(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ジェットエアを吹き出すためのファンと、前室側に設けられる第１の扉と、清浄室側に設けられる第２の扉と、前記ファンの運転停止、前記第１の扉、及び前記第２の扉のドアロックを、前記第１の扉又は前記第２の扉の開閉状態を検出して制御する制御手段とを備え、前記第１の扉又は前記第２の扉の開閉状態が所定時間継続して検出されない場合に、前記制御手段の制御状態をリセットするリセット機能を設けたことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項２】
前記制御手段の制御状態をリセットするリセットスイッチを操作パネルに設けたことを特徴とする請求項１に記載のエアシャワー装置。
【請求項３】
ジェットエアを吹き出すためのファンと、前室側に設けられる第１の扉と、清浄室側に設けられる第２の扉とを備え、前記ファンの運転停止、前記第１の扉、及び前記第２の扉のドアロックを、前記第１の扉又は前記第２の扉の開閉状態を検出して制御するエアシャワー装置の制御方法であって、前記第１の扉の開閉状態を検出し前記第１の扉が開状態にあるときは前記第２の扉をドアロックする第１のステップと、前記第１の扉の開状態及び閉状態を検出した後に前記ファンの運転を開始するとともに前記第１の扉及び前記第２の扉をドアロックする第２のステップと、前記ファンの運転を開始してから所定時間経過後に前記ファンの運転を停止する第３のステップと、前記ファンの運転停止後に前記第２の扉の開閉状態を検出し前記第２の扉が開状態にあるときは前記第１の扉をドアロックする第４のステップとを有し、前記第４のステップで前記第２の扉の開閉状態が所定時間内に検出されなかったときに制御状態をリセットして前記第１のステップ前の状態とすることを特徴とするエアシャワー装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体用のクリーンルーム、病院手術室、食品・バイオ等の施設において、清浄室と前室との間に設置され、入室者や製品等の物品をジェットエアで清浄化するエアシャワー装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のエアシャワー装置は、クリーンルーム室（ＣＲ室）へ人が前室側ドアを開けてエアシャワー室へ入室すると、この入室状況をセンサーが検知し、ＣＲ室側の扉を施錠する。そして、ファンが作動してジェットノズルよりジェットエアが一定時間吹き出され、その後ＣＲ室側の扉が開錠され、人はＣＲ室へ入室できる。従来のエアシャワー装置では、このような一連の動作をリレー方式で制御していた。
最近では、製品の外観向上やコストダウンの観点から、リレー方式に代わり集積回路方式が採用され始めた。ところが、集積回路を用いた場合には、電磁波等の影響により、誤動作を起こす可能性があり、誤動作した場合は入室者が室内に閉じこめられてしまうという問題も予想される。
また、扉の開閉信号のみで動作を制御する場合は、「前室側ドアを開閉したが、エアシャワー内に入室しなかった」等、通常の行動パターンと異なる動作パターンによって、その後誤動作を繰り返してしまうという問題が予想される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記問題の回避方法としては、集積回路の状態を初期化する方法がある。しかし、初期化手段は主電源を落とすしかなかった。そして、主電源は通常、側面送風部内部に配設され、入室者は室内側から側壁を取り外して主電源を落とすため、復帰させるための動作が面倒であった。
【０００４】
そこで本発明は、誤動作した場合、又は誤動作を生じる可能性がある場合に、自動又は手動で回避できるエアシャワー装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の本発明のエアシャワー装置は、ジェットエアを吹き出すためのファンと、前室側に設けられる第１の扉と、清浄室側に設けられる第２の扉と、前記ファンの運転停止、前記第１の扉、及び前記第２の扉のドアロックを、前記第１の扉又は前記第２の扉の開閉状態を検出して制御する制御手段とを備え、前記第１の扉又は前記第２の扉の開閉状態が所定時間継続して検出されない場合に、前記制御手段の制御状態をリセットするリセット機能を設けたことを特徴とする。
請求項２記載の本発明のエアシャワー装置は、前記制御手段の制御状態をリセットするリセットスイッチを操作パネルに設けたことを特徴とする。
