(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
特定方向に並ぶトレイ収納領域及びテスト領域と、
部品収納用のトレイがそれぞれ載置される複数のトレイ収納部であって未試験部品収納用のトレイ収納部と試験済み部品収納用の２つのトレイ収納部とを含みかつ前記特定方向と直交する方向に並ぶように前記トレイ収納領域に配置される複数のトレイ収納部と、
前記テスト領域に設けられて部品に試験を行うテストヘッドと、
前記特定方向における前記テストヘッドと前記トレイ収納部の配列位置との間の位置に配置される部品認識用の撮像手段と、
この撮像手段から前記特定方向と直交する方向に離間する位置であって前記テストヘッドによる試験前後の部品を載置するための所定の受渡し位置と前記撮像手段と前記各トレイ収納部とにわたる範囲を移動可能な部品保持用のヘッドと、
試験済みの部品を前記受渡し位置で保持して前記撮像手段による部品の撮像位置を経由してから前記トレイ収納部のトレイに搬送するとともに、前記トレイ収納部のトレイから未試験の部品を保持して前記受渡し位置に搬送すべく前記ヘッドを制御する制御手段と、
予め設定された所定数の部品の試験を行う先行試験の試験結果に基づき合格部品及び不合格部品の部品数をそれぞれ調べ、その部品数に応じて試験済み部品をそれぞれ収納するためのトレイ収納部を割り当てるトレイ収納部割当手段と、を備え、
前記トレイ収納領域における複数のトレイ収納部は、試験済みの部品を前記受渡し位置から搬送してトレイに収納するまでの部品の搬送経路長が最も短くなる位置から前記受渡し位置側に向かって試験済み部品収納用のトレイ収納部、未試験部品収納用のトレイ収納部及び試験済み部品収納用のトレイ収納部の順で並ぶようにそれらの配置が定められており、
前記トレイ収納部割当手段は、合格部品及び不合格部品のうち部品数の多い方を収納するトレイ収納部として前記試験済み部品収納用の２つのトレイ収納部のうち前記搬送経路長が短くなる側のトレイ収納部を割り当てる一方、部品数の少ない方を収納するトレイ収納部として前記搬送経路長が長くなる側のトレイ収納部を割り当て、
前記制御手段は、前記トレイ収納部割当手段による割り当て結果に従い、試験後の部品をその試験結果に応じたトレイ収納部のトレイに収納すべく前記ヘッドを制御することを特徴とする部品試験装置。
【請求項２】
請求項１に記載の部品試験装置において、
前記受渡し位置として前記特定方向と直交する方向に互いに離間する一対の受渡し位置が定められ、これら受渡し位置の間の位置に前記撮像手段が配置されており、
前記ヘッドは、これら受渡し位置と前記撮像手段と前記各トレイ収納部とにわたる範囲を移動可能に設けられており、
前記トレイ収納領域における複数のトレイ収納部は、未試験部品収納用の２つのトレイ収納部を含んでおり、前記搬送経路長が最も短くなる位置に試験済み部品収納用のトレイ収納部が位置し、その両側に未試験部品収納用のトレイ収納部がそれぞれ位置するようにそれらの配置が定められていることを特徴とする部品試験装置。
【請求項３】
請求項２に記載の部品試験装置において、
前記各受渡し位置をそれぞれ第１受渡し位置としたときに、前記特定方向と直交する方向に離間する位置であって前記テストヘッドの両側の位置にそれぞれ第２受渡し位置が定められ、
前記各第２受渡し位置と前記テストヘッドとの間で試験前後の部品を搬送するテストロボットと、
前記特定方向と直交する方向において前記テストヘッドの一方側に位置する前記第１、第２受渡し位置の間で試験前後の部品を搬送する第１シャトルロボット及び他方側に位置する前記第１、第２受渡し位置の間で試験前後の部品を搬送する第２シャトルロボットと、を備えていることを特徴とする部品試験装置。
【請求項４】
トレイ収納領域に設けられた複数のトレイ収納部にトレイを配設するとともに、部品の試験を行うテストヘッドと、試験後の部品の受渡し位置から前記トレイ収納部に部品を搬送する移動可能な部品保持用のヘッドとを備え、前記テストヘッドによる試験後の部品をその試験結果に応じて複数の集団に分類して各集団別に異なるトレイ収納部のトレイに収納する部品試験装置であって、
前記部品保持用のヘッドの移動範囲内に配置される部品認識用の撮像手段と、
試験済みの部品を前記受渡し位置で保持して前記撮像手段による部品の撮像位置を経由してから前記トレイ収納部のトレイに搬送すべく前記ヘッドを制御する制御手段と、
試験後の部品をトレイに収納するまでに要する時間もしくはこの時間に関連する要素を判断要素として含む所定の判断基準に基づいて各トレイ収納部に優先順位を定める優先順位設定手段と、
予め設定された所定数の部品の試験を行う先行試験の試験結果及び前記撮像手段による部品認識結果に基づき当該各結果により分類される各集団の部品数を調べ、部品数の多い集団から順に優先順位の高い位置のトレイ収納部を割り当てるトレイ収納部割当手段と、を備え、
前記トレイ収納部割当手段は、前記先行試験の試験結果により分類される集団として、前記試験結果及び前記部品認識結果の双方に合格した合格部品、前記試験結果により異常が認められた第１不合格部品及び前記部品認識結果により異常が認められた第２不合格部品の部品数をそれぞれ調べ、当該部品数に基づきトレイ収納部の割り当てを行い、
前記制御手段は、前記トレイ収納部割当手段による割り当て結果に従い試験後の部品をその試験結果及び前記部品認識結果に応じたトレイ収納部のトレイに収納すべく前記ヘッドを制御することを特徴とする部品試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＩＣチップ等の電子部品を試験する部品試験装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置などの製造過程においては、最終的に製造されたＩＣチップ等の電子部品に対して各種試験を施す必要があるが、そのような試験を自動的に行う装置として、従来、特開平１１−３３３７７５号公報に開示されるような装置がある。
【０００３】
この装置は、トレイに収納された試験前のＩＣチップを部品吸着用のノズル部材を有する第１搬送装置により吸着して第１バッファ装置に載せ、第１バッファ装置によりテストヘッド近傍まで搬送した後、部品吸着用のノズル部材を有する第２搬送装置により第１バッファ装置上のＩＣチップを吸着してテストヘッド上のソケットに移載して試験を行う。そして試験後は、第２搬送装置によりテストヘッドから第２バッファ装置にＩＣチップを移載してトレイ載置部まで搬送した後、第１搬送装置によって試験結果に応じた所定のトレイ上にＩＣチップを移し替えるように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような装置では、試験後の部品をその結果に応じたトレイに振り分けながら収納するため、一連の試験動作を効率的に行うには、部品の収納が効率良く行われ得るようにトレイのレイアウトを合理的に設定するのが好ましい。
【０００５】
この点につき、従来のこの種の装置では、トレイ載置部におけるトレイレイアウトは固定的に定められており、試験内容やロット変更等、試験条件が変更になった場合でも、基本的にはレイアウトが変更されることはなかった。例えば、部品を合格品と不合格品とに選別する場合、トレイの配置は固定的に定められており、試験条件の変更に応じてレイアウトが変更されることはない。
【０００６】
