(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
坩堝成形用の石英ガラス原料粉を供給して石英ガラス坩堝を成形するための有底円筒体であって、この有底円筒体の外周部に開口する第一貫通孔およびその底面中央部に開口する第二貫通孔を有し、中心軸線を回転軸線とする坩堝成形用型と、
この坩堝成形用型外に配設され、前記第一貫通孔に連通する第一通気ダクトおよび前記第二貫通孔に連通する第二通気ダクトを有する吸気手段と、
この吸気手段の通気ダクト外に配設され、前記坩堝成形用型を冷却するための冷却手段とを備え、
この冷却手段に、前記第一通気ダクトおよび前記坩堝成形用型の外周部を覆うような第一冷却部と、
前記第二通気ダクトを挿通させ、かつ前記坩堝成形用型の底面中央部を覆うような第二冷却部とを含ませた
ことを特徴とする石英ガラス坩堝製造装置。
【請求項２】
前記両冷却部が、前記坩堝成形用型の回転軸線を中心軸線とする同心円状に位置する円筒部からなることを特徴とする請求項１に記載された石英ガラス坩堝製造装置。
【請求項３】
前記第二冷却部の内径が、前記坩堝成形用型の内径の１５〜５０％とする寸法に設定されていることを特徴とする請求項２に記載された石英ガラス坩堝製造装置。
【請求項４】
前記第一通気ダクトに、前記第二冷却部を臨ませるような空間を有する膨出部を設けたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載された石英ガラス坩堝製造装置。
【請求項５】
前記貫通孔を、各口径が互いに異なる複数の孔部およびこれら孔部のうち互いに隣接する二つの孔部間に介在するフィルタ取付面を有する段状孔によって形成し、
この段状孔内に、前記フィルタ取付面に前記通気性フィルタを圧接する取付用ねじを螺着した
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載された石英ガラス坩堝製造装置。
【請求項６】
前記孔部のうち型側孔部の口径がダクト側孔部の口径より大きい寸法に設定されていることを特徴とする請求項５に記載された石英ガラス坩堝製造装置。
【請求項７】
前記取付用ねじが、前記貫通孔の内周面に螺合するねじ部および軸線方向に開口する平面六角形状の排気孔を有する円板状のフィルタ取付部材によって形成されていることを特徴とする請求項５または請求項６に記載された石英ガラス坩堝製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体デバイスの製造プロセスにおいて使用される石英ガラス坩堝製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスの基板は、一般にチョクラルスキー法を用いて生成するシリコン単結晶によって形成されている。
このようなチョクラルスキー法は、石英ガラス坩堝内で多結晶シリコン原料を溶融し、次に固体の種結晶と接触させた後、徐々に引き上げつつ種結晶の下に単結晶を成長させることにより実施される。
このため、半導体デバイスの基板を製造するに際して用いられる石英ガラス坩堝製造装置には、耐久（耐熱）性のある坩堝成形用型を備えたものが求められる。
【０００３】
従来、この種の石英ガラス坩堝製造装置には、例えば特開平２０００−７２４５８号公報に「石英ガラスルツボ製造装置」として開示され、図７に示すように構成されている。
これは、石英ガラス坩堝を成形するための空間部７１ａおよびこの空間部７１ａの内外に開口する貫通孔７１ｂを有する坩堝成形用型（回転体）７１と、この坩堝成形用型７１の空間部７１ａ内に供給された石英ガラス原料粉Ｍを溶融するための加熱手段７２とを備えている。さらに、加熱手段７２による加熱時（坩堝成形時）に坩堝成形用型７１内を貫通孔７１ｂから吸気するための吸気管７３ａおよびこの吸気管７３ａに連通する連通管７３ａを有する吸気手段７３と、前記坩堝成形用型７１を冷却するための冷却手段７４とを備えている。
