(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の剥離シートの一方の面に、板状部材の形状に略対応する大きさの接着シート部を有する帯状のテープ基材が仮着された原反を繰り出す繰出装置と、前記原反の繰り出し経路上に配置されるとともに、前記接着シート部と同じ大きさ若しくは所定量大きめになるように前記テープ基材に閉ループ状の切り込みを形成して貼付用テープを形成するカット装置と、前記貼付用テープを前記剥離シートから剥離する剥離装置と、前記板状部材と前記剥離装置とを相対移動させて前記接着シート部が板状部材の面に略一致するように貼付用テープを貼付する貼付装置と、前記剥離装置で貼付用テープを剥離した後の原反を回収する回収装置とを備え、
前記カット装置に対して原反の繰出方向上流側に前記接着シート部の位置検出装置が配置され、この位置検出装置で前記接着シート部の位置を特定して当該接着シート部を囲んで前記切り込みを形成するように前記カット装置が制御されることを特徴とするテープ貼付装置。
【請求項２】
リングフレームの内側に板状部材を配置して当該リングフレームと板状部材とを一体化させるマウント装置において、
帯状の剥離シートの一方の面に、所定の板状部材の形状に略対応する大きさの接着シート部を有する帯状のテープ基材が仮着された原反を繰り出す繰出装置と、前記原反の繰り出し経路上に配置されるとともに、前記接着シート部を囲むように前記テープ基材に前記リングフレームの形状に合わせて閉ループ状の切り込みを形成して貼付用テープを形成するカット装置と、前記貼付用テープを前記剥離シートから剥離する剥離装置と、前記リングフレームの内側に配置された板状部材と前記剥離装置とを相対移動させて前記接着シート部が板状部材の面に略一致するように前記リングフレームに貼付用テープを貼付する貼付装置と、前記剥離装置で貼付用テープを剥離した後の原反を回収する回収装置とを備え、
前記カット装置に対して原反の繰出方向上流側に前記接着シート部の位置検出装置が配置され、この位置検出装置で前記接着シート部の位置を特定して当該接着シート部を囲んで前記切り込みを形成するように前記カット装置が制御されることを特徴とするマウント装置。
【請求項３】
テーブル上にリングフレームを配置するとともに、当該リングフレームの内側に板状部材を配置し、前記リングフレームに貼付用テープを貼付して板状部材をリングフレームに固定するマウント方法において、
帯状の剥離シートの一方の面に、前記板状部材の形状に略対応する大きさの接着シート部を有する帯状のテープ基材が仮着された原反を繰り出す工程と、
前記原反を繰り出す途中で前記接着シート部の位置を特定する位置検出工程と、
前記接着シート部を囲むように閉ループ状の切り込みを形成して貼付用テープを形成するカット工程と、
前記貼付用テープを剥離シートから剥離してリングフレーム及び板状部材に貼付する工程と、
前記貼付用テープが剥離された後の原反を回収する工程とを含み、
前記位置検出工程で前記接着シート部の位置を特定して当該接着シート部を囲んで前記切り込みを形成するように前記カット装置を制御することを特徴とするマウント方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はテープ貼付装置、マウント装置及びマウント方法に係り、特に、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する）とリングフレームとを一体化させる際に、剥離シートの一方の面に接着シート部を有するテープ基材が仮着された原反を繰り出す途中で貼付用テープを形成し、当該貼付用テープをウエハ及びリングフレームに貼付することに適したテープ貼付装置、マウント装置及びマウント方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、回路面が形成されたウエハを個片化するに先立って、リングフレームの内側にウエハを配置し、それらの面にダイシングテープを貼付することによってウエハをリングフレームに固定することが行われている。