(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、前記ベースに摺動可能に支持された可動体と、前記可動体に固定されたナットと、前記ナットに係合したボールねじと、前記ボールねじの一端を回転可能かつ軸方向移動不能に支持すると共に他端を回転可能かつ軸方向移動可能に支持する支持手段と、前記ボールねじに連結されたサーボモータと、前記サーボモータを数値制御プログラムによって回転制御するＮＣ装置からなるボールねじ送り装置において、
前記ＮＣ装置に予め登録されている前記ボールねじの長さ（Ａ）に対する前記ボールねじの熱変位による変化量（ΔＡ）を測定する検出器と、
前記ＮＣ装置に予め登録されている前記ボールねじの長さ（Ａ）および前記ボールねじの全長を複数に区分した各区分の前記ボールねじのピッチ誤差補正値（Ｐｎ）並びに前記各区分の位置（Ｄｎ）と前記検出器にて測定された前記ボールねじの長さの変化量（ΔＡ）とから、予め登録されている前記各区分の位置（Ｄｎ）の前記各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ）に、前記各区分位置（Ｄｎ）における前記ボールねじの長さの変化量（Ｄｎ×ΔＡ／Ａ）を加算した各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ'）を演算する演算手段と、
前記演算手段によって演算された各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ'）を新たなピッチ誤差補正値として前記ＮＣ装置に登録する手段と、
を備え、前記登録手段に登録された新たなピッチ誤差補正値に基づいてピッチ誤差補正を行うことを特徴とするボールねじの熱変位補正装置。
【請求項２】
請求項１に記載のボールねじの熱変位補正装置において、前記ピッチ誤差補正値（Ｐｎ）に対応する閾値を前記ＮＣ装置に登録する手段をさらに含み、
前記登録手段は、前記ボールねじの全長を複数に区分した各区分の前記ＮＣ装置に既に登録されている前記ピッチ誤差補正値（Ｐｎ）と前記ボールねじの長さの変化量が加算された前記ボールねじの前記ピッチ誤差補正値（Ｐｎ'）との差（Ｐｎ−Ｐｎ'）が前記閾値を超えた場合のみ、前記ＮＣ装置に既に登録されている前記各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ）に代えて、前記ボールねじの長さの変化量が加算された前記ボールねじの前記各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ'）を前記ＮＣ装置に登録することを特徴とするボールねじの熱変位補正装置。
【請求項３】
請求項１に記載のボールねじの熱変位補正装置において、前記検出器により得られたボールねじの長さの変化量（ΔＡ）に対応する閾値を前記ＮＣ装置に予め登録する手段をさらに含み、
前記登録手段は、前記ボールねじの長さの変化量（ΔＡ）が前記閾値を超えた場合のみ、前記ＮＣ装置に既に登録されている前記各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ）に代えて、前記ボールねじの長さの変化量が加算された前記ボールねじの前記各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ'）を前記ＮＣ装置に登録することを特徴とするボールねじの熱変位補正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作機械および産業機械等に使用されるボールねじの熱変形を補正する手段に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ボールねじを使用して可動体の位置決めを行う機械、例えば、工作機械において、ボールねじにナットや支持ベアリングとの間で発生する熱が伝わり、また、室温の変化によりボールねじの長さが変化する。特に、機械の始動時より所定の時間、例えば９０分ぐらいまでは、ボールねじの長さの変化が大きく、可動体の位置決め精度が悪くなり、これにより加工精度等が低下し、不良品を出す不具合があった。
【０００３】
