(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ波を用いて線状プラズマを形成するプラズマヘッドを有し、被処理物の表面を前記線状プラズマに対して水平に保ちつつ該被処理物の移動中に大気圧下またはその近傍の圧力下で成膜ガスを供給して該被処理物に成膜処理を施すマイクロ波プラズマ処理装置において、
前記プラズマヘッドにＨ面スロットアンテナを備え、該Ｈ面スロットアンテナのスロットはλｇ／２のピッチ（λｇ：マイクロ波の管内波長）で導波管の中心線を挟んで交互に形成されており、かつ、前記スロットから前記プラズマヘッドの放出端までの距離がｎ・λｇ／２（ｎ：整数）である均―化線路が配置されてなり、
前記プラズマヘッド内に、成膜ガスをダウンフローする成膜ガス供給ノズル又は前記成膜ガスがサイドフローする成膜ガス供給ノズルと、シールドガスを供給するシールドガス供給管を接続し、該シールドガス供給管の下流側のプラズマ処理室内にシールドガスの均一供給を行う抵抗板を設けるとともに、排気側に均−排気を行う抵抗板を設け、
前記プラズマ処理室内の圧力Ｐ１が前記プラズマヘッドの最外周部の圧力Ｐ３より小であり、かつ圧力Ｐ３が均一排気を行う前記抵抗板近傍の圧力Ｐ２より小であるガスシールドを形成して前記プラズマヘッドからのガスの漏洩を防止することを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。
【請求項２】
マイクロ波を用いて線状プラズマを形成するプラズマヘッドを有し、被処理物の表面を前記線状プラズマに対して水平に保ちつつ該被処理物の移動中に大気圧下またはその近傍の圧力下で成膜ガスを供給して該被処理物に成膜処理を施すマイクロ波プラズマ処理装置において、
前記プラズマヘッドにＥ面スロットアンテナを備え、該Ｅ面スロットアンテナのスロットはλｇ／２のピッチ（λｇ：マイクロ波の管内波長）で導波管の中心線を挟んで交互に形成されており、かつ、前記スロットから前記プラズマヘッドの放出端までの距離がｎ・λｇ／２（ｎ：整数）である均―化線路が配置されてなり、
前記プラズマヘッド内に、成膜ガスをダウンフローする成膜ガス供給ノズル又は前記成膜ガスがサイドフローする成膜ガス供給ノズルと、シールドガスを供給するシールドガス供給管を接続し、該シールドガス供給管の下流側のプラズマ処理室内にシールドガスの均一供給を行う抵抗板を設けるとともに、排気側に均−排気を行う抵抗板を設け、
前記プラズマ処理室内の圧力Ｐ１が前記プラズマヘッドの最外周部の圧力Ｐ３より小であり、かつ圧力Ｐ３が均一排気を行う前記抵抗板近傍の圧力Ｐ２より小であるガスシールドを形成して前記プラズマヘッドからのガスの漏洩を防止することを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記均一化線路を高誘電率の材料で構成して、前記プラズマヘッドでの定在波を低減したことを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。
【請求項４】
請求項１又は２において、
前記均―化線路を石英で構成し、その端部を１／４λ（λ：石英内での自由空間波長）延長して、前記プラズマヘッドでの定在波を低減したことを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。
【請求項５】
請求項１又は２において、
前記均一化線路の端部に誘電損失の大な電磁波吸収材を装着して、前記プラズマヘッドでの定在波を低減したことを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。
【請求項６】
マイクロ波を用いて線状プラズマを形成し、被処理物の表面を前記線状プラズマに対して水平に保ちつつ該被処理物の移動中に大気圧下またはその近傍の圧力下で成膜ガスを供給して該被処理物に成膜処理を施すマイクロ波プラズマ処理装置のプラズマヘッドにおいて、
