(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体用の基板を固定するための支持機構と、前記基板を挟むようにして前記支持機構の両側に配置された成膜用ターゲットとを有し、前記ターゲットに成膜ガスを流入させつつ電力を投入することによって、前記基板表面に磁性膜を形成して、磁気記録媒体を得る磁気記録媒体の製造装置において、
前記基板の外径寸法よりも大きな内径寸法を有する環状円板部材を前記基板と前記両ターゲットとのそれぞれの間に配置し、
前記環状円板部材として、内径の周辺に直径４ｍｍから２５ｍｍの孔を複数個設けた環状部材を用いて、前記ターゲット表面に前記成膜ガスが流入しやすいようにし、
一方のターゲット側にある環状部材と、他方のターゲット側にある環状部材とを、それぞれに設けた前記複数の孔が互い違いに面するように、配置したことを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
【請求項２】
前記環状円板部材として、その内径が前記基板の外径よりも２〜２５ｍｍ大きい環状円板部材を用いたことを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の製造装置。
【請求項３】
磁気記録媒体用の基板を支持機構に固定し、前記基板を挟むようにして前記基板の両側に成膜用ターゲットを配置し、前記ターゲットに成膜ガスを流入させつつ電力を投入することによって、前記基板表面に磁性膜を形成して、磁気記録媒体を得る磁気記録媒体の製造方法において、
前記基板の外径寸法よりも大きな内径寸法を有する環状円板部材を前記基板と前記両ターゲットとのそれぞれの間に配置して成膜を行い、
前記環状円板部材として、内径の周辺に直径４ｍｍから２５ｍｍの孔を複数個設けた環状部材を用いて、前記ターゲット表面に前記成膜ガスが流入しやすいようにし、
一方のターゲット側にある環状部材と、他方のターゲット側にある環状部材とを、それぞれに設けた前記複数の孔が互い違いに面するように、配置する
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記環状円板部材として、その内径が前記基板の外径よりも２〜２５ｍｍ大きい環状円板部材を用いることを特徴とする請求項３に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、コンピュータの外部記憶装置を始めとする各種磁気記録装置に搭載される磁気記録媒体の製造装置および製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、各種磁気記録媒体の製造においては、大きさの異なるものを製造する場合でも、生産効率を考慮して、通常、同一のスパッタリング成膜装置が使用され、さらにターゲットも一定の大きな（通常、直径が１５０ｍｍ〜２２０ｍｍ程度）のものが使用されている。製造に際しては、磁気記録媒体用の基板を固定する支持機構を、磁性膜を形成しようとする基板の大きさに合ったものに変更する以外には、装置に対して特に改造は行われていなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前述の従来の磁気記録媒体の製造方法によって、大きさ一定としたターゲットに比較してサイズの小さな磁気記録媒体を製造した場合、出来上がった磁気記録媒体の各種特性が十分でないことがしばしば発生していた。
【０００４】
本発明の課題は、成膜装置のターゲットを製造しようとするサイズによって交換することなく、小さいサイズの磁気記録媒体を製造しても、特性の劣化が生じることのない磁気記録媒体の製造装置および製造方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前述のターゲットの大きさに比較してサイズが小さな磁気記録媒体を製造する場合に生じる特性劣化の原因を、本発明者らが鋭意検討したところ、成膜する基板のサイズが小さい場合、成膜工程中に基板の両側に発生しているプラズマが基板の外周の外縁部分で互いに干渉し合ってしまい、そのため、プラズマの状態が不安定になり、その状態のままで成膜が行われると、作製された磁気記録媒体の各種特性が劣化してしまうことが、判明した。
【０００６】
したがって、サイズの小さな基板への成膜時に生じる基板外縁部分のプラズマの干渉をなくすことが、必要となる。そのための手段として、種々実験検討を重ねたところ、基板面を覆うことなく、基板の外縁部分のみを遮るような環状円板部材を、基板と両側に位置するターゲットとのそれぞれの間に設置すれば、問題のプラズマの干渉も防止でき、基板表面への磁性材料の堆積も阻害せずに、良好な成膜が実施できることが、判明した。
【０００７】
本発明は、係る知見に基づいてなされたものである。すなわち、本発明の磁気記録媒体の製造装置は、磁気記録媒体用の様々なサイズの基板を固定するための該基板のサイズに合わせた大きさの支持機構と、前記基板を挟むようにして前記支持機構の両側に配置された一定サイズの成膜用ターゲットとを有し、前記ターゲットに成膜ガスを流入させつつ電力を投入することによって、前記基板表面に磁性膜を形成して、磁気記録媒体を得る磁気記録媒体の製造装置において、前記基板の外径寸法よりも大きな内径寸法を有する環状円板部材を前記基板と前記両ターゲットとのそれぞれの間に配置したことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の磁気記録媒体の製造方法は、磁気記録媒体用の様々なサイズの基板を該基板のサイズに合わせた支持機構に固定し、前記基板を挟むようにして前記基板の両側に一定サイズの成膜用ターゲットを配置し、前記ターゲットに成膜ガスを流入させつつ電力を投入することによって、前記基板表面に磁性膜を形成して、磁気記録媒体を得る磁気記録媒体の製造方法において、前記基板の外径寸法よりも大きな内径寸法を有する環状円板部材を前記基板と前記両ターゲットとのそれぞれの間に配置して成膜を行うことを特徴とする。
