(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体空間、該気体空間に接する塗液貯留部、該塗液貯留部に係合した塗液を吐出するノズルを有する筐体からなる塗布ヘッド、設定圧に維持された圧力を有する気体圧力源、該気体圧力源と前記気体空間とを係合する気体圧力導通路、気体圧力導通路に設けられた圧力の導通を開閉する開閉手段、前記ノズルから吐出される塗液が塗布される被塗布基材、および、前記塗布ヘッドと該基材とを所定の移動速度にて相対移動させる移動手段を備えた塗液の塗布装置を用いて、前記基材に前記ノズルから吐出される塗液を前記移動の方向に塗布する塗液の塗布方法において、前記塗布ヘッドと前記基材の相対移動を開始した後に前記開閉手段を開にし、さらに前記開閉手段を開にした時点から２０ｍＳｅｃ．乃至２，０００ｍＳｅｃ．経過した時点で移動速度を変更し、初期区間を前記相対移動を開始した時点から前記開閉手段を開にした時点までの区間とし、初期塗布区間を前記開閉手段を開にした時点から前記移動速度を変更した時点までの区間とし、定常塗布区間を前記初期塗布区間に続く区間とし、前記初期区間における前記移動速度を初期移動速度Ｖ０とし、前記初期塗布区間における前記移動速度を初期塗布移動速度Ｖ１とし、前記定常塗布区間における前記移動速度を定常塗布移動速度Ｖ２としたとき、Ｖ０＞０、Ｖ１＜Ｖ２かつＶ１＞０の関係にあることを特徴とする塗液の塗布方法。
【請求項２】
前記被塗布基材がその表面に所定の長さの凹部を有し、該凹部の長手方向が前記ノズルから吐出される塗液の塗布方向であり、該凹部の窪み部分に塗液の塗布がなされることを特徴とする請求項１記載の塗液の塗布方法。
【請求項３】
前記凹部が複数列設けられていることを特徴とする請求項２に記載の塗液の塗布方法。
【請求項４】
請求項３に記載の塗液の塗布方法において、前記塗液を蛍光体を含有するペースト状の塗液とし、前記被塗布基材をプラズマディスプレイ用の発光基材とし、当該基材に当該塗液を塗布してプラズマディスプレイ用発光基板を製造することを特徴とするプラズマディスプレイ用発光基板の製造方法。
【請求項５】
気体空間と該気体空間に接する蛍光体を含有するペースト状の塗液貯留部と該塗液貯留部に係合した塗液吐出ノズルを有する筐体からなる塗布ヘッド、設定圧に維持された圧力を有する気体圧力源、該気体圧力源と前記気体空間とを係合する気体圧力導通路、気体圧力導通路に設けられた圧力の導通を開閉する開閉手段、前記ノズルから吐出される前記蛍光体を含有するペースト状の塗液が塗布される複数列の凹部を有する被塗布基材、および、該塗布ヘッドと該基材とを所定の移動速度にて相対移動させる移動手段を備え、前記蛍光体を含有するペースト状の塗液を前記複数列の凹部の窪み部分に塗布するプラズマディスプレイ用発光基板の製造装置において、前記塗布ヘッドと前記基材の相対移動を開始した後に前記開閉手段を開にし、さらに前記開閉手段を開にした時点から２０ｍＳｅｃ．乃至２，０００ｍＳｅｃ．経過した時点で移動速度を変更するように制御を行い、かつ、初期区間を前記相対移動を開始した時点から前記開閉手段を開にした時点までの区間とし、初期塗布区間を前記開閉手段を開にした時点から前記移動速度を変更した時点までとし、定常塗布区間を前記初期塗布区間に続く区間とし、前記初期区間における前記移動速度を初期移動速度Ｖ０とし、前記初期塗布区間における前記移動速度を初期塗布移動速度Ｖ１とし、前記定常塗布区間における前記移動速度を定常塗布移動速度Ｖ２としたとき、Ｖ０＞０、Ｖ１＜Ｖ２かつＶ１＞０の関係になるように制御する手段を備えたことを特徴とするプラズマディスプレイ用発光基板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、塗液の塗布方法、ならびに、プラズマディスプレイ用発光基板の製造方法、および、プラズマディスプレイ用発光基板の製造装置に関するものである。
