(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングに回転自在に支承される磁石回転軸に固定される磁石と、前記磁石回転軸の軸心の延長線上に配置されて前記軸心と直交する２方向の磁束密度を個別に検出する２つの磁気検出素子を有する磁気検出部と、前記２つの磁気検出素子の出力信号を処理して被検出回転軸の回転角を検出する信号処理部とを備え、前記信号処理部は、３６０度を超える入力角度範囲で単調変化する第一の演算値θ１と、３６０度の入力角度範囲で複数周期波形の第二の演算値θ２を求め、前記第一の演算値θ１及び第二の演算値θ２に基づいて出力角度θｏを算出して出力する回転角検出装置において、
前記信号処理部は、
前記第一の演算値θ１と前記第二の演算値θ２とに基づいて前記第一の演算値θ１の理想値θ１ｒを算出し、前記第一の演算値θ１の理想値θ１ｒと前記第一の演算値θ１とに基づいて前記理想値θ１ｒと前記第一の演算値θ１との間のずれ量に関する量であるずれデータを算出し、前記ずれデータに基づいて前記第一の演算値θ１を補正して補正済み第一の演算値θ１’を求める第一の演算値補正部と、
前記補正済み第一の演算値θ１’と前記第二の演算値θ２とに基づいて出力角度θｏを算出する出力角度算出部と、
を有することを特徴とする回転角検出装置。
【請求項２】
請求項１記載の回転角検出装置において、
前記信号処理部は、
前記補正済み第一の演算値θ１’と前記第二の演算値θ２とに基づいて前記第一の演算値θ１の理想値θ１ｒを算出する回転角検出装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の回転角検出装置において、
回転角度をθ、前記軸心と直交する２方向をＸ方向及びＹ方向、ｆ(θ)を３６０度を超える入力回転角範囲において単調変化する関数、前記両磁気検出素子の出力信号をＸ方向磁束密度成分Ｂｘ（＝ｆ(θ)・ｃｏｓθ）及びＹ方向磁束密度成分Ｂｙ（＝ｆ(θ)・ｓｉｎθ）とする時、
前記第一の演算値θ１はＢｘとＢｙの二乗和の平方根、前記第二の演算値θ２はａｒｃｔａｎ(Ｂｙ／Ｂｘ)とされる回転角検出装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか記載の回転角検出装置において、
前記演算値補正部は、
直前の所定期間の前記第一の演算値θ１及び第二の演算値θ２に基づいて前記第一の演算値θ１のずれデータを求め、
今回読み込んだ第一の演算値（今回値）θ１を前記ずれデータにより補正して前記補正済み第一の演算値θ１’とする回転角検出装置。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれか記載の回転角検出装置において、
前記演算値補正部は、
前記第一の演算値θ１の理想値θ１ｒと前記第一の演算値θ１との差を算出して第一の演算値のずれ量Δθを求め、
前記第一の演算値のずれ量Δθを今回検出した前記第一の演算値θ１に加算して補正済み第一の演算値θ１’を求める回転角検出装置。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれか記載の回転角検出装置において、
前記演算値補正部は、
前記第一の演算値θ１の理想値θ１ｒと前記第一の演算値θ１との比を算出して第一の演算値のずれ比Ｒを求め、前記第一の演算値のずれ比Ｒを前記第一の演算値θ１に乗算して補正済み第一の演算値θ１’を求める回転角検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転軸の回転による磁界ベクトルの回転を検出することにより、回転軸の回転角を検出する回転角検出装置の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁石（着磁体を含む）の回転角変化を磁気検出素子により検出する回転角検出装置が知られている。この回転角検出装置において、被検出回転軸の３６０度を超える回転角を検出する装置（以下、３６０度超回転角検出装置とも言う）がたとえば特許文献１などにより知られている。