前記プラズマヘッドは、Ｈ面スロットアンテナとしての導波管と均一化線路と、前記導波管の前記均一化線路との間に形成された複数のスロットからなるスロットアレイと、前記均一化線路の終端に形成されたスリットからなるマイクロ波放出端とから構成されるマイクロ波供給部を備え、
前記スロットは、λｇ／２のピッチ（λｇ：マイクロ波の管内波長）で前記導波管の中心線を挟んで交互に形成されており、かつ、前記スロットから前記マイクロ波放出端までの距離がｎ・λｇ／２（ｎ：整数）であり、
前記プラズマヘッド内に、成膜ガスをダウンフローする成膜ガス供給ノズル又は前記成膜ガスがサイドフローする成膜ガス供給ノズルと、シールドガスを供給するシールドガス供給管を接続し、該シールドガス供給管の下流側のプラズマ処理室内にシールドガスの均一供給を行う抵抗板を設けるとともに、排気側に均−排気を行う抵抗板を設け、
前記プラズマ処理室内の圧力Ｐ１が前記プラズマヘッドの最外周部の圧力Ｐ３より小であり、かつ圧力Ｐ３が均一排気を行う前記抵抗板近傍の圧力Ｐ２より小であるガスシールドを形成して前記プラズマヘッドからのガスの漏洩を防止することを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置のプラズマヘッド。
【請求項７】
マイクロ波を用いて線状プラズマを形成し、被処理物の表面を前記線状プラズマに対して水平に保ちつつ該被処理物の移動中に大気圧下またはその近傍の圧力下で成膜ガスを供給して該被処理物に成膜処理を施すマイクロ波プラズマ処理装置のプラズマヘッドにおいて、
前記プラズマヘッドは、Ｅ面スロットアンテナとしての導波管と均一化線路と、前記導波管の前記均一化線路との間に形成された複数のスロットからなるスロットアレイと、前記均一化線路の終端に形成されたスリットからなるマイクロ波放出端とから構成されるマイクロ波供給部を備え、
前記スロットは、λｇ／２のピッチ（λｇ：マイクロ波の管内波長）で前記導波管の中心線を挟んで交互に形成されており、かつ、前記スロットから前記マイクロ波放出端までの距離がｎ・λｇ／２（ｎ：整数）であり、
前記プラズマヘッド内に、成膜ガスをダウンフローする成膜ガス供給ノズル又は前記成膜ガスがサイドフローする成膜ガス供給ノズルと、シールドガスを供給するシールドガス供給管を接続し、該シールドガス供給管の下流側のプラズマ処理室内にシールドガスの均一供給を行う抵抗板を設けるとともに、排気側に均−排気を行う抵抗板を設け、
前記プラズマ処理室内の圧力Ｐ１が前記プラズマヘッドの最外周部の圧力Ｐ３より小であり、かつ圧力Ｐ３が均一排気を行う前記抵抗板近傍の圧力Ｐ２より小であるガスシールドを形成して前記プラズマヘッドからのガスの漏洩を防止することを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置のプラズマヘッド。
【請求項８】
請求項６又は７において、
前記均一化線路を高誘電率の材料で構成して、前記プラズマヘッドでの定在波を低減したことを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置のプラズマヘッド。
【請求項９】
請求項６又は７において、
前記均―化線路を石英で構成し、その端部を１／４λ（λ：石英内での自由空間波長）延長して、前記プラズマヘッドでの定在波を低減したことを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置のプラズマヘッド。
【請求項１０】
請求項６又は７において、
前記均一化線路の端部に誘電損失の大な電磁波吸収材を装着して、前記プラズマヘッドでの定在波を低減したことを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置のプラズマヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＦＰＤ(フラットパネル・ディスプレイ)用大型ガラス基板、ウエハ等の基板のマイクロ波プラズマ処理に用いるマイクロ波プラズマ処理方法、マイクロ波処理装置及びそのプラズマヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、ＦＰＤ用大型ガラス基板、ウエハ等の基板のマイクロ波プラズマＣＶＤ処理装置では、真空状態に保たれたロードロック室を経て、同じく所定の真空状態に維持された処理室内にプラズマＣＶＤ処理を施す基板を搬入・搬出して枚葉式で所定のバッチ処理を行っていた。そのため、基板の処理室への搬入・搬出毎に処理室内の真空引き及び大気開放を行わなければならず、とくに複数の異った処理を基板に施す場合には、それぞれの処理は、隔離された複数の空間(処理室)を移動しながら、バッチ式で行わざるをえなかった。それ故、基板のＣＶＤ処理が連続的に行えず、また、高価な真空処理手段を必要としていた。
