(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体温度を検出する流体温度検出手段と、
流体の流れ方向に対して己の字の長手方向が直交して延び、この己の字が流体の流れ方向に連続して形成されるように蛇行する細線状の発熱抵抗体と、
前記発熱抵抗体の己の字の隙間に設けられ、前記発熱抵抗体の温度を検出する発熱温度検出手段と、
前記流体温度検出手段で検出した温度により規定される基準温度が前記発熱温度検出手段により検出されるように前記発熱抵抗体の温度を制御する制御手段と、
流体流れの一方向に対し前記発熱抵抗体の上流側又は下流側のいずれか一方に配設され、流体流量及び流体の流れ方向により温度が変化する流量検出抵抗体と、
前記流量検出抵抗体の温度により流体流量及び流体の流れ方向を検出する検出手段と、
を備えることを特徴とする流量測定装置。
【請求項２】
前記発熱抵抗体は、流体流れの上流部で前記基準温度より温度が低く流体流れの下流部で前記基準温度より温度が高く維持されるように、かつ、流体の流れ方向の逆転に起因する温度分布の逆転により前記流量検出抵抗体の温度が実質的に変化するように流体の流れ方向に所定の幅を有することを特徴とする請求項１記載の流量測定装置。
【請求項３】
前記発熱温度検出手段は、前記発熱抵抗体に沿って蛇行する細線状の抵抗体であることを特徴とする請求項１記載の流量測定装置。
【請求項４】
前記流量検出抵抗体は、前記流量検出抵抗体から前記発熱抵抗体の方向に流体が流れるとき前記基準温度より低い温度になる位置であって、前記発熱抵抗体から前記流量検出抵抗体の方向に流体が流れるとき前記基準温度より高い温度になる位置に配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の流量測定装置。
【請求項５】
前記検出手段は、前記流量検出抵抗体の温度と前記基準温度又は前記流体温度検出手段で検出した温度とを比較することにより流体流量及び流体の流れ方向を検出することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の流量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体流量を測定する流量測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
流体流量を測定する流量測定装置として、例えば自動車等の内燃機関（以下、「内燃機関」をエンジンという）の吸気流量を測定する熱式流量計が知られている。
自動車等の吸気系統では、エンジンが低回転かつ高負荷のときに吸気脈動が大きくなり、吸気弁と排気弁との開弁期間が吸気流れの脈動時に重なると、ピストン上昇時に吸気弁から吸気が逆流することがある。
特開平６−１６０１４２号公報には、吸気量に加え、吸気流れの方向をも検出する熱式流量計が開示されている。この公報で開示された熱式流量計では、発熱抵抗体の上流側及び下流側に流量検出用の抵抗体を配設し、２つの流量検出抵抗体により検出する温度の差から吸気流量及び吸気流れ方向を検出する構成が採用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
発熱抵抗体の上流側及び下流側に流量検出抵抗体を配設すると、吸気、発熱抵抗体及び流量検出抵抗体の間の熱交換を仲介するＳｉ3Ｎ4薄膜等の熱導体の面積を大きくしなければならず、このような熱導体の熱容量が大きくなることで吸気流量の検出感度及び応答性が低下する。また、発熱抵抗体の下流側に配設される流量検出抵抗体の周辺には発熱抵抗体によって加熱された吸気が分布し、吸気及び熱導体による流量検出抵抗体の熱変化はわずかであるため、吸気流量の検出感度が低下する。
【０００４】
特開２０００−１９３５０５号公報には、発熱抵抗体の上流側にのみ流量検出用の抵抗体を設け、発熱抵抗体に発生する温度分布を利用することで吸気流量及び吸気流れ方向を検出する構成を採用した熱式流量計が開示されている。このような熱式流量計によれば、発熱抵抗体下流側に流量検出用の抵抗体を設ける必要がないことから熱導体の熱容量を小さくすることができ、検出感度及び応答性を向上させることができる。
