(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダ内に往復移動されるピストンを有すると共に、このピストンを空気圧で駆動する駆動部を有し、前記ピストンの一方向への動きにより被搬送流体をシリンダ内に吸入口から吸入し、他方向への動きにより被搬送流体を吐出口から吐出する第１のポンプと、
この第１のポンプと同様に構成された第２のポンプと、
前記両ポンプの各吐出口に接続される接続口を有すると共に、これら接続口間に往復逆止弁を有し、吐出圧の高い方の吐出口から吐出される被搬送流体を送出する送出口を有するシャトルバルブと、
前記第１のポンプ及び第２のポンプの圧力を、夫々動作圧力と、これより小なる待機圧力と、これよりもさらに小なるピストン復帰用圧力とに切替え可能な第１の電空レギュレータ及び第２の電空レギュレータと、
前記第１のポンプのピストンの押出し開始位置、押出し終了位置、および押出し終了間近位置を検出する第１の位置検出手段と、
前記第２のポンプのピストンの押出し開始位置、押出し終了位置、および押出し終了間近位置を検出する第２の位置検出手段と、
前記第１の位置検出手段から押出し終了間近位置検出信号が入力されると前記第２の電空レギュレータを前記動作圧力に切替えて前記第２のポンプに押出し動作を開始させ、前記第１の位置検出手段から押出し終了位置検出信号が入力されると前記第１の電空レギュレータを前記ピストン復帰用圧力に切替えて前記第１のポンプのピストンを押出し開始位置に移動させ、前記第１の位置検出手段から押出し開始位置検出信号が入力されると前記第１の電空レギュレータを前記待機圧力とし、前記第２の位置検出手段から押出し終了間近位置検出信号が入力されると前記第１の電空レギュレータを前記動作圧力に切替えて前記第１のポンプに押出し動作を開始させ、前記第２の位置検出手段から押出し終了位置検出信号が入力されると前記第２の電空レギュレータを前記ピストン復帰用圧力に切替えて前記第２のポンプのピストンを押出し開始位置に移動させ、前記第２の位置検出手段から押出し開始位置検出信号が入力されると前記第２の電空レギュレータを前記待機圧力とすることを繰り返すように制御する制御手段と
を備えてなるポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリンダおよびピストンを有してなるポンプを２つ備えたポンプ装置に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
例えばシリコンウェハや液晶パネルを洗浄する際に、流体圧送装置により被搬送流体たる液体二酸化炭素をノズルに高圧力で供給して、このノズルから被洗浄物（シリコンウェハや液晶パネル）に向けて噴射させ、その液体がノズルを出たときに断熱膨張してドライアイスの微粒子となって被洗浄物に当たり、これを洗浄するようにしたものがある。
【０００３】
ところで、従来の流体圧送装置としては、図１２に示すポンプ１を用いる構成のものが知られている。このポンプ１は、シリンダ２の内部にピストン３を設けると共に、シリンダ２の先端部に吸入口４および吐出口５を設け、吸入口４に逆止弁４ａを設けた構成とされている。上記ピストン３は、駆動部６により押出し位置Ｐ１と押出し終了位置Ｐ２との間で往復移動されるようになっている。この駆動部６は、駆動部シリンダ７と、駆動部ピストン８とから構成されている。前記ピストン３はその上端部が駆動部シリンダ７内に挿通されて、前記駆動部ピストン８に連結されている。
【０００４】
上記駆動部シリンダ７の下部のエア口７ａから圧縮空気が供給されると（上部のエア口７ｂは開放）駆動部ピストン８が上昇してピストン３を押出し終了位置Ｐ２から押出し位置Ｐ１へ移動させる。これにより、被搬送流体たる液体二酸化炭素を吸入口４からシリンダ２内へ吸入する。そして、この押出し位置Ｐ１にて、次に上部のエア口７ｂから圧縮空気が供給されると（下部のエア口７ａは開放）と、駆動部ピストン８が下降してピストン３を押出し位置Ｐ１から押出し終了位置Ｐ２へ移動させる。これにより、被搬送流体たる液体二酸化炭素が吐出口５から吐出され、図示しないノズルへの配管へと圧送されることになる。このように、液体二酸化炭素を吸入し吐出することを繰り返して、順次、液体二酸化炭素をノズルへと圧送するようになっている。
