(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
離型紙と接着性を有するテープ部材とからなるテープを被貼着部材に押圧して貼着する圧着ツールの下方へ前記テープ部材を搬送する切り込み形成装置であって、
前記テープを拘束状態で支持して所定の搬送方向に搬送するテープ搬送部と、
前記搬送方向と反対向きの引っ張り力を前記テープに付与する引っ張り力付与部と、
前記テープ部材に刃を押し当て、その後引き離すことによって前記テープ部材に切り込みを形成するテープ切り込み形成部と、
前記テープを挟んで前記切り込み形成部の反対側に配置され、前記テープにおける離型紙を吸引する吸引部と、
前記テープ搬送部のテープ拘束状態のオン／オフ、前記吸引部の吸引力のオン／オフ、前記テープ部材に対する前記刃の押し当て／引き離しを制御する制御部とを備え、
前記制御部が、前記引っ張り力付与部により前記テープに引っ張り力を付与させた状態で、（１）前記吸引部の吸引力をオンとし、前記テープ部材に対する前記刃の押し当ておよび引き離しを実行した後、（２）前記吸引部の吸引力をオフとし、
前記切り込み形成部による前記テープ部材への切り込みにより形成されたテープ片を前記被貼着部材に貼着する際に、前記吸引部は前記テープを吸着保持した状態及び前記テープ搬送部は前記テープを非束縛状態で、前記吸引部が、テープ方向へ下降して、前記被貼着部材の貼着面レベルに前記テープ片を位置付けることを特徴とするテープ部材の切り込み形成装置。
【請求項２】
離型紙と接着性を有するテープ部材とからなるテープを拘束状態で支持して所定の搬送方向に搬送するテープ搬送部と、
前記搬送方向と反対向きの引っ張り力を前記テープに付与する引っ張り力付与部と、
前記テープ部材に刃を押し当て、その後引き離すことによって前記テープ部材に切り込みを形成するテープ切り込み形成部と、
前記テープを挟んで前記切り込み形成部の反対側に配置され、前記テープにおける離型紙を吸引する吸引部と、
前記テープ搬送部のテープ拘束状態のオン／オフ、前記吸引部の吸引力のオン／オフ、前記テープ部材に対する前記刃の押し当て／引き離しを制御する制御部とを備え、前記テープを被貼着部材に押圧して貼着する圧着ツールの下方へ前記テープ部材を搬送する切り込み形成装置により前記テープ部材に切り込みを形成する方法であって、
前記制御部が、前記引っ張り力付与部により前記テープに引っ張り力を付与させた状態で、（１）前記吸引部の吸引力をオンとし、前記テープ部材に対する前記刃の押し当ておよび引き離しを実行した後、（２）前記吸引部の吸引力をオフとするステップと、
前記切り込み形成部による前記テープ部材への切り込みにより形成されたテープ片を前記被貼着部材に貼着する際に、前記吸引部は前記テープを吸着保持した状態及び前記テープ搬送部は前記テープを非束縛状態で、前記吸引部が、テープ方向へ下降して、前記被貼着部材の貼着面レベルに前記テープ片を位置付けるステップ
とを含むことを特徴とするテープ部材の切り込み形成方法。
【請求項３】
離型紙と接着性を有するテープ部材とからなるテープを拘束状態で支持して所定の搬送方向に搬送するテープ搬送部と、
前記搬送方向と反対向きの引っ張り力を前記テープに付与する引っ張り力付与部と、
前記テープ部材に刃を押し当て、その後引き離すことによって前記テープ部材に切り込みを形成するテープ切り込み形成部と、
前記テープを挟んで前記切り込み形成部の反対側に配置され、前記テープにおける離型紙を吸引する吸引部と、
前記切り込み形成部による前記テープ部材への切り込みにより形成されたテープ片を被貼着部材に押圧して貼着する圧着ツールと、
前記テープ搬送部、前記引っ張り力付与部、前記テープ切り込み形成部、前記吸引部および前記圧着ツールを制御する制御部とを備え、
前記制御部が、前記引っ張り力付与部により前記テープに引っ張り力を付与させた状態で、（１）前記吸引部の吸引力をオンとし、前記テープ部材に対する前記刃の押し当ておよび引き離しを実行した後、（２）前記吸引部の吸引力をオフとし、
前記テープ片を前記被貼着部材に貼着する際に、前記吸引部は前記テープを吸着保持した状態及び前記テープ搬送部は前記テープを非束縛状態で、前記吸引部が、テープ方向へ下降して、前記被貼着部材の貼着面レベルに前記テープ片を位置付けることを特徴とするテープ部材の貼着装置。
【請求項４】
