(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、一端側が前記基部に対して一体的に連結された複数の変形部とを有し、前記変形部同士は空隙によって互いに離隔され、かつ、前記変形部は個々に独立して変形できるよう構成された圧電アクチュエータ素子を製造するための方法であって、
前記空隙となる部位にチタン酸鉛系の材料を設けた状態で、前記圧電アクチュエータ素子の原料シートを積層し、更に前記原料シートの積層方向に圧力を加えて前記原料シート同士を圧着させ、前記原料シートの積層体を形成する積層圧着工程と、
この積層圧着工程によって得られた積層体を焼成して焼結体を形成する焼成工程と、
この焼成工程によって得られた焼結体から、粉末化した前記チタン酸鉛系の材料を除去し、前記変形部同士の間に前記空隙を形成する空隙形成工程とを具備することを特徴とする圧電アクチュエータ素子の製造方法。
【請求項２】
基部と、一端側が前記基部に対して一体的に連結された複数の変形部とを有し、前記変形部同士は空隙によって互いに離隔され、かつ、前記変形部は個々に独立して変形できるよう構成された圧電アクチュエータ素子を製造するための方法であって、
前記空隙となる部位に、前記空隙に対応した大きさのチタン酸鉛製シートを介在させた状態で、前記圧電アクチュエータ素子の原料シートを積層し、更に前記原料シートの積層方向に圧力を加えて、前記原料シート同士および前記原料シートと前記チタン酸鉛製シートとを圧着させ、前記原料シートおよび前記チタン酸鉛製シートからなる積層体を形成する積層圧着工程と、
この積層圧着工程によって得られた積層体を焼成して焼結体を形成する焼成工程と、
この焼成工程によって得られた焼結体から、粉末化した前記チタン酸鉛製シートを除去し、前記変形部同士の間に前記空隙を形成する空隙形成工程とを具備することを特徴とする圧電アクチュエータ素子の製造方法。
【請求項３】
基部と、一端側が前記基部に対して一体的に連結された複数の変形部とを有し、前記変形部同士は空隙によって互いに離隔され、かつ、前記変形部は個々に独立して変形できるよう構成された圧電アクチュエータ素子を製造するための方法であって、
前記空隙となる位置に、前記空隙に対応した領域にチタン酸鉛系ペースト膜が形成されたものを介在させた状態となるよう、前記圧電アクチュエータ素子の原料シートを積層し、更に前記原料シートの積層方向に圧力を加えて、前記原料シート同士を圧着させ、前記原料シートの積層体を形成する積層圧着工程と、
この積層圧着工程によって得られた積層体を焼成して焼結体を形成する焼成工程と、
この焼成工程によって得られた焼結体から、粉末化した前記チタン酸鉛系ペースト膜を除去し、前記変形部同士の間に前記空隙を形成する空隙形成工程とを具備することを特徴とする圧電アクチュエータ素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばインクジェットプリンタにおけるインクジェットヘッドなどの駆動に用いられる圧電アクチュエータ素子、特に櫛形の圧電アクチュエータ素子の製造方法に関するものである。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
インクジェットプリンタは性能やコスト面で大変優れており、現在、家庭用・業務用を問わず広く普及している。
ところで、このインクジェットプリンタにおいて最も重要なものは、言うまでもなく、インクを吐出させるインクジェットヘッドである。同インクジェットヘッドは、圧電アクチュエータ素子によって駆動されるわけであるが、インクジェットプリンタに要求される能力が高度化するに伴い、インクジェットヘッドについても、ますます高性能なものが、特に安価で高性能なものが求められるようになってきている。
【０００３】
こうした要望を満たすべく開発されたインクジェットヘッドとしては、例えば特開平８−１１３０４号公報に開示されたものが挙げられる。この提案に係る技術は、インクジェットヘッドを構成する圧電アクチュエータ素子（特に駆動力を発生する変形部）を溝すなわち空隙によって複数に分割したことを特徴とする。つまり、圧電アクチュエータ素子として櫛形構造のものを採用している。
【０００４】
ここで、この櫛形の圧電アクチュエータ素子の製造方法について、図４を用いて説明する。
