(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
設置面に設置されワークが載置されるテーブルを具備したテーブル装置であって、前記テーブルを所定方向に駆動せしめる駆動機構が設けられ、前記駆動機構による駆動に起因して前記テーブルに生じるローリングを吸収する第一揺動吸収機構と、前記駆動機構による駆動に起因して前記テーブルに生じるピッチングを吸収する第二揺動吸収機構と、前記駆動機構による駆動に起因して前記テーブルに生じる上下動を吸収する上下動吸収機構とが設けられ、前記駆動機構は直線駆動用のアクチュエータであり、このアクチュエータの移動部と前記テーブルを支持し垂直方向に延設される支持体とは、前記第一揺動吸収機構，前記第二揺動吸収機構及び前記上下動吸収機構を介して連結されており、前記第一揺動吸収機構は、前記アクチュエータの移動部に固着されたベアリングＡであり、このベアリングＡには前記移動部の移動方向と同方向に延設される軸体が挿入されており、また、このベアリングＡは前記軸体の回転を許容すると共に該軸体の軸方向への移動を阻止するように構成され、また、前記第二揺動吸収機構は、前記軸体に固着された連結体に固着されるベアリングＢであり、このベアリングＢには前記支持体に摺動自在に被嵌された摺動体に連結される連結軸体が挿入されており、また、このベアリングＢは前記連結軸体の回転を許容すると共に該連結軸体の軸方向への移動を阻止するように構成され、この連結軸体は前記摺動体に前記軸体と水平方向に直交する状態で固着され、また、前記上下動吸収機構は、前記摺動体であり、この摺動体は該摺動体の前記支持体に対する摺動移動を許容すると共に該摺動体に対する前記支持体の回転を阻止するように構成されていることを特徴とするテーブル装置。
【請求項２】
請求項１記載のテーブル装置において、前記支持体の外面及び前記摺動体の内面には溝が形成され、この溝にはボールが配設されていることを特徴とするテーブル装置。
【請求項３】
請求項１，２いずれか１項に記載のテーブル装置において、前記支持体には該支持体と前記設置面との間隔を一定に保持する間隔保持機構が設けられていることを特徴とするテーブル装置。
【請求項４】
請求項３記載のテーブル装置において、前記間隔保持機構はエアーベアリングであることを特徴とするテーブル装置。
【請求項５】
請求項１〜４いずれか１項に記載のテーブル装置において、前記駆動機構は、前記テーブルを第二方向に駆動せしめる直線駆動用のアクチュエータから成る第一駆動機構と、前記テーブルを前記第二方向と直交する第一方向に駆動せしめる直線駆動用のアクチュエータから成る第二駆動機構とで構成されていることを特徴とするテーブル装置。
【請求項６】
請求項５記載のテーブル装置において、前記第二駆動機構の移動部は前記第一駆動機構のハウジングに連結され、この第二駆動機構の移動部の移動により前記第一駆動機構を前記第一方向に移動するように構成され、前記第一揺動吸収機構は前記第一駆動機構の移動部に固着されていることを特徴とするテーブル装置。
【請求項７】
請求項５，６いずれか１項に記載のテーブル装置において、前記第一揺動吸収機構若しくは第二揺動吸収機構のいずれか一方は、前記第一駆動機構による駆動に起因してテーブルに生じるローリングを吸収すると共に前記第二駆動機構による駆動に起因してテーブルに生じるピッチングを吸収するように構成され、他方は、前記第一駆動機構による駆動に起因してテーブルに生じるピッチングを吸収すると共に前記第二駆動機構による駆動に起因してテーブルに生じるローリングを吸収するように構成されていることを特徴とするテーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テーブル装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、図１に図示したように、ハウジング63，64内に、モーター65により回動する螺子杆66，67と該螺子杆66，67に螺着されるナット体68，69とを配置して成る２つの駆動部、具体的には下側の第一駆動部61と上側の第二駆動部62とを積層して成るテーブル装置が提案されている（尚、第二駆動部62のモーターは図示省略。）。
