(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スプリングを介して磁気ヘッドを支持するヘッドアッセンブリを介して前記磁気ヘッドをトラック横断方向に移動させるヘッドアッセンブリ駆動機構において、
前記ヘッドアッセンブリを保持するヘッドホルダが第１のブロックと、第２のブロックと、この第２のブロックに固定されたアクチュエータとを有し、
前記第１のブロックに前記ヘッドアッセンブリが固定され、前記第１のブロックと前記第２のブロックとは所定の間隔を隔てて可撓性の結合路で接続され、
前記アクチュエータを駆動して前記所定の間隔における前記結合路の両側にある空間のいずれか一方の幅を変化させて前記結合路を撓ませることで前記トラック横断方向に前記磁気ヘッドが移動するようにヘッドアッセンブリを振るものであって、
前記結合路は１本の直線状に形成された弾性部材であり、前記アクチュエータは、前記第２のブロックに対して前記第１のブロックを前記結合路を中心として首振り駆動をし、
前記ヘッドホルダは、ＳＵＳ製の１つの角柱素材であって、前記第１のブロックと前記第２のブロックと前記結合路の厚さがそれぞれ８ｍｍ〜１２ｍｍの範囲にあって、前記結合路の幅が０．８ｍｍ〜１．５ｍｍの範囲にあって、前記首振り駆動の角度が１゜以下であるヘッドアッセンブリ駆動機構。
【請求項２】
前記アクチュエータはピエゾアクチュエータであり、前記ヘッドアッセンブリと前記ピエゾアクチュエータとは前記第１および第２のそれぞれのブロックにおいて前記結合路を挟んで相互に反対側に配置されている請求項１記載のヘッドアッセンブリ駆動機構。
【請求項３】
前記第１のブロックと前記第２のブロックは、前記１つのブロックから前記結合路が切り出されて結合路を挟んで分割されて形成されたものである請求項２記載のヘッドアッセンブリ駆動機構。
【請求項４】
前記第１のブロックには前記ヘッドアッセンブリを着脱可能に固定するクランプ機構が設けられ、前記首振り駆動の角度が０．１゜〜０．３゜である請求項１記載のヘッドアッセンブリ駆動機構。
【請求項５】
さらに前記第１のブロックにおいて、前記ピエゾアクチュエータの進退する駆動面に対向する位置で螺合し前記第１のブロックを貫通して設けられたねじを有し、前記ピエゾアクチュエータは前記第２のブロックに埋設され、このねじの先端が駆動面に結合している請求項２記載のヘッドアッセンブリ駆動機構。
【請求項６】
前記第１のブロックと前記第２のブロックとを結合する湾曲し前記第１のブロックの振れを許容する接続路が前記結合路を挟んで前記ヘッドアッセンブリとは反対側に設けられている請求項１記載のヘッドアッセンブリ駆動機構。
【請求項７】
スプリングを介して磁気ヘッドを支持するヘッドアッセンブリ、このヘッドアッセンブリを保持するヘッドホルダにおいて、
第１のブロックと、第２のブロックと、この第２のブロックに固定されたアクチュエータとを有し、前記第１のブロックに前記ヘッドアッセンブリが固定され、前記第１のブロックと前記第２のブロックとは所定の間隔を隔てて可撓性の結合路で接続され、前記アクチュエータにより前記所定の間隔における前記結合路の両側にある空間のいずれか一方の幅を変化させて前記結合路を撓ませることで前記トラック横断方向に前記磁気ヘッドが移動するようにヘッドアッセンブリを振るものであって、
前記結合路は１本の直線状に形成された弾性部材であり、前記アクチュエータは、前記第２のブロックに対して前記第１のブロックを前記結合路を中心として首振り駆動をし、
前記ヘッドホルダは、ＳＵＳ製の１つの角柱素材であって、前記第１のブロックと前記第２のブロックと前記結合路の厚さがそれぞれ８ｍｍ〜１２ｍｍの範囲にあって、前記結合路の幅が０．８ｍｍ〜１．５ｍｍの範囲にあって、前記首振り駆動の角度が１゜以下であるヘッドホルダ。
【請求項８】
前記アクチュエータはピエゾアクチュエータであり、前記ヘッドアッセンブリと前記ピエゾアクチュエータとは前記結合路を挟んで相互に反対側に配置されている請求項７記載のヘッドホルダ。
【請求項９】
前記第１のブロックと前記第２のブロックは、前記１つのブロックから前記結合路が切り出されて結合路を挟んで分割されて形成されたものであり、前記首振り駆動の角度が０．１゜〜０．３゜であるる請求項８記載のヘッドホルダ。
