(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持手段により水平面上二次元方向に遊動自在に支持された荷を、当該荷の底部周側面を水平方向に押圧して定位置に位置決めする位置決め装置であって、荷の底部周側面に当接する押圧部材と、この押圧部材を荷位置決め作用位置と後退位置との間で往復移動させる駆動手段とから成る荷位置決め装置において、
前記駆動手段が、押圧部材往復移動経路に沿って水平往復移動自在な水平移動台と、この水平移動台に上下移動自在に支持され且つ前記押圧部材が設けられた上下動部材と、前記水平移動台を水平往復移動させる駆動機構と、前記水平移動台の水平往復移動に伴って前記上下動部材を上下移動させるカム機構とを備え、このカム機構により、前記後退位置にある押圧部材が前記支持手段の荷支持高さより低い高さまで下げられるように構成されている、荷位置決め装置。
【請求項２】
前記上下動部材は水平方向に長い部材から成るもので、その一端部が前記水平移動台に上下揺動自在に軸支されると共に他端上側に前記押圧部材が突設され、前記カム機構は、前記上下動部材の他端側に水平支軸で軸支されたカム従動ローラーと、前記水平移動台を支持する基台に設けられて前記カム従動ローラーを案内するカムとを備えている、請求項１に記載の荷位置決め装置。
【請求項３】
前記上下動部材は、前記水平移動台の左右両側で上下揺動する左右一対のアーム部を有し、この両アーム部の先端上側に前記押圧部材が突設されると共に、当該両アーム部の左右両外側に前記カム従動ローラーが軸支され、前記カムは、前記両アーム部を挟むように左右一対設けられている、請求項２に記載の荷位置決め装置。
【請求項４】
前記上下動部材は、上下方向に長い部材から成るもので、前記水平移動台に昇降自在に支持されると共に上端に押圧部材が設けれ、前記カム機構は、前記上下動部材の下端側に水平支軸で軸支されたカム従動ローラーと、前記水平移動台を支持する基台に設けられて前記カム従動ローラーを案内するカムとを備えている、請求項１に記載の荷位置決め装置。
【請求項５】
支持手段により水平面上二次元方向に遊動自在に支持された荷を、当該荷の底部周側面を水平方向に押圧して定位置に位置決めする位置決め装置であって、荷の底部周側面に当接する押圧部材と、この押圧部材を荷位置決め作用位置と後退位置との間で往復移動させる駆動手段とから成る荷位置決め装置において、
前記駆動手段が、基台に対して押圧部材往復移動経路の方向に揺動自在な平行リンク機構と、この平行リンク機構によって支持され且つ前記押圧部材が設けられた移動台と、前記平行リンク機構を往復揺動させる駆動機構とを備え、この平行リンク機構の揺動により、前記後退位置にある押圧部材が前記支持手段の荷支持高さより低い高さまで下げられるように構成されている、荷位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持手段により水平面上二次元方向に遊動自在に支持された荷、例えば薄板状基板を複数段に収納したカセットを、当該カセットの底部周側面を水平方向に押圧して定位置に位置決めする位置決め装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板やウエハなどの薄板状基板を各加工ステージに搬送する場合、前記薄板状基板を複数段に収納したカセットが使用される。このカセットは、各加工ステージの基板取出位置に搬送装置で搬送移載され、当該基板取出位置に併設された基板取出用ロボットによりカセット内の基板が取り出されて加工位置に供給されるのであるが、前記基板取出用ロボットは自動制御されるものであるから、当該ロボットによるカセット内からの基板の取り出しを、基板に無理な力を作用させることなく確実且つ良好に行わせるためには、基板取出位置に移載されたカセットの位置や姿勢に関する精度が十分に高くなければならない。このため、カセットが移載される基板取出位置には、特許文献１に記載のように、カセットの底部周側面に当接する押圧部材と、この押圧部材を荷位置決め作用位置と後退位置との間で略水平に往復移動させる駆動手段とから成る荷位置決め装置が併設されるのであるが、従来のこの種の位置決め装置では、特許文献１に記載のように、押圧部材は荷位置決め作用位置と後退位置との間を同一レベル、即ち、カセットを水平面上二次元方向に遊動自在に支持する支持手段の荷支持レベルよりも高い同一レベルで往復移動するように構成されていた。
