(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
送風機の吹出し側に配置した上下分割式のモーターハウジングに、ローターのシャフト貫通用孔と、巻き線のリード線取り出し用の孔と、前記送風機により発生した空気を受けるための受入孔と、排出するための排出孔を設け、
前記巻き線のリード線取り出し用の孔を接着剤にてシールし、
前記排出孔にチューブを備え有害なガスや空気を外部へ排出するように構成したクリーンルーム機器用モーター。
【請求項２】
送風機の吹出し側に配置した上下分割式のモーターハウジングに、ローターのシャフト貫通用孔と巻き線のリード線取り出し用の孔と、排出するための排出孔を設け、
前記送風機を囲むようにケーシングとフィルターを配置し、
前記送風機により発生した空気を前記巻き線のリード線取り出し用の孔で受け、
前記排出孔にチューブを備え有害なガスや空気を外部へ排出するように構成したクリーンルーム機器用モーター。
【請求項３】
受入孔に内部にパンチングメタル状の抵抗体を備えたチューブを接続した請求項１記載のクリーンルーム機器用モーター。
【請求項４】
上下分割式のモーターハウジングに、ローターのシャフト貫通用孔と、巻き線のリード線取り出し用の孔と、空気を受けるための受入孔と、排出するための排出孔を設け、
前記巻き線のリード線取り出し用の孔を接着剤にてシールし、
前記排出孔にチューブを備え有害なガスや空気を外部へ排出するように構成し、
クリーンルームの正圧に保たれた送風管と、前記受入孔との間をチューブで接続した請求項１記載のクリーンルーム機器用モーター。
【請求項５】
クリーンルームの正圧に保たれた送風管に接続するように配置したチューブに、正圧調整用のバルブと圧力計を備えた請求項４記載のクリーンルーム機器用モーター。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム用機器に用いる最適なモーターに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年クリーンルーム用機器のモーターにおいては、その内部のダストやガスの流出の抑制が求められており、特開平９−２２５２４０号公報に記載されたものが知られている。
【０００３】
従来、この種のクリーンルーム用機器のモーターは図６のような構造が一般的であった。以下、その構成について図６を参照しながら説明する。
【０００４】
図に示すように、送風機１０１のファンモーター１０２のモータケーシング１０３に吸引枝管１０４を接続し、吸引枝管１０４に接続した真空ポンプでモーターケーシング１０３内を所定の負圧度に保つように設け、これによってモーターケーシング１０３とシャフト１０５や軸受１０６との隙間を通ってモーターケーシング１０３の外から内へと空気の流れを生じせしめていた。
【０００５】
そして、ファンモーター１０２の運転により軸受１０６や１０７のベアリンググリースがガス状不純物となっても、吸入枝管１０４を通って系外に排出し、クリーンルームの空気中に拡散することのないようにしていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来のクリーンルーム機器用モーターでは、吸入枝管１０４に接続した真空ポンプでモーターケーシング１０３内を所定の負圧度に保っておかないと、シャフト１０５や軸受１０６および固定子１０８からの引出線１０９の引出口１１０や、モーターケーシング１０３を形成するための筒状の胴部１０３ｃを下蓋１０３ａと上蓋１０３ｂで挟みこれらを締結するためのボルトナット１０３ｄの隙間から汚染ガスが漏れるのを防ぐため、常に真空ポンプを運転しておかなければならないのでランニングコストが高くつくという課題があり、真空ポンプを常に運転しなくてもよいクリーンルーム機器用モーターが要求されている。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するもので、クリーンルームに有害なガスや空気をクリーンルーム機器外部へ排出するための動力が不要なクリーンルーム機器用モーターを提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明のクリーンルーム機器用モーターは、上記目的を達成するために、送風機の吹出し側に配置した上下分割式のモーターハウジングに、ローターのシャフト貫通用孔と巻き線のリード線取り出し用の孔と、前記送風機により発生した空気を受けるための受入孔と、排出するための排出孔を設け、前記巻き線のリード線取り出し用の孔を接着剤にてシールし、前記排出孔にチューブを備え有害なガスや空気を外部へ排出するように構成したものである。
【０００９】
また他の手段は、送風機の吹出し側に配置した上下分割式のモーターハウジングに、ローターのシャフト貫通用孔と巻き線のリード線取り出し用の孔と、排出するための排出孔を設け、前記送風機を囲むようにケーシングとフィルターを配置し、前記送風機により発生した空気を前記巻き線のリード線取り出し用の孔で受け、前記排出孔にチューブを備え有害なガスや空気を外部へ排出するように構成したものである。
【００１０】
また他の手段は、受入孔に内部にパンチングメタル状の抵抗を備えたチューブを接続した構成としたものである。
【００１１】
これにより、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターが得られる。