【請求項１０】
スプリングを介して磁気ヘッドを支持するヘッドアッセンブリを介して前記磁気ヘッドをトラック横断方向に移動させて前記磁気ヘッドを前記トラック上にあるいはトラック上の所定の位置ＯＮトラック状態になるように制御をして前記磁気ヘッドの読出／書込特性を検査する磁気ヘッドテスターにおいて、
前記ヘッドアッセンブリを保持するヘッドホルダと、
前記ヘッドホルダを支持アームを介して支持するヘッドキャリッジ機構と、
前記磁気ディスクが装着されるスピンドルとを備え、
前記ヘッドホルダは、第１のブロックと、第２のブロックと、この第２のブロックに固定されたアクチュエータとを有し、
前記第１のブロックに前記ヘッドアッセンブリが固定され、前記第１のブロックと前記第２のブロックとは所定の間隔を隔てて可撓性の結合路で接続され、
前記アクチュエータを駆動して前記所定の間隔における前記結合路の両側にある空間のいずれか一方の幅を変化させて前記結合路を撓ませることで前記トラック横断方向に前記磁気ヘッドが移動するようにヘッドアッセンブリを振り、前記磁気ヘッドを前記トラックにＯＮトラック状態になるように制御をするものであって、
前記結合路は１本の直線状に形成された弾性部材であり、前記アクチュエータは、前記第２のブロックに対して前記第１のブロックを前記結合路を中心として首振り駆動をし、
前記ヘッドホルダは、ＳＵＳ製の１つの角柱素材であって、前記第１のブロックと前記第２のブロックと前記結合路の厚さがそれぞれ８ｍｍ〜１２ｍｍの範囲にあって、前記結合路の幅が０．８ｍｍ〜１．５ｍｍの範囲にあって、前記首振り駆動の角度が１゜以下である磁気ヘッドテスター。
【請求項１１】
前記アクチュエータは、ピエゾアクチュエータであって、前記ヘッドアッセンブリと前記ピエゾアクチュエータとは前記結合路を挟んで相互に反対側に配置されている請求項１０記載の磁気ヘッドテスター。
【請求項１２】
前記アクチュエータは、前記磁気ディスク上のトラック対応に設定されたサーボ信号に応じて駆動される請求項１１記載の磁気ヘッドテスター。
【請求項１３】
スプリングを介して磁気ヘッドを支持するヘッドアッセンブリを介して前記磁気ヘッドをトラック横断方向に移動させて前記磁気ヘッドを前記トラック上にあるいはトラック上の所定の位置ＯＮトラック状態になるように制御をして前記磁気ヘッドの読出／書込特性を検査する磁気ディスクテスターにおいて、
前記ヘッドアッセンブリを保持するヘッドホルダと、
前記ヘッドホルダを支持アームを介して支持するヘッドキャリッジ機構と、
前記磁気ディスクが装着されるスピンドルとを備え、
前記ヘッドホルダは、第１のブロックと、第２のブロックと、この第２のブロックに固定されたアクチュエータとを有し、
前記第１のブロックに前記ヘッドアッセンブリが固定され、前記第１のブロックと前記第２のブロックとは所定の間隔を隔てて可撓性の結合路で接続され、
前記アクチュエータを駆動して前記所定の間隔における前記結合路の両側にある空間のいずれか一方の幅を変化させて前記結合路を撓ませることで前記トラック横断方向に前記磁気ヘッドが移動するようにヘッドアッセンブリを振り、前記磁気ヘッドを前記トラックにＯＮトラック状態になるように制御をするものであって、
前記結合路は１本の直線状に形成された弾性部材であり、前記アクチュエータは、前記第２のブロックに対して前記第１のブロックを前記結合路を中心として首振り駆動をし、
前記ヘッドホルダは、ＳＵＳ製の１つの角柱素材であって、前記第１のブロックと前記第２のブロックと前記結合路の厚さがそれぞれ８ｍｍ〜１２ｍｍの範囲にあって、前記結合路の幅が０．８ｍｍ〜１．５ｍｍの範囲にあって、前記首振り駆動の角度が１゜以下である磁気ディスクテスター。
【請求項１４】
前記アクチュエータは、ピエゾアクチュエータであって、前記ヘッドアッセンブリと前記ピエゾアクチュエータとは前記結合路を挟んで相互に反対側に配置されている請求項１３記載の磁気ディスクテスター。
【請求項１５】