離型紙と接着性を有するテープ部材とからなるテープを拘束状態で支持して所定の搬送方向に搬送するテープ搬送部と、
前記搬送方向と反対向きの引っ張り力を前記テープに付与する引っ張り力付与部と、
前記テープ部材に刃を押し当て、その後引き離すことによって前記テープ部材に切り込みを形成するテープ切り込み形成部と、
前記テープを挟んで前記切り込み形成部の反対側に配置され、前記テープにおける離型紙を吸引する吸引部と、
前記切り込み形成部による前記テープ部材への切り込みにより形成されたテープ片を被貼着部材に押圧して貼着する圧着ツールと、
前記テープ搬送部、前記引っ張り力付与部、前記テープ切り込み形成部、前記吸引部および前記圧着ツールを制御する制御部と、を用いて前記テープ部材を貼着する方法であって、
前記制御部が、前記引っ張り力付与部により前記テープに引っ張り力を付与させた状態で、（１）前記吸引部の吸引力をオンとし、前記テープ部材に対する前記刃の押し当ておよび引き離しを実行した後、（２）前記吸引部の吸引力をオフとするステップと、
前記テープ片を前記被貼着部材に貼着する際に、前記吸引部は前記テープを吸着保持した状態及び前記テープ搬送部は前記テープを非束縛状態で、前記吸引部が、テープ方向へ下降して、前記被貼着部材の貼着面レベルに前記テープ片を位置付けるステップ
とを含むことを特徴とするテープ部材の貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、離型紙とともに搬送される粘着性を有するテープ部材に切り込みを形成する装置および方法、ならびにテープ部材の貼着装置および方法に関し、特に異方性導電テープの切り込み形成、ならびに基板への貼着に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＬＣＤなどの基板にＴＣＰ（Tape Carrier Package）などの電子部品を貼着するために、貼着材として異方性導電フィルム（Anisotropic Conductive Film、以下「ＡＣＦ」という）が予め基板、あるいは電子部品に貼着される。
【０００３】
今、基板にＡＣＦを貼着する例を説明すると、ＡＣＦの貼着は、次のようにして行なわれる。
【０００４】
まず、ＡＣＦはテープ状の離型紙に貼り付けられた状態で供給される。以後、離型紙とこの離型紙と一体のテープ部材であるＡＣＦをＡＣＦテープと呼ぶこととする。ＡＣＦテープの供給は、チャック機構を用いて行なわれる。チャック機構に保持されたＡＣＦテープは、所定長さずつ供給部より引き出される。そして、切断刃（ハーフカッタ）により離型紙を残して切り込みが形成されることで、ＡＣＦのみが切断されて所定長さのＡＣＦ片が形成される。このようにして形成されたＡＣＦ片は、貼着位置に位置付けられた基板上に順次位置付けられ、そして圧着ツールにより離型紙を介して基板に押圧されることで、基板に貼着される。この後、貼着されたＡＣＦ片上から離型紙剥離装置にて離型紙が剥離される。
【０００５】
また、このような貼着工程においては、圧着ツールによるＡＣＦの押圧持に、今回貼着予定のＡＣＦ片に加え、後続するＡＣＦの一部をも圧着ツールが押圧してしまうおそれがある。そこでこの不具合を回避するために、今回貼着予定のＡＣＦ片とそれに続くＡＣＦとの間に、例えば５ｍｍ程度離して２つの切り込みを入れてＡＣＦ切断片を形成し、このＡＣＦ切断片を、剥離テープ等を用いた剥離装置にて離型紙より剥離して、ＡＣＦ片間に隙間を形成することも考え出されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来の装置および方法においては、ＡＣＦの粘着性が高い場合、ハーフカッタをＡＣＦに押し当てて、切り込みを入れた後に、ハーフカッタを引き離すときに、ＡＣＦテープ全体がハーフカッタに引っ張られてしまうため、ＡＣＦテープに弛みが発生してしまう。
【０００７】
同様に、剥離テープをＡＣＦ切断片に押し当てた後に、剥離テープを引き離すときに、ＡＣＦテープ全体が剥離テープに引っ張られてしまうため、ＡＣＦテープに弛みが発生してしまう。
【０００８】
