(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂成形用金型面間に金型クリーニングシートを介在させてクリーニング樹脂により上記金型表面をクリーニングするのに使用する金型クリーニングシートにおいて、該金型クリーニングシートは、少なくとも再生セルロース繊維を５０重量％以上含む不織布からなり、該不織布中にその他の成分が存在する場合には該成分は２００℃以上の融点を有する素材で構成され、かつ該不織布は繊維充填率が５〜５０％、通気度が５０ｃｍ３／ｃｍ２・ｓｅｃ以上、圧縮率が２５〜７０％、厚みが０．０５〜１ｍｍであることを特徴とする金型クリーニングシート。
【請求項２】
前記金型クリーニングシートが、再生セルロース連続長繊維不織布である請求項１に記載の金型クリーニングシート。
【請求項３】
前記樹脂成形金型面間に、請求項１または２に記載の金型クリーニングシートを介在させて金型を型締めし、次いで金型クリーニング用樹脂溶液を加圧注入して金型面に残存する異物を付着させ、該異物を接着したクリーニング樹脂溶液を硬化させて前記金型クリーニングシートに一体化させ、その後、金型を型開きして前記一体化した金型クリーニングシートを取り出すことを特徴とする金型クリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は金型クリーニングシートおよび金型クリーニング方法に関し、さらに詳しくはＩＣ（集積回路）等の電子部品を樹脂材料によって封止成形するための樹脂成型用金型面をクリーニング樹脂で洗浄する際に使用する金型クリーニングシートおよびそのシートを用いた金型クリーニング方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＣ、ダイオード、コンデンサー、半導体チップ等の電子部品は、所定の回路を形成した後、リードフレームに電気的に接続され、その後、塵埃や湿度などの外的環境や物理的な衝撃から保護するためにエポキシレジン等の熱硬化性樹脂材料により金型を用いて成形封止（樹脂封止）される。しかし、成形金型の内部には、樹脂封止が幾度も繰り返されることにより、充填される樹脂材料の一部が浸入して硬化し、樹脂バリが形成されたり、ランナー部やキャビティ部に離型剤の堆積物や油分、塵埃などの異物が残留し易くなる。このような異物は、成形品質に悪影響を及ぼすばかりではなく、硬化した異物によって金型自体が破損する恐れもあるため、定期的に成形金型に付着、残存した異物を除去するクリーニング作業が行われている。
【０００３】
従来のクリーニング方法としては、専用のブラシを用いて清掃したり、高圧でエアーを吹き付ける等の方法が知られている。しかし、これらの方法では金型を傷つけたり、清掃効果が不充分である等の問題があった。
このため、半導体チップ等の搭載されていないリードフレーム（以下、ダミーリードフレームという）を金型にセットし、クリーニング作用を持つメラミン系の樹脂を用いて成形を行い、成形金型をクリーニングする方法が採用されている。しかし、この方法では、高価なダミーリードフレームを用いるために不経済であり、またダミーリードフレームの正確な位置決め作業を行わなければならず、さらに場合によってはランナー部やキャビティ部等に固化したクリーニング樹脂が付着し、残留した少量のクリーニング樹脂を別途取り除かなければならないなど、作業に時間や労力がかかる等の問題があった。
【０００４】
これらの問題を解決するために種々の方法が提案されている。例えば、特許第１９０３６８０号には、ダミーリードフレームとしてネット状素材からなる固化樹脂の剥離用部材を用いる方法が提案されている。この方法によれば、ネット状素材をダミーリードフレームとして用いることにより、クリーニング樹脂の分散性、すなわちクリーニングしたいキャビティ部への樹脂の注入性が良好となり、かつキャビティ部等の金型に設けられた凹部へ流入されたクリーニング樹脂とネット状素材との一体性も良好となる。しかし、本来洗浄したいランナー部やキャビティ部以外の部分へも無作為にクリーニング樹脂が浸透し、この部分でクリーニング樹脂が硬化すると、キャビティ部に比べて固化した樹脂が薄くなるので、ネット状素材とクリーニング樹脂との一体性が悪く金型表面に固化したクリーニング樹脂が残留し、これを取り除くための手間や掃除時に金型を傷つける等の問題があった。またネット状素材の保型性が悪いために単独で用いると金型へのセットに手間がかかるという欠点があった。このため、フレームを用いて保型性を向上させることが提案されているが、実際のクリーニング作業では連続してクリーニングを行うため、フレームのセットに手間がかかり、作業性が低下するという問題があった。
【０００５】
