(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクに対し情報の記録及び／または再生を行う磁気ヘッドを具備するアクチュエータと，前記アクチュエータを駆動するボイスコイルモータと，前記アクチュエータ及び前記ボイスコイルモータに電気的信号を伝達するフレキシブルプリント回路と，前記フレキシブルプリント回路を支持するブラケットとを含むハードディスクドライブであって，
前記フレキシブルプリント回路は、ヘッド信号パターン，プリアンプに電圧を供給する電圧パターン，グラウンドパターン，前記ボイスコイルモータに電流を印加する電流パターンを有する回路層がベース層とカバー層との間に挿入されて結合され，
前記フレキシブルプリント回路が、前記ブラケットと非接触になり始める部分と前記フレキシブルプリント回路が、前記アクチュエータと非接触になり始める部分との間であって、前記ヘッド信号パターンと前記電圧パターン，グラウンドパターン，電流パターンとの間の前記フレキシブルプリント回路の長手方向に垂直に湾曲した部分を中心とした位置に、３４０Ｈｚの振動エネルギーを低減させるための、所定の大きさの端部が丸い輪郭線を有するスロット、または、７４０Ｈｚの振動エネルギーを低減させるために、３４０Ｈｚの振動エネルギーを低減させることが可能な大きさの空洞の半分の大きさの端部が丸い輪郭線を有するスロットのいずれかを、その長手方向が前記信号パターンに沿うように形成することを特徴とするハードディスクドライブ。
【請求項２】
前記空洞は前記信号パターンと並んでいる複数のスロットよりなることを特徴とする請求項１に記載のハードディスクドライブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はハードディスクドライブに関し，より詳細にはフレキシブルプリント回路を具備するハードディスクドライブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ハードディスクドライブは，コンピュータの補助記録貯蔵機器であって，電磁石の役割をする磁気ヘッドを利用して磁化性質を有するディスクにデジタル信号を記録することによって情報を記録及び再生できる装置である。
【０００３】
図１２は従来のハードディスクドライブの構成を示した図面である。図１２を参照すれば，従来のハードディスクドライブは情報を記録するディスク１３と，ディスク１３を回転させるスピンドルモータ１５と，ディスク１３に情報を記録し且つディスク１３から情報を再生する磁気ヘッド２５を有するアクチュエータ２３と，アクチュエータ２３を駆動させるボイスコイルモータ２１と，印刷回路基板（Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ  Ｂｏａｒｄ；以下ＰＣＢという）から電気的信号をアクチュエータに伝送するフレキシブルプリント回路（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ；以下ＦＰＣという）１１と，ＦＰＣ１１を支持するブラケット３１とを含む。
【０００４】
ディスク１３は，電源オフ時に磁気ヘッド２５が安着されるようにスピンドルモータ１５と締結されるディスク１３の内部領域にレーザーで微細加工されるパーキングゾーンと，パーキングゾーンの外部に磁気信号が記録されるデータゾーンとを有する。データゾーンには記録される情報の位置を知らせるサーボ信号がディスク１３の形状に沿って数万個のトラックにあらかじめ記録されている。
【０００５】
アクチュエータ２３は，アクチュエータ２３を駆動可能にするボイスコイルモータ２１を有するファンテール部１９と，アクチュエータ２３の回転中心の役割をするピボット軸受１７と，ディスク１３に情報を記録するライトヘッドとディスク１３の情報を再生するリードヘッドとを有する磁気ヘッド２５とを含む。
【０００６】
ＰＣＢ（図示せず）は電気的信号をＦＰＣ１１に送信し，ＦＰＣ１１は受信された電気信号をアクチュエータ２３に伝達する。アクチュエータ２３に伝送された電気信号はボイスコイルモータ２１に伝達され，電流とボイスコイルモータ２１に備わった磁石との相互作用による電磁気力によりアクチュエータ２３はピボット軸受１７を中心に回転してパーキングゾーンからデータゾーンに移動する。
