(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
大小の両ロッド型シリンダが内外に組み合わされて大きい両ロッド型シリンダの大シリンダと小さい両ロッド型シリンダの小ロッドが固定側に固定されると共に小さい両ロッド型シリンダの小シリンダを兼ねる大きい両ロッド型シリンダの大ロッドが昇降されて上下の大流体室と上下の小流体室が形成された二重シリンダと、二重シリンダの外部に設けられて上大流体室と下大流体室を通断する第一弁手段と、二重シリンダの外部に設けられて上小流体室と下大流体室を通断すると共にこの通断と同期して下小流体室と上大流体室を通断する第二弁手段と、上小流体室と下小流体室に流体を給排する二方向吐出型ポンプ手段と、から構成し、第一弁手段は、上大流体室と下大流体室を連通させる第一通路と、二重シリンダの外部に設けられて第一通路を開閉する第一電磁弁とを備え、第二弁手段は、上小流体室と下大流体室を連通させる第二通路と、下小流体室と上大流体室を連通させる第三通路と、二重シリンダの外部に設けられて第二通路を開閉する第二電磁弁と、二重シリンダの外部に設けられて第二電磁弁と同期して第三通路を開閉する第三電磁弁とを備えている事を特徴とするジャッキ装置。
【請求項２】
二重シリンダは、固定側に固定された大シリンダと、大シリンダに上下方向に摺動可能に設けられた大ピストンと、大ピストンに設けられた上下の大ロッドと、大ピストンと上下の大ロッドに依り形成される小シリンダと、小シリンダに上下方向に摺動可能に設けられた小ピストンと、小ピストンに設けられて上側のものが固定側に固定された上下の小ロッドと、大ピストンの上側に形成された上大流体室と、大ピストンの下側に形成された下大流体室と、小ピストンの上側に形成された上小流体室と、小ピストンの下側に形成された下小流体室とを備えている請求項１に記載のジャッキ装置。
【請求項３】
大ピストン及び小ピストンは、夫々上下の受圧面積が等しくされている請求項１に記載のジャッキ装置。
【請求項４】
二方向吐出型ポンプ手段は、回転駆動されるモータと、モータに依り正逆回転されるポンプと、ポンプの一方の油口と上小流体室を連通する第四通路と、ポンプの他方の油口と下小流体室を連通させる第五通路とを備えている請求項１に記載のジャッキ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば低推力で高速度や低速度で高推力が必要なプレス機械等に用いられ、ポンプや制御弁等から成るパワーユニットを用いずに、閉回路型流体給排手段つまりダイレクトドライブボリュームコントロール（ＤＤＶ）方式の流体源を用いたジャッキ装置の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のジャッキ装置としては、例えば特許文献１乃至特許文献３に記載されたものが知られている。
この様なものは、大小二つのシリンダを上下に連接すると共に、各シリンダ毎に閉回路型流体給排手段を設けた構造を呈している。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３３７８６７号公報
【特許文献２】特開２００４−３３７８６８号公報
【特許文献３】特開２００４−３３７８６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、この様なものは、二つのシリンダを上下に連接しているので、嵩高になると共に、各シリンダ毎に閉回路型流体給排手段が必要であったので、コストが高く付く難点があった。
この様な難点を解消する為に本出願人は、先に特願２００５−１３６７８３号を出願している。
然しながら、同出願のものも、弁手段の一部又は全部が二重シリンダを貫通してその内部に設けられていたので、これが故障すると、装置全体を分解して修理する必要があり、メンテナンスが非常に悪いという問題点が残されていた。
【０００５】
