(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先方に検出部を有し、断面角形状に形成された板状の検出素子と、
前記検出素子の周囲を囲み、且つ前記検出素子を保持する主体金具と、
前記検出素子の外周面と、前記主体金具の内周面との間に充填される充填部材と、
前記検出素子を挿通する第１挿通孔を有し、前記充填部材の後方に配置されるパッキンと、
前記検出素子を挿通する第２挿通孔を有し、円筒形状に形成されて前記パッキンの後方に配置されるスリーブと、
を有するセンサであって、
前記第１挿通孔は、前記検出素子の断面形状に略等しい角孔形状であり、
前記第２挿通孔は、前記検出素子の断面形状よりも大きな形状であること、
を特徴とするセンサ。
【請求項２】
前記パッキンはリング状に形成され、その少なくとも先方外側の角部がテーパ形状に形成されたことを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項３】
前記テーパ形状は、その面取り寸法が  ０．１ｍｍ以上でありパッキンの厚みの４０％以下であることを特徴とする請求項２に記載のセンサ。
【請求項４】
前記パッキンはリング状に形成され、その少なくとも先方外側の角部がＲ形状に形成されたことを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項５】
前記Ｒ形状の半径が、０．２ｍｍ以上でありパッキンの厚みの５０％以下であることを特徴とする請求項４に記載のセンサ。
【請求項６】
前記パッキンと前記スリーブは、一体の押圧部材であることを特徴とする請求項１乃至５に記載のセンサ。
【請求項７】
前記検出素子の外周面には、外向きに突出する支持部が形成されており、
前記主体金具の内周面には、内向きに突出する段部が形成されており、
前記支持部と段部は、直接又は別部材を介して係合しており、
前記充填部材は、前記支持部の後方に配置されていること、
を特徴とする請求項１乃至６に記載のセンサ。
【請求項８】
先端側の内周に内向き突出した段部が周設された筒状の主体金具の内側に、外周に支持部が形成された軸状であり且つ断面角形状に形成された検出素子をその先端側から同軸状に内挿すると共に、該支持部材を前記段部に係合させて保持する第１工程と、
該第１工程の後、前記支持部より後側における前記主体金具の内周面と該検出素子の外周面との間に充填部を配設する第２工程と、
該第２工程の後、前記充填部材より後側に円筒形状のスリーブを同軸状に内挿し、該スリーブを軸方向先側に押圧して前記充填部材を軸方向に圧縮することにより、該圧縮された充填部材の弾性力により前記主体金具と前記検出素子とを堅固に固定すると共に、前記主体金具の後端周縁部を内側に折り曲げ、前記スリーブの後端側を係止してその軸方向の移動を阻止することにより、該スリーブの軸方向先側への押圧力を保持する第３工程と、
を備えたセンサの製造方法であって、さらに、
前記第２工程と前記第３工程との間に、前記充填部材の後側に、前記検出素子の断面形状にほぼ等しい形状の角孔を有し、該充填部材の後端面のほぼ全域を覆うパッキンを挿入する工程を有し、
前記第３工程において、前記スリーブからの圧縮力を前記パッキンを介して前記充填部材に付与することを特徴とするセンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、検出素子を主体金具内に固定して動作するセンサと、その製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、混合ガス中から特定のガス成分の濃度を検出するガスセンサとして、ＨＣセンサやＮＯｘセンサ等種々のものが知られている。
