(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口孔を備えた載置面に基板を載置する載置テーブルであって、
前記基板を前記載置面に吸着する吸着手段と、
前記基板を前記載置面から離間する離間手段と、
前記載置面の一部分であって、当該載置面に対して垂直軸周りに回転する回転部と、
を備え、
前記載置面は、前記回転部の第１の載置面と、前記回転部以外の第２の載置面とで構成され、
前記回転部が回転するとき、
前記吸着手段は、前記第１の載置面において、前記基板を吸着し、
前記離間手段は、前記第２の載置面において、前記開口孔から気体を吹き出し、前記基板を離間することを特徴とする載置テーブル。
【請求項２】
請求項１に記載の載置テーブルであって、
前記吸着手段は、前記開口孔から気体を吸引し、前記回転部において前記基板を前記載置面に吸着することを特徴とする載置テーブル。
【請求項３】
請求項１または２に記載の載置テーブルであって、
前記離間手段は、前記開口孔が前記第２の載置面に対して斜め方向に開けられていることを特徴とする載置テーブル。
【請求項４】
請求項１または３のいずれか一項に記載の載置テーブルであって、
前記回転部は、前記第１の載置面に対して垂直視したときの形状が円形であることを特徴とする載置テーブル。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の載置テーブルと、
前記基板に対してノズルから液状体を吐出する液状体吐出手段と、
を備えたことを特徴とする液状体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、載置テーブルおよびこの載置テーブルを備えた液状体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば機能液やインクなどといった液状体を、ガラス、セラミック、樹脂またはシリコンなどの基板を対象物として吐出し、所定の図柄（「描画パターン」とも称す）を対象物に形成（「描画」とも称す）する液状体吐出装置が存在する。このような装置は、液状体が流れる流路の途中に設けられた圧力室の液状体に、圧電素子の電歪性や熱エネルギーを利用して圧力を加えることによって液状体を吐出する吐出機構や、この吐出機構を制御するための回路基板などが組み込まれたキャリッジを有している。そして、圧力が加えられた液状体は、このキャリッジに設けられ流路の最後端に位置するノズルから吐出する。ノズルは、通常略直線となる配列方向と所定のノズル間隔（ピッチ）を有する複数のノズルが一つのノズル群として形成されている。
【０００３】
ところで、このような液状体吐出装置を用いてカラーフィルタを描画する場合、一つの基板において、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色液状体が吐出される被吐出領域つまり各色画素の描画領域の描画パターンが異なる場合が存在する。例えば、異なる画面サイズ用のカラーフィルタを１枚の基板に複数描画する場合、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色画素の形状が長手方向を有する矩形形状である場合は、長手方向が互いに直交するなどカラーフィルタ間で描画パターンが異なることが生ずる。すると、隣り合う色画素間の画素ピッチについて、長手方向に対して、長手方向と直交する方向の色画素間の画素ピッチは短いことになる。このとき、キャリッジに予め所定の配列方向を呈するように形成されたノズルから複数のカラーフィルタに対して、各色液状体を吐出して各色画素を描画する場合、ノズルの配列方向が各色画素の長手方向と略平行であれば各色画素を描画できるが、ノズルの配列方向が長手方向と略直交する方向であると、画素ピッチが短くなることに起因して、各色画素のうち描画できない色画素が発生する場合がある。
【０００４】
このような場合、それぞれの描画パターンをノズルの配列方向に応じて最適化した方向にする必要があり、この種の目的を達する技術として、例えば、特許文献１には、基板を昇降して回転させる技術が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１６７７０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に開示された技術を用いれば、基板を回転して、描画パターンをノズルの配列方向に適した方向に合わせ、各画素を描画することが可能である。しかしながら、特許文献１に開示された技術では、基板を持ち上げる際、テーブルの表面の一部を上昇させる構造となっているため、基板に反りが発生し、最悪基板を破損する場合がある。