(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動装置により回転駆動される駆動プーリと、
回転自在に支持された従動プーリと、
前記駆動プーリと、前記従動プーリとの間に掛け渡された無端ベルトと、
２本以上のガイドレールと、前記無端ベルトに接続され、かつ前記ガイドレールに沿って移動可能な主軸受とを備えた案内軸受装置と、
前記ガイドレールと同じ本数及び形状のカウンタガイドレールと、前記無端ベルトに対し、前記主軸受が取り付けられた側とは前記両プーリを挟んで反対側において接続され、かつ前記カウンタガイドレールに沿って移動可能な、前記主軸受と同じ質量のカウンタ軸受とを備えたカウンタ軸受装置と、を有し、
前記無端ベルトと、前記主軸受及び前記カウンタ軸受とは板ばねを介して連結されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記主軸受に接続される前記無端ベルトの固定位置は、前記主軸受の軸心から前記案内軸受装置の移動可能な部分と被搬送物とを合わせた全体の重心の位置に近づけてオフセットしていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば製造装置等の直線案内軸受装置等に用いられると好適なアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば製造装置などにおいては、ワークのごとき物体（被搬送物）を駆動するために直線案内軸受装置が用いられている。図７（ａ）は、従来技術に係る直線案内軸受装置１００を示す斜視図であり、図７（ｂ）は、かかる構成をVIIB−VIIB線で切断して矢印方向に見た図である。
【０００３】
ベース１０１の両端上には、レール支持台１０２，１０３がねじ止めされている。レール支持台１０２，１０３に掛け渡されるようにして、断面が矩形状のガイドレール１０４が配置されている。レール支持台１０２，１０３の側方において、ベース１０１上には、断面がコ字状のモータ支持台１０５とプーリ支持台１０６とが配置されている。
【０００４】
モータ支持台１０５には、モータ１０８が回転軸（不図示）を下方に突出させた状態で取り付けられている。その回転軸には、歯付きの駆動プーリ１０９が取り付けられている。プーリ支持台１０６には、歯付きの従動プーリ１１０ａを回転自在に支持するプーリハウジング１１０が取り付けられている。駆動プーリ１０９と従動プーリ１１０ａとの間には、ガイドレール１０４に沿う方向に、歯付きベルト（無端ベルト）１１１が掛け渡されている。なお、本明細書で「無端ベルト」とは、もともと無端状のものに加え、所望の長さの有端のベルトの両端を結合し、無端状としたものも含むものとする。
【０００５】
図７（ｂ）に示すように、歯付きベルト１１１の一部は、固定具１２１により空気軸受ユニット１２０に取り付けられている。ワーク（不図示）などが取り付けられた空気軸受ユニット１２０は、４枚の矩形板１２２〜１２５を、ガイドレール１０４の周囲に上下左右に組み合わせ、ガイドレール１０４に沿って移動自在となっている。矩形板１２２〜１２５の内方には、ポケット１２２ａ〜１２５ａが設けられ、不図示の空気源から供給された圧縮空気によって、ガイドレール１０４に対しガイド板１２２〜１２５がわずかに離隔するようになり、殆ど摩擦なく移動できるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
かかる従来技術の直線案内軸受装置によれば、軽量且つ簡素な構成を有し、低コストであるという利点がある。ところで、半導体製造装置などにおいては、機械の振動などを嫌う傾向がある。ところが、従来技術の直線案内軸受装置によれば、ワーク搬送用の空気軸受ユニット１２０が、比較的質量があるため、特に加減速時などにおいて、質量のアンバランスなどに基づき振動が生じる恐れがある。