(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、一対となる構成であって両構成の協働により前記被収容物の履歴を示すインフォパッドの一方の構成と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能とする、前記蓋の開閉システムであって、
前記収容容器を支持すると共に所定の方向に前記収容容器を移動可能な収容容器支持機構と、
外部空間と所定の大きさを有する開口部を除いて分離され、塵が管理されて前記被収容物を搬送する機構が収容される微小空間と、
前記蓋と当接して前記蓋を保持する保持機構及び前記インフォパッドの他方の構成を有し、前記所定の方向と直交し前記被収容物の延在面と平行な回転軸周りに回動可能であって、前記所定の大きさを有する開口部を略閉鎖する姿勢と前記微小空間側に回動して前記所定の開口部を開放する姿勢との間を移動可能なドアと、
前記回転軸を介して、前記所定の大きさを有する開口部を略閉鎖する姿勢を維持するように前記ドアを所定の保持力で保持すると共に前記回転軸周りに回動させることが可能な回転軸駆動機構と、
前記収容容器が前記収容容器支持機構によって前記ドアに向けて移動された際に、前記ドアが前記インフォパッドによって前記微小空間側に押圧されて前記所定の大きさを有する開口部を略閉鎖する姿勢を変化させたことを検知する検知手段と、を有することを特徴とする蓋開閉システム。
【請求項２】
前記収容容器支持機構に前記収容容器をロードする位置近傍に前記外部空間の側の開口部である外部空間側開口部を有すると共に前記微小空間と連通して前記微小空間側に開口する前記所定の大きさを有する開口部と一致する微小空間側開口部を有するトンネルを更に有し、
前記ドア及び前記回転軸は前記トンネル内に配置されており、前記所定の大きさを有する開口部を略閉鎖する前記ドアの姿勢は前記トンネルを略閉鎖する姿勢であることを特徴とする請求項１記載の蓋開閉システム。
【請求項３】
被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、一対となる構成であって両構成の協働により前記被収容物の履歴を示すインフォパッドの一方の構成と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能とする、前記蓋の開閉システムであって、
前記収容容器を支持すると共に所定の方向に前記収容容器を移動可能な収容容器支持機構と、
外部空間と分離され、塵が管理されて前記被収容物を搬送する機構が収容される微小空間と、
前記収容容器支持機構に前記収容容器をロードする位置近傍に前記外部空間の側の開口部である外部空間側開口部を有すると共に前記微小空間と連通して前記微小空間側に開口する微小空間側開口部を有するトンネルと、
前記蓋と当接して前記蓋を保持する保持機構及び前記インフォパッドの他方の構成を有し、前記トンネル内に配置されて前記所定の方向と直交し前記被収容物の延在面と平行な回転軸周りに回動して前記トンネルを略閉鎖する状態を解除可能なドアと、
前記回転軸を介して、前記トンネルを略閉鎖する姿勢を維持するように前記ドアを所定の保持力で保持すると共に前記回転軸周りに回動させることが可能な回転軸駆動機構と、
前記収容容器が前記収容容器支持機構によって前記ドアに向けて移動された際に、前記ドアが前記インフォパッドによって前記微小空間方向に押圧されて前記トンネルを略閉鎖する姿勢を変化させたことを検知する検知手段と、を有することを特徴とする蓋開閉システム。
【請求項４】
前記回転軸駆動機構は流体シリンダを含むことを特徴とする請求項１乃至３何れかに記載の蓋開閉システム。
【請求項５】
前記検知手段は前記回転軸駆動手段の動作を検知する手段であることを特徴とする請求項１乃至４何れかに記載の蓋開閉システム。
【請求項６】
被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能として、前記収容容器に対して前記被収容物を挿脱し、前記収容容器外部において前記被収容物に所定の処理を施す被収容物の処理方法であって、
塵が管理された微小空間と、
前記微小空間内に配置された被収容物の搬送機構と
前記微小空間に設けられた開口部を駆動機構によって付与される所定の保持力を保って略閉鎖すると共に前記蓋を保持可能なドアと、
前記収容容器を支持して前記収容容器を所定の方向に駆動し、前記蓋を前記ドアに保持させる支持機構と、を有する蓋開閉システムを用い、
前記収容容器を支持機構に支持させて当該支持機構に対して前記収容容器を固定し、
前記支持機構を駆動させて前記蓋を前記ドアに当接させて前記ドアに前記蓋を保持させ、
前記支持機構と前記ドアとを前記所定の方向において相対駆動させて、前記収容容器と前記蓋とを分離し、
前記蓋及びドアを前記所定の方向と直交し且つ前記被収容物の延在面に含まれる軸周りに回動させて前記収容容器の駆動領域から前記蓋及びドアを退避させ、
前記収容容器を前記所定の方向に駆動させて前記被収容物の挿脱位置に配置する工程を有し、
前記収容容器の本体及び前記ドアに分配して配置される一対となる構成からなるインフォパッドの両構成の協働によって前記被収容物の履歴を示す情報を得ることとし、前記蓋を前記ドアに当接させる際に前記インフォパッドに前記保持力に抗して前記ドアの略閉鎖姿勢を前記微小空間側に変化させ、前記変化を検知することによって前記インフォパッドからの情報を得ることを特徴とする被収容物の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造プロセス等において、ポッドと呼ばれる搬送容器に内部保持されたレチクル、ウエハ等を半導体処理装置間等にて移送する際に用いられる、システム、所謂FIMS（Front-Opening Interface Mechanical Standard）システムの一形態に関する。より詳細には、数枚のレチクル等を収容する薄型密閉容器である収容容器たる所謂FOUP（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれるポッド複数個に同時に対応し、当該ポッドの蓋を開閉して該ポッドに対するレチクル等の移載を行うFIMSシステム、即ち蓋開閉システム、及び当該システムを用いた基板処理法方に関する。
【背景技術】
【０００２】
