(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクの回転によりこの磁気ディスク上に磁気ヘッドを浮上させて記録及び／又は再生を行う磁気ディスクを評価する磁気ディスクの評価方法であって、
磁気ディスクを回転させた状態で、気圧を減少させることにより磁気ヘッドを前記磁気ディスクに接触させた後に、気圧を増加させることにより前記磁気ディスクから前記磁気ヘッドを浮上させ、前記磁気ヘッドが浮上したときの気圧を測定するときに、前記磁気ヘッドを前記磁気ディスクの径方向に所定の振幅及び周波数にて往復移動させる
ことを特徴とする磁気ディスクの評価方法。
【請求項２】
磁気ディスクの回転によりこの磁気ディスク上に磁気ヘッドを浮上させて記録及び／又は再生を行う磁気ディスクを評価する磁気ディスクの評価方法であって、
磁気ディスクを回転させた状態で、この回転速度を減少させることにより磁気ヘッドを前記磁気ディスクに接触させた後に、前記磁気ディスクの回転速度を増加させることにより前記磁気ディスクから前記磁気ヘッドを浮上させ、前記磁気ヘッドが浮上したときの磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速を測定するときに、前記磁気ヘッドを前記磁気ディスクの径方向に所定の振幅及び周波数にて往復移動させる
ことを特徴とする磁気ディスクの評価方法。
【請求項３】
前記磁気ヘッドを、前記磁気ディスクの回転中心から１０ｍｍ以下の箇所に設置して行う
ことを特徴とする請求項１、または、請求項２記載の磁気ディスクの評価方法。
【請求項４】
前記磁気ディスクは、ロードアンロード方式の磁気ディスクである
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一に記載の磁気ディスクの評価方法。
【請求項５】
前記磁気ディスクは、直径が１．８インチ以下である
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一に記載の磁気ディスクの評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスクドライブ等の磁気ディスク装置に搭載される磁気ディスクの特性を評価する磁気ディスクの評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
今日、情報記録技術、特に、磁気記録技術は、いわゆるＩＴ産業の発達に伴って飛躍的な技術革新が要請されている。そして、コンピュータ用ストレージとして用いられる磁気ディスク装置であるハードディスクドライブ（ＨＤＤ）に搭載される磁気ディスクにおいては、磁気テープやフレキシブルディスクなどの他の磁気記録媒体と異なり、急速な情報記録密度の増大化が続けられている。パーソナルコンピュータ装置に収納することのできる情報容量は、このような磁気ディスクの情報記録密度の増大に支えられて、飛躍的に増加している。
【０００３】
このような磁気ディスクは、ガラスディスク基板やアルミニウム系合金ディスク基板などの基板上に、磁性層等が成膜されて構成されている。特に、近年においては、ハードディスクドライブを携帯用機器（いわゆる「ノート型パーソナルコンピュータ装置」など）に搭載する要求が高まったことに伴い、高強度、かつ、高剛性であって高い耐衝撃性を有するガラスディスク基板を用いた磁気ディスクが注目されている。
【０００４】
そして、ハードディスクドライブにおいては、高速回転される磁気ディスク上に磁気ヘッドを浮上飛行させながら、この磁気ヘッドにより、磁性層に対し磁化パターンとして情報信号を記録し、また、再生を行なう。ガラスディスク基板を用いた磁気ディスクにおいては、平滑な表面が得られるので、磁気ヘッドの浮上量を狭隘化することが可能であり、高い情報記録密度を実現することができる。つまり、ガラスディスク基板を用いることにより、磁気ヘッドの低浮上量対応性に優れた磁気ディスクを作製することができる。
【０００５】
