(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に電極を有する矩形の表示パネルの縁部を受ける４つの辺部分を有する矩形枠体から成るパネル受けと、
該パネル受けの少なくとも一つの辺部分に沿って配置される細長い移動片であってその幅方向へ対応する前記辺部分上で移動可能に支持された第１の移動片と、
該第１の移動片を前記表示パネルの対応する縁部に近づく前進位置と該縁から離れた後退位置との間で駆動する駆動装置と、
前記第１の移動片に沿って配置され、該各第１の移動片に保持される細長い第２の移動片と、
該第２の移動片の長手方向へ間隔を置いて該第２の移動片に保持され、前記電極に対応して設けられたプローブを有する複数のプローブユニットと、
第１の移動片と第２の移動片との間に設けられ、第１の移動片が前記後退位置と前記前進位置との間で移動されるとき、前記後退位置と、前記第２の移動片に保持された前記プローブユニットがパネル領域内の前記電極に対応する対応位置に達する運動変換点との間では、第２の移動片を第１の移動片と一体的に移動させ、前記運動変換点と前記前進位置との間では、前記プローブユニットを前記対応位置で昇降させるべく前記第２の移動片を前記第１の移動片の移動方向と直角な方向へ移動させる運動変換機構とを備え、
前記運動変換機構は、第１および第２の移動片の互いに向き合う面に形成され、垂直線に関して傾斜する相互に平行な一対の傾斜面と、第１および第２の移動片を相互に前記傾斜面に沿って所定のストロークで移動可能に結合する結合機構と、前記両移動片間に前記傾斜面に沿った前記ストロークの一端へ向けてのばね力を与えるばね手段と、前記第１の移動片が前記後退位置から前記変換点に達したとき、前記第２の移動片の前記第１の移動片と一体的な前進移動を阻止しかつ前記ばね手段のばね力に打ち勝って傾斜面に沿った前記第２の移動片の摺動を許すことにより、前記第２の移動片を下方へ案内するためのストッパとを備える、表示パネル検査装置。
【請求項２】
前記第１の移動片が前記後退位置と前記運動変換点との間を移動するとき、第２の移動片は第１の移動片と共に前記辺部分上を水平経路に沿って移動し、これにより、前記プローブユニットは、前記液晶パネルの上方で該液晶パネルに平行な面上を待避位置と前記対応位置との間で移動し、前記第１の移動片が前記運動変換点と前記前進位置との間を移動するとき、前記第２の移動片は前記水平経路に直角な垂直経路に沿って移動し、これにより前記プローブユニットは前記パネル領域内の前記対応位置で対応する前記電極に接触しまたは接触を解除すべく昇降する、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記複数のプローブユニットは、前記第２の移動片にその長手方向に沿って移動可能であり、位置決め機構により所望位置で解除可能に位置決められている、請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
矩形枠体のそれぞれの辺部分は、矩形開口を有する矩形ベース部材上で、該ベース部材の対応する矩形開口辺のそれぞれに沿って移動可能にかつ対応する矩形開口辺に近づく方向および遠ざかる方向へ移動可能に支持されており、これにより異なる大きさの表示パネルに対応可能である、請求項１に記載の検査装置。
【請求項５】
前記矩形ベース部材上には、該矩形ベース部材の前記矩形開口の互いに対向する両辺に沿って配置された一対の軌道部材と、該両軌道部材上に跨って配置され、該軌道部材上を該軌道部材と直角な姿勢で移動可能の一対の移動ベース部材とが設けられ、前記矩形枠体の一対の辺部分は前記一対の移動ベース部材上で対応する該移動ベース部材上に沿って配置されかつ該移動ベース部材の長手方向へ移動可能に配置され、また、前記矩形枠体の他方の一対の辺部分の一端は、それぞれに隣接する前記一方の辺部分に該辺部分の長手方向へ移動可能にかつ該辺部分の幅方向への移動が阻止されて結合され、該各他方の一対の辺部分のそれぞれに隣接する前記一方の辺部分の一端は該一端に隣接する前記他方の辺部分に該辺部分の長手方向へ移動可能にかつ該辺部分の幅方向への移動が阻止されて結合されている、請求項１に記載の検査装置。
【請求項６】
前記各移動ベース部材と前記矩形ベース部材との間および前記各移動ベース部材と該移動ベース部材上の前記一方の辺部分との間には、それぞれ手動操作による各移動ベース部材および前記一方の辺部分の移動を可能とすべくそれらを矩形ベース部材および前記移動ベース部材にそれぞれ解除可能に固定するための固定機構が設けられている、請求項４に記載の検査装置。
【請求項７】
前記移動ベース部材のための固定機構は、前記矩形ベース部材上で前記軌道部材上に沿って配置されかつ回転可能に支持されたねじ部材および該ねじ部材に螺合し前記移動ベース部材に固定的に取り付けられたナット部材を有するボールねじと、前記ねじ部材の回転を解除可能に阻止する固定装置とを備え、前記一方の辺部分のための固定機構は、前記移動ベース部材上で前記一方の辺部分に沿って配置されかつ回転可能に支持されたねじ部材および該ねじ部材に螺合し前記移動ベース部材に固定的に取り付けられたナット部材を備えるボールねじと、前記ねじ部材の回転を解除可能に阻止する固定装置とを備える、請求項５に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような表示パネルの電気検査のために、通電回路と表示パネルとを接続するための電気的接続機構を有する電気検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルのような表示パネルの検査装置の一つに、検査を受ける表示パネルが配置される検査ステージに、検査のための複数のプローブユニット（接触子ユニット）を設けたものがある（特許文献１）。
