(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極と、該電極を内部に設けた発光管とからなるフラッシュランプと、上記発光管の外方に設けたトリガー用の導体と、から構成されるランプユニットにおいて、
上記発光管の外方に、上記一対の電極を結ぶ軸に沿って、少なくとも該電極間の全長に渡って、誘電性を有するトリガー管を設け、
該トリガー管内を大気圧より減圧状態にするか、または内部に不活性ガスを封入し、
該トリガー管内に、上記電極間の空間部分の領域上における長さが、上記電極間距離より短い導体を設け、該導体の少なくとも一部を上記電極上に配置した
ことを特徴とするランプユニット。
【請求項２】
上記導体を、上記電極上であって電極間の空間部分上を除いた領域に配置した
ことを特徴とする請求項１に記載のランプユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造や薄膜トランジスタ製造に用いられるアニール装置のランプユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造や薄膜トランジスタ製造においては、フラッシュランプを具備したランプユニットを有するアニール装置が使用されている。例えば、シリコンウエハ表層に浅い拡散層（ｐｎ接合）を形成（イオン注入した不純物活性化）する工程においては、上記ランプアニール装置が使用される。
上述のアニール工程では特にイオン注入した不純物のプロファイルのくずれや形成したパターンの揮発などの問題を回避し、かつ、不純物の良好な活性化状態を得ることが必要である。
また、液晶表示パネル用の薄膜トランジスタ製造においても、基板上に形成された半導体膜を確実かつ均一に活性化させる必要がある。特にガラス基板による場合は係るアニール処理を達成しつつ基板への過度の加熱を防止して基板の伸縮や「そり」の発生を抑制しなければならない。
このようなアニール装置に具備されるフラッシュランプ及びトリガー部材からなるランプユニットは、例えば特許文献１に記載されている。
【０００３】
図９は、特許文献１に記載されたランプユニット１の説明図である。図９（ａ）はフラッシュランプ２の長手方向に沿った断面図であり、図９（ｂ）はフラッシュランプ２の長手方向に対して垂直方向に沿った断面図（図９（ａ）のＢ−Ｂ断面図）である。
ランプユニット１はフラッシュランプ２とトリガー部材３により構成される。
フラッシュランプ２は、例えば石英ガラスからなる棒状の発光管２５の密閉された内部２６に、例えばキセノン（Ｘｅ）ガスからなる発光ガスが封入される。さらに、棒状の発光管２５の内部２６には、その中心軸に延在するように棒状のリード２１，２２に接続された一対の電極２３，２４が対向して配置される。各電極２３，２４に接続されたリード２１，２２は、発光管２５の長手方向における両端から突出する。
フラッシュランプ２の発光管２５の外面には、例えばタングステンからなる棒状の導体３４がトリガー部材３として発光管２５の長手方向に沿って配設される。この棒状の導体３４の両端には、導体３４をフラッシュランプ２に固定するバンド５が発光管の外周面に巻き回されて設けられる。
【０００４】
図１０は、フラッシュランプ２を点灯させるランプ点灯装置の回路構成例である。
フラッシュランプ２の電極２３，２４はランプ点灯回路５０に接続され、トリガー部材３を構成する導体３４はトリガー点灯回路５３に接続される。
ランプ２の点灯開始前、電極２３，２４に接続されたコンデンサＣに、充電器５１から点灯電流制御用インピーダンス５２を介して電圧が印加され、エネルギーが蓄えられる。ランプ２の点灯時、トリガー点灯回路５３から導体３４に電圧が印加されることで、フラッシュランプ２の電極２３，２４間で絶縁破壊が起こり、コンデンサＣに蓄えられたエネルギーが直ちにフラッシュランプ２に投入される。
このようにしてフラッシュランプ２が点灯することで、短時間に極めて高い放射輝度を有する放射光が得られるフラッシュ点灯状態となる。
