(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを保持して一方向に沿って搬送するリンク形ワーク搬送用ロボットであって、
支持フレームと、互いに平行に配置された第１リンク及び第２リンクを有して両リンクの一端が前記支持フレームに対して回動自在に支持された前段側平行リンクと、互いに平行に配置された第３リンク及び第４リンクを有して前記第３リンクの一端から一定の距離だけ他端側に寄った部分が前記第１リンクの他端に連結されるとともに前記第４リンクの一端が前記第２リンクの他端に連結された後段側平行リンクと、前記第１リンクと第３リンクとの連結点と第２リンクと第４リンクとの連結点との間を連結するように設けられた中間連結リンクと、前記第３リンクの他端及び第４リンクの他端にそれぞれ一端及び他端が連結された先端連結リンクと、一端が前記第１リンクに回動自在に連結された第１駆動リンクと、一端が前記第１駆動リンクの他端に回動自在に連結されるとともに他端が前記第３リンクの一端に回動自在に連結された第２駆動リンクと、前記前段側平行リンク及び後段側平行リンクを相対的に回動させるべく前記前段側平行リンクを駆動するリンク駆動装置と、前記前段側平行リンク及び後段側平行リンクを相対的に回動させる過程で生じる前記第１駆動リンクと第２駆動リンクの連結点の変位の方向を前記搬送方向に対して直角な方向に規制するリニアガイド機構と、前記先端連結リンクに固定されたワーク保持用ハンドとを具備し、
前記リニアガイド機構は前記支持フレームに取り付けられ、
前段側平行リンクを回動させた際に前記第１駆動リンク及び第２駆動リンクがそれぞれ前記第３リンク及び第１リンクと平行な状態を保持しつつ前記後段側平行リンクを前段側平行リンクの回動角度の２倍の角度だけ前段側平行リンクの回動方向と反対方向に回動させて、前記ワーク保持用ハンドを前記一方向に沿って移動させるように、各リンクの長さ及びリンクの連結部相互間の距離が設定されているリンク形ワーク搬送用ロボット。
【請求項２】
ワークを保持して一方向に沿って搬送するリンク形ワーク搬送用ロボットであって、
支持フレームと、
一端が前記支持フレームに回動自在に支持されて第１の軸線を中心にして前記支持フレームに対して回動させられる第１リンクと、前記第１リンクと平行に配置されるとともに一端が前記支持フレームに回動自在に支持されて第２の軸線を中心にして前記支持フレームに対して回動させられる第２リンクとを備えた前段側平行リンクと、
一端から一定の距離だけ他端側に寄った部分が前記第１リンクの他端に連結されて第３の軸線を中心にして前記第１リンクに対して回動させられる第３リンクと、一端が前記第２リンクの他端に連結されて第４の軸線を中心にして前記第２リンクに対して回動させられる第４リンクとを備えた後段側平行リンクと、
回動中心を前記第３の軸線に一致させた状態で一端が前記第１リンク及び第３リンクに連結され、回動中心を前記第４の軸線に一致させた状態で他端が前記第２リンク及び第４リンクに連結された中間連結リンクと、
一端及び他端がそれぞれ前記第３リンクの他端及び第４リンクの他端に連結されて、第５の軸線及び第６の軸線をそれぞれ中心として前記第３リンク及び第４リンクに対して回動させられる先端連結リンクと、
一端が前記第１リンクに連結されて第７の軸線を中心にして前記第１リンクに対して回動させられる第１駆動リンクと、
一端が前記第１駆動リンクの他端に連結されるとともに、他端が前記第３リンクの一端に連結されて、第８の軸線及び第９の軸線をそれぞれ中心にして前記第１駆動リンク及び前記第３リンクに対して回動させられる第２駆動リンクと、
前記先端連結リンクに対して固定されたワーク保持用ハンドと、
前記前段側平行リンク及び後段側平行リンクを相対的に回動させるべく前記第１リンク及び第２リンクの少なくとも一方を駆動するリンク駆動装置と、
前記前段側平行リンク及び後段側平行リンクを相対的に回動させる過程で前記第１及び第２駆動リンクの連結点に生じる変位の方向を前記ワークの搬送方向に対して直角な方向に規制するようにガイドするリニアガイド機構とを具備し、
前記リニアガイド機構は前記支持フレームに取り付けられ、
前記第１の軸線と第２の軸線との間の距離Ｓ1 と、第３の軸線と第４の軸線との間の距離Ｓ2 と、第５の軸線と第６の軸線との間の距離Ｓ3 とが等しく設定されるとともに、前記第１の軸線と第３の軸線との間の距離Ｌ1 と、第２の軸線と第４の軸線との間の距離Ｌ2 と、前記第３の軸線と第５の軸線との間の距離Ｌ3 と、第４の軸線と第６の軸線との間の距離Ｌ4 とが等しく設定され、
かつ前記第１の軸線と第７の軸線との間の距離ａと、第７の軸線と第８の軸線との間の距離ｂと、前記第３の軸線と第９の軸線との間の距離ｄとが等しく設定されるとともに、前記第５の軸線と第９の軸線との間の距離ｅが、第１の軸線と第７の軸線との間の距離ａと、第７の軸線と第８の軸線との間の距離ｂと、第８の軸線と第９の軸線との間の距離ｃとの和に等しく設定されているリンク形ワーク搬送用ロボット。
【請求項３】
ワークを保持して一方向に沿って搬送するリンク形ワーク搬送用ロボットであって、
支持フレームと、
同一平面上に互いに平行に配置された第１リンク及び第２リンクを備えて、該第１リンク及び第２リンクの一端が軸線を垂直方向に向けて前記支持フレームに回転自在に支持された第１の軸及び第２の軸の上端にそれぞれ連結された前段側平行リンクと、
前記第１リンク及び第２リンクよりも上方に位置させた状態で同一平面上に平行に配置された第３リンク及び第４リンクを備えて、該第３リンクの一端から一定の距離だけ他端側に寄った部分が垂直方向に延びる第３の軸を介して前記第１リンクの他端に回動自在に連結されるとともに、前記第４リンクの一端が垂直方向に延びる第４の軸を介して前記第２リンクの他端に回動自在に連結された後段側平行リンクと、
