(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに積層された複数のプレートを有し且つ共通インク室と前記共通インク室の出口から圧力室を経てノズルに至る個別インク流路とを含む第１インク流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットの前記表面に固定され且つ前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータと、互いに積層された複数のプレートを有し、前記流路ユニットの前記表面に固定され、且つ前記第１インク流路に供給されるインクを一時的に貯溜するリザーバを含む第２インク流路が形成されたリザーバユニットとを有し、前記流路ユニットに含まれる前記複数のプレート及び前記リザーバユニットに含まれる前記複数のプレートのうちの一又は複数のプレートが、当該プレートと隣接する他の部材と対向する表面に、一又は複数の凹部と、前記凹部を画定する凸部であって先端面が当該表面と同一面内にある一又は複数の凸部とが形成された凹凸部材であるインクジェットヘッドの製造方法において、
前記凹凸部材の前記表面の凹凸を反転させた凹凸を表面に有すると共に当該凹凸における一又は複数の凸部の先端面が当該表面と同一面内にある中間部材を、接着剤保持体における接着剤が保持された接着剤保持面に当接させた後当該接着剤保持面から離隔させることにより、前記中間部材の前記凸部の先端面に接着剤を転写する仮転写工程と、
前記凹凸部材の前記凹部を前記接着剤保持面における前記仮転写工程によって接着剤が除去された部分に対向させつつ前記凹凸部材を前記接着剤保持面に当接させた後当該接着剤保持面から離隔させることにより、前記凹凸部材の前記凸部の先端面に接着剤を転写する本転写工程と、
前記本転写工程において前記凸部の先端面に付着した接着剤を介して、前記凹凸部材を前記他の部材に固定する工程とを備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記中間部材の前記凸部の先端面に溝が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記凹凸部材の前記凸部の先端面に溝が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記中間部材が金属材料からなり、その凹凸がハーフエッチングにより形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記凹凸部材が金属材料からなり、その凹凸がハーフエッチングにより形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記接着剤保持面が水平であり、
前記仮転写工程において、前記中間部材を前記接着剤保持面に直交する方向から当該接着剤保持面に押し付け、
前記本転写工程において、前記凹凸部材を前記接着剤保持面に直交する方向から当該接着剤保持面に押し付けることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記凹凸部材が前記リザーバユニットに含まれる前記複数のプレートの１つであって、前記凹部が前記流路ユニットの前記表面における前記アクチュエータの固定領域を含むよう形成され、前記凸部に前記第２インク流路と前記第１インク流路とを連通させる連通口が形成されており、
前記固定工程において、前記凹部内に前記アクチュエータが含まれるように且つ前記凸部の先端面が前記流路ユニットの前記表面に当接するように、前記凹凸部材を前記流路ユニットに固定することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記流路ユニットが、その前記表面と平行な一方向に細長な形状を有し、
複数の前記アクチュエータが、それぞれ複数の前記圧力室に跨って設けられ、前記一方向に関して千鳥状に配置されており、
前記凹凸部材の前記凸部が、前記流路ユニットの前記表面において前記複数のアクチュエータを避けるよう前記一方向に関して千鳥状に配置された部分に対応するように形成されており、
複数の前記連通口が、前記一方向に関して千鳥状に配置されていることを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記凹凸部材が前記流路ユニットに含まれる前記複数のプレートの１つであって、前記凹部が前記共通インク室を画定することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記凹凸部材の前記凹部における前記他の部材と対向する面に複数の前記出口が形成されており、
前記中間部材の前記凸部が前記複数の出口を含む領域に対応するように形成されていることを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録媒体にインクを吐出して記録を行うインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示されているインクジェットヘッドは、共通インク室と当該共通インク室の出口から圧力室を経てノズルに至る個別インク流路とが形成された流路ユニットと、流路ユニットにおける圧力室が形成された表面に固定され且つ圧力室の容積を変化させるアクチュエータと、流路ユニットの共通インク室に供給されるインクを一時的に貯溜するリザーバユニットとを有する。リザーバユニットは互いに積層された４枚のプレートを有しており、最下層のプレートは、その流路ユニットと対向する面にアクチュエータの固定領域を形成する凹部を有し、凹部内にアクチュエータが含まれるように且つ凹部を画定する凸部が流路ユニットの表面に当接するようにして流路ユニットに固定されている。また、流路ユニットは互いに積層された９枚のプレートを有している。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５‐０５９４３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記構成のインクジェットヘッドを製造するにあたって、リザーバユニットの最下層のプレートを流路ユニットの表面に固定する際、予め当該プレートにおける凸部に接着剤を塗布しておく。その後、凸部に付着した接着剤を介してプレートを流路ユニットに固定する。
