(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に走査して、前記液滴吐出ヘッドから液状体を前記ワークに吐出する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドを搭載した複数のキャリッジと、
前記複数のキャリッジの配列順番を変更する配列変更部と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置であって、
前記配列変更部に前記キャリッジの交換指示を出す配列順演算部を備え、
前記配列順演算部は前記キャリッジ毎に前記液状体の消費量を演算し、所定量と前記消費量との差がある前記キャリッジの配列順番を変更する指示を出すことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項１に記載の液滴吐出装置であって、
前記配列変更部は前記キャリッジの待避場所を有し、
一部の前記キャリッジが前記キャリッジの待避場所に待避し、待避しない前記キャリッジが前記キャリッジの配列方向に移動して配列順番を変更することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項３に記載の液滴吐出装置であって、
前記配列変更部を複数備え、前記キャリッジの配列方向の前記ワークを挟む位置に前記配列変更部がそれぞれ配置されることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項３に記載の液滴吐出装置であって、
前記待避場所は、前記キャリッジが配列する場所に対して重力加速度方向の対向する場所に配置されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
複数のキャリッジに配置された液滴吐出ヘッドから液状体をワークに吐出する吐出方法であって、
前記キャリッジ毎に前記液滴吐出ヘッドの消費量を演算し、所定量と前記消費量との差がある前記キャリッジの配列順番の変更を判断する消費量演算工程と、
前記キャリッジの配列順番を変更する配置交換工程と、を有することを特徴とする吐出方法。
【請求項７】
複数のキャリッジに配置された液滴吐出ヘッドから液状体を基板に吐出して膜を形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記液状体は、カラーフィルタ形成材料を含み、
前記キャリッジ毎に前記液滴吐出ヘッドの消費量を演算し、所定量と前記消費量の差がある前記キャリッジの配列順番の変更を判断する消費量演算工程と、
前記キャリッジの配列順番を変更する配置交換工程とを有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項８】
複数のキャリッジに配置された液滴吐出ヘッドから液状体を基板に吐出して膜を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記液状体は、発光素子形成材料を含み、
前記キャリッジ毎に前記液滴吐出ヘッドの消費量を演算し、所定量と前記消費量の差がある前記キャリッジの配列順番の変更を判断する消費量演算工程と、
前記キャリッジの配列順番を変更する配置交換工程とを有することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法にかかわり、特に、吐出する液状体の吐出量を品質良く吐出する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークに対して液滴を吐出する装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させるテーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向に配置されるガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジはインクジェットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）を配置し、ワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。
【０００３】
タンクから機能液が液滴吐出ヘッドへ供給される。そして、機能液を新たに追加するとき、タンクにある既存の機能液と新しく追加する機能液とでは、粘度が微妙に異なることがある。このとき、粘度の差が流体抵抗の差となるので、吐出時の吐出量の差となる。そして、タンクが複数あるとき複数のタンクにおける既存の機能液の消費量を略同じにする方法が特許文献１に開示されている。それによると、液滴吐出ヘッドを配置するキャリッジを複数備えている。そして、ワークの大きさとタンク内の機能液の残量を基に、液滴吐出ヘッドが吐出するキャリッジを選択することにより、各タンク内における機能液の残量を均一にしていた。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−６１８４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、液滴吐出ヘッドの順番が変わらないので、ワークの一方に多く塗布するパターンの場合には、キャリッジ毎における機能液の消費量を制御しきれない場合があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］
本適用例にかかる液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に走査して、前記液滴吐出ヘッドから液状体を前記ワークに吐出する液滴吐出装置であって、前記液滴吐出ヘッドを搭載し、配列する複数のキャリッジと、前記複数のキャリッジの配列における順番を変更する配列変更部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
この液滴吐出装置によれば、複数のキャリッジが配列して配置され、複数のキャリッジの配列における順番を変更する配列変更部を備えている。液滴吐出ヘッドのノズル数が多い場合や液滴吐出ヘッドを複数用いるとき、液滴吐出ヘッドに液状体を供給する供給経路が複数配置される。そして、液状体を収納する供給経路から液状体がキャリッジ毎の供給経路を経て液滴吐出ヘッドに供給される。
【０００９】
供給経路内の液状体が少なくなるとき、供給経路内にある既存の液状体に加えて製造履歴の異なる新の液状体が供給経路内に供給される。そして、液滴吐出ヘッドが液状体を吐出することにより、供給経路内の既存の液状体が減り、新の液状体に入れ換わる。このとき、供給経路内に存在する既存の液状体と新たに供給された新の液状体との粘度が異なる場合がある。粘度が変化するとき、ノズルから吐出する液状体の吐出量が変化する。従って、各液滴吐出ヘッドが略同時に既存の液状体から新の液状体に入れ換わる方が、吐出量を制御し易くすることができる。
【００１０】
同一のパターンを繰り返してワークに吐出するとき、液滴吐出ヘッド毎に液状体の消費量が異なることがある。配列変更部が液状体の消費量の多い液滴吐出ヘッドのキャリッジと液状体の消費量の少ない液滴吐出ヘッドのキャリッジとを交換するとき、供給経路内において既存の液状体の消費量を制御することができる。従って、キャリッジ毎の供給経路内における液状体の消費量を制御することができる。
