(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハの表面に貼着された保護テープを剥離するための剥離テープを保護テープに貼着する剥離テープ貼着手段と、該剥離テープと該チャックテーブルとを相対的に移動させる駆動手段とを備え、
該剥離テープ貼着手段は、未使用の剥離テープが巻かれた未使用ロール部と、使用済みの剥離テープを巻き取る使用済みロール部と、該未使用ロール部と該使用済みロール部との間において該剥離テープを該保護テープに押圧する押圧部と、
未使用の剥離テープを該未使用ロール部から該押圧部側に供給する順方向作動及び使用済みの剥離テープを該使用済みロール部から該押圧部側に戻す逆方向作動が可能な剥離テープ送り部と
を備えたテープ剥離装置における保護テープの剥離方法であって、
該剥離テープ送り部の該順方向作動により該押圧部に未使用の剥離テープを供給する剥離テープ供給工程と、
該チャックテーブルに保持されたウェーハの表面に貼着された保護テープに該押圧部をあてがって未使用の剥離テープを該保護テープに貼着し、その後、該駆動手段によって該チャックテーブルを移動させて該保護テープの端部まで剥離テープを貼着する剥離テープ貼着工程と、
該剥離テープ送り部を該逆方向作動させ該剥離テープを弛ませて該保護テープの外周側面側に該剥離テープをオーバーハングさせる剥離テープオーバーハング工程と、
該駆動手段及び該剥離テープ送り部の順方向作動により使用済みの剥離テープを該使用済みロール部によって巻き取りながら該ウェーハの表面から該保護テープを剥離する剥離工程と
から構成される保護テープの剥離方法。
【請求項２】
前記剥離工程において、前記ウェーハの表面から保護テープを完全に剥離する前に、該剥離テープ送り部の順方向作動を停止させ、該駆動手段による作動のみによって該ウェーハの表面から該保護テープを完全に剥離する
請求項１に記載の保護テープの剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハに貼着された保護テープを剥離する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが表面に形成されたウェーハは、ダイシング装置等の分割装置によって個々のデバイスに分割され、各種電子機器に利用されている。近年は、電子機器の小型化、軽量化等の要求に応えるために、ウェーハの裏面の研削により、その厚さが１００μｍ以下、５０μｍ以下というように極めて薄く形成される。
【０００３】
ウェーハの裏面を研削する際には、ウェーハの表面に塩化ビニール等で形成されたデバイス保護用の保護テープが貼着され、研削終了後は、その保護テープを剥離した後にダイシング装置に搬送されてダイシングされ、個々のデバイスに分割される。
【０００４】
ウェーハの表面から保護テープを剥離する方法としては、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等で形成された剥離テープを保護テープに貼着し、剥離テープと共に保護テープを引っ張ることにより保護テープを剥離する方法がある（例えば特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１９７５８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、剥離テープを保護テープに貼着して引っ張ることにより保護テープを剥離する方法では、保護テープの外周端部に剥離テープが十分に貼着されず、これが原因となって、保護テープを剥離できない場合があるという問題がある。
【０００７】
また、厚さが１００μｍ以下、５０μｍ以下というように極めて薄く形成されるウェーハについては、保護テープの剥離時にウェーハが破損するという問題もある。
【０００８】
したがって、本発明が解決しようとする課題は、ウェーハに貼着された保護テープを確実に剥離すると共に、剥離時にウェーハを破損させないようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、ウェーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウェーハの表面に貼着された保護テープを剥離するための剥離テープを保護テープに貼着する剥離テープ貼着手段と、剥離テープとチャックテーブルとを相対的に移動させる駆動手段とを備え、剥離テープ貼着手段は、未使用の剥離テープが巻かれた未使用ロール部と、使用済みの剥離テープを巻き取る使用済みロール部と、未使用ロール部と使用済みロール部との間において剥離テープを保護テープに押圧する押圧部と、未使用の剥離テープを未使用ロール部から押圧部側に供給する順方向作動及び使用済みの剥離テープを使用済みロール部から押圧部側に戻す逆方向作動が可能な剥離テープ送り部とを備えたテープ剥離装置における保護テープの剥離方法に関するもので、剥離テープ送り部の順方向作動により押圧部に未使用の剥離テープを供給する剥離テープ供給工程と、チャックテーブルに保持されたウェーハの表面に貼着された保護テープに押圧部をあてがって未使用の剥離テープを保護テープに貼着し、その後、駆動手段によってチャックテーブルを移動させて保護テープの端部まで剥離テープを貼着する剥離テープ貼着工程と、剥離テープ送り部を逆方向作動させ剥離テープを弛ませて保護テープの外周側面側に剥離テープをオーバーハングさせる剥離テープオーバーハング工程と、駆動手段及び剥離テープ送り部の順方向作動により使用済みの剥離テープを使用済みロール部によって巻き取りながらウェーハの表面から保護テープを剥離する剥離工程とから構成される。