このようにして発生した弛みは、チャック機構によるＡＣＦテープの次の引き出し時に一応解消されることとなるが、この弛みが解消される瞬間にＡＣＦテープには大きな衝撃が加わる。すなわち、ＡＣＦテープには通常、その搬送方向と反対向きの引っ張り力が付与されるようになっているが、上述した弛み解消時には、チャック機構による搬送力に、この引っ張り力が追加されるからである。そしてこのように弛み除去時にＡＣＦテープに大きな衝撃力が付加されると、ハーフカットされた部分が特に弱いためにこの部分が伸び、チャック機構によるＡＣＦテープの次の送り量に誤差が生じることとなる。この結果、ＡＣＦの貼り付け位置精度が低下するという問題があった。
【０００９】
本発明は、テープ部材への切り込み形成時、あるいはテープ部材の部分剥離時にテープ部材に弛みが生じても、その後のテープ部材の搬送精度を高めることができるようにすることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の特徴は、離型紙と接着性を有するテープ部材とからなるテープを被貼着部材に押圧して貼着する圧着ツールの下方へ前記テープ部材を搬送する切り込み形成装置であって、（イ）前記テープを拘束状態で支持して所定の搬送方向に搬送するテープ搬送部と、（ロ）前記搬送方向と反対向きの引っ張り力を前記テープに付与する引っ張り力付与部と、（ハ）前記テープ部材に刃を押し当て、その後引き離すことによって前記テープ部材に切り込みを形成するテープ切り込み形成部と、（ニ）前記テープを挟んで前記切り込み形成部の反対側に配置され、前記テープにおける離型紙を吸引する吸引部と、（ホ）前記テープ搬送部のテープ拘束状態のオン／オフ、前記吸引部の吸引力のオン／オフ、前記テープ部材に対する前記刃の押し当て／引き離しを制御する制御部とを備え、前記制御部が、前記引っ張り力付与部により前記テープに引っ張り力を付与させた状態で、（１）前記吸引部の吸引力をオンとし、前記テープ部材に対する前記刃の押し当ておよび引き離しを実行した後、（２）前記吸引部の吸引力をオフとし、前記切り込み形成部による前記テープ部材への切り込みにより形成されたテープ片を前記被貼着部材に貼着する際に、前記吸引部は前記テープを吸着保持した状態及び前記テープ搬送部は前記テープを非束縛状態で、前記吸引部が、テープ方向へ下降して、前記被貼着部材の貼着面レベルに前記テープ片を位置付けることにある。
【００１１】
かかる構成により、切り込み形成後に吸引部の吸引力をオフとした際に、引っ張り力付与部により付与されている引っ張り力によって、テープが引っ張られて、テープの弛みが除去される。
【００１２】
また、本発明の第２の特徴は、（イ）前記テープ部材とからなるテープを拘束状態で支持して所定の搬送方向に搬送するテープ搬送部と、（ロ）前記搬送方向と反対向きの引っ張り力を前記テープに付与する引っ張り力付与部と、（ハ）前記テープ部材に刃を押し当て、その後引き離すことによって前記テープ部材に切り込みを形成するテープ切り込み形成部と、（ニ）前記テープを挟んで前記切り込み形成部の反対側に配置され、前記テープにおける離型紙を吸引する吸引部と、（ホ）前記テープ搬送部のテープ拘束状態のオン／オフ、前記吸引部の吸引力のオン／オフ、前記テープ部材に対する前記刃の押し当て／引き離しを制御する制御部とを備え、前記テープを被貼着部材に押圧して貼着する圧着ツールの下方へ前記テープ部材を搬送する切り込み形成装置により前記テープ部材に切り込みを形成する方法であって、前記引っ張り力付与部により前記テープに引っ張り力を付与させた状態で、（１）前記吸引部の吸引力をオンとし、前記テープ部材に対する前記刃の押し当ておよび引き離しを実行した後、（２）前記吸引部の吸引力をオフとし、前記切り込み形成部による前記テープ部材への切り込みにより形成されたテープ片を前記被貼着部材に貼着する際に、前記吸引部は前記テープを吸着保持した状態及び前記テープ搬送部は前記テープを非束縛状態で、前記吸引部が、テープ方向へ下降して、前記被貼着部材の貼着面レベルに前記テープ片を位置付けることにある。
【００１３】
かかる方法により、切り込み形成後に吸引部の吸引力をオフとした際に、引っ張り力付与部により付与されている引っ張り力によって、テープが引っ張られて、テープの弛みが除去される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１は本発明の実施形態に係るテープ部材貼着装置の全体図である。図１に示すようにテープ部材貼着装置は、ハーフカッタ１０１と、ＡＣＦテープ剥離部１０３と、吸引部１０５と、ＡＣＦ圧着部１０６と、ＡＣＦテープ供給部１０７と、ＡＣＦテープ引き出し部１０９と、ＡＣＦテープ巻き取り部１１１とから構成される。
