(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電力を伝送する複数の電源ケーブルと、この複数の電源ケーブルにそれぞれ接続された複数のケーブル側接続器具と、この複数のケーブル側接続器具との接続時に、接続された前記ケーブル側接続器具を介して前記電力が供給される複数の排気側接続器具およびこの複数の排気側接続器具を介して前記電力が供給される電子管排気用の真空ユニットを搭載し、移動用の車輪が取り付けられた排気装置とを具備した電子管の製造装置。
【請求項２】
ケーブル側接続器具から排気側接続器具に電力が供給されている場合は、前記排気側接続器具と前記真空ユニットとを電気的に接続し、前記ケーブル側接続器具から前記排気側接続器具に電力が供給されていない場合は、前記排気側接続器具と前記真空ユニットとを電気的に分離する電磁接触器が、排気側接続器具と真空ユニットの間に接続された請求項１記載の電子管の製造装置。
【請求項３】
複数の電源ケーブルは共通の電源装置から給電されている請求項１記載の電子管の製造装置。
【請求項４】
電子管の管球内を排気する真空ユニットおよびこの真空ユニットと電気的に接続する少なくとも２つの第１および第２の排気側接続器具を搭載し、移動用の車輪が取り付けられた排気装置を用いて前記電子管の管球内を排気する電子管の製造方法において、電力を伝送する電源ケーブルにそれぞれ接続された少なくとも２つの第１および第２のケーブル側接続用器具のうち、その１つの前記第１のケーブル側接続用器具と前記排気装置に搭載された第１の排気側接続器具とを電気的に接続する第１工程と、前記第１のケーブル側接続用器具と前記第１の排気側接続器具とが電気的に接続された状態で、前記第２のケーブル側接続用器具と前記第２の排気側接続器具とを電気的に接続する第２工程と、前記第２のケーブル側接続用器具と前記第２の排気側接続器具とが電気的に接続された状態で、前記第１のケーブル側接続用器具と前記第１の排気側接続器具との電気的な接続を解除する第３工程とからなる電子管の製造方法。
【請求項５】
第３工程の後に、排気装置を移動させる工程がある請求項４記載の電子管の製造方法。
【請求項６】
電子管の管球内を排気する真空ユニットおよびこの真空ユニットと電気的に接続する少なくとも２つの第１および第２の排気側接続器具を搭載した排気装置を用いて前記電子管の管球内を排気する電子管の製造方法において、電力を伝送する電源ケーブルにそれぞれ接続された少なくとも３つの第１ないし第３のケーブル側接続用器具のうち、その１つの前記第１のケーブル側接続用器具と前記排気装置に搭載された第１の排気側接続器具とを電気的に接続する第１工程と、前記第１のケーブル側接続用器具と前記第１の排気側接続器具とが電気的に接続された状態で、前記第２のケーブル側接続用器具と前記第２の排気側接続器具とを電気的に接続する第２工程と、前記第２のケーブル側接続用器具と前記第２の排気側接続器具とが電気的に接続された状態で、前記第１のケーブル側接続用器具と前記第１の排気側接続器具との電気的な接続を解除する第３工程と、前記第２のケーブル側接続用器具と前記第２の排気側接続器具とが電気的に接続された状態で、前記排気装置を移動させる第４工程と、この第４工程の後に、前記第２のケーブル側接続用器具と前記第２の排気側接続器具とが電気的に接続された状態で、前記第３のケーブル側接続用器具と前記第２の排気側接続器具以外の排気側接続器具とを電気的に接続する第５工程と、この第５工程の後に、前記第３のケーブル側接続用器具と前記第２の排気側接続器具以外の排気側接続器具とが電気的に接続された状態で、前記第２のケーブル側接続用器具と前記第２の排気側接続器具との電気的な接続を解除する第６工程とからなる電子管の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子管の管球内を排気する電子管の製造方法および製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子管にはＸ線管や送信管などいろいろな種類のものが実用化されている。これらの電子管は、いずれも内部が高真空に保たれた真空外囲器から構成されている。
【０００３】