【０００２】
特に、ノズルから吐出される塗液を被塗布基材上に筋（ストライプ）状に塗布したときに、基材上に形成される塗液の塗着筋（ストライプ）の始端部（塗着開始部分）および／または終端部（塗着終了部分）の形状が、かすれた形状、途切れた形状、あるいは、後を引いた形状ではなく、切れの良い形状となるように塗液を塗布することを可能とした塗液の塗布方法、ならびに、この塗布方法を複数列のストライプ状のリブ（隔壁）間の凹部への蛍光体層の形成に適用したプラズマディスプレイ用発光基板の製造方法、および、製造装置に関するものである。
【０００３】
【従来の技術】
蛍光体を含有するペースト状の塗液を吐出するノズルと、表面に所定の長さを有する凹部が形成されているプラズマディスプレイ用発光基材と、該ノズルと該基材とを相対的に移動させる移動手段とを備えたプラズマディスプレイ用発光基板製造装置を用いて、前記ノズルから吐出される塗液を、前記基材の前記凹部の長手方向に該凹部の窪み部分に塗布してなるプラズマディスプレイ用発光基板の製造方法、および、この方法を実施するための装置は、特開平１０−２７５４３号公報あるいは特開平１０−２２３１３８号公報に記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ディスプレイが大型（例えば、２５乃至６０インチ（６３．５乃至１５２．４ｃｍ）化する傾向にあり、大型のプラズマディスプレイ用発光基板の要求が高まっている。基板が大型化すると、生産性を向上させるため、蛍光体の塗布速度を高めることになる。しかし、従前使用していた塗布速度をより高速化すると、ストライプ状に基材上に複数列塗着される蛍光体の塗着列のそれぞれの塗着開始部分および／または塗着終了部分が、かすれた形状、途切れた形状、あるいは、後を引いた形状となり、また、これに起因して塗着列の方向に直角な方向において、塗着開始端および／または塗着終了端が不揃いになる現象が現れることが判明した。
【０００５】
この不揃いは、このようにして製造された基板を用いてディスプレイを製作したとき、発光不良や表示範囲の狭小をもたらし、また、基板の生産収率を悪くする。
【０００６】
本発明は、従来技術における塗液（蛍光体を含有するペースト状の塗液）をストライプ状に基材上に塗布したときに形成される塗着物（蛍光体）のストライプの始端部（塗着開始部分）および／または終端部（塗着終了部分）の形状が、かすれた形状、途切れた形状、あるいは、後を引いた形状となる問題点を解決し、端部形状が切れの良い形状となるように塗液を塗布することを可能とした塗液の塗布方法、ならびに、この塗布方法を複数列のストライプ状のリブ（隔壁）間の凹部への蛍光体層の形成に適用したプラズマディスプレイ用発光基板の製造方法、および、製造装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、第１の本発明に係る塗液の塗布方法は、気体空間、該気体空間に接する塗液貯留部、該塗液貯留部に係合した塗液を吐出するノズルを有する筐体からなる塗布ヘッド、設定圧に維持された圧力を有する気体圧力源、該気体圧力源と前記気体空間とを係合する気体圧力導通路、気体圧力導通路に設けられた圧力の導通を開閉する開閉手段、前記ノズルから吐出される塗液が塗布される被塗布基材、および、前記塗布ヘッドと該基材とを所定の移動速度にて相対移動させる移動手段を備えた塗液の塗布装置を用いて、前記基材に前記ノズルから吐出される塗液を前記移動の方向に塗布する塗液の塗布方法において、前記塗布ヘッドと前記基材の相対移動を開始した後に前記開閉手段を開にし、さらに前記開閉手段を開にした時点から２０ｍＳｅｃ．乃至２，０００ｍＳｅｃ．経過した時点で移動速度を変更し、初期区間を前記相対移動を開始した時点から前記開閉手段を開にした時点までの区間とし、初期塗布区間を前記開閉手段を開にした時点から、前記移動速度を変更した時点までの区間とし、定常塗布区間を前記初期塗布区間に続く区間とし、前記初期区間における前記移動速度を初期移動速度Ｖ０とし、前記初期塗布区間における前記移動速度を初期塗布移動速度Ｖ１とし、前記定常塗布区間における前記移動速度を定常塗布移動速度Ｖ２としたとき、Ｖ０＞０、Ｖ１＜Ｖ２かつＶ１＞０の関係にあることを特徴とする（請求項１）。
