(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロードポート装置に設置されたウェハキャリアの蓋体の面に垂直である水平方向に進退動を行う蓋体保持板と、
前記蓋体に設けられた錠装置の一対の鍵穴に対向し、かつ前記蓋体保持板の前面に突出した状態で、該蓋体保持板に回動可能に支持された一対の鍵部材を有する鍵装置とを備え、
前記錠装置に設けられた一対の被係合部と、前記鍵穴から挿入された前記一対の鍵部材の先端の各ラッチキーとをそれぞれ係合させ、前記ラッチキーが前記鍵穴から抜出し可能な起立姿勢となる位置まで、前記各鍵部材を設定方向に回動させて前記錠装置を施錠すると共に、前記各鍵部材を施錠時と逆方向に回動させることにより前記錠装置を解錠して、当該解錠状態で前記各鍵部材により前記蓋体を保持したまま蓋体保持板を進退動させて前記蓋体を着脱する装置であって、
前記鍵部材は、両側の各直線移動端がストッパにより規制された状態で固定シリンダにより駆動されるスライド体の連続した一方向への直線運動が、当該スライド体の両端部に装着された一対のリンク機構により回動運動に変換されて、施錠位置と解錠位置との間において（９０°＋θ）だけ回動させられる構成であり、
前記リンク機構は、前記鍵部材における前記蓋体保持板の背面側に突出した部分に当該鍵部材の軸直角方向に一体に設けられたアームの先端部と、前記スライド体の端部とがリンク板によりリンク連結された構成であって、前記一対のリンク機構により前記スライド体を同一方向に連続直線移動させて、前記錠装置を解錠状態から施錠状態に変更する際に、前記ラッチキーが停止位置の直前において前記起立姿勢よりも僅かな角度（θ）だけ超過して回動した後に、当該超過角度（θ）だけ逆方向に回動して前記起立姿勢で停止するように、一対のリンク板は、前記ラッチキーが前記超過角度（θ）だけ起立姿勢よりも回動した時点で前記スライド体の長手方向に対して直交するように配置され、
前記一対のリンク板が前記直交配置位置を超えて僅かに逆方向に傾斜した位置で前記スライド体を停止させて、前記ラッチキーのみを前記超過角度（θ）だけ逆方向に回動させて起立姿勢に戻すことにより、次回の蓋体の着脱時に前記各ラッチキーが錠装置の各被係合部と干渉することなく挿入可能なように、当該各被係合部が起立姿勢となるように補正する構成であることを特徴とするウェハキャリア用蓋体の着脱装置。
【請求項２】
前記固定シリンダは、空気圧シリンダであることを特徴とする請求項１に記載のウェハキャリア用蓋体の着脱装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ロードポート装置に設置されたウェハキャリアの蓋体を着脱するための着脱装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の技術を説明するに当たり、本発明の図面を援用する。図１及び図２に示されるように、ロードポート装置Ｌは、装置本体１の上面に設置されたウェハキャリアＣに収納された多数枚のウェハＵを、半導体製造装置Ｈ内に移載させるための装置である。ロードポート装置Ｌにおける半導体製造装置Ｈの側には、該ロードポート装置Ｌを前記半導体製造装置Ｈに一体に取付けるための装着板２が設けられていて、該装着板２に、ウェハキャリア用蓋体３（以降、単に「蓋体３」と記載する）の着脱装置Ａが配設されている。この着脱装置Ａは、鍵装置Ｄと蓋体分離装置Ｅとから構成されている。ここで、前記鍵装置Ｄは、ウェハキャリアＣを構成するキャリア本体４に対して、前記蓋体３を施錠、或いは解錠するという機能を有している。また、前記蓋体分離装置Ｅは、解錠されて蓋体保持板５に保持された蓋体３を、前記キャリア本体４に対して接近、或いは離隔させるという機能を有している。
【０００３】
