(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周の辺にＴＡＢ部品が接続されたＴＡＢ部品付き液晶ガラス基板を供給する液晶ガラス基板供給手段と、プリント基板を供給するプリント基板供給手段と、ＡＣＦテープを前記プリント基板に熱圧着するＡＣＦ貼着手段と、前記ＴＡＢ部品付き液晶ガラス基板における所定箇所と前記ＡＣＦ貼着済みプリント基板の所定箇所とを圧着する圧着手段と、を装置本体上に配置してなる部品実装装置において、前記装置本体上において、作業者から見て手前側にプリント基板供給手段、ＡＣＦ貼着手段、および圧着手段を並設し、作業者から見て後方に液晶ガラス基板供給手段を配置したことを特徴とする部品実装装置。
【請求項２】
外周の辺にＴＡＢ部品が接続されたＴＡＢ部品付き液晶ガラス基板を供給する液晶ガラス基板供給手段と、複数のプリント基板を載置したトレイを積層して収納するトレイ供給部とこのトレイ供給部からプリント基板の供給位置へトレイを搬送するトレイ搬送部と前記供給位置で空になったトレイを排出するトレイ排出部を有するプリント基板供給手段と、ＡＣＦテープを前記プリント基板に熱圧着するＡＣＦ貼着手段と、前記ＴＡＢ部品付き液晶ガラス基板における所定箇所と前記ＡＣＦ貼着済みプリント基板の所定箇所とを圧着する圧着手段と、を装置本体上に配置してなる部品実装装置において、作業者から見て手前側にプリント基板供給手段を配置し、このプリント基板供給手段を側方から見て上側にトレイ供給部、下側にトレイ排出部を配置する構造にしたことを特徴とする部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、部品実装装置に関し、特に、液晶ガラス基板に取りつけられたＴＡＢ部品に対してプリント基板を接続し、液晶パネルを製造するための部品実装装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図５に示すように、液晶パネル１は、液晶ガラス基板（以下「セル」と称す）２、このセル２の駆動用ＩＣが搭載され、セル２の辺に不図示の異方性導電膜テープ（以下「ＡＣＦテープ」と称す）を介して接続されたＴＡＢ部品３、ＴＡＢ部品３に不図示のＡＣＦテープを介して接続されたプリント基板４を有する。そして、このような液晶パネル１は、ＯＬＢ（アウターリードボンディング）装置によりセル２にＴＡＢ部品３を接続してＴＡＢ部品付き液晶ガラス基板（以下「ＴＡＢ付きセル」と称す）５を製造する工程と、ＴＡＢ付きセル５にプリント基板４を接続する工程との２つの工程を経て製造される。
【０００３】
そして、このようなＴＡＢ付きセル５にプリント基板４を接続する工程には、図４に示す部品実装装置が用いられる。
【０００４】
この部品実装装置１０によれば、プリント基板４は、トレイに載置された状態でプリント基板供給装置１１に積層収納されており、プリント基板供給装置１１からＡＣＦ貼着装置１２に順次供給され、ＡＣＦ貼着装置１２にてＡＣＦテープが貼着され、その後、圧着装置１３の圧着位置へ搬送されて位置決めされる。
【０００５】
一方、ＴＡＢ付きセル５は、セル供給装置１４の搬送部１５にて前工程から基板ステージ１６上に移送され、基板ステージ１６にて圧着装置１３の圧着位置に移送されて位置決めされる。
【０００６】
そして、圧着装置１３の圧着位置に位置決めされたＴＡＢ付きセル５とプリント基板４は、圧着装置１３による加熱と押圧によりＡＣＦテープを介して接続される。
【０００７】
このようにして製造されたプリント基板４実装済みのＴＡＢ付きセル５、すなわち液晶パネル１は、基板ステージ１６にて後工程への受渡位置に移送され、不図示の搬送手段にて後工程へと移送される。
【０００８】