この種のガスセンサは、例えば特開平１０−０５４８２１号公報や特開平１０−０１００８２号公報等に示されるように、排気管に固定される筒状の主体金具（ハウジング）内に軸状の検出素子を挿通して保持し、その一端を被測定ガスに晒すように構成されている。そして、この検出素子を主体金具により安定して保持すると共に、排気ガスのガスセンサ内部への漏洩を防止するために、主体金具の筒内には検出素子を包囲する態様で下方から順に、検出素子を支持する支持部材、滑石粉末等からなる充填部材、充填部材に押圧力を付与するスリーブ等が配設されている。
【０００３】
このようなガスセンサの製造においては、主体金具の筒内に支持部材、検出素子、充填部材、スリーブを挿入した状態で、プレス装置により主体金具の端部を外方から軸方向に押圧して加締める加締め工程が行わる。そして、この加締め工程時にスリーブを介して充填部材に押圧力が付与され、この充填部材を主体金具と検出素子との間に加圧充填させることにより、検出素子を主体金具内に堅固に固定するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような製造方法を採用した場合、充填部材の充填状態を均一にしてガスセンサの安定したシール性を得るためには、スリーブと主体金具とのクリアランスを小さくするのが望ましく、同様に、スリーブと検出素子とのクリアランスも小さくするのが望ましい。
【０００５】
他方、ガスセンサの組付け時に生ずる検出素子の振れや検出素子単体の曲がりや反りのため、スリーブと検出素子との間、及びスリーブと主体金具との間に適度なクリアランスを設けなければ検出素子の折れが生じやすくなる。
このような問題は、ガスセンサに限らず、同様の構成を有するセンサであれば、温度センサや流量センサ等その他のセンサについても生ずるものと考えられる。
【０００６】
本発明はこうした問題に鑑みてなされたものであり、検出素子を主体金具内に安定して、しかも簡易に固定できるセンサ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
上記課題に鑑みてなされた本願請求項１記載のセンサは、先方に検出部を有し、断面角形状に形成された板状の検出素子と、この検出素子の周囲を囲み且つ保持する主体金具と、検出素子の外周面と主体金具の内周面との間に充填される充填部材と、検出素子を挿通する角孔形状の第１挿通孔を有し、充填部材の後方に配置されるパッキンと、検出素子を挿通する第２挿通孔を有し、円筒形状に形成されてパッキンの後方に配置されるスリーブと、を備える。
【０００８】
このスリーブは、当該センサの製造工程においては押圧部材としての役割を奏する。すなわち、このスリーブを軸方向先側に押圧して充填部材を軸方向に圧縮することで充填部材の弾性力を生じさせ、この弾性力により主体金具と検出素子とが堅固に固定されるように構成されている。
【０００９】
しかし、このようにスリーブを押圧部材として構成する場合、充填部材を押圧する過程で主体金具内を摺動させる必要があるため、その高さ（軸方向の長さ）を所定高さ以上に確保する必要がある。このため、例えばこのスリーブをある程度の高さを有する柱状材料から形成する場合には、その中央にある程度の精度を有する軸方向の孔を加工する必要がある。その場合、孔の形状が円形状であれば例えば旋盤加工等によりこれを容易に形成することができるのであるが、孔の形状が円形状でない場合にはその形成に高度な技術を要し、製造コストが嵩むことになる。このような問題は、検出素子の断面形状が円形状でない場合に生じる。
【００１０】
この場合、スリーブの第２挿通孔を大きくしてその形状を円形状にすることも考えられるが、そうするとスリーブと検出素子との間に大きなクリアランスが生じ、その押圧工程において充填部材の形成材料がこのクリアランスに流動してしまう。こうなると充填部材に十分な押圧力がかからず、その弾性力を利用した検出素子の主体金具への安定した固定が困難となる。また、このクリアランスへの充填部材の材料流動に偏りがあると、検出素子に曲げや反りを生じさせる偏心力が加わり、場合によっては検出素子が折れてしまう虞もある。
【００１１】