【０００３】
複数のプローブユニットは、検査時にそれらのプローブが検査ステージのパネル受け上の表示パネルの対応する電極に接触することにより、通電回路からの電力を表示パネル供給する。また、検査に先立つパネル受けへの表示パネルの配置および検査後の表示パネル受けからの表示パネルの取り出し時には、各プローブユニットは、表示パネルの配置領域から後退する。したがって、多数のプローブユニットが表示パネルのパネル受けへの配置およびその取り出しの妨げになることはなく、表示パネルの取り扱いが円滑に行なえる。
【０００４】
しかしながら、プローブユニット毎に、各ユニットのための駆動装置が必要となり、しかも全プローブユニットの動作を一致させて作動させるために、その駆動装置の作動を同期させる必要があることから、構成の複雑化を招く。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３５０４８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明の目的は、より単純な構成で複数のプローブユニットを同期的に作動させることができる、表示パネルの検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る検査装置は、表面に電極を有する矩形の表示パネルの縁部を受ける４つの辺部分を有する矩形枠体から成るパネル受けと、該パネル受けの少なくとも一つの辺部分に沿って配置される細長い移動片であってその幅方向へ対応する前記辺部分上で移動可能に支持された第１の移動片と、該第１の移動片を前記表示パネルの対応する縁部に近づく前進位置と該縁から離れた後退位置との間で駆動する駆動装置と、前記第１の移動片に沿って配置され、該各第１の移動片に保持される細長い第２の移動片と、該第２の移動片の長手方向へ間隔を置いて該第２の移動片に保持され、前記電極に対応して設けられたプローブを有する複数のプローブユニットとを備える。
【０００８】
さらに、前記検査装置は、第１の移動片と第２の移動片との間に、運動変換機構を備える。前記運動変換機構は、第１の移動片が前記後退位置と前記前進位置との間で移動されるとき、前記後退位置と、前記第２の移動片に保持された前記プローブユニットがパネル領域内の前記電極に対応する対応位置に達する運動変換点との間では、第２の移動片を第１の移動片と一体的に移動させ、前記運動変換点と前記前進位置との間では、前記プローブユニットを前記対応位置で昇降させるべく前記第２の移動片を前記第１の移動片の移動方向と直角な方向へ移動させる。
【０００９】
本発明に係る前記検査装置では、複数の前記プローブユニットを保持する第２の移動片は、前記運動変換機構により、第１の移動片が後退位置と運動変換点との間を移動するとき該第１の移動片と一体的に移動する。他方、第１の移動片が運動変換点と前進位置との間を移動するとき、第２の移動片は、これに保持された各プローブユニットを対応する電極へ向けおよびこれから離れる方向へ移動すべく昇降する。
【００１０】
したがって、本発明によれば、第１の移動片の移動を駆動装置により作動することにより、プローブユニット毎に駆動装置を設けることなく、第２の移動片に保持された複数のプローブユニットを一括的に昇降させ、またパネルの取り扱いに妨げとならないパネルの取り扱い領域外の待避位置に一括的に移動させることができる。
【００１１】
前記第１の移動片が前記後退位置と前記運動変換点との間を移動するとき、第２の移動片を第１の移動片と共に前記辺部分上を水平経路に沿って移動させることができる。これにより、前記プローブユニットを前記液晶パネルの上方で該液晶パネルに平行な面上を待避位置と前記対応位置との間で移動させることができる。また、前記第１の移動片が前記運動変換点と前記前進位置との間を移動するとき、前記第２の移動片を前記水平経路に直角な垂直経路に沿って移動させることができる。これにより、前記プローブユニットを前記パネル領域内の前記対応位置で対応する前記電極に接触しまたは接触を解除すべく昇降させることができる。このプローブユニットの垂直な昇降によって、該プローブユニットのプローブの先端で電極を擦ることを確実に防止することができ、プローブ先端での電極の損傷を確実に防止することができる。
【００１２】
前記複数のプローブユニットを前記第２の移動片にその長手方向に沿って移動可能に保持し、位置決め機構により所望位置で解除可能に位置決めることができる。これにより、電極位置を異にする種々の表示パネルに対応することができる。
【００１３】
前記運動変換機構は、次のような構成を採用することができる。すなわち、運動変換機構は、第１および第２の移動片の互いに向き合う面に形成され、垂直線に関して傾斜する相互に平行な一対の傾斜面と、第１および第２の移動片を相互に前記傾斜面に沿って所定のストロークで移動可能に結合する結合機構と、前記両移動片間に前記傾斜面に沿った前記ストロークの一端へ向けてのばね力を与えるばね手段と、前記第１の移動片が前記後退位置から前記変換点に達したとき、前記第２の移動片の前記第１の移動片と一体的な前進移動を阻止しかつ前記ばね手段のばね力に打ち勝って傾斜面に沿った前記第２の移動片の摺動を許すことにより、前記第２の移動片を下方へ案内するためのストッパとを備える。この運動変換機構により、比較的単純な構成で複数のプローブユニットを確実に同期的に作動させることができる。
