(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
(A)エチレン性不飽和基及び下記一般式(1)で表される環状イミド基の両方を有する化合物１０〜８０重量％及び(B)(A)成分以外のエチレン性不飽和基含有単量体９０〜２０重量％を構成単量体単位とする共重合体を含有する組成物であって、ＪＩＳ  Ｚ−０２３７で規定される剥離強度が、当該組成物に活性エネルギー線を照射した後に低下する接着剤組成物。
【化１】
0004438134.tif 000012
〔但し、一般式(1)において、Ｒ1及びＲ2は、それぞれ独立した水素原子又は炭素数４以下のアルキル基であるか、又はＲ1及びＲ2は、一つとなって５又は６員環を形成する不飽和又は飽和の炭化水素基を表す。〕
【請求項２】
(A)成分が下記一般式(2)で表される化合物である請求項１記載の接着剤組成物。
【化２】
0004438134.tif 000013
〔但し、一般式(2)において、Ｒ1及びＲ2は、それぞれ独立した水素原子又は炭素数４以下のアルキル基であるか、又はＲ1及びＲ2は、一つとなって５又は６員環を形成する不飽和又は飽和の炭化水素基を表す。又、Ｒ3は炭素数１〜６の直鎖状又は分岐状アルキレン基を表し、Ｒ4は水素原子又はメチル基を表し、ｎは１から６の整数を表す。〕
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載における共重合体が、(A)成分１０〜５０重量％、並びに(B)成分が炭素数４〜１２のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレート５０〜９０重量％及び必要に応じてこれら単量体と共重合可能な単量体０〜５０重量％を構成単量体単位とするものを含有する組成物であって、ＪＩＳ  Ｚ−０２３７で規定される剥離強度が、当該組成物に活性エネルギー線を照射した後に低下する感圧接着剤組成物。
【請求項４】
基材シートに、請求項１〜請求項３のいずれかに記載の組成物による接着剤層が形成されてなる接着性シート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、接着剤組成物及び当該接着剤組成物から形成された接着剤層を有する接着性シートに関し、より詳しくは、活性エネルギー線の照射により、接着力を低減させることができる接着剤組成物及び接着性シートに関するものであり、接着剤及びこれを使用する技術分野で賞用され得るものである。
【０００２】
【従来の技術】
基材シート上に感圧接着剤を塗布してなる感圧接着性シートは、様々の用途に使用されており、近年、その性能に対する要求が多様化してきている。
【０００３】
例えば、集積回路の製造で、シリコンウエハーを所定の寸法に裁断する、即ちダイシングで使用される感圧接着性シートがある。当該シートは、ダイシングフィルム又はダイシングテープと呼ばれ、次の様に使用してダイスが製造される。即ち、当該シート上にシリコンウエハーを置いて接着固定し、特定寸法に裁断を行った後、ダイスをシートから剥離（ピックアップ）して取り外す。
この場合、感圧接着性シートに要求される性能としては、ダイシング時において、シリコンウエハーを正確にダイシングするために、シリコンウエハーに対して強い接着力を有し、一方、得られたダイスをシートからピックアップする際には、接着力が弱くなることである。具体的には、ダイシング時において１００〜８００g/inch程度の接着力を有し、一方、ダイスのピックアップに際しては、２０〜５０g/inch程度又はこれ以下の接着力を有することが望ましいと一般に言われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記の様な、接着後に、接着力を低減させ得る感圧接着剤組成物及び感圧接着性シートは、これまでにいくつか報告されているが、十分なものはなかった。
例えば、感圧接着剤組成物として、アクリロイル基を２個以上有するアクリレート（以下多官能アクリレートという）及び光重合開始剤からなる紫外線硬化型組成物が知られている（例えば、特開昭６２−５４７７６号公報、同６２−２０５１８０号公報、同６２−５４７７７号公報、同６２−５４７７８号公報及び同６２−５４７７９号公報等）。
