(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波振動子を内蔵し、この超音波振動子の振動輻射面に接する液室を有してこの液室に連通する液体供給口とノズルと排気口とを有するケーシングと、
前記超音波振動子を駆動して超音波振動させる超音波発振回路と、
を備え、前記液体供給口から前記液室に供給した液体に前記超音波振動子による超音波振動を重畳して前記ノズルから噴出させるようにした液体噴射装置において、
超音波振動中の前記超音波振動子の抵抗成分を測定する抵抗成分測定回路と、
前記超音波振動子を超音波振動させて前記液室内の液体に超音波振動を重畳させる今回の実際の作業工程に先立って、前記排気口と外部との間に介在する電磁バルブの駆動回路を開閉制御して前記電磁バルブを開放動作させ、前記液室の最下位置に位置する前記ノズルから当該液室内の液体を排出させる手段と、
前記超音波振動子を超音波振動させて前記液室内の液体に超音波振動を重畳させる今回の実際の作業工程に先立って、前記液体供給口を介して前記液室に液体を供給する給液機構の駆動回路を制御して前記液室に液体を供給した状態で前記超音波振動子を駆動し、その抵抗成分の測定値を前記抵抗成分測定回路で測定する手段と、
前記超音波振動子を超音波振動させて前記液室内の液体に超音波振動を重畳させる今回の実際の作業工程に先立って、前記液室に液体が供給されていない状態で前記超音波振動子を駆動してその抵抗成分の測定値を前記抵抗成分測定回路で測定し、その測定値を前記液室に液体を供給した状態で測定した前記駆動中の前記超音波振動子の抵抗成分の測定値と比較し、前記超音波振動子の評価データを求める手段と、
を備える、液体噴射装置。
【請求項２】
前記液室に液体が供給されていない状態で前記抵抗成分測定回路による超音波振動子の抵抗成分の測定値を求める場合には、前記超音波振動子に対する前記超音波発振回路による駆動パワーを通常使用時における駆動パワーよりも低く設定する、請求項１記載の液体噴射装置。
【請求項３】
前記液室に液体が供給されている状態での前記抵抗成分測定回路による超音波振動子の抵抗成分の測定値を取り込んで記憶部に記憶保存する手段を備え、
前記液室に液体が供給されている状態での前記抵抗成分測定回路による超音波振動子の抵抗成分の測定値は、前記記憶部に記憶保存されている測定値を用いる、
請求項１又は２記載の液体噴射装置。
【請求項４】
前記求めた評価データの値を予め決められている評価データの最低基準と比較し、前記評価データの値が前記最低基準に満たない場合には報知装置に警報を出力させる手段を更に備える、請求項１ないし３のいずれか一記載の液体噴射装置。
【請求項５】
前記求めた評価データの値を予め決められている評価データの最低基準と比較し、前記評価データの値が前記最低基準に満たない場合には前記超音波振動子を超音波振動させない手段を更に備える、請求項１ないし３のいずれか一記載の液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波振動を重畳させたクーラントなどの液体を、対象物に向けて噴出させてこの液体に重畳する超音波振動エネルギーにより超音波洗浄をしたり、精密研削、精密切削及び放電加工などの精密機械加工における加工性能を向上させたりする液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の超音波振動重畳クーラントによる研削加工装置として、例えば、特許文献１にその一例が示されている。図５は、そのような研削加工装置の構成を示す縦断側面図である。研削加工装置は、液体噴射装置を構成するノズル装置１と回転研削砥石２とからなり、工作物３を研削加工する。ノズル装置１のケーシング４には、ディスク状の超音波振動子５が水密的に内蔵されており、液体供給口６より矢印の方向に流入したクーラントなどの加工液は、回転する研削砥石２による工作物３の研削点８に向かってノズル７から噴出する。そこで、図示しない超音波発振器より超音波振動子５にメガヘルツ帯域の超音波電力を印加すると、ケーシング４内の加工液に超音波振動が輻射されてノズル７より超音波振動エネルギーが重畳した加工液が噴出する。これにより、クーラント液使用量の低減、加工面性状の向上、工具磨耗の抑制、研削抵抗の低減、加工能率の向上などの効果が現われる。