【００１６】
図２は、図１に示すハーフカッタ１０１、剥離テープ１３１、剥離ヘッド１３３等の拡大図である。
【００１７】
図３および図４は、図１に示すＡＣＦテープ供給部１０７の構成を示す図である。図３はダンサローラ１７３が上限位置にある状態を示し、図４はダンサローラ１７３が下限位置にある状態を示す。
【００１８】
図５は、（１）制御部５０１と、（２）供給リール駆動モータ５１１、巻き取りリール駆動モータ５１３、引き出しクランパ移動モータ５１５、剥離テープ巻き取りモータ５１７と、（３）供給リール駆動用モータ５１１を駆動するモータ駆動部５２１、巻き取りリール駆動用モータ５１３を駆動するモータ駆動部５２３、引き出しクランパ移動用モータ５１５を駆動するモータ駆動部５２５、剥離テープ巻き取り用モータ５１７を駆動するモータ駆動部５２７と、（４）引き出しクランパ開閉エアシリンダ５３１、ハーフカッタ上下動エアシリンダ５３５、剥離ヘッド上下動エアシリンダ５３７、圧着ヘッドエアシリンダ５３９と、（５）引き出しクランパ開閉用エアシリンダ５３１を駆動するシリンダ駆動部５４１、ハーフカッタ上下動用エアシリンダ５３５を駆動するシリンダ駆動部５４５、剥離ヘッド上下動用エアシリンダ５３７を駆動するシリンダ駆動部５４７、圧着ヘッド用エアシリンダ５３９を駆動するシリンダ駆動部５４９と、（６）供給部側上限位置センサ５５１、供給部側下限位置センサ５５３、巻き取り部側上限位置センサ５５５、巻き取り部側下限位置センサ５５７と、（７）吸着ブロック用電磁切替弁５６１と、を示すブロック図である。
【００１９】
ハーフカッタ１０１は、離型紙１２３とこの離型紙１２３と一体のテープ部材であるＡＣＦ１２１とからなるＡＣＦテープ１２５のＡＣＦ１２１のみに切り込みを形成する。
【００２０】
ＡＣＦテープ剥離部１０３は、剥離テープ１３１を巻き付けた剥離ヘッド１３３をＡＣＦテープ１２５のＡＣＦ１２１に押し当てた後、剥離テープ１３１と剥離ヘッド１３３を下降させることによって、ハーフカッタ１０１によって入れられた２つの切り込みの間のＡＣＦ切断片６０３（図６参照）を離型紙１２３から剥離する。また、このＡＣＦテープ剥離部１０３には、テープ押さえ１３５が設けられる。このテープ押さえ１３５の上面は、供給経路に位置付けられるＡＣＦテープ１２５の下面と対向するようにしてその近傍に位置付けられるとともに、その中央部を剥離ヘッド１３３が上下動する経路として設定される。そして剥離ヘッド１３３が上昇端に位置付けられたときには、剥離ヘッド１３３の上面はテープ押さえ１３５より突出した位置とされ、また下降端に位置付けられたときにはその上面がテープ押さえ１３５の上面より下方に位置付けられる。従って、剥離ヘッド１３３が下降する際、剥離テープ１３１に貼り付いて剥離ヘッド１３３とともに下降しようとするＡＣＦテープ１２５は、テープ押さえ１３５の上面に接触することでそれ以降の下降が阻止され、これにより離型紙１２３からのＡＣＦ切断片６０３の剥離が補助される。
【００２１】
吸引部１０５は、吸引路１５３が設けられた吸着ブロック１５１と不図示の真空源と電磁切替弁５６１からなる。吸引部１０５は、ハーフカッタ１０１およびＡＣＦテープ剥離部１０３に対してＡＣＦテープ１２５を挟んで対向する位置に配置される。吸引路１５３の一方は離型紙１２３に向かい合う面で開口され、また吸引路１５３の他方は電磁切替弁５６１を介して真空源に接続されている。また後述するように、吸引部１０５はＡＣＦ片６０１（図６参照）をガラス基板８１に貼着する際に下降する。
【００２２】
ＡＣＦテープ引き出し部１０９は、引き出しクランパ１９１を有する。引き出しクランパ１９１は、引き出しクランパ移動用モータ５１５に駆動される不図示のボールねじ機構にて引き出し方向に往復動自在に支持されている。また、引き出しクランパ１９１は、引き出しクランパ開閉用エアシリンダ５３１にて開閉動される。
【００２３】
