(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コリオリ流量計を組み立てる方法において、
基板（５５２）及び２つの脚部（５１７，５１８）を有する流量計構造体を提供するステップであって、前記２つの脚部は離間した関係で前記基板に取り付けられ、各前記２つの脚部はその脚部を通る管状開口部（５０２，５１２）を有し、その２つの管状開口部は同軸的な関係で整列させられている、前記流量構造体を提供するステップと、
所定の外径を有しフッ化ポリマーで作られている流管（５０１）を提供するステップであって、前記外径は、予め定義された間隙を残しつつ、前記２つの脚部内の前記２つの管状開口部（５０２，５１２）内に嵌入するように形成されている、前記流管（５０１）を提供するステップと、
前記２つの管状開口部内に前記流管（５０１）を配置するステップであって、前記流管の所定の区画は前記２つの管状開口部の間を伸長し、前記流管は、前記流管の外径及び前記２つの開口部の内径の間に２つの予め定義された間隙を作っている、前記流管（５０１）を配置するステップと、
前記２つの予め定義された間隙内に接着剤を挿入するステップと、
前記挿入された接着剤が硬化している間、本質的にまっすぐな形状である前記２つの脚部の間に伸長する前記流管の区画を保持するステップとを備えることを特徴とする方法。
【請求項２】
請求項１に記載のコリオリ流量計を組み立てる方法において、
前記接着剤は、各脚部の接着剤注入用開口部（５０４，５１４）を通って各予め定義された間隙内に挿入され、
各接着剤注入用開口部は交叉し、且つ、各脚部（５１７，５１８）の前記管状開口部（５０２，５１２）に対して垂直であり、
２つの前記管状開口部の軸は、本質的に同一面内にあり、
前記接着剤が挿入されている間、前記接着剤注入用開口部及び前記管状開口部は水平方向に保持されている、方法。
【請求項３】
請求項１に記載のコリオリ流量計を組み立てる方法において、
前記流管の外側表面は、多くの接着領域の内少なくとも１つの領域において腐食され、これにより、接着領域は、前記流管が他の表面に接着される領域となる、方法。
【請求項４】
請求項３に記載のコリオリ流量計を組み立てる方法において、
前記腐食は、ナフタレンナトリウム腐食剤を使用しておこなわれる、方法。
【請求項５】
請求項１に記載のコリオリ流量計を組み立てる方法において、
取付ブロック（１０００）を提供するステップにより、前記２つの脚部の間で伸長する前記流管の前記区画が本質的に直線的な形状に保持される、前記取付ブロック（１０００）を提供するステップは、
前記基板の前記第１脚部及び前記第２脚部の間に、端部に第１管状開口部分を有している第１区画（８０２）を挿入するステップと、
前記基板の前記第１脚部及び前記第２脚部の間に、端部（９１５）に第２管状開口部分（９１４）を有している第２区画（８０４）を挿入するステップであって、前記第２区画の端部は前記第１区画の前記端部に隣接して適合して取付ブロック（１０００）を形成し、前記取付ブロックは前記第１管状開口部分及び前記第２管状開口部分から形成される管状開口部（１１０１）を有しており、前記流管は前記取付ブロックの前記管状開口部内に保持されている、前記第２区画（８０４）を挿入するステップとを備える、方法。
【請求項６】
請求項５に記載のコリオリ流量計を組み立てる方法において、前記取付ブロック（１０００）を提供するステップは、
前記取付ブロックの表面から伸張し、前記取付ブロックの前記管状開口部（１１０１）と交叉する励振器開口部（１２０２）であって、その励振器開口部を使用して励振器が前記流管に取り付けられている、前記励振器開口部を提供するステップと、
前記取付ブロックの前記表面から伸張し、前記取付ブロックの前記管状開口部と交叉する少なくとも１つのピックオフ開口部（１２０４）であって、そのピックオフ開口部を使用して少なくとも１つのピックオフが前記流管に取り付けられている前記少なくとも１つのピックオフ開口部を提供するステップとを更に備える方法。
【請求項７】
請求項６に記載のコリオリ流量計を組み立てる方法において、前記取付ブロックを提供するステップは、
前記取付ブロック（１０００）の前記励振器開口部に嵌るようになっており、前記取付ブロックの前記表面から、前記取付ブロックの前記管状開口部（１１０１）に隣接する領域まで伸張している整列手段（１２０６）であって、前記流管に取り付けられる間、前記励振器及び前記少なくとも１つのピックオフを前記流管に関する整列位置に保持するのに使用される前記整列手段を提供するステップを更に備える、方法。
【請求項８】
請求項６に記載のコリオリ流量計を組み立てる方法において、前記取付ブロックを提供するステップは、
前記第１区画（８０２）及び前記第２区画（８０４）を前記流量計（５００）の前記基板（５５２）に固定して、前記取付ブロック（１０００）の前記励振器開口部（１２０２）を前記基板内の励振器開口部と整列させ、且つ、前記取付ブロックの前記少なくとも１つのピックオフ開口部（１２０４）を前記基板内の前記少なくとも１つのピックオフ開口部と整列させるための、固定手段（８０６）を提供するステップと、
前記固定手段を使用して前記第１区画及び前記第２区画を前記基板に固定するステップとを更に備え、
前記励振器が、前記基板内の励振器開口部を使用して前記流管に取り付けられ、前記少なくとも１つのピックオフが、前記基板内の前記少なくとも１つのピックオフ開口部を使用して前記流管に取り付けられている方法。
【請求項９】
請求項１に記載のコリオリ流量計を組み立てる方法において、前記流管は、ペルフルオロアルコキシエチレン（ＰＦＡ）から作られている方法。
【請求項１０】
請求項１に記載のコリオリ流量計を組み立てる方法において、前記流管は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）から作られている方法。
【請求項１１】
請求項１に記載のコリオリ流量計を組み立てる方法において、前記接着剤は、シアノアクリレート接着剤を含む方法。
【請求項１２】
請求項１に記載のコリオリ流量計を組み立てる方法において、
前記２つの脚部の間で伸長する前記流管の前記区画に取り付けられる複数の構成要素を提供するステップと、
前記複数の構成要素を前記流管に沿った予め画定した１組の位置に整列するステップと、
前記接着剤を使用して、前記複数の構成要素を前記流管に取り付けるステップとを更に備える方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載のコリオリ流量計を組み立てる方法において、
前記複数の構成要素のうち少なくとも１つは励振器である方法。
【請求項１４】
請求項１２に記載のコリオリ流量計を組み立てる方法において、
前記複数の構成要素のうち少なくとも１つはピックオフである方法。
【請求項１５】
請求項１２に記載のコリオリ流量計を組み立てる方法において、
前記複数の構成要素のうち少なくとも１つを使用して振動を生じさせて、前記流管を振動させ、且つ、前記複数の構成要素のうち少なくとも１つを使用して前記流管の振動を計測することにより、前記複数の構成要素の前記位置を試験するステップを更に備える方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載のコリオリ流量計を組み立てる方法において、
前記試験された位置の結果に基づいて、前記複数の構成要素の予め画定された位置を調整するステップを更に備える方法。
【請求項１７】
請求項１に記載のコリオリ流量計を組み立てる方法において、
前記流管の所定の区画を押出成形することにより所定の流管を製造するステップであって、前記押出成形された区画は室温よりも高い温度を有する、前記流管を製造するステップと、
前記押出成形された流管の区画を固定し、その流管が冷却される際に、その流管の長手方向形状を真っ直ぐに保持するステップとを更に備える方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流量計、特に、フッ化ポリマーで作られている流管を備えた流量計の製造に関する。