ところが、このものでは、ポンプ１による圧送が連続的でなく、ノズルからの吐出も断続的となってしまう問題があった。
【０００５】
これを解決するものとして、図１３に示す複動式のポンプ１１を用いたものもある。このポンプ１１は、シリンダ１２内に、その内部を上下のポンプ室１２ａ，１２ｂに区画するピストン１３を配置し、このピストン１３に、上下のポンプ室１２ａ、１２ｂを連通させる連通口１４を形成し、この連通口１４に逆止弁１４ａを配置した構成となっている。上記ピストン１３はピストンロッド１３ａに連結されており、このピストンロッド１３ａは図示しない駆動部によって上下動されるものであり、これにてピストン１３が上下上位置Ｑ１と下位置Ｑ２との間で往復移動されるようになっている。また、シリンダ１２の下部のポンプ室１２ｂには逆止弁１５ａを備えた吸入口１５が形成され、上部のポンプ室１２ａには吐出口１６が形成されている。
【０００６】
この図１３の状態では、ピストン１３が上位置Ｑ１にあって、下ポンプ室１２ｂに液体二酸化炭素が吸入された状態となっている。この状態からピストン１３が下降されると、下ポンプ室１２ｂ内の液体二酸化炭素が連通口１４を通して上部ポンプ室１２ａへ移動して吐出口１６から吐出し、図示しないノズルへと圧送する。また、ピストン１３が下位置Ｑ２から上昇されると、上部のポンプ室１２ａ内の液体二酸化炭素が吐出口１６から吐出されると共に、吸入口１５から液体二炭化酸素が下ポンプ室１２ｂ内に吸入される。
【０００７】
このように、ピストン１３が上昇および下降のいずれにおいても被搬送流体たる二酸化炭素が圧送される。
しかし、この場合、ピストン１３が上死点（上側の折り返し点）および下死点（下側の折り返し点）付近となったときに、二酸化炭素の圧送が停止し、つまり、圧送が脈動するといった問題がある。
【０００８】
本発明は上述の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、被搬送流体を連続的にしかも脈動することなく圧送できるポンプ装置を提供するにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、シリンダ内に往復移動されるピストンを有すると共に、このピストンを空気圧で駆動する駆動部を有し、前記ピストンの一方向への動きにより被搬送流体をシリンダ内に吸入口から吸入し、他方向への動きにより被搬送流体を吐出口から吐出する第１のポンプと、
この第１のポンプと同様に構成された第２のポンプと、
前記両ポンプの各吐出口に接続される接続口を有すると共に、これら接続口間に往復逆止弁を有し、吐出圧の高い方の吐出口から吐出される被搬送流体を送出する送出口を有するシャトルバルブと、
前記第１のポンプ及び第２のポンプの圧力を、夫々動作圧力と、これより小なる待機圧力と、これよりもさらに小なるピストン復帰用圧力とに切替え可能な第１の電空レギュレータ及び第２の電空レギュレータと、
前記第１のポンプのピストンの押出し開始位置、押出し終了位置、および押出し終了間近位置を検出する第１の位置検出手段と、
前記第２のポンプのピストンの押出し開始位置、押出し終了位置、および押出し終了間近位置を検出する第２の位置検出手段と、
前記第１の位置検出手段から押出し終了間近位置検出信号が入力されると前記第２の電空レギュレータを前記動作圧力に切替えて前記第２のポンプに押出し動作を開始させ、前記第１の位置検出手段から押出し終了位置検出信号が入力されると前記第１の電空レギュレータを前記ピストン復帰用圧力に切替えて前記第１のポンプのピストンを押出し開始位置に移動させ、前記第１の位置検出手段から押出し開始位置検出信号が入力されると前記第１の電空レギュレータを前記待機圧力とし、前記第２の位置検出手段から押出し終了間近位置検出信号が入力されると前記第１の電空レギュレータを前記動作圧力に切替えて前記第１のポンプに押出し動作を開始させ、前記第２の位置検出手段から押出し終了位置検出信号が入力されると前記第２の電空レギュレータを前記ピストン復帰用圧力に切替えて前記第２のポンプのピストンを押出し開始位置に移動させ、前記第２の位置検出手段から押出し開始位置検出信号が入力されると前記第２の電空レギュレータを前記待機圧力とすることを繰り返すように制御する制御手段と