【特許文献１】特開２００１−３５８９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記のような従来の位置決め装置では、予想される最大位置ずれ量だけずれた位置にカセットが移載されても後退位置で待機する押圧部材とカセットとが干渉しないように、押圧部材の後退位置が設定されることになるのであるが、予想される最大位置ずれ量を超えるような位置にカセットが移載されたときには、カセットが後退位置にある押圧部材の上に載って当該押圧部材やその駆動手段を破損させてしまう恐れがある。このような不測の事故をできる限り少なくするために、予想される最大位置ずれ量を十分に大きくとって、押圧部材の後退位置をカセット位置決め作用位置から十分に離しておくことも考えられるが、このような対策では、位置決め装置が大きくなってコスト高につながるだけでなく、この位置決め装置を備える基板取出位置に確保しなければならないカセット移載空間の平面積も取り扱うカセットの平面積と比較して大きくなり過ぎることになる。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は上記のような従来の問題点を解消し得る荷位置決め装置を提供することを目的とするものであって、その手段を後述する実施形態の参照符号を付して示すと、支持手段３Ａ，３Ｂにより水平面上二次元方向に遊動自在に支持された荷（後述する実施形態では上記のカセット１となるが、ここでは一般論として荷と称する）を、当該荷の底部周側面を水平方向に押圧して定位置に位置決めする位置決め装置５であって、荷の底部周側面に当接する押圧部材（垂直軸ローラー６ａ）と、この押圧部材（垂直軸ローラー６ａ）を荷位置決め作用位置ＦＰと後退位置ＢＰとの間で往復移動させる駆動手段とから成る荷位置決め装置において、前記駆動手段が、押圧部材往復移動経路に沿って水平往復移動自在な水平移動台８と、この水平移動台８に上下移動自在に支持され且つ前記押圧部材（垂直軸ローラー６ａ）が設けられた上下動部材９と、前記水平移動台８を水平往復移動させる駆動機構１０と、前記水平移動台８の水平往復移動に伴って前記上下動部材９を上下移動させるカム機構１１とを備え、このカム機構１１により、前記後退位置ＢＰにある押圧部材（垂直軸ローラー６ａ）が、前記支持手段３Ａ，３Ｂで支持される荷（カセット１）の底面より低くなるまで、即ち、前記支持手段３Ａ，３Ｂの荷支持高さより低い高さまで、下げられるように構成される。
【０００５】
上記構成の本発明を実施するについて、請求項２に記載のように、前記上下動部材９は水平方向に長い部材から構成し、その一端部を前記水平移動台８に上下揺動自在に軸支すると共に他端上側に押圧部材（垂直軸ローラー６ａ）を突設し、前記カム機構１１は、前記上下動部材９の他端側に水平支軸で軸支されたカム従動ローラー２５ａと、前記水平移動台８を支持する基台７に設けられて前記カム従動ローラー２５ａを案内するカム（カム溝２４ａ）とから構成することができる。
【０００７】
上記請求項２に記載の構成を採用する場合、具体的には請求項３に記載のように、前記上下動部材９は、前記水平移動台８の左右両側で上下揺動する左右一対のアーム部２０ａ，２０ｂから構成し、この両アーム部２０ａ，２０ｂの先端上側に前記押圧部材（垂直軸ローラー６ａ，６ｂ）を突設すると共に、当該両アーム部２０ａ，２０ｂの左右両外側に前記カム従動ローラー２５ａ，２５ｂを軸支し、前記カムは、前記両アーム部２０ａ，２０ｂを挟むように左右一対（カム溝２４ａ，２４ｂ）設けることができる。
