(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ディスク原盤を搭載するターンテーブルと、該ターンテーブルを回転駆動させる回転駆動手段と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記録用光ビーム又は電子ビームを収束照射させる収束照射手段と、該収束照射手段又は光ディスク原盤を搭載したターンテーブルを、光ディスク原盤と平行な平面内で相対的に横移動させる横送り駆動手段とを有し、回転駆動手段及び横送り駆動手段の制御により光ディスク原盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成するＣＬＶ駆動で露光する光ディスク原盤露光装置であって、回転駆動手段及び横送り駆動手段に対する駆動指令パルス列を、ＣＬＶ駆動動作開始時から１パルス毎にその周期長を一定の時間づつ変化させながら生成出力し、基準クロック発生回路と、基準クロックを分周する分周回路と、分周データをラッチする分周データラッチ回路と、分周回路からの分周パルスを入力とし複数の遅延パルスを出力する遅延回路と、遅延回路の出力の複数の遅延パルスから目的とする遅延パルスを選択出力するパルス選択回路と、パルス選択回路に入力しパルス選択を行なわせる遅延パルス選択データをラッチする遅延パルス選択データラッチ回路と、出力するＣＬＶ駆動指令パルスに応じて設定される分周データ及び遅延パルス選択データを出力する周期データ演算回路とを有し、周期データはＣＬＶ駆動指令パルス毎に出力され、分周データラッチ回路及び遅延パルス選択データラッチ回路にセットされる光ディスク原盤露光装置において、
ＣＬＶ駆動の開始半径位置をＲ、線路長を測定しようとしているスパイラル半径位置をｒ、スパイラルトラックピッチをＰ、トラック数をｎ（ｎは正の整数）、線速をＶＬ、ターンテーブル１回転あるいは、１ピッチ長の横送りのためのＣＬＶ駆動指令パルス数をＮｃ個とすると、
（ＣＬＶ駆動指令パルス周期）＝２πＲ０／（Ｎｃ・ＶＬ）＋（２ｎ−１）πＰ／（Ｎｃ２・ＶＬ）
を満たす周期のパルス列を生成することを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光ディスク原盤露光装置に関し、詳細には光ビームあるいは電子ビームを用いて等線速等ピッチスパイラル情報トラックを有する光ディスク原盤製作を行なう光ディスク原盤露光装置に関連し、送り系の制御誤差及びターンテーブル振れの影響を補正し、高密度情報トラック形成を可能にする方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、大容量光ディスクメディアとして、ＤＶＤの約３０倍の記録密度（１００Ｇｂｉｔ／ｉｎ２）の光ディスクシステムを実現するための、超高密度マスタリング装置の開発が検討されている。一方、２００１年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集‘Ｏ６１「超高密度マスタリング装置における高分解能ＮＲＲＯ検出」（パイオニア（株）北原弘昭、小島良明、和田泰光）’によれば、このような記録密度においては、最短ピット長、ピット幅とも７０ｎｍ以下となることが予想され、この時、マスタリング装置に必要とされる記録位置精度はサブナノメートルオーダと見積もられている。この文献では、機械的位置決めで、目標精度σ０．５ｎｍを達成することは困難であるため、回転ステージと直動ステージの位置決め誤差をそれぞれ高分解能で検出し、それらを電子ビーム偏向により補正することで相対位置精度を改善する方法をとるとし、回転ステージの位置決め誤差として問題となる角度誤差（回転むら）の回転非同期成分と、非繰り返し軸振れ（ＮＲＲＯ）のうち、ＮＲＲＯの高分解能検出についての検討結果について述べられている。以上のような検討を通して、超高密度マスタリング装置においては、上記回転むらの非同期成分及び非同期軸振れ成分の補正が重要な課題となるとされている。なお同期成分については、トラックピッチ精度に影響してこない。
