(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に対して磁界を印加するコイルを保持すると共に、前記記録媒体の移動に応じて生じる空気流によって前記記録媒体面から離間する光磁気ピックアップにおける浮上型磁気ヘッドにおいて、
前記コイルを、その開口の中央部が同一軸上に並ぶ複数段のコイルによって形成し、各段のコイルの中心から内周縁までの寸法が、前記記録媒体側になるほど小さくなるように、前記各段のコイルを形成し、
前記記録媒体に最も接近した位置にある前記コイルの開口よりも小さな開口を有する第１の中空コアを、これら両開口の中央部が前記同一軸上に並び、且つ、前記コイルから見て前記記録媒体側に位置するように配置し、
前記記録媒体から最も離れた位置にある前記コイルの開口よりも大きな開口を有する第２の中空コアを、当該開口の中央部が前記同一軸上に並び、且つ、前記コイルから見て前記記録媒体とは反対側に位置するように配置し、
前記第２の中空コアの中心から外周縁までの寸法が記録媒体から最も離れた位置にある前記コイルの中心から最外周までの寸法よりも大きくなるように、当該第２の中空コアを形成し、
前記各コイルおよび各中空コアの開口を貫いて光が進行できるよう前記浮上型磁気ヘッドの基部を導光性材料で形成した、
ことを特徴とする浮上型磁気ヘッド。
【請求項２】
請求項１において、
前記第１の中空コアを、前記記録媒体の対向面から外部に露出させた、
ことを特徴とする浮上型磁気ヘッド。
【請求項３】
請求項１または2において、
前記記録媒体とは反対側の面に、その光軸が前記同一軸に略一致するように、対物レンズを配した、
ことを特徴とする浮上型磁気ヘッド。
【請求項４】
請求項１から３の何れか一項に記載の浮上型磁気ヘッドと、レーザ光源からのレーザ光を導く光学系と、記録媒体に対するレーザ光の収束位置を調整するレンズ機構とを一体的に保持する光磁気ピックアップであって、
前記レンズ機構の光軸が前記同一軸に略一致するように、前記浮上型磁気ヘッドを配置した、
ことを特徴とする光磁気ピックアップ。
【請求項５】
請求項３に記載の浮上型磁気ヘッドと、レーザ光源からのレーザ光を導く光学系とを一体的に保持する光磁気ピックアップであって、
前記光学系の光軸が前記同一軸に略一致するように、前記浮上型磁気ヘッドを配置した、
ことを特徴とする光磁気ピックアップ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば光磁気記録再生装置に用いて好適な浮上型磁気ヘッドおよび光磁気ピックアップに関する。
【０００２】
【従来の技術】
光磁気ディスク等の光磁気記録媒体に対して情報を記録する場合、記録層の温度をキュリー温度程度まで上昇させた後、記録情報に応じた磁界を印加する必要がある。従来、記録層の温度上昇と、記録層に対する磁界の印加は、それぞれ、光ピックアップと磁気ヘッドによって、別々に行われていた。すなわち、記録層側に磁気ヘッドを配し、記録媒体を挟んでこれと反対側に光ピックアップを配し、光ピックアップからレーザ光を照射すると共に磁気ヘッドから磁界を印加して、記録層の磁化方向を磁界印加方向に整合させる。かかる磁化方向は、記録層の温度の低下によって固定化される。これにより、磁化方向に応じた２値データが記録層上に保持され、情報の記録が行われる。
【０００３】
ところで、近年、光磁気記録再生装置の小型・薄型化が進み、それと共に、磁気ヘッドの小型・薄型化が検討されるようになった。かかる磁気ヘッドの小型・薄型化は、パターン技術を利用して基板上にコイルを形成配置する手法によって達成することができる。しかしながら、磁気ヘッドを小型・薄型化すると、十分な強度の磁界を発生させるのが困難となる。そこで、磁気ヘッドを、記憶媒体面になるべく近く配置し、磁界の強度不足を解消する必要がある。
【０００４】