また特開平６−２５４８６６号公報には、ダミーリードフレームとして溶融状態のクリーニング樹脂を含浸または透過するシート状部材を用いることが提案されている。この方法ではシート状部材を介して金型全面にクリーニング樹脂を浸透させて金型をクリーニングするため、キャビティ部等の金型に設けられた凹部やその他の部分のクリーニングが可能となるが、金型の型締め圧力やクリーニング樹脂の注入圧力等の条件設定に時間がかかり、また金型全面に均一にクリーニング樹脂を浸透させることは事実上不可能であり、全面に浸透させようとするとクリーニング樹脂が金型からはみ出す危険性があった。またクリーニング樹脂を金型全面に浸透させるためにクリーニング作業に時間がかかり、さらにクリーニング樹脂が通常の金属性のダミーリードフレームを用いる場合よりも多量に必要となり、コスト的に問題があった。
【０００６】
さらに特開平８−１３２４４６号公報には、耐熱性および柔軟性を有するシートで、クリーニング樹脂粒子の通過可能な細孔が全面に多数形成されているネット状素材のダミーリードフレームを用いることが提案されている。この方法によれば、クリーニング樹脂粒子が通過できる細孔が全面に多数形成されたシートを用いて金型をクリーニングするため、上金型および下金型両面にキャビティ部等の凹部を設けた、いわゆる両面金型ではシートに設けられた細孔を通してクリーニング樹脂が分散するので、シートとクリーニング樹脂との一体性が良好となる。しかし、シートの細孔部からシートを形成している素材の脱落が多く、これらの異物が例えば金型に焼き付いて付着し、かえって金型を汚染するという問題があった。また改良方法として糸状の金属を織ったり、糸状の部材を編んで形成したメッシュなどの使用が提案されているが、金属のコストが高く、また弾性に乏しいため、織り構造の隙間から無作為にクリーニング樹脂が漏れたり、編物の場合も糸の重なり部分から無作為にクリーニング樹脂が漏れ、クリーニング樹脂の残留による汚れや固化樹脂を取り除く作業に手間がかかり、また掃除時に金型を傷つける等の問題があった。
このように従来の技術では、金属性のダミーフレームに代わるクリーニングシートが種々提案されているが、いずれも不充分なものであった。
【０００７】
また、ＩＣ等でキャビティ部からリード線が出ているチップ等を樹脂封止する場合には、封止用の樹脂はアウターリード部の間でアウターリード部をつなぐタイバーの部分にまで封入される。タイバー部に汚れが堆積した場合には製品用樹脂が漏れたり、剥離剤等の残留による変性物、焼き付き等の汚れ、埃等の堆積による汚れが製品付着することがあり、製品に樹脂のバリ残り、汚れなどが発生し、製品不良の原因となる。このため、タイバー部周辺もクリーニングする必要があるが、ダミーフレームには、コストを安くするためにアウターリード部やタイバーが設けられておらず、平版で構成されているので、タイバー部周辺にクリーニング樹脂を浸入させることができず、この部分のクリーニングが事実上できないという問題があった。
【０００８】
特開平６−２５４８６６号公報の方法を用いればタイバー周辺部のクリーニングは可能となるが、前述のような問題がある。このため、ダミーフレームでキャビティ部よりも若干大きい穴を開けてタイバー部をクリーニングする方法が提案されているが、この部分のクリーニング樹脂は非常に薄く、ダミーフレーム程度の厚みになるため、ダミーフレームとクリーニング樹脂との一体性が悪く、クリーニング樹脂がタイバー部周辺に残留し、これを取り除かなければ次のクリーニング作業を行えない等の問題があった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、上記従来技術の問題点を解決し、通常のクリーニング操作でキャビティ部のみならずタイバー部周辺やアウターリード部周辺をも金型全面にクリーニング樹脂を浸透させることなくクリーニングすることができる金型クリーニングシートであり、クリーニング樹脂とクリーニングシートとの一体性が良好で、高精度な位置決め等の煩雑な作業を行う必要がなく、またクリーニング樹脂が接触しない部分の異物もシートのみでクリーニングでき、さらにシートからの金型への異物汚染が少なく、またキャビティ部等の形状に制限されず複数の金型に対応でき、ダミーリードフレームの在庫管理が軽減され、かつ素材が安価で経済的な金型クリーニングシートおよびこれを用いた金型クリーニング方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成するために本願で特許請求される発明は以下の通りである。
（１）樹脂成形用金型面間に金型クリーニングシートを介在させてクリーニング樹脂により上記金型表面をクリーニングするのに使用する金型クリーニングシートにおいて、該金型クリーニングシートは、少なくとも再生セルロース繊維を５０重量％以上含む不織布からなり、該不織布中にその他の成分が存在する場合には該成分は２００℃以上の融点を有する素材で構成され、かつ該不織布は繊維充填率が５〜５０％、通気度が５０ｃｍ３／ｃｍ２・ｓｅｃ以上、圧縮率が２５〜７０％、厚みが０．０５〜１ｍｍであることを特徴とする金型クリーニングシート。
【００１１】
（２）前記金型クリーニングシートが、再生セルロース連続長繊維不織布である（１）に記載の金型クリーニングシート。
