(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
立てられた状態の板材の下端を支持して搬送する搬送駆動装置と、
該立てられた状態の板材の面の全体に対面して支持できる大きさを有し、該板材全体に対面する範囲に亘って所定間隔で複数の流体噴出孔を設けた面状の流体ガイドと、
該流体ガイドの流体噴出孔から流出させる流体で、隣接する複数の前記流体噴出孔の間を含む、該流体ガイドの支持面全体と前記板材の面全体との間に流体層を形成し、前記板材の全面を非接触の状態で支持するように前記流体の圧力を調整する手段と、
前記流体ガイドの前記支持面全体を平面に調整する複数のレベル調整部材とを備えたことを特徴とする板材の縦型搬送装置。
【請求項２】
前記流体ガイドに、枠組構造のフレームと、前記板材の支持面全体を非接触で支持できる大きさのガイド面を有するガイド板とを備えさせ、
前記複数のレベル調整部材を、前記ガイド板を前記流体噴出孔を避けた位置で前記フレームの側面に支持して距離を調整することにより前記ガイド面を平面に調整するように構成した請求項１に記載の板材の縦型搬送装置。
【請求項３】
前記搬送駆動装置が、水平状態で搬入される板材を両面と非接触の状態を保ちながら縦向きに立てる機構を備えた請求項１に記載の板材の縦型搬送装置。
【請求項４】
立てられた状態の板材の面に流体を作用させることにより該板材を非接触の状態で支持する流体ガイドと、該流体ガイドで支持した前記板材を該板材の搬送方向に対して該板材の前後を挟持して所定の速度で該板材の搬送方向に搬送する第１の搬送装置とを備え、
前記流体ガイドの板材支持面側に複数の流体噴出孔を前記板材の搬送方向に所定間隔で設け、
該流体ガイドの前記流体噴出孔から流出させた液体の表面張力によって板材の下部両面と上部の少なくとも片面を非接触の状態で支持するように構成し、
前記流体ガイドで立てられた状態の板材の下端を支持して搬送する第２の搬送装置を設け、
該第２の搬送装置で板材の下端を支持して搬送する状態と、該第２の搬送装置から板材の下端を浮かせて前記第１の搬送装置で板材の搬送方向の前後を挟持して搬送する状態とに切替え可能とするために前記板材の下端を前記第２の搬送装置から浮かせて支持する手段を設けたことを特徴とする板材の縦型搬送装置。
【請求項５】
前記搬送駆動装置又は第２の搬送装置で搬送する板材の搬送パスラインの下方に板材の高さの半分から同程度の高さの空間を設け、該搬送駆動装置又は第２の搬送装置に、板材の下端を支持する搬送部を下方へ開閉して板材を下方へ排出する排出機構を備えさせた請求項１〜４のいずれか１項に記載の板材の縦型搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、板材を縦向きにして搬送する搬送装置に関し、液晶ディスプレイ用ガラス基板やプラズマディスプレイパネル等に用いられる薄い板材を縦向きの状態で搬送するのに好適な縦型搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、種々の分野で板材（レアメタル、シリコン、平面型ディスプレイ用ガラス等の板材料）が使用されている。このような板材の中で、近年、例えば、薄い板材である液晶ディスプレイ等に使用される板ガラスの需要が伸びている。
【０００３】
この液晶ディスプレイ等に使用される板ガラスを例に、以下に説明する。この板ガラスは、例えば、厚さが約０．７ｍｍ程度で、大きさが１０００ｍｍ×１０００ｍｍ以下程度の大きさのガラス基板が多く用いられている。このようなガラス基板は、複数のガラス基板が取れる大きさの板ガラス（マザー・ガラス）を横向きの水平状態で搬送し、その板ガラスに切断等の加工を施すことによって製作されている。
【０００４】
また、このように搬送される板ガラスは、工程中で発生するカレットや加工の結果発生するパーティクル等から表面を保護するために、ガラス表面に保護シートを貼り付ける方法が一般的に採用されている。
【０００５】
この種の従来技術として、板ガラスをローラが設けられたフレームに立てかけた姿勢で搬送し、この板ガラスの各辺縁を研磨しようとする竪形研磨機がある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
また、他の従来技術として、置馬に立て掛けられた板ガラスを、水平状態の搬送面に荷受けさせようとする供給装置がある（例えば、特許文献２参照。）。
【特許文献１】特許第２６２３４７６号公報（第３頁、図１，図３，図４）