ＡＣＦ圧着部１０６は、上下動する熱圧着ツール９３を有する。そして、この圧着ツール９３の下動により、ＡＣＦテープ１２５におけるＡＣＦ片６０１を離型紙１２３を介してガラス基板８１に押圧し、貼着する。なおこのＡＣＦ押圧部１０６には、不図示の離型紙剥離装置が設けられる。離型紙剥離装置自体は公知であり、ガラス基板８１に貼着されたＡＣＦ片６０１より離型紙１２３を剥離するものであるが、ガラス基板８１に貼着されたＡＣＦ片６０１に貼り付いている離型紙１２３を持ち上げるようにしつつＡＣＦ片６０１の長手方向に沿って移動する、例えばローラ状、あるいは棒状の剥離部材を有するものである。なお、図５における符号５３３はこの剥離部材移動用エアシリンダ、５４３はこの剥離部材移動用エアシリンダ５３３を駆動するシリンダ駆動部を示す。
【００２４】
ＡＣＦテープ供給部１０７は、ＡＣＦテープ供給リール１７１と第１のダンサローラ１７３を有する。
【００２５】
ＡＣＦテープ巻き取り部１１１は、ＡＣＦテープ巻き取りリール１１３と第２のダンサローラ１１５を有する。
【００２６】
第１および第２のダンサローラの構成および動作は、ほぼ同様であるので、重複説明を避けるため第１のダンサローラ１７３についてのみ説明する。
【００２７】
図３および図４に示すように、第１のダンサローラ１７３は、支持ブロック１７４に回転自在に支持されている。支持ブロック１７４は、ガイド部１７５にて上下方向に移動自在に支持されている。支持ブロック１７４の上端部には不図示のワイヤが接続されている。このワイヤの他端は、ガイド部１７５の上端部付近に配置された不図示の滑車を介して重り１７６に接続されている。ワイヤの長さは、図３に示すように、ダンサローラ１７３が上限位置にあるときに重り１７６が下限位置となり、図４に示すように、ダンサローラ１７３が下限位置にあるときに重り１７６が上限位置となるような長さに設定する。
【００２８】
また、ダンサローラ１７３の上下ストロークの上限位置と下限位置とに対応して、ダンサローラ１７３が上限位置に到達したことを検知する供給部側上限位置センサ５５１と、ダンサローラ１７３が下限位置に到達したことを検知する供給部側下限位置センサ５５３がそれぞれ配置されている。テープ供給リール１７１は、これらセンサ５５１，５５３の出力値に基づいて制御される。センサ５５１，５５３は、具体的には例えば、ダンサローラ１７３の支持ブロック１７４に固定されたセンサドグと下限位置、上限位置に対応して配置された透過型センサによって構成される。支持ブロック１７４が上限位置あるいは下限位置に到達したときにセンサドグが対応するセンサのセンサ光を遮ることで、センサが検知信号を発する。
【００２９】
テープ供給リール１７１は、引き出し部１０９によりＡＣＦテープ１２５の引き出しが開始される前のタイミングでダンサローラ１７３が上限位置に位置するまでＡＣＦテープ１２５を供給し、引き出し部１０９によるＡＣＦテープ１２５の引き出し中は停止する。また、テープ巻き取り部１１１側のテープ巻き取りリール１１３は、引き出し部１０９によるＡＣＦテープ１２５の引き出しが開始される前のタイミングでダンサローラ１７３が下限位置に位置するまでＡＣＦ剥離後の離型紙１２３を巻き取り、ＡＣＦテープ１２５の引き出し中は停止する。
【００３０】
次に、このような構成によるＡＣＦ貼着の一連の動作について説明する。
【００３１】
テープの引き出し部１０９によるＡＣＦテープ１２５の引き出しに先立ち、供給リール１７１が供給リール駆動モータ５１１によりＡＣＦテープ１２５の供給方向（図３に示す矢印１７７の方向）に駆動される。ダンサローラ１７３が上限位置に到達するまで、ＡＣＦテープ１２５が繰り出される。
【００３２】
一方、巻き取りリール１１３は、ダンサローラ１１５が下限位置となるまで巻き取り方向（図１に示す矢印１１７の方向）に駆動されて停止する。この状態で吸引部１０５は、ＡＣＦテープ１２５を吸着保持する。
【００３３】
次に、引き出し部１０９が、クランパ１９１を開いた状態で引き出し待機位置（図１）から、引き出すテープ長さに相当する距離だけ左方向に移動して今回の引き出し開始位置（図１）まで移動し、そこでクランパ１９１を閉じてＡＣＦテープ１２５をチャックする。吸着ブロック１５１の吸着を切った後、ＡＣＦテープ１２５をチャックした引き出しクランパ１９１は、所定の引き出し長さ分に相当する距離だけＡＣＦテープ１２５の引き出し方向に移動して、待機位置へ戻る。
【００３４】
この引き出し動作により、ＡＣＦテープ１２５におけるハーフカット対象位置がハーフカッタ位置に到達したときは、ハーフカッタ１０１にてＡＣＦテープ１２５をハーフカットし、ＡＣＦテープ１２５における剥離対象位置が剥離位置に到達したときには、剥離対象位置のＡＣＦ切断片６０３を剥離部１０３にて剥離する。上記のハーフカット時およびＡＣＦ切断片剥離時には、その都度吸引部１０５が作動してＡＣＦテープ１２５を吸着保持する。ハーフカットおよび部分剥離の詳細につては後述する。