請求項３記載の本発明のエアシャワー装置の制御方法は、ジェットエアを吹き出すためのファンと、前室側に設けられる第１の扉と、清浄室側に設けられる第２の扉とを備え、前記ファンの運転停止、前記第１の扉、及び前記第２の扉のドアロックを、前記第１の扉又は前記第２の扉の開閉状態を検出して制御するエアシャワー装置の制御方法であって、前記第１の扉の開閉状態を検出し前記第１の扉が開状態にあるときは前記第２の扉をドアロックする第１のステップと、前記第１の扉の開状態及び閉状態を検出した後に前記ファンの運転を開始するとともに前記第１の扉及び前記第２の扉をドアロックする第２のステップと、前記ファンの運転を開始してから所定時間経過後に前記ファンの運転を停止する第３のステップと、前記ファンの運転停止後に前記第２の扉の開閉状態を検出し前記第２の扉が開状態にあるときは前記第１の扉をドアロックする第４のステップとを有し、前記第４のステップで前記第２の扉の開閉状態が所定時間内に検出されなかったときに制御状態をリセットして前記第１のステップ前の状態とすることを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態によるエアシャワー装置は、第１の扉又は第２の扉の開閉状態が所定時間継続して検出されない場合に、制御手段の制御状態をリセットするリセット機能を設けたことを特徴とするもので、仮にイレギュラーな動作が行われた場合にも、その後に誤動作が継続されることを防止することができる。
【０００７】
また、本発明の実施の形態によるエアシャワー装置は、制御手段の制御状態をリセットするリセットスイッチを操作パネルに設けたことを特徴とするもので、例えば電磁波の影響によって誤動作を起こした場合であっても人為的にリセットすることができ、シャワー室内に閉じこめられる等の不都合を回避することができる。
【０００８】
また、本発明の実施の形態によるエアシャワー装置の制御方法は、第１の扉の開閉状態を検出し第１の扉が開状態にあるときは第２の扉をドアロックする第１のステップと、第１の扉の開状態及び閉状態を検出した後にファンの運転を開始するとともに第１の扉及び第２の扉をドアロックする第２のステップと、ファンの運転を開始してから所定時間経過後にファンの運転を停止する第３のステップと、ファンの運転停止後に第２の扉の開閉状態を検出し第２の扉が開状態にあるときは第１の扉をドアロックする第４のステップとを有し、第４のステップで第２の扉の開閉状態が所定時間内に検出されなかったときに制御状態をリセットして第１のステップ前の状態とすることを特徴とするもので、仮にイレギュラーな動作が行われた場合にも、その後に誤動作が継続されることを防止することができる。
【０００９】
【実施例】
以下に本発明の一実施例によるエアシャワー装置について図面を用いて説明する。
図１は本実施例によるエアシャワー装置の斜視図、図２は図１のＡ−Ａ矢視図、図３は同装置に用いるシートスイッチの正面図、図４は同装置の動作を示すフローチャート図、図５は同装置を機能実現手段で示すブロック図である。
図１及び図２に示すように、シャワー室１内には、人体や物体等を通過させる通路２が設けられている。シャワー室１は、前室側とＣＲ側にそれぞれ扉２ａと扉２ｂが設けられている。通路２の側部には側面送風部３ａと側面部３ｂが設置され、側面送風部３ａには複数の側部ジェット気流噴出口４ａが設けられ、下部にはリターン用の空気吸込口５が設けられている。側面送風部３ａの内部には、図示しないが例えばジェットファン等のファン、フィルタ、圧力室等が配備されている。側面送風部３ａ内部には、扉２ａや扉２ｂをドアロックする電磁ロック６が設けられている。又側面送風部３ａの上方部にはパネル７が設けられ、パネル７にはシートスイッチからなるコントロールパネル８が設けられている。パネル７を外した側面送風部３ａ内部にはブレーカ９が設置されている。通路２の天井には天井ユニット１０が設けられ、天井ユニット１０の両端は側面送風部３ａ及び側面部３ｂに連結されている。また通路２には床ユニット１１が設けられ、床ユニット１１の両端は側面送風部３ａ及び側面部３ｂに連結されている。
【００１０】
次に、図３を用いてコントロールパネル８について説明する。
コントロールパネル８には、ファンの運転を手動と自動に切り替えるスイッチ８ａと、シャワー室１内の空気を循環させる循環ファンを運転停止するスイッチ８ｂと、シャワー室１内の照明を入り切りするスイッチ８ｃと、側部ジェット気流噴出口４ａから空気を吹き出すファンの運転時間を表示する表示部８ｄと、このファンの運転時間を変更するスイッチ８ｅと、電磁ロック６やファンの作動を停止させて制御状態を初期設定に戻すリセットスイッチ８ｆとを備えている。
【００１１】
次に、図４及び図５を用いて本実施例によるエアシャワー装置の動作について説明する。
まず、初期状態（Ｓ１）において作業者が扉２ａを開けてシャワー室１内に入室する場合、第１の扉開閉検出手段２１によって扉２ａの開閉状態を検出する（Ｓ２）。この第１の扉開閉検出手段２１によって扉２ａが開放されていることを検出すると、制御手段２３によって電磁ロック６を動作させてＣＲ側の扉２ｂをドアロックする（Ｓ３）。
