(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に開口する吸引通路を備えたテーブル基台と、該テーブル基台の上面に載置されるチャックテーブルと、該チャックテーブルを該テーブル基台に取り付けるためのチャックテーブル取付機構とを有する加工テーブルにおいて、
該チャックテーブル取付機構は、該テーブル基台の外周に装着され上側が開放された係合凹部を備えた一対のブラケットと、該チャックテーブルの外周に装着され該一対のブラケットに設けられた該係合凹部に遊嵌する一対の係合ピンと、該一対の係合ピンに一端が係止され該チャックテーブルを該テーブル基台の上面に向けて押圧するとともに、該一対の係合ピンを該係合凹部の一側壁に向けて押圧する弾性付勢手段と、を具備する、
ことを特徴とする加工テーブル。
【請求項２】
該チャックテーブルは該テーブル基台の上面と平行な平面内において回動可能に載置されており、該一対のブラケットおよび該一対の係合ピンは、該チャックテーブルの回動中心に対して点対象の位置に設けられている、請求項１記載の加工テーブル。
【請求項３】
該弾性付勢手段は、主に該チャックテーブルを該テーブル基台の上面に向けて付勢する第１のバネ部材と、少なくとも係合ピンを該係合凹部の一側壁に当接するように付勢する第２のバネ部材とからなっている、請求項１又は２記載の加工テーブル。
【請求項４】
該チャックテーブルの上面には、被加工物を位置決めする位置決め部材が配設されている、請求項１から３のいずれかに記載の加工テーブル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、切削装置等の工作機械において被加工物を吸引保持するための加工テーブルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエーハやセラミックス基板等の被加工物を切削する切削装置には、被加工物を吸引保持するための加工テーブルが配設されている。従来用いられている加工テーブルについて、図６および図７を参照して説明する。
加工テーブル３０は、テーブル基台４０と、、このテーブル基台４０の上面に載置されるチャックテーブル５０と、チャックテーブル５０をテーブル基台４０に取り付けるためのチャックテーブル取付機構６０からなっている。このような加工テーブル３０を構成するチャックテーブル取付機構６０は、被加工物の種類や大きさに対応したチャックテーブルに適宜交換できるように構成されている。テーブル基台４０は、中央に円形状の嵌合凸部４０１を備えているとともに、嵌合凸部４０１の上面に開口する吸引通路４０２を備えている。また、テーブル基台４０の上端部外周には互いに平行に形成された一対のブラケット取付部４０３、４０３が設けられている。この一対のブラケット取付部４０３、４０３には、それぞれ２個のネジ穴４０４、４０４が設けられている。チャックテーブル５０は、その外周部に互いに平行に形成された一対の被支持部５０１、５０１を備えており、この被支持部５０１、５０１にそれぞれ２個のネジ穴５０２、５０２が設けられている。
【０００３】
次に、チャックテーブル取付機構６０について説明する。
従来用いられているチャックテーブル取付機構６０は、一対のブラケット６０１、６０１と、該一対のブラケット６０１、６０１を上記テーブル基台４０に取付けるための取付けボルト６０６、６０６と、該一対のブラケット６０１、６０１に上記チャックテーブル５０を固定するための固定ボルト６０７、６０７とからなっている。一対にブラケット６０１、６０１はＬ字状に形成され装着部６０２と支持部６０３とを有しており、装着部６０２には上記ブラケット取付部４０３に形成された２個のネジ穴４０４、４０４の間隔と同一間隔を有する２個のボルト挿通穴６０４、６０４が設けられ、支持部６０３には上記チャックテーブル支持部５０１に形成された２個のネジ穴５０２、５０２の間隔と同一間隔を有する２個のボルト挿通穴６０５、６０５が設けられている。このように構成された一対にブラケット６０１、６０１は、それぞれ装着部６０３に形成されたボルト挿通穴６０４、６０４に取付けボルト６０６、６０６を挿通しこの取付けボルト６０６、６０６を上記一対のブラケット取付部４０３に設けられたネジ穴４０４、４０４に螺合することにより、テーブル基台４０に装着される。そして、テーブル基台４０に装着された一対のブラケット６０１、６０１の支持部６０３に設けられたボルト挿通穴６０５、６０５に固定ボルト６０７、６０７を挿通しこの固定ボルト６０７、６０７を上記一対の被支持部５０１に設けられた２個のネジ穴５０２、５０２に螺合することにより、チャックテーブル５０が一対のブラケット６０１、６０１に支持される。このようにチャックテーブル５０はチャックテーブル取付機構６０によってテーブル基台４０に取り付けられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
