(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
温水を満たした水槽と、該水槽の底部に上下動可能に設置された支持装置と、該支持装置に設けられた複数個の支持部材と、該支持部材に刻設された多数の支持溝と、該水槽の内側面に取り付けられかつ基部と該基部から前方に突設された多数の櫛歯とから構成された櫛歯部材と、各櫛歯の間に通間隙と、を有し、
ウェーハを前記水槽内の温水に浸漬する際には、ウェーハの周縁部分が前記ウェーハ挿通間隙内に挿通するようにして前記支持部材に支持せしめ、温水に浸漬させたウェーハを引上乾燥する場合には、前記支持装置を徐々に上昇させてウェーハを徐々に温水から引上げてその引上げ中にウェーハ自体の有する熱によって乾燥するようにし、かつウェーハが温水から引上げられる際に、隣接するウェーハが温水の表面張力によって引張られても前記櫛歯によって邪魔されて隣接するウェーハ同士がくっつくことがないようにしたことを特徴とする温水引上乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、温水からの引上げ途中に隣接するウェーハ同士がくっついてしまうことなく引上げ乾燥を行うことができる温水引上乾燥装置に関する。
【０００２】
【関連技術】
ウェーハの乾燥方法としてＩＰＡ（イソプロピルアルコール）を用いる方法、スピン乾燥や温水引上乾燥などが知られている。ＩＰＡ法はランニングコストが高い上に、ＩＰＡ自体に発火性があるため防爆設備が必要であるなどの問題がある。スピン乾燥はスピン乾燥装置の軸受けからの発塵をおさえる必要があり、コストがかかる上、ウェーハをカセットに入れたままスピン乾燥するので、キャリアレス工程に戻すにはウェーハをカセットから外す必要があり、自動化が困難という問題があった。
【０００３】
温水引上乾燥は、図５及び図６に示すように、水槽１２に温水１４を満たし、温水１４に浸漬されかつ多数の支持溝１６ａを刻設した支持部材１６（コマといわれる）にキャリアレス方式で支持された多数（一般的には５０枚程度）のウェーハＷを徐々に引上げることによって乾燥するので自動化に適している。一方、ウェーハの厚さは現在のところ１００μｍ〜５００μｍ程度となっており、将来的にはさらに薄くなって、厚さ５０μｍ程度のウェーハの出現も予想されている。
【０００４】
温水引上乾燥を行う場合に、上記した支持溝１６ａの幅及びウェーハＷの撓みによって引上げ途中で隣同士のウェーハが水の表面張力によって引き合って傾き互いにくっついてしまい、くっつきあった部分が乾燥不良部分Ｄとなり、さらには不良ウェーハとなってしまって再洗浄を行う必要が生じるなどの不都合が発生していた。この隣同士のウェーハＷのくっつきはウェーハＷの厚さが厚い場合、例えば３００μｍを越える厚さの場合にはあまり発生しないが、厚さが３００μｍ以下のウェーハの場合にはくっつき合う問題が生じ、最近では１００μｍ程度の薄いウェーハが用いられることが多く、図６に示すようにこのような薄いウェーハＷでは撓みが大きいために乾燥不良部分Ｄも大きくなってしまい、特に大きな問題となっている。
【０００５】
上記した支持溝１６ａの設置間隔を広げれば隣同士のウェーハのひっつきの問題は生じないが、その場合はウェーハの処理枚数が減ることになり、生産効率が低下するという不利益が発生してしまう。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した従来の温水引上乾燥における問題点に鑑みなされたもので、支持部材の支持溝の設置間隔を広げることなく、即ち乾燥処理効率を低下させることなく、温水からの引上げ途中における隣接するウェーハ同士がくっつき合うという不都合を解消し、ウェーハの乾燥不良が皆無となるようにした温水引上乾燥装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の温水引上乾燥装置は、温水を満たした水槽と、該水槽の底部に上下動可能に設置された支持装置と、該支持装置に設けられた複数個の支持部材と、該支持部材に刻設された多数の支持溝と、該水槽の内側面に取り付けられかつ基部と該基部から前方に突設された多数の櫛歯とから構成された櫛歯部材と、各櫛歯の間に形成されたウェーハ挿通間隙と、を有し、ウェーハを前記水槽内の温水に浸漬する際には、ウェーハの周縁部分が前記ウェーハ挿通間隙内に挿通するようにして前記支持部材に支持せしめ、温水に浸漬させたウェーハを引上乾燥する場合には、前記支持装置を徐々に上昇させてウェーハを徐々に温水から引上げてその引上げ中にウェーハ自体の有する熱によって乾燥するようにし、かつウェーハが温水から引上げられる際に、隣接するウェーハが温水の表面張力によって引張られても前記櫛歯によって邪魔されて隣接するウェーハ同士がくっつくことがないようにしたことを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を添付図面中、図１〜図４に基づいて説明するが、本発明の技術思想から逸脱しない限り図示例以外にも種々の変形が可能なことはいうまでもない。