前記第３リンク及び第４リンクよりも上方に位置させた状態で設けられて、一端が前記第３の軸に回動自在に連結されるとともに、他端が前記第４の軸に回動自在に連結された中間連結リンクと、
前記第３リンク及び第４リンクよりも上方に位置させた状態で設けられて、一端及び他端がそれぞれ垂直方向に延びる第５の軸及び第６の軸を介して前記第３リンクの他端及び第４リンクの他端に回動自在に連結された先端連結リンクと、
前記第１リンク及び第２リンクよりも下方に配置されて前記第１リンクに第７の軸を介して回動自在に連結された第１駆動リンクと、
前記第１リンク及び第２リンクよりも下方に配置されて一端が垂直方向に延びる第８の軸を介して前記第１駆動リンクの他端に回動自在に連結されるとともに、他端が垂直方向に延びる第９の軸を介して前記第３リンクの一端に回動自在に連結された第２駆動リンクと、
前記先端連結リンクに対して固定されたワーク保持用ハンドと、
前記前段側平行リンク及び後段側平行リンクを水平方向に相対的に回動させるべく前記第１の軸及び第２の軸の少なくとも一方を駆動するリンク駆動装置と、
前記前段側平行リンク及び後段側平行リンクを相対的に回動させる過程で前記第１及び第２駆動リンクの連結点に生じる変位の方向を前記ワークの搬送方向に対して直角な方向に規制するべく前記第８の軸を前記搬送方向に対して直角な方向に延びる直線に沿ってガイドするリニアガイド機構とを具備し、
前記リニアガイド機構は前記支持フレームの上部に取り付けられ、
前記第１の軸と第２の軸との間の距離Ｓ1 と、第３の軸と第４の軸との間の距離Ｓ2 と、第５の軸と第６の軸との間の距離Ｓ3 とが等しく設定されるとともに、前記第１の軸と第３の軸との間の距離Ｌ1 と、第２の軸と第４の軸との間の距離Ｌ2 と、前記第３の軸と第５の軸との間の距離Ｌ3 と、第４の軸と第６の軸との間の距離Ｌ4 とが等しく設定され、
かつ前記第１の軸と第７の軸との間の距離ａと、第７の軸と第８の軸との間の距離ｂと、前記第３の軸と第９の軸との間の距離ｄとが等しく設定されるとともに、前記第５の軸と第９の軸との間の距離ｅが、第１の軸と第７の軸との間の距離ａと、第７の軸と第８の軸との間の距離ｂと、第８の軸と第９の軸との間の距離ｃとの和に等しく設定されているリンク形ワーク搬送用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶基板製造装置や半導体製造装置等において、基板やウェーハ等のワークを搬送するために用いるリンク形ワーク搬送用ロボットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶基板製造装置や半導体製造装置において、基板やウェハ等のワークを搬送する際に用いるワーク搬送用ロボットとして、平行リンク機構を用いたリンク形のロボットが知られている。
【０００３】
平行リンク機構を用いたロボットは、一端側が支持フレームに回動自在に支持された前段側平行リンクと、前段側平行リンクの他端に一端側が連結された後段側平行リンクと、前段側平行リンクを回動させたときに、後段側平行リンクを前段側平行リンクの回動角度の２倍の角度だけ前段側平行リンクの回動方向と反対方向に回動させるように、前段側平行リンクの回動を後段側平行リンクに伝達する変位変換機構と、後段側平行リンクの自由端に取り付けたワーク保持用ハンドとを備えたロボットで、前段側平行リンク及び後段側平行リンクの相対的な回動に伴ってワーク保持用ハンドを一方向に移動させるようにしたものである。
【０００４】
従来のこの種のロボットとしては、特開平７−２０５０６２号公報に示されているように、前段側平行リンクの回動と後段側平行リンクとの間に設ける変位変換機構として、ベルト・プーリ機構を用いたものや、特開２００１−１８５５９６号に示されているように、該変位変換機構を、前段側平行リンクと後段側平行リンクとを連結するように設けた共通ベースに取り付けたリニアガイドと、該リニアガイドに沿ってスライドするスライダと、前段側平行リンクとスライダとの間及び後段側平行リンクとスライダとの間をそれぞれ連結する同期リンクとにより構成したもの等が知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
平行リンク機構を用いた従来のワーク搬送用ロボットでは、上記のように、ベルトプーリ機構や、リニアガイド機構及び同期リンク等からなる変位変換機構を、前段側平行リンクと後段側平行リンクとの間に搭載して、変位変換機構を平行リンクとともに回動させるようにしていたため、ロボットの可動部の質量が増加してその慣性モーメントが大きくなるという問題があった。ロボットの可動部の慣性モーメントが大きくなると、ロボットを急速に始動させたり、瞬時に停止させたりすることができなくなるため、ロボットの速応性が低下し、ワークの搬送に要する時間が長くなるのを避けられなかった。
【０００６】
本発明の目的は、可動部の慣性モーメントを小さくして、速応性を高めることができるようにしたリンク形ワーク搬送用ロボットを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ワークを保持して一方向に沿って搬送するワーク搬送用ロボットに係わるもので、本発明に係わるロボットは、支持フレームと、互いに平行に配置された第１リンク及び第２リンクを有して両リンクの一端が支持フレームに対して回動自在に支持された前段側平行リンクと、互いに平行に配置された第３リンク及び第４リンクを有して第３リンクの一端から一定の距離だけ他端側に寄った部分が第１リンクの他端に連結されるとともに第４リンクの一端が第２リンクの他端に連結された後段側平行リンクと、第１リンクと第３リンクとの連結点と第２リンクと第４リンクとの連結点との間を連結するように設けられた中間連結リンクと、第３リンクの他端及び第４リンクの他端にそれぞれ一端及び他端が連結された先端連結リンクと、一端が第１リンクに回動自在に連結された第１駆動リンクと、一端が第１駆動リンクの他端に回動自在に連結されるとともに他端が第３リンクの一端に回動自在に連結された第２駆動リンクと、前段側平行リンク及び後段側平行リンクを相対的に回動させるべく前段側平行リンクを駆動するリンク駆動装置と、前段側平行リンク及び後段側平行リンクを相対的に回動させる過程で生じる第１駆動リンクと第２駆動リンクの連結点の変位の方向を搬送方向に対して直角な方向に規制するリニアガイド機構と、先端連結リンクに固定されたワーク保持用ハンドとを備なえている。
