(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリカゲルを主材としてなる粉粒体材料もしくは繊維状材料を、４ｗｔ％〜４０ｗｔ％の硫酸水溶液、又はリン酸水溶液により酸処理した後、乾燥処理させたシリコーンガス吸着剤。
【請求項２】
前記酸処理が、前記硫酸水溶液又は前記リン酸水溶液に浸漬して攪拌混合する浸漬処理、又は、前記硫酸水溶液又は前記リン酸水溶液を噴霧する噴霧処理である請求項１記載のシリコーンガス吸着剤。
【請求項３】
請求項１又は２のいずれかに記載のシリコーンガス吸着剤を主成分とするガスフィルタ。
【請求項４】
ガス検知素子を設け、被検知ガスを外部空間からガス検知素子へ導くガス誘導路を設け、前記ガス誘導路に前記被検知ガスと接触自在に請求項１又は２のいずれかに記載のシリコーンガス吸着剤を介在させてあるガスセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコーンガス吸着剤及びガスフィルタ及びガスセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、シリコーンパテ、シリコーンゴム、シリコーンオイル等種々のシリコーン材料が建築材料として多用されるようになってきている。このようなシリコーン材料には低重合度で比較的揮発性の高い有機シリコーンが含有されており、有機シリコーンガスが、ガス検知素子に悪影響を与えるという問題点が指摘されている。
つまり、ガス検知素子にシリコーンガスが付着した場合に、そのガス検知感度が低下したり、選択的に検出すべきガス以外のガスに対してガス検知感度が上昇して、誤作動したりしやすくなることがあった。これは、被検知ガス中に含まれる有機シリコーンガスが、ガス検知素子にまで達して、前記ガス検知素子に前記有機シリコーンガス又はその分解物等のシリコーン成分が付着することで、前記ガス検知素子のガス検知特性を変化させてしまうものと考えられる。
【０００３】
例えば、酸化スズ半導体式のメタン用のガス検知素子の場合、前記ガス検知素子に前記シリコーン成分が付着すると、アルコールに対する感度が高くなり、アルコールに対するメタン選択性が低下するという問題が生じる。また、接触燃焼式の炭化水素ガス用のガス検知素子の場合、前記ガス検知素子に前記シリコーン成分が付着すると、炭化水素ガス自体の検出感度が低下して前記炭化水素を検出できなくなるという問題が生じる。
【０００４】
そこで、上述の問題を防止すべく、前記シリコーン成分が前記ガス検知素子に付着することを防止するフィルタ層を、ガス検知素子の外表面にシリカを担持させて形成しておくことが考えられている。
このガス検知素子によれば、有機シリコーンガスが前記フィルタ層に付着し、ガス検知素子の内部にまで達するのを防ぐことができるものと考えられる。しかし、前記シリコーン成分が前記フィルタ層に付着することで前記ガス検知素子の応答性能等が変化することは避けられず、結果として前記ガス検知素子のガス検知特性の変化を抑制することは困難であった。また、前記ガス検知素子のガス検知特性のばらつきを抑制し、かつ、効率よく有機シリコーンガスを吸着させるためには、前記フィルタ層を均一な厚みに形成されている必要がある。ところが、前記フィルタ層を均一な厚みに形成するには、前記フィルタ層を厚く成形せねばならず、前記フィルタ層を厚く成形すると前記ガス検知素子のガス検出感度や応答性が低下したり、前記ガス検知素子の発熱によって前記フィルタ層にひびが入ったりして破損する虞れがあった。
【０００５】
そのため、一対の通気性多孔体間に、ケイ酸成分粒子又はアルミノケイ酸成分粒子の少なくともいずれか一方を介在させてなるガスフィルタを、被検知ガスを外部空間からガス検知素子へ導くガス誘導路に設けてあるガスセンサが提案されている。
