(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接合面を上向きにした第１の部品を供給する第１の部品供給部と、接合面を上向きにした第２の部品を供給する第２の部品供給部と、部品吸着面を上向きにした吸着ツールを供給するツール供給部と、接合面を上向きにした第１の部品を載置するステージと、第２の部品を第２の部品供給部からピックアップして上下反転させる第１のヘッドと、上下反転された前記第２の部品をその下端部に着脱自在に装着された吸着ツールに吸着して前記第１のヘッドから受け取り、前記ステージ上に載置された前記第１の部品上に実装する第２のヘッドと、前記第２のヘッドに装着された吸着ツールを前記第２のヘッドから受け取って上下反転させて部品吸着面を上向きにして前記ツール供給部に回収するとともに前記ツール供給部の他の吸着ツールをピックアップして上下反転させて前記第２のヘッドの下端部に受け渡す第３のヘッドとを備えたことを特徴とする部品の実装装置。
【請求項２】
前記第１のヘッドが前記第３のヘッドを兼務しており、前記第１のヘッドに前記第１の部品及び前記第２の部品を吸着する部品吸着部と前記吸着ツールを吸着するツール吸着部が設けられていることを特徴とする請求項１記載の部品の実装装置。
【請求項３】
前記ステージ上で前記第１の部品上に実装された前記第２の部品を前記第１の部品とともにピックアップして回収する第４のヘッドを更に備え、前記第１のヘッドが前記第４のヘッドを兼務することを特徴とする請求項１又は２記載の部品の実装装置。
【請求項４】
前記ステージ上で前記第１の部品上に実装された前記第２の部品を前記第１の部品とともにピックアップして回収する第４のヘッドを更に備え、前記第２のヘッドが前記第４のヘッドを兼務することを特徴とする請求項１又は２記載の部品の実装装置。
【請求項５】
前記第１の部品供給部と前記第２の部品供給部と前記ツール供給部が同一の可動テーブル上に設けられていることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の部品の実装装置。
【請求項６】
接合面を上向きにして第１の部品供給部に備えられた第１の部品をステージ上に載置する工程と、接合面を上向きにして第２の部品供給部に備えられた第２の部品を第１のヘッドによりピックアップする工程と、ピックアップされた第２の部品を上下反転させて第２のヘッドの下端部に着脱自在に装着された吸着ツールに受け渡す工程と、前記第２のヘッドを前記ステージに対して下降させて前記第１の部品上に前記第２の部品を実装する工程と、前記第２のヘッドに装着された前記吸着ツールを第３のヘッドにより受け取って前記吸着ツールを上下反転させて部品吸着面を上向きにしてツール供給部に回収する工程と、部品吸着面を上向きにして前記ツール供給部に備えられた他の吸着ツールを前記第３のヘッドによりピックアップする工程と、ピックアップされた前記他の吸着ツールを上下反転させて前記第２のヘッドの下端部に受け渡す工程とを含むことを特徴とする部品の実装方法。
【請求項７】
前記第１のヘッドが前記第３のヘッドを兼務しており、前記第１のヘッドに前記第１の部品及び前記第２の部品を吸着する部品吸着部と前記吸着ツールを吸着するツール吸着部が設けられていることを特徴とする請求項６記載の部品の実装方法。
【請求項８】
前記ステージ上で前記第１の部品上に実装された前記第２の部品を前記第１の部品とともに第４のヘッドによりピックアップして回収する工程を更に含み、前記第１のヘッドが前記第４のヘッドを兼務することを特徴とする請求項６又は７記載の部品の実装方法。
【請求項９】
前記ステージ上で前記第１の部品上に実装された前記第２の部品を前記第１の部品とと
