(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドベースに設けられたツールにて相互に圧着すべき部品を加圧して圧着を行う圧着ヘッドであって、前記ツールの加圧面の位置を調整するように前記ヘッドベースと前記ツールの間に前記ツールの長手方向に適当ピッチ間隔で配設した調整ねじ手段と、前記ツールを締結固定する固定ボルトを備え、
前記ヘッドベースの下面には前記ツールを所定の温度に維持するヒータブロックが固定されており、このヒータブロックの前面に前記ツールを当接配置し、且つ前記ツールをツールホルダにて前記ヒータブロックとの間で挟持し、
前記調整ねじ手段は、前記ツールの加圧面と対向する面に当接し、軸芯部に貫通穴が形成された押圧調整ねじと、前記ツールの加圧面と対向する面に形成された雌ねじ穴に螺合し、前記貫通穴に挿通された引上げ調整ねじから成り、
前記押圧調整ねじ及び前記引下げ調整ねじはロックナットによりロックされることを特徴とする圧着ヘッド。
【請求項２】
前記ヒータブロックには、その長手方向に適当ピッチでヒータが配置されており、前記ヒータブロックを介して前記ツールを所定の温度に維持することを特徴とする請求項１記載の圧着ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルなどの基板に液晶駆動ＩＣなどの部品を圧着するための圧着ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶表示パネルの製造工程において、図１２（ａ）、（ｂ）に示すように、液晶パネル１００の隣合う２つの側縁部又は３つの側縁部に沿って液晶を駆動する複数の液晶駆動ＩＣ１０１又は１０２を一列状に配置し、そのリード又は電極を液晶パネル１００の透明電極に接合する工程があり、通常は液晶パネル１００の側縁部の透明電極列上に異方導電性シート（以下、ＡＣＦと記す）を貼り付け、液晶駆動ＩＣ１０１、１０２を装着して仮圧着し、その後各液晶駆動ＩＣ１０１、１０２を本圧着することによって接合している。なお、図１２（ａ）はＦＯＧ（Film On Glass ) 方式による接合工程を示し、キャリアテープに液晶駆動ＩＣを装着したＴＣＰ（Tape Carrier Package）１０１を用い、そのキャリアテープに形成されたリードをＡＣＦを介して透明電極に接合し、図１２（ｂ）はＣＯＧ（Chip On Glass ）方式による接合工程を示し、液晶駆動ＩＣのチップ１０２を用い、その電極をＡＣＦを介して透明電極に接合するが、何れの場合も基本的に同一の工程によって接合される。
【０００３】
従来例の液晶パネルに液晶駆動ＩＣを接合する液晶パネル製造設備の構成を、図８を参照して説明する。図８において、７１は液晶パネルの側縁部にＡＣＦを貼り付けるＡＣＦ貼付け部で、ＡＣＦ供給部７１ａと、貼付けヘッド部７１ｂと、ステージ部７１ｃと、パネル位置決め部７１ｄとを備えている。７２は液晶駆動ＩＣを装着して仮圧着する仮圧着部で、ＩＣ供給部７２ａと、仮圧着ヘッド部７２ｂと、パネル位置決め部７２ｃとを備えている。７３、７４は液晶パネルの各側縁部の液晶駆動ＩＣをそれぞれ加熱加圧して圧着するように複数並列して配設された本圧着部で、本圧着ヘッド部７３ａ、７４ａと、ステージ部７３ｂ、７４ｂと、液晶パネルの圧着すべき側縁部をステージ部７３ｂ、７４ｂ上に移載して位置決めするパネル位置決め部７３ｃ、７４ｃとを備えている。７５、７６は液晶パネルを順次工程間で搬送する搬送部である。
【０００４】
本圧着部７３における接合工程を、図９を参照してＦＯＧ方式の場合について説明すると、本圧着ヘッド部７３ａのツール７７に対向するようにステージ部７３ｂのステージ７８が配設され、ＡＣＦ１０３を介してＴＣＰ１０１が仮圧着された液晶パネル１００の側縁部をステージ７８上に配置して支持し、本加圧ヘッド部７３ａを白抜き矢印の如く下降させてそのツール７７にてＴＣＰ１０１の接合部を加圧・加熱し、ＴＣＰ１０１を液晶パネル１００に圧着するとともにそのリードと透明電極を電気的に接続している。