【０００８】
上記リニアガイド機構は支持フレームに取り付けられ、前段側平行リンクを回動させた際に第１駆動リンク及び第２駆動リンクがそれぞれ第３リンク及び第１リンクと平行な状態を保持しつつ後段側平行リンクを前段側平行リンクの回動角度の２倍の角度だけ前段側平行リンクの回動方向と反対方向に回動させて、前記ワーク保持用ハンドを前記一方向に沿って移動させるように、各リンクの長さ及びリンクの連結部相互間の距離が設定されている。
【０００９】
上記のように構成すると、前段側平行リンクをモータ等により駆動して回動させた際に、リニアガイドにより連結点の変位の方向が規制された第１駆動リンク及び第２駆動リンクがそれぞれ第３リンク及び第１リンクと平行な状態を保持しつつ、後段側平行リンクを前段側平行リンクの２倍の角度だけ前段側平行リンクの回動方向と反対の方向に回動させるため、ワーク保持用ハンドは、リニアガイドのガイド方向に対して直角な一方向に沿って直線移動する。
【００１０】
上記のように構成すると、前段側平行リンクの変位を後段側平行リンクに伝達する変位変換機構が支持フレームに支持され、前段側平行リンクと後段側平行リンクとの連結部には質量が大きい部材が搭載されないため、ロボットの可動部の質量を小さくして該可動部の慣性モーメントを小さくすることができる。したがって本発明によれば、急速始動や瞬時停止が可能な速応性が高いリンク形ワーク搬送用ロボットを得ることができ、ワークの搬送に要する時間を短縮して、半導体製造装置や液晶製造装置等の製造装置における作業能率を向上させることができる。
【００１１】
本発明の好ましい実施態様では、上記の各部を下記のように構成する。
【００１２】
即ち、前段側平行リンクは、一端が支持フレームに回動自在に支持されて第１の軸線を中心にして支持フレームに対して回動させられる第１リンクと、第１リンクと平行に配置されるとともに一端が支持フレームに回動自在に支持されて第２の軸線を中心にして支持フレームに対して回動させられる第２リンクとを備えた構成とする。
【００１３】
また後段側平行リンクは、一端から一定の距離だけ他端側に寄った部分が第１リンクの他端に連結されて第３の軸線を中心にして第１リンクに対して回動させられる第３リンクと、一端が第２リンクの他端に連結されて第４の軸線を中心にして第２リンクに対して回動させられる第４リンクとを備えた構成とする。
【００１４】
更に中間連結リンクは、第３の軸線を中心にして第１リンク及び第３リンクに対して回動し、かつ第４の軸線を中心にして第２リンク及び第４リンクに対して回動するように、その一端側の回動中心を第３の軸線に一致させた状態で第１リンク及び第３リンクに連結し、他端側の回動中心を第４の軸線に一致させた状態で第２リンク及び第４リンクに連結する。
【００１５】
また先端連結リンクは、第５の軸線及び第６の軸線をそれぞれ中心として第３リンク及び第４リンクに対して回動させるように、その一端及び他端をそれぞれ第３リンクの他端及び第４リンクの他端に連結する。
【００１６】
第１駆動リンクは、第７の軸線を中心にして第１リンクに対して回動するように、その一端を第１リンクに連結する。また第２駆動リンクは、第８の軸線及び第９の軸線をそれぞれ中心にして第１駆動リンク及び第３リンクに対して回動させるように、一端を前記第１駆動リンクの他端に連結するとともに、他端を第３リンクの一端に連結する。
【００１７】
リニアガイド機構は、支持フレームに取り付けられていて、前段側平行リンク及び後段側平行リンクを相対的に回動させる過程で第１及び第２駆動リンクの連結点に生じる変位の方向をワークの搬送方向に対して直角な方向に規制するようにガイドする。
【００１８】
上記リニアガイド機構は、直線的に延びる案内溝または案内レールを有するリニアガイドと、リニアガイドの案内溝また案内レールにより拘束されつつ案内溝または案内レールに沿ってスライドするスライダとにより構成することができる。
【００１９】
この場合、前段側平行リンクを回動させた際に第１駆動リンク及び第２駆動リンクがそれぞれ第３リンク及び第１リンクと平行な状態を保持しつつ後段側平行リンクを前段側平行リンクの回動角度の２倍の角度だけ前段側平行リンクの回動方向と反対方向に回動させるために、第１の軸線と第２の軸線との間の距離Ｓ1 と第３の軸線と第４の軸線との間の距離Ｓ2 と第５の軸線と第６の軸線との間の距離Ｓ3 とを等しく設定するとともに、第１の軸線と第３の軸線との間の距離Ｌ1 と第２の軸線と第４の軸線との間の距離Ｌ2 と、第３の軸線と第５の軸線との間の距離Ｌ3 と、第４の軸線と第６の軸線との間の距離Ｌ4 とを等しく設定する。また第１の軸線と第７の軸線との間の距離ａと、第７の軸線と第８の軸線との間の距離ｂと、第３の軸線と第９の軸線との間の距離ｄとを等しく設定し、第５の軸線と第９の軸線との間の距離ｅを、第１の軸線と第７の軸線との間の距離ａと、第７の軸線と第８の軸線との間の距離ｂと、第８の軸線と第９の軸線との間の距離ｃとの和に等しく設定する。
【００２０】
本発明の好ましい、更に具体的な実施態様では、各部が下記のように構成される。
【００２１】
即ち、前段側平行リンクは、同一平面上に互いに平行に配置された第１リンク及び第２リンクを備えていて、該第１リンク及び第２リンクの一端が軸線を垂直方向に向けて支持フレームに回転自在に支持された第１の軸及び第２の軸の上端にそれぞれ連結される。
