(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの外面における被検査部分の周囲に着脱自在に取り付け可能で、前記被検査部分の周囲に空間部を形成するための被覆部と、
前記被検査部分の周囲に形成される空間部を密閉するために、前記被覆部における前記ワークとの接触部側に設けられ、前記ワークの外面に密着可能なシール部と、
前記被覆部の内部と外部を連通させる気体流通路と
を備え、
前記シール部に空気注入部を設け、この空気注入部に空気を注入することにより、空気圧を利用して、前記ワークの外面と前記被覆部との間の空間部を密閉するようにしたことを特徴とするワークの漏れ検査装置用チャンバ。
【請求項２】
前記被覆部を略円筒状体で構成するとともに、その円筒状体を軸線方向に沿って複数個に分割し、かつ、そのそれぞれの分割面にガス漏れ防止用のシール部を設けた請求項１に記載のワークの漏れ検査装置用チャンバ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のワークの漏れ検査装置用チャンバを備えたワークの漏れ検査装置であって、
前記ワークおよび前記ワークの漏れ検査装置用チャンバの一方に接続手段を介して接続されて同一方にトレースガスを供給するトレースガス供給装置と、
前記ワークおよび前記ワークの漏れ検査装置用チャンバの他方に接続手段を介して接続されて同他方に漏れてくるトレースガスを検出する検出装置と
を備えたことを特徴とするワークの漏れ検査装置。
【請求項４】
前記トレースガスの検出が行われる前記ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部またはワークの密閉空間部を減圧するための減圧装置を設けた請求項３に記載のワークの漏れ検査装置。
【請求項５】
請求項１または２に記載のワークの漏れ検査装置用チャンバを用いたワークの漏れ検査方法であって、
内部側を密閉空間部にしたワークの外面における被検査部分の周囲に、前記ワークの漏れ検査装置用チャンバを密着させて密閉空間部を形成する工程と、
前記ワークの密閉空間部および前記ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部の一方にトレースガスを供給する工程と、
前記ワークの密閉空間部および前記ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部の他方に前記被検査部分を通過して漏れてくるトレースガスを検出する工程と
からなるワークの漏れ検査方法。
【請求項６】
前記ワークの密閉空間部および前記ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部の他方に漏れてくるトレースガスを検出する際に、前記トレースガスを検出する前記ワークの密閉空間部および前記ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部の他方を減圧する請求項５に記載のワークの漏れ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、トレースガス（検査用ガス）を利用して、配管の接合部分や加工部等、ワークの被検査部分における漏れを検出するワークの漏れ検査装置、漏れ検査装置用チャンバおよび漏れ検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
エアコンや冷蔵庫で使用される冷媒ガス用の配管や、自動車で使用される排気ガスや燃料用の配管等、各種の気体供給用の配管や、液体供給用の配管等の中には、気密性が要求されるものがある。そして、従来から、このような気密性を要する配管等における接合部分からの漏れを検出するための検査が行われており、このような検査に、トレースガスとしてヘリウムガスを用いた装置や方法がある。例えば、スニファー方式と呼ばれる検査方法やチャンバ方式と呼ばれる検査方法である。
【０００３】
前記スニファー方式による検査方法は、被検査用配管の一端の開口部にヘリウムガスを供給するためのヘリウムガス供給装置を接続するとともに、他の開口部を全て栓を用いて閉塞する。そして、ヘリウムガス供給装置から被検査用配管内にヘリウムガスを供給しながら、被検査用配管の接合部分に、ヘリウムガス漏れ検出装置のスニファープローブを近づけて接合部分から外部へのヘリウムガスの漏れを検出するものである。
