(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の隘路工程又は制約工程の間で装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群において、
前記工程群の各工程を、処理順序が投入口に近い方から順に工程ｐｎ（ｎ＝１，２，…，ｉ−１，ｉ，ｉ＋１，…）とし、
前記工程ｐｉの直前仕掛は、前記工程ｐ（ｉ−１）と前記工程ｐｉとの間の工程であって定期メンテナンス又は付帯作業による停止時間に対応する安全仕掛が最も多い工程ｐｊに対する安全仕掛と前記工程ｐｉの基本仕掛との和にほぼ等しくすること
を特徴とする生産管理方法。
【請求項２】
請求項１記載の生産管理方法において、
前記工程群の各工程が隘路工程である場合、全工程のうち突発故障による停止時間に対応する安全仕掛が最も多い工程の安全仕掛とほぼ等しい仕掛を前記工程群のいずれかの工程の直前仕掛に加算すること
を特徴とする生産管理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、生産管理方法に関し、特に液晶表示装置の薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）基板の製造に用いて好適な生産管理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
装置の長時間停止が他工程に影響することを防ぐ安全仕掛数を計算し、ジャストインタイム生産を実現する生産管理方法は、本願出願人による日本国特許出願（特開２０００−２６３３８８号公報（以下、文献１という））に提案されている。この生産管理方法では、複数の装置が複数の工程を処理する場合の一般的な安全仕掛数の計算方法を提示し、安全仕掛数を装置停止が起こる工程の直後に確保し、安全仕掛数と同数の空棚を直前に用意することで、装置停止の影響を受けないライン管理の方法を説明している。
【０００３】
また、本願出願人による日本国特許出願（特願２０００−０８５４３４号（以下、文献２という））では、一般に装置の共用化によりお互いに能力の授受が可能な工程群における生産管理方法が提案されている。この生産管理方法では、まずこれらの工程群の各工程の製品処理能力に対する各工程の必要製品処理数の比率である負荷率を、中日程生産計画の対象となる操業期間全体での各工程の累積能力に対する各工程の累積生産予定の比率として求める。次に、負荷率が工程群の各工程で等しくなるように、各装置の各工程に対する最適使用比率を計算する。操業期間での各装置の各工程に対する使用比率を最適使用比率とほぼ等しくなるように各工程の処理予定を定めている。
【０００４】
また、ＴＯＣと呼ばれる生産改善手法の基本的な生産管理方法は、隘路工程と出荷前工程に仕掛を集中させる一方で、他の工程には十分な保護能力を持たせる方法である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
まず、文献１に提案された方法は、装置の長時間停止が起こり得る全ての工程に安全仕掛を設定する場合、仕掛が増加してライン全体の手配番数（手番）が増加するという問題を有している。
【０００６】
また、文献２に提案された方法は、一般に装置の共用化によりお互いに能力の授受が可能な工程群において、中日程生産計画の対象となる操業期間全体に対して、工程群の各工程間の負荷の平準化を図ることができる。しかし、ライン全体での手番の管理方法や仕掛の設定方法は決定できず、納期管理を十分に行えないという問題を有している。
【０００７】
また、液晶表示装置に用いるＴＦＴ基板の生産ラインのように、投資効率の最大化が必須のラインは、隘路工程の能力と他の工程の能力がかなり近づいているため、十分な保護能力を持たせることが難しい。また、装置の計画的長時間停止や突発的長時間停止が起こる工程が多数あり、隘路工程が状況により移動しやすいため、隘路工程を予め予測して仕掛を集中的に管理するだけではラインのスループットを最大化することが難しいという問題を有している。
【０００８】
さらに従来は、異なるいくつかの工程で共用化が可能な装置について、そのうち１つの工程が隘路工程又は制約工程（状況により隘路となる可能性がある工程）である場合、積極的に装置の共用関係を作り、隘路工程又は制約工程に他の工程から能力を回すための生産管理方法や仕掛の管理方法が示されていない。同様に、装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群が隘路工程又は制約工程となる場合の生産管理方法や仕掛の管理方法も示されていない。
【０００９】
本発明の目的は、装置群を工程群で共用して隘路工程又は制約工程の能力を改善する場合に、この工程群で前工程の停止に対する最適な安全仕掛を確保し、さらにこのような工程群を含むライン全体で最大のスループットを確保し、かつ手番を予測し最小化できる生産管理方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
隘路工程又は制約工程と他の工程又は工程群との間で装置の共用化が可能である場合、装置の共用関係を工程間又は工程群間で作ることにより、余裕のある工程から隘路工程又は制約工程に能力を回すことが可能となり、ライン全体としてのスループットを改善することができる。
【００１１】
そして、このように装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群を作り、これらの工程群の各工程の製品処理能力に対する各工程の必要製品処理数の比率である負荷率を中日程生産計画の対象となる操業期間全体での各工程の累積能力に対する各工程の累積生産予定の比率として求める。その負荷率が工程群の各工程で等しくなるように、各装置の各工程に対する最適使用比率を計算する。操業期間全体での各装置の各工程に対する使用比率が最適使用比率にほぼ等しくなるように各工程の処理予定を定めることにより、各工程の負荷は生産計画の対象期間で均等になり、工程群の間で負荷が均等化し隘路工程又は制約工程の能力は改善される。
