(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱処理室内で熱処理が施される平板状部材の熱履歴を擬似的に測定する温度測定装置において、上記熱処理室内に挿入されて温度変化に伴う物理量の変化を検出する検出部と、この検出部での検出信号を外部に取り出す配線と、この配線を切断することなく上記熱処理室内を気密に保った状態で上記検出部から熱処理室外へ導出する配線導出部とを備え、上記配線導出部が、上記配線を束ねて内部に通した状態でその内部を密封された筒状のスリーブと、このスリーブを上記熱処理室の壁面に気密に取り付けるスリーブ固定具とを備えて構成され、
上記配線導出部のスリーブが、その内側面に配設された弾性を有するベローズと、このベローズ内を通される上記配線の隙間を満たしてベローズ内に当該ベローズで弾性的に支持されて充填される充填材とを備えたことを特徴とする温度測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の温度測定装置において、上記配線導出部のスリーブ固定具が、上記熱処理室の開口に固定されてその開口を塞ぐ蓋体部と、この蓋体部と一体的に設けられ上記スリーブを内部に挿入して支持する筒体部と、この筒体部内に挿入された上記スリーブを気密に支持して固定する締結部とを備えて構成されたことを特徴とする温度測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の温度測定装置において、上記スリーブ固定具の締結部が、上記筒体部の端部を拡径して形成されこの筒体部内に挿入された上記スリーブの周囲に封止部材挿入空間を形成する拡径筒部と、この拡径筒部の上記封止部材挿入空間内に上記スリーブを囲った状態で装着されて上記筒体部とスリーブとの間を封止する環状の封止部材と、上記拡径筒部に取り付けられて締め付けられることで上記封止部材を押圧して上記筒体部の内側面と上記スリーブの外側面とに圧接させる締め付け蓋とを備えて構成されたことを特徴とする温度測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱処理が施される半導体ウエハ等の平板状部材の熱履歴を擬似的に測定する温度測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ等の平板状部材を熱処理する場合は、電気炉等が用いられる。この場合、平板状部材の表面の温度をその全域で均一にすることは容易でない。平板状部材の寸法が大きくなるに従ってその傾向は顕著になる。これに対する対策を施すために、熱処理途中の表面温度の変化を正確に検出することは重要である。
【０００３】
この熱処理過程での半導体ウエハ等の熱履歴を正確に検出するために、熱処理炉内に温度測定装置を装着して温度測定が行われる。具体的には、図２に示すように、電気炉等の熱処理炉１内の熱源２に、半導体ウエハと同様の材質及び形状のウエハセンサ３が載置され、このウエハセンサ３に接続された配線４が熱処理炉１外へ引き出されている。
【０００４】
熱処理炉１は主に、熱処理室を構成する本体１Ａと、この本体１Ａを塞いで熱処理室内を密封する蓋体１Ｂとから構成されている。ウエハセンサ３から熱処理炉１の外部へ引き出される配線４は、熱処理炉１の本体１Ａと蓋体１Ｂとに挟まれる。外部に引き出された配線４は記録計５に接続される。
【０００５】
配線４のうち、本体１Ａと蓋体１Ｂとに挟まれる位置は薄く延ばされる。具体的には、図３に示すように、配線４を並列に配設すると共に、一定長さだけ被覆を剥がして素線だけにし、その上下両面をポリイミドテープ６で張り合わせる。このポリイミドテープ６で張り合わせた部分を蓋体１Ｂと本体１Ａとの間に挟んで、配線４を熱処理炉１内から外部に引き出す。
【０００６】