一方、磁気ディスクにおける情報記録容量を増大させるためには、この磁気ディスクにおいて情報信号の記録がなされない無駄な領域の面積を小さくすることが必要である。そこで、ハードディスクドライブの起動停止方式として、従来より用いられているＣＳＳ方式（「コンタクトスタートストップ（Contact Start Stop）方式」）に代えて、情報記録容量の増大が可能なＬＵＬ方式（「ロードアンロード（Load Unload）方式」、別名「ランプロード方式」ともいう。）の導入が進められている。
【０００６】
ＣＳＳ方式においては、磁気ディスクの非使用状態（停止状態）において磁気ヘッドが載置されるＣＳＳゾーンを磁気ディスク上に設ける必要があり、このＣＳＳゾーンには情報信号の記録ができないため、その分、磁気ディスクにおいて情報信号の記録がなされる領域の面積が減少する。
【０００７】
これに対し、ＬＵＬ方式においては、磁気ディスクの非使用状態（停止状態）においては、磁気ヘッドは磁気ディスクの外周側に移動され磁気ディスク上より退避されて支持されるので、磁気ディスク上にＣＳＳゾーンのような情報信号の記録ができない領域を設ける必要がなく、磁気ディスクにおいて情報信号の記録がなされる領域の面積を最大限確保することができる。
【０００８】
また、ＬＵＬ方式においては、ＣＳＳ方式と異なり、磁気ヘッドと磁気ディスクとが接触することがないので、磁気ディスク上にＣＳＳゾーンにおけるような吸着防止用の凸凹形状を設ける必要がなく、磁気ディスクの主表面を極めて平滑化することが可能となる。したがって、ＬＵＬ方式用の磁気ディスクにおいては、ＣＳＳ方式用の磁気ディスクに比較して、磁気ヘッドの浮上量を一段と狭隘化させることができ、記録信号のＳ／Ｎ比（Signal Noise Ratio）の向上を図ることができ、高記録密度化が図られるという利点もある。
【０００９】
このような、ＬＵＬ方式の導入に伴う磁気ヘッド浮上量の非連続的な一段の狭隘化により、近年においては、１０ｎｍ未満の極狭な浮上量においても、磁気ヘッドが安定して動作することが求められるようになってきた。しかしなかがら、磁気ディスクの表面を平滑化し磁気ヘッドの浮上量を狭隘化させることにより、磁気ヘッドの浮上特性が不安定となり、フライスティクション障害などの様々なＨＤＩ障害が引き起され得ることが判明した。
【００１０】
通常、磁気ディスクは、ディスク基板製造工程、成膜工程、検査工程という順次一連の製造工程を経て完成され、梱包されて市場に出荷される。そこで、磁気ヘッドの浮上量を狭隘化してもフライスティクション障害などを生じない磁気ディスクを選別するため、磁気ディスクを回転させた状態で、気圧を所定気圧（ＴＤＰ（Touch Down Pressure）という。）まで減少させることにより磁気ヘッドを磁気ディスクに接触させた後に、気圧を増加させることにより磁気ディスクから磁気ヘッドを浮上させ、磁気ヘッドが浮上したときの気圧（ＴＯＰ（Take Off Pressure）という。）を測定することにより、磁気ヘッドに対する浮上特性を検査することが行われている。このようなＴＯＰの測定は、特許文献１に記載されているように、いわゆる定点浮上検査として行われ、磁気ヘッドを磁気ディスクに対する所定箇所、例えば、磁気ディスクの回転中心より２２ｍｍの箇所に設置して行われる。
【００１１】
このようなＴＯＰの測定による選別は、迅速に行える検査でありながら、その結果においてロードアンロード耐久試験と相関があるので、安定した品質を備えた磁気ディスクを安定的に迅速に市場に供給することができる。なお、ロードアンロード耐久試験は、磁気ディスクをハードディスクドライブに搭載し、例えば、６０万回以上というような多数回に亘って連続してロードアンロード動作を繰り返すものであるので、結果を得るために長時間を要する試験である。
【００１２】
【特許文献１】特開２００１−２９１２１８公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、近年の磁気ディスクにおいては、前述したように、磁気ディスクと磁気ヘッドとの間のスペーシングロスを改善し、記録信号のＳ／Ｎ比を向上させた結果、情報記録密度が１平方インチあたり６０ギガビットを超えるまでに至っており、さらに、１平方インチ当たり１００ギガビットを超えるような超好記録密度をも実現されようとしている。
