(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェハーキャリヤを清浄化するための装置であって、
ａ．第１の開口と第２の開口とを有し、ウエハーキャリヤを前記第１の開口のまわりにシール接触した状態で支持するように構成されたベース部分と、
ｂ．第１の流体回路と、
ｃ．第２の流体回路と、
を有し、前記第１の流体回路は流体を前記第１の開口とウェハーキャリヤの内面との間で循環して流し、前記第２の流体回路は流体を前記第２の開口とウェハーキャリヤの外面との間で循環して流して、ウェハーキャリヤの内面及び外面から汚染を除去するとともに、前記第１及び第２の流体回路で流れる流体が廃棄される前において前記第２の流体回路からの流体は前記第１の流体回路に供給されないように構成された装置。
【請求項２】
前記第１の流体回路は流体をウェハーキャリヤの内面に向けるための第１のアプリケータを有し、前記第２の流体回路は流体をウェハーキャリヤの外面に向けるための第２のアプリケータを有する請求項１の装置。
【請求項３】
前記第１及び第２のアプリケータはスプレイヤである請求項２の装置。
【請求項４】
前記第１及び第２のスプレイヤはウェハーキャリヤに対して動く請求項３の装置。
【請求項５】
前記ベースが側壁と、前記ベース部分に連結された後壁とをさらに有する請求項４の装置。
【請求項６】
前記ベースとシール状態で連結できかつその内部へのアクセスができるように可動なカバーをさらに有している請求項５の装置。
【請求項７】
前記ベース部分は第３の開口をさらに有し、前記ベースはウェハーキャリヤドア保持取付具を前記第３の開口のまわりにシール接触状態で指示できるように構成されており、前記第１の流体回路は流体を前記第１及び第３の開口と、ウェハーキャリヤの内面と、ウェハーキャリヤドア保持取付具との間で流し、前記第２の流体回路は流体を前記第２の開口と、ウェハーキャリヤの外面と、ウェハーキャリヤドア保持取付具との間で流して、ウェハーキャリヤ及びウェハーキャリヤドアの内面及び外面から汚染を除去する請求項１の装置。
【請求項８】
前記第１及び第２のアプリケータはスプレイヤである請求項７の装置。
【請求項９】
前記第１及び第２のスプレイヤはウェハーキャリヤ及びウェハーキャリヤドア保持取付具に対して動く請求項８の装置。
【請求項１０】
ウェハーキャリヤを清浄化する方法であって、
ａ．第１の開口と第２の開口とを有するベース部分を設ける段階と、
ｂ．前記第１の開口を第１の流体回路に接続する段階と、
ｃ．前記第２の開口を第２の流体回路に接続する段階と、
ｄ．ウェハーキャリヤを前記第１の開口のまわりにシール接触状態で配置する段階と、
ｅ．流体を前記第１の開口とウェハーキャリヤの内面との間で循環して流してその汚染  を除去する段階と、
ｆ．流体を前記第２の開口とウェハーキャリヤの外面との間で循環して流してその汚染を除去する段階と、
を有し、前記第１及び第２の流体回路で流れる流体が廃棄される前において前記第２の流体回路からの流体は前記第１の流体回路に供給されないように構成された清浄化方法。
【請求項１１】
流体を前記第１の開口とウェハーキャリヤの内面との間で流してその汚染を除去する前記段階は、
ｉ）前記流体回路に流体アプリケータを設ける段階と、
ii）前記アプリケータから出る流体を所定の経路に沿って方向付ける段階と、
を有しており、
流体を前記第２の開口とウェハーキャリヤの外面との間で流してその汚染を除去する前記段階は、
ｉ）前記流体回路に流体アプリケータを設ける段階と、
ii）前記アプリケータから出る流体を所定の経路に沿って方向付ける段階と、
を有している、 請求項１０の清浄化方法。
【請求項１２】
ウェハーキャリヤドアを清浄化する方法であって、
ａ．第１の開口と第２の開口とを有するベース部分を設ける段階と、
ｂ．前記第１の開口を第１の流体回路に接続する段階と、
ｃ．前記第２の開口を第２の流体回路に接続する段階と、
ｄ．ウェハーキャリヤドアをウェハーキャリヤドア保持取付具にシール接触状態で配置する段階と、
ｅ．ウェハーキャリヤドア保持取付具を前記第１の開口のまわりにシール接触状態で配置する段階と、
ｆ．流体を前記第１の開口とウェハーキャリヤドアの内面との間で循環して流してその汚染を除去する段階と、
ｇ．流体を前記第２の開口とウェハーキャリヤドアの外面との間で循環して流してその汚染を除去する段階と、
を有し、前記第１及び第２の流体回路で流れる流体が廃棄される前において前記第２の流体回路からの流体は前記第１の流体回路に供給されないように構成された清浄化方法。
【請求項１３】
流体を前記第１の開口とウェハーキャリヤドアの内面との間で流してその汚染を除去する前記段階は、
ｉ）前記流体回路に流体アプリケータを設ける段階と、
ii）前記アプリケータから出る流体を所定の経路に沿って方向付ける段階と、
を有しており、
流体を前記第２の開口とウェハーキャリヤドアの外面との間で流してその汚染を除去する前記段階は、
ｉ）前記流体回路に流体アプリケータを設ける段階と、
ii）前記アプリケータから出る流体を所定の経路に沿って方向付ける段階と、
を有している、 請求項１２の清浄化方法。
【請求項１４】
ウェハーキャリヤを清浄化する方法であって、
ａ．第１の開口と第２の開口とを有するベース部分を設ける段階と、
ｂ．前記第１の開口をスプレイアプリケータ部を有する第１の流体回路に接続する段階と、
ｃ．前記第２の開口をスプレイアプリケータ部を有する第２の流体回路に接続する段階と、
ｄ．ウェハーキャリヤを前記第１の開口のまわりにシール接触状態で配置する段階と、
ｅ．流体を前記第１の開口と前記スプレイアプリケータ部とウェハーキャリヤの内面と  の間で循環して流してその汚染を除去する段階と、
ｆ．流体を前記第２の開口と前記スプレイアプリケータ部とウェハーキャリヤの外面との間で循環して流してその汚染を除去する段階と、
を有し、前記第１及び第２の流体回路で流れる流体が廃棄される前において前記第２の流体回路からの流体は前記第１の流体回路に供給されないように構成された清浄化方法。
【請求項１５】
流体を前記第１の開口と前記スプレイアプリケータ部とウェハーキャリヤの内面との間で流してその汚染を除去する前記段階は、
ｉ．前記スプレイアプリケータ部から出る流体を所定の経路に沿って方向付ける段階、
を有しており、
流体を前記第２の開口と前記スプレイアプリケータ部とウェハーキャリヤの外面との間で流してその汚染を除去する前記段階は、
ｉ．前記スプレイアプリケータ部から出る流体を所定の経路に沿って方向付ける段階、
を有している、
請求項１４の方法。
【請求項１６】
内面と外面とを有するウェハーキャリヤ部品を清浄化するための装置であって、