また、昇降動作を必要とするため、基板の回転処理に相当の時間を要するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するために行われたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］載置面に基板を載置する載置テーブルであって、前記基板を前記載置面に吸着する吸着手段と、前記基板を前記載置面から離間する離間手段と、前記載置面の一部分であって、当該載置面に対して垂直軸周りに回転する回転部と、を備え、前記回転部が回転するとき、前記吸着手段は、前記回転部において、前記基板を前記載置面に吸着し、前記離間手段は、前記回転部を除く部分において、前記基板を前記載置面から離間することを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、載置テーブルの表面の一部分を昇降させることなく、載置テーブル上で基板を回転することができる。従って、基板の昇降動作に要する時間を省くことができるので、回転に要する時間を短くすることができる。また、昇降装置が不要であるため、回転手段の構成が簡単になる。
【００１０】
［適用例２］上記載置テーブルであって、前記吸着手段は、前記回転部の端部では、前記基板を吸着しないことを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、載置テーブルの表面のうち、回転する一部分と隣接する回転しない他の部分において、基板は載置テーブルの表面から離れ易くなる。従って、基板は、載置テーブルの表面との擦れが抑制され、スムースに回転することができる。
【００１２】
［適用例３］上記載置テーブルであって、前記回転部は、前記載置面に対して垂直視したときの形状が円形であることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、載置テーブルの表面のうち、回転する一部分と隣接する回転しない他の部分において、回転に伴って必要とされる隙間を最も少なくすることができる。この結果、この隙間に起因して生ずる基板の変形が抑制されるので、基板を安定して回転することができる。
【００１４】
［適用例４］上記載置テーブルであって、前記載置面に開口孔を備え、前記離間手段は、前記開口孔から吹き出す気体を用いた手段であることを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、載置テーブルの表面に備えられた開口孔からの気体の吹き出しによって基板を離間することができるので、離間手段を容易に構成することができる。特に、気体として大気を用いた場合は、離間手段を容易に構成することができるとともに、離間手段の構成が簡単になる。
【００１６】
［適用例５］上記載置テーブルであって、前記開口孔は、前記載置面に対して斜め方向に開けられ、前記離間手段は、前記斜め方向に開けられた開口孔から前記気体を吹き出すことによって前記基板を離間するとともに前記回転部を回転させることを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、気体の吹き出しによって基板を離間するとともに回転することができる。従って、基板の回転動作を離間動作と同時に行うことが可能であり、基板の回転動作時間が短くなることが期待できる。また、回転部を回転するための手段を別途形成する必要がなく、回転手段の構成が簡単になる。
【００１８】
［適用例６］上記載置テーブルであって、前記載置面は、前記載置面に対して略垂直方向に開けられた開口孔を備え、前記離間手段は、前記垂直方向に開けられた開口孔から前記気体を吹き出すことによって、前記基板全体を前記載置面から離間することを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、基板を回転する場合は斜め方向の開口孔を用いて圧空を斜め方向に吹き出し、圧空によって基板を回転させる一方、基板を装置から取り出す場合は垂直方向の開口孔を用いて気体を吹き出すので、気体による基板の回転を抑制することができる。従って、基板を載置テーブルから除材する際の作業が容易となる。
【００２０】
［適用例７］上記載置テーブルと、前記基板に対してノズルから液状体を吐出する液状体吐出手段と、を備えたことを特徴とする液状体吐出装置。
【００２１】
