(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク吐出面に形成されたインク吐出口に連通した複数の圧力室が平面に沿って配列された流路ユニットと、
前記圧力室に対向する位置に配置された複数の個別電極を含み、前記流路ユニットの前記インク吐出面に平行な支持面に支持されて、前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、
前記圧力室の容積を変化させるための駆動信号を前記複数の個別電極に供給する複数の配線を有し、前記配線が対応する個別電極にそれぞれ電気的に接続された平型柔軟ケーブルと、
前記平型柔軟ケーブルの前記アクチュエータユニットと対向する部分を被覆する被覆部材とを備えており、
前記被覆部材には、前記インク吐出面と直交する方向に関して、平面視で前記アクチュエータユニットと対向し且つ前記アクチュエータユニット上の前記平型柔軟ケーブルから離隔した離隔領域、前記離隔領域から前記支持面に向かって突出し且つ前記支持面に固定された固定領域、及び、前記離隔領域から前記支持面に向かって突出し且つ前記アクチュエータユニットから前記配線の延在方向に沿って引き出された前記平型柔軟ケーブルの引出部分と対向した突出領域が形成されており、
前記インク吐出面と直交する方向に関して、
前記突出領域は、前記離隔領域からの距離が前記固定領域以上の頭頂部を有し、前記支持面には前記頭頂部と対向した凹部が形成されており、平面視において、前記平型柔軟ケーブルの引き出し方向に関する前記頭頂部の両端が前記凹部の開口に内包されているとともに、前記頭頂部が前記凹部の内面から離隔しており、
前記平型柔軟ケーブルの引出部分が、前記凹部内を通過して引き出されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記引出部分の引き出し方向と直交する方向に関する両端部が、前記頭頂部とそれぞれ対向するように、前記被覆部材に一又は複数の前記突出領域が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記突出領域及び前記凹部が、平面視において前記引出部分を横切っており、
前記引出部分が、その全幅にわたって、前記凹部内を通過して引き出されていることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記支持面に一又は複数の前記アクチュエータユニットが支持されていると共に、これら一又は複数の前記アクチュエータユニットのそれぞれに前記平型柔軟ケーブルが接続されており、
前記被覆部材が、一又は複数の前記アクチュエータユニット及び一又は複数の前記平型柔軟ケーブルを被覆しており、
前記被覆部材には、前記突出領域が当該アクチュエータユニットに係る前記固定領域又は隣接する前記アクチュエータユニットに係る前記固定領域と連続することで一又は複数の前記離隔領域を取り囲む環状突起が形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記突出領域が、前記引出部分と共に前記凹部内に入り込んでいることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記突出領域の前記頭頂部が、前記インク吐出面と直交する方向に関して前記支持面と同じレベルにあることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録媒体にインクを吐出するインクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、インク流路が形成された流路ユニットと、流路ユニットの上面に接着された複数のアクチュエータユニットとを含んだヘッド本体を有するインクジェットヘッドが開示されている。このインクジェットヘッドにおいて、流路ユニットには、アクチュエータユニットで被覆されていない領域であって流路ユニットの副走査方向の端部に接着剤が塗布されている。アクチュエータユニットの上面には、複数の個別電極が配置されており、フレキシブルフラットケーブル（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）の複数の信号線とそれぞれ電気的に接続されている。ＦＰＣは、接着剤によって流路ユニット４と固定されている。そして、流路ユニット４の上面であって接着剤とアクチュエータユニットとの間には、接着剤がアクチュエータユニットに流れるのを防ぐ凹部又は突起が形成されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−５９３３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいては、流路ユニット４の副走査方向の端部に塗布された接着剤が、ＦＰＣの流路ユニットと対向する面を部分的に接着している。そのため、ＦＰＣの基端側に引っ張り力が作用すると、ＦＰＣと流路ユニットとの接着部分にＦＰＣを流路ユニットから引き剥がそうとする力が作用する。このとき、接着剤の接着力を超える力が作用すると、ＦＰＣが流路ユニットから剥がれてしまい、さらには、信号線と個別電極との接続箇所にもその力が及ぶ。このように、信号線と個別電極との接続箇所に及ぶ力は、ＦＰＣとアクチュエータユニットとが離れる方向に作用するため、信号線と個別電極との電気的接続が容易に切断されてしまう。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、配線と個別電極との接続が外れにくくするインクジェットヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のインクジェットヘッドは、インク吐出面に形成されたインク吐出口に連通した複数の圧力室が平面に沿って配列された流路ユニットと、前記圧力室に対向する位置に配置された複数の個別電極を含み、前記流路ユニットの前記インク吐出面に平行な支持面に支持されて、前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、前記圧力室の容積を変化させるための駆動信号を前記複数の個別電極に供給する複数の配線を有し、前記配線が対応する個別電極にそれぞれ電気的に接続された平型柔軟ケーブルと、前記平型柔軟ケーブルの前記アクチュエータユニットと対向する部分を被覆する被覆部材とを備えている。そして、前記被覆部材には、前記インク吐出面と直交する方向に関して、平面視で前記アクチュエータユニットと対向し且つ前記アクチュエータユニット上の前記平型柔軟ケーブルから離隔した離隔領域、前記離隔領域から前記支持面に向かって突出し且つ前記支持面に固定された固定領域、及び、前記離隔領域から前記支持面に向かって突出し且つ前記アクチュエータユニットから前記配線の延在方向に沿って引き出された前記平型柔軟ケーブルの引出部分と対向した突出領域が形成されており、前記インク吐出面と直交する方向に関して、前記突出領域は、前記離隔領域からの距離が前記固定領域以上の頭頂部を有し、前記支持面には前記頭頂部と対向した凹部が形成されており、平面視において、前記平型柔軟ケーブルの引き出し方向に関する前記頭頂部の両端が前記凹部の開口に内包されているとともに、前記頭頂部が前記凹部の内面から離隔しており、前記平型柔軟ケーブルの引出部分が、前記凹部内を通過して引き出されている。
【０００７】
これによると、アクチュエータユニットから引き出された平型柔軟ケーブルの引出部分が、突出領域の頭頂部と凹部の内面との間であって凹部内を通過している。そのため、平型柔軟ケーブルを引っ張る方向の外力が平型柔軟ケーブルに加わっても、引出部分が支持面に近づく方向に引っ張られ、平型柔軟ケーブルにおいてアクチュエータユニットと対向する部分がインク吐出面と直交する方向に関してアクチュエータユニットから離れる方向に力が作用しにくくなる。したがって、配線と個別電極との接続が外れにくくなる。