ａ．ウェハキャリヤ部品を挿入して定置するための開放可能な流体密封チャンバを有し、該チャンバは第１の隔絶された領域と第２の隔絶された領域とを有しており、ウェハーキャリヤ部品の内面は前記第１の隔絶された領域に面し、ウェハーキャリヤ部品の外面は前記第２の隔絶された領域に面するようになっており、
ｂ．前記第１の隔絶された領域に流体を循環させるため前記チャンバに接続された第１の流体回路を有し、
ｃ．前記第２の隔絶された領域に流体を循環させるため前記チャンバに接続された第２の流体回路を有しており、前記第１及び第２の流体回路で流れる流体が廃棄される前において前記第２の流体回路からの流体は前記第１の流体回路に供給されないように構成された装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
この出願は１９９８年１月９日に出願されたアメリカ合衆国仮特許出願第６０／０７２，４５８号に基づくユーティリティー特許出願である。
【０００２】
【発明の背景】
本発明は半導体製造産業において利用されるキャリヤに関し、詳しくはこのようなキャリヤを清浄化するための装置及び方法に関する。
【０００３】
半導体ウェハその他のデリケートな電子部品を有用な物品として形成するためのプロセスには高度の精度と清浄度とが要求される。これらの物品は益々複雑で小さくなっていることから汚染についての関心が高まっている。空気を媒介する汚染の問題はクリーンルームとして知られるような制御された製造環境を提供することによって著しく減少させることができる。クリーンルームは環境空気に見出される空気を媒介する汚染物を有効に排除することができるけれども、同じようなクリーンルーム環境においてウェハを完全に処理することはしばしば不可能でありまた得策でもない。さらに、全ての汚染や汚染物を排除できるものではない。これと他の理由とから、半導体ウェハは保護キャリヤ或いはポッドの補助でバルクで搬送され、貯蔵され、製造される。このようなキャリヤは一般にそのキャリヤ或いはポッドがそれ自身のミクロな環境を維持できるようにする囲み（enclosure）を有している。これによって、空気を媒介する汚染の可能性がさらに減少する。
【０００４】
汚染及び汚染物は他のメカニズムでも生じうる。例えば、ウェハーをウェハーキャリヤに入れたり出したりするとき、或いはドアを付けたり外したりするときに、ウェハーによって粒子が機械的に生じ、また粒子は様々な処理流体との反応によって化学的にも生じうる。汚染はキャリヤそれ自身のガス抜きの結果としても、また人体活動により自然に生物学的に生じ、さらにはキャリヤの不適正或いは不完全な洗浄の結果として生じる。また、キャリヤを処理の間にステーションからステーションへと輸送するときにキャリヤの外面においても生じうる。
【０００５】
このような汚染物及び汚染はキャリヤ或いはポッドを定期的に洗浄し及び／もしくは清浄化することによって減少できる。一般には、清浄化装置内にキャリヤを置いて内外面で清浄化流体を受けるようにすることでキャリヤから汚染物や汚染を取り去ることが行われている。外面を清浄化するために利用される流体は内面を清浄化するための流体とはしばしば異なっている。使用後の流体は通常、共通の容器に集められて廃棄される。また、清浄化装置が外面と内面とに同じ清浄化流体を利用することがある。これによって使用後の流体をリサイクルできる。
【０００６】
このようなキャリヤのクリーナにはいくつもの問題が伴う。これらはリサイクル用のものではないとすれば、多量の材料が使われる。リサイクル用のものであれば、流体を外面及び内面の特定の要求に合わせることは不可能である。そして、それらはドアや囲みの清浄化には用いられない。
【０００７】
外面清浄化流体と内面清浄化流体との間の相互汚染が最小なウェハーキャリヤクリーナ、有価値の資源を大切に使うことのできるウェハーキャリヤクリーナ、ドアの清浄化を行うことができるウェハーキャリヤクリーナ、及び適度に制御された環境内で作動することができるウェハーキャリヤクリーナが希求されている。
【０００８】
【発明の開示】
本発明は半導体ウェハーキャリヤクリーナに関するものであり、ここでウェハーキャリヤの用語は半導体産業に置いて利用される半導体ウェハーを保持するように設計され或いは適合される容器として解釈されるべきものである。ウェハーキャリヤにはＨバーウェハーキャリヤ、前側開口一体ポッド（Front Opening Unified Pods）(FOUP)、標準機械的インターフェースポッド(Standard Mechanical Interface Pods)(SMIF)、ウェハーキャリヤドア保持取付具、及び半導体チップ、フェライトヘッド、磁気共鳴読取ヘッド、薄膜ヘッド、ベアダイ(bare dies)、バンプダイ(bump dies)、基材、光学装置、レーザダイオード、予備的形成品及び雑多な機械装置のような小さな電子部品を貯蔵し搬送し製造し及び通常保持するためのマイクロ電子産業において利用されるその他のキャリヤを含むものであるが、それらに限るわけではない。
【０００９】
本発明のウェハーキャリヤクリーナは流体をウェハーの異なる面に適用するために設計され或いはそのようにし向けられた二重すなわち並列流体回路を有している。つまり、ウェハーキャリヤクリーナは流体を装置の第１及び第２の隔絶された領域からウェハーキャリヤの内面及び外面にそれぞれ適用するための別個の流体回路を有しており、ここで流体の用語は気体、液体及びそれらの組合せ、すなわち流動性を有する材料状態を包含するものである。
【００１０】
一般に、一方の流体回路が流体をウェハーキャリヤの外面に供給し、他方の流体回路が流体をウェハーキャリヤの内面に供給する。
【００１１】
特に、流体はウェハーの内面及び外面を定期的に清浄化し、すすぎ、乾燥し或いはその他の処理（例えば汚染除去）を行うのに利用される。流体は流体回路に可動に接続された専用のスプレイヤを通じて適用されるのが好ましい。流体回路は流体を内部的及び外部的にそれぞれ適用するための必要かつ適当なドレン、バルブ、フィルタ及びポンプを有している。これらのバルブによって流体回路内の流体を要望或いは必要に応じてリサイクルしたり、組み合わせたり、浄化したり、再チャージしたりすることができる。
【００１２】