【００３５】
上述したＡＣＦテープ１２５の引き出し時には、テープ供給部１０７のダンサローラ１７３は、引き出されたテープ長さの２分の１の距離だけ下降する。また、テープ巻き取り部１１１のダンサローラ１１５は、引き出されたテープ長さの２分の１の距離だけ上昇する。
【００３６】
また、引き出し部１０９によるＡＣＦテープ１２５の引き出し動作により、ＡＣＦテープ１２５におけるガラス基板８１に今回貼着すべきＡＣＦ片６０１がガラス基板８１に対向する位置に到達したときには、吸引部１０５はＡＣＦテープ１２５を吸着保持し、その後引き出しクランパ１９１は開く。そして、吸引部１０５は、図１に示した爪部材ａ、ｂと共に下降し、そのＡＣＦ片６０１をガラス基板８１の貼着面レベルに位置付ける。なお、吸引部１０５の下降に際しては、引き出しクランパ１９１は開いた状態でその位置にとどまる。
【００３７】
次に、この状態で圧着ツール９３が下降し、ガラス基板８１上に位置付けられたＡＣＦ片６０１をガラス基板８１に押圧し、所定位置に熱圧着する。熱圧着後、圧着ツール９３は待機位置まで上昇するとともに、吸引部１０５もＡＣＦテープ１２５を吸着保持したまま、爪部材ａ、ｂとともに元の位置まで上昇する。なお、この吸引部１０５が上昇する際のＡＣＦテープ１２５の弛みは、ＡＣＦテープ供給部１０７とＡＣＦテープ巻き取り部１１１におけるダンサローラ１７３、１１５の移動により取り除かれる。
【００３８】
その後、ガラス基板８１上に熱圧着されたＡＣＦ片６０１から、不図示の離型紙剥離装置を用いて離型紙１２３を剥離する。
【００３９】
一方、前述したように引き出し部１０９の移動によりＡＣＦテープ１２５におけるガラス基板８１に今回貼着すべきＡＣＦ片６０１がガラス基板８１に対向する位置に到達し、吸引部１０５がＡＣＦテープ１２５を吸着保持して引き出しクランパ１９１が開くと、ＡＣＦテープ供給部１０７においては、ＡＣＦテープ供給リール１７１を駆動してＡＣＦテープ１２５を供給する。供給リール１７１は、供給部側上限センサ５５１がダンサローラ１７３の上限位置への到達を検出した時点で停止する。またＡＣＦ巻き取り部１１１では、巻き取りリール１１３を駆動して、離型紙１２３を巻き取る。巻き取りリール１１３は、巻き取り側下限センサ５５７がダンサローラ１１５の下限位置への到達を検出した時点で停止する。
【００４０】
次に、切り込み形成および部分剥離について説明する。
【００４１】
図６（ａ）はＡＣＦテープ１２５の引き出しサンプルパターンを示し、図６（ｂ）はハーフカッタ１０１の先端と剥離ヘッド１３３の中心との距離を示す。図６（ａ）に示すように、ＡＣＦ片６０１の長さは１００ｍｍ、ＡＣＦ切断片６０３の長さは５ｍｍ、ＡＣＦ片６０５の長さは６０ｍｍとする。図６（ｂ）に示すように、ハーフカッタ１０１の先端と剥離ヘッド１３３の中心との距離は２５ｍｍとする。なお、符号６１０は、前回の切り込み位置で、この位置にハーフカッタ１０１が今対向しているとする。
【００４２】
図７〜１５は、切り込み形成前後の、そしてＡＣＦ切断片剥離前後のＡＣＦテープ１２５の状態を示す図であり、図７は第１の切り込みを形成する前の状態を、図８は第１の切り込みを形成した後の状態を、図９は第１の切り込み形成により生じた弛みを除去した後の状態を、図１０は第２の切り込みを形成する前の状態を、図１１は第２の切り込みを形成した後の状態を、図１２は第２の切り込み形成により生じた弛みを除去した後の状態を、図１３は第１，第２の切り込み間のＡＣＦ切断片を剥離する前の状態を、図１４は第１，第２の切り込み間のＡＣＦ切断片を剥離した後の状態を、図１５は第１，第２の切り込み間のＡＣＦ切断片を剥離したことにより生じた弛みを除去した後の状態を、それぞれ示す。
【００４３】
これらの図を用いて第１，第２の切り込みを形成し、これら第１，第２の切り込み間のＡＣＦ切断片６０３を剥離する方法について説明すると次のとおりである。
【００４４】
吸着ブロック１５１の吸着をＯＮとし、ＡＣＦテープ引き出し部１０９では、引き出しクランパ１９１を開き、引き出しクランパ１９１を吸着ブロック１５１側へ１００ｍｍ移動し、引き出しクランパ１９１を閉じ、ここで吸着ブロック１５１の吸着をＯＦＦとした後、引き出しクランパ１９１はＡＣＦテープ１２５を挟んだまま引き出し待機位置へ戻る。第１の切り込み位置が、ハーフカッタ１０１の上にくる（図７）。