もに第４のヘッドによりピックアップして回収する工程を更に含み、前記第２のヘッドが前記第４のヘッドを兼務することを特徴とする請求項６又は７記載の部品の実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板等の第１の部品上にフリップチップ等の第２の部品を実装する部品の実装装置および実装方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板等の第１の部品上にフリップチップ等の第２の部品を実装する装置として、熱圧着により両者を接合する部品の実装装置が広く用いられている。この種の実装装置では、第１の部品を接合面を上向きにしてステージに載置し、作業ヘッドの下端部に装着された吸着ツールに接合面を下向きにして吸着された第２の部品を押圧しながら加熱することにより両者の熱圧着を行う。
【０００３】
この吸着ツールには、第２の部品を吸着する部品吸着面が形成されており、この部品吸着面側を下向きにして作業ヘッドの下端部に着脱自在に装着される。部品の実装装置において実装の対象となる第２の部品は多品種あり、これらの品種に対応して部品吸着面の形態が異なる吸着ツールを使い分けている。そのため、部品の実装装置には、部品吸着面の形態が異なる複数品種の吸着ツールをストックするツール供給部が備えられている。
【０００４】
従来の部品の実装装置においては、作業ヘッド自身の動作によりその下端部に吸着ツールを着脱しているので、複数品種の吸着ツールが部品吸着面を下向きにした姿勢でツール供給部にストックされて作業ヘッドの近傍に配置されている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−１５２０３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、部品吸着面を下向きにした姿勢でストックしてあると、吸着ツールの品種を識別する際に、オペレータ等が吸着ツールを裏返して（上下反転させて）部品吸着面の形態を確認する作業が必要となる。また、一般に作業ヘッドは実装装置の狭隘な奥部に配置されており、周囲には精密な機器類が配置されているため、オペレータが吸着ツールの識別等のためツール供給部へアクセスする際には細心の注意が必要となり、吸着ツールの識別や交換等のメンテナンスの際の作業性に問題があった。
【０００６】
そこで本発明は、オペレータが吸着ツールの品種の識別等のメンテナンスを容易に行うことができ、部品の実装作業性の向上を図ることができる部品の実装装置および実装方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１記載の発明は、接合面を上向きにした第１の部品を供給する第１の部品供給部と、接合面を上向きにした第２の部品を供給する第２の部品供給部と、部品吸着面を上向きにした吸着ツールを供給するツール供給部と、接合面を上向きにした第１の部品を載置するステージと、第２の部品を第２の部品供給部からピックアップして上下反転させる第１のヘッドと、上下反転された前記第２の部品をその下端部に着脱自在に装着された吸着ツールに吸着して前記第１のヘッドから受け取り、前記ステージ上に載置された前記第１の部品上に実装する第２のヘッドと、前記第２のヘッドに装着された吸着ツールを前記第２のヘッドから受け取って上下反転させて部品吸着面を上向きにして前記ツール供給部に回収するとともに前記ツール供給部の他の吸着ツールをピックアップして上下反転させて前記第２のヘッドの下端部に受け渡す第３のヘッドとを備えた。
【０００８】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記第１のヘッドが前記第３のヘッドを兼務しており、前記第１のヘッドに前記第１の部品及び前記第２の部品を吸着する部品吸着部と前記吸着ツールを吸着するツール吸着部が設けられている。
【０００９】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の発明において、前記ステージ上で前記第１の部品上に実装された前記第２の部品を前記第１の部品とともにピックアップして回収する第４のヘッドを更に備え、前記第１のヘッドが前記第４のヘッドを兼務する。
【００１０】
請求項４記載の発明は、請求項１又は２記載の発明において、前記ステージ上で前記第１の部品上に実装された前記第２の部品を前記第１の部品とともにピックアップして回収する第４のヘッドを更に備え、前記第２のヘッドが前記第４のヘッドを兼務する。