この吐出装置によれば、基板を昇降することなく載置テーブルに載せたまま基板を回転させる。そして、基板の回転前と回転後とにおいて、ノズルから基板に対して液状体を吐出することができる。従って、回転させた基板に対してノズルから液状体を吐出する必要がある場合、基板を載置テーブルに載せたまま短い時間で回転することが出来るので、回転後液状体の吐出までに要する時間が長くなることを抑制した液状体吐出装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を具体化した一実施形態について説明する。図１は、本実施形態の液状体吐出装置１００の概略構成を示す斜視図である。本実施形態の液状体吐出装置１００は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色液状体を、吐出対象物としての基板Ｐに設けられた被吐出領域としての各色画素に吐出して、カラーフィルタを描画する装置である。
【００２３】
図１に示すように、液状体吐出装置１００は、直線的に設けられた一対のガイドレール１０１と、ガイドレール１０１の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により１つの直線軸方向（これを本実施形態ではＹ軸方向とする）に移動する移動台１０３を備えている。移動台１０３上には、基板Ｐを載置するための載置テーブル１０５が設けられている。載置テーブル１０５は基板Ｐを載置する載置面となるテーブル表面に基板Ｐを吸着する吸着手段と、テーブル表面から基板Ｐを離間できる離間手段とが構成されている。また、載置テーブル１０５は、テーブル表面の一部が他の部分と別体で形成され、テーブル表面に対して垂直な１つの軸を中心として回転する回転部１１０を備えている。
【００２４】
吸着手段および離間手段と、回転部１１０について、図２を用いて詳しく説明する。図２は、載置テーブル１０５に構成された吸着手段と離間手段を模式的に示した構成図である。図２（ａ）は、載置テーブル１０５を、移動台１０３と反対側となる上方向（その逆を下方向と呼ぶ）から見た状態を示し、図２（ｂ）は、図２（ａ）における載置テーブル１０５についてのＡ−Ａ断面を示している。
【００２５】
図示するように、載置テーブル１０５の一部には、円形の回転部１１０が形成され、そのテーブル表面に対して垂直方向な軸を有し、円形形状の中心位置を回転中心ＣＺとして回転可能に構成されている。そして、この回転部１１０は、載置テーブル１０５または移動台１０３内に設けられた回転モータ１１５によって回転が制御されるように構成されている。
【００２６】
ところで、本実施形態のように、回転部１１０は円形形状であって、その回転中心が円形形状の中心であることが好ましい。こうすることによって、載置テーブル１０５において、回転部１１０と他の非回転部との間に生ずる隙間を、回転部１１０の回転時の偏心バラツキや載置テーブル１０５の製造バラツキから定まる隙間に設定することができる。従って、この隙間は最小に設定できる確率が高くなるので、この隙間に起因して基板Ｐが薄い場合などに生ずる基板の変形が抑制される。もとより、回転部１１０は必ずしも円形形状にしなくてもよく、例えば上記特許文献１に開示したように四角形であっても差し支えない。また、回転中心も回転部１１０の形状中心でなくても差し支えない。
【００２７】
さて、載置テーブル１０５には、回転部１１０を含めて、そのテーブル表面に対して略垂直方向であって略円形の開口を有する孔が複数形成されている。本実施形態では、以降の説明を簡略化するため、各孔の開口中心がＹ軸方向に直線状に並んだ計８つの孔Ｙ１〜Ｙ８と、各孔の開口中心がＹ軸方向と直交する方向に直線状に並んだ計８つの孔Ｘ１〜Ｘ８と、の計１６個の孔が形成されているものとする。このうち回転部１１０には、孔Ｘ３〜Ｘ６、孔Ｙ３〜Ｙ６の計８個の孔が形成されているものとする。また、各孔は回転中心ＣＺを中心として、点対称となる位置に形成されているものとする。もとより、載置テーブル１０５には、略全面に渡って複数の孔が通常形成されている。また、孔の形成場所も回転中心ＣＺに対して点対称の位置でなくても何ら差し支えない。
【００２８】
このように形成された各孔は、載置テーブル１０５のテーブル表面側から加圧された大気が吹き出す状態になったり、あるいは基板Ｐが載置される載置テーブル１０５の表面側から大気が吸引される状態になったりするように制御される。
【００２９】
具体的には、図面下側に示したように、孔Ｘ１と孔Ｘ２は、制御信号ＣＳ１によって動作する制御バルブ１６０によって、図示しない圧縮ポンプ等の圧空生成装置によって生成される加圧された大気（以降これを「圧空」と称する）に接続され、孔Ｘ１と孔Ｘ２から大気が吹き出す状態となる。また、図示しない真空ポンプ等の真空生成装置によって生成される真空もしくは減圧された大気（以降これを「真空」と称する）に接続され、孔Ｘ１と孔Ｘ２に大気が吸引される状態となる。もとより、図では省略しているが孔Ｘ７，Ｘ８および孔Ｙ１，Ｙ２，Ｙ７，Ｙ８についても、制御バルブ１６０にて孔Ｘ１，Ｘ２と同様に制御される。