【００１２】
このようにすることで、共用化が可能な装置が異なるいくつかの工程にあり、一つの工程は隘路工程又は制約工程であって他の工程は能力に余裕がある場合に、積極的に装置の共用関係を作って、隘路工程又は制約工程に他の工程から能力を回すとともに、これらの工程群の各工程の処理予定を最適に管理することができる。同様に、装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群が隘路工程又は制約工程となる場合にも、上記の方法でこれらの工程群の各工程の最適な処理予定を作成することが可能となる。
【００１３】
さらに、装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群が隘路工程又は制約工程となる場合に、この工程群の適正仕掛を以下のように設定することでスループットが最大化され、かつ手番が適正化できる。
【００１４】
すなわち、この工程群を処理順序で投入口に近い順に工程ｐｎ（ｎ＝１，２，…，ｉ−１，ｉ，…）とし、工程ｐｉの直前仕掛を、工程ｐ（ｉ−１）と工程ｐｉとの間にある工程の中で定期メンテナンスあるいは付帯作業による停止時間に対応する安全仕掛数が最も多い工程ｐｊに対する安全仕掛と工程ｐｉの基本仕掛の和に等しくする。この仕掛は装置の共用関係で能力を授受できるこの工程群の全ての工程に設定する。
【００１５】
そして、前記工程群が隘路工程である場合は、ラインで突発故障による停止時間に対応する安全仕掛が最も多い工程の安全仕掛に等しい仕掛を前記工程群のいずれかの工程の直前仕掛に加える。したがってこの工程の仕掛は、前の工程の定期メンテナンス又は付帯作業に対応する安全仕掛と基本仕掛、そして突発故障による停止に対する安全仕掛の総和となる。
【００１６】
また、前記工程群は制約工程であり、それ以外に隘路となる工程がある場合は、この隘路より投入口側の工程の中で、突発故障による停止時間に対応する安全仕掛が最も多い工程の安全仕掛に等しい仕掛と、前記隘路工程の基本仕掛の和を、前記隘路工程の適正仕掛とする。
【００１７】
このようにすることで、まず、定期メンテナンスや付帯作業などのルーチン的な装置の長時間停止に対して、前記の工程群が影響を受けることなく、平準化した処理を確保することができる。
【００１８】
一方、突発的な障害が発生した場合には、前記工程群が隘路工程である場合において、どこで突発的な障害が発生していても、障害が発生した工程の後で、前記の工程群に属する最初の工程で製品待ちが発生した場合に、前記工程群に属する各工程間でお互いに能力の授受が可能なため、結果的に、ラインの突発的な最長停止に対する安全仕掛を設定した工程に能力を回すことができ、隘路工程の装置で損失が生ずることを防止できる。そして障害復旧後は、再び装置の共用関係を利用して回した能力を徐々に製品待ちが発生した工程に戻すことにより、前記工程群の各工程の累積処理のバランスを回復することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態による生産管理方法について図１乃至図４を用いて説明する。
本実施の形態による生産管理方法は、隘路工程又は制約工程と他の工程又は工程群の間で装置の共用化が可能である場合、装置の共用関係を工程間又は工程群間で作ることにより、余裕のある工程から隘路工程又は制約工程に能力を回すことを可能としている。
【００２０】
まず、隘路工程又は制約工程を一部に含み、隘路工程又は制約工程と他の工程との間での装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群において、各工程の負荷率を、中日程生産計画の対象となる操業期間全体での各工程の累積能力に対する前記各工程の累積生産予定の比率として求める。負荷率とは、各工程の製品処理能力に対する各工程の必要製品処理数の比率である。
【００２１】
次に、各工程の負荷率が等しくなるように、装置の各工程に対する最適使用比率を算出する。操業期間での各装置の各工程に対する使用比率を、算出された最適使用比率とほぼ等しくなるように各工程の処理予定を定める。このように、生産計画の対象期間における各工程の間の負荷を均等化して、隘路工程又は制約工程の能力を改善する。
【００２２】
隘路工程とは、各工程が計画通りの能力を発揮した場合にライン全体のスループットを律速する工程である。制約工程とは、条件によってはライン全体のスループットを律速する工程のことである。例えば１ヶ月の間に起こり得る装置の最長停止予測時間でライン能力を管理している場合における、統計的に３ヶ月に１度といった頻度で起こり得るライン能力の管理外である設備の長時間停止の発生等が条件となる。
【００２３】
複数の隘路工程又は制約工程の間で装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群においても、上記の方法で生産管理を行うことができる。
【００２４】
隘路工程又は制約工程となる工程群の各工程の処理予定を定めた後、この工程群以外の工程の仕掛が基本仕掛を越えたら能力範囲内で最大限の処理を行い、仕掛が基本仕掛以内であれば平準化した処理を行うように工程の処理予定を定める。平準化した処理とは、操業期間の各操業日毎の各工程の負荷率が、中日程生産計画の対象となる操業期間全体での負荷率に等しくなるように、各工程を処理する装置のメンテナンス予定や付帯作業予定の日程に対して各工程の日毎の処理予定を定めた場合の処理予定数の処理である。
【００２５】
装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群が隘路工程又は制約工程となる場合に、この工程群の適正仕掛を以下のように設定する。まず、この工程群を、処理順序が投入口に近い方から順に工程ｐｎ（ｎ＝１，２，…，ｉ−１，ｉ，…）とする。工程ｐｉの直前仕掛は、工程ｐ（ｉ−１）と工程ｐｉとの間の工程であって、定期メンテナンス又は付帯作業による停止時間に対応する安全仕掛（以下、メンテ停止に対する安全仕掛という）が最も多い工程ｐｊの安全仕掛と工程ｐｉの基本仕掛との和に等しくする。この直前仕掛は、装置の共用関係で能力を授受できるこの工程群の全ての工程に設定される。