【特許文献１】特開２００１−１８５０８８公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近時の要望として、例えばシリコンウエハ表層に浅い拡散層（ｐｎ接合）を形成（イオン注入した不純物活性化）する工程において、シリコンウエハ表層に形成される拡散層の部分をさらに浅く形成したいという要望があった。そのためには、フラッシュランプ２のフラッシュパルス幅を従来のものより短くすることで、例えばシリコンウエハ表層における加熱される層を、従来よりさらに浅い位置のみで加熱することが考えられる。
パルス幅を短くしたとしても、拡散層形成に必要な放射輝度はほとんど同じであるので、コンデンサに充電される充電電圧を上昇させることになる。
【０００６】
従来のランプユニット１を用いてコンデンサの充電電圧を従来の値より上昇させていくと、導体３４にトリガー電圧を印加する前に、電極２３，２４とトリガー部材３である導体３４との間に絶縁破壊が起こって、一方の電極とトリガー部材３４との間で電流が流れ、発光管２５の外面に沿ってこの電流が流れる場合がある。このように、トリガー部材３と他方の電極との間で電流が流れることで、ランプ２が点灯を開始してしまい、コンデンサには所望の充電電圧まで印加できない問題が起きた。
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであって、本発明の目的は、ランプ点灯開始前における電極とトリガー部材との間での絶縁破壊を抑制することができるとともに、フラッシュ点灯を確実に行なうことができるランプユニットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明においては、上記課題を次のように解決する。
（１）一対の電極と、該電極を内部に設けた発光管とからなるフラッシュランプと、上記発光管の外方に設けたトリガー用の導体と、から構成されるランプユニットにおいて、上記発光管の外方に、上記一対の電極を結ぶ軸に沿って、少なくとも該電極間の全長に渡って、誘電性を有するトリガー管を設け、該トリガー管内を大気圧より減圧状態にするか、または内部に不活性ガスを封入し、該トリガー管内に、上記電極間の空間部分の領域上における長さが、上記電極間距離以下の導体を設け、該導体の少なくとも一部を上記電極上に配置する。すなわち、導体を、電極が設けられた領域を発光管の径方向に延長した領域上および電極間の空間部分を発光管の径方向に延長した領域上に跨って配置し、該導体の上記電極間の空間部分の領域上における長さを、上記電極間距離以下とする。
（２）上記（１）において、上記導体を、上記電極上であって電極間の空間部分を除いた領域上に配置する。すなわち、上記導体を、電極が設けられた領域を発光管の径方向に延長した領域上のみに配置し、電極間の空間部分を発光管の径方向に延長した領域上には上記導体が配置されないようにする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）発光管の外方に、上記一対の電極を結ぶ軸に沿って、少なくとも該電極間の全長に渡って、誘電性を有するトリガー管を設け、該トリガー管内を大気圧より減圧状態にするか、または内部に不活性ガスを封入し、該トリガー管内に、上記電極間の空間部分の領域上における長さが、上記電極間距離以下の導体を設け、該導体の少なくとも一部を上記電極上に配置したので、電極と導体との間における絶縁破壊に要するエネルギーを大きくすることができ、ランプ点灯開始前における電極とトリガー部材との間での絶縁被壊を抑制することができる。また、該導体の長さに応じて上記絶縁破壊に要するエネルギーの大きさを変えることができ、これにより、電極に接続されたコンデンサに所望の電位を印加することができる。
また、電極間の全長に渡って、誘電性を有するトリガー管を設けているので、トリガー管と電極との距離を近接することができ、また、電極と導体との間に、トリガー管の肉厚と、トリガー管の内部の減圧状態又は不活性ガスとを介在させることができる。
このため、ランプ点灯開始時において、導体に電圧が印加されると、導体を内部に有するトリガー管は誘電性を有しているため、トリガー管に電位がかかり、高電位側の電極からこれに近接したトリガー管に電流が流れ、さらにトリガー管に近接した低電位側の電極に電流を流すことができる。                