【０００４】
このような装置を用いた石英ガラス坩堝の製造は、先ず高速回転した坩堝成形用型７１内に石英ガラス原料粉Ｍを供給する。次に、吸気手段７３によって坩堝成形用型７１内を吸気し、この吸気処理とほぼ同時に加熱手段７２によって坩堝成形用型７１内における層状の石英ガラス原料粉Ｍを加熱溶融する。その際、冷却手段７４によって坩堝成形用型７１を冷却する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この種の石英ガラス坩堝製造装置においては、成形時に坩堝成形用型７１を高速回転させるとともに、坩堝成形用型７１内を吸気するものであるため、吸気手段７３の連通管７３ｂを坩堝成形用型７１の軸線上に配置する構造すなわち坩堝成形用型７１の底面中央部に取り付ける構造が採用されている。
このため、坩堝成形用型７１の冷却時にその底面中央部を十分に冷却することができず、この部位が坩堝成形（加熱）時に酸化し、酸化物によって成形品（石英ガラス坩堝）が汚染されてしまい易いという課題があった。
【０００６】
また、このような石英ガラス坩堝製造装置においては、坩堝成形用型７１の底面中央部には貫通孔が設けられていないため、型内の底面中央部では外周部に比べて吸気（減圧）力が低く、成形品の透明層が底面中央部で薄くなるとともに、不透明層の気泡分布が不均一になり、均質な特性をもつ成形品を得難いという課題があった。
さらに、坩堝成形用型７１の底面中央部において十分な減圧力が確保されないことは、成形品の大口径化に伴い図８（ａ）に示すように成形品Ａの底面中央部ａが盛り上がったり、あるいは丸底の成形品を製造する場合に同図（ｂ）に示すように平底ｂをもつ成形品Ｂが形成されたりして所望の形状をもつ成形品を得難いという課題もあった。
【０００７】
本発明は、このような技術的な課題を解決するためになされたもので、成形品の汚染発生を防止することができるとともに、均質な特性および所望の形状をもつ成形品を得ることができる石英ガラス坩堝製造装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記した目的を達成するためになされた本発明に係る石英ガラス坩堝製造装置は、坩堝成形用の石英ガラス原料粉を供給して石英ガラス坩堝を成形するための有底円筒体であって、この有底円筒体の外周部に開口する第一貫通孔およびその底面中央部に開口する第二貫通孔を有し、中心軸線を回転軸線とする坩堝成形用型と、この坩堝成形用型外に配設され、前記第一貫通孔に連通する第一通気ダクトおよび前記第二貫通孔に連通する第二通気ダクトを有する吸気手段と、この吸気手段の通気ダクト外に配設され、前記坩堝成形用型を冷却するための冷却手段とを備え、この冷却手段に、前記第一通気ダクトおよび坩堝成形用型の外周部を覆うような第一冷却部と、前記第二通気ダクトを挿通させ、かつ前記坩堝成形用型の底面中央部を覆うような第二冷却部とを含ませたことを特徴とする。
【０００９】
このように構成されているため、第一冷却部によって坩堝成形用型の外周部が冷却され、第二冷却部によって坩堝成形用型の底面中央部が冷却される。
したがって、坩堝成形用型の外周部のみならず、その底面中央部が十分に冷却されるため、これら部位が坩堝成形（加熱）時に酸化し難くなり、酸化物による成形品の汚染発生を防止することができる。
また、坩堝成形用型の外周部に第一貫通孔が、底面中央部には第二貫通孔が設けられていることで、坩堝成形用型の外周部および底面中央部において吸気（減圧）力が十分に確保されるため、成形品の透明層厚さおよび不透明層の気泡分布が均一になり、均質な特性をもつ成形品を得ることができる。
さらに、坩堝成形用型の外周部および底面中央部において十分な減圧力が確保されるため、成形品の大口径化に伴い成形品の底面中央部が盛り上がったり、あるいは丸底の成形品を製造する場合に平底をもつ成形品が形成されたりせず、所望の形状をもつ成形品を得ることもできる。