磁気ヘッドを記録媒体面になるべく近く配置する方法として、いわゆる浮上型磁気ヘッドが提案されている。かかる磁気ヘッドは、記録媒体の移動によって生じる空気流によって、磁気ヘッドを媒体面から浮上させるものである。コイルを保持する磁気ヘッドスライダは、空気流の流入端が傾斜しており、かかる傾斜に空気流が流入することによって、スライダに浮力が生じる。ここで、媒体の移動速度が一定であれば、空気の流入速度も一定となる。したがって、磁気ヘッドスライダは、一定の浮力によって、記録媒体面から所定距離だけ離間し、これにより、記録媒体の面ぶれに追従しながら、磁気ヘッドを常に空気ギャップの距離だけ離間した位置に位置づけることができるようになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
かかる浮上型磁気ヘッドにおいては、上記の如くコイルがパターン技術によって形成されているため、コイルの電気抵抗が大きくなる。よって、高強度の磁界を発生させるために、コイルに大電流を導通すると、コイルが発熱し、安定した磁界を発生させることができない。他方、コイルの導通量を制限すると、コイルからの発生磁界が微弱となり、十分な強度の磁界を記録媒体に印加することができなくなる。このように、上記浮上型磁気ヘッドにおいては、発熱と磁界強度が反面的な問題として生じ、少ない電流で記録媒体に対し高強度の磁界を印加することが、重要な課題となっている。
【０００６】
かかる課題を解決する方法として、コイルの開口に柱状の軟磁性体コアを挿入配置する構成を採用し得る。しかしながら、このようにコイル開口に比較的形状の大きな柱状コアを挿入すると、コイルのインダクタンスが急増し、高周波数帯域にてコイルを駆動することができなくなるといった新たな問題が生じる。
【０００７】
また、近年、装置の小型・薄型化に伴い、浮上型磁気ヘッドと光ピックアップとを一体化する構成が提案されており、かかる場合、光ピックアップからのレーザ光は、浮上型磁気ヘッドのコイル開口を透過して、記録媒体に照射される。しかしながら、上記のように、コイル開口に柱状コアを挿入すると、光ピックアップからのレーザ光がコイル開口を透過できなくなり、よって、浮上型磁気ヘッドと光ピックアップとの一体化に障害をきたすこととなる。
【０００８】
そこで本発明は、上記課題を解消し、少ない電流で記録媒体に高強度の磁界を印加できると共に、高周波数帯域にてコイルを駆動でき、しかも、浮上型磁気ヘッドと光ピックアップの一体化にも対応し得る浮上型磁気ヘッドおよび光磁気ピックアップを提供することを課題とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の主たる特徴は、コイルから発生される磁束を集中させるための外形寸法の小さな小コア手段と、記録媒体に印加された磁束を帰還させるための外形寸法の大きな大コア手段とを採用したところにある。ここで、小コア手段は、前記コイルから見て前記記録媒体側に配置し、また、大コア手段は、コイルから見て前記記録媒体とは反対側に位置するように配置する。かかる構成によれば、コイルからの磁束を小コイルによって集中させることができ、よって、記録媒体に対する磁界の印加効率を向上させることができる。また、大コア手段によって磁界の帰還ループを確立でき、これにより、コイルからの発生磁界を小コア手段に効率よく集中させることができるようになる。
【００１０】
さらに、前記小コア手段と大コア手段をリング状の中空コア（小コア、大コア）にて構成すると、各コアの開口を介して、光ピックアップからのレーザ光を記録媒体に導くことができるようになる。この際、小コアは、最も記録媒体に近い位置に配されているので、対物レンズによって収束されたレーザ光は、小コアの開口に達したときには、かなり収束されている。よって、小コアの外形寸法を小さくしても、レーザ光は、小コアに遮光されることなく、小コアの開口を透過することができる。
【００１１】
加えて、前記小コアを、記録媒体の対向面から外部に露出させるようにすると、コイルからの発熱を、小コアを介して発散させることができ、もって、コイルからの発生磁界を安定化させることができるようになる。この際、小コアには電流が導通していないので、このように小コアを外部に露出させても、小コアと記録媒体とがショートして記録媒体と磁気ヘッドの双方に損傷することもない。