【００２６】
安全仕掛とは、ある工程で装置が１台停止した場合に、装置停止中にこの工程での処理が必要な基板数から、実際に処理できる基板数を減じた値である。この値は、装置停止中に後の工程で不足する基板数に相当する。基本仕掛とは、この工程で装置停止がない場合に、１日の目標数を処理するのに必要な最低限の基板数である。
【００２７】
次に、工程群の各工程がライン全体の隘路工程である場合は、全工程のうち突発故障による停止に対応する安全仕掛（以下、突発停止に対する安全仕掛という）が最も多い工程の安全仕掛に等しい仕掛を工程群のいずれかの工程の直前仕掛に加える。したがって、この工程の仕掛は、前の工程のメンテ停止に対する安全仕掛と基本仕掛、及び突発停止に対する安全仕掛の総和となる。このいずれかの工程とは、工程群のいずれか１つの工程でもよいし、工程群の複数又は全ての工程に分散して設定してもよい。分散して設定した場合、必ずしも各工程への割り振りを固定する必要はなく、総和が一定であれば状況に応じて割り振りを変化させてもよい。
【００２８】
この工程群が制約工程であり、工程群以外に隘路となる工程がある場合は、この隘路工程より投入口側の工程であって突発停止に対する安全仕掛が最も多い工程の安全仕掛に等しい仕掛と、隘路工程の基本仕掛との和を隘路工程の適正仕掛とする。
【００２９】
また、工程ｐｊの直前工程からの日毎の受入数が中日程生産計画の対象期間内で平準化しており、かつ工程ｐｊの装置が安全仕掛に換算した数が最も多く、したがって停止時間の影響が最も大きい停止に入る直前の仕掛が工程ｐｊの基本仕掛に等しいと仮定して、工程ｐｊを処理する各装置のメンテナンス及び付帯作業予定のカレンダーを基に定めた工程ｐｊの日毎処理予定から仕掛推移を計算する。次に、この工程ｐｊの日毎処理予定と同じ数が工程ｐｉの日毎受入数になると仮定し、かつ工程ｐｊの装置が安全仕掛に換算した数が最も多く、したがって停止時間の影響が最も大きい停止に入る直前の工程ｐｉの仕掛が、工程ｐｊの装置停止に対する安全仕掛数と工程ｐｉの基本仕掛の和に等しいと仮定して、工程ｐｉの日毎処理予定から工程ｐｉの仕掛推移を計算する。このようにして工程ｐｉと工程ｐｊの仕掛を前記工程群の全ての工程に対して計算し、この仕掛推移の平均仕掛を工程ｐｉと工程ｐｊの適正仕掛として設定する
【００３０】
上記の方法で工程ｐｉと工程ｐｊの適正仕掛を計算した後、他の工程の適正仕掛を各工程の基本仕掛に等しいと仮定して、ラインの全工程に対して適正仕掛を設定する。次に、ラインの全工程の適正仕掛を合計してラインの適正総仕掛を求める。そして、実際のラインの総仕掛がこの適正総仕掛と等しくなるようにライン全体の出荷数と投入数を管理する。さらに、状況によりラインの総仕掛と適正総仕掛との間に偏差が生じた場合、ラインの総仕掛が速やかに適正総仕掛に等しくなるように出荷数と投入数を調整する。
【００３１】
上記の方法によりラインの総仕掛を管理し、かつ手番を（総仕掛÷日毎平均出荷数）で予測することにより生産計画を作成し、納期を管理する。
【００３２】
また、装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群の工程ｐｉが隘路工程となっており、この工程群以外の工程であって、工程ｐｉより出荷口側でかつ工程ｐ（ｉ＋１）より投入口側のいずれかの工程で装置の長時間停止などのトラブルにより処理不足が起こった場合に、工程ｐｉより出荷口側の工程の製品待ちによる処理量低下で余剰となる能力を工程ｐｉ又は工程ｐｉより投入口側の工程群の各工程に振り向けることで、工程群の総能力の損失を防止する。このようにすることで、突発停止に対する安全仕掛をなくし、総仕掛を減少させ、手番を短縮することができる。この時、工程ｐｉより投入口側の工程群の各工程の処理量を増加させるために、ラインの総仕掛に一定の許容上限を設け、その範囲内に総仕掛が収まるように一定期間投入口からの製品投入量を増加させることを許容する。
【００３３】
総仕掛の許容上限は、この許容上限と正常時の総仕掛との差を工程群の工程ｐｉより出荷口側の工程数で割った値が、これらの工程群の平均処理能力と、これらの工程群に次いで隘路となる工程（準隘路工程）の処理能力との月当たりの能力の差となるように定める。突発故障の復旧後に、工程ｐｉ又は工程ｐｉより投入口側の工程群の各工程に振り向けた能力を工程ｐｉより出荷口側の工程群の各工程に戻すことにより、工程ｐｉより出荷口側の各工程の処理量を増加させ、出荷量を投入量より増加させる。それによって、許容上限の範囲で増加した総仕掛を正常時の総仕掛まで減少させる。
【００３４】
また、装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群の工程ｐｎ（ｎ＝１，２，…，ｉ，ｉ＋１，…）が隘路工程となる場合に、通常時は工程ｐ１の前の工程に設定するメンテ停止に対する安全仕掛を０とし、工程ｐ１の直前仕掛を基本仕掛のみとする。工程ｐ１と投入口の間の工程の装置のメンテナンス停止予定日が近づいたとき、一定期間投入量を増加させることで、メンテ停止に対する安全仕掛に相当する仕掛を確保する。ここで一定期間は、工程ｐ１の前の工程に設定していたメンテ停止に対する安全仕掛を、これらの工程群の日平均処理予定数と、工程ｐ１より投入口側の各工程のうち最も能力の小さい工程の日平均処理能力との差で割った日数とする。
【００３５】
さらに、装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群の工程ｐｎ（ｎ＝１，２，…，ｉ−１，ｉ，ｉ＋１，…）が隘路工程となる場合に、通常時は工程ｐｉの直前の工程に設定する安全仕掛を（工程ｐｉの元の安全仕掛）−（工程ｐ（ｉ＋１）の元の安全仕掛）（ただし負となる場合は０）とし、工程ｐｉの直前仕掛を基本仕掛のみとする。
【００３６】
