(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
素材の凹凸パターン形状の回折格子形成面から、少なくともコーナ部が曲線で連なる凹凸パターン形状の回折格子を、ポリシング研磨加工により作製することを特徴とする回折格子製造方法。
【請求項２】
前記素材の回折格子形成面の凹凸パターン形状は、矩形又は台形波形状であることを特徴とする請求項１記載の回折格子製造方法。
【請求項３】
ポリシング研磨加工により形成された少なくともコーナ部が曲線で連なる凹凸パターン形状の回折格子形成面を光学素子用の成形面に備えていることを特徴とする回折格子成型金型。
【請求項４】
前記凹凸パターン形状は、コーナー部に曲線を有する台形波形状又は曲線の連なる凹凸パターン形状であることを特徴とする請求項３記載の回折格子成型金型。
【請求項５】
ポリシング研磨加工により形成された少なくともコーナ部が曲線で連なる凹凸パターン形状の回折格子を素材面に有することを特徴とする光学素子。
【請求項６】
前記凹凸パターン形状は、コーナー部に曲線を有する台形波形状又は曲線の連なる凹凸パターン形状であることを特徴とする請求項５記載の光学素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回折格子製造方法、回折格子成型金型及び光学素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶表示装置では液晶の画素の境目がハツキリと見え、映像にざらつきがあるように見えることを防ぐために、回折格子による光学的ローパスフィルタによって、液晶の画素の境目を見え難くする手段が採用されている。
【０００３】
しかしながら、矩形の回折格子による光学ローパスフィルタでは、高次回折光で回折し、そのため、フレアが回折格子の縞と直交方向に発生し、鮮明な表示画像が得られなくなる。
【０００４】
従来においても、特開平５−２２７４５６号公報に開示されている液晶投写型ビューファインダに関する発明のように、１次光までしか回折しない正弦波形状の回折格子パターンによる光学ローパスフィルタを使用すれば、フレアが発生しないことが知られている。
【０００５】
そして、このような回折格子を製造する回折格子用スタンパの製造方法の発明が、特開平６−２０１９０８号公報に開示されている。この回折格子用スタンパの製造方法は、ガラス基板上にレジストを用いて凹凸状の回折格子パターンを形成するものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術には以下のような問題がある。特開平６−２０１９０８号公報に開示されたような製造方法や、切削、エッチング等による回折格子パターンの製造方法では、正弦波形状又はこれに近似した回折格子パターンを持ったローパスフィルタを作製することは難しく、実際には台形波形状や矩形形状の回折格子パターンを持ったローパスフィルタを作製しているのが現状である。
【０００７】
本発明は、前記問題点に鑑みてなされたものであり、正弦波形状の回折格子に近い形状の回折格子をもった光学素子を提供すること、及びかかる回折格子を容易に製造できる回折格子製造方法、回折格子成形金型を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明の回折格子製造方法は、素材の凹凸パターン形状の回折格子形成面から、少なくともコーナ部が曲線で連なる凹凸パターン形状の回折格子を、ポリシング研磨加工により作製することを特徴とするものである。
【０００９】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の回折格子製造方法において、前記素材の回折格子形成面の凹凸パターン形状は、矩形又は台形波形状であることを特徴とするものである。
【００１０】
請求項３記載の発明の回折格子成型金型は、ポリシング研磨加工により形成された少なくともコーナ部が曲線で連なる凹凸パターン形状の回折格子形成面を光学素子用の成形面に備えていることを特徴とするものである。