【０００３】
図５に例示するような液体噴射装置では、超音波振動子が液体と非接触状態になると無負荷となり、異常に強く振動したり異常発熱したりしてしまう。超音波振動子は、そのような異常な強振動や異常発熱によって劣化し、最終的には破損してしまう。そこで、従来、超音波振動子への印加電圧や流入電流をモニターすることで、ケーシング内に充分に液体が充満したことを確認した後、超音波振動子に超音波電力を印加するようなことが行なわれている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３５１５９９公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
超音波振動子は、誤った使い方、すなわち液体が十分に供給されないまま駆動されることがあるとその使用によって劣化し、電気機械変換効率等が低下してしまう。こうなると、超音波振動子に入力される電力のうち、超音波振動として噴射液に重畳されるエネルギーの比率が少なくなり、超音波振動の重畳効果が減少していくことになる。例えば、超音波振動子の電気機械変換効率が５０％に劣化しているとすると、超音波振動子に入力された電力のうちの１／２しか超音波振動エネルギーとして出力されず、残りの１／２のエネルギーは超音波振動子の中で消費されてしまう。
【０００６】
このようなことから、超音波振動子の電気機械変換効率等について、その性能評価を行なって管理することが望ましい。
【０００７】
本発明の目的は、超音波振動子の電気機械変換効率等の評価値を容易に管理できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体噴射装置は、超音波振動子を内蔵し、この超音波振動子の振動輻射面に接する液室を有してこの液室に連通する液体供給口とノズルと排気口とを有するケーシングと、前記超音波振動子を駆動して超音波振動させる超音波発振回路と、を備え、前記液体供給口から前記液室に供給した液体に前記超音波振動子による超音波振動を重畳して前記ノズルから噴出させるようにした液体噴射装置において、超音波振動中の前記超音波振動子の抵抗成分を測定する抵抗成分測定回路を備え、前記超音波振動子を超音波振動させて前記液室内の液体に超音波振動を重畳させる今回の実際の作業工程に先立って、（１）前記排気口と外部との間に介在する電磁バルブの駆動回路を開閉制御して前記電磁バルブを開放動作させ、前記液室の最下位置に位置する前記ノズルから当該液室内の液体を排出させ、（２）前記液体供給口を介して前記液室に液体を供給する給液機構の駆動回路を制御して前記液室に液体を供給した状態で前記超音波振動子を駆動し、その抵抗成分の測定値を前記抵抗成分測定回路で測定し、（３）前記液室に液体が供給されていない状態で前記超音波振動子を駆動してその抵抗成分の測定値を前記抵抗成分測定回路で測定し、その測定値を前記液室に液体を供給した状態で測定した前記駆動中の前記超音波振動子の抵抗成分の測定値と比較し、前記超音波振動子の評価データを求める。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、液室内に液体を供給して超音波振動子を超音波振動させて液室内の液体に超音波振動を重畳させる今回の実際の作業工程に先立ち、液室に液体が供給されていない状態と供給されている状態とでの抵抗成分測定回路による超音波振動子の抵抗成分の測定値を比較し、超音波振動子の評価データを求めるようにしたので、超音波振動子の評価値を容易に管理することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の、クーラントによる加工装置としての実施の一形態を図１ないし図４に基づいて説明する。