【背景技術】
【０００２】
１９８５年１月１日、Ｊ．Ｅ．スミスらに発行された米国特許第４，４９１，０２５号及び１９８２年２月１１日、Ｊ．Ｅ．スミスへのＲｅ．３１，４５０号に開示されているように、パイプラインを流れる材料に関する質量流量その他の情報を測定するのに、コリオリ効果質量流量計を使用することは知られている。流量計は、非直線、湾曲、又は不規則な形状をした１つ又は複数の流管を有している。各流管は、単純曲げ、捻り、又はひねり型などの一式の固有振動モードを有している。各材料が満たされた流管は、これら固有振動モードの内の１つの共振点で振動するよう駆動される。固有振動モードは、部分的には、流管と流管内の材料を合わせた質量によって決まる。必要ならば、流量計は、固有モードで駆動しなくともよい。
【０００３】
材料は、入口側に接続されている材料供給源から流量計に流れ込む。材料は指向されて、単一又は複数の流管を通り、出口側に接続された材料受取器まで運搬される。
励振器は、流管を振動させるよう力を掛ける。材料の流れが無い場合、流管に沿う全ての点が、同一の位相で振動する。材料が流れ始める際、コリオリ加速度は、流管上の各点に、流管上の他の点とは異なる位相を持たせる。流管の入口側の位相は励振器より遅れ、出口側の位相は励振器より早い。流管の運動を示す正弦波信号を得るため、流管上にピックオフが配置されている。２つのピックオフ信号の間の位相差は、材料の流れの質量流量に比例する。
【０００４】
異なる流管構成を有する流量計を使用することは知られている。これらの構成には、単一管、二重管、直管、湾曲管、不規則な形状の流管が含まれる。大部分の流量計は、アルミニウム、鋼、ステンレス鋼及びチタンのような金属製である。ガラス流管も知られている。
【０００５】
これらの型式の流量計におけるチタンの好ましい属性は、高い強度と、低い熱膨張係数（ＣＴＥ）である。チタンの好ましくない属性は、製造コストである。チタンの流量計は、製造が難しく、経費が掛かる。
【０００６】
先行技術は、プラスチックの流管及びプラスチック流量計も提案している。これには、流量計全体がプラスチックであるか、又は流管だけがプラスチックである先行技術が含まれている。この先行技術の多くは、流量計を、鋼、ステンレス鋼、チタン又はプラスチックのような様々な材料で作ることができるという主張を含んでいるに過ぎない。
【０００７】
この先行技術は、温度を含む作動条件の範囲に亘って情報を正確に出力できるプラスチック製のコリオリ流量計の開示に関する限り示量的ではない。この先行技術は、プラスチック流管を有するコリオリ流量計を製造する開示に関する限り示量的ではない。
【０００８】
金属流管をプラスチック流管に置き換えても、流量計に似た構造にはなる。しかしながら、その構造体は、作動条件の有用な範囲に亘って正確な出力情報を生成する流量計としては機能しない。流量計をプラスチックで作ることができるという主張のみでは、プラスチックを金属に置き換えることができるという抽象概念に過ぎない。それは、プラスチックの流量計を、作動条件の有用な範囲に亘って正確な情報を生成できるようにするには、どの様に製造するかについて教示してはいない。
【０００９】
ペルフルオロアルコキシエチレン（ＰＦＡ）は、流量計に用いるよう述べられたプラスチックの１つの種類である。バンダーポール（Ｖａｎｄｅｒｐｏｌ）に発行された米国特許第５，９１８，２８５号は、ＰＦＡを流管へ用いることを開示している。ＰＦＡの使用に関するこの提案は付随的なものであり、本特許は、正確な流れの情報を生成するにはＰＦＡ流管を有する流量計をどのように製造すればよいかについては、何ら情報を開示していない。
【００１０】
ディーター・マイヤー（Ｄｉｅｔｅｒ Ｍｅｉｅｒ）に発行された米国特許第５，４０３，５３３号は、ＰＦＡで内張されている流管を開示している。残念ながら、流管の材料とＰＦＡ内張は、異なる熱的特性を有している。このため、ＰＦＡ内張が流管から剥がれ、漏れと性能問題が発生する。金属流管をＰＦＡで内張する製造工程も、非常に費用が掛かる。
【００１１】
ＰＦＡは、化学的に非常に不活性であり、表面エネルギーが非常に低い。このため、一般的な接着剤を使ってＰＦＡを他の対象物に接着するのは非常に難しい。この問題を解決する１つの方法は、化学的腐食によってＰＦＡの表面の化学的性質を変えることである。ＰＦＡの表面を腐食させると、接着剤を使った際の接着力がかなり強くなる。
【００１２】
しかしながら、腐食によってＰＦＡの接着力が強くなるとしても、ＰＦＡを他の対象物に接着するのは、強力に接着するため慎重に行わねばならない。強力に接着するには、使用する接着剤の種類、ＰＦＡと対象物の間の間隙、間隙を接着剤で完全に覆っているか、接着剤が適切に硬化するか、ＰＦＡの表面の状態、及び、対象物の表面の状態、を考慮しなければならない。残念ながら、現在、ＰＦＡを他の対象物に接着して、流量計を作る手頃な方法は無い。
【００１３】
上記のように、一般的なコリオリ流量計は、金属で製造されている。金属は、現在の機械及び溶接技術を使えば製造するのがかなり容易である。コリオリ流量計は、１つ又は複数の金属流管を備えている。殆どのコリオリ流量計では、振動管の所望の力学的特性を達成するため、流管の両端部を固定する必要がある。流管は、一般的に、マニホルド、ブレースバー又は何らかの他の構造体によって、その両端部が固定位置に保持される。流管は、流管をマニホルドに溶接することによって、マニホルドに取り付けられる。励振器及びピックオフも、流管に取り付けられる。励振器及びピックオフの１つの例は、磁石−コイル構成である。励振器及びピックオフは、励振器及びピックオフ用の磁石を流管に張り付かせることによって、流管に取り付けられる。現在の溶接技術を使えば、励振器及びピックオフは、容易且つ正確に流管に取り付けることができる。
【００１４】
残念ながら、ＰＦＡ流管をマニホルド、ブレースバーなどに取り付けて、流管を支持する容易な方法は無い。励振器及びピックオフをＰＦＡ流管に取り付ける容易で正確な方法も無い。従来からの溶接及びろう付けを、ＰＦＡ流管に適用することはできない。更に、金属と異なり、ＰＦＡは、柔らかく可橈性である。このため、ＰＦＡを用いる作業は、金属と比べて難しい仕事になる。処理材料の質量流量を正確に測定するためには、励振器及びピックオフを、流管上に正確に整列させ位置決めしなければならない。励振器及びピックオフをＰＦＡ流管に取り付けるのが難しいため、励振器及びピックオフを正確に整列させ位置決めするのは非常に難しい。
【００１５】
ＰＦＡ管の製造では、一般的に、管を大量に作成する。製造業者は、押出成形器を使って管を製作する。管は、室温よりも高い温度で押出成形器から出てくる。管は、長い管が容易に取り扱え且つきちんと梱包できるように、スプールの回りに巻き付けられる。管は、スプール上で冷却される。後で管をスプールから巻き戻すと、管は、通常、湾曲した形状になっている。湾曲した管を流量計の流管として用いると、流管の湾曲した形状が、流量計に精度の問題を引き起こしかねない。従って、流量計製造業者は、流管を真っ直ぐにするか、製造の間に流管を真っ直ぐな位置に保持するか、又は特別に作られた管を製造業者から高い価格で入手しなければならない。残念ながら、現在、流量計製造業者が直面している上記問題を解決する手頃な解決策は無い。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、上記及びその他の問題を解決し当該技術を進歩させるものであり、フッ化ポリマー製の流管を使用する改良された流量計と、フッ化ポリマー製の流管を有する流量計を製造するための取付装置と、フッ化ポリマー製の真っ直ぐな流管を製造するための方法と、流管上の励振器とピックオフの整列を試験する方法と、を開示している。
【００１７】
好都合に、改良された流量計は、接着剤を注入して流管を基板に接着させるための、流量計の基板に機械加工された接着剤注入用開口部を有している。接着剤注入用開口部により、流管と基板の間の接続部を良好にカバーし、接着をより強力にすることができる。この接着剤注入用開口部は、更に、流量計製造をもっと簡単な工程とする。
【００１８】
