(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スパイラル状の第１コイル導体と、前記第１コイル導体の外側端と第１端子電極とを接続する第１引出導体とを有する第１導体層と、
スパイラル状の第２コイル導体と、前記第２コイル導体の外側端と第２端子電極とを接続する第２引出導体とを有する第２導体層と、
スパイラル状の第３コイル導体と、前記第３コイル導体の外側端と第３端子電極とを接続する第３引出導体とを有する第３導体層と、
前記第１導体層と前記第２導体層との間に配置された第１絶縁層と、
前記第２導体層と前記第３導体層との間に配置された第２絶縁層と、
前記第１コイル導体の内側端と第４端子電極とを接続する第１接続手段と、
前記第２コイル導体の内側端と第５端子電極とを接続する第２接続手段と、
前記第３コイル導体の内側端と第６端子電極とを接続する第３接続手段とを備え、
前記第１端子電極、前記第２端子電極及び前記第３端子電極は同じ側に配置され、
前記第４端子電極、前記第５端子電極及び前記第６端子電極は、前記第１端子電極、前記第２端子電極及び前記第３端子電極の反対側に配置されており、
前記第１接続手段は、前記第１導体層とは異なる層において前記第１コイル導体を横切るように形成された第１接続部を有し、
前記第２接続手段は、前記第２導体層とは異なる層において前記第２コイル導体を横切るように形成された第２接続部を有し、
前記第３接続手段は、前記第３導体層とは異なる層において前記第３コイル導体を横切るように形成された第３接続部を有し、
前記第１導体層は、前記第４端子電極と接続された第４引出導体を更に有し、
前記第２導体層は、前記第２コイル導体の内側領域に形成され、前記第１コイル導体の内側端と前記第４引出導体とを接続する第１コイル導体用の接続導体を更に有し、
前記第４引出導体及び前記第１コイル導体用の接続導体は、前記第１接続手段の一部を構成し、
前記第１接続部は、前記第１コイル導体用の接続導体であることを特徴とするコモンモードフィルタ。
【請求項２】
前記第１導体層は、前記第５端子電極と接続された第５引出導体と、前記第６端子電極と接続された第６引出導体とを更に有し、
前記第５引出導体は、前記第２接続手段の一部を構成し、
前記第６引出導体は、前記第３接続手段の一部を構成し、
前記第２接続部は、前記第５引出導体の一部分であり、
前記第３接続部は、前記第６引出導体の一部分であることを特徴とする請求項１記載のコモンモードフィルタ。
【請求項３】
前記第１絶縁層は、前記第１コイル導体の内側端及び前記第４引出導体と前記第１コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する２つの第１コンタクトホールと、前記第２コイル導体の内側端と前記第５引出導体とを接続する第２コンタクトホールと、前記第３コイル導体の内側端と前記第６引出導体とを接続する第３コンタクトホールとを有し、
前記第２絶縁層は、前記第３コイル導体の内側端と前記第６引出導体とを接続する第４コンタクトホールを有し、
前記各第１コンタクトホールは、前記第１接続手段の一部を構成し、
前記第２コンタクトホールは、前記第２接続手段の一部を構成し、
前記第３コンタクトホール及び前記第４コンタクトホールは、前記第３接続手段の一部を構成することを特徴とする請求項２記載のコモンモードフィルタ。
【請求項４】
前記第１導体層は、前記第５端子電極と接続された第５引出導体を更に有し、
前記第３導体層は、前記第６端子電極と接続された第６引出導体を更に有し、
前記第２導体層は、前記第２コイル導体の内側領域に形成され、前記第３コイル導体の内側端と前記第６引出導体とを接続する第３コイル導体用の接続導体を更に有し、
前記第５引出導体は、前記第２接続手段の一部を構成し、
前記第６引出導体及び前記第３コイル導体用の接続導体は、前記第３接続手段の一部を構成し、
前記第２接続部は、前記第５引出導体の一部分であり、
前記第３接続部は、前記第３コイル導体用の接続導体であることを特徴とする請求項１記載のコモンモードフィルタ。
【請求項５】
前記第１絶縁層は、前記第１コイル導体の内側端及び前記第４引出導体と前記第１コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する２つの第１コンタクトホールと、前記第２コイル導体の内側端と前記第５引出導体とを接続する第２コンタクトホールとを有し、
前記第２絶縁層は、前記第３コイル導体の内側端及び前記第６引出導体と前記第３コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する２つの第３コンタクトホールを有し、
前記各第１コンタクトホールは、前記第１接続手段の一部を構成し、
前記第２コンタクトホールは、前記第２接続手段の一部を構成し、
前記各第３コンタクトホールは、前記第３接続手段の一部を構成することを特徴とする請求項４記載のコモンモードフィルタ。
【請求項６】
前記第２導体層は、前記第５端子電極と接続された第５引出導体を更に有し、
前記第３導体層は、前記第６端子電極と接続された第６引出導体を更に有し、
前記第１導体層は、前記第１コイル導体の外側領域に形成され、前記第２コイル導体の内側端と前記第５引出導体とを接続する第２コイル導体用の接続導体と、前記第１コイル導体の外側領域に形成され、前記第３コイル導体の内側端と前記第６引出導体とを接続する第３コイル導体用の接続導体とを更に有し、
前記第５引出導体及び前記第２コイル導体用の接続導体は、前記第２接続手段の一部を構成し、
前記第６引出導体及び前記第３コイル導体用の接続導体は、前記第３接続手段の一部を構成し、
前記第２接続部は、前記第２コイル導体用の接続導体であり、
前記第３接続部は、前記第３コイル導体用の接続導体であることを特徴とする請求項１記載のコモンモードフィルタ。
【請求項７】
前記第１絶縁層は、前記第１コイル導体の内側端及び前記第４引出導体と前記第１コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する２つの第１コンタクトホールと、前記第２コイル導体の内側端及び前記第５引出導体と前記第２コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する２つの第２コンタクトホールと、前記第３コイル導体の内側端及び前記第６引出導体と前記第３コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する２つの第３コンタクトホールとを有し、