【特許文献２】特許第２９５４１０１号公報（第３頁、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、近年、このような液晶ディスプレイ用ガラス基板等の分野において、生産性を向上させるために歩留まりを良くしたり、より大型の液晶ディスプレイ等に用いることが可能なように、前記板ガラスのサイズを大型化したいという要望がある。この板ガラスのサイズを大きくすると、１枚の板ガラスから取れるガラス基板の枚数が多くなり、歩留まりが良くなるとともに、大型の液晶ディスプレイに対応したガラス基板を製作することも可能となる。
【０００８】
また、ガラス基板をより薄くすることにより、ディスプレイ等の性能向上を図りたいという要望もあり、板ガラスが薄型化する傾向がある。その上、品質に対する要求は年を負う毎に厳しくなり、かつ、低コスト化への要求もある。
【０００９】
しかしながら、前記したように板ガラスを横向きの状態で搬送して加工する装置では、設備を大型化しても、大型化・薄型化した板ガラスをサポートしてハンドリングすることは困難であり、板ガラスの自重による撓み等による割れや破損等を生じて安定して生産することは難しい。その上、この板ガラスを加工しようとした場合、その加工反力によってさらに撓ませるので、より割れや破損が生じやすくなる。
【００１０】
また、前記特許文献１でも、このように板ガラスが大型化・薄型化した場合、脆弱なガラス素材を水平に搬送して加工することは困難である。その上、従来の構成でこのように脆弱な板ガラスを搬送するための系は構造がより煩雑になり、調整・精度の維持は複雑かつ困難なものになる。さらに、重力の影響と加工反力のバランスを取りながら素材の破損を最小に抑えるのは困難である。しかも、従来の大きさの板ガラスであれば、人手が必要な場合には人手による対応も可能であったが、板ガラスが大きくかつ薄くなることにより、人手の介入は不可能となりつつある。
【００１１】
さらに、板ガラスを水平に搬送する機械の場合には、機械が大型になるので、設置面積が大きくなったりコスト高になり、その上、機械幅の大型化にともないメンテナンスがしづらくなる。
【００１２】
また、前記したように、このような板ガラスの表面に保護シートを貼り付けることによってガラス表面の保護を図ると、大型化した薄い板ガラスの場合、板ガラスを割らずに貼り付けた保護シートを剥がすのは困難である。仮に、保護シートを貼らずに搬送した場合、前記特許文献２のようなサポートでは、接触するローラでガラス表面を傷付けて品質を維持することができなくなる。
【００１３】
そこで、本願発明は、板ガラス等の大きな薄い板材を高品質な状態で搬送できる縦型搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記目的を達成するために、本願発明は、立てられた状態の板材の下端を支持して搬送する搬送駆動装置と、該立てられた状態の板材の面の全体に対面して支持できる大きさを有し、該板材全体に対面する範囲に亘って所定間隔で複数の流体噴出孔を設けた面状の流体ガイドと、該流体ガイドの流体噴出孔から流出させる流体で、隣接する複数の前記流体噴出孔の間を含む、該流体ガイドの支持面全体と前記板材の面全体との間に流体層を形成し、前記板材の全面を非接触の状態で支持するように前記流体の圧力を調整する手段と、前記流体ガイドの前記支持面全体を平面に調整する複数のレベル調整部材とを備えたことを特徴とする。このように板材を立てた状態にし、その面の全体（片面、両面を含む）を流体ガイドの流体圧で非接触の状態で支持して搬送することにより、高品質が要求される板材の面は流体以外に触れることなく、接触しても問題のない板材の下端で支持して搬送するので、板材の表面の高品質を保ちながら、大型化した薄い板材を安定して搬送することができる。また、流体ガイドの流体圧により非接触の状態で板材の面の全体を支持するので、その流体圧によって板材の撓み等を防止した縦型姿勢を保ちながら移動を阻害することなく搬送することができる。しかも、流体ガイドが、板材を非接触で支持するガイド面を平面に調整する調整部材を備えているので、板材に応じてガイド面を平面に調整することができ、撓みやすい板材であっても撓みを防止するようにガイド面を調整することができる。
【００１５】
前記流体ガイドに、枠組構造のフレームと、前記板材の支持面全体を非接触で支持できる大きさのガイド面を有するガイド板とを備えさせ、前記複数のレベル調整部材を、前記ガイド板を前記流体噴出孔を避けた位置で前記フレームの側面に支持して距離を調整することにより前記ガイド面を平面に調整するように構成してもよい。これにより、流体噴出孔を避けた位置のフレーム側面で、ガイド板のガイド面を容易に平面調整することができる。
【００１６】
また、前記搬送駆動装置が、水平状態で搬入される板材を両面と非接触の状態を保ちながら縦向きに立てる機構を備えていれば、板材の搬入が水平状態であったとしても、板材の両面と非接触の状態を保ちながら板材を垂直状態に立てて支持することができるので、水平および垂直状態での板材の搬入に対応できる。
【００１７】
