(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被検査部を有する平板状被検査体の検査に用いるプローブカードにおいて、
一方の面に複数の配線部及び各配線部に形成された凹所を有する配線基板と、
前記被検査部に個々に対応された複数の針ガイド領域を備える板状の針ガイドであって、前記針ガイドを貫通する複数の第１の穴及び前記配線基板の側に開放する複数の第２の穴を各針ガイド領域に有する、前記配線基板の前記一方の面の側に組み付けられた板状の針ガイドと、
各針ガイド領域に配置された複数のプローブであって、それぞれが、針先部、該針先部の後端に続く変形された針中央部、及び該針中央部の後端に続く針後部を含む、複数のプローブと、
前記配線基板と前記針ガイドとの間に配置された複数の弾性体とを含み、
各プローブの前記針先部及び前記針後部は、前記針中央部から同じ側に弧状に湾曲された弧状部と、該弧状部から伸びる延長部とを有し、
前記針中央部は、弧状、コ字状及びく字状から選択される形状、又は、弧状、コ字状、く字状及びＬ字状から選択される少なくとも２つの組合せから形成される形状に変形されており、
各プローブは、針先部及び針後部を隣りの針ガイド領域の側とされた状態に、針中央部と針後部との境界部近傍を前記配線基板の前記凹所に受け入れていると共に、少なくとも針中央部を前記配線基板の第１の穴に受け入れており、さらに後端を前記配線基板の第２の穴に受け入れて、前記弾性体により針中央部と針後部との境界部近傍において前記配線部に押圧されている、プローブカード。
【請求項２】
複数の被検査部を有する平板状被検査体の検査に用いるプローブカードにおいて、
一方の面に複数の配線部を有する配線基板と、
前記被検査部に個々に対応された複数の針ガイド領域を備える板状の針ガイドであって、前記針ガイドを貫通する複数の第１の穴及び前記配線基板の側に開放する複数の第２の穴を各針ガイド領域に有する、前記配線基板の前記一方の面の側に組み付けられた板状の針ガイドと、
各針ガイド領域に配置された複数のプローブであって、それぞれが、針先部、該針先部の後端に続く変形された針中央部、及び該針中央部の後端に続く針後部を含む、複数のプローブと、
前記配線基板の一方の面に配置されたシート状部材であって、前記プローブに個々に対応された複数の開口を有するシート状部材と、
前記配線基板と前記針ガイドとの間に配置された複数の弾性体とを含み、
各プローブの前記針先部及び前記針後部は、前記針中央部から同じ側に弧状に湾曲された弧状部と、該弧状部から伸びる延長部とを有し、
前記針中央部は、弧状、コ字状及びく字状から選択される形状、又は、弧状、コ字状、く字状及びＬ字状から選択される少なくとも２つの組合せから形成される形状に変形されており、
各プローブは、針先部及び針後部を隣りの針ガイド領域の側とされた状態に、針中央部と針後部との境界部近傍を前記シート状部材の開口に受け入れていると共に、少なくとも針中央部を前記配線基板の第１の穴に受け入れており、さらに後端を前記配線基板の第２の穴に受け入れて、前記弾性体により針中央部と針後部との境界部近傍において前記配線部に押圧されている、プローブカード。
【請求項３】
前記針先部の先端は、プローブにオーバードライブが作用したとき、針先が被検査体の電極部に対し滑りを生じないＰラインに対し一方に変位されている、請求項１又は２に記載のプローブカード。
【請求項４】
前記針先部の延長部は前記針中央部の中心線に対し角度を有する、請求項１，２又は３に記載のプローブカード。
【請求項５】
各プローブは、針先を前記針ガイドから前記配線基板と反対の側に突出させていると共に、針中央部と針後部との境界部近傍を前記配線基板の側に突出させている、請求項１から４のいずれか１項に記載のプローブカード。
【請求項６】
前記配線基板は、前記針ガイド領域に個々に対応された複数の配線領域を有すると共に、１以上の配線領域毎の分離領域に分割されており、隣り合う分離領域は可撓性又は弾性変形可能の１以上の連結部により連結されている、請求項１から５のいずれか１項に記載のプローブカード。
【請求項７】
前記連結部はＳ字状をした帯状の形状を有する、請求項６に記載のプローブカード。
【請求項８】