しかし、発熱抵抗体の抵抗値がマイグレーション等により変化すると、熱式流量計の出力特性にその影響が反映されやすいため、特開２０００−１９３５０５号公報に開示される流量測定装置では、出力特性の経年変化が問題となる。また、発熱抵抗体に大電流を流すとその抵抗値が変動してしまうため、装置に付着する塵や汚れを加熱して除去することができず、塵や汚れの堆積による経年変化が問題となる。
【０００５】
本発明は、流体の流れ方向に関わらず高精度に流量を検出し、かつ出力特性の経年変化が小さい流量測定装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、装置に付着する塵や汚れを加熱して除去することのできる流量測定装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１又は４記載の流量測定装置によると、発熱抵抗体の温度を検出する発熱温度検出手段を備え、流体温度検出手段で検出した温度により規定される基準温度が発熱温度検出手段により検出されるように発熱抵抗体の温度を制御する制御手段を備える。このため、発熱抵抗体の抵抗値がマイグレーション等により経年変化したとしても発熱抵抗体の温度を目標値に維持することができる。また、発熱抵抗体の抵抗値の変化に関わらず、発熱抵抗体の温度を目標値に維持することができるため、発熱抵抗体に大電流を流し、装置に付着する塵や汚れを加熱して除去することができる。したがって出力特性の経年変化を小さくできる。
また、発熱抵抗体に温度差が大きい温度分布を形成しそれを維持できるように、流体の流れ方向に対して長手方向が直交して延び、流体の流れ方向に連続して己の字を形成するように蛇行する細線状に発熱抵抗体を形成し、発熱抵抗体に流体の流れ方向の幅をもたせることが望ましい。
【０００７】
さらに、本発明の請求項１又は４記載の流量測定装置によると、流体流れの一方向、つまり順方向か逆方向に対し、発熱抵抗体の上流側又は下流側の一方にのみ流量検出抵抗体を配設し、流量検出抵抗体の温度により流体流量と流体の流れ方向を検出する。流体流れの上流側（上流部）及び流体流れの下流側（下流部）は、流体流れの方向によりその位置が決定されるので、流体流れの方向が逆転すれば位置が逆転する。つまり、順方向の上流側は、逆方向の下流側になる。発熱抵抗体の一方の側に配設した流量検出抵抗体により流体流量及び流体流れの方向を検出するので、流体と熱交換する部分を小型化できる。これにより、僅かな温度変化、流量変化及び流体流れ方向の変化に対しても感度及び応答性が良くなるので、流体流れの方向に関わらず流量を高精度に測定できる。
【０００８】
発熱抵抗体の基準温度は流体温度検出手段で検出した流体温度に基づき変化するように規定される。流体流れに対し発熱抵抗体の上流側又は下流側に配置される流量検出抵抗体の温度は基準温度により変化する。そこで請求項１又は５記載の流量測定装置の構成において、発熱抵抗体と流量検出抵抗体との間に存在する流体、あるいは発熱抵抗体及び流量検出抵抗体を保持している保持部材（熱導体）等の流体温度の変動に伴う熱伝導率の変動を考慮し、流体温度検出手段で検出した温度に基づき発熱抵抗体の基準温度を最適に設定すれば、発熱抵抗体と流量検出抵抗体との間の流体温度の変動に伴う熱伝導率の変動と発熱抵抗体の温度変化とを相殺し、流体温度の変化に関わらず流量検出抵抗体で検出した温度だけで流体流量及び流体の流れ方向を検出できる。
【０００９】
また、流体流れの上流部で前記基準温度より温度が低く流体流れの下流部で前記基準温度より温度が高く維持されるように、かつ、流体の流れ方向の逆転に起因する温度分布の逆転により前記流量検出抵抗体の温度が実質的に変化するように、発熱抵抗体に流体の流れ方向に所定の幅をもたせることにより、流体の流れ方向が逆転すれば流量検出抵抗体で検出する温度が変化することになるため、請求項２記載の流量測定装置によると流量検出抵抗体で検出した温度だけで流体流量及び流体の流れ方向を検出できる。