【０００８】
又、請求項１に記載の構成を採用する場合、請求項４に記載のように、前記上下動部材３８ａは上下方向に長い部材から構成し、この上下動部材３８ａを水平移動台３７に昇降自在に支持させると共に上端に押圧部材（垂直軸ローラー６ａ）を設け、カム機構４３は、前記上下動部材３８ａの下端側に水平支軸で軸支されたカム従動ローラー４４ａと、前記水平移動台３７を支持する基台７に設けられて前記カム従動ローラー４４ａを案内するカム４５ａとから構成することもできる。
【０００９】
更に、請求項５に記載のように、支持手段３Ａ，３Ｂにより水平面上二次元方向に遊動自在に支持された荷（カセット１）を、当該荷の底部周側面を水平方向に押圧して定位置に位置決めする位置決め装置５であって、荷の底部周側面に当接する押圧部材（垂直軸ローラー６ａ）と、この押圧部材（垂直軸ローラー６ａ）を荷位置決め作用位置ＦＰと後退位置ＢＰとの間で往復移動させる駆動手段とから成る荷位置決め装置において、前記駆動手段は、基台７に対して押圧部材往復移動経路の方向に揺動自在な平行リンク機構２６と、この平行リンク機構２６によって支持され且つ前記押圧部材（垂直軸ローラー６ａ）が設けられた移動台２８と、前記平行リンク機構２６を往復揺動させる駆動機構２７とを備えた構成とし、この平行リンク機構２６の揺動により、前記後退位置ＢＰにある押圧部材（垂直軸ローラー６ａ）が、前記支持手段３Ａ，３Ｂで支持される荷（カセット１）の底面より低くなるまで、即ち、前記支持手段３Ａ，３Ｂの荷支持高さより低い高さまで、下げられるように構成することができる。
【発明の効果】
【００１０】
上記構成の本発明に係る荷位置決め装置によれば、支持手段上に荷が移載される前の、押圧部材が後退位置にあるときは、当該押圧部材が支持手段の荷支持レベルより低いので、仮に後退位置にある押圧部材の上に重なるような位置、即ち、通常の最大位置ずれ量を超えるような大きなずれ位置に荷が移載されたとしても、従来のように押圧部材の上に荷が載って当該押圧部材やその駆動手段を破損させてしまうようなことが無くなる。換言すれば、予想される荷移載時の位置ずれ量を最小限にして押圧部材の後退位置を設定することができるので、従来のように押圧部材の位置決め作用位置と後退位置との間の押圧部材往復移動経路の平面視における経路長さを最小限に短くし、装置の小型化によるコストダウンと、この荷位置決め装置を備える荷移載空間の平面積の縮小を図ることができる。
【００１１】
又、本発明の構成によれば、荷位置決め作用位置から後退位置又はその近傍中間位置までの水平直線経路部の長さを従来の荷位置決め装置における押圧部材の往復移動経路長さと等しくしておくことにより、支持手段上の荷を位置決めするときに、押圧部材と荷側面との間での上下方向の相対滑りに伴う擦り傷を荷の側面に生じさせないで済む。
【００１２】
更に、本発明の構成によれば、水平移動台を駆動機構で水平往復移動させるだけで、カム機構を利用して押圧部材を上下動させることができ、本発明を簡単な構成で容易に実施することができる。特に請求項２に記載の構成によれば、水平移動台の水平移動に伴ってカム機構により上下駆動される上下動部材（押圧部材）が、上下揺動支点軸から水平方向に離れた箇所がカム機構で上下動させられるものであるから、水平移動台の極短い水平移動の間でも無理なく円滑に押圧部材を上下動させることができる。この場合、更に請求項３に記載の構成によれば、荷の角部両側面を押圧する一対の押圧部材を使用する位置決め装置を構成することができるのであるが、水平方向に長い上下動部材の上下動エリアを側面視において水平移動台と重ならせることができ、装置の高さを低く構成することができると同時に、一対の押圧部材を各別に備えた左右一対のアーム部をそれぞれカム機構で上下動させるものであるから、各押圧部材を強力に上下駆動させることができる。