櫛形の圧電アクチュエータ素子の製造に際しては、まず、図４（ａ）に示すごとく、例えばジルコン酸チタン酸鉛（以下、ＰＺＴとも言う）系のセラミックス粉末を主成分とする原料シート２１を所定枚数だけ積層させる。なお、一部のものを除いて原料シート２１の表面には、銀−パラジウム系合金を用いて電極２１ａが形成されている。また、図４（ａ）では、原料シートを数枚しか示していないが、実際には、数十〜数百枚程度の原料シートが積層されることになる。
【０００５】
さて、原料シート２１を所定枚数積層させたならば、続いて、その積層方向に圧力を加えて原料シート２１同士を圧着させ、原料シート２１の積層体を形成する。そして、得られた積層体を焼成し、図４（ｂ）に示すごとく焼結体２２を形成する。
この後は、図４（ｃ）に示すごとく、上記焼結体２２にスリット、つまり変形部間の空隙２３を必要な数だけ形成し、更に同空隙２３で離隔された変形部２４の端面に電極を形成すればよい。これによって、上述した櫛形の圧電アクチュエータ素子が出来上がる。すなわち、基部２５と、一端側がこの基部２５に対して一体的に連結された複数の変形部２４とを有し、この変形部２４が個々に独立して変形できるよう構成された圧電アクチュエータ素子が得られる。
【０００６】
しかし、こうした従来の製造方法には次のような問題がある。
まず、従来方法では、変形部２４同士の間に上記空隙２３を形成するための加工作業が必要となる。ところが、一般に、空隙２３の幅は数十μｍと微小であるため、極めて精密な加工技術が要求される。ゆえに、コスト高となるのは避けられない。また、従来方法によって実現可能な空隙幅は現状値がほぼ限界であるため、変形部２４をこれ以上に細密化することは難しい。こうした問題に加えて、空隙２３を形成するための加工作業を行うと、変形部２４の端縁にはバリが生じることが多い。したがって、空隙形成後、手間の掛かるバリ除去作業を実施しなければならない。
【０００７】
なお、櫛形の圧電アクチュエータ素子の製造方法としては、図５に示すような技術も知られている。
この製造方法についても、変形部を得る過程は先の技術とほぼ同じである。すなわち、まず、図５（ａ）に示すごとく、例えばＰＺＴ系のセラミックス粉末を主成分とする原料シート３１（表面に銀−パラジウム系合金からなる電極３１ａを有する）を所定枚数だけ積層させ、積層方向に圧力を加えて、原料シート３１同士を圧着させる。次に、こうして得られた積層体を焼成し、図５（ｂ）に示すごとく焼結体３２を形成する。そして最後に、図５（ｃ）に示すごとく、同じくＰＺＴ系のセラミックスから構成された基部３３に対し、エポキシ樹脂を用いて所定間隔で焼結体（変形部）３２を接着する。つまり、図５に示す製造方法は、変形部３２と基部３３とをそれぞれ別個に製造し、最終的に両者を一体化させることにより櫛形の圧電アクチュエータ素子を得るものである。
【０００８】
しかし、こうした方法を採用した場合、工程が複雑であるため、先に図４を用いて説明した手法よりも更に製造に手間が掛かる。その上、マイクロメーター単位の精度で所要の空隙幅（変形部３２同士の間隔）を実現することは極めて難しい。
したがって、本発明が解決しようとする課題は、生産性に優れた圧電アクチュエータ素子の製造方法を提供することである。特に、焼結体に精密加工を施す必要がなく、製造コストの低減が図れる圧電アクチュエータ素子の製造方法を提供することである。また、変形部を従来品よりも更に細密化できる圧電アクチュエータ素子の製造方法を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この課題は、
基部と、一端側が前記基部に対して一体的に連結された複数の変形部とを有し、前記変形部同士は空隙によって互いに離隔され、かつ、前記変形部は個々に独立して変形できるよう構成された圧電アクチュエータ素子を製造するための方法であって、
前記空隙となる部位にチタン酸鉛系の材料を設けた状態で、前記圧電アクチュエータ素子の原料シートを積層し、更に前記原料シートの積層方向に圧力を加えて前記原料シート同士を圧着させ、前記原料シートの積層体を形成する積層圧着工程と、
この積層圧着工程によって得られた積層体を焼成して焼結体を形成する焼成工程と、
この焼成工程によって得られた焼結体から、粉末化した前記チタン酸鉛系の材料を除去し、前記変形部同士の間に前記空隙を形成する空隙形成工程と
を具備することを特徴とする圧電アクチュエータ素子の製造方法によって解決される。