好都合に、取付装置は、製造の間に、流管を固定軸に固定する。流管が取付装置によって固定されるので、流量計の製造業者は、流管を、流量計の基板に簡単に取り付けることができるようになる。取付装置によって、励振器とピックオフを流管に接着する仕事もやり易くなる。取付装置は、励振器とピックオフを流管上に正しく整列させる仕事も支援する。取付装置は、流管を真っ直ぐにし、流管の活性又は振動部分の湾曲を最小化するか、取り除く働きもする。
【００１９】
好都合に、流管上の励振器とピックオフの整列を試験する方法は、流量計製造業者が品質制御を確認できるようにする。流量計製造業者は、製造工程がどれほど正確であるかを容易且つ便利に判定することができる。流量計製造業者は、製造処理に関する問題を識別して、どの様な調整を行う必要があるかを判定することもできる。
【００２０】
好都合に、フッ化ポリマー製の真っ直ぐな流管を製造するための方法は、流管製造業者が、より正確な流量計を作るのを支援する。真っ直ぐな流管が必要な場合、流量計製造業者は、サプライヤと共に作業して流管仕様に真直度要件を定義することによって、直接、流管製造業者から真っ直ぐな流管を容易且つ便利に受け取ることができる。流量計製造業者は、流量計を製造する前に、流管を真っ直ぐにする必要はない。流量計製造業者は、部分的に湾曲した流管を使って流量計を作るという難題に直面することはない。
【００２１】
改良型流量計の１つの実施形態は、基板、流管、励振器及びピックオフを備えた流量計である。励振器とピックオフは、流管に取り付けられている。流量計の基板は、第１脚部と第２脚部を備えている。第１脚部は、管状開口部と接着剤注入用開口部を有しており、第２脚部は、管状開口部と接着剤注入用開口部を有している。流管は、第１脚部の管状開口部と、第２脚部の管状開口部を通過する。第１脚部の管状開口部と接着剤注入用開口部は、第１脚部内で交叉し、同一平面内にあるので、第１脚部の管状開口部と接着剤注入用開口部は、同時に水平方向に配置することができる。第２脚部の管状開口部と接着剤注入用開口部は、第２脚部内で交叉し、同一平面内にあるので、第２脚部の管状開口部と接着剤注入用開口部は、同時に水平方向に配置することができる。
【００２２】
第１脚部の管状開口部は、流管より僅かに大きい直径を有しているので、第１脚部の管状開口部と流管との間には間隙ができる。第１脚部の接着剤注入用開口部は、間隙へアクセスできるようにするので、接着剤を、流管と、第１脚部部の管状開口部の内側表面とに塗布することができる。第２脚部の管状開口部は、流管より僅かに大きい直径を有しているので、第２脚部の管状開口部と流管との間には間隙ができる。
【００２３】
第２脚部の接着剤注入用開口部は、間隙へアクセスできるようにするので、接着剤を、流管と、第２脚部部の管状開口部の内側表面とに塗布することができる。
以下に、製造業者が上記流量計を作るのに用いる方法を示す。先ず、製造業者は、第１脚部の管状開口部と、第１脚部の接着剤注入用開口部と、流管を、水平面上に配置する。製造業者は、第１脚部の接着剤注入用開口部内に接着剤塗布器の先端を配置し、流管の外側表面と第１脚部の管状開口部の内側表面に近接する間隙にアクセスする。製造業者は、所定量の接着剤を間隙内に注入する。流管の外側表面と第１脚部の管状開口部の内側表面との表面エネルギーのため、接着剤は、毛管作用すなわちウィッキングによって間隙内へと引き込まれる。接着剤が管状開口部の両端部に達すると、ウィッキングは停止し、均一で対称的なフィレットを形成する。次に、製造業者は、接着剤を硬化させる。製造業者は、同じ作業を行って、流管を第２脚部の管状開口部に取り付ける。接着剤注入用開口部は、流管を流量計の基板に接着する簡単で上手い方法を提供する。
【００２４】
取付装置の１つの実施形態は、第１区画と第２区画を備えている。取付装置は、流量計を製造する間に、流量計の流管を固定するよう構成されている。第１区画は、第１区画の端部に第１管状開口部分を有している。第２区画は、第２区画の端部に第２管状開口部分を有している。第１区画の端部と第２区画の端部は、互いに隣接してぴったり合うよう構成されている。
【００２５】
第１区画と第２区画は、隣接して配置されると、取付ブロックを形成する。取付ブロックは、第１管状開口部分と第２管状開口部分から形成された管状開口部を有している。管状開口部は、製造中に、流量計の流管を保持するためのものである。
【００２６】
固定手段は、第１区画と第２区画を、流量計の基板に固定する。固定手段は、取付ブロックの管状開口部と、流量計の基板の管状開口部を整列させる。この様にして、流管を、流量計の基板に固定することができる。
【００２７】
取付装置は、励振器構成要素とピックオフ構成要素とを流管に取り付けるための整列手段も含んでいる。
流量計の流管上での励振器とピックオフの整列を試験する方法の１つの実施形態は、以下の通りである。整列を試験するために、製造業者は、励振器を使って、１つ又は複数の駆動周波数で流管を加振する。製造業者は、処理システムを使って、ピックオフからピックオフ信号を受け取る。ピックオフ信号は、流管の振動周波数を示している。処理システムは、ピックオフ信号と、駆動周波数を示す信号を処理して、周波数応答を求める。処理システムは、周波数応答に基いて、励振器とピックオフの流管上での受容不可能な整列を識別する。
【００２８】
フッ化ポリマー製の流管を製造するための方法の１つの実施形態を、以下に述べる。製造業者は、押出成形システムから流管を押出成形する。流管は、ＰＦＡのようなフッ化ポリマーから作られる。流管は、室温よりも高い温度で、押出成形器から出てくる。製造業者は、流管の所定部分を切断して切断部分とする。製造業者は、次に、流管のその切断部分を固定して、その切断部分が冷却する際に、その切断部分の長手方向形状を真っ直ぐに保持する。流管が冷却して真っ直ぐであると、製造業者は、流管のその切断部分を梱包し、その切断部分の真っ直ぐな形状を維持する。
【００２９】
本発明は、以下に示す１つ又は複数の態様を含んでいる。
本願発明の一実施例によれば、コリオリ流量計を組み立てる方法は、
基板及び２つの脚部を有する流量計構造体を提供するステップであって、前記２つの脚部は離間した関係で前記基板に取り付けられ、各前記２つの脚部はその脚部を通る管状開口部を有し、その２つの管状開口部は同軸的な関係で整列させられている、前記流量構造体を提供するステップと、
所定の外径を有しフッ化ポリマーで作られている流管を提供するステップであって、前記外径は、予め定義された間隙を残しつつ、前記２つの脚部内の前記２つの管状開口部内に嵌入するように形成されている、前記流管を提供するステップと、
前記２つの管状開口部内に前記流管を配置するステップであって、前記流管の所定の区画は前記２つの管状開口部の間を伸長し、前記流管は、前記流管の外径及び前記２つの開口部の内径の間に２つの予め定義された間隙を作っている、前記流管を配置するステップと、
前記２つの予め定義された間隙内に接着剤を挿入するステップと、
前記挿入された接着剤が硬化している間、本質的にまっすぐな形状である前記２つの脚部の間に伸長する前記流管の区画を保持するステップとを備える。
【００３０】
好ましくは、前記接着剤は、各脚部の接着剤注入用開口部を通って各予め定義された間隙内に挿入され、
各接着剤注入用開口部は交叉し、且つ、各脚部の前記管状開口部に対して垂直であり、
２つの前記管状開口部の軸は、本質的に同一面内にあり、
前記接着剤が挿入されている間、前記接着剤注入用開口部及び前記管状開口部は水平方向に保持されている。
【００３１】
また好ましくは、前記流管の外側表面は、多くの接着領域の内少なくとも１つの領域において腐食され、これにより、接着領域は、前記流管が他の表面に接着される領域となる。
【００３２】
また好ましくは、前記腐食は、ナフタレンナトリウム腐食剤を使用しておこなわれる。
【００３３】
また好ましくは、取付ブロックを提供するステップにより、前記２つの脚部の間で伸長する前記流管の前記区画が本質的に直線的な形状に保持される、前記取付ブロックを提供するステップは、
前記基板の前記第１脚部及び前記第２脚部の間に、端部に第１管状開口部分を有している第１区画を挿入するステップと、