（３）前記樹脂成形金型面間に、（１）または（２）に記載の金型クリーニングシートを介在させて金型を型締めし、次いで金型クリーニング用樹脂溶液を加圧注入して金型面に残存する異物を付着させ、該異物を接着したクリーニング樹脂溶液を硬化させて前記金型クリーニングシートに一体化させ、その後、金型を型開きして前記一体化した金型クリーニングシートを取り出すことを特徴とする金型クリーニング方法。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明における金型クリーニングシートは、少なくとも再生セルロース繊維を５０重量％以上含む不織布で構成される。不織布は織編物に比べて安価で、また各種素材との複合も容易であり、他の成分との複合により用途に応じた様々な機能を付与することができる。再生セルロース繊維としては、ビスコース法レーヨンや銅アンモニア法レーヨンなどが挙げられるが、その製造方法や繊維形状、微細構造、結晶構造等は制限されない。
【００１３】
ビスコース法レーヨンや銅アンモニア法レーヨンに代表される再生セルロース繊維は、公定水分率（２０℃、６５％ＲＨ条件下における水分率）が１１％と、他のセルロース繊維、特に天然セルロース繊維である綿などに比べて大きく、このような繊維を使用すると、金型クリーニング工程時の熱により繊維中の水分が蒸発し、セルロース繊維が収縮するため、クリーニング樹脂のない部分の金型表面の汚れ等を噛み込んで取る効果を向上させることができる。また型締めされた部分では収縮によりさらに密度が上がるため、クリーニング樹脂の不慮の横漏れを防止する効果も得られる。この効果は、クリーニング時に使用する温度でシートの強力や伸度の変化の少ない素材である再生セルロース繊維の使用で得られる。合成繊維等を使用した場合には、金型が使用される温度で軟化するため、異物を噛み込んで取る効果が小さく、また熱によりオリゴマー等の異物が溶出しやすくなり、金型を汚染したりすることがある。シートとしての収縮率は１８０℃で５分間リラックス状態で処理した場合、０．３〜１０％であるのが好ましい。収縮率が０．３％未満では金型表面での異物の噛み込み効果が小さく、１０％を超えると金型にシートをセットした際にシートがカールし、安定性が低下することがある。
【００１４】
さらに本発明に用いられる不織布は、再生セルロース連続長繊維不織布であることが好ましい。長繊維不織布の使用により、短繊維で構成されたものに比べてシート表面からの発塵が少ないため、クリーニング作業の一連の工程においてシートから金型面への異物汚染を少なくすることができる。
再生セルロース連続長繊維不織布としては、例えば、銅アンモニア法レーヨンを流下緊張紡糸法で製造した旭化成社製商品名、ベンリーゼなどが好ましく用いられる。このベンリーゼは再生セルロース連続長繊維が自己接着により不織布を形成し、バインダーが使用されていないため、金型クリーニング時に熱や洗浄溶剤などでバインダーが溶出して金型面を汚染するのを防止することができる。
再生セルロース連続長繊維不織布を単独で用いてクリーニングシートとするのが発塵性の点から最も好ましいが、再生セルロース連続長繊維不織布のみで適度な圧縮率や強度が得られない場合には不織布を複合して使用するのが好ましい。例えば、シートの片面を再生セルロース連続長繊維不織布で、もう片面を再生セルロース短繊維不織布で構成するような２層構造体の不織布や、シートの表裏を再生セルロース連続長繊維不織布で、中央部を再生セルロース短繊維不織布で構成した３層構造体の不織布は、表面からの発塵が軽減されるので好ましい。
【００１５】
本発明において、不織布中の再生セルロース繊維の含有量は、少なくとも５０重量％以上、好ましくは６５重量％以上であり、耐熱性の点からは再生セルロース繊維１００重量％であるのが最も好ましい。再生セルロース繊維の含有量が５０重量％未満では不織布の耐熱性が低下し、型開き時にカールし、固化した樹脂が割れ、破片が、金型面に残留し、金型を汚染したり、他の成分から熱による溶出物があり、金型を汚染したりする等の不都合が生じる。不織布には再生セルロース繊維以外に他の成分が含まれていてもよいが、その成分の融点が２００℃以上である素材が使用される。クリーニング樹脂を用いてクリーニングを行う際の金型の成形温度が約１８０℃近辺であるため、これに対する耐熱性が必要となるためである。特にキャビティ部の面積が大きい金型をクリーニングする場合、固化したクリーニング樹脂を取り外す際の不織布の強度に問題が生じる場合は融点２００℃以上の素材を用いて補強するのが好ましい。このような融点２００℃以上の素材としては、例えば、ポリエステル、ポリアミド、ポリアクリロニトリル、ポリパラフェニレンテレフタルアミド、ポリトリメチレンテレフタレート等の合成繊維、銅などの金属繊維等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。合成繊維を用いる場合は、市販の合成繊維にはオリゴマー等の低融点の物質が多少は含まれており、これらによる金型面への汚染を抑制する点から、合成繊維の含有率を５０重量％未満とするのが好ましい。
