(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部、固定部、前記可動部と前記固定部とを接続する弾性部材、磁界発生手段、前記可動部に設けられて近接して配置された駆動用コイル及び検出用コイルを有し、
前記駆動用コイルに電流信号を印加して前記可動部を前記固定部に対して運動させ、前記運動により生ずる前記検出用コイルからの出力信号を前記電流信号にフィードバックして共振状態を発生及び維持させるアクチュエータ駆動装置において、
前記駆動用コイルに印加する前記電流信号を矩形波とし、
前記駆動用コイルと前記検出用コイルとが近接して配置されたことにより生じる前記矩形波の立ち上がりと立ち下がりとに同期し、前記検出用コイルからの前記出力信号に含まれる高周波の相互誘導成分のみを除去する高周波除去手段を有する、
ことを特徴とするアクチュエータ駆動装置。
【請求項２】
前記高周波除去手段は、前記相互誘導成分の周波数よりもカットオフ周波数が高いローパスフィルタ、前記相互誘導成分の周波数にカット周波数を合せたノッチフィルタ、又は前記検出用コイルからの前記出力信号の周波数に透過周波数を合せたバンドパスフィルタのうちいずれか１つのであることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ駆動装置。
【請求項３】
前記ローパスフィルタ、前記ノッチフィルタ又は前記バンドパスフィルタのいずれか１つのフィルタによる位相の変化を補償するための位相補償回路を更に有することを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、可動部や固定部、可動部と固定部を接続する弾性部材、磁界発生手段、駆動用コイル、検出用コイル等を有する装置に係り、特に当該可動部を常に共振状態で振動させるためのアクチュエータ駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電磁アクチュエータの例としては、例えば光ピックアップに使用されるアクチュエータ等がある。これは、振動ミラーによりトラッキング制御を行う為のものであり、ミラー駆動用コイル及びミラー振動検出用コイルがいずれも可動部に設けられ、磁石が固定部に設けられ、駆動用コイルに電流を印加するとローレンツ力によりミラーが駆動され、この時磁界内で検出用コイルが運動するために速度に比例した誘導起電力が発生し、これが振動検出信号となる。
【０００３】
このように２種類のコイルが相互に近接した位置に固定されて可動部に配置されていると、振動検出用コイルには速度に比例した誘導起電力の他に、駆動用コイルに印加する電流の変化に伴い両コイルの相互誘導作用による起電力が発生する。
【０００４】
以下、図１０にはマイクロマシン技術を用いて製作した電磁型光スキャナの構成例を更に示し、駆動用コイルと検出用コイルが近接して配置されている場合に相互誘導作用による起電力が発生する原理を説明する。
【０００５】
この図１０に示されるように、この電磁型光スキャナでは、ミラー１００の両側には永久磁石１０４が配設されている。この永久磁石１０４は、ヨーク１０７に固着されている。上記ミラー１００は、その反射面が同図でいう表面側に形成されており、同図でいう裏面側には駆動用コイル１０２及び検出用コイル１０３が形成されている。さらに、ミラー１００は、トーションバー１０１を介して支持体１０５に接続されている。
【０００６】
この電磁型光スキャナにおいては、支持体１０５、トーションバー１０１、ミラー１００、駆動用コイル１０２、検出用コイル１０３は、シリコンマイクロマシニングの技術で一体的に形成されており、その後、ウエハを切断し、ベースフレーム１０６に接着し、永久磁石１０４とヨーク１０７からなる磁気回路をベースフレーム１０６に固定することにより完成するものである。
【０００７】
このような構成において、上記駆動用コイル１０２に交流信号を印加すると、永久磁石１０４によって引き起こされる磁界と駆動用コイル１０２に流れる電流との相互関係により、ローレンツ力が働く。そして、このローレンツ力が働くことで、上記トーションバー１０１を介して支持体１０５に接続されたミラー１００は、該トーションバー１０１を通る軸を中心に回転する。
【０００８】
上記駆動用コイル１０２には交流信号が印加されているため、電流の向きが逆になるとローレンツ力が働く方向が逆になる。その結果として、上記ミラー１００はトーションバー１０１を通る軸を中心に反対方向に回転する。
