(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着組成物を中心にキャリアフィルムとカバーフィルムとが貼着された３層構造からなるシート体から粘着組成物を回収する装置であって、
前記シート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバーフィルムを一方の方向へ搬送する第１の搬送手段と、
前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体を該カバーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第２の搬送手段と、
前記残りのシート体から前記キャリアフィルムを剥離して該キャリアフィルムを一方の方向へ搬送する第３の搬送手段と、
前記キャリアフィルムが剥離された粘着組成物を該キャリアフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第４の搬送手段と、
前記粘着組成物、前記キャリアフィルム、前記カバーフィルムのうちの少なくとも１つ或いはこれ等が貼着された組合せのうちの少なくとも１つの搬送経路上に配置され、該粘着組成物、キャリアフィルム、カバーフィルムのうちの少なくとも１つ或いはこれ等が貼着された組合せのうちの少なくとも１つを幅方向に拡張する拡張手段と、
を有することを特徴とする粘着組成物の回収装置。
【請求項２】
粘着組成物を中心にキャリアフィルムとカバーフィルムとが貼着された３層構造からなるシート体から粘着組成物を回収する装置であって、
前記シート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバーフィルムを一方の方向へ搬送する第１の搬送手段と、
前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体を該カバーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第２の搬送手段と、
前記残りのシート体から前記キャリアフィルムを剥離して該キャリアフィルムを一方の方向へ搬送する第３の搬送手段と、
前記キャリアフィルムが剥離された粘着組成物を該キャリアフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第４の搬送手段と、
前記シート体から前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体から前記キャリアフィルムが剥離される位置近傍に熱風を吹き付ける熱風発生手段と、
を有することを特徴とする粘着組成物の回収装置。
【請求項３】
粘着組成物を中心にキャリアフィルムとカバーフィルムとが貼着された３層構造からなるシート体から粘着組成物を回収する装置であって、
前記シート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバーフィルムを一方の方向へ搬送する第１の搬送手段と、
前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体を該カバーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第２の搬送手段と、
前記残りのシート体から前記キャリアフィルムを剥離して該キャリアフィルムを一方の方向へ搬送する第３の搬送手段と、
前記キャリアフィルムが剥離された粘着組成物を該キャリアフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第４の搬送手段と、
前記シート体から前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体から前記キャリアフィルムが剥離される位置近傍に霧状の水分を吹き付ける霧状水分発生手段と、
を有することを特徴とする粘着組成物の回収装置。
【請求項４】
粘着組成物を中心にキャリアフィルムとカバーフィルムとが貼着された３層構造からなるシート体から粘着組成物を回収する装置であって、
前記シート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバーフィルムを一方の方向へ搬送する第１の搬送手段と、
前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体を該カバーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第２の搬送手段と、
前記残りのシート体から前記キャリアフィルムを剥離して該キャリアフィルムを一方の方向へ搬送する第３の搬送手段と、
前記キャリアフィルムが剥離された粘着組成物を該キャリアフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第４の搬送手段と、