かかる振動を抑えようとすると、装置の剛性を高める必要があるが、それにより装置の重量化且つ大型化を招くという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、軽量且つ簡素でありながら、振動を抑制できる、直線案内軸受装置などに用いられると好適なアクチュエータを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく、本発明のアクチュエータは、駆動装置により回転駆動される駆動プーリと、回転自在に支持された従動プーリと、前記駆動プーリと、前記従動プーリとの間に掛け渡された無端ベルトと、２本以上のガイドレールと、前記無端ベルトに接続され、かつ前記ガイドレールに沿って移動可能な主軸受とを備えた案内軸受装置と、前記ガイドレールと同じ本数及び形状のカウンタガイドレールと、前記無端ベルトに対し、前記主軸受が取り付けられた側とは前記両プーリを挟んで反対側において接続され、かつ前記カウンタガイドレールに沿って移動可能な、前記主軸受と同じ質量のカウンタ軸受とを備えたカウンタ軸受装置と、を有し、前記無端ベルトと、前記主軸受及び前記カウンタ軸受とは板ばねを介して連結されていることを特徴とする。
【０００９】
【作用】
本発明のアクチュエータによれば、駆動装置により回転駆動される駆動プーリと、回転自在に支持された従動プーリと、前記駆動プーリと、前記従動プーリとの間に掛け渡された無端ベルトと、２本以上のガイドレールと、前記無端ベルトに接続され、かつ前記ガイドレールに沿って移動可能な主軸受とを備えた案内軸受装置と、前記ガイドレールと同じ本数及び形状のカウンタガイドレールと、前記無端ベルトに対し、前記主軸受が取り付けられた側とは前記両プーリを挟んで反対側において接続され、かつ前記カウンタガイドレールに沿って移動可能な、前記主軸受と同じ質量のカウンタ軸受とを備えたカウンタ軸受装置と、を有するので、前記主軸受と前記カウンタ軸受とを逆方向に移動させることにより、加速時又は減速時などに生じる主軸受の反力を抑えることが出来、それにより振動の抑制を図ることが出来る。しかも、前記ガイドレールと前記カウンタガイドレールとを、２本以上の同じ本数で且つ同じ形状としているため、前記無端ベルトを高速で移送させた場合でも、前記主軸受及び前記カウンタ軸受を安定して支持することが出来る。又、前記主軸受と前記カウンタ軸受の質量を同じにしたので、前記主軸受にワークが取り付けられていない場合、高速で前記無端ベルトを動作させた場合の加速時又は減速時などに生じる主軸受の反力を抑えることが出来る。
【００１０】
更に、前記無端ベルトと、前記主軸受及び前記カウンタ軸受とは板ばねを介して連結されていると、前記無端ベルトの位置が上下方向（プーリの軸方向）にずれても、前記両軸受に余計な力が掛かるのを抑えることが出来る。
【００１１】
又、前記主軸受に接続される前記無端ベルトの固定位置を、前記主軸受の軸心からオフセットさせ、前記案内軸受装置の移動可能な部分と被搬送物とを合わせた全体の重心位置とほぼ一致するようにすることにより、主軸受に掛かるモーメント荷重を抑えることが出来、それにより効率的な駆動を行える。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、第１の実施の形態にかかるアクチュエータを含む直線案内軸受装置３００を示す正面図である。図２は、直線案内軸受装置３００を示す上面図である。図３は、直線案内軸受装置３００を示す側面図である。但し、破線で示す隠れた部分は要部のみを示している。駆動プーリ３０９と、従動プーリ３１０ａと、ガイドレール３０４ａ、３０４ｂと、主軸受３２０ａ、３２０ｂと、カウンタガイドレール３３１ａ、３３１ｂと、カウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂとでアクチュエータを構成する。
【００１３】
ベース３０１の両端上には、レール支持板３０２，３０２が取り付けられている。レール支持板３０２，３０２に掛け渡されるようにして、断面が円筒のガイドレール３０４ａ、３０４ｂが上下に平行して配置されている。また、レール支持板３０２、３０２の隣にはレール支持板３０３，３０３が取り付けられており、これらに掛け渡されるようにして、断面が円筒のカウンタガイドレール３３１ａ、３３１ｂがガイドレール３０４ａ、３０４ｂに平行に配置されている（図２では、カウンタガイドレール３３１ａ、３３１ｂは、ガイドレール３０４ａ、３０４ｂに重なっている）。レール支持板３０２，３０２の外方において、ベース３０１上には、断面がコ字状のモータ支持台３０５とプーリ支持台３０６とが配置されている。