【００３０】
孔Ｘ３と孔Ｘ４は、制御信号ＣＳ２によって動作する制御バルブ１７０によって、圧空に接続されたり真空に接続されたりする。もとより、図では省略しているが孔Ｘ５，Ｘ６および孔Ｙ３，Ｙ４，Ｙ５，Ｙ６についても、制御バルブ１７０にて孔Ｘ３，Ｘ４と同様に制御される。
【００３１】
なお、制御バルブ１６０，１７０と各孔Ｘ１〜Ｘ８と各孔Ｙ１〜Ｙ８との間、および制御バルブ１６０，１７０と圧空および真空との間の大気の流通は、通常配管によって行われるが、ここでは、以降の説明においても同様に、配管を簡略化して実線で表記している。また、圧空生成装置および真空生成装置は、本実施形態では移動台１０３に備えることとする。もとより、移動台１０３には備えず、移動台１０３には配管のみ形成することとしても差し支えない。
【００３２】
以上の説明から明らかなように、各孔Ｘ１〜Ｘ８および各孔Ｙ１〜Ｙ８は、制御バルブ１６０，１７０の制御によって、大気が吹き出すことによって離間手段として機能し、大気を吸引することによって吸着手段として機能するのである。特に、離間手段として大気を用いると、大気の吹き出しによって基板を離間することができるので、離間手段を容易に構成することができるとともに、離間手段の構成が簡単になる。なお、大気に替えて、例えば窒素ガスや酸素ガスなど大気に相当する気体を用いることもできる。
【００３３】
図１に戻り、載置テーブル１０５に対して移動台１０３と反対側の上方向には、所定の距離をおいて一対のガイドレール１０２が設けられている。ガイドレール１０２は１つの直線軸方向（これを本実施形態ではＸ軸方向とする）を呈するように設けられている。
【００３４】
そして、液状体吐出装置１００には、この一対のガイドレール１０２に沿って移動するキャリッジ２００が備えられている。すなわち、キャリッジ２００は、その両側にキャリッジ２００と一体若しくは別体でキャリッジ移動台１１２が設けられ、ガイドレール１０２の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（いずれも図示せず）により、Ｘ軸方向に沿って移動可能に構成されている。
【００３５】
キャリッジ２００には、その下方向側に所定の配列方向を呈するように穿設され各色液状体を吐出する複数のノズルと、ノズル毎に液状体を吐出する吐出機構とが形成されたノズルヘッド２０が備えられている。そして、図示しない液状体供給機構からキャリッジ２００に供給された各色液状体は、キャリッジ２００内に形成された図示しない流路を経由して各ノズルヘッド２０に供給され、ノズル毎に形成された吐出機構によって各ノズルから液滴として吐出する。
【００３６】
ここで、本実施形態におけるノズルヘッド２０に形成されたノズルについて、図３を用いて説明する。図３は、各ノズルヘッド２０に穿設されたノズルの配列具合を示す模式図であり、図１において白抜き矢印で示したようにキャリッジの下方向から見た状態を示したものである。なお、ここでは図面上下方向をＸ軸方向として図示している。
【００３７】
本実施形態では、図示するように、ノズルヘッド２０はＲ、Ｇ、Ｂに対応した各色液状体を吐出するノズル群２０Ｒ，２０Ｇ，２０Ｂを備えている。そして、各ノズル群２０Ｒ，２０Ｇ，２０Ｂは、それぞれ９個のノズル２１〜２９が略一直線に並んだノズル列を有し、その配列方向はＸ軸方向と一致している。もとより、ノズル列はＸ軸方向に対して傾いているなど、必ずしもＸ軸方向と一致しなくても差し支えない。
【００３８】
穿設された各ノズルには、ノズルヘッド２０内において、前述したようにノズル毎に吐出機構がそれぞれ形成され、ノズルヘッド２０内の液状体に圧力を発生させて、所定量の液状体をノズルから吐出するように構成されている。もとより、吐出機構は、総てのノズルについて同様な構造を有している。
【００３９】
吐出機構は、本実施形態では図３の吹出し部に示した構造を有し、圧電素子２を駆動体（アクチュエータ）とするものである。すなわち、圧電素子２は、その両端の電極ＣＯＭとＧＮＤとの間に所定の電圧波形が印加されると、電歪性によって収縮あるいは伸長変形し、流路途中に形成された加圧室４に存在する各色液状体を加圧する。この結果、加圧された各色液状体は、ノズルヘッド２０の底面部材８に穿設されたノズル２９（２１〜２８）から、液滴９として吐出されるのである。なお、吐出機構は、例えば、駆動体として加熱素子を用いた所謂サーマル方式などを採用することもできる。
【００４０】