また、配線４を途中で切断して、コネクタを介して熱処理炉１外へ引き出す構造のものもある。この例を図４に示す。熱処理炉１の本体１Ａの壁面には、熱処理炉１の内外を連通する開口７が設けられている。この開口７に中継部材８を取り付け、配線４のうちウエハセンサ３側及び記録計５側にそれぞれコネクタ４Ａ，４Ｂを取り付ける。これにより、配線４を、コネクタ４Ａ、中継部材８及びコネクタ４Ｂでつないで、ウエハセンサ３と記録計５とを電気的に接続する。
【０００７】
中継部材８は、熱処理炉１の開口７のフランジ部７Ａにボルト９で固定されて開口７を塞ぐ蓋体部８Ａと、この蓋体部８Ａの中央部に設けられ内部に複数本の中継コード８Ｂが配設される筒体部８Ｃと、この筒体部８Ｃの両側端部に設けられ各コネクタ４Ａ，４Ｂがねじ込まれて接続される嵌合部８Ｄとから構成されている。中継コード８Ｂは、複数本並列に配設した状態で、各嵌合部８Ｄ内に延出され、配線４の各コネクタ４Ａ，４Ｂ内の素線に電気的に接続されるようになっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記構成の温度測定装置においては、配線４を上下からポリイミドテープ６で張り合わせて本体１Ａと蓋体１Ｂとの間に挟み込むようにしたので、本体１Ａと蓋体１Ｂとの間の気密性が悪くなる。このため、熱処理炉１内の真空度を上げることが難しい。また、配線４を蓋体１Ｂと本体１Ａとの間に挟み込むので、配線４の素線が圧迫されて傷ついて、配線４の抵抗値等の電気的特性が変化することもある。これらにより、温度測定装置の測定精度が低下するという問題点がある。
【０００９】
また、コネクタ４Ａ，４Ｂ及び中継部材８を用いる場合は、コストが嵩んでしまう。特に、中継部材８は非常に高価であり、温度測定装置のコストを引き上げてしまうという問題点がある。
【００１０】
さらに、配線４を中継部材８でつなぐ場合は、コネクタ４Ａ，４Ｂ内の素線と、中継部材８内の中継コード８Ｂとを接触させることで電気的につなぐため、この接触部分で抵抗が生じてしまうのは避けられず、温度測定装置の精度に悪影響を与えることがあるという問題点がある。
【００１１】
本発明は上述した点に鑑みてなされたもので、低コストで、高精度の測定を可能にする温度測定装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために第１の発明に係る温度測定装置は、熱処理室内で熱処理が施される平板状部材の熱履歴を擬似的に測定する温度測定装置において、上記熱処理室内に挿入されて温度変化に伴う物理量の変化を検出する検出部と、この検出部での検出信号を外部に取り出す配線と、この配線を切断することなく上記熱処理室内を気密に保った状態で上記検出部から熱処理室外へ導出する配線導出部とを備え、上記配線導出部が、上記配線を束ねて内部に通した状態でその内部を密封された筒状のスリーブと、このスリーブを上記熱処理室の壁面に気密に取り付けるスリーブ固定具とを備えて構成され、上記配線導出部のスリーブが、その内側面に配設された弾性を有するベローズと、このベローズ内を通される上記配線の隙間を満たしてベローズ内に当該ベローズで弾性的に支持されて充填される充填材とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
上記構成により、熱処理室内に挿入された検出部に接続された配線は、配線導出部を介して熱処理室外へ引き出される。このとき、配線導出部では、検出部からの配線はスリーブ内に通されている。スリーブ内は、配線が通された状態で密封されている。さらに、スリーブはスリーブ固定具で熱処理室の壁面に気密に取り付けられている。これにより、熱処理炉内の気密性を保った状態で配線を外部へ引き出すことができ、熱処理炉内の検出部と外部機器とを配線で確実に接続することができる。この結果、熱処理炉内の気密性を保って真空度を高めることができ、高真空での温度測定が可能になる。さらに、配線導出部のスリーブ内に通された配線は、その外周からベローズによって弾性的に支持される。さらに、スリーブ内に通された各配線の隙間及び各配線とベローズの隙間には、充填材が満たされる。これにより、スリーブ内は配線が通された状態で気密に維持される。この結果、熱処理炉内の気密性を保って真空度を高めることができ、高真空での温度測定が可能になる。
