(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持して搬送するために、前記基板のエッジを支持可能な基板受け部と、前記基板のエッジを把持可能な基板把持部とを有する基板保持装置であって、
前記基板受け部は、前記基板を間にして先端側に配設される先端受け部と、前記先端受け部に対向する位置に配設される元部受け部とを有し、前記先端受け部と前記元部受け部には、前記基板の軸心側に向かって下方に傾斜する緩斜面部を有して形成されるとともに、元部受け部の緩斜面部の上端が先端受け部の緩斜面部の上端より高く形成され、
前記基板把持部は、前記基板のエッジの一方の側を保持し、かつ前記先端受け部側に配設される固定クランプ部と、前記基板を間にして前記元部受け部側付近に配設される可動クランプ部とを有し、前記固定クランプ部と前記可動クランプ部とは、把持される基板を間にして上方に向かって広がるように傾斜する急斜面部をそれぞれ有して形成され、
前記可動クランプが、前記基板を前記固定クランプ側に押圧して前記基板をクランプする際、前記基板の一方の側のエッジは、前記先端受け部と前記固定クランプ部とによって支持され、前記基板の他方の側のエッジは、前記基板が水平状態に維持されるように前記元部受け部と前記可動クランプ部とによって支持されていることを特徴とする基板保持装置。
【請求項２】
前記固定クランプ部の急斜面部の下端と前記先端受け部の緩斜面部の上端とが連接するように形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
【請求項３】
前記先端受け部の緩斜面部と、前記元部受け部の緩斜面部は、垂直方向に対して相対向する方向に向かって同一角度で形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の基板保持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ウェハやガラス等の基板のエッジを保持して搬送する基板保持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ウェハやガラス等の基板を保持して搬送する場合、通常、ロボットのハンドで基板の下面を吸着することによって基板を保持し、ハンドを移動させることによって基板を保持した状態で次工程に搬送するようにしていた。一般に、基板はカセットに上下方向に複数段に配置されて収納され、ロボットのハンドがカセットに収納されている基板に接近して基板の下面を吸着してカセット内から取り出すように行なわれていた。さらに基板は、カセット内に収納される際、ランダムな状態でおかれることから、カセット内から取り出される基板は、通常、次工程に搬送される間に位置補正されていた。
【０００３】
しかし、ウェハやガラス等の基板はパーティクルを嫌うことから、基板を保持する際にパーティクルの発生しない状態で保持する方法が求められていた。従来のように基板の下面を吸着する方法では、吸着面に傷がついたりパーティクルを発生させやすいので、最近では、ハンドが基板のエッジを保持するように構成されてきた。
【０００４】
従来の基板のエッジを保持する装置３０としては、図１６に示すように、基板Ｗを間にして基板Ｗの外周面に沿って一対の基板受け部３１、３２が配置されていた。図１６（ａ）は、面受けクランプ式によるものであり、一対の基板受け部３１、３２には基板Ｗの下面を支持する水平保持部３１ａ、３２ａが形成され、一方の基板受け部３１は基板Ｗを押圧してクランプする可動クランプ３３が配置され、他方の基板受け部３２には可動クランプ３３に押圧された基板Ｗを受けてクランプするための垂直面部３２ｂが形成されていた。なお、可動クランプ３３の基板押圧面３３ａは垂直面に形成されていた。
【０００５】