【０００７】
図１３Ａは従来のＦＰＣの構造を示した図面であり，図１３Ｂは図１３ＡのＡ部分を拡大した図面である。図１３Ａ及び図１３Ｂを参照すれば，従来のＦＰＣ１１にはプリアンプ（図示せず）を通じて磁気ヘッドに電気信号を送受信するヘッド信号パターン（ＲＤＸ；Ｒｅａｄ  Ｄａｔａ  Ｘ，ＲＤＹ；Ｒｅａｄ  Ｄａｔａ  Ｙ，ＷＤＸ；Ｗｒｉｔｅ  Ｄａｔａ  Ｘ，ＷＤＹ；Ｗｒｉｔｅ  ＤａｔａＹ）と，プリアンプに電圧を供給する電圧パターン（ＶＤＤ；ｐｏｓｉｔｉｖｅ  ＤＣ  ｓｕｐｐｌｙ，ＶＳＳ；ｎｅｇａｔｉｖｅ  ＤＣ  ｓｕｐｐｌｙ）と，接地のためのグラウンド（ＧＮＤ）と，ボイスコイルモータ２３に電流を印加する電流パターン（ＶＣ；Ｖｏｉｃｅ  Ｃｏｉｌ）とが並んで配列されている。
【０００８】
ハードディスクドライブ２０で情報を記録及び再生する場合，磁気ヘッド２５がディスク１３のトラックに沿って回転しながら情報を記録及び再生する。ディスク１３の回転軌跡が正確な真円をなして磁気ヘッド２５が正確に情報を記録及び再生する場合が最も望ましいが，実際に駆動されるディスク１３はスピンドルモータ１５の振動などにより真円ではなく歪曲された円形に回転する。これによりトラックと磁気ヘッドとの間に位置ずれが生じ，これをランアウトという。
【０００９】
ランアウトには，回転するごとに反復されるＲＲＯ（Ｒｅｐｅａｔａｂｌｅ  Ｒｕｎｏｕｔ）と反復されないＮＲＲＯ（Ｎｏｎ−Ｒｅｐｅａｔａｂｌｅ  Ｒｕｎｏｕｔ）とがある。
【００１０】
ＲＲＯは，ディスク１３の組立て偏差またはハードディスクドライブ２０自身の振動によりディスク１３が真円で回転せずに一定の周期を有する波形を描きながら回転することをいう。このような波形は規則的に反復されるのでサーボにこのような情報をあらかじめ記録しておくことによってトラックと磁気ヘッド２５との位置ずれを補償できる。
【００１１】
ＲＲＯを補償してディスクの信頼性をテストするために，ハードディスクドライブの製造工程で温度，電圧などの条件を変えながらバーンインテストを実施するが，この工程でＦＰＣバイアス，ウィンデージバイアス，熱による影響などいろいろな因子が複合的に作用するのでＲＲＯを完全に補償し難い。このため，ドライブの使用環境及び組立てられたドライブの種類によってＲＲＯの補償値が相異なる。ここで，ＦＰＣバイアスとは，機構的な観点からみる時，ＨＳＡ（Ｈｅａｄ  Ｓｔａｃｋ  Ａｓｓｅｍｂｌｙ）がＦＰＣから受ける力をいう。ウィンデージバイアスとは，ディスクが回転して発生する揺らぎがＦＰＣにおよぶ影響によりＨＳＡが受ける力をいう。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
また，ＦＰＣ１１でヘッド信号パターンＲＤＸ，ＲＤＹ，ＷＤＸ，ＷＤＹは電流パターンＶＣと電圧パターンＶＤＤ，ＶＳＳに近接しており，電流パターンＶＣと電圧パターンＶＤＤ，ＶＳＳには相対的に大きい電流が流れるのでこれによるノイズの影響があり，３４０Ｈｚ程度のＦＰＣ１１の固有振動数による低周波成分によりサーボ制御に影響がある。
【００１３】
特にこのような影響はライトヘッド信号パターンＷＤＸ，ＷＤＹがリードヘッド信号パターンＲＤＸ，ＲＤＹより電圧パターンＶＤＤ，ＶＳＳと電流パターンＶＣにさらに近接しているため，リードモードよりはライトモードでさらに大きく現れる。
【００１４】
したがって，ハードディスクドライブの使用環境及び種類によってＲＲＯの補償値は相異なり，ハードディスクドライブの性能は，ＮＲＲＯのような外乱に敏感に影響され，ＦＰＣのサーボ制御領域外の１ｋＨｚ以下の低周波にも影響される。ここで，ＮＲＲＯとは，ディスクが一定の周期を有しておらず，歪曲された波形を描きながら回転することを意味する。
【００１５】
図１４を参照すれば，従来のＦＰＣの周波数応答グラフで３４０Ｈｚ付近で電流強度のピークが現れることがわかる。このようなピークは，従来のＦＰＣの固有振動数とノイズの同一振動数との共振によるものであって，共振によりノイズの同一周波数成分の振動エネルギーが強く現れる。
【００１６】