【００１１】
［適用例２］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記配列変更部に前記キャリッジの交換指示を出す配列順演算部を備え、前記配列順演算部は前記キャリッジ毎に前記液状体の消費量を演算し、所定量と前記消費量との差がある前記キャリッジの配列における順番を変更する指示を出すことを特徴とする。
【００１２】
この液滴吐出装置によれば、配列順演算部がキャリッジ毎に消費量を演算している。そして、配列順演算部は所定量と消費量との差があるキャリッジの配列の順番を変更する指示を出して、配列変更部がキャリッジの配列順番を変更する。従って、供給経路内において既存の液状体が略均等に消費するように消費量を制御することができる。
【００１３】
［適用例３］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記配列変更部は前記キャリッジの待避場所を有し、一部の前記キャリッジが前記キャリッジに待避し、待避しない前記キャリッジが前記キャリッジの配列方向に移動して配列の順番を変更することを特徴とする。
【００１４】
この液滴吐出装置によれば、キャリッジの配列変更に関与するキャリッジのみ移動して変更することができる。キャリッジの配列を変更するときに、総てのキャリッジを移動する方法に比べて少ないエネルギで配列変更することができる。
【００１５】
［適用例４］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記配列変更部を複数備え、前記キャリッジの配列方向の前記ワークを挟む位置に前記配列変更部がそれぞれ配置されることを特徴とする。
【００１６】
この液滴吐出装置によれば、キャリッジが配列する方向のワークの両側に配列変更部を備えている。そして、この複数の配列変更部が占める場所とワークの占める場所とを用いてキャリッジの配列順番を変更することにより、複数のキャリッジの配列順番を同時に変更することができる。その結果、生産性良くキャリッジの配列順番を変更できる。
【００１７】
［適用例５］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記待避場所は、前記キャリッジが配列する場所に対して重力加速度方向の対向する場所に配置されていることを特徴とする。
【００１８】
この液滴吐出装置によれば、待機場所が占める場所とキャリッジが占める場所とが重なって配置されている。その結果、装置の占有面積の小さい装置にすることができる。
【００１９】
［適用例６］
本適用例にかかる吐出方法は、複数のキャリッジに配置された液滴吐出ヘッドから液状体をワークに吐出する吐出方法であって、前記キャリッジ毎に前記液滴吐出ヘッドの消費量を演算し、所定量と前記消費量との差がある前記キャリッジの配列変更を判断する消費量演算工程と、前記キャリッジの配列を変更する配置交換工程と、を有することを特徴とする。
【００２０】
この吐出方法によれば、各キャリッジの配置された液滴吐出ヘッドにおける液状体の消費量を演算している。そして、所定量と消費量との差があるキャリッジを交換している。従って、供給経路内において既存の液状体が略均等に消費するように消費量を制御することができる。
【００２１】
［適用例７］
本適用例にかかるカラーフィルタの製造方法は、複数のキャリッジに配置された液滴吐出ヘッドから液状体を基板に吐出して膜を形成するカラーフィルタの製造方法であって、前記液状体は、カラーフィルタ形成材料を含み、前記キャリッジ毎に前記液滴吐出ヘッドの消費量を演算し、所定量と前記消費量の差がある前記キャリッジの配列変更を判断する消費量演算工程と、前記キャリッジの配列を変更する配置交換工程とを有することを特徴とする。
【００２２】
このカラーフィルタの製造方法によれば、既存の液状体と新の液状体との切り換えが略同時に行われることから、液状体の切換時に吐出される液状体の吐出量を制御することができる。従って、カラーフィルタ形成材料を用いて形成される膜厚が精度良く形成される為、カラーフィルタを透過する光の色調を品質良く揃えることができる。
【００２３】
［適用例８］
本適用例にかかる有機ＥＬ装置は、複数のキャリッジに配置された液滴吐出ヘッドから液状体を基板に吐出して膜を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、前記液状体は、発光素子形成材料を含み、前記キャリッジ毎に前記液滴吐出ヘッドの消費量を演算し、所定量と前記消費量の差がある前記キャリッジの配列変更を判断する消費量演算工程と、前記キャリッジの配列を変更する配置交換工程とを有することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【００２４】
この有機ＥＬ装置の製造方法によれば、既存の液状体と新の液状体との切り換えが略同時に行われることから、液状体の切換時に吐出される発光素子形成材料の吐出量を制御することができる。従って、発光素子の膜厚が精度良く形成される為、発光素子が発光する特性を品質良く揃えることができる。
【００２５】
［適用例９］
上記適用例に記載の液滴吐出装置において、前記配列順演算部は前記キャリッジ毎の前記消費量の差が所定量より大きい前記キャリッジを交換する指示を出すことを特徴とする。
【００２６】
この液滴吐出装置によれば、配列順演算部は消費量の多いキャリッジと消費量の少ないキャリッジとを交換している。従って、供給経路内において既存の液状体が略均等に消費するように消費量を制御することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、具体化した実施形態について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
【００２８】
（第１の実施形態）
本実施形態では、特徴的な液滴吐出装置と、この液滴吐出装置を用いて液滴を吐出し、カラーフィルタを製造する場合の例について図１〜図８に従って説明する。
【００２９】
（カラーフィルタ）
最初に、カラーフィルタ１について図１を用いて説明する。図１（ａ）は、カラーフィルタを示す模式平面図であり、図１（ｂ）は、カラーフィルタを示す模式側面図である。カラーフィルタ１は液晶テレビ等の表示装置に用いられ、画像信号に応じた輝度分布をもつ白色光をカラーフィルタ１に通過させることにより、カラー画像を形成する。このときにカラーフィルタ１が用いられる。図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、カラーフィルタ１はワークとしての基板２を備えている。この基板２は光透過性があり、張力に対して破れ難い強度があればよく、ガラス板、プラスチック板、プラスチックシート等を用いることができる。本実施形態においては、例えば、ガラス板を採用している。基板２の上面にはカラー素子３が縦横並んで配列して形成されている。そして、カラー素子３は赤、青、緑色のカラー素子３により構成され、各色のカラー素子３が列毎に配列して配置されている。図１（ａ）において、左から赤色素子列３ａ、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃの順に配置される。そして、図中に左から右へ、この順番を繰り返してストライプ状に配置されている。
【００３０】