前記第２絶縁層は、前記第３コイル導体の内側端及び前記第６引出導体と前記第３コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する２つの第４コンタクトホールを有し、
前記各第１コンタクトホールは、前記第１接続手段の一部を構成し、
前記各第２コンタクトホールは、前記第２接続手段の一部を構成し、
前記各第３コンタクトホール及び前記各第４コンタクトホールは、前記第３接続手段の一部を構成することを特徴とする請求項６記載のコモンモードフィルタ。
【請求項８】
前記第１コイル導体及び前記第３コイル導体の少なくとも一方の線路長は、前記第２コイル導体の線路長よりも短いことを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項記載のコモンモードフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、３つのコイルを有するコモンモードフィルタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来において、３つのコイルを有する３ライン構造のコモンモードフィルタとしては、例えば特許文献１に記載されているように、複数の絶縁性シートと複数のコイル用導体パターンとを積み重ねて、３つのコイルを形成して成る積層型コモンモードフィルタが知られている。このような３ライン構造のコモンモードフィルタでは、３つのコイルのうち何れか１つをグランドライン用コイルとし、他の２つのコイルを信号ライン用コイルとして使用される。
【特許文献１】特開２００４−１６５４４８号公報（図３及び図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来技術においては、絶縁性シートを介して積層された２つのスパイラル状のコイル用導体パターンが、絶縁性シートに設けられたビアホールを介して直列に接続されることで、１つ（１ライン）のコイルが形成される構造となっている。このような構成では、１ラインのコイルにおいて各コイル用導体パターン同士が重なり合う領域が増加せざるを得ないため、コイルの一端部（入力部）と他端部（出力部）との間に生じる浮遊容量が増大する。その結果、コモンモードフィルタの共振周波数が低下し、高周波帯域のコモンモード特性が低下してしまう。
【０００４】
本発明の目的は、コイルに生じる浮遊容量を低減することができるコモンモードフィルタを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のコモンモードフィルタは、スパイラル状の第１コイル導体と、第１コイル導体の外側端と第１端子電極とを接続する第１引出導体とを有する第１導体層と、スパイラル状の第２コイル導体と、第２コイル導体の外側端と第２端子電極とを接続する第２引出導体とを有する第２導体層と、スパイラル状の第３コイル導体と、第３コイル導体の外側端と第３端子電極とを接続する第３引出導体とを有する第３導体層と、第１導体層と第２導体層との間に配置された第１絶縁層と、第２導体層と第３導体層との間に配置された第２絶縁層と、第１コイル導体の内側端と第４端子電極とを接続する第１接続手段と、第２コイル導体の内側端と第５端子電極とを接続する第２接続手段と、第３コイル導体の内側端と第６端子電極とを接続する第３接続手段とを備え、第１端子電極、第２端子電極及び第３端子電極は同じ側に配置され、第４端子電極、第５端子電極及び第６端子電極は、第１端子電極、第２端子電極及び第３端子電極の反対側に配置されており、第１接続手段は、第１導体層とは異なる層において第１コイル導体を横切るように形成された第１接続部を有し、第２接続手段は、第２導体層とは異なる層において第２コイル導体を横切るように形成された第２接続部を有し、第３接続手段は、第３導体層とは異なる層において第３コイル導体を横切るように形成された第３接続部を有し、第１導体層は、第４端子電極と接続された第４引出導体を更に有し、第２導体層は、第２コイル導体の内側領域に形成され、第１コイル導体の内側端と第４引出導体とを接続する第１コイル導体用の接続導体を更に有し、第４引出導体及び第１コイル導体用の接続導体は、第１接続手段の一部を構成し、第１接続部は、第１コイル導体用の接続導体であることを特徴とするものである。
【０００６】
このようなコモンモードフィルタにおいては、第１コイル導体の外側端は、第１引出導体を介して第１端子電極と接続され、第１コイル導体の内側端は、第１接続部を含む第１接続手段を介して第４端子電極と接続される。これにより、第１コイル導体を含む１つ（１ライン）のコイルが形成されることになる。また、第２コイル導体の外側端は、第２引出導体を介して第２端子電極と接続され、第２コイル導体の内側端は、第２接続部を含む第２接続手段を介して第５端子電極と接続される。第３コイル導体の外側端は、第３引出導体を介して第３端子電極と接続され、第３コイル導体の内側端は、第３接続部を含む第３接続手段を介して第６端子電極と接続される。つまり、第２コイル導体を含むコイル及び第３コイル導体を含むコイルも形成されるため、コモンモードフィルタは、全部で３つのコイルを有することとなる。
【０００７】
ここで、第１接続部は、第１導体層とは異なる層において第１コイル導体を横切るように形成されている。このため、第１コイル導体を含むコイルにおいて、第１コイル導体と第１接続部とが重なり合う領域は少ない。また、これと同様に、第２コイル導体を含むコイルにおいて、第２コイル導体と第２接続部とが重なり合う領域は少なく、第３コイル導体を含むコイルにおいて、第３コイル導体と第３接続部とが重なり合う領域は少ない。このように各ラインのコイルにおいてコイル形成部同士が重なり合う領域が少なくて済むので、各コイルに生じる浮遊容量を低減することができる。
【０００９】
第１接続手段の一部を構成する第１コイル導体用の接続導体を第２導体層に形成することにより、コモンモードフィルタの層を必要以上に増やさなくて済むため、コモンモードフィルタの製造工程を簡略化することができる。また、第１コイル導体用の接続導体を第２導体層における第２コイル導体の内側領域に形成することにより、第１コイル導体を含むコイルをスペース効率良く形成することができる。