【００１４】
このように高い情報記録密度が実現できるようになった近年の磁気ディスクにおいては、従来の磁気ディスクに比較してずっと小さなディスク面積であっても、実用上十分な情報量を収納できるという特徴を有している。また、磁気ディスクは、他の情報記録媒体に比較して、情報の記録速度や再生速度（応答速度）が極めて敏速であり、情報の随時書き込み及び読み出しが可能であるという特徴も有している。
【００１５】
このような磁気ディスクの種々の特徴が注目された結果、近年においては、携帯型のいわゆるＭＰ３音楽プレーヤー、携帯電話、デジタルカメラ、携帯情報機器（例えば、ＰＤＡ（personal digital assistant）：パーソナルデジタルアシスタント、）、あるいは、「カーナビゲーションシステム」などのように、パーソナルコンピュータ装置よりも筐体がずっと小さく、かつ、高い応答速度が求められる機器に搭載できる小型のハードディスクドライブが求められるようになってきている。具体的には、例えば、外形が５０ｍｍ以下（１．８インチ以下）、板厚が０．５ｍｍ以下のディスク基板を用いて製造した磁気ディスクを搭載した小型のハードディスクドライブが求められている。
【００１６】
しかしながら、このような小型のハードディスクドライブにおいて使用される外径が５０ｍｍ以下というような径の小さい磁気ディスク、特に、１インチ型ディスクや０．８５インチ型ディスク等においては、前述のような定点浮上検査によっては、ロードアンロード耐久試験と相関のある選別が行えないという問題が生じた。すなわち、径の小さい磁気ディスクにおいては、特に、磁気ディスクの回転中心からの距離が１０ｍｍ以下というような内周側において、磁気ディスクと磁気ヘッドとの間の相対的な線速度が遅くなるため、これら磁気ヘッド及び磁気ディスク間の相互作用が大きくなり、前述のような検査によっては、摺動状態から浮上状態への移行が円滑に行われず、正しい評価がされなていないことがわかった。
【００１７】
そこで、本発明は、前述のような実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、１インチ型ディスクや０．８５インチ型ディスクなどの小型の磁気ディスクについても、ＴＤＰ（Touch Down Pressure）及びＴＯＰ(Take Off Pressure)の測定によって、ロードアンロード耐久試験と相関のある正しい評価、選別を行うことができる磁気ディスクの評価方法を提供することにある。
【００１８】
そして、本発明は、このような磁気ディスクの評価方法を提供することにより、高記録密度化に好適であって、例えば、携帯型のいわゆるＭＰ３プレーヤー、携帯電話などの携帯情報機器、あるいは、カーナビゲーションシステムなどの車載用機器など、非常に可搬性の高い機器に搭載できる小型のハードディスクドライブに用いることができるように小型化した場合においても、高度な品質保証を付与することができ、フライスティクション障害の発生を十分に防止できるようになされた磁気ディスクの安定的、かつ、迅速な市場への供給を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明者は、前記課題を解決すべく研究を進めた結果、以下のような事実を見出した。すなわち、従来の評価方法においては、定点浮上による測定であるため、特に小型の磁気ディスクにおいては、磁気ヘッド及び磁気ディスク間の相互作用が大きく、摺動状態から浮上状態への移行がしにくく、正しい評価ができていないことに鑑み、磁気ヘッドをロードさせ磁気ディスクに接触させた後に、磁気ヘッドを磁気ディスクの径方向に所定の振幅及び周波数にて往復移動（シーク動作）をさせることにより、摺動状態から浮上状態への円滑な移行がなされることがわかった。
【００２０】
すなわち、本発明に係る磁気ディスクの評価方法は、以下の構成のいずれか一を有するものである。
【００２１】
〔構成１〕