この部品実装装置１０は、図４中における下方側を装置正面とし、装置本体１０ａ上において手前側にセル供給装置１４、その後方にＡＣＦ貼着装置１２および圧着装置１３、さらに後方にプリント基板搬送装置１１が配置して構成される。そして、作業者は、主に装置１０正面から装置１０の操作や調整作業を行なう。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述の部品実装装置１０によれば、装置本体１０ａ上において、比較的大きな設置面積を占めるセル供給装置１４が手前側に配置されていることから、その後方に配置される圧着装置１３の調整作業の妨げとなっていた。すなわち、圧着装置１３は、ＴＡＢ付きセル５に実装された複数のＴＡＢ部品３を長尺の熱圧着ツールを用いてプリント基板４に対して一度に押圧するものであることから、全てのＴＡＢ部品３に押圧力を均一に付与するためには圧着ツールの押圧面の平坦度を精度良く調整する必要がある。そして、この調整作業は、作業者の手作業により、圧着ツールの長手方向に配列された複数の平坦度調整用ねじの締め付け力を加減することで行なわれる。ところが、上述したように、圧着装置１３の手前にはセル供給装置１４が配置されていることから、作業者はセル供給装置１４上に身を乗り出しつつ圧着装置１３に手を伸ばすという無理な姿勢で圧着ツールの平坦度の調整作業を行なわなければならず、その作業は困難を極め、作業効率を低下させる原因となっていた。
【００１０】
また、プリント基板供給装置１１が、装置本体１０ａ上において最後方に配置されており、プリント基板供給装置１１に対するトレイのセット作業、および空トレイの取り出し作業を装置１０の背後から行なわなければならない。そのため、トレイのセット作業時、および空トレイの取り出し作業時毎に、作業者が装置１０の背後へ回り込む必要が生じ、その結果、作業効率を低下させる原因となっていた。
【００１１】
本発明は、作業効率を向上させることができる部品実装装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の本発明は、外周の辺にＴＡＢ部品が接続されたＴＡＢ部品付き液晶ガラス基板を供給する液晶ガラス基板供給手段と、プリント基板を供給するプリント基板供給手段と、ＡＣＦテープを前記プリント基板に熱圧着するＡＣＦ貼着手段と、前記ＴＡＢ部品付き液晶ガラス基板における所定箇所と前記ＡＣＦ貼着済みプリント基板の所定箇所とを圧着する圧着手段と、を装置本体上に配置してなる部品実装装置において、前記装置本体上において、作業者から見て手前側にプリント基板供給手段、ＡＣＦ貼着手段、および圧着手段を並設し、作業者から見て後方に液晶ガラス基板供給手段を配置したことを特徴とする。
【００１３】
請求項２に記載の本発明は、外周の辺にＴＡＢ部品が接続されたＴＡＢ部品付き液晶ガラス基板を供給する液晶ガラス基板供給手段と、複数のプリント基板を載置したトレイを積層して収納するトレイ供給部とこのトレイ供給部からプリント基板の供給位置へトレイを搬送するトレイ搬送部と前記供給位置で空になったトレイを排出するトレイ排出部を有するプリント基板供給手段と、ＡＣＦテープを前記プリント基板に熱圧着するＡＣＦ貼着手段と、前記ＴＡＢ部品付き液晶ガラス基板における所定箇所と前記ＡＣＦ貼着済みプリント基板の所定箇所とを圧着する圧着手段と、を装置本体上に配置してなる部品実装装置において、作業者から見て手前側にプリント基板供給手段を配置し、このプリント基板供給手段を側方から見て上側にトレイ供給部、下側にトレイ排出部を配置する構造にしたことを特徴とする。
【００１４】
請求項１に記載の本発明によれば、装置本体上において、比較的大きな設置面積を占める液晶ガラス基板供給手段を圧着手段に対して後方に配置したことから、圧着手段を装置本体上において手前に配置することができることから、装置正面から圧着装置までの距離を短くすることができ、そのため、圧着装置の調整作業が行ないやすくなり、結果として作業効率を向上させることができる。
【００１５】