を備えて構成される。
【００１２】
この請求項１の発明においては、前記第１のポンプのピストンが押出し終了間近位置となったことを第１の位置検出手段により検出し、これに基づいて第２のポンプのピストンの押出し動作を開始させるから、第１のポンプから第２のポンプへの押出し動作切替えを確実に行なうことができ、第１のポンプから第２のポンプへの押出し動作切替え時に一時的な圧送停止が発生せず、また、第２のポンプのピストンの押出し終了間近位置となったことを第２の位置検出手段により検出し、これに基づいて第１のポンプのピストンの押出し動作を開始させるから、第２のポンプから第１のポンプへの押出し動作切替えを確実に行なうことができ、第２のポンプから第１のポンプへの押出し動作切替え時においても一時的な圧送停止が発生せず、これによって、送出部からは常に連続して且つ脈動なしで被搬送流体が送出されるようになる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例につき図１ないし図１１を参照しながら説明する。まず、図１にはポンプ装置２１の概略構成を示している。このポンプ装置２１において、まず第１のポンプ２２および第２のポンプ２３について説明する。これら両ポンプ２２および２３は同一構成であるので、第１のポンプ２２を代表して説明する。図２に示すように、この第１のポンプ２２は、シリンダ２４の内部にピストン２５を往復移動可能に設けると共に、シリンダ２４の先端部に、吸入口２６および吐出口２７を有しており、この吸入口２６には逆止弁２６ａを設けている。上記ピストン２５は、駆動部２８により押出し開始位置Ｒ１と押出し終了位置Ｒ２との間で往復移動されるようになっている。この駆動部２８は、駆動部シリンダ２９と、駆動部ピストン３０とから構成されている。前記ピストン２５はその上端部が駆動部シリンダ２９内に挿通されて、前記駆動部ピストン３０に連結されている。
【００１４】
上記駆動部シリンダ２９の上下部には、エア口２９ａ、２９ｂが設けられている。駆動部２９の駆動部ピストン３０の受圧面はピストン２５の受圧面より大きい構成で、駆動部２９の小さな駆動力で吐出口２７から大きな吐出圧で被搬送流体を吐出し得る構成となっている。
【００１５】
前記エア口２９ａ、２９ｂには圧縮空気が択一的に供給されるようになっており、下部のエア口２９ｂに圧縮空気が供給されると（上部のエア口２９ａは開放）駆動部ピストン３０が上昇してピストン２５が押出し終了位置Ｒ２から押出し開始位置Ｒ１へ移動され、これにて、被搬送流体が吸入口２６から吸入される。また、上部のエア口２９ａに圧縮空気が供給されると（下部のエア口２９ｂは開放）駆動部ピストン３０が下降してピストン２５が押出し開始位置Ｒ１から押出し終了位置Ｒ２へ移動され、これにて、被搬送流体が吐出口２７から吐出される。
【００１６】
第２のポンプ２３において第１のポンプ２２と同一部分には同一符号を付して説明を省略する。
第１のポンプ２２および第２のポンプ２３の各吐出口２７は、送出部たるシャトルバルブ３１の各接続口３１ａおよび３１ｂに接続されている。このシャトルバルブ３１は、接続口３１ａおよび３１ｂ間に、往復バルブ３２が納められている。この往復バルブ３２により、接続口３１ａおよび３１ｂのうち吐出圧が低い側の接続口を閉鎖しつつ、各吐出口２７、２７から吐出される被搬送流体を一つの送出口３１ｃから送出するようになっている。
【００１７】