カラー素子３は格子状に形成されたバンク４を備え、バンク４によって矩形に仕切られた場所にカラー膜５が形成されている。赤色素子列３ａのカラー素子３には赤色カラー膜５ａが形成され、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃにはそれぞれ青色カラー膜５ｂ、緑色カラー膜５ｃが形成されている。
【００３１】
（液滴吐出装置）
次に、ワークに液滴を吐出して塗布する液滴吐出装置８について図２〜図５に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。
【００３２】
図２は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。図２に示すように、液滴吐出装置８は、直方体形状に形成される基台９を備えている。この基台９の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【００３３】
基台９の上面９ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール１０ａ，１０ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台９の上側には、一対の案内レール１０ａ，１０ｂに対応する図示しない直動機構を備えたステージ１１が取付けられている。そのステージ１１の直動機構は、例えば案内レール１０ａ，１０ｂに沿ってＹ方向に延びるリニアモータを備えた直動機構である。そして、この直動機構に所定のステップ数に相対する駆動信号がリニアモータに入力されると、リニアモータが前進又は後退して、ステージ１１が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ軸方向に沿って所定の速度で往動又は復動する。この動作によりステージ１１がＹ方向に走査するようになっている。このステージ１１が走査する方向を走査の方向とする。
【００３４】
そのステージ１１の上面には、載置面１２が形成され、その載置面１２には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面１２に基板２を載置すると、基板チャック機構によって、その基板２が載置面１２の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【００３５】
基台９のＸ方向両側には、一対の支持台１３ａ，１３ｂが立設され、その一対の支持台１３ａ，１３ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材１４が架設されている。案内部材１４の上側には、吐出する機能液を供給可能に収容する収容タンク１５が配設されている。この機能液はカラー膜５の材料を溶媒もしくは分散媒に溶解もしくは分散した液状体である。カラー膜５は赤色カラー膜５ａ、青色カラー膜５ｂ、緑色カラー膜５ｃと３つの色のカラー膜５を形成するために、収容タンク１５の内部には３つの容器が配置され、各容器には赤色カラー膜５ａ、青色カラー膜５ｂ、緑色カラー膜５ｃに対応する機能液が収容されている。
【００３６】
一方、その案内部材１４の下側には、Ｘ方向に延びる配列変更部としての案内レール１６がＸ方向全幅にわたり凸設されている。そして、案内レール１６に沿って略直方体形状に形成された第１キャリッジ１７ａ〜第８キャリッジ１７ｈの８つのキャリッジ１７が配置されている。キャリッジ１７はステージ１１の直動機構と同様な機構を備え、Ｘ方向に走査可能となっている。そして、キャリッジ１７の下面には、液滴吐出ヘッド１８が凸設されている。
【００３７】
ステージ１１が基板２をＹ方向に走査して、キャリッジ１７が液滴吐出ヘッド１８をＸ方向に走査する。そして、液滴吐出ヘッド１８は基板２上の所望の場所に液状体を吐出して塗布することが可能になっている。
【００３８】
基台９のＸ方向と逆側の側面には配列変更部としてのキャリッジ交換装置１９が配置されている。キャリッジ交換装置１９は上部に受台１９ａを備え、この受台１９ａを昇降する昇降機構を内部に備えている。この昇降機構は、例えば、油圧シリンダとガイドレールを備え、ガイドレールに沿って油圧シリンダが上下動する機構となっている。そして、キャリッジ１７が案内レール１６から離れるとき、キャリッジ交換装置１９が上昇した後、キャリッジ１７を搭載して待避場所に下降する。つまり、キャリッジ交換装置１９は１つのキャリッジ１７をキャリッジ１７の配列から分離して、分離したキャリッジ１７を待避場所に待避可能にしている。
【００３９】
ステージ１１のＹ方向と逆方向の案内レール１０ａ，１０ｂ上には保守テーブル２０が配置されている。保守テーブル２０はステージ１１と同様な直動機構を備え、保守テーブル２０は案内レール１０ａ，１０ｂに沿って移動可能になっている。保守テーブル２０の上面には吐出受部２１が配置され、吐出受部２１には凹状に形成された受皿と受皿の上に配置されたスポンジ状の吸収マットが配置されている。そして、吐出受部２１が液滴吐出ヘッド１８に対向する場所に保守テーブル２０を移動した後、液滴吐出ヘッド１８が液状体を吐出するとき、吐出された液状体が吐出受部２１に吸収されるようになっている。
【００４０】
図３（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図である。図３（ａ）に示すように、１つのキャリッジ１７には、３個の液滴吐出ヘッド１８が略Ｙ方向に配列して配置されている。３個の液滴吐出ヘッド１８は異なる色の機能液が供給されている。図中左側に位置する液滴吐出ヘッド１８からは赤色カラー膜５ａの材料となる機能液が吐出される。同様に、図中中央の液滴吐出ヘッド１８からは青色カラー膜５ｂの材料となる機能液が吐出され、図中右側の液滴吐出ヘッド１８からは緑色カラー膜５ｃの材料となる機能液が吐出される。そして、液滴吐出ヘッド１８の表面にはノズルプレート２４が配置され、ノズルプレート２４にはノズル２５が複数形成されている。ノズル２５の数は、吐出するパターンと基板２の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、１個のノズルプレート２４にはノズル２５の配列が１列形成され、各列には１５個のノズル２５が配置されている。
【００４１】
図３（ｂ）は、キャリッジを示す模式側面図であり、図３（ａ）に示すキャリッジをＸ方向から見た図である。図３（ｂ）に示すように、キャリッジ１７は、案内レール１６の下側に配置される。案内レール１６の中央にはＴ字状の溝１６ａがＸ方向に延在して形成され、Ｙ方向両側においてキャリッジ１７と対向する面には固定磁石２６がＸ方向に延在して配置されている。固定磁石２６はＸ方向にＮ極とＳ極とが交互に反復して形成されている。
【００４２】
溝１６ａにはＴ字状の移動テーブル２７が配置されている。この溝１６ａから移動テーブル２７に向けて空気が排出され、その空気が溝１６ａと移動テーブル２７との隙間を流動する。そして、移動テーブル２７が溝１６ａに沿って移動するエアーテーブルとなっている。移動テーブル２７にはＹ方向に伸縮可能な伸縮板２７ａと伸縮板２７ａを伸縮させる伸縮装置２８と伸縮板２７ａをＹ方向に移動可能に案内する図示しないガイドレール等が配置されている。伸縮装置２８は伸縮板２７ａを移動させる直動機構を備えている。この直動機構は、例えば、ガイドレールに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、このネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構を用いることができる。伸縮板２７ａが縮むとき、伸縮板２７ａのＹ方向における両端２７ｂの幅２７ｃの長さは、案内レール１６の溝１６ａにおいて伸縮板２７ａの下側でＹ方向に細く形成された場所の幅１６ｂの長さより短く形成されている。従って、伸縮板２７ａが縮むとき、移動テーブル２７は溝１６ａから抜け出すことが可能となっている。
