(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
標本の走査画像を得るための第１の走査光学系と、標本の特定の部位に特異現象を発現させるための第２の走査光学系とを備えた走査型レーザ顕微鏡において、
前記第２の走査光学系からの標本へのレーザ光の照射を前記第１の走査光学系の走査に同期させたことを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。
【請求項２】
請求項１記載の走査型レーザ顕微鏡において、前記第１の走査光学系の走査に同期して、前記第２の走査光学系の走査を開始又は停止することを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。
【請求項３】
前記第１、第２の走査光学系にそれぞれ設けられた第１、第２の走査光学ユニットと、前記第２の走査光学系に備えられたレーザシャッタ手段と、前記第１、第２の走査光学ユニットの制御及び前記レーザシャッタ手段の開閉制御を行うコントロールユニットを備え、
前記コントロールユニットは、前記第１走査光学ユニットの走査と前記レーザシャッタ手段の開閉を同期制御し、前記第１走査光学ユニットの垂直同期信号または水平同期信号に基づいて前記レーザシャッタ手段を開状態にし、前記第２の走査光学系からのレーザ照射を開始することを特徴とする請求項１又は２に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項４】
前記第１、第２の走査光学系にそれぞれ設けられた第１、第２の走査光学ユニットと、前記第２の走査光学系に備えられたレーザシャッタ手段と、前記第１、第２の走査光学ユニットの制御及び前記レーザシャッタ手段の開閉制御を行うコントロールユニットを備え、
前記コントロールユニットは、前記第１走査光学ユニットにおける走査の帰線区間中だけ前記レーザシャッタ手段を開状態にして前記第２の走査光学系からのレーザ照射を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項５】
前記コントロールユニットが前記第２の走査光学ユニットを制御することで、前記標本の所望の位置へ第２走査光学系からのレーザ照射を行うことを特徴とする請求項３又は４に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項６】
前記第１、第２の走査光学系にそれぞれ設けられた第１、第２の走査光学ユニットと、前記第２の走査光学系に備えられたレーザシャッタ手段と、前記第１、第２の走査光学ユニットの制御及び前記レーザシャッタ手段の開閉制御を行うコントロールユニットを備え、
前記コントロールユニットは、前記第１走査光学ユニットにおける走査の帰線区間に前記レーザシャッタ手段を開閉制御するとともに前記第２の走査光学ユニットが所望の走査領域を走査するように走査制御することを特徴とする請求項２に記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項７】
前記コントロールユニットは、前記第１走査光学ユニットにおける垂直方向又は水平方向の走査の帰線区間に出力される照射指示信号をトリガとして、前記レーザシャッタ手段の開閉制御と前記第２の走査光学ユニットの走査制御を行い、この第２の走査光学ユニットによる前記所望の走査領域の走査は、前記第１走査光学ユニットの帰線区間中に完了することを特徴とする請求項６記載の走査型レーザ顕微鏡。
【請求項８】
前記コントロールユニットは、前記第１走査光学ユニットにおける垂直方向又は水平方向の走査の帰線区間に出力される照射指示信号をトリガとして、前記レーザシャッタ手段の開閉制御と前記第２の走査光学ユニットの走査制御を行い、この第２の走査光学ユニットによる前記所望の走査領域の走査が完了するまで前記第１走査光学ユニットによる走査を停止することを特徴とする請求項６記載の走査型レーザ顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は走査型レーザ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】
