(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ねじ軸と、このねじ軸にボールを介して結合されるナットとを有するボールねじの精度を検査するボールねじ検査装置であって、
前記ねじ軸を回転させる回転駆動手段と、
測定キャリッジを有し、その測定キャリッジを前記ねじ軸軸線と平行な方向へ移動可能に保持した直線移動機構と、
一端が前記ナットに調心手段を介して連結されかつ他端が前記測定キャリッジに連結された連結部材と、
前記ねじ軸の回転角を検出する角度検出手段と、
前記測定キャリッジの移動距離を測長する測長手段とを備え、
前記調心手段は、前記ナットが結合される第１の部材と、この第１の部材に対して前記ねじ軸軸線に直交する第１軸線を中心として回動可能かつ第１軸線方向へ移動可能に設けられた第２の部材と、この第２の部材に対して前記ねじ軸軸線および第１軸線にそれぞれ直交する第２軸線を中心として回動可能かつ第２軸線方向へ移動可能に設けられた第３の部材と、この第３の部材に連結されるとともに前記連結部材を介して前記測定キャリッジに結合された第４の部材とを含んで構成され、
前記第１の部材は前記ねじ軸軸線と直交する端面を備え、前記第４の部材には、前記第１の部材の端面の前記ねじ軸軸線方向における位置から、ねじ軸軸線に対する前記端面の直角度を検出する直角度検出器が取り付けられている、ことを特徴とするボールねじ検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載のボールねじ検査装置において、
前記第２の部材の第１軸線方向への移動量および第３の部材の第２軸線方向への移動量をそれぞれ検出する変位検出器と、
前記第２の部材の第１軸線を中心とする回動角および第３の部材の第２軸線を中心とする回動角をそれぞれ検出する回動角検出器とを備えていることを特徴とするボールねじ検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のボールねじ検査装置において、
前記第３の部材と前記第４の部材との間には、前記第３の部材を前記ねじ軸軸線を中心として回動させる回動手段が設けられていることを特徴とするボールねじ検査装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のボールねじ検査装置において、
前記直線移動機構は、前記ねじ軸軸線と平行に設けられたレールと、このレールに対してエアーベアリングを介して移動可能に設けられた測定キャリッジとを含んで構成されていることを特徴とするボールねじ検査装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のボールねじ検査装置において、
前記測長手段は、前記測定キャリッジに設けられたリフレクタと、前記ねじ軸軸線方向から前記リフレクタに対してレーザ光を出射し、リフレクタからの反射光を受光してリフレクタまでの距離を求めるレーザ測長器とを含んで構成されていることを特徴とするボールねじ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ボールねじ検査装置に関する。詳しくは、固定部に対して可動部を移動させるためなどに用いられるボールねじの精度を検査するボールねじ検査装置に関する。
【０００２】
【背景技術】
ボールねじは、外周面にねじ溝を形成したねじ軸と、このねじ軸のねじ溝にボールを介してねじ軸の外周に移動可能に設けられたナットとを備えた構造で、工作機械などにおいて、固定部に対して可動部を円滑に移動させる機構として広く利用されている。
ボールねじの精度検査については、ＪＩＳやＩＳＯによって各種の精度検査項目が規定されている。ＪＩＳでは、たとえば、「実移動量」「変動」「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット基準端面またはフランジ取付面の直角度」「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット外周面の半径方向の円周振れ」などの検査項目について規定されている。
【０００３】
従来、「実移動量」の精度検査は、たとえば、ＪＩＳによれば、任意のねじ軸回転角に対するナットの実際の軸方向移動量を連続測定によって求めなければならないため、ナットをねじ軸軸線と平行に摺動可能な測定キャリッジに取り付け、ねじ軸回転角に対する測定キャリッジの移動量を測定して実移動量としていた。