前記基板の前記第１脚部及び前記第２脚部の間に、端部に第２管状開口部分を有している第２区画を挿入するステップであって、前記第２区画の端部は前記第１区画の前記端部に隣接して適合して取付ブロックを形成し、前記取付ブロックは前記第１管状開口部分及び前記第２管状開口部分から形成される管状開口部を有しており、前記流管は前記取付ブロックの前記管状開口部内に保持されている、前記第２区画を挿入するステップとを備える。
【００３４】
また好ましくは、前記取付ブロックの表面から伸張し、前記取付ブロックの前記管状開口部と交叉する励振器開口部であって、その励振器開口部を使用して励振器が前記流管に取り付けられている、前記励振器開口部を提供するステップと、
前記取付ブロックの前記表面から伸張し、前記取付ブロックの前記管状開口部と交叉する少なくとも１つのピックオフ開口部であって、そのピックオフ開口部を使用して少なくとも１つのピックオフが前記流管に取り付けられている前記少なくとも１つのピックオフ開口部を提供するステップとを更に備える。
【００３５】
また好ましくは、前記取付ブロックの前記励振器開口部に嵌るようになっており、前記取付ブロックの前記表面から、前記取付ブロックの前記管状開口部に隣接する領域まで伸張している整列手段であって、前記流管に取り付けられる間、前記励振器及び前記少なくとも１つのピックオフを前記流管に関する整列位置に保持するのに使用される前記整列手段を提供するステップを更に備える。
【００３６】
また好ましくは、前記第１区画及び前記第２区画を前記流量計の前記基板に固定して、前記取付ブロックの前記励振器開口部を前記基板内の励振器開口部と整列させ、且つ、前記取付ブロックの前記少なくとも１つのピックオフ開口部を前記基板内の前記少なくとも１つのピックオフ開口部と整列させるための、固定手段を提供するステップと、
前記固定手段を使用して前記第１区画及び前記第２区画を前記基板に固定するステップとを更に備え、
前記励振器が、前記基板内の励振器開口部を使用して前記流管に取り付けられ、前記少なくとも１つのピックオフが、前記基板内の前記少なくとも１つのピックオフ開口部を使用して前記流管に取り付けられている。
【００３７】
また好ましくは、前記流管は、ペルフルオロアルコキシエチレン（ＰＦＡ）から作られている。
【００３８】
前記流管は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）から作られている。
【００３９】
前記接着剤は、シアノアクリレート接着剤を含む。
【００４０】
また好ましくは、前記２つの脚部の間で伸長する前記流管の前記区画に取り付けられる複数の構成要素を提供するステップと、
前記複数の構成要素を前記流管に沿った予め画定した１組の位置に整列するステップと、
前記接着剤を使用して、前記複数の構成要素を前記流管に取り付けるステップとを更に備える。
【００４１】
また好ましくは、前記複数の構成要素のうち少なくとも１つは励振器である。
【００４２】
また好ましくは、前記複数の構成要素のうち少なくとも１つはピックオフである。
【００４３】
また好ましくは、前記複数の構成要素のうち少なくとも１つを使用して振動を生じさせて、前記流管を振動させ、且つ、前記複数の構成要素のうち少なくとも１つを使用して前記流管の振動を計測することにより、前記複数の構成要素の前記位置を試験するステップを更に備える。
【００４４】
また好ましくは、前記試験された位置の結果に基づいて、前記複数の構成要素の予め画定された位置を調整するステップを更に備える。
【００４５】
また好ましくは、前記流管の所定の区画を押出成形することにより所定の流管を製造するステップであって、前記押出成形された区画は室温よりも高い温度を有する、前記流管を製造するステップと、
前記押出成形された流管の区画を固定し、その流管が冷却される際に、その流管の長手方向形状を真っ直ぐに保持するステップとを更に備える。
【００４６】
【発明を実施するための最良の形態】
【００４７】
本発明の上記及びその他の利点及び特徴は、以下の詳細な説明を、図１−１５と関連付けて読めば良く理解頂けるであろう。
図１−１５及び以下の説明は、当業者に本発明の最良の形態を作成し使用する方法を教示するため、具体的な例を示している。本発明の原理を教示する目的で、幾つかの従来の態様を、簡略化、又は省略している。当業者には、本発明の範囲内に入る、これらの例からの変更を理解頂けよう。当業者には理解頂けるように、以下に説明する特徴を様々な方式で組み合わせると、本発明の多様な変形例を形成することができる。結果として、本発明は、以下に説明する具体的な例ではなく、特許請求の範囲に述べる内容とその等価物によって限定されるものである。
図１の説明
図１は、本発明の第１の考えられる代表的実施形態の斜視図であり、基板１０１の脚部１１７、１１８を通して挿入されている流管１０２を有する流量計１００を開示している。ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯと励振器Ｄが、流管１０２に連結されている。流量計１００は、供給管１０４から処理材料の流れを受け取り、処理接続部１０８を通して、流管１０２まで、その流れを延長する。流管１０２は、励振器Ｄにより、その材料の流れと共鳴する周波数で、加振される。ピックオフＬＰＯ及びピックオフＲＰＯは、その結果生じるコリオリ変位を検出し、かつ、導線１１２及び１１４を介して、このコリオリ変位を示す信号をメーター電子機器１２１へ送る。メーター電子機器１２１は、ピックオフ信号を受信し、信号間の位相差を求め、材料の流れに関係する出力情報を、出力経路１２２で利用回路（図示せず）へ送る。
【００４８】
材料の流れは、流管１０２から、材料の流れの向きを直す管１０６を通る。管１０６は、材料の流れを、戻り管１０３を通過させ、更に処理接続部１０７を通過させて、出口管１０５まで再指向する。このユーザーの使用先は、半導体処理設備などである。処理材料は、半導体ウェーハの表面に平坦面を形成するために供給される半導体スラリーなどである。図１に示す流管に用いられているＰＦＡ材料は、処理材料が、金属又はガラスの流管の壁から移送されかねないイオンのような不純物を含んでいないことを保証する。
【００４９】
使用時、流管１０２は、ソーダ水のストローの直径に近い小さな直径を有しており、処理材料に対して、例えば、磁石の重量を含まないで０．８グラムのように無視できる重量である。ピックオフＬＰＯ及びピックオフＲＰＯ、並びに励振器Ｄに付帯する磁石は夫々、０．２グラムの質量を有しているので、流管１０２と、取り付けられた磁石と、処理材料の合計質量は約２グラムとなる。振動している流管１０２は、力学的に不均衡な構造体である。基板１０１は、重くて、重量は約１２ポンドである。つまり、基板の質量と、流管を満たしている材料の質量の比は、約３０００対１になる。この質量の基板は、力学的に不均衡な、中を材料が流れている流管１０２によって引き起こされた振動を十分に吸収できる。
【００５０】
接続部１０７、１０８、１０９、１１０は、管１０４、１０５、１０６を、流管１０２及び戻り管１０３の端部に接続する。これら接続部を、図４に詳細に示す。接続部は、ねじ１２４の切られた固定部分１１１を有している。図４に示すように、ロック穴１３０にセットスクリュー４１１をねじ込んで、要素１１１を基板１０１に固定する。接続部１０７から１１０の可動部分を、雄ねじ１２４上にねじ込んで、各管を、一部が六角ナット部分１１１となっている接続部の固定部分に接続する。これらの接続部は、周知の銅管フレア式接続部と同様に機能し、管１０４、１０５、１０６を、流管１０２及び戻り管１０３の端部に接続する。接続部に関する詳細は、更に図４に示している。温度センサーＲＴＤは、戻り管１０３の温度を検出し、検出された温度を示す信号を、経路１２５を介してメーター電子機器１２１へ送る。
【００５１】
開口部１３０は、脚部１１７の表面から流管１０２まで、そして脚部１１８の表面から流管１０２まで伸びている。開口部１３０は、流管１０２を脚部１１７−１１８に取り付けるための接着剤を注入する場所とすることもできる。セットスクリューを、開口部１３０にねじ込んで、流管１０２を所定の位置に保持することもできる。
