(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端に開口が設けられ、他端が閉塞された管形状の摺動穴を有するバレルと、
前記バレルの摺動穴内の開口側に摺動自在に配置され、前記開口から測定端部が突出しているプランジャと、
前記バレルの摺動穴内の閉塞側に配置され、前記プランジャの測定端部が開口から突出する方向に前記プランジャを付勢するばね部材とを備え、
前記バレルの摺動穴の開口部分に摺動穴より穴径の大きい逃げ穴部を設け、該逃げ穴部にプランジャ抜け防止用係止部を設け、
前記プランジャ抜け防止用係止部の肉厚と前記逃げ穴部の肉厚が、それぞれ摺動穴の肉厚より薄く、
前記プランジャが、前記プランジャ抜け防止用係止部と前記逃げ穴部の接合部分に非接触であること、
を特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項２】
前記プランジャ抜け防止用係止部が、前記プランジャの摺動方向に対して略垂直に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。
【請求項３】
前記プランジャ抜け防止用係止部が、前記バレルの摺動穴の開口部分をかしめることによって形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、コンタクトプローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ウエハに形成されたＬＳＩチップ等の電子部品の電気的諸特性を測定する場合に用いられるコンタクトプローブとして、従来より、例えば、図５に示すようなコンタクトプローブ１００が知られている。このコンタクトプローブ１００は、一端に開口１１６が設けられ、他端が閉塞された管形状の摺動穴１１１を有するバレル１１０と、バレル１１０の摺動穴１１１内の開口１１６側に摺動自在に配置され、開口１１６から測定端部１３５が突出しているプランジャ１３０と、バレル１１０の摺動穴１１１内の閉塞側に配置され、プランジャ１３０の測定端部１３５が開口１１６から突出する方向にプランジャ１３０を付勢するコイルばね１４０とで構成されている。バレル１１０の摺動穴１１１の開口部分には、プランジャ抜け防止用係止部１１４が形成されている。このプランジャ抜け防止用係止部１１４は、摺動穴１１１の開口部分を絞りかしめ加工することにより形成される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、摺動穴１１１の開口部分を絞りかしめ加工する際には、かしめ力が摺動穴１１１の開口側の穴径ｄを小さくする方向に働く。従って、摺動穴１１１の開口側の穴径ｄが小さくなってしまい、この部分で、プランジャ１３０が引っかかり、プランジャ１３０の摺動性が劣化してしまうという問題が生じる。
【０００４】
また、コンタクトプローブ１００の量産を行った場合、量産されたそれぞれのコンタクトプローブ１００の絞りかしめ量のばらつきによっては、摺動穴１１１の開口側の穴径ｄがプランジャ１３０の外径寸法以下になり、図５に示すように、プランジャ１３０本体がプランジャ抜け防止用係止部１１４に達することができない状態で、コンタクトプローブ１００が仕上がる可能性がある。このため、製品の長さＬのばらつきが大きくなるという問題もある。
【０００５】
なお、この種のコンタクトプローブとして、特開平９−７２９３２号公報記載のものが知られているが、このコンタクトプローブも上述の問題を有している。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、プランジャの摺動性が優れており、かつ、製品寸法が安定しているコンタクトプローブを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び作用】
前記目的を達成するため、本発明に係るコンタクトプローブは、
（ａ）一端に開口が設けられ、他端が閉塞された管形状の摺動穴を有するバレルと、
（ｂ）前記バレルの摺動穴内の開口側に摺動自在に配置され、前記開口から測定端部が突出しているプランジャと、
（ｃ）前記バレルの摺動穴内の閉塞側に配置され、前記プランジャの測定端部が開口から突出する方向に前記プランジャを付勢するばね部材とを備え、
（ｄ）前記バレルの摺動穴の開口部分に摺動穴より穴径の大きい逃げ穴部を設け、該逃げ穴部にプランジャ抜け防止用係止部を設け、
（ｅ）前記プランジャ抜け防止用係止部の肉厚と前記逃げ穴部の肉厚が、それぞれ摺動穴の肉厚より薄く、
