(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形薄板状のワークを吊るした状態に保持するハンガーと、
前記ワークをワークの送り手段により前記ハンガーへ送って保持させると共に、乾燥室へ送るワークの供給装置と、
前記乾燥室の長手方向に配設され、前記複数のハンガーが前記ワークを保持した状態で所定の間隔をおいて一列に載置される載置部、及び前記複数のハンガーを載せて送り方向へ間欠的に送るべく、ハンガーを載せるための上昇移動、ハンガーを載せて送り方向へ水平移動、ハンガーを降ろすための下降移動、送り方向とは反対方向へ水平移動の順に作動する送り用作動部を備える送り装置と、
該送り装置によって送られた前記ハンガーの前記ワークにかかる保持を解除させてハンガーとワークとを分離させると共に、ワークを前記乾燥室から排出するワークの排出装置と、
該ワークの排出装置によって前記ワークと分離された前記ハンガーを、前記ワークの供給装置へ戻すべく送る戻し装置とを具備する乾燥装置であって、
前記ハンガーは矩形枠状に形成され、前記ワークが吊るされた際に水平な上辺と鉛直な左右の２辺を含む３辺側より前記ワークを挟んで保持するクリップが設けられており、
前記ワークの送り手段は、前工程から水平方向に送られてきた前記ワークを吸着保持する複数の吸着パッドを備えた吸着手段と、該吸着手段を水平姿勢から上昇させて鉛直姿勢になるように案内する移動機構と、前記吸着パッドにワークが鉛直状態で吸着保持されたまま前記ハンガーに接離動させて当該ワークを３辺側でクリップに保持させる接離動手段と、前記接離動手段によって前記ワークが前記ハンガーに押し当てられる前に、前記クリップを開閉させる押圧装置と、を具備し、前記ワークを鉛直姿勢のまま前記ハンガーに保持させた後、当該ハンガーの左右の辺に設けられたクリップを前記押圧装置により一旦開放させて前記ワークを伸展させてから再度前記左右のクリップにより挟んで保持させることを特徴とする乾燥装置。
【請求項２】
前記吸着パッドが前記ワークを吸着した状態でワーク外方へ変位するように付勢する変位付勢手段設けられている請求項１記載の乾燥装置。
【請求項３】
前記ワークの供給装置は、前記ハンガーを鉛直状態に吊り下げ支持するハンガーの支持手段を備え、該ハンガー支持手段は、前記ワークの供給装置の直下に送られてきたハンガーを掬い上げてワークを保持させる高さ位置まで持ち上げる持ち上げ手段と、該持ち上げられたハンガーを上下で保持する保持手段を備えた請求項１又は２記載の乾燥装置。
【請求項４】
前記ハンガーには、前記載置部に支持されて隣り合う前記ハンガー同士に保持された前記ワーク同士の接触を防止するように、間隔部材を設けた請求項１，２又は３のいずれか１項記載の乾燥装置。
【請求項５】
前記クリップは、前記ハンガーの３辺について２個ずつ配設されている請求項１，２，３，又は４のいずれか１項記載の乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の乾燥装置としては、図１１に示すように、チェーン等で構成された無限軌道６０に、ワークの保持用部材であるワーク受け枠６２が多数固定されたものが、実用化されている。上面を通過するワーク受け枠６２の間にワーク６４が保持されて、そのワーク６４が、乾燥室６６内で熱風に晒された状態で搬送されることで、乾燥される。
しかし、上記のワーク受け枠６２は、支持のために接触できる面積が小さく制限されるワーク、例えば、半導体装置用等の基板には適切でない。また、ワークが半導体装置用等の基板で、薄板状の可撓性に富む場合には、ワークが湾曲し易いため、ワーク受け枠６２のようにワーク６４を下方から受けることで支持して保持することは、基本的に難しい。
また、ワーク受け枠６２に保持されたワーク６４の直下に無限軌道６０による運動機構が位置することになるため、乾燥空気の流れが制限され、効率的な乾燥が難しい。
これに対しては、ワーク６４を吊り下げて搬送することが有効である。
【０００３】
ところが、上記従来の機構を利用する場合（無限軌道６０にワーク保持用部材であるハンガーを固定し、無限軌道６０の下面を通過するハンガーを用いる場合）では、無限軌道６０自体の作動による発塵、さらに無限軌道６０がたわまないように接触して支持する構成との摺接による発塵など、無限軌道６０の機構が大きな発塵源となり、ワーク６４の上方から降下する塵埃となって乾燥室内が汚染される。
この発塵による汚染は、精密な加工を行う技術分野では非常に大きな問題となっている。例えば、ワークが半導体装置用パッケージを形成するための基板の場合、半導体装置用パッケージは、半導体チップが載置されて固定されるものであるため、塵埃のないクリーンな空間（高清浄空気）内で加工する必要がある。基板の製造工程では、写真又は印刷技術が応用されるが、その際には、加熱・乾燥工程が必須になる。その加熱・乾燥工程における乾燥室についても、高いクリーン度（高空気清浄度）が要求されるのは勿論である。このため、乾燥室に供給される熱風は、高い清浄効率を備えるフィルタ（ＨＥＰＡフィルタ）を通過させて清浄化されている。
【０００４】
また、無限軌道にワーク保持用部材であるハンガーを固定して用いる場合には、ハンガーが下側を通過する際にワークを保持することになり、戻りのハンガーは当然に上側を通過することになって装置の背が高くなる。このため、製造設備の設置スペースについて高さが制限される工場では適切に設置できない。
さらに、ハンガーが無限軌道に固定される形態では、保守管理が難しく、また、ハンガー自体の形態を自由に設定することが難しい。
これに対しては、本願発明の発明者が開発し、特開平１１−２９４９５５号によって開示された乾燥装置がある。その乾燥装置が、本願発明の背景技術となるため、以下に詳細に説明する。
【０００５】
(背景技術)
図１２は本願発明の乾燥装置にかかる背景技術を模式的に説明する側面図であり、図１３はその部分正面図である。この乾燥装置は、半導体装置用のパッケージに用いられる基板の乾燥工程に用いられる。
１２は乾燥室であり、薄板状のワークである基板１０を吊るした状態に保持するハンガー１４を介して、その基板１０を通過させて乾燥させる空間である。
この乾燥室１２には、図１３に示すように、隣接して設けられ、加熱されて乾燥された空気を発生できると共に、その空気を送風する装置（乾燥空気送風装置２０）によって、乾燥空気が導入される。それにより、基板１０を加熱及び／又は乾燥する。乾燥空気送風装置２０による送風は、乾燥室１２に挿入された空気を回収・循環し、一部は給排気されるが、循環送風になっており、エネルギーを節約できる。
【０００６】
ハンガー１４は、クリップ１５で基板１０を吊るした状態に保持する。本背景技術のハンガーは、図１３に示すように、帯状の部材をその両端部において鍵状に曲げ、両端が搬送用の耳部１４ａに形成され、一対のクリップ１５が、下方で開閉可能に固定されている。このようにハンガー１４が設けられていることで、簡単な構成であるが、自動化に好適に対応することができる。また、ハンガー１４は載置されるもので固定されず、各々が独立して扱えるので、保守管理が容易であり、その入れ換えも容易に行うことができる。
【０００７】
