Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１枚の板紙に、表示板（１０）と、前記表示板（１０）の下端の折線（１１０）を介して連設される挿入片（３０）と、前記挿入片（３０）の下端の折線（２０３）を介して連設される水平板（２４）と、前記水平板（２４）の下端の折線（２０２）を介して連設される脚立て（２０）とを備えて、前記表示板（１０）は下端に後記脚立て（２０）の差込部（２１）に挿入できる１対の切欠き（１１）が設けられ、前記挿入片（３０）は上端に前記表示板（１０）の前記各切欠き（１１）に連通して後記脚立て（２０）の差込部（２１）に挿入できる１対の切欠き（３１）が設けられ、脚立て（２０）は、前記水平板（２４）の下端の折線（２０２）に連設した連結部（２３）を介して対向する１対の折線（２０１）によって直立できるように折り曲げ可能にした１対の足部（２２）が設けられると共に、前記各足部（２２）の上端（２１２）に、各差込部（２１）が設けられてなり、前記各足部（２２）を直立できるように各折線（２０１）を折り曲げたのち、前記上端（２１２）の前記各差込部（２１）に、前記表示板（１０）の前記各切欠き（１１）と、前記挿入片（３０）を前記折線（１１０）を介して折り曲げて前記表示板（１０）に当接させると共に、前記水平板（２４）を前記折線（２０３）と前記折線（２０２）とを介して水平にしたときの前記挿入片（３０）の前記各切欠き（３１）とを差し入れて前記表示板（１０）を前記脚立て（２０）に固定し前記表示板（１０）を立てることができるようにしたことを特徴とした紙製表示用パネル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、１枚の板紙に、表示板と、前記表示板を立てる脚立てとを備えた紙製表示用パネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の上記紙製表示用パネルは、表示板に脚立てを貼着して折り畳めるようにしたものが多く、かなりの製作の手間を要し高価につく欠点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、切り込んだ一枚の板紙を商品として販売でき、販売者は勿論、ユーザーは貼り加工することなく、直ちに組み立てられる紙製表示用パネルを提供するものである。
また、本発明は、運搬、保管が便利で製作が極めて安価につく紙製表示板用パネルを提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明紙製表示用パネルは、上記課題を達成するために、図示するように、１枚の板紙に、表示板１０と、前記表示板１０の下端の折線１１０を介して連設される挿入片３０と、前記挿入片３０の下端の折線２０３を介して連設される水平板２４と、前記水平板２４の下端の折線２０２を介して連設される脚立て２０とを備えて、前記表示板１０は下端に後記脚立て２０の差込部２１に挿入できる１対の切欠き１１が設けられ、前記挿入片３０は上端に前記表示板１０の前記各切欠き１１に連通して後記脚立て２０の差込部２１に挿入できる１対の切欠き３１が設けられ、脚立て２０は、前記水平板２４の下端の折線２０２に連設した連結部２３を介して対向する１対の折線２０１によって直立できるように折り曲げ可能にした１対の足部２２が設けられると共に、前記各足部２２の上端２１２に、各差込部２１が設けられてなり、前記各足部２２を直立できるように各折線２０１を折り曲げたのち、前記上端２１２の前記各差込部２１に、前記表示板１０の前記各切欠き１１と、前記挿入片３０を前記折線１１０を介して折り曲げて前記表示板１０に当接させると共に、前記水平板２４を前記折線２０３と前記折線２０２とを介して水平にしたときの前記挿入片３０の前記各切欠き３１とを差し入れて前記表示板１０を前記脚立て２０に固定し前記表示板１０を立てることができるようにしたものである。 
本発明において、表示板１０と挿入片３０との間の折線が、両端に僅少の連続部分を残した切線からなる折線１１０の場合と、表示板１０と挿入片３０との間の折線が全部が連続部分の折線１１０Ｂの場合がある。
【０００５】
【発明の実施の形態１】
本発明の実施の形態１が図１乃至図４に示されている。
本実施例の紙製表示用パネルは、図３に示すように、１枚の板紙に形成した、表示板１０と脚立て２０と挿入片３０と水平板２４とを備えている。
表示板１０は、下端に後記脚立て２０の１対の足部２２の各差込部２１に挿入できる１対の切欠き１１が設けられると共に、両端に僅少の連続部分を残した切線からなる折線１１０を介して挿入片３０に連設している。