ところで、本実施形態では、説明を簡略化するため各ノズル群には９個のノズルが形成されているものとしているが、実際はそれぞれ所定のピッチで数十個〜数百個のノズルが形成されている。また、各ノズル群も２列など複数のノズル列数を有する場合もあり、例えば２列の場合は、ノズルの穿設位置が、ノズル列間で互いに半ピッチずれた千鳥配列をなす関係となる場合もある。また、各色液状体について複数のノズル群が形成されている場合もある。なお、本実施形態では、各ノズル群におけるノズルのピッチは総て同じピッチであるものとする。もとより、必ずしも総て同じピッチでなくても差し支えない。
【００４１】
さて、図１に戻り、液状体吐出装置１００はコントロール装置１０を備え、移動台１０３のＹ軸方向の移動つまり基板ＰのＹ軸方向の移動制御と、キャリッジ２００に設けられたキャリッジ移動台１１２のＸ軸方向の移動つまりキャリッジ２００のＸ軸方向の移動制御と、ノズルヘッド２０に形成された吐出機構の駆動制御つまり液状体の吐出制御と、載置テーブルの回転部１１０の回転制御とを、基板Ｐ上に描画する描画パターンデータを用いて行う。なお、本実施形態では、描画パターンデータは、カラーフィルタの各色画素を基板Ｐにおける座標位置として定めた座標データであるものとする。
【００４２】
また、コントロール装置１０は、描画パターンの描画処理において、前述した吸着手段および離間手段を制御して、基板Ｐを載置テーブル１０５のテーブル表面に吸着したり、あるいはテーブル表面から離間したりする。
【００４３】
次に、コントロール装置１０について、図４に示したブロック図を参照して説明する。コントロール装置１０は、図４に示したように、バスラインで相互に接続されたＣＰＵ１１とメモリ１２、および基板移動信号生成回路１３、キャリッジ移動信号生成回路１４、テーブル回転信号生成回路１５、吸着・離間制御信号生成回路１６、圧電素子駆動信号生成回路１８とを有している。これらの基板移動信号生成回路１３、キャリッジ移動信号生成回路１４、テーブル回転信号生成回路１５、吸着・離間制御信号生成回路１６、圧電素子駆動信号生成回路１８の各出力信号は、必要に応じて図示しないインターフェースを介し、移動台１０３の駆動用リニアモータ、キャリッジ移動台１１２の駆動用リニアモータ、回転部１１０の回転モータ１１５、制御バルブ１６０，１７０、各ノズルの圧電素子に、それぞれ所定の電圧信号として出力されるようになっている。
【００４４】
ＣＰＵ１１は、コントロール装置１０に入力され図示しないインターフェース等を介してメモリ１２に記憶された描画パターンデータを用い、各色液状体を吐出して所定の描画パターンを基板Ｐ上に形成するための、描画開始位置演算、主走査制御演算、副走査制御演算、テーブル回転制御演算、吸着・離間制御演算およびノズル吐出制御演算を行う。
【００４５】
ここで、主走査とは、基板Ｐとノズルとが相対移動する間であって、ノズルから液状体が吐出される間の移動を意味し、副走査方向とは、基板Ｐとノズルとが相対移動する間であって、ノズルから液状体を吐出しない状態で１つの主走査の終了から次の主走査を行うまでの間の移動を意味する。
【００４６】
ＣＰＵ１１は、このように演算した主走査と副走査の制御データに基づいて、基板移動信号生成回路１３およびキャリッジ移動信号生成回路１４を制御し、各リニアモータの駆動信号を生成して出力する。また、演算した回転部１１０の回転制御データに基づいて、テーブル回転信号生成回路１５を制御し、回転モータ１１５の駆動信号を生成して出力する。また、回転部１１０の回転に合わせて、演算した吸着・離間の制御データに基づいて吸着・離間制御信号生成回路１６を制御し、吸着・離間の制御信号ＣＳ１，ＣＳ２を生成して制御バルブ１６０，１７０にそれぞれ出力する。更に、主走査の間にノズルから各色液状体を吐出させる演算した制御データに基づいて、圧電素子駆動信号生成回路１８を制御し、各ノズルの圧電素子の駆動信号を生成して、各ノズルの圧電素子に出力する。
【００４７】
こうして、本実施形態の液状体吐出装置１００は、移動台１０３の移動とキャリッジ移動台１１２の移動とにより、ノズル群２０Ｒ，２０Ｇ，２０Ｂ、を基板Ｐに対して相対移動させるとともに、回転部１１０の回転制御によって基板Ｐの載置方向を切り替える。また、ノズル毎に形成された吐出機構の制御によって、液状体の吐出のオン（吐出有り）・オフ（吐出無し）制御を行う。この結果、ノズル２１〜２９の主走査軌跡に沿った位置に液状体を吐出することによって、基板Ｐ上に所望のパターンを描画することができる。なお、各ノズル群において、端部の数個分のノズルは、その特性の特異性に鑑みて使用しない場合もある。
【００４８】
次に、基板Ｐ上に異なる描画パターンを形成する場合において、本実施形態の液状体吐出装置１００が行う描画処理を説明するが、その前に、この処理の概要を前もって図５を用いて説明する。図５は、基板Ｐを上方向から見た状態を示したものであって、基板Ｐに設けられた各色液状体の被吐出領域とノズルヘッド２０の関係を説明するための説明図である。なお、ノズルヘッド２０は透視状態で示している。また、各色液状体の被吐出領域やノズルヘッド２０の大きさも説明のため誇張して図示している。
