Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤ放電加工により製作する内周部に一定間隔を得て突出させた歯を有するマイクロインターナルギヤに於いて、
歯末の面と歯元の面からなる歯面および歯底面に対応する歯形が、
歯末の面の少なくとも一部に対応するインボリュート曲線と、
歯底面に対応する円弧曲線と、
前記インボリュート曲線と前記歯底面に対応する円弧曲線とに接する円の一部である円弧曲線とで形成されていることを特徴とするマイクロインターナルギヤ。
【請求項２】
請求項１記載のマイクロインターナルギヤに於いて、放電加工機のワイヤー径がｄｗであり、放電ギャップがｔであり、歯底の半径がＲｃであり、これらが次式：
Ｒｃ＝（ｄｗ／２）＋ｔ
の関係を満たすことを特徴とするマイクロインターナルギヤ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、マイクロマシン等に使用される極小径のマイクロインターナルギヤに関する。
【０００２】
【従来の技術および課題】
マイクロマシンの研究が盛んになり、非常に小さい機械を駆動する超小型のサーボ駆動機構が必要になっている。サーボ駆動機構の小型化を追求するとき、モータのみで直接駆動する場合には大型のモータが必要になるが、小型のモータと歯車減速機を組み合わせる構成がより小型となり有利である。歯車の動力伝達力がモータの電磁力に比べてはるかに大きいため、減速機は小型でも大きなトルクを伝達できるからである。このため、歯車減速機は駆動機構の小型化に大きな役割を果たしてきた。
【０００３】
歯車減速機の中でも遊星歯車機構の減速機は、最もコンパクトであり、外径１０mmまで小型化が進んでいる。遊星歯車機構は、複数の遊星歯車を使用しているため空間効率が高く、歯車機構のなかで最もコンパクトで軽量である。しかも複数の遊星歯車に荷重を分担させていること、また内歯車の歯形が凹形であるため、無遊星歯車とのかみ合いで歯面接触応力を低くできることで大きなトルクを伝達できる。かつ入力軸と出力軸が同軸であるため、モータおよび負荷ともコンパクトに接続できるという特長をもっている。
【０００４】
しかしながら、超小型の遊星歯車減速機例えば、外径が10mm以下ではモジュール0.1以下の微小な歯車が必要になる。従来歯切り法において、インボリュート平歯車を創成歯切りするための標準ボブはモジュール0.1が最小である。そこで微小モジュールの歯車に対応できる加工法として、ワイヤ放電加工法がある。工具に相当する電極として既成のワイヤを使用でき、これを歯車加工に応用すると、１種類のワイヤで、広い範囲のモジュールに対応できる。極細ワイヤも使用できるので微小歯車の加工法として期待されている。
【０００５】
しかしながら、マイクロギヤを更に小型化する場合、前記のワイヤー径の制約を受けるため、小型化には限界があった。特に、ワイヤー放電加工のワイヤー径の内Ｒが加工跡としてつく為、図３に示すように、実質歯底円直径ｄr2が理論歯底円直径ｄr1より小さくなってしまったり、図４に示すように、切り下げが生じてしまい円滑なインボリュート曲線にならないという欠点があった。
【０００６】
そこで、この発明の目的は、最小径のワイヤを使用すれば、ギヤの歯形をなすべきインボリュート曲線に円滑でない部分を形成するような切り下げが生じない分さらなる小型のマイクロギヤを提供することである。また、同じモジュールのギャを加工する場合に、ワイヤー径を太くできる為、結線作業がし易く、ワイヤ切れ等による歩留まりを向上することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記従来の欠点を解決するためになされたもので、本発明の請求項１記載のマイクロギヤにおいては、ワイヤ放電加工により製作する内周部に一定間隔を得て突出させた歯を有するマイクロインターナルギヤに於いて、歯末の面と歯元の面からなる歯面および歯底面に対応する歯形が、歯末の面の少なくとも一部に対応するインボリュート曲線と、歯底面に対応する円弧曲線と、インボリュート曲線と歯底面に対応する円弧曲線とに接する円の一部である円弧曲線とで形成したものである。
【０００８】
本発明の請求項２記載のマイクロギヤにおいては、請求項１記載のマイクロインターナルギヤに於いて、放電加工機のワイヤー径がｄｗであり、放電ギャップがｔであり、歯底の半径がＲｃであり、これらが次式：
Ｒｃ＝（ｄｗ／２）＋ｔ
の関係を満たす形状としたものである。
【０００９】
【作用】
本発明のマイクロギヤにおいては、インボリュート曲線と、歯底円直径に接する歯底円とを所定の半径Ｒの曲線で結んで形成される修正インボリュート曲線を有する形状としたので、実質歯底円直径が理論歯底円直径より小さくなったり、歯形に円滑でない部分を形成するような切り下げが生じたりしなくなる。
【００１０】
【実施例】
以下、この発明を図示の実施例により説明する。図１は本発明の一実施例であるマイクロギヤを説明する図で、図２は本発明の放電加工を説明する図である。
【００１１】