請求項２に記載の本発明によれば、プリント基板供給手段を装置本体上において手前側に配置したことから、装置正面からプリント基板供給手段までの距離を短くすることができ、そのため、プリント基板供給手段に対するプリント基板の供給作業を装置正面側から行なうことができ、プリント基板供給作業の作業効率を向上させることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図面を用いて説明する。図１は本発明に係る部品実装装置の構成を示す平面図、図２はプリント基板供給装置の拡大平面図、図３は図２のＩ−Ｉ矢視断面図である。
【００１７】
部品実装装置２０は、プリント基板供給装置２１、ＡＣＦテープを貼着するＡＣＦ貼着装置２２、ＴＡＢ付きセル５を供給するセル供給装置２３、圧着装置２４を有する。そして、部品実装装置２０は、図１中における下方側を装置正面とし、装置本体２０ａ上において、手前側にプリント基板供給装置２１、ＡＣＦ貼着装置２２、および圧着装置２４を並設し、その後方にセル供給装置２３を配置する。
【００１８】
図２、図３に示すように、プリント基板供給装置２１は、複数のプリント基板４を載置したトレイ２５を積層して収納するトレイ供給部２６、トレイ供給部２６からプリント基板４の供給位置Ａへトレイ２５を搬送するトレイ搬送部２７、供給位置Ａのトレイ２５から後述するＡＣＦ貼着装置２２のバックアップテーブル上にプリント基板４を移送するプリント基板搬送部２８（図１）、供給位置Ａで空になったトレイ２５を排出するトレイ排出部２９を有する。
【００１９】
トレイ供給部２６は、不図示の駆動手段により昇降自在に設けられ、略中央部にトレイ２５が通過可能な開口３０を有するベース３１、積層されたからトレイ２５の各コーナ部に対応し、かつ、トレイ２５の大きさに応じて位置調整可能に設けられたガイド３２、トレイ２５の開口３０の通過を選択的に許容する一対のストッパ機構３３を有する。このストッパ機構３３は、トレイ２５のつば部に係合する爪部３３ａ、爪部３３ａを進退させるシリンダ３３ｂを有する。つまり、トレイ供給部２６に収納されたトレイ２５は、爪部３３ａが前進してつば部に係合しているときには開口３０の通過を阻止され、爪部３３ａが後退してつば部との係合が解かれたときに開口３０の通過が許容される。
【００２０】
トレイ搬送部２７は、第１の搬送部３４、第２の搬送部３５を有してなり、第１の搬送部３４にてトレイ供給部２６から取り出したトレイ２５を、受渡位置Ｂにて第２の搬送部３５に受け渡し、第２の搬送部３５にて供給位置Ａに搬送する。
【００２１】
第１の搬送部３４は、トレイ２５を保持するトレイ受け台３６、トレイ受け台３６を矢印Ｙ方向に移動可能なＹテーブル３７、トレイ受け台３６を上下方向（矢印Ｚ方向）に移動可能な第１シリンダ３８および第２シリンダ３９、一対のトレイガイド４０を有する。なお、第１シリンダ３８は、トレイ供給部２６からのトレイ２５取り出し時に作動するトレイ２５取り出し用のシリンダであり、第２シリンダ３９は、受渡位置Ｂにおける第１の搬送部３４から第２の搬送部３５へのトレイ２５受け渡し時に作動するトレイ２５受け渡し用のシリンダである。
【００２２】
第２の搬送部３５は、トレイ２５を保持する平面視略コの字形のベース４１、このベース４１を矢印Ｙ方向に移動自在に支持する一対のガイドレール４２、ベース４１をガイドレール４２に沿って移動させ、供給位置Ａと受渡位置Ｂとに位置付け可能な不図示のベース駆動部を有する。
【００２３】
トレイ排出部２９は、上端が供給位置Ａの下側に配置されたシュート４３、シュート４３の下端に対応して配置されたトレイ排出箱４４、供給位置Ａの近傍位置に配置されたストッパ機構４５を有する。このストッパ機構４５は、駆動部４５ａにて昇降動およびθ回転動自在に支持された軸４５ｂに取りつけられたアーム４５ｃの先端に爪部４５ｄを有してなる。
【００２４】
プリント基板搬送部２８は、Ｘテーブル４６、Ｘテーブル４６にて矢印Ｘ方向に移動可能なＹテーブル４７、Ｙテーブル４７にて矢印Ｙ方向移動可能に支持されるとともに、上下（Ｚ方向）動およびθ回転動可能に設けられ、プリント基板４を保持する不図示のチャックを有する。
【００２５】