たとえばＸ線管の場合は、高真空の真空外囲器の内部に、Ｘ線を放出する陽極ターゲットや電子ビームを発生する陰極などを配置している。そして、陽極ターゲットと陰極間に高電圧を印加し、また、陰極が発生する電子ビームを陽極ターゲットに衝突させ、陽極ターゲットからＸ線を放出させる。
【０００４】
電子管は、真空外囲器内の真空度が品質に大きく影響する。そのため、真空外囲器には高真空が求められ、製造工程の１つとして、管球内を真空引きする排気工程を設けている。Ｘ線管の場合は、管球内を真空引きしながら、管球内に配置した各部品を順に加熱し、各部品を脱ガスする複数の脱ガス工程が設けられている。
【０００５】
ここで、従来の電子管の製造装置について、Ｘ線管の管球内を排気する場合を例にとり図４を参照して説明する。符号４１は排気装置で、排気装置４１の前壁の一部は鉛製の扉４２で構成されている。排気装置４１内には、Ｘ線管の管球内を排気するたとえば真空ユニット４３が設けられている。真空ユニット４３の上方には加熱炉４４ａが配置されている。加熱炉４４ａは点線で示した位置４４ｂとの間で上下に移動できる構造になっている。排気装置４１の壁部分にＸ線を遮断する鉛の層が設けられ、排気工程で発生するＸ線が外部に漏洩しないようになっている。
【０００６】
上記した電子管の製造装置において、たとえば２個のＸ線管４５がそれぞれ真空ユニット４３に接続される。
【０００７】
次に、真空ユニット４３を起動し、Ｘ線管４５の管球内を真空引きする。この真空引きは管内の各部品に対し順に脱ガスするすべての排気工程が完了するまで継続される。
【０００８】
そして、真空ユニット４３の起動後、Ｘ線管４５の管球内がある程度の真空度に到達した時、管球内に配置した各部品が順に脱ガスされる。
【０００９】
まず、真空外囲器の脱ガス工程では、加熱炉４４ａを点線で示した下方の位置４４ｂへ移動し、Ｘ線管４５を囲むように配置する。この状態で、加熱炉４４を動作させＸ線管４５の真空外囲器を加熱する。このとき、真空外囲器が加熱されその内部壁面に付着しているガスが脱ガスされる。真空外囲器の脱ガス工程が終了すると、加熱炉４４ｂを実線で示した上方の位置４４ａへと移動させる。
【００１０】
次のフィラメントの脱ガス工程では、フィラメントにフィラメント用電源を接続し、フィラメントに電流を流す。このとき、フィラメントが加熱されフィラメントの脱ガスが行われる。
【００１１】
次のゲッターの脱ガス工程では、ゲッターに電源を接続してゲッターに電流を流す。このとき、ゲッターが加熱されゲッターが脱ガスされる。
【００１２】
次の陽極ターゲットの脱ガス工程では、Ｘ線が外部に漏洩しないように排気装置４１の扉４２を閉じ、フィラメントとフィラメント用電源を接続し、フィラメントに電流を流す。同時に、陽極と陰極間に高電圧を印加する。このとき、フィラメントが加熱し、フィラメントから発生した電子ビームが陽極ターゲットに衝突し、陽極ターゲットがＸ線を放出する。この工程では、電子ビームの衝突で陽極ターゲットが加熱され、陽極ターゲットの脱ガスが行われる。
【００１３】
上記したようにＸ線管の排気工程では、管球内を脱ガスしながら、管球内に配置した各部品が順に脱ガスされる。各部品の脱ガスはたとえば繰り返し行われ、管球内が高真空化する。なお、脱ガスする部品の順番や種類、繰返し回数などはＸ線管の種類によって相違している。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
Ｘ線管の脱ガスに使用される従来の電子管の製造装置の場合、たとえば、１台の排気装置を用いて全ての脱ガス工程が実施される。そのため、脱ガス工程で必要とされる機器、たとえば真空ユニットや真空外囲器を加熱する加熱炉、フィラメントやゲッターに電流を流す通電機構、Ｘ線を遮蔽する機構、陽極と陰極間に電圧を印加する高圧電源などが１台の排気装置に設けられる。
【００１５】
そのため、排気装置の構造が複雑になり、価格も高くなる。したがって、Ｘ線管の生産台数を増やす場合、高価な排気装置が多く必要となり、製作費が増大し、製造コストが増大する。
【００１６】
そこで、排気装置の構造を簡単にし、価格を低減させるために、たとえば真空ユニットを台車などに乗せて移動し、各部品の脱ガスをそれぞれ別の場所で実施する方法がある。しかし、この方法は、Ｘ線管の排気工程中、品質確保などの面から真空ユニットを停止できないという問題がある。
【００１７】