以下、図１，図２にしたがって本実施例のマイクロギヤを説明する。歯車のワイヤ放電加工では、円形断面の仮想工具（直径ｄs）をインボリュート歯形曲線に沿うようにＮＣ装置で移動させる（実際の加工では、逆にワイヤ位置を固定して、ワークをＮＣ装置で移動させている）。このように、ＮＣ装置でワイヤまたはワークを移動させるため、広い範囲のモジュールに対応できる。
【００１２】
しかしながら、加工歯車の歯溝幅が仮想工具径より狭いときに、工具が隣接のインボリュート部と干渉して切り下げ（アンダーカット）を生ずることが加工の限界となっていたが、放電加工機のワイヤー径をｄｗ、放電ギャップをｔ、歯底の半径をＲｃとしたとき、
Ｒｃ＝（ｄｗ／２）＋ｔ
の関係を満たす歯底円直径に接する曲線（歯底面に対応する歯形）とインボリュート曲線とを、両曲線の接線である半径Ｒの曲線で結んで形成される修正インボリュート曲線を有する形状としたので、実質歯底円直径が理論歯底円直径より小さくなったり、切り下げが生じたりしなくなった。
すなわち、通常であればインボリュート歯形曲線に、円滑でない部分となる切り下げを生じる場合があったのに対して、歯形をこの修正インボリュート曲線の形状となるようにワイヤ放電加工する場合には、加工上意図する形状を越えて切り下げを生じることはない。
【００１３】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、最小径のワイヤを使用すれば、切り下げが生じない分さらなる小型のマイクロギヤを提供することができる。また、同じモジュールのギャを加工する場合に、ワイヤー径を太くできる為、結線作業がし易く、ワイヤ切れ等による歩留まりを向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例のマイクロギヤを説明する図である。
【図２】本発明の一実施例の放電加工を説明する図である。
【図３】従来例の放電加工を説明する図である。
【図４】従来例の放電加工を説明する図である。
【符号の説明】
Ｒａ，Ｒｂ  疑似インボリュート曲線の半径
Ｒｄ  所定の半径Ｒ
Ｒｃ  歯底半径Ｒ
ｄｗ  ワイヤ径
ｔ  放電ギャップ
ｄｋ  歯先円直径
ｄｒ1  理論歯底円直径
ｄｒ2  実質歯底円直径
【図１】
0004461212.tif 000002
【図２】
0004461212.tif 000003
【図３】
0004461212.tif 000004
【図４】
0004461212.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロール状に巻き取られた強化繊維の織布（３）を、芯材（２）の周囲にヘリカル状に巻回し、前記ヘリカル状の巻回により、前記芯材（２）の軸心方向に隣り合う前記強化繊維の織布（３）同士が、それぞれ少なくとも前記芯材（２）の外周面に直接巻回された部分を有する強化プラスチック管をテープワインディング成形法により形成し、
上記ロール状に巻き取られた織布（３）の強化繊維（４）の向きを、そのロールの幅方向に対して斜め方向に配置し、上記巻回の際のヘリカルのピッチ角を、前記ロールの幅方向と前記斜め方向の強化繊維（４）との成す角度と同一として、その巻回後の強化繊維（４）の向きを、上記強化プラスチック管の管軸方向に沿って並行としたことを特徴とする強化プラスチック管の成形方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば、アンテナカバー等の保護部材や、フィルム、シート類の巻取芯、あるいは、流体輸送管等、各種円筒形状の強化プラスチック管の成形方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
円筒形状の強化プラスチック製品（以下、ＦＲＰ管という）を成形する方法として、ＨＬＵ（ハンドレイアップ成形法）、ＦＷ（フィラメントワインディング成形法）、引き抜き成形法、ＳＷ（シートワインディング成形法）などの手法がある。
いずれの成形法においても、設計上必要な強化繊維を用いたロービング又は織布に最適な量の樹脂を含浸させ、それを円筒形状に形成して硬化成形させるものである。
【０００３】
一般に、ＦＲＰの機械的物性には強化繊維の配置方向が大きく影響する。例えば、ＦＲＰ管の場合、本発明の実施形態の説明図である図２（ａ）に示すＦＲＰ管１’のように、ＦＲＰ層の強化繊維４の配置方向が管軸方向に沿って並行な場合と、従来例の説明図である図２（ｂ）に示すＦＲＰ管１０のように並行でない場合とを比較すると、管軸方向の引張強度、曲げ強度及び曲げ剛性は、前者のように並行な場合の方が大きくなる。
したがって、ＦＲＰ管の軸方向強度物性について、より剛性、強度を大きいものとするためには、強化繊維の配置方向は、ＦＲＰ管の管軸方向に沿って並行であることが望ましい。なお、図２（ａ）（ｂ）に示す符号１２は、樹脂を含浸した織布３，１３のさらに外側に適宜設けられる保護層である。
【０００４】
なお、強化繊維の配置方向を、ＦＲＰ管の管軸方向に沿って並行に設けた例としては、例えば、特許文献１が挙げられる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１７１０１１号公報（第６頁第２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