すなわち、一対の電極とトリガー管とを近接させることにより、ランプ点灯開始時における絶縁破壊を容易にすることができ、フラッシュランプによるフラッシュ点灯を確実に行なうことができ、コンデンサに蓄えられた所望のエネルギーが直ちにフラッシュランプに投入され、所望のパルス幅で極めて高い放射強度を有する放射光を得ることができる。（２）上記導体を、上記電極上であって電極間の空間部分上を除いた領域に配置することにより、ランプ点灯開始前における電極とトリガー部材との間での絶縁被壊をさらに抑制することができ、また、電極間で発生する放電により生ずる光が、上記導体で妨げられることがなく、ランプからの光を効率よく利用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明に係る第１の実施例を図１を用いて説明する。
図１は、第１の実施例に係るランプユニット１の説明図である。図１（ａ）はランプユニット１に具備されるフラッシュランプ２の長手方向に沿った断面図であり、図１（ｂ）はランプユニット１に具備されるフラッシュランプ２の長手方向に対して垂直方向に沿った断面図（図１（ａ）のＡ−Ａ断面図）である。図１（ｃ）は、図１（ａ）のランプユニット１を構成するフラッシュランプ２とトリガー部材３との支持構造の説明図である。図１においては、図９に示したものと同じものに同一の符号を付している。
本実施例において、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、ランプユニット１は、フラッシュランプ２とトリガー部材３とにより構成される。
【００１０】
フラッシュランプ２は、例えば石英ガラスからなる棒状の発光管２５の密閉された内部２６に、例えばキセノン（Ｘｅ）ガスからなる希ガスが発光ガスとして封入される。さらに、棒状の発光管２５の内部２６には、その中心軸に延在するように棒状のリード２１，２２に接続された一対の電極（陽極２３及び陰極２４）が対向して配置される。各電極（陽極２３及び陰極２４）に接続された棒状のリード２１，２２は、発光管２５の長手方向における両端から突出する。
このリード２１，２２は例えばタングステン（Ｗ）により形成される。また、一方のリード２１の先端に設けられた陽極２３は例えばタングステン（Ｗ）により形成され、他方のリード２２の先端に設けられた陰極２４は例えばバリウム・アルミネート（Ｂａ・Ａｌ2 Ｏ3 ）を含有するタングステン（Ｗ）により形成される。
【００１１】
直管状の発光管２５の外面には、この外面に沿うように並行してトリガー部材３が設けられる。
このトリガー部材３は、例えば石英ガラスのような誘電性を有する部材からなる直管状のトリガー管３１と、このトリガー管３１の中心軸に延在するように設けられた例えばタングステン（Ｗ）からなる導体３４により構成される。トリガー管３１の一端（図１（ａ）においては、トリガー管３１における陰極２４側の端部）には、封止部３３が形成される。トリガー管３１の封止部３３は、トリガー管３１の一端から伸びる例えば石英ガラスのパイプ体を溶融状態にして圧潰するピンチシール法により形成される。封止部３３の内部には、導体３４と外部リード３６とを電気的に接続する例えばモリブデン（Ｍｏ）からなる金属箔３５が埋設される。
また、図１（ｃ）に示すように、第１の支持体４１と第２の支持体４２がそれぞれ発光管２５の外面と、トリガー管３１の外面に当接され、ランプユニット１は第１の支持体４１と第２の支持体４２とによって押圧されて挟持される。
【００１２】
なお、このトリガー管３１の封止部３３は、トリガー管３１の一端から伸びる例えば石英ガラスのパイプ体を溶融状態にして内部を減圧することによる、いわゆるシュリンクシール法により形成してもかまわない。
また、トリガー管３１の封止部３３は、金属箔３５を埋設しないで、導体３４の外周に加熱した中間ガラス（導体３４とトリガー管３１の中間的な線膨張率のガラス）を直接巻きつけ、石英ガラスに溶着して封止するグレーテッドシール法であってもかまわない。
このように密閉されたトリガー管３１の内部３２、例えば０．０１Ｔｏｒｒ以下にまで減圧された状態にするか、又は、例えば１０Ｔｏｒｒ以上の窒素（Ｎ2 ）ガスのような不活性ガスが封入される。
【００１３】