１８は基板の供給装置であり、基板１０をハンガー１４に保持させると共に、乾燥室１２へ送る。
本背景技術の基板の供給装置１８は、矢印Ａ（図１２）に示すように供給用コンベア等で前工程から水平に送られてきた基板１０を、前記のハンガー１４に保持させ、昇降装置によって上昇する昇降部材を介して吊るした状態にするよう、矢印Ｂに示すように乾燥室１２の入口へ搬入する。これにより、基板１０にかかる加工工程を、前工程から乾燥工程へ好適に移行できる。また、基板の供給装置は、図１４に示す基板の排出装置と略同一の構成を備えるものであり、詳細については後述する。
【０００８】
２２は送り装置であり、乾燥室１２内に配設され、多数（複数）のハンガー１４が基板１０を保持した状態で所定の間隔をおいて一列に載置される載置部２４と、複数のハンガー１４を載せて送り方向へ１ピッチ分ずつ送るべく、上昇移動、送り方向への１ピッチ分の水平移動、下降移動、送り方向とは反対方向への１ピッチ分の水平移動の順に作動する送り用作動部２６とを備える。図１３に示すように、ハンガー１４は、一対の耳部１４ａで、載置部２４に載り、送り用作動部２６に支持されて送られる。
【０００９】
本背景技術の送り装置２２では、載置部２４が基体１１に固定されており、送り用作動部２６が、吊下部材２６ａを介して上方から保持されると共に、上下動手段２７によって上下方向に往復動Ｃ１され、水平動手段２８によって水平方向に往復動Ｃ２される。その上下方向の往復動Ｃ１、及び水平方向の往復動Ｃ２の合成によって、前記のような送り用作動部２６の送り動作（いわゆるボックス送り）がなされ、複数のハンガー１４を同時に送り方向（矢印Ｃ）へ、１ピッチ分ずつ送ることができる。このように本発明にかかる乾燥装置において、複数のハンガー１４をボックス送りによって搬送するため、上方での発塵を大幅に低減でき、高い清浄空間での加工を要する基板１０の加工等に有効である。
【００１０】
３０は基板の排出装置であり、送り装置２２によって乾燥室１２内を送られてきたハンガー１４の基板１０にかかる保持を解除させてハンガー１４と基板１０とを分離させる。
本背景技術の基板の排出装置３０は、乾燥室１２内でハンガー１４を介して吊るされた状態で送られて乾燥室１２の出口まできた基板１０を、昇降装置によって下降する昇降部材を介して矢印Ｄ（図１２）に示すように移送し、水平にした状態にし、矢印Ｅに示すように排出用コンベアによって搬出する。これにより、基板１０にかかる加工工程を、乾燥工程から次工程へ好適に移行できる。基板の排出装置３０の詳細は、図１４に基づいて後述する。
【００１１】
３２は戻し装置であり、基板の排出装置３０によって基板１０と分離されたハンガー１４を、基板の供給装置１８へ戻すように作動する。
本背景技術の戻し装置３２は、無限軌道の一例であるチェーン３３によって構成されており、サーボモータ等によって駆動され、ハンガー１４を基板の供給装置１８へ好適に戻す。すなわち、基板の排出装置３０のハンガー１４と基板１０とを分離させる位置から、ハンガー１４を、点線の矢印Ｆに示すように下降させ、チェーン３３上に設けられている受け止め部３４へ置く。そして、そのハンガー１４は、チェーン３３の駆動によって点線の矢印Ｇに示すように基板の供給装置１８側へ送られ、受け止め部３４から矢印Ｈに示すように上昇されて、基板の供給装置１８の基板１０がハンガー１４に保持される位置へ送られる。
【００１２】
次に、図１４に基づいて、基板の排出装置３０、及び基板の供給装置について説明する。図１４はワークである基板の排出装置３０の詳細を説明する側面図である。
この基板の排出装置３０は、載置部２４上で間欠的に搬送されてきた基板１０及びその基板１０を保持したハンガー１４を受け取って、基板１０とハンガー１４を分離させると共に、基板を水平方向へ排出する。
４０はチャック移送装置であり、ハンガー１４をチャックし、そのハンガー１４と基板１０とを保持した状態で、下降しながら９０度回動して、基板１０を水平状態に位置させる。
【００１３】
３８はかき寄せ装置であり、爪部３８ａがシリンダ装置３９によって往復動可能に設けられており、載置部２４上を搬送されて前記乾燥室１２の出口まで送られてきたハンガー１４を、チャック移送装置４０のチャック４２まで、かき寄せて位置させる。爪部３８ａの先端は、ラチェット機構になっており、ハンガー１４をかき寄せる際にロックされ、かき寄せ方向と反対方向へ移動する際には回動できるように構成されている。
前記チャック移送装置４０は、上下方向に延びるガイドポール４４と、中途部に斜面４６ａを有するガイド溝４６と、ガイドポール４４に嵌められて上下動する移動本体部４５と、ハンガー１４を把持するチャック４２と、基板１０を、保持爪４８ａ等を介して保持するために基板１０に対応して設けられた保持板４８と、その保持板４８に取り付けられてガイド溝４６に沿って移動可能な移動ローラ４９等の構成を備える。
【００１４】
チャック４２と保持板４８は、一体的に設けられると共に移動本体部４５に回動可能に装着されている。これにより、移動本体部４５が下降するときに移動ローラ４９がガイド溝４６に案内されて好適に移動でき、チャック４２及び保持板４８が９０度回動して、保持板４８が水平に保持される。このように保持板４８を水平にすると共に、その保持板４８に装着された保持爪４８ａによって支持することで、２点鎖線で示したように、基板１０を水平に保持できる。
移動本体部４５を上下動させる駆動手段としては、本背景技術では、チェーン機構を用いている。５０はチェーンであり、移動本体部４５連結されている。５１はスプロケットであり、チェーン５０が掛け回されるよう、上下に一対が配設されている。５２は電動モータであり、チェーンによって上側のスプロケット５１を回転駆動するように連繋されている。
チャック４２及び保持爪４８ａを開閉する駆動手段は、シリンダ装置、ソレノイド装置等の既知の駆動装置を選択的に用いればよい。
また、保持手段としては、本実施例のようなチャック４２及び保持爪に限らず、真空（減圧）による吸着手段を利用してもよいのは勿論である。
【００１５】
次に、ハンガー１４と基板１０とを分離して、それぞれを移送する機構について説明する。
チャック移送装置４０によって、下降する共に９０度旋回された基板１０は、昇降装置であるシリンダ装置５３によって上昇されたコンベア５４の上面によって受けられる。
この状態で、ハンガー１４のクリップ１５の下方に位置するクリップ解除用のシリンダ装置５５のロッド５５ａが伸長し、クリップ１５を押してハンガー１４による基板１０のクリップが解除され、基板１０はコンベア５４のみに支持された状態になる。
すると、コンベア５４のローラ５４ａが回転して、基板１０が排出される。
【００１６】
また、チャック移送装置４０によって、下降する共に９０度旋回されたハンガー１４は、上下動できる上下移動体５６に１８０度旋回可能に取り付けられた旋回受け部５８によって、受けられると共に把持される。
そして、旋回受け部５８は、１８０度旋回すると共に、シリンダ装置５７の駆動による上下移動体５６の下降動に伴って下降する。
これにより、ハンガー１４は、戻し装置３２のチェーン３３に固定されたハンガー１４用の受け止め部３４へ移送されることになる。そして、旋回受け部５８の把持が解除されることで、受け止め部３４へ受け渡されたハンガー１４は、戻し装置３２が駆動することで、前記基板の供給装置１８側へ搬送される。
