(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査回路基板の一面側に配置される、表面に当該被検査回路基板における複数の一面側被検査電極の各々に対応して配置された複数の検査電極を有する一面側検査用回路基板と、この一面側検査用回路基板の表面に設けられたコネクター部材とを有してなり、
前記コネクター部材は、シート状または板状の絶縁性基体と、この絶縁性基体の表面に前記被検査回路基板の一面側被検査電極に対応して配置された複数の表面側端子と、前記絶縁性基体の裏面に前記一面側検査用回路基板の検査電極の各々に対接するよう配置され、当該表面側端子に電気的に接続された裏面側端子と、絶縁性基体の表面側に設けられた、隣接する表面側端子の各々を互いに電気的に接続する短絡部材とよりなり、
前記コネクター部材の表面側端子の各々が前記一面側被検査電極の各々に接することにより、当該一面側被検査電極の各々が当該コネクター部材を介して複数の検査電極に電気的に接続されて測定状態とされ、
この測定状態において、指定された１つの一面側被検査電極に電気的に接続された複数の検査電極のうち２つを選択し、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該被検査電極に係る電気抵抗の測定が実施されることを特徴とする回路基板の電気抵抗測定装置。
【請求項２】
表面側端子および裏面側端子が、導電性エラストマーよりなるものであることを特徴とする請求項１に記載の回路基板の電気抵抗測定装置。
【請求項３】
短絡部材は、表面側端子に対応する位置に、当該表面側端子に適合する孔を有する導電板よりなり、前記表面側端子は、その表面が当該短絡部材の表面より突出した状態に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の回路基板の電気抵抗測定装置。
【請求項４】
短絡部材は、表面側端子に対応する位置に当該表面側端子に適合する孔を有する絶縁板と、その表面に形成された金属層とよりなり、前記表面側端子は、その表面が当該短絡部材の表面より突出した状態に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の回路基板の電気抵抗測定装置。
【請求項５】
絶縁性基体が、弾性高分子物質よりなることを特徴とする請求項１〜請求項４の何れかに記載の回路基板の電気抵抗測定装置。
【請求項６】
表面側端子と裏面側端子とが、絶縁性基体の厚み方向に貫通して伸びる金属導体によって電気的に接続されていることを特徴とする請求項１〜請求項５の何れかに記載の回路基板の電気抵抗測定装置。
【請求項７】
短絡部材において、隣接する表面側端子間の電気抵抗値が１Ω以下であることを特徴とする請求項１〜請求項６の何れかに記載の回路基板の電気抵抗測定装置。
【請求項８】
コネクター部材は、絶縁性基体の厚み方向に貫通して伸び、当該絶縁性基体の表面より突出するよう形成された、導電性エラストマーよりなる導電体を有し、当該導電体における表面側の端部によって表面側端子が形成され、当該導電体における裏面側の端部によって裏面側端子が形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項７の何れかに記載の回路基板の電気抵抗測定装置。
【請求項９】
被検査回路基板の他面側に配置される他面側検査用回路基板を有してなり、
前記他面側検査用回路基板は、その表面にそれぞれ前記被検査回路基板の他面側被検査電極の各々に対応して互いに離間して配置された、それぞれ同一の他面側被検査電極に電気的に接続される電流供給用検査電極および電圧測定用検査電極が形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項８のいずれかに記載の回路基板の電気抵抗測定装置。
【請求項１０】
請求項１〜請求項９の何れかに記載の回路基板の電気抵抗測定装置を用い、
一面側検査用回路基板のコネクター部材における表面側端子の各々が、被検査回路基板の一面側被検査電極に接して電気的に接続されることにより、当該一面側被検査電極の各々が当該コネクター部材を介して複数の検査電極に電気的に接続された測定状態を形成し、
この測定状態において、指定された１つの一面側被検査電極に電気的に接続された複数の検査電極のうち２つを選択し、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された１つの一面側被検査電極に係る電気抵抗の測定を実施することを特徴とする回路基板の電気抵抗測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路基板の電気抵抗測定装置および測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、回路基板の電気的検査においては、当該回路基板における電極間の電気抵抗を測定することが行われている。
従来、このような電気抵抗の測定においては、例えば、図１７に示すように、被検査回路基板９０の互いに電気的に接続された２つの被検査電極９１，９２の各々に対し、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを押圧して接触させ、この状態で、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤの間に電源装置９３から電流を供給し、このときに電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣによって検出される電圧信号を電気信号処理装置９４において処理することにより、当該被検査電極９１，９２間の電気抵抗の大きさを求める手段が採用されている。
【０００３】
しかしながら、上記の方法においては、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを被検査電極９１，９２に対して相当に大きい押圧力で接触させることが必要であり、しかも当該プローブは金属製であってその先端は尖頭状とされているため、プローブが押圧されることによって被検査電極９１，９２の表面が損傷してしまい、当該回路基板は使用することが不可能なものとなってしまう。このような事情から、電気抵抗の測定は、製品とされるすべての回路基板について行うことができず、いわゆる抜き取り検査とならざるを得ないため、結局、製品の歩留りを大きくすることはできない。
【０００４】
このような問題を解決するため、エラストマーにより導電性粒子が結着された導電ゴムよりなる弾性接続用部材を、電流供給用電極および電圧測定用電極の個々に配置してなる回路基板の電気抵抗測定装置が提案されている（特開平９−２６４４６号公報参照）。
この回路基板の電気抵抗測定装置によれば、被検査回路基板の被検査電極に対し、弾性接続用部材を介して、電流供給用電極および電圧測定用電極が対接されることによって電気的接続が達成されるため、当該被検査電極を損傷させることなく電気抵抗の測定を行うことができる。
【０００５】
しかしながら、上記の回路基板の電気抵抗測定装置においては、次のような問題がある。すなわち、近年、回路基板においては、高い集積度を得るために電極のサイズおよびピッチもしくは電極間距離が小さくなる傾向がある。然るに、上記の回路基板の電気抵抗測定装置においては、この被検査回路基板における被検査電極の各々に、電流供給用電極に係る弾性接続用部材および電圧測定用電極に係る弾性接続用部材の両方を同時に接触させる必要がある。従って、被検査電極が高密度で配置された被検査回路基板の被検査電極に対する回路基板の電気抵抗測定装置においては、小さなサイズの被検査電極の各々に対応して、当該被検査電極が占有する領域と同等若しくはそれ以下の面積の領域内に、互いに離間した状態で電流供給用電極および電圧測定用電極を形成すること、すなわち被検査電極よりも更に小さいサイズの電流供給用電極および電圧測定用電極を極めて小さい距離で離間した状態で形成することが必要であり、そのうえ、これらの電流供給用電極および電圧測定用電極の各々の表面に互いに独立した２つの弾性接続用部材を形成すること、すなわち、被検査電極よりも更に小さいサイズの弾性接続用部材を極めて小さい距離で離間した状態で形成することが必要となる。