【００４３】
移動テーブル２７の下側にはテーブル支持板２９が配置され、テーブル支持板２９は支持部３０を介してベース板３１と接続されている。ベース板３１の上側で、２つの固定磁石２６と対向する場所には２つの可動電磁石３３が配置され、この２つの可動電磁石３３の間にはモータ駆動回路３４が配置されている。可動電磁石３３にはコイルと磁心とが複数配置され、固定磁石２６と対向する面にＳ極とＮ極とを自在に配列して形成可能になっている。そして、モータ駆動回路３４が可動電磁石３３に流す電流を制御することにより、可動電磁石３３のＳ極及びＮ極の配置を切り換える。そして、固定磁石２６と可動電磁石３３との間の引力と反発力を制御することによりＸ方向に移動するリニアモータを形成している。
【００４４】
ベース板３１の下側には支持部３５を介して駆動回路基板３６が配置されている。そして、駆動回路基板３６の下側にはヘッド駆動回路３７が配置されている。さらに、ベース板３１には支持部３８を介して、ヘッド取付板３９が配置され、ヘッド取付板３９の下面には液滴吐出ヘッド１８が配置されている。そして、液滴吐出ヘッド１８が配置されたヘッド取付板３９をヘッドユニット４０とする。ヘッド駆動回路３７と液滴吐出ヘッド１８とは、図示しないケーブルにより接続され、ヘッド駆動回路３７が出力する駆動信号が、液滴吐出ヘッド１８に入力されるようになっている。
【００４５】
ベース板３１の下側には液滴吐出ヘッド１８と同数の供給経路としての供給装置４１が配置され、収容タンク１５と供給装置４１との間は、図示しないチューブにより接続されている。そして、供給装置４１と液滴吐出ヘッド１８との間は、供給経路としてのチューブ４２により接続されている。そして、収容タンク１５から供給される機能液が、供給装置４１により液滴吐出ヘッド１８に供給されるようになっている。このチューブ４２、供給装置４１、収容タンク１５と供給装置４１との間のチューブ、液滴吐出ヘッド１８内を機能液が流れる流路等から供給経路が構成されている。
【００４６】
図３（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図３（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１８は、ノズルプレート２４を備え、ノズルプレート２４には、ノズル２５が形成されている。ノズルプレート２４の上側であって、ノズル２５と対向する位置には、ノズル２５と連通する圧力室としてのキャビティ４５が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド１８のキャビティ４５には、供給装置４１に貯留されている液状体としての機能液４６がチューブ４２及び図示しない流路を介して供給される。
【００４７】
キャビティ４５の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ４５内の容積を拡大縮小する振動板４７と、上下方向に伸縮して振動板４７を振動させる駆動部としての圧電素子４８が配設されている。そして、液滴吐出ヘッド１８が圧電素子４８を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子４８が伸張して、振動板４７がキャビティ４５内の容積を拡大縮小してキャビティ４５を加圧する。その結果、液滴吐出ヘッド１８のノズル２５からは、縮小した容積分の機能液４６が液滴４９として吐出される。この液滴吐出ヘッド１８において、ノズル２５、キャビティ４５、振動板４７、圧電素子４８等により液滴吐出素子５０が構成され、１つの液滴吐出ヘッド１８には複数の液滴吐出素子５０が配列して形成されている。
【００４８】
図４は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図４において、液滴吐出装置８の制御装置５３はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）５４と各種情報を記憶するメモリ５５とを有する。
【００４９】
主走査駆動装置５６、副走査駆動装置５７、液滴吐出ヘッド１８を駆動するヘッド駆動回路３７は、入出力インターフェース５８及びデータバス５９を介してＣＰＵ５４に接続されている。さらに、入力装置６０、ディスプレイ装置６１、交換制御装置６２、液残量検出装置６３、保守ステージ駆動装置６４も入出力インターフェース５８及びデータバス５９を介してＣＰＵ５４に接続されている。
【００５０】
主走査駆動装置５６はステージ１１の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置５７はキャリッジ１７の移動を制御する装置である。主走査駆動装置５６がステージ１１の移動を制御し、副走査駆動装置５７がキャリッジ１７の移動を制御することにより、液滴吐出ヘッド１８を基板２に対して所望の位置に移動及び停止することが可能となっている。
【００５１】
入力装置６０は液滴４９を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板２に液滴４９を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレイ装置６１は加工条件や作業状況を表示する装置であり、ディスプレイ装置６１に表示される情報を基に、操作者は入力装置６０を用いて操作を行う。
【００５２】
交換制御装置６２はキャリッジ交換装置１９を制御する装置であり、案内レール１６から分離されたキャリッジ１７の昇降制御を行う。そして、交換制御装置６２はキャリッジ交換装置１９を駆動してキャリッジ１７を案内レール１６と待機場所との間で移動させる装置である。液残量検出装置６３は収容タンク１５に配置され、収容タンク１５に収納されている機能液４６の残量を検出する装置である。保守ステージ駆動装置６４は保守テーブル２０を制御する装置であり、吐出受部２１を待機場所と液滴吐出ヘッド１８と対向する場所との間で移動させる制御を行う装置である。
【００５３】
メモリ５５は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置８における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト６５を記憶する記憶領域が設定される。さらに、基板２内における吐出位置の座標データである吐出位置データ６６を記憶するための記憶領域も設定される。さらに、吐出した機能液４６の量を示す消費量データ６７を記憶するための記憶領域も設定される。さらに、キャリッジ１７の配列順番等のキャリッジ管理データ６８を記憶するための記憶領域も設定される。他にも、基板２を主走査方向（Ｙ方向）へ移動する主走査移動量と、キャリッジ１７を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ５４のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