【００１７】
この基板の排出装置３０は、吊下げられたハンガー１４及び基板１０を水平にして、両者を分離して排出するものであるが、これらの動作を反対に用いれば、前記基板の供給装置１８として好適に利用できる。
なお、本背景技術にかかる基板の供給装置１８の場合には、ハンガー１４が最初の方向を向いた状態に供給されることになるため、旋回受け部５８に関し、ハンガー１４を１８０度旋回させる機能を要しない点が、基板の排出装置３０と異なることになる。
以上のように、前記基板の供給装置１８の構成は、基板の排出装置３０の構成と基本的に同等のものとなるため、説明を省略する。
【００１８】
次に、ハンガー１４の移動工程に着目して記載した図１５及び図１６に基づいて、基板１０の乾燥工程について説明する。図１５は、以上に説明した実施例にかかるハンガー１４の移動工程を示している。なお、ハンガー１４は、本体片１５ａと、その本体片１５ａに回動可能に軸着されたクリップ片１５ｂ、そのクリップ片１５ｂを常時閉じる方向へ付勢するスプーリング１５ｃとから成るクリップ１５を備える。
先ず、前記基板の供給装置１８では、基板１０が矢印Ａ方向に供給され、ハンガー１４は、基板１０をクリップすることのできる方向（以下、「基本向き」という）を向いて位置されている。
次に、基板１０を保持（クリップ）したハンガー１４は、吊り下げられた方向（以下、「吊り下げ向き」という）を向いて、矢印Ｃ方向に前記載置部２４上を移動する。
【００１９】
そして、矢印Ｄ方向へ、基板１０を保持したハンガー１４が移動することで、ハンガー１４が９０度回動する共に、基板１０が水平にされて前記基板の排出装置３０に載置される。そこで、ハンガー１４から基板１０が離れ、基板１０は矢印Ｅ方向へ排出される。このとき、基板１０は、基板の供給装置１８に供給された状態から反転された状態になって排出される。また、ハンガー１４は、基本向きから１８０度反転した反転向きを向いている。
次に、ハンガー１４は、矢印Ｆ１に示すように反転されて基本向きに戻り、さらに矢印Ｆ２方向へ下降して、前記戻し装置３２へ受け渡される。前記戻し装置３２では、ハンガー１４を、矢印Ｇ方向へ移動させて前記基板の供給装置１８側へ搬送する。そこで、ハンガー１４はさらに矢印Ｈに示すように上昇されて、最初の位置へ戻り、一つのハンガー１４の搬送にかかる工程の１サイクルが完了する。このサイクルを順次繰り返すことで多数の基板１０を効率よく搬送して乾燥することができる。
以上の搬送動作によれば、基板１０を、供給された状態から反転した状態で排出することができる。
【００２０】
次に、図１６に基づいて、基板１０の乾燥工程にかかる他のパターンについて説明する。図１６に示されたハンガー１４の移動工程は、図１５の例と比較して基板の排出装置３０での搬送パターンが異なり、他の搬送パターンは同一である。図１５の例と同一の搬送パターンの部分には、同一の記号（矢印）を付して説明を省略する。
基板１０を保持したハンガー１４が、前記乾燥室１２から搬出されて矢印ＤＸ方向へ移動することで、ハンガー１４が時計方向へ９０度回動する共に、基板１０が水平にされて前記基板の排出装置３０に載置される。そこで、ハンガー１４から基板１０が離れ、基板１０は矢印ＥＸ方向へ排出される。このとき、基板１０は、その表裏面の向きが基板の供給装置１８に供給された状態と同一の状態で排出される。また、ハンガー１４も、基本向きに戻っている。
次に、ハンガー１４は、矢印Ｆに示すように下降して、前記戻し装置３２へ受け渡され、その戻し装置３２を介して、図１５の例と同様に最初の位置へ戻ることができる。
以上の搬送動作によれば、基板１０を、その表裏面の向きが基板の供給装置１８に供給された状態と同一の状態で排出することができる。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、以上の背景技術にかかる乾燥装置では、基板１０の１辺である上端(上辺)のみについて、クリップ１５（２個）で保持するもので、基板１０がさらに薄くなった場合は波打ったり曲がってしまい、基板１０の精度を維持できない。また、乾燥装置内で隣合う基板１０同士の間隔を狭めると、基板１０の下端側同士が変形して接触してしまうなど、好適に加熱及び／又は乾燥できないという課題があった。
すなわち、基板１０が、例えば５０μｍ程度の厚さの薄板シート状であると、基板１０素材自体の剛性がなくなって変形し易くなる。そして、基板１０素材の表面（或いは裏面）に、種々の処理によって配線又は絶縁部等の異なる材質から形成された層との熱膨張係数又は熱収縮率の差異の影響を受け易くなり、さらに変形し易くなる。このため、基板１０の１辺のみを保持して乾燥工程を行うと、基板１０が変形してその平坦度を含む精度が低下すると共に、基板１０を乾燥装置内で効率的に（密に）搬送できない。
なお、以上の「乾燥」という意味は、表面が粘性のあるべたべたした状態から乾いた状態になること、又は溶剤が気化することを含む。例えば、熱硬化性樹脂が温風によって加熱されて硬化する場合がある。
また、基板１０に印刷されるレジストインクや銀ペーストなど光硬化性を有するの樹脂材（絶縁性樹脂材、導電性樹脂材を含む）によっては、熱乾燥を行うのに先だって或いは熱乾燥後にＵＶ乾燥を行う必要もあった。この場合、複数のハンガー１４に個々に保持された基板１０をピッチ送りして熱乾燥する乾燥装置本体に対して、ＵＶ乾燥装置を組み込む場合、１枚ずつ基板１０の両面にＵＶ光を照射して乾燥させるため、装置本体側の送り動作と同期を取る必要や送り装置本体側の搬送機構と干渉が生じないように動作の整合性を確保する必要があった。
【００２２】
そこで、本発明の目的は、薄板状のワークの乾燥工程において、ワークが波打ったり曲がってしまうことを防止し、ワークの平坦度を含む精度を好適に維持できると共に、複数のワークを密に搬送して効率良く乾燥できる乾燥装置、並びにワークの種類に応じてＵＶ乾燥装置が組み込まれても円滑な送り動作が実現できる乾燥装置を提供することを目的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
ワークをワークの送り手段によりハンガーへ送って保持させると共に、乾燥室へ送るワークの供給装置と、乾燥室の長手方向に配設され、複数のハンガーがワークを保持した状態で所定の間隔をおいて一列に載置される載置部、及び複数のハンガーを載せて送り方向へ間欠的に送るべく、ハンガーを載せるための上昇移動、ハンガーを載せて送り方向へ水平移動、ハンガーを降ろすための下降移動、送り方向とは反対方向へ水平移動の順に作動する送り用作動部を備える送り装置と、該送り装置によって送られたハンガーのワークにかかる保持を解除させてハンガーとワークとを分離させると共に、ワークを乾燥室から排出するワークの排出装置と、該ワークの排出装置によってワークと分離されたハンガーを、ワークの供給装置へ戻すべく送る戻し装置とを具備する乾燥装置であって、ハンガーは矩形枠状に形成され、ワークが吊るされた際に水平な上辺と鉛直な左右の２辺を含む３辺側よりワークを挟んで保持するクリップが設けられており、ワークの送り手段は、前工程から水平方向に送られてきたワークを吸着保持する複数の吸着パッドを備えた吸着手段と、該吸着手段を水平姿勢から上昇させて鉛直姿勢になるように案内する移動機構と、吸着パッドにワークが鉛直状態で吸着保持されたままハンガーに接離動させてワークを３辺側でクリップに保持させる接離動手段と、接離動手段によってワークがハンガーに押し当てられる前に、クリップを開閉させる押圧装置と、を具備し、ワークが鉛直姿勢のままハンガーに保持された後、当該ハンガーの左右の辺に設けられたクリップを押圧装置により一旦開放させてワークを伸展させてから再度左右のクリップにより挟んで保持させることを特徴とする。