【０００５】
この本圧着時には、ステージ７８とツール７７は接合範囲の全長にわたって高精度に平行でないと、圧着接合が適正に行われないため、本圧着ヘッド部７３ａにおけるツール７７は、図１０に示すような構成によって平行調整ができるように構成されている。
【０００６】
図１０において、本圧着ヘッド部７３ａのヘッドベース７９に螺合固定された枢軸ボルト８０にてツール７７を装着したブロック８１の中央部が枢支されるとともに、ヘッドベース７９に突設されたフランジ７９ａに螺合され、ナット８３にてロック可能な一対の調整ねじ８２にてブロック８１の両端近傍の上面を押圧し、ツール７７をステージ７８に対して平行調整できるように構成するとともに、調整した状態で固定ボルト８４にてブロック８１をヘッドベース７９に締結固定するように構成されている。
【０００７】
また、仮圧着部７２における仮圧着ヘッド部７２ｂにおいては、図１１に示すように、そのヘッド部材９１は、ベース部９２の軸芯部に細径の連接部９３を介して加圧部９４を首振り状に位置調整可能に連接し、その加圧部９４にツール９５を装着するように構成するとともに、加圧部９４の周方向複数箇所に貫通螺合させた調整押しねじ９６の先端をベース部９２に当接させ、これら調整押しねじ９６を調整することによりツール９５を液晶パネルに対して平行に調整するように構成されている。なお、図１１において、９７はヘッド部材９１に形成された吸引通路、９８はツール９５に形成されたＩＣの吸着穴であり、ツール９５自体は別の吸引通路にてヘッド部材９１に吸着されて装着されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の本圧着ヘッド部７３ａの構成では、例えば４インチサイズの液晶表示パネル（標準タイプで８１mm×６１mm、ワイドタイプで８９mm×５０mm）用の液晶パネル１００の側縁部にＩＣ１０１を圧着する場合には、側縁部に配設されている複数のＩＣ１０１を一括して圧着することはできても、それ以上のサイズの液晶パネルの場合には、ツール７７の加熱によってツール７７及びブロック８１に調整ねじ８２、８２と枢軸ボルト８０間で円弧状の変形を生じ、ツール７７の加圧面に波打ち変形が発生するため、ステージ７８とツール７７の平行度及び平面度を全長にわたって高精度に保持することができず、液晶パネル１００の１つの側縁部に装着されたすべてのＩＣ１０１を高い信頼性をもって一括して圧着することができないという問題があり、そのため何度にも分けて圧着動作をすると生産性が低下し、また複数の圧着ヘッド部７３ａを並列して配設すると、装置が複雑化してコスト高となるとともに液晶パネルの仕様の変化に容易に対応できないという問題がある。
【０００９】
また、仮圧着ヘッド部７２ｂにおいても、ヘッド部材９１の加圧部９４の位置調整を複数の調整押しねじ９６でベース部９２を押すことで行っているので、各調整押しねじ９６の位置ではそれぞれの調整位置を確定できず、調整に手間がかかるとともに、時間経過とともに調整押しねじ９６が緩んで調整位置に狂いが生じる恐れがあるという問題がある。
【００１０】
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、ステージとの間で圧着を行うツールのステージとの平行度及び平面度を広範囲にわたって高精度に確保でき、また容易に調整できる圧着ヘッドを提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１発明の圧着ヘッドは、ヘッドベースに設けられたツールにて相互に圧着すべき部品を加圧して圧着を行う圧着ヘッドであって、前記ツールの加圧面の位置を調整するように前記ヘッドベースと前記ツールの間に前記ツールの長手方向に適当ピッチ間隔で配設した調整ねじ手段と、前記ツールを締結固定する固定ボルトを備えたものであり、ツールの長手方向全長にわたって所定ピッチ間隔の複数箇所でその位置決めを行って固定するので、ツールを加熱して加熱・加圧により圧着する場合にも、ツールの加熱により加圧面が波打ち変形するのを防止でき、ツールとステージの平行度及び平面度を広範囲にわたって高精度に確保でき、圧着長が長くても信頼性の高い圧着状態を得ることができる。