前記アクチュエータは、前記磁気ディスク上のトラック対応に設定されたサーボ信号に応じて駆動される請求項１４記載の磁気ディスクテスター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ヘッドアッセンブリ駆動機構、ヘッドホルダ、磁気ヘッドテスターおよび磁気ディスクテスターに関し、詳しくは、磁気ディスク上のトラック対応に設定されたサーボ信号に応じて磁気ヘッドをＯＮトラック状態に制御する磁気ヘッドテスターあるいは磁気ディスクテスターにおいて、磁気ヘッドをトラック横断方向に移動させるために、スプリングを介して磁気ヘッドを支持するヘッドアッセンブリ（サスペンションスプリング＋磁気ヘッド部材）を部材の弾性撓みを利用してダイナミックに振らせ、それによりヘッドアッセンブリの可動部の質量を低減させてＯＮトラック制御における磁気ヘッドの応答速度を向上させることができるようなヘッドアッセンブリ駆動機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置における記録密度の向上に伴い、磁気ディスクのトラック幅が狭小化し、そのため、磁気ヘッドテスターあるいは磁気ディスクテスターでは、ヘッド位置決め精度の一層の向上が要求されている。しかも、ディスクの回転数は、５４００rpmから７０００rpm〜１５０００rpmとなり、現在ではそれ以上の高速回転のものが実用化されている。
そこで、サスペンションスプリングからヘッドキャリッジまでの間にピエゾアクチュエータを設けて、このピエゾアクチュエータによりサーボ信号に応じてヘッドアッセンブリを駆動する出願人の特開２００３−２７２３２６号の発明がある（特許文献１）。
この発明は、所定のトラックに位置決めされた磁気ヘッド（以下ヘッド）に対して、ヘッドアッセンブリを保持する質量の軽いヘッドカートリッジをサーボ信号に応じてダイナミックに移動させ、あるいはヘッドカートリッジ内においてヘッドアッセンブリをサーボ信号に応じてダイナミックに移動（回動）させて、ヘッドのトラック中心からのずれ量を微小移動により補正する。その微小移動は、例えば、トラックに対して数μｍのヘッドの移動を高速に行うものであり、それにより、ヘッドは、サーボ信号に応じて高速かつ高精度にトラック上にあるいはトラック上の所定の位置ＯＮトラック状態になるように位置補正される。
【特許文献１】特開２００３−２７２３２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前記した特開２００３−２７２３２６号の発明の実施例の１つは、微小位置決めのピエゾステージにヘッドカートリッジを搭載してヘッドカートリッジを微小移動してまずヘッドをＯＮトラック位置決めする。さらにヘッドカートリッジ内に設けられたヘッドアッセンブリに対してサーボ信号に応じてヘッドアッセンブリをダイナミックに回動させてＯＮトラック状態にヘッドの位置をサーボ制御をする。
そのヘッドアッセンブリは、円筒状部材で軸支され、円筒状部材の回転軸を中心にピエゾアクチュエータにより回動される。ピエゾアクチュエータは、ヘッドのトラック中心からのずれ量を補正するような微小移動をヘッドに対して行えばよいので、ヘッドアッセンブリの回転機構は、サーボ信号に対するヘッドの高速応答が可能になる。
しかし、現在のように、トラック数が数千本／インチ以上にもなると、ヘッドアッセンブリの回転機構は、さらに高精度なサーボ制御とヘッドの高速移動とが要求される。この要求に対して、回転軸を中心にヘッドアッセンブリを回動させる前記の方式は、回転部の質量が大きいので、ヘッドが位置ずれしてからＯＮトラック状態に補正されるまでにディスクを１回転以上回転させなければならなず、テストデータの読出／書込に時間がかかる問題がある。そのため、ＯＮトラック制御におけるヘッドの応答速度をさらに向上させる要請がある。
【０００４】
この発明の目的は、このような要請に応えるものであって、ヘッドがトラック横断方向に移動するようにヘッドアッセンブリを振らせることで可動部の質量を低減してヘッドアッセンブリを高速駆動することができ、ＯＮトラック制御におけるヘッドの応答速度を向上させることができるヘッドアッセンブリ駆動機構あるいはヘッドホルダを提供することにある。