【０００５】
しかしながら、上記のように凸部に接着剤を塗布すると、同一面内に形成されている凹部にも接着剤が塗布されてしまうことがある。そのような状態でプレートを流路ユニットに固定すると、凹部に対向するよう配置されたアクチュエータに接着剤が付着して、アクチュエータの動作が阻害されるという問題が生じ得る。
【０００６】
また、流路ユニットの共通インク室を形成するプレートのうち最上層のプレートに共通インク室を画定する貫通穴ではなく凹部を下面に形成し、上記と同様、当該プレートの凹凸が形成された下面の全域に接着剤を塗布し、その後凸部に付着した接着剤を介して当該プレートをその下側のプレートに固定することが考えられる。この場合においても上記と同様凹部に接着剤が塗布されてしまうことがあり、そのような状態でプレートをその下側のプレートに固定すると、凹部に付着した接着剤が剥がれて共通インク室や個別インク流路内に混入したり、接着剤が共通インク室の出口に付着して出口の径が小さくなったりして、インクの流れが悪くなるという問題が生じ得る。そしてこの問題はインクの吐出安定性の悪化にもつながる。
【０００７】
本発明の目的は、凹凸が形成された部材を接着剤を介して他の部材に固定する工程を有すると共に、凹部に接着剤が付着した状態で固定した場合に生じ得る上記様々な問題を抑制することが可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法は、互いに積層された複数のプレートを有し且つ共通インク室と共通インク室の出口から圧力室を経てノズルに至る個別インク流路とを含む第１インク流路が形成された流路ユニットと、流路ユニットの表面に固定され且つ圧力室の容積を変化させるアクチュエータと、互いに積層された複数のプレートを有し、流路ユニットの表面に固定され、且つ第１インク流路に供給されるインクを一時的に貯溜するリザーバを含む第２インク流路が形成されたリザーバユニットとを有し、流路ユニットに含まれる複数のプレート及びリザーバユニットに含まれる複数のプレートのうちの一又は複数のプレートが、当該プレートと隣接する他の部材と対向する表面に、一又は複数の凹部と、凹部を画定する凸部であって先端面が当該表面と同一面内にある一又は複数の凸部とが形成された凹凸部材であるインクジェットヘッドの製造方法において、凹凸部材の表面の凹凸を反転させた凹凸を表面に有すると共に当該凹凸における一又は複数の凸部の先端面が当該表面と同一面内にある中間部材を、接着剤保持体における接着剤が保持された接着剤保持面に当接させた後当該接着剤保持面から離隔させることにより、中間部材の凸部の先端面に接着剤を転写する仮転写工程と、凹凸部材の凹部を接着剤保持面における仮転写工程によって接着剤が除去された部分に対向させつつ凹凸部材を接着剤保持面に当接させた後当該接着剤保持面から離隔させることにより、凹凸部材の凸部の先端面に接着剤を転写する本転写工程と、本転写工程において凸部の先端面に付着した接着剤を介して、凹凸部材を他の部材に固定する工程とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
上記構成の製造方法によると、仮転写工程において凹凸部材の凹部に対応する部分の接着剤が接着剤保持面から除去され、本転写工程において凹凸部材の凸部の先端面にのみ接着剤を付着させることができる。これにより、凹部に接着剤が付着していない状態で凹凸部材を他の部材に固定することができるため、凹部に接着剤が付着した状態で固定した場合に生じ得る上記様々な問題を抑制することが可能である。
【００１０】
中間部材の凸部の先端面に溝が形成されていることが好ましい。この場合、溝内に接着剤が入り込むので、仮転写工程において接着剤をより確実に中間部材に転写することができ、凹凸部材の凹部に対応する部分の接着剤を接着剤保持面から略完全に除去することができる。したがって、本転写工程において凹凸部材の凹部に接着剤が付着するのをより確実に防止することが可能である。
【００１１】
凹凸部材の凸部の先端面に溝が形成されていることが好ましい。この場合、溝内に接着剤が入り込むので、本転写工程において接着剤をより確実に凹凸部材に転写することができ、他の部材に対する凹凸部材の接着強度を高めることができる。
【００１２】
中間部材が金属材料からなり、その凹凸がハーフエッチングにより形成されていることが好ましい。この場合、中間部材の形成が容易になるので、製造コストの増加を抑制することができる。
【００１３】
凹凸部材が金属材料からなり、その凹凸がハーフエッチングにより形成されていることが好ましい。この場合、凹凸部材の形成が容易になるので、製造コストの増加を抑制することができる。
【００１４】
接着剤保持面が水平であり、仮転写工程において中間部材を接着剤保持面に直交する方向から当該接着剤保持面に押し付け、本転写工程において凹凸部材を接着剤保持面に直交する方向から当該接着剤保持面に押し付けることが好ましい。この場合、仮転写工程及び本転写工程において各部材に接着剤を転写させるのに一方向から押し付けるだけでよく、接着剤保持体が円柱形ローラであり且つ接着剤保持面がローラ外周の湾曲した面である場合等に比べ、転写に係る作業が容易になる。
【００１５】
凹凸部材がリザーバユニットに含まれる複数のプレートの１つであって、凹部が流路ユニットの表面におけるアクチュエータの固定領域を含むよう形成され、凸部に第２インク流路と第１インク流路とを連通させる連通口が形成されており、固定工程において、凹部内にアクチュエータが含まれるように且つ凸部の先端面が流路ユニットの表面に当接するように、凹凸部材を流路ユニットに固定してよい。この場合、凹部に接着剤が付着していない状態で凹凸部材を流路ユニットに固定することができるため、アクチュエータに接着剤が付着することがなく、アクチュエータの動作の阻害を抑制することができる。
