(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外表面に発熱体（１１０）が取り付けられる受熱壁（１２１）およびこの受熱壁（１２１）に対向する側の放熱壁（１２２）により形成される密閉容器（１２０）と、
前記密閉容器（１２０）内に設けられ、開口部（１３１）を有する１枚以上の平板部材（１３０）を前記受熱壁（１２１）と前記放熱壁（１２２）との間に積層して前記受熱壁（１２１）と前記放熱壁（１２２）とを熱的に連結する伝熱部（１５０）と、
前記放熱壁（１２２）から外部に熱を放熱する放熱フィン（１６０）とを有し、
前記密閉容器（１２０）内に封入された冷媒が、前記発熱体（１１０）からの熱により前記受熱壁（１２１）、前記伝熱部（１５０）を介して沸騰し、前記放熱壁（１２２）、前記放熱フィン（１６０）により凝縮することで前記発熱体（１１０）を冷却する沸騰冷却装置において、
前記放熱フィン（１６０）を前記放熱壁（１２２）とで挟み込むようにチューブ（１７０）を設け、前記チューブ（１７０）の両端部（１７５、１７６）は、前記放熱壁（１２２）の同一面上の離間した位置で前記密閉容器（１２０）の内部と連通するようにし、
前記平板部材（１３０）に形成された開口部（１３１）のうち、前記発熱体（１１０）近傍の開口部（１３１ａ）は、前記発熱体（１１０）周辺の開口部（１３１ｂ）よりも微細化されて設けられたことを特徴とする沸騰冷却装置。
【請求項２】
外表面に発熱体（１１０）が取り付けられる受熱壁（１２１）およびこの受熱壁（１２１）に対向する側の放熱壁（１２２）により形成される密閉容器（１２０）と、
前記密閉容器（１２０）内に設けられ、前記受熱壁（１２１）と前記放熱壁（１２２）とを熱的に連結する伝熱部（１５０）と、
前記放熱壁（１２２）から外部に熱を放熱する放熱フィン（１６０）とを有し、
前記密閉容器（１２０）内に封入された冷媒が、前記発熱体（１１０）からの熱により前記受熱壁（１２１）、前記伝熱部（１５０）を介して沸騰し、前記放熱壁（１２２）、前記放熱フィン（１６０）により凝縮することで前記発熱体（１１０）を冷却する沸騰冷却装置において、
前記放熱フィン（１６０）を前記放熱壁（１２２）とで挟み込むようにチューブ（１７０）を設け、前記チューブ（１７０）の両端部（１７５、１７６）は、前記放熱壁（１２２）の同一面上の離間した位置で前記密閉容器（１２０）の内部と連通するようにし、
前記放熱フィン（１６０）を冷却する冷却風が供給されており、
冷却風の流れ方向に所定の間隔をもって、前記放熱フィン（１６０）および前記チューブ（１７０）は、複数に分割されたことを特徴とする沸騰冷却装置。
【請求項３】
前記チューブ（１７０）の冷却風上流側には、冷却風の流れ方向を前記放熱フィン（１６０）側に向ける風向制御板（２００）が設けられたことを特徴とする請求項２に記載の沸騰冷却装置。
【請求項４】
前記チューブ（１７０）の外側には、冷却風が流通するダクト（２１０）が設けられ、
前記ダクト（２１０）と前記チューブ（１７０）間には隙間部（２１１）が設けられたことを特徴とする請求項２または請求項３のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
【請求項５】
外表面に発熱体（１１０）が取り付けられる受熱壁（１２１）およびこの受熱壁（１２１）に対向する側の放熱壁（１２２）により形成される密閉容器（１２０）と、
前記密閉容器（１２０）内に設けられ、前記受熱壁（１２１）と前記放熱壁（１２２）とを熱的に連結する伝熱部（１５０）と、
前記放熱壁（１２２）から外部に熱を放熱する放熱フィン（１６０）とを有し、
前記密閉容器（１２０）内に封入された冷媒が、前記発熱体（１１０）からの熱により前記受熱壁（１２１）、前記伝熱部（１５０）を介して沸騰し、前記放熱壁（１２２）、前記放熱フィン（１６０）により凝縮することで前記発熱体（１１０）を冷却する沸騰冷却装置において、
前記放熱フィン（１６０）を前記放熱壁（１２２）とで挟み込むようにチューブ（１７０）を設け、前記チューブ（１７０）の両端部（１７５、１７６）は、前記放熱壁（１２２）の同一面上の離間した位置で前記密閉容器（１２０）の内部と連通するようにし、
前記放熱フィン（１６０）を冷却する冷却風が供給されており、
前記放熱フィン（１６０）および前記チューブ（１７０）の冷却風の流れ方向の寸法（Ｗ）は、前記チューブ（１７０）内の冷媒の流れ方向の寸法（Ｌ）よりも小さくなるようにし、
前記放熱フィン（１６０）および前記チューブ（１７０）は、冷却風の流れ方向に対して所定角度傾斜するように設けられたことを特徴とする沸騰冷却装置。
【請求項６】
前記チューブ（１７０）は、内部に複数の管状通路（１７３）を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
【請求項７】
前記チューブ（１７０）は、多孔偏平チューブ（１７４）を管状通路（１７３）方向に略コの字形状に形成して設けられたことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
【請求項８】
前記放熱フィン（１６０）および前記チューブ（１７０）は、前記受熱壁（１２１）から前記放熱壁（１２２）に向かう方向に複数設けられたことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
【請求項９】
前記チューブ（１７０）の前記密閉容器（１２０）内に連通するいずれか一方の連通部（１７１）は、前記チューブ（１７０）内の各管状通路面積より大きい通路面積を有する連結部材（１８０）が介在されていることを特徴とする請求項６または請求項７のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
【請求項１０】
前記発熱体（１１０）が前記密閉容器（１２０）の下側に位置して使用される場合に、
前記発熱体（１１０）近傍の前記伝熱部（１５０）と、
前記チューブ（１７０）の前記密閉容器（１２０）内に連通するいずれか一方の連通部（１７２）との間に、
前記密閉容器（１２０）内の冷媒液面の上部空間（１２３）を分割する仕切り部（１９０）が設けられたことを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
【請求項１１】
前記発熱体（１１０）が前記密閉容器（１２０）の横側に位置して使用される場合に、
前記密閉容器（１２０）内の冷媒液面より上側に位置する上側フィン（１６１）の設置密度は、冷媒液面より下側に位置する下側フィン（１６２）の設置密度よりも疎になるように設けられたことを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
【請求項１２】
前記上側フィン（１６１）は、フィンピッチ（ｆｐ）を大きくして設置密度を疎としたことを特徴とする請求項１１に記載の沸騰冷却装置。
