(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエーハ支持部が設けられた支持ロッドと、この支持ロッドが係止される係止孔の設けられた支持板と、この支持板に旋回自在に設けられその旋回端を該支持ロッドに当接させることにより支持ロッドが係止孔に押圧され保持されるストッパとを具備し、
該ストッパと支持ロッドの当接状態において、ストッパの旋回中心とこの当接部を通る通過線が、該支持ロッドと係止孔の係止面に対し、該旋回の軸線方向に見て直角をなしている、ことを特徴とする組立式ウエーハボート。
【請求項２】
該支持ロッドは、ストッパの旋回端が嵌入される旋回方向に延びた円弧状の係合溝を備え、その円弧半径が該旋回端の旋回半径に対し旋回端の嵌入方向において漸次小さくなっている、請求項１記載の組立式ウエーハボート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエーハの処理工程においてウエーハを支持するのに用いられるウエーハボート、さらに詳しくは組立式のウエーハボートに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＣ、ＬＳＩ等の回路を形成するためにシリコン等から形成される半導体ウエーハは、酸化膜形成、不純物添加、エッチング等の種々のウエーハ処理工程を経て生産される。この場合ウエーハは、ウエーハボートと呼ばれる支持装置に支持され所定の処理装置に搬出入される。
【０００３】
ウエーハボートの典型例が特開平９−２８３４５５号公報に開示されている。このウエーハボートは組立式に構成され、ウエーハ支持部が設けられた三個の支持ロッドと、支持ロッド各々の両端部が係止される係止孔が設けられた一対の支持板と、支持ロッドと支持板の連結部に設けられ支持ロッドを係止孔に着脱自在に保持するストッパとを具備している。ウエーハボートの構成部材は、ウエーハ処理工程における処理ガスを汚染しないように、あるいはウエーハに異物の付着などの悪影響を与えないように等から、ウエーハと実質的に同一のシリコンあるいは炭化珪素等の材料によって形成されている。したがって、部材の連結には通常のボルト、ナットのごとき連結手段は用いられない。
【０００４】
図６を参照して上述の組立式ウエーハボートにおける支持ロッドと連結板の連結部について、さらに詳細に説明する。支持板２６の係止孔２６ａに挿入された支持ロッド２４の端部は、端部に形成された鉤溝と係止孔２６ａに形成された段部とが係合面３０で係合され、図６の紙面に垂直方向の移動が止められる。その後旋回自在に支持板２６に設けられたストッパ８を矢印Ｙ方向に旋回させ支持ロッド２４に当接させることにより、支持ロッド２４は係止孔２６ａに係止面３０で押圧され支持板２６に連結保持される。連結状態を解除するにはこの逆の操作を行えばよい。
【０００５】
このウエーハボートは、ウエーハ処理工程における熱処理の際の熱膨張、エッチングの際の浸食等を繰り返し受けるので、上述の連結部に遊びが発生したり、ウエーハボート全体にガタ付きが生じやすい。そして支持ロッド２４と支持板２６の連結が外れて脱落、破損等をまねく虞も生じる。そこで支持板２６と支持ロッド２４との連結が維持され外れないようにするために、支持ロッド２４とストッパ８の当接関係は、ストッパ８の旋回中心９の軸線方向に見て（図６の状態）、当接部１２と旋回中心９を通る通過線１４と、係止面３０とによる夾角θが、鋭角に、例えば８０°に規定されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上述したとおりの形態の従来の組立式ウエーハボートには、次のとおりの解決すべき問題がある。すなわち、ストッパ８の旋回中心９と、ストッパ８と支持ロッド２４の当接部１２と、支持ロッド２４と支持板２６の係止面３０の関係が鋭角に規定されているので、図６に示すようにストッパ８による支持ロッド２４を係止面３０に押付ける力Ｆが、係止面３０に直角な方向の力Ｆ１と係止面３０に沿う方向の力Ｆ２とに分散され、係止面３０に押付ける実質的な押付力がＦからＦ１に減少してしまう。さらに力Ｆ２は、ストッパ８と支持ロッド２４の当接を外す方向に生じる。
【０００７】