当該組成物は、これを用いて感圧接着性シートとしてものを被接着体と接着させた後、紫外線照射し、組成物の構成成分の多官能アクリレートを三次元的に架橋硬化させることにより、接着層のガラス転移温度及び弾性率が上昇し、その結果接着力が低減して、接着面から容易にシートを剥離させることができるものである。
【０００５】
しかしながら、当該組成物は、多官能アクリレートを含有しているため紫外線照射前の接着強度が不十分であったり、又紫外線照射後の接着剤が剥離時に凝集破壊し、その結果被接着体に接着剤が残って、被接着体を汚染してしまうことがあった。
さらに、当該組成物中の多官能アクリレートは、シート基材として使用される樹脂シート中に経時的に移行してしまい、その結果接着力低減効果が経時的に低下してしまうことがあった。又、これら多官能アクリレートは、嫌気下で保存すると重合してしまうため、組成物又は感圧接着性シートとして保存した場合、性能が低下してしまうという、保存安定性が短いという欠点もあった。
特開平６２−５４７８２号公報には、この多官能アクリレートの移行を抑えるために、基材シートである樹脂シートにバリアー層を施すことが提案されているが、接着力の低下したり、樹脂シートが元来有する機械的物性を損なうことがあった。
【０００６】
本発明者らは、活性エネルギー線を照射しない時は、強い接着力を有し、活性エネルギー線照射後は、接着力を著しく低減させることができ、かつ長期間の保存の後にもこれら性能を維持できる接着性組成物及び接着性シートを見出すべく鋭意検討を行ったのである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、かかる問題を解決するために種々の研究の結果、エチレン性不飽和基と環状イミド基を有する化合物を構成単量体単位する共重合体であって、それが特定の共重合割合である共重合体を主成分とする接着剤組成物が、多官能アクリレートを添加しなくても、活性エネルギー線照射後に接着力が著しく低減し、又、多官能アクリレートを添加しないため、その保存安定性が優れることを見出し、本発明に至った。
以下、本発明を詳細に説明する。
尚、本明細書では、アクリレート又はメタクリレートを（メタ）アクリレートといい、アクリル酸又はメタクリル酸を（メタ）アクリル酸という。
【０００８】
【発明の実施の形態】
１．共重合体
本発明の主成分である共重合体は、(A)エチレン性不飽和基及び下記一般式(1)で表される環状イミド基の両方を有する化合物１０〜８０重量％及び(B)(A)成分以外のエチレン性不飽和基含有単量体（以下不飽和単量体という場合もある）９０〜２０重量％を構成単量体単位とするものである。
【０００９】
【化３】
0004438134.tif 000002
【００１０】
〔但し、一般式(1)において、Ｒ1及びＲ2は、それぞれ独立した水素原子又は炭素数４以下のアルキル基であるか、又はＲ1及びＲ2は一つとなって５又は６員環を形成する不飽和又は飽和の炭化水素基を表す。〕
本発明で使用する共重合体は、上記式(1)で示した環状イミド基を有するため、活性エネルギー線の照射により環状イミド基が２量化して、共重合体分子同志を架橋する。又、当該環状イミド基は、光増感剤の配合なしか、又は少量の配合で、活性エネルギー線の照射により２量化反応を起こすことができる。
(A)成分の共重合割合が１０重量％未満であると、活性エネルギー線を照射した後の接着強度の低下が不十分となってしまい、一方、８０重量％を超えると、活性エネルギー線を照射する前の接着強度が不十分となってしまう。
以下に、各構成単量体について説明する。
【００１１】
1-1.(A)エチレン性不飽和基及び環状イミド基の両方を有する化合物
(A)成分は、エチレン性不飽和基及び上記一般式(1)で表される環状イミド基を有する化合物を構成単量体単位とするものである。
【００１２】
エチレン性不飽和基としては、ビニル基及び（メタ）アクリロイル基等が挙げられ、（メタ）アクリロリル基が好ましい。
Ｒ1及びＲ2における、一つとなって５又は６員環を形成する不飽和又は飽和の炭化水素基としては、具体的には、基−ＣＨ2ＣＨ2ＣＨ2−、基−ＣＨ＝ＣＨＣＨ2−、基−ＣＨ2ＣＨ2ＣＨ2ＣＨ2−、基−ＣＨ2ＣＨ＝ＣＨＣＨ2−又は基−ＣＨ＝ＣＨＣＨ＝ＣＨ−等が挙げられる。