しかし、試験内容やロット変更等、試験条件が変更になると、試験結果に応じて分類される集団の数やその比率も異なってくるので、トレイへの部品の収納をより効率的に行うには、この点に改善の余地があると考えられる。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、試験後の部品をより効率的にトレイに収納できるようにし、これを通じて部品試験動作のより一層の効率化を図ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の部品試験装置は、特定方向に並ぶトレイ収納領域及びテスト領域と、部品収納用のトレイがそれぞれ載置される複数のトレイ収納部であって未試験部品収納用のトレイ収納部と試験済み部品収納用の２つのトレイ収納部とを含みかつ前記特定方向と直交する方向に並ぶように前記トレイ収納領域に配置される複数のトレイ収納部と、前記テスト領域に設けられて部品に試験を行うテストヘッドと、前記特定方向における前記テストヘッドと前記トレイ収納部の配列位置との間の位置に配置される部品認識用の撮像手段と、この撮像手段から前記特定方向と直交する方向に離間する位置であって前記テストヘッドによる試験前後の部品を載置するための所定の受渡し位置と前記撮像手段と前記各トレイ収納部とにわたる範囲を移動可能な部品保持用のヘッドと、試験済みの部品を前記受渡し位置で保持して前記撮像手段による部品の撮像位置を経由してから前記トレイ収納部のトレイに搬送するとともに、前記トレイ収納部のトレイから未試験の部品を保持して前記受渡し位置に搬送すべく前記ヘッドを制御する制御手段と、予め設定された所定数の部品の試験を行う先行試験の試験結果に基づき合格部品及び不合格部品の部品数をそれぞれ調べ、その部品数に応じて試験済み部品をそれぞれ収納するためのトレイ収納部を割り当てるトレイ収納部割当手段と、を備え、前記トレイ収納領域における複数のトレイ収納部は、試験済みの部品を前記受渡し位置から搬送してトレイに収納するまでの部品の搬送経路長が最も短くなる位置から前記受渡し位置側に向かって試験済み部品収納用のトレイ収納部、未試験部品収納用のトレイ収納部及び試験済み部品収納用のトレイ収納部の順で並ぶようにそれらの配置が定められており、前記トレイ収納部割当手段は、合格部品及び不合格部品のうち部品数の多い方を収納するトレイ収納部として前記試験済み部品収納用の２つのトレイ収納部のうち前記搬送経路長が短くなる側のトレイ収納部を割り当てる一方、部品数の少ない方を収納するトレイ収納部として前記搬送経路長が長くなる側のトレイ収納部を割り当て、前記制御手段は、前記トレイ収納部割当手段による割り当て結果に従い、試験後の部品をその試験結果に応じたトレイ収納部のトレイに収納すべく前記ヘッドを制御するものである。
また、この部品試験装置において、前記受渡し位置として前記特定方向と直交する方向に互いに離間する一対の受渡し位置が定められ、これら受渡し位置の間の位置に前記撮像手段が配置されており、前記ヘッドは、これら受渡し位置と前記撮像手段と前記各トレイ収納部とにわたる範囲を移動可能に設けられており、前記トレイ収納領域における複数のトレイ収納部は、未試験部品収納用の２つのトレイ収納部を含んでおり、前記搬送経路長が最も短くなる位置に試験済み部品収納用のトレイ収納部が位置し、その両側に未試験部品収納用のトレイ収納部がそれぞれ位置するようにそれらの配置が定められているものである。
さらに、この部品試験装置において、前記各受渡し位置をそれぞれ第１受渡し位置としたときに、前記特定方向と直交する方向に離間する位置であって前記テストヘッドの両側の位置にそれぞれ第２受渡し位置が定められ、前記各第２受渡し位置と前記テストヘッドとの間で試験前後の部品を搬送するテストロボットと、前記特定方向と直交する方向において前記テストヘッドの一方側に位置する前記第１、第２受渡し位置の間で試験前後の部品を搬送する第１シャトルロボット及び他方側に位置する前記第１、第２受渡し位置の間で試験前後の部品を搬送する第２シャトルロボットと、を備えているものである。
これらの部品試験装置によると、試験後の部品はヘッドに保持され、受渡し位置から前記撮像手段による部品の撮像位置を経由して試験済み部品収納用のトレイ収納部へ搬送されてトレイに収納される。この際、トレイ収納領域のトレイ収納部は、試験済みの部品を受渡し位置から搬送してトレイに収納するまでの部品の搬送経路長が最も短くなる位置から順に試験済み部品収納用のトレイ収納部、未試験部品収納用のトレイ収納部及び試験済み部品収納用のトレイ収納部が並ぶようにそれらの配置が定められている。そして、先行試験の試験結果に応じて分類した複数の集団のうち部品数の多い集団が、前記搬送経路長が短くなる側のトレイ収納部に収納される一方、部品数の少ない集団が、前記搬送経路長が長くなる側のトレイ収納部に収納される。これにより試験後の部品を分類して別個のトレイ収納部のトレイに収納する作業が効率良く行われる。
【０００９】
また、本発明の別の部品試験装置は、トレイ収納領域に設けられた複数のトレイ収納部にトレイを配設するとともに、部品の試験を行うテストヘッドと、試験後の部品の受渡し位置から前記トレイ収納部に部品を搬送する移動可能な部品保持用のヘッドとを備え、前記テストヘッドによる試験後の部品をその試験結果に応じて複数の集団に分類して各集団別に異なるトレイ収納部のトレイに収納する部品試験装置であって、前記部品保持用のヘッドの移動範囲内に配置される部品認識用の撮像手段と、試験済みの部品を前記受渡し位置で保持して前記撮像手段による部品の撮像位置を経由してから前記トレイ収納部のトレイに搬送すべく前記ヘッドを制御する制御手段と、試験後の部品をトレイに収納するまでに要する時間もしくはこの時間に関連する要素を判断要素として含む所定の判断基準に基づいて各トレイ収納部に優先順位を定める優先順位設定手段と、予め設定された所定数の部品の試験を行う先行試験の試験結果及び前記撮像手段による部品認識結果に基づき分類される各集団の部品数を調べ、部品数の多い集団から順に優先順位の高い位置のトレイ収納部を割り当てるトレイ収納部割当手段と、を備え、前記トレイ収納部割当手段は、前記先行試験の試験結果により分類される集団として、前記試験結果及び前記部品認識結果の双方に合格した合格部品、前記試験結果により異常が認められた第１不合格部品及び前記部品認識結果により異常が認められた第２不合格部品の部品数をそれぞれ調べ、当該部品数に基づきトレイ収納部の割り当てを行い、前記制御手段は、前記トレイ収納部割当手段による割り当て結果に従い試験後の部品をその試験結果及び前記部品認識結果に応じたトレイ収納部のトレイに収納すべく前記ヘッドを制御するものである。
【００１０】
この部品試験装置によると、試験内容やロット等の試験条件の変更があった場合に、新たな試験条件での通常の試験動作に先立って上記先行試験が行われ、その先行試験と予め定められたトレイ収納部の優先順位とに基づき、試験後の部品を試験結果に応じて分類した複数の集団のうちで部品数の多い集団から順に優先順位の高い位置のトレイ収納部が割当てられる。これにより、部品数の多い集団の部品が優先順位の高いトレイ収納部（試験後の部品をトレイに収納するまでに要する時間が短い収納部）に収納されるようにトレイ収納部の割当が調整されることとなり、試験後の部品を分類して別個のトレイ収納部のトレイに収納する作業を最も効率良く行うことが可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。なお、図中には方向性を明確にするためにＸ軸、Ｙ軸を示している。
【００１４】
図１及び図２は、本発明に係る部品試験装置を概略的に示している。これらの図に示すように、部品試験装置１（以下、試験装置１と略す）は、部品の搬送及び試験中の部品保持（固定）という機械的な役割を担うハンドラ２と、このハンドラ２に組込まれる試験装置本体３とから構成されている。
【００１５】
試験装置本体３は、上面にテストヘッド４を備えた箱型の装置で、テストヘッド４に設けられたソケット（図示省略）に部品をセットして該部品の入力端子にテスト電流を供給しつつ部品の出力端子からの出力電流を受けることにより部品の品質を判断するように構成されている。
【００１６】