【００１６】
さらに上記の場合において、流路ユニットがその表面と平行な一方向に細長な形状を有し、複数のアクチュエータがそれぞれ複数の圧力室に跨って設けられ上記一方向に関して千鳥状に配置されており、凹凸部材の凸部が、流路ユニットの表面において複数のアクチュエータを避けるよう上記一方向に関して千鳥状に配置された部分に対応するように形成されており、複数の連通口が上記一方向に関して千鳥状に配置されていることが好ましい。これにより、リザーバユニットから流路ユニットへのインク供給及びノズルからのインク吐出を円滑に行うことが可能な長尺なヘッドを製造することができる。
【００１７】
凹凸部材が流路ユニットに含まれる複数のプレートの１つであって、凹部が共通インク室を画定してよい。この場合、共通インク室を画定する凹部に接着剤が付着しないため、当該凹部に接着剤が付着した場合に生じ得る問題、例えば、凹部に付着した接着剤が剥がれて共通インク室や個別インク流路内に混入したり、接着剤が共通インク室の出口に付着して出口の径が小さくなったりして、インクの流れが悪くなるという問題が抑制される。
【００１８】
さらに上記の場合において、凹凸部材の凹部における他の部材と対向する面に複数の出口が形成されており、中間部材の凸部がその複数の出口を含む領域に対応するように形成されていることが好ましい。共通インク室の出口に接着剤が付着すると個別インク流路へのインクの流れが悪くなってインクの吐出安定性が悪化するが、上記構成によると、仮転写工程で中間部材の凸部によって出口に対応する部分の接着剤が接着剤保持面から除去されるので、このような問題を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２０】
図１は、本発明の一実施形態に係る製造方法によって製造されたインクジェットヘッド１の斜視図である。図２は図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図であり、この図には単に直線的な切断では表せない断面も示されている。図３（ａ）はインクジェットヘッド１に含まれるリザーバユニット９０のフィルター部７０の上面図であり、図３（ｂ）はフィルター部７０の下面図である。図４は、リザーバユニット９０のインク分配部８０を形成する各プレートの下面図である。図５は、インクジェットヘッド１に含まれるヘッド本体６０を示す平面図である。
【００２１】
インクジェットヘッド１は、主走査方向に沿って細長な形状であり、下側から順に、ヘッド本体６０及びリザーバユニット９０を有する。ヘッド本体６０は、流路ユニット４及び流路ユニット４の上面に貼り付けられた４つのアクチュエータユニット２１（図５参照）を含む。リザーバユニット９０は、上側から順に、樹脂製のフィルター部７０及び金属製のインク分配部８０を含む。フィルター部７０とインク分配部８０とはネジ９１によって互いに固定されている。
【００２２】
フィルター部７０は、樹脂で一体成形により作製されたものであって、その上面７０ｆ（図２参照）の長手方向一端に筒状突起７１を有する。筒状突起７１の内部には導入口７１ａが形成されており、筒状突起７１にチューブ等が取り付けられ、インクタンク等のインク供給源からのインクが導入口７１ａからフィルター部７０内に導入される。
【００２３】
フィルター部７０内には、図２に示すように、導入口７１ａから流出口７２に至るインク流路が形成されている。導入口７１ａから導入されたインクは先ず第１の穴７４に流入する。第１の穴７４は平面視において図３（ｂ）に示すダンパー膜７４ａと同形状であり、第１の穴７４の下側はダンパー膜７４ａにより塞がれている。ダンパー膜７４ａは、インクの振動に応じて変位できるよう、インク分配部８０の上面、即ち後述するアッパープレート８１の上面と僅かな隙間を介しており、導入口７１ａからインクが導入されることにより生じる振動を吸収する役割を担っている。第１の穴７４に流入したインクは、フィルター７５ａを通って第２の穴７５に流れ込み、さらに上側にダンパー膜７６ａが形成された空間７６を通った後下降し、フィルター部７０の下面７０ｅに開口するよう形成された流出口７２からインク分配部８０へと流出される。
【００２４】
図２に示すように、フィルター部７０の下面７０ｅにおける流出口７２を取り囲む位置に凹部が形成されており、当該凹部内に弾性材料からなるＯリング７７が配置されている。Ｏリング７７は弾性変形状態にあり、流入口８４からのインク漏れを効果的に防止する役割を担っている。
【００２５】
また図１に示すように、フィルター部７０には、流出口７２の近傍であって流出口７２を挟んで副走査方向の両側に、ネジ９１用の孔（図示せず）が厚み方向に貫通するように形成されている。
【００２６】
インク分配部８０は、図４に示すように、いずれも金属製のアッパープレート８１、リザーバプレート８２、及びアンダーリザーバプレート８３を有し、これら３枚の金属プレート８１，８２，８３を積層し且つ互いに接着固定することにより形成されている。プレート８１〜８３はいずれも主走査方向（図１参照）に細長な略矩形状の平面を有すると共に、同じ幅を有している。アッパープレート８１は他の２枚のプレート８２，８３より若干長く図１に示すように長手方向両端が突出しているが、これはアッパープレート３１においてヘッド１をホルダ（図示せず）に固定するためである。
【００２７】
アッパープレート８１の中央には、フィルター部７０の流出口７２から流出したインクが流入する流入口８４が形成されている。副走査方向（図１参照）に関して流入口８４の両側には雄ネジが挿入される雌ネジ穴８５ａが対称に形成されている。２つの雌ネジ穴８５ａは、フィルター部７０を厚み方向に貫通するネジ９１用の孔と対応して配置されている。流入口８４及び雌ネジ穴８５ａは共にアッパープレート８１の厚み方向に貫通している。
【００２８】
