(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）ガス入口（１４）と、
（ｂ）該ガス入口（１４）からガスの流れを受けるように該ガス入口（１４）に連通し、また周面（２６）を有するガス出口ヘッド（１８）と、
（ｃ）前記周面（２６）に沿って間隔を置いて配置され、前記ガスの流れがそれからガスストリーム（５０）として出る複数のガス出口（３０）と、
（ｄ）各々が前記ガス出口（３０）の1つに近接して配置され、各ガス出口（３０）を出る前記ガスストリーム（５０）を偏向する複数のガスデフレクタ（３４）と、
を備え、
前記ガスデフレクタ（３４）は、ほぼ３角形の後部デフレクタ要素（３６）とほぼ３角形の上部デフレクタ要素（４０）とからなり、該後部及び上部デフレクタ要素は、互いに縁部（４６）に沿って交差しており、
前記後部デフレクタ要素（３６）の偏向内面（３８）は、最初に前記ガスストリームを偏向させて旋回させ、前記上部デフレクタ要素（４０）の偏向内面（４２）は、前記ガスストリームを僅かに下向きに偏向させる
ることを特徴とするガス分配器（１０）。
【請求項２】
金属コーティングを用いて部品（１３２）を気相コーティングするための装置（１００）であって、
（１）底板（１１８）と、該底板（１１８）から間隔を置いて配置された上板（１１４）と、該上板（１１４）と前記底板（１１８）とを接続する側壁（１２２）とを有するコーティング用コンテナ（１１０）と、
（２）（ａ）ガス入口（１４）と、
（ｂ）該ガス入口（１４）からガスの流れを受けるように該ガス入口（１４）に連通し、また周面（２６）を有するガス出口ヘッド（１８）と、
（ｃ）前記周面（２６）に沿って間隔を置いて配置され、前記ガスの流れがそれからガスストリーム（５０）として出る複数のガス出口（３０）と、
（ｄ）各々が前記ガス出口（３０）の1つに近接して配置された複数のガスデフレクタ（３４）と、
を備えるガス分配器（１０）と、
（３）コーティングされる各部品（１３２）を、前記コーティング用コンテナ（１１０）内で前記ガス分配器（１０）のガス出口ヘッド（１８）の下方に配置するための少なくとも１つの保持具（１２８）と、
（４）前記金属コーティングの源を前記コーティング用コンテナ（１１０）内で前記ガス分配器（１０）のガス出口ヘッド（１８）の下方に配置するための少なくとも１つの保持具（１４０）と、
を備え、
前記ガスデフレクタ（３４）は、ほぼ３角形の後部デフレクタ要素（３６）とほぼ３角形の上部デフレクタ要素（４０）とからなり、該後部及び上部デフレクタ要素は、互いに縁部（４６）に沿って交差しており、
前記後部デフレクタ要素（３６）の偏向内面（３８）は、最初に前記ガスストリームを偏向させて旋回させ、前記上部デフレクタ要素（４０）の偏向内面（４２）は、前記ガスストリームを僅かに下向きに偏向させる
ることを特徴とする装置（１００）。
【請求項３】
前記コンテナ（１１０）及び前記側壁（１２２）がほぼ円筒形であることを特徴とする、請求項２に記載の装置（１００）。
【請求項４】
前記ガス出口ヘッド（１８）がほぼ円筒形であり、前記周面（２６）がほぼ円形であることを特徴とする、請求項１に記載の分配器（１０）。
【請求項５】
前記ガス出口ヘッド（１８）がほぼ円筒形であり、前記周面（２６）がほぼ円形であることを特徴とする、請求項２に記載の装置（１００）。
【請求項６】
底板（１１８）と、該底板（１１８）から間隔を置いて配置された上板（１１４）と、該上板（１１４）と前記底板（１１８）とを接続する側壁（１２２）とを有し、該底板（１１８）、上板（１１４）及び側壁（１２２）がコーティングチャンバを形成している気相コーティング用コンテナ内で、金属コーティングを用いて部品（１３２）をコーティングするための方法であって、
（ａ）前記コンテナ（１１０）のコーティングチャンバ（１２４）に、コーティングされる前記部品（１３２）を装填する段階と、