磁気ディスクの回転によりこの磁気ディスク上に磁気ヘッドを浮上させて記録及び／又は再生を行う磁気ディスクを評価する磁気ディスクの評価方法であって、磁気ディスクを回転させた状態で、気圧を減少させることにより磁気ヘッドを磁気ディスクに接触させた後に、気圧を増加させることにより磁気ディスクから磁気ヘッドを浮上させ磁気ヘッドが浮上したときの気圧を測定するときに、磁気ヘッドを磁気ディスクの径方向に所定の振幅及び周波数にて往復移動させることを特徴とするものである。
【００２２】
〔構成２〕
磁気ディスクの回転によりこの磁気ディスク上に磁気ヘッドを浮上させて記録及び／又は再生を行う磁気ディスクを評価する磁気ディスクの評価方法であって、磁気ディスクを回転させた状態で、この回転速度を減少させることにより磁気ヘッドを磁気ディスクに接触させた後に、磁気ディスクの回転速度を増加させることにより磁気ディスクから磁気ヘッドを浮上させ磁気ヘッドが浮上したときの磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速を測定するときに、磁気ヘッドを磁気ディスクの径方向に所定の振幅及び周波数にて往復移動させることを特徴とするものである。
【００２３】
〔構成３〕
構成１、または、構成２を有する磁気ディスクの評価方法であって、磁気ヘッドを、磁気ディスクの回転中心から１０ｍｍ以下の箇所に設置して行うことを特徴とするものである。
【００２４】
〔構成４〕
構成１乃至構成３のいずれか一を有する磁気ディスクの評価方法であって、磁気ディスクは、ロードアンロード方式の磁気ディスクであることを特徴とするものである。
【００２５】
〔構成５〕
構成１乃至構成４のいずれか一を有する磁気ディスクの評価方法であって、磁気ディスクは、直径が１．８インチ以下であることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２６】
本発明に係る磁気ディスクの評価方法においては、磁気ディスクを回転させた状態で、気圧、または、磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速を減少させることにより磁気ヘッドを磁気ディスクに接触させた後に、気圧、または、磁気ディスクの周速を増加させることにより磁気ディスクから磁気ヘッドを浮上させ磁気ヘッドが浮上したときの気圧、または、磁気ディスクの周速を測定するときに、磁気ヘッドを磁気ディスクの径方向に所定の振幅及び周波数にて往復移動させるので、磁気ヘッド及び磁気ディスク間の相互作用が大きい場合であっても、摺動状態から浮上状態への移行が円滑に行われ、正しい評価、選別を行うことができる。
【００２７】
また、磁気ヘッドを、磁気ディスクの回転中心から１０ｍｍ以下の箇所に設置して行うようにすることにより、１インチ型ディスクや０．８５インチ型ディスクなど、直径が１．８インチ以下の小型の磁気ディスクについても適用することができる。
【００２８】
さらに、この磁気ディスクの評価方法をロードアンロード方式の磁気ディスクに適用することにより、ロードアンロード耐久試験と相関のある正しい評価、選別を行うことができる。
【００２９】
すなわち、本発明は、１インチ型ディスクや０．８５インチ型ディスクなど、直径が１．８インチ以下の小型の磁気ディスクについても、ＴＤＰ（Touch Down Pressure）及びＴＯＰ(Take Off Pressure)の測定によって、ロードアンロード耐久試験と相関のある正しい評価、選別を行うことができる磁気ディスクの評価方法を提供することができるものである。
【００３０】
そして、本発明は、このような磁気ディスクの評価方法を提供することにより、高記録密度化に好適であって、例えば、携帯型のいわゆるＭＰ３プレーヤー、携帯電話などの携帯情報機器、あるいは、カーナビゲーションシステムなどの車載用機器など、非常に可搬性の高い機器に搭載できる小型のハードディスクドライブに用いることができるように小型化した場合においても、高度な品質保証を付与することができ、フライスティクション障害の発生を十分に防止できるようになされた磁気ディスクの安定的、かつ、迅速な市場への供給を実現することができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明に係る磁気ディスクの評価方法の最良の実施の形態について、詳細に説明する。