【０００８】
本発明において、前記引出部分の引き出し方向と直交する方向に関する両端部が、前記頭頂部とそれぞれ対向するように、前記被覆部材に一又は複数の前記突出領域が形成されていることが好ましい。これにより、平型柔軟ケーブルを引っ張る方向の外力が平型柔軟ケーブルに加わっても、引出部分の引き出し方向と直交する方向に関する両端部が支持面に近づく方向に引っ張られる。そのため、平型柔軟ケーブルのアクチュエータユニットと対向する部分において、引出部分の引き出し方向と直交する方向の両端部にインク吐出面と直交する方向に関してアクチュエータユニットから離れる方向に力が作用しない。したがって、配線と個別電極との接続が外側から内側に向かって外れていくのを抑制することができる。
【０００９】
また、このとき、前記突出領域及び前記凹部が、平面視において前記引出部分を横切っており、前記引出部分が、その全幅にわたって、前記凹部内を通過して引き出されていてもよい。これにより、引出部分が全幅にわたって凹部内を通過しているので、平型柔軟ケーブルを引っ張る方向の外力が平型柔軟ケーブルに加わっても、引出部分が全幅にわたって均等に支持面に近づく方向に引っ張られる。そのため、配線と個別電極との接続がより一層外れにくくなる。
【００１０】
また、本発明において、前記支持面に一又は複数の前記アクチュエータユニットが支持されていると共に、これら一又は複数の前記アクチュエータユニットのそれぞれに前記平型柔軟ケーブルが接続されており、前記被覆部材が、一又は複数の前記アクチュエータユニット及び一又は複数の前記平型柔軟ケーブルを被覆しており、前記被覆部材には、前記突出領域が当該アクチュエータユニットに係る前記固定領域又は隣接する前記アクチュエータユニットに係る前記固定領域と連続することで一又は複数の前記離隔領域を取り囲む環状突起が形成されていることが好ましい。これにより、突出領域と固定領域とが連続する環状突起が形成されていることで、突出領域と固定領域とを個別に作製する必要がなくなり、突出領域及び固定領域の形成が容易になる。
【００１１】
また、本発明において、前記突出領域が、前記引出部分と共に前記凹部内に入り込んでいることが好ましい。これにより、平型柔軟ケーブルを引っ張る方向の外力が平型柔軟ケーブルに加わったとき、引出部分が支持面により近づく方向に引っ張られる。そのため、配線と個別電極とがより一層外れにくくなる。
【００１２】
また、本発明において、前記突出領域の前記頭頂部が、前記インク吐出面と直交する方向に関して前記支持面と同じレベルにあることが好ましい。これにより、離隔領域から突出領域及び固定領域の距離が同じになるので、それぞれの離隔領域からの距離を調整する必要がなくなる。そのため、突出領域及び固定領域の形成がより容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１４】
図１は、本発明の第１実施形態によるインクジェットヘッド１の概略斜視図である。インクジェットヘッド１は、図１に示すように、主走査方向（長手方向）に長尺な形状を有している。インクジェットヘッド１は、ヘッド本体２と、ヘッド本体２にインクを供給するリザーバユニット３とを有している。リザーバユニット３は、流路構成部材１１及び３枚のプレート１２〜１４を有している。流路構成部材１１、プレート１２〜１４及びヘッド本体２は、平面視において、いずれも長方形形状を有しており、その長辺が主走査方向に平行となっている。これら流路構成部材１１、プレート１２〜１４及びヘッド本体２は、上方から下方へと順に積層されている。
【００１５】
インクジェットヘッド１は、ヘッドカバー１５０を有している。ヘッドカバー１５０は、下方に開口した略箱形状を有している。ヘッドカバー１５０は、プレート１２の上面に設けられた流路構成部材１１等の部品を覆うように、プレート１２上に設置されている。ヘッドカバー１５０の上面には貫通孔が形成されており、その貫通孔からインク供給弁１６０の上部が上面から突出して配置されている。そして、インク供給弁１６０を通じてリザーバユニット３の内部に形成されたインク流路３４（後述する）にインクが供給される。
【００１６】
ヘッドカバー１５０の副走査方向（短手方向）に関して互いに対向する側面には、開口１５１が形成されている。開口１５１は、ヘッドカバー１５０の上下方向に沿って側面の下端から側面の中央近傍に亘って、ヘッドカバー１５０の側面が欠けている部分である。開口１５１は長方形形状を有しており、その長辺は主走査方向に平行である。また、開口１５１の短辺は上下方向に平行である。インクジェットヘッド１の側面において、ヘッドカバー１５０の内部にはヒートシンク１７０（後述する）が設けられている。本実施形態においては、ヒートシンク１７０に形成された平坦突出部１７１が開口１５１を介してヘッドカバー１５０から露出している。なお、インクジェットヘッド１は、ヘッドカバー１５０、ヒートシンク１７０、プレート１２及びヘッド本体２で囲まれた空間が密閉空間となるように、各部材間の隙間がシール材（図示せず）によって埋められている。
【００１７】
インクジェットヘッド１は、インクジェットプリンタ等のインクジェット方式を用いるあらゆる文字・画像記録装置に適用される。例えば、インクジェットヘッド１がインクジェットプリンタに適用される場合には、インクジェットヘッド１の平面視において長手方向が主走査方向に、短手方向が副走査方向にそれぞれ沿うように配置される。そして、ヘッド本体２の下面に形成されたノズル（インク吐出口）１０８（後述する）に対向する位置に用紙が搬送されると、ノズル１０８からインクが吐出され、用紙に文字、画像が形成される。インクジェットヘッド１に使用されるインクは、例えばインクジェットプリンタに設けられたインクカートリッジから、インク供給弁１６０に接続されたインクチューブ（図示せず）を介して供給される。
【００１８】
図２は、ヘッドカバー１５０及びヒートシンク１７０が取り外された状態におけるインクジェットヘッド１の斜視図である。図３は、図１に示すIII−III線に沿った断面図である。図２及び図３に示すように、リザーバユニット３の上方には、基板４が固定されている。基板４の上面には、４つのコネクタ５ａと４つのコンデンサ５ｂとが実装されている。４つのコネクタ５ａは、主走査方向に沿って千鳥状に配置されている。
【００１９】
ヘッド本体２は、図３に示すように、流路ユニット９、及び、流路ユニット９の上面（支持面）９ａに支持された４つのアクチュエータユニット２１を含む。アクチュエータユニット２１は、圧力室１１０（後述する）に対向して設けられた複数のアクチュエータを含み、流路ユニット９に形成された圧力室１１０内のインクに吐出エネルギーを付与する機能を有する。
【００２０】
４つのアクチュエータユニット２１の上面には、給電部材であるＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）６がそれぞれ貼り付けられている。ＦＰＣ６は、図３に示すように、アクチュエータユニット２１とリザーバユニット３との間から図中右方に引き出された後、リザーバユニット３とヒートシンク１７０との間を上方に引き出されている。そして、ＦＰＣ６は、一端においてアクチュエータユニット２１と電気的に接続され、他端においてコネクタ５ａと接続されている。ＦＰＣ６には、図２に示すように、複数の配線６ａがＦＰＣ６の延在方向に沿って配設されている。また、ＦＰＣ６には、アクチュエータユニット２１から基板４に至る途中でドライバＩＣ７が実装されている。つまり、ＦＰＣ６は、基板４とドライバＩＣ７、及び、ドライバＩＣ７とアクチュエータユニット２１を配線６ａによって電気的に接続しており、基板４から出力された画像信号をドライバＩＣ７に伝達し、ドライバＩＣ７から出力された駆動信号を各アクチュエータユニット２１の複数のアクチュエータに選択的に供給する。