【００１１】
請求項５記載の発明は、請求項１乃至４の何れかに記載の発明であって、前記第１の部品供給部と前記第２の部品供給部と前記ツール供給部が同一の可動テーブル上に設けられていることを特徴とする。
【００１２】
請求項６記載の発明は、接合面を上向きにして第１の部品供給部に備えられた第１の部品をステージ上に載置する工程と、接合面を上向きにして第２の部品供給部に備えられた第２の部品を第１のヘッドによりピックアップする工程と、ピックアップされた第２の部品を上下反転させて第２のヘッドの下端部に着脱自在に装着された吸着ツールに受け渡す工程と、前記第２のヘッドを前記ステージに対して下降させて前記第１の部品上に前記第２の部品を実装する工程と、前記第２のヘッドに装着された前記吸着ツールを第３のヘッドにより受け取って前記吸着ツールを上下反転させて部品吸着面を上向きにしてツール供給部に回収する工程と、部品吸着面を上向きにして前記ツール供給部に備えられた他の吸着ツールを前記第３のヘッドによりピックアップする工程と、ピックアップされた前記他の吸着ツールを上下反転させて前記第２のヘッドの下端部に受け渡す工程とを含む。
【００１３】
請求項７記載の発明は、請求項６記載の発明において、前記第１のヘッドが前記第３のヘッドを兼務しており、前記第１のヘッドに前記第１の部品及び前記第２の部品を吸着する部品吸着部と前記吸着ツールを吸着するツール吸着部が設けられている。
【００１４】
請求項８記載の発明は、請求項６又は７記載の発明において、前記ステージ上で前記第１の部品上に実装された前記第２の部品を前記第１の部品とともに第４のヘッドによりピックアップして回収する工程を更に含み、前記第１のヘッドが前記第４のヘッドを兼務する。
【００１５】
請求項９記載の発明は、請求項６又は７記載の発明において、前記ステージ上で前記第１の部品上に実装された前記第２の部品を前記第１の部品とともに第４のヘッドによりピックアップして回収する工程を更に含み、前記第２のヘッドが前記第４のヘッドを兼務する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、部品吸着面を上向きにした姿勢で複数品種の吸着ツールをストックするので、オペレータが吸着ツールの品種を簡単に視認して確認することができる。また、ツール供給部を第２のヘッド（作業ヘッド）から離して配置することが可能となるので、オペレータによる吸着ツールの交換等のメンテナンス性がよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
（実施の形態１）
次に、本発明の実施の形態１について、図面を参照して説明する。図１は本発明の実施
の形態１における部品の実装装置の斜視図、図２は本発明の実施の形態１における部品の実装装置の側面図、図３乃至図９は本発明の実施の形態１における部品の実装装置の動作説明図である。
【００１８】
まず、部品の実装装置の全体構造について、図１及び図２を参照して説明する。図１において、Ｙテーブル１上には基台２が備えられており、基台２上にはステージ３が配設されている。基台２はＹテーブル１の駆動によってＹ方向に水平移動し、これに伴ってステージ３はＹ方向に水平移動する。
【００１９】
図１において、ステージ３の側方には供給テーブル４が配設されている。供給テーブル４は、Ｙテーブル５上に備えられた基台６上に配設されており、Ｙテーブル５の駆動によりＹ方向に水平移動する。供給テーブル４の上面には、第１の部品供給部７、第２の部品供給部８、ツール供給部９が並置されている。
【００２０】
図１において、供給テーブル４の上方には第１のヘッド１０が配設されている。第１のヘッド１０は、Ｘテーブル１１の側部に設けられたＺθテーブル１２に取り付けられている。第１のヘッド１０は、Ｘテーブル１１の駆動によりＸ方向へ水平移動し、またＺθテーブル１２の駆動により昇降する。
【００２１】