【００１３】
また、調整ねじ手段を、前記ツールの加圧面と対向する面に当接し、軸芯部に貫通穴が形成された押圧調整ねじと、前記ツールの加圧面と対向する面に形成された雌ねじ穴に螺合し、前記貫通穴に挿通された引上げ調整ねじにて構成すると、調整ねじ手段を配置した各々の同一位置でツールを何れの方向にも位置決めすることができるので、位置決め作業を容易に行うことができるとともに、その位置決めピッチを小さくすることが可能で、より高精度にツールとステージの平行度及び平面度を確保でき、長い圧着長に対しても信頼性の高い圧着状態を得ることができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の圧着ヘッドを液晶表示パネル製造設備における液晶駆動ＩＣの本圧着に適用した第１の実施形態について、図１〜図３を参照して説明する。なお、以下の各実施形態で説明する要部構成を除いて液晶表示パネル製造設備の全体構成は、図８を参照して従来例で説明したものと実質的に同一であるため、その説明を援用する。
【００２７】
本圧着部７３、７４の本圧着ヘッド部７３ａ、７４ａの構成を示す図１において、１は、基部１ａと背壁部１ｂと天壁部１ｃとを有する全体的な側面形状が略コ字状のメインフレームで、基部１ａ上に基台２及びセラミック等の断熱材３を介してステージ４が配設されている。ステージ４にはヒータカートリッジ（図示せず）が挿入配置され、５０〜６０℃程度の温度に維持するように構成されている。ステージ４上には圧着ヘッド５がステージ４に対して接近離間可能に上下移動可能に配設されている。
【００２８】
天壁部１ｃ上には、圧着ヘッド５を上下移動させる駆動手段としての上下シリンダ６が配設されている。背壁部１ｂの上部には上下方向のガイドレール７が配設されている。ガイドレール７の上部には、加圧シリンダ８を装着したシリンダベース９がリニアガイド１０を介して上下移動自在に支持され、ガイドレール７の下部に圧着ヘッド５のヘッドベース１１が一対のリニアガイド１２を介して上下移動自在に支持されている。
【００２９】
なお、シリンダベース９はその両側部と天壁部１ｃとの間に介装された引張ばね（図示せず）にて上方に引き上げ付勢され、圧着ヘッド５のヘッドベース１１はその両側部がシリンダベース９との間に介装された引張ばね（図示せず）にて上方に引き上げ付勢されており、上下シリンダ６にてシリンダベース９を押し下げて圧着ヘッド５をステージ４に向けて下方移動させ、加圧シリンダ８にて所定の圧着力を負荷し、上下シリンダ６及び加圧シリンダ８の作動を停止すると、圧着力を解除して圧着ヘッド５が上昇するように構成されている。
【００３０】
圧着ヘッド５は、図２、図３に示すように、正面視の全体形状が細長い扁平な台形状で、断面形状が略コ字状の所要の剛性を有するヘッドベース１１の下面にヒータブロック１３を締結ボルト１４にて締結固定し、このヒータブロック１３の前面に細長い棒状のツール１５を当接配置し、ツールホルダ１６にてヒータブロック１３との間で挟持し、ツールホルダ１６を固定ボルト１７にてヒータブロック１３に締結することによって固定するように構成されている。１８は、ヘッドベース１１の上面中央に装着された受圧ピンであり、この受圧ピン１８を介して加圧シリンダ８の加圧力のみがヘッドベース１１に伝達される。
【００３１】
ヒータブロック１３には、その上部に長手方向に適当ピッチでヒータカートリッジ１９が挿入配置され、ヒータブロック１３を介してツール１５を２００〜２５０℃程度の温度に維持するように構成されている。
