(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外表面に切断する部分を指定する傷（１４ａ）が設けられた脆性材からなる工作物（１４）が嵌入される側圧伝達筒（１３）と、
前記側圧伝達筒（１３）が内包される部屋（１１ａ）が形成され、前記部屋（１１ａ）の内部と外部とを連通する孔（１１ｂ）が形成された切断用容器（１）と、
前記切断用容器（１）が収容される圧力容器（２１）とを備えていることを特徴とする工作物の側圧切断装置。
【請求項２】
前記圧力容器（２１）内に収容される前記切断用容器（１）が複数個であることを特徴とする請求項１に記載の工作物の側圧切断装置。
【請求項３】
前記工作物（１４）に対する前記側圧伝達筒（１３）の軸方向の少なくとも一方側に、前記工作物（１４）における前記側圧伝達筒（１３）の軸方向への変形を妨げない空間部（１１ｃ、１２ａ）を有することを特徴とする請求項１または２に記載の工作物の側圧切断装置。
【請求項４】
前記空間部（１１ｃ、１２ａ）に、前記工作物（１４）の位置ずれを防止し、かつ前記工作物（１４）における前記側圧伝達筒（１３）の軸方向への変形を妨げない保持部材（１７）を備えていることを特徴とする請求項３に記載の工作物の側圧切断装置。
【請求項５】
脆性材からなる工作物（１４）の外表面に、切断する部分を指定する傷（１４ａ）を形成し、前記工作物（１４）を側圧伝達筒（１３）に嵌入し、前記側圧伝達筒（１３）を内包する部屋（１１ａ）と、前記部屋（１１ａ）の内部と外部とを連通する孔（１１ｂ）とを有する切断用容器（１）に、前記工作物（１４）を嵌入させた前記側圧伝達筒（１３）を内包させ、前記工作物（１４）がその軸方向に変形自在な状態で、前記側圧伝達筒（１３）の外周側から加圧することにより前記工作物（１４）を切断する側圧切断方法であって、
前記切断用容器（１）を収容するための圧力容器（２１）内に、前記工作物（１４）と前記側圧伝達筒（１３）とを内包した前記切断用容器（１）を配置する工程と、
前記圧力容器（２１）内を圧力媒体（２４）で満たして、前記切断用容器（１）を前記圧力媒体（２４）によって内包して加圧する工程とを有することを特徴とする工作物の側圧切断方法。
【請求項６】
前記切断用容器（１）を複数個用意して、複数個の前記切断用容器（１）を前記圧力容器（２１）内に配置することを特徴とする請求項５に記載の工作物の側圧切断方法。
【請求項７】
前記側圧伝達筒（１３）内に前記工作物（１４）を、該工作物（１４）の外表面が側圧伝達筒（１３）の内壁と対向するように複数個配置することを特徴とする請求項５または６に記載の工作物の側圧切断方法。
【請求項８】
前記複数個配置した工作物（１４）における前記側圧伝達筒（１３）の軸に垂直な断面の形状を、全て同一にすることを特徴とする請求項７に記載の工作物の側圧切断方法。
【請求項９】
前記工作物（１４）に対する前記側圧伝達筒（１３）の軸方向の少なくとも一方側に、前記工作物（１４）を支持するための支持部材（１８）を配置することを特徴とする請求項５または６に記載の工作物の側圧切断方法。
【請求項１０】
前記複数個配置された工作物（１４）のうちの最も外側に配置された工作物（１４）のさらに外側の少なくとも一方に、前記工作物（１４）を支持するための支持部材（１８）を配置することを特徴とする請求項７または８に記載の工作物の側圧切断方法。
【請求項１１】
前記支持部材（１８）のうち、前記側圧伝達筒（１３）の軸に垂直な断面の形状を、前記工作物（１４）のうち、前記側圧伝達筒（１３）の軸に垂直な断面の形状よりも小さくすることを特徴とする請求項９または１０に記載の工作物の側圧切断方法。
【請求項１２】
前記工作物（１４）の材質と前記支持部材（１８）の材質とを異なるものとすることを特徴とする請求項９ないし１１のいずれか１つに記載の工作物の側圧切断方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス、シリコン、水晶、サファイア等の脆性材料を、分離切断する方法およびその切断方法に用いる装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、工作物を分離切断する場合、一般的に用いられている方法は、砥石等を用いて機械的に切断する方法である。この方法は、砥石の種類、大きさ、加工条件を任意に変えることで幅広い適応性がある。しかし、砥石幅分の切断代が必要であるため、切断代分の工作物が無駄になるという欠点がある。また、硬度の高い工作物は加工性が著しく悪く、砥石の寿命が短くなる等の問題がある。