【００１０】
ここで、前記両冷却部が、前記坩堝成形用型の回転軸線を中心軸線とする同心円状に位置する円筒部からなることが望ましい。
このように構成されているため、石英ガラス坩堝の円周方向における特性のばらつき発生を低減することができる。
また、前記第二冷却部の内径が、前記坩堝成形用型の内径の１５〜５０％とする寸法に設定されていることが望ましい。
このように構成されているため、前記坩堝成形用型の底面中央部をより的確に冷却することができ、上述の効果をより確実にせしめることができる。
【００１１】
ここで、前記第一通気ダクトに、前記第二冷却部を臨ませるような空間を有する膨出部を設けることが望ましい。
このように構成されているため、第二冷却部が第一通気ダクトの膨出部内に配置される。
【００１２】
また、前記貫通孔を、各口径が互いに異なる複数の孔部およびこれら孔部のうち互いに隣接する二つの孔部間に介在するフィルタ取付面を有する段状孔によって形成し、この段状孔内に、前記フィルタ取付面に前記通気性フィルタを圧接する取付用ねじを螺着することが好ましい。
このように構成されているため、フィルタ取付時に通気性フィルタの全体を坩堝成形用型の貫通孔内に収容することができる。
したがって、通気ダクト内に通気性フィルタ等が配置されないため、通気ダクト内における通気抵抗が小さくなる。
これにより、吸気処理時の運転動力を小さくすることができるとともに、吸気時間を短縮することができ、生産性を高めることができる。
【００１３】
また、坩堝成形用型に対する通気性フィルタの取り付けが、フィルタ端面を坩堝成形用型における貫通孔のフィルタ取付面に圧接させて取付用ねじを貫通孔内にねじ締めすることにより行われることで、フィルタ取付時に従来必要とした通気性フィルタの取付用ねじ内への挿入作業が不要となり、フィルタ取付作業の簡素化を図ることができる。
さらに、通気性フィルタ等が通気ダクト内に配置されないことは、それだけ通気ダクトの内容積が大きくなり、吸気処理時の排気効率を確実に高めることができる。
【００１４】
そして、前記孔部のうち空間部側孔部の口径がダクト側孔部の口径より大きい寸法に設定されていることが望ましい。
このように構成されているため、フィルタ交換時に坩堝成形用型内から通気性フィルタの取り付け・取り外しを行うことができ、フィルタ交換作業を迅速に行うことができる。
【００１５】
また、前記取付用ねじが、前記貫通孔の内周面に螺合するねじ部および軸線方向に開口する平面六角形状の排気孔を有する円板状のフィルタ取付部材によって形成されていることが望ましい。
このように構成されているため、取付用ねじの排気孔をフィルタ取り付け・取り外し時の工具差し込み口として利用することができるため、その作業性を高めることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る石英ガラス坩堝製造装置につき、図に示す実施の形態に基づいて説明する。図１は、本発明が適用された石英ガラス坩堝製造装置の全体を示す断面図である。図２は、図１の要部を拡大して示す断面図、図３は、図１のＡ−Ａ断面図である。図４は、本発明が適用された石英ガラス坩堝製造装置の坩堝成形用型を示す斜視図である。図５（ａ）および（ｂ）は、本発明が適用された石英ガラス坩堝製造装置の取付用ねじと通気性フィルタを示す斜視図である。図１に示すように、符号１で示す石英ガラス坩堝製造装置は、石英ガラス坩堝を成形するための坩堝成形用型２と、この坩堝成形用型２内に供給された石英ガラス原料粉Ｍを加熱溶融するための加熱手段３とを備えている。さらに、前記坩堝成形用型２を高速回転させる駆動手段４と、前記加熱手段３による加熱時（坩堝成形時）に前記坩堝成形用型２内から吸気するための吸気（減圧）手段５と、前記坩堝成形用型２を冷却するための冷却手段６とを備えている。
【００１７】