リザーバプレート８２には、流入口８４から流入したインクをアンダーリザーバプレート８３に形成された各連通口８８へと分配するように、主インク室８６及び主インク室８６から分岐した分岐流路８７に対応する穴が厚み方向に貫通するように形成されている。流入口８４からのインクは主インク室８６の中央に流入し、そこから左右に流れて各分岐流路８７に流れ込む。リザーバプレート８２においてアッパープレート８１の雌ネジ穴８５ａに対応する位置には、それぞれリザーバプレート８２を厚み方向に貫通する雌ネジ穴８５ｂが形成されている。
【００２９】
雌ネジ穴８５ｂは、対応する雌ネジ穴８５ａ及びネジ９１用の孔に比べて径が小さく、且つ、雌ネジ穴８５ａ及びネジ９１用の孔とは異なり内面に雌ネジが切られている。ネジ９１がフィルター部７０に形成された貫通孔及び雌ネジ穴８５ａに挿入され、雌ネジ穴８５ｂに螺合されることにより、フィルター部７０とインク分配部８０とが互いに固定される。
【００３０】
アンダーリザーバプレート８３の下面にはハーフエッチングによって凹凸が形成されており、図４においてハッチングされた部分が凹部８３ａとなっている。凹部８３ａは流路ユニット４の上面におけるアクチュエータユニット２１の固定領域（図５参照）を含むサイズ及び形状となるよう形成されている。そして凹部８３ａを画定するように、アクチュエータユニット２１に対応する部分を避けるようにアンダーリザーバプレート８３の長手方向に関して千鳥状に配置された４つの凸部８３ｂ、及び、アンダーリザーバプレート８３の長手方向両端に配置された凸部８３ｃが形成されている。凸部８３ｂ，８３ｃの表面（先端面）には多数の溝（図示せず）が形成されている。
【００３１】
各凸部８３ｂには、略円形の連通口８８が２つずつ貫通するように形成されている。つまり連通口８８は２つで一組となってアンダーリザーバプレート８３の長手方向に関して千鳥状に配置されている。２つの凸部８３ｃにはそれぞれ連通孔８８が１つ形成されている。これら計１０個の連通口８８はアンダーリザーバプレート８３の中心に関して略点対称に配置されている。各連通口８８は流路ユニット４の各開口３ａ（図５参照）に対応するものであり、リザーバプレート８２の主インク室８６から各分岐流路８７に流れ込んだインクは、各分岐流路８７の先端から連通口８８に流入し、開口３ａを介して流路ユニット４に供給される。
【００３２】
後に詳述するように、アンダーリザーバプレート８３は、凹部８３ａ内に４つのアクチュエータユニット２１が含まれるように且つ凸部８３ｂ，８３ｃの先端面が流路ユニット４の上面に当接するように、流路ユニット４に固定されている。このとき凹部８３ａの底面と流路ユニット４の上面との間に空間が形成され、流路ユニット４の上面における当該空間に対応する部分にアクチュエータユニット２１が貼り付けられている（図２及び図５参照）。
【００３３】
次に、図１〜図５に加えて図６及び図７を参照しつつ、ヘッド本体６０について説明する。図６は、図５における一点鎖線で囲まれた部分の拡大図であり、ここでは図面を分かりやすくするために、アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき圧力室１０、アパーチャ１２、及びノズル８の開口を実線で描いている。図７は、図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面図であり、インク吐出のための単位素子が示されている。
【００３４】
流路ユニット４は、図１に示すように、主走査方向に細長な略直方体形状を有し、その平面視における大きさ及び形状はアッパープレート８１を除くリザーバユニット９０の各部材と略同じである。
【００３５】
流路ユニット４の上面には、図５に示すように、アクチュエータユニット２１を避けるように、主走査方向に沿って２列に、各列５個、計１０個の開口３ａが形成されている。流路ユニット４内には各開口３ａに連通するマニホールド流路５が形成されており、各マニホールド流路５は主走査方向に延在する複数の副マニホールド流路５ａに分岐している。リザーバユニット９０に貯留されているインクは、各開口３ａを介して、マニホールド流路５、副マニホールド流路５ａへと供給される。
【００３６】
流路ユニット４の下面における各アクチュエータユニット２１の接着領域に対応する領域には、微小径を有する多数のノズル８がマトリクス状に配列されている（図６及び図７参照）。流路ユニット４の上面におけるアクチュエータユニット２１の接着領域には、各ノズル８に対応する圧力室１０がマトリクス状に配列されている。圧力室１０の平面形状は略菱形である。図６に示すように、圧力室１０は流路ユニット４の長手方向に沿って等間隔に配置されて列をなし、１つのアクチュエータユニット２１の接着領域において計１６列となる圧力室１０の列が互いに平行に配列されている。ノズル８も圧力室１０と同様に配置されている。
【００３７】
図５に示すように、流路ユニット４内のアクチュエータユニット２１と対向する部分には４つの副マニホールド流路５ａが延在している。各副マニホールド流路５ａには、アパーチャ１２及び圧力室１０を介してノズル８に至る個別インク流路７（図７参照）が多数接続されている。個別インク流路７は、各ノズル８に対して形成されたものであって、副マニホールド流路５ａから上方へ向かい、アパーチャ１２にて水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１２から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル８へと向かう。
【００３８】
４つのアクチュエータユニット２１は、それぞれ台形の平面形状を有し、流路ユニット４上面に、上底及び下底が主走査方向に沿うよう千鳥状に配列されている。各アクチュエータユニット２１は、エポキシ系の熱硬化性接着剤を介して流路ユニット４に接着されており、図４の下段に描かれたアンダープレート８３の凹部８３ａの底面と間隙をなしつつ対向するよう配設されている。隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士は副走査方向に関してオーバーラップしている。
【００３９】