【０００３】
これらの問題を解決する切断方法として、工作物は脆性材に限られるが、特開昭５４−４３３８６号公報に記載の側圧切断法が知られている。図４は、この側圧切断法で用いる装置の模式図である。この装置の構成について、以下に示す。図４に示すように、切断用容器であるハウジングＪ１内に側圧伝達筒Ｊ２とＯリングＪ３と円柱形状にした脆性材である工作物Ｊ４とが配置されている。
【０００４】
この工作物Ｊ４の被切断部位には切欠きＪ５が設けられており、この切欠きＪ５部位を含む脆性材の周囲に樹脂等でできた側圧伝達筒Ｊ２が被せられている。また、この側圧伝達筒Ｊ２の両端側にはＯリングＪ３が備えられており、後述の圧力媒体の漏れを防止するようになっている。また、ハウジングＪ１と圧力装置Ｊ６とが配管Ｊ７等を介して接続され、ハウジングＪ１に形成された孔Ｊ１ａの位置と配管Ｊ７の位置が合わせてある。
【０００５】
そして、工作物Ｊ４を切断する際は、ハウジングＪ１に形成された孔Ｊ１ａを通して、圧力装置Ｊ６から圧力媒体等をハウジングＪ１内に導入する。その結果、工作物Ｊ４をその軸方向に変形自在な状態で側圧伝達筒Ｊ２の外周側から加圧圧縮し、工作物Ｊ４の圧縮変形に伴う摩擦力によって工作物Ｊ４に生じる軸方向の内部引張応力を利用して、切欠きＪ５部位において工作物Ｊ４を切断する。この方法は、切断代が全く不要であることや、割断であるため加工時間が著しく短いこと等が特徴である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記切断方法に用いられる装置は、図４に示すように、工作物Ｊ４等を内包して内部で工作物Ｊ４の切断を行うハウジングＪ１と圧力装置Ｊ６とが配管Ｊ７等で接続され、ハウジングＪ１に対して、直接、圧力装置Ｊ６から圧力媒体が導入されるため、規格化された工作物Ｊ４を用いて連続して大量に切断するのには適しているが、異なる仕様の工作物を用いようとすると不具合が生じる。
【０００７】
具体的には、例えば、異なる径の工作物を切断しようとすると、その度に圧力装置の作動を止めて工作物の外径に応じた側圧伝達筒に交換する必要がある。また、工作物のサイズによっては、圧力装置と接続しているハウジング自体を交換しなければならない場合もある。
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑み、径の異なる工作物を効率よく切断することができる側圧切断装置および切断方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、外表面に切断する部分を指定する傷（１４ａ）を設けた脆性材からなる工作物（１４）を嵌入する側圧伝達筒（１３）と、側圧伝達筒（１３）を内包する部屋（１１ａ）を形成し、部屋（１１ａ）の内部と外部とを連通する孔（１１ｂ）を形成した切断用容器（１）と、切断用容器（１）を収容する圧力容器（２１）とを備えていることを特徴としている。
【００１０】
本発明の製造装置を用いれば、圧力容器（２１）内で圧力媒体（２４）によって切断用容器（１）を加圧することにより、圧力媒体（２４）が切断用容器（１）に形成した孔（１１ｂ）を通して切断用容器（１）内を加圧し、側圧伝達筒（１３）が工作物（１４）を加圧圧縮して、工作物（１４）が傷（１４ａ）の部分において切断される。
【００１１】
そして、この工作物（１４）の切断は、切断用容器（１）と圧力容器（２１）とが分離した状態で行うことができるため、異なる径の工作物（１４）を切断する際に、各々の工作物（１４）に適合した切断用容器（１）と側圧伝達筒（１３）を用意しておけば、切断する工作物（１４）を変更する度に、切断用容器（１）内の側圧伝達筒（１３）を入れ替える必要が無い。また、工作物（１４）を切断中に、他の切断用容器（１）に他の工作物（１４）を準備することができる。従って、径の異なる工作物（１４）を効率よく切断することができる。
【００１２】
特に、請求項２に記載の発明のように、圧力容器（２１）内に収容する切断用容器（１）が複数個であると、各々の切断用容器（１）に異なる工作物（１４）を内包しておけば、複数種類の工作物（１４）を１回で切断することができる。また、１回の加圧で多数の切断が可能である。
【００１３】