これにより、ワークを重力方向に沿わせて垂下させた状態でハンガーに保持させることができ、ワークに重力による撓みの発生を防止しワークが波打ったり曲がったりしないように好適に張った状態でハンガーへ保持させることができる。
【００２４】
また、吸着パッドがワークを吸着した状態でワーク外方へ変位するように付勢する変位付勢手段を備えていることを特徴とする。
これにより、ハンガーへワークを精度良く受け渡して保持できる。
【００２５】
また、ワークの供給装置は、ハンガーを鉛直状態に吊り下げ支持するハンガーの支持手段を備え、該ハンガー支持手段は、ワークの供給装置の直下に送られてきたハンガーを掬い上げてワークを保持させる高さ位置まで持ち上げる持ち上げ手段と、該持ち上げられたハンガーを上下で保持する保持手段を備えたことを特徴とする。これによりハンガーをワーク保持位置で上下及び送り方向に規制することができる。
【００２６】
また、ハンガーには、載置部に支持されて隣り合うハンガー同士に保持されたワーク同士の接触を防止するように、間隔部材を設けたことを特徴とする。このように間隔部材を設けたことで、複数のワークを密に搬送でき、効率良く乾燥できる。
【００２７】
また、クリップは、ハンガーの３辺について２個ずつ配設されていることを特徴とする。これにより、ワークを、好適に張った状態にバランスよく、ハンガーで保持することができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施例について添付図面と共に詳述する。
図１は本発明の乾燥装置にかかる一実施例を模式的に説明する側面図であり、図２はその部分正面図である。また、図３はハンガーの一実施例を説明する正面図であり、図４は図３のハンガーの右側面図、図５は図３のＡ−Ａ線拡大断面図、図６は図３のＢ−Ｂ線拡大断面図、図７は図３のハンガーの平面図、図８は図３のＣ−Ｃ断面図である。この乾燥装置は、例えば前述したような半導体装置用のパッケージに用いられる基板の乾燥工程に用いられる。
なお、本実施例は、図１２〜１６に示した背景技術の発明を基本とするもので、背景技術と同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
【００３０】
１４はハンガーであり、矩形薄板状のワークである基板１０を吊るした状態に保持する。なお、基板１０は、例えば５０μｍ程度の半導体装置用のパッケージを形成すべく、積層されて利用されるものである。
本実施例のハンガー１４は、図３〜図８に示すように、吊るされた際に水平な上辺１４ｂと鉛直な左右の２辺１４ｃ、１４ｄとなる少なくとも３辺を介して基板１０を保持するように枠状に設けられ、その３辺１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの各々には基板１０を挟んで保持するクリップ１５が設けられている。
また、本実施例では、図３に示すように、クリップ１５が、各辺１４ｂ、１４ｃ、１４ｄについて２個づつ配設されている。これにより、基板１０を、好適に張った状態にバランスよく、ハンガー１４で保持することができる。
【００３１】
本実施例のハンガーの形態は、図３に示すように、棒状の部材をその両端部において鍵状に曲げ、両端が搬送用の耳部１４ａ、１４ａに形成されている。両耳部１４ａ、１４ａの下方には上辺１４ｂが設けられ、左右には上辺１４ｂに直交して下方へ延びるように側辺である左辺１４ｃ、右辺１４ｄとが設けられている。また、その左右の辺１４ｃ、１４ｄの下方には、上辺１４ｂと平行に延びる下辺１４ｅが設けられ、その両端が、前記耳部１４ａと同様に左右に突出した突出部１４ｆ、１４ｆに形成されている。前記上方の両端の耳部１４ａ、１４ａと、突出部１４ｆ、１４ｆとは、ハンガー１４が搬送される際に運動体(送り用作動部２６、受け止め部３４等)に係合される部分であって、それによって、ハンガー１４が搬送（移動）されるようになっている。
【００３２】
このように、本実施例のハンガー１４は、耳部１４ａ、１４ａと、突出部１４ｆ、１４ｆとを備えるが、基本的には、基板１０の形状に対応した矩形の枠状体１６に形成されている。
なお、上辺１４ｂ及び左右の辺１４ｃ、１４ｄについては、その形状的安定性及び構造的強度を十分に確保するため、平面内で平行に棒状材によって２重に設けられている。
また、基板１０の大きさは、２重に設けられた上辺１４ｂ及び左右の辺１４ｃ、１４ｄの内側と、下辺１４ｅによって形成される矩形枠体の内周よりも一回り大きく設定されている。従って、基板１０は、その周縁部のみがハンガー１４に当接されて支持される。これにより、基板１０は、内部の配線パターン等が損傷することなく、好適に保持される。
【００３３】
また、各クリップ１５は、基板１０を挟持する開閉部が内側で開閉可能に、各辺１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ上に内側を向いて設けられている。さらに詳細には、基板１０の周縁部を受けて支持すべく、２重に設けられた各辺１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ上に固定された平板部１６ａの上に、クリップ１５が固定されている。
このようにハンガー１４が設けられていることで、簡単な構成であるが、自動化に好適に対応することができる。また、ハンガー１４は載置されるもので、従来技術のように運動体（無限軌道）に固定されているものではなく、各々が独立して扱えるので、保守管理が容易であり、その入れ換えも容易に行うことができる。
なお、ハンガー１４の形態は、本実施例のような基板１０の３辺についてクリップ１５によって保持するものに限定されるものではなく、４辺の全面から保持するように形成されていても良いのは勿論である。
【００３４】
また、本実施例のハンガー１４には、載置部２４に支持されて隣り合うハンガー１４同士に保持された基板１０同士（或いは基板１０とその基板１０を保持していないハンガー１４）の接触を防止するように、左右に一対の間隔部材を上下の隅部に設けてある。７０ａは上部の間隔部材であり、左右に一対が設けられ、７０ｂは下部の間隔部材であり、左右に一対が設けられている。
これらの間隔部材７０ａ、７０ｂによって、相互の接触によって動きが規制され、隣合うハンガー１４同士が相対的に大きく振れることを防止することができる。例えば、一辺が５００ｍｍ程度の基板１０について、ハンガー１４を４０ｍｍ程度の間隔に好適に並列させることができる。また、基板１０は、複数のクリップ１５によって好適に挟んで保持されているため、隣なり合うもの同士が曲がって干渉することもない。これにより、基板１０と、その基板１０を保持していない隣接するハンガー１４との接触を好適に防止できる。
