(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空部が形成され、２つの曲げ振動を合成して駆動部に円又は楕円運動を発生させる振動体と、
前記振動体の前記中空部を貫通する出力軸と、
前記振動体の前記駆動部に加圧接触し、前記円又は楕円運動により駆動されて前記出力軸と一体に回転する回転体と、
前記振動体の前記中空部内に、前記振動体よりも前記回転体側に移動しないように規制されて配置された前記出力軸を支持する軸受部材と、を有し、
前記軸受部材は、前記振動体の前記２つの曲げ振動の略節となる位置に設けられていることを特徴とする振動波駆動装置。
【請求項２】
前記振動体は、複数の弾性部材と、前記複数の弾性部材間に配置される電気−機械エネルギー変換素子と、前記複数の弾性部材の内周部側に配置され、前記複数の弾性部材を締結するための締結部材とを有し、
前記複数の弾性部材のうち少なくとも１つの弾性部材の内周部に前記軸受部材を配置したことを特徴とする請求項１に記載の振動波駆動装置。
【請求項３】
前記振動体は、複数の弾性部材と、前記複数の弾性部材間に配置される電気−機械エネルギー変換素子と、前記複数の弾性部材の内周部側に配置され、前記複数の弾性部材を締結するための締結部材とを有し、
前記締結部材の内周部に前記軸受部材を配置したことを特徴とする請求項１に記載の振動波駆動装置。
【請求項４】
前記軸受部材は、前記振動体の軸方向に沿って一定量の移動が許容可能に配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに１項に記載の振動波駆動装置。
【請求項５】
前記軸受部材は軸方向に変位可能であることを特徴とする請求項２または請求項４に記載の振動波駆動装置。
【請求項６】
前記締結部材の端部近傍の内周部に、前記軸受部材の軸方向の移動を許容する空隙を形成したことを特徴とする請求項３または請求項４に記載の振動波駆動装置。
【請求項７】
前記軸受部材は軸方向に弾性変形可能であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の振動波駆動装置。
【請求項８】
前記振動体は軸方向両側に前記駆動部を有し、前記各駆動部に対応して前記回転体がそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は出力軸を有する振動波駆動装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、出力軸を有する振動波駆動装置としての振動モータはいくつか知られている。例えば図１１に示すように、特開平５−３８１７０号公報に開示されているモータがある。
【０００３】
このモータは、中空筒状の弾性体としての金属ブロック１５０と１５２の間に圧電素子１４２と１４４とを配置し、これらの金属ブロック１５０、１５２の内周側に配置した筒状の結合ボルト１５４により両金属ブロックを結合したものを振動体１４０としている。
【０００４】
一方、モータハウジング（外側ケース）は、ケース本体１７０と、ケース本体の開口端に配置されたモータ中心部に位置する筒状のモータ支持部１７１ａを備えた蓋部１７１を有し、このモータ支持部１７１ａがモータ支持部をなしており、該モータ支持部１７１ａには軸受１７２が配置されて出力軸１３４を支持し、さらに結合ボルト１５４の内径部に設けられたリング状ツバ部１７５が固定され、振動体１４０を支持している。
【０００５】
また、振動体１４０の片側には、接触体としての回転体（ロータ部）１３０が配置されており、このロータ部１３０はバネ１３３のバネ力により金属ブロック１５２の端面に円板形状のロータ本体１３２を加圧接触させている。バネ１３３はロータ本体１３２と支持プレート１３６との間に配置され、ロータ本体１３２と出力軸１３４は結合されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例では軸受１７２がケースを構成する蓋部１７１のモータ支持部１７１ａの一端側から挿入されているので、振動体の振動などで抜けやすい。