図２の説明
図２は、図１の流量計１００の平面図である。ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯと励振器Ｄとは、それぞれコイルＣを含んでいる。これら各要素は、更に、図３に示すように、流管１０２の底部に取り付けられる磁石を含んでいる。これら各要素は、更に、励振器Ｄ用の１３３の様な薄片材料だけでなく、励振器Ｄ用の１４３の様な基板を含んでいる。薄片材料は、コイルＣ及びその巻き線端末が固定されているプリント配線盤を備えてもよい。ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯも、対応する基板要素と、基板要素の上部に取り付けられている薄片とを有している。この配置により、磁石ＭをＰＦＡ流管の下側に接着する段階と、コイルＣを（励振器Ｄ用の）プリント配線盤１３３に接着する段階と、コイルＣの開口部を磁石Ｍの回りに配置する段階と、磁石ＭがコイルＣの開口部に完全に入り込むようにコイルＣを上方へ動かす段階と、次いで基板要素１４３をプリント配線盤１３３の下に配置する段階と、基板１４３の底部が接着剤によって重い基板１１６の表面に取り付けられるように、これらの要素を一体にボルトで固定する段階とによって、励振器又はピックオフを容易に取り付けられるようになる。励振器Ｄ、並びにピックオフＬＰＯ及びピックオフＲＰＯを流管１０２に取り付けるためのシステム及び方法は、以下の如く、図１２−１３を参照しながら説明する。
【００５２】
処理接続部１０７−１１０の雄ねじ１２４を図２に示す。これら各要素の内部詳細を図４に示す。開口部１３２は、導線１１２、１１３、１１４を収容する。図面の複雑さを最小に押させるため、図１のメーター電子機器１２１は、図２には示していない。しかしながら、導線１１２、１１３、１１４は、開口部１３２を通って伸張し、更に、図１の経路１２３を通り、図１のメーター電子機器１２１まで伸張しているものと理解されたい。
図３の説明
図３は、流管１０２の底部に取り付けられている磁石Ｍと、各要素ＬＰＯ、ＲＰＯ及び励振器Ｄの基板に取り付けられているコイルＣとを備えているピックオフＬＰＯ、ＲＰＯ及び励振器Ｄを示している。
図４の説明
図４は、図２の４−４線に沿う断面である。図４は、図３の全ての要素と、接続部１０８及び１０９の更なる詳細を開示している。図４は、更に、基板１０１内の開口部４０２、４０３、４０４を開示している。これらの各開口部の上部は、ピックオフＬＰＯ、ＲＰＯ及び励振器Ｄの基板の下面まで伸張している。これら各要素に付帯するコイルＣ及び磁石Ｍも、図４に示している。図１のメーター電子機器１２１は、図面の複雑さを最小に押さえるため、図３及び図４には示していない。接続部１０８の要素４０５は流管１０２の入口であり、接続部１０９の要素４０６は流管１０２の出口である。
【００５３】
接続部１０８の固定本体１１１は、基板４０１内の雌ねじにねじ込んで、接続部１１１を基板１０１の要素４０１に固定する雄ねじ４０９を有している。右側の接続部１０９の固定本体１１１は、同様に構成され、ねじ４０９によって、基板１０１の要素４０１に取り付けられている。
【００５４】
接続部１０８の固定本体１１１は、更にねじ部１２４を有しており、このねじは、接続部１０８の可動部分４１５と噛み合う。接続部１０９も同様に構成されている。接続部１０８の固定要素１１１は、更に、その左側に円錐形の突出部(stub)４１３を有しており、これは、可動要素４１５と共にフレア式管継手として作用し、入口管１０４の右端を、固定本体１１１の円錐形突出部４１３上に押し付ける。これは、供給管１０４のフレア加工された開口部を、接続部の固定本体１１１の円錐形突出部部分４１３上にシール可能に取り付ける圧縮管継手を形成する。流管１０２の入口４０５は、接続部の固定本体１１１内に配置され、突出部４１３の外側面と面一になっている。このため、供給管１０４によって送られる処理材料は、流管１０２の入口４０５で受け入れられる。処理材料は、右へ、流管１０２を通って接続部１０９の固定本体１１１へと流れ、そこでは、流管１０２の出口４０６が突出部４１３の端部と面一になっている。これにより、管１０６の端部４０８をコネクタ１０９及び流管１０２の出口４０６にシール可能に取り付ける。図１の他の接続部１０７及び１１０は、図４の接続部１０８及び１０９に関して詳細に説明されている接続部と同じである。
接着剤注入用開口部を有する流量計 ― 図５−７
図５−７は、本発明の実施例の流量計５００の一例である。流量計５００は、図５に示すように、Ｕ字型の基板５５２と、流管５０１と、励振器Ｄと、ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯとを備えている。本発明では、流量計５００は、Ｕ字型の基板５５２を含んでいなくてもよい。流量計５００は、Ｖ字型ベース又は他の形の基板を含んでいてもよく、それら全てが本発明の範囲内である。流管５０１は、フルオロポリマー(fluoropolymer)で作られている。フッ化ポリマーの例を挙げるとは、ペルフルオロアルコキシエチレン（ＰＦＡ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、フッ化エチレンポリマー（ＦＥＰ）などである。Ｕ字型の基板５５２は、ステンレス鋼製でもよい。励振器Ｄ及びピックオフＬＰＯ及びＲＰＯは、流管５０１に取り付けられている。
【００５５】
流量計５００のＵ字型基板５５２は、脚部５１７と脚部５１８を備えている。脚部５１７と脚部５１８は、互いに並行である。脚部５１７は、管状開口部５０２と接着剤注入用開口部５０４を有している。接着剤注入用開口部５０４は、脚部５１７の中心に位置するよう示されているが、一方の側又は他方の側近くに配置してもよい。管状開口部５０２と接着剤注入用開口部５０４は、脚部５１７内で互いに交叉するように配置されている。脚部５１８は、管状開口部５１２と接着剤注入用開口部５１４を有している。接着剤注入用開口部５１４は、脚部５１８の中心に位置するよう示されているが、接着剤注入用開口部５０４は、一方の側又は他方の側近くに配置してもよい。管状開口部５１２と接着剤注入用開口部５１４は、脚部５１８内で互いに交叉するように配置されている。管状開口部５０２と管状開口部５１２は同じ軸上にある。
【００５６】
流管５０１は、管状開口部５０２と管状開口部５１２を貫通している。管状開口部５０２は、流管５０１より僅かに大きい直径を有しているので、管状開口部５０２と流管５０１との間に間隙５０６ができる。図６は脚部５１７の断面図であり、管状開口部５０２、接着剤注入用開口部５０４及び間隙５０６を示している。接着剤注入用開口部５０４は、接着剤を流管５０１の外側表面５１０と管状開口部５０２の内側表面５０８に塗布できるように、間隙５０６への入口を提供している。図５の管状開口部５１２は、流管５０１より僅かに大きい直径を有しているので、管状開口部５１２と流管５０１との間に間隙５１６ができる。接着剤注入用開口部５１４は、接着剤を流管５０１の外側表面５１０と管状開口部５１２の内側表面５１５に塗布できるように、間隙５１６へアクセスできるようにしている。接着剤は、流管５０１を、管状開口部５０２の内側表面５０８と、管状開口部５１２の内側表面５１５に接着する。
【００５７】
流量計５００は、図１−４で説明した流量計１００と実質的に同様に作動する。流量計５００は、処理材料の流れを受け取る。処理材料は、流管５０１を通って移動する。励振器Ｄは、流管５０１を、共鳴周波数で加振する。ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯも、流管５０１に取り付けられている。ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯは、流管５０１内の処理材料の流れによって生じたコリオリ変位を検出し、その変位を示す信号を発生する。信号は、信号を処理するメーター電子機器（図示せず）へ送られる。
