(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数のワークを収容して加圧ヘリウム雰囲気に置く密閉可能な容器を含む前処理装置と、上記ワークのヘリウムリークテストを行うリークテスト装置と、上記多数のワークを上記前処理装置から搬出し、かつ搬出した上記多数のワークを一部ずつ順次上記リークテスト装置にセットする転送機構と、上記ワークの搬出のために上記容器を開けるタイミングを、上記リークテストの進捗度又は速度に応じて上記タイミング以降上記多数のワークの全てのリークテストが終了するまでの時間が各ワークを大気解放しておける大気解放許容時間より短くなるよう調節する調節手段とを備えたことを特徴とするリークテストシステム。
【請求項２】
上記前処理装置が、上記容器を複数有する移動台と、この移動台を移動させ、上記容器が搬入位置、吸引位置、注入位置、及び搬出位置にそれぞれ達した時、移動台を停止させる駆動手段と、上記搬入位置にある容器に上記多数のワークを入れる搬入機構と、上記吸引位置にある容器の内部を真空吸引する吸引手段と、上記注入位置にある容器に加圧ヘリウムを注入する注入手段とを有し、
上記転送機構が、上記搬出位置にある容器から上記多数のワークをまとめて搬出する搬出機構と、搬出された上記ワークを上記リークテスト装置に向けて送る搬送機構と、この搬送機構の送り方向の終端部から上記ワークを採取し、上記リークテスト装置にセットするセット機構とを有し、
上記調節手段が、上記転送機構にある上記ワークの残数をカウントするカウント部と、カウントされた残数が所定より多い時は上記搬出機構を停止し、所定以下の時は上記搬出機構の停止状態を解除する搬出制御部とを有していることを特徴とする請求項１に記載のリークテストシステム。
【請求項３】
上記カウント部が、上記搬出機構が搬出したワークの数量をカウントする第１カウンタと、上記セット機構が採取したワークの数量をカウントする第２カウンタと、上記第１カウンタのカウント値から上記第２カウンタのカウント値を差し引き、上記残数を算出する算出部とを有していることを特徴とする請求項２に記載のリークテストシステム。
【請求項４】
さらに時間管理手段を備え、この時間管理手段は、上記ワークが上記容器から搬出されてからリークテストされるまでの経過時間を測定するタイマと、この測定値が許容可能な上限時間に達し、しかも上記カウント部でカウントされた残数がゼロになっていないタイムオーバ状態が生じた時に、上記リークテスト装置によるリークテストを停止させるテスト停止部と、上記タイムオーバ状態を報知するタイムオーバ報知部とを有していることを特徴とする請求項２又は３に記載のリークテストシステム。
【請求項５】
上記搬入機構によって上記容器に入れられたワークの数量をカウントする第３カウンタと、上記第１、第３カウンタのカウント値が一致しているか否かを判断する判断手段と、不一致の場合にそれを報知する数不一致報知手段とを、さらに備えたことを特徴とする請求項３に記載のリークテストシステム。
【請求項６】
上記前処理装置において、上記吸引位置と上記注入位置とが同一の位置に配されていることを特徴とする請求項２〜５の何れかに記載のリークテストシステム。
【請求項７】
上記リークテスト装置が、上記ヘリウムリークテストを行うヘリウムリークテスト機構に加えて、上記ワークのエアリークテストを行うエアリークテスト機構を有し、
各リークテスト機構が、複数のワークをまとめてリークテストすることにより、これらワークに不良品が含まれるか否かを検査し、含まれると判断された場合は、上記複数のワークの一部を選択的にリークテストすることにより、不良品のワークを決定することを特徴とする請求項２〜６の何れかに記載のリークテストシステム。
【請求項８】
多数のワークを前処理装置の密閉可能な容器に収容して加圧ヘリウム雰囲気に置く前処理工程と、上記容器を開けて上記多数のワークを上記前処理装置から搬出する搬出工程と、搬出した上記多数のワークを一部ずつ順次リークテスト装置にセットするセット工程と、上記リークテスト装置でワークのヘリウムリークテストを行うテスト工程とを順次実行し、上記搬出工程での上記容器を開けるタイミングを、上記テスト工程の進捗度又は上記ヘリウムリークテストの速度に応じて上記タイミング以降上記多数のワークの全てのリークテストが終了するまでの時間が各ワークを大気解放しておける大気解放許容時間より短くなるよう調節することを特徴とするリークテスト方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、精密電子部品などのワーク（被検査物）を良否判定するためのリークテストシステム及びリークテスト方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図４及び図５に示すように、例えば特開平１２−１２１４８１号公報や特開平１２−１２１４８２号公報には、密封パッケージに素子が内蔵されたワークＷをリークテスト装置５０によって良否判定することが記載されている。ワークＷには、リークテスト装置５０へのセットに先立って前処理を施しておく。すなわち、ワークＷを密閉可能な容器に入れ、容器内を真空吸引した後、容器内に加圧へリウムを注入する。これによって、パッケージ不良のワークＷには、その内部空間にヘリウムが入り込む。数時間後、ワークＷを容器から取り出し、上記リークテスト装置５０に搬送する。この搬送の過程で、上記ヘリウムは、ワークＷから漏れ出ていくが、不良が微細な場合は漏れも微細で、数十分程度、ワークＷ内に残っている。
