(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インターロック対象と，前記インターロック対象の動作を制御する制御装置とを備えた，インターロック機構であって，
前記制御装置は，
インターロック対象を駆動する駆動部と、
前記駆動部を制御する駆動制御部と，
前記駆動制御部のインターロック動作を制御するインターロック制御部と、を含み、
前記インターロック制御部は，
同一動作を行う複数の子制御部を備えており，前記複数の子制御部の入力および／または出力が不一致の場合には，前記インターロック対象に対してインターロック動作を行い、
前記駆動制御部は，
同一動作を行う複数の子制御部を備えており，前記複数の子制御部の入力および／または出力が不一致の場合には，前記インターロック対象に対してインターロック動作を行うことを特徴とする，インターロック機構。
【請求項２】
前記インターロック対象は，バルブであることを特徴とする，請求項１に記載のインターロック機構。
【請求項３】
前記インターロック動作は，前記インターロック対象への電源供給を遮断する動作であることを特徴とする，請求項１または２のいずれかに記載のインターロック機構。
【請求項４】
インターロック対象の動作を制御する制御装置によるインターロック方法であって，
前記制御装置は，
インターロック対象を駆動する駆動部と，
前記駆動部を制御する駆動制御部と，
前記駆動制御部のインターロック動作を制御するインターロック制御部と、を含み、
前記インターロック制御部は，
同一動作を行う複数の子制御部を備えており，前記複数の子制御部の入力および／または出力が不一致の場合には，前記インターロック対象に対してインターロック動作を行い、
前記駆動制御部は，
同一動作を行う複数の子制御部を備えており，前記複数の子制御部の入力および／または出力が不一致の場合には，前記インターロック対象に対してインターロック動作を行うことを特徴とする，インターロック方法。
【請求項５】
前記インターロック対象は，バルブであることを特徴とする，請求項４に記載のインターロック方法。
【請求項６】
前記インターロック動作は，前記インターロック対象への電源供給を遮断する動作であることを特徴とする，請求項４または５のいずれかに記載のインターロック方法。
【請求項７】
処理容器内に所定のガスを導入して処理容器内の被処理体に対して熱処理を行う熱処理装置であって，請求項１，２または３のいずれかのインターロック機構を備えたことを特徴とする，熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインターロック機構，その方法，それを採用した熱処理装置にかかり，特に1台の装置に同一動作を行う複数の制御回路を備え，制御回路自体の故障時にも装置を安全に使用することが可能なインターロック機構，その方法，それを採用した熱処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば処理ガスを用いて半導体ウェハなどの被処理体に成膜処理などの熱処理を行う熱処理装置などには，安全および正確な処理を行うため，処理ガスのバルブや，装置の扉の開閉などを監視するインターロック機構が設けられている。
【０００３】
従来，この種のインターロック機構としては，ハードワイヤード構成のインターロックボードか，ファームウエアを使用したインターロックボードが設けられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，前者は，安全面での信頼性は高いが，仕様の変更などに対応するには，多大な設計時間を必要とするという問題があった。後者は，仕様変更などへの対応は柔軟に可能であるが，動作不良に対する対応がとれていないという問題があった。
【０００５】
また，装置の構成上，インターロック条件をとらなければならないアラーム，インターロックをかけなければならないバルブ等が各エリアに点在するため，一箇所集中型のインターロック構成では，配線が複雑かつ増加したり，一部分の変更がインターロック全体に波及してしまったりすることから，動作不良等の原因の特定が困難であるという問題があった。
【０００６】