しかしながら、そのようなことは極めて困難であり、結局、小さいサイズの電極を高密度で有する回路基板の電気抵抗を測定するための回路基板の電気抵抗測定装置は、その製作が非常に困難なものとなる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その第１の目的は、被検査電極のサイズが小さい回路基板についても、被検査電極について所期の電気抵抗の測定を、高い精度で行うことができ、しかも製作が容易な回路基板の電気抵抗測定装置を提供することにある。
本発明の第２の目的は、被検査電極を損傷させることなく電気抵抗の測定を行うことができる回路基板の電気抵抗測定装置を提供することにある。
また、本発明の第３の目的は、被検査電極のサイズが小さい回路基板についても、被検査電極について所期の電気抵抗の測定を、高い精度で行うことができる回路基板の電気抵抗測定方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、被検査回路基板の一面側に配置される、表面に当該被検査回路基板における複数の一面側被検査電極の各々に対応して配置された複数の検査電極を有する一面側検査用回路基板と、この一面側検査用回路基板の表面に設けられたコネクター部材とを有してなり、
前記コネクター部材は、シート状または板状の絶縁性基体と、この絶縁性基体の表面に前記被検査回路基板の一面側被検査電極に対応して配置された複数の表面側端子と、前記絶縁性基体の裏面に前記一面側検査用回路基板の検査電極の各々に対接するよう配置され、当該表面側端子に電気的に接続された裏面側端子と、絶縁性基体の表面側に設けられた、隣接する表面側端子の各々を互いに電気的に接続する短絡部材とよりなり、
前記コネクター部材の表面側端子の各々が前記一面側被検査電極の各々に接することにより、当該一面側被検査電極の各々が当該コネクター部材を介して複数の検査電極に電気的に接続されて測定状態とされ、
この測定状態において、指定された１つの一面側被検査電極に電気的に接続された複数の検査電極のうち２つを選択し、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該被検査電極に係る電気抵抗の測定が実施されることを特徴とする。
【０００８】
本発明の回路基板の電気抵抗測定装置においては、表面側端子および裏面側端子が、導電性エラストマーよりなるものであることが好ましい。
【０００９】
また、短絡部材は、表面側端子に対応する位置に、当該表面側端子に適合する孔を有する導電板よりなり、前記表面側端子は、その表面が当該短絡部材の表面より突出した状態に設けられていてもよく、あるいは短絡部材は、表面側端子に対応する位置に当該表面側端子に適合する孔を有する絶縁板と、その表面に形成された金属層とよりなり、前記表面側端子は、その表面が当該短絡部材の表面より突出した状態に設けられていてもよい。
【００１０】
更に、本発明の回路基板の電気抵抗測定装置においては、絶縁性基体が、弾性高分子物質よりなることが好ましい。また、表面側端子と裏面側端子とが、絶縁性基体の厚み方向に貫通して伸びる金属導体によって電気的に接続されていてもよい。そして、短絡部材において、隣接する表面側端子間の電気抵抗値が１Ω以下であることが好ましい。
【００１１】
コネクター部材は、絶縁性基体の厚み方向に貫通して伸び、当該絶縁性基体の表面より突出するよう形成された、導電性エラストマーよりなる導電体を有し、当該導電体における表面側の端部によって表面側端子が形成され、当該導電体における裏面側の端部によって裏面側端子が形成されていてもよい。
【００１２】
本発明の回路基板の電気抵抗測定装置においては、被検査回路基板の他面側に配置される他面側検査用回路基板を有してなり、
前記他面側検査用回路基板は、その表面にそれぞれ前記被検査回路基板の他面側被検査電極の各々に対応して互いに離間して配置された、それぞれ同一の他面側被検査電極に電気的に接続される電流供給用検査電極および電圧測定用検査電極が形成されていることが好ましい。
【００１３】
本発明の回路基板の電気抵抗測定方法は、上記の回路基板の電気抵抗測定装置を用い、
一面側検査用回路基板のコネクター部材における表面側端子の各々が、被検査回路基板の一面側被検査電極に接して電気的に接続されることにより、当該一面側被検査電極の各々が当該コネクター部材を介して複数の検査電極に電気的に接続された測定状態を形成し、
この測定状態において、指定された１つの一面側被検査電極に電気的に接続された複数の検査電極のうち２つを選択し、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された１つの一面側被検査電極に係る電気抵抗の測定を実施することを特徴とする。
【００１４】
【作用】
以上の構成の回路基板の電気抵抗測定装置においては、コネクター部材における隣接する表面側端子が、当該コネクター部材における絶縁性基体の表面に配置された短絡部材によって電気的に接続されているため、被検査回路基板における或る一面側被検査電極にこれに対応する表面側端子が接すると、当該一面側被検査電極は、コネクター部材を介して複数の検査電極に同時に電気的に接続された状態となる。従って、複数の一面側被検査電極のうち１つを指定し、この指定された一面側被検査電極に電気的に接続された複数の検査電極の中から２つの検査電極を選択し、その一方の検査電極を電流供給用電極とし、他方の検査電極を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された一面側被検査電極についての電圧信号を検出することができるので、当該被検査回路基板についての電気抵抗の測定を高い精度で行うことができる。
【００１５】
そして、検査電極および表面側端子は、被検査回路基板の一面側被検査電極に対して１対１の対応関係にあるため、これらのサイズは、被検査電極と同程度であればよい。従って、被検査回路基板における一面側被検査電極のサイズが小さい場合でも、検査電極および表面側端子を容易に形成することができ、結果として電気抵抗測定装置は、その製作がきわめて容易となる。
【００１６】
また、コネクター部材においては、一面側被検査電極に接触される表面側端子が導電性エラストマーよりなるものである場合には、当該表面側端子が一面側被検査電極に圧接されても当該一面側被検査電極が損傷されることがない。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
＜第１の実施の形態＞
図１は、本発明の回路基板の電気抵抗測定装置の一例における構成を示す説明図である。
この回路基板の電気抵抗測定装置は、被検査回路基板１の一面（図１において上面）側に配置される、検査用回路基板（一面側検査用回路基板）１１を有する上部側アダプター１０と、被検査回路基板１の他面（図１において下面）側に配置される、検査用回路基板（他面側検査用回路基板）３１を有する下部側アダプター３０とが、上下に互いに対向するよう配置されている。
【００１８】
この例における被検査回路基板１は、図２に示すように、その一面１Ａには、中央部における方形枠状のドット電極配置領域Ｄに、高い密度で配置された多数の小さなドット電極（一面側被検査電極）２を有すると共に、図３に示すように、その他面１Ｂには、例えば一般の規準に従う格子点位置に配置された多数のグリッド電極（他面側被検査電極）４を有しており、これらのグリッド電極４の各々は対応するドット電極２に、個々に電気的に接続されている。