図１６（ｂ）は、面受け落し込み方式によるもので、一対の基板受け部３１、３２には、基板Ｗの内方に向かって下方に傾斜する傾斜面３１ｃ、３２ｃが形成されるとともに傾斜面３１ｃ、３２ｃの下端部から水平方向に形成されて基板Ｗのエッジ下面を支持する水平保持部３１ｄ、３２ｄが形成されていた。
【０００６】
図１６（ｃ）は、エッジ受け落し込み方式によるもので、図１６（ｂ）による各基板受け部３１、３２が、傾斜面３１ｃ、３２ｃの下端部間の距離を基板Ｗの外径より小さくするように配置されている。これによって、基板Ｗは各基板受け部３１、３２の傾斜面３１ｃ、３２ｃ間で、そのエッジＷＥが支持されることとなっていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図１６（ａ）及び（ｂ）は基板の下面を、水平保持部３１ａ、３１ｄ、３２ａ、３２ｄに摺動させることになるので、基板Ｗの下面を傷つけやすくパーティクルを発生しやすかった。
【０００８】
また、図（ｃ）においては、基板ＷのエッジＷＥが一対の基板受け部３１、３２の傾斜面３１ｃ、３２ｃの一部に支持されるために、落し込まれた状態によって停止位置が規制されていないことから基板Ｗの水平度が出にくくて、基板Ｗの位置補正をする際、正確に補正することができなかった。
【０００９】
さらに、図１６（ｂ）及び（ｃ）のように基板Ｗのクランプ機構がない場合には、高速での搬送途中に慣性力が働いて、基板Ｗのずれが生じることとなっていた。
【００１０】
この発明は、上述の課題を解決するものであり、基板のエッジを保持するとともに、高速の搬送に追随でき、また、基板の収納時に繰り返し精度を向上できる基板保持装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明にかかわる基板保持装置では、上記の課題を解決するために、以下のように構成するものである。すなわち、基板を保持して搬送するために、前記基板のエッジを支持可能な基板受け部と、前記基板のエッジを把持可能な基板把持部とを有する基板保持装置であって、前記基板受け部は、前記基板を間にして先端側に配設される先端受け部と、前記先端受け部に対向する位置に配設される元部受け部とを有し、前記先端受け部と前記元部受け部には、前記基板の軸心側に向かって下方に傾斜する緩斜面部を有して形成されるとともに、元部受け部の緩斜面部の上端が先端受け部の緩斜面部の上端より高く形成され、前記基板把持部は、前記基板のエッジの一方の側を保持し、かつ前記先端受け部側に配設される固定クランプ部と、前記基板を間にして前記元部受け部側付近に配設される可動クランプ部とを有し、前記固定クランプ部と前記可動クランプ部とは、把持される基板を間にして上方に向かって広がるように傾斜する急斜面部をそれぞれ有して形成され、前記可動クランプが、前記基板を前記固定クランプ側に押圧して前記基板をクランプする際、前記基板の一方の側のエッジは、前記先端受け部と前記固定クランプ部とによって支持され、前記基板の他方の側のエッジは、前記基板が水平状態に維持されるように前記元部受け部と前記可動クランプ部とによって支持されていることを特徴とするものである。
【００１２】
また好ましくは、前記固定クランプ部の急斜面部の下方に前記先端受け部の緩斜面部が連接して形成されていればよい。
【００１３】
さらに好ましくは、前記先端受け部の緩斜面部と、前記元部受け部の緩斜面部は、垂直方向に対して相対向する方向に向かって略同一角度で形成されていればなおよい。さらに好ましくは、前記固定クランプ部の急斜面部と、前記可動クランプ部の急斜面部は、垂直方向に対して相対向する方向に向かって略同一角度で形成されていればなおよい。
【００１４】
【発明の効果】