而して、上記従来の加工テーブルは、チャックテーブルをテーブル基台に装着したブラケットにボルトによって固定する構成であるため、ボルトの締付によって発生する応力がチャックテーブルの上面精度に影響を及ぼす。また、チャックテーブルを交換する際にその都度ボルトを外し締め直す必要があり、作業性が悪いとともに、締付トルクの調整が難しい等の問題がある。
【０００５】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、チャックテーブルをその上面精度に影響を及ぼすことなくテーブル基台に取り付けることができるとともに、その取付け作業性を良好にすることができる加工テーブルを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、上面に開口する吸引通路を備えたテーブル基台と、該テーブル基台の上面に載置されるチャックテーブルと、該チャックテーブルを該テーブル基台に取り付けるためのチャックテーブル取付機構とを有する加工テーブルにおいて、
該チャックテーブル取付機構は、該テーブル基台の外周に装着され上側が開放された係合凹部を備えた一対のブラケットと、該チャックテーブルの外周に装着され該一対のブラケットに設けられた該係合凹部に遊嵌する一対の係合ピンと、該一対の係合ピンに一端が係止され該チャックテーブルを該テーブル基台の上面に向けて押圧するとともに、該一対の係合ピンを該係合凹部の一側壁に向けて押圧する弾性付勢手段と、を具備する、
ことを特徴とする加工テーブルが提供される。
【０００７】
上記チャックテーブルは上記テーブル基台の上面と平行な平面内において回動可能に載置されており、上記一対のブラケットおよび一対の係合ピンは、チャックテーブルの回動中心に対して点対象の位置に設けられている。また、上記弾性付勢手段は、主にチャックテーブルをテーブル基台の上面に向けて付勢する第１のバネ部材と、少なくとも係合ピンを上記係合凹部の一側壁に当接するように付勢する第２のバネ部材とからなっている。また、上記チャックテーブルの上面には、被加工物を位置決めする位置決め部材が配設されていることが望ましい。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に従って構成された加工テーブルの好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【０００９】
図１には、本発明に従って構成された加工テーブルを装備した切削装置としてのダイシング装置の斜視図が示されている。
図示の実施形態におけるダイシング装置は、略直方体状の装置ハウジング２を具備している。この装置ハウジング２内には、被加工物を吸着保持する加工テーブル３が切削送り方向である矢印Ｘで示す方向に移動可能に配設されている。加工テーブル３は、テーブル基台４と、このテーブル基台４の上面に載置されるチャックテーブル５と、このチャックテーブル５をテーブル基台４に取り付けるためのチャックテーブル取付機構６とを具備しており、図示しない回転機構によって回動可能に構成されている。加工テーブル３を構成するテーブル基台４とチャックテーブル５およびチャックテーブル取付機構６については、後で詳細に説明する。
【００１０】
図示の実施形態におけるダイシング装置は、切削手段としてのスピンドルユニット７を具備している。スピンドルユニット７は、図示しない移動基台に装着された割り出し方向である矢印Ｙで示す方向および切り込み方向である矢印Ｚで示す方向に移動調整されるスピンドルハウジング７１と、該スピンドルハウジング７１に回転自在に支持され図示しない回転駆動機構によって回転駆動される回転スピンドル７２と、該回転スピンドル７２に装着された切削ブレード７３とを具備している。