アクチュエータユニット２１の上面には、圧力室１０より一回り小さい個別電極３５がそれぞれ各圧力室１０に対応する位置に形成されている（図６参照）。各アクチュエータユニット２１にはフレキシブルプリント配線基板（図示せず）が接続されており、当該フレキシブルプリント配線基板を介して伝達された駆動信号に基づいて、各個別電極３５とアクチュエータユニット２１の領域全体に形成された共通電極（図示せず）との間の電圧が制御される。このような制御によってアクチュエータユニット２１における個別電極３５が形成された部分を変形させることで、圧力室１０内のインクに吐出エネルギーが付与され、圧力室１０内のインクがノズル８から吐出される。
【００４０】
流路ユニット４は、図７に示すように、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、アッパーマニホールドプレート２６、マニホールドプレート２７，２８、カバープレート２９、及びノズルプレート３０の計９枚のＳＵＳ４３０等からなる金属プレートを積層し且つ互いに接着固定することにより形成されている。
【００４１】
キャビティプレート２２には、圧力室１０に対応する略菱形の孔が多数形成されている。ベースプレート２３には、各圧力室１０とアパーチャ１２との連絡孔及び各圧力室１０からノズル８への連絡孔が形成されている。アパーチャプレート２４には、アパーチャ１２に対応する孔と各圧力室１０からノズル８への連絡孔とが形成されている。サプライプレート２５には、各アパーチャ１２と副マニホールド流路５ａとの連絡孔及び各圧力室１０からノズル８への連絡孔が形成されている。マニホールドプレート２７，２８には、副マニホールド流路５ａに対応する貫通穴と、各圧力室１０からノズル８への連絡孔とが形成されている。カバープレート２９には、各圧力室１０からノズル８への連絡孔が形成されている。ノズルプレート３０には多数のノズル８が形成されている。
【００４２】
プレート２２〜３０は、図７に示す個別インク流路７が形成されるよう位置合わせして積層され、接着剤により互いに固定されている。流路ユニット４の内部には、インク吐出のための単位素子がノズル８（圧力室１０）毎に形成されている。
【００４３】
アッパーマニホールドプレート２６の下面にはハーフエッチングによって凹凸が形成されており、副マニホールド流路５ａを画定する凹部２６ａと凹部２６ａを画定する凸部２６ｂとが設けられている。凸部２６ｂの表面（先端面）には、上記アンダーリザーバプレート８３の凸部８３ｂ，８３ｃと同様、多数の溝（図示せず）が形成されている。凹部２６ａの底面には、上記サプライプレート２５に形成された副マニホールド流路５ａとの連絡孔に連通するように、副マニホールド流路５ａの出口５ｂが形成されている。また凸部２６ｂには、各圧力室１０からノズル８への連絡孔が貫通して形成されている。
【００４４】
図７には出口５ｂが１つのみ示されているが、図６に示すように副マニホールド流路５ａには多数の個別インク流路７が接続されていることから、凹部２６ａの底面に多数の出口５ｂが形成されていることがわかる。詳細には、図６に示すように、１つの副マニホールド流路５ａの両側に圧力室１０の列が２つずつ配置されている。そして各圧力室１０に対応する出口５ｂは凹部２６ａの延在方向に沿って列をなし、１つの凹部２６ａの底面において計４列となる出口５ｂの列が互いに平行に配列されている。
【００４５】
次に、図８〜図１１を参照しつつ、インクジェットヘッド１の製造方法について説明する。
【００４６】
図８は、アッパーマニホールドプレート２６に接着剤を塗布する前の仮転写工程において用いられる中間部１００の図６の一点鎖線で囲まれた領域に対応する部分を示す部分平面図である。図９（ａ），（ｂ）は、図８の中間部材１００を用いて仮転写工程を行う手順を示す概略図であり、図９（ｃ），（ｄ）はアッパーマニホールドプレート２６を用いて本転写工程を行う手順を示す概略図である。図１０は、アンダーリザーバプレート８３に接着剤を塗布する前の仮転写工程において用いられる中間部材２００を示す部分平面図である。図１１（ａ），（ｂ）は図１０の中間部材２００を用いて仮転写工程を行う手順を示す概略図であり、図１１（ｃ），（ｄ）はアンダーリザーバプレート８３を用いて本転写工程を行う手順を示す概略図である。
【００４７】
インクジェットヘッド１を製造する際には、リザーバユニット９０の各プレート８１，８２及び流路ユニット４の各プレート２２〜２９に接着シート５００を用いた転写法によって接着剤を塗布してプレートを互いに接着し、リザーバユニット９０及び流路ユニット４を個別に作製する。その後、流路ユニット４の上面にアクチュエータユニット２１を固定し、アクチュエータユニット２１にフレキシブルプリント配線基板（図示せず）を接続し、その後リザーバユニット９０を流路ユニット４の上面に固定する。
【００４８】
流路ユニット４は、所定の孔や凹凸が形成されたプレート２２〜３０を個別インク流路７（図７参照）が形成されるように位置合わせし接着剤によって互いに固定することによって作製される。接着剤はノズルプレート３０を除いた各プレート２２〜２９の下面に塗布される。このとき、アッパーマニホールドプレート２６以外のプレート２２〜２５，２７〜２９については、下面に凹凸が形成されていないので、面全域に接着剤を塗布する。一方、アッパーマニホールドプレート２６については下面に凹凸が形成されているため、以下のような方法により凸部２６ｂのみに接着剤を塗布する。
【００４９】
先ず、中間部材１００（図８参照）を用意する。中間部材１００はアッパーマニホールドプレート２６と略同じ大きさを有する金属製のプレートであって、その下面にはハーフエッチングにより凹凸が形成されている。図８においてハッチングされた部分が凹部１２６ｂであり、それ以外の部分が凹部１２６ｂを画定する凸部１２６ａである。図６の一点鎖線で囲まれた領域と図８とを比較してわかるように、凸部１２６ａはマニホールド流路５及び副マニホールド流路５ａの領域に対応しており、即ち、アッパーマニホールドプレート２６の凹部２６ａに対応している。つまり、中間部材１００の下面に形成された凹凸はアッパーマニホールドプレート２６の下面に形成された凹凸を反転させたものである。また、凸部１２６ａの表面（先端面）には多数の溝（図示せず）が形成されている。