【００１９】
上部側アダプター１０における検査用回路基板１１の裏面（図１において上面）には、例えば発泡ポリウレタン、発泡ゴムなどよりなる弾性緩衝板２１を介して当該上部側アダプター１０を下方に押圧して降下させるための押圧板２０が配置されている。一方、下部側アダプター３０における検査用回路基板３１の裏面（図１において下面）には、当該下部側アダプター３０を上方に押圧して上昇させるための押圧板４０が配置されている。
【００２０】
図４は、図１の上部側アダプターおよび下部側アダプター並びに被検査回路基板の一部の拡大図であり、図５は、コネクター部材の一部の拡大図である。この図にも示すように、検査用回路基板１１の表面には、被検査回路基板１の一面におけるドット電極２の配列パターンに従って、複数の検査電極１２が互いに離間して配置されており、当該検査電極１２の各々は、当該検査用回路基板１１の配線回路１４およびコネクター１５を介してテスター５０に電気的に接続されている。
また、上部側アダプター１０には、検査電極１２を含む検査用回路基板１１の表面に接して当該検査電極１２の各々と電気的に接続された状態のコネクター部材１６が設けられている。
【００２１】
コネクター部材１６は、弾性高分子物質よりなるシート状の絶縁性基体１７を有し、この絶縁性基体１７には、その厚み方向に貫通して伸びる、導電性エラストマーよりなる複数の円柱状の導電体１８が、ドット電極２のパターンに従って配置されており、これらの導電体１８の各々の表面（図４において下面）側の端部によって表面側端子２２ｂが形成され、裏面（図４において上面）側の端部によって裏面側端子２２ａが形成されている。
この表面側端子２２ｂの各々は、絶縁性基体１７の表面（図４において下面）に各ドット電極２に対応して配置された状態であり、一方、この裏面側端子２２ａの各々は、絶縁性基体１７の裏面（図４において上面）に配置されて、対応する検査電極１２に接した状態とされている。
この図の例において、当該導電体１８の各々における表面側の端面、すなわち表面側端子２２ｂの表面（図５において下面）は絶縁性基体１７の表面から突出した状態であり、導電体１８の各々における裏面側の端面、すなわち裏面側端子２２ａの表面（図５において上面）は絶縁性基体１７の上面と同一面上に位置した状態である。
【００２２】
そして、絶縁性基体１７の表面には、隣接する表面側端子２２ｂの各々を互いに電気的に接続する短絡部材２４が設けられている。
この短絡部材２４は、導電体１８の各々における表面側端子２２ｂに対応する位置に当該表面側端子２２ｂの外径に適合する内径の孔を有する、導電板により構成されている。そして、短絡部材２４の各孔に、導電体１８が、その周面が短絡部材２４の孔の内面に接触した状態で挿通され、更に、導電体１８における表面側端子２２ｂの表面が当該短絡部材２４の表面（図４において下面）から突出した状態とされている。
【００２３】
絶縁性基体１７は、弾性高分子物質により形成されることが好ましく、当該絶縁性基体１７を形成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する高分子物質が好ましい。架橋高分子物質を得るために用いることができる硬化性の高分子物質材料としては、例えばシリコーンゴム、ポリブタジエン、天然ゴム、ポリイソプレン、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、クロロプレンゴム、エピクロルヒドリンゴム、軟質液状エポキシ樹脂などを挙げることができる。
【００２４】
導電体１８を構成する導電性エラストマーとしては、異方導電性を有するものであっても、異方導電性を有しないものであってもよいが、特に加圧方向の電気抵抗が低い点で、加圧導電型の異方導電性エラストマーであることが好ましく、例えば絶縁性を有する弾性高分子物質中に導電性粒子が含有されてなるものを用いることができる。
具体的には、導電体１８は、例えば硬化されて絶縁性の弾性高分子物質となる高分子物質材料中に導電性粒子が分散されてなる流動性の材料を硬化処理することにより、形成することができる。この場合には、硬化処理前には液状であって、硬化処理後に検査用回路基板１１と密着状態または接着状態を保持して一体となる高分子物質材料を好ましく用いることができ、好適な高分子物質材料としては、液状シリコーンゴム、液状ウレタンゴム、軟質液状エポキシ樹脂などを挙げることができる。この高分子物質材料には、検査用回路基板１１に対する接着性を向上させるために、シランカップリング剤、チタンカップリング剤などの添加剤を添加することができる。
【００２５】
なお、導電体１８を形成する弾性高分子物質としては、絶縁性基体１７を構成する弾性高分子物質と同一種類のもの、あるいは異なる種類のものを用いることができる。
また、導電体１８は、絶縁性基体１７と一体であってもよく、別体のものであってもよい。
【００２６】
一方、弾性高分子物質中に含有される導電性粒子は、特に制約を受けるものではないが、例えば磁性体よりなる導電性粒子は、磁場を利用して厚み方向に並ぶよう配向された状態で弾性高分子物質中に含有させることができ、好適な異方導電性エラストマーが得られるので、好ましい。
この導電性磁性体粒子の具体例としては、ニッケル、鉄、コバルトなどの磁性を示す金属の粒子もしくはこれらの合金の粒子、またはこれらの粒子に金、銀、パラジウム、ロジウムなどのメッキを施したもの、非磁性金属粒子もしくはガラスビーズなどの無機質粒子またはポリマー粒子にニッケル、コバルトなどの導電性磁性体のメッキを施したものなどを挙げることができる。また、磁気ヒステリシスを示さない点から、導電性超常磁性体よりなる粒子も好ましく用いることができる。
【００２７】
後述するコネクター部材１６の形成方法においては、ニッケル、鉄、またはこれらの合金などよりなる導電性磁性体粒子が用いられ、また接触抵抗が小さいなどの電気的特性の点で金メッキされた粒子を好ましく用いることができる。
【００２８】
導電性粒子の粒径は、コネクター部材１６における導電体１８の加圧変形を容易にし、かつ測定状態において、当該導電体１８における導電性粒子間に十分な電気的な接触が得られるよう、３〜２００μｍであることが好ましく、特に１０〜１００μｍであることが好ましい。
ここに、「測定状態」とは、例えば上部側アダプター１０と下部側アダプター３０との間に被検査回路基板１が挟圧されることにより、当該コネクター部材１６全体がその厚み方向に押圧されており、この図の例においては、導電体１８がその厚み方向に加圧された状態を意味する。
【００２９】
測定状態における表面側端子２２ｂと裏面側端子２２ａとの間の電気抵抗、すなわち加圧された導電体１８の厚み方向における電気抵抗は、１Ω以下であることが好ましく、これにより、一層高い精度で電気抵抗を測定することができる。
【００３０】
短絡部材２４において、隣接する表面側端子２２ｂ間の電気抵抗は、１Ω以下であることが好ましく、これにより、短絡部材２４を構成する導電板としては、導電性が高い、例えば銅、銀、ニッケル、ステンレス、金などよりなる金属板および銅、ニッケル、金をメッキした樹脂板などを用いることが好ましい。
【００３１】
また、コネクター部材１６においては、図５に示すように、絶縁性基体１７の厚さｔ１が５０〜５００μｍ、特に５０〜２００μｍであることが好ましく、短絡部材２４の厚さｔ２が２０〜１００μｍ、特に２０〜５０μｍであることが好ましい。