【０００４】
また、チャンバ方式による検査方法は、被検査用配管の一端開口部にヘリウムガス供給装置を接続して、他の全ての開口部を栓を用いて閉塞し、その状態の被検査用配管を、ヘリウムガス漏れ検出装置が接続された密閉箱型のチャンバ内に配置する。そして、ヘリウムガス供給装置から被検査用配管内にヘリウムガスを供給したときに、被検査用配管からチャンバ内に漏れるヘリウムガスの有無をヘリウムガス漏れ検出装置で検出するというものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、スニファー方式による検査方法では、ガス漏れの有無といった大まかな検査ができるだけで、例えば、気流のある環境で検査を行う場合には、その気流の影響を受けるため漏れ量の定量化は難しく、正確な検査ができないという問題がある。また、ガス漏れ検出の際に、スニファープローブの先端で各接合部の周囲を辿るようにして作業を行うため、検出作業が面倒で長時間を要するという問題もある。
【０００６】
一方、チャンバ方式による検査方法では、被検査用配管全体をチャンバ内に入れるため、大きなチャンバが必要になり、装置が大型化しコストが高くなるという問題がある。さらに、被検査用配管に複数の接合部分がある場合には、どの接合部分からガス漏れが生じているかの特定ができず、この特定を行う場合には、再度別の方法による検査を行う必要が生じるという問題もある。
【０００７】
【発明の概要】
本発明は、上記した問題に対処するためになされたもので、その目的は、装置が小型でその構造が簡単になり、また、ガス漏れを検出した場合そのガス漏れ箇所の特定ができるとともに、ガス漏れ量の定量化ができて、正確で精度のよい漏れ検出ができるワークの漏れ検査装置、漏れ検査装置用チャンバおよび漏れ検査方法を提供することである。
【０００８】
上記の目的を達成するため、本発明に係るワークの漏れ検査装置用チャンバの特徴は、ワークの外面における被検査部分の周囲に着脱自在に取り付け可能で、被検査部分の周囲に空間部を形成するための被覆部と、被検査部分の周囲に形成される空間部を密閉するために、被覆部におけるワークとの接触部側に設けられ、ワークの外面に密着可能なシール部と、被覆部の内部と外部を連通させる気体流通路とを備え，シール部に空気注入部を設け、この空気注入部に空気を注入することにより、空気圧を利用して、ワークの外面と被覆部との間の空間部を密閉するようにしたことにある。
【０００９】
前記のように構成した本発明の特徴によれば、ワークの漏れ検査装置用チャンバは小型にできるとともに、密閉性のよいものになる。また、気体流通路を介して被覆部内の密閉空間部にトレースガスを供給したり、密閉空間部内を減圧したりすることができる。さらに、シール部に空気注入部を設けることにより、ワークの大きさに多少の大小があっても、密閉空間部の密閉状態を良好にすることができる。
【００１０】
また、被覆部を略円筒状体で構成するとともに、その円筒状体を軸線方向に沿って複数個に分割し、かつ、そのそれぞれの分割面にガス漏れ防止用のシール部を設けることもできる。被覆部を、中心軸に沿って複数個に分割することにより、着脱が容易になるとともに、ワークの形状が複雑なもの、例えば、Ｔ形になった配管や、直径の異なる配管を連結したもの等の場合でも、被検査部分の被覆ができるためガス漏れ検査を行うことができるようになる。
【００１１】
本発明に係るワークの漏れ検査装置の特徴は、前述したワークの漏れ検査装置用チャンバを備えたワークの漏れ検査装置であって、ワークおよびワークの漏れ検査装置用チャンバの一方に接続手段を介して接続されて同一方にトレースガスを供給するトレースガス供給装置と、ワークおよびワークの漏れ検査装置用チャンバの他方に接続手段を介して接続されて同他方に漏れてくるトレースガスを検出する検出装置とを備えたことにある。
【００１２】
前記の場合、トレースガスの検出が行われるワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部またはワークの密閉空間部を減圧するための減圧装置を設けることが好ましい。