そのため、すべての脱ガス工程が終了するまで、真空ユニットに対し電源を供給できる構成が必要となる。台車を用いる方法の場合、たとえば台車の移動経路に沿って電源供給用の給電線路を設け、トロリなどを用いて給電線路と台車上の排気装置とを電気的に接続する方法が用いられる。しかし、トロリを用いる方法は施工費用が高額となり、また、製造工程のレイアウトの変更や工程の順番の変更が困難になるという問題がある。
【００１８】
本発明は、上記した欠点を解決し、電子管の排気を簡単な構造で安価に行える電子管の製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
本発明の電子管の製造装置は、電力を伝送する複数の電源ケーブルと、この複数の電源ケーブルにそれぞれ接続された複数のケーブル側接続器具と、この複数のケーブル側接続器具との接続時に、接続された前記ケーブル側接続器具を介して前記電力が供給される複数の排気側接続器具およびこの複数の排気側接続器具を介して前記電力が供給される電子管排気用の真空ユニットを搭載し、移動用の車輪が取り付けられた排気装置とを具備している。
【００２０】
本発明の電子管の製造方法は、電子管の管球内を排気する真空ユニットおよびこの真空ユニットと電気的に接続する少なくとも２つの第１および第２の排気側接続器具を搭載し、移動用の車輪が取り付けられた排気装置を用いて前記電子管の管球内を排気する電子管の製造方法において、電力を伝送する電源ケーブルにそれぞれ接続された少なくとも２つの第１および第２のケーブル側接続用器具のうち、その１つの前記第１のケーブル側接続用器具と前記排気装置に搭載された第１の排気側接続器具とを電気的に接続する第１工程と、前記第１のケーブル側接続用器具と前記第１の排気側接続器具とが電気的に接続された状態で、前記第２のケーブル側接続用器具と前記第２の排気側接続器具とを電気的に接続する第２工程と、前記第２のケーブル側接続用器具と前記第２の排気側接続器具とが電気的に接続された状態で、前記第１のケーブル側接続用器具と前記第１の排気側接続器具との電気的な接続を解除する第３工程とからなっている。
【００２１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態について、Ｘ線管を排気する場合を例にとり図１を参照して説明する。
【００２２】
符号１１は排気装置で、排気装置１１の箱状骨格部分はフレーム１１ａで構成され、下部には、移動できるように車輪１１ｂが設けられている。
【００２３】
排気装置１１の上部に、各種の排気用機器を操作するための操作パネル１２や管球傾斜機構１３などが配置されている。管球傾斜機構１３と連結して、Ｘ線管１４を固定する管球ステージ１５が設けられている。Ｘ線管１４の排気管１４ａは管球接続フランジ１６に接続されている。管球傾斜機構１３は駆動軸１７を介してモータ（図示せず）に連結されている。この場合、モータの駆動で、たとえば管球ステージ１５に固定されたＸ線管１４を垂直から水平の向きに、あるいは、水平から垂直の向きへとその向きを変更できるようになっている。
【００２４】
排気装置１１の内部には、Ｘ線管１４内部を真空引きする真空ユニット１８が配置されている。真空ユニット１８は、たとえばターボ分子ポンプ１８ａや真空ゲージ１８ｂ、真空バルブ１８ｃなどから構成されている。真空バルブ１８ｃは蛇腹構造体１８ｄを介して、真空ユニット１８とＸ線管１４の排気管１４ａとを接続する管球接続フランジ１６に連結されている。
【００２５】
排気装置１１の上部には、排気装置１１に搭載された真空ユニット１８などの排気用機器に電力を供給する排気側接続器具、たとえば２個のソケットＳａ、Ｓｂが近接して設置されている。
【００２６】
排気装置１１のたとえば上方空間には、電源装置（図示せず）が出力する電力を伝送する複数の電源ケーブル２０ａ、２０ｂが設けられ、これらの電源ケーブル２０ａ、２０ｂの先端には、それぞれケーブル側接続器具たとえばプラグＰａ、Ｐｂが接続されている。プラグＰａ、Ｐｂは、排気装置１１のソケットＳａ、Ｓｂと接続され、電源ケーブル２０ａ、２０ｂが伝送してきた電力をソケットＳａ、Ｓｂを介して排気装置１１に供給する。排気装置１１に供給された電力は、排気装置１１内の電源ラインを通して真空ユニット１８の駆動用など、搭載された排気用の各機器へ供給される。
【００２７】
