(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＸＹ方向に移動されるテーブルを噴射室ホッパー内に設けて噴射室ホッパー内でこのテーブル上に載せられたワークに向けてノズルより噴射される研掃材によりワークに加工を施すようにした噴射加工装置において、前記噴射室ホッパーの下部を逆台形状としてその下端内周に研掃材回収用の環状管路を設けるとともに、この噴射室ホッパーの下部内に裾端を前記環状管路の内側に続かせた末広がり状の可撓性防塵フードを設け、また、前記噴射室ホッパーの外部下方には駆動ユニットを配置してこの駆動ユニットに立設されてＸＹ方向に移動する支柱の上端を前記可撓性防塵フードの頂部を通じ噴射室ホッパー内に位置させてこの支柱の上端に前記テーブルを取付けたことを特徴とする噴射加工装置。
【請求項２】
支柱を中空管としてその下端を駆動ユニットに組み込まれた吸引機構に接続するとともに上端をテーブルに臨ませてテーブル上に載せられたワークを吸引保持するようにした請求項１に記載の噴射加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルや半導体基板のようなセラミックス、ガラス、合成樹脂、金属などよりなるワークに研掃材を噴射して加工を施すための噴射加工装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネルや半導体基板のようなセラミックス、ガラス、合成樹脂、金属などよりなるワークに溝を形成したり、止り穴加工を施したり或いは微細なバリを除去する装置の一つとして、アランダム等の研掃材を圧縮空気によりノズルから噴射して、ワークに加工を施す噴射加工装置が知られているが、従来の噴射加工装置は、図６に示すように、研掃材をノズルから噴射して加工を施す噴射室ホッパー１の内部内にワーク支持用のテーブル３とこのテーブル３をＸＹ方向に水平移動させる駆動ユニット４を配設して、モーター等の動力装置（図示していない）からの駆動力を伝達軸５から受け入れて駆動軸６を移動することによってワークを水平移動させていた。そして、ホース７から導入された研掃材をノズル８から圧縮空気の圧力により噴射させつつ、ワーク２を移動させてワーク２を加工し、噴射加工に使用された研掃材は、噴射室ホッパーの傾斜側面９を通じて噴射室ホッパー底面に設けられている噴射済み研掃材の回収路１０からサイクロンに送出されて集塵機により微細粉塵を除去したのちリサイクルされて再び研掃材として使用される。
【０００３】
しかしながら、従来の噴射加工装置においては、図６に示したように、噴射室ホッパー１内に駆動ユニット４が配設されていてこの駆動ユニット４が噴射加工中は常に粉塵の雰囲気に晒されているために、粉塵から駆動ユニット４を保護するためのカバー１１で駆動ユニット４を保護したり、ボールネジや伝達軸５を蛇腹１２等で保護する必要があった。このように複雑なシール構造の防塵対策、磨耗対策を施したり、駆動ユニット４や配管、配線部への粉塵堆積防止策を講じたりする必要があったために、装置が大型で複雑なものとなるうえに高価なものになってしまうという欠点があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記した従来の問題点を解決し、簡単な防塵対策により装置を小型化して、粉塵の堆積することのない噴射加工装置を提供するためになされたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するためになされた本発明の噴射加工装置は、ＸＹ方向に移動されるテーブルを噴射室ホッパー内に設けて噴射室ホッパー内でこのテーブル上に載せられたワークに向けてノズルより噴射される研掃材によりワークに加工を施すようにした噴射加工装置において、前記噴射室ホッパーの下部を逆台形状としてその下端内周に研掃材回収用の環状管路を設けるとともに、この噴射室ホッパーの下部内に裾端を前記環状管路の内側に続かせた末広がり状の可撓性防塵フードを設け、また、前記噴射室ホッパーの外部下方には駆動ユニットを配置してこの駆動ユニットに立設されてＸＹ方向に移動する支柱の上端を前記可撓性防塵フードの頂部を通じ噴射室ホッパー内に位置させてこの支柱の上端に前記テーブルを取付けたことを特徴とするものを請求項１の発明とする。また、このような装置において、支柱を中空管としてその下端を駆動ユニットに組み込まれた吸引機構に接続するとともに上端をテーブルに臨ませてテーブル上に載せられたワークを吸引保持するようにしたものを請求項２の発明とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照しつつ本発明の好ましい実施形態を示す。
１は筒状胴部に傾斜側面９が下方に向けて縮幅された逆台形状の下部を続かせた噴射室ホッパー１であって、その下端内周にあたる傾斜側面９の内周には角筒材よりなる噴射済み研掃材の回収管路１０が周設されていて、この回収管路１０はその上面に研掃材を受け入れるための孔が格子状に配設されていて、この孔から回収された研掃材は側方よりサイクロンに送出されて集塵機により微細粉塵を除去したのちリサイクルされて再び研掃材として使用される。
【０００７】
また、噴射室ホッパー１の下部内には断面略山形とした末広がり状の可撓性防塵フード１５がその裾端を前記した回収管路１０の内側には続かせた状態として設けられている。３は噴射室ホッパー１の内部に設けられてこの噴射室ホッパー１の内部でＸＹ方向に水平移動されるテーブルであって、このテーブル３上に載せられたワーク２に向けてノズルより研掃材が噴射されてワーク２に加工が施されるようになっている。