さらに、前記配線基板を組み付ける組み付け基板を含み、該組み付け基板は、前記配線基板の配線部に個々に対応されて対応する配線部に電気的に接続された複数の第２の配線部を一方の面に有し、また他方の面を前記配線基板の他方の面の側とした状態に前記配線基板に配置されている、請求項１から７のいずれか１項に記載のプローブカード。
【請求項９】
さらに、それぞれが前記プローブの針先を受け入れて該針先の移動を案内する複数のガイド穴を有する板状部材であって前記針ガイドの前記配線基板の側と反対の側に配置された板状部材を含む、請求項１から８のいずれか１項に記載のプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエーハのＩＣチップ部のように、平板状被検査体に形成された複数の被検査部の試験に用いるプローブカードに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエーハに形成された多数のＩＣチップ部の通電試験（通電検査）は、隣り合うＩＣチップ部の電極部の間隔が０．５ｍｍ以下ときわめて狭く、複数のプローブをそのような狭い間隔で配置することができないことから、１つのＩＣチップ部ずつ検査することにより行われているか、１以上おきのＩＣチップ部を同時に検査することにより行われている。
【０００３】
【解決しようとする課題】
しかし、多数のＩＣチップ部を１つずつ検査するのでは、１つの半導体ウエーハ上に形成された全てのＩＣチップ部の検査に長時間を要する。また、連続しない複数のＩＣチップ部を同時に検査するのでは、検査手順のためのプログラム、検査結果のメモリへの記憶のためのプログラム等、検査のためのプログラムが複雑になり、その結果半導体ウエーハ上のＩＣチップ部の配置パターン、各ＩＣチップ部上の回路素子の配置パターンを変更するたびに、複雑な検査用プログラムを作成しなければならない。
【０００４】
本発明の目的は、隣り合う被検査部を同時に検査するように用いることができるプローブカードを提供することにある。
【０００５】
【解決手段、作用及び効果】
本発明に係るプローブカードは、一方の面に複数の配線部及び各配線部に形成された凹所を有する配線基板と、前記被検査部に個々に対応された複数の針ガイド領域を備える板状の針ガイドであって、前記針ガイドを貫通する複数の第１の穴及び前記配線基板の側に開放する複数の第２の穴を各針ガイド領域に有する、前記配線基板の前記一方の面の側に組み付けられた板状の針ガイドと、各針ガイド領域に配置された複数のプローブであって、それぞれが、針先部、該針先部の後端に続く変形された針中央部、及び該針中央部の後端に続く針後部を含む、複数のプローブと、前記配線基板と前記針ガイドとの間に配置された複数の弾性体とを含む。各プローブの前記針先部及び前記針後部は、前記針中央部から同じ側に弧状に湾曲された弧状部と、該弧状部から伸びる延長部とを有する。前記針中央部は、弧状、コ字状及びく字状から選択される形状、又は、弧状、コ字状、く字状及びＬ字状から選択される少なくとも２つの組合せから形成される形状に変形されている。各プローブは、針先部及び針後部を隣りの針ガイド領域の側とされた状態に、針中央部と針後部との境界部近傍を前記配線基板の前記凹所に受け入れていると共に、少なくとも針中央部を前記配線基板の第１の穴に受け入れており、さらに後端を前記配線基板の第２の穴に受け入れて、前記弾性体により針中央部と針後部との境界部近傍において前記配線部に押圧されている。
【０００６】
本発明に係る他のプローブカードは、一方の面に複数の配線部を有する配線基板と、前記被検査部に個々に対応された複数の針ガイド領域を備える板状の針ガイドであって、前記針ガイドを貫通する複数の第１の穴及び前記配線基板の側に開放する複数の第２の穴を各針ガイド領域に有する、前記配線基板の前記一方の面の側に組み付けられた板状の針ガイドと、各針ガイド領域に配置された複数のプローブであって、それぞれが、針先部、該針先部の後端に続く変形された針中央部、及び該針中央部の後端に続く針後部を含む、複数のプローブと、前記配線基板の一方の面に配置されたシート状部材であって、前記プローブに個々に対応された複数の開口を有するシート状部材と、前記配線基板と前記針ガイドとの間に配置された複数の弾性体とを含む。