【請求項１３】
前記上側フィン（１６１）は、所定の領域を削除することにより設置密度を疎としたことを特徴とする請求項１１に記載の沸騰冷却装置。
【請求項１４】
前記平板部材（１３０）の冷媒液面より上側の開口部（１３１ｃ）は、冷媒液面より下側の開口部（１３１ｄ）よりも微細化されて設けられたことを特徴とする請求項１１〜１３のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
【請求項１５】
前記発熱体（１１０）は、冷媒液面よりも下側に位置するように設けられたことを特徴とする請求項１１〜１４のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
【請求項１６】
前記発熱体（１１０）が前記密閉容器（１２０）の上側に位置して使用される場合に、
前記密閉容器（１２０）内の容積は、前記チューブ（１７０）内の容積よりも大きくなるように設けられたことを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
【請求項１７】
前記発熱体（１１０）近傍の前記伝熱部（１５０）は、前記密閉容器（１２０）内の冷媒液面の上部空間（１２４）において、一体で形成されたことを特徴とする請求項１６に記載の沸騰冷却装置。
【請求項１８】
前記発熱体（１１０）近傍の前記伝熱部（１５０）は、ウイック構造を持って形成されたことを特徴とする請求項１６に記載の沸騰冷却装置。
【請求項１９】
前記チューブ（１７０）の前記両端部（１７５、１７６）の少なくとも一方は、前記密閉容器（１２０）内の冷媒液面より上側で開口するようにしたことを特徴とする請求項１〜１８のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子等の発熱体を冷却するための沸騰冷却装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の沸騰冷却装置は、特開平１０−３０８４８６号公報に示されるように、冷媒が封入される密閉容器が、発熱体が取り付けられる受熱壁と、受熱壁と間隔を置いて対向する放熱壁と、受熱壁と放熱壁との間に介在され、両壁を熱的に連結する伝熱部とから構成されており、この伝熱部は、開口部を有する１枚以上の平板部材が受熱壁と放熱壁の間に積層され、開口部間の板厚部が連なることで形成されるようにしている。
【０００３】
これにより、開口部を有する平板部材を積層することで伝熱部を容易に形成でき、低コストで、量産性の高い沸騰冷却装置を提供できるようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この沸騰冷却装置においては、密閉容器内の偏平状の空間で冷媒が任意の経路をもって沸騰、凝縮の循環をするので、冷媒循環がスムーズに行なわれず、充分な冷却性能が引き出せないという問題があった。
【０００５】
本発明の目的は、上記問題に鑑み、冷媒循環をスムーズに行なうことで、冷却性能を向上できる沸騰冷却装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するために、以下の技術的手段を採用する。
【００１４】
請求項１に記載の発明では、外表面に発熱体（１１０）が取り付けられる受熱壁（１２１）と放熱壁（１２２）により形成される密閉容器（１２０）内に、開口部（１３１）を有する１枚以上の平板部材（１３０）を受熱壁（１２１）と放熱壁（１２２）との間に積層して受熱壁（１２１）と放熱壁（１２２）とを熱的に連結する伝熱部（１５０）が設けられる。また、放熱壁（１２２）には外部に熱を放熱する放熱フィン（１６０）が設けられ、密閉容器（１２０）内に封入された冷媒が、発熱体（１１０）からの熱により受熱壁（１２１）、伝熱部（１５０）を介して沸騰し、放熱壁（１２２）、放熱フィン（１６０）により凝縮することで発熱体（１１０）を冷却する沸騰冷却装置において、放熱フィン（１６０）を放熱壁（１２２）とで挟み込むようにチューブ（１７０）を設け、このチューブ（１７０）の両端部（１７５、１７６）は、放熱壁（１２２）の同一面上の離間した位置で密閉容器（１２０）の内部と連通するようにしている。また、平板部材（１３０）に形成された開口部（１３１）のうち、発熱体（１１０）近傍の開口部（１３１ａ）は、発熱体（１１０）周辺の開口部（１３１ｂ）よりも微細化されて設けられたことを特徴とする。
これにより、従来の密閉容器（１２０）内の空間で任意に冷媒循環するものに対して、密閉容器（１２０）→チューブ（１７０）→密閉容器（１２０）に流通する冷媒循環流路が形成でき、冷媒循環をスムーズに行なうことができる。
また、放熱壁（１２２）、放熱フィン（１６０）に加えてチューブ（１７０）の外壁面からも放熱することができ、更に、チューブ（１７０）および放熱壁（１２２）の両側から放熱フィン（１６０）に沸騰した蒸気冷媒の熱および発熱体（１１０）の熱を付加できるのでフィン効率を向上でき、総じて、冷却性能を向上できる。
さらに、伝熱部（１５０）を、開口部（１３１）を有する１枚以上の平板部材（１３０）を受熱壁（１２１）と放熱壁（１２２）との間に積層して形成することにより、安価で容易に伝熱部（１５０）を有する密閉容器（１２０）を形成できる。
また、発熱体（１１０）近傍の開口部（１３１ａ）を、発熱体（１１０）周辺の開口部（１３１ｂ）よりも微細化して設けてやれば、伝熱部（１５０）の伝熱面積を拡大でき、冷媒を効率よく沸騰させるので冷却性能を向上できる。
【００２２】
請求項２に記載の発明では、外表面に発熱体（１１０）が取り付けられる受熱壁（１２１）およびこの受熱壁（１２１）に対向する側の放熱壁（１２２）により形成される密閉容器（１２０）と、密閉容器（１２０）内に設けられ、受熱壁（１２１）と放熱壁（１２２）とを熱的に連結する伝熱部（１５０）と、放熱壁（１２２）から外部に熱を放熱する放熱フィン（１６０）とを有し、密閉容器（１２０）内に封入された冷媒が、発熱体（１１０）からの熱により受熱壁（１２１）、伝熱部（１５０）を介して沸騰し、放熱壁（１２２）、放熱フィン（１６０）により凝縮することで発熱体（１１０）を冷却する沸騰冷却装置において、放熱フィン（１６０）を放熱壁（１２２）とで挟み込むようにチューブ（１７０）を設け、チューブ（１７０）の両端部（１７５、１７６）は、放熱壁（１２２）の同一面上の離間した位置で密閉容器（１２０）の内部と連通するようにしている。また、放熱フィン（１６０）を冷却する冷却風が供給されており、冷却風の流れ方向に所定の間隔をもって、放熱フィン（１６０）およびチューブ（１７０）は、複数に分割されたことを特徴とする。
【００２３】
これにより、従来の密閉容器（１２０）内の空間で任意に冷媒循環するものに対して、密閉容器（１２０）→チューブ（１７０）→密閉容器（１２０）に流通する冷媒循環流路が形成でき、冷媒循環をスムーズに行なうことができる。