【０００３】
この課題に対し、特開２０００−２０９６４号公報（以下従来例と称す）では、送り方向のビーム照射位置の補正に関連し、ターンテーブルの回転角に応じた送り方向の振れ情報に基づいて、あるいは所定周期分のターンテーブルの回転角に応じた送り方向の振れ情報を基準として、現ターンテーブルの回転角に応じた送り方向の振れ情報に基づいてビーム照射位置の補正を行なおうとしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例では、光ディスク原盤上に等線速・等トラックピッチスパイラル情報トラックを形成するためには従来例の方法に加え、送り系駆動制御の送り位置誤差に対する対応やＣＬＶ駆動指令パルスの精度に対する対応が必要になる課題を有している。また、記録する光ディスク原盤の記録フォーマットがＣＬＶ（Constant Linear Velocity；線速一定モード）である場合には、光ディスク原盤上での照射スポットの半径位置に応じてスピンドルモータの回転数を変更すべくレーザ測長機から発せられる検出信号は、基準信号発生器１３に対しても供給されることから、ＣＬＶ駆動指令パルスの生成は制御状態にある送り系の、送り制御誤差あるいは駆動指令パルスの精度誤差を含んだ半径位置情報に基づいて生成されている。従って、上記従来例の方法に従ってビーム照射位置の補正を行なったとしても等トラックピッチスパイラル情報トラックが形成される保証は得られない。
【０００５】
本発明はこれらの課題を解決するためのものであり、厳密に正確なＣＬＶ駆動指令パルス列を基準に、送り制御誤差及び、ターンテーブルの同期振れ・非同期振れの影響を同時に補償し、光ディスク原盤上に、高精度な等線速・等トラックピッチスパイラル状の高密度情報トラックを形成するための方法及び装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記問題点を解決するために、光ディスク原盤を搭載するターンテーブルと、該ターンテーブルを回転駆動させる回転駆動手段と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記録用光ビーム又は電子ビームを収束照射させる収束照射手段と、該収束照射手段又は光ディスク原盤を搭載したターンテーブルを、光ディスク原盤と平行な平面内で相対的に横移動させる横送り駆動手段とを有し、回転駆動手段及び横送り駆動手段の制御により光ディスク原盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成するＣＬＶ駆動で露光する光ディスク原盤露光装置であって、回転駆動手段及び横送り駆動手段に対する駆動指令パルス列を、ＣＬＶ駆動動作開始時から１パルス毎にその周期長を一定の時間づつ変化させながら生成出力し、基準クロック発生回路と、基準クロックを分周する分周回路と、分周データをラッチする分周データラッチ回路と、分周回路からの分周パルスを入力とし複数の遅延パルスを出力する遅延回路と、遅延回路の出力の複数の遅延パルスから目的とする遅延パルスを選択出力するパルス選択回路と、パルス選択回路に入力しパルス選択を行なわせる遅延パルス選択データをラッチする遅延パルス選択データラッチ回路と、出力するＣＬＶ駆動指令パルスに応じて設定される分周データ及び遅延パルス選択データを出力する周期データ演算回路とを有し、周期データはＣＬＶ駆動指令パルス毎に出力され、分周データラッチ回路及び遅延パルス選択データラッチ回路にセットされる光ディスク原盤露光装置において、ＣＬＶ駆動の開始半径位置をＲ、線路長を測定しようとしているスパイラル半径位置をｒ、スパイラルトラックピッチをＰ、トラック数をｎ（ｎは正の整数）、線速をＶＬ、ターンテーブル１回転あるいは、１ピッチ長の横送りのためのＣＬＶ駆動指令パルス数をＮｃ個とすると、（ＣＬＶ駆動指令パルス周期）＝２πＲ０／（Ｎｃ・ＶＬ）＋（２ｎ−１）πＰ／（Ｎｃ２・ＶＬ）を満たす周期のパルス列を生成することを特徴とする光ディスク原盤露光装置である。よって、ターンテーブル移動型あるいは光学系移動型の光ビーム又は電子ビームを用いた光ディスク原盤露光装置においてＣＬＶ駆動する際に、露光ビーム位置を補正するための基準となり得るターンテーブル及び送りの正確なＣＬＶ駆動指令パルス列生成方法を提供でき、更にこのＣＬＶ駆動指令パルス列を基準としてビーム照射位置誤差を求めることが可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