（ｂ）前記コンテナ（１１０）のコーティングチャンバ（１２４）に、金属コーティング源（１４０）を装填する段階と、
（ｃ）請求項１に記載のガス分配器（１０）を用い、前記複数のガス出口（３０）から出るガスストリームを前記後部デフレクタ要素（３６）の偏向内面（３８）で最初に偏向させて旋回させ、前記上部デフレクタ要素（４０）の偏向内面（４２）で前記ガスストリームを僅かに下向きに偏向させた不活性キャリアガスを、前記装填されたコーティング用コンテナ（１１０）のコーティングチャンバ（１２４）内に不活性ガス雰囲気を形成する、前記装填されたコンテナ（１１０）の上板（１１４）近くの複数のキャリアガスストリーム（５０）として、導入する段階と、
（ｄ）前記装填されたコンテナ（１１０）のコーティングチャンバ（１２４）内に前記不活性ガス雰囲気が形成された後に、前記金属コーティング源（１４０）により金属コーティング用ガスが生成されるのに十分な温度に、前記装填されたコンテナ（１１０）を加熱する段階と、
（ｅ）前記装填されたコンテナ（１１０）のコーティングチャンバ（１２４）内で前記部品（１３２）上にコーティングを堆積させるように前記金属コーティング用ガスを移動させるために、前記装填されたコンテナ（１１０）のコーティングチャンバ（１２４）内へ前記キャリアガスを流し続ける段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項７】
前記部品（１３２）が翼形タービンブレードであり、前記金属コーティング源（１４０）がアルミニウム源であり、前記金属コーティング用ガスがアルミナイド含有ガスであることを特徴とする、請求項６に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的に、気相コーティング方法及び気相コーティング用コンテナに有用なガス分配器に関する。具体的には、本発明は、金属コーティング、特にアルミナイドコーティングを用いて、ガスタービンエンジンブレードのような部品を気相コーティングするために、非酸化性又は不活性のキャリアガスを導入するためのガス分配器に関する。
【０００２】
【従来技術】
酸化性雰囲気において高温で作動するある種の部品には、種々の型のコーティングの形態で環境保護膜が設けられている。例えば、ガスタービンエンジンのタービンブレード、ベーン及び他の翼形部のような、エンジンのタービン部分において通常受ける高温で作動する構成部品は、金属表面コーティングを単独又は他の材料との種々の組合せとして備えることが多い。このようなコーティングは、高温作動の間に発生する、酸化、腐食及び硫化条件に抗する能力がある。
【０００３】
このような金属コーティングの施工方法には、例えばアルミニウム又はアルミニウム合金のような１つ又はそれ以上の保護金属の蒸気を、高温において部品表面にアルミナイドコーティングの形態を形成するように堆積させことが含まれる。このような気相コーティング法は、普通「レトルト」と呼ばれるコーティング用コンテナ又はチャンバ内で非酸化性又は不活性雰囲気（例えば、水素、窒素、ヘリウム又はアルゴン）中で通常行われる。一般的に、コーティングされる部品又は通常複数の部品（例えば、タービンブレードのような翼形部）は、通常ペレット又は粉末の形態の、該部品を囲むような列で配列できる多孔バスケット内に多くの場合保持されるアルミナイドコーティング源と共にコンテナ内に配置される。次いで、コンテナはコーティング蒸気を発生させるために加熱炉のような加熱装置内に置かれる。コーティング蒸気の発生には、フッ化物、塩化物又は臭化物のようなハライド「活性化剤」の使用が通常含まれる。このハライド活性化剤は、アルミナイドコーティング源と反応してアルミナイド含有ガスを生成するようにコンテナ内に導入されるガスの形態とすることができ、或いは加熱によって反応性のハロゲンガスを生成する、コンテナ内のハライド活性化剤源から発生させることもできる。