トリガー部材３のトリガー管３１は、一対の電極である陽極２３及び陰極２４が設けられた領域上（すなわち電極２３，２４が設けられた部分を発光管の径方向に延長した領域）、および、電極間（距離Ｌ１）の空間部分上（すなわち電極間の空間部分を発光管の径方向に延長した領域）に跨って、発光管２５の外面の部分に、少なくともその全長に亘って発光管２５と当接し、並行するように配設される。
さらに、トリガー管３１の内部３２に設けられた導体３４は、本実施例では導体３４の、電極２３，２４間の空間部分の領域上の長さが一対の電極２３，２４間距離Ｌ１の半分以下であり、電極間（距離Ｌ１）の空間部分上（すなわち電極間の空間部分を発光管の径方向に延長した領域）および一方の電極（例えば電極２４）が設けられた領域上（すなわち電極が設けられた部分を発光管の径方向に延長した領域上）に配設される。
なお、導体３４の長さは、上記に限定されるわけではなく、電極２３，２４間の空間部分の領域上の長さが電極間距離Ｌ１より短ければよく、要は必要とされる絶縁破壊に要するエネルギーの大きさ等に応じて適宜選定する。
【００１４】
図２は、本発明に係る第２の実施例に係るランプユニット１の説明図であり、ランプユニット１に具備されるフラッシュランプ２の長手方向に沿った断面図を示す。フラッシュランプ２の長手方向に対して垂直方向に沿った断面図は図１（ａ）に示したものと同様である。
図２において、トリガー部材３のトリガー管３１は、図１に示したものと同様、一対の電極である陽極２３及び陰極２４が設けられた部分上および、電極間（距離Ｌ１）の空間部分上に跨って、発光管２５の外面の部分に、少なくともその全長に亘って発光管２５と当接し、並行するように配設される。
また、トリガー管３１の内部３２に設けられた導体３４は、本実施例では一方の電極（例えば電極２４）が設けられた領域上（すなわち電極が設けられた部分を発光管の径方向に延長した領域）に配設される。すなわち、トリガー管３１の内部３２に設けられた導体３４は、対向する電極２３，２４間（距離Ｌ１）の空間部分上に、位置しないように配設される。
その他の構成は図１に示した第１の実施例と同様であり、例えば石英ガラスからなる棒状の発光管２５の密閉された内部２６に、例えばキセノン（Ｘｅ）ガスからなる希ガスが発光ガスとして封入され、棒状の発光管２５の内部２６に、その中心軸に延在するように棒状のリード２１，２２に接続された一対の電極（陽極２３及び陰極２４）が対向して配置される。各電極（陽極２３及び陰極２４）に接続された棒状のリード２１，２２が、発光管２５の長手方向における両端から突出する。
【００１５】
第１、第２の実施例に係るランプユニットの数値例を以下に挙げる。
発光管２５の長手方向における全長Ｌ２は５８０ｍｍであり、電極２３，２４間距離Ｌ１は５００ｍｍである。発光管２５の外径Ｌ３が１３ｍｍであり、発光管２５の内径Ｌ４が１０．５ｍｍであり、発光管２５の内部２６に封入されるキセノン（Ｘｅ）ガスは、４５０Ｔｏｒｒである。
トリガー管３１の長手方向における全長Ｌ５は５４０ｍｍであり、トリガー管３１の外径Ｌ６が４ｍｍであり、トリガー管３１の内径Ｌ７が２ｍｍである。
トリガー管３１の内部３２に配置された導体３４の先端と陽極２３との管軸方向の距離Ｌ９は、第１の実施例においては２５０ｍｍ、第２の実施例においては５５０ｍｍである
【００１６】
上述の第１、第２の実施例に係るランプユニット１は、具備されるアニール装置において、図１（ｃ）に示したように、フラッシュランプ２の発光管２５とトリガー部材３のトリガー管３１とが、発光管２５の外面に当接された第１の支持体４１とトリガー管３１の外面に当接された第２の支持体４２とによって押圧されて挟持され、フラッシュランプ２の一対の電極（陽極２３及び陰極２４）に図示しないランプ２電源が電気的に接続される。トリガー部材３のトリガー管３１の内部３２に設けた導体３４には、図示しないトリガー電源が電気的に接続される。
そして、ランプ２の点灯前に、電極と図示しないランプ２電源との間に設けられた図示しないコンデンサに、図示しないランプ２の電源から所望の電圧が印加され、エネルギーが蓄えられる。
【００１７】
