(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平面方向と上下方向に動作する電子部品装着ヘッド部を備える電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御方法であって、基板上に電子部品を実装した後にノズル先端部を水平面方向へ移動するに際し、
電子部品実装時にノズル先端部を上下方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基に電子部品の高さを求め、実装済み電子部品の高さのうちの最大の高さをノズル先端部の水平面方向への動作開始位置として設定し、
電子部品実装後にノズル先端部を上下方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基に現在のノズル先端部の上下方向に対する位置を確認し、
前記動作開始位置と前記現在のノズル先端部の上下方向に対する位置とを比較して一致したとき、位置決めコントローラが水平面方向に対する指令速度を出力してノズル先端部を水平面方向へ移動させるためのサーボモータを駆動・制御する
ことを特徴とする電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御方法。
【請求項２】
水平面方向と上下方向に動作する電子部品装着ヘッド部を備える電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御方法であって、基板上に電子部品を実装した後にノズル先端部を水平面方向へ移動するに際し、
電子部品実装時にノズル先端部を上下方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基に電子部品の高さを求め、実装済み電子部品の高さのうちの最大の高さと所定の高さとを用いてノズル先端部の水平面方向への動作可能範囲を設定し、
電子部品実装後にノズル先端部を上下方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基に現在のノズル先端部の上下方向に対する位置を確認し、
前記動作可能範囲内に前記現在のノズル先端部の上下方向に対する位置が収まったとき又は収まっているとき、位置決めコントローラが水平面方向に対する指令速度を出力してノズル先端部を水平面方向へ移動させるためのサーボモータを駆動・制御する
ことを特徴とする電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御方法。
【請求項３】
水平面方向と上下方向に動作する電子部品装着ヘッド部を備える電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御装置であって、
電子部品実装時にノズル先端部を上下方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基に電子部品の高さを求め、実装済み電子部品の高さのうちの最大の高さをノズル先端部の水平面方向への動作開始位置として設定して記憶するメインコントローラと、
前記メインコントローラから出力される前記動作開始位置を記憶し、電子部品実装後にノズル先端部を上下方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基に現在のノズル先端部の上下方向に対する位置を確認し、前記動作開始位置と前記現在のノズル先端部の上下方向に対する位置とを比較して一致したとき、水平面方向に対する指令速度を出力してノズル先端部を水平面方向へ移動させるためのサーボモータを駆動・制御する位置決めコントローラと
を備えることを特徴とする電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御装置。
【請求項４】
水平面方向と上下方向に動作する電子部品装着ヘッド部を備える電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御装置であって、
電子部品実装時にノズル先端部を上下方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基に電子部品の高さを求め、実装済み電子部品の高さのうちの最大の高さと所定の高さとを用いてノズル先端部の水平面方向への動作可能範囲を設定して記憶するメインコントローラと、