この発明の他の目的は、ヘッドを実質的にトラック上あるいはトラック上の所定の位置に高速に精度よくダイナミックに位置決めができる磁気ヘッドテスターおよび磁気ディスクテスターを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような目的を達成するこの発明のヘッドアッセンブリ駆動機構あるいはヘッドホルダの構成は、ヘッドアッセンブリを保持するヘッドホルダが、第１のブロックと、第２のブロックと、第２のブロックに固定されたアクチュエータとを有し、第１のブロックにヘッドアッセンブリが固定され、第１のブロックと第２のブロックとは所定の間隔を隔てて可撓性の結合路で接続され、アクチュエータを駆動して前記所定の間隔における結合路の両側にある空間のいずれか一方の幅を変化させて結合路を撓ませてトラック横断方向にヘッドが移動するようにヘッドアッセンブリを振るものである。
さらに、前記の結合路は、１本の直線状に形成された弾性部材であり、前記のアクチュエータは、第２のブロックに対して第１のブロックを結合路を中心として首振り駆動をし、前記のヘッドホルダは、ＳＵＳ製の１つの角柱素材であって、第１のブロックと第２のブロックと結合路の厚さがそれぞれ８ｍｍ〜１２ｍｍの範囲にあって、結合路の幅が０．８ｍｍ〜１．５ｍｍの範囲にあって、首振り駆動の角度が１゜以下であるものである。
【発明の効果】
【０００６】
この発明の磁気ヘッドテスターあるいは磁気ディスクテスターの特徴は、前記の構成のヘッドアッセンブリ駆動機構あるいはヘッドホルダを設けてトラックに対してヘッドをＯＮトラック状態に制御して磁気ヘッドあるいは磁気ディスクの検査をするものである。
この発明は、ヘッドホルダが可撓性の結合路を介して２つのブロックにエリア分割され、第１のブロックと第２のブロックが所定の間隔を隔てて可撓性の結合路で接続されている。そこで、結合路を挟んだ前後いずれか一方の空間の幅を広げると、結合路が撓んで曲がり、残りの他方の空間は狭くなる。逆に前後いずれか他方の空間の幅を広くすると、結合路が逆方向に撓んで曲がり残りの一方の空間は狭くなる。
結合路は、１本の直線状に形成された弾性部材とするとよく、結合路の撓みは、第２のブロックを基準と考えれば、結合路で支持された第１のブロックが撓み量に応じて振れる（揺動する）関係を造り出す。言い換えれば、第２のブロックが結合路により第１のブロックを首振り可能に支持する構成となる。このような構成を採ることによりこの発明は、ヘッドアッセンブリを軸支するような特別な回動機構でヘッドアッセンブリを支持しなくても済み、第１のブロックにヘッドアッセンブリを固定するだけでヘッドアッセンブリを振れさせてヘッドをトラック横断方向に移動することができる。
【０００７】
ところで、トラック数が数千本／インチ以上にもなると、ヘッドアッセンブリをダイナミックに回動駆動する回動角も小さくなり、ヘッドアッセンブリの１゜以下の振れ、例えば、０．１゜〜０．３゜程度の微小な振れで対応できる。この発明はこの点に着目している。
そこで、この発明は、アクチュエータによって結合路の前あるいは後の空間の幅を変化させて前記結合路を撓ませることでヘッドアッセンブリを首振させる。このとき、首振ブロックは、第１のブロックだけであり、第１のブロックは、実質的にヘッドアッセンブリを固定するだけのブロックであるので、その質量を小さくすることができる。これにより、従来技術の回動部分に対応する首振り部分の質量の低減を図ることができる。
なお、アクチュエータは、第２のブロック側に設けた方が第１のブロックの質量を低減することができるが、アクチュエータの質量が小さいときには第１のブロック側に設けてもよい。
その結果、この発明は、ヘッドアッセンブリの可動部を部材の弾性撓みを利用した首振り機構としているのでその質量が低減してヘッドアッセンブリを高速駆動することができ、ＯＮトラック制御におけるヘッドの応答速度を向上させることができる。そこで、この発明のヘッドアッセンブリ駆動機構あるいはヘッドホルダを有する磁気ヘッドテスターおよび磁気ディスクテスターにあっては、ヘッドを実質的に目的のトラックのセンタあるいはトラック上の所定の位置に高速に精度よくダイナミックに位置決めすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