【００５４】
ＣＰＵ５４はメモリ５５内に記憶されたプログラムソフト６５に従って、基板２における表面の所定位置に機能液４６を液滴４９にして吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、液滴吐出ヘッド１８において液滴４９を吐出するための演算を行う吐出演算部６９等を有する。吐出演算部６９を詳しく分割すれば、吐出演算部６９は基板２を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部７０を有する。加えて、吐出演算部６９は液滴吐出ヘッド１８を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査移動量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部７１を有する。さらに、吐出演算部６９は液滴吐出ヘッド１８内に複数あるノズルの内、どのノズルを作動させて機能液を吐出するかを制御するための演算を行う吐出制御演算部７２等といった各種の機能演算部を有する。吐出演算部６９の他にも、液滴吐出ヘッド１８毎に吐出した液滴４９の量を演算する消費量演算部７３や、キャリッジ１７の交換手順を演算する配列順演算部７４等といった各種の機能演算部を有する。
【００５５】
（塗布方法）
次に、上述した液滴吐出装置８を用いて、基板２に機能液４６を吐出して塗布する塗布方法について図５〜図８にて説明する。図５は、基板に機能液を塗布する製造工程を示すフローチャートであり、図６〜図８は、基板に塗布する方法を説明する図である。
【００５６】
ステップＳ１は塗布工程に相当し、基板に機能液の液滴を吐出して塗布する工程である。この工程では液滴を吐出すると同時に、各液滴吐出ヘッドの吐出回数を計数する。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は消費量演算工程に相当し、基板に吐出した回数の計数結果を用いてキャリッジ毎に液滴吐出ヘッドが吐出する量を演算する工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３はキャリッジ交換判断工程に相当し、各キャリッジの液滴吐出ヘッドが吐出した吐出量を参照して、キャリッジ交換の実施と非実施との判断を行う。実施する場合には交換するキャリッジの選定をする工程である。交換しないと判断するとき、ステップＳ５に移行し、交換すると判断するとき、ステップＳ４に移行する。ステップＳ４は配置交換工程に相当し、キャリッジを交換することにより、キャリッジの配列順を変更する工程である。次にステップＳ５に移行する。
【００５７】
ステップＳ５は液追加判断工程に相当し、収容タンクの機能液の量を検出して、機能液追加の実施と非実施との判断を行う。追加しないと判断するとき、ステップＳ７に移行し、追加すると判断するとき、ステップＳ６に移行する。ステップＳ６は液追加工程に相当し、収容タンクに機能液を追加する工程である。次にステップＳ７に移行する。ステップＳ７は液排出判断工程に相当し、チューブ等の供給経路内に追加前後の機能液が共存するとき、追加前の機能液排出の実施と非実施との判断を行う。排出しないと判断するとき、ステップＳ９に移行し、排出すると判断するとき、ステップＳ８に移行する。ステップＳ８は液排出工程に相当し、チューブ等に残存する追加前の機能液を排出する工程である。次にステップＳ９に移行する。ステップＳ９は終了判断工程に相当し、予定する総ての基板に機能液を塗布したかの判断を行う。基板への塗布を終了しないと判断するとき、ステップＳ１に移行し、終了すると判断するとき、製造工程を終了する。以上で、基板に機能液を塗布する製造工程を終了する。
【００５８】
次に、図６〜図８を用いて、図５に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドから基板に機能液を吐出して塗布する製造方法を詳細に説明する。図６（ａ）及び図６（ｂ）はステップＳ１に対応する図である。図６（ａ）は液滴吐出ヘッドから基板へ機能液を吐出する工程を説明する図であり、図６（ｂ）は液滴吐出ヘッドが基板上を通るパスを説明する図である。図６（ａ）に示すように、基板２をステージ１１の載置面１２上に載置する。この基板２にはバンク４が形成されている。バンク４は感光性樹脂を基板２に塗布した後、バンク４のパターン形状のマスクを用いて露光し、現像して形成される。この工程は公知の装置、方法によって形成されるので、その製造方法の説明は省略する。そして、基板チャック機構を用いて基板２を載置面１２に固定する。次に、ステージ１１をＹ方向に走査しながら液滴吐出ヘッド１８から液滴４９を基板２に吐出する。このとき、吐出演算部６９が吐出位置データ６６を用いて、主走査駆動装置５６、副走査駆動装置５７、ヘッド駆動回路３７に駆動指示する指示信号を出力する。そして、主走査駆動装置５６、副走査駆動装置５７、ヘッド駆動回路３７がステージ１１、キャリッジ１７、液滴吐出ヘッド１８をそれぞれ駆動する。消費量演算部７３は各液滴吐出ヘッド１８が吐出する回数を計数する。
【００５９】
図６（ｂ）において、ステージ１１を２往復する塗布経路７７に従って、１枚の基板２を塗布するときの例を示す。往復回数は基板２の幅と液滴吐出ヘッド１８が一回の走査で塗布できる幅により決定されるものであり、適切な回数を設定するのが望ましい。まず、第１往路７７ａにおいて、液滴吐出ヘッド１８の総てのノズル２５を活用して吐出を行う。次に、第１往路７７ａで塗布されなかった場所を第１復路７７ｂにて塗布する。つまり、図３（ａ）に示す液滴吐出ヘッド１８が配置されたキャリッジ１７の配列において、Ｘ方向に並ぶ液滴吐出ヘッド１８の間はノズル２２が配置されていないので、第１往路７７ａでは塗布することができない。その場所を第１復路７７ｂにて塗布する。同様に第２往路７７ｃ、第２復路７７ｄの吐出を行う。このとき、第８キャリッジ１７ｈの液滴吐出ヘッド１８は一部が基板２よりＸ方向に位置する場合があり、このとき、第８キャリッジ１７ｈの機能液４６の吐出量が他の液滴吐出ヘッド１８より少なくなる。そして、消費量演算部７３が液滴吐出ヘッド１８毎の消費量を演算してメモリ５５に消費量データ６７として格納する。
【００６０】
図６（ｃ）はステップＳ２及びステップＳ３に対応する図であり、各キャリッジの消費量の分布を示す図である。ステップＳ２において、配列順演算部７４は液滴吐出ヘッド１８が吐出した機能液４６をキャリッジ１７毎に集計することにより、キャリッジ１７毎に機能液４６の消費量を演算する。図６（ｃ）において、縦軸は各液滴吐出ヘッド１８から吐出される機能液４６の消費量７８を示し、横軸はキャリッジ１７を示している。そして、図に示すように、第１キャリッジ１７ａの消費量７８が最も多く、第８キャリッジ１７ｈの消費量７８が最も少なくなっている。
【００６１】
ステップＳ３において、消費量７８が最も少ない第８キャリッジ１７ｈの消費量７８ｈに差分規定量７９ａを加えて所要量としての比較判定量７９を設定する。そして、第１キャリッジ１７ａ〜第７キャリッジ１７ｇの消費量７８と比較判定量７９とを比較する。そして、第１キャリッジ１７ａの消費量７８ａが比較判定量７９より大きいことから、配列順演算部７４は第１キャリッジ１７ａと第８キャリッジ１７ｈとの配置順を変更する判断を行う。次に、２番目に消費量７８の少ないキャリッジ１７に対して、同様の方法にて配置順を変更するかどうかの判断を行う。そして、順次、消費量７８の少ないキャリッジ１７に対して、同様の方法にて配置順を変更するかどうかの判断を行う。