【０００７】
また、それを避けるためには、軸受をケースに接着などして固定する必要がある。
【０００８】
本出願に係る発明の目的は、出力軸の軸受の固定が簡単で信頼性が高い構成の振動波駆動装置を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、中空部が形成され、２つの曲げ振動を合成して駆動部に円又は楕円運動を発生させる振動体と、
前記振動体の前記中空部を貫通する出力軸と、
前記振動体の前記駆動部に加圧接触し、前記円又は楕円運動により駆動されて前記出力軸と一体に回転する回転体と、
前記振動体の前記中空部内に、前記振動体よりも前記回転体側に移動しないように規制されて配置された前記出力軸を支持する軸受部材と、を有し、
前記軸受部材は、前記振動体の前記２つの曲げ振動の略節となる位置に設けられていることを特徴とする。
【００１０】
（削除）
【００１１】
（削除）
【００１２】
（削除）
【００１３】
（削除）
【００１４】
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【００１５】
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【００１６】
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【００１７】
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【００１８】
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【００１９】
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【００２０】
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【００２１】
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【００２２】
（削除）
【００２３】
（削除）
【００２４】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
図１は本発明の第１の実施の形態を示す。
【００２５】
図１は振動波駆動装置としての棒状の振動波モータの中心軸に沿った断面図を示す。
【００２６】
本実施の形態における振動体は、円環形状の圧電素子（電気−機械エネルギー変換素子）４、金属薄板で成形された支持体３及びフレキシブルプリント基板１８を中空金属製の２つの弾性体５、６の間に配置し、該２つの弾性体を締結部材である金属製の中空ボルト１により挟持固定して構成されている。
【００２７】
本実施の形態の振動体は、圧電素子４へ交番電圧である駆動信号を印加することにより、位相差を有する２つの曲げ振動を励起し、その合成により、駆動部（摩擦摺動面）に円又は楕円運動を発生するものである。その駆動原理については特開平３−０１１９８１号公報等に記載され周知であるため説明は省略する。
【００２８】
但し、本実施の形態では回転体を振動体の両端に２つ配置して、効率良く高トルクを得ている。
【００２９】
なお、本実施の形態の振動体においては、振動体の軸心部に孔が有り、該孔に出力軸が貫通する形態の振動波駆動装置であるなら、本発明と同等の効果が得られる。
【００３０】
本実施の形態の振動波駆動装置において、前記振動体は縄とびの縄の様な振動運動をしている。
【００３１】
前記振動体には、２つの曲げ振動の合成で得られる振動により軸方向に沿って節位置が２つの振動が形成され、この振動の略節部に軸受７、８がそれぞれ配置される。振動の略節位置となる軸受７，８の取付部分は振動変位がきわめて小さい所なので、振動体の振動を阻害しない。
【００３２】
ここで、軸受７、８は中空ボルト１の両端部と弾性体５、６の内径部との間に密着して挟まれているので、接着剤などを使用せずに容易に軸受を振動体に対し固定出来る。この軸受７、８は、樹脂板から切り出して形成されている。