【００１３】
前記のように構成した本発明の特徴によれば、ワークの漏れ検査装置用チャンバに設けられたシール部がワークの被検査部分の周囲に密着し、それによってワークの一部である被検査部分の周囲だけに密閉空間部を形成することができる。そして、トレースガス供給装置によって、ワークの密閉空間部か、またはワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部にトレースガスを供給するようになっている。ワークの密閉空間部にトレースガスを供給する場合には、ワークの密閉空間部からワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部に漏れてくるトレースガスを、ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部に連通する接続手段を介して検出装置で検出する。
【００１４】
また、ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部にトレースガスを供給する場合には、ワークの密閉空間部に連結される接続手段を介して、ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部からワークの密閉空間部に漏れてくるトレースガスを検出装置で検出するようになっている。したがって、ワークの漏れ検査装置用チャンバの大きさは、ワークの被検査部分の周囲に密閉空間部を形成してその被検査部分を被覆できるだけの大きさでよいため、ワークの漏れ検査装置用チャンバの大幅な小型化が図れる。また、ワークの漏れ検査装置用チャンバをワークの周囲を被覆できるだけの小型に設定できるため、被検査部分を複数有するワークの場合、それぞれの被検査部分にワークの漏れ検査装置用チャンバを取り付け、個別に検査をすることができる。このため、欠陥のある被検査部分を特定することができ、かつ、その際のガス漏れ量の定量化もできる。
【００１５】
また、ワークの密閉空間部からワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部に漏れてくるトレースガスを検出する場合には、減圧装置を、接続手段を介してワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部に連結することにより、より精度のよい検査が行えるようになる。すなわち、この場合には、ワークの密閉空間部にはトレースガスが圧入され、ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部は減圧されるため、ガス漏れの欠陥を生じさせる被検査部分の穴や亀裂の大きさが小さい場合でもトレースガスは被検査部分を通過してワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部側に移動する。
【００１６】
また、ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部からワークの密閉空間部に漏れるトレースガスを検出する場合には、減圧装置を、ワークの密閉空間部に接続することにより、同様にして、精度のよい検査が行える。
【００１７】
また、本発明のワークの漏れ検査方法の特徴は、前述したワークの漏れ検査装置用チャンバを用いたワークの漏れ検査方法であって、内部側を密閉空間部にしたワークの外面における被検査部分の周囲に、ワークの漏れ検査装置用チャンバを密着させて密閉空間部を形成する工程と、ワークの密閉空間部およびワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部の一方にトレースガスを供給する工程と、ワークの密閉空間部およびワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部の他方に被検査部分を通過して漏れてくるトレースガスを検出する工程とからなることにある。この場合、ワークの密閉空間部およびワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部の他方に漏れてくるトレースガスを検出する際に、トレースガスを検出するワークの密閉空間部およびワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部の他方を減圧することが好ましい。