【０００３】
リークテスト装置５０は、ベースユニット５１と、小さなパッケージ不良を検出するためのエアリークテスト機構６０と、このエアリークテスト機構では検出不能な上記微細不良を検出するためのへリウムリークテスト機構７０とを備えている。ベースユニット５１は、モータ５３と、水平な回転台５２を有している。回転台５２の両端部には、マスタカプセル５５とワークカプセル５４が、複数個（例えば６個）ずつ設けられている。マスタカプセル５５には、ワークＷと同一部品で良品であることが確認済みのマスタ部品Ｍが収容されている。
【０００４】
モータ５３は、回転台５２を例えば反時計回りに９０度回転させるごとに停止させる動作を繰り返すようになっている。これによって、カプセル５４，５５が、セット位置５０Ａ、待機位置５０Ｂ、エアリークテスト位置５０Ｃ、及びヘリウムリークテスト位置５０Ｄの４つの位置に順次停止するようになっている。
【０００５】
セット位置５０Ａに対向して、セット機構４７が設けられている。セット機構４７は、水平なレール４８と、このレール４８に沿ってスライドする一対のスライド体４９Ａ，４９Ｂを有している。レール４８の一端部（図４において左端）の下方には、上記前処理済みのワークＷが載った搬送機構４０Ｘが配されている。レール４８の他端部の下方には、回収機構８０が配されている。
【０００６】
一対のスライド体４９Ａ，４９Ｂは、互いに一定間隔を維持し、セット用スライド体４９Ａが搬送機構４０Ｘの上に位置する時、回収用スライド体４９Ｂが上記セット位置５０Ａの上方に位置し、セット用スライド体４９Ａがセット位置５０Ａの上方に位置する時、回収用スライド体４９Ｂが回収機構８０の上方に位置するようになっている。各スライド体４９Ａ，４９Ｂには、バキューム吸着部材４９Ｖが図５の紙面に直交する方向に６個並んで設けられている。
【０００７】
エアリークテスト機構６０は、加圧エア源６１と、この加圧エア源６１から延びるエア通路６２と、このエア通路６２に接続された閉塞プレート６８とを有している。エア通路６２は、共通路６２ａと、この共通路６２ａから分岐した６つの分岐通路６２ｂと、各分岐通路６２ｂから２つに分かれたワーク通路６２ｗ及びマスタ通路６２ｍを有している（ワーク通路６２ｗ及びマスタ通路６２ｍは、１つの分岐通路６２ｂのものだけ図示）。
【０００８】
共通路６２ａには、三方弁６４が設けられ、通路６２ｗ，６２ｍには、開閉弁６５Ｗ，６５Ｍがそれぞれ設けられている。開閉弁６５Ｗ，６５Ｍより下流側の通路６２ｗ，６２ｍ間には、差圧センサ６７が設けられている。なお、符号６６は、ワークＷに大きなパッケージ不良が無いか否かを検査するための容積変更器である。
【０００９】
通路６２ｗ，６２ｍの下流端は、閉塞プレート６８の下面に達している。閉塞プレート６８は、上記エアリークテスト位置５０Ｃの上方に配されている。この閉塞プレート６８に、上記エアリークテスト位置５０Ｃのカプセル５４，５５が押上シリンダ５６により押し当てられることによって、カプセル５４，５５の内部が密閉されるようになっている。この密閉状態で、各カプセル５４，５５の内部が、対応する通路６２ｗ，６２ｍに連通される。
【００１０】
ヘリウムリークテスト機構７０は、２つの真空ポンプ７１ａ，７１ｂからなるバキューム機構７１と、このバキューム機構７１に連なる吸引通路７３と、真空ポンプ７１ｂの近くの吸引通路７３に設けられたヘリウム検出器７２と、吸引通路７３に接続された閉塞プレート７５とを有している。
【００１１】
吸引通路７３は、共通路７３ａと、この共通路７３ａの上流端から分岐した６つの分岐路７３ｂとを有している。６つの分岐路７３ｂには、開閉弁７４がそれぞれ設けられている。これら分岐路７３ｂの上流端が、閉塞プレート７５の下面にそれぞれ達している。閉塞プレート７５は、上記ヘリウムリークテスト位置５０Ｄの上方に配されている。この閉塞プレート７５に、ヘリウムリークテスト位置５０Ｄのワークカプセル５４が押上シリンダ５６により押し当てられることによって、カプセル５４の内部が密閉されるようになっている。この密閉状態で、各カプセル５４の内部が、対応する分岐路７３ｂに連通される。
【００１２】
