(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アゾベンゼンを含むポリマーフィルムの表面に表面レリーフグレーティングが記録されてなるホログラムであって、
上記表面レリーフグレーティングは、参照光と物体光を干渉させて形成された空間的な強度分布が、ポリマーフィルムの表面に記憶されたものであり、上記ホログラムにレーザ光又は白色光を照射させると、上記表面レリーフグレーティングの透過光又は反射光は、記録時と同様な物体の状態を再現することができるとともに、上記表面レリーフグレーティングは、光を照射することにより消去、書き換えが可能であり、
上記ポリマーフィルムの表面に記録された表面レリーフグレーティングは、コロナ帯電することにより、その表面レリーフ深さが増加されて回折効率が増強された構成であることを特徴とするホログラム。
【請求項２】
アゾベンゼンを含むポリマーフィルムの表面に、参照光と物体光を干渉させ、空間的な強度分布を作り、ポリマーフィルムの表面に表面レリーフグレーティングとして記録することによって、レーザ光又は白色光を照射すると上記表面レリーフグレーティングの透過光又は反射光は記録時と同様な物体の状態を再現することができるとともに、上記表面レリーフグレーティングに光を照射することにより消去、書き換えが可能ホログラムを、作製成する方法であって、
上記ポリマーフィルムの表面に記録された表面レリーフグレーティングを、コロナ帯電して、表面レリーフ深さを増加させて回折効率を増強することを特徴とするホログラムの作製方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アゾポリマーフィルムへ表面レリーフグレーティング（「ＳＲＧ」という。）を形成して成る、フーリエ変換ホログラムやフレネルホログラム等のホログラム及びその作製方法に関し、特に、回折効率（ホログラムを再生するとき、一次又は特定の高次）回折像の方向を回折する光との強度の比をいう。）の増強可能なことを特徴とするオフアクシス型のホログラム及びその作製方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ホログラムは、近年、光メモリ、各種のディスプレー、干渉計測計、カード等におけるセキュリーティ表示手段等各種の用途に幅広く利用されているところである。
【０００３】
ホログラム記録材料に必要な特性として、感度、解像度、最大回折効率、ＳＮ比などが上げられる。これまで高感度、高解像度である銀塩が一般的に用いられてきた。
【０００４】
また、高強度レーザーが簡単に利用できるようになったことにより、フォトリフラクティブ結晶やフォトポリマーなどがホログラム材料として使われるようになった。これらの材料は銀塩に比べて高解像度、現像がいらず実時間再生が可能であるなどの優れた特徴を有している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のホログラム記録材料で作成されたホログラムは、その記録材料の表面に一度、表面レリーフグレーティングを形成すると、回折効率を増強したり、消去して書き換えたり、簡単に複製したりすることはできず、即ち、ホログラムを積極的に制御することができない。
【０００６】
本発明に係るホログラム及びその作成方法は、従来のホログラム記録材料で形成されたホログラムの上記問題点を解決することを目的とするものであり、簡単に回折効率を増強することができてより明瞭なホログラム再生像を得られ、ホログラムの記録内容を簡単に消去、書き換えが可能であり、しかも簡単に複製可能な、極めて制御性に富み、光メモリ、ディスプレー装置、干渉計測計等各種の用途に利用可能なホログラムを実現することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために、アゾベンゼンを含むポリマーフィルムの表面に表面レリーフグレーティングが記録されてなるホログラムであって、上記表面レリーフグレーティングは、参照光と物体光を干渉させて形成された空間的な強度分布が、ポリマーフィルムの表面に記憶されたものであり、上記ホログラムにレーザ光又は白色光を照射させると、上記表面レリーフグレーティングの透過光又は反射光は、記録時と同様な物体の状態を再現することができることを特徴とするホログラムを提供する。