【００１８】
前記のように構成した本発明の特徴によれば、ワークの漏れ検査装置用チャンバの密閉空間部の容積を必要最小限なものに設定することができるため、検査精度が向上するとともに、迅速な作業が可能になる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面を用いて説明する。図１は同実施形態に係る漏れ検査装置１０を示している。この漏れ検査装置１０は、被検査用配管１１の外周面における接合部分を密閉状態で被覆するチャンバ１２と、被検査用配管１１内に検査用のトレースガスであるヘリウムガスを供給するヘリウムボンベ１３と、ヘリウムガスの漏れを検出するヘリウムリークディテクター１４を備えている。被検査用配管１１は、Ｔ字形の配管１１ａと、３個の直線状の短い配管１１ｂ，１１ｃ，１１ｄの計４個の配管からなり、配管１１ａの３箇所の端部にそれぞれ配管１１ｂ，１１ｃ，１１ｄを溶接によって連結して構成されている。そして、被検査用配管１１における接合部にチャンバ１２がそれぞれ取り付けられている。
【００２０】
チャンバ１２は、図２に示すように、蝶番１５によって互いに開閉自在に連結された２個の樋状の被覆部１６ａ，１６ｂを備えており、その合わせ面１７ａ，１７ｂを接面させて組み付けることにより円筒形の被覆部１６が形成される。なお、図２は、被覆部１６ａと蝶番１５の一片１５ａが取り外された状態を示しており、もう一方の他片は、被覆部１６ｂに固定されている（図示せず）。一片１５ａは他片に対して回動自在になっており、一片１５ａと被覆部１６ａをねじによって固定することにより、蝶番１５を中心として、被覆部１６ａと被覆部１６ｂは互いに開閉するようになる。
【００２１】
被覆部１６ａ，１６ｂには、それぞれ合わせ面１７ａ，１７ｂに中心軸に沿って延びる半円柱状の凹部１８ａ，１８ｂが設けられており、その凹部１８ａ，１８ｂは、被覆部１６ａ，１６ｂを合わせて閉じると、被検査用配管１１を内嵌できる形状および大きさに設定されている。また、その凹部１８ａ，１８ｂの中心軸に沿った中心側には、凹部１８ａ，１８ｂの直径よりも大きな直径を有する半円柱状の空間部１９ａ，１９ｂが設けられている。この空間部１９ａ，１９ｂは、被覆部１６ａ，１６ｂの内部に被検査用配管１１を入れて、被覆部１６ａ，１６ｂを合わせて閉じると、被検査用配管１１の外周面に形成される円筒状の空間部になる。
【００２２】
また、合わせ面１７ａ，１７ｂおよび凹部１８ａ，１８ｂの表面には、それぞれ断面形状が半円状の無端状の溝２０ａ，２０ｂが設けられており、この溝２０ａ，２０ｂ内に、断面形状が円形状に形成された無端状の密閉用のシールゴム２１ａ，２１ｂが固定されている。シールゴム２１ａ，２１ｂは、その円形状に形成された断面形状における円形の半分の部分を合わせ面１７ａ，１７ｂから突出させた状態で、かつ互いに対称になる位置に固定されている。
【００２３】
したがって、被検査用配管１１の外周面に被覆部１６ａ，１６ｂを組み付けると、合わせ面１７ａ，１７ｂのように被検査用配管１１に接触しない位置では、シールゴム２１ａ，２１ｂは互いに圧接される。また、凹部１８ａ，１８ｂのように被検査用配管１１に接触する位置では、それぞれのシールゴム２１ａ，２１ｂが被検査用配管１１と密着することによって、空間部１９ａ，１９ｂで形成される密閉空間部は完全に外部から密閉された状態になる。
【００２４】
すなわち、凹部１８ａ，１８ｂを構成する壁面と被検査用配管１１の外周面との間は、凹部１８ａ，１８ｂに位置するシールゴム２１ａ，２１ｂによって密閉され、被覆部１６ａと被覆部１６ｂの間は、合わせ面１７ａ，１７ｂに位置するシールゴム２１ａ，２１ｂ同士の圧接によって密閉される。このように、シールゴム２１ａ，２１ｂと被検査用配管１１が圧接することによって、被検査用配管１１の一部分である接合部とその周囲部分のみで密閉空間部を形成し、この密閉空間部で漏れを検査できる。
【００２５】