また、請求項３に記載の発明のように、請求項１または２の発明において、工作物（１４）に対する側圧伝達筒（１３）の軸方向の少なくとも一方側に、工作物（１４）における側圧伝達筒（１３）の軸方向への変形を妨げない空間部（１１ｃ、１２ａ）を設けると、側圧伝達筒（１３）によって工作物（１４）が圧縮された場合、工作物（１４）が好適に軸方向に変形することができる。
【００１４】
ただし、工作物（１４）と側圧伝達筒（１３）とのクリアランスによっては、特に、圧力容器（２１）に収容する際に切断用容器（１）が傾くなどして、工作物（１４）の位置がずれる恐れがある。そこで、請求項４に記載の発明のように、この空間部（１１ｃ、１２ａ）に工作物（１４）の位置ずれを防止し、かつ工作物（１４）における側圧伝達筒（１３）の軸方向への変形を妨げない保持部材（１７）を備えると、工作物（１４）の変形を阻害すること無く工作物（１４）の位置ずれを防止することができる。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、脆性材からなる工作物（１４）の外表面に切断する部分を指定する傷（１４ａ）を形成し、工作物（１４）を側圧伝達筒（１３）に嵌入し、側圧伝達筒（１３）を内包する部屋（１１ａ）と、部屋（１１ａ）の内部と外部とを連通する孔（１１ｂ）とを有する切断用容器（１）に、工作物（１４）を嵌入させた側圧伝達筒（１３）を内包させ、工作物（１４）がその軸方向に変形自在な状態で、側圧伝達筒（１３）の外周側から加圧することにより工作物（１４）を切断する側圧切断方法であって、切断用容器（１）を収容するための圧力容器（２１）内に、工作物（１４）と側圧伝達筒（１３）とを内包した切断用容器（１）を配置する工程と、圧力容器（２１）内を圧力媒体（２４）で満たして、切断用容器（１）を圧力媒体（２４）によって内包して加圧する工程とを有することを特徴としている。
【００１６】
本発明では、工作物（１４）の切断を、切断用容器（１）と圧力容器（２１）とが分離した状態で行っているため、請求項１の発明と同様の効果を発揮することができる。
【００１７】
また、請求項６に記載の発明では、切断用容器（１）を複数個用意して、複数個の切断用容器（１）を圧力容器（２１）内に配置することを特徴としており、請求項２の発明と同様の効果を発揮することができる。
【００１８】
また、請求項７に記載の発明では、請求項５または６の発明において、側圧伝達筒（１３）内に工作物（１４）を、該工作物（１４）の外表面が側圧伝達筒（１３）の内壁と対向するように複数個配置することを特徴としている。一般に、短い工作物（１４）の切断は難しく、特にウェハ状の工作物（１４）の切断は困難であるが、本発明のように複数個並べることにより、工作物（１４）が倒れることを防止して切断することができる。
【００１９】
このとき、請求項８に記載の発明のように、複数個配置した工作物（１４）における側圧伝達筒（１３）の軸に垂直な断面の形状を全て同一にすると、全ての工作物（１４）を安定した品質で切断することができる。
【００２０】
また、請求項９に記載の発明では、請求項５または６の発明において、工作物（１４）に対する側圧伝達筒（１３）の軸方向の少なくとも一方側に、工作物（１４）を支持するための支持部材（１８）を配置することを特徴としている。上述のように、短い工作物（１４）は切断が困難であるが、このように支持部材（１８）によって工作物（１４）を支えることにより、短い工作物（１４）の切断が可能になる。
【００２１】
請求項１０に記載の発明は、請求項９の発明において、工作物（１４）を複数個配置したものであり、請求項９の発明と同様の効果を発揮することができる。
【００２２】
また、このように支持部材（１８）を用いるときは、請求項１１に記載の発明のように、支持部材（１８）のうち、側圧伝達筒（１３）の軸に垂直な断面の形状を、工作物（１４）のうち、側圧伝達筒（１３）の軸に垂直な断面の形状よりも小さくすると、工作物（１４）の方が先に加圧されるため好適に工作物（１４）を切断することができる。また、支持部材（１８）が破損することも無いため、支持部材（１８）を繰り返し使用することができる。
【００２３】
また、一般に、工作物（１４）としては高価な材料を用いることが多いため、請求項１２に記載の発明のように、支持部材（１８）としては工作物（１４）と材質が異なる安価な材料を用いると望ましい。