【００１０】
このとき、好ましくは、第１導体層は、第５端子電極と接続された第５引出導体と、第６端子電極と接続された第６引出導体とを更に有し、第５引出導体は、第２接続手段の一部を構成し、第６引出導体は、第３接続手段の一部を構成し、第２接続部は、第５引出導体の一部分であり、第３接続部は、第６引出導体の一部分である。
【００１１】
第２接続手段の一部を構成する第５引出導体と第３接続手段の一部を構成する第６引出導体とを第１導体層に形成することにより、コモンモードフィルタの層を更に必要以上に増やさなくて済むため、コモンモードフィルタの製造工程をより簡略化することができる。
【００１２】
このとき、好ましくは、第１絶縁層は、第１コイル導体の内側端及び第４引出導体と第１コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する２つの第１コンタクトホールと、第２コイル導体の内側端と第５引出導体とを接続する第２コンタクトホールと、第３コイル導体の内側端と第６引出導体とを接続する第３コンタクトホールとを有し、第２絶縁層は、第３コイル導体の内側端と第６引出導体とを接続する第４コンタクトホールを有し、各第１コンタクトホールは、第１接続手段の一部を構成し、第２コンタクトホールは、第２接続手段の一部を構成し、第３コンタクトホール及び第４コンタクトホールは、第３接続手段の一部を構成する。
【００１３】
このように第１絶縁層及び第２絶縁層に接続用のコンタクトホールを設けることにより、第１接続手段、第２接続手段及び第３接続手段を複雑化させること無く簡単に形成することができる。
【００１４】
また、第１導体層は、第５端子電極と接続された第５引出導体を更に有し、第３導体層は、第６端子電極と接続された第６引出導体を更に有し、第２導体層は、第２コイル導体の内側領域に形成され、第３コイル導体の内側端と第６引出導体とを接続する第３コイル導体用の接続導体を更に有し、第５引出導体は、第２接続手段の一部を構成し、第６引出導体及び第３コイル導体用の接続導体は、第３接続手段の一部を構成し、第２接続部は、第５引出導体の一部分であり、第３接続部は、第３コイル導体用の接続導体であっても良い。
【００１５】
第２接続手段を構成する第５引出導体を第１導体層に形成し、第３接続手段を構成する第３コイル導体用の接続導体を第２導体層に形成することにより、コモンモードフィルタの層を更に必要以上に増やさなくて済むため、コモンモードフィルタの製造工程をより簡略化することができる。
【００１６】
このとき、好ましくは、第１絶縁層は、第１コイル導体の内側端及び第４引出導体と第１コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する２つの第１コンタクトホールと、第２コイル導体の内側端と第５引出導体とを接続する第２コンタクトホールとを有し、第２絶縁層は、第３コイル導体の内側端及び第６引出導体と第３コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する２つの第３コンタクトホールを有し、各第１コンタクトホールは、第１接続手段の一部を構成し、第２コンタクトホールは、第２接続手段の一部を構成し、各第３コンタクトホールは、第３接続手段の一部を構成する。
【００１７】
このように第１絶縁層及び第２絶縁層に接続用のコンタクトホールを設けることにより、第１接続手段、第２接続手段及び第３接続手段を複雑化させること無く簡単に形成することができる。
【００１８】
また、第２導体層は、第５端子電極と接続された第５引出導体を更に有し、第３導体層は、第６端子電極と接続された第６引出導体を更に有し、第１導体層は、第１コイル導体の外側領域に形成され、第２コイル導体の内側端と第５引出導体とを接続する第２コイル導体用の接続導体と、第１コイル導体の外側領域に形成され、第３コイル導体の内側端と第６引出導体とを接続する第３コイル導体用の接続導体とを更に有し、第５引出導体及び第２コイル導体用の接続導体は、第２接続手段の一部を構成し、第６引出導体及び第３コイル導体用の接続導体は、第３接続手段の一部を構成し、第２接続部は、第２コイル導体用の接続導体であり、第３接続部は、第３コイル導体用の接続導体であっても良い。
【００１９】
第２接続手段を構成する第２コイル導体用の接続導体と第３接続手段を構成する第３コイル導体用の接続導体とを第１導体層に形成することにより、コモンモードフィルタの層を更に必要以上に増やさなくて済むため、コモンモードフィルタの製造工程をより簡略化することができる。
【００２０】
このとき、好ましくは、第１絶縁層は、第１コイル導体の内側端及び第４引出導体と第１コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する２つの第１コンタクトホールと、第２コイル導体の内側端及び第５引出導体と第２コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する２つの第２コンタクトホールと、第３コイル導体の内側端及び第６引出導体と第３コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する２つの第３コンタクトホールとを有し、第２絶縁層は、第３コイル導体の内側端及び第６引出導体と第３コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する２つの第４コンタクトホールを有し、各第１コンタクトホールは、第１接続手段の一部を構成し、各第２コンタクトホールは、第２接続手段の一部を構成し、各第３コンタクトホール及び各第４コンタクトホールは、第３接続手段の一部を構成する。
【００２１】
このように第１絶縁層及び第２絶縁層に接続用のコンタクトホールを設けることにより、第１接続手段、第２接続手段及び第３接続手段を複雑化させること無く簡単に形成することができる。
【００２２】
さらに、好ましくは、第１コイル導体及び第３コイル導体の少なくとも一方の線路長は、第２コイル導体の線路長よりも短い。
【００２３】