【００３２】
この磁気ディスクの評価方法は、磁気ディスクの回転によりこの磁気ディスク上に磁気ヘッドを浮上させて記録及び／又は再生を行う磁気ディスクを評価する方法であって、磁気ディスクを回転させた状態で気圧を減少させることにより、ＴＤＰ（Touch Down Pressure）において磁気ヘッドを備えたヘッドスライダを磁気ディスクに接触させた後に、気圧を増加させることにより、ＴＯＰ(Take Off Pressure)において磁気ディスクからヘッドスライダを浮上させ、ヘッドスライダが浮上したときの気圧（ＴＯＰ）を測定して、磁気ディスクの評価、選別を行う方法である。
【００３３】
また、この磁気ディスクの評価方法は、磁気ディスクの回転によりこの磁気ディスク上に磁気ヘッドを浮上させて記録及び／又は再生を行う磁気ディスクを評価する方法であって、磁気ディスクを回転させた状態で磁気ディスクの回転速度を減少させることにより、磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速がＴＤＶ（Touch Down Velocity）において磁気ヘッドを備えたヘッドスライダを磁気ディスクに接触させた後に、磁気ディスクの回転速度 を増加させることにより、周速がＴＯＶ(Take Off Velocity)において磁気ディスクからヘッドスライダを浮上させ、ヘッドスライダが浮上したときの周速（ＴＯＶ）を測定して、磁気ディスクの評価、選別を行う方法である。
【００３４】
まず、ＴＤＰ及びＴＯＰについて説明する。前述したように、近年、磁気ディスクの記録密度向上に伴い、ヘッドスライダの浮上量の低下が図られ、ヘッドスライダと磁気ディスクとの接触頻度が増加することが懸念されている。そこで、磁気ディスクのヘッドスライダに対する浮上特性の評価として、ＴＤＰ測定及びＴＯＰ測定が行われている。
【００３５】
図１は、ＴＤＰ及びＴＯＰの概念を示すグラフである。
【００３６】
ＴＤＰとは、図１に示すように、ハードディスクドライブ内の気圧を序々に下げていった時（図１の横軸において左側に移行したとき）に、ヘッドスライダが浮上状態から摺動状態へ移行するときの気圧の値をいう。そして、ＴＯＰとは、ＴＤＰを確認した後に、ハードディスクドライブ内の気圧を序々に上げていった時（図１の横軸において右側に移行したとき）に、ヘッドスライダが摺動状態から浮上状態へ移行するときの気圧の値をいう。
【００３７】
これらＴＤＰ及びＴＯＰの測定は、ハードディスクドライブを気圧コントロールが可能な容器中に設置して行う。そして、これらＴＤＰ及びＴＯＰは、磁気ヘッドからの出力を計測するＡＥ(Acoustic Emission)センサを用いて、このＡＥセンサからの出力（図１における縦軸）をみることによって確認することができる。
【００３８】
ＴＤＰの値は、ヘッドスライダの磁気ディスクへの接触のしにくさを示しており、ＴＯＰの値は、磁気ディスクに接触して磁気ディスクに対する摺動状態となったヘッドスライダが磁気ディスクから離れるときの離れやすさを示している。したがって、磁気ディスクには、ＴＤＰの値及びＴＯＰの値ともに、小さいことが求められる。また、磁気ディスクには、ＴＤＰの値とＴＯＰの値の差であるΔＰが小さいことが望まれる。このΔＰが小さいことは、ヘッドスライダの浮上特性が良好であるといえる。
【００３９】
次に、ＴＤＶ及びＴＯＶについて説明する。
【００４０】
図２は、ＴＤＶ及びＴＯＶの概念を示すグラフである。
【００４１】
ＴＤＶとは、図２に示すように、磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速を序々に下げていった時（図２の横軸において左側に移行したとき）に、ヘッドスライダが浮上状態から摺動状態へ移行するときの周速の値をいう。そして、ＴＯＶとは、ＴＤＶを確認した後に、磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速を序々に上げていった時（図２の横軸において右側に移行したとき）に、ヘッドスライダが摺動状態から浮上状態へ移行するときの周速の値をいう。