【０００９】
従って、上記駆動用コイル１０２に交流信号を印加することで、ミラー１００は印加された交流信号に対応して回転する向きが逆になり、更に交流信号の周波数に対応して一定の周期で振動することになる。
【００１０】
一方、検出用コイル１０３には、ファラデーの法則により、角速度に比例した起電力が発生することになる。これがセンサ信号となる。
【００１１】
上記ミラー１００の反射面に不図示の光源からレーザー光を照射すると、該ミラー１００はレーザー光を反射するが、ミラー１００は交流信号に応じて一定周期で振動しているため、反射されたレーザー光は１次元方向に走査する。
【００１２】
なお、この電磁型光スキャナの上記ミラー１００は、ばねの構造や材質により決定される固有の共振周波数を有しており、一定の電流で駆動する場合は、駆動信号の周波数が共振周波数に一致したときが振れ角が最も大きくなる。
【００１３】
ここで、図１１は駆動信号に対するセンサ（角速度）信号の周波数特性を示している。この図１１において、横軸は周波数を示しており、ここでは対数表示をしている。センサ信号の振幅も同様に対数（ｄＢ）表示している。この図１１に示されるように、駆動信号の周波数が特定の周波数（共振周波数）になったときに、センサ信号の振幅が最大となり、この時に振れ角も最大となる。
【００１４】
ところで、図１１に示した周波数特性は理想的な状態を示しているが、実際には駆動用コイルと検出用コイルが近接しているために、両者の相互誘導による信号がセンサ信号に含まれてしまう。
【００１５】
即ち、駆動用コイル１０２に流れる電流を、
Ｉ＝Ｉ0ｓｉｎωｔ                        （１）
とおくと、コイル内部にはミラー面に略垂直な方向の磁界が発生し、その磁束密度は近似的には電流に比例すると考えられるので、
Ｂ＝Ｂ0ｓｉｎωｔ                        （２）
とおくことが可能である。
【００１６】
一方、検出用コイル１０３においては、上記（２）式で表される磁界が内部で発生しており、且つ時間的に変化するために電磁誘導によって誘導起電力が発生する。近似的に、検出用コイル１０３の内部の磁界が上記（２）式の値で一定で、検出用コイル１０３の面積をＡとすると、発生する起電力は、
Ｖ＝−（ｄＢＡ／ｄｔ）＝−ωＢ0Ａｃｏｓωｔ          （３）
と表され、これが相互誘導による信号となる。
【００１７】
この相互誘導作用による信号は、振動とは無関係な信号であるため、振動検出信号に含まれるのは好ましくない。
【００１８】
かかる点に鑑みて、特開昭６４−２０１５号公報では、固定部に第三のコイルを設け、駆動用コイルと第三のコイルの相互誘導作用による起電力出力を、振動検出用コイル出力に負帰還することにより、速度に比例した誘導起電力のみを検出する振動ミラー装置に関する技術が開示されている。
【００１９】
また、特公平７−７００８３号公報では、駆動用コイルを閉磁気回路の内側に、検出用コイルを閉磁気回路の外側に、それぞれ配置し、両コイル間の相互誘導作用を減少させることによって、検出用コイルには略速度に比例した誘導起電力のみを発生させる振動ミラー装置に関する技術が開示されている。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特開昭６４−２０１５号公報により開示された技術においては、固定部にコイルを新設する必要があるために、構成が複雑化し、低価格化、小型化の障害になる可能性があり、さらに、厳密には駆動用コイルに対する検出用コイルと第三のコイルの位置が異なるために、それぞれの相互誘導起電力が異なり、不要な信号成分を完全には除去することができなかった。
【００２１】
また、上記特公平７−７００８３号公報により開示された技術においては、閉磁気回路による磁気シールド効果を利用しているが、完全ではないために、駆動用コイルと検出用コイルの相互誘導起電力を完全には除去することができなかった。また、本来は両コイル共に揺動軸から遠い位置に配置するのが最も効率的であるのに対して、この従来技術においては両コイルの間に磁気回路を配置する必要があるために、コイル位置を最適化することが困難であった。