【００１０】
また、請求項３に記載した流量測定装置のように、発熱抵抗体の温度を目標値に正確に維持するため、発熱温度検出手段を発熱抵抗体に沿って蛇行する細線状の抵抗体とすることが望ましい。
また、請求項５に記載した流量測定装置のように、流量検出抵抗体の温度と基準温度又は流体温度検出手段で検出した温度とを比較することにより、流体温度の変化に関わらず流体流量及び流体の流れ方向を検出することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を示す複数の実施例を図に基づいて説明する。
（第１実施例）
本発明の第１実施例による流量測定装置をエンジンの吸気流量計に用いた一例を図１及び図２に示す。図１及び図２は本実施例による流量測定装置のセンサ部を示している。
【００１２】
センサ部１０の半導体基板１１はシリコン等で形成されている。後述する流量検出抵抗体２１、発熱抵抗体３０及び発熱温度検出抵抗体２３と対応する半導体基板１１の位置に空洞１１ａが形成されており、空洞１１ａを含む半導体基板１１上を絶縁膜１２が覆っている。空洞１１ａは後述するように図１の（Ｂ）に示す半導体基板１１の下面側から絶縁膜１２との境界面まで異方向性エッチングにより形成されている。吸気温度検出抵抗体２０、流量検出抵抗体２１、発熱抵抗体３０は吸気流れの順方向に対し、上流側からこの順で絶縁膜１２上に形成されている。流体温度検出手段としての吸気温度検出抵抗体２０は吸気温を検出する抵抗体であり、発熱抵抗体３０は図４に示すブリッジ回路及び比較器４３により吸気温度検出抵抗体２０より一定温度高い基準温度に制御されている。吸気温度検出抵抗体２０は、発熱抵抗体３０の熱が温度検出に影響を及ぼさないように発熱抵抗体３０から十分離れた位置に配設されている。流量検出抵抗体２１は、吸気流れの順方向に対し発熱抵抗体３０の上流側に配設されている。
【００１３】
図１（Ａ）及び図２（Ａ）に示すように、発熱抵抗体３０は吸気流れ方向に対し直交する長辺をもつように複数回折れ曲がって連続して己の字を形成するように蛇行して形成されており、曲折している部分全体として吸気流れ方向に所定幅を有している。発熱温度検出抵抗体２３は、発熱抵抗体３０の近傍に発熱抵抗体３０に沿って蛇行して形成されている。発熱温度検出抵抗体２３が検出する温度は発熱抵抗体３０の温度にほぼ等しい。端子３５は吸気温度検出抵抗体２０、流量検出抵抗体２１、発熱抵抗体３０及び発熱温度検出抵抗体２３と外部回路とを電気的に接続するためのものである。図１（Ｂ）及び図２（Ｂ）に示すように、吸気温度検出抵抗体２０、流量検出抵抗体２１、発熱抵抗体３０及び発熱温度検出抵抗体２３は絶縁膜１２、１３に覆われている。絶縁膜１２、１３は、吸気、発熱抵抗体３０、流量検出抵抗体２１及び発熱温度検出抵抗体２３の間の熱交換を仲介する。
【００１４】
センサ部の製造プロセスについて図３に基づき説明する。
図３（Ａ）に示す工程では、シリコンからなる半導体基板１１の表面にＳｉ3Ｎ4膜とＳｉＯ2膜とを組み合わせ、下部絶縁膜１２を形成する。このように絶縁膜に２層膜を用いるのは、圧縮応力膜と引っ張り応力膜とを組み合わせることにより、抵抗体に生ずる応力を緩和させるためである。次に、発熱抵抗体３０、流量検出抵抗体２１、吸気温度検出抵抗体２０、２２、発熱温度検出抵抗体２３及び端子３５を形成するため、Ｐｔ膜を２００℃で真空蒸着機により２０００Å堆積させる。このとき接着層として５０ÅのＴｉ層を用いる。尚、発熱抵抗体３０の材料としてポリシリコン、ＮｉＣｒ、ＴａＮ、ＳｉＣ、Ｗ等の発熱抵抗体として機能するものであればＰｔ以外を用いても良い。蒸着後、発熱抵抗体３０、流量検出抵抗体２１、吸気温度検出抵抗体２０、２２、発熱温度検出抵抗体２３及び端子３５が所定の形状となるようにＰｔ膜をエッチングして不要な部分を除去する。
【００１５】