各プローブの前記針先部及び前記針後部は、前記針中央部から同じ側に弧状に湾曲された弧状部と、該弧状部から伸びる延長部とを有する。前記針中央部は、弧状、コ字状及びく字状から選択される形状、又は、弧状、コ字状、く字状及びＬ字状から選択される少なくとも２つの組合せから形成される形状に変形されている。各プローブは、針先部及び針後部を隣りの針ガイド領域の側とされた状態に、針中央部と針後部との境界部近傍を前記シート状部材の開口に受け入れていると共に、少なくとも針中央部を前記配線基板の第１の穴に受け入れており、さらに後端を前記配線基板の第２の穴に受け入れて、前記弾性体により針中央部と針後部との境界部近傍において前記配線部に押圧されている。
【０００７】
各プローブは、針先部及び針後部が針中央部に対し隣の被検査部用のプローブの側となるようにプローブカードに組み付けられる。それゆえに、本発明のプローブカードによれば、隣り合う被検査部用のプローブの針先部及び針後部を著しく接近させることができ、その結果、隣り合う被検査部の同時検査用のプローブカードに組み立てることができる。
【０００８】
前記針先部の先端をプローブにオーバードライブが作用したとき、針先が被検査体の電極部に対し滑りを生じないＰラインに対し一方に変位させ位置にすることができる。これにより、針先がプローブに作用するオーバードライブにより被検査体の電極部に対し滑りを確実に生じる。
【０００９】
前記針先部の延長部はその軸線が前記針中央部の中心線に対し角度を有する延長部とすることができる。これにより、プローブにオーバードライブが作用したとき針先が被検査体の電極部に対しより確実に滑り、また、前記角度を所定の値とすることにより被検査体の電極部に対する針先の滑り量を所定の値とすることができる。
【００１０】
本発明のプローブカードによれば、また、前記針中央部を、弧状、コ字状及びく字状から選択される形状、又は、弧状、コ字状、く字状及びＬ字状から選択される少なくとも２つの組合せから形成される形状に変形させている。これにより、プローブにオーバードライブが作用したとき、プローブは針中央部と針後部との境界部分から針先側の部位において確実に弾性変形し、被検査体の電極部に所定の圧力（針圧）で押圧される。
【００１１】
各延長部は、ほぼ直線状に伸びる直線部とすることができる。針先部の延長部はその軸線が配線基板に直角の線に対して角度を有する方向へ伸びる直線部とすることができる、また、針後部の延長部は配線基板に直角の方向へ伸びる直線部とすることができる。
【００１２】
本発明のプローブカードによれば、また、各プローブの針先部及び針後部を針中央部に対し隣りの針ガイド領域の側としたから、隣り合う被検査部用のプローブの針先部及び針後部を大きく接近させることができ、その結果隣り合う被検査部の同時検査に用いることができる。
【００１３】
本発明のプローブカードによれば、また、各プローブは、その針先を前記針ガイドから前記配線基板と反対の側に突出させていると共に、針中央部と針後部との境界部近傍を前記配線基板の側に突出させている。これにより、各プローブの針先が被検査体の電極部に確実に接触するとともに、針中央部と針後部との境界部近傍が配線基板の配線部に確実に接触する。
【００１４】
本発明のプローブカードによれば、また、前記配線基板は、前記プローブの針中央部と針後部との境界部近傍を受け入れる凹所を各配線部に有する。これにより、各プローブが凹所に受け入れられた境界部近傍において配線基板に対し位置決められるから、プローブカードの組立作業が容易になり、また配線部に対するプローブの変位が防止される。各凹所は長穴とすることできる。
【００１５】
本発明の他のプローブカードによれば、また、前記配線基板の一方の面に配置されたシート状部材を含み、前記シート状部材は前記プローブに個々に対応された複数の開口を有し、各プローブはその針中央部と針後部との境界部近傍を対応する開口に受け入れられて該境界部近傍を前記配線部に接触させている。これによっても、各プローブがシート状部材の開口に受け入れられた境界部近傍において配線基板に対し位置決められるから、プローブカードの組立作業が容易になり、また配線部に対するプローブの変位が防止される。各開口も長穴とすることができる。
【００１６】