試験装置本体３は、前記ハンドラ２に対して脱着可能に構成されており、図示を省略するが、例えば試験装置本体３を専用の台車に載せた状態でハンドラ２の下側から所定の挿着位置に挿入し、テストヘッド４をハンドラ２の基台２ａに形成された開口部から後記テスト領域Ｔａに臨ませた状態で固定することによりハンドラ２に対して組付けられている。なお、テストヘッド４と試験装置本体３とは必ずしも一体である必要はなく、テストヘッド４のみをハンドラ２に組付け、その他の部分をハンドラ２から離間した位置に配置してテストヘッド４に対して電気ケーブル等で電気的に接続するようにしてもよい。
【００１７】
ハンドラ２は、同図に示すように、上部が側方に迫出した略箱型の装置で、トレイに収納された部品を取出して前記テストヘッド４に搬送し、さらに試験後の部品をその試験結果に応じて仕分けするように構成されている。以下、その構成について具体的に説明する。
【００１８】
ハンドラ２の基台２ａ上は、大きく分けて、トレイＴｒが収納されるトレイ収納領域Ｓａと、テストヘッド４等が配置されるテスト領域Ｔａの二つの領域に分けられている。
【００１９】
トレイ収納領域Ｓａには、Ｘ軸方向に複数のトレイ収納部が並設されており、当実施形態では、図２の左側から順に第１〜第５の５つのトレイ収納部１１〜１５が１列に設けられている。そして、第２トレイ収納部１２及び第４トレイ収納部１４に試験前（未検査）の部品を載せたトレイＴｒが、第１トレイ収納部１１に空のトレイＴｒが、第３トレイ収納部１３及び第５トレイ収納部１５に試験後の部品を載せたトレイＴｒが夫々収納されている。
【００２０】
とくに試験後の部品は合格品と不合格品の２つの集団に分けられ、これらに対して第３トレイ収納部１３及び第５トレイ収納部１５のうちのいずれか一方が合格品用、他方が不合格品用とされ、後に詳述する先行試験によりいずれが合格品用とされるかが設定された上で、その設定に従い、前記合格品と不合格品が別々にトレイ収納部１３，１５のトレイＴｒにそれぞれ載置されるようになっている。
【００２１】
なお、各トレイＴｒは何れも共通の構造を有しており、図示を省略するが、例えばその表面には複数の部品収納凹部が区画形成されており、ＩＣチップ等の部品が各部品収納凹部に収納されるように構成されている。
【００２２】
各トレイ収納部１１〜１５は、夫々昇降可能なテーブル上に複数のトレイＴｒを積み重ねた状態で収納するように構成されており、最上位のトレイＴｒのみを基台２ａ上に臨ませた状態で配置し、それ以外のトレイＴｒを基台下のスペースに収納するように構成されている。
【００２３】
具体的には、図３及び図４に示すように、各トレイ収納部１１〜１５には、上下方向（Ｚ軸方向）に延びるレール１７が設けられ、このレール１７にテーブル１６が移動可能に装着されている。また、サーボモータ１８により回転駆動されて前記レール１７と平行に延びるボールねじ軸１９が設けられ、このボールねじ軸１９がテーブル１６のナット部分１６ａに螺合装着されている。そして、テーブル１６上に複数のトレイＴｒが積み重ねられた状態で載置され、サーボモータ１８によるボールねじ軸１９の回転駆動に伴いテーブル１６が昇降することにより、テーブル１６上に積み重ねられているトレイＴｒの数に応じてその最上位のものが各開口部１１ａ〜１５ａを介して基台上に配置されるように構成されている。
【００２４】
また、ハンドラ２の側壁には、図１に示すように各トレイ収納部１１〜１５に対応して扉１１ｂ〜１５ｂが設けられており、これらの扉１１ｂ〜１５ｂを開くことにより各トレイ収納部１１〜１５に対してトレイＴｒを出し入れできるように構成されている。
【００２５】
トレイ収納領域Ｓａには、さらに図１及び図２に示すようにＰ＆Ｐロボット（Pick & Place Robot）２０が設けられている。
【００２６】
Ｐ＆Ｐロボット２０は、テストヘッド４による試験後の部品を試験結果に応じて選択的にいずれかのトレイ収納部のトレイに収納すべく、試験後の部品の受け取り位置（後記受渡し位置Ｐ１）と各トレイ収納部とにわたる範囲で移動可能となっている部品保持用のヘッド２３を有している。当実施形態ではこのヘッド２３によって第２又は第４トレイ収納部１２，１４のトレイＴｒから部品を取出して後述するシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂに受け渡すとともに、試験後の部品をシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂから受け取って第３トレイ収納部１３又は第５トレイ収納部１５のトレイＴｒに移載する。さらに第１トレイ収納部１１とその他のトレイ収納部１２〜１５との間でトレイＴｒを搬送するトレイ搬送機能も有している。
【００２７】
詳しく説明すると、前記基台２ａ上にはＹ軸方向に延びる一対の固定レール２１が設けられ、これら固定レール２１にヘッド支持部材２２が移動可能に装着されている。また、図示を省略するが、サーボモータにより回転駆動されて前記固定レール２１と平行に延びるボールねじ軸が基台２ａ上に設けられ、このボールねじ軸が前記支持部材２２に設けられたナット部材（図示省略）に螺合装着されている。さらに、詳しく図示していないが、前記支持部材２２にＸ軸方向に延びる固定レールが設けられてこの固定レールにヘッド２３が移動可能に装着されるとともに、サーボモータにより回転駆動されて前記固定レールと平行に延びるボールねじ軸が設けられ、このボールねじ軸がヘッド２３に設けられたナット部分に螺合装着されている。そして、前記各サーボモータによるボールねじ軸の回転駆動に応じて支持部材２２がＹ軸方向に、ヘッド２３がＸ軸方向に夫々移動することにより、ヘッド２３が前記トレイ収納部１１〜１５及びシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの後記部品受渡し位置Ｐ１を含む範囲で平面的に移動（Ｘ−Ｙ平面上を移動）し得るように構成されている。
【００２８】
ヘッド２３には、複数のノズル部材が搭載されており、当実施の形態では部品吸着用の一対のノズル部材２４ａ，２４ｂ（第１ノズル２４ａ，第２ノズル２４ｂ）とトレイ吸着用のノズル部材２５（トレイ用ノズル部材２５という）との合計３つのノズル部材が搭載されている。
【００２９】
部品吸着用の各ノズル部材２４ａ，２４ｂは、ヘッド２３に対して昇降及び回転（ノズル軸回りの回転）が可能となっており、図示を省略するがサーボモータを駆動源とする駆動機構により夫々作動するように構成されている。そして、第２トレイ収納部１２等のトレイＴｒ上、あるいはシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの後記テーブル３２の上方にヘッド２３が配置された状態で、各ノズル部材２４ａ，２４ｂの昇降動作に伴いトレイＴｒに対する部品の出し入れ等を行うように構成されている。なお、トレイＴｒへの部品の収納に際しては、このようなノズル昇降動作に加えて各ノズル部材２４ａ，２４ｂが回転することによりトレイＴｒに対して予め定められた方向で部品を収納し得るように構成されている。
【００３０】
トレイ用ノズル部材２５は、ヘッド２３に対して昇降動作のみが可能となっており、サーボモータを駆動源とする駆動機構により作動するように構成されている。そして、部品の取出しに伴い空になったトレイＴｒを吸着した状態で、ヘッド２３の移動に伴い第２及び第４トレイ収納部１２，１４から第１トレイ収納部１１にトレイＴｒを移送するとともに、必要に応じて第１トレイ収納部１１に収納されている空のトレイＴｒを吸着して第３又は第５のトレイ収納部１３，１５に移送するように構成されている。なお、トレイ用ノズル部材２５については、トレイＴｒを良好に吸着すべくその先端部（下端部）に例えば矩形板型の吸着パッドが組付けられることにより広い吸着面積が確保されている。