Ｒ1及びＲ2としては、（A)成分が重合性に優れ、又得られる共重合体が耐水性に優れたものとなる点で、基−ＣＨ2ＣＨ2ＣＨ2−又は基−ＣＨ2ＣＨ2ＣＨ2ＣＨ2−が好ましく、より好ましくは基−ＣＨ2ＣＨ2ＣＨ2ＣＨ2−である。
又、Ｒ1及びＲ2が、炭素数４以下のアルキル基のものが、（A)成分が重合性に優れたものとなる点で好ましい。
【００１３】
(A)成分としては、その製造が容易である点で、下記一般式(2)で表される化合物〔以下イミド(メタ）アクリレートという〕が好ましい。
【００１４】
【化４】
0004438134.tif 000003
【００１５】
〔但し、一般式(2)において、Ｒ1及びＲ2は、それぞれ独立した水素原子又は炭素数４以下のアルキル基であるか、又はＲ1及びＲ2は、一つとなって５又は６員環を形成する不飽和又は飽和の炭化水素基を表す。又、Ｒ3は炭素数１〜６の直鎖状又は分岐状アルキレン基を表し、Ｒ4は水素原子又はメチル基を表し、ｎは１から６の整数を表す。〕
一般式(2)で表される化合物の中でも、下記一般式(3)〜(5)で表される化合物がより好ましい。
【００１６】
【化５】
0004438134.tif 000004
【００１７】
〔但し、一般式(3)において、Ｒ4及びＲ5は水素原子又はメチル基を表し、ｎは１から６の整数を表す。〕
【００１８】
【化６】
0004438134.tif 000005
【００１９】
〔但し、一般式(4)において、Ｒ4及びＲ5は水素原子又はメチル基を表し、ｎは１から６の整数を表す。〕
【００２０】
イミド（メタ）アクリレートは、種々の方法で製造されたものが使用できる。例えば、以下の文献及び特許に記載された方法により、酸無水物、アミノアルコール及び（メタ）アクリル酸より製造することができる。
・加藤清ら、有機合成化学協会誌３０（１０），８９７，（１９７２）
・Javier de Abajo ら、Ｐｏｌｙｍｅｒ，ｖｏｌ３３（５），（１９９２）
・特開昭５６−５３１１９号公報、特開平１−２４２５６９号公報
【００２１】
1-2.(B)成分
(B)成分としては、(A)成分以外のエチレン性不飽和基を含有する単量体であれば種々のものが使用可能であり、イミド（メタ）アクリレート以外の（メタ）アクリレート；エチレン性不飽和基含有カルボン酸（以下不飽和カルボン酸という）；ビニルエステル；共役ジエン系単量体；（メタ）アクリロニトリル及びα−クロロアクリロニトリル等のシアノ基含有ビニル単量体；塩化ビニル及び塩化ビニリデン等のハロゲン化エチレン性不飽和基含有化合物；イタコン酸モノエチルエステル、フマル酸モノブチルエステル及びマレイン酸モノブチルエステル等の不飽和ジカルボン酸のモノアルキルエステル；アリルアルコール；並びにスチレン及びα−メチルスチレン等のエチレン性不飽和基含有芳香族化合物等が挙げられる。
【００２２】
イミド（メタ）アクリレート以外の（メタ）アクリレートとしては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｉ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｉ−ブチル（メタ）アクリレート、ｎ−ヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−オクチル（メタ）アクリレート、ｉ−オクチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−ノニル（メタ）アクリレート、ｉ−ノニル（メタ）アクリレート、ｎ−デシル（メタ）アクリレート及びｎ−ラウリル（メタ）アクリレート等のアルキル（メタ）アクリレート；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート及びポリエチレングリコール−ポリプロピレングリコール共重合体のモノ（メタ）アクリレート等の水酸基含有（メタ）アクリレート；グリシジル（メタ）アクリレート等のエポキシ基含有（メタ）アクリレート；並びに（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メトキシメチル（メタ）アクリルアミド及びＮ−メトキシブチル（メタ）アクリルアミド等の（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。