【００５８】
以下に、流量計５００で流管５０１を管状開口部５０２及び管状開口部５１２に接着するのに製造業者が利用する方法を示す。第１に、製造業者は、管状開口部５０２、接着剤注入用開口部５０４及び流管５０１を水平面上に配置する。図７に示すように、製造業者は、接着剤塗布器７２２の先端７２４を接着剤注入用開口部５０４内に配置し、流管５０１の外側表面５１０及び管状開口部５０２の内側表面５０８に近接する間隙５０６にアクセスする。接着剤塗布器７２２は、図７で見えるように垂直ではないと理解頂きたい。接着剤注入用開口部５０４と、管状開口部５０２と、流管５０１は水平面上にあるので、接着剤塗布器７２２は、接着剤注入用開口部５０４内に水平方向に挿入される。接着剤塗布器７２２の１つの例は、ＥＦＤマイクロディスペンサー・モデル１５００ＸＬ−ＣＡである。マイクロディスペンサーは、３ｐｓｉに設定されており、３ｍｌの注射器と、径０．００６インチで長さが半インチのテフロン（登録商標）内張の針を有している。製造業者は、流管５０１の外側表面５１０と管状開口部５０２の内側表面５０８の間の間隙５０６内に、所定量の接着剤７２０を注入する。接着剤７２０は、シアノアクリレート接着剤（ＣＡ）でもよい。ＣＡの１つの例は、ロックタイト社（Ｌｏｃｔｉｔｅ）から入手可能なスーパーボンド（Ｓｕｐｅｒｂｏｎｄｅｒ）４２０である。
【００５９】
接着剤７２０は、外側表面５１０及び内側表面５０８の表面エネルギーのために、毛管作用すなわちウィッキングによって間隙５０６内に引き込まれる。図７の矢印は、ウィッキング作用を示している。ウィッキング作用によって、間隙５０６のほぼ１００％がカバーされる。管状開口部５０２、接着剤注入用開口部５０４及び流管５０１は水平に配置されているので、接着剤７２０に静水圧が掛かることはない。従って、接着剤７２０は、ウィッキングによって間隙５０６を満たし、静水圧の影響は受けない。接着剤７２０が管状開口部５０２の端部に達すると、ウィッキングは停止し、均一で対称的なフィレットが形成される。製造業者は、接着剤７２０を間隙１０６内で硬化させる。
【００６０】
次に、製造業者は、管状開口部５１２、接着剤注入用開口部５１４及び流管５０１を水平面上に配置する。これは上記と同じ水平面なので、管状開口部１０２と管状開口部１１２を流管５０１に同時に連結することができる。製造業者は、接着剤注入用開口部５１４内に接着剤塗布器７２２の先端７２４を配置し、流管５０１の外側表面５１０と管状開口部５１２の内側表面５１５に近接する間隙５１６にアクセスする。製造業者は、流管５０１の外側表面５１０と管状開口部５１２の内側表面５１５の間の間隙５１６内に、所定量の接着剤７２０を注入する。接着剤７２０は、外側表面５１０と内側表面５１５の表面エネルギーのため、毛管作用すなわちウィッキングによって間隙５１６内に引き込まれる。管状開口部５１２、接着剤注入用開口部５１４及び流管５０１は水平に配置されているので、接着剤７２０に静水圧が掛かることはない。従って、接着剤７２０は、ウィッキングによって間隙５１６を満たし、静水圧の影響は受けない。接着剤７２０が管状開口部５１２の端部に達すると、ウィッキングは停止し、均一で対称的なフィレットが形成される。製造業者は、接着剤７２０を間隙５１６内で硬化させる。接着剤を塗布した後で、更に流管５０１を適所に保持するため、セットスクリューを接着剤注入用開口部５０４及び５１４内にねじ込んでもよい。
【００６１】
好都合に、接着剤注入用開口部５０４及び５１４は、流管５０１を内側表面５０８及び５１５に接着するための、間隙への簡単で、手頃で、効果的なアクセスを提供する。
接着強度
流管５０１と管状開口部５０２及び５１２の間の接着の強度と品質は、利用する接着剤の種類と量、接着面の前処理、接着剤を硬化させるときの空気の湿度、接着剤を硬化させるときの表面温度、接着面の間の間隙の大きさに依る。
接着剤の選択
製造業者は、接着剤の種類をその粘性に基いて選択できる。接着剤の粘性は、接着剤が間隙５０６及び５１６内でどの程度保持されるかに影響する。接着剤の好適な粘性範囲は、２から１１０センチポアズである。用いられる接着剤の量は、接着に必要な強度と、硬化速度と、製造し易さに依る。
表面の前処理
強力に接着するためには、流管５０１の外側表面と、管状開口部５０２の内側表面５０８と、管状開口部５１２の内側表面５１５を適切に前処理しなければならない。表面５１０、５０８及び５１５は、接着剤が塗布される前に前処理される。背景技術で述べたように、ＰＦＡのようなフッ化ポリマー製の流管５０１は、表面エネルギーが非常に低い。このため、接着剤を流管５０１に接着するのが非常に難しい。以下の方法により、製造業者は、流管５０１の外側表面５１０への接着を強力にすることができる。製造業者は、流量計５００を組み立てる前に、流管５０１の外側表面５１０を腐食させる。製造業者は、ナフタレンナトリウム腐食剤(sodium naphthalene etchant)を使って、外側表面５１０を腐食することができる。ナフタレンナトリウム腐食剤の例を挙げると、エチレングリコールジメチルエーテル(Ethylene Glycol Dimethyl Ether)、ジエチレングリコールジメチルエテール(Diethylene Glycol Dimethyl Ether)、テトラエチレングリコールジメチルエテール(Tetraethylene Glycol Dimethyl Ether)などである。当業者には理解頂けるように、流管５０１のサプライヤは、流管５００の製造業者が腐食しなくてよいように、外側表面５１０を腐食することができる。その場合、製造業者は、外側表面５１０を清浄化する。製造業者は、アルコール溶液を使って、外側表面５１０を清浄化することができる。
【００６２】
管状開口部５０２の内側表面及び管状開口部５１２の内側表面５１５も、前処理される。この例では、Ｕ字型の基板５５２がステンレス鋼製であるものとする。製造業者は、管状開口部５０２及び５１２を粗くする。最適な表面粗さは、約６４マイクロインチＲＭＳである。製造業者がＵ字型の基板５５２内に管状開口部５０２及び５１２を機械加工するときに、内側表面５０８及び５１５が、強力な接着に適した表面粗さとなることもよくある。製造業者は、次に、内側表面５０８及び５１５を清浄化し、機械油及び他の物質を除去する。製造業者は、超音波槽内で、アセトンを使って内側表面５０８及び５１５を洗浄することによって、内側表面５０８及び５１５を清浄化することができる。製造業者は、接着剤を塗布する前に、アルコールを使って内側表面５０８及び５１５を清浄化してもよい。
湿度及び温度
湿度と温度は、接着剤の硬化の仕方に影響を与える。強力な接着を実現するために、製造業者は、流量計５００が製造される環境を制御することができる。ＣＡのような接着剤は、湿式接着剤である。接着剤７２０が適切に硬化するには、流管５０１の外側表面５１０と、管状開口部５０２及び５１２の内側表面５０８及び５１５に、水分が必要である。従って、製造業者は、接着剤７２０が硬化している間、流量計５００を取り巻いている環境の相対湿度を制御するとよい。接着剤が硬化している間、相対湿度を４０％−６０％の間に保持するとよい。相対湿度が低すぎる場合、接着剤促進剤を用いて、接着剤７２０の硬化を支援してもよい。製造業者は、流量計５００を取り巻いている環境の温度を制御するか、接着中の流量計５００の構成要素の温度を制御することもできる。温度は、摂氏約２３度に設定するとよい。
間隙の大きさ
間隙５０６及び５１６の大きさは、接着強度にとって重要である。間隙５０６及び５１６の大きさは、使用される接着剤の粘性、塗布の容易さ、接着剤被覆の品質、流管５０１の外側表面５１０と管状開口部５０２及び５１２の内側表面５０８及び５１５の表面エネルギーに基いて選択される。受容可能な間隙の大きさは、０．００１インチから０．００２インチの範囲である。間隙が小さすぎれば、接着剤のウィッキングが抑制され、接着剤のカバー範囲が不十分になる。間隙が大きすぎれば、接着剤はウィックされず、十分に硬化しない。強力な接着とするための、間隙５０６及び５１６の最適な間隙は、約０．００３５インチである。
取付装置 ― 図８−１３