このガスセンサによれば、ガスフィルタで前記被検知ガスに混入する有機シリコーンガスを効率よく吸着除去することで、被検知ガスを的確に検知することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ガス配管等から漏洩している被検知ガスを上述のガスセンサで検知する場合、ガス配管に多量に使用されているシリコーン系シーリング剤が、フィルタ材料のシリコーンガス吸着能力を極めて短時間で劣化させる場合があった。かかる場合、数日間ないし数週間でフィルタを交換する必要があり、フィルタ交換に伴うランニングコスト上昇を防止するためにも、フィルタのシリコーンガス吸着能力のさらなる増大が望まれていた。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、上記実情に鑑み、被検知ガスに混入する有機シリコーンガスをさらに効率よく吸着除去できる技術を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本願発明に係るシリコーンガス吸着剤は、請求項１に記載のように、シリカゲルを主材としてなる粉粒体材料もしくは繊維状材料を、４ｗｔ％〜４０ｗｔ％の硫酸水溶液、又はリン酸水溶液により酸処理した後、乾燥処理させたシリコーンガス吸着剤である。
【０００９】
また、本願発明に係るシリコーンガス吸着剤は、請求項２に記載のように、請求項１記載の発明において、前記酸処理が、前記硫酸水溶液又は前記リン酸水溶液に浸漬して攪拌混合する浸漬処理、又は、前記硫酸水溶液又は前記リン酸水溶液を噴霧する噴霧処理であるシリコーンガス吸着剤である。
【００１０】
【００１１】
また、本願発明に係るガスフィルタは、請求項３に記載のように、請求項１又は２のいずれかに記載のシリコーンガス吸着剤を主成分とするガスフィルタである。
【００１２】
また、本願発明に係るガスセンサは、請求項４に記載のように、ガス検知素子を設け、被検知ガスを外部空間からガス検知素子へ導くガス誘導路を設け、前記ガス誘導路に前記被検知ガスと接触自在に請求項１〜３のいずれかに記載のシリコーンガス吸着剤を介在させてあるガスセンサである。
【００１３】
〔作用〕
発明者らは、シリカゲルを、酸水溶液中に浸漬させ攪拌混合する酸処理の後、乾燥処理させることで得られるシリコーンガス吸着剤が、高いシリコーンガス吸着能力を有するという新知見を見出しその新知見に基づいて本願発明を完成させた。
つまり、シリカゲルを主材としてなる粉粒体材料もしくは繊維状材料に対し、酸により酸処理した後、乾燥処理させるから、高いシリコーンガス吸着能力を有するシリコーンガス吸着剤を得ることができるのである。
【００１４】
このとき、シリカゲルに対し、不揮発性酸の水溶液に浸漬する酸処理を行った後、乾燥処理させることでシリコーンガス吸着剤を得ることができる。係るシリコーンガス吸着剤からは、酸処理に用いた酸が揮発し周辺に気体状態の酸が漏洩する恐れがなく、周辺環境や、ガス検知素子自体に影響を及ぼさない。
【００１５】
また、シリカゲルに対し、４〜４０ｗｔ％の硫酸を用いて酸処理を行った後、乾燥処理させることで効率よく吸着性能の高いシリコーンガス吸着剤を得ることができる。
【００１６】
また、上述のシリコーンガス吸着剤を成形する、フィルタ層として所定空間に充填する等により前記シリコーンガス吸着剤を主成分とするガスフィルタを得ることができる。本願発明に係るガスフィルタを使用することで、前述の従来技術におけるガスフィルタと同様の利便性を付与することが可能になるとともに、被検知ガス中にシリコーンガスが含まれていたとしても確実にシリコーンを吸着除去できる。
【００１７】
また、ガス検知装置として、被検知ガスを外部空間からガス検知素子へ導くガス誘導路に、前記被検知ガスと接触自在にシリコーンガス吸着剤を介在させてあれば、前記被検知ガスは、前記シリコーンガス吸着剤を通過して前記ガス検知素子に達する。
このとき、前記被検知ガス中にシリコーンガスが含まれていたとしても、前記被検知ガスは前記シリコーンガス吸着剤に吸着されることなく、前記シリコーンガスが前記シリコーンガス吸着剤に吸着されて、前記被検知ガス中から除去されるため、前記シリコーンガスはガス検知素子に達しにくい。そのため、前記ガス検知素子にシリコーン成分が付着してガス検知特性を変化させてしまうという不都合を抑制することが出来る。
【００１８】