また、被覆部１６ｂにおける空間部１９ｂを形成する内周面と被覆部１６ｂの外周面との間には気体流通路２２が設けられて、その気体流通路２２の外部側の開口部には気体流通用の配管２２ａが連結されている。また、被覆部１６ａにおける蝶番１５が固定された部分と反対の部分には被係合用の突起２３ａが設けられ、被覆部１６ｂにおける突起２３ａと相対峙する部分には、突起２３ａと着脱自在に係合可能な係合部２３ｂが設けられている。
【００２６】
そして、被覆部１６ａと被覆部１６ｂを閉じた状態で、係合部２３ｂを突起２３ａに係合させると、内部の空間部１９ａ，１９ｂを密閉して被覆部１６が閉成した状態が維持され、係合部２３ｂと突起２３ａの係合を解除すると、被覆部１６ａと被覆部１６ｂを開くことのできる状態になる。なお、係合部２３ｂは、突起２３ａに係合可能な四角形の枠体２３ｃと、被覆部１６ｂに固定され、枠体２３ｃを回転可能に支持するとともに、枠体２３ｃを突起２３ａに軽く係合させた状態で突起２３ａから遠ざかるように回転することにより前記係合をより強固にすることにできる回転支持体２３ｄとで構成されている。
【００２７】
したがって、枠体２３ｃを突起２３ａに引っ掛けて回転支持体２３ｄを突起２３ａから遠ざかるように回転することにより突起２３ａと係合部２３ｂの係合ができて、被覆部１６ａと被覆部１６ｂを閉じた状態にできる。また、回転支持体２３ｄを突起２３ａ側に回転させて枠体２３ｃを突起２３ａから離すことにより、突起２３ａと係合部２３ｂの係合を解除して被覆部１６ａと被覆部１６ｂを開き、被覆部１６を被検査用配管１１から取り外すことができる。
【００２８】
ヘリウムボンベ１３は、開閉バルブ２４を介して、被検査用配管１１の配管１１ｄに接続されており、検査時には、開閉バルブ２４を開けて、内部に蓄積しているヘリウムガスを被検査用配管１１内に供給する。また、ヘリウムボンベ１３には圧力計１３ａが取り付けられて、内部のヘリウム量が分かるようになっている。
【００２９】
ヘリウムリークディテクター１４は、それぞれ開閉バルブ２５ａ，２５ｂ，２５ｃを備えた３個の接続配管２６ａ，２６ｂ，２６ｃを介して、３個のチャンバ１２に接続されており、チャンバ１２内の空間部１９ａ，１９ｂで形成される密閉空間部内におけるヘリウムガスの有無およびその量を検出する。また、このヘリウムリークディテクター１４は、吸引機能も備えており、ヘリウムガス検出の際、密閉空間部内を排気することによって減圧し、より精度の高い検出が行えるようにする。
【００３０】
このように構成された漏れ検査装置１０を用いて、被検査用配管１１のガス漏れ検査を行う場合、まず、配管１１ｄに、開閉バルブ２４を連結して、被検査用配管１１とヘリウムボンベ１３を接続するとともに、配管１１ｂ，１１ｃの開口部をキャップ２７ａ，２７ｂで閉塞する。ついで、３個のチャンバ１２をそれぞれ、配管１１ａと配管１１ｂの接合部分、配管１１ａと配管１１ｃの接合部分および配管１１ａと配管１１ｄの接合部分に取り付ける。つぎに、接続配管２６ａ，２６ｂ，２６ｃをそれぞれチャンバ１２の配管２２ａに接続して、チャンバ１２内の空間部１９ａ，１９ｂとヘリウムリークディテクター１４を連通させる。
【００３１】
その状態で、開閉バルブ２４，２５ａ，２５ｂ，２５ｃを全て開いた状態にし、ヘリウムボンベ１３から被検査用配管１１内にヘリウムガスを供給するとともに、チャンバ１２の空間部１９ａ，１９ｂ内を減圧しながら空間部１９ａ，１９ｂ内のヘリウムガスを検出する。この結果、ヘリウムガスが検出されなかった場合は、この被検査用配管１１の接合部分には欠陥はないと判断して、つぎの被検査用配管の検査を行う。
【００３２】
前記検査でヘリウムガスが検出された場合には、開閉バルブ２５ａ，２５ｂ，２５ｃのうち検査するチャンバ１２が接続された接続配管の開閉バルブだけを開けて、他の２個の開閉バルブは閉じた状態にして、そのチャンバ１２に被覆された接合部分の検査を行う。この操作を順次各開閉バルブ２５ａ，２５ｂ，２５ｃを開閉しながら繰り返すことにより、ガス漏れが生じる接合部分の特定および漏れるガス量を測定する。
【００３３】
このように、本実施形態による漏れ検査装置１０によれば、チャンバ１２が、被検査用配管１１の接合部分およびその周囲だけを被覆する大きさにされているため、小さなものですむ。また、被検査用配管１１に接合部分が複数有れば、そのそれぞれにチャンバ１２を取り付け、個別に検査をすることができるため、欠陥のある接合部分を特定することができ、さらに、ヘリウムリークディテクター１４は、ヘリウムガスの有無だけでなく、量も測定できるためガス漏れ量の定量化もできる。