【０００３】
そこで、このような真空処理手段を不要とし、かつ、インライン方式で連続的に大気圧(常圧)下でプラズマＣＶＤ処理を行う技術が出現した。この常圧プラズマＣＶＤ技術では、真空を使わず大気圧のままで動作するプラズマ技術を用いウエハ等の被処理基板を連続的にＣＶＤ、エッチング、あるいはアッシング処理する(非特許文献１)。さらに、この常圧プラズマＣＶＤ技術では、ベルトコンベアのような循環式のウエハ搬送装置上にウエハを載置し、複数の常圧プラズマ装置により異った処理を流れ生産方式で行うようにしている(非特許文献２)。
【０００４】
また、さらに、電磁波を用いて線状のプラズマを形成し、被処理体表面を線状プラズマに対して水平に保ちつつ、被処理物(例えば、ウエハ)とプラズマの相対位置を移動しつつ被処理物の表面処理を行うプラズマ処理装置（例えば、ＣＶＤ装置）が提案されている（特許文献1）。
【先行技術文献】
【０００５】
【非特許文献１】
湯浅基和、真空を使わないプラズマＣＶＤ技術、NIKKEI MICRODEVICES  ２００１年１月号  ３頁
【０００６】
【非特許文献２】
湯浅基和、真空を使わないプラズマ技術、NIKKEI MICRODEVICES ２００１年４月号  １３９〜１４６頁
【０００７】
【特許文献1】
特開２００１−９３８７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、このような従来のマイクロ波プラズマＣＶＤ処理方法及び処理装置では、インライン方式で連続して異った処理を行うことができるが、プラズマヘッドのマイクロ波供給部でのマイクロ波の不均一性、処理ガスのフローとガスシールド不完全性、定在波によるプラズマ密度の不均一化及びプラズマヘッドのスロット部における異常放電の防止、等において問題点があった。
【０００９】
そこで、本発明は、このような従来のマイクロ波プラズマＣＶＤ処理方法及び処理装置のもつ問題点に鑑みてなされたもので、これらの問題点を除去することにより、高密度マイクロ波源を利用して線状、かつ高密度プラズマを発生させ、連続して異種の成膜処理を可能にしたマイクロ波プラズマ処理方法、マイクロ波プラズマ処理装置及びそのプラズマヘッドを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のマイクロ波プラズマ処理方法、マイクロ波プラズマ処理装置及びそのプラズマヘッドは、マイクロ波を用いて線状プラズマを形成し、被処理物の表面を前記線状プラズマに対して水平に保ちつつ該被処理物の移動中に大気圧下またはその近傍の圧力下で該被処理物に処理を施す際、プラズマヘッドにＨ面スロットアンテナを備え、該Ｈ面スロットアンテナのスロットをλg／２のピッチで導波管の中心線を挟んで交互に形成し、かつ、前記スロットから前記プラズマヘッドの放出端までの距離をn・λg／２とした均一化線路を配置したことを特徴とする。なお、λgはマイクロ波の管内波長である。
【００１１】
また、本発明のマイクロ波プラズマ処理方法、マイクロ波プラズマ処理装置及びそのプラズマヘッドは、同様の処理条件下において、プラズマヘッドにＥ面スロットアンテナを備え、該スロットアンテナのスロットをλgのピッチで導波管の中心線上に形成し、かつ、前記スロットから前記プラズマヘッドの放出端までの距離をn・λg／２とした均一化線路を配置したことを特徴とする。
【００１２】