【００１０】
特に、上記の課題は、
基部と、一端側が前記基部に対して一体的に連結された複数の変形部とを有し、前記変形部同士は空隙によって互いに離隔され、かつ、前記変形部は個々に独立して変形できるよう構成された圧電アクチュエータ素子を製造するための方法であって、
前記空隙となる部位に、前記空隙に対応した大きさのチタン酸鉛製シートを介在させた状態で、前記圧電アクチュエータ素子の原料シートを積層し、更に前記原料シートの積層方向に圧力を加えて、前記原料シート同士および前記原料シートと前記チタン酸鉛製シートとを圧着させ、前記原料シートおよび前記チタン酸鉛製シートからなる積層体を形成する積層圧着工程と、
この積層圧着工程によって得られた積層体を焼成して焼結体を形成する焼成工程と、
この焼成工程によって得られた焼結体から、粉末化した前記チタン酸鉛製シートを除去し、前記変形部同士の間に前記空隙を形成する空隙形成工程と
を具備することを特徴とする圧電アクチュエータ素子の製造方法によって解決される。
【００１１】
また、上記の課題は、
基部と、一端側が前記基部に対して一体的に連結された複数の変形部とを有し、前記変形部同士は空隙によって互いに離隔され、かつ、前記変形部は個々に独立して変形できるよう構成された圧電アクチュエータ素子を製造するための方法であって、
前記空隙となる位置に、前記空隙に対応した領域にチタン酸鉛系ペースト膜が形成されたものを介在させた状態となるよう、前記圧電アクチュエータ素子の原料シートを積層し、更に前記原料シートの積層方向に圧力を加えて、前記原料シート同士を圧着させ、前記原料シートの積層体を形成する積層圧着工程と、
この積層圧着工程によって得られた積層体を焼成して焼結体を形成する焼成工程と、
この焼成工程によって得られた焼結体から、粉末化した前記チタン酸鉛系ペースト膜を除去し、前記変形部同士の間に前記空隙を形成する空隙形成工程と
を具備することを特徴とする圧電アクチュエータ素子の製造方法によって解決される。
【００１２】
更に、先の課題は、
上記圧電アクチュエータ素子の製造方法を用いて製造された圧電アクチュエータ素子であって、
原料シートとして、ジルコン酸チタン酸鉛系セラミックスの粉末を一成分とするものが用いられてなることを特徴とする圧電アクチュエータ素子によって解決される。
【００１３】
すなわち本発明では、基部と、一端側がこの基部に対して一体的に連結された複数の変形部とを有し、更に、この変形部同士が空隙によって互いに離隔され、かつ、変形部が個々に独立して変形できるよう構成された圧電アクチュエータ素子、つまり櫛形の圧電アクチュエータ素子を製造するに際して、上記空隙となる部位に、予めチタン酸鉛系の材料を設けておくようにした。特に原料シート間にチタン酸鉛製シートを介在させたり、あるいは、特定の原料シートの表面にのみチタン酸鉛系ペースト膜を形成したりすることで、上記空隙となる部位（位置）に、予め、一時的にスペーサとしての役割を果たすチタン酸鉛系の材料を設けておくようにした。さて、原料シートの積層・圧着後、積層体を焼成すれば、得られる焼結体には、依然としてチタン酸鉛系の材料からなる層が存在する。しかしこのチタン酸鉛系材料の層は、先の焼成処理によって完全に粉末化している。したがって、本発明では、焼成後、チタン酸鉛系材料の層を除去する簡単な作業を行うだけで、上記櫛形圧電アクチュエータ素子を得ることができる。この結果、従来製法に比べ生産性が飛躍的に向上する。特に、焼成後、焼結体に精密加工を施す必要がないので製造コストの低減が図れる。これに加えて、本発明の製造方法では、焼成前の積層体に設けておくチタン酸鉛系材料の層厚などを変更することで、変形部間の空隙の幅を任意のものとすることができる。殊に、従来製法による場合よりも更に空隙幅を小さくすることができる。よって、圧電アクチュエータ素子の変形部を従来品よりも更に細密化することが可能となる。
【００１４】