前記の不具合を解消するため、第1の方法では、工作機械の暖機運転を行い、ボールねじの長さの変化が少なくなってから加工を行うようにしている。また、第２の方法では、ボールねじの内部に温度管理された冷却液を流し、ボールねじの長さの変化を少なくし、位置決め精度の低下を少なくしている。また、第３の方法では、リニアスケールを用いて、可動体の位置決めを行うクローズドループ制御により、ボールねじの長さが変化しても位置決め精度の低下を少なくしている。また、第４の方法では、タッチセンサを主軸に装着して、テーブル上に設けられた基準位置を測定し、所定の位置と比較し、長さの変化を補正して、位置決め精度の低下を少なくしている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
第1の方法は、暖機運転中は加工ができないため、生産性を悪くする欠点がある。第２の方法は、冷却に時間の遅れがあり、正確にボールねじの長さの変化を防ぐことができない欠点がある。第３の方法は、リニアスケールを用いるため、コストがかかる。また、リニアスケールの取付位置が、ボールねじの位置とオフセットしているため、可動体の前進時と後退時における可動体の傾きにより検出誤差を生じ、可動体を正しく位置決めできない欠点がある。第４の方法は、タッチセンサを主軸に装着する時間、および測定する時間がかかり、生産性を低下させる。したがって、本発明の目的は、上記従来装置の欠点を伴わずに熱によるボールねじの長さの変化から生じる可動体の位置決め精度の低下をなくすことにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した課題を解決するため、請求項１のボールねじの熱変位補正装置は、ベースと、前記ベースに摺動可能に支持された可動体と、前記可動体に固定されたナットと、前記ナットに係合したボールねじと、前記ボールねじの一端を回転可能かつ軸方向移動不能に支持すると共に、他端を回転可能かつ軸方向移動可能に支持する支持手段と、前記ボールねじに連結されたサーボモータと、前記サーボモータを数値制御プログラムによって回転制御するＮＣ装置からなるボールねじ送り装置において、前記ＮＣ装置に予め登録されている前記ボールねじの長さ（Ａ）に対する前記ボールねじの熱変位による変化量（ΔＡ）を測定する検出器と、前記ＮＣ装置に予め登録されている前記ボールねじの長さ（Ａ）および前記ボールねじの全長を複数に区分した各区分の前記ボールねじのピッチ誤差補正値（Ｐｎ）並びに前記各区分の位置（Ｄｎ）と前記検出器にて測定された前記ボールねじの長さの変化量（ΔＡ）とから、予め登録されている前記各区分の位置（Ｄｎ）の前記各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ）に、前記各区分位置（Ｄｎ）における前記ボールねじの長さの変化量（Ｄｎ×ΔＡ／Ａ）を加算した各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ'）を演算する演算手段と、前記演算手段によって演算された各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ'）を新たなピッチ誤差補正値として前記ＮＣ装置に登録する手段とを備え、前記登録手段に登録された新たなピッチ誤差補正値に基づいてピッチ誤差補正を行うことである。
【０００６】
ボールねじの長さを測定する検出器は、電磁誘導式のものを使用できるが、これ以外の例えばレーザ式のものを使用しても良い。また、測定した値に基づいてボールねじリード情報またはボールねじピッチ誤差補正情報を演算する手段は、ＮＣ装置の演算機能を使用しても、あるいはＮＣ装置とは別に設けた演算手段を用いても良い。
【０００８】
請求項２のボールねじの熱変位補正装置は、請求項１に記載のボールねじの熱変位補正装置において、前記ピッチ誤差補正値（Ｐｎ）に対応する閾値を前記ＮＣ装置に登録する手段をさらに含み、前記登録手段は、前記ボールねじの全長を複数に区分した各区分の前記ＮＣ装置に既に登録されている前記ピッチ誤差補正値（Ｐｎ）と前記ボールねじの長さの変化量が加算された前記ボールねじの前記ピッチ誤差補正値（Ｐｎ'）との差（Ｐｎ−Ｐｎ'）が前記閾値を超えた場合のみ、前記ＮＣ装置に既に登録されている前記各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ）に代えて、前記ボールねじの長さの変化量が加算された前記ボールねじの前記各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ'）を前記ＮＣ装置に登録することである。