本発明は、叙上の問題点に鑑み、これを解消する為に創案されたもので、その課題とする処は、嵩低くコンパクトに形成できると共に、コストの低減を図る事ができ、然もメンテナンスを行い易くしたジャッキ装置を提供するにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のジャッキ装置は、基本的には、大小の両ロッド型シリンダが内外に組み合わされて大きい両ロッド型シリンダの大シリンダと小さい両ロッド型シリンダの小ロッドが固定側に固定されると共に小さい両ロッド型シリンダの小シリンダを兼ねる大きい両ロッド型シリンダの大ロッドが昇降されて上下の大流体室と上下の小流体室が形成された二重シリンダと、二重シリンダの外部に設けられて上大流体室と下大流体室を通断する第一弁手段と、二重シリンダの外部に設けられて上小流体室と下大流体室を通断すると共にこの通断と同期して下小流体室と上大流体室を通断する第二弁手段と、上小流体室と下小流体室に流体を給排する二方向吐出型ポンプ手段と、から構成した事に特徴が存する。
【０００７】
第一弁手段に依り上大流体室と下大流体室を連通させると共に、第二弁手段に依り上小流体室と下大流体室を遮断させると同時に下小流体室と上大流体室を遮断させた後、二方向吐出型ポンプ手段に依り下小流体室に流体を供給すると同時に上小流体室から流体を排出すると、大ロッドが低推力且つ高速度で下降される。
この時、下大流体室の流体は、大ピストンに依り加圧されるが、第一弁手段に依り上大流体室と下大流体室が連通されているので、上大流体室に移行される。
【０００８】
第一弁手段に依り上大流体室と下大流体室を遮断させると共に、第二弁手段に依り上小流体室と下大流体室を連通させると同時に下小流体室と上大流体室を連通させた後、二方向吐出型ポンプ手段に依り下小流体室に流体を供給すると同時に上小流体室から流体を排出すると、大ロッドが高推力且つ低速度で下降される。
この時、下小流体室に供給された流体は、第二弁手段に依り下小流体室と上大流体室が連通されているので、上大流体室に達して大ピストンを押し下げる。下大流体室の流体は、大ピストンの押し下げに依り加圧され、第二弁手段に依り上小流体室と下大流体室が連通されているので、上小流体室に達した後にここから排出される。
【０００９】
第一弁手段に依り上大流体室と下大流体室を連通させると共に、第二弁手段に依り上小流体室と下大流体室を遮断すると同時に下小流体室と上大流体室を遮断した後、二方向吐出型ポンプ手段に依り上小流体室に流体を供給すると同時に下小流体室から流体を排出すると、大ロッドが高推力且つ低速度で上昇される。
この時、上小流体室に供給された流体は、第二弁手段に依り上小流体室と下大流体室が連通されているので、下大流体室に達して大ピストンを押し上げる。上大流体室の流体は、大ピストンの押し上げに依り加圧され、第二弁手段に依り下小流体室と上大流体室が連通されているので、下小流体室に達した後にここから排出される。
【００１０】
第一弁手段に依り上大流体室と下大流体室を連通させると共に、第二弁手段に依り上小流体室と下大流体室を遮断させると同時に下小流体室と上大流体室を遮断させた後、二方向吐出型ポンプ手段に依り上小流体室に流体を供給すると同時に下小流体室から流体を排出すると、大ロッドが低推力且つ高速度で上降される。
この時、上大流体室の流体は、大ピストンに依り加圧されるが、第一弁手段に依り上大流体室と下大流体室が連通されているので、下大流体室に移行される。
【００１１】
二重シリンダは、固定側に固定された大シリンダと、大シリンダに上下方向に摺動可能に設けられた大ピストンと、大ピストンに設けられた上下の大ロッドと、大ピストンと上下の大ロッドに依り形成される小シリンダと、小シリンダに上下方向に摺動可能に設けられた小ピストンと、小ピストンに設けられて上側のものが固定側に固定された上下の小ロッドと、大ピストンの上側に形成された上大流体室と、大ピストンの下側に形成された下大流体室と、小ピストンの上側に形成された上小流体室と、小ピストンの下側に形成された下小流体室とを備えているのが好ましい。この様にすると、全体をコンパクトに構成でき、プレス機械等への設置が容易に行える。
【００１２】