本発明の基板保持装置によれば、基板を取り出す際には、基板は、先端受け部及び元部受け部の緩斜面部で、一旦、エッジの下部を支持されながら受け取られ、先端受け部及び元部受け部に載置された基板を、可動クランプが基板のエッジを押圧して固定クランプ側に移動させる。この際、先端受け部及び元部受け部に載置された基板は、クランプ前には、元部受け部側に支持されるエッジ部が、先端受け部側に支持されるエッジ部より高い位置にあり、可動クランプで基板のエッジを押圧するにしたがって、先端受け部側に支持された基板のエッジが緩斜面部に沿って案内されながら上方に移動され、急斜面部の壁部に当接すると、基板はそれ以上移動されずに水平状態を維持しながら停止されてクランプされる。
【００１５】
これによって、基板は下面を摺動させることなくエッジを把持することができることから、基板の下面を損傷させることなく、またパーティクルを発生させないで基板を保持することができる。しかも、基板をクランプした状態で搬送できることから、基板保持装置が高速で稼働しても基板を位置ずれさせない。
【００１６】
また、基板を収納する際には、可動クランプが基板のエッジから離れると、基板は、一方のエッジが、固定クランプ部の急斜面部の壁に当接され、他方のエッジは、元部受け部の緩斜面部上に支持されて水平状態で置かれた後、所定の位置に収納されることから、基板をクランプされた位置から離脱させる際、基板のエッジは急斜面部で形成された壁に摺動することなく離脱でき、その間でパーティクルを発生させることがない。しかもクランプ解除においても基板を緩斜面部で支持していることから、基板がずれ落ちることなく水平状態を維持して、搬送精度を向上することができる。
【００１７】
また、固定クランプの急斜面部と先端受け部の緩斜面部とが一体的に連接するように形成されていれば、緩斜面部で移動案内された基板は、急斜面部で即座に移動停止することができ、基板の下面での摺動を不要としてエッジでクランプできる。さらに、先端受け部と固定クランプが１個の部品で形成できることから部品点数を少なくしてコスト低減を図ることができる。
【００１８】
また、先端受け部の緩斜面部と元部受け部の緩斜面部の角度が略同一であれば、基板がずれ落ちることがないようにする。また、固定クランプの急斜面部と可動クランプの急斜面部の角度が略同一であれば、基板が固定クランプと可動クランプとの間で把持されてクランプされる際に、基板の両エッジにかかる分力が同一となることから、基板が水平状態を維持する方向に作用される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。実施形態の基板保持装置は、図１〜２に示すように、ウェハやガラス等の薄型状の基板を保持して搬送するロボット１のハンド３を示している。
【００２０】
ハンド３は、図示しないアームに回動可能に連結されるアーム連結部１０と、基板（以下、ウェハＷで説明する。）を保持する基板保持部２０とを有して構成され、アーム連結部１０は、図示しないロボット１の回動アームから突出された軸５に枢着されて回動可能に連結される機枠１１と機枠１１に支持されるクランプシリンダ１５とを有して形成されている。クランプシリンダ１５は、実施形態では、２点位置センサの装着されたエアシリンダが使用され、シリンダ内を往復運動するピストンロッド１６の先端に可動クランプとしてのプッシャー１７が取り付けられている。プッシャー１７はピストンロッド１６に軸支されるとともに、ピストンロッド１６に対して回動防止するためにシリンダ１５から軸心と平行に突出された回り止めピン１８に連結されている。
【００２１】
基板保持部２０は、ウェハＷのエッジＷＥを保持するように形成されるものであり、二股状に形成された先端フォーク部２１とアーム連結部１０に取り付けられる元部２５とを有し、先端フォーク部２１はウェハＷの円周上のエッジＷＥを保持するために上方に突出した先端受け部２２、２２を一対備えている。元部２５は、シリンダ１５に装着されるプッシャー１７の移動ストロークを確保するために空間部２６を間にして二股に分岐された取付座２７、２７を一対有するとともに、ウェハＷを支持する位置に、空間部２６を間にして一対の元部受け部２８、２８を上方に突出するように配置させている。