【０００９】
請求項３のボールねじの熱変位補正装置は、請求項１のものにおいて、前記検出器により得られたボールねじの長さの変化量（ΔＡ）に対応する閾値を前記ＮＣ装置に予め登録する手段をさらに含み、前記登録手段は、前記ボールねじの長さの変化量（ΔＡ）が前記閾値を超えた場合のみ、前記ＮＣ装置に既に登録されている前記各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ）に代えて、前記ボールねじの長さの変化量が加算された前記ボールねじの前記各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ'）を前記ＮＣ装置に登録することである。
【発明の効果】
【００１１】
以上説明したとおり、請求項１に係るボールねじの熱変位補正装置は、ベースに摺動可能に支持されボールねじにより駆動される可動体と、ボールねじの一端を回転可能かつ軸方向移動不能に支持すると共に、他端を回転可能かつ軸方向移動可能に支持する支持装置をベース上に配置し、ボールねじの長さの変化を測定する検出器を取付け、この検出器の出力に基づいて、ＮＣ装置に予め登録されているボールねじのピッチ誤差補正値に、ボールねじの長さの変化量を加算したピッチ誤差補正値を演算して新たなピッチ誤差補正値として前記ＮＣ装置に登録する。このボールねじのピッチ誤差補正値を使用し公知の方法によって制御軸の目標値を演算し、可動体の位置決めを行う。これにより、熱により生ずるボールねじの長さの変化による可動体の位置決め精度の低下をなくすことができるため、暖機運転を行う必要がなく、朝一番から機械を運転しても、精度よく加工できる。
【００１２】
請求項２では、ボールねじの全長を複数に区分した各区分のＮＣ装置に既に登録されているピッチ誤差補正値（Ｐｎ）と、このピッチ誤差補正値（Ｐｎ）にボールねじの長さの変化量を加算した後のボールねじのピッチ誤差補正値（Ｐｎ'）との差（Ｐｎ−Ｐｎ'）が予め決められた閾値より大きい場合のみ、前記ＮＣ装置に既に登録されている前記各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ）に代えて、ボールねじの長さの変化量を加算した前記各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ'）を前記ＮＣ装置に登録するようにしたので、ＮＣ装置が可動体の目標位置を算出する際に使用するボールねじのピッチ誤差補正情報を頻繁に書き換えられず位置決め精度を安定できる利点がある。
【００１３】
請求項３では、前記ボールねじの長さの変化量に対応する閾値を前記ＮＣ装置に予め登録し、前記登録手段は前記ボールねじの長さの変化量とこれに対応する前記閾値とを比較する。そして、ボールねじの長さの変化量がこれに対応する閾値を超えた場合のみ、前記ＮＣ装置に既に登録されている前記各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ）に代えて、ボールねじの長さの変化量を加算した前記各ピッチ誤差補正値（Ｐｎ'）を前記ＮＣ装置に登録する。従ってＮＣ装置が可動体の目標位置を算出する際に使用するボールねじの各座標位置におけるピッチ誤差補正値が頻繁に書き換えられず位置決め精度を安定できる利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、ボールねじの熱変位補正装置を、図を参照して説明する。図１は、ボールねじの熱変位補正装置を備えたボールねじ送り装置を有する工作機械を示す。図１においてベッド１には、ジグ２および、紙面に直角な（Ｘ）方向に移動するコラム３が設けてある。コラム３には上下（Ｙ）方向に昇降するＹ軸スライド４が設けられており、これに前後（Ｚ）方向に移動する主軸頭５が案内されている。主軸頭５には、工具６が着脱可能となっている。
【００１６】