さらに、本願発明は、立てられた状態の板材の面に流体を作用させることにより該板材を非接触の状態で支持する流体ガイドと、該流体ガイドで支持した前記板材を該板材の搬送方向に対して該板材の前後を挟持して所定の速度で該板材の搬送方向に搬送する第１の搬送装置とを備え、前記流体ガイドの板材支持面側に複数の流体噴出孔を前記板材の搬送方向に所定間隔で設け、該流体ガイドの前記流体噴出孔から流出させた液体の表面張力によって板材の下部両面と上部の少なくとも片面を非接触の状態で支持するように構成し、前記流体ガイドで立てられた状態の板材の下端を支持して搬送する第２の搬送装置を設け、該第２の搬送装置で板材の下端を支持して搬送する状態と、該第２の搬送装置から板材の下端を浮かせて前記第１の搬送装置で板材の搬送方向の前後を挟持して搬送する状態とに切替え可能とするために前記板材の下端を前記第２の搬送装置から浮かせて支持する手段を設けたことを特徴とするものである。これにより、搬送する板材に加工を施す場合でも、その加工反力等による板材の位置ズレ等を防止して、挟持装置で板材を正確に搬送することができるので、板材への加工をより高精度で行うことができる。しかも、搬送する板材の状態等に応じて、下端を支持して搬送する状態と下端を浮かせて搬送する状態とを選択して搬送することができる。
【００１８】
また、前記搬送駆動装置又は第２の搬送装置で搬送する板材の搬送パスラインの下方に板材の高さの半分から同程度の高さの空間を設け、該搬送駆動装置又は第２の搬送装置に、板材の下端を支持する搬送部を下方へ開閉して板材を下方へ排出する排出機構を備えさせれば、両面が構造物と非接触の状態で搬送される板材に割れや破損等を生じた場合、その板材を排出機構で下方から搬送装置の外部へ容易に排出することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本願発明は、以上説明したような形態で実施され、以下に記載するような効果を奏する。
【００２０】
板材を縦向きにして面を流体で支持して搬送することにより、板材の面を構造物とは非接触の状態として高品質を保つことができるので、大型化した薄い板材を安定して搬送することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本願発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本願発明の第１実施形態を示す搬送装置の正面図であり、図２は同搬送装置の板ガラス搬入側の側面図、図３は図２に示すIII部拡大図、図４は図３に示すIII部拡大図の正面図である。図５は図１に示す搬送装置の板ガラス搬出側の側面図であり、図６は図１に示すVI−VI拡大断面図である。以下の実施形態でも、板材として板ガラスを例に説明する。
【００２２】
図１に示すように、第１実施形態の搬送装置１は、板ガラス２を非接触の状態で縦向きにして支持する搬入機３と、この搬入機３で搬入した板ガラス２を非接触の状態で搬送する移送機４と、搬送した板ガラス２の姿勢を垂直状態にして次へ送る姿勢変更機５とから構成されている。これら搬入機３と移送機４と姿勢変更機５とは、ベース６上に設けられた架台７上に設けられている。
【００２３】
図２〜図４にも示すように、前記搬入機３には、板ガラス２を非接触の状態で支持する流体ガイド８が設けられている。この流体ガイド８には、複数の流体噴出孔９が設けられたガイド板１０が板ガラス２の支持面側に設けられ、このガイド板１０が枠組構造のフレーム１１にボルト・ナットで構成されたレベル調整部材１２によって保持されている。ガイド板１０としては、例えば、樹脂材料等によって表面が平滑に製作される。これにより、搬入機３として組立てた後、レベル調整部材１２でガイド板１０とフレーム１１との距離を調整することにより、ガイド板１０の板ガラス２を支持するガイド面を平面に調整することができる。
【００２４】
また、流体ガイド８のフレーム側下部には、流体ガイド８を水平状態と所定角度の傾斜状態との間で回動させる回動軸１３が設けられている。この回動軸１３は、前記架台７の上部に設けられた上部架台１４に設けられており、この上部架台１４に設けられた駆動機１５によってベルト１６を介して回動可能なように構成されている。４５は、流体ガイド８をほぼ水平状態で支持する受け部材である。これらが、流体ガイド８をほぼ水平状態と所定角度の垂直状態とに状態を変更させる搬入機３である。
【００２５】
さらに、ガイド板１０の板ガラス支持側の下部には受部材１７が設けられている。この受部材１７により、ガイド板１０が水平状態から縦向きに回動する時の板ガラス自重を板ガラス２の下端で支持している。
【００２６】