【０００４】
アルミナイド含有ガスは、一般的に非酸化性又は不活性のキャリアガス（例えば、水素、窒素、ヘリウム又はアルゴン）によってコーティング用コンテナ内で移送又は移動される。一部の気相コーティングシステムにおいては、このキャリアガスはコンテナの底板を通して導入され、アルミナイド含有ガスを上向きに運び、部品をコーティングする。例えば、特許文献１及び特許文献２を参照されたい。他の気相コーティングシステムにおいては、キャリアガスはコーティング用コンテナの上板を通して導入され、次いでコンテナ全体に拡散し、アルミナイド含有ガスを運び部品をコーティングする。特許文献３を参照されたい。アルゴンのようなキャリアガスをコンテナの上部（底部に対して）から導入する利点は、アルゴンが、空気より密度が大きく重いので、コンテナを通して自然に下向きに流れ金属（アルミナイド）コーティング蒸気と混ざり合うことになり、また「プランジャ」として働き、部品の内部コーティングを助けることになることである。
【０００５】
【特許文献１】
特公昭５９−１９９８８号公報
【特許文献２】
特開２００１−５１２１８１号公報
【特許文献３】
特開２０００−３０９８８４号公報
【０００６】
キャリアガスがコンテナの上板を通して導入されるこのような装置の１つにおいては、キャリアガスを分散させるためにガス分配器が使用される。そのようなガス分配器の１つは「シャワーヘッド」と類似した構成を有し、その構成において、分配器は円筒形又は円盤状ヘッドの周辺部に沿って間隔を置いて配置された複数のガス出口孔を備え、該ガス出口孔を通してキャリアガスが流出する。この「シャワーヘッド」式分配器は、通常コンテナの上部においてアルミナイド発生ペレット及びコーティングされる部品の上方に配置される。
【０００７】
アルゴンのようなキャリアガスがコンテナ上部のこのような「シャワーヘッド」式分配器を通して供給された場合、アルミナイド含有ガスがコーティング用コンテナ内部で一定に移動せずかつ混合しないことが見出された。このことは、アルゴンガスがアルミナイド発生ペレットの列を通過してまたコーティングされる部品（例えば、翼形部）の列を通過して移動し拡散する時に、特にそのようになる。ペレット及び部品の列はガスの流れを妨げ或いはこれに抗するので、異なるアルミナイド含有ガス濃度を有する領域が形成される可能性があり、従って、コーティングされる部品を囲むアルミナイド含有ガスの不均一な環境がつくり出される。通常、アルミナイド含有ガスのこの不均一な環境は、部品の外部表面上のアルミナイドコーティングの一定でない分布を生じ、また部品（例えば、中空のガスタービンブレードのような中空翼形部）の内部表面上の一定でない内部ガス流及び一定でないコーティングを生じる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従って、アルミナイド含有ガスがコーティング用コンテナ内部で一定に移動し混合され、より均一で一定なアルミナイドコーティングが部品の外部及び中空部品の内部に形成されるような方法で、キャリアガスを導入することができるガス分配器を提供できることが要望される。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、部品に金属コーティングを形成するために使用されるコーティング用コンテナの上板においてキャリアガスを導入するのに適したガス分配器に関する。このガス分配器は、
（ａ）ガス入口と、
（ｂ）ガス入口からガスの流れを受けるように該ガス入口に連通し、また周面を有するガス出口ヘッドと、
（ｃ）周面に沿って間隔を置いて配置され、ガスの流れがそれからガスストリームとして出る複数のガス出口と、