【０００３】
このテーブル装置は、第一駆動部61のナット体68と第二駆動部62のハウジング64とが連結され、また、第二駆動部62のナット体69とテーブル72とが連結され、第一駆動部61のナット体68は第一方向（図１中左右方向）に、第二駆動部62のナット体69は第一方向と直交する第二方向（図１中奥行き方向）に移動するもので、該テーブル72上のワーク71を両方に移動させるものである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、図１の構成のテーブル装置においては、ナット体68，69を螺動させる際にテーブル72にピッチング，ローリングや上下動が生じることは避けられず、テーブル装置が設置される設置面73を精度良く平坦面に設定しても、前記ピッチング等により誤差が生じてしまい、結局テーブル72上面の精度に前記設置面73の精度が良好に反映されず、例えば高精度が要求される三次元形状測定等をこのテーブル72上のワーク71に対して行えるようにすることは厄介である。
【０００５】
本発明は、上述のような現状に鑑み、設置面の精度をテーブルに良好に反映させることができ、安価な駆動機構を用いても精密移動制御に対応可能な極めて実用性に秀れたテーブル装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【０００７】
設置面３に設置されワーク１が載置されるテーブル２を具備したテーブル装置であって、前記テーブル２を所定方向に駆動せしめる駆動機構４が設けられ、前記駆動機構４による駆動に起因して前記テーブル２に生じるローリングを吸収する第一揺動吸収機構６と、前記駆動機構４による駆動に起因して前記テーブル２に生じるピッチングを吸収する第二揺動吸収機構７と、前記駆動機構４による駆動に起因して前記テーブル２に生じる上下動を吸収する上下動吸収機構８とが設けられ、前記駆動機構４は直線駆動用のアクチュエータであり、このアクチュエータの移動部と前記テーブル２を支持し垂直方向に延設される支持体13とは、前記第一揺動吸収機構６，前記第二揺動吸収機構７及び前記上下動吸収機構８を介して連結されており、前記第一揺動吸収機構６は、前記アクチュエータの移動部に固着されたベアリングＡであり、このベアリングＡには前記移動部の移動方向と同方向に延設される軸体11が挿入されており、また、このベアリングＡは前記軸体11の回転を許容すると共に該軸体11の軸方向への移動を阻止するように構成され、また、前記第二揺動吸収機構７は、前記軸体11に固着された連結体22に固着されるベアリングＢであり、このベアリングＢには前記支持体13に摺動自在に被嵌された摺動体14に連結される連結軸体12が挿入されており、また、このベアリングＢは前記連結軸体12の回転を許容すると共に該連結軸体12の軸方向への移動を阻止するように構成され、この連結軸体12は前記摺動体14に前記軸体11と水平方向に直交する状態で固着され、また、前記上下動吸収機構８は、前記摺動体14であり、この摺動体14は該摺動体14の前記支持体13に対する摺動移動を許容すると共に該摺動体14に対する前記支持体13の回転を阻止するように構成されていることを特徴とするテーブル装置に係るものである。
【０００８】
また、請求項１記載のテーブル装置において、前記支持体13の外面及び前記摺動体14の内面には溝が形成され、この溝にはボールが配設されていることを特徴とするテーブル装置に係るものである。
【０００９】
また、請求項１，２いずれか１項に記載のテーブル装置において、前記支持体13には該支持体13と前記設置面３との間隔を一定に保持する間隔保持機構15が設けられていることを特徴とするテーブル装置に係るものである。
【００１０】
また、請求項３記載のテーブル装置において、前記間隔保持機構15はエアーベアリングであることを特徴とするテーブル装置に係るものである。
【００１１】