Ｒｏ
本発明の光ディスク原盤露光装置は、ＣＬＶ駆動の開始半径位置をＲ、線路長を測定しようとしているスパイラル半径位置をｒ、スパイラルトラックピッチをＰ、トラック数をｎ（ｎは正の整数）、線速をＶＬ、ターンテーブル１回転あるいは、１ピッチ長の横送りのためのＣＬＶ駆動指令パルス数をＮｃ個とすると、（ＣＬＶ駆動指令パルス周期）＝２πＲ０／（Ｎｃ・ＶＬ）＋（２ｎ−１）πＰ／（Ｎｃ２・ＶＬ）を満たす周期のパルス列を生成する。
【００１９】
【実施例】
はじめに、本発明の原理について説明する。
ＣＬＶ駆動によって形成される等ピッチのスパイラルトラックにおいて、その全トラック線路長（Ｌ）は式（１）で表される。
Ｌ＝π（ｒ２−Ｒ０２）／Ｐ                                  （１）
ｒ＝Ｒ０＋ｎＰ                                            （２）
但し、Ｒ０はＣＬＶ駆動の開始半径位置を、ｒは線路長を測定しようとしているスパイラル半径位置を、Ｐはスパイラルトラックピッチを、ｎはトラック数を各々表わす。また、ｎは１，２，３，…とする。
式（１）、式（２）から
Ｌ＝２πＲ０ｎ＋ｎ２πＰ                                  （３）
また、式（３）から各トラックの線路長（Ｌｎ）は次の（４）式のように表される。
Ｌｎ＝２πＲ０＋(２ｎ−１)πＰ                            （４）
【００２０】
式（４）から、隣接トラック間の線路長差は、以下のように一定であることがわかる。
（隣接トラック間の線路長差）＝２πＰ＝一定                  （５）
【００２１】
式（２）は、求めようとするスパイラル軌跡を、トラックを単位として、すなわち、スパイラルの中心から線路に沿って軌跡の回転角が２πを周回する毎の半径位置を表現している。その結果、トラック毎に、２πＰづつトラックの線路長が増加していくということになる。これは、ＣＬＶ駆動において、線速をＶＬとすると１トラック毎に２πＰ／ＶＬづつ１トラック周回するに要する時間が増えることを意味している。図９及び図１０は、この時のＣＬＶ駆動指令パルス列の周波数の変化の様子を示している。図９はトラック毎に周波数を更新した場合、図１０は、トラック内を複数に分割して周波数を更新した場合である。どちらの場合も長時間内で見た時の理想的なＣＬＶ駆動指令パルス列に対して、誤差を持たないパルス列を生成できる。しかし、トラック内あるいはトラックを複数に分割した時間内でみると、時々刻々に生成される駆動指令パルスの速度指令には誤差を持っていた。
【００２２】
そこで、本発明のＣＬＶ駆動指令パルス列生成方法では、ＣＬＶ駆動指令パルス毎に周期を更新し、時々刻々に生成される駆動指令パルスにおいて、理想的なＣＬＶ駆動指令パルス列との誤差を無くしている。図１に、本発明によるＣＬＶ駆動指令パルス列生成方法によって生成されるパルス列の周期の変化の様子を示す。今、ターンテーブル１回転あるいは、１ピッチ長の横送りのためのＣＬＶ駆動指令パルス数をＮc個とすると、ｎ個のＣＬＶ駆動指令パルスに相当する線路長（Ｌｐ）は
Ｌｐ＝２πＲ０ｎ／Ｎｃ＋（ｎ／Ｎｃ）２πＰ                  （６）
また、式（６）から各ＣＬＶ駆動指令パルス相当の線路長（Ｌpn）は次の（７）式のように表される。
Ｌpn＝２πＲ０／Ｎｃ＋(２ｎ−１)πＰ／Ｎｃ２              （７）
【００２３】
式（７）から、隣接ＣＬＶ駆動指令パルス相当の線路長差は、以下の様に一定であることがわかる。