図６ないし図１１を参照しながら、ウェハキャリアＣの蓋体３の構成について説明する。図６及び図７に示されるように、蓋体３における幅方向の両側部の内部には、一対の錠装置Ｂが設けられている。一対の錠装置Ｂは、いずれも同一構造であり、しかも、同期して作動するため、ここでは、一方側の錠装置Ｂについてのみ説明する。図８及び図９に示されるように、この錠装置Ｂは、蓋体３の高さ方向のほぼ中央部に配設された円板状のディスク板６の上下に、ロックプレート７が昇降可能にして取付けられた構成である。前記ディスク板６は、その回動中心Ｐを中心にして回動可能であり、しかも、その周方向に２本の溝カム６ａが設けられている。ここで、各溝カム６ａのカム中心（図示せず）は、ディスク板６の回動中心Ｐよりもずれた位置に設けられている。このため、各溝カム６ａのカム半径Ｒ1,Ｒ2 （ディスク板６の回動中心Ｐと、各溝カム６ａの一端部及び他端部との距離）は、それぞれ異なっている。即ち、図９において、（カム半径Ｒ1 ＜カム半径Ｒ2 ）である。そして、各溝カム６ａが成す角度は、９０°よりも少し大きい。
【０００４】
図８及び図９に示されるように、前記ロックプレート７の基端部（ディスク板６の側の端部）に取付けられた連結ピン７ａが、前記溝カム６ａに嵌合されている。この連結ピン７ａは、ディスク板６の回動に従って、溝カム６ａ内を移動される。また、ディスク板６の正面側には、一対の係合突起体８が、所定の間隔をおいて突設されている。錠装置Ｂが施錠された状態において、一対の係合突起体８は、起立状態に配置されている。そして、前記蓋体３において、前記一対の係合突起体８と対応する部分には、鍵装置Ｄ（後述）を構成する鍵部材９の先端部（ラッチキー９ａ）を、蓋体３の内部に進入させるための鍵穴１１が設けられている。この鍵穴１１は、一対の係合突起体８の内幅よりも僅かに広い。
【０００５】
この錠装置Ｂは、上下のロックプレート７の先端部（即ち、各ロックプレート７の上下端部）が、ウェハキャリアＣのキャリア本体４に設けられた嵌合穴１２に嵌合されることによって施錠される構成である。上側のロックプレート７が嵌合穴１２に嵌合された状態（即ち、蓋体３が施錠された状態）を図１０に示し、同じく、嵌合穴１２から離脱された状態（即ち、蓋体３が解錠された状態）を図１１に示す。次に、解錠状態の蓋体３を施錠するときの作用について説明する。ここで、蓋体３が「解錠状態」とは、図１６に示されるように、一対の係合突起体８の間にラッチキー９ａが進入し、そのまま９０°回動された状態をいう。このとき、一対の係合突起体８は、水平な状態に配置されている。
【０００６】
図１７及び図１８に示されるように、蓋体３を施錠するために、ラッチキー９ａが反時計回りの方向（矢印Ｑ2 の方向）に回動される。それに伴い、溝カム６ａのカム半径Ｒ2 が徐々に大きくなるため、上下のロックプレート７の基端部が互いに離間する。すると、各ロックプレート７の先端部が、キャリア本体４に設けられた各嵌合穴１２に進入して嵌合されるため、蓋体３が施錠される。蓋体３を解錠する場合には、上記と逆の操作が行なわれる。なお、図８において、１３は、蓋体３とキャリア本体４との気密を保持するためのゴムリングである。
【０００７】
ここで、図１６に示されるように、一対の係合突起体８とラッチキー９ａとの間には、当然のことながら、僅かな隙間ｅが形成されている。このため、蓋体３を施錠するに当たり、ラッチキー９ａを９０°だけ回動させても、該ラッチキー９ａの回動が終了したときに、一対の係合突起体８が起立状態に配置されず、前記隙間ｅに対応する角度だけ傾いた状態で配置される場合がある。その状態を、図１８に示す。