このダイシングテープの貼付は、帯状に連続するダイシングテープをリングフレーム及びウエハに貼付した後、カッターを用いてリングフレームの形状に合わせてダイシングテープの外周側を切り落とす方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２５７８９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された構成にあっては、ダイシングテープ及びダイボンディングシートをそれぞれ個別に貼付する装置である。また、ダイシングテープを貼付した後にリングフレームの形状に合わせてカッターでダイシングテープの外周側を切り落とすものであって、特にダイシングテープの位置合わせを行っていないため、ウエハの平面形状に略対応したダイボンディングシート部がダイシングテープの面に積層された原反のように、ダイボンディングシート部の位置を特定しなければならない場合には適合できない、という不都合がある。
【０００５】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その主たる目的は、リングフレーム及び板状部材を被着体とし、貼付すべき領域が原反の一部に設けられているような場合でも、ダイシングテープ及びダイボンディングシートを一括して貼付が可能な装置を提供することであり、更に、当該領域に対応する位置を特定し、その特定した位置に対応した切り込みを形成して得られる貼付用テープをリングフレームに貼付するとともに、前記ダイボンディングシートを板状部材に正確に貼付することのできるテープ貼付装置を提供することにある。
【０００６】
また、本発明の他の目的は、前記貼付用テープを用いて板状部材とリングフレームとを一体化することのできるマウント装置及びマウント方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、帯状の剥離シートの一方の面に、板状部材の形状に略対応する大きさの接着シート部を有する帯状のテープ基材が仮着された原反を繰り出す繰出装置と、前記原反の繰り出し経路上に配置されるとともに、前記接着シート部と同じ大きさ若しくは所定量大きめになるように前記テープ基材に閉ループ状の切り込みを形成して貼付用テープを形成するカット装置と、前記貼付用テープを前記剥離シートから剥離する剥離装置と、前記板状部材と前記剥離装置とを相対移動させて前記接着シート部が板状部材の面に略一致するように貼付用テープを貼付する貼付装置と、前記剥離装置で貼付用テープを剥離した後の原反を回収する回収装置とを備え、
前記カット装置に対して原反の繰出方向上流側に前記接着シート部の位置検出装置が配置され、この位置検出装置で前記接着シート部の位置を特定して当該接着シート部を囲んで前記切り込みを形成するように前記カット装置が制御される、という構成を採っている。
【０００８】
また、本発明は、リングフレームの内側に板状部材を配置して当該リングフレームと板状部材とを一体化させるマウント装置において、
帯状の剥離シートの一方の面に、所定の板状部材の形状に略対応する大きさの接着シート部を有する帯状のテープ基材が仮着された原反を繰り出す繰出装置と、前記原反の繰り出し経路上に配置されるとともに、前記接着シート部を囲むように前記テープ基材に前記リングフレームの形状に合わせて閉ループ状の切り込みを形成して貼付用テープを形成するカット装置と、前記貼付用テープを前記剥離シートから剥離する剥離装置と、前記リングフレームの内側に配置された板状部材と前記剥離装置とを相対移動させて前記接着シート部が板状部材の面に略一致するように前記リングフレームに貼付用テープを貼付する貼付装置と、前記剥離装置で貼付用テープを剥離した後の原反を回収する回収装置とを備え、
前記カット装置に対して原反の繰出方向上流側に前記接着シート部の位置検出装置が配置され、この位置検出装置で前記接着シート部の位置を特定して当該接着シート部を囲んで前記切り込みを形成するように前記カット装置が制御される、という構成を採っている。
【０００９】
更に、本発明は、テーブル上にリングフレームを配置するとともに、当該リングフレームの内側に板状部材を配置し、前記リングフレームに貼付用テープを貼付して板状部材をリングフレームに固定するマウント方法において、
帯状の剥離シートの一方の面に、前記板状部材の形状に略対応する大きさの接着シート部を有する帯状のテープ基材が仮着された原反を繰り出す工程と、
前記原反を繰り出す途中で前記接着シート部の位置を特定する位置検出工程と、
