(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円柱状の電極部材とこの円柱状の電極部材の外径よりも内径の大きな円管状の電極部材とが計測対象の電解質液の流路中に互いに同軸でかつ所定間隔をおいて配置され、電極部材間の電気抵抗に基いて前記電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計の電極において、
前記電極部材それぞれの基端部を支持するとともに前記電極部材それぞれと接続した複数の電線を収容する空間を有する支持部と、
前記空間内に前記電解質液が侵入することを防止するシール部材と、
前記少なくとも一つの電極部材の基端部と前記支持部との間の間隔が狭くなる方向に、前記電極部材と前記支持部とのうち少なくとも一方を付勢する付勢手段と、を備え、
前記シール部材は、低エラストマ性の合成樹脂からなりかつ前記電解質液中で非溶質性を有するとともに、前記複数の電極部材の基端部と前記支持部との間に設けられてこれら電極部材のうち少なくとも一つの基端部と前記支持部との双方に隙間無く密接して前記少なくとも一つの電極部材と支持部との間を液密に保つことを特徴とする抵抗率計の電極。
【請求項２】
前記少なくとも一つの電極部材と前記支持部とが、前記電極部材の先端部から基端部に向かう方向に沿って、相対的に変位可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載の抵抗率計の電極。
【請求項３】
前記空間内に配されかつ前記複数の電極部材間を前記所定間隔に保つとともに、前記少なくとも一つの電極部材と支持部との間の相対的な変位を許容する変位許容手段を有した保持部材を備えたことを特徴とする請求項２記載の抵抗率計の電極。
【請求項４】
前記保持部材は、前記電解質液の熱によって膨張した際に、前記少なくとも一つの電極部材と支持部との間の相対的な変位を妨げることを抑制する抑制手段を備えていることを特徴とする請求項３記載の抵抗率計の電極。
【請求項５】
前記シール部材が硬質樹脂からなり、かつ前記付勢手段が高いばね定数を有する皿ばねであることを特徴とする請求項１ないし請求項４のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極。
【請求項６】
前記シール部材がフッ素樹脂からなり、かつ前記付勢手段が低いばね定数を有することを特徴とする請求項１ないし請求項４のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極。
【請求項７】
前記シール部材に一体に形成されかつ複数の電極部材間を前記所定間隔に保つ第２保持部を備えたことを特徴とする請求項１ないし請求項６のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極。
【請求項８】
前記電線のうち少なくとも一つは、前記空間内に撓んだ状態で配された撓み部を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項７のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極。
【請求項９】
前記支持部は前記電極部材の先端部から基端部に向かう方向に沿った貫通孔を備えており、
前記電線が互いに束ねられて形成された電線束が前記貫通孔を通って外部に導かれているとともに、
弾性体からなりかつ前記支持部と前記電線束との間を液密に保つ第１のシール手段と、
弾性体からなりかつ前記空間内に充填された第２のシール手段と、を備えたことを特徴とする請求項１ないし請求項８に記載の抵抗率計の電極。
【請求項１０】
前記電解質液の温度によって、前記シール部材が塑性変形する際に、このシール部材が前記少なくとも一つの電極部材の基端部と前記支持部との間から逃げることを防止する逃げ防止手段を備えたことを特徴とする請求項１ないし請求項９のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体の洗浄装置、産業機械、農業、食品、医療関係などの各分野における水質管理、原子力発電所の冷却水の絶縁性及び各種の薬液の濃度管理などに用いられる抵抗率計の電極に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の洗浄装置、産業機械、農業、食品、医療関係などの各分野における水質管理、原子力発電所の冷却水の絶縁性及び各種の薬液の濃度管理などにおいて、純水の純度や電解質液の濃度を測定するために、前記純水や電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計が用いられる。
【０００３】
例えば、半導体の製造工程では、被洗浄物としての半導体ウェーハを洗浄槽内に挿入してアンモニアなどの洗浄液で洗浄する（洗浄工程）。そして、前記アンモニアを排出するとともに純水（不純物を意図的に極めて少なくした水：高純度水ともいう）を洗浄槽内に入れて、前記半導体ウェーハを濯いでいる（リンス工程）。前記リンス工程において、アンモニアと入れ替えられた純水の純度を測定する際には、例えば、図１３及び図１４に示す電極１０１を備えた抵抗率計が用いられる。
【０００４】
図１３及び図１４に例示された抵抗率計の電極１０１は、内電極１０２と、外電極１０３と、前記内電極１０２及び外電極１０３を支持する支持部１０４と、前記内電極１０２と電気的に接続した内電極リード線１０６と、前記外電極１０３と電気的に接続した外電極リード線１０７と、を備えている。
【０００５】
内電極１０２は、円柱状に形成されている。外電極１０３は、その内径が前記内電極１０２の外径より大きく形成された円管状に形成されている。内電極１０２と外電極１０３とは、互いに同軸的でかつ前記外電極１０３内に内電極１０２が挿入された状態で配されている。
【０００６】
内電極１０２は、その先端部１０２ｂ側に位置する先端面１０２ｃが、前記外電極１０３の先端部１０３ｂ側に位置する先端面１０３ｃより若干外電極１０３の奥側に位置した状態で配されている。内電極１０２と外電極１０３は、共に導電性を有する金属やカーボンなどの非金属から構成されている。
【０００７】
前記支持部１０４は、前記内電極１０２及び外電極１０３それぞれの基端部１０２ａ，１０３ａを支持している。支持部１０４は、内電極ホルダ１１０と、外電極ホルダ１１１などを備えている。
【０００８】
内電極ホルダ１１０は、内径が内電極１０２の基端部１０２ａの外径と略等しく形成された円管状に形成されている。内電極ホルダ１１０は、前記内電極１０２の基端部１０２ａの外周に嵌合する。内電極ホルダ１１０は、絶縁性を有する樹脂などから形成されている。
【０００９】
内電極ホルダ１１０は、第１の凹溝１４０と、第２の凹溝１４１と、を備えている。第１の凹溝１４０は、内電極ホルダ１１０が内電極１０２に嵌合した際に、この内電極１０２寄りに位置する内電極ホルダ１１０の端部に設けられている。第１の凹溝１４０は内電極ホルダ１１０の内周面から凹に形成されている。第１の凹溝１４０は、内電極ホルダ１１０の周方向に沿って形成されている。第１の凹溝１４０は、内電極ホルダ１１０の内径を拡げるように形成されている。
【００１０】
第２の凹溝１４１は、内電極ホルダ１１０が内電極１０２に嵌合した際に、内電極１０２の長手方向に沿った内電極ホルダ１１０の中央部に設けられている。
第２の凹溝１４１は、内電極ホルダ１１０の外周面から凹に形成されている。第２の凹溝１４１は、内電極ホルダ１１０の周方向に沿って形成されている。第１の凹溝１４１は、内電極ホルダ１１０の外径を縮小するように形成されている。
【００１１】
外電極ホルダ１１１は、円管状に形成されている。外電極ホルダ１１１は、導電性を有する金属などから構成されている。外電極ホルダ１１１は外電極１０３の基端部１０３ａ及び内電極ホルダ１１０の外周に嵌合する。
【００１２】
また、前記内電極１０２の長手方向に沿った方向において、前記内電極ホルダ１１０と外電極１０３との間には、中間部材１１５が設けられている。中間部材１１５は、円環状に形成されている。
【００１３】
中間部材１１５は、内電極ホルダ１１０の外周に嵌合しかつ外電極ホルダ１１１の内周に嵌合している。中間部材１１５は、絶縁性を有する樹脂などから構成されている。中間部材１１５は、Ｏリング１４３が脱落することを防止する。
【００１４】
さらに、内電極１０２の基端部１０２ａの外周には止め輪１１９が嵌合している。止め輪１１９は、内電極ホルダ１１０内に収容されている。止め輪１１９は、前記基端部１０２ａの外周に嵌合すると、内電極１０２と内電極ホルダ１１０とを電極１０２，１０３の長手方向に沿って互いに近づける方向に付勢する。
【００１５】
前記抵抗率計の電極１０１内には、前記外電極ホルダ１１１の内周面と、前記内電極ホルダ１１０の端面１１０ａなどによって囲まれた空間１１６が、形成されている。この空間１１６内には、内電極１０２に内電極リード線１０６が電気的に接続した接続部と、外電極１０３に外電極リード線１０７が電気的に接続した接続部等が収容されている。
【００１６】
また、抵抗率計の電極１０１は、第１のＯリング１４２と第２のＯリング１４３とを備えている。第１のＯリング１４２は、ゴムなどの弾性体からなりかつ円環状に形成されている。第１のＯリング１４２は、第１の凹溝１４０内に収容されている。
【００１７】
第１のＯリング１４２は、第１の凹溝１４０内に収容されかつ内電極ホルダ１１０が内電極１０２に嵌合すると、内電極１０２と内電極ホルダ１１０との双方から押圧されて弾性変形する。すると、第１のＯリング１４２は、弾性復元力を生じて、内電極１０２と内電極ホルダ１１０との間を液密に保つ。第１のＯリング１４２は前記空間１１６内に純水などの電解質液が侵入することを防止する。
【００１８】
第２のＯリング１４３は、ゴムなどの弾性体からなりかつ円環状に形成されている。第２のＯリング１４３は、第２の凹溝１４１内に収容されている。第２のＯリング１４３は、第２の凹溝１４１内に収容されかつ内電極ホルダ１１０が外電極ホルダ１１１に嵌合すると、内電極ホルダ１１０と外電極ホルダ１１１との双方から押圧されて弾性変形する。
【００１９】
すると、第２のＯリング１４３は、弾性復元力を生じて、内電極ホルダ１１０と外電極ホルダ１１１との間を液密に保つ。第２のＯリング１４３は前記空間１１６内に純水などの電解質液が侵入することを防止する。
【００２０】
前述した構成によって、抵抗率計の電極１０１は、前記内電極１０２及び外電極１０３それぞれの少なくとも先端部１０２ｂ，１０３ｂを、計測対象の電解質液の流路中に配置し、これらの電極１０２，１０３間の電気抵抗を測定することより前記電解質液の抵抗率を測定する。そして、測定した抵抗率に基いて、純水などの電解質液の純度を求める。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】
