(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
負荷から還流する恒温液を所定の温度に冷却または加熱して負荷に供給する恒温液回路部と、該恒温液を冷却または加熱するための冷凍回路部と、制御部とを備えた恒温液循環装置において、
上記冷凍回路部は、インバータ電源で回転数が制御される圧縮機と、凝縮器と、第１電子膨張弁と、蒸発器と、これらを直列に接続する配管とからなるメイン回路部と、上記凝縮器及び第１電子膨張弁をバイパスして上記圧縮機から吐出される高温の冷媒の一部を蒸発器に供給する第２電子膨張弁を有するホットガス回路部とを備えると共に、冷媒の温度または圧力を検出する２つの冷媒用温度センサまたは２つの圧力センサを、上記メイン回路部の蒸発器の流入側と流出側とに備え、
上記恒温液回路部は、恒温液のタンクと、負荷から還流する恒温液を上記蒸発器で冷却または加熱する熱交換器と、恒温液の温度を検出するために上記タンクの入口と出口とに設けられた２つの恒温液用温度センサと、所定の温度に調整した恒温液を負荷に供給して循環させる循環手段とを備え、
上記制御部は、上記蒸発器の流入側と流出側とに設けた上記２つの冷媒用温度センサまたは２つの圧力センサからの信号に基づく偏差信号により上記第１電子膨張弁の開度を制御し、上記タンクの入口側にある恒温液用温度センサからの信号により上記第２電子膨張弁の開度を制御し、上記タンクの出口側にある恒温液用温度センサからの信号により上記圧縮機の回転数を制御して、負荷に供給する恒温液の温度を所定の温度に制御する、
ことを特徴とする恒温液循環装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、負荷に恒温液を供給して循環させる恒温液循環装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図３は、既提案の恒温液循環装置の一例を示し、この恒温液循環装置１０１は、負荷２において温度が上昇した恒温液を冷却するための冷凍回路部１０３と、該冷凍回路部１０３の冷媒によって冷却した上記恒温液を所定の温度に調整した後、負荷２に供給して循環させる恒温液回路部１０４と、負荷２に供給する恒温液の温度を制御する制御部１０５とを備えている。
【０００３】
上記冷凍回路部３は、適宜の冷媒を圧縮して高温高圧の冷媒ガスとする圧縮機７と、この冷媒ガスを冷却凝縮して高圧の液冷媒とする凝縮器８と、この液冷媒を減圧して低温化する減圧器９と、減圧器９で減圧した液冷媒を蒸発させる蒸発器１０とを順次直列に接続したものとして構成されている。
上記恒温液回路部１０４は、恒温液のタンク２４と、負荷２において温度が上昇した恒温液を冷却する熱交換器２５と、熱交換器２５において冷却された恒温液を所定の温度に加熱するヒータ２７を有するヒータユニット２６と、ヒータ２７によって所定の温度に調整されたタンク２４内の恒温液を負荷２に供給して循環させるポンプ２８と、タンク２４内の恒温液の水位を検出するレベルスイッチ２９とを備え、熱交換器２５、ヒータユニット２６及びポンプ２８は、いずれもタンク２４に組み付けられている。また、ヒータ２７の外周には、これを取り囲み有底筒状で上部が開口するヒータカバー３０が設けられている。
【０００４】
上記制御部１０５は、装置全体を制御するもので、温度センサ３７の温度信号に応じて必要な信号を出力する温度コントローラ４２と、タンク２４内のレベルスイッチ２９と低圧カットスイッチ３９及び冷媒高圧カットスイッチ２０の信号に応じて必要な信号を出力するプログラマロジックコントローラ（以下、ＰＬＣと略記する。）４３と、温度コントローラ４２とＰＬＣ４３とが出力する信号によって圧縮機７とポンプ２８の運転、ヒータ２７への通電、インジェクションバルブ１６を制御する電磁接触器・電磁開閉器４４、及び必要な表示を行う操作表示パネル４５とを備えている。
【０００５】
上記恒温液循環装置１０１は、負荷２によって温度が上昇した恒温液を熱交換器２５により冷却し、この恒温液をヒータ２７により加熱して所定の温度の恒温液とするので、恒温液の温度調整が容易なものである。