【００１３】
又、請求項４に記載の構成によれば、請求項２に記載の構成を採用する場合よりも装置の平面視におけるサイズを小さく構成することが容易になる。
【００１４】
更に、請求項５に記載の構成によれば、平行リンク機構で支持された移動台のみで水平移動台と上下動部材の２点を兼用させることができ、シンプルな構成で簡単且つ安価に本発明を実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に本発明の荷位置決め装置を、薄板状基板搬送用のカセットの基板取出位置での位置決め装置に適用した具体的実施例を添付図に基づいて説明すると、図１において、１は薄板状基板搬送用のカセットであって、当該カセット１内から基板を取り出す基板取出用ロボットが併設された基板取出位置２に各種搬送装置により搬送移載される。基板取出位置２には前後方向に長い左右一対の支持手段３Ａ，３Ｂが並設され、カセット１の底部中央部分を支持するランニングフォークなどの移載手段により基板取出位置２に降ろされるカセット１の底部左右両側辺が前記左右一対の支持手段３Ａ，３Ｂにより支持される。
【００１６】
前記左右一対の支持手段３Ａ，３Ｂの基本的な構成は従来のものと同一であって、それぞれ前後方向適当間隔おきに配置された複数のフローティングユニット４と、位置決め装置５とを備えている。各フローティングユニット４は、カセット１の底部左右両側辺を水平面上二次元方向に遊動自在に支持するものであり、位置決め装置５は、左右一対の支持手段３Ａ，３Ｂにより支持されるカセット１の対角方向に位置する２つの角部に対応するように、各支持手段３Ａ，３Ｂの前後両端部の一方に、互いに逆位置に対称に配設されたもので、図１Ｃに示すように、それぞれカセット１の対角方向に位置する２つの角部の底部周側面１ａ，１ｂに作用する２つの垂直軸ローラー６ａ，６ｂを押圧部材として備え、各支持手段３Ａ，３Ｂの２つの垂直軸ローラー６ａ，６ｂを、後退位置ＢＰからカセット位置決め位置ＦＰまでカセット１の対角方向で互いに接近移動させることにより、フローティングユニット４で支持されているカセット１を所定位置に位置決めするものである。
【００１７】
上記のように使用される位置決め装置５の具体構造を図２〜図７に基づいて説明すると、図３及び図４に示すように位置決め装置５は、前記２つの垂直軸ローラー６ａ，６ｂの他、基台７、水平移動台８、上下動部材９、駆動機構１０、及びカム機構１１から構成されている。基台７は、図１に示す支持手段３Ａ，３Ｂのフローティングユニット４を支持する前後方向に長いフレームの端部に水平に取り付けられるもので、下側には、駆動機構１０の駆動源となるブレーキ及び減速機付きの電動モーター１２が、その出力軸１２ａが垂直向きになるように取り付けられ、上側には、水平移動台８の一端部下側に取り付けられたスライドガイド１３を介して当該水平移動台８を水平往復移動自在に支持するスライドレール１４が敷設されている。
【００１８】
水平移動台８には、この水平移動台８の移動方向に対し直交する水平支軸１５ａ，１５ｂが左右両端から同心状に突設された軸受け部材１６が他端部上側に取り付けられると共に、この水平移動台８の移動方向に対し直交する左右方向に長い被動用溝１７が軸受け部材１６に隣接する位置に設けられている。一方、前記電動モーター１２の出力軸１２ａには、基台７から上方に突出するクランクアーム１８が取り付けられ、このクランクアーム１８の先端部上側に軸支されたクランクピン相当の垂直軸ローラー１９が前記被動用溝１７に嵌合し、これら電動モーター１２、被動用溝１７、クランクアーム１８、及び垂直軸ローラー１９により前記駆動機構１０が構成されている。
【００１９】
