(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
トラックを形成するための第一の潜像と、第二の潜像と、を単一のビームで原盤に形成する形成方法であって、以下のステップ１〜ステップ４を前記原盤が一回転する間に適宜繰り返すことを特徴とする形成方法。
（ステップ１）
前記原盤に前記ビームを照射して前記第一の潜像を形成する。
（ステップ２）
前記第一の潜像を形成中に原盤上の所定の第一位置に達すると、前記第一の潜像の形成に用いたビームを前記第二の潜像が形成されるべき原盤上の第二位置まで前記原盤の半径方向に偏向する。
（ステップ３）
このビームを原盤に照射しながら前記原盤の接線方向に偏向させて前記第二の潜像を形成する。
（ステップ４）
前記第二位置と異なる原盤上の所定の第三位置に達すると、前記ビームを、当該ビームを前記第一の潜像の形成位置から前記第二の潜像の形成位置へと偏向させた原盤上の位置まで偏向させる。
【請求項２】
前記第二の潜像の形成中に前記ビームを前記第二位置から前記第三位置まで偏向させることを特徴とする請求項１に記載の形成方法。
【請求項３】
前記第一位置は、前記第一の潜像の形成位置と前記第二の潜像の形成開始位置とが最も近い位置であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の形成方法。
【請求項４】
前記第三位置は前記第二の潜像の末端であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の形成方法。
【請求項５】
前記ステップ４において、前記ビームを偏向させて前記第一の潜像の形成を再開することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の形成方法。
【請求項６】
前記ステップ３において、前記第二の潜像の形成は前記ステップ１における前記第一の潜像の形成よりも速い速度で行うことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の形成方法。
【請求項７】
前記ステップ３において、前記第二の潜像の形成は、前記原盤の回転方向とは逆方向に前記ビームを偏向させながら行うことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の形成方法。
【請求項８】
前記第一の潜像及び第二の潜像は相互に隣接する円状に形成されることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の形成方法。
【請求項９】
以下のステップ５をさらに有することを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか一項に記載の形成方法。
（ステップ５）
前記第一の潜像の形成を再開した後の所定期間は、前記ビームを前記ステップ１において前記第一の潜像の形成をしていた時よりも速い速度で形成する。
【請求項１０】
トラックを形成するための第一の潜像と、第二の潜像と、を原盤上に単一のビームで形成する露光済み原盤の製造方法であって、以下のステップ１〜ステップ４を前記原盤が一回転する間に適宜繰り返すことを特徴とする製造方法。
（ステップ１）
前記原盤に前記ビームを照射して前記第一の潜像を形成する。
（ステップ２）
前記第一の潜像を形成中に原盤上の所定の第一位置に達すると、前記第一の潜像の形成に用いたビームを前記第二の潜像が形成されるべき原盤上の第二位置まで前記原盤の半径方向に偏向する。
（ステップ３）
このビームを原盤に照射しながら前記原盤の接線方向に偏向させて前記第二の潜像を形成する。
（ステップ４）
前記第二位置と異なる原盤上の所定の第三位置に達すると、前記ビームを、当該ビームを前記第一の潜像の形成位置から前記第二の潜像の形成位置へと偏向させた原盤上の位置まで偏向させる。
【請求項１１】
トラックを形成するための第一の潜像と、第二の潜像と、を原盤上に単一のビームで形成する露光済み原盤の製造方法であって、