【００３３】
支持部材３は、圧電素子４と弾性体５との間に配置挟持される挟持部と、この挟持部より径方向外方に弾性体５の外周より延出している支持部とを有している。この支持部は、外周部が２分割構成のケース１９、２０の嵌合部に挟持されており、支持部材３は、振動体を支持している。そしてこの支持部材３の支持部は振動体の振動の腹に近い所に位置している。
【００３４】
この支持部材３の支持部は振動体の軸心と略垂直方向に円運動をする。この振幅変位は、弾性体５、６の駆動部における振幅変位に比べて著しく小さい。それでも、該支持部を強固に支持固定することは出来ない。そのため、支持部材３は薄板で弾性のある部材で構成され、ここで振動を吸収するようにしている。これにより、振動波モータの両端をケース（振動の外系）１９、２０に強固に固定出来る。
【００３５】
支持部材３は主に出力軸２にトルクが発生すると、その反作用としてのねじれ力を受ける。このことから、支持部材３は振動体の前記円運動に対しては柔らかく、ねじれ力に対しては剛くなるように形成されている。
【００３６】
本実施の形態の振動体は、1カ所で強固に支持出来る部分がなかなか無いため、複数の支持手段を用いて振動体を支持するようにしている。
【００３７】
この複数の支持手段の１つは前記した支持部材３であり、この支持部材３により振動体の回転方向の拘束を行なっている。
【００３８】
また、前記した複数の支持手段の他の一つは、本実施の形態において出力軸２を支持する軸受７、８およびスペーサ９が担っており、振動体の軸心を決定すると共に、スペーサ９及びケース用ベアリング１０により振動体の軸心方向（スラスト方向）を拘束する。
【００３９】
弾性体５及び弾性体６の駆動部に対向してロータ１１,１２がそれぞれ同軸上に配置されている。ロータ１１、１２は、弾性体５，６との対向側部分の外径が小径に形成され、該小径部の外周にマルテンサイト系ステンレスの薄板をプレス絞り加工でリング状に成形したものを３枚重ね合わせて嵌合したものを摩擦部材１１ａ、１２ａとし、各摩擦部材１１ａ,１２ａの外周に締め付けリング１１ｂ、１２ｂを装着することにより、ロータ１１,１２にリング状の摩擦部材１１ａ,１２ａをかしめ固定する。なお、各摩擦部材１１ａ,１２ａのロータ１１、１２より突出した部分（弾性体５、６の駆動部との接触部分）は、中心（出力軸２）側に向かって絞り込まれてバネ性が付与され、弾性体５，６の駆動部に形成される駆動振動との良好な追従性が得られるようになっている。
【００４０】
前記ステンレス製の摩擦部材１１ａ,１２ａはプレス加工後、焼入れ・焼戻し処理して硬さを向上させている。また、摩擦部材を構成する部材の枚数を増すほど同等の耐久性で、高トルクの駆動装置が出来る。
【００４１】
一方、高いトルクの駆動装置にするにはロータ１１、１２（摩擦部材１１ａ、１２ａ）を振動体の駆動部へ強く圧接させる必要がある。摩擦部材１１ａ、１２ａ及び振動体の摩擦部分（摺動部分）に生じる摩耗は摩擦部分の面圧に影響を受けるので、摩擦部分の面積が同じまま該圧接の力を増加させると、摩擦部材１１ａ、１２ａの摩耗が増大し、モータの耐久性が低下する。
【００４２】
一方、単に摩擦部材１１ａ、１２ａの板厚を増大させると、摩擦部材１１ａ、１２ａの剛性が著しく大きくなる。その結果、鳴きを発生したり、摩擦部分のすべりが生じて振動波モータの駆動効率が低下してしまう。さらに、弾性体５、６の駆動部と摩擦部材１１ａ、１２ａとの間に水分が凝縮して、密着力（吸引力）を生じ、振動波モータが起動しなくなることもある。
【００４３】
そのため、本実施の形態の様に独立して変形可能な複数の摩擦部材１１ａ、１２ａを設けることで、高トルク型の振動波モータに対応している。
【００４４】