【００２３】
不飽和カルボン酸としては、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、ケイヒ酸及び無水マレイン酸等を挙げることができる。これらの中でも、安価であり、得られる接着剤の性能が優れたものとなることから、（メタ）アクリル酸が好ましい。
【００２４】
ビニルエステルとしては、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、ピバリン酸ビニル、ラウリン酸ビニル及びバーサチック酸ビニル等が挙げられ、これらの中でも、酢酸ビニルが好ましい。
【００２５】
共役ジエン系単量体としては、ブタジエン、イソプレン、クロロプレン及びイソブチレン等が挙げられる。
【００２６】
これら(B)成分は、２種以上を併用することもできる。
【００２７】
(B)成分としては、アルキル（メタ）アクリレート、エチレン及びビニルエステル、並びに共役ジエン系単量体が好ましく、これらの中でもアルキル（メタ）アクリレートが、得られる組成物の接着力に優れる点でより好ましい。
【００２８】
本発明の組成物を感圧接着剤組成物として使用する場合、保持力及び粘着力に優れるため、(B)成分としては、炭素数４〜１２のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレート及び必要に応じてこれら単量体と共重合体可能な単量体（以下その他単量体という）が好ましく、さらに当該アルキル（メタ）アクリレートが炭素数４〜９のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートであるものが、(A)成分との共重合性に優れ、得られる感圧接着剤組成物の粘着力に特に優れるためより好ましい。
【００２９】
この場合のその他単量体の例としては、不飽和カルボン酸、炭素数１〜３のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレート、シアノ基含有ビニル単量体、水酸基含有（メタ）アクリレート、不飽和ジカルボン酸のモノアルキルエステル、アリルアルコール、（メタ）アクリルアミド、酢酸ビニル、グリシジル（メタ）アクリレート、塩化ビニル及び塩化ビニリデン等が挙げられる。
これらの中でも、不飽和カルボン酸が、得られる感圧接着剤組成物が、保持力に特に優れたものになる点で好ましい。
【００３０】
当該共重合体の共重合割合としては、(A)成分１０〜５０重量％、(B)成分として炭素数４〜１２のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレート９０〜５０重量％及びその他単量体０〜５０重量％が好ましい。(A)成分の共重合割合が１０重量％未満であるか、又はアルキル（メタ）アクリレートが９０重量％を超えると、活性エネルギー線を照射した後の接着強度の低下が不十分となってしまう。(A)成分の共重合割合が５０重量％を超えるか、又はアルキル（メタ）アクリレートが５０重量％に満たないと、活性エネルギー線を照射する前の接着強度が不十分となってしまう。又、その他単量体の共重合割合が５０重量％を超えると、粘着力が低下する場合がある。
【００３１】
本発明において、(B)成分として、炭素数４〜１２のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレート及び不飽和カルボン酸が特に好ましい。この場合、好ましい共重合割合は、(A)成分１０〜４０重量％、炭素数４〜１２のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレート５０．０〜８９．９重量％及び不飽和カルボン酸０．１〜１０重量％である。
(A)成分の共重合割合が１０重量％未満であると、活性エネルギー線照射後の接着力が十分に低下しない場合があり、他方５０重量％を超えると、活性エネルギー線照射前の接着性が不充分な場合がある。
炭素数４〜１２のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートの共重合割合が５０重量％未満であると、得られる粘接着剤の接着力、保持力及びタックのバランスをとることが困難となる場合があり、９５重量％を超えると粘接着剤の保持力が不足する場合がある。