さらに、本発明のマイクロ波プラズマ処理方法、マイクロ波プラズマ処理装置及びそのプラズマヘッドは、同様の処理条件下において、プラズマヘッドに均一化線路を備え、該均一化線路を高誘電率の材料で構成して、また、該均一化線路を石英で構成し、その端部を１／４λ延長し、さらに、該均一化線路の端部に誘電損失の大きな電磁波吸収材を装着して、前記プラズマヘッドでの定在波の低減をしたことを特徴とする。ここで、λは石英の自由空間波長である。
【００１３】
またさらに、本発明のマイクロ波プラズマ処理方法、マイクロ波プラズマ処理装置及びそのプラズマヘッドは、同様の処理条件下において、プラズマヘッド内に設けた成膜ガス供給ノズルを成膜ガスがダウンフローするように、また、成膜ガス供給ノズルを成膜ガスがサイドフローするように構成したことを特徴とする。
【００１４】
さらに、本発明のマイクロ波プラズマ処理方法、マイクロ波プラズマ処理装置及びそのプラズマヘッドは、同様の処理条件下において、プラズマヘッド内にシールドガスを供給する供給管を接続し、該シールドガス供給管の下流側のプラズマ処理室内にシールドガスの均一供給を行う抵抗板を設けるとともに、排気側に均一排気を行う抵抗板を設け、また、前記プラズマ処理室内の圧力Ｐ1を前記プラズマヘッドの最外周部の圧力Ｐ3より小とし、かつ圧力Ｐ3を均一排気を行なう抵抗板近傍の圧カＰ2より小として前記プラズマヘッドからのガスの漏洩を防止することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のマイクロ波プラズマ処理方法、マイクロ波プラズマ処理装置及びそのプラズマヘッドによれば、高密度マイクロ波源を利用して、プラズマヘットから線状に高密度プラズマを発生させたので、連続した高精度のＣＶＤ処理が可能となるとともに、異なるプラズマ源を成膜処理する基板の搬送方向に並べて配置したので、連続した異種成膜が可能となる。
【００１６】
さらに、本発明のマイクロ波プラズマ処理方法、マイクロ波プラズマ処理装置及びそのプラズマヘッドの均一化線路によれば、その基本寸法の最適条件の設定、定在波の除去により、より均一なマイクロ波をプラズマヘットのスリットから放出でき、かつ、ガスダウンフローとガスサイドフローのガスの流し方とにより、成膜ガスの均一性が保たれるとともに、成膜レートの向上を図ることができる。
【００１７】
また、極めて精度の高い成膜ガスのガスシールドが得られる等の、格別な効果を奏するようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態であるマイクロ波プラズマＣＶＤ装置の概念構成を示す正面図である。
【図２】図１に示したマイクロ波プラズマＣＶＤ装置の平面図である。
【図３】図１に示したマイクロ波プラズマＣＶＤ装置に用いるプラズマヘッドを３基並列してクラスタリングした装置の斜視図である。
【図４】図３に示したプラズマヘッドのマイクロ波供給部の斜視図である。
【図５】図４に示したマイクロ波供給部の概念図である。
【図６】図４に示したマイクロ波供給部に用いるアンテナの斜視図とアンテナ内のマイクロ波の伝播を示す図である。
【図７】同位相放出型Ｅ面アンテナとそのマイクロ波のＥ面アンテナ内での伝播を示す図である。
【図８】図６に示した同位相放出型Ｈ面アンテナのスロット板の諸元を示す平面図である。
【図９】本発明の一実施形態であるマイクロ波プラズマＣＶＤ装置に用いるプラズマヘッドのマイクロ波供給部の基本寸法の計算方法を示す概念図である。
【図１０】本発明の一実施形態であるマイクロ波プラズマＣＶＤ装置に用いるプラズマヘッドのマイクロ波供給部の均一化線路の基本寸法の別の計算方法を示す概念図である。
【図１１】図１に示したマイクロ波プラズマＣＶＤ装置に用いるプラズマヘッドのマイクロ波供給部における定在波低減を図る手段を示す図である。
【図１２】図１に示したマイクロ波プラズマＣＶＤ装置のプラズマヘッド(縦断面図)において、ＣＶＤガスの流し方を示すものであって、ＣＶＤガスをプラズマ処理室内でダウンフローした実施例を示す図である。
【図１３】図１に示したマイクロ波プラズマＣＶＤ装置のプラズマヘッド(縦断面図)において、ＣＶＤガスをプラズマ処理室内でサイドフローした実施例を示す図である。