【００１４】
矩形枠体のそれぞれの辺部分を、矩形開口を有する矩形ベース部材上で、該ベース部材の対応する矩形開口辺のそれぞれに沿って移動可能にかつ対応する矩形開口辺に近づく方向および遠ざかる方向へ移動可能に支持することができる。これにより、矩形開口の大きさが変更可能となることから、異なる大きさの表示パネルに対応することができる。
【００１５】
前記矩形ベース部材上に、該矩形ベース部材の前記矩形開口の互いに対向する両辺に沿って配置された一対の軌道部材と、該両軌道部材上に跨って配置され、該軌道部材上を該軌道部材と直角な姿勢で移動可能の一対の移動ベース部材とを設けることができる。また、前記矩形枠体の一対の辺部分を前記一対の移動ベース部材上で対応する該移動ベース部材上に沿って配置しかつその長手方向へ移動可能とすることができる。前記矩形枠体の他方の一対の辺部分の一端を、それぞれに隣接する前記一方の辺部分に該辺部分の長手方向へ移動可能に結合しかつ該辺部分の幅方向への移動が阻止されるように結合し、該各他方の一対の辺部分のそれぞれに隣接する前記一方の辺部分の一端を該一端に隣接する前記他方の辺部分に該辺部分の長手方向へ移動可能に結合しかつ該辺部分の幅方向への移動が阻止されるように結合することができる。
【００１６】
一対の軌道部材上に跨って配置される一対の移動ベース部材を用い、この一対の移動ベース部材上に矩形枠体を配置することにより、該矩形枠体にがた付きを生じることなく安定した状態で前記矩形ベース部材上に矩形枠体を移動可能に保持することができ、また該矩形枠体の剛性を高めることができる。
【００１７】
この矩形枠体に、前記したような結合構造を採用することにより、個々の辺部分の独立した運動を防止し、隣り合う辺部分の直角関係を維持した状態で各辺部分を移動させることができるので、表示パネルの大きさに応じた矩形開口を形成すべく手動で各辺部分を移動させるとき、その操作が容易に行える。
【００１８】
この各辺部分の手動操作のために、前記各移動ベース部材と前記矩形ベース部材との間および前記各移動ベース部材と該移動ベース部材上の前記一方の辺部分との間に、それぞれ各移動ベース部材および前記一方の辺部分の移動を可能とすべくそれらを矩形ベース部材および前記移動ベース部材にそれぞれ解除可能に固定するための固定機構を設けることができる。この固定機構の解除により、所望の大きさの矩形開口の形成のために各辺部分の操作が可能となり、その後、前記固定機構の固定作用により、各辺部分の微動による矩形枠体の移動あるいは変形を確実に阻止することができる。
【００１９】
前記移動ベース部材のための固定機構には、前記矩形ベース部材上で前記軌道部材上に沿って配置されかつ回転可能に支持されたねじ部材および該ねじ部材に螺合し前記移動ベース部材に固定的に取り付けられたナット部材を有するボールねじと、前記ねじ部材の回転を解除可能に阻止する固定装置とを備える固定機構を採用することができる。また、前記一方の辺部分のための固定機構には、同様に、前記移動ベース部材上で前記一方の辺部分に沿って配置されかつ回転可能に支持されたねじ部材および該ねじ部材に螺合し前記移動ベース部材に固定的に取り付けられたナット部材を備えるボールねじと、前記ねじ部材の回転を解除可能に阻止する固定装置とを備える固定機構を用いることができる。
【００２０】
各固定機構のボールねじは、固定装置の解除時に移動ベース部材および辺部分の移動時に、それぞれ適正な摺動抵抗を与えることから、矩形枠体により規定される前記矩形開口の円滑な微調整が可能となり、前記固定装置により表示パネルに応じた所望の前記矩形開口を確実に保持できる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、前記したように、第１の移動片の移動を駆動装置により作動することにより、プローブユニット毎に駆動装置を設けることなく、第２の移動片に保持された複数のプローブユニットを一括的に昇降させ、またパネルの取り扱いに妨げとならないパネルの取り扱い領域外の待避位置に一括的に移動させることができるので、従来に比較して単純な構成で複数のプローブユニットを同期的に作動させることができる、表示パネルの検査装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明に係る検査装置１０は、図１に示されているように、液晶パネル１２のような表示パネルの例えば点灯検査のような電気試験に用いられる。液晶パネル１２は、矩形の形状を有し、図示しないが一方の面の各辺に沿って多数の電極群が相互に間隔を置いて形成されている。
【００２３】
検査装置１０は、図１の線II-IIに沿って得られた図２に示されているように、ステージ１４上にこれから間隔をおいて配置される平板状の矩形ベース部材１６と、該ベース部材上に互いに間隔をおいて配置された一対の移動ベース部材１８と、該移動ベース部材上に組み立てられ、液晶パネル１２を受けるパネル受けを構成する矩形枠体２０と、該枠体に設けられた多数のプローブユニット２２とを備える。
【００２４】
矩形ベース部材１６は、図２に示すように、矩形開口部１６ａを規定し、ステージ１４上の矩形開口部１６ａに対応する領域には、矩形枠体２０上に配置される液晶パネル１２の点灯試験のためのバックライト装置２４が配置されている。
【００２５】
液晶パネル１２は、その前記電極を上方へ向けた状態で背面からバックライト装置２４の光の照射を受けるように、矩形枠体２０の内縁上に縁部を乗せて保持される。この保持状態で前記電極に接続されるプローブユニット２２から検査のための電力が液晶パネル１２に供給される。ステージ１４は、従来よく知られているように、ステージ面上のＸ軸、Ｙ軸およびこれに垂直なＺ軸に移動可能であありかつＺ軸の周りに角度θで回転可能である。
