(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
広がりをもってＸ線を照射するとともに、このＸ線の中心軸を、互いに平行をなす第１，第２基準平面に対して傾斜させることにより、前記第１，第２基準平面上にほぼ楕円のＸ線照射領域を形成するＸ線源と、
検査対象物を支持して前記第１基準平面上を移動させる第１移動手段と、
前記検査対象物を挟んで前記Ｘ線源と対峙して配置されるとともに、前記検査対象物を透過したＸ線を受ける受像面を有し、前記受像面に現れたＸ線像を画像情報となる電気信号に変換する像検出手段と、
前記像検出手段を、前記受像面が前記第１，第２基準平面と平行をなした状態で、前記第２基準平面において移動させる第２移動手段と、
を備え、前記第１，第２移動手段は、前記検査対象物および前記像検出手段を前記第１，第２基準平面における前記Ｘ線照射領域の長手方向に沿って移動可能であり、前記像検出手段の受像面の中心点と前記検査対象物の所望検査面の中心点とをそれぞれ結ぶ直線が、前記Ｘ線源の照射焦点を通るように移動させ、
前記Ｘ線源を、前記照射焦点を通り前記第１，第２基準平面と直交する回動軸を中心にして回動させることにより前記第１，第２基準平面上のＸ線照射領域を変える回動手段を備え、
前記回動手段を回動させることによって変わった前記Ｘ線照射領域の範囲内で、前記第１，第２移動手段は前記検査対象物，像検出手段をそれぞれ前記第１，第２基準平面において２次元的に移動可能であることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
前記Ｘ線源の照射焦点を通り前記第１，第２基準平面と直交する直線が、前記Ｘ線照射領域の端部において前記第１，第２基準平面と交わることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記Ｘ線源の回動軸が前記第１，第２基準平面と直交していることを特徴とすることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記像検出手段は、前記受像面となる蛍光体面を有し前記蛍光体面上のＸ線像を光学像に変換する像変換部と、前記光学像を画像情報となる電気信号に変換する光電変換部とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線を用いて非破壊検査を行う装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
Ｘ線検査装置は、検査対象物の一方側からＸ線を照射し反対側に配置した像検出器により透視画像を撮影するものが一般的である。しかし、このＸ線検査装置では、検査対象物の所望検査面の像を正確に撮影することができない。この所望検査面から離れた異なる面の像が重なってしまうからである。例えば、プリント基板の両面に電子部品が実装されている場合、プリント基板の上面に装着した部品の接合状態を撮影しようとしても、下面に装着した部品の像が重なってしまう。
【０００３】
そこで、検査対象物の所望検査面での断層像を検出する技術として、ラミノグラフィが開発されている。この技術は、Ｘ線源、検査対象物、像検出器の３つの要素のうち、２つの要素を同期させて動かすことにより、複数の異なる透視画像を得、この複数の透視画像に基づき、検査対象物における所望検査面以外の像を排除し、所望検査面での像だけを選別して検出するものである。
【０００４】
前記のように所望検査面の像だけを選別して検出する手段の一例として、特許２９２５８４１号公報に開示された装置がある。この装置は、広がりをもってＸ線を照射するＸ線源を有している。検査対象物の所望検査面と像検出器の受像面とは、Ｘ線の広がりの中心軸と同角度傾斜した状態で、同期回動される。これにより、所望検査面の像を受像面で検出することができる。しかし、特許２９２５８４１号公報の装置では、傾斜角度が同じであるので、所望検査面の像と他の面の像の重なりを回避できない場合があった。