【００１２】
各請求項に係る発明の特徴は、以下の通りである。
【００１３】
請求項１の発明は、記録媒体に対して磁界を印加するコイルを保持すると共に、前記記録媒体の移動に応じて生じる空気流によって前記記録媒体面から離間する光磁気ピックアップにおける浮上型磁気ヘッドにおいて、前記コイルを、その開口の中央部が同一軸上に並ぶ複数段のコイルによって形成し、各段のコイルの中心から内周縁までの寸法が、前記記録媒体側になるほど小さくなるように、前記各段のコイルを形成し、前記記録媒体に最も接近した位置にある前記コイルの開口よりも小さな開口を有する第１の中空コアを、これら両開口の中央部が前記同一軸上に並び、且つ、前記コイルから見て前記記録媒体側に位置するように配置し、前記記録媒体から最も離れた位置にある前記コイルの開口よりも大きな開口を有する第２の中空コアを、当該開口の中央部が前記同一軸上に並び、且つ、前記コイルから見て前記記録媒体とは反対側に位置するように配置し、前記第２の中空コアの中心から外周縁までの寸法が記録媒体から最も離れた位置にある前記コイルの中心から最外周までの寸法よりも大きくなるように、当該第２の中空コアを形成し、前記各コイルおよび各中空コアの開口を貫いて光が進行できるよう前記浮上型磁気ヘッドの基部を導光性材料で形成したことを特徴とする。
【００１４】
請求項２の発明は、請求項１に記載の浮上型磁気ヘッドにおいて、前記第１の中空コアを、前記記録媒体の対向面から外部に露出させたことを特徴とする。
【００１９】
請求項３の発明は、請求項１または２に記載の浮上型磁気ヘッドにおいて、前記記録媒体とは反対側の面に、その光軸が前記同一軸に略一致するように、対物レンズを配したことを特徴とする。
【００２１】
請求項４の発明は、請求項１から３の何れか一項に記載の浮上型磁気ヘッドと、レーザ光源からのレーザ光を導く光学系と、記録媒体に対するレーザ光の収束位置を調整するレンズ機構とを一体的に保持する光磁気ピックアップであって、前記レンズ機構の光軸が前記同一軸に略一致するように、前記浮上型磁気ヘッドを配置したことを特徴とする。
【００２２】
請求項５の発明は、請求項３に記載の浮上型磁気ヘッドと、レーザ光源からのレーザ光を導く光学系とを一体的に保持する光磁気ピックアップであって、前記光学系の光軸が前記同一軸に略一致するように、前記浮上型磁気ヘッドを配置したことを特徴とする。
【００２３】
なお、レーザ光が浮上型磁気ヘッドを透過する構成に上記各請求項の発明を適用した場合には、コイル、中空コア、第２の中空コアの開口の寸法は、対物レンズの開口数等を考慮して、レーザ光を遮光しない程度になるべく小さく設定する方が、好ましい。そうすることにより、コイルの巻き回数やコアの幅寸法を大きくすることができ、よって、記録媒体に対する印加磁界の強度を増大させることができるようになる。
【００２４】
また、上記各請求項では、コイルの巻き形状や中空コアの外周縁および内周縁形状について特に限定していない。かかる形状としては、真円形の他、楕円形や四角形等、種々の形状を採用し得る。
【００２５】
本発明の特徴は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。
【００２６】
ただし、以下の実施の形態は、あくまでも、本発明の一つの実施形態であって、本発明ないし各構成要件の用語の意義は、以下の実施の形態に記載されたものに制限されるものではない。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態につき図面を参照して説明する。
【００２８】
図１〜図３を参照して、浮上型磁気ヘッド（磁気ヘッドスライダ）の製造工程の概略を説明する。
【００２９】
まず、ガラス基板等(厚み0.2〜5ｍｍ)の上に、パーマロイメッキ等によって、中央に開口を有する円形中空状の大径コアを形成する。続いて、かかる大径コアの上に、周知の手法によってアルミナを成膜し、かかるアルミナ膜をＣＭＰによって平坦化してアルミナ絶縁膜を形成する（図１（ａ）参照）。