【００１６】
第２の発明に係る温度測定装置は、第１の発明に係る温度測定装置において、上記配線導出部のスリーブ固定具が、上記熱処理室の開口に固定されてその開口を塞ぐ蓋体部と、この蓋体部と一体的に設けられ上記スリーブを内部に挿入して支持する筒体部と、この筒体部内に挿入された上記スリーブを気密に支持して固定する締結部とを備えて構成されたことを特徴とする。
【００１７】
上記構成により、蓋体部は熱処理室の開口に固定されてその開口を塞ぐ。この蓋体部に一体的に設けられた筒体部にはスリーブが挿入される。このスリーブは、締結部で固定されて、筒体部との間が気密に維持される。これにより、熱処理炉内の気密性を保って真空度を高めることができ、高真空での温度測定が可能になる。
【００１８】
第３の発明に係る温度測定装置は、第２の発明に係る温度測定装置において、上記スリーブ固定具の締結部が、上記筒体部の端部を拡径して形成されこの筒体部内に挿入された上記スリーブの周囲に封止部材挿入空間を形成する拡径筒部と、この拡径筒部の上記封止部材挿入空間内に上記スリーブを囲った状態で装着されて上記筒体部とスリーブとの間を封止する環状の封止部材と、上記拡径筒部に取り付けられて締め付けられることで上記封止部材を押圧して上記筒体部の内側面と上記スリーブの外側面とに圧接させる締め付け蓋とを備えて構成されたことを特徴とする。
【００１９】
上記構成により、締め付け蓋を拡径筒部に取り付けて締め付けることで、拡径筒部の封止部材挿入空間内に装着された封止部材を押圧する。これにより、封止部材が、封止部材挿入空間内で押し潰されて、筒体部の内側面とスリーブの外側面とに圧接される。これにより、熱処理炉内の気密性を保って真空度を高めることができ、高真空での温度測定が可能になる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。図１は本実施形態に係る温度測定装置の配線導出部を示す要部拡大図、図５は本実施形態に係る温度測定装置の検出部、配線及びスリーブを示す斜視図、図６は本実施形態に係る温度測定装置のスリーブを示す側面断面図である。なお、本実施形態でも従来の技術と同様に、平板状部材として半導体ウエハを例に説明する。また、熱処理炉１として電気炉を用いる。
【００２１】
本実施形態に係る温度測定装置１１は、図１、図５及び図６に示すように主に、検出部１２と、配線１３と、配線導出部１４と、従来技術と同様の記録計５（図２参照）とから構成されている。
【００２２】
検出部１２は、図５に示すように、熱処理炉１内に挿入されて温度変化に伴う物理量の変化を検出する部材である。この検出部１２は、処理対象の半導体ウエハと同じ半導体ウエハに温度センサを埋め込んで構成されている。なお、温度センサとしては、抵抗、電流、電圧、起電力等の、温度の変化に伴う物理量の変化を検出する各種のセンサが用いられる。
【００２３】
配線１３は検出部１２での検出信号を外部に取り出すための電気配線である。この配線１３は、途中で切断されてコネクタで接続されることはなく、連続した線材として検出部１２と記録計５とを電気的に接続する。
【００２４】
配線導出部１４は、図１に示すように、熱処理炉１内を気密に保った状態で、配線１３を、切断することなく検出部１２から熱処理炉１外へ導出するための部材である。この配線導出部１４は、熱処理炉１の本体１Ａに設けられている。配線導出部１４は具体的には、スリーブ１６と、スリーブ固定具１７とから構成されている。
【００２５】