【００２２】
先端受け部２２と元部受け部２８は、ウェハＷの下面を支持するものではなくエッジＷＥを支持するために、それぞれ内方に向かって下方に傾斜する緩い傾斜面（以下、緩斜面部という）２２１、２８１を有して形成されている。先端受け部２２の緩斜面部２２１の上方には、図２〜３に示すように、急斜面部２２２が緩斜面部２２１に連接されて形成されて、固定クランプとして構成されている。さらに緩斜面部２２１と急斜面部２２２との間の連接部位は、ウェハＷのエッジＷＥ下端部を把持するクランプ部２２３として形成されている。
【００２３】
また、元部受け部２８において、緩斜面部２８１の上面は水平面２８２として形成され、水平面２８２の高さは、先端受け部２２の緩斜面部２２１の上端部、つまりクランプ部２２３より高い位置に形成され、ウェハＷをクランプした状態でウェハＷのエッジはＷＥは一端が先端受け部２２のクランプ部２２３で支持され、他端が元部受け部２８の緩斜面部２８１のクランプ部２２３と同一の高さ位置で支持されるように（つまり水平状態を維持できるように）、元部受け部２８の位置が設定されている。
【００２４】
先端受け部２２の緩斜面部２２１と元部受け部２８の緩斜面部２８１とは、クランプシリンダ１５のプッシャー１７がウェハＷの一端を押圧する際に、ウェハＷを移動しやすくするために水平面に対して４５°以下であることが望ましく、また、プッシャー１７がクランプ解除したときに、ウェハＷがずれ落ちることがないようにするために、ウェハＷの両端エッジＷＥを支持する先端受け部２２の緩斜面部２２１と元部受け部２８の緩斜面部２８１が同一角度で形成されていることが望ましい。
【００２５】
さらに、先端受け部２２の急斜面部２８は、移動したウェハＷの移動を規制することと、ウェハＷのＺ移動（図３中、上下方向）の際に、ウェハＷのエッジＷＥ部が固定クランプ（急斜面部２２２）の壁に摺動することがないように、少なくとも４５°以上でできるだけ９０°に近く形成されることが望ましい。
【００２６】
さらに、先端受け部２２の緩斜面部２２１、急斜面部２２２と元部受け部２８の緩斜面部２８１は、図１に示すように、平面視ウェハＷの円周面に沿って円弧状、あるいは円周面に沿った直線状に形成されている。
【００２７】
可動クランプとしてのプッシャー１７には、ウェハＷのエッジＷＥを把持するために、図４に示すように、ウェハＷ側に向かって下方に傾斜する傾斜面１７１が形成されている。この傾斜面１７１は、先端受け部２２の急斜面部２２２と同一角度で形成されることが、ウェハＷをクランプするときにウェハＷの両エッジＷＥを同一の分力で把持することになり、水平状態を維持するために望ましい。
【００２８】
そして、プッシャー１７で先端受け部２２と元部受け部２８とに載置されたウェハＷを一端から押圧することによって、ウェハＷの他端エッジは緩斜面部２２１から固定クランプとしての急斜面部２２２に沿って移動され、クランプ部２２３において停止されてクランプされることとなる。
【００２９】
クランプシリンダ１５には、図１に示すように、クランプ原点確認オートスイッチ１５１と、ウェハクランプ位置確認オートスイッチ１５２とが装着されていて、図２に示すように、プッシャー１７がウェハＷを押し出す前の、移動前の位置（クランプ原点位置Ｐ１）と、ウェハＷがプッシャー１７によって押圧されて、一端が先端受け部２２のクランプ部２２３の位置で停止されて、プッシャー１７によってクランプ保持するように設定された位置（ウェハクランプ位置Ｐ２）との２点位置を確認できるようになっている。そのため、ウェハＷがウェハクランプ位置Ｐ２を越えて所定の位置に達すると、オーバーストローク位置Ｐ３となって、ウェハＷがハンド３上に配置されていないこととなり、新たな基板有無確認センサの設置を不要としている。