【００１１】
図示の実施形態におけるダイシング装置は、上記加工テーブル３を構成するチャックテーブル５の上面に保持された被加工物の表面を撮像し、上記切削ブレード４３によって切削すべき領域を検出したり、切削溝の状態を確認したりするための撮像機構８を具備している。この撮像機構８は顕微鏡やＣＣＤカメラ等の光学手段からなっている。また、ダイシング装置は、アライメント手段８によって撮像された画像を表示する表示手段９を具備している。
【００１２】
次に、上述したダイシング装置の加工処理動作について簡単に説明する。
上記加工テーブル３を構成するチャックテーブル５の上面に被加工物１０を載置し、図示しない吸引手段を作動することによりチャックテーブル５上に被加工物１０を吸引保持する。このようにして被加工物１０を吸引保持した加工テーブル３は、撮像機構８の直下まで移動せしめられる。加工テーブル３が撮像機構８の直下に位置付けられると、撮像機構８によって被加工物１０に形成されている切断ライン（ストリート）が検出され、スピンドルユニット７の割り出し方向である矢印Ｙ方向に移動調節して精密位置合わせ作業が行われる。
【００１３】
その後、被加工物１０を吸引保持した加工テーブル３を切削送り方向である矢印Ｘで示す方向（切削ブレード７３の回転軸と直交する方向）に移動することにより、加工テーブル３に保持された被加工物１０は切削ブレード７３により所定の切断ライン（ストリート）に沿って切断される。即ち、切削ブレード７３は割り出し方向である矢印Ｙで示す方向および切り込み方向である矢印Ｚで示す方向に移動調整されて位置決めされるスピンドルユニット７に装着され、回転駆動されているので、加工テーブル３を切削ブレード７３の下側に沿って切削送り方向に移動することにより、加工テーブル３に保持された被加工物１０は切削ブレード７３により所定の切断ライン（ストリート）に沿って切削される。このようにして被加工物１０の切断が終了した後、被加工物１０を保持した加工テーブル３は、最初に被加工物１０を吸引保持した図１で示す位置に戻され、ここで被加工物１０の吸引保持を解除する。
【００１４】
次に、上記加工テーブル３を構成するテーブル基台４とチャックテーブル５およびチャックテーブル取付機構６について、図２乃至図５を参照して詳細に説明する。
図示の実施形態におけるテーブル基台４は、図３および図４に示すように中央に円形状の嵌合凸部４１を備えているとともに、嵌合凸部４１の上面に開口する吸引通路４２を備えている。また、テーブル基台４の上端部外周には上記円形状の嵌合凸部４１の中心に対して点対象となる位置に互いに平行に形成された一対のブラケット取付部４３、４３が設けられている。この一対のブラケット取付部４３、４３には、それぞれ２個のネジ穴４４ａ、４４ｂが設けられている。
【００１５】
チャックテーブル５は、被加工物を吸着保持する吸着チャック部５１と、テーブル基台４に装着するための嵌合部５２と、吸着チャック部５１と嵌合部５２の外周部を連結する連結部５３と、吸着チャック部５１と嵌合部５２との間に形成された空間部５４とからなっている。吸着チャック部５１には、その上面に格子状の基準ライン５１１が形成されているとともに、上記空間部５４と連通し上面に開口する複数個の連通口５１２が設けられている。なお、チャックテーブル５を構成する吸着チャック部５１の上面には、上記格子状の基準ライン５１１の隅部に対応する３か所に被加工物を位置決めする位置決め部材５５が配設されている。嵌合部５２の中央には上記テーブル基台４に設けられた嵌合凸部４１に対応する直径を有する嵌合凹部５２１を備えており、この嵌合凹部５２１を嵌合凸部４１に嵌合することによりチャックテーブル５をテーブル基台４の上面に載置する。従って、チャックテーブル５は、テーブル基台４の上面に載置された状態においてはテーブル基台４の上面と平行な平面内において嵌合凸部４１を中心として回動可能である。上記連結部５３には、その外周に互いに平行に形成された一対の被支持部５３１、５３１が設けられている。この一対の被支持部５３１、５３１には、後述する一対の係合ピンを装着するための一対のネジ穴５３２、５３２が設けられている。この一対のネジ穴５３２、５３２は、上記嵌合部５２に設けられた嵌合凹部５２１の中心に対して点対象となる位置に設けられている。