前記ガス誘導路に前記被検知ガスと接触自在にシリコーンガス吸着剤を介在させてあるガス検知装置において、仮に、前記シリコーンガス吸着剤から気体状態の酸が漏洩した場合にあっては、気体状態の酸がガス検知素子のガス検知性能に影響を及ぼす可能性も考えられる。
しかし、上述の酸処理において不揮発性酸を使用した場合にあっては、シリコーンガス吸着剤から酸が揮発する恐れがない。
そのため、前記ガス誘導路に前記被検知ガスと接触自在に不揮発性酸を用いて酸処理を行ったシリコーンガス吸着剤を介在させてガスセンサを構成する場合にあっては、前記シリコーンガス吸着剤から酸が漏洩することはないので、ガス検知素子のガス検知性能に影響を及ぼすことはない。しかしながら、前記酸が揮発酸であったとしても、その揮発酸を除去するフィルタ等を適宜配置すれば、同様にシリコーンガス吸着能を発揮するものと考えられる。
【００１９】
その結果、被検知ガスに混入する有機シリコーンガスを効率よく吸着除去できるシリコーンガス吸着剤を得ることができた。また、被検知ガス中に有機シリコーンガスが含まれていたとしても確実に有機シリコーンを吸着除去できるフィルターを得ることができた。また、本願発明に係るシリコーンガス吸着剤を用いたフィルターを組み込んでガスセンサを構成した場合にあっては、前記シリコーン又はその分解物質等のシリコン成分が前記ガス検知素子に付着しにくいから前記ガス検知素子はガス検知特性を変化することなく、長期にわたって安定で、信頼性高い状態で用いることが出来るガスセンサを得ることができた。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を示すが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
【００２１】
以下に、本願発明に係るガス検知装置の構造について説明する。
図７に示すように、ガス検知装置は、ガス検知素子Ａを設け、被検知ガスを外部空間Ｂからガス検知素子Ａへ導くガス誘導路を設け、前記外部空間Ｂから前記ガス検知素子Ａを隔離するガスフィルタＣを、前記ガス誘導路を形成する通気口Ｄ１に設けてある。ガスフィルタＣは、後述のシリコーンガス吸着剤を、上部多孔性保持部材Ｃ１と下部多孔性保持部材Ｃ２とで保持し通気口Ｄ１に設けられる空間に充填したものである。
【００２２】
前記ガス検知素子Ａは貴金属コイルに金属酸化物半導体を塗布焼結した、いわゆる熱線型半導体検知素子であり、円筒形状のハウジングＤの内部に備えて構成してある。前記ガス検知素子Ａには電源Ｅから電力が供給される。前記ガス検知素子Ａは出力指示計Ｆと接続されており検知ガスの存在を定量的に検知することができる。前記ハウシングＤの頂部部位には、外部空間ＢとハウジングＤの内部との間でガスが流通可能なガス誘導路を形成する通気口Ｄ１を設けてある。そして、このハウジングＤ下部には検知対象ガスを吸引するためのポンプＰが設けられている。ハウジングＤ自体は気密性の材料で構成されており、前記ガスフィルタＣを介して外部空間Ｂと前記ハウジング内のガス検知素子Ａの近傍とに渡って検知対象ガスが流通する。
本願発明に係るガス検知装置は、図８に示すように、ガス検知素子Ａと、固定抵抗Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３と、電源Ｅと、センサ出力電圧Ｖとからなるホィートストンブリッジ回路で構成されている。ガス検知素子Ａに被検知ガスが接触することで、センサ出力電圧Ｖが変化し被検知ガスの存在を検知できるのである。
【００２３】
〔実施の形態１〕
以下に、本願発明に係るシリコーンガス吸着剤の製造方法を示す。
不揮発性酸としての硫酸を用い、水と混合させることで１２％の硫酸水溶液を調整し、その１２％硫酸水溶液をビーカーに１２ｍｌ用意した。そして、フィルタ材料としてシリカゲル１０ｇ用い、ビーカー中に混入させて１２％硫酸水溶液と混合した。硫酸水溶液とシリカゲルとの混合は、均一に溶液が分散するようにガラス棒で攪拌しながら行った。そして、再びシリカゲル１０ｇをビーカー溶液中へ混入させ、均一に溶液が分散するようにガラス棒で攪拌した。最後に、もう一度、シリカゲル１０ｇをビーカー溶液中へ混入させ、均一に溶液が分散するようにガラス棒で攪拌した（酸処理）。