前記シート体から前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体から前記キャリアフィルムが剥離される位置近傍に剥離により発生した静電気を打ち消す電荷を付与する電荷除去手段と、
を有することを特徴とする粘着組成物の回収装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、粘着組成物の回収装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、粘着組成物として、例えば、電子回路用プリント基板に使用されるＤＦＲ（ドライフィルムレジスト）等のフォトレジストフィルムが存在する。フォトレジストフィルムは製造段階で、粘着組成物であるフォトレジストがＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート；ポリエステル）等のキャリアフィルムに担持され、更に防塵や粘着組成物の取り扱いを容易にするためのＬＤＰＥ(低密度ポリエチレン）等のカバーフィルムがフォトレジストが有する粘着力により貼着されて３層構造からなるシート体として長尺状に巻回され、用途に応じて必要な長さに切断して用いられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、フォトレジストフィルムが傷や他の原因で検査不合格になったり、長期間在庫になって品質保証期間を超過した場合等はフォトレジスト、キャリアフィルム、カバーフィルムを回収して再利用することが経済的であり、地球環境の保全にも寄与するが、フォトレジストが粘着組成物であることからフォトレジストからキャリアフィルムやカバーフィルムを分離して回収することが困難であり、通常は、焼却廃棄するのが一般であった。
【０００４】
また、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート；ポリエステル）等のキャリアフィルムが貼着されたフォトレジスト等の粘着組成物から該キャリアフィルムを剥離する際に静電気が発生して静電吸着現象が生じ、静電気によって異物が粘着組成物、キャリアフィルムの回収物に混入した場合には、該回収物の再利用が不能になる虞が有り、静電気によってキャリアフィルムと粘着組成物とが安定的に剥離出来ないという問題がある。
【０００５】
また、フォトレジスト等の粘着組成物、キャリアフィルム、カバーフィルムは、粘着組成物自身が有する弾性や吸着性によって皺が出来易く、皺が出来ると、回収後の後処理が困難になるという問題がある。
【０００６】
本発明は前記課題を解決するものであり、その目的とするところは、粘着組成物を中心にキャリアフィルムとカバーフィルムとが貼着された３層構造からなるシート体から粘着組成物を容易に分離回収することが出来る粘着組成物の回収装置を提供せんとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための本発明に係る粘着組成物の回収装置は、粘着組成物を中心にキャリアフィルムとカバーフィルムとが貼着された３層構造からなるシート体から粘着組成物を回収する装置であって、前記シート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバーフィルムを一方の方向へ搬送する第１の搬送手段と、前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体を該カバーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第２の搬送手段と、前記残りのシート体から前記キャリアフィルムを剥離して該キャリアフィルムを一方の方向へ搬送する第３の搬送手段と、前記キャリアフィルムが剥離された粘着組成物を該キャリアフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第４の搬送手段と、前記粘着組成物、前記キャリアフィルム、前記カバーフィルムのうちの少なくとも１つ或いはこれ等が貼着された組合せのうちの少なくとも１つの搬送経路上に配置され、該粘着組成物、キャリアフィルム、カバーフィルムのうちの少なくとも１つ或いはこれ等が貼着された組合せのうちの少なくとも１つを幅方向に拡張する拡張手段とを有することを特徴とする。
【０００８】
上記構成によれば、第１の搬送手段によりシート体からカバーフィルムを剥離して該カバーフィルムを一方の方向へ搬送すると共に、第２の搬送手段によりシート体からカバーフィルムを剥離した残りのシート体を第１の搬送手段により搬送されるカバーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送することで粘着組成物の粘着力に抗してカバーフィルムと残りのシート体とを容易に分離することが出来る。