【００３０】
さらに、かかるアルミナ絶縁層の上に、中央に開口を有する真円上の第１コイルを形成し、その上にアルミナ絶縁層を形成する（図１（ｂ）参照）。さらに、形成されたアルミナ絶縁層の上に、中央に開口を有する真円上の第２コイルを形成し、その上にアルミナ絶縁層を形成する（図１（ｃ）参照）。かかるコイルとアルミナ絶縁層の形成は、たとえば、銅メッキ、レジスト絶縁膜形成、アルミナ成膜およびＣＭＰによる平坦化などの既知の手法を採用して行う。また、図１（ｂ）（ｃ）のコイル形成の際に、第１コイルの外周端と第２コイルの外周端から側面に向かってコイル引き出し線が同時に形成される。また、第１コイルと第２コイルの内周端は、図示省略のスルーホールを介して電気的に接続される。
【００３１】
ここで、第１コイルと第２コイルは、巻回方向が逆となるように形成される。
また、第１コイルは、その外径と内径がそれぞれ大径コアの外径と内径よりも小さくなるよう形成される。さらに、第２コイルは、その外形が第１コイルの外径と略同じで、その内径が第１コイルの内径よりも小さくなるよう形成される。なお、これら第１コイルおよび第２コイルは、その中心軸が大径コアの中心軸に一致するように調整されて配置、形成される。
【００３２】
次に、第２コイル上のアルミナ絶縁層の上に、パーマロイメッキ等によって、中央に開口を有する円形中空状の小径コアを形成する。続いて、かかる小径コアの上に、周知の手法によってアルミナを成膜する（図２（ｄ）参照）。ここで、小径コアは、その外径が第２コイルの内径よりも大きく、その内径が第２コイルの内径よりも小さくなるように形成される。また、小径コアは、その中心軸が、上記大径コア、第１コイルおよび第２コイルの中心軸に一致するように調整されて配置、形成される。
【００３３】
以上により、コイル、コアの形成および絶縁膜の膜形成工程が終了する。なお、かかる成膜工程の終了後、各層を積層保持するガラス基板を、より厚いガラスやセラミックス（アルチック等）基板に接着する工程を追加してもよい。これにより、基板強度を高めることができる。
【００３４】
以上のコイル、コアおよび絶縁層の形成は、１枚のガラス基板の上に上記コイルおよびコアが複数組同時に整列するようにして行われる。そして、各層の形成が終了すると、１枚のガラス基板は、上記コイル引き出し線の端部が側面に並ぶようにしてブロック毎に切断される。しかる後、切り出された各ブロックは、側面研磨や上面加工が施され、さらに電極パッドが付設される。以下、ブロック毎に切り出された後の加工処理について説明する。
【００３５】
まず、切り出されたブロックに対し、電極パッドの形成側面（コイル引き出し先端部の露出する側面）を研磨加工し、さらに、機械加工やイオンビームエッチング等によって、エアー流入面に、レールや突出部等を形成加工する（図２（ｅ）および図３（ａ）参照）。さらに、レールのエアー流入側端部に、イオンビームエッチングによって、ステップを形成する。かかるステップは、エアーの流入によって、磁気ヘッドスライダに浮力を生じせしめるためのものである。なお、突出部は、同図下面から入射されたレーザ光を記録媒体に導くためのものである。かかる突出部は、小径コアを内部に含み、また、第１コイル、第２コイルおよび大径コイルの真上に位置するよう形成する。
【００３６】
このようにして側面研磨と上面加工が終了すると、次に、上面を研磨加工する。この際、小径コアの上面が外部に露出するように、研磨量を調節する。ここで、研磨量調節は、たとえば、電気的なプロービングによりコア露出を検出したことによって行う。なお、かかる上面研磨の後、上面にＤＬＣ薄膜を１０〜数百ｎｍ成膜して上面を保護するようにしてもよい。
【００３７】
次に、コイル引き出し口の側面に、銅/金メッキ等の既知の手法によって、コイル導通用のパッドを形成する（図３（ｂ）参照）。そして、図３（ｂ）の点線位置で基板を切断する。これにより、個々の磁気ヘッドスライダが切り出される。その後、各コイルとコアの中心軸と光軸とが一致するようにして、下面から対物レンズを磁気ヘッドスライダに固着する（図２（ｆ）および図３（ｃ）参照）。これにより、磁気ヘッドスライダの形成工程が終了する。