【００４９】
図５は、基板Ｐに、大きい画面サイズ用のカラーフィルタ７０を１つ、小さい画面サイズ用のカラーフィルタ５０を２つ描画する状態を示している。カラーフィルタ７０は、Ｙ軸方向と直交する方向に長手方向を有する矩形形状の被吐出領域（色画素）がマトリックス状に形成された描画パターンを有している。この被吐出領域は、Ｙ軸方向に沿って順に、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色液状体が繰返し吐出される領域、すなわち領域７０Ｒ、領域７０Ｇ、領域７０Ｂに、樹脂製のバンク等によって区画され、全体でストライプ配列を形成するものである。一方、カラーフィルタ５０は、Ｙ軸方向に長手方向を有する矩形形状の被吐出領域がマトリックス状に形成された描画パターンを有している。この被吐出領域は、Ｙ軸方向と直交する方向にＲ、Ｇ、Ｂの各色液状体が繰返し吐出される領域、すなわち領域５０Ｒ、領域５０Ｇ、領域５０Ｂに、樹脂製のバンク等によって区画され、全体でストライプ配列を形成するものである。
【００５０】
本実施形態では、Ｙ軸方向とＸ軸方向とは直交しているものとする。従って、カラーフィルタ５０とカラーフィルタ７０とは、長手方向がそれぞれＸ軸方向とＹ軸方向となるようにそれぞれ矩形形状に区画された被吐出領域からなる描画パターン、つまり長手方向が互いに直交する描画パターンを有することになる。このように、基板Ｐに形成する描画パターンにおいて、大きい画面サイズ用のカラーフィルタと小さい画面サイズ用のカラーフィルタとを同時に描画する場合は、基板Ｐの領域を無駄なく使用するために、このように被吐出領域の長手方向が直交するなど異なる描画パターンになる場合が多く発生するのである。
【００５１】
このような基板Ｐに対して、例えばキャリッジ２００を用い、図中白抜き矢印で示したように、Ｙ軸方向を主走査方向としてカラーフィルタ５０とカラーフィルタ７０とを描画する場合を考える。そして、Ｒ液状体が吐出されるべき領域５０Ｒおよび領域７０Ｒに、ノズルヘッド２０に設けられたノズル群２０Ｒのノズル２１〜２９からＲ液状体を吐出する場合を想定する。なお、図示および説明は省略するが、以降の説明は、ノズル群２０Ｇおよびノズル群２０Ｂについても、同様である。
【００５２】
この場合、図示するように、カラーフィルタ７０では、一回の主走査において、ノズル２１〜２９のうち、ノズル２３以外のノズルは、ノズルの走査軌跡において重なる総て領域７０Ｒに対してＲ液状体の吐出が可能である。これに対して、カラーフィルタ５０では、領域５０Ｒ、領域５０Ｇ、領域５０Ｂのノズルの配列方向における領域間隔（つまり色画素ピッチ）が短くなることに起因して、領域５０Ｒの領域幅が狭くなっているため、ノズル２１〜２９のうち、ノズル２１とノズル２８は領域５０ＲにＲ液状体を吐出可能であるが、ノズル２３とノズル２６は領域５０Ｒに対してＲ液状体の吐出が困難である。従って、カラーフィルタ５０については、ノズルヘッド２０をＸ軸方向に移動、つまり副走査を行ってノズルの位置を領域５０Ｒと平面的に重なる位置に移動し、都度主走査を繰り返す必要が生じる。このため、主走査回数が増え、描画完了までの時間が長くなってしまうという不具合が生じる。
【００５３】
また、カラーフィルタ５０について、ノズルヘッド２０を回転してノズルの配列方向を変更した場合、ノズルピッチが狭くなることによって、ノズル２６が領域５０Ｒに対してＲ液状体を吐出可能とすることができるものの、逆にノズル２８が領域５０Ｒに対してＲ液状体の吐出不可となってしまう。従って、このような場合は、例えば基板を装置から取り出し、９０度回転して再び装置にセットするといった作業が必要となり、生産性が低下することになる。
【００５４】
そこで、本実施形態では、このような場合、基板Ｐを装置から取り出すことなく、載置テーブル１０５に載せたまま９０度回転して、カラーフィルタ５０の被吐出領域の長手方向をＸ軸方向とするのである。この結果、ノズルヘッド２０をＹ軸方向に主走査することによって、カラーフィルタ５０についてもカラーフィルタ７０と同様に描画することが可能となる。
【００５５】
それでは、本実施形態の液状体吐出装置１００が行う描画処理について、図６に示した処理フローチャートに従って説明する。この処理は、メモリ１２に格納されたプログラムソフト（図４参照）にその手順が規定され、ＣＰＵ１１は、このプログラムソフトを読み出して実行する。
【００５６】
まずステップＳ１０１にて、基板を吸着処理する。ＣＰＵ１１は制御バルブ１６０，１７０を制御して、各孔Ｘ１〜Ｘ８、および各孔Ｙ１〜Ｙ８の総てを真空に接続して、載置テーブル１０５の所定の位置に置かれた基板Ｐをテーブル表面に吸着する。
