(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体が混在した流体中より前記気体を分離する気体分離器であって、
前記流体を導入する導入部と、該導入部の下流側に設けられて前記流体を液体及び前記気体に分離する気液分離部と、該気液分離部の下流側に設けられていて前記流体を導出する導出部とを備え、
前記導入部には、その上流側から下流側に向かって末広がりとなるテーパ形状の流路断面を有する拡大流路と、該拡大流路内に位置する第１の整流体とが設けられ、前記導出部には、その上流側から下流側に向かって先細りとなるテーパ形状の流路断面を有する縮小流路と、該縮小流路内に位置する第２の整流体とが設けられた前記気体分離器を備えており、
前記気体分離器の導出部を流出した流体を、ポンプを介して抽出してその成分を測定するようにしたことを特徴とする流体成分測定装置。
【請求項２】
請求項１記載の流体成分測定装置であって、
前記第１の整流体及び前記第２の整流体のいずれか一方もしくは両方が、多数の貫通孔が略全面にわたって穿孔された板状をなし、かつ、前記流体の流れ方向に対して対向配置された多孔平板であることを特徴とする流体成分測定装置。
【請求項３】
被処理水にオゾンガスを注入してオゾン処理する装置であって、
請求項１または２記載の流体成分測定装置を備え、前記オゾンガスが注入された前記被処理水を前記流体とし、該流体中に溶けずに混在している前記オゾンガスを分離除去することを特徴とするオゾン処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体内に溶けずに混在している気体を分離除去する気体分離器と、この気体分離器を備えて流体の成分を測定する流体成分測定装置と、この流体成分測定装置を備えて被処理水のオゾン処理を行うオゾン処理装置とに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、水道水の異臭味や、水道水中に含まれるトリハロメタンなどの有機塩素化合物が問題となっている。異臭味は、生活排水によって河川や湖沼等の水源が汚染され、藍藻類が繁殖した結果として、生じるようになってきた。また、有機塩素化合物は、原水中のアンモニア性窒素の除去、または殺菌等のために注入される塩素と原水中の腐食物質とが反応して生成される。この有機塩素化合物は発癌性を有することから、塩素注入量が低減される傾向にある。
このような背景から、オゾン処理と生物活性炭処理とを行う、いわゆる高度浄水処理が注目されている。オゾン処理は、オゾンガスの強力な酸化力によって異臭味の原因となる物質を分解、脱色、脱臭し、さらには有機塩素化合物の生成を低減させようとするものである。生物活性炭処理は、活性炭に付着した微生物の働きによってアンモニア性窒素等を分解し、またオゾンガスと有機物との反応によって生成した副生物を吸着除去または微生物によって分解しようとするものである。
【０００３】
この高度浄水処理を行うオゾン処理装置においては、オゾン発生器のオゾンガス発生効率が非常に低いことと、このオゾン発生器の運転に要する電力コストが非常に高いこととから、被処理水へのオゾンガス注入量を必要最小限に抑えることが要求されている。一方、適正なオゾンガス注入量は、被処理水の水質によって異なるので、例えばオゾンガス注入後の被処理水の一部をサンプリングして溶存オゾン濃度を測定する流体成分測定装置を設けて、この測定結果に基づいてオゾンガス注入量を決定するフィードバック制御が行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記説明の従来のオゾン処理装置では、その流体成分測定装置において、サンプリングされた被処理水を乱流状態のまま計測部に送り込んでしまうと、以下に説明する問題を引き起こすこととなっていた。