【００１４】
モータ支持台３０５には、モータ３０８が回転軸３０８ａを図中、下方に突出させた状態で取り付けられている。モータ３０８の上部には、回転軸３０８ａの回転角度を検出するエンコーダ３１５が配置されている。その回転軸３０８ａの下端には、歯付きの駆動プーリ３０９が取り付けられている。プーリ支持台３０６には、軸３１０ｂに取り付けられた歯付きの従動プーリ３１０ａを回転自在に支持するプーリハウジング３１０が設けられている。駆動プーリ３０９と従動プーリ３１０ａとの間には、ガイドレール３０４ａ、３０４ｂに沿う方向に、無端ベルトとしての歯付きベルト３１１が掛け渡されている。
【００１５】
歯付きベルト３１１の一部は、固定具３２１（図３）によりハウジング３２０ｃに取り付けられている。図３に示す方向から見て略コ字状の形状を有するハウジング３２０ｃの上部及び下部の貫通孔に主軸受３２０ａ及び３２０ｂが固定されている。すなわち、ハウジング３２０ｃは、ガイドレール３０４ａに係合する主軸受３２０ａと、ガイドレール３０４ｂに係合する主軸受３２０ｂとを互いに連結している。歯付きベルト３１１のハウジング３２０ｃに対する取り付け位置は、図３に示すように、主軸受３２０ａ、３２０ｂの中心軸を結んだ線の中間であり、すなわち主軸受３２０ａ及び３２０ｂの重心位置を通過するようになっている。主軸受３２０ａ、３２０ｂは、いわゆる多孔質静圧気体軸受であり、内周部はグラファイト多孔質で形成され、不図示の空気源から供給された圧縮空気によって、ガイドレール３０４ａ、３０４ｂに対し主軸受３２０ａ、３２０ｂがわずかに離隔するようになり、殆ど摩擦なく移動できるようになっている。尚、ハウジング３２０ｃに対し主軸受３２０ａ、３２０ｂは隙間なく嵌合しているが、主軸受３２０ａ、３２０ｂは、ガイドレール３０４ａ、３０４ｂに対して５μｍ程度の隙間をもって嵌合している。主軸受３２０ａ、３２０ｂと、ガイドレール３０４ａ、３０４ｂとで案内軸受装置を構成する。
【００１６】
さらに、図３に示す方向から見てハウジング３２０ｃに対向するようにして、それと同一形状であるが逆向きに配置されたハウジング３３０ｃが、無端ベルト３１１の一部に、固定具３３２を用いて取り付けられている。ハウジング３３０ｃの上部及び下部の貫通孔にカウンタ軸受３３０ａ及び３３０ｂが固定されている。すなわち、ハウジング３３０ｃは、カウンタガイドレール３３１ａに係合するカウンタ軸受３３０ａと、カウンタガイドレール３３１ｂに係合するカウンタ軸受３２０ｂとを互いに連結している。歯付きベルト３１１のハウジング３３０ｃに対する取り付け位置は、図３に示すように、カウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂの中心軸を結んだ線の中間であり、すなわちカウンタ軸受３３０ａ及び３３０ｂの重心位置を通過するようになっている。カウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂは、外形が円筒状の多孔質静圧気体軸受であって、カウンタガイドレール３３１ａ３３１ｂに嵌合する内径を有し、カウンタガイドレール３３１ａ、３３１ｂに沿って移動自在となっている。尚、ハウジング３３０ｃに対しカウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂは隙間なく嵌合しているが、カウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂは、カウンタガイドレール３３１ａ、３３１ｂに対して５μｍ程度の隙間をもって嵌合している。カウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂと、ガイドレール３３１ａ、３３１ｂとでカウンタ軸受装置を構成する。
【００１７】