また、請求項１〜４いずれか１項に記載のテーブル装置において、前記駆動機構４は、前記テーブル２を第二方向♭に駆動せしめる直線駆動用のアクチュエータから成る第一駆動機構４ａと、前記テーブル２を前記第二方向♭と直交する第一方向♯に駆動せしめる直線駆動用のアクチュエータから成る第二駆動機構４ｂとで構成されていることを特徴とするテーブル装置に係るものである。
【００１２】
また、請求項５記載のテーブル装置において、前記第二駆動機構４ｂの移動部は前記第一駆動機構４ａのハウジングに連結され、この第二駆動機構４ｂの移動部の移動により前記第一駆動機構４ａを前記第一方向♯に移動するように構成され、前記第一揺動吸収機構６は前記第一駆動機構４ａの移動部に固着されていることを特徴とするテーブル装置に係るものである。
【００１３】
また、請求項５，６いずれか１項に記載のテーブル装置において、前記第一揺動吸収機構６若しくは第二揺動吸収機構７のいずれか一方は、前記第一駆動機構４ａによる駆動に起因してテーブル２に生じるローリングを吸収すると共に前記第二駆動機構４ｂによる駆動に起因してテーブル２に生じるピッチングを吸収するように構成され、他方は、前記第一駆動機構４ａによる駆動に起因してテーブル２に生じるピッチングを吸収すると共に前記第二駆動機構４ｂによる駆動に起因してテーブル２に生じるローリングを吸収するように構成されていることを特徴とするテーブル装置に係るものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は上述のように構成したから、テーブルに生じるピッチングやローリング、上下動を吸収して設置面の精度をテーブルに良好に反映させることができ、安価な駆動機構を用いても精密移動制御に対応可能な極めて実用性に秀れたテーブル装置となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
【００１６】
テーブル２を駆動する際に生じるピッチング，ローリング及び上下動が第一揺動吸収機構６，第二揺動吸収機構７及び上下動吸収機構８により吸収されるから、ワーク１が載置されるテーブル２の、設置面３に対する誤差は可及的に少なくなってテーブル装置が設置される設置面３の精度をテーブル２に反映させることができ、よって、上記ピッチング，ローリング及び上下動が生じ易い安価な駆動機構を用いても簡易な構成で精密移動制御に対応可能でそれだけコスト安となる。
【実施例１】
【００１７】
本発明の具体的な実施例１について図２〜４に基づいて説明する。
【００１８】
実施例１は、ワーク１が載置されるテーブル２が具備せしめられ、設置面３に設置されるテーブル装置であって、前記テーブル２を所定方向に駆動せしめる駆動機構４が設けられ、更に、前記駆動機構４による駆動に起因して前記テーブル２に生じるローリングを吸収する第一揺動吸収機構６と、前記駆動機構４による駆動に起因して前記テーブル２に生じるピッチングを吸収する第二揺動吸収機構７と、前記駆動機構４による駆動に起因して前記テーブル２に生じる上下動を吸収する上下動吸収機構８とが設けられているものである。
【００１９】
各部を具体的に説明する。
【００２０】
駆動機構４としては、図２に図示したようなテーブル２を直線駆動せしめるアクチュエータ４ａが採用されている。このアクチュエータ４ａは、不動部16と該不動部16に対して直動する直動部18（移動部）とを有し、該直動部18を前記不動部16に対して直動させることで、前記テーブル２を直線駆動せしめ得るように構成されている。また、アクチュエータ４ａの不動部16と直動部18とは夫々断面視略Ｕ字状のハウジング20内に設けられている。このハウジング20が設置面３上に設置される。
【００２１】
また、不動部16としてモータ36により回動するボールネジが採用され、直動部18としてボールナット（図示省略）とボールナットの上面に設けられる板状固定体49から成るものが採用されている。尚、図３中、符号41はボールナットに板状固定体49を固定するためのボルトである。
【００２２】