前記メインコントローラから出力される前記動作可能範囲を記憶し、電子部品実装後にノズル先端部を上下方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基に現在のノズル先端部の上下方向に対する位置を確認し、前記動作可能範囲内に前記現在のノズル先端部の上下方向に対する位置が収まったとき又は収まっているとき、水平面方向に対する指令速度を出力してノズル先端部を水平面方向へ移動させるためのサーボモータを駆動・制御する位置決めコントローラと
を備えることを特徴とする電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水平面方向と上下方向に動作する電子部品装着ヘッド部を備える電子部品実装機のノズル先端部（負荷の位置）の位置決め制御方法、及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の水平面方向（以下、ＸＹ方向と称す）と上下方向（以下、Ｚ方向と称す）に動作する電子部品装着ヘッド部を備える電子部品実装機は、該電子部品装着ヘッド部が有する複数のノズルに電子部品供給テーブル上にある電子部品を同時に吸着させ、該電子部品装着ヘッド部を基板上まで平行移動させ、予め設定されている順番に従い基板上の所定の実装位置に電子部品を実装していき、吸着していた電子部品の実装がすべて終了すると電子部品供給テーブルまで戻り、次に実装する電子部品を各ノズルに同時に吸着させるという動作を繰り返している。このとき、該電子部品実装機は、ノズル先端部（電子部品を吸着している部位）の位置決め制御を行う必要がある。
【０００３】
該電子部品装着ヘッド部のＸＹＺ方向に対する動作制御は（但し、Ｚ方向に対する動作制御にはノズルの動作制御を含む）、ボールネジ等のメカ機構を駆動することにより行われる。つまり、これらメカ機構が備える複数のサーボモータ等のアクチュエータを駆動・制御することによってノズル先端部の位置をＸＹＺ方向に制御している。
【０００４】
以下に、従来のＸＹＺ方向に動作する電子部品装着ヘッド部を備える電子部品実装機におけるノズル先端部の位置決め制御について図面を用いて説明する。図５は、該電子部品実装機におけるノズル先端部の位置決め制御装置の構成を示すブロック図である。図５において、サーボドライバ３、サーボモータ４、メカ機構５はノズル先端部のＸ方向に対する動作（該電子部品装着ヘッド部自身のＸ方向に対する動作）を制御する制御機構であり、サーボドライバ６、サーボモータ７、メカ機構８はノズル先端部のＹ方向に対する動作（該電子部品装着ヘッド部自身のＹ方向に対する動作）を制御する制御機構であり、サーボドライバ９、サーボモータ１０、メカ機構１１はノズル先端部のＺ方向に対する動作（ノズルの昇降動作）を制御する制御機構である。但し、サーボドライバ９等は各ノズルを制御しているサーボドライバ等の中の現在昇降動作（Ｚ方向への動作、即ち、上下方向への動作）を行っているノズルに対するものであり、サーボドライバ３、６等は該電子部品装着ヘッド部のＸＹ方向への動作、即ち、水平面方向への動作を制御している。
【０００５】
メインコントローラ１は動作パラメータであるノズル先端部の目標位置Ｐ（ｘ，ｙ，ｚ）・最高速度Ｖ（ｘ，ｙ，ｚ）・最高加速度α（ｘ，ｙ，ｚ）と動作開始指令Ｃとを位置決めコントローラ２に与え、位置決めコントローラ２は与えられた動作パラメータに基づき各サーボドライバ３、６、９に対する指令速度Ｘ、Ｙ、Ｚを演算し、出力している。各サーボドライバ３、６、９は入力された指令速度Ｘ、Ｙ、Ｚに基づき各メカ機構５、８、１１が備えるサーボモータ４、７、１０を駆動・制御している。
【０００６】
電子部品を基板上に実装するときのメカ機構１１の動作は昇降動作であって、ある高さから降下していき電子部品を基板上に圧着すると前記ある高さまで上昇する。メカ機構１１が行うこの昇降動作はノズル先端部が行う昇降動作にほかならず、結果、これに合わせてノズル先端部も所定の高さ（ノズルの昇降動作の基点となる高さ）から下降して前記所定の高さまで上昇することになる。
【０００７】
高さ検出センサ１３はメカ機構１１に１個以上具備されており、それぞれが捉えている量（所定量）だけメカ機構１１が前記ある高さから移動したときに検出信号を出力する。即ち、ノズル先端部が高さ検出センサ１３が捉えている位置（高さ）に位置したとき検出信号を出力する。
【０００８】
入出力コントローラ１２は、高さ検出センサ１３からの検出信号に基いて位置決めコントローラ２に動作開始信号Ｄを出力している。
位置決めコントローラ２は、図６に示すように、与えられた動作パラメータに基づいて演算した指令速度Ｘ、Ｙ、Ｚを各サーボドライバ３、６、９に出力する。即ち、サーボドライバ９（Ｚ方向）にはメインコントローラ１からの動作開始指令Ｃに同期させて指令速度Ｚを出力し、サーボドライバ９はこの指令速度Ｚに基いてサーボモータ１０を駆動・制御する。また、サーボドライバ３、６（Ｘ、Ｙ方向）には入出力コントローラ１２からの動作開始信号Ｄに同期させて指令速度Ｘ、Ｙを出力し、サーボドライバ３、６はこの指令速度Ｘ、Ｙに基いてサーボモータ４、７を駆動・制御する。