前記流体ガイド８に板ガラス２を搬入する時は、図２に２点差線で示すように、水平状態にしたガイド板１０の流体噴出孔９（図３）から所定圧の流体１８を噴出させ、このガイド板１０の上部に水平状態の板ガラス２を受ける。この状態では、所定圧の流体１８によってガイド板１０の表面と板ガラス２との間に流体層が形成されており、この流体層による間隙１９を保つことにより板ガラス２の両面は構造物とは非接触の状態で支持されている。２０は流体噴出孔９への流体供給管である。
【００２７】
この状態から駆動機１５で流体ガイド８の下方に設けられた回動軸１３を中心にガイド板１０を回動させることにより、板ガラス２はガイド板１０との間隙１９を保った状態で縦向きに立てられる。この実施形態では、実線で示すように、板ガラス２を約５°の角度で傾けた約８５°の角度で縦向きに支持されている。この状態では、縦向きの板ガラス２にわずかな傾きを持たせた状態で、前記ガイド板１０の支持側から板ガラス２の面に噴出させる流体の流体圧を制御装置４３で制御することにより、板ガラス２の自重や歪とバランスさせて非接触を保っている。
【００２８】
この流体の噴出圧は、必要範囲で流量調整弁および減圧弁等によって調整可能に構成されており、噴出量は絞り弁等によって調整可能に構成されている。この流体としては、図示する例は気体であるが、液体を用いてもよく、板ガラス２の大きさや重量に応じて好ましい流体を用いればよい。
【００２９】
また、このようにガイド板１０が所定角度の垂直状態に立てられると、板ガラス２の下端は、架台７に設けられた搬送駆動装置の支持部材であるベルトコンベア２１の上面に乗って支持される。このように、板ガラス２を立てた時に板ガラス２の下端を支持できる位置に、搬送駆動装置のベルトコンベア２１が設けられている。ベルトコンベア２１は、板ガラス２の自重を支持し搬送方向に走行可能となっている。このベルトコンベア２１は、ベルト２２が搬入機３の流れ方向に移動するように配設されており、両端に設けられたプーリ２３と、中間に設けられたテンションプーリ２４とにベルト２２が掛けられたものである。このベルトコンベア２１の駆動側プーリ２３を駆動することにより、板ガラス２を縦向きの状態で両面の非接触を保ったまま、下端のみがベルト２２と接して支持された状態で所定量搬送することができる。このベルトコンベア２１に桟付ベルトを使用すれば、板ガラス角部に切断バリ等が残っていても、このバリを桟の間に位置させて板ガラス２がベルトコンベア２１上で傾くのを抑えることができる。この支持部材としては、他にローラコンベアや走行台車（走行する受け部材も含む）等を用いても同様の作用を奏することができる。
【００３０】
この状態が板ガラス２を搬送する状態であり、この搬入機３によれば、流体ガイド８から噴射する流体圧を板ガラス２の自重とバランスするように調整することにより、水平状態で搬入される板ガラス２を、両面と非接触の状態を保ちながら縦向きに立て、縦向きに支持された板ガラス２の縦方向自重は品質が問われない下端で構造物のベルトコンベア２１により支持し、横方向に作用する自重は流体ガイド８のガイド板１０から噴出させられた流体によって非接触の状態を保って、板ガラス２を縦向きで搬送することができる。
【００３１】
図１に示すように、前記移送機４は、搬入機３に続くように設けられている。これら搬入機３と移送機４との間には、板ガラス２の端部の所定位置に縦方向のけがき線を入れるけがき線形成機２５が設けられている。この移送機４にも、前記搬入機３と同様に板ガラス２の片面に流体ガイド２６が設けられている。この流体ガイド２６によって、前記搬入機３から搬送されてくる板ガラス２を同一角度のままで両面を非接触で支持する状態が保たれる。この流体ガイド２６は前記搬入機３の流体ガイド８と同様の構成であるため、同一の構成には同一符号を付して説明する。
【００３２】
この流体ガイド２６にも、板ガラス２の支持面側に複数の流体噴出孔９が設けられたガイド板１０（図３，４参照）が設けられており、このガイド板１０は枠組構造のフレーム１１にボルト・ナットで構成されたレベル調整部材１２で支持されている。そして、このガイド板１０に設けられた複数の流体噴出孔９から噴出される流体によって、前記したように板ガラス２が非接触の状態で支持されている。
【００３３】
この移送機４によっても、前記搬入機３と同様に、板ガラス２が僅かに傾斜した状態（例えば、約８５°）で流体ガイド２６によって片面が非接触で支持され、板ガラス２の自重は下部に設けられたベルトコンベア２７（詳細は上述したベルトコンベア２１と同様）によってガラス下端で支持されている。
【００３４】
これら搬入機３と移送機４とでは、流体ガイド８，２６で板ガラス２の一方の面を支持するようにして板ガラス２の他方（反流体ガイド側）を開放しているので、この開放側から加工機等によって板ガラス２へ加工を行う場合に好ましい構成となっている。
【００３５】