【００２６】
矩形ベース部材１６上には、矩形枠体２０の構造を示す図３および図４に示されているように、Ｙ軸方向へ伸びる軌道部材である一対のレール２６が、矩形ベース部材１６の矩形開口部１６ａの一対の縦辺に沿って設けられている。一対の移動ベース部材１８は、それぞれ細長い板部材からなり、矩形開口部１６ａの一対の横辺に沿って、両レール２６に跨って配置されている。各移動ベース部材１８の下面における該ベース部材の両端部近傍には、対応するレール２６上を移動する摺動子２８（図２および図４参照）が固定されている。したがって、一対の移動ベース部材１８は、互いに平行を保持した状態でＹ軸方向へ移動可能である。また、一対の移動ベース部材１８の移動を規制するために、一方のレール２６に沿って、各移動ベース部材１８のための固定機構３０が設けられている。
【００２７】
各固定機構３０は、各移動ベース部材１８に対応してＹ軸方向に整列して配置され、両端がそれぞれ軸受３２を介してベース部材１６上に回転可能に支持された雄ねじ部材３４および各雄ねじ部材３４に螺合し対応する移動ベース部材１８に固定されたナット部材３６を有する従来よく知られたボールねじ３８と、雄ねじ部材３４より突出する雄ねじ部材３４の一端に組み付けられた例えばクランプ機構からなる固定装置４０とを備える。
【００２８】
固定装置４０は、矩形ベース部材１６上に支持され、雄ねじ部材３４を解除可能に締め付ける。固定機構３０は、その締め付けにより、雄ねじ部材３４の回転を阻止し、締め付けの解除により雄ねじ部材３４の回転を許す。ナット部材３６には、従来よく知られているように、雄ねじ部材３４との円滑なねじ嵌合を得るためのボール（図示せず）が組み込まれている。
【００２９】
固定機構３０が解除された状態で、一対の移動ベース部材１８にＹ軸方向の操作力が作用すると、対応するナット部材３６を介してこれに螺合する雄ねじ部材３４が円滑に回転する。これにより、一対の移動ベース部材１８は、この雄ねじ部材３４の回転を伴って、一対の軸受３２で規定される移動範囲内でレール２６上を適正な摩擦を伴って円滑に摺動する。したがって、ボールねじ３８を用いることにより、一対の移動ベース部材１８の微調整が容易に行える。この微調整の後、各固定装置４０の締め付けにより、雄ねじ部材３４の回転が阻止されると、一対の移動ベース部材１８は、一対の軸受３２により規定される移動範囲内の回転が阻止された所望位置で、確実に固定される。
【００３０】
一対の移動ベース部材１８上に保持される矩形枠体２０は、移動ベース部材１８上でＸ軸方向に配置される長尺状の一対の横辺部分２０ａ、２０ｂと、Ｙ軸方向に沿って配置される長尺状の一対の縦辺部分２０ｃ、２０ｄとを有する。
【００３１】
各横辺部分２０ａ、２０ｂの下面には、図２に示すように、一対の移動ベース部材１８上に固定された案内部４２に受け入れられるレール４４が設けられている。案内部４２とレール４４との嵌合により、一対の移動ベース部材１８と、これに対応する一対の横辺部分２０ａ、２０ｂとは、矩形ベース部材１６上でレール４４と直角なＹ軸方向へ、一体的に移動可能である。また、このレール４４の案内作用により、一対の横辺部分２０ａ、２０ｂは、それぞれに対応する移動ベース部材１８上をその長手方向すなわちＸ軸方向へ移動可能である。
【００３２】
また、各縦辺部分２０ｃ、２０ｄの下面には、該縦辺部分の長手方向へ伸長するレール４６（図２および図４参照）が設けられており、一方の縦辺部分２０ｃのレール４６は、図４に該縦辺部の中間部が切り欠いて示されているように、一方の横辺部分２０ａの一端に形成された案内部４８に該横辺部分の幅方向へ摺動可能に受け入れられている。また、各横辺部分２０ａ、２０ｂの下面には、該横辺部分の長手方向へ伸長するレール５０が設けられており、レール５０は、図４に他方の横辺部分２０ｂの中間部が切り欠いて示されているように、一方の縦辺部分２０ｃの一端に形成された案内部５２に該縦辺部分の幅方向へ摺動可能に受け入れられている。
【００３３】
したがって、一方の横辺部分２０ａの一端は、一方の縦辺部分２０ｃの幅方向すなわちＸ軸方向への相対移動を阻止しかつ該縦辺部分の長手方向であるＹ軸方向への相対移動を許すように、一方の縦辺部分２０ｃに結合されている。また、この一方の縦辺部分２０ｃの一端は、他方の横辺部分２０ｂの幅方向であるＹ軸方向への相対移動を阻止しかつ該横辺部分の長手方向であるＸ軸方向への相対移動を許すように、他方の横辺部分２０ｂに結合されている。
【００３４】
同様に、他方の横辺部分２０ｂの一端は、前記した一方の横辺部分２０ａおよび一方の縦辺部分２０ｃにおけると同様な結合構造により、他方の縦辺部分２０ｄの幅方向であるＸ軸方向への相対移動を阻止しかつ該縦辺部分の長手方向であるＹ軸方向への相対移動を許すように、他方の縦辺部分２０ｄに結合されている。また、他方の縦辺部分２０ｄの一端は、前記した一方の縦辺部分２０ａおよび他方の横辺部分２０ｂにおけると同様な結合構造により、一方の横辺部分２０ａの幅方向であるＹ軸方向への相対移動を阻止しかつ該横辺部分の長手方向であるＸ軸方向への相対移動を許すように、一方の横辺部分２０ａに結合されている。
【００３５】
各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの他端は、隣接する辺部分を超えて該辺部分の幅方向外方へ突出する。
【００３６】