【００３８】
なお、対物レンズを支持する支持リングの内径を大径コアの内径よりも少許だけ大きくしておけば、支持リングと大径コアとの間の位置あわせを容易におこなうことができる。すなわち、支持リングを磁気ヘッドスライダの下面に固着する際、ガラス基板を介して大径コアの内径を透視しながら、この内径に支持リングの内径を合わせることにより、支持リングの中心軸を大径リングの中心軸に整合させることができる。このようにして支持リングの中心軸を整合させておけば、その後に行う対物レンズの光軸とコイル、コアの中心軸との位置調整が容易となる。
【００３９】
図４に、上記工程によって形成した磁気ヘッドスライダの構造を示す。磁気ヘッドスライダ１００は、上面に形成された一対のレール部１０１と、レール部１０１のエアー流入端に形成されたステップ部１０２と、上面中央からエアー流出端側に偏移した位置に形成された突出部１０３と、エアー流入側から見て左側の側面に形成されたパッド１０４とを有する。また、同図には図示されていないが、磁気ヘッドスライダの下面には、上記の如く、支持リングを介して、対物レンズが固着されている。
【００４０】
レール部１０１は、磁気ヘッドスライダ１００がディスク面から離間するまでの間ディスク面に接触し、ディスク面と磁気ヘッドスライダ１００との間の相対移動を安定化させるためのものである。ステップ部１０２は、上記の如く、エアーの流入によって磁気ヘッドスライダ１００に同図下向きの浮力を付与するものである。突出部１０３は、下面から入射されたレーザ光を記録媒体に導くためのものである。パッド１０４は、上記の如く、コイル引き出し線の電極として機能するものである。なお、突出部１０３の上面からは、上記小径コア１０９が外部に露出している。また、突出部１０３のエアー流入側にも、浮力を付与するためのステップ部が形成されている。
【００４１】
図５に、当該磁気ヘッドスライダの平面図（同図ａ）と、そのＡ−Ａ’断面図（同図ｂ）を示す。
【００４２】
同図に示す如く、各コイルとコアの中心軸と対物レンズの光軸は互いに一致している。また、各コイルとコアの内径（開口の径）は、対物レンズから離れるに従って、すなわち、記録媒体に対向する磁気ヘッドスライダの上面に近づくに従って小さくなっている。したがって、第２コイル１０８の巻き回数を第１コイルの巻き回数に比べて大きくすることができ、これにより、第２コイル１０８にて大きな強度の磁界を発生させることができる。また、小径コア１０９の外形寸法を小さくすることにより、各コイルから発生した磁束を小径コイル上の小さな領域に集中させることができるようになる。
【００４３】
なお、このように各コイルおよびコアの内径寸法を記録媒体に近づくにつれ小さくなるように設定しても、対物レンズを透過したレーザ光のビーム径は記録媒体に近づくにつれて同様に小さくなるので、レーザ光が各コイルおよびコアによって遮光されることはない。もちろん、これらの内径は、対物レンズの開口数等を考慮して、レーザ光を遮光しない程度に設定しておく必要がある。
【００４４】
かかる構成において、レーザ光は、上記コイルとコアの中心軸上、小径コア１０９の上面から数ミクロン離間した位置に収束される。他方、コイルから発生された磁界は、小径コア１０９の内周縁からやや外周方向に変位した位置において、強度ピークとなる。したがって、記録媒体上におけるレーザ光の収束位置と磁界強度のピーク位置は一致せず、レーザ光の収束位置からややずれた位置において磁界強度のピークが現れることになる。しかしながら、光磁気記録媒体においては、記録層がレーザ光によって熱せられた後、これが冷却される過程において記録層に磁化方向が固定されるから、磁界強度のピークは、レーザ光の収束位置よりもむしろ、収束位置から少許だけずれた位置に現れる方が、より円滑に、磁化方向を記録層に固定化できるようになる。よって、上記の如く、小径コアの作用によって、磁界強度のピーク位置がレーザ光の収束位置よりも少許だけずれるようにすると、記録層に対する磁化方向の固定化を、より円滑に、行えるようになる。