【００１１】
図１は、液体噴射装置１０１の縦断側面図である。液体噴射装置１０１は、ケーシング１０２に各種構成物が付加されて構成されている。ケーシング１０２は、ノズル部１０３と、振動子保持部１０４と、蓋部１０５とからなる３ピース構成をしている。振動子保持部１０４は、円筒状をしており、その一端１０４ａには中空円錐状のノズル部１０３が接合固定され、その他端１０４ｂには蓋部１０５が接合固定されている。
【００１２】
振動子保持部１０４は、その内部空間に段部１０４ｃを有し、一端１０４ａ側の内部直径が他端１０４ｂ側の内部直径よりも小径に形成されている。そして、振動子保持部１０４の大径に形成されている内部空間には、段部１０４ｃの部分に超音波振動子１０６が固定的に取り付けられている。
【００１３】
ノズル部１０３は、振動子保持部１０４の内部空間に連通する円錐形状の内部空間を有し、先端部が開口してノズル１０７となっている。ノズル部１０３と振動子保持部１０４とによって規定されるノズル１０７から超音波振動子１０６に至る空間は、液体としてのクーラント２０１（図２参照）が供給される液室１０８を構成している。前述した超音波振動子１０６は、その振動輻射面１０６ａが液室１０８に接面するように配置されている。また、振動子保持部１０４には、液室１０８にクーラント２０１を供給するための液体供給口１０９と、液室１０８から排気するため及び排液するための吸気を兼ねる排気口１１０とが形成されている。図１中、液体供給口１０９は破線で示している。
【００１４】
超音波振動子１０６には、後述する超音波発振回路３０１（図３参照）から延出するリード線１１１が接続されている。蓋部１０５には、そのリード線１１１を挿通させるための挿通孔１１２が形成されている。
【００１５】
更に、ケーシング１０２には、液室１０８内において、ノズル部１０３のノズル１０７の領域と振動子保持部１０４の超音波振動子１０６の近傍領域とを連通させるバイパスチューブ１１３が取り付けられている。バイパスチューブ１１３は、ノズル１０７の部分に取り付けられて内外を連通させる第１のパイプ１１４に一端が差し込まれ、振動子保持部１０４に取り付けられて内外を連通させるジョイント１１５に設けられた第２のパイプ１１６に他端が差し込まれている。ジョイント１１５は、液室１０８に連通する前述した排気口１１０に連通しており、第２のパイプ１１６に連通する経路とは分岐する別の経路を有している。当該別の経路は、第３のパイプ１１７に連通している。第３のパイプ１１７は、吸気用配管１１８を介して後述するバイパスバルブ１１９（図２参照）に接続され、バイパスバルブ１１９を介して外部に連通している。バイパスバルブ１１９は、通電によって内蔵する弁（図示せず）を開閉する電磁バルブである。
【００１６】
図２は、液体噴射装置１０１を含む液体噴射システムの側面図である。液体噴射装置１０１は、クーラント２０１を収容するタンク２０２と給液用配管２０３を介して連結されている。給液用配管２０３には、給液ポンプ２０４が介在配置されている。給液ポンプ２０４は、電動ポンプであり、電力供給されることによってタンク２０２からクーラント２０１を吸引動作し、吸引したクーラント２０１を液体噴射装置１０１に供給する。
【００１７】
また、給液用配管２０３には、給液ポンプ２０４の下流側に位置させて、流量センサ２０５と給液バルブ２０６とが配設されている。流量センサ２０５は、給液ポンプ２０４によって吸い上げられて給液用配管２０３を流通するクーラント２０１の流量を検出するセンサである。給液バルブ２０６は、通電によって内蔵する弁（図示せず）を開閉する電磁バルブである。これらの流量センサ２０５及び給液バルブ２０６は、前述したバイパスバルブ１１９と共に、後述するマイクロコンピュータ３０２に接続されている。