一対の横辺部分２０ａ、２０ｂは対応する一対の移動ベース部材１８と一体的にＹ軸方向へ移動可能であり、かつ該移動ベース部材１８上をその長手方向であるＸ軸方向へ移動可能である。また、各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの前記一端は、各一端に隣接する各辺部分２０ｃ、２０ｄ、２０ｂ、２０ａのそれぞれに、それらの幅方向への相対移動を阻止しかつそれらの長手方向への相対移動を許すように、結合されている。
【００３７】
また、図３および図４に示されているように、一対の移動ベース部材１８上には、それぞれに設けられた一対の横辺部分２０ａ、２０ｂの長手方向への相対移動を拘束するための前記した固定機構３０と同様な構成および作用を有する固定機構１３０が設けられている。
【００３８】
したがって、各固定機構３０、１３０の固定機能を解除した状態で、パネル受けを構成する矩形枠体２０の各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄを手動操作することにより、図５（ａ）に示すように、矩形枠体２０の内縁により規定される矩形開口５４を最大寸法から、図５（ｂ）に示すように、最大寸法より小さい所望の大きさの矩形開口５４に変更自在であり、液晶パネル１２の縁部を受けるに最適な大きさに調整した後、固定機構３０、１３０の各固定装置４０の締め付けによって、液晶パネル１２の大きさに応じた最適な矩形開口５４を保持することができる。
【００３９】
一対のレールすなわち軌道部材２６上に一対の移動ベース部材１８を跨って配置し、この一対の移動ベース１８上に矩形枠体２０を配置することにより、該矩形枠体にがた付きを生じることなく、安定した状態で矩形ベース部材１６上に矩形枠体２０を移動可能に保持することができ、また矩形枠体２０の剛性を高めることができる。
【００４０】
矩形枠体２０に、前記したような結合構造を採用することにより、個々の辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの独立した運動を防止し、隣り合う辺部分の直角関係を維持した状態で各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄを移動させることができるので、表示パネル１２の大きさに応じた矩形開口１６ａを形成すべく手動で各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄを移動させるとき、その操作が容易に行える。
【００４１】
また、この各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの手動操作のために、各移動ベース部材１８と矩形ベース部材１６との間および各移動ベース部材１８と該移動ベース部材上の辺部分２０ａ、２０ｂとの間に、それぞれ解除可能に固定するための固定機構３０、１３０を設けることにより、所望の大きさの矩形開口の形成のために各辺部分の操作が容易となり、その後、前記固定機構の固定作用により、各辺部分の微動による矩形枠体の移動あるいは変形を確実に阻止することができる。
【００４２】
矩形枠体すなわちパネル受け２０上の液晶パネル１２を確実に保持するために図１に示されているように、一方の横辺部分２０ａおよび他方の縦辺部分２０ｃに位置決めピン５６が設けられ、また他方の横辺部分２０ｂおよび一方の縦辺部分２０ｄには、対向する位置決めピン５６と共同して液晶パネル１２を解除可能に挟持するためのプッシャ５８が設けられている。
【００４３】
各プッシャ５８は、横辺部分２０ｂおよび縦辺部分２０ｃのそれぞれに設けられているが、代表的に、図６および図７に示された縦辺部分２０ｃに設けられたプッシャ５８に沿って説明する。
【００４４】
プッシャ５８は、図７および図８に示されているように、縦辺部分２０ｃの幅方向に沿って配置された支持部材６０の先端に支持されており、該支持部材６０は、縦辺部分２０ｃの下面に設けられた案内部材６２により、該縦辺部分の幅方向へ移動可能に案内される。案内部材６２は、縦辺部分２０ｃに図示しないブラケットを介して支持されたピストン・シリンダ装置６４の作動により、スリット６６に沿って図８（ａ）に示す挟持位置と、図８（ｂ）に示す解除位置との間で移動可能である。
【００４５】
前記した位置決めピン５６とプッシャ５８とから成る位置決め機構によりパネル受け２０上で液晶パネル１２は確実に挟持される。このパネル受け２０上の液晶パネル１２にその前記電極を経て検査用の電力を供給するための多数の前記プローブユニット２２が、パネル受け２０の対応する各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに保持されている。
【００４６】
各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄについてのプローブユニット２２の支持構造は、それぞれ同一であることから、代表的に、図６および図７に示された縦辺部分２０ｃにおける支持構造について説明する。
【００４７】
縦辺部分２０ｃすなわち各辺部分上には、該辺部分の長手方向に沿ってそれぞれ細長い第１の移動片６８および第２の移動片７０が配置されている。第１の移動片６８は、図７に明確に示されているように、前記辺部分２０ｃ上でこれに沿って配置される底部６８ａと、該底部の矩形開口５４側に位置する縁部から底部６８ａと直角に立ち上がる直立壁部６８ｂとを備え、全体にＬ字状の横断面形状を有する。前記辺部分２０ｃ上には、該辺部分の幅方向に伸びる一対のレール７２が設けられており、また、第１の移動片６８の底部６８ａの下面には、対応するレール７２に嵌合する一対の案内部７４が設けられている。