【００１０】
上記保護テープの剥離方法では、剥離工程において、ウェーハの表面から保護テープを完全に剥離する前に、剥離テープ送り部の順方向作動を停止させ、駆動手段による作動のみによってウェーハの表面から保護テープを完全に剥離することが望ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明では、保護テープの外周側面側に剥離テープをオーバーハング状態で貼着するようにしたため、その状態から剥離テープを巻き取って保護テープを剥離することにより、ウェーハの表面から確実に保護テープを剥離することができる。
【００１２】
また、ウェーハの表面から保護テープを完全に剥離する前に剥離テープの送りを停止し、ウェーハを保持するチャックテーブルの移動のみによって完全に剥離するようにすると、ウェーハに垂直方向の力が加わらないため、ウェーハの破損を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１に示すテープ剥離装置１を用いてウェーハの表面に貼着された保護テープを剥離する方法について説明する。図１に示すテープ剥離装置１は、ウェーハＷの表面にデバイス保護のために貼着された保護テープＴ１を剥離するのに用いる装置であり、ウェーハＷを保持するチャックテーブル２と、チャックテーブル２に保持された保護テープＴ１を剥離するための剥離テープＴ２を貼着する剥離テープ貼着手段３と、剥離テープＴ２とチャックテーブル２とを保護テープＴ１が剥離される方向に相対的に移動させる駆動手段４とを備えている。なお、保護テープＴ１は、裏面がダイシングテープに貼着されダイシングテープの外周部に貼着されたダイシングフレームと一体になったウェーハの表面に貼着されている場合もある。
【００１４】
チャックテーブル２は、駆動手段４によってＸ軸方向に移動可能となっている。駆動手段４は、Ｘ軸方向に配設されたボールネジ４０と、ボールネジ４０の一端に連結されボールネジ４０を回動させるモータ４１と、ボールネジ４０と平行に配設されたガイドレール４２と、ボールネジ４０に螺合すると共にガイドレール４２に摺接する基台４３とから構成され、モータ４１に駆動されてボールネジ４０が回動するのに伴い、基台４３がガイドレール４２にガイドされてＸ軸方向に移動する構成となっている。
【００１５】
剥離テープ貼着手段３は、未使用の剥離テープＴ２が巻かれた未使用ロール部３０と、保護テープＴ１が貼着された使用済みの剥離テープＴ２を巻き取る使用済みロール部３１と、未使用ロール部３０と使用済みロール部３１との間の剥離テープを保護テープＴ１に押圧する押圧部３２と、押圧部３２に剥離テープを供給すると共に剥離した保護テープＴ１が貼着された使用済みの剥離テープＴ２を使用済みロール部３１に送り出す剥離テープ送り部３３とを備えている。また、未使用ロール部３０と押圧部３２との間には、剥離テープＴ２をガイドする剥離テープガイド部３４を備えている。
【００１６】
未使用ロール部３０は、チャックテーブル２の移動方向であるＸ軸方向に直行するＹ軸方向の回転軸を有し、円柱状の部材に巻かれた未使用の剥離テープＴ２を送り出す方向（正面側から見て時計回り）とは逆の方向に、後述する剥離テープ送り部３３の順方向作動の力より弱い力で常時回転して剥離テープＴ２にテンションを加えており、剥離テープ送り部３３の順方向作動により、未使用の剥離テープＴ２が押圧部３２側に送り出される。
【００１７】
押圧部３２は、Ｙ軸方向の回転軸を有する円柱状の棒の先端部にＸ軸方向に突出した突出部３２ａが形成された構成となっており、突出部３２ａの先端が剥離テープＴ２に接触している。
【００１８】
剥離テープガイド部３４は、未使用ロール部３０と押圧部３２との間で未使用の剥離テープＴ２を支持している。
【００１９】
剥離テープ送り部３３は、円柱状に形成された２つのロール部材３３ａ、３３ｂにより構成され、ロール部材３３ａとロール部材３３ｂとの間に剥離テープＴ２が挟持されている。ロール部材３３ａの側面は、例えばゴムのような摩擦係数の比較的高い材料により形成され、ロール部材３３ｂの側面は、例えばテフロン（登録商標）のようなロール部材３３ａよりも摩擦係数の小さい材料により形成されている。ロール部材３３ａを反時計回りに回転させると共にロール部材３３ｂを時計回りに回転させることにより、未使用の剥離テープＴ２を−Ｘ方向に送り出すことができる。以下では、ロール部材３３ａを反時計回りに回転させると共にロール部材３３ｂを時計回りに回転させることを、剥離テープ送り部３３の順方向作動と称する。一方、ロール部材３３ａを時計回りに回転させると共にロール部材３３ｂを反時計回りに回転させることにより、剥離テープＴ２を＋Ｘ方向に送り出すことができる。以下では、ロール部材３３ａを時計回りに回転させると共にロール部材３３ｂを反時計回りに回転させることを、剥離テープ送り部３３の逆方向作動と称する。