【００３４】
また、空間部１９ａ，１９ｂを減圧して、接合部分から漏れてくるトレースガスを検出するため、より精度のよい検査が行えるようになる。さらに、チャンバ１２の被検査用配管１１への取り付けが、被覆部１６ａと被覆部１６ｂで接合部分を挟むようにして接合部分とその周辺部の周面、すなわち、被検査用配管１１の検査部分とその周辺部という被検査用配管１１全体から見て一部分のみを被覆し、突起２３ａに係合部２３ｂを係合させるだけであるため極めて容易である。また、その取り外しも、突起２３ａと係合部２３ｂの係合を解除するだけであるため簡単である。
【００３５】
なお、前記実施形態では、被検査用配管１１にヘリウムボンベ１３を連結し、チャンバ１２の空間部１９ａ，１９ｂとヘリウムリークディテクター１４を連通しているが、これを逆にして、被検査用配管１１にヘリウムリークディテクター１４を連結し、チャンバ１２の空間部１９ａ，１９ｂとヘリウムボンベ１３を連通することもできる。この場合も、前記実施形態による漏れ検査装置１０と同様の作用効果を奏することができる。
【００３６】
また、気体流通路２２および配管２２ａを、チャンバ１２内を減圧する際の流通路と、チャンバ１２内にヘリウムガスを供給する際の流通路とで共用してもよいし、別途、気体流通路および配管を設けて、チャンバ１２内の減圧と、チャンバ１２内へのヘリウムガスの供給を別々に行うようにしてもよい。さらに、チャンバ１２を被検査用配管１１に取り付ける際、シールゴム２１ａ，２１ｂが当接する被検査用配管１１の外周面に、ゴムテープ等からなるシールを巻いておくこともできる。これによって、チャンバ１２の空間部１９ａ，１９ｂの密閉がさらに確実なものになる。
【００３７】
また、被検査用配管１１内にヘリウムガスを供給する際、被検査用配管１１内を排気したのちヘリウムガスの供給をしたり、キャップ２７ａ，２７ｂを外した状態で、被検査用配管１１内にヘリウムガスを供給し、被検査用配管１１内にヘリウムガスが充満したのち、キャップ２７ａ，２７ｂで被検査用配管１１内を閉塞したりすることもできる。これによって、被検査用配管１１内に供給されるヘリウムガスの量が増え、より精度のよい検査が行えるようになる。
【００３８】
図３は、本発明の他の実施形態によるチャンバ３０を示している。チャンバ３０は、一体からなる円筒状の被覆部３１を備えており、被覆部３１の内周面における両端側に、それぞれ円周に沿ったリング状の空気注入凹部３２ａ，３２ｂが設けられている。この空気注入凹部３２ａ，３２ｂは、被覆部３１の内周面側のリング状の開口部が幅狭に形成され、奥側が広くなった凹部に形成されている。
【００３９】
そして、この空気注入凹部３２ａ，３２ｂに、断面形状が略Ω形で弾性を有して伸縮可能なシール材３３ａ，３３ｂが、その開口側の縁部を、空気注入凹部３２ａ，３２ｂの幅狭の開口部の内側壁部に係合させて抜け止めされた状態で取り付けられている。被覆部３１の内径は、チャンバ３０が取り付けられる被検査用配管１１が挿通できる大きさに設定されており、空気注入凹部３２ａ，３２ｂ内に空気を注入するとシール材３３ａ，３３ｂが膨張して被検査用配管１１の外周面に密着するようになっている。したがって、空気注入凹部３２ａ，３２ｂとシール材３３ａ，３３ｂとで、本発明のシール部が構成される。
【００４０】
また、空気注入凹部３２ａ，３２ｂは、被覆部３１の壁部に設けられた空気注入孔３４によって互いに連通しており、さらに、空気注入孔３４は外部に延びる空気注入用配管３５に連通している。したがって、空気供給装置（図示せず）から供給される空気を、空気注入用配管３５を介して空気注入凹部３２ａ，３２ｂに圧入すると、シール材３３ａ，３３ｂは膨張して、シール材３３ａ，３３ｂの内周側の直径が小さくなる。このチャンバ３０では、被覆部３１内におけるシール材３３ａ，３３ｂの間の空間部３６が密閉空間部となる。
【００４１】
また、被覆部３１における空間部３６を形成する内周面とその外周面との間には気体流通路３７が設けられて、その気体流通路３７の外部側の開口部には気体流通用の配管３７ａが連結されている。