第２導体層における第２コイル導体の内側領域には第１コイル導体用の接続導体が形成されるので、第２コイル導体の線路長を短くするには限界があるが、第１コイル導体及び第３コイル導体には、特にそのような制約は無い。そこで、例えば第１コイル導体または第３コイル導体をグランドラインとして使用する場合には、当該コイル導体の線路長を第２コイル導体の線路長よりも短くすることにより、その分だけ直流抵抗が低くなるため、良好なフィルタ特性を得ることができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、コモンモードフィルタの各コイルに生じる浮遊容量を低減することができる。これにより、高周波帯域のコモンモード特性を向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明に係わるコモンモードフィルタの好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００２６】
まず、本発明に係わるコモンモードフィルタの第１実施形態を図１〜図６により説明する。図１は、本実施形態のコモンモードフィルタを示す斜視図である。同図において、コモンモードフィルタ１は、３ライン構造の積層型コモンモードフィルタである。
【００２７】
コモンモードフィルタ１は、下部磁性基板２、層構造体３及び上部磁性基板４からなる積層体５を備えている。層構造体３は、下部磁性基板２と上部磁性基板４との間に配置されている。下部磁性基板２及び上部磁性基板４は、焼結フェライト、複合フェライト（粉状のフェライトを含有した樹脂）等の磁性材料からなる基板である。
【００２８】
積層体５の一方の側面部には端子電極６Ａ〜８Ａが設けられ、積層体５の他方の側面部には端子電極６Ｂ〜８Ｂが設けられている。端子電極６Ａは端子電極７Ａ，８Ａ間に配置され、端子電極６Ｂは端子電極７Ｂ，８Ｂ間に配置されている。端子電極６Ａ〜８Ａ及び端子電極６Ｂ〜８Ｂは、積層体５の下面、側面及び上面にわたるようにコの字状に形成されている。
【００２９】
図２は、積層体５の分解斜視図である。同図において、層構造体３は、下から順に絶縁層９、導体層１０、絶縁層１１、導体層１２、絶縁層１３、導体層１４及び絶縁層１５が積層されて成るものである。絶縁層９，１１，１３，１５は、電気的及び磁気的な絶縁性に優れ、加工性の良い樹脂材料（例えばポリイミド樹脂やエポキシ樹脂等）で形成されている。導体層１０，１２，１４は、導電性及び加工性等に優れた金属材料（例えばＣｕやＡｌ等）で形成されている。
【００３０】
最下層の絶縁層９は、下部磁性基板２の上面に凹凸があっても、導体層１０との密着性を良好にするための層である。
【００３１】
導体層１０は、絶縁層９上に形成されている。導体層１０は、図３に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体１６と、このコイル導体１６と繋がっている引出導体１７と、コイル導体１６の外側領域に形成された引出導体１８〜２０とを有している。また、導体層１０は、絶縁層９の一方の側縁部上に形成された引出電極２１Ａ〜２３Ａと、絶縁層９の他方の側縁部上に形成された引出電極２１Ｂ〜２３Ｂとを有している。引出電極２１Ａは引出電極２２Ａ，２３Ａ間に配置され、引出電極２１Ｂは引出電極２２Ｂ，２３Ｂ間に配置されている。
【００３２】
引出導体１７の一端は、コイル導体１６の外側端と接続され、引出導体１７の他端は、引出電極２１Ａと接続されている。引出導体１８〜２０は、曲折状に延びて引出電極２１Ｂ〜２３Ｂとそれぞれ接続されている。引出導体１８〜２０の先端部（引出電極２１Ｂ〜２３Ｂとは反対側の端部）は、コイル導体１６の一側方に位置している。
【００３３】
導体層１２は、絶縁層１１上に形成されている。導体層１２は、図４に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体２４と、このコイル導体２４と繋がっている引出導体２５と、コイル導体２４の内側領域に形成された接続導体２６とを有している。また、導体層１２は、絶縁層１１の一方の側縁部上に形成された引出電極２７Ａ〜２９Ａと、絶縁層１１の他方の側縁部上に形成された引出電極２７Ｂ〜２９Ｂとを有している。引出電極２７Ａは引出電極２８Ａ，２９Ａ間に配置され、引出電極２７Ｂは引出電極２８Ｂ，２９Ｂ間に配置されている。
【００３４】
引出導体２５の一端は、コイル導体２４の外側端と接続され、引出導体２５の他端は、引出電極２８Ａと接続されている。接続導体２６は、導体層１０におけるコイル導体１６の内側端と引出導体１８とを接続するための導体である。
【００３５】
導体層１４は、絶縁層１３上に形成されている。導体層１４は、図５に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体３０と、このコイル導体３０と繋がっている引出導体３１とを有している。また、導体層１４は、絶縁層１３の一方の側縁部上に形成された引出電極３２Ａ〜３４Ａと、絶縁層１３の他方の側縁部上に形成された引出電極３２Ｂ〜３４Ｂとを有している。引出電極３２Ａは引出電極３３Ａ，３４Ａ間に配置され、引出電極３２Ｂは引出電極３３Ｂ，３４Ｂ間に配置されている。引出導体３１の一端は、コイル導体３０の外側端と接続され、引出導体３１の他端は、引出電極３４Ａと接続されている。
【００３６】
ここで、導体層１２の接続導体２６は、図６（ａ）に示すように、導体層１０のコイル導体１６を垂直に横切るように形成されている。導体層１０における引出導体１９の先端側の直線部分１９ａは、図６（ｂ）に示すように、導体層１２のコイル導体２４を垂直に横切るように形成されている。導体層１０における引出導体２０の先端側の直線部分２０ａは、図６（ｃ）に示すように、導体層１４のコイル導体３０を垂直に横切るように形成されている。
【００３７】
また、コイル導体１６の線路長は、コイル導体２４，３０の線路長よりも短くなっている。このため、導体層１０におけるコイル導体１６の外側領域に引出導体１８〜２０を設けることが可能となる。
【００３８】
絶縁層１１には、コイル導体１６の内側端と接続導体２６の一端とを接続するコンタクトホール３５ａと、接続導体２６の他端と引出導体１８とを接続するコンタクトホール３５ｂと、コイル導体２４の内側端と引出導体１９とを接続するコンタクトホール３５ｃと、コイル導体３０の内側端と引出導体２０とを接続するコンタクトホール３５ｄとが形成されている。コンタクトホール３５ａ〜３５ｄは、絶縁層１１に設けられた貫通孔に銀やパラジウム等の磁性材料を埋め込むことにより形成される。