【００２０】
使用済みロール部３１は、Ｙ軸方向の回転軸を有し、剥離テープＴ２の先端部が円柱状の部材に巻かれ、使用済みロール部３１が正面から見て時計回りに、剥離テープ送り部３３の順方向作動及び逆方向作動の力より弱い力で常時回転することにより、使用済みの剥離テープＴ２が巻かれていく。
【００２１】
図２に示すように、表面にデバイス保護用の保護テープＴ１が貼着されたウェーハＷは、チャックテーブル２に保持される。また、剥離テープ送り部３３の順方向作動により、未使用の剥離テープＴ２を未使用ロール部３０から押圧部３２側に供給する（剥離テープ供給工程）。このとき、剥離テープガイド部３４によって、未使用の剥離テープＴ２がガイドされ、未使用ロール部３０の逆方向に回転する力によって未使用の剥離テープＴ２に対してテンションが与えられる。そして、駆動手段４によって駆動されてチャックテーブル２が−方向に移動することにより、図３に示すように、ウェーハＷが押圧部３２の下方の所要位置に位置付けられる。
【００２２】
次に、図４に示すように、押圧部３２を時計回りに回転させることによって突出部３２ａの先端が剥離テープＴ２を下方に押圧することにより、保護テープＴ１の−Ｘ側の外周端部より内側に、未使用の剥離テープＴ２をあてがって接触させる。剥離テープＴ２の粘着面が下を向いているため、押圧により当該粘着面が保護テープＴ１に貼着される。このとき、剥離テープ送り部３３を構成するロール部材３３ａ、３３ｂは共に停止している。
【００２３】
そして、図５に示すように、突出部３２ａが剥離テープＴ２を保護テープＴ１に押圧した状態を維持したまま、駆動手段４よる駆動によりチャックテーブル２を＋Ｘ方向に移動させ、未使用の剥離テープＴ２を保護テープＴ１の端部まで貼着する（剥離テープ貼着工程）。
【００２４】
次に、図６に示すように、剥離テープ送り部３３の逆方向作動により、使用済みロール部３１から押圧部３２側に向けて使用済みの剥離テープＴ２を戻し、その剥離テープＴ２を下方に弛ませる。そうすると、保護テープＴ１の外周側面にも剥離テープＴ２が貼着され、剥離テープＴ２がオーバーハング状態で貼着される（剥離テープオーバーハング工程）。
【００２５】
そして、図７に示すように、押圧部３２による押圧を維持したままの状態で、剥離テープ送り部３３を順方向作動させると共に、チャックテーブル２を−Ｘ方向に移動させると、使用済みの剥離テープＴ２が使用済みロール部３１によって巻き取られながら、剥離テープＴ２に貼着された保護テープＴ１がウェーハＷの表面から剥離されていく（剥離工程）。剥離テープＴ２がオーバーハング状態で保護テープＴ１に貼着されているため、確実に保護テープＴ１を剥離することができる。
【００２６】
図８に示すように、押圧部３２による押圧を維持した状態で、剥離テープ送り部３３の順方向作動を停止し、ここでは保護テープＴ１を完全に剥離せずにしておき、図９に示すように、駆動手段４によってチャックテーブル２を＋Ｘ方向に移動させると、剥離テープ送り部３３と押圧部３２との間の剥離テープＴ２にテンションをかけない状態で、剥離テープＴ２に貼着された状態で保護テープＴ１がウェーハＷの表面から剥離される（剥離工程）。したがって、剥離時にウェーハＷに垂直方向の力がはたらくことがなく、ウェーハＷが破損することがない。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】テープ剥離装置の一例を示す斜視図である。
【図２】チャックテーブルに保持されたウェーハ及び剥離テープ貼着手段を示す説明図である。
【図３】剥離テープ貼着工程の前の状態を示す説明図である。
【図４】剥離テープ貼着工程の開始時を示す説明図である。
【図５】剥離テープ貼着工程の終了時を示す説明図である。
【図６】剥離テープオーバーハング工程を示す説明図である。
【図７】剥離工程の開始時を示す説明図である。
【図８】剥離工程の途中を示す説明図である。
【図９】剥離工程の終了時を示す説明図である。
【符号の説明】
【００２８】
Ｔ１：保護テープ  Ｔ２：剥離テープ  Ｗ：ウェーハ
１：テープ剥離装置
２：チャックテーブル
３：剥離テープ貼着手段
３０：未使用ロール部  ３１：使用済みロール部
３２：押圧部
３２ａ：突出部
３３：剥離テープ送り部
３３ａ、３３ｂ：ロール部材
３４：剥離テープガイド部
４：駆動手段
４０：ボールネジ  ４１：モータ  ４２：ガイドレール  ４３：基台
【図１】
0004597061.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0004597061.tif 000006
【図６】
0004597061.tif 000007
【図７】
0004597061.tif 000008
【図８】
0004597061.tif 000009
【図９】
0004597061.tif 000010