【０００３】
この特許文献１の３６０度超回転角検出装置は、回転角を検出すべき一つの被検出回転軸にそれぞれ独立に噛合する二つの磁石軸の回転角をそれぞれ磁気検出素子により検出し、これら二つの磁気検出素子から周期が異なる２つの角度信号を発生させ、これら二つの角度信号出力を演算して３６０度超の回転角を演算することを提案している。更に説明すると、第１の角度信号は検出角度範囲全体にて単調増加する単調増加角度信号であり、第２の角度信号は1回転当たり複数周期ののこぎり波状角度信号である。
【０００４】
この回転角検出装置の出力は温度変化や経年変化によって変化することが知られている。特許文献２は、温度変化補正のために、別に設けた温度検出手段からの情報を用いて回転角検出装置の出力を補正することを提案している。特許文献３は、予め記憶する経年変化特性に基づいて回転角検出装置の出力を補正することを提案している。
【特許文献１】特開2002-213910号公報
【特許文献２】特開2005-55297号公報
【特許文献３】特開2004-53444号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記した従来の温度補正方法は温度検出素子の追設を要求し、上記した従来の経年変化補正方法は、製造ばらつきなどにより想定する経年変化特性と実際の製品のそれとの不一致が問題となる。
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、３６０度超の回転角を検出可能な回転角検出装置の温度変化や経年変化を簡素な構成により高精度に実現可能な回転角検出装置を提供することをその解決すべき課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する本発明は、ハウジングに回転自在に支承される磁石回転軸に固定される磁石と、前記磁石回転軸の軸心の延長線上に配置されて前記軸心と直交する２方向の磁束密度を個別に検出する２つの磁気検出素子を有する磁気検出部と、前記２つの磁気検出素子の出力信号を処理して被検出回転軸の回転角を検出する信号処理部とを備え、前記信号処理部は、３６０度を超える入力角度範囲で単調変化する第一の演算値θ１と、３６０度の入力角度範囲で複数回の複数周期波形の第二の演算値θ２を求め、前記第一の演算値θ１及び第二の演算値θ２に基づいて出力角度θｏを算出して出力する回転角検出装置に適用される。この種の２つの角度信号を用いて３６０度超の角度を検出する回転角検出装置は、２角度信号演算型回転角検出装置として周知となっている。
【０００８】
本発明では特に、前記信号処理部が、前記第一の演算値θ１と前記第二の演算値θ２とに基づいて前記第一の演算値θ１の理想値θ１ｒを算出し、前記第一の演算値θ１の理想値θ１ｒと前記第一の演算値θ１とに基づいて前記理想値θ１ｒと前記第一の演算値θ１との間のずれ量に関する量であるずれデータを算出し、前記ずれデータに基づいて前記第一の演算値θ１を補正して補正済み第一の演算値θ１’を求める第一の演算値補正部と、前記補正済み第一の演算値θ１’と前記第二の演算値θ２とに基づいて出力角度θｏを算出する出力角度算出部とを有することを特徴としている。
【０００９】
すなわち、この発明は、第一の演算値θ１のずれがある程度小さい場合には、第一の演算値θ１から得た回転回数が正確であるため、この回転回数に１回の回転回数当たりの回転角度を掛けて得た値に第二の演算値θ２を加算した値が、第一の演算値θ１の理想値（誤差がない値）θ１ｒと一対一の関係になる事実を利用している。このことは、算出した第一の演算値θ１の理想値θ１ｒと第一の演算値θ１とを比較すれば、第一の演算値θ１の理想値θ１ｒからのずれの度合い（ずれデータ）を算出できることを意味する。したがって、求めた第一の演算値θ１のずれの度合い（ずれデータ）と第一の演算値θ１とからこのずれを補正した第一の演算値（補正済み第一の演算値）θ１’を求めることにより、補正済み第一の演算値θ１’と第二の演算値θ２とからずれが無い出力角度θｏを得ることができる。したがって、本発明によれば、ずれを補正することができるため、高精度の回転角検出を実現することができる。