【００１８】
図３は、各部の電気的接続を示すブロック図である。本実施の形態の液体噴射システムは、マイクロコンピュータ３０２を有している。マイクロコンピュータ３０２は、各種演算処理を実行して各部を集中的に制御するＣＰＵ３０３に、ＲＯＭ３０４、ＲＡＭ３０５及び不揮発性メモリ３０６がバス接続されて構成されている。ＲＯＭ３０４は、ＢＩＯＳ領域とプログラム領域とを有し、固定データを固定的に記憶している。プログラム領域には、各種のシーケンスをＣＰＵ３０３に実行させるプログラムコードがファームウエア構成で記録されている。ＲＡＭ３０５は、可変データを書き換え自在に記憶しており、ワークエリアとして用いられる。不揮発性メモリ３０６は、データを書き換え自在に記憶し、その記憶データを給電なしに保持できるメモリである。不揮発性メモリ３０６としては、ＥＥＰＲＯＭやバックアップＲＡＭ等が用いられる。
【００１９】
ＣＰＵ３０３には、さらに、インプットアウトプット（Ｉ／Ｏ）３０７とインターフェース（Ｉ／Ｆ）３０８とが接続されている。Ｉ／Ｏ３０７には、表示デバイス３０９及び入力デバイス３１０が接続されている。そして、入力デバイス３１０には、液体噴射装置１０１から噴出するクーラントに超音波振動を重畳する指令を出すオペレーションスイッチ（OPERATION SW）が接続されている。Ｉ／Ｆ３０８には、前述した超音波発振回路３０１の他、電動ポンプ駆動回路３１１、センシング回路３１２及び電磁弁駆動回路３１３が接続されている。
【００２０】
メインスイッチ（Main SW）は、本液体噴射システムへの給電を制御すると共に、マイクロコンピュータ３０２やその他のすべての各部に対する給電をも制御する。つまり、メインスイッチ（Main SW）がＯＮになると、本実施の形態の液体噴射システムが起動する。ただし、バイパスバルブ１１９とその制御回路のみは別の補助電源により給電されている。
【００２１】
超音波発振回路３０１は、超音波振動中の超音波振動子１０６の抵抗成分、より詳細にはインピーダンスを測定する抵抗成分測定回路（図示せず）を内蔵している。この抵抗成分測定回路は、超音波振動中の超音波振動子１０６のインピーダンスを測定する周知の回路であるので、その説明は省略する。ここで重要なことは、ＣＰＵ３０３は、液室１０８にクーラント２０１が充満している状態で超音波発振回路３０１によって超音波駆動されている超音波振動子１０６のインピーダンス、つまり負荷インピーダンスを抵抗成分測定回路によって測定させ、その結果である負荷インピーダンスの値を不揮発性メモリ３０６に記憶保存している、ということである。この際、ＣＰＵ３０３は、超音波振動子１０６の超音波振動動作中、予め決められている周期で超音波振動子１０６の負荷インピーダンスを抵抗成分測定回路によって測定させ、その値を不揮発性メモリ３０６に更新記憶させる。したがって、不揮発性メモリ３０６には、超音波振動動作中である超音波振動子１０６の最新の負荷インピーダンスが不揮発的に記憶保存されていることになる。
【００２２】
電動ポンプ駆動回路３１１は、ＣＰＵ３０３からの指示に応じて給液ポンプ２０４を駆動する回路である。
【００２３】
センシング回路３１２は、流量センサ２０５（図３中、Ｓで示す）からのセンシング値を取り込み、ＣＰＵ３０３に通知する回路である。
【００２４】
電磁弁駆動回路３１３は、ＣＰＵ３０３からの指示に応じてバイパスバルブ１１９（図３中、Ｖ１で示す）及び給液バルブ２０６（図３中、Ｖ２で示す）を駆動する回路である。
【００２５】
このような構成において、給液ポンプ２０４を動作させてタンク２０２から吸引したクーラント２０１は、給液バルブ２０６が開かれることによって液体噴射装置１０１に供給される。つまり、クーラント２０１は、ケーシング１０２の液体供給口１０９から液室１０８に導入される。この意味で、給液ポンプ２０４及び給液バルブ２０６は、液体供給口１０９を介して液室１０８にクーラント２０１を供給する給液機構を構成し、給液ポンプ２０４を駆動するための電動ポンプ駆動回路３１１及び給液バルブ２０６を駆動するための電磁弁駆動回路３１３は、そのような給液機構の駆動回路を構成することになる。