そして、このようにして得られた硫酸水溶液とシリカゲルとの混合物を６０℃で１５時間、送風乾燥器を用いて乾燥させ（乾燥処理）、本願発明に係るシリコーンガス吸着剤を得た。また、不揮発性酸としてリン酸を用い、それ以外は同様の方法にて、本願発明に係るシリコーンガス吸着剤を得た。
【００２４】
〔実施の形態２〕
上述の実施の形態１で得られたシリコーンガス吸着剤を、上部多孔性保持部材と下部多孔性保持部材との間に充填成形してガスフィルタを製造した。
市販のシリコーン系シーリング剤５ｇを１リットル容積のガラス容器に封入した。そして、吸引方式でシリコーンガスをガラス容器からガスフィルタを経由してガスセンサに送り、ガスセンサ特性の変化を調べることでガスフィルタのシリコーンガス吸着能力を評価した。また、比較例として、酸処理をしていないシリカゲルを成形してフィルタを構成した場合と、フィルタを用いない場合とにおいても同様に評価試験を行った。
【００２５】
硫酸（Ｈ2ＳＯ4）を用いた酸処理を施したガスフィルタのシリコーンガス吸着能力を図１（ａ）に、リン酸（Ｈ3ＰＯ4）を用いた酸処理を施したガスフィルタのシリコーンガス吸着能力を図１（ｂ）に、フィルタを用いない場合を図１（ｃ）に、酸処理をしていないシリカゲルでフィルタを構成した場合を図１（ｄ）に示す。ぞれぞれの図において、縦軸はセンサ出力であり、横軸は評価時間である。
図１（ｃ）の結果から、フィルタを用いない場合は試験時間が経過するにつれてセンサ出力が上昇していることが理解できる。これは、シリコーンガスが、ガス検知素子に達し、前記ガス検知素子に付着することで、前記ガス検知素子のガス検知特性を変化させてしまうのものと考えられる。
図１（ｄ）の結果から、酸処理をしていないシリカゲルでフィルタを構成した場合はフィルタを用いない場合と比較して、ある程度センサ出力の上昇を抑制できることが理解できる。
一方、図１（ａ）及び（ｂ）の結果から、本願発明に係るシリコーンガス吸着剤を用いてフィルタを構成した場合は、センサ出力の変動を著しく抑えることが理解できる。
【００２６】
〔実施の形態３〕
次に、妨害ガスの存在下において、被検知ガスに対するガス検知素子のガス感度特性の変動評価試験を行った。尚、以下の実施の形態において、特記の無い事項については、先の実施の形態に準じて評価試験を行っている。
硫酸での酸処理を施したガスフィルタを用いた場合のガス検知素子のガス感度特性を図２（ａ）に、リン酸での酸処理を施したガスフィルタを用いた場合のガス検知素子のガス感度特性を図２（ｂ）に、フィルタを用いない場合のガス検知素子のガス感度特性を図２（ｃ）に、酸処理をしていないシリカゲルでフィルタを構成した場合のガス検知素子のガス感度特性を図２（ｄ）に示す。ぞれぞれの図において、縦軸はガス感度であり、横軸は試験時間である。妨害ガスとしての水素の存在下、検知ガスとしてのメタンを検知することとした。
【００２７】
図２（ｃ）の結果から、メタンに対するガス感度は一定である一方で、水素に対するガス感度が上昇していることが理解できる。そのため、フィルタを用いない場合は、試験時間が経過するにつれ妨害ガスを強く検知し検知ガスを的確に検知できなくなる。
図２（ｄ）の結果からは、水素に対するガス感度は、フィルタを用いない場合と比較して感度上昇をある程度抑制できることが理解できる。
一方、図２（ａ）及び（ｂ）の結果から、本願発明に係るシリコーンガス吸着剤を用いてフィルタを構成した場合は、水素に対するガス感度上昇を著しく抑えることができる。
【００２８】
〔実施の形態４〕
硫酸濃度を変化させて酸処理を施したシリコーンガス吸着剤を成形しガスフィルタをガス誘導路に介在させたガスセンサを用い、空気中において、センサ出力の変動評価試験を行った。
２５％硫酸水溶液を用いて酸処理をすること以外は、上述の実施の形態１における製造方法と同様の方法でシリコーンガス吸着剤を得た。また、５０％硫酸水溶液を用いて酸処理をすることでシリコーンガス吸着剤を得た。
そして、それらのシリコーンガス吸着剤をそれぞれ上述の実施の形態2 と同様に上部多孔性保持部材と下部多孔性保持部材との間に充填成形してガスフィルタを製造した。また、比較例として、酸処理をしていないシリカゲルでフィルタを構成した場合においても評価試験を行った。
