や小判型のもの、或いは、既製品である六角ナットや四角ナットを用いることも可能である。また、図６に仮想線で示すように、第１流体給排口部１Ａには、挿通孔１ｂに代えてナット６７の軸心ｐ２に沿って開口する切欠き１ｂを形成する手段でも良い。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】実施例１によるバルブとマニホールドとの接続構造を示す断面図
【図２】図１の接続構造に用いるガスケットと流体給排口部の要部の断面図
【図３】図２のガスケットとマニホールドとの嵌合構造の詳細を示す要部の拡大断面図
【図４】ガスケット単品の平面図
【図５】図４のイ−イ線断面図
【図６】図１の接続構造を示す分解斜視図
【図７】ボルトとナットとの締付構造部分を示す要部の一部切欠きの側面図
【図８】実施例２によるバルブとマニホールドとの接続構造を示す断面図
【図９】図８の接続構造に用いるガスケットと流体給排口部の要部の断面図
【図１０】図９のガスケットとマニホールド嵌合構造の詳細を示す要部の拡大断面図
【図１１】実施例３による流体デバイスどうしの接続構造を示す要部の断面図
【符号の説明】
【００６６】
１          第１流体デバイス
１Ａ        第１流体給排口部
１ａ        接続面
１ｂ        孔又は切欠き
２          第２流体デバイス
２Ａ        第２流体給排口部
３，４      流体通路
７，８      流体通路
６６        ボルト
６７        ナット
６７ａ      雌ねじ部
６８        回り止めピン
７０        嵌入部
Ｇ          ガスケット
ｐ１        ボルト軸心
ｐ２        丸棒軸心
【図１】
0004393472.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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