本発明は，従来のインターロック機構，その方法，それを採用した熱処理装置が有する上記問題点に鑑みてなされたものであり，本発明の目的は，仕様変更に柔軟に対応でき，故障時の安全性の高い，新規かつ改良されたインターロック機構，その方法，それを採用した熱処理装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため，本発明によれば，インターロック対象と，前記インターロック対象の動作を制御する制御装置とを備えた，インターロック機構であって，制御装置は，同一動作を行う複数の制御部を備えており，複数の制御部の入力および／または出力が不一致の場合には，インターロック対象に対するインターロック動作を行うことを特徴とする，インターロック機構およびそれを用いたインターロック方法が提供される。
【０００８】
制御装置は，インターロック対象を駆動する駆動制御部と，駆動制御部のインターロック動作を制御するインターロック制御部とから構成し，インターロック制御部は，同一動作を行う複数の子制御部を備え，複数の子制御部の入力および／または出力が不一致の場合には，インターロック対象に対するインターロック動作を行うように構成することができる。
【０００９】
さらに駆動制御部は，同一動作を行う複数の子制御部を備え，複数の子制御部の入力および／または出力が不一致の場合には，インターロック対象に対するインターロック動作を行うように構成することができる。
【００１０】
かかる構成によれば，ファームウエアを使用したインターロック制御装置であっても，同一動作を行う複数の制御部の入力および出力を比較することで，安全性を確保することが可能であり，さらに，仕様変更に柔軟に対応可能となり，また故障時や，誤動作に対する安全性の高いインターロック機構およびその方法が提供できる。
【００１１】
また，インターロック対象は，バルブとすることができる。かかる構成によれば，容器内を所望の真空度まで排気した後に処理ガスを用いて所定の処理を行う成膜処理装置のガス供給系のインターロック等に使用することができる。インターロック動作としては，インターロック対象に対する電源供給を遮断するように構成することができる。
【００１２】
さらに，上記インターロック機構およびその方法を採用した成膜処理装置などの熱処理装置を提供できる。かかる構成によれば，インターロック動作を制御するインターロック制御機構自体の故障や誤動作であっても，安全性を確保することが可能な安全性の高い熱処理を行うことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照しながら，本発明にかかるインターロック機構およびインターロック方法の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００１４】
図１は，本発明にかかるインターロック機構およびインターロック方法を適用した熱処理装置（成膜処理装置）の一例である減圧ＣＶＤ装置の概略断面構成図である。図１に示す減圧ＣＶＤ装置は，水平方向に固定された基台１上に垂直に支持された略有頭円筒形状の石英などから成る反応管４と，複数の被処理体，たとえば半導体ウェハ（Ｗ）を水平状態で水平方向に多数枚配列保持することが可能な石英などから成るウェハボート６と，このウェハボート６を昇降するための昇降機構７とから主要部が構成されている。
【００１５】
上記反応管４の底部には，ガス導入管１２が設けられている。このガス導入管１２には，ガス供給系１３がバルブ１４を介して接続されている。これらのガス供給系１３は，上記反応管４内部に処理ガスおよびクリーニングガスを供給するための各種ガス源，バルブ類および流量制御器（ＭＦＣ）とから主に構成されている。
【００１６】
図示の例では，処理ガス源として，ペンタエトキシタンタル（Ｔａ（ＯＣ２Ｈ５）５）ガス供給部１５および酸素（Ｏ２）ガス供給部１６が設置されており，クリーニング用エッチングガスとして，三フッ化塩素（ＣｌＦ３）ガス供給部１７が設置されており，さらに希釈用ガス源またはパージ用ガス源として，窒素（Ｎ２）ガス供給部１８が設置されている。
【００１７】
上記ペンタエトキシタンタル（Ｔａ（ＯＣ２Ｈ５）５）ガス供給部１５は，バルブ１５ａ，１５ｂおよび流量制御器１５ｃを介して，上記酸素（Ｏ２）ガス供給部１６は，バルブ１６ａ，１６ｂおよび流量制御器１６ｃを介して，上記三フッ化塩素（ＣｌＦ３）ガス供給部１７はバルブ１７ａ，１７ｂおよび流量制御器１６ｃを介して，さらに上記窒素（Ｎ２）ガス供給部１８は，バルブ１８ａ，１８ｂおよび流量制御器１８ｃを介して，それぞれ上記ガス導入管１２に連通している。
【００１８】
成膜処理時およびドライ洗浄処理時には，各バルブおよび流量制御器（ＭＦＣ）を調整して，所定のガスを所定の流量で上記反応管４内に導入することが可能である。
