(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板状のプローブ母材の板面にマスクパターンを貼付した後に、前記プローブ母材をフォトエッチングして、回路基板に接触させる両刃形の刃部を形成するコンタクトプローブの製造方法において、
前記プローブ母材の両板面にマスクパターンをそれぞれ貼付した後に、前記刃部の一方の刃身が形成される側の一方の前記板面に直交する向きで当該板面にエッチング光を照射すると共に、前記一方の板面に対する照射総量よりも少ない照射総量のエッチング光を前記刃部の他方の刃身が形成される側の他方の前記板面に直交する向きで当該板面に照射することにより前記刃部を形成することを特徴とするコンタクトプローブの製造方法。
【請求項２】
前記エッチング光の照度をほぼ一定に維持した状態で、前記両板面の各々に対して、前記各照射総量にほぼ比例する時間だけ前記エッチング光をそれぞれ照射することを特徴とする請求項１記載のコンタクトプローブの製造方法。
【請求項３】
前記一方の板面に対する照射総量の１／２０以上１／２以下の範囲内の照射総量を前記他方の板面に照射することを特徴とする請求項１または２記載のコンタクトプローブの製造方法。
【請求項４】
前記一方の板面に対する前記エッチング光の照射を完了した後に、前記他方の板面に前記エッチング光を照射することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブ母材をフォトエッチングすることにより刃部を形成するコンタクトプローブの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種のコンタクトプローブの製造方法によって製造されたコンタクトプローブとして、図５〜７に示すコンタクトプローブ３１，４１，５１が従来から知られている。このコンタクトプローブ３１，４１，５１は、例えば回路基板検査装置に装着されて所定の電気的検査を実行するためのブレード形のコンタクトプローブであって、フォトエッチングによって金属板１０を加工して製造されている。コンタクトプローブ３１は、図５（ａ）に示すように、刃身３３が金属板１０の板面１０ａ側に形成されたいわゆる片刃形の刃部３２を備えている。この場合、刃部３２は、コンタクトプローブ３１が回路基板検査装置に装着された状態において、同図（ｂ）に示すように、所定の検査位置に配置された回路基板の基板面Ｘに対して、その刃先３４が所定角度で傾斜するように形成されている。
【０００３】
このコンタクトプローブ３１の製造に際しては、図８（ａ）に示すように、まず、金属板１０の板面１０ａに、所定形状のマスクパターン３５を貼付する。次に、この状態の金属板１０をフォトエッチングする。この際には、金属板１０に対して直交する同図の矢印Ａで示す向きでエッチング光を照射することにより、マスクパターン３５から露出している板面１０ａをエッチングする。この場合、金属板１０は、マスクパターン３５から離れた部位ほど、早くエッチングされ、マスクパターン３５に近い部位ほど、遅くエッチングされる。したがって、同図（ｂ）に示すように、マスクパターン３５の下端部近傍から板面１０ｂの下端部に対して傾斜する刃身３３が形成され、エッチング光の照射を継続することにより、刃先３４が形成される。これにより、コンタクトプローブ３１が完成する。
【０００４】
一方、図６（ａ）に示すように、コンタクトプローブ４１は、金属板１０の板面１０ａおよび板面１０ｂに刃身４３ａおよび刃身４３ｂがそれぞれ形成されたいわゆる両刃形の刃部４２を備えている。この場合、刃部４２は、同図（ｂ）に示すように、基板面Ｘに対して、その刃先４４が所定角度で傾斜するように形成されている。このコンタクトプローブ４１の製造に際しては、図９（ａ）に示すように、金属板１０の板面１０ａ，１０ｂに、マスクパターン４５，４５をそれぞれ貼付する。次に、板面１０ａ，１０ｂに対して直交する同図の矢印Ａ，Ｂで示す向きでエッチング光を照射する。これにより、マスクパターン４５，４５から露出している金属板１０がエッチング光によってエッチングされる結果、同図（ｂ）に示すように、刃先４４が形成されてコンタクトプローブ４１が完成する。
【０００５】