前記配線基板は、前記針ガイド領域ひいてはＩＣチップ部に個々に対応された複数の配線領域を有すると共に、１以上の配線領域毎の分離領域に分割されており、隣り合う分離領域は可撓性又は弾性変形可能の１以上の連結部により連結されていてもよい。これにより、配線基板と針ガイド領域の位置決めを分離領域毎に行うことができるし、各分離領域の熱的伸縮が連結部により吸収されて隣の分離領域に影響を与えない。
【００１７】
好ましい実施例においては、連結部はＳ字状にされた帯状の形状を有する。これにより、隣り合う分離領域の変形及び変位が、隣の分離領域に影響を与えることなく、連結部に確実に吸収される。
【００１８】
前記針ガイドは、隣り合う針ガイド領域の第１の穴を他方の面の側において互いに連通させるべく他方の面に開放する複数の溝を有することができる。また、前記針ガイドを、複数のねじ部材、好ましくは針ガイド領域毎に設けられたねじ部材により前記配線基板に組み付けることができる。
【００１９】
プローブカードは、さらに、前記配線基板を組み付ける組み付け基板を含み、該組み付け基板は、前記配線基板の配線部に個々に対応されて対応する配線部に電気的に接続された複数の他の配線部を一方の面に有し、また他方の面を前記配線基板の他方の面の側とした状態に前記配線基板に配置されていてもよい。
【００２０】
前記配線基板は前記被検査部に個々に対応された複数の配線領域を備え、各配線領域は前記配線部を有することができる。各配線領域は、前記針ガイドの前記針ガイド領域に対応する。
【００２１】
好ましい実施例においては、前記プローブは対応する被検査体の電極部の配列方向に間隔をおいており、前記弾性体は前記配列方向へ伸びている。
【００２２】
好ましい実施例においては、また、前記配線基板は、さらに、当該配線基板の配線部に個々に対応されて対応する配線部に電気的に接続された導電性の第１のスルーホールを有し、前記組み付け基板は、当該組み付け基板の配線部に個々に対応されて対応する配線部に電気的に接続された導電性の第２のスルーホールを有し、前記配線基板の配線部と前記組み付け基板の配線部とは前記第１及び第２のスルーホール並びに前記第１及び第２のスルーホールに差し込まれた導電性部材により電気的に接続されている。
【００２３】
プローブカードは、さらに、それぞれが前記プローブの針先を受け入れて該針先の移動を規制する複数のガイド穴を有する板状部材であって前記針ガイドの前記配線基板の側と反対の側に配置された板状部材を含むことができる。このようにすれば、オーバードライブ時に各プローブの針先は、ガイド穴により案内されて、電極部に対し所定の方向へ滑り、その結果針先は電極部に確実に及び電気的に接続される。
【００２４】
【発明の実施の形態】
図１から図３を参照するに、プローブカード１０は、電気絶縁材料で形成された円板状の取付基板すなわち組み付け基板１２と、該組み付け基板に組み付けられた電気絶縁材料製の長方形の配線基板１４と、該配線基板に組み付けられる板状の針ガイド１６と、電気絶縁材料製の棒状をした複数の弾性体１８と、針ガイド１６及び弾性体１８により配線基板１４に組み付けられた複数のプローブ２０とを含む。
【００２５】
図４及び図５を参照するに、各プローブ２０は、針先部２２と、該針先部の後端に続く針中央部２４と、該針中央部の後端に続く針後部２６とを有する。針中央部２４は、所定の極率半径を有する半円の形に湾曲されている。
【００２６】
針先部２２及び針後部２６は、それぞれ、針中央部２４の側から同じ側に弧状に湾曲された弧状部２２ａ及び２６ａと、該弧状部からほぼ同じ側に伸びる延長部２２ｂ及び２６ｂとを有する。弧状部２２ａ，２６ａの極率半径は、針中央部２４の極率半径より小さい。延長部２２ｂ，２６ｂは、針中央部２４からほぼ直線状にほぼ同じ側に伸びる。
【００２７】
検査される半導体ウエーハ２８は、図示してはいないが、多数のＩＣチップ部をマトリクス状に有する。各ＩＣチップ部は、図示の例では長方形の形状を有しており、また長方形の辺に対応する辺部分に複数の電極部３０を有する。半導体ウエーハ２８は、プローブカード１０を用いて、長方形をした所定の領域内に存在する複数のＩＣチップ部毎に検査される。
【００２８】