第一の潜像を形成中に、第一偏向信号の受信に応じて、前記ビームを前記原盤の半径方向に偏向させ、前記第一偏向信号によって偏向された前記ビームを前記原盤の接線方向に偏向させることで第二の潜像を形成した後に、第二偏向信号の受信に応じて前記第一偏向信号による偏向とは前記原盤の半径方向において反対方向に、前記第一の潜像の形成位置から前記第二の潜像の形成位置へと偏向させた原盤上の位置まで前記ビームを偏向させることを特徴とする製造方法。
【請求項１２】
トラックを形成するための第一の潜像と、第二の潜像と、を原盤上に単一のビームで形成する露光済み原盤の製造装置であって、以下のステップ１〜ステップ４を前記原盤が一回転する間に適宜繰り返すことを特徴とする製造装置。
（ステップ１）
前記原盤に単一のビームを照射して前記第一の潜像を形成する。
（ステップ２）
前記第一の潜像を形成中に原盤上の所定の第一位置に達すると、前記第一の潜像の形成に用いたビームを前記第二の潜像が形成されるべき原盤上の第二位置まで前記原盤の半径方向に偏向する。
（ステップ３）
このビームを原盤に照射しながら前記原盤の接線方向に偏向させて前記第二の潜像を形成する。
（ステップ４）
前記第二位置と異なる原盤上の所定の第三位置に達すると、前記ビームを、当該ビームを前記第一の潜像の形成位置から前記第二の潜像の形成位置へと偏向させた原盤上の位置まで偏向させる。
【請求項１３】
前記ステップ３において、前記第二の潜像の形成は、前記原盤の回転方向とは逆方向に前記ビームを偏向させながら行うことを特徴とする請求項１２に記載の製造装置。
【請求項１４】
トラックを形成するための第一の潜像と、第二の潜像と、を原盤上に単一のビームで形成する露光済み原盤の製造装置であって、
原盤に前記ビームを照射させて前記第一の潜像を形成させる第一制御部と、
原盤上の所定の第一位置に達すると、前記第一の潜像の形成に用いた前記ビームを前記第二の潜像が形成されるべき原盤上の第二位置まで前記原盤の半径方向に偏向させる第二制御部と、
前記ビームを原盤に照射しながら前記原盤の接線方向に偏向させて前記第二の潜像の形成を行わせる第三制御部と、
前記第二位置と異なる前記原盤上の第三位置に達すると、前記ビームを、当該ビームを前記第一の潜像の形成位置から前記第二の潜像の形成位置へと偏向させた原盤上の位置まで偏向させる第四制御部と、
を備えることを特徴とする製造装置。
【請求項１５】
トラックを形成するための第一の潜像と、第二の潜像と、を原盤上に単一のビームで形成する露光済み原盤の製造装置であって、
第一の潜像を形成中に、第一偏向信号に受信に応じて、前記ビームを前記原盤の半径方向に偏向させ、前記第一偏向信号によって偏向された前記ビームを前記原盤の接線方向に偏向させることで第二の潜像を形成した後に、第二偏向信号の受信に応じて前記第一偏向信号による偏向とは前記原盤の半径方向において反対方向に、前記第一の潜像の形成位置から前記第二の潜像の形成位置へと偏向させた原盤上の位置まで前記ビームを偏向させることを特徴とする製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、原盤へ記録トラックおよびプリピットを記録する情報記録方法、および情報記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
データの記録可能な光学式記録媒体として、追記型のＤＶＤ−Ｒ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ−Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）や、書換可能型のＤＶＤ−ＲＷ（Ｄｉｇｉｔａｌ  ＶｅｒｓａｔｉｌｅＤｉｓｃ−ＲｅＷｒｉｔａｂｌｅ）などの光記録媒体がある。これら光記録媒体には、一般に、利用者が使用する情報を記録するための記録トラックと、光記録媒体の回転制御に用いられるウォブリング信号など回転制御情報やデータの記録時の位置検索などに必要なアドレス情報などを記録するためのプリピットと、が形成されており、この前記プリピットは、記録トラックの間に形成されている。
【０００３】
従来、このような光記録媒体を製造するために用いられる原盤へ上記記録トラックとプリピットとを記録する際には、レーザビームを用いた情報記録装置によってなされおり、記録トラックとプリピットのそれぞれを記録する場合には、レーザビームを２つに分割し、一方のレーザビームにより記録トラックを記録し、もう一方のレーザビームによりプリピットを記録していた。