ウェハキャリアＣが、このままの状態で次工程に搬送され、蓋体３の解錠を行なうためにラッチキー９ａを進入させたときに、一対の係合突起体８とラッチキー９ａとが干渉するおそれがある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した不具合に鑑み、ウェハキャリアの蓋体を着脱するために、蓋体の錠装置の被係合部に鍵部材を係合させるとき、両者が干渉しないようにすることを課題としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための請求項１に記載の発明は、ロードポート装置に設置されたウェハキャリアの蓋体の面に垂直である水平方向に進退動を行う蓋体保持板と、前記蓋体に設けられた錠装置の一対の鍵穴に対向し、かつ前記蓋体保持板の前面に突出した状態で、該蓋体保持板に回動可能に支持された一対の鍵部材を有する鍵装置とを備え、前記錠装置に設けられた一対の被係合部と、前記鍵穴から挿入された前記一対の鍵部材の先端の各ラッチキーとをそれぞれ係合させ、前記ラッチキーが前記鍵穴から抜出し可能な起立姿勢となる位置まで、前記各鍵部材を設定方向に回動させて前記錠装置を施錠すると共に、前記各鍵部材を施錠時と逆方向に回動させることにより前記錠装置を解錠して、当該解錠状態で前記各鍵部材により前記蓋体を保持したまま蓋体保持板を進退動させて前記蓋体を着脱する装置であって、前記鍵部材は、両側の各直線移動端がストッパにより規制された状態で固定シリンダにより駆動されるスライド体の連続した一方向への直線運動が、当該スライド体の両端部に装着された一対のリンク機構により回動運動に変換されて、施錠位置と解錠位置との間において（９０°＋θ）だけ回動させられる構成であり、前記リンク機構は、前記鍵部材における前記蓋体保持板の背面側に突出した部分に当該鍵部材の軸直角方向に一体に設けられたアームの先端部と、前記スライド体の端部とがリンク板によりリンク連結された構成であって、前記一対のリンク機構により前記スライド体を同一方向に連続直線移動させて、前記錠装置を解錠状態から施錠状態に変更する際に、前記ラッチキーが停止位置の直前において前記起立姿勢よりも僅かな角度（θ）だけ超過して回動した後に、当該超過角度（θ）だけ逆方向に回動して前記起立姿勢で停止するように、一対のリンク板は、前記ラッチキーが前記超過角度（θ）だけ起立姿勢よりも回動した時点で前記スライド体の長手方向に対して直交するように配置され、前記一対のリンク板が前記直交配置位置を超えて僅かに逆方向に傾斜した位置で前記スライド体を停止させて、前記ラッチキーのみを前記超過角度（θ）だけ逆方向に回動させて起立姿勢に戻すことにより、次回の蓋体の着脱時に前記各ラッチキーが錠装置の各被係合部と干渉することなく挿入可能なように、当該各被係合部が起立姿勢となるように補正する構成であることを特徴としている。
【００１０】
ウェハキャリアの蓋体には、錠装置が取付けられていると共に、該蓋体の着脱装置には、前記錠装置を操作して、蓋体を施錠、或いは解錠するための鍵装置が取付けられている。ウェハキャリアの蓋体を着脱する場合、前記鍵部材の回動により、施錠状態の錠装置が解錠されたり、逆に施錠されたりする。また、施錠位置に配置された錠装置の一対の被係合部にそれぞれ係合されている一対の鍵部材は、固定シリンダによって一方向に連続直線移動されるスライド体の両端部にそれぞれに取付けられた各リンク機構を構成する一対のリンク板により、設定角度だけ回動されて、錠装置が解錠される。一対の鍵部材を解錠位置から施錠位置に回動させて、錠装置を施錠する際に、各鍵部材と各被係合部との間には僅かな隙間が存するため、各鍵部材を設定角度（９０°）だけ回動させても、各被係合部の回動角度が、前記設定角度（９０°）よりも小さくなるおそれがある。しかし、本発明の場合、各鍵部材は、固定シリンダによって水平な一方向に連続直線移動されるスライド体の両端部に取付けられたリンク機構により、前記隙間に対応する角度だけ設定角度（９０°）に超過角度（θ）を加えた角度（９０°＋θ）だけ回動される（オーバードライブ）。このため、各被係合部は、常に設定角度（９０°）だけ回動される。しかも、前記各鍵部材は、オーバードライブされた後、そのまま、前記隙間に対応する超過角度（θ）だけ反対方向に回動されるため、該各鍵部材も設定角度だけ回動された位置に配置される。このため、前記各鍵部材を、前記各被係合部から離脱させたり、次工程において進入させたりするときに、支障が生じることはない。