以前、半導体製造プロセスは、半導体ウエハを取り扱う部屋内部を高清浄化した所謂クリーンルーム内において行われていた。しかしウエハサイズの大型化への対処とクリーンルームの管理に要するコスト削減の観点から、近年では処理装置内部、ポッド（被収容物たるウエハの収容容器）、及び当該ポッドから処理装置への基板受け渡しを行う微小空間のみを高清浄状態に保つ手法が採用されるに至っている。
【０００３】
当該ポッドは、その内部に複数のウエハを平行且つ隔置した状態で保持可能な棚と、外面を構成する面の一つにウエハ出し入れに用いられる開口とを有する略立方体形状を有する本体と、その開口を閉鎖する蓋とから構成される。この開口が形成されている面がポッドの底面ではなく一側面（微小空間に対して正対する面）に位置するポッドは、FOUP（front-opening unified pod）と総称され、本発明はこのFOUPを用いる構成を主たる対象としている。従来、生産効率等の観点から一個のポッドあたり十枚以上のウエハを収容するポッドが用いられていたが、昨今ウエハの大径化、或いは一枚のウエハに対する工程の増加等によってむしろポッドあたり数枚のウエハを収容し、小ロットの状態として個々の装置に対してウエハを供給する方法がより好ましいと考えられ始めている。このような数枚のウエハ用に特化した薄型のポッド及びその取り扱いに関しては特許文献１に詳細が述べられている。
【０００４】
ここで、上述した微小空間は、ポッドの開口と向かい合うポッド側開口部と、該ポッド側開口部を閉鎖するドアと、半導体処理装置側に設けられた処理装置側の開口部と、ポッド側開口部からポッド内部に侵入してウエハを保持すると共に該処理装置側の開口部を通過して処理装置側にウエハを搬送する移載ロボットとを有している。微小空間を形成する構成は、同時にドア正面にポッドの開口が正対するようポッドを支持する載置台を有している。通常、載置台はドア方向に対して所定距離の前後移動が可能となっている。ポッド内のウエハを処理装置に移載する際には、ポッドが載置された状態でポッドの蓋がドアと接触するまでポッドを移動させ、接触後にドアによってポッドの開口からその蓋が取り除かれる。これら操作によって、ポッド内部と処理装置内部とが微小空間を介して連通することとなり、以降ウエハの移載操作が繰り返して行われる。この載置台、ドア、ポッド側開口部、ドアの開閉機構、ポッド側開口部が構成された微小空間の一部を構成する壁等を含めて、本発明における蓋開閉システム、即ちFIMS（front-opening interface mechanical standard）システムと総称される。
【０００５】
先に述べたように、従来は十枚以上のウエハを収容したポッド単体のみに対応する構成で十分であった。しかしながら、前述した薄型のポッドを対象とした場合、工程時間の短縮に観点をおくと複数のポッドを略同時、或いは載置状態にある時間をオーバーラップさせて該微小空間に対するウエハの供給等を可能とすることが求められる。また、このようなウエハの取り扱いは、露光処理等に用いられるレチクルの搬送等にも使用することが可能である。ここで、薄型のポッド複数個に対応する場合、接地面積を小さく抑える観点から複数のポッドを縦に積み上げる構成が考えられる。このようなポッド配置に対応する蓋開閉システムとして特許文献２に開示する装置が考案されている。当該構成では、前述したポッド側開口部を縦に複数個形成し、各々を閉鎖するドアを矩形状の開口部の長手方向に延在する軸周りに回動させることでドア開閉に要する機構が占める空間を小さく治めている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２６２６５４号公報
【特許文献２】特開２０００−２８６３１９号公報
【特許文献３】特開２００７−１４２１９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
半導体ウエハ等に対しては、洗浄、成膜、パターニング等各種の処理が施され、その後に所定のサイズに切断されて、個々の半導体チップとして次工程に送られる。通常ポッド単体に収容されるウエハ等は同一の処理ラインを送られるが、ポッドによっては異なる処理ラインを流れている途中である処理においては同一の処理システムにおいて当該処理が為される場合がある。その際、当該ポッド各々が如何なる履歴を有するものであるかを常に把握しておくことが求められる。引用文献３に示すように、従来はポッド底面に該履歴を示すインフォパッドを設け、FIMSの載置台に当該ポッドを載置した際に当該インフォパッドを読み取ることによってポッドの区別を行っている。なお、インフォパッドとは、一方向に対しての突き出し状態或いは非突き出し状態を変更可能なピン等を一方の部材に埋設し、他方の部材には当該ピンを収容可能な状態或いは不可能な状態を選択可能な凹部を設けることで構成される。これらピン等の状態をそれらが埋設される部材、即ちこの場合にはポッド或いはこれに収容されるウエハの履歴に対応させておき、当該凹部をこの履歴を示す状態のピン等のみを収容可能としておくことで、ウエハ等の履歴に応じた各種処理を違えることなく確実に実行可能とするものである。
【０００８】
しかしながら、上述した小ロット向けFOUPの場合、引用文献２に示すように鉛直方向において多段に配置されることから、ポッド下面に種々の構成を配置すること自体が物理的に困難となってきている。特に、上下に配置されるポッド間での塵等の相互の影響を防止するために提唱される所謂トンネル構造を微小空間開口部に配置するFIMSの場合、上下のポッド間に許容される空間はより小さくなり、このような制約はより顕著なものとなる。即ち、引用文献３に開示するようなインフォパッドを従来のポッド底面に埋設することは事実上困難である。また、単純にインフォパッドの構成を簡略化且つ微小化した場合であっても、インフォパッドの構成上不適切なポッドは平坦面に対して傾いて配置されることとなる。例えば本件出願人が塵等管理の観点から提唱する所謂トンネル構造を有する薄型FOUP向けのロードポート（ポッド要蓋開閉システム）の場合、僅かなポッドの傾き出あっても装置トラブルの原因となる可能性がある。
【０００９】