【００２４】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【００２５】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、本実施形態の側圧切断装置および切断方法を、図示例について説明する。図１に本実施形態に係る側圧切断装置を模式図にて示す。図１に示すように、本実施形態の側圧切断装置は、圧力装置２における圧力容器２１内に切断用容器１が配置されている。
【００２６】
まず、圧力装置２について説明する。圧力蓋２２を有し切断用容器１を収容するための圧力容器２１には、２つの配管２３ａ、２３ｂが接続されている。一方の配管２３ａは、圧力容器２１に圧力媒体２４を満たしたり、圧力容器２１を加圧する際の圧力媒体２４の流量調整をしたりするバルブ２５を途中に備え、圧力媒体２４を蓄えるタンク２６に接続されている。
【００２７】
他方の配管２３ｂは、加圧圧力を計測する圧力センサ２７を途中に備え、圧力容器２１内の圧力制御を行う圧力発生制御部２８に接続されている。この圧力発生制御部２８は、例えば、圧力容器２１に圧力媒体２４を増圧して供給する。そして、この圧力発生制御部２８とタンク２６とが配管２３ｃを介して接続されている。なお、圧力媒体２４としては、例えば水を用いることができる。
【００２８】
次に、切断用容器１について図２を参照して説明する。図２は切断用容器１およびその内部の部材の概略断面図である。切断用容器１は、高圧によってつぶれることの無い第１のハウジング１１と第２のハウジング１２とによって構成されている。そして、第１のハウジング１１に形成された雄ネジ部と、第２のハウジング１２に形成された雌ネジ部とをネジ締めすることにより一体となっている。第１のハウジング１１内には、円柱形状の部屋１１ａと、この部屋１１ａの内部と外部とを連通する圧力媒体進入孔（請求項でいう孔）１１ｂとが形成されている。この圧力媒体進入孔１１ｂは、圧力媒体２４の圧力を、後述の側圧伝達筒１３に伝えるためのものである。
【００２９】
第１のハウジング１１に形成された部屋１１ａの中心付近には、脆性材からなる工作物１４が配置されている。この工作物１４は、例えば円柱形状のガラスを用いることができ、その長さは第１のハウジング１１の部屋１１ａに、ちょうど嵌まる程度になっている。
【００３０】
この工作物１４の側面（外表面）には、切断する部分を指定する切欠きや条痕などの傷１４ａが設けられている。工作物１４の外周には、工作物１４の側面に圧力を加えるための側圧伝達筒１３が配置され、さらに、この側圧伝達筒１３の外周には、Ｏリング１５と勘合筒１６とが配置されている。このような構成であるため、円柱形状の工作物１４の軸方向と側圧伝達筒１３の軸方向が同一方向になっている。
【００３１】
この側圧伝達筒１３の長さは工作物１４とほぼ等しくなっている。また、このＯリング１５は、後述のように圧力媒体２４を切断用容器１内に充填した際に、圧力媒体２４が漏れて工作物１４の端面１４ｂにまでおよび、圧力媒体２４によって円柱形状の工作物１４に対して軸方向に縮むように圧力がかかることを防止するためのものである。
【００３２】
また、勘合筒１６は、Ｏリング１５を固定し、直径の異なる工作物１４を用いる場合に同一の切断用容器１を使用するように汎用性を持たせるための調整部品である。詳しくは、工作物１４が細いときは、太いときと比較して、第１のハウジング１１の部屋１１ａのうち、側圧伝達筒１３と勘合筒１６で占める割合が大きくなるが、側圧伝達筒１３の厚みを大きくすると工作物１４に圧力がうまく伝わらない恐れがあるため、勘合筒１６の厚みを調節して、空間内における各部材の位置決めを行うようにする。つまり、勘合筒１６の外径寸法は全て同じであるが、内径は切断する工作物１４に合わせた側圧伝達筒１３の外径に適合させる。
【００３３】
また、勘合筒１６には、圧力媒体２４の圧力を、側圧伝達筒１３に伝えるための圧力媒体進入孔１６ａが形成されている。圧力媒体進入孔１６ａの位置は、第１のハウジング１１に対して同様の目的で形成された圧力媒体進入孔１１ｂの位置と、重なるようになっている。
【００３４】
また、切断用容器１における工作物１４に対して側圧伝達筒１３の軸方向の両端側、つまり、工作物１４における円周面以外の面である端面１４ｂの両側には空間部１１ｃ、１２ａが形成されている。この空間部１１ｃ、１２ａは、後述のように工作物１４が側圧伝達筒１３により圧縮されて、工作物１４が軸方向に変形して伸びるのを妨げないために形成されている。