（ｄ）各々がガス出口の1つに近接して配置され、少なくとも最初に各ガス出口を出るガスストリームを少なくともほぼ向心方向の経路に向ける、複数のガスデフレクタと、
を備える。
【００１０】
本発明はまた、金属コーティングを用いて部品を気相コーティングするための装置に関する。この装置は、
（１）底板と、該底板から間隔を置いて配置された上板と、該上板と底板とを接続する側壁とを有するコーティング用コンテナと、
（２）ガス出口ヘッドがコーティング用コンテナの上板近くに配置された、コーティング用コンテナ内にキャリアガスを導入するための前述のガス分配器と、
（３）コーティングされる各部品を、コーティング用コンテナ内でガス分配器のガス出口ヘッドの下方に配置するための少なくとも１つの保持具と、
（４）金属コーティングの源をコーティング用コンテナ内でガス分配器のガス出口ヘッドの下方に配置するための少なくとも１つの保持具と、
を備える。
【００１１】
本発明はまた、金属コーティングを用いて部品を気相コーティングするためのコーティング用コンテナ内にキャリアガスを導入するための方法に関する。この方法は、コーティング用コンテナの上板近くの複数のキャリアガスストリームとしてキャリアガスを導入する段階を含み、各キャリアガスストリームは少なくとも最初に少なくともほぼ向心方向の経路に流れる。
【００１２】
本発明はさらに、コーティング用コンテナ内で金属コーティングを用いて部品をコーティングするための方法に関する。この方法は、
（ａ）コンテナのコーティングチャンバに、コーティングされる部品を装填する段階と、
（ｂ）コンテナのコーティングチャンバに、金属コーティング源を装填する段階と、
（ｃ）各々が湾曲したほぼ求心方向下向き方向の経路に流れて装填されたコーティング用コンテナのコーティングチャンバ内に不活性ガス雰囲気を形成する、装填されたコンテナのコーティングチャンバの上板近くの複数のキャリアガスストリームとして、不活性キャリアガスを導入する段階と、
（ｄ）コーティングチャンバ内に不活性ガス雰囲気が形成された後に、金属コーティング源により金属コーティング用ガスが生成されるのに十分な温度に、装填されたコンテナを加熱する段階と、
（ｅ）装填されたコンテナのコーティングチャンバ内で部品上にコーティングを堆積させるように金属コーティング用ガスを移動させるために、装填されたコンテナのコーティングチャンバ内へキャリアガスを流し続ける段階と、
を含む。
【００１３】
本発明の、キャリアガスを導入するためのガス分配器、気相コーティング装置及び方法、並びに部品をコーティングするための方法は、特に金属コーティングを用いて部品を気相コーティングするために、コーティング用コンテナの上板において又は該上板の近くでキャリアガスを導入するときに、多くの顕著な利点を提供する。キャリアガス（例えば、アルゴン）が、少なくとも最初に少なくとも向心方向の経路でコーティング用コンテナの上部に導入されるので、このキャリアガスは円形又は旋回状態になる傾向となり、それによってコーティングされる部品の上方の環境はより均一かつ均質な状態に保たれる。結果として、部品を囲む金属コーティング（例えば、アルミナイド）含有ガスの環境がより均一かつ均質となる傾向となり、部品の外部表面上により均一な金属コーティングがもたらされる。加えて、翼形部のような中空部品の場合、ガスの内部での流れの分布がより均一となり、部品の内部表面上により均一な金属コーティングを形成する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１及び図２を参照すると、全体を符号１０で表すガス分配器の実施形態が示されている。分配器１０は、供給源（図示せず）からガスを受けるためのほぼ円筒形中空のガス入口チューブ又はパイプ１４と、該パイプ１４に接続された、符号１８で表すほぼ円筒形又は円盤状のガス出口ヘッド又はマニホールドとを備える。図３に示すように、パイプ１４は、該パイプ１４にガス源を固定するための、符号２０で表す孔を備える。図示しないが、マニホールド１８もまた中空であり、ガスがパイプ１４内に流入するとそのガスは次にマニホールド１８に供給される。すなわち、パイプ１４はマニホールド１８と流体連通している。