スリーブ１６は、図５及び図６に示すように、複数本の配線１３を束ねて内部に通して熱処理炉１外へ引き出すための部材である。このスリーブ１６は、筒部１９と、抜け止め用ナット２０とから構成されている。筒部１９は、スリーブ１６のほぼ全体を構成する部材で、円筒状に形成されている。筒部１９の外径寸法は、スリーブ固定具１７の後述する筒体部２７の内径寸法よりも僅かに小さく設定されている。これにより、スリーブ１６は筒体部２７に容易に挿入できるようになっている。筒部１９の長さ寸法は、スリーブ固定具１７の筒体部２７の長さ寸法よりも僅かに長く設定されている。筒部１９の一端（図中の右端）には、その外周に抜け止め用ナット２０をねじ込むためのねじ山１９Ａが設けられている。
【００２６】
抜け止め用ナット２０は、筒部１９のねじ山１９Ａにねじ込まれて取り付けられる。抜け止め用ナット２０の外径は、締め付け蓋３４の開口３８よりも大きく設定され、この締め付け蓋３４で係止されるようになっている。これにより、筒体部２７に挿入されたスリーブ１６が、締め付け蓋３４に当接することで抜け落ちが防止されると共に位置決めがされるようになっている。この抜け止め用ナット２０は、温度検出装置１１の熱処理炉１への装着時には取り外されて、筒部１９が筒体部２７に通された後にねじ込まれて取り付けられるようになっている。
【００２７】
スリーブ１６内には、ベローズ２２と、充填材２３とが設けられている。ベローズ２２は、円筒状に形成され、スリーブ１６内に装着されている。このベローズ２２は、ベリリウム銅やバネ鋼等で蛇腹状に形成され、筒部１９内に挿入されて鑞付けされている。ベローズ２２は、これらの材料で成形されることでその形状と相まって十分な弾性を有し、スリーブ１６内に通された配線１３の束をその周囲から弾性的に支持する。充填材２３としてはエポキシ系接着剤等を用いる。この充填材２３は、各配線１３の隙間、配線１３とベローズ２２との隙間に充填される。これにより、充填材２３は、ベローズ２２の弾性と相まってスリーブ１６内に隙間なく充填され、配線１３が通された状態でスリーブ１６内を気密に封止する。スリーブ１６の一端部（図中の右端部）には、その内部に充填材２３が充填された状態で内部をシールするために、シリコン接着剤２４が塗布される。
【００２８】
スリーブ固定具１７は、スリーブ１６を熱処理炉１の本体１Ａの壁面に気密に取り付けるための部材である。このスリーブ固定具１７は、蓋体部２６と、筒体部２７と、締結部２８とから構成されている。
【００２９】
蓋体部２６は、熱処理炉１の開口７のフランジ部７Ａに直接に固定される部材である。蓋体部２６は、フランジ部７Ａと同じ円形状に形成され、フランジ部７Ａのねじ穴７Ｂに合わせてボルト挿入穴２６Ａが設けられている。このボルト挿入穴２６Ａにボルト２９が挿入されてねじ穴７Ｂにねじ込まれることで、蓋体部２６が開口７を塞ぐようになっている。蓋体部２６とフランジ部７Ａとの間にはガスケット３０が設けられ、それらの間の気密性を保つようになっている。
【００３０】
筒体部２７は、その内部に挿入されたスリーブ１６を支持するための部材である。この筒体部２７は、蓋体部２６の中央部に一体的に設けられている。筒体部２７内は貫通され、蓋体部２６が開口７のフランジ部７Ａに固定された状態で、この筒体部２７内を通して熱処理炉１の内側と外側が連通されている。
【００３１】
締結部２８は、筒体部２７内に挿入されたスリーブ１６を気密に支持して固定するための部材である。締結部２８は、筒体部２７の先端に形成されている。この締結部２８は、拡径筒部３２と、封止部材３３と、締め付け蓋３４とから構成されている。
【００３２】
拡径筒部３２は、筒体部２７内に挿入されたスリーブ１６の周囲に封止部材挿入空間３２Ａを形成するための部位である。拡径筒部３２は、筒体部２７の端部の直径を拡大して形成されている。この拡大した部分の内部では、筒体部２７に挿入されたスリーブ１６との間に空間ができ、この空間が封止部材３３を挿入する封止部材挿入空間３２Ａとなっている。封止部材挿入空間３２Ａの内部のうち熱処理炉１の内側端部にはテーパ部３５が設けられている。このテーパ部３５は、熱処理炉１の内側へ向けて径が小さくなるように構成されている。拡径筒部３２の外周面にはネジ山３６が設けられている。この拡径筒部３２のネジ山３６に締め付け蓋３４がはめ込まれる。