【００４２】
このように構成されたチャンバ３０を用いて、被検査用配管１１の接合部におけるガス漏れ検査を行う場合、まず、チャンバ３０を３個準備し、その空気注入凹部３２ａ，３２ｂから空気を抜いた状態にしておく。ついで、各チャンバ３０の中心穴にそれぞれ被検査用配管１１を差込み、その接合部にチャンバ３０を位置決めする。つぎに、空気供給装置から空気注入凹部３２ａ，３２ｂに空気を供給して、シール材３３ａ，３３ｂを膨張させ、空間部３６を外部から密閉された密閉空間部にする。
【００４３】
そして、図１のように、配管１１ｄとヘリウムボンベ１３を連結するとともに、配管１１ｂ，１１ｃの開口部をキャップ２７ａ，２７ｂで閉塞し、ついで、３個のチャンバ３０の配管３７ａにそれぞれ、接続配管２６ａ，２６ｂ，２６ｃを接続して、チャンバ３０内の空間部３６とヘリウムリークディテクター１４を連通させる。そして、前記実施形態と同様の操作をして被検査用配管１１の漏れ検査を行う。
【００４４】
このチャンバ３０では、被検査用配管１１への取り付けが、チャンバ３０の中心穴に被検査用配管１１を差込み、空気注入凹部３２ａ，３２ｂに空気を供給するだけであるため、さらに簡単になるとともに、空間部３６の密閉も確実になる。それ以外の作用効果については、前記実施形態で用いられるチャンバ１２と同様である。
【００４５】
なお、本発明による漏れ検査装置は、前記実施形態で示した被検査用配管１１のような被検査用配管だけでなく、種々の形状の被検査用配管にも使用可能である。例えば、図４に示したように、太さの異なるゴムホース３８と配管３９を金具によってかしめて接合した接合部分４０や、Ｔ形の交差部分が接合部分４１になった被検査用配管４２にも用いることができる。
【００４６】
この場合、チャンバの被覆部４３を、両端部の中心穴の直径が異なるものにしたり、Ｔ形の密閉空間部を有する被覆部４４を使用したりする等、被検査用配管４２等の形状に合った被覆部４３，４４等を数種類予め用意しておくことにより、どのような被検査用配管であっても検査が可能になる。また、被検査用配管としては、溶接、かしめにより複数の配管が連結された配管の他、ろう付け、くい込み継手、フランジ継手等によって複数の配管が連結された配管等、種々の接合部分を有する配管があるがどのような方法による接合部分を有する配管でも本発明は使用可能である。
【００４７】
また、前記実施形態では、被検査用配管１１，４２に対するガス漏れ検査の例を示しているが、検査に使用されるワークは、配管に限定されず、ワークの一部に当接し、その部分を覆うことでチャンバが形成できるものであれば適用できる。例えば、下記に記載したもの等である。
【００４８】
図５は、本発明のさらに他の実施形態によるチャンバ４５およびチャンバ４５を用いて検査する被検査用缶４６を示している。チャンバ４５は、全体形状がリング状に形成され、図６に示すように、断面形状は、縦片４７と横片４８からなる略Ｌ字状になっている。縦片４７の上端内周側と横片４８の内周側上面には、それぞれ円周に沿って突条４７ａ，４８ａが突設され、その突条４７ａ，４８ａの頂部にそれぞれ係合溝４７ｂ，４８ｂが設けられている。そして、係合溝４７ｂ，４８ｂにそれぞれリング状のシールゴム４７ｃ，４８ｃが先端部を外部に突出させた状態で嵌合している。
【００４９】
また、縦片４７の下部側における内周面と外周面との間には、気体流通路４９が設けられて、その気体流通路４９の外部側の開口部には、ヘリウムリークディテクター１４に接続された配管４９ａが連結されている。被検査用缶４６はペール缶からなっており、筒状の本体４６ａの下端縁部に底部４６ｂの周縁部を重ねて巻き込むようにして接合部分４６ｃが形成されている。なお、本体４６ａの上端には、本体４６ａの開口を密閉可能な蓋部（図示せず）が着脱自在に取り付けられている。また、この蓋部には配管を介してヘリウムボンベ１３に連通可能な通気孔が設けられている。
【００５０】
このように構成されたチャンバ４５を用いて被検査用缶４６のガス漏れ検査を行う場合、まず、被検査用缶４６の底部側をチャンバ４５内に挿入し、被検査用缶４６の底部４６ｂをシールゴム４８ｃに接触させ、本体４６ａの外周面をシールゴム４７ｃに接触させる。ついで、配管４９ａを介して、チャンバ４５の内面と被検査用缶４６における接合部分４６ｃの周囲の面とで囲まれる空間部内を排気して減圧する。