【０００４】
ところで、近年、ＤＶＤを越え、より高密度化された記録媒体の研究開発が進められ、記録トラックのピッチの極細化が望まれている。
【０００５】
しかしながら、従来のレーザビームを用いた記録方法においては、レーザビームのスポット径がその波長と対物レンズの開口数ＮＡによって記録分解能が制限されてしまい、微細な記録トラックを記録することできなかった。
【０００６】
この問題を解決するために、現在においては、レーザビームよりもスポット径が小さく、記録分解能の向上を図ることが可能な電子ビームを用いた情報記録方法が検討されている（たとえば、特許文献１）。
【特許文献１】
特開平６−１３１７０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
［０００７］
しかしながら、電子ビームは２つに分割することが非常に困難であり、従って、記録トラックとプリピットの両方を記録する場合には、光記録媒体と電子ビームの一方または双方を頻繁に移動しなければならなかった。
［０００８］
本発明は、このような問題に鑑みなされたものであり、近年の光記録媒体の高密度化に対応可能な、新たな、原盤への情報記録方法、および情報記録装置を提供することを課題の一例とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための、請求項１に記載の発明は、トラックを形成するための第一の潜像と、第二の潜像と、を単一のビームで原盤に形成する形成方法であって、以下のステップ１〜ステップ４を前記原盤が一回転する間に適宜繰り返す。（ステップ１）前記原盤に前記ビームを照射して前記第一の潜像を形成する。（ステップ２）前記第一の潜像を形成中に原盤上の所定の第一位置に達すると、前記第一の潜像の形成に用いたビームを前記第二の潜像が形成されるべき原盤上の第二位置まで前記原盤の半径方向に偏向する。（ステップ３）このビームを原盤に照射しながら前記原盤の接線方向に偏向させて前記第二の潜像を形成する。（ステップ４）前記第二位置と異なる原盤上の所定の第三位置に達すると、前記ビームを、当該ビームを前記第一の潜像の形成位置から前記第二の潜像の形成位置へと偏向させた原盤上の位置まで偏向させる。
【００１０】
上記課題を解決するための、請求項１０に記載の発明は、トラックを形成するための第一の潜像と、第二の潜像と、を原盤上に単一のビームで形成する露光済み原盤の製造方法であって、以下のステップ１〜ステップ４を前記原盤が一回転する間に適宜繰り返す。（ステップ１）前記原盤に前記ビームを照射して前記第一の潜像を形成する。（ステップ２）前記第一の潜像を形成中に原盤上の所定の第一位置に達すると、前記第一の潜像の形成に用いたビームを前記第二の潜像が形成されるべき原盤上の第二位置まで前記原盤の半径方向に偏向する。（ステップ３）このビームを原盤に照射しながら前記原盤の接線方向に偏向させて前記第二の潜像を形成する。（ステップ４）前記第二位置と異なる原盤上の所定の第三位置に達すると、前記ビームを、当該ビームを前記第一の潜像の形成位置から前記第二の潜像の形成位置へと偏向させた原盤上の位置まで偏向させる。
【００１１】
上記課題を解決するための、請求項１１に記載の発明は、トラックを形成するための第一の潜像と、第二の潜像と、を原盤上に単一のビームで形成する露光済み原盤の製造方法であって、第一の潜像を形成中に、第一偏向信号の受信に応じて、前記ビームを前記原盤の半径方向に偏向させ、前記第一偏向信号によって偏向された前記ビームを前記原盤の接線方向に偏向させることで第二の潜像を形成した後に、第二偏向信号の受信に応じて前記第一偏向信号による偏向とは前記原盤の半径方向において反対方向に、前記第一の潜像の形成位置から前記第二の潜像の形成位置へと偏向させた原盤上の位置まで前記ビームを偏向させる。
上記課題を解決するための、請求項１２に記載の発明は、トラックを形成するための第一の潜像と、第二の潜像と、を原盤上に単一のビームで形成する露光済み原盤の製造装置であって、以下のステップ１〜ステップ４を前記原盤が一回転する間に適宜繰り返す。（ステップ１）前記原盤に単一のビームを照射して前記第一の潜像を形成する。（ステップ２）前記第一の潜像を形成中に原盤上の所定の第一位置に達すると、前記第一の潜像の形成に用いたビームを前記第二の潜像が形成されるべき原盤上の第二位置まで前記原盤の半径方向に偏向する。（ステップ３）このビームを原盤に照射しながら前記原盤の接線方向に偏向させて前記第二の潜像を形成する。（ステップ４）前記第二位置と異なる原盤上の所定の第三位置に達すると、前記ビームを、当該ビームを前記第一の潜像の形成位置から前記第二の潜像の形成位置へと偏向させた原盤上の位置まで偏向させる。