すなわち、
（１）被処理水をサンプリングする際には、その計測部に向かって被処理水をポンプで送水する必要があるが、被処理水中には、溶けずに混在しているオゾンガスが存在しているため、ポンプを通す前に、このオゾンガスを前もって除去しておく必要がある。しかしながら、サンプリングされた被処理水が乱流状態のままであると、オゾンガスが被処理水中に抱き込まれたまま流れていってしまうので、十分なオゾンガスの分離除去を成しえず、そのままポンプ内に引き込んでしまうこととなる。この場合には、オゾンガスがポンプ内にキャビテーションを生じせしめ、ポンプ内に圧力低下を引き起こすこととなり、ポンプを停止させてしまうなどの不具合を生じる恐れがある。
（２）また、計測部に送る前の被処理水が乱れたままであると、その溶存オゾン濃度の測定結果が不安定となり、前記フィードバック制御を正確にできなくなる恐れがあるという問題も有している。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、流体の流れの乱れを原因とするポンプの動作不良と、流体成分濃度の変動とを防止できる手段を備えた流体成分測定装置と、この流体成分測定装置を備えたオゾン処理装置の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
すなわち、請求項１記載の気体分離器を備えた流体成分測定装置は、気体が混在した流体中より前記気体を分離する気体分離器であって、前記流体を導入する導入部と、該導入部の下流側に設けられて前記流体を液体及び前記気体に分離する気液分離部と、該気液分離部の下流側に設けられていて前記流体を導出する導出部とを備え、前記導入部には、その上流側から下流側に向かって末広がりとなるテーパ形状の流路断面を有する拡大流路と、該拡大流路内に位置する第１の整流体とが設けられ、前記導出部には、その上流側から下流側に向かって先細りとなるテーパ形状の流路断面を有する縮小流路と、該縮小流路内に位置する第２の整流体とが設けられた前記気体分離器を備えており、前記気体分離器の導出部を流出した流体を、ポンプを介して抽出してその成分を測定するようにしたことを特徴とする。
上記請求項１記載の気体分離器を備えた流体成分測定装置によれば、導入された流体は、気液分離部に行く前に導入部を通過する。この導入部においては、流れ方向に向かって末広がりとなる拡大流路内を通るので、流体の流速が減速される。その後、流体は第１の整流体を通過して整流されるが、この時の流体は、既に流速が減速されているので、流速が速いままで第１の整流体を通過させる場合に比較して、より高い整流効果を得ることができる。このようにして十分に整流された後の流体は、気液分離器内を流れる際に、気体を確実に分離させることができる。さらには、整流作用によって、流体の成分濃度をどの部分においても略一様にさせることもできるようになる。気液分離部の下流側に流出しようとする流体は、その前に第２の整流体を通過することで、更なる整流作用を受ける。そして、気体分離器の装備によって、流体の流れの乱れを原因とするポンプの動作不良と、流体成分濃度の変動とが防止されるので、精度の高い測定を連続して行うことができる。
【０００８】
請求項２記載の気体分離器は、請求項１記載の気体分離器であって、前記第１の整流体または前記第２の整流体のいずれか一方もしくは両方が、多数の貫通孔が略全面にわたって穿孔された板状をなし、かつ、前記流体の流れ方向に対して対向配置された多孔平板であることを特徴とする。
上記請求項２記載の気体分離器によれば、請求項１の作用を確実に得ることができる。
【００１０】
請求項３記載のオゾン処理装置は、被処理水にオゾンガスを注入してオゾン処理する装置であって、請求項１または２記載の流体成分測定装置を備え、前記オゾンガスが注入された前記被処理水を前記流体とし、該流体中に溶けずに混在している前記オゾンガスを分離除去することを特徴とする。
