(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバーを通って基材を搬送する装置であって、
前記基材を配置可能な基材キャリアーと、
前記基材キャリアーに設けられ、かつ、少なくとも前記基材キャリアーの１つの側部に沿って延びるガイドレールであって、前記基材が前記基材キャリアーによって搬送される際に、前記基材の搬送経路に沿って設けられたホルダーを有する磁気的な支持システムによって非接触で案内される、ガイドレールと、
を備え、
前記ガイドレールは、１つ以上のベアリングによって前記基材キャリアーから離間した位置に支持されて、前記基材キャリアーから距離を保たれるように、前記基材キャリアーに配置されていることを特徴とする装置。
【請求項２】
前記ガイドレールは前記基材キャリアーの長手方向の側部に沿って長手方向に配置されている、請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記基材キャリアーは、平らで、板状、円盤状、またはフレーム状の形状を有し、その主面に、平らな基材またはガラス基材を取り付け可能である、請求項１または２記載の装置。
【請求項４】
前記ガイドレールは、前記基材キャリアーの前記側部の中央に取り付けられている、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
前記１つ以上のベアリングは、前記ガイドレールの長手方向の中央に位置するベアリングである中央ベアリングを含み、該中央ベアリングは、固定または可動ベアリング、或いはピボットベアリングである、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
前記ピボットベアリングの回転軸は、前記基材キャリアーの面内に配置され、かつ、前記基材キャリアーの前記側部に直角に軸合わせされている、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記ピボットベアリングは、少なくとも１つの回転可能なプラスチック製のベアリングブロックまたはＰＥＥＫ製のブロック、またはステンレス鋼製の軸を含む、請求項５または６記載の装置。
【請求項８】
前記固定ベアリングは、前記ガイドレールと前記基材キャリアーとの間のねじ結合、または前記ガイドレールと前記基材キャリアーとの間の中間ブロックによって実現される、請求項５記載の装置。
【請求項９】
前記中央ベアリングは１つだけである、請求項５乃至８のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１０】
前記中央ベアリングの他に１つ以上の側方のベアリングが設けられている、請求項５乃至８のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１１】
前記側方のベアリングは可動ベアリングである、請求項１０記載の装置。
【請求項１２】
前記側方のベアリングは、前記基材キャリアーの長手方向の側部に平行な回転軸を有するボールベアリングまたはローラーベアリングであって、該ベアリングは、前記中央ベアリングと連携して動作する、請求項１０または１１記載の装置。
【請求項１３】
前記基材キャリアーは、前記ガイドレールが配置される側に、前記ベアリングに接続された基材キャリアー部分を備え、該基材キャリアー部分は、弾性材または弾性金属板でできており、前記ベアリングと共に板バネのように作用する、請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１４】
前記ガイドレールまたは前記基材キャリアーは動き制限部を有し、該動き制限部は、前記基材キャリアーに対する前記ガイドレールの相互の動きの範囲を制限する、請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１５】
前記動き制限部は、前記ベアリングとは別体部品として設計されるか、または前記ベアリングと一体化されている、請求項１４記載の装置。
【請求項１６】