走査型レーザ顕微鏡は、レーザ光を走査光学系及び対物レンズを介して標本のＸ軸及びＹ軸方向に走査しながら照射し、標本からの蛍光または反射光を再び対物レンズ及び走査光学系を介して検出器で検出して蛍光または反射光の二次元の輝度情報を得る顕微鏡である。又、この輝度情報をＸ−Ｙ走査位置に対応させてＣＲＴディスプレイなどに輝点の２次元分布として表示することによって、標本の蛍光像あるいは反射像を観察することも可能である。
【０００３】
このレーザ走査型顕微鏡の内、共焦点走査型レーザ顕微鏡は、検出光学系の標本と共役な位置に、被測定光の回折限界程度の径を有した絞りを設けることにより、焦点の合っている面の情報のみを検出するものである。この共焦点走査型レーザ顕微鏡では、合焦面の情報だけを検出できるため、標本を傷付けることなく、光学的な断層像、すなわち３次元情報を得ることができ、しかも、非合焦面の情報をカットすることによって、非常にシャープな画像が得られる特徴を有している。
【０００４】
このような共焦点走査型レーザ顕微鏡を用いた測定では、標本内の特定のイオン濃度分布およびその経時変化を測定するため、イオン感受性の蛍光指示薬を標本に導入し、レーザ光で標本を走査して標本から発せられる蛍光の輝度分布およびその計時変化を測定している。この測定では、カルシウムイオンなどのイオン濃度に感受性を有する蛍光指示薬を導入した標本を、その蛍光指示薬を励起する波長のレーザ光で照射することにより、指示薬特有の波長の蛍光が発せられる。この蛍光の輝度とイオン濃度との間には一定の相関が成り立つため、蛍光の輝度分布およびその経時変化を測定することにより、標本内のイオン濃度分布と経時変化を測定できる。
【０００５】
さらに、最近では、標本内の特定部位にイオン物質を出現させることができるケージド試薬が考案されている。このケージド試薬は、殻となるケージド基の中に、カルシウムイオンなどのイオン物質を包含させたもので、標本内に抽入したのち、紫外線を照射することによってケージド基が開裂するため、所望の特定部位にイオン物質を出現させることができる。
【０００６】
以上の蛍光指示薬と、ケージド試薬とを標本内に導入し、特定部位のケージド試薬を開裂させ、以降の蛍光指示薬からの蛍光を観察する装置が特開平９−３２９７５０号公報に開示されている。この装置では、一つの走査手段に蛍光指示薬を励起するための第１のレーザ光源と、ケージド試薬を開裂させるための第２のレーザ光源を設置し、第１のレーザで標本のある焦点面内を走査して蛍光指示薬によるイオン濃度分布を観察しながら、所望の走査位置において、第２のレーザを照射することによって第１のレーザと同一焦点位置でケージド試薬を開裂させることができるものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような公知では、▲１▼第２のレーザは、第１のレーザと同一の焦点面内にしか照射できない。▲２▼第２のレーザは、第１のレーザと同一走査タイミングでしか照射できない。▲３▼蛍光指示薬は、第２のレーザによっても蛍光を発するため、第２のレーザを照射した際の測光値は、測定値としての意味が薄れるなどの問題がある。
【０００８】
これらの問題を解決するため、特開平１０−２０６７４２号公報には、蛍光指示薬を励起して蛍光像を得るための走査手段と、ケージド試薬を開裂させるための走査手段とをそれぞれ独立させた複数の走査光学系を具備した構造が記載されている。しかしながら、この構造では、第２のレーザにより開裂したケージド試薬によるイオン濃度の変化を、第１のレーザによる蛍光像で計測する際、第２のレーザ照射と第１の蛍光像の計測との時間的な関係を保証する手段が設けられていないため、近年、要求されている経時変化測定における時間的精度への要求を満たすことが難しい問題を有している。
【０００９】
そこで本発明では、このような複数の走査光学系を使用した場合においても、第２のレーザにより開裂したケージド試薬によるイオン濃度の経時変化を、第１のレーザによる蛍光像で計測する際の時間的な測定精度を向上させることが可能な走査型レーザ顕微鏡を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１の発明は、標本の走査画像を得るための第１の走査光学系と、標本の特定の部位に特異現象を発現させるための第２の走査光学系とを備えた走査型レーザ顕微鏡において、前記第２の走査光学系からの標本へのレーザ光の照射を前記第１の走査光学系の走査に同期させたことを特徴とする。