大ピストン及び小ピストンは、夫々上下の受圧面積が等しくされているのが好ましい。この様にすると、流体の給排量を等しくでき、アキュムレータやプレフィル弁やタンク等を設ける必要がなくなる。
【００１３】
第一弁手段は、上大流体室と下大流体室を連通させる第一通路と、二重シリンダの外部に設けられて第一通路を開閉する第一電磁弁とを備えているのが好ましい。この様にすると、第一電磁弁のメンテナンスが容易に行えると共に、市販のものを利用する事ができる。
【００１４】
第二弁手段は、上小流体室と下大流体室を連通させる第二通路と、下小流体室と上大流体室を連通させる第三通路と、二重シリンダの外部に設けられて第二通路を開閉する第二電磁弁と、二重シリンダの外部に設けられて第二電磁弁と同期して第三通路を開閉する第三電磁弁とを備えているのが好ましい。この様にすると、第二電磁弁と第三電磁弁のメンテナンスが容易に行えると共に、市販のものを利用する事ができる。
【００１５】
二方向吐出型ポンプ手段は、回転駆動されるモータと、モータに依り正逆回転されるポンプと、ポンプの一方の油口と上小流体室を連通する第四通路と、ポンプの一方の油口と下小流体室を連通させる第五通路とを備えているのが好ましい。この様にすると、密封流体を循環使用できるので、上小流体室及び下小流体室の容量より小さいポンプでも駆動する事ができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に依れば、次の様な優れた効果を奏する事ができる。
（１）  二重シリンダ、第一弁手段、第二弁手段、二方向吐出型ポンプ手段とで構成し、とりわけ大小二つのシリンダを内外二重に組合わせて構成すると共に、第一弁手段と第二弁手段とを設けて二方向吐出型ポンプ手段を単一にしたので、嵩低くコンパクトに形成できると共に、コストの低減を図る事ができる。
（２）  弁手段は、二重シリンダの外部に設けられているので、これが故障しても、装置全体を分解して修理する必要がなく、メンテナンスが容易に行えると共に、市販のものを利用する事ができる。
（３）  弁手段は、二重シリンダの外部に設けられているので、これが作動しても流体室内の流体量が変化する事がなく、二重シリンダの精度の高い昇降が行える。つまり、弁手段が二重シリンダの内部に設けられている場合は、大シリンダの昇降に依り上大流体室に臨んでいる弁棒の長さが変化し、その分だけ上大流体室内の流体量が変化するので、二重シリンダの精度の高い昇降が行えない。
（４）  二方向吐出型ポンプ手段を用いているので、加圧シリンダ手段を用いるものに比べて、密封流体を循環使用する事ができ、上小流体室及び下小流体室の容量より小さいポンプでも駆動する事ができる。
（５）  二方向吐出型ポンプ手段を用いているので、加圧シリンダ手段を用いるものに比べて、ピストンの加圧、引張り両方向に対しても、制御する事ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本発明のジャッキ装置を示す縦断正面図。図２は、図１の平面図。図３は、高速下降状態を示す作動説明図。図４は、低速下降（加圧）状態を示す図３と同様図。図５は、低速上昇（圧抜き）状態を示す図３と同様図。図６は、高速上昇状態を示す図３と同様図である。
【００１８】
ジャッキ装置１は、二重シリンダ２、第一弁手段３、第二弁手段４、二方向吐出型ポンプ手段５からその主要部が構成されて居り、例えばプレス機械等に適用される。ジャッキ装置１は、この例では、各図の上方を上として縦向きに設置されている。
【００１９】
二重シリンダ２は、大小の両ロッド型シリンダＡ，Ｂが内外に組み合わされて大きい両ロッド型シリンダＡの大シリンダ６と小さい両ロッド型シリンダＢの小ロッド１１が固定側に固定されると共に小さい両ロッド型シリンダＢの小シリンダ９を兼ねる大きい両ロッド型シリンダＡの大ロッド８が昇降されて上下の大流体室１２，１３と上下の小流体室１４，１５が形成されたもので、この例では、プレス機械のフレーム等の固定側Ｃに固定された大シリンダ６と、大シリンダ６に上下方向に摺動可能に設けられた大ピストン７と、大ピストン７に設けられた上下の大ロッド８と、大ピストン７と上下の大ロッド８に依り形成される小シリンダ９と、小シリンダ９に上下方向に摺動可能に設けられた小ピストン１０と、小ピストン１０に設けられて上側のものが固定側Ｃに固定された上下の小ロッド１１と、大ピストン７の上側に形成された上大流体室１２と、大ピストン７の下側に形成された下大流体室１３と、小ピストン１０の上側に形成された上小流体室１４と、小ピストン１０の下側に形成された下小流体室１５とを備えている。