【０００９】
更に第３の搬送手段によりシート体からカバーフィルムを剥離した残りのシート体からキャリアフィルムを剥離して該キャリアフィルムを一方の方向へ搬送すると共に、第４の搬送手段によりキャリアフィルムが剥離された粘着組成物を第３の搬送手段により搬送されるキャリアフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送することで粘着組成物の粘着力に抗してキャリアフィルムと粘着組成物とを容易に分離することが出来る。
【００１０】
また、粘着組成物、キャリアフィルム、カバーフィルムのうちの少なくとも１つ或いはこれ等が貼着された組合せのうちの少なくとも１つの搬送経路上に配置された拡張手段により粘着組成物、キャリアフィルム、カバーフィルムのうちの少なくとも１つ或いはこれ等が貼着された組合せのうちの少なくとも１つを幅方向に拡張することで、粘着組成物、キャリアフィルム、カバーフィルムの皺伸ばしを行うことが出来、巻き取りによる回収や回収後の後処理を容易にすることが出来る。
【００１１】
また、本発明に係る粘着組成物の回収装置の他の構成は、粘着組成物を中心にキャリアフィルムとカバーフィルムとが貼着された３層構造からなるシート体から粘着組成物を回収する装置であって、前記シート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバーフィルムを一方の方向へ搬送する第１の搬送手段と、前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体を該カバーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第２の搬送手段と、前記残りのシート体から前記キャリアフィルムを剥離して該キャリアフィルムを一方の方向へ搬送する第３の搬送手段と、前記キャリアフィルムが剥離された粘着組成物を該キャリアフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第４の搬送手段と、前記シート体から前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体から前記キャリアフィルムが剥離される位置近傍に熱風を吹き付ける熱風発生手段とを有することを特徴とする。
【００１２】
上記構成によれば、熱風発生手段によりシート体からカバーフィルムが剥離された残りのシート体からキャリアフィルムが剥離される位置近傍に所定の温度に制御された熱風を吹き付けることで、剥離部付近の雰囲気温度を安定化することが出来、これにより粘着組成物とキャリアフィルムとの剥離動作を安定化することが出来る。
【００１３】
また、本発明に係る粘着組成物の回収装置の他の構成は、粘着組成物を中心にキャリアフィルムとカバーフィルムとが貼着された３層構造からなるシート体から粘着組成物を回収する装置であって、前記シート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバーフィルムを一方の方向へ搬送する第１の搬送手段と、前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体を該カバーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第２の搬送手段と、前記残りのシート体から前記キャリアフィルムを剥離して該キャリアフィルムを一方の方向へ搬送する第３の搬送手段と、前記キャリアフィルムが剥離された粘着組成物を該キャリアフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第４の搬送手段と、前記シート体から前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体から前記キャリアフィルムが剥離される位置近傍に霧状の水分を吹き付ける霧状水分発生手段とを有することを特徴とする。
【００１４】
上記構成によれば、霧状水分発生手段によりシート体からカバーフィルムが剥離された残りのシート体からキャリアフィルムが剥離される位置近傍に霧状の水分を吹き付けることで、剥離による粘着組成物及びキャリアフィルムの帯電を防止して静電吸着の発生を防ぎ、粘着組成物とキャリアフィルムとの剥離動作を安定化することが出来る。
【００１５】