通常、テープワインディング成型等によってＦＲＰ管を成形する場合、図３に示すように、ロール状に巻き取られた強化繊維の織布３を芯材２の周囲に巻回する。このとき、その強化繊維の織布３は、強化繊維（ヨコ糸）４の向きが、ロール５の幅方向、すなわち巻取り方向（長さ方向）に対して直角方向となったスダレ状の織布等が使用される。
このような強化繊維のロール５を使用してＦＲＰ管を形成すると、その織布３は、芯材２の周囲にピッチ角βのヘリカル状に巻回されるので、強化繊維４の配置方向を管軸方向に沿って並行にすることができない（図２（ｂ）に示す角度α参照）。
【０００７】
そこで、この発明は、ＦＷによってＦＲＰ管を形成する場合において、強化繊維の配置方向を、ＦＲＰ管の管軸方向に沿って並行にすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、この発明は、ＦＷで使用するロール状に巻き取られた強化繊維の織布を、その強化繊維の向きが、ロール幅方向に対して斜めになるようにし、その斜め方向の強化繊維のロール幅方向に対する角度を、芯材への巻回の際のピッチ角と同じ角度に設定する手段を採用したのである。
このようにすれば、強化繊維の織布を芯材に巻回させた際に、その強化繊維が、ＦＲＰ管の管軸方向に沿って並行に配置される。この巻回作業は、従来の巻回作業と変わりないので、設備や工程に影響を及ぼすことなく、強化繊維を管軸方向に沿って並行に配置したＦＲＰ管を容易に形成することが可能となる。
【発明の効果】
【０００９】
この発明は、ＦＷによってＦＲＰ管を形成する場合において、強化繊維の配置方向を、ＦＲＰ管の管軸方向に沿って並行にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
一実施形態を図１及び図２（ａ）に示す。この実施形態のＦＲＰ管１の成形方法は、ロール状に巻き取られた強化繊維（ガラス繊維）４の織布３を、芯材２の周囲にヘリカル状に巻回し、その強化繊維４の織布３に所定量の樹脂を含浸させて、その樹脂を硬化させることにより筒状に成形するものである。その織布３及び樹脂によって形成されたＦＲＰ層のさらに外側には、適宜、同材料又は他の材料からなる保護層１２が設けられて、用途に応じたＦＲＰ管１’として形成される。なお、保護層は内面にも成形する。
【００１１】
このＦＲＰ管１（１’）の製造において、ロール５に巻き取られた織布３の強化繊維４の向きは、図１に示すように、そのロール５の幅方向に対して斜め方向に配置されており、それを、芯材２にヘリカル状に巻回する際のそのつる巻きらせんのピッチ角βを、前記ロール５の幅方向と前記斜め方向の強化繊維４との成す角度と同一としている。
このため、上記織布３を芯材２に巻回した後の強化繊維４の向きは、図２（ａ）に示すように、ＦＲＰ管１の管軸方向に沿って並行となる。
【００１２】
図２（ａ）に示すＦＲＰ管１’と、図２（ｂ）に示す従来例のＦＲＰ管１０とを製作し、両者の強度、剛性等を比較した実験結果を下記に示す。
【００１３】
【表１】
0004461460.tif 000002
【００１４】
表中に示すデータは、ＪＩＳ  Ｋ  ７０１７による曲げ強度、曲げ弾性率である。実験例では、新スダレを採用したことにより、従来品と比較して曲げ強度、曲げ弾性率が向上した。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】一実施形態を示し、芯材に強化繊維を巻回してＦＲＰ管を形成する際の方法を示す斜視図。
【図２】（ａ）は、強化繊維の向きを管軸方向に並行に配置したＦＲＰ管を示し、（ｂ）は、強化繊維の向きが管軸方向に並行でないＦＲＰ管を示す。
【図３】従来の実施形態を示す斜視図。
【符号の説明】
【００１６】
１，１’，１０  強化プラスチック管（ＦＲＰ管）
２  芯材
３，１３  織布
４，１４  強化繊維（ガラス繊維）
１２  保護層
β  ピッチ角
【図１】
0004461460.tif 000003
【図２】
0004461460.tif 000004
【図３】
0004461460.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケースの内部に瞬時引外し装置を備えた配線用遮断器において、
前記瞬時引外し装置を、
負荷配線に接続されるコイルと、
継鉄に保持され、前記コイルを巻回したボビンと、
前記ボビンの内側に前記コイルの巻回軸線方向へ摺動可能に収容され、前記コイルに瞬時電流が流れたときに前記ボビン内へ吸引されるプランジャーと、
前記プランジャーが吸引されることによって引外し機構を介して接点を引き外すように、前記プランジャーの一端面に突設される頭付ピンと、
前記プランジャーを吸引方向と反対の方向へ付勢するように、前記プランジャーの他端面と前記ボビン内に収容したバネ受板との間に設けたバネと、
前記継鉄に螺着され、前記バネ受板を介して前記バネの付勢力を調整するネジと、
からなることを特徴とする配線用遮断器。
【請求項２】