不飽和カルボン酸の共重合割合が０．１重量％未満であると得られる粘接着剤の保持力、接着力が不足する場合があり、１０重量％を超えるとタック、接着力が低下する場合がある。
【００３２】
1-3.共重合体の製造方法
本発明で使用する共重合体は、種々の方法で製造可能であり、従来の製造方法で上記単量体を重合したものであれば良く、具体的には、溶液重合、乳化重合及び懸濁重合等が挙げられる。
溶液重合法を採用する場合の具体的な方法としては、使用する原料単量体を有機溶剤に溶解させ、熱ラジカル重合開始剤の存在下に加熱攪拌する方法等が挙げられる。
乳化重合法を採用する場合の具体的な方法としては、使用する原料単量体を水性媒体中に乳化剤を使用して分散させ、熱ラジカル重合開始剤の存在下に加熱攪拌する方法、及び使用する原料単量体を水性媒体中に乳化剤を使用して分散して水性乳濁液とし、当該水性乳濁液を水性媒体中に添加しつつ、熱ラジカル重合開始剤の存在下に加熱攪拌する方法等が挙げられる。
いずれの場合も、必要に応じて、重合体の分子量を調節するために連鎖移動剤を使用することができる。
有機溶剤としては、ベンゼン、トルエン、酢酸エチル、メタノール及びジメチルホルムアミド等が挙げられる。
熱ラジカル重合開始剤の例としては、熱によりラジカル種を発生する、過酸化物、アゾ化合物及びレドックス開始剤等が挙げられる。過酸化物の例としては、過酸化ベンゾイル、過酸化ラウロイル、クメンヒドロペルオキシド、ｔ−ブチルヒドロペルオキシド及びジクミルペルオキシド等が挙げられる。アゾ化合物の例としては、アゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス−２，４−ジメチルバレロニトリル等が挙げられる。レドックス開始剤の例としては、過酸化水素−鉄（II）塩、ペルオキソ二硫酸塩−亜硫酸水素ナトリウム及びクメンヒドロペルオキシド−鉄（II）塩等が挙げられる。
連鎖移動剤としては、ドデシルメルカプタン、キサントゲン酸ジスルフィド、ジアゾチオエーテル及び２−プロパノール等が挙げられる。
【００３３】
共重合体の分子量としては、重量平均分子量で１万〜１００万が好ましく、１０万〜１００万がより好ましい。共重合体の重量平均分子量が１万に満たないと、接着力が低下する場合があり、他方１００万を超えると、組成物の粘度が高くなり過ぎ、塗工性が低下することがある。
尚、本発明において、重量平均分子量及び重量平均分子量とは、溶媒としてテトラヒドロフランを使用し、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィ（以下ＧＰＣと略す）により測定した分子量をポリスチレンの分子量を基準にして換算した値である。
【００３４】
尚、本発明の組成物を感圧接着剤組成物として使用する場合には、上記共重合体のガラス転移温度（以下Ｔｇという）が−２０℃以下であるものが好ましく、−３０℃以下であることがより好ましい。共重合体のＴｇが−２０℃を超えると、感圧接着剤としてのタックが不足しやすくなる。
【００３５】
２．接着剤組成物
本発明の接着剤組成物は、前記共重合体を含有してなるものであり、有機溶剤の溶液の形態でも、エマルションの形態でも使用できる。本発明の組成物は、特に感圧接着剤として有用なものである。
当該組成物は、ＪＩＳ  Ｚ−０２３７で規定される剥離強度が、当該組成物に活性エネルギー線を照射した後に低下する性能を有するものである。
接着力低下の程度としては、具体的には、活性エネルギー線の照射後の接着力が、照射前の１／２〜１／５０となるものが好ましく、より好ましくは１／５〜１／５０である。
本発明の組成物をダイシングテープ用に使用する場合には、具体的に、ダイシング時において１００〜８００g/inch程度の接着力を有し、ダイスのピックアップに際しては、２０〜５０ｇ／２５g/inch程度又はこれ以下の接着力を有するものが好ましい。
【００３６】
組成物における共重合体の割合としては、組成物の粘度が、２５℃、１２ｒｐｍの条件で、Ｂ型粘度計により測定された粘度が５０〜２００００ｃｐｓとなる様な割合が、塗工性に優れるため好ましい。具体的には、組成物中の共重合体が３０〜８０重量％が好ましく、４５〜８０重量％がより好ましい。
【００３７】