【００１９】
さらに上記反応管４内に上記ガス導入管１２を介して導入されたガスは，上記反応管４の下端に設けられた排気管１９を介してドライポンプなどの真空ポンプ２０へと排出される。
【００２０】
上記排気管１９と上記真空ポンプ２０との間には上記反応管４内から排出される反応生成物の量を測定するための赤外線カウンタなどのセンサ２１が設置されている。このセンサ２１は，ドライ洗浄処理時に，たとえばフッ化タンタルや塩化タンタルなどのＣｌＦ３によるタンタルオキサイド膜のエッチングにより生じた反応生成物の量を監視するためのものである。
【００２１】
上記真空ポンプ２０から排出されたＣｌＦ３を含むガスは，有害，危険なガス成分を除外装置２３により取り除かれ排気される。この除外装置２３には，有害，危険なガスを吸着または分解するための薬剤の入った筒２４が収納されている。
【００２２】
ウェハボート６は，半導体ウェハＷを多段状に保持する保持部の下に保温筒２５を介して蓋体２６を備えており，昇降機構７によりウェハボート６を上昇させることにより，蓋体２６が反応管４の底部の開口を気密に封止することが可能なように構成されている。
【００２３】
次に上記のように構成された縦型処理炉を用いた処理の一例として，タンタルオキサイド膜の成膜工程について説明する。
【００２４】
タンタルオキサイド膜の成膜処理時には，反応管４内に，多数の被処理体，たとえば８インチ径の半導体ウェハＷを収容したウェハボート６をローディングして，蓋体２６により反応管４を密閉する。
【００２５】
ついで反応管４内をたとえば０．５Ｔｏｒｒ程度に減圧した後，成膜処理装置の制御を行う制御装置２２から，バルブ１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂを開放する信号が送信され，上記ガス供給系１３より，Ｎ２により希釈されたペンタエトキシタンタル（Ｔａ（ＯＣ２Ｈ５）５）ガスおよびＯ２ガスをガス導入管から所定流量供給しながら，半導体ウェハＷへのタンタルオキサイド膜の成膜処理を行う。
【００２６】
本実施の形態にかかるインターロック機構は，例えば上記バルブ１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂ，１８ａ，１８ｂに対して働き，与えた指示と異なる状態になるなど異常が発生した場合には，アラーム信号を発生し，そのバルブを閉じるように設定することができる。
【００２７】
アラーム信号は，例えば，ガスボックスの扉が開放状態のままであるような場合，流体制御されるバルブを駆動する流体系の圧力に異常が生じたような場合，ガス供給系でガス漏れが生じたような場合，排気異常が生じたような場合等，処理の種類および要求される安全性に応じて，さまざまな場合に発生するように設定することが可能である。
【００２８】
アラーム信号が発生した場合には，後述するインターロック制御部１００は，例えばバルブ閉止などの予め設定された対応動作を行うように駆動制御部２００に指令を発する。駆動制御部２００は，その指令を受けて，対応動作を行うようにバルブなどに指令を発する。しかし，インターロック制御部１００および／または駆動制御部２００自体が故障したり誤動作したりする場合もあり得る。かかる場合であっても，本実施の形態にかかるインターロック機構およびインターロック方法により，システムを安全に停止することが可能である。かかるインターロック機構およびインターロック方法について，後で詳述する。
【００２９】
上記成膜処理を終了した後は，反応管４内の処理ガスを排出する工程を行う。
すなわち，反応管４内の処理ガスを排出しつつ，不活性ガス，たとえばＮ２ガスを導入し，反応管４内をＮ２ガス雰囲気に置換するものである。このようにして，反応管４内の処理ガスを除去し，無害な雰囲気で常圧状態とした後，ウェハボート６を反応管４からアンローディングすることにより，一連の成膜処理を終了し，次のロットに対する成膜処理を行う。
【００３０】
次に図２〜図４を参照しながら，本実施の形態にかかるインターロック機構およびインターロック方法について説明する。図２は，本実施の形態にかかるインターロック機構の構成概念図，図３は，本実施の形態にかかるインターロックシステムの構成図，図４は，本実施の形態にかかるインターロック機構を示すブロック図である。なお，本実施の形態にかかるインターロック機構は，図５に示すように，例えばインターロックをかける必要のあるエリアが点在しているような場合には，複数のエリアにそれぞれ設置することが可能である。