図２に示されているように、カウンタガイドレール３３１ａ、３３１ｂの側方に、フォトセンサＳ１，Ｓ２，Ｓ３が配置され、カウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂと共に移動する被検出部材Ａを検知するようになっている。フォトセンサＳ１，Ｓ２，Ｓ３からの信号に基づき、オーバラン時にモータ３０８を停止させることができる。
【００１８】
本実施の形態に動作について説明すると、不図示の空気源から供給された圧縮空気によって、ガイドレール３０４ａ、３０４ｂに対し主軸受３２０ａ、３２０ｂがわずかに離隔するようになり、カウンタガイドレール３３１ａ、３３１ｂに対しカウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂがわずかに離隔した状態に維持される。
【００１９】
ここで、モータ３０８が駆動プーリ３０９を駆動した場合、ガイドレール３０４ａ、３０４ｂに沿って主軸受３２０ａ、３２０ｂが殆ど摩擦なく、またカウンタガイドレール３３１ａ、３３１ｂに対しカウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂが殆ど摩擦なく移動される。この際、加速又は減速時に生じる駆動反力は、主軸受３２０ａ、３２０ｂに対向して設けられたカウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂにより相殺され、振動を抑制できるようになっている。特に、本実施の形態では、ガイドレール３０４ａ、３０４ｂに対して、カウンタガイドレール３３１ａ、３３１ｂを同じ本数だけ設け、しかもその径や配置を同じくし、加えて主軸受３２０ａ、３２０ｂ及びハウジング３２０ｃと、カウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂ及びハウジング３３０ｃとを同じ形状としているので、両者のアンバランスをなくし、加速又は減速時に生じる駆動反力を極力抑えることが出来る。
【００２０】
又、主軸受３２０ａ、３２０ｂ、ハウジング３２０ｃ及び搬送するワーク（不図示）の重心が無端ベルト３１１の真上に来るようにし、且つカウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂ、ハウジング３３０ｃの重心が無端ベルト３１１の真上に来るようにすることで、無端ベルト３１１の駆動力によるモーメント力を低減させることができる。又、主軸受３２０ａ、３２０ｂとカウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂの質量を同じにしたので、高速で無端ベルト３１１を動作させた場合の加速時又は減速時などに生じる主軸受の反力を抑えることが出来る。
【００２１】
図４は、第２の実施の形態にかかるアクチュエータを含む直線案内軸受装置４００を示す正面図である。図５は、図４の構成をV-V線で切断して矢印方向に見た図である。第２の実施の形態は、図１に示す実施の形態に対し、ハウジング３２０ｃ（図３）の代わりに、板ばね４２０ｃで主軸受３２０ａ、３２０ｂを、ガイドレール３０４ａ、３０４ｂに沿った方向で互いにΔだけオフセットした状態で連結し、且つハウジング３３０ｃ（図３）の代わりに、板ばね４３０ｃでカウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂを、カウンタガイドレール３３１ａ、３３１ｂに沿った方向で互いにΔだけオフセットした状態で連結している。
【００２２】