ボールねじ送り装置を図面に基づいて説明する。図２は図1のＡ−Ａ断面を示す。コラム３はナット１１を固定している。ナット１１は、ボールねじ１２を係合している。ボールねじ１２の一端は、一対のベアリング１３が挿入され、リングナット１４にて、軸方向移動できないように規制されている。またベアリング１３は、その外輪に当接するリング１５にてスラスト支持ブロック１６に固定され、これにより、ボールねじ１２は回転可能かつ軸方向の移動が規制されている。ボールねじ１２はカップリング１７にてサーボモータ１８と連結されている。
【００１７】
ボールねじ１２の他端は、ベアリング２０が挿入され、サークリップ２１により、ボールねじ１２に対し軸方向に規制されている。またベアリング２０は、支持ブロック２２に挿入されている。ベアリング２０は、軸方向の移動が可能なように支持ブロック２２の内孔に嵌合している。よって、ボールねじ１２の長さが熱により変化すると、ボールねじ１２は、軸方向の移動を規制しているスラスト支持ブロック１６を起点とし、軸方向の移動を許容している支持ブロック２２に向かって伸びる。ボールねじ支持ブロック２２には、プレート２３を介して、非接触式の検出器２４が取付けてある。
【００１８】
図３は、前記したボールねじ送り装置の制御ブロック図である。ＣＮＣ４０は、演算装置であるＣＰＵ４１と、システムプログラム等を記憶したＲＯＭ４２と、ＮＣプログラムや各種パラメータ等を記憶したＲＡＭ４３と、キーボード等の入力装置４４と、ＣＲＴ等の出力装置４５と、インターフェイス４６，４７，４８を主たる構成要素としている。そしてボールねじへの移動指令がディジタルサーボユニット４９に出力され、ディジタルサーボユニット４９がボールねじ駆動用サーボモータ1８を駆動すると、サーボモータ１８はエンコーダ１９によって検出されるボールねじ軸１２の現在位置が帰還されてフィードバック制御されるようになっている。前記した検出器２４は、渦電流損失を検出する形式のものである。すなわち、ボールねじ１２の長さが変化すると、検出器２４に設けられた図略の高周波発振回路が発生する電磁誘導により、ボールねじの端面１２ａに誘導電流が流れ、これにより、検出器２４内のコイルのインダクタンスが変化する。この変化量は制御部５０で電圧の値に変換され、さらにアナログ−ディジタル（Ａ−Ｄ）変換器５１によりディジタル値に変換される。このディジタル値は、インターフェイス４８を介してＣＮＣ４０に入力される。
【００１９】
次に、前記した構成における計測補正方法について、図５に示すフローチャートに基づいて図３及び図４を参照しながら説明する。まず、工作機械の運転に先立って、スラスト支持ブロック１６に挿入された一対のベアリング１３の幅の中心１３ａからボールねじの端面１２ａまでの基準寸法ＡをＣＮＣ４０のＲＡＭ４３に登録しておく。この基準寸法Ａ（図４参照）は設計値から求められる。また、例えば工作機械の運転開始時でボールねじ１２の温度が環境温度に一致している状態（以下、基準温度時と言う）において検出器２４により、検出器２４とボールねじ１２の端面１２ａ部との距離Ｂ（以下初期値と言う）を測定し、同じくＣＮＣ４０のＲＡＭ４３に登録しておく。
【００２０】
機械の運転が開始され、サイクルがスタートした信号が与えられると、例えば所定のタイムインターバル毎に図５のルーチンが実行される。ステップＳ１００では、検出器２４により検出器２４とボールねじの端面１２ａの距離Ｂ'を測定する。これは、制御部５０で電圧の値に変換され、さらにアナログ−デジタル変換器５１により、デジタル値に変換される。
【００２１】
ステップＳ１０１において、この測定値Ｂ'は、インターフェイス４８を介してＲＡＭ４３に登録される。ステップＳ１０２では、前記距離Ｂ'とＲＡＭ４３に登録されている初期値Ｂを呼出しボールねじの長さの変化を演算する。ボールねじの長さの変化ΔＡはΔＡ＝Ｂ−Ｂ'で演算される。ステップＳ１０３では、ＲＡＭ４３に登録されているボールねじのリードＬと前記基準寸法Ａを呼出し、前記ボールねじの長さの変化ΔＡをＡで除した値に１を加算し、これを初期のリードＬに乗じて、熱変化後の正しいリードＬ'を補正対象として演算する。ステップＳ１０４ではＲＡＭ４３のリードＬをＬ'に書き換える。Ｓ１０５では、この補正されたリードＬ'を使用して可動体の目標位置を算出し、ＮＣプログラムを実行する。このためボールねじが熱により伸びても、その影響を排除して可動体の位置決めをすることができる。従って位置決め精度の低下をなくすことができる。
【００２２】