また、短絡部材２４の表面から突出した導電体１８の突出高さｔ３が１０〜５０μｍであることが好ましい。導電体１８の突出高さｔ３が１０μｍ未満の場合には、被検査回路基板１が反りなどの歪みを有するものであるときに、導電体１８における表面側端子２２ｂを、被検査回路基板１上のドット電極２に確実に接触させることが困難となり、これにより、当該導電体１８における表面側端子２２ｂとドット電極２との電気的な接続信頼性が低下する。一方、当該導電体１８の突出高さｔ３が５０μｍを超える場合には、導電体１８の突出した部分における電気抵抗が大きくなる結果、測定される電気抵抗の誤差範囲が大きくなる。
【００３２】
コネクター部材１６は、例えば以下のような方法によって製造することができる。
図６は、コネクター部材１６を製造するための金型の一例における要部の構成を示す説明用断面図である。
コネクター部材製造用金型は、それぞれ全体の形状が略平板状であって、互いに対応する上型７１と下型７２とよりなり、上型７１と下型７２との間の成形空間７３内に充填された材料層に磁場を作用させながら当該材料層を加熱硬化することができる構成のものである。
また、材料層に磁場を作用させて適正な位置に導電性を有する部分を形成するために、コネクター部材製造用金型の上型７１および下型７２の両方は、鉄、ニッケルなどの強磁性体からなる基板７５上に、金型内の磁場に強度分布を生じさせるための鉄、ニッケルなどよりなる強磁性体部分７５ａと、銅などの非磁性金属若しくは樹脂よりなる非磁性体部分７５ｂとが互いに隣接するよう交互に配置されたモザイク状の層を有する構成のものであり、強磁性体部分７５ａは、形成すべき導電体１８のパターンに対応するパターンに従って配列されている。
ここで、上型７１の成形面は平坦であり、下型７２の成形面は形成すべきコネクター部材１６の導電体１８に対応してわずかに凹凸を有するものである。
【００３３】
そして、上記のようなコネクター部材製造用金型を用いて、以下のようにしてコネクター部材１６が製造される。
先ず、図７に示すように、コネクター部材製造用金型の成形空間７３内における下型７２の成形面上に、短絡部材２４を、その孔の各々が、下型７２における強磁性体部分７５ａ上に位置するよう配置し、その後、成形空間７３内に、硬化されて弾性高分子物質となる高分子物質材料中に磁性を示す導電性粒子が含有されてなる成形材料を注入して成形材料層１６Ａを形成する。
次に、上型７１および下型７２の各々における強磁性体部分７５ａおよび非磁性体部分７５ｂを利用し、形成された成形材料層１６Ａに対してその厚み方向に強度分布を有する磁場を作用させることにより、その磁力の作用によって、導電性粒子を、上型７１における強磁性体部分７５ａと、その直下に位置する下型７２における強磁性体部分７５ａとの間に集合させ、更には導電性粒子を厚み方向に並ぶように配向させる。そして、その状態で当該成形材料層１６Ａを硬化処理することにより、図８に示すような絶縁性基体１７が短絡部材２４に一体に形成され、当該絶縁性基体１７の厚み方向に貫通して伸び、短絡部材２４の表面から突出した状態の導電体１８が形成された成形体が得られ、当該成形体を当該コネクター部材製造用金型から離型させることにより、コネクター部材１６が製造される。
【００３４】
上記成形材料中には、高分子物質材料を硬化させるための硬化触媒を含有させることができる。このような硬化触媒としては、有機過酸化物、脂肪酸アゾ化合物、ヒドロシリル化触媒などを用いることができる。
硬化触媒として用いられる有機過酸化物の具体例としては、過酸化ベンゾイル、過酸化ビスジシクロベンゾイル、過酸化ジクミル、過酸化ジターシャリーブチルなどが挙げられる。
硬化触媒として用いられる脂肪酸アゾ化合物の具体例としては、アゾビスイソブチロニトリルなどが挙げられる。
ヒドロシリル化反応の触媒として使用し得るものの具体例としては、塩化白金酸およびその塩、白金−不飽和基含有シロキサンコンプレックス、ビニルシロキサンと白金とのコンプレックス、白金と１，３−ジビニルテトラメチルジシロキサンとのコンプレックス、トリオルガノホスフィンあるいはホスファイトと白金とのコンプレックス、アセチルアセテート白金キレート、環状ジエンと白金とのコンプレックスなどの公知のものが挙げられる。
硬化触媒の使用量は、高分子物質材料の種類、硬化触媒の種類、その他の硬化処理条件を考慮して適宜選択されるが、通常、高分子物質材料１００重量部に対して３〜１５重量部である。
【００３５】
また、成形材料中には、必要に応じて、通常のシリカ粉末、コロイダルシリカ、エアロゲルシリカ、アルミナなどの無機充填材を含有させることができる。このような無機充填材を含有させることにより、当該成形材料のチクソトロピー性が確保され、その粘度が高くなり、しかも、導電性粒子の分散安定性が向上すると共に、得られるコネクター部材１６の強度が高いものとなる。
このような無機充填材の使用量は、特に限定されるものではないが、多量に使用すると、磁場による導電性磁性体粒子の配向を十分に達成することができなくなるため、好ましくない。
また、成形材料の粘度は、温度２５℃において１０００００〜１００００００ｃｐの範囲内であることが好ましい。
【００３６】
成形材料層１６Ａの硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこともできる。成形材料層１６Ａに作用される平行磁場の強度は、平均で２００〜１００００ガウスとなる大きさが好ましい。
また、平行磁場を作用させる手段としては、電磁石または永久磁石を用いることができる。このような永久磁石としては、上記の範囲の平行磁場の強度が得られる点で、アルニコ（Ｆｅ−Ａｌ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金）、フェライトなどよりなるものが好ましい。
このようにして得られる導電体１８は、導電性粒子がコネクター部材１６の厚み方向に並ぶよう配向しているため、導電性粒子の割合が小さくても良好な導電性が得られる。
【００３７】
成形材料層１６Ａの硬化処理の条件は使用される材料によって適宜選定されるが、通常、熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、成形材料層１６Ａの高分子物質材料の種類、導電性磁性体粒子の移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。例えば、高分子物質材料が室温硬化型シリコーンゴムである場合に、硬化処理は、室温で２４時間程度、４０℃で２時間程度、８０℃で３０分間程度で行われる。
この硬化処理において、導電性粒子が導電性磁性体粒子である場合には、磁場を作用させることにより、配向させることができる。
【００３８】
一方、下部側アダプター３０における検査用回路基板３１の表面（図４において上面）には、被検査回路基板１の他面におけるグリッド電極４の配置パターンに従って、１つのグリッド電極４に対して、検査電極対を構成する電流供給用検査電極３２および電圧測定用検査電極３３が互いに離間し、かつグリッド電極４が占有する領域と同等の面積の領域内に位置するよう、配置されている。そして、電流供給用検査電極３２および電圧測定用検査電極３３は、各々、当該検査用回路基板３１の配線回路３４およびコネクター３５を介してテスター５０に電気的に接続されている。
【００３９】
また、下部側アダプター３０の検査用回路基板３１の表面には、検査電極対を構成する電流供給用検査電極３２および電圧測定用検査電極３３の両方の表面（図４において上面）に接する共通の弾性接続用部材３６が設けられている。この弾性接続用部材３６は、検査用回路基板３１の表面に設けられたシート状の保持部材３７によって、その表面（図４において上面）が当該保持部材３７の表面から突出した状態で保持されている。この図の例においては、被検査回路基板１におけるグリッド電極４毎に、これに対応する複数の弾性接続用部材３６が互いに独立した状態で設けられている。