【００１６】
また、本発明に用いられる不織布の繊維充填率は５〜５０％、好ましくは８〜２０％である。不織布の繊維充填率は、金型全面にクリーニング樹脂を浸透させることなく、キャビティ部、タイバー部周辺、アウターリード部周辺のクリーニングを同時に行わせるために重要である。繊維充填率が上記範囲内であればクリーニング樹脂溶液を圧入した場合、金型に設けられた凹部の周辺に繊維間の空隙を通して適度にクリーニング樹脂がにじみ薄い樹脂皮膜を形成し、キャビティ部周辺のタイバー部等をクリーニングできる。適度にクリーニング樹脂をにじませるためには、クリーニング条件として金型の型締め圧力、クリーニング樹脂の量や注入圧力を個々の金型に応じて調整すればよい。
【００１７】
不織布の繊維充填率が５％未満では、クリーニング樹脂が金型のキャビティ等の凹部やタイバー部以外の部分に大幅ににじみ易くなり、この部分ではクリーニング樹脂が薄い樹脂皮膜を形成して金型面に残ることがあり、残留した樹脂皮膜の除去に時間がかかり、また除去作業中に金型面を傷つけることがある。また繊維充填率が５０％を超えると、クリーニング樹脂のにじみが抑制されてキャビティ部周辺のタイバー部等をクリーニングすることができない。なお、従来の金属製ダミーフレームでは充填率が100 ％なので、傷等の不慮の事態がない限りダミーフレームに設けられた空隙、すなわち、キャビティ部等の凹部以外へはクリーニング樹脂が基本的に漏れないため、タイバー部等のクリーニングができない。
【００１８】
本発明において繊維充填率は、次の方法で算出したものをいう。５ｇ／cm2 の荷重でクリーニングシートの厚みｄ（cm）を測定する。クリーニングシート10,000cm2 当たりの重量ｗ（ｇ）を測定する。クリーニングシートを構成する素材の構成比ｂ1 ，ｂ2 ・・・ｂn （％）を測定する。これらの測定した数値および各素材の比重ａ1 ，ａ2 ・・・ａn を用いて次式により、100 ％繊維充填時の１ｍ2 当たりの重量ｓを算出し、その後、繊維充填率を算出する。
100 ％繊維充填時の重量ｓ
＝10,000×ｄ×(a1 × b1 ＋ a2 × b2 ＋・・・＋ an × bn ）／100
繊維充填率（％）＝ｗ×１００／ｓ
なお、素材の比重は、例えば、繊維を用いた不織布であれば化繊協会刊行の繊維ハンドブック等に掲載の数値を用いる。例えば、綿は1.54、ビスコース法レーヨンは1.51、銅アンモニア法レーヨンは1.50、パルプは1.50、ポリエステルは1.38、ナイロンは1.14、ポリプロピレンは0.91の数値を用いる。その他の素材、例えば金属等については岩波書店刊行の理化学辞典に掲載の数値を用いる。
【００１９】
本発明における金型クリーニングシートの通気度は５０cm3 ／cm2 ・sec 以上であることが好ましい。より好ましくは８０〜４００cm3 ／cm2 ・sec 、さらに好ましくは９０〜３００cm3 ／cm2 ・sec である。ここで、通気度とは、JIS-L-1096通気性試験法、Ａ法空気量法でフラジール型試験機を用いて測定したものをいう。通気度が５０cm3 ／cm2 ・sec 未満では、金型両面にキャビティ部等の凹部が設けられた、いわゆる両面金型の場合、クリーニング樹脂の通過性が悪く均一に分散しにくくなり、金型のクリーニング効果が低下する。通過分散性を向上させるために通気度を大きくするには、シートの繊維充填率を下げることが必要となるが、繊維充填率を下げるとシートの強度が低下し、クリーニング樹脂を圧入した時点でクリーニングシートが破れて発塵し金型を汚染したり、クリーニング樹脂硬化後、金型から取り出す際にシートが破れて金型面に固化したクリーニング樹脂が残る場合がある。クリーニングシートの強度を保持する点から、通気度は４００cm3 ／cm2 ・sec 以下とするのが好ましい。また金属繊維などを複合し、クリーニングシートの強度が保持される場合にはキャビティ部等に穴が開いていてもよく、この場合には実質的に通気度に上限はない。
【００２０】
なお、金型両面に凹部が設けられたいわゆる両面金型をクリーニングするための金属製ダミーフレームでは、クリーニングしたいキャビティ部とほぼ同形状の穴を開けてクリーニング樹脂を通過分散させている。この金属製ダミーフレームには穴とキャビティ部とを一致させるため位置決め孔が設けられており、１つのパターンの金型に１つのパターンの金属製ダミーフレームが対応するため、他のパターンの金型には転用できない。クリーニングシートも同様であり、キャビティ部に対応する穴を開けると汎用性が損なわれる。他のパターンの金型への転用を可能にする点からはキャビティ部に対応するクリーニングシートに穴を開けないのが好ましい。この場合、クリーニング樹脂の通過分散性が問題となるが、クリーニングシートの通気性を適切に選択することにより、クリーニング樹脂の通過分散性を容易に確保することができる。
【００２１】