【００１１】
請求項４記載の発明は、請求項３記載の回折格子成型金型において、前記凹凸パターン形状は、コーナー部に曲線を有する台形波形状又は曲線の連なる凹凸パターン形状であることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項５記載の発明の光学素子は、ポリシング研磨加工により形成された少なくともコーナ部が曲線で連なる凹凸パターン形状の回折格子を素材面に有することを特徴とするものである。
【００１３】
請求項６記載の発明は、請求項５記載の光学素子において、前記凹凸パターン形状は、コーナー部に曲線を有する台形波形状又は曲線の連なる凹凸パターン形状であることを特徴とするものである。
【００１４】
以下に、本発明の作用について説明する。本発明回折格子製造方法においては、矩形又は台形波形状からなる凹凸パターン形状の回折格子形成面を、研磨加工、即ち、ポリシング加工するものであり、凹凸パターン形状のため、回折格子形成面の場所により研磨の圧力が異なってくる。
【００１５】
そのため、研磨の圧力が大きいところは研磨量が多くなり、研磨の圧力が小さいところは研磨量が少なくなり、研磨加工、即ち、ポリシング研磨加工でコーナ部に曲線を持つ矩形又は台形波形状の凹凸パターン形状を持った回折格子、又は、曲線の連なる凹凸パターン形状を持った回折格子を作製することが可能となる。
【００１６】
即ち、直接、光学素子の素材の凹凸パターン形状の回折格子形成面をポリシング加工することにより、コーナ部に曲線を持つ台形波形状からなる凹凸パターン形状の回折格子、又は、曲線が連なる凹凸パターン形状の回折格子を作製することができる。
【００１７】
また、回折格子成形金型も、矩形又は台形形状からなる凹凸パターン形状の回折格子形成面をポリシング加工することにより、コーナ部に曲線を持つ矩形又は台形波形状の凹凸パターン形状の回折格子形成面、若しくは、曲線で連なる凹凸パターン形状を持つ回折格子形成面を、回折格子用の成形面として備えた構造のものを作製することができる。
【００１８】
このような回折格子成形金型を用いることにより、成形品である光学素子として、コーナ部に曲線を持つ矩形又は台形波形状からなる凹凸パターン形状の回折格子、又は、曲線の連なる矩形又は台形波形状からなる凹凸パターン形状の回折格子を持った光学素子を得ることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００２０】
（実施の形態１）
図１乃至図８を参照して本発明の実施の形態１を説明する。
【００２１】
図１は本実施の形態１における研磨加工であるポリシング加工前の光学素子であるローパスフィルタ１の概略斜視図を示す。図２はポリシング加工前の矩形回折格子４の断面形状を示す。図３はローパスフィルタ１における矩形回折格子４をポリシング加工中の状態の側面図を示す。図４はローパスフィルタ１における矩形回折格子４のポリシング加工中の状態の平面図を示す。
【００２２】
図５、図６は、各々前記ローパスフィルタ１における矩形回折格子４の回折格子面２のポリシング加工の動きを示す説明図を示す。図７はポリシング加工前の矩形回折格子４とポリシング加工終了時のコーナ部に曲線を有する台形波回折格子面１３を合わせて示す断面図である。図８はポリシング加工終了時のローパスフィルタ１Ａの概略斜視図を示す。
【００２３】
本実施の形態１において、ポリシング加工前のローパスフィルタ１の形状は、矩形回折格子面２と鏡面３を持つ厚さ１ｍｍ、縦２０ｍｍ、横３０ｍｍの平板状で、材質はガラスである。
【００２４】
また、矩形回折格子４は、矩形形状の回折格子面２の全面に作製されており、矩形回折格子４の凹凸パターン形状は、図２に示すように回折格子ピッチａが１ｍｍ、回折格子溝深さｂが０．４μｍ、回折格子溝幅ｃが０．５ｍｍとなっている。この矩形回折格子４はエッチング法により作製している。
【００２５】
次に、前記ローパスフィルタ１に対するポリシング加工について説明する。まず、図３に示すように、回折格子面２とポリシャ５のポリシャ研磨面６にはダイセモンドペースト（図示せず）が塗られており、回折格子面２には研磨液も塗られている。