そこで、本センサでは、スリーブと充填部材との間に便宜的にパッキンを介装させる構成とし、パッキンの第１挿通孔は検出素子の断面形状（即ち断面角形状）にほぼ等しい角孔形状とし、第２挿通孔は検出素子の断面形状よりも大きな形状としている。
このため、スリーブからの十分な押圧力がパッキンを介して充填部材に均一に付与される。その結果、検出素子に偏心力を与えることなく、当該充填部材の弾性力を利用した検出素子の主体金具への安定した固定が可能となる。
【００１２】
また、本発明では、スリーブを円筒形状に形成するのでコスト的に有利である。また、パッキンには、検出素子の断面形状にほぼ等しい角孔を備えており、このパッキンは、充填部材とスリーブとの間に介装させることができる。パッキンに比較的厚みが薄いものを使用すれば、プレス加工等により角孔を打ち抜いて形成することが容易であり、製造コストが嵩まない。
【００１３】
尚、上記充填部材としては、センサの製造工程において例えば滑石粉末等を主体金具内に粉体供給してもよいし、予めリング状の固体に形成してかた供給するようにしてもよい。
また、上記パッキンの形状としては、一般的にリング状からなるものが考えられるが、充填部材の充填性を確保するために主体金具との間のクリアランスが所定量以下に制限されるため、センサの製造時においてその外側の角部が鋭利な形状であると主体金具への導入が困難となる。また、その主体金具への挿入過程又は充填部材の押圧過程において、スリーブの押圧状態や充填部材の形状誤差等が原因してパッキンが傾いた状態で主体金具内を摺動すると、その角部により主体金具の内壁を損傷させる虞がある。
【００１４】
そこで、請求項３に記載のように、パッキンの少なくとも先方外側に配置された角部がテーパ形状に形成されているとよい。このように形成すれば、主体金具の開口部への導入が滑らかとなり、また、パッキンが少々傾いただけでは主体金具を傷つけることもないからである。
【００１５】
尚、このテーパ形状の大きさは、請求項４に記載のように、その面取り寸法が０．１ｍｍ以上でありパッキンの厚みの４０％以下であるように形成されていることが好ましい。ここで、面取り寸法を０．１ｍｍ以上としたのは、実験結果より０．１ｍｍ以上でパッキンの主体金具内への挿入性が良好であることが認められたためであり、パッキンの厚みの４０％以下としたのは、パッキンの加工の負担を考慮すると共に、充填部材に付与するための所定の受圧面積を確保するためである。
【００１６】
同様に、パッキンの内側に配置された角部についてもテーパ形状に形成されているのが好ましい。このように形成すれば、パッキンを検出素子に外挿させる際の当該検出素子の損傷を防止することができるからである。
しかし、このようにパッキンにテーパ形状を施した場合でも、何らかの要因でパッキンが大きく傾いた状態で主体金具内に挿入されると、その挿入過程又は押圧過程においてテーパ形状の角部により主体金具の内壁を損傷させる、いわゆる「かじり」の問題が発生する。
【００１７】
そこで、請求項５に記載のように、パッキンの少なくとも先方外側の角部がＲ形状に形成されているのがより好ましい。Ｒ形状には角部がないため、パッキンが大きく傾いたとしても主体金具の内壁を傷つけることはないからである。
尚、この場合も同様に、パッキンの内側に配置された角部をもＲ形状に形成することで、検出素子の損傷等を防止することができる。
【００１８】
この場合のＲ形状の大きさについては、請求項６に記載のように、その半径を０．２ｍｍ以上とするのが好ましい。Ｒ形状はテーパ形状に比べて傾斜が緩やかに変化するため、テーパ形状と同様の挿入性を得るには、その半径を多少大きくとる必要があるからである。ただし、当然のことながら、パッキンの厚みの５０％以下の大きさに形成する必要がある。
【００１９】
また、充填部材の充填状態を均一にして安定したシール性を得るためには、パッキンと主体金具とのクリアランスを小さくするのが望ましいが、パッキンの主体金具への挿入性の観点からは一定以上のクリアランスを確保する必要がある。