【０００８】
上記表面レリーフグレーティングは、コロナ帯電することにより回折効率の増強又は変調が可能である。
【０００９】
上記表面レリーフグレーティングは、光を照射することにより消去、書き換えが可能である。
【００１０】
本発明は上記課題を解決するために、アゾベンゼンを含むポリマーフィルムの表面に、参照光と物体光を干渉させ、空間的な強度分布を作り、該強度分布をポリマーフィルムの表面に表面レリーフグレーティングとして記録することを特徴とするホログラムの作製方法を提供する。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明に係るホログラム及びその作成方法の実施の形態を、実施例に基づいて図面を参照して以下説明する。
【００１２】
本発明は、アゾポリマーフィルム（アゾベンゼン高分子膜）の表面に、参照光と物体光を干渉させ、空間的な強度分布を作り、この強度分布を、アゾポリマーフィルムの表面に、表面レリーフグレーティングとして記録して作製するホログラムである。このような表面レリーフグレーティングが記録されたホログラムに、レーザ光又は白色光を照射させると、その透過光又は反射光は、記録時と同様な物体の状態を再現することができる。
【００１３】
この表面レリーフグレーティングの回折効率は、書込み偏光、照射エネルギー（強度×時間）に強く依存する。また、現像がいらず実時間の再生が可能であるとともに、記録一消去一記録の繰り返し使用が可能であるという特徴を有する。
【００１４】
このような表面レリーフグレーティングをアゾポリマーフィルムの表面に記録するメカニズム（原理）は、明確に解明はされてはいないが、アゾポリマーフィルムが光の照射を受けると、アゾベンゼン体が変形を生じることが原因と考えられる。
【００１５】
即ち、アゾベンゼンを側鎖に持つ高分子に、吸収波長のレーザ光を照射すると、アゾ基が安定なトランス体からシス体へと変化する。そして、再度シス体からトランス体に戻る過程で表面に表面レリーフが生じることが原因と考えられる。
【００１６】
これをさらに具体的に説明する。本発明の後述する実施例では、次の化学式１に示す構造のＰｏｌｙ−ｏｒａｎｇｅ  ｔｏｍ−１  ｉｓｏｐｈｏｒｏｎｅｄｉｓｏｃｙａｎａｔｅ（ポリオレジトム１）を用いるが、吸収のある光を照射することにより、化学式２に示すように、アゾ基がトランス体からシス体に変化する。再度シス体からトランス体に戻る。それを繰り返す間にポリマーが、照射光の強度（の勾配）によって生じる放射圧に応じて移動すると考えられる。
【００１７】
【化１】
0004600711.tif 000002
【００１８】
【化２】
0004600711.tif 000003
【００１９】
以上要するに、アゾポリマーフィルム等のアゾ色素を持つポリマーフィルムは、光異方性を有し、この異方性効果は、光の偏光状態及び強度に対応したトランス体−シス体−トランス体の光異性化及びアゾ分子の配向効果により生じるものである。本発明は、この効果を利用して、偏光方向を変えて干渉させ、空間的な強度分布及び偏光分布を作ることで、表面レリーフグレーティングを作製するものである。
【００２０】
ところで、このようにアゾポリマーフィルムに干渉縞を照射することで作製される表面レリーフグレーティングの回折効率は、照射エネルギー及び書き込み時間に強く依存する。そこで、この点を確認するために、ポリオレンジトムをガラス基板上にスピンコートして作製し、表面レリーフグレーティングの書込み時間依存性を測定した。
【００２１】
図１は、表面レリーフグレーティングの時間依存性の測定、評価のために利用した表面レリーフグレーティングの書込み（記録）及び評価の光学装置である。光源は波長４８８ｎｎｍのＡｒ−イオンレーザー１を用い、λ／４板１０により円偏光にする。
【００２２】
レーザー光はコリメータ２により直径６ｍｍにコリメートされ、ビームスプリッター３により２本に分けられた後、１本は直接、他の１本はミラー４を介してアゾポリマーフィルム５上で干渉させて表面レリーフグレーティングを作製した。そして、表面レリーフグレーティングの時間依存性を評価するために、波長６３３ｎｍのＨｅ−Ｎｅレーザー６を表面レリーフグレーティングに入射し、１次回折光を検知器７で測定した。