本発明の組成物には、硬化物の接着性能を高めるため、又は組成物の感度を調整するため、反応性不飽和基を有する化合物を配合しても良い。
【００３８】
反応性不飽和基を有する化合物の例としては、アクリル系モノマー、オリゴマー等が挙げられる。
アクリル系モノマーとしては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート及び２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート；フェノキシエチル（メタ）アクリレート等のフェノールのアルキレンオキシド付加物のアクリレート類及びそのハロゲン核置換体；エチレングリコールのモノ又はジ（メタ）アクリレート、メトキシエチレングリコールのモノ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールのモノ又はジ（メタ）アクリレート及びトリプロピレングリコールのモノ又はジ（メタ）アクリレート等のグリコールのモノ又はジ（メタ）アクリレート；並びにトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート及びジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等のポリオール及びそのアルキレンオキサイド付加物の（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００３９】
アクリル系オリゴマーとしては、ウレタン（メタ）アクリレートオリゴマー、ポリエステル（メタ）アクリレートオリゴマー及びエポキシ（メタ）アクリレートオリゴマー等が挙げられる。
【００４０】
反応性不飽和基を有する化合物の配合割合としては、共重合体１００重量部に対して５０重量部以下が好ましく、より好ましくは２０重量部以下である。
【００４１】
本発明の接着剤を感圧接着剤として使用する場合、硬化物のＴｇを低下させたり、粘着性能を高めるために、粘着付与剤を含有させることもできる。粘着付与剤としては種々のものが使用でき、例えば、ロジン系樹脂やテルペン系樹脂等の天然樹脂及びその誘導体、石油樹脂等の合成樹脂を挙げることができる。
又本組成物には、タックを調整したり、保持力を高めるために、主成分であるアクリル系高分子の分子間を架橋させるため、常温ですみやかに反応するポリイソシアネート化合物等を添加して用いても良い。
【００４２】
本組成物は、活性エネルギー線による感度を向上させるため、光重合開始剤又は光増感剤を添加してもよい。
【００４３】
光重合開始剤又は光増感剤の一例としては、アセトフェノン類、アントラキノン類、チオキサントン類、ベンゾフェノン類、キサントン類、ベンゾインとそのアルキルエーテル類、ケタール類、安息香酸系及びアミン系等がある。これらは、２種以上を組み合わせて用いることもできる。
【００４４】
これら以外にも、消泡剤、増粘剤、潤滑剤、成膜助剤、繊維助剤、洗浄剤、帯電防止剤、均染剤、湿潤剤及びレベリング改良剤等の接着剤や感圧接着剤で使用される一般的な添加剤を併用することができる。
【００４５】
３．接着性シート
本発明の組成物は、種々の用途に使用可能であり、特に接着性シートの製造に好適に使用できる。
接着性シートの製造方法としては、例えば、基材シート上に組成物を塗布し、塗布層を乾燥することによって得ることができる。
塗布方法としては、ロールコーティング、ダイコーティング及びナイフコーティング等が挙げられる。
【００４６】
この場合の塗工量は、使用する用途に応じて適宜選択すればよいが、好ましい塗工量としては５〜２００ｇ／ｍ2であり、より好ましくは１０〜１００ｇ／ｍ2である。
【００４７】
接着性シートは被接着体に接着した後、目的とする用途における処理の終了後に、活性エネルギー線を照射して、接着力を低減させる。
この場合の活性エネルギー線の照射方法は、従来活性エネルギー線硬化型接着剤組成物で行われている方法に従えば良い。活性エネルギー線としては、紫外線、Ｘ線及び電子線等が挙げられ、安価な装置を使用できることから、紫外線を使用することが好ましい。紫外線を使用する場合の光源としては、超高圧、高圧、中圧又は低圧水銀灯、メタルハライド灯、キセノンランプ、無電極放電ランプ及びカーボンアーク灯等が挙げられ、数秒乃至数分間照射すれば良い。