工程ｐｉと工程ｐ（ｉ−１）の間の工程に用いる装置のメンテナンス停止予定日が近づいた場合のみ、第１の一定期間工程ｐｉの処理量を減少させ、工程ｐｊにその余剰処理能力を振り向けてメンテナンス停止に対する安全仕掛を確保する。メンテナンス日以降の第２の一定期間で再び工程ｐｊの処理量を減少させ、工程ｐｉにその余剰処理能力を振り向けて工程ｐｉのリカバリを行う。ここで、第１の一定期間とは、工程ｐｉの直前の安全仕掛を工程ｐｊに工程ｐｉから１日あたり回せる処理能力で割った値である。また、第２の一定期間とは、工程ｐｉと工程ｐ（ｉ−１）の間でメンテナンス停止が発生した工程から、メンテナンス時に溜まった仕掛を工程ｐｉまで送り込むのに必要な日数である。
【００３７】
この生産管理方法は、工程ｐｉの能力を振り向ける工程ｐｊの安全仕掛が、工程ｐｉの元の安全仕掛と工程ｐ（ｉ＋１）の安全仕掛のうちどちらか少ない方の仕掛より多い場合に成立する。工程ｐｊの安全仕掛の方が少ない場合は、工程ｐｉの直前に設定した安全仕掛を通常は（工程ｐｉの元の安全仕掛）−（工程ｐｊの安全仕掛）とすればよい。
【００３８】
また、工程ｐｊと次の工程ｐｉとが共通のストッカー又は保管棚を使用することにより、保管スペースを効率よく設定できる。すなわち、工程ｐｊの装置で長時間停止する場合は、工程ｐｊの仕掛が増加して工程ｐｉの仕掛が減少し、長時間停止後に工程ｐｊの装置が最大稼働して工程ｐｉに仕掛が移動した後は、工程ｐｉの仕掛が増加して工程ｐｊの仕掛が減少する。その結果、工程ｐｉと工程ｐｊの仕掛の合計はほぼ一定となり、保管棚は常に有効に利用できる。
【００３９】
【実施例】
以下、具体的に実施例を用いて本生産管理方法について説明する。
〔実施例１〕
生産ラインの工程が工程１，２，…，１９の１９工程からなる生産ラインにおいて、工程２，５，８，１１，１４，１７の６工程は、装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群である工程ｐｉとなる。装置Ａ，Ｂ，Ｃは工程２，８を処理可能であり、装置Ｄは５，１１を、装置Ｅは５，１４を、装置Ｆは５のみを、装置Ｇは１１，１４を、装置Ｈは１４のみを、装置Ｉ，Ｊ，Ｋは工程８，１７をそれぞれ処理可能である。この場合、工程２，５，８，１１，１４，１７の工程群は装置の共用により、工程群の任意の工程から任意の工程へ能力を回すことができる。それは各工程間が装置の共用により鎖の輪のように繋がれているためである。
【００４０】
図１（ａ）、（ｂ）は、装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群における負荷率及び各装置の最適使用比率の計算例を示す表である。工程名の欄は各工程で使用する装置を表しており、例えば２（♯Ａ）は工程２で使用する装置Ａのことを表している。各装置が複数の品種を処理する場合、装置が１枚の基板を処理するのに要する時間であるタクトは品種毎に異なる可能性があり、図１（ａ）では異なる２つの品種のタクトを品種毎タクトｔ１（ｓｅｃ）、ｔ２（ｓｅｃ）と表している。そこで加重平均タクトを理論時間Ｈ（ｓｅｃ）と呼び、Ｈ＝Σ（品種毎タクト×品種毎処理予定数）／Σ（品種毎処理予定数）と定義する。ここで、品種毎処理予定数とは、中日程生産計画の対象となる操業期間で設定されている品種毎の予定数を日割りの平準化した予定数に換算して求めたものであり、図１（ａ）では、生産比率Ｐ１、Ｐ２として表している。すなわち、
【００４１】
Ｈ＝Σ（ｔｋ・Ｐｋ）／ΣＰｋ
となる。
【００４２】
次に、その装置が一定の処理枚数毎に一定時間の付帯作業により停止することを考慮して、付帯時間Ｗ（ｓｅｃ）をＷ＝（付帯作業による装置停止時間）／（付帯作業後の稼動開始から次の付帯作業による停止までに処理する基板数）と定義する。本実施例では、Ｗ＝５．０としている。ここで、各装置が基板１枚を処理するのに要する平均時間はＨ＋Ｗ（ｓｅｃ）となる。
【００４３】
そして、各装置の各工程で最大限使用した場合の能力である最大日平均処理能力（スループット（枚／日））は、（２４×６０×６０×（可動率）×（正味稼働率））／（Ｈ＋Ｗ）で計算できる。可動率は、装置起因で装置が停止している時間の割合であり、通常１ヶ月程度の期間における累積操業時間に対する累積可動時間の比率で求める。本実施例では、装置Ｈは可動率＝９５．０％であり、その他の装置は可動率＝９０．０％である。また、正味稼働率は、可動時間のうち装置が実際に製品を処理した時間の割合であり、同様に１ヶ月程度の期間における累積可動時間に対する累積製品処理時間の比率で求める。本実施例では、装置Ｈは正味稼動率＝９５．０％であり、その他の装置は正味稼動率＝９０．０％である。可動率×正味稼働率は、一般に稼働率と呼ばれている。
【００４４】
次に、各装置の各工程に対する日平均処理能力（処理枚数（枚／日））は、（最大日平均処理能力）×（装置をその工程に使用する比率（装置使用比率））で算出される。各工程ｉの日平均処理予定数Ｎｉ（枚／日）は、
【００４５】
Ｎｉ＝ΣＮｉｊ
【００４６】
で表され（Ｎｉｊは各装置ｊの各工程ｉに対する日平均処理予定数）、本実施例では全ての工程ｉでＮｉ＝１０００としている。中日程生産計画の対象となる操業期間全体での各工程ｉの累積能力に対する各工程の累積生産予定の比率である負荷率Ｌｉは、Ｎｉ／（各工程ｉの日平均処理能力）で表される。
【００４７】
図１（ａ）、（ｂ）に示した表は、各工程の負荷率が等しくなるように装置使用比率を設定するために開発されたツールである。すなわち、各装置の各工程に対する日平均処理能力を工程毎に合計して求められる各工程の日平均処理能力が、各工程で等しくなるようにすれば、負荷率Ｌｉは各工程で等しくなる。各工程の負荷率Ｌｉが等しくなるための装置使用比率Ｒｉｊ（最適使用比率）は、図１（ａ）、（ｂ）に示した表を使用し、線形計画法、カット・アンド・トライ法等を用いて求めることができる。図１（ｂ）のように装置使用比率Ｒｉｊを設定すれば、各工程の負荷率Ｌｉが等しくなり、この工程群が隘路工程である場合は、ライン全体のスループットを最大化できる。なお、装置Ｅの工程５と工程１４における装置使用比率の合計が１とならないのは、実験等の目的で製品処理以外でも使用しているためである。本実施例では、各工程の日平均処理能力は１０３１枚程度であり、日平均処理予定数Ｎｉが１０００枚／日である中日程生産計画に対する負荷率Ｌｉは９７％となっている。