また、放熱壁（１２２）、放熱フィン（１６０）に加えてチューブ（１７０）の外壁面からも放熱することができ、更に、チューブ（１７０）および放熱壁（１２２）の両側から放熱フィン（１６０）に沸騰した蒸気冷媒の熱および発熱体（１１０）の熱を付加できるのでフィン効率を向上でき、総じて、冷却性能を向上できる。
さらに、放熱フィン（１６０ａ）で熱交換し温度上昇した冷却風は、分割された領域でチューブ（１６０）の外部を流通する冷却風により温度低下され、次の放熱フィン（１６０ｂ）に流入していくので冷却性能を向上できる。
【００２４】
請求項３に記載の発明では、チューブ（１７０）の冷却風上流側には、冷却風の流れ方向を前記放熱フィン（１６０）側に向ける風向制御板（２００）が設けられたことを特徴とする。
これにより、チューブ（１７０）の外側を流れる温度の低い冷却風を放熱フィン（１６０）側に供給でき、また、これにより風量も増加させることができるので冷却性能を向上できる。
【００２５】
請求項４に記載の発明では、チューブ（１７０）の外側には、冷却風が流通するダクト（２１０）が設けられており、ダクト（２１０）とチューブ（１７０）間には隙間部（２１１）を設けるようにしたことを特徴としている。
【００２６】
これにより、隙間部（２１１）には熱交換されない冷却風が流れ、放熱フィン（１６０）の分割された領域で、放熱フィン（１６０）内を通過し温度上昇した冷却風に温度低下の効果を果たすので冷却性能を向上できる。
【００２７】
請求項５に記載の発明では、外表面に発熱体（１１０）が取り付けられる受熱壁（１２１）およびこの受熱壁（１２１）に対向する側の放熱壁（１２２）により形成される密閉容器（１２０）と、密閉容器（１２０）内に設けられ、受熱壁（１２１）と放熱壁（１２２）とを熱的に連結する伝熱部（１５０）と、放熱壁（１２２）から外部に熱を放熱する放熱フィン（１６０）とを有し、密閉容器（１２０）内に封入された冷媒が、発熱体（１１０）からの熱により受熱壁（１２１）、伝熱部（１５０）を介して沸騰し、放熱壁（１２２）、放熱フィン（１６０）により凝縮することで発熱体（１１０）を冷却する沸騰冷却装置において、放熱フィン（１６０）を放熱壁（１２２）とで挟み込むようにチューブ（１７０）を設け、チューブ（１７０）の両端部（１７５、１７６）は、放熱壁（１２２）の同一面上の離間した位置で密閉容器（１２０）の内部と連通するようにしている。また、放熱フィン（１６０）を冷却する冷却風が供給されており、放熱フィン（１６０）およびチューブ（１７０）の冷却風の流れ方向の寸法（Ｗ）は、チューブ（１７０）内の冷媒の流れ方向の寸法（Ｌ）よりも小さくなるようにし、放熱フィン（１６０）およびチューブ（１７０）を、冷却風の流れ方向に対して所定角度傾斜するように設けたことを特徴としている。
【００２８】
これにより、従来の密閉容器（１２０）内の空間で任意に冷媒循環するものに対して、密閉容器（１２０）→チューブ（１７０）→密閉容器（１２０）に流通する冷媒循環流路が形成でき、冷媒循環をスムーズに行なうことができる。
また、放熱壁（１２２）、放熱フィン（１６０）に加えてチューブ（１７０）の外壁面からも放熱することができ、更に、チューブ（１７０）および放熱壁（１２２）の両側から放熱フィン（１６０）に沸騰した蒸気冷媒の熱および発熱体（１１０）の熱を付加できるのでフィン効率を向上でき、総じて、冷却性能を向上できる。
さらに、放熱フィン（１６０）の冷却風の流れ方向が長い場合、放熱フィン（１６０）の冷却風の流れ方向の寸法（Ｗ）を小さくして通風抵抗を小さくできる。また、冷却風の流入する開口面積を大きくできるので、冷却風量を増加させて冷却性能を向上できる。
請求項６に記載の発明では、チューブ（１７０）は、内部に複数の管状通路（１７３）を有することを特徴とする。
請求項７に記載の発明では、チューブ（１７０）は、多孔偏平チューブ（１７４）を管状通路（１７３）方向に略コの字形状に形成して設けられたことを特徴とする。
上記の請求項６、７に記載の発明では、チューブ（１７０）内の放熱（凝縮）面積を拡大でき、冷却性能を更に向上できる。また、複数の管状通路（１７３）を有するチューブ（１７０）として、押し出し成形により得られる多孔偏平チューブを用いることで、安価に対応できる。
請求項８に記載の発明では、放熱フィン（１６０）およびチューブ（１７０）は、受熱壁（１２１）から放熱壁（１２２）に向かう方向に複数設けられたことを特徴とする。
これにより、放熱フィン（１６０）およびチューブ（１６０）の放熱面積を必要に応じて拡大でき、冷却性能を向上できる。
請求項９に記載の発明では、チューブ（１７０）の密閉容器（１２０）内に連通するいずれか一方の連通部（１７１）は、チューブ（１７０）内の各管状通路面積より大きい通路面積を有する連結部材（１８０）が介在されていることを特徴とする。
請求項１０に記載の発明では、発熱体（１１０）が密閉容器（１２０）の下側に位置して使用される場合に、発熱体（１１０）近傍の伝熱部（１５０）と、チューブ（１７０）の密閉容器（１２０）内に連通するいずれか一方の連通部（１７２）との間に、密閉容器（１２０）内の冷媒液面の上部空間（１２３）を分割する仕切り部（１９０）が設けられたことを特徴とする。
これにより、冷媒循環を促進することができ冷却性能を向上できる。また、通路面積の大きい連結部材（１８０）を介在させることで、沸騰した冷媒がこの連結部材（１８０）側から流入しやすくなるので冷媒循環が促進される。
更に、仕切り部（１９０）を設けることで、チューブ（１７０）の２つの連通部（１７１、１７２）に対して沸騰した冷媒の流入側と凝縮した冷媒の流出側とが自ずと決まり、冷媒の循環方向が規制されるので冷媒循環が促進される。
【００２９】
請求項１１に記載の発明では、発熱体（１１０）が密閉容器（１２０）の横側に位置して使用される場合に、密閉容器（１２０）内の冷媒液面より上側に位置する上側フィン（１６１）の設置密度を、冷媒液面より下側に位置する下側フィン（１６２）の設置密度よりも疎になるように設けたことを特徴としている。
【００３０】
具体的には、請求項１２に記載の発明のように、上側フィン（１６１）のフィンピッチ（ｆｐ）を大きくして設置密度を疎とする。または、請求項１３に記載の発明のように、上側フィン（１６１）の所定の領域を削除することにより設置密度を疎とするようにしている。
【００３１】
これにより、上側フィン（１６１）の領域は通風抵抗が小さくなり冷却風量が増加するので、密閉容器（１２０）内の上側に沸騰した冷媒は効率的に冷却され凝縮するので冷却性能を向上できる。
【００３２】
請求項１４に記載の発明では、平板部材（１３０）の冷媒液面より上側の開口部（１３１ｃ）を、冷媒液面より下側の開口部（１３１ｄ）よりも微細化して設けたことを特徴としている。
【００３３】
これにより、密閉容器（１２０）内の冷媒液面より上側の伝熱部（１５０）の伝熱面積を大きくできるので、沸騰した冷媒の熱を効率的に放熱フィン（１６０）側に伝達でき冷却性能を向上できる。
【００３４】