【００１１】
この第１の本発明により、被塗布基材上に形成される塗液の塗着部の始端部形状の切れがより良くなる作用がもたらされる。
【００２０】
上記目的を達成するために、第２の本発明に係る塗液の塗布方法は、上記第１の本発明に係る塗液の塗布方法において、前記被塗布基材がその表面に所定の長さの凹部を有し、該凹部の長手方向が前記ノズルから吐出される塗液の塗布方向であり、該凹部の窪み部分に塗液の塗布がなされることを特徴とする（請求項２）。
【００２１】
この第２の本発明において、前記凹部が複数列設けられていることが好ましい（請求項３）。
【００２２】
この第２の本発明により、被塗布基材上に形成された凹部への塗液の塗着部の始端部および／または終端部形状の切れが良くなる作用がもたらされる。
【００２３】
上記目的を達成するために、第３の本発明に係るプラズマディスプレイ用発光基板の製造方法は、上記第２の本発明において、前記塗液を蛍光体を含有するペースト状の塗液とし、前記被塗布基材をプラズマディスプレイ用の発光基材とし、当該基材に当該塗液を塗布してプラズマディスプレイ用発光基板を製造することを特徴とする（請求項４）。
【００２４】
この第３の本発明により、被塗布基材上に設けられた複数列の凹部に形成される蛍光体を含有するペースト状の塗液の塗着部の始端部および終端部形状の切れが良くなる作用がもたらされる。
【００２５】
上記目的を達成するために、第４の本発明に係るプラズマディスプレイ用発光基板の製造装置は、気体空間と該気体空間に接する蛍光体を含有するペースト状の塗液貯留部と該塗液貯留部に係合した塗液吐出ノズルを有する筐体からなる塗布ヘッド、設定圧に維持された圧力を有する気体圧力源、該気体圧力源と前記気体空間とを係合する気体圧力導通路、気体圧力導通路に設けられた圧力の導通を開閉する開閉手段、前記ノズルから吐出される前記蛍光体を含有するペースト状の塗液が塗布される複数列の凹部を有する被塗布基材、および、該塗布ヘッドと該基材とを所定の移動速度にて相対移動させる移動手段を備え、前記蛍光体を含有するペースト状の塗液を前記複数列の凹部の窪み部分に塗布するプラズマディスプレイ用発光基板の製造装置において、前記塗布ヘッドと前記基材の相対移動を開始した後に前記開閉手段を開にし、さらに前記開閉手段を開にした時点から２０ｍＳｅｃ．乃至２，０００ｍＳｅｃ．経過した時点で移動速度を変更するように制御を行い、かつ、初期区間を前記相対移動を開始した時点から前記開閉手段を開にした時点までの区間とし、初期塗布区間を前記開閉手段を開にした時点から、前記移動速度を変更した時点までの区間とし、定常塗布区間を前記初期塗布区間に続く区間とし、前記初期区間における前記移動速度を初期移動速度Ｖ０とし、前記初期塗布区間における前記移動速度を初期塗布移動速度Ｖ１とし、前記定常塗布区間における前記移動速度を定常塗布移動速度Ｖ２としたとき、Ｖ０＞０、Ｖ１＜Ｖ２かつＶ１＞０の関係になるように制御する手段を備えたことを特徴とする（請求項５）。
【００２８】
この第４の本発明により、被塗布基材上に設けられた複数列の凹部に形成される蛍光体を含有するペースト状の塗液の塗着部の始端部形状の切れが良くなる作用がもたらされる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
次に、図面を参照しながら、本発明の実施例を用いて、本発明を更に具体的に説明する。
【００３０】
図１は、本発明に係る塗液の塗布方法を実施するための塗液の塗布装置の一例の斜視図である。この塗布装置は、基材１の上面において所定の方向に複数列のストライプ状の塗液の塗着部を形成する装置である。