【００２６】
尚、前記ポリシャ５の材質は、布で、ポリシャ研磨面６の大きさは、直径６ｍｍである。また、ダイヤモンドペーストの粒径は８μｍ以下である。そして、前記ローパスフィルタ１は、回折格子面２をポリシャ５の回転駆動により押圧、さらに、同時に移動させることにより、ポリシング加工が行われていく。
【００２７】
前記ポリシャ５の回折格子面２に対する押圧力ｄは、０．０１ＭＰａで、ポリシャ回転数ｅは３３０ｒｐｍで、ポリシャ移動速度ｆは３ｍｍ／ｓｅｃに設定している。
【００２８】
ポリシャ５の移動は、図５に示す矩形回折格子４の格子方向と平行に動き、ピッチ送りして、矩形回折格子４の格子方向と平行に移動することを繰り返す平行移動方法ｇ、又は、図６に示す矩形回折格子４の格子方向と直交方向に動き、ピッチ送りして、矩形回折格子４の格子方向と直交方向に動くことを繰り返す移動方法ｈのいずれの方法を採用しても構わないが、回折格子形状にムラが出ないようにするためには前記両方法を合わせて行うことが好ましい。
【００２９】
また、ポリシャ５のピッチ送り量ｉは、前記両方法とも０．４ｍｍである。また、前記ポリシヤ５の移動が矩形回折格子４の全面に亙って完了したときを１工程とすると、この工程を複数回繰り返して行く必要がある。本発明の実施の形態１では８０回分、この工程を繰り返した。
【００３０】
前記ポリシング加工により、コーナ部に曲線を有する台形波回折格子面１３を持った図８に示す回折格子１Ａを作製することが可能であるが、このことについてさらに言及する。
【００３１】
通常、ポリシャ５は平坦な面ではポリシャ研磨面６の全面が被研磨面に均等な圧力で当たり、均等に研磨されていく。しかし、矩形回折格子４には当然凹凸があるため、均等に圧力がかからない。
【００３２】
一番圧力がかかる部分は、図７に示すように、矩形回折格子４の凸部コーナ部７である。次に圧力がかかるのは矩形回折格子４の凸部平坦部８である。その次が、矩形回折格子４の凹部平坦部９、最後が矩形回折格子４の凹部コーナ部１０である。
【００３３】
また、ポリシャ５が回転しているため、矩形回折格子４の立ち上がり部１１もポリシャ５の回転によって圧力がかかり、その大きさは溝深さｊが浅いほど大きくなる傾向がある。このため、研磨量が場所によって異なり、圧力の高い部分が多く、低い箇所が少なくなる。
【００３４】
以上のような工程により、凸部コーナ部７、凹部コーナ部１０が曲線形状を呈する台形波回折格子面１３をもったローパスフィルタ１Ａが作製される。
【００３５】
本実施の形態１では、作製したローパスフィルタ１Ａの溝深さｊは、０．３５μｍになっている。このようにして、凸部コーナ部７、凹部コーナ部１０に曲線を有する台形波回折格子面１３と鏡面３を有するローパスフィルタ１Ａを作製することができる。
【００３６】
本実施の形態１では、前記ポリシャ研磨面６の大きさは直径６ｍｍであるが、この大きさは回折格子ピッチａよりも大きければよく、例えば直径１ｍｍ以上であれば適用可能であり、前記回折格子ピッチａの２倍以上、１０倍以下の範囲、最も好ましいのは回折格子ピッチａの６倍程度である。
【００３７】
本実施の形態１によれば、ローパスフィルタ１Ａの光学特性として高次回折光を±８次光までの回折に抑えることかでき、正弦波形状にに近い回折格子に近似した光学特性を得ることができるローパスフィルタ１Ａを提供できる。また、容易に正弦波に近い形状の回折格子を持ったローパスフィルタ１Ａを作製できる製造方法を提供できる。
【００３８】
（実施の形態２）
図９乃至図１５を参照して本発明の実施の形態２について説明する。
【００３９】
図９はポリシング加工前の矩形回折格子形成面（等間隔の線を付して示す）１０２を有する回折格子入子１０１の斜視図である。図１０はポリシング加工前の矩形回折格子１０３の断面図である。図１１はポリシング加工終了時の回折格子入子１０４の斜視図である。図１２はポリシング加工終了時のコーナ部に曲線を有する台形波回折格子１０６の断面図である。図１３はローパスフィルタ成型用の金型１０７の開閉方向と垂直な方向から見た断面図を示している。図１４はローパスフィルタ１１７の斜視図である。図１５はローパスフィルタ１１７におけるコーナ部に曲線を有する台形波回折格子１２０の断面形状を示す断面図である。