前記ケースにネジ操作用工具の挿入孔を設けた請求項１記載の配線用遮断器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、瞬時引外し装置を備えた配線用遮断器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、大きな瞬時電流が流れたときに、コイルの電磁力でプランジャーをバネに抗して駆動し、プランジャーにより遮断器の接点を引き外す装置が知られている（実開昭５７−２０７５５号公報等）。この種の電磁力を用いた瞬時引外し装置においては、プランジャーを動作させる瞬時電流の大きさがコイルに発生する磁界の強さとバネの強さとにより決定されている。例えば、３０Ａ以下の小型配線用遮断器の場合は、瞬時引外し装置が１８０Ａ程度の瞬時電流で動作するように設計されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の配線用遮断器によると、コイルの巻数や太さあるいはバネの付勢力が一定に設計されているため、施工時又は使用中に瞬時引外し装置の動作電流値を調整する必要が生じた場合に、コイルあるいはバネを異なる種類のものと交換しなければならず、実際は配線用遮断器を交換する必要があった。
【０００４】
そこで、本発明の課題は、施工時又は使用中に瞬時引外し装置の動作電流値を容易に調整できる配線用遮断器を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、ケースの内部に瞬時引外し装置を備えた配線用遮断器において、前記瞬時引外し装置を、負荷配線に接続されるコイルと、継鉄に保持され、前記コイルを巻回したボビンと、前記ボビンの内側に前記コイルの巻回軸線方向へ摺動可能に収容され、前記コイルに瞬時電流が流れたときに前記ボビン内へ吸引されるプランジャーと、前記プランジャーが吸引されることによって引外し機構を介して接点を引き外すように、前記プランジャーの一端面に突設される頭付ピンと、前記プランジャーを吸引方向と反対の方向へ付勢するように、前記プランジャーの他端面と前記ボビン内に収容したバネ受板との間に設けたバネと、前記継鉄に螺着され、前記バネ受板を介して前記バネの付勢力を調整するネジと、からなることを特徴とする。
【０００６】
この場合、ケースを開けることなく、ネジを外部から操作できるように、前記ケースにネジ操作用工具の挿入孔を設けるのが好ましい。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１に示す配線用遮断器においては、ケース１の外部に入切操作ハンドル２が突設され、ケース１の内部に瞬時引外し装置３が設けられている。瞬時引外し装置３は負荷配線に接続されるコイル４を備え、コイル４はボビン５に巻回され、ボビン５は継鉄６に保持されている。
【０００８】
ボビン５の内側には、プランジャー７がケース１の長手方向へ摺動可能に収容され、その左端面には頭付ピン８が突設されている。そして、コイル４に大きな瞬時電流が流れたときには、プランジャー７が電磁力によって図の右方へ吸引され、頭付ピン８により引外し機構９（一部のみ図示）を介して接点１０を引き外すようになっている。
【０００９】
また、ボビン５の内側には、プランジャー７を動作方向と反対の方向つまり図の左方へ付勢するバネ１２と、バネ受板１３とが収容されている。そして、継鉄６にはバネ１２の付勢力を調整するネジ１４が螺着され、ケース１にはネジ操作用工具であるドライバー（図示略）の挿入孔１５が形成されている。なお、この実施形態では、頭が丸形のネジ１４が用いられ、挿入孔１５は負荷端子１６側においてケース１に形成されている。
【００１０】
上記構成の配線用遮断器によれば、挿入孔１５から挿入したドライバーでネジ１４を操作することにより、バネ１２の付勢力が変更される。従って、従来とは異なり、多種類のコイル４やバネ１２を用意する必要がなく、ケース１を開いて部品交換する面倒もなく、施工時又は使用中であっても外部からの簡単な操作で瞬時引外し装置３の動作電流値を容易に調整することができる。
【００１１】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば図２に示すように、頭が六角形のネジ１８を用い、挿入孔１９を入切操作ハンドル２側においてケース１に形成し、ネジ操作用工具として六角スパナ（図示略）を用い、これを挿入孔１９に挿入して、ネジ１８をケース１の外部から操作できるように構成してもよい。その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各部の形状並びに構成を適宜に変更して実施することも可能である。
【００１２】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項１の発明によれば、プランジャーを付勢するように、プランジャーの他端面とボビン内に収容したバネ受板との間に設けたバネと、バネ受板を介してバネの付勢力を調整するネジとを設けたので、施工時又は使用中に瞬時引外し装置の動作電流値を容易に調整できるという優れた効果を奏する。
【００１３】