前記坩堝成形用型２は、石英ガラス原料粉Ｍが供給される空間部２ａを有するほぼ逆釣鐘状の容器（直径１８〜３６インチ程度の有底円筒体）からなり、全体がステンレス等の金属（耐熱性部材）によって形成されている。この坩堝成形用型２の筒壁には、前記空間部２ａの内外に開口し、かつ図４に示すように開口縁部から底部に向かう輪郭に沿って複数個並列する例えば四列の第一貫通孔２ｂが設けられている。また、前記坩堝成形用型２の底面中央部には、同じく前記空間部２ａの内外に開口する複数（例えば四個）の第二貫通孔２ｃが設けられている。
【００１８】
前記貫通孔２ｂ，２ｃは、図３に示すように各口径が互いに異なる大中小三つの孔部２Ａ〜２Ｃおよび両孔部２Ａ，２Ｂ間・両孔部２Ｂ，２Ｃ間に介在するフィルタ取付面２Ｄ，２Ｅ（本実施形態において、フィルタ取付面としての機能は２Ｅのみ）を有する段状孔によって形成されている。このうち大径の孔部２Ａはねじ孔からなり、前記坩堝成形用型２の空間部２ａに連通されている。中間径の孔部２Ｂは通孔からなり、前記両孔部２Ａ，２Ｃに連通されている。小径の孔部２Ｃは、前記孔部２Ｂと同様に通孔からなり、第一通気ダクトの排気路（共に後述）に連通されている。また、前記フィルタ取付面２Ｄ，２Ｅは、前記孔部２Ａ〜２Ｃの軸線に直角な平面によって形成されている。
なお、前記貫通孔２ｂ，２ｃの個数は、石英ガラス坩堝の大きさに応じて適宜調整することができる。
【００１９】
そして、前記貫通孔２ｂ，２ｃ（孔部２Ｂ）内には、図５（ａ）に示す取付用ねじ７を用い、同図（ｂ）に示す通気性フィルタ８の周縁部を前記フィルタ取付面２Ｅに圧接させて通気性フィルタ８が固定されている。これにより、後述する第一通気ダクトおよび第二通気ダクトの排気路内に通気性フィルタ８を配置する必要がなくなるため、排気路１０内の通気抵抗が小さくなって吸気処理時の運転動力を小さくすることができるとともに、吸気時間を短縮することができ、生産性を高めることができる。また、フィルタ取付時に従来必要とした通気性フィルタ８の止め金への挿入作業が不要となり、フィルタ取付作業の簡素化を図ることができる。さらに、通気性フィルタ８が通気ダクトの排気路内に配置されないことは、排気路容積が大きくなり、吸気処理時の排気効率を高めることができる。
【００２０】
前記取付用ねじ７は、ねじ部７ａを外周面に有する円板状の取付用ねじからなり、前記両貫通孔２ｂ，２ｃの孔部２Ａに螺着されている。この取付用ねじ７には、軸線方向に開口する平面六角形状の排気孔７ｂが設けられている。これにより、取付用ねじ７における排気孔７ｂの開口部をフィルタ取り付け・取り外し時の工具差し込み口として利用することができ、その作業性を高めることができる。また、前記排気孔７ｂの一方側開口部は前記空間部２ａに連通され、また他方側開口部が前記孔部２Ｃ内に前記通気性フィルタ８を介して連通されている。
【００２１】
前記通気性フィルタ８は、全体が石英あるいは炭化珪素（ＳｉＣ）等の耐熱性多孔体からなる円板状の通気性フィルタによって形成されている。これは、空気，アルゴンガスあるいは窒素ガス等の吸気用ガスに対して通気性を呈するが、石英ガラス原料粉Ｍは通過させないものである。この通気性フィルタ８の外径は、（通気性フィルタ８が孔部２Ａ，２Ｂ内に収容されるために）前記孔部２Ａ，２Ｂの口径より小さい寸法に設定され、かつ前記孔部２Ｃの口径より大きい寸法に設定されている。これにより、フィルタ交換時に坩堝成形用型２内から通気性フィルタ８の取り付け・取り外しを行うことができ、フィルタ交換作業を迅速に行うことができる。また、そのフィルタ厚さは、（通気性フィルタ８が前記取付用ねじ７による締付力を受けるために）前記孔部２Ｂの深さより若干大きい寸法に設定されている。
【００２２】
前記加熱手段３は、例えばアーク電極からなり、その先端部を前記空間部２ａに臨ませて前記坩堝成形用型２の近傍に配置されている。そして、前記坩堝成形用型２内に供給された石英ガラス原料粉Ｍを加熱溶融し得るように構成されている。