上記リークテスト装置５０によるリークテスト方法を説明する。いま、回転台５２の一端部がエアリークテスト位置５０Ｃに位置しているものとする。この一端部のカプセル５４には、既にワークＷがセットされている。このワークＷに対してエアリークテストが実行される。
【００１３】
すなわち、ワークカプセル５４とマスタカプセル５５が閉塞プレート６８で密閉された後、弁６４，６５Ｗ，６５Ｍの操作により、カプセル５４，５５内に加圧エアが供給される。続いて、弁６５Ｗ，６５Ｍが閉じられる。小さなパッケージ不良のあるワークＷの内部には、エアが入りこむため、そのワークＷを含む閉鎖系の圧力が下がり、差圧センサ６７によって差圧が検出される。これによって、そのワークＷを不良品と判定することができる。
【００１４】
しかし、パッケージ不良が微細なときは上記の差圧を検出するのは難しい。そこで、上記エアリークテストの後、回転台５２が９０度回転され、上記一端部のカプセル５４がヘリウムリークテスト位置５０Ｄに位置され、ヘリウムリークテストが実行される。
【００１５】
すなわち、６個のカプセル５４が閉塞プレート７５で密閉された後、６個の開閉弁７４が一斉に開かれ、バキューム機構７１により全カプセル５４の内部が吸引される。そして、吸引されたガスがヘリウム検出器７２にかけられる。何れのカプセル５４にも微細不良のあるワークＷが入っていない場合には、ヘリウムが検出されることはなく、そこでヘリウムリークテストが終了する。
【００１６】
一方、少なくとも１つのカプセル５４に微細不良のワークＷが入っていた場合には、そのワークＷ内に残っていたヘリウムが吸い出され、ヘリウム検出器７２で検出される。この場合、開閉弁７４を例えば１つずつ開いてさらにヘリウム検出を行い、どのカプセル５４からヘリウムが漏れているかを調べる。または、６個のカプセル５４を複数の群に分け、各群ごとに吸引してヘリウム検出されるかを調べ、検出されたときは、さらにその群の各カプセルを選択的に吸引してヘリウム検出されるかを調べる。このようにして、微細不良のワークＷを特定する。したがって、６個のワークＷがすべて微細不良ではなかった場合と、微細不良のワークＷが含まれていた場合とでは、テストに要する時間が異なる。
【００１７】
上記ヘリウムリークテストの後、回転台５２が９０度回転され、上記一端部のカプセル５４がセット位置５０Ａに位置される。このセット位置５０Ａの上方に、セット機構４７の回収用スライド体４９Ｂが配される。この回収用スライド体４９Ｂの吸着部材４９Ｖによって、カプセル５４内のワークＷが吸着される。次に、スライド体４９Ｂが回収機構８０に向けて移動される。そして、良品の（エアリークテストでもヘリウムリークテストでも不良品と判定されなかった）ワークＷと、エアリークテストで不良品と判定されたワークＷと、ヘリウムリークテストで不良品と判定されたワークＷとに分別されて回収される。
【００１８】
なお、回収用スライド体４９Ｂの吸着部材４９Ｖが、セット位置５０ＡでワークＷを吸着する時、セット用スライド体４９Ａの吸着部材４９Ｖが、搬送機構４０Ｘの上方に位置され、６個の新たなワークＷを吸着（採取）する。そして、回収用スライド体４９Ｂが回収機構８０に移動するのと同時に、セット用スライド体４９Ａが、セット位置５０Ａに移動され、上記新たな６個のワークＷを６個のカプセル５４にそれぞれセットする。
【００１９】
上記回転台５２の一端部がセット位置５０Ａにあって、ワークＷの取り出しと新たなワークＷのセットとが行われている時、回転台５２の他端部は、エアリークテスト位置５０Ｃに位置し、この他端部のカプセル５４内のワークＷがエアリークテストを受けている。
【００２０】
その後、回転台５２が９０度回転して、その一端部が待機位置５０Ｂに位置されると、他端部がヘリウムリークテスト位置５０Ｄに位置され、この他端部のカプセル５４内のワークＷがヘリウムリークテストを受ける。
【００２１】
なお、エアリークテスト機構について、最初にすべてのカプセルについてエアリークテストを行い、圧力低下（差圧）が確認されなかったときは、その時点でエアリークテストを終了し、圧力低下（差圧）が確認されたときは、カプセルを１つずつ又は１群ずつ選択してエアリークテストを実行することも公知であり、この場合もテストに要する時間が不定になる。
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】
ヘリウムリークテストは、前処理したワークを搬出して大気に解放した後、ヘリウムがワーク内に残留している時間（大気解放許容時間）内に実施する必要がある。しかし、従来は、上記搬出作業を作業者が手作業で行っており、しかも、不良品が多いか少ないかによってテスト時間が一定でなく、さらには、テスト中に何らかのトラブルが発生する可能性もある。したがって、上記時間管理が容易でなかった。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その第１の特徴は、ワークを加圧ヘリウム雰囲気に置く前処理装置と、上記ワークのヘリウムリークテストを行うリークテスト装置と、上記ワークを上記前処理装置から搬出し、上記リークテスト装置にセットする転送機構と、この転送機構による上記ワークの搬出タイミングを、上記リークテストの進捗度に応じて調節する調節手段とを備えたリークテストシステムにある。