図３（Ｂ）に示す工程では、下部絶縁膜１２と同様に、Ｓｉ3Ｎ4膜とＳｉＯ2膜とを組み合わせ、上部絶縁膜１３を形成する。後述の図３（Ｃ）に示す工程で形成予定の空洞１１ａを覆う絶縁膜１２、１３の部分のほぼ中央に発熱抵抗体３０を位置させ、発熱抵抗体３０の上下層に対称的に下部絶縁膜１２及び上部絶縁膜１３を形成することにより、温度変化による反り変動が生じず、熱ストレスに対して強い構造を実現することができる。また、発熱抵抗体３０の保護膜として作用するものであれば、ＴｌＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、ＭｇＯ等からなる単一膜又は多層膜でも良い。次に、上部絶縁膜１３を堆積させた後、端子３５の一部を露出させるために上部絶縁膜１３を部分的にエッチングする。
【００１６】
図３（Ｃ）に示す工程では空洞部１１ａを形成する。はじめに、基板１１の裏面に堆積させたＳｉＮ4膜１４を部分的にエッチングし、基板１１の裏面の一部を露出させる。基板１１はＳｉＮ4膜１４が除去された部分以外はＳｉ3Ｎ4膜又はＳｉＯ2膜により覆われているため、ＴＭＡＨ溶液により基板１１の裏側から異方性エッチングを実施することにより、空洞部１１ａを形成することができる。尚、空洞部１１ａを形成する手段は、ＴＭＡＨ溶液による異方性エッチングに限られない。空洞部１１ａが形成されるとフローセンサが形成される。
【００１７】
センサ部１０及び外部回路からなる流量測定装置の概略等価回路を図４に示す。吸気温度検出抵抗体２０、発熱温度検出抵抗体２３、固定値の抵抗体４１、４２、６０はブリッジ回路を構成しており、発熱温度検出抵抗体２３で検出する温度が吸気温度検出抵抗体２０で検出する温度よりも一定温度高い基準温度になるように、ブリッジ回路を構成する各素子及び発熱抵抗体３０の抵抗値が設定されている。ブリッジ回路、比較器４３、トランジスタ４４等からなる回路は、特許請求の範囲に記載された制御手段を構成している。抵抗体６０は、抵抗温度係数が極めて小さい抵抗体であって、吸気温度検出抵抗体２０及び抵抗体６０の全体の抵抗温度係数を設定するために設けている。基準温度は吸気温度検出抵抗体２０で検出する温度により増減する。
【００１８】
発熱温度検出抵抗体２３で検出する温度が基準温度より低くなり、発熱温度検出抵抗体２３の抵抗値が低下すると、ブリッジ回路の中点５０、５１の間に電位差が生じ、比較器４３の出力によりトランジスタ４４がオンになり、発熱抵抗体３０に電流が流れ、発熱抵抗体３０の温度が上昇する。発熱抵抗体３０の温度が上昇することにより発熱温度検出抵抗体２３で検出される温度が基準温度に達し発熱温度検出抵抗体２３の抵抗値が上昇すると、比較器４３の出力によりトランジスタ４４はオフされ、発熱抵抗体３０への電流供給は遮断される。このように構成されたブリッジ回路により発熱温度検出抵抗体２３が検出する発熱抵抗体３０の温度は吸気温度検出抵抗体２０で検出する温度よりも一定温度高い基準温度に制御される。
【００１９】
図４において流量検出抵抗体２１、吸気温度検出抵抗体２２、固定値の抵抗体６２、増幅器４６等からなる回路は検出手段を構成する。抵抗体６２は、抵抗温度係数が極めて小さい抵抗体であって、吸気温度検出抵抗体２２及び抵抗体６２の全体の抵抗温度係数を設定するために設けている。検出手段を構成するこの回路は、流量検出抵抗体２１と吸気温度検出抵抗体２２及び抵抗体６２全体との抵抗値の比により変動する電位を増幅して出力する。流量検出抵抗体２１は吸気流量及び吸気流れ方向により温度、つまり抵抗値が変化するので、増幅器４６の出力も変化する。吸気温度検出抵抗体２２は、流量検出抵抗体２１が検出する温度に含まれる吸気温及び吸気流量の情報から吸気温の情報を取り除くために設けたものである。
【００２０】