本発明はこのような現状に鑑みて為されたものであり、薄型のポッドを縦方向に複数並置してこれらを処理する蓋開閉システムに関するものであって、ポッドの履歴の把握を容易なものとする当該ポッド用蓋開閉システム及び当該システムを用いてウエハに対して種々の処理を施す基板処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る収容容器たるポッド用の蓋開閉システムは、被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、本体から分離可能であって開口を塞いで本体と共に密閉空間を形成する蓋と、一対となる構成であって両構成の協働により被収容物の履歴を示すインフォパッドの一方の構成と、を備える収容容器から蓋を取り外すことによって開口を開放して被収容物の挿脱を可能とする、蓋の開閉システムであって、収容容器を支持すると共に所定の方向に収容容器を移動可能な収容容器支持機構と、外部空間と所定の大きさを有する開口部を除いて分離され、塵が管理されて被収容物を搬送する機構が収容される微小空間と、蓋と当接して蓋を保持する保持機構及びインフォパッドの他方の構成を有し、所定の方向と直交し被収容物の延在面と平行な回転軸周りに回動可能であって、所定の大きさを有する開口部を略閉鎖する姿勢と微小空間側に回動して所定の開口部を開放する姿勢との間を移動可能なドアと、回転軸を介して、所定の大きさを有する開口部を略閉鎖する姿勢を維持するようにドアを所定の保持力で保持すると共に回転軸周りに回動させることが可能な回転軸駆動機構と、収容容器が収容容器支持機構によってドアに向けて移動された際に、ドアがインフォパッドによって微小空間側に押圧されて所定の大きさを有する開口部を略閉鎖する姿勢を変化させたことを検知する検知手段と、を有することを特徴としている。
【００１１】
なお、上述した蓋開閉システムに関しては、収容容器支持機構に収容容器をロードする位置近傍に外部空間の側の開口部である外部空間側開口部を有すると共に微小空間と連通して微小空間側に開口する所定の大きさを有する開口部と一致する微小空間側開口部を有するトンネルを更に有し、ドア及び回転軸はトンネル内に配置されており、所定の大きさを有する開口部を略閉鎖するドアの姿勢はトンネルを略閉鎖する姿勢であることが好ましい。また、当該構成においては、更に、回転軸駆動機構は流体シリンダを含むことが好ましく、検知手段は回転軸駆動手段の動作を検知する手段であることが好ましい。
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明に係る収容容器たるポッド用の蓋開閉システムは、被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、本体から分離可能であって開口を塞いで本体と共に密閉空間を形成する蓋と、一対となる構成であって両構成の協働により被収容物の履歴を示すインフォパッドの一方の構成と、を備える収容容器から蓋を取り外すことによって開口を開放して被収容物の挿脱を可能とする、蓋の開閉システムであって、収容容器を支持すると共に所定の方向に収容容器を移動可能な収容容器支持機構と、外部空間と分離され、塵が管理されて被収容物を搬送する機構が収容される微小空間と、収容容器支持機構に収容容器をロードする位置近傍に外部空間の側の開口部である外部空間側開口部を有すると共に微小空間と連通して微小空間側に開口する微小空間側開口部を有するトンネルと、蓋と当接して蓋を保持する保持機構及びインフォパッドの他方の構成を有し、トンネル内に配置されて所定の方向と直交し被収容物の延在面と平行な回転軸周りに回動可能であって、トンネルの延在方向と直行してトンネルを略閉鎖する姿勢において収容容器支持機構が移動させる収容容器に対して所定の方向に沿って相対的に移動可能なドアと、回転軸を介して、トンネルを略閉鎖する姿勢を維持するようにドアを所定の保持力で保持すると共に回転軸周りに回動させることが可能な回転軸駆動機構と、収容容器が収容容器支持機構によってドアに向けて移動された際に、ドアがインフォパッドによって微小空間方向に押圧されてトンネルを略閉鎖する姿勢を変化させたことを検知する検知手段と、を有することを特徴としている。
【００１３】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る被収容物の処理方法は、被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、本体から分離可能であって開口を塞いで本体と共に密閉空間を形成する蓋と、を備える収容容器から蓋を取り外すことによって開口を開放して被収容物の挿脱を可能として、収容容器に対して被収容物を挿脱し、収容容器外部において被収容物に所定の処理を施す被収容物の処理方法であって、塵が管理された微小空間と、微小空間内に配置された被収容物の搬送機構と、微小空間に設けられた開口部を駆動機構によって付与される所定の保持力を保って略閉鎖すると共に蓋を保持可能なドアと、収容容器を支持して収容容器を所定の方向に駆動し、蓋をドアに保持させる支持機構と、を有する蓋開閉システムを用い、収容容器を支持機構に支持させて該支持機構に対して収容容器を固定し、支持機構を駆動させて蓋をドアに当接させてドアに蓋を保持させ、支持機構とドアとを所定の方向において相対駆動させて、収容容器と蓋とを分離し、蓋及びドアを所定の方向と直交し且つ被収容物の延在面に含まれる軸周りに回動させて収容容器の駆動領域から蓋及びドアを退避させ、収容容器を所定の方向に駆動させて被収容物の挿脱位置に配置する工程を有し、収容容器の本体及びドアに分配して配置される一対となる構成からなるインフォパッドの両構成の協働よって被収容物の履歴を示す情報を得ることとし、蓋をドアに当接させる際にインフォパッドに保持力に抗してドアの略閉鎖姿勢を微小空間側に変化させ、変化を検知することによってインフォパッドからの情報を得ることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、薄型のポッドを縦方向に複数並置してこれらを処理する蓋開閉システムにおいて、ポッドの履歴を当該システムにおいて常に検知しておくことが可能となる。従って、異なる工程を経た或いは履歴を有するウエハを収容したポッドが誤って所定の工程に対して流されることを確実に防止することが可能となる。また、本発明によれば、ポッドにおけるドア対向面にピン等が埋設されることから、不適切なポッドの検出に際してもポッドが水平面に対して傾くことが無い。従って、前述した所謂トンネルを有するロードポートにおいても、当該不適切ポッドの検出時にポッドがトンネル内壁等と接触することが無く、所謂ポッドの搬送エラー、接触による発塵等を防止することが可能となる。