前述した抵抗率計の電極１０１は、前記空間１１６内への電解質液の侵入を防止するために、ゴムなどの弾性体からなるＯリング１４２，１４３を用いている。前記Ｏリング１４２，１４３は、弾性変形して、内電極１０２と内電極ホルダ１１０との間と内電極ホルダ１１０と外電極ホルダ１１１との間との双方を液密に保つ。
【００２２】
このように、Ｏリング１４２，１４３を弾性変形させるため、図１４に示すように各凹溝１４０，１４１と各Ｏリング１４２，１４３との間に隙間１５０が生じてしまうことが多い。なお、図１４では、第２の凹溝１４１と第２のＯリング１４３とを代表して示している。
【００２３】
前述した隙間１５０が生じると、前述した半導体の製造工程では、毛細管現象などによって隙間１５０内に前述したアンモニアなどの薬液と半導体ウェーハの表面から除去されたゴミなどの不純物質とを含んだ汚染物質が侵入することがある。
【００２４】
そして、図１５に示すように、作業の進捗状況に伴って被洗浄物などに付着している不純物などを除去しても、前述した隙間１５０内に侵入した洗浄水が清浄な純水状態となるまで、抵抗率計が検出する抵抗率は、清浄な純水の抵抗率とならない。
【００２５】
なお、図１５は、被洗浄物の洗浄開始からの経過時間を横軸にとりかつ各経過時間で測定した抵抗率を縦軸にとり、高純度水（純水）の抵抗率を一点鎖線Ｑで示している。図１５に示した例では、例えば洗浄開始後４０分以上経過しても、隙間１５０内に侵入した洗浄水が少量づつ流出するため、測定した抵抗率が一点鎖線Ｑに重ならない。
【００２６】
即ち、洗浄開始後４０分以上経過しても、測定した抵抗率が純水の抵抗率とはならない。このように、従来の抵抗率計の電極１０１は、測定対象物としての電解質液の抵抗率が変化した際に、正確な抵抗率を測定しようとするまでの時間遅れが大きくなる傾向であるとともに、電解質液の抵抗率を正確に測定することが困難であった。
【００２７】
このため、実際には被洗浄物から不純物を除去した状態であっても、抵抗率計の電極１０１の前記隙間１５０内に溜まった不純物を放出して、抵抗率計が不純物を放出し切って検出する抵抗率が清浄な純水の抵抗率となるまで、被洗浄物の洗浄を行うこととなる。このように、必要以上に被洗浄物を洗浄し続ける。
【００２８】
前述した従来の抵抗率計の電極１０１は、前述したリンス工程などに用いられると、純水などの洗浄液を必要以上に消費させることとなっていた。このため、純水などの資源を浪費させて前述した被洗浄物の洗浄にかかるコストを高騰させる傾向となっていた。
【００２９】
したがって、本発明の目的は、測定対象物としての電解質液の抵抗率が変化した際に、不純物を滞留することなく正確な抵抗率を測定するまでの時間遅れを抑制できかつ電解質液の正確な抵抗率を測定できる抵抗率計の電極を提供することにある。
【００３０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決し目的を達成するために、請求項１に記載の本発明の抵抗率計の電極は、円柱状の電極部材とこの円柱状の電極部材の外径よりも内径の大きな円管状の電極部材とが計測対象の電解質液の流路中に互いに同軸でかつ所定間隔をおいて配置され、電極部材間の電気抵抗に基いて前記電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計の電極において、前記電極部材それぞれの基端部を支持するとともに前記電極部材それぞれと接続した複数の電線を収容する空間を有する支持部と、前記空間内に前記電解質液が侵入することを防止するシール部材と、前記少なくとも一つの電極部材の基端部と前記支持部との間の間隔が狭くなる方向に、前記電極部材と前記支持部とのうち少なくとも一方を付勢する付勢手段と、を備え、前記シール部材は、低エラストマ性の合成樹脂からなりかつ前記電解質液中で非溶質性を有するとともに、前記複数の電極部材の基端部と前記支持部との間に設けられてこれら電極部材のうち少なくとも一つの基端部と前記支持部との双方に隙間無く密接して前記少なくとも一つの電極部材と支持部との間を液密に保つことを特徴としている。
【００３２】
請求項２に記載の本発明の抵抗率計の電極は、請求項１記載の抵抗率計の電極において、前記少なくとも一つの電極部材と前記支持部とが、前記電極部材の先端部から基端部に向かう方向に沿って、相対的に変位可能に設けられていることを特徴としている。
【００３３】
請求項３に記載の本発明の抵抗率計の電極は、請求項２記載の抵抗率計の電極において、前記空間内に配されかつ前記複数の電極部材間を前記所定間隔に保つとともに、前記少なくとも一つの電極部材と支持部との間の相対的な変位を許容する変位許容手段を有した保持部材を備えたことを特徴としている。
【００３４】
請求項４に記載の本発明の抵抗率計の電極は、請求項３記載の抵抗率計の電極において、前記保持部材は、前記電解質液の熱によって膨張した際に、前記少なくとも一つの電極部材と支持部との間の相対的な変位を妨げることを抑制する抑制手段を備えていることを特徴としている。
【００３５】
請求項５に記載の本発明の抵抗率計の電極は、請求項１ないし請求項４のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極において、前記シール部材が硬質樹脂からなり、かつ前記付勢手段が高いばね定数を有する皿ばねであることを特徴としている。
【００３６】
請求項６に記載の本発明の抵抗率計の電極は、請求項１ないし請求項４のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極において、前記シール部材がフッ素樹脂からなり、かつ前記付勢手段が低いばね定数を有することを特徴としている。
【００３７】
請求項７に記載の本発明の抵抗率計の電極は、請求項１ないし請求項６のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極において、前記シール部材に一体に形成されかつ複数の電極部材間を前記所定間隔に保つ第２保持部を備えたことを特徴としている。
【００３８】
請求項８に記載の本発明の抵抗率計の電極は、請求項１ないし請求項７のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極において、前記電線のうち少なくとも一つは、前記空間内に撓んだ状態で配された撓み部を備えていることを特徴としている。
【００３９】
請求項９に記載の本発明の抵抗率計の電極は、請求項１ないし請求項８のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極において、前記支持部は前記電極部材の先端部から基端部に向かう方向に沿った貫通孔を備えており、前記電線が互いに束ねられて形成された電線束が前記貫通孔を通って外部に導かれているとともに、弾性体からなりかつ前記支持部と前記電線束との間を液密に保つ第１のシール手段と、弾性体からなりかつ前記空間内に充填された第２のシール手段と、を備えたことを特徴としている。
【００４０】
請求項１０に記載の本発明の抵抗率計の電極は、請求項１ないし請求項９のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極において、前記電解質液の温度によって、前記シール部材が塑性変形する際に、このシール部材が前記少なくとも一つの電極部材の基端部と前記支持部との間から逃げることを防止する逃げ防止手段を備えたことを特徴としている。
【００４１】
請求項１に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、シール部材が、低エラストマ（Elastomer）性の合成樹脂であるので、電極部材と支持部との間を液密に保つ際に殆ど弾性変形しない。即ち、シール部材が電極部材と支持部との間を液密に保つ際の弾性変形量は、問題とならない程小さい。シール部材は、電極部材の基端部と支持部との双方に隙間なく密接する。このため、薬液と不純物質とを含んだ汚染物質が侵入できる隙間などが電極部材の基端部と支持部との間に生じない。
【００４２】
前記シール部材は、エラストマ性を殆ど有していない即ち高プラストマ（Plastomer）性を有する合成樹脂であるのが望ましい。この場合、シール部材が電極部材と支持部との間を液密に保つ際の弾性変形量がより非常に少ない。このため、シール部材が、電極部材の基端部と支持部との双方に隙間なく密接して、隙間などが電極部材の基端部と支持部との間に生じない。
【００４３】
なお、前記シール部材に適する高プラストマ性を有する合成樹脂として、以下に示すものを挙げることができる。ポリテトラフルオロエチレン（Polytetrafluoroethylene：ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（Tetrafluoroethylene-perfluoroalkylvinylether copolymer：ＰＦＡ）、フッ化エチレンプロピレン（Fluorinated ethylene propylene：ＦＥＰ）、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（Ethylene-tetrafluoroethylene copolymer：ＥＴＦＥ）、ポリ塩化三フッ化エチレン（Polychlorotrifluoroethylene：ＰＣＴＦＥ）、エチレン−クロロトリフルオロエチレン共重合体（Ethylene-chlorotrifluoroethylene copolymer：ＥＣＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（Polyvinylidenefluoride：ＰＶＤＦ）、ポリビニルホルマール（Polyvinylformal：ＰＶＦ）、等のフッ素樹脂や、ポリアミド（Polyamide：ＰＡ）、ポリアセタール（Polyacetal：ＰＯＭ）、ポリカーボネート（Polycarbonate：ＰＣ）、ポリフェニレンエーテル（Polyphenyleneether：ＰＰＥ）、ポリエチレンテレフタレート（Polyethyleneterephthalate：ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（Polybutyleneterephthalate：ＰＢＴ）、ポリフェニレンスルフィド（Polyphenylenesulfide：ＰＰＳ）、ポリスルホン（Polysulfone：ＰＳＦ）、結晶しずらいポリアレート即ち非晶ポリアレート（Polyarylate）、ポリエーテルイミド（Polyetherimide：ＰＥＩ）、ポリエーテルスルホン（Polyethersulfone：ＰＥＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（Polyetheretherketone：ＰＥＥＫ）、液晶ポリマー（Liquid