組み付け基板１２は、セラミックのような電気絶縁材料により形成された配線基板である。組み付け基板１２は、検査用の適宜な電気回路系に接続される複数のテスタランド３４（図１参照）を外周部に有しており、またそれぞれが一端部においてテスターランド３４に電気的に接続された多数の配線部を一方の面に有する。
【００２９】
組み付け基板１２の配線部は、配線パターンの一部であり、電気的に相互に絶縁されている。組み付け基板１２の配線部は同時に検査可能のＩＣチップ部毎の配線部群に分けられており、また各配線部の他端部は検査すべきＩＣチップ部に対応する領域内に達している。
【００３０】
図３に示すように、組み付け基板１２は、組み付け基板１２の配線部に個々に対応された導電性の複数のスルーホール３６を有している。各スルーホール３６は、対応する配線部に電気的に接続されている。このようなスルーホール３６は、例えば、筒状の導電性部材を対応する配線部を経て配線基板１２の厚さ方向に貫通する穴に配置または形成することにより、製作することができる。
【００３１】
図１及び図９に示すように、配線基板１４は、同時に検査可能のＩＣチップ部毎の配線領域３８に分けられている。配線領域３８は、同時に検査可能のＩＣチップ部の配列と同じ配列に形成されており、また検査すべきＩＣチップ部に対応した長方形の形状を有する。
【００３２】
図３から図６に示すように、各配線領域３８は、電気的に相互に絶縁された複数の配線部４０と、各配線部の一端部に電気的に接続された導電性のスルーホール４２と、配線領域３８を厚さ方向に貫通する１以上のねじ穴４４と、該ねじ穴と同軸の円形の凹所４６と、プローブ２０の針中央部２４と針後部２６との境界部近傍を受け入れるように各配線部４０に形成された凹所４８とを有する。
【００３３】
各配線部４０は、一方の面（すなわち、組み付け基板１２の側と反対の側の面）に形成された配線パターンの一部であり、また対応するスルーホール４２から配線領域３８の長方形の辺に対応する辺部分にまで伸びている。各スルーホール４２は、組み付け基板１２のスルーホール３６に対応されており、対応するスルーホール３６と同じ位置に形成されている。各スルーホール４２は、スルーホール３６と同様に製作することができる。
【００３４】
図３に示すように、組み付け基板１２のスルーホール３６と配線基板１４のスルーホール４２とは、両スルーホール３６，４２に嵌合された導電性のピン５０により電気的に接続されている。これにより、組み付け基板１２と配線基板１４とは、他方の面同士を対向させた状態に組み合わされている。
【００３５】
図９に示すように、針ガイド１６は、配線基板１４とほぼ同じ大きさを有する長方形の板の形を有しており、またＩＣチップ部に個々に対応された複数の針ガイド領域５４を備える。針ガイド１６の針ガイド領域５４、組み付け基板１２の配線部群及び配線基板１４の配線領域３８は、互いに対応されている。
【００３６】
図３から図１０に示すように、各針ガイド領域５４には、プローブ２０の少なくとも針中央部２４を受け入れる複数の貫通穴５６と、プローブ２０の後端を受け入れるべく一方の面（すなわち、配線基板１４の側の面）に開放する複数の穴５８と、配線基板１４に形成された凹所４６に嵌合されたボス部６０とが形成されている。
【００３７】
隣り合う針ガイド領域５４の貫通穴５６は、長穴であり、また針ガイド１６の他方の面（すなわち、配線基板１４の側と反対の側の面）に開口する溝６２により連通されている。穴５８は、針ガイド１６の厚さ方向へ伸びている。凹所４８、貫通穴５６及び溝６２の最大幅寸法並びに穴５８の直径寸法は、プローブ２０の直径寸法とほぼ同じ値、好ましくはそれよりやや大きい値とすることができる。
【００３８】
針ガイド１６は、配線領域３８のねじ穴４４に螺合された複数のねじ部材６４により配線基板１４に組み付けられている。各ねじ部材６４は、ボス部６０を厚さ方向に貫通する穴を経てのねじ穴４４に螺合されている。図示の例では、配線基板１４と針ガイド１６とを針ガイド領域５４毎に設けられたねじ部材６４により結合させているが、そのようにしなくてもよい。
【００３９】
図４，図５及び図１０に示すように、弾性体１８は、配線基板１４と針ガイド１６との間にあって検査すべきＩＣチップ部の電極部３０が配置された辺に対応する辺部分にその辺部分と平行に配置されており、また針中央部２４と針後部２６との境界部近傍を凹所４８に押圧している。