【００３９】
また、絶縁層１３には、コイル導体３０の内側端と引出導体２０とを接続するコンタクトホール３６が形成されている。コンタクトホール３６の構造は、コンタクトホール３５ａ〜３５ｄと同様である。
【００４０】
コイル導体２４の内側領域に接続導体２６を形成することに加え、そのようなコンタクトホール３５ａ〜３５ｄ，３６を設けることにより、コイル導体１６と引出導体１８との電気的接続、コイル導体２４と引出導体１９との電気的接続、コイル導体３０と引出導体２０との電気的接続を、スペース効率良く且つ簡単な構成で行うことができる。
【００４１】
このように構成された積層体５の両側面には、上述したように端子電極６Ａ〜８Ａ及び端子電極６Ｂ〜８Ｂがそれぞれ設けられている。端子電極６Ａは引出電極２１Ａ，２７Ａ，３２Ａと電気的に接続され、端子電極７Ａは引出電極２２Ａ，２８Ａ，３３Ａと電気的に接続され、端子電極８Ａは引出電極２３Ａ，２９Ａ，３４Ａと電気的に接続されている。端子電極６Ｂは引出電極２１Ｂ，２７Ｂ，３２Ｂと電気的に接続され、端子電極７Ｂは引出電極２２Ｂ，２８Ｂ，３３Ｂと電気的に接続され、端子電極８Ｂは引出電極２３Ｂ，２９Ｂ，３４Ｂと電気的に接続されている。
【００４２】
以上のようなコモンモードフィルタ１において、端子電極６Ａ、引出電極２１Ａ、引出導体１７、コイル導体１６、コンタクトホール３５ａ、接続導体２６、コンタクトホール３５ｂ、引出導体１８、引出電極２１Ｂ及び端子電極６Ｂは、電気的に直列接続されてなるコイル３７Ａを構成している。端子電極７Ａ、引出電極２８Ａ、引出導体２５、コイル導体２４、コンタクトホール３５ｃ、引出導体１９、引出電極２２Ｂ及び端子電極７Ｂは、電気的に直列接続されてなるコイル３７Ｂを構成している。端子電極８Ａ、引出電極３４Ａ、引出導体３１、コイル導体３０、コンタクトホール３６，３５ｄ、引出導体２０、引出電極２３Ｂ及び端子電極８Ｂは、電気的に直列接続されてなるコイル３７Ｃを構成している。これにより、コモンモードフィルタ１は、３つのコイル３７Ａ〜３７Ｃを有することとなる。
【００４３】
そして、端子電極６Ａ〜８Ａは、コイル３７Ａ〜３７Ｃの入力用電極としてそれぞれ使用され、端子電極６Ｂ〜８Ｂは、コイル３７Ａ〜３７Ｃの出力用電極としてそれぞれ使用される。そして、コイル３７Ａは、グランド（ＧＮＤ）ライン用コイルとして構成され、コイル３７Ｂ，３７Ｃは、信号ライン用コイルとして構成されている。
【００４４】
ここで、コイル３７Ａにおいては、接続導体２６がコイル導体１６を横切るように形成されているので、絶縁層１１を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。また、コイル３７Ｂにおいては、引出導体１９の先端側の直線部分１９ａがコイル導体２４を横切るように形成されているので、絶縁層１１を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。さらに、コイル３７Ｃにおいては、引出導体２０の先端側の直線部分２０ａがコイル導体３０を横切るように形成されているので、絶縁層１１，１３を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。
【００４５】
次に、上述したコモンモードフィルタ１を製造する手順について説明する。まず、積層体５を以下のようにして作製する。
【００４６】
即ち、例えばスピンコート法、ディップ法、スプレー法等により上記の樹脂材料を下部磁性基板２上に塗布して硬化させることにより、絶縁層９を形成する。続いて、例えば電気めっき法やスパッタ法により絶縁層９上に導体薄膜を形成し、更にフォトリソグラフィー法によりコイル導体１６、引出導体１７〜２０、引出電極２１Ａ〜２３Ａ及び引出電極２１Ｂ〜２３Ｂのパターンを形成することにより、導体層１０を形成する。なお、導体層１０の形成方法としては、上記の薄膜工法の他に、積層工法等を用いても良い。
【００４７】
続いて、絶縁層９の形成方法と同様にして、導体層１０の上に絶縁層１１を形成する。そして、例えばエッチング法及び電気めっき法により、絶縁層１１にコンタクトホール３５ａ〜３５ｄを形成する。続いて、導体層１０の形成方法と同様の方法によって、絶縁層１１上にコイル導体２４、引出導体２５、接続導体２６、引出電極２７Ａ〜２９Ａ及び引出電極２７Ｂ〜２９Ｂのパターンを形成することにより、導体層１２を形成する。
【００４８】
続いて、絶縁層１１の形成方法と同様にして、導体層１２の上に絶縁層１３を形成し、更に絶縁層１３にコンタクトホール３６を形成する。続いて、導体層１０，１２の形成方法と同様の方法によって、絶縁層１３上にコイル導体３０、引出導体３１、引出電極３２Ａ〜３４Ａ及び引出電極３２Ｂ〜３４Ｂのパターンを形成することにより、導体層１４を形成する。
【００４９】
続いて、絶縁層９の形成方法と同様にして、導体層１４の上に絶縁層１５を形成する。続いて、絶縁層１５上にエポキシ樹脂等の接着剤を塗布して接着層（図示せず）を形成し、この接着層の上面に上部磁性基板４を貼り付ける。これにより、上記の積層体５が得られる。
【００５０】
その後、積層体５の一方の側面部に端子電極６Ａ〜８Ａを形成し、積層体５の他方の側面部に端子電極６Ｂ〜８Ｂを形成する。具体的には、例えばマスクスパッタ法により積層体５の側面部にＣｒ／Ｃｕ膜またはＴｉ／Ｃｕ膜を成膜した後、Ｎｉ／Ｓｎを用いて電気めっきを施すことにより、端子電極６Ａ〜８Ａ及び端子電極６Ｂ〜８Ｂを形成する。以上により、上記のコモンモードフィルタ１が完成する。
【００５１】
以上のように本実施形態にあっては、１ラインのコイル３７Ａにおいて上下に重なり合う領域が少なくて済むので、端子電極６Ａ，６Ｂ間（コイル３７Ａの入力部と出力部との間）に発生する浮遊容量を低減することができる。また、これと同様に、コイル３７Ｂについて端子電極７Ａ，７Ｂ間に発生する浮遊容量を低減し、コイル３７Ｃについて端子電極８Ａ，８Ｂ間に発生する浮遊容量を低減することができる。これにより、コモンモードフィルタ１の共振周波数を高くし、高周波特性の良好なコモンモードフィルタ１を得ることが可能となる。
【００５２】
また、グランドラインとして使用するコイル導体１６の線路長は、信号ラインとして使用するコイル導体２４，３０の線路長よりも短いので、直流抵抗が低く抑えられる。これにより、特性的に優れた３ライン構造のコモンモードフィルタ１を実現することが可能となる。