【００４５】
吸着ブロック１５１の吸着をＯＮとした後、ハーフカッタ１０１を上昇および下降させて、ＡＣＦ１２１に第１の切り込み６２０を入れる。ハーフカッタ１０１を下降させる際に、ハーフカッタ１０１に貼り付いたＡＣＦ１２１が下方向に引っ張られるため、ＡＣＦテープ１２５に弛みが発生する（図８）。
【００４６】
吸着ブロック１５１の吸着をＯＦＦとすると、テープ供給部１０７のダンサローラ１７３が重り１７６の影響で上方向に引っ張られるので、ＡＣＦテープ１２５の弛みが除去される（図９）。
【００４７】
吸着ブロック１５１の吸着をＯＮとし、引き出しクランパ１９１を開き、引き出しクランパ１９１を吸着ブロック１５１側へ５ｍｍ移動し、引き出しクランパ１９１を閉じ、ここで吸着ブロック１５１の吸着をＯＦＦとした後、引き出しクランパ１９１はＡＣＦテープ１２５を挟んだまま引き出し待機位置へ戻る。第２の切り込み位置が、ハーフカッタ１０１の上にくる（図１０）。
【００４８】
吸着ブロック１５１をＯＮとした後、ハーフカッタ１０１を上昇および下降させて、ＡＣＦ１２１に第２の切り込み６３０を入れる。ハーフカッタ１０１を下降させる際に、ハーフカッタ１０１に貼り付いたＡＣＦ１２１が下方向に引っ張られるため、ＡＣＦテープ１２５に弛みが発生する（図１１）。
【００４９】
吸着ブロック１５１の吸着をＯＦＦとすると、テープ供給部１０７のダンサローラ１７３が重り１７６の影響で上方向に引っ張られるので、ＡＣＦテープ１２５の弛みが除去される（図１２）。
【００５０】
吸着ブロック１５１の吸着をＯＮとし、引き出しクランパ１９１を開き、引き出しクランパ１９１を吸着ブロック１５１側へ２２．５ｍｍ移動し、引き出しクランパ１９１を閉じ、吸着ブロック１５１の吸着をＯＦＦとした後、引き出しクランパ１９１は、ＡＣＦテープ１２５を挟んだまま引き出し待機位置へ戻る。ハーフカッタ先端と剥離ヘッド中心との間隔は２５ｍｍであるとしているので、（ハーフカッタ先端と剥離ヘッド中心との間隔：２５ｍｍ）から（剥離寸法：５ｍｍ）／２を引いた長さ（つまり２２．５ｍｍ）だけＡＣＦテープ１２５を引き出すことによって、ＡＣＦ切断片６０３の中心が剥離ヘッド１３３の中心の上にくる（図１３）。
【００５１】
吸着ブロック１５１をＯＮとした後、剥離ヘッド１３３を上昇および下降させて、ＡＣＦ切断片６０３を離型紙１２３より剥離する。剥離ヘッド１３３を下降させる際に、剥離テープ１３１に貼り付いたＡＣＦ切断片６０３が下方向に引っ張られるため、ＡＣＦテープ１２５に弛みが発生する（図１４）。
【００５２】
吸着ブロック１５１の吸着をＯＦＦとすると、テープ供給部１０７のダンサローラ１７３が重り１７６の影響で上方向に引っ張られるので、ＡＣＦテープ１２５の弛みが除去される（図１５）。
【００５３】
このようにして第１，第２の切り込みの形成および第１，第２の切り込み間のＡＣＦ切断片６０３の剥離が完了する。
【００５４】
吸着ブロック１５１の吸着をＯＮとし、引き出しクランパ１９１を開き、引き出しクランパ１９１を吸着ブロック１５１側へ（６０−２２．５）ｍｍ移動し、引き出しクランパ１９１を閉じ、吸着ブロック１５１をＯＦＦとした後、引き出しクランパ１９１はＡＣＦテープ１２５を挟んだまま引き出し待機位置へ戻る。
これにより、第３の切り込み位置がハーフカッタ１０１の上にくる。
【００５５】
吸着ブロック１５１をＯＮとした後、ハーフカッタ１０１を上昇および下降させて、ＡＣＦ１２１に第３の切り込み６４０を入れる。ハーフカッタ１０１を下降させる際に、ハーフカッタ１０１に貼り付いたＡＣＦ１２１が下方向に引っ張られるため、ＡＣＦテープ１２５に弛みが発生する。
【００５６】
吸着ブロック１５１の吸着をＯＦＦとすると、テープ供給部１０７のダンサローラ１７３が重り１７６の影響で上方向に引っ張られるので、ＡＣＦテープ１２５の弛みが除去される。
【００５７】
上記の実施形態によれば、ＡＣＦ１２１への切り込み形成時およびＡＣＦ切断片６０３の剥離時に生じる弛みが、吸着ブロック１５１の吸着をＯＦＦすることによって、ＡＣＦテープ引き出し部１０９によるＡＣＦテープ１２５の次の引き出しが開始される以前に解消される。そしてこの弛み解消の際、ＡＣＦテープ１２５には、テープ供給部１０７のダンサローラ１７３による引っ張り力が加わるだけである。このため、弛み除去時にＡＣＦテープ１２５に加わる衝撃力を小さくできることから、ＡＣＦテープの伸びが極力抑えることができ、従って、テープ部材１２５の搬送精度を高めることができ、ひいてはＡＣＦ片６０１の貼り付け位置精度を向上させることができる。