【００３２】
ヘッドベース１１とツール１５の間には、ツール１５下面の加圧面のステージ４上面に対する平行度と平面度が高精度に得られるように位置調整する調整ねじ手段２０がツール１５の長手方向に３０〜５０ｍｍ程度の所定ピッチ間隔で複数配設されている。本実施形態の調整ねじ手段２０は、次のように構成されている。ヘッドベース１１におけるツール１５の上面の幅方向中央位置に対向する部分には、ツール１５の長手方向に所定ピッチ間隔で大径の雌ねじ穴２１が貫通形成され、それと同一軸芯状態でツール１５の上面に小径の雌ねじ穴２２が形成されている。雌ねじ穴２１にはツール１５の上面に下端が当接するとともにその軸芯部に貫通穴２４が形成された押圧調整ねじ２３が貫通螺合されている。また、この押圧調整ねじ２３の貫通穴２４を貫通させ、下端部を雌ねじ穴２２に螺合させた引上げ調整ねじ２５が設けられている。２６は押圧調整ねじ２３及び引上げ調整ねじ２５のロックナットである。
【００３３】
図１において、２８はツール１５の下部でステージ４との間に供給されるクッション性のある耐熱テープであり、本実施形態では１００〜２００μｍ厚のテフロン（登録商標）テープが用いられている。このようにテフロンテープ２８を介装することにより、非常に微小な平行度や平面度のばらつきを吸収される。
【００３４】
以上の構成において、ツール１５をステージ４に対して平行に調整する際に、調整ねじ手段２０の押圧調整ねじ２３と引上げ調整ねじ２５の２種のねじを回転調整することにより、簡単にツール１５の位置決めを行える。また、その位置決め時に調整ねじ手段２０を配置した各々の同一位置でツール１５を何れの方向にも位置決めすることができるので、位置決め作業を容易に行うことができるとともに、その位置決めピッチを小さくすることが可能で、より高精度にツール１５とステージ４の平行度及び平面度を確保でき、長い圧着長に対しても信頼性の高い圧着状態を得ることができる。
【００３５】
また、その位置調整に際しては、ステージ４上に感圧シートを配置した上から圧着ヘッド５のツール１５を加圧して感圧シートにて加圧面の位置を検出し、検出結果に応じて調整することにより、作業効率良く高精度に位置調整することができ、またツール１５の長手方向の中央部から両端部に向けて順次調整ねじ手段２０を調整することにより、調整作業を何度も繰り返すことなく、確実にかつ効率的に位置調整することができる。
【００３６】
また、感圧シートを用いる代わりに、ツール１５の加圧面の位置をレーザ距離センサにて検出し、検出結果に応じて調整ねじ手段２０を調整するようにすることもできる。この場合、調整代を数値的に知って調整することができ、更に効率的に調整することができる。
【００３７】
以上の本実施形態の圧着ヘッド５によれば、ツール１５の上下位置をその長手方向全長にわたって所定ピッチ間隔の複数箇所でそれぞれ適正に位置決めすることができるので、ツール１５のステージ４に対する平行度及び平面度をその全長にわたって高い精度で確保することができる。
【００３８】
また、ツール１５と圧着すべきＩＣなどの部品との間にテフロンテープ２８を介装した状態で、圧着ヘッド５を上下シリンダ６で下降させてツール１５をステージ４に当接させ、加圧シリンダ８にて所定の加圧力で加圧すると、ツール１５の微小な平行度や平面度のばらつきをテフロンテープ２８で吸収することができ、信頼性の高い圧着状態を得ることができる。
【００３９】
特に、液晶パネル１００に液晶駆動ＩＣ１０１、１０２をＡＣＦ１０３を介して圧着する場合には、ＡＣＦ１０３を２〜３μｍ程度の厚さになるように圧着する必要があるため、極めて高精度に平行度や平面度を確保する必要があり、このようにテフロンテープ２８を介装することにより、確実に信頼性の高い圧着状態を得ることができる。
【００４０】