【００２６】
液体噴射装置１０１の液室１０８に導入されたクーラント２０１は、液室１０８内を充満してノズル１０７より噴出する。ここでもしバイパスチューブ１１３によるバイパス経路が存在しないと仮定すると、クーラント２０１が流入する以前に液室１０８内にあったエアーの一部は、エアーの浮力によって液室１０８内の上部にエアー溜まり（図示せず）を発生する。これに対して、バイパスチューブ１１３を設けてバイパス経路を形成すると、エアー溜りのエアーはバイパスチューブ１１３を通して第１のパイプ１１４に向かって吸引されてノズル１０７より噴出するクーラント２０１と共に放出される。これは、液室１０８に連通する排気口１１０内の圧力が、液室１０８内と同じ圧力で大気圧より高いのに対して、ノズル１０７の付近においては、ノズル１０７を高速で流れる液流のために第１のパイプ１１４内の圧力が低下するからである。こうしてエアー溜りが消滅すると、液室１０８内にはクーラント２０１が充満する。すると、バイパスチューブ１１３にはエアーに代わってクーラント２０１が流れ始める。この際、排気口１１０、バイパスチューブ１１３及び第１のパイプ１１４の流体抵抗は、エアーの場合より液体の場合のほうが著しく大きいため、クーラント２０１は極僅かにバイパスチューブ１１３内を移動するのみで、バイパス経路によるクーラント２０１の流出損失は殆ど発生しない。
【００２７】
それまでクーラント２０１が注入されているときの超音波振動子１０６のインピーダンスを測定していた抵抗成分測定回路からの信号によって、超音波振動子１０６が充分に負荷されたことを検出すると、ＣＰＵ３０３は、液室１０８内にクーラント２０１が充満したと判断してレディ（Ready）信号を表示デバイス３０９より発生する。それを見てオペレーションスイッチ（OPERATION SW）を外部よりＯＮにすると、その信号を受け取ったＣＰＵ３０３は、超音波振動子１０６に超音波電力を印加するように超音波発振回路３０１に駆動信号を付与する。すると、超音波発振回路３０１による超音波電力は超音波振動子１０６により機械的な振動に変換され、発生した超音波振動子１０６の超音波振動は、超音波振動子１０６の振動輻射面１０６ａに接する液室１０８内のクーラント２０１に輻射され、ノズル１０７の方向に伝達されて噴出するクーラント２０１に重畳される。
【００２８】
図４は、各イベントのタイミングを示すタイミングチャートである。以下、図４に示すタイミングチャートを参照しながら、本実施の形態の液体噴射システムの作用効果をより詳細に説明する。先ず、本液体噴射システムの電源が、メインスイッチ（Main SW）によりONにされると、本実施の形態の液体噴射システムが起動する。システムの起動時、ＣＰＵ３０３は、作業に先立ち、電動ポンプ駆動回路３１１に駆動信号を付与して給液ポンプ２０４を駆動し、タンク２０２からクーラント２０１を吸引した状態にしておく（図４（Ａ）参照）。ＣＰＵ３０３は、電磁弁駆動回路３１３に対して駆動信号を付与せず、したがって、バイパスバルブ１１９が閉じられ（図４（Ｂ）参照）、給液バルブ２０６も閉じられた状態を維持している（図４（Ｄ）参照）。これにより、液体噴射装置１０１の液室１０８には、未だにクーラント２０１が供給されていない。しかも、液室１０８にはクーラント２０１が全くない状態となっている。これは、前回の作業終了時に、給液バルブ２０６を閉じた状態でバイパスバルブ１１９を一定時間開くことで、吸気用配管１１８を介して液室１０８内にエアーを取り込み、液室１０８内のクーラント２０１をノズル１０７から排出させているからである。
【００２９】