【００１０】
好適な態様１において、前記信号処理部は、前記補正済み第一の演算値θ１’と前記第二の演算値θ２とに基づいて前記第一の演算値θ１の理想値θ１ｒを算出する。このようにすれば、検出誤差が所定範囲においては、誤差の無い回転角を演算することが可能となる。
【００１１】
好適な態様２において、回転角度をθ、前記軸心と直交する２方向をＸ方向及びＹ方向、ｆ (θ)を３６０度を超える入力回転角範囲において単調変化する関数、前記両磁気検出素子の出力信号をＸ方向磁束密度成分Ｂｘ（＝ ｆ (θ)・ｃｏｓθ）及びＹ方向磁束密度成分Ｂｙ（ ＝ ｆ (θ)・ｓｉｎθ）とする時、前記第一の演算値θ１はＢｘとＢｙの二乗和の平方根 （＝ｆ (θ)）、前記第二の演算値θ２は、ａｒｃｔａｎ (Ｂｙ／Ｂｘ)とされる。これにより３６０度超の第一の演算値θ１を簡単かつ比較的高精度に得ることができ、３６０度未満の第二の演算値θ２を簡単かつ比較的高精度に得ることができる。
【００１２】
好適な態様３において、前記演算値補正部は、直前の所定期間の前記第一の演算値θ１及び第二の演算値θ２に基づいて前記第一の演算値θ１のずれデータを求め、今回読み込んだ第一の演算値（今回値）θ１を前記ずれデータにより補正して前記第一の補正済み第一の演算値θ１’とする。このようにすれば、簡素な演算により高精度に回転角を検出することができる。
【００１３】
好適な態様４において、前記補正部は、前記第一のθ１の理想値θ１ｒと前記第一の演算値θ１、あるいは、前記第一の演算値θ１の理想値θ１ｒと補正済み第一の演算値θ１’との差を算出して求めた第一演算値ずれ量Δθを前記ずれデータとして算出し、前記第一演算値ずれ量Δθを前記第一の演算値θ１から減算して補正済み第一の演算値θ１’を求める。このようにすれば、簡素な演算により高精度に回転角を検出することができる。この態様は、ずれがいわゆるオフセット誤差のような量である場合に特に好適である。
【００１４】
好適な態様５において、前記演算値補正部は、前記第一の演算値θ１の理想値θ１ｒと前記第一の演算値θ１との差を算出して第一の演算値のずれ量Δθを求め、前記第一の演算値のずれ量Δθを今回検出した前記第一の演算値θ１に加算して補正済み第一の演算値θ１’を求める。このようにすれば、簡素な演算により高精度に回転角を検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の回転角検出装置を用いた操舵角検出装置の好適な実施形態を以下に説明する。ただし、本発明は、下記の実施形態に限定解釈されるものではなく、他の技術を組み合わせて本発明の技術思想を実現してもよい。
【００１６】
（実施形態１）
（装置構成）
実施形態１の回転角検出装置を図１を参照して説明する。図１は装置の軸方向模式断面図、図２は装置の要部平面図である。
【００１７】
この回転角検出装置は、操舵軸をなす回転軸（被検出回転軸）の回転角を検出するための装置であって、ハウジング１に回転自在かつ軸方向変位可能に支承される磁石回転軸２と、磁石回転軸２と一体に形成されたフランジ状のヨーク３と、ヨーク３の内周面に固定された磁石４と、磁石回転軸２に形成された雄ねじ５と、雄ねじ５に螺合する雌ねじを有してハウジング１に嵌入される螺子筒６と、磁石回転軸２の軸心Ｍの延長線上に配置されて磁石４の磁束密度Ｂを検出する磁気検出部７と、磁気検出部７の出力信号を処理する信号処理部８とを有している。ヨーク３の外周面には、操舵軸をなす回転軸９の歯車１０と噛合する歯車１１が形成されている。１２はハウジング１に固定された回路基板１３から垂下する素子支持棒体であり、その先端には磁気検出部７が固定されている。なお、以下において、雄ねじ５及び雌ねじ６をねじ機構と称することもあり、歯車１０と歯車１１とを歯車機構をなす。歯車１０、１１の歯数比はたとえば２に設定され、ねじ機構は、磁石回転軸２の１回転により軸方向へ０．５ｍｍ移動するように設定されている。磁石回転軸２、ヨーク３、磁石４、雄ねじ５、歯車１１を回転磁石アセンブリをなす。
【００１８】