具体的には、大シリンダ６の下部が固定側Ｃに固定されると共に、上側の小ロッド１１の上部には、配管ブロックが１６が設けられて居り、これと大シリンダ６の上部とは、適数の連結材１７に依り連結されている。
【００２０】
下大ロッド８は、下小ロッド１１を内包すべく中空状にされて下端が蓋体１８に依り閉塞されている。蓋体１８には、図略しているが、プレス型等が取り付けられる。
大ピストン７及び小ピストン１０は、上下の受圧面積が等しくされている。つまり、上下の大ロッド８を同径にする事に依り大ピストン７の上下の受圧面積が等しくされていると共に、上下の小ロッド１１を同径にする事に依り小ピストン１０の上下の受圧面積が等しくされている。
大シリンダ６と大ピストン７と上下の大ロッド８は、大きい両ロッド型シリンダＡを為していると共に、小シリンダ９と小ピストン１０と上下の小ロッド１１は、小さい両ロッド型シリンダＢを為して居り、大ピストン７と上下の大ロッド８は、小シリンダ９を兼用している。
【００２１】
第一弁手段３は、二重シリンダ２の上大流体室１２と下大流体室１３を通断するもので、この例では、上大流体室１２と下大流体室１３を連通させる第一通路１９と、二重シリンダ２の外部に設けられて第一通路１９を開閉する第一電磁弁２０とを備えている。
第一通路１９は、二重シリンダ２の大シリンダ６に穿設されていると共に、一部が配管に依りこれの外部に形成されている。
第一電磁弁２０は、第一通路１９の配管部分に介設されて二重シリンダ２の大シリンダ６の側方上部に設けられている。第一電磁弁２０は、二ポート二位置電磁切換弁が用いられて居り、図略しているが、そのソレノイドが制御器を介して電源に接続されている。
【００２２】
第二弁手段４は、上小流体室１４と下大流体室１３を通断すると共にこの通断と同期して下小流体室と１５上大流体室１２とを通断するもので、この例では、上小流体室１４と下大流体室１３を連通させる第二通路２１と、下小流体室１５と上大流体室１２を連通させる第三通路２２と、二重シリンダ２の外部に設けられて第二通路２１を開閉する第二電磁弁２３と、二重シリンダ２の外部に設けられて第二電磁弁２３と同期して第三通路２２を開閉する第三電磁弁２４とを備えている。
第二通路２１は、二重シリンダ２の上側の小ロッド１１と配管ブロック１６と大シリンダ６に穿設されていると共に、一部が配管に依りこれらの外部に形成されて居り、第一通路１９の一部が共用されている。
第三通路２２は、二重シリンダ２の上側の小ロッド１１と配管ブロック１６と大シリンダ６にに穿設されていると共に、一部が配管に依りこれらの外部に形成されている。
第二電磁弁２３及び第三電磁弁２４は、配管ブロック１６の上部に設けられて居り、第二通路２１及び第三通路２２の途中に介設されている。両電磁弁２３，２４は、二ポート二位置電磁切換弁が用いられて居り、図略しているが、同期して開閉すべくそのソレノイドが制御器を介して電源に接続されている。
【００２３】
二方向吐出型ポンプ手段５は、上小流体室１４と下小流体室１５に流体を給排するもので、この例では、回転駆動されるモータ２５と、モータ２５に依り正逆回転されるポンプ２６と、ポンプ２６の一方の油口と上小流体室１４を連通させる第四通路２７と、ポンプ２６の他方の油口と下小流体室１５を連通させる第五通路２８とを備えている。
モータ２５は、電動機であるサーボモータにしてあり、図略しているが、制御器を介して電源に接続されて居り、制御器に依り回転方向と回転速度が制御される様になっている。
ポンプ２６は、二方向吐出型の定容量型油圧ポンプにしてある。