【００１５】
特に図１を参照すると、マニホールド１８は、符号２２で表す底面を備え、また符号２６で表すほぼ円形の周面を有するように示されている。しかしながら、周面２６は、多角形の形状又は構造（例えば、６角形、８角形、１０角形、１２角形など）を含む他の形状又は構造を有することができる。開口部又は孔３０の形態の複数のガス出口が、周面２６内に該周面２６に沿って間隔を置いて形成される。孔３０の数は、該孔の寸法及び周面２６の寸法によって変化する。通常、周面２６に沿った孔３０の数は少なくとも４個であり、典型的には４個ないし２０個の範囲にあり、より典型的には６個ないし１２個の範囲にある。
【００１６】
孔３０の各々に近接して、斜方向ガス反らせ板又はデフレクタ３４があり、これは、図１において、開いたほぼ台形の又は「フード付きの」構造又は形状を有するように示されている。しかしながら、デフレクタ３４もまた、他の（例えば、丸みのある）構造又は形状を有するように形成されることも可能である。各デフレクタ３４は、ほぼ前向き方向の偏向内面３８を有するほぼ３角形の後部デフレクタ要素３６と、ほぼ下向き方向の偏向内面４２を有するほぼ３角形の上部デフレクタ要素４０とを備えるように示されている。要素３６及び４０の面３８及び４２は、継目又は縁部４６に沿って交差している。図１に示すように、ガス流又はストリームが各孔を出るとき、そのガス流又はストリームは、少なくとも最初に内面３８（要素３６の）によってほぼ向心方向の経路（すなわち、表面２６に沿った又は平行な）に、かつ内面４２（要素４０の）によって僅かに下向き方向の経路（すなわち、最終的には底面２２から離れる方向の）に偏向される。その結果、孔３０から出るガスストリームは、矢印５０によって表すような、湾曲したほぼ求心方向下向き方向の経路に流れる。
【００１７】
図３に示すように、分配器１０は、全体を符号１００で表す気相コーティング装置に用いられ、該気相コーティング装置は、全体を符号１１０で表すほぼ円筒形のコーティング用コンテナを含む。図３に示すように、分配器１０（パイプ１４及びマニホールド１８を備える）は、コンテナ１１０内部に取り付けられる寸法とされる。コンテナ１１０は、符号１１４で表す上板又は蓋と、該蓋１１４から間隔を置いて配置された符号１１８で表す底板と、符号１２２で表すほぼ円筒形の周辺側壁とを有し、該周辺側壁１２２は、蓋１１４と底板１１８とを接続し、底板１１８を越えて下方に延びる。コンテナ１１０の蓋１１４、底板１１８及び側壁１２２は、符号１２４で表す内部コーティングチャンバを形成する。また図３に示すように、分配器１０のパイプ１４は蓋１１４の中心部の又は該中心部近くの孔又は開口１２６を通して部分的に挿入され、マニホールド１８はチャンバ１２４の上部に又はその近くすなわち蓋１１４近くに配置される。
【００１８】
装置１００はまた、コンテナ１１０の底板１１８に取り付けられ又は他の方法で組み込まれた部品支持体又は保持具１２８を有し、該保持具１２８は、コーティングされる翼形部（例えば、タービンブレード）１３２のような部品を受容し保持するための、通常スロット（図示せず）又は他の適切な手段の形態である開口を備える。装置１００はまた、コンテナ１１０内に金属コーティングのペレットを受容し又は保持するように配置された、符号１４０で表す多孔バスケットの形態の保持具を有する。図３に示すように、バスケット１４０及び部品１３２は、分配器１０のマニホールド１８の下方に置かれる。バスケット１４０及び部品１３２の数と間隔は、コンテナ１１０の内部寸法及び構造、コーティングされる部品１３２の寸法、及び当業者に公知のその他の因子によって変化させることができる。