前記動き制限部は、前記基材キャリアーおよび前記ガイドレールのうちの一方に配置されたピンと、前記基材キャリアーおよび前記ガイドレールのうちの他方に設けられた切り抜きまたは窪みを有する本体とを有し、該切り抜きまたは窪みは、前記ピンが前記切り抜きまたは窪みの中で制限された動きを実行可能であるよう、前記ピンと対向して前記ピンを囲むように設けられている、請求項１４または１５記載の装置。
【請求項１７】
前記動き制限部は、ボールベアリングまたはローラーベアリングのベアリング部分の動きを制限する２つのストップ要素で構成されている、請求項１４または１５記載の装置。
【請求項１８】
前記ガイドレールは、磁石であるか、または１つ以上の磁石を含む、請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空チャンバーを通って基材を運搬するための装置、特にその上またはそこに基材が配置される基材キャリアーを有するコーティングマシンであって、基材キャリアーが、この基材キャリアーの少なくとも一方の面に沿って延びる少なくとも１本のガイドレールを有する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
加工部材を真空機械内で運搬する装置が、CH 691 680 A5および DE 297 15 535 U1 から知られている。この装置には、特に、平らで大きな面の基材のための基材キャリアー、例えば窓ガラスを搬送するための平板状、円盤状、またはフレーム状の基材キャリアーが配置されている。この基材キャリアーは、その上側に永久磁石を有し、この永久磁石が、やはり磁石を持った磁気的にソフトなＵ形のホルダーと相互作用することで、基材キャリアーがその上側で非接触で運搬される。これらの文献の開示内容は、それを参照したことにより、本願の開示内容に完全に含まれる。
【０００３】
この解決法はすでに非常に良い結果を生じてはいるが、磁気レールを残りの基材キャリアー、例えばキャリアープレートやフレーム構造に設けることが、ある寸法の基材キャリアーを持った大きな面の基材の場合に、各部分、すなわち一方の磁気ガイドレールと他方のキャリアーが、特にコーティングマシンでよくあるような周期的な繰り返し加熱の場合に、異なって熱せられるために、基材キャリアーの部品が互いにこすられるという問題を引き起こす。さらに、運搬中、大きな面の基材や基材キャリアーの応力や歪を通じてキャリアー全体のねじれやプレートの曲がりなどの不確定な変形が誘引され、これらは磁気ガイドレールおよび基材キャリアーそれぞれのさらなる相対的な動きを生じ、通常は磁気ガイドレールを有する基材キャリアーが装置の中で非接触で案内される磁気ホルダー部分で摩擦接触したりうねったり飛び跳ねたりし、ある状況下では重大な磨耗が生じ、そこで実施されるコーティングの品質に不都合な影響を与える可能性がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
したがって、本発明の目的は、この問題を救済し、特に基材キャリアーをその上側で案内することによって真空チャンバーの汚染の減少を達成することである。同時に、提供される解決法は、簡単に実現でき、信頼性もあり使用上のコスト効率もよい。
【発明の効果】
【０００５】
この目的は、請求項１の構成を有する装置で達成される。有利な実施例は従属項の目的である。
【０００６】
本発明によれば、上記の目的は、基材キャリアー部のガイドレールを、１つまたは数個のベアリングによって基材キャリアーから離間して配置し、温度やプロセスの影響の結果ガイドレールと基材キャリアーの残り部分が異なった変形を起こした場合にも、互いの面の摩擦が無く、または単に僅かなあるいは限定された摩擦面のみを有し、磨砕が削減されるか防止されるようにすることによって達成される。さらにそのような解決法は基材キャリアーのねじれ、または変形、または一般的な動きを許す可能性を提供し、一方、同時に、運搬システムの磁気ホルダー内のガイドレールは変形しないで移動し、基材キャリアーまたはガイドレールと他の機械部品が衝突を起こすことなく、特に磁気的な運搬または支持システム内のガイドレールは対向レールと摩滅を生じることが無い。このように、磨砕は相当程度減少または全く防止される。さらに、この解決法は製造上の不正確さを相殺するか、または製造上の大きな許容誤差を可能にする。
【０００７】