図４は実施例１の原理を説明するための概略説明図であり、この図４に図示したように実施例１の第一揺動吸収機構６は、ボールネジ（不動部16）と螺合するボールナット（直動部18）に設けられ、軸体11（軸）に被嵌されたベアリングＡであり、第二揺動吸収機構７は、前記軸体11と連結される連結体22に設けられ、前記テーブル２を支持する支持体13と連結される連結軸体12（軸）に被嵌されたベアリングＢであり、上下動吸収機構８は、前記連結軸体12に設けられ前記支持体13（軸）に摺動自在に被嵌された摺動体14である。
【００２３】
また、この第一揺動吸収機構６及び第二揺動吸収機構７（ベアリングＡ及びベアリングＢ）は、夫々前記軸体11及び前記連結軸体12の回転を許容すると共に該軸体11及び連結軸体12の軸方向への移動を阻止するように構成され、前記上下動吸収機構８は、前記摺動体14の軸方向への移動を許容すると共に該摺動体14に対する前記支持体13の回転を阻止するように構成されている。
【００２４】
また、前記支持体13には、該支持体13と前記設置面３との間隔を一定に保持する間隔保持機構15としてのエアーベアリング（公知の一般的なもの）が設けられている。
【００２５】
従って、図４から明らかなようにボールネジを駆動してボールナットを移動せしめる際のテーブル２のローリング（テーブル移動方向に対して直交方向への回転Ｘ）は前記ベアリングＡによって吸収され、ピッチング（テーブル移動方向への回転Ｙ）は前記ベアリングＢによって吸収され、上下動Ｚは前記摺動体14により吸収されることになる。
【００２６】
以下、第一揺動吸収機構６，第二揺動吸収機構７及び上下動吸収機構８について更に詳述する。
【００２７】
第一揺動吸収機構６のベアリングＡは、軸体11に被嵌せしめられるアンギュラベアリング９及びラジアルベアリング23とで構成されている。
【００２８】
具体的には、この軸体11の一端側が前記アンギュラベアリング９により受けられており、他端側はラジアルベアリング23により受けられている。
【００２９】
アンギュラベアリング９及びラジアルベアリング23は、アクチュエータ４ａの不動部16の延設方向（直動部18の直動方向）に配設される軸11に被嵌されて前記板状固定体49に設けられている。
【００３０】
アンギュラベアリング９とは、図３に図示したように、外輪９ａと内輪９ｂと該外輪９ａ内面と内輪９ｂ外面に形成された傾斜面で保持されるボール９ｃとで構成され、外輪９ａと内輪９ｂとボール９ｃとの接触点を結ぶ直線がラジアル方向に対してある角度(接触角)をもっている公知のものである。このアンギュラベアリング９は、ラジアル荷重だけでなく一方向のアキシアル荷重も受けることができる。
【００３１】
即ち、第一揺動吸収機構６は、軸体11の回転を許容すると共に該軸体11の軸方向への移動を阻止するものであり、アクチュエータ４ａによる駆動に起因してテーブル２に生じるローリング（テーブル移動方向に対して直交方向への回転Ｘ）を吸収するものである。
【００３２】
具体的には、２つのアンギュラベアリング９の背面同士を接合した状態で、ハウジング24内に嵌入し、蓋体31及び軸体11の一端側に形成される螺子部53と螺合するロックナット27により抜け止め固定し、このハウジング24を板状固定体49上にボルト43で固定している。尚、図３中、符号30は内輪９ｂ支持用の支持部である。
【００３３】
また、ラジアルベアリング23とは、図３に図示したように、外輪23ａと内輪23ｂと該外輪23ａと内輪23ｂとの間に設けられる保持器23ｄに保持されるボール23ｃとで構成される一般的な公知の軸受である。尚、上述のようにアンギュラベアリング及びラジアルベアリング以外のスラストベアリング等、前記軸の回転を許容し、該軸の軸方向への移動を阻止し得る構成であれば他のベアリング機構を採用しても良い。
【００３４】
ラジアルベアリング23はハウジング25に固定されており、このハウジング25が板状固定体49にボルト50により固定されている。また、ラジアルベアリング23の内輪23ｂを挿通する軸体11の他端側には、該内輪23ｂと当接する段付き加工部29ａが設けられ、該内輪23ｂはこの段付き加工部29ａとワッシャ29ｂとで挟持されている。
【００３５】
軸体11は、第一揺動吸収機構６と第二揺動吸収機構７とを連結する方形状の連結体22の一端部側に穿設される挿通孔56に挿通されている。
【００３６】