従来のハードディスクドライブは，前述したように電流パターンＶＣ及び電圧パターンＶＤＤ，ＶＳＳによるノイズの影響，ＲＲＯの補償値の差，低周波による影響のために，トラックを探索するのにかかる時間のシークタイムと位置エラー信号（ＰＥＳ；Ｐｏｓｉｔｉｏｎ  ｅｒｒｏｒ  ｓｉｇｎａｌ）が増加して全体的にドライブの性能が低下して大量生産時に不良率が高まる。
【００１７】
したがって，本発明が解決しようとする技術的課題は，前述した従来技術の問題点を改善するためのものとして，ＦＰＣで発生する特定周波数帯域の振動エネルギーを低減し，ヘッド信号パターンに対するノイズの影響を減少させてサーボ制御への影響を低減できるように構造が改良されたＦＰＣを具備するハードディスクドライブを提供することである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
前記技術的課題を達成するために本発明は，ディスクに対し情報の記録及び／または再生を行う磁気ヘッドを具備するアクチュエータと，前記アクチュエータを駆動するボイスコイルモータと，前記アクチュエータ及び前記ボイスコイルモータに電気的信号を伝達するフレキシブルプリント回路と，前記フレキシブルプリント回路を支持するブラケットとを含むハードディスクドライブであって，前記フレキシブルプリント回路はヘッド信号パターン，電圧パターン，グラウンドパターン，電流パターンを有し，前記ヘッド信号パターンと前記電圧パターン，前記グラウンドパターン，前記電流パターンとの間に空洞が形成されていることを特徴とするハードディスクドライブを提供する。
【００１９】
ここで，前記空洞は，前記フレキシブルプリント回路が前記ブラケットと非接触になり始める部分と，前記フレキシブルプリント回路が前記アクチュエータと非接触になり始める部分との間に形成されることが望ましい。
【００２０】
前記空洞は前記信号パターンと並んでいる単一または複数のスロットよりなることを特徴とする。
【００２１】
前記スロットの端部は丸い輪郭線を有することが望ましい。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の実施の形態を添付された図面を参照して詳細に説明する。ここで，各図面の構成要素に符号をつけるに当たって，同じ構成要素については，他の図面上に表示されたものにも同じ符号がつけられている。
【００２３】
図１Ａは，本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブを示す図面であり，図１Ｂは，図１ＡのＢ部分を拡大した図面である。図１Ａ及び図１Ｂを参照すれば，本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブは，ディスク５３に情報を記録し，ディスク５３から情報を再生する磁気ヘッド６５を具備するアクチュエータ６３と，アクチュエータ６３を駆動するボイスコイルモータ６１と，アクチュエータ６３及びボイスコイルモータ６１に電気的信号を伝達するようにヘッド信号パターン，電圧パターン，グラウンドパターン及び電流パターンを有して，ヘッド信号パターンと電圧パターン，グラウンドパターン，電流パターンとの間に空洞が形成されたフレキシブルプリント回路（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ；以下ＦＰＣという）４１と，ＦＰＣ４１を支持するブラケット６７とを具備する。
【００２４】
ＦＰＣ４１はブラケット６７に固定されて，印刷回路基板（Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ  Ｂｏａｒｄ；以下ＰＣＢという）（図示せず）とアクチュエータ６３とを連結して電気的信号を伝達する。ＦＰＣ４１はベース層とカバー層との間に回路層が挿入されて結合される３層の積層構造に形成されている。ＦＰＣ４１には，ヘッド信号パターンＲＤＸ，ＲＤＹ，ＷＤＸ，ＷＤＹ，電圧パターンＶＤＤ，ＶＳＳ，グラウンドパターンＧＮＤ，電流パターンＶＣの回路パターンが配列されている。
【００２５】