【０００９】
続いて、上述したノズル先端部の位置決め制御装置を有する電子部品実装機が基板上に電子部品を実装する際の動作を説明する。
該電子部品実装機においては、各ノズルが電子部品供給テーブル上にある電子部品を同時に吸着すると該電子部品を前記所定の高さまで上昇させ、まず、最初に基板上に実装する電子部品を吸着しているノズルが所定の実装位置の真上に位置するように電子部品装着ヘッド部を平行移動させる。実装位置の真上に到着すると、該ノズルを下降させてサーチ動作を行う。このサーチ動作によって電子部品に適度な圧力を掛け、電子部品を基板上のランドに圧着させる。そして、該ノズルを前記所定の高さまで上昇させ、次に基板上に実装する電子部品を吸着しているノズルが所定の実装位置の真上に位置するように電子部品装着ヘッド部を移動させる。以上の動作を繰り返し、各ノズルが吸着している電子部品をすべて実装し終えると、各ノズルに新たな電子部品を吸着するために電子部品供給テーブル上に戻る。
【００１０】
以上のような従来の電子部品実装機においては、一つのノズルが基板上に電子部品を実装した後の動作時、つまり、該ノズルを上昇させＸＹ方向への移動を開始するとき、実装時間の短縮化の観点から、該ノズルが前記所定の高さまで上昇し終える前にＸＹ方向への移動を開始している（つまり、斜め上方への移動を該ノズルが前記所定の高さに到達するまで行う）。以下、このような電子部品実装後のノズル上昇時の動作を代表して、各ノズルが吸着している電子部品をすべて実装し終え、電子部品供給テーブル上に戻る際の動作について説明する。
【００１１】
図７は、電子部品装着ヘッド部が有するノズル１５が基板１４上の位置Ｐ０に電子部品Ａ１６を実装した後に、新たな電子部品Ｂ１７を吸着するため電子部品供給テーブル１９上の電子部品Ｂ１７が存在する位置Ｐ１に戻る様子を示した概念図である。該電子部品実装機は、ノズル１５の先端部を位置Ｐ０から位置Ｐ１へ位置決めする際に、図７に示すようにその道程に実装済み電子部品Ｃ１８がある場合には、ノズル１５の先端部が実装済み電子部品Ｃ１８よりも高く移動したことを高さ検出センサによって検出してから電子部品装着ヘッド部、つまりノズル１５の先端部のＸＹ方向への動作を開始していた。例えば、各メカ機構毎に高さ検出センサを１個設ける場合には、高さ検出センサが捉える高さを、基板上に実装するすべての電子部品のなかで最大高さのものを実装する際にノズル先端部が位置する高さ（メカ機構の位置）に合わせればよい。このようにすれば電子部品実装後ノズル先端部が前記最大高さを越えるまで上昇しないと高さ検出センサが検出信号を出力せず、ＸＹ方向への動作を開始しない。また、各メカ機構毎に高さ検出センサを複数個設けることによって、実装済み電子部品のうちの最大高さに従いノズル先端部のＸＹ方向に対する動作開始のタイミングを変えることができる。但し、各メカ機構毎に複数個設けられた高さ検出センサそれぞれが捉えている高さは、各メカ機構毎に一定である。この場合、サーチ動作時（ノズル先端部が下降しているとき）にノズル先端部（メカ機構）が各高さ検出センサの捉える位置を通過する度に出力される検出信号をメインコントローラに入力する。メインコントローラはこの検出信号からノズル先端部の前記所定の高さからの移動量を求め、この移動量から実装済み電子部品のうちの最大の高さを判断して記憶し、この最大高さに従って動作パラメータの値を変更して位置決めコントローラに与えるとともに、最大高さのデータを入出力コントローラに与える。入出力コントローラは最大高さのデータを記憶し、高さ検出センサからの検出信号と比較を行い動作開始信号Ｄを出力する。
【００１２】
しかしながら、高さ検出センサを１個設けた場合には、高さの低い電子部品を実装した後であってもノズル先端部が最大高さに到達するまでノズル先端部（電子部品装着ヘッド部）のＸＹ方向への動作が開始できず、高速化の妨げとなる。また、複数個の高さ検出センサを設けた場合には、物理的な制約から高さ検出センサの個数が制限され、電子部品実装後のノズル先端部のＸＹ方向への動作開始位置を精度良く設定することができない。また、高さ検出センサの個数が増えると入出力コントローラでの処理遅れが発生し、高速化の妨げとなる（図８に遅れが発生している測定波形の一例を示す）。更に、センサや配線の増加により、コストアップや断線による信頼性の低下を招く恐れがある。