上記課題を解決するための、請求項１４に記載の発明は、トラックを形成するための第一の潜像と、第二の潜像と、を原盤上に単一のビームで形成する露光済み原盤の製造装置であって、原盤に前記ビームを照射させて前記第一の潜像を形成させる第一制御部と、原盤上の所定の第一位置に達すると、前記第一の潜像の形成に用いた前記ビームを前記第二の潜像が形成されるべき原盤上の第二位置まで前記原盤の半径方向に偏向させる第二制御部と、前記ビームを原盤に照射しながら前記原盤の接線方向に偏向させて前記第二の潜像の形成を行わせる第三制御部と、前記第二位置と異なる前記原盤上の第三位置に達すると、前記ビームを、当該ビームを前記第一の潜像の形成位置から前記第二の潜像の形成位置へと偏向させた原盤上の位置まで偏向させる第四制御部と、を備える。
上記課題を解決するための、請求項１５に記載の発明は、トラックを形成するための第一の潜像と、第二の潜像と、を原盤上に単一のビームで形成する露光済み原盤の製造装置であって、第一の潜像を形成中に、第一偏向信号に受信に応じて、前記ビームを前記原盤の半径方向に偏向させ、前記第一偏向信号によって偏向された前記ビームを前記原盤の接線方向に偏向させることで第二の潜像を形成した後に、第二偏向信号の受信に応じて前記第一偏向信号による偏向とは前記原盤の半径方向において反対方向に、前記第一の潜像の形成位置から前記第二の潜像の形成位置へと偏向させた原盤上の位置まで前記ビームを偏向させる。
【図面の簡単な説明】
［００１２］
【図１】本願の記録トラックとプリピットとを原盤に記録するの情報記録方法を説明するための説明図である。
【図２】本願の情報記録装置である電子ビームレコーダ１０の概略ブロック図である。
【図３】図２に示す情報記録装置において用いられる偏向信号を示す図である。
【符号の説明】
［００１３］
Ｔ１，Ｔ２…記録トラック
Ｐ１…プリピット
１０…電子ビームレコーダ
１５…原盤
１６…ターンテーブル
２５…コントローラ
３０…送り回転制御部
４０…電子ビームカラム部
４５…ビーム偏向電極
５５…ビーム偏向部
【発明を実施するための最良の形態】
［００１４］
以下に、本願の光記録媒体への情報記録方法、および情報記録装置について、図面を用いてさらに具体的に説明する。
［００１５］
本願の方法は、記録トラックと前記記録トラックの間に位置するプリピットとを原盤に記録する情報記録方法であって、前記記録トラックと、前記プリピットの記録処理を、単一のビームを適宜偏向せしめることにより行うことを特徴とする。
［００１６］
本願の方法によれば、記録トラックとプリピットの双方の記録をするにあたり、複数のビームを用いたり、ビームを２分割したりすることなく、単一のビームを用いて行うことができる。また、ビームを分割する必要がないので、電子ビームを使用することができ、その結果、光記録媒体の高密度化にも十分に対応することができる。
【００１７】
このような本願の方法の一例としては、以下に示す方法を挙げることができる。
【００１８】
（ステップ１）
原盤にビームを照射して記録トラックの記録を行う。
【００１９】
（ステップ２）
原盤上の所定の位置に達すると、前記記録トラックの記録に用いたビームをプリピットが記録されるべき原盤上まで偏向する。
【００２０】
（ステップ３）
このビームを原盤に照射してプリピットの記録を行う。
【００２１】
（ステップ４）
原盤上の所定の位置に達すると、ビームを記録トラックの記録からプリピットの記録へと偏向した位置まで、再度ビームを偏向する。
【００２２】
上記の各ステップを図１を用いて説明する。
【００２３】
図１は、本願の原盤への記録トラックとプリピットの記録方法を説明するための説明図である。
【００２４】