この軸体11の一端側寄り位置と他端側寄り位置には夫々凹部51が設けられており、該凹部51に前記軸体11が挿通する挿通孔56に設けられた２つのボルト48が夫々挿通されるように構成されている。従って、軸体11は連結体22に対して固定状態で連結される。
【００３７】
この連結体22の他端部には、第二揺動吸収機構７が設けられている。
【００３８】
具体的には、第二揺動吸収機構７（ベアリングＢ）は、テーブル２を支持する支持体13と連結される連結軸体12に被嵌されるアンギュラベアリング10である。
【００３９】
このアンギュラベアリング10は、連結軸体12がアクチュエータ４ａの不動部16の延設方向（直動部18の直動方向）に対して直交状態となるように前記連結体22に設けられている。即ち、連結軸体12は、前記第一揺動吸収機構６の軸体11に対して直交するように設けられる。
【００４０】
具体的には、アンギュラベアリング10は、前記第一揺動吸収機構６と同様に、外輪10ａと内輪10ｂと該外輪10ａ内面と内輪10ｂ外面に形成された傾斜面で保持されるボール10ｃとで構成される２つのアンギュラベアリング10の背面同士を接合した状態で、ハウジング26内に嵌入し、蓋体32及び軸12の他端側に形成される螺子部54と螺合するロックナット28により抜け止め固定し、このハウジング26を連結体22の他端面にボルト52で固定している。この２つのアンギュラベアリング10により連結軸体12の一端側が受けられている。従って、軸体11と連結軸体12とは共に連結体22と一体に運動する。尚、図３中、符号40は内輪10ｂ支持用の支持部である。
【００４１】
即ち、第二揺動吸収機構７は、第一揺動吸収機構６の軸体11と直交するように配設された連結軸体12の回転を許容すると共に該連結軸体12の軸方向への移動を阻止するものであり、アクチュエータ４ａによる駆動に起因してテーブル２に生じるピッチング（テーブル移動方向への回転Ｙ）を吸収するものである。
【００４２】
上下動吸収機構８は、ボール59が配設される溝13ａが形成された支持体13に被嵌され前記ボール59が配設される溝14ａが形成された摺動体14である（所謂公知の非循環型のボールスプライン機構）。尚、図３中、符号58は、ボール59を保持する保持器である。
【００４３】
従って、前記摺動体14は、支持体13に対して軸方向に摺動可能であり、且つ、該支持体13は摺動体14に対して回動不能となる。
【００４４】
具体的には、図３に図示したように、支持体13は、テーブル２の下面に連結されており、該支持体13の先端部（設置面３側端部）には、公知のエアーベアリングがボルトにより連結されている。
【００４５】
この摺動体14の外面には、板状部材33が固定状態で被嵌されており、該板状部材33の下面には、前記連結軸体12の先端部55が螺着される螺子穴39が穿設された連結体34がボルト42により連結されている。
【００４６】
従って、この連結体34と前記連結体22とは前記連結軸体12を介して連結されることになり、上述のように支持体13は摺動体14に対して回動不能であるから、軸体11，連結軸体12及び支持体13は一体に運動することになる（第一揺動吸収機構６及び第二揺動吸収機構７の移動に対して上下動吸収機構８が遅れることがない。）。
【００４７】
即ち、第一揺動吸収機構６及び第二揺動吸収機構７では吸収されなかったテーブル２の上下動Ｚは、摺動体14に伝達されることになり、支持体13に対して摺動体14が直線摺動する前記ボールスプライン機構により吸収される。
【００４８】
また、この上下動吸収機構８は、エアーベアリングにより設置面３に対して所定の微小間隔をおいて移動するため、テーブル２のスムーズな移動が達成されるのは勿論、設置面３の精度が良好にテーブル２へと反映される。
【００４９】
実施例１は上述のように構成したから、アクチュエータ４ａによりテーブル２を直線駆動せしめる際に該テーブル２に生じるローリング，ピッチング及び上下動は前記第一揺動吸収機構６，第二揺動吸収機構７及び上下動吸収機構８により吸収されることになり、設置面３を精度良く平坦面に設定しておけば、仮に前記アクチュエータ４ａが安価で精度が良くないものであっても上記ローリング等を吸収してテーブル２に前記設置面３の精度を反映させることができるから、コスト安に極めて良好な真直度を得ることが可能となる。