【００１１】
この発明において、第２の走査光学系からのレーザ光の照射による特異現象の発現が、第１の走査光学系による標本の走査画像の取得に正確に同期し、しかも特異現象に伴う蛍光指示薬からの蛍光輝度の変化の影響を受けることがない。このため、時間的な測定精度と、蛍光輝度の測定精度を共に向上することが可能となる。
【００１２】
請求項２の発明は、請求項１記載の走査型レーザ顕微鏡において、前記第１の走査光学系の走査に同期して、前記第２の走査光学系の走査を開始又は停止することを特徴とする。
【００１３】
この発明では、所望の領域で特異現象を発現させる時のイオン濃度分布の時間変化を、時間的な測定精度及び蛍光輝度の測定精度を向上させた状態で測定することが可能となる。
請求項３の発明は、請求項１又は２に記載の走査型レーザ顕微鏡において、前記第１、第２の走査光学系にそれぞれ設けられた第１、第２の走査光学ユニットと、前記第２の走査光学系に備えられたレーザシャッタ手段と、前記第１、第２の走査光学ユニットの制御及び前記レーザシャッタ手段の開閉制御を行うコントロールユニットを備え、前記コントロールユニットは、前記第１走査光学ユニットの走査と前記レーザシャッタ手段の開閉を同期制御し、前記第１走査光学ユニットの垂直同期信号または水平同期信号に基づいて前記レーザシャッタ手段を開状態にし、前記第２の走査光学系からのレーザ照射を開始することを特徴とする。
請求項４の発明は、請求項１又は２に記載の走査型レーザ顕微鏡において、前記第１、第２の走査光学系にそれぞれ設けられた第１、第２の走査光学ユニットと、前記第２の走査光学系に備えられたレーザシャッタ手段と、前記第１、第２の走査光学ユニットの制御及び前記レーザシャッタ手段の開閉制御を行うコントロールユニットを備え、  前記コントロールユニットは、前記第１走査光学ユニットにおける走査の帰線区間中だけ前記レーザシャッタ手段を開状態にして前記第２の走査光学系からのレーザ照射を行うことを特徴とする。
請求項５記載の発明は、請求項３又は４に記載の走査型レーザ顕微鏡において、前記コントロールユニットが前記第２の走査光学ユニットを制御することで、前記標本の所望の位置へ第２走査光学系からのレーザ照射を行うことを特徴とする。
請求項６記載の発明は、請求項２に記載の走査型レーザ顕微鏡において、前記第１、第２の走査光学系にそれぞれ設けられた第１、第２の走査光学ユニットと、前記第２の走査光学系に備えられたレーザシャッタ手段と、前記第１、第２の走査光学ユニットの制御及び前記レーザシャッタ手段の開閉制御を行うコントロールユニットを備え、  前記コントロールユニットは、前記第１走査光学ユニットにおける走査の帰線区間に前記レーザシャッタ手段を開閉制御するとともに前記第２の走査光学ユニットが所望の走査領域を走査するように走査制御することを特徴とする。
請求項７記載の発明は、請求項６記載の走査型レーザ顕微鏡において、前記コントロールユニットは、前記第１走査光学ユニットにおける垂直方向又は水平方向の走査の帰線区間に出力される照射指示信号をトリガとして、前記レーザシャッタ手段の開閉制御と前記第２の走査光学ユニットの走査制御を行い、この第２の走査光学ユニットによる前記所望の走査領域の走査は、前記第１走査光学ユニットの帰線区間中に完了することを特徴とする。
請求項８記載の発明は、請求項６記載の走査型レーザ顕微鏡において、前記コントロールユニットは、前記第１走査光学ユニットにおける垂直方向又は水平方向の走査の帰線区間に出力される照射指示信号をトリガとして、前記レーザシャッタ手段の開閉制御と前記第２の走査光学ユニットの走査制御を行い、この第２の走査光学ユニットによる前記所望の走査領域の走査が完了するまで前記第１走査光学ユニットによる走査を停止することを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
図１は本発明の走査型レーザ顕微鏡の実施の形態１の光学系のブロック図である。走査型レーザ顕微鏡は、第１のレーザ光源１からのレーザ光を標本１９の焦点面上を走査する観察用の第１の走査光学系Ａと、第２のレーザ光源１１から出力されるレーザ光を標本の任意の位置に照射してケージド試薬を開裂させるための第２の走査光学系Ｂとを備えている。第２の走査光学系Ｂは標本の特定部位に特異現象を発現させる光学系である。