【００４５】
但し、小径コアの内径を大きくしすぎると、レーザ光の収束位置と磁界強度のピーク位置との間のずれが大きくなりすぎ、却って、円滑な磁界の固定化に支障をきたす結果となる。よって、小径コアの内径は、上記磁化方向の固定化までの冷却期間を考慮して、磁界強度のピーク位置が適正な位置に現れるように、設定する必要がある。
【００４６】
図６に、支持部材に装着した際の上記磁気ヘッドスライダ１００の構成を示す。
【００４７】
上記磁気ヘッドスライダ１００は、中央部からややエアー流出端側にずれた位置の底面を、支持部材１１２の端部に固着される。かかる支持部材１１２の上面には、給電用配線１１３が付設されており、かかる給電用配線１１３の端部は、パッド１０４に半田付けされている。これにより、上記磁気コイル１０４に対する給電が可能となる。しかして、磁気ヘッドスライダ１００が給電可能な状態で支持部材１１２に弾性支持される。
【００４８】
図７および図８に、上記磁気ヘッドスライダを光磁気ピックアップに装着した際の光学系と上記磁気ヘッドスライダ１００との間の配置関係を示す。図７は光学系を上面から見た図、図８は光学系の側方から見た図である。
【００４９】
なお、光磁気ピックアップに対する磁気ヘッドスライダの装着は、光磁気ピックアップの基部に半導体レーザ等の光学部品を装着した後に、上記磁気ヘッドスライダ１００を支持した支持部材を光磁気ピックアップの基部に固着することによって行う。ここで、磁気ヘッドスライダ１００は、対物レンズの光軸とレーザ光の光軸とが一致するように調整されて配置される。
【００５０】
図７および図８において、２０１は半導体レーザ、２０２は回折格子、２０３はコリメータレンズ、２０４は偏光ビームスプリッタ、２０５は反射ミラー、２０６はウォラストンプリズム、２０７は集光レンズ、２０８は光検出器である。
ここで、偏光ビームスプリッタ２０４は、Ｐ偏光の透過が約８０％、Ｐ偏光の反射が約２０％、Ｓ偏光の反射が約１００％となる偏光特性を持つ。また、ウォラストンプリズム２０６は、入射するレーザ光の偏光方向の違いによって３つの方向にビームを分離する偏光特性を持つ。
【００５１】
半導体レーザ２０１から出射された直線偏光のレーザ光（Ｐ偏光）は、回折格子２０２により３ビームとされ、コリメータレンズ２０３によって平行光とされる。しかる後、偏光ビームスプリッタ２０４を透過（約８０％）し、反射ミラー２０５によって上方に反射され、対物レンズ１１０によって収束される。かかる収束光は、磁気ヘッドスライダ１００を透過した後、ディスク上に合焦される。
【００５２】
ディスク上に合焦されたレーザ光は、ディスク１によって反射され、上記光路を逆方向に辿る。ディスク１からの反射光は偏光ビームスプリッタ２０４で反射（約２０％）され、ウォラストンプリズム２０６に入射し、偏光方向により回折格子２０２での３ビームの分離方向と直行するように更に３つの方向分離される。しかる後、かかる反射光は、集光レンズ２０７により集光され、光検出器２０８に受光される。
【００５３】
光検出器２０８によって受光された各レーザ光は、光検出器２０８上に電気信号を生ぜしめる。かかる電気信号は、記録再生装置内の信号処理回路に供給され、再生ＲＦ信号、アドレス信号および各種サーボ信号の生成用に用いられる。信号処理の流れについては、周知の技術であるので、ここでは説明を省略する。
【００５４】
なお、上記光学系は、磁気ヘッドスライダに流入するエアによって磁気ヘッドスライダとディスクとの間の距離が常に一定に保たれ、よって、レーザ光の収束点がディスク面に直交する方向（フォーカス方向）に、記録・再生に支障が生じる程度にまで、ずれることはないことを前提とした場合の構成例である。したがって、レーザ光の収束点をより確実にディスク面上に位置付けたい場合には、磁気ヘッドスライダに装着された対物レンズの他、当該対物レンズと上記光学系の間に調整レンズを配し、かかる調整レンズをレンズ駆動アクチュエータによって駆動する構成を採用する。かかる場合、光磁気ピックアップの基部に装着される光学系は、図７および図８に示された光学系の他、例えばシリンドリカルレンズ等、フォーカス方向のずれを検出するための光学系の追加が必要となる。