【００６２】
図７及び図８はステップＳ４に対応する図であり、キャリッジ交換方法を説明する図である。そして、第１キャリッジ１７ａと第８キャリッジ１７ｈとを交換する例を示している。図７（ａ）に示すように、まず、キャリッジ交換装置１９と対向する場所に第１キャリッジ１７ａを案内レール１６に沿って移動する。次に、図７（ｂ）に示すように、キャリッジ交換装置１９が受台１９ａを上昇して、受台１９ａを第１キャリッジ１７ａに接触させる。そして、第１キャリッジ１７ａの伸縮装置２８を駆動して、伸縮板２７ａを縮めることにより、第１キャリッジ１７ａを案内レール１６から分離可能にする。このとき、第１キャリッジ１７ａの下には受台１９ａが待機しているので、第１キャリッジ１７ａは受台１９ａに載置される。
【００６３】
次に、図７（ｃ）に示すように、第１キャリッジ１７ａが載置された受台１９ａをキャリッジ交換装置１９が下降する。続いて、図７（ｄ）に示すように、案内レール１６に配置されているキャリッジ１７をＸ方向と逆方向に移動する。そして、総てのキャリッジ１７がキャリッジ交換装置１９に対してＸ方向の逆側に位置するようにする。次に、図７（ｅ）に示すように、キャリッジ交換装置１９は第１キャリッジ１７ａが載置された受台１９ａを上昇する。そして、第１キャリッジ１７ａが案内レール１６と接触する場所までキャリッジ交換装置１９は受台１９ａを上昇する。続いて、第１キャリッジ１７ａの伸縮装置２８を駆動して、伸縮板２７ａを伸ばすことにより、第１キャリッジ１７ａを案内レール１６に設置する。次に、図７（ｆ）に示すように、キャリッジ交換装置１９は受台１９ａを下降する。
【００６４】
次に、図８（ａ）に示すように、まず、キャリッジ交換装置１９と対向する場所に第８キャリッジ１７ｈを案内レール１６に沿って移動する。次に、図８（ｂ）に示すように、キャリッジ交換装置１９が受台１９ａを上昇させて、受台１９ａを第８キャリッジ１７ｈに接触させる。そして、第８キャリッジ１７ｈの伸縮装置２８を駆動して、伸縮板２７ａを縮めることにより、第８キャリッジ１７ｈを案内レール１６から分離可能にする。このとき、第８キャリッジ１７ｈの下には受台１９ａが待機しているので、第８キャリッジ１７ｈは受台１９ａに載置される。
【００６５】
次に、図８（ｃ）に示すように、第８キャリッジ１７ｈが載置された受台１９ａをキャリッジ交換装置１９が下降する。続いて、図８（ｄ）に示すように、案内レール１６に配置されているキャリッジ１７をＸ方向に移動する。そして、総てのキャリッジ１７がキャリッジ交換装置１９に対してＸ方向に位置するようにする。次に、図８（ｅ）に示すように、キャリッジ交換装置１９は第８キャリッジ１７ｈが載置された受台１９ａを上昇する。そして、第８キャリッジ１７ｈが案内レール１６と接触する場所までキャリッジ交換装置１９は受台１９ａを上昇する。続いて、第８キャリッジ１７ｈの伸縮装置２８を駆動して、伸縮板２７ａを伸ばすことにより、第８キャリッジ１７ｈを案内レール１６に設置にする。次に、図８（ｆ）に示すように、キャリッジ交換装置１９は受台１９ａを下降する。その結果、第１キャリッジ１７ａと第８キャリッジ１７ｈとの配置交換が完了する。
【００６６】
ステップＳ５において、ＣＰＵ５４は収容タンク１５に配置されている液残量検出装置６３が出力する液残量データを用いて機能液４６の追加を実施するかの判断を行う。このとき、ＣＰＵ５４は液残量データと予め設定されている規定値とを比較する。そして、液残量データが規定値より少ないとき、機能液４６を追加する判断を行う。そして、ステップＳ６において、ＣＰＵ５４はディスプレイ装置６１に追加を要請するメッセージを表示する。操作者はそのメッセージを見て、機能液４６を収容タンク１５に追加する。
【００６７】
ステップＳ７において、ＣＰＵ５４は機能液４６を収容タンク１５に追加した後、消費した機能液４６を演算して消費量を算出する。そして、この消費量が規定値より多いとき、機能液４６を排出する判断を行う。図９はステップＳ８に対応する図であり、液排出工程を説明する図である。図９に示すように、液滴吐出ヘッド１８と対向する場所に保守テーブル２０を移動する。そして、液滴吐出ヘッド１８から吐出受部２１に液滴４９を吐出して、追加する前の機能液４６を排出する。そして、追加した機能液４６が吐出開始されるまで液滴４９を吐出する。
【００６８】
ステップＳ９は終了判断工程であり、機能液４６を塗布する予定の基板２に総て塗布したとき終了する。以上の工程により、基板２に機能液４６を吐出して塗布する工程を終了する。
【００６９】
上述したように、本実施形態は、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、キャリッジ交換装置１９が機能液４６の消費量の多い液滴吐出ヘッド１８の第１キャリッジ１７ａと機能液４６の消費量の少ない液滴吐出ヘッド１８の第８キャリッジ１７ｈとを交換している。そして、収容タンク１５に機能液４６を追加した後、基板２に機能液４６を吐出することにより、各供給経路に残存する既存の機能液４６の消費量を制御することができる。従って、キャリッジ１７毎の供給経路内における機能液４６の消費量を制御することができる。
【００７０】
（２）本実施形態によれば、配列順演算部７４がキャリッジ１７毎の消費量を演算している。そして、配列順演算部７４は消費量の多いキャリッジ１７と消費量の少ないキャリッジ１７とを交換する指示を出して、キャリッジ交換装置１９がキャリッジを交換する。従って、供給経路内において機能液４６が略均等に消費するように消費量を制御することができる。
【００７１】
（３）本実施形態によれば、キャリッジ１７が配列する方向にキャリッジ１７が移動している。そして、キャリッジ１７の配列変更に関与するキャリッジ１７のみ移動して変更することができる。例えば、第１キャリッジ１７ａと第２キャリッジ１７ｂとを交換するとき、まずキャリッジ交換装置１９を用いて第１キャリッジ１７ａを下降する。次に第２キャリッジ１７ｂを案内レール１６に沿って移動して、第１キャリッジ１７ａを上昇することにより、第１キャリッジ１７ａをキャリッジ１７の配列に戻す。つまり、第１キャリッジ１７ａと第２キャリッジ１７ｂ以外のキャリッジ１７を移動せずに第１キャリッジ１７ａと第２キャリッジ１７ｂとを交換することができる。その結果、キャリッジ１７の配列を変更するときに、総てのキャリッジを移動する方法に比べて少ないエネルギで配列変更することができる。
【００７２】
（４）本実施形態によれば、案内レール１６の場所とキャリッジ交換装置１９の場所を用いてキャリッジ１７を交換している。従って、キャリッジ１７を交換する場所に総てのキャリッジ１７を移動して、交換する場合に比べて、狭い交換場所にてキャリッジを交換することができる。その結果、装置の占有面積の小さい装置にすることができる。
【００７３】
（５）本実施形態によれば、収容タンク１５に追加する前の既存の機能液４６と追加した新の機能液４６との切り換えが複数の液滴吐出ヘッド１８で略同時に行われることから、機能液４６の切換時に吐出される機能液４６の吐出量を制御することができる。従って、機能液４６を用いて形成される膜厚が精度良く形成される為、カラーフィルタ１を透過する光の色調を品質良く揃えることができる。
【００７４】
（第２の実施形態）