ランプ２の点灯時、図示しないトリガー電源から導体３４に電圧が印加されることで、トリガー管３１に電圧が印加され、トリガー管３１を介して一対の電極２３，２４間で絶縁破壊が起こり、図示しないコンデンサに蓄えられたエネルギーが直ちにフラッシュランプ２に投入される。このエネルギーが投入されることにより、発光管２５の内２６部に封入された例えばキセノン（Ｘｅ）ガスからなる発光ガスが励起される。このようにフラッシュランプ２がランプ２点灯することで、短時間に極めて高い放射輝度を有する放射光が得られるフラッシュ点灯状態となる。
【００１８】
第１、第２の実施例においては、上記電極２３，２４間の空間部分の領域上における導体３４の長さを、上記電極間距離Ｌ１の半分以下とし、該導体３４の少なくとも一部を上記電極上に配置したので、電極２３，２４と導体３４との絶縁距離を伸ばすことができる。
このため、ランプ２の点灯前において、電極２３，２４と導体３４との間における絶縁破壊を要するエネルギーを大きくすることができる。すなわち、ランプ２の点灯前における電極２３，２４とトリガー部材３との間での絶縁破壊を抑制することができるので、電極２３，２４とトリガー部材３との間で電流が流れることを抑制できる。これにより電極２３，２４に接続された図示しないコンデンサに所望の電位を印加することができる。
特に、後述する実験２における図７の実験結果に示すように、トリガー管３１の内部３２に設けた導体３４を、電極２３，２４間距離Ｌ１の半分以下の長さとすることにより、ランプ２の点灯前、電極２３，２４と導体３４との間における絶縁破壊に要するエネルギーを大きくすることができる。
特に、第２の実施例のように、導体３４を一方の電極が設けられた領域上のみに配設することにより、ランプ２の点灯前における、電極２３，２４と導体３４との間における絶縁破壊に要するエネルギーをさらに大きくすることができる。また、電極間で発生する放電により生ずる光を、上記導体３４が妨げることがない。このため、ランプからの光を効率よく利用することができる。
【００１９】
さらに、第１、第２の実施例に係るランプユニット１は、導体３４を誘電性を有するトリガー管３１の内部３２に設けたことにより、電極２３，２４と導体３４との間に、トリガー管３１の肉厚と、トリガー管３１の内部３２の減圧状態又は不活性ガスとを介在させることができる。
第１、第２の実施例に係るランプユニット１は、ランプ２点灯時において、導体３４に電圧が印加されると、導体３４を内部３２に有するトリガー管３１は誘電性を有しているため、直ちにトリガー管３１に電位がかかり、フラッシュランプ２の電極２３，２４に接続されたコンデンサに蓄えられた所望のエネルギーを直ちにフラッシュランプ２に投入され、所望のパルス幅で極めて高い放射強度を有する放射光を得ることができる。
特に、後述する実験１における図６の実験結果に示すように、トリガー管３１の内部３２には不活性ガスを封入することで、ランプ２点灯前、電極２３，２４と導体３４との間における絶縁破壊に要するエネルギーを大きくすることができる。
【００２０】
また、第１、第２の実施例に係るランプユニット２は、トリガー管３１の長さを一対の電極２３，２４間距離Ｌ１と少なくとも同等にしたことにより、トリガー管３１と一対の電極（陽極２３及び陰極２４）との距離を近接することができる。
このため、ランプ２の点灯時においては、導体３４に電圧が印加されることにより、トリガー管３１に電位がかかり、高電位側の電極２３からこれに近接したトリガー管３１に向かって電流が流れ、さらにトリガー管３１に沿って発光管２５の内部２６の長手方向に電流が流れ、その上でトリガー管３１に近接した低電位側の電極２４に電流を流すことができる。すなわち、一対の電極２３，２４とトリガー管３１とを近接させることにより、ランプ２点灯時における絶縁破壊を容易にすることができ、フラッシュランプ２によるフラッシュ点灯を確実に行なうことができる。
【００２１】
上記本発明に係るランプユニット１の効果を示すため、以下の本発明のランプユニット１と比較例１，２とを用いて以下の実験１〜３を行なった。
図３に上記比較例１の構成を示す。
図３は、前記図１、図２と同様、ランプユニット１に具備されるフラッシュランプ２の長手方向に沿った断面図であり、図１、図２に示したものと同じものには同一の符号を付している。