前記姿勢変更機５は、移送機４に続くように設けられている。これら移送機４と姿勢変更機５との間には、前記けがき線形成機２５によって板ガラス２の端部に入れられたけがき線で板ガラス端部を分断する分断機２８が設けられている。前記搬入機３と移送機４とは、板ガラス２が所定の角度（例えば、約８５°）で傾けられているが、この姿勢変更機５では、両面の非接触を保ちながら傾いた板ガラス２を垂直状態に姿勢変更できるように構成されている。
【００３６】
図５に示すように、この姿勢変更機５には、前記架台７上に設けられた固定フレーム２９と、前記移送機４から搬送されてくる板ガラス２と同一の角度に傾斜した可動フレーム３０と、この可動フレーム３０から板ガラス２の両面に向けて流体を噴射する流体ガイド３１，３２とが設けられている。可動フレーム３０は、支持部材３４によって架台７上で回動可能なように設けられている。これら流体ガイド３１，３２の間が板ガラス２の搬送ライン１５０となる。また、この可動フレーム３０と固定フレーム２９との間には、可動フレーム３０を傾斜状態と垂直状態とに変化させるためのジャッキ３３が設けられている。所定の角度で傾斜した状態で流体ガイド３１，３２の間に搬送された板ガラス２を一旦停止し、このジャッキ３３で可動フレーム３０を垂直に立てることによって、板ガラス２も垂直に立てた状態にして次の装置へと搬送することができる。
【００３７】
図６に示すように、流体ガイド３１，３２には、これら流体ガイド３１，３２の間の搬送ライン１５０上に形成された通過スペース３５を搬送する板ガラス２の両面と対向するように、流体噴出孔４４が設けられた流体噴出部材３６，３７が設けられている。この流体噴出部材３６，３７は、可動フレーム３０に設けられた固定部材３８に調整ボルト３９で支持された可動部材４０によって支持されている。この可動部材４０は、調整ボルト３９を調整することによって板ガラス２との間の間隙４１が調整可能に構成されている。この流体噴出部材３６，３７は、可動部材４０による支持部は金属で、板ガラス２の支持部は樹脂材料等によって形成されており、水平方向に連続したものが垂直方向に複数本設けられている。
【００３８】
図５に示すように、この姿勢変更機５でも、流体噴出部材３６，３７から噴出させた流体によって板ガラス２の両面が非接触の状態で支持され、板ガラス２の自重は、下部に設けられたベルトコンベア４２（詳細は上述したベルトコンベア２１と同様）によって下端で支持されている。
【００３９】
このように、大型化・薄型化した板ガラス２を縦向きにして、板ガラス２の自重は品質が問われない下端で支持して搬送する機構と、高品質が要求される板ガラス２の両面は構造物に触れさせることなく非接触の状態で縦型姿勢を保ち、かつ板ガラス２の移動を阻害しないような機構によって搬送装置１が構成されている。
【００４０】
ところで、上述した実施形態では、ガイド板１０に設けられた流体噴出孔９から噴出された流体、又は、流体噴出部材３６，３７から噴出された流体によって板ガラス２の面を非接触の状態で支持しているが、他の方法による流体圧で板ガラス２の面を非接触で支持するようにしてもよい。
【００４１】
例えば、前記縦方向に僅かに傾きを持たせたガイド板１０に代えて多孔質材料を使用した多孔質流体ガイド板（形状はガイド板１０と同一で多孔質の材料）を配置し、この多孔質流体ガイド板から板ガラス２の面に向けて液体を流出（滲み出す程度でも可能）させ、この流体の表面張力によって板ガラス２と多孔質流体ガイド板との間に流体層を形成して所定の間隙１９（４１）を保つようにしてもよい。この場合、所定の間隙１９（４１）を保った状態で板ガラス２を支持できるように、板ガラス自重とバランスするように流出させる流体の種類や量が制御される。このような構成によっても、板ガラス２の下端のみが構造物と接触し、他の部分は支持部材の多孔質流体ガイド板によって非接触の状態を保って搬送することができる。
【００４２】
さらに、他の方法として、前記縦方向に僅かに傾きを持たせたガイド板の板ガラス支持側に、正・負圧を発生させる気体ノズルを配置し、この気体ノズルから高速で噴出させた気体により発生する負圧と、気体ノズルから噴出させる気体によって発生する正圧とを板ガラスの自重とバランスさせることにより、板ガラスと気体ノズルとの間に板ガラスを所定の間隙を保った状態で吸い付くような状態にして、板ガラス自重を非接触の状態で支持するようにしてもよい。
【００４３】
これらの板ガラス２を非接触で支持する方法は、板ガラス２の支持状態等に応じて両側に流体ガイド８，２６を設けても、片側に流体ガイド３１（３２）を設けてもよく、板ガラス２の両面が非接触の状態で搬送されるのを実現するために、流体ガイドが設けられるべき周囲条件（板ガラスの厚みや大きさ、加工内容、配置等）に応じて最適なガイドを選んで適宜設ければよく、他の非接触の流体ガイドを設けてもよい。
【００４４】