【０００５】
特開昭５９−１１６０４０号公報に開示された検査装置では、水平をなす光軸に沿ってＸ線源，検査対象物，像検出器が配置されている。そして、検査対象物の所望検査面と像検出器の受像面とを平行に維持しながら同期傾動させることにより、異なる複数の傾斜角度での透視画像を得ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
前記特開昭５９−１１６０４０号公報の検査装置では、検査対象物および像検出器の傾動を必要とするが、これら傾動が困難な場合があった。
本発明は、上記問題を解決するためになされたもので、異なる照射角度から多様なＸ線投資画像を得ることができ、所望検査面での正確な断層像を得ることができ、しかも、検査対象物や像検出手段を傾動させずに済むＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のＸ線検査装置は、広がりをもってＸ線を照射するとともに、このＸ線の中心軸を、互いに平行をなす第１，第２基準平面に対して傾斜させることにより、前記第１，第２基準平面上にほぼ楕円のＸ線照射領域を形成するＸ線源と、検査対象物を支持して前記第１基準平面上を移動させる第１移動手段と、前記検査対象物を挟んで前記Ｘ線源と対峙して配置されるとともに、前記検査対象物を透過したＸ線を受ける受像面を有し、前記受像面に現れたＸ線像を画像情報となる電気信号に変換する像検出手段と、前記像検出手段を、前記受像面が前記第１，第２基準平面と平行をなした状態で、前記第２基準平面において移動させる第２移動手段と、を備え、前記第１，第２移動手段は、前記検査対象物および前記像検出手段を前記第１，第２基準平面における前記Ｘ線照射領域の長手方向に沿って移動可能であり、前記像検出手段の受像面の中心点と前記検査対象物の所望検査面の中心点とをそれぞれ結ぶ直線が、前記Ｘ線源の照射焦点を通るように移動させ、前記Ｘ線源を、前記照射焦点を通り前記第１，第２基準平面と直交する回動軸を中心にして回動させることにより前記第１，第２基準平面上のＸ線照射領域を変える回動手段を備え、前記回動手段を回動させることによって変わった前記Ｘ線照射領域の範囲内で、前記第１，第２移動手段は前記検査対象物，像検出手段をそれぞれ前記第１，第２基準平面において２次元的に移動可能であることを特徴とする。
【０００８】
前記構成によれば、異なる照射角度から多様なＸ線透視画像を得ることができ、所望検査面での正確な断層像を得ることができる。しかも、検査対象物や像検出手段を傾動させずに済む。また、本発明のＸ線検査装置では、さらに、Ｘ線源を、照射焦点を通り第１，第２基準平面と直交する回動軸を中心にして回動させることにより第１，第２基準平面上のＸ線照射領域を変える回動手段を備え、回動手段を回動させることによって変わったＸ線照射領域の範囲内で、第１，第２移動手段は検査対象物，像検出手段をそれぞれ第１，第２基準平面において２次元的に移動可能である。これにより、照射方向の異なるＸ線透視画像を得ることができる。
【０００９】
また、本発明のＸ線検査装置では、前記Ｘ線源の照射焦点を通り前記第１，第２基準平面と直交する直線が、前記Ｘ線照射領域の端部において第１，第２基準平面と交わる。これにより、所望検査面と直交する方向からの画像を得ることができる。
【００１１】
また、本発明のＸ線検査装置では、前記Ｘ線源の回動軸が前記第１，第２基準平面と直交している。これにより、Ｘ線照射領域の形状を変えずにその方向だけを変えることができる。
【００１８】