【００２１】
ドライバＩＣ７は、図３に示すように、ヒートシンク１７０と対向する位置において、流路構成部材１１の側面に設けられた弾性部材１６１によってＦＰＣ６とともにヒートシンク１７０に対して付勢されている。こうして、ドライバＩＣ７とヒートシンク１７０とが当接し、発熱したドライバＩＣ７からの熱をヒートシンク１７０が外部に放熱し、ドライバＩＣ７を冷却する。
【００２２】
ヒートシンク１７０は、図３に示すように、流路ユニット９の副走査方向に関する両端において、リザーバユニット３を挟むように且つ上面９ａから突出するようにそれぞれ立設されている。これら２枚のヒートシンク１７０は、例えば、アルミニウム金属からなり、主走査方向に長手方向を有した略長方形形状となっている。
【００２３】
ヒートシンク１７０には、平坦突出部１７１及び突起部１７２が形成されている。平坦突出部１７１は、ヒートシンク１７０の流路構成部材１１の側面と対向する部分に形成されており、開口１５１から外部に向かって突出している。平坦突出部１７１の開口１５１から突出している部分、すなわち先端は平坦であって主走査方向に長手方向を有する長方形形状となっている。この平坦突出部１７１は、例えば、金属製の平板にプレス加工が施されることによって形成される。このように、ヒートシンク１７０に平坦突出部１７１が形成されていることで、ヒートシンク１７０の剛性が高められる。
【００２４】
突起部１７２は、ヒートシンク１７０の下端から下方へと突出しており、主走査方向に沿って５つ形成されている。ここで、流路ユニット９の上面９ａの幅は、リザーバユニット３の幅よりも大きい。そして、リザーバユニット３は、流路ユニット９の副走査方向について中央に配置されている。したがって、流路ユニット９の副走査方向について両端近傍には、リザーバユニット３の下面と対向しない領域が存在する。これらの各領域には、５つの凹部９ｂが形成されている（図８参照）。これら凹部９ｂは、ヒートシンク１７１に形成された５つの突起部１７２に対応する位置に形成されている。また、凹部９ｂは、ヒートシンク１７０の突起部１７２とちょうど嵌まり合うような大きさ及び形状に形成されている。これらの凹部９ｂに突起部１７２が嵌め込まれることで、ヒートシンク１７０が流路ユニット９から立設されている。
【００２５】
図４は、主走査方向及び上下方向の両方向に沿った断面を示すリザーバユニット３の縦断面図である。図５は、図２に示すリザーバユニットの分解平面図である。図６は、図４に示す流路構成部材を斜め下方から見たときの斜視図である。図７は、図４に示す流路構成部材を斜め上方から見たときの斜視図である。なお、図２では説明の都合上、鉛直方向の縮尺を拡大し、且つ、同一線に沿った断面では通常描かれないリザーバユニット３内のインク流路をも適宜に示している。また、図５（ａ）、（ｂ）はリザーバユニット３の一部を構成する流路構成部材１１であって、（ａ）は上方から見た図であり、（ｂ）は下方から見た図である。また、図５〜図７には、流路構成部材１１の構造を分かり易くするために、後述するフィルム４１，４２及びフィルタ３７を省略して描いている。
【００２６】
リザーバユニット３は、インクを一時的に貯溜し且つヘッド本体２に含まれる流路ユニット９にインクを供給するものである。リザーバユニット３は、図４及び図５（ａ）〜（ｅ）に示すように、主走査方向に長尺な流路構成部材１１と、主走査方向に長尺な矩形状の平面を有する３枚のプレート１２〜１４とが積層された積層構造を有している。これらのうち３枚のプレート１２〜１４が、例えば、ステンレス鋼等の金属プレートである。
【００２７】
最上層の流路構成部材１１は、例えば、ポリアセタール樹脂やポリプロピレン樹脂のような合成樹脂から形成されており、図４及び図５（ａ）に示すように、流路構成部材１１の長手方向一端近傍にインク流入孔３１、長手方向中央近傍に連通口３２及び連通孔３３が形成されている。
【００２８】
流路構成部材１１の表面１１ａには、インク流入孔３１の入口３１ａの周囲近傍から入口３１ａを取り囲みつつ上方に向かって突出した筒状のジョイント部３０が形成されている。ジョイント部３０には、インク供給弁１６０の下端部が接続される。こうして、インク供給弁１６０からのインクがジョイント部３０を介してインク流入孔３１に供給される。
【００２９】
また、表面１１ａには、表面１１ａから上方に突出した複数のリブ２８ａ，２８ｂが形成されている。リブ２８ａは主走査方向に延在しており、リブ２８ｂは副走査方向に延在しており、互いに連続して一体化している。また、流路構成部材１１にこれらリブ２８ａ，２８ｂが形成されていることで、流路構成部材１１の剛性が高められている。
【００３０】
流路構成部材１１の裏面１１ｂには、図５（ｂ）及び図６に示すように、インク流入孔３１及び連通口３２を取り囲みつつ裏面１１ｂから下方に突出した環状突起３５が形成されている。環状突起３５は、プレート１２側に開口している。環状突起３５の平面形状は、インク流入孔３１から連通口３２まで主走査方向に延在しており、環状突起３５の中央近傍部分が流路構成部材１１の副走査方向の両端まで幅が拡大した略楕円形状となっている。
【００３１】
また、環状突起３５の突出方向の端部には、図６に示すように、先細り形状のテーパ部３５ａが形成されている。テーパ部３５ａは、フィルム４１越しに加熱されることで溶融し、フィルム４１と溶着される。なお、図５（ｂ）中に左側のハッチングで示す領域がフィルム４１と溶着される領域である。こうして、環状突起３５の略楕円形状の開口３５ｂが封止される。このとき、テーパ部３５ａは先細り形状となっているので、先端を加熱すると容易に溶融する。そのため、フィルム４１越しに環状突起３５の先端を加熱してフィルム４１を容易に溶着させることができる。つまり、環状突起３５の先端の平面度に誤差が生じていても、容易にその誤差を吸収することができる。加えて、テーパ部３５ａ以外の環状突起３５が溶融されるのを防ぐことができる。また、環状突起３５の先端に開口３５ｂが形成されているので、フィルム４１を流路構成部材１１に溶着しやすくなる。
【００３２】
また、裏面１１ｂの環状突起３５の内側領域には、凹部３６が形成されている。凹部３６は、図５（ｂ）に示すように、環状突起３５のインク流入孔３１から主走査方向に延在して副走査方向に拡大し始める部分から連通口３２まで延在している。また、凹部３６の平面形状は、環状突起３５の副走査方向に拡大し始める部分から連通口３２に至るまでの形状よりも一回り小さく、環状突起３５の相似形状となっている。
【００３３】
裏面１１ｂには、図４に示すように、インクが通過する微小径の孔が複数形成されたフィルタ３７が凹部３６を覆うように配置されている。フィルタ３７は、凹部３６の周縁近傍に固定されており、平面視において環状突起３５に取り囲まれている。すなわち、フィルタ３７は平面視において開口３５ｂに包含されている。これにより、開口３５ｂがフィルム４１で封止される前に、開口３５ｂを介してフィルタ３７を凹部３６の周縁近傍に固定しやすくなる。
【００３４】
また、裏面１１ｂにも、上述した複数のリブ２８ａ，２８ｂと同様なリブ２９ａ，２９ｂが形成されている。そして、これらリブ２９ａ，２９ｂによって、流路構成部材１１の剛性がさらに高められている。なお、凹部３６の底部３６ａは、図７に示すように、表面１１ａから上方に向かって突出している。
【００３５】
また、表面１１ａには、図５（ａ）及び図７に示すように、連通口３２及び連通孔３３を取り囲みつつ表面１１ａから突出した環状突起３８が形成されている。環状突起３８のインク流入孔３１側の端部は、凹部３６の底部３６ａと一体化している。環状突起３８の平面形状は、主走査方向に沿って延在した略楕円形状となっている。
【００３６】