図７は本願発明の第２実施形態を示す搬送装置の正面図であり、図８は図７に示すVIII−VIII断面図、図９は図７に示すIX−IX拡大断面図である。図１０は図７に示す搬入側のコンベアの正面図であり、図１１は図１０に示すXI−XI断面図である。図１２は図７に示す挟持装置の平面図であり、図１３は同挟持装置の正面図、図１４は図１２に示すXIV−XIV断面図、図１５は図１２に示すXV矢視図である。この第２実施形態の搬送装置５１は、板ガラス２の縁部を加工する加工機５２と、加工した板ガラス２を搬出する搬出機５３とから構成されている。
【００４５】
図７，８に示すように、加工機５２には、板ガラス２の搬送ライン１５０の下部両側に流体ガイド５５，５６がそれぞれ設けられ、上部片側に流体ガイド５５が設けられている。図９に示すように、流体ガイド５５，５６の搬送ライン１５０側には、流体噴出部材５７が設けられている。この流体噴出部材５７は、上述した流体噴出部材３６，３７と同様の構成であり、流れ方向に所定間隔で流体噴出孔４４が設けられ、フレーム５４に設けられた固定部材５８に調整ボルト５９で取付けられた可動部材６０によって支持されている。この可動部材６０は、調整ボルト５９を調整することによって板ガラス２との間の間隙６１が調整可能となっている。流体噴出部材５７は、可動部材６０による支持部は金属で、板ガラス２の支持部は樹脂材料等によって形成されている。この流体噴出部材５７から搬送ライン１５０を搬送する板ガラス２の面に向けて液体が流出されており、この液体の表面張力によって形成される流体層によって板ガラス２との間に所定の間隙６１を保ち、板ガラス２の面を非接触の状態で支持している。図８に示すように、この実施形態では、板ガラス２の上部は片側のみが流体ガイド５５で支持されているが、流出させる液体量を調整することにより、液体の表面張力によって安定した非接触状態での支持を実現している。
【００４６】
図７に示すように、この第２実施形態の搬送装置５１でも、板ガラス２の自重を下端で支持して搬送するベルトコンベアが搬送ライン１５０（図９）の下部に設けられている。図１０に示すように、加工機５２の上流側に設けられたベルトコンベア６２（第２の搬送装置）には、複数のプーリ６３と、テンションプーリ６４と、これらのプーリ６３，６４間に掛けられたベルト６５とが設けられている。また、板ガラス２の搬送方向には、搬送する板ガラス２を下方から押し上げる複数のプッシャ４７（板ガラス２の下端をベルトコンベア６２から浮かせて支持する手段）が設けられている。このプッシャ４７は、板ガラス２の大きさが変化した場合でも前後２箇所で押し上げられるように、加工機３に近い板ガラス２の前端位置（図の左端）と、上流側の板ガラス２の後端位置となる３箇所に設けられている。後端位置のプッシャ４７は、選択的に用いられる。このプッシャ４７は、シリンダ機構で先端が上下に伸縮するものであり、図１１に示すように、フレーム５４に設けられたブラケット４８に取付けられている。このプッシャ４７は、後述する挟持装置７１（図７）とともに使用される。
【００４７】
また、図７に示すように、前記ベルトコンベア６２の後流側（図の左側）には、両端に設けられたプーリ６８と、これらのプーリ６８に掛けられたベルト６９とで構成されたベルトコンベア６７が設けられている。このベルトコンベア６７は、駆動側のプーリ６８を駆動することにより、立てた状態の板ガラス２の下端を支持した状態で、板ガラス２の表面の非接触状態を保って所定量搬送することができる。
【００４８】
さらに、これらのベルトコンベア６２，６７の間には、ベルトコンベア６２，６７の間を搬送する板ガラス２の下縁に研磨等の加工を行う加工工具６６（例えば、研削機や研磨機等）が設けられている。
【００４９】
そして、この実施形態の加工機５２には、板ガラス２のベルトコンベア６２，６７による所定速度での搬送に加え、図７に２点差線で示すように、板ガラス２の前後端を軽く挟持して高精度で搬送する挟持装置７１（第１の搬送装置）が設けられている。
【００５０】
この挟持装置７１には、図１２，１３に示すように、板ガラス２の前後を挟持する爪部材７２と、これらの爪部材７２を板ガラス２の長辺，短辺方向の大きさに合わせて寸法調整する調整シリンダ７３とが設けられている。爪部材７２は、この爪部材７２を側方から板ガラス２の搬送ライン１５０上に進出させた状態と、搬送ライン１５０上から後退させた状態とに変化可能な爪シリンダ７４に設けられている。爪シリンダ７４は、別々の移動部材７５に設けられており、前記調整シリンダ７３によってこれらの移動部材７５が連結されている。調整シリンダ７３を伸縮させることにより、爪部材７２の間隔を板ガラス２の大きさに合わせることができる。この実施形態では、爪部材７２にて板ガラス２を挟持する方式であるが、爪部材７２に代えて板ガラス２を挟むことができるクランプ材を設け、接触しても問題のないガラスの外周部をクランプする方式としてもよく、板ガラス２の接触しても問題のない外周部を機械的に挟持するものであればよい。