上記請求項３記載のオゾン処理装置によれば、流体成分測定装置を装備することで、被処理水の成分濃度を、高い精度で連続して測定することができるので、この測定結果を基に適正なオゾンガス注入量を決定するフィードバック制御を、正確に行うことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の気体分離器、及び気体分離器を備えた流体成分測定装置、及び流体成分測定装置を備えたオゾン処理装置の一実施形態についての説明を、図面を参照しながら以下に行う。しかしながら、本発明がこれに限定解釈されるものでないことは、もちろんである。
なお、図１は、本発明の気体分離器及び流体成分測定装置を備えたオゾン処理装置の一実施形態を説明する概略機器構成図である。また、図２は、同オゾン処理装置の要部であるＵチューブ型オゾン接触装置の構造を説明する縦断面図である。また、図３は、同オゾン処理装置の流体成分測定装置の構成を説明するための概略機器構成図である。また、図４は、同流体成分測定装置の気体分離器の要部を示す図であって、（ａ）は整流体の正面図を示し、（ｂ）はその整流体の変形例の正面図を示し、（ｃ）は他の変形例を示す斜視図である。
【００１２】
図１に示すように、本実施形態のオゾン処理装置は、オゾンガスＯＧを生成するオゾンガス生成装置１と、該オゾンガス生成装置１で生成されたオゾンガスＯＧを取り入れると共に、これを別途導入された被処理水ＲＷ（塩素が注入された水道水）に対して混入してオゾン水ＯＷを生成するオゾン注入装置２と、該オゾン注入装置２において被処理水ＲＷ内に溶け込みきれずに余った余剰オゾンガスＯＧ’を活性炭処理して排気する排オゾン処理装置３と、オゾン注入部２内のオゾン水ＯＷの一部をサンプリングしてこれに含まれる溶存オゾンの濃度を測定する流体成分測定装置４と、該流体成分測定装置４の測定結果に基づいてオゾンガス生成装置１でのオゾンガスＯＧの生成量を制御するフィードバック制御装置（図示せず）とを備えた概略機器構成を有している。
【００１３】
前記オゾンガス生成装置１は、空気Ｏを取り入れた後、これを処理してオゾンガスＯＧを発生させ、オゾンガス供給管１ａを介して接続されたオゾン注入装置２にオゾンガスＯＧを供給できるようになっている。
前記排オゾン処理装置３は、余剰オゾン排出管３ａを介して接続されたオゾン注入装置２からの余剰オゾンガスＯＧ’を取り入れて、活性炭処理してから大気中に排出するようになっている。ここで使用される活性炭は、粒状物質であり、余剰オゾンガスＯＧ’がその隙間を通過する際に、余剰オゾンガスＯＧ’を酸素や炭酸ガスに分解処理するようになっている。このようにして処理された酸素や炭酸ガスは、大気へと放出される。
【００１４】
前記オゾン注入装置２は、本実施形態では、図２に示す、いわゆるＵチューブオゾン接触装置を採用している。このＵチューブオゾン接触装置は、例えば水深２０〜２５ｍの垂直円筒形の外管２ａ内に内管２ｂを同軸に配した二重管構造を備えて構成されている。内管２ｂには、被処理水ＲＷを導入する被処理水供給管２ｃと、前記オゾンガス供給管１ａとが接続されており、これら配管によって、内管２ｂ内に被処理水ＲＷ及びオゾンガスＯＧを供給可能となっている。
さらに、この内管２ｂは、その上端が閉じられるとともに下端が開放されているので、内管２ｂ内に供給された被処理水ＲＷは、鉛直方向下方に向かって（すなわち、内管２ｂの下端開口に向かって）流れていく内に、供給されたオゾンガスＯＧの気泡が徐々に高まっていく水圧によって押し潰され、被処理水ＲＷ内に溶け込むようになっている。このようにして被処理水ＲＷ内にオゾンガスＯＧを溶け込ませて生成したオゾン水ＯＷは、内管２ｂの下端開口から外管２ａ内に排出された後、外管２ａと内管２ｂとの間に形成される流路を通って上昇する。