crystalline polymer：ＬＣＰ）、ポリアミドイミド（Polyamide-imide）、ポリイミド（Polyimide）、ポリエチレンナフタレート（Polyethylenenaphthalate：ＰＥＮ）、ポリベンズイミダゾール（Polybenzimidazole：ＰＢＩ）、アクリロニトリル−スチレン共重合体（Acrylonitrile-styrene copolymer：ＳＡＮ）、ポリ塩化ビニリデン（Polyvinylidenechloride：ＰＶＤＣ）、ポリメタクリル酸メチル（Polymethylmethacrylate：ＰＭＭＡ）、ポリエチレンオキシド（Polyethyleneoxide：ＰＥＯ）、ポリフェニレンオキシド（Polyphenyleneoxide：ＰＰＯ）、などのエンジニアリングプラスチックや、ポリエチレン（Polyethylene：ＰＥ）、ポリプロピレン（Polypropylene：ＰＰ）、メチルペンテン樹脂（Methylpentene resin：ＰＭＰ）、ポリ塩化ビニル（Polyvinylchloride：ＰＶＣ）、ＡＢＳ樹脂（Acrylonitrile-butadiene-styrene resin）、ポリスチレン樹脂（Polystyrene resin：ＰＳ）、メタクルル樹脂（Methacrylate plastics：ＭＭＡ）、ポリビニルアルコール（Polyvinylalcohol：ＰＶＡ）、エチレン−酢酸ビニル共重合体（Ethylene-vinylacetate copolymer：ＥＶＡ）、不飽和ポリエステル樹脂（Unsaturated polyester resin：ＵＰ）、フェノール樹脂（Phenol resin）、ユリア樹脂（Urea resin）、メラミン樹脂（Melamine resin）、メラミン−ユリア共縮合樹脂（Melamine-urea resin）、ポリウレタン樹脂（Polyurethane resin）、シリコーン樹脂（Silicone resin）、エポキシ樹脂（Epoxy resin）、などの他異なる性質を持つポリマーの効果的複合により得られる高性能材料であるポリマーアロイなどを挙げることができる。
【００４４】
前記シール部材を構成する高プラストマ性の合成樹脂として、前述した各種の合成樹脂（プラスチック）のうち一つまたは二つ以上を選択的に用いることができる。また、使用される環境の温度、圧力及び測定対象物の薬液の種類などの条件に合致したものであれば、前述した合成樹脂以外のものを用いることができる。
【００４５】
付勢手段が、互いに近づける方向に電極部材と支持部とのうち少なくとも一方を付勢しているので、電極部材の基端部と支持部との間に隙間がより生じ難くなる。本請求項に記載された抵抗率計の電極に用いられるシール部材を構成する合成樹脂として、前述した高プラストマ性を有する合成樹脂を用いることができるのは勿論である。
【００４６】
さらに、本請求項に記載されたシール部材を構成する合成樹脂として、使用される環境の圧力が比較的低い場合に、前述した高プラストマ性を有する合成樹脂にくわえ低エラストマ性を有する合成樹脂を用いることができ、さらに使用される環境の圧力が低い場合に前述した高プラストマ性を有する合成樹脂と低エラストマ性を有する合成樹脂にくわえて、エラストマ性を有する合成樹脂をも用いることができる。使用される環境の温度によって、前記低エラストマ性を有する合成樹脂およびエラストマ性を有する合成樹脂からなるシール部材が硬化する。このとき、特に、付勢手段のばね定数が小さい場合に、付勢手段が一つの電極部材の基板部と支持部とを互いに近づける付勢力によって、電極部材の基端部と支持部との間に隙間が生じ難くなる。したがって、前記基端部と支持部との間が液密に保たれる。
【００４７】
なお、本明細書でいう、エラストマ性とは弾性変形するもの、低エラストマ性とは弾性変形しにくいものを示している。高プラストマ性とは殆ど弾性変形しないまたは全く弾性変形しないものを示しており、若干弾性変形するものも含んでいる。したがって、本明細書では通常、前記エラストマ性、低エラストマ性、高プラストマ性の順により弾性変形し易く、前記高プラストマ性の方が前記低エラストマ性より弾性変形しにくい。さらに、低エラストマ性に高プラストマ性が含まれる。
【００４８】
請求項２に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、電極部材と支持部とが相対的に移動自在に設けられている。このため、シール部材が例えば電解質液の温度などによって塑性変形（クリープ）しても、付勢手段の付勢力によって互いに近づく方向に電極部材と支持部とのうち少なくとも一方が変位する。したがって、電極部材の基端部と支持部との間に隙間がより一層生じ難くなる。
【００４９】
請求項３に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、保持部材が、電極部材間を所定間隔に保つので、電解質液の抵抗率を正確に測定できる。また、保持部材の変位許容手段が電極部材と支持部とが相対的に変位することを許容するので、電極部材の基端部と支持部との間に隙間がより一層生じ難くなる。
【００５０】
請求項４に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、電解質液の熱などによって保持部材が膨張した際に、抑制手段が電極部材と支持部との間の相対的な変位を妨げることを抑制する。このため、電極部材の基端部と支持部との間に隙間がより一層確実に生じ難くなる。
【００５１】
請求項５に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、シール部材が硬質樹脂であるため、このシール部材が塑性変形しにくくなる。また、シール部材が塑性変形しにくく付勢手段がばね定数の大きな皿ばねであるため、シール部材は、電極部材の基端部と支持部との双方により確実に隙間なく密接する。なお、この請求項に記載した皿ばねとは、いわゆる皿ばねとスプリングワッシャなどを含んでいる。以下これらを総称して皿ばね等と呼ぶ。
【００５２】
請求項６に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、シール部材がフッ素樹脂でかつ付勢手段がばね定数の小さい、例えば、付勢手段としてばね定数の小さいコイルばねを用いるのが望ましい。このため、シール部材が塑性変形した際の変形量が大きくても、付勢手段が電極部材と支持部とを互いに近づける方向に付勢しつづける。したがって、シール部材は、電極部材の基端部と支持部との双方により一層確実に隙間なく密接する。
【００５３】
請求項７に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、第２保持部が電極部材を所定間隔に保つので、より一層確実に電解質液の抵抗率即ち純度を正確に測定できる。
【００５４】
請求項８に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、電線が空間内で撓んだ撓み部を備えている。このため、シール部材が熱膨張した場合特に電極部材と支持部との間の間隔が広がる方向に変形した場合に、電線が撓み部が延びるように変位する。したがって、電線が、電極部材と支持部とが相対的に変位することを妨げない。
【００５５】
請求項９に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、第１のシール手段が支持部と電線束との間を液密に保つので、前記電線束を構成する電線と電極部材とが互いに接続する接続箇所に低温時に結露した水などが侵入することを防止できる。また空間内に充填された第２のシール手段が弾性体からなるので、この第２のシール手段が電極部材と支持部とが相対的に変位することを妨げない。
【００５６】
請求項１０に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、シール部材が塑性変形して電極部材の基端部と支持部との間から逃げることが、逃げ防止手段によって防止される。このため、シール部材は、塑性変形した場合でも、電極部材の基端部と支持部との双方に確実に密接できる。
【００５７】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施形態にかかる抵抗率計の電極１を、図１ないし図４を参照して説明する。図１などに示す抵抗率計の電極１は、半導体の洗浄装置、産業機械、農業、食品、医療関係などの各分野における純水などの水質管理、原子力発電所の冷却水の絶縁性及び電解質液としての各種の薬液の濃度管理などに用いられる。
【００５８】
電極１は、例えば、半導体ウェーハなどの被洗浄物などを洗浄する半導体の製造過程におけるリンス工程において、洗浄液としての純水（特許請求の範囲等に記載した電解質液に相当する）の純度を測定するために用いられる。前記電極１を用いる抵抗率計は、計測対象物としての前述した純水などの電解質液の純度を測定するために、前記電解質液の抵抗率を測定する装置である。
【００５９】
抵抗率計の電極１は、図１に示すように、電極部材としての内電極２と、電極部材としての外電極３と、前記内電極２及び外電極３を支持する支持部４と、シール部材としての板状パッキン８と、温度検出部５と、前記内電極２と電気的に接続した電線としての内電極リード線６と、前記外電極３と電気的に接続した電線としての外電極リード線７と、を備えている。
【００６０】
内電極２は、円柱状に形成されている。内電極２は、外径が比較的小さく形成された小径部２ａと、外径が比較的大きく形成された大径部２ｂと、を一体に備えている。これらの小径部２ａ及び大径部２ｂは、互いに同軸的でかつ直列に連結している。小径部２ａには、外表面から凹に形成された凹溝２ｈを備えている。凹溝２ｈは、小径部２ａの周方向に沿って形成されている。
【００６１】
内電極２は、前記大径部２ｂが抵抗率計の電極１の先端側に位置しかつ小径部２ａが基端側に位置した状態で配される。前記内電極２は、前記小径部２ａ側に位置する端面２ｃから前記大径部２ｂに向かって凹の温度検出部挿入孔２ｄが形成されている。
【００６２】