【００２４】
本発明の第２の特徴は、上記第１の特徴において、上記前処理装置が、密閉可能な容器を複数有する移動台と、この移動台を移動させ、上記容器が搬入位置、吸引位置、注入位置、及び搬出位置にそれぞれ達した時、移動台を停止させる駆動手段と、上記搬入位置にある容器に多数のワークを入れる搬入機構と、上記吸引位置にある容器の内部を真空吸引する吸引手段と、上記注入位置にある容器に加圧ヘリウムを注入する注入手段とを有し、上記転送機構が、上記搬出位置にある容器から上記多数のワークをまとめて搬出する搬出機構と、搬出された上記ワークを上記リークテスト装置に向けて送る搬送機構と、この搬送機構の送り方向の終端部から上記ワークを採取し、上記リークテスト装置にセットするセット機構とを有し、上記調節手段が、上記転送機構にある上記ワークの残数をカウントするカウント部と、カウントされた残数が所定より多い時は上記搬出機構を停止し、所定以下の時は上記搬出機構の停止状態を解除する搬出制御部とを有していることにある。
【００２５】
本発明の第３の特徴は、上記第２の特徴において、上記カウント部が、上記搬出機構が搬出したワークの数量をカウントする第１カウンタと、上記セット機構が採取したワークの数量をカウントする第２カウンタと、上記第１カウンタのカウント値から上記第２カウンタのカウント値を差し引き、上記残数を算出する算出部とを有していることにある。
【００２６】
本発明の第４の特徴は、上記第２又は第３の特徴において、さらに時間管理手段を備え、この時間管理手段は、上記ワークが上記容器から搬出されてからリークテストされるまでの経過時間を測定するタイマと、この測定値が許容可能な上限時間に達し、しかも上記カウント部でカウントされた残数がゼロになっていないタイムオーバ状態が生じた時に上記リークテスト装置によるリークテストを停止させるテスト停止部と、上記タイムオーバ状態を報知するタイムオーバ報知部とを有していることにある。
【００２７】
本発明の第５の特徴は、上記第３の特徴において、上記搬入機構によって上記容器に入れられたワークの数量をカウントする第３カウンタと、上記第１、第３カウンタのカウント値が一致しているか否かを判断する判断手段と、不一致の場合にそれを報知する数不一致報知手段とを、さらに備えたことにある。
【００２８】
本発明の第６の特徴は、上記第２〜第５の特徴の何れかにおいて、上記前処理装置において、上記吸引位置と上記注入位置とが同一の位置に配されていることにある。
【００２９】
本発明の第７の特徴は、上記第２〜第６の特徴の何れかにおいて、上記リークテスト装置が、上記ヘリウムリークテストを行うヘリウムリークテスト機構に加えて、上記ワークのエアリークテストを行うエアリークテスト機構を有し、
各リークテスト機構が、複数のワークをまとめてリークテストすることにより、これらワークに不良品が含まれるか否かを検査し、含まれると判断された場合は、上記複数のワークの一部を選択的にリークテストすることにより、不良品のワークを決定することにある。
【００３０】
本発明の第８の特徴は、ワークを前処理装置で加圧ヘリウム雰囲気に置く前処理工程と、上記ワークを上記前処理装置から搬出する搬出工程と、搬出した上記ワークをリークテスト装置にセットするセット工程と、上記リークテスト装置でワークのヘリウムリークテストを行うテスト工程とを順次実行し、上記搬出工程での上記ワークの搬出タイミングを、上記テスト工程の進捗度に応じて調節するリークテスト方法にある。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。なお、図４及び図５で既述した従来技術と同様の構成については、同一符号を付して説明を省略し、新規な構成についてのみ説明する。
【００３２】
図１に示すように、本発明に係るリークテストシステムは、ワークＷに前処理を施す前処置装置１０と、リークテスト装置５０と、ワークＷを前処理装置１０からリークテスト装置５０へ転送する転送機構４０とを備えている。
【００３３】