図１は、この発明のヘッドアッセンブリ駆動機構を適用した一実施例のヘッドホルダの平面図、図２は、その裏面側からみた平面図、図３は、その側面図、図４は、ヘッドホルダをキャリッジ等の支持アームに取付けた状態の側面図、そして、図５は、磁気ヘッドテスターあるいは磁気ディスクテスターにおけるヘッドキャリッジの平面−部分説明図である。
図１〜図４において、１０は、ヘッドアッセンブリ駆動機構であって、１はヘッドホルダであり、このヘッドホルダ１にヘッドアッセンブリ駆動機構１０が設けられている。
ヘッドホルダは、全体として箱形ブロックのＳＵＳ（ステンレススチール）製の１個の角柱素材であり、可撓性の結合路６を介して２つのブロックにエリア分割されている。分割された２つのブロックは、角柱のヘッドアッセンブリ固定ブロック（第１のブロック）２とこのブロックを支持する角柱の支持ブロック（第２のブロック）３である。
ヘッドアッセンブリ固定ブロック２は、図２，図３に示すように下面にヘッドアッセンブリ４を着脱するヘッドクランプ機構９が取付られ、これを介してヘッドアッセンブリ４を支持する。４ａはヘッドであり、４ｂはサスペンションスプリングである。
支持ブロック３は、図２に一部切欠き断面図として示すようにピエゾアクチュエータ５を埋設固定し、ヘッドホルダ支持アーム１１に取付けられるブロックである。
【０００９】
ヘッドアッセンブリ固定ブロック２と支持ブロック３の２つのブロックは、厚さと幅とがほぼ等しく、１ｍｍ程度の所定の間隔を隔てて配置され、平面からみて幅１ｍｍ程度の細い１本の直線状の、撓む結合路（ヘッドアッセンブリ固定ブロック２の支持部）６と、２つのブロックの後端側を接続し、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２が首振り（揺動）できるように支持する湾曲した接続路（ヘッドアッセンブリ固定ブロック２の補助支持部）７とにより結合されている。１ｍｍ幅のＳＵＳ製の結合路６は、弾性体となっている。
なお、図２では、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２の首振り（揺動）についての説明上から、図１の結合路６の部分を横方向に拡大して結合路６と接続路７とを多少誇張し、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２と支持ブロック３との間隔を開けて示してある。下側に双方向矢印で示すのが首振り範囲であり、首振り角は前後０．１゜であるが、それよりも誇張して示してある。接続路７は、その湾曲状態により結合路６の微小な首振り（揺動）を許容する。首振り角を０．１゜程度にすると、サスペンションスプリングの先端側に設けられるヘッドは、ほとんどリニアな状態でトラックを横断することができる。
【００１０】
結合路６と接続路７とは、１つのブロック（角柱素材）から実質的にその中央部分で幅１ｍｍ程度で深さ方向に溝を切って切り出されたものである。この切り出しによりアッセンブリ固定ブロック２と支持ブロック３とが結合路６と接続路７とを挟んで分割されて形成される。結合路６と接続路７の厚さ（深さ）は１０ｍｍであり、これは、ヘッドクランプ機構９の突出部分を除いたヘッドアッセンブリ固定ブロック２の本体と、支持ブロック３本体のそれぞれの厚さに等しい。支持ブロック３がヘッドアッセンブリ固定ブロック２を支持する関係で、ヘッドホルダ１のブロックの厚さは、８ｍｍ〜１２ｍｍ程度で、結合路６の幅は、０．８ｍｍ〜１．５ｍｍ程度から選択するとよい。
結合路６の弾性力の関係から、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２の厚さを１２ｍｍ以上にすると結合路６の幅を０．８ｍｍ以下にできるが、その場合にはヘッドアッセンブリ固定ブロック２の質量が大きくなる。逆に、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２の厚さを８ｍｍ以下にすれば結合路６の幅を１．５ｍｍ以上にして、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２の質量を小さくできるが、結合路２が撓み難くなるのでピエゾアクチュエータ５の力をその分大きくしなければならず、ヘッドの応答速度制御が落ちてくる。