【００５０】
従って、実施例１は、テーブルに生じるピッチングやローリング、上下動を吸収して設置面の精度をテーブルに良好に反映させることができ、安価なアクチュエータを用いても精密移動制御に対応可能な極めて実用性に秀れたテーブル装置となる。
【実施例２】
【００５１】
本発明の具体的な実施例２について図５〜７に基づいて説明する。
【００５２】
実施例２は、駆動機構４として、テーブル２を第二方向♭に駆動せしめる第一アクチュエータ４ａと、前記テーブル２を前記第二方向♭と直交する第一方向＃に駆動せしめる第二アクチュエータ４ｂとから成るものを採用した場合の一例であり、図７に図示したように実施例１と同様の構成のアクチュエータを２つ直交状態で積層した部分以外は実施例１と同様である。
【００５３】
実施例２は、図６に図示したように平坦な設置面３を有する台上に設けられ、三次元形状測定装置47により、テーブル２の上面に載置したワーク１の三次元形状を測定するために用いられる精密移動制御用のＸ−Ｙテーブル装置である。
【００５４】
各部を具体的に説明する。
【００５５】
第一アクチュエータ４ａは実施例１記載のアクチュエータ４ａと同様の構成であり、該第一アクチュエータ４ａの直動部18を不動部16に対して直動させることで、前記テーブル２を第二方向♭に移動せしめるように構成されている。
【００５６】
また、第二アクチュエータ４ｂは、不動部17と該不動部17に対して直動する直動部19とを有し、該直動部19を前記不動部17に対して直動させることで、前記テーブル２を第一方向＃に移動せしめるように構成されている。
【００５７】
第一アクチュエータ４ａ及び第二アクチュエータ４ｂの不動部16，17と直動部18，19とは夫々断面視略Ｕ字状のハウジング20，21内に設けられている。
【００５８】
具体的には、第一アクチュエータ４ａは、不動部16としてモータ36により回動するボールネジが採用され、直動部18としてボールナットと該ボールナットの上面にボルト41で固定される板状固定体49とから成るものが採用されており、この板状固定体49の上面に第一揺動吸収機構６が設けられる。尚、図中、符号35は第一アクチュエータ４ａをスムーズに移動させるための車輪、45はエアーベアリングと支持体13とを連結するボルトである。
【００５９】
また、第二アクチュエータ４ｂは、不動部17としてモータ37により回動するボールネジが採用され、直動部19としてボールナットナット19が採用されており、このボールナット19の上面に第一アクチュエータ４ａのハウジング20が連結されている。
【００６０】
実施例２においては、図５に図示したように第二アクチュエータ４ｂの直動部19上に第一アクチュエータ４ａのハウジング21を該直動部19の直動方向と直交方向となるように連結され、該第二アクチュエータ４ｂの直動部19の直動により第一アクチュエータ４ａが第一方向＃に移動するように構成され、該第一アクチュエータ４ａの直動部18と前記テーブル２とが前記第一揺動吸収機構６，第二揺動吸収機構７及び上下動吸収機構８を介して連設され、該第一アクチュエータ４ａの直動部18の直動によりテーブル２を前記第一方向＃と９０度異なる第二方向♭に移動させるように構成されている。
【００６１】
また、図７と図４とを比較すれば分かるように実施例２は、第一アクチュエータ４ａ（ボールネジ（不動部16）及びボールナット（直動部18））が、第一アクチュエータ４ａの前記ハウジング20を介して第二アクチュエータ４ｂ（ボールネジ（不動部17）及びボールナット（直動部19））上に連結された以外は、上述したように実施例１と同様の構成であるが、実施例２においては、第一揺動吸収機構６は、前記第一アクチュエータ４ａによる駆動に起因してテーブル２に生じるローリングを吸収すると共に前記第二アクチュエータ４ｂによる駆動に起因してテーブル２に生じるピッチングを吸収するように構成され、第二揺動吸収機構７は、前記第一アクチュエータ４ａによる駆動に起因してテーブル２に生じるピッチングを吸収すると共に前記第二アクチュエータ４ｂによる駆動に起因してテーブル２に生じるローリングを吸収するように構成されている。