なお、「変動」の精度検査は、たとえば、ＪＩＳによれば、代表移動量線に平行な２本の直線で挟んだ実移動量曲線の最大幅で、▲１▼ナットの有効移動距離またはねじ軸のねじ部有効長さに対応するもの、▲２▼ねじ軸のねじ部有効長さの間にとった任意の３００ｍｍに対応するもの、▲３▼ねじ軸のねじ部有効長さの間にとった任意の１回転（２πrad）に対応するもの、の３項目について規定されている。
【０００４】
一方、「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット基準端面またはフランジ取付面の直角度」や「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット外周面の半径方向の円周振れ」の精度検査は、治具を使用しての人手によって行っていた。
即ち、「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット基準端面またはフランジ取付面の直角度」の精度検査は、ねじ軸をナット両端面からねじ軸呼び径の２倍（２ｄo）の位置でＶブロックなどで固定し、ナット基準端面またはフランジ取付面に測定子をあて、ナットを１回転させたときの振れＴの最大値を測定し、これをねじ軸のねじ部軸線に対するナット基準端面またはフランジ取付面の直角度として求めていた。
また、「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット外周面の半径方向の円周振れ」の精度検査は、ねじ軸をナット両端面からねじ軸呼び径の２倍（２ｄo）の位置で固定し、ナット外周面に測定子をあて、ナットを１回転させたときの振れＵの最大値を測定し、これをねじ軸のねじ部軸線に対するナット外周面の半径方向の円周振れとして求めていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来のボールねじの精度検査方法では、次のような課題があった。
「実移動量」「変動」の精度検査では、ねじ軸の曲がり（ねじれ）、ねじ軸軸線の振れ、ナット基準面またはフランジ面の直角度、ナット外周面の半径方向の円周振れなどの測定誤差要因があるうえ、ナットの移動は真直度において許容差をもち、しかも、ねじ軸軸線に対しピッチング・ヨーイングが複合した動きをする。このため、アッペの原理、メカ的ヒステリシス、弾性変形などにより誤差を生じ、正確な測定結果が得られなかった。
【０００６】
また、「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット基準端面またはフランジ取付面の直角度」「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット外周面の半径方向の円周振れ」の精度検査では、治具を使用しての人手によって行っていたため、専任の作業者が必要となるうえ、作業者によって測定位置のばらつき、測定器の読み取り誤差、個人誤差が生じ、検査の信頼性が低いなどの問題があった。
【０００７】
本発明の目的は、このような従来の検査方法の課題を解消し、「実移動量」「変動」測定において、ねじ軸の曲がり（ねじれ）、ねじ軸軸線の振れ、ナット基準面またはフランジ面の直角度、ナット外周面の半径方向の円周振れなどによる影響をなくし、正確な測定結果が得られ、測定、検査の信頼性を大幅に向上させることができるボールねじ検査装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット基準面またはフランジ取付面の直角度」の精度検査および「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット外周面の半径方向の円周振れ」の精度検査を、自動で行えるようにすることにより、作業者による測定位置のばらつき、測定器の読み取り誤差、個人誤差がなくなり、検査の信頼性を大幅に向上させることができるボールねじ検査装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のボールねじ検査装置は、次の構成を採用する。