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記従来の問題を解決するもので、高さ検出センサを用いることなく、電子部品実装時にノズル先端部をＺ方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基にノズル先端部のＺ方向に対する位置を得ることができる電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御方法、及びその装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明における請求項１記載の電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御方法は、水平面方向と上下方向に動作する電子部品装着ヘッド部を備える電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御方法であって、基板上に電子部品を実装した後にノズル先端部を水平面方向へ移動するに際し、電子部品実装時にノズル先端部を上下方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基に電子部品の高さを求め、実装済み電子部品の高さのうちの最大の高さをノズル先端部の水平面方向への動作開始位置として設定し、電子部品実装後にノズル先端部を上下方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基に現在のノズル先端部の上下方向に対する位置を確認し、前記動作開始位置と前記現在のノズル先端部の上下方向に対する位置とを比較して一致したとき、位置決めコントローラが水平面方向に対する指令速度を出力してノズル先端部を水平面方向へ移動させるためのサーボモータを駆動・制御することを特徴とする。
【００１５】
本発明における請求項２記載の電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御方法は、水平面方向と上下方向に動作する電子部品装着ヘッド部を備える電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御方法であって、基板上に電子部品を実装した後にノズル先端部を水平面方向へ移動するに際し、電子部品実装時にノズル先端部を上下方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基に電子部品の高さを求め、実装済み電子部品の高さのうちの最大の高さと所定の高さとを用いてノズル先端部の水平面方向への動作可能範囲を設定し、電子部品実装後にノズル先端部を上下方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基に現在のノズル先端部の上下方向に対する位置を確認し、前記動作可能範囲内に前記現在のノズル先端部の上下方向に対する位置が収まったとき又は収まっているとき、位置決めコントローラが水平面方向に対する指令速度を出力してノズル先端部を水平面方向へ移動させるためのサーボモータを駆動・制御することを特徴とする。
【００１６】
本発明における請求項３記載の電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御装置は、水平面方向と上下方向に動作する電子部品装着ヘッド部を備える電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御装置であって、電子部品実装時にノズル先端部を上下方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基に電子部品の高さを求め、実装済み電子部品の高さのうちの最大の高さをノズル先端部の水平面方向への動作開始位置として設定して記憶するメインコントローラと、前記メインコントローラから出力される前記動作開始位置を記憶し、電子部品実装後にノズル先端部を上下方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基に現在のノズル先端部の上下方向に対する位置を確認し、前記動作開始位置と前記現在のノズル先端部の上下方向に対する位置とを比較して一致したとき、水平面方向に対する指令速度を出力してノズル先端部を水平面方向へ移動させるためのサーボモータを駆動・制御する位置決めコントローラとを備えることを特徴とする。
【００１７】