本発明は上記事実に鑑みてなされたもので、その技術的課題は、組立式ウエーハボートの支持ロッドと支持板の連結部における支持ロッドをストッパにより支持板に押付ける力が分散減少しないようにし、支持ロッドと支持板の連結を確実に保持し、外れないようにした、組立式ウエーハボートを提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、上記技術的課題を解決する組立式ウエーハボートとして、ウエーハ支持部が設けられた支持ロッドと、この支持ロッドが係止される係止孔の設けられた支持板と、この支持板に旋回自在に設けられその旋回端を該支持ロッドに当接させることにより支持ロッドが係止孔に押圧され保持されるストッパとを具備し、該ストッパと支持ロッドの当接状態において、ストッパの旋回中心とこの当接部を通る通過線が、該支持ロッドと係止孔の係止面に対し、該旋回の軸線方向に見て直角をなしている、ことを特徴とする組立式ウエーハボートが提供される。好適実施形態においてはまた、該支持ロッドは、ストッパの旋回端が嵌入される旋回方向に延びた円弧状の係合溝を備え、その円弧半径が該旋回端の旋回半径に対し旋回端の嵌入方向において漸次小さくなっている。
【０００９】
そして、支持ロッドを押付ける力の作用方向を支持板の係止面に直角にして、押付ける力が分散されないようにし、支持ロッドと支持板の連結を確実に保持し外れないようにする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に従って構成された組立式ウエーハボートの好適実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】
図１及び図２を参照して説明すると、全体を番号２で示すウエーハボートは、半導体ウエーハの支持部が設けられた三個の支持ロッド４と、支持ロッド４各々の両端部が係止される上下一対の支持板６と、支持ロッド４の各々に関連して支持板６に旋回自在に設けられた六個のストッパ８とを具備している。支持ロッド４、支持板６、そしてストッパ８は、シリコン、炭化珪素等の材料によって形成されている。
【００１２】
支持ロッド４は略矩形の断面を有した棒状に形成され、両端部４ａ、４ａの間にウエーハ支持部４ｂが所定の間隔をおいて内方に突出する多数の段部により設けられている。両端部４ａ、４ａには外方を向いて設けられた矩形溝からなる鉤溝４ｃが、鉤溝４ｃに近接した位置の内方側には矩形状の係合溝４ｄがそれぞれ設けられている。支持板６の外周縁側には、支持ロッド４の端部４ａが係合される三個の矩形の係止孔６ａが形成されている。係止孔６ａには、支持ロッド４の鉤溝４ｃが係合される段部６ｂがその外側内縁に沿って形成されている。支持板６にはまた、ストッパ８を旋回可能に取付けるための軸孔６ｃが係止孔６ａの内方側に形成されている。ストッパ８は、帯状板の両端を円弧状に丸めた小判型に形成され、一端側には片面から突出し軸孔６ｃに嵌合される旋回軸８ａが一体的に設けられている。ストッパ８の円弧状の他端は支持ロッド４の係合溝４ｄに当接する旋回端８ｂを形成している。
【００１３】
支持ロッド４と支持板６の六箇所の連結部は実質的に同一構造をなしている。したがって、この連結部については一箇所で代表して説明する。
【００１４】
図１及び図２とともに図３、主として図３を参照して説明する。支持ロッド４の鉤溝４ｃ及びこれと係合する係止孔６ａの段部６ｂは、ストッパ８の旋回中心９の軸線方向に見て（図３の状態）直線状に形成されており、鉤溝４ｃの底面及びこれに対向する段部６ｂの端面は互いに当接する係止面１０を形成している。この係止面１０は、ストッパ８の旋回中心９と、旋回端８ｂと支持ロッド４の係合溝４ｄの当接部１２とを通る通過線１４が、係止面１０が直線状に延在する方向に対して直角になるように配設されている。
【００１５】
係合溝４ｄは、ストッパ８の旋回方向に延び旋回端８ｂが嵌入される円弧状に形成されている。その円弧半径ｒは旋回端８ｂの旋回半径Ｒに対し小さめに設定されており、ストッパ８の旋回端８ｂは当接状態において係合溝４ｄに圧接される。また円弧半径ｒは、旋回端８ｂがその当接部１２からさらに嵌入する方向ににおいて漸次小さくなっている。
【００１６】