尚、パッキンにはスリーブからの押圧力が付与されるが、その押圧力を充填部材に効率よく伝達する必要がある。このため、当該パッキンとして所定の硬さと強度を有するものを採用する必要がある。また、当該パッキンは押圧工程における便宜上の附属部品に過ぎないため低廉に製造できるものが好ましい。
【００２０】
このような観点からは、パッキンとして汎用的な金属からなるものを採用するのが好ましい。
また、パッキンとスリーブは上述のように別体として構成するのが普通であると考えられるが、請求項７に記載のように、これらを一体の押圧部材として構成してもよい。
【００２１】
このように構成すれば、検出素子を挿通する挿通部をパッキンの厚みと同様に短く構成できるため、上述と同様の効果が得られると共に、部品点数削減によるコスト低減を図ることができる。
尚、上記センサのより具体的構成としては、例えば請求項８に記載のように、検出素子の外周面に外向きに突出した支持部が形成される一方、主体金具の内周面には内向きに突出した段部が形成されており、この支持部が段部に直接又は別部材を介して係合することにより、検出素子が主体金具に支持されたものが考えられる。この場合、充填部材はこの支持部材の後方に配置される。
【００２２】
以上のようなセンサの製造方法としては、請求項９に記載のものが考えられる。すなわち、本製造方法では、第１工程にて、筒状の主体金具の内側に軸状であり且つ断面角形状に形成された検出素子をその先端側から同軸状に内挿する。この主体金具の先端側の内周には内向き突出した段部が周設されており、他方、検出素子の外周には支持部が形成されているため、このときこの支持部が段部に係合することにより、検出素子が主体金具に支持されるようになっている。
【００２３】
続く第２工程では、この支持部より後側における主体金具の内周面と検出素子の外周面との間に、滑石粉末等からなる充填部材を配設する。
そして、続く第３工程では、充填部材より後側に円筒形状のスリーブを同軸状に内挿し、このスリーブを軸方向先側に押圧して充填部材を軸方向に圧縮することにより、この圧縮された充填部材の弾性力により主体金具と検出素子とを堅固に固定すると共に、主体金具の後端周縁部を内側に折り曲げ、スリーブの後端側を係止してその軸方向の移動を阻止することにより、スリーブの軸方向先側への押圧力を保持する。
【００２４】
しかし、このままでは例えばスリーブの断面形状と検出素子の断面形状とが異なる場合には、スリーブと検出素子との間に大きなクリアランスが生じ、第３工程において充填部材の形成材料がこのクリアランスに流動してしまう。こうなると、充填部材に十分な押圧力がかからず、その弾性力を利用した検出素子の主体金具への安定した固定が困難となる。また、このクリアランスへの充填部材の材料流動に偏りがあると、検出素子に曲げや反りを生じさせる偏心力が加わり、場合によっては検出素子が折れてしまう虞もある。
【００２５】
そこで、本製造方法においては、検出素子の断面形状（断面角形状）にほぼ等しい形状の角孔を有し、充填部材の後端面のほぼ全域を覆うことが可能なパッキンを予め形成し、これを第２工程後第３工程前に充填部材の後側に挿入するようにしている。
このため、たとえスリーブと検出素子の形状が異なっていても、第３工程におけるスリーブからの十分な押圧力が当該パッキンを介して充填部材に均一に付与される。その結果、検出素子に偏心力を与えることなく、当該充填部材の弾性力を利用した検出素子の主体金具への安定した固定が可能となる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の好適な実施例を図面と共に説明する。本実施例は、ガスセンサを酸素センサとして構成したものであり、図１は、当該酸素センサの全体構成を示す断面図である。
【００２８】
同図に示すように、酸素センサ１は、長方形状の断面を有する軸状の検出素子２、検出素子２を収容するケーシング３等から構成されている。