【００５０】
アッパーマニホールドプレート２６の下面に接着剤を塗布する前に、このような中間部材１００を用いて仮転写を行う。この仮転写は、接着シート５００から、アッパーマニホールドプレート２６に対する接着剤の塗布に不要な接着剤を除去するトリミング作業である。
【００５１】
仮転写工程では、先ず図９（ａ）に示すように中間部材１００の下面に接着シート５００を配置する。接着シート５００は定板（図示せず）の上に載置されている。接着シート５００は水平面に沿った基材５０１を有し、基材５０１の表面に所定の厚さの接着剤５５０が保持されている。そして中間部材１００を下方に移動させて接着シート５００に押し付け、凸部１２６ａを接着剤５５０に当接させる。その後、中間部材１００を上方に移動させて接着シート５００から離隔することにより、図９（ｂ）に示すように凸部１２６ａに接着剤５５０を転写する。ここで、凸部１２６ａの表面には多数の溝が形成されているので、不要な接着剤５５０が溝内に入り込んで接着シート５００から確実に除去される。そして接着シート５００の基材５０１の表面は、中間部材１００の凹部１２６ｂに対応する領域、即ち、アッパーマニホールドプレート２６の凸部２６ｂに対応する領域にのみ接着剤５５０を保持した状態となる。
【００５２】
仮転写工程の後、トリミング処理された接着シート５００を用いて本転写を行う。
【００５３】
本転写工程では、先ず図９（ｃ）に示すように、凹部２６ａを接着シート５００の基材５０１表面における上記仮転写工程によって接着剤５５０が除去された部分に対向させつつ、アッパーマニホールドプレート２６を接着シート５００に押し付け、その後アッパーマニホールドプレート２６を上方に移動させて接着シート５００から離隔する。これにより、アッパーマニホールドプレート２６は凸部２６ｂのみに接着剤５５０が塗布された状態となる。
【００５４】
その後、流路ユニット４に含まれるプレート２２〜３０を位置合わせしつつ順に積層し、接着剤によって互いに固定する。このときアッパーマニホールドプレート２６の上面にはサプライプレート２５の下面に塗布された接着剤を介してサプライプレート２５が固定され、下面は凸部２６ｂに付着した接着剤５５０を介してマニホールドプレート２７に固定される。
【００５５】
次に、上述のようにして作製した流路ユニット４の上面に、周知の方法により作製された４つのアクチュエータユニット２１を、流路ユニット４の長手方向に関して千鳥状に配置し、接着剤を介して固定する。このとき各アクチュエータユニット２１は、多数の圧力室１０に跨るように、且つ、個別電極３５が流路ユニット４の圧力室１０と一対一で対向するように、位置合わせされる。そして各アクチュエータユニット２１の表面にフレキシブルプリント配線基板（図示せず）の一端を接続し、他端近傍をヘッド１の側面から延出させておく。
【００５６】
次に、リザーバユニット９０を流路ユニット４の上面に固定する。ここで、リザーバユニット９０の下面、即ちアンダーリザーバプレート８３は下面には凹凸が形成されているため、上述したアッパーマニホールドプレート２６の下面に接着剤を塗布する工程と同様の工程を行い、凸部８３ｂ，８３ｃのみに接着剤を塗布する。
【００５７】
先ず、中間部材２００（図１０参照）を用意する。中間部材２００はアンダーリザーバプレート８３と略同じ大きさと形状を有する金属製のプレートであって、その下面にはハーフエッチングにより凹凸が形成されている。図１０においてハッチングされた部分が凹部２８３ｂ，２８３ｃであり、それ以外の部分が凹部２８３ｂ，２８３ｃを画定する凸部２８３ａである。図１０と図４のアンダーリザーバプレート８３の図を比較してわかるように、凸部２８３ａはアンダーリザーバプレート８３の凹部８３ａに対応し、凹部２８３ｂ，２８３ｃはアンダーリザーバプレート８３の凸部８３ｂ，８３ｃに対応している。つまり、中間部材２００の下面に形成された凹凸はアンダーリザーバプレート８３の下面に形成された凹凸を反転させたものである。また、凸部２８３ａの表面（先端面）には上記中間部材１００の凸部１２６ａと同様多数の溝（図示せず）が形成されており、接着剤５５０が溝内に入り込むことによって不要な接着剤５００を確実に除去することが可能となっている。
【００５８】
アンダーリザーバプレート８３の下面に接着剤を塗布する前に、このような中間部材２００を用いて仮転写を行う。
【００５９】
仮転写工程では、先ず図１１（ａ）に示すように中間部材２００の下面に、アッパーマニホールドプレート２６に接着剤を塗布する際に用いた接着シート５００（図９（ａ）参照）と同様の接着シート５００を配置する。そして中間部材２００を下方に移動させて接着シート５００に押し付け、凸部２８３ａを接着剤５５０に当接させる。その後、中間部材２００を上方に移動させて接着シート５００から離隔することにより、図１１（ｂ）に示すように凸部２８３ａに接着剤５５０を転写する。このとき接着シート５００の基材５０１の表面は、中間部材２００の凹部２８３ｂ，２８３ｃに対応する領域、即ち、アンダーリザーバプレート８３の凸部８３ｂ，８３ｃに対応する領域にのみ接着剤５５０を保持した状態となる。
【００６０】
仮転写工程の後、本転写工程を行う。
【００６１】
本転写工程では、先ず図１１（ｃ）に示すように、凹部８３ａを接着シート５００の基材５０１表面における上記仮転写工程によって接着剤５５０が除去された部分に対向させつつ、リザーバユニット９０を接着シート５００に押し付け、その後リザーバユニット９０を上方に移動させて接着シート５００から離隔する。これにより、リザーバユニット９０のアンダーリザーバプレート８３は凸部８３ｂ，８３ｃのみに接着剤５５０が塗布された状態となる。
【００６２】
その後、アンダーリザーバプレート８３の凹部８３ａ内に４つのアクチュエータユニット２１が含まれるように位置合わせした後、凸部８３ｂ，８３ｃを流路ユニット４の上面に当接させて、リザーバユニット９０を流路ユニット４の上面に固定する。このとき、アクチュエータユニット２１は凹部８３ａの底面と間隙をなしつつ対向し、フレキシブルプリント配線基板は凹部８３ａの底面とアクチュエータユニット２１の表面との隙間を通って外側に引き出された状態となる。ここで、アクチュエータユニット２１の表面に固定されたフレキシブルプリント配線基板の表面と凹部８３ａの底面との間にも僅かな隙間が形成されている。