本発明のボールねじ検査装置は、ねじ軸と、このねじ軸にボールを介して結合されるナットとを有するボールねじの精度を検査するボールねじ検査装置であって、前記ねじ軸を回転させる回転駆動手段と、測定キャリッジを有し、その測定キャリッジを前記ねじ軸軸線と平行な方向へ移動可能に保持した直線移動機構と、一端が前記ナットに調心手段を介して連結されかつ他端が前記測定キャリッジに連結された連結部材と、前記ねじ軸の回転角を検出する角度検出手段と、前記測定キャリッジの移動距離を測長する測長手段とを備え、前記調心手段は、前記ナットが結合される第１の部材と、この第１の部材に対して前記ねじ軸軸線に直交する第１軸線を中心として回動可能かつ第１軸線方向へ移動可能に設けられた第２の部材と、この第２の部材に対して前記ねじ軸軸線および第１軸線にそれぞれ直交する第２軸線を中心として回動可能かつ第２軸線方向へ移動可能に設けられ前記連結部材を介して前記測定キャリッジに結合された第３の部材と、この第３の部材に連結されるとともに前記連結部材を介して前記測定キャリッジに結合された第４の部材とを含んで構成され、前記第１の部材は前記ねじ軸軸線と直交する端面を備え、前記第４の部材には、前記第１の部材の端面の前記ねじ軸軸線方向における位置から、ねじ軸軸線に対する前記端面の直角度を検出する直角度検出器が取り付けられている、ことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、ボールねじの精度検査にあたって、回転駆動手段によってねじ軸を回転させると、ナットがねじ軸の軸線方向へ移動されていく。すると、連結部材を介して直線移動機構の測定キャリッジも移動されるから、この測定キャリッジの移動距離を測長手段によって測定し、その測長データと角度検出手段で検出されたねじ軸の回転角データとから「実移動量」を求める。更に、その「実移動量」から「変動」の各項目（前述した(1)(2)よび(3)）を求めることができる。
このとき、ナットは、ねじ軸軸線に直交する第１軸線を中心として回動可能かつ第１軸線方向へ移動可能に設けられた第２の部材と、ねじ軸軸線および第１軸線にそれぞれ直交する第２軸線を中心として回動可能かつ第２軸線方向へ移動可能に設けられた第３の部材を有する調心手段、および連結部材を介して、測定キャリッジに連結されているから、ねじ軸の曲がり（ねじれ）、ねじ軸軸線の振れ、ナット基準面またはフランジ面の直角度、ナット外周面の半径方向の円周振れなどによる影響を受けることなく、正確な測定結果が得られる。よって、測定、検査の信頼性を大幅に向上させることができる。
また、第１の部材の端面の前記ねじ軸軸線方向における位置から、ねじ軸軸線に対する前記端面の直角度を検出する直角度検出器を備えているから、「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット基準端面またはフランジ取付面の直角度」の精度検査も同時に行うことができる。よって、作業者による測定位置のばらつき、測定器の読み取り誤差、個人誤差をなくすことができ、検査の信頼性を大幅に向上させることができる。
【００１０】
本発明のボールねじ検査装置において、前記第２の部材の第１軸線方向への移動量および第３の部材の第２軸線方向への移動量をそれぞれ検出する変位検出器と、前記第２の部材の第１軸線を中心とする回動角および第３の部材の第２軸線を中心とする回動角をそれぞれ検出する回動角検出器とを備えていることが好ましい。
この構成によれば、「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット外周面の半径方向の円周振れ」の精度検査を自動で行うことができるから、作業者による測定位置のばらつき、測定器の読み取り誤差、個人誤差をなくすことができ、検査の信頼性を大幅に向上させることができる。
【００１２】
本発明のボールねじ検査装置において、前記第３の部材と前記第４の部材との間には、前記第３の部材を前記ねじ軸軸線を中心として回動させる回動手段が設けられていることが好ましい。
この構成によれば、第３の部材を前記ねじ軸軸線を中心として回動させる回動手段を備えているから、「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット基準面またはフランジ取付面の直角度」の精度検査を自動で行うことができる。
【００１３】
本発明のボールねじ検査装置において、前記直線移動機構は、前記ねじ軸軸線と平行に設けられたレールと、このレールに対してエアーベアリングを介して移動可能に設けられた測定キャリッジとを含んで構成されていることが好ましい。
この構成によれば、測定キャリッジがレール上をエアーベアリングを介して移動していくから、摩擦抵抗が小さく、ナットの移動時の抵抗となることが少ないから、より高精度な測定が期待できる。
【００１４】
本発明のボールねじ検査装置において、前記測長手段は、前記測定キャリッジに設けられたリフレクタと、前記ねじ軸軸線方向から前記リフレクタに対してレーザ光を出射し、リフレクタからの反射光を受光してリフレクタまでの距離を求めるレーザ測長器とを含んで構成されていることが好ましい。