前記駆動手段４は駆動モータからなり、前記坩堝成形用型２の底面中央部（後述するダクト合流部）にモータ軸４ａを介して連結されている。そして、坩堝成形時に前記坩堝成形用型２を中心軸線の回りに高速回転させるように構成されている。前記モータ軸４ａ内には、後述する第三通気ダクト（回転ダクト部）を収容するための空間部４Ａが形成されている。
【００２３】
前記吸気手段５は、前記坩堝成形用型１外に配設されている。この吸気手段５は、前記両貫通孔２ｂに連通する排気路１０を形成するための断面コ字状の第一通気ダクト５ａと、この第一通気ダクト５ａの排気路１０および前記貫通孔２ｃに連通する排気路１０ａを形成するための管状の第二通気ダクト５ｂとを有している。また、前記第一通気ダクト５ａに接続して前記排気路１０，１０ａに連通する共通流路１１を形成するための管状の第三通気ダクト５ｃと、この第三通気ダクト５ｃに接続して前記坩堝成形用型２内の吸気用ガスを吸引するための吸引ポンプ５ｄを有している。
【００２４】
前記第一通気ダクト５ａは、前記第一貫通孔２ｂの外側開口部を覆う四本のダクトからなり、図３に示すように前記通気性フィルタ８の排気側に配設され、かつ前記坩堝成形用型２の外周部に固定されている。この第一通気ダクト５ａは、図４に示すように、前記坩堝成形用型２の軸線方向に沿って延在する直線ダクト部５Ａと、この直線ダクト部５Ａから前記坩堝成形用型２の底面部に向かって延在する曲線ダクト部５Ｂとを有している。また、前記第一通気ダクト５ａ（排気路１０）の下方部には、前記坩堝成形用型２の底面中央部近傍に内部空間を形成するような膨出部としてのダクト合流部５Ｃが設けられている。
【００２５】
前記第二通気ダクト５ｂは、前記第二貫通孔２ｃおよび前記ダクト合流部５ｃに連通する四本のダクトからなり、前記第二貫通孔２ｃの開口周縁に取り付けられ、かつ後述する第二冷却部に挿通されている。
前記第三通気ダクト５ｃは、前記空間部４Ａ内で上下方向に延在して前記モータ軸４ａと共に回転する回転ダクト部５Ｄと、この回転ダクト部５Ｄにカップリングの固定部（共に後述）内で結合する固定ダクト部５Ｅとを有する単一のダクトによって形成されている。
【００２６】
前記吸引ポンプ５ｄは、前記第三通気ダクト５ｃに接続されている。そして、ポンプ側を吸引（減圧）側とするとともに、前記坩堝成形用型２内を被吸引側とし、坩堝成形（吸気処理）時に通気性フィルタ８を介して坩堝成形用型２内の吸気用ガス（坩堝成形用型２内が大気雰囲気である場合には空気）を吸引し得るように構成されている。
【００２７】
前記冷却手段６は、前記第一通気ダクト５ａおよび前記坩堝成形用型２の外周部を覆うような第一冷却部６ａと、前記ダクト合流部５Ｃ内に臨み前記坩堝成形用型２の底面中央部を覆うような第二冷却部６ｂと、これら両冷却部６ａ，６ｂに給水して排水するための給・排水ポンプ６ｃと、この給・排水ポンプ６ｃと前記各冷却部６ａ，６ｂ（給水管と排水管）を結合するためのカップリング６ｄとを有し、前記坩堝成形用型２（通気ダクト）外に配設されている。これにより、前記坩堝成形用型２を冷却し、前記坩堝成形用型２の変形・酸化を防止することができる。
前記第一冷却部６ａは、前記坩堝成形用型２の回転軸線を中心軸線とする円筒部からなり、前記カップリング６ｄに給水管１６および排水管１７を介して接続されている。そして、前記坩堝成形用型２の外周部を冷却するように構成されている。
【００２８】
前記第二冷却部６ｂは、図６（ａ）および（ｂ）に示すように、前記第一冷却部６ａと同様に前記坩堝成形用型２の回転軸線ｏを中心軸線とする円筒部からなり、前記カップリング６ｄに給水管１４および排水管１５を介して接続されている。そして、前記第二通気ダクト５ｂを挿通させ、かつ前記坩堝成形用型２の底面中央部を覆い、前記坩堝成形用型２の底面中央部を冷却するように構成されている。また、前記第二冷却部６ｂの内径は、前記坩堝成形用型２の内径の１５〜５０％とする寸法に設定されている。この場合、第二冷却部６ｂの内径を坩堝成形用型２の内径の１５％以上にすることによって坩堝成形用型２の底面中央部をより的確に冷却することができる。また、５０％以下にすることで、特に曲線部２ｄにおける透明層厚さや不透明層の気泡分布を他の部位と同等にすることが確実にでき、石英ガラス坩堝全体でのより高い均質性を得ることができる。