【００５３】
さらに、コイル３７Ａの一部を導体層１２に設け、コイル３７Ｂの一部を導体層１０に設け、コイル３７Ｃの一部を導体層１０に設けたので、導体層が３層だけであっても、３つのコイルを形成することができる。これにより、コモンモードフィルタ１の製造工程の簡素化が図れるため、製造コストを抑えることが可能となる。また、コモンモードフィルタ１の高さ寸法を小さくできるため、素子の小型化に有利である。
【００５４】
本発明に係わるコモンモードフィルタの第２実施形態を図７〜図１１により説明する。図中、第１実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００５５】
図７は、本実施形態のコモンモードフィルタの主要部を示す分解斜視図である。同図において、本実施形態のコモンモードフィルタの積層体５は、第１実施形態における層構造体３に代えて、層構造体４０を有している。層構造体４０は、下から順に絶縁層９、導体層４１、絶縁層４２、導体層４３、絶縁層４４、導体層４５及び絶縁層１５が積層されて成るものである。
【００５６】
導体層４１は、絶縁層９上に形成されている。導体層４１は、図８に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体４６と、このコイル導体４６と繋がっている引出導体４７と、コイル導体４６の外側領域に形成された引出導体４８，４９と、引出電極２１Ａ〜２３Ａ及び引出電極２１Ｂ〜２３Ｂとを有している。
【００５７】
引出導体４７の一端は、コイル導体４６の外側端と接続され、引出導体４７の他端は、引出電極２１Ａと接続されている。引出導体４８，４９は、曲折状に延びて引出電極２１Ｂ，２２Ｂとそれぞれ接続されている。引出導体４８，４９の先端部（引出電極２１Ｂ，２２Ｂとは反対側の端部）は、コイル導体４６の一側方に位置している。
【００５８】
導体層４３は、絶縁層４２上に形成されている。導体層４３は、図９に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体５０と、このコイル導体５０と繋がっている引出導体５１と、コイル導体５０の内側領域に形成された接続導体５２，５３と、引出電極２７Ａ〜２９Ａ及び引出電極２７Ｂ〜２９Ｂとを有している。
【００５９】
引出導体５１の一端は、コイル導体５０の外側端と接続され、引出導体５１の他端は、引出電極２８Ａと接続されている。接続導体５２は、導体層４１におけるコイル導体４６の内側端と引出導体４８とを接続するための導体である。接続導体５３については後述する。
【００６０】
導体層４５は、絶縁層４４上に形成されている。導体層４５は、図１０に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体５４と、このコイル導体５４と繋がっている引出導体５５と、コイル導体５４の外側領域に形成された引出導体５６と、引出電極３２Ａ〜３４Ａ及び引出電極３２Ｂ〜３４Ｂとを有している。
【００６１】
引出導体５５の一端は、コイル導体５４の外側端と接続され、引出導体５５の他端は、引出電極３４Ａと接続されている。引出導体５６は、曲折状に延びて引出電極３４Ｂと接続されている。引出導体５６の先端部は、コイル導体５４に対して引出導体４８，４９の先端部と同じ側に位置している。
【００６２】
上記の導体層４３に形成された接続導体５３は、コイル導体５４の内側端と引出導体５６とを接続するための導体である。
【００６３】
ここで、導体層４３の接続導体５２は、図１１（ａ）に示すように、導体層４１のコイル導体４６を垂直に横切るように形成されている。導体層４１における引出導体４９の先端側の直線部分４９ａは、図１１（ｂ）に示すように、導体層４３のコイル導体５０を垂直に横切るように形成されている。導体層４３の接続導体５３は、図１１（ｃ）に示すように、導体層４５のコイル導体５４を垂直に横切るように形成されている。
【００６４】
また、コイル導体４６の線路長は、コイル導体５０の線路長よりも短くなっている。このため、導体層４１におけるコイル導体４６の外側領域に引出導体４８，４９を設けることが可能となる。
【００６５】
絶縁層４２には、コイル導体４６の内側端と接続導体５２の一端とを接続するコンタクトホール５７ａと、接続導体５２の他端と引出導体４８とを接続するコンタクトホール５７ｂと、コイル導体５０の内側端と引出導体４９とを接続するコンタクトホール５７ｃとが形成されている。
【００６６】
絶縁層４４には、コイル導体５４の内側端と接続導体５３の一端とを接続するコンタクトホール５８ａと、接続導体５３の他端と引出導体５６とを接続するコンタクトホール５８ｂとが形成されている。
【００６７】
以上のような本実施形態のコモンモードフィルタにおいて、端子電極６Ａ、引出電極２１Ａ、引出導体４７、コイル導体４６、コンタクトホール５７ａ、接続導体５２、コンタクトホール５７ｂ、引出導体４８、引出電極２１Ｂ及び端子電極６Ｂは、電気的に直列接続されてなるコイル５９Ａを構成している。端子電極７Ａ、引出電極２８Ａ、引出導体５１、コイル導体５０、コンタクトホール５７ｃ、引出導体４９、引出電極２２Ｂ及び端子電極７Ｂは、電気的に直列接続されてなるコイル５９Ｂを構成している。端子電極８Ａ、引出電極３４Ａ、引出導体５５、コイル導体５４、コンタクトホール５８ａ、接続導体５３、コンタクトホール５８ｂ、引出導体５６、引出電極３４Ｂ及び端子電極８Ｂは、電気的に直列接続されてなるコイル５９Ｃを構成している。
【００６８】
ここで、コイル５９Ａにおいては、接続導体５２がコイル導体４６を横切るように形成されているので、絶縁層４２を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。また、コイル５９Ｂにおいては、引出導体４９の先端側の直線部分４９ａがコイル導体５０を横切るように形成されているので、絶縁層４２を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。さらに、コイル５９Ｃにおいては、接続導体５３がコイル導体５４を横切るように形成されているので、絶縁層４４を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。これにより、第１実施形態と同様に、コイル５９Ａ〜５９Ｃの各ラインに発生する浮遊容量を低減することができる。