【００３０】
次に、ハンド３で、例えば、カセット内に収納されているウェハＷを取り出す作用を、図５〜１０に沿って説明する。
【００３１】
まず、図示しないカセットに収納されているウェハＷを、ロボット１の指令によりハンド３で取り出す。図５に示すように、ウェハＷの下面側に位置するようにハンド３を移動させる。この時点では、図６に示すように、ウェハＷのエッジＷＥは、ウェハＷと先端受け部２２のクランプ部２２３との間に隙間Ｈを有するように位置させる。つまり、ウェハ３は、ハンド３の先端受け部２２の緩斜面部２２１と元部受け部２８の緩斜面部２８１上に載置できるように予め設定しておく。
【００３２】
そしてハンド３を上昇させて、ウェハ３を緩斜面部２２１と２８１上に載置させると、図７に示すように、ウェハＷは、ウェハＷのエッジＷＥが先端受け部２２と、元部受け部２８で仮に保持される。この位置においては、ウェハ３の元部側エッジＷＥは、先端側エッジＷＥより高い位置で元部受け部２８の緩斜面部２８１で支持されている。しかし、この状態ではプッシャー１７がウェハＷのエッジＷＥより離れた位置のクランプ原点位置Ｐ１（図２参照）に有り、ウェハＷはクランプされていない。
【００３３】
次に、クランプシリンダ１５が作動されてプッシャー１７がウェハＷに向かって移動することとなるが、ウェハＷがカセット内に収納されている場合には、カセット奥壁があることから、ウェハＷはプッシャー１７に押圧されることによって、カセット奥には進むことができないので、図８に示すように、一旦、図７の状態（ウェハＷがハンド３で仮保持されている状態）から後方（図７における右方）に、所定量（少なくとも、ウェハＷがプッシャー１７により押圧される移動量以上、前述の隙間Ｈ分に相当）分、ハンド３を戻す作用を制御装置のティーティングで行なう。
【００３４】
そして、ハンド３が移動量Ｈ分戻った位置において、図９に示すように、プッシャー１７がウェハＷに向かって移動される。プッシャー１７がウェハＷのエッジＷＥに当接して押圧すると、ウェハＷは先端側エッジＷＥを、先端受け部２２の緩斜面部２２１に沿って上昇させ、元部側エッジＷＥを元部受け部２８の緩斜面部２８１に沿って徐々に下降させる。
【００３５】
そして、ウェハＷの先端側エッジＷＥが先端受け部２２の緩斜面部２２１から急斜面部２２２に移動すると、急斜面部２２２は、傾斜角度が４５°以上に設定されていることから、ウェハＷのエッジＷＥが急斜面部２２２で形成された壁に当たると、緩斜面部２２１と急斜面部２２２との連接部位のクランプ部２２３の位置で移動が停止される。クランプ部２２３は、固定クランプとしてウェハＷのエッジＷＥを把持し、一方、プッシャー１７は可動クランプとしてエッジＷＥを把持し手ウェハＷをクランプすることとなる。この状態でウェハＷは水平状態に維持される。
【００３６】
なお、プッシャー１７の傾斜面１７１は、先端受け部２２の急斜面部２２２と同一の角度で形成されていることから、把持されたウェハＷは両エッジ部で同等の分力を受け水平状態を維持するように作用される。そして、このときのプッシャー１７の位置はウェハクランプ位置Ｐ２（図２参照）にある。
【００３７】
従って、クランプシリンダ１５は、プッシャー１７がクランプ原点位置Ｐ１にあることを確認した後、ウェハクランプ位置Ｐ２で停止することが確認できると、ウェハＷを把持したとしてウェハＷがあることを認識する。そして、図示しない制御装置に情報を伝達すると、ウェハＷを保持したハンド３が、図１０に示すように、ロボット１の回転中心側に移動されて、ウェハＷをカセットから取り出して次工程に搬送することとなる。
【００３８】