前記接着シート部を囲むように閉ループ状の切り込みを形成して貼付用テープを形成するカット工程と、
前記貼付用テープを剥離シートから剥離してリングフレーム及び板状部材に貼付する工程と、
前記貼付用テープが剥離された後の原反を回収する工程とを含み、
前記位置検出工程で前記接着シート部の位置を特定して当該接着シート部を囲んで前記切り込みを形成するように前記カット装置を制御する、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ダイシングテープとダイボンディングシートとを一括して板状部材とリングフレームに貼付することができる。また、位置検出装置で接着シート部の位置が特定され、当該特定の結果に基づいて、切り込みの形成される位置が決定され、カット装置によってテープ基材に切り込みを形成する制御が行われるため、接着シート部が正確に板状部材の対応する位置に貼り合わされる位置で貼付用テープをリングフレームに貼付することができる。
なお、本明細書において、「閉ループ」とは無端状であれば足り、円形に閉じられた場合の他、楕円形、多角形等も含むものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図１には、本実施形態に係るテープ貼付装置が適用されたマウント装置の概略正面図が示され、図２（Ａ）及び（Ｂ）には、前記マウント装置に用いられる原反が示され、図２（Ｃ）にはダイシングテープ及びダイボンディングシート部がリングフレーム及びウエハに貼付された断面図が示されている。これらの図において、原反Ｌは、帯状の剥離シートＳの一方の面に、接着シート部としてのダイボンディングシート部ＤＳを有するダイシングテープＤＴからなる帯状のテープ基材ＴＢが仮着された構成となっており、ダイボンディングシート部ＤＳは板状部材を構成するウエハＷの形状に略対応する大きさの感熱接着性の接着シートである。マウント装置１０は、下部ユニット１０Ａと上部ユニット１０Ｂとにより構成されている。下部ユニット１０Ａは、図１中紙面直交方向（図３中上下方向）に相対配置された一対のフレーム板Ｆ１からなる下部フレームＬＦと、この下部フレームＬＦの領域内に配置されるとともに、原反Ｌを繰り出す繰出装置１１と、前記原反Ｌの繰り出し経路上で前記テープ基材ＴＢに、前記ウエハＷの外周側に位置するリングフレームＲＦの形状に合わせて閉ループ状の切り込みＣ（図２（Ａ）,（Ｂ）、図３参照）を形成してダイボンディングシート部ＤＳ付きダイシングテープＤＴ（以下、「貼付用テープＤＤＴ」と称する）を形成するカット装置としてのダイカット装置１３と、このダイカット装置１３に対して原反Ｌの繰出方向上流側に配置されるとともに、前記ダイボンディングシート部ＤＳの位置を特定する位置検出装置１４とを備えて構成されている。
【００１２】
前記上部ユニット１０Ｂは、フレーム板Ｆ２からなる上部フレームＵＦと、当該上部フレームＵＦの領域内に配置されるとともに、前記貼付用テープＤＤＴを剥離シートＳから剥離する剥離装置１５と、当該貼付用テープＤＤＴをリングフレームＲＦ及びウエハＷにそれぞれ貼付する貼付装置１６と、剥離装置１５で貼付用テープＤＤＴを剥離した後の原反Ｌを巻き取って回収する回収装置１７とを備えて構成されている。剥離装置１５の下部側には、図１中左右方向に移動可能に設けられるとともに、前記貼付用テープＤＤＴのダイボンディングシート部ＤＳを加熱する加熱手段を内蔵したテーブル１９が配置され、当該テーブル１９の上面側に前記リングフレームＲＦ及びウエハＷが吸着支持されるようになっている。なお、下部ユニット１０Ａ及び上部ユニット１０Ｂにおける装置各部は、図示しない制御装置を介して全体的に制御される。
【００１３】
前記繰出装置１１は、モータＭ１と、当該モータＭ１によって回転駆動される支持軸２１とにより構成され、この支持軸２１回りにロール状に巻回された原反Ｌが支持されている。この繰出装置１１から繰り出された原反Ｌは、繰出方向下流側すなわち上部ユニット１０Ｂ側に向かって順次配置されたガイドロール２２、第１のダンサロール２３、ガイドロール２５，繰出ロール２６を経てダイカット装置１３にて切り込みＣが形成され、更に、ガイドロール２８，繰出ロール２９を経て上部ユニット１０Ｂ側に繰り出されるようになっている。ここで、第１のダンサロール２３は、フレーム板Ｆ１に形成された上下方向に延びるスロット３０に沿って上下移動可能に設けられ、スロット３０の上部と下部にある上部センサ３２及び下部センサ３３によって原反Ｌの過不足制御が行われるようになっている。また、前記繰出ロール２６、２９はそれぞれニップロール２６Ａ、２９Ａによって原反Ｌを挟み込み、それぞれトルクモータＭ６、Ｍ７によってその間の原反Ｌに加わる張力をコントロールしつつ、それらモータのパルス信号によって繰り出しの位置制御も同時に行われている。