また、前記ピストン３０には、被検体としてのマグネット３４が埋設されている。そして、第１のポンプ２２には、上記マグネット３４とでそれぞれ第１の位置検出手段を構成するそれぞれ磁気センサからなる位置センサ３３ａ、３３ｂ、３３ｃが設けられている。この位置センサ３３ａ、３３ｂ、３３ｃのうち、位置センサ３３ａはピストン２５における押出し開始位置Ｒ１を検出すべく駆動部シリンダ２９に配設され、別の位置センサ３３ｂはピストン２５の押出し終了位置Ｒ２を検出すべく配設され、最後の位置センサ３３ｃはピストン２５の押出し終了間近位置Ｒ３を検出すべく配設されている。
【００１８】
そして、第２のポンプ２３には、それぞれ第２の位置検出手段に相当する３個の位置センサ３５ａ、３５ｂ、３５ｃおよびマグネット３６が設けられている。この位置センサ３５ａ、３５ｂ、３５ｃのうち、位置センサ３５ａは第２のポンプ２３のピストン２５の押出し開始位置Ｓ１を検出すべく配設され、別の位置センサ３５ｂは前記ピストン２５の押出し終了位置Ｓ２を検出すべく配設され、最後の位置センサ３５ｃは前記ピストン２５の押出し終了間近位置Ｓ３を検出すべく配設されている。
【００１９】
さて、図１において、上記第１のポンプ２２および第２のポンプ２３の各吸入口２７は手動バルブ３７を介して被搬送流体たる例えば液体二酸化炭素のボンベ（図示せず）に接続されており、そして、各吐出部２７に接続されたシャトルバルブ３１の送出口３１ｃは、自動バルブ３８を経てノズル３９に接続されている。
【００２０】
一方、第１のポンプ２２の駆動部２８のエア口２９ａ、２９ｂは、電磁弁４０および電空レギュレータ４１を介して手動バルブ４２の一端側に接続され、また、第２のポンプ２３の駆動部２８のエア口２９ａ、２９ｂは、電磁弁４３および電空レギュレータ４４を介して同じく前記手動バルブ４２の一端側に接続されている。そして、この手動バルブ４２の他端側はエアポンプ４５に接続されている。また、自動バルブ３８はノズル３９への被搬送流体の供給を実行・停止するためのものであり、これはこのポンプ装置２１とは別の制御部（ノズル３９部分へ搬送される被洗浄物を搬送制御する搬送制御部）からの指令に基づいてオンオフされるようになっている。また、前記シャトルバルブ３１には圧力センサ４６が設けられている。
【００２１】
制御装置４７は、電磁弁４０、４３、電空レギュレータ４１、４４を制御すると共に、圧力センサ４６の圧力検出結果が入力されるようになっている。詳述すると、制御装置４７は、ピストン３０を上方へ（ピストン２５を押出し開始位置Ｒ１あるいはＳ１方向へ）移動させるときには、電磁弁４０、４３を図３のように切換え、ピストン３０を下方へ（ピストン２５を押出し終了位置Ｒ２あるいはＳ２方向へ）移動させるときには、図４に示すように切替える。また、電空レギュレータ４１、４４はシリンダ３９への空気圧を調整するためのものであり、制御装置４７は、前記圧力センサ４６の入力を監視しながらこの電空レギュレータ４１、４４を制御して空気圧を、動作圧力Ｅ［Ｐａ］と、待機圧力Ｓ［Ｐａ］と、ピストン復帰用圧力Ｕ［Ｐａ］とに切替えるようになっている。なお、各圧力の大小関係は、Ｅ＞Ｓ＞Ｕとなっている。ただし、動作圧力Ｅ［Ｐａ］および待機圧力Ｓ［Ｐａ］は、各ポンプ２２、２３の駆動部ピストン３０を下方へ押出すように作用させる空気圧〈上部のエアロ２９ａに供給される〉であり、これに対して、ピストン復帰用圧力Ｕ［Ｐａ］は上記駆動部ピストン３０を上方へ戻すように作用させる空気圧〈下部のエアロ２９ｂに供給される〉である。このような電磁弁４０、４３の切替え制御と電空レギュレータ４１、４４の圧力制御とにより、被搬送流体たる液体二酸化炭素をノズル３９へ供給制御するようにしている。なお、図６には、各ポンプ２２、２３のシリンダ２４内の圧力の状態を示している。
【００２２】
しかして、その制御装置４７による具体的な供給制御を図５を参照して説明すると共に、第１のポンプ装置２２および第２のポンプ装置２３の動作状態および圧力状態を図７ないし図１１および図６を参照しながら説明する。
【００２３】
