(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
負荷加重を与えるサスペンションアームに取り付けられる固定部分と、
前記固定部分に取り付けられ、前記固定部分に対する姿勢を変化し得るフレクシャー構造と、
前記フレクシャー構造に取り付けられ、記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により前記記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、
前記固定部分または前記フレクシャー構造の前記記録媒体と対向する位置に備えられ、近接場光を生成する錐状のチップと、
前記固定部分に備えられ、前記近接場光の生成に用いられる光を前記チップに向けて導入する光入射部とを備え、
前記フレクシャー構造は、前記固定部分の前記記録媒体に面する側に形成されているものであり、所定方向の軸及び前記所定方向に対する直交軸を中心として前記スライダーを回転動作させるために用いられるものであることを特徴する光ヘッド。
【請求項２】
前記フレクシャー構造は、
前記スライダーの側方に備えられた外周部と、
前記スライダーを支持するフレクシャーと
を備え、
前記所定方向の軸は、前記固定部分と前記外周部とを連結するものであり、
前記直交軸は、前記外周部と前記フレクシャーとを連結するものであることを特徴とする請求項１に記載の光ヘッド。
【請求項３】
前記フレクシャーは、前記光入射部を通る光軸上に配置された透明部分を備え、
前記チップは、前記透明部分に取付けられていることを特徴とする請求項２に記載の光ヘッド。
【請求項４】
前記光入射部を通る光軸上に配置され、チップを支持する透明部分を備え、
前記透明部分は、前記固定部分に取付けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載の光ヘッド。
【請求項５】
前記チップは、前記所定方向の軸を通る仮想線と前記直交軸を通る仮想線との交点部に取付けられていることを特徴とする請求項３に記載の光ヘッド。
【請求項６】
前記所定方向の軸は、所定方向第１軸及び所定方向第２軸を備え、
前記直交軸は、第１直交軸及び第２直交軸を備え、
前記フレクシャー構造は、前記スライダーのそれぞれのうちのいずれか一方を、前記所定方向第１軸及び前記第１直交軸を中心にして回転動作させるために用いられるとともに、前記スライダーのそれぞれのうちの他方を、前記所定方向第２軸及び前記第２直交軸を中心にして回転動作させるために用いられるものであることを特徴とする請求項１に記載の光ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光を利用して記録媒体表面の微小領域との相互作用を検出することにより、高密度な情報記録および再生を行う記録装置、特に入力光の波長以下の微小領域での構造情報あるいは光学情報を観察し、高密度な情報記録および再生に利用する近視野光利用情報記録装置のための光ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光ディスクなど光を利用した高密度な情報記録および再生を行う装置の開発が盛んに進められている。情報の高密度化のためには紫外線を用いるなど波長を短くすることが必要だが、これには限界があるため油浸あるいは固浸対物レンズ（以下、SIL）を使うなどの方法がある。実質的な波長を短くする別の方法として波数の一成分を虚数にする近視野光利用が挙げられる。近視野光を利用した高分解能プローブは、近視野光顕微鏡や近視野光ヘッドに使われている。プローブの先端から近視野光を発生させて、顕微鏡試料あるいは記録媒体と近視野光の相互作用の結果発生する伝播光を検出することで、光の回折限界を超える空間分解能が得られる。入射伝播光と、試料あるいは記録媒体との相互作用の結果発生した近視野光をプローブによって検出する方法もある。近視野顕微鏡はこの原理によって従来の光学顕微鏡の回折限界を超える分解能を達成している。またこのような近視野光プローブを近視野光ヘッドに利用した場合には、従来の光ディスクを超えるデータ記録密度が可能となる。
【０００３】