【００２９】
前記給・排水ポンプ６ｃは、前記カップリング６ｄに給水管１３を介して接続されており、前記両冷却部６ａ，６ｂに冷却水を供給するとともに、この供給水を排水管２０から排出し得るように構成されている。
前記カップリング６ｄは、前記モータ軸４ａと共に回転する回転部１８およびこの回転部１８を保持する固定部１９からなり、前記駆動手段４の上方に配設されている。そして、前記給水管１３によって前記給・排水ポンプ６ｃと前記給水管１４，１６とを結合させ、また前記排水管２０を前記排水管１５，１７に連通させるように構成されている。さらに、このカップリング６ｄは、前記回転ダクト部５Ｄと前記固定ダクト部５Ｅとを結合するように構成されている。
なお、同図中矢印は管内における冷却水の流動方向を示す。
【００３０】
以上の構成により、第一冷却部６ａによって特に、坩堝成形用型２の外周部が冷却され、第二冷却部６ｂによって坩堝成形用型２の底面中央部が冷却される。したがって、本実施形態においては、坩堝成形用型２の外周部のみならず、その底面中央部が十分に冷却されるため、これら部位が坩堝成形（加熱）時に酸化し難くなり、酸化物による成形品の汚染発生を防止することができる。
【００３１】
また、本実施形態において、坩堝成形用型２の外周部に第一貫通孔２ｂが、底面中央部に第二貫通孔２ｃが設けられていることは、坩堝成形用型２の外周部および底面中央部において十分な吸気（減圧）力が確保されるため、成形品の透明層厚さおよび不透明層の気泡分布が均一になり、均質な特性をもつ成形品を得ることができる。
さらに、本実施形態において、坩堝成形用型２の外周部および底面中央部において十分な減圧力が確保されることは、成形品の大口径化に伴い成形品の底面中央部が盛り上がったり、あるいは丸底の成形品を製造する場合に平底をもつ成形品が形成されたりせず、所望の形状をもつ成形品を得ることもできる。
【００３２】
なお、本実施形態における石英ガラス坩堝製造装置１を用いた石英ガラス坩堝の製造は、次に示すようにして行われる。
先ず、駆動手段４の駆動によって坩堝成形用型２を高速回転させるとともに、坩堝成形用型２内に石英ガラス原料粉Ｍを供給する。この場合、坩堝成形用型２の回転に伴い、石英ガラス原料粉Ｍの一部が遠心力によって坩堝成形用型２の内周面に移動して層状の石英ガラス原料粉Ｍが形成される。また、残りの石英ガラス原料粉Ｍが重力によって坩堝成形用型２の内部底面に積層される。
【００３３】
そして、大気雰囲気で吸気手段５を駆動させて坩堝成形用型１内を吸気し、この吸気処理とほぼ同時に加熱手段３に通電して層状の石英ガラス原料粉Ｍを加熱溶融する。この場合、層状の石英ガラス原料粉Ｍを加熱溶融すると、この石英ガラス原料粉層の内側部が極小の気泡だけとなって実質的に無気泡化状態が達成され、また外側部には多数の気泡が存在する二重層の石英ガラス坩堝（成形品）が製造される。一方、坩堝成形用型２内の空気は、層状の石英ガラス原料粉Ｍを介して貫通孔２ｂ，２ｃ内に吸引され、さらに両貫通孔２ｂ，２ｃ（孔部２Ｂ）内の通気性フィルタ８を介して第一通気ダクト５ａの排気路１０，第二通気ダクト５ｂの排気路１０ａ内に吸引され、第三通気ダクト５ｃの共通流路１１を経て石英ガラス坩堝製造装置１外に排出される。
【００３４】
なお、この加熱溶融の際には、給・排水ポンプ６ｄの駆動作用による冷却水の供給によって第一冷却部６ａが坩堝成形用型２の外周部が、また第二冷却部６ｂが坩堝成形用型２の底面中央部が冷却される。
これによって、石英ガラス坩堝が製造される。
【００３５】