上下動部材９は、水平移動台８側の水平支軸１５ａ，１５ｂによって一端部が上下揺動自在に支承された左右一対のアーム部２０ａ，２０ｂを備えている。これら両アーム部２０ａ，２０ｂは、平面視において水平移動台８の左右両外側に位置し、軸受け部材１６に隣接するように配置された連結部材２１により互いに一体化され、この上下動部材９（アーム部２０ａ，２０ｂ）が水平姿勢にあるときは、その下側面が側面視において水平移動台８の上面と略面一に位置し、この上下動部材９（アーム部２０ａ，２０ｂ）が水平支軸１５ａ，１５ｂの周りで下方に揺動したときは、当該上下動部材９の遊端部が側面視において水平移動台８と重なるように構成されている。而して、前記垂直軸ローラー６ａ，６ｂは、左右一対のアーム部２０ａ，２０ｂの遊端部上側に垂直軸部材２２ａ，２２ｂを介して取り付けられている。
【００２０】
カム機構１１は、上下動部材９の各アーム部２０ａ，２０ｂの外側に隣接するように基台７上に固着突設された左右一対のカム部材２３ａ，２３ｂと、これら各カム部材２３ａ，２３ｂに設けられたカム溝２４ａ，２４ｂに嵌合するように各アーム部２０ａ，２０ｂに軸支されたカム従動ローラー２５ａ，２５ｂとから構成されている。
【００２１】
上記駆動機構１０の電動モーター１２を稼働させてクランクアーム１８を回転させることにより、垂直軸ローラー１９及び被動用溝１７を介して水平移動台８がスライドレール１４に支持された状態で水平に往復移動し、この水平移動台８と共に上下動部材９も一体に水平に往復移動することになるが、当該クランクアーム１８は、略９０度の範囲内で往復回転することにより、上下動部材９側の垂直軸ローラー６ａ，６ｂが、図２に示すように平面視においてカセット１を所定位置に位置決めするカセット位置決め位置ＦＰと、図７に示すように平面視においてカセット１から離れた後退位置ＢＰとの間を往復移動するように構成されている。尚、垂直軸ローラー６ａ，６ｂがカセット位置決め位置ＦＰにあるとき、クランクアーム１８は水平移動台８の移動方向に対して略左右横向きになるように構成されている。
【００２２】
上記のように水平移動台８の水平往復移動により、垂直軸ローラー６ａ，６ｂを備えた上下動部材９も一体に水平往復移動するが、このときカム機構１１の働きで上下動部材９の上下方向姿勢（垂直軸ローラー６ａ，６ｂの上下位置）が制御される。即ち、上下動部材９の水平往復移動によりアーム部２０ａ，２０ｂが備えるカム従動ローラー２５ａ，２５ｂがカム部材２３ａ，２３ｂのカム溝２４ａ，２４ｂ内を往復移動することになるが、当該カム溝２４ａ，２４ｂは、図２Ｂに示すように、一端が下向きに折れ曲がった略Ｌ字形に形成されている。従って、垂直軸ローラー６ａ，６ｂがカセット位置決め位置ＦＰと後退位置ＢＰに達する直前の後退限寄り中間位置ＮＰとの間を移動するときは、垂直軸ローラー６ａ，６ｂが支持手段３Ａ，３Ｂのフローティングユニット４で支持されるカセット１の角部両側面１ａ，１ｂを押圧できる高さを保つように、上下動部材９（アーム部２０ａ，２０ｂ）が水平姿勢を保って移動し、垂直軸ローラー６ａ，６ｂが後退限寄り中間位置ＮＰから後退位置ＢＰ側へ移動するとき、上下動部材９（アーム部２０ａ，２０ｂ）が水平支軸１５ａ，１５ｂの周りで下方に揺動して垂直軸ローラー６ａ，６ｂが下降し、垂直軸ローラー６ａ，６ｂが後退位置ＢＰに達したとき、支持手段３Ａ，３Ｂのフローティングユニット４で支持されるカセット１の底面１ｃより当該垂直軸ローラー６ａ，６ｂが下がる。
【００２３】
上記構成の位置決め装置５によれば、図１に示す２つの位置決め装置５の垂直軸ローラー６ａ，６ｂを後退位置ＢＰに後退待機させている状態において、左右一対の支持手段３Ａ，３Ｂのフローティングユニット４上に底部左右両側辺を載せるようにカセット１を基板取出位置２に移載するのであるが、このときのカセット移載許容領域は、２つの位置決め装置５の垂直軸ローラー６ａ，６ｂがカセット底面１ｃより高いレベルで水平に移動する行程の始端位置、即ち、図２の後退限寄り中間位置ＮＰにある垂直軸ローラー６ａ，６ｂよりも内側となる。万一、このカセット移載許容領域内からはみ出すような位置で、後退位置ＢＰにある垂直軸ローラー６ａ，６ｂの何れかとカセット１とが平面視において重なるような位置（図１Ｃの仮想線Ｘで示すような位置）にカセット１が移載されたとしても、後退位置ＢＰにある垂直軸ローラー６ａ，６ｂは、図６に示すようにカセット底面１ｃよりも低いので、当該カセット１が垂直軸ローラー６ａ，６ｂの上に載って垂直軸ローラー６ａ，６ｂやその駆動手段を破損させることはない。