【００５７】
次に、ステップＳ１０２にて、各色液状体が吐出される対象となる描画パターンＡの取得処理を行う。描画パターンデータは、図１に示した載置テーブル１０５に吸着固定された基板Ｐ毎にコントロール装置のメモリ１２に入力され、ＣＰＵ１１はこの入力された描画パターンデータから描画パターンＡのデータを読み込む。本実施例では、カラーフィルタ７０の各色画素が形成する描画パターンを描画パターンＡとし、カラーフィルタ５０の各色画素が形成する描画パターンを描画パターンＢとする。
【００５８】
なお、本実施形態では、予めカラーフィルタ７０の描画パターンの長手方向がＸ軸方向となるように、基板Ｐは載置テーブル１０５に吸着されているものとする。従って、ＣＰＵ１１は、各色画素の座標データを読み取り、読み取った座標データを用いて演算して長手方向がＸ軸方向である描画パターンＡを取得する。
【００５９】
次に、ステップＳ１０３にて、キャリッジの配置処理を行う。ＣＰＵ１１は、カラーフィルタ７０にＲ，Ｇ，Ｂのカラーパターンを描画するべく、リニアモータを駆動して、キャリッジ２００のキャリッジ移動台１１２をガイドレール１０２に沿って動かし、描画パターンＡのデータから演算した描画開始位置にキャリッジ２００を配置する。
【００６０】
次に、ステップＳ１０４にて、基板を主走査（Ｙ軸方向）、およびキャリッジを副走査（Ｘ軸方向）して、描画パターンＡを描画する処理を行う。ここでの処理の様子を、図７を用いて説明する。図７は、キャリッジ２００に備えられたノズルヘッド２０によってカラーフィルタ７０を描画する状態を基板Ｐの上方向から見た模式図である。なお一対のガイドレール１０２のうち片方（図面右側）は、図面が煩雑にならないように省略している。
【００６１】
図示するように、基板Ｐは、図示しない一対のガイドレール１０１に沿ってＹ軸方向に主走査され、この主走査時に、キャリッジ２００に備えられたノズルヘッド２０の各ノズルに形成された吐出機構における圧電素子が駆動されて、各ノズルから領域７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂ（図では一部のみ表示）に各色液状体が吐出される。一方、キャリッジ２００は、一対のガイドレール１０２に沿ってＸ軸方向に副走査され、このキャリッジ２００の副走査の都度、基板Ｐの主走査が繰返し行われて、総ての領域７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂに各色液状体が吐出されるのである。こうして、カラーフィルタ７０の描画パターンである描画パターンＡが描画される。
【００６２】
図６に戻り、次にステップＳ１０５にて、吸着・離間を制御して基板を回転する処理を行う。ＣＰＵ１１は、制御バルブ１６０及び制御バルブ１７０に対して、制御信号ＣＳ１及び制御信号ＣＳ２をそれぞれ出力して、基板Ｐの吸着と離間を制御する。同時に、回転モータ１１５に対して駆動信号を出力して回転部１１０を回転させ、載置テーブル１０５に載置された基板Ｐを回転させる。
【００６３】
ここでの処理の様子を、図８を用いて説明する。図８は、図２（ｂ）に示した模式図と同様、載置テーブル１０５のＡ−Ａ断面を示した模式図である。図示するように、ステップＳ１０５の処理では、制御信号ＣＳ１によって、制御バルブ１６０は孔Ｘ１，Ｘ２，Ｘ７，Ｘ８（孔Ｙ１，Ｙ２，Ｙ７，Ｙ８（図２参照））を圧空に接続する。一方、制御信号ＣＳ２によって、制御バルブ１７０は孔Ｘ３，Ｘ４，Ｘ５，Ｘ６（孔Ｙ３，Ｙ４，Ｙ５，Ｙ６（図２参照））を真空に接続する。
【００６４】
この結果、図示するように、基板Ｐは回転部１１０においては、真空によって載置テーブル１０５の表面に吸着され、回転部１１０以外の部分においては圧空によって載置テーブル１０５の表面から離間される。従って、基板Ｐは図示するように回転部１１０に当接する部分を底部とし、周辺が離間した凹形形状を呈する。
【００６５】
そして、ステップＳ１０５では、基板Ｐをこのような状態に保持しながら、回転部１１０を回転モータ１１５を回転動作させ、所定の角度（９０度）回転させる。すると、基板Ｐは、回転部１１０に吸着していることから一緒に回転するが、このとき、載置テーブル１０５において回転部１１０以外の載置テーブル１０５の表面部分では、孔Ｘ１，Ｘ２，Ｘ７，Ｘ８（孔Ｙ１，Ｙ２，Ｙ７，Ｙ８）からの圧空の吹き出しによって、基板Ｐが離間している。従って、載置テーブル１０５の表面と基板Ｐとが擦れることなく回転できる。
【００６６】
その後、ステップＳ１０５では、基板Ｐが所定の角度回転したところで、制御信号ＣＳ１によって制御バルブ１６０を制御し、孔Ｘ１，Ｘ２，Ｘ７，Ｘ８（孔Ｙ１，Ｙ２，Ｙ７，Ｙ８）を真空に接続して、基板Ｐを載置テーブル１０５に吸着するのである。