【００４０】
図４及び５に示すように、各プローブ２０は、弾性体１８を針ガイド１６に配置した状態において、針先部２２の側から貫通穴５６に通し、針後部２６の延長部２６ｂを穴５８に差し込むことにより、針ガイド１６に組み付けられる。これにより、各プローブ２０の、針中央部２４と針後部２６との境界部付近は一方の側（すなわち、配線基板の側）に突出され、針先部２２は他方の側に突出され、針先部２２及び針後部２６は針中央部２４に対し隣りの針ガイド領域の側とされる。
【００４１】
上記のように、各プローブ２０の後端を穴５８に差し込み、針中央部２４を貫通穴５６に差し込み、針中央部２４と針後部２６との境界部近傍を配線基板１４の凹所４８に受け入れさせるならば、プローブ２０が配線基板１４及び針ガイド１６に対し位置決められるから、プローブカード１０の組立作業が容易になる。また、針ガイド１６及び配線部４０に対するプローブ２０の変位が防止されるから、熟練を要することなく各プローブ２０を針ガイド１６に容易に組み付けることができる。
【００４２】
針ガイド１６は、プローブ２０を前記のように配置した後、弾性体１８を配線基板１４に押圧し、プローブ２０の針中央部２４と針後部２６との境界部付近を凹所４８に押圧した状態に、配線基板１４に組み付けられる。
【００４３】
組み付け基板１２と配線基板１４とは、針ガイド１６を配線基板に組み付ける前にピン５０により結合させてもよいし、針ガイド１６を配線基板に組み付けた後にピン５０により結合させてもよい。
【００４４】
組み付け基板１２，配線基板１４及び針ガイド１６は、いずれも、セラミック、ポリイミド樹脂、他の合成樹脂等、適宜な材料を素材として用いることができる。
【００４５】
検査時、各プローブ２０は、その針先をＩＣチップ部の電極部３０に押圧される。しかし、各プローブ２０の針先を針ガイド１６から配線基板１４と反対の側に突出させていると共に、針中央部２４と針後部２６との境界部付近を配線基板１４の側に突出させているから、各プローブ２０の針先がＩＣチップ部の電極部３０に確実に接触するとともに、針中央部と針後部との境界部近傍が配線基板１４の配線部に確実に接触する。
【００４６】
検査時、各プローブ２０は、その針先をＩＣチップ部の電極部に押圧されて、オーバードライブをかけられる。その結果、各プローブ２０は、針先が電極部３０に対し滑るように弾性変形して、電極部３０に擦り作用を与える。
【００４７】
しかし、各プローブ２０は、その後端を穴５８に差し込まれていると共に、針中央部２４を貫通穴５６に受け入れられており、針中央部２４と針後部２６との境界部近傍を配線基板１４の凹所４８に受け入れられているから、プローブ２０が配線基板１４及び針ガイド１４に対してずれるおそれがない。
【００４８】
上記のように、各プローブ２０の針先部２２及び針後部２６を針中央部２４に対し隣りの針ガイド領域５４の側とするならば、図３，図４及び図５に示すように、隣り合うＩＣチップ部用（針ガイド領域５４）のプローブ２０の針先部２２及び針後部２６を大きく接近させることができるから、隣り合うＩＣチップ部を同時に検査することができる。
【００４９】
その結果、プローブカード１０は、半導体ウエーハ２８に形成された多数のＩＣチップ部のうち、縦横に隣り合う複数のＩＣチップ部を同時に検査することができ、検査用プログラムが簡略化する。
【００５０】
配線基板１４の配線部４０に凹所４８を形成する代わりに、図１１に示すように、それぞれがプローブ２０の針中央部２４と針後部２６との境界部近傍を受け入れる複数の開口７２を有する電気絶縁性のシート状部材７０を配線基板１４の一方の面（配線部４０の側の面）に配置してもよい。各開口７２は、プローブ２０の直径寸法とほぼ同じ幅寸法、好ましくはそれよりやや大きい幅寸法を有する長穴である。
【００５１】
シート状部材７０を用いても、各プローブ２０は、針中央部２４と針後部２６との境界部近傍が開口７２に受け入れられるから、配線基板１４に対して位置決められ、その結果プローブカードの組立作業が容易になり、また配線部４８に対するプローブ２０の変位が防止される。シート状部材７０は配線基板１４に、接着してもよいし、複数のねじ部材により装着してもよい。
【００５２】