図５に、発熱抵抗体３０の温度分布と、流量検出抵抗体２１の検出温度と、基準温度との関係を示す。発熱抵抗体３０の吸気流れ上流部は吸気流れ下流部より吸気流れにより冷却されるので、吸気流れ上流部の温度は基準温度より低下する。発熱抵抗体３０の上流部の温度が低下すると、これに伴い発熱温度検出抵抗体２３の上流部の温度が低下しその部分の抵抗値が低下するので発熱温度検出抵抗体２３全体の抵抗値が低下する。すると、トランジスタ４４がオンになって発熱抵抗体３０に供給される電流値が上昇し、発熱抵抗体３０の吸気流れ下流部の温度が基準温度よりも上昇する。発熱抵抗体３０の吸気流れ上流部は吸気流れに冷却されているので、基準温度を下回ったままである。発熱抵抗体３０の下流部の温度が上昇すると、これに伴い発熱温度検出抵抗体２３の下流部の温度が上昇しその部分の抵抗値が上昇するので発熱温度検出抵抗体２３全体の抵抗値が上昇する。発熱抵抗体３０の吸気流れ下流部から吸気流れ上流部に熱が伝わる伝熱長は長く、吸気流れ下流部から吸気流れ上流部に熱が伝わりにくいので、発熱抵抗体３０の吸気流れ上流部の温度は基準温度よりも低く、吸気流れ下流部の温度は基準温度よりも高い状態が維持される。
【００２１】
流量検出抵抗体２１は吸気流れの順方向において発熱抵抗体３０の吸気流れ上流部近傍に配置されるので、流量検出抵抗体２１で検出する温度は発熱抵抗体３０の吸気流れ上流部とほぼ等しい温度になる。つまり、流量検出抵抗体２１の検出温度は吸気流れが順方向のとき基準温度よりも低くなり、逆方向のとき基準温度よりも高くなる。吸気流れ方向及び吸気流量に対する流量検出抵抗体２１の検出温度の変化を図６に示す。図６は、流量検出抵抗体２１の検出温度と基準温度との差が大きくなるほど、吸気流れ方向に関わらず吸気流量が多いことを表している。
【００２２】
ここで、基準温度は、吸気温度検出抵抗体２０、２２の検出温度、つまり吸気温度により変動するので、図６に示す流量検出抵抗体２１の検出温度の変化を示すグラフも吸気温により変動する。基準温度は吸気温度検出抵抗体２０の検出温度よりも一定温度高くなるように設定されているので、吸気温度検出抵抗体２０又は発熱温度検出抵抗体２３のいずれの検出温度と流量検出抵抗体２１の検出温度とを比較しても吸気流れの方向と吸気流量とを測定できる。また、中点５０、５２の電位信号をＥＣＵに送出し、ＥＣＵでマップ検索をすることにより吸気流れの方向と吸気流量とを測定してもよい。
【００２３】
第１実施例では、発熱抵抗体３０が吸気流れに対し直交する方向に複数回折れ曲がり、吸気流れ方向に対し所定の幅を有し、吸気流れ方向への伝熱長が長くなっている。したがって、発熱抵抗体３０の吸気流れ上流部が吸気流れにより冷却され吸気流れ上流部の温度が基準温度より低下し、基準温度を保持するために発熱抵抗体３０の吸気流れ下流部の温度が基準温度より上昇すると、その状態が維持される。発熱抵抗体３０の一方の側に配設した流量検出抵抗体２１の温度と基準温度とを比較することにより吸気流量及び吸気流れの方向を検出するので、センサ部１０が小型化され熱容量が小さくなる。しかも、流量検出抵抗体２１の検出温度と基準温度との差を大きくすることができるので、僅かな温度変化及び流量変化にも好感度にかつ高い応答性で吸気流量及び吸気流れの方向を検出することができる。
【００２４】
また、第１実施例では、発熱温度検出抵抗体２３が発熱抵抗体３０の近傍に設けられ、発熱温度検出抵抗体２３が検出する発熱抵抗体３０の温度と、基準温度とが直接比較されるため、発熱抵抗体３０の抵抗値がマイグレーション等により変動したとしても、吸気温を基準に設定される基準温度が設計値からずれることがない。したがって、第１実施例によれば出力特性の経年変化が小さい流量測定装置を実現することができる。しかも、発熱抵抗体３０の抵抗値の変化に関わらず、基準温度が適正値に維持されるため、発熱抵抗体３０に大電流を流し、センサ部１０に付着する塵や汚れを加熱して除去することができる。図７に発熱温度検出抵抗体２３を備えていない従来の流量測定装置の出力特性と対比して、第１実施例による流量測定装置の出力特性と吸入空気流量の関係を示した。
【００２５】
（第２実施例）
本発明の第２実施例を図８に示す。第１実施例と実質的に同一構成部分に同一符号を付し、説明を省略する。