【００６３】
以上に述べたように、本実施形態のインクジェットヘッド１の製造方法によると、凹凸が形成された部材、即ち流路ユニット４に含まれるアッパーマニホールドプレート２６及びリザーバユニット９０に含まれるアンダーリザーバプレート８３のそれぞれに接着剤を塗布する前に、中間部材１００，２００を用いて仮転写工程を行う。この仮転写工程において上記各プレート２６，８３の凹部２６ａ，８３ａに対応する部分の接着剤５５０が接着シート５００の基材５０１の表面から除去され、本転写工程において凸部２６ｂ，８３ｂ，８３ｃの先端面にのみ接着剤５５０を付着させることができる。これにより、アッパーマニホールドプレート２６を凹部２６ａに接着剤５５０が付着していない状態で下側のマニホールドプレート２７に固定することができ、アンダーリザーバプレート８３を凹部８３ａに接着剤５５０が付着していない状態で流路ユニット４に固定することができる。したがって、凹部２６ａ，８３ａに接着剤５５０が付着した状態で上記各部材を他の部材に固定した場合に生じ得る様々な問題を抑制することが可能である。
【００６４】
具体的には、アンダーリザーバプレート８３の凹部８３ａに接着剤５５０が付着していない状態でリザーバユニット９０を流路ユニット４に固定することができるため、アクチュエータユニット２１やアクチュエータユニット２１の表面に接続されたフレキシブルプリント配線基板に接着剤が付着することがなく、アクチュエータユニット２１の動作の阻害を抑制することができる。
【００６５】
また、アッパーマニホールドプレート２６に関しては、マニホールド流路５及び副マニホールド流路５ａを画定する凹部２６ａに接着剤５５０が付着しないため、当該凹部２６ａに接着剤が付着した場合に生じ得る問題、例えば、凹部２６ａに付着した接着剤が剥がれて副マニホールド流路５ａや個別インク流路７内に混入したり、接着剤が副マニホールド流路５ａの出口５ｂに付着して出口５ｂの径が小さくなったりして、インクの流れが悪くなるという問題が抑制される。
【００６６】
中間部材１００，２００の凸部１２６ａ，２８３ａの先端面に溝が形成されている。このため、仮転写工程において凸部１２６ａ，２８３ａの先端面に接着剤５５０を当接させたとき溝内に接着剤５５０が入り込むので、仮転写工程において接着剤５５０をより確実に中間部材１００，２００に転写することができ、アッパーマニホールドプレート２６及びアンダーリザーバプレート８３の凹部２６ａ，８３ａに対応する部分の接着剤５５０を基材５１０の表面から略完全に除去することができる。したがって、本転写工程において、アッパーマニホールドプレート２６やアンダーリザーバプレート８３の凹部２６ａ，８３ａに接着剤５５０が付着するのをより確実に防止することが可能である。
【００６７】
さらに、アッパーマニホールドプレート２６及びアンダーリザーバプレート８３の凸部２６ｂ，８３ｂ，８３ｃの先端面にも溝が形成されている。このため、本転写工程において各プレート２６，８３の凸部２６ｂ，８３ｂ，８３ｃの先端面に接着剤５５０を当接させたとき溝内に接着剤５５０が入り込むので、本転写工程において接着剤５５０をより確実に上記各プレート２６，８３に転写することができる。したがって、マニホールドプレート２７に対するアッパーマニホールドプレート２６の接着強度、及び、流路ユニット４に対するアンダーリザーバプレート８３の接着強度を高めることができる。
【００６８】
また、マニホールドプレート２７に対するアッパーマニホールドプレート２６の接着強度が高まることによって、アッパーマニホールドプレート２６の凸部２６ｂに形成された各圧力室１０からノズル８への連絡孔と、副マニホールド流路５ａとが連通するのを確実に防止することができる。したがって、流路ユニット４内に漏れのない個別インク流路７を形成することが可能となる。
【００６９】
中間部材１００，２００が金属材料からなり、その凹凸がハーフエッチングにより形成されている。これにより、中間部材１００，２００の形成が容易になるので、製造コストの増加を抑制することができる。
【００７０】
アッパーマニホールドプレート２６及びアンダーリザーバプレート８３もまた金属材料からなり、その凹凸がハーフエッチングにより形成されている。これにより、上記と同様これら各プレート２６，８３の形成が容易になるので、製造コストの増加を抑制することができる。
【００７１】
接着シート５００の基材５１０の表面が水平であり、仮転写工程において中間部材１００，２００を基材５１０の表面に直交する上方向から当該表面に押し付け、本転写工程においてアッパーマニホールドプレート２６又はアンダーリザーバプレート８３を同様に基材５１０の表面に直交する上方向から当該表面に押し付ける。例えば接着シート５００の代わりに円柱形ローラの外周面に接着剤５５０が塗布されたものを用いた場合、当該ローラを回転させながら接着剤を塗布しなければならず、転写に係る作業が煩雑になるが、本実施形態では仮転写工程及び本転写工程において各部材に接着剤５５０を転写させる際、上記のように一方向から押し付けるだけでよく、転写に係る作業が容易である。
【００７２】
しかも、流路ユニット４がその表面と平行な一方向に細長な形状を有し、アクチュエータユニット２１がそれぞれ多数の圧力室１０に跨って設けられ上記一方向に関して千鳥状に配置されており、アンダーリザーバプレート８３の凸部８３ｂ，８３ｃが、流路ユニット４の上面において４つのアクチュエータユニット２１を避けるよう上記一方向に関して千鳥状に配置された部分に対応するように形成されており、連通口８８が上記一方向に関して千鳥状に配置されている。これにより、リザーバユニット９０から流路ユニット４へのインク供給及びノズル８からのインク吐出を円滑に行うことが可能な長尺なヘッド１を製造することができる。
【００７３】