【００２２】
後段側平行リンクは、第１リンク及び第２リンクよりも上方に位置させた状態で同一平面上に平行に配置された第３リンク及び第４リンクを備えていて、該第３リンクの一端から所定の距離を隔てた部分が垂直方向に延びる第３の軸を介して第１リンクの他端に回動自在に連結されるとともに、第４リンクの一端が垂直方向に延びる第４の軸を介して第２リンクの他端に回動自在に連結される。
【００２３】
中間連結リンクは、第３リンク及び第４リンクよりも上方に位置させた状態で設けられて、一端が第３の軸に回動自在に連結されるとともに、他端が第４の軸に回動自在に連結される。
【００２４】
また先端連結リンクは、第３リンク及び第４リンクよりも上方に位置させた状態で設けられて、一端及び他端がそれぞれ第５の軸及び第６の軸を介して第３リンクの他端及び第４リンクの他端に回動自在に連結される。
【００２５】
第１駆動リンクは、第１リンク及び第２リンクよりも下方に配置されて第１リンクに第７の軸を介して回動自在に連結される。また第２駆動リンクは、第１リンク及び第２リンクよりも下方に配置されて一端が垂直方向に延びる第８の軸を介して第１駆動リンクの他端に回動自在に連結されるとともに、他端が垂直方向に延びる第９の軸を介して第３リンクの一端に回動自在に連結される。
【００２６】
更に先端連結リンクにワーク保持用ハンドが固定され、前段側平行リンク及び後段側平行リンクを水平方向に相対的に回動させるべく第１の軸及び第２の軸の少なくとも一方を駆動するリンク駆動装置が設けられる。
【００２７】
また前段側平行リンク及び後段側平行リンクを相対的に回動させる過程で第１及び第２駆動リンクの連結点に生じる変位の方向をワークの搬送方向に対して直角な方向に規制するべく第８の軸を搬送方向に対して直角な方向に延びる直線に沿ってガイドするリニアガイド機構を支持フレームの上部に取り付ける。
【００２８】
この場合、第１の軸と第２の軸との間の距離Ｓ1 と第３の軸と第４の軸との間の距離Ｓ2 と第５の軸と第６の軸との間の距離Ｓ3 とが等しく設定されるとともに、第１の軸と第３の軸との間の距離Ｌ1 と第２の軸と第４の軸との間の距離Ｌ2 と、第３の軸と第５の軸との間の距離Ｌ3 と第４の軸と第６の軸との間の距離Ｌ4 とが等しく設定される。また第１の軸と第７の軸との間の距離ａと第７の軸と第８の軸との間の距離ｂと第３の軸と第９の軸との間の距離ｄとが等しく設定され、第５の軸と第９の軸との間の距離ｅが、第１の軸と第７の軸との間の距離ａと、第７の軸と第８の軸との間の距離ｂと、第８の軸と第９の軸との間の距離ｃとの和に等しく設定される。
【００２９】
【発明の実施の形態】
図１ないし図１５を参照して本発明の好ましい実施形態を説明する。
【００３０】
図１ないし図１５は本発明の実施形態を説明するためのもので、図１は、本発明の第１の実施形態に係わるロボットの一動作状態における構成を示した平面図、図２は図１のＡ−Ａ線断面端面図、図３は図１のＢ−Ｂ線断面端面図、図４は図１のＣ−Ｃ線断面端面図、図５（Ａ）は図１のＤ−Ｄ線断面端面図、図５（Ｂ）は同図（Ａ）のリニアガイド機構部分の拡大断面図、図６は図１のＥ−Ｅ線断面端面図、図７は動作状態を図１の状態とは異ならせて、本実施形態のロボットの構成を示した平面図である。また図８（Ａ）ないし（Ｃ）は図１に示したロボットの動作過程を順に示した平面図、図９（Ａ）及び（Ｂ）は、図１に示したロボットの他の動作過程を示した平面図、図１０（Ａ）及び（Ｂ）は、図１に示したロボットの更に他の動作過程を示した平面図である。また図１１（Ａ）ないし（Ｃ）は本発明の第２の実施形態の異なる動作過程における構成を示した平面図、図１２（Ａ）及び（Ｂ）は第２の実施形態の更に他の動作過程を示した平面図である。また図１３（Ａ）ないし（Ｃ）は本発明の第３の実施形態の異なる動作過程における構成を示した平面図、図１４は図１の実施形態の各リンクを直線で表して、その構成を示した説明図、図１５は図１３の実施形態の各リンクを直線で表して、その構成を示した説明図である。
【００３１】
図１ないし図７において、１は中空のハウジング２の上部に取り付けられた板状の支持フレームで、図示の支持フレームは、矩形板状に形成されたフレーム本体１ａと、該本体１ａの端部から側方に突出した張り出し部１ｂとによりほぼＬ字形に形成されている。張り出し部１ｂはその長手方向をワークの搬送方向に対して直角な方向に向けた状態で設けられている。
【００３２】
支持フレームの張り出し部１ｂには、リニアガイド機構３が取り付けられている。リニアガイド機構３は、図５（Ｂ）に見られるように、横断面がＴ字形を呈するように形成されて、長手方向を支持フレーム１の張り出し部１ｂの長手方向（ワークの搬送方向に対して直角な方向）に一致させた状態で張り出し部１ｂにボルト止めされたガイドレール３ａと、ガイドレール３ａに噛み合ってガイドレール３ａの長手方向にスライド自在に案内されるスライダ３ｂとからなっている。
【００３３】
支持フレーム１の本体部１ａには、中心軸線を垂直方向に向けた円筒状の第１の軸保持筒体４と、第２の軸保持筒体５とが並べて固定されている。第１の軸保持筒体４は、その中心軸線をガイドレール３ａの長手方向の延長上に位置させた状態で設けられていて、この第１の軸保持筒体４の内側に、垂直方向に延びる第１の軸線Ｏ1 に中心軸線を一致させた第１の軸６が、軸受７を介して回転自在に支持されている。第１の軸６は、その上端が軸保持筒体４の上端よりも上方に突出し、下端が支持フレーム１に設けられた孔を通してハウジング２内に導入されるように設けられている。第１の軸６の上端は、第１リンク８Ａの一端に設けられた穴８a1に嵌合され、第１の軸６と第１リンク８Ａとがネジにより締結されて、第１の軸６に第１リンク８Ａの一端が固定されている。
【００３４】