第１のヘッド１０は箱形であり、水平軸１０ａによりＺθテーブル１２に軸支されている。第１のヘッド１０の異なる面（本実施の形態においては１８０度相対する面）には部品吸着部１３とツール吸着部１４がそれぞれ突設されている。第１のヘッド１０はＺθテーブル１２の駆動により水平軸１０ａ周りに回転自在であり、部品吸着部１３とツール吸着部１４を上下反転させる。部品吸着部１３を上向きにしたときはツール吸着部１４は下向きとなり、更に１８０度回転させると、部品吸着部１３が下向きとなりツール吸着部１４は上向きとなる。
【００２２】
図１において、ステージ３の上方には、第２のヘッド２０が配設されている。第２のヘッド２０は昇降部２１の下部に装着されており、昇降部２１はＸテーブル２２の側部に取り付けられている。第２のヘッド２０はＸテーブル２２の駆動によりＸ方向に水平移動し、また昇降部２１の駆動により昇降してステージ３に対して接離する。
【００２３】
上記のＹテーブル１、５、Ｘテーブル１１、２２は、第１のヘッド１０や第２のヘッド２０をステージ３や供給テーブル４等に対し相対的にＸ方向やＹ方向に水平移動させる水平移動手段となっている。
【００２４】
図１において、Ｘテーブル２２の下部には認識部３０が配設されている。認識部３０は、ステージ３と第２のヘッド２０の間に移動して上下方向を観察する。ステージ３の側方には搬出レール４０がＸ方向に延伸して配設されている。搬出レール４０には、部品回収部４１が搬出レール４０の長手方向（Ｘ方向）に摺動自在に保持されており、ステージ３上で第１の部品上に第２の部品を実装して形成された実装済部品を回収して次工程に搬出する。搬送レール４０の上方には第４のヘッド４２が配設されており、ステージ３上で形成された実装済部品を部品回収部４１に移載して回収する。
【００２５】
図２において、第１の部品供給部７には、複数種の第１の部品が接合面に形成された電極７０ａ、７１ａを上向きにしてストックされている（図２では２種類の部品７０、７１を図示している）。また、第２の部品供給部８には、複数種の第２の部品が接合面に形成されたバンプ８０ａ、８１ａを上向きにしてストックされている（図２では２種類の部品８０、８１を図示している）。
【００２６】
ツール供給部９には、第１の吸着ツール９０と第２の吸着ツール９１がそれぞれ部品吸着面９０ａ、９１ａを上向きにしてストックされている。第１の吸着ツール９０は、第１の部品７０と第２の部品８０を接合する際に第２のヘッド２０に装着され、第２の吸着ツール９１は、第１の部品７１と第２の部品８１を接合する際に第２のヘッド２０に装着される。
【００２７】
図２において、第２のヘッド２０の内部には加熱手段としてのヒータ（図示せず）が備えられている。第２のヘッド２０のセンターには第１の吸引孔２０ａが形成され、第１の吸引孔２０ａの両側方には第２の吸引孔２０ｂが形成されており、各吸引孔２０ａ、２０ｂは第２のヘッド２０の下面に開口している。第１の吸引孔２０ａ及び第２の吸引孔２０ｂは、それぞれの吸引手段としての第１の吸引ポンプＰ１及び第２の吸引ポンプＰ２と連通している。
【００２８】
第２の吸引ポンプＰ２を駆動すると、第２の吸引孔２０ｂ内が減圧され、第２のヘッド２０の下面に吸着ツール９０、９１を吸着して装着する。吸着ツール９０、９１には上下に貫通する貫通孔９０ｂ、９１ｂが形成され、部品吸着面９０ａ、９１ａの中央に開口している。貫通孔９０ｂ、９１ｂは、吸着ツール９０、９１が第２のヘッド２０に装着された状態において第１の吸引孔２０ａと連通する。第１の吸引ポンプＰ１を駆動すると、第１の吸引孔２０ａと連通する貫通孔９０ｂ、９１ｂ内が減圧され、部品吸着面９０ａ、９１ａに第２の部品８０、８１を吸着する。第２の部品８０、８１は、第２のヘッドに備えられた接合手段としてのヒータにより加熱されて接合面に形成されたバンプ８０ａ、８１ａが熱融解し、第１の部品７０、７１の接合面に形成された電極７０ａ、７１ａと接合して実装済部品が形成される。
【００２９】
なお、バンプと電極を接合する接合手段として第２のヘッドに備えられた加熱手段としてのヒータを例示しているが、接合手段はこれに限られるものではない。例えば、振動印加手段を用いて接合することも可能であるし、加熱手段と振動印加手段を併用してもよい。また、これらの接合手段をステージ３側に設けることも可能である。