前記温度検出部挿入孔２ｄは、前記小径部２ａ及び大径部２ｂそれぞれと互いに同軸的に配されている。温度検出部挿入孔２ｄは、前記端面２ｃから前記内電極２の先端側に向かって延在している。温度検出部挿入孔２ｄは、前記端面２ｃと前記内電極２の先端部２ｇとに亘って形成されている。なお、温度検出部挿入２ｄは、前記端面２ｃには開口しているが、前記内電極２の先端部２ｇ側に位置する端面２ｅには開口していない。
【００６３】
外電極３は、その内径が前記内電極２の大径部２ｂの外径より大きく形成された円管状に形成されている。内電極２と外電極３とは、互いに同軸でかつ前記外電極３内に内電極２が挿入された状態で配されている。内電極２は、前記大径部２ｂの端面２ｅが、前記外電極３の先端部３ｃ側に位置する端面３ａより若干外電極３の奥側に位置した状態で配されている。内電極２と外電極３は、共に導電性を有する金属などから構成されている。
【００６４】
前記支持部４は、内電極２の小径部２ａ寄りの端部２ｆ（以下基端部と呼ぶ）と、外電極３の前記小径部２ａ寄りの端部３ｂ（以下基端部と呼ぶ）と、の双方を支持している。支持部４は、保持部材としての内電極ホルダ１０と、外電極ホルダ１１と、基端キャップ１２などを備えている。
【００６５】
内電極ホルダ１０は、絶縁性を有する樹脂などから形成されている。内電極ホルダ１０は、円板部１０ａと筒部１０ｂとを備えた有底筒状に形成されている。
【００６６】
円板部１０ａは、平面形状が円形に形成されている。円板部１０ａは、表面が略平坦に形成されている。円板部１０ａの中央には孔１０ｃが設けられている。
孔１０ｃは円板部１０ａを貫通している。孔１０ｃは、平面形状が円形に形成されている。孔１０ｃは、内径が内電極２の小径部２ａの外径と略等しく形成されている。
【００６７】
筒部１０ｂは、円板部１０ａの外縁に連なっている。筒部１０ｂは円筒状に形成されている。筒部１０ｂは、円板部１０ａに対し立設している。筒部１０ｂの外表面１０ｄには、変位許容手段としての低摩擦面１０ｅが形成されている。低摩擦面１０ｅは、外電極ホルダ１１の内周面１１ｄに対する摩擦係数が小さく形成されている。
【００６８】
低摩擦面１０ｅは、外表面１０ｄに相当する内電極ホルダ１０の母材の表面に、ポリテトラフルオロエチレン（Polytetrafluoroethylene：ＰＴＦＥ）などのフッ素樹脂がコーティングされて形成されても良く、従来より周知の潤滑油などの潤滑剤が塗布されて形成されても良い。
【００６９】
また、低摩擦面１０ｅは、内電極ホルダ１０を形成する母材自体が前述したポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹脂などの樹脂からなることによって形成されても良い。
【００７０】
内電極ホルダ１０は、円板部１０ａが小径部２ａと大径部２ｂとの間に位置する内電極２の段差面２ｉに相対しかつ筒部１０ｂが小径部２ａの端面２ｃに向かって延在した格好で配される。なお、このとき、孔１０ｃが内電極２の小径部２ａの外周に嵌合して固定しており、かつ、凹溝２ｈが円板部１０ａより基端部２ｆ側に位置しているとともに、外電極ホルダ１１の後述する筒部１１ｆ内に収容されている。
【００７１】
また、内電極ホルダ１０の外表面１０ｄに低摩擦面１０ｅが形成されているので、内電極２の基端部２ｆから先端部２ｇに向かう方向即ち内電極２の長手方向に沿って、内電極２と支持部４とが相対的に変位可能となっている。このように、低摩擦面１０ｅは、内電極２と支持部４とが相対的に変位することを許容する。
【００７２】
外電極ホルダ１１は、導電性を有する金属などからなる。外電極ホルダ１１は、円板部１１ｅと筒部１１ｆとを備えた有底筒状に形成されている。円板部１１ｅは、平面形状が円形に形成されている。円板部１１ｅは、内電極２の段差面２ｉに相対向する。
【００７３】
円板部１１ｅは、表面が略平坦に形成されている。円板部１１ｅの中央には孔１１ｇが設けられている。孔１１ｇは円板部１１ｅを貫通している。孔１１ｇは、平面形状が円形に形成されている。孔１１ｇは、内径が内電極２の小径部２ａの外径より大きく形成されている。また、円板部１１ｅは、その外径が外電極３の内径と略等しく形成されている。円板部１１ｅの外周には、外電極３の基端部３ｂが嵌合する。図示例では、円板部１１ｅの外周に外電極３の基端部３ｂが嵌合しているが、前記円板部１１ｅと外電極３とを互いに溶接して固定しても良く、外電極ホルダ１１と外電極３とを一体に形成しても良いことは勿論である。
【００７４】
筒部１１ｆは、円板部１１ｅの外縁に連なっている。筒部１１ｆは円筒状に形成されている。筒部１１ｆは、円板部１１ｅに対し立設している。筒部１１ｆは、外径が比較的小さく形成された小径部１１ａと、外径が比較的大きく形成された大径部１１ｂと、を一体に備えている。小径部１１ａと大径部１１ｂとは互いに同軸的でかつ互いに直列に連結されている。大径部１１ｂは円板部１１ｅ寄りに配されかつ小径部１１ａは円板部１１ｅから離れた位置に配されている。
【００７５】
基端キャップ１２は、円板部１２ａと筒部１２ｂとを有する有底筒状に形成されている。円板部１２ａは、円板状に形成されている。筒部１２ｂは、筒状に形成されかつ円板部１２ａの周縁に連なっている。
【００７６】
基端キャップ１２は、周知のポリアミド樹脂（ナイロン）などの合成樹脂から形成されている。基端キャップ１２は、前記筒部１２ａが前記外電極ホルダ１１の小径部１１ａの外周に嵌合して配されている、基端キャップ１２は、前記筒部１２ｂが前記小径部１１ａに、周知のエポキシ系接着剤によって接着されて固定されている。
【００７７】
基端キャップ１２は、前記内電極２の先端部２ｇから基端部２ｆに向かって円板部１２ａを貫通する丸孔１２ｃを備えている。丸孔１２ｃは、その平面形状が略円形に形成されている。丸孔１２ｃは、前記円板部１２ａと同軸に配されている。丸孔１２ｃは、その内側に、温度検出部５の後述する電線束２６を通して外部に導く。この丸孔１２ｃは、本明細書に記した貫通孔を構成している。
【００７８】
前述した構成の支持部４は、孔１０ｃが小径部２ａの外周に嵌合しかつ筒部１０ｂが外電極ホルダ１１の内周に嵌合するとともに、円板部１１ｅの外周に外電極３が嵌合して、径方向に沿った内電極２と外電極３との間の間隔を所定間隔ｔに保つ。このように、内電極ホルダ１０は、電極２，３間の間隔を所定間隔ｔに保つ。
【００７９】
また、支持部４は、止め輪１９と、付勢手段としてのコイルばね９と、を備えている。止め輪１９は、ステンレス鋼などの導電性を有する周知の鋼などからなりかつ円環状に形成されている。止め輪１９は、その内側に内電極２の小径部２ａが通った状態で、内電極ホルダ１０の筒部１０ｂ内に収容されている。
【００８０】
止め輪１９は、円板部１０ａの端面２ｃ寄りの表面に密接している。止め輪１９は、その内縁が、小径部２ａの凹溝２ｈに嵌合している。止め輪１９は、内縁が凹溝２ｈに嵌合することによって円板部１０ａが小径部２の基端部２ｆから抜け出ることを防止している。
【００８１】
コイルばね９は、比較的ばね定数が小さくされている。コイルばね９は、ステンレス鋼などの周知の鋼などから構成されている。コイルばね９は、外電極ホルダ１１内でかつ外電極ホルダ１１の円板部１１ｅと内電極ホルダ１０の円板部１０ａとの間に設けられている。コイルばね９は、その内側に内電極２の小径部２ａが通った状態で配されている。
【００８２】
コイルばね９は、円板部１０ａ，１１ｅが互いに離れる方向に、ホルダ１０，１１を付勢している。コイルばね９は、円板部１０ａ，１１ｅが互いに離れる方向に付勢し、かつ、円板部１０ａが止め輪１９によって基端部２ｆから抜け出ることを防止されているため、内電極２の基端部２ｆを支持部４内に収容するように付勢する。すると、段差面２ｉと円板部１１ｅが互いに近づくように、内電極２と外電極ホルダ１１との双方が付勢される。
【００８３】
このように、コイルばね９は、内電極２の基端部２ｆと支持部４との間の間隔が狭くなる方向に、内電極２と支持部４とを付勢している。
【００８４】
板状パッキン８は、エラストマ性及び低エラストマ性の合成樹脂からなる。板状パッキン８は、可塑性の大きい高分子物質からなる。本実施形態では、板状パッキン８は、高プラストマ性でかつ前述した電解質液に対する溶出する物質が少ない非溶出性のポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹脂からなる。板状パッキン８は、非溶出性でかつ殆ど弾性変形しない。即ち、板状パッキン８は、後述するように基端部２ｆと支持部４との間を液密に保つ際の弾性変形量が問題とならない程に非常に小さい。
【００８５】
板状パッキン８は、図１及び図２に示すように、円板部８ａと第２保持部としての筒部８ｂとを一体に備えている。円板部８ａは、平面形状が円形の円板状に形成されている、円板部８ａの両表面は、平坦に形成されている。円板部８ａは、外径が内電極２の大径部２ｂの外径と略等しく形成されている。円板部８ａは、厚みｈが一定に形成されている。
【００８６】
円板部８ａは、中央に孔８ｃを設けている。孔８ｃは、円板部８ａを貫通している。孔８ｃは、平面形状が円形に形成されている。孔８ｃは、内径が内電極２の小径部２ａの外径と略等しく形成されている。
【００８７】
筒部８ｂは、孔８ｃの縁に連なっている。筒部８ｂは円筒状に形成されている。筒部８ｂは、円板部８ａに対し立設している。筒部８ｂは、内径が内電極２の小径部２ａの外径と略等しく形成されている。筒部８ｂは、外径が外電極ホルダ１１の孔１１ｇの内径と略等しく形成されている。筒部８ｂは、小径部２ａの外周と孔１１ｇの内周との双方に嵌合して、電極２，３間の間隔を前述した所定間隔ｔに保つ。
【００８８】
前述した構成の板状パッキン８は、支持部４が電極２，３それぞれの基端部２ｆ，３ｂを支持する際に、図１から図３に示すように、電極２，３のうち内電極２の基端部２ｆと前記支持部４との間に設けられる。板状パッキン８は、円板部８ａが段差面２ｉと円板部１１ｅとの間に位置しかつ筒部８ｂが小径部２ａの外周に嵌合した状態で配される。
【００８９】
このとき、板状パッキン８は殆ど弾性変形しなくかつ円板部８ａの両表面が平坦に形成されているので、前記両表面が段差面２ｉ即ち内電極２と隙間無く接するとともに円板部１１ｅと隙間無く接する。さらに、孔８ｃ及び筒部８ｂの内径が小径部２ａの外径と略等しくかつ筒部８ｂの外径が孔１１ｇの内径と略等しいので、筒部８ｂの内周面が小径部２ａの外周面に隙間無く接するとともに、筒部８ｂの外周面が孔１１ｇの内周面と隙間無く接する。
【００９０】
また、前記コイルばね９によって互いの間隔が狭くなるように、内電極２と支持部４との双方が付勢されているため、板状パッキン８の両表面は段差面２ｉと円板部１１ｅとの双方に確実に隙間無く密接する。即ち、板状パッキン８は、内電極２と支持部４との双方に隙間無く密接する。そして、板状パッキン８は、内電極２と支持部４との間を液密に保って、後述する空間１６内に、前述した純水が侵入することを防止する。