【００３１】
図２に示すように，本実施の形態にかかるインターロックシステムは，インターロック対象であるバルブ５０と，そのバルブを駆動する駆動部６０と，駆動部６０の動作を制御する駆動制御部（スレーブボード）２００と，駆動制御部２００のインターロック動作を制御するインターロック制御部（マスターボード）１００とから主に構成される。
【００３２】
例えば，ガスボックスの扉が開放状態のままになっている場合に発生されるアラーム信号は，駆動制御部２００に入力され，さらにインターロック制御部１００に送られる。インターロック制御部１００では，アラーム信号に応じた対応動作に関する指令を駆動制御部２００に送り，駆動制御部２００は，その指令に応じて駆動部６０への供給電源を遮断し，バルブを初期状態に戻す（バルブクローズする）。
【００３３】
その際に，インターロック制御部１００および／または駆動制御部２００に故障や誤動作が生じた場合にインターロック装置の詳細については，図３および図４を参照しながら説明する。
【００３４】
図３に示すように，本実施の形態にかかるインターロック装置は，インターロック制御部であるマスターボード１００と，駆動制御部であるスレーブボード２００を備えており，接続用ボード３００により接続されている。
【００３５】
インターロック制御部（マスターボード）１００は，インターロック対象であるバルブなどのインターロック動作を制御する制御部である。また，駆動制御部（スレーブボード）２００は，インターロック制御部の下位に配置されて制御されながら，インターロック対象であるバルブなどの被駆動部を制御する制御部である。駆動制御部であるスレーブボード２００は複数枚設置が可能であり，その設置される枚数により，接続用ボード３００の構成は変更される。
【００３６】
このように，本実施の形態にかかるインターロック機構の主制御部であるマスターボード１００は，駆動制御部であるスレーブボード２００を制御する。スレーブボード２００は，インターロック対象である例えばガス供給系に備えられたバルブ１５ａ，１６ａ，１７ａ，１８ａ等を駆動制御する。
【００３７】
図４に示すように，インターロック制御部であるマスターボード１００は，第１の子インターロック（ＩＬ）制御部１１４および第２の子インターロック（ＩＬ）制御部１１６，ＥＰＲＯＭ１１０，水晶発振器１１２などを有している。
【００３８】
第１および第２の子インターロック（ＩＬ）制御部１１４および１１６は，本発明の特徴である，２重化されたファームウエアで，同一の構成で同一の動作を行うように構成されている。
【００３９】
ここでファームウエアとは，半導体素子を用い，回路内のメモリの内容をソフトウエア上で設定することによって動作するように構成された回路である。ファームウエアとしては，例えばインターロック条件およびそれが備えられる装置の仕様変更に対応して現場で書き換えが可能な集積回路であるＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ  Ｐｒｏｇｒａｍｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ）が用いられる。
【００４０】
入力信号１３０および１３４，出力信号１３２および１３６は，図５に示すように，他のエリアに設置されたインターロック装置との間で送受信される信号である。本実施の形態にかかるインターロックシステムによれば，他のエリアに設置されたインターロック装置との間で送受信される信号同士の比較が行われ，不一致の場合には，ボードエラーとして詳細エラー内容（ここでは比較エラー）を上位コントローラへ出力し，ボードより制御されているユニット／センサへの電源供給を，インターロック内容を問わず，全ての信号に対して供給遮断されるよう構成されている。
【００４１】
ＥＰＲＯＭ１１０は，アラーム対応動作テーブルなどが格納されるメモリである。アラーム対応動作テーブルとは，本実施の形態にかかる処理装置において，アラーム信号が発生した場合の対応に関する動作などを示すものであり，例えば表計算ソフトにより作成し，ＥＰＲＯＭ１１０に格納して用いられる。アラーム信号が発生した場合に，インターロック制御部１００は，ＥＰＲＯＭ１１０に格納されたアラーム対応動作テーブルに応じた指令を駆動制御部２００に送るように動作する。
【００４２】