【００４０】
本発明の実施の形態２において、ポリシング加工前の回折格子入子１０１の矩形回折格子形成面１０２を作製する代表的な方法の概略を以下に説明する。
【００４１】
まず始めに、シリコンウェハにレジスト加工により、回折格子パターンを作製する。そして、回折格子パターンを作製した面をコーティングする。更にコーティング処理後、電鋳を行い、回折格子パターンを入子作成用の電鋳品に転写させ、シリコンウェハを剥離する。その後、回折格子入子１０１の大きさにワイヤカット、エンドミル等で仕上げる。以上が回折格子入子１０１における矩形回折格子１０３をもった矩形回折格子形成面１０２を作製する代表的な方法である。
【００４２】
前記回折格子入子１０１の材質はニッケルであり、矩形回折格子１０３の形状は実施の形態１と同様である。
【００４３】
次に、実施の形態１と同様なポリシャ５を用いたポリシング加工を行い、図１１に示すコーナ部に曲線を有する台形波回折格子形成面１０５を持った回折格子入子１０４を作製する。ポリシャ５を用いたポリシング加工の方法は実施の形態１と同様であるため、その詳細説明を省略するが、この場合のポリシャ５の押圧力は材質が異なるため、０．０２ＭＰａに設定している。
【００４４】
このポリシング加工によって、回折格子入子１０４にはコーナ部に曲線を有する台形波回折格子１０６を持った回折格子形成面１０５が形成される。図１２に示す前記回折格子入子１０４のコーナ部に形成される曲線を有する台形波回折格子１０６の形状は、実施の形態１のコーナ部に曲線を有する台形波回折格子１２と同様である。
【００４５】
次に、本実施の形態２における金型１０７の構成について図１３を参照して説明する。
【００４６】
図１３に示す金型１０７は、可動金型１０８と、固定金型１０９とからなり、固定金型１０９にはコーナ部に曲線を有する台形波形状の回折格子形成面１０５を有する回折格子入子１０４が挿入されている。また、可動金型１０８には、鏡面１１０を有する境面入れ子１１１が挿入されている。
【００４７】
更に、前記可動金型１０８には、成形品を可動金型１０８から押し出すための押し出しピン１１２と、この押し出しピン１１２を作動させるための押し出し板１１３を設けている。更に、型閉め時にはキャビティ１１４を形成するようになり、キャビティ１１４にはスプルー１１５、ランナー１１６を介して樹脂が流れ込むようになっている。
【００４８】
この金型１０７は以下のように作動する。前記可動金型１０８が射出成形機により固定金型１０９と接し、キャビティ１１４を形成するようになる。キャビティ１１４を形成した後、樹脂が射出成形機よりスプルー１１５、ランナー１１６を介してキャビティ１４に流れ込み、充填、固化して、成形品が形成された後、射出成形機により可動金型１０８が固定金型１０９より離れる。その時、成形品は可動金型１０８に接したまま、固定金型１０９から離れる。
【００４９】
その後、押し出しピン１１２が射出成形機により、押し出し板１１３を介して作動して成形品を可動金型１０８より離し、図示しない取り出し装置等によって金型１０７外へ搬出される。
【００５０】
このように金型１０７が作動することにより、図１５に示すような台形波回折格子１２０をもつた図１４に示すような成形品であるローパスフィルタ１１７が作製される。尚、ローパスフィルタ１１７は、コーナ部に曲線を有する台形波回折格子面１１８と鏡面１１９を持つ、厚さ１ｍｍ、縦２０ｍｍ、横３０ｍｍのアクリル製の平板である。
【００５１】
尚、前記ローパスフィルタ１１７のコーナ部に曲線を有する台形波回折格子面１１８の形状は、実施の形態１のコーナ部に曲線を有する台形波回折格子面１３と同様である。
【００５２】