請求項１５に記載の発明では、発熱体（１１０）を、冷媒液面よりも下側に位置するように設けたことを特徴としている。
【００３５】
これにより、発熱体（１１０）の熱を効果的に冷媒に伝達させ沸騰させることができるので、冷却性能を向上できる。
【００３６】
請求項１６に記載の発明では、発熱体（１１０）が密閉容器（１２０）の上側に位置して使用される場合に、密閉容器（１２０）内の容積を、チューブ（１７０）内の容積よりも大きくなるように設けたことを特徴としている。
【００３７】
これにより、冷媒がチューブ（１７０）内を満たし、尚且つ、放熱壁（１２２）の上側になる位置で容易に冷媒液面を形成するようにできるので、発熱体（１１０）の熱を伝熱部（１５０）を介して効率よく熱伝達させ、沸騰させることができるので冷却性能を向上できる。
【００３８】
請求項１７に記載の発明では、発熱体（１１０）近傍の伝熱部（１５０）を、密閉容器（１２０）内の冷媒液面の上部空間（１２４）において、一体で形成したことを特徴としている。
【００３９】
これにより、発熱体（１１０）から冷媒液面までの伝熱部（１５０）の伝熱面積を大きくでき、効率的に冷媒に熱を伝えることができる。
【００４０】
請求項１８に記載の発明では、発熱体（１１０）近傍の伝熱部（１５０）を、ウイック構造を持って形成したことを特徴としている。
【００４１】
これにより、発熱体（１１０）近傍の冷媒液面が毛細管力により上方へ吸い上げられるので、発熱体（１１０）と冷媒との間の熱抵抗を低減でき、また、冷媒との伝熱面積を大きくできるので、効率的に冷媒を沸騰させ冷却性能を向上できる。
【００４２】
請求項１９に記載の発明では、チューブ（１７０）の両端部（１７５、１７６）の少なくとも一方を、密閉容器（１２０）内の冷媒液面より上側で開口するようにしたことを特徴としている。
【００４３】
これにより、沸騰した冷媒が、自ずと冷媒液面より上側に開口する側の端部（１７５）からチューブ（１７０）内に流入し循環するので、冷媒循環が促進され冷却性能を向上できる。
【００４４】
尚、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【００５１】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
次に、本発明の沸騰冷却装置の第１実施形態を図１〜図４に基づいて説明する。図１は沸騰冷却装置１００の外観斜視図であり、この沸騰冷却装置１００は、例えば、半導体素子等の発熱体１１０を冷却するもので、密閉容器１２０、放熱フィン１６０、チューブ１７０等から構成されている。
【００５２】
図２〜図４に示すように、密閉容器１２０は、下側壁面を形成する受熱壁１２１と上側壁面を形成する放熱壁１２２、及び受熱壁１２１と放熱壁１２２との間に積層される第１の平板部材（以下、平板部材）１３０と第２の平板部材（以下、平板部材）１４０より構成され、全体が一体ろう付けにより製造されている。
【００５３】
受熱壁１２１、放熱壁１２２、及び各平板部材１３０、１４０は、それぞれろう付けが可能で、熱伝導性に優れる金属板（例えばアルミニウム板）から成り、それぞれ平面形状が同一面積の長方形に形成されている。具体的には、母材となるアルミニウム板の表面にろう材層が形成されたクラッド材を使用している。受熱壁１２１と放熱壁１２２は、所要の強度を確保するために各平板部材１３０、１４０より板厚が厚く形成されているが、図１、図２、図４では、便宜上、受熱壁１２１と放熱壁１２２の板厚を各平板部材１３０、１４０と略同一寸法に示している。
【００５４】
図３に示すように、平板部材１３０は、本発明の開口部１３１であるスリット状の開口部１３１ａ、１３１ｂが部材の縦方向（図３（ａ）の上下方向）に沿って複数本形成されており、その内、一点鎖線で示す発熱体１１０の位置に相当する中央部領域の開口部１３１ａは、その周辺部の開口部１３１ｂよりもスリット幅が微細化されたものとしている。また平板部材１４０は、上記平板部材１３０と同様に、微細化された開口部１４１ａとスリット幅の大きい開口部１４１ｂが部材の横方向（図３（ｂ）の左右方向）に沿って複数本形成されている。平板部材１３０の開口部１３１ａ、１３１ｂと平板部材１４０の開口部１４１ａ、１４１ｂは、切削加工、プレス加工、エッチング加工等により形成されている。
【００５５】
密閉容器１２０は、図２、図４に示す様に、平板部材１３０と平板部材１４０とが受熱壁１２１と放熱壁１２２との間に交互に積層されて、平板部材１３０の開口部１３１ａ、１３１ｂと平板部材１４０の開口部１４１ａ、１４１ｂとが交差する位置で互いの開口部１３１ａ、１３１ｂと開口部１４１ａ、１４１ｂ同士が連通して密閉空間が形成される。
【００５６】
そして，この密閉容器１２０には、各平板部材１３０、１４０のそれぞれ隣合う開口部１３１ａと１３１ａ、１３１ｂと１３１ｂ間および開口部１４１ａと１４１ａ、１４１ｂと１４１ｂ間に形成される板厚部１３２ａ、１３２ｂ、１４２ａ、１４２ｃ同士が上下方向（積層方向）に交差して柱状の伝熱部１５０が形成されている。この伝熱部１５０は、各平板部材１３０、１４０の板厚部１３２ａ、１３２ｂ、１４２ａ、１４２ｂ同士が交差する位置毎に設けられて、それぞれ下端面が受熱壁１２１と接触し、上端面が放熱壁１２２と接触して、受熱壁１２１と放熱壁１２２とを熱的に連結している。尚、発熱体１１０の位置に相当する中央部領域の開口部１３１ａ、１４１ａは微細化されているので、積層されて形成されるこの領域の伝熱部１５０も微細化されたものとなっている。
【００５７】
発熱体１１０は、密閉容器１２０の受熱壁１２１の略中央部に配されて（実際は、後述するチューブ１７０の端部１７５、１７６のいずれかの側にずれているのが好ましい）、図示しないボルト等の締め付けにより受熱壁１２１に固定されている。なお、発熱体１１０と受熱壁１２１との間の接触熱抵抗を小さくするために、両者間に熱伝導グリースを介在させても良い。
【００５８】
放熱フィン１６０は、熱伝導性に優れるアルミニウム等の薄肉板材を波状に成形したもので、放熱壁１２２の外側にろう付けされている。
【００５９】
チューブ１７０は、アルミニウム材の押し出し成形により内部に複数の管状通路１７３を有する多孔偏平チューブであり、管状通路１７３の方向に略コの字形状に成形されたものである。このチューブ１７０は、放熱フィン１６０を放熱壁１２２とで挟み込むように設けられ、水平方向に延びる下側面は、放熱フィン１６０の上端部とろう付けされている。そして、チューブ１７０の両端部１７５、１７６は、放熱壁１２２の同一面上の離間した位置、即ち、両端に設けられた連通孔１２２ａ、１２２ｂに嵌合、ろう付けされ、連通部１７１、１７２を形成し、密閉容器１２０の内部と連通している。更に、両端部１７５、１７６は、後述する密閉容器１２０内に注入される冷媒の液面より上側で開口するようにしている。
【００６０】
