(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
カセットを自動で移送する自動運送装置と、
作業者の指示によって前記カセットを移送する手動運送装置と、
前記カセット内に保管された基板に対して所定の作業を遂行する処理装置とを含み、
前記処理装置は、
前記自動運送装置又は手動運送装置によって移送されたカセットを臨時に載置するためのポートと、
前記自動運送装置によって前記カセットが移送された場合、前記自動運送装置から送信される通信開始信号を受信するためのセンサを有するローダーと、
前記カセットに保管された基板に対して実際の作業を進める作業台とを備え、
前記処理装置はカセットが到着した場合に前記カセットが前記自動運送装置によって移送されたのか前記手動運送装置によって移送されたのかを判断することを特徴とする基板の搬出入システム。
【請求項２】
前記ローダーは、前記カセットが前記ポート上に載置された場合にカセットのＩＤを判読するためのカセットＩＤ判読装置を更に含む、請求項１に記載の基板の搬出入システム。
【請求項３】
前記ローダーは、
前記カセットが前記自動運送装置によって移送された場合、前記カセットを自動でチャッキングしてから前記カセットＩＤ判読装置で前記カセットのＩＤを判読し、
前記カセットが前記手動運送装置によって移送された場合、作業者の指示によって前記カセットをチャッキングしてから前記カセットＩＤ判読装置で前記カセットのＩＤを判読することを特徴とする、請求項２に記載の基板の搬出入システム。
【請求項４】
前記ポートには、前記カセット内に保管された基板の個数と、基板が保管されたスロットの位置を検知するための基板検知センサが設置されていることを特徴とする請求項３に記載の基板の搬出入システム。
【請求項５】
前記処理装置は、前記ポート上に載置されたカセットから前記基板を取り出して前記作業台に搬送する搬送ロボットを更に含むことを特徴とする、請求項４に記載の基板の搬出入システム。
【請求項６】
基板を保管しているカセットを自動で移送する自動運送装置と、作業者の指示によって前記カセットを移送する手動運送装置と、前記自動運送装置又は手動運送装置によって移送されたカセットを臨時に載置するためのポートを有するローダー及び前記ポート上に載置されたカセットに保管された基板に対して所定の作業を遂行する作業台を有する処理装置とを含むシステムの基板搬出入方法において、
前記ポートを使用可能な場合、前記カセットを前記自動運送装置又は前記手動運送装置によって前記処理装置に移送する第１段階と、
前記第１段階で前記自動運送装置によって前記カセットを前記処理装置に移送した場合、前記自動運送装置が通信開始信号を前記ローダーに送信する第２段階と、
前記第１段階で前記自動運送装置によって前記カセットを前記処理装置に移送した場合、前記自動運送装置から前記ポートにカセットをロードする第３段階と、
前記第１段階で前記手動運送装置によって前記カセットを前記処理装置に移送した場合、作業者の指示によって前記カセットを前記ポートにロードする第４段階と、
前記ポート上にカセットがロードされているかどうかを判断する第５段階と、
前記第５段階でポート上に前記カセットがロードされている場合、前記通信開始信号を検知したか否かを判断する第６段階と、
前記第６段階で通信開始信号を検知した場合には処理装置を自動運送モードに設定し、通信開始信号が検知されない場合には処理装置を手動運送モードに設定する第７段階と、
を含む基板の搬出入方法。
【請求項７】
前記第３段階は、
前記通信開始信号を受信したかどうかを判断する段階と、
前記段階で通信開始信号を受信したと判断する場合、前記自動運送装置にカセットのロードを要請する段階と、
前記要請によって前記カセットを前記ポートにロードする段階と、
を含む請求項６に記載の基板の搬出入方法。
【請求項８】
前記第７段階で自動運送モードに設定した場合には前記カセットを自動でチャッキングし、前記手動運送モードに設定した場合には作業者の指示によって前記カセットをチャッキングする段階と、
前記ローダーに位置するカセットＩＤ判読装置で前記カセットのＩＤを判読する段階と、