近視野光ヘッドを用いたデータストレージ装置においては、基本的構成は従来型の磁気ディスク装置と同じで、磁気ヘッドの代わりに近視野光ヘッドを用いる。このとき近視野光ヘッドはフレクシャー構造によって、動作中に記録媒体表面に対して常に一定の姿勢を保つことができる。サスペンションアームの長さ方向をｚ軸とし、ｚ軸に垂直で記録媒体に平行な方向をｘ軸、垂直方向をｙ軸とすると、典型的なフレクシャー構造はｚ軸方向においてのみサスペンションアームと接続された枠状構造の内側に、光ヘッドが、ｘ軸方向においてのみ前記枠状構造に接続されている。この構造により、前記枠状構造はｚ軸に対して回転自由度をもち、光ヘッドは前記枠状構造に対してｘ軸を回転軸とする自由度を持つ。すなわち光ヘッドはサスペンションアームに対してｚ軸とｘ軸を軸とする回転自由度を持つ。
【０００４】
このような光ヘッドの例を図７に示す。図７（ａ）にしめす光ヘッドアセンブリ７００１は、サスペンションアーム701にフレクシャー構造702が取り付けられ、フレクシャー構造702には、光ヘッド703が取り付けられている。光ヘッド７０３は、反射基板７０６、レンズ７０７、スライダー７０５、チップ７１０、およびチップ７１０の先端に形成された開口７０９からなる。光ヘッドアセンブリ７００１では、開口７０９に光を導入するために、反射基板７０６に光ファイバーや光導波路などの光伝搬体７０４が接続される。光伝搬対７０４から出射された光９９９は、反射基板７０６、レンズ７０７を経て開口７０９へ導入される。この構造によれば、光９９９の光軸が固定されるため、開口７０９から記録媒体に安定した強度の近接場光を照射することができる。
【０００５】
また、図７（ｂ）に示すような光ヘッドアセンブリ７００２が知られている。光ヘッドアセンブリ７００２の構成要素は、図７（ａ）に示した光ヘッドアセンブリ７００１と同じであり、反射基板７０６、レンズ７０７をサスペンションアーム７０１に取り付けるとともに、サスペンションアームにフレクシャー構造７０２を取り付け、フレクシャー構造７０２に光ヘッド７０３を取り付けた構造となっている。
【０００６】
また、特開２０００-２１５４９４に開示されているように導波路をスライダーとして用い、記録媒体と接する面に開口をもうけた光ピックアップが知られている。
【０００７】
姿勢を高速に変化させている光ヘッドに光を入射する必要は近視野光を利用した記録装置に限らず、光ディスクなどの他の光記録装置においても起こるものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図７（ａ）に示した構造によって光を開口に入射させると、導波路などのなんらかの構造体が光ヘッドに接続していることが光ヘッドの自由な運動を妨げ、光ヘッドの姿勢維持が困難となり、記録媒体表面と開口の距離を一定に保つことができない。
【０００９】
また、図７（ｂ）に示した構造によれば、光ヘッド７０３の運動を妨げるような構造ではないが、回転軸を有するフレクシャー構造７０２から開口７０９までの距離Ｌ１が長いため、光ヘッド７０３の運動によって、光９９９の光軸から開口７０９の位置がずれる。従って、開口７０９から記録媒体に照射される近接場光の強度が不安定である問題があった。この問題を解決するために、光ヘッド７０３を薄片化してＬ１を短くすることが容易に考えられる。しかし、光ヘッド７０３とフレクシャー構造７０２との組立を容易に行うためにはある程度の厚さ（数１００μｍ程度）が必要である。また、一般的なレンズ７０７の焦点距離Ｌ２は、数１０μｍ以上であり、開口７０９の位置で焦点となるように光ヘッド７０３を薄片化するには限界がある。仮に光ヘッド７０３が薄片化できたとしても、Ｌ２が非常に小さくなるためレンズ７０７にＳＩＬを用いる必要があり、各光学素子の位置決めに高い精度が要求されるため、組立コストが高くなる問題があった。
【００１０】
また、回転機能を有するフレクシャー構造に重い光ヘッドが取り付けられているため、記録媒体の凹凸に対して姿勢を維持するための追従性が良くないため、高速に光ヘッドを移動することが困難であった。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、負荷加重を与えるサスペンションアームに取り付けられる固定部分と、前記固定部分に取り付けられ、前記固定部分に対する姿勢を変化し得るフレクシャー構造と、前記フレクシャー構造に取り付けられ、記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により前記記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、前記記録媒体と対向するように形成された光学的な開口と、前記開口へ光を導入する光入射部からなり、前記光入射部が前記固定部に形成され、前記フレクシャー構造が前記固定部分の前記記録媒体に面する側の極表層に形成されていることを特徴とする光ヘッドとした。