ボールねじの熱変位を補正する本発明の第１の実施態様について、図７に示すフローチャートに基づいて図３、図４、図６を参照しながら説明する。これは、ボールねじの長さの変化を補正するために、前記リードを演算することに代え、ピッチ誤差補正値を補正対象として演算することを特徴とする。図６は、ボールねじの座標とピッチ誤差補正値の関係を示す。横軸は前記一対のベアリング１３の幅の中心１３ａを起点０としたボールねじの各座標までの距離を示す。前記ボールねじ端面１２ａは横軸のＡに相当する。縦軸はその位置におけるピッチ誤差補正値を示す。この図において、範囲Ｊ部は可動体の使用ストロークを示し、この範囲Ｊ部の折線Ｕはボールねじの熱変形前のピッチ誤差補正値を示す。このピッチ誤差（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，・・・，Ｐｆ）は予め測定され、前記ＲＡＭ４３に登録しておく。前記基準寸法Ａの熱変位による伸び量ΔＡは縦軸に示される。範囲Ｊ内の各座標位置における伸び量（比例配分量）と対応する座標位置のピッチ誤差とを加算すると、誤差の総和は折線Ｖで示される。
【００２３】
図７のステップＳ１００からステップＳ１０２は図５と同様であり説明を省略する。ステップＳ２００でカウンタ値ｎ＝１を設定する。ステップＳ２０１では、ＲＡＭ４３に登録されている１番目のピッチ誤差Ｐ１を呼出す。通常可動体のストロークの原点とするため前記Ｐ１は０の場合が多い。ステップＳ２０２では、ＲＡＭ４３に登録されている基準寸法Ａを呼出し、前記ボールねじの長さの変化ΔＡをＡで除した値に前記ピッチ誤差Ｐ１に相当する位置の座標Ｄ１を乗ずる。これを前記ピッチ誤差Ｐ１に加えて熱変化後の正しいピッチ誤差補正値Ｐ１'を演算する。
【００２４】
ステップＳ２０３ではＲＡＭ４３に登録されているピッチ誤差補正値Ｐ１をＰ１'に書き換える。ステップＳ２０４では前記カウンタ値ｎに１を加算する。ステップＳ２０５ではこのカウンタ値ｎが予め設定された回数ｆを超えていないかが判断される。前記回数ｆを超えていない場合はステップＳ２０１に戻って処理を繰返す。この結果、ピッチ誤差補正値Ｌは伸び量だけ補正されて一点鎖線に示す折線Ｖに置換えられる。前記回数ｆを超えた場合はＳ１０５に進み、この値をもとにＮＣプログラムを実行する。ＮＣ制御における目標位置の算出において、この補正されたピッチ誤差補正値を用いることにより熱によるボールねじの長さの変化から生じる可動体の位置決め精度の低下をなくすことができる。また前記起点０から前記Ｄ１までのボールねじの長さの変化を加算できるため、より一層高精度に位置決めできる。図８は前記の演算したリード情報と前記のピッチ誤差補正情報の両方を用い、ボールねじの熱変位を補正する制御を示す。詳細は前記の組み合わせであるため記述しない。この制御では、補正されたリード情報と補正されたピッチ誤差補正値の両方をＮＣ制御における目標位置の算出に用いるようにしたので、リード情報を使用することにより演算回数が少なくできる利点がある。またピッチ誤差補正値を使用することにより、前記起点０から前記Ｄ１までのボールねじの長さの変化を加算でき、正確な位置決めができる。
【００２５】
図９に示すルーチンの特徴として、ステップＳ３００では、演算後のリードＬ'とリード初期値Ｌの差の絶対値を予め設定された閾値Ｋと比較し、これより大きい場合はステップＳ１０４でＲＡＭ４３のリード情報を演算後のリード情報Ｌ'に書き換える。ステップＳ３００で閾値Ｋ以下の場合は、それ以前に登録されたリードＬを使用する。このためＮＣ装置が可動体の目標位置を算出する際に使用するリード情報が頻繁に変わらないようにして、位置決め精度を安定することができる。
【００２６】
図１０は、第１の実施態様に代わる第２の実施態様におけるフローチャートを
示す。このルーチンの特徴として、ステップＳ４００で、ボールねじの長さの変化量ΔＡの絶対値が予め設定された閾値Ｋと比較し、これより大きい場合は、ステップＳ２００以降のボールねじピッチ誤差補正値の演算を行う。これは図７のステップＳ２００以降と同じであるので説明は省略する。ステップＳ４００で閾値Ｋより小さい場合は、それ以前に登録されたピッチ誤差情報を使用する。このためＮＣ装置が可動体の目標位置を算出する際に使用するボールねじピッチ誤差補正情報が頻繁に変わらないようにして、位置決め精度を安定することができる。
【００２７】