始めに、リークテスト装置５０の回収機構８０について説明しておく。回収機構８０は、レール８１と、３つの収容箱８２〜８４を有している。収容箱８２〜８４は、レール８１によってセット機構４７のレール４８と直交する方向にスライドされ、回収用スライド体４９Ｂの吸着部材４９Ｖの下方に１つずつ位置することができるようになっている。また、収容箱８３，８４には、仕切板８３ａ，８４ａによって６つの収容空間８３ｂ，８４ｂが形成され、これら収容空間８３ｂ，８４ｂが６個の吸着部材４９Ｖにそれぞれ対向するようになっている。エアリークテスト及びヘリウムリークテストを経たワークＷは、回収用スライド体４９Ｂによって回収機構８０に送られる。そして、良品判定されたワークＷは、収容箱８２に収容される。エアリークテストで不良品と判定されたワークＷは、収容箱８３の対応する収容空間８３ｂに収容される。ヘリウムリークテストで不良品と判定されたワークＷは、収容箱８４の対応する収容空間８４ｂに収容される。
【００３４】
次に、前処理装置１０について説明する。
前処理装置１０は、８個の容器１１を有する回転機構１２と、容器１１にワークを入れる搬入機構２０と、容器１１の内部を真空吸引するとともに加圧ヘリウムを注入する吸引注入機構３０とを備えている。
【００３５】
図１及び図２に示すように、回転機構１２は、モータ１４（駆動手段）と、このモータ１４に接続された回転軸１３と、この回転軸１３に上下に離して設けられた一対の水平をなす円盤形状の回転台１５，１６とを有している。下側の回転台１６（移動台）に上記８つの容器１１が４５度間隔で配置されている。
【００３６】
モータ１４は、回転軸１３ひいては回転台１５，１６を時計回りに４５度回転させるごとに停止させる動作を繰り返すようになっている。これによって、容器１１は、４５度ずつ離れた搬入位置１０Ａ、吸引注入位置１０Ｂ、第１〜第５浸透位置１０Ｃ〜１０Ｇ、及び搬出位置１０Ｈの８つの位置に順次停止するようになっている。
【００３７】
容器１１の構造を説明する。容器１１は、筒形状の容器本体１１ａと、上下の蓋１１ｂ，１１ｃを有している。容器本体１１ａが、下側の回転台１６の容器取付孔１６ａに嵌め込まれている。上蓋１１ｂは、上側の回転台１５に設けられたシリンダ１７（上蓋開閉手段）によって昇降され、容器本体１１ａの上端開口を開閉するようになっている。下蓋１１ｃは、下側の回転台１６に設けられたシリンダ１８（下蓋開閉手段）によって昇降され、容器本体１１ａの下端開口を開閉するようになっている。上下の蓋１１ｂ，１１ｃが容器本体１１ａの上下開口を塞ぐことによって、容器１１が密閉される。
【００３８】
次に、搬入機構２０について説明する。図１に示すように、搬入機構２０は、パーツフィーダ２１と、このパーツフィーダ２１の先端（図において右端）の下方に上記搬入位置１０Ａに対向するようにして配されたシュータ２３とを有している。パーツフィーダ２１の基端（図において左端）のターミナル部２１ａの上方には、図示しないホッパーが配され、このホッパーからターミナル部２１ａに、前処理されるべき多数のワークＷが供給されるようになっている。パーツフィーダ２１は、これらワークＷをバイブレータによって先端に向けて移動させるようになっている。
【００３９】
パーツフィーダ２１の先端部には、ワークＷを１個ずつシュータ２３に押し出す押出アーム２２が設けられている。シュータ２３は、図示しないシリンダによって回転台１５，１６の径方向に沿って前進、後退されるようになっている。図１において仮想線で示すように、後退位置でのシュータ２３は、搬入位置１０Ａの容器１１から離れている。図において実線で示すように、前進位置でのシュータ２３の先端は、上蓋１１ｂが開いた容器本体１１ａの上端開口に配され、ワークＷを容器１１の内部に投入するようになっている。
【００４０】
次に、吸引注入機構３０について説明する。吸引注入機構３０は、真空ポンプ３１と、加圧ヘリウムガスを蓄えたヘリウムボンベ３２（加圧ヘリウム源）と、これら真空ポンプ３１及びヘリウムボンベ３２に接続された電磁切換弁３３（通路切換手段）と、この電磁切換弁３３に接続されたコネクタ３４とを有している。電磁切換弁３３は、真空ポンプ３１とヘリウムボンベ３２の両方をコネクタ３４から遮断するニュートラル位置３３ｎと、ヘリウムボンベ３２をコネクタ３４から遮断するとともに真空ポンプ３１をコネクタ３４に連ねる吸引位置３３ａと、真空ポンプ３１をコネクタ３４から遮断するとともにヘリウムボンベ３２をコネクタ３４に連ねる注入位置３３ｂとを有している。
【００４１】
コネクタ３４は、上記吸引注入位置１０Ｂに対向配置され、シリンダ３５によって回転台１５，１６の径方向に沿って前進、後退するようになっている。図１において実線で示すように、後退位置でのコネクタ３４は、吸引注入位置１０Ｂの容器１１から切り離されている。前進位置でのコネクタ３４は、容器１１に設けられたポート形成部材１１ｄに接続されるようになっている。図示は省略するが、ポート形成部材１１ｄには、容器本体１１ａの内周面から径方向に延びるポートが形成され、このポートに常閉の開閉弁が設けられている。この開閉弁は、上記コネクタ３４がポート形成部１１ｄに接続されることによって、容器本体１１ａに向けて押され開かれるようになっている。これによって、容器１１の内部がポートを介してコネクタ３４に連通するようになっている。