本発明の特徴を有するウェハーキャリヤクリーナはウェハーキャリヤ（ドアなし）或いはドア保持取付具をシール状態で配置し固定できるベースを有している。広く言えば、清浄化装置（これは流体密封チャンバを形成するための側壁と後壁とを有する）のベースにウェハーキャリヤ部品を置く動作によって、２つの隔絶領域が形成され、第１の隔絶領域はウェハーキャリヤ部品とベースとによって限定された内部空間を含み、第２の隔絶領域はウェハーキャリヤ部品の外部の空間として限定される。ベースは第１の開口と第２の開口とを有しており、これらによって材料の第１及び第２隔絶領域のそれぞれへのアクセス及び移動が可能となっている。ウェハーキャリヤが配置される第１の開口はその内部へのアクセスを許容するように構成されており、第２の開口はウェハーキャリヤの外面の外側に位置している。利用において、ウェハーキャリヤはキャリヤのアクセス開口がベースの第１の開口と一致するようにベースに置かれる。ウェハーキャリヤクリーナのための随意の蓋が次いで閉じられる。次いで、第１すなわち外部スプレイヤ（第１の流体回路に接続されている）及び第２すなわち内部スプレイヤ（第２の流体回路に接続されている）によって、キャリヤの外面と内面とが好ましくは同時に清浄化される。
【００１３】
外部のスプレイヤはキャリヤのまわりを揺動式で回転するに伴ってキャリヤの外面に比較的清浄な流体を適用する。費やされた（使用された）流体は外面から落下してそこから去り、第２の開口を通って第１の流体回路に向けられる。一方、内部のスプレイヤはキャリヤ或いは取付具に対してスプレイヤを往復式で上下に動かすことで、キャリヤの内面に比較的清浄な流体を適用する。費やされた（使用された）流体は内面から落下してそこから去り、第１の開口を通って第２の流体回路に向けられる。
【００１４】
外部スプレイヤは複数の間隔を置いた開口を有するチューブとして一般的に表現されるけれども、ウェハーキャリヤに対して動くように構成され或いは配置されたその他の形態も考え得る。外部スプレイヤは表面の処理を容易にするウルトラ及び／もしくはメガソニックトランスデューサを採用することができる。同様に、内部スプレイヤは表面の処理を容易にするウルトラ及び／もしくはメガソニックトランスデューサを採用することができる。
【００１５】
それに代えて、流体は適当に設計されたウェットベンチ（wet benches）内に浸漬式で直接外面及び内面に適用してもよい。この浸漬技術は乾燥時間が大幅に減少する利点が有る。
【００１６】
別の実施形態においては、多数のウェハーキャリヤが同時に処理できる。特に２つのウェハーキャリヤの場合、ウェハーキャリヤと付属のドア全体を同時に処理するために取付具が設けられる。
【００１７】
ドアの取り外しと、ドアなしのウェハーキャリヤのベースへの配置とは手動式でも、ロボットによっても及び／もしくは自動化手段によっても行うことができることに注目されたい。
【００１８】
本発明の好ましい実施形態の特徴はウェハーキャリヤの外面を処理し及び／もしくは清浄化するのに利用される流体はウェハーキャリヤの内面を処理し及び／もしくは清浄化するのに利用される流体から隔絶されており、それによって相互汚染が減少していることである。
【００１９】
好ましい発明の別の特徴は外面及び内面の処理流体が別個の流体回路に入っていることである。
【００２０】
好ましい実施形態の別の特徴は流体の有効作用寿命が長くなり、その廃棄物が減少することである。
【００２１】
好ましい発明の別の特徴は専用の流体回路によって様々なプロセス段階を行うのに利用される様々な組合せ及び種類の流体の給送を簡略化できることである。
【００２２】
好ましい発明のさらにもう一つの特徴は適当な流体制御装置を利用することによって、流体回路を再チャージし、浄化し、混合し、さもなくば巧みに操作できることである。
【００２３】
好ましい発明のさらにもう一つの特徴はウェハーキャリヤの外面及び内面の面的処理が流体回路に接続された専用のスプレイヤによって行われることである。
【００２４】
好ましい発明のさらにもう一つの特徴は一つのウェハーキャリヤと一つのドア或いは多数のウェハーキャリヤと多数のドアとを同時に処理できることである。
【００２５】
好ましい実施形態のもう一つの特徴は多数ドア保持取付具を設けることによって複数のドアの清浄化が簡単となることである。
【００２６】
本発明のさらなる目的、利点及び特徴は以下の説明に部分的に記載されており、また一部は以下の精査によって当業者により明白となり或いは本発明の実施によって知られるであろう。本発明の目的及び利点は特許請求の範囲において特に指摘した手段及び組合せによって実現され、達成される。
【００２７】
図面は単に説明だけのためのものであり、発明の請求の範囲を限定するものではない。
【００２８】
【発明の実施の形態】
図１を参照すると、本発明によるウェハーキャリヤクリーナは全体を１０で示されている。図解のため、ウェハーキャリヤＣは清浄化プロセスの際にあらわれるものとして示されている。
【００２９】
ウェハーキャリヤクリーナ１０は第１の側壁１４と、後壁１８と、第２の側壁２０と、ベース２４とを有するチャンバ１２を備えている。第１の側壁１４は第１すなわち外部のスプレイヤ３０の一部を受け入れるように寸法設定された開口１６を有しており、第２の側壁２０は外部のスプレイヤ３０の別の部分を受け入れるように寸法設定されたサポート／開口２２を有している。ベースは後述する第１の開口と第２の開口（この図には示されていない）とを有している。外部のスプレイヤ３０はウェハーキャリヤの外側を取り囲むように構成されていることに注目されたい。チャンバ１２は（破線で示したような）カバーすなわち囲みＡを有し、これが使用時にチャンバを囲む。カバーＡはチャンバにヒンジ取付することができ、チャンバを有効にシールできるようにガスケットを備えることができる。また、カバーはその取扱を容易にするための補助及びロック装置を有することができる。
【００３０】
図２Ａを参照すると、外部のスプレイヤ３０は第１の脚３４と、スパン３６と、第２の脚３８とを有するほぼＵ字形を成している。第１の脚３４と、スパン３６と、第２の脚３８とは、清浄化流体の流れをウェハーキャリヤ部品Ｃの外面に向ける少なくとも一つの開口（図示しない）を有している。第１の脚３４には第１の延長部３２が設けられ、第２の脚３８には第２の延長部４０が設けられている。これらの延長部３２，４０は側壁１４，１６の開口１６及びサポート／開口２２とそれぞれ協働して、スプレイヤ３０がウェハーキャリヤＣのまわりに揺動式に回転できるようにしている。外部のすなわち第１のスプレイヤはほぼＵ字形として図示したが、スプレイヤは本発明の精神及び範囲から逸脱することなく様々な形状のものが利用できることを理解されたい。例えば、外部のスプレイヤはＣ字形を成して垂直軸まわりに回転するように取り付けられていても良い。或いは、外部のスプレイヤはほぼ閉じたループであって、このループを通じてウェハーキャリヤが動くことができるものであっても良い。また、スプレイヤは固定されたものであっても良い。