また、本発明に係る粘着組成物の回収装置の他の構成は、粘着組成物を中心にキャリアフィルムとカバーフィルムとが貼着された３層構造からなるシート体から粘着組成物を回収する装置であって、前記シート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバーフィルムを一方の方向へ搬送する第１の搬送手段と、前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体を該カバーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第２の搬送手段と、前記残りのシート体から前記キャリアフィルムを剥離して該キャリアフィルムを一方の方向へ搬送する第３の搬送手段と、前記キャリアフィルムが剥離された粘着組成物を該キャリアフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送する第４の搬送手段と、前記シート体から前記カバーフィルムが剥離された残りのシート体から前記キャリアフィルムが剥離される位置近傍に剥離により発生した静電気を打ち消す電荷を付与する電荷除去手段とを有することを特徴とする。
【００１６】
上記構成によれば、電荷除去手段によりシート体からカバーフィルムが剥離された残りのシート体からキャリアフィルムが剥離される位置近傍に剥離により発生した静電気を打ち消す電荷を付与することで、粘着組成物及びキャリアフィルムの帯電電荷を中和除電して静電吸着の発生を防止し、粘着組成物とキャリアフィルムとの剥離動作を安定化することが出来る。また、静電気による周囲の粉塵等の異物の付着を防止することが出来る。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図により本発明に係る粘着組成物の回収装置の一例として、例えば、電子回路用プリント基板に使用されるＤＦＲ（ドライフィルムレジスト）等のフォトレジストの回収に適用した場合の一実施形態を具体的に説明する。
【００１８】
図１は本発明に係る粘着組成物の回収装置の構成を示す断面説明図、図２（ａ）はシート体からカバーフィルムを剥離して分離する様子を示す部分拡大図、図２（ｂ）はシート体からカバーフィルムを剥離した残りのシート体からキャリアフィルムと粘着組成物を剥離して分離する様子を示す部分拡大図である。
【００１９】
また、図３（ａ）は拡張手段により粘着組成物を幅方向に拡張する様子を示す平面模式図、図３（ｂ）は図３（ａ）の側面説明図である。
【００２０】
図１及び図２において、１は、例えば、電子回路用プリント基板に使用されるＤＦＲ（ドライフィルムレジスト）等のフォトレジストフィルムからなるシート体であり、粘着組成物であるフォトレジスト２がそれ自身が有する粘着力によりＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート；ポリエステル）等のキャリアフィルム３に担持され、更に防塵や粘着組成物の取り扱いを容易にするためのＬＤＰＥ(低密度ポリエチレン）等のカバーフィルム４がフォトレジスト２が有する粘着力により貼着されて、フォトレジスト２を中心にキャリアフィルム３とカバーフィルム４とが貼着された３層構造からなるシート体１として長尺状に巻回されたものである。
【００２１】
長尺状に巻回されたシート体１は支軸１ａにより回転自在に軸支されており、図示しない摩擦板等を利用した回転制動手段により回転速度が抑制され、シート体１の張力を一定に維持しつつ従動回転する。
【００２２】
５はシート体１からカバーフィルム４が剥離される位置の搬送方向上流側近傍に設けられた駆動ローラであり、該駆動ローラ５には従動ローラ６が圧接されている。搬送回転体対を構成する駆動ローラ５及び従動ローラ６はゴムローラ等で形成されている。
【００２３】
従動ローラ６は支軸６ａを中心に回動自在に取り付けられたフレーム６ｂに回転自在に軸支されており、一定の追従圧をかけたエアシリンダ等を有する図示しない付勢手段により駆動ローラ５側に所定の加圧力で圧接されている。
【００２４】
付勢手段としてバネの張力等を利用した場合には、駆動ローラ５と従動ローラ６とのニップ部を通過するシート体１の厚さの変化に応じて加圧力が変化するが、一定の追従圧をかけたエアシリンダを利用した付勢手段によれば、シート体１の厚さの変化に関わらず加圧力を一定に維持することが出来る。
【００２５】
そして、駆動源となる駆動モータ７から図示しない駆動伝達手段により回転駆動力が伝達されて駆動ローラ５が図の反時計回り方向に回転駆動されると、該駆動ローラ５に圧接された従動ローラ６がシート体１を挟持して図の時計回り方向に従動回転する。これにより駆動ローラ５と従動ローラ６からなる搬送回転体対によりシート体１が図の矢印方向に挟持搬送される。
【００２６】
駆動ローラ５よりも搬送方向上流側にはシート体１の有無を検知する材料検知手段となる発光部８ａと受光部８ｂとを有する光センサ８が配置されており、発光部８ａと受光部８ｂとの間の光路をシート体１が遮ることでシート体１が存在することが検知され、発光部８ａから受光部８ｂに光が到達した時にシート体１が無いことが検知される。
【００２７】
従って、支軸１ａにセットされたシート体１の分離処理が終了した時に、シート体１により光路が遮断されていた光センサ８がＯＮになってシート体１が無くなったことを検知し、装置の分離処理動作を自動的に停止することが出来るようになっている。