【００４２】
これらＴＤＶ及びＴＯＶの測定は、磁気ディスクの回転速度のコントロールが可能な浮上特性測定装置を用いて行う。そして、これらＴＤＶ及びＴＯＶは、ピエゾ素子（ＰＺＴ）センサを用いてオシロスコープの出力波形（図２における縦軸）をみることによって確認することができる。
【００４３】
ＴＤＶの値は、ヘッドスライダの磁気ディスクへの接触のしにくさを示しており、ＴＯＶの値は、磁気ディスクに接触して磁気ディスクに対する摺動状態となったヘッドスライダが磁気ディスクから離れるときの離れやすさを示している。したがって、磁気ディスクには、ＴＤＶの値及びＴＯＶの値ともに、小さいことが求められる。また、磁気ディスクには、ＴＤＶの値とＴＯＶの値の差であるΔＶが小さいことが望まれる。このΔＶが小さいことは、ヘッドスライダの浮上特性が良好であるといえる。
【００４４】
従来の評価方法において、２．５インチ型気ディスクについては、ＴＤＰの確認後に、常気圧以内でヘッドスライダが浮上していた。しかし、１インチ型ディスクや０．８５インチ型ディスク等、小型の磁気ディスクにおいては、前述したように、磁気ヘッド及び磁気ディスク間の相互作用が大きく、摺動状態から浮上状態への移行が円滑に行われず、正しい評価が行えない。
【００４５】
また、従来の評価方法において、２．５インチ型気ディスクについては、ＴＤＶの確認後に、測定開始時の周速でヘッドスライダが浮上していた。しかし、１インチ型ディスクや０．８５インチ型ディスク等、小型の磁気ディスクにおいては、前述したように、磁気ヘッド及び磁気ディスク間の相互作用が大きく、摺動状態から浮上状態への移行が円滑に行われず、正しい評価が行えない。
【００４６】
そこで、本発明に係る磁気ディスクの評価方法においては、ヘッドスライダ及び磁気ディスク間の相互作用を緩和するため、ＴＤＰ、ＴＤＶの確認後、ＴＯＰ、ＴＯＶの測定において、ヘッドスライダのシーク動作、すなわち、ヘッドスライダの径方向への所定の振幅及び周波数によるヘッドスライダの往復移動をさせる。このようなヘッドスライダのシーク動作の振幅（ピッチ）は、１０μｍ乃至１００μｍ程度とすることが好ましい。また、このシーク動作におけるヘッドスライダの速度は、７ｍｍ／sec乃至７０ｍｍ／sec程度とすることが好ましい。したがって、このシーク動作の周波数は、３５Ｈｚ乃至３５００Ｈｚ程度とすることが好ましい。
【００４７】
この評価方法において、ヘッドスライダは、小型の磁気ディスクにおいては、磁気ディスクの回転中心から１０ｍｍ以下、例えば、７ｍｍの箇所に設置する。なお、この評価方法は、ロードアンロード方式の磁気ディスクに適用して好適である。
【実施例】
【００４８】
以下、本発明の実施例及び比較例を挙げることにより、具体的に説明する。
【００４９】
〔第１の実施例〕
表面粗さの異なる磁気ディスクＡ、磁気ディスクＢ及び磁気ディスクＣについて、これら磁気ディスクを浮上特性測定装置に装着し、気圧コントロールが可能な容器内において、浮上特性測定装置内の気圧を序々に下げてゆき、磁気ヘッドを備えたヘッドスライダが浮上状態から摺動状態へ移行するときの気圧（ＴＯＰ）を測定した。このＴＯＰについては、０．６５気圧（atm）以下を合格とする。
【００５０】
この実施例においては、ＴＯＰを測定するときに、ヘッドスライダのシーク動作を行った。このシーク動作は、振幅（ピッチ）を１０μｍとし、磁気ヘッドの速度を７ｍｍ／sec、周波数を３５Ｈｚとして行った。
【００５１】
また、ヘッドスライダは、各磁気ディスクＡ，Ｂ，Ｃの回転中心から７ｍｍの箇所に設置した。そして、各磁気ディスクＡ，Ｂ，Ｃの回転速度を、毎分３６００回転（ｒｐｍ）としたので、磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速は、秒速２．６ｍとした。
【００５２】
図３は、第１の実施例におけるＴＤＰ及びＴＯＰのヒステリシスデータを示すグラフである。