この検出素子２は、長板状に形成された複数の酸素濃淡電池素子と、この酸素濃淡電池素子を活性化させるための複数のヒータとが積層されて形成されている（図示せず）。そして、その軸方向中央付近の外周には、自身をケーシング３内に係止固定させるためのセラミックからなる筒状の支持部材４が外挿され接着され、支持部を構成している。また、検出素子２の先端側（図中下方）には、被測定ガスに晒されて被測定ガス成分を検出する検出部２ａが設けられており、後端側には検出部２ａにて生じた酸素濃淡電池起電力を外部から取り出すために、複数（本実施例では４個）のＬ字状の金属端子１１が把持部材１２を介して取り付けられている。
【００２９】
ケーシング３は、酸素センサ１を排気管等の取付部に固定すると共に、上記支持部材４を装着した検出素子２、滑石粉末からなる充填部材５、及び充填部材５を押圧する金属製のスリーブ６等を内部に収容する。当該ケーシング３は、検出素子２の検出部２ａを排気管等の内部に突出させる主体金具７と、主体金具７の上部に延設され、検出素子２との間で所定の内部空間を形成する外筒８とから構成されている。
【００３０】
主体金具７は、円筒状の本体先端側の内周に内向き突出した段部７ａを有し、この段部７ａに支持部材４を係止することにより、検出素子２を下方から支持している。そして、さらに支持部材４の後側（図中上側）における主体金具７の内周面と検出素子２の外周面との間に充填部材５を配設し、更にこの充填部材５の後側にリング状の金属製パッキン１５を介して筒状のスリーブ６を同軸状に内挿している。
【００３１】
また、主体金具７の上端部（後端部）には、内側に延出したフランジ部７ｂの先端縁により円形の上部開口部が形成されており、このフランジ部７ｂがスリーブ６を上方から係止している。そして、その上部開口部を覆うように外筒８の下端開口端部が主体金具７に外挿されると共に、当該下端開口端部が外方から加締められることにより外筒８が主体金具７に装着されている。
【００３２】
外筒８の上部開口部には、ゴムからなる円柱形状のシール部材１３が設けられており、その下端には、セラミックで筒状に形成された絶縁性のセパレータ１４が装着されている。そして、シール部材１３の軸方向中央位置が外筒８を介して径方向に加締められ、外筒８とシール部材１３との間のシール性が保持されている。
【００３３】
このシール部材１３及びセパレータ１４には、検出素子２の電極に夫々接続されるリード線２０，２１及びヒータに接続される一対のリード線（図示せず）を挿通するための貫通孔が形成され、その各々のリード線がセパレータ１４内にて上記金属端子１１のそれぞれに接続され固定されている。
【００３４】
また、主体金具７の先端側（図中下方）外周には、検出素子２の突出部分を覆うと共に、複数の孔部を有する金属製の二重のプロテクタ３１，３２が溶接等によって取り付けられている。
次に、以上のように構成された酸素センサ１の製造方法について、図２〜図６に基づいて説明する。尚、本製造方法は、検出素子２を主体金具７内に固定保持する工程を除き従来のものと同様であるため、当該工程についてのみ説明し、他の工程については省略する。
【００３５】
本工程では、まず図２（ａ）に示すように、主体金具７の内側に、支持部材４が装着された検出素子２をその先端側から同軸状に内挿する（第１工程）。このとき支持部材４が段部７ａに係止されるため、結果的に検出素子２は主体金具７により支持される。
【００３６】
そして、この状態から支持部材４より後側における主体金具７の内周面と検出素子２の外周面との間に充填部材５を配設する（第２工程）。この充填部材５は、滑石粉末を予め圧縮成形して所定の密度を有する筒状の固体に形成したものであり、図３に図２（ａ）のＡ−Ａ断面を示すように、その中央の孔部５ａは検出素子２の断面形状にほぼ等しい角形状に形成され、その外径は主体金具７の内径にほぼ等しく形成されている。
【００３７】
そして、更にこの充填部材５の後側にパッキン１５を挿入した後、スリーブ６を挿入する（第２工程）。パッキン１５は所定の厚みを有するリング状に形成されており、図４に図２（ａ）のＢ−Ｂ断面を示すように、検出素子２の断面形状にほぼ等しい角形状の孔１５ａを有し、その外径は主体金具７の内径にほぼ等しく、充填部材５の後端面のほぼ全域を後方から覆うように配設される。