図５のフローチャートは、図示しない洗浄制御部からのスタート信号Ｓｓ（図１参照）が制御装置４７に与えられることによって実行開始されるようになっている。まず、ステップＶ１においては、電磁弁４０を、第１のポンプ２２の駆動部２８の上部のエア口２９ａへ圧縮空気を供給するモード（以下、「ポンプ２２上供給モード」と称する）に切替え制御するとともに、電磁弁４３を、第２のポンプ２３の駆動部２８の上部のエア口２９ａへ圧縮空気を供給するモード（以下、「ポンプ２３上供給モード」と称する）に切替え制御する。そして、ステップＶ２では、上記各エア口２９ａへの供給空気圧を待機圧力Ｓにするように電空レギュレータ４１、４４を制御する。これにより、ポンプ２２、２３は図７に示す状態となる（この状態となるタイミングを図６にＴａで示す）。
【００２４】
なお、以下、電空レギュレータ４１を待機圧力Ｓとする制御モードを「ポンプ２２圧力Ｓモード」と称し、電空レギュレータ４４を待機圧力Ｓとする制御モードを「ポンプ２３圧力Ｓモード」と称する。また、同様に、電空レギュレータ４１を動作圧力Ｅとする制御モードを「ポンプ２２圧力Ｅモード」と称し、電空レギュレータ４４を動作圧力Ｅとする制御モードを「ポンプ２３圧力Ｅモード」と称し、さらに、電空レギュレータ４１をピストン復帰用圧力Ｕとする制御モードを「ポンプ２２圧力Ｕモード」と称し、電空レギュレータ４４をピストン復帰用圧力Ｕとする制御モードを「ポンプ２３圧力Ｕモード」と称する。
【００２５】
上記ステップＶ２の後、自動バルブ３８がオンされたことを示す信号Ｖon（図１参照）が入力されたことを待つ（ステップＶ３）。ここで、被搬送物がノズル３９部分に順次搬送される状態となると、自動バルブ３８が図示しない搬送側制御部によりオン状態とされ、これと同時に上記バルブオン信号Ｖｏｎが制御装置４７に入力されることになる。すると上述のステップＶ３において「ＹＥＳ」と判断され、ステップＶ４に移行する。このステップＶ４では、圧力モードをポンプ２２圧力Ｅモードに変更する。これにより、第１のポンプ２２の駆動ポンプ３０が押出し方向へ移動されて、ピストン２５が押出し方向へ移動される。これにて、シリンダ２４内の液体二酸化炭素が、吐出口２７を経てシャトルバルブ３１の送出口３１ｃから送出され、自動バルブ３８を経てノズル３９から被洗浄物へ吹き当てられる。なお、このとき液体二酸化炭素はノズル３９から吐出されたときに断熱膨張して微細なドライアイスとなって被洗浄物へ吹き当てられて、この被洗浄物を洗浄する。
【００２６】
この後、ステップＶ５に移行して、センサ３３ｃから押出し終了間近位置Ｒ３を検出したことを待つ。この検出前の状態（ピストン２５が押出し終了間近位置Ｒ３に達する前の状態）での、両ポンプ２２、２３の状態を図８に示し、この状態のタイミングを図６に符号Ｔｂをもって示している。
【００２７】
ステップＶ５において、上記押出し終了間近位置Ｒ３が検出されると、ステップＶ６に移行して、ポンプ２３圧力Ｅモードへ切替える。
この後ステップＶ７に移行して、ポンプ２２側のセンサ３３ｃにより押出し終了位置Ｒ２が検出されるのを待ち、検出されると、ステップＶ８に移行して、電磁弁４０を、第１のポンプ２２の駆動部２８の下部のエア口２９ｂへ圧縮空気を供給するモード（以下、「ポンプ２２下供給モード」と称する）に切替え制御すると共に、空気圧をポンプ２２圧力Ｕモードに変更する。
【００２８】
なお、上記押出し終了位置Ｒ２の検出時点では、図６に示すように、ポンプ２３は既に動作圧力Ｅにて押出し動作を開始している。またポンプ２２にピストン２５はステップＶ８での制御により押出し開始位置Ｒ１方向へ比較的早い速度で昇する。また、図６の時点Ｔｃ（図９の状態）では、ポンプ２２のシリンダ２４内の圧力は「０」となる。
【００２９】
次のステップＶ９に移行して、ポンプ２２側の位置センサ３３ａが押出し開始位置Ｒ１を検出するのを待って、ステップＶ１０に移行して、電磁弁４０をポンプ２２上供給モードに切替えると共に、ポンプ２２圧力Ｓモードに切替える。この時点の状態を図１０に示しており、図６では時点Ｔｄで示している。
【００３０】
そして、次のステップＶ１１に移行してポンプ２３側の位置センサ３５ｃが押出し終了間近位置Ｓ３を検出するのを待ち、検出されると、ステップＶ１２に移行して、電空レギュレータ４１をポンプ２２圧力Ｅモードに切替える。
【００３１】