（隣接ＣＬＶ駆動指令パルス相当の線路長差）
＝２πＰ／Ｎｃ２＝一定                                    （８）
【００２４】
ここで、線速ＶＬは一定であるから
（隣接ＣＬＶ駆動指令パルスの周期長差）
＝２πＰ／（Ｎｃ２・ＶＬ）＝一定                            （９）
となる。
従って、
（ＣＬＶ駆動指令パルス周期）
＝２πＲ０／（Ｎｃ・ＶＬ）＋（２ｎ−１）πＰ／（Ｎｃ２・ＶＬ）（１０）
を満たす周期のパルス列を生成することにより、理想的なＣＬＶ駆動指令パルスの生成が実現できる。
【００２５】
このような方法で得られる、１パルス毎の発生時刻は、駆動速度、すなわちＣＬＶ駆動指令パルスの周期を時々刻々と変化させながら光ディスク原盤上に等線速・等ピッチスパイラル情報トラックを形成するＣＬＶ駆動状態を保証するための基準となり得る。
【００２６】
図２は別の発明の一実施例に係るＣＬＶ駆動指令パルス列生成装置の構成を示すブロック図である。本発明の特徴は、上記説明したＣＬＶ駆動指令パルス列生成方法に順じ、１パルス毎に分周データ及びパルス選択データを更新し、厳密に正確なＣＬＶ駆動指令パルス列出力を得ることである。図２において、本実施例のＣＬＶ駆動指令パルス列生成装置では、基本クロック周期（Ｔａ）内に複数の等遅延時間間隔遅延パルス群を生成する遅延回路２１を有し、この最少分割遅延時間を単位とし、式（１０）で与えられる周期から、次のＣＬＶ駆動指令パルスの基本クロックの分周数と遅延数を演算し、現出力パルスのパルス選択データを加味して、分周データ及びパルス選択データを求め、それぞれラッチ回路２２、２３にセットさせる。演算は十分な有効桁をもってなされ、演算誤差による影響が出力パルス精度に現れないよう行なわれる。また、遅延時間で決まる周期設定の最小分解能によっても、正確な周期設定が行なえない場合は、最も近いパルスを出力パルスとする。ただし、演算上は、あくまでも正確に行ない、厳密に正しいＣＬＶ駆動指令パルス発生時間周辺で絶えずパルス出力が行なわれるようにする。
【００２７】
上記発明により得られる厳密に正確な送り駆動指令パルス列を基準とすることにより、送り駆動制御系の制御誤差に伴うビーム照射位置誤差と、次に説明するように、送り方向のターンテーブル振れに伴うビーム照射位置誤差を同時に検出する。
【００２８】
図３は別の発明の第１の実施例に係るビーム照射位置補正回路の構成を示すブロック図である。同図において、偏差カウンタ３１は、基準となるＣＬＶ駆動指令パルス（Ｐｇ）と、送り位置検出装置から出力される送り位置検出パルス（戻りパルス）（Ｌｓ）を入力とし、送り系の送り制御誤差を演算して出力する。データ変換回路３２は、ターンテーブル振れ検出信号の大きさ応じて、すなわちターンテーブル振れ検出信号（Ｖｄ１）のＡ／Ｄ変換回路３３の出力に応じて、振れに伴う位置誤差データを出力する。加減算回路３４は、偏差カウンタ３１からの送り系の送り位置誤差データと、データ変換回路３２からのターンテーブルの振れに伴う位置誤差データとに基づいて演算し、Ｐｇを基準に、現時点でのビーム照射位置誤差を求め、Ｄ／Ａ変換回路３５によってＤ／Ａ変換後のビーム照射位置補正信号（Ｂｃ）を出力し、図示していないビーム照射位置補正手段へ出力する。なお、ビーム位置補正回路用の送り位置情報は、送りモータの駆動制御のために用意されている第１の送り位置検出器の出力を用いてもよいし、専用に第２の送り位置検出器を用意してもよい。また、一般に、送り駆動制御系内で生成される、指令パルス列と第１の送り位置検出器から出力される戻りパルスの偏差データを直接ビーム位置補正回路に取り入れてもよい。
【００２９】
次に、上記発明により得られる厳密に正確な送り駆動指令パルス列を基準とすることにより、送り駆動制御系の制御誤差に伴うビーム照射位置誤差と、送り方向のターンテーブル振れに伴うビーム照射位置誤差及び、次に説明するように、ターンテーブル振れ検出面の真円度誤差情報を加えたビーム照射位置誤差を検出する。
【００３０】