【００３０】
図２において、部品吸着部１３には吸引孔１３ａが形成されており、吸引孔１３ａは部品吸着部１３の部品吸着面１３ｂに開口している。吸引孔１３ａは吸引手段としての第３の吸引ポンプＰ３と連通しており、第３の吸引ポンプＰ３を駆動すると、吸引孔１３ａ内が減圧されて部品吸着面１３ｂに第１の部品７０、７１又は第２の部品８０、８１を吸着する。
【００３１】
第１の部品７０、７１を吸着した部品吸着部１３は、Ｘテーブル１１の駆動によりステージ３上に移動し（矢印ａ）、第１の部品７０、７１は電極７０ａ、７１ａが形成された接合面を上向きにしてステージ３上に載置される。また、第２の部品８０、８１を吸着した部品吸着部１３は、Ｘテーブル１１の駆動により第２のヘッド２０の下方に移動し（矢印ａ）、第２の部品８０、８１は第１のヘッド１０の軸回転により上下に１８０度反転され、第２のヘッド２０の下面に装着された吸着ツール９０、９１の部品吸着面９０ａ、９１ａにバンプ８０ａ、８１ａが形成された接合面を下向きにして受け渡される。
【００３２】
図２において、ツール吸着部１４には吸引孔１４ａが形成されており、吸引孔１４ａはツール吸着部１４のツール吸着面１４ｂに開口している。ツール吸着面１４ｂは中央に凹部１４ｃが形成されている。吸引孔１４ａは吸引手段としての第４の吸引ポンプＰ４と連通しており、第４の吸引ポンプＰ４を駆動すると、吸引孔１４ａ内が減圧されてツール吸着面１４ｂに吸着ツール９０、９１が吸着される。第１の吸着ツール９０及び第２の吸着ツール９１はそれぞれの部品吸着面９０ａ、９１ａを上向きにしてストックされているため、部品吸着面９０ａ、９１ａが凹部１４ｃに収まった状態で吸着される。
【００３３】
吸着ツール９０、９１を吸着したツール吸着部１４は、Ｘテーブル１１の駆動により第２のヘッド２０の下方に移動し（矢印ａ）、第１のヘッド１０の軸回転により上下に１８０度反転され、部品吸着面９０ａ、９１ａを下向きにして第２のヘッド２０の下面に受け渡される。また、第２のヘッド２０の下面に装着された吸着ツール９０、９１は、上向きのツール吸着部１４に吸着されて第２のヘッド２０から離脱される。離脱された吸着ツール９０、９１は、第１のヘッド１０の軸回転により上下に１８０度反転され、部品吸着面９０ａ、９１ａを上向きにしてツール供給部９に回収される。
【００３４】
このように、第１のヘッド１０は、吸着ツール９０、９１を交換する際、ツール供給部９と第２のヘッド２０の間を移動して吸着ツール９０、９１の受け渡し及び回収を行う。
【００３５】
すなわち、第１のヘッド１０は、第２のヘッド２０に装着された吸着ツール９０、９１を第２のヘッドから受け取って上下反転させて部品吸着面９０ａ、９１ａを上向きにしてツール供給部９に回収するとともにツール供給部９の他の吸着ツール９０、９１をピックアップして上下反転させて第２のヘッド２０の下端部（下面）に受け渡す第３のヘッドを兼務している。
【００３６】
図２において、第４のヘッド４２には吸引孔４２ａが形成されており、吸引孔４２ａは第４のヘッド４２の下面の部品吸着面４２ｂに開口している。吸引孔４２ａは吸引手段としての第５の吸引ポンプＰ５と連通しており、第５の吸引ポンプＰ５を駆動すると、吸引孔４２ａ内が減圧されて第４のヘッド４２の下面に実装済部品が吸着される。これにより、ステージ３上において、第１の部品７０、７１上に第２の部品８０、８１を実装して形成された実装済部品を吸着して部品回収部４１に回収する。
【００３７】
部品の実装装置は以上のように構成され、以下、部品の実装装置を用いた実装方法について説明する。図３乃至図９は、第１の部品７０、７１上に第２の部品８０、８１を実装して実装済部品を形成する工程を順に示している。本工程においては、第２の部品を的確に押圧してバンプと電極を確実に接合するため、第２の部品の外形寸法に適合した吸着ツールを用いて実装を行う。なお、第１の部品については、吸着保持してステージ３に移載可能であれば足りるので、必ずしもその外形寸法に適合した吸着ツールを使用する必要はない。