また、環状突起３８の突出方向の端部にも、図７に示すように、環状突起３５と同様のテーパ部３８ａが形成されている。テーパ部３８ａは、フィルム４２越しに加熱されることで溶融し、フィルム４２と溶着される。なお、図５（ａ）中の流路構成部材１１の中央近傍にハッチングで示す領域がフィルム４２と溶着される領域である。こうして、環状領域３８の略楕円形状の開口３８ｂが封止される。このとき、環状突起３５の場合と同様に、テーパ部３８ａは先細り形状となっているので、先端を加熱すると容易に溶融する。
【００３７】
また、流路構成部材１１の副走査方向の両端であって外周側面には、図５（ａ）及び図７に示すように、リブ２８ａよりも上方に突出した引っ掛け爪２６がそれぞれ２つずつ形成されている。これら引っ掛け爪２６は、流路構成部材１１上に基板４が配置されたときに、基板４の上面を押さえて保持するものである。
【００３８】
また、表面１１ａには、ジョイント部３０近傍に形成された突起２７ａと、流路構成部材１１のジョイント部３０とは反対側の端部近傍に形成された２つの突起２７ｂ，２７ｃとが形成されている。これら突起２７ａ〜２７ｃは、基板４が流路構成部材１１上に配置されたときに、基板４に形成された貫通孔に嵌合する。つまり、突起２７ａ〜２７ｃは流路構成部材１１と基板４とを位置合わせするためのものである。
【００３９】
このように流路構成部材１１には、開口３５ｂを封止するフィルム４１及び開口３８ｂを封止するフィルム４２によってインク流入孔３１の入口３１ａから連通孔３３の出口３３ａに至るインク流路３４が形成されている。インク流路３４は、図４に示すように、入口３１ａから下方に延在し、そこからフィルタ３７と対向する領域まで延在している。つまり、インク流入孔３１は、フィルム４１からフィルタ３７に向かって延びた流路と連通している。そして、フィルタ３７を介して連通口３２を通過しフィルム４２と対向する領域に連通し、連通孔３３の出口３３ａに至る。こうして、インクがインク流入孔３１の入口３１ａからインク流路３４内に流通し、連通孔３３の出口３３ａから流出する。
【００４０】
出口３３ａの周囲には、下方に向かって開口する環状溝４３が形成されている。環状溝４３内には、図４に示すように、Ｏリング４４が嵌め込まれている。また、流路構成部材１１には、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、表面１１ａから裏面１１ｂまで貫通した４つの貫通孔４５〜４８が形成されている。貫通孔４５は流路構成部材１１のインク流入孔３１側の端部に形成されており、貫通孔４６は貫通孔４５に隣接した位置に形成されている。そして、貫通孔４７，４８は、連通孔３３に隣接した位置に形成されている。
【００４１】
また、環状突起３８の開口３８ｂは、環状突起３５の開口３５ｂよりもその開口面積が小さくなっている。つまり、開口３８ｂを封止するフィルム４２は、開口３５ｂを封止するフィルム４１よりも小さい平面積を有している。ここで、フィルム４１，４２について詳述する。フィルム４１及びフィルム４２は、可撓性を有しつつ優れたガスバリア性を有する材質（例えば、シリカ膜（ＳｉＯｘ膜）やアルミ膜が蒸着されたＰＥＴ（ポリエチレン・テレフタレート）フィルム）から構成されており、インクジェットヘッド１の外側の気体がフィルム４１，４２を介して流路構成部材１１のインク流路３４内にほとんど侵入することができないようになっている。また、フィルム４１の下方には、平板状のプレート１２が存在するので、フィルム４１はほとんど撓むことがない。しかしながら、フィルム４１はインク流路３４側には撓むことが可能なため、インク流路３４内に伝わった振動を減衰する。なお、フィルム４２は、その平面積が小さいため、インク流路３４内のインクに所定圧力が生じてもほとんど撓まない。
【００４２】
上から二番目のプレート１２には、図４及び図５（ｃ）に示すように、主走査方向の両端部にそれぞれ貫通孔５１，５２が形成されている。これら貫通孔５１，５２は、ネジによってプリンタ本体にインクジェットヘッド１を固定するときに使用されるものである。また、プレート１２には、中央に貫通孔５３が形成されており、貫通孔５１，５２からやや中央よりに位置決め孔５４，５５が形成されている。
【００４３】
また、プレート１２には、４つのネジ穴５６〜５９が形成されている。ネジ穴５６，５７は、プレート１２の中央部に形成されており、ネジ穴５８，５９はプレート１２の図５（ｃ）中左側端部近傍に形成されている。４つのネジ穴５６〜５９は、上述した４つの貫通孔４５〜４８に対応して形成されており、貫通孔４５〜４８にネジが通され、それらネジをプレート１２の４つのネジ穴５６〜５９にねじ込むことで流路構成部材１１とプレート１２とが固定される。このとき、プレート１２の貫通孔５３と連通孔３３とが対向し貫通孔５３とインク流路３４とが連通する。つまり、貫通孔５３がプレート１２におけるインク流路６０となり、プレート１２の内部に形成されている。出口３３ｂを囲む環状溝４３内には、Ｏリング４４が嵌め込まれているので、出口３３ｂから流路構成部材１１とプレート１２との間にインクが漏れ出さない。また、貫通孔４６を通すネジ２５は、図２に示すように、基板４に形成された貫通孔４６に対応する貫通孔にも通されており、基板４と流路構成部材１１とを固定するとともに、流路構成部材１１とプレート１２とを固定している。
【００４４】
また、プレート１２の主走査方向に沿う両端には、図５（ｃ）に示すように、プレート１２の副走査方向の幅が減じられるような凹部１２ａ，１２ｂが形成されている。これら凹部１２ａ，１２ｂの底面間の距離（プレート１２の凹部１２ａ，１２ｂが形成された領域における副走査方向の幅）が、流路構成部材１１の副走査方向の幅とほぼ同じになっている。つまり、プレート１２の主走査方向に関する両端近傍は、流路構成部材１１の幅よりも若干大きい幅を有している。また、凹部１２ａ，１２ｂには、ヒートシンク１７０が配置される領域となっており、凹部１２ａ，１２ｂの主走査方向の長さが、ちょうどヒートシンク１７０の主走査方向の長さに等しい、あるいは、若干大きくなっている。
【００４５】
上から三番目のプレート１３には、図４及び図５（ｄ）に示すように、貫通孔８１が形成されている。貫通孔８１は、主流路８２及び主流路８２に連通する１０個の支流路８３を含むリザーバ流路８５を形成している。
【００４６】
リザーバ流路８５の平面形状は、プレート１３の中央に関して点対称となっている。主流路８２は、プレート１３の長手方向に延在しており、その中央がプレート１２の貫通孔５３に対応している。支流路８３は、主流路８２よりも流路幅が狭くなっている。なお、支流路８３はどれも同じ流路幅、流路長となっており、各支流路８３間での流路抵抗がほぼ同じ値となっている。
【００４７】
また、プレート１３には、プレート１２に形成された位置決め孔５４，５５に対応した位置決め孔６４，６５と、貫通孔６１，６２とが形成されている。貫通孔６１，６２は、リザーバユニット３と流路ユニット９との組み付け時に位置決めピンの先端を逃がす逃がし穴６１，６２である。また、プレート１３の主走査方向に沿う両端には、図５（ｄ）に示すように、プレート１３の副走査方向の幅が減じられるような凹部１３ａ，１３ｂが形成されている。これら凹部１３ａ，１３ｂは、プレート１２の位置決め孔５４，５５とプレート１３の位置決め孔６４，６５とが合わされてプレート１２とプレート１３とが積層されたときに、凹部１２ａ，１２ｂと重なる領域に形成されている。つまり、凹部１３ａ，１３ｂは、凹部１２ａ，１２ｂと同様にヒートシンク１７０が配置される領域となっており、凹部１３ａ，１３ｂの主走査方向の長さが、ちょうどヒートシンク１７０の主走査方向の長さに等しい、あるいは、若干大きくなっている。
【００４８】