【００１２】
また他の手段は、上下分割式のモーターハウジングに、ローターのシャフト貫通用孔と、巻き線のリード線取り出し用の孔と、空気を受けるための受入孔と、排出するための排出孔を設け、前記巻き線のリード線取り出し用の孔を接着剤にてシールし、前記排出孔にチューブを備え有害なガスや空気を外部へ排出するように構成し、クリーンルームの正圧に保たれた送風管と、前記受入孔との間をチューブで接続した構成としたものである。
【００１３】
これにより、モーター近傍に正圧源となる送風機によって発生する空気がなくても、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【００１４】
また他の手段は、クリーンルームの正圧に保たれた送風管に接続するように配置したチューブに、正圧調整用のバルブと圧力計を備えた構成としたものである。
【００１５】
これにより、クリーンルームの送風管内部の正圧度が異常に高い場合でもモーターハウジング内部の正圧度を適正に保つことができ、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、送風機の吹出し側に配置した上下分割式のモーターハウジングに、ローターのシャフト貫通用孔と、巻き線のリード線取り出し用の孔と、前記送風機により発生した空気を受けるための受入孔と、排出するための排出孔を設け、前記巻き線のリード線取り出し用の孔を接着剤にてシールし、前記排出孔にチューブを備え有害なガスや空気を外部へ排出するように構成したものであり、内部のクリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないようにできるという作用を有する。
【００１７】
また、送風機の吹出し側に配置した上下分割式のモーターハウジングに、ローターのシ
ャフト貫通用孔と巻き線のリード線取り出し用の孔と、排出するための排出孔を設け、前記送風機を囲むようにケーシングとフィルターを配置し、前記送風機により発生した空気を前記巻き線のリード線取り出し用の孔で受け、前記排出孔にチューブを備え有害なガスや空気を外部へ排出するように構成したものであり、内部のクリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないようにできるという作用を有する。
【００１８】
また、受入孔に内部にパンチングメタル状の抵抗を備えたチューブを接続したものであり、モーターハウジング内の圧力を常にモーター周辺空間の正圧よりも小さくできるので送風機の動力によってクリーンルームに有害なガスやダストを排出することができるという作用を有する。
【００１９】
また、上下分割式のモーターハウジングに、ローターのシャフト貫通用孔と、巻き線のリード線取り出し用の孔と、空気を受けるための受入孔と、排出するための排出孔を設け、前記巻き線のリード線取り出し用の孔を接着剤にてシールし、前記排出孔にチューブを備え有害なガスや空気を外部へ排出するように構成し、クリーンルームの正圧に保たれた送風管と、前記受入孔との間をチューブで接続した構成としたものであり、モーター近傍に正圧源となる送風機によって発生する空気がなくても、有害なガスやダストをクリーンルーム内部に漏らさないようにできるという作用を有する。
【００２０】
また、クリーンルームの正圧に保たれた送風管に接続するように配置したチューブに、正圧調整用のバルブと圧力計を備えた構成としたものであり、クリーンルームの送風管内部の正圧度が異常に高い場合でもモーターハウジング内部の正圧度を適正に保つことができ、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないようにできるという作用を有する。
【００２１】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【００２２】
（実施例１）
図１に示すように、クリーンルーム機器用のモーター１は、ベアリング２が装着されたシャフト３を備えたローター４と、巻き線５を巻装したステーター６と、巻き線のリード線取り出し用の孔７と、ベアリング２を受けるベアリングハウス８とシャフト貫通用孔９を備えた上下分割式のモーターハウジング１０と、上側モーターハウジング１０ａと下側モーターハウジング１０ｂを締結するボルト１１とナット１２と、送風機により発生した空気を受けるための受入孔１３と、排出するための排出孔１４を設け、排出孔１４にチューブ１５を接続して構成している。
【００２３】
このモーター１は、送風機１６とケーシング１７とクリーンルーム用のフィルター１８で囲まれた空間に配置され、この空間によって正圧化されている。
【００２４】
また、巻き線のリード線取り出し用の孔７はクリーンルームに有害でない接着剤でシールしている。
【００２５】
上記構成により、送風機の動力によってクリーンルームに有害なガスやダストが発生しても、チューブを介してクリーンルーム外へ排出することができる。
【００２６】
なお、本実施例では、受入孔を下側モーターハウジングに設けたが、上側モーターハウジングに設けても良く、作用効果に差異を生じない。
【００２７】
（実施例２）