【００２２】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、簡単な構成で駆動用コイル、検出用コイルの相互誘導効果の影響を除去することが可能なアクチュエータ駆動装置を提供することにある。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成すべく、本発明の第１の態様では、可動部、固定部、前記可動部と前記固定部とを接続する弾性部材、磁界発生手段、前記可動部に設けられて近接して配置された駆動用コイル及び検出用コイルを有し、前記駆動用コイルに電流信号を印加して前記可動部を前記固定部に対して運動させ、前記運動により生ずる前記検出用コイルからの出力信号を前記電流信号にフィードバックして共振状態を発生及び維持させるアクチュエータ駆動装置において、前記駆動用コイルに印加する前記電流信号を矩形波とし、前記駆動用コイルと前記検出用コイルとが近接して配置されたことにより生じる前記矩形波の立ち上がりと立ち下がりとに同期し、前記検出用コイルからの前記出力信号に含まれる高周波の相互誘導成分のみを除去する高周波除去手段を有することを特徴とするアクチュエータ駆動装置が提供される。
【００２４】
さらに、第２の態様では、上記第１の態様において、前記高周波除去手段は、前記相互誘導成分の周波数よりもカットオフ周波数が高いローパスフィルタ、前記相互誘導成分の周波数にカット周波数を合せたノッチフィルタ、又は前記検出用コイルからの前記出力信号の周波数に透過周波数を合せたバンドパスフィルタのうちいずれか１つのであることを特徴とするアクチュエータ駆動装置が提供される。
【００２５】
また、第３の態様では、上記第２の態様において、前記ローパスフィルタ、前記ノッチフィルタ又は前記バンドパスフィルタのいずれか１つのフィルタによる位相の変化を補償するための位相補償回路を更に有することを特徴とするアクチュエータ駆動装置が提供される。
【００２６】
ここで、上記第１乃至第３の態様によれば以下の作用が奏される。
【００２７】
すなわち、上記第１の態様では、駆動信号が矩形波であるために、矩形波の立ち上がり／立ち下がりのごく短時間以外においては、駆動電流が変化せず、従って理論的に、駆動用コイルと検出用コイルとが近接して配置されたことにより生じる矩形波の立ち上がりと立ち下がりとに同期した高周波の相互誘導成分による起電力は検出コイルに発生しない。また、上記矩形波の立ち上がり／立ち下がりのごく短時間においては、駆動用コイルと検出用コイルとが近接して配置されたことにより生じる矩形波の立ち上がりと立ち下がりとに同期した高周波の相互誘導成分によって短いパルスが検出コイル出力に発生するが、この周波数成分は矩形波駆動においては通常動作周波数に対してかなり高いため、検出コイル出力信号から高周波成分を除去することで略除去される。従って、検出コイル出力信号は、純粋にアクチュエータ可動部の振動によって発生した信号となる。
【００２８】
さらに、上記第２の態様では、第１の態様の手法により、検出コイル出力に含まれる駆動用コイルと検出用コイルとが近接して配置されたことにより生じる矩形波の立ち上がりと立ち下がりとに同期した高周波の不要な相互誘導成分による信号の周波数成分が、本来の検出コイル出力信号の周波数とは異なることを利用して、ローパスフィルタ、ノッチフィルタ、又はバンドパスフィルタによって両成分が分離される。また、検出コイル出力に含まれる不要な上記相互誘導成分による信号の周波数成分が、本来の検出コイル出力信号の周波数に比して通常は極めて高いことを利用して、ローパスフィルタによって本来の検出コイル出力信号のみが分離され検出される。
【００２９】
また、上記第３の態様では、第２の態様で述べたローパスフィルタ、ノッチフィルタ又はバンドパスフィルタのいずれか１つのフィルタにより本来の検出コイル出力信号を分離する際に、フィルタの特性により位相が変化することを利用して位相が補償され、正確に共振状態が維持される。
【００３０】
【発明の実施の形態】
先ず、本発明の実施の形態の理解を深めるために、本発明のアクチュエータ駆動装置に関わる基本的な原理について説明する。
【００３１】
本発明の駆動対象となるアクチュエータの一例である電磁型光スキャナを正弦波の交流で駆動する場合については前述した通りである。
【００３２】
ここで、当該電磁型光スキャナを正弦波の交流で駆動した際の駆動周波数−振れ角の周波数特性は、図２に示される通りである。
【００３３】
以下、図２に示されるように、周波数帯域によって領域をＡ乃至Ｃの３つに分割して各領域における挙動を詳細に説明する。
【００３４】