【００１２】
また、前記フレクシャー構造が前記固定部分の表面から２０μｍ以内に構成されていることを特徴とする光ヘッドとした。
【００１３】
また、前記開口へ導入される入射光の光軸と前記フレクシャー構造の少なくとも一つの回転軸とが交わることを特徴とする光ヘッドとした。
【００１４】
また、前記開口が、錐状のチップの先端に形成されていることを特徴とする光ヘッドとした。
【００１５】
また、前記チップおよび前記開口が前記固定部分に固定されていることを特徴とする光ヘッドとした。
【００１６】
また、前記チップおよび前記開口が前記フレクシャーとともに可動なことを特徴とする光ヘッドとした。
【００１７】
また、前記開口へ光を導入するための光学的空間が前記フレクシャーに形成されていることを特徴とする光ヘッドとした。
また、前記フレクシャー構造が２つ以上形成されていることを特徴とする光ヘッドとした。
【００１８】
また、前記光入射部から前記開口までのすべての光学系が固定されていることを特徴とする光ヘッドとした。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の光ヘッドについて、添付の図面を参照して詳細に説明する。
【００２０】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係る光ヘッドの概略図である。図１(a)は、光ヘッド1000のスライダー4が形成された面からみた上面図である。図１(b)は、同図(a)中a-a’で示す位置での断面図である。図１（ｃ）は、同図(a)中c-c’で示す位置での断面図である。図１（ｄ）は、同図(a)中ｂ-ｂ’で示す位置での断面図である。
【００２１】
本発明の光ヘッド１０００は、基部５、基部５の上に形成されたエッチングストップ層８、エッチングストップ層の上に形成された支持層７、支持層７の上に形成されたフレクシャー１、フレクシャー１の上に形成された錐状のチップ２およびスライダー４、チップ２の先端に形成された開口３、基部５に形成された光導入部６と、開口３以外の少なくともチップ２を覆うように形成された遮光膜（図示していない）からなる。図１（ｂ）および同図（ｃ）に示すように、フレクシャー１は、軸１０を介して外周部１２と接続し、フレクシャー１の外周部１２は、軸9および固定部１１を介して支持層７に固定される。したがって、フレクシャー１は、軸9、軸１０を中心とした回転運動が可能である。また、軸９および軸１０の回転軸は、それぞれ、開口３のほぼ中心をとおりフレクシャーに対して垂直な線と交わる。図１（ｂ）に示すように、光ヘッド１０００は、光導入部６を通して入射光９９９を開口３へ導入することによって、開口３から近接場光を照射することができる。
【００２２】
チップ２およびスライダー４は、シリコンや二酸化ケイ素などの誘電体からなる。また、基部５は、シリコンや二酸化ケイ素などの誘電体からなる。なお、フレクシャー１、軸９、軸１０、固定部１１、外周部１２は、シリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素などの誘電体からなる。また、図示していない遮光膜は、アルミニウムや金などの金属からなる。
【００２３】
光ヘッド１０００の長さL、幅Wは、それぞれ３mm以下である。また、基部５の厚さT1は、数１００μｍ以上であり、支持層７およびエッチングストップ層８の厚さは、数１０μｍ以下である。また、フレクシャー１、軸９、軸１０、固定部１１、外周部１２の厚さは、数μｍ以下である。軸９および軸１０の長さおよび幅は、それぞれ、数μｍから１０００μｍ、数μｍから数１００μｍである。また、チップ２の高さH１は、１０数μｍである。また、チップ２の高さH１とスライダー４の高さH2の高さの差は、１００ｎｍ以下である。
【００２４】