これにより、例えば３０インチサイズの液晶表示パネル（標準タイプで６１０mm×４５７mm、ワイドタイプで６６４mm×３７４mm）用の液晶パネル１００の側縁部に対して液晶駆動ＩＣ１０１、１０２を圧着する場合にも、側縁部に配設されている複数の液晶駆動ＩＣ１０１、１０２を一括して圧着することができる。
【００４１】
次に、本発明の第２の実施形態について、図４、図５を参照して説明する。なお、以下の実施形態の説明においては、上記実施形態と同一の構成要素について同一参照符号を付して説明を省略し、相違点のみを説明する。
【００４２】
本実施形態における圧着ヘッド５は、メインフレーム１の背部に配設されたシリンダ装置（図示せず）にて、中間部をメインフレーム１の上端部で揺動自在に支持された揺動アーム３１と、ヘッドベース１１から立設された連結杆３２を介して上下移動及び加圧を行うように構成されている。また、圧着ヘッド５は、ヘッドベース１１の下部に上下位置調整可能に装着されたブロック３３にヒータブロック１３が固定され、ヒータブロック１３にツール１５がツールホルダ１６にて固定されている。そして、ツール１５のステージ４に対する平行度及び平面度を調整する調整ねじ手段２０がその長手方向に所定ピッチ間隔でヘッドベース１１とブロック３３の間に配設されている。
【００４３】
本実施形態の調整ねじ手段２０は、ヘッドベース１１とブロック３３の長手方向の各ピッチ位置で、図５に示すように、長手方向と直交する方向の中央に適当間隔あけて引上げ調整ねじ３４を配設するとともに、その前後両側に適当間隔あけて一対の押圧調整ねじ３５ａ、３５ｂを配設して構成されている。
【００４４】
引上げ調整ねじ３４はヘッドベース１１を貫通してブロック３３の上面に形成された雌ねじ穴３６に下端部が螺合されている。また、押圧調整ねじ３５ａ、３５ｂはヘッドベース１１に形成された雌ねじ穴３７ａ、３７ｂに螺合されて貫通し、下端がブロック３３の上面に当接され、かつロックナット３８ａ、３８ｂにて回り止めされている。
【００４５】
さらに、前側の押圧調整ねじ３５ａは短くかつそのロックナット３８ａの高さ寸法を小さく、後側の押圧調整ねじ３５ｂは長くかつそのロックナット３８ｂの高さ寸法を大きくしてあり、前方から前後両方の押圧調整ねじ３５ａ、３５ｂの調整を容易に行えるように構成されている。また、引上げ調整ねじ３４には六角穴付きボルトが用いられ、六角レンチにて押圧調整ねじ３５ａ、３５ｂと干渉せずに容易に調整操作できるように構成されている。
【００４６】
本実施形態によっても、上記実施形態と同様にブロック３３を介してツール１５の上下位置をその長手方向全長にわたって所定ピッチ間隔の複数箇所でそれぞれ適正に位置決めすることができるので、ツール１５のステージ４に対する平行度及び平面度をその全長にわたって高い精度で確保することができる。但し、各ピッチ位置毎に前後３箇所の位置で調整ねじ３４、３５ａ、３５ｂの調整が必要であるため作業に手間がかかるとともに、その作業位置が前後に重なっているために作業が容易でなく、また押圧調整ねじ３５ａ、３５ｂが前後に位置しているので、それらによる押圧を均等にしないとブロック３３やツール１５にひねりが発生する恐れもあり、調整が難しく、作業性が良くないという不利がある。
【００４７】
次に、本発明の第３の実施形態について、図６を参照して説明する。
【００４８】
本実施形態における圧着ヘッド５は、ヘッドベース１１の下部に上下位置調整可能に装着されたブロック４１にツール１５が固定されている。そして、ツール１５のステージ４に対する平行度及び平面度を調整する調整ねじ手段２０がその長手方向に所定ピッチ間隔でヘッドベース１１とブロック４１の間に配設されている。本実施形態の調整ねじ手段２０は、引上げ調整ねじ４２と押圧調整ねじ４３がブロック４１及びツール１５の長手方向に交互に配設し、押圧調整ねじ４３はロックナット４４にて緩み止めロックを行うように構成されている。
【００４９】