また、本発明のＸ線検査装置では、前記像検出手段は、前記受像面となる蛍光体面を有しこの蛍光体面上のＸ線像を光学像に変換する像変換部と、この光学像を画像情報となる電気信号に変換する光電変換部とを備えている。これにより、軽量小型の像検出手段を提供でき、移動手段の負担を軽くすることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１〜図４は、本発明の第１の実施の形態に係わるＸ線検査装置を示す。この装置の構造を説明するために、便宜上、第１，第２の基準平面Ｐ１，Ｐ２を想定する。これら基準平面Ｐ１，Ｐ２は、水平をなし、第２基準平面Ｐ２が第１基準平面Ｐ１より上に位置している。
【００２０】
第１基準平面Ｐ１の下方には、Ｘ線源１０が配置されている。このＸ線源１０は、所定の広がり角度を持って上方の基準平面Ｐ１，Ｐ２に向かってＸ線を照射する。Ｘ線の照射焦点を符号Ｆで示す。また、このＸ線の広がりの立体角度を図において符号Θで示し、この広がりの中心の軸を符号Ｃで示す。このＸ線の中心軸Ｃと直交する断面は円形または円形に近い形状をしている。
【００２１】
Ｘ線源１０は、傾斜台１１を介して水平回動台１２（回動手段）に傾斜した状態で設置されている。このＸ線源１０の傾斜により、Ｘ線の中心軸Ｃは、基準平面Ｐ１，Ｐ２に対して傾いている。その結果、図３に示すように、基準平面Ｐ１、Ｐ２上のＸ線の照射領域Ｒは細長く延びている。この照射領域Ｒの形状は厳密には楕円ではないが、ほぼ楕円形状と表現し、図にも楕円で示す。回動台１２の回動軸Ｌは、照射焦点Ｆを通り基準平面Ｐ１，Ｐ２と直交する。
【００２２】
本発明の第１の実施の形態の検査装置は、さらに、第１，第２の移動機構２１，２２（第１，第２の移動手段）を備えている。なお、第１，第２の移動機構２１，２２は、図１，図２において実物より小さく示すとともに詳細な構造を省略して示している。
【００２３】
第１移動機構２１は、基礎テーブルと、この基礎テーブルに搭載されたＸＹＺ軸移動テーブルより構成されている。ＸＹＺ軸テーブルのうち最上位のテーブルに検査対象物１００が支持される。Ｚ軸テーブルの移動により、検査対象物１００の高さを調節する。本発明の実施の形態では、検査対象物１００において、第１基準平面Ｐ１上の断層面を所望検査面とするので、高さ調節により検査対象面を選択することができる。第１移動機構２１のＸＹ軸テーブルの移動により、検査対象物１００を第１基準平面Ｐ１上において水平移動させる。
【００２４】
第２移動機構２２は、第１移動機構２１と同様に、基礎テーブルと、この基礎テーブルに搭載されたＸＹＺ軸移動テーブルより構成されている。ＸＹＺ軸テーブルのうち最上位のテーブルに像検出器３０（像検出手段）が支持される。Ｚ軸テーブルの移動により、像検出器３０の高さを調節する。本発明の実施の形態では、後述する像検出器３０の蛍光体面３１ａが存在する平面を第２基準平面Ｐ２としている。第２移動機構２２のＸＹ軸テーブルの移動により、像検出器３０を第２基準平面Ｐ２上において水平移動させる。
【００２５】
像検出器３０は、蛍光体面３１ａ（受像面）を有する板形状の像変換部３１と、光電変換部３２とを重ね合わせることにより、構成されている。像変換部３１は、検査対象物１００を透過したＸ線の像を蛍光体面３１ａで受け、このＸ線像を光学像に変換する。光電変換部３２は、この光学像を画像情報を表す電気信号に変換する。光電変換部３２は、固体撮像素子または小型軽量の撮像カメラからなる。
【００２６】
本発明の第１の実施の形態のＸ線検査装置は、さらに、制御装置５０（制御手段）と画像処理装置５１（画像処理手段）と表示装置５２（表示手段）とを備えている。制御装置５０は、回動台１２および第１，第２の移動機構２１，２２を制御するものである。画像処理装置５１は、制御装置５０からの位置情報を受けるとともに、像検出器３０の光電変換部３２から画像情報を受け、両情報に基づいて画像解析を行い、その解析結果を表示装置５２で表示する。
【００２７】