【００３３】
封止部材３３は、筒体部２７とスリーブ１６との間を封止するための部材である。この封止部材３３は、拡径筒部３２の封止部材挿入空間３２Ａ内にスリーブ１６を囲った状態で装着される。封止部材３３としては、具体的にはＯリングが用いられる。この封止部材３３は、拡径筒部３２の封止部材挿入空間３２Ａ内に挿入されて、テーパ部３５に押し付けられることで、筒体部２７の内側面（テーパ部３５の内側面）とスリーブ１６の外側面に圧接される。これにより、筒体部２７とスリーブ１６の間を封止すると共に、スリーブ１６をその外周から締め付けて固定するようになっている。
【００３４】
締め付け蓋３４は、封止部材３３を押圧して、筒体部２７内に挿入されたスリーブ１６を締め付けて封止すると共に固定するための部材である。この締め付け蓋３４は、外側筒部３４Ａと、内側筒部３４Ｂと、平板部３４Ｃとから構成されている。
【００３５】
外側筒部３４Ａは、浅い円筒状に形成され、その内側面に雌ねじ３７が設けられている。この雌ねじ３７が拡径筒部３２の外周面のネジ山３６にはめ込まれることで、締め付け蓋３４が拡径筒部３２に取り付けられるようになっている。内側筒部３４Ｂは、外側筒部３４Ａの内側に位置し、外側筒部３４Ａと同心円状に配設されている。内側筒部３４Ｂは、外側筒部３４Ａと同様に、浅い円筒状に形成されている。この内側筒部３４Ｂの外径は、拡径筒部３２の内径よりも僅かに小さく設定されている。内側筒部３４Ｂの内径は、スリーブ１６の外径よりも僅かに大きく形成され、この内側筒部３４Ｂ内にスリーブ１６が容易に挿入できるようになっている。内側筒部３４Ｂの端部（図１中の左側端部）には、封止部材３３に嵌合して押圧する環状溝３４Ｄが設けられている。平板部３４Ｃは、ドーナツ状に形成され、外側筒部３４Ａと内側筒部３４Ｂとを一体的に接合している。この状態で、内側筒部３４Ｂが締め付け蓋３４の開口３８となっている。
【００３６】
記録計５は、従来技術と同様に、検出部１２で検出した値を処理する外部機器である。具体的には、検出部１２での検出値に基づいて温度を計算し、その値を記録する。
【００３７】
［動作］
以上のように構成された温度検出装置１１は次のようにして熱処理炉１に装着される。
【００３８】
配線１３は予めスリーブ１６に通されて、充填材２３で封止されている。スリーブ１６は、スリーブ固定具１７から外されている。この状態で、まず熱処理炉１内の熱源２上に検出部１２が設置され、配線１３が熱処理炉１の開口７から外部に引き出される。スリーブ１６では、抜け止め用ナット２０が筒部１９から外されており、この状態で、配線１３がスリーブ固定具１７の筒体部２７に通される。締結部２８では、締め付け蓋３４が緩められて、封止部材３３が封止部材挿入空間３２Ａ内に緩やかに装着されている。筒部１９は、筒体部２７内に挿入され、さらに封止部材３３及び内側筒部３４Ｂ内に挿入される。この筒部１９が締め付け蓋３４の開口３８から延出した状態で、抜け止め用ナット２０を筒部１９に取り付ける。
【００３９】
スリーブ固定具１７は、予め又は筒部１９を筒体部２７に挿入した後に、熱処理炉１の開口７に取り付けられる。この場合、スリーブ固定具１７の蓋体部２６のボルト挿入穴２６Ａを、フランジ部７Ａのねじ穴７Ｂに整合させて、ボルト２９をねじ込んで固定する。このとき、フランジ部７Ａと蓋体部２６との間にガスケット３０を装着する。
【００４０】
次いで、締め付け蓋３４を締め付けて、封止部材３３をテーパ部３５を押し付ける。これにより、封止部材３３がテーパ部３５（又は筒体部２７）の内側面と、スリーブ１６の外側面とに強く押し付けられる。これにより、熱処理炉１の開口７が、フランジ部７Ａ、ガスケット３０、蓋体部２６及び筒体部２７、テーパ部３５、スリーブ１６、ベローズ２２及び充填材２３で封止された状態で、配線１３が熱処理炉１の外側へ引き出される。これにより、熱処理炉１内に気密性が保たれ、高真空状態にすることができる。