【００２９】
１２％硫酸水溶液での酸処理を施したガスフィルタのシリコーンガス吸着能力を図３（ａ）に、２５％硫酸水溶液での酸処理を施したガスフィルタのシリコーンガス吸着能力を図３（ｂ）に、５０％硫酸水溶液での酸処理を施したガスフィルタのシリコーンガス吸着能力を図３（ｃ）に、酸処理をしていないシリカゲルでフィルタを構成した場合を図３（ｄ）に示す。ぞれぞれの図において、縦軸はセンサ出力であり、横軸は試験時間である。
【００３０】
図３（ａ）及び（ｂ）の結果から、１２％硫酸水溶液若しくは２５％硫酸水溶液で酸処理をすることでフィルタを構成した場合は、センサ出力の変動を著しく抑えることができることが理解できる。
一方、図３（ｃ）の結果から、５０％硫酸水溶液で酸処理をすることでフィルタを構成した場合は、図３（ｄ）に示す未処理シリカゲルでフィルタを構成した場合同様に、試験時間の経過と共にセンサ出力が上昇する。
【００３１】
〔実施の形態５〕
次に、硫酸濃度を変化させて酸処理を行った場合において、妨害ガスの存在下、被検知ガスに対するガス検知素子のガス感度特性の変動評価試験を行った。
１２％硫酸水溶液での酸処理を施したガスフィルタを用いた場合のガス検知素子のガス感度特性を図４（ａ）に、２５％硫酸水溶液での酸処理を施したガスフィルタを用いた場合のガス検知素子のガス感度特性を図４（ｂ）に、５０％硫酸水溶液での酸処理を施したガスフィルタを用いた場合のガス検知素子のガス感度特性を図４（ｃ）に、酸処理をしていないシリカゲルでフィルタを構成した場合のガス検知素子のガス感度特性を図４（ｄ）に示す。ぞれぞれの図において、縦軸はガス感度であり、横軸は試験時間である。妨害ガスとしての水素の存在下、検知ガスとしてのメタンを検知することとした。
【００３２】
図４（ｃ）の結果では、メタンに対するガス感度は一定である一方で、水素に対するガス感度が上昇していることが理解できる。そのため、５０％硫酸水溶液を用いて酸処理をすることでシリコーンガス吸着剤を得た場合は、試験時間が経過するにつれ妨害ガスを強く検知し検知ガスを的確に検知できなくなる。図４（ｄ）に示すように、この傾向は未処理シリカゲルでフィルタを構成した場合においても同様である。
一方、図４（ａ）及び（ｂ）の結果から、１２％硫酸水溶液若しくは２５％硫酸水溶液を用いて酸処理をすることでシリコーンガス吸着剤を得た場合は、水素に対するガス感度上昇を著しく抑えることができることが理解できる。
【００３３】
〔実施の形態６〕
本願発明に係るガスセンサにおいて、ガス検知素子の平均感度変化に対する酸処理に使用される酸水溶液濃度依存性の試験結果を示す。尚、ここで、感度変化とは、１０ｐｐｍのＨＭＤＳを３４０ｍｌ／ｍｉｎで、１２０分間吸引しつつガス検知素子をそのＨＭＤＳガスに暴露させる被毒試験を行った際の試験前後におけるセンサ感度の変化量を求めたものである。
不揮発性酸として６、１２、１８、４０、６０ｗｔ％の硫酸水溶液をそれぞれ調整した。そして、フィルタ材料としてシリカゲルを用い、上述の実施の形態１に記載した製造方法と同様にシリコーンガス吸着剤を用意した。
それぞれの場合においてシリコーンガス吸着剤を成形して製造したフィルタをガス誘導路に介在させたガスセンサを準備し、検知ガスを水素として感度変化を試験した。その結果を図５に示す。
【００３４】
酸処理に用いられる硫酸水溶液の濃度が４〜４０％においては、平均感度変化にほとんど変動は見られない。一方、硫酸水溶液の濃度４０％を超えるにつれ、平均感度変化が上昇する傾向にある。
従って、シリカゲルを硫酸水溶液中に浸漬させ一定時間攪拌混合した後乾燥させたシリコーンガス吸着剤を用いたフィルタを組み込んだガスセンサのガス感度は、硫酸水溶液の濃度が４〜４０％の場合に安定していることが実験的に証明された。（感度変化がほぼ２０ｍＶ以下に抑制されており安定したガス検知に寄与していることが読みとれる。）
【００３５】
〔参考例〕