【００３８】
まず、第１の部品７０上に第２の部品８０を実装して実装済部品９２を形成する工程について説明する。
【００３９】
図３（ａ）において、供給テーブル４の上面には、第１の部品供給部７、第２の部品供給部８、ツール供給部９が並置されている。第１の部品供給部７には、大小２種類の第１の部品７０、７１が電極７０ａ、７１ａが形成された接合面を上向きにした姿勢でストックされている。また、第２の部品供給部８には、大小２種類の第２の部品８０、８１がバンプ８０ａ、８１ａが形成された接合面を上向きにした姿勢でストックされている。ツール供給部９には、第２の吸着ツール９１が部品吸着面９１ａを上向きにした姿勢でストックされている。第２のヘッド２０の下面には第１の吸着ツール９０が部品吸着面９０ａを下向きにした姿勢で装着されている。
【００４０】
図３（ａ）において、第１のヘッド１０が第１の部品供給部７の上方に移動し、部品吸着部１３に第１の部品７０を吸着する。図３（ｂ）において、第１のヘッド１０がステージ３の上方に移動し、第１の部品７０をステージ３上に載置する。図３（ｃ）において、第１のヘッド１０が第２の部品供給部８の上方に移動し、部品吸着部１３に第２の部品８０を吸着する。図４（ａ）において、第１のヘッド１０が第２のヘッド２０の下方に移動
し、部品吸着部１３を上向きに姿勢変更させて第２の部品８０を上下反転させ、バンプ８０ａが形成された接合面を下向きにして第２のヘッド２０の下面に装着された第１の吸着ツール９０に受け渡す。
【００４１】
図４（ｂ）において、認識部３０が第２のヘッド２０とステージ３の間に移動して上方の第２の部品８０と下方の第１の部品７０を観察し、両者の位置ずれを認識する。この認識結果に基づいて、第１の部品７０と第２の部品８０の位置合わせが行われる。図４（ｃ）において、認識部３０が退避した後、第２のヘッド２０が下降して第２の部品８０を第１の部品７０に押圧しながら加熱する。これにより、第２の部品８０の接合面に形成されたバンプ８０ａは第１の部品７０の電極７０ａと接合し、実装済部品９２が形成される。また、次工程に備え、第１のヘッド１０はツール吸着部１４を上向きに姿勢変更する。
【００４２】
図５（ａ）において、第２のヘッド２０が元の位置に上昇する。また、第４のヘッド４２がステージ３の上方に移動して実装済部品９２を吸着する。図５（ｂ）において、第４のヘッド４２が部品回収部４１の上方に移動し、実装済部品９２を部品回収部４１に回収する。
【００４３】
次に、第１の部品７１上に第２の部品８１を実装して実装済部品９３を形成する工程について説明する。図５（ｂ）において、第１のヘッド１０が第２のヘッド２０の下方に移動し、第２のヘッド２０の下面に装着されている第１の吸着ツール９０をツール吸着部１４のツール吸着面１４ｂに吸着して受け取る。図５（ｃ）において、ツール吸着部１４を下向きに姿勢変更させ、第１の吸着ツール９０を部品吸着面９０ａを上向きにしてツール供給部９に回収する。
【００４４】
図６（ａ）において、ツール吸着部１４のツール吸着面１４ｂに第２の吸着ツール９１を吸着する。図６（ｂ）において、第１のヘッド１０が第２のヘッド２０の下方に移動し、ツール吸着部１４を上向きに姿勢変更させ、第２の吸着ツール９１を部品吸着面９１ａを下向きにして第２のヘッド２０に受け渡す。
【００４５】
図６（ｃ）において、第１のヘッド１０が第１の部品供給部７の上方に移動し、部品吸着部１３に第１の部品７１を吸着する。図７（ａ）において、第１のヘッド１０がステージ３の上方に移動し、第１の部品７１をステージ３上に載置する。図７（ｂ）において、第１のヘッド１０が第２の部品供給部８の上方に移動し、部品吸着部１３に第２の部品８１を吸着する。図７（ｃ）において、第１のヘッド１０が第２のヘッド２０の下方に移動し、部品吸着部１３を上向きに姿勢変更させ、第２の部品８１を上下反転させ、バンプ８１ａが形成された接合面を下向きにして第２のヘッド２０の下面に装着された第２の吸着ツール９１に受け渡す。
【００４６】