なお、本明細書における「空隙に対応した大きさ」とは、焼成収縮後に、完成品である圧電アクチュエータ素子の空隙の領域面積と等しくなるような大きさを意味する。したがって、ある方向（例えば変形部の変形方向）についてのチタン酸鉛製シートの寸法は、同方向における原料シートの寸法よりも、いくらか小さくなるよう設定される。また、本明細書における「空隙に対応した領域」についても、これと同じ意味で用いている。ちなみに、本発明において空隙形成のためにチタン酸鉛系の材料を用いたのは、次のような理由による。すなわち、チタン酸鉛系の材料は、原料シートの成分であるジルコン酸チタン酸鉛系セラミックスなどと同様に焼結するため同原料シート成分の焼結を妨げず、しかも上述したように、焼結後、粉末化するため容易に除去できるからである。ちなみに、カーボンなどの有機物を上記空隙形成に用いた場合、焼結前に焼失してしまうため、良好な空隙が得られない。一方、窒化ホウ素などの難焼結物では、原料シートの成分であるジルコン酸チタン酸鉛系セラミックスなどの焼結を妨げてしまい、良好な焼結体が得られない。
【００１５】
また、上記本発明の圧電アクチュエータ素子については、原料シートとして、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）系セラミックスの粉末を一成分とするものが用いられるが、それ以外の成分としては、有機バインダ、可塑剤、有機溶媒などを挙げることができる。すなわち、上記原料シートは、これら原料成分を混合して得たスラリーを膜状に延展し、乾燥させることによって製造されたものである。
【００１６】
加えて、積層される原料シートのほとんどのものには、その片面に、例えば銀−パラジウム系合金を用いて膜状の電極が形成される。したがって、最終的に圧電アクチュエータ素子の変形部となる部分は、原料シート同士が電極を介して対面することになる。但し、原料シートにおいて、少なくとも最終的に圧電アクチュエータ素子の基部となる領域には上記電極は形成されておらず、よって、この部分では原料シート同士が直に接することになる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下で、本発明の第１実施形態として説明する製造方法は、基部と、一端側がこの基部に対して一体的に連結された複数の変形部とを有し、この変形部同士は空隙によって互いに離隔され、かつ、同変形部は個々に独立して変形できるよう構成された圧電アクチュエータ素子を製造するための方法であって、空隙となる部位にチタン酸鉛系の材料を設けた状態で、圧電アクチュエータ素子の原料シートを積層し、更にこの原料シートの積層方向に圧力を加えて、同原料シート同士を圧着させ、原料シートの積層体を形成する積層圧着工程と、この積層圧着工程によって得られた積層体を焼成して焼結体を形成する焼成工程と、この焼成工程によって得られた焼結体から、粉末化したチタン酸鉛系の材料を除去し、変形部同士の間に上記空隙を形成する空隙形成工程と、を具備することを特徴とする。更に具体的に言うと、本実施形態に係る圧電アクチュエータ素子の製造方法は、最終形態において空隙となる部位に、この空隙に対応した大きさのチタン酸鉛製シートを介在させた状態で、圧電アクチュエータ素子の原料シートを積層し、更にこの原料シートの積層方向に圧力を加えて、原料シート同士および原料シートとチタン酸鉛製シートとを圧着させ、原料シートおよびチタン酸鉛製シートからなる積層体を形成する積層圧着工程と、この積層圧着工程によって得られた積層体を焼成して焼結体を形成する焼成工程と、この焼成工程によって得られた焼結体から、粉末化したチタン酸鉛製シート（粉末化したチタン酸鉛の層）を除去し変形部同士の間に上記空隙を形成する空隙形成工程と、を具備することを特徴とする。
【００１８】
また、以下で本発明の一実施形態として説明する圧電アクチュエータ素子は、上記製造方法を用いて製造されたものであって、特に原料シートとして、ジルコン酸チタン酸鉛系セラミックスの粉末を一成分とするものが用いられてなることを特徴とする。
次に、図１および図２を用いて、本実施形態を更に具体的に説明する。なお、図１は本実施形態に係る圧電アクチュエータ素子の外観図、図２は同圧電アクチュエータ素子の製造工程を示す概略図である。
【００１９】
まず、図１を用いて、本実施形態に係る圧電アクチュエータ素子（以下、本圧電アクチュエータ素子と言う）について説明する。
図１に示す本圧電アクチュエータ素子は、後に詳述する製造方法を用いて得られたものであり、基部１と、一端側がこの基部１に対して一体的に連結された複数の変形部２とを具備する。そして、変形部２同士は、それと等しい領域面積を有する空隙３によって互いに離隔され、かつ、同変形部２は、個々に独立して変位（収縮変形）できるよう構成されている。つまり、本圧電アクチュエータ素子は櫛形の構造となっている。更に言えば、対象物に駆動力を作用させる変形部２の先端側には、例えば銀−パラジウム系合金（あるいは白金などでも可）からなる膜状電極（内部電極）は設けられておらず、この部分については完全にセラミックスだけからなる。