【００３１】
トレイ収納領域Ｓａには、さらに各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ１の間にＣＣＤエリアセンサからなる部品認識カメラ３４（撮像手段）が配設されている。このカメラ３４は、部品の吸着状態（吸着位置のずれ等）を画像の認識に基づいて調べるべく、Ｐ＆Ｐロボット２０の前記ヘッド２３に吸着されている部品を下側から撮像するもので、試験終了後の部品をトレイＴｒへの収納に先立って撮像するように構成されている。なお、該部品認識カメラ３４は、ヘッド２３の各ノズル部材２４ａ，２４ｂに吸着されている２つの部品を同時に撮像し得るように構成されている。
【００３２】
一方、テスト領域Ｔａには、前記テストヘッド４、一対のシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ（第１シャトルロボット３０Ａ，第２シャトルロボット３０Ｂ）及びテストロボット４０が配設されている。
【００３３】
テストヘッド４は、上述の通り基台２ａに形成された開口部からテスト領域Ｔａの略中央部分に露出した状態で配設されている。テストヘッド４の表面には、部品をセットするための複数のソケット（図示省略）が配設されており、当試験装置１においては２つのソケットがＸ軸方向に並んだ状態で設けられている。
【００３４】
各ソケットには、それぞれ部品（ＩＣチップ等）の各リードに対応する接触部（図示せず）が設けられており、各ソケットに部品を夫々位置決めすると、部品の各リードとこれに対応する接触部とが接触して該部品に対して導通試験や、入力電流に対する出力特性試験等の電気的試験が施されるように構成されている。
【００３５】
シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂは、トレイ収納領域Ｓａとテスト領域Ｔａとの間で部品を搬送しつつ前記Ｐ＆Ｐロボット２０およびテストロボット４０に対して部品の受渡しを行う装置で、図２に示すように夫々Ｙ軸方向に延びる固定レール３１と、サーボモータを駆動源とする駆動機構により駆動されて前記固定レール３１に沿って移動するテーブル３２とを有している。そして、第１トレイ収納部１１及び第５トレイ収納部１５の近傍に設定されたＰ＆Ｐロボット２０に対する部品受渡し位置Ｐ１（本発明の第１受渡し位置に相当する）と、テストヘッド４側方に設定されたテストロボット４０に対する部品受渡し位置Ｐ２（本発明の第２受渡し位置に相当する）との間で前記テーブル３２を固定レール３１に沿って往復移動させながら該テーブル３２により部品を搬送するように構成されている。
【００３６】
テーブル３２には、試験前の部品を載置するためのエリアと、試験後の部品を載置するエリアとが予め定められており、当実施形態では、図５に示すようにテーブル３２のうちトレイ収納領域Ｓａ側（同図では下側）が試験後の部品を載置する第１エリアａ１とされ、その反対側が試験前の部品を載置する第２エリアａ２と定められている。各エリアａ１，ａ２には、夫々一対の吸着パッド３３ａ，３３ｂがＸ軸方向に所定間隔で、具体的にはテストロボット４０の各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂに設けられる一対のヘッド本体４３ａ，４３ｂの最小ピッチ、あるいはそれ以上のピッチであって、かつＰ＆Ｐロボット２０の前記ヘッド２３のノズル部材２４ａ，２４ｂに対応する間隔で設けられおり、部品搬送時には、これらパッド３３ａ，３３ｂ上に部品が置かれて吸着された状態で搬送されるように構成されている。
【００３７】
なお、各シャトルロボット３０Ａ，３０ＢとＰ＆Ｐロボット２０及びテストロボット４０との部品の受渡しは、例えば、以下のようにして行われる。
【００３８】
まず、Ｐ＆Ｐロボット２０から各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂに試験前の部品を移載する際には、図６（ａ）に示すように部品受渡し位置Ｐ１の所定の位置にＰ＆Ｐロボット２０のノズル部材２４ａ，２４ｂ（ヘッド２３）が位置決めされ、ノズル部材２４ａ，２４ｂに第２エリアａ２が対応するようにテーブル３２が位置決めされ（この位置を第２ポジションという）、この状態でノズル部材２４ａ，２４ｂの昇降に伴いテーブル３２上に部品が移載される。一方、シャトルロボット３０Ａ（３０Ｂ）からＰ＆Ｐロボット２０に試験後の部品を移載する際には、図６（ｂ）に示すようにノズル部材２４ａ，２４ｂに第１エリアａ１が対応するようにテーブル３２が位置決めされ（この位置を第１ポジションという）、この状態でテーブル３２上の部品がノズル部材２４ａ，２４ｂの昇降に伴い吸着される。
【００３９】
また、テストロボット４０からシャトルロボット３０Ａ（３０Ｂ）に試験後の部品を移載する際には、図６（ｃ）に示すように部品受渡し位置Ｐ２の所定の位置にテストロボット４０の後記ノズル部材６０ａ，６０ｂ（ヘッド本体４３ａ，４３ｂ）がＸ軸方向に夫々位置決めされるとともに、各ノズル部材６０ａ，６０ｂに第１エリアａ１が対応するようにテーブル３２が位置決めされ（第１ポジション）、この状態（すなわち、前記両固定レール３１の内側（図５では右側）に位置する吸着パッド３３ｂとノズル部材６０ｂ、固定レール３１の外側（図５では左側）に位置する吸着パッド３３ａとノズル部材６０ａとが夫々一致する状態）でノズル部材６０ａ，６０ｂの昇降に伴ってテーブル３２上に部品が載置される。一方、シャトルロボット３０Ａ（３０Ｂ）からテストロボット４０に試験前の部品を移載する際には、図６（ｄ）に示すようにノズル部材６０ａ，６０ｂに第２エリアａ２が対応するようにテーブル３２が位置決めされ（第２ポジション）、この状態でノズル部材６０ａ，６０ｂの昇降に伴いテーブル３２上から部品が吸着されるようになっている。
【００４０】
テストロボット４０は、上述のように各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂによりトレイ収納領域Ｓａからテスト領域Ｔａに供給される部品をテストヘッド４に搬送（供給）して該試験の間テストヘッド４に対して部品を押圧した状態で保持（固定）し、試験後は、部品をそのままシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂに受け渡す（排出する）装置である。
【００４１】
このテストロボット４０は、シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂを跨ぐように基台２ａ上に設けられた高架２Ｂに沿って移動する一対の搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂ（第１搬送用ヘッド４２Ａ，第２搬送用ヘッド４２Ａ）を有しており、これら搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂに夫々搭載された一対のヘッド本体４３ａ，４３ｂ（第１ヘッド本体４３ａ，第２ヘッド本体４３ｂ）によりテストヘッド４に対して部品の供給及び排出を行うように構成されている。以下、図１，図２及び図７〜図９を参照しつつ搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂの構成について具体的に説明する。
【００４２】