請求項２の発明によれば、ケースにネジ操作用工具の挿入孔を設けたので、ケースを開けることなく、外部からの操作で、瞬時引外し装置の動作電流値をより簡単に調整できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す配線用遮断器の要部破断側面図である。
【図２】本発明の別の実施形態を示す配線用遮断器の要部破断側面図である。
【符号の説明】
１・・ケース、３・・瞬時引外し装置、４・・コイル、７・・プランジャー、１２・・バネ、１４・・ネジ、１５・・挿入孔、１８・・ネジ、１９・・挿入孔。
【図１】
0004481433.tif 000002
【図２】
0004481433.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を超純水に接触させる工程、次いで該基板の表面を１００μ立程度の溶解液で溶解する工程、次いで１００μ立程度の溶解液を回収し、分析する工程からなる水質の評価方法において、
誘導結合プラズマ質量分析装置を使用して、回収した１００μ立程度の溶解液の導入から導入完了までの各元素のシグナル強度を読取り、時系列的に得られる前記各元素のシグナル強度のデータを元素毎に積分することにより前記回収した１００μ立程度の溶解液を用いて、基板と接触した超純水中の不純物を１０ｎｇ／立以下のレベルで検出可能とすることを特徴とする水質の評価方法。
【請求項２】
請求項１に記載の水質の評価方法において、前記基板と接触した超純水中の不純物を３０秒程度の分析時間で測定することを特徴とする水質の評価方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の水質の評価方法において、前記誘導結合プラズマ質量分析装置の、前記回収した溶解液の導入部をプラスチック製を用い、且つ、インターフェース部に白金コーンを用いることを特徴とする水質の評価方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体基板（ウエハとも記す。）の洗浄に用いられた超純水の水質評価方法に関し、特に超純水中の極く僅かの金属元素を、多元素同時に、且つ短時間で分析できるようにした水質の評価方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体基板を純水に浸漬し、次いで該基板の表面を溶液により溶解し、その溶液を回収して分析することにより純水中に含まれていた不純物量を測定する水質の評価方法は、特許第２８８８９５７号（特開平４−１４７０６０号公報）により公知であり、この評価方法では回収した溶液の分析にフレームレス原子吸光法が使用され、その検出下限値は０．７５〜５０×１０10原子／ｃｍ2である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
そのように溶液の分析をフレームレス原子吸光法で行うと、次のような問題点がある。
▲１▼１元素ずつ測定しなければならず、１元素の測定に約３分を要するので多元素を測定する場合は非常に時間がかゝる。
▲２▼１元素当たりに必要な試料の液量は２０μ立程度であり、ウエハからの回収液量は僅か（１００μ立程度）であることを考慮すると、１つのウエハで測定できる元素数には限度がある。
▲３▼分析下限値は数百ｎｇ／立〜数μｇ／立であり、感度の悪い元素ではウエハ上の不純物量に換算すると、１０9〜１０11原子／ｃｍ2程度までしか検出できない。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は上述した問題点を解消するために開発されたもので、請求項１の水質の評価方法は、基板を超純水に接触させる工程、次いで該基板の表面を１００μ立程度の溶解液で溶解する工程、次いで１００μ立程度の溶解液を回収し、分析する工程からなる水質の評価方法において、誘導結合プラズマ質量分析装置を使用して、回収した１００μ立程度の溶解液の導入から導入完了までの各元素のシグナル強度を読取り、時系列的に得られる前記各元素のシグナル強度のデータを元素毎に積分することにより前記回収した１００μ立程度の溶解液を用いて、基板と接触した超純水中の不純物を１０ｎｇ／立以下のレベルで検出可能とすることを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】
直径６インチのｎ型シリコンウエハを６枚用意し、石英製の槽を用いて通常のＲＣＡ洗浄を行いウエハの表面を洗浄化した。この内の２枚のウエハは洗浄後、乾燥して表面の金属元素濃度を全反射蛍光Ｘ線分析装置を用いて測定した。その結果、洗浄後のウエハの表面の鉄濃度は２×１０9ａｔｏｍ／ｃｍ2以下であった。このうちの１枚をポリプロピレン製のウエハ保持容器に装着して１立／ｍｉｎの流速で１時間、即ち６０立の超純水に接触させた。その後、ウエハの表面全体を１００μ立のフッ酸で溶解してウエハ上の付着物を溶解・回収した。
【０００６】
回収した溶解液のＦｅ濃度を誘導結合プラズマ質量分析装置（ＩＣＰＭＳ）によって表１の測定条件で分析した。尚、上記質量分析装置の試料導入系のネプライザーはクロスフロー型で、スプレーチャンバーはポリプロピレン製トーチ（内管）は白金製、インターフェースのサンプリングコーンは白金製、スキマーコーンは白金製である。