【００１５】
また、本発明においては、ドアの異常な動作に基づいてインフォパッドが示すポッドの履歴を検知することとしている。従って、ピンの収容非収容ではなく例えばセンサによってこれを検知する構成とする従来であれば、個々のピンに応じて必要とされた多数のセンサ、或いは当該センサに付随する複数の配線を用いることなくインフォパッドの情報を知ることが可能となる。更に、本発明によれば、例えば伝達すべき情報量が増加した場合であっても、単にピン及びこれと対応する凹部を増やすだけで対応が可能となる。従って、複雑な工程を経たウエハ等を収容するポッドに対しても容易に適用することが可能となる。また、ピンの配置に応じてドアの押し込み量及びこれに伴うリンク機構の変位とシリンダの伸縮量も変化することから、ピンの所謂シリンダセンサに微小変位を読み取り可能なものを採用すれば、より複雑な情報の伝達も可能となる。
【００１６】
また、本発明においては、ドアの駆動を所謂流体シリンダによって行うこととしている。また、ポッドの進退に供せられる駆動力に対して当該流体シリンダがドアを保持するために供する力を小さく設定している。従って、ポッド移動時にピン等とドア表面とが接触した場合であっても、流体シリンダの設定力に応じてドアが微小空間側に容易に押され、ポッド或いはポッド駆動機構側に対して無用な、或いは過剰の負荷が掛かることが防止される。更に、流体シリンダ側にてドアの移動を検知する構成とすれば、ポッド、及びドアと密着して移動されるポッドの蓋以外には前述したトンネル内部に存在する構成が無くなり、例えば気流によって塵等の微小空間への侵入を防止する構成においては気流を乱す存在が無くなり、当該ロードポート或いはポッドロード位置における環境の清浄化が寄り容易なものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。図１Ａは、本発明が対象とする薄型ポッドの一部、及び当該ポッド個々について対処可能な蓋開閉システムの主要部に関して、これら構成を側面から見た状態での構成を模式的に示している。なお、実際には図１Ａ等に示す構成は複数が積み重ねられるように配置されるが、説明容易化のため、以下実施形態の説明においては単独のシステムについて述べることとする。図１Ｂは図１Ａに示す構成を当該図中の線１Ｂ−１Ｂに沿った断面から見た場合の構成を、図１Ｃはこれら構成を矢印１Ｃ方向（微小空間側）から見た場合の構成を、図１Ｄはポッドを除いた構成を矢印１Ｄ方向（外部空間側）から見た場合の構成をそれぞれ示している。また、図２Ａは実際の装置構成において図１Ａに示す主要部が垂直方向に３段重ねられた構成を図１Ａと同様の様式で示すものである。また、図２Ｂは、図２Ａと同様の方向から実際の装置側面を見た状態を示しており、可動プレート、ポッド等後述するトンネルに内包される構成及び当該構成を駆動する構成以外を図面の簡略化のために省略して示している。
【００１８】
ここで、当該蓋開閉システムに対して載置されるポッド及び該ポッドに収容されるウエハについて先に述べる。ポッド２における本体２ａの内部には、被処理物たるウエハを１〜数枚内部に収めるための空間が形成されている。本体２ａは、水平方向に存在するいずれか一面に開口を有する薄い略箱状の形状を有する。また、ポッド２は、本体２ａの開口２ｂを密閉するための蓋４を備えている。本体２ａの内部に水平に保持されたウエハ１を鉛直方向に重ねる為の複数の段を有する棚（不図示）が配置されており、ここに載置されるウエハ１各々はその間隔を一定としてポッド２内部に収容される。ウエハ１は本発明における被収容物に、ポッド２は収容容器に、本体２ａは基本的な形状が箱体であることから略箱上の形状を有するとして定義される本体に、また、ポッド２の開口２ｂは基本形状が矩形であることから略矩形状として定義される開口に対応する。本体２ａの開口２ｂの両脇部であって蓋４の開放等を為す後述するドア１５の対向面には、同様に後述するインフォパッドピン１５ｆを受容するインフォパッド凹部２ｃが配置される。本実施形態においては、両脇各々の位置において垂直方向に３個設けられている。当該インフォパッド凹部２ｃは、外部から該凹部の開口を閉状態及び開状態に任意に設定可能とされている。
【００１９】
本発明に係る蓋開閉システム１０は、載置台１３、ドア１５、トンネル２０を構成するトンネル部材２１、ドアの開閉機構３０、及びトンネルが連通する微小空間２５（後述する搬送室）の外壁を構成する一部材たる壁１１を含む。載置台１３は、実際にポッド２が載置され、且つ載置されたポッドを第一の開口部１０方向に向けて接近或いは離間させる動作が可能な、上部に平坦面を有する可動プレート１４を含む。可動プレート１４の平坦面表面には位置決めピン１４ａが埋設されており、ポッド本体２ａ下面に設けられた不図示の位置決め凹部に当該位置決めピン１４ａが嵌合することにより、ポッド２と可動プレート１４との位置関係が一義的に決定される。可動プレート１４ａにはステッピングモータ、ボールネジ等からなる不図示の公知の駆動機構に接続されており、ポッド２を載置した状態にて、後述するポッド２のロード位置、蓋保持位置、蓋離脱位置及びウエハ挿脱位置の四位置での当該プレートの停止を可能としている。なお、載置台１３或いは可動プレート１４からなる構成は、本発明においてポッド等を支持し且つこれを所定の方向に移動させる収容容器支持機構或いは支持機構として作用する。
【００２０】
トンネル部材２１は、壁１１から外部空間側に垂直に、即ち可動プレート１４の駆動方向に沿って立ち上がり且つ当該立ち上がり方向と垂直な断面が矩形となる空間を構成する周囲壁部２１ａと、当該周囲壁部２１ａの外部空間側開口を制限する端部壁部２１ｂと、からなる。トンネル部材２１によって構成されるトンネル２０の横方向長さ（該トンネル２０に対してポッド２が正対した場合のポッド２の正対面の長手方向長さ、即ち水平方向の長さ）は、ポッド２を収容可能となるようにポッド２におけるトンネルとの正対面の長手方向長さより大きく設定される。当該トンネル２０は、微小空間側開口２０ａと外部空間側開口２０ｂとの二つの開口を有する。即ち、当該トンネル２０は、ポッド２が可動プレート１４上に載置（即ちロード）される空間近傍に開口して外部空間と微小空間とを連通するトンネルとして作用する。