図２は、光ヘッド１０００を用いた光ヘッドアセンブリ１００１を説明する図である。光ヘッド１０００は、説明を簡単にするため、一部の構成要素を省略している。光ヘッドアセンブリ１００１は、サスペンションアーム２３に固定された光ヘッド１０００、ミラー２１、レンズ２６、およびミラー２１に固定された光伝搬体２２、記録媒体２７、図示しない光源、記録媒体を回転させるための回転駆動部、受光光学系および信号処理部からなる。光源から照射された入射光９９９は、光伝搬体２２によってミラー２１へ導かれる。ミラー２１によって偏向された入射光９９９はレンズ２６に導入される。レンズ２６によって集光された入射光９９９は、チップ２を通り、チップ先端に形成された開口３へ導入され、開口３からは、近接場光が照射される。開口３から照射される近接場光は、記録媒体２７との相互作用によって、記録媒体２７の近接場が照射された領域の光学情報を反映した伝搬光に変換され、受光光学系へと導かれる。受光光学系によって得られた信号は、信号処理部によって処理され、記録媒体に記録された情報を再生する。光ヘッド１０００は、記録媒体が回転することによって生じる空気流とスライダー４との相互作用によって生じる浮力とサスペンションアームの押し付け力とのつりあいによって、記録媒体上を１００ｎｍ以下の高さで浮上する。また、フレクシャー１は、軸９および軸１０を中心とした回転運動が可能であり、記録媒体のうねりに対して浮上量が一定になるように追従することが可能である。なお、上記では、記録媒体に記録された情報を再生する手順を説明したが、入射光９９９の強度を大きくすることによって、記録媒体上へ情報を書き込むこともできる。
【００２５】
図３は、光ヘッド１０００の作製方法を説明した図である。光ヘッド１０００の作製方法は、まず、図３（ａ）に示すように、基板105上にエッチングストップ層１０８を形成し、エッチングストップ層１０８上に支持層１０７を形成し、支持層１０７上にフレクシャー層１０１を形成する。基板１０５、エッチングストップ層１０８、支持層１０７、フレクシャー層１０１のそれぞれの厚さは、２００μｍ以上、数μｍ、数μｍ、数μｍである。また、基板１０５、エッチングストップ層１０８、支持層１０７、フレクシャー層１０１は、シリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素などの誘電体からなる。
【００２６】
次に、図３（ｂ）に示すように、透明体１０２を形成する。透明体１０２は、二酸化ケイ素、シリコン、窒化ケイ素などの誘電体からなる。透明体１０２の厚さは、数μｍ以上である。
【００２７】
次に、図３（ｃ）に示すように、透明体１０２の上に、フォトレジスト１０３を形成し、透明体１０２に１００〜２００ｎｍの段差を形成する。
【００２８】
次に、図３（ｄ）に示すように、チップ用マスク１１２およびスライダー用マスク１１１をフォトリソグラフィ工程によって形成し、透明体１０２を等方性エッチングによってエッチングし、チップ２を形成するとともに、スライダー原型１１５を形成する。
【００２９】
次に、図３（ｅ）に示すように、マスク１１３をフォトリソグラフィ工程によってマスク１１３を形成し、異方性ドライエッチングによって、スライダー１１６を形成する。
【００３０】
次に、図３（ｆ）に示すように、マスク１１４を形成して、所望の形状のフレクシャー１、軸９、軸１０、外周部１２、固定部１１を形成する。
さらに、図３（ｇ）に示すように、支持層１０７および基板１０５の一部をウエットエッチングによって除去することによって、フレクシャーをリリースし、かつ、光導入部６を形成する。この後、少なくともチップ２を覆うように遮光膜を形成し、チップ２の先端の遮光膜を除去して開口３を形成する。なお、遮光膜が薄い場合は、物理的に開口３を形成しなくても良い。
【００３１】
以上説明したように、本発明の実施の形態１に係る光ヘッド１０００は、フレクシャー１の回転中心から開口３までの距離をほぼチップ２の高さ程度に小さくすることができるため、フレクシャー１が回転することによって生じる入射光９９９と開口３との光軸ずれを小さくすることができる。したがって、開口３へ効率よく入射光９９９を導入することができ、開口３から照射される近接場光の強度を大きくできる。また、開口３から照射される近接場光の強度むらを小さく抑えることができる。また、基部５の厚さを適切に選定することによって、レンズ２６の焦点距離に開口３を位置させることが可能であるため、開口３から照射される近接場光の強度を大きくすることができる。また、一般的なレンズ２６を用いることによって組立精度を緩和することができるため、光ヘッドアセンブリ１００１の組立が容易になり、光ヘッドアセンブリ１００１の組立時の歩留まりが向上する。したがって、光ヘッド１０００によって、光ヘッドアセンブリ１００１および光記録再生装置を安価に提供することができる。