先ず、領域Ａは、共振周波数に対して十分低い周波数であり、当該範囲では振れ角は周波数に依存せず、駆動信号と振れ角の位相差もない。即ち、電磁型光スキャナの挙動は基本的に駆動信号に追従することになる。
【００３５】
領域Ｂは、共振周波数付近であり、当該範囲では振れ角の増加と位相の遅れが発生し、電磁型光スキャナの挙動は必ずしも駆動信号には追従しない。即ち、電磁型光スキャナの振れ角は、周波数や減衰率に影響されることになる。
【００３６】
領域Ｃは、共振周波数に対して十分高い周波数であり、当該範囲では基本的にバネの影響は無視することができる。即ち、駆動力が一定であれば、電磁型光スキャナの角加速度が一定になるように応答することになる。
【００３７】
以上をまとめると、共振周波数では振れ角のゲインが非常に高く、その後、高周波領域では振れ角は急速に小さくなることになる。これは、角加速度が一定になるように応答するためであると考えられる。
【００３８】
ここに、本発明の実施の形態に係るアクチュエータ駆動装置では、図２の周波数特性を有する電磁型光スキャナ等を矩形波の交流で駆動するものであるが、この場合の駆動原理は、以下のように考えれば良いことになる。
【００３９】
即ち、矩形波は幾つかの周波数成分を有する正弦波の合成によって得られ、フーリエ級数展開を行うと各周波数成分に分解することが可能である。
【００４０】
例えば、共振周波数をｆrとおくと、
【数１】
0004590081.tif 000002
という矩形波関数は、フーリエ級数展開すると、
【００４１】
【数２】
0004590081.tif 000003
と表される。
【００４２】
ここで、時間領域でＩ（ｔ）を表したものと、それを周波数領域で表したものを、それぞれ図３（ａ），（ｂ）に示す。
【００４３】
これら図３（ａ），（ｂ）からも明らかなように、駆動信号を各周波数成分に分解すれば、各周波数に対する電磁型光スキャナの応答を合成したものが矩形波駆動信号に対する電磁型光スキャナの応答となる。
【００４４】
このとき、上記（４）式によれば、矩形波信号の周波数成分は、ｆr，３ｆr,５ｆr，…となっており、共振周波数以外はいずれも図２の領域Ｃに属し、且つ上記（５）式における係数値も小さくなる。
【００４５】
ゆえに、これらの周波数成分に対する電磁型光スキャナの応答は、共振周波数成分に対する応答と比較して、略無視することができることになる。
【００４６】
従って、共振周波数で駆動している場合には、駆動波形が矩形波であっても、電磁型光スキャナの応答は略正弦波的な応答になることが判る。
【００４７】
次に、矩形波駆動における検出用コイルの出力について説明する。
【００４８】
上記（３）式によれば、相互誘導作用による信号は、検出用コイル内部を通過する磁束の時間的な変化率に比例することが判る。即ち、相互誘導作用による信号は、駆動用コイルに流れる電流の時間的な変化率に比例する。
【００４９】
ところで、矩形波による駆動においては、駆動用コイルに流れる電流は、矩形波の立ち上がり、立ち下がりにおいて急峻に変化するが、それ以外のタイミングにおいては一定となるため、相互誘導作用による信号も、矩形波の立ち上がり、立ち下がりに同期したタイミングでのみ発生する。
【００５０】
一方、本来の検出信号は、電磁型光スキャナの応答が正弦波的であるために、正弦波駆動の場合と基本的に同じである。
【００５１】
従って、矩形波駆動においては、図４（ａ）に示すような検出信号が得られることになる。ここでは、参考までに、正弦波駆動における検出信号を図４（ａ）の比較対象として図４（ｂ）に示している。
【００５２】
この図４（ａ）より、電磁型光スキャナを矩形波で駆動した場合には、駆動波形の立ち上がり、立ち下がりに同期したタイミングでのみ短時間に相互誘導成分が現れるが、上記駆動波形の立ち上がり、立ち下がり以外のタイミングでは、相互誘導作用の影響は発生しないことが判る。
【００５３】
尚、図４（ｂ）に示した検出信号は略正弦波形状となっているが、厳密には相互誘導の影響で全体に渡って正弦波から歪んだ波形となっている。
【００５４】
本発明は、以上説明した原理の下に成り立っており、相互誘導成分が現れる期間の検出信号のみを、高周波除去手段で除去することで、相互誘導の影響のない検出信号を得ることを特徴とするものである。
【００５５】
以下、上記原理を踏まえて、本発明の実施の形態について詳述する。
【００５６】