【０００９】
図１は本発明の温水引上乾燥装置の正面的概略説明図である。図２は本発明の温水引上乾燥装置で用いられて櫛歯部材の一例を示す斜視概略説明図である。図３はウェーハの引上げ状態を示す正面的概略説明図である。図４はウェーハ引上げ時の隣同士のウェーハの動きを示す概略説明図である。
【００１０】
図中、１０は本発明に係る温水引上乾燥装置で、温水１４を満たした水槽１２を有している。該水槽１２の底部にはウェーハＷを保持する複数（図示例では３個）の支持部材１６を備えた支持装置１８が上下動可能に設置されている。該支持部材１６には多数の支持溝１６ａが刻設されている。
【００１１】
２０は櫛歯部材で、水槽１２の内側面に取り付けられている。該櫛歯部材２０は基部２０ａと該基部２０ａから前方に突設された多数の櫛歯２０ｂとから構成されている。各櫛歯２０ｂの間にはウェーハ挿通間隙２２が形成されている。ウェーハＷを水槽１２内の温水１４に浸漬する際には、図２によく示されるごとく、ウェーハＷの周縁部分が該ウェーハ挿通間隙２２内に挿通するようにして支持装置１８の支持部材１６に支持せしめる。
【００１２】
温水１４に浸漬させたウェーハＷを引上乾燥する場合には、該支持装置１８を徐々に上昇させてウェーハＷを徐々に温水から引上げてその引上げ中にウェーハＷ自体の有する熱によって乾燥させるものである。温水１４から引上げられて乾燥されたウェーハＷは、図３に示すように把持搬送手段２４によって把持され次工程へ搬送される。
【００１３】
上記の構成によってその作用を説明する。まず、ウェーハＷをウェーハ挿通間隙２２にその周縁部分を挿通させた状態で温水１４に浸漬し、支持部材１６の支持溝１６ａに支持せしめる〔図１及び図４（ａ）の実線〕。次に、支持部材１６を徐々に上昇させて該ウェーハＷを徐々に引上げて乾燥する。この引上げの際、図５及び図６に示した従来装置の場合には温水から引上げられると温水の表面張力によって隣接するウェーハＷ同士がひっついてしまったが、本発明装置においては図４によく示されるごとく、隣接するウェーハＷの間は櫛歯部材２０の櫛歯２０ｂが存在するためにウェーハＷが温水１４から引上げられて隣接するウェーハＷが温水の表面張力によって引張られても櫛歯２０ｂによって邪魔されて隣接するウェーハＷ同士がくっつくことはなくなる〔図４（ａ）の仮想線及び図４（ｂ）〕。完全に温水１４から引上げられて乾燥されたウェーハＷは乾燥不良の発生は全くない状態で把持搬送手段２４によって把持されて次の工程に支障なく搬送される。
【００１４】
【発明の効果】
以上述べたごとく、本発明の引上げ乾燥装置によれば、支持部材の支持溝の設置間隔を広げることなく、即ち乾燥処理効率を低下させることなく、温水からの引上げ途中における隣接するウェーハ同士がくっつき合うという不都合を解消し、ウェーハの乾燥不良が皆無となるという効果が達成される。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の温水引上乾燥装置の正面的概略説明図である。
【図２】  本発明の温水引上乾燥装置で用いられて櫛歯部材の一例を示す斜視概略説明図である。
【図３】  ウェーハの引上げ状態を示す正面的概略説明図である。
【図４】  ウェーハ引上げ時の隣同士のウェーハの動きを示す概略説明図である。
【図５】  従来の引上乾燥装置における引上げ時のウェーハの動きの１例（ａ）（ｂ）及び乾燥不良ウェーハの１例（ｃ）を示す説明図である。
【図６】  従来の引上乾燥装置における引上げ時のウェーハの動きの他の例（ａ）（ｂ）及び乾燥不良ウェーハの他の例（ｃ）を示す説明図である。
【符号の説明】
１２：水槽、１４：温水、１６ａ：支持溝、１６：支持部材、１８：支持装置、２０：櫛歯部材、２０ａ：基部、２０ｂ：櫛歯、２２：ウェーハ挿通間隙、２４：把持搬送手段、Ｗ：ウェーハ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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