【０００７】
【表１】
0004524834.tif 000002
【０００８】
この時の結果を表２にまとめた。表２には、超純水中の不純物濃度を直接分析した結果も合わせて示した。水中の金属を直接分析しても分析下限値（１０ｎｇ／立）以下であったが、本発明の方法を用いればナトリウム、カルシウム、鉄が検出され、本法では超純水中に含まれる１０ｎｇ／立以下の極めて低濃度の不純物を検出することができる。
【０００９】
【表２】
0004524834.tif 000003
【００１０】
尚、時間分析法とは、回収した溶解液を注入し、シグナル強度がベース（無検知状態）シグナルに安定したことを見計らって、それまでの時系列シグナルを、図１に示すように取り込む方法で、この方法により、回収した微少量溶解液中の極低濃度の分析が可能となる。
【００１１】
本発明による分析の結果と、従来の方法による分析の結果の比較を表３に示した。
【００１２】
【表３】
0004524834.tif 000004
【００１３】
【発明の効果】
以上で明らかなように、本発明によれば回収した溶解液の測定装置に誘導結合プラズマ質量分析装置（ＩＣＰＭＳ）を使用するので、基板と接触した超純水中の不純物を多元素同時に１０8ｎｇ／立以下のレベルで検出可能となる。これは、ウエハ上での濃度に換算すると、１０8原子／ｃｍ2程度まで検出可能となる。そして、回収した溶解液のＩＣＰＭＳ導入部にはプラスチック製を用い、インターフェース部には白金製コーンを用いることにより、フッ酸系など回収した溶解液の組成によらずに上記検出が可能となる。又、測定に時間分析を用いることにより、１００μ立程度の微少量の回収液中の５〜１０元素を１０ｎｇ／立まで検出可能となり、分析時間は１検体（６元素）当たり３０秒程度になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の時間分析により得られたナトリウムの時系列データ。
【図１】
0004524834.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
転倒ゲートの扉体の表皮を、扉全幅にわたり取り外しできる構造とすることにより、維持監理作業に際し、河川に水流がある場合でも、取り外した表皮部分から河川水を流下させることで、上流側水位を堰上ることなく、扉体を起立させることができる、これにより、上下流に仮締切りを設けることなく河川内で作業できる転倒ゲートの仮排水設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、河川の流量調節に使用する転倒ゲートの修理、補修、メンテナンス、塗装の更新などに利用できる転倒ゲートに関する。
【背景技術】
【０００２】  治水上の観点から構造上、扉体背面に堆砂や流下物が残存して除去されない場合も多く不完全倒伏や、扉体、開閉装置の損傷が懸念されるケースもある。
従来、この場合には、転倒ゲートの修理、補修、メンテナンス、塗装の塗り替えなどの必要が生じたときには上流側および下流側に各々仮締め切りの堰堤を設けて、堰きとめられた上流側の水を図３に示すように仮締め切りの上流側に水中ポンプを設置し、水中ポンプで下流側へ排水するか、または別に取水路を仮設し、上流水を排出して転倒ゲートの前後の部分を全く水の無い状態にして修理、メンテナンスなどを行っていた。【０００３】  従来技術としては、上流側、下流側に仮締め切りを行い、バイパス管を取り付けて上流側の水を下流側に取り出している。
本方式は、単に排水用の水中ポンプ、または取水路の仮設を無くしただけで、かなりの費用と工事期間がかかる。
また、本方式の構造上、転倒ゲートを取り外して作業のやりやすい場所に移動して修理、メンテナンスなどができない方法である。（特許文献１）
【特許文献１】実公平３−４０９０３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  扉体背面に堆砂や流下物が残存して除去されない場合の不完全倒伏や、扉体、開閉装置の損傷の転倒ゲートの修理、補修、メンテナンス、塗装の塗り替えなどは、河川の水量の少ない渇水期の定期点検時においても河川に水が流れていて、転倒ゲートを取り付けたままでは修理、補修、メンテナンス、塗装の塗り替えなどの作業が非常に困難である。
さらに、転倒ゲートの取り付け部分の河川の水をなくするために大規模な仮排水設備を行う必要があり、莫大な費用が発生する【０００５】  そこで本発明の目的は、上流側および下流側に各々仮締め切りの堰堤を設ける必要が無く、転倒ゲートの修理、補修、メンテナンス、塗装の更新などの必要が生じたときには、費用を掛けずに、簡単に短時間で施工することができる方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  本発明は以下の通りである。
河川の流量調整に使用する転倒ゲートにおいて、転倒ゲート１の扉体２の表皮板３を取り外し可能なことを特徴とする転倒ゲートの扉体構造を特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】  転倒ゲートの修理、補修、メンテナンス、塗装の更新などの必要が生じたときには、上流側および下流側に各々仮締め切りの堰堤などの仮排水設備を設ける必要が無く、費用を掛けずに、簡単に短時間で取り外して別の場所で施工することができる。