注入パイプ２３０は、放熱壁１２２（または受熱壁１２１）を貫通して密閉容器１２０内の密閉空間に通じる貫通穴１２２ｃに差し込まれてろう付けされており、その密閉空間に注入パイプ２３０を通じて所定量の冷媒が注入され、注入後、注入パイプ２３０の先端を封じ切って密閉される。冷媒は、水、アルコール、フロロカーボン、フロン等が用いられる。
【００６１】
次に、本実施形態の作動に付いて説明する。
【００６２】
本沸騰冷却装置１００においては、発熱体１１０が密閉容器１２０の下側（以下、ボトム姿勢と呼ぶ）、横側（以下、サイド姿勢と呼ぶ）、上側（以下、トップ姿勢と呼ぶ）のそれぞれの位置に配置されても冷却が可能であるが、ここではボトム姿勢をベースにしてその作動を説明する。（他の姿勢時の作動に付いては以降の実施形態で説明する。）
発熱体１１０から発生した熱は、受熱壁１２１、伝熱部１５０を通じて密閉容器１２０内に封入された冷媒に伝達されて冷媒を沸騰させるとともに、受熱壁１２１から各伝熱部１５０を通じて放熱壁１２２へ伝達され、放熱フィン１６０から大気に放出される。
【００６３】
一方、発熱体１１０から受熱壁１２１へ伝わる熱は、発熱体１１０の取付け部位から遠くなる程低くなるため、密閉容器１２０内の冷媒は、主に発熱体１１０の取付け部位に対応する領域（以下、沸騰領域と言う）で沸騰する。この沸騰領域で沸騰した蒸気冷媒は、主に各平板部材１３０、１４０の開口部１３１ａ、１４１ａを通って密閉容器１２０内の上部空間１２３に上昇し、連通部１７１よりチューブ１７０の管状通路１７３に流入する。この時、チューブ１７０の内壁面および放熱フィン１６０により蒸気冷媒の熱は凝縮潜熱として大気に放出され凝縮して液化する。液化した冷媒は、連通部１７２から密閉容器１２０内の液冷媒へ還流し、上記サイクル（沸騰−凝縮−液化）を繰り返すことにより発熱体１１０は冷却される。
【００６４】
以上の構成、作動より、本実施形態の効果について説明する。
【００６５】
従来のように冷媒液面の上部空間１２３内で任意に冷媒循環していたものに対して、チューブ１７０を設けることにより、密閉容器１２０→連通部１７１→チューブ１７０→連通部１７２→密閉容器１２０に流通する冷媒循環流路が形成できるので、冷媒循環がスムーズに行なわれるようになる。また、放熱壁１２２、放熱フィン１６０に加えてチューブ１７０の外壁面からも放熱することができるようになり、更に、チューブ１７０および放熱壁１２２の両側から放熱フィン１６０に蒸気冷媒の熱および発熱体１１０の熱を付加できるのでフィン効率を向上でき、総じて、冷却性能を向上できる。
【００６６】
また、チューブ１７０内には、複数の管状通路１７３を設けているので、チューブ１７０内の放熱（凝縮）面積を拡大でき、冷却性能を更に向上できる。また、このチューブを押し出し成形により得られる多孔偏平チューブを用いて形成しているので、安価に対応できる。
【００６７】
更に、伝熱部１５０は、開口部１３１ａ、１３１ｂ、１４１ａ、１４１ｂを有する平板部材１３０、１４０を受熱壁１２１および放熱壁１２２との間に積層することで形成できるので、安価で容易に伝熱部１５０を有する密閉容器１２０を構成できる。尚、発熱体１１０近傍の開口部１３１ａ、１４１ａを、発熱体１１０周辺の開口部１３１ｂ、１４１ｂよりも微細化しているので、発熱体１１０近傍の伝熱部１５０の伝熱面積を拡大でき、冷媒を効率よく沸騰させることができ冷却性能を向上できる。
【００６８】
尚、図５に示すように、チューブ１７０の一方の端部１７６は、密閉容器１２０内の冷媒液面の下側で開口するようにしても良く、この場合では、沸騰した冷媒が自ずと連通部１７１側から流入し循環するので、冷媒循環が促進され冷却性能を向上できる。
【００６９】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態を図６に示す。第２実施形態は、上記第１実施形態に対して、冷媒循環を促進させるようにしたものである。
【００７０】
ここでは、チューブ１７０は、受熱壁１２１に対して所定角度θだけ（具体的には、５度程度）傾斜するように設けている。チューブ１７０を傾斜させることにより形成される放熱壁１２２と放熱フィン１６０との隙間部には、断面が三角形状を成す伝熱部材２２０を介在させている。
【００７１】
これにより、チューブ１７０内で蒸気から液体に凝縮する冷媒は、重力を受けて下側傾斜方向に流れやすくなるので、冷媒循環が促進され冷却性能を向上できる。
【００７２】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態を図７、図８に示す。第３実施形態は、上記第２実施形態と同様に冷媒循環を促進させるものである。
【００７３】
チューブ１７０と密閉容器１２０とが連通する連通部１７１、１７２の内、連通部１７１に、通路１８１を有する連結部材１８０を介在するようにしている。この通路１８１の通路面積は、チューブ１７０内の管状通路１７３の各通路面積より大きくなるようにしている。尚、チューブ１７０は、多孔偏平チューブを断面が略Ｌ字形状になるように成形したものとしている。
【００７４】
これにより、沸騰した冷媒はこの連結部材１８０側から流入しやすくなるので冷媒循環が促進され、冷却性能を向上できる。
【００７５】
尚、チューブ１７０の一方の連通部１７１側の複数の管状通路１７３は、中ぐりにより端部１７５から所定区間、図８（ａ）に示すような通路１８１となるようにしても良い。
【００７６】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態を図９に示す。第４実施形態も、上記第２、第３実施形態と同様に、冷媒循環を促進させるものである。
【００７７】
発熱体１１０がボトム姿勢の場合に、発熱体１１０近傍の伝熱部１５０とチューブ１７０の連通部１７２との間に、密閉容器１２０内の冷媒液面の上部空間１２３を分割する仕切り部１９０を設けている。
【００７８】
これにより、沸騰した冷媒は、仕切り部１９０により連通部１７２側へ流れることが無く、自ずと連通部１７１側からチューブ１７０に流入し、凝縮液化して連通部１７２から液冷媒に戻るように冷媒の循環方向が規制されるので冷媒循環を促進でき冷却性能を向上できる。
【００７９】
（第５実施形態）
本発明の第５実施形態を図１０に示す。第５実施形態は、放熱フィン１６０に供給される冷却風をより効率的に作用させ、冷却性能を向上させるようにしたものである。
【００８０】
放熱フィン１６０およびチューブ１７０は、冷却風の流れ方向に所定の間隔Ｐをもって、複数（ここでは２つの放熱フィン１６０ａ、１６０ｂ、および２つのチューブ１７０ａ、１７０ｂ）に分割するようにしている。
【００８１】
これにより、密閉容器１２０が冷却風の流れ方向に長い場合に、放熱フィン１６０およびチューブ１７０を分割しないで一体で設けると、放熱フィン１６０内を流れる冷却風が熱交換により温度上昇していくのに対して、放熱フィン１６０ａで熱交換し温度上昇した冷却風（実線）は、分割された領域（間隔Ｐ部）でチューブ１６０の外側を流通する冷却風（破線）により温度低下され、放熱フィン１６０ｂに流入していくので冷却性能を向上できる。