【００２３】
図２は、アゾポリマーフィルムの表面レリーフグレーティングの１次回折効率の時間依存性を示したものである。表面レリーフグレーティングは約１μｍ、２μｍのポリオレンジトムに、物体光強度８８ｍＷ／ｃｍ２、参照光強度１９３ｍＷ／ｃｍ２で書込んだ。表面レリーフグレーティングの周期が約１μｍになるように物体光と参照光間の角度を設定した。
【００２４】
この結果、図２に示すように、同じ膜厚では強い強度で書込むことで短時間で高い回折効率を得ることができ、また同じ書込み強度の場合では膜厚が厚い方が高い回折効率を得ることができる。このように数分の照射により数％の回折効率が得られることが分かる。
【００２５】
（実施例１）
以下、アゾポリマーフィルムを用いたホログラムの実施例１として、フーリエ変換ホログラムについて説明する。この実施例１では、図３に示す光学装置によりアゾポリマーフィルム８上に、表面レリーフグレーティングの書込み（記録）を行いフーリエ変換ホログラム９を作製した。
【００２６】
Ａｒ−イオンレーザー１からのレーザー光は、λ／４板１０で円偏光とされ、コリメータ２を通してコリメートされ、ビームスプリッター３によってほぼ同強度の２本の光線に分けられる。このうち一本の光線は、記録物体１１を通過し、さらにフーリエレンズ１２を通りフーリエ変換された物体光となり、他の一本の光線はミラー４で反射されて参照光となる。これらの物体光と参照光の干渉による強度分布が、記録材料であるアゾポリマーフィルム８の表面に表面レリーフグレーティングとして記録される。
【００２７】
記録物体１１としては、図４に示す縦４ｍｍ、横３ｍｍのＯＨＰシートに記録した文字Ａ及びＥの画像を光路上においた。記録材料（サンプル）であるアゾポリマーフィルム８は、膜厚が約１μｍ及び２μｍのポリオレンジトムを用いた。記録画像の読み出しは図５に示すように、アゾポリマーフィルム８にＨｅ−Ｎｅレーザーからのレーザー光を透過させて、その透過光をフーリエ逆変換用のフーリエレンズ１３を通してカメラ１４で撮影するという光学装置を用いて行った。
【００２８】
このようにして作製されたフーリエ変換ホログラム９の１次回折効率の書込み時間依存を図６に示す。書込み強度は、物体光＝参照光＝１１８ｍＷ／ｃｍ２、５０ｍＷ／ｃｍ２である。ただし、物体光がフーリエレンズ１２によりフーリエ変換されているため、アゾポリマーフィルム８上での正確なパワー密度までは把握できない。読み出し光のビーム径は約１ｍｍである。
【００２９】
この実験の結果から、書込み時間は１分程度で十分であることがわかる。１０分程度の照射では、回折効率は上昇しているが、実体顕微鏡による観察では中心に穴があいていた。これは、フーリエ変換の低周波成分、つまり０次項が強いため、ブリーチング又はアブレーションにより生じたと考えられる。
【００３０】
図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、アゾポリマーフィルム８として実際に採用した膜厚約２ｕｍのポリオレンジトムに１分間書込んだ文字Ａ及びＥの再生画像である。図７（ａ）はレーザーを直入射して±１次回折光を観察したもので、図７（ｂ）、図７（ｃ）は図５に示すような光学装置で、１次回折光を画像として再生し観察したものである。それぞれの１次回折効率は直径１ｍｍのレーザー光で約１．２％及び約１％であり、直径６ｍｍのレーザー光では約０．１％及び０．１７％であった。
【００３１】
２つの文字Ａ、Ｅの記録されたフーリエ変換ホログラム９の回折効率はほぼ同じである。この回折効率は小さいが、参照光及び物体光間の強度の最適化を行うことによりさらに高い回折効率が得られ、実用化に供せられるものである。
【００３２】
次に、アゾポリマーフィルム上に記録された文字Ａ及びＥのフーリエ変換ホログラムによる１次回折光を、図５に示す光学装置ではなく、図８に示すように白色光源からの白色光を照射して反射させてカメラ（デジタルカメラを利用）１５で撮影し観察した。この撮影結果を図９（ａ）、（ｂ）に示す。図９（ａ）、（ｂ）から、記録されたフーリエ変換ホログラムにより白色光が回折され、明るい画像となっているのが確認できる。
【００３３】