（ｆ）前記プランジャが、前記プランジャ抜け防止用係止部と前記逃げ穴部の接合部分に非接触であること、
を特徴とする。ここで、「他端が閉塞された」とは、バレルの摺動穴内の閉塞側に配置されたばね部材を保持できる形状を有していることを意味する。
【０００８】
以上の構成により、摺動穴の開口部分に摺動穴の穴径より大きい逃げ穴部を形成したので、摺動穴の開口部分を絞りかしめ加工してプランジャ抜け防止用係止部を形成する際に発生する歪み応力は、逃げ穴部によって吸収される。従って、摺動穴の穴径は全体に渡ってプランジャの外径寸法以下にならず、プランジャは摺動穴内を滑らかに摺動する。
【０００９】
また、プランジャ抜け防止用係止部の肉厚と逃げ穴部の肉厚は、それぞれ摺動穴の肉厚より薄いため、プランジャ抜け防止用係止部を絞りかしめ加工して形成する際の加工性が良くなる。
【００１０】
また、プランジャは、プランジャ抜け防止用係止部と逃げ穴部の接合部分に非接触であるため、プランジャの摺動穴内における摺動性がより向上する。
【００１１】
また、プランジャ抜け防止用係止部をプランジャの摺動方向に対して略垂直に設けたので、プランジャは、プランジャ抜け防止用係止部に確実に接触して係止する。これにより、量産されたそれぞれのコンタクトプローブの製品寸法がより一層安定する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係るコンタクトプローブの実施の形態について添付の図面を参照して説明する。なお、各実施形態において、同一部品及び同一部分には同じ符号を付し、重複した説明は省略する。
【００１３】
［第１実施形態、図１及び図２］
図１に、本発明に係るコンタクトプローブの一実施形態の組立完成前の垂直断面図を示す。図２は、図１の組立完成後のコンタクトプローブの垂直断面図を示す。
【００１４】
コンタクトプローブ１は、バレル１０とコイルばね４０とプランジャ３０から構成されている。プランジャ３０は、後述するバレル１０の管形状の摺動穴１１内を摺動可能な円柱形状の摺動部３１の端面中央に、被測定物の被接点部に圧接して電気的に接触接続する棒状の測定端部３５が形成されている。プランジャ３０は通電性を有する金属材料からなる。
【００１５】
コイルばね４０は、後述するバレル１０の摺動穴１１内に配設されているプランジャ３０と摺動穴１１内の閉塞部１３との間に縮装されている。このコイルばね４０は、プランジャ３０の測定端部３５が常時、バレル１０に形成された開口１６（図２参照）から外へ突出する方向にプランジャ３０を付勢する。コイルばね４０は通電性を有する金属材料からなることが好ましい。
【００１６】
バレル１０は、伸延性及び通電性を有する金属材料からなり、プレス成形で管形状の摺動穴１１と、摺動穴１１の開口側に摺動穴１１の穴径ｄより大きい穴径Ｄを有する座ぐり穴部２１が形成されている。摺動穴１１の開口側とは反対の側は閉塞部１３で塞がれている。座ぐり穴部２１の深さ寸法ａは、バレル１０の座ぐり穴部２１を絞りかしめ加工して形成される逃げ穴部２０の長さ寸法ｂ（図２参照）が、プランジャ３０の摺動部３１の摺動方向の長さ寸法ｃより短くなるように設定される。本第１実施形態では、図１に示すように、座ぐり穴部２１の深さ寸法ａは、摺動部３１の長さ寸法ｃの略半分に設定した。
【００１７】
コンタクトプローブ１は、図１に示すように、バレル１０の摺動穴１１の開口から摺動穴１１内にコイルばね４０とプランジャ３０を収容した後、座ぐり穴部２１の開放側の略半分を絞りかしめ加工して、図２に示すように、逃げ穴部２０とプランジャ抜け防止用係止部１４と開口１６を形成することにより得られる。
【００１８】
本第１実施形態では、逃げ穴部２０の肉厚とプランジャ抜け防止用係止部１４の肉厚は略同じ厚みに設定されており、逃げ穴部２０とプランジャ抜け防止用係止部１４の肉厚は、それぞれ摺動穴１１の肉厚より薄く設定されている。これにより、バレル１０を絞りかしめ加工する際の加工性が良くなる。プランジャ抜け防止用係止部１４はプランジャ３０の摺動方向に対して垂直に形成されている。また、摺動穴１１の穴径ｄより逃げ穴部２０の穴径Ｄが大きいので、プランジャ抜け防止用係止部１４と逃げ穴部２０の接合部分１９は、プランジャ３０と非接触な位置に形成されている。
【００１９】
なお、開口１６の穴径は、プランジャ３０の測定端部３５の断面径より大きく設定する。プランジャ３０が摺動穴１１内で摺動するときに、測定端部３５が開口１６に接触しないようにするためである。
【００２０】