図１〜図３とともに図４を参照して、上述のごとく構成された支持ロッド４と支持板６の連結部の組立てについて説明する。図４に示すごとく、先ず支持ロッド４の端部４ａの鉤溝４ｃ部を支持板６の係止孔６ａに挿入する。ストッパ８はこの挿入の邪魔にならない位置（図３に二点鎖線で示す）にしておく。次に図２に示すごとく、支持ロッド４を係止孔６ａ内で矢印Ｘで示す外側方向に移動させ鉤溝４ｃと段部６ｂとを係合させる。これにより支持ロッド４の図３の紙面に垂直方向の移動が止められる。次に図３に示すごとくストッパ８を矢印Ｙで示す方向に旋回させ、その旋回端８ｂを支持ロッド４の係合溝４ｄに嵌入させ当接させる。かくすることにより、鉤溝４ｃと段部６ｂとは係止面１０において押付けられ、支持ロッド４は支持板６に連結保持され組立てが完了する。連結部の分解は上記と逆の手順で行う。
【００１７】
主として図３を参照して上述したとおりの組立式ウエーハボートの作用を説明する。
【００１８】
（１）ストッパ８による押付け力Ｆは、ストッパ８と支持ロッド４の当接部１２とストッパ８の旋回中心９を通る通過線１４が係止面１０に対し、従来の鋭角とは異なり、直角に位置付けられるので、係止面１０に対し従来のように分散、減少されない。また、従来あったストッパ８と支持ロッド４の当接を外す方向の力も生じない。
【００１９】
（２）さらに、係合溝４ｄの円弧半径ｒが、旋回端８ｂがその当接部１２からさらに嵌入する方向において漸次小さくなっているので、当接部１２の旋回Ｙ方向への移動が抑えられ、押付け力Ｆの作用方向の通過線１４と係止面１０との直角の関係を維持することができる。
【００２０】
（３）そしてまた、ストッパ８及び係合溝４ｄが摩耗してストッパ８が９０°以上旋回Ｙ方向に回転しても、当接面１０に沿う方向の力はストッパ８をさらにＹ方向に回転させ締める方向に働くので、ストッパ８の外れることがない。
【００２１】
（４）したがって、支持ロッド４と支持板６の係合を、十分確実に保持し、外れないようにすることができる。
【００２２】
以上、本発明を実施の形態に基づいて詳細に説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内においてさまざまな変形あるいは修正ができるものである。
【００２３】
（１）直角：
本実施の形態においては、旋回中心９と当接部１２との通過線１４が係止面１０と直角になるよう配設されているが、詳述したように、この角度はストッパ８による押付け力Ｆが係止面１０に対し従来のように鋭角方向ではなく直角の方向に働けばよいから、角度は厳密に９０°である必要はなく略直角であればよい。
【００２４】
（２）係止面：
本実施の形態においては、鉤溝４ｃとこれに対向する段部６ｂとの係止面１０が、支持板６の板面に対し直角に形成されているが、図５に示すように傾斜させ、旋回中心９の軸線方向に見て（図３の状態）直線状に配置した傾斜面１６であってもよい。
【００２５】
【発明の効果】
本発明に従って構成された組立式ウエーハボートによれば、組立式ウエーハボートの支持ロッドと支持板の連結部における支持ロッドをストッパにより支持板に押付ける力が分散減少しないようにし、支持ロッドと支持板の連結を確実に保持し、外れないようにした、組立式ウエーハボートが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従って構成された組立式ウエーハボートを、一部を分解して示した斜視図。
【図２】図１のＡ−Ａ矢印方向に見て支持ロッドと支持板の連結部の連結状態を示した断面図。
【図３】図２のＢ−Ｂ矢印方向に見た断面図。
【図４】図２に示す連結部を連結前の状態で示した断面図。
【図５】連結部の他の実施の形態を示した部分断面図。
【図６】従来の連結部の断面図で、本発明の図３に相当する図。
【符号の説明】
２：ウエーハボート
４：支持ロッド
４ｂ：ウエーハ支持部
４ｄ：係合溝
６：支持板
６ａ：係止部
８：ストッパ
８ｂ：旋回端
９：旋回中心（旋回軸線）
１０：係止面
１４：通過線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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