【００１５】
この時のオゾン水ＯＷ中には、完全に溶け込むことができずに余った余剰オゾンガスＯＧ’が気泡状態のまま混在しており、この余剰オゾンガスＯＧ’がオゾン水ＯＷと共に外管２ａ内の流路を上昇していく。外管２ａの開口された上端には、オゾン水ＯＷと余剰オゾンガスＯＧ’とを一時的に蓄えて分離する分離室２ｃが固定されており、該分離室２ｃ内空間と外管２ａ内流路とが連通した状態となっている。さらに、外管２ａは、その上端部分が、分離室２ｃ内の底面よりも所定高さ寸法を有するように固定されているので、外管２ａの上端開口より溢れ出たオゾン水ＯＷを一時的に分離室２ｃ内に蓄えることができるようになっている。そして、蓄えられたオゾン水ＯＷは、分離室２ｃに接続された導出配管２ｄによって分離室２ｃより導出され、必要に応じて次の処理工程へと移される。一方、オゾン水ＯＷと共に分離室２ｃ内に流れ込んだ余剰オゾンガスＯＧ’は、分離室２ｃの上端に接続された前記余剰オゾン排出管３ａによって前記排オゾン処理装置３へと導かれ、酸素や炭酸ガスに分解処理された後、大気へと放出される。
【００１６】
前記流体成分測定装置４は、前記フィードバック制御装置とともにオゾンガスＯＧの注入を適正量にすべく制御するのに用いられる装置であり、前記外管２ａ内のオゾン水ＯＷの一部を抽出してその溶存オゾン濃度を測定する装置であり、図１に示すように、オゾン注入装置２の外管２ａの下部に、サンプリング配管４ａによって接続されている。
この流体成分測定装置４について図３を用いて詳説すると、サンプリング配管４ａの下流側端部が接続される気体分離器５と、該気体分離器５の下流側に配管６ａによって接続された送水ポンプ７（ポンプ）と、該送水ポンプ７の吐出側に配管６ｂで接続された計測部（図示せず）と、気体分離器５の上部に接続された排オゾンガス処理部８とを備えて構成されている。
【００１７】
気体分離器５は、余剰オゾンガスＯＧ’が溶けずに混在しているオゾン水ＯＷ中より余剰オゾンガスＯＧ’を分離する分離器であり、サンプリング配管４ａよりオゾン水ＯＷ及びオゾンガスＯＧの混合流体ＭＦを導入する導入部５ａと、該導入部５ａの下流側に接続されて混合流体ＭＦを、オゾン水ＯＷ及び余剰オゾンガスＯＧ’に分離する気液分離部５ｂと、該気液分離部５ｂの下流側よりオゾン水ＯＷを配管６ａを介して送水ポンプ７に導出する導出部５ｃとを備えて構成されている。
【００１８】
前記導入部５ａは、その上流側から下流側に向かって末広がりとなるテーパ形状の流路断面を有する拡大流路５ａ１と、該拡大流路５ａ１内に配置固定された円形整流板５ａ２（第１の整流体）とを備えている。
拡大流路５ａ１は、その上流側から下流側に向かって広がる円錐台形状の配管であり、その軸線方向の各位置における流路断面が円形をなしている。したがって、拡大流路５ａ１内を流れていく混合流体ＭＦは、前記流路断面の面積が徐々に大きくなるにつれてその流速を低下させることができるようになっている。
【００１９】
円形整流板５ａ２は、図４（ａ）に示すように、多数の貫通孔ｈが略全面にわたって穿孔された板状をなし、かつ、混合流体ＭＦの流れ方向に対して対向配置された多孔平板となっている。そして、この円形整流板５ａ２は、その外周縁において拡大流路５ａ１の下流端の内周面に密接した状態に固定されている。したがって、拡大流路５ａ１の下流端に流れ着いた混合流体ＭＦは、円形整流板５ａ２の各貫通孔ｈを通ることで整流された後、気液分離部５ｂ内に流れ込むようになっている。
【００２０】
前記気液分離部５ｂは、図３に示すように、水平配置された中空円柱形状の円管であり、その上流側には前記拡大流路５ａ１の下流側端部が水密に接続され、また、その下流側には前記導出部５ｃの上流側端部が水密に接続されている。そして、気液分離部５ｂの上側部には、該気液分離部５ｂ内の空間に連通してかつ鉛直方向上方に向かう排オゾンガス導出管５ｂ１が形成されており、気液分離部５ｂ内で分離された余剰オゾンガスＯＧ’を前記排オゾンガス処理部８に排出できるようになっている。