また本発明における金型クリーニングシートの圧縮率は２５〜７０％であることが好ましく、より好ましくは３０〜６０％である。金型クリーニングシートの圧縮率は、金型とクリーニングシートとの密着性に関連し、クリーニング効果に影響を及ぼす。圧縮率が２５％未満では金型を型締めした際にクリーニングシートの弾性が乏しいため、クリーニングシートにしわ等の溝があった場合にその溝を通じてクリーニング樹脂が本来クリーニングしなくてもよい金型面に浸入し、樹脂皮膜を形成して金型面に残ることがあり、残留したクリーニング樹脂皮膜の除去に時間がかかり、また除去作業中に金型面を傷つけることがある。クリーニングシートの圧縮率が２５％以上であればクリーニングシートに若干しわ等の溝があっても金型の型締めによりその溝が金型面に密着するのでクリーニング樹脂の不慮の漏れを防止することができる。また圧縮率が７０％を超えると金型面との密着性は良好となるが、金型に設けられた凹部でシートが膨らむ形状となり凹部の壁面にクリーニングシートが接触しやすくなりクリーニング効果が減少することがある。
ここで、圧縮率は、以下の方法で測定、算出したものをいう。５ｇ／cm2 の荷重でクリーニングシートの厚みｄ（cm）を測定し、２０００ｇ／cm2 の荷重でクリーニングシートの厚みｐ（cm）を測定し、次式で圧縮率を算出する。
圧縮率（％）＝〔（ｄ−ｐ）／ｄ〕×１００
【００２２】
さらに金型クリーニングシートの目付けは、３０〜２００ｇ／ｍ2 であることが好ましい。クリーニングシートの目付けはシートの保形性と関連する。目付けが３０ｇ／ｍ2 未満では保形性が低く、シートをセットしにくくなり作業性が低下する場合がある。また２００ｇ／ｍ2 を超えると保形性は向上するものの通気度が低下する傾向にあり、クリーニング樹脂の通過分散性に問題が生じることがある。なお、金属繊維を複合したクリーニングシートの場合、目付けは大きくなってもクリーニング樹脂の通過分散性に影響を与えない場合があるので上限については通気度により決定することが好ましい。
保形性はクリーニングシートの柔軟性で示すことができる。クリーニングシートが柔らか過ぎると、金型へセットする際に作業性が低下し易い。JIS-L-1096記載の布帛の柔軟度測定方法であるカンチレバー法による測定で繊維軸方向および繊維軸に垂直な方向での測定を行い、どちらか一方が６cm以上であることが好ましく、より好ましくは８cm以上である。また繊維軸方向と繊維軸に垂直な方向での測定結果の和が１０cm以上であればクリーニングシートセット時の取り扱い性が向上するので好ましい。なお、繊維軸方向とは、不織布を構成している繊維が主に並んでいる方向のことをいう。
【００２３】
また金型クリーニングシートの強度はシートの引張強度で示すことができる。幅１０cm、長さ１０cmで測定したシートの引張強度が４０Ｎ以上であるのが好ましく、より好ましくは８０Ｎ以上である。引張強度が４０Ｎ未満であるとクリーニング樹脂硬化後に金型を型開きしてクリーニング樹脂と一体化したクリーニングシートを取り出す際にクリーニングシートが破れることがある。
金型クリーニングシートの厚みは、５ｇ荷重時で０．０５〜１mm程度が好ましい。厚みが０．０５mm未満では、圧縮率とも関係するが、クリーニングシートにしわ等があった場合にクリーニング樹脂の横漏れ等が生じ易くなる。１mmを超えると型締めした際にキャビティ部等のクリーニングしたい部分に接触する可能性があり、クリーニング効果が低下したり、またクリーニング樹脂の流路での圧損が高くなりクリーニング樹脂の分散性が悪くなるのでクリーニング効果が低下する場合がある。
【００２４】
金型クリーニングシートの大きさには特に限定されず、適宜選択すればよい。また本発明の金型クリーニングシートにはクリーニングシートを金型へセットする際の作業効率をさらに向上させるために位置決め穴を設けてもよい。またクリーニングシートが再生セルロース繊維で構成されている場合は離型剤を使用して離型性を向上させることもできる。再生セルロース繊維は各種溶剤に非常に安定な素材であり、かつ吸液性能に優れているので離型剤を含浸させた際の保液性が良好である。離型剤を用いる場合はクリーニング樹脂によるクリーニングが終了した後、本生産に入る前に実施すればよい。
本発明の金型クリーニングシートを金型間に介在させて金型を型締めし、次いで金型クリーニング用樹脂溶液を加圧注入して金型面に残存する異物を接着させ、該異物を接着したクリーニング樹脂溶液を硬化させて前記金型クリーニングシートに一体化させ、その後、金型を型開きして前記一体化した金型クリーニングシートを取り出すことにより、金型のクリーニングを容易に行うことができる。
【００２５】
【実施例】
以下、本発明を実施例によりさらに詳しく説明する。なお、金型クリーニングシートのクリーニング効果を以下の方法で評価した。
(1) キャビティ部のクリーニング性
熟練した作業員５名がクリーニング後の金型キャビティ部表面およびクリーニング樹脂のキャビティ部に対応する固化物の状態からクリーニング性を判断して以下の等級で評価し、５名の評価結果の平均を求めた。
５：非常にクリーニング状態が良好である