また、この構造はきわめて簡単であるので、新規製作のみならず既存の転倒ゲートを容易に改造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】  本発明の転倒ゲートの扉体は、表皮板を取り付けボルトなどで扉体に固定してあり、修理、補修、メンテナンス、塗装の更新に際して表皮板の取り付けボルトをはずして扉体から表皮板を取り外す。表皮板の取り外し空間部より水を流しながら転倒ゲート下部にあるゲートヒンジピンを抜き取り、そして転倒ゲート本体をレッカーなどにより吊り上げて作業がしやすい場所に移動し、修理、補修、メンテナンス、塗装の塗り替えを行う。
【実施例】
【０００９】  本発明の実施例を図２に基づいて説明する。
下記の作業順序の番号は、図２の番号と同一である。
１．転倒ゲート１を起立状態で河川水を取水する。
２．転倒ゲート１を転倒させる。
３．転倒ゲート１の扉体２の表皮板固定用取り付けボルトを取り外し、表皮板３を取り外す。
また、図４のヒンジピンの水密ゴム固定ボルトを取り外し水密ゴム４を取り外す。
４．表皮板３を外した状態で転倒ゲート１を起立させる。
５．表皮板取り外し空間部分より河川水が流れる。
６．この状態で、転倒ゲート１の図４のゲートヒンジピン５を抜き取る。
７．レッカー等により転倒ゲート１本体を吊り上げる。
８．転倒ゲート１本体を作業がやりやすい場所に移動し、修理、補修、メンテナンス、塗装の塗り替えを行う。
９．作業が完了するとレッカー等により吊り上げて河川の元の位置に設置する。
１０．図４のゲートヒンジピン５を差し込んで取り付ける。
１１．転倒ゲート１を転倒状態にして表皮板３を固定用取り付けボルトで固定する。
また、図２の水密ゴム４を取り付ける。
１２．転倒ゲートを起立する。
１３．河川水を取水する。
【産業上の利用可能性】
【００１０】  本発明は、河川等に設置されている転倒ゲートの修理、補修、メンテナンス、塗装の更新が容易に簡単に短時間でできる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の転倒ゲートの扉体構造の正面図、側面図。
【図２】本発明の実施例に関する作業手順側面図。
【図３】従来技術の方法を示す平面図。
【図４】ヒンジピンの構造図。
【符号の説明】
【００１２】  １  転倒ゲート
２  扉体
３  表皮板
４  水密ゴム
５  ヒンジピン
【図１】
0004524500.tif 000002
【図２】
0004524500.tif 000003
【図３】
0004524500.tif 000004
【図４】
0004524500.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸部を立設した取付用万力と、前記軸部に回動自在に嵌合される軸受け凹部を有して前記取付用万力に取付ける万力取付部を基部に設けた器具本体とを備え、前記器具本体の前記万力取付部は、前記器具本体の縦方向の中心線よりも後側に位置し、前記万力取付部の前記軸受け凹部よりも前側に付加機能収納スペースを形成したことを特徴とする電気スタンド。
【請求項２】
前記万力取付部の前記取付用万力を取付ける底面に補強板を設けた請求項１記載の電気スタンド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電気スタンドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の電気スタンドを図４および図５に示す。すなわち、１００は器具本体、１０１は万力取付部、１０２は取付用万力、１０３はアーム、１０４はセード、１０５は電源コードである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この電気スタンドは、取付用万力１０２の万力取付用軸部が器具本体１００の中心線Ｌ上に位置しているため、万力取付部にコンセント、スイッチ、表示灯などの付加機能部品を設けるスペースがなく、付加機能を追加する場合、器具本体１００に設けなければならず、そのため器具本体１００の構造が複雑になった。また器具本体１００に付加機能を収納するためのスペースを設けると、そのスペースのためデザイン性が悪化するという問題があった。
【０００４】
したがって、この発明の目的は、万力取付部に付加機能部品を設けるためのスペースを確保することができる電気スタンドを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の電気スタンドは、軸部を立設した取付用万力と、前記軸部に回動自在に嵌合される軸受け凹部を有して前記取付用万力に取付ける万力取付部を基部に設けた器具本体とを備え、前記器具本体の前記万力取付部は、前記器具本体の縦方向の中心線よりも後側に位置し、前記万力取付部の前記軸受け凹部よりも前側に付加機能収納スペースを形成したことを特徴とするものである。
【０００６】