【００２１】
外部空間側開口２０ｂは、前述したトンネル２０の横方向長さと、ポッド２の正対面の短手方向長さより僅かに長く設定された縦方向長さを有する。これにより、ポッド２は該外部空間側開口２０ｂへの進入が可能となる。微小空間側開口２０ａは、横方向長さとして、ポッド２が通過可能な前述したトンネル２０の横方向長さに加え、後述するＬ字アーム１６がポッド２を避けて配置可能となるように当該アームの幅を考慮した長さを有する。また、縦方向長さとして、ポッド２の蓋４を保持したドア１５及び当該トンネル２０内部に配置されたドアの開閉機構の一部が収容される収容空間２０ｃを形成するだけの長さと前述したポッド２正対面の縦方向より僅かに長い長さとを加えた長さからなる縦方向長さとを有する。
【００２２】
トンネル２０の奥行き（外部空間側開口２０ｂから微小空間側開口２０ａまでの距離）は、後述するドア１５を支持するＬ字アーム１６の両直線部の長さと、ポッドの蓋４の短手方向長さ或いはドア１５の短手方向長さとの関係から設定される。具体的には、ドア１５が退避位置（ウエハ挿脱位置）に存在する際のドア１５或いは蓋４における最も微小空間側に近い部位が微小空間に突出するこがなく、且つポッド２から蓋４を取り外す位置（蓋離脱位置）におけるポッド２の開口がトンネル２０内部に存在可能となるように、当該奥行きが設定される。また、端部壁部２１ｂは、外部空間側開口２０ｂの大きさを上述したものとするために当該開口を制限するものであって、短手方向長さはポッド２の正対面の大きさと、微小空間側開口２０ａとの関係から定められる。また、当該端部壁部２１ｂは前述した空間２０ｃを規定している。
【００２３】
ドア１５は、ポッド２の蓋４と正対可能であって当該蓋４と略相似の正対面を有する平板状の当接部材１５ｂと、当該当接部材１５ｂを平盤面にて保持し且つ当接部材に対して強度を付加するドア本体部１５ａとを有する。ドア本体部１５ａは、微小空間側開口部２０ａの長手方向の長さより短い長手方向長さを有し、蓋４の開閉操作時において回動する際に当該開口部の周囲との接触が生ずる恐れをなくしている。当接部材１５ｂはドア本体部１５ａの長手方向の中央に配置される。当接部材１５ｂにおけるポッド２との正対面には、蓋４を真空吸着してこれを保持するための吸着パッド１５ｃ、蓋４と当該当接部材１５ｂとの位置関係を規定する位置決めピン１５ｄ、及びインフォパッド用のピンであるインフォパッドピン１５ｆが配置される。なお、位置決めピン１５ｄは、蓋を保持する機能も有する場合があり、当該場合においては所謂ラッチキーとしても作用する。ドア本体部１５ａにおける当接部材１５ｂの両側部には、当該本体部における微小空間側面（裏面）から外部空間側面（表面）に貫通し且つドア本体１５ｃの短手方向に伸びるスリット１５ｅが形成されている。また、ドア本体部１５ａにおける当接部材１５ｂの両側部には、Ｌ字形状を有するＬ字アーム１６の一方の端部（後述する固定端部）が連結される。なお、吸着パッド１５ｃは、これと連結されて当該パッドに吸引力を生じせしめる不図示の排気系と合わせて被収容物たるウエハの保持機構として作用する。
【００２４】
インフォパッドピン１５ｆは、ドア本体部１５ａにおけるポッド本体２ａの対向面上であって、ドア本体部１５ａとポッド本体２ａとが近接した際にポッド本体２ａに設けられたインフォパッド凹部２ｃと対応する位置に配置される。本実施形態において、当該ピン１５ｆは凹部２ｃと同様に当接部材の両脇において垂直方向３個配置される。また、本実施形態では、当該インフォパッドピン１５ｆは、常時突き出し状態とされている。しかしながら、インフォパッド凹部２ｃとの関係から、外部からの操作によりドア本体部１５ａから突き出した状態及びドア本体部１５ａに収容された突き出さない状態のいずれかの状態を選択可能としても良い。この場合、非突き出し状態に関しては、完全に本体部に収容された状態を示すのではなく、インフォパッドとして所謂"nor"状態を検出可能な状態を示唆することが可能なレベルを設定可能であれば良い。
【００２５】
Ｌ字アーム１６は、端部において後述する回転軸３０ａを介してドア開閉機構３０と連結される回転軸側直線部１６ａと、端部においてドア本体部１５ａと連結されるドア側直線部１６ｂとからなる。ドア側直線部１６ｂの端部はドア本体部１５ａに固定される固定端部として作用し、当該直線部はドア本体部１５ａの延在面に対して平行に延在する。回転軸３０ａは、トンネル部材２１を貫通して該部材の外方に配置されるドア開閉機構３０の駆動機構本体３０ｂと連結される。駆動機構本体３０ｂは、流体であるエアを用いたエアシリンダ３０ｃ、リンク機構３０ｄ等から構成されており（図１Ｄ及び２Ｂ参照）、回転軸３０ａを所定の二つの角度間で回転駆動させる。なお、回転軸３０ａは可動プレート１４の駆動方向である所定の方向に対して直交し且つポッド開口に対して垂直な面（被収容物たるウエハの延在面）と平行に設定される。
【００２６】
実際に主要構成である単一の蓋開閉システムが複数段重ねられた図２Ａ及び図２Ｂに示す構成において、個々の主要部は厚さ自体が薄く設定されており、駆動機構本体を個々の主要部に対して同一側面に配置することが困難となっている。このため、本実施形態においては、図２Ａに示される面には上段主要部及び下段主要部向けの駆動機構本体３０ｂが配置され、当該図に示される面とは対向する面側に中段主要部向けの駆動機構本体３０ｂが配置されている。図２Ａの上段主要部は、可動プレート１４の上面にポッド２が載置された所謂ロード開始時の状態を示している。中段主要部は、ポッド２が可動プレートによって駆動されてインフォパッドピン１５ｆがインフォパッド凹部２ｃ全てに嵌まり込み、適切なポッド２が当該システムに対して供給されたことが確認された状態を示している。また、下段主要部は、下段のインフォパッド凹部２ｃの内の一つの開口が閉鎖される条件を経たことを示すポッドが載置され、インフォパッドピン１５ｆが嵌合しなかったことからポッド２によってドア１５が微小空間側に押し込まれた状態を示している。
【００２７】