図８（ａ）において、認識部３０が第２のヘッド２０とステージ３の間に移動して上方の第２の部品８１と下方の第１の部品７１を観察し、両者の位置ずれを認識する。この認識結果に基づいて、第１の部品７１と第２の部品８１の位置合わせが行われる。図８（ｂ）において、認識部３０が退避した後、第２のヘッド２０が下降して第２の部品８１を第１の部品７１に押圧しながら加熱する。これにより、第２の部品８１の接合面に形成されたバンプ８１ａと第１の部品７１の電極７１ａが接合し、実装済部品９３が形成される。
【００４７】
図８（ｃ）において、第２のヘッド２０が元の位置に上昇する。また、第４のヘッド４２がステージ３の上方に移動して実装済部品９３を吸着する。図９において、第４のヘッド４２が部品回収部４１の上方に移動して実装済部品９３を部品回収部４１に回収する。
【００４８】
このように、第１の部品供給部７、第２の部品供給部８、ツール供給部９を第２のヘッ
ド２０と離れた供給テーブル４の上面に並置することにより、オペレータが部品や吸着ツールの交換や補充の際の作業性が良い。また、複数品種の吸着ツール９０、９１を部品吸着面９０ａ、９１ａを上向きにした姿勢でツール供給部９にストックすることにより、吸着ツールの品種を簡単に視認することができ、オペレータが吸着ツールの品種を識別するために吸着ツールを裏返して部品吸着面の形態を確認する必要がない。
【００４９】
なお、第４のヘッド４２は、第２のヘッド２０により兼務することも可能である。この場合、ステージ３上に形成された実装済部品９２、９３を第２のヘッド２０により吸着して部品回収部４１に回収する。また、第１のヘッド１０が第４のヘッドを兼務することも可能である。この場合、部品回収部４１を供給テーブル４の上面に配置し、部品吸着部１３により実装済部品９２、９３を吸着して部品回収部４１に回収する。このように、第４のヘッドを第１のヘッド１０又は第２のヘッド２０に兼務させることにより、部品の実装装置の機構を簡略化することが可能となりスペース性やコスト性に優れる。
【００５０】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２について、図１０を参照して説明する。図１０（ａ）は本発明の実施の形態２における第１のヘッド５０の正面図であり、図１０（ｂ）は本発明の実施の形態２における第１のヘッド５０の側面図である。なお、以下の説明において、実施の形態１の第１のヘッド１０と同じ構成のものについては説明を省略する。
【００５１】
第１のヘッド５０は箱形であり、水平軸５０ａによりＺθテーブル１２に軸支されている。第１のヘッド５０には、第１の部品吸着部５１及び第２の部品吸着部５２、ツール吸着部５３がそれぞれ異なる面（本実施の形態２では連続する３面）に突設されている。第１のヘッド５０はＺθテーブル１２の駆動により水平軸５０ａ周りに回転自在であり、第１の部品吸着部５１、第２の部品吸着部５２、ツール吸着部５３を上向き下向きに姿勢変更させて第２のヘッド２０や供給テーブル４に対向させる。
【００５２】
各吸着部５１、５２、５３には、実施の形態１の第１のヘッド１０と同様に吸引孔とこれに連通する吸引手段としての吸引ポンプがそれぞれ設けられており、吸引ポンプの駆動により各吸着部５１、５２、５３に部品や吸着ツールを吸着することができる。
【００５３】
このように構成される第１のヘッド５０によれば、第１の部品吸着部５１と第２の部品吸着部５２にそれぞれ第１の部品７０、７１と第２の部品８０、８１を同時に吸着することが可能となる。これにより、ステージ３上に第１の部品７０を載置する工程と、第２のヘッド２０の下面に装着された第１の吸着ツール９０に第２の部品８０を受け渡す工程を１工程で行うことが可能になる（部品吸着ヘッドを１個しか備えていない実施の形態１では２工程必要）。同様に、ステージ３上に第１の部品７１を載置する工程と、第２のヘッド２０の下面に装着された第２の吸着ツール９１に第２の部品８１を受け渡す工程も１工程で行うことができる。
【００５４】
このように、本実施の形態２における第１のヘッド５０によれば、同時に２つの部品を吸着することができるので、部品の実装工程を簡略化することができる。
【００５５】
（実施の形態３）