【００２８】
９はシート体１からカバーフィルム４を剥離して該カバーフィルム４を一方の方向へ搬送する第１の搬送手段であって、該カバーフィルム４を巻回して回収する巻取手段を兼ねるカバーフィルム巻取軸であり、該カバーフィルム巻取軸９は駆動モータ７から図示しない駆動伝達手段により回転駆動力が伝達されて駆動ローラ５と同期して図の反時計回り方向に回転駆動される。
【００２９】
ここで、粘着組成物であるフォトレジスト２のキャリアフィルム３に対する粘着力は、該フォトレジスト２のカバーフィルム４に対する粘着力よりも２倍から４倍程度大きくなるように設定されており、シート体１から先ずカバーフィルム４が剥離し易い構成になっている。
【００３０】
10はカバーフィルム４が剥離されたフォトレジスト２とキャリアフィルム３からなる残りのシート体を、カバーフィルム４の搬送方向とは異なる方向に搬送する第２の搬送手段であって、且つ粘着組成物であるフォトレジスト２を巻回して回収する巻取手段を兼ね、更にはキャリアフィルム３が剥離された粘着組成物であるフォトレジスト２を該キャリアフィルム３の搬送方向とは異なる方向に搬送する第４の搬送手段を兼ねるフォトレジスト巻取軸である。
【００３１】
フォトレジスト巻取軸10に対向する位置には支軸11ａを中心に回動自在に取り付けられたガイドローラフレーム11が設けられており、該ガイドローラフレーム11はそれ自身の自重や図示しない付勢手段により支軸11ａを中心に図１の反時計回り方向に付勢されている。
【００３２】
ガイドローラフレーム11にはフォトレジスト巻取軸10に巻回されたフォトレジスト２に圧接される押さえローラ11ｂが回転自在に設けられており、更にガイドローラフレーム11には拡張手段となるガイドローラ11ｃ，11ｄが回転自在に取り付けられている。押さえローラ11ｂ及びガイドローラ11ｃ，11ｄはゴムローラ等により形成されている。
【００３３】
押さえローラ11ｂは、駆動モータ７から図示しない駆動伝達手段により回転駆動力が伝達されて駆動ローラ５及びカバーフィルム巻取軸９と同期して図の反時計回り方向に回転駆動されるフォトレジスト巻取軸10に巻回されたフォトレジスト２に圧接され、該フォトレジスト巻取軸10の回転に従動して回転する。
【００３４】
そして、フォトレジスト巻取軸10と押さえローラ11ｂとによりシート体１からカバーフィルム４が剥離されたフォトレジスト２とキャリアフィルム３からなる残りのシート体から該キャリアフィルム３が剥離される位置の搬送方向上流側近傍に該残りのシート体を挟持搬送する搬送回転体対を構成している。
【００３５】
拡張手段となるガイドローラ11ｃ，11ｄは支軸11ａを中心にガイドローラフレーム11と一体的に回動することで駆動ローラ５及び従動ローラ６のニップ部を通過してカバーフィルム４が剥離されたキャリアフィルム３とフォトレジスト２の張力を一定に調整することが出来る。
【００３６】
そして、ガイドローラ11ｃ，11ｄによりフォトレジスト２とキャリアフィルム３からなる残りのシート体がガイドされて適当な張力が付与され、フォトレジスト巻取軸10と押さえローラ11ｂとのニップ部に適正に搬送される。
【００３７】
拡張手段となるガイドローラ11ｃ，11ｄは、図３に示すように、シート体の搬送方向上流側方向（図３（ａ）の右側方向）に曲率中心が設定された曲がった固定軸の外側で、弾性を有するゴムローラ等の外筒だけが固定軸上で回転自在に構成されたエキスパンダローラにより構成されており、外筒はそれ自身の弾性により曲がった固定軸に沿って曲がりの外側では軸方向に伸ばされ、曲がりの内側では軸方向に縮められ、シート体に接触しつつ固定軸を中心に該シート体の搬送動作に従動して回転する。
【００３８】
そして、図３（ａ）に示すように、シート体１からカバーフィルム４が剥離されたフォトレジスト２とキャリアフィルム３からなる残りのシート体が先ず、ガイドローラ11ｄに接触して該ガイドローラ11ｄの外筒の回転による弾性変形に伴ってフォトレジスト２とキャリアフィルム３が幅方向に拡張され、次にガイドローラ11ｃに接触して該ガイドローラ11ｃの外筒の回転による弾性変形に伴ってフォトレジスト２とキャリアフィルム３が更に幅方向に拡張され、これによってキャリアフィルム３とフォトレジスト２の皺伸ばしを行っている。
【００３９】
尚、外筒はゴム製以外にも短い筒を多数連ねた金属製の外筒を曲がった固定軸に回転自在に軸支したものであっても良いし、固定軸の曲率を調節出来るものであっても良い。
【００４０】
また、拡張手段としては、少なくとも粘着組成物となるフォトレジスト２を含むシート体の搬送経路上に配置され、該フォトレジスト２を幅方向に拡張する各種の手段が適用可能であり、例えば、両端の径が徐々に小さくなったクラウンロール方式や、一対の小さなニップローラをシート体の両端部で搬送方向に向かってハの字に配置し、該ニップローラによりシート材の両端部を挟持して幅方向外側に引っ張る耳張りニップローラ方式や、軸方向に斜めに複数の溝を形成した順応カバーローラ方式や、軸方向に交互に反対方向に動く複数の短冊状の張り片を有する方式等の各種の拡張手段が適用可能である。