【００４８】
したがって、レール７２の案内作用により、第１の移動片６８は、前記辺部分２０ｃ上でその幅方向へ移動可能である。第１の移動片６８が矩形開口５４を規定する前記辺部分２０ｃの内縁に最も近接する前進位置は、前記辺部分２０ｃの外縁に形成された凹所７６の底部７６ａと、該凹所に対応して底部６８ａに形成された係止部材７８との当接により、規定される。
【００４９】
第２の移動片７０は、第１の移動片６８の直立壁部６８ｂに沿って前記辺部分２０ｃの内縁の側に配置されており、直立壁部６８ｂから間隔を置いてこれと平行に伸びる。第２の移動片７０の両端には、第１の移動片６８の直立壁部６８ｂの両端を超えて伸長するアーム部７０ａが形成されている。各アーム部７０ａには、その外方へ該アーム部の伸長方向と直角な回転軸を有するローラ８０が回転可能に支持されている。
【００５０】
第１の移動片６８の直立壁部６８ｂと、これに対向する第２の移動片７０との間には、図９および図１０に示すように、両者を移動可能に結合する結合機構８２が形成されている。結合機構８２は、図１０に明確に示されているように、直立壁部６８ｂの底部に形成された下方ブロック８２ａと、底部６８ａに対向する第２の移動片７０の内面で下方ブロック８２ａの対角位置に形成された上方ブロック８２ｂとを備える。下方ブロック８２ａには、上方ブロック８２ｂへ向けて伸長する傾斜ピン８２ｃが支持されている。この傾斜ピン８２ｃは、下方ブロック８２ａから上方および前記辺部分２０ｃの内縁へ向けて傾斜して立ち上がる。他方、上方ブロック８２ｂには、傾斜ピン８２ｃを受け入れる案内孔８２ｄが形成されている。
【００５１】
結合機構８２は、傾斜ピン８２ｃの軸線方向への第１の移動片６８および第２の移動片７０の相対移動を許すように、該両移動片６８、７０を結合する。また、傾斜ピン８２ｃを取り巻いてばね手段である圧縮コイルスプリング８４が配置されている。圧縮コイルスプリング８４は、下方ブロック８２ａおよび上方ブロック８２ｂが傾斜ピン８２ｃの軸線方向に沿って相離れる方向へのばね力を作用させる。この結合機構８２は、図７および図９に示すように、第１の移動片６８および第２の移動片７０の長手方向の両端近傍および中央部に、それぞれ設けられている。
【００５２】
各結合機構８２における案内孔８２ｄの圧縮コイルスプリング８４のばね力による傾斜ピン８２ｃからの離脱は、図７および図１０に示されているように、前記辺部分２０ｃの両端に設けられた一対のストッパ部材８６により防止されている。各ストッパ部材８６は、前記辺部分２０ｃから第２の移動片７０のアーム部７０ａの外側に沿って立ち上がる直立部８６ａおよび該直立部から対応するアーム部７０ａの上面に係合可能に伸長するフック部８６ｂを有する。
【００５３】
ストッパ部材８６のフック部８６ｂは、図１０に示すように第２の移動片７０のアーム部７０ａの上面を摺動可能に受けることにより、上方ブロック８２ｂの傾斜ピン８２ｃからの離脱を防止する。また、第２の移動片７０は、圧縮コイルスプリング８４のばね力によりアーム部７０ａがフック部８６ｂに当接された復帰位置で、第１の移動片６８とのレール７２に沿った一体的な移動が可能である。また、ストッパ部材８６は、その直立部８６ａがアーム部７０ａのローラ８０に当接することにより、後述する案内機構８８と共同して、第２の移動片７０の円滑な垂直移動を可能とする。
【００５４】
また、第１の移動片６８の直立壁部６８ｂと、これに対向する第２の移動片７０との間には、図７および図１０に示すように、両者を円滑に傾斜ピン８２ｃの傾斜に沿って案内するための一対の案内機構８８が設けられている。
【００５５】
各案内機構８８は、図１１に示されているように、第１の移動片６８に設けられた第１の傾斜ブロック８８ａと、該傾斜ブロックに対向して第２の移動片７０に設けられた第２の傾斜ブロック８８ｂとを備える。第１の傾斜ブロック８８ａは、第１の移動片６８の直立壁部６８ｂの第２の移動片７０に対向する面に設けられ、前記傾斜ピン８２ｃの傾斜角に一致した傾斜角を有する傾斜面９０ａが設けられている。傾斜面９０ａには、傾斜ピン８２ｃの伸長方向に沿ってレール９２が設けられている。
【００５６】
また、第２の傾斜ブロック８８ｂは、第１の傾斜ブロック８８ａの傾斜面９０ａから間隔を置いてこれに平行に形成された傾斜面９０ｂを有する。この傾斜面９０ｂには、レール９２に嵌合し、該レールに案内される案内部９４が設けられている。
【００５７】
各案内機構８８は、後述するように第２の移動片７０が第１の移動片６８との間で圧縮コイルスプリング８４を圧縮する作用力を受けたとき、第２の移動片７０の傾斜ピン８２ｃに沿った移動を確実に案内する。
【００５８】
前記辺部分２０ｃには、図７に示すように、一対のピストン・シリンダ装置９６が設けられている。各ピストン・シリンダ装置９６のシリンダは、図示しないブラケットを介して前記辺部分２０ｃに支持されており、ピストン・シリンダ装置９６の伸長および収縮動作により、第２の移動片７０が保持された第１の移動片６８は、矩形開口５４の縁部に近づく前進位置と前記縁部から遠ざかる後退位置との間で駆動される。
【００５９】
前記した第１の移動片６８、第２の移動片７０、両移動片６８、７０間に設けられた結合機構８２、圧縮コイルスプリング８４、案内機構８８およびピストン・シリンダ装置９６の構成は、各横辺部分２０ａ、２０ｂおよび各縦辺部分２０ｃ、２０ｄに共通である（図１参照）。
【００６０】