本実施の形態２によれば、射出成形により、コーナ部に曲線を有する台形波形状の回折格子形成面１０５が、成形品であるローパスフィルタ１１７のコーナ部に曲線を有する台形波回折格子面１１８に転写され、この結果、ローパスフィルタ１１７の光学特性として高次回折光を±８次光までの回折に抑えることができ、正弦波形状の回折格子に近い光学特性を得ることができるローパスフィルタ１１７を提供できる。
【００５３】
また、本実施の形態２によれば、前記ローパスフィルタ１１７を金型１０７を用いた射出成形にて製造するため、量産性に優れた製造方法を提供できる。
【００５４】
（実施の形態３）
図１６から図２２を参照して本発明の実施の形態３の説明を行う。
【００５５】
図１６はポリシング加工前の回折格子入子２０１の斜視図である。図１７はポリシング加工前の矩形回折格子２０３の断面図である。図１８は回折格子入子２０１におけるポリシング加工終了時の曲線の連なる凹凸パターン形状の回折格子２０６の断面形状を示す断面図である。図１９はポリシンク加工終了時の回折格子形成面を持った回折格子入子２０８の斜視図である。図２０は金型１０７の開閉方向と垂直な方向から見た断面図である。図２１はローパスフィルタ２０９の斜視図である。図２２はローパスフィルタ２０９の曲線のつながった凹凸パターン形状の回折格子２１２の断面図である。
【００５６】
本実施の形態３において、実施の形態１、２と同様な構成部分には同一符号を付してその詳細説明は省略する。
【００５７】
ポリシング加工前の回折格子入子２０１の矩形回折格子形成面２０２の矩形回折格子２０３の形状に関しては、図１７に示すように、回折格子ピッチｋが１ｍｍ、回折格子溝深さｌが０．４５μｍ、回折格子溝幅ｍが０．５ｍｍである。
【００５８】
ポリシング加工の方法は発明の実施の形態２と同様であるが、本実施の形態３では、加工工程回数を２倍の１６０回にしている。
【００５９】
このとき、ポリシング加工時のポリシング状態は実施の形態１の場合と同様であるが、更に加工工程数を増やすことにより、回折格子凸部コーナ部２０４、回折格子凹部コーナ部２０５の曲線は大きくなり、最終的にはこの曲線が連なり、図１８に示す曲線の連なった凹凸パターン形状の回折格子２０６を作製することができる。
【００６０】
ただし、加工工程が２倍になるため、溝深さｎの変化も２倍になる。よって、この曲線のつながった凹凸パターン形状の回折格子２０６の溝深さｎを０．３５μｍに仕上げることができる。
【００６１】
金型１０７の構成は、実施の形態２の場合と同様であるが、固定金型１０９に挿入される入子は、図１９に示す曲線のつながった凹凸パターン形状の回折格子形成面２０７を有する回折格子入子２０８である。
【００６２】
本実施の形態３の金型１０７の作動は、既述した実施の形態２の場合と同様である。
【００６３】
これにより、図２２に示す凹凸パターン形状の回折格子２１２をもった図２１に示すローパスフィルタ２０９を作製することができる。尚、前記ローパスフィルタ２０９は、曲線のつながった凹凸パターン形状の回折格子面２１０と鏡面２１１を持ち、厚さ１ｍｍ、縦２０ｍｍ、横３０ｍｍのアクリル製の平板であり、ローパスフィルタ２０９の曲線のつながった凹凸パターン形状の回折格子２１２の形状は、前記回折格子入子２０８の曲線のつながった凹凸パターン形状の回折格子２０６の形状と同様である。
【００６４】
尚、本実施の形態３では、回折格子溝深さｌを０．４５μｍにし、ポリシング加工工程を発明の実施の形態２よりも２倍にすることにより、図１８に示す曲線の連なった凹凸パターン形状の回折格子２０６を作製したが、その他の加工条件を変更することによっても対応は可能である。例えば、回折格子溝深さｌを０．４μｍにし、ポリシャ押圧力を０．０１ＭＰａとし、加工工程を発明の実施の形態２の場合よりも２倍にすることによっても実施可能である。
【００６５】
本実施の形態３によれば、既述した実施の形態１、２の場合よりもより正弦波形状に近い回折格子を得ることができ、高次回折光を±３次光までの回折に減らすことが可能となり、優れた光学特性をもったローパスフィルタ２０９を提供できる。
【００６６】
（実施の形態４）
図２３乃至図２７を参照して本発明の実施の形態４について説明する。
【００６７】