【００３８】
また、図５にパッキン１５の横断面を示すように、パッキン１５は、断面角形状を有し、その外側及び内側に形成される角部に、面取り寸法が０．１ｍｍ程度のテーパ形状が施されたテーパ部１５ｂを有する。このため、主体金具７の開口部７ｃからパッキン１５をスムーズに導入でき、また、主体金具７と検出素子２との間をスムーズに摺動させることができる。
【００３９】
さらに、パッキン１５の外径Ｄ３は、その外周面と主体金具７の内周面との間のクリアランスの合計（図中ＣＬ１とＣＬ２との合計）が、パッキン１５の厚みｔの２０％程度になるような大きさを有する。一方、パッキン１５の孔１５ａの幅Ｗ１は、その内周面と検出素子２の外周面との間のクリアランスの合計（図中ＣＬ３とＣＬ４との合計）が、パッキン１５の厚みｔの２０％程度になるような大きさを有する。このため、酸素センサ１の組付け時に生ずる検出素子２の振れや検出素子２の曲がりや反りがあっても、上記クリアランスによりこれを吸収することができ、検出素子２の折れ等を防止することができる。一方、この程度のクリアランスであれば、後述する押圧工程において充填部材５の形成材料がパッキン１５の後方に漏洩することもない。
【００４０】
一方、本実施例ではコストの観点からスリーブ６を円筒形状に形成している。これは、金属材料を成形してスリーブ６を製造する場合、ある程度の高さを有する円柱部材の中央に軸方向の孔を加工し、しかもその孔の精度をある程度確保することが必要となるが、この孔を角形状に加工するには高度な技術を要し、製造コストが嵩むからである。
【００４１】
このため、図６に図２（ａ）のＣ−Ｃ断面を示すように、その押圧断面はパッキン１５の断面よりも小さくなり、スリーブ６の内周面と検出素子２の外周面との間には大きなクリアランスＣＬ５が形成される。
従って、この場合、後述する押圧工程においてスリーブ６から充填部材５に押圧力が付与された際の、充填部材５のスリーブ６側への漏洩（材料流動）の問題が懸念されるところだが、上述のように充填部材５とスリーブ６との間には充填部材５の後端面のほぼ全域を覆うようにパッキン１５が介装されているため、その心配はほとんどない。つまり、スリーブ６の形状と検出素子２の形状とが整合していないにもかかわらず、スリーブ６からの押圧力はパッキン１５を介して充填部材５に十分に付与されることになる。
【００４２】
そして、この状態からプレス装置Ｐによるスリーブ６及び主体金具７の押圧工程に移行する。このプレス装置Ｐは、同軸に設置された二つの筒状押圧部Ｐ１、Ｐ２を備え、これらを独立して動作制御することが可能になっている。
そして、図２（ａ）及び同図（ｂ）に示すように、当該押圧工程では、内側の筒状押圧部Ｐ１を軸方向下方に動作制御することにより、スリーブ６の後端内側部を軸方向先側に押圧して充填部材５を軸方向に圧縮すると共に、外側の筒状押圧部Ｐ２を軸方向に動作制御することにより、主体金具７の後端周縁部を外方から押圧してスリーブ６の後端外側部に向かって折り曲げる（第３工程）。このように折り曲げられた主体金具７の後端周縁部により前述したフランジ部７ｂが形成されると共に、当該フランジ部７ｂによりスリーブ６の後端側が係止される。
【００４３】
尚、この場合、筒状押圧部Ｐ２による押圧により主体金具７の後端周縁部が加締められ、その結果、当該後端周縁部が内方に延出してフランジ部７ｂを形成することになるが、スリーブ６のフランジ部６ｂの外径Ｄ１が本体部６ａの外径Ｄ２よりも十分に大きくとられているため、フランジ部７ｂの端縁が筒状押圧部Ｐ２の外周面に接触することはない。
【００４４】
このようにして圧縮力を受けた充填部材５は、検出素子２、主体金具７、支持部材４及びパッキン１５により包囲される空間に材料流動して充填される。そして、この充填部材５の弾性力により検出素子２と主体金具７が堅固に固定される。
【００４５】