また、ロータ１１,１２を弾性体５、６に圧接させる、すなわち、摩擦部材１１ａ,１２ａを弾性体５,６の駆動部に圧接させるために加圧バネ１３、１４がロータ１１,１２の内径部内にそれぞれ配置され、加圧バネ１３,１４の軸方向外方端部は、ロータ１１,１２の軸方向外方に設けた円盤形状の回り止め部材１５,１６に当接している。回り止め部材１５,１６と弾性体５,６との間の間隔を調節（言い換えれば、加圧バネ１３、１４の長さを調節）することにより、バネ圧を変更できる。なお、回り止め部材１５,１６は、回転体であるロータ１１,１２の回転力を出力軸２に伝達するためのものであり、出力軸２に圧入され固定されている。もちろん、レーザ溶接のようなさらに確実な方法で固定してもよい。さらに、出力軸２の外周面にローレットやスプライン溝を設けて圧入するのもよい。ロータ１１、１２の端部と回り止め部材１５、１６との間には、加圧バネ１３、１４の加圧力調整等のために隙間が設けられている。
【００４５】
本実施の形態において、回り止め部材１５、１６にはロータ１１,１２に対向して２個所に爪１５ａ、１６ａが軸対称に形成されており、爪１５ａ、１６ａがロータ１１,１２の端部（回り止め部材１５、１６と対向する端部）に形成された溝に嵌合して、ロータ１１、１２の回転力を回り止め部材１５、１６に伝えている。なお、爪１５ａ、１６ａはロータ１１,１２側に設けてもよい。また、ピンなどの別部材をロータあるいは回り止め部材に圧入してもよい。
【００４６】
図１中左側に設けられた一方の回り止め部材１６には、スペーサ９側のスリーブ部１６ｂに出力軸２と直交方向にネジ孔１６ｃが軸対称に形成され、ネジ孔１６ｃに止めネジ１７をねじ込むことにより、一方の回り止め部材１６を出力軸２に固定できるようになっている。
【００４７】
この止めネジ１７を緩めることで、振動波モータを分解出来る。右ケース１９及び左ケース２０はその嵌合部で前述のように支持部材３を固定し、また端部でそれぞれケース用ベアリング１０を保持している。
【００４８】
各ベアリング１０と回り止め部材１５，１６との間には、スペーサ９が配置され、ガタが生じないようになっている。
【００４９】
上記の構成において、出力軸２に対して図1中左方向の力（外力）が加わった場合、止めネジ１７により出力軸２と一体の回り止め部材１６がスペーサ９に当接して左方向移動が規制される。
【００５０】
また、出力軸２に対して図１中右方向の力（外力）が加わった場合、図中左側の回り止め部材１６、加圧バネ１４、ロータ１２、摩擦部材１２ａ、振動体（弾性体５、６）、摩擦部材１１ａ、ロータ１１、加圧バネ１３を介して回り止め部材１５に伝わり、回り止め部材１５はスペーサ９と当接してそれ以上の移動が規制される。このように、出力軸２に側力（出力軸２の軸方向における外力）が加わっても、ロータ１１、１２（摩擦部材１１ａ、１２ａ）及び弾性体５、６の摩擦部分には何ら影響も与えないので、振動波モータの出力特性は安定している。
【００５１】
図２は図１に示した１つの軸受付近を拡大したものである。
【００５２】
この軸受８は、中空ボルト１の端部１ａ、弾性体６の内径部と接触しないようにしている。接触させない理由は２つある。
【００５３】
第１に、振動体が振動中、軸受８と中空ボルト１の端部１ａ、あるいは弾性体６との接触面で互いにすべりを生じ、内部損失（運動エネルギーからエネルギーへの非可逆な変換であり、材料自体の持っているものと材料同士の接触界面で生じる摩擦損失も含む）が増大するのを防ぐためである。
【００５４】
軸受には通常高分子材料のような、一般に振動減衰能の高い材料を使用するので、前記すべりによる該軸受の変形で内部損失が大きくなる。
【００５５】
第２に、振動モードの変化に応じて、自動的に軸受８を最も振動の小さい所へ移動させて、内部損失や振動もれによる鳴きの発生を防ぐためである。軸受８は上述のように、設計上、振動体の略節部に配置している。
【００５６】
しかし、図１において、ロータ１２の摩擦部材１２ａから振動体が摩擦力を受けると、振動体における節部の位置が若干変化することもある。このような位置変化を許容できるようにするために、軸受８と中空ボルト１の端部１ａとの間に隙間を設け、軸受８を軸方向に僅かながらでも自由に移動出来るようにしている。
【００５７】
本実施の形態では、軸受８と中空ボルト１の端部１ａとの間に上述した隙間を設けるために、中空ボルト１の突き当て部１ｂを、弾性体６の内周側に設けられた段部に当接させている。
【００５８】