【００３１】
図１において、塗布装置は、機台２上にＸ軸方向に設けられたＸスライドレール３ａ、３ｂを有し、Ｘスライドレール３ａ、３ｂに沿ってその上をＸ軸方向にスライド走行可能に設けられたＸスライドテーブル４を有し、Ｘスライドテーブル４に係合しそれをＸ軸方向にスライドさせるための駆動軸５を有するＸ軸モータ６を有する。基材１は、Ｘスライドテーブル４上に位置決めされ着脱自在に吸着支持される。
【００３２】
機台２を跨ぎ移動部材を支持するための門型の支持機台７を有し、支持機台７の手前側側面に、Ｙ軸方向に設けられたＹスライドレール８ａ、８ｂを有し、Ｙスライドレール８ａ、８ｂに沿ってその上をＹ軸方向にスライド走行可能に設けられたＹスライドテーブル９を有し、Ｙスライドテーブル９に係合しそれをＹ軸方向にスライドさせるための駆動軸１０を有するＹ軸モータ１１を有する。
【００３３】
Ｙスライドテーブル９上に、Ｚ軸方向に設けられたＺスライドレール１２ａ、１２ｂを有し、Ｚスライドレール１２ａ、１２ｂに沿ってその上をＺ軸方向にスライド走行可能に設けられたＺスライドテーブル１３を有し、Ｚスライドテーブル１３に係合しそれをＺ軸方向にスライドさせるための駆動軸１４を有するＺ軸モータ１５を有する。
【００３４】
Ｚスライドテーブル１３には、塗布ヘッド１８が取り付けられている。Ｙスライドテーブル９には、塗布ヘッド１８のＹ軸方向の位置を検出するための位置センサ１７が取り付けられている。位置センサ１７は、支持機台７の上面においてＹ軸方向に設けられたセンサ支持軸１６に移動自在に支持されている。
【００３５】
Ｙ軸モータ１１には、Ｙスライドテーブル９の移動速度を変更するためのＹ軸方向速度制御手段２０が係合されている。
【００３６】
図１には、塗布ヘッド１８がＹ軸方向に移動され、塗布ヘッド１８の下面に所定の間隔にて設けられている複数個のノズルから吐出された塗液が、基材１上に、複数列の塗着ストライプ１９を形成つつある状態が示されている。
【００３７】
図２は、図１に示した塗布装置の塗布ヘッド１８への塗液の供給制御装置の概略縦断面図である。
【００３８】
図２において、塗布ヘッド１８は、筐体３１からなり、筐体３１の下面板３２には、多数個の塗液を吐出するノズル１８ｘが、一列に所定の間隔をもって穿設されている。筐体３１の内部の空間３３は、塗液３０が貯留される塗液貯留部３４とその上部に位置する気体空間３５を有する。
【００３９】
筐体３１の上面板３６には、気体圧力導通孔３７が設けられ、気体圧力導通孔３７には、管路からなる気体圧力導通路３８の末端が係合されている。気体圧力導通路３８の先端は、設定圧に維持された圧力を有する気体圧力源４０に係合されている。気体圧力導通路３８には、方向切替弁からなる開閉手段３９が設けられ、開閉手段３９の開閉切り替えにより、気体空間３５と気体圧力源４０との導通と遮断が行われる。
【００４０】
次に、図１および２に示した塗布装置を用いて実施される本発明に係る塗液の塗布方法の一実施例を説明する。
【００４１】
図３は、横軸に時間をとり、縦軸に、気体圧力源４０の設定圧の状態Ａ、開閉手段３９の開閉状態Ｂ、塗布ヘッド１８のＹ軸方向の移動速度の状態Ｃ、および、塗布ヘッド１８のＺ軸方向の移動の状態Ｄを示した塗布装置の制御状態を示すチャートである。
【００４２】
図３において、左から右方向に順次、塗布ヘッド１８の移動開始時点５１、開閉手段３９が開とされる開閉手段開時点５２、塗布ヘッド１８の第１の移動速度変更時点５３、開閉手段３９が閉とされる開閉手段閉時点５４、塗布ヘッド１８の第２の移動速度変更時点（移動停止時点）５５、および、塗布ヘッド１８のＺ軸方向の移動開始時点５６が示されている。
【００４３】