各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂは、夫々、前記高架２Ｂ上に配設されたＸ軸方向の固定レール４５に沿って移動可能な一対の可動フレーム４６ａ，４６ｂ（第１可動フレーム４６ａ，第２可動フレーム４６ｂ）を有している。これらの可動フレーム４６ａ，４６ｂのうち第１可動フレーム４６ａにはサーボモータ４７が固定されており、このサーボモータ４７の出力軸にＸ軸方向に延びるボールねじ軸４８が一体的に連結されるとともに、このボールねじ軸４８が第２可動フレーム４６ｂに設けられたナット部分４９に螺合装着されている。また、サーボモータ５０により夫々回転駆動される前記固定レール４５と平行な一対のボールねじ軸５１が基台２ａに設けられ、これらボールねじ軸５１が搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂの各第１可動フレーム４６ａに設けられたナット部分５２に螺合装着されている。すなわち、サーボモータ５０によるボールねじ軸５１の回転駆動に伴い各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂが固定レール４５に沿って夫々Ｘ軸方向に移動するとともに、前記サーボモータ４７によるボールねじ軸４８の回転駆動に伴い、各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂにおいて、図９の二点鎖線に示すように第２可動フレーム４６ｂが第１可動フレーム４６ａに対して相対的にＸ軸方向に移動し得るように構成されている。
【００４３】
各可動フレーム４６ａ，４６ｂ上には、図８及び図９に示すようにＹ軸方向に延びる固定レール５４が夫々配設されている。各レール５４には、ヘッド支持部材５５が夫々移動可能に支持されており、これらヘッド支持部材５５の先端部（図８では左側端部）に前記ヘッド本体４３ａ，４３ｂが夫々組付けられている。
そして、各可動フレーム４６ａ，４６ｂに、サーボモータ５７により駆動される前記固定レール５４と平行なボールねじ軸５８が夫々固定台５６を介して支持され、これらボールねじ軸５８がヘッド支持部材５５に設けられたナット部分５９に夫々螺合装着されている。これにより各サーボモータ５７によるボールねじ軸５８の回転駆動に伴い各ヘッド本体４３ａ，４３ｂが可動フレーム４６ａ，４６ｂに対して夫々Ｙ軸方向に移動するように構成されている。
【００４４】
各ヘッド本体４３ａ，４３ｂには、図８に示すように部品吸着用のノズル部材６０ａ，６０ｂ（第１ノズル部材６０ａ，第２ノズル部材６０ｂ）が夫々設けられている。各ノズル部材６０ａ，６０ｂは、ヘッド本体４３ａ，４３ｂのフレームに対して昇降及び回転（ノズル軸回りの回転）が可能となっており、サーボモータを駆動源とする図外の駆動機構により駆動するように構成されている。
【００４５】
また、ヘッド本体４３ａ，４３ｂには、テストヘッド４への部品供給の際にソケットに付された基準マークを撮像するためのＣＣＤエリアセンサからなるソケット認識カメラ６２が搭載されている。
【００４６】
テスト領域Ｔａには、さらに前記シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ２とテストヘッド４との間に、夫々ＣＣＤエリアセンサからなる部品認識カメラ６４Ａ，６４Ｂが配設されている。これらのカメラ６４Ａ，６４Ｂは、各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂにより夫々吸着されている２つの部品をその下側から同時に撮像し得るように構成されており、図１０に示すように、ヘッド本体４３ａ，４３ｂにより各シャトルロボット３０Ａ（又は３０Ｂ）から部品が取り上げられた後、該ヘッド本体４３ａ，４３ｂの移動に伴い部品認識カメラ６４Ａ（又は６４Ｂ）上方に部品が配置されることにより部品を撮像するように構成されている。なお、部品受渡し位置Ｐ２、部品認識カメラ６４Ａ，６４Ｂ及びテストヘッド４は、Ｘ軸と平行な同一軸線上に配置されており、これにより搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂを夫々部品受渡し位置Ｐ２からテストヘッド４に亘って最短距離で移動させながらその途中で試験前の部品を撮像し得るように構成されている。
【００４７】
なお、ハンドラ２の上部には、図１に示すように防塵用のカバー２ｃが装着されており、テスト領域Ｔａ及びトレイ収納領域Ｓａを含む基台２ａ上の空間がこのカバー２ｃによって覆われている。
【００４８】
図１１は、試験装置１の制御系をブロック図で示している。この図に示すように、試験装置１は、論理演算を実行する周知のＣＰＵ７０ａと、そのＣＰＵ７０ａを制御する種々のプログラムなどを予め記憶するＲＯＭ７０ｂと、装置動作中に種々のデータを一時的に記憶するＲＡＭ７０ｃとを備えた制御部７０（制御手段）を備えている。
【００４９】
この制御部７０には、Ｉ／Ｏ部（図示せず）を介して試験装置本体３、部品認識カメラ３４，６４Ａ，６４Ｂ及びソケット認識カメラ６２が電気的に接続されるとともに、前記Ｐ＆Ｐロボット２０、テストロボット４０、シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの各コントローラ７１，７２，７３Ａ，７３Ｂが電気的に接続されている。また、各種情報を制御部７０に入出力するための操作部７５及び試験状況等の各種情報を報知するためのＣＲＴ７６等がこの制御部７０に電気的に接続されている。
【００５０】
図１２は、前記制御部７０の機能ブロック図である。この図に示すように制御部７０は、主制御手段７４（制御手段）と、部品良否判別手段７５と、優先順位設定手段７６と、トレイ収納部割当て手段７７とを含んでいる。
【００５１】
主制御手段７４は、予め記憶されているプログラムに従って後に詳述するような試験動作を実施すべく、Ｐ＆Ｐロボット２０等の各ロボットの動作を統括的に制御するものである。特に、試験後の部品をトレイに収納する際には、試験後の部品を試験結果に応じて複数の集団に分類して各集団別に異なるトレイ収納部のトレイに収納するようにＰ＆Ｐロボット２０を制御する。当実施形態では、部品良否判別手段７５による判別に基づいて試験後の部品を良品と不良品の２つの集団に分類し、選択的に第３トレイ収納部１３のトレイ又は第５トレイ収納部１５のトレイに収納するようにしている。
【００５２】
前記部品良否判別手段７５は、少なくともテストヘッド４による試験結果に基づいて部品の良否を判別し、望ましくはこの試験結果に加えて部品認識カメラ３４による撮像に基づく部品認識結果によっても部品の良否を判別する。つまり、テストヘッド４による試験結果が不良のものと、この試験結果が良であっても部品認識カメラ３４による撮像に基づく部品認識でリードの曲がり、断裂等の不良が見出されたものとは不良品とし、テストヘッド４による試験結果及び部品認識カメラ３４による撮像に基づく部品認識結果がともに良のものは良品とする。
【００５３】
優先順位設定手段７６は、試験後の部品をトレイに収納するまでに要する時間もしくはこの時間に関連する要素を判断要素として含む所定の判断基準に基づいて各トレイ収納部に優先順位を予め定めておくものであり、例えば試験後の部品がトレイに収納されるまでの部品搬送手段による部品搬送経路の長さを判断要素とし、複数のトレイ収納部のうちで部品搬送経路が短いものほど優先順位を高くするように設定する。当実施形態では、Ｐ＆Ｐロボットのヘッドが受け渡し位置で試験後の部品を受け取ってから部品認識カメラ３４の撮像位置まで移動して撮像が行なわれた後にトレイ収納部へ移動するようになっているので、前記優先順位設定手段は、受け渡し位置から部品認識カメラ３４を経てトレイ収納部に至るまでの部品搬送経路の長さを判断要素とする。つまり、部品認識カメラ３４に近いものほど優先順位を高くし、図示の例では部品認識カメラ３４が第３トレイ収納部１３に近い位置にあるので、トレイ収納部１３，１５のうち第３トレイ収納部１３の方が優先順位が高くされている。
【００５４】