【００６９】
本発明に係わるコモンモードフィルタの第３実施形態を図１２〜図１６により説明する。図中、第１実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００７０】
図１２は、本実施形態のコモンモードフィルタの主要部を示す分解斜視図である。同図において、本実施形態のコモンモードフィルタの積層体５は、第１実施形態における層構造体３に代えて、層構造体６０を有している。層構造体６０は、下から順に絶縁層９、導体層６１、絶縁層６２、導体層６３、絶縁層６４、導体層６５及び絶縁層１５が積層されて成るものである。
【００７１】
導体層６１は、絶縁層９上に形成されている。導体層６１は、図１３に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体６６と、このコイル導体６６と繋がっている引出導体６７と、コイル導体６６の外側領域に形成された引出導体６８及び接続導体６９，７０と、引出電極２１Ａ〜２３Ａ及び引出電極２１Ｂ〜２３Ｂとを有している。
【００７２】
引出導体６７の一端は、コイル導体６６の外側端と接続され、引出導体６７の他端は、引出電極２１Ａと接続されている。引出導体６８は、曲折状に延びて引出電極２１Ｂと接続されている。引出導体６８の先端部（引出電極２１Ｂとは反対側の端部）及び接続導体６９は、コイル導体６６の一側方に位置しており、接続導体７０は、コイル導体６６を挟んで接続導体６９の反対側に位置している。
【００７３】
導体層６３は、絶縁層６２上に形成されている。導体層６３は、図１４に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体７１と、このコイル導体７１と繋がっている引出導体７２と、コイル導体７１の内側領域に形成された接続導体７３と、コイル導体７１の外側領域に形成された引出導体７４と、引出電極２７Ａ〜２９Ａ及び引出電極２７Ｂ〜２９Ｂとを有している。
【００７４】
引出導体７２の一端は、コイル導体７１の外側端と接続され、引出導体７２の他端は、引出電極２８Ａと接続されている。接続導体７３は、導体層６３におけるコイル導体６６の内側端と引出導体６８とを接続するための導体である。引出導体７４の先端部は、コイル導体７１に対して上記の接続導体６９と同じ側に位置している。
【００７５】
導体層６５は、絶縁層６４上に形成されている。導体層６５は、図１５に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体７５と、このコイル導体７５と繋がっている引出導体７６と、コイル導体７５の外側領域に形成された引出導体７７と、引出電極３２Ａ〜３４Ａ及び引出電極３２Ｂ〜３４Ｂとを有している。
【００７６】
引出導体７６の一端は、コイル導体７５の外側端と接続され、引出導体７６の他端は、引出電極３４Ａと接続されている。引出導体７７は、曲折状に延びて引出電極３４Ｂと接続されている。引出導体７７の先端部は、コイル導体７５に対して上記の接続導体７０と同じ側に位置している。
【００７７】
上記の導体層６１に形成された接続導体６９は、導体層６３におけるコイル導体７１の内側端と引出導体７４とを接続するための導体である。また、導体層６１に形成された接続導体７０は、導体層６５におけるコイル導体７５の内側端と引出導体７７とを接続するための導体である。
【００７８】
ここで、導体層６３の接続導体７３は、図１６（ａ）に示すように、導体層６１のコイル導体６６を垂直に横切るように形成されている。導体層６１の接続導体６９は、図１６（ｂ）に示すように、導体層６３のコイル導体７１を垂直に横切るように形成されている。導体層６１の接続導体７０は、図１６（ｃ）に示すように、導体層６５のコイル導体７５を垂直に横切るように形成されている。
【００７９】
また、コイル導体６６の線路長は、コイル導体７１，７５の線路長よりも短くなっている。このため、導体層６１におけるコイル導体６６の両側方の領域に接続導体６９，７０をそれぞれ設けることが可能となる。
【００８０】
絶縁層６２には、コイル導体６６の内側端と接続導体７３の一端とを接続するコンタクトホール７８ａと、接続導体７３の他端と引出導体６８とを接続するコンタクトホール７８ｂと、コイル導体７１の内側端と接続導体６９の一端とを接続するコンタクトホール７８ｃと、接続導体６９の他端と引出導体７４とを接続するコンタクトホール７８ｄと、コイル導体７５の内側端と接続導体７０の一端とを接続するコンタクトホール７８ｅと、接続導体７０の他端と引出導体７７とを接続するコンタクトホール７８ｆとが形成されている。
【００８１】
絶縁層６４には、コイル導体７５の内側端と接続導体７０の一端とを接続するコンタクトホール７９ａと、接続導体７０の他端と引出導体７７とを接続するコンタクトホール７９ｂとが形成されている。
【００８２】
以上のような本実施形態のコモンモードフィルタにおいて、端子電極６Ａ、引出電極２１Ａ、引出導体６７、コイル導体６６、コンタクトホール７８ａ、接続導体７３、コンタクトホール７８ｂ、引出導体６８、引出電極２１Ｂ及び端子電極６Ｂは、電気的に直列接続されてなるコイル８０Ａを構成している。端子電極７Ａ、引出電極２８Ａ、引出導体７２、コイル導体７１、コンタクトホール７８ｃ、接続導体６９、コンタクトホール７８ｄ、引出導体７４、引出電極２８Ｂ及び端子電極７Ｂは、電気的に直列接続されてなるコイル８０Ｂを構成している。端子電極８Ａ、引出電極３４Ａ、引出導体７６、コイル導体７５、コンタクトホール７９ａ，７８ｅ、接続導体７０、コンタクトホール７８ｆ、７９ｂ、引出導体７７、引出電極３４Ｂ及び端子電極８Ｂは、電気的に直列接続されてなるコイル８０Ｃを構成している。
【００８３】
ここで、コイル８０Ａにおいては、接続導体７３がコイル導体６６を横切るように形成されているので、絶縁層６２を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。また、コイル８０Ｂにおいては、接続導体６９がコイル導体７１を横切るように形成されているので、絶縁層６２を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。さらに、コイル８０Ｃにおいては、接続導体７０がコイル導体７５を横切るように形成されているので、絶縁層６２，６４を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。これにより、第１実施形態と同様に、コイル８０Ａ〜８０Ｃの各ラインに発生する浮遊容量を低減することができる。