【図１４】図１に示したマイクロ波プラズマＣＶＤ装置のプラズマヘッドにおいて、ガスシールドの施し方を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付図面に基づいて本発明のマイクロ波プラズマ処理方法、マイクロ波プラズマ処理装置及びそのプラズマヘッドの実施の形態を詳細に説明する。
マイクロ波プラズマＣＶＤ装置
【００２０】
まず、添付した図１と図２に示すように、本発明の実施形態であるマイクロ波プラズマＣＶＤ装置(以下、「本発明のＣＶＤ装置」という)１は、基板Ｇ(例えば、ガラス基板)をプラットホーム６aあるいは６ｂからロードロックモジュール２に搬入して、搬送アーム２ａによりトランスファモジュール３を経て、そのロボットアーム３ａによりプロセスモジュール４に搬入して、プラズマヘッド５により高密度の線状プラズマを発生させ、その存在下で、基板(被処理物)Ｇの処理面を線状プラズマに水平に保ちつつ、基板ＧにプラズマＣＶＤ処理をインライン方式で連続して行うようになっている。とくに、プラズマヘッド５は、後述するように(図３参照)、複数の異った複数の成膜プロセスが実施できるように、異った成膜ガスを適用できる１基あるいは数基の同種のプラズマヘッドを並列・クラスタリングして構成されている。
【００２１】
ここで、トランスファモジュール３から基板Ｇは、ロボットアーム３ａにより搬出され、プロセスモジュール４内をガイドロール９ｂにより案内されて循環する無端式基板搬送機構９に配設された基板ステージ９ａ上に載置され静電チャック(図示せず)等により固定されてプロセスモジュール4内を移動しつつ、プラズマヘッド５によりＣＶＤ処理される。プラズマＣＶＤ処理後の基板Ｇは、基板ステージ９ａから離脱されてプロセスモジュール４の終端から次の処理工程へ搬出され、空となった基板ステージ９ａは、無端式基板搬送機構９によりプロセスモジュール４の始端に戻るようになっている。また、無端式基板搬送機構９の下部には、ガスユニット７と冷却水ユニット８が配設してある。
プラズマヘッド
【００２２】
本発明の一実施形態であるマイクロ波プラズマＣＶＤ装置に用いるプラズマヘッド５は、図３に示すように、複数基、例えば３基５ａ，５ｂ，５ｃ、隔離壁(図示なし)を介して並置され、異った成膜ガスにより異った成膜処理を基板ステージ９ａに載置された基板Ｇに大気圧(常圧)下あるいはその近傍の圧力下で施すように構成する。例えば、表１に示すように、プラズマヘッド５ａでは、Ｓｉ3Ｎ4膜用ガスによる成膜プロセスを、プラズマヘッド５ｂでは、a−Ｓｉ膜用ガスによる成膜プロセスを、また、プラズマヘッド５ｃでは、n＋Ｓｉ膜用ガスによる成膜プロセスをそれぞれ施し、基板Ｇの表面に異った成膜層３層を形成するようになっている。
【００２３】
このプラズマヘッド５には、図４に示すようなマイクロ波供給部５０を適用する。
【表１】
0004474363.tif 000002
【００２４】
図４に示すマイクロ波供給部５０は、プラズマヘッド５に内蔵され、マイクロ波励起大気圧線(ライン)状プラズマ発生部として機能する（図４では、その構成を明確に示すために天地を逆にして図示してある。)。
【００２５】
このマイクロ波供給部５０は、図５に示すように、マイクロ波を用いて線(ライン)状のプラズマを形成するのに用いられ、Ｈ面あるいはＥ面スロットアンテナとしての導波管５１と均一化線路５２とから構成されている。導波管５１には、均一化線路５２との間に複数のスロット５３からなるスロットアレイ(スロット板)５１ｃが形成され、このスロット板５１ｃは、例えば図６に示すように、Ｈ面アンテナでは、管内波長λｇの１／２のピッチで導波管５１の中心線より左右に交互(千鳥状)に配置された複数のスロット５３により構成されている。そして、均一化線路５２の終端であるマイクロ波放出端５４には、スリット５５が形成され、このスリット５５から均一化したマイクロ波が放出される。
【００２６】