【００１４】
前記ダイカット装置１３は、図３に示されるように、フレーム板Ｆ１，Ｆ１間に配置されるとともに外周面に切断刃３６Ａが設けられたダイカットロール３６と、これに相対配置されたプラテン３７と、当該プラテン３７を回転させるモータＭ２と、プラテン３７の回転軸３８に固定された主動ギヤ３９と、前記ダイカットロール３６の回転軸４０に固定されて前記主動ギヤ３９に噛み合う従動ギヤ４２とを備えて構成されている。ダイカットロール３６とプラテン３７にはベアラ４３，４４が両側にそれぞれ配置され、これにより、ダイカットロール３６とプラテン３７の中心軸間距離が一定に維持され、ひいては、切断刃３６Ａによるテープ基材ＴＢの切断を高精度に行えるようになっている。なお、切断刃３６Ａは、ダイカットロール３６が回転したときに、前記リングフレームＲＦの直径よりも若干小径となる閉ループの円形状とされ、前記テープ基材ＴＢに切り込みＣを形成する高さに形成されている。
【００１５】
前記ダイカットロール３６の回転軸４０の両側には、図４に示されるように、軸受機能を備えたスライドブロック４７が設けられ、これらのスライドブロック４７は、フレーム板Ｆ１の面内に形成された略コ字状の切欠部４９内に配置されている。これを更に詳述すると、スライドブロック４７は、側端面形状が略Ｈ型に設けられており、その上下の溝４７Ａに切欠部４９の上下形成端部４９Ａが入り込むことでスライドブロック４７がフレーム板Ｆ１の面を直交する方向に脱落不能に設けられている。スライドブロック４７と、切欠部４９のコ字状の底部４９Ｂとの間にはばね部材５１が介装されており、このばね部材５１の存在下でダイカットロール３６がプラテン３７から離れる方向に付勢されている。
【００１６】
前記ベアラ４３には、対応するベアラ４４とは反対側となる外周面部分に上下二箇所で接するローラ５３がそれぞれ配置されている。これらのローラ５３は、軸受５５を介して回転可能に設けられており、これら軸受５５は、連結板５６を介して相互に連結されている。この連結板５６は、前記フレーム板Ｆ１の各面に形成された切欠部４９間に延びて当該切欠部４９内で図１中左右方向に沿って移動可能に設けられている。また、切欠部４９のコ字状の開放端側は、フレーム板Ｆ１間に延びる板状部材５９によって閉塞され、当該板状部材５９の長手方向二箇所には、前記連結板５６の面位置を左右方向に移動させるための調整ハンドル６１が設けられている。本実施形態では、調整ハンドル６１を時計方向に回転操作することで、連結板５６が図１中右方向に移動可能となり、当該連結板５６に固定された軸受５５のローラ５３がベアラ４３を介してダイカットロール３６を前記ばね部材５１の付勢力に抗してプラテン３７側に移動させることができ、ダイカットロール３６側のベアラ４３と、プラテン３７側のベアラ４４とが接するように調整可能になっている。この一方、調整ハンドル６１を反時計方向に回転操作することでダイカットロール３６がばね部材５１の付勢力によってプラテン３７から離間可能となっている。
【００１７】
前記ダイカット装置１３の位置に対して原反Ｌの繰出方向上流側に設けられた位置検出装置１４は、本実施形態では、前記ガイドロール２５の直前位置に設けられている。この位置検出装置１４は、例えば、光透過型等の光学系センサを用いることができ、図２（Ａ）に示されるように、ダイボンディングシート部ＤＳのピッチと同じピッチで印刷されたマークｍを検出してダイボンディングシート部ＤＳの位置を特定し、原反Ｌの繰り出しを行う繰出ロール２６を駆動するモータＭ６のパルス信号から換算して切り込みＣの開始位置を決定する。これにより、図示しない制御装置を介してダイカット装置１３が動作制御され、前記切り込みＣの開始位置に合わせてプラテン３７及びこれに連動するダイカットロール３６が回転駆動される。そして、１回転して前記切り込みＣが形成されると、プラテン３７及びダイカットロール３６の回転が停止され、次の切り込み開始位置まで原反Ｌを素通りさせるようになっている。