【００５３】
測定の結果においては、以下の〔表１〕に示すように、磁気ディスクＡ及び磁気ディスクＢは、ＴＯＰの値がいずれも０．６５気圧以下であり、合格している。また、ＴＤＰの値とＴＯＰの値の差であるΔＰについても、磁気ディスクＡ及び磁気ディスクＢは、ΔＰが既定値よりも小さく、合格している。
【００５４】
一方、磁気ディスクＣについては、ＴＯＰの値が０．８０気圧となっており、不合格となっている。ΔＰについても、磁気ディスクＣは、ΔＰが既定値よりも大きく、不合格となっている。磁気ディスクＣは、表面粗さが低すぎるために不合格となったと思われる。
【００５５】
【表１】
0004474376.tif 000002
【００５６】
〔第１の比較例〕
第１の実施例において使用した磁気ディスクＡ、磁気ディスクＢ及び磁気ディスクＣについて、これら磁気ディスクを浮上特性測定装置に装着し、実施例と同様に、気圧コントロールが可能な容器内において、浮上特性測定装置内の気圧を序々に下げてゆき、磁気ヘッドが浮上状態から摺動状態へ移行するときの気圧（ＴＯＰ）を測定した。このＴＯＰについては、０．７０気圧（atm）以下を合格とする。
【００５７】
この比較例においては、ＴＯＰを測定するときに、磁気ヘッドのシーク動作を行わなかった。
【００５８】
また、ヘッドスライダは、各磁気ディスクＡ，Ｂ，Ｃの回転中心から７ｍｍの箇所に設置した。そして、各磁気ディスクＡ，Ｂ，Ｃの回転速度を、毎分３６００回転（ｒｐｍ）としたので、磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速は、秒速２．６ｍとした。
【００５９】
図４は、第１の比較例におけるＴＤＰ及びＴＯＰのヒステリシスデータを示すグラフである。
【００６０】
測定の結果においては、以下の〔表２〕に示すように、磁気ディスクＡ、磁気ディスクＢ及び磁気ディスクＣは、ＴＯＰの値がいずれも０．６５気圧以上となっており、いずれも不合格となっている。また、ＴＤＰの値とＴＯＰの値の差であるΔＰについても、磁気ディスクＡ、磁気ディスクＢ及び磁気ディスクＣは、ΔＰが既定値よりも大きく、いずれも不合格となっている。
【００６１】
この比較例においては、ＴＯＰの値及びΔＰの値のいずれについても、磁気ディスクＡ、磁気ディスクＢ及び磁気ディスクＣについて、ほぼ等しい値となってしまっている。
【００６２】
【表２】
0004474376.tif 000003
【００６３】
〔第２の実施例〕
表面粗さの異なる磁気ディスクＡ、磁気ディスクＢ及び磁気ディスクＣについて、これら磁気ディスクを磁気ディスクの回転速度のコントロールが可能な浮上特性測定装置に装着し、気圧コントロール（維持）が可能な容器内において、磁気ディスクの回転速度を序々に下げてゆき、磁気ヘッドを備えたヘッドスライダが浮上状態から摺動状態へ移行するときの磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速（ＴＯＶ）を測定した。このＴＯＶについては、秒速８ｍ以下を合格とする。
【００６４】
この実施例においては、ＴＯＶを測定するときに、ヘッドスライダのシーク動作を行った。このシーク動作は、振幅（ピッチ）を１０μｍとし、磁気ヘッドの速度を７ｍｍ／sec、周波数を３５Ｈｚとして行った。
【００６５】
また、ヘッドスライダは、各磁気ディスクＡ，Ｂ，Ｃの回転中心から７ｍｍの箇所に設置した。そして、浮上特性測定装置内の気圧を０．９１気圧（atm）に維持した。
【００６６】
図５は、第２の実施例におけるＴＤＶ及びＴＯＶのヒステリシスデータを示すグラフである。
【００６７】
測定の結果においては、以下の〔表２〕に示すように、磁気ディスクＡ及び磁気ディスクＢは、ＴＯＶの値がいずれも秒速８ｍ以下であり、合格している。また、ＴＤＶの値とＴＯＶの値の差であるΔＶについても、磁気ディスクＡ及び磁気ディスクＢは、ΔＶが既定値よりも小さく、合格している。
【００６８】