もちろん、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２と支持ブロック３との間を板ばねで結合してもよい。この場合には、結合路２の厚さを０．８ｍｍ以下、例えば、０．５ｍ程度にすることができ、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２の厚さも８ｍｍ以下にすることも可能である。この場合に、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２と支持ブロック３とを板ばねで結合するとよい。それぞれのブロックに結合溝をそれぞれ設けて板ばねの両端を結合溝に差込むことで各ブロックは結合することができる。ただし、板ばね結合の場合には、ヘッドホルダ１と材質が異なる材料となることから、経年変化によりヘッドアッセンブリ固定ブロック２と板ばねとの間にずれが生じ、精度が確保できなくなる問題が残る。
【００１１】
前記したように図２では結合路６の説明の都合上、両ブロックの間隔と湾曲部を多少誇張して示しているが、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２と支持ブロック３の長さは３０ｍｍ前後でほぼ同じ程度であり、結合路６は、ヘッド側の端から長さの１／３程度の位置（１０ｍｍ程度の距離のところ）に設けられている。ピエゾアクチュエータ５がねじ２１を押し出すと、ねじ２１のある空間の幅が膨らんで拡がり、結合路６が反時計方向に撓んでヘッドアッセンブリ固定ブロック２のヘッド側の端の空間の幅が狭まり、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２が反時計方向に振れる。逆に、ピエゾアクチュエータ５がねじ２１を引き込むと、結合路６が時計方向に撓んでねじ２１のある空間の幅が狭まりヘッドアッセンブリ固定ブロック２のヘッド側の端の空間が広がって、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２が時計方向に振れる。
このとき、結合路６は、平面からみて１ｍｍ幅の狭いＳＵＳであるので、ピエゾアクチュエータ５の振動面の進退に応じて結合路６の弾性力に従って撓んで支持ブロック３に対してヘッドアッセンブリ固定ブロック２は、結合路６を基準として首振り状態で支持される。その首振り角は、磁気ディスクのトラック幅を考えれば、ヘッドアッセンブリが０．１程度振れれば十分である。そこで、前記のようにヘッドアッセンブリ固定ブロック２と支持ブロック３との間の前記結合路の両側にある空間のいずれかの間隔は１ｍｍ程度で足りる。
【００１２】
図２に示すように、ピエゾアクチュエータ５は、ヘッドアッセンブリ４が取付けられる先端側に対して結合路６を挟んで反対側の支持ブロック３の後端側に設けらた収納孔８に固定されている。ピエゾアクチュエータ５の固定は、収納孔８に挿着されて固定ブラケット８ａを介して接着等により埋設固定される。
ピエゾアクチュエータ５の進退する駆動面は、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２の対応する位置に螺合埋設されたねじ２１の足部と螺合結合されてヘッドアッセンブリ固定ブロック２と一体化されている。ヘッドアッセンブリ固定ブロック２とねじ２１とは、螺合結合することでピエゾアクチュエータ５の進退する方向については一体となっている。ねじ２１の頭部には摘み２１ａが設けられ、固定ブラケット８ａにはピエゾアクチュエータ５の端子５ａが貫通する孔が設けられ、端子５ａはリード線５ｂを介して駆動信号を受ける。