【００１１】
上記作用が奏されるのは、前記リンク機構は、前記鍵部材における前記蓋体保持板の背面側に突出した部分に当該鍵部材の軸直角方向に一体に設けられたアームの先端部と、前記スライド体の端部とがリンク板によりリンク連結された構成であって、前記一対のリンク機構により、両側の各直線移動端がストッパにより規制された状態で前記スライド体を同一方向に連続直線移動させて、前記錠装置を解錠状態から施錠状態に変更する際に、前記ラッチキーが停止位置の直前において前記起立姿勢よりも僅かな角度（θ）だけ超過して回動した後に、当該超過角度（θ）だけ逆方向に回動して前記起立姿勢で停止するように、一対のリンク板は、前記ラッチキーが前記超過角度（θ）だけ起立姿勢よりも回動した時点で前記スライド体の長手方向に対して直交するように配置されているためである。このため、前記一対のリンク板が前記直交配置位置を超えて僅かに逆方向に傾斜した位置で前記スライド体を停止させて、前記ラッチキーのみを前記超過角度（θ）だけ逆方向に回動させて起立姿勢に戻すことにより、次回の蓋体の着脱時に前記各ラッチキーが錠装置の各被係合部と干渉することなく挿入可能なように、当該各被係合部の配置位置を補正できる。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明を前提として、前記固定シリンダは、空気圧シリンダであることを特徴としている。このため、固定シリンダの構成を簡単なものにすることができると共に、安価にすることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する。図１は本発明に係るウェハキャリアＣの蓋体３の着脱装置Ａが取付けられたロードポート装置Ｌの側面図、図２は同じく背面図、図３は蓋体３と鍵装置Ｄの斜視図、図４は蓋体３を保持した状態の鍵装置Ｄの正面図、図５は一部を破断した鍵装置Ｄの平面図である。最初に、ロードポート装置Ｌについて説明する。図１及び図２に示されるように、ロードポート装置Ｌを構成する装置本体１の上面には、該装置Ｌの前後方向に沿ってガイドレール１４が敷設されている。このガイドレール１４に装着されたガイド体１４ａの上面には、ウェハキャリアＣを設置するためのキャリア設置板１５が取付けられている。前記キャリア設置板１５は、空気圧シリンダ１０のシリンダロッド（図示せず）に連結されている。前記空気圧シリンダ１０を作動させることにより、キャリア設置板１５に設置されたウェハキャリアＣを水平移動させて、蓋体保持板５に密着させることができる。その状態のウェハキャリアＣを、図１において、二点鎖線で示す。
【００１４】
次に、本発明に係る蓋体３の着脱装置Ａについて説明する。最初に、鍵装置Ｄについて説明する。図１ないし図３に示されるように、蓋体保持板５の背面側（半導体製造措置Ｈの側）には、ウェハキャリアＣの蓋体３を解錠するための鍵装置Ｄが配設されている。即ち、図４及び図５に示されるように、蓋体保持板５のほぼ中央部には、その水平方向に沿って一対の空気圧シリンダ１６，１７が、相対向して取付けられている。各空気圧シリンダ１６，１７のシリンダロッド１６a,１７a の先端部は、連結ブラケット１８に取付けられていて、該連結ブラケット１８の下端部には、スライド体１９が取付けられている。このスライド体１９の直下の蓋体保持板５には、台座部２１を介してガイドレール２２が固着されていて、該ガイドレール２２にガイド体２２ａが装着されている。前記スライド体１９は、ガイド体２２ａと一体に取付けられているため、水平方向に沿って移動可能である。即ち、一対の空気圧シリンダ１６，１７のうち、一方側のシリンダロッド１６a,１７a を突出させると共に、他方側のシリンダロッド１６a,１７a を引っ込めると、スライド体１９は、ガイドレール２２にガイドされて水平移動される。前記蓋体保持板５は平板状で、ウェハキャリアＣの蓋体３よりも少し大きく、しかも前記蓋体３に相対向して取付けられている。