均一化線路５２では、スロット板５１ｃから放出された位相の揃ったマイクロ波を利用して、空間的により均一化したマイクロ波の波面を形成する。この均一化線路５２は、平行平板線路であって、具体的には、その中心線を長軸とする扁平矩形導波管として構成されている。この均一化線路５２により、各スロット５３から離散的に放出されたマイクロ波が均一化され、その中心線方向により均一な強度をもっ波面が形成され、この均一化されたマイクロ波はスリット５５からプラズマ中に放出される。
【００２７】
とくに、本発明のＣＶＤ装置に用いるマイクロ波供給部５０のＨ面あるいはＥ面アンテナからなる均一化線路は、図５(a),(b)に示すように、その均一化線路５２のスロット板５１ｃからマイクロ波の放出端５４までの寸法をn・λｇ／２(ここで、λｇ:管内波長、ｎ：整数)、また、その巾はλｇ／２として計算して設計する。そして、均一化線路５２は、Ａｌ2Ｏ3あるいはＡｌＮあるいは石英のような誘電体もしくは気体(気体空間を形成する)で形成し、また、マイクロ波の放出端５４には、フッ化保護膜５４ａをコーティングする。なお、導波管５１は、Ａｌ2Ｏ3あるいはＡｌＮあるいは石英のような誘電体もしくは気体(気体空間)で形成する。
【００２８】
また、図６(b)に示すように、同位相放出型Ｈ面アンテナでは、図示のように、λｇ／２ピッチでその中心線から同位相の電流が流れ、中心線では、電界がほぼ零となるので、比較的電界の高い個所(中心線から距離dだけオフセットした個所)にスロット５３ａを、図６(a)に示すように、導波管５１ａに中心線を挟んで交互(千鳥状)に形成する。なお、ここで、導波管５１ａの終端から末端に形成されたスロット５３ａの中点まではλｇ／２とする。
【００２９】
Ｅ面アンテナでは、図７(a),(b)に示すように、中心線上にλｇ間隔で導波管共振器５１ｂにスロット５３ｂを形成する。
【００３０】
図８は、このようにして構成されたＨ面アンテナのスロット板５１ｃの平面図を示す。
【００３１】
また、ここで、均一化線路５２の基本寸法の計算方法の別の計算例を示すと、図９に示すように、
ここで、
【数1】
0004474363.tif 000003
【００３２】
均一化線路５２の長さｌは、基本はλ／４〜３／４λとし、その値はシミュレーションで求める。この計算方法では、管内波長λｇでなく、自由空間波長λを用いて計算する。同様に均一化線路５２の巾もλ／２として計算する。
【００３３】
さらにまた、図１０に示すように、均一化線路５２をスリット５５側を石英Ｃで、また、スロット５３と石英Ｃとの間に大気Ａを介在させて構成した実施例では、
大気中の石英の自由空間波長λ(石英)は、
λ(大気)、ε:誘電率とすると、
【数２】
0004474363.tif 000004
【００３４】
図１０に示した各部の計算比を適用して〔数２〕にしたがって石英(ε＝３．５８)の場合の波長短縮後の波長を計算すると、表２に示すようになる。
【表２】
0004474363.tif 000005
【００３５】
さらに、定在波によるプラズマヘッドでのマイクロ波の強度分布の濃淡をなくすために、定在波の低減手段を均一化線路５２に施す。
【００３６】
この定在波低減方法では、図１１(a)に示すように、均一化線路５２の空間を誘電率の高いアルミナ(Ａｌ2Ｏ3)等で埋め波長を短縮する。この揚合、均一化線路５２の長さｌは、λ(自由空間波長)の整数倍ｌ＝ｎ・λとなる。
【００３７】
また、図１１（ｂ）に示すように、均一化線路５２の端部を１／４λ延長する。
【００３８】
さらにまた、図１１（ｃ）に示すように、均一化線路５２の端部に誘電損失の大きな電磁波吸収材(例えばダミーロードや水)を装着して電磁波を吸収する。また、スロット部におけるマイクロ波出力の上昇に伴う異常放電(スパーク)を防止し、局所的な温度上昇により均一化線路５２を構成する誘電体が割れるのを回避するために、図１０に示すように、スロット板５１ｃを３〜５ｍｍ程度の厚みをもつ剛性のある金属板から構成し、石英、アルミナ等からなる誘電体Ｃからスロット板５１cを大気空間Ａを介して隔離するようにする。
ＣＶＤガスの流し方
【００３９】
本発明のマイクロ波プラズマＣＶＤ装置における成膜用ＣＶＤガスの流し方については、１)ガスダウンフロー、２)ガスサイドフロー、の２方法が用いられる。