上記した構成において、排気装置１１上に設けられた操作パネル１２の操作で、真空ユニット１８や管球傾斜機構１３などの排気用機器が制御され、Ｘ線管１４の管球内の排気および管球内に配置された各部品の脱ガスが行われる。
【００２８】
次に、電源装置から排気装置に電力を供給する給電方法について図２を参照して説明する。図２では、図１に対応する部分には同じ符号を付し、重複する説明は一部省略する。
【００２９】
符号２１は電源装置で、電源装置２１から出力された電力は電源ケーブル２０で給電される。電源ケーブル２０は、たとえば３本の給電線路Ｌ、Ｎ、Ｅで構成されている。給電線路Ｌは交流１００ＶのＬ相用、線路Ｎは交流１００ＶのＮ相用、給電線路Ｅは接地用である。電源ケーブル２０は、電源分岐装置２２において複数の電源ケーブル２０ａ〜２０ｄに分岐される。分岐された各電源ケーブル２０ａ〜２０ｄは、電源分岐装置２２内に設けられたブレーカ２３ａ〜２３ｄを経てプラグＰａ〜Ｐｄに接続されている。プラグＰａ〜Ｐｄは、たとえば５個の接続用ピンｐ１〜ｐ５を有し、人体が接触しても感電しないようにメス構造になっている。５個のピンのうち、ピンｐ１、ｐ３は電源ケーブルのＬ相用の給電線路Ｌに接続され、ピンｐ２、ｐ４はＮ相用の給電線路Ｎに接続され、ピンｐ５は接地用の給電線路Ｅに接続されている。
【００３０】
そして、まず、電源ケーブルに接続されたプラグＰａ〜Ｐｄの１つが、排気装置１１に搭載された排気側接続器具たとえば２つのソケットＳａ、Ｓｂの１つ、たとえばソケットＳａに接続される。ソケットＳａ、Ｓｂは、プラグＰａ〜Ｐｄに合わせて、たとえば５個の接点ｓ１〜ｓ５を有している。このとき、プラグのピンｐ１〜ｐ５がそれぞれソケットの接点ｓ１〜ｓ５に接続される。
【００３１】
ソケットの接点ｓ１、ｓ２は、電磁接触器２４ａ、２４ｂの開閉接点ａ１、ａ２の一端に接続されている。開閉接点ａ１、ａ２の他端は漏電遮断機２５を経て、排気装置１１内の電源ラインのＬ相、Ｎ相の給電線路に接続されている。ソケットＳａ、Ｓｂの接点ｓ３、ｓ４は、電磁接触器２４ａ、２４ｂのコイル部ｃａ、ｃｂの両端に電気的に接続されている。
【００３２】
したがって、プラグＰａ〜Ｐｄの１つとソケットＳａ、Ｓｂの１つが接続すると、プラグＰａ〜Ｐｄが接続されたソケットＳａ、Ｓｂに接続するコイル部ｃａ、ｃｂが動作し、電磁接触器２４ａ、２４ｂの開閉接点ａ１、ａ２が閉じる。
【００３３】
このとき、電源ケーブルのＬ相、Ｎ相が、プラグと接続状態にあるソケットを介して、排気装置１１内の電源ラインのＬ相、Ｎ相と電気的に接続され、電源装置２１から給電された電力が排気装置１１内の排気用の各機器に供給される。
【００３４】
プラグＰａ〜ＰｄとソケットＳａ、Ｓｂの接続が解除すると、電磁接触器２４ａ、２４ｂの接点が開き、電源ケーブルと排気装置１１間の電気的接続が断になる。なお、ソケットＳａ、Ｓｂは、プラグＰａ〜Ｐｄとの接続が解除した場合に、人体が接触しても感電しない構造になっている。
【００３５】
ここで、上記の排気装置を用いたＸ線管の排気方法について図３を参照して説明する。図３では、図１および図２に対応する部分には同じ符号を付し、重複する説明は一部省略する。
【００３６】
まず、排気装置１１をポジションＡの位置に固定する。そして、排気装置１１に搭載した管球ステージ１５に、管内を排気するＸ線管１４を固定する。
【００３７】
次に、Ｘ線管１４の排気管１４ａと排気装置１１に搭載された管球接続フランジ１６を接続する。
【００３８】
次に、ポジションＡ用の電源ケーブル２０ａのプラグＰａと排気装置１１上のたとえばソケットＳａを接続し、排気装置１１内の真空ユニット１８などの排気用機器に電力を供給できるようにする。
【００３９】
次に、操作パネル１２のスタートスイッチ（図示せず）を押し、真空ユニット１８を起動し、Ｘ線管１４の管球内を真空引きする。
【００４０】
そして、管球内の真空度がある値に到達した時、ポジション移動用の電源ケーブル２０ｂのプラグＰｂと排気装置１１のソケット、この場合はソケットＳｂとを接続し、排気装置１１上のソケットＳａおよびソケットＳｂの両方から、同時に、排気装置１１の電源ライン、さらには、電源ラインを経て真空ユニット１８に電力を供給できるようにする。その後、ポジションＡ用の電源ケーブル２０ａのプラグＰａとソケットＳａを分離する。このとき、排気装置１１の電源ラインには、接続状態にあるプラグＰｂとソケットＳｂを通して給電される。したがって、排気装置１１の電源ラインへの給電は中断することなく継続する。