この後ステップＶ１３に移行して、ポンプ２３側のセンサ３５ｃにより押出し終了位置Ｓ２が検出されるのを待ち、検出されると、ステップＶ１４に移行して、電磁弁４３を、第２のポンプ２３の駆動部２８の下部のエア口２９ｂへ圧縮空気を供給するモード（以下、「ポンプ２３下供給モード」と称する）に切替え制御すると共に、電空レギュレータ４４をポンプ２３圧力Ｕモードに変更する。
【００３２】
なお、上記押出し終了位置Ｓ２の検出時点では、図６に示すように、ポンプ２２は既に動作圧力Ｅにて押出し動作を開始している。またポンプ２３にピストン２５はステップＶ１４での制御により押出し開始位置Ｓ１方向へ比較的早い速度で上昇する。この時点の状態を図１１に示すと共に、図６では時点Ｔｅで示している。
【００３３】
次のステップＶ１５に移行して、ポンプ２３側の位置センサ３５ａが押出し開始位置Ｓ１を検出するのを待って、ステップＶ１６に移行して、電磁弁４３をポンプ２３上供給モードに切替えると共に、電空レギュレータ４４をポンプ２３圧力Ｓモードに切替える。
【００３４】
このように本実施例によれば、第１のポンプ２２と第２のポンプ２３とのうち、一方のポンプが押出し動作終了間近となったときに、他方のポンプのピストン２５の押出し動作を開始させるから、常時被搬送流体が圧送されるようになり、もって、被搬送流体たる液体二酸化炭素を連続的にしかも脈動することなく圧送できる。
【００３５】
特に本実施例によれば、第１のポンプ２２のピストン２５が押出し終了間近位置Ｒ３となったことを位置センサ３３ｃにより検出し、これに基づいて第２のポンプ２３のピストン２５の押出し動作を開始させるから、第１のポンプ２２から第２のポンプ２３への押出し動作切替えを確実に行なうことができ、第１のポンプ２２から第２のポンプ２３への押出し動作切替え時に一時的な圧送停止が発生せず、また、第２のポンプ２３のピストン２５の押出し終了間近位置Ｓ３となったことを位置センサ３５ｃにより検出し、これに基づいて第１のポンプ２２のピストン２５の押出し動作を開始させるから、第２のポンプ２３から第１のポンプ２２への押出し動作切替えを確実に行なうことができ、第２のポンプ２３から第１のポンプ２２への押出し動作切替え時においても一時的な圧送停止が発生せず、これによって、液体二酸化炭素の供給での脈動を確実に防止できる。
なお本発明は、上述した実施例に限られず、例えば被搬送流体は液体二酸化炭素に限られず、流体一般に適用できるものである。
【００３６】
【発明の効果】
本発明は以上の説明から明らかなように、第１のポンプと第２のポンプとのうち、一方のポンプが押出し動作終了間近となったときに、他方のポンプのピストンを押出し動作を開始させるようにしたから、被搬送流体を連続的にしかも脈動することなく圧送できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示すポンプ装置の配管系統図
【図２】ポンプおよびシャトルバルブの縦断正面図
【図３】電磁弁の一方の切替え状態を示す図
【図４】電磁弁の他方の切替え状態を示す図
【図５】制御装置の制御内容を示すフローチャート
【図６】各ポンプへの供給空気圧の変化の様子を示すタイムチャート
【図７】各ポンプおよびシャトルバルブの動作状態を示す概略構成図
【図８】異なる動作状態の図７相当図
【図９】異なる動作状態の図７相当図
【図１０】異なる動作状態の図７相当図
【図１１】異なる動作状態の図７相当図
【図１２】従来例を示すポンプの縦断正面図
【図１３】異なる従来例を示すポンプの縦断正面図
【符号の説明】
２１はポンプ装置、２２は第１のポンプ、２３は第２のポンプ、２４はシリンダ、２５はピストン、２８は駆動部、２９は駆動部シリンダ、３０は駆動部ピストン、３１はシャトルバルブ（送出部）、３３ａ〜３３ｃは位置センサ（第１の位置検出手段）、３４はマグネット、３５ａ〜３５ｃは位置センサ（第１の位置検出手段）、３６はマグネット、３９はノズル、４７は制御装置（制御手段）を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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