他方、図７（ａ）に示すように、コンタクトプローブ５１は、湾曲した刃身５３が金属板１０の板面１０ａ側に形成された片刃形の刃部５２を備えている。この場合、刃部５２は、同図（ｂ）に示すように、基板面Ｘに対して、その刃先５４が傾斜するように形成されている。このコンタクトプローブ５１の製造に際しては、図１０（ａ）に示すように、金属板１０の板面１０ａ，１０ｂに、所定形状のマスクパターン５５ａ，５５ｂをそれぞれ貼付する。この場合、板面１０ｂ側については、その下端部まで覆われるように、マスクパターン５５ａよりも大きなマスクパターン５５ｂを貼付する。次に、金属板１０に対して直交する同図の矢印Ａで示す向きでエッチング光を照射する。これにより、マスクパターンマスクパターン５５ａから露出している金属板１０がエッチング光によってエッチングされる。この際に、金属板１０の板面１０ｂ側では、マスクパターン５５ｂによってエッチングの進行が遅くなる結果、同図（ｂ）に示すように、板面１０ａ側の表面が湾曲して板面１０ｂ側に刃先５４を有する刃身５３が形成される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のコンタクトプローブ３１，４１，５１には、以下の問題点がある。まず、コンタクトプローブ３１では、その製造に際して、金属板１０の板面１０ａのみにエッチング光を照射している。このため、フォトエッチングの完了時において、エッチングし切れなかった板面１０ｂ側の薄い金属板がバリとして刃先３４の先端部に残留することがある。このため、コンタクトプローブ３１には、プロービング時において、バリに起因する接触不良が発生するという問題点がある。この場合、エッチング光をさらに長時間照射し続けることにより、このバリを除去することも可能ではある。しかし、かかる場合には、刃先３４を鋭利に形成するのが困難となり、プロービング時に大きな接触痕が基板面Ｘに形成されてしまうという問題が生じる。
【０００７】
一方、コンタクトプローブ４１では、その製造に際して、板面１０ａ，１０ｂの両面側からエッチング光を照射して刃身４３ａ，４３ｂを形成している。したがって、刃先４４にバリが形成される可能性が低くなる反面、刃先４４が丸みを帯びる可能性が高くなる。このため、このコンタクトプローブ４１には、プロービング時において、大きな接触痕が基板面Ｘに形成されてしまうという問題点がある。他方、コンタクトプローブ５１では、その製造に際して、金属板１０の板面１０ａ，１０ｂに、異なる形状のマスクパターン５５ａ，５５ｂを貼付する必要がある。このため、２種類のマスクパターン５５ａ，５５ｂを予め製作しなくてはならず、これに起因して製造コストの上昇を招いているという問題点がある。
【０００８】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、接触痕が小さく、しかも確実に接触し得るコンタクトプローブを低製造コストで製造可能なコンタクトプローブの製造方法を提供することを主目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項１記載のコンタクトプローブの製造方法は、薄板状のプローブ母材の板面にマスクパターンを貼付した後に、プローブ母材をフォトエッチングして、回路基板に接触させる両刃形の刃部を形成するコンタクトプローブの製造方法において、プローブ母材の両板面にマスクパターンをそれぞれ貼付した後に、刃部の一方の刃身が形成される側の一方の板面に直交する向きでその板面にエッチング光を照射すると共に、一方の板面に対する照射総量よりも少ない照射総量のエッチング光を刃部の他方の刃身が形成される側の他方の板面に直交する向きでその板面に照射することにより刃部を形成することを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載のコンタクトプローブの製造方法は、請求項１記載のコンタクトプローブの製造方法において、エッチング光の照度をほぼ一定に維持した状態で、両板面の各々に対して、各照射総量にほぼ比例する時間だけエッチング光をそれぞれ照射することを特徴とする。
【００１１】
請求項３記載のコンタクトプローブの製造方法は、請求項１または２記載のコンタクトプローブの製造方法において、一方の板面に対する照射総量の１／２０以上１／２以下の範囲内の照射総量を他方の板面に照射することを特徴とする。
【００１２】
請求項４記載のコンタクトプローブの製造方法は、請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブの製造方法において、一方の板面に対するエッチング光の照射を完了した後に、他方の板面にエッチング光を照射することを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクトプローブの製造方法の好適な発明の実施の形態について説明する。なお、従来のコンタクトプローブ３１，４１，５１と同一の構成要素については、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【００１４】
最初に、本発明におけるコンタクトプローブの製造方法によって製造されたコンタクトプローブ１の構成について、図１，２を参照して説明する。
【００１５】