ＡＣＦ貼着装置２２は、貼着装置本体４８、熱圧着ツール４９、不図示の駆動手段にて矢印Ｙ方向に移動可能なバックアップテーブル５０を有する。熱圧着ツール４９は、貼着装置本体４８に組み込まれた不図示のＡＣＦテープ供給機構から供給されるＡＣＦテープをバックアップテーブル５０にて圧着位置Ｃに位置付けられたプリント基板４に熱圧着する。なお、バックアップテーブル５０は、圧着位置Ｃの他に、プリント基板４の受取位置Ｄ、およびＡＣＦテープが貼着されたプリント基板４を搬出する搬出位置Ｅにも停止可能である。
【００２６】
セル供給装置２３は、第１基板ステージ５１、第２基板ステージ５２、第１基板搬送部５３、第２基板搬送部５４を有する。第１基板ステージ５１は、ＴＡＢ付きセル５の受け台５５、この受け台５５を矢印Ｘ方向に移動させ、かつ、前工程から移送されるＴＡＢ付きセル５の受取位置Ｆ、および第２基板ステージ５２に対する受渡位置Ｇに位置決め可能なＸテーブル５６を有する。第２基板ステージ５２は、ＴＡＢ付きセル５の受け台５７、この受け台５７を矢印Ｙ方向に移動させ、かつ、第１ステージ５１、或いは後工程との間でのＴＡＢ付きセル５の受渡位置Ｈ、および圧着装置２４に対する圧着位置Ｉに位置決め可能なＹテーブル５８、Ｙテーブル５８上に設けられ、受け台５７をＸ方向に移動可能なＸテーブル５９、Ｘテーブル５９上に載置され、受け台５７をθ回転動させる不図示のθテーブルを有する。第１基板搬送部５３は、不図示の吸着パッドを有するアーム６０、アーム６０を矢印Ｘ方向に移動させるＸテーブル６１を有し、前工程からＴＡＢ付きセル５を受け取り、受取位置Ｆに位置付けられた受け台５５に受け渡す。第２基板搬送部５４は、所定の間隔で配置され、それぞれ不図示の吸着パッドを有する一対のアーム６２、アーム６２を矢印Ｘ方向に移動させるＸテーブル６３を有し、受渡位置Ｇから受渡位置ＨへのＴＡＢ付きセル５の受け渡しと、受渡位置Ｈから後工程へのＴＡＢ付きセル５（液晶パネル１）の受け渡しを同時に行なう。
【００２７】
圧着装置２４は、圧着装置本体６４、熱圧着ツール６５、矢印Ｙ方向に移動可能なバックアップテーブル６６を有する。バックアップテーブル６６は、不図示の駆動手段にて、受取位置Ｊと圧着位置Ｋとに位置決め可能であり、受取位置Ｊに位置するときに搬送部６７にて搬出位置Ｅから移送されるプリント基板４を受け取る。なお、搬送部６７は、Ｘテーブル６８にて矢印Ｘ方向に移動されるチャック６９を有する。
【００２８】
また、圧着装置２３に付随して、プリント基板４に設けられた１対の位置認識用マークを撮像するための１対のプリント基板認識用カメラ７０、７１と、ＴＡＢ付きセル５のセル２に設けられた１対の位置認識用マークを撮像するための１対のセル認識用カメラ７２、７３が設けられる。すなわち、プリント基板認識用カメラ７０、７１は、受取位置Ｊにおけるプリント基板４の移送予定位置に対応して、プリント基板４を上方から撮像するようにそれぞれＸテーブル７４、７５に取り付けられて配置される。また、セル認識用カメラ７２、７３は、圧着位置ＩにおけるＴＡＢ付きセル５の移送予定位置に対応して、所定の間隔を隔てて固定配置される。なお、セル認識用カメラ７２、７３は、プリント基板認識用カメラ７０、７１と同様に移動自在に設けることも可能である。
【００２９】
次に、作動について説明する。
【００３０】
まず、プリント基板供給装置２１のトレイ供給部２６からプリント基板４が載置されたトレイ２５を取り出し、プリント基板４の供給位置Ａに位置付ける。すなわち、ストッパ機構３３の爪部３３ａが前進位置においてトレイ２５のつば部に係合してトレイ２５の開口３０の通過を阻止した状態において、第１シリンダ３８の作動によりトレイ受け台３６が上昇し、最下部のトレイ２５底面を支持する。そして、爪部３３ａを後退させてトレイ２５のつば部からの係合を解くとともに、ベース３１をトレイ２５一枚分の厚みだけ上昇させた後、爪部３３ａを再び前進させる。これにより、爪部３３ａは、最下部から２番目のトレイ２５のつば部に係合する。この状態で、トレイ受け台３６を下降させ、最下部のトレイ２５を開口３０を通して取り出す。次に、トレイ受け台３６を矢印Ｙ方向に移動させ、トレイ２５を受渡位置Ｂに位置付け、続いて第２シリンダ３９を作動させてトレイ受け台３６を下降させ、第２の搬送部３５のベース４１にトレイ２５を受け渡す。この後、ベース４１がベース駆動部にてガイドレール４２に沿って移動され、トレイ２５は供給位置Ａに位置付けられる。