図３に示すものは、トリガー部材３を構成する導体３４の、発光管２５の管軸方向の長さを電極間距離Ｌ１より長くしたものである。
すなわち、トリガー部材３のトリガー管３１は、一対の電極である陽極２３及び陰極２４が設けられた領域上および電極間（距離Ｌ１）の空間部分の領域上であって、発光管２５の外面の部分にまたがって、少なくともその全長に亘って発光管２５と当接し、並行するように配設される。
また、トリガー管３１の内部３２に設けられた導体３４は、上記トリガー管３１と同様、一対の電極である陽極２３及び陰極２４が設けられた領域上および電極間（距離Ｌ１）の空間部分の領域上にまたがって、発光管２５の外面の部分に少なくともその全長に亘って配設される。
【００２２】
図４に上記比較例２の構成を示す。
図４は、前記図１、図２と同様、ランプユニット１に具備されるフラッシュランプ２の長手方向に沿った断面図であり、図１、図２に示したものと同じものには同一の符号を付している。
図４に示すものは、トリガー部材３を構成するトリガー管３１の、発光管２５の管軸方向の長さを電極間距離Ｌ１の半分以下とし、導体３４の長さをトリガー管３１と同様の長さとしたものである。
【００２３】
（１）実験１
実験１では、トリガー管を有しない従来のランプユニット（図９参照）とトリガー管を有するランプユニットについて耐電圧性を比較した。
すなわち、従来のランプユニット１として、トリガー部材３をフラッシュランプ１の発光管２５の外面に設け、図９に示す従来に係るランプユニット１を構成した。また、トリガー管を有するランプユニット１として、トリガー部材３を発光管２５の外面に設けた本実施例として図２に示すランプユニット１を構成した。
実験１に用いたフラッシュランプ２は、発光管２５の内部２６にキセノン（Ｘｅ）ガスを封入したものを準備した。具体的には、図５（ａ）に示すキセノン（Ｘｅ）ガスの封入量の異なる３種類のフラッシュランプＡ〜Ｃを準備した。
フラッシュランプＡ：キセノンガスの封入量３００Ｔｏｒｒ
フラッシュランプＢ：キセノンガスの封入量４５０Ｔｏｒｒ
フラッシュランプＣ：キセノンガスの封入量６００Ｔｏｒｒ
・フラッシュランプＡ〜Ｃはキセノンガスの封入量以外は以下の共通する構成を有する。  発光管２５：石英ガラス（全長Ｌ２＝５８０ｍｍ、内径Ｌ４＝１０．５ｍｍ、外径Ｌ３＝１３ｍｍ）
・陰極２４：バリウム・アルミネートを含有するモリブデン
・陽極２３：タングステン
・電極２３，２４間距離Ｌ１：５００ｍｍ
【００２４】
また、実験１に用いたトリガー部材は、従来のランプユニット１を構成するための導体のみからなるトリガー部材３として棒状のタングステンを準備した。
また、上記本実施例と比較するランプユニット１を構成するためのトリガー部材３として棒状のタングステンからなる導体３４を内部３２に封入した石英ガラスからなるトリガー管３１を準備した。
具体的には、図５（ｂ）に示すように、１種類の従来に係るトリガー部材（従来例）と、トリガー管３１の内部を減圧またはキセノンガスを封入した３種類のトリガー部材を準備した。
・従来例：トリガー管３１無し
・トリガー部材ａ：トリガー管３１の内部３２が減圧状態（０．０１Ｔｏｒｒ）
・トリガー部材ｂ：トリガー管３１の内部３２がキセノンガス（１００Ｔｏｏｒ）
・トリガー部材ｃ：トリガー管３１の内部３２がキセノンガス（４５０Ｔｏｏｒ）
【００２５】
・従来例に係るトリガー部材：導体３４がタングステン棒（全長５２０ｍｍ，外径１ｍｍ）
・トリガー部材ａ：導体３４がタングステン棒（外径１ｍｍ）
・トリガー部材ｂ：導体３４がタングステン棒（外径１ｍｍ）
・トリガー部材ｃ：導体３４がタングステン棒（外径１ｍｍ）
トリガー部材ａ〜ｃに係る導体３４は、一方の電極が設けられた領域上のみに配置し、電極２３，２４間距離Ｌ１の空間部分の領域上に配置しないように構成する（Ｌ９が５５０ｍｍのトリガー部材）。
また、トリガー部材ａ〜ｃに係るトリガー管３１は前記比較例１に示したものであり、以下の共通する構成を有する。
・トリガー管３１：石英ガラス（全長Ｌ５＝５４０ｍｍ、内径Ｌ７＝２ｍｍ、外径Ｌ６＝４ｍｍ）
・金属箔３５：モリブデン箔
【００２６】