【００２４】
カセット１が基板取出位置２におけるカセット移載許容領域内に降ろされて、左右一対の支持手段３Ａ，３Ｂのフローティングユニット４で底部左右両側辺が支持された状態において、位置決め装置５の電動モーター１２を稼働させ、クランクアーム１８、垂直軸ローラー１９、及び被動用溝１７を介して水平移動台８を図６に示す後退位置からスライドレール１４に沿って水平に前進移動させると、当該水平移動台８に対して傾斜姿勢で一体に水平移動する上下動部材９（アーム部２０ａ，２０ｂ）が、先に説明したカム機構１１の働きで水平支軸１５ａ，１５ｂの周りに水平姿勢まで上方に揺動し、アーム部２０ａ，２０ｂ先端の垂直軸ローラー６ａ，６ｂが、図５に示すように、後退位置ＢＰから後退限寄り中間位置ＮＰに達してカセット底面１ｃより上方レベルにまで上昇する。更にクランクアーム１８が回転し、水平移動台８の水平前進移動が進むのに従って、垂直軸ローラー６ａ，６ｂは後退限寄り中間位置ＮＰから水平に前進移動し、この過程で当該垂直軸ローラー６ａ，６ｂがカセット１の両角部の底部両側面１ａ，１ｂを当該カセット１の中心に向かって押圧し、垂直軸ローラー６ａ，６ｂがカセット位置決め位置ＦＰに到達したとき、カセット１が両位置決め装置５間の中央位置にカセット中心が位置する所定位置に位置決めされる。この状態で電動モーター１２を停止させてブレーキを作動させ、カセット１を所定位置にロックすることでカセット１に対する位置決めが終了する。
【００２５】
基板取出位置２からカセット１を搬出するときは、位置決め装置５の垂直軸ローラー６ａ，６ｂをカセット位置決め位置ＦＰから後退位置ＢＰに切り換える。即ち、電動モーター１２によりクランクアーム１８を逆回転させ、水平移動台８を前進限位置から後退限位置まで後退移動させ、カセット位置決め位置ＦＰにあった垂直軸ローラー６ａ，６ｂを、位置決めされたカセット１の角部両側面１ａ，１ｂから水平に離間移動させると共に、更にカセット底面１ｃより下げて後退位置ＢＰに復帰させる。
【００２６】
尚、先に説明したように、カセット移載許容領域内からはみ出すような位置で、後退位置ＢＰにある垂直軸ローラー６ａ，６ｂの何れかとカセット１とが平面視において重なるような位置（図１Ｃの仮想線Ｘで示すような位置）にカセット１が移載された場合、電動モーター１２の稼働により垂直軸ローラー６ａ，６ｂが後退位置ＢＰから後退限寄り中間位置ＮＰに向かって斜め前方に上昇移動するときに当該垂直軸ローラー６ａ，６ｂの内、カセット底面１ｃの下側に位置していた垂直軸ローラーがカセット底面１ｃに上向きにぶつかり、上昇運動が阻止される。このとき、当該垂直軸ローラーを駆動する電動モーター１２に過大負荷が作用するので、この現象を電気的にとらえて両位置決め装置５の電動モーター１２を非常停止し、警報を発するなどして対応することができる。
【００２７】
又、水平移動台８に対し上下動部材９を上向きに付勢するバネを併用して、水平移動台８の前進移動に伴うカム機構１１による上下動部材９の上方への揺動運動を円滑に行わせるように構成することができる。
【００２８】