トレイ収納部割当手段７７は、後に詳述するように、設定された所定数の部品についての先行試験を実施し、その試験結果に応じ、分類される各集団（合格品の集団と不合格品の集団）の部品数を調べ、部品数の多い集団から順に優先順位の高い位置のトレイ収納部を割り当てるようにしている。
【００５５】
そして、このような先行試験に基づくトレイ収納部の割り当てが行われた後の通常の部品試験動作では、この割り当てに従い試験結果に応じたトレイ収納部のトレイに収納すべく、前記主制御手段によるＰ＆Ｐロボット２０等の制御が行われる。
【００５６】
次に、前記制御部７０の制御に基づく試験装置１の動作について説明することにする。
【００５７】
まず、通常の部品試験動作について説明する前に、トレイ収納部割当てのための先行試験の制御について図１３のフローチャートを用いて説明する。この先行試験は、試験内容やロット等の試験条件の変更があった場合に、新たな試験条件での試験の際に、最初の所定数分について行われるものである。
【００５８】
まず、ステップＳ１で、第３トレイ収納部１３が合格品（Pass）用、第５トレイ収納部１５が不合格品（Fail）用と仮設定され、続いてステップＳ２で試験動作が行われる。この試験動作は、後に詳述するような図１４のタイミングチャートに示す通常の部品試験動作と同様であり、試験後の部品はシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂでトレイ収納領域Ｓａ側に移送されてから、Ｐ＆Ｐロボット２０に受け渡され、Ｐ＆Ｐロボット２０のヘッド２３が部品認識カメラ３４上に移動してこのカメラによる撮像とそれに基づく部品吸着状態の認識が行われてから、トレイ収納部上にヘッドが移動してトレイに部品が収納されるが、この際、ステップＳ１での仮設定に従って合格品は第３トレイ収納部１３のトレイに収納され、不合格品は第５トレイ収納部１５のトレイに収納される。
【００５９】
そして、ステップＳ３で、合格品と不合格品の比率を見極めるのに適当な所定数の部品の試験が終了したか否かが判定され、所定数に達していなければ試験動作（ステップＳ２）が繰り返される。
【００６０】
所定数の部品の試験が終了したときは、ステップＳ４で合格品（Pass）と不合格品（Fail）のどちらが多いかが比較、判定される。そして、前述の優先順位設定手段により予め設定された優先順位とステップＳ４での判定結果とに応じ、合格品と不合格品とのうちで部品数の多い方の集団に優先順位の高いトレイ収納部が割り当てられる。具体的には、当実施形態ではトレイ収納部１３，１５のうちで第３トレイ収納部１３の方が優先順位が高いため、部品数の多い方の集団に第３トレイ収納部１３が割り当てられる。
【００６１】
すなわち、合格品の方が不合格品よりも多い場合は仮設定（ステップＳ１での設定）の内容のままで本設定される（ステップＳ５）。一方、合格品よりも不合格品の方が多い場合は、仮設定とは逆に第３トレイ収納部１３が不合格品用、第５トレイ収納部１５が合格品用と本設定される（ステップＳ６）。さらにこの場合は、仮設定に従って既にトレイ収納部１３，１５に収納されている部品の載せ替えが行われる（ステップＳ７）。ステップＳ５又はステップＳ６，Ｓ７の処理が済めば、先行試験動作が終了する。
【００６２】
次に、試験装置１における具体的な部品試験動作について図１４のタイミングチャートに基づいて説明することにする。
【００６３】
なお、このタイミングチャートは試験動作中の特定の時点（ｔ０時点）からの動作を示しており、該ｔ０時点における各ロボット２０，３０Ａ，３０Ｂ，４０（搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂ）の状態は以下の通りである。
【００６４】
・Ｐ＆Ｐロボット２０  ；試験後の部品をトレイＴｒに収納すべくヘッド２３が移動中の状態にある。つまり、ヘッド２３が第１シャトルロボット３０Ａの部品受渡し位置Ｐ１から、部品認識カメラ３４の上方を通過して第３トレイ収納部１３上又は第５トレイ収納部１５上に向って移動中の状態になる。なお、部品の吸着状態を調べるための処理、すなわち認識カメラ３４による部品の撮像は終了している。
【００６５】
・第１シャトルロボット３０Ａ  ；次回第１搬送用ヘッド４２Ａに供給する部品をテーブル３２上に保持した状態で部品受渡し位置Ｐ１に待機した状態にある。
【００６６】
・第１搬送用ヘッド４２Ａ  ；次に試験を行う部品を各ヘッド本体４３ａ，４３ｂにより吸着し、かつ各部品を部品認識カメラ６４Ａ上方に配置（待機）した状態、すなわち部品認識カメラ６４Ａによる部品の撮像に基づき前記第１吸着誤差演算手段８２により各ノズル部材６０ａ，６０ｂに吸着されている部品の吸着誤差（ずれ）が求められた状態になる。
【００６７】
・第２シャトルロボット３０Ｂ  ；次に第２搬送用ヘッド４２Ｂに供給する部品をテーブル３２上に保持した状態で部品受渡し位置Ｐ１に待機した状態にある。
【００６８】
・第２搬送用ヘッド４２Ｂ  ；テストヘッド４において試験終了直後の状態にある。
【００６９】
以上のような状態下において、まず、第２シャトルロボット３０Ｂのテーブル３２が部品受渡し位置Ｐ２に移動するとともに（ｔ１時点）、第２搬送用ヘッド４２Ｂの各ノズル部材６０ａ，６０ｂが部品をソケットに押圧する状態から該部品を吸着する状態に切替り、該部品を吸着したまま上昇し、上昇が完了すると試験後の部品を受け渡すべく第２搬送用ヘッド４２Ｂが第２シャトルロボット３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ２に移動を開始する（ｔ３時点）。この際、第２搬送用ヘッド４２Ｂの各ヘッド本体４３ａ，４３ｂに吸着されている部品同士のピッチがテーブル３２における吸着パッド３３ａ，３３ｂのピッチ（Ｘ軸方向の間隔）と一致しない場合は、第２搬送用ヘッド４２Ｂの移動中にヘッド本体４３ａ，４３ｂの間隔が両ソケット４ａ，４ｂの間のピッチに一致するように第２搬送用ヘッド４２Ｂが駆動制御される。
【００７０】
部品受渡し位置Ｐ２に第２搬送用ヘッド４２Ｂが到達すると（ｔ７時点）、まず第２搬送用ヘッド４２Ｂから第２シャトルロボット３０Ｂのテーブル３２上に試験後の部品が移載され、次いで、該テーブル３２に予め載置されている次の部品（試験前の部品）が第２ロボット本体４２Ｂに受け渡される。詳しくは、第２シャトルロボット３０Ｂのテーブル３２がまず部品受渡し位置Ｐ２において第１ポジション（図６（ｃ）参照）に位置決めされ、各ノズル部材６０ａ，６０ｂの昇降に伴いテーブル３２上の第１エリアａ１に部品が移載される（ｔ９時点）。
その後、テーブル３２が第２ポジション（図６（ｄ）参照）に位置決めされ、テーブル上の第２エリアａ２に保持されている部品が各ノズル部材６０ａ，６０ｂの昇降に伴い吸着される（ｔ１２時点）。
【００７１】
第２搬送用ヘッド４２Ｂと第２シャトルロボット３０Ｂとの間での部品の受渡しが完了すると、第２搬送用ヘッド４２Ｂの移動に伴い各部品が部品認識カメラ６４Ｂ上に配置されて（ｔ１８時点）、該部品の撮像に基づき吸着状態を調べるための処理が行われ、この処理が完了するとテストヘッド４への搬送待機状態となる。
【００７２】
一方、上記のように第２搬送用ヘッド４２Ｂが部品受渡し位置Ｐ２に移動すると、これと同じタイミングで第１搬送用ヘッド４２Ａが次の部品の試験を行うべくテストヘッド４に移動を開始する（ｔ３時点）。そして、第１搬送用ヘッド４２Ａがテストヘッド４に到達すると（ｔ５時点）、各ノズル部材６０ａ，６０ｂが下降し、この下降に伴い各ノズル部材６０ａ，６０ｂに吸着されている部品がテストヘッド４の各ソケット４ａ，４ｂに夫々同時に押し付けられた状態で位置決めされ、これにより該部品の試験が開始される（ｔ８時点）。
【００７３】