【００１８】
前記下部ユニット１０Ａにおいて切り込みＣが形成された原反Ｌは、図示しない支持装置を介して支持された一対のニップロール６５及びガイドロール６６を介して上部ユニット１０Ｂに供給される。
【００１９】
上部ユニット１０Ｂにおいて、フレーム板Ｆ２の面内には、ガイドロール７０、第２のダンサロール７１、トルク調整可能なモータＭ３によって原反Ｌに所定張力を付与するテンションロール７２及びピンチロール７３、ガイドロール７４を経て剥離装置１５が配置され、この剥離装置１５によって貼付用テープＤＤＴが順次剥離される。そして、剥離装置１５によって貼付用テープＤＤＴが剥離された後の原反Ｌは、モータＭ４によって駆動する駆動ロール７６とニップロール７７、第３のダンサロール７９、ガイドロール８０を経て回収装置１７で巻き取られるようになっている。
【００２０】
第２のダンサロール７１は、フレーム板Ｆ２の面内に設けられた上下方向に延びるスロット８２に沿って移動可能に設けられ、スロット８２の上部と下部にある上部センサ８４及び下部センサ８５によって原反Ｌの過不足制御が行われる。更に、上部ユニット１０Ｂにおいて動作が停止しても、ダイカット装置１３は切り込みＣの形成途中で停止することはないので、その繰り出された分をこのダンサロール７１が吸収する。これにより、切り込みＣの形成途中で停止と回転動作が行われた場合の切り込みＣが正確につながらないという不都合を解消することができる。モータＭ３は、テンションロール７２，駆動ロール７６間の原反Ｌが所定の張力となるようにテンションロール７２を反繰出方向に付勢している。
【００２１】
前記剥離装置１５は、本実施形態では、ピールプレート８７により構成され、当該ピールプレート８７の先端位置で原反Ｌの繰出方向を急激に反転させることで、原反Ｌから貼付用テープＤＤＴを剥離でき、この剥離のタイミングに合わせて移動するテーブル１９上のリングフレームＲＦとウエハＷの上面に貼付用テープＤＤＴが貼付される。この際、ピールプレート８７の先端側には、貼付装置を構成する押圧ロール９０が配置されており、当該押圧ロール９０によって剥離された貼付用テープＤＤＴがリングフレームＲＦとウエハＷの面に所定の貼付圧力を付与するようになっている。なお、押圧ロール９０の手前側（原反Ｌの繰出方向上流側）にはセンサ９１が配置されており、当該センサ９１によってマークｍが検出されてテーブル１９の移動タイミング調整が行われ、これにより、貼付用テープＤＤＴをリングフレームＲＦに貼付すると、ダイボンディングシート部ＤＳはウエハＷと略一致した状態で貼付されることとなる。
【００２２】
前記第３のダンサロール７９は、フレーム板Ｆ２の面内に設けられた上下方向に延びるスロット９２に沿って移動可能に設けられ、スロット９２の上部と下部にある上部センサ９４及び下部センサ９５によって回収装置１７の巻取制御が行われるようになっている。なお、回収装置１７は、モータＭ５と、当該モータＭ５に連結された巻取軸９７とにより構成されている。
【００２３】
次に、本実施形態におけるマウント装置１０の全体的な動作について説明する。
【００２４】
初期作業として、繰出装置１１から原反Ｌを引き出し、図１に示されるように、回収装置１７の巻取軸９７に原反Ｌのリード端を固定しておく。この一方、テーブル１９の上面に、リングフレームＲＦ及びウエハＷを吸着し、図１中実線で示される位置に待機させておく。
【００２５】
動作開始信号により、制御装置が上下の各ユニット１０Ａ、１０Ｂにおける装置各部を全体的に制御する。すなわち、モータＭ１〜Ｍ７が駆動して原反Ｌの繰り出しが行われると、前記第１ないし第３のダンサロール２３，７１，７９が上下に移動して原反Ｌの張力を一定に保ちながら当該原反Ｌの繰り出し動作を行うこととなる。そして、この繰り出しの過程において、位置検出装置１４がマークｍを検出して切り込みＣを形成する開始点を決定し、当該開始点に基づいて、ダイカット装置１３がダイボンディングシート部ＤＳを囲むようにテープ基材ＴＢに切り込みＣを設けて原反Ｌに貼付用テープＤＤＴを形成することとなる。
【００２６】