図５に示すように、無端ベルト３１１は、主軸受３２０ａ、３２０ｂを連結するクランク状に折れ曲がったバネ板材からなるホルダ４２０ｄに対し、固定具３２２と抑え板４２０ｅを用いてねじ固定されるようになっており、且つカウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂを連結するクランク状に折れ曲がったバネ板材からなるホルダ４３０ｄに対し、固定具３３２と抑え板４３０ｅを用いてねじ固定されるようになっている。ワークは、主軸受３２０ａ、３２０ｂいずれに搭載しても構わない。駆動プーリ３０９と、従動プーリ３１０ａと、ガイドレール３０４ａ、３０４ｂと、主軸受３２０ａ、３２０ｂと、カウンタガイドレール３３１ａ、３３１ｂと、カウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂとでアクチュエータを構成する。尚、図５に示すように、主軸受３２０ａ、３２０ｂは、ガイドレール３０４ａ、３０４ｂに隙間をもって嵌合する多孔質グラファイト製の軸受部３２０ａａ、３２０ｂａと、それを隙間なく内包する軸受ハウジング３２０ａｂ、３２０ｂｂとからなっており、カウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂは、ガイドレール３３１ａ、３３１ｂに隙間をもって嵌合する多孔質グラファイト製の軸受部３３０ａａ、３３０ｂａと、それを隙間なく内包する軸受ハウジング３３０ａｂ、３３０ｂｂとからなっている（後述する図６の変形例も同じ）。
【００２３】
本実施の形態によれば、第１の実施の形態の如く、主軸受３２０ａ、３２０ｂをハウジング３２０ｃでリジッド固定した場合に、ガイドレール３０４ａ、３０４ｂの自重による撓みや平行度不良などに起因して生じる主軸受３２０ａ、３２０ｂの競り合いを、バネ板４２０ｃを用いて弾性的に連結することにより抑制することができ、又カウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂをハウジング３３０ｃでリジッド固定した場合に、ガイドレール３３１ａ、３３１ｂの自重による撓みや平行度不良などに起因して生じるカウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂの競り合いを、バネ板４３０ｃを用いて弾性的に連結することにより抑制することができる。
【００２４】
更に、主軸受３２０ａ、３２０ｂをオフセットさせないで連結した場合には、図４の矢印Ｍに示す方向のモーメント負荷に対し傾きが大きくなるが、主軸受３２０ａ、３２０ｂをオフセットさせることにより、軸受サイズを大きくせずに、このモーメント負荷に対する傾きを抑制させることが出来る。すなわちこのようなモーメント負荷に対する剛性を比較的小さな軸受により向上させられる。又、カウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂをオフセットさせないで連結した場合には、同様にカウンタガイドレール３３１ａ、３３１ｂに対する傾きが大きくなるが、カウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂをオフセットさせることにより、軸受サイズを大きくせずに、このモーメント負荷に対する傾きを抑制させることが出来る。すなわちこのようなモーメント負荷に対する剛性を比較的小さな軸受により向上させられる。
【００２５】
また、ホルダ４２０ｄを弾性に富む板材で形成したので、無端ベルト３１１が図５で上下方向にずれても、無端ベルト３１１と主軸受３２０ａ、３２０ｂとの上下方向の変位を、ホルダ４２０ｄの図６で水平な部分のたわみにより吸収することが出来るので、主軸受３２０ａ、３２０ｂに図５で上下方向の余計な力が掛かる恐れが低い。一方、ガイドレール３０４ａ、３０４ｂ方向には、ホルダ４２０ｄの剛性が高いため、駆動力の伝達に遅れが生じるというような問題はない。なお、図５ではバネ板４２０ｃを主軸受３２０ａ、３２０ｂの片側に取り付けているが、両側に取り付けるようにすれば、バネ板４２０ｃの板厚を減少させることができる。さらに、図５に示すバネ板４２０ｃを取り外し、ホルダ４２０ｄの板厚を増大させて、バネ板４２０ｃの代わりに用いることも出来る。
【００２６】