このように間隔部材７０ａ、７０ｂを備えることで、複数の基板１０を密に搬送でき、効率良く乾燥できる。また、複数のハンガー１４同士の間隔を好適に狭めることが可能であるから、装置の小型化を図ることも可能になる。
【００３５】
１８は基板の供給装置であり、基板１０をハンガー１４に保持させると共に、乾燥室１２へ送るワークの供給装置である。
この基板の供給装置１８は、吊り下げられて鉛直な状態に支持されたハンガー１４に対して基板１０を保持させるように、ハンガー１４を吊り下げた鉛直な状態に支持するハンガーの支持手段７２と、基板１０をその基板１０の面が鉛直な状態にハンガー１４へ送るワークの送り手段である基板の送り手段７４と、基板１０が保持されたハンガー１４を乾燥室１２内へ送る機構とを備える。
【００３６】
本実施例のハンガー支持手段７２は、戻し装置３２によって基板の供給装置１８の直下に送られてきたハンガー１４を、掬い上げて、ハンガー１４に基板１０を保持させる高さ位置まで持ち上げる持ち上げ手段７６と、その持ち上げ手段７６によって持ち上げられたハンガー１４を、そのハンガー１４の上部で固定状態に保持する上部保持手段７７と、ハンガー１４の下部で保持する下部保持部７８とを備える。
【００３７】
持ち上げ手段７６は、ハンガー１４の両耳部１４ａ、１４ａを、下側から掬い取るように引っ掛けて支持し、直線状の上下ガイド７６ａ沿って上下動可能に左右に設けられた一対の上下動支持部７６ｂと、その上下動支持部７６ｂを上下駆動させる駆動機構とを構成要素とする。前記駆動機構は、上下方向に長尺に配されたチェーン装置である無限軌道７６ｃと、その無限軌道７６ｃを駆動させる駆動手段である駆動モータ７６ｄとから構成され、無限軌道７６ｃに上下動支持部７６ｂが固定され、その上下動支持部７６ｂが上下駆動するようになっている。
また、７９は斜面ガイドであり、ハンガー１４の下辺１４ｅが浮き上がらないようにガイドする面となっている。
【００３８】
本実施例の上部保持手段７７は、ハンガー１４の両耳部１４ａ、１４ａを上下方向から挟み込んで強力に保持（一時固定）するものとなっている。
また、本実施例の下部保持手段７８は、送り方向の前方側の規制部７８ａと、後方側の規制部７８ｂとによって、突出部１４ｆ、１４ｆの厚さに相当する間隔が設けられることで構成されている。これにより、ハンガー１４の突出部１４ｆ、１４ｆを、ハンガー１４の送り方向に移動しないように規制することができ、ハンガー１４の下部を好適に保持することができる。
【００３９】
また、本実施例の基板の送り手段７４は、矢印Ａ（図１）に示すように供給用コンベア等で前工程から水平に送られてきた基板１０をハンガー１４へ供給すべく、図９に示すように、複数の吸着パッド８０ａを備えて基板１０を吸着保持する吸着手段８０、その吸着手段８０を移動させる移動機構８１、吸着手段８０を水平方向へ往復動させてハンガー１４に接離させる接離動手段８２、及びクリップ１５を開くようにクリップ１５の外側（後端）を押圧する押圧装置８３等を備える。
【００４０】
基板の送り手段７４の移動機構８１は、直線状の上下ガイド８１ａ沿って上下動可能に設けられた上下動体８１ｂと、その上下動体８１ｂを上下駆動させる駆動機構と、水平部、曲部、鉛直部が連続的に設けられた鉤状のガイド８１ｃとを構成要素とする。前記移動機構８１は、上下方向に長尺に配されたチェーン装置である無限軌道８１ｄと、その無限軌道８１ｄを駆動させる駆動手段である駆動モータ８１ｅとから構成され、無限軌道８１ｄに上下動体８１ｂが固定され、その上下動体８１ｂが上下駆動するようになっている。
また、鉤状のガイド８１ｃには、吸着手段８０の基部８０ｂに固定されたローラ８０ｃが嵌まっている。これにより、吸着手段８０が、その吸着面が水平の状態から上昇して鉛直の状態になるように、案内される。
【００４１】
基板の送り手段７４をハンガー１４に対して接離動させる接離動手段８２は、基部８０ｂに対して吸着手段８０を接離動させるシリンダ装置８２ａと、その接離動を案内する直線動ガイド８２ｂとを構成要素とする。これにより、吸着手段８０で鉛直な状態に吸着・保持した基板１０を、ハンガー１４に接触するまで水平方向へ移動させることができる。
また、基板の送り手段７４の押圧装置８３は、基部８０ｂに固定され、複数のクリップ１５の数に対応して設けられた複数のシリンダ装置によって構成されている。この押圧装置８３が、前記接離動手段８２が作動する前に伸長することで、クリップ１５を、その後端を押圧することで開く。すなわち、クリップ１５のスプーリング１５ｃの付勢力に抗して、先端が開くようにクリップ１５を回動させる。そして、接離動手段８２が作動して基板１０をハンガー１４に接触させた後に、押圧装置８３が収縮することで、クリップ１５によって基板１０が挟まれ、これによって、ハンガー１４に基板１０が保持される。
【００４２】
以上の構成によって、保持面が鉛直な状態に保持されたハンガー１４に、基板１０を保持させることができる。別言すれば、ハンガー１４の鉛直な保持面に基板面が平行な状態、すなわち鉛直な状態で、基板１０を、ハンガー１４に保持させることができる。従って、基板１０が、その基板面が重力方向に平行に、垂下された状態で、ハンガー１４に保持される。これによれば、基板１０について、撓みを発生するように重力が作用することを防止でき、好適に張った状態に、ハンガーに保持させることができる。
【００４３】
また、本実施例の基板１０が保持されたハンガー１４を乾燥室１２内へ送る機構は、ハンガー１４を載置部２４の高さに前記上部保持手段７７を介して上昇させる上昇装置８４と、ハンガー１４を載置部２４の上へスライドさせて移動させるように押圧するシリンダ装置８６とから構成されている。これによれば、ハンガー１４で基板面が鉛直になるように保持された基板１０を、乾燥室１２の入口へ搬入することができる。すなわち、基板１０にかかる加工工程を、前工程から乾燥工程へ好適に移行できる。
【００４４】
また、基板の送り手段７４としては、複数の吸着パッド８０ａを備える吸着手段８０と、基板１０が波打ったり曲がることを防止すべく基板１０を張った状態でハンガー１４へ保持させるように、複数の吸着パッド８０ａを、基板１０を吸着した状態で外方へ変位させるように付勢する変位付勢手段とを備えてもよい。
この変位付勢手段によれば、基板１０が好適に平坦に張られた状態で、その基板１０をハンガー１４で好適に保持でき、基板１０の精度を好適に維持することができる。
さらに、一旦、上辺１２ｂ及び左右の辺１４ｃ、１４ｄに設けられた全てのクリップ１５によって、鉛直に立てた状態のハンガー１４に、基板１０を立てた状態に保持させた後、上辺１２ｂに設けられたクリップ１５以外を再度開き、基板１０が重力で十分に伸展ところで、再度挟んで保持してもよい。これによっても、重力の力を利用するものであるため若干弱いが、基板１０を張った状態に好適に保持でき、基板１０の精度を好適に維持することができる。
【００４５】