【００１５】
第１の走査光学系Ａは、第１のレーザ光源１、ダイクロイックミラー２、第１のレーザシャッタ３、第１の走査光学ユニット４、リレーレンズ５及びミラー６から構成される。更に第１の走査光学系Ａのダイクロイックミラー２の分岐光路上には、検出光学系Ｃが配置されている。この検出光学系Ｃは、測定フィルタ７、レンズ８、共焦点ピンホール９及び光電変換素子１０により構成される。
【００１６】
第２の走査光学系Ｂは、ケージド試薬を開裂させるための第２のレーザ光源１１、第２のレーザシャッタ１２、第２の走査光学ユニット１３、リレーレンズ１４及びダイクロイックミラー１５から構成される。第１の走査光学系Ａの光軸と、第２の走査光学系の光軸とは、ダイクロイックミラー１５により合成され、結像レンズ１６、対物レンズ１７に導かれる。また、リレーレンズ５およびリレーレンズ１４の焦点位置は、結像レンズ１６の焦点位置と一致するように配置されている。標本１９はステージ１８上に載置されている。
【００１７】
前記ダイクロイックミラー１５は、第１の走査光学系Ａからのレーザ光の波長より長波長の光を透過すると共に、第２の走査光学系Ｂからのレーザ光の波長を反射する特性となっている。前記第１及び第２のレーザシャッタ３及び１２、第１及び第２の光学走査ユニット４及び１３、光電変換素子１０は、コントロールユニット２１に接続されている。このコントロールユニット２１には、ＣＲＴディスプレイ２２が接続されている。コントロールユニット２１は後述するように、第２の走査光学系Ｂからのレーザ光の標本１９への照射を第１の走査光学系Ａの走査に同期させるものである。
【００１８】
次に、このように構成した走査型レーザ顕微鏡の作用を説明する。第１のレーザ光源１からのレーザ光は、コントロールユニット２１により開閉制御される第１のレーザシャッタ３が開状態のときに通過し、同じくコントロールユニット２１により走査制御される第１の走査光学ユニット４へ導かれ、任意の方向に偏向走査される。このレーザ光はさらに、リレーレンズ５、ミラー６、ダイクロイックミラー１５、結像レンズ１６、対物レンズ１７を介して、標本１９の断面２０上に集光され、断面２０内を２次元走査する。
【００１９】
標本１９には第１のレーザ光源１の波長によって励起される蛍光指示薬が導入されており、断面２０内をレーザ光が走査することにより、蛍光指示薬が励起されて蛍光を生じる。対物レンズ１７により捕らえられた蛍光は、上記レーザ光と同じ光路を逆向きに進み、対物レンズ１７、結像レンズ１６、ダイクロイックミラー１５を透過し、ミラー６、リレーレンズ５、第１の走査光学ユニット４を介してダイクロイックミラー２へ導かれる。ダイクロイックミラー２は、第１のレーザ光源１からのレーザ光の波長より長波長側の光を反射する特性となっており、これにより上記蛍光はダイクロイックミラー２により反射され、検出光学系Ｃへ導入される。
【００２０】
検出光学系Ｃにおいて、蛍光は測光フィルタ７により特定の波長の光が選択透過され、さらにレンズ８、共焦点ピンホール９により断面２０からの光のみが選択されて、光電変換素子１０へ入射する。
【００２１】
光電変換素子１０からの出力信号は、コントロールユニット２１へ導かれ、走査制御に同期してディジタル信号に変換され、走査位置に対応してＣＲＴディスプレイ画面２２上に表示される。表示された画像は、断面２０での蛍光画像（蛍光輝度の２次元分布）、すなわち所望のイオン濃度の断面２０内での分布を示している。
【００２２】
一方、第２のレーザ光源１１からのレーザ光は、コントロールユニット２１が開閉制御する第２のレーザシャッタ１２が開状態のときに、第２の走査光学系１３、リレーレンズ１４、ダイクロイックミラー１５を介して第１の走査光学系Ａからの光軸と合成される。そして、結像レンズ１６、対物レンズ１７を透過して、標本１９の断面２０上に照射される。この時の断面２０内での照射位置は、コントロールユニット２１により第２の走査光学系１３を制御することで第１の走査光学系の走査位置に依存しない任意の位置を選択することができる。
【００２３】