ＥＰＲＯＭ１１０が使用可能状態になるまでには，例えば３段階のチェックが行われる。すなわち，第１段階として，ＲＯＭライタ書き込み時のチェック，第２，第３段階として，基板実装後のＣＲＣ（Ｃｙｃｌｉｃ  ＲｅｄｕｎｄａｃｙＣｈｅｃｋ）が行われるため，ＥＰＲＯＭ１１０は，単一であっても，安全性は保たれる。
【００４３】
水晶発振器１１２は，第１および第２の子インターロック（ＩＬ）制御部１１４および１１６を動作させるため，例えば１０ＭＨｚの周波数のクロック信号を供給する。
【００４４】
駆動制御部であるスレーブボード２００は，インターロック対象，例えばバルブの数に合わせて複数枚設置が可能であるが，本実施の形態においては，使用可能なガスの種類数に合わせて，ボード２１０，２２０，２３０および２４０の４枚が設置されている。
【００４５】
ボード２１０，２２０，２３０および２４０のそれぞれは，ガス供給系に含まれる各バルブを駆動するための駆動部を駆動制御する。例えば，ボード２１０はバルブ１５ａを駆動するための駆動部を制御する等，各インターロック対象に対応して設置される。
【００４６】
駆動制御部であるボード２１０，２２０，２３０および２４０にはそれぞれ，本発明の特徴である２重化されたファームウエアをなす第１の子駆動制御部２０２および第２の子駆動制御部２０４が備えられている。第１および第２の子制御部２０２および２０４も，先に説明した第１および第２の子インターロック（ＩＬ）制御部１１４および１１６と同様に，例えば，ＦＰＧＡが用いられる。第１および第２の子駆動制御部２０２および２０４は，同一の構成で同一の動作を行う。これら第１および第２の子駆動制御部２０２および２０４と第１および第２の子インターロック（ＩＬ）制御部１１４および１１６との間は，データバス１５０および１５２により信号の送受信が行われる。
【００４７】
入力信号２１２，２２２，２３２，２４２は，処理装置の動作に関するアラーム信号である。アラーム信号は，例えば，ガスボックスの扉が開放状態のままであるような場合，流体制御されるバルブを駆動する流体系の圧力に異常が生じたような場合，ガス供給系や装置内でガス漏れが生じたような場合，排気異常が生じたような場合等，処理の種類および要求される安全性に応じて，さまざまな場合に発生するように設定することが可能である。入力信号２１２，２２２，２３２，２４２は，データバス１５０を介してインターロック制御部１００に送られる。
【００４８】
出力信号２１４，２２４，２３４，２４４は，インターロック制御部１００からデータバス１５２を介して送られたインターロック対象に対する駆動制御信号であり，例えば，バルブの開閉命令，警告灯の点灯指令などの信号であり，図３に示す駆動部６０に送信される。
【００４９】
本実施の形態にかかるインターロック機構および方法によれば，第１および第２の子インターロック制御部１１４および１１６，あるいは第１および第２の子駆動制御部２０２および２０４に対する入力信号が一致しないというようなエラー発生時には，インターロックが作用する。例えば，電源供給が行われないと自動的に閉止するように構成されるバルブがインターロック対象であるような場合には，バルブへの電源供給が遮断される。
【００５０】
また一方で，本実施の形態にかかるインターロック機構および方法によれば，第１および第２の子インターロック制御部１１４および１１６，あるいは第１および第２の子駆動制御部２０２および２０４からの出力信号は，同一動作を行うように構成された相手方の制御部のそれぞれに送られ，各制御部において双方の出力信号の比較が行われ，出力信号同士が不一致の場合には，インターロック動作が行われるように構成される。
【００５１】
このとき，どのボードがエラー状態なのかがわかるように，表示用ＬＥＤを用意することができる。例えば，入出力信号未接続エラーＬＥＤ，マスターボード１００エラーＬＥＤ，スレーブボード２１０エラーＬＥＤ，スレーブボード２２０エラーＬＥＤ，スレーブボード２３０エラーＬＥＤ，スレーブボード２４０エラーＬＥＤ等である。
【００５２】
これらは例えば，インターロック機構が備えられる装置の制御を行う上位コントローラに備えることができる。このエラーＥＬＤにより故障箇所の特定が容易になる。エラーＬＥＤが点灯した場合には，エラーの内容を解析した後，エラーを出力しているボードを交換する。
【００５３】
また，エラーの内容解析用として，各ボードにエラーステータスレジスタを用意し，インターロック機構が備えられる装置の制御を行う上位コントローラから読み取れるように構成することも可能である。
【００５４】