【００４２】
真空ポンプ３１とコネクタ３４によって、特許請求の範囲の「吸引手段」が構成されている。ヘリウムボンベ３２とコネクタ３４によって、特許請求の範囲の「注入手段」が構成されている。
【００４３】
次に、転送機構４０について説明する。
転送機構４０は、搬出機構４１と、搬送機構４３と、セット機構４７とで構成されている。搬出機構４１は、上記搬出位置１０Ｈに対向配置されたホッパー４１Ａ（受け部材）と、このホッパー４１Ａからリークテスト装置５０に向けて延びるパーツフィーダ４１Ｂとを有し、シリンダ（図示せず）によって図１及び図２の矢印方向に前進、後退されるようになっている。後退位置では、ホッパー４１Ａが搬出位置１０Ｈの容器１１から離れるようになっている。図２に示すように、前進位置では、ホッパー４１Ａが、開いた下蓋１１ｃと容器本体１１ａとの間に配されている。
【００４４】
下蓋１１ｃには、上面が斜めになったガイド部材１１ｅが設けられており、容器本体１１ａの下端開口が開く際、下蓋１１ｃの下降とホッパー４１Ａの前進とが連動することによって、容器１１内のワークＷがガイド部材１１ｅの斜面を伝ってホッパー４１Ａに流れ込むようになっている。
【００４５】
パーツフィーダ４１Ｂには、ワークＷを先端に向かって送るバイブレータ（図示せず）が設けられている。図１に示すように、パーツフィーダ４１Ｂの先端部には、そこを通過するワークＷを検知してカウントする第１カウンタ４２が設けられている。
【００４６】
搬送機構４３は、前処理装置１０とリークテスト装置５０との間に設けられたレール４４と、このレール４４に沿って図示しない駆動手段によりスライドされるスライドボックス４５とを有している。レール４４の一端（図１において下端）は、パーツフィーダ４１Ｂの先端の下方に配され、他端（図１において上端）は、パーツフィーダ４６のターミナル部４６ａに対向されている。このレール４４の一端に、スライドボックス４５が位置され、このスライドボックス４５にパーツフィーダ４１ＢからワークＷが投入されるようになっている。スライドボックス４５は、レール４４の他端に位置されると、例えば傾く等してワークＷをパーツフィーダ４６のターミナル部４６ａに移すようになっている。パーツフィーダ４６は、リークテスト装置５０に向かって延びている。図示は省略するが、パーツフィーダ４６には、その先端部（送り方向の終端部）に向けてワークＷを送るバイブレータが設けられている。
【００４７】
さらに、リークテストシステムは、コントローラ９０（制御装置）を備えている。図３に示すように、コントローラ９０は、システム全体を統括する処理部９１と、この処理部９１にそれぞれ接続された駆動回路９２〜９４、カウンタ９５，９６、タイマ９７，ＣＲＴ９８（表示装置）、及びスピーカ９９を有している。前処理駆動回路９２は、前処理装置１０に接続され、転送駆動回路９３は、転送機構４０に接続され、テスト駆動回路９４は、リークテスト装置５０に接続されている。第２カウンタ９６は、転送機構４０のセット機構４７に接続され、第３カウンタ９５は、前処理装置１０の押出アーム２２に接続されている。
【００４８】
上記のように構成されたリークテストシステムによるワークＷの良否判定方法を説明する。
コントローラ９０の処理部９１は、前処理駆動回路９２を介して前処理装置１０を操作することによって、ワークＷを加圧ヘリウム雰囲気に置く前処理工程を実行させる。また、転送駆動回路９３を介して転送機構４０を操作することによって、上記前処理を経たワークＷを前処理装置１０から搬出し（搬出工程）、リークテスト装置５０に向けて送り（搬送工程）、リークテスト装置５０にセットする（セット工程）。さらに、テスト駆動回路９４を介してリークテスト装置５０を操作することによって、ワークＷのエアリークテストとヘリウムリークテストを行う（テスト工程）。
【００４９】
リークテスト装置５０では、例えば１００個（１ロット）のワークＷにつき１５分〜２０分の処理速度でリークテストが行われる。このテスト工程の処理速度に合わせて、上記前処理工程及び搬出工程が実行される。すなわち、回転台１６が、１５分〜２０分間隔で４５度づつ回転され、８つの容器１１がそれぞれ次の停止位置に移動される。そして、搬入位置１０Ａに位置する容器１１に１ロットのワークＷが搬入され、吸引注入位置１０Ｂに位置する容器１１内が加圧ヘリウム雰囲気で満たされ、搬出位置１０Ｈに位置する容器１１から１ロットのワークＷが搬出される。以下、詳述する。
【００５０】