【００４８】
また、この工程群が隘路工程でなく制約工程である場合も、各工程に均等な余裕度を設定でき、ライン全体の円滑な運用を行うことができる。
【００４９】
本実施例において、日割りの各工程の処理予定数は、その工程を処理する各装置のある日のメンテナンス予定時間をＳ（ｓｅｃ）とし、また月平均でみた平均故障停止時間をＵ（ｓｅｃ）として次式で計算できる。
【００５０】
その日の処理予定数＝Σ（（２４×６０×６０−Ｓ−Ｕ）×（装置使用比率Ｒｉｊ）／（Ｈ＋Ｗ））
【００５１】
図２（ａ）、（ｂ）は、装置の共用関係がない場合の各工程の日平均処理能力の計算例を示す表である。図２（ａ）、（ｂ）に示すように、この例では工程１１の日平均処理能力は７３７枚となり、これがライン全体のスループットとなる。日平均処理予定数Ｎｉが１０００枚／日の中日程生産計画に対する負荷率Ｌｉは１３６％となり、完全に処理不足の状態になっている。
【００５２】
〔実施例２〕
図３は、実施例１の場合におけるラインの適正仕掛設定と手番計算の例を示す表である。装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群に属する各工程２，５，８，１１，１４，１７の直前の工程１，４，７，１０，１３，１６（工程ｐｊ）が、工程群の各工程間で装置の定期メンテナンス又は付帯作業による停止（以下、メンテ停止という）時間が最も長い工程であるとする。最長の停止時間と装置台数、各装置の日平均処理能力は図３に示す通りとする。簡単のため各工程における複数台の装置は能力もメンテ停止時間も同じと考える。
【００５３】
工程１，４，７，１０，１３，１６の各装置のメンテ停止に対して工程２，５，８，１１，１４，１７の各工程の直前に設定すべき安全仕掛（枚）は、
【００５４】
メンテ停止に対する安全仕掛＝Ｎｉ×（メンテ停止時間）／２４−Σ（（停止した装置以外の各装置のその工程に対する日平均処理能力）×（メンテ停止時間）／２４）
＝（Ｎｉ−Σ（停止した装置以外の各装置のその工程に対する日平均処理能力））×（メンテ停止時間）／２４
で表される。
【００５５】
工程１，４，７，１０，１３，１６のいずれかの工程で装置のメンテ停止が起こると、メンテナンス終了時にはその工程の直前に安全仕掛に相当する仕掛がたまる。この仕掛を処理して本来の基本仕掛まで仕掛が低減するまでのリカバリ期間（日）は、
【００５６】
リカバリ期間＝（安全仕掛）／（（装置の日平均処理能力）×（装置台数）−Ｎｉ）
【００５７】
で表される。したがって工程１，４，７，１０，１３，１６の各工程の平均仕掛（枚）は、
【００５８】
平均仕掛＝（基本仕掛）＋（（メンテ停止に対する安全仕掛）×（リカバリ期間）／２）／（停止間隔）
【００５９】
で表され、その値が適正仕掛として設定される。
次に、工程２，５，８，１１，１４，１７の工程群の各工程の適正仕掛は、基本仕掛に直前工程のメンテ停止に対する安全仕掛を加えたものが設定される。また、その他の工程の適正仕掛は、基本仕掛が設定される。以上で設定された適正仕掛を図３に適正仕掛１として示す。本実施例では基本仕掛を２００枚としている。
【００６０】
そして工程２，５，８，１１，１４，１７が隘路工程である場合は、最長突発停止に対する安全仕掛のうち、最も多い仕掛（本実施例では工程７の１６６７枚）をこの工程群のいずれかの工程（本実施例では工程８）の適正仕掛に加算する。ここで、最長突発停止に対する安全仕掛は、統計的に算出される最長突発停止時間を用いて、
【００６１】
最長突発停止に対する安全仕掛＝Ｎｉ×（最長突発停止時間）／２４−Σ（（停止した装置以外の各装置のその工程に対する日平均処理能力）×（最長突発停止時間）／２４）
＝（Ｎｉ−Σ（停止した装置以外の各装置のその工程に対する日平均処理能力））×（最長突発停止時間）／２４
【００６２】
で表される。図３に、以上で設定された適正仕掛を適正仕掛２として示すとともに、各工程の適正仕掛２を合計して求められるラインの総仕掛と、（ラインの総仕掛）／Ｎｉで求められる適正手番を示す。総仕掛を約９５００枚とし、出荷基板数と等しい数の基板数を投入する管理を行い、日毎平均出荷数１０００を維持することで、手番９．５日を安定して維持することができる。
【００６３】
図４は、装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群以外の工程が隘路工程である場合におけるラインの適正仕掛設定と手番計算の例を示す表である。図４では、装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群の各工程の日平均処理能力（１０３１枚／日）より小さい工程の日平均処理能力（１０１１枚／日）を有する工程１０が隘路工程となっている。工程１０の適正仕掛２は、最長突発停止に対する安全仕掛（１６６７枚）を工程１０の適正仕掛１に加算して求められる。この場合のラインの総仕掛は約９８００枚となり、手番は９．８日となる。
【００６４】
〔実施例３〕
次に、図３に示した装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群が隘路工程となる場合に、突発停止に対する安全仕掛（工程７の１６６７枚）をなくした例について説明する。工程８の適正仕掛は１２４２枚となり、総仕掛は約７８００枚となる。したがって通常時の手番は７．８日に短縮できる。
【００６５】
このラインにおいて、工程７で突発故障による長時間停止が発生した場合を考える。最長突発停止時間である４０時間停止したとすると、この期間工程８は１６６７枚の処理能力を有する。すなわち、メンテ停止に対する安全仕掛と基本仕掛の合計である適正仕掛の１２４２枚を使い果たし、さらに４２５枚分の製品待ちによる処理能力の余剰が発生する。この余剰処理能力を工程２の処理を増加させることで吸収する。次に、工程７の装置が復旧した後、工程２の処理能力を処理が減少した工程８に回してリカバリを行う。さらに、工程７の直前には１６６７枚分の仕掛が溜まっているため、これをリカバリする必要がある。工程７の能力余裕（＝（工程の日平均処理能力）−Ｎｉ）は１５０枚／日であり、約１１日間で工程８の４２５枚の余剰処理能力が解消されるとともに安全仕掛１２４２枚が復旧される。