オーバードライブ時に電極部３０に対する各プローブ２０の針先の滑りを案内するために、図１１に示すように、複数のガイド穴７６を有する電気絶縁性の板状部材７４を針ガイド１６の他方の面に配置し、各プローブ２０の針先をガイド穴７６に通してもよい。ガイド穴７６は、針先部２２の直径寸法とほぼ同じ幅寸法、好ましくはそれよりやや大きい幅寸法を有する長穴とすることができる。板状部材７４は、複数のねじ部材により針ガイド１６に装着することができる。
【００５３】
図１２及び図１３に示すように、配線基板１４をそれぞれが１以上の配線領域３８を含む複数の分離領域に分割し、隣り合う分離領域を可撓性又は弾性変形可能の１以上の連結部７８により連結してもよい。各分離領域は、１以上の整数の配線領域３８に対応することが好ましい。
【００５４】
図示の例では、配線基板１４は配線領域３８毎の分離領域に分離されており、各配線領域３８は図９に示すような１以上のねじ部材６４により針ガイド１６の針ガイド領域５４に結合されている。しかし、各分離領域が複数の配線領域３８に対応する場合、各分離領域は隣り合う複数の配線領域３８に対応される。
【００５５】
上記のような配線基板１４は、スルーホール４２，配線部４０及び凹所４８を電気絶縁性の基板に形成した後に、連結部７８を残す状態に配線基板１４にレーザ光線によるカッティング加工を施すことにより製作することができる。。
【００５６】
配線基板１４を上記のように複数の分離領域に分割すれば、配線基板１４と針ガイド１６との位置決めを分離領域毎に行うことができるし、各分離領域の熱的伸縮のような変形及び変位が連結部により吸収されて隣の分離領域に影響を与えない。また、連結部７８の形状を図示のように帯状及びＳ字状の形状とするならば、隣り合う分離領域の変形及び変位が隣の分離領域に影響を与えることなく連結部７８に確実に吸収される。
【００５７】
プローブ２０は、オーバードライブをかけられると、主として針中央部２４において弾性変形することにより、針先が電極部に対し滑る。このため、プローブ２０には、オーバードライブが作用しても、電極部に対する針先の滑りを生じないＰライン８０（図１４参照）が存在する。このＰライン８０は、プローブ２０の場合、図１４（Ａ）に示すように、針中央部２４の極率中心を通りかつ配線基板１４に垂直の中心線８２に対し右側に位置する。
【００５８】
プローブ２０にオーバードライブが作用すると、プローブ２０の針先は、これがＰライン８０より右側にあると図１４（Ａ）に示すように右方に滑り、Ｐラインより左側にあると図１４（Ｂ）に示すように左方に滑る。
【００５９】
また、このときの針先の滑り量は、針先を右方に滑らせるときは針先がより左方となるように、また、針先を左方に滑らせるときは針先がより右方となるように、針先部２２の延長部２２ｂの曲げ角度θ（Ｐライン８０に対する延長部２２ｂの軸線の角度）を数度変更することにより、増大する。
【００６０】
それゆえに、Ｐライン８０に対する針先の位置と、延長部２２ｂの曲げ角度とを適宜な値に設定することにより、オーバードライブ時の電極部に対する針先の滑り方向及び滑り量を適宜な値にすることができる。
【００６１】
上記の実施例では、プローブ２０の針中央部２４が弧状に湾曲されているが、図１５及び図１６にそれぞれ示すプローブ８４及び８６のように、針中央部８８及び９０は、コ字状、く字状等、他の適宜な形状に曲げられていてもよいし、図１７及び図１８にそれぞれ示すプローブ９２及び９４のように、針中央部９６及び９８は、弧状、コ字状、く字状、Ｌ字状等から選択される少なくとも２つの組合せから形成される形状に曲げられていてもよい。
【００６２】
図１５及び図１６にそれぞれ示すプローブ８４及び８６の針先部２２及び針後部２６は、それぞれ、針中央部の側から同じ側に弧状に湾曲された弧状部２２ａ及び２６ａと、該弧状部からほぼ同じ側に伸びる延長部２２ｂ及び２６ｂとを有しており、また延長部２２ｂ，２６ｂは針中央部からほぼ直線状にほぼ同じ側に伸びている。針後部２６の延長部２６ｂは、配線基板１４と直角の方向へ伸びている。
【００６３】