【００９１】
また、前述したリンス工程においては、洗浄液としての純水は、例えば摂氏７０度以上の温度となることがある。このとき、コイルばね９が互いに近づくように内電極２と支持部４との双方を付勢しているので、板状パッキン８は厚みｈが薄くなる方向に塑性変形することがある。
【００９２】
前記抵抗率計の電極１は、図３に示す逃げ防止手段としての防止突起１３を複数備えている。防止突起１３は、円板部１１ｅの外縁と、段差面２ｉの外縁とのうち少なくとも一方に設けられている。なお、図示例では、防止突起１３は、円板部１１ｅの外縁と段差面２ｉの外縁との双方に設けられている。
【００９３】
防止突起１３は、円板部１１ｅと段差面２ｉとの双方の周方向に沿って配されている。防止突起１３は、円板部１１ｅと段差面２ｉとの双方から、互いに近づく方向でかつ外周方向に凸に突出している。即ち、円板部１１ｅの外縁に設けられた防止突起１３は、段差面２ｉに向かって円板部１１ｅから外周方向に凸に形成されている。段差面２ｉの外縁に設けられた防止突起１３は、円板部１１ｅに向かって段差面２ｉから外周方向に凸に形成されている。
【００９４】
前述した構成の防止突起１３は、板状パッキン８が厚みｈが薄くなるように塑性変形した際に、板状パッキン８が内電極２の外周方向に向かって流出することを防止する。即ち、防止突起１３は、板状パッキン８が内電極２と支持部４との間から逃げることを防止する。
【００９５】
また、支持部４は、内電極ホルダ１０の円板部１０ａと、筒部１０ｂと、外電極ホルダ１１の内周面１１ｄと、基端キャップ１２の円板部１２ａ等で囲まれた空間１６を、その内部に形成している。この空間１６には、前記温度検出部挿入孔２ｄが開口している。
【００９６】
前記空間１６は、その内側に、前記外電極ホルダ１１の内周面１１ｄに嵌合するなどして取り付けられるリング１７と、前述した止め輪１９などを収容している。リング１７は、図示例では、円環状のリング本体１７ａと、このリング本体１７ａの外縁から外周方向に向かって突出した爪１７ｂと、を備えている。爪１７ｂは複数設けられている。爪１７ｂは、リング本体１７ａの周方向に沿って略等間隔に配されている。爪１７ｂが、内周面１１ｄに嵌合して、外電極ホルダ１１に固定される。リング１７は、ステンレス鋼などの周知の鋼などから構成されている。さらに、リング１７は、爪１７ｂが内周面１１ｄに設けられた溝に嵌合しても良い。
【００９７】
前記温度検出部５は、図示しない一対の温度センサ素子と、円管ばね部材２５などを備えている。温度検出部５は、前記温度検出部挿入孔２ｄ内に配されている。温度センサ素子は、それぞれ、温度検出部挿入孔２ｄ内でかつ前記内電極２の先端部２ｇに配されている。温度センサ素子は、それぞれ、温度を測定する感温部を備えている。
【００９８】
温度センサ素子は、それぞれ、感温部がディスク形、ペレット形あるいはそれに類似した面部を有する形状のサーミスタ及び薄膜式白金温度センサにより構成されている。温度センサ素子は、それぞれの感温部の面部が、前記温度検出部挿入孔２ｄ内において、前記電解質液の流路に対し略平行となるように配置されている。これらの温度センサ素子にはそれぞれ図示しない電線が接続している。
【００９９】
前記電線は、それぞれ一端部が前記温度センサ素子の感温部に電気的に接続している、前記電線は、前記内電極２の先端部２ｇから内電極２の基端部２ｆに向かって延びて、前記温度検出部挿入孔２ｄ内に配されている。これらの電線は、それぞれ、図示しない演算装置などに電気的に接続している。
【０１００】
これら図示しない電線の長手方向に沿った中央部から他端部に至る部分と、内電極リード線６と、外電極リード線７と、は互いに束ねられて電線束２６を構成している。電線束２６は、前記温度検出部５が温度検出部挿入孔２ｄ内に収容された際に、前記内電極２及び外電極３の基端部２ｆ，３ｂ側に位置する基端キャップ１２の丸孔１２ｃを通って外部に導かれる。
【０１０１】
円管ばね部材２５は、導電性を有する周知の鋼などから構成されている。円管ばね部材２５は、円管状に形成されている。円管ばね部材２５は、一部が、長手方向に沿って切りかかれている。円管ばね部材２５は、その長手方向に対し交差する断面の断面形状がＣ状に形成されている。円管ばね部材２５は、その外径が伸縮自在となる弾性を有している。円管ばね部材２５は、初期状態において、内電極２の小径部２ａの内径より大きな外径となっている。
【０１０２】
円管ばね部材２５は、前記電線束２６の温度センサ素子寄りに配されている。
円管ばね部材２５は、前述した図示しない前記電線を互いに束ねている。円管ばね部材２５は、その弾性復元力に抗して、前記小径部２ａ内に挿入される。円管ばね部材２５は、小径部２ａ内に挿入されると、弾性復元力を生じて、小径部２ａの内周面と密接する。
【０１０３】
内電極リード線６は、空間１６内に収容されかつ一端部が前記円管ばね部材２５と電気的に接続している。内電極リード線６は、円管ばね部材２５と電気的に接続することによって、前記内電極２と電気的に接続する。内電極リード線６は、前述した図示しない電線などとともに電線束２６として基端キャップ１２まで導かれ、丸孔１２ｃ内を通って外部に導かれる。内電極リード線６は、前述した図示しない演算装置などに電気的に接続している。
【０１０４】
外電極リード線７は、空間１６内に収容されかつ一端部がリング１７に電気的に接続している。外電極リード線７は、前記リング１７に電気的に接続することによって、外電極ホルダ１１及び外電極３と電気的に接続する。外電極リード線７は、前述した図示しない電線などとともに電線束２６として基端キャップ１２まで導かれ、前記丸孔１２ｃ内を通って外部に導かれる。外電極リード線７は、前述した図示しない演算装置などに電気的に接続している。
【０１０５】
また、前記基端キャップ１２内には、シリコーンゴムなどの弾性体からなるＯリング３０が設けられている。Ｏリング３０は、円環状に形成されている。Ｏリング３０は、その初期状態において、内径が電線束２６の外径より小さくかつ外径が外電極ホルダ１１の小径部１１ａの内径より大きく形成されている。
【０１０６】
Ｏリング３０は、内周側に電線束２６を通しかつ前記外電極ホルダ１１の小径部１１ａの内側即ち基端キャップ１２の筒部１２ｂの内側に配される。Ｏリング３０は、基端キャップ１２内に設けられると、電線束２６と、外電極ホルダ１１の小径部１１ａの内周面と、の間を液密に保つ。
【０１０７】
Ｏリング３０は、例えは、電解質液の温度が比較的低くて、基端キャップ１２の丸孔１２ｃの近傍などに凝縮した結露水が付着する場合にも、空間１６内にこの結露水が侵入することを防止する。なお、このＯリング３０は、本明細書に記した第１のシール手段をなしている。
【０１０８】
また、前記温度検出部挿入孔２ｄ内に前記温度検出部５が設けられ、かつ前記空間１６内にリング１７及び止め輪１９などが収容された状態で、前記空間１６内には、非弾性層３１と弾性層３２，３３とが充填されて積層されている。
【０１０９】
非弾性層３１は、内電極ホルダ１０内に充填されている。非弾性層３１は、弾性を有さないエポキシ樹脂などの非弾性体からなる合成樹脂から形成されている。
【０１１０】
弾性層３２，３３のうち一つ弾性層３２は、非弾性層３１上でかつ電極２，３の長手方向に沿った空間１６の中央部に充填されている。弾性層３２は、スポンジゴムなどの弾性体からなる合成樹脂から形成されている。
【０１１１】
更に、他の弾性層３３は、弾性層３２上でかつＯリングまでの間に充填されている。弾性層３３は、弾性を有するシリコーンゴムまたはエポキシ樹脂などの弾性体からなる合成樹脂から形成されている。なお、これらの弾性層３２，３３は、本明細書に記した第２のシール手段をなしている。
【０１１２】
これらの非弾性層３１と弾性層３２，３３は、丸孔１２ｃの近傍などに付着した結露水が空間１６内に侵入することを防止するとともに、弾性を有することによって、または内電極ホルダ１０の動きによって、内電極２と支持部４とが相対的に変位することを妨げない。
【０１１３】
前述した構成によれば、電極１を用いた抵抗率計は、前記内電極２及び外電極３それぞれの少なくとも先端部２ｇ，３ｃを、計測対象の電解質液の流路中に配置し、前記リード線６，７などを介して演算装置などに伝えられる電極２，３間の電気抵抗を測定することにより前記電解質液の抵抗率を測定する。
【０１１４】
このとき、前記温度センサ素子の感温部から、前記電線などを介して前記電解質液の温度に応じた情報が、前記演算装置に伝えられる。そして、この演算装置などが電解質液の温度の補償を行い、この電解質液のあらかじめ決められた一定温度における抵抗率を算出する。そして、前記演算装置などが抵抗率に基いて電解質液の純度を算出する。
【０１１５】
次に、発明者らは、本実施形態に記載した抵抗率計の電極１の効果を確かめるために、被洗浄物を純水で洗浄する際の抵抗率を実際に測定した。結果を図４に示す。図４中の一点鎖線Ｑは、洗浄で用いる純水の抵抗率を示している。図４に結果を示した実験では、アンモニアなどの薬液で被洗浄物を洗浄した後、洗浄槽から薬液を排出するとともに純水を前記洗浄槽内に入れて行った。
【０１１６】
図４によると、本発明品は、実験開始から約７から８分程度経過した後に測定した抵抗率が、純水の抵抗率となった。このように、本発明品は、被洗浄物の洗浄が終了して洗浄液の抵抗率が純水のものと等しくなると、速やかに純水の抵抗率を測定する。このため、電解質液の純度即ち抵抗率が変化した際に、正確な抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れが非常に短いことが明らかとなった。
【０１１７】
また、洗浄槽内の液体がアンモニアなどの薬液から純水に完全に置き換わった段階では、純水の抵抗率を測定したので、本実施形態の抵抗率計の電極は極めて正確に電解質液の抵抗率を測定できることが明らかとなった。
【０１１８】
本実施形態の抵抗率計の電極１によれば、板状パッキン８が殆ど弾性変形しなくかつコイルばね９が互いに近づけるように内電極２と支持部４との双方を付勢しているので、板状パッキン８が内電極２と支持部４との双方に隙間なく密接する。このため、電解質液が侵入できる隙間などが内電極２の基端部２ｆと支持部４との間に生じない。
【０１１９】
したがって、内電極２と支持部４などとの間に電解質液が侵入し難いので、図４に示す実験例からも明らかなように、電解質液の抵抗率が変化した際に正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れを抑制できる。
【０１２０】