上から四番目のプレート１４には、図４及び図５（ｅ）に示すように、４つの貫通孔７１，７２，７４，７５及び１０個の貫通孔８８が形成されている。貫通孔７１，７２は、インクジェットヘッド１に組み立てるとき（リザーバユニット３と流路ユニット９との組み付け作業時）の位置決め孔７１，７２であり、プレート１３の貫通孔６１，６２と対応して配置されている。貫通孔７４，７５は、リザーバユニット３のプレート積層用の位置決め孔７４，７５であり、プレート１３の位置決め孔６４，６５と対応して配置されている。１０個の貫通孔８８は、流路ユニット９にインクが排出される（供給される）インク排出孔８８であって、プレート１３の支流路８３の先端部と対向してそれぞれ形成されている。平面形状は、略楕円状である。
【００４９】
本実施の形態では、プレート１４の下面が３つの領域に分かれているのが特徴である。図５（ｅ）に示すように、固定領域８９ａ〜８９ｄ、突出領域９１〜９４及び離隔領域９５である。インクジェットヘッド１に組み立てたとき、固定領域８９ａ〜８９ｄは、流路ユニット９の上面９ａに当接した領域である。さらに、突出領域９１〜９４は、流路ユニット９の上面９ａ（ＦＰＣ６）と対向した領域である。離隔領域９５は、流路ユニット９の上面９ａから離隔した領域である。
【００５０】
固定領域８９ａ〜８９ｄは、インク排出孔８８の周縁部分であって、下方に突出した突出部８９ａ〜８９ｄである。固定領域８９ａ，８９ｄは、プレート１４の長手方向に端部側に形成された突出部８９ａ，８９ｄで、３つのインク排出孔８８がそれぞれ配置されている。４つの貫通孔７１，７２，７４，７５も、これらの領域に配置されている。固定領域８９ｂ，８９ｃは、短手方向の端部側に離隔領域９５を挟むように形成された突出部８９ｂ，８９ｃで、２つのインク排出孔８８がそれぞれ配置されている。
【００５１】
固定領域８９ａ，８９ｄ同士及び固定領域８９ｂ，８９ｃ同士は、それぞれ略同一平面形状を有し、全体としては、プレート１４の中央を中心とした点対称に配置されている。これらの固定領域８９ａ〜８９ｄの先端面９０ａ〜９０ｄが、流路ユニット９の上面９ａ及びその上面９ａに配置されたフィルタ（図示せず）に固定されている。なお、ＦＰＣ６は、隣接する固定領域８９ａ〜８９ｄの間から引き出されることになる。
【００５２】
突出領域９１〜９４は、いずれもプレート１４の短手方向の端部から下方に突出した突出部である。それぞれ、主走査方向に延在し、さらに隣接する固定領域８９ａ〜８９ｄ同士を繋いでいる。本実施の形態では、突出領域９１〜９４と固定領域８９ａ〜８９ｄとが一体化して、プレート１４の外縁に連なる環状の環状突起９６を構成している。突出領域９１〜９４の幅は、副走査方向に関して、固定領域８９ａ〜８９ｄの幅より小さい。また、突出領域９１〜９４の先端面（頭頂部）９１ａ〜９４ａと、突出部８９ａ〜８９ｄの先端面９０ａ〜９０ｄとは、図３に示すように、同じ平面レベルにある。なお、ＦＰＣ６は、突出領域９１〜９４と流路ユニット９とに挟まれるように引き出される。このとき、突出領域９１〜９４は、ＦＰＣ６をその幅方向に横切っている。
【００５３】
このような、下面の凹凸構造は、エッチングによって同時に形成される。固定領域８９ａ〜８９ｄ及び突出領域９１〜９４を別部材で構成する必要がないので、それぞれの位置精度が均一になるとともにリザーバユニット３が作りやすくなる。
【００５４】
離隔領域９５は、上述の環状領域９６に囲まれた領域である。離隔領域９５は、プレート１４が流路ユニット９に固定されたとき、その上面９ａと対向して隙間を作る。この空間内に、４つのアクチュエータユニット２１（後述）が配置されることになる。そのため、離隔領域９５は、４つのアクチュエータユニット２１を内包するサイズと形状を有している。なお、ＦＰＣ６は、平面視で突出領域９１〜９４と全幅に亘って重なっている。また、ＦＰＣ６のアクチュエータユニット２１と重なる部分では、ＦＰＣ６と離隔領域９５との間に僅かな隙間が残っている。
【００５５】
また、プレート１４の主走査方向に沿う両端には、図５（ｅ）に示すように、プレート１４の副走査方向の幅が減じられるような凹部１４ａ，１４ｂが形成されている。これら凹部１４ａ，１４ｂは、プレート１３の位置決め孔６４，６５とプレート１４の位置決め孔７４，７５とが合わされてプレート１３とプレート１４とが積層されたときに、凹部１３ａ，１３ｂと重なる領域に形成されている。つまり、凹部１４ａ，１４ｂは、凹部１３ａ，１３ｂと同様にヒートシンク１７０が配置される領域となっており、凹部１４ａ，１４ｂの主走査方向の長さが、ちょうどヒートシンク１７０の主走査方向の長さに等しい、あるいは、若干大きくなっている。
【００５６】
これら３枚のプレート１２〜１４は、それぞれに形成された位置決め孔５４，５５，６４，６５，７４，７５に図示しない位置決めピンが挿入されることで位置決めされる。そして、互いに接着剤で固定される。こうして、流路構成部材１１及び３枚のプレート１２〜１４が積層されたリザーバユニット３が構成される。
【００５７】
この構成により、リザーバユニット３が後述の流路ユニット９に固定されたとき、４つのアクチュエータユニット２１とその上のＦＰＣ６が、ちょうど、プレート１４と流路ユニット９の上面９ａとの間に作られる隙間空間内に収容されて隠れる。これにより、アクチュエータユニット２１及びＦＰＣ６との電気的接合部分に、外部からのインクが及びにくくなり、短絡のような電気的不具合が防がれる。
【００５８】
次に、インクが供給されたときにおけるリザーバユニット３内でのインクの流れについて説明する。なお、図４中黒塗り矢印がリザーバユニット３内でのインクの流れを示している。
【００５９】
図４中黒塗り矢印で示すように、ジョイント部３０を介してインク流入孔３１の入口３１ａから流路構成部材１１内に流入したインクは、フィルム４１に沿って水平に流れる。そして、インクはフィルタ３７と対向する領域からフィルタ３７に向かって上昇し連通口３２を通過する。このとき、インクはフィルタ３７の下方位置からフィルタ３７を通過して上方位置に流れるため、インク中の異物がフィルタ３７で捕獲されるとともに、インクの流れが止まったときに、捕獲された異物がフィルタ３７から離脱しフィルム４１側に離れる。そのため、フィルタ３７が異物で目詰まりしなくなる。連通口３２を通過したインクは、フィルム４２に沿って水平に流れ連通孔３３に達すると下方に向かって流れる。そして、連通孔３３の出口３３ａから流出したインクが、貫通孔５３を通ってリザーバ流路８５に落とし込まれる。
【００６０】
その後、インクは、図５（ｄ）の矢印で示すように、主流路８２の中央からその長手方向両端（主走査方向両端）に向かって流れるインクの流れを形成する。主流路８２の長手方向両端に到達したインクは、各支流路８３に分岐して流れ込む。各支流路８３に流れ込んだインクは、インク排出孔８８及びフィルタ（不図示）を通過して流路ユニット９の上面９ａに形成されたインク供給口１０１（図８参照）に流入する。なお、流路ユニット９内に流入したインクは、後述するように、マニホールド流路１０５に連通する複数の個別インク流路１３２に分配される。さらに、各個別インク流路１３２の終端であるノズル１０８に至り外部へと吐出される。このように、リザーバユニット３内には、インク流路３４及びリザーバ流路８５というようなインク流路が形成されており、インクが一時的に貯溜されることなる。
【００６１】
次に、図８〜図１１を参照しつつ、ヘッド本体２について説明する。図８は、ヘッド本体２の平面図である。図９は、図８の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。なお、図９では説明の都合上、アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき圧力室１１０、アパーチャ１１２及びノズル１０８を実線で描いている。図１０は、図９に示すX−X線に沿った部分断面図である。図１１（ａ）はアクチュエータユニット２１の拡大断面図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）においてアクチュエータユニット２１の表面に配置された個別電極を示す平面図である。