また第２の軸保持筒体５は、第１の軸保持筒体４に対してガイドレール３ａの長手方向と直角な方向に位置をずらした状態で設けられていて、この軸保持筒体５の内側に、垂直方向に延びる第２の軸線Ｏ2 に中心軸線を一致させた第２の軸９が軸受１０を介して回転自在に支持されている。
【００３５】
第２の軸９は、その上端が軸保持筒体５の上端よりも上方に突出するように設けられていて、この第２の軸９の上端が、第１リンク８Ａと長さが等しい第２リンク８Ｂの一端に設けられた穴８b1内に嵌合され、第２リンク８Ｂと第２の軸９とがネジにより締結されて、第２リンク８Ｂの一端が第２の軸９に固定されている。第１リンク８Ａ及び第２リンク８Ｂは同一平面（水平面）上に互い平行に配置され、これら両リンク８Ａ及び８Ｂにより前段側平行リンク８（図７参照）が構成されている。
【００３６】
図示してないが、ハウジング２内には、前段側平行リンク８を回動させるために第１の軸６を回転駆動するリンク駆動装置が設けられている。このリンク駆動装置は、例えば、モータと、該モータの回転を減速する減速機と、減速機の出力軸の回転を第１の軸６に伝達するベルト伝達機構等の動力伝達機構とにより構成される。したがってこの例では、第１の軸６が搬送ロボットの駆動軸となっている。
【００３７】
図２に示したように、第１リンク８Ａの他端に孔８a2が形成され、垂直方向に延びる第３の軸線Ｏ3 に中心軸線を一致させた第３の軸１１の下端が、孔８a2内に軸受１２を介して回転自在に支持されている。
【００３８】
図３に示したように、第２リンク８Ｂの他端に孔８b2が形成され、垂直方向に延びる第４の軸線Ｏ4 に中心軸線を一致させた第４の軸１３の下端が、孔８b2内に軸受１４を介して回転自在に支持されている。
【００３９】
図２に示したように、第３の軸１１には、第１リンク８Ａの上方に配置された第３リンク１５Ａが固定されている。第３リンク１５Ａは、第１リンク８Ａよりも長く形成されていて、その一端から一定の距離だけ他端側に寄った部分に、第１リンク８Ａ側に拡大径部を有する貫通孔１５a1が形成され、貫通孔１５a1に第３の軸１１が嵌合されている。第３の軸１１の中間部には貫通孔１５a1の拡大径部に嵌合した拡大径部１１ａが形成され、拡大径部１１ａが第３リンク１５Ａにネジにより締結されて、第３の軸１１に第３リンク１５Ａが固定されている。
【００４０】
図３に示したように、第４の軸１３には、第２リンク８Ｂの上方に配置された第４リンク１５Ｂが固定されている。第４リンク１５Ｂは、第１リンク８Ａ及び第２リンク８Ｂと同じ長さを有するように形成されていて、その一端には、第２リンク８Ｂ側に拡大径部を有する貫通孔１５b1が形成され、貫通孔１５b1に第４の軸１３が嵌合されている。第４の軸１３の中間部には、貫通孔１５b1の拡大径部に嵌合する拡大径部１３ａが形成され、この拡大径部１３ａが第４リンク１５Ｂにネジにより締結されて、第４の軸１３に第４リンク１５Ｂの一端が固定されている。
【００４１】
第３リンク１５Ａ及び第４リンク１５Ｂは同一平面（水平面）上に互い平行に配置され、これら両リンク１５Ａ及び１５Ｂにより後段側平行リンク１５（図７参照）が構成されている。
【００４２】
図６に示したように、第３リンク１５Ａ及び第４リンク１５Ｂの上方に中間連結リンク１７が配置され、中間連結リンク１７の一端及び他端がそれぞれ軸受１８及び１９を介して第３の軸１１の上端及び第４の軸１３の上端に回動自在に連結されている。
【００４３】
図２に示したように、第３リンク１５Ａの他端には、第１リンク８Ａ側に拡大径部を有する貫通孔１５a2が形成され、この貫通孔には、垂直方向に延びる第５の軸線Ｏ5 に中心軸線を一致させた第５の軸２０が嵌合されている。第５の軸２０の下端に形成された拡大径部２０ａが貫通孔１５a2の拡大径部に嵌合され、第５の軸２０の下端の拡大径部２０ａと第３リンク１５Ａとがネジにより締結されて、第３リンク１５Ａの他端に第５の軸２０が固定されている。
【００４４】
図３に示したように、第４リンク１５Ｂの他端には、第２リンク８Ｂ側に拡大径部を有する貫通孔１５b2が形成され、この貫通孔には、垂直方向に延びる第６の軸線Ｏ6 に中心軸線を一致させた第６の軸２１が嵌合されている。第６の軸２１の下端に形成された拡大径部２１ａが貫通孔１５b2の拡大径部に嵌合され、第６の軸２１の下端の拡大径部２１ａと第４リンク１５Ｂとがネジにより締結されて、第４リンク１５Ｂの他端に第６の軸２１が固定されている。
【００４５】
図４に示したように、第３リンク１５Ａの他端及び第４リンク１５Ｂの他端の上方に中間連結リンク１７と等しい長さを有する先端連結リンク２２が配置され、この先端連結リンクの一端及び他端がそれぞれ第５の軸２０及び第６の軸２１の上端に軸受２３及び２４を介して回動自在に連結されている。
【００４６】
また図２に示したように、第１リンク８Ａ及び第２リンク８Ｂよりも下方に位置させた状態で、第１駆動リンク３０が配置されている。第１駆動リンク３０の一端を回動自在に支持するため、第１リンク８Ａの中間部（第１の軸６と第３の軸１１との間の部分）に形成された穴８a3に、垂直方向に延びる第７の軸線Ｏ7 に中心軸線を一致させた第７の軸３１の上端が嵌合され、該第７の軸３１がネジにより第１リンク８Ａに固定されている。第７の軸３１の下端に軸受３２を介して第１駆動リンク３０の一端が回動自在に連結され、第１駆動リンク３０の他端は、垂直方向に延びる第８の軸線Ｏ8 に中心軸線を一致させた状態で設けられて、リニアガイド機構３のスライダ３ｂに下端が固定された第８の軸３３に軸受３４を介して連結されている。
【００４７】
また、第１リンク８Ａ及び第２リンク８Ｂと第１駆動リンク３０との間に位置させた状態で、第２駆動リンク３５が設けられ、この第２駆動リンク３５の一端は、第８の軸３３に軸受３６を介して連結されている。
【００４８】
第３リンク１５Ａの一端に設けられた穴１５a3内に、垂直方向に延びる第９の軸線Ｏ9 に中心軸線を一致させた第９の軸３７の上端が嵌合され、この第９の軸と第３リンク１５Ａとがネジにより締結されている。第９の軸３７の下端に第２駆動リンク３５の他端が軸受３８を介して連結されている。