同様に、ホルダ４３０ｄを弾性に富む板材で形成したので、無端ベルト３１１とカウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂとの上下方向の変位を、ホルダ４３０ｄの図５で水平な部分のたわみにより吸収することが出来るので、カウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂに図５で上下方向の余計な力が掛かる恐れが低い。一方、カウンタガイドレール３３１ａ、３３１ｂ方向には、ホルダ４３０ｄの剛性が高いため、駆動力の伝達に遅れが生じるというような問題はない。なお、図５ではバネ板４３０ｃをカウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂの片側に取り付けているが、両側に取り付けるようにすれば、バネ板４３０ｃの板厚を減少させることができる。さらに、図５に示すバネ板４３０ｃを取り外し、ホルダ４３０ｄの板厚を増大させて、バネ板４３０ｃの代わりに用いることも出来る。
【００２７】
図６は、直線案内軸受装置の変形例を示す、図５と同様な図である。本変形例においては、主軸受３２０ａ、３２０ｂを連結したホルダ４２０ｄ’と、カウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂを連結したホルダ４３０ｄ’を非対称にしており、具体的には、ホルダ４２０ｄ’と無端ベルト３１１との接合部を、主軸受３２０ａ、３２０ｂの軸心から、図６で左方にδだけシフトしている。なお無端ベルト３１のプーリ径は不変であることから、ホルダ４３０ｄ’と無端ベルト３１１との接合部も、カウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂの軸心から、図６で左方にδだけシフトしている。尚、ワークＷは、二点鎖線で示すように、主軸受３２０ｂの側面（図６で左方）に取り付けられている。
【００２８】
図５の構成で、ワークＷを図６に示すのと同じ位置にすなわち、主軸受の横側に取り付ける必要のある場合、主軸受３２０ａ、３２０ｂ、ワークＷからなる移動体の重心位置が、ホルダ４２０ｄと無端ベルト３１１の接合部から図で左右方向にシフトしてしまう。従って、特にワークＷの質量が主軸受の質量に対して無視できない大きさの場合で、しかも高速から急激に停止するなど加減速Ｇが大きい場合、主軸受３２０ａ、３２０ｂの受けるモーメント力が過大となり、場合によってはガイドレール３０４ａ、３０４ｂと主軸受３２０ａ、３２０ｂとの摺接を招き、軸受の寿命低下、焼き付き、発塵等を招く恐れがある。
【００２９】
これに対し、図６の構成では、ホルダ４２０ｄ’と無端ベルト３１１との接合部を、主軸受３２０ａ、３２０ｂの軸心から、図６で左方にδだけシフトさせることによって、主軸受３２０ａ、３２０ｂ、ワークＷからなる移動体の重心位置と、ホルダ４２０ｄと無端ベルト３１１の接合部とを略一致（完全一致含む）させることが出来る。従って、急加減速時などにおいて、主軸受３２０ａ、３２０ｂの受けるモーメント力を減少させ、ガイドレール３０４ａ、３０４ｂと主軸受３２０ａ、３２０ｂとの摺接を抑制して、軸受の寿命低下、焼き付き、発塵等を防止することが出来る。
【００３０】
本発明者が、図６に示すようにワークＷを搭載した状態で、加減速Ｇを変えて試験を行ったところ、図５の構成に対し、加減速度を約３０％上げられることが実験により確認できた。評価は、ガイドレール３０４ａ、３０４ｂと主軸受３２０ａ、３２０ｂとの摺接の有無を、主軸受３２０ａ、３２０ｂのグラファイトがガイドレール３０４ａ、３０４ｂに付着したかどうかをみることにより行った。ホルダ４２０ｄ’と無端ベルト３１１との接合部を、主軸受３２０ａ、３２０ｂの軸心から、図６で左方にδだけシフトさせた効果が確認された。
【００３１】
尚、図６の構成において、主軸受３２０ａ、３２０ｂ、ワークＷ等からなる移動体の重心位置と、ホルダ４２０ｄと無端ベルト３１１の接合部とを略一致（完全一致含む）させることが好ましいが、ワークＷの質量によっては、シフト量δが大きくなって、ホルダ４２０ｄ’の曲がりが小さくなり、上述した如き無端ベルト３１１の図６で上下方向の振動を吸収するという機能が薄れることも考えられるため、そのような場合には、移動体の重心位置と、ホルダ４２０ｄと無端ベルト３１１の接合部とを、ある程度ずらせても良い。又、モータの容量に余裕があるなどの理由で、プーリ径を大きく出来る場合には、図５の構成と同様に、ホルダ４３０ｄ’と無端ベルト３１１との接合部を、カウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂの軸心と一致させても良く、それによりカウンタ軸受３３０ａ、３３０ｂのモーメント力を低減できる。