また、塗布ヘッド１８の移動開始時点５１に始まり開閉手段開時点５２に終わる初期区間Ｍ０、開閉手段開時点５２に始まり開閉手段３９が開にされた時点に始まり、該時点から２０ｍＳｅｃ．乃至２，０００ｍＳｅｃ．経過した時点に終わる初期塗布区間Ｍ１、この初期塗布区間Ｍ１に続く定常塗布区間Ｍ２、この定常塗布区間Ｍ２に続き開閉手段３９が閉にされた時点に始まり、該時点から２０ｍＳｅｃ．乃至２，０００ｍＳｅｃ．経過した時点に終わる終期塗布区間Ｍ３、および、この終期塗布区間Ｍ３に続く塗布終了区間Ｍ４が示されている。
【００４４】
また、初期区間Ｍ０、初期塗布区間Ｍ１、定常塗布区間Ｍ２、終期塗布区間Ｍ３、および、塗布終了区間Ｍ４における、開閉手段３９の開閉状態が、ＫＨ０、ＫＨ１、ＫＨ２、ＫＨ３およびＫＨ４で、塗布ヘッド１８の移動速度が、Ｖ０、Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３およびＶ４で、塗布ヘッド１８のＺ軸方向の位置が、Ｚ０、Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３、Ｚ４およびＺ５で、それぞれ示されている。なお、塗布ヘッド１８がＺ軸方向に移動する区間を塗布ヘッド上方移動区間Ｍ５とする。
【００４５】
一方、前記各区間の全てを通じて維持される気体圧力源４０の設定圧が記号Ｐで示されている。
【００４６】
図３に示したチャートの通りに図１および２に示した塗布装置を運転制御することにより、基板１上に形成される塗液の塗着ストライプの塗着開始端と塗着終了端が切れの良い形状となる作用、効果が得られる。
【００４７】
すなわち、塗布ヘッド１８は、Ｙ軸方向に、移動開始時点５１から移動停止時点５５まで移動するが、この間、初期塗布区間Ｍ１における移動速度Ｖ１、定常塗布区間Ｍ２における移動速度Ｖ２、終期塗布区間Ｍ３における移動速度Ｖ３、および、塗布終了区間Ｍ４の移動速度Ｖ４を、Ｖ１＜Ｖ２、Ｖ２＝Ｖ３、および、Ｖ４＝０（移動停止）の関係を満足するように、Ｙ軸方向速度制御手段２０（図１）により、制御すると上記作用、効果が得られる。
【００４８】
なお、開閉手段３９の開閉状態Ｂの欄における記号ＫＨ０、ＫＨ３およびＫＨ４は、開閉手段３９が閉の状態にあることを示し、記号ＫＨ１およびＫＨ２は、開閉手段３９が開の状態にあることを示す。
【００４９】
なお、また、初期塗布区間Ｍ１は、開閉手段開時点５２に始まり、開閉手段３９が開にされた時点から５０ｍＳｅｃ．乃至１，０００ｍＳｅｃ．後に終わるように設定するのが好ましく、また、終期塗布区間Ｍ３は、定常塗布区間Ｍ２に続き開閉手段３９が閉にされた時点５４に始まり、５０ｍＳｅｃ．乃至１，０００ｍＳｅｃ．後に終わるように設定するのが好ましい。
【００５０】
また、なお、塗布ヘッド１８のＺ軸方向の位置、Ｚ０、Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３、Ｚ４およびＺ５について、Ｚ０＝Ｚ１＝Ｚ２＝Ｚ３＝Ｚ４であり、Ｚ４＜Ｚ５であることが好ましい。
【００５１】
塗布ヘッド１８のＹ軸方向の移動速度の変更、Ｚ軸方向の移動、開閉手段３９の開閉は、予め設定したプログラムにより、あるいは、位置センサ１７が検出する塗布ヘッド１８の位置信号により、行うことが出来る。
【００５２】
【実施例】
次に、本発明の実施例を示す。
【００５３】
［実施例１］
Ｙ軸方向長さが３００ｍｍ、ピッチ２２０μｍ、高さ１５０μｍ、幅６０μｍのリブ（隔壁）９６１本が形成されたガラス基板１上に、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各蛍光体を含有するペースト状塗液（粘度約３０Ｐａ・ｓ）を、ノズル孔径１５０μｍ、孔数２０の塗布ヘッド１８を用いた図１および図２に示した装置にて、図３を用いて説明した手法に従い、次の表１に示す条件で、ストライプ状に塗布した。
【００５４】
【表１】
0004461559.tif 000002