しかしながら、上記恒温液循環装置１０１は、熱交換器２５において冷却した恒温液をヒータ２７によって加熱するために、運転に必要な電力量が多くなり、特に、循環装置１０１の運転状態によっては、圧縮機７、ポンプ２８及びヒータ２７に同時に通電されることがあるが、これに対応するためには循環装置１０１への通電許容量を多くする必要があり、通電のための設備コストも大きくなる。
【０００６】
このような問題を解決したものとして、図４に示す恒温液循環装置がある。
図４に示す恒温液循環装置９１は、負荷２から還流する恒温液を所定の温度に冷却して負荷２に供給する恒温液回路部９３と、該恒温液を冷却するための冷凍回路部９２と、該負荷２に供給する恒温液の温度を制御するための制御部９４とを備えている。
上記冷凍回路部９２は、圧縮機７、凝縮器８、第１電子膨張弁５６、蒸発器１０、及びこれらを直列に接続する配管からなるメイン回路部５０と、該メイン回路部５０に設けられた圧力センサ６１及び温度センサ６２と、上記凝縮器８及び第１電子膨張弁５６をバイパスして上記圧縮機７から吐出される高温の冷媒の一部を蒸発器１０に供給する第２電子膨張弁５９を有するホットガス回路部５８と、電子膨張弁５７を有する還流回路１２とを備えている。
【０００７】
上記恒温液回路部９３は、恒温液のタンク２４と、該タンク２４内のオーバーフロータンク６４と、負荷２から還流する恒温液を上記蒸発器１０で冷却する熱交換器２５と、恒温液の温度を検出する温度センサ３７と、レベルスイッチ２９と、所定の温度に調整された恒温液を負荷２に供給して循環させるポンプ２８とを備えている。
上記制御部９４は、ＰＬＣ４３、電磁接触器・電磁開閉器６７、操作表示パネル４５及び膨張弁コントローラ９６を備え、該膨張弁コントローラ９６は、上記温度センサ３７、６２及び圧力センサ６１の信号によって、上記電子膨張弁５６，５７，５９の開度を個別に制御して恒温液を所定の温度に調整している。
【０００８】
そして、図４に示す恒温液循環装置９１は、制御部９４により第１及び第２の電子膨張弁５６，５９の開度を制御して冷凍回路部９２の冷凍能力を制御し、負荷２に供給する恒温液の温度を正確に制御できるため、図３に示す恒温液循環装置１における、所定の温度の恒温液にするためのヒータ２７が必要でなくなる。
しかし、図４に示す恒温液循環装置９１は、第１及び第２の電子膨張弁５６，５９の開度を制御するだけで冷凍回路部９２の冷凍能力を制御しているために、目標温度への到達時間が短いとはいえず、外乱（恒温液流量の変化、外部の熱負荷の変化、凝縮器の冷却水温度の変化など）に対しても制御性が良いとはいえなかった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明が解決しようとする課題は、省エネルギーで、目標温度への到達時間が短く、外乱に対しても制御性が良く、装置を小形にすることができる恒温液循環装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の恒温液循環装置は、負荷から還流する恒温液を所定の温度に冷却または加熱して負荷に供給する恒温液回路部と、該恒温液を冷却または加熱するための冷凍回路部と、制御部とを備えた恒温液循環装置において、上記冷凍回路部は、インバータ電源で回転数が制御される圧縮機と、凝縮器と、第１電子膨張弁と、蒸発器と、これらを直列に接続する配管とからなるメイン回路部と、上記凝縮器及び第１電子膨張弁をバイパスして上記圧縮機から吐出される高温の冷媒の一部を蒸発器に供給する第２電子膨張弁を有するホットガス回路部とを備えると共に、冷媒の温度または圧力を検出する２つの冷媒用温度センサまたは２つの圧力センサを、上記メイン回路部の蒸発器の流入側と流出側とに備え、上記恒温液回路部は、恒温液のタンクと、負荷から還流する恒温液を上記蒸発器で冷却または加熱する熱交換器と、恒温液の温度を検出するために上記タンクの入口と出口とに設けられた２つの恒温液用温度センサと、所定の温度に調整した恒温液を負荷に供給して循環させる循環手段とを備え、上記制御部は、上記蒸発器の流入側と流出側とに設けた上記２つの冷媒用温度センサまたは２つの圧力センサからの信号に基づく偏差信号により上記第１電子膨張弁の開度を制御し、上記タンクの入口側にある恒温液用温度センサからの信号により上記第２電子膨張弁の開度を制御し、上記タンクの出口側にある恒温液用温度センサからの信号により上記圧縮機の回転数を制御して、負荷に供給する恒温液の温度を所定の温度に制御することを特徴としている。