図１０は、以上説明したようなホログラムについて、特に後述するコロナ帯電等の処理をせずに、その表面を微分干渉顕微鏡（ＤＩＣＭ）により観察（倍率４０倍）したものである。この場合のホログラムの書込み条件は次の通りである。膜厚１μｍのポリオレンジトムに物体光＝参照光＝８８ｍＷ／ｃｍ２で１分間書込んだ。干渉縞の周期は１μｍになるように設定した。図１０において、ホログラムの表面にグレーティングが書込まれていることが分かる。
【００３４】
次に、アゾポリマーフィルムによるホログラムの解像度を評価するために、解像度チャート（解像度を評価するために通常用いられる図）の記録を行った。書込み強度は物体光＝参照光＝１１８ｍＷ／ｃｍ２であり、書込み時間は１０分である。また、干渉縞の周期が１μｍになるように参照光の角度を設定した。
【００３５】
このようにして書き込んで得られるフーリエ変換パターンを、図５と同様の光学装置で再生した再生像を図１１（ａ）に示す。又、同じくフーリエ変換パターンを、図８と同様に白色光源で照射してその反射光をカメラ（デジタルカメラを利用）１５で撮影して得られたフーリエ変換パターンを図１１（ｂ）に示す。
【００３６】
この場合、直径６ｍｍのレーザー光入射による１次回折効率は約１．４２％である。再生像はデジタルカメラで撮影しているため、その解像度の影響を受けていると考えられる。また、フーリエ変換パターンを記録しているため、高周波成分が記録されず、高い解像度が得られないことも考えられる。
【００３７】
ここで、イメージホログラムによる再生像を図１２に示す。作製条件は同じであり、直径６ｍｍのレーザー光入射による１次回折効率は約１．０７％である。
この場合、はっきりした画像が観察された。
【００３８】
本発明のホログラムは、コロナ帯電することで表面レリーフグレーティングの回折効率を増加できるという特徴を有している。これを利用すれば、弱い物体光及び参照光の干渉で形成された小さな回折効率の表面レリーフグレーティングでも、その回折効率を増強し、より見やすい画像を再生することができる。そこで、本発明に係るフーリエ変換ホログラムで作製した表面レリーフ型ホログラムの回折効率の増強を確認する実験を行った。
【００３９】
この実験例の実験条件及び実験結果を次の表１に示す。この実験例では、膜厚１μｍのポリマーフィルムを用い、図３に示すと同様の光学装置及び作製方法で記録物体を記録し、フーリエ変換ホログラムを作成した。このフーリエ変換ホログラムを表１に示すケース１及びケース２のそれぞれの条件でコロナ帯電を利用して増強した。これら２つのケースの違いはコロナ帯電温度のみである。
【００４０】
【表１】
0004600711.tif 000004
【００４１】
この実験例の結果について表１を見ると、直径１ｍｍのＨｅ−Ｎｅレーザー光を入射してコロナ帯電前後で測定された文字Ａの１次回折効率は、ケース１では０．２８％から４．７３％まで、ケース２では０．２４％から２８．３９％まで増加した。また、文字Ｅでも０．４９％から３２．６％への増加が観測された。
【００４２】
次に、この増加の原因を確かめるために、ポリマーフィルム（記録材料）に記録されたフーリエパターン付近を、ＡＦＭを利用して観察した。この観察結果を、図１３（ａ）、（ｂ）に示す。これは、ケース２の条件で作製したコロナ帯電前後の文字Ａのフーリエ変換パターン（中心付近）の表面図を示す。
【００４３】
測定されたコロナ帯電前後の表面レリーフ深さは、約２０ｎｍ、約３５０ｎｍであり、コロナ帯電により表面レリーフ深さが増加していることが確認できた。このことから、回折効率の急激に増加した原因が表面レリーフ探さの増加によるものであることが確認できた。
【００４４】
このように、コロナ帯電による回折効率の増強効果を利用することで、文字Ａ、Ｅ両方において最大約３０％の回折効率が得られる事が分かった。ただし、コロナ帯電の効果が強いと回折効率は上昇するが、表面に絶縁破壊による小さな穴があいてしまい、散乱が大きくなってしまう傾向がある。
【００４５】
従って、コロナ帯電による回折効率の増強効果を図る際には、散乱に注意して行う必要がある。また、この実験例では表１に示すように、読み出し光のビーム径を１ｍｍ及び６ｍｍで測定しているが、これからフーリエ変換された情報がどの範囲に広がっているかが把握できる。
【００４６】
（実施例２）
次に本発明に係るホログラム及びその作成方法の実施例２として、フレネルホログラムについて説明する。実施例２は、表面レリーフグレーティングを用いて２次元画像の記録が形成されたフレネルホログラムである。