図４は別の発明の第２の実施例に係るビーム照射位置補正回路の構成を示すブロック図である。同図において、図３と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。異なる構成要素として、加減算回路３４においては、ターンテーブル振れ検出面の真円度誤差情報を合わせて演算する。すなわち、真円度誤差出力回路４１には、予めターンテーブル単体で評価された、回転角に応じた真円度誤差情報が格納されてあり、回転位置出力回路４２のターンテーブルの回転に応じて出力されるターンテーブル回転パルス（Ｔｐ）と回転原点を示す原点パルス入力から得られる回転位置データ（Ｔｚ）に基づいて真円度誤差情報を出力する。
【００３１】
図５は別の発明の第３の実施例に係るビーム照射位置補正回路の構成を示すブロック図である。同図において、図４と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。先ず、本実施例の動作について説明すると、ターンテーブル振れ量検出器より得られる、振れ情報をＶ（θ）とすると、
Ｖ（θ）＝Ｒ（θ）＋ｄＲ（θ）＋ＮＲ（θ）              （１１）
【００３２】
ここで、Ｒ（θ）はターンテーブル回転と同期した回転軸振れ量を、ｄＲ（θ）は振れ検出面の真円度誤差に伴う振れ量を、ＮＲ（θ）は、ターンテーブル回転と非同期な回転軸振れ量を各々表す。また、θはターンテーブル回転軸に取り付けられた回転角検出手段（回転角に応じてパルスを出力する）から得られる回転角である。
【００３３】
本実施例では、非同期成分ＮＲ（θ）は従来例のように、複数回の測定による平均化あるいは、適切なローパスフィルター回路によって除去され、同期軸振れＲ（θ）は、サイン波形、Ａ×ｓｉｎ（θ）（＝Ｒ（θ））を仮定する（同期軸振れの軌跡は、真の回転中心を中心に円を描くとする。）。このようにすることによって、真円度誤差ｄＲ（θ）は
【００３４】
ｄＲ（θ）＝Ｖ（θ）−Ａ×ｓｉｎ（θ−φ）              （１２）
【００３５】
として求められる。ここで、Ａおよびφは、ｄＲ（θ）の一周期にわたる積分量が最小となるように設定される。このようにして得られるｄＲ（θ）を真円度誤差情報とする。この真円度誤差情報ｄＲ（θ）は、振れ量とターンテーブル回転角情報を入力として持つ図示していないシステムコントローラ内部等においてソフトウェアによって処理され求められる。求められた真円度誤差情報は、図５に示すように、システムコントローラにより、真円度誤差データ格納回路５１に位置情報に対応してデータセットされる。よって、予め、ターンテーブル振れ測定面の真円度誤差情報が得る必要が無くなり、必要に応じ繰り返し測定が可能となる。また、データの処理はソフトウェアによって処理され測定から真円度誤差データ格納回路５１への真円度誤差情報のセットまで自動化され、汎用性の高いビーム照射位置補正システムが構成できる。
【００３６】
図６は送り方向と直角方向に第２のターンテーブル振れ検出器を配置した様子を示す概略平面図である。同図からわかるように、ターンテーブル振れ自体が微小であるため、送り方向及び、それと直角方向の振れを検出し、それぞれ独立な方向の振れとして取り扱っても問題はない。光ディスク原盤露光装置には、この第２の振れ検出方向に対応した第２のビーム偏向手段を搭載し、それぞれ独立にビーム照射位置補正を行なう。
【００３７】
図７は別の発明の第１の実施例に係る光ディスク原盤露光装置の構成を示す概略図である。同図において、電子ビーム鏡筒７１では、電子ビーム源から発する電子ビームが、ブランキング電極７２を介して、情報トラック信号発生回路７３からの信号によってブランキングされる。また、電子ビームは、図３に示す構成を有するビーム照射位置補正回路７４からのビーム照射位置補正信号（Ｂｃ）によって、第１の偏向手段７５（電子線露光機の場合は偏向電極、光ビーム露光機の場合はＡＯ偏向器が用いられる）を用い、光ディスク原盤７６上の電子ビーム照射位置の補正を行なう。真空容器７７内には、光ディスク原盤７６とこれを搭載するターンテーブル７８、ターンテーブル７８を回転駆動するターンテーブル回転モータ７９及びこれと同軸に構成され、回転角に応じて回転パルスと原点パルスを出力するターンテーブル回転パルス生成装置８０、ターンテーブル７８の送り方向の振れを検出する第１の振れ検出器８１、これらを横移動させるための送りネジ８２、この送り位置を検出するための第２の送り位置検出器８３が内包される。送りネジ８２を回転する送りモータ８４は真空容器７７の外に設置されている。