さらに、アッパーマニホールドプレート２６の凹部２６ａの底面には副マニホールド流路５ａの出口５ｂが多数形成されており、中間部材１００の凸部１２６ａは当該多数の出口５ｂを含む領域に対応している。副マニホールド流路５ａの出口５ｂに接着剤５５０が付着すると個別インク流路７へのインクの流れが悪くなってインクの吐出安定性が悪化するが、本実施形態によると、仮転写工程で中間部材１００の凸部１２６ａによって出口５ｂに対応する部分の接着剤が基材５０１の表面から除去されるので、このような問題を抑制することができる。
【００７４】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
【００７５】
上述の実施形態で用いた中間部材１００，２００の凹凸は対象となるプレート２６，８３の凹凸を完全に反転させたものであるが、完全に反転させることに限定されない。例えば、アッパーマニホールドプレート２６には副マニホールド流路５ａの近傍に各圧力室１０からノズル８への連絡孔が形成されているので、接着剤の不足等によって連絡孔と副マニホールド流路５ａとが連通するのを防ぐため、中間部材１００の凸部１２６ａを公差の範囲内で凹部２６ａより小さなサイズとしてよい。また、中間部材１００の凸部１２６ａは、アッパーマニホールドプレート２６の凹部２６ａの全領域に対応せず、当該領域より小さくてもよい。ここで、特にアッパーマニホールドプレート２６の凹部２６ａの底面に副マニホールド流路５ａの出口５ｂが形成されている場合、中間部材１００の凸部は、アッパーマニホールドプレート２６の凹部２６ａにおける少なくとも出口５ｂを含む領域に対応するように形成すればよい。
【００７６】
上述の実施形態ではアッパーマニホールドプレート２６及びアンダーリザーバプレート８３の両方に対して接着剤を塗布する前に仮転写工程を行っているが、これに限定されず、いずれか一方のみに仮転写工程等を適用してよい。例えば、アッパーマニホールドプレート２６に凹凸ではなく貫通穴を設け、仮転写工程等を行わずに、他のプレート２２〜２５，２７〜２９と同様、下面全域に接着剤を塗布してよい。
【００７７】
中間部材１００，２００の凸部１２６ａ，２８３ａ、アンダーリザーバプレート８３の凸部８３ｂ，８３ｃ、及びアッパーマニホールドプレート２６の凸部２６ｂの先端面に溝を形成しなくてよい。
【００７８】
中間部材１００，２００、アッパーマニホールドプレート２６、及びアンダーリザーバプレート８３は金属以外の様々な材料からなってよく、またその表面の凹凸はハーフエッチング以外の様々な方法によって形成されてよい。
【００７９】
接着剤を保持するものであれば接着シート５００の代わりに様々なものを用いてよく、例えば円柱形ローラの外周面に接着剤５５０が塗布されたものを用いてよい。このように接着剤を保持する接着剤保持体の形態を様々に変更しても、本発明は実現可能である。
【００８０】
流路ユニット４は細長な形状を有することに限定されない。アクチュエータユニット２１は千鳥状に配置されることに限定されない。また、多数の圧力室１０に跨るアクチュエータユニット２１を設ける代わりに、各圧力室１０に対応するアクチュエータを設けてよい。アクチュエータは圧電式に限定されず、サーマル式等、様々な駆動方式のものを採用してよい。
【００８１】
本発明は、ライン式及びシリアル式のいずれのインクジェットヘッドの製造にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の一実施形態に係る製造方法により製造されたインクジェットヘッドの斜視図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。
【図３】（ａ）はインクジェットヘッドに含まれるリザーバユニットのフィルター部の上面図である。（ｂ）はフィルター部の下面図である。
【図４】リザーバユニットのインク分配部を形成する各プレートの下面図である。
【図５】インクジェットヘッドに含まれるヘッド本体を示す平面図である。
【図６】図５における一点鎖線で囲まれた部分の拡大図である。
【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面図である。
【図８】アッパーマニホールドプレートに接着剤を塗布する前の仮転写工程において用いられる中間部材の図６の一点鎖線で囲まれた領域に対応する部分を示す部分平面図である。
【図９】（ａ），（ｂ）は図８の中間部材を用いて仮転写工程を行う手順を示す概略図であり、（ｃ），（ｄ）はアッパーマニホールドプレートを用いて本転写工程を行う手順を示す概略図である。
【図１０】アンダーリザーバプレートに接着剤を塗布する前の仮転写工程において用いられる中間部材を示す部分平面図である。
【図１１】（ａ），（ｂ）は図１０の中間部材を用いて仮転写工程を行う手順を示す概略図であり、（ｃ），（ｄ）はアンダーリザーバプレートを用いて本転写工程を行う手順を示す概略図である。
【符号の説明】
【００８３】
１  インクジェットヘッド
４  流路ユニット
５  マニホールド流路（共通インク室）
５ａ  副マニホールド流路（共通インク室）
５ｂ  出口
７  個別インク流路
８  ノズル
１０  圧力室
２１  アクチュエータユニット（アクチュエータ）
２２〜３０  流路ユニットのプレート
２６  アッパーマニホールドプレート（凹凸部材）
２６ａ  凹部
２６ｂ  凸部
９０  リザーバユニット
８１，８２，８３  リザーバユニットのプレート
８３  アンダーリザーバプレート（凹凸部材）
８３ａ  凹部
８３ｂ，８３ｃ  凸部
８６  主インク室（リザーバ）
１００，２００  中間部材
１２６ａ  凸部
１２６ｂ  凹部
２８３ａ  凸部
２８３ｂ，２８３ｃ  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
0004552879.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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