もし、クランプシリンダ１５が、プッシャー１７のクランプ原点位置Ｐ１を確認した後、移動されたプッシャー１７が、設定されたウェハクランプ位置Ｐ２を越えて、オーバーストローク位置Ｐ３に達することを確認すると、プッシャー１７は、ウェハＷを把持しないとしてウェハＷがハンド上にないことを認識する。そしてこの情報を制御装置に伝達すると、ハンド３は、ウェハを取り出しに行く前の元の位置に復帰する。そして、プッシャー１７も元の位置に戻ることとなり、新たに、次のウェハＷを取り出すために移動されることになる。
【００３９】
次に、固定クランプ（先端受け部２２の急斜面部２２１）と可動クランプ（プッシャー１７）で把持されたウェハＷを、カセット、又は処理装置あるいはアライナー等に収納する場合の説明を図１１〜１５に沿って説明する。
【００４０】
図１１〜１２に示すように、ウェハＷは、ロボットのＹ軸移動（ハンドのウェハへの取り出すＸ軸方向に対して直交する方向）より、ウェハＷが、カセット、又は処理装置あるいはアライナー等の付近まで移動した時点で、ハンド３のＸ軸移動により、ウェハＷを収納される位置に移動する。
【００４１】
ウェハＷが収納される位置に移動されると、図１３に示すように、プッシャー１７が、ウェハＷのエッジＷＥから離れるようにクランプシリンダ１５が作動される。プッシャー１７はウェハクランプ位置Ｐ２からクランプ原点位置Ｐ１まで戻る。クランプが解除されたウェハＷはの元部側エッジＷＥは、元部受け部２８の緩斜面部２８１において、先端受け部２２のクランプ部２２３と同一の高さ位置で支持されている。そして、先端受け部２２の緩斜面部２２１と元部受け部２８の緩斜面部２８１とは略同一の角度に形成しているため、ウェハＷは一方に摺動落下するような位置ずれを起こすことがなく、水平状態を維持している。
【００４２】
そして、この位置において、ハンド３を下降すると、図１４に示すように、ウェハＷは、カセット、又は処理装置あるいはアライナー等の支持部で支持されて、ハンド３から離脱される。ウェハＷが、先端受け部２２の急斜面部２２２及び元０部受け部２８の緩斜面部２８１から離れる際に、急斜面部２２２と緩斜面部２８１が上方に広がるように傾斜されていることから、ウェハＷのエッジＷＥは急斜面部２２２及び緩斜面部２８１に擦ることなく、瞬間に離脱できてパーティクルの発生を防止できる。
【００４３】
そして、図１５に示すように、ウェハＷを離脱したハンド３が元の位置に戻って、１サイクルを終了する。
【００４４】
上述のように、ウェハＷを取り出す際には、ウェハＷは、先端受け部２２、元部受け部２８の各緩斜面部２２１、２８１で、一旦、エッジＷＥの下部を支持されながら受け取られ、先端受け部２２、元部受け部２８の各緩斜面部２２１、２８１に載置されたウェハＷを、可動クランプ１７がウェハＷのエッジＷＥを押圧して固定クランプ２２３側に移動させる。この際、先端受け部２２、元部受け部２８の各緩斜面部２２１、２８１に載置されたウェハＷは、クランプ前には、元部受け部２８側に支持されるエッジＷＥが、先端受け部２２側に支持されるエッジＷＥより高い位置にあり、可動クランプ１７でウェハＷのエッジＷＥを押圧するにしたがって、先端受け部２２側に支持されたウェハＷのエッジＷＥが緩斜面部２２１に沿って案内されながら上方に移動され、急斜面部２２２の壁部に当接すると、ウェハＷはそれ以上移動されずに水平状態を維持しながら停止されてクランプされる。
【００４５】
これによって、ウェハＷは下面を摺動させることなくエッジＷＥを把持することができることから、ウェハＷの下面を損傷させることなく、またパーティクルを発生させないでウェハＷを保持することができる。しかも、ウェハＷをクランプした状態で搬送できることから、ハンド３が高速で稼働されていてもウェハＷを位置ずれさせない。
【００４６】