この構成によれば、測定キャリッジの位置をレーザ測長器によって検出するようにしたので、測定キャリッジの位置を高精度に測定することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
（全体構成）
図１は、本実施形態のボールねじ検査装置の全体構成を示している。同ボールねじ検査装置は、ねじ軸１と、このねじ軸１にボール（図示省略）を介して結合されるナット２とを有するボールねじ３の精度を検査するボールねじ検査装置であって、前記ねじ軸１を回転させる回転駆動手段１０と、測定キャリッジ２２を有しその測定キャリッジ２２をねじ軸軸線(Z-Z'軸線）と平行な方向へ移動可能に保持した直線移動機構２０と、一端が前記ナット２に調心手段６０を介して連結されかつ他端が前記測定キャリッジ２２に連結された連結部材２３と、前記ねじ軸１の回転角を検出する角度検出手段３０と、前記測定キャリッジ２２の移動距離を測長する測長手段４０と、演算手段としてのコンピュータ５０とを備えている。
【００１６】
（各構成要素の説明）
前記回転駆動手段１０は、前記ねじ軸１の両端を回転可能に支持したヘッドストック１１およびテールストック１２と、前記ヘッドストック１１にベルトなどの動力伝達帯１３を介して連結され前記ねじ軸１を回転させる駆動モータ１４とを含んで構成されている。
前記直線移動機構２０は、前記ねじ軸軸線(Z-Z'軸線）と平行に設けられたレール２１と、このレール２１に対してエアーベアリング（図示省略）を介して移動可能に設けられた測定キャリッジ２２とを含んで構成されている。
【００１７】
前記角度検出手段３０は、前記ヘッドストック１１と同軸上に取り付けられたロータリエンコーダ３１と、このエンコーダ３１からのパルスをカウントするカウンタ３２とを含んで構成されている。
前記測長手段４０は、前記測定キャリッジ２２上に設けられたリフレクタ４１と、前記ねじ軸軸線(Z-Z'軸線）方向から前記リフレクタ４１に対してレーザ光を出射し、リフレクタ４１からの反射光を受光してリフレクタ４１までの距離を求めるレーザ測長器４２と、このレーザ測長器４２からのパルスをカウントするカウンタ４３とを含んで構成されている。
前記コンピュータ５０は、前記角度検出手段３０からの回転角データおよび前記測長手段４０からの測長データを基に各種の精度検査測定を行う。
前記調心手段６０は、以下のように構成されている。
【００１８】
（調心手段の詳細構造）
図２〜図５は、前記調心手段６０の詳細構造を示している。図２は全体の斜視図、図３は図２のIII−III線断面図、図４は図２のIV−IV線断面図、図５は図２のＶ−Ｖ線断面図である。
前記調心手段６０は、前記ナット２がナット取付プレート６１を介して取り付けられる第１の部材７１と、この第１の部材７１に対して前記ねじ軸軸線(Z-Z'軸線）に直交する第１軸線(X-X'軸線）を中心として回動可能かつ第１軸線方向へ移動可能に設けられた第２の部材８１と、この第２の部材８１に対して前記ねじ軸軸線(Z-Z'軸線）および第１軸線(X-X'軸線）にそれぞれ直交する第２軸線(Y-Y'軸線）を中心として回動可能かつ第２軸線(Y-Y'軸線）方向へ移動可能に設けられた第３の部材９１と、この第３の部材９１にベアリング９８および回動手段としてのステッピングモータ９９を介して連結され前記連結部材２３を介して前記測定キャリッジ２２に結合された第４の部材１０１とを含んで構成されている。
【００１９】
前記ナット取付プレート６１は、矩形板状で、中心に前記ナット２の本体部２Ａが挿通される貫通孔６２が、その貫通孔６２の外周４箇所に４つのねじ孔６３が、更に、その外側２箇所に固定ねじ６４が挿通される２つのねじ挿通孔６５がそれぞれ形成されている。
前記第１の部材７１は、前記ねじ軸軸線(Z-Z'軸線）と直交する端面７２Ａを有するフランジ部７２と、このフランジ部７２の中心に一体的に形成された筒部７３と、これらの中心を貫通する貫通孔７４とを備える。フランジ部７２には、前記ナット取付プレート６１のねじ挿通孔６５を挿通した前記固定ねじ６４の先端が螺合されるねじ孔７６が形成されている。これにより、ナット２のフランジ部２Ｂがボルト６６によりナット取付プレート６１に固定され、このナット取付プレート６１が固定ねじ６４により第１の部材７１に固定されることにより、ナット２が第１の部材７１に固定されるようになっている。筒部７３には、前記ねじ軸軸線(Z-Z'軸線）に直交する第１軸線（X-X'軸線）方向に貫通する貫通孔７８が形成されているとともに、これらねじ軸軸線(Z-Z'軸線）および第１軸線（X-X'軸線）と直交する第２軸線（Y-Y'軸線）方向に貫通する貫通孔７９が形成されている。
【００２０】