前記ポートに位置するカセット内のガラス基板の位置及び個数を確認する段階とを更に含む請求項７に記載の基板の搬出入方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は作業対象物の搬出入システム及び搬出入方法に係り、より詳しくは、半導体又は薄膜トランジスタ液晶表示装置（thin film transistor liquid crystal display；以下‘ＴＦＴ−ＬＣＤ’と称する）などの製造工程に使用される作業対象物の搬出入システム及び搬出入方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近来、ＴＦＴ−ＬＣＤの製造工程においては、生産性の効率を増大させるために大部分の工程を自動化している。これによって、特定の処理装置で基板に対する作業を進めようとする場合、まず自動運送装置（automatically guided vehicle；ＡＧＶ）を用いて作業が遂行される基板が保管されているカセットを特定の処理装置に移送して設備にローディングし、次いで必要な作業を自動で進める。
【０００３】
一方、このように工程を自動化しても、処理装置などに問題が発生した場合には、作業者が直接処理装置の状態を検査しながら作業を進める必要がある。このような場合、作業者は作業者が直接操作する手動運送装置（manually guided vehicle：ＭＧＶ）を用いてカセットを処理装置に移送して、その後の作業を進める。
【０００４】
従って、従来はいずれの搬送装置を用いてカセットを生産設備に移送したかによって各処理装置で進める作業プロセスが異なるようになる。即ち、ＡＧＶを用いてカセットを生産設備に移送した場合（以下ではこれを‘ＡＧＶモード’と称する）にはカセットのロードを含む各処理装置で進められる基板に対する作業のほとんどが自動的に進められる。これに比べて、ＭＧＶを用いてカセットを生産設備に移送する場合（以下ではこれを‘ＭＧＶモード’と称する）には作業者の必要に応じて各処理装置における基板の作業が手動或いは自動で進められる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の基板の搬出入システムでは、生産設備に設定されている搬送モードに該当する搬送装置を用いてカセットを搬出入することのみが可能で、設定されている搬送モードに該当しない搬送装置を用いてカセットを搬出入する場合にはエラーが発生する。
【０００６】
従って、従来の基板の搬出入システムでは、まず処理装置に設定されている搬送モードを確認してからこのモードに該当する搬送装置を用いてカセットを移送しなければならない煩雑さがあり、これによって全体的な生産の効率性が低下する問題点がある。
【０００７】
本発明はこのような問題点を解決するためのものであって、その目的は、処理装置に搬送モードを設定する必要をなくし、カセットを移送する搬送装置の種類によって自動でその後の工程を進めて生産効率を増大させることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための本発明の１つの特徴による基板の搬出入システムは、基板を保管しているカセットを自動で移送する自動運送装置と、作業者の指示によって前記カセットを移送する手動運送装置と、前記カセット内に保管された基板に対して所定の作業を遂行する処理装置とを含む。
【０００９】
ここで、前記処理装置は、前記自動運送装置又は手動運送装置によって移送されたカセットを臨時に載置するためのポートと；前記自動運送装置によって前記カセットが移送された場合に前記自動運送装置から送信される通信開始信号を受信するためのセンサを有するローダーと；前記カセットに保管された基板に対して実際の作業を進める作業台とを含む。
【００１０】
この時、前記処理装置は、ポートにカセットが載置された場合に前記センサが前記通信開始信号を受信したかどうかを判断する。前記信号が受信された場合には、前記カセットが前記自動運送装置によって移送されたと判断し、前記処理装置を自動運送モードに設定する。前記信号が受信されない場合には、前記手動運送装置によって移送されたと判断し、前記処理装置を手動運送モードに設定する。
【００１１】