図１７及び図１８にそれぞれ示すプローブ９２及び９４の針後部２６は、いずれも、針中央部９６及び９８の側から同じ側に湾曲された弧状部２６ａと、該弧状部からほぼ同じ側に伸びる延長部２６ｂとを有しており、また延長部２６ｂは針中央部９６及び９８からほぼ直線状にほぼ同じ側に伸びている。針後部２６の延長部２６ｂは、配線基板１４と直角の方向へ伸びている。プローブ９２及び９４の針先部２２は、いずれも、針中央部９６及び９８の側から針後部２６と同じ側に曲げられている。
【００６４】
図１７及び図１８に示す実施例では、他の実施例における溝６２を針ガイド１６に設けていないが、そのような溝６２を設けてもよい。
【００６５】
いずれのプローブ８４，８６，９２，９４にも、オーバードライブが作用したときに、針先が電極部３０に対して滑らないＰラインが存在する。このため、いずれのプローブ８４，８６，９２，９４も、Ｐラインに対する針先の位置と、延長部２２ｂ又は針先部２２の曲げ角度とを適宜な値に設定することにより、オーバードライブ時の電極部に対する針先の滑り方向及び滑り量を適宜な値にすることができる。
【００６６】
また、プローブ８４，８６，９２，９４を用いる場合も、図１１に示すように針先を案内する複数のガイド穴７６を有する板状部材７４を設けてもよい。
【００６７】
本発明は、上記実施例に限定されない。例えば、本発明は、金属細線を用いたプローブのみならず、帯状のプローブすなわちブレードタイプのプローブにも適用することができる。また、本発明は、半導体ウエーハのみならず、液晶表示パネル用透明基板のように、多数の被検査部を有する他の平板状被検査体の試験に用いるプローブ及びそれを用いたプローブカードにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るプローブカードの第１の実施例を示す平面図である。
【図２】  図１に示すプローブカードを図１において２−２線の方向から見た図である。
【図３】  図１における３−３線に沿って得た断面図である。
【図４】  隣り合う針ガイド領域に配置されたプローブの近傍を拡大して示す断面図である。
【図５】  図４に対応する箇所の斜視図である。
【図６】  配線領域の配線状態の一実施例を示す図である。
【図７】  針ガイドの一部を拡大して示す平面図である。
【図８】  図７における８−８線に沿って得た断面図である。
【図９】  配線基板と針ガイドとを分解した分解斜視図である。
【図１０】  プローブの配置例を示す針ガイド領域の斜視図である。
【図１１】  プローブカードの第２の実施例を示す、図４と同様の断面図である。
【図１２】  プローブカードの第３の実施例を示す、図５と同様の斜視図である。
【図１３】  図１２に示すプローブカードで用いる配線基板の一実施例の一部を示す平面図である。
【図１４】  電極部に対する針先の滑り方向及び滑り量を説明するための図であり、（Ａ）は針先をＰラインより右方に位置させており、（Ｂ）は針先をＰラインより左方に位置させている。
【図１５】  他の形状を有するプローブ及びこれを用いたプローブカードの第４の実施例を示す、図４と同様の断面図である。
【図１６】  他の形状を有するプローブ及びこれを用いたプローブカードの第５の実施例を示す、図４と同様の断面図である。
【図１７】  他の形状を有するプローブ及びこれを用いたプローブカードの第６の実施例を示す、図４と同様の断面図である。
【図１８】  他の形状を有するプローブ及びこれを用いたプローブカードの第７の実施例を示す、図４と同様の断面図である。
【符号の説明】
１０  プローブカード
１２  組み付け基板
１４  配線基板
１６  針ガイド
１８  弾性体
２０，８４，８６，９２，９４  プローブ
２２  針先部
２４，８８，９０，９６，９８  針中央部
２６  針後部
２８  半導体ウエーハ
３０  ＩＣチップ部の電極部
３６，４２  スルーホール
３８  配線領域
４０  配線基板の配線部
４８  配線基板の凹所
５０  導電性のピン
５４  針ガイド領域
５６  貫通穴（第１の穴）
５８  穴（第２の穴）
６２  溝
６４  ねじ部材
７０  シート状部材
７２  開口
７４  板状部材
７６  針先用のガイド穴（長穴）
７８  連結部
８０  Ｐライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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