【００２１】
前記導出部５ｃは、その上流側から下流側に向かって先細りとなるテーパ形状の流路断面を有する縮小流路５ｃ１と、該縮小流路５ｃ１内に配置固定された円形整流板５ｃ２（第２の整流体）とを備えている。
縮小流路５ｃ１は、その上流側から下流側に向かって先細りとなる逆円錐台形状の配管であり、その軸線方向の各位置における流路断面が円形をなしている。したがって、比較的大きな内径寸法を有する気液分離部５ｂと、これに比較して小さな内径寸法の配管６ａとの間を、段差のないスムーズな流路として接続することが可能となっている。
【００２２】
円形整流板５ｃ２は、前記円形整流板５ａ２と同一部品であり、図４（ａ）に示すように、多数の貫通孔ｈが略全面にわたって穿孔された板状をなし、かつ、オゾン水ＯＷの流れ方向に対して対向配置された多孔平板となっている。そして、この円形整流板５ｃ２は、その外周縁において縮小流路５ｃ１の上流端の内周面に密接した状態に固定されている。したがって、気液分離部５ｂの下流端に流れ着いたオゾン水ＯＷは、円形整流板５ｃ２の各貫通孔ｈを通って更に整流されることで、成分濃度が極めて均一化され、その後、縮小流路５ｃ１内に流れ込むようになっている。
【００２３】
送水ポンプ７は、配管６ａを介して縮小流路５ｃ１の下流端に接続されており、余剰オゾンガスＯＧ’が除去された後の気泡を含まぬオゾン水ＯＷを、配管６ｂを介して前記計測部に送水可能となっている。
排オゾンガス処理部８は、図３に示すように、気液分離部５ｂの排オゾンガス導出管５ｂ１に接続されたエア抜弁８ａと、該エア抜弁８ａの下流側に配管８ｂで接続された活性炭ポット８ｃとから構成されている。そして、エア抜弁８ａ及び配管８ｂを介して、気液分離部５ｂ内より排出された余剰オゾンガスＯＧ’は、活性炭ポット８ｃ内に充填されている活性炭によって酸素や炭酸ガスに分解処理された後、大気へと放出される。
【００２４】
以上説明の構成を有する流体成分測定装置４の動作について、以下に説明を行う。まず、送水ポンプ７を起動させると、サンプリング配管４ａを介してオゾン注入装置２内のオゾン水ＯＷが、流体成分測定装置４内に導入される。この時のオゾン水ＯＷは、余剰オゾンガスＯＧ’が混在した混合流体ＭＦとなっている。そして、この混合流体ＭＦは、導入部５ａを通る際に徐々に減速していき、最も減速された状態になってから、円形整流板５ａ２を通過することで、気液を分離するのに十分な状態に整流される。
【００２５】
この時、オゾン注入装置２より取り入れた流速状態のまま、円形整流板５ａ２を通すことも考えられるが、速い流速のまま円形整流板５ａ２を通してしまうと、レイノルズ数が高くなるので、かえって円形整流板５ａ２の下流側に乱流を生じやすくなる。したがって、高い整流効果を得るためには、本発明のように、拡大流路５ａ１を通すことによって流速を予め十分に落としてから円形整流板５ａ２で整流させることが必要となる。この理由により、拡大流路５ａ１と円形整流板５ａ２とは、どちらか一方が欠けても十分な整流作用を発揮することができないので、一組をなして用いられることを必須条件としている。
【００２６】
気液分離部５ｂ内に流れ込んだ混合流体ＭＦは、十分に減速かつ整流されているので、気泡として混在している余剰オゾンガスＯＧ’を抱き込むことなく、オゾン水ＯＷより外部に確実に分離することができる。そして、分離された余剰オゾンガスＯＧ’は、排オゾンガス処理部８の活性炭ポット８ｃへと送り込まれ、活性炭によって酸素や炭酸ガスに分解処理された後、大気へと放出される。