【００５１】
また、移動部材７５の反爪部材側にはガイド部材７６が設けられている。このガイド部材７６は、前記フレーム５４に設けられたレール７７に沿って板ガラス２の搬送方向に移動可能なように構成されている。
【００５２】
さらに、図示する左側の爪部材７２は、クランプシリンダ７８によって板ガラス２の前後方向を挟持するようになっている。調整シリンダ７３によって板ガラス２の長辺，短辺の変化等の大きな変化に対応し、クランプシリンダ７８によって最終的な挟持を行うことができ、大きくなって薄くなった様々な大きさの板ガラス２を安定して挟持できるようにしている。
【００５３】
図１３，１４に示すように、移動部材７５の一方にはブラケット７９が設けられており、このブラケット７９に固定部材８０でタイミングベルト８１が固定されている。このタイミングベルト８１は、図示するプーリ８２と図の右方に設けられた図示しないプーリとに掛けられている。このプーリ８２を回転させることにより、タイミングベルト８１が移動し、これによりブラケット７９が移動させられて、移動部材７５とともに爪部材７２が板ガラス２の搬送方向に移動させられる。
【００５４】
図１５に示すように、前記プーリ８２は、フレーム５４側に固定された従動プーリ８３と軸８４で連結されており、この従動プーリ８３は、図８に示すように、駆動モータ８５の駆動プーリ８６で駆動されている。この駆動モータ８５を制御装置４３（図２）で数値制御することにより、板ガラス２の前後を挟んだ爪部材７２を正確に、かつ、プログラムされた速度で確実に移動させることができる。この実施形態ではタイミングベルト８１を使用して爪部材７２を正確に移動させているが、タイミングベルト８１以外にラック＆ピニオン等の構成で爪部材７２を正確に移動させるようにしてもよい。
【００５５】
このような挟持装置７１による板ガラス２の搬送は、以下のように行われる。上述したベルトコンベア６２によって前端位置のプッシャ４７の上部まで板ガラス２を搬送すると（図１０）、前端位置のプッシャ４７と後端位置のプッシャ４７とによって板ガラス２が所定量押し上げられる。この時、ベルトコンベア６２による板ガラス２の搬送位置は図示しないセンサで検出され、プッシャ４７の押し上げ量は制御装置４３（図２）で制御される。
【００５６】
そして、ベルトコンベア６２上から押し上げられた縦型姿勢の板ガラス２の両端を挟持装置７１の爪部材７２で挟持し（図７参照）、この挟持装置７１で板ガラス２をプログラムされた所定速度で加工工具６６側へ搬送する。このように挟持装置７１のみで板ガラス２を搬送することにより、板ガラス２の下端を常に定位置としてプログラムされた高精度の速度で搬送することができるので、加工工具６６による板ガラス２の縁部への加工を安定して行うことができる。しかも、この時、板ガラス２は、下部両面に設けられた流体ガイド５５，５６から噴出させられた水等の流体圧力により、挟持装置７１によって生じる座屈や加工反力により撓もうとする力を相殺させているので、板ガラス２の座屈や撓みを矯正・防止して正確な加工を行うことができる。
【００５７】
したがって、この実施形態によれば、挟持装置７１により板ガラス２の下端を非接触の状態で安定して搬送することができるので、搬送する板ガラス２の下端を加工工具６６で加工する場合の抵抗反力を安定して支持することができる。
【００５８】
また、この実施形態では、流体噴出部材５７から板ガラス２の表面に液体を流出させているので、板ガラス２の表面がぬれた状態となって、加工による切削粉やパーティクル等が表面に付着するのを効果的に防止して、表面の高品質を保った搬送が可能となる。
【００５９】
この実施形態では、プッシャ４７でベルトコンベア６２から板ガラス２の下端を浮かせて搬送する例を示したが、加工内容や条件等によっては板ガラス２の下端をベルトコンベア６２で支持しながら搬送するようにしてもよい。
【００６０】
図７に示すように、前記搬出機５３は、加工機５２から送られてきた板ガラス２を図の左側へ搬出するものであり、垂直状態に立てられた状態で送られてくる板ガラス２の片面に流体ガイド７８が設けられている。この流体ガイド７８は、ベース６上のフレーム８１に設けられたガイド板７９の全体に所定間隔で形成された液体流出孔８０から液体を流出させることにより、その表面張力で板ガラス２を支持するように構成されたものである。このガイド板７９も、上述したフレーム１１にレベル調整部材１２によって平面調整可能に支持されている。
【００６１】
この搬出機５３に設けられたベルトコンベア９５は、両端に設けられたプーリ９６と、これらのプーリ９６に掛けられたベルト９７とで構成されている。このコンベア９５も、駆動側のプーリ９６を駆動することにより、板ガラス２を立てて下端を支持した状態のまま、非接触で板ガラス２を所定量搬送することができる。