ここで、駆動機構本体３０ｂを構成するエアシリンダ３０ｃによって供給されるドア１５が微小空間側開口２０ａを閉鎖する際に供給される保持力は、可動プレート１４が不図示の駆動機構から供給されるポッド２の該開口２０ａ方向に向けた駆動力よりも弱く設定されている。従って、例えばインフォパッド凹部２ｃがその開口を閉鎖している場合であって、インフォパッドピン１５ｆ先端が該当する凹部２ｃに嵌まり込むことが不可能な場合には、具体的には図２Ａの下段主要部の状態となると、該インフォパッドピン１５ｆを介してドア１５が本体部２ａによって微小空間側に押されて位置をシフトさせることとなる（図２Ａ下段のドア１５及び図２Ｂ下段の駆動機構本体３ｂを参照）。当該動作によってリンク３０ｄも動き、当該動作によってエアシリンダ３０ｃはその伸長状態を変化される。エアシリンダ３０ｃには動作検知機能が付与されており、当該シフトを検知してアラーム信号を生成している。当該アラーム信号は不図示の制御装置に伝達され、公知のアラームライトの点灯、音声信号の発生等、不適切なポッドの配送が存在した旨の告知が行われる。
【００２８】
次に、以上の構成からなる蓋開閉機構の実際の動作について説明する。これら動作は、図１Ａと同様の様式にて開閉機構主要部の各動作を示す図３Ａ〜図３Ｅを用いて述べる。まず図３Ａ（或いは図１Ａ）に示すように、ドア１５がトンネル２０を略閉鎖した状態にあって、ロード位置に存在する可動プレート１４上にポッド２を載置する。ポッド２が位置決めピン１４ａの作用等によって可動プレート１４上の所定位置に載置された後、可動プレート１４が不図示の駆動機構によってドア１５方向に前進する。駆動機構による可動プレート１５の移動は、ポッド２を閉鎖する蓋４が吸着パッド１５ｃと当接する位置にて停止する（図３Ｂ）。その際、蓋４に設けられた不図示の位置決め凹部に位置決めピン１５ｄが嵌まり込み、蓋４とドア１５とが異常な配置にて当接することが防止される。同時に、ドア１５側に設けられたインフォパッドピン１５ｆがポッド２側に設けられたインフォパッド凹部２ｃに嵌合する。図に示す状態では、当該システム１０に適合するプロセスを経たウエハを収容するポッドが適正に載置されたことから、インフォパッドピン１５ｆは全て該当する凹部２ｃに嵌まり込み、ドア１５は初期位置からずれることなく蓋４との当接をはたしている。当接後、吸着パッド１５が不図示の排気機構によって蓋４の吸着保持を実施する。当該状態が図３Ｂに示される。
【００２９】
吸着パッド１５ｃを介したドア１５による蓋４の保持が為されると、可動プレート１４はポッド２を載置した状態で所定の蓋離脱位置まで後退する。この後退動作によって、ドア１５に保持された蓋４はポッド２の開口部２ｂから分離される。なお、分離時に際しては、ポッド本体２ａが不図示のシール部材によって、或いはポッド２内部とその外部空間との圧力差によって、蓋４に貼り付いていることが考えられる。このため、ポッド本体２ａは種々の構成によって可動プレート１４に固定されていることが好ましい。本実施形態では、位置決めピン１４ａの長さをある程度以上のものとすることで、当該ピン１４ａによって可動プレート後退時に蓋４からポッド本体２ａに作用する力に抗することとしている。図３Ｃにおいては、このように可動プレート１４が所定位置に後退して蓋４をポッド本体２ａから分離した、蓋離脱位置に存在する状態を示している。
【００３０】
可動プレート１４がこの停止状態を維持したままで、ドア開閉機構３０によってドア１５が回動される。ドア１５の回動は図３Ｄに示す状態で停止し、ドア１５及び蓋４は収容空間２１に収容される。続いて可動プレート１４が前進し、図３Ｅに示すように、ポッド２がウエハの挿脱位置に達したところで停止される。当該状態において、蓋４、ドア１５等は可動プレート１４を挟んでポッド２の下側に入り込んでいる。このため、微小空間２５内に生成されるダウンフローの効果と相まって、これら蓋等の構成に付着する塵等は容易にポッド２内部に侵入できなくなる。また、ダウンフローの生成によって微小空間内部は外部空間よりも高い圧力に維持されている。従って、トンネル２０内部には常に微小空間側から外部空間側に向かう気流の流れが生成されており、これら蓋４等に付着した塵等がポッド２の開口部２ｂに向かう可能性はさらに低減される。また、本実施形態においては、当該効果を得る観点から、トンネル２０の内壁とドアの周囲及びポッドの外周との間において適切な間隔（微小空間内と外部空間との差圧を過度に低減させず、且つ過度の流速を生じさせずに当該隙間を流れる気流を生成する間隔）を保持することとしている。
【００３１】
なお、本実施形態においては、ドアを駆動する或いは処置位置に保持するための駆動力を供給する構成として、流体シリンダであるエアシリンダ３０ｃを用いている。エアシリンダは、装置構成の簡素さ、周囲に対する環境の清浄性の維持の容易さ、極弱い保持力の提供及び比較的弱い保持力の調整の容易さによる上述した可動プレート１４の駆動力との相互作用の確保の容易さ等の使用メリットを有する。しかしながら、本発明は当該形態に限定されず、より強い保持力の提供或いは追随速度の高速化の観点から、他の流体を用いたシリンダにこれを置き換えても良い。また、当該構成は、ドアの駆動状態を検知することが可能であれば、流体シリンダに限定されない。例えば、回転軸をサーボ機構によりトルクを制御しながら駆動することとし、当該トルクを検出することによっても本件の特徴を同様に得ることが可能である。
【００３２】
また、インフォパッドからの情報はドアの動作に基づいて得ることとし、具体的には所謂シリンダセンサを用いてシリンダの伸縮を検知し、これによって当該システムに載置されるポッドの適否を知ることとしている。当該構成を採用することにより、本形態における所謂トンネル構造の内周面等に何ら凹凸を設けることが無くなる。従って、トンネル内周壁とポッド本体の外壁との間に形成される微小空間内部から外部空間に繋がる気体流路において気体の層流を阻害する要因を一切無くすることが可能となり。このため、ポッド本体外壁からの微小空間に対する汚染物質侵入を効果的駆る確実に防止することが可能となる。しかしながら、本発明は当該形態に限定されず、例えば、リンクの動作を赤外線センサ等の外部センサによって検知することとしても良い。この場合もトンネル内部には特段の構成を配置する必要はないが、センサ光を投光及び受光するための構成を配置することを要する。当該センサの検知精度によっては微小なリンク変化を検知して例えばインフォパッドに応じたリンクの変位の以外を検知することも可能となる反面、装置構成が複雑なものとなってしまう。また、トンネル内部に赤外線センサの光を直接導入してドアの位置を検知する構成としても良い。この場合、清浄度維持という観点からは好適とは言えないが、インフォパッドからの情報をよりダイレクトに検知することが可能となり、例えばリンク機構の不良等による情報の伝達不良を防止することが出来る。従って、本発明におけるインフォパッドの情報を検知する手段は、上述する構成を包含してポッドの蓋がドアに保持される位置にポッドが存在する状態に在るときにドアの位置を検知する手段として包括的に定義されることが好ましい。