また、内電極２と支持部４などとの間に電解質液が侵入し難く、かつ内電極ホルダ１０及び板状パッキン８の筒部８ｂが電極２，３間を所定間隔ｔに保つので、図４に示す実験例からも明らかなように、電解質液の抵抗率を正確に測定できる。さらに、板状パッキン８の筒部８ｂが小径部２ａと外電極ホルダ１１との間に配されるので、内電極２と外電極ホルダ１１とが互いに確実に絶縁されて、電解質液の抵抗率を確実に測定できる。
【０１２１】
また、内電極ホルダ１０などによって、内電極２と支持部４とが相対的に変位できるように内電極２等を支持するとともに、低摩擦面１０ｅが内電極２と支持部４とが相対的に変位することを許容している。また、フッ素樹脂からなる板状パッキン８が塑性変形した際の変形量が大きくても、ばね定数が小さいコイルばね９が内電極２と支持部４とを互いに近づける方向に付勢しつづける。
【０１２２】
このため、電解質液が高温となって板状パッキン８が厚みｈが薄くように塑性変形（クリープ）し、かつこの時の変形量が大きくても、コイルばね９の付勢力によって板状パッキン８が内電極２と支持部４との双方に確実に密接する。
【０１２３】
したがって、内電極２の基端部２ｆと支持部４との間に隙間がより一層生じ難くなり、電解質液の抵抗率が変化した際に正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れをより確実に抑制できる。さらに、電解質液の抵抗率を正確に測定できる。
【０１２４】
Ｏリング３０が電線束２６と基端キャップ１２との間から、前記空間１６内に前記結露水が侵入することを防止する。したがって、電極２，３それぞれとリード線６，７とが互いに電気的に接続する接続箇所に結露水が侵入することを防止でき、電解質液の抵抗率を測定する際に生じる不具合を抑制できる。
【０１２５】
また、弾性層３２，３３などが丸孔１２ｃの近傍などに付着した結露水が空間１６内に侵入することを防止するとともに、弾性及び内電極ホルダ１０の動きによって内電極２と支持部４とが相対的に変位することを妨げない。このため、板状パッキン８がより確実に内電極２と支持部との間を液密に保つ。したがって、電解質液の抵抗率が変化した際に正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れを確実に抑制できるとともに電解質液の抵抗率を正確に計測できる。
【０１２６】
さらに、防止突起１３が、板状パッキン８が塑性変形した際に、内電極２と支持部４との間から板状パッキン８が逃げることを防止するので、内電極２と支持部４との間をより確実に液密に保つことができる。したがって、電解質液の抵抗率が変化した際に正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れを確実に抑制できるとともに電解質液の抵抗率を正確に計測できる。
【０１２７】
次に、本発明の第２の実施形態にかかる抵抗率計の電極１を図５を参照して説明する。なお、第１の実施形態と同一構成部分には同一符号を付して説明を省略する。本実施形態にかかる抵抗率計の電極１は、図５に示すように、前記防止突起１３にくわえて、逃げ防止手段としての第２の防止突起１４を備えている。
【０１２８】
第２の防止突起１４は、前記円板部１１ｅと段差面２ｉとの双方に設けられている。第２の防止突起１４は、円板部１１ｅの内縁に設けられている。円板部１１ｅの内縁に設けられた第２の防止突起１４は円板部１１ｅから段差面２ｉに向かって凸に形成されている。円板部１１ｅの内縁に設けられた第２の防止突起１４は、円板部１１ｅの周方向に沿って配されている。
【０１２９】
第２の防止突起１４は、段差面２ｉの内縁に設けられている。段差面２ｉの内縁に設けられた第２の防止突起１４は段差面２ｉから円板部１１ｅに向かって凸に形成されている。段差面２ｉの内縁に設けられた第２の防止突起１４は、段差面２ｉの周方向に沿って配されている。
【０１３０】
前述した第２の防止突起１４も、前述した防止突起１３と同様に、板状パッキン８が厚みｈが薄くなるように塑性変形した際に、板状パッキン８が内電極２の外周方向に向かって流出することを防止する。即ち、第２の防止突起１４は、板状パッキン８が内電極２と支持部４との間から逃げることを防止する。
【０１３１】
本実施形態の抵抗率計の電極１によれば、防止突起１３にくわえ第２の防止突起１４を備えているので、厚みｈが薄くなるように塑性変形した際に、板状パッキン８が内電極２と支持部４との間から逃げることをより確実に防止できる。このため、板状パッキン８が内電極２と支持部４との双方により確実に密接する。
したがって、電解質液の抵抗率が変化した際に正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れを確実に抑制できるとともに電解質液の抵抗率を正確に計測できる。図５は、半円状の突起を示しているが、その形はＵ状またはＶ状の突起によっても同様の効果が得られる。
【０１３２】
次に、本発明の第３の実施形態にかかる抵抗率計の電極１を図６及び図７を参照して説明する。なお、第１の実施形態と同一構成部分には同一符号を付して説明を省略する。
【０１３３】
本実施形態の抵抗率計の電極１は、板状パッキン８がポリフェニレンスルフィド（Polyphenylenesulfide：以下ＰＰＳと呼ぶ）またはポリエーテルエーテルケトン（Polyetheretherketone：以下ＰＥＥＫと呼ぶ）などの塑性変形しにくい硬質樹脂から成形されている。また、板状パッキン８は、図６及び図７に示すように、筒部８ｂを備えずに円板部８ａのみ備えている。
【０１３４】
内電極２と支持部４との双方を近づける方向に付勢する付勢手段として、図７などに示す皿ばね４１を用いている。この種の皿ばね等４１は、ばね定数が大きい。皿ばね４１は、内径が小径部２ａの外径より大きくかつ外径が外電極ホルダ１１の内径より小さく形成されている。
【０１３５】
さらに、内電極ホルダ１０が、第２筒部１０ｆを一体に備えている。第２筒部１０ｆは、内電極２の小径部２ａの外周に嵌合するとともに、外電極ホルダ１１の孔１１ｇ内に嵌合する。
【０１３６】
板状パッキン８が塑性変形する前の初期状態において、前記第２筒部１０ｆの先端縁と板状パッキン８との間には、隙間としての遊び４２が設けられている。
遊び４２は、内電極２と支持部４とが互いに近づく方向に変位することを許容する。内電極２の基端部２ｆと内電極ホルダ１０とを互いに固定するために、ねじ溝４３とナット４４などを用いている。ねじ溝４３は、小径部２ａの外周に形成されている。ナット４４は、ねじ溝４３にねじ込まれる。
【０１３７】
前述した構成の抵抗率計の電極１は、板状パッキン８が外電極ホルダ１１と内電極２の段差面２ｉとの間に配された状態で、第２筒部１０ｆが孔１１ｇ及び小径部２ａに嵌合して、内電極ホルダ１０が外電極ホルダ１１内に配される。内電極ホルダ１０に小径部２ａを内側に挿入した皿ばね等４１を重ね、ねじ溝４３にナット４４をねじ込んで、組み立てる。なお、皿ばね等４１は、互いに近づける方向に内電極２と支持部４とを付勢する弾性復元力を生じる状態で、内電極ホルダ１０とナット４４との間に取付られる。
【０１３８】
本実施形態の抵抗率計の電極１によれば、板状パッキン８が、塑性変形しにくい硬質樹脂からなり、かつばね定数の大きな皿ばね等４１が互いに近づけるように内電極２と支持部４との双方を付勢する。このため、板状パッキン８が、円板部１１ｅと段差面２ｉとの双方に隙間無く密接する。したがって、電解質液の抵抗率が変化した際に正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れを確実に抑制できるとともに電解質液の抵抗率を正確に計測できる。
【０１３９】
また、板状パッキン８の初期状態において、内電極ホルダ１０の第２筒部１０ｆと板状パッキン８との間に遊び４２が設けられているので、板状パッキン８が塑性変形した場合にも内電極２と支持部４とが確実に近づくこができる。このため、確実に、板状パッキン８が円板部１１ｅと段差面２ｉとの双方に隙間無く密接できる。
【０１４０】
次に、本発明の第４の実施形態にかかる抵抗率計の電極１を図８を参照して説明する。なお、第１の実施形態及び第３の実施形態と同一構成部分には同一符号を付して説明を省略する。
【０１４１】
本実施形態の抵抗率計の電極１は、図８に示すように、内電極ホルダ１０の外周面１０ｄに低摩擦面１０ｅを設けずに、外電極ホルダ１１の内壁面に変位許容手段としての滑り部材４５を設けている。この滑り部材４５は円管状に形成されている。
【０１４２】
滑り部材４５は、内径が外電極ホルダ１１の内径と略等しく形成されている。
滑り部材４５は、内電極ホルダ１０などに対する摩擦係数の小さい、例えば、前述したポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹脂から成形されている。滑り部材４５は、内電極２と支持部４とが内電極２の長手方向に沿って相対的に変位することを許容する。また、本実施形態の板状パッキン８は、前述したポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹脂からなる。
【０１４３】
本実施形態においても、板状パッキン８が内電極２と支持部４との双方に隙間なく密接するので、電解質液が侵入できる隙間などが内電極２の基端部２ｆと支持部４との間に生じない。このため、内電極２と支持部４などとの間に電解質液が侵入し難くい。したがって、電解質液の抵抗率が変化した際に正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れを抑制できるとともに、電解質液の抵抗率を正確に測定できる。
【０１４４】
次に、本発明の第５の実施形態にかかる抵抗率計の電極１を図９を参照して説明する。なお、第１の実施形態及び第３の実施形態と同一構成部分には同一符号を付して説明を省略する。
【０１４５】
本実施形態の抵抗率計の電極１は、図９に示すように、内電極ホルダ１０が前述した円板部１０ａと第２筒部１０ｆとを備えている。さらに、内電極ホルダ１０の他に保持部材としての第２内電極ホルダ４６を備えている。第２内電極ホルダ４６は、円環状の円環部４６ａと、円筒状の筒部４６ｂとを備えている。
【０１４６】
円環部４６ａは、外径が外電極ホルダ１１の内径と略等しく形成されている。
筒部４６ｂは、その内径が小径部２ａの外径と略等しく形成されている。筒部４６ｂは円環部４６ａの内縁に連なっている。筒部４６ｂの内周面には、小径部２ａに対する摩擦係数が小さい変位許容手段としての低摩擦面４６ｃが形成されている。
【０１４７】
低摩擦面４６ｃは、内周面４６ｂに相当する第２内電極ホルダ４６の母材の表面に、ポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹脂がコーティングされて形成されても良く、従来より周知の潤滑油などの潤滑剤が塗布されて形成されても良い。また、低摩擦面４６ｃは、第２内電極ホルダ４６の母材自体がポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹脂によって成形されることによって、形成されても良い。