次に、本実施形態では、液滴吐出装置の特徴的な例について図１０に従って説明する。図１０は、液滴吐出装置を示す概略斜視図である。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、キャリッジ交換装置１９が基台９の両側に配置される点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【００７５】
図１０に示すように、液滴吐出装置８１は基台９を備えている。その基台９のＸ方向の両側には、一対の支持台１３ａ，１３ｂが立設され、その一対の支持台１３ａ，１３ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材８２が架設されている。そして、その案内部材８２の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール８３がＸ方向全幅にわたり凸設されている。この案内部材８２及び案内レール８３は基台９の両側に吐出して配置されている。
【００７６】
基台９のＸ方向における両側の側面にはキャリッジ交換装置１９が配置されている。キャリッジ交換装置１９は上部に受台１９ａを備え、この受台１９ａを昇降する昇降機構を内部に備えている。そして、２つのキャリッジ１７をキャリッジ１７の配列から分離して、待避可能になっている。
【００７７】
上述したように、本実施形態は、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、キャリッジ１７が配列する方向の基台９の両側にキャリッジ交換装置１９を備えている。そして、この２つのキャリッジ交換装置１９が占める場所と案内レール８３の占める場所とを用いてキャリッジを交換することにより、複数のキャリッジ１７を同時に交換することができる。その結果、生産性良くキャリッジ１７の交換ができる。
【００７８】
（第３の実施形態）
次に、上記の膜形成方法を応用して有機ＥＬ装置（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）を製造する一実施形態について図１１を用いて説明する。
【００７９】
まず、電気光学装置の一つである有機ＥＬ装置について説明する。図１１は、有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図である。
【００８０】
図１１に示すように、電気光学装置としての有機ＥＬ装置８６は、基板８７を備えている。基板８７の上側には、絶縁膜８８が形成されている。絶縁膜８８上には、コンタクト電極８９がマトリクス状に形成され、各コンタクト電極８９と隣接する場所には、スイッチング機能を有する半導体としてのＴＦＴ素子９０が形成されている。そして、ＴＦＴ素子９０のドレイン端子にコンタクト電極８９が接続されている。
【００８１】
各コンタクト電極８９及びＴＦＴ素子９０を囲むように、配線としての走査線９１及び配線としてのデータ線９２が格子状に形成されている。そして、走査線９１は、ＴＦＴ素子９０のゲート端子と接続され、データ線９２は、ＴＦＴ素子９０のソース端子と接続されている。
【００８２】
そして、コンタクト電極８９、ＴＦＴ素子９０、走査線９１、データ線９２等からなる素子層９３が形成されている。素子層９３の上側には、絶縁膜９４が形成され、絶縁膜９４の上側には、隔壁部９５が格子状に形成されている。
【００８３】
隔壁部９５により形成される凹状領域の各底部には、電極としての画素電極９６が形成され、画素電極９６は、コンタクト電極８９と電気的に接続されている。画素電極９６の上面には、発光素子としての正孔輸送層９７が形成され、正孔輸送層９７の上面には、発光素子としての発光層９８Ｒ，９８Ｇ，９８Ｂが形成されている。そして、正孔輸送層９７と発光層９８Ｒ，９８Ｇ，９８Ｂとにより発光素子としての機能層９９が形成されている。
【００８４】
発光層９８Ｒは、赤色を発光する有機発光材料等により構成された発光層であり、発光素子としての発光層９８Ｇは、緑色を発光する有機発光材料等により構成された発光層である。同様に、発光素子としての発光層９８Ｂは、青色を発光する有機発光材料等により構成された発光層である。
【００８５】
機能層９９及び隔壁部９５の上側全面に渡って、光透過性を有する導電性材料等からなる電極としての陰極１００が形成されている。本実施形態においては、陰極１００は、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ：インジウムスズ酸化物）を採用している。
【００８６】
陰極１００の上面には、光透過性を有する材料等からなる封止膜１０１が形成され、陰極１００及び機能層９９が空気中の酸素により酸化されることを防止している。
【００８７】
画素電極９６と陰極１００との間に電圧を印加するとき、正孔輸送層９７は、正孔のみを流動する。そして、発光層９８Ｒ，９８Ｇ，９８Ｂは、正孔輸送層９７から供給される正孔と陰極１００から供給される電子とが、合体するときのエネルギにより、発光する性質を持っている。ＴＦＴ素子９０は、スイッチング動作を行い、機能層９９にかける電圧をコントロールすることにより、発光層９８Ｒ，９８Ｇ，９８Ｂが発光する光量を制御する。このように、発光層９８Ｒ，９８Ｇ，９８Ｂが発光する光量を制御することにより、画素毎に光量をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。
【００８８】
画素電極９６は、ＴＦＴ素子９０のドレイン端子に電気的に接続されており、ＴＦＴを一定期間だけオン状態とすることにより、データ線９２から供給される画素信号が各画素電極９６に所定のタイミングで供給される。このようにして画素電極９６に供給された所定レベルの画素信号の電圧レベルは、陰極１００と画素電極９６との間で保持され、画素信号の電圧レベルに応じて、発光層９８Ｒ，９８Ｇ，９８Ｂが発光する光量が変化する。
【００８９】
画素電極９６の表面に正孔輸送層９７を形成する工程において、第１の実施形態における塗布方法を用いる。具体的には、液滴吐出装置８を用いて、この正孔輸送層の材料液を画素電極９６の表面に吐出して塗布する。その後、乾燥して固化することにより正孔輸送層９７を形成する。
【００９０】
このとき、第１の実施形態におけるキャリッジ交換判断工程と配置交換工程とを行う。つまり、各液滴吐出ヘッド１８が消費する正孔輸送層の材料液をキャリッジ１７毎に略同じ量にする。
【００９１】
さらに、正孔輸送層９７の表面に発光層９８Ｒ，９８Ｇ，９８Ｂを形成する工程において、第１の実施形態における乾燥方法を用いる。具体的には、液滴吐出装置８を用いて、この発光層の材料液を正孔輸送層９７の表面に吐出して塗布する。その後、乾燥して固化することにより発光層９８Ｒ，９８Ｇ，９８Ｂを形成する。
【００９２】
このとき、第１の実施形態におけるキャリッジ交換判断工程と配置交換工程とを行う。つまり、各液滴吐出ヘッド１８が消費する正孔輸送層の材料液をキャリッジ１７毎に略同じ量にする。
【００９３】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、機能層９９及び発光層９８Ｒ，９８Ｇ，９８Ｂを製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、正孔輸送層９７、発光層９８Ｒ，９８Ｇ，９８Ｂの膜厚を品質良く製造することができる。そして、膜厚の品質が良くなることにより、発光する光の色調を良くすることができる。さらに、膜厚の品質が良くなることにより、膜内の電流密度が均等にすることができる為、寿命を長くすることができる。