図１は本発明の第１の実施の形態に係るアクチュエータ駆動装置の構成を示すブロック図である。図１に示されるように、スキャナ１の出力は、増幅用アンプ２、低周波透過フィルタ（LPF；Low  Pass  Filter）３を介して共振周波数追従／振幅制御回路４の入力に接続されている。さらに、この共振周波数追従／振幅制御回路４の出力はその入力にフィードバックされると共に、ドライバアンプ５を介してスキャナ１の入力に接続されている。
【００５７】
このような構成において、スキャナ１が運動中には、その角速度に比例したセンサ信号が出力され、増幅用アンプ２により増幅される。
【００５８】
ここで、スキャナ１の駆動信号が矩形波である場合には、図中「増幅後センサ信号」として示したように、信号レベルが中立位置付近において、短時間に相互誘導の成分を反映したパルスが含まれたセンサ信号が得られる。
【００５９】
この信号を、ＬＰＦ３を通すと、その出力は図中「不要成分除去後センサ信号」として示したように、相互誘導成分を反映したパルスが除去されて、正弦波状のセンサ信号が得られる。
【００６０】
ここで、図５は上記ＬＰＦ３の周波数特性例を示す図である。
【００６１】
同図において、横軸は周波数、縦軸は信号の透過率（ゲイン）を示す。
【００６２】
このＬＰＦ３においては、カットオフ周波数より低い周波数成分の信号は略１００％透過し、カットオフ周波数以上の周波数成分の信号は、周波数が高くなるに連れて透過率は低減することになる。
【００６３】
従って、図５に示されるように、スキャナ１の共振周波数（本来のセンサ信号の周波数）がカットオフ周波数より低く、相互誘導成分によるパルスの周波数成分がカットオフ周波数より高くなるようにＬＰＦ３のカットオフ周波数を設定すれば、本来のセンサ信号成分のみを抽出することが可能である。
【００６４】
この信号が共振周波数追従／振幅制御回路４に入力されると、共振周波数追従／振幅制御回路４は、センサ信号の振幅が目標値に一致し、且つ駆動周波数が共振周波数と一致するように制御された矩形波状の駆動信号を出力する。
【００６５】
上記駆動周波数と共振周波数を一致させるためには、例えば周波数を僅かに変化させて振幅が最大となる周波数を決定する方法や、駆動信号とセンサ信号の位相差が所定の値となるように周波数を決定する方法等があるが、必ずしもこれらには限定されないことは勿論である。
【００６６】
こうして、共振周波数追従／振幅制御回路４より駆動信号が出力されると、これがドライバアンプ５によって増幅されてスキャナ１の駆動用コイルに電流が印加され、継続的に共振周波数において駆動される。
【００６７】
以上に述べたように、第１の実施の形態によれば、駆動信号を矩形波とすることで、矩形波の立ち上がり、立ち下がり以外のタイミングでは、原理的に相互誘導が発生しないため、スキャナ１の運動状態を正確に反映したセンサ信号が得られることになる。
【００６８】
また、センサ信号からローパスフィルタ３によって相互誘導により発生したパルス状の信号成分を除去することにより、略完全にセンサ信号から相互誘導成分を除去することが可能となり、スキャナ１の運動状態を正確に反映したセンサ信号が得られることになる。
【００６９】
尚、第１の実施の形態は、以下の如く改良・変更が可能である。
【００７０】
即ち、例えば、センサ信号の不要成分除去のために、上述したＬＰＦ３を用いる代わりに、特定周波数を透過させる「バンドパスフィルタ」或いは特定周波数を除去する「ノッチフィルタ」を用いることも可能である。
【００７１】
詳細には、バンドバスフィルタを用いる場合には、図６に示されるように、アクチュエータの共振周波数（＝検出信号周波数）にフィルタの透過周波数を合わせることで、本来のセンサ信号のみを分離して取り出すことが可能となる。
【００７２】
更に、ノッチフィルタを用いる場合には、図７に示されるように、相互誘導成分を反映したパルスの周波数成分にフィルタのカット周波数を合わせることで、不要成分を除去して本来のセンサ信号のみを残すことが可能となる。
【００７３】
また、駆動信号は完全な矩形波が望ましいが、回路設計上完全な矩形波は実現困難な場合がある。その場合、立ち上がり、立ち下がりが比較的急峻でその間は一定レベルを保つ擬似的な矩形波であっても良い。但し、立ち上がり、立ち下がりの急峻さが矩形波に比べて劣るため、相互誘導成分によるパルスの周波数が低下して、本来のセンサ信号との分離は若干困難となる。
【００７４】
ここで、上記第１の実施の形態のようにフィルタを使用すると、通常位相のずれが発生する。共振周波数の追従を駆動信号と検出信号の位相差により行う場合には、本来の検出信号に対して位相のずれた信号と駆動信号の位相を比較することになり、共振周波数からずれた周波数に追従してしまう可能性がある。