【００６２】
ヘッド本体２は、図８に示すように、流路ユニット９、及び、流路ユニット９の上面９ａに固定された４つのアクチュエータユニット２１を含む。流路ユニット９は、リザーバユニット３のプレート１４とほぼ同じ平面形状を有する直方体形状となっている。流路ユニット９の下面には、図９及び図１０に示すように多数のノズル１０８がマトリクス状に配置されたインク吐出面が形成されている。圧力室１１０も流路ユニット９とアクチュエータユニット２１との固定面においてノズル１０８と同様マトリクス状に多数配列されている。
【００６３】
また、流路ユニット９の長手方向（主走査方向）両端には、位置決め孔１０２，１０３が形成されており、プレート１３，１４に形成された逃がし穴６１，６２及び位置決め孔７１，７２と対応した位置に形成されている。これら逃がし穴６１，６２及び位置決め孔７１，７２，１０２，１０３に位置決め用ピンを通すことで、流路ユニット９とリザーバユニット３の位置決めが行われる。
【００６４】
また、流路ユニット９の上面９ａには、図８に示すように、副走査方向の両端について主走査方向に沿ってそれぞれ５つの凹部９ｂが形成されている。これら１０個の凹部９ｂは、上述したようにヒートシンク１７０の突起１７２がちょうど嵌め合わされる形状となっている。また、凹部９ｂは、上面９ａのプレート１４の突出部８９ａ〜８９ｄの先端面９０ａ〜９０ｄ（図中二点鎖線で示す部分）及びアクチュエータユニット２１と固定される領域を除く領域であって、平面視において凹部１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ内に存在する領域に形成されている。
【００６５】
また、流路ユニット９の上面９ａには、図８に示すように、上方に開口した４つの凹部１９１〜１９４が形成されている。各凹部１９１〜１９４は、流路ユニット９の外縁に沿って延在し、互いに平行に配置されている。各凹部１９１〜１９４は、主走査方向に延びて、いずれもアクチュエータユニット２１の長辺より長い。また、すべての凹部１９１〜１９４は、上述のプレート１４の突出部９１〜９４に対向して形成され、副走査方向の幅は突出部９１〜９４（先端面９１ａ〜９４ａ）より大きい。平面視において、各凹部１９１〜１９４と対応する突出部９１〜９４とは、その中心同士が一致するように配置されている。つまり、４つの凹部１９１〜１９４は、それぞれ先端面９１ａ〜９４ａと、これを内包するように重なっている。なお、凹部１９１〜１９４は、流路ユニット４を構成するいくつかのプレートに形成された貫通孔で構成され、本実施形態では、後述のキャビティプレート１２２の貫通孔によって形成されている。
【００６６】
凹部１９１〜１９４は、上述のように先端面９１ａ〜９４ａより幅が広く、延在方向の中心線が一致している。そのため、副走査方向について、平面視で、凹部１９１〜１９４は、中央部分が先端面９１ａ〜９４ａによって塞がれているが、先端面９１ａ〜９４ａの両側では、部分的に開口が露出している。この部分開口は、互いにほぼ同じサイズと形状を有している。開口の幅は、ＦＰＣ６の厚さの数倍である。なお、図３に示すように、先端面９１ａ〜９４ａは、流路ユニット９の上面９ａとほぼ同一平面上にあるので、凹部１９１〜１９４の内面から離隔している。
【００６７】
この構成によって、ＦＰＣ６が、突出領域９１〜９４及び凹部１９１〜１９４とそれぞれ交差しながら引き出される。ＦＰＣ６の引き出し方向は、配線６ａの延在方向であって、副走査方向である。突出領域９１〜９４及び凹部１９１〜１９４は、ＦＰＣ６の引出部分６ｂとその全幅に亘って重なりを持つ。ＦＰＣ６は、引き出された後、リザーバユニット３の側面に沿って引き上げられて、上方に配設された基板４（コネクタ５ａ）に接続されている。
【００６８】
このとき、先端面９１ａ〜９４ａが、流路ユニット９に固定される固定領域８９ａ〜８９ｄ（突出部８９ａ〜８９ｄ）の先端面９０ａ〜９０ｄと同一平面レベルに形成されていることから、ＦＰＣ６は、アクチュエータユニット２１から一旦下方（流路ユニット９側）に向かって引き出される。さらに、引出部分６ｂは、図３に示すように、先端面９１ａ〜９４ａを横切るとき、アクチュエータユニット２１側の部分開口から凹部１９１〜１９４内に入り込み、副走査方向外側の部分開口から上方に引き出される。このように、引出部分６ｂは、突出領域９１〜９４近傍で、先端面９１ａ〜９４ａによって下方に凸状に変形されている。
【００６９】
このような形態では、ＦＰＣ６を基板４まで引き上げるときや、その後に、加えられる不用意な外力が、ＦＰＣ６をアクチュエータユニット２１の面方向に引っ張る分力と、面と直交する下方に引っ張る分力とに分かれて作用することになる。いずれの分力も、ＦＰＣ６とアクチュエータユニット２１とが離れる方向に作用することはない。
【００７０】
流路ユニット９は、図１０に示すように、上から順に、キャビティプレート１２２、ベースプレート１２３、アパーチャプレート１２４、サプライプレート１２５、マニホールドプレート１２６、１２７、１２８、カバープレート１２９、及び、ノズルプレート１３０、という９枚の金属プレートから構成されている。これらプレート１２２〜１３０は、主走査方向に長尺な矩形状の平面を有する。
【００７１】
キャビティプレート１２２には、インク供給口１０１（図８参照）に対応する貫通孔、凹部１９１〜１９４となる貫通孔、及び、圧力室１１０に対応する略菱形の貫通孔が多数形成されている。ベースプレート１２３には、各圧力室１１０について圧力室１１０とアパーチャ１１２との連絡孔及び圧力室１１０とノズル１０８との連絡孔が形成されていると共に、インク供給口１０１とマニホールド流路１０５との連絡孔が形成されている。アパーチャプレート１２４には、各圧力室１１０についてアパーチャ１１２となる貫通孔及び圧力室１１０とノズル１０８との連絡孔が形成されていると共に、インク供給口１０１とマニホールド流路１０５との連絡孔が形成されている。サプライプレート１２５には、各圧力室１１０についてアパーチャ１１２と副マニホールド流路１０５ａとの連絡孔及び圧力室１１０とノズル１０８との連絡孔が形成されていると共に、インク供給口１０１とマニホールド流路１０５との連絡孔が形成されている。マニホールドプレート１２６、１２７、１２８には、各圧力室１１０について圧力室１１０とノズル１０８との連絡孔、及び、積層時に互いに連結してマニホールド流路１０５及び副マニホールド流路１０５ａとなる貫通孔が形成されている。カバープレート１２９には、各圧力室１１０について圧力室１１０とノズル１０８との連絡孔が形成されている。ノズルプレート１３０には、各圧力室１１０についてノズル１０８に対応する孔が形成されている。また、９枚のプレート１２２〜１３０のうち、ノズルプレート１３０を除く８枚のプレート１２２〜１２９には、凹部９ｂの形成位置に１０個の貫通孔がそれぞれに形成されている。これら貫通孔が平面視において重ね合わされつつ積層することで、上面９ａにおいて開口する１０個の凹部９ｂが流路ユニット９に形成される。
【００７２】
これら９枚のプレート１２２〜１３０は、図１０に示すような個別インク流路１３２が流路ユニット９内に形成されるように位置合わせしつつ積層され且つ互いに固定されている。なお、本実施形態では、各プレート１２２〜１３０は、リザーバユニット３のプレート１２〜１４と同様に、いずれもＳＵＳ４３０製である。
【００７３】