【００３２】
また、光ヘッド１０００は、基部５が数１００μｍ以上であるため、取り扱いが容易である。したがって、光ヘッドアセンブリ１００１の組立が容易に行える。また、光ヘッド１０００は、スライダー４とフレクシャー１とを一体に形成しているため、光ヘッドアセンブリ１００１を組み立てる工程を簡略化することができる。したがって、安価に光ヘッドアセンブリ１００１を提供することができる。
【００３３】
また、光ヘッド１０００は、フレクシャー１を含む可動部分が小型である。また、フレクシャー１を含む可動部分の重量は、従来の光ヘッドの１０分の１と軽量である。したがって、記録媒体に対する追従性が向上し、光ヘッド１０００を用いた情報記録再生装置は、高速に情報を記録再生することができる。
【００３４】
また、光ヘッド１０００は、半導体プロセスを応用したバッチプロセスによって作製することができるため、性能が均一な光ヘッド１０００を安価に提供することができる。
【００３５】
（実施の形態２）
図４は、本発明の第２の実施例に係る光ヘッド２０００を説明する図であり、図４(a)は、光ヘッド２０００のスライダー4が形成された面からみた上面図である。図４(b)は、同図(a)中ｂ-ｂ’で示す位置での断面図である。図４（ｃ）は、同図(a)中c-c’で示す位置での断面図である。本発明の第１の実施例の光ヘッド１０００と重複する部分は、同一記号を用い説明を省略する。
【００３６】
光ヘッド２０００は、光ヘッド１０００の構成に加え、チップ２の底面にチップ固定層３１と光接続部３２を有している。光接続部３２は、光導入部６上に固定されている。したがって、チップ２および開口３は、光接続部３２およびチップ固定層３１を介して基部５に固定されている。光接続部３１は、フレクシャー１と同じ材料を用いて作製される。また、光接続部３２は、固定層７と同一の材料を用いて作製され、入射光９９９を少なくとも透過するような材料を用いる。
【００３７】
光ヘッド２０００は、図２の光ヘッド１０００の代わりに用いることができる。光ヘッド２０００は、チップ２が固定され、かつ、フレクシャー１が光ヘッド１０００と同様に回転運動が可能であり、記録媒体のうねりに追従した一定間隔の浮上量を維持することができるとともに、チップ２が固定されているため、開口３へ導かれる入射光９９９の光軸が常に一定である。
【００３８】
光ヘッド２０００の製造方法は、光ヘッド１０００の製造方法とほぼ同じである。
【００３９】
以上説明したように、光ヘッド２０００は、本発明の第１の実施例で説明した効果に加え、フレクシャー１の動きに関わらず、一定の強度を有する近接場光を開口３から照射することができる。また、フレクシャー１にチップ２がないことから、フレクシャー１の重量が軽減されるため、フレクシャー１の記録媒体のうねりなどへの追従性が向上する。
【００４０】
（実施の形態３）
図５は、本発明の第３の実施例に係る光ヘッド３０００を説明する図である。
【００４１】
本発明の第１の実施例の光ヘッド１０００および本発明の第２の実施例の光ヘッド２０００と重複する部分は、同一記号を用い説明を省略する。
【００４２】
光ヘッド３０００は、光ヘッド２０００の構成に加え、チップ固定層３１に光通過部３３を有している。光通過部３３は、空洞でもよいし、チップ２と同一の材質でもよく、少なくとも入射光９９９を透過する材料を用いる。光ヘッド３０００は、図２の光ヘッド１０００の代わりに用いることができる。
【００４３】
光ヘッド３０００は、実施の形態２で説明した効果に加え、光通過部３３を設けたことによって、フレクシャー１を構成する材料に入射光９９９を透過しない材料を用いることができる。
【００４４】
（実施の形態４）
図６は、本発明の第４の実施例に係る光ヘッド４０００を説明する図であり、本発明の第１の実施例の光ヘッド１０００と重複する部分は同一記号を用い、説明を省略する。光ヘッド４０００は、スライダー４それぞれにフレクシャー部６１を有する構成となっている。フレクシャー部６１は、実施の形態１で説明したフレクシャー１、軸９、軸１０、外周部１２からなり、材質もそれぞれの構成要素と同じものを用いる。また、チップ２は、固定部１１に固定されている。
【００４５】
光ヘッド４０００は、図２の光ヘッド１０００の代わりに用いることができる。