エラーの内容としては，例えば次に挙げるものが考えられる。
【００５５】
まず，“ＤＩデータコンペアエラー”であるが，スレーブボード２００のいずれかに入力された入力信号２１２，２２２，２３２，または２４２が，第１および第２の子インターロック制御部１１４および１１６に入力される際，入力データが第１および第２の子駆動制御部２０２および２０４同士で異なっていた場合である。本エラーは，各スレーブボードに依存するため，各スレーブボード別に表示される。
【００５６】
“ＤＯデータコンペアエラー”は，第１および第２の子インターロック制御部１１４および１１６から第１および第２の子駆動制御部２０２および２０４に出力される出力データに対し，リターンシグナルが帰ってこない場合である。このエラーも各スレーブボードに依存するため，各スレーブボード別に表示される。
【００５７】
“入出力コンペアエラー”は，第１および第２の子インターロック制御部１１４および１１６から例えば別のエリアのファームウエアに対して出力したデータがそのまま戻ってこない場合である。
【００５８】
“スレーブイニシャルエラー”は，電源投入時，各スレーブボード２１０，２２０，２３０，２４０の許可信号（ＯＵＴ  ＥＮＡＢＬＥ）が正常に出力されなかった場合である。
【００５９】
“入出力信号未接続エラー”とは，第１および第２の子インターロック制御部１１４および１１６の入出力信号１３０，１３２，１３４，１３６のいずれか少なくとも１つのコネクタが未接続の場合である。
【００６０】
また，スレーブボード２００に入力される信号は，その種類によってタイムラグが生じる場合がある。例えば，処理ガスの導入開始後に信号を出力する，バルブの状態を示すバルブステータスなどの場合である。
【００６１】
このような場合，信号がボードに入力されるまでの数秒間，アラームと誤認されることを防ぐために，ディレイタイマを用いて信号にマスクをかけることができる。
【００６２】
次に図６を参照しながら本発明にかかるインターロックの動作について説明する。例えば，スレーブボード２１０の入力信号２１２に，ガスボックスが開放状態になっていることを示すアラーム信号が入力されたとする（ステップＳ６０１）。
【００６３】
第１および第２の子駆動制御部２０２および２０４に入力されたアラーム信号は，データバス１５０および１５２を介して，第１および第２の子インターロック制御部１１４および１１６に入力される（ステップＳ６０２）。
【００６４】
第１および第２の子インターロック制御部１１４および１１６は，それぞれに入力された信号が一致するか否かを判断し，あるいは，それぞれから出力された信号が一致するか否かを相互比較する（ステップＳ６０３）。そして，入出力信号が一致するか否かを判断し（ステップＳ６０４），一致しない場合にはエラーアラームを出力すると共に所定のインターロック動作を行う（ステップＳ６０５）。
【００６５】
また，エラーアラーム出力時には，エラー表示用ＬＥＤによりエラー発生箇所を確認し，発生箇所のボード内に備えられたエラーステータスレジスタ（図示せず）を調べ，エラーの内容を確認した後，エラー出力しているボードを交換するように構成してもよい。
【００６６】
一致している場合には，第１および第２の子インターロック制御部１１４および１１６内のメモリ（ＲＡＭ）にＥＰＲＯＭ１１０よりダウンロードされた，アラーム時対応動作を示すテーブルを参照し，アラーム条件に応じた対応を行うように，駆動制御部２００に指令を出す（ステップＳ６０６）。
【００６７】
以上詳細に説明したように，設計変更が容易なファームウエアをインターロック機構として採用することで，各種プロセス，装置の仕様の差異に柔軟に対応が可能であり，設計時間の短縮および経費の節減が可能である。
【００６８】
また，複数の子制御部１１４および１１６，２０２および２０４を設け，入力された信号が一致するか否かを調べることで，インターロック機構の信頼性を向上させることができる。
【００６９】
また，複数のエリアにインターロックボードおよび複数枚のスレーブボードを設けることで，インターロック用配線の複雑化および増加を防ぎ，故障時の原因特定を容易にできると共に，複数の装置に標準化して装備する部分，装置の仕様に対応して変更される部分などに分け，効率よくインターロック機構を製造することが可能になる。
【００７０】
例えば，図５に示すように，例えばインターロックをかける必要のあるエリアが点在しているような場合には，複数のエリアにそれぞれマスターボード１００（１００ａ，１００ｂ，…１００ｎ）とスレーブボード２００（２００ａ，２００ｂ，…２００ｎ）の対を設置することが可能である。