このように第２のレーザ光源１１からのレーザ光が、ケージド試薬を導入した標本１９に照射されると、照射された部位のケージド試薬のケージド基が開裂し、内部に包含されている物質が放出される。この放出による標本１９内の上記イオン濃度分布の変化を、上記第１の走査光学系Ａにより得られる画像により測定できる。
【００２４】
次に、第１の走査光学系Ａの標本１９への走査と、第２の走査光学系Ｂからの標本１９へのレーザ光の照射の同期制御を行うコントロールユニット２１について図２に基づいて説明する。図２はコントロールユニット２１の内部構成の一例を示すブロック図である。
【００２５】
図１にも示すように、第１及び第２の走査光学ユニット４及び１３は、２つの光学スキャナ４ａ、４ｂ及び１３ａ、１３ｂを備えている。コントロールユニット２１は、第１の走査光学系４の光学スキャナ４ａ、４ｂを走査制御する第１の走査波形発生回路２３と、第１のレーザシャッタ３を開閉制御する第１のシャッタ開閉回路２４と、第２の走査光学系Ｂ内の第２のレーザシャッタ１２を開閉制御する第２のシャッタ開閉回路２５と、第２の走査光学ユニット１３内の光学スキャナ１３ａ，１３ｂを任意の方向に設定する駆動回路２６と、検出光学系Ｃ内の光電変換素子１０からの蛍光輝度信号をＡ／Ｄ 変換し、蛍光画像としてＣＲＴディスプレイ２２へ出力して表示を行う画像処理回路２８と、これらの各回路を制御するＣＰＵ２７とで構成される。
【００２６】
ＣＰＵ２７は蛍光画像を得るため、第１の走査波形発生回路２３に対して目的とする断面２０内の目的とする範囲を第１のレーザ光源１からのレーザ光が走査するような走査波形を指示して走査制御を開始する。ＣＰＵ２７により走査開始が指示された第１の走査波形発生回路２３は、ＣＰＵ２７により指示された走査波形を、第１の走査光学ユニット４内の２つの光学スキャナ４ａ、４ｂに対し、走査波形３０，３１（図３参照）をそれぞれ出力する。なお、ここでは光学スキャナ４ａが水平方向の主走査を、光学スキャナ４ｂが垂直方向の副走査を行うものである。
【００２７】
これと同期して、ＣＰＵ２７は第１のレーザ光源１からのレーザ光を標本１９に照射するため、第１のレーザシャッタ０３を開状態にするように第１のシャッタ開閉回路２４へ指示を行う。これによりレーザ光が断面２０内で２次元走査を始める。
【００２８】
第１の走査波形発生回路２３は走査波形３０，３１の出力を始めると、画像処理回路２８に対して、図３に示す各種同期信号２９を出力する。画像処理回路２８はこれらの各種同期信号のうち、各画素ごとに発生するクロック信号２９ａにより光電変換素子１０から出力される蛍光輝度信号をＡ／Ｄ変換する。そして、これによって得られたディジタルデータと、垂直同期信号２９ｂと、水平同期信号２９ｃとから画像を形成してディスプレイ２２上に表示する。この場合、垂直同期信号２９ｂの１サイクル分が１枚の画像となる。
【００２９】
このようにして得られた画像は、ケージド試薬が開裂する前における標本１９内のイオン濃度分布の初期状態を示す画像となる。かかる画像を１枚ないし複数枚測定した後、ＣＰＵ２７は第２のシャッタ開閉回路２５に対して第２のレーザシャッタ１２を開状態にするように指示する。ここで、第２の走査光学ユニット１３は、第２のレーザ光源１１からのレーザ光を断面２０の所望の位置に照射できるように、駆動回路２６により偏向方向が設定されているものとする。
【００３０】
第２のシャッタ開閉回路２５は、ＣＰＵ２７からの指示と、上述した第１の走査波形発生回路２３からの同期信号に基づいて、第２のレーザシャッタ１２を開状態として、第２のレーザ光源１１のレーザ光を標本１９に照射し、ケージド試薬を開裂させる。従って、これ以降に得られる画像は、ケージド試薬が開裂したことによる標本内の変化を示すものとなる。
【００３１】
図４は上記第２のシャッタ開閉回路２５がレーザシャッタ１２を開閉するタイミングを示す。ケージド試薬の開裂による標本１９内でのイオン濃度の時間的な変化を精度良く測定するためには、ケージド試薬の開裂のタイミングを、第１の走査波形発生回路２３の垂直同期信号２９ｂまたは水平同期信号２９ｃに同期させることが好ましい。また、第２のレーザ光源１１のレーザ光の照射によっても、イオン感受性蛍光試薬がある程度の蛍光を生じる。これによって、光電変換素子１０へ入射する蛍光輝度が変化し、得られる蛍光画像に影響を与える。そこで、第１の走査波形発生回路２３から第２のシャッタ開閉回路２５への照射指示信号３３は、垂直方向の走査帰線区間４０または水平方向の走査帰線区間４１内、すなわち、光電変換素子１０からの蛍光輝度信号が画像処理回路２８の生成する画像に反映されない区間に出力されるように制御する。