本実施形態においても、ブロック４１を介してツール１５の上下位置をその長手方向全長にわたって所定ピッチ間隔で交互に上下に位置決めしているので、ツール１５のステージ４に対する平行度と平面度をその全長にわたって維持することができるが、２ピッチ周期で引上げと押圧を行って全体として平行度と平面度を確保するようにしているので、上記各実施形態に比べると、比較的小さく抑えることができるとは言え、２ピッチ周期で長手方向に波うち状の歪みが発生するのを避けることはできないので、例えば１０インチサイズの液晶表示パネル（標準タイプで２０３mm×１５２mm、ワイドタイプで２２１mm×１２５mm）用の液晶パネルの側縁部にＩＣを圧着する場合など、比較的低い精度しか要求されない場合に適用することができ、その場合には構成が簡単であるため、低コストにて構成できる。特に、第１の実施形態で示したように、クッション材として機能するテフロンテープ２８と併用することにより、信頼性の高い圧着状態を確保することができる。
【００５０】
次に、本発明を仮圧着部における仮圧着ヘッドに適用した第４の実施形態について、図７を参照して説明する。
【００５１】
本実施形態の仮圧着ヘッド５０においては、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、ベース部５２の軸芯部に細径の連接部５３を介して加圧部５４を首振り状に位置調整可能に連接して構成したヘッド部材５１が用いられ、その加圧部５４に液晶駆動ＩＣ５６を吸着保持するとともに液晶パネルに仮圧着して装着するツール５５が装着されるように構成されている。５７はヘッド部材５１に形成された吸引通路、５８はツール５５に形成されたＩＣの吸着穴であり、ツール５５自体は別の吸引通路にてヘッド部材５１に吸着されて装着されている。
【００５２】
そして、加圧部５４の外周部の周方向の３〜４箇所に、ツール５５のステージに対する平行度となるように加圧部５４の位置を調整するための調整ねじ手段６０が配設されている。この調整ねじ手段６０は軸芯部に貫通穴６２を形成され、加圧部５４に形成された雌ねじ穴６３に貫通螺合された押圧調整ねじ６１と、この押圧調整ねじ６１の貫通穴６２に挿通され、かつ先端部がベース部５２に形成された雌ねじ穴６５に螺合された引上げ調整ねじ６４にて構成されている。
【００５３】
本実施形態によれば、仮圧着ヘッド５０において、そのツール５５とステージの平行調整を行う際に、複数の調整ねじ手段６０の押圧調整ねじ６１と引上げ調整ねじ６４をそれぞれ調整する際に、各調整ねじ手段６０にて加圧部５４の位置調整が各々確定するので、加圧部５４の位置調整を容易に行うことができ、かつ時間経過とともにねじが緩んで調整位置に狂いが生じる恐れもないため、容易にツール５５のステージに対する平行度を調整できるとともに、その状態を安定的に維持することができる。
【００５４】
さらに、調整ねじ手段６０は、上記実施形態における仮圧着ヘッド５０に限らず、各種の加圧ヘッドにおけるツールとステージの平行度を調整する際の加圧部の位置調整に適用して、その効果を奏することができる。
【００５５】
【発明の効果】
本発明の圧着ヘッドによれば、以上のようにツールの加圧面の位置を調整するようにヘッドベースとツールの間にツールの長手方向に適当ピッチ間隔で配設した調整ねじ手段と、ツールを締結固定する固定ボルトを備えているので、ツールの長手方向全長にわたって所定ピッチ間隔の複数箇所でその位置決めを行って固定することにより、ツールの加圧面の波打ち変形を防止でき、ツールのステージとの平行度及び平面度を広範囲にわたって高精度に確保でき、圧着長が長くても信頼性の高い圧着状態を得ることができる。
【００５７】