【０００８】
４は噴射室ホッパー１の外部下方に配置した駆動ユニットであって、この駆動ユニット４にはＸＹ方向に水平移動する中空管よりなる支柱６が立設されていてこの支柱６の上端は後記する可撓性防塵フード１５の頂部を通じて噴射室ホッパー１の内部に位置されてこの支柱６の上端は前記テーブル３の中央に連結されている。なお、支柱６を中空管よりなるものとしたのは、その下端を駆動ユニット４に組み込まれた吸引機構に接続するとともに、上端をテーブル３の上面に臨ませておくことによりテーブル３上に載せられたワーク２を吸引保持し、別にワーク保持機構を設けなくてもワーク２をテーブル３に吸着固定することができるようにするためのもので、別にワーク保持機構を設けておく場合には支柱６は必ずしも中空管とする必要はない。
【０００９】
前記した駆動ユニット４はモーター等の駆動源５ａによりＸ方向へ往復移動する一方の移動部材１３と、この移動部材１３上にあってモーター等の駆動源５ｂによりＹ方向へ往復移動する他方の移動部材１４と、この移動部材１４に組み込まれた図示しない吸引機構に接続された状態でこの移動部材１４上に立も受けられている前記した支柱６とを具備していて、この駆動ユニット４によって前記したテーブル３は支柱６を介して前後左右に水平移動されるようになっている。そして、ホース７から導入された研掃材をノズル８から圧縮空気の圧力によりワーク２に噴射させて加工し、例えば、所定の深さの止まり孔加工が完了したら、支持テーブル３を前後または左右に移動させて次の可能を行なうことができるようになっている。なお、可撓性防塵フード１５は使用済み研掃材が集塵機により回収管路１０から吸引されて噴射室ホッパー１の内部が負圧になって上側に膨らむために粉塵の堆積は防止することができる。
【００１０】
また、従来の噴射加工装置の回収路１０は左右の傾斜側面９が集合する噴射室ホッパー１の最下部の底面に設けられていたのに対し、本発明においては回収路１０を傾斜側面９の途中に設けることができて、回収路１０を駆動ユニット４より高い位置に配設することができるので、装置の高さを大幅に低くすることができ、これによって装置を小型化することができる。
【００１１】
なお、図１、図２に示した実施形態においては、回収管路１０が角環状に周設されたものであるが、回収管路１０は、図３に示すように、円環状のものとすることもできるし、また、回収管路１０の上面に配設される研掃材を受け入れるための孔は前記した実施携帯のように回収管路１０の上面前面に配設する必要はなく、例えば、  図４、図５に示す第３の実施形態のように、対向する２辺の上面にのみ配設されたものとして、その間の底面は山形底面１６として研掃材が左右の回収管路１０に流れ込むようにしてもよいし、この回収管路１０は傾斜側面９を一端に寄せて傾斜させて１列のものとすることもできるし、傾斜側面９を一角に寄せて傾斜させて円形或いは角形の受入れ口を有する一個のものとすることもできる。
【００１２】
【発明の効果】
本発明の噴射加工装置は以上に説明したように、噴射室ホッパーの下部を逆台形状としてその下端内周に研掃材回収用の環状管路を設けるとともに、この噴射室ホッパーの下部内に裾端を前記環状管路の内側に続かせた末広がり状の可撓性防塵フードを設け、さらに、噴射室ホッパーの外部下方には駆動ユニットを配置してこの駆動ユニットに立設されてＸＹ方向に移動する支柱の上端を前記可撓性防塵フードの頂部を通じ噴射室ホッパー内に位置させてこの支柱の上端に前記テーブルを取付けたことにより、駆動ユニットを噴射室ホッパーの外部に隔離することことができて、駆動ユニットを粉塵雰囲気から簡単な構造にて完全に保護することができる。しかも、回収管路を傾斜側面の途中に設けることにより回収管路を駆動ユニットより高い位置に配設することができるので、装置の高さを大幅に低くすることができ、これによって装置を小型化して作業スペースを広く取ることができる。また、  支柱を中空管としてその下端を駆動ユニットに組み込まれた吸引機構に接続するとともに上端をテーブルに臨ませてテーブル上に載せられたワークを吸引保持するようにしたものは、他にワーク保持機構を付設する必要もないものとなる。
従って本発明は従来のこの種の噴射加工装置の問題点を解決したものとして業界の発展に寄与するところ極めて大きいものがある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す一部切欠正面図である。
【図２】図１における回収管路部分の平面図である。
【図３】本発明における回収管路部分の第２の実施形態を示す平面図である。
【図４】本発明における回収管路部分の第３の実施形態を示す平面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ部の説明図である。
【図６】従来の噴射加工装置の代表例を示す一部切欠正面図である。
【符号の説明】
１  噴射室ホッパー
３  テーブル
４  駆動ユニット
６  支柱
８  ノズル
９  傾斜側面
10  回収管路
15  防塵フード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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