【００３５】
ただし、このような空間部１１ｃ、１２ａを設けることにより、工作物１４と側圧伝達筒１３とのクリアランスによっては、工作物１４がずれて工作物１４の一部が側圧伝達筒１３から飛び出してしまうことが考えられる。特に、圧力容器２１に収容する際に切断用容器１が傾くなどして、工作物１４の位置がずれる恐れがある。
【００３６】
従って、この切断用容器１の空間部１１ｃ、１２ａ内には、工作物１４の位置ずれを防止し、かつ、工作物１４の軸方向の変形を妨げない保持部材１７が備えられている。この保持部材１７としては、例えば、綿などを用いることができる。
【００３７】
そして、上述の構成になるように圧力装置２を用意し、切断用容器１に関しては、第１のハウジング１１の部屋１１ａに上記各部材１３〜１６を配置し、第１のハウジング１１の雄ネジ部に第２のハウジング１２の雌ネジ部をネジ締めする。次に、圧力装置２における圧力容器２１の中に切断用容器１を投入する。本実施形態では、圧力容器２１の中に２つの切断用容器１を投入している。各々の切断用容器１内の工作物１４は、一方が長さ３０ｍｍ、直径８ｍｍであり、他方が長さ３０ｍｍ、直径９ｍｍである。
【００３８】
切断用容器１を圧力容器２１内に投入後、圧力蓋２２を閉め、バルブ２５を開放して圧力媒体２４を圧力容器２１に充満させる。その後、バルブ２５を閉じて圧力発生制御部２８の制御によって、工作物１４の切断に適した圧力で圧力媒体２４を加圧する。
【００３９】
この加圧により、圧力媒体２４が、切断用容器１の第１のハウジング１１に形成された圧力媒体進入孔１１ｂと、勘合筒１６に形成された圧力媒体進入孔１６ａとを通って、側圧伝達筒１３と勘合筒１６との間に充填される。そして、側圧伝達筒１３に嵌入された工作物１４が軸方向に変形自在な状態で、圧力媒体２４が側圧伝達筒１３の外周側から加圧圧縮する。
【００４０】
その結果、工作物１４に応力が与えられ、工作物１４に形成された切欠きや条痕において工作物１４が切断される。なお、工作物１４がガラスの場合は、０．７ＭＰａで加圧することで、２種類の直径の工作物１４がともに切断された。
【００４１】
ところで、本実施形態では、切断用容器１と圧力容器２１とを分離した状態で用意し、切断用容器１を圧力容器２１を配管等で接続すること無く、切断用容器１内に圧力媒体２４を充填して加圧するようにしている。従って、本実施形態のように異なる径の工作物１４を切断する際は、各々の工作物１４に適合させた各部材１３、１５、１６を用意し、これらの部材１３、１５、１６を切断用容器１内に配置しておけば、１回の加圧により径の異なる工作物１４の切断を行うことができる。
【００４２】
また、径の異なる多数の工作物１４を切断しようとする場合、これらの工作物１４を切断するための適正加圧範囲内にあれば、各々の工作物１４を内包した切断用容器１を全て圧力容器２１内に入れ、１回の加圧により、これらの工作物１４を切断することができるため、作業効率を向上させることができる。さらに、仮に、複数種類の工作物１４を切断する場合に、切断するための適性加圧が異なり１回の加圧で切断できないとしても、ある工作物１４を切断中に、他の工作物１４を切断用容器１に準備しておくことができるため、やはり、効率よく切断することができる。
【００４３】
なお、本実施形態では、切断用容器１における工作物１４の端面１４ｂの両側に空間部１１ｃ、１２ａを形成したが、一方のみに空間部を形成してもよい。また、同一径の工作物１４を内包した切断用容器１を複数用意して、１回の加圧により、同一径のウェハ状の部材を多数製造することもできる。
【００４４】
（第２実施形態）
第１実施形態では、側圧伝達筒１３と工作物１４の長さが、ほぼ同じものを用いたが、本実施形態では、側圧伝達筒１３よりも極端に短い工作物１４、例えばサファイアを切断する場合について示す。図３は本実施形態の切断用容器１およびその内部の部材の概略断面図であり、図２とは側圧伝達筒１３の内部が異なるものである。以下、主として第１実施形態と異なる部分について説明し、図中、同一部分は図２と同一符号を付して説明を省略する。
【００４５】