【００５５】
なお、上記図７および図８の構成において、レーザ光の収束点がディスク径方向にトラックからずれた場合には、上記３ビームを受光する光検出器２０８からの出力に基づいて、従来周知のトラッキングエラー信号が生成され、これに基づいてトラッキング制御がなされる。かかる場合、トラッキング制御は、磁気ヘッドスライダを装着した光磁気ピックアップ自体をディスク径方向に変位させることによって実行される。但し、上記の如く調整レンズをレンズ駆動アクチュエータによって駆動する構成を採用する場合には、かかる調整レンズをトラッキング方向に駆動してトラッキング制御を行うようにすれば良い。
【００５６】
図９に、記録時におけるレーザ光と磁界の関係を概念的に示す。なお、同図（ａ）は、磁気ヘッドスライダ１００と対物レンズをエアー流入端から見た図、同図（ｂ）は、同図（ａ）を左側から見た図である。なお、同図（ｂ）においては、給電パッド１０４、支持部材１１２および給電用配線１１３の図示を省略してある。また、同図（ａ）の矢印は磁界、点線はコイルおよびコアである。
【００５７】
図示の如く、レーザ光は、コイルとコアの中心軸上、小径コア１０９の上面からエアギャップだけ離間した位置に収束される。他方、コイルから発生された磁界は、上述の通り、小径コア１０９の内周縁からやや外周方向に変位した位置にて、その強度がピークとなる。また、光磁気ディスク（記録媒体）に印加された磁界は、光磁気ディスクの記録層から大径コアに帰還する。このように磁界の帰還ループを確立することにより、コイルからの発生磁界を小径コアに効率よく集中させることができるようになる。
【００５８】
図１０に、対物レンズの開口数をＮＡ＝０．８５とし、半導体レーザのレーザ波長をλ＝４０５ｎｍとした場合に適用される各コイルおよびコアの外形寸法の一例を示す。かかる外形寸法を適用し、さらに、それぞれの絶縁層の厚みを以下のように設定することにより、レーザ光を、各コイルおよびコアによって遮光されることなく、光磁気ディスクに導くことができる。
▲１▼光磁気ディスクと突出部１０３との距離（スライダ浮上量）＝２μｍ
▲２▼コイルの上面から次の層までの距離（層間絶縁部分の厚み）＝２μｍ
▲３▼ガラス基板の厚み＝５００μｍ
▲４▼対物レンズとスライダ下面との間の隙間＝１５０μｍ
なお、▲１▼は、小径コア１０９の中心軸上における小径コア１０９上面と光磁気ディスク下面との間の距離である。また、▲４▼は、ガラス基板に最も接近した対物レンズ光軸上における距離である。
【００５９】
以上、本発明に係る実施の形態について説明したが、本発明はかかる実施の形態に限定されるものではなく、他に種々の変更が可能であることは言うまでもない。
【００６０】
たとえば、上記実施の形態では、第１および第２コイルの外周および内周の形状を円形としたが、これに代えて、角型形状としても良い。また、大径コアおよび小径コアの内周縁および外周縁の形状も円形としたが、これも同様に、角型形状としてもよい。
【００６１】
さらに、上記実施の形状では、小径コアと大径コアをそれぞれ一つずつ配する構成としたが、何れかまたは両方を複数段配するようにしてもよい。かかる場合には、記録媒体に接近するほど各段のコアの内径を小さくするようにした方が好ましい。
【００６２】
また、上記実施の形態では、コイルを２段配するようにしたが、これに代えて、１段のコイルのみを配するようにしても良い。逆に、コイルを３段以上配するようにしても良い。
【００６３】