【００４１】
次に、ポジション移動用の電源ケーブル２０ｂのプラグＰｂとソケットＳｂを接続した状態のまま、排気装置１１をポジションＡから次工程のポジションＢへと移動し、ポジションＢに排気装置１１を固定する。
【００４２】
次に、ポジションＢにおいて、ポジションＢ用の電源ケーブル２０ｃのプラグＰｃとたとえばソケットＳａとを接続し、ソケットＳａおよびソケットＳｂの両方から、同時に排気装置１１の電源ラインに電力を供給できるようにする。なお、プラグＰｃとソケットＳａを接続した後、ポジション移動用の電源ケーブル２０ｂのプラグＰｂとソケットＳｂの接続を分離する。
【００４３】
次に、プラグＰｃとソケットＳａを接続した状態で、加熱炉３１を下降させ、Ｘ線管の真空外囲器３２の周囲を加熱炉３１で囲む。そして、加熱炉３１を起動し、管球内を真空引きしながら真空外囲器３２を加熱し、真空外囲器３２の内部壁面に付着しているガスを脱ガスする。真空外囲器３２の脱ガスが終了した後、加熱炉３１を上昇させ、ポジション移動用の電源ケーブル２０ｄのプラグＰｄとソケットＳｂとを接続し、ソケットＳａおよびソケットＳｂの両方から、同時に排気装置１１の電源ラインに電力を供給できるようにする。その後、ポジションＢ用の電源ケーブル２０ｃのプラグＰｃとソケットＳａを分離する。
【００４４】
そして、ポジション移動用の電源ケーブル２０ｄのプラグＰｄと排気装置１１のソケットＳｂとが接続した状態で、排気装置１１を次工程のポジション（図示せず）へと移動する。
【００４５】
その後、移動したポジションにおいて、上記と同様の手順で、電源ケーブルのプラグと排気装置のソケットとの接続および分離を行い、たとえばフィラメントの脱ガスを行う。その後、さらに、電源ケーブルのプラグと排気装置のソケットとの接続および分離を上記と同様の手順で行い、また、ポジションを順次移動し、移動したそれぞれのポジションで、たとえばゲッターの脱ガスや陽極ターゲットの脱ガスを行う。
【００４６】
上記の構成によれば、排気装置への電力の供給が遮断されることなく、排気装置のポジションを順に移動できる。そして、移動したポジションで、それぞれ真空外囲器やフィラメント、ゲッター、陽極ターゲットの脱ガスが行える。そのため、必要な排気用機器をすべて１つの排気装置に搭載する必要がなくなり、排気装置の構造が簡単化し、また、安価になる。
【００４７】
また、この構成の場合、複数の排気装置を用いれば、異なるポジションで複数のＸ線管を同時に排気することができ、生産性が向上する。
【００４８】
上記の実施形態は、１つの排気装置に２つのソケットを搭載し、２つのソケットを電源ケーブル側のプラグと交互に接続している。しかし、排気装置に搭載する排気側接続用器具を３個以上にすることもできる。この場合、ソケットを電源ケーブルのプラグと接続するに当たっては、プラグが接続されていない任意のソケットとプラグを接続すればよい。
【００４９】
また、上記の実施形態では、分岐された電源ケーブルの数が４個の場合で説明している。分岐される電源ケーブルの数は、排気を行うポジションの数、あるいは、ポジションの移動時に使用されるポジション移動用の電源ケーブルの数などを考慮して適宜決められる。
【００５０】
また、上記の実施形態ではＸ線管を排気する例で説明しているが、この発明は、Ｘ線管以外の電子管にも適用できる。
【００５１】
【発明の効果】
この発明によれば、構造が簡単で安価な電子管の製造方法および製造装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を説明するための概略の構造図である。
【図２】本発明に係る電力の給電系統を示す回路図である。
【図３】本発明に係る排気方法を説明するための概略の構造図である。
【図４】従来例を説明するための概略の構造図である。
【符号の説明】
１１…排気装置
１１ｂ…排気装置の車輪
１２…操作パネル
１３…管球傾斜機構
１４…Ｘ線管
１５…管球ステージ
１６…管球接続フランジ
１７…駆動軸
１８…真空ユニット
２０ａ、２０ｂ…電源ケーブル
Ｓａ、Ｓｂ…ソケット
Ｐａ、Ｐｂ…プラグ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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