【００４１】
熱処理炉１の外部へ引き出された配線１３は、記録計５に接続される。
【００４２】
以上のようにして温度検出装置１１が配設され、温度が測定される。すなわち、熱源２によって検出部１２が加熱される。検出部１２での検出信号は、配線１３によって記録計５に送信される。記録計５では、検出部１２での温度変化を記録する。
【００４３】
［効果］
以上のように、配線１３を束ねて通した状態でその内部が密封されるスリーブ１６と、このスリーブ１６を熱処理炉１の開口７に気密に取り付けるスリーブ固定具１７とを備えて配線導出部１４を構成したので、熱処理炉１内を気密に保った状態で、配線１３を熱処理炉１から外部に引き出すことができるようになる。これにより、熱処理炉１内の真空度を高めることができ、高真空での温度測定が可能になる。
【００４４】
また、配線１３を、その途中で圧迫することなく、コネクタを用いた接続もしないで連続した信号線とすることができるため、検出部１２のセンサ部での起電力等の僅かな変化を記録計５に確実に送信することができ、検出精度を向上させることができる。
【００４５】
さらに、スリーブ１６とスリーブ固定具１７は、構造が簡単で、温度検出装置１１のコストを低減することができる。
【００４６】
また、スリーブ１６内に、その内側面に配設されたベローズ２２と、このベローズ２２内を通される配線１３の隙間を満たしてベローズ２２内に充填される充填材２３とを備えたので、スリーブ１６内に配線１３が通された状態で、そのスリーブ１６内を確実に密封することができる。この結果、熱処理炉１内の気密性が保たれて、高真空での温度測定が可能になる。
【００４７】
スリーブ固定具１７を、熱処理炉１開口７を塞ぐ蓋体部２６と、スリーブ１６を内部に挿入して支持する筒体部２７と、この筒体部２７内に挿入されたスリーブ１６を気密に支持して固定する締結部２８とを備えて構成したので、配線１３を熱処理炉１の開口７から引き出す際に、この開口７の気密性を十分に保つことができる。
【００４８】
さらに、スリーブ固定具１７の締結部２８を、筒体部２７内に挿入されたスリーブ１６の周囲に封止部材挿入空間３２Ａを形成する拡径筒部３２と、この拡径筒部３２の封止部材挿入空間３２Ａ内に装着されて筒体部２７とスリーブ１６との間を封止する環状の封止部材３３と、封止部材３３を押圧して筒体部２７の内側面とスリーブ１６の外側面とに圧接させる締め付け蓋３４とを備えて構成したので、締め付け蓋３４を締め付けることで封止部材３３が封止部材挿入空間３２Ａ内で押し潰されて、筒体部２７の内側面とスリーブ１６の外側面とに圧接され、熱処理炉１内の気密性を保って真空度を高めることができ、高真空での温度測定が可能になる。
【００４９】
［変形例］
（１）  上記実施形態では、配線導出部１４を熱処理炉１の本体１Ａの壁面に設けたが、蓋体１Ｂ等の他の部分に設けてもよいことはいうまでもない。
【００５０】
（２）  上記実施形態では、封止部材３３としてＯリングを用いたが、Ｏリングに限らず、他の部材を用いてもよい。筒体部２７の内側面とスリーブ１６の外側面とに接着してこれらの間を封止できる部材であれば、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【００５１】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の温度測定板によれば次のような効果を奏することができる。
【００５２】