そこで、ピエゾアクチュエータ５が駆動されると、ねじ２１がそれに応じて進退し、ねじ２１を介して可撓性の結合路６が時計方向、反時計方向へと撓み、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２は、結合路６を首振り中心として図２の図面下側に矢印で示すように左右に首を振る微小な振動（揺動）をする。その結果としてヘッドアッセンブリ４が振れて、その先端側にあるヘッド４ａが磁気ディスク（図示せず）のトラックを横断する方向にダイナミックに微小移動をする。このとき、ピエゾアクチュエータ５には、サーボ信号に応じた電力が駆動回路（図示せず）からリード線５ｂ（図１，図５参照）を介して端子５ａに供給されて駆動される。
【００１３】
ところで、摘み２１ａを回してねじ２１の足（先端側）をピエゾアクチュエータ５側に少し延ばしておくと、図２の点線６ａで示すように結合路６は最初から少し前倒しに撓み、ピエゾアクチュエータ５の振動面とねじ２１の結合力が強くなり、かつ、結合路６の反発力も増加する。そこで、位置摘み２１ａによる調整で適切な弾性力を結合路６に付加できる。この場合には撓んだ６ａの位置を中心としてヘッドアッセンブリ固定ブロック２が首振り運動をすることになる。
接続路７は、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２を支持するとともに結合路６の撓みを元に復元する作用をする。例えば、最初から結合路６を大きく前に撓ませて、結合路６の撓みと接続路７の作用でねじ２１とピエゾアクチュエータ５とが常時強い当接状態にあれば、ピエゾアクチュエータ５の進退する駆動面とねじ２１の先端は必ずしも螺合結合させなくてもよい。
この接続路７は、結合路６の幅と深さ、そしてヘッドアッセンブリ固定ブロック２の重量に応じて設ければよく、ヘッドの首振りに対して必ずしも必要なものではない。また、ねじ２１の摘み２１ａを回すことでピエゾアクチュエータ５の進退駆動面とねじ２１とを密着させてこれらを結合固定させ、さらにこれらの結合長さを調整することでヘッド位置の調整ができる。
【００１４】
図３のヘッドホルダ１０の側面に示すように、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２には、ヘッドアッセンブリ４をヘッドホルダ１に対して着脱するヘッドクランプ機構９が設けられている。これは、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２の下面にねじ等により装着固定される。９ａは、そのヘッドアッセンブリ固定／解除の操作レバーである。
ヘッドアッセンブリ固定／解除の操作レバー９ａは、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２を貫通してヘッドクランプ機構９まで穿孔された矩形孔溝２ａの内部で回動可能に固定されている。その先端側は、矩形孔溝２ａの底部で軸受９ｂにより回動するように支持され、軸受９ｂの下側にさらに伸びた先端突起９ｃが湾曲した板ばね（図示せず）に係合し、板ばねを上から押してその付勢力を解除する。それにより噛み抑えブロック９ｄを図面右側にシフトする。また、板ばねの押しを解除することで板ばねがその付勢力で噛み抑えブロック９ｄを図面左側に引き込み、さらに板ばねの付勢力が噛み抑えブロック９ｄに加えられる。
【００１５】
そこで、ヘッドアッセンブリ固定／解除の操作レバー９ａが点線の位置にあるとき、噛み抑えブロック９ｄが図面右側に移動してヘッドアッセンブリ４の抑えが緩みヘッドアッセンブリ４が開放される。ヘッドアッセンブリ固定／解除の操作レバー９ａが実線の位置にあるときには噛み抑えブロック９ｄが板ばねの力で図面左側に移動してヘッドアッセンブリ４がヘッドクランプ機構９に固定される。
新しいヘッドアッセンブリ４（磁気ヘッド）の取付は、操作レバー９ａを点線の位置にして、ヘッドホルダ１を裏返しにしてヘッドクランプ機構９を上にし、新しいヘッドアッセンブリ４（磁気ヘッド）をヘッドクランプ機構９に取付けて操作レバー９ａを逆に実線の位置に戻すことで行われる。
これにより磁気ヘッドの交換が容易なヘッドホルダが実現される。特に磁気ヘッドテスターにおいてはこれにより検査のスループットを向上させることができる。
【００１６】