【００１５】
前記スライド体１９の長手方向の両端部の上面には、各連結板２３，２４が延設されている。各連結板２３，２４の先端部には、それぞれ鍵装置本体部Ｋが設けられている。各鍵装置本体部Ｋの構成は同一なので、ここでは、連結板２３の側（図４の図面視における右側）の鍵装置本体部Ｋの構成についてのみ説明する。蓋体保持板５において、蓋体３に設けられた鍵穴１１と対向する位置には、鍵部材９を通すための通し穴２５が設けられている。そして、前記蓋体保持板５の背面側には、前記通し穴２５と対応する位置に、軸受支持体２６が取付けられている。この軸受支持体２６には、鍵部材９を回動可能に支持するための軸受２６ａが内装されている。前記鍵部材９の先端部には、断面略長方形状のラッチキー９ａが設けられていて、該ラッチキー９ａは、蓋体保持板５における蓋体３の側の端面から突出されている。
【００１６】
前記鍵部材９の後端部は、軸受支持体２６よりも突出されていて、当該部分に、長方形の板材より成るアーム２７の一端部が固着されている。本実施例のアーム２７は、その長手方向が、前記ラッチキー９ａの長手方向と直交する形態で取付けられている。前記アーム２７の他端部は、リンク板２８を介して、前記連結板２３の先端部に取付けられている。そして、連結板２３の先端部とリンク板２８との接続部、及びアーム２７とリンク板２８との接続部は、それぞれの回動中心ＣＬ1,ＣＬ2 を中心に回動自在である。本実施例のリンク板２８は、一方側の空気圧シリンダ１６のシリンダロッド１６ａが突出した状態、即ち、ラッチキー９ａが水平に配置された状態で、右上がりに配置されている。また、前記連結ブラケットの側方には、それぞれストッパボルト２９a,２９b が取付けられている。
【００１７】
次に、蓋体分離装置Ｅについて説明する。図１及び図２に示されるように、装着板２における幅方向のほぼ中央部には、高さ方向に沿ってロッドレスシリンダ３１が配設されている。該ロッドレスシリンダ３１の両側には、高さ方向に沿って一対のガイドレール３２が配設されていて、それぞれにガイド体３２ａが装着されている。前記ロッドレスシリンダ３１の移動体３１ａ及び前記ガイド体３２ａには、ブラケット３３が固着されている。ロッドレスシリンダ３１を作動させると、前記ブラケット３３が昇降する。このブラケット３３の上面には、ロードポート装置Ｌの前後方向に沿って２本のガイドレール３４が敷設されていて、それぞれにガイド体３４ａが装着されている。各ガイド体３４ａの上面には、ブロック３５を介して蓋体保持板５が取付けられている。そして、該蓋体保持板５は、前記ブラケット３３の高さ方向にほぼ沿って取付けられた空気圧シリンダ３６と、該空気圧シリンダ３６のシリンダロッド３６ａの先端部に設けられたリンク機構（図示せず）により、ロードポート装置Ｌの前後方向に沿って移動可能である。なお、図２において、３８は、ブラケット３３の上昇端と下降端を検出するためのスイッチである。
【００１８】
本発明に係る着脱装置Ａの作用について説明する。本明細書では、蓋体保持板５に保持された蓋体３をウェハキャリアＣに装着して、該蓋体３を施錠する場合について説明する。図４、図５及び図１６に示されるように、蓋体３が蓋体保持板５に保持されているとき、ラッチキー９ａは、錠装置Ｂを構成する一対の係合突起体８と係合されており、しかも、前記ラッチキー９ａは水平に配置されている。即ち、ラッチキー９ａの長手方向は、鍵穴１１の長手方向と直交した状態で配置されていて、該ラッチキー９ａの抜け止めが図られている。