【００３１】
供給位置Ａにおいて、トレイ２５に載置されたプリント基板４は、プリント基板搬送部２８にて受取位置Ｄに位置付けられたバックアップテーブル５０上に順次移送される。なお、プリント基板搬送部２８のチャックはθ回転動可能であるので、プリント基板４がトレイ２５上において長手方向が矢印Ｙ方向に沿うように載置されている場合には、プリント基板供給部２８のチャックを所定の方向に９０°回転させてプリント基板４の長手方向を矢印Ｘ方向に合わせた後、バックアップテーブル５０に受け渡すことが可能である。
【００３２】
ここで、トレイ２５上のプリント基板４が空になったときには、まず、ストッパ機構４５のアーム４５ｃを矢印Ｒ方向に９０°回転させた後、所定量下降させて爪部４５ｄを図３に２点鎖線で示す位置に位置付ける。その後、ベース４１を受渡位置Ｂへ移動させる。このとき、トレイ２５は、爪部４５ｄにより受渡位置Ｂ側への移動を阻止されているので供給位置Ａに取り残され、ベース４１が移動した後シュート４３上に落下して排出箱４４内に収納される。トレイ２５の排出が完了した後、アーム４５ｃは図に実線で示す位置へ復帰する。
【００３３】
プリント基板４が供給されたバックアップテーブル５０は、圧着位置Ｃに移動する。そして、圧着位置Ｃにおいて、プリント基板４の所定箇所に熱圧着ツール５１を用いてＡＣＦが熱圧着される。この後、バックアップテーブル５０は、ＡＣＦ貼着済みのプリント基板４を載置したまま排出位置Ｅに移動される。排出位置Ｅにおいて、プリント基板４は、搬送部６７のチャック６９にてピックアップされ、受渡位置Ｊに位置付けられたバックアップテーブル６６上に移送される。この受渡位置Ｊにおいて、プリント基板４は、プリント基板認識用カメラ７０、７１により位置認識用マークを撮像され、その撮像画像に基づいて不図示の画像認識装置によりその位置、或いは基準位置からの位置ずれが算出される。また、このとき、プリント基板認識用カメラ７０、７１、或いはプリント基板認識用カメラ７０、７１に付随して設けたセンサ等にてプリント基板４に対するＡＣＦの貼着状態の良否を検出し、貼着状態が不良の場合には、搬送部６７を用いてその不良プリント基板を搬出位置Ｅと受渡位置Ｊの間に設けた不良品収納箱７６内に排出するようにしてもよい。
【００３４】
この後、バックアップテーブル６６は圧着位置Ｋに移動される。
【００３５】
他方、前工程から供給されるＴＡＢ付きセル５は、まず、第１基板搬送部５３にて受取位置Ｆに位置する第１基板ステージ５１の受け台５５に移送され、Ｘテーブル５６の駆動にて受渡位置Ｇに移送される。そして、第２基板搬送部５４にて受渡位置Ｇの受け台５５上から受渡位置Ｈの受け台５７上に移送される。このとき、受渡位置Ｈの受け台５７上に既にプリント基板４実装済みのＴＡＢ付きセル５（液晶パネル１）が載置されている場合、第２基板搬送部５４は受渡位置Ｇから受渡位置ＨへのＴＡＢ付きセル５の移送と同時に、受渡位置Ｈから後工程への液晶パネル１の移送を行なう。この後、ＴＡＢ付きセル５が載置された受け台５７は、Ｙテーブル５８の駆動により圧着位置Ｉへ移送される。
【００３６】
圧着位置Ｉにおいて、Ｘテーブル５９およびＹテーブル５８を駆動させ、セル２の１対の位置認識用マークを順次セル認識用カメラ７２、７３の視野に位置付け、その画像を撮像する。そして、セル認識用カメラ７２、７３の撮像画像に基づいて、不図示の画像認識装置によりＴＡＢ付きセル５の位置、或いは基準位置からの位置ずれを算出する。このようにして求めたＴＡＢ付きセル５の位置と、先に求めたプリント基板４の位置とに基づいて、ＴＡＢ付きセル５とプリント基板４との相対的な位置ずれを無くすように、Ｘテーブル５９、Ｙテーブル５８およびθテーブルを駆動させ、ＴＡＢ付きセル５とプリント基板４とを位置合わせする。この位置合わせの後、圧着装置２４の熱圧着ツール６５により、ＴＡＢ付きセル５のＴＡＢ部品３とプリント基板４とを熱圧着する。