次に、本発明の実施の形態３について、図１１を参照して説明する。図１１は本発明の実施の形態３における第１のヘッド６０の側面図である。なお、以下の説明において、実施の形態１の第１のヘッド１０と同じ構成のものについては説明を省略する。
【００５６】
図１１において、第１のヘッド６０は、Ｘテーブル１１の側部に取り付けられたＺテーブル６１に装着されている。第１のヘッド６０の側部には、部品吸着部６２とツール吸着
部６３がそれぞれ独立して装着されている。部品吸着部６２は、水平軸６２ａにより第１のヘッド６０の側部に軸支されており、水平軸６２ａ周りに回転して部品吸着面６２ｂを上向き下向きに姿勢変更する。ツール吸着部６３は、水平軸６３ａにより第１のヘッド６０の側部に軸支されており、水平軸６３ａ周りに回転してツール吸着面６３ｂを上向き下向きに姿勢変更する。これにより、部品吸着面６２ｂとツール吸着面６３ｂをそれぞれ独立して第２のヘッド２０や供給テーブル４に対向させる。
【００５７】
各吸着部６２、６３には、実施の形態１の第１のヘッド１０と同様に吸引孔とこれに連通する吸引手段としての吸引ポンプがそれぞれ設けられており、吸引ポンプの駆動により各吸着部６２、６３に部品や吸着ツールを吸着することができる。
【００５８】
このように構成される第１のヘッド６０によれば、図６（ａ）、（ｂ）において、ツール吸着部６３に第２の吸着ツール９１を吸着して第２のヘッド２０に受け渡す工程と、図７（ｂ）、（ｃ）において、部品吸着部６２に第２の部品８１を吸着して第２の吸着ツール９１に受け渡す工程を連続して行うことが可能になる。
【００５９】
このように、本実施の形態３における第１のヘッド６０によれば、部品と吸着ツールを独立して上下反転できるので、部品の実装工程を簡略化することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明の部品の実装装置および実装方法によれば、部品吸着面を上向きにした姿勢で複数品種の吸着ツールをストックするので、オペレータが吸着ツールの品種を簡単に視認して確認することができ、また、ツール供給部を第２のヘッド（作業ヘッド）から離して配置するので、オペレータによる吸着ツールの交換等のメンテナンス性がよいという利点を有し、基板等の第１の部品にフリップチップ等の第２の部品を実装する部品の実装の分野において有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の実施の形態１における部品の実装装置の斜視図
【図２】は本発明の実施の形態１における部品の実装装置の側面図
【図３】本発明の実施の形態１における部品の実装装置の動作説明図
【図４】本発明の実施の形態１における部品の実装装置の動作説明図
【図５】本発明の実施の形態１における部品の実装装置の動作説明図
【図６】本発明の実施の形態１における部品の実装装置の動作説明図
【図７】本発明の実施の形態１における部品の実装装置の動作説明図
【図８】本発明の実施の形態１における部品の実装装置の動作説明図
【図９】本発明の実施の形態１における部品の実装装置の動作説明図
【図１０】（ａ）本発明の実施の形態２における部品の実装装置の第１のヘッドの正面図、（ｂ）本発明の実施の形態２における部品の実装装置の第１のヘッドの側面図
【図１１】本発明の実施の形態３における部品の実装装置の第１のヘッドの側面図
【符号の説明】
【００６２】
３  ステージ
４  供給テーブル
７  第１の部品供給部
８  第２の部品供給部
９  ツール供給部
１０、５０、６０  第１のヘッド、第３のヘッド
２０  第２のヘッド
１３、５１、５２、６２  部品吸着部
１４、５３、６３  ツール吸着部
４２  第４のヘッド
７０、７１  第１の部品
８０、８１  第２の部品
９０  第１の吸着ツール
９１  第２の吸着ツール
９２、９３  実装済部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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