図８及び図９は、平行リンク機構２６とその駆動機構２７とを利用した駆動手段を採用する本発明の第二実施形態を示している。平行リンク機構２６は、基台７上に突設された左右一対の軸受け板７ａ間と、左右一対の垂直軸ローラー６ａ，６ｂが軸支された移動台２８の下側に突設された左右一対の軸受け板２８ａ間とに、一組の平行リンク３０ａ，３０ｂの両端をそれぞれ水平支軸３１ａ，３１ｂ及び３２ａ，３２ｂにより軸支したものである。而して、一方の平行リンク３０ａは基台７側の支軸３１ａと固着して一体化し、この支軸３１ａを駆動機構２７で駆動するように構成している。駆動機構２７は、支軸３１ａと基台７に取り付けられたブレーキ及び減速機付きの電動モーター３３の水平横向きの出力軸３３ａとを歯車３４，３５を介して連動連結したものであって、電動モーター３３により平行リンク３０ａを一定角度範囲内で正逆揺動駆動させることにより、移動台２８を前後方向に水平姿勢を保たせたまま揺動運動させることができるように構成している。
【００２９】
この第二実施形態では、平行リンク３０ａ，３０ｂが上下縦向きになったときに垂直軸ローラー６ａ，６ｂがカセット位置決め位置ＦＰに位置し、平行リンク３０ａ，３０ｂが倒伏姿勢になったときに垂直軸ローラー６ａ，６ｂが後退位置ＢＰに位置することになり、その間、垂直軸ローラー６ａ，６ｂは円弧運動することになるので、先の第一実施形態のような後退限寄り中間位置ＮＰとカセット位置決め位置ＦＰとの間の水平移動経路は存在しない。
【００３０】
図１０〜図１３は、本発明の第三実施形態を示している。この実施形態では、先の第一実施形態における水平移動台８と同様の手段で基台７上に支持され且つ駆動機構１０と同様の駆動機構３６によって水平往復駆動される水平移動台３７に左右一対の上下方向に長い棒状の上下動部材３８ａ，３８ｂが設けられている。これら上下動部材３８ａ，３８ｂは、水平移動台３７に設けられた左右一対の昇降ガイド部材３９ａ，３９ｂを昇降自在に貫通するもので、水平移動台３７の下側で当該上下動部材３８ａ，３８ｂに設けられたバネ受け座４０ａ，４０ｂと、当該上下動部材３８ａ，３８ｂの下端部が昇降自在に貫通するように水平移動台３７の下側に架設された左右一対の固定バネ受け座４１ａ，４１ｂとの間でこれら上下動部材３８ａ，３８ｂに遊嵌された圧縮コイルバネ４２ａ，４２ｂにより、バネ受け座４０ａ，４０ｂが水平移動台３７の底面に当接する上昇限位置に付勢保持され、上端には垂直軸ローラー６ａ，６ｂがそれぞれ軸支されている。
【００３１】
各上下動部材３８ａ，３８ｂには、カム機構４３が併設されている。このカム機構４３は、各上下動部材３８ａ，３８ｂの下端一側部に水平支軸で軸支されたカム従動ローラー４４ａ，４４ｂと、これらカム従動ローラー４４ａ，４４ｂに作用するように基台７に取り付けられたカム４５ａ，４５ｂとから成るもので、水平移動台３７の後退移動によりカム従動ローラー４４ａ，４４ｂがカム４５ａ，４５ｂに乗り上げて上下動部材３８ａ，３８ｂが圧縮コイルバネ４２ａ，４２ｂに抗して引き下ろされることにより、後退位置ＢＰに達した垂直軸ローラー６ａ，６ｂがカセット底面１ｃより下がるように構成している。従って、垂直軸ローラー６ａ，６ｂが後退位置ＢＰにある状態から水平移動台３７が前進移動することにより、カム４５ａ，４５ｂによるカム従動ローラー４４ａ，４４ｂの引き下ろし量が減少することに伴って上下動部材３８ａ，３８ｂが圧縮コイルバネ４２ａ，４２ｂの付勢力で上昇し、垂直軸ローラー６ａ，６ｂが後退限寄り中間位置ＮＰに達したとき上下動部材３８ａ，３８ｂが上昇限高さに達し、その後は水平移動台３７の前進移動に伴って垂直軸ローラー６ａ，６ｂがカセット位置決め位置ＦＰまで水平に移動する。即ち、この第三実施形態では、第一実施形態と略同様の移動経路上で垂直軸ローラー６ａ，６ｂを移動させることができる。
【００３２】