さらに、上記図７および図８の光学系は、磁気ヘッドスライダに流入するエアによって磁気ヘッドスライダとディスクとの間の距離が常に一定に保たれ、よって、レーザ光の収束点がディスク面に直交する方向（フォーカス方向）に、記録・再生に支障が生じる程度にまで、ずれることはないことを前提としたものであったが、レーザ光の収束点をより確実にディスク面上に位置付けたい場合には、磁気ヘッドスライダに装着された対物レンズの他、当該対物レンズと光学系の間に調整レンズを配し、かかる調整レンズをレンズ駆動アクチュエータによって駆動制御する構成を採用するようにすれば良い。かかる場合、当該フォーカス方向の位置ずれのみならず、ディスク径方向のレーザ光収束点の位置ずれも、当該調整レンズの駆動制御によって行うようにすれば良い。
【００６４】
当該調整レンズの駆動アクチュエータを採用する場合のレンズ駆動アクチュエータと磁気ヘッドスライダの関係を図１１に示す。
【００６５】
かかる場合、光磁気ピックアップには、上述した磁気ヘッドスライダ１００と半導体レーザ等の光学部品の他、レーザ光の収束点をディスク上のトラックに追従させるためのレンズ駆動アクチュエータが装着される。
【００６６】
光磁気ピックアップを組み立てるに際しては、まず、光磁気ピックアップの基部に、半導体レーザ等の光学部品を装着し、次に、レンズ駆動アクチュエータを、調整レンズの光軸と半導体レーザの光軸とが一致するように装着する。しかる後、磁気ヘッドスライダ１００を、調整レンズの上方に位置するように、支持部材１１２を介して、基部に装着する。
【００６７】
なお、かかる場合には、光磁気ピックアップの基部に装着される光学系は、図７および図８に示された光学系の他、例えばシリンドリカルレンズ等、フォーカス方向のずれを検出するための光学系の追加が必要となる。
【００６８】
また、上記実施の形態では、あらかじめ磁気ヘッドスライダに対物レンズを装着するよう構成したが、磁気ヘッドスライダには対物レンズを装着せずに、光磁気ピックアップ側の光学系と磁気ヘッドスライダとの間に、図１１に示すようなレンズ駆動アクチュエータを配し、これによりレーザ光をディスク上に収束させるようにしても良い。
【００６９】
さらに、磁気ヘッドスライダと光磁気ピックアップとを別体とし、両者を、ディスクを挟んで相反する位置に配置するようにしても良い。
【００７０】
この他、本発明の実施の形態は、本発明の技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
【００７１】
【発明の効果】
以上、本発明によれば、形状寸法の小さな中空コアおよび第２の中空コアの採用および配置、ならびにこれらコアとコイルの開口の大きさを適宜調整することにより、コイルからの発生磁磁束を記録媒体上の小領域に効率的に集中させることができるようになる。よって、少ない電流で高強度の磁界を記録媒体に印加できると共に、高周波数帯域にてコイルを駆動でき、しかも、浮上型磁気ヘッドと光ピックアップの一体化にも対応し得る浮上型磁気ヘッドおよび光磁気ピックアップを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態に係る磁気ヘッドスライダの製造工程を示す図
【図２】実施の形態に係る磁気ヘッドスライダの製造工程を示す図
【図３】実施の形態に係る磁気ヘッドスライダの製造工程を示す図
【図４】実施の形態に係る磁気ヘッドスライダの外観を示す図
【図５】実施の形態に係る磁気ヘッドスライダの平面および断面を示す図
【図６】実施の形態に係る磁気ヘッドスライダの支持状態を示す図
【図７】磁気ヘッドスライダと光学系の関係を示す図
【図８】磁気ヘッドスライダと光学系の関係を示す図
【図９】当該ピックアップによる磁界印加とレーザ光の照射状態を示す図
【図１０】実施の形態に係るコイルの外系寸法の一例を示す図
【図１１】磁気ヘッドスライダとレンズ駆動アクチュエータの関係を示す図
【符号の説明】
１００  磁気ヘッドスライダ
１０６  大径コア
１０７  第１コイル
１０８  第２コイル
１０９  小径コア
１１０  対物レンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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