【００４１】
尚、前記実施形態では、拡張手段となるガイドローラ11ｃ，11ｄをフォトレジスト２とキャリアフィルム３との貼着された部分の搬送経路上に配置した場合の一例について説明したが、これに限定される必要はなく、上述した各種の拡張手段を、粘着組成物となるフォトレジスト２、キャリアフィルム３、カバーフィルム４のうちの少なくとも１つ或いはこれ等が貼着された組合せのうちの少なくとも１つの搬送経路上に配置し、該拡張手段によりフォトレジスト２、キャリアフィルム３、カバーフィルム４のうちの少なくとも１つ或いはこれ等が貼着された組合せのうちの少なくとも１つを幅方向に拡張することで、フォトレジスト２、キャリアフィルム３、カバーフィルム４の皺伸ばしを行うことが出来、巻き取りによる回収や回収後の後処理を容易にすることが出来る。
【００４２】
12はフォトレジスト２とキャリアフィルム３からなる残りのシート体からキャリアフィルム３を剥離してフォトレジスト２の搬送方向とは異なる方向に搬送する第３の搬送手段であって、キャリアフィルム３を巻回して回収する巻取手段を兼ねるキャリアフィルム巻取軸である。
【００４３】
キャリアフィルム巻取軸12は支軸13ａを中心に回転自在に設けられたフレーム13に回転可能に取り付けられており、図示しない付勢手段によりフォトレジスト巻取軸10に巻回されたフォトレジスト２に対してキャリアフィルム巻取軸12に巻回されたキャリアフィルム３が圧接するように構成されている。
【００４４】
また、キャリアフィルム巻取軸12は駆動モータ７から図示しない駆動伝達手段により回転駆動力が伝達されて駆動ローラ５、カバーフィルム巻取軸９及びフォトレジスト巻取軸10と同期して図の時計回り方向に回転駆動される。
【００４５】
上記構成において、回転位置が固定されたフォトレジスト巻取軸10側に押さえローラ11ｂ及びキャリアフィルム巻取軸12が付勢され、該フォトレジスト巻取軸10に巻回されたフォトレジスト２に対して押さえローラ11ｂ及びキャリアフィルム巻取軸12に巻回されたキャリアフィルム３が圧接した状態で、駆動モータ７から回転駆動力が伝達されたフォトレジスト巻取軸10及びキャリアフィルム巻取軸12が夫々図の方向に同期して回転する。
【００４６】
従って、図２（ａ）に示すように、先ず、シート体１からカバーフィルム４を剥離して該カバーフィルム４と残りのシート体であるフォトレジスト２とキャリアフィルム３とを異なる方向に搬送し、更に図２（ｂ）に示すように、フォトレジスト２とキャリアフィルム３からなる残りのシート体からキャリアフィルム３を剥離して該キャリアフィルム３とフォトレジスト２とを異なる方向に搬送して、カバーフィルム４、キャリアフィルム３、フォトレジスト２を別々に巻回して回収することが出来る。
【００４７】
また、カバーフィルム巻取軸９、フォトレジスト巻取軸10及びキャリアフィルム巻取軸12は夫々エアーシャフト（コアレスを含む）により構成されており、巻き取り時はエアーを注入してエアーシャフトの径を大きく設定した状態で巻取り、巻取り後にエアーを抜いてエアーシャフトの径を小さくして各巻取軸９，10，12から夫々のカバーフィルム４、フォトレジスト２、キャリアフィルム３を容易に抜き取ることが出来、巻回された各カバーフィルム４、フォトレジスト２、キャリアフィルム３を巻き管等が無い単体で回収出来るので後工程での再利用処理を容易にしている。
【００４８】
また、カバーフィルム巻取軸９、フォトレジスト巻取軸10及びキャリアフィルム巻取軸12への駆動伝達手段の一部としてパウダクラッチが採用されれいる。パウダクラッチは励磁コイルを内蔵した駆動体と被駆動体の両回転体が軸受で同心円上に所定の間隔が出来るように組み付けられており、その隙間に鉄粉等のパウダ（粉体）が充填されている。そして、励磁することでパウダが磁化されてこの磁気的な連結力と動作面の摩擦力両者が連結されてトルクが伝達される。
【００４９】
カバーフィルム巻取軸９、フォトレジスト巻取軸10及びキャリアフィルム巻取軸12への駆動伝達手段の一部としてパウダクラッチを採用したことで、励磁力を調整することで連結トルクが容易に調整出来、回転力の伝達において緩慢な開始、停止が可能であるためカバーフィルム４、フォトレジスト２、キャリアフィルム３がカバーフィルム巻取軸９、フォトレジスト巻取軸10及びキャリアフィルム巻取軸12に夫々巻回される際に無理な張力が付与されることなくカバーフィルム４、フォトレジスト２、キャリアフィルム３のジャム（搬送不良や巻取り不良等）や破損を防止することが出来る。
【００５０】
図１において、14はフォトレジスト２及びキャリアフィルム３を搬送方向に切断するための切断手段となるカッターであり、該カッター14は支軸14ａを中心に回動可能なホルダ14ｂに保持されている。