【００８２】
尚、当然のことながら、上記第１、第２実施形態において説明したように、発熱体１１０近傍の平板部材１３０、１４０の開口部１３１ａ、１４１ａは、微細化され、また、チューブ１７０は、受熱壁１２１に対して傾斜するように設けるのが良い。上記の組み合わせにより、伝熱部１５０は微細化され効率的に冷媒が沸騰し、密閉容器１２０内とチューブ１７０内とで促進されて冷媒循環し、加えて、冷却風の温度低下の効果を得て冷却性能を更に向上できる。
【００８３】
（第６実施形態）
本発明の第６実施形態を図１１に示す。第６実施形態は、上記第５実施形態に対して、更に冷却風を有効に作用させるようにしたものである。
【００８４】
ここでは、チューブ１７０ｂの冷却風上流側に、冷却風を放熱フィン１６０ｂ側に向ける風向制御板２００を設けている。
【００８５】
これにより、チューブ１７０ａの外側を流れる温度の低い冷却風を、放熱フィン１６０ｂ側に供給でき、また、これにより風量も増加させることができるので冷却性能を向上できる。
【００８６】
（第７実施形態）
本発明の第７実施形態を図１２に示す。第７実施形態は、冷却風が流通するダクト２１０が設けらている場合の性能向上を狙ったものである。
【００８７】
送風機２４０から発生する冷却風の流れを導くダクト２１０が、放熱フィン１６０ａ、１６０ｂおよびチューブ１７０ａ、１７０ｂの外側から囲むように設けられており、ダクト２１０とチューブ１７０ａ、１７０ｂの間には、隙間があくように隙間部２１１を設けるようにしている。
【００８８】
これにより、隙間部２１１には熱交換されない冷却風が流れ、放熱フィン１６０ａ、１６０ｂ間の分割された領域で、放熱フィン１６０ａ内を通過し温度上昇した冷却風に温度低下の効果を果たすので冷却性能を向上できる。
【００８９】
尚、この場合も上記第６実施形態と同様に、風向制御板２００を設けるようにすれば、冷却性能を更に向上できる。
【００９０】
（第８実施形態）
本発明の第８実施形態を図１３に示す。第８実施形態は、放熱フィン１６０の通風抵抗を低減して冷却性能を向上させるようにしたものである。
【００９１】
密閉容器１２０の冷却風の流れ方向の長さが、冷却風の流れ方向に交差する方向の長さより長い場合に、放熱フィン１６０およびチューブ１７０の冷却風の流れ方向の寸法Ｗは、チューブ１７０内の冷媒の流れ方向の寸法Ｌよりも短くなるように設けている。そして、放熱フィン１６０およびチューブ１７０を、冷却風の流れ方向に対して所定角度傾斜するように設けている。（具体的には、放熱フィン１６０およびチューブ１７０が密閉容器１２０のほぼ対角線上に配置されるようにしている。）
これにより、放熱フィン１６０の冷却風の流れ方向の寸法Ｗを小さくして通風抵抗を小さくできる。また、冷媒流れ方向の寸法Ｌを密閉容器１２０の対角線上に向けて長くし、冷却風の流入する開口面積を大きくできるので、冷却風量を増加させて冷却性能を向上できる。
【００９２】
（第９実施形態）
本発明の第９実施形態を図１４、図１５に示す。第９実施形態は、発熱体１１０をサイド姿勢で使用する場合に、冷却性能を向上させるようにしたものである。
【００９３】
密閉容器１２０内を形成する平板部材１３０、１４０は、後述する発熱体１１０が配置される領域に、上記第１実施形態と同様にスリット幅を微細化した開口部１３１ａ、１４１ａが設けられている。加えて、後述する冷媒液面より上側にはスリット幅を微細化した開口部１３１ｃ、１４１ｃが設けられ、冷媒液面より下側にはスリット幅の大きい開口部１３１ｄ、１４１ｄが設けられている。これにより密閉容器１２０内の発熱体１１０の配置領域および冷媒液面より上側の領域には、微細化された伝熱部１５０が形成されることになる。
【００９４】
密閉容器１２０内の冷媒液面は、チューブ１７０の密閉容器１２０内に連通する両連通部１７１、１７２の間に成るように設けられ（液面は可能な限り下側に設けるのが良い。）、発熱体１１０は、この冷媒液面よりも下に位置するように設けられている。
【００９５】
更に、冷媒液面より上側に位置する上側フィン１６１の設置密度を、冷媒液面より下側に位置する下側フィン１６２の設置密度よりも疎になるようにしている。具体的には、上側フィン１６１のフィンピッチｆｐを大きくすることで設置密度を疎としている。
【００９６】
次に、発熱体１１０をサイド姿勢で使用する本実施形態の作動について説明する。
【００９７】
発熱体１１０から発生した熱は、受熱壁１２１、伝熱部１５０を通じて密閉容器１２０内の冷媒に伝達されて冷媒を沸騰させるとともに、受熱壁１２１から各伝熱部１５０を通じて放熱壁１２２へ伝達され、両フィン１６１、１６２から大気に放出される。
【００９８】
一方、発熱体１１０から受熱壁１２１へ伝わる熱は、更に伝熱部１５０を介して冷媒に伝達され、沸騰領域で冷媒を沸騰させる。この沸騰領域で沸騰した蒸気冷媒は、主に各平板部材１３０、１４０の開口部１３１ａ、１４１ａを通って密閉容器１２０内の上部空間１２５に上昇し、連通部１７１よりチューブ１７０の管状通路１７３に流入する。この時、チューブ１７０の内壁面および両フィン１６１、１６２などにより蒸気冷媒の熱は凝縮潜熱として大気に放出され凝縮して液化する。液化した冷媒は、重力によって下降し連通部１７２から密閉容器１２０内の液冷媒へ還流し、上記サイクル（沸騰−凝縮−液化）を繰り返すことにより発熱体１１０は冷却される。
【００９９】
以上の構成、作動より、本実施形態の効果について説明する。
従来のように冷媒液面の上部空間１２５内で任意に冷媒循環していたものに対して、チューブ１７０を冷媒液面の上側と下側で連通するように設けることにより、密閉容器１２０→連通部１７１→チューブ１７０→連通部１７２→密閉容器１２０というように冷媒循環方向が規制されるので、冷媒循環を促進でき冷却性能を向上できる。また、上記第１実施形態と同様に、放熱壁１２２、放熱フィン１６０に加えてチューブ１７０の外壁面からも放熱することができるようになり、更に、チューブ１７０および放熱壁１２２の両側から放熱フィン１６０に蒸気冷媒の熱および発熱体１１０の熱を付加できるのでフィン効率を向上でき、総じて、冷却性能を向上できる。
【０１００】
また、発熱体１１０を冷媒液面より下側に設けているので、発熱体１１０の熱を伝熱部１５０を介して効率的に冷媒に伝達させ沸騰させることができる。そして、沸騰領域の伝熱部１５０は伝熱面積を大きくできるので、冷媒を効率的に沸騰させることができる。
【０１０１】
更に、冷媒液面より上側の伝熱部１５０も伝熱面積を大きくでき、また、上側フィン１６１の領域は通風抵抗が小さくなり冷却風量が増加するので、密閉容器１２０内の上部空間１２５に沸騰した冷媒は、効率的に冷却され凝縮するので冷却性能を向上できる。
【０１０２】
（第１０実施形態）