【００３３】
また、本実施形態においては、本発明の基本的な適用対象として、本出願人が提唱する所謂トンネルを有する蓋開閉システムを例示している。しかしながら、本発明の適用対象は当該形態に限定されず、例えば、引用文献２に開示するようなトンネルを有さないシステムに対しても適用可能である。しかしながら、該文献に例示される構成の場合、ドアの動作を直接検知しようとした場合には本来構造物の存在を減らしてゆくべき微小空間内に本発明における検知手段の一部或いは全部を配置することを要する。また、リンク機構等を微小空間外部に存在させる場合には、回転軸を微小空間から直接外部に引き出す構成となると回転軸自体が長くなり、上述した可動テーブルの駆動力とドアの保持力との関係を適切に維持することが困難となる恐れがある。従って、当該構成に本発明を適用する場合には、上述した検知手段の配置と適切な保持力の確保との兼ね合いから適切な構成及び配置を選択することが望ましい。
【００３４】
また、本実施形態においては、インフォパッドにおけるピン１５ｆをドア１５側に配置し、対応する凹部２ｃをポッド本体２ａ側に配置することとしている。しかしながら、本発明は当該形態に限定されず、ドア側に凹部を配置し、ポッド本体側にピンを配置することとしても良い。また、インフォパッドの構成としては、ポッド側に配置される構成と、対応する蓋開閉システム側の構成と、の一対の構成からなり、且つこれら両構成の協働によって情報の伝達が可能であれば、ここで述べるようにピンと該ピンが嵌合可能な凹部との構成に限定されない。
【００３５】
以上の構成からなる蓋開閉システムを設けることにより、ポッド或いは当該ポッドに収容されたウエハの履歴に整合した工程を実施する処理装置に対して、常に適切なポッドを配給することが可能となる。
【実施例】
【００３６】
次に、先に説明した蓋開閉システムを実際に使用する基板処理装置について、本発明の実施例として説明する。図４は、所謂ミニエンバイロメント方式に対応した半導体ウエハ処理装置（基板処理装置）４０の概略構成を示す側面図である。半導体ウエハ処理装置４０は、主にロードポート部（FIMSシステム、蓋開閉装置）１０、搬送室（微小空間）２５、および処理室２９から構成されている。それぞれの接合部分は、ロードポート側の壁１１と、処理室側の連通路２８とにより分離区画されている。半導体ウエハ処理装置４０における搬送室２５では塵を排出して高清浄度を保つ為、その上部に設けられたファンフィルタユニット３３により搬送室２５の上方から下方に向かって空気流(ダウンフロー)を発生させている。また、搬送室２５の下面はメッシュ等により構成されており、これによりダウンフローの排出経路が構成される。以上の構成により、塵等が管理された空気が搬送室２５内に常に導入され、当該室内に存在する或いはポッド等から持ち込まれる塵等は、該ダウンフローによって常に下側に向かって運ばれ、排出されることになる。
【００３７】
ロードポート部１０上には、シリコンウエハ等（以下、単にウエハと呼ぶ）の保管用容器たるポッド２が載置台１４上に据え付けられる。なお、本実施例に係る装置においては、縦方向に３個のポッドが重ね合わせるように配置され、ポッド２の内部には２枚のウエハ１が保持される。先にも述べたように、搬送室２５の内部はウエハ１を処理する為に高清浄度に保たれており、更にその内部には搬送機構として実際にウエハを保持可能な搬送ロボット３５が設けられている。搬送ロボット３５はポッド２の重ね合わせ方向（鉛直方向）に移動可能であり、且つロボットアーム３５ａをイ同軸周りに３６０度回転可能となっている。当該ロボット３５によって、ウエハ１はポッド２内部と処理室２９の内部との間を移送される。処理室２９には、通常ウエハ表面等に薄膜形成、薄膜加工等の処理を施すための各種機構が内包されているが、これら構成は本発明と直接の関係を有さないためにここでの説明は省略する。
【００３８】
ポッド２は、前述したように、被処理物たるウエハ１を内部２枚に収めるための空間を有し、いずれか一面に開口を有する箱状の本体２ａと、該開口を密閉するための蓋４とを備えている。本体２ａの内部にはウエハ１を一方向に重ねる為の複数の段を有する棚が配置されており、ここに載置されるウエハ１各々はその間隔を一定としてポッド２内部に収容される。なお、ここで示した例においては、トンネル部材２１は複数（３系統）のトンネル２０を内部に有するが、単に前述したトンネル２０が可動プレート１４の配置に応じて形成されているだけであり、詳細については上述した形態と同様である。即ち、トンネル２０等の本発明に係る主たる構成は、上記実施形態において述べていること、及び図面の理解を容易なものとするという観点から、ここでの説明及び詳細な図示を省略する。
【００３９】
図５は、図４における蓋開閉システム１０を拡大して示すものである。従来の多数枚のウエハを保持するポッドに対応したFIMSシステムでは、蓋がある程度以上の大きさを有さざるを得なかったことから、蓋を取り外し且つ微小空間の開口部を閉鎖するドアは、微小空間内を移動して当該空間内にて停止せざるを得なかった。本発明においては、当該ドアが細長い板形状を有することから、蓋の幅に相当する量のポッドとドアの相対移動を可能とし且つポッドの移動領域外への蓋及びドアの回動を行うことで、ポッドからウエハ挿脱を行ない得る状態が得られる。従って、図４に示すようにドアの開閉機構を微小空間２５とは独立したトンネル内に配置することが可能となる。
【００４０】