実験１では、上記導体３４及びトリガー管３１を有するランプユニットをランプハウスに取り囲まれた暗所に配置し、これらランプユニットに対してコンデンサ容量が２００μＦのコンデンサに印加する充電電圧を上げていき、トリガー部材３に電圧を印加しない状態で、電極２３，２４間で絶縁破壊が起きたときの電圧を測定した。その測定結果を、図６に示す。
図６に示すように、フラッシュランプＡ〜Ｃのいずれにおいても、トリガー管３１を有するランプユニット１の耐電圧性が優れていることが分かる。
特に、トリガー管３１にキセノンガスを封入したトリガー管ｂ及びｃを有すランプユニットの耐電圧性が優れていることも示している。
【００２７】
（２）実験２
実験２においては、本発明に係るランプユニット１において、トリガー管３１の内部３２に配置された導体３４の先端の発光管径方向に伸びる線から、陽極２３の先端の発光管径方向に伸びる線までの発光管２５の管軸方向に伸びる距離（図１に示すＬ９）を変化させたときの耐電圧性を比較した。
実験２では、上記距離Ｌ９が０ｍｍ（導体３４が、陽極２３及び陰極２４が設けられた領域上および電極間の空間部分の領域上に跨って配設された図３の比較例１）、２５０ｍｍ（図１に示す第１の実施例のランプユニット）、３７５ｍｍ、５００ｍｍ（電極２３，２４間の空間部分を径方向に延長した領域上にある発光管２５の外方の部分に、導体３４が配設されていないランプユニット）、５５０ｍｍ（図２に示す第２の実施例のランプユニット）の５種類の本発明に係るランプユニットを準備した。
【００２８】
各ランプユニットは以下の共通する構成を有する。
＜フラッシュランプ＞
・発光管２５：石英ガラス（全長Ｌ２＝５８０ｍｍ、内径Ｌ４＝１０．５ｍｍ、外径Ｌ３＝１３ｍｍ）
・発光管２５の内部２６：４５０Ｔｏｒｒ
・陰極２４：バリウム・アルミネートを含有するモリブデン
・陽極２３：タングステン
・電極２３，２４間距離Ｌ１：５００ｍｍ
＜トリガー部材３＞
・導体３４：タングステン棒（外径＝１ｍｍ）
・トリガー管３１：石英ガラス（内径Ｌ７＝２ｍｍ、外径Ｌ６＝４ｍｍ）
・トリガー管３１の内部３２：キセノンガス（４５０Ｔｏｒｒ）
・金属箔３５：モリブデン箔
【００２９】
実験２では、各ランプユニットをランプハウスに取り囲まれた暗所に配置し、各ランプユニット１に対して、コンデンサ容量が２００μＦのコンデンサに印加する充電電圧を上げていき、トリガー部材３に電圧を印加しない状態で、電極２３，２４間で絶縁破壊が起きたときの電圧を測定した。その測定結果を、図７に示す。
図７に示すように、トリガー管３１の先端の発光管径方向に伸びる線から陽極２３の先端の発光管径方向に伸びる線までの発光管２５の管軸方向に伸びる距離Ｌ９が大きければ大きいほど耐電圧性を向上させることができるが、特に距離Ｌ９が２５０ｍｍ以上、すなわち、導体３４の、電極２３，２４間の空間部分の領域上の長さを一対の電極２３，２４間距離Ｌ１の半分以下にすることにより耐電圧性を向上させることができる。
さらに、トリガー管３１の内部３２に設けられた導体３４を、一方の電極が設けられた領域上のみに配置し、電極２３，２４間距離Ｌ１の空間部分の領域上に配置しないように構成する（Ｌ９が５００ｍｍ及び図２に示した５５０ｍｍのランプユニット）ことで、ランプ２の点灯前の電極２３，２４と導体３４との間における耐電圧性を向上させることができる。また、このように構成すれば、電極間で発生する放電により生ずる光を、上記導体３４が妨げることもない。
【００３０】
（３）実験３
実験３においては、トリガー管３１の長さを変えてランプ２点灯性を比較した。
すなわち、電極２３，２４に接続されたコンデンサに６ＫＶの充電電圧を印加した本発明に係るランプユニット１において、一対の電極（陽極２３及び陰極２４）の対向する電極２３，２４間（距離Ｌ１）の空間部分上の発光管２５の外面の部分におけるトリガー管３１の長さ（図４に示すＬ１０）を変化させたとき、トリガー管３１に電圧を印加したことによるランプ２の点灯性を比較した。
【００３１】