図１に示すように、ＤＶＤ−ＲＷのような書換可能型の光記録媒体を製造するために用いられる原盤の表面には、利用者が使用する情報を記録するための記録トラックＴ１、Ｔ２と、光記録媒体の回転制御に用いられるウォブリング信号など回転制御情報やデータの記録時の位置検索などに必要なアドレス情報などを記録するためのプリピットＰ１、を製造する必要がある。なお、図１に示すように、プリピットＰ１は、通常、記録トラックＴの間に形成されている。また、図１においては、記録トラック２本、プリピット１本のみが表されているが、通常はそれぞれ多数形成される。
【００２５】
このような記録トラックおよびプリピットを原盤に記録する方法として、本願の方法は、まずは、通常の方法で、原盤にビームを照射して記録トラックＴ１の記録を行う（ステップ１）。このステップは、従来の方法と同様であり、従来公知の方法を用いればよい。通常の場合、原盤を回転させて、ビーム自体は固定されている。また、ビームについても、本願の方法は特に限定することはなく、いかなるビームをも使用することができるが、本願の発明の利点を最大限に発揮させるためには、電子ビームを用いることが好ましい。
【００２６】
所定のスピードで記録トラックＴ１の記録していき、原盤上の所定の位置Ａに達すると、一旦記録トラックＴ１の記録を中止し（つまり、ビームをＯＦＦとし）、記録トラックの記録に用いたビームをプリピットＰ１が記録されるべき原盤上に偏向（いわゆるジャンプ）させる（ステップ２）。ここで、原盤上の所定の位置Ａについては、特に限定することはなく、予め任意に設定しておけばよいが、ビームの偏向距離を考慮すると、記録トラックＴ１上の記録位置とこれから記録すべきプリピットＰ１との距離が最も近い位置（図１でいうＡの位置）で偏向することが好ましい。図１に示すＡの位置で変更を行う場合、ビームは原盤の半径方向（図に示すＸ軸方向）に偏向することとなる。
【００２７】
また、本願の方法において、ビームを偏向する手段については、特に限定することはなく、従来公知の方法を用いることができる。具体的には静電気力を用いた偏向器や磁力を用いた偏向器などを用いることができる。
【００２８】
プリピットＰ１が記録されるべき位置（図１でいう位置Ｂ）にビームを偏向した後は、このビームを原盤上に照射して、原盤上の所定の位置Ｃに達するまでプリピットへの情報の記録を行う（ステップ３）。
【００２９】
ここで、原盤上の所定の位置Ｃについては、特に限定することはなく、予め任意に設定しておけばよいが、通常はプリピットの末端である。また、原盤上の所定の位置Ｃまでの記録方法であるが、記録トラックの記録方法と同様に、ビームを固定して原盤の回転によってプリピットの記録をしてもよいが、原盤上の所定の位置Ｃまで、さらにビームを偏向しても良い。このようにプリピットの記録をビームの偏向を用いて行うことにより、原盤の回転速度以上の速度で記録をすることができ、その結果、この後のステップによって、記録トラックＴ１の記録再開位置へすぐに戻ることができ好ましい。この場合のビームの偏向（つまり図１のＢ→Ｃ）は、前記ステップ２での偏向の方向とは異なり、原盤の接線方向（図に示すＹ軸方向、但しこのＹ軸方向は、原盤の回転方向と逆方向である）に偏向することとなる。例えば、原盤が速度ｖで回転している場合に、（回転方向とは逆向きの）接線方向に速度ｖで偏向して記録をすれば、実際には速度２ｖで記録をすることでき、通常の半分の時間でプリピットの記録を完了することができる。
【００３０】
所定のスピードでプリピットＰ１の記録をしていき、当該原盤上の所定の位置Ｃ（つまりプリピットの末端位置）に達すると、プリピットＰ１の記録を中止し（つまり、ビームをＯＦＦとし）、ビームを再度、記録トラックの記録からプリピットの記録へと偏向した位置、つまり図１にしめすＡ位置まで偏向（いわゆるジャンプ）させる（ステップ４）。
【００３１】
ここでの偏向も前記ステップ２での偏向と同様に行えばよい。
【００３２】
また、変更後は、ビームをＯＮとし、記録トラックＴ１の記録が再開される。この際、プリピットＰ１の記録をせず、そのまま記録トラックＴ１の記録をしていれば進んでいたであろう位置Ｄ（図１に示すＤ）までは前記ステップ３と同様に速度ｖで偏向することが好ましい。こうすることで、プリピットＰ１の記録をしていたために生じた記録トラックＴ１の記録の遅れを取り戻すことができる。
【００３３】
本願の方法は、上記のステップ１〜４を適宜繰り返すことにより、単一のビームのみで、記録トラックＴ１とプリピットＰ１の記録を行うことができる。