発熱抵抗体３１は、吸気流れ方向に対し平行な長辺をもつように複数回折れ曲がって連続して己の字を形成するように蛇行して形成されており、曲折している部分全体として吸気流れ方向に所定幅を有している。この発熱抵抗体３１の構成によっても、発熱抵抗体３１の吸気流れ上流部の温度が基準温度よりも低下し、吸気流れ下流部の温度が基準温度よりも上昇する。したがって、流量検出抵抗体２１で温度を検出することにより、吸気流れ方向及び吸気流量を検出することができる。
【００２６】
（第３実施例）
本発明の第３実施例を図９に示す。第１実施例と実質的に同一構成部分に同一符号を付し、説明を省略する。
発熱温度検出抵抗体２３は上部絶縁膜１３の上層に形成される。発熱温度検出抵抗体２３の上層には最上部絶縁膜１５が形成される。この発熱温度検出抵抗体２３の構成によっても、発熱温度検出抵抗体２３は発熱抵抗体３０の温度を検出することができる。第３実施例のように発熱温度検出抵抗体２３を上部絶縁膜１３の上層に形成することにより、図９に示すように発熱温度検出抵抗体２３と発熱抵抗体３０との距離を第１実施例に比べて近づけ発熱温度検出抵抗体２３を発熱抵抗体３０に完全に沿わせることができるため、発熱抵抗体３０の温度を第１実施例に比べて正確に検出することができる。また、発熱温度検出抵抗体２３と発熱抵抗体３０の成膜構成の上下を逆にしても同等の効果がある。
【００２７】
以上説明した本発明の実施の形態を示す上記複数の実施例では、流量検出抵抗体２１で検出する温度が基準温度より高いか低いかを判定することにより、吸気流量と吸気流れの方向を検出した。しかし、流量検出抵抗体２１と発熱抵抗体３０との距離が変化すると、流量検出抵抗体２１で検出する温度も変化する。例えば流量検出抵抗体２１が発熱抵抗体３０からある程度以上離れると、順方向の吸気流れに対し発熱抵抗体の下流側に流量検出抵抗体２１を配設しても、流量検出抵抗体２１で検出する温度が基準温度より低くなることがある。したがって、流量検出抵抗体２１と発熱抵抗体との距離に応じ、基準温度を元に決定され基準温度と異なる温度と、流量検出抵抗体２１で検出する温度との大小を比較することもある。
上記複数の実施例では、エンジンの吸気流量を測定する装置について説明したが、空気以外の気体の流量を測定する装置に本発明を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）は本発明の第１実施例による流量測定装置を示す平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図２】（Ａ）は図１（Ａ）の部分拡大図、（Ｂ）は図１（Ｂ）の部分拡大図である。
【図３】製造プロセスを示す工程図である。
【図４】第１実施例による流量測定装置の等価回路図である。
【図５】第１実施例による空気流の順流時及び逆流時における温度分布を示す説明図である。
【図６】第１実施例による空気流の順流時及び逆流時における空気流量と流量検出抵抗体温度との関係を示す特性図である。
【図７】第１実施例による空気流量と出力特性変化との関係を示す特性図である。
【図８】本発明の第２実施例による流量測定装置を示す平面図である。
【図９】本発明の第３実施例による流量測定装置を示す断面図である。
【符号の説明】
１０              流量検出部（流量測定装置）
２０              吸気温度検出抵抗体（流体温度検出手段）
２２              吸気温度検出抵抗体（検出手段）
２１              流量検出抵抗体
２３              発熱温度検出抵抗体（発熱温度検出手段）
３０              発熱抵抗体
４１、４２、６０  抵抗（制御手段）
４３              比較器（制御手段）
４４              トランジスタ（制御手段）
４６              増幅器（検出手段）
６２              抵抗（検出手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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