【００７５】
以下、かかる問題を解決した第２の実施の形態について説明する。
【００７６】
図８及び図９は、第２の実施の形態に係るアクチュエータ駆動装置の構成を示すブロック図である。尚、ここでは、図１と同一構成については同一符号を付して説明を省略し、特徴的な部分を中心に説明することにする。
【００７７】
この図８の構成においては、共振周波数追従／振幅制御回路４からの出力をフィードバックする経路に位相補償回路６が設けられている点で図１の構成と相違している。一方、図９の構成においては、ＬＰＦ３の出力が位相補償回路６を介して共振周波数追従／振幅制御回路４の入力に接続されている点で図１の構成と相違している。その他の構成は第１の実施の形態と同様である。
【００７８】
以上述べたように、第２の実施の形態によれば、上記位相補償回路６により、ＬＰＦ３による位相ずれと同等の位相ずれを発生させることで、本来の検出信号に対して位相のずれた信号と駆動信号の位相を比較し共振周波数からずれた周波数に追従してしまうような事態を防止することができる。
【００７９】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこれに限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の改良が可能である。
【００８０】
例えば、上述した実施の形態では、本発明のアクチュエータ駆動装置の駆動対象として電磁型光スキャナを例に挙げて説明したが、これに限定されることなく、加速度センサ、角速度センサ（ジャイロ）等、共振状態での動作を前提とする種々のものに適用できることは勿論である。
【００８１】
また、例えば、不要信号の除去には、必ずしもフィルタを使用する必要はなく、例えば不要信号と同等レベルの信号を故意に作り出して、不要信号に極性を反転させて加えることにより除去する手法も採用することができる。
【００８２】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、簡単な構成で、駆動用コイルと検出用コイルとが近接して配置されたことにより生じる矩形波の立ち上がりと立ち下がりとに同期した高周波の不要な相互誘導成分の影響を除去することが可能なアクチュエータ駆動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るアクチュエータ駆動装置の構成を示すブロック図である。
【図２】電磁型光スキャナを正弦波の交流で駆動した際の駆動周波数−振れ角の周波数特性を示す図である。
【図３】（ａ）は矩形波関数を時間領域で示した図であり、（ｂ）は矩形波関数を周波数領域で示した図である。
【図４】（ａ）は矩形波駆動で得られる検出信号を示す図であり、（ｂ）は正弦波駆動で得られる検出信号を示す図である。
【図５】ＬＰＦ３の周波数特性例を示す図である。
【図６】バンドパスフィルタの周波数特性例を示す図である。
【図７】ノッチフィルタの周波数特性例を示す図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係るアクチュエータ駆動装置の構成を示すブロック図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係るアクチュエータ駆動装置の構成を示すブロック図である。
【図１０】マイクロマシン技術を用いて製作した電磁型光スキャナの構成図である。
【図１１】駆動信号に対するセンサ（角速度）信号の周波数特性を示す図である。
【符号の説明】
１  スキャナ
２  増幅用アンプ
３  ＬＰＦ
４  共振周波数追従／振幅制御回路
５  ドライバアンプ
６  位相補償回路
【図１】
0004590081.tif 000004
【図２】
0004590081.tif 000005
【図３】
0004590081.tif 000006
【図４】
0004590081.tif 000007
【図５】
0004590081.tif 000008
【図６】
0004590081.tif 000009
【図７】
0004590081.tif 000010
【図８】
0004590081.tif 000011
【図９】
0004590081.tif 000012
【図１０】
0004590081.tif 000013
【図１１】
0004590081.tif 000014