【００４７】
図１４は記録光学装置であり、フレネルホログラムの配置と同じである。光源として、ＣＷのＮｄ：ＹＡＧレーザー（５３２ｎｍ）１６を用いた。レーザーはλ／２板１７を通して円偏光とし、これをコリメーター２により直径６ｍｍに広げられる。記録材料であるアゾポリマーフィルム１８は膜厚約１μｍのポリオレンジトムである。
【００４８】
記録物体１９は、図１５（ａ）、（ｂ）に示されるように、それぞれＯＨＰシートに大きさ縦４ｍｍ、横３ｍｍで記録した文字Ａ、Ｂの画像である。この画像Ａ、Ｂを光路上において、図１４に示す光学装置で、参照光と物体光を干渉させ空間的な強度分布を形成し、これをアゾポリマーフィルム１８の表面に、表面レリーフグレーティングとして書き込みフレネルホログラム２０を作製する。
【００４９】
画像の再生は、図１６（ａ）に示すようにＨｅ−Ｎｅレーザーからのレーザー光をフレネルホログラム２０を透過して、その透過光をカメラ１４で撮影する（再生手段１）か、図１６（ｂ）に示すように白色光をフレネルホログラムで反射させて、その反射光をカメラ１５で撮影する（再生手段２）、という２つの手段のいずれかによって行われる。
【００５０】
この実施例２では、画像Ａの記録については、記録強度は物体光強度２６１ｍＷ／ｃｍ２、参照光強度２２５ｍＷ／ｃｍ２で１０分間記録した。周期は約１．１μｍである。図１７（ａ）、（ｂ）は、それぞれ再生手段１、２による再生像であり、フレネルホログラムとして画像Ａが記録されていることが確認できる。この時、１次回折光強度は約８．６％であった。
【００５１】
次に、参照光の角度を変えることで画像の多重記録を行った。記録条件は次の通りである。書込み強度及び時間は、物体光強度２６１ｍＷ／ｃｍ２、参照光強度２２５ｍＷ／ｃｍ２で１０分間記録されたＡ、Ｅの周期はそれぞれ約１．１μｍ、０．８μｍである。
【００５２】
図１８は、多重記録を行って得られたフレネルホログラムを再生再生法１により再生した再生画像であり、再生画像は違った互いに異なる位置で観測される。再生画像のＡ、Ｅの１次回折効率は、それぞれ約４．７％、４．９％である。
【００５３】
図１９は、多重記録を行って得られたフレネルホログラムを再生法２により再生した再生画像であり、参照光の角度を変えて入射し、観察している。図２０のようにＡとＥを別々に観測することができ、これにより画像の角度多重記録が行えることが確認できた。
【００５４】
さらに、回折効率をさらに上げるために、コロナ帯電による増強を行った。コロナ帯電の条件は、印加電圧、時間、温度、電流が、それぞれ３．２ｋＶ、２０分、１４１℃、１〜２μＡである。このコロナ帯電により、書込んだ画像Ａの１次回折効率は約３８％とかなり大きな値を持たせることができた。
【００５５】
本発明に係るホログラムの特徴は、ホログラム記録画像の変調（ホログラムの回折効率が電圧で変化すること。）が可能であることである。画像Ａ、Ｂを記憶したフレネルホログラムのサンプルをコロナ帯電電荷によりポーリングして電気光学効果（電圧印加による材料の屈折率変化）を持たせ、画像の変調実験を行った。面ではなく点でレーザー光を画像の一部分に入射し、変調を行った。電圧はＩＴＯ電極をサンプルの上下面に圧着して取付け、この上下のＩＴＯ電極間に印加した。
【００５６】
図２１は１次回折効率の変調結果を示す。この時の回折効率は１１．３％であり、１ｋＨｚ、３０Ｖｐ−ｐでの変調効率（電圧をかけたときの回折効率の変化分／電圧をかけないときの回折効率）は、約０．５１％であった。このように、変調可能な画像を書込むことができた。
【００５７】
以上、本発明の実施の形態を実施例に基づいて説明したが、本発明は以上の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲記載の技術的事項の範囲内でいろいろな実施例があることは言うまでもない。
【００５８】
【発明の効果】