尚、水平移動台８，３７を水平往復移動させる駆動機構１０，３６として電動モーター１２で駆動されるクランクアーム１８を使用するクランク方式のものを利用したが、電動モーターで駆動されるピニオンギヤと当該ピニオンギヤに咬合するように水平移動台８，３７に設けられたラックギヤとを使用するラックピニオンギヤ方式であっても良いし、流体圧シリンダーユニットを駆動源として使用するシリンダー方式であっても良い。図１４及び図１５は、第一実施形態の水平移動台８をシリンダー方式の駆動手段で駆動するようにした実施形態を例示している。即ち、水平移動台８の後端部下側に取り付けられて垂下する連結部材４６と、基台７の下側に取り付けられた流体圧シリンダーユニット４７のピストンロッド４７ａとを連結し、当該ピストンロッド４７ａの出退移動により水平移動台８を水平往復駆動するように構成している。
【００３３】
本発明の荷位置決め装置は、薄板状基板の搬送用カセット１に対する位置決めに限定されるものではなく、水平二次元方向に遊動自在に支持される各種荷を所定位置に位置決めする手段として活用できる。又、位置決め対象の荷によっては、押圧部材は、角部両側面を対角方向に押圧する一対の垂直軸ローラー６ａ，６ｂに限定されず、荷の各側面を当該側面に対し直角向きに押圧する押圧部材であっても良いし、押圧部材そのものも垂直軸ローラーに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】Ａ図は薄板状基板の搬送用カセットが移載される基板取出位置の構成を示す概略平面図、Ｂ図は同基板取出位置の片側の位置決め装置を備えた支持手段を示す概略側面図、Ｃ図は同位置決め装置の拡大概略平面図である。
【図２】Ａ図は本発明の一実施形態における位置決め装置の押圧部材（垂直軸ローラー）がカセット位置決め位置にあるときの平面図、Ｂ図は同側面図である。
【図３】同位置決め装置の分解平面図である。
【図４】同位置決め装置の分解側面図である。
【図５】同位置決め装置の押圧部材（垂直軸ローラー）が後退限寄り中間位置にあるときの側面図である。
【図６】同位置決め装置の押圧部材（垂直軸ローラー）が後退位置にあるときの側面図である。
【図７】図６の平面図である。
【図８】本発明の第二実施形態を示す側面図である。
【図９】図８の平面図である。
【図１０】本発明の第三実施形態を示す側面図である。
【図１１】図１０の正面図である。
【図１２】図１０の側面図である。
【図１３】図１２の押圧部材（垂直軸ローラー）が後退位置にあるときの側面図である。
【図１４】本発明の第一実施形態の変形例を示す側面図である。
【図１５】図１４の平面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１    カセット
２    基板取出位置
３Ａ，３Ｂ    支持手段
４    フローティングユニット
５    位置決め装置
６ａ，６ｂ    垂直軸ローラー（押圧部材）
７    基台
８，３７    水平移動台
９，３８ａ，３８ｂ    上下動部材
１０，３６    駆動機構
１１，４３    カム機構
１２，３３    電動モーター
１３    スライドガイド
１４    スライドレール
１５ａ，１５ｂ    水平支軸
１６    軸受け部材
１７    被動用溝
１８    クランクアーム
１９    垂直軸ローラー（クランクピン）
２０ａ，２０ｂ    アーム部
２１    連結部材
２２ａ，２２ｂ    垂直軸部材
２３ａ，２３ｂ    カム部材
２４ａ，２４ｂ    カム溝
２５ａ，２５ｂ，４４ａ，４４ｂ    カム従動ローラー
２６    平行リンク機構
２７    駆動機構
２８    移動台
３０ａ，３０ｂ    平行リンク
３１ａ〜３２ｂ    水平支軸
３４，３５    歯車
３９ａ，３９ｂ    昇降ガイド部材
４２ａ，４２ｂ    圧縮コイルバネ
４７    流体圧シリンダーユニット
ＦＰ    カセット位置決め位置
ＢＰ    後退位置
ＮＰ    後退限寄り中間位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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