なお、本実施形態において、通気性フィルタ８を収容する貫通孔２ｂ，２ｃが大中小三つの孔部２Ａ〜２Ｃおよび両孔部２Ａ，２Ｂ間・両孔部２Ｂ，２Ｃ間に介在するフィルタ取付面２Ｄ，２Ｅからなる段状孔である場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、大小二つの孔部（図示せず）からなるものでも実施形態と同様の効果を奏する。この場合、取付用ねじが両孔部間のフィルタ取付面に通気性フィルタを圧接して大径の孔部に螺着される。
また、本実施形態においては、吸気用ガスが第三通気ダクト５ｃの回転ダクト部５Ｄを通過させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、モータ軸４ａの空間部４Ａを通過させてもよい。この場合、回転ダクト部５Ｄが不要になる。
【００３６】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなとおり、本発明に係る石英ガラス坩堝製造装置によると、成形品の汚染発生を防止することができるとともに、均質な特性および所望の形状をもつ成形品を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用された石英ガラス坩堝製造装置の全体を示す断面図である。
【図２】本発明が適用された石英ガラス坩堝製造装置の要部を拡大して示す断面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図４】本発明が適用された石英ガラス坩堝製造装置の坩堝成形用型を示す斜視図である。
【図５】（ａ）および（ｂ）は、本発明が適用された石英ガラス坩堝製造装置の取付用ねじと通気性フィルタを示す斜視図である。
【図６】（ａ）および（ｂ）は、本発明が適用された石英ガラス坩堝製造装置の坩堝成形用型を模式化して示す断面図とそのＢ−Ｂ断面図である。
【図７】従来の石英ガラス坩堝製造装置を示す断面図である。
【図８】（ａ）および（ｂ）は、従来の石英ガラス坩堝製造装置による成形不良例を示す断面図である。
【符号の説明】
１                石英ガラス坩堝製造装置
２                坩堝成形用型
２ａ              空間部
２ｂ              第一貫通孔
２ｃ              第二貫通孔
２Ａ〜２Ｃ        孔部
２Ｅ        フィルタ取付面
３                加熱手段
４                駆動手段
４ａ              モータ軸
４Ａ              空間部
５                吸気手段
５ａ              第一通気ダクト
５ｂ              第二通気ダクト
５ｃ              第三通気ダクト
５ｄ              吸引ポンプ
５Ａ              直線ダクト部
５Ｂ              曲線ダクト部
５Ｃ              ダクト合流部
５Ｄ              回転ダクト部
５Ｅ              固定ダクト部
６                冷却手段
６ａ              第一冷却部
６ｂ              第二冷却部
６ｃ              給・排水ポンプ
６ｄ              カップリング
７                取付用ねじ
７ａ              ねじ部
７ｂ              排気孔
８                通気性フィルタ
１０，１０ａ      排気路
１１              共通流路
１３，１４，１６  給水管
１５，１７，２０  排水管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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