コンタクトプローブ１は、例えば回路基板検査装置に装着され、その回路基板検査装置による所定の電気的検査の際に、検査対象の回路基板に接触可能に構成されている。具体的には、コンタクトプローブ１は、ブレード形のコンタクトプローブであって、本発明におけるプローブ母材に相当する金属板１０をフォトエッチングすることにより製造される。このコンタクトプローブ１は、図１（ａ）に示すように、金属板１０の板面１０ａに刃身３ａが形成され、かつ板面１０ｂに刃身３ｂが形成された両刃形の刃部２を備えている。この場合、刃部２は、コンタクトプローブ１が回路基板検査装置に装着された状態において、同図（ｂ）に示すように、所定の検査位置に配置された回路基板の基板面Ｘに対して、その刃先４が所定角度で傾斜するように形成されている。また、図２に示すように、刃先４は、板面１０ａから刃先４までの厚み方向における長さＬ１と、板面１０ｂから刃先４までの長さＬ２とが、例えば、ほぼ９：１となる位置に形成されている。
【００１６】
次に、コンタクトプローブ１の製造方法について、各図を参照して説明する。
【００１７】
まず、図３（ａ）に示すように、金属板１０の板面１０ａ，１０ｂに同一形状のマスクパターン５，５をそれぞれ貼付する。次に、この状態の金属板１０に対して直交する同図の矢印Ａで示す向きでエッチング光を照射する。これにより、マスクパターン５から露出している金属板１０がエッチング光によってエッチングされる。この際には、マスクパターン５から離れた部位ほど早くエッチングされ、マスクパターン５の近傍ほど遅くエッチングされる。したがって、同図（ｂ）に示すように、板面１０ａから板面１０ｂに向けて傾斜する刃身３ａが形成される。なお、この状態では、その端部Ｒにバリが生じていることがある。
【００１８】
次いで、図４（ａ）に示すように、金属板１０に対して直交する同図の矢印Ｂで示す向きでエッチング光を照射する。この際には、板面１０ａに対するエッチング光と同じ照度のエッチング光を、板面１０ａに対する照射時間のほぼ１／１０の時間だけ照射する。つまり、板面１０ｂに照射する照射総量を板面１０ａに対する照射総量のほぼ１／１０に規定する。これにより、金属板１０がエッチングされて、同図（ｂ）に示すように、板面１０ｂから板面１０ａに向けて傾斜する刃身３ｂが形成される。この際に、端部Ｒに生じていたバリは、板面１０ｂと共にエッチングされることによって除去される。これにより、コンタクトプローブ１が完成する。なお、板面１０ｂのエッチングの際に、金属板１０を反転させた後に、矢印Ａ方向からエッチング光を照射することにより、１台の照射装置を使用してフォトエッチングを行うことができる。この場合には、製造システムを安価に構成することができる。
【００１９】
このように、このコンタクトプローブ１の製造方法によれば、異なる形状のマスクパターン５５ａ，５５ｂを用いて製造された従来のコンタクトプローブ５１とは異なり、同一形状のマスクパターン５，５を用いてコンタクトプローブ１を製造することができるため、製造コストを低減することができる。また、このコンタクトプローブ１の製造方法によれば、板面１０ａにエッチング光を照射した際に端部Ｒに形成されたバリを、板面１０ｂにエッチング光を照射することによって除去できるため、バリに起因する接触不良の発生を防止することができる。さらに、板面１０ｂに極く短時間だけエッチング光を照射することにより、刃先４を鋭利に形成することができ、これにより、プロービング時における基板面Ｘへの接触痕を極限まで小さくすることができる。
【００２０】
なお、本発明は、上記した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、エッチング光の照射時間を変えることにより、金属板１０の板面１０ａ，１０ｂに対してほぼ１０：１の比率の照射総量でエッチング光を照射する例について説明したが、本発明はこれに限定されず、金属板１０の厚みや材質などに応じて、２０：１から２：１までの範囲内で任意に照射総量を変更することができる。なお、発明者の実験によれば、この範囲でフォトエッチングを行うことにより、バリがなく、鋭利な刃先を有するコンタクトプローブを製造できることが確認されている。また、本発明の実施の形態では、板面１０ａ，１０ｂに対する照射時間を変えてエッチング光の照射総量を変更する例について説明したが、本発明におけるコンタクトプローブの製造方法はこれに限定されない。例えば、板面１０ａに図３（ａ）の矢印Ａで示す向きでエッチング光を所定時間照射すると共に、板面１０ｂに図４（ａ）の矢印Ｃで示す向きでエッチング光を所定時間照射することにより、単位面積当りのエッチング光の照射総量を変更することができる。また、板面１０ａ，１０ｂに対するエッチング光の照度を変えることによって、各照射総量を変更することもできる。ただし、エッチング光の向きや照度を変える方式と比較して、照度を一定に維持した状態で照射時間を変える方式によれば、バリがなく、鋭利な刃先４を形成するために最適な照射総量となるように、正確かつ容易に管理することができる。