図８−１３は、本発明の実施例の取付装置８００を示している。取付装置８００は、流量計製造の間に、流量計５００のような流量計の流管を固定するよう作られている。図５に示すように、流管５０１が、管状開口部５０２と、管状開口部５１２と、励振器Ｄと、ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯとに接着できるように、取付装置８００を用いて、流管５０１を適所に保持することができる。
【００６３】
取付装置８００は、図８−９に示すように、第１区画８０２と第２区画８０４を備えている。第１区画８０２と第２区画８０４は、デルリン又はステンレス鋼で作ることができる。第１区画８０２には、その端部９１３に、第１管状開口部分９１２が設けられている。第２区画８０４には、その端部９１５に、第２管状開口部分９１４が設けられている。第１区画８０２の端部９１３と第２区画８０４の端部９１５は、互いに隣接してぴったりと合うように構成されている。
【００６４】
図１０−１１は、第２区画８０４に隣接して配置されている第１区画８０２を示している。隣接して配置すると、第１区画８０２と第２区画８０４は、取付ブロック１０００を形成する。取付ブロック１０００は、図９に示すように、第１管状開口部分９１２と第２管状開口部分９１４から形成される管状開口部１１０１を有している。管状開口部１１０１は、製造中に、流量計５００の流管５０１を保持するためのものである。管状開口部１１０１は、流管５０１の直径より僅かに大きい。取付ブロック１０００は、Ｕ字型の基板５５２の脚部５１７と脚部５１８の間に嵌るよう構成されている。取付ブロック１０００は、脚部５１７の内側表面と脚部５１８の内側表面の間の距離とほぼ同じ長さを有している。
【００６５】
取付装置８００は、固定手段８０６も含んでいる。固定手段８０６は、第１区画８０２と第２区画８０４を、流量計５００のＵ字型の基板５５２に固定する。固定手段８０６は、管状開口部１１０１を、図５のＵ字型の基板５５２の管状開口部５０２及び５１２と整列させる。固定手段８０６は、ボルト、スクリュー、クランプ、ピン又は何らかの他の締結具でもよい。
【００６６】
取付装置８００は、更に、第１区画８０２を第２区画８０４に取り付ける締結手段８１０を備えている。締結手段８１０は、ボルト、スクリュー、クランプ、ピン又は何らかの他の締結具でもよい。
【００６７】
取付装置８００は、以下の機能を果たす。取付装置８００は、流管５０１が真っ直ぐになるようにし、流管５０１から反りを取り除く。取付装置８００は、流管５０１が管状開口部５０２及び管状開口部５１２と整列するように、流管５０１を位置決めし、保持する。取付装置８００は、更に、励振器構成要素とピックオフ構成要素を流管５０１に取り付けることができるように、流管５０１を位置決めし、支持する。
【００６８】
図１２−１３に、本発明の実施例の取付装置８００のもう１つの例を示す。取付装置８００は、励振器開口部１２０２を有している。励振器開口部１２０２は、取付ブロック１０００の表面から伸張し、取付ブロック１０００の管状開口部１１０１と交叉している。この例では、Ｕ字型の基板５５２は、開口部４０２も有している。励振器開口部１２０２は、Ｕ字型の基板５５２の開口部４０２と同一軸上にある。固定手段８０６は、Ｕ字型基板５５２の開口部４０２が取付ブロック１０００の励振器開口部１２０２と整列するように、取付ブロック１０００をＵ字型の基板５５２に固定する。
【００６９】
取付装置８００は、更に、ピックオフ開口部１２０４を有している。ピックオフ開口部１２０４は、取付ブロック１０００の表面から伸張し、取付ブロック１０００の管状開口部１１０１と交叉している。この例では、Ｕ字型の基板５５２は、開口部４０４も有している。ピックオフ開口部１２０４は、Ｕ字型の基板５５２の開口部４０４と同一軸上にある。固定手段８０６は、Ｕ字型の基板５５２の開口部４０４が取付ブロック１０００のピックオフ開口部１２０４と整列するように、取付ブロック１０００をＵ字型の基板５５２に固定する。
【００７０】
図１２−１３は、取付装置８００の底面側に励振器開口部１２０２とピックオフ開口部１２０４を示している。励振器開口部１２０２及びピックオフ開口部１２０４は、Ｕ字型の基板５５２の開口部４０２及び４０４と整列している。励振器開口部１２０２及び／又はピックオフ開口部１２０４は、取付装置８００の上面側にあってもよい。この場合、Ｕ字型の基板５５２には、開口部４０２及び４０４を設ける必要は無い。
【００７１】
取付装置８００は、更に、整列手段１２０６を含んでいる。整列手段１２０６は、Ｕ字型の基板５５２の開口部４０２と、取付ブロック１０００の励振器開口部１２０２に嵌るよう構成されている。整列手段１２０６は、取付ブロック１０００の表面から、取付ブロック１０００の管状開口部１１０１に隣接する領域まで伸張している。整列手段１２０６は、片方の端部に、開口部４０２又は励振器開口部１２０２の直径よりも大きいリップ１２０８を有している。リップ１２０８は、整列手段１２０６が、開口部４０２内へ、そして励振器開口部１２０２へ一定の距離だけ伸張できるようにする。リップ１２０８は、整列手段１２０６の先端が流管５０１と接触する前に、整列手段１２０６を止める。これにより、整列手段１２０６が流管５０１に損傷を与るのを防いでいる。
【００７２】
以下は、流管５０１をＵ字型の基板５５２に接着する際に、取付装置８００を使って流管５０１を保持する方法の一例である。製造業者は、流管５０１を、図５の脚部５１７の管状開口部５０２と、脚部５１８の管状開口部５１５に挿入する。製造業者は、第１半区画８０２と第２半区画８０４をＵ字型の基板５５２上に整列させる。製造業者は、第１区画８０２の端部９１３を第２区画８０４の端部９１５に当接させ、流管５０１を、第１管状開口部分９１２と第２管状開口部分９１４の間に閉じ込め、取付ブロック１０００を形成する。製造業者は、第１区画８０２を第２区画８０４に締め付ける。製造業者は、固定手段８０６を使って、取付ブロック１０００をＵ字型の基板５５２に固定する。製造業者は、流管５０１の外側表面５１０と脚部５１７の管状開口部５０２の内側表面５０８の間の間隙５０６に所定量の接着剤を注入する。接着剤は、ＣＡでもよい。製造業者は、図５−７に示している接着剤注入用開口部５０４のような接着剤注入用開口部を通して、接着剤を注入することができる。製造業者は、流管５０１の外側表面５１０と脚部５１８の管状開口部５１４の内側表面５１５の間の間隙５１６にも所定量の接着剤を注入する。
【００７３】
この方法には、上記のような強力な接着を作り出すと考えられる要因を組み込むことができる。具体的には、本方法は、使用する接着剤の種類と量を選択する段階と、接着する表面を前処理する段階と、接着剤が硬化しているときの空気の湿度を制御する段階と、接着剤が硬化しているときの表面の温度を制御する段階と、最適な間隙寸法を選択する段階とを更に含んでいてもよい。
【００７４】
以下は、取付装置８００を使って、励振器Ｄの励振器構成要素１２１２を流管５０１に取り付ける方法の一例である。製造業者は、励振器構成要素１２１２を整列手段１２０６に取り付ける。この場合、取り付けるという意味は、必ずしも励振器構成要素１２１２を整列手段１２０６に固定することではない。励振器構成要素１２１２は、整列手段１２０６の一端上に設置すればよい。製造業者は、接着剤を励振器構成要素１２１２の表面に塗布する。接着剤はＣＡでもよい。製造業者は、整列手段１２０６を使って、励振器構成要素１２１２を、開口部４０２及び励振器開口部１２０２を通して挿入する。図１３は、整列手段１２０６が開口部４０２及び励振器開口部１２０２内に一杯に挿入された状態を示している。製造業者は、整列手段１２０６を使って、励振器構成要素１２１２の表面上の接着剤を流管５０１に接触させる。リップ１２０８は、整列手段１２０６が、励振器構成要素１２１２をそれ以上押し、流管５０１に損傷を与えることのないようにする。製造業者は、接着剤を硬化させる。次に、製造業者は、整列手段１２０６を、開口部４０２及び励振器開口部１２０２から取り外す。
【００７５】