大きな面の平面基材、特にディスプレー製品や建築用のガラス張りのような大きな面のガラス基材がその上、またはそこに設置される、好ましくは平らな、プレート状の、および／またはフレーム状の基材キャリアーにおいて、ガイドレールは、好ましくは基材キャリアーの一方の長手側面に沿って長手方向に配置され、ここが優位な点であるが、ガイドレールが好ましくは１個の中央のベアリングを介して基材キャリアーの中央部に取り付けられる。このことは、それ以上のベアリングの動きを心配することも、考慮する必要もないという利点を有する。
【０００８】
中央のベアリングを配置するに当って、他の要請事項に適合させるために広い範囲の中から対称中心軸の回りの配置領域を選択することが出来る。しかし、大きな中央の配置範囲が、ガイドレールの均一な、対称的な取り付けを可能にするので有利である。
【０００９】
中央のベアリングは固定または可動のベアリング、特にピボットベアリングでも良い。
固定ベアリングの場合、ガイドレールと基材キャリアーの残り部分とは堅固で剛直な結合がなされ、ガイドレールと基材キャリアーの残り部分の異なった動きまたは変形が、それらの部品の中で実質的に生じて消えるようになされる。この点に関して、固定ベアリングに結合している基材キャリアー部分、特には対応するフレーム部分が、上記の異なった変形が容易になるように弾性物質で出来ている場合に優位性を証明した。特に、板バネのように作用する厚さ約１２ｍｍのアルミ板のような“ソフトで”薄い金属板を設けることが優位性を証明した。
【００１０】
代替的に、中央のベアリングは可動式のベアリング、特にピボットベアリングでも良く、それはそのベアリングの特性のお陰で、基材キャリアーの残りの部分に対してガイドレールのある程度の動きを容易にする。そのような可動式のベアリングは好ましくはピボットベアリングであって、その回転軸は基材キャリアーの面内および／または基本的に基材キャリアーの側面、特に上の側面に直角に合わせられる。したがって、ガイドレールの端は基材キャリアーの残り部分の端、または基材キャリアープレートの端に対して回転可能である。
【００１１】
そのようなピボットベアリングは好ましくはプラスチック材、特にＰＥＥＫベアリングブロックの形に作られ、回転軸としてステンレス鋼の軸を有する。
好ましくは、中央のベアリングは唯一のベアリングである。明らかに、基材キャリアーの与えられる相応の寸法次第では、１つまたはそれ以上の側方のベアリング、特には可動式の形態のベアリングが必要になるかもしれない。
【００１２】
好ましくは、そのような側方の可動式ベアリングはボールベアリングまたはローラーベアリングとして形成され、ガイドレール端の動きが基材キャリアー面に直角、つまり回転軸が基材キャリアーの長手方向側面に平行に合わせられる。
【００１３】
好ましくは、ガイドレールと基材キャリアーの間に回転または動きを制限する装置が設けられ、その装置はガイドレールと基材キャリアーの相対の動きの制限を容易にする。このように、真空機械の中で基材キャリアーの運搬中に、個々の部材の過度な動きや変形が衝突に至らしめるのを防止する。
【００１４】
対応する回転または動きの制限装置は、別体部品として設計されるか、または対応するベアリング、特に側方の可動式ベアリングに一体化される。
本発明のさらなる優位点、特徴、構成は、以下の望ましい実施例の詳細な説明から明らかである。なお、図は純粋に概略的な形で示されている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１は、本発明による基材キャリアー１の部分側面図で、いくつかのフレーム部分２〜４で組み立てられており、中央に基材を載せることができる。
図１の上部で長い板の形をしたフレーム部分３は、その中央に固定ベアリング６を有し、その上方、基材キャリアー１の上の長手方向側面にガイドレール７が設けられ、ガイドレール７は１つまたはそれ以上の磁石（図示せず）を有している。ガイドレール７は固定ベアリング６によって上方のフレーム部分３から離間しているという事実によって、ガイドレール７と基材キャリアー１、または上方のフレーム部分３との間に隙間８が生じる。このことは、ガイドレール７と上方のフレーム部分３の間で磨砕が生じることなくガイドレール７の自由端が基材キャリアー１または上方のフレーム部分３に対して動くことが出来ることを意味する。特に、例えばアルミニウム板の形状をした上方のフレーム部分３の“ソフトな”設計が、真空チャンバーの負荷となったり、電気または機械装置や、そこで行われるコーティングプロセス、またはそこで行われるコーティングなどを邪魔する可能性のある粒状の磨砕を生じる可能性もなく、基材キャリアー１がガイドレール７に対してねじれることを可能にする。