図２３はポリシング加工前の光学素子であるレンズ３０１を示す側面図である。図２４はポリシング加工前のレンズ３０１における矩形回折格子球面の断面図である。図２５はレンズ３０１に対するポリシングの動きを回折格子面側から見た平面図である。図２６はポリシング加工終了時のレンズ３０７における曲線のつながった凹凸バターン形状の回折格子３０５の断面形状を示す断面図である。図２７はポリシング加工終了時のレンズ３０７を示す側面図である。
【００６８】
本実施の形態４において、既述した実施の形態１、２、３と同様な構成部分には同一符号を付してその詳細説明は省略する。
【００６９】
ポリシング加工前のレンズ３０１は、例えば半径９０ｍｍの球面形状を有し、有効径が直径３０ｍｍで、この球面の面頂を中心にして、回折格子方向が同心円状になっている矩形回折格子球面３０２と、半径６０ｍｍの球面で有効径は直径２５ｍｍである球面３０３とを有しており、レンズ３０１の外形の大きさは直径４０ｍｍで厚さが２０ｍｍである。
【００７０】
尚、レンズ３０１における矩形回折格子球面３０２の矩形回折格子３０４の形状は、球面の円弧の長さで回折格子ピッチｏが１ｍｍ、球面からの溝深さｐが０．４５μｍ、球面の円弧の長さで回折格子溝幅ｑが０．５ｍｍである。尚、レンズ３０１は切削加工により作製されており、材質はガラスである。
【００７１】
本実施の形態４のポリシング加工の方法は、既述した実施の形態３の場合と同様であるが、ポリシャ５の押圧力は材質が異なるため、０．０１ＭＰａにしている。
【００７２】
尚、本実施の形態４においておけるポリシャ５の移動に関しては、矩形回折格子３０４が同心円状になっているが、その点は無視しても支障はなく、図２５に示すポリシャ移動方法ｒで構わない。
【００７３】
また、前記矩形回折格子球面３０２は球面になっているが、ポリシング加工ではポリシャ５のポリシャ研磨面はその押圧力によって被研磨面に対して倣う様に移動するため、ポリシャ研磨面は常に全面で被研磨面に一定の押圧力で接するように動作する。
【００７４】
従って、ポリシャ５によるポリシング加工により、図２６に示すように、球面上に曲線の連なった凹凸パターン形状で、溝深さｓの回折格子３０５が作製される。このことにより、図２７に示すように、曲線の連なった凹凸パターン形状の回折格子球面３０６と、球面３０３とを有するレンズ３０７を作製することができる。
【００７５】
本実施の形態４によれば、球面に正弦波に近い曲線をつなげた凹凸パターン形状の回折格子球面３０６を備えたレンズ３０７を容易に作製できる。
【００７６】
【発明の効果】
以上説明した本発明によれば、コーナ部に曲線を持つ台形波形状からなる凹凸パターン形状、又は、曲線が連なる凹凸パターン形状のような正弦波形状に近い形状の回折格子を容易に作製することができる回折格子製造方法を提供することができる。
【００７７】
また、本発明によれば、コーナ部に曲線を持つ矩形又は台形波形状の凹凸パターン形状の回折格子形成面、若しくは、曲線で連なる凹凸パターン形状を持つ正弦波形状に近い形状の回折格子形成面を、回折格子用の成形面として備え、量産性に優れた回折格子成形金型を提供することができる。
【００７８】
さらに、本発明によれば、上記発明の回折格子製造方法又は回折格子成形金型を適用することによって、コーナ部に曲線を持つ矩形又は台形波形状からなる凹凸パターン形状の回折格子、又は、曲線の連なる矩形又は台形波形状からなる凹凸パターン形状のような正弦波形状に近い形状の回折格子を持ち、液晶表示画像におけるざらつき感低減等の効果を奏する光学素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１のポリシング加工前の光学素子であるローパスフィルタの概略斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１のポリシング加工前の矩形回折格子４の断面形状を断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１のローパスフィルタにおける回折格子をポリシング加工中の状態を示す側面図である。