ヨーク３は、軟磁性を有してフランジ状に形成されており、磁気検出部の位置での磁束密度の増大機能と、外部磁界の磁気検出部７への侵入の抑止の機能とを有している。
【００１９】
磁石４は、円筒状に形成されてヨーク３の内周面に嵌着された円筒状磁石であり、磁石４の内周面は軸方向に変位するにつれて連続的に径小となるテーパ断面を有している。磁石４は図２の状態にてＸ方向へ着磁されており、その結果、図２の回転状態において、磁気検出部７にはＸ方向へ磁束密度Ｂが形成されている。なお、Ｘ、Ｙは磁石回転軸２と直交し、互いに直交する２方向である。磁石４が回転すると、磁気検出部７を磁石回転軸２と直角に貫通する磁束密度Ｂは、そのＸ方向磁束密度成分であるＢｘと、そのＹ方向磁束密度成分であるＢｙとに分解される。
【００２０】
磁気検出部７は、２つのホール素子（磁気検出素子）とこれらホール素子の周辺回路とが集積された半導体チップが内蔵されている。一つのホール素子は、軸心Ｍ上でのＸ方向磁束密度成分Ｂｘに比例する信号電圧Ｖｘを出力し、他の一つのホール素子は軸心Ｍ上でのＹ方向磁束密度成分Ｂｙに比例する信号電圧Ｖｙを出力する。信号電圧Ｖｘ、信号電圧Ｖｙの波形を図３に示す。
【００２１】
（角度算出）
次に、この装置の角度算出動作を以下に説明する。
【００２２】
この実施形態では、磁石４の内周面が断面テーパ形状に形成されているため、磁石４が一方向へ回転してねじ機構により降下すると磁石４が磁気検出部７に与える磁束密度Ｂのベクトル長は減少し、磁石４が他方向へ回転してねじ機構により上昇すると磁石４が磁気検出部７に与える磁束密度Ｂのベクトル長は増大する。したがって、磁石回転軸２に固定された磁石４のＸ方向を基準とした回転角度をθとする時、磁石４が磁気検出部７に与えるＸ方向磁束密度成分ＢｘとＹ方向磁束密度成分Ｂｙとは、
Ｂｘ ＝ ｆ (θ)・ｃｏｓθ
Ｂｙ ＝ ｆ (θ)・ｓｉｎθ
となる。なお、f (θ)は、磁石４の軸方向変位により磁気検出部７の位置における磁束密度Ｂのベクトル長の変化を示す関数値である。 f (θ ) は磁石やヨークの形状、材質等で決まる値である。ただし、この実施形態では、磁石回転軸２の軸方向一方側（この実施形態では図１における上方）への変位において単調増加し、磁石回転軸２の軸方向他方側への変位において単調減少するように形成されている。信号処理部８は、磁束密度Ｂのベクトル長を示す関数値f (θ)と磁石回転軸の回転回数との関係を記憶している。
【００２３】
信号処理部８は、磁気検出部７から入力されるＸ方向磁束密度成分ＢｘとＹ方向磁束密度成分Ｂｙとを逆正接演算する機能をもつ。この逆正接演算により、
θ２ ＝ ａｒｃｔａｎ (Ｂｙ／Ｂｘ)
が第二の演算値θ２として算出され、この第二の演算値（１回転未満情報）θ２により磁石４の３６０度内の角度情報を得ることができる。
【００２４】
信号処理部８は、Ｘ方向磁束密度成分ＢｘとＹ方向磁束密度成分Ｂｙとの二乗和の平方根を演算する。この演算により、f (θ ) としてＸ方向磁束密度成分ＢｘとＹ方向磁束密度成分Ｂｙとの二乗和の平方根すなわち磁束密度Ｂのベクトル長が算出され、この磁束密度Ｂのベクトル長を示す関数値 f (θ)が第一の演算値θ１として出力される。
【００２５】
第一の演算値θ１と第二の演算値θ２とから出力角度θｏを求めるには次の方法を採用する。  
【００２６】
まず、予め記憶している第一の演算値θ１＝f (θ)と磁石回転軸の回転回数Ｎとの関係と、検出した第一の演算値θ１とから磁石回転軸の回転回数Ｎを算出する。Ｎは３６０度ごとに１増加するように設定しても良く、１８０度ごとに１増加するように設定しても良い。前者の場合には、求めた回転回数Ｎに３６０度を掛け、θ２を加算して出力角度θｏを算出する。つまり、f (θ)の大きさから所定の軸方向基準位置からの何回転目の回転かを演算し、ａｒｃｔａｎ(Ｂｙ／Ｂｘ)から現在の磁石４の回転角θを演算し、これらから出力角度θｏを求める。
【００２７】
たとえば現在２回目の回転であり、θが５５度であれば、出力角度θｏは４１５度が算出されて出力される。第一の演算値θ１、第二の演算値θ２、出力角度θｏと入力回転角θｉとの関係を図４に示す。結局、この実施形態によれば磁石を回転とともに軸方向へ変位させる磁石変位機構を採用することにより、１セットの回転磁石アセンブリだけで３６０度以上の回転角を検出する。