【００３２】
また、前記第１の実施の形態の場合も、主軸受３２０ａ、３２０ｂ、ハウジング３２０ｃ、及びハウジング３２０ｃの側面に取り付けられるワークＷを合わせた全体の重心位置にほぼ一致するように、無端ベルト３３１をハウジング３２０ｃに固定することにより、同様の効果が得られる。
【００３３】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。例えば、主軸受及びカウンタ軸受は、空気軸受以外にも、転がり軸受、滑り軸受など各種の態様が考えられる。上述したように空気軸受としても、実施の形態で用いた多孔質静圧気体軸受は負荷容量が高く好ましいが、もちろんオリフィス式等、他の形式でもよい。ガイドレールの方を多孔質としてもよい。さらに、また実施の形態ではプーリ及び無端ベルトとして、高速用途に特に好適な歯付きのものを用いたが、例えば平ベルト等、用途等に応じ他の種類のものでもよい。ガイドレール及びカウンタガイドレールは３本以上でも良い。
【００３４】
【発明の効果】
本発明のアクチュエータによれば、駆動装置により回転駆動される駆動プーリと、回転自在に支持された従動プーリと、前記駆動プーリと、前記従動プーリとの間に掛け渡された無端ベルトと、２本以上のガイドレールと、前記無端ベルトに接続され、かつ前記ガイドレールに沿って移動可能な主軸受とを備えた案内軸受装置と、前記ガイドレールと同じ本数及び形状のカウンタガイドレールと、前記無端ベルトに対し、前記主軸受が取り付けられた側とは前記両プーリを挟んで反対側において接続され、かつ前記カウンタガイドレールに沿って移動可能な、前記主軸受と同じ質量のカウンタ軸受とを備えたカウンタ軸受装置と、を有するので、前記主軸受と前記カウンタ軸受とを逆方向に移動させることにより、加速時又は減速時などに生じる主軸受の反力を抑えることが出来、それにより振動の抑制を図ることが出来る。しかも、前記ガイドレールと前記カウンタガイドレールとを、２本以上の同じ本数で且つ同じ形状としているため、前記無端ベルトを高速で移送させた場合でも、前記主軸受及び前記カウンタ軸受を安定して支持することが出来る。又、前記主軸受と前記カウンタ軸受の質量を同じにしたので、前記主軸受にワークが取り付けられていない場合、高速で前記無端ベルトを動作させた場合の加速時又は減速時などに生じる主軸受の反力を抑えることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態にかかるアクチュエータを含む直線案内軸受装置３００を示す正面図である。
【図２】直線案内軸受装置３００を示す上面図である。
【図３】直線案内軸受装置３００を示す側面図である。
【図４】第２の実施の形態にかかるアクチュエータを含む直線案内軸受装置４００を示す正面図である。
【図５】図４の構成をV-V線で切断して矢印方向に見た図である。
【図６】直線案内軸受装置の変形例を示す、図５と同様な図である。
【図７】図７（ａ）は、従来技術に係る直線案内軸受装置１００を示す斜視図であり、図７（ｂ）は、かかる構成をVIIB−VIIB線で切断して矢印方向に見た図である。
【符号の説明】
３００，４００  直線案内軸受装置
３０１  ベース
３０４ａ，３０４ｂ  ガイドレール
３２０ａ、３２０ｂ  主軸受
３３０ａ、３３０ｂ  カウンタ軸受
３３１ａ、３３１ｂ  カウンタガイドレール
３２０ｃ  ハウジング
４２０ｃ、４３０ｃ  板ばね
４２０ｄ、４２０ｄ’４３０ｄ、４３０ｄ’  ホルダ
【図１】
0004415519.tif 000002
【図２】
0004415519.tif 000003
【図３】
0004415519.tif 000004
【図４】
0004415519.tif 000005
【図５】
0004415519.tif 000006
【図６】
0004415519.tif 000007
【図７】
0004415519.tif 000008