図８に戻って、流路ユニット９の上面９ａには、リザーバユニット３のインク排出孔８８（図５（ｅ）参照）に対応して、計１０個のインク供給口１０１が開口している。流路ユニット９の内部には、インク供給口１０１に連通するマニホールド流路１０５及びマニホールド流路１０５から分岐した副マニホールド流路１０５ａが形成されている。各ノズル１０８に対しては、図１０に示すように、マニホールド流路１０５から副マニホールド流路１０５ａ、そして副マニホールド流路１０５ａの出口から圧力室１１０を経てノズル１０８に至る個別インク流路１３２が形成されている。リザーバユニット３からインク供給口１０１を介して流路ユニット９内に供給されたインクは、マニホールド流路１０５から副マニホールド流路１０５ａに分岐され、絞りとして機能するアパーチャ１１２及び圧力室１１０を介してノズル１０８に至る。
【００７４】
４つのアクチュエータユニット２１は、図８に示すように、流路ユニット９の上面９ａに開口したインク供給口１０１及び凹部９ｂ、１９１〜１９４を避けるよう千鳥状に配置されている。上述したインク吐出面は、アクチュエータユニット２１の接着領域に対応する流路ユニット９の下面側に位置する。つまり、本実施の形態では、ノズル１０８がマトリクス状に開口するインク吐出面と圧力室１１０がマトリクス状に配列する面（上面９ａ）とが、流路ユニット９の対向する一対の平行面を構成しており、この一対の平行面に挟まれるようにして複数の個別インク流路１３２が流路ユニット９内に形成されている。さらに、各アクチュエータユニット２１の平行対向辺は流路ユニット９の長手方向に沿っており、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士は流路ユニット９の幅方向（副走査方向）に関して互いにオーバーラップしている。４つのアクチュエータユニット２１は、流路ユニット９の幅方向の中心から互いに相反する側に等距離離隔するような相対位置関係を有する。
【００７５】
アクチュエータユニット２１は、図１１（ａ）に示すように、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる厚み略１５μｍの３枚の圧電シート１４１、１４２、１４３から構成されている。圧電シート１４１〜１４３は、１つのインク吐出面に対応して形成された多数の圧力室１１０に跨って配置されている。
【００７６】
最上層の圧電シート１４１上における圧力室１１０に対向する位置には、個別電極１３５が形成されている。最上層の圧電シート１４１とその下側の圧電シート１４２との間にはシート全面に形成された略２μｍの厚みの共通電極１３４が介在している。個別電極１３５及び共通電極１３４は共に例えばＡｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなる。圧電シート１４２、１４３の間には電極が配置されていない。
【００７７】
個別電極１３５は略１μｍの厚みを有し、図１１（ｂ）に示すように圧力室１１０と相似な略菱形の平面形状を有する。略菱形の個別電極１３５における鋭角部の一方は延出され、その先端には個別電極１３５と電気的に接続された略１６０μｍの径を有する円形のランド１３６が設けられている。ランド１３６は、例えばガラスフリットを含む金からなる。ランド１３６は、図１１（ａ）に示すように、個別電極１３５の延出部上であって、圧電シート１４１〜１４３の厚み方向に関してキャビティプレート１２２における圧力室１１０を画定する壁に対向する位置、即ち圧力室１１０に重ならない位置に形成され、ＦＰＣ６（図２参照）に設けられた配線６ａと電気的に接合されている。
【００７８】
共通電極１３４は図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極１３４はすべての圧力室１１０に対応する領域において等しくグランド電位に保たれている。一方、個別電極１３５は、選択的に電位を制御することができるよう、ランド１３６ごとに独立した配線６ａを含むＦＰＣ６及びランド１３６を介してドライバＩＣ７に接続されている。
【００７９】
ここで、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。圧電シート１４１はその厚み方向に分極されており、個別電極１３５を共通電極１３４と異なる電位にして圧電シート１４１に対してその分極方向に電界を印加すると、圧電シート１４１における電界印加部分が圧電効果により歪む活性部として働く。即ち、圧電シート１４１はその厚み方向に伸長又は収縮し、圧電横効果により平面方向に収縮又は伸長しようとする。一方、残り２枚の圧電シート１４２，１４３は、個別電極１３５と共通電極１３４とに挟まれた領域をもたない非活性層であって、自発的に変形することができない。
【００８０】
つまりアクチュエータユニット２１は、圧力室１１０から離れた上側１枚の圧電シート１４１を活性部を含む層とし且つ圧力室１１０に近い下側２枚の圧電シート１４２，１４３を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプである。図１１（ａ）に示すように、圧電シート１４１〜１４３は圧力室１１０を区画するキャビティプレート１２２の上面に固定されているため、圧電シート１４１における電界印加部分とその下方の圧電シート１４２，１４３との間で平面方向への歪みに差が生じると、圧電シート１４１〜１４３全体が圧力室１１０側へ凸になるように変形（ユニモルフ変形）する。このように、アクチュエータユニット２１において、個別電極１３５と圧力室１１０とで挟まれた部分が、個別のアクチュエータとして働き、圧力室１１０の数に対応した複数のアクチュエータが作り込まれている。
【００８１】
これにより圧力室１１０の容積が低下することによって、圧力室１１０内の圧力が上昇し、圧力室１１０からノズル１０８へとインクが押し出され、ノズル１０８からインクが吐出される。その後、個別電極１３５を共通電極１３４と同じ電位に戻すと、圧電シート１４１〜１４３は元の平坦な形状になって、圧力室１１０の容積が元の容積に戻る。これに伴い、マニホールド流路１０５から圧力室１１０へとインクが導入され、再び圧力室１１０内にインクが貯溜される。こうして、用紙に所望の画像が印字される。
【００８２】
以上のような本実施形態によるインクジェットヘッド１によると、アクチュエータユニット２１から引き出されたＦＰＣ６の引出部分６ｂが、先端面９１ａ〜９４ａと凹部１９１〜１９４の内面との間であって凹部１９１〜１９４内に入り込んでいる。そのため、例えば、アクチュエータユニット２１に電気的に接続されたＦＰＣ６の一方の端部をコネクタ５ａに接続する時において、ＦＰＣ６の基端側（すなわち、コネクタ５ａと接続される端部側）に引っ張り力が作用しても、引出部分６ｂが上面９ａ及び凹部１９１〜１９４の底面に近づく方向に引っ張られ、ＦＰＣ６のアクチュエータユニット２１と対向する部分であって配線６ａと個別電極１３５とが電気的に接続されている領域が、アクチュエータユニット２１から上方に離れる方向に力が作用しにくくなる。したがって、配線６ａと個別電極１３５との電気的接続が外れにくくなる。
【００８３】
また、突出部９１〜９４の先端面９１ａ〜９４ａが引出部分６ｂの全幅に亘って重なっているため、引出部分６ｂが全幅に亘って凹部１９１〜１９４内に入り込んでいる。そのため、ＦＰＣ６の基端側に引っ張り力が作用しても、引出部分６ｂが全幅にわたって均等に上面９ａ及び凹部１９１〜１９４の底面に近づく方向に引っ張られる。そのため、配線６ａと個別電極１３５との接続がより一層外れにくくなる。
【００８４】
また、プレート１４に突出部９１〜９４と突出部８９ａ〜８９ｄと連続した環状突起９６が形成されていることで、エッチングによって一度に突出部９１〜９４と突出部８９ａ〜８９ｄとを形成することができる。そのため、別々又は互いに離隔する部位として作製する必要がなくなり、プレート１４の製造が容易になる。また、先端面９０ａ〜９０ｄ及び先端面９１ａ〜９４ａの離隔領域９５からの距離が同じであるため、突出部８９ａ〜８９ｄ及び突出部９１〜９４を形成するときにそれぞれの突出高さを調整する必要がなくなる。そのため、突出部８９ａ〜８９ｄ及び突出部９１〜９４の形成がより容易になる。
【００８５】