【００３８】
このような構成を有する光ディスク原盤露光装置によれば、図２に示す構成を有するＣＬＶ駆動指令パルス列生成装置８５から、送り系及び回転系駆動装置に対して、ＣＬＶ駆動指令パルス列（Ｐｓ、Ｐｔ）が出力される。送りモータ駆動制御系８６及びターンテーブル回転駆動制御系８７は、第１の送り位置検出器８８からの第１の送り位置検出情報及びターンテーブル回転パルス生成装置８０からの戻りパルス（Ｔｐ，Ｔｚ）を用いて、ＣＬＶ駆動指令パルスに追従した送り駆動、回転駆動を行なう。そして、電子ビーム照射位置の補正動作としては、送り系ＣＬＶ駆動指令パルス（Ｐｓ）と第２の送り位置検出器８３から得られるターンテーブルの位置情報と、送り方向の第１の振れ検出器８１から得られるターンテーブル振れ情報から、図３に示した構成を有するビーム照射位置補正回路７４によって出力されるビーム照射位置補正信号（Ｂｃ）に基づいて第１の偏向手段７５の偏向電極によって、電子ビーム照射位置補正を行なう。なお、図４及び図５に示す構成を有するビーム照射位置補正回路を搭載する場合は、ターンテーブル回転パルス生成装置８０から得られる、ターンテーブル回転パルス（Ｔｐ）及び回転原点パルス（Ｔｚ）が、ビーム照射位置補正回路７４へ入力されることとなる。
【００３９】
図８は別の発明の第２の実施例に係る光ディスク原盤露光装置の構成を示す概略図である。図７に示した第１の実施例の光ディスク原盤露光装置との違いは、ターンテーブルの送り方向と直角方向の振れを検出するために、第２の振れ検出器８９と電子ビームをターンテーブルの送り方向と直角方向に偏向可能な第２の偏向手段９０が追加された点である。第１の実施例と同様な動作を行なうと同時に、第２の振れ検出器８９によって検出された第２の振れ検出情報に応じて、第２の偏向手段９０を用いて電子ビーム照射位置補正を行なっている。図中、第２の振れ検出器８９により検出された第２の振れ検出情報に応じて、ビーム照射位置補正信号（Ｂｃ）に変換する処理回路が必要であるが、省略してある。なお、駆動系の動作、送り方向の電子ビーム照射位置補正動作については第１の実施例と同じであるので詳細は省略することとする。
【００４０】
次に、図７及び図８に示す光ディスク原盤露光装置を用い、高密度な等線速・等ピッチスパイラル情報トラックが搭載した、光ディスク原盤の製作が可能で、等線速・等トラックピッチスパイラル高密度情報トラックを搭載した高密度光ディスクスタンパ及び光ディスクメディアができる。
【００４１】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲内の記載であれば多種の変形や置換可能であることは言うまでもない。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように、光ディスク原盤を搭載するターンテーブルと、該ターンテーブルを回転駆動させる回転駆動手段と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記録用光ビーム又は電子ビームを収束照射させる収束照射手段と、該収束照射手段又は光ディスク原盤を搭載したターンテーブルを、光ディスク原盤と平行な平面内で相対的に横移動させる横送り駆動手段とを有し、回転駆動手段及び横送り駆動手段の制御により光ディスク原盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成するＣＬＶ駆動で露光する光ディスク原盤露光装置であって、回転駆動手段及び横送り駆動