４：ややクリーニング状態が良好である
３：クリーニング状態が良好である
２：ややクリーニング状態が悪い
１：非常にクリーニング状態が悪い
【００２６】
(2) タイバー部周辺およびアウターリード部周辺のクリーニング性
熟練した作業員５名がクリーニング後の金型タイバー部周辺表面およびクリーニングシートと一体化したキャビティ部周辺におけるクリーニング樹脂の固化物の状態からクリーニング性を判断して以下の等級で評価し、５名の評価結果の平均を求めた。
５：非常にクリーニング状態が良好である
４：ややクリーニング状態が良好である
３：クリーニング状態が良好である
２：ややクリーニング状態が悪い
１：非常にクリーニング状態が悪い
(3) クリーニング樹脂とクリーニングシートとの一体性
熟練した作業員５名が作業を行い、一体性の尺度としてクリーニング樹脂固化後、取り出し時の樹脂の剥離性を以下の等級で評価し、５名の評価結果の平均を求めた。
５：非常に剥離性が良い
４：やや剥離性が良い
３：剥離性が良い
２：やや剥離性が悪い
１：非常に剥離性が悪い
【００２７】
(4) 作業性
熟練した作業員５名が作業を行い、通常の金属製ダミーリードフレームと比較して以下の等級で評価し、５名の評価結果の平均を求めた。
５：非常に作業性が良い
４：やや作業性が良い
３：作業性は変わらない
２：やや作業性が悪い
１：非常に作業性が悪い
(5) 樹脂が浸透していない部分での金型クリーニング効果
熟練した作業員５名が作業を行い、樹脂が浸透していない金型部分およびクリーニングシートへの異物付着等を観察し以下の等級で評価し、５名の評価結果の平均を求めた。
５：非常にクリーニング状態が良好である
４：ややクリーニング状態が良好である
３：クリーニング状態が良好である
２：ややクリーニング状態が悪い
１：非常にクリーニング状態が悪い
【００２８】
実施例１
金型両面にキャビティ部等の凹部が設けられた、いわゆる両面金型でトランスファーモールド装置を用いて以下の方法で金型のクリーニングを実施した。
コットンリンターを銅アンモニア溶液で溶解し、流下緊張下で連続して紡糸し、シートを形成させ、平均短繊度が２．１ｄｔｅｘの不織布を得た。得られた不織布を金型よりやや小さめにカットし、金型クリーニングシートを得た。
得られた金型クリーニングシートは、再生セルロース連続長繊維１００％で構成された不織布で、目付け１０６ｇ/m2 、５ｇ荷重時の厚み０．４９mm、繊維充率１４．４％、通気度１１６cc／cm 2・sec 、圧縮率４０．９％、繊維軸方向の柔軟度１３cm以上、繊維軸方向に張力をかけた引張強度は３１９N であった。
金型間に上記金型クリーニングシートを置き、ポット部へ日本カーバイト工業社製のクリーニング用樹脂『ニカレットECR トランスファータイプ』を入れ、予熱温度１００℃にて予熱した。次いで、金型を型締めした。型締めの圧力は７０kg／cm2 であった。金型温度を１７０℃にして、ポット部で溶融したクリーニング用樹脂をプランジャーにて金型内部へ挿入した。クリーニング樹脂はポット部からランナー部を通り、キャビティ部へ導入された。５分間放置し、クリーニング樹脂が硬化させ、金型を型開きし、金型洗浄用シートを取り出した。上記作業を１０回繰り返して実施した。
【００２９】
クリーニング効果および作業性について調べ、その結果を表１に示したが、本発明のクリーニングシートは、キャビティ部のクリーニング性が良好で、タイバー部周辺およびアウターリード部周辺のクリーニング性が良好で、クリーニング樹脂とクリーニングシートとの一体性が良好で、作業性が向上し、樹脂が浸透していない部分での金型クリーニング効果も良好であった。
【００３０】
実施例２
実施例１において、金型クリーニングシートとして下記のものを使用した以外は、実施例１と同様にして金型のクリーニングを行い、その効果を調べ、結果を表１に示した。
平均単繊度２．１ｄｔｅｘ、平均繊維長３８ｍｍのビスコースレーヨンと平均単繊度１．７ｄｔｅｘ、平均繊維長３８ｍｍのポリエステル繊維を高圧水流（柱状流）にて交絡させ、不織布を得た。得られた不織布を金型よりやや小さめにカットし、金型クリーニングシートを得た。
得られた金型クリーニングシートは、再生セルロース繊維７０％、ポリエステル３０％で構成された不織布で、目付け１３０ｇ/m2 、５ｇ荷重時の厚み０．５９mm、繊維充填率１５．１％、通気度９２cc／cm 2・sec 、圧縮率５２．３％、繊維軸方向の柔軟度１３cm以上、繊維軸方向に張力をかけた引張強度は８４N であった。
本発明のクリーニングシートはキャビティ部のクリーニング性が良好で、タイバー部周辺およびアウターリード部周辺のクリーニング性が良好で、クリーニング樹脂とクリーニングシートとの一体性が良好で、作業性が向上し、樹脂が浸透していない部分での金型クリーニング効果も良好であった。
【００３１】
比較例１