続いて、本発明の第２実施形態によるインクジェットヘッドについて、以下に説明する。図１２は、本発明の第２実施形態によるインクジェットヘッドを示し、（ａ）は流路ユニットに固定されたプレート及びヘッド本体の部分平面図であり、（ｂ）は図１２（ａ）に示すXIIB−XIIB線に沿った部分断面図である。本実施形態におけるインクジェットヘッドは、図１２に示すように、流路ユニット４の上面９ａに固定されたプレート２１４の構成が上述したプレート１４と若干異なるだけで、それ以外は第１実施形態と同様である。なお、第１実施形態と同様なものは同符号で示し、説明を省略する。
【００８６】
リザーバユニットの一部を構成する最も下方に配置されたプレート２１４には、上述のプレート１４と同様に、複数のインク排出孔８８、突出部（固定領域）８９ａ〜８９ｄ及びその先端面９０ａ〜９０ｄが形成されている。また、プレート２１４の下面には、主走査方向に関して突出部８９ａ〜８９ｄの間において下方（プレート２１４から流路ユニット９の上面９ａに向かう方向であって上面９ａに対して垂直な方向）に突出した一対の突出部２９１〜２９４が形成されている。一対の突出部２９１〜２９４は、互いに主走査方向に離隔しつつ突出部８９ａ〜８９ｄ近傍において突出部８９ａ〜８９ｄとも離隔して形成されている。例えば、図１２（ａ）に示すように、主走査方向に関して、突出部８９ａと突出部８９ｃとの間には一対の突出部２９２が配置されており、突出部８９ｂと突出部８９ｄとの間には一対の突出部２９３が配置されている。そして、一対の突出部２９２を構成する１つの突出部２９２が突出部８９ａ近傍に、もう１つの突出部２９２が突出部８９ｃ近傍に配置されている。また、一対の突出部２９３を構成する１つの突出部２９３が突出部８９ｂ近傍に、もう１つの突出部２９３が突出部８９ｄ近傍に配置されている。また、一対の突出部２９１〜２９４は、主走査方向に延在した長方形平面形状を有しているとともに、各アクチュエータユニット２１から引き出されたＦＰＣ６の引出部分６ｂの主走査方向に関する両端部とそれぞれ重なる位置に配置されている。本実施形態において、これら一対の突出部２９１〜２９４は、プレート２１４に突出部８９ａ〜８９ｄがエッチングで形成するときに形成される。つまり、一対の突出部２９１〜２９４もプレート２１４と一体化している。
【００８７】
一対の突出部２９１〜２９４は、図１２（ｂ）に示すように、その先端面（頭頂部）２９１ａ〜２９４ａが凹部１９１〜１９４内の中央近傍に配置されつつ凹部１９１〜１９４の内面と離隔している。つまり、先端面２９１ａ〜２９４ａは、上下方向に（上面９ａに対して垂直な方向）関して離隔領域９５からの距離が突出部８９ａ〜８９ｄの先端面９０ａ〜９０ｄよりも離れている。このように、突出部２９１〜２９４の離隔領域９５からの突出距離が突出部８９ａ〜８９ｄよりも大きく凹部１９１〜１９４内に入り込んでいると、ＦＰＣ６の引出部分６ｂが第１実施形態のときよりも、凹部１９１〜１９４の底面に近づいて配設される。そのため、ＦＰＣ６の基端側に引っ張り力が作用しても、引出部分６ｂが上面９ａ及び凹部１９１〜１９４の底面により近づく方向に引っ張られる。したがって、配線６ａと個別電極１３５との電気的接続が外れにくくなる。
【００８８】
また、このとき、一対の突出部２９１〜２９４が引出部分６ｂの主走査方向に関する両端部と重なっているので、少なくとも引出部分６ｂの両端部は上面９ａ及び凹部１９１〜１９４の底面により近づく方向に引っ張られる。そのため、ＦＰＣ６のアクチュエータユニット２１との対向する部分において、引出部分６ｂの両端部にアクチュエータユニット２１から上方に離れる方向の力が作用しない。したがって、配線６ａと個別電極１３５との電気的接続が外側から内側に向かって外れていくのを抑制することができる。
【００８９】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、上述した第１実施形態におけるプレート１４には、主走査方向の全体に亘って凹部１９１〜１９４と重なる突出部９１〜９４が形成されているが、凹部１９１〜１９４の主走査方向の両端部を除いた部分と重なる１以上の突出部がプレートに形成されていてもよい。この場合も、突出部は、突出部の副走査方向の両側にはＦＰＣが通る凹部の開口が形成されるような形状であることが望ましい。
【００９０】
また、第１及び第２実施形態における突出部９１〜９４，１９１〜１９４の先端面が凹部の底面に向かって凸となる曲面であってもよい。これにより、突出部の側面と先端面との境界部分が緩やかなカーブを形成するので、ＦＰＣに引っ張り力が作用しても、突出部の角によってＦＰＣが損傷するのが抑制される。なお、突出部の先端面と側面との境界部分にアール加工を施していてもよい。この場合も同様にＦＰＣに引っ張り力が作用しても、突出部の角によってＦＰＣが損傷するのが抑制される。
【００９１】
また、第１実施形態においては、４つのアクチュエータユニット２１を一度に取り囲む環状突起９６が突出部８９ａ〜８９ｄと突出部９１〜９４によって構成されているが、隣接するアクチュエータユニット２１間に突出部を設け、副走査方向に関して対向する突出部同士（例えば、突出部８９ａと突出部９１）が連続する環状突起がアクチュエータユニットの数に対応して形成されていてもよい。
【００９２】
さらに、いずれの形態においても、副走査方向外側に部分開口周辺において、引き出される引出部分６ｂとプレート１４，２１４との境界部や流路ユニット９の上面９ａとの境界部が封止剤や接着剤によって塞がれていてもよい。封止剤によって、外部からのインクの侵入が防がれる。これに加えて、接着剤によって、アクチュエータユニット２１とＦＰＣ６との接合部分に、直接外力がさらに及びにくくなる。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明の第１実施形態によるインクジェットヘッドの概略斜視図である。
【図２】図１に示されたインクジェットヘッドの内部の構成を示す斜視図である。
【図３】図１に示すIII−III線に沿った断面図である。
【図４】リザーバユニットの縦断面図である。
【図５】図２に示すリザーバユニットの分解平面図である。
【図６】図４に示す流路構成部材を斜め下方から見たときの斜視図である。
【図７】図４に示す流路構成部材を斜め上方から見たときの斜視図である。
【図８】ヘッド本体の平面図である。
【図９】図８の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図１０】図９に示すX−X線に沿った部分断面図である。
【図１１】（ａ）はアクチュエータユニットの拡大断面図であり、（ｂ）は図１１（ａ）においてアクチュエータユニットの表面に配置された個別電極を示す平面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態によるインクジェットヘッドを示し、（ａ）は流路ユニットに固定されたプレート及びヘッド本体の部分平面図であり、（ｂ）は図１２（ａ）に示すXIIB−XIIB線に沿った部分断面図である。
【符号の説明】
【００９４】
１  インクジェットヘッド
６  ＦＰＣ（平型柔軟ケーブル）
６ａ  配線
６ｂ  引出部分
９  流路ユニット
９ａ  上面
１４  プレート（被覆部材）
２１  アクチュエータユニット
８９ａ〜８９ｄ  突出部（固定領域）
９０ａ〜９０ｄ  先端面
９１〜９４，２９１〜２９４  突出部（突出領域）
９１ａ〜９４ａ，２９１ａ〜２９４ａ  先端面
９５  離隔領域
１０８  ノズル（インク吐出口）
１１０  圧力室
１３５  個別電極
１９１〜１９４  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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