例えばロボットがＸＹＺ等の３系統の動作を複合して駆動される場合、各々の方向への駆動時に全て障害が存在してこれらを避けて動作することが求められる場合、当該ロボットを安全に動作させるためにはかなり複雑な安全回路を構成する必要がある。本発明においては、ロボットの鉛直方向（Ｚ軸方向）における駆動で問題となる微小空間２５内部に突出する構成が何ら存在しない。従って、実際に安全回路等が必要となるのはウエハ挿脱の操作を行なうときのみとなり、回路構成は格段に容易となる。更に、微小空間２５内にロボット３５以外の構成が内包されなくなることにより、ダウンフローを乱す構成、特にポッド開口周囲でダウンフローを乱す構成が存在しなくなることによって、当該ダウンフローの塵等の排出効率が高くなる。同様に、ダウンフローの乱れによってドア等から塵が生じる可能性も低減される。また、半導体業界におけるSEMI（Semiconductor Equipment and Materials international）規格においては微小空間を構成する壁の微小空間側内壁において、ウエハ挿脱に供せられる開口部の周辺に突起物を配置することが認められていない。本発明は、当該規格に対しても合致するものである。
【００４１】
なお、上述した実施例では、可動プレート１４を載置台１３上に配置し、ポッド２はこれらの上に載置する構成とした。しかし、本発明の適用例は当該実施例に限定されず、例えばポッド２を上方から吊り下げる様式としても良い。当該実施例は図５と同様の様式にて図６に示す。ポッド２を所謂自動ハンドリングによって搬送等する場合、ポッド２の上面に固定された上部フランジ２ｃを用い、当該フランジを懸架することで、ポッド２の搬送等が行なわれる。本実施例では、懸架部材１７によって搬送されたポッド２を保持し、懸架部材駆動機構１９によって懸架部材１７と共にポッド２を移送することとしている。
【００４２】
当該構成によれば、前述した実施形態における可動プレート１４を無くすことが可能となり、当該プレートがポッド２と共にトンネル２０内部に侵入する状況を無くすことが可能となる。従って、収容空間２０ｃに要求されていた当該プレートの進入に応じる空間を削減することが可能となる。しかしながら、前述の実施例においては、蓋４の分離時にポッド本体２ａに加えられる力にある程度抗する強さで、ポッド本体２ａを可動プレート１４上に保持可能であった。本実施例の場合、単なる懸架では蓋の分離時のポッド本体２ａの保持力が不十分な恐れがあり、そのための構造の構築或いは更なる構成の付加が必要となる可能性がある。しかしながら、当該構成も使用も可能であることから、本発明のける収容機支持機構或いは支持機構にはこのような構成も含まれて解釈されなければならない。
【００４３】
本発明によれば、可動プレートの上下方向に突出する、或いは微小空間内に突出する、インフォパッドに関連する構成を無くした蓋開閉システムが得られる。当該システムにおいては、可動プレートの上下方向に突出する構成が存在しなくなることから、ポッドを垂直方向に複数段重ねたシステムを容易に構築することが出来る。また、ポッドローディング側に突出する構成が無いことから、微小空間内に形成されているダウンフローの効果を最大限に利用することが可能となる。また、ウエハ挿脱の操作に供せられる搬送ロボットに関しても、高速移動が要求されるＺ軸移動時にロボットが避けるべき構成が微小空間内に存在しなくなることから、ロボットの制御プログラムの構築が容易になると共に高速移動を行なうことも容易となる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
なお、本実施形態及び実施例においては、FOUP及びFIMSを対象として述べているが、本発明の適用例はこれらに限定されない。内部に複数の被保持物を収容するフロントオープンタイプの容器と、当該容器の蓋を開閉して該容器より被保持物の挿脱を行う系であれば、本発明に係る蓋開閉装置を適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１Ａ】本発明の一実施形態に係る蓋開閉システムと当該システムに載置されたポッドとの主要部を側面側から見た状態の概略構成を示す図である。
【図１Ｂ】図１Ａに示す構成を同図中線１Ｂ−１Ｂに示す面で切断して見える概略構成を示す図である。
【図１Ｃ】図１Ａに示す構成を同図中の矢印１Ｃ方向から見た状態の概略構成を示す図である。
【図１Ｄ】図１Ａに示す構成を同図中の矢印１Ｄ方向から見た状態の概略構成を示す図である。
【図２Ａ】図１Ａに示す構成を複数段重ね合わせた構成に関し、個々のシステム主要部において異なる状態を図１Ａと同様の様式にて示す図である。
【図２Ｂ】図２Ａに示す構成について、断面ではなくこれら構成を側面から見た状態を示す図である。
【図３Ａ】図１Ａに示すポッド２及びシステム１０について可動プレート１４上にポッド２を載置した初期状態を図１Ａと同様の様式にて示す図である。
【図３Ｂ】図３Ａに示す構成において、ポッド２が駆動されて蓋４がドア１５に当接、保持された状態を図１Ａと同様の様式にて示す図である。
【図３Ｃ】図１Ａに示す構成において、ポッド２が一旦後退して蓋４がポッド本体２ａから分離された状態を図１Ａと同様の様式にて示す図である。
【図３Ｄ】図１Ａに示す構成において、ドア１５が回動して蓋４及びドア１５が収容空間２０ｃに収容された状態を図１Ａと同様の様式にて示す図である。
【図３Ｅ】図１Ａに示す構成において、ポッド２がウエハ１の挿脱位置まで移動し、挿脱操作が実行可能となった状態を図１Ａと同様の様式にて示す図である。
【図４】本発明の一実施例に係る基板処理装置の概略構成を模式的に示す図である。
【図５】図４に示す構成における本発明の主要部を拡大して示す図である。
【図６】図５と同様の様式にて、本発明の他の実施例を示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１：ウエハ、  ２：ポッド、  ４：蓋、  １０：蓋開閉システム、  １３：載置台、  １４：可動プレート、  １５：ドア、  １７：懸架部材、  １８：懸架部材駆動機構、  ２０：トンネル、  ２１：トンネル部材、  ２５：微小空間、  ２８：連通路、  ２９：処理室、  ３０：ドア開閉機構、  ３３：ファンフィルタユニット、  ３５：搬送ロボット、  ４０：基板処理装置
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図３Ｅ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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