【００４９】
上記のように、本発明に係わるロボットでは、第１駆動リンク３０及び第２駆動リンク３５を連結する第８の軸３３がリニアガイド機構３のスライダ３ｂに固定されているため、前段側平行リンク８及び後段側平行リンク１５を相対的に回動させる過程で、駆動リンク３０及び３５の連結点が、リニアガイド機構３のガイドレール３ａの長手方向（ワークの搬送方向に対して直角な方向）にガイドされる。
【００５０】
図８（Ａ）等に示されているように、先端連結リンク２２には、ワーク保持用ハンド４０が取り付けられる。ワーク保持用ハンド４０は、その中心線（ワークの搬送方向に延びる中心線）をリニアガイド機構３の中心線（ガイドレール３ａの中心線）Ｏa に対して直角な方向（ワークの搬送方向）に向けた状態で取り付けられる。図示のハンド４０は、先端連結リンク２２の上に固定される帯板状の腕部４０ａと、腕部４０ａの先端に接続されたフォーク状のワーク保持部４０ｂとを備えた公知のもので、ワーク保持部４０ｂの上に半導体ウェハ等のワーク４１が載置されるようになっている。
【００５１】
上記の説明では、、第１の軸６を回転駆動することにより、前段側平行リンク８を駆動するようにリンク駆動装置を構成したが、第１の軸６に代えて第２の軸９を駆動することにより前段側平行リンク８を駆動するようにリンク駆動装置を構成してもよく、第１の軸６と第２の軸９との双方を駆動することにより前段側平行リンク８を駆動するように、リンク駆動装置を構成してもよい。
【００５２】
本実施形態のワーク搬送用ロボットのリンクの構成を分かり易くするため、各リンクを直線で示し、リンクの連結軸を黒丸で示したリンク構成の説明図を図１４に示した。
【００５３】
本発明に係わるワーク搬送用ロボットにおいては、前段側平行リンク８を回動させた際に、第１駆動リンク３０及び第２駆動リンク３５をそれぞれ第３リンク１５Ａ及び第１リンク８Ａと平行な状態に保ちつつ、後段側平行リンク１５を前段側平行リンク８の回動角度の２倍の角度だけ前段側平行リンク８の回動方向と反対方向に回動させて、ワーク保持用ハンド４０を一方向に沿って移動させるように、各リンクの長さ及びリンクの連結部相互間の距離（リンクスパン）が設定される。
【００５４】
そのため、図示の例では、以下のようにリンクスパンの条件が設定される。
【００５５】
即ち、第１の軸線Ｏ1 と第２の軸線Ｏ2 との間の距離Ｓ1 と、第３の軸線Ｏ3 と第４の軸線Ｏ4 との間の距離Ｓ2 と、第５の軸線Ｏ5 と第６の軸線Ｏ6 との間の距離Ｓ3 とが等しく設定されるとともに、第１の軸線Ｏ1 と第３の軸線Ｏ3 との間の距離Ｌ1 と、第２の軸線Ｏ2 と第４の軸線Ｏ4 との間の距離Ｌ2 と、第３の軸線Ｏ3 と第５の軸線Ｏ5 との間の距離Ｌ3 と、第４の軸線Ｏ4 と第６の軸線Ｏ6 との間の距離Ｌ4 とが等しく設定される。また第１の軸線Ｏ1 と第７の軸線Ｏ7 との間の距離ａと、第７の軸線Ｏ7 と第８の軸線Ｏ8 との間の距離ｂと、第３の軸線Ｏ3 と第９の軸線Ｏ9 との間の距離ｄとが等しく設定され、第５の軸線Ｏ5 と第９の軸線Ｏ9 との間の距離ｅが、第１の軸線Ｏ1 と第７の軸線Ｏ7 との間の距離ａと、第７の軸線Ｏ7 と第８の軸線Ｏ8 との間の距離ｂと、第８の軸線Ｏ8 と第９の軸線Ｏ9 との間の距離ｃとの和に等しく設定されている。これらのリンクスパンの条件をまとめて示すと下記の通りである。
【００５６】
Ｓ1 ＝Ｓ2 ＝Ｓ3                                             …（１）
Ｌ1 ＝Ｌ2 ＝Ｌ3 ＝Ｌ4                                       …（２）
ａ＝ｂ＝ｄ                                                  …（３）
ａ＋ｂ＋ｃ＝ｅ                                              …（４）
本実施形態では、第１駆動リンク３０と、第２駆動リンク３５と、リニアガイド機構３とにより、前段側平行リンク８の回動を、回動方向及び回動角度を変換して後段側平行リンク１５に伝達する変位変換機構が構成されている。
【００５７】
本実施形態のワーク搬送用ロボットの構成は上記の通りであるが、ここで、本実施形態のロボットを構成している要素をまとめて列挙すると下記の通りである。
【００５８】
（ａ）支持フレーム１。
【００５９】
（ｂ）同一平面上に互いに平行に配置された第１リンク８Ａ及び第２リンク８Ｂを備えて、該第１リンク及び第２リンクの一端が軸線を垂直方向に向けて支持フレーム１に回転自在に支持された第１の軸６及び第２の軸９の上端にそれぞれ連結された前段側平行リンク８。
【００６０】
（ｃ）第１リンク８Ａ及び第２リンク８Ｂよりも上方に位置させた状態で同一平面上に平行に配置された第３リンク１５Ａ及び第４リンク１５Ｂを備えて、第３リンク１５Ａの一端から一定の距離だけ他端側に寄った部分が垂直方向に延びる第３の軸１１を介して第１リンク８Ａの他端に回動自在に連結されるとともに、第４リンク１５Ｂの一端が垂直方向に延びる第４の軸１３を介して第２リンク８Ｂの他端に回動自在に連結された後段側平行リンク１５。
【００６１】
（ｄ）第３リンク１５Ａ及び第４リンク１５Ｂよりも上方に位置させた状態で設けられて、一端が第３の軸１１に回動自在に連結されるとともに、他端が第４の軸１３に回動自在に連結された中間連結リンク１７。
【００６２】
（ｅ）第３リンク１５Ａ及び第４リンク１５Ｂよりも上方に位置させた状態で設けられて、一端及び他端がそれぞれ第５の軸２０及び第６の軸２１を介して第３リンク１５Ａの他端及び第４リンク１５Ｂの他端に回動自在に連結された先端連結リンク２２。
【００６３】