【００４０】
弾性接続用部材３６は、例えば、その厚み方向に高い導電性を示す異方導電性エラストマーにより構成することが好ましい。このような異方導電性エラストマーは、例えば絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向（図において上下方向）に並ぶよう配向した状態で充填されてなり、これにより、厚み方向に高い導電性を示すものであり、特に、厚み方向に加圧されて圧縮されたときに厚み方向に伸びる導電路が形成される、加圧異方導電性エラストマーが好ましい。
弾性接続用部材３６は、適宜の形成方法によって形成することができる。
【００４１】
弾性接続用部材３６は、その厚み方向における導電性が、厚み方向と直角な面方向における導電性より高いことが好ましく、具体的には、面方向の電気抵抗値に対する厚み方向の電気抵抗値の比が１以下、特に０．５以下であるような電気的特性を有するものであることが好ましい。
この比が１を超える場合には、弾性接続用部材３６を介して電流供給用検査電極３２と電圧測定用検査電極３３との間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
このような観点から、弾性接続用部材３６を絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が含有されたものとする場合には、導電性粒子の充填率が５〜５０体積％であることが好ましい。
【００４２】
また、下部側アダプター３０の検査用回路基板３１における電流供給用検査電極３２と電圧測定用検査電極３３との間の離間距離は１０μｍ以上であることが好ましい。この離間距離が１０μｍ未満である場合には、弾性接続用部材３６を介して電流供給用検査電極３２と電圧測定用検査電極３３との間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
一方、この離間距離の上限は、各検査電極のサイズと、関連するグリッド電極４の寸法およびピッチによって定まり、通常は５００μｍ以下である。この離間距離が過大である場合には、サイズの小さいドット電極２に対応するグリッド電極４の１つに対して両検査電極を適切に配置することが困難となる。
【００４３】
以上のような回路基板の電気抵抗測定装置においては、次のようにして被検査回路基板１における任意のドット電極２とこれに対応するグリッド電極４との間の電気抵抗が測定される。
被検査回路基板１を、上部側アダプター１０および下部側アダプター３０の間における所要の位置に配置し、この状態で、押圧板２０により弾性緩衝板２１を介して上部側アダプター１０を押圧して下降させると共に、押圧板４０により下部側アダプター３０を押圧して上昇させることにより、被検査回路基板１の一面に上部側アダプター１０のコネクター部材１６が圧接され、ドット電極２の各々に対応する表面側端子２２ｂが対接された状態となると共に、被検査回路基板１の他面に下部側アダプター３０の弾性接続用部材３６が圧接された状態となる。この状態が測定状態である。
この測定状態を得るための押圧力は、コネクター部材１６における表面側端子２２ｂおよび弾性接続用部材３６が、例えば０．１〜１０ｋｇｆ／ｃｍ2 、好ましくは０．２〜２ｋｇｆ／ｃｍ2 の圧力で圧接された状態とされる大きさである。
【００４４】
図４の例によって具体的に説明すると、この測定状態において、被検査回路基板１の一面においてドット電極２の各々は、当該ドット電極２に対接された表面側端子２２ｂに係る導電体１８を介して、当該ドット電極２に対応する検査電極１２に電気的に接続されている。而して、隣接する表面側端子２２ｂの各々は、短絡部材２４によって、互いに電気的に接続されているため、或る表面側端子２２ｂに接した状態のドット電極２は、コネクター部材１６を介して複数の検査電極１２に同時に電気的に接続された状態である。
一方、被検査回路基板１の他面では、弾性接続用部材３６を介して、電流供給用検査電極３２および電圧測定用検査電極３３よりなる検査電極対が、対応するグリッド電極４に同時に電気的に接続されている。
【００４５】
この測定状態においては、例えば１つのドット電極２に着目すると、このドット電極２に対して電気的に接続された状態の検査電極１２は、コネクター部材１６における複数の検査電極１２であって、この複数の検査電極１２うちの何れを選択しても、当該ドット電極２を区別的に扱うことはできない。
然るに、被検査回路基板１の他面のグリッド電極４については、その各々に対応して、電流供給用検査電極３２および電圧測定用検査電極３３よりなる検査電極対が弾性接続用部材３６を介して電気的に接続されているので、テスター５０において、いずれかの検査電極対を指定することにより、関連するグリッド電極４を介して特定のドット電極２を指定することができる。
【００４６】
そして、指定されたドット電極２（以下、「指定電極」という。）には、検査用回路基板１１における複数の検査電極１２が同時に電気的に接続されている状態であることから、テスター５０において、そのうちの２つの検査電極１２を選択し、それらの一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該検査電極１２と、グリッド電極４に係る電圧測定用検査電極３３との間の電圧信号が得られ、この電圧信号により、当該指定電極とグリッド電極４との間の電気抵抗の測定を行うことができる。
【００４７】
選択される２つの検査電極１２としては、指定電極に電気的に接続された複数の検査電極１２のうち何れであってもよいが、一層高い精度で電気抵抗を測定することができる点で、指定電極に対応する検査電極１２と、当該検査電極１２に隣接する検査電極１２とを用いることが好ましい。
【００４８】
以上のような構成の回路基板の電気抵抗測定装置によれば、コネクター部材１６における隣接する表面側端子２２ｂが、当該コネクター部材１６の表面側に配置された短絡部材２４によって電気的に接続されているため、被検査回路基板１における一面の或るドット電極２に表面側端子２２ｂが接すると、当該ドット電極２は、当該表面側端子２２ｂに係る導電体１８を介して当該ドット電極２に対応する検査電極１２に電気的に接続されると共に、短絡部材２４および他の導電体１８を介して複数の検査電極１２に同時に電気的に接続された状態となる。そして、測定状態においては、複数の検査電極１２に電気的に接続された複数のドット電極２のうち１つを指定電極として特定し、この指定電極に電気的に接続された複数の検査電極１２の中から２つの検査電極１２を選択し、その一方の検査電極１２を電流供給用電極とし、他方の検査電極１２を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定電極についての電圧信号を検出することができるので、当該被検査回路基板１についての電気抵抗の測定を高い精度で行うことができる。
【００４９】
また、検査電極１２および表面側端子２２ｂは、被検査回路基板１のドット電極２に対して１対１の対応関係にあるため、これらのサイズは、ドット電極２と同程度であればよい。従って、被検査回路基板１におけるドット電極２のサイズが小さい場合でも、検査電極１２および表面側端子２２ｂを容易に形成することができ、結果として電気抵抗測定装置は、その製作がきわめて容易となる。
【００５０】
更に、被検査回路基板１の一面におけるドット電極２に圧接されるものが、コネクター部材１６における導電エラストマーよりなる表面側端子２２ｂであるため、当該ドット電極２を損傷させることなしに、当該ドット電極２に検査電極１２が電気的に接続された状態を確実に達成することができる。
【００５１】