次に、本発明の実施の形態のＸ線検査装置の作用を説明する。検査対象物となるプリント基板１００は、一方の面１００ａにマトリックス状に配置された１６個の断面円形の半田接合部１０１を介して扁平な部品１０２（ボールグリッドアレイ部品）を装着し、他方の面１００ｂに１個の矩形の部品１０３をその両側の半田接合部１０４を介して装着することにより構成されている。
【００２８】
プリント基板１００は、部品１０２を装着した面１００ａを下にして、第１移動機構２１における最上位のテーブルに設置される。前述したようにＺテーブルを制御することにより、プリント基板１００の高さを調節し、その下面１００ａを第１基準平面２１ａ上に位置させる。これにより、下面１００ａを所望検査面として選択することができる。
【００２９】
なお、Ｘ線源１０と所望検査面１００ａ（第１基準平面Ｐ１）との間の距離は、所望検査面１００ａと蛍光体面３１ａ（第２基準平面Ｐ２）との間の距離に比べて十分長い。
【００３０】
移動機構２１，２２により、プリント基板１００および像検出器３０は、基準平面Ｐ１，Ｐ２上を同期して水平移動され、複数の位置で一時停止され、各位置で像検出器３０がＸ線透視像を検出し、その画像情報を画像処理装置５１に送る。
【００３１】
プリント基板１００と像検出器３０の同期水平移動に際して、所望検査面１００ａと像検出器３０の蛍光体面３１ａの各部位は、Ｘ線源１０から見て常に１対１の対応関係を維持している。換言すれば、プリント基板１００の所望検査面１００ａの任意の１点と像検出器３０の蛍光体面３１ａの任意の１点とを結ぶ直線が、水平移動に際して常にＸ線源１０の照射焦点Ｆを通り、所望検査面１００ａの他の任意の１点と蛍光体面３１ａの他の任意の１点とを結ぶ直線も、水平移動に際して常にＸ線源１０の照射焦点Ｆを通る。本発明の実施の形態では、例えば所望検査面１００ａの中心点Ｏ１と蛍光体面３１ａの中心点Ｏ２とを結ぶ線Ｍ（以下、作動線Ｍと称す）が常に照射焦点Ｆを通るようにすれば、前記対応関係を維持できる。プリント基板１００および像検出器３０は、回動されないからである。
【００３２】
プリント基板１００の所望検査面１００ａと像検出器３０の蛍光体面３１ａとの間の対応関係を維持するためには、像検出器３０の移動量をプリント基板１００の移動量より大きくする必要がある。この移動量の比は、作動線Ｍに沿う点Ｆ，Ｏ２間の距離と、点Ｆ，Ｏ１の距離の比と一致する。
【００３３】
最初は、Ｘ線照射領域ＲはＸ軸方向に延びており、プリント基板１００と像検出器３０は、図１に示す第１位置で支持されている。この第１位置では、作動線Ｍが回動軸Ｌと一致しており、プリント基板１００の中心点Ｏ１と像検出器３０の蛍光体面３１ａの中心点Ｏ２が回動軸Ｌ上、すなわちＸ線源１０の照射焦点Ｆの真上に位置している。
【００３４】
図３に示すように、第１位置では、プリント基板１００と像検出器３０は、Ｘ線照射領域Ｒの左端部（一方の端部）に位置している。Ｘ線透視像は、プリント基板１００を真上から見た透視像となり、１６個数の半田接合部１０１の画像と部品１０３等の画像（部品１０３および半田接合部１０４を含む画像）を有している。ここで、２個の半田接合部１０１が部品１０３等の画像と重なっている。
【００３５】
画像処置装置５１は、制御装置５０から位置情報を受け、この位置において２個の半田接合部１０１の像が部品１０３等の像と重なることを予め認識する。そして、この２個の半田接合部１０１を除いた１４個の半田接合部１０１の画像と基準画像とを比較して、これら１４個の半田接合部１０１の接合状態を検出する。なお、画像処理装置５１は、制御装置５０からの位置情報の代わりに、プリント基板１００，像検出器３０の位置を検出する検出手段からの情報を用いてもよい。
【００３６】