内部すなわち第２のスプレイヤ５０はベース２４の開口２６を通って突出するように配置されている。この内部のスプレイヤ５０は清浄化流体の流れをウェハーキャリヤの内面に向ける少なくとも一つの開口（この図には示されていない）を有している。このスプレイヤは図示では開口２６を通って突出しているけれども、ベース２４の面の下方に位置するスプレイヤを設けることも本発明の範囲内のことである。異なるソースからの清浄化流体を方向の矢印で示したように内部及び外部のスプレイヤに供給することができる。このような流体の分離は清浄化運転を通じて維持され、このために、ベース２４には開口２６，２８が設けられて、内部のスプレイヤ５０の使用後の古い流体は第１の開口２６を通るように向けられ、外部のスプレイヤ３０の使用後の古い流体は第２の開口２８を通るように向けられる。このように分かれた使用後の流体は第１及び第２の容器８０，８６に導かれて所望により処理され、及び／もしくはリサイクルされる。この処理には再スプレー、濾過、再加熱、浄化、脱イオン化、混合、冷却及び希釈を含み得るが、これらに限るわけではない。ウェハーキャリヤクリーナに対する制御装置が図１に示す第３の容器９２内に入れられていて、自動化が容易となっている。
【００３１】
図２Ｂを参照すると、この外部のスプレイヤ３０は上記で説明したと本質的に同じであり、ここでは繰り返し説明しない。内部のスプレイヤ６０は清浄化流体を表面に送るのに複数の開口ではなくスロットを利用している点で内部のスプレイヤ５０と異なる。このタイプの開口は気体流体を送るのに最も有用であり、それによって或る領域をドライに“拭う”("wiped")ことができる。作用において、内部のスプレイヤ６０はウェハーキャリヤの上部内面から始まってキャリヤの両側に沿って動く。このため、スプレイヤ６０はスプレイヤ６０の動きを所望に方向付けるための軌道（破線で示す）を有することができる。それに代えて、スプレイヤ６０をその長手方向軸に沿って回転可能に取り付けて、ウェハーキャリヤの内部の清浄化／拭いを可能とすることができる。
【００３２】
図２Ｃを参照すると、内部のスプレイヤ６０は清浄化流体を表面に送るのに利用されるスロット６１を有している。このスロット６１から液体が出るとシートのかたちとなる。
【００３３】
図２Ｄを参照すると、そこでは図２Ａ，図２Ｂ及び図２Ｃの内部のスプレイヤが組み合わされている。外部のスプレイヤは明瞭化のため省いてある。この図においては、上下に可動となってウェハーキャリヤ或いはポッドの内部をスプレーできる内部のスプレイヤ５０が設けられている。２つの追加のスプレイヤがまた設けられており、これらの動きは各スプレイヤの両端から延びる突部を摺動可能に受け入れる平行軌道の溝によって制限されている（図２Ｅ及び図２Ｆ参照）。
【００３４】
図２Ｅを参照すると、軌道５４，５４‘はほぼ逆“Ｕ”字形を成しており、同一形状を有している。これらの軌道は溝５６，５６’，５８，５８‘を有しており、これらはスプレイヤの端部からそれらの長手方向軸に沿って延びる補完形状の両突部と協働する。図では単一の長手方向のスプレイヤだけが示されていることに注意されたい。
【００３５】
図２Ｆを参照すると、細長いスプレイヤ６０は該スプレイヤ６０の長さに沿って延びて端部６２，６３（図示しない）で終わるスロット６１を有している。スプレイヤ６０は端部６２，６３から延びて軌道５４，５４‘の溝５６，５６’と協働する突部６４，６４‘（図示しない）を備えており、スプレイヤが軌道５４，５４’に対して移動するに伴ってスプレイヤによりウェハーキャリヤ或いはポッドの内部が掃かれるようになっている。細長いスプレイヤ６０は上記突部に位置してそこから延びる従来式の形状の複数のスプレイヤを有することもできる。これらの従来式のスプレイヤはそれらの長手方向軸に直角な領域をスプレイするのに利用される。
【００３６】
図２Ｇ、図２Ｈ、図２Ｉ、図２Ｊ、図２Ｋ及び図２Ｌを参照すると、細長いスプレイヤは対向する端部６２，６３と、長手方向のチャンネル６７とを有するほぼ矩形のブロック６０を有している。長手方向のチャンネルは羽根板６５により覆われている。羽根板６５をブロック６０のチャンネル６７上に配置すると、０．０００“（インチ）〜０．２５”（インチ）幅の長手方向のスロット６１が形成される。スロット６１の好ましい幅は約０．００４“（インチ）である。この距離はランド７０によって保たれている。羽根板６５は長手方向のランド６９に沿ってブロック６０に接着取付されているのが好ましい。羽根板６５を取り付けるとスロット６１が形成され、このスロット６１を通じて清浄化及び乾燥流体が適用される。ブロック６０の両端には従来式のスプレイヤを取り付ける穴６８，６８‘がオプション的に設けられている。
【００３７】
図２Ｄ〜図２Ｌに関する好ましい構造は、内部のスプレイヤ５０によって液体流体を適用し、細長いスプレイヤによって気体流体を適用するものである。また、スプレーの動きは上から下へ向かうものであることが理解されよう。これは重力を利用して、汚れた流体が清浄な表面に落下し或いは跳ね返る可能性を少なくするために行われるものである。
【００３８】
軌道５４，５４‘は同様な構成をウェハーキャリヤ或いはポッドの外部を清浄化するために利用できることが理解されよう。
【００３９】
図３を参照するとウェハーキャリヤクリーナ１００は第１の側壁１１４と、後壁１１８と第２の側壁１２０とベース１２４とを有するチャンバ１１２を備えている。第１の側壁１１４は外部のスプレイヤ１３０の一部を受け入れるように寸法設定された開口１１６を有しており、第２の側壁１２０は外部のスプレイヤ１３０の別の部分を受け入れるように寸法設定されたサポート／開口１２２を有している。チャンバ１１２は２つのウェハーキャリヤＣの清浄化ができるように構成されている。ベース１２４は後述する第１の開口と、第２の開口と、第３の開口（図示しない）とを有している。外部のスプレイヤ１３０は２つのウェハーキャリヤＣの外部を取り囲むように構成されていることに注目されたい。
【００４０】
図４を参照すると、外部のスプレイヤ１３０は第１の脚１３４と、スパン１３６と、第２の脚１３８と、中間脚１４２とを有するほぼＭ字形を成している。