そして、ピールプレート８７の近傍に設けられたセンサ９１によってマークｍが検出されると、予め設定されたタイミングでテーブル１９が図１中右側に移動を開始し、ピールプレート８７の先端位置で順次剥離される貼付用テープＤＤＴがリングフレームＲＦとウエハ上にそれぞれ繰り出されて押圧ロール９０によって貼付されることとなる。
【００２７】
従って、このような実施形態によれば、ダイボンディングシート部ＤＳを囲むように切り込みＣを形成して貼付用テープＤＤＴを形成することができ、更に、ウエハＷに対してダイボンディングシート部ＤＳが一致した状態で、貼付用テープＤＤＴをリングフレームＲＦに貼付することができる、という効果を得る。
【００２８】
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、材料、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それら形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２９】
例えば、前記実施形態では、剥離シートＳと、貼付用テープＤＤＴが剥離されたテープ基材ＴＢの不要テープ部分とからなる原反Ｌが回収装置１７に回収される構成としたが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、図６に示されるように、ガイドロール６６に当接するピンチロール１００を設けるとともに、モータＭ８によって回転可能に設けられた巻取装置１０１を設け、前記切り込みＣの形成によって生ずるテープ基材ＴＢの外側部分すなわち不要テープ部分を繰り出し経路上で回収することができる。これによれば、巻取装置１０１を経た原反Ｌは、剥離シートＳの一方の面に貼付用テープＤＤＴのみが設けられた状態で剥離装置１５側に繰り出され、回収装置１７には剥離シートＳのみが巻き取られて回収されることとなる。
【００３０】
更に、本発明は、原反Ｌから貼付用テープＤＤＴを形成してリングフレームＲＦ及びウエハＷに貼付するマウント装置に適用された場合を図示、説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、その他の被着体、例えば、コンパクトディスク（ＣＤ）、デジタル他用途ディスク（ＤＶＤ）、ディスプレイ用パネル、ガラス等を被着体としたテープ貼付装置一般に適用することができる。
【００３１】
また、前記実施形態では、下部ユニット１０Ａと上部ユニット１０Ｂの二段構成としてマウント装置１０を構成したが、これらユニット１０Ａ、１０Ｂを横方向に併設したり、単一のユニットとして構成することも可能である。但し、前記実施形態のように別ユニットとして構成した場合には、それらのユニットを切り離し、独立したユニットとして利用することもできる汎用性が付与される。
【００３２】
更に、前記実施形態では、テープ基材ＴＢに切り込みＣを形成するカット装置としてダイカット装置１３を採用したが、テープ基材ＴＢの面に沿う回転刃を用いて切り込みＣを形成する他の装置であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本実施形態におけるマウント装置の概略正面図。
【図２】（Ａ）は原反の正面図、（Ｂ）はその右側断面図、（Ｃ）は、リングフレーム及びウエハに貼付用テープが貼付された状態を示す断面図。
【図３】ダイカット装置の要部概略平面図。
【図４】ダイカット装置の概略斜視図。
【図５】ダイカット装置のフレーム板を省略した状態を示す概略斜視図。
【図６】変形例を示す図１と同様の概略正面図
【符号の説明】
【００３４】
１０  マウント装置（テープ貼付装置）
１１  繰出装置
１３  ダイカット装置（カット装置）
１４  位置検出装置
１５  剥離装置
１６  貼付装置
１７  回収装置
Ｃ  切り込み
ＤＳ  ダイボンディングシート部（接着シート部）
ＤＴ  ダイシングテープ
ＤＤＴ  貼付用テープ
Ｌ  原反
ＲＦ  リングフレーム
Ｓ  剥離シート
ＴＢ  テープ基材
Ｗ  半導体ウエハ（板状部材）
【図１】
0004468884.tif 000002
【図２】
0004468884.tif 000003
【図３】
0004468884.tif 000004
【図４】
0004468884.tif 000005
【図５】
0004468884.tif 000006
【図６】
0004468884.tif 000007