中空ボルト１の軸方向における両端側は、先端部に向かって外径が順に小さくなる3段の外周部に形成され、外径が中間の中央外周部（２段目の外周部）に雄ネジ部が形成され、該中央外周部と大径の外周部との境目の段部が突き当て部１ｂを構成する。また、弾性体６の内周は、中空ボルト１の外周部に対応して、外端部に向かって内径が順に小さくなる内周部が形成され、中空ボルト１の雄ネジ部と螺合する雌ネジ部が形成された中央内周部と、この中央円周部と隣り合う内径の大きな内周部とを有している。そして、弾性体６における中央内周部及び内径の大きな内周部の間の段部が突き当て部１ｂと当接するまで、中空ボルト１の雄ネジ部と雌ネジ部との螺合が行なわれる。この状態で、中空ボルト１の端部１ａと軸受８との間には、上記した隙間が形成される。振動体を構成するにあたって、まず圧電素子４や支持部材３及び圧電素子４に電力を供給するなど（逆に、圧電素子４の変位で発生した出力電圧を取り出す役割もある。）の役割を持つフレキシブルプリント基板１８は、２つの弾性体５、６の間ですべて密着して挟持固定されている必要がある。
【００５９】
そのために、中空ボルト１の突き当て部１ｂと弾性体５、あるいは弾性体６の内、一方との間には隙間が生じるように予め設定している。
【００６０】
次に、中空ボルト１の突き当て部１ｂが弾性体５、あるいは弾性体６の内周側の段部に突き当たっても、中空ボルト１の端部１ａが軸受７及び８に接触しない様に、中空ボルト１の全長、弾性体５、６の内部のスラスト寸法及び軸受７,８の厚さが決められている。
【００６１】
この実施の形態では、圧電素子４、支持部材３及びフレキシブルプリント基板１８のそれぞれの内径と、中空ボルト１の中央付近の外径との嵌合により、以上の部品間の位置関係が決められる。
【００６２】
さらに、中空ボルト１の外径と弾性体５、６の内径嵌合部（６ａ）との嵌合により、それらの部品間の中心位置関係も決められる。
【００６３】
なお、本実施の形態は振動体（弾性体５、６）の軸方向両側にロータ１１、１２を配置したタイプについて説明したが、振動体の片側だけにロータを配置したタイプでも良い。また、振動体内に２つの軸受７、８を配置しているが、１つの軸受だけでも良い。
（第２の実施の形態）
図３は第２の実施の形態を示す。
【００６４】
図２では、中空ボルト１の両端側に3段の外周部を形成し,中央（２段目）の外周部に雄ネジ部を形成し、それよりも軸方向中央側の大径の外周部との間の段部を弾性体６の内周部に形成された段部に当接させることで、中空ボルト１及び弾性体６間のねじ込みを規制し、軸受８と中空ボルト１の端部１ｄとの間に隙間を形成しているが、本実施の形態では、中空ボルト１の先端側にある程度の長さを残して雄ネジ部を形成している。そして、この中空ボルト１の雄ネジ部の端部を突き当て部１ｃとし、突き当て部１ｃを弾性体６の内周に形成した段部に突き当てることで、中空ボルト１の端部１ａと軸受８との間に隙間を形成している。なお、図２に示す実施の形態では、中空ボルト１の反対側の突き当て部（図示せず）と弾性体５（図３では図示せず。図１には図示）の内径部は大抵は突き当たっている。
【００６５】
本実施の形態は第１の実施の形態と異なり、中空ボルト１の中央付近にもネジが切ってあるので、該中空ボルト１のネジ部は転造加工が容易である。すなわち、第１の実施の形態のように、２個所にネジ部があると、２工程で転造加工しなければならないので工数がかかるが、本実施の形態ではこのような点が解消されている。
【００６６】
バイトによる切削加工やタップ加工に比べて転造加工の優れた点は、安価な加工コスト、高強度なネジ山、さらにはボルト自身の材質として切削加工に適さない焼入れ硬化可能な高強度合金鋼を選択出来ることである。
【００６７】
本実施の形態のモータに使用する中空ボルト１には、上記の転造ボルトが最適である。
（第３の実施の形態）
図４は第３の実施の形態を示す。
【００６８】
本実施の形態は、外径が一定の中空ボルト１の内周の両端部に、この内周における他の部分よりも大径の内径部を夫々形成し、この大径の内径部に、軸受８を設けたものである。予め軸受８を中空ボルト１に嵌合しておけば、容易に振動体を組み立てられる。