【００８４】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、コイル導体、引出導体及び接続導体を用いて３つのコイルを形成する構造としては、特に上記の３つの実施形態には限られない。
【００８５】
また、上記実施形態では、引出導体や接続導体を、コイル導体を有する３つの導体層のいずれかに形成する構造としたが、コイル導体を有する導体層とは全く異なる層に形成しても良い。また、コイル導体の内側端とこれに対応する端子電極とを接続する手段としては、絶縁層にコンタクトホールを設ける構造以外にも、例えばリード線等を用いて構成しても良い。
【００８６】
また、上記実施形態では、導体層に形成されるコイル導体を矩形のスパイラル状を呈するものとしたが、コイル導体のスパイラル形状としては、円形状または楕円形状等であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本発明に係わるコモンモードフィルタの第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示す積層体の分解斜視図である。
【図３】図２に示す下から１層目の導体層を示す平面図である。
【図４】図２に示す下から２層目の導体層を示す平面図である。
【図５】図２に示す下から３層目の導体層を示す平面図である。
【図６】図３〜図５に示すコイル導体とこのコイル導体を横切る導体との位置関係を示す概略平面図である。
【図７】本発明に係わるコモンモードフィルタの第２実施形態の主要部である積層体を示す分解斜視図である。
【図８】図７に示す下から１層目の導体層を示す平面図である。
【図９】図７に示す下から２層目の導体層を示す平面図である。
【図１０】図７に示す下から３層目の導体層を示す平面図である。
【図１１】図８〜図１０に示すコイル導体とこのコイル導体を横切る導体との位置関係を示す概略平面図である。
【図１２】本発明に係わるコモンモードフィルタの第３実施形態の主要部である積層体を示す分解斜視図である。
【図１３】図１２に示す下から１層目の導体層を示す平面図である。
【図１４】図１２に示す下から２層目の導体層を示す平面図である。
【図１５】図１２に示す下から３層目の導体層を示す平面図である。
【図１６】図１３〜図１５に示すコイル導体とこのコイル導体を横切る導体との位置関係を示す概略平面図である。
【符号の説明】
【００８８】
１…コモンモードフィルタ、６Ａ…端子電極（第１端子電極）、６Ｂ…端子電極（第４端子電極）、７Ａ…端子電極（第２端子電極）、７Ｂ…端子電極（第５端子電極）、８Ａ…端子電極（第３端子電極）、８Ｂ…端子電極（第６端子電極）、１０…導体層（第１導体層）、１１…絶縁層（第１絶縁層）、１２…導体層（第２導体層）、１３…絶縁層（第２絶縁層）、１４…導体層（第３導体層）、１６…コイル導体（第１コイル導体）、１７…引出導体（第１引出導体）、１８…引出導体（第４引出導体、第１接続手段）、１９…引出導体（第５引出導体、第２接続手段）、１９ａ…直線部分（第２接続部）、２０…引出導体（第６引出導体、第３接続手段）、２０ａ…直線部分（第３接続部）、２４…コイル導体（第２コイル導体）、２５…引出導体（第２引出導体）、２６…接続導体（第１コイル導体用の接続導体、第１接続部、第１接続手段）、３０…コイル導体（第３コイル導体）、３１…引出導体（第３引出導体）、３５ａ，３５ｂ…コンタクトホール（第１コンタクトホール、第１接続手段）、３５ｃ…コンタクトホール（第２コンタクトホール、第２接続手段）、３５ｄ…コンタクトホール（第３コンタクトホール、第３接続手段）、３６…コンタクトホール（第４コンタクトホール、第３接続手段）、４１…導体層（第１導体層）、４２…絶縁層（第１絶縁層）、４３…導体層（第２導体層）、４４…絶縁層（第２絶縁層）、４５…導体層（第３導体層）、４６…コイル導体（第１コイル導体）、４７…引出導体（第１引出導体）、４８…引出導体（第４引出導体、第１接続手段）、４９…引出導体（第５引出導体、第２接続手段）、４９ａ…直線部分（第２接続部）、５０…コイル導体（第２コイル導体）、５１…引出導体（第２引出導体）、５２…接続導体（第１コイル導体用の接続導体、第１接続部、第１接続手段）、５３…接続導体（第３コイル導体用の接続導体、第３接続部、第３接続手段）、５４…コイル導体（第３コイル導体）、５５…引出導体（第３引出導体）、５６…引出導体（第６引出導体、第３接続手段）、５７ａ，５７ｂ…コンタクトホール（第１コンタクトホール、第１接続手段）、５７ｃ…コンタクトホール（第２コンタクトホール、第２接続手段）、５８ａ，５８ｂ…コンタクトホール（第３コンタクトホール、第３接続手段）、６１…導体層（第１導体層）、６２…絶縁層（第１絶縁層）、６３…導体層（第２導体層）、６４…絶縁層（第２絶縁層）、６５…導体層（第３導体層）、６６…コイル導体（第１コイル導体）、６７…引出導体（第１引出導体）、６８…引出導体（第４引出導体、第１接続手段）、６９…接続導体（第２コイル導体用の接続導体、第２接続部、第２接続手段）、７０…接続導体（第３コイル導体用の接続導体、第３接続部、第３接続手段）、７１…コイル導体（第２コイル導体）、７２…引出導体（第２引出導体）、７３…接続導体（第１コイル導体用の接続導体、第１接続部、第１接続手段）、７４…引出導体（第５引出導体、第２接続手段）、７５…コイル導体（第３コイル導体）、７６…引出導体（第３引出導体）、７７…引出導体（第６引出導体、第３接続手段）、７８ａ，７８ｂ…コンタクトホール（第１コンタクトホール、第１接続手段）、７８ｃ，７８ｄ…コンタクトホール（第２コンタクトホール、第２接続手段）、７８ｅ，７８ｆ…コンタクトホール（第３コンタクトホール、第３接続手段）、７９ａ，７９ｂ…コンタクトホール（第４コンタクトホール、第３接続手段）。
【図１】
0004415930.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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