【００４６】
本発明の光ヘッド４０００は、実施の形態１から実施の形態３で説明した効果に加え、各スライダー４に個別のフレクシャー部６１を設けることによって、各フレクシャー部６１の可動部にかかる重量を軽減することができるため、記録媒体のうねりなどに対する追従性をさらに向上させることができる。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の第１の実施例の光ヘッドによれば、フレクシャーの回転中心から開口までの距離をほぼチップの高さ程度に小さくすることができるため、フレクシャーが回転することによって生じる入射光と開口との光軸ずれを小さくすることができる。したがって、開口へ効率よく入射光を導入することができ、開口から照射される近接場光の強度を大きくできる。また、開口から照射される近接場光の強度むらを小さく抑えることができる。また、基部の厚さを適切に選定することによって、レンズの焦点距離に開口を位置させることが可能であるため、開口から照射される近接場光の強度を大きくすることができる。
【００４８】
また、一般的なレンズを用いることによって組立精度を緩和することができるため、光ヘッドアセンブリの組立が容易になり、光ヘッドアセンブリの組立時の歩留まりが向上する。したがって、光ヘッドによって、光ヘッドアセンブリおよび光記録再生装置を安価に提供することができる。また、光ヘッドは、基部が数１００μｍ以上であるため、取り扱いが容易である。したがって、光ヘッドアセンブリの組立が容易に行える。また、光ヘッドは、スライダーとフレクシャーとを一体に形成しているため、光ヘッドアセンブリを組み立てる工程を簡略化することができる。したがって、安価に光ヘッドアセンブリを提供することができる。
【００４９】
また、光ヘッドは、フレクシャーを含む可動部分が小型である。また、フレクシャーを含む可動部分の重量は、従来の光ヘッドのほぼ１０分の１と軽量である。したがって、記録媒体に対する追従性が向上し、光ヘッドを用いた情報記録再生装置は、高速に情報を記録再生することができる。
【００５０】
また、光ヘッドは、半導体プロセスを応用したバッチプロセスによって作製することができるため、性能が均一な光ヘッドを安価に提供することができる。
【００５１】
また、本発明の第２の実施例の光ヘッドによれば、本発明の第１の実施例で説明した効果に加え、フレクシャーの動きに関わらず、一定の強度を有する近接場光を開口から照射することができる。また、フレクシャーにチップがないことから、フレクシャーの重量が軽減されるため、フレクシャーの記録媒体のうねりなどへの追従性が向上する。
【００５２】
また、本発明の第３の実施例の光ヘッドによれば、実施の形態１および２で説明した効果に加え、光通過部を設けたことによって、フレクシャーを構成する材料に入射光を透過しない材料を用いることができる。
【００５３】
また、本発明の第４の実施例の光ヘッドによれば、実施の形態１から実施の形態３で説明した効果に加え、各スライダーに個別のフレクシャー部を設けることによって、各フレクシャー部の可動部にかかる重量を軽減することができるため、記録媒体のうねりなどに対する追従性をさらに向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光ヘッド１０００を説明する図である。
【図２】本発明の光ヘッド１０００を用いた光ヘッドアセンブリ１００１を説明する図である。
【図３】本発明の光ヘッド１０００の製造方法を説明する図である。
【図４】本発明の光ヘッド２０００を説明する図である。
【図５】本発明の光ヘッド３０００を説明する図である。
【図６】本発明の光ヘッド４０００を説明する図である。
【図７】従来の光ヘッドを説明する図である。
【符号の説明】
１  フレクシャー
２  チップ
３  開口
４  スライダー
５  基部
６  光導入部
７  支持層
８  エッチングストップ層
９  軸
１０  軸
１１  固定部
１２  外周部
９９９  入射光
１０００，２０００，３０００，４０００  光ヘッド
１００１  光ヘッドアセンブリ
【図１】
0004482254.tif 000002
【図２】
0004482254.tif 000003
【図３】
0004482254.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004482254.tif 000008