【００５１】
これによって、被検査用缶４６はチャンバ４５内に吸引されるようになり、被検査用缶４６とチャンバ４５の組み付けがより強固になって、前記空間部が密閉状態になる。その状態で、被検査用缶４６内にヘリウムガスを供給することによりガス漏れの検査を行うことができる。このチャンバ４５では、缶のように、円筒状の周面と、底部や蓋部との間に被検査部分があるものの漏れ検査ができる。それ以外の作用効果については、前述した実施形態によるチャンバ１２，３０と同様である。また、ヘリウムボンベ１３とヘリウムリークディテクター１４に接続する配管を適宜変更可能にできることも前記実施形態と同様である。
【００５２】
図７は、チャンバ４５の変形例によるチャンバ５０を示している。チャンバ５０は、有底筒状の皿形形状をしており、底部５０ａの中央には多孔物質からなる円板状の支持台５１が設けられている。それ以外の部分の構成については、チャンバ４５と同様である。したがって、同一部分に同一符号を記している。このチャンバ５０も被検査用缶４６のような缶状のワークの検査を行うことができ、この場合、底部５０ａに支持台５１が設けられているため、被検査用缶４６の設置が安定したものになる。また、被検査部分の密閉は、被検査用缶４６の周面とチャンバ５０のシールゴム４７ｃとの接触および被検査用缶４６とチャンバ５０の間の空間部の減圧によって行われる。それ以外の作用効果については、チャンバ４５と同様である。
【００５３】
なお、図２に示したチャンバ１２および上記チャンバ４６，５０では、シール部にシールゴム２１ａ，２１ｂ，４７ｃ，４８ｃを用いているが、このシールゴム２１ａ，２１ｂ，４７ｃ，４８ｃに代えて、図３に示したチャンバ３０のシール材３３ａ，３３ｂを使用することもできる。これによって、エア等を注入することによって伸縮可能なシール部が構成されより密着性を高める構造にすることができる。
【００５４】
また、本発明でワークとして使用されるものは、配管、缶以外のものでもよく、被検査部分の対象も、接合部分に限らず、薄肉になった部分や曲げ加工によって割れが生じ易くなった部分、および、射出成形品でヒケが生じそうな部分や「す」が生じそうな部分への適用が可能である。さらに、排気の通路とトレースガスの通路を共用したり別にする等、種々の構成を適宜変更可能にできることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態に係る漏れ検査装置の概略図である。
【図２】  チャンバを示す分解斜視図である。
【図３】  他の実施形態によるチャンバを示す一部切欠き斜視図である。
【図４】  被検査用配管の変形例を示す概略図である。
【図５】  さらに他の実施形態によるチャンバと被検査用缶を示す斜視図である。
【図６】  図５のチャンバの内周側を示す一部切欠き斜視図である。
【図７】  図５のチャンバの変形例を示す一部切欠き斜視図である。
【符号の説明】
１０…漏れ検査装置、１１，４２…被検査用配管、１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，２２ａ，３７ａ，３９，４９ａ…配管、１２，３０，４５，５０…チャンバ、１３…ヘリウムボンベ、１４…ヘリウムリークディテクター、１６，１６ａ，１６ｂ，３１，４３，４４…被覆部、１９ａ，１９ｂ，３６…空間部、２１ａ，２１ｂ，４７ｃ，４８ｃ…シールゴム、２２，３７，４９…気体流通路、２４，２５ａ，２５ｂ，２５ｃ…開閉バルブ、２６ａ，２６ｂ，２６ｃ…接続配管、３２ａ，３２ｂ…空気注入凹部、３３ａ，３３ｂ…シール材、３４…空気注入孔、３５…空気注入用配管、３８…ゴムホース、４０，４１，４６ｃ…接合部分、４６…被検査用缶。
【図１】
0004600906.tif 000002
【図２】
0004600906.tif 000003
【図３】
0004600906.tif 000004
【図４】
0004600906.tif 000005
【図５】
0004600906.tif 000006
【図６】
0004600906.tif 000007
【図７】
0004600906.tif 000008