一方、余剰オゾンガスＯＧ’が除去された後のオゾン水ＯＷは、円形整流板５ｃ２を通る際に更に整流されることで、その成分濃度が十分に均一化された後、送水ポンプ７を介して前記計測部へと送水される。前記計測部では、取り込まれたオゾン水の溶存オゾン濃度を測定した後、この測定結果を前記フィードバック制御装置へと送信する。そして、これを受け取った前記フィードバック制御装置では、計測結果に基づいてオゾンガスＯＧの生成量を最適とするように、前記オゾンガス生成装置１を運転制御する。
【００２７】
以上説明の本実施形態のオゾン処理装置は、その流体成分測定装置４の気体分離器５において、混合流体ＭＦを導入する導入部５ａと、該導入部５ａの下流側に設けられて混合流体ＭＦをオゾン水ＯＷ及び余剰オゾンガスＯＧ’に分離する気液分離部５ｂとを備え、導入部５ａに、その上流側から下流側に向かって末広がりの流路断面を有する拡大流路５ａ１と、該拡大流路５ａ１内に位置する円形整流板５ａ２とを設けた構成を採用した。この構成によれば、混合流体ＭＦが乱流状態で流れ込んできたとしても、その導入部５ａの拡大流路５ａ１が末広がり形状を有するため、該拡大流路５ａ１内を進行するにしたがって流速が低下し、さらに、速度低下した状態のまま円形整流板５ａ２を通過させることができるので、気液分離部５ｂ内に至るまでに混合流体ＭＦを確実に整流させることが可能となる。そして、気液分離部５ｂ内の混合流体ＭＦは整流とされているので、余剰オゾンガスＯＧ’が、オゾン水ＯＷ内に抱き込まれることなく分離除去させることが可能となる。したがって、この気体分離器５を送水ポンプ７の上流側に設けて確実に余剰オゾンガスＯＧ’を取り除いているので、余剰オゾンガスＯＧ’の混入を原因とする送水ポンプ７の動作不良を防止することが可能となっている。
【００２８】
また、気体分離器５は、気液分離部５ｂの上流側及び下流側の両方に、円形整流板５ａ２，５ｃ２をそれぞれ配置する構成を採用した。この気体分離器５によれば、まず気液分離部５ｂ内に流れ込む際の混合流体ＭＦが円形整流板５ａ２によって整流され、続いて、オゾン水ＯＷとなって気液分離部５ｂの下流側から流れ出ていく際に更に整流されるので、これら２回の整流作用によって、気体分離器５を経た後の流体成分濃度をより均一にさせることが可能となる。したがって、オゾン水ＯＷの成分濃度を、高い精度で連続して測定することができるので、この測定結果を基に適正なオゾンガス注入量を決定するフィードバック制御を、正確に行うことが可能となる。
【００２９】
なお、本実施の形態では、気体分離器５を、流体成分測定装置４内に組み込んで使用する場合について説明したが、これに限らず、液体内に溶けずに混在している気体を分離させる気液分離の用途に広く適用可能であるので、その他の用途に用いても良い。もちろん、オゾン水内から余剰オゾンガスを排出させる用途以外に適用して良い。
また、円形整流板５ａ２，５ｃ２は２枚配置するものとしたが、これに限らない。円形整流板を３枚以上設けても良いが、あまり多数設けてしまうと圧力損失が大きくなって送水ポンプ７に負担をかけてしまう恐れがあるので、必要最低枚数だけ装備するのが好ましい。
【００３０】
また、本実施形態では、流体成分測定装置４を、オゾン処理装置に適用した場合を例に説明したが、これに限らず、その他の流体成分の測定に適用しても良いことは勿論である。
また、各円形整流板５ａ２，５ｃ２は、多数の貫通孔ｈが形成された円形板としたが、これに限らず、例えば図４（ｂ）に示すような、多数のスリットｓが形成された円形板や、または図４（ｃ）に示すようなハニカム状の貫通孔ｈ’が多数開口された円柱体など、その他の整流体を採用しても良い。
【００３１】
また、本実施形態のオゾン処理装置は、オゾン注入装置２としてＵチューブ型オゾン接触装置を採用したが、これに限定しない。すなわち、オゾンガスを、数十μｍの微細孔を持つセラミックやプラスチック等の散気管（散気板，ディフューザ）を通して細かい泡にしてから水中に吹き込む散気管方式など、その他のタイプを採用しても良い。