【００２０】
なお、駆動電圧印加用の外部電極対は、変形部２にそれぞれ設けられる。図１では特に詳しく図示していないが、この電圧印加用の外部電極対は変形部２同士の対向面ではなく、その二つの端面（手前側の端面およびそれと対向する側の端面）に存在している。また本圧電アクチュエータ素子は、以下で詳説するように多数の原料シートを積層し、それを焼成して得られるわけであるが、ここでは、この原料シートとしてジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）系セラミックスの粉末を主要成分とするものを用いている。更に詳しく言うと、原料シートは、ＰＺＴ系セラミックスの粉末、有機バインダ、可塑剤、有機溶媒などを混合して得たスラリーを原料とし、例えば、ドクターブレード法などを用いて製造されたものである。ちなみに、原料シート１枚の厚さは数十μｍ程度である。
【００２１】
続いて、図２を用いて、本実施形態に係る圧電アクチュエータ素子の製造方法（以下、本製造方法と言う）について説明する。
本製造方法は、上記原料シートの積層圧着工程、積層体の焼成工程、および焼結体の空隙形成工程を主要工程として備える。すなわち、これら積層圧着工程、焼成工程、空隙形成工程が順に実施されて、上記圧電アクチュエータ素子が製造される。
【００２２】
このうち積層圧着工程では、まず、図２（ａ）に示すごとく、最終形態において空隙となる部位に、この空隙に対応した大きさ（焼成収縮を考慮した大きさ。Ｌ2 ＞Ｌ1 ）のチタン酸鉛製シート４を介在させた状態で、圧電アクチュエータ素子の原料シート５を積層する。但し、チタン酸鉛製シート４、原料シート５共に、その一端面（図中、右側端面）が全て揃った状態となるようにする。
【００２３】
なお、大多数の原料シート５の一面には、例えば銀−パラジウム系合金を用いて、膜状の電極（上述した内部電極）５ａが形成されている。しかも、この電極５ａの一辺は原料シート５の端面と重なるよう構成されている。但し、チタン酸鉛製シート４を挟んで、その上下に配される原料シート５としては上記電極５ａが形成されていないものを用いた。また、原料シート５は交互にその向きを変えてある。すなわち、電極５ａにおける原料シート５の端面と重なる辺の存在する側が互い違いになるよう、原料シート５を積層している。
【００２４】
さて、原料シート５およびチタン酸鉛製シート４を上記のとおり積層させたならば、次に原料シート５の積層方向に圧力を加える。そして、原料シート５同士および原料シート５とチタン酸鉛製シート４とを圧着させ、図２（ｂ）に示すような、原料シート５およびチタン酸鉛製シート４からなる積層体６を形成する。ちなみに、この積層体６において、最終的に圧電アクチュエータ素子の変形部２となる部分（先端除く）は、上記原料シート５同士が電極５ａを介して対面している。一方、最終的に圧電アクチュエータ素子の基部１となる部分および変形部２の先端となる部分は、原料シート５同士が直に接している（チタン酸鉛製シート４の寸法を原料シート５のそれよりも小さくしているため）。
【００２５】
上記積層圧着工程の後に行われる焼成工程では、同積層圧着工程によって得られた積層体６を、温度１０００〜１２００℃程度で焼成する。そして、これによって、図２（ｃ）に示すような焼結体７を得る。
この焼成工程に続いて実施される空隙形成工程では、焼結体７から粉末化した上記チタン酸鉛製シート４すなわち粉末化したチタン酸鉛の層を除去（例えば、超音波洗浄などの方法を用いて除去）し、変形部２同士の間に、幅数十μｍ程度の空隙３を形成する。これによって、図１に示した圧電アクチュエータ素子が得られる。なお実際には、この後、変形部２の端面に上述した電圧印加用の外部電極対が形成されて完成品となる。
【００２６】