【００６９】
本実施の形態の場合に限らないが、軸受８を中空ボルト１の内周部に嵌合すると軸受８の内径部が小さくなる場合があるので、出力軸２を軸受８に貫通させる前にリーマなどで内径寸法を仕上げることもある。
【００７０】
その場合は、中空ボルト１と軸受８を組み合わせた後に、該リーマ加工を施しておけば、振動体を組み立てた後に該リーマ加工を実施するより工程が簡単であり、これにより、切り粉の処理が簡単で部品に打痕やキズをつける心配が少なくなる。
【００７１】
摩擦摺動部に摩擦係数の小さい高分子材料が残留すると、振動波モータのトルク低下や回転ムラになってしまう。
【００７２】
またリーマ加工時、摩擦面などに高い平面精度を必要とする振動体を固定するにあたって、打痕やキズを防ぐため細心の注意あるいは複雑な組立装置が必要になってくる。
【００７３】
但し、振動体の軸心と軸受の孔（＝出力軸の軸心）との同軸度を高める必要がある時は、逆に振動体を組み立ててから前記リーマ加工をした方がよい。
（第４の実施の形態）
図５は第４の実施の形態を示す。
【００７４】
本実施の形態における中空ボルト１は、図３に示すものと同じものを用いており、異なるのは軸受８を樹脂又はゴムで形成し、軸受８の外周には周方向に沿ってＶ溝部が形成されている。そしてこの軸受８は軸方向に弾力を有し、弾性変形できるようになっている。この軸受８を樹脂製とする場合は、樹脂板から切り出して形成されている。
【００７５】
このため、たとえスラスト方向の寸法誤差で中空ボルト１の一端が先に軸受８に当たっても、軸受８自体が軸方向に弾性変形することで、前述したように振動体の組立で最も重要なことを阻害しない。
【００７６】
つまり、２つの弾性体５、６と圧電素子４、支持部材３及びフレキシブルプリント基板１８を当接させたままとすることができる。
【００７７】
また、軸受８は、中空ボルト１と弾性体６との間に挟まれて、軸方向に変形することで、特に内径部が小さくなるので、軸受８の内周は出力軸２としっかりと密接する。
（第５の実施の形態）
図６は第５の実施の形態を示す。
【００７８】
上記した図５に示す実施の形態においては、軸受８を樹脂又はゴムで形成することにより、軸受８自体に軸方向の弾性変形を与えることができるようにしているが、本実施の形態の軸受８はバネ部材により円錐台形に形成し、軸受８がちょうど皿バネと同じように機能し、軸方向に弾性変形可能であり、この場合も上記の実施の形態と同様の効果が得られる。また、本実施の形態の軸受８は、板状の素材をプレス打ち抜きで簡単に作製することが出来る。
（第６の実施の形態）
図７は第６の実施の形態を示す。
【００７９】
本実施の形態における軸受８は、軸方向の外端側には出力軸２を僅かな幅で支持するための内フランジ部８ａが形成され、反対側には弾性体６の内周に僅かな幅で支持されるための外フランジ部８ｂが形成されている。また、弾性体６の内周部には、軸受８の外方端部（内フランジ部８ａが設けられた外周側の端部）と嵌合して、軸受８の軸方向外方への位置規制を行なう段部が形成されている。
【００８０】
また、中空ボルト１の端部まで雄ネジ部が形成され、中空ボルト１を弾性体６にねじ込み、中空ボルト１の端部が軸受８の端部（外フランジ部８ｂ）に当接するまでねじ込まれる。本実施の形態における軸受８は樹脂の射出成形で作られており、内フランジ部８ａで出力軸２を支持し、外フランジ部８ｂで弾性体６に支持されることにより軸受８の外径部が弾性体６と接触する部分を最小限面積とし、振動漏れを小さくしつつ、圧入作業を行いやすくしている。
【００８１】
また、振動漏れと摩耗との兼ね合いで、軸受８の内径部の接触面積（出力軸２に対する内フランジ部８ａの接触面積）も決める。
【００８２】
本実施の形態では、軸受８の全長（軸方向の長さ）を長くした分、中空ボルト１の全長を短く出来る。その結果、軸受８と中空ボルト１を合わせた合計コストが低減可能である。
（第７の実施の形態）
図８は第７の実施の形態を示す。
【００８３】
本実施の形態において、軸受８をゴム製のオー（Ｏ）リングで形成している。
【００８４】