図１，図４に示すように、ヘッドホルダ１の支持ブロック３は、支持ブロック３の上面に設けられたねじ孔１２とヘッドホルダ支持アーム１１のヘッドホルダ取付孔１１ａとを介して取付ねじ１３により上部から固定され、ヘッドホルダ１がヘッドホルダ支持アーム１１と一体化される。なお、ねじ孔１２に隣接して位置決めピン１４（図１，図５参照）が支持ブロック３に設けられていて、これらが一体化される際にはこのピン１４が位置決めガイド孔に嵌合する。
これにより、ヘッドホルダ１の取付ねじ１３による取付位置の前側にはヘッドアッセンブリ４およびヘッドクランプ機構３が、そして後側にはピエゾアクチュエータ５とが配置され、これらが重量バランスよく配置される。このことで、ヘッドホルダ１がヘッドホルダ支持アーム１１にバランスがとれた状態で支持され、ヘッドの位置決め精度を向上させることができる。
【００１７】
図５において、１５は、ヘッドキャリッジ（ヘッドキャリッジ機構）であり、１５ａがその移動台、１５ｂが移動台のガイドフレームであり、点線で示す１６が移動台１５ａに設けられたアーム取付台座である。アーム取付台座１６は、位置決めピン１６ａ，１６ｄと、その下の移動台１５ａにまで螺合する取付ねじ１６ｂ，１６ｃとからなる。
１７は検査対象となる磁気ディスクであり、１８はスピンドルである。
ヘッドホルダ支持アーム１１は、位置決めピン１６ａ，１６ｄと取付ねじ１６ｂ，１６ｃと位置に対応してそれぞれ設けられた孔１１ａ〜１１ｃを有し、アーム取付台座１６に載置されて対応する孔１１ａ，１１ｄが位置決めピン１６ａ，１６ｄに装着されて位置決めされ、孔１１ｂ，１１ｃを介して取付けねじ１６ｂ，１６ｃによりアーム取付台座１６を介して移動台１５ａに固定される。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
ところで、前記した実施例では、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２にヘッドクランプ機構９が設けられているが、ヘッドクランプ機構９に換えてねじ等を介して直接ヘッドアッセンブリ４をヘッドアッセンブリ固定ブロック２の下面に固定してもよいことはもちろんである。この発明は、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２に必ずしもヘッドクランプ機構９を設ける必要はない。
また、実施例の接続路７は、前記したように結合路６の幅と厚さ（深さ）、そして首振り側のヘッドアッセンブリ固定ブロックの重量との関係に応じて設ければよく、補助的な支持部である。また、これは、ヘッドアッセンブリ固定ブロック２の首振り動作を許容すればよく、その形状も湾曲したものに限定されるものではない。
さらに、実施例では、ピエゾアクチュエータの駆動面とヘッドアッセンブリ固定ブロックとがねじ２１により一体化されている。しかし、可撓性の結合路が撓み、その戻り力があるので、ピエゾアクチュエータの駆動面とねじ２１とを必ずしも一体化する必要はない。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、この発明のヘッドアッセンブリ駆動機構を適用した一実施例のヘッドホルダの平面図である。
【図２】図２は、その裏面側からみた平面図である。
【図３】図３は、その側面図である。
【図４】図４は、ヘッドホルダをキャリッジ等の支持アームに取付けた状態の側面図である。
【図５】図５は、磁気ヘッドテスターあるいは磁気ディスクテスターにおけるヘッドキャリッジの平面−部分説明図である。
【符号の説明】
【００２０】
１…ヘッドホルダ、２…ヘッドアッセンブリ固定ブロック、
３…支持ブロック、４…ヘッドアッセンブリ、
４ａ…ヘッド、４ｂ…サスペンションスプリング、
５…ピエゾアクチュエータ、６…結合路、
７…接続路、８…収納孔、８ａ…固定ブラケット、
９…ヘッドクランプ機構、
９ａ…ヘッドアッセンブリ固定／解除の操作レバー
１０…ヘッドアッセンブリ駆動機構、
１１…ヘッドホルダ支持アーム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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