【００２８】
（第一の演算値θ１の補正例１）
次に、第一の演算値θ１の角度補正例１を説明する。
【００２９】
まず、検出した単調増加角度情報（第一の演算値θ１）とのこぎり波状角度情報（第二の演算値θ２）とを読み込み、第一の演算値θ１により出力角度θｏの概略値を算出し、入力1回転に対し多周期で変化するのこぎり波状角度情報（第二の演算値θ２）により出力角度θｏの詳細値を算出し、第一の演算値θ１及び第二の演算値θ２から既述の方法により出力角度θｏを算出する。
【００３０】
ここで、第一の演算値θ１が温度変化や経年変化によって理想の値からずれた場合を考える。第一の演算値θ１は概略の角度を算出する程度の精度でよく、ずれが回転回数Ｎを間違わない程度の所定しきい値以下であれば出力角度θｏに誤差が生じることはない。つまり、出力角度θｏは第一の演算値θ１に誤差があってもそれがあるしきい値未満ならそれを補正する機能を有しているわけである。言い換えると、第一の演算値θ１の誤差が所定値未満であれば、出力角度θｏは第一の演算値θ１の理想値を表していると考えることができる（図４参照）。したがって、第一の演算値θ１のずれ量が上記しきい値より小さいと仮定して出力角度θｏすなわち第一の演算値θ１の理想値と第一の演算値θ１との差を第一の演算値ずれ量Δθとして算出することができる。
【００３１】
そこで、第一の演算値θ１と出力角度θｏとの差を算出して第一の演算値のずれ量Δθを求め、直前の所定期間のこの第一の演算値のずれ量Δθと第一の演算値θ１との関係をマップデータ又は関係式として記憶しておく。
【００３２】
次に、今回検出した第一の演算値（今回値）θ１に、直前の所定期間の第一の演算値のずれ量Δθを今回検出した第一の演算値（今回値）θ１に加算して、補正した第一の演算値θ１’とする。
【００３３】
この補正した第一の演算値θ１’と今回検出した第二の演算値θ２とにより既述の方法により出力角度θｏを算出する。
【００３４】
このようにすれば、第一の演算値のずれ量Δθのずれを補正して高精度に出力角度信号θｏを算出することができる。
【００３５】
なお、上記説明では、第一の演算値のずれデータとしてずれ量（差）Δθを算出したが、その代わりに、両者の比率である第一の演算値のずれ比（θ１ｒ／θ１）を求め、この（θ１ｒ／θ１）を第一の演算値θ１に掛けて補正済み第一の演算値θ１’としてもよい。この補正例１の処理を図５に図示する。
【００３６】
なお、直前の所定期間における第一の演算値のずれ量Δθと第一の演算値θ１との関係は、直前の所定期間における第一の演算値θ１が離散値データとなるため、第一の演算値θ１が直前の所定期間における第一の演算値θ１と一致しないケースが生じる。
【００３７】
このような場合には、データ処理において通常行われるデータ補間を用いて、第一の演算値θ１に対応する第一の演算値のずれ量Δθ又は第一の演算値θ１のずれ比（θ１ｒ／θ１）を推定することができる。このようなデータ補間処理は周知事項であるため、詳細説明は省略する。
【００３８】
（第一の演算値θ１の補正例２）
次に、第一の演算値θ１の角度補正例２を図６に示すフローチャートを参照して説明する。
【００３９】
ずれ量Δθ、あるいは、ずれ比を算出するまでは補正例１と共通のため省略する。
【００４０】
直前の所定期間で算出した第一の演算値のずれ量Δθの絶対値が所定しきい値より大きいかどうかを調べ（Ｓ１０６）、小さければステップＳ１１０に進んで、第一の演算値θ１を用いて算出した出力角度θｏを出力し、大きければ求めた第一の演算値のずれ量Δθを第一の信号θ１に加算したり、上記比（ずれ比）を第一の演算値θ１に乗算したりして補正済み第一の演算値θ１’を算出し（Ｓ１０８）、この補正済み第一の演算値θ１’と第二の演算値θ２を用いて出力角度θｏを算出して出力する（Ｓ１１６）。
【００４１】
（変形態様１）