（ｆ）第１リンク８Ａ及び第２リンク８Ｂよりも下方に配置されて第１リンク８Ａに第７の軸３１を介して回動自在に連結された第１駆動リンク３０。
【００６４】
（ｇ）第１リンク８Ａ及び第２リンク８Ｂよりも下方に配置されて一端が垂直方向に延びる第８の軸３３を介して第１駆動リンク３０の他端に回動自在に連結されるとともに、他端が垂直方向に延びる第９の軸３７を介して第３リンク１５Ａの一端に回動自在に連結された第２駆動リンク３５。
【００６５】
（ｈ）先端連結リンク２２に対して固定されたワーク保持用ハンド４０。
【００６６】
（ｉ）前段側平行リンク８及び後段側平行リンク１５を水平方向に相対的に回動させるべく第１の軸６及び第２の軸９の少なくとも一方を駆動するリンク駆動装置。
【００６７】
（ｊ）支持フレーム１に取り付けられていて、前段側平行リンク８及び後段側平行リンク１５を相対的に回動させる過程で第１及び第２駆動リンク３０及び３５の連結点に生じる変位の方向をワークの搬送方向に対して直角な方向に規制するべく第８の軸３３を搬送方向に対して直角な方向に延びる直線に沿ってガイドするリニアガイド機構３。
【００６８】
次に図８ないし図１０を参照して上記実施形態のロボットの動作を説明する。図８（Ａ）は、図１に示した状態から、第１の軸６を反時計方向に回転させて、前段側平行リンク８を、リニアガイド機構のガイド方向に沿う中心線Ｏa に対して反時計方向に角度θ1 だけ回動させて、第１リンク８Ａ及び８Ｂを限界位置まで接近させた状態を示している。このとき第５の軸線Ｏ5 とリニアガイド機構３の中心線Ｏa との間の距離ｘ1 が最大になり、ワーク保持用ハンド４０は最も後退した位置に配置される。
【００６９】
図８（Ａ）の状態から同図において第１の軸６を時計方向に回転させると、前段側平行リンク８が時計方向に回動する。この前段側平行リンクの時計方向の回動は駆動リンク３０及び３５を介して後段側平行リンク１５に伝達される。これにより、後段側平行リンク１５は前段側平行リンク８と反対方向（反時計方向）に回動する。前段側平行リンク８と後段側平行リンク１５との間の位置関係は、図８（Ｂ），図８（Ｃ）、図９（Ａ），図９（Ｂ），図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）のように順次変化していく。
【００７０】
これらの変化の過程のうち、図８（Ｂ）及び図８（Ｃ）の過程では、前段側平行リンク８がリニアガイド機構の中心線Ｏa に対して、反時計方向に傾いた状態にあって、その傾斜角θはθ2 （＜θ1 ）及びθ3 （＜θ2 ）となり、第５の軸線Ｏ5 とリニアガイド機構の中心線Ｏa との間の距離はｘ2 （＜ｘ1 ）及びｘ3 （＜ｘ2 ）となる。図９（Ａ）の段階で、前段側平行リンク８と後段側平行リンク１５とが重なり合って傾斜角θ及び距離ｘが０になる。この状態は、図１に示した状態と同じである。
【００７１】
また図９（Ｂ）の過程では、前段側平行リンク８がリニアガイド機構の中心線Ｏa に対して時計方向にθ4 だけ傾いた状態になり、第５の軸線Ｏ5 とリニアガイド機構の中心線Ｏa との間の距離ｘはｘ4 となる。更に図１０（Ａ）及び（Ｂ）の状態ではそれぞれ、前段側平行リンク８がリニアガイド機構の中心線Ｏa に対して時計方向にθ5 （＞θ4 ）及びθ6 （＞θ5 ）だけ傾いた状態になり、第５の軸線Ｏ5 とリニアガイド機構の中心線Ｏa との間の距離ｘはそれぞれｘ5 （＞ｘ4 ）及びｘ6 （＞ｘ5 ）となる。図１０（Ｂ）の状態では、各平行リンクを構成するリンクが限界位置まで接近した状態になり、このときワーク保持用ハンド４０は最も前進した位置に到達する。
【００７２】
本発明においては、前述の（１）ないし（４）のリンクスパンの条件を満たすように構成されていて、図１４においてａ＝ｂであるため、第１の軸線Ｏ1 、第７の軸線Ｏ7 及び第８の軸線Ｏ8 が、前段側平行リンクが配置された平面及び後段側平行リンクが配置された平面と平行な一平面と交わる３点により形成される三角形が二等辺三角形となる。
【００７３】
また第１駆動リンク３０及び第２駆動リンク３５の連結点がリニアガイド機構３によりガイドされていることにより、前段側平行リンク及び後段側平行リンクが相対的に回動する過程で、第１駆動リンク３０及び第２駆動リンク３５がそれぞれ第３リンク１５Ａ及び第１駆動リンク８Ａと平行な状態を保持される。したがって、図１４から明らかなように、前段側平行リンク８が角度θだけ一方向に回動すると、後段側平行リンク１５は他方向に２θ回動することになり、Ｌ1 ＝Ｌ2 ＝Ｌ3 ＝Ｌ4 に設定されていることにより、前段側平行リンク８及び後段側平行リンク１５の相対的な回動に伴って、後段側平行リンクの先端に設けられた先端連結リンク２２が、リニアガイド機構の中心線Ｏa に対して直角な搬送方向（Ｘ−Ｘ´方向）に直線移動させられる。
【００７４】
上記の例では、第１リンク８Ａ及び第２リンク８Ｂが配置された平面上で第１の軸線Ｏ1 と第２の軸線Ｏ2 とを結ぶ直線、及び第３リンク１５Ａ及び第４リンク１５Ｂが配置された平面上で第５の軸線Ｏ5 と第６の軸線Ｏ6 とを結ぶ直線が共に搬送方向（Ｘ−Ｘ´方向）に沿うように構成されているため、常に第５の軸線Ｏ5 、第６の軸線Ｏ6 、第１の軸線Ｏ1 及び第２の軸線Ｏ2 が搬送方向に延びる直線に沿って整列した状態を保持しつつ、先端連結リンク２２が変位する。このように構成した場合には、ワーク保持用ハンド４０の中心線を先端連結リンク２２の長手方向に一致させた状態で取り付けることができるため、ハンド４０の位置決めを容易にすることができる。
【００７５】
しかしながら、本発明には、このような構成に限定されるものではなく、図１１及び図１２に示したように、第１リンク８Ａ及び第２リンク８Ｂが配置された平面上で第１の軸線Ｏ1 と第２の軸線Ｏ2 とを結ぶ直線、及び第３リンク１５Ａ及び第４リンク１５Ｂが配置された平面上で第５の軸線Ｏ5 と第６の軸線Ｏ6 とを結ぶ直線を、搬送方向（Ｘ−Ｘ´方向）に対して角度αだけ一方向に傾けた状態で配置するようにしてもよい。