挿入片３０は、下端に後記脚立て２０の１対の足部２２の各差込部２１に挿入できると共に、表示板１０の各切欠き１１に連通する１対の切欠き３１が設けられている。また、挿入片３０は、下端の折線２０３を介して水平板２４に連設している。
水平板２４は、下端の折線２０２を介して脚立て２０の連結部２３に連設している。
脚立て２０は、連結部２３を介して対向する１対の折線２０１によって直立できるように折り曲げ可能にした１対の足部２２が設けられると共に、各足部２２の上端２１２には、アール２１１付きの差込部２１が設けられている。
従つて、脚立て２０の各足部２２の各折線２０１を直角に折り曲げて直立させたのち、上端２１２の各差込部２１に、表示板１０の各切欠き１１と、挿入片３０を折線１１０を介して折り曲げて表示板１１に当接させると共に、水平板２４を折線２０３と折線２０２とを介して水平にしたときの各切欠き３１とを差し入れて、表示板１０に脚立て２０を固定し、表示板１０を立てることになる。
【０００６】
【発明の実施の形態２】
本発明の実施の形態２が図５及び図６に示されている。
本実施例では、発明の実施の形態１の表示板１０の下端に、両端に僅少の連続部分を残した切線からなる折線１１０を設ける代わりに、全部が連続部分からなる折線１１０Ｂを設けて表示板１０に挿入片３０が連設している以外は、発明の実施の形態１と同様な構成及び作用であるので、詳細説明は省略する。
【０００７】
【発明の効果】
本発明の紙製表示用パネルは、一枚の板紙を切り込んで製作できるので、貼り加工なしで、迅速容易に組み立ててできる。  
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態を示す正面からみた斜視図である。
【図２】  本発明の実施の形態を示す裏面からみた斜視図である。
【図３】  図１の展開図である。
【図４】  図１の部分説明図である。
【図５】  本発明の別の実施の形態を示す展開図である。
【図６】  図５の部分説明図である。
【符号の説明】
１０      表示板
１１      挿入用切欠き
１１０    僅少の連続部分を残した切線からなる折線
１１０Ｂ  折線
２０      脚立て
２０２、２０３    折線
２１      差込部
２１２    差込部上端
２２ 足部
２３ 連結部
２４      水平板
３０      挿入片
３１      挿入用切欠き
【図１】
0004510168.tif 000002
【図２】
0004510168.tif 000003
【図３】
0004510168.tif 000004
【図４】
0004510168.tif 000005
【図５】
0004510168.tif 000006
【図６】
0004510168.tif 000007
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
棒状芯材の長さ方向に所定間隔にバンド状金具が取付けてあり、前記棒状心材は防蟻処理と防腐処理がなされた間伐材、集成材、合板材または格子状組立材から形成され、かつソイルセメント柱内に埋設されており、前記バンド状金具は、上下棒状芯材の継手金具として取り付けられ、かつ当該バンド状金具の外面に放射状をなす複数の抵抗翼が突設されてなることを特徴とするソイルセメント複合杭。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は芯材を有するソイルセメント複合杭。主として住宅基礎等、比較的荷重の小さい構造物の小基礎に用いられるソイルセメント複合杭に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
常水位以下の地盤において木杭は古く使用されていた。そしてこの木杭をセメント系固化材に埋設する方法が提案されている。
【０００３】
【特許文献１】特公平０８−０６３１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この発明は前記発明を改良、発展させて芯材として木材のみならず、その他集成材等も利用でき、施工性を向上し、かつ低価格で提供できる比較的小規模建物に使用できる構造を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明は棒状芯材の長さ方向に所定間隔にバンド状金具が取付けてあり、バンド状金具の外面には複数の抵抗翼が突設してあり、棒状芯材はソイルセメント柱内に埋設してある。その棒状芯材は一例として木質材、例えば間伐材等の単材、集成材、積層材で、防腐処理、防蟻処理したものが使用される。