そして、一対の電流供給用検査電極３２および電圧測定用検査電極３３が、各々のグリッド電極４に対応して電気的に接続されるため、或るドット電極２に電気的に接続されたグリッド電極４を介して、複数のドット電極２のうちから当該グリッド電極４に関連する１つのドット電極２を指定電極として特定することができる。
また、被検査回路基板１の下面におけるグリッド電極４に圧接されるものが、異方導電性エラストマーよりなる弾性接続用部材３６であるため、当該グリッド電極４を損傷させることなしに、当該グリッド電極４に電流供給用検査電極３２および電圧測定用検査電極３３が独立して電気的に接続された状態を確実に達成することができる。
【００５２】
＜第２の実施の形態＞
図９は、本発明の回路基板の電気抵抗測定装置の他の例における上部側アダプターおよび下部側アダプター並びに被検査回路基板の一部の拡大図であり、図１０は、コネクター部材を示す部分拡大図である。
このコネクター部材１６は、熱硬化性樹脂材料よりなる板状の絶縁性基体１７を有し、この絶縁性基体１７の表面（図９において下面）には、導電性エラストマーよりなる複数の表面側端子２２ｂがドット電極２のパターンに従って当該絶縁性基体１７の表面から突出するよう設けられている。一方、この絶縁性基体１７の裏面（図９において上面）には、表面側端子２２ｂの各々の直上に位置するよう、導電性エラストマーよりなる複数の裏面側端子２２ａが設けられている。また、絶縁性基体１７には、表面側端子２２ｂと裏面側端子２２ａとの間の位置に、当該絶縁性基体１７の厚み方向に伸びる貫通孔１７Ａが形成され、この貫通孔１７Ａの内周面には例えばメッキ処理により形成された金属導体６３が形成されており、この金属導体６３によって、表面側端子２２ｂは、裏面側端子２２ａに電気的に接続されている。
【００５３】
そして、絶縁性基体１７の表面には、前記金属導体６３における表面（図１０において下面）側の一端に一体に連結された金属層よりなる短絡部材２４が、当該絶縁性基体１７に一体的に設けられており、この短絡部材２４によって隣接する表面側端子２２ｂの各々が互いに電気的に接続されている。
【００５４】
ここで、絶縁性基体１７は、その厚さが５０〜５００μｍ、特に５０〜２００μｍであることが好ましい。
また、絶縁性基体１７を形成する熱硬化性樹脂としては、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、アラミド繊維補強型エポキシ樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂などを挙げることができる。
短絡部材２４は、その厚さが０．１〜１００μｍ、特に０．２〜２０μｍであることが好ましい。
また、当該短絡部材２４を構成する金属層としては、例えば銅、ニッケル、金などよりなるものを用いることができる。
この回路基板の電気抵抗測定装置は、以上に示した構成以外は、図１の回路基板の電気抵抗測定装置と同様の構造を有する。
そして、表面側端子２２ｂの突出高さは、高い電気的な接続信頼性が得られると共に、電気抵抗の測定において高い精度が確実に得られる点で、１０〜５０μｍであることが好ましい。
【００５５】
以上のような構成の回路基板の電気抵抗測定装置によれば、コネクター部材１６における隣接する表面側端子２２ｂが、当該コネクター部材１６の表面側に配置された短絡部材２４によって電気的に接続されているため、被検査回路基板１における一面の或るドット電極２に表面側端子２２ｂが接すると、当該ドット電極２は、当該表面側端子２２ｂに係る導電体１８を介して当該ドット電極２に対応する検査電極１２に電気的に接続されると共に、短絡部材２４および他の導電体１８を介して複数の検査電極１２に同時に電気的に接続された状態となる。そして、測定状態においては、それぞれ複数の検査電極１２に電気的に接続された複数のドット電極２のうち１つを指定電極として特定し、この指定電極に電気的に接続された複数の検査電極１２の中から２つの検査電極１２を選択し、その一方の検査電極１２を電流供給用電極とし、他方の検査電極１２を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定電極についての電圧信号を検出することができるので、被検査回路基板１についての電気抵抗の測定を高い精度で行うことができる。
【００５６】
また、検査電極１２および表面側端子２２ｂは、被検査回路基板１のドット電極２に対して１対１の対応関係にあるため、これらのサイズは、ドット電極２と同程度であればよい。従って、被検査回路基板１におけるドット電極２のサイズが小さい場合でも、検査電極１２および表面側端子２２ｂを容易に形成することができ、結果として電気抵抗測定装置は、その製作がきわめて容易となる。
【００５７】
更に、被検査回路基板１の一面におけるドット電極２に圧接されるものが、コネクター部材１６における導電エラストマーよりなる表面側端子２２ｂであるため、当該ドット電極２を損傷させることなしに、当該ドット電極２に検査電極１２が電気的に接続された状態を確実に達成することができる。
【００５８】
そして、一対の電流供給用検査電極３２および電圧測定用検査電極３３が、各々のグリッド電極４に対応して電気的に接続されるため、或るドット電極２に電気的に接続されたグリッド電極４を介して、複数のドット電極２のうちから当該グリッド電極４に関連する１つのドット電極２を指定電極として特定することができる。
また、被検査回路基板１の下面におけるグリッド電極４に圧接されるものが、異方導電性エラストマーよりなる弾性接続用部材３６であるため、当該グリッド電極４を損傷させることなしに、当該グリッド電極４に電流供給用検査電極３２および電圧測定用検査電極３３が独立して電気的に接続された状態を確実に達成することができる。
【００５９】
以上、本発明の実施の形態の一例を説明したが、本発明は上記の回路基板の電気抵抗測定装置に限定されず、以下のような種々の変更を加えることができる。
【００６０】
第１の実施の形態において、短絡部材２４としては、導電板よりなるものの代わりに、図１１および図１２に示すように、例えばガラス繊維補強型エポキシ樹脂などよりなる例えば厚さ５０〜２００μｍの絶縁板６１と、その表面（図１２において下面）に形成された、例えば厚さ０．２〜２０μｍの銅などよりなる金属層６２とよりなるものを用いることができる。
このような短絡部材２４を用いる場合には、電気抵抗を高い精度で測定することができる点で、絶縁板６１が絶縁性基体１７に対接するよう配置されることが好ましい。
【００６１】
また、コネクター部材１６としては、図１３に示すように、短絡部材２４の表面（図１３において下面）に、絶縁性の弾性高分子物質よりなる弾性体層６５を有するものであってもよい。
具体的には、この弾性体層６５は、導電体１８における短絡部材２４からの突出高さと同等の厚みを有するものであって、短絡部材２４の表面上に、当該導電体１８を囲むよう一体的に形成されている。
このようなコネクター部材１６を製造する場合には、金型（図６参照）として、下型の成形面が平坦なものを用い、当該金型内における下型と短絡部材２４との間および上型と短絡部材２４との間の各々に所要の厚みの成形材料層を形成し、この状態で、成形材料層に磁場を作用させると共に、当該成形材料層の硬化処理を行えばよい。従って、成形面に凹凸を有する下型を用いることが不要となるため、金型の作製コストが低減され、延いては、コネクター部材１６の製造コストの低減化を図ることができる。
【００６２】
更に、コネクター部材１６においては、図１４に示すように、表面側端子２２ｂが導電体１８と別体のものであってもよい。