アクチュエータ６３にはディスク５３に対向する磁気ヘッド６５を有するサスペンション６６が端部に位置し，サスペンション６６との反対側にはボイスコイルモータ６１が位置して，ＦＰＣ４１から伝送される電流信号及び磁石の磁場との相互作用によりアクチュエータ６３は駆動される。アクチュエータ６３は，ボイスコイルモータ６１の回転によりピボット軸５７を中心に回転して磁気ヘッド６５を目的とする位置に移動させる。
【００２６】
ハードディスクドライブに電源が印加されればスピンドルモータ５５が回転し，スピンドルモータ５５に安着されたディスク５３も共に回転する。ディスク５３が所定の回転速度に到達すると，ディスク５３と磁気ヘッド６５との気流空圧により磁気ヘッド６５が微細な間隙を維持しながらディスク５３から浮き上がる。ＰＣＢから伝えられた電気信号はＦＰＣ４１を通過してアクチュエータ６３及びボイスコイルモータ６１に伝送され，電気信号によってアクチュエータ６３が駆動される。
【００２７】
磁気ヘッド６５は，あらかじめ記録されたサーボ信号をリードヘッドで読出した後に所定トラックに移動しながらＦＰＣ４１から伝送された電気信号を受信して，ライトヘッドでディスク５３に情報を記録する，あるいは，記録された情報をリードヘッドで読出してＦＰＣ４１を通じてＰＣＢに再伝送する。
【００２８】
図２Ａは，本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブのＦＰＣを示す図面であり，図２Ｂは，図２ＡのＣ部分を拡大した図面である。図２Ａ及び図２Ｂを参照すれば，本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブのＦＰＣ４１にはヘッド信号パターンＲＤＸ，ＲＤＹ，ＷＤＸ，ＷＤＹと電圧パターンＶＤＤ，ＶＳＳ，グラウンドパターンＧＮＤ，電流パターンＶＣとの間にスロット型の空洞４０が信号パターンと並んで形成されている。
【００２９】
空洞４０は，ＦＰＣ４１がブラケット６７と非接触になり始める部分と，ＦＰＣ４１がアクチュエータ６３と非接触になり始める部分との間に位置する。
【００３０】
ＦＰＣ４１に形成された空洞のためにＦＰＣ４１によるバイアス力が減少し，ボイスコイルモータ６１と連結される電流パターンＶＣ及び電圧パターンＶＤＤ，ＶＳＳとの電流干渉による磁気ヘッド６５のヘッド信号のノイズ発生が減少し，磁気ヘッド６５がディスク５３に情報を記録する場合に問題になる３４０Ｈｚ周波数帯域の振動エネルギーが減少する。
【００３１】
空洞４０の端部は外部ストレスによる破壊を防止するために輪郭線が円形に形成されることが望ましい。
【００３２】
ＦＰＣ４１は，磁気ヘッド６５に電気的信号を送る信号ケーブル（不図示）
とボイスコイルモータ６１の電流端子とをＰＣＢの端子と連結するためにＰＣＢのブラケット６７の間のプリアンプと連結される。
【００３３】
空洞が形成されたＦＰＣは空洞が形成されていないＦＰＣに比べて強度及び質量は減少するが，境界条件は変わらないのでＦＰＣ固有周波数である約３４０Ｈｚの周波数帯域は大きく変わらない。
【００３４】
ただし，本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブのＦＰＣは，ＦＰＣに形成された空洞により外部からＦＰＣに流入されたりＦＰＣ自体で発生する振動エネルギーを発散させて振動レベルを減らすことができる。特に本発明の実施の形態に係るＦＰＣでは，３４０Ｈｚ程度の周波数帯域で振動エネルギーが大きく減少するので磁気ヘッドがトラックを離脱する確率が減る。
【００３５】
また本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブのＦＰＣで，空洞がヘッド信号パターンＲＤＸ，ＲＤＹ，ＷＤＸ，ＷＤＹと電圧パターンＶＤＤ，ＶＳＳ，グラウンドパターンＧＮＤ，電流パターンＶＣとの間に形成されており，ヘッド信号パターンＲＤＸ，ＲＤＹ，ＷＤＸ，ＷＤＹから電圧パターンＶＤＤ，ＶＳＳ，グラウンドパターンＧＮＤ，電流パターンＶＣへのノイズの影響が減少する。
【００３６】
本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブのＦＰＣは，空洞が形成されていない従来のＦＰＣに比べて弾性力が小さく，バイアス力が小さいのでボイスコイルモータの電力消費を減少できる。