【０００６】
また、格子状組立材、その他鋼材の組立材、集成材、木質材と鉄板を組合わせた等も使用できる。
【発明の効果】
【０００７】
この発明は以上の構成からなり、棒状芯材に従来の鋼管、コンクリート材等を使用することなく、木質材、集成材が使用され、バンド状金物を一定間隔に取付け、かつ抵抗翼を設けることにより、ソイルセメントと芯材の付着を確実にできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
棒状芯材の長さ方向に所定間隔にバンド状金具が取付けてあり、前記バンド状金具の外面に抵抗翼が突設されており、棒状心材はソイルセメント柱内に埋設してある。
【実施例】
【０００９】
図面はこの発明の概要を示した立面図である。１は棒状芯材を示し、その棒状芯材１には上下所要間隔にバンド状金具２が固着され、このバンド状金具２の表面には放射状をなし複数の抵抗板３が突設されている。なお、バンド状金具はビス等によって棒状芯材に固定される。
【００１０】
また、バンド状金具３は巾広のものを使用すれば上下棒状芯材１，１の継手金具として使用できる。この棒状芯材１はソイルセメント柱４内に埋設されている。棒状芯材１は主として木質材が使用され、防腐、防蟻処理したものが使用される。
【００１１】
前記木質材としては間伐材、集成材、合板材等が使用される。その他棒状芯材として、形鋼等の組合せ部材とすることができ、さらには木質材と鋼材を複合して構成することもできる。
【産業上の利用可能性】
【００１２】
この発明は従来の鋼管、コンクリート杭等より低価格のものが望ましい。また構造が簡単で施工性のよいものが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】この発明の実施例の立面図である。
【図２】バンド状金具の平面図である。
【図３】要部の横断面図である。
【符号の説明】
【００１４】
１…棒状芯材
２…バンド状金具
３…抵抗翼
４…ソイルセメント柱
【図１】
0004566138.tif 000002
【図２】
0004566138.tif 000003
【図３】
0004566138.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）イオン注入装置内部のパーティクルにプラスの電荷をもったイオンを照射し、前記パーティクルにプラスの電荷を与え、
（ｂ）前記プラスの電荷が与えられたパーティクルをマイナス電位を与えたウエハで捕獲することを特徴とするパーティクル除去方法。
【請求項２】
（ａ）イオン注入装置内部のパーティクルにプラスの電荷をもったイオンを照射し、前記パーティクルにプラスの電荷を与える手段と、
（ｂ）前記プラスの電荷が与えられたパーティクルをマイナス電位を与えたウエハで捕獲する手段とを具備することを特徴とするパーティクル除去装置。
【請求項３】
請求項２記載のパーティクル除去装置において、前記パーティクルを捕獲する手段は、静電チャックを有するウエハを具備することを特徴とするパーティクル除去装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、イオン注入装置のパーティクル除去方法及びその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、イオン注入装置内部で発生したパーティクル（浮遊塵埃）を除去するには、チャンバー内を大気解放し、アルコール等による清掃又はＮ2 ガス等によるサイクルパージを実施しなければならなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、チャンバーを大気解放すると真空回復に時間がかかってしまい装置のダウンタイムが大きくなってしまう。また、クライオポンプ等に負荷がかかり再生、交換周期が短くなってしまう。
本発明は、このような従来の問題を除去し、簡単にイオン注入装置のパーティクルを除去することができるイオン注入装置のパーティクル除去方法及びその装置を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
〔１〕パーティクル除去方法において、イオン注入装置内部のパーティクルにプラスの電荷をもったイオンを照射し、前記パーティクルにプラスの電荷を与え、前記プラスの電荷が与えられたパーティクルをマイナス電位を与えたウエハで捕獲することを特徴とする。
【０００５】
〔２〕パーティクル除去装置において、イオン注入装置内部のパーティクルにプラスの電荷をもったイオンを照射し、前記パーティクルにプラスの電荷を与える手段と、前記プラスの電荷が与えられたパーティクルをマイナス電位を与えたウエハで捕獲する手段とを具備することを特徴とする。