いま、一の容器１１が、搬出位置１０Ｈから搬入位置１０Ａに移動されたとする。この一の容器１１の上蓋１１ｂは容器本体１１ａから上に離され、容器本体１１ａの上端が開口した状態になっている。この上端開口にシュータ２３の先端が臨む。そして、ワークＷが、パーツフィーダ２１から押出アーム２２によって１個ずつシュータ２３に落とされ、シュータ２３を伝って容器１１に搬入される。押出アーム２２の押出し動作は、コントローラ９０の第３カウンタ９５によってカウントされる。このカウント値は、容器１１に搬入されたワークＷの数量に相当する。カウント値が１００個になった時点で、搬入操作が停止され、シュータ２３が後退された後、上蓋１１ｂが閉じられる。
【００５１】
搬入位置１０Ａで１５分〜２０分経過後、上記一の容器１１は、吸引注入位置１０Ｂに移動される。この容器１１のポート形成部１１ｄにコネクタ３４が接続され、切替弁３３が吸引位置３３ａに位置される。これによって、容器１１内が真空ポンプ３１によって真空吸引される。容器１１内が所望の真空度に達するのに要する時間は、数十秒のオーダーである。その後、切替弁３３が注入位置３３ｂに位置される。これによって、ヘリウムボンベ３２から容器１１内に加圧ヘリウムが注入される。注入に要する時間は、数秒のオーダーである。その後、切替弁３３がニュートラル位置３３ｎに位置され、コネクタ３４が容器１１から切り離される。
【００５２】
その後、上記一の容器１１は、１５分〜２０分置きに、５つの浸透位置１０Ｃ〜１０Ｇを順次移動する。この間（約１時間半〜２時間）、容器１１内のワークＷは加圧ヘリウム雰囲気に置かれ、微細なパッケージ不良のあるワークＷには、内部にヘリウムが入り込む。
【００５３】
その後、上記一の容器１０は、搬出位置１０Ｈに位置される。この搬出位置１０Ｈで、搬出工程が実行される。すなわち、下蓋１１ｃの下降と連動してホッパー４１Ａが前進され、容器１１内の１ロットのワークＷがまとめてホッパー４１Ａに搬出される。また、スライドボックス４５がパーツフィーダ４１Ｂの下方に位置され、このスライドボックス４５に上記ワークＷが投入される。
【００５４】
この投入の際、第１カウンタ４２によってワークＷの数量がカウントされる。このカウント値は、コントローラ９０の処理部９１に送られる。処理部９１は、このカウント値が上記第３カウンタ９５によるカウント値と一致しているか否かを判断する。（この時、処理部９１は、特許請求の範囲の「判断手段」として機能する。）そして、不一致の場合には、その旨のメッセージと第１カウンタ４２のカウント値がＣＲＴ９８に表示され、スピーカ９９から警報音が出力される。（この時、ＣＲＴ９８及びスピーカ９９は、特許請求の範囲の「不一致報知手段」として機能する。）これによって、作業者は、スライドボックス４５に収容されたワークＷが１００個に足らないことを知ることができる。そして、ワークＷが容器１１やホッパー４１Ａやパーツフィーダ４１Ｂに引っ掛かっていないかをチェックし、引っ掛かっていれば、それを第１カウンタ４２にカウントさせたうえで、スライドボックス４５に入れることができる。
【００５５】
ワーク収容後のスライドボックス４５は、パーツフィーダ４６のターミナル部４６ａに向けて移動され、このターミナル部４６ａにワークＷを全部移す。その後、ワークＷはパーツフィーダ４６の先端に向けて順次送られる。
【００５６】
このパーツフィーダ４６上のワークＷが６個ずつセット機構４７で採取され、リークテスト装置５０にセットされる。セット機構４７が採取及びセット動作を行う度に、コントローラ９０の第２カウンタ９６が「６」ずつカウントアップする。処理部９１は、この第２カウンタ９６のカウント値を上記第１カウンタ４２のカウント値から差し引き、パーツフィーダ４６上のワークＷの残数を算出する。
処理部９１によって特許請求の範囲の「算出部」が実現され、この「算出部」としての処理部９１と第１、第２カウンタ４２，９６によって特許請求の範囲の「カウント部」が実現されている。
【００５７】
上記一の容器１１は、搬出位置１０Ｈに移動してから１５分〜２０分経過した時、再び搬入位置１０Ａに戻され、上記搬入機構２０によるワークＷの搬入操作が反復される。
【００５８】
上記一の容器１１が搬入位置１０Ａに位置するのと同時に、次の容器１１が搬出位置１０Ｈに位置される。この時、コントローラ９０の処理部９１は、上記パーツフィーダ４６上のワークＷの残数が所定（例えば６個）より多い場合、上記次の容器１１の下蓋１１ｃを閉じた状態に維持させ、搬出機構４１を停止させておく。そして、残数が所定以下になった時、停止状態を解除し、搬出工程を実行させる。（すなわち、ワークの搬出タイミングをテスト工程の進捗度に応じて調節する。）これによって、上記次の容器１１分のロットに対して搬出後直ちにテスト工程を行うことができ、このロットの全てのワークＷを大気解放許容時間（例えば２０分）内にヘリウムリークテストにかけることができる。
処理部９１と第１、第２カウンタ４２，９６によって特許請求の範囲の「調節手段」が実現され、処理部９１によって特許請求の範囲の「搬出制御部」が実現されている。
【００５９】