各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ上の第２の移動片７０には、複数の前記したプローブユニット２２が保持されている。各プローブユニット２２は、図１１に示されているように、第２の移動片７０に沿ってその外面に支持された案内バー９８に解除可能に結合される例えばクランプ機構から成る固定装置１００により、それぞれのプローブ２２ａが垂下するように各第２の移動片７０に解除可能に固定されている。また、各プローブユニット２２は、第２の移動片７０の下面にその長手方向へ形成されたレール１０２に係合する案内部１０４により、確実に保持され、また、第２の移動片７０の長手方向に一致する前記辺部分の長手方向へ確実に案内される。
【００６１】
したがって、各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ上の第２の移動片７０に設けられた各プローブユニット２２は、固定装置１００を解除した状態で、液晶パネル１２に設けられた前記電極の配置に対応した所定位置に移動させることができ、各固定装置１００の締め付けにより、各プローブユニット２２を所定位置に確実に位置決めることができる。
【００６２】
本発明に係る検査装置１０の作動を図１２に沿って説明する。
本発明に係る検査装置１０は、各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに設けられたピストン・シリンダ装置９６が収縮動作し、収縮位置に保持される。各ピストン・シリンダ装置９６の収縮位置では、対応する各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに設けられた第１の移動片６８は、図１２（ａ）に示す後退位置に保持される。
【００６３】
この後退位置では、第２の移動片７０は、圧縮コイルスプリング８４のばね力により、そのアーム部７０ａがストッパ部材８６のフック部８６ｂに係合する位置に保持されている。これにより、第２の移動片７０は、対応する第１の移動片６８と一体的に、これらが設けられた対応する各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの幅方向へそれぞれ移動可能である。また、第１の移動片６８の後退位置では、各アーム部７０ａの先端部に支持されたローラ８０は、ストッパ部材８６の直立部８６ａから間隔をおいて保持されており、各プローブユニット２２は、矩形開口５４の縁部およびパネル受け２０から大きく隔てられた待機位置に保持されている。
【００６４】
この状態で、図５に沿って説明したとおり、検査対象である液晶パネル１２の大きさに適するように、パネル受け２０の大きさが調整され、各固定機構３０によりパネル受け２０が矩形ベース部材１６上で固定される。
【００６５】
次に、パネル受け２０上に液晶パネル１２がその前記電極を上方へ向けた姿勢で、その縁部がパネル受け２０の矩形開口５４の縁部上に乗るように配置される。このとき、待機位置にある各プローブユニット２２は、液晶パネル１２の取り扱い領域外にあることから、液晶パネル１２のパネル受け２０上への配置およびパネル受け２０上からの取り出し作業に支障を与えることはない。また、パネル受け２０上に液晶パネル１２が配置されると、前記したように各プッシャ５８が対応する位置決めピン５６との間で、液晶パネル１２を確実に挟持する。
【００６６】
液晶パネル１２がパネル受け２０上で挟持されると、各ピストン・シリンダ装置９６が伸長動作し、この伸長動作に伴って第１の移動片６８が第２の移動片７０と一体的に、前進位置へ向けて移動する。この移動は、図１２（ａ）に符号αで示すように、パネル受け２０の正面に平行な面上で対応する各辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの幅方向に沿った水平経路に沿う。
【００６７】
この水平経路αに沿った第１の移動片６８および第２の移動片７０の一体的な移動により、図１２（ｂ）に示すように、ローラ８０がストッパ部材８６の直立部８６ａに当接すると、引き続くピストン・シリンダ装置９６の伸長動作に伴って第１の移動片６８は、引き続き前進位置へ向けて水平経路αを前進する。しかしながら、第２の移動片７０は、ローラ８０と直立部８６ａとの当接により、第１の移動片６８との一体的な移動を阻止される。
このローラ８０と直立部８６ａとが当接するとき、図１２（ｂ）に示されているように、第２の移動片７０に支持された各プローブユニット２２は液晶パネル１２の配置領域内にあり、プローブユニット２２のプローブ２２ａは、液晶パネル１２の対応する電極１２ａの直上に位置する。
【００６８】
また、ストッパ部材８６により、第２の移動片７０の前進が阻止されると、ピストン・シリンダ装置９６により与えられる前進力の一部は、結合機構８２の傾斜ピン８２ｃと案内孔８２ｄとの係合および案内機構８８の傾斜面９０ａ、９０ｂに形成されたレール９２と案内部９４との係合により、圧縮コイルスプリング８４の圧縮力に変換される。
【００６９】
その結果、ストッパ部材８６とローラ８０とが当接する運動変換点を超えて第１の移動片６８が前進すると、この第１の移動片６８の引き続く前進に伴い、第２の移動片７０は水平経路αと直角な垂直経路βに沿って下方へ移動し、この第２の移動片７０の移動と一体にプローブユニット２２が対応する電極１２ａに向けて降下する。この降下によって、第１の移動片６８の前進位置では、図１２（ｃ）に示すように、各プローブユニット２２のプローブ２２ａが液晶パネル１２の対応する電極１２ａに接続される。
前記した第２の移動片７０の垂直経路βに沿った移動は、ローラ８０がストッパ部材８６の直立部８６ａを転動することから、プローブユニット２２の垂直経路βに沿った昇降は円滑に行われる。
【００７０】