図２に示すように、クリーンルーム機器用のモーター１は、ベアリング２が装着されたシャフト３を備えたローター４と、巻き線５を巻装したステーター６と、巻き線のリード線取り出し用の孔７と、ベアリング２を受けるベアリングハウス８とシャフト貫通用孔９を備えた上下分割式モーターハウジング１０と、下側モーターハウジング１０ｂと上側モーターハウジング１０ａを締結するボルト１１とナット１２と、排出孔１４と、排出孔１４に接続したチューブ１５で構成しており、送風機１６とケーシング１７とクリーンルーム用のフィルター１８で囲まれた空間に配置されている。
【００２８】
上記構成により、巻き線のリード線取り出し用の孔７をクリーンルームに有害でない接着剤でシールする必要がなく、送風機の動力によってクリーンルームに有害なガスやダストをチューブを介して排出することができる。
【００２９】
（実施例３）
図３に示すように、送風機１６を囲むようにケーシング１７とフィルター１８を配置した空間によって正圧化された前記送風機１６により発生した空気の静圧だけを受けるように配置するために、内部にパンチングメタル状の抵抗体３１を備えたチューブ３２を受入孔１３に接続する。
【００３０】
上記構成により、モーターハウジング１０内の圧力を常にモーター１周辺空間の正圧よりも小さくできるので送風機の動力によってクリーンルームに有害なガスやダストを排出することができる。
【００３１】
なお、本実施例では、受入孔を下側モーターハウジングに設けたが、上側モーターハウジングに設けても良く、作用効果に差異を生じない。
【００３２】
（実施例４）
図４に示すように、モーターハウジング１０に設けた正圧化された空気を受ける受入孔１３にチューブ４１を接続し、さらにチューブ４１をクリーンルームの正圧に保たれた送風管４２に接続したものである。
【００３３】
上記構成により、モーター近傍に正圧源となる送風機によって発生する空気がなくても、クリーンルームに有害なガスやダストを排出することができる。
【００３４】
なお、本実施例では、受入孔を下側モーターハウジングに設けたが、上側モーターハウジングに設けても良く、作用効果に差異を生じない。
【００３５】
（実施例５）
図５に示すように、モーターハウジング１０に設けられた正圧化された空気を受ける受入孔１３とクリーンルームの正圧に保たれた送風管４２の間に設けたチューブ４１に正圧調整用のバルブ５１と圧力計５２を備えたものである。
【００３６】
上記構成により、クリーンルームの送風管内部の正圧度が異常に高い場合でもバルブを調整することにより、モーターハウジング内部の正圧度を適正に保つことができ、クリーンルームに有害なガスやダストを排出することができる。
【００３７】
なお、本実施例では、受入孔を下側モーターハウジングに設けたが、上側モーターハウジングに設けても良く、作用効果に差異を生じない。
【００３８】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、クリーンルームに有害なガスやダストをクリーンルーム外部へ漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供することができる。
【００３９】
また、本発明によればモーターハウジング内の圧力を常にモーター周辺空間の正圧よりも小さくできるので送風機の動力によってクリーンルームに有害なガスやダストを排出することができるクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【００４０】
また、本発明によればモーター近傍に正圧源となる送風機によって発生する空気がなくても、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【００４１】
また、本発明によればクリーンルームの送風管内部の正圧度が異常に高い場合でもモーターハウジング内部の正圧度を適正に保つことができ、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【図２】本発明の実施例２のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【図３】（ａ）本発明の実施例３のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図（ｂ）同チューブの中身を示す部分拡大図
【図４】本発明の実施例４のクリーンルームのシステム構成を示す断面図
【図５】本発明の実施例５のクリーンルームのシステム構成を示す断面図
【図６】従来のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【符号の説明】
４        ローター
７        リード線取り出し用の孔
９        シャフト貫通用孔
１０      モーターハウジング
１０ａ    上側モーターハウジング
１０ｂ    下側モーターハウジング
１３      受入孔
１４      排出孔
１５      チューブ
１６      送風機
１７      ケーシング
１８      フィルター
３１      抵抗体
３２      チューブ
４１      チューブ
４２      送風管
５１      バルブ
５２      圧力計
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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