次に、制御装置５０は、移動機構２１，２２を制御して、図２に示すように、プリント基板１００および像検出器３０をＸ軸方向に移動させ、照射領域Ｒの長軸に沿ってその右端部（他方の端部）の第２位置まで移動させる。この第２位置で、前記と同様にして像検出器３０でＸ線透視像に基づく画像情報を得る。このＸ線透視像では、図３に示すように、１個の半田接合部１０１の画像と部品１０３等の画像が重なっている。画像処理装置５１は、制御装置５０から位置情報を受け、この位置において１個の半田接合部１０１が部品１０３等の像と重なることを予め認識する。そして、この１個の半田接合部１０１を除いた１５個の半田接合部１０１の画像と基準画像とを比較して、これら１５個の半田接合部１０１の接合状態を検出する。
【００３７】
第１，第２の位置でのＸ線像だけでは、所望検査面１００ａの完全な断層像を得られない場合もある。例えば、プリント基板１００の場合、図３において左から三列目で上から３列目の１つの半田接合部１０１の画像が得られない。このような場合には、制御装置５０は回動テーブル１２を制御してＸ線源１０を９０°だけ回動させる。すると、第１基準平面Ｐ１におけるＸ線の照射領域Ｒは、図３に示すように、楕円形状の長軸がＹ軸方向と一致するようになる。第１，第２支持機構２１，２２は、プリント基板１００と像検出器３０を第１位置からＹ軸方向に沿って、図３における第３位置まで移動させる。
【００３８】
第３位置で、前記と同様にして像検出器３０でＸ線透視像に基づく画像情報を得る。このＸ線透視像では、図３に示すように、２個の半田接合部１０１の画像と部品１０３等の画像が重なっている。画像処理装置５１は、制御装置５０から位置情報を受け、この位置において２個の半田接合部１０１が部品１０３等の像と重なることを予め認識する。そして、この２個の半田接合部１０１を除いた１４個の半田接合部１０１の画像と基準画像とを比較して、これら１４個の半田接合部１０１の接合状態を検出する。
【００３９】
第３位置では、第１，第２位置とは異なる２個の半田接合部１０１の像が部品１０３等の像と重なるので、３つの位置での画像から、所望検査面１００ａの完全な断層像を得ることができる。なお、図３から明らかなように、本実施の形態では、第２位置での画像を省くことができる。また、３つの位置での画像が必要な場合、プリント基板１００と像検出器３０を、第１位置から第２位置まで移動させた後に、第１位置へ戻らず第２位置から第３位置へ移動させるようにしてもよい。
【００４０】
前述したように、各位置において、プリント基板１００の所望検査面１００ａの中心Ｏ１と、像検出器３０の蛍光体面３１ａの中心Ｏ２を結ぶ作動線Ｍが照射焦点Ｆを通るので、所望検査面１００ａの断層像（半田接合部１０１の像）は、蛍光体面３１ａにおいて、実質的に同じ位置に現れる。これに対して、プリント基板１００の他の面１００ｂは、プリント基板１００の厚み分だけ傾斜中心Ｏ１から偏倚しているので、この面１００ｂの断層像は位置変化に応じて変化する。具体的には、部品１０３等の像が位置変化に伴って蛍光体面３１ａ上の異なる位置に現れ、異なる半田接合部１０１の像と重なり合う。そのため、前述したように、各位置において部品１０３等の画像とこれと重なる半田接合部１０１の画像を排除して、残りの半田接合部１０１の画像を選択すれば、検査所望面１００ａに装着された全ての半田接合部１０１の画像の情報を得ることができ、その接合状態を検出することができる。画像処理装置５１は、最終的に、この接合された全ての半田接合部１０１の画像を表示装置５２に表示する。一部の半田接合部１０１が製造上のミスによって装着されていない時には、検査者は表示装置５２に表示された像から、これを判別でき、プリント基板１００が不良品であることを判断することができる。なお、画像処理装置５１で半田接合部１０１の接合状態を判断して、プリント基板１００の良否を判断し、その判断結果を、図示しない報知手段で報知させてもよい。
【００４１】