本発明における請求項４記載の電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御装置は、水平面方向と上下方向に動作する電子部品装着ヘッド部を備える電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御装置であって、電子部品実装時にノズル先端部を上下方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基に電子部品の高さを求め、実装済み電子部品の高さのうちの最大の高さと所定の高さとを用いてノズル先端部の水平面方向への動作可能範囲を設定して記憶するメインコントローラと、前記メインコントローラから出力される前記動作可能範囲を記憶し、電子部品実装後にノズル先端部を上下方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基に現在のノズル先端部の上下方向に対する位置を確認し、前記動作可能範囲内に前記現在のノズル先端部の上下方向に対する位置が収まったとき又は収まっているとき、水平面方向に対する指令速度を出力してノズル先端部を水平面方向へ移動させるためのサーボモータを駆動・制御する位置決めコントローラとを備えることを特徴とする。
【００１８】
本発明によれば、電子部品実装時にノズル先端部をＺ方向（上下方向）へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基にノズル先端部のＺ方向に対する位置を得ることによって、正確で信頼性の高い、かつ安価で高速なノズル先端部の位置決め制御が可能となる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図１から図４を用いて説明する。なお、前述した従来例と同じ構成を有する部材には同一の番号を付記して、説明を省略する。
【００２０】
図１は本発明の実施の形態におけるＸＹＺ方向に動作する電子部品装着ヘッド部を備える電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御装置の構成を示すブロック図である。また、図２は位置決めコントローラから各サーボドライバへ出力される指令速度を示す図である。該電子部品実装機は、従来例と同様、前記所定の高さからノズルを下降させて電子部品を実装し、実装後は前記所定の高さまで上昇させるものとする。
【００２１】
メインコントローラ１は位置決めコントローラ２に動作パラメータであるノズル先端部の目標位置Ｐ（ｘ，ｙ，ｚ）・最高速度Ｖ（ｘ，ｙ，ｚ）・最高加速度α（ｘ，ｙ，ｚ）と、動作開始指令Ｃと、動作開始位置Ｐｚと、軸指定Ａとを与え、位置決めコントローラ２はこれらの指令を記憶する。動作開始位置Ｐｚとは、電子部品実装後にノズル先端部がＸＹ方向への動作を開始する位置（高さ）であり、サーチ動作時にサーボモータ９が備えるエンコーダから送信されるデータ（ノズル先端部のサーチ動作時における所定の高さからの移動量）を基にメインコントローラ１が判断した実装済み電子部品のうちの最大の高さである。メインコントローラ１はこの最大高さを記憶し、位置決めコントローラ２に与えている。また、軸指定Ａとは該電子部品装着ヘッド部が有する複数のノズル（軸）のうち現在動作中のノズルを指定するものである。動作開始位置Ｐｚと軸指定ＡはＸ、Ｙ方向のサーボドライバ３、６に対してのみ設定されるものであり、これらが設定されることによって、位置決めコントローラ２はサーボドライバ３、６を動作させる際に、指定されたノズル先端部の現在位置、つまり現在のノズル先端部のＺ方向に対する位置（高さ）を確認し、その位置が動作開始位置Ｐｚに一致したことを確認してからサーボドライバ３、６に対して指令速度Ｘ、Ｙを出力することになる。
【００２２】
位置決めコントローラ２は、図２に示すように、与えられた動作パラメータに基づき、各サーボドライバ３、６、９に対する指令速度を演算し、各指令速度を各サーボドライバ３、６、９に出力する。即ち、サーボドライバ９（Ｚ方向）に対してはメインコントローラ１からの動作開始指令Ｃと同期させて指令速度Ｚを出力する。また、サーボドライバ３、６（Ｘ、Ｙ方向）に対しては、設定されている動作開始位置Ｐｚと軸指定Ａに従い、現在のノズル先端部のＺ方向に対する位置が動作開始位置Ｐｚと一致したときに指令速度Ｘ、Ｙを出力する。
【００２３】
以下に、基板上に電子部品を実装した後の位置決めコントローラ２の動作を、図３に示す本実施の形態における位置決めコントローラの動作フローチャート図を用いて説明する。
【００２４】