【００１６】
固定ベアリング６の詳細を図２〜５に示す。
図２は、固定ベアリングの３次元図を示し、図３は平面図、および図４は図３の断面線Ａ−Ａに沿った断面図である。図５は固定ベアリング６の狭い側の側面図である。
【００１７】
図２〜５で判るように、固定ベアリング６はベアリング本体９を有し、そこには上方のフレーム部分３またはガイドレール７の対応するねじ穴または穴にねじ込まれるねじ１１および１０を収める穴または座繰りが設けられている。結果として、基材キャリアー１の上方のフレーム部分３とガイドレール７の間は、隙間を有しながら同時に固定された剛直な結合が達成される。
【００１８】
図６は本発明による基材キャリアー１００の別な実施例を示し、それは同じくフレーム部分１０２〜１０４で組み立てられ、基材１０５を載せることができる。
ガイドレール１０７は、今度は上方のフレーム部分１０３にガイドレール１０７の端に設けたさらなるベアリング１０９（側方の可動ベアリング）とともに、中央のベアリング１０６を介して、締結される。この実施例においてもガイドレール１０７はフレーム部分１０３から離間され、隙間１０８がこれらの部分間に形成され、ガイドレール１０７とフレーム部分１０３が互いに向かい合う方向へ動いたときの磨砕を充分に防止する。
【００１９】
基材キャリアー１００の実施例において、図７〜９の３次元図、平面図、および断面図に示すように、対向する２つの回転可能なベアリング本体１１２および１１５を有するピボットベアリング１０６が中央のベアリングとして設けられる。
【００２０】
２つの回転可能なベアリング本体１１２および１１５は、例えばプラスチック、特にこの場合、選択される可能性のあるＰＥＥＴのような、高真空条件に適したプラスチックで作られる。例えばステンレスで作られる軸１１４がベアリング本体１１２と１１５を回転結合するために設けられる。
【００２１】
２つのベアリング本体１１２および１１５は各々ねじ１１０または１１１を介してガイドレール１０７または基材キャリアー１００の上方のフレーム部分１０３に固定される。
特に図９から明らかなように、軸１１４には、例えば対応する横切る突起またはボルトねじとの相互作用で上部のベアリング部分に軸回転取り付け、または固定として機能する領域１１３を設けることが出来る。残りの部分に対しては、しかし、フレーム部分１０３から離間したガイドレール１０７のピボットベアリングが基材キャリアー１００に対するガイドレール１０７の低摩擦の回転またはねじれを容易にする。
【００２２】
図６から明らかなように、軸回転または中央のベアリング１０６に加えて、ガイドレール１０７の端がローラーベアリング１０９を介して取り付けられ、ガイドレール１０７の端の基材キャリアーの面に直角な動きを容易にしている。これに対応して、ローラーベアリング１０９の回転軸もまたガイドレール１０７、または基材キャリアー１００の長手方向側面と平行に配置される。
【００２３】
図１０は、ローラーベアリング１０９の３次元図で、ベアリングは２つのベアリング本体１１６および１１７を有し、各々はねじ結合部１１９および１１８を介して各々の部分、すなわち基材キャリアー１００のガイドレール１０７および上部のフレーム部分１０３に結合されている。ベアリング本体１１６と１１７の間には、回転可能なローラー１２０が設けられ、それは、特に図１２から明らかなように、心棒軸１２１の周囲に回転可能で、上部のベアリング本体１１７の下部のベアリング本体１１６に対する動きを容易にする。
【００２４】
図１０〜１３に示すように、下部のベアリング本体１１６は上部のベアリング本体１１７よりも幅が広く、バー１２２が下部のベアリング本体１１６にその長手方向側面に沿って設けられ、そのバーが上部のベアリング本体１１７の動きを制限している。
【００２５】
ローラーベアリングの代わりに、ボールベアリング等のような他のベアリングを設けても良い。