【００６６】
〔実施例４〕
次に、実施例３で説明した突発停止に対する安全仕掛（工程７の１６６７枚）をなくした場合であって、さらに工程群の各工程のうち、最も投入口に近い工程のメンテ停止に対する安全仕掛（工程１の５００枚）をなくした例について説明する。工程２の適正仕掛は２００枚となり、総仕掛は約７３００枚となる。したがって、通常時の手番は７．３日に短縮できる。
【００６７】
工程１の装置のメンテナンスが近づいたときには、工程１の処理量を増加させ、工程２の直前に５００枚の安全仕掛を確保する必要がある。工程１の処理能力の余裕は、工程の日平均処理能力（１２００枚／日）と日平均処理予定数Ｎｉ（１０００枚／日）との差である２００枚／日である。メンテナンスの２．５日前から工程１の処理量を１２００枚／日に増加させれば、メンテナンス時には工程２の安全仕掛５００枚を確保できる。このときの総仕掛は７８００枚であるが、メンテナンス終了後から２．５日間工程１の処理量を８００枚／日に減少させることで総仕掛を７３００枚に戻すことができる。この場合、月平均の総仕掛は７３４２枚となり、月平均の手番は７．３４日となる。
【００６８】
〔実施例５〕
次に、実施例３で説明した突発停止に対する安全仕掛（工程７の１６６７枚）をなくし、実施例４で説明した最も投入口に近い工程のメンテ停止に対する安全仕掛（工程１の５００枚）をなくした場合であって、さらに工程群のうち工程１１のメンテ停止に対する安全仕掛（２１７枚）をなくした例について説明する。
工程１１の適正仕掛は２００枚となり、総仕掛は約７１００枚となる。したがって、通常時の手番は７．１日に短縮できる。
【００６９】
工程１０の装置のメンテナンスが近づいたときには、工程１１の処理量を減少させ、余剰処理能力を工程８に振り向けて工程８の処理量を増加させ、メンテナンス前に工程１１の直前に２１７枚の安全仕掛を確保する必要がある。このとき工程１４は、工程１４自身のメンテ停止に対する安全仕掛４６９枚を消費することで工程１１の処理量が２１７枚分低下する影響から免れる。このような生産管理を可能とするためには、工程１０のメンテナンス日からａ日前に工程８にメンテ停止に対する安全仕掛が溜まっており、工程１０のメンテナンス日からｂ日後まで工程７でメンテナンスが行われないことが必要である。
【００７０】
本実施の形態による生産管理方法は、フォトリソグラフィ法をパターニング手段として使用する加工ラインを含む生産ラインを管理又は構成する際などに適用できる。特に、装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群がフォトレジストのパターニング工程である生産ラインを管理、構成する際に適用できる。
【００７１】
また、本実施の形態による生産管理方法は、複数の工程で共通の装置を使用するＴＦＴ基板やカラーフィルタ（ＣＦ）基板などのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用基板又は半導体装置の製造ラインを管理、構成する際などに適用できる。
【００７２】
以上説明した実施の形態による生産管理方法は、以下のようにまとめられる。
（付記１）
隘路工程又は制約工程を一部に含み、前記隘路工程又は制約工程と他の工程との間で装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群において、
前記工程群の各工程の製品処理能力に対する前記各工程の必要製品処理数の比率である負荷率を、中日程生産計画の対象となる操業期間全体での前記各工程の累積能力に対する前記各工程の累積生産予定の比率として求め、
前記各工程の前記負荷率がほぼ等しくなるように、前記装置の前記各工程に対する最適使用比率を計算し、
前記操業期間での前記各装置の前記各工程に対する使用比率を前記最適使用比率とほぼ等しくなるように前記各工程の処理予定を定め、
生産計画の対象期間における前記各工程の間の負荷をほぼ均等化すること
を特徴とする生産管理方法。
【００７３】
（付記２）
複数の隘路工程又は制約工程の間で装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群において、
前記工程群の各工程の製品処理能力に対する前記各工程の必要製品処理数の比率である負荷率を、中日程生産計画の対象となる操業期間全体での前記各工程の累積能力に対する前記各工程の累積生産予定の比率として求め、
前記各工程の前記負荷率がほぼ等しくなるように、前記装置の前記各工程に対する最適使用比率を計算し、
前記操業期間での前記各装置の前記各工程に対する使用比率を前記最適使用比率とほぼ等しくなるように前記各工程の処理予定を定め、
生産計画の対象期間における前記各工程の間の負荷をほぼ均等化すること
を特徴とする生産管理方法。
【００７４】
（付記３）
付記２記載の生産管理方法において、
前記各工程の処理予定を定めた後、
前記工程群以外の工程の仕掛が基本仕掛を越えたら能力範囲内でほぼ最大限の処理を行い、前記仕掛が前記基本仕掛以内であれば平準化した処理を行うように前記工程群以外の工程の処理予定を定めること
を特徴とする生産管理方法。
【００７５】
（付記４）
複数の隘路工程又は制約工程の間で装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群において、
前記工程群の各工程を、処理順序が投入口に近い方から順に工程ｐｎ（ｎ＝１，２，…，ｉ−１，ｉ，ｉ＋１，…）とし、
前記工程ｐｉの直前仕掛は、前記工程ｐ（ｉ−１）と前記工程ｐｉとの間の工程であって定期メンテナンス又は付帯作業による停止時間に対応する安全仕掛が最も多い工程ｐｊに対する安全仕掛と前記工程ｐｉの基本仕掛との和にほぼ等しくすること
を特徴とする生産管理方法。
【００７６】
（付記５）