前記第２の部材８１は、前記第１の部材７１の筒部７３を外側から被嵌する筒状に形成され、その中心を通る第１軸線（X-X'軸線）方向に一対の支軸８２Ａ，８２Ｂが突設されているとともに、これらねじ軸軸線(Z-Z'軸線）および第１軸線（X-X'軸線）と直交する第２軸線（Y-Y'軸線）方向に貫通する貫通孔８３が形成されている。各支軸８２Ａ，８２Ｂの内端部は、リニアボールガイド８４を介して前記第１の部材７１の貫通孔７８に挿入されている。これにより、第２の部材８１は、第１軸線(X-X'軸線）を中心として回動可能かつ第１軸線(X-X'軸線）方向へ移動可能に設けられている。一方の支軸８２Ａと第１の部材７１との間には、第２の部材８１の第１軸線(X-X'軸線）方向への移動を検出する変位検出器８５が設けられているとともに、他方の支軸８２Ｂと第１の部材７１との間には、第２部材８１の第１軸線(X-X'軸線）を中心とする回動角を検出する回動角検出器８６が設けられている。
【００２１】
前記第３の部材９１は、前記第２の部材８１を外側から被嵌する筒状に形成され、その中心を通る第２軸線（Y-Y'軸線）方向に一対の支軸９２Ａ，９２Ｂが突設されている。各支軸９２Ａ，９２Ｂの内端部は、リニアボールガイド９４を介して前記第２の部材８１の貫通孔８３に挿入されている。これにより、第３の部材９１は、第２軸線（Y-Y'軸線）を中心として回動可能かつ第２軸線（Y-Y'軸線）方向へ移動可能に設けられている。一方の支軸９２Ａと第２の部材８１との間には、第３の部材９１の第２軸線（Y-Y'軸線）方向への移動を検出する変位検出器９５が設けられているとともに、他方の支軸９２Ｂと第１の部材７１との間には、第２部材８１の第２軸線(Y-Y'軸線）を中心とする回動角を検出する回動角検出器９６が設けられている。なお、第２の部材８１と第３の部材９１との間には、第２の部材８１を上方へ付勢するばね９７が介装されている。ばね９７の付勢力は、第２の部材８１、第１の部材７１、ナット取付プレート６１およびナット２の重量と釣り合うように設定されている。
【００２２】
前記第４の部材１０１は、前記第３の部材９１を外側から被嵌する筒状に形成され、その上部に前記第１の部材７１の端面７２Ａの前記ねじ軸軸線(Z-Z'軸線）方向における位置を検出する直角度検出器１０２が取り付けられている。直角度検出器１０２は、第１の部材７１の端面７２Ａの前記ねじ軸軸線(Z-Z'軸線）方向における位置から、ねじ軸軸線(Z-Z'軸線）に対する端面７２Ａの角度を検出する。なお、第４の部材１０１の背面側に、前記連結部材２３の一端がボルトなどによって固定されている。
【００２３】
（作用）
「実移動量」の測定にあたって、回転駆動手段１０によってねじ軸１を回転させると、ナット２がねじ軸１の軸線方向へ移動されていく。すると、連結部材２３を介して直線移動機構２０の測定キャリッジ２２も移動されるから、この測定キャリッジ２２の移動距離を測長手段４０によって測定し、その測長データと角度検出手段３０で検出されたねじ軸１の回転角データとから「実移動量」を求める。
たとえば、この「実移動量」によって、図６に示す結果が得られたとすると、この実移動量曲線から「変動」の３項目、つまり、▲１▼ナットの有効移動距離またはねじ軸のねじ部有効長さに対応するもの、▲２▼ねじ軸のねじ部有効長さの間にとった任意の３００ｍｍに対応するもの、▲３▼ねじ軸のねじ部有効長さの間にとった任意の１回転（２πrad）に対応するもの、をそれぞれ求めることができる。
【００２４】
ナット２は、ねじ軸軸線(Z-Z'軸線）に直交する第１軸線(X-X'軸線）を中心として回動可能かつ第１軸線(X-X'軸線）方向へ移動可能に設けられた第２の部材８１と、ねじ軸軸線(Z-Z'軸線）および第１軸線(X-X'軸線）にそれぞれ直交する第２軸線（Y-Y'軸線）を中心として回動可能かつ第２軸線(Y-Y'軸線）方向へ移動可能に設けられた第３の部材９１を有する調心手段６０、および、連結部材２３を介して、測定キャリッジ２２に連結されているから、ねじ軸１の曲がり（ねじれ）、ねじ軸軸線の振れ、ナット基準面またはフランジ面の直角度、ナット外周面の半径方向の円周振れなどによる影響を受けることなく、正確な測定結果が得られ、測定、検査の信頼性を大幅に向上させることができる。
【００２５】
このとき、第２の部材８１の第１軸線(X-X'軸線）方向への移動量および第３の部材９１の第２軸線(Y-Y'軸線）方向への移動量をそれぞれ変位検出器８５，９５で検出することにより、「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット外周面の半径方向の円周振れ」の精度検査を自動で行うことができる。