具体的に説明すると、このコネクター部材１６においては、導電体１８の各々は、その表面側の端面（図１４において下面）が絶縁性基体１７の下面と同一の平面上に位置するよう形成され、当該導電体１８の表面側の端面および絶縁性基体１７の下面を覆うよう、導電板よりなる短絡部材２４が設けられている。この短絡部材２４の表面（図１４において下面）には、導電体１８の各々の直下の位置に、導電性エラストマーよりなる表面側端子２２ｂが設けられ、これらの表面側端子２２ｂを囲むよう、当該表面側端子２２ｂの厚みと同等の厚みを有する弾性体層６５が一体的に形成されている。
【００６３】
また、第１の実施の形態において、コネクター部材１６は、検査用回路基板１１の表面上に一体的に形成されていてもよい。
コネクター部材１６を検査用回路基板１１に一体的に形成する方法としては、コネクター部材製造用金型の成形空間７３に、短絡部材２４を配置し、その上に成形材料層１６Ａを形成し、更にその上に検査用回路基板１１を配置することによって成形体を得るなどの方法が挙げられる。
【００６４】
第２の実施の形態において、短絡部材２４としては、金属層よりなるものの代わりにプリント配線よりなるものを用いることができる。
【００６５】
下部側アダプターの検査用回路基板は、１つのグリッド電極４に対して、検査電極対を構成する電流供給用検査電極３２および電圧測定用検査電極３３が電気的に接続された状態を達成することのできるものであれば、種々のものを用いることができる。
例えば、図１５に示すように、弾性接続用部材３６としては、電流供給用検査電極３２および電圧測定用検査電極３３に対応する個所において互いに独立して厚み方向に伸びる導電部３２ａ、３３ａを有すると共に、それらの導電部３２ａ、３３ａの各々を互いに電気的に絶縁する絶縁部３７ａを有する異方導電性エラストマーを利用することも可能である。
また、個々の先端に導電性エラストマーが設けられた検査電極や、更に、許容される場合にはプローブピンを検査電極として用いることも可能である。
【００６６】
本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、図１６に示すような構造を有するものであってもよい。
具体的に説明すると、この回路基板の電気抵抗測定装置は、被検査回路基板１の一面（図１６において上面）側に配置される、検査用回路基板（一面側検査用回路基板）１１を有する上部側アダプター１０と、被検査回路基板１の他面（図１６において下面）側に配置される、検査用回路基板（他面側検査用回路基板）３１を有する下部側アダプター３０とが、上下に互いに対向するよう配置されている。
【００６７】
上部側アダプター１０における検査用回路基板１１の表面（図１６において下面）には、コネクター部材１６が配置され、当該検査用回路基板１１の裏面（図１６において上面）には、異方導電性シート６６および電極板６７がこの順に配置されている。
【００６８】
検査用回路基板１１の表面には、被検査回路基板１の一面におけるドット電極２の配列パターンに従って、複数の検査電極１２が互いに離間して配置されている。一方、検査用回路基板１１の裏面には、後述する電極板６７の標準配列電極６７ａの配列パターンに従って端子電極１１ａが配置されおり、この端子電極１１ａの各々は対応する検査電極１２に、電気的に接続されている。
【００６９】
電極板６７は、その表面（図１６において下面）に、例えばピッチが２．５４ｍｍ、１．８ｍｍまたは１．２７ｍｍの標準格子点上に配置された標準配列電極６７ａを有する。そして、この標準配列電極６７ａの各々は、電極板６７の内部配線（図示せず）を介してテスター５０に電気的に接続されている。
【００７０】
異方導電性シート６６は、その厚み方向にのみ導電路を形成する導電路形成部が形成されてなるものである。このような異方導電性シート６６としては、各導電路形成部が少なくとも一面において厚み方向に突出するよう形成されているものが、高い電気的な接触安定性を発揮する点で好ましい。
【００７１】
一方、下部側アダプター３０における検査用回路基板３１の表面（図１６において上面）には、弾性接続用部材３６と保持部材３７とが配置され、当該検査用回路基板３１の裏面（図１６において下面）には、異方導電性シート６８および電極板６９がこの順に配置されている。
【００７２】
検査用回路基板３１の表面には、被検査回路基板１の他面におけるグリッド電極４の配列パターンに従って配置された共通の弾性接続用部材３６の各々に、共通に接するよう、検査電極対を構成する電流供給用検査電極３２および電圧測定用検査電極３３が互いに離間して配置されている。一方、検査用回路基板３１の裏面には、後述する電極板６９の標準配列電極６９ａの配列パターンに従って端子電極３１ａが配置されており、この端子電極３１ａの各々は対応する電流供給用検査電極３２および電圧測定用検査電極３３に、電気的に接続されている。  電極板６９および異方導電性シート６８は、上部側アダプター１０における電極板６７および異方導電性シート６６と同様のものであり、電極板６９は、その表面（図１６において上面）に、例えばピッチが２．５４ｍｍ、１．８ｍｍまたは１．２７ｍｍの標準格子点上に配置された標準配列電極６９ａを有する。そして、この標準配列電極６９ａの各々は、電極板６９の内部配線（図示せず）を介してテスター５０に電気的に接続されている。
【００７３】
上記の回路基板の電気抵抗測定装置においては、図１に示した回路基板の電気抵抗測定装置と同様にして、被検査回路基板１における任意のドット電極２とこれに対応するグリッド電極４との電気抵抗が測定される。
そして、このような回路基板の電気抵抗測定装置によれば、被検査電極のパターンの異なる被検査回路基板の電気抵抗を測定する場合であっても、上部側アダプター１０における異方導電性シート６６および電極板６７、並びに下部側アダプター３０における異方導電性シート６８および電極板６９を共通に使用することができるので、検査コストの低減化を図ることができる。
【００７４】
【実施例】
以下、本発明の回路基板の電気抵抗測定装置の具体的な実施例について説明する。
また、以下の実施例において、被検査回路基板として、図２および図３の構成に従い、下記の条件により作製されたものを使用した。
一面：〔ドット電極〕
電極サイズ：直径０．１３ｍｍ、配置ピッチ：０．２５ｍｍ、電極数：２５６他面：〔グリッド電極〕
電極サイズ：直径０．３ｍｍ、配置ピッチ：０．５ｍｍ、電極数：１６×１６（２５６）
【００７５】
＜実施例１＞
図１の構成に従い、下記の条件により回路基板の電気抵抗測定装置を作製した。
（１）上部側アダプター
〔検査用回路基板〕
検査電極の形状と寸法：円形、直径０．１ｍｍ
検査電極間の離間距離：０．２５ｍｍ
〔コネクター部材〕
絶縁性基体の厚さ：２００μｍ
短絡部材の厚さ：５０μｍ
表面側端子の突出高さ：３０μｍ
導電体の外径：１００μｍ
導電性粒子：材質；表面に金メッキが施されたニッケル粒子、平均粒子径３０μｍ、充填率３０体積％
弾性高分子物質：シリコーンゴム
短絡部材：銅板の表面にニッケルおよび金がこの順でメッキされてなるもの、厚さ５０μｍ
測定状態における導電体の厚み方向における電気抵抗：０．２Ω
隣接する表面側端子間の電気抵抗：０．０２Ω
【００７６】
（２）下部側アダプター
〔検査用回路基板〕
電流供給用検査電極の寸法：０．２ｍｍ×０．１ｍｍ
電圧測定用検査電極の寸法：０．２ｍｍ×０．１ｍｍ
電流供給用検査電極と電圧測定用検査電極との離間距離：７０μｍ
〔弾性接続用部材〕
寸法：直径３００μｍ、厚さ０．２ｍｍ
導電性粒子：材質；表面に金メッキが施されたニッケル粒子、平均粒子径３０μｍ、充填率３０体積％
弾性高分子物質：材質；シリコーンゴム
〔保持部材〕
材質；シリコーンゴム、厚さ０．２ｍｍ
【００７７】
（３）テスター
「ＯＰＥＮ／ＬＥＡＫテスター  Ｒ−５６００」（抵抗測定範囲１０ｍΩ〜１００Ω、日本電産リード製）
【００７８】