以上に述べたように、本実施例の酸素センサ１の製造においては、検出素子２の断面形状にほぼ等しい形状の孔１５ａを有し、充填部材５の後端面のほぼ全域を覆うパッキン１５を予め形成し、このパッキン１５を介して充填部材５に押圧力を付与している。
【００４６】
このため、スリーブ６と検出素子２の断面形状が異なっているものの、スリーブ６からの十分な押圧力が当該パッキン１５を介して充填部材５に均一に付与される。その結果、充填部材５が均一に材料流動することができ、検出素子２等の破損を伴うこともなく、検出素子２の主体金具７への安定した固定が可能となる。また、逆にパッキン１５を介装することで、スリーブ６の形状として安価に製造できる円筒形状を採用することができ、酸素センサ１全体の低廉化を図ることができる。
【００４７】
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明の実施の形態は、上記実施例に何ら限定されることなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態をとり得ることはいうまでもない。
例えば、上記実施例においては、パッキンの形状として図５に示す断面角形状のものを採用した。しかし、この形状を採用した場合、図７に示すように何らかの要因でパッキンが大きく傾いた状態で主体金具７内に挿入されると、その挿入過程又は押圧過程においてテーパ部１５ｂの角部により主体金具７の内壁を損傷させることも考えられる。
【００４８】
そこで、図８に示すように、パッキン１５の外側及び内側に配設された角部にＲ形状のＲ部１５ｃを設けてもよい。このＲ形状には角部がないため、例えば図９に示すようにパッキン１５が大きく傾いたとしても主体金具７の内壁を傷つけることはないからである。
【００４９】
また、上記実施例においては、スリーブ６とパッキン１５とを別体に構成したが、図１０に示すようにこれらを一体化して一つの押圧部材２６として構成してもよい。図１０（ａ）は押圧部材２６の断面図を示し、同図（ｂ）はその平面図を示す。すなわちこの場合、円筒状の押圧部材２６の下部にパッキン１５と同様の厚みを有する底部２７が設けられ、この底部２７に検出素子２を挿通するための挿通孔２７ａが形成されることになる。
【００５０】
このように構成すれば、検出素子２を挿通する挿通部をパッキン１５の厚みと同様に短く構成できるため上記実施例と同様の効果が得られると共に、部品点数削減によるコスト低減を図ることもできる。
さらに、本実施例においては、本発明のセンサをガスセンサ（酸素センサ１）として構成したが、同様の構成を有するセンサであれば、温度センサや流量センサ等その他のセンサとして構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例に係る酸素センサの全体構成を示す断面図である。
【図２】  実施例の酸素センサの製造工程の主要部を表す説明図である。
【図３】  図２（ａ）のＡ−Ａ断面を表す説明図である。
【図４】  図２（ａ）のＢ−Ｂ断面を表す説明図である。
【図５】  実施例に係るパッキンの横断面図である。
【図６】  図２（ａ）のＣ−Ｃ断面を表す説明図である。
【図７】  実施例に係るパッキンの横断面図である。
【図８】  実施例に係るパッキンの変形例の横断面図である。
【図９】  実施例に係るパッキンの変形例の横断面図である。
【図１０】  変形例に係る押圧部材の横断面図である。
【符号の説明】
１・・・酸素センサ、  ２・・・検出素子、  ３・・・ケーシング、
４・・・支持部材、  ５・・・充填部材、  ６・・・スリーブ、
７・・・主体金具、  ８・・・外筒、  １５・・・パッキン、
Ｐ・・・プレス装置、  Ｐ１・・・筒状押圧部、  Ｐ２・・・筒状押圧部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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