【００４８】
本発明の接着性シートは、活性エネルギー線照射後の接着性が低下するものであるため、シリコンウエハーのダイシング用フィルムとして好適に使用することができる。
この場合には基材シートとして、樹脂シートが使用される。樹脂シートとしては、活性エネルギー線が透過できるものであれば、種々のものが使用でき、通常は、透明乃至半透明の合成樹脂シートが用いられる。例えば、樹脂の種類としては、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体樹脂、塩化ビニル−アクリル酸エステル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニリデン、アセチルセルロース、ポリオレフィン、ポリビニルアルコール、ポリアミド、ポリエステル及びポリカーボネート等が挙げられる。
当該樹脂としては、可塑剤を含有しているものであっても良い。可塑剤としては、特に制限されるものではないが、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレート、ジデシルフタレート等のフタル酸ジエステル、トリクレジルホスフェート、トリオクチルホスフェート、トリフェニルホスフェート等のリン酸エステル、ジオクチルアジペートジオクチルセバケート等の脂肪酸ジエステル、ポリエステル系可塑剤及びエポキシ系可塑剤等を挙げることができる。
【００４９】
【作用】
本発明の組成物は、構成成分の共重合体における環状イミド基が常温暗所での反応性がほとんど無いため、保存安定性に優れる。
又本発明の組成物が、活性エネルギー線照射後に接着力を低減できる理由は、共重合体における環状イミド基が、活性エネルギー線の照射により分子間で架橋反応を起こすため、接着層のガラス転移温度及び弾性率を上昇させ、その結果接着力が低減し、接着面から容易に剥離することができるものと推定している。
又、共重合体であるため、樹脂シートに経時的に移行することはなく、接着力低減効果を長期間維持できる。
【００５０】
【実施例】
以下に、実施例及び比較例を挙げ、本発明をより具体的に説明する。尚、各例において、「部」は重量部を、「％」は重量％を意味する。
又、使用した単量体及びアクリレートの略号の意味は以下のとおりである。
ＨＡ；２−エチルヘキシルアクリレート
ＢＡ；ブチルアクリレート
ＨＥＡ；２−ヒドロキシエチルアクリレート
ＡＡ；アクリル酸
ＤＰＨＡ；ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
【００５１】
○実施例１
１）接着剤組成物の製造
攪拌機、温度計、冷却器を備えたフラスコに、室温で、下記式(5)で表される化合物２０．０ｇ、ＢＡ７４．５ｇ、ＡＡ５．０ｇ、ＨＥＡ０．５ｇ、酢酸ブチル１００ｇ及び2,2'-アゾビス（2-メチルブチロニトリル）０．５ｇ（以下ＡＭＢＮという）を仕込み、均一に溶解させた。この後昇温して、８５℃で２時間、９５℃で１時間攪拌した。
【００５２】
【化７】
0004438134.tif 000006
【００５３】
得られた共重合体は、数平均分子量６６０００、重量平均分子量１６５００であった。
共重合体を５０％含む反応溶液１００部に対し、塗工直前にコロネートL〔日本ポリウレタン工業（株）製、多価イソシアネート化合物〕を０．５部加え、接着剤組成物を製造した。
得られた組成物を使用し、下記に示す方法に従い、接着性シートを作成し、接着性試験を行った。又、組成物を使用して保存安定性試験を行った。それらの結果を表２に示す。
【００５４】
２）接着性シートの製造
厚さ５０μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、乾燥後における接着剤層の厚さが１０μmになるように組成物を塗布し、次いで熱風循環式乾燥器にて１００℃で１２０秒間乾燥して、接着性シートを製造した。得られた接着性シートを使用し、下記に示す方法に従い、接着性試験を行った。尚、接着力の測定は、接着性シートを製造した後、２５℃で１週間保存した後に行った。
【００５５】
３）評価
▲１▼接着性試験
被接着体としてステンレス板を用い、これと接着性シートを密着させた。これを試験体という。試験体の１８０度剥離強度を、２３℃、６５％ＲＨの条件において、ＪＩＳ  Ｚ−０２３７に準じて測定した。