その状況の下で、ＣＰＵ３０３は、超音波振動子１０６に対する超音波発振回路３０１の駆動パワーを、通常使用時よりも弱い駆動パワーに設定して駆動し、超音波振動子１０６には僅かな超音波振動が生ずる。具体的には、通常使用時の１／１００〜１／１０００程度の駆動パワーに設定されていることが望ましい。超音波振動子１０６がいわゆる空焚き状態となっているので、強い駆動パワーで駆動すると劣化が進み、場合によっては破損してしまうからである。
【００３０】
その後、ＣＰＵ３０３は、超音波発振回路３０１に対して、抵抗成分測定回路によるインピーダンスの測定指示を与え、超音波発振回路３０１から無負荷インピーダンスの測定値を得る（図４（Ｃ）参照）。この際、重要なことは、液体噴射装置１０１の液室１０８には未だクーラント２０１が供給されておらず、したがって、抵抗成分測定回路が測定する超音波振動子１０６のインピーダンスは、無負荷インピーダンスであるということである。
【００３１】
超音波振動子１０６の無負荷インピーダンスの値を得たＣＰＵ３０３は、これを不揮発性メモリ３０６に記憶保存している超音波振動子１０６の負荷インピーダンスの値、つまり、液室１０８にクーラント２０１が充満している状態で超音波駆動されている超音波振動子１０６のインピーダンスの最新値と比較し、電気機械変換効率及び優良率等を算出して評価データを得る（図４（Ｃ）参照）。ここで、電気機械変換効率及び優良率は、超音波振動子１０６の性能評価項目の一つであり、
電気機械変換効率＝1−（負荷インピーダンス／無負荷インピーダンス）
として求められ、また、
優良率＝無負荷インピーダンス／負荷インピーダンス
として求められる。この場合、超音波振動子１０６の負荷抵抗成分及び無負荷抵抗成分として、ここではインピーダンスを用いたが、別の一例として、アドミッタンスを用いてもよい。アドミッタンスは、インピーダンスの逆数なので、インピーダンスへの変換は容易である。
【００３２】
その後、ＣＰＵ３０３は、電気機械変換効率及び優良率などの評価データをＲＡＭ３０５のワークエリアに一時記憶し、例えばＲＯＭ３０４のプログラム領域に動作プログラムの一つとして記述されている評価データの最低基準と比較する。その結果、ＣＰＵ３０３は、評価データの値が最低基準に満たないという判定結果を得た場合には、一例として、報知装置として機能する表示デバイス３０９に警報表示を実行させ、別の一例として、外部よりオペレーションスイッチ（OPERATION SW）のＯＮ指令があっても超音波発振回路３０１は超音波振動子１０６を駆動しない。これにより、電気機械変換効率及び優良率が最低基準を下回った超音波振動子１０６によるノズル１０７から噴射されるクーラント２０１への超音波振動重畳動作が抑制される。その結果、ノズル１０７から噴射されるクーラント２０１に対する非効率な超音波重畳動作や、期待値を下回った超音波重畳動作を有効に阻止することが可能となる。
【００３３】
一方、ＣＰＵ３０３は、評価データの値が最低基準を満たすという判定結果を得た場合には、実際の作業工程に入る。つまり、電磁弁駆動回路３１３を駆動制御して給液バルブ２０６を開かせる（図４（Ｄ）参照）。クーラント２０１は、給液用配管２０３を流れ、その流量が流量センサ２０５によって検出され、その検出結果がＣＰＵ３０３に通知される。これにより、液体噴射装置１０１の液室１０８にクーラント２０１が供給され、次第に充満していく（図４（Ｆ）参照）。この際、前述のように液体噴射装置１０１の液室１０８にはエアーが残っているが、ノズル１０７から流出するクーラント２０１によって第１のパイプ１１４が負圧となり、液室１０８の上部に滞留するエアーはバイパスチューブ１１３を通って第１のパイプ１１４よりノズル１０７から排出される（図４（Ｇ）参照）。その結果、液室１０８にはクーラント２０１が充満し、バイパスチューブ１１３の内部もクーラントで満たされる（図４（Ｆ）参照）。
【００３４】