テストヘッド４に位置決めされている部品の試験が終了すると（ｔ２０時点）、各ノズル部材６０ａ，６０ｂが上昇して部品がソケット４ａ，４ｂから取り外され（ｔ２３時点）、さらに第１搬送用ヘッド４２Ａが移動して該試験後の部品が第１シャトルロボット３０Ａとの部品受渡し位置Ｐ２に搬送される（ｔ２５時点）。そして、上述した第２搬送用ヘッド４２Ｂと第２シャトルロボット３０Ｂとの部品受け渡し動作と同様にして、第１搬送用ヘッド４２Ａと第１シャトルロボット３０Ａとの間で部品の受け渡しが行われる。
【００７４】
また、部品受渡し位置Ｐ２への第１搬送用ヘッド４２Ａの移動開始と同じタイミングで第２搬送用ヘッド４２Ｂがテストヘッド４に移動し（ｔ２３時点）、第２搬送用ヘッド４２Ｂの各ヘッド本体４３ａ，４３ｂに吸着されている次の部品がテストヘッド４に押し付けられた状態で位置決めされることとなる（ｔ２６時点）。
【００７５】
一方、Ｐ＆Ｐロボット２０及び各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂについては、テストロボット４０の各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂに対する部品の受け渡しが連続的に行われ得るように以下のようにそれらの動作が制御される。
【００７６】
まず、第２シャトルロボット３０Ｂについては、第２搬送用ヘッド４２Ｂが部品受渡し位置Ｐ２に到達すると同時（ｔ７時点）に試験後の部品を受け取るべく、テーブル３２が部品受渡し位置Ｐ２に移動する。そして、上記の通りまずテーブル３２が第１ポジション（図６（ｃ）参照）に配置された状態で第２搬送用ヘッド４２Ｂからテーブル３２へ試験後の部品が受け渡され（ｔ９時点）、さらにテーブル３２が第２ポジション（図６（ｄ）参照）に配置されて（ｔ１０時点）試験前の部品がテーブル３２から第２搬送用ヘッド４２Ｂに受け渡される（ｔ１２時点）。
【００７７】
その後、テーブル３２が部品受渡し位置Ｐ１に移動を開始し（ｔ１２時点）、まず第２ポジション（図６（ｂ）参照）にテーブル３２が配置された状態で（ｔ１４時点）、Ｐ＆Ｐロボット２０からテーブル３２に次ぎの部品（試験前の部品）が受け渡される（ｔ１６時点）。次いで、テーブル３２が第１ポジション（図６（ａ）参照）に配置され（ｔ１７時点）、この状態でテーブル３２からＰ＆Ｐロボット２０に試験後の部品が受け渡され（ｔ１９時点）、その後、次回の部品受渡しまで部品受渡し位置Ｐ１において待機状態におかれる。なお、これは第２シャトルロボット３０Ｂの動作制御であるが、第１シャトルロボット３０Ａについても第１搬送用ヘッド４２Ａとの関係で同様にその動作が制御される。
【００７８】
一方、Ｐ＆Ｐロボット２０は、先に試験が終了した部品をその試験結果に応じたトレイＴｒに収納すべくその動作が制御される。この場合、前述の先行試験（図１３参照）で設定されたトレイ収納部の割当てに従って試験結果に応じた部品の収納が行われ、例えば先行試験で第３トレイ収納部１３が合格品用、第５トレイ収納部１５が不合格品用に本設定されている場合は、それに従って合格品、が第３トレイ収納部１３に、不合格品が第５トレイ収納部１５にそれぞれ収納される。
【００７９】
このとき、各ノズル部材２４ａ，２４ｂに吸着された２つの部品（試験後の部品）のうち少なくとも一つが合格品の場合には、まずヘッド２３が第３トレイ収納部１３上に配置され（ｔ２時点）、例えば第１ノズル部材２４ａの昇降に伴い該合格品がトレイＴｒに収納される（ｔ４時点）。次いで、第２ノズル部材２４ｂの吸着部品が合格品である場合にはヘッド２３が同トレイＴｒ上の次の部品収納部に僅かに移動した後、一方、不合格品である場合にはヘッド２３が第５トレイ収納部１５上に移動した後、第２ノズル部材２４ｂの昇降に伴い残りの部品がトレイＴｒに収納される（ｔ６時点）。こうして第２ノズル部材２４ｂの昇降に伴い部品がその試験結果に応じて第３トレイ収納部１３、あるいは第５トレイ収納部１５のトレイＴｒ内に収納される（ｔ８時点）。なお、両方の部品が不合格品の場合には、ヘッド２３が第５トレイ収納部１５上に配置され（ｔ２時点）、例えば第１ノズル部材２４ａの昇降に伴い最初の部品がトレイＴｒに収納され（ｔ４時点）、その後、ヘッド２３が同トレイＴｒ上の次の部品収納部上に配置されて（ｔ６時点）、第２ノズル部材２４ｂの昇降に伴い残りの部品がトレイＴｒ内に収納される（ｔ８時点）。
【００８０】
試験後の部品のトレイＴｒへの収納が完了すると、ヘッド２３が第２トレイ収納部１２又は第４トレイ収納部１４の上方に配置され（ｔ１１時点）、新たな部品がトレイＴｒから取出される（ｔ１３時点）。そして、ヘッド２３が第２シャトルロボット３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ１に移動、配置され、上述したように当該新たな部品が第２シャトルロボット３０Ｂに受け渡されるとともに（ｔ１６時点）、試験後の部品が第２シャトルロボット３０ＢからＰ＆Ｐロボット２０に受け渡される（ｔ１９時点）。
【００８１】
このような第２シャトルロボット３０Ｂに対する部品の受渡しが完了すると、ヘッド２３が部品認識カメラ３４上に配置され、試験後の部品の撮像に基づき該部品の吸着状態を調べるための処理が行われ、この処理が完了すると、該部品をトレイＴｒに収納すべくヘッド２３等の動作が制御されることとなる（ｔ２２時点）。なお、ｔ２２時点からｔ２７時点（試験後の次ぎの部品を収納すべく第３トレイ収納部１３等の上方にヘッド２３が位置決めされた時点）の間においては、試験結果に応じて部品が所定のトレイＴｒへ収納された後、第２トレイ収納部１２等から新たな部品が取出されて第１シャトルロボット３０Ａのテーブル３２に受け渡されるとともに、試験終了後の部品を受け取るための一連の動作が第１第１シャトルロボット３０Ａ及びＰ＆Ｐロボット２０により行われる。この一連の動作は、ｔ２時点からｔ１９時点の間の動作と同様なものである。また、ｔ２６時点からｔ２８時点（次の部品の試験が終了した時点）の間における第２搬送用ヘッド４２Ｂによる試験動作も、ｔ８時点からｔ２０時点の間における第１搬送用ヘッド４２Ａによる動作と同様にその動作が制御される。
【００８２】
このようにして以後、図１０に示すように、部品受渡し位置Ｐ２とテストヘッド４との間で１搬送用ヘッド４２Ａ（又は第２搬送用ヘッド４２Ｂ）を移動させつつテストヘッド４に２ずつ部品を搬送、位置決めして試験を行う一方で、これと並行して第２搬送用ヘッド４２Ｂ（又は第１搬送用ヘッド４２Ａ）と第２シャトルロボット３０Ｂ（又は第２シャトルロボット３０Ｂ）との間で部品の受け渡し（つまり試験後の部品と次回の部品との受け渡し）を行いながら、さらにこのような第１搬送用ヘッド４２Ａ及び第２搬送用ヘッド４２Ｂに対する部品の受け渡し等が連続的に行われるように各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ及びＰ＆Ｐロボット２０の動作が制御される。
【００８３】
なお、図１４のタイミングチャート中には示していないが、試験の進行に伴い第２トレイ収納部１２又は第４トレイ収納部１４のトレイＴｒ（最上位のトレイ）が空になると、ヘッド２３により該空トレイＴｒを吸着して第２トレイ収納部１２等から第１トレイ収納部１１に移載するようにＰ＆Ｐロボット２０の動作が制御される。これにより第２トレイ収納部１２等において次ぎのトレイＴｒからの部品の取出しが可能となる。同様に、第３トレイ収納部１３又は第５トレイ収納部１５において、トレイＴｒ（最上位のトレイ）に部品が満載状態となると、第１トレイ収納部１１に収納されている空トレイＴｒをヘッド２３により吸着して第３トレイ収納部１３等に移載するようにＰ＆Ｐロボット２０の動作が制御される。これにより第３トレイ収納部１３等において試験終了後の次ぎの部品をトレイＴｒに収納できるようになる。
【００８４】