〔ガスダウンフロー〕
【００４０】
ガスダウンフロー方式は、図１２に示すように、プラズマヘッド６０ａを導波管６１ａ、スペーサー６４a、ベースフランジ７１ａ、ベースフランジ７１ａに接続した一対の排気ポート７３a、基板Ｇの上に配設された電極６９ａで構成し、スペーサー６４aと導波管６１aの下端面との間にスリット板６２ａを、また、スペーサー６４ａとベースフランジ７１ａの上端面との間に一対のＯ−リング６５ａを介してウインドウ６３ａを配設し、さらにウインドウ６３ａの下部にスペーサー６７ａを配設して、スペーサー６７ａ(均一化線路:)に希釈ガス噴出口aと原料ガス噴出口ｂをもつガス供給ノズル６６aと、そして、プラズマヘッド６０ａ内に搬入された電極６９ａにより生起されたプラズマ雰囲気下にある基板Ｇの成膜面に向って希釈ガス(例えば、Ａｒ,Ｈｅ)と原料ガス(例えば、ＳｉＨ4)との成膜ガスを矢印で示すように、噴出口ａ,ｂから基板Ｇに向ってダウンフローさせる。
【００４１】
このガスダウンフローにより、特にプラズマ密度の高い部分に成膜ガスが流れ、成膜レートが飛躍的に向上するほか、成膜ガスの均一性が保たれ、ガス供給ノズルヘの残留物の付着が防止されることになる。
〔ガスサイドフロー〕
【００４２】
ガスサイドフロー方式は、図１３に示すように、プラズマヘッド６０ｂを導波管６１ｂ、スペーサー６４ｂ、ベースフランジ７１ｂ、変換フランジ７２ｂ、ベースフランジ７１ｂに接続した一対のガス供給ポート７５ｂ、排気ポート７３ｂ、基板Ｇの上に配設された電極６９ｂで構成し、スペーサー６４ｂと導波管６１ｂの下端面との間にスリット板６２ｂを、またスペーサー６４ｂとベースフランジ７１ｂの上端面との間に一対のＯ―リング６５ｂを介してウインドウ６３ｂを配設し、ウインドウ６３ｂの下端にスペーサー６７ｂ(均一化線路)を配設する。さらに、スペーサー６７ｂの下端面と基板Ｇの間に形成されたプラズマ室内に三角形状をしたヘッド７６ｂを配設する。そして、このプラズマ室内にガス供給ポート７５ｂの噴出口aから希釈ガス(例えば、Ａｒ,Ｈｅ)を、また別の噴出口ｂから原料ガス(例えば、ＳｉＨ4)を供給する。両ガスが混合して形成された成膜ガスは、矢印に示すように、ヘッド７６ｂの表面に添って基板Ｇに向って流れ(サイドフロー)成膜を行い、排気ポート７３ｂから排気系へ排出される。
【００４３】
この際、ヘッド７６ｂの平坦面７７ｂの面積を変えることにより、成膜レート及び成膜状況を調整できる。
【００４４】
このガスサイドフローにより、成膜ガスの均一性が良くなって排気が促進されるとともに、成膜面の予測が可能になり、かつ、プラズマヘットのクリーニングが容易になる。また、基板上の成膜巾をガス供給ポートのノズル先端形状で制御できるようになる。
ガスシールド
【００４５】
本発明のマイクロ波プラズマＣＶＤ装置のプラズマヘッド６０には、図１４に示すような、ガスシールドを施す。
【００４６】
すなわち、図４(a)に示すように、プラズマヘッド６０の導波管６１の下端に設けられたスペーサー６４に真空排気管８２を配設し、かつ、スペーサー６４の下端に配設され、電極６９が配置されたプラズマ処理室を形成する変換フランジ７２にＮ2、Ａｒガス等のシールドガス供給管８３，８３で接続し、それらの下流側にシールドガス(Ｎ2,Ａｒ)の均一供給を行う抵抗板８１，８１を配設する。さらに、プラズマ処理室内のガス供給ノズル６６から供給された成膜ガスの均一排気を行うための抵抗板８０，８０を成膜ガスの排気端に設ける。
【００４７】
そして、図１４(b)に示すように、それぞれの部位の圧カＰ1(プラズマ処理室内の圧カ、例えば常圧〜１Torr), Ｐ2(抵抗板近傍の圧カ), Ｐ3(プラズマヘッド最外周部の圧力)をＰ1＜Ｐ3＜Ｐ2になるように、構成すると、各部位間に圧力の壁(山の部分)が形成されて成膜処理室からのガスの漏洩が防止され、完全なガスシールドが構成されるようになる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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