実験３においては、対向する電極２３，２４間の空間部分を発光管２５の径方向に延長した領域におけるトリガー管３１の長さＬ１０が、０ｍｍ（すなわち、対向する電極２３，２４間の空間部分を発光管２５の径方向に延長した領域以外の領域にトリガー管３１が配設されたランプユニット）、２５０ｍｍ（すなわち、対向する電極２３，２４間の空間部分を発光管の径方向に延長した領域の半分に亘ってトリガー管３１が配設されたランプユニット、図４に示すランプユニット）、３７５ｍｍ、５００ｍｍ（すなわち、対向する電極２３，２４間の空間部分を発光管の径方向に延長した領域の全長に亘ってトリガー管３１が配設されたランプユニット）、５５０ｍｍ（すなわち、対向する電極２３，２４間の空間部分を発光管の径方向に延長した領域の全長に亘ってトリガー管３１が配設されたランプユニット１であって、さらにトリガー管３１の５０ｍｍが、電極２３，２４の配設された領域を発光管の径方向に延長した領域上にある図３に示すランプユニット）の５種類のランプユニットを準備した。
なお、トリガー管３１の内部３２に配設される導体３４は、トリガー管３１の内部３２のその長手方向における略全長に亘って配設される。
【００３２】
各ランプユニット１の以下の共通する構成を有する。
＜フラッシュランプ＞
・発光管２５：石英ガラス（全長Ｌ２＝５８０ｍｍ、内径Ｌ４＝１０．５ｍｍ、外径Ｌ３＝１３ｍｍ）
・発光管２５の内部２６：４５０Ｔｏｒｒ
・陰極２４：バリウム・アルミネートを含有するモリブデン
・陽極２３：タングステン
・電極２３，２４間距離Ｌ１：５００ｍｍ
＜トリガー部材＞
・導体３４：タングステン棒（外径＝１ｍｍ）
・トリガー管３１：石英ガラス（内径Ｌ７＝２ｍｍ、外径Ｌ６＝４ｍｍ）
・トリガー管３１の内部３２：キセノンガス（４５０Ｔｏｒｒ）
・金属箔３５：モリブデン箔
【００３３】
実験３では、各ランプユニットをランプハウスに取り囲まれた暗所に配置し、各ランプユニット１に対して、コンデンサ容量が２００μＦのコンデンサに６ＫＶの充電電圧を印加した状態で、トリガー部材３１に１５ＫＶの電圧を印加したときを試行回数１回とし、試行回数計１０回のうち、フラッシュランプ２が発光した回数（発光回数）が何回あったかを調べた。その結果を図８に示す。
図８に示すように、トリガー部材３のトリガー管３１は、電極２３，２４間の空間部分を径方向に延長した領域上の発光管２５の外面の部分に、少なくともその全長に亘って当接させることにより、１０回の試行において１０回全てランプ２点灯させることができた。このことから、トリガー管３１の長さは、電極２３，２４間の距離Ｌ１以上であることが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の第１の実施例に係るランプユニットの説明図である。
【図２】本発明の第２の実施例に係るランプユニットの説明図である。
【図３】比較例１のランプユニットの説明図である。
【図４】比較例２のランプユニットの説明図である。
【図５】実験１における実験条件の説明図である。
【図６】実験１における実験結果の説明図である。
【図７】実験２における実験結果の説明図である。
【図８】実験３における実験結果の説明図である。
【図９】従来に係るランプユニットの説明図である。
【図１０】従来に係るランプユニットのランプ点灯装置の構成例を示す図である。
【符号の説明】
【００３５】
１    ランプユニット
２    フラッシュランプ
２１  一方のリード
２２  他方のリード
２３  陽極
２４  陰極
２５  発光管
２６  発光管の内部
３    トリガー部材
３１  トリガー管
３２  トリガー管の内部
３３  封止部
３４  導体
３５  箔
３６  外部リード
４１  第１の支持体
４２  第２の支持体
Ｌ１  一対の電極（陽極及び陰極）の対向する電極間距離
Ｌ２  発光管の長手方向における全長
Ｌ３  発光管の外径
Ｌ４  発光管の内径
Ｌ５  トリガー管の長手方向における全長
Ｌ６  トリガー管の外径
Ｌ７  トリガー管の内径
Ｌ８  トリガー管の内部における導体の長手方向の全長
Ｌ９  トリガー管の内部に配置された導体の先端と陽極の先端の発光管の管軸方向に伸びる距離
Ｌ１０  対向する電極間の空間部分を発光管径方向に延長した領域上の発光管の外面の部分におけるトリガー管の長さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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