本発明の第１０実施形態を図１６に示す。第１０実施形態は、上記第９実施形態と同様に、放熱フィン１６０の通風抵抗を下げて冷却性能を向上するようにしたものである。
【０１０３】
放熱フィン１６０およびチューブ１７０は、上記第５実施形態のように冷却風の流れ方向に所定の間隔Ｐをもって複数（ここでは、３つの放熱フィン１６０ａ、１６０ｂ、１６０ｃ、および３つのチューブ１７０ａ、１７０ｂ、１７０ｃ）に分割しており、最下流側の放熱フィン１６０ｃおよびチューブ１７０ｃの冷媒液面よりも上側に相当する領域を削除するようにしている。
【０１０４】
尚、フィン１６０ｃ、チューブ１７０ｃの削除された領域には注入パイプ２３０を設け、間隔Ｐの領域には、密閉容器１２０を貫通する貫通孔１２６を設け、発熱体１１０を図示しないボルトを貫通させて固定するようにしている。
【０１０５】
これにより、冷媒液面より上側のフィンの通風抵抗が小さくなり冷却風量が増加するので、密閉容器１２０内の上部空間１２５に沸騰した冷媒は、効率的に冷却され凝縮するので冷却性能を向上できる。
【０１０６】
尚、放熱フィン１６０ｃ、チューブ１７０ｃを削除した領域や、間隔Ｐの領域を有効に活用して、注入パイプ２３０の設定や発熱体１１０の効果的な固定が可能となる。（発熱体１１０は、受熱壁１２１に確実に密着されて固定されるのが好ましく、貫通ボルトの貫通側からナットを用いて締結することでより効果的な固定が可能となる。）
【０１０７】
（第１１実施形態）
本発明の第１１実施形態を図１７に示す。第１１実施形態は、発熱体１１０をトップ姿勢で配置した場合でも冷却性能を向上できるようにしたものである。
【０１０８】
連通部１７１、１７２の内、連通部１７１側は、密閉容器１２０内の上方に向けて、チューブ１７０の端部１７５が冷媒液面よりも上側で開口するように設けられている。そして、密閉容器１２０内の容積は、チューブ１７０内の容積よりも大きくなるようにしている。
【０１０９】
更に、平板部材１３０、１４０は複数積層しており、発熱体１１０近傍の伝熱部１５０は、密閉容器１２０内の冷媒液面の上部空間１２４において、平板部材１３０、１４０の開口部１３１ａ、１４１ａを廃止し、伝熱部１５０ａとして一体で形成されるようにしており、冷媒液面の下側は、平板部材１３０、１４０の開口部１３１ａ、１４１ａのスリット幅を小さく設け、伝熱部１５０を微細化している。
【０１１０】
このように発熱体１１０をアップ姿勢で使用する場合の作動について以下、説明する。
発熱体１１０から発生した熱は、受熱壁１２１から伝熱部１５０ａ、１５０を通じて放熱壁１２２へ伝達され放熱フィン１６０から大気に放出される。また、冷媒を通じてチューブ１７０、放熱フィン１６０からも大気に放出される。更に、この熱は、各伝熱部１５０に接触する冷媒に伝達されて、冷媒が沸騰領域で沸騰する。この沸騰領域で沸騰した蒸気冷媒は、冷媒液面より上側の上部空間１２４内で循環する。この時、密閉容器１２０の内壁（主に、受熱壁１２１の内面、密閉容器側壁面、伝熱部１５０の壁面等）により蒸気冷媒の熱は、凝縮潜熱として大気に放出され凝縮して液化する。液化した冷媒は、再び沸騰領域に供給されて、上記サイクル（沸騰−凝縮−液化）を繰り返すことにより発熱体１１０は冷却される。
【０１１１】
次に、上記構成、作動による効果について説明する。
発熱体１１０をトップ姿勢で使用する場合には、発熱体１１０の熱を冷媒に効率的に伝達するために、冷媒液面は放熱壁１２２より上側にあることが望ましい。また、発熱体１１０をボトム姿勢で使用する場合には、密閉容器１２０内の上部空間１２３の容積を大きくし、受熱壁１２１からの冷媒の液面高さは低いことが望ましい。ここでは、チューブ１７０内の容積を小さくしているので、仮に、ボトム姿勢で使用していたものを上下反転した場合でも、容易に冷媒液面を放熱壁１２２より上側の位置に成るようにで形成でき、アップ姿勢にも適したものとすることができる。
【０１１２】
更に、発熱体１１０近傍の冷媒液面より上側の伝熱部１５０ａを一体で設けることにより熱伝導面積を大きくできるので、冷媒液面より下側の伝熱部１５０に効率的に発熱体１１０からの熱を伝えることができる。そして、冷媒液面より下側の伝熱部１５０は、微細化により伝熱面積を大きくできるので効率的に冷媒を沸騰させることができる。
【０１１３】
尚、発熱体１１０の熱を、伝熱部１５０、放熱壁１２２、放熱フィン１６０のみならず、チューブ１７０の外壁面も加えて放熱面積を大きくして放熱でき、また、チューブ１７０と放熱壁１２２の両側からこの熱を放熱フィン１６０に付加できるので、フィン効率を向上でき冷却性能を向上できる。
【０１１４】
（第１２実施形態）
本発明の第１２実施形態を図１８に示す。第１２実施形態は、上記第１１実施形態に対して、更に効率的に冷媒を沸騰させ冷却性能を向上させるようにしたものである。
ここでは、発熱体１１０近傍の伝熱部１５０ｂは、表面に焼結金属、ファイバー等の多孔性物質を付加したウイック構造を有するようにしている。
【０１１５】
これにより、発熱体１１０近傍の冷媒液面が毛細管力により上方へ吸い上げられるので、発熱体１１０と冷媒液面との間の熱抵抗を低減でき、また、冷媒との熱伝達面積を大きくできるので、効率的に冷媒を沸騰させ冷却性能を向上できる。
【０１１６】
（第１３実施形態）
図１９に示すように、放熱フィン１６０およびチューブ１７０は、受熱壁１２１から放熱壁１２２に向かう方向に複数設けるようにすれば、放熱フィン１６０およびチューブ１７０の放熱面積を必要に応じて拡大でき、冷却性能を向上できる。
【０１１７】
（第１４実施形態）
伝熱部１５０は、平板部材１３０、１４０を積層することで形成されるものに限定されるものではなく、図２０（ａ）に示すように、受熱壁１２１（放熱壁１２２でもよい）の内面に凹凸部１２１ａを有するように切削等で設けたものや、図２０（ｂ）に示すように、例えば断面がクランク状を成すように別体で設けられたインナーフィン２５０を介在させるようにしたものでもよい。
【０１１８】
（第１５実施形態）
本実施形態は、図２１に示す様に、冷却風を横切る方向（図２１の左右方向）に分割して配置された第１のチューブ１７０Ａと第２のチューブ１７０Ｂとを有する一例である。
第１のチューブ１７０Ａと第２のチューブ１７０Ｂは、それぞれ一端部が発熱体１１０の取付け位置を放熱壁１２２に投影した領域（沸騰領域と呼ぶ）内で密閉容器１２０の内部と連通して設けられ、他端部がそれぞれ放熱壁１２２の両端部で密閉容器１２０の内部と連通して設けられている。
【０１１９】
この構成によれば、密閉容器１２０内で沸騰した冷媒が、沸騰領域内に開口する一端部から優先的に第１のチューブ１７０Ａ及び第２のチューブ１７０Ｂ内に流入することができる。その結果、第１のチューブ１７０Ａ及び第２のチューブ１７０Ｂ内をそれぞれ一端部から他端部へ向かって冷媒が流れ、他端部から密閉容器１２０内に還流することができる。これにより、沸騰した冷媒が他端部から第１のチューブ１７０Ａ及び第２のチューブ１７０Ｂ内へ流入することが少なくなり、必然的に冷媒の循環が促進されることで冷却性能を向上できる。