実施例１において、金型クリーニングシートとして下記のものを使用した以外は、実施例１と同様にして金型のクリーニングを行い、その効果を調べ、結果を表１に示した。平均繊維長１．７ｍｍの木材パルプと平均単繊度１．７ｄｔｅｘ、平均繊維長３８ｍｍのポリエステル繊維を高圧水流にて交絡させ、不織布を得た。得られた不織布を金型よりやや小さめにカットし、金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、パルプ７０％、ポリエステル３０％で構成された不織布で、目付け８１ｇ/m2 、５ｇ荷重時の厚み０．５０mm、繊維充填率１１．０％、通気度１２３cc／cm2 ・sec 、圧縮率５３．４％、繊維軸方向の柔軟度６．７cm、繊維軸方向に張力をかけた引張強度は２１２N であった。本発明のクリーニングシートはキャビティ部のクリーニング性が良好で、タイバー部周辺およびアウターリード部周辺のクリーニング性が良好で、クリーニング樹脂とクリーニングシートとの一体性が良好で、作業性が向上し、樹脂が浸透していない部分での金型クリーニング効果も良好であった。
【００３２】
比較例２
実施例１において、金型クリーニングシートとして下記のものを使用した以外は、実施例１と同様にして金型のクリーニングを行い、その効果を調べ、結果を表１に示した。平均繊維長１．７ｍｍの木材パルプと平均単繊度１．７ｄｔｅｘ、平均繊維長３８ｍｍのポリエステル繊維を高圧水流にて交絡させ、不織布を得た。得られた不織布を金型よりやや小さめにカットし、金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、パルプ７０％、ポリエステル３０％で構成された不織布で、目付け１１０ｇ/m2 、５ｇ荷重時の厚み０．９０m m、繊維充填率８．３１％、通気度１５８cc／cm2 ・sec 、圧縮率７２．２％、繊維軸方向の柔軟度１０．５cm、繊維軸方向に張力をかけた引張強度は３４３N であった。本発明のクリーニングシートはキャビティ部のクリーニング性が良好で、タイバー部周辺およびアウターリード部周辺のクリーニング性が良好で、クリーニング樹脂とクリーニングシートとの一体性が良好で、作業性が向上し、樹脂が浸透していない部分での金型クリーニング効果も良好であった。
【００３３】
比較例３
実施例１において、金型クリーニングシートとして下記のものを使用した以外は、実施例１と同様にして金型のクリーニングを行い、その効果を調べ、結果を表１に示した。平均繊維長１．７ｍｍの木材パルプを高圧水流にて交絡させ、不織布を得た。得られた不織布を金型よりやや小さめにカットし、金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、パルプ１００％で構成された不織布で、目付け１１０ｇ/m2 、５ｇ荷重時の厚み０．１５mm、繊維充填率４９．９％、通気度４８cc／cm2 ・sec 、圧縮率２１．３％、繊維軸方向の柔軟度１３cm以上、繊維軸方向に張力をかけた引張強度は３９８N であった。本発明のクリーニングシートはキャビティ部のクリーニング性が良好で、タイバー部周辺およびアウターリード部周辺のクリーニング性が良好で、クリーニング樹脂とクリーニングシートとの一体性が良好で、作業性が向上し、樹脂が浸透していない部分での金型クリーニング効果も良好であった。
【００３４】
比較例４
実施例１において、金型クリーニングシートとして下記のものを使用した以外は、実施例１と同様にして金型のクリーニングを行い、その効果を調べ、結果を表１に示した。平均単繊度２．１ｄｔｅｘ、平均繊維長３８ｍｍのビスコースレーヨンと平均単繊度１．７ｄｔｅｘ、平均繊維長３８ｍｍのポリエステル繊維を高圧水流（柱状流）にて交絡させ、不織布を得た。得られた不織布を金型よりやや小さめにカットし、金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、再生セルロース連続長繊維３０％、ポリエステル７０％で構成された不織布で、目付け９０ｇ/m2 、５ｇ荷重時の厚み０．１２mm、繊維充填率５２．９％、通気度１cc／cm2 ・sec 、圧縮率２６．７％、繊維軸方向の柔軟度１２．５cm、繊維軸方向に張力をかけた引張強度は１１３N であった。比較例１のクリーニングシートはキャビティ部へのクリーニング樹脂の充填が不充分でクリーニング効果が低下し、タイバー部周辺およびアウターリード部周辺へはクリーニング樹脂が浸透せずクリーニングされておらず、クリーニング樹脂とクリーニングシートとの一体性はそこそこであったが、クリーニングシートのポリエステル由来と思われる異物除去のため作業性が低下し、樹脂が浸透していない部分での金型クリーニング効果もあまり見られず、比較例４の金型クリーニングシートは事実上使用できないものであった。
【００３５】
比較例５