ここで、前記ローダーはそれぞれカセットを臨時に載置するための多数のポートを有するのが好ましい。また、前記ローダーは前記カセットが前記ポート上に載置された場合にカセットのＩＤを判読するためのカセットＩＤ判読装置を更に含むのが好ましい。また、前記ポートには、前記カセット内に保管された基板の個数と、基板が保管されたスロットの位置とを検知するための基板検知センサが設置されているのが好ましい。
【００１２】
この時、前記ローダーは、前記カセットが前記自動運送装置によって移送されて前記自動運送モードに設定された場合には、前記カセットを自動でチャッキングしてから前記カセットＩＤ判読装置で前記カセットのＩＤを判読する。前記カセットが前記手動運送装置によって移送されて前記手動運送モードに設定された場合には、作業者の指示によって前記カセットをチャッキングしてから前記カセットＩＤ判読装置で前記カセットのＩＤを判読する。
【００１３】
また、前記設備は、前記ポート上に載置されたカセットから前記基板を取り出して前記作業台に搬送する搬送ロボットを更に含むのが好ましい。
【００１４】
一方、本発明の他の特徴による基板の搬送方法は、基板を保管しているカセットを自動で移送する自動運送装置と、作業者の指示によって前記カセットを移送する手動運送装置と、前記自動運送装置又は手動運送装置によって移送されたカセットを臨時に載置するためのポートを有するローダー及び前記ポート上に載置されたカセットに保管された基板に対して所定の作業を遂行する作業台を有する処理装置とを含むシステムの基板搬出入方法に関する。前記ポートを使用することができる場合、前記カセットを前記自動運送装置又は前記手動運送装置によって前記処理装置に移送する第１段階と；前記第１段階で前記自動運送装置によって前記カセットを前記処理装置に移送した場合には前記自動運送装置が通信開始信号を前記ローダーに送信する第２段階と；前記自動運送装置から前記ポートにカセットをロードする第３段階と；前記第１段階で前記手動運送装置によって前記カセットを前記処理装置に移送した場合には、作業者の指示によって前記カセットを前記ポートにロードする第４段階と；前記ポートにカセットがロードされているかどうかを判断する第５段階と；前記第５段階でポートに前記カセットがロードされている場合、前記通信開始信号を検知したか否かを判断する第６段階と；前記第６段階で通信開始信号を検知した場合には、処理装置を自動運送モードに設定し、通信開始信号が検知されない場合には、処理装置を手動運送モードに設定する第７段階とを含む。
【００１５】
ここで、前記第３段階は、前記通信開始信号を受信したかどうかを判断する段階と；前記段階で通信開始信号を受信したと判断する場合、前記自動運送装置にカセットのロードを要請する段階と；前記要請によって前記カセットを前記ポートにロードする段階とを含むのが好ましい。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施形態例によるシステムについて説明する。
【００１７】
図１は本発明の実施形態例による搬出入システムの概略的なブロック図である。
【００１８】
図１に示されているように、本発明の実施形態例による搬出入システムはホスト１００、サーバ２００、処理装置３００、自動運送装置（ＡＧＶ）４００、ＡＧＶコントローラ５００、手動運送装置（ＭＧＶ）６００からなる。
【００１９】
ホスト１００は、ＴＣＰ／ＩＰを使用したネットワークを通してサーバ２００及びＡＧＶコントローラ５００と連結され、これらと予め定められたメッセージを交換することによって情報を交換したり制御命令を下す。
【００２０】
ＡＧＶコントローラ５００は、ホスト１００から命令を受けると、無線通信でＡＧＶ４００と通信して特定の命令を下す。
【００２１】
サーバ２００は処理装置３００と一対一通信方法であるＳＥＣＳ（Semiconductor Equipment Communication Standard）通信（半導体標準通信）が可能であり、処理装置３００とホスト１００との間を中継する役割を遂行する。
【００２２】
ＡＧＶ４００は、ＡＧＶコントローラ５００の命令に従い、特定の処理装置３００にカセットを乗せて移動したり、特定の処理装置３００で作業が完了したカセットを乗せて次の処理装置に移動するなどの作業を自動で行う。このような作業が完了すると、ＡＧＶ４００は無線通信によりＡＧＶコントローラ５００に完了メッセージを伝送する。この時、ＡＧＶコントローラ５００がネットワークを通して再びホスト１００に該当メッセージを伝送することによって、ホスト１００がＡＧＶ４００の状態を管理し得るようになる。