【００６２】
以上のように構成された搬送装置５１によれば、垂直状態で搬送する板ガラス２の面を流体によって非接触の状態で支持して搬送することができるので、板ガラス２を垂直状態で加工する場合等に好ましい搬送装置５１を構成することができる。
【００６３】
なお、この実施形態では、搬送駆動装置の支持部材をベルトコンベア６２，６７，９５で構成しているが、これらのベルトコンベア６２，６７，９５はローラコンベアや走行台車（走行できる受け部材も含む）等の他の構成でもよい。
【００６４】
一方、上述した第１，２実施形態でにおいて、搬送装置１，５１内で板ガラス２に不具合（割れ、欠け、亀裂等）が発生した場合、板ガラス２のサイズが大きくかつ薄く、また、板ガラス２が垂直姿勢のため、装置から除去するのが極めて困難となる。
【００６５】
そこで、前記したベルトコンベア２１，２７，４２，６２，６７，９５を下方へ開閉可能に構成する排出機構を備えさせることにより、板ガラス２に不具合が発生したとしても、その位置の搬送部であるベルトコンベア２１，２７，４２，６２，６７，９５を下方へ回動させれば、板ガラス２の自重を支持している部分が無くなるの、不具合が発生した板ガラス２を自重で搬送装置１，５１の下方へと排出することができる。
【００６６】
この場合、ガラス搬送パスライン（前記ベルトコンベア２１，２７，４２，６２，６７，９５の上面）の下方に板ガラス２の高さの半分程度か同程度の高さの空間を設け、ベルトコンベア２１，２７，４２，６２，６７，９５を下方へ開放した時に搬送ラインから落ちた板ガラス２を排出するシュートおよびスクラップガラスケース（受け）等を設けておけば、ベルトコンベア２１，２７，４２，６２，６７，９５から排出された板ガラス２の後処理を容易に行うことができる。
【００６７】
なお、上述した実施形態における各機器の組合わせ等は適宜可能であり、処理条件等に応じて対応すればよい。
【００６８】
また、上述した実施形態は一実施形態であり、本願発明の要旨を損なわない範囲での種々の変更は可能であり、本願発明は上述した実施形態に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本願発明の第１実施形態を示す搬送装置の正面図である。
【図２】図１に示す搬送装置の板ガラス搬入側の側面図である。
【図３】図２に示すIII部拡大図である。
【図４】図３に示すIII部拡大図の正面図である。
【図５】図１に示す搬送装置の板ガラス搬出側の側面図である。
【図６】図１に示すVI−VI拡大断面図である。
【図７】本願発明の第２実施形態を示す搬送装置の正面図である。
【図８】図７に示すVIII−VIII断面図である。
【図９】図７に示すIX−IX拡大断面図である。
【図１０】図７に示す搬入側のコンベアの正面図である。
【図１１】図１０に示すXI−XI断面図である。
【図１２】図７に示す挟持装置の平面図である。
【図１３】図１２に示す挟持装置の正面図である。
【図１４】図１２に示すXIV−XIV断面図である。
【図１５】図１２に示すXV矢視図である。
【符号の説明】
【００７０】
１…搬送装置
２…板ガラス
３…搬入機
４…移送機
５…姿勢変更機
６…ベース
７…架台
８…流体ガイド
９…流体噴出孔
１０…ガイド板
１１…フレーム
１２…レベル調整部材
１３…回動軸
１４…上部架台
１５…駆動機
１６…ベルト
１７…受部材
１８…流体
１９…間隙
２０…流体供給管
２１…ベルトコンベア
２５…けがき線形成機
２６…流体ガイド
２７…ベルトコンベア
２８…分断機
２９…固定フレーム
３０…可動フレーム
３１，３２…流体ガイド
３３…ジャッキ
３４…支持部材
３５…通過スペース
３６，３７…流体噴出部材
４１…間隙
４２…ベルトコンベア
４３…制御装置
４４…流体噴出孔
４５…受け部材
４７…プッシャ
４８…ブラケット
５１…搬送装置
５２…加工機
５３…搬出機
５４…フレーム
５５，５６…流体ガイド
５７…流体噴出部材
６１…間隙
６２…ベルトコンベア
６６…加工工具
６７…ベルトコンベア
７１…挟持装置
７２…爪部材
７３…調整シリンダ
７４…爪シリンダ
７５…移動部材
７６…ガイド部材
７７…レール
７８…クランプシリンダ
７９…ブラケット
８０…固定部材
８１…タイミングベルト
８２…プーリ
８５…駆動モータ
８６…駆動プーリ
９１…流体ガイド
９２…ガイド板
９３…流体流出孔
９４…フレーム
９５…ベルトコンベア
９６…プーリ
９７…ベルト
１５０…搬送ライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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