また、調整ねじ手段を、ツールの加圧面と対向する面に当接し、軸芯部に貫通穴が形成された押圧調整ねじと、ツールの加圧面と対向する面に形成された雌ねじ穴に螺合し、押圧調整ねじの貫通穴に挿通された引上げ調整ねじにて構成すると、調整ねじ手段を配置した各々の同一位置でツールを何れの方向にも位置決めすることができるので、位置決め作業を容易に行うことができるとともに、その位置決めピッチを小さくすることが可能で、より高精度にツールとステージの平行度及び平面度を確保でき、長い圧着長に対しても信頼性の高い圧着状態を得ることができる。
【００５９】
また、上記圧着ヘッドにおける加圧面を位置調整する際に、ツールの長手方向の中央部から両端部に向けて順次調整ねじ手段を調整して加圧面を基準平面に平行な面に調整すると、調整作業を何度も繰り返すことなく、確実にかつ効率的に位置調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態の圧着ヘッドを適用した本圧着部の要部構成を示す縦断側面図である。
【図２】同実施形態の圧着ヘッドの詳細縦断側面図である。
【図３】同実施形態の圧着ヘッドの分解斜視図である。
【図４】本発明の第２の実施形態の圧着ヘッドを適用した本圧着部の要部構成を示す縦断側面図である。
【図５】同実施形態の圧着ヘッドの詳細縦断側面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態の圧着ヘッドを示し、（ａ）は部分縦断正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【図７】本発明の第３の実施形態の仮圧着ヘッドを示し、（ａ）は下面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図８】本発明の各実施形態における適用対象の液晶表示パネル製造設備の全体斜視図である。
【図９】同液晶表示パネル製造設備の本圧着部における縦断側面図である。
【図１０】従来例の本圧着部における圧着ヘッドを示し、（ａ）は部分断面正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【図１１】従来例の仮圧着ヘッドを示し、（ａ）は下面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【図１２】液晶表示パネルの構成例を示し、（ａ）はＴＣＰを用いた例、（ｂ）は液晶駆動ＩＣチップを用いた例の平面図である。
【符号の説明】
４  ステージ
５  圧着ヘッド
６  上下シリンダ
８  加圧シリンダ
１１  ヘッドベース
１３  ヒータブロック
１５  ツール
１７  固定ボルト
２０  調整ねじ手段
２２  雌ねじ穴
２３  押圧調整ねじ
２４  貫通穴
２５  引上げ調整ねじ
２８  テフロンテープ（クッション性のある耐熱テープ）
３４  引上げ調整ねじ
３５ａ、３５ｂ  押圧調整ねじ
４２  引上げ調整ねじ
４３  押圧調整ねじ
５０  仮圧着ヘッド
５２  ベース部
５４  加圧部
５５  ツール
６０  調整ねじ手段
６１  押圧調整ねじ
６２  貫通穴
６４  引上げ調整ねじ
７２  仮圧着部
７２ｂ  仮圧着ヘッド部
７３、７４  本圧着部
７３ａ、７４ａ  本圧着ヘッド部
７３ｂ、７４ｂ  ステージ部
７３ｃ、７４ｃ  パネル位置決め部（液晶パネル移載手段）
【図１】
0004534342.tif 000002
【図２】
0004534342.tif 000003
【図３】
0004534342.tif 000004
【図４】
0004534342.tif 000005
【図５】
0004534342.tif 000006
【図６】
0004534342.tif 000007
【図７】
0004534342.tif 000008
【図８】
0004534342.tif 000009
【図９】
0004534342.tif 000010
【図１０】
0004534342.tif 000011
【図１１】
0004534342.tif 000012
【図１２】
0004534342.tif 000013