第１の脚１３４と、スパン１３６と、第２の脚１３８と、中間脚１４２とは清浄化流体の流れをウェハーキャリヤＣの外面に向ける開口（図示しない１４１）を備えている。第１の脚１３４には第１の延長部１３２が設けられており、第２の脚１３８には第２の延長部１４０が設けられている。延長部１３２，１４０は側壁１１４，１２０の開口１１６及びサポート／開口１２２とそれぞれ協働して、スプレイヤを２つのウェハーキャリヤＣのまわりで揺動式に回転できるようにしている。内部のスプレイヤ１５０及び１６０はベース１２４の開口１２６及び１２７を通って突出するように配置されている。内部のスプレイヤ１５０，１６０は清浄化流体の流れをウェハーキャリヤＣの内面に向ける少なくとも一つの開口（図示しない）を有している。スプレイヤは開口１２６，１２７を通って突出するように図示されているが、一つもしくは複数のスプレイヤをベース１２４の面の下方に配置することも本発明の範囲内のことである。内部及び外部のスプレイヤには方向の矢印で示したように異なるソースから清浄化流体が供給される。先に述べたように、清浄化運転を通じて流体分離が維持されている。
【００４１】
図５Ａ及び図５Ｂを参照すると、ウェハーキャリヤクリーナ２００は第１の側壁２１４と、後壁２１８と第２の側壁２２０とベース２２４とを有するチャンバ２１２を備えている。第１の側壁２１４は外部のスプレイヤ２３０の一部を受け入れるように寸法設定された開口２１６を有しており、第２の側壁２２０は外部のスプレイヤ２３０の別の部分を受け入れるように寸法設定されたサポート／開口２２２を有している。ベースは後述する第１の開口２２６と、第２の開口と、第３の開口と、第４の開口（図示しない）とを有している。外部のスプレイヤ２３０は多数のウェハーキャリヤＣの外部を取り囲むように構成されていることに注目されたい。図５Ｂでは開口２２６とそれに対する内部のスプレイヤ１５０とを見せるために、ウェハーキャリヤの一つが外されている。
【００４２】
図６を参照すると、外部のスプレイヤ２３０は第１の脚２３４と、スパン２３６と、第２の脚２３８と、第４の脚２４６とを有するほぼ櫛形を成している。
第１の脚２３４と、スパン２３６と、第２の脚２３８と、第４の脚２４６とは清浄化流体の流れをウェハーキャリヤＣの外面に向ける開口（図示しない）を備えている。第１の延長部２３２が第１の脚２３４に設けられており、第２の延長部２４０が第２の脚２３８に設けられている。これらの延長部２３２，２４０は側壁２１４，２１６の開口２１６及びサポート／開口２２２とそれぞれ協働して、スプレイヤをウェハーキャリヤＣのまわりで揺動式に回転できるようにしている。内部のスプレイヤ２５０はベース２２４の開口２２６を通って突出するように配置されている。内部のスプレイヤ２５０，２６０及び２７０は清浄化流体の流れを複数のウェハーキャリヤＣの内面に向ける少なくとも一つの開口（図示しない）を有している。これらのスプレイヤは開口２２６，２２７及び２２９を通って突出するように図示されているが、スプレイヤをベース２２４の面の下方に配置することも本発明の範囲内のことである。内部及び外部のスプレイヤには方向の矢印で示したように異なるソースから清浄化流体が供給される。流体分離は清浄化運転を通じて維持され、このために、ベース２２４には４つの開口２２６，２２８，２２７及び２２９が設けられ、内部のスプレイヤ２５０，２６０及び２７０の使用後の古い流体は開口２２６，２２７及び２２９を通るように向けられ、外部のスプレイヤ２３０の使用後の古い流体は第２の開口２２８を通るように向けられる。このように分かれた使用後の流体は第１及び第２の容器に導かれて所望により処理され、及び／もしくはリサイクルされる。
【００４３】
図７及び図８を参照すると、外部のスプレイヤ３３０と内部のスプレイヤ３５０とは同期して動くことができるように互いに連結されている。外部のスプレイヤ３３０は第１の脚３３４と、スパン３３６と、第２の脚３３８とを有するほぼＵ字形を成している。第１の脚３３４と、スパン３３６と、第２の脚３３８とは清浄化流体の流れをウェハーキャリヤＣの外面に向ける開口（図示しない３４１）を備えている。第１の延長部３３２が第１の脚３３４に設けられ、第２の延長部３４０が第２の脚３３８に設けられている。延長部３３２，３４０は側壁３１４，３１６の開口３１６及びサポート／開口３２２とそれぞれ協働して、スプレイヤをウェハーキャリヤＣのまわりで揺動式に回転できるようにしている。内部のスプレイヤ３５０はベース３２４の開口３２６を通って突出するように配置されている。内部のスプレイヤ３５０は清浄化流体の流れをウェハーキャリヤの内面に向ける少なくとも一つの開口（図示しない）を有している。
【００４４】
内部及び外部のスプレイヤは一つのウェハーキャリヤを清浄化するように図示されているが、多数ウェハーキャリヤ清浄化チャンバに対しても利用できるように構成できることが理解されよう。外部及び内部のスプレイヤ開口は従来形状であっても良く、或いは例えばエアナイフにおけるような一つの長手方向のスロットの形状であっても良い。スプレイヤは複数のスロット或いはスロットと開口との組合せを有することで所望の清浄化パターンを形成できる。内部及び外部のスプレイヤ３５０，３３０の同期化は外部及び内部のスプレイヤにそれぞれ設けられた一対のプーリ３６０，３６２と、それらの間のベルト３６４とによって達成されている。外部のスプレイヤが動けば内部のスプレイヤもそのように動く。様々な寸法のプーリを用いることで様々な相対回転速度を得ることができる。プーリにねじりを加えることで逆回転を達成できる。ベルトとプーリを図示したが、本発明の範囲を逸脱しない同期運動のための他の機構を利用することも本発明の範囲内のことである。
【００４５】
図９〜図１３を参照すると、チャンバ４００，５００による複数のウェハーキャリヤと、ドアクリーニングアダプタに着脱自在に取り付けられた複数のウェハーキャリヤドアとの清浄化が示されている。ウェハーキャリヤとドアとは各々がウエハーキャリヤ部品でありまた各々内外面を有している。
【００４６】
更に詳細には、図９〜図１１には２つのウェハーキャリヤと、互いに平行な２つのドアとの清浄化が可能なチャンバが示されており、一方、図１２〜図１３には２つのウェハーキャリヤと、互いに角度をなした２つのドアとの清浄化が可能なチャンバが示されている。図９を参照すると、ウェハーキャリヤクリーナ４００は第１の側壁４１４と、後壁４１８と第２の側壁４２０とベース４２４とを有するチャンバ４１２を備えている。第１の側壁４１４は外部のスプレイヤ４３０の一部を受け入れるように寸法設定された開口４１６を有しており、第２の側壁４２０は外部のスプレイヤ４３０の別の部分を受け入れるように寸法設定されたサポート／開口４２２を有している。外部のスプレイヤ４３０は多数のウェハーキャリヤとドアクリーニングアダプタ即ち取付具４５０との外部を取り囲むように構成されていることに注目されたい。
【００４７】