この第一の演算値θ１の補正は、図１に示す構造の３６０度超検出型回転角検出装置だけでなく、上記したのこぎり波状角度情報である第一の演算値θ１と、単調増加角度情報である第二の演算値θ２に基づいて従来の３６０度超検出型回転角検出装置にも適用することができる。
【００４２】
（変形態様２）
なお、上記した実施形態では、ずれデータとして、第一の演算値のずれ量（差）Δθと第一の演算値のずれ比Ｒ（θ１ｒ／θ１）とのどちらかを用いて、第一の演算値θ１の補正を行った。
【００４３】
しかし、第一の演算値θ１に対して、まず第一の演算値のずれ量（差）Δθによる第１の補正を行い、その後、第一の演算値のずれ比Ｒ（θ１ｒ／θ１）による第２の補正を行っても良く、この第２の補正を行ってから第１の補正を行っても良い。
【００４４】
その他、第一の演算値θ１と第一の演算値θ１の理想値θ１ｒとの関係が、次の一次関数で表されると考えても良い。
【００４５】
理想値θ１ｒ＝ｋ１・演算値θ１＋ｋ２・演算値θ１
ｋ１、２は定数である。この場合には、たとえば直前の所定期間の第一の演算値θ１と上記方法により求めたずれ量とから定数ｋ１、ｋ２を決定し、この決定されたｋ１、ｋ２と第一の演算値（今回値）θ１とから今回の理想値θ１ｒを算出し、算出した第一の演算値θ１の理想値θ１ｒと第二の演算値θ２とから出力角度θｏを上記方法により算出してもよい。
【００４６】
（出力角度θｏの算出方法）
次に、第一の演算値θ１と第二の演算値θ２から出力角度θｏを算出する方法を図７に示すフローチャートを参照して説明する。なお、以下の説明において、αは第二の演算値θ２の１周期当たりの第一の演算値θ１の変化量（角度差）、βを入力θが０度（ｄｅｇ）の時の第一の演算値θ１の値（切片）、ｋを入力θ１回転（３６０度）当たりの第二の演算値θ２の周期の数とする。
【００４７】
まず、第一の演算値θ１及び第二の演算値θ２を読み込む（Ｓ１２０）。
【００４８】
読み込んだ第一のθ１と第二の演算値θ２、および上記α、β、ｋを用いると出力角度信号θｏは次の式から算出することができる（Ｓ１２２）。但し、ｔは整数で小数点以下は切り捨てる。
ｔ＝（θ１−β）／α−（θ２／３６０）＋１／２  （但し、ｔは整数）
θｏ＝（３６０・ｔ＋θ２）／ｋ
なお、第一の演算値θ１として補正済み第一の演算値θ１’を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】実施形態１の回転角検出装置の軸方向模式断面図である。
【図２】図１の回転角検出装置の要部平面図である。
【図３】図１の回転角検出装置の信号電圧Ｖｘ、信号電圧Ｖｙの波形を示すタイミングチャートである。
【図４】第一の演算値θ１、第二の演算値θ２、出力角度θｏと入力回転角θｉとの関係を示すタイミングチャートである。
【図５】第一の演算値θ１の角度補正例１を示すフローチャートである。
【図６】第一の演算値θ１の角度補正例２を示すフローチャートである。
【図７】出力角度θｏの算出方法を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５０】
Ｂｘ      X方向磁束密度成分
Ｂｙ      Y方向磁束密度成分
Ｍ        軸心
Ｎ      回転回数
Ｒ      ずれ比
Δθ    ずれ量（差）
θ      回転角
θ１      第一の演算値
θ１ｒ    第一の演算値の理想値
θ２      第二の演算値
θｉ      入力回転角
θｏ      出力角度
１      ハウジング
２      磁石回転軸
３      ヨーク
４      磁石
６      螺子筒
７      磁気検出部
８      信号処理部
９      回転軸
１０      歯車
１１      歯車
【図１】
0004597907.tif 000002
【図２】
0004597907.tif 000003
【図３】
0004597907.tif 000004
【図４】
0004597907.tif 000005
【図５】
0004597907.tif 000006
【図６】
0004597907.tif 000007
【図７】
0004597907.tif 000008