【００３４】
次に、本願の装置の一例を図面を用いて説明する。
【００３５】
図２は、本願の情報記録装置である電子ビームレコーダ１０の概略ブロック図である。
【００３６】
電子ビームは大気雰囲気中では著しく減衰する特性を有していることから、真空雰囲気中で電子ビーム露光がなされる。よって、電子ビームレコーダ１０は、光記録媒体の原盤１５を回転及び並進駆動する駆動機構などが真空雰囲気中で動作するようにそれらを収納する真空チャンバ１１を備えている。真空チャンバ１１の原盤主面の垂直上方には、電子ビームを射出する電子ビームカラム部４０が設けられている。電子ビームレコーダ１０は、真空チャンバ１１の外部の制御装置をも含む。
【００３７】
真空チャンバ１１には、真空ポンプ２８が接続されており、これによってチャンバ内を排気することによりチャンバ内部が所定圧力の真空雰囲気となるように設定されている。真空チャンバ１１は、エアーダンパなどの防振台（図示せず）を介してフロアに設置され、外部からの振動の伝達が抑制されている。原盤１５には例えばシリコン基板が用いられ、その主面上に電子ビーム用レジスト層が設けられている。
【００３８】
回転原盤を水平方向に並進駆動するとともに原盤に照射された電子ビームの軌跡によって、記録トラックやプリピットの微小凹凸パターンのための潜像がレジスト層に形成される。
【００３９】
＜回転駆動部及び相対移動駆動部＞
図２に示すように、真空チャンバ１１内において、原盤１５がターンテーブル１６上に載置され、これをスピンドルモータ１７によって回転駆動する。原盤１５はその主面中心の垂直軸に関して回転駆動される。スピンドルモータ１７は真空対応エアースピンドル構造の防磁モータを含む。スピンドルモータ１７は、スライダにより直線状に移動できる送りステージ（以下、単にステージという）１８に載置されている。
【００４０】
ステージ１８は、ＤＣモータによってネジ送りする送り機構１９に結合され、スピンドルモータ１７及びターンテーブル１６を原盤１５の主面と平行な水平方向面内にて移動可能に構成されている。スピンドルモータ１７及び送り機構１９は送り回転制御部３０に接続されている。送り回転制御部３０は、スピンドルモータ１７のエンコーダからの出力に基づいて、その回転のフィードバックサーボ制御をするとともに、レーザ測長器を用いた半径センサ２０からの測長データを利用して送り機構１９を駆動してステージ１８の速度のフィードバックサーボ制御をなす。送り回転制御部３０は、コントローラ２５から供給される所定のトラックピッチ及び測長データによって、スピンドルモータ１７の回転数と送り機構１９の送り距離とが一定となるように制御する。なお、半径センサ２０において、真空チャンバ１１側内壁には半径センサ２０のレーザ光源２０ａ及び光検出器２０ｃが設けられ、ステージ１８にはレーザ光源からのレーザ光を反射する反射鏡２０ｂが固定されている。
【００４１】
送り回転制御部３０は、原盤の位置データをコントローラ２５に出力する。コントローラ２５は同期クロックを発生するクロック同期回路を備え、送り回転制御部３０からの原盤の位置データの信号と、記録すべき記録トラックやプリピットに対応する変調信号と、を同期させ、かかる変調信号を後述のビーム変調部５２へ供給する。これにより、コントローラ２５及び送り回転制御部３０は、送り機構１９によって、回転原盤とともにステージ１８を、所定のピッチで進むように移動させる。
【００４２】
さらに、コントローラ２５は、電子ビーム偏向信号生成部２５ａを備えている。当該電子ビーム偏向信号生成部２５ａは、半径偏向信号Ｘ（ｔ）及び接線偏向信号Ｙ（ｔ）をそれぞれ生成し、コントローラ２５に出力する。コントローラ２５は、位置データの信号及び変調信号に、前記電子ビーム偏向信号を同期させ、かかる電子ビーム偏向信号を後述のビーム偏向部５５へ出力する。
【００４３】
＜露光ビーム射出部＞
電子ビームカラム部４０近傍の真空チャンバ１１の内壁にはレーザ光源２２及び光検出器２３からなるフォーカスセンサが原盤へのレーザ光入射面内に設けられ、原盤１５の主面の高さを光学的に検出する。光検出器２３は受光信号を高さ検出部２４に供給する。高さ検出部２４は受光信号に基づいて原盤１５の主面の高さデータを検出して、フォーカシング部５６へ送る。
【００４４】