【００１２】
本発明の恒温液循環装置は、負荷から還流する恒温液を所定の温度に冷却または加熱して負荷に供給する恒温液回路部と、該恒温液を冷却または加熱するための冷凍回路部と、制御部とを備えた恒温液循環装置において、上記冷凍回路部が、インバータ電源で回転数が制御される圧縮機と、凝縮器と、第１電子膨張弁と、蒸発器と、これらを直列に接続する配管とからなるメイン回路部と、上記凝縮器及び第１電子膨張弁をバイパスして上記圧縮機から吐出される高温の冷媒の一部を蒸発器に供給する第２電子膨張弁を有するホットガス回路部とを備え、上記恒温液回路部が、恒温液のタンクと、負荷から還流する恒温液を上記蒸発器で冷却または加熱する熱交換器と、恒温液の温度を検出する少なくとも１つ以上の温度センサと、所定の温度に調整した恒温液を負荷に供給して循環させる循環手段とを備え、上記制御部が、上記温度センサからの信号により上記第１及び第２の電子膨張弁の開度及び上記圧縮機の回転数を制御して、負荷に供給する恒温液の温度を所定の温度に制御するため、上記冷凍回路部の冷凍能力は、上記第１及び第２の電子膨張弁による制御に加え、上記圧縮機の回転数を制御することによっても制御される。
すなわち、上記制御部は、上記圧縮機のインバータ電源の周波数を制御することにより、上記圧縮機の回転数を制御してホットガスの温度や圧力を制御し、該ホットガスを上記第１及び第２の電子膨張弁の制御と関連させながら上記蒸発器に供給するため、上記冷凍回路部の冷凍能力を制御することができる。
【００１３】
したがって、本発明の恒温液循環装置は、上記第１及び第２の電子膨張弁による制御だけでなく、上記圧縮機の回転数を制御することによっても上記冷凍回路部の冷凍能力を制御しているため、負荷に供給する恒温液を所定の温度に正確に制御することができると共に、目標温度への到達時間が格段に早くなり、外乱に対しても制御性が良い。
また、上記圧縮機は高周波数で運転させることにより小型の圧縮機でも冷媒循環量を従来のものと同等にすることができるから、装置を小型にすることができ、冷媒循環量が少なくてもよいときには低周波数で運転させることにより回転数を減少させることができるから、圧縮機の騒音を抑えることができると共に、消費電力も少なくて済む。
また、本発明の恒温液循環装置は、負荷に供給する恒温液を所定の温度に正確に制御することができるため、恒温液を加熱するためのヒータを必要としない。
したがって、本発明の恒温液循環装置は、省エネルギーを達成することができると共に、装置を小形にすることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係る恒温液循環装置の一実施例を示し、この恒温液循環装置１は、負荷２から還流する恒温液を所定の温度に冷却または加熱して負荷に供給する恒温液回路部４と、該恒温液を冷却または加熱するための冷凍回路部３と、該負荷２に供給する恒温液の温度を制御するための制御部５とを備えている。
上記冷凍回路部３は、適宜の冷媒を圧縮して高温高圧の冷媒ガスとするインバータ電源で回転数制御される圧縮機７と、この冷媒ガスを冷却凝縮して高圧の液冷媒とする凝縮器（図示の例は水冷式凝縮器）８と、この液冷媒を減圧して低温低圧の冷媒とする、弁開度が調整可能な電子膨張弁５６からなる減圧器と、電子膨張弁５６で減圧した低温低圧の冷媒を蒸発させる蒸発器１０と、これらを直列に接続する配管からなるメイン回路部５０と、上記凝縮器８及び電子膨張弁５６をバイパスして上記圧縮機７から吐出される高温の冷媒の一部を蒸発器１０に供給する弁開度が調整可能な電子膨張弁５９を有するホットガス回路部５８とを備えている。