塗布されたＲ、Ｇ、Ｂ蛍光体の塗着開始端１９Ｓおよび塗着終了端１９Ｅは、図４に模式図にて示すように、リブの方向（Ｙ軸方向）に直角な方向（Ｘ軸方向）において、切れ良く、一列に揃った形状を呈していた。
【００５５】
上記以外の条件では、移動速度Ｖ２（Ｖ３）が、Ｖ２（Ｖ３）＝４０〜１２０ｍｍ／ｓｅｃの範囲である場合、移動速度Ｖ１は、吐出圧力、気体空間の大きさにもよるが、Ｖ１＝５〜３０ｍｍ／ｓｅｃの範囲で選択するのが好ましい。
【００５６】
［比較例１］
前記実施例１と同様にしてＲ、Ｇ、Ｂ蛍光体を塗布したが、その際の塗布ヘッド１８の移動速度を、Ｖ０＝Ｖ１＝Ｖ２＝Ｖ３＝１００ｍｍ／ｓｅｃとした。
【００５７】
図５に模式図にて示すように、塗布されたＲ、Ｇ、Ｂ蛍光体の塗着開始端１９Ｓは、リブの方向（Ｙ軸方向）に直角な方向（Ｘ軸方向）において、かすれた形状を呈し、塗着終了端１９Ｅは、塗着の引きずり形状を呈していた。
【００５８】
【発明の効果】
本発明によれば、塗液の吐出の開始から塗液の塗布の終了までの間において、設定圧に維持されている気体圧力源の気体圧力を塗液供給源の気体空間に、これらの間に設けられた開閉手段を開閉することにより、導通、遮断させる時点との関係において、塗液の吐出ノズルの基板上の塗液塗布方向に移動する速度を変更するようにしたため、基板上に形成される塗液の塗着ストライプの塗着開始端および／または終了端の形状が、従来のように、かすれた形状、途切れた形状、あるいは、後を引いた形状となることがなく、切れの良い形状となる。これにより、塗布基材の収率の向上が図られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明係る塗液の塗布方法を実施するための装置の一例の斜視図である。
【図２】  図１に示した塗布装置の塗布ヘッド１８への塗液の供給制御装置の概略縦断面図である。
【図３】  図１に示した塗布装置の制御状態を説明するチャートである。
【図４】  本発明の一実施例により製造された基材における塗液の塗着状態を説明する模式図である。
【図５】  従来例により製造された基材における塗液の塗着状態を説明する模式図である。
【符号の説明  】
１：基板
２：機台
３ａ、３ｂ：Ｘスライドレール
４：Ｘスライドテーブル
５：回転駆動軸
６：Ｘ軸モータ
７：支持機台
８ａ、８ｂ：Ｙスライドレール
９：Ｙスライドテーブル
１０：回転駆動軸
１１：Ｙ軸モータ
１２ａ、１２ｂ：Ｚスライドレール
１３：Ｚスライドテーブル
１４：回転駆動軸
１５：Ｚ軸モータ
１６：センサ支持軸
１７：位置センサ
１８：塗布ヘッド
１９：塗液の塗着ストライプ
１９Ｅ：塗着終了端
１９Ｓ：塗着開始端
２０：Ｙ軸方向速度制御手段
３０：塗液
３１：筐体
３２：下面板
３３：空間
３４：塗液貯留部
３５：気体空間
３６：上面板
３７：気体圧力導通孔
３８：気体圧力導通路
３９：開閉手段
４０：気体圧力源
５１：移動開始時点
５２：開閉手段開時点
５３：第１の移動速度変更時点
５４：開閉手段閉時点
５５：第２の移動速度変更時点（移動停止時点）
５６：Ｙ軸方向の移動停止後Ｚ軸方向に移動して待機する時点
Ａ：気体圧力源４０の設定圧の状態
Ｂ：開閉手段３９の開閉状態
Ｃ：塗布ヘッド１８のＹ軸方向の移動速度の状態
Ｄ：塗布ヘッド１８のＺ軸方向の移動の状態
Ｍ０：初期区間
Ｍ１：初期塗布区間
Ｍ２：定常塗布区間
Ｍ３：終期塗布区間
Ｍ４：塗布終了区間
Ｍ５：塗布ヘッド上方移動区間
Ｐ：気体圧力源４０の設定圧
【図１】
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【図２】
0004461559.tif 000004
【図３】
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【図４】
0004461559.tif 000006
【図５】
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