以上説明したように、当実施形態の試験装置１では、試験結果に応じて合格品、不合格品が第３トレイ収納部１３と第５トレイ収納部１５とに分類して収納される。とくに、予めトレイ収納部の優先順位が定められた上で、前述の先行試験により、合格品、不合格品のうちで個数が多い方に優先順位の高いトレイ収納部が割当てられる。例えば合格品の方が多ければ、優先順位の高い第３トレイ収納部１３が合格品用、優先順位の低い第５トレイ収納部１５が不合格品用に割り当てられる。そして、先行試験に続いて行われる通常の部品試験動作では、先行試験による設定に従って、合格品は第３トレイ収納部１３に、不合格品は第５トレイ収納部１５にそれぞれ収納される。
【００８５】
また、その後に試験内容やロット等の試験条件の変更があると、改めて先行試験が行われ、その先行試験で今度は合格品より不合格品の方が多くなったとすると、第３トレイ収納部１３が不合格品、第５トレイ収納部１５が合格品用となるように設定が変更され、それに続く通常の部品試験動作ではこのように変更された設定に従って、合格品は第５トレイ収納部１５に、不合格品は第３トレイ収納部１３にそれぞれ収納されることとなる。
【００８６】
このようにして、常に、合格品、不合格品のうちで個数が多い方が優先順位の高いトレイ収納部（試験後の部品をトレイに収納するまでに要する時間が短い収納部）に収納されるように調整されるので、試験後の部品を試験結果に応じて分類して別個のトレイ収納部のトレイに収納する作業を最も効率良く行うことができて、この作業のタクトタイムを短縮することができ、延いては部品試験装置全体としての効率を向上することができることとなる。
【００８７】
ところで、以上説明した試験装置１は、本発明に係る部品試験装置の一の実施形態であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、以下のような構成を採用することもできる。
【００８８】
（１）先行試験の際の処理として、図１３に示す例では、第３トレイ収納部１３を合格品用、第５トレイ収納部１５を不合格品用と仮設定しているが、先行試験の段階ではこれらのトレイ収納部１３，１５以外の適当な場所を仮置き部１００（図２参照）とし、合格品と不合格品とをこの仮置き部１００に分別して仮置きしてもよい。
【００８９】
この場合の先行試験は図１５のように行われればよい。すなわち、ステップＳ１１，Ｓ１２で所定数の部品の試験が終了するまで試験動作（ただし試験後の部品は合格品と不合格品とを分別して仮置き部に置く）が繰り返され、所定数の部品の試験が終了するとステップＳ１３で合格品の個数と不合格品の個数とが比較される。そして、合格品の方が多い場合には、第３トレイ収納部１３が合格品用、第５トレイ収納部１５が不合格品用と設定され（ステップＳ１４）、不合格品の方が多い場合には、第３トレイ収納部１３が不合格品用、第５トレイ収納部１５が合格品用と設定される（ステップＳ１５）。さらにステップＳ１６で、先行試験で仮置き部に仮置きされていた部品が、ステップＳ１４又はステップＳ１５での設定に従って第３，第５トレイ収納部１３，１５に載せ替えられる。
【００９０】
（２）試験後の部品の収納に用いる収納部として前記実施形態では第３及び第５のトレイ収納部１３，１５を用いているが、これに限らず、例えば第４及び第５のトレイ収納部１４，１５を用いるようにしてもよく、この場合でも、試験後の部品をトレイに収納するまでに要する時間もしくはこの時間に関連する要素（例えば搬送経路の長さ）を判断要素として含む判断基準に基づいて各トレイ収納部に優先順位を予め定めておく一方、先行試験により合格品と不合格品の個数を比較して、多い方に優先順位の高い位置のトレイ収納部を割り当てるようにすることは前記実施形態と同様である。
【００９１】
（３）前記実施形態では試験後の部品を合格品と不合格品の２つの集団に分類しているが、例えばテストヘッド４による試験及び部品認識カメラ３４による部品認識に基づく判定の両方をパスした合格品と、テストヘッド４による試験で異常が認められた不合格品（第１不合格部品）と、部品認識カメラ３４による部品認識で異常が認められた不合格品（第２不合格部品）とに分類するというように、３つ以上の集団に分類し、それに対応して３つ以上のトレイ収納部を試験後の部品の収納に用いるようにしてもよい。この場合でも、前述のように試験後の部品を収納するトレイ収納部に優先順位を定めておくとともに、先行試験により各集団の部品数を調べ、部品数の高い集団から順に優先順位の高い位置のトレイ収納部を割り当てるようにすればよい。
【００９２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、試験後の部品をその試験結果に応じて合格部品と不合格部品とに分類して異なるトレイ収納部のトレイに収納するものであって、試験後の部品を搬送してトレイに収納するまでの部品の搬送経路長に基づき当該搬送経路長が最も短くなる位置から順に試験済み部品収納用のトレイ収納部、未試験部品収納用のトレイ収納部及び試験済み部品収納用のトレイ収納部が並ぶように各トレイ収納部の配置が予め定められ、先行試験により合格部品と不合格部品の部品数が調べられた上で、合格部品及び不合格部品のうち部品数の多い方を収納するトレイ収納部として前記試験済み部品収納用の２つのトレイ収納部のうち搬送経路長が短くなる側のトレイ収納部が割り当てられる一方、部品数の少ない方を収納するトレイ収納部として前記搬送経路長が長くなる側のトレイ収納部が割り当てられるため、試験後の部品をその試験結果に応じて効率良くトレイに収納することができ、これによって部品試験動作の効率を向上することできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る部品試験装置を示す斜視概略図である。
【図２】部品試験装置を示す平面図である。
【図３】トレイ収納領域のトレイ収納部の構成を示す断面図である。
【図４】トレイ収納部の構成を示す図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】シャトルロボットのテーブルの構成を示す平面略図である。
【図６】シャトルロボットの部品受渡し位置におけるテーブルの位置を示す図２のＢ矢指図である（（ａ），（ｃ）はテーブルが第１ポジションに配置された状態、（ｂ），（ｄ）はテーブルが第２ポジションに配置された状態を示す）。
【図７】テストロボットの具体的な構成を示す平面図である。
【図８】テストロボットの具体的な構成を示す図７のＣ−Ｃ断面図である。
【図９】テストロボットの具体的な構成を示す図８のＤ−Ｄ断面図である。
【図１０】テストヘッドの構成を示す模式的な平面図である。
【図１１】部品試験装置の制御系を示すブロック図である。
【図１２】制御部の機能構成を示すブロック図である。
【図１３】先行試験の制御を示すフローチャートである。
【図１４】部品試験装置の動作を示すタイミングチャートである。
【図１５】先行試験の制御の別の例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１  部品試験装置
２  ハンドラ
３  試験装置本体
４  テストヘッド
２０  Ｐ＆Ｐロボット
７０  制御部
７４  主制御手段（制御手段）
７５  部品良否判別手段
７６  優先順位設定手段
７７  トレイ収納部割当て手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
0004566482.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004566482.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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