【００５８】
なお、上記の実施形態においては、たるみ除去のために引っ張り力を付与させる手段としてダンサローラを用いたが、必ずしもダンサローラである必要は無く、たるみ除去用の駆動手段を別途専用に設けてもよい。
【００５９】
また、実施形態では、ガラス基板８１に貼着されるＡＣＦ片６０１と６０５の間にＡＣＦ切断片６０３を形成するものであったが、これは必ずしも必要でない。
【００６０】
また、実施形態では、ハーフカッタ１０１を用いてＡＣＦ１２１に切り込み形成することにより、ＡＣＦ片（テープ片）６０１、６０５、ＡＣＦ切断片６０３をそれぞれ形成する場合を説明したが、例えば、剥離紙１２３とともに搬送されるＡＣＦ１２１には予め図６（ａ）に示したような間隔にて切り込みが形成されていて、上述したＡＣＦテープ剥離部１０３によるＡＣＦ切断片６０３の剥離により、隣接するＡＣＦ切断片間に形成されたＡＣＦ片６０１、６０５を被貼着部材に押圧して貼着するものであっても良い。
【００６１】
さらに、実施形態ではテープ部材としてＡＣＦを例にとって説明したが、離型紙とともに搬送されるテープ部材であれば、ＡＣＦでなくても良い。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、テープ部材への切り込み形成時やテープ部材の部分剥離時に生じるテープ部材の弛みを除去することができ、その後のテープ部材の搬送精度が高まり、例えばテープ部材の貼付位置を安定化させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係るテープ貼着装置の全体図である。
【図２】図１に示すハーフカッタ１０１、剥離テープ１３１、剥離ヘッド１３３等の拡大図である。
【図３】図１に示すＡＣＦテープ供給部１０７の構成を示す図であって、ダンサローラ１７３が上限位置にある状態を示す。
【図４】図１に示すＡＣＦテープ供給部１０７の構成を示す図であって、ダンサローラ１７３が下限位置にある状態を示す。
【図５】制御部５０１、各種モータ駆動部５２１〜５２７、各種シリンダ駆動部５４１〜５４９等の接続関係を示すブロック図である。
【図６】図６（ａ）はＡＣＦテープ１２５の引き出しサンプルパターンを示し、図６（ｂ）はハーフカッタ１０１の先端と剥離ヘッド１３３の中心との距離を示す。
【図７】第１の切り込みを形成する前のＡＣＦテープ１２５の状態を示す図である。
【図８】第１の切り込みを形成した後のＡＣＦテープ１２５の状態を示す図である。
【図９】第１の切り込み形成により生じた弛みを除去した後のＡＣＦテープ１２５の状態を示す図である。
【図１０】第２の切り込みを形成する前のＡＣＦテープ１２５の状態を示す図である。
【図１１】第２の切り込みを形成した後のＡＣＦテープ１２５の状態を示す図である。
【図１２】第２の切り込み形成により生じた弛みを除去した後のＡＣＦテープ１２５の状態を示す図である。
【図１３】第１，第２の切り込み間のＡＣＦ切断片を剥離する前のＡＣＦテープ１２５の状態を示す図である。
【図１４】第１，第２の切り込み間のＡＣＦ切断片を剥離した後のＡＣＦテープ１２５の状態を示す図である。
【図１５】第１，第２の切り込み間のＡＣＦ切断片を剥離したことにより生じた弛みを除去した後のＡＣＦテープ１２５の状態を示す図である。
【符号の説明】
１０１  刃（ハーフカッタ）
１０３  テープ剥離部
１０５  テープ吸引部
１０７  テープ供給部
１０９  テープ搬送部（テープ引き出し部）
１１１  テープ巻き取り部
１１３  巻き取りリール
１１５  ダンサローラ
１２１  ＡＣＦ、  １２３  離型紙、  １２５  ＡＣＦテープ
１３１  剥離テープ
１３３  剥離ヘッド
１７１  供給リール
１７３  ダンサローラ
１９１  引き出しクランプ
【図１】
0004587624.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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