このように本実施形態では、基部１と、一端側がこの基部１に対して一体的に連結された複数の変形部２とを有し、更に、この変形部２同士が空隙３によって互いに離隔され、かつ、変形部２が個々に独立して変形できるよう構成された圧電アクチュエータ素子、つまり櫛形の圧電アクチュエータ素子を製造するに際して、原料シート５の積層段階で、最終的に上記空隙３となる部位に、予めチタン酸鉛製シート４を介在させるようにした。ところで、原料シート５の積層・圧着後、積層体６を焼成すれば、得られる焼結体７には依然としてチタン酸鉛からなる層が残る。しかし、この層は焼成処理によって完全に粉末化しているので、極めて簡単に除去することができる。つまり、上記空隙３を容易に形成することが可能であり、この結果、従来製法に比べ生産性が飛躍的に向上する。特に、焼成後、焼結体７に精密加工を施す必要がないので製造コストの低減が図れる。しかも本製造方法では、焼成前の積層体６に予め配しておくチタン酸鉛製シート４の厚みや枚数などを変更することで、上記空隙３の幅を任意のものとすることが、特に、従来製法による場合よりも更に空隙幅を小さくすることができる。ゆえに圧電アクチュエータ素子の変形部２を従来品よりも更に細密化することが可能となる。
【００２７】
続いて、本発明の第２実施形態について、それに係る一製造工程を示す図３を用いて説明する。なお、本実施形態に関しても、その技術思想や基本製造工程、および得られる効果については、上記第１実施形態とほぼ同じである。よって、以下では、第１実施形態との相違点を中心に記述する。
本実施形態の製造方法についても、図１に示した櫛形圧電アクチュエータ素子の製造に用いられるものであり、積層圧着工程、焼成工程、そして空隙形成工程を主要工程として具備する。このうち焼成工程および空隙形成工程は、第１実施形態に準じて行われ、積層圧着工程のみが第１実施形態と相違する。
【００２８】
すなわち本実施形態では、チタン酸鉛製シートを原料シート１０同士の間に介在させるのではなく、その代わりに、表面にチタン酸鉛系ペーストが塗布され、その膜が形成された原料シート１０’を一部に使用することで、最終形態では空隙となる位置にチタン酸鉛系の材料を設けている。更に詳しくは、図３に示すごとく、空隙となる位置に、この空隙に対応した領域にチタン酸鉛系ペースト膜１１が形成された原料シート１０’を介在させた状態となるよう、原料シート１０（これ自体は第１実施形態のものと同じ構造）および原料シート１０’を積層させる。そして、原料シート１０，１０’の積層方向に圧力を加えて、原料シート１０，１０’を互いに圧着させ、原料シート１０，１０’の積層体を形成する。
【００２９】
なお、言うまでもなく、チタン酸鉛系ペースト膜１１の領域面積は、原料シート１０’自体の面積よりも小さく設定される（Ｌ4 ＞Ｌ3 ）。これは、チタン酸鉛系ペースト膜１１の存在しない領域が、圧電アクチュエータ素子の基部を構成することになるからである。また、チタン酸鉛系ペースト膜１１は、その一辺すなわち基部となる側と向き合う側の辺が、原料シート１０’の一端面（図中、右側端面）と重なるよう設けられている。
【００３０】
【発明の効果】
本発明に係る圧電アクチュエータ素子の製造方法は生産性に優れ、特に焼結体に精密加工を施す必要がなく、それだけ製造コストの低減が図れる。また、圧電アクチュエータ素子の変形部を従来品よりも更に細密化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態に係る圧電アクチュエータ素子の外観図
【図２】（ａ），（ｂ），（ｃ）は本実施形態に係る圧電アクチュエータ素子の製造工程（第１実施形態）を示す概略図
【図３】本実施形態に係る圧電アクチュエータ素子の一製造工程（第２実施形態）を示す概略図
【図４】（ａ），（ｂ），（ｃ）は櫛形の圧電アクチュエータ素子の製造工程（従来製法）を示す概略図
【図５】（ａ），（ｂ），（ｃ）は櫛形の圧電アクチュエータ素子の製造工程（他の従来製法）を示す概略図
【符号の説明】
１            圧電アクチュエータ素子の基部
２            圧電アクチュエータ素子の変形部
３            空隙
４            チタン酸鉛製シート（チタン酸鉛系の材料）
５，１０      原料シート
５ａ          電極
６            積層体
７            焼結体
１０’          チタン酸鉛系ペースト膜が形成された原料シート
１１            チタン酸鉛系ペースト膜
【図１】
0004468515.tif 000002
【図２】
0004468515.tif 000003
【図３】
0004468515.tif 000004
【図４】
0004468515.tif 000005
【図５】
0004468515.tif 000006