代表的な配列が図４に示されており、そこでは、部品１３２及びバスケット１４０は、交互の同心の列又は円に配列される。部品１３２及びバスケット１４０の列の間隔は、ガスがそれらの間を自由に流れることができるようにすべきである。部品１３２及びバスケット１４０の各列の間には、通常、全体を符号１４６で表した、粉末のハライド活性化剤の別々に分けた部分が置かれる。この粉末のハライド活性化剤は、通常、部品１３２又はバスケット１４０に触れないか又は接触した状態にならないように置かれる。
【００１９】
内部表面及び通路を有する中空の部品１３２（例えば、タービンブレードのような翼形部）を、アルミナイドコーティングを用いて所定の箇所にコーティングするためには、コーティングを必要としないそれらの領域をマスクすることが必要な場合がある。保持具１２８に部品１３２を装填した後、バスケット１４０内に入れた金属コーティング源（例えば、アルミニウムペレット）も含むコンテナ１１０及び該コンテナ１１０の内容物は密閉され、次いで加熱炉又は他の加熱装置内に入れられる。次いでガス入口パイプ１４が、水素、窒素、ヘリウム又はアルゴンのような非酸化性又は不活性のキャリアガスの供給源に接続される。
【００２０】
コンテナ１１０を加熱炉又は他の加熱装置内に入れた後、内部チャンバ１２４は、ガス入口パイプ１４を通して非酸化性又は不活性キャリアガスを導入し、次いで不活性キャリアガスがマニホールド１８に流入しガス出口３０を通してガスストリーム５０として流出して不活性ガス雰囲気を形成することによって、空気がパージされる。キャリアガスがマニホールド１８のパイプ１４に流入する（そして、ガスストリーム５０として孔３０から流出する）流量は、通常は少なくとも約１５立方フィート／時間（約４２５リットル／時間）であり、典型的には約１５ないし約１２０立方フィート／時間（約４２５ないし約３，３９８リットル／時間）の範囲、より典型的には約４０ないし約７０立方フィート／時間（約１１３３ないし約１９８２リットル／時間）の範囲にある。ガスが出口３０を出ると、ガスストリーム５０の各々はデフレクタ３４によって、湾曲したほぼ求心方向の僅かに下向き方向の経路に向けられ、その結果、不活性ガスは、バスケット１４０及び部品１３２の同心の列の上方で旋回し、従ってチャンバ１２４内に比較的均一で均質な雰囲気をつくり出す。加えて、ガスの流れの圧力は、キャリアガスのストリーム５０が分配器から下向き方向に、かつバスケット１４０及び部品１３２の列周りで該列を通過して流れるように押し込む。
【００２１】
この不活性ガス雰囲気が形成され或いは確立されたとき、コンテナ１１０は、通常は、少なくとも約１０００゜Ｆ（約５３８℃）、典型的には約１０００゜ないし約２２００゜Ｆ（約５３８゜ないし約１２０４℃）の範囲、より典型的には約１９００゜ないし約２０００℃（約１０３８゜ないし約１０９３℃）の範囲の予め選ばれた高温に加熱される。この特定の高温は、所望のコーティング施工パラメータ（使用される金属コーティング源を含む）及び当業者により知られている他の因子に基づいて選ばれることになる。この予め選ばれた温度に到達すると、粉末の活性化剤１４６は反応性のハライドガスを生成することになる。適切なハライド活性化剤は、塩化アルミニウム、フッ化アルミニウム、フッ化アンモニウム及びそれらの混合物から選ばれる。この反応性ハライドガスは、金属コーティング源（例えば、アルミニウム源）を含むバスケット内のペレットを通過して流れ、アルミニウム源と反応して、アルミニウムハライドすなわちアルミナイド含有ガスの形態の金属コーティングガスを形成する。アルミニウム源は、アルミニウム又は、例えばコバルトアルミニウム合金（ＣｏＡｌ）、鉄アルミニウム合金（ＦｅＡｌ）、又はクロムアルミニウム合金（ＣｒＡｌ）であるアルミニウム合金のいずれかとすることができ、通常粉末又はペレット形態である。当業者には明らかなように、アルミナイド含有ガスの生成速度を制御する反応特性は、温度とキャリアガスが分配器１０によってチャンバ１２４内に導入される流量とによって定まり、この流量は、チャンバ１２４内で、とりわけ部品１３２の周りで該部品を通過させてアルミナイド含有ガスを移動させる推進力（すなわち、「プランジャ」）となる。次に、このことは、部品１３２へのコーティングの堆積速度、従ってコーティング厚さを制御する。