【００１５】
また、上記冷凍回路部３は、蒸発器１０の出口温度が高いときに、凝縮器８で凝縮した冷媒を、凝縮器８と電子膨張弁５６間の流路から圧縮機７の入口側に還流させる還流回路１２と、該還流回路１２中の冷媒循環量が調整可能な膨張弁（図示の例は電子膨張弁）５７とを備えている。そして、これらの電子膨張弁５６，５７，５９は、いずれも制御部５によって制御される。
また、蒸発器１０の出口側と還流回路１２との交差部間の流路には、この流路を流れる冷媒ガスの圧力を検出する圧力センサ６１が設けられており、上記交差部と圧縮機７の入口側との間の流路には、圧縮機７に還流する冷媒ガスの温度を検出して信号を出力する温度センサ６２が設けられている。
そして、該圧力センサ６１及び温度センサ６２は、上記制御部５に信号を出力するものとして構成されている。
また、上記圧縮機７にはその回転数を検出して信号を出力する回転数検出器６５が設けられており、該回転数検出器６５からの信号は上記制御部５に出力される。
なお、上記圧力センサ６１及び温度センサ６２に代えて、温度センサ６０及び圧力センサ４９をそれぞれ用いることもできる。
【００１６】
冷凍回路部３において、圧縮機７と凝縮器８の間の流路には、高温高圧の冷媒ガスの圧力を検出する高圧冷媒圧力計１９と、この圧力計の圧力が所定の圧力以上に上昇したときに信号を出力する高圧冷媒カットスイッチ２０とが設けられており、圧縮機７における冷媒ガスの入口（還流）側には、低圧の冷媒ガスの圧力を検出する低圧冷媒圧力計２１が設けられている。また、凝縮器８には、供給される冷却水の流量を調節する圧力制水弁２２が設けられている。
上記恒温液回路部４は、恒温液のタンク２４と、負荷２から還流する恒温液を上記蒸発器１０で冷却または加熱する熱交換器２５と、恒温液の温度を検出する温度センサ３７と、所定の温度に冷却された恒温液を負荷２に供給して循環させるポンプ２８とを備えている。
【００１７】
また、上記恒温液回路部４は、タンク２４内の恒温液の水位を検出するレベルスイッチ２９と、タンク２４内のオーバーフロータンク６４とを備え、冷凍回路部３の蒸発器１０が組み込まれた上記熱交換器２５は、入口に負荷２から還流する恒温液の戻り管３２が、出口にオーバーフロータンク６４の下部に連通する配管３０が、それぞれ連結されている。
上記温度センサ３７はポンプ２８の吐出口に連結された供給管３６内に設けられており、その下流に、恒温液の出口側圧力を検出する圧力計３８と、該圧力計３８が検出した圧力が所定の圧力以下になると信号を出力する低圧カットスイッチ３９とが設けられている。
また、タンク２４の底壁には、該タンク２４内の恒温液を排出するためのドレン管４０が設けられている。
【００１８】
上記制御部５は、温度センサ３７，６２、圧力センサ６１及び回転数検出器６５から送られてくる入力信号を処理して上記電子膨張弁５６，５７，５９の開度を個別に制御すると共に、該電子膨張弁５６，５７，５９の制御と関連させて上記圧縮機７の回転数を制御している。
上記制御部５は、恒温液の温度を検出する温度センサ３７からの信号により上記電子膨張弁５６，５７，５９の開度を個別に制御しているが、上記温度センサ３７からの信号に代えて、あるいは上記温度センサ３７からの信号と共に、冷媒ガスの温度と圧力を個別に検出する上記温度センサ６２（または圧力センサ４９）、または圧力センサ６１（または温度センサ６０）からの信号により上記電子膨張弁５６，５７，５９の開度を個別に制御してもよい。
【００１９】
上記圧縮機７はインバータ電源で回転数が制御される圧縮機であるため、インバータ電源の周波数を変えることにより冷媒ガスを圧縮する圧縮機７の回転数を正確に制御することができ、該圧縮機７で圧縮される冷媒ガスの温度と圧力は、圧縮機７の回転数が増加すれば増加し、圧縮機７の回転数が減少すればすれば減少する。