上記の回路基板の電気抵抗測定装置において、上部側アダプターのコネクター部材における表面側端子および下部側アダプターの弾性接続用部材を、被検査回路基板のドット電極およびグリッド電極に２ｋｇｆ／ｃｍ2 の圧力で圧接させ、この状態で、各ドット電極に対応する検査電極とそれに隣接する検査電極の２つを検査電極対として選定し、一方の検査電極を電流供給用電極とし、かつ他方の検査電極を電圧測定用電極として用いることにより、各ドット電極とグリッド電極との間の電気抵抗を測定した。結果を表１に示す。
【００７９】
＜実施例２＞
図１１に示す構成に従い、短絡部材が金属板よりなるコネクター部材に代えて、短絡部材が厚さ５０μｍのガラス繊維補強型エポキシ樹脂と、その表面に形成された、厚さ８μｍの銅よりなる金属層とよりなるものであること以外は実施例１と同様にして回路基板の電気抵抗測定装置を作製し、同一の被検査回路基板におけるドット電極とグリッド電極との間の電気抵抗を測定した。結果を表１に示す。
【００８０】
＜比較例１＞
実施例１と同一のテスターを用い、本発明の絶縁性基体を含むコネクター部材に代えて、導電性エラストマーシートのみよりなるコネクター部材を用いることにより、同一の被検査回路基板におけるドット電極とグリッド電極との間の電気抵抗を測定した。結果を表１に示す。
【００８１】
＜参考例１＞
直流電圧・電流源／モニター「ＴＲ６１４３」（アドバンテスト社製）を用い、プローブピンにより、同一の被検査回路基板におけるドット電極とグリッド電極との間の電気抵抗を測定した。結果を表１に示す。
【００８２】
＜参考例２＞
実施例１と同様のテスターを用い、２端子抵抗測定法により、同一の被検査回路基板におけるドット電極とグリッド電極との間の電気抵抗を測定した。結果を表１に示す。
【００８３】
【表１】
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【００８４】
表１の結果から、参考例２に係る２端子抵抗測定法によれば、プローブピンによる電気抵抗の測定値に対して１３０ｍΩもの大きな誤差が生ずるのに対し、実施例１または実施例２に係る電気抵抗測定装置によれば、プローブピンによる電気抵抗の測定値に対して３０ｍΩ以下の小さい誤差範囲で電気抵抗を測定することができ、実用上十分に高い精度が得られることが明らかである。
一方、比較例１に係る電気抵抗測定装置によれば、プローブピンによる電気抵抗の測定値に対して大きな誤差が生ずるものであった。
【００８５】
【発明の効果】
本発明の回路基板の電気抵抗測定装置によれば、コネクター部材における隣接する表面側端子が、当該コネクター部材における絶縁性基体の表面に配置された短絡部材によって電気的に接続されているため、被検査回路基板における或る一面側被検査電極にこれに対応する表面側端子が接すると、当該一面側被検査電極は、コネクター部材を介して複数の検査電極に同時に電気的に接続された状態となる。従って、複数の一面側被検査電極のうち１つを指定し、この指定された一面側被検査電極に電気的に接続された複数の検査電極の中から２つの検査電極を選択し、その一方の検査電極を電流供給用電極とし、他方の検査電極を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された一面側被検査電極についての電圧信号を検出することができるので、当該回路基板についての電気抵抗の測定を高い精度で行うことができる。
【００８６】
そして、検査電極および表面側端子は、被検査回路基板の一面側被検査電極に対して１対１の対応関係にあるため、これらのサイズは、一面側被検査電極と同程度であればよい。従って、被検査回路基板における一面側被検査電極のサイズが小さい場合でも、検査電極および表面側端子を容易に形成することができ、結果として電気抵抗測定装置は、その製作がきわめて容易となる。
【００８７】
また、コネクター部材においては、一面側被検査電極に接触される表面側端子が導電性エラストマーよりなるものである場合には、当該表面側端子が一面側被検査電極に圧接されても当該一面側被検査電極が損傷されることがない。
【００８８】
本発明の回路基板の電気抵抗測定方法によれば、被検査電極のサイズが小さい回路基板についても、被検査電極について所期の電気抵抗の測定を、高い精度で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る回路基板の電気抵抗測定装置の一例における構成の概略を、被検査回路基板と共に示す説明用断面図である。
【図２】被検査回路基板の上面におけるドット電極の配置状態を示す説明図である。
【図３】被検査回路基板の下面におけるグリッド電極の配置状態を示す説明図である。
【図４】図１に示す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を示す説明用断面図である。
【図５】図４に示すコネクター部材の一部を拡大して示す説明用断面図である。
【図６】コネクター部材を製造するための金型の一例における要部の構成を示す説明用断面図である。
【図７】コネクター部材製造金型における下型の成形面上に短絡部材を配置すると共に、成形空間内に成形材料層を形成した状態を示す説明用断面図である。
【図８】成形材料層が硬化処理された状態を示す説明用断面図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係る回路基板の電気抵抗測定装置の要部の構成を示す説明用断面図である。
【図１０】図９に示すコネクター部材の一部を拡大して示す説明用断面図である。
【図１１】本発明の第１の実施の形態に係る回路基板の電気抵抗測定装置の変形例を示す説明用断面図である。
【図１２】図１１に示すコネクター部材の一部を拡大して示す説明用断面図である。
【図１３】本発明の他の変形例を示す説明用断面図である。
【図１４】本発明の更に他の変形例を示す説明用断面図である。
【図１５】弾性接続用部材の他の例を示す説明用断面図である。
【図１６】本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の他の例における構成の概略を、被検査回路基板と共に示す説明用断面図である。
【図１７】電流供給用プローブおよび電圧測定用プローブにより、回路基板における電極間の電気抵抗を測定する装置の模式図である。
【符号の説明】
１  被検査回路基板
２  ドット電極
４  グリッド電極
１０  上部側アダプター
１１  一面側検査用回路基板
１１ａ  端子電極
Ｄ  ドット電極配置領域
１２  検査電極
１４  配線回路
１５  コネクター
１６  コネクター部材
１６Ａ  成形材料層
１７  絶縁性基体
１７Ａ  貫通孔
１８  導電体
２０  押圧板
２２ａ  裏面側端子
２２ｂ  表面側端子
２４  短絡部材
２１  弾性緩衝板
３０  下部側アダプター
３１  他面側検査用回路基板
３１ａ  端子電極
３２  電流供給用検査電極
３２ａ  導電部
３３  電圧測定用検査電極
３３ａ  導電部
３４  配線回路
３５  コネクター
３６  弾性接続用部材
３７  保持部材
３７ａ  絶縁部
４０  押圧板
５０  テスター
６１  絶縁板
６２  金属層
６３  金属導体
６５  弾性体層
６６  異方導電性シート
６７  電極板
６７ａ  標準配列電極
６８  異方導電性シート
６９  電極板
６９ａ  標準配列電極
７１  上型
７２  下型
７３  成形空間
７５  基板
７５ａ  強磁性体部分
７５ｂ  非磁性体部分
９０  被検査回路基板
９１，９２  被検査電極
９３  電源装置
９４  電気信号処理装置
ＰＡ，ＰＤ  電流供給用プローブ
ＰＢ，ＰＣ  電圧測定用プローブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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