モータ２５とポンプ２６は、直結されて一体化されて居り、固定側Ｃに設けられている。具体的には、二重シリンダ２の大シリンダ６の側方上部に取付けられている。
第四通路２７は、二重シリンダ２の上側の小ロッド１１と配管ブロック６に穿設されて居り、第二通路２１の一部が共用されている。
第五通路２８は、二重シリンダ２の上側の小ロッド１１と小ピストン１０と配管ブロック１６に穿設されて居り、第三通路２２の一部が共用されている。
【００２４】
而して、大シリンダ６と大ピストン７との間、大シリンダ６と大ロッド８との間、小シリンダ９と小ピストン１０との間、小シリンダ９と小ロッド１１との間の各摺動箇所には、シール材が介設されている。
上大流体室１２、下大流体室１３、上小流体室１４、下小流体室１５、第一通路１９、第二通路２１、第三通路２２、第四通路２７、第五通路２８等には、作動油等の流体が満たされている。
【００２５】
次に、この様な構成に基づいてその作用を述解する。
図３〜図６は、ジャッキ装置１をプレス機械に適用した場合の動作を例示している。
【００２６】
図３に示す如く、第一弁手段３の第一電磁弁２０を開弁させる事に依り上大流体室１２と下大流体室１３を連通させると共に、第二弁手段４の第二電磁弁２３及び第三電磁弁２４を閉弁させる事に依り上小流体室１４と下大流体室１３を遮断させると同時に下小流体室１５と上大流体室１２を遮断させた後、二方向吐出型ポンプ手段５のポンプ２６に依り下小流体室１５に流体を供給すると同時に上小流体室１４から流体を排出すると、大ロッド８が低推力且つ高速度で下降され、所謂高速下降される。
この時、下大流体室１３の流体は、大ピストン７に依り加圧されるが、第一弁手段３の第一電磁弁２０に依り上大流体室１２と下大流体室１３が連通されているので、上大流体室１２に移行される。
【００２７】
図４に示す如く、第一弁手段３の第一電磁弁２０を閉弁させる事に依り上大流体室１２と下大流体室１３を遮断させると共に、第二弁手段４の第二電磁弁２３及び第三電磁弁２４を開弁させる事に依り上小流体室１４と下大流体室１３を連通させると同時に下小流体室１５と上大流体室１２を連通させた後、二方向吐出型ポンプ手段５のポンプ２６に依り下小流体室１５に流体を供給すると同時に上小流体室１４から流体を排出すると、大ロッド８が高推力且つ低速度で下降され、所謂加圧される。
この時、下小流体室１５に供給された流体は、第二弁手段４の第三電磁弁２４に依り下小流体室１５と上大流体室１２が連通されているので、上大流体室１２に達して大ピストン７を押し下げる。下大流体室１３の流体は、大ピストン７の押し下げに依り加圧され、第二弁手段４の第二電磁弁２３に依り上小流体室１４と下大流体室１３が連通されているので、上小流体室１４に達した後にここから排出される。
【００２８】
図５に示す如く、第一弁手段３の第一電磁弁２０を閉弁させる事に依り上大流体室１２と下大流体室１３を遮断させると共に、第二弁手段４の第二電磁弁２３及び第三電磁弁２４を開弁させる事に依り上小流体室１４と下大流体室１３を連通させると同時に下小流体室１５と上大流体室１２を連通させた後、二方向吐出型ポンプ手段５のポンプ２６に依り上小流体室１４に流体を供給すると同時に下小流体室１５から流体を排出すると、大ロッド８が高推力且つ低速度で上昇され、所謂圧抜きされる。
この時、上小流体室１４に供給された流体は、第二弁手段４の第二電磁弁２３に依り上小流体室１４と下大流体室１３が連通されているので、下大流体室１３に達して大ピストン７を押し上げる。上大流体室１２の流体は、大ピストン７の押し上げに依り加圧され、第二弁手段４の第三電磁弁２４に依り下小流体室１５と上大流体室１２が連通されているので、下小流体室１５に達した後にここから排出される。
【００２９】
図６に示す如く、第一弁手段３の第一電磁弁２０を開弁させる事に依り上大流体室１２と下大流体室１３とを連通させると共に、第二弁手段４の第二電磁弁２３及び第三電磁弁２４を閉弁させる事に依り上小流体室１４と下大流体室１３を遮断させると同時に下小流体室１５と上大流体室１２を遮断させた後、二方向吐出型ポンプ手段５のポンプ２６に依り上小流体室１４に流体を供給すると同時に下小流体室１５から流体を排出すると、大ロッド８が低推力且つ高速度で上昇され、所謂高速上昇される。