【００７１】
かかる構成の場合には，マスターボード１００の入出力をバス４００により接続し，各マスターボード１００の入力および出力を比較し，双方が不一致の場合には，インターロック制御対象に対するインターロック動作を行うように構成することができる。
【００７２】
例えば，図５に示す第１のマスターボード１００ａと連携する第１のスレーブボード２００ａが，図１に示すバルブ１５ａ，１６ａ，１７ａ，１８ａをインターロック制御するものとし，同様に図５に示す第２のマスターボード１００ｂと連携する第２のスレーブボード２００ｂが，図１に示すバルブ１５ｂ，１６ｂ，１７ｂ，１８ｂをインターロック制御するものとする。
【００７３】
図１に示すガス供給系１３の構成においては，バルブ１５ａ，１６ａ，１７ａ，１８ａは，おのおのガスボックス１３ａ内に配置されて対応するガスボンベのガス供給口近傍の開閉を行うものである。また，バルブ１５ｂ，１６ｂ，１７ｂ，１８ｂは，おのおのガス配管系１３ｂ内に配置されて対応するガス配管の開閉を行うものである。
【００７４】
ここで，ガスボックス１３ａの扉が開いているなどして，ガスボックス１３ａに関するアラームが発生した場合には，アラーム信号Ａが第１のマスターボード１００ａと連携する第１のスレーブボード２００ａに直接入力されて，各スレーブボード２００ａのインターロック制御により各バルブ１５ａ，１６ａ，１７ａ，１８ａが閉止する。
【００７５】
また，ガス供給系１３ｂにてガスリークが生じているなどして，ガス配管系１３ｂに関するアラームが発生した場合には，ガス配管系１３ｂ内のバルブ１５ｂ，１６ｂ，１７ｂ，１８ｂを閉止するとともに，ガスボックス１３ａ内のバルブ１５ａ，１６ａ，１７ａ，１８ａも閉止する必要がある。
【００７６】
かかるアラーム発生時には，対応するアラーム信号Ｂが第２のマスターボード１００ｂと連携する第２のスレーブボード２００ｂに入力されて，これによりガス配管系１３ｂ内の各バルブ１５ｂ，１６ｂ，１７ｂ，１８ｂが閉止される。
【００７７】
同時に，第２のマスターボード１００ｂからの補助出力が第１のマスターボード１００ａに入力され，第１のマスターボード１００ａと連携する第１のスレーブボード１００ａによるインターロック制御によりガスボックス１３ａ内の各バルブ１５ａ，１６ａ，１７ａ，１８ａも閉止される。
【００７８】
以上，添付図面を参照しながら本発明にかかるインターロック機構およびインターロック方法の好適な実施形態について説明したが，本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００７９】
例えば，本実施の形態においては，成膜処理装置のガス供給系に対してのインターロック機構およびインターロック方法について説明したが，これに限定されない。他の装置の例えば給水路等，インターロックが必要な箇所であれば適用が可能である。
【００８０】
【発明の効果】
以上説明したように，本発明によれば，仕様変更に柔軟に対応でき，簡易な構成および回路の多重化により故障時の安全性の高い，新規かつ改良されたインターロック機構およびインターロック方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態にかかる成膜処理装置の一例である減圧ＣＶＤ装置の概略断面構成図である。
【図２】本発明の実施の一形態にかかるインターロック装置の構成概念図である。
【図３】本発明の実施の一形態にかかるインターロックシステムの構成図である。
【図４】本発明の実施の一形態にかかるインターロック装置を示すブロック図である。
【図５】本発明の実施の一形態にかかる複数のエリアに設置されたインターロック装置を示す構成概念図である。
【図６】本発明の実施の一形態にかかるインターロック動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１００  インターロック制御部
１１４，１１６  第１および第２の子インターロック制御部
１１０  ＥＰＲＯＭ
１１２  水晶発振器
２００  駆動制御部
２０２，２０４  第１および第２の子駆動制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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