付記４記載の生産管理方法において、
前記工程群の各工程が隘路工程である場合、全工程のうち突発故障による停止時間に対応する安全仕掛が最も多い工程の安全仕掛とほぼ等しい仕掛を前記工程群のいずれかの工程の直前仕掛に加算すること
を特徴とする生産管理方法。
【００７７】
（付記６）
付記５記載の生産管理方法において、
前記仕掛を前記工程群のいずれか複数の工程の直前仕掛に分散して加算すること
を特徴とする生産管理方法。
【００７８】
（付記７）
付記５又は６記載の生産管理方法において、
前記工程群の工程の直前仕掛をほぼ一定の総和を保ちながら変動させること
を特徴とする生産管理方法。
【００７９】
（付記８）
付記４記載の生産管理方法において、
前記工程群の各工程が制約工程であり、前記工程群以外の工程が隘路工程である場合、前記隘路工程より投入口側の工程のうち突発故障による停止時間に対応する安全仕掛が最も多い工程の安全仕掛とほぼ等しい仕掛と、前記隘路工程の基本仕掛との和を前記隘路工程の適正仕掛とすること
を特徴とする生産管理方法。
【００８０】
（付記９）
付記４記載の生産管理方法において、
前記工程ｐｊの直前工程からの日毎の受入数が中日程生産計画の対象期間内で平準化しており、かつ前記工程ｐｊの装置の安全仕掛が最も多く、したがって停止時間の影響が最も大きい停止に入る直前の仕掛が前記工程ｐｊの基本仕掛に等しいと仮定して、前記工程ｐｊを処理する各装置のメンテナンス及び付帯作業予定の日程を基に定めた前記工程ｐｊの日毎処理予定から前記工程ｐｊの仕掛推移を計算し、
前記工程ｐｊの日毎処理予定と同じ数が、前記工程ｐｉの日毎受入数になると仮定し、かつ前記工程ｐｊの装置が安全仕掛に換算した数が最も多く、したがって停止時間の影響が最も大きい停止に入る直前の工程ｐｉの仕掛が、前記工程ｐｊの装置停止に対する安全仕掛数と前記工程ｐｉの基本仕掛の和に等しいと仮定して、前記工程ｐｉの日毎処理予定から前記工程ｐｉの仕掛推移を計算し、
前記工程ｐｉと前記工程ｐｊの仕掛を前記工程群の全ての工程に対して計算し、前記仕掛推移の平均仕掛を前記工程ｐｉと前記工程ｐｊの適正仕掛として設定すること
を特徴とする生産管理方法。
【００８１】
（付記１０）
付記９記載の生産管理方法において、
前記工程ｐｉと前記工程ｐｊの適正仕掛を計算した後、他の工程の適正仕掛を前記他の工程の基本仕掛に等しいと仮定して、ラインの全工程に対する適正仕掛を設定し、
前記全工程に対する適正仕掛を合計し、前記ラインの適正総仕掛を定め、
前記ラインの総仕掛と前記適正総仕掛とがほぼ等しくなるように前記ライン全体の出荷数と投入数を管理すること
を特徴とする生産管理方法。
【００８２】
（付記１１）
付記１０記載の生産管理方法において、
前記ラインの総仕掛と前記適正総仕掛との間に偏差が生じたとき、前記偏差を減少させるように前記出荷数と前記投入数を調整すること
を特徴とする生産管理方法。
【００８３】
（付記１２）
付記９乃至１１のいずれか１項に記載の生産管理方法において、
前記ラインの総仕掛を管理し、前記ラインの総仕掛から手番を予測することにより生産計画の作成と納期の管理を行うこと
を特徴とする生産管理方法。
【００８４】
（付記１３）
付記４記載の生産管理方法において、
前記工程群以外の工程であって、前記工程ｐｉより出荷口側で前記工程ｐ（ｉ＋１）より投入口側のいずれかの工程で、装置の長時間停止等のトラブルにより処理不足が生じた場合、前記工程ｐｉより出荷口側の前記工程群の製品待ちによる処理量減少で余剰となる能力を前記工程ｐｉ又は前記工程ｐｉより投入口側の前記工程群の各工程に振り向けることで、前記工程群の総処理能力の損失を防止すること
を特徴とする生産管理方法。
【００８５】
（付記１４）
付記１３記載の生産管理方法において、
前記工程ｐｉより投入口側の前記工程群の各工程の処理量を増加させるために、ラインの総仕掛に一定の許容上限を設け、前記許容上限の範囲内に前記総仕掛が収まるように一定期間投入口からの製品投入量を増加させることを許容すること
を特徴とする生産管理方法。
【００８６】
（付記１５）
付記１４記載の生産管理方法において、
前記許容上限は、前記許容上限から正常時の総仕掛を差し引いた差の仕掛量を前記工程群の工程ｐｉより出荷口側の工程数で割った値が、前記工程群の平均能力と前記工程群に次いで準隘路となる工程の能力との月当たりの能力の差となるように定め、
前記許容上限内で増加した前記総仕掛を、前記工程ｐｉ又は前記工程ｐｉより投入口側の前記工程群の各工程にトラブル時に振り向けた能力分を、トラブル復旧後に前記工程ｐｉより出荷口側の前記工程群の各工程に戻すことにより、前記工程ｐｉより出荷口側の各工程の処理量を増加させ、出荷を投入より増加させることで正常時の仕掛数まで減少させること
を特徴とする生産管理方法。
【００８７】
（付記１６）
付記４記載の生産管理方法において、
前記工程ｐ１の直前に設定した安全仕掛を通常は０として、前記工程ｐ１の直前仕掛を通常は基本仕掛のみとし、
前記工程ｐ１と投入口の間の工程の装置メンテナンス停止予定日が近づいた場合のみ、一定期間投入を増やすことで、メンテナンス停止に対する安全仕掛を確保すること
を特徴とする生産管理方法。
【００８８】
（付記１７）
付記１６記載の生産管理方法において、
前記一定期間は、前記工程ｐ１より投入口側の各工程のうち最も能力の小さい工程の日平均処理能力と日平均処理予定数との差で、前記工程ｐ１の直前に設定していた安全仕掛を割った日数とすること
を特徴とする生産管理方法。
【００８９】
（付記１８）
付記４記載の生産管理方法において、
前記工程ｐｊの安全仕掛が、前記工程ｐｉの元の安全仕掛と前記工程ｐ（ｉ＋１）の安全仕掛のうちどちらか少ない方の仕掛より多い場合に、
前記工程群のうち前記工程ｐｉの直前に設定した通常時の安全仕掛を前記工程ｐｉの元の安全仕掛と前記工程ｐ（ｉ＋１）の安全仕掛の差（ただし負となる場合は０）として、通常時の直前仕掛を基本仕掛のみとし、
前記工程ｐ（ｉ−１）と前記工程ｐｉの間の工程の装置メンテナンス停止予定日が近づいた場合のみ、第１の一定期間前記工程ｐｉの処理量を減少させ、前記工程ｐｊにその余剰処理能力を振り向けてメンテナンス停止に対する安全仕掛を確保し、