図１０Ａを参照すると、ドアクリーニングアダプタ４５０はフレームを有し、該フレームはほぼ矩形を有しまた第１及び第２の側部４５２，４５４を備え、これらの側部はウェハーキャリヤドアＰを解放可能に保持するように寸法設定された開口４５３，４５５を有している。これらのドアはラッチ用チップＬを有し、このチップはドアに対して突出及び後退可能であり、ドアをアダプタに対して解放可能に保持できるようにしている。アダプタ４５０は天壁４５１と、端壁４５６，４５８と、開口４６０を備えた底４５９とを有している。開口４６０にはチップＬと協働してドアをアダプタ４５０に対して解放可能に保持するためのスロット４６１が設けられている。開口４６０はクリーニングアダプタとウェハーキャリヤドアとにより限定された空間に内部清浄化流体が入ることができるように寸法設定されている。
【００４８】
図１０Ｂを参照すると、ドアクリーニングアダプタ４５０はドアＰを着脱自在に取り付けるための治具すなわち取付具４５７を有しており、この治具すなわち取付具４５７はドアクリーニングアダプタ４５０に着脱自在に取り付けられている。ドアＰはスロット４６１‘と協働するピンＬによって治具４５７に取り付けられている。治具すなわち取付具４５７はアダプタ４５０に同様な方法（図示しない）で取り付けることができる。この治具すなわち取付具４５７は所望によりウェハーキャリヤを直接連結する代わりにクリーニングチャンバのベースに解放可能に保持するためにも利用できる（図示しない）。治具すなわち取付具４５７は所望により図１１及び図１３に示したようなアダプタに関連して利用することができる。
【００４９】
別例のドアクリーニングアダプタが図１１に示されており、このアダプタ４６２はほぼ矩形を有しまた第１及び第２のＵ字形のチャンネル４６３，４６５を有するフレームを備えており、これらのチャンネルはウェハーキャリヤドアＰまたはその代わりに治具すなわち取付具４５７‘に取り付けられたドアＰを受け入れるためのものである。アダプタは端壁４６４，４６６及び４６９を有している。端壁４６９は内部のスプレイヤ或いは内部清浄化流体が通過できる開口（破線で示す）を有してもよい。アダプタ４６２は囲みを形成するヒンジ連結された端壁を有してもよく、或いはアダプタそれ自身がベースの縁部４６７にヒンジ取り付けられていてもよい（図示しない）。いずれの場合でも内部に空間が形成され、この空間はウェハーキャリヤ或いはポッドと同様な方法で清浄化できることを理解されたい。
【００５０】
図１２Ａ及び図１２Ｂを参照すると、ウェハーキャリヤクリーナ５００は第１の側壁５１４と、後壁５１８と、第２の側壁５２０と、ベース５２４と、流体供給開口５２５と、自動コントローラＡＣとを有するチャンバ５１２を備えている。第１の側壁５１４は第１のＵ字形外部スプレイヤ５３１の一端を受け入れるように寸法設定された開口５１６を有し、第２の側壁５２０は第２のＵ字形外部スプレイヤ５３２の一端を受け入れるように寸法設定された開口５２２を有している。第１及び第２のスプレイヤ５３１，５３２の他端はチャンバ５１２のベースから上向きに突出する支柱５２９によって回転可能に支持されている。第１及び第２のスプレイヤの最も内側の脚によって流体をウェハーキャリヤＣの外面と、取付具５５０に取り付けられて中央に配置されたドアパネルＰの外面とに（すなわち対向する方向に）適用することができる。スプレイヤ５３１，５３２は独立して制御可能となっているので、清浄化及び洗浄を必要に応じて適合させることができる。例えば、チャンバ５１２の左側に配置された比較的きれいなキャリヤとドアとの対処に必要な時間はチャンバ５１２の右側に配置された比較的汚れたキャリヤとドアとの対処に必要な時間よりも短い。ウェハーキャリヤＣは固定部材５２７によってベース部分５２４に着脱自在に固定され、この固定部材は回転によってキャリヤＣと係合及び離脱する。
【００５１】
ウェハーキャリヤウォッシャ５００の動作はスプレイヤの駆動装置（図示しない）及び流体回路（図１５参照）のバルブ、ポンプ及びフィルタ部材と通信する適当に構成されたコンピュータコントローラＡＣを利用して自動的に行うのが好ましい。このような自動制御は従来からのもので当業者に周知であり、さらに詳細な説明は行わない。例えば、コンピュータ制御のコントロールユニットを示すアメリカ合衆国特許第５，６１６，２０８号を参照されたい。同特許を参照のためにここに導入する。
【００５２】
図１３を参照すると、ドアクリーニングアダプタ５５０はほぼ三角形状で第１及び第２の縁部５５２，５５４と第１及び第２の側部５５６，５５８とを有するフレームを備えており、これらの側部にはウェハーキャリヤドアＰを解放可能に保持するように寸法設定された開口５６０，５６２が設けられている。それに代えて、ドアＰは、回転によってドアＰと係合及び離脱する固定部材５６７を介してアダプタ５５０に解放可能に保持してもよい。アダプタ５５０は天壁５６４と開口５６６を備えた底とを有している。開口５６６は内部清浄化流体がクリーニングアダプタとウェハーキャリヤドアとによって限定された空間に入ることができるように寸法設定されている。
【００５３】
図９〜図１３に関しては、アダプタを２以上のドアすなわちパネルの清浄化が可能なように構成できることを理解されたい。例えば、ブラケットすなわちフレーム或いは取付具は３，４或いは５つのドアを清浄化できるように立方体であってもよく、或いはその他の組合せのドアを清浄化できるように５角形や６角形であってもよい。さらに、ブラケットすなわちフレーム或いは取付具は２つのウェハーキャリヤの間にあるように図示されているが、チャンバのどの側にでも配置できることを理解されたい。
【００５４】
図１４を参照すると、ベース６２４はウェハーキャリヤによって取り外し可能に保持されるように構成されており、形状においてドア（図示しない）と同じである。図２と比較すると、ベース６２６は内部のスプレイヤ６５０を受け入れる付加的な開口６２５を有している。この開口６２５は内部のスプレイヤ６５０をベース６２４に対して有効にシールするように寸法設定されている。開口６２５には内部のスプレイヤがベース６２４に対して動け或いは回転できるようにＯリングのようなシールを設けることができる。内部清浄化流体は図２に示したように開口６２６に向けられる。ベース６２６は加圧流体が供給される付加的な開口６２７を有しており、これによって、ウェハーキャリヤ（図示しない）とベース６２４とによって限定された空間内に正の圧力差をつくることができる。複数の清浄化流体を内部のスプレイヤ６５０を通じて一連で適用することができるけれども、いくつか或いは全ての清浄化流体を別個に保つことが望ましい。このため、付加的なスプレイヤ６２９（破線で示す）が追加される。付加的なスプレイヤは様々な清浄化流体のどれもが互いに接触しないようになるまで設けることができ、それによって相互汚染が減少する。
【００５５】