【００３２】
これにより、ケージド試薬の開裂が、蛍光画像の取得に正確に同期し、しかもケージド試薬の開裂に伴う蛍光指示薬からの蛍光輝度の変化の影響を受けないため、時問的な測定精度及び蛍光輝度の測定精度の双方を共に向上させることが可能となる。
【００３３】
（実施の形態２）
上述した実施の形態１では、第２のレーザ光源１１からのレーザ光を、所望の一点に固定し、第１のレーザ光源１からのレーザ光の走査に同期して照射するようにしているが、使用目的によっては、ある程度面積を有した領域のケージド試薬を開裂させる必要がある。そこで、この実施の形態２では、コントロールユニット２１における駆動回路２６を、第２の走査光学ユニット１３内の光学スキャナ１３ａ，１３ｂを任意に走査制御する第２の走査波形発生回路２６’（図示省略）とするものである。
【００３４】
この実施の形態では、ＣＰＵ２７は上述した蛍光画像を得るため、標本１９の目的とする断面２０内の目的とする範囲を第１のレーザ光源１からのレーザ光が走査するように第１の走査波形発生回路２３に走査波形を指示する。これと共に、ケージド試薬を開裂させる所望の領域を第２のレーザ光源１１からのレーザ光が走査するように第２の走査波形発生回路２６’に対して走査波形を指示する。
【００３５】
ＣＰＵ２７は、第１の走査波形発生回路２３に対して走査開始を指示するとともに、第１のシャッタ開閉回路２４に対して、第１のレーザシャッタ３を開状態にするように指示する。そして、１枚ないし複数枚の標本１９内のイオン濃度分布の初期状態を示す画像を取得した後、ＣＰＵ２７は、第２の走査波形発生回路２６´に対して、走査開始を指示するとともに、第２のシャッタ開閉回路２５に対して第２のレーザシャッタ１２を開状態にするように指示する。
【００３６】
第２のシャッタ開閉回路２５および第２の走査波形発生回路２６’は、第１の走査波形発生回路２３から垂直方向の走査帰線区間４０または水平方向の走査帰線区間４１に出力される照射指示信号３３をトリガとして、第２の走査光学ユニット１３の走査制御、すなわちレーザシャッタ１２の開閉制御を行う。ここでは、第２の走査波形発生回路２６’に指示する走査波形は、上記第１の走査波形の垂直方向の走査帰線区間４０または水平方向帰線区間４１内に、所望の領域を走査完了するように設定する必要がある。これに代えて、第２の走査波形発生回路２６’が所望の領域を走査完了するまで、第１の走査波形発生回路２３からの走査波形を停止するようにしても良い。
【００３７】
この実施の形態では、以上のような構成を備えることにより、所望の領域のケージド試薬を開裂させた時のイオン濃度分布の時間変化を、時間的な測定精度及び蛍光輝度の測定精度を向上させた状態で測定することが可能となる。
【００３８】
【発明の効果】
以上のように、請求項１の発明によれば、第２のレーザ光の照射による特異現象の発現が、第１の走査光学系による標本の走査画像の取得に正確に同期し、しかも特異現象に伴う蛍光指示薬からの蛍光輝度の変化の影響を受けることがないため、時間的な測定精度及び蛍光輝度の測定精度を共に向上することができる。
【００３９】
請求項２の発明によれば、所望の領域で特異現象を発現させる時のイオン濃度分布の時間変化を、時間的な測定精度及び蛍光輝度の測定精度を向上させた状態で測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１における光学系のブロック図である。
【図２】コントロールユニットのブロック図である。
【図３】第２の走査光学系のレーザ照射を第１の走査光学系の走査に同期させるタイミングチャートである。
【図４】第２の走査光学系のレーザ照射のタイミングチャートである。
【符号の説明】
Ａ  第１の走査光学系
Ｂ  第２の走査光学系
【図１】
0004468507.tif 000002
【図２】
0004468507.tif 000003
【図３】
0004468507.tif 000004
【図４】
0004468507.tif 000005