次に、第１の扉開閉検出手段２１によって扉２ａが閉じられたことを検出すると（Ｓ４）、制御手段２３によってファン２４の運転が開始され、側部ジェット気流噴出口４ａから空気が吹き出される（Ｓ５）。このときファン２４の残存運転時間が表示部８ｄに表示される。またファン２４の運転時間はスイッチ８ｅによって変更することも可能である。ファン２４の運転が開始されると（Ｓ５）、制御手段２３によって電磁ロック６を動作させて扉２ａ及び扉２ｂをドアロックする（Ｓ６）。ファン２４の運転が開始されると（Ｓ５）、制御手段２３内のタイマー手段によって運転時間が計測され、設定時間に達したか否かが判断される（Ｓ７）。設定時間が経過するとファン２４の運転が停止される（Ｓ８）。このときファン２４の運転停止とともに扉２ａ及び扉２ｂのドアロックを解除する。ファン２４の運転の停止後に、扉２ｂの開閉状態を第２の扉開閉検出手段２２によって検出する（Ｓ９）。第２の扉開閉検出手段２２によって扉２ｂが開かれたことを検出すると、制御手段２３によって電磁ロック６を動作させて扉２ａをドアロックする（Ｓ１０）。扉２ｂが開放されている間は、扉２ａはドアロックされている。そして、扉２ｂの開閉状態を第２の扉開閉検出手段２２によって検出し（Ｓ１１）、扉２ｂが閉じられたことを検出すると、扉２ａのドアロックを解除する（Ｓ１２）。この扉２ａのドアロック解除（Ｓ１２）によって制御手段２３の制御状態を初期状態に戻す（Ｓ１）。
上記のステップ９において、第２の扉開閉検出手段２２によって扉２ｂが開かれたことを検出できないとき、第１の扉開閉検出手段２１によって扉２ａの開閉状態を検出し（Ｓ１３）、扉２ａが開かれたことを検出すると、扉２ｂをドアロックする（Ｓ１４）。そして、扉２ａの開閉状態を第１の扉開閉検出手段２１によって検出し（Ｓ１５）、扉２ａが閉じられたことを検出すると、扉２ｂのドアロックを解除する（Ｓ１６）。この扉２ｂのドアロック解除（Ｓ１６）によって初期状態に戻る（Ｓ１）。
上記のステップ１３において、第１の扉開閉検出手段２１によって扉２ａが開かれたことを検出できないとき、ファンの運転停止（Ｓ８）から所定時間（例えば１分間）経過したか否かを判断し（Ｓ１７）、所定時間経過した場合には制御手段２３の制御状態を初期状態に戻す（Ｓ１）。このように制御手段２３には、制御状態をリセットして初期状態（Ｓ１）に戻すリセット機能を備えている。
【００１２】
上記のように本実施例によれば、ファンの運転終了後１分間、扉２ａ及び扉２ｂの開閉動作が無い場合は、自動的に初期状態にリセットすることで誤動作を回避することができる。
すなわち、従来では扉２ａの開閉を行っても作業者がシャワー室１内に入室しなかった場合は、ファンの運転が終了した時点で次の予定された動作の待ち状態が維持される。この状態の時に、扉２ｂからシャワー室１内に作業者が入室してくると、シャワー室１の制御上「ジェットを浴びた作業者が扉２ｂを開いてＣＲ室側へ通り抜けた」と判断して初期状態に戻る。更に、ＣＲ室側からの入室者が扉２ａを開閉して前室へ通り抜けると、シャワー室１は「前室より新しい入室者があった」と判断し、無人のままファンの運転を開始する。このように従来では、１回のイレギュラー動作の為に誤動作が延々と続く可能性があるが、本実施例によればこのような不都合を有効に防止することができる。
【００１３】
なお、本実施例では扉２ａ及び扉２ｂの開閉動作が無い場合に初期状態にリセットしたが、扉２ａ又は扉２ｂのいずれかの開閉動作が無い場合に初期状態にリセットするものであってもよい。
また、本実施例では、パネル７を外してブレーカ９を遮断することなく、コントロールパネル８のリセットスイッチ８ｆを押すだけで制御を初期状態に戻し、電磁ロック６を解除することができる。
従って、シャワー室１内に人が入室し、扉２ａと扉２ｂに対し電磁ロック６が作動した状態で制御に誤動作が生じ、ファンが停止した後も電磁ロック６が作動し続けた場合、入室者はシャワー室１内に閉じ込められてしまった場合にも容易に対処することができる。
【００１４】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば仮にイレギュラーな動作が行われた場合にも、その後に誤動作が継続されることを防止することができる。
また、本発明によれば、例えば電磁波の影響によって誤動作を起こした場合であっても人為的にリセットすることができ、シャワー室内に閉じこめられる等の不都合を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例によるエアシャワー装置の斜視図
【図２】図１のＡ−Ａ矢視図
【図３】同装置に用いるシートスイッチの正面図
【図４】同装置の動作を示すフローチャート図
【図５】同装置を機能実現手段で示すブロック図
【符号の説明】
１      シャワー室
２ａ    扉
２ｂ    扉
８      コントロールパネル
８ｆ    リセットスイッチ
２１      第１の扉開閉検出手段
２２      第２の扉開閉検出手段
２３      制御手段
２４      ファン
【図１】
0004601767.tif 000002
【図２】
0004601767.tif 000003
【図３】
0004601767.tif 000004
【図４】
0004601767.tif 000005
【図５】
0004601767.tif 000006