【０１４８】
前述した構成の第２内電極ホルダ４６は、円環部４６ａが、内電極ホルダ１０の円板部１０ａに相対しかつ筒部４６ｂ内に小径部２ａを挿入した状態で、外電極ホルダ１１内に収容される。
【０１４９】
また、本実施形態の抵抗率計の電極１は、第２内電極ホルダ４６の円環部４６ａと筒部４６ｂの外周面と外電極ホルダ１１の内周面１１ｄとで囲まれる空間内に、シリコーンゴムまたはエポキシ樹脂などの合成樹脂４７が充填されている。
さらに、本実施形態の板状パッキン８は、前述したポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹脂からなる。
【０１５０】
本実施形態の抵抗率計の電極１によれば、内電極ホルダ１０と内電極２とが一体となって外電極ホルダ１１に対し変位する際に、小径部２ａと第２内電極ホルダ４６の筒部４６ｂの内周面とが互いに摺動する。そして、第２電極ホルダ４６の筒部４６ｂの内周面は小径部２ａの外周面に対する摩擦係数が小さい底摩擦面４６ｃが形成されている。
【０１５１】
このため、第２内電極ホルダ４６が内電極２と支持部４との間の相対的な変位を妨げることがない。したがって、板状パッキン８が円板部１１ｅと段差面２ｉとの双方に隙間無く密接する。内電極２と支持部４との間に電解質液が侵入する隙間などが生じることがない。
【０１５２】
本実施形態においても、内電極２と支持部４などとの間に電解質液が侵入し難い。したがって、電解質液の抵抗率が変化した際に正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れを抑制できるとともに、電解質液の抵抗率を正確に測定できる。
【０１５３】
次に、本発明の第６の実施形態にかかる抵抗率計の電極１を図１０を参照して説明する。なお、第１の実施形態及び第３ないし第５の実施形態と同一構成部分には同一符号を付して説明を省略する。
【０１５４】
本実施形態の抵抗率計の電極１は、図１０に示すように、外電極ホルダ１１の小径部１１ａと大径部１１ｂとの境の近傍にパッキン５０を設けている。パッキン５０は円板状に形成されかつ孔５１を備えている。孔５１は、パッキン５０の中央に設けられている。
【０１５５】
孔５１は、その内径が前記温度センサ素子の感温部などと接続した電線と内電極リード線６とが束ねられて形成される第２電線束５２が通ることのできる大きさに形成されている。パッキン５０は、その外径が小径部１１ａと大径部１１ｂとの境の近傍の内径と略等しく形成されている。さらに、本実施形態の板状パッキン８は、前述したポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹脂からなる。
【０１５６】
また、本実施形態の抵抗率計の電極１は、前記パッキン５０と基端キャップ１２の円板部１２ａと小径部１１ａの内周面とで囲まれる空間に、エポキシ樹脂５３が充填されている。このエポキシ樹脂５３は、丸孔１２ｃ内を通って空間１６に電解質液が侵入することを防止する。
【０１５７】
さらに、本実施形態では、内電極リード線６は止め輪１９に結かれるなどして、内電極２と電気的に接続している。第２電線束５２は、撓み部５４を備えている。撓み部５４は、板状パッキン８が塑性変形する前の初期状態において、小径部２ａの端面２ｃとパッキン５０との間に設けられている。
【０１５８】
撓み部５４は、端面２ｃからパッキン５０に向かう方向に対し第２電線束５２が曲げられて形成されている。撓み部５４は、空間１６内に位置している。なお、第２電線５２が撓み部５４を備えているため、内電極リード線６も撓み部５４を備えることとなる。
【０１５９】
本実施形態の抵抗率計の電極１によれば、第２電線束５２が撓み部５４を備えているので、支持部４と内電極２とが相対的に変位する際に、第２電線束５２即ち内電極リード線６が縮むように変形する。このため、第２電線束５２が支持部４と内電極２とが相対的に変位することを妨げることがない。
【０１６０】
板状パッキン８が、円板部１１ｅと段差面２ｉとの双方により確実に隙間なく密接する。したがって、電解質液の抵抗率が変化した際に正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れを確実に抑制できるとともに、電解質液の抵抗率を正確に測定できる。
【０１６１】
次に、本発明の第７の実施形態にかかる抵抗率計の電極１を図１１及び図１２を参照して説明する。なお、第１の実施形態及び第３ないし第６の実施形態と同一構成部分には同一符号を付して説明を省略する。
【０１６２】
図１１に示す本実施形態の抵抗率計の電極１の内電極ホルダ１０の筒部１０ｂは、長手方向の外径を変え、円環部分外径は小さくして、外電極ホルダ１１との間に隙間を設け、円筒部分の外径は外電極ホルダ１１に密接させて内部には弾性の樹脂を充填する。また、図１２に示す方法は、その肉厚が周方向に沿って変化するように、外周面に凹部５５と凸部５６とをそれぞれ複数設けている。これら凹部５５と凸部５６は、図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）に示すように、筒部１０ｂの周方向に沿って交互に配されている。
【０１６３】
これらの凹部５５と凸部５６とは、電解質液の熱などによって筒部１０ｂが膨張した際に外周面１０ｄの外電極ホルダ１１の内周面１１ｄに対する摩擦係数が増大することを抑制する。
【０１６４】
即ち、凹部５５と凸部５６とは、電解質液の熱によって内電極ホルダ１０が膨張した際に、この内電極ホルダ１０が内電極２と支持部４との間の相対的な変位を妨げることを抑制する。なお、凹部５５と凸部５６とは、本明細書に記した抑制手段をなしている。さらに、本実施形態の板状パッキン８は、前述したポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹脂からなる。
【０１６５】
本実施形態によれば、内電極ホルダ１０が膨張した際に、凹部５５と凸部５６とが内電極２と支持部４との間の相対的な変位を妨げることを抑制するため、板状パッキン８がより確実に円板部１１ｅと段差面２ｉとの双方により確実に隙間なく密接する。したがって、電解質液の抵抗率が変化した際に正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れを確実に抑制できるとともに、電解質液の抵抗率を正確に測定できる。
【０１６６】
また、前述した第１ないし第７の実施形態では、内電極２と支持部４との間にシール部材としての板状パッキン８を設けているが、本発明では、三つ以上の電極部材を備えた電極においても、少なくとも一つの電極部材と支持部との間にシール部材を設けても良いことは勿論である。
【０１６７】
さらに、前述した第１ないし第７の実施形態では、板状パッキン８を構成する高プラストマ性の合成樹脂としてポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ＰＰＳ、ＰＥＥＫなどを用いている。しかしながら、本発明では、板状パッキン８を構成する合成樹脂として以下に示すものを用いることができる。
【０１６８】
ポリテトラフルオロエチレン（Polytetrafluoroethylene：ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（Tetrafluoroethylene-perfluoroalkylvinylether copolymer：ＰＦＡ）、フッ化エチレンプロピレン（Fluorinated ethylene propylene：ＦＥＰ）、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（Ethylene-tetrafluoroethylene copolymer：ＥＴＦＥ）、ポリ塩化三フッ化エチレン（Polychlorotrifluoroethylene：ＰＣＴＦＥ）、エチレン−クロロトリフルオロエチレン共重合体（Ethylene-chlorotrifluoroethylene copolymer：ＥＣＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（Polyvinylidenefluoride：ＰＶＤＦ）、ポリビニルホルマール（Polyvinylformal：ＰＶＦ）、等のフッ素樹脂や、ポリアミド（Polyamide：ＰＡ）、ポリアセタール（Polyacetal：ＰＯＭ）、ポリカーボネート（Polycarbonate：ＰＣ）、ポリフェニレンエーテル（Polyphenyleneether：ＰＰＥ）、ポリエチレンテレフタレート（Polyethyleneterephthalate：ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（Polybutyleneterephthalate：ＰＢＴ）、ポリフェニレンスルフィド（Polyphenylenesulfide：ＰＰＳ）、ポリスルホン（Polysulfone：ＰＳＦ）、結晶しずらいポリアレート即ち非晶ポリアレート（Polyarylate）、ポリエーテルイミド（Polyetherimide：ＰＥＩ）、ポリエーテルスルホン（Polyethersulfone：ＰＥＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（Polyetheretherketone：ＰＥＥＫ）、液晶ポリマー（Liquid crystalline polymer：ＬＣＰ）、ポリアミドイミド（Polyamide-imide）、ポリイミド（Polyimide）、ポリエチレンナフタレート（Polyethylenenaphthalate：ＰＥＮ）、ポリベンズイミダゾール（Polybenzimidazole：ＰＢＩ）、アクリロニトリル−スチレン共重合体（Acrylonitrile-styrene copolymer：ＳＡＮ）、ポリ塩化ビニリデン（Polyvinylidenechloride：ＰＶＤＣ）、ポリメタクリル酸メチル（Polymethylmethacrylate：ＰＭＭＡ）、ポリエチレンオキシド（Polyethyleneoxide：ＰＥＯ）、ポリフェニレンオキシド（Polyphenyleneoxide：ＰＰＯ）、などのエンジニアリングプラスチックや、ポリエチレン（Polyethylene：ＰＥ）、ポリプロピレン（Polypropylene：ＰＰ）、メチルペンテン樹脂（Methylpentene resin：ＰＭＰ）、ポリ塩化ビニル（Polyvinylchloride：ＰＶＣ）、ＡＢＳ樹脂（Acrylonitrile-butadiene-styrene resin）、ポリスチレン樹脂（Polystyrene resin：ＰＳ）、メタクルル樹脂（Methacrylate plastics：ＭＭＡ）、ポリビニルアルコール（Polyvinylalcohol：ＰＶＡ）、エチレン−酢酸ビニル共重合体（Ethylene-vinylacetate copolymer：ＥＶＡ）、不飽和ポリエステル樹脂（Unsaturated polyester resin：ＵＰ）、フェノール樹脂（Phenol resin）、ユリア樹脂（Urea resin）、メラミン樹脂（Melamine resin）、メラミン−ユリア共縮合樹脂（Melamine-urea resin）、ポリウレタン樹脂（Polyurethane resin）、シリコーン樹脂（Silicone resin）、エポキシ樹脂（Epoxy resin）、などの他異なる性質を持つポリマーの効果的複合により得られる高性能材料であるポリマーアロイなどである。