メンテナンス日以降の第２の一定期間で再び前記工程ｐ（ｉ−１）の処理量を減少させ、前記工程ｐｊにその余剰処理能力を振り向けて前記工程ｐｉのリカバリを行うこと
を特徴とする生産管理方法。
【００９０】
（付記１９）
付記１８記載の生産管理方法において、
前記第１の一定期間は、前記工程ｐｊに前記工程ｐｉから１日あたりに振り向けられる前記余剰処理能力で前記工程ｐｉの直前の安全仕掛を割った値であること
を特徴とする生産管理方法。
【００９１】
（付記２０）
付記１８又は１９に記載の生産管理方法において、
前記第２の一定期間は、前記工程ｐ（ｉ−１）と前記工程ｐｉとの間で装置メンテナンスが発生した工程から、前記メンテナンス時に溜まった仕掛を前記工程ｐｉまで送り込むために必要な日数であること
を特徴とする生産管理方法。
【００９２】
（付記２１）
付記４記載の生産管理方法において、
前記工程ｐｊの安全仕掛が、前記工程ｐｉの元の安全仕掛と前記工程ｐ（ｉ＋１）の安全仕掛のうちどちらか少ない方の仕掛より少ない場合、
前記工程群のうち前記工程ｐｉの直前に設定した通常時の安全仕掛を、前記工程ｐｉの元の安全仕掛と前記工程ｐｊの安全仕掛の差（ただし負となる場合は０）として、通常時の直前仕掛を基本仕掛のみとし、
前記工程ｐｉと前記工程ｐ（ｉ−１）の間の工程の装置メンテナンス停止予定日が近づいた場合のみ、第１の一定期間前記工程ｐｉの処理量を減少させ、前記工程ｐｊにその余剰処理能力を振り向けてメンテナンス停止に対する安全仕掛を確保し、
メンテナンス日以降の第２の一定期間で再び前記工程ｐｊの処理量を減少させ、前記工程ｐｉにその余剰処理能力を振り向けて前記工程ｐｉのリカバリを行うこと
を特徴とする生産管理方法。
【００９３】
（付記２２）
付記４記載の生産管理方法において、
前記工程ｐｉと前記工程ｐｊの合計仕掛がほぼ一定となるように、前記工程ｐｉと前記工程ｐｊで共通のストッカー又は保管棚を使用することにより、前記工程ｐｊで用いる装置が長時間停止した場合は前記工程ｐｊの仕掛が増加して前記工程ｐｉの仕掛が減少し、
長時間停止後に前記工程ｐｊで用いる装置が最大稼働して前記工程ｐｉに仕掛が移動した後は、前記工程ｐｉの仕掛が増加して前記工程ｐｊの仕掛が減少すること
を特徴とする生産管理方法。
【００９４】
（付記２３）
付記１乃至２２のいずれか１項に記載の生産管理方法において、
装置の共用関係により互いに能力の授受が可能な工程群が、フォトリソグラフィ法のパターニング工程群であること
を特徴とする生産管理方法。
【００９５】
（付記２４）
複数の工程で共通装置が使用されるフラットパネルディスプレイ用基板又は半導体装置の製造方法において、
付記１乃至２３のいずれか１項に記載の生産管理方法を用いること
を特徴とするフラットパネルディスプレイ用基板又は半導体装置の製造方法。
【００９６】
（付記２５）
基板上にマトリクス状に配置された複数の画素のそれぞれにＴＦＴを形成するＴＦＴ基板の製造方法において、
付記１乃至２３のいずれか１項に記載の生産管理方法を用いること
を特徴とするＴＦＴ基板の製造方法。
【００９７】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）隘路工程又は制約工程と他の工程又は工程群の間で装置の共用化が可能である場合、装置の共用関係を工程間又は工程群間で作り、余裕のある工程から隘路工程又は制約工程に能力を回すことでライン全体のスループットを改善する場合に、装置の最適な処理予定を定め、ラインの適正仕掛を設定することができる。また、これを基にライン管理を行い、適正手番で最大のスループットを確保することができる。
【００９８】
（２）同様に装置の共用関係によりお互いに能力の授受が可能な工程群が隘路工程又は制約工程となる場合に、上記の方法でこれらの工程群の各工程の最適な処理予定を作成し、ラインの適正仕掛を設定し、これを基にライン管理を行い、適正手番で最大のスループットを確保することができる。
【００９９】
（３）液晶表示装置のＴＦＴ基板の生産ラインなどは、投資効率の最大化が必須のラインであるが、隘路工程と他の工程の能力が接近しており保護能力を十分に持たせることが難しい。また、装置の計画的長時間停止や突発的長時間停止が起こる日程が多数あるため、隘路が状況により移動しやすく、隘路を予め予測して仕掛を集中的に管理するだけではラインのスループットを最大化することが難しい。本発明によれば、隘路工程又は制約工程を装置の共用化により工程群として分散させ、工程群以外の他工程に用いる装置の長時間停止に対する安全仕掛を工程群の各工程に分散させて確保しておくか、又は工程群の特定の工程に集中して確保しておく。工程間で能力を授受して工程群の他の工程で仕掛が不足した場合に、その工程の処理能力を仕掛を確保しておいた工程に順次回して吸収し得るようにして、柔軟性の高いライン管理を可能にすることができる。
【０１００】
（４）本発明を実際の生産ラインに適用した結果、手番を約２０％短縮してスループットを改善することができた。
【０１０１】
以上の通り、本発明によれば、装置群を工程群で共用して隘路工程又は制約工程の能力を改善する場合に、この工程群で前工程の停止に対する最適な安全仕掛を確保し、さらにこのような工程群を含むライン全体で最大のスループットを確保し、かつ手番を予測し最小化できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態による実施例１の生産管理方法を説明する表である。
【図２】本発明の一実施の形態による実施例１の生産管理方法を説明する表である。
【図３】本発明の一実施の形態による実施例２の生産管理方法を説明する表である。
【図４】本発明の一実施の形態による実施例２の生産管理方法を説明する表である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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