【００５１】
そして、フォトレジスト２及びキャリアフィルム３を搬送方向に切断する際にはホルダ14ｂを支軸14ａを中心に図１の反時計回り方向に回動させて保持し、フォトレジスト２及びキャリアフィルム３の搬送動作に伴って搬送方向に切断することが出来るようになっている。
【００５２】
そして、長尺の支軸14ａの軸方向にカッター14を保持したホルダ14ｂを移動可能に固定することでフォトレジスト２及びキャリアフィルム３を所望の幅に切断することが出来、また、長尺の支軸14ａの軸方向にカッター14を保持したホルダ14ｂを複数配置することで所望の幅で所望の数だけ分断することが可能である。
【００５３】
尚、切断手段はシート体１を切断する位置に配置したり、分離されたカバーフィルム４、フォトレジスト２、キャリアフィルム３を夫々切断する位置に配置しても良い。
【００５４】
15はシート体１からカバーフィルム４が剥離された残りのシート体からキャリアフィルム３が剥離される位置近傍であるフォトレジスト巻取軸10に巻回されたフォトレジスト２と、キャリアフィルム巻取軸12に巻回されたキャリアフィルム３とのニップ部に向けてノズル15ａから霧状の水分を吹き付ける霧状水分発生手段である。
【００５５】
霧状水分発生手段15は、例えば、水を加熱して水蒸気とし、エアーブロー等により霧状の水分をフォトレジスト２とキャリアフィルム３とが剥離される位置近傍に吹き付ける。
【００５６】
この霧状水分発生手段15により剥離によるフォトレジスト２及びキャリアフィルム３の帯電を防止して静電吸着の発生を防ぐと共にエアーを吹き掛けて剥離を補助し、粘着組成物であるフォトレジスト２とキャリアフィルム３との剥離動作及び巻取り動作を安定化することが出来る。
【００５７】
尚、霧状水分発生手段15はフォトレジスト巻取軸10に巻回されるフォトレジスト２と、キャリアフィルム巻取軸12に巻回されるキャリアフィルム３とのニップ部の移動に伴って図示しないスライド式或いは回動式等の移動手段によりノズル15ａの位置が移動してフォトレジスト２とキャリアフィルム３とが剥離される位置近傍に霧状の水分を吹き付けるように構成すれば好ましい。
【００５８】
16はシート体１からカバーフィルム４が剥離された残りのシート体からキャリアフィルム３が剥離される位置近傍であるキャリアフィルム巻取軸12に巻回されたキャリアフィルム３の略上部に配置され、剥離により発生した静電気を打ち消す電荷を付与するための電荷除去手段である。
【００５９】
電荷除去手段16は、例えば、コロナ放電により双極性のイオンを生成し、そのイオン群をエアー等により搬送して遠距離の除電対象物体であるフォトレジスト２やキャリアフィルム３、或いはその他の各部材に照射して各帯電物体表面に帯電している帯電電荷を中和して除電する。
【００６０】
この電荷除去手段16によりシート体１からカバーフィルム４が剥離された残りのシート体からキャリアフィルム３が剥離される位置近傍に剥離により発生した静電気を打ち消す電荷を付与することで、粘着組成物であるフォトレジスト２及びキャリアフィルム３、或いはその周辺の部材の帯電電荷を中和除電して静電吸着の発生を防止し、フォトレジスト２とキャリアフィルム３との剥離動作及び巻取り動作を安定化することが出来る。また、静電気による周囲の粉塵等の異物の付着を防止することが出来る。
【００６１】
これにより、搬送不良や巻取り不良等のジャムを防止し、更には、フォトレジスト２やキャリアフィルム３に対する塵埃等の異物の付着を防止することが出来る。従って、回収後の再利用工程において異物を除去するためのフィルター等を省略することも出来る。
【００６２】
18はシート体１からカバーフィルム４が剥離された残りのシート体からキャリアフィルム３が剥離される位置近傍であるキャリアフィルム巻取軸12に巻回されたキャリアフィルム３とフォトレジスト巻取軸10に巻回されたフォトレジスト２に貼着したキャリアフィルム３とのニップ部に向けてノズル18ａから熱風を吹き付ける熱風発生手段である。
【００６３】
熱風発生手段18は、例えば、ヒータにより加熱したエアーを送風機により送風してノズル18ａから噴出し、フォトレジスト２とキャリアフィルム３が剥離される位置近傍に熱風を吹き付けるようになっている。
【００６４】
この熱風発生手段18によりシート体１からカバーフィルム４が剥離された残りのシート体からキャリアフィルム３が剥離される位置近傍に所定の温度に制御された熱風を吹き付けることで、剥離部付近の雰囲気温度を安定化することが出来、これにより粘着組成物であるフォトレジスト２とキャリアフィルム３との剥離動作及び巻取り動作を安定化することが出来る。
【００６５】
尚、シート体１の搬送速度は、該シート体１の幅寸法やフォトレジスト２の厚さ、或いは、種類により異なるが、例えば、２ｍ／min〜５０ｍ／minである。また、シート体１の幅寸法は、例えば５０mm〜１２００mmである。また、フォトレジスト２の厚さは５μｍ〜１２０μｍである。