２２は送り装置であり、乾燥室１２内に配設され、多数（複数）のハンガー１４が基板１０を保持した状態で所定の間隔をおいて一列に載置される載置部２４と、複数のハンガー１４を載せて送り方向へ１ピッチ分ずつ間欠的に送るべく、ハンガー１４を載せるための上昇移動、ハンガー１４を載せて送り方向への１ピッチ分の水平移動、ハンガー１４を降ろすための下降移動、送り方向とは反対方向への１ピッチ分の水平移動の順に作動する送り用作動部２６とを備える。図２に示すように、ハンガー１４は、一対の耳部１４ａで、載置部２４に載り、送り用作動部２６に支持されて送られる。また、載置部２４及び送り用作動部２６のハンガー１４が載せられる上面には、耳部１４ａが好適に位置して横滑りしないように、Ｖ字状の凹部が、一定間隔に載置されるハンガー１４の数に対応して形成されている。なお、基板１０は載置部２４に多数が吊り下げられるが、図１では省略して記載してある。
【００４６】
本実施例の送り装置２２では、載置部２４が基体１１に固定されており、送り用作動部２６が、吊下部材２６ａを介して上方から保持されると共に、上下動手段２７によって上下方向に往復動Ｃ１され、水平動手段２８によって水平方向に往復動Ｃ２される。その上下方向の往復動Ｃ１、及び水平方向の往復動Ｃ２の合成によって、前記のような送り用作動部２６の送り動作（いわゆるボックス送り）がなされ、複数のハンガー１４を同時に送り方向（矢印Ｃ）へ、１ピッチ分ずつ送ることができる。このように本発明にかかる乾燥装置において、複数のハンガー１４をボックス送りによって搬送するため、上方での発塵を大幅に低減でき、高い清浄空間での加工を要する基板１０の加工等に有効である。
なお、送り装置２２の送り用作動部２６を上下方向、水平方向へ駆動する駆動装置としては、カム機構、直動ガイド機構、螺子式の駆動機構、ラック・ピニオン、チェーン或いはタイミングベルト等を用いた同期機構、動力としての電動モータ或いはシリンダ装置等、既知の運動機構を選択的に用いて構成すればよい。
【００４７】
３０は基板の排出装置であり、送り装置２２によって乾燥室１２内を送られてきたハンガー１４の基板１０にかかる保持を解除させてハンガー１４と基板１０とを分離させる。
本実施例の基板の排出装置３０は、乾燥室１２内でハンガー１４を介して吊るされた状態で送られて乾燥室１２の出口まできた基板１０を、昇降装置によって下降する昇降部材を介して矢印Ｄ（図１）に示すように移送し、水平にした状態にし、矢印Ｅに示すように排出用往復動装置によって搬出する。これにより、基板１０にかかる加工工程を、乾燥工程から次工程へ好適に移行できる。
【００４８】
この基板の排出装置３０は、背景技術で説明した図１４の排出装置３０と基本的に同一の機能を備えるもので、共通の構成を有する。そこで、以下では、図１４の排出装置３０と相違する点を説明し、共通の構成、及びそれによる作用については、説明を省略する。
本実施例の基板の排出装置３０は、ハンガー１４を、反転することなく、伏せるようにして下降させた状態のまま、戻し装置３２の受け止め部３４に置く。このため、背景技術のような１８０度反転する旋回受け部５８がなく、単にハンガー１４を受けて上下動する上下移動体を備える。
また、図１４の排出装置３０のコンベア５４に代えて、基板１０を上下動して受け、送り方向に直線往復動して基板１０を排出する排出用往復動装置が設けられている。
【００４９】
また、本実施例の戻し装置３２は、基本的に背景技術の戻し装置３２と同様に構成されており、基板の排出装置３０によって基板１０と分離されたハンガー１４を、基板の供給装置１８へ戻すように作動する。
但し、本実施例の戻し装置３２は、点線の矢印Ｇに示すようにチェーン３３の駆動によって移送した基板１０を、前記持ち上げ手段７６へ引渡す点で、背景技術の戻し装置と相違する。なお、持ち上げ手段７６は、前述したように、ハンガー１４を、掬い上げて基板１０を保持する高さ位置まで持ち上げる。
この戻し装置３２にチェーン機構を利用すれば、チェーン３３を一方向へ移動させる簡単な構成で、自動化に好適に対応できる。また、本実施例では、送り装置２２による一回の送り（１ピッチ分の送り）に対応して、一つのハンガー１４を基板の排出装置３０側から一気に基板の供給装置１８側へ戻すものであり、ハンガー１４を有効に利用できる。これに対し、従来技術の欄で説明したような、無限軌道に固定されたハンガー等の保持用部材は、半数以上が使用されないで、移動しているだけであり、その保持用部材の稼働効率が悪いことになる。
【００５０】
次に、ハンガー１４の移動工程に着目して記載した図１０に基づいて、基板１０の乾燥工程について説明する。図１０は、以上に説明した実施例にかかるハンガー１４の移動工程を示している。なお、ハンガー１４は、平板部１６ａ上に固定された本体片１５ａと、その本体片１５ａに回動可能に軸着されたクリップ片１５ｂ、そのクリップ片１５ｂを常時閉じる方向へ付勢するスプーリング１５ｃとから成るクリップ１５を備える。
先ず、前記基板の供給装置１８では、矢印Ａ方向に供給された基板１０が矢印Ｂ方向に移動されて立てられ、ハンガー１４は矢印Ｈ方向に持ち上げられて立てられた状態に保持される。そして、基板１０がＢ１方向に移動され、ハンガー１４に押し当てられる。
次に、基板１０を保持（クリップ）したハンガー１４は、吊り下げられた方向（以下、「吊り下げ向き」という）を向いて、矢印Ｃ方向に前記載置部２４上を移動する。
【００５１】
そして、矢印Ｄ方向へ、基板１０を保持したハンガー１４が移動することで、ハンガー１４が９０度回動されることで、ハンガー１４及び基板１０が水平にされる。そこで、ハンガー１４から基板１０が離れ（矢印Ｄ１）、基板１０は矢印Ｅ方向へ排出される。このとき、基板１０は、基板の供給装置１８に供給された状態から反転された状態になって排出される。
次に、ハンガー１４は、矢印Ｆに示すように下降されて、戻し装置３２へ受け渡される。戻し装置３２では、ハンガー１４を、矢印Ｇ方向へ移動させて前記基板の供給装置１８側へ搬送する。そして、ハンガー１４は前述したようにさらに矢印Ｈに示すように上昇されて、基板１０を保持する高さ位置に保持される。これのより、一つのハンガー１４の搬送にかかる工程の１サイクルが完了する。このサイクルを順次繰り返すことで多数の基板１０を効率よく搬送して乾燥することができる。
以上の搬送パターンによれば、基板１０を、供給された状態から反転した状態で排出することができる。
【００５２】
次に図１７〜図１９を参照してＵＶ乾燥装置を設けた場合について説明する。図１７はＵＶ乾燥装置を組み付けた乾燥装置本体の部分正面図、図１８は図１７の上視図、図１９は図１７の右側面図である。
本実施例では、熱乾燥を行う乾燥装置本体の基板搬送方向上流側にＵＶ乾燥装置を組み付けた場合について説明する。尚、前記実施例と同一部材には同一番号を付して説明を援用するものとする。即ち、基板の供給装置１８より送り込まれた基板１０は先ず、ＵＶ乾燥装置に送られてＵＶ乾燥が行われ、次いで乾燥装置本体に送られて熱乾燥が行われるようになっている。
【００５３】