一方、磁気ディスクＣについては、ＴＯＶの値が秒速１２ｍとなっており、不合格となっている。ΔＶについても、磁気ディスクＣは、ΔＶが既定値よりも大きく、不合格となっている。磁気ディスクＣは、表面粗さが低すぎるために不合格となったと思われる。
【００６９】
【表３】
0004474376.tif 000004
【００７０】
〔第２の比較例〕
第２の実施例において使用した磁気ディスクＡ、磁気ディスクＢ及び磁気ディスクＣについて、これら磁気ディスクを磁気ディスクの回転速度のコントロールが可能な浮上特性測定装置に装着し、気圧コントロール（維持）が可能な容器内において、磁気ディスクの回転速度を序々に下げてゆき、磁気ヘッドを備えたヘッドスライダが浮上状態から摺動状態へ移行するときの磁気ヘッドの位置における磁気ディスクの周速（ＴＯＶ）を測定した。このＴＯＶについては、秒速８ｍ以下を合格とする。
【００７１】
この比較例においては、ＴＯＰを測定するときに、磁気ヘッドのシーク動作を行わなかった。
【００７２】
また、ヘッドスライダは、各磁気ディスクＡ，Ｂ，Ｃの回転中心から７ｍｍの箇所に設置した。そして、浮上特性測定装置内の気圧を０．９１気圧（atm）に維持した。
【００７３】
図６は、第２の比較例におけるＴＤＶ及びＴＯＶのヒステリシスデータを示すグラフである。
【００７４】
測定の結果においては、以下の〔表４〕に示すように、磁気ディスクＡ、磁気ディスクＢ及び磁気ディスクＣは、ＴＯＶの値がいずれも秒速１２ｍとなっており、いずれも不合格となっている。また、ＴＤＶの値とＴＯＶの値の差であるΔＰについても、磁気ディスクＡ、磁気ディスクＢ及び磁気ディスクＣは、ΔＶが既定値よりも大きく、いずれも不合格となっている。
【００７５】
この比較例においては、ＴＯＶの値及びΔＶの値のいずれについても、磁気ディスクＡ、磁気ディスクＢ及び磁気ディスクＣについて、ほぼ等しい値となってしまっている。
【００７６】
【表４】
0004474376.tif 000005
【００７７】
〔各実施例と各比較例との検証〕
各実施例において合格となった磁気ディスクＡ及び磁気ディスクＢを、ＬＵＬ（ロードアンロード）方式のハードディスクドライブに搭載し、磁気ヘッドの浮上量を１０ｎｍとして、ＬＵＬ耐久性試験を行なった。
【００７８】
その結果、ＬＵＬ耐久回数は、６０万回を超えることができ、合格となった。なお、通常のハードディスクドライブの使用状況において、ＬＵＬ回数が４０万回を超えるには、概ね１０年程度の使用が必要と言われており、磁気ディスクＡ及び磁気ディスクＢは、高い信頼性と品質保証を付与できる磁気ディスクであることが分かった。
【００７９】
一方、実施例において不合格となった磁気ディスクＣについても、ＬＵＬ（ロードアンロード）方式のハードディスクドライブに搭載し、磁気ヘッドの浮上量を１０ｎｍとして、ＬＵＬ耐久性試験を行なった。その結果、ＬＵＬ耐久回数が６０万回に至る前にクラッシュし、不合格となった。
【００８０】
すなわち、本発明に係る磁気ディスクの評価方法による結果が、ＬＵＬ耐久性試験による結果と相関があることが確認され、この磁気ディスクの評価方法によって検査された磁気ディスクは、高い信頼性と品質保証を付与できる磁気ディスクであることが確認された。
【００８１】
一方、比較例における磁気ディスクの評価方法による結果は、ＬＵＬ耐久性試験による結果と相関がないことが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】ＴＤＰ及びＴＯＰの概念を示すグラフである。
【図２】ＴＤＶ及びＴＯＶの概念を示すグラフである。
【図３】第１の実施例におけるＴＤＰ及びＴＯＰのヒステリシスデータを示すグラフである。
【図４】第１の比較例におけるＴＤＰ及びＴＯＰのヒステリシスデータを示すグラフである。
【図５】第２の実施例におけるＴＤＶ及びＴＯＶのヒステリシスデータを示すグラフである。
【図６】第２の比較例におけるＴＤＶ及びＴＯＶのヒステリシスデータを示すグラフである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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