この時、上大流体室１２の流体は、大ピストン７に依り加圧されるが、第一弁手段３の第一電磁弁２０に依り上大流体室１２と下大流体室１３が連通されているので、下大流体室１３に移行される。
【００３０】
図６の状態から、二方向吐出型ポンプ手段５のポンプ２６の吐出方向を切換えると、図３の状態に戻す事ができ、この様な一連の動作が繰り返して行われる。
【００３１】
この例では、図３と図６に示す状態が低推力で高速度の移動つまり早送りが行われると共に、図４と図５に示す状態が低速度で高推力の移動つまり加圧が行われる様にしてある。これらのストロークは、第一弁手段３の第一電磁弁２０と第二弁手段４の第二電磁弁２３及び第三電磁弁２４の作動時期に依り任意に変える事ができる。
【００３２】
この様なものは、次の利点がある。
（１）  早送り機構を内蔵して居り、早送り時には、内部で流体を循環させる様にしているので、プレフィル弁が不要となる。
（２）  早送り時及び加圧時共に、流体の入る量と出る量が同一なため、タンクのない閉回路にする事ができる。
（３）  流体の方向を切換える事に依り任意の位置で早送りと加圧とを切換える事ができると共に、流体の流量を制御する事に依り微妙な昇圧や減圧制御及び位置制御が可能になる。
（４）  上昇時には、内部で流体の方向を切換える事に依り高速と低速との切換が容易に行える。
（５）  二重シリンダ２の作動時のみにポンプ２６を作動させるので、タンクや制御弁等が不要となり、省エネルギ、低騒音、少発熱、省スペースが可能になる。
（６）  電磁弁２０，２３，２４とモータ（電動機）２５を用いているので、駆動源が電源の一系統だけで済み、制御も行い易く、極めて合理的である。
（７）  第一乃至第五通路１９，２１，２２，２７，２８は、二重シリンダ２の大シリンダ６や小ロッド１１等の所謂固定側Ｃに設けているので、これらが形成し易く、第一乃至第三電磁弁２０，２３，２４やモータ２５の設置並びにこれらへの配線が容易に行える。
（８）  二重シリンダ２の側部に二方向吐出型ポンプ手段５を並設しているので、上下方向に嵩張らず、コンパクトに構成できる。
【００３３】
尚、ジャッキ装置１は、先の例では、縦向きであったが、これに限らず、例えば横向きや斜め向き等でも良い。
二方向吐出型ポンプ手段２のモータ２５は、先の例では、サーボモータであったが、これに限らず、例えばインバータモータでも良い。
二方向吐出型ポンプ手段２のポンプ２６は、先の例では、定容量型であったが、これに限らず、例えば可変容量型でも良い。
第一弁手段３の第一通路１９は、先の例では、一部が配管であったが、これに限らず、例えば大シリンダ６の外側にこれと同心状にパイプを設けてこれらに依り形成される環状の空間を利用しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明のジャッキ装置を示す縦断正面図。
【図２】図１の平面図。
【図３】高速下降状態を示す作動説明図。
【図４】低速下降（加圧）状態を示す図３と同様図。
【図５】低速上昇（圧抜き）状態を示す図３と同様図。
【図６】高速上昇状態を示す図３と同様図。
【符号の説明】
【００３５】
１…ジャッキ装置、２…二重シリンダ、３…第一弁手段、４…第二弁手段、５…二方向吐出型ポンプ手段、６…大シリンダ、７…大ピストン、８…大ロッド、９…小シリンダ、１０…小ピストン、１１…小ロッド、１２…上大流体室、１３…下大流体室、１４…上小流体室、１５…下小流体室、１６…配管ブロック、１７…連結材、１８…蓋体、１９…第一通路、２０…第一電磁弁、２１…第二通路、２２…第三通路、２３…第二電磁弁、２４…第三電磁弁、２５…モータ、２６…ポンプ、２７…第四通路、２８…第五通路、Ａ…大きい両ロッド型シリンダ、Ｂ…小さい両ロッド型シリンダ、Ｃ…固定側。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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