実施例１において、金型クリーニングシートとして下記のものを使用した以外は、実施例１と同様にして金型のクリーニングを行い、その効果を調べ、結果を表１に示した。平均繊維長１．７ｍｍの木材パルプと平均単繊度１．７ｄｔｅｘ、平均繊維長３８ｍｍのポリエステル繊維を高圧水流にて交絡させ、不織布を得た。得られた不織布を金型よりやや小さめにカットし、金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、パルプ７０％、ポリエステル３０％で構成された不織布で、目付け７０ｇ/m2 、５ｇ荷重時の厚み１．００mm、繊維充填率４．８％、通気度９８cc／cm2 ・sec 、圧縮率６８．０％、繊維軸方向の柔軟度１３cm以上、繊維軸方向に張力をかけた引張強度は３９N であった。比較例２のクリーニングシートはキャビティ部へのクリーニング樹脂の充填、タイバー部周辺およびアウターリード部周辺以外にもクリーニング樹脂が浸透し、金型に固化後のクリーニング樹脂が残留した。クリーニング樹脂とクリーニングシートとの一体性はそこそこであったが取り出し時に破れが生じた。また、上記の現象から異物除去のため作業性が非常に低下した。樹脂が浸透していない部分での金型クリーニング効果はそこそこであったが、比較例５の金型クリーニングシートは事実上使用できないものであった。
【００３６】
比較例６
実施例１において、金型クリーニングシートとして下記のものを使用した以外は、実施例１と同様にして金型のクリーニングを行い、その効果を調べ、結果を表１に示した。平均繊維長１．７ｍｍの木材パルプを高圧水流にて交絡させ、不織布を得た。得られた不織布を金型よりやや小さめにカットし、金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、パルプ１００％で構成された不織布で、目付け９０ｇ/m2 、５ｇ荷重時の厚み０．１２mm、繊維充填率５１．０％、通気度１cc／cm2 ・sec 、圧縮率２６．７％、繊維軸方向の柔軟度１２．５cm、繊維軸方向に張力をかけた引張強度は４１０N であった。比較例６のクリーニングシートはキャビティ部へのクリーニング樹脂の充填が不充分でクリーニング効果が低下し、タイバー部周辺およびアウターリード部周辺へはクリーニング樹脂が浸透せずクリーニングされておらず、クリーニング樹脂とクリーニングシートとの一体性にも問題があり、一部の固化樹脂が金型面に残留した。この樹脂除去のため作業性が低下し、樹脂が浸透していない部分での金型クリーニング効果はそこそこであったが比較例３の金型クリーニングシートは事実上使用できないものであった。
【００３７】
比較例７
実施例１において、金型クリーニングシートとして下記のものを使用した以外は、実施例１と同様にして金型のクリーニングを行い、その効果を調べ、結果を表１に示した。平均繊維長１．７ｍｍの木材パルプと平均単繊度１．７ｄｔｅｘ、平均繊維長３８ｍｍのポリエステル繊維を高圧水流にて交絡させ、不織布を得た。得られた不織布を金型よりやや小さめにカットし、金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、パルプ３０％、ポリエステル７０％で構成された不織布で、目付け７０ｇ/m2 、５ｇ荷重時の厚み０．５０mm、繊維充填率９．９％、通気度１５３cc／cm2 ・sec 、圧縮率５４．０％、繊維軸方向の柔軟度１３cm以上、繊維軸方向に張力をかけた引張強度は９８N であった。比較例７のクリーニングシートはキャビティ部へのクリーニング樹脂の充填、タイバー部周辺およびアウターリード部周辺以外にもクリーニング樹脂が浸透し、金型に固化後のクリーニング樹脂が残留した。また、クリーニングシートのポリエステル由来と思われる異物も残留していた。クリーニング樹脂とクリーニングシートとの一体性はそこそこであったが、上記の現象から異物除去のため作業性が非常に低下した。樹脂が浸透していない部分での金型クリーニング効果もあまり見られず比較例４の金型クリーニングシートは事実上使用できないものであった。
【００３８】
【表１】
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【００３９】
【発明の効果】
本発明の金型クリーニングシートを介在させて金型を型締めし、次いで金型クリーニング用樹脂溶液を加圧注入して金型面に残存する異物を接着させ、異物が接着したクリーニング樹脂溶液を硬化させて金型クリーニングシートに一体化させ、この後金型を型開きして金型面の異物を接着させたクリーニング樹脂と一体化した金型クリーニングシートを取り出すことにより金型をクリーニングすると、通常のクリーニング操作で本来の目的であるキャビティ部はもちろん従来の方法ではクリーニングできなかったタイバー部周辺やアウターリード部周辺にも金型全面にクリーニング樹脂を浸透させずに同時にクリーニングできる。さらに従来の高価な半導体チップ等の搭載されていない金属製のダミーリードフレームに代えて、クリーニング樹脂とダミーリードフレームとの一体性が良好で、また金型クリーニングシートの位置決め孔が無くても高精度な位置決め等の煩雑な作業を行わずに済み作業効率が向上し、クリーニング樹脂が接触しない部分においてもシートのみで金型面の異物をクリーニングでき、シートから金型への異物汚染が少なく、かつ、素材が安価で経済的な金型クリーニングシートを提供することができる。