【００３２】
【発明の効果】
本発明の請求項１記載の気体分離器を備えた流体成分測定装置は、流体を導入する導入部と、該導入部の下流側に設けられて流体を液体及び気体に分離する気液分離部とを備え、導入部に、その上流側から下流側に向かって末広がりの流路断面を有する拡大流路と、該拡大流路内に位置する第１の整流体とを設けた構成を採用した。この構成によれば、乱流状態の流体が流れ込んできたとしても、その導入部の拡大流路が末広がり形状を有するため、該拡大流路内を進行するにしたがって流体速度が低下し、さらに、速度低下した状態のまま第１の整流体を通過させることができるので、気液分離器内に至るまでに流体を確実に整流させることが可能となる。そして、気液分離器内の流体は整流とされているので、気体が液体内に抱き込まれることなく分離除去させることが可能となる。したがって、この気体分離器をポンプの上流側に設けた場合には、流体の流れの乱れを原因とするポンプの動作不良と、流体成分濃度の変動とを防止することが可能となる。
また、流体成分測定装置は、流体を抽出するポンプの上流側に気体分離器を備えた構成を採用した。この構成によれば、気体分離器の装備によって、流体の流れの乱れを原因とするポンプの動作不良と、流体成分濃度の変動とが防止されるので、精度の高い測定を連続して行うことが可能となる。
【００３３】
また、気液分離部の下流側に、第２の整流体を更に設けた構成を採用した。この気体分離器によれば、その下流側に流れ出ていこうとする流体を更に整流させるので、より高い整流効果を得ることができる。
これにより、気体分離器を経た後の流体成分濃度をより均一にさせることが可能となる。
【００３４】
また、請求項２記載の気体分離器は、第１の整流体または第２の整流体のいずれか一方もしくは両方が、多数の貫通孔が略全面にわたって穿孔された板状をなし、かつ、流体の流れ方向に対して対向配置された多孔平板である構成を採用した。この構成によれば、請求項１の効果を確実に得ることが可能となる。
【００３５】
また、請求項３記載のオゾン処理装置は、請求項１または２記載の流体成分測定装置を備えることで、オゾンガスが注入された被処理水中に溶けずに混在しているオゾンガスを分離除去する構成を採用した。この構成によれば、流体成分測定装置を装備することで、被処理水の成分濃度を、高い精度で連続して測定することができるので、この測定結果を基に適正なオゾンガス注入量を決定するフィードバック制御を、正確に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の気体分離器及び流体成分測定装置を備えたオゾン処理装置の一実施形態を説明する概略機器構成図である。
【図２】  同オゾン処理装置の要部であるＵチューブ型オゾン接触装置の構造を説明する縦断面図である。
【図３】  同オゾン処理装置の流体成分測定装置の構成を説明するための概略機器構成図である。
【図４】  同流体成分測定装置の気体分離器の要部を示す図であって、（ａ）は整流体の正面図を示し、（ｂ）はその整流体の変形例の正面図を示し、（ｃ）は他の変形例を示す斜視図である。
【符号の説明】
４・・・流体成分測定装置
５・・・気体分離器
５ａ・・・導入部
５ａ１・・・拡大流路
５ａ２・・・円形整流板（第１の整流体）
５ｂ・・・気液分離部
５ｃ２・・・円形整流板（第２の整流体）
７・・・ポンプ
ｈ・・・貫通孔
ＭＦ・・・混合流体（流体，被処理水）
ＯＧ・・・オゾンガス（気体，オゾンガス）
【図１】
0004493817.tif 000002
【図２】
0004493817.tif 000003
【図３】
0004493817.tif 000004
【図４】
0004493817.tif 000005