図３に示すように、側圧伝達筒１３内の長さ方向の中心部に３つの短い円柱形状の工作物１４が、各々の工作物１４の側面（外表面）が側圧伝達筒１３の内壁と対向し、各々の工作物１４同士が当接するように嵌入されている。また、当接した３つの工作物１４のうちの外側に配置された工作物１４のさらに外側に、この工作物１４を支持するための支持部材１８が配置されている。この支持部材１８としては、例えばガラスを用いることができる。
【００４６】
この側圧伝達筒１３の内径は１５ｍｍ、長さは３０ｍｍである。また、３つの工作物１４は、いずれも直径が側圧伝達筒１３の内径よりも０．０５ｍｍ程度小さく、長さが５ｍｍであり、１ｍｍ間隔で切欠きが設けられている。また、２つの支持部材１８は、いずれも直径が工作物１４よりも０．０５ｍｍ程度小さく、長さが７．５ｍｍである。従って、工作物１４と支持部材１８とを合わせた長さが、側圧伝達筒１３と同じ長さになるように側圧伝達筒１３内に嵌入されている。
【００４７】
このようにして切断用容器１内に各部材１３〜１６、１８を配置し、上記第１実施形態と同様にして圧力容器２１内に配置して切断用容器１を加圧することにより、厚さ１ｍｍのウェハ状の部材を１５個得ることができた。
【００４８】
一般に、工作物が短いときは、側圧伝達筒１３の中で工作物が倒れ、良好な切断ができない。また、倒れが生じなくとも側圧伝達筒１３の、工作物が存在しない空間には歪みが生じ、その結果として工作物への加圧力が不安定となり挫屈しやすくなる。
【００４９】
しかし、本実施形態のように、複数の短い工作物１４を並べ、さらに工作物１４の両側に支持部材１８を配置して工作物１４を支持することにより、工作物１４が倒れるのを防ぎ、工作物１４を切断することができる。また、３つの工作物１４の直径（軸に垂直な断面の形状）を全て同一にしているため、好適に切断することができる。
【００５０】
また、支持部材１８の直径を工作物１４の直径よりも小さくしているが、これは、支持部材１８の直径が工作物１４よりも大きいと、支持部材１８に圧力が過大にかかるので工作物１４が切断されなかったり、支持部材１８が破損したりして不具合が生じるのを防止するためである。ちなみに、本実施形態では、支持部材１８の破損は無く、繰り返し使用が可能であった。
【００５１】
また、一般に工作物としては高額な材料を用いる場合が多いため、支持部材１８としては、本実施形態のガラスのように安価な材料を用いることが望ましい。また、高額であって長い形状では得難い材料や、技術的に長い形状が得難い材料の切断を行いたい場合には、本実施形態の側圧切断装置および側圧切断方法が特に好適である。そのような材料としては、例えば、ＳｉＣ（炭化珪素）のインゴットがある。
【００５２】
なお、工作物１４を複数個並べて側圧伝達筒１３とほぼ同じ長さにすることで、支持部材１８を使わずに側圧伝達筒１３の倒れを防止することもできる。また、工作物１４の片側のみに支持部材１８を配置してもよい。これらの選択は、例えば、工作物１４の個数により行うことができる。また、このように工作物１４や支持部材１８を並べる場合は、隣り合う部材１４、１８と当接させる面を、互いに密着できる平面状態にすることが好ましい。また、本実施形態のように、工作物１４の両側に支持部材１８を配置させれば、１枚のウェハ状の工作物の切断も可能である。
【００５３】
（他の実施形態）
上記第１および第２実施形態では、工作物１４としては、ガラスやサファイア、ＳｉＣを用いた例について示したが、その他、シリコンや水晶などを切断することもできる。また、工作物１４の形状についても、円柱形状のものについて示したが、その他、円筒形状や六角柱、または円柱形状において側面の一部が平面になっている形状など、様々な形状の工作物を切断することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係る側圧切断装置の模式図である。
【図２】第１実施形態に係る切断用容器およびその内部の部材の概略断面図である。
【図３】第２実施形態に係る切断用容器およびその内部の部材の概略断面図である。
【図４】従来の側圧切断法で用いる側圧切断装置の模式図である。
【符号の説明】
１…切断用容器、１１ａ…部屋、１１ｂ…圧力媒体進入孔、
１１ｃ、１２ａ…空間部、１３…側圧伝達筒、１４…工作物、１４ａ…傷、
１７…保持部材、１８…支持部材、２１…圧力容器。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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