【００１６】
次に、チャックテーブル取付機構６について説明する。
図示の実施形態におけるチャックテーブル取付機構６は、一対のブラケット６１、６１と、この一対のブラケット６１、６１を上記テーブル基台４に取付けるための取付けボルト６２ａ、６２ｂと、上記チャックテーブル５に装着される一対の係合ピン６３、６３と、この一対の係合ピン６３、６３と上記一対のブラケット６１、６１間にそれぞれ張設されるコイルバネからなる第１のバネ部材６４、６４と第２のバネ部材６５、６５とからなっている。一対のブラケット６１、６１はそれぞれＬ字状に形成され装着部６１１と支持部６１２とを有している。一対のブラケット６１、６１を構成する装着部６１１には、それぞれ上記ブラケット取付部４３に設けられた２個のネジ穴４４ａ、４４ｂの間隔と同一間隔を有する２個のボルト挿通穴６１３ａ、６１３ｂが設けられている。一対のブラケット６１、６１を構成する支持部６１２、６１２には、それぞれ上側が開放された係合凹部６１４を備えている。なお、上記２個のボルト挿通穴の一方のボルト挿通穴６１３ａは係合凹部６１４の下方に設けられている。
【００１７】
上記取付けボルト６２ａ、６２ｂは、軸部６２１と、該軸部６２１の一端部に形成され上記一対のブラケット取付部４３に設けられたネジ穴４４ａ、４４ｂに螺合するネジ部６２２と、軸部６２１の中間に形成された鍔部６２３と、軸部６２１の他端に設けられた頭部６２４と、該頭部６２４と鍔部６２３との間に形成されたバネ係止部６２５とからなっている。このように構成された取付けボルト６２ａ、６２ｂを上記一対にブラケット６１の装着部６１１に形成されたボルト挿通穴６１３ａ、６１３ｂに挿通し、このボルト６２を上記一対のブラケット取付部４３に設けられたネジ穴４４ａ、４４ｂに螺合することにより、一対にブラケット６１、６１をテーブル基台４に装着することができる。
【００１８】
上記一対の係合ピン６３、６３は、中央部に形成され上記係合凹部６１４に遊嵌する円柱状の係合部６３１と、該係合部６３１の一端から突出して形成され上記チャックテーブル５に形成された一対の被支持部５３１が設けられた一対のネジ穴５３２、５３２と螺合するネジ部６３２と、該係合部６３１の他端側に設けられた頭部６３３と、該頭部６３３と係合部６３１の間に形成されたバネ係止部６３４とからなっている。このように構成された一対の係合ピン６３は、それぞれネジ部６３２をチャックテーブル５の一対の被支持部５３１、５３１に設けられた一対のネジ穴５３２、５３２に螺合することによってチャックテーブル５に取り付けられる。
【００１９】
次に、チャックテーブル５のテーブル基台４への取り付けについて説明する。上記のように一対の係合ピン６３、６３をチャックテーブル５の一対の被支持部５３１、５３１に取り付けた状態で、チャックテーブル５をテーブル基台４の上面に載置する。このとき、チャックテーブル５を構成する嵌合部５２の中央に設けられた嵌合凹部５２１をテーブル基台４に設けられた嵌合凸部４１に嵌合するするとともに、一対の係合ピン６３、６３の係合部６３１、６３１をテーブル基台４に装着された一対のブラケット６１、６１に設けられている係合凹部６１４、６１４に遊嵌する。このようにして、チャックテーブル５をテーブル基台４の上面に載置したら、一対の係合ピン６３、６３と一方の取付けボルト６２ａ、６２ａとの間に第１のバネ部材６４、６４を張設するとともに、一対の係合ピン６３、６３と他方の取付けボルト６２ｂ、６２ｂとの間に第２のバネ部材６５、６５を張設する。即ち、第１のバネ部材６４、６４の一端を係合ピン６３、６３のバネ係止部６３４、６３４に係止するとともに他端を取付けボルト６２ａ、６２ａのバネ係止部６２５、６２５に係止し、第２のバネ部材６５、６５の一端を係合ピン６３、６３のバネ係止部６３４、６３４に係止するとともに他端を取付けボルト６２ｂ、６２ｂのバネ係止部６２５、６２５に係止する。
【００２０】