外部のスプレイヤ６３０は少なくとも一つの開口６４１を有しかつ弧状の一つの脚６３４を有している。この外部のスプレイヤは回転可能に取り付けられており、スプレイヤ脚６３４がスプレイヤの回転に伴ってウェハーキャリヤの外部を囲むようになっている。脚６３４を通じて複数の清浄化流体を一連で適用できるけれども、いくつか或いは全ての清浄化流体を別個に保つことが望ましい。このため、付加的な脚が追加される。図示した付加的な脚６３８（破線で示す）は脚６３４と同様であるが、少なくとも一つのエアナイフを有している。このような２つの脚構造において、脚６３４，６３８は両方とも回転可能に取り付けられて、これらがウェハーキャリヤの外部を囲むようになっている。追加の脚を様々な清浄化流体のどれもが互いに接触しないようになるまで設けることができ、それによって相互汚染が減少する。各流体がウェハーキャリヤに適用されるときに開閉するダイバータやバルブを設けることによって個々の流体を個々に排出することができる。
【００５６】
ウェハーキャリヤの内部の清浄化が不要な場合には図１４のベース６２４と同じような偽のドアを利用することで、ウェハーキャリヤを清浄化している間の汚染を防止することができる。二者の差異は偽のドアが貫通する何らの開口も有していないことである。
【００５７】
図１５を参照すると、外部の流体スプレイヤ３０はウェハーキャリヤＣの一方の側に在り、内部の流体スプレイヤ５０はウェハーキャリヤＣの他方の側に在る。流体は外部のスプレイヤ３０からスプレイされるとベースの開口２８に流れ込む。そしてそこからバルブ９１により容器８６或いは共通の容器８７へと向けられる。容器８６により外部の清浄化流体が再使用のためにリサイクルできる。外部の流体はリサイクルされるに際に、粒子検出器（図示しない）を有するフィルタ８８を通りさらにポンプ９０を通る。
【００５８】
流体は内部のスプレイヤ５０からスプレイされると、ベースの開口２６に流れ込む。そしてそこからバルブ８５により容器８０，容器８６或いは共通の容器８７へと向けられる。内部の流体をリサイクルする場合には容器８０に向けられる。またそこから粒子検出器（図示しない）を有するフィルタ８２を通りさらにポンプ８４を通る。それに代えて、内部の清浄化流体は外部流体容器に向けることができそれによって有効寿命が長くなる。第３のオプションでは、内部の清浄化流体は共通の容器８７に向けられてさらに処理され或いは廃棄される。図１５の循環システムはすすぎ水のような単一の流体について図示したものであるが、各流体について同様な構成を設けることができることを理解されたい。
【００５９】
図１６を参照すると、外部の流体スプレイヤ３０はウェハーキャリヤＣの一方の側に在り、内部の流体スプレイヤ５０はウェハーキャリヤＣの他方の側に在る。流体は外部のスプレイヤ３０からスプレイされるとベースの開口２８に流れ込む。そしてそこからバルブ９１により容器８６或いは共通の容器８７へと向けられる。容器８６により外部の清浄化流体が再使用のためにリサイクルできる。外部の流体はポンプ９０を通りまたオプションとして粒子検出器（図示しない）を有するフィルタ８８を通る。このシステムにはフィルタ９５とバルブ９４とを備えた供給ラインによってさらに清浄化流体を追加することができる。このバルブはシステムに精確な量の流体を加えることができる計量バルブであることができる。
【００６０】
流体は内部のスプレイヤ５０からスプレイされると、ベースの開口２６に流れ込む。そしてそこからバルブ８５により容器８０，容器８６或いは共通の容器８７へと向けられる。内部の流体をリサイクルする場合には容器８０に向けられる。さらにそこからポンプ８４を通り、また粒子検出器（図示しない）を有するフィルタ９９を通る。それに代えて、内部の清浄化流体は外部流体容器に向けることができそれによって有効寿命が長くなる。第３のオプションでは、内部の清浄化流体は共通の容器８７に向けられてさらに処理され或いは廃棄される。図１６の循環システムはすすぎ水のような単一の流体について図示したものであるが、各流体について同様な構成を設けることができることを理解されたい。
【００６１】
このシステムにはフィルタ９８とバルブ９７とを備えた供給ラインによってさらに清浄化流体を追加することができる。このバルブはシステムに精確な量の流体を加えることができる計量バルブであることができる。外部の清浄化流体側の運転は内部の清浄化流体側の運転と本質的に同様であり、以下に外部の清浄化流体側のみを説明する。バルブ９４を開くと、例えば濾過され、脱イオン化あれ、加熱された水のような清浄化流体が所定の量だけ回路に入る。次いでポンプ９０が作動され、そしてそれにより外部のスプレイヤ３０が作動される。清浄化流体は開口２８に集められて容器８６或いは共通の容器８７に戻される。清浄化流体を共通の容器に向けた場合には新たな清浄化流体をシステムに加えることができる。
【００６２】
一般に、チャンバ１２，１１２，２００，４００及び５００は清浄化プロセスの間においてチャンバの上部及び前部を覆い、チャンバを有効にシールするカバー（例えば図１に破線で示したＡ）を備えることができる。このようにカバーを設けることによって、チャンバをウルトラクリーンでない状態で作動させることができる。相互汚染をさらに減少させるため、清浄化されるべきウェハーキャリヤの内外間に積極的な圧力差を設けることができる。相互汚染をさらに減少させるために、チャンバとその周囲との間にも積極的な圧力差を設けることができる。つまり、外来的な汚染物が比較的清浄な環境から比較的汚れた環境へ向かうようにするのが好ましい。圧力差は正圧、負圧或いは正圧と負圧との組合せによってつくることができる。
【００６３】
さらに、チャンバ１２，１１２，２００，４００及び５００のベース部分には、ベース部分とウェハーキャリヤとの界面に配置される適当な構造のシール部材を設けることで、流体回路間の相互汚染をさらに有効に阻止することができる。
【００６４】
さて、使用方法を手短に説明する。清浄化すべきウェハーキャリヤはチャンバ領域に運ばれる。ウェハーキャリヤがパネル或いはドアを有している場合には取り外されて、ドアクリーニングアダプタ（図１７Ａ，図１７Ｂ及び図１７Ｃ参照）に取り付けられるのが好ましい。ウェハーキャリヤは次いで第２すなわち内部のスプレイヤに被さるようにチャンバ内に置かれる。チャンバのカバーが次に閉じられてチャンバを有効にシールし、その時点で清浄化サイクルが開始される。自然状態で液体及びもしくは気体であり、また加熱され或いは冷却された別個の清浄化流体が次いで内面及び外面に適用される。清浄化サイクルが完了した後はウェハーキャリヤやパネルを例えばＮＯ2のような気体流体で乾燥するのが好ましく、気体流体は乾燥時間を短縮するために加熱することができる。望みにより乾燥を補助するために内部側の気体流体を外面に向けることもできる。乾燥サイクルの完了後にウェハーキャリヤとパネルは取り出されて再び組み付けられる。キャリヤの動き、移送及び開閉は手動でも自動化手段によっても行うことができることを理解すべきである。