本実施の形態においては、出力軸２と弾性体６との間に、ゴム製のＯリングである軸受８が挟まれているため、振動体の振動を確実に遮断し、出力軸２にはほとんど振動漏れがない。
【００８５】
また、オーリングの軸受８の表面にはフッ素樹脂などの潤滑性のある表面処理が施され、軸受８における摩擦損失が低減して出力軸２の回転負荷を低減するようにしている。
（第８の実施の形態）
図９は第８の実施の形態を示す。本実施の形態は、出力軸２に周方向に溝部２ａを設け、該溝部2ａに上記の実施の形態と同様のオーリングの軸受８を嵌合している。
【００８６】
本実施の形態において、軸受８としてのオーリングは、弾性体６の内周に形成した内フランジ部６ｂの斜面部と、中空ボルト１の端部に形成された斜面部とにも当接している。
【００８７】
よって、出力軸２に軸（スラスト）方向の力が加わっても、出力軸２と振動体はそれらの相対位置が動かない。
【００８８】
そのため、本実施の形態では、図１におけるスペーサ９が不要となる。
【００８９】
すなわち、図１のように、スペーサ９で出力軸２の軸方向に加わる力を受ける設計では、トルク損失が生じる。
【００９０】
つまり、軸方向の力が加わって回り止め部材１６とスペーサ９及びケース用ベアリング１０が互いに密接すると、そこで摩擦が生じるので振動波モータの発生トルクの低減を招くおそれがある。
（第９の実施の形態）
図１０は第９の実施の形態を示す。
【００９１】
出力軸２は外端側が小径で、内側が大径の段付き形状に形成されており、該段付き部に樹脂製シートをプレス加工でワッシャ状に打ち抜いて形成した軸受８を弾性体６の内径段差部に押し当てている。
【００９２】
本実施の形態では、きわめて簡単な構成であり、かつ前述した軸方向への力が出力軸２に加わってもその力に対抗出来る。
【００９３】
但し、この実施の形態では第８の実施の形態と同じように、圧電素子４などを２つの弾性体５、６の間に挟み込んで振動体を組み立てる時に、同時に出力軸２も組みつけておく必要がある。段差の関係で後から出力軸２を挿入することは出来ない。
【００９４】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明によれば、振動体の内部に軸受部材を設けるに当たって、該軸受部材を弾性体と中空ボルト等の締結部材との間に配置させることで、接着や圧入などにその固定を頼る方法と異なり、組立工程の低減と軸受の抜け落ちの心配がない確実なセッティングが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による振動波駆動装置の第１の実施の形態を示すの断面図。
【図２】図１の一部断面図。
【図３】本発明による振動波駆動装置の第２の実施の形態を示の一部断面図。
【図４】本発明による振動波駆動装置の第３の実施の形態を示す一部断面図。
【図５】本発明による振動波駆動装置の第４の実施の形態を示す一部断面図。
【図６】本発明による振動波駆動装置の第５の実施の形態を示す一部断面図。
【図７】本発明による振動波駆動装置の第６の実施の形態を示す一部断面図。
【図８】本発明による振動波駆動装置の第７の実施の形態を示す一部断面図。
【図９】本発明による振動波駆動装置の第８の実施の形態を示す一部断面図。
【図１０】本発明による振動波駆動装置の第９の実施の形態を示す一部断面図。
【図１１】従来の振動波駆動装置（モータ）の断面図。
【符号の説明】
１ 中空ボルト
１ａ 端部
１ｂ 突き当て部
１ｃ ねじ突き当て部
２ 出力軸
３ 支持板
４ 圧電素子
５，６ 弾性体
６ａ 嵌合部
７，８ 軸受
９ スペーサ
１０ ケース用ベアリング
１１ ロータ
１１ａ 摩擦部材
１１ｂ かしめ部材
１２ ロータ
１２ａ 摩擦部材
１２ｂ しめつけリング
１３，１４ 加圧バネ
１５，１６ 回り止め
１７ ネジ
１８ フレキシブルプリント基板
１９ 右ケース
２０ 左ケース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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