前記作用では、プリント基板１００および像検出器３０を水平移動させて、３つの位置で一時停止し、各位置での画像情報を得たが、その代わりに、プリント基板１００および像検出器３０を連続的に水平移動させ、この連続移動の期間において、光電変換部３２の露光状態を維持するようにしてもよい。この場合、光電変換部３２の画素には、前記露光期間における画像に対応した電荷が蓄えられる。したがって、連続移動後に光電変換部３２から出力される画像情報は、蛍光体面３１ａ上で連続的に変化するＸ線透視像を実質的に重ね合わせた画像を表している。所望検査面１００ａの半田接合部１０１の画像は、蛍光体面３１ａにおいて、実質的に同じ位置に現れるので、強いコントラストを有する。これに対して基板１００の他の面１００ｂの部品１０３等の像は、蛍光体面３１ａにおいて現れる位置が変化するので、弱いコントラストで実際の像より広い面積で現れる。画像処理装置５１は、コントラストの閾値を用いて、中間コントラストを排除し、２値論理レベルで画像を処理する。これにより、部品１０３等の画像を排除して半田接合部１０１のみの画像を得ることができる。
【００４２】
なお、上述した露光状態での連続水平移動の場合には、蛍光体面３１ａが所望検査面１００ａと同期して水平移動し、常に作動線Ｍが照射焦点Ｆを通る必要があるが、それより前に説明した一時停止状態で画像を得る場合には、停止位置で作動線Ｍが照射焦点Ｆを通るようにすればよく、移動は同期していなくてもよい。
【００４３】
前記作用では、Ｘ線源１０を９０°回動させた場合を説明したが、９０°未満の回動でもよいし、図４に示すように、３６０°回動させるようにしてもよい。図４の場合、Ｘ軸に並んだ２つのＸ線照射領域Ｒを形成することができ、移動機構２１，２２がプリント基板１００および像検出器３０を左側のＸ線照射領域Ｒの左端部から右側のＸ線照射領域Ｒの右端部まで移動させるようにすれば、広い角度範囲で異なる方向からＸ線を照射することができ、より多くの画像情報を得ることができる。Ｙ軸方向に関しても同様である。
【００４４】
本発明の実施の形態において、第１移動機構２１のＺ軸テーブルの移動により、プリント基板１００の他方の面１００ｂを第１基準平面Ｐ１に一致させれば、この面１００ｂを所望検査面とすることができ、部品１０３の接合状態を検査することができる。
【００４５】
本発明の第１の実施の形態において、第２移動機構２２のＺ軸テーブルの移動により、作動線Ｍ上の像検出器３０の蛍光体面３１ａとプリント基板１００の所望検査面１００ａとの距離を変えることができ、これにより画像の倍率を変えることができる。この場合、像検出器３０とプリント基板１００の移動量の比も変わる。
【００４６】
以下、本発明の他の実施の形態について説明する。これら他の実施の形態において、第１の実施の形態に対応する構成部には図中同番号を付してその詳細な説明を省略する。
【００４７】
図５は、本発明の第２の実施の形態をなすＸ線検査装置を示す。本発明の第２の実施の形態では、Ｘ線源１０を支持する台１３は回動せず、Ｘ線源１０は、第１基準平面Ｐ１に固定のＸ線照射領域を提供するだけである。このＸ線照射領域の楕円の長軸はＸ軸方向に延びる。
【００４８】
第２の実施の形態では、プリント基板１００および像検出器３０を基準平面Ｐ１，Ｐ２に沿ってそれぞれ平行移動させる第１，第２の移動機構４１，４２（第１，第２の移動手段）は、共通のモータ４０（駆動源）で動作する。これら移動機構４１，４２は、それぞれ、Ｘ軸方向に延びるねじ棒４１ａ、４２ａと、これらねじ棒４１ａ，４２ａに螺合された支持テーブル４１ｂ，４２ｂを有している。支持テーブル４１ｂにプリント基板１００が支持され、支持テーブル４２ｂに像検出器３０が支持される。
【００４９】