【００２１】
さらに、本発明の実施の形態では、板面１０ａに対するエッチング光の照射を完了した後に、板面１０ｂにエッチング光を照射する例について説明したが、両板面１０ａ，１０ｂに対するエッチング光の照射タイミングはこれに限定されない。例えば、板面１０ａ，１０ｂにマスクパターン５，５を貼付した状態で、まず、板面１０ａにエッチング光を照射し、板面１０ａへの照射が完了する前に板面１０ｂに対するエッチング光の照射を開始してもよい。また、板面１０ｂにエッチング光を短時間照射した後に、板面１０ａにエッチング光を所定時間照射してもよい。
【００２２】
【発明の効果】
以上のように、請求項１記載のコンタクトプローブの製造方法によれば、プローブ母材の両板面にマスクパターンをそれぞれ貼付した後に、一方の板面にエッチング光を照射すると共に、一方の板面に対する照射総量よりも少ない照射総量のエッチング光を他方の板面に照射して刃部を形成することにより、バリのないコンタクトプローブを製造することができる。また、両板面に対してほぼ等しくエッチング光を照射する製造方法とは異なり、刃先が鋭利なコンタクトプローブを製造することができる。したがって、接触痕が小さく、しかも基板面に確実にプロービングさせることができるコンタクトプローブを提供することができる。また、両板面に同一種類のマスクパターンを貼付することができるため、その製造コストを低コストに抑えることができる。
【００２３】
また、請求項２記載のコンタクトプローブの製造方法によれば、エッチング光の照度をほぼ一定に維持した状態で、両板面の各々に対して、各照射総量にほぼ比例する時間だけエッチング光をそれぞれ照射することにより、バリがなく、しかも鋭利な刃先となるように、エッチング光の照射総量を最適かつ容易に調節することができる。
【００２４】
さらに、請求項３記載のコンタクトプローブの製造方法によれば、一方の板面に対する照射総量の１／２０以上１／２以下の範囲内の照射総量を他方の板面に照射することにより、バリがなく、しかも鋭利な刃先を有するコンタクトプローブを製造することができる。
【００２５】
また、請求項４記載のコンタクトプローブの製造方法によれば、一方の板面に対するエッチング光の照射を完了した後に、プローブ母材を反転させて他方の板面にエッチング光を照射すれば、１台の照射装置を使用してフォトエッチングを行うことができる結果、製造システムを安価に構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の実施の形態に係るコンタクトプローブ１の正面図、（ｂ）はコンタクトプローブ１の側面図である。
【図２】厚み方向に切断した状態のコンタクトプローブ１の断面図である。
【図３】（ａ）は金属板１０の板面１０ａ，１０ｂにマスクパターン５，５をそれぞれ貼付した状態の断面図、（ｂ）はエッジング光によって板面１０ａがエッチングされて刃身３ａが形成された状態の断面図である。
【図４】（ａ）は金属板１０の板面１０ｂ側からエッチング光を照射している状態の断面図、（ｂ）はエッチング光によって板面１０ｂがエッチングされて刃身３ｂが形成された状態の断面図である。
【図５】（ａ）は従来のコンタクトプローブ３１の正面図、（ｂ）はコンタクトプローブ３１の側面図である。
【図６】（ａ）は従来のコンタクトプローブ４１の正面図、（ｂ）はコンタクトプローブ４１の側面図である。
【図７】（ａ）は従来のコンタクトプローブ５１の正面図、（ｂ）はコンタクトプローブ５１の側面図である。
【図８】（ａ）は金属板１０の板面１０ａにマスクパターン３５を貼付した状態のコンタクトプローブ３１の断面図、（ｂ）はエッチング光によって板面１０ｂがエッチングされて刃身３３が形成された状態のコンタクトプローブ３１の断面図である。
【図９】（ａ）は金属板１０の板面１０ａ，１０ｂにマスクパターン４５，４５をそれぞれ貼付した状態のコンタクトプローブ４１の断面図、（ｂ）はエッチング光によって板面１０ａ，１０ｂがエッチングされて刃身４３ａ，４３ｂが形成された状態のコンタクトプローブ４１の断面図である。
【図１０】（ａ）は金属板１０の板面１０ａ，１０ｂにマスクパターン５５ａ，５５ｂをそれぞれ貼付した状態のコンタクトプローブ５１の断面図、（ｂ）はエッチング光によって板面１０ａ，１０ｂがエッチングされて刃身５３が形成された状態のコンタクトプローブ５１の断面図である。
【符号の説明】
１  コンタクトプローブ
２  刃部
３ａ，３ｂ  刃身
５  マスクパターン
１０  金属板
１０ａ，１０ｂ  板面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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