【００１９】
図１に示されるように、蓋体分離装置Ｅを作動させて、蓋体保持板５に保持された蓋体３をウェハキャリアＣに接近させ、キャリア本体４に装着する。そして、鍵装置Ｄを作動させる。即ち、図４に示されるように、他方側の空気圧シリンダ１７のシリンダロッド１７ａを突出させると共に、一方側の空気圧シリンダ１６のシリンダロッド１６ａを引っ込める。それに伴って、スライド体１９がガイドレール２２にガイドされて、矢印Ｑ1 の方向へ水平移動される。このときの鍵装置本体部Ｋの作用について、更に詳細に説明する。
【００２０】
図１２に示されるように、スライド体１９の水平移動に伴い、連結板２３も、矢印Ｑ1 の方向に水平移動される。前記連結板２３の先端部には、当該部分に設けられた回動中心ＣＬ1 を中心に、回動自在にしてリンク板２８の下端部が取付けられている。しかも、前記リンク板２８の上端部は、回動中心ＣＬ2 を中心に、回動自在にしてアーム２７の下端部に取付けられている。そして、前記アーム２７は、図５に示されるように、軸受支持体２６に内装された軸受２６ａに、回動のみ可能な状態で支承された鍵部材９の後端部に固着されている。このため、鍵部材９は、回動中心ＣＬ3 （鍵部材９の軸心）を中心として、反時計回りの方向（矢印Ｑ2 の方向）に回動される。この結果、ラッチキー９ａも同方向に回動される。
【００２１】
ここで、図１６及び図１７に示されるように、一対の係合突起体８とラッチキー９ａとの間には、僅かな隙間ｅが設けられているため、ディスク板６は、ラッチキー９ａが回動されても、前記隙間ｅの分だけ遅れて回動される。この結果、スライド体１９が矢印Ｑ1 の方向に水平移動されて、図１３及び図１８に示されるように、ラッチキー９ａが９０°回動されて起立状態に配置されても、一対の係合突起体８が起立状態に配置されない場合がある。ところが、本実施例の鍵装置Ｄの場合、連結板２３は、更に水平移動される。このため、図１４及び図１９に示されるように、連結板２３の長手方向とリンク板２８の長手方向が直交するまで、ラッチキー９ａは矢印Ｑ2 の方向に回動される（オーバードライブ）。このとき、ラッチキー９ａがオーバードライブされる角度（超過角度θ）は、一対の係合突起体８とラッチキー９ａとの隙間ｅに対応する角度である。このため、一対の係合突起体８は起立状態に配置される。
【００２２】
そして、連結板２３は、矢印Ｑ1 の方向に、更に水平移動される。すると、リンク板２８が、再び反対方向に傾けられて、ラッチキー９ａは時計回りの方向（矢印Ｑ3 の方向）に回動される。図１５に示されるように、前記連結板２３が前進端位置に到達したとき（即ち、図４において、連結ブラケット１８が、一方側のストッパボルト２９ａに当接したとき）、ラッチキー９ａは起立状態に配置される。図１９に示されるように、ラッチキー９ａが矢印Ｑ3 の方向に回動されるとき、該ラッチキー９ａは、一対の係合突起体８との隙間ｅ内で回動されるため、前記一対の係合突起体８は、起立状態に配置されたままである。その状態を、図１９において二点鎖線で示す。
【００２３】
このようにして、キャリア本体４に装着された蓋体３が施錠される。続いて、蓋体分離装置Ｅを構成する空気圧シリンダ３６を作動させ、蓋体保持板５を後退させる。ラッチキー９ａは起立状態に配置されているため、鍵穴１１を介して、そのまま蓋体３から離脱させることができる。このとき、一対の係合突起体８は、起立状態に配置されているため、該ウェハキャリアＣが次工程に搬送され、その工程において蓋体３を解錠するためにラッチキー９ａを進入させるときに、一対の係合突起体８とラッチキー９ａとが干渉することはない。
【００２４】