真空チャンバ１１上の電子ビームカラム部４０内には、上方から、電子銃４１、収束レンズ４２、ブランキング電極４３、オンオフ制御アパーチャ４４、ビーム偏向電極４５、フォーカス調整レンズ４６、及び対物レンズ４７がこの順で配置されている。電子ビームカラム部４０の先端に設けられた電子ビーム射出口４９は原盤１５に向けられ、電子銃４１から放出された電子ビームがオンオフ制御用のアパーチャ４４の開口部を通過したとき、対物レンズ４７によって電子ビームが収束され原盤主面に入射し、その上に微細な電子ビームスポットを形成するように構成される。
【００４５】
電子銃４１は、加速高圧電源５１からの数１０ＫｅＶの高電圧により加速された電子ビームを射出する。収束レンズ４２は、射出された電子ビームを収束してアパーチャ４４へと導く。ブランキング電極４３はビーム変調部５２により制御され、コントローラ２５からの変調信号に基づき電子ビームの強度変調（オンオフ制御）を行う。すなわち、ビーム変調部５２は変調信号をブランキング電極４３に供給してブランキング電極４３間に電圧を印加し、通過する電子ビームを大きく偏向させる。これにより、電子ビームのアパーチャ４４への通過を阻止してオフ状態とし、通過させてオン状態とする。
【００４６】
ビーム偏向電極４５は互いに直交する対向配置された電極からなり、通過電子ビームを原盤主面に平行な面において原盤の直径に平行な軸とこれに直交する軸との２方向（Ｘ，Ｙ）に独立して偏向可能に設けられている。ビーム偏向電極４５の２軸電極は、それぞれビーム偏向部５５からの半径偏向信号Ｘ（ｔ）及び接線偏向信号Ｙ（ｔ）により制御され、通過電子ビームをそれぞれの軸方向に偏向させる。ビーム偏向部５５は、コントローラ２５からの電子ビーム偏向信号に基づき偏向信号Ｘ（ｔ），Ｙ（ｔ）を生成し、これらによりビーム偏向電極４５によって、たとえば半径偏向信号に応じて通過電子ビームを偏向し、そのスポットを原盤の１回転当たり１トラックピッチの割合で原盤半径上で移動させる。さらに、ビーム偏向部５５は、半径センサ２０からの測長データ及びスピンドルモータ１７のエンコーダからの回転数データに基づいて残留誤差成分を補正して偏向信号Ｘ（ｔ），Ｙ（ｔ）を生成しており、原盤１５主面上における電子ビームスポットの位置制御をも行う。このように射出制御部のビーム変調部５２は、記録すべきデータに応じて露光ビームの強度を変調する指令を露光ビーム射出部のビーム偏向電極４５に供給する。
【００４７】
本願の発明において使用される電子ビーム偏向信号の一例を図３に示す。
【００４８】
フォーカス調整レンズ４６は、フォーカシング部５６により制御され、フォーカシング部５６は高さ検出部２４からの検出信号に基づいて、対物レンズ４７によって原盤１５の主面に収束される電子ビームスポットのフォーカス調整を行う。なお、加速高圧電源５１及びフォーカシング部５６もコントローラ２５からの制御信号に基づいて動作する。
【００４９】
ビーム偏向部５５は、図３に示したような偏向信号をビーム偏向電極４５に供給して、図１で説明したように適宜電子ビームを偏向する。
【００５０】
図２に示す送り回転制御部３０は、送り機構１９に、原盤の１回転当たりトラックピッチだけ移動させる指令を供給する。同時に、ビーム偏向部５５は、原盤の回転とビーム偏向量との関係を満たすように、記録トラックとプリピットの距離だけ逐次移動させるための指令をビーム偏向電極４５に供給する。また、記録トラックとプリピットの間をビームがジャンプ時には、ビーム強度をゼロとするように、ビーム変調部５２は、ブランキング指令をビーム偏向電極４５に供給する。
【００５１】
かかる一連の変調ビームスポットの偏向動作にしたがって、原盤のレジスト層には、図１に示すような軌跡で記録トラックおよびプリピットが記録され、情報記録工程が完了する。
【００５２】
本願は、記録トラックと前記記録トラックの間に位置するプリピットとを原盤に記録することに限定されているが、本願の発明を応用することにより、情報を再生する際にも同様の技術を用いることも可能である。
【００５３】
また、本願の発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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