手段に対する駆動指令パルス列を、ＣＬＶ駆動動作開始時から１パルス毎にその周期長を一定の時間づつ変化させながら生成出力し、基準クロック発生回路と、基準クロックを分周する分周回路と、分周データをラッチする分周データラッチ回路と、分周回路からの分周パルスを入力とし複数の遅延パルスを出力する遅延回路と、遅延回路の出力の複数の遅延パルスから目的とする遅延パルスを選択出力するパルス選択回路と、パルス選択回路に入力しパルス選択を行なわせる遅延パルス選択データをラッチする遅延パルス選択データラッチ回路と、出力するＣＬＶ駆動指令パルスに応じて設定される分周データ及び遅延パルス選択データを出力する周期データ演算回路とを有し、周期データはＣＬＶ駆動指令パルス毎に出力され、分周データラッチ回路及び遅延パルス選択データラッチ回路にセットされる光ディスク原盤露光装置において、ＣＬＶ駆動の開始半径位置をＲ、線路長を測定しようとしているスパイラル半径位置をｒ、スパイラルトラックピッチをＰ、トラック数をｎ（ｎは正の整数）、線速をＶＬ、ターンテーブル１回転あるいは、１ピッチ長の横送りのためのＣＬＶ駆動指令パルス数をＮｃ個とすると、（ＣＬＶ駆動指令パルス周期）＝２πＲ０／（Ｎｃ・ＶＬ）＋（２ｎ−１）πＰ／（Ｎｃ２・ＶＬ）を満たす周期のパルス列を生成することを特徴とする光ディスク原盤露光装置である。よって、ターンテーブル移動型あるいは光学系移動型の光ビーム又は電子ビームを用いた光ディスク原盤露光装置においてＣＬＶ駆動する際に、露光ビーム位置を補正するための基準となり得るターンテーブル及び送りの正確なＣＬＶ駆動指令パルス列生成方法を提供でき、更にこのＣＬＶ駆動指令パルス列を基準としてビーム照射位置誤差を求めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＣＬＶ駆動指令パルスの周期の変化を示す図である。
【図２】別の発明の一実施例に係るＣＬＶ駆動指令パルス列生成回路の構成を示すブロック図である。
【図３】別の発明の第１の実施例に係るビーム照射位置補正回路の構成を示すブロック図である。
【図４】別の発明の第２の実施例に係るビーム照射位置補正回路の構成を示すブロック図である。
【図５】別の発明の第３の実施例に係るビーム照射位置補正回路の構成を示すブロック図である。
【図６】ターンテーブル振れ検出器の配置を示す概略図である。
【図７】別の発明の第１の実施例例に係る光ディスク原盤露光装置の構成を示す概略図である。
【図８】別の発明の第２の実施例例に係る光ディスク原盤露光装置の構成を示す概略図である。
【図９】従来のＣＬＶ駆動指令パルス列方法におけるトラック毎に周波数を更新した場合ＣＬＶ駆動指令パルス列の周波数の変化の様子を示す図である。
【図１０】従来のＣＬＶ駆動指令パルス列方法におけるトラック内を複数に分割して周波数を更新した場合ＣＬＶ駆動指令パルス列の周波数の変化の様子を示す図である。
【符号の説明】
２１；遅延回路、２２，２３；ラッチ回路、３１；偏差カウンタ、
３２；データ変換回路、３３；Ａ／Ｄ変換回路、３４；加減算回路、
３５；Ｄ／Ａ変換回路、４１；真円度誤差出力回路、
４２；回転位置出力回路、５１；真円度誤差データ格納回路、
７１；電子ビーム鏡筒、７２；ブランキング電極、
７３；情報トラック信号発生回路、７４；ビーム照射位置補正回路、
７５；第１の偏向手段、７６；光ディスク原盤、
７７；真空容器、７８；ターンテーブル、
７９；ターンテーブル回転モータ、
８０；ターンテーブル回転パルス生成装置、
８１；第１の振れ検出器、８２；送りネジ、
８３；第２の送り位置検出器、８４；送りモータ、
８５；ＣＬＶ駆動指令パルス列生成装置、
８６；送りモータ駆動制御系、８７；ターンテーブル回転駆動制御系、
８８；第１の送り位置検出器、８９；第２の振れ検出器、
９０；第２の偏向手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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