また、ウェハＷを収納する際には、可動クランプ１７がウェハＷのエッジＷＥから離れると、ウェハＷは、一方が、先端受け部２２の急斜面部２２２の壁に当接され、他方は、元部受け部２８の緩斜面部２８１上に支持されて水平状態で置かれた後、所定の位置に収納されることから、ウェハＷをクランプされた位置から離脱させる際、ウェハＷのエッジＷＥは急斜面部２２２で形成された壁に摺動することなく離脱でき、その間でパーティクルを発生させることがない。しかもクランプ解除においてもウェハＷを緩斜面部２８１で支持していることから、ウェハＷが摺動落下することなく水平状態を維持して、搬送精度を向上することができる。
【００４７】
また、先端受け部２２の急斜面部２２２が固定クランプとして形成されて緩斜面部２２１とが一体的に連接するように形成されていれば、緩斜面部２２１で移動案内されたウェハＷは、急斜面部２２２で即座に移動停止することができ、ウェハＷの下面での摺動を不要としてエッジＷＥでクランプできる。さらに、先端受け部２２と固定クランプが１個の部品で形成できることから部品点数を少なくしてコスト低減を図ることができる。
【００４８】
また、固定クランプとしての先端受け部２２の急斜面部２２２と可動クランプとしてのプッシャー１７の傾斜面部１７１の角度が略同一であれば、ウェハＷが固定クランプと可動クランプとの間で把持されてクランプされる際に、ウェハＷの両エッジＷＥにかかる分力が同一となることから、ウェハＷが水平状態を維持する方向に作用される。
【００４９】
なお、上述の形態における基板保持装置は、ロボットのハンド３として構成しているが、これに限定するものではなく、例えば、ウェハの位置合わせを行なうオリフラ装置のウェハ保持する部位に使用することができる。
【００５０】
また、クランプシリンダ１５は、エアシリンダに限定するものではなく、油圧シリンダでもよく、ウェハの一端を押圧してクランプできるもので有れば、例えば、ラックとピニオンを使用したメカニカルな構成のものでもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一形態のハンドの構成を示す斜視図である。
【図２】図１における縦断面図である。
【図３】図１におけるハンドの先端受け部と元部受け部を示す拡大図である。
【図４】プッシャーを示す部分拡大図である。
【図５】ハンドがウェハを取りに行く状態を示す作用図である。
【図６】ハンドが先端側に移動した状態を示す作用図である。
【図７】ハンドが上昇してウェハを仮保持した状態を示す作用図である。
【図８】ハンドが所定量Ｈ分戻り作用をした状態を示す作用図である。
【図９】仮保持したウェハをプッシャーでクランプする状態を示す作用図である。
【図１０】ウェハを保持したハンドがウェハを次工程に搬送する状態を示す作用図である。
【図１１】ウェハを保持したハンドが収納先に移動する状態を示す作用図である。
【図１２】ウェハを保持したハンドが収納先に移動した状態を示す作用図である。
【図１３】プッシャーが戻ってウェハのクランプ解除した状態を示す作用図である。
【図１４】ハンドが下降してウェハを離脱させた状態を示す作用図である。
【図１５】ウェハを離脱させたハンドが元の位置に戻る状態を示す作用図である。
【図１６】ウェハを保持する従来の方法を示す簡略図である。
【符号の説明】
３…ハンド
１０…アーム連結部
１５…クランプシリンダ
１６…ピストンロッド
１７…プッシャー（可動クランプ）
１７１…傾斜面
２０…ウェハ保持部
２２…先端受け部
２２１…緩斜面部
２２２…急斜面部（固定クランプ）
２２３…クランプ部（固定クランプ）
２５…元部
２６…空間部
２８…元部受け部
２８１…緩斜面部
Ｗ…ウェハ
ＷＥ…エッジ
Ｐ１…クランプ原点位置
Ｐ２…ウェハクランプ位置
Ｐ３…オーバーストローク位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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