ここで、第１のバネ部材６４と第２のバネ部材６５の付勢力の方向について説明する。第１のバネ部材６４は、係合ピン６３と該係合ピン６３の下方に位置する一方の取付けボルト６２ａとの間に張設されるので、図５において矢印６４０で示すようにチャックテーブル５を下方即ち主にテーブル基台４の上面に向けて付勢する。一方、第２のバネ部材６５は、係合ピン６３と一方の取付けボルト６２ａと所定の間隔をおいて配設された他方の取付けボルト６２ｂとの間に張設されるので、図５において矢印６５０で示すようにチャックテーブル５を斜め下方即ち係合ピン６３の係合部６３１を係合凹部６１４の一側壁６１４ａに当接するように付勢するとともに、チャックテーブル５をテーブル基台４の上面に向けて付勢する。従って、チャックテーブル５はテーブル基台４の上面に取り付けられるとともに、上記嵌合凸部４１を中心とする回動が規制される。このように図示の実施形態においては、第１のバネ部材６４、６４および第２のバネ部材６５、６５はチャックテーブル５をテーブル基台４の上面に向けて押圧するとともに、一対の係合ピン６３、６３を係合凹部６１４、６１４の一側壁６１４ａ、６１４ａに向けて押圧する弾性付勢手段として機能する。
【００２１】
以上のように、図示の実施形態における加工テーブル３は、第１のバネ部材６４、６４および第２のバネ部材６５、６５によってチャックテーブル５をテーブル基台４の上面に向けて押圧するとともに、一対の係合ピン６３、６３を一対のブラケット６１、６１の係合凹部６１４、６１４の一側壁６１４ａ、６１４ａに向けて押圧することにより、チャックテーブル５をテーブル基台４に取り付けるので、従来の加工テーブルのようにチャックテーブルにボルトの締付によって発生する応力が生ずることはない。また、チャックテーブル５をテーブル基台４に取り付ける際には、第１のバネ部材６４、６４および第２のバネ部材６５、６５を一対の係合ピン６３、６３と取付けボルト６２ａ、６２ａおよび６２ｂ、６２ｂに係止すればよいので、その取付け作業性を良好となる。なお、図示の実施形態においては、第２のバネ部材６５、６５はチャックテーブル５をテーブル基台４の上面に向けて押圧する力が作用するように構成されているので、第１のバネ部材６４、６４を省略してもよい。
【００２２】
【発明の効果】
本発明による加工テーブルは以上のように構成されているので、次の作用効果を奏する。
【００２３】
即ち、本発明によれば、チャックテーブルをテーブル基台に取り付けるためのチャックテーブル取付機構は、テーブル基台の外周に装着され上側が開放された係合凹部を備えた一対のブラケットと、チャックテーブルの外周に装着され一対のブラケットに設けられた係合凹部に嵌合する一対の係合ピンと、該一対の係合ピンに一端が係止されチャックテーブルをテーブル基台の上面に向けて押圧するとともに、一対の係合ピンを係合凹部の一側壁に向けて押圧する弾性付勢手段とを具備しているので、チャックテーブルをテーブル基台に取り付ける際に従来の加工テーブルのようにチャックテーブルにボルトの締付によって発生する応力が生ずることはない。また、チャックテーブルをテーブル基台に取り付ける際には、弾性付勢手段を一対の係合ピンに係止すればよいので、その取付け作業が簡単で作業性を良好となる。更に、チャックテーブルをテーブル基台から取り外す場合も従来のようにボルトを弛めて外す必要がないので、その取り外し作業が簡単となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従って構成された加工テーブルを装備した切削装置であるダイシング装置の斜視図。
【図２】本発明に従って構成された加工テーブルの斜視図。
【図３】図２におけるＡ−Ａ線断面図。
【図４】図２の加工テーブルを構成する各部材を分解して示す斜視図。
【図５】図２の加工テーブルのチャックテーブル取付機構を構成する弾性付勢手段の付勢力の方向を示す説明図。
【図６】従来用いられている加工テーブルの斜視図。
【図７】図６の加工テーブルを構成する各部材を分解して示す斜視図。
【符号の説明】
２：装置ハウジング
３：加工テーブルテーブル
４：テーブル基台
４１：嵌合凸部
４２：吸引通路
４３：ブラケット取付部
５：チャックテーブル
５１：吸着チャック部
５２：嵌合部
５３：連結部
５４：空間部
５５：位置決め部材
６：チャックテーブル取付機構
６１：ブラケット
６２ａ、６２ｂ：取付けボルト
６３：係合ピン
６４：第１のバネ部材
６５：第２のバネ部材
７：スピンドルユニット
８：撮像機構
９：表示手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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