そして、上記制御部５は、温度センサ３７，６０，６２、圧力センサ６１及び回転数検出器６５から送られてくる入力信号を処理して、上記電子膨張弁５６，５７，５９の開度を個別に制御すると共に上記圧縮機７の回転数を制御し、該圧縮機７で発生するホットガスを上記電子膨張弁５６，５７，５９の制御と関連させながら蒸発器１０に供給するから、上記冷凍回路部３の冷凍能力を制御することができる。
したがって、本発明の恒温液循環装置１は、電子膨張弁５６，５９による制御だけでなく、圧縮機７の回転数を制御することによっても冷凍回路部３の冷凍能力を制御しているため、負荷２に供給する恒温液を所定の温度に正確に制御することができると共に、目標温度への到達時間が格段に早くなり、外乱に対しても制御性が良い。
【００２０】
また、上記恒温液循環装置１は、上記圧縮機７を高周波数で運転させることにより小型の圧縮機でも冷媒循環量を従来のものと同等にすることができるから、装置を小型にすることができ、冷媒循環量が少なくてもよいときには低周波数で運転させることにより回転数を減少させることができるから、圧縮機の騒音を抑えることができると共に消費電力も少なくて済み、負荷に供給する恒温液を所定の温度に正確に制御することができるため、恒温液を加熱するためのヒータを必要としない。
したがって、上記恒温液循環装置１は、省エネルギーを達成することができると共に、装置を小形にすることができる。
また、上記制御部５は、その内部にＰＬＣ（図示せず）、操作表示パネル（図示せず）及び電磁接触器・電磁開閉器（図示せず）を有し、制御部５にレベルスイッチ２９や低圧カットスイッチ３９や冷媒高圧カットスイッチ２０からの信号が入力されると、ＰＬＣは電磁接触器・電磁開閉器に信号を出力し、電磁接触器・電磁開閉器はこの信号によって圧縮機７とポンプ２８の運転を制御する。
【００２１】
図２は本発明に係る恒温液循環装置の別の実施例を示し、恒温液回路部４が、タンク２４内のオーバーフロータンク６４を省略することによりタンク２４を小形にすると共に、熱交換器２５の流出側付近に恒温液の温度を検出する温度センサ４６を設け、冷凍回路部３が、蒸発器１０の流入側及び流出側に冷媒ガスの温度を検出する温度センサ４７及び６０をそれぞれ設けている点で図１の装置と構造上相違し、そのほかの構造は図１の装置と同様である。
そして、上記温度センサ３７、４６、４７、６０は上記制御部５に信号を出力し、該制御部５は、蒸発器１０の流入側及び流出側に設けた温度センサ４７，６０でそれぞれ検出した冷媒ガスの温度の差に基づく偏差信号により電子膨張弁５６の開度を制御し、温度センサ３７からの信号により上記圧縮機７の回転数を制御し、温度センサ４６からの信号により電子膨張弁５９の開度を制御している。
なお、上記温度センサ４７，６０に代えて圧力センサ４８、６１を用いることもでき、上記温度センサ４７，６０からの信号に基づく偏差信号の代わりに、蒸発器１０の流入側及び流出側に設けた圧力センサ４８，６１でそれぞれ検出した冷媒ガスの圧力の差に基づく偏差信号を用いて電子膨張弁５６の開度を制御してもよい。
【００２２】
図２に示す装置を用いての制御の一例を述べる。
（イ）．恒温液の目標温度（設定温度）に対して温度センサ３７あるいは温度センサ４６で検出した恒温液の温度が高くなると、温度センサ４７，６０でそれぞれ検出した冷媒ガスの温度の差、あるいは圧力センサ４８，６１でそれぞれ検出した冷媒ガスの圧力の差が大きくなることから、上記制御部５は、温度センサ４７，６０からの信号に基づく偏差信号あるいは圧力センサ４８，６１からの信号に基づく偏差信号により電子膨張弁５６を開く方向に制御する。
また、上記制御部５は、温度センサ４６からの信号により電子膨張弁５９を閉じる方向に制御すると共に圧縮機７の回転数を上げるように制御する。
そして、これらの動作が同時に起きて、蒸発器１０で冷却される恒温液は目標温度に近づく。
【００２３】