【００３７】
ＴＡＢ付きセル５にプリント基板４を圧着した後、バックアップテーブル６６は、受渡位置Ｊに移動して次のプリント基板４の移送に対する待機状態となる。他方、プリント基板４実装済みのＴＡＢ付きセル５、すなわち液晶パネル１は、受け台５７の移動により受渡位置Ｈに移送され、第２基板搬送部５４のアーム６２にてピックアップされて後工程へ移送される。これと同時に、受渡位置Ｇと受渡位置Ｈとの間でＴＡＢ付きセル５の移送が行なわれることは前述した通りである。
【００３８】
以上の一連の動作を繰り返すことで、ＴＡＢ付きセル５に対するプリント基板４の実装動作が行なわれる。
【００３９】
本実施の形態によれば、装置本体２０ａ上において、比較的大きな設置面積を占めるＴＡＢ付きセル５を供給するためのセル供給装置２３を最後方に配置し、圧着装置２４に対してＴＡＢ付きセル５を後方から供給するようにしたので、圧着装置２４の手前側にはセル供給装置２３に比べて設置面積が小さい搬送部６７が位置するのみである。このため、装置本体２０ａ上において圧着装置２４の配置位置を装置２０正面に近づけることができる。その結果、作業者は、従来生じていた、装置本体２０ａ（セル供給装置）上に身を乗り出すという無理な姿勢を強いられることなく、楽な姿勢で熱圧着ツール６５の平坦度の調整作業を行なうことができる。そのため、圧着ツール６５の平坦度の調整作業が行ないやすくなり、作業効率を向上させることができる。
【００４０】
また、プリント基板供給装置２１を装置本体２０ａ上において手前側に配置したことから、プリント基板供給装置２１のトレイ供給部２６に対するトレイ２５の供給作業、およびトレイ排出箱４４からの空トレイ２５の取り出し作業を装置２０正面から行なうことができる。これにより、トレイ２５の供給作業、および空トレイ５の取り出し作業を装置の背後から行っていた従来に比べて、大幅に作業効率を向上させることができる。
【００４１】
また、プリント基板供給装置２１をトレイ供給部２６とトレイ排出部３０を上下に配置する構造にしたことから、装置本体２０ａ上においてプリント基板供給装置２１の占有面積を小さくすることができ、この結果、装置２０の設置面積を狭小化することができる。
【００４２】
【発明の効果】
本発明によれば、作業効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る部品実装装置の構成を示す平面図である。
【図２】プリント基板供給装置の拡大平面図である。
【図３】図２のＩ−Ｉ矢視断面図である。
【図４】従来の部品実装装置の構成を示す平面図である。
【図５】液晶パネルの構成を示す平面図である。
【符号の説明】
１  液晶パネル
２  液晶ガラス基板（セル）
３  ＴＡＢ部品
４  プリント基板
５  ＴＡＢ部品付き液晶ガラス基板（ＴＡＢ付きセル）
２０  部品実装装置
２１  プリント基板供給装置
２２  ＡＣＦ貼着装置
２３  セル供給装置
２４  圧着装置
２５  トレイ
２６  トレイ供給部
２７  トレイ搬送部
２８  プリント基板搬送部
４９  熱圧着ツール
５０  バックアップテーブル
５１  第１基板ステージ
５２  第２基板ステージ
５３  第１基板搬送部
５４  第２基板搬送部
５５、５７  受け台
６５  熱圧着ツール
６６  バックアップテーブル
７０、７１  プリント基板認識用カメラ
７２、７３  セル認識用カメラ
【図１】
0004524008.tif 000002
【図２】
0004524008.tif 000003
【図３】
0004524008.tif 000004
【図４】
0004524008.tif 000005
【図５】
0004524008.tif 000006