モータ４０の回転は、歯車列４５を含む動力伝達手段を介してねじ棒４２ａ、４２ｂに伝達される。すなわち、モータ４０の回転は、ねじ棒４１ａに直接伝達され、ねじ棒４２ａには歯車列４５を介して伝達される。これらねじ棒４１ａ，４２ａは同方向に同一回転数で回転される。ねじ棒４１ａ，４１ｂの回転に伴い支持テーブル４１ｂ、４２ｂがＸ軸方向に移動するようになっている。
【００５０】
本発明の第２の実施の形態では、ねじ棒４２ａのねじピッチがねじ棒４１ａより大きく、支持テーブル４２ｂの移動量（像検出器３０の移動量）が、支持テーブル４１ｂの移動量（プリント基板１００の移動量）より大きい。なお、これらピッチの比は、作動線Ｍ上の点Ｏ２，Ｆ間の距離とＯ１，Ｆ間の距離の比と、等しい。これにより、前記同期水平移動に際して、作動線Ｍは常にＸ線源１０の照射焦点Ｆを通る。
【００５１】
本発明の第２の実施の形態では、共通のモータ４０を用い、ねじ棒４１ａ，４２ａのピッチの比で作動線Ｍが常に照射焦点Ｆを通るようにしているので、制御が簡単でありながら、正確で明瞭な所望検査面１００ａの画像を得ることができる。
【００５２】
なお、ねじ棒４１ａ，４２ａのピッチを同じピッチにしてもよい。この場合には、ねじ棒４１ａ，４２ａの回動数の比を、上記作動線Ｍ上における点Ｏ１，Ｆとの間の距離とＯ２，Ｆ間の距離の比と、等しくなるように、歯車列４５を構成する。これにより、作動線Ｍは常にＸ線源１０の照射焦点Ｆを通る。
【００５３】
支持テーブル４１ｂ，４２ｂは，プリント基板１００，像検出器３０の高さを調節するために、基礎テーブルとＺ軸テーブルとを備えていてもよい。この場合には、基礎テーブルにねじ棒が螺合される。
また、ねじ棒４１ａ，４２ａ間の動力伝達手段として、ベルトを用いてもよい。
【００５４】
次に、本発明の第３の実施の形態について、図６を参照しながら説明する。この実施の形態では、Ｘ線源１０が傾斜台１１および直動台１５を介して回動台１６（回動手段）に支持されている。Ｘ線源１０は、回動台１６の回動軸Ｌ’から離れており、回動軸Ｌ’の周りを回るようになっている。回動軸Ｌ’は、基準平面Ｐ１，Ｐ２と直交している。その結果、図７に示すように、基準平面Ｐ１，Ｐ２上のＸ線照射領域Ｒを、回動軸Ｌ’を中心にして３６０°の角度範囲で変更することができる。この作用は本発明の第１の実施の形態とほぼ同様であるから、説明を省略する。
【００５５】
直動台１５はＸ線源１０を回動軸Ｌ’を通る直線に沿って（回動台１６の径方向かつＸ線照射領域の長手方向に）移動させるものであり、これにより、回動軸Ｌ’とＸ線照射領域Ｒの位置関係を変えることができる。この直動台１５は省いてもよい。
【００５６】
次に、本発明の第４の実施の形態について、図８を参照しながら説明する。この実施の形態では第３の実施の形態と同様の直動台１５（第２移動手段）は、複数の画像情報を得るために必須のものである。像検出器３０は、支持テーブル２２’（第２支持手段）により、静止位置で支持されている。この像検出器３０の蛍光体面３１ａの中心Ｏ２は、Ｘ線源１０の回動軸Ｌ’上にあるのが好ましい。回動軸Ｌ’はＸ線照射領域の端部に位置している。プリント基板１００は、第１の実施の形態と同様の移動機構２１’により支持されるとともに基準平面Ｐ１に沿って水平移動される。この移動機構２１’は、第１支持手段であると同時に第１移動手段でもある。
【００５７】
本発明の第４の実施の形態では、直動台１５によりＸ線源１０がＸ軸方向（Ｘ線照射領域の長手方向）に水平移動し、これに伴い移動機構２１’によりプリント基板１００が同期してＸ軸方向に移動される。この水平移動に際して作動線Ｍは、常に照射焦点Ｆを通る。換言すれば、Ｘ線源１０の移動量とプリント基板１００の移動量の比は、作動線Ｍ上において、点Ｆ，Ｏ２間の距離と点Ｏ１，Ｏ２間の距離の比と等しい。
【００５８】
回動台１６を９０°回動させた状態で、上記と同様にしてＸ線源１０およびプリント基板１００をＹ軸方向（Ｘ線照射領域の長手方向）に移動させれば、異なる照射方向からの透視画像が得られる。また、回動台１６を１８０°回動させて、Ｘ照射領域および照射方向を変えてもよい。