このような液室１０８に対するクーラント２０１の給液動作中、ＣＰＵ３０３は、超音波発振回路３０１の抵抗成分測定回路（図示せず）から出力される超音波振動子１０６のインピーダンスの値をモニターしており、所定の値にまでそのインピーダンスの値が低下したことを検知して液室１０８にクーラント２０１が充満したことを知る。そこで、ＣＰＵ３０３は、このタイミングを見計らって、振動子のパワー駆動可能のレディ（Ready） 信号を表示デバイス３０９より発し、オペレーションスイッチ（OPERATION SW）をＯＮにすることを促す。それを受けて外部より入力デバイス３１０のオペレーションスイッチ（OPERATION SW）をＯＮにすると、ＣＰＵ３０３は、超音波振動子１０６に対する超音波発振回路３０１の駆動パワーを、通常使用時の強い駆動パワーに設定して超音波駆動するよう指示する。これによって、超音波発振回路３０１は超音波振動子１０６を通常の設定された電力で超音波駆動する。これにより、超音波振動子１０６の超音波振動は、超音波振動子１０６の振動輻射面１０６ａに接する液室１０８内のクーラント２０１に輻射され、ノズル１０７の方向に伝達されて噴出するクーラント２０１に重畳される（図４（Ｈ）参照）。
【００３５】
この後、液体噴射装置１０１の液室１０８には、クーラント２０１が充満した状態となっているので、入力デバイス３１０のオペレーションスイッチ（OPERATION SW）をＯＮ／ＯＦＦすることによって、ノズル１０７から噴射されるクーラント２０１とともに、応答性よく瞬時に超音波振動子１０６の超音波振動が重畳されたり、ノズル１０７から噴射されるクーラント２０１が停止すると共に、超音波振動の重畳が応答性よく瞬時に停止される。これにより、精密加工の作業に合わせて効率的な振動重畳されたクーラント噴射作業を行うことができる。
【００３６】
この液体噴射システムは、外部からの重畳振動噴出指令信号を、入力デバイス３１０のオペレーションスイッチ（OPERATION SW）に接続することなどにより、自動化システムに容易に組み込むことが出来る。
【００３７】
そして、液体噴射システムの使用を停止する場合、メインスイッチ（Main SW）をＯＦＦにすると、電動ポンプ駆動回路３１１による給液ポンプ２０４の駆動が停止し、別の補助電源より電磁弁駆動回路３１３にバイパスバルブ１１９を一定時間、例えば１０秒程度開かせる（図４（Ｂ）参照）。これにより、吸気用配管１１８を介して液室１０８内にエアーが取り込まれ、液室１０８内のクーラント２０１を全てノズル１０７から排出することが出来る（図４（Ｆ）、（Ｇ）参照）。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施の一形態を示す液体噴射装置の縦断側面図である。
【図２】液体噴射装置を含む液体噴射システムの側面図である。
【図３】各部の電気的接続を示すブロック図である。
【図４】各イベントのタイミングを示すタイミングチャートである。
【図５】従来の超音波振動重畳クーラントによる研削加工装置の縦断側面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０２  ケーシング
１０６  超音波振動子
１０６ａ  振動輻射面
１０７  ノズル
１０８  液室
１０９  液体供給口
１１０  排気口
１１９  バイパスバルブ（電磁バルブ）
２０４  給液ポンプ（給液機構）
２０６  給液バルブ（給液機構）
３０１  超音波発振回路
３０６  不揮発性メモリ（記憶部）
３１１  電動ポンプ駆動回路（駆動回路）
３１３  電磁弁駆動回路（駆動回路）
【図１】
0004584289.tif 000002
【図２】
0004584289.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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