フィルタ材料として活性炭を用いる以外は上述の実施の形態１と同様の方法で本願発明に係るシリコーンガス吸着剤を製造した。そして、このシリコーンガス吸着剤を成形することでガスフィルタを得、そのガスフィルタをガス誘導路に介在させてガスセンサを得た。そして、上述の実施の形態２と同様にガスフィルタの吸着性能を評価した。その結果を図６（ｂ）に示す。また、比較例として、酸処理をしていない活性炭を成形してフィルタを構成した場合においても試験をした。その結果を図６（ａ）に示す。ぞれぞれの図において、縦軸はガス感度であり、横軸は試験時間である。妨害ガスとしての水素の存在下、検知ガスとしてのメタンを検知することとした。
【００３６】
図６（ａ）の結果から、試験時間が１８０ｍｉｎを経過した後において、メタンに対するガス感度は一定である一方で、水素に対するガス感度が上昇していることが理解できる。そのため、酸処理をしていない活性炭を成形してフィルタを構成した場合は、試験時間が経過するにつれ妨害ガスを強く検知し検知ガスを的確に検知できなくなる。
一方、図６（ｂ）の結果から、本願発明に係るシリコーンガス吸着剤を用いてフィルタを構成した場合は、センサ出力の変動を著しく抑えることが理解できる。
【００３７】
[別実施形態]
以下に別実施例を説明する。
ガス検知器に用いるガス検知素子は、焼結型、厚膜型、薄膜型の半導体式、又は、熱線型半導体式であってもよく、表面に触媒を担持してなる接触燃焼式等の他の型のものであってもよく、検出すべきガスとしては、メタンガス以外に、プロパンガス、ブタンガス等の可燃性ガスや一酸化炭素、水素等のものであってもよい。
【００３８】
また、酸処理は、シリカゲル若しくは活性炭の少なくともいずれか一方を主材としてなる粉粒体材料を、酸水溶液に浸漬して攪拌混合する浸漬処理であるとしたが、前記粉粒体に酸水溶液を噴霧する噴霧処理であっても良い。
【００３９】
また、前記ガスフィルタは上述のように、ガス誘導路を形成する通気口Ｄ１にガス吸着剤を充填して作成しても良いが、加圧成形することもできる。
たとえば、このような場合、図９に示すように、活性炭繊維を加圧成型してなる厚さ約５mmのシート状活性炭Ｃ３を酸処理し、リング状のポリカーボネート製支持部材Ｃ４に嵌合保持させた状態で、そのシート状活性炭Ｃ３を支持体Ｃ４とともに、テフロンフィルムＣ５で被覆し、前記テフロンフィルムＣ５と、前記支持体Ｃ４とを溶融接着して、前記シート状活性炭Ｃ３を封入したガスフィルタを形成しておくこともできる。
このようにして作成したガスフィルタは成形されていることにより取り扱い容易となり汎用性に富むので好適である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  シリコーンガス吸着能力試験結果を示す図で、そのうち、（ａ）は硫酸で酸処理したもの、（ｂ）はリン酸で酸処理したもの、（ｃ）はフィルタ無しのもの、（ｄ）は酸処理していないものである。
【図２】  ガス感度特性の変動評価試験結果を示す図で、そのうち、（ａ）は硫酸で酸処理したもの、（ｂ）はリン酸で酸処理したもの、（ｃ）はフィルタ無しのもの、（ｄ）は酸処理していないものである。
【図３】  センサ出力の変動評価試験結果を示す図で、そのうち、（ａ）は１２％硫酸で酸処理したもの、（ｂ）は２５％硫酸で酸処理したもの、（ｃ）は５０％硫酸で酸処理したもの、（ｄ）は酸処理していないものである。
【図４】  ガス感度特性の変動評価試験結果を示す図で、そのうち、（ａ）は１２％硫酸で酸処理したもの、（ｂ）は２５％硫酸で酸処理したもの、（ｃ）は５０％硫酸で酸処理したもの、（ｄ）は酸処理していないものである。
【図５】  平均感度変化に対する酸処理に使用される酸水溶液濃度依存性を示す図。
【図６】  参考例としてのガス感度特性の変動評価試験結果を示す図で、そのうち、（ａ）は酸処理していないもの、（ｂ）は１２％硫酸で酸処理したものである。
【図７】  本願発明に係るガスセンサを説明する図。
【図８】  ガスセンサの電気回路を説明する図。
【図９】  ガスフィルタの斜視図。
【符号の説明】
Ａ  ガス検知素子
Ｂ  外部空間
Ｃ  ガスフィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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