上記したラッチキー９ａのオーバードライブ、及び逆方向への回動操作は、連結板２３、アーム２７及びリンク板２８から成るリンク機構により、スライド体１９を一方向に移動させることで行なわれる。しかも、この回動は、一工程で行なわれる。このため、鍵装置Ｄの構成が極めて簡単なものとなる。更に、前記リンク機構を駆動させるための駆動源は、空気圧シリンダ１６，１７である。このため、鍵装置Ｄを安価に構成できる。
【００２５】
【発明の効果】
本発明に係るウェハキャリア用蓋体の着脱装置は、リンク機構は、鍵部材における蓋体保持板の背面側に突出した部分に当該鍵部材の軸直角方向に一体に設けられたアームの先端部と、スライド体の端部とがリンク板によりリンク連結された構成であって、一対のリンク機構により、両側の各直線移動端がストッパにより規制された状態で前記スライド体を同一方向に連続直線移動させて、前記錠装置を解錠状態から施錠状態に変更する際に、前記ラッチキーが停止位置の直前において前記起立姿勢よりも僅かな角度（θ）だけ超過して回動した後に、当該超過角度（θ）だけ逆方向に回動して前記起立姿勢で停止するように、一対のリンク板は、前記ラッチキーが前記超過角度（θ）だけ起立姿勢よりも回動した時点で前記スライド体の長手方向に対して直交するように配置されているため、前記一対のリンク板が前記直交配置位置を超えて僅かに逆方向に傾斜した位置で前記スライド体を停止させて、前記ラッチキーのみを前記超過角度（θ）だけ逆方向に回動させて起立姿勢に戻すことにより、次回の蓋体の着脱時に前記各ラッチキーが錠装置の各被係合部と干渉することなく挿入可能なように、当該各被係合部が起立姿勢となるように補正できる。この結果、次回の蓋体の着脱時に、錠装置の一対の被係合部に対して鍵装置の一対の鍵部材の先端の各ラッチキーを挿入して係合させる際に、当該被係合体とラッチキーとが干渉することなく、支障なく係合させられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るウェハキャリアＣの蓋体３の着脱装置Ａが取付けられたロードポート装置Ｌの側面図である。
【図２】  同じく背面図である。
【図３】  蓋体３と鍵装置Ｄの斜視図である。
【図４】  蓋体３を保持した状態の鍵装置Ｄの正面図である。
【図５】  一部を破断した鍵装置Ｄの平面図である。
【図６】  一部を破断したウェハキャリアＣの斜視図である。
【図７】  同じく正面図である。
【図８】  同じく側面図である。
【図９】  錠装置Ｂの要部の拡大正面図である。
【図１０】  蓋体３が施錠された状態の側面断面図である。
【図１１】  同じく解錠された状態の側面断面図である。
【図１２】  連結板２３を水平移動させ、ラッチキー９ａを回動させる状態の作用説明図である。
【図１３】  ラッチキー９ａを９０°だけ回動させた状態の作用説明図である。
【図１４】  ラッチキー９ａをオーバードライブさせた状態の作用説明図である。
【図１５】  ラッチキー９ａを逆方向に回動させた状態の作用説明図である。
【図１６】  蓋体３の解錠状態における錠装置Ｂの正面図である。
【図１７】  図１２の状態における錠装置Ｂの作用説明図である。
【図１８】  図１３の状態における錠装置Ｂの作用説明図である。
【図１９】  図１４及び図１５の状態における錠装置Ｂの作用説明図である。
【符号の説明】
Ａ：着脱装置
Ｂ：錠装置
Ｃ：ウェハキャリア
Ｄ：鍵装置（着脱装置）
Ｅ：蓋体分離装置（着脱装置）
Ｌ：ロードポート装置
θ：超過角度
１：装置本体
２：装着板
３：蓋体
５：蓋体保持板
８：係合突起体（被係合部）
９：鍵部材
９ａ：ラッチキー（鍵部材）
１１：鍵穴
１６，１７：空気圧シリンダ
１９：スライド体（水平移動される部材）
２３，２４：連結板（リンク機構）
２７：アーム（リンク機構）
２８：リンク板（リンク機構）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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