【００７６】
図１１（Ａ），図１１（Ｂ），図１１（Ｃ），図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）は前段側平行リンク８及び後段側平行リンク１５を相対的に回動させた際の両平行リンクの位置関係の変化を順に示したものである。この例では、前段側平行リンクを駆動して後段側平行リンクを回動させた際に、先端リンク２２がワークの搬送方向Ｘ−Ｘ´方向に対して一定角度αだけ傾いた状態を保持しつつ、搬送方向に移動する。この場合には、ワーク保持用ハンドを先端リンク２２の傾斜方向と反対方向に角度αだけ傾けて取り付けることにより、ワーク保持用ハンドの中心線と、搬送方向Ｘ−Ｘ´とを一致させることができる。
【００７７】
同様に、図１３に示したように、第１リンク８Ａ及び第２リンク８Ｂが配置された平面上で第１の軸線Ｏ1 と第２の軸線Ｏ2 とを結ぶ直線、及び第３リンク１５Ａ及び第４リンク１５Ｂが配置された平面上で第５の軸線Ｏ5 と第６の軸線Ｏ6 とを結ぶ直線を、搬送方向に対して、図１１及び図１２に示した例とは逆方向に角度βだけ傾けた状態で配置するようにしてもよい。図１３（Ａ），図１３（Ｂ）及び図１３（Ｃ）は、前段側平行リンク８及び後段側平行リンク１５を相対的に回動させた際の両平行リンク８及び１５の位置関係の変化を順に示したものである。
【００７８】
図１３に示した例について，図１４と同様なリンク構成の説明図を図１５に示した。
【００７９】
ワークの搬送方向を適宜に変更し得るようにするため、上記支持フレーム１を垂直方向に延びる旋回軸を中心にして旋回させる旋回機構を設けて、支持フレーム１を該旋回機構を介してハウジング２に支持するようにするのが好ましい。
【００８０】
またワークの搬送範囲を拡大するため、上記支持フレーム１を支持したハウジング２を、ワークの搬送方向（Ｘ´−Ｘ方向）と直角な方向に移動可能な移動台の上に搭載するようにすることもできる。
【００８１】
なお上記の例では、支持フレーム１が矩形板状のフレーム本体１ａと張出し部１ｂとを有するほぼＬ字形の形状に形成されているが、支持フレーム１は必ずしこのような形状に限定されるものではなく、例えばフレーム本体が円板状に形成されたものであってもよい。また上記の例では、リニアガイド機構を支持するために支持フレームに張出し部１ｂを設けているが、支持フレーム１は、前段側平行リンクと、リニアガイド機構とを支持することができればよいため、これらを支持するための十分なスペースが確保される場合には、張出し部１ｂはなくてもよい。
【００８２】
上記の例では、リニアガイド機構がガイドレール３ａとスライダ３ｂとにより構成されているが、直線状に延びるガイド溝とこのガイド溝にスライド自在に嵌合されるスライドとによりリニアガイド機構を構成することもできる。
【００８３】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、前段側平行リンクの変位を後段側平行リンクに伝達する変位変換機構を支持フレームに支持し、前段側平行リンクと後段側平行リンクとの連結部に質量が大きい部材を搭載しないようにしたため、ロボットの可動部の質量を小さくして該可動部の慣性モーメントを小さくすることができる。したがって本発明によれば、急速始動や瞬時停止が可能な速応性が高いワーク搬送用ロボットを得ることができ、ワークの搬送に要する時間を短縮して、半導体製造装置や液晶製造装置等の製造装置における作業能率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係わるロボットの一動作状態における構成を示した平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面端面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線断面端面図である。
【図４】図１のＣ−Ｃ線断面端面図である。
【図５】（Ａ）は図１のＤ−Ｄ線断面端面図、（Ｂ）は（Ａ）のリニアガイド機構部分の拡大断面図である。
【図６】図１のＥ−Ｅ線断面端面図である。
【図７】動作状態を図１の状態とは異ならせて、第１の実施形態のロボットの構成を示した平面図である。
【図８】（Ａ）ないし（Ｃ）は図１に示したロボットの動作過程を順に示した平面図である。
【図９】（Ａ）及び（Ｂ）は、図１に示したロボットの他の動作過程を示した平面図である。
【図１０】（Ａ）及び（Ｂ）は、図１に示したロボットの更に他の動作過程を示した平面図である。
【図１１】（Ａ）ないし（Ｃ）は、本発明の第２の実施形態の異なる動作過程における構成を示した平面図である。
【図１２】（Ａ）及び（Ｂ）は第２の実施形態の更に他の動作過程を示した平面図である。
【図１３】（Ａ）ないし（Ｃ）は本発明の第３の実施形態の異なる動作過程における構成を示した平面図である。
【図１４】図１の実施形態の各リンクを直線で表して、その構成を示した説明図である。
【図１５】図１３の実施形態の各リンクを直線で表して、その構成を示した説明図である。
【符号の説明】
１…支持フレーム、２…ハウジング、３…リニアガイド機構、３ａ…ガイドレール、３ｂ…スライダ、６…第１の軸、８…前段側平行リンク、８Ａ…第１リンク、８Ｂ…第２リンク、９…第２の軸、１１…第３の軸、１３…第４の軸、１５…後段側平行リンク、１５Ａ…第３リンク、１５Ｂ…第４リンク、１７…中間連結リンク、２０…第５の軸、２１…第６の軸、３０…第１駆動リンク、３１…第７の軸、３３…第８の軸、３５…第２駆動リンク、３７…第９の軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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