【０００９】
本発明において、前記環状円板部材として、その内径が前記基板の外径よりも２〜２５ｍｍ大きい環状円板部材を用いることが、好ましい。
【００１０】
また、本発明において、前記環状円板部材として、内径の周辺に直径４ｍｍから２５ｍｍの孔を複数個設けた環状部材を用いて、前記ターゲット表面に前記成膜ガスが流入しやすいようにすることが、好ましい。
【００１１】
さらに、本発明において、一方のターゲット側にある環状部材と、他方のターゲット側にある環状部材とを、それぞれに設けた前記複数の孔が互い違いに面するように、配置することが、好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１に示すように、製造しようとする磁気記録媒体用の基板１の外形寸法よりも内径寸法が２ｍｍ〜２５ｍｍ大きい環状円板部材２ａ，２ｂを基板１とターゲット３ａ，３ｂとの間に設けることにより、基板１の両側のプラズマが基板１越しに干渉し合うことが防止される。
【００１３】
このような環状円板部材を用いても、さらに使用する基板のサイズが小さくなると、環状円板部材の内径（開口部）も小さくなるため、スパッタリング成膜装置内に導入される成膜用のガスがターゲット前面に流入しにくくなる。これにより、プラズマが不安定になることがある。そこで、環状円板部材２ａ，２ｂの開口部Ａの周辺肉部に複数（４〜１６個）の孔Ｂを開けることにより、成膜用のガスがターゲット３ａ，３ｂ前面に流入しやすくすることができる。
【００１４】
前述のように環状円板部材２ａ，２ｂの肉部にガスを流通させる孔Ｂを設けた場合、この孔Ｂを介してターゲット３ａ，３ｂ側からプラズマが基板１側に漏れだし、両側のプラズマが干渉し合う可能性がある。それを防ぐためには、基板１の両側に設ける環状円板部材２ａ，２ｂのそれぞれに形成した孔Ｂが同一水平位置に一致しないように互い違いになるように配置すればよい。これによって、プラズマの干渉を完全に防止することと、成膜用ガスのターゲット３ａ，３ｂへの流入を良好にすることとが両立できる。
【００１５】
【作用】
前述のような環状円板部材２ａ，２ｂを、基板１と両側のターゲット３ａ，３ｂとの間に設けることにより、成膜する基板１のサイズが小さい場合でも、成膜中に基板１の両側に発生するプラズマが基板１越しに干渉し合うことがなくなり、プラズマの状態が安定する。その結果、基板１の両面に成膜された磁性膜は、各面間および各面内で各種特性がばらつくことがなくなる。したがって、本発明の装置および方法を用いれば、同一の一定サイズのターゲットを用いても、各種サイズの磁気記録媒体を安定して生産することができる。
【００１６】
【実施例】
直径９５ｍｍの磁気記録媒体を成膜する場合に通常用いられる直径１５２ｍｍのＮｉＡｌターゲットを用いて、直径２７．４ｍｍの基板に成膜した。
【００１７】
まず、比較例として、環状円板部材を用いないで、成膜した。この場合のターゲット電圧は、６００Ｖであった。そして、得られた磁気記録媒体の磁気特性の半径方向の分布は、図２に示すようになった。この図から明らかなように、環状円板部材を用いないで成膜した場合は、基板の外周部で磁気特性が急激に劣化していた。
【００１８】
これに対して、環状円板部材を用いて基板に成膜した場合、比較例と同じ投入電力で実施したところ、ターゲット電圧は、５３０Ｖであった。得られた磁気記録媒体の磁気特性は、図３に示すようになった。図から明らかなように、環状円板部材を用いて成膜した場合は、基板の外周部においても磁気特性の劣化は生じず、内径部分から外径部分にかける全面で磁気特性は均一であった。
【００１９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、環状円板部材を基板とターゲットとの間に設置して基板への成膜を行うことによって、同一の成膜装置を使用し、同一の一定サイズのターゲットを使用して、各種サイズの異なる磁気記録媒体を安定した特性で生産することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の製造装置の要部構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の比較例における磁気記録媒体の磁気特性の半径方向の分布を示すグラフである。
【図３】本発明の実施例における磁気記録媒体の磁気特性の半径方向の分布を示すグラフである。
【符号の説明】
１  磁気記録媒体用の基板
２ａ，２ｂ  環状円板部材
３ａ，３ｂ  ターゲット
Ａ  環状円板部材の開口部（内径部）
Ｂ  環状円板部材に設けたガス流通用の孔
【図１】
0004534315.tif 000002
【図２】
0004534315.tif 000003
【図３】
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