【００６５】
移動するスプレイヤによりウェハーキャリヤ或いはポッドの内面を乾燥させるのに代えて、内面はウェハーキャリヤ或いはポッドによって限定される実質的な空間の量を占めるように寸法設定されたブロック或いはマンドレルを設けることによって乾燥することもできる。その場合、乾燥流体はウェハーキャリヤ或いはポッドとブロックとによって限定される開放した空間の一部に沿って導入される。ブロックはウェハーキャリヤ或いはポッドによって限定される実質的な空間を占めるように寸法設定されているので、乾燥流体はブロックとウェハーキャリヤとによって限定された開放した空間内を強制的に動かされることとなる。従って、乾燥流体は比較的高速となることができ、それによって乾燥時間が減少する。乾燥流体及びブロックもしくはマンドレルを両方とも加熱することで全体の乾燥時間をさらに減少させることができる。
【００６６】
マンドレル或いはブロックを可動なスプレイヤと組み合わせて、スプレイヤが上記のような軌道ではなくマンドレルの外形に倣って動くようにすることもできる。
【００６７】
図２０を参照すると、別例の乾燥装置が示されている。乾燥ガス排出部材７０６，７０８は破線で示した経路７１８，７２０に沿って内面７１０或いは外面７１２沿いに走行する。これに関連して、負圧を有する一つもしくはそれ以上の水分回収部材７２４，７２６及び７２８が乾燥ガス排出部材ととも走行してポッドＣの表面或いは形質にある排出された乾燥ガスや水分、粒子及／もしくはその他の破片を効率的に回収することができるようになっている。乾燥ガスと水分の吸引によって、液滴が表面から出て再付着することが殆どなくなり、ほぼ回収されることから、乾燥プロセスが促進される。乾燥ガス排出部材と回収部材とは図１及び図２Ａに示した単一のスプレイヤにおいて或いは図示した他の多数スプレイヤ構造において動作するように適当に構成できる。また、これらの部材は図２Ｅ及び図２Ｄに示したような適当な軌道に取り付けることができる。
【００６８】
本発明はその精神或いは本質的な属性から逸脱することなく他の特定の形態において具体化でき、従って、本実施形態はいかなる意味においても説明のためのものであるとみなされるべきであり、限定するものとみなされるべきものではなく、本発明の範囲を示すものとしては以上の説明よりもむしろ添付の特許請求の範囲を参照すべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の斜視図である。
【図２Ａ】  本発明の正面断面図である。
【図２Ｂ】  本発明の別の実施形態の正面断面図である。
【図２Ｃ】  図２Ｂの内部スプレイヤの斜視図である。
【図２Ｄ】  内部スプレイヤ構造の部分側面図である。
【図２Ｅ】  図２Ｄの部分分解斜視図である。
【図２Ｆ】  図２Ｅの流体アプリケータの斜視図である。
【図２Ｇ】  図２Ｆの流体アプリケータの分解斜視図である。
【図２Ｈ】  図２Ｇの流体アプリケータの正面図である。
【図２Ｉ】  ２Ｉ−２Ｉ切断線に沿う図２Ｈの端部断面図である。
【図２Ｊ】  ２Ｊ−２Ｊ線に沿う図２Ｇの正面断面図である。
【図２Ｋ】  ２Ｋ−２Ｋ線に沿う図２Ｊの端部断面図である。
【図２Ｌ】  ２Ｌ−２Ｌ線に沿う図２Ｇの流体アプリケータの一部の平面図である。
【図３】  本発明の第２の実施形態の斜視図である。
【図４】  第２の実施形態の正面断面図である。
【図５Ａ】  本発明の第３の実施形態の斜視図である。
【図５Ｂ】  本発明の第３の実施形態の斜視図である。
【図６】  本発明の第３の実施形態の正面断面図である。
【図７】  同期化されたスプレイ機構の正面断面図である。
【図８】  同期化されたスプレイ機構の斜視図である。
【図９】  本発明の第４の実施形態の斜視図である。
【図１０Ａ】  第４の実施形態の中央部分の斜視図である。
【図１０Ｂ】  ドアアダプタの斜視図である。
【図１１】  第４の実施形態の別例の中央部分の斜視図である。
【図１２Ａ】  第４の実施形態の別例の中央部分の斜視図である。
【図１２Ｂ】  図１２Ａの正面断面図である。
【図１３Ａ】  図１２の中央部分の側面図である。
【図１３Ｂ】  図１２の中央部分の斜視図である。
【図１４】  本発明の別例の斜視図である。
【図１５】  本発明の概略図である。
【図１６】  本発明の別の概略図である。
【図１７Ａ，図１７Ｂ，図１７Ｃ】  ウェハーキャリヤクリーナに関連して利用されるドアアンロッキングステーションを示す側面及び正面図である。
【図１８】  ウェハーキャリヤクリーナに近接するドアアンロッキングステーションの平面図である。
【図１９】  単一のウェハーキャリヤ清浄化ステーションの正面断面図である。
【図２０】  別例の構造を示す断面図である。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図２Ｅ】
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【図２Ｆ】
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【図２Ｇ】
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【図２Ｈ】
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【図２Ｉ】
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【図２Ｊ】
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【図２Ｋ】
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【図２Ｌ】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
0004447165.tif 000032
【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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【図１７Ｃ】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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