【００２２】
アルミナイド含有ガスが部品１３２の表面上を、また中空翼形部の場合における空気冷却孔（図示せず）のような、部品１３２内の孔を通して流れると、アルミナイド含有ガスはアルミニウムに還元され、それによって部品１３２の外部表面及び中空部品１３２の内部表面がコーティングされる。もちろん、堆積の速度及び均一性は、部品１３２の近傍におけるアルミナイド含有ガス環境の均一性に大きく影響され、この均一性は、前述のように、キャリアガスがチャンバ１２４に導入されアルミナイド含有ガスと混合する速度によって制御される。
【００２３】
部品１３２の列を通過するようにアルミナイド含有ガスを押し込むためには、キャリアガスの一定の最小圧力が必要である。このことは、一般にパイプ１４を通る先に示した流量でチャンバ１２４内にキャリアガスを流し続けることによって達成される。従って、キャリアガスは、アルミナイド含有ガス環境、従って表面（外部及び内部）におけるアルミナイド含有ガスの還元の均一性を制御するのみならず、部品１３２の列を通過するように（また、部品１３２が中空の場合はその内部に）アルミナイド含有ガスを移動させ押し込み、それによってそれら部品をコーティングするために必要な圧力を与えるようにバランスさせることもできる。具体的には、不活性キャリアガスはアルミナイド含有ガスと混ぜ合わされ混合されて、本質的に「プランジャ」として働き、部品１３２の外部（及び内部）表面のコーティングを助ける。部品１３２を通過した後、残りのアルミナイド含有ガスはチャンバ１２４から符号１５２で表すガス排出口を通って、底板１１８を越えた側壁１２２の延長部によって形成された、符号１６０で表す解放排出チャンバ又は領域内に排出される。所望のコーティング厚さまでのコーティング作業が終了すると、コンテナ１１０は加熱炉から取り出され冷却されることができ、或いは任意的に炉中冷却され、必要ならばその間に不活性ガス雰囲気が維持される。
【００２４】
本発明の方法の特定の実施形態を説明してきたが、特許請求の範囲に記載された本発明の技術思想及び技術的範囲から逸脱することなく、それに対する多くの変更をなし得ることは当業者には明らかであろう。また、特許請求の範囲に記載された符号は、理解容易のためであってなんら発明の技術的範囲を実施例に限縮するものではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明が有用であるガス分配器の実施形態の斜視図。
【図２】  図１の分配器の底面図。
【図３】  図１の分配器を用いる気相コーティング装置の実施形態の側面断面図。
【図４】  図３の４−４線に沿った断面図。
【符号の説明】
１０  ガス分配器
１８  ガス出口ヘッド
３４  デフレクタ
５０  ガスストリーム
１００  気相コーティング装置
１１０  コーティング用コンテナ
１１４  上板
１１８  底板
１２２  側壁
１２４  コーティングチャンバ
１２８  保持具
１３２  部品
１４０  バスケット
１４６  粉末のハライド活性化剤
１５２  ガス排出口
１６０  解放排出領域
【図１】
0004471567.tif 000002
【図２】
0004471567.tif 000003
【図３】
0004471567.tif 000004
【図４】
0004471567.tif 000005