図１４は部分側面図で、図１および６の図に匹敵する、本発明の基材キャリアー２００の第３の実施例を示し、キャリアーはやはりフレーム部分２０２，２０３，２０４で構成され、それらの間に基材２０５を収容する。この実施例においても上部フレーム部分２０３の中央に図６の実施例と全く同じピボットベアリング２０６が設けられ、ガイドレール２０７が上部フレーム部分２０３から離れて回転可能に取り付けられることを容易にし、ここでもガイドレール２０７と基材キャリアー２００の上部フレーム部分２０３の間に隙間２０８が形成される。
【００２６】
基材キャリアー１００の実施例においてガイドレール１０７の端に設けられたローラーベアリング１０９の代わりに、図１４における基材キャリアー２００の実施例に示したガイドレール２０７端は、図１５〜１７に詳細に示す移動制限装置２０９が設けられている。図１５は移動制限装置２０９の３次元図であり、図１６および１７は平面図（図１６）および図１６の断面線Ａ−Ａに沿った断面図（図１７）である。
【００２７】
移動制限装置２０９は、互いに離れている２つの制限体２１２および２１３を有し、各々はねじ結合部２１０および２１１を介してガイドレール２０７および上部フレーム部分２０３に配置される。基材キャリアー構成要素での配置条件において、２つの制限体２１２および２１３は、お互いに対して接触することが不可能なように２つの制限体２１２および２１３の間に隙間を形成する。
【００２８】
特に図１７から明らかなように、制限体２１３の中には円筒の切り抜き２１５が設けられ、上部の制限体２１２を通して、ねじ切りされたピンを有するねじ２１４が突出する。そのようなねじ構造の代わりに、他のねじ設計、例えば制限体２１２に一体のねじ設計で設けられても良いし、または対応するようなボルトまたは同様のものが考慮されても良い。基本的な観点は、単にねじピンが切り抜き２１５によってその自由移動が制限されることであって、ねじ２１４はある程度の移動の後、下部の制限体２１３に当たり、ガイドレール２０７と上部フレーム部分２０３の相対的な動きを制限する。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第１の基材キャリアーの側面図である。
【図２】図１の基材キャリアーのガイドレールのベアリングの３次元図である。
【図３】図２のベアリングの平面図である。
【図４】図３の断面線Ａ−Ａに沿った断面図である。
【図５】図２〜４のベアリングの側面図である。
【図６】別の基材キャリアーの部分側面図である。
【図７】図６の基材キャリアーのピボットベアリングの３次元図である。
【図８】図７のピボットベアリングの平面図である。
【図９】図８の断面線Ａ−Ａに沿った断面図である。
【図１０】図６の基材キャリアーのローラーベアリングの３次元図である。
【図１１】図１０のベアリングの平面図である。
【図１２】図１１のローラーベアリングの断面線Ａ−Ａに沿った断面図である。
【図１３】図１０〜１２のローラーベアリングの側面図である。
【図１４】別の基材キャリアーの部分側面図である。
【図１５】図１４の基材キャリアーの動き制限装置の３次元図である。
【図１６】図１５の動き制限装置の平面図である。
【図１７】図１６の動き制限装置の断面線Ａ−Ａに沿った断面図である。
【図１】
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【図２】
0004583396.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0004583396.tif 000007
【図７】
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【図８】
0004583396.tif 000009
【図９】
0004583396.tif 000010
【図１０】
0004583396.tif 000011
【図１１】
0004583396.tif 000012
【図１２】
0004583396.tif 000013
【図１３】
0004583396.tif 000014
【図１４】
0004583396.tif 000015
【図１５】
0004583396.tif 000016
【図１６】
0004583396.tif 000017
【図１７】
0004583396.tif 000018