また、ステッピングモータ９９の駆動によって、第３の部材９１、第２の部材８１および第１の部材７１を回転させながら、第４の部材１０１に設けられた直角度検出器１０２により、第１の部材７１に形成された端面７２Ａのねじ軸軸線(Z-Z'軸線）方向における位置を検出すれば、「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット基準面またはフランジ取付面の直角度」の精度検査を自動で行うことができる。
従って、作業者による測定位置のばらつき、測定器の読み取り誤差、個人誤差をなくすことができ、検査の信頼性を大幅に向上させることができる。
【００２６】
（実施形態の効果）
以上の実施形態によれば、前述した「課題を解決するための手段」で述べた効果に加え、次の効果も期待できる。
第２の部材８１と第３の部材９１との間に、第２の部材８１を上方へ付勢するばね９７を介装し、このばね９７の付勢力を、第２の部材８１、第１の部材７１、ナット取付プレート６１およびナット２の重量と釣り合うように設定したので、これら第２の部材８１、第１の部材７１、ナット取付プレート６１およびナット２の重量の影響を受けることなく測定することができ、より高精度に測定できる。
【００２７】
また、支軸８２Ａ，８２Ｂの内端部を、リニアボールガイド８４を介して第１の部材７１の貫通孔７８に挿入したので、第２の部材８１を第１軸線(X-X'軸線）を中心として円滑に回動させることができるとともに、第１軸線(X-X'軸線）方向へ抵抗少なく移動させることができる。同様に、支軸９２Ａ，９２Ｂの内端部を、リニアボールガイド９４を介して第２の部材８１の貫通孔８３に挿入したので、第３の部材９１を第２軸線（Y-Y'軸線）を中心として円滑に回動させることができるとともに、第２軸線（Y-Y'軸線）方向へ抵抗少なく移動させることができる。これによっても高精度な測定を保証できる。
【００２８】
なお、本発明は、上記実施形態で述べた構成に限らず、本発明の要旨の範囲内での変更は可能である。
たとえば、測長手段４０については、レーザ測長器４２に限らず、静電容量式測長器、磁気式測長器、光電式測長器などでもよい。
また、調心手段６０については、第１〜第４の部材７１，８１，９１，１０１を備えているが、第１〜第３の部材７１，８１，９１であってもよく、それぞれの部材形状についても、上記実施形態の形状に限られるものでなく、適宜変更可能である。
【００２９】
【発明の効果】
本発明のボールねじ検査装置によれば、「実移動量」「変動」測定において、ねじ軸の曲がり（ねじれ）、ねじ軸軸線の振れ、ナット基準面またはフランジ面の直角度、ナット外周面の半径方向の円周振れなどによる影響をなくし、正確な測定結果が得られ、測定、検査の信頼性を大幅に向上させることができる。
しかも、「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット基準面またはフランジ取付面の直角度」の精度検査および「ねじ軸のねじ部軸線に対するナット外周面の半径方向の円周振れ」の精度検査を、自動で行えるようにすることにより、作業者による測定位置のばらつき、測定器の読み取り誤差、個人誤差がなくなり、検査の信頼性を大幅に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のボールねじ検査装置の一実施形態を示す図である。
【図２】同上実施形態の調心手段の詳細構造を示す分解斜視図である。
【図３】図２のIII−III線断面図である。
【図４】図２のIV−IV線断面図である。
【図５】図２のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】本実施形態の装置によって得られた測定結果の一例を示す図である。
【符号の説明】
１    ねじ軸
２    ナット
３    ボールねじ
１０  回転駆動手段
２０  直線移動機構
２１  レール
２２  測定キャリッジ
２３  連結部材
３０  角度検出器
４０  測長手段
４１  リフレクタ
４２  レーザ測長器
６０  調心手段
７１  第１の部材
７２Ａ  端面
８１  第２の部材
８５  変位検出器
８６  回動角検出器
９１  第３の部材
９５  変位検出器
９６  回動角検出器
９９  ステッピングモータ（回動手段）
１０２  検出器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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