又、試験体に、フィルム側から１２０Ｗ／ｃｍ集光型高圧水銀灯（１灯、高さ１０cm）下を５ｍ／ｍｉｎのコンベアスピードで２パス通過して紫外線を照射した。当該試験体を用い、上記と同様にして剥離強度を測定した。
【００５６】
▲２▼保存安定性試験（加熱促進試験）
コロネートＬを添加していない接着剤組成物を５０ｍｌガラス製サンプル瓶に３０ｍｌ入れ、蓋をして６０℃で１週間保存した。
保存後の液体の状態を目視で観察し、以下の基準で評価した。
○：変化無し。
△：やや粘度上昇が見られる。
×：濁りが発生し、明らかな粘度上昇がある。
【００５７】
○実施例２〜同５
実施例１と同様の装置を用い、表１に示す構成の単量体を用いて、実施例１と同様の方法で共重合体を製造した。但し、表中の(6)は、下記式(6)で表される化合物を示す。
共重合体５０％を含む反応溶液１００部に、実施例１と同様にして、塗工直前にコロネートＬを０．５部を配合して接着剤組成物を製造した。
得られた組成物を使用し、実施例１と同様にして接着性シートを製造し、又実施例１と同様に評価した。それらの結果を表２に示す。
【００５８】
【化８】
0004438134.tif 000007
【００５９】
○実施例６
実施例５と同様の反応溶液を用い、反応溶液１００部に対し、増感剤としてジエチルチオキサントン〔日本化薬（株）製、ＤＥＴＸｓ〕を２．５部を加え、さらに塗工直前にコロネートＬを０．５部加え、接着剤組成物を製造した。
得られた組成物を使用し、実施例１と同様にして接着性シートを製造し、又実施例１と同様に評価した。それらの結果を表２に示す。
【００６０】
【表１】
0004438134.tif 000008
【００６１】
【表２】
0004438134.tif 000009
【００６２】
○比較例１
実施例１と同様の装置を用い、表３に示す構成の単量体を用いて、実施例１と同様の方法で共重合体を製造した。
得られた共重合体５０％を含む反応溶液１００部に、実施例１と同様にして、塗工直前にコロネートＬを０．５部を配合して接着剤組成物を製造した。
得られた組成物を使用し、実施例１と同様にして接着性シートを製造し、又実施例１と同様に評価した。それらの結果を表４に示す。
【００６３】
○比較例２
実施例１と同様の装置を用い、表３に示す構成の単量体を用いて、実施例１と同様の方法で共重合体を製造した。
得られた共重合体５０％を含む反応溶液１００部に、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〔東亞合成（株）製アロニックスＭ４００〕を４０部、ベンジルジメチルケタールを２部加え溶解し、さらに塗工直前にコロネートＬを０．５部加え接着剤組成物を製造した。
得られた組成物を使用し、実施例１と同様にして接着性シートを製造し、又実施例１と同様に評価した。それらの結果を表４に示す。
又、保存安定性試験後の溶液を使用し、同様にフィルム基材に塗工を試みたところ、塗工面にハジキが発生し、均一な膜厚に塗工できなかった。
【００６４】
○比較例３
比較例２において、反応溶液に添加するジペンタエリスリトールヘキサアクリレートを４０部から２０部に変更した以外は、比較例３と同様にして接着剤組成物を製造した。
得られた組成物を使用し、実施例１と同様にして接着性シートを製造し、又実施例１と同様に評価した。それらの結果を表４に示す。
又、保存安定性試験後の溶液を使用し、同様にフィルム基材に塗工を試みたところ、塗工面にハジキが発生し、均一な膜厚に塗工できなかった。
【００６５】
【表３】
0004438134.tif 000010
【００６６】
【表４】
0004438134.tif 000011
【００６７】
表４において、紫外線照射後の剥離試験を行った後に接着剤を観察すると、比較例１では、接着剤層は界面剥離し、ステンレス基材に接着剤残りはなかった。比較例２、３では、接着剤層が凝集破壊し、ステンレス基材に接着剤が一部残った。
【００６８】
【発明の効果】
本発明の接着剤組成物は、保存安定性に優れ、強い接着力を有し、活性エネルギー線の照射後には接着力を著しく低減させることができるものであり、これから得られる接着性シートは、シリコンウエハーのダイシング用フィルムとして好適に使用するとができるものである。