【００６６】
最初のスタート時には、シート体１開放端部のカバーフィルム４側を受けバー17ｂにより支持された粘着ゴム17ａに貼り付けた状態で該カバーフィルム４をフォトレジスト２から剥離し、カバーフィルム４をカバーフィルム巻取軸９に巻き付ける。更にキャリアフィルム３からフォトレジスト２を剥離して、該キャリアフィルム３をキャリアフィルム巻取軸12に巻き付け、フォトレジスト２をフォトレジスト巻取軸10に巻き付ける。
【００６７】
【発明の効果】
本発明は、上述の如き構成と作用とを有するので、粘着組成物を中心にキャリアフィルムとカバーフィルムとが貼着された３層構造からなるシート体から粘着組成物を容易に分離回収することが出来る。
【００６８】
即ち、第１の搬送手段によりシート体からカバーフィルムを剥離して該カバーフィルムを一方の方向へ搬送すると共に、第２の搬送手段によりシート体からカバーフィルムを剥離した残りのシート体を第１の搬送手段により搬送されるカバーフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送することで粘着組成物の粘着力に抗してカバーフィルムと残りのシート体とを容易に分離することが出来る。
【００６９】
更に第３の搬送手段によりシート体からカバーフィルムを剥離した残りのシート体からキャリアフィルムを剥離して該キャリアフィルムを一方の方向へ搬送すると共に、第４の搬送手段によりキャリアフィルムが剥離された粘着組成物を第３の搬送手段により搬送されるキャリアフィルムの搬送方向とは異なる方向に搬送することで粘着組成物の粘着力に抗してキャリアフィルムと粘着組成物とを容易に分離することが出来る。
【００７０】
また、粘着組成物、キャリアフィルム、カバーフィルムのうちの少なくとも１つ或いはこれ等が貼着された組合せのうちの少なくとも１つの搬送経路上に配置された拡張手段により粘着組成物、キャリアフィルム、カバーフィルムのうちの少なくとも１つ或いはこれ等が貼着された組合せのうちの少なくとも１つを幅方向に拡張することで、粘着組成物、キャリアフィルム、カバーフィルムの皺伸ばしを行うことが出来、巻き取りによる回収や回収後の後処理を容易にすることが出来る。
【００７１】
また、熱風発生手段によりシート体からカバーフィルムが剥離された残りのシート体からキャリアフィルムが剥離される位置近傍に熱風を吹き付けることで、剥離部付近の雰囲気温度を安定化することが出来、これにより粘着組成物とキャリアフィルムとの剥離動作を安定化することが出来る。
【００７２】
また、霧状水分発生手段によりシート体からカバーフィルムが剥離された残りのシート体からキャリアフィルムが剥離される位置近傍に霧状の水分を吹き付けることで、剥離による粘着組成物及びキャリアフィルムの帯電を防止して静電吸着の発生を防ぎ、粘着組成物とキャリアフィルムとの剥離動作を安定化することが出来る。
【００７３】
また、電荷除去手段によりシート体からカバーフィルムが剥離された残りのシート体からキャリアフィルムが剥離される位置近傍に剥離により発生した静電気を打ち消す電荷を付与することで、粘着組成物及びキャリアフィルムの帯電電荷を中和除電して静電吸着の発生を防止し、粘着組成物とキャリアフィルムとの剥離動作を安定化することが出来る。また、静電気による周囲の粉塵等の異物の付着を防止することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る粘着組成物の回収装置の構成を示す断面説明図である。
【図２】  （ａ）はシート体からカバーフィルムを剥離して分離する様子を示す部分拡大図、（ｂ）はシート体からカバーフィルムを剥離した残りのシート体からキャリアフィルムと粘着組成物を剥離して分離する様子を示す部分拡大図である。
【図３】  （ａ）は拡張手段により粘着組成物を幅方向に拡張する様子を示す平面模式図、（ｂ）は図３（ａ）の側面説明図である。
【符号の説明】
１…シート体
１ａ…支軸
２…フォトレジスト
３…キャリアフィルム
４…カバーフィルム
５…駆動ローラ
６…従動ローラ
６ａ…支軸
６ｂ…フレーム
７…駆動モータ
８…光センサ
８ａ…発光部
８ｂ…受光部
９…カバーフィルム巻取軸
10…フォトレジスト巻取軸
11…ガイドローラフレーム
11ａ…支軸
11ｂ…押さえローラ
11ｃ，11ｄ…ガイドローラ
12…キャリアフィルム巻取軸
13…フレーム
13ａ…支軸
14…カッター
14ａ…支軸
15…霧状水分発生手段
15ａ…ノズル
16…電荷除去手段
17ａ…粘着ゴム
17ｂ…受けバー
18…熱風発生手段
18ａ…ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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