【０１２０】
また、１本のチューブ１７０を第１のチューブ１７０Ａと第２のチューブ１７０Ｂとに分割することで、冷媒が循環する経路を短くできるので、流動抵抗（圧力損失）を低減でき、性能向上を図ることが可能である。
更には、図２１に示した様に、密閉容器１２０を水平に配置して使用した時に、第１実施形態に示した１本のチューブ１７０（図１参照）と比較して、第１のチューブ１７０Ａ及び第２のチューブ１７０Ｂの水平区間を短くできるので、チューブ内に凝縮した液冷媒が滞留することが少なくなる。その結果、液冷媒の滞留によるフィン温度の低下（凝縮部熱抵抗の減少）を抑制でき、更なる性能向上に寄与できる。
【０１２１】
また、図２２に示す様に、密閉容器１２０を傾斜した姿勢で使用する場合でも第１のチューブ１７０Ａと第２のチューブ１７０Ｂとを同じ方向（図中反時計周り）に冷媒が循環することができ、冷媒の循環不良を生じることはない。
更に、図２３に示す様に、密閉容器１２０を垂直方向に立てた姿勢（サイド姿勢と呼ぶ）で使用する場合は、冷媒液面より低い位置に配置される第１のチューブ１７０Ａにも一端部から沸騰蒸気が流入し、他端部から密閉容器１２０内に還流することができる。これにより、フィン温度を全体的に上昇させることができ、冷却性能向上に寄与することが可能である。
【０１２２】
（第１６実施形態）
本実施形態は、図２４に示す様に、第１のチューブ１７０Ａと第２のチューブ１７０Ｂの互いの一端部を共通に設けた場合の一例である。
この構成によれば、両チューブ１７０Ａ、１７０Ｂの一端部を共通化することで、その分、沸騰蒸気が流入する入口通路（一端部）の断面積を大きく設計できるので、流動抵抗（圧力損失）を低減でき、冷却性能向上に寄与できる。
【０１２３】
（第１７実施形態）
本実施形態は、図２５に示す様に、第１のチューブ１７０Ａと第２のチューブ１７０Ｂの互いの一端部を共通に設けるだけでなく、更に高さ方向にもフィン１６０とチューブ１７０Ａ、１７０Ｂを多段に配置した積層構造を採用している。この場合、放熱壁１２２に対し直立する通路部分を１本のタンクヘッダ２６０として共通化して設けても良い。
この構成によれば、放熱面積を拡大できるので、沸騰蒸気が密閉容器１２０内から移動し易くなり、冷媒循環力が向上して冷却性能を向上できる。
【０１２４】
（第１８実施形態）
本実施形態は、図２６に示す様に、放熱壁１２２に対し高さ方向に延びる複数本のチューブ１７０（１７０ａ、１７０ｂ）を設け、各チューブ１７０を上端部で１本のタンクヘッダ２７０により連結した構造である。この場合、中央部に設けられる３本のチューブ１７０ａが略沸騰領域内で密閉容器１２０の内部と連通し、両側に設けられる２本のチューブ１７０ｂが沸騰領域から外れた部位で密閉容器１２０の内部と連通している。
この構成によれば、密閉容器１２０内で沸騰した蒸気が中央部の３本のチューブ１７０ａへ優先的に流れ込み、冷却されて凝縮液となった後、両側の２本のチューブ１７０ｂから密閉容器１２０に還流することができる。
【０１２５】
（第１９実施形態）
本実施形態は、図２７に示す様に、第１のチューブ１７０Ａと第２のチューブ１７０Ｂが放熱壁１２２上で冷却風の流れを横切る方向に互いの一端部同士の間を開けて配置され、且つそれぞれ冷却風の流れ方向にも複数個ずつ配置されている一例である。
この場合、第１のチューブ１７０Ａと第２のチューブ１７０Ｂとの間を通り抜ける冷却風は、冷却風の流れ方向で上流側に配置されるフィン１６０Ａを通過しないため、冷却風の温度が上昇することなく、下流側のフィン１６０Ｂに到達することができる。その結果、下流側のフィン１６０Ｂを有効に活用できるので、冷却性能向上に寄与することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態を示す外観斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態を示す分解斜視図である。
【図３】図２における平板部材を示すものであり、（ａ）は縦方向開口部を有する平板部材の平面図、（ｂ）は横方向開口部を有する平板部材の平面図である。
【図４】図１におけるＡ−Ａ部の断面図である。
【図５】第１実施形態の変形例を示す断面図である。
【図６】本発明の第２実施形態を示す断面図である。
【図７】本発明の第３実施形態を示す断面図である。
【図８】図７における（ａ）はＢ−Ｂ部の断面図、（ｂ）はＣ−Ｃ部の断面図である。
【図９】本発明の第４実施形態を示す断面図である。
【図１０】本発明の第５実施形態を示す外観斜視図である。
【図１１】本発明の第６実施形態を示す側面図である。
【図１２】本発明の第７実施形態を示す側面図である。
【図１３】本発明の第８実施形態を示す平面図である。
【図１４】本発明の第９実施形態を示す断面図である。
【図１５】図１４における平板部材を示すものであり、（ａ）は縦方向開口部を有する平板部材の側面図、（ｂ）は横方向開口部を有する平板部材の側面図である。
【図１６】本発明の第１０実施形態を示す側面図である。
【図１７】本発明の第１１実施形態を示す断面図である。
【図１８】本発明の第１２実施形態を示す断面図である。
【図１９】本発明の第１３実施形態を示す断面図である。
【図２０】本発明の第１４実施形態を示す断面図である。
【図２１】本発明の第１５実施形態を示す断面図である。
【図２２】第１５実施形態の変形例を示す断面図である。
【図２３】第１５実施形態の変形例を示す断面図である。
【図２４】本発明の第１６実施形態を示す断面図である。
【図２５】本発明の第１７実施形態を示す断面図である。
【図２６】本発明の第１８実施形態を示す断面図である。
【図２７】本発明の第１９実施形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１００    沸騰冷却装置
１１０    発熱体
１２０    密閉容器
１２１    受熱壁
１２２    放熱壁
１２３、１２４  上部空間
１３０    平板部材
１３１    開口部
１３１ａ  発熱体近傍の開口部
１３１ｂ  発熱体周辺の開口部
１３１ｃ  冷媒液面より上側の開口部
１３１ｄ  冷媒液面より下側の開口部
１５０    伝熱部
１６０    放熱フィン
１６１    上側フィン
１６２    下側フィン
１７０    チューブ
１７０Ａ  第１のチューブ
１７０Ｂ  第２のチューブ
１７１、１７２  連通部
１７３    管状通路
１７４    多孔偏平チューブ
１７５、１７６  端部
１８０    連結部材
１９０    仕切り部
２００    風向制御板
２１０    ダクト
２１１    隙間部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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