最初、位置決めコントローラ２は、メインコントローラ１から動作開始指令Ｃが与えられるのを待っている状態（ステップ１）にあり、メインコントローラ１から動作開始指令Ｃや動作パラメータ等の各指令が与えられるとステップ２に移行する。ステップ２においては、メインコントローラ１から与えられた動作パラメータに基いて各サーボドライバ３、６、９に対する指令速度Ｘ、Ｙ、Ｚを演算するとともに、何れのサーボドライバに軸指定Ａの設定がなされたかを判定する。動作開始位置Ｐｚと軸指定Ａはサーボドライバ３、６に設定され、サーボドライバ９には設定されないことから、位置決めコントローラ２は、ステップ３において軸指定Ａが設定されていないサーボドライバ９に対して指令速度Ｚを動作開始指令Ｃと同期させて出力するとともに、ステップ４において動作開始位置Ｐｚと軸指定Ａの設定に従って現在のノズル先端部のＺ方向に対する位置を確認し、動作開始位置Ｐｚとの比較を行う。なお、位置決めコントローラ２はサーボモータ９に備えられているエンコーダから送られてくるデータを基に現在のノズル先端部のＺ方向に対する位置を確認している。現在のノズル先端部のＺ方向に対する位置と動作開始位置Ｐｚとを比較した結果、一致したときにはステップ５に移行してサーボドライバ３、６に対し指令速度Ｘ、Ｙを出力する。即ち、位置決めコントローラ２は動作開始位置Ｐｚと軸指定Ａの設定に従って現在のノズル先端部のＺ方向に対する位置と動作開始位置Ｐｚとが一致するまで両者の比較を行うことになる。
【００２５】
なお、サーチ動作時にサーボモータ９が備えるエンコーダから送信されるデータを基にメインコントローラ１が実装済み電子部品のうちの最大の高さを記憶し、この最大高さと前記所定の高さとを用いて動作可能範囲を設定し、動作開始位置Ｐｚに代えて位置決めコントローラ２に与えてもよい。
【００２６】
また、図４に示すように、上述の動作可能範囲をサーボモータ３、６に対して設定し、電子部品実装後からノズル先端部のＸＹ方向への動作（電子部品装着ヘッド部のＸＹ方向への動作）が終了するまでの間現在のノズル先端部のＺ方向に対する位置が動作可能範囲内に収まっているか確認し続けてもよい。つまり、図４に示すように、ＸＹ方向への動作が開始したステップ５以降においても、ノズル先端部のＸＹ方向への動作が終了するまで現在のノズル先端部のＺ方向に対する位置が動作可能範囲内に収まっているか確認し続け（ステップ６、７）、ステップ７において現在のノズル先端部のＺ方向に対する位置が動作可能範囲を逸脱したときは動作を停止させる（ステップ８）ようにしてもよい。この結果、Ｚ方向の障害物との干渉を未然に防止することができる。
【００２７】
【発明の効果】
本発明によれば、電子部品実装時にノズル先端部をＺ方向へ移動させるためのサーボモータから出力される信号を基にノズル先端部のＺ方向に対する位置を得ることによって、正確で信頼性の高い、かつ安価で高速なノズル先端部の位置決め制御が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態におけるＸＹＺ方向に動作する電子部品装着ヘッド部を備える電子部品実装機のノズル先端部の位置決め制御装置の構成を示すブロック図
【図２】  本発明の実施の形態における位置決めコントローラから各サーボドライバへ出力される指令速度を示す図
【図３】  本発明の実施の形態における位置決めコントローラの一動作フローチャート図
【図４】  本発明の実施の形態における位置決めコントローラの一動作フローチャート図
【図５】  従来のＸＹＺ方向に動作する電子部品装着ヘッド部を備える電子部品実装機におけるノズル先端部の位置決め制御装置の構成を示すブロック図
【図６】  従来の位置決めコントローラから各サーボドライバへ出力される各指令速度を示す図
【図７】  電子部品装着ヘッド部が有するノズルが基板上の位置Ｐ０に電子部品Ａを実装した後、新たな電子部品Ｂを吸着するため電子部品供給テーブル上の電子部品Ｂが存在する位置Ｐ１へ移動する様子を示す概念図
【図８】  従来の高さ検出センサを備えた電子部品実装機の入出力コントローラにおいて処理遅れが発生したときの測定波形の一例を示す図
【符号の説明】
１    メインコントローラ
２    位置決めコントローラ
３    Ｘ方向に対するサーボドライバ
４    Ｘ方向に対するサーボモータ
５    Ｘ方向に対するメカ機構
６    Ｙ方向に対するサーボドライバ
７    Ｙ方向に対するサーボモータ
８    Ｙ方向に対するメカ機構
９    Ｚ方向に対するサーボドライバ
１０    Ｚ方向に対するサーボモータ
１１    Ｚ方向に対するメカ機構
１２    入出力コントローラ
１３    高さ検出センサ
１４    基板
１５    ノズル
１６    電子部品Ａ
１７    電子部品Ｂ
１８    電子部品Ｃ
１９    電子部品供給テーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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