【００３７】
図３，図４及び図５は，本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブのＦＰＣに形成できる空洞の望ましい３変形例を示した図面である。
【００３８】
図３を参照すれば，本変形例によるハードディスクドライブのＦＰＣ４１には，ＦＰＣ４１がブラケット６７とになり始める部分と，アクチュエータ６３と非接触になり始める部分との間に一つのスロット型の空洞４０ａが形成されている。
【００３９】
図４を参照すれば，本変形例によるハードディスクドライブのＦＰＣ４１には，ＦＰＣ４１がブラケット６７と非接触になり始める部分と，アクチュエータ６３と非接触になり始める部分との間に３つのスロット型の空洞４０ｂが並んで配列されている。
【００４０】
図５を参照すれば，本変形例によるハードディスクドライブのＦＰＣ４１には，ＦＰＣ４１がブラケット６７と非接触になり始める部分と，アクチュエータ６３と非接触になり始める部分との間に，図３に形成された空洞４０ａより小さな一つのスロット型の空洞４０ｃが形成されている。
【００４１】
空洞の大きさと個数は，各ハードディスクドライブの環境によりＦＰＣ４１に最も大きい影響をおよぼす低周波数成分を低減するよう適当に形成される。例えば，７４０Ｈｚ周波数帯域の振動エネルギーを減らすためには，３４０Ｈｚ周波数帯域の振動エネルギーを減らすために形成された空洞の半分程度の大きさで空洞を形成することが望ましい。
【００４２】
図６は，図３に示されたようなスロットが形成されたＦＰＣの３４０Ｈｚ周波数帯域での周波数応答を示す図面であり，図７は，図４に示されたようなスロットが形成されたＦＰＣの同一周波数帯域での周波数応答を示す図面であり，図８は図５に示されたようなスロットが形成されたＦＰＣの同一周波数帯域での周波数応答を示す図面である。
【００４３】
３４０Ｈｚ周波数帯域で図１４に示されたスロットが形成されていないＦＰＣの周波数応答と比べる時，図６，図７及び図８で周波数応答の電流強度が顕著に減少することがわかる。図６，図７及び図８間の応答の強度には大差ない。
【００４４】
図９は，図３に示されたようなスロットが形成されたＦＰＣの７４０Ｈｚ周波数帯域での周波数応答を示す図面であり，図１０は，図４に示されたようなスロットが形成されたＦＰＣの同一周波数帯域での周波数応答を示す図面であり，図１１は，図５に示されたようなスロットが形成されたＦＰＣの同一周波数帯域での周波数応答を示す図面である。
【００４５】
図９，図１０及び図１１を参照すれば，７４０Ｈｚ周波数帯域では，図３に示されたようなスロットが形成されたＦＰＣの周波数応答の強度が最も大きくて図４に示されたようなスロットが形成されたＦＰＣの周波数応答の強度が最も小さいということがわかる。
【００４６】
図４に示されたＦＰＣは，図３に示されたＦＰＣに比べて約４０％の振動エネルギー減少効果があり，図５に示されたＦＰＣは図３に示されたＦＰＣに比べて約２６％の振動エネルギー減少効果がある。これより，ＦＰＣに形成される空洞はＦＰＣの固有振動数を回避できるように形成されて振動を分散させることが望ましいということがわかる。
【００４７】
本発明の実施の形態に係るＦＰＣには，特定低周波数帯域での振動エネルギーを減らすために適当な大きさと個数を有する空洞がヘッド信号パターンと電圧パターン，グラウンドパターン及び電流パターンの間に形成されて，電圧パターン，グラウンドパターン及び電流パターンがヘッド信号パターンへのノイズの影響を減らすことができる。
【００４８】
また本発明の実施の形態に係るＦＰＣでは，空洞が形成されることによって強度，質量，弾性力及びバイアス力が減少し，外部から流入されたりＦＰＣ自体で誘発される振動エネルギーの振動レベルが減少してハードディスクドライブのサーボ制御に対する振動の影響が低減されてアクチュエータを容易に制御できる。
【００４９】
以上で多くの事項が具体的に記載されているが，これらは発明の範囲を限定するものであるよりは，望ましい実施の形態の例示として解釈される必要がある。
【００５０】