また、処理部９１は、容器１１からロットが搬出された時点からタイマ９７を動作させ、そのロットの大気解放時間を測定する。そして、測定時間が許容可能な上限時間に達した時、パーツフィーダ４６上のワークＷの残数がゼロになっていない場合（タイムオーバ状態の発生）、残りのワークＷのリークテストを停止させる。ここで、上記許容可能な上限時間とは、ワークＷがパーツフィーダ４６から採取してからヘリウムリークテストが終了するまでの平均の所要時間（例えば５０秒）を、上記大気解放許容時間から差し引いた時間である。これによって、大気解放許容時間をオーバーしてヘリウムリークテストを行うのを防止でき、微細不良のワークＷが検出されずに良品と判定されるのを確実に防止することができる。
この時、処理部９１は、特許請求の範囲の「テスト停止部」として機能している。
【００６０】
処理部９１は、上記停止操作と同時に、ＣＲＴ９８に上記タイムオーバ状態が発生した旨のメッセージを表示するとともに、スピーカ９９から警報音を出力する。これによって、作業者は、タイムオーバ状態が発生したことを知ることができ、上記残りのワークＷを搬入機構２０に戻すことによって、再度、前処理を施し、改めてヘリウムリークテストにかけることができる。
この時、ＣＲＴ９８及びスピーカ９９は、特許請求の範囲の「タイムオーバ報知部」として機能している。タイマ９７と、テスト停止部としての処理部９１と、タイムオーバ報知部としてのＣＲＴ９８及びスピーカ９９とによって、特許請求の範囲の「時間管理手段」が構成されている。
【００６１】
本発明は、上記の実施形態に限定されず種々の形態を採用することができる。例えば、吸引注入位置１０Ｂを、吸引位置と注入位置との２つに分け、吸引位置で容器内を吸引し、注入位置で容器内に加圧ヘリウムを注入してもよい。
移動台は、直線的に移動するようになっていてもよい。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の第１の特徴によれば、搬出タイミングをリークテストの進捗度に応じて調節することによって、ワークを大気解放許容時間内に確実にヘリウムリークテストにかけることができ、リークテストの信頼性を高めることができる。
本発明の第２の特徴によれば、多数個のワークごとに順次前処理を施し、リークテスト装置に送ることができ、しかも、これらワークの全てが確実に大気解放許容時間内にヘリウムリークテストを受けることができるようにすることができる。
本発明の第３の特徴によれば、ワークの残数を簡単、かつ確実に把握することができる。
本発明の第４の特徴によれば、大気解放許容時間をオーバーしてヘリウムリークテストを行うのを防止でき、微細不良のワークが検出されずに良品と判定されるのを確実に防止することができる。また、作業者に大気解放許容時間をオーバーしたことを報知させ、適切な処置を行わせることができる。
本発明の第５の特徴によれば、ワークの搬出時に容器に引っ掛かる等のトラブルが生じた場合、それを作業者に報知し、適切な処置を行わせることができる。本発明の第６の特徴によれば、容器の一つの停止位置で吸引とヘリウム注入を行うことができ、構成を簡素化することができる。
本発明の第７の特徴によれば、エアリークテストをも併せて実行できるだけでなく、不良品が多いか少ないかによってテスト時間が不定になる場合でも、ワークを大気解放許容時間内に確実にヘリウムリークテストにかけることができる。本発明の第８の特徴によれば、上記第１の特徴と同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るリークテストシステムの平面概略図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う上記システムの前処理装置の側面図である。
【図３】上記システムのコントローラとその制御対象を示すブロック図である。
【図４】リークテスト装置の平面概略図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿う上記リークテスト装置の側面断面と、リークテスト機構の回路構成とを組合せて示す解説図である。
【符号の説明】
Ｗ  ワーク
１０  前処理装置
１０Ａ  搬入位置
１０Ｂ  吸引注入位置
１０Ｈ  搬出位置
１１  容器
１４  モータ（駆動手段）
１６  回転台（移動台）
２０  搬入機構
３０  吸引注入機構
４０  転送機構
４１  搬出機構
４２  第１カウンタ
４３  搬送機構
４７  セット機構
５０  リークテスト装置
６０  エアリークテスト機構
７０  ヘリウムリークテスト機構
９０  コントローラ
９５  第３カウンタ
９６  第２カウンタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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