先ず、熱乾燥を行う乾燥装置本体側の送り装置２２を構成する送り用作動部２６の作動機構の１例について説明する。先ず、上下動手段２７について説明すると、乾燥装置本体９０の上板９１には偏芯カム駆動用モータ２７ａが設けられている。この偏芯カム駆動用モータ２７ａのモータ軸にはギヤ列を介して偏芯カム２７ｂが２箇所に連繋している。また、上板９１にはガイドシャフト２７ｃが両側に立設されており、このガイドシャフト２７ｃにはリニアブッシュを介してカム当接プレート２７ｄ及び吊下げプレート２７ｅが各々連繋している。吊下げプレート２７ｅはカム当接プレート２７ｄにシャフト支持（リニアシャフトＲ１）により水平方向に移動可能に連繋している。偏芯カム駆動用モータ２７ａが作動して偏芯カム２７ｂがカム当接プレート２７ｄを上下動させると吊下げプレート２７ｅも追従して上下動するようになっている。
【００５４】
吊下げプレート２７ｅには吊下げロッド２７ｆにより中間支持プレート２７ｇが支持されている。中間支持プレート２７ｇには送りプレート２７ｈがシャフト支持（リニアシャフトＲ２）により水平方向に移動可能に連繋している。送りプレート２７ｈは、基板１０の送り方向に前後に設けられており、これらは連結バー２７ｉにより長手方向に連結されている。送りプレート２７ｈには、吊下げロッド２７ｊを介して第１の移動竿２７ｋが両側に吊下げ支持されている。第１の移動竿２７ｋは載置部（固定竿）２４の外側に並んで配置されており、偏芯カム２７ｂが作動して上動することにより、載置部２４からハンガー１４の耳部１４ａを支持して受け渡されるようになっている。載置部２４は、乾燥装置本体９０の両側側壁に設けられた支持アーム２４ａに支持されている。載置部２４及び第１の移動竿２７ｋには、ハンガー１４の耳部１４ａを落とし込むＶ字状の凹部が等ピッチ間隔で長手方向に連続して形成されている。載置部２４及び第１の移動竿２７ｋは凹部ピッチを合わせて並んで配置されている。
【００５５】
次に水平移動手段２８について説明すると、送りプレート２７ｈが連繋しているリニアシャフトＲ２には、第１の移動竿２７ｋを送り方向にピッチ送りするためのリニアドモータ２８ａが吊下げ支持されている。リニアドモータ２８ａを作動させるとリンク２８ｂを介して連繋している送りプレート２７ｈがリニアシャフトＲ２に沿って往復動するようになっている。
【００５６】
上記偏芯カム駆動用モータ２７ａを作動させて偏芯カム２７ｂを回転させるとカム当接プレート２７ｄ及び吊下げプレート２７ｅが上昇して、第１の移動竿２７ｋが載置部２４に並んだ高さから上昇して該載置部２４からハンガー１４の耳部１４ａをＶ字状凹部に支持して受け渡される。このときリニアドモータ２８ａを作動させて第１の移動竿２７ｋがハンガー１４を支持したまま１ピッチ分前方へ送られ、偏芯カム２７ｂが１回転するともとの高さ位置へ下動する。このとき、ハンガー１４は１ピッチ送られた状態で載置部２４へ受渡される。そして、リニアドモータ２８ａを作動させて第１の移動竿２７ｋが水平方向にもとの位置まで戻って、次の送り動作に備える。送り用作動部２６は基板の供給装置１８より供給された基板１０を同様のピッチ送り動作（ボックス送り動作）を繰り返すことによりＵＶ乾燥装置９２側へ送る。
【００５７】
次に、ＵＶ乾燥装置９２は、乾燥装置本体９０の基板送り方向上流側に設けられ、基板１０の熱乾燥に先立ってＵＶ乾燥が行われるようになっている。ＵＶ乾燥装置９２には、載置部２４の途中にハンガー１４を吊下げておく吊下げ部９３が設けられている。この吊下げ部９３は、上端側を上板９１に固定された吊下げロッド９４の下端にＶ字状凹部９５が１箇所形成されており、該Ｖ字状凹部９５にハンガー１４が１個ずつ吊下げられるようになっている。吊下げ部９３に吊下げられたハンガー１４に保持された基板１０の両側に設けられたＵＶ光照射部９６がＵＶ光を基板面に照射しながら上下方向へ走査することによりＵＶ乾燥する。ＵＶ光照射部９６は、上下２箇所にＵＶランプ９６ａ、９６ｂが設けられており、これらは上下に配置されたプーリ９７ａ、９７ｂ間にかけ渡されたタイミングベルト９８に連繋している。昇降用モータ９９よりタイミングベルト１００を介してプーリ９７ａ、９７ｂに駆動伝達されてタイミングベルト９８が上下動することによりＵＶランプ９６ａ、９６ｂが上昇若しくは下降するようになっている。
【００５８】
また、送り用作動部２６には、載置部２４に載置されたハンガー１４をピッチ送りする間に、先頭側のハンガー１４のみを水平送り動作と同期を取ってＵＶ乾燥装置９２の吊下げ部９３へ送り込む送り込み手段として送り込みアーム１０１及び先にＵＶ乾燥された基板１０を保持するハンガー１４を吊下げ部９３より受け取って下流の乾燥装置本体９０へ送り出す送り出し手段として送り出しアーム１０２が各々設けられている。送り込みアーム１０１及び送り出しアーム１０２は、カム当接プレート２７ｄにシャフト支持（リニアシャフトＲ１）により連繋しており、偏芯カム２７ｂの回転にしたがって上下動するようになっている。また、送り込みアーム１０１及び送り出しアーム１０２は、第１の移動竿２７ｋの外側に並んで設けられ、リニアシャフトＲ１に送りプレート１０３、１０４を介してスライド可能に連繋している。送り込みアーム１０１及び送り出しアーム１０２の先端部には、Ｖ字状凹部が１箇所ずつ形成された第２の移動竿１０５、１０６が形成されている。この第２の移動竿１０５、１０６のＶ字状凹部にはハンガー１４が１個ずつ支持可能になっている。第２の移動竿１０５、１０６は、載置部２４と第１の移動竿２７ｋとの間位置で、互いに干渉しないよう該第１の移動竿２７ｋ外方から内方へ向かってコ字状に折り曲げ形成されている。
【００５９】
また、ＵＶ乾燥装置９２の上側に相当するカム当接プレート２７ｄの上には、送り用モータ１０７が２箇所に設けられており、駆動プーリ１０８に連繋している。また、カム当接プレート２７ｄ上の基板の供給装置１８側及び乾燥装置本体９０側には従動プーリ１０９が設けられている。上記駆動プーリ１０８と従動プーリ１０９との間にはタイミングベルト１１０が掛け渡されている。送りプレート１０３、１０４は、タイミングベルト１１０の一部に連結されており、送り用モータ１０７を正逆回転駆動させることにより、送り込みアーム１０１及び送り出しアーム１０２が、リニアシャフトＲ１に沿って往復動するようになっている。
【００６０】
次に、送り用作動部２６のピッチ送り動作とＵＶ乾燥装置９２への送り動作の連繋について説明する。載置部２４のＶ字状凹部には、基板の供給装置１８より基板１０を保持したハンガー１４が供給されて隙間なく載置されているものとする。
偏芯カム駆動用モータが２７ａが回転駆動すると、偏芯カム２７ｂが回転しカム当接プレート２７ｄを押し上げると、載置部２４よりハンガー１４が第１の移動竿２７ｋに受け渡され、先頭側の１箇所だけ第２の移動竿１０５に受け渡される。また、吊下げ部９３に吊下げられ先にＵＶ乾燥が行われたハンガー１４は第２の移動竿１０６に受け渡される。そして、リニアドモータ２８ａを作動させて、第１の移動竿２７ｋをＶ字状凹部１ピッチ分だけ前方へ送る。また、送り用モータ１０７を所定方向に回転駆動させて送り込みアーム１０１及び送り出しアーム１０２をスライドさせ、第２の移動竿１０５をＵＶ乾燥装置９２の吊下げ部９３位置まで移動させ、第２の移動竿１０６を乾燥装置本体９０の載置部２４位置まで移動させる。
【００６１】