次に、このコンタクトプローブ１の動作を説明する。非測定時には、プランジャ３０は、コイルばね４０のばね力に付勢されて、プランジャ３０の摺動部３１の端面をプランジャ抜け防止用係止部１４に圧接している。そして、測定時には、プランジャ３０の測定端部３５の先端部が被測定物の被接点部に当接し、プランジャ３０の摺動部３１が摺動穴１１に案内され、プランジャ３０の摺動部３１が摺動穴１１内をコイルばね４０に向かって所望量だけ移動し、コイルばね４０を圧縮する。この圧縮されたコイルばね４０の反発力によって、プランジャ３０の測定端部３５の先端部が電気的に接触接続し、圧接測定をおこなう。
【００２１】
以上の構成からなるコンタクトプローブ１は、肉厚の薄い座ぐり穴部２１（図１参照）の一部分に絞りかしめ加工を施して、逃げ穴部２０及びプランジャ抜け防止用係止部１４を形成しているので、絞りかしめ加工によって発生する歪み応力は逃げ穴部２０によって吸収される。従って、摺動穴１１の穴径ｄは、全体に渡ってプランジャ３０の外径寸法以下にならず、プランジャ３０は摺動穴１１内を滑らかに摺動することができる。
【００２２】
また、摺動穴１１の穴径ｄよりも大きい穴径Ｄを有する逃げ穴部２０に接合部分１９が形成されているので、摺動部３１と接合部分１９は非接触状態となり、摺動部３１が接合部分１９に引っかかることはなくなり、プランジャ３０の摺動部３１の摺動性がより向上する。
【００２３】
また、プランジャ抜け防止用係止部１４を摺動方向に対して垂直に形成したので、プランジャ３０の摺動部３１がプランジャ抜け防止用係止部１４に確実に接触して係止する。これにより、コンタクトプローブ１を量産した際に、バレル１０からプランジャ３０の測定端部３５の先端部までの製品長さＬをより一層安定させて製造することができる。
【００２４】
［他の実施形態］
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の構成に変更することができる。
【００２５】
例えば、図３に示すように、摺動部３１のプランジャ抜け防止用係止部１４側の角部に斜面３２を形成したプランジャ３０ａを用いたコンタクトプローブ１ａであってもよい。また、図４に示すように、摺動部３１のプランジャ抜け防止用係止部１４側の角部に段部３３を形成したプランジャ３０ｂを用いたコンタクトプローブ１ｂであってもよい。この場合、接合部分１９と摺動部３１の隙間を大きく取ることができるので、接合部分１９の位置に多少のばらつきが生じても、プランジャ３０ａ，３０ｂをプランジャ抜け防止用係止部１４に確実に接触させることができる。
【００２６】
また、閉塞部１３は、コイルばね４０を摺動穴１１内に保持できる形状であればよく、例えば、図４に示すように、閉塞部１３の中央にリード線引出し用の貫通穴１３ａが形成されていてもよい。
【００２７】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、バレルの摺動穴の開口部に摺動穴より穴径の大きい逃げ穴部を設け、該逃げ穴部にプランジャ抜け防止用係止部を設けたので、摺動穴の開口部分を絞りかしめ加工してプランジャ抜け防止用係止部を形成する際に発生する歪み応力を逃げ穴部に吸収させることができる。従って、摺動穴の穴径は、全体に渡ってプランジャの外径寸法以下にならず、プランジャは摺動穴内を滑らかに摺動することができる。
【００２８】
また、プランジャ抜け防止用係止部は、プランジャの摺動方向に対して略垂直に設けられているので、プランジャをプランジャ抜け防止用係止部に確実に接触させて係止させることができる。この結果、量産されたそれぞれのコンタクトプローブの製品寸法をより一層安定させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るコンタクトプローブの一実施形態を示す組立完成前の断面図。
【図２】図１の組立完成後の断面図。
【図３】図２に示すコンタクトプローブの変形例を示す断面図。
【図４】図２に示すコンタクトプローブの別の変形例を示す断面図。
【図５】従来のコンタクトプローブを示す断面図。
【符号の説明】
１，１ａ，１ｂ…コンタクトプローブ
１０…バレル
１１…摺動穴
１４…プランジャ抜け防止用係止部
１６…開口
１９…接合部分
２０…逃げ穴部
３０，３０ａ，３０ｂ…プランジャ
３５…測定端部
４０…コイルばね
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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