（１）  熱処理室内に挿入されて温度変化に伴う物理量の変化を検出する検出部と、この検出部での検出信号を外部に取り出す配線と、この配線を切断することなく上記熱処理室内を気密に保った状態で上記検出部から熱処理室外へ導出する配線導出部とを備え、上記配線導出部を、上記配線を束ねて内部に通した状態でその内部を密封された筒状のスリーブと、このスリーブを上記熱処理室の壁面に気密に取り付けるスリーブ固定具とを備えて構成したので、熱処理炉内を気密に保った状態で、配線を熱処理炉から外部に引き出すことができるようになる。これにより、熱処理炉内の真空度を高めることができ、高真空での温度測定が可能になる。
【００５３】
また、配線を、熱処理炉の蓋体で圧迫することもなく、連続した信号線とすることができるため、起電力等の僅かな変化も記録計に確実に送信することができ、検出精度を向上させることができる。
【００５４】
さらに、構造が簡単で、温度検出装置のコストを低減することができる。
【００５５】
（２）  配線導出部のスリーブに、その内側面に配設されたベローズと、このベローズ内を通される上記配線の隙間を満たしてベローズ内に充填される充填材とを備えたので、スリーブ内に配線が通された状態で、そのスリーブ内を確実に密封することができる。この結果、熱処理炉内の気密性が保たれて、高真空での温度測定が可能になる。
【００５６】
（３）  配線導出部のスリーブ固定具を、熱処理室の開口に固定されてその開口を塞ぐ蓋体部と、この蓋体部と一体的に設けられ上記スリーブを内部に挿入して支持する筒体部と、この筒体部内に挿入された上記スリーブを気密に支持して固定する締結部とを備えて構成したので、配線を熱処理炉の開口から引き出す際に、この開口の気密性を十分に保つことができる。
【００５７】
（４）  スリーブ固定具の締結部を、筒体部の端部を拡径して形成されこの筒体部内に挿入された上記スリーブの周囲に封止部材挿入空間を形成する拡径筒部と、この拡径筒部の上記封止部材挿入空間内に上記スリーブを囲った状態で装着されて上記筒体部とスリーブとの間を封止する環状の封止部材と、上記拡径筒部に取り付けられて締め付けられることで上記封止部材を押圧して上記筒体部の内側面と上記スリーブの外側面とに圧接させる締め付け蓋とを備えて構成したので、締め付け蓋を締め付けることで封止部材が封止部材挿入空間内で押し潰されて、筒体部の内側面とスリーブの外側面とに圧接され、熱処理炉内の気密性を保って真空度を高めることができる。この結果、高真空での温度測定が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る温度測定装置の配線導出部を示す要部拡大図である。
【図２】従来の温度検出装置を熱処理炉に装着した状態を示す全体構成図である。
【図３】従来の温度検出装置の配線処理の例を示す平面図である。
【図４】従来の配線処理の例を示す側面断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る温度測定装置の検出部、配線及びスリーブを示す斜視図である。
【図６】本発明の実施形態に係る温度測定装置のスリーブを示す側面断面図である。
【符号の説明】
１：熱処理炉、１Ａ：本体、２：熱源、７：開口、７Ａ：フランジ部、１１：温度検出装置、１２：検出部、１３：配線、１４：配線導出部、１６：スリーブ、１７：スリーブ固定具、１９：筒部、２０：抜け止め用ナット、２２：ベローズ、２３：充填材、２６：蓋体部、２７：筒体部、２８：締結部、２９：ボルト、３０：ガスケット、３１：締結部、３２：拡径筒部、３３：封止部材、３４：締め付け蓋、３４Ａ：外側筒部、３４Ｂ：内側筒部、３４Ｃ：平板部、３４Ｄ：環状溝３４Ｄ、３５：テーパ部、３８：開口。
【図１】
0004504509.tif 000002
【図２】
0004504509.tif 000003
【図３】
0004504509.tif 000004
【図４】
0004504509.tif 000005
【図５】
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【図６】
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