また、プローブユニット２２からの電力供給を伴う液晶パネル１２の検査が終了すると、ピストン・シリンダ装置９６が収縮動作する。このピストン・シリンダ装置９６の収縮動作により、第１の移動片６８が前進位置から後退位置へ向けて移動すると、この移動に伴い、第２の移動片７０が圧縮コイルスプリング８４のばね力により上方ヘ向けて移動することから、プローブユニット２２は垂直経路βに沿って対応する電極１２ａの上方へ移動する。
第２の移動片７０の上方への移動によってそのアーム部７０ａがストッパ部材８６のフック部８６ｂに当接すると、第２の移動片７０は上方への移動が阻止されることから、この運動変換点を超える後退位置へ向けての第１の移動片６８の移動に伴い、第２の移動片７０は第１の移動片６８と一体的に後退する。
【００７１】
このように、第１の移動片６８と第２の移動片７０との間に設けられた結合機構８２、案内機構８８、第２の移動片７０の移動を規制するためのローラ８０およびストッパ部材８６は、ピストン・シリンダ装置９６の作動によって第１の移動片６８に与えられる水平移動と一体的な第２の移動片７０の水平経路αに沿った水平移動を、その垂直経路βに沿った昇降移動に変換することから、運動変換機構を構成する。
【００７２】
本発明に係る検査装置１０では、前記したように、各第１の移動片６８を作動させるピストン・シリンダ装置９６の作動により、各第２の移動片７０に設けられた複数のプローブユニット２２を作動させることができるので、プローブユニット２２毎にこれを作動させるための駆動装置が不要となる。したがって、プローブユニット２２を作動させるための駆動装置の数を低減させることができるので、検査装置１０の構成の簡素化を図ることができる。
【００７３】
また、パネル受け２０の辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ毎に設けられる多数のプローブユニット２２が一体的に動作することから、辺部分２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ毎に設けられる複数のプローブユニット２２の動作を同期させるための格別な回路構成は不要となるので、構成の一層の簡素化を図ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
例えば、パネル受け２０を固定枠とすることができる。また、運動変換機構として前記した運動変換機構に代えて、種々の運動変換機構を採用することができる。
また、検査を受ける表示パネルとして、液晶パネルの例を示したが、これに代えて、本発明に係る検査装置を有機ＥＬパネル、プラズマディスプレイパネル等の種々の表示パネルの検査に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明に係る検査装置の平面図である。
【図２】図１に示された線II-IIに沿って得られた断面図である。
【図３】図１に示した矩形枠体の平面図である。
【図４】矩形枠体を構成する辺部分の結合関係を一部を破断して示す斜視図である。
【図５】矩形枠によるパネル受けの大きさの変更形態を示し、（ａ）は最大寸法に設定されたパネル受けを示す平面図であり、（ｂ）はそれよりも小さな寸法に設定されたパネル受けを示す平面図である。
【図６】図１に示した本発明に係る運動変換機構を拡大して示す平面図である。
【図７】本発明に係る運動変換機構を矩形枠体の辺部分から分解して示す斜視図である。
【図８】プッシャーの作動状態を示し、（ａ）は液晶パネルの保持位置にあるプッシャーを示す断面図であり、（ｂ）は液晶パネルの解放位置にあるプッシャーを示す断面図である。
【図９】本発明に係る運動変換機構の一部を破断して示す斜視図である。
【図１０】図６に示された線Ｘ-Ｘに沿って得られた断面図である。
【図１１】図６に示された線ＸI-ＸIに沿って得られた断面図である。
【図１２】プローブユニットの動作を示す説明図であり、（ａ）は待機位置にあるプローブユニットを示し、（ｂ）は第１の移動片が運動変換点に達した状態にあるプローブユニットを示し、（ｃ）は液晶パネルの電極への接触位置にあるプローブユニットを示す説明図である。
【符号の説明】
【００７６】
１０  検査装置
１２  表示パネル（液晶パネル）
１２ａ  電極
１６  矩形ベース部材
１８  一対の移動ベース部材
２０  矩形枠体（パネル受け）
２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ  矩形枠体の辺部分
２２  プローブユニット
２６  一対の軌道部材（レール）
３０  固定機構
３４  雄ねじ部材
３６  ナット部材
３８  ボールねじ
４０  固定装置
５４  矩形枠体の矩形開口
６８  第１の移動片
７０  第２の移動片
８０、８２、８６、８８  運動変換機構
８２ｃ  傾斜ピン
８２ｄ  案内孔
８４  ばね手段（圧縮コイルスプリング）
９０ａ、９０ｂ  傾斜面
９２  レール
９４  案内部
９６  駆動装置（ピストン・シリンダ装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004533271.tif 000008
【図８】
0004533271.tif 000009
【図９】
0004533271.tif 000010
【図１０】
0004533271.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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