例えば，本発明が属する技術分野で，当業者であれば本発明の技術的思想によりＦＰＣの他の部分に相異なる形または相異なる個数の空洞を形成して振動エネルギーを減らしうる。よって，本発明の範囲は説明された実施の形態によって定められることではなく，特許請求の範囲に記載された技術的思想により定められねばならない。
【００５１】
【発明の効果】
前述したように，本発明によれば，特定周波数領域の振動エネルギーを減らしてサーボ制御への影響を低減でき，ヘッド信号に対するノイズを減らしてアクチュエータの位置を容易に制御することによってハードディスクドライブの全体的な性能を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１Ａは，本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブを示す斜視図であり，図１Ｂは，図１ＡのＢ部分を拡大した図である。
【図２】図２Ａは，本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブのＦＰＣを示す平面図であり，図２Ｂは，図２ＡのＣ部分を拡大した図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブのＦＰＣに形成される空洞を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブのＦＰＣに形成される空洞を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブのＦＰＣに形成される空洞を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブのＦＰＣの３４０Ｈｚ周波数帯域での周波数応答を示すグラフである。
【図７】本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブのＦＰＣの３４０Ｈｚ周波数帯域での周波数応答を示すグラフである。
【図８】本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブのＦＰＣの３４０Ｈｚ周波数帯域での周波数応答を示すグラフである。
【図９】本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブのＦＰＣの７４０Ｈｚ周波数帯域での周波数応答を示すグラフである。
【図１０】本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブのＦＰＣの７４０Ｈｚ周波数帯域での周波数応答を示すグラフである。
【図１１】本発明の実施の形態に係るハードディスクドライブのＦＰＣの７４０Ｈｚ周波数帯域での周波数応答を示すグラフである。
【図１２】従来のハードディスクドライブの構成を示す平面図である。
【図１３】図１３Ａは，従来のＦＰＣを示す平面図であり，図１３Ｂは，図１３ＡのＡ部分を拡大した図である。
【図１４】従来のＦＰＣの周波数応答を示すグラフである。
【符号の説明】
４０  空洞
４１  ＦＰＣ
５３  ディスク
５５  スピンドルモータ
５７  ピボット軸
６１  ボイスコイルモータ
６３  アクチュエータ
６５  磁気ヘッド
６６  サスペンション
６７  ブラケット
【図１】
0004503916.tif 000002
0004503916.tif 000003
【図２】
0004503916.tif 000004
0004503916.tif 000005
【図３】
0004503916.tif 000006
【図４】
0004503916.tif 000007
【図５】
0004503916.tif 000008
【図６】
0004503916.tif 000009
【図７】
0004503916.tif 000010
【図８】
0004503916.tif 000011
【図９】
0004503916.tif 000012
【図１０】
0004503916.tif 000013
【図１１】
0004503916.tif 000014
【図１２】
0004503916.tif 000015
【図１３】
0004503916.tif 000016
0004503916.tif 000017
【図１４】
0004503916.tif 000018