以上の構成から成る本発明に係るホログラムによれば、コロナ帯電により簡単に回折効率を増強し、変調することができるからホログラム作製時の参照光及び物体光は弱い光であっても、増強することにより明瞭なホログラム再生像を得られ、又、ホログラムの記録内容を簡単に消去、書き換えによる繰り返しの使用が可能であり、しかも簡単に複製可能であり、光メモリ、ディスプレー装置、干渉計測計等各種の用途に幅広く利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るホログラムの基本となる、アゾポリマーフィルムに表面レリーフグレーティングを作製する光学装置に一例を示す図である。
【図２】図１の光学装置で表面レリーフグレーティング作製する場合、回折効率の書き込み時間（参照光、物体光の照射時間）の依存状態を示すグラフである。
【図３】本発明に係るホログラムの実施例１として説明するフーリエ変換ホログラムを作製する光学装置を示す図である。
【図４】実施例１でアゾポリマーフィルムに書き込む記録物体である画像（書き込み画像）を示す図である。
【図５】実施例１のフーリエ変換ホログラムの画像の再生手段を説明する図である。
【図６】実施例１のフーリエ変換ホログラムの画像の回折効率の書き込み時間（参照光、物体光の照射時間）の依存状態を示すグラフである。
【図７】実施例１のフーリエ変換ホログラムによる回折光、再生像を示す図である。
【図８】実施例１のフーリエ変換ホログラムの画像の別の再生手段を説明する図である。
【図９】実施例１のフーリエ変換ホログラムによるフーリエ変換パターンを示す図である。
【図１０】実施例１のフーリエ変換ホログラムの表面のＤＩＣＭによる観察された状態を示す図である。
【図１１】実施例１のフーリエ変換ホログラムによる解像度チャートの再生像及びフーリエ変換パターンを示す図である。
【図１２】イメージホログラムによる解像度チャートを示す図である。
【図１３】ＡＦＭにより観察したフーリエ変換ホログラムのコロナ帯電前後の表面図である。
【図１４】本発明に係るホログラムの実施例２として説明するフレネルホログラムの記録光学装置を示す図である。
【図１５】実施例２のフーリエ変換ホログラムで記録する記録物体である画像（書き込み画像）を示す図である。
【図１６】実施例２のフーリエ変換ホログラムの画像再生手段を示す図である。
【図１７】実施例２のフーリエ変換ホログラムの再生画像を示す図である。
【図１８】実施例２のフーリエ変換ホログラムの再生画像を示す図である。
【図１９】実施例２のフーリエ変換ホログラムの再生画像を示す図である。
【図２０】実施例２のフーリエ変換ホログラムを変調した場合の再生画像を示す図である。
【図２１】実施例２のフーリエ変換ホログラムを変調する際の、変調効率の印加電圧の依存性を示す図である。
【符号の説明】
１    Ａｒイオンレーザー
２    コリメーター
４    ミラー
５、８、１８    アゾポリマーフィルム
６    Ｈｅ−Ｎｅレーザー
７    検知器
９    フーリエ変換ホログラム
１０    λ／４板
１１    記録物体
１２、１３    フーリエレンズ
１４、１５    カメラ
１６    ＹＡＧレーザー
１７    λ／２板
１９    記録物体
２０    フレネルホログラム
【図１】
0004600711.tif 000005
【図２】
0004600711.tif 000006
【図３】
0004600711.tif 000007
【図４】
0004600711.tif 000008
【図５】
0004600711.tif 000009
【図６】
0004600711.tif 000010
【図７】
0004600711.tif 000011
【図８】
0004600711.tif 000012
【図９】
0004600711.tif 000013
【図１０】
0004600711.tif 000014
【図１１】
0004600711.tif 000015
【図１２】
0004600711.tif 000016
【図１３】
0004600711.tif 000017
【図１４】
0004600711.tif 000018
【図１５】
0004600711.tif 000019
【図１６】
0004600711.tif 000020
【図１７】
0004600711.tif 000021
【図１８】
0004600711.tif 000022
【図１９】
0004600711.tif 000023
【図２０】
0004600711.tif 000024
【図２１】
0004600711.tif 000025