（ロ）．恒温液の目標温度に対して温度センサ３７あるいは温度センサ４６で検出した恒温液の温度が低くなると、温度センサ４７，６０でそれぞれ検出した冷媒ガスの温度の差、あるいは圧力センサ４８，６１でそれぞれ検出した冷媒ガスの圧力の差が小さくなることから、上記制御部５は、温度センサ４７，６０からの信号に基づく偏差信号あるいは圧力センサ４８，６１からの信号に基づく偏差信号により電子膨張弁５６を閉じる方向に制御する。
また、上記制御部５は、温度センサ４６からの信号により電子膨張弁５９を開く方向に制御すると共に圧縮機７の回転数を下げるように制御する。
そして、これらの動作が同時に起きて、恒温液は目標温度に近づく。
【００２４】
（ハ）．恒温液の目標温度（設定温度）が温度センサ３７あるいは温度センサ４６で検出した恒温液の温度よりもかなり高い場合は、上記制御部５は、設定温度が温度センサ３７、４６で検出した温度よりも予め設定した基準値以上に高いことを判断することにより、電子膨張弁５６を閉じ、電子膨張弁５９を開き、圧縮機７の回転数を上げるように制御する。
したがって、蒸発器１０は、電子膨張弁５６が閉じられることにより冷熱の供給が遮断されると共に、圧縮機７のホットガスがホットガス回路部５８を通って供給されるから、恒温液は蒸発器１０で加熱されて急速に目標温度に近づく。
恒温液の温度が目標温度に近づいたら、上記（ロ）の状態の制御に移る。
【００２５】
図２に示す実施例では、蒸発器１０の流入側及び流出側に設けた温度センサ４７，６０からの偏差信号、あるいは蒸発器１０の流入側及び流出側に設けた圧力センサ４８，６１からの偏差信号により電子膨張弁５６の開度を制御しているため、凍回路部３における電子膨張弁５６の制御が単純化されるという効果を有する。
また、熱交換器２５の流出側付近の恒温液の温度を検出した温度センサ４６からの信号により電子膨張弁５９の開度を制御し、温度センサ３７からの信号により圧縮機７の回転数の制御をしているので、温度センサ３７からの信号だけで電子膨張弁５９の開度及び圧縮機７の回転数の制御を制御する場合に比して、熱負荷の変動に対する追従性が更に良くなる。
【００２６】
本発明の恒温液循環装置は、必ずしも上記実施例に限定されるものではなく、例えば図２に示す実施例では、冷凍回路部３の蒸発器１０の流入側及び流出側に冷媒ガスの温度と圧力とを個別に検出する温度センサ４７、６０と圧力センサ４８、６１の２種類のセンサーを設けているが、温度センサ４７、６０あるいは圧力センサ４８、６１のどちらか１種類のセンサーを設けるだけでもよく、センサの数、センサが配置される個所、センサの種類、センサからの信号による制御対象は、必要に応じ適宜変更することができる。
【００２７】
本発明の恒温液循環装置１は、電子膨張弁５６、５９による制御に加え、圧縮機７の回転数を制御することによっても冷凍回路部３の冷凍能力を制御しているから、負荷２に供給する恒温液を所定の温度に正確に制御できると共に、目標温度への到達時間が格段に早くなり、外乱に対しても制御性が良く、恒温液を加熱するためのヒータが必要なく、省エネルギーを達成することができると共に装置を小形にすることができる。
【００２８】
以上に詳述したように、本発明によれば、省エネルギーで、目標温度への到達時間が短く、外乱に対しても制御性が良く、装置を小形にすることができる恒温液循環装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る恒温液循環装置の一実施例を示す構成図である。
【図２】同、別の実施例を示す構成図である。
【図３】既提案の恒温恒温液循環装置の構成図である。
【図４】同、別の装置の構成図である。
【符号の説明】
１    恒温液循環装置
３    冷凍回路部
４    恒温液回路部
５    制御部
７    圧縮機
８    凝縮器
１０  蒸発器
２４  タンク
２５  熱交換器
２８  ポンプ
５０  メイン回路部
５６，５９    電子膨張弁
５８  ホットガス回路部
３７  温度センサ
【図１】
0004582473.tif 000002
【図２】
0004582473.tif 000003
【図３】
0004582473.tif 000004
【図４】
0004582473.tif 000005