偏芯カム２７ｂが１回転するとカム当接プレート２７ｄが下動して、第１の移動竿２７ｋに支持されたハンガー１４が１ピッチ分前方へ送られた位置で載置部２４へ受け渡される。また、第２の移動竿１０５に支持されたハンガー１４が吊下げ部９３へ受け渡される、第２の移動竿１０６に支持されたハンガー１４が乾燥装置本体９０の載置部２４の後端側へ受け渡される。そして、リニアドモータ２８ａを作動させて、第１の移動竿２７ｋをハンガー１４に干渉しない高さ位置のままＶ字状凹部１ピッチ分だけ後方へ戻る。また、送り用モータ１０７を所定方向に回転駆動させて送り込みアーム１０１及び送り出しアーム１０２を反対側へスライドさせ、第２の移動竿１０５を載置部２４の先頭位置までハンガー１４に干渉しない高さ位置のまま移動させ、第２の移動竿１０６を乾燥装置本体９０の吊下げ部９３位置まで移動させる。
この間にＵＶ乾燥装置９２は、昇降用モータ９９を回転駆動して吊下げ部９３へ新たに設置された基板１０の両面からＵＶ照射部９６を上昇若しくは下降する際にＵＶ乾燥が行われる。そして、ＵＶ乾燥が行われると、以上の動作が連続して繰り返し行われる。
【００６２】
ＵＶ乾燥装置９２と乾燥装置本体９０との境界部分や該乾燥装置本体９０の下流側出口付近はエアーカーテン設けられており、乾燥装置本体９０からの熱が放散し難いようになっている。ＵＶ乾燥が行われた基板１０は、乾燥装置本体９０内で熱風乾燥によりソルダレジストなどの樹脂材が熱硬化（ＩＲキュア）される。
【００６３】
上記構成によれば、熱乾燥を要する基板１０のほかにＵＶ乾燥を要する基板１０をも１の装置で乾燥できるので、作業効率が良く、しかも多様な基板材料の乾燥が可能になるから汎用性を向上させることができる。
特に、ハンガー１４をピッチ送りする送り装置２２に、先頭側のハンガー１４のみを水平送り動作と同期を取って吊下げ部９３へ移送する送り込みアーム１０１及び先にＵＶ乾燥された基板１０を保持するハンガー１４を受け取って下流側の乾燥装置本体９０へ送り出す送り出しアーム１０２が設けられているのでスループットを向上させることができ、しかも、乾燥装置本体９０側のピッチ送り動作と同期を取って基板１０を１枚ずつＵＶ乾燥装置９２へ送り込んで基板両面でＵＶ乾燥を行うので、基板材料に応じて乾燥装置本体９０にＵＶ乾燥装置９２が組み込まれても円滑な送り動作が実現できる。
【００６４】
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるのではなく、基板１０を乾燥させる工程に関することを中心に説明してきたがこれに限定されることはなく、種々の矩形薄板状のワークを加熱・乾燥させる工程に広く応用できるのは勿論である。
また、ＵＶ乾燥装置９２は乾燥装置本体９０の上流側に限らず下流側に設置されていても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【００６５】
【発明の効果】
本発明の乾燥装置によれば、ハンガーが、吊るされた際に水平な上辺と鉛直な左右の２辺となる少なくとも３辺を介して矩形薄板状のワークを保持するように枠状に設けられ、前記３辺の各々には前記ワークを挟んで保持するクリップが設けられている。
このため、薄板状のワークの乾燥工程において、ワークが波打ったり曲がってしまうことを防止し、ワークの平坦度を含む精度を好適に維持できると共に、複数のワークを密に搬送して効率良く乾燥できる。
また、ワークの１例として熱乾燥を要する基板のほかにＵＶ乾燥を要する基板をも１の装置で乾燥できるので、作業効率が良く、しかも多様な基板材料の乾燥が可能になるから汎用性を向上させることができる。
特に、ハンガーをピッチ送りする送り装置には、先頭側のハンガーのみを水平送り動作と同期を取って吊下げ部へ移送する送り込み手段及び先にＵＶ乾燥されたワークを保持するハンガーを吊下げ部より受け取って送り出す送り出し手段が設けられているのでスループットを向上させることができ、しかも、乾燥装置本体側のピッチ送り動作と同期を取ってワークを１枚ずつＵＶ乾燥装置へ送り込んでワーク両面でＵＶ乾燥を行えるので、乾燥装置本体にＵＶ乾燥装置が組み込まれても円滑な送り動作が実現できる、という著効を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の乾燥装置にかかる一実施例を模式的に説明する側面図である。
【図２】図１の実施例の部分正面図である。
【図３】本発明の乾燥装置にかかるハンガーの一実施例を説明する正面図である。
【図４】図３のハンガーの右側面図である。
【図５】図３のＡ−Ａ線拡大断面図である。
【図６】図３のＢ−Ｂ線拡大断面図である。
【図７】図３のハンガーの平面図である。
【図８】図３のＣ−Ｃ線拡大断面図である。
【図９】本発明にかかる基板の供給装置の一実施例を説明する側面図である。
【図１０】本発明にかかるハンガーの移動工程の一実施例を説明する側面図である。
【図１１】従来技術を説明する側面図である。
【図１２】背景技術にかかる乾燥装置を模式的に示す側面図である。
【図１３】図１２の背景技術の部分正面図である。
【図１４】図１２の背景技術にかかる基板の排出装置を説明する側面図である。
【図１５】図１２の背景技術にかかるハンガーの移動工程を説明する側面図である。
【図１６】他の背景技術にかかるハンガーの移動工程を説明する側面図である。
【図１７】他例に係るＵＶ乾燥装置を組み付けた乾燥装置本体の部分正面図である。
【図１８】図１７の乾燥装置の上視図である。
【図１９】図１７の乾燥装置の右側面図である。
【符号の説明】
１０  基板
１２  乾燥室
１４  ハンガー
１４ｂ  上辺
１４ｃ  左辺
１４ｄ  右辺
１５  クリップ
１６  枠状体
１６ａ  平板部
１８  基板の供給装置
２０  乾燥空気送風装置
２２  送り装置
２４  載置部
２６  送り用作動部
２７  上下動手段
２７ａ  偏芯カム駆動用モータ
２７ｂ  偏芯カム
２７ｃ  ガイドシャフト
２７ｄ  カム当接プレート
２７ｅ  吊下げプレート
２７ｆ，２７ｊ  吊下げロッド
２７ｇ  中間支持プレート
２７ｈ、１０３、１０４  送りプレート
２７ｉ  連結バー
２７ｋ  第１の移動竿
２８  水平動手段
２８ａ  リニアドモータ
２８ｂ  リンク
３０  基板の排出装置
３２  戻し装置
３３  チェーン
３４  受け止め部
３８  かき寄せ装置
４０  チャック装置
７０ａ  上部の間隔部材
７０ｂ  下部の間隔部材
７２  ハンガーの支持手段
７４  基板の送り手段
７６  持ち上げ手段
７７  上部保持手段
７８  下部保持手段
８０  吸着手段
８１  移動機構
８２  接離動手段
８３  押圧装置
８６  シリンダ装置
９０  乾燥装置本体
９１  上板
９２  ＵＶ乾燥装置
９３  吊下げ部
９４  吊下げロッド
９５  Ｖ字状凹部
９６  ＵＶ光照射部
９６ａ、９６ｂ  ＵＶランプ
９７ａ、９７ｂプーリ
９８、１００、１１０  タイミングベルト
９９  昇降用モータ
１０１  送り込みアーム
１０２  送り出しアーム
１０５、１０６  第２の移動竿
１０７  送り用モータ
１０８  駆動プーリ
１０９  従動プーリ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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