【００２３】
ＭＧＶ６００は、作業者が直接操作してカセットを該当設備に移送するためのものであって、本発明の実施形態例では必要に応じてＭＧＶ６００又はＡＧＶ４００を用いてカセットを該当設備に移送する。
【００２４】
図２は図１の処理装置３００を詳しく示した図面である。
【００２５】
図２に示されているように、本発明の実施形態例による処理装置３００は、ＡＧＶ４００又はＭＧＶ６００によって移送されたカセットを臨時に載置するためのローダー３５０、ガラス基板に対して実際の作業を進める作業台３８０、ローダー３５０に保管されたカセットから作業台３８０にガラス基板を搬送する搬送ロボット３４０からなる。
【００２６】
ローダー３５０にはカセットを載置する場所であるポート３１０ａ、３１０ｂと、ＡＧＶ４００と無線通信を行うためのセンサ３２０ａ、３２０ｂと、載置されたカセットのＩＤを判読するためのカセットＩＤ判読装置（以下バーコードカードリーダ（bar-code card reader：ＢＣＲ）と称する）３３０ａ、３３０ｂとが設けられている。また、ポートには、ポートに載置されたカセットに保管されたガラス基板の位置及び個数を検知するためのガラス位置検知センサ（図示しない）が設置されている。
【００２７】
作業台３８０には、カセットに保管されたガラスのＩＤを判読するためのガラスＩＤ判読装置（以下ベリコードリーダ（veri-code reader：ＶＣＲ）と称する）３７０が装着されている。
【００２８】
次いで、図３及び４に基づいて本発明の実施形態例による搬出入動作を説明する。
【００２９】
まず、ローダーは、ポート３１０ａ、３１０ｂを使用することができるかどうかを判断する（Ｓ１０）。ポートを使用することができる場合には、ＡＧＶ４００又はＭＧＶ６００を通してカセットを処理装置に移送する（Ｓ２０）。これをより詳しく説明すると次の通りである。
【００３０】
まず、ＡＧＶ４００を通してカセットを処理装置３００に移送する場合を説明する。
【００３１】
処理装置３００は、ポートが使用可能な場合には、サーバ２００にカセットのロードを要請するロード要請メッセージを伝送する。これによって、サーバ２００はこのカセットロード要請メッセージをホスト１００に伝送する。ホスト１００は前記カセットロード要請メッセージを受信すると、それ自体のデータベースを検索し、前記処理装置で作業を進めるガラスが存在するカセットを探す。その後、ホスト１００はＡＧＶコントローラ５００を呼び出し、前記カセットを処理装置３００に移送するように運送命令を下す。これによって、ＡＧＶコントローラ５００は、ＡＧＶ４００がストッカ（又は他の設備）から該当カセットを乗せて検査器に移送するようにＡＧＶ４００を制御する。
【００３２】
一方、ＭＧＶ６００によってカセットを処理装置に移送する場合、作業者が該当ポートを直接確認した後、処理装置に必要なカセットを直接移送する。
【００３３】
前記のようにＡＧＶ４００によってカセットを処理装置３００に移送した場合、ＡＧＶ４００は処理装置にロードを知らせる通信開始信号（以下、valid-on信号と称する）を送信する。逆にＭＧＶ６００によってカセットを処理装置３００に移送した場合、作業者の指示によってカセットを処理装置３００にロードする（Ｓ３０）。
【００３４】
その次に、処理装置３００はvalid-on信号を受信したかどうかを判断し（Ｓ４０）、前記信号を受信した場合にはポートにカセットが存在するかどうかをチェックしてからカセットのロードを要請する（Ｓ５０）。これによって、ＡＧＶ４００は処理装置３００にカセットをロードし（Ｓ６０）、処理装置３００はポート上にカセットが検知されたかどうかをチェックする（Ｓ７０）。
【００３５】
一方、前記段階Ｓ４０で処理装置３００がvalid-on信号を受信しない場合、段階Ｓ７０に移行する。このように、処理装置３００がvalid-on信号を受信しない場合に段階Ｓ７０に移行する理由は、カセットがＭＧＶによって移送される場合にはvalid-on信号を送信せずにカセットを処理装置３００のポート上に載置するからである。
【００３６】