この方法には、上記のような強力な接着を作り出すと考えられる要因を組み込むことができる。具体的には、本方法は、使用する接着剤の種類と量を選択する段階と、接着する表面を前処理する段階と、接着剤が硬化しているときの空気の湿度を制御する段階と、接着剤が硬化しているときの表面の温度を制御する段階と、最適な間隙寸法を選択する段階とを更に含んでいてもよい。
【００７６】
以下は、取付装置８００を使って、ピックオフＬＰＯ及びピックオフＲＰＯのピックオフ構成要素１２１４を流管５０１に取り付ける方法の一例である。製造業者は、ピックオフ構成要素１２１４を整列手段１２０６に取り付ける。この場合、取り付けるという意味は、必ずしもピックオフ構成要素１２１４を整列手段１２０６に固定することではない。ピックオフ構成要素１２１４は、整列手段１２０６の一端上に設置すればよい。製造業者は、接着剤をピックオフ構成要素１２１４の表面に塗布する。接着剤はＣＡでもよい。製造業者は、整列手段１２０６を使って、ピックオフ構成要素１２１４を、開口部４０４及びピックオフ開口部１２０４を通して挿入する。図１３は、整列手段１２０６が開口部４０４及びピックオフ開口部１２０４内に一杯に挿入された状態を示している。製造業者は、整列手段１２０６を使って、ピックオフ構成要素１２１４の表面上の接着剤を流管５０１に接触させる。リップ１２０８は、整列手段１２０６が、ピックオフ構成要素１２１４をそれ以上押し、流管５０１に損傷を与えることのないようにする。製造業者は、接着剤を硬化させる。次に、製造業者は、整列手段１２０６を、開口部４０４及びピックオフ開口部１２０４から取り外す。
【００７７】
励振器構成要素１２１２及びピックオフ構成要素１２１４は、磁石でもよい。励振器ＤとピックオフＬＰＯ及びＲＰＯとは、普通は磁石−コイル系である。従って、整列手段１２０６は、真鍮のような非磁性材料で作られている。
【００７８】
この方法には、上記のような強力な接着を作り出すと考えられる要因を組み込むことができる。具体的には、本方法は、使用する接着剤の種類及び量を選択する段階と、接着する表面を前処理する段階と、接着剤が硬化しているときの空気の湿度を制御する段階と、接着剤が硬化しているときの表面の温度を制御する段階と、最適な間隙寸法を選択する段階とを更に含んでいてもよい。
励振器とピックオフの整列を試験する方法 ― 図１４
図１４は、本発明の実施例における、流量計の流管上の励振器とピックオフの整列を試験するための方法を示している。この方法は、励振器構成要素とピックオフ構成要素を流量計の流管に取り付ける際に、製造工程がどれほど正確であるかを試験するのに用いられる。例えば、流量計製造業者は、図８−１３の取付装置８００を使って励振器構成要素１２１２及びピックオフ構成要素１２１４を流管５０１に取り付けた後、この方法を用いて、取付装置８００の品質を試験することができる。以下の説明では、図１４の参照番号を括弧内に示す。
【００７９】
流量計を試験するために、製造業者は、励振器を使って、１つ又は複数の駆動周波数で流管を加振する（１４０２）。製造業者は、より好ましい結果を達成するために、上記周波数の周波数域に亘って流管を加振することもできる。製造業者は、処理システムを使って、ピックオフからピックオフ信号を受信する（１４０４）。ピックオフ信号は、流管の振動周波数を示す。処理システムは、ピックオフ信号及び駆動周波数を示す信号を処理し、周波数応答を求める（１４０６）。処理システムは、周波数応答に基いて、流管上の励振器及びピックオフの受容不可能な整列を識別する（１４０８）。
【００８０】
例えば、励振器及びピックオフの整列が良ければ、周波数応答は、流管の１次及び３次の曲げモードだけを含んでいる。周波数応答が流管の２次曲げモードにスパイク波形を含んでいる場合、これは、励振器とピックオフの軸方向整列が悪いことを示している。処理システムは、軸方向整列が受容不可能なことを製造業者に示すことになる。周波数応答が流管の１次ねじりモードにスパイク波形を含んでいる場合、これは、励振器とピックオフの横方向整列をが悪いことを示している。処理システムは、横方向整列が受容不可能なことを製造業者に示すことになる。流管、励振器又はピックオフの整列不良の程度は、２次曲げモードと１次ねじりモード上への漏れに比例する。当業者には、流管の１次、２次及び３次の曲げモードと、１次のねじりモードが何であるか理解頂けよう。従って、簡素化のため説明を省略する。
【００８１】
周波数応答からの情報に基いて、製造業者は、作っている流管の品質を判定することができる。製造業者は、この情報を使って、取付装置８００又は製造工程の幾つかの他の構成要素を変更することもできる。
流管を製造する方法 ― 図１５
図１５は、本発明の実施例における、フッ化ポリマー製の流管を製造するための方法を示している。背景技術で説明したように、流管製造業者からの流管は、湾曲形状を有していることが多い。流管製造業者は、この方法を使って、真っ直ぐな流管を作ることができる。以下の説明では、図１５の参照番号を括弧内に示す。
【００８２】
製造業者は、押出成形システムから流管を押出成形する（１５０２）。流管は、ＰＦＡのようなフッ化ポリマーから作られる。流管は、室温より高い温度で押出成形器から出てくる。製造業者は、流管の所定部分を切断して切断部分とする（１５０４）。次に、製造業者は、その切断部分が冷却する際に、流管のその切断部分を固定して、その切断部分の長手方向形状を真っ直ぐに保持する（１５０６）。例えば、製造業者は、その切断部分を平面に留めて、流管を真っ直ぐにすることもできる。製造業者は、流管を所定種の成形型に入れて、流管を真っ直ぐにすることもできる。流管が冷却され真っ直ぐである場合、製造業者は、流管のその切断部分を梱包して、その切断部分の真っ直ぐな形状を維持する（１５０８）。製造業者は、流管を所定種の梱包型に入れて、保管又は出荷の間、真っ直ぐに維持することができる。
【００８３】
製造業者は、更に、その切断部分を梱包する前に、前記流管のその切断部分を腐食することもできる。これは、流量計の製造業者には非常に好都合である。製造業者は、流間のこの切断部分を、特殊な種類の梱包で保管して、流管のその切断部分が光に曝されて腐食表面が劣化するのを防ぐことができる。製造業者は、流管のその切断部分を制御された環境内に保管し、その切断部分を周囲温度に維持することもできる。これらの両方の段階は、流管の腐食面の完全性を維持するのを助ける。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明の１つの実施例における流量計の斜視図を開示している。
【図２】図１の流量計の平面図である。
【図３】図１の流量計の正面図である。
【図４】図２の流量計の４−４線に沿う断面図である。
【図５】本発明の１つの実施例における、流量計の基板内に接着剤注入用開口部を有している流量計を示している。
【図６】本発明の１つの実施例における、流量計の基板内に接着剤注入用開口部を有している流量計を示している。
【図７】本発明の１つの実施例における、流量計の基板内に接着剤注入用開口部を有している流量計を示している。
【図８】本発明の１つの実施例における、流量計を製造するための取付装置を示している。
【図９】本発明の１つの実施例における、流量計を製造するための取付装置を示している。
【図１０】本発明の１つの実施例における、流量計を製造するための取付装置を示している。
【図１１】本発明の１つの実施例における、流量計を製造するための取付装置を示している。
【図１２】本発明の１つの実施例における、流量計を製造するための取付装置を示している。
【図１３】本発明の１つの実施例における、流量計を製造するための取付装置を示している。
【図１４】本発明の１つの実施例における、流量計の流管上の、励振器とピックオフの整列を試験する方法を示している。
【図１５】本発明の１つの実施例における、フッ化ポリマー製の流管を製造するための方法を示している。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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