【０１６９】
前記板状パッキン８を構成する高プラストマ性の合成樹脂として、前述した各種の合成樹脂（プラスチック）のうち一つまたは二つ以上を選択的に用いることができる。また、さらに、使用される環境の温度、圧力及び測定対象物の薬液の種類などの条件に合致したものであれば、前述した合成樹脂以外のものを用いることができる。
【０１７０】
さらに、前述した第１及び第３ないし第７の実施形態のように、付勢手段としてばね定数の小さいコイルばね９を用いる場合には、前述した高プラストマ性を有する合成樹脂に加えて、ゴムなどのエラストマ性及び低エラストマ性を有する合成樹脂を用いることができる。
【０１７１】
この場合、使用される環境の温度によって、前記エラストマ性及び低エラストマ性を有する合成樹脂からなるシール部材が硬化する。このとき、特に、コイルばね９のばね定数が小さいので、該コイルばね９の内電極２の基板部２ｆと支持部４とを互いに近づける付勢力によって、内電極２の基端部２ｆと支持部４との間に隙間が生じ難くなる。したがって、前記基端部２ｆと支持部との間を液密に保つことができ、電解質液の抵抗率が変化した際に正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れを確実に抑制できるとともに、電解質液の抵抗率を正確に測定できる。
【０１７２】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１に記載の本発明によれば、シール部材は、電極部材と支持部との間を液密に保つ際に殆ど弾性変形しないので、電極部材の基端部と支持部との双方に隙間なく密接する。このため、不純物質を含んだ薬液などが侵入できる隙間などが電極部材の基端部と支持部との間に生じない。したがって、電極部材の基端部と支持部などとの間に電解質液が侵入し難いので、電解質液の抵抗率が変化した際に正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れを抑制できるとともに、電解質液の抵抗率を正確に測定できる。
【０１７３】
互いに近づく方向に電極部材と支持部とのうち少なくとも一方が付勢されているので、電極部材の基端部と支持部との間に隙間がより生じ難くなる。したがって、電解質液の抵抗率が変化した際に正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れをより抑制できるとともに、電解質液の抵抗率を正確に測定できる。
【０１７４】
請求項２に記載の本発明によれば、シール部材が塑性変形（クリープ）しても、付勢手段の付勢力によって支持部と電極部材とが互いに近づける方向に変位される。このため、電極部材の基端部と支持部との間に隙間がより一層生じ難くなる。したがって、電解質液の抵抗率が変化した際に正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れをより確実に抑制できるとともに、電解質液の抵抗率をより正確に測定できる。
【０１７５】
請求項３に記載の本発明によれば、変位許容手段が電極部材と支持部との間の相対的な変位を許容するので、電極部材の基端部と支持部との間に隙間がより一層生じ難くなる。このため、電解質液の抵抗率が変化した際に正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れをより確実に抑制できる。さらに、保持部材が電極部材間を所定間隔に保つので、電解質液の抵抗率をより正確に測定できる。
【０１７６】
請求項４に記載の本発明によれば、保持部材が膨張した際に、電極部材と支持部との間の相対的な変位を妨げることを抑制手段が抑制するため、電極部材の基端部と支持部との間に隙間がより一層確実に生じ難くなる。したがって、電解質液の抵抗率が変化した際に正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れをより一層確実に抑制できるとともに、電解質液の抵抗率をより一層正確に測定できる。
【０１７７】
請求項５に記載の本発明によれば、シール部材が硬質樹脂であるため、このシール部材が塑性変形しにくくなる。また、シール部材が塑性変形しにくく付勢手段がばね定数の大きな皿ばねであるため、シール部材は、電極部材の基端部と支持部との双方により確実に隙間なく密接する。したがって、電極部材の基端部と支持部との間に隙間がより一層確実に生じ難くなり、正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れをより一層確実に抑制できるとともに、電解質液の抵抗率をより一層正確に測定できる。
【０１７８】
請求項６に記載の本発明によれば、フッ素樹脂からなるシール部材が塑性変形した際の変形量が大きくても、コイルばねが電極部材と支持部を互いに近づける方向に付勢しつづける。このため、シール部材の変形量が大きくても、シール部材は、電極部材の基端部と支持部との双方に隙間なく密接する。したがって、正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れをより一層確実に抑制できるとともに、電解質液の抵抗率をより一層正確に測定できる。
【０１７９】
請求項７に記載の本発明によれば、第２保持部が電極部材を所定間隔に保つので、正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れを抑制できることにくわえ、より一層正確に電解質液の抵抗率を測定できる。
【０１８０】
請求項８に記載の本発明によれば、電線が、電極部材と支持部とが相対的に変位することを妨げないので、シール部材が、電極部材の基端部と支持部との双方により確実に隙間なく密接する。したがって、正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れをより一層確実に抑制できるとともに、電解質液の抵抗率をより一層正確に測定できる。
【０１８１】
請求項９に記載の本発明によれば、第１のシール手段が前記電線束を構成する電線と電極部材とが互いに接続する接続箇所に結露水が侵入することを防止する。このため、電解質液の抵抗率を測定する際に生じる不具合を防止できる。また空間内に充填された第２のシール手段が弾性体からなるので、この第２のシール手段が電極部材と支持部とが相対的に変位することを妨げない。
【０１８２】
したがって、シール部材が、電極部材の基端部と支持部との双方により確実に隙間なく密接する。正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れをより一層確実に抑制できるとともに、電解質液の抵抗率をより一層正確に測定できる。
【０１８３】
請求項１０に記載の本発明によれば、シール部材が電極部材の基端部と支持部との間から逃げることが防止されるので、シール部材はより一層確実に電極部材の基端部と支持部との双方に密接する。したがって、正確な電解質液の抵抗率を測定するまでにかかる時間遅れをより一層確実に抑制できるとともに、電解質液の抵抗率をより一層正確に測定できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかる抵抗率計の電極の全体構成を示す断面図である。
【図２】図１中のＭ部を拡大して示す断面図である。
【図３】同実施形態の抵抗率計の電極の要部を拡大して示す断面図である。
【図４】同実施形態の電極を用いて電解質液の抵抗率を測定した一例を示す説明図である。
【図５】本発明の第２の実施形態の抵抗率計の電極の要部を拡大して示す断面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態の抵抗率計の電極の一部を示す断面図である。
【図７】図６に示された電極の皿ばねを示す断面図である。
【図８】本発明の第４の実施形態の抵抗率計の電極の一部を示す断面図である。
【図９】本発明の第５の実施形態の抵抗率計の電極の一部を示す断面図である。
【図１０】本発明の第６の実施形態の抵抗率計の電極の一部を示す断面図である。
【図１１】本発明の第７の実施形態の抵抗率計の電極の一部を示す断面図である。
【図１２】（Ａ）は図１１に示された電極の内電極ホルダを示す側面図である。（Ｂ）は図１２（Ａ）中の矢印ＸＩＩＢから見た図である。
【図１３】従来の抵抗率計の電極の全体構成を示す断面図である。
【図１４】図１３に示された電極の要部を拡大して示す断面図である。
【図１５】図１３に示された電極を用いて電解質液の抵抗率を測定した一例を示す説明図である。
【符号の説明】
１  抵抗率計の電極
２  内電極（電極部材）
２ｆ  基端部
３  外電極（電極部材）
３ｂ  基端部
４  支持部
６  内電極リード線（電線）
７  外電極リード線（電線）
８  板状パッキン（シール部材）
８ｂ  筒部（第２保持部）
９  コイルばね（付勢手段）
１０  内電極ホルダ（保持部材）
１０ｅ  低摩擦面（変位許容手段）
１２ｃ  丸孔（貫通孔）
１３  防止突起（逃げ防止手段）
１４  第２の防止突起（逃げ防止手段）
２６  電線束
３０  Ｏリング（第１のシール手段）
３２，３３  弾性層（第２のシール手段）
４１  皿ばね（付勢手段）
４５  滑り部材（変位許容手段）
４６  第２内電極ホルダ（保持部材）
４６ｃ  低摩擦面（変位許容手段）
５４  撓み部
５５  凹部（抑制手段）
５６  凸部（抑制手段）
ｔ  所定間隔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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