【００９４】
尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態において、消費量演算工程は塗布工程の後に行われているが、塗布工程の前に行われても良い。同様に、キャリッジ交換判断工程及び配置交換工程も塗布工程の後に行われているが、塗布工程の前に行われても良い。同様の効果を得ることができる。
【００９５】
（変形例２）
前記第１の実施形態において、液追加判断工程及び液追加工程は配置交換工程と液排出判断工程との間に行われているが、他の工程の順番でも良い。液追加判断工程及び液追加工程は塗布工程の前でも良く、塗布工程と消費量演算工程との間でも良い。さらに、液追加判断工程及び液追加工程は消費量演算工程とキャリッジ交換判断工程との間でも良く、液排出工程と終了判断工程との間でも良い。同様の効果を得ることができる。
【００９６】
（変形例３）
前記第１の実施形態において、液排出判断工程及び液排出工程は液追加工程と終了判断工程との間に行われているが、他の工程の順番でも良い。液排出判断工程及び液排出工程は塗布工程の前でも良く、塗布工程と消費量演算工程との間でも良い。さらに、液排出判断工程及び液排出工程は消費量演算工程とキャリッジ交換判断工程との間でも良く、配置交換工程と液追加判断工程との間でも良い。同様の効果を得ることができる。
【００９７】
（変形例４）
前記第３の実施形態において、有機ＥＬ装置を製造するとき第２の実施形態における液滴吐出装置８１を用いても良い。生産性良くキャリッジ１７を交換することができる。
【００９８】
（変形例５）
前記第１の実施形態において、キャリッジ交換装置１９を用いて第１キャリッジ１７ａを下降することにより、キャリッジ１７の配列から抜き出しているが、他の方法を用いても良い。例えば、案内レール１６にＹ方向にキャリッジ１７が移動可能な案内予備レールを追加して、一部のキャリッジ１７が案内予備レールに待避するようにしても良い。この方法を用いてもキャリッジ１７の配列順番を変更することができる。
【００９９】
（変形例６）
前記第１の実施形態では、キャビティ４５を加圧する加圧手段に、圧電素子４８を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板４７を変形させて、加圧しても良い。他に、キャビティ４５内にヒータ配線を配置して、ヒータ配線を加熱することにより、機能液４６を気化させたり、機能液４６に含む気体を膨張させたりして加圧しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板４７を変形させて、加圧しても良い。
【０１００】
（変形例７）
前記第１の実施形態において、カラーフィルタ１は同じ色のカラー素子３が直線状に配列するストライプ状のフィルタであるが、カラー素子３の配列はデルタ配置、モザイク配置等の配列にも採用することができる。
【０１０１】
（変形例８）
前記第１の実施形態において、カラーフィルタ１は３色のカラー素子３が配置されているが、３色に限らず、２色若しくは４色以上の色の場合にも適用することができる。
【０１０２】
（変形例９）
前記第１の実施形態では、制御装置５３のメモリ５５内に動作手順に沿ったプログラムソフト６５を記憶し、プログラムにより液滴吐出装置８の制御を行ったが、これに限らず、電気回路にて構成される制御装置にて制御しても良い。周辺機器が手順通りに制御されれば良い。
【０１０３】
（変形例１０）
前記第１の実施形態では、１つのキャリッジ交換装置１９が配置されたが、複数のキャリッジ交換装置１９を配置しても良い。そして、複数のキャリッジ交換装置１９を用いて複数のキャリッジ１７を同時に交換しても良い。さらに生産性良くキャリッジ１７を交換することができる。
【０１０４】
（変形例１１）
前記第２の実施形態では、基台９を挟んで２台のキャリッジ交換装置１９が配置されたが、３台以上のキャリッジ交換装置１９を配置しても良い。そして、複数のキャリッジ交換装置１９を用いて複数のキャリッジ１７を同時に交換しても良い。さらに生産性良くキャリッジ１７を交換することができる。
【０１０５】
（変形例１２）
前記第１の実施形態では、第１キャリッジ１７ａを配置する場所と第８キャリッジ１７ｈを配置する場所とを交換した。２つのキャリッジ１７の場所を交換して配列順を変更する以外にも、１つのキャリッジ１７を移動するだけでも良い。例えば、機能液４６の消費量の分布状態によっては、第１キャリッジ１７ａを配置する場所を第８キャリッジ１７ｈの隣に配置するだけにしても良い。他にも、３つ以上のキャリッジ１７の場所を相互に交換して、キャリッジ１７の配列順を変更しても良い。
【０１０６】
（変形例１３）
前記第１の実施形態では、キャリッジ交換装置１９がキャリッジ１７をＺ方向に移動してキャリッジ１７を待避させた。他にも、キャリッジ１７をＹ方向に待避させるキャリッジ交換装置を配置しても良い。キャリッジ１７を移動させ易い方法で待避しても良い。
【０１０７】
（変形例１４）
前記第１の実施形態では、キャリッジ交換装置１９が１つのキャリッジ１７を待避されて、案内レール１６に沿ってキャリッジ１７を移動して、配列順を変更した。他にも、総てのキャリッジ１７の配列順を変更する配列変更装置を配置しても良い。そして、総てのキャリッジ１７をこの配列変更装置に移動して、配列を変更した後、キャリッジ１７を案内レール１６に移動しても良い。この方法においても、同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】第１の実施形態に係り、（ａ）は、カラーフィルタを示す模式平面図、（ｂ）は、カラーフィルタを示す模式側面図。
【図２】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図３】（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図、（ｂ）は、キャリッジを示す模式側面図、（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。
【図４】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図５】基板に機能液を塗布する製造工程を示すフローチャート。
【図６】（ａ）は、液滴吐出ヘッドから基板へ機能液を吐出する工程を説明する図、（ｂ）は、液滴吐出ヘッドが基板上を通るパスを説明する図、（ｃ）は、各キャリッジの消費量の分布を示す図。
【図７】キャリッジ交換方法を説明する図。
【図８】キャリッジ交換方法を説明する図。
【図９】液排出工程を説明する図。
【図１０】第２の実施形態に係る液滴吐出装置を示す概略斜視図。
【図１１】第３の実施形態に係る有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図。
【符号の説明】
【０１０９】
２…ワークとしての基板、８…液滴吐出装置、１６…配列変更部としての案内レール、１７…キャリッジ、１８…液滴吐出ヘッド、１９…配列変更部としてのキャリッジ交換装置、２５…ノズル、４６…液状体としての機能液、７４…配列順演算部、７８…消費量。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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