図１１において、横軸は前記一対のベアリング１３の幅の中心１３ａを起点０としたボールねじの各座標までの距離を示す。前記ボールねじ端面１２ａは縦軸のＡに相当する。縦軸はその位置における補正値を示す。前記基準寸法Ａの熱変位による伸び量ΔＡは縦軸に示される。直線Ｑはボールねじの長さの変化量ΔＡが起点０から端面１２ａまで比例した場合を示す。前記基準温度時において前記座標Ｄ１、Ｄｍ、Ｄｆにおける可動体の位置を測定する。次に所定の時間運転後、前記座標Ｄ１、Ｄｍ、Ｄｆにおける可動体の位置を測定する。この測定値の差が変位であるので、これを補正値Ｍ１，Ｍｍ，Ｍｆとして設定する。これから、座標Ｄ１から座標Ｄｍの間の補正値Ｍｘは、Ｍｘ＝Ｍ１＋（Ｍｍ−Ｍ１）＊（Ｄｘ−Ｄ１）／（Ｄｍ−Ｄ１）で求められる。これは直線Ｇ１−Ｇｍ上の一点であり、数学的に求められる。また運転開始後の前記座標Ｄ１の補正値Ｍ１'はＭ１'＝Ｍ１＊ΔＡ'／ΔＡで演算される。座標Ｄｍから座標Ｄｆの間の補正値ＭｘはＭｘ＝Ｍｍ＋（Ｍｆ−Ｍｍ）＊（Ｄｘ−Ｄｍ）／（Ｄｆ−Ｄｍ）で求められる。これらの演算は図７、図８、図１０のフローチャートのステップＳ２０２のＰｎ'に代えて実行される。これはボールねじを複数に区分して補正値を演算する為、ボールねじの位置により温度が異なりボールねじの伸びに違いが生じても正確に補正できる。従って、より一層高精度に位置決めできる。
【００２８】
図１２および図１３は、いずれもボールねじ長さの変化についての異なる測定方法を示す。図１２の例では、ボールねじ５０の一端に穴５０ａが形成され、リング状の磁石５２が取付けてある。ボールねじ支持ブロック２２には、プレート５３を介して、差動トランス５１が取付けてある。この差動トランス５１は、前述のリング状磁石５２と同心上に配置されている。この差動トランス５１にて、ボールねじの長さの変化を測定する。測定後の処理は前記の方法と同じである。この方法は、長い検出器を使用しても、装置を長くしない利点がある。図１３の例は、検出器６０をボールネジと直角方向に設けて測定する方法を示す。測定後の処理は上述の方法と同じである。この方法では検出器６０の信号線６０ａがボールねじと直角方向に配置されるため、装置をボールねじ長手方向に短縮できる利点がある。前記基準温度時は運転開始時に設定したけれども、ボールねじの温度上昇がサチレートした時点を基準温度時として、その時の前記検出器２４とボールねじ１２の端面１２ａ部との距離Ｂを初期値とする。これは、全運転時間に占める、運転開始からサチレートするまでの時間割合が小さい為、補正が行われる回数が少なく、位置決め精度を安定できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明によるボールネジ熱変位補正装置を有した工作機械の一例を示した概略側面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿ったボールねじ駆動装置の断面図である。
【図３】本発明の形態に係わるＮＣ装置のブロック図である。
【図４】図２のボールねじ支持部の部分拡大断面図である。
【図５】制御部のフローチャートである。
【図６】本発明の第１の実施の形態におけるボールねじの座標とボールねじピッチ誤差補正値の関係図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態における制御部のフローチャートである。
【図８】図５に示す制御部と第１の実施の形態の制御部とを組み合わせた制御部のフローチャートである。
【図９】さらに別の制御部のフローチャートである。
【図１０】本発明の第２の実施の形態における制御部のフローチャートである。
【図１１】ボールねじの座標とボールねじピッチ誤差補正値の関係図である。
【図１２】図４に対応した別のボールねじ支持部の拡大断面図である。
【図１３】図４に対応したさらに別のボールねじ支持部の拡大断面図である。
【符号の説明】
【００３０】
１・・・ベッド、 ２・・・ジグ、 ３・・・コラム、 ４・・・Ｙ軸スライド、 ５・・・主軸頭、 ６・・・工具、 １１・・・ナット、 １２・・・ボールネジ、 １６・・・スラスト支持ブロック、 ２２・・・支持ブロック 、２４・・・検出器、 １８・・・サーボモータ、 ４０・・・ＮＣ装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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