【００６２】
即ち、ローリングとピッチングとは夫々直交する方向への回転運動であり、第一揺動吸収機構６及び第二揺動吸収機構７の軸体11と連結軸体12とが夫々直交するように配設しているから、第一揺動吸収機構６により第一アクチュエータ４ａによるローリングと第二アクチュエータ４ｂによるピッチングとが吸収され、第二揺動吸収機構７により第二アクチュエータ４ｂによるローリングと第一アクチュエータ４ａによるピッチングとが吸収されることになる。
【００６３】
従って、Ｘ−Ｙ二軸方向にテーブル２を移動する構成としても、第一揺動吸収機構６，第二揺動吸収機構７及び上下動吸収機構８の構成を複雑化することなくコスト安にテーブル２のＸ−Ｙ二軸方向への精密移動制御が可能となる。
【００６４】
実施例２は、上述のように構成したから、第一アクチュエータ４ａ及び第二アクチュエータ４ｂによりテーブル２を移動させる際、この第一アクチュエータ４ａ及び第二アクチュエータ４ｂの直動部18，19を直動させる際に、該直動部18，19に生じるピッチング，ローリング及び上下動が、第一揺動吸収機構６，第二揺動吸収機構７及び上下動吸収機構８により吸収され、テーブル２に伝達されないから、テーブル２上面は前記エアーベアリングにより設置面３の平坦度をそのまま反映した状態となり、設置面３を精度良く平坦に設定することで、テーブル２上面を極めて良好な平坦度とした状態でワーク１に各種加工や測定等を行うことができ、テーブル２の精密移動制御が可能となり、更に、例えば実際の位置とプログラム（加工プログラムや測定プログラム）上の位置との誤差が可及的に少なくなる等、それだけ理想的な加工や測定を行えることになる。
【００６５】
具体的には、第一アクチュエータ４ａの直動部18の直動に伴うピッチング，ローリング及び上下動並びに第二アクチュエータ４ｂの直動部19の直動に伴うピッチング，ローリング及び上下動は、板状固定体49に伝達されるが、この板状固定体49上の第一揺動吸収機構６（アンギュラベアリング９及びラジアルベアリング23）及びこの第一揺動吸収機構６の軸体11と直交するように配設される連結軸体12を有する第二揺動吸収機構７（アンギュラベアリング10）により、夫々直交する動きであるピッチングとローリングを確実に吸収でき、前記連結体34にはピッチングとローリングとが伝達されないことになり、僅かにこの連結体34に伝達される前記上下動は、該連結体34と連結するボールスプライン機構により吸収することが可能となる。即ち、常に、テーブル２はエアーベアリングにより設置面３と平行な状態で該設置面３から僅かに浮上した状態を保持することが可能となる。
【００６６】
尚、本発明は、実施例１，２に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】従来例の概略説明側面図である。
【図２】実施例１の構成概略説明斜視図である。
【図３】実施例１の要部の拡大概略説明断面図である。
【図４】実施例１の概略説明図である。
【図５】実施例２の構成概略説明斜視図である。
【図６】実施例２の一部を切り欠いた構成概略説明側面図である。
【図７】実施例２の概略説明図である。
【符号の説明】
【００６８】
１  ワーク
２  テーブル
３  設置面
４  駆動機構
４ａ  第一駆動機構
４ｂ  第二駆動機構
６  第一揺動吸収機構
７  第二揺動吸収機構
８  上下動吸収機構
11  軸体
12  連結軸体
13  支持体
13ａ  溝
14  摺動体
14ａ  溝
15  エアーベアリング
22  連結体
59  ボール
【図１】
0004580876.tif 000002
【図２】
0004580876.tif 000003
【図３】
0004580876.tif 000004
【図４】
0004580876.tif 000005
【図５】
0004580876.tif 000006
【図６】
0004580876.tif 000007
【図７】
0004580876.tif 000008