〔３〕上記〔２〕記載のパーティクル除去装置において、前記パーティクルを捕獲する手段は、静電チャックを有するウエハを具備することを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の第１実施例を示すイオン注入装置におけるパーティクルの除去工程図であり、図１（ａ）はその第１工程を示す図、図１（ｂ）はその第２工程を示す図である。
【０００７】
まず、図１（ａ）に示すように、イオン注入装置１のイオン発生源（図示なし）より、プラスの電荷を持ったイオン２（Ｂ+ ビーム）にエネルギーを与え、ウエハ３に照射する。その時、途中でパーティクル４があると、イオン２がパーティクル４と衝突して、パーティクル４はプラスの電荷を帯びる。
そこで、そのプラスの電荷を帯びたパーティクル４′を捕獲するために、図１（ｂ）に示すように、クランプ６をマイナスの電位にする。
【０００８】
なお、５はウエハ３が保持されるステージである。
また、図２に示すように、ウエハとして、ウエハ形状をもつアルミナ基板１１等の絶縁物の上にアルミニウム等のメタル膜１２を形成し、その上に酸化膜１３を生成後、クランプ１４が接触する場所のみ酸化膜１３をエッチングしたものを使用することも可能である。この場合は、酸化膜１３がコンデンサの役割も果たし、プラスの電荷を帯びたパーティクル４′（図１（ｂ）参照）を捕獲することができる。
【０００９】
更に、静電チャックを使用してウエハを固定し、図３に示すように、Ｓｉ基板等の導電性の基板２１上に酸化膜２２を形成したウエハを使用することも可能である。この場合は、プラスの電荷を帯びたパーティクル４′（図１（ｂ）参照）を酸化膜２２中に捕獲することができる。酸化膜２２が汚れた場合は、酸化膜２２をＨＦ液にて汚れを除去し、再度酸化膜の生成が可能である。
【００１０】
図４は本発明の第２実施例を示すイオン注入装置におけるパーティクルの除去工程図であり、図４（ａ）はその第１工程を示す図、図４（ｂ）はその第２工程を示す図である。
まず、図４（ａ）に示すように、イオン注入装置３１のフィラメント３２より発生した熱電子（−）３５はアパーチャ３３にプラスの電位を与えることで加速させる。その加速された電子はターゲット３４に到達する。その時、パーティクル３６が存在すると、熱電子（−）３５が衝突してパーティクル３６はマイナスの電荷を帯びる。
【００１１】
そこで、図４（ｂ）に示すように、マイナスの電荷を帯びたパーティクル３６′を捕獲するために、クランプ３９をプラスの電位にする。
なお、３８はウエハ３７が保持されるステージであり、電子の発生方法としては、Ａｒガスで電子を引き出す方法がある。静電チャックを持っている場合は、ウエハに接触する電極にプラスを印加するようにすることができる。
【００１２】
また、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【００１３】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、イオン注入装置におけるパーティクルを内部清掃（大気解放）することなしに、除去することができる。
また、イオンビームを用いる装置に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例を示すイオン注入装置におけるパーティクルの除去工程図である。
【図２】  本発明の実施例を示すパーティクルの除去の説明図（その１）である。
【図３】  本発明の実施例を示すパーティクルの除去の説明図（その２）である。
【図４】  本発明の第２実施例を示すイオン注入装置におけるパーティクルの除去工程図である。
【符号の説明】
１，３１    イオン注入装置
２    イオン（Ｂ+ ビーム）
３，３７    ウエハ
４，３６    パーティクル（浮遊塵埃）
４′    プラスの電荷を帯びたパーティクル
５，３８    ステージ
６，１４，３９    クランプ
１１    ウエハ形状をもつアルミナ基板
１２    メタル膜
１３，２２    酸化膜
２１    Ｓｉ基板等の導電性の基板
３２    フィラメント
３３    アパーチャ
３４    ターゲット
３５    熱電子（−）
３６′    マイナスの電荷を帯びたパーティクル
【図１】
0004566382.tif 000002
【図２】
0004566382.tif 000003
【図３】
0004566382.tif 000004
【図４】
0004566382.tif 000005