請求項１記載の電気スタンドによれば、万力取付部の前側に付加機能部品を収納できるスペースを確保することができ、これにより付加機能の設置を容易に行える。
【０００７】
請求項２記載の電気スタンドは、請求項１において、前記万力取付部の前記取付用万力を取付ける底面に補強板を設けたものである。
【０００８】
請求項２記載の電気スタンドによれば、請求項１と同様な効果のほか、万力取付部の前側にスペースを設けたために強度が弱くなっても、補強板により万力取付部の前側の強度を確保することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
この発明の一実施の形態を図１から図３により説明する。すなわち、この電気スタンドは、器具本体１と、取付用万力２とを有する。
【００１０】
器具本体１は、取付用万力２に取付ける万力取付部３を基部１ａに有するものである。万力取付部３は器具本体１の後方寄りの位置にオフセットしている。また万力取付部３の取付用万力２を取付ける底面に補強板５を取付ている。実施の形態では器具本体１が縦長であり、その下端部に基部１ａをねじにより取付け、上端部にアーム２０の下端部を回動自在に取付けている。基部１ａは例えばプラスチック製であり、器具本体１の中心線Ｌよりも後方側に軸受け凹部４を形成し、中心線Ｌよりも前方側に付加機能収納スペース８を形成し、補強板５は軸受け凹部４を避けるように切欠き６を形成した金属板を用い、これを底板としてねじ７により万力取付部３の底面に取付けている。付加機能収納スペース８にはコンセント９が収納されて取付けられ、万力取付部３の前面に形成した開口１０に差し込み口１１を露出している。
【００１１】
取付用万力２は、実施の形態において、略コ字形に形成した本体１２の下端片１３にねじ孔を形成し、上端片１４に軸部１５をねじ止めにより立設している。ねじ孔には締付けねじ部１６が螺通されており、内端に締付け部１７を有し、外端にハンドル１８を有する。締付け部１７と上端片１４との間を机の端等の取付部に挿入し、ハンドル１８を回して締付け部１７を上端片１４に近寄せて机等を挟持することにより取付けられる。また軸部１５を軸受け凹部４に回動自在に軸支させて器具本体１が取付用万力２に取付けられる。取付用万力２に万力取付部３を取付けたとき軸部１５の中心線Ａは器具本体１の中心線Ｌよりも後方にオフセットし、かつ軸部１５の約１／４程度が万力取付部３の後面より後方に突出している。
【００１２】
２１はアーム２０の先端部に取付けられたセードであり、ランプを装着するランプソケットを設けている。２２は電源コードであり、器具本体１の後面よりブッシング２２ａを介して引出している。
【００１３】
この実施の形態によれば、万力取付部３の前側に付加機能部品を収納できるスペース８を確保することができ、これにより付加機能の設置を容易に行える。また万力取付部３の取付用万力２を取付ける底面に補強板５を設けたため、万力取付部３の前側にスペースを設けたために強度が弱くなっても、補強板５により万力取付部３の前側の強度を確保することができる。また、軸部１５を後方にずらすことにより軸部１５にかかる操作力は従来例よりも大きくなる。そのため万力取付用軸部の変形が危惧されるが、補強板５を底板として設置することによりその変形を防止することができる。
【００１４】
さらに電源コード２２のブッシング（張力止め）２２ａが前方に位置することとなるため、器具本体１の後側に接近した建物の壁面に干渉せずに回転できる。
【００１５】
その他、補強板５は充電部保護の機能を有し、また軸受け凹部以外の部分に軸部が挿入されることを防止することができる。
【００１６】
なお、この発明において、付加機能部品としては、コンセントに限らず、スイッチや表示灯などでもよい。また取付用万力２の器具本体１からの突出量は付加機能収納スペースに応じて設定する。電源コード２２を器具本体１の後面に貫通しているが、基部１ａに貫通してもよい。補強板５は金属板としているが、変形しない材質であればこれに限定されない。
【００１７】
【発明の効果】
請求項１記載の電気スタンドによれば、万力取付部の前側に付加機能部品を収納できるスペースを確保することができ、これにより付加機能の設置を容易に行える。
【００１８】
請求項２記載の電気スタンドによれば、請求項１と同様な効果のほか、万力取付部の前側にスペースを設けたために強度が弱くなっても、補強板により万力取付部の前側の強度を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態の要部断面図である。
【図２】外観斜視図である。
【図３】分解斜視図である。
【図４】従来例の側面図である。
【図５】その正面図である。
【符号の説明】
１    器具本体
１ａ    基部
２    取付用万力
３    万力取付部
４    軸受け凹部
５    補強板
２２    電源コード
【図１】
0004524905.tif 000002
【図２】
0004524905.tif 000003
【図３】
0004524905.tif 000004
【図４】
0004524905.tif 000005
【図５】
0004524905.tif 000006