段階Ｓ７０でポート上にカセットが検知された場合、再びvalid-on信号が検知されるかどうかを判断する（Ｓ８０）。
【００３７】
前記段階Ｓ８０でvalid-on信号を検知したと判断した場合、これはＡＧＶによってカセットが移送されたことを意味するので、処理装置３００は搬送モードをＡＧＶモードを設定する。即ち、ＡＧＶフラグをセットする（Ｓ９０）。
【００３８】
一方、前記段階Ｓ８０でvalid-on信号が検知されないと判断した場合、これはＭＧＶによってカセットが移送されたことを意味するので、処理装置３００はＭＧＶモードを設定する。即ち、ＭＧＶフラグをセットする（Ｓ１００）。
【００３９】
前記段階Ｓ９０でＡＧＶフラグをセットした場合には、処理装置３００は自動でカセットをチャッキング（chucking）した後（Ｓ１１０）、ローダ３５０のバーコードカードリーダー（ＢＣＲ）によってカセットのＩＤを判読する（Ｓ１２０）。その次に、ポート３１０のセンサ（図示しない）によってカセット内のガラス基板の有無及び位置を確認した後（Ｓ１３０）、ホスト１００にカセットに関する前記情報を報告する（Ｓ１４０）。
【００４０】
前記段階Ｓ９０で、ＭＧＶフラグをセットした場合、自動でカセットをチャッキングするのではなく作業者の指示によってカセットをチャッキング（chucking）する（Ｓ１５０）。このように手動でカセットをチャッキングする理由は、主に処理装置３００に異常などが発生した場合或いは処理装置３００をセットアップする場合にＭＧＶによってカセットを移送するので、処理装置３００の状態を作業者が直接確認しながら作業を進める必要があるためである。
【００４１】
手動でカセットをチャッキングした後は、ＡＧＶモードと同様に、ローダーに存在するバーコードカードリーダ（ＢＣＲ）でカセットのＩＤを判読し（Ｓ１６０）、カセット内のガラス基板の個数及びガラスの位置を確認し（Ｓ１７０）、ホスト１００にカセットに関する前記情報を報告する（Ｓ１８０）。
【００４２】
前記段階Ｓ１４０及びＳ１８０でカセットに関する情報をホスト１００が受信すると、ホスト１００はカセットＩＤに基づいてそれ自体のデータベースを検索する。その後、カセットに保管されたガラス基板に関する情報、作業内容及び進行工程情報、作業レシピなどを処理装置３００に伝送する。
【００４３】
このように本発明の実施形態例によると、カセットがＡＧＶモードで移送されたかＭＧＶモードで移送されたかに拘らず、処理装置３００のポート上に載置され、処理装置３００はカセットがポート上に載置された場合にvalid-on信号が受信されたかどうかを判断することによってこのカセットがＭＧＶモードで移送されたか又はＡＧＶモードで移送されたかがわかる。従って、該当する搬送モードに応じて以降の作業を進めることができる。
【００４４】
以上ではＴＦＴ−ＬＣＤを例としてあげて説明したが、本発明はそれ以外に半導体などの製造工程にも利用することができるのは勿論である。
【００４５】
【発明の効果】
以上で説明したように、本発明によると、処理装置に搬送モードを別途に設定する必要がなく、ポート上にカセットが載置された場合にvalid-on信号の有無によってカセットの搬送モードを判断してからその後の工程を進めるので生産効率を増大させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態例による搬出入システムを概略的に示す図面である。
【図２】図１の処理装置を詳しく示す図面である。
【図３】本発明の実施形態例による搬出入方法を示す図面である。
【図４】本発明の実施形態例による搬出入方法を示す図面である。
【符号の説明】
１００  ホスト
２００  サーバ
３００  処理装置
３１０ａ、３１０ｂ  ポート
３２０ａ、３２０ｂ  センサ
３３０ａ、３３０ｂ  カセットＩＤ判読装置
３４０  搬送ロボット
３５０  ローダー
３７０  ガラスＩＤ判読装置
３８０  作業台
４００  自動運送装置（ＡＧＶ）
５００  ＡＧＶコントローラ
６００  手動運送装置（ＭＧＶ）
【図１】
0004518608.tif 000002
【図２】
0004518608.tif 000003
【図３】
0004518608.tif 000004
【図４】
0004518608.tif 000005