【００５９】
本発明の第４の実施の形態でも、第１の実施の形態と同様にして、２通りの方法で画像情報を得られる。
なお、露光状態での連続水平移動の場合には、蛍光体面３１ａが所望検査面１００ａと同期して水平移動し、常に作動線Ｍが照射焦点Ｆを通る必要があるが、複数の位置で停止状態で画像を得る場合には、停止位置で作動線Ｍが照射焦点Ｆを通るようにすればよく、移動は同期していなくてもよい。
【００６０】
また、図示しない支持テーブル（第１支持手段）によりプリント基板１００を静止位置で支持し、像検出器３０を図示しない移動機構（第２支持手段および第１移動手段を構成する）によって第２基準平面Ｐ２に沿って移動させるようにしてもよい。この場合、プリント基板１００の中心点Ｏ１を回動軸Ｌ’に位置させるのが好ましい。また、この場合には、像検出器３０の移動方向は、Ｘ線源１０の移動方向とは逆になる。
【００６１】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、異なる照射角度から多様なＸ線透視画像を得ることができ、所望検査面での正確な断層像を得ることができる。しかも、検査対象物や像検出手段を傾動させずに済む。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係わるＸ線検査装置の概略図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態において、検査対象物と像検出器を平行移動させた状態を示す説明図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態において、第１基準平面上でのＸ線照射領域の変化、３つの位置でのプリント基板のＸ線透視像を示す説明図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態において、第１基準平面上でのＸ線照射領域の変化を示す説明図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係わるＸ線検査装置の概略図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態に係わるＸ線検査装置の概略図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態において、基準平面におけるＸ線照射領域を示す図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態に係わるＸ線検査装置の概略図である。
【符号の説明】
Ｐ１  第１基準平面
Ｐ２  第２基準平面
Ｃ  Ｘ線の中心軸
Ｆ  Ｘ線の照射焦点
Ｒ  基準平面におけるＸ線照射領域
Ｌ，Ｌ’  回動軸
１０  Ｘ線源
１２，１６  回動台（回動手段）
１５  直動台（第２移動手段）
２１  第１移動機構（第１移動手段）
２２  第２移動機構（第２移動手段）
２１’支持テーブル（第１支持手段，第１移動手段）
２２’支持テーブル（第２支持手段）
３０  像検出器（像検出手段）
３１  像変換部
３１ａ  蛍光体面（受像面）
３２  光電変換部
４０  共通モータ（共通駆動源）
４１  第１移動機構（第１移動手段）
４２  第２移動機構（第２移動手段）
４１ａ，４２ａ  ねじ棒
４１ｂ、４２ｂ  支持テーブル
４５  歯車列（像伝達手段）
１００  プリント基板（検査対象物）
１００ａ  所望検査面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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