【図４】本発明の実施の形態１におけるローパスフィルタにおける回折格子のポリシング加工中の状態を示す平面図である。
【図５】本発明の実施の形態１におけるローパスフィルタにおける回折格子の回折格子面のポリシング加工の動きを示す説明図である。
【図６】本発明の実施の形態１におけるローパスフィルタにおける回折格子の回折格子面のポリシング加工の動きを示す説明図である。
【図７】本発明の実施の形態１におけるポリシング加工前の矩形回折格子とポリシング加工終了時のコーナ部に曲線を有する台形波回折格子を合わせて示す断面図である。
【図８】本発明の実施の形態１におけるポリシング加工終了時のローパスフィルタの概略斜視図である。
【図９】本発明の実施の形態２におけるポリシング加工前の回折格子入子の斜視図である。
【図１０】本発明の実施の形態２におけるポリシング加工前の矩形回折格子の断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態２におけるポリシング加工終了時の回折格子入子の斜視図である。
【図１２】本発明の実施の形態２におけるポリシング加工終了時のコーナ部に曲線を有する台形波回折格子の断面図である。
【図１３】本発明の実施の形態２におけるローパスフィルタ成型用の金型の開閉方向と垂直な方向から見た断面図である。
【図１４】本発明の実施の形態２におけるローパスフィルタの斜視図である。
【図１５】本発明の実施の形態２におけるローパスフィルタにおけるコーナ部に曲線を有する台形波回折格子の断面形状を示す断面図である。
【図１６】本発明の実施の形態３におけるポリシング加工前の回折格子入子の斜視図である。
【図１７】本発明の実施の形態３におけるポリシング加工前の矩形回折格子の断面図である。
【図１８】本発明の実施の形態３におけるポリシング加工終了時の曲線のつながった凹凸パターン形状の回折格子の断面形状を示す断面図である。
【図１９】本発明の実施の形態３におけるポリシンク加工終了時の回折格子入子の斜視図である。
【図２０】本発明の実施の形態３における金型の開閉方向と垂直な方向から見た断面図である。
【図２１】本発明の実施の形態３におけるローパスフィルタの斜視図である。
【図２２】本発明の実施の形態３におけるローパスフィルタの曲線のつながった凹凸パターン形状の回折格子の断面図である。
【図２３】本発明の実施の形態４におけるポリシング加工前の光学素子であるレンズを示す側面図である。
【図２４】本発明の実施の形態４におけるポリシング加工前のレンズにおける矩形回折格子球面の断面図である。
【図２５】本発明の実施の形態４におけるレンズに対するポリシングの動きを回折格子面側から見た平面図である。
【図２６】本発明の実施の形態４におけるポリシング加工終了時のレンズにおける曲線のつながった凹凸バターン形状の回折格子の断面形状を示す断面図である。
【図２７】本発明の実施の形態４におけるポリシング加工終了時のレンズを示す側面図である。
【符号の説明】
１  ローパスフィルタ
１Ａ  ローパスフィルタ
２  回折格子面
３  鏡面
４  矩形回折格子
５  ポリシャ
６  ポリシャ研磨面
７  凸部コーナ部
８  凸部平坦部
９  凹部平坦部
１０  凹部コーナ部
１１  立ち上がり部
１２  台形波回折格子
１３  台形波回折格子面
１４  キャビティ
１０１  回折格子入子
１０２  矩形回折格子形成面
１０３  矩形回折格子
１０４  回折格子入子
１０５  回折格子形成面
１０６  台形波回折格子
１０７  金型
１０８  可動金型
１０９  固定金型
１１０  鏡面
１１１  鏡面入子
１１２  押し出しピン
１１３  押し出し板
１１４  キャビティ
１１５  スプルー
１１６  ランナー
１１７  ローパスフィルタ
１１８  台形波回折格子面
１１９  鏡面
１２０  台形波回折格子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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