【００６７】
図６に戻り、次に、ステップＳ１０６にて、描画パターンＢの取得処理を行う。ＣＰＵ１１は、各色画素の座標データを読み取り、読み取った座標データを用いて演算して長手方向がＹ軸方向である描画パターンＢを取得する。その後、読み取った描画パターンＢの座標データについて、回転部１１０の回転中心ＣＺ（図２参照）の座標を用いて基板Ｐの回転による補正を加え、長手方向がＸ軸方向に回転された後の描画パターンＢのデータを取得する。なお、回転部１１０の回転中心ＣＺの座標は、予めメモリに記憶されているものとし、ＣＰＵ１１は、記憶されたこの回転中心ＣＺの座標を読み出して使用する。
【００６８】
次に、ステップＳ１０７にてキャリッジの配置処理を行う。ＣＰＵ１１は、カラーフィルタ５０に対してＲ，Ｇ，Ｂのカラーパターンを描画するべく、リニアモータを駆動してキャリッジ２００のキャリッジ移動台１１２をガイドレール１０２に沿って動かし、補正した描画パターンＢの座標データから演算した描画開始位置にキャリッジ２００を配置する。
【００６９】
次に、ステップＳ１０８にて、基板を主走査（Ｙ軸方向）、キャリッジを副走査（Ｘ軸方向）して、描画パターンＢを描画する処理を行う。ここでの処理の様子を、図９を用いて説明する。図９は、キャリッジ２００に備えられ、回転部１１０の回転によって９０度反時計方向（図中矢印方向）に回転した基板Ｐにおいて、ノズルヘッド２０によってカラーフィルタ５０を描画する状態を基板Ｐの上方向から見た模式図である。なお一対のガイドレール１０２のうち片方（図面右側）は、図面が煩雑にならないように省略している。
【００７０】
図示するように、基板Ｐは、図示しない一対のガイドレール１０１に沿ってＹ軸方向に主走査され、この主走査時に、ノズルヘッド２０の各ノズルに形成された吐出機構における圧電素子が駆動されて、各ノズルから領域５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂ（図では一部のみ表示）に各色液状体が吐出される。一方キャリッジ２００は、一対のガイドレール１０２に沿ってＸ軸方向に副走査され、このキャリッジ２００の副走査の都度、基板ＰのＹ軸方向への主走査が繰返し行われて、総ての領域５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂに各色液状体が吐出されるのである。こうして、２つのカラーフィルタ５０について、カラーフィルタ５０の描画パターンである描画パターンＢが描画される。
【００７１】
図６に戻り、その後ステップＳ１０９にて、基板を離間処理する。ＣＰＵ１１は制御バルブ１６０，１７０を制御して、各孔Ｘ１〜Ｘ８、および各孔Ｙ１〜Ｙ８の総てを圧空に接続して、載置テーブル１０５の所定の位置に置かれた基板Ｐをテーブル表面から離間する。こうして総ての描画処理を終了する。その後離間された基板は、液状体吐出装置１００から取り出される。
【００７２】
以上、本実施形態の液状体吐出装置１００によれば、基板Ｐを載置テーブル１０５に載置したまま、昇降させることなく回転して、長手方向が異なる描画パターンを有するカラーフィルタ７０とカラーフィルタ５０とを描画することができる。従って、基板Ｐを装置から取り出し、９０度回転して再び装置にセットするといった作業が不要となり、生産性の低下を抑制することができる。
【００７３】
以上、本発明について、一実施形態を用いて説明したが、本発明はこうした実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において様々な形態で実施し得ることは勿論である。以下変形例を挙げて説明する。
【００７４】
（第１変形例）
上記実施形態では、回転部１１０に形成された孔Ｘ３〜Ｘ６および孔Ｙ３〜Ｙ６については、総て回転時に真空に接続して基板Ｐを吸着することとしたが、これに限らず、回転部１１０の回転中心ＣＺから遠い端部側に位置する孔においては、真空に接続しないこととしてもよい。こうすれば、回転部１１０の端部において、基板Ｐが吸着されないので、回転部１１０の端部と隣接する載置テーブル１０５の表面と基板Ｐとの離間距離を大きくすることができる。この結果、例えば、回転部１１０の端部と載置テーブル１０５との間に構造上の段差が生じていても、回転に伴う載置テーブル１０５の表面と基板Ｐとの擦れを抑制することができる。
【００７５】
本変形例を図１０用いて説明する。図１０は、図２（ｂ）に示した模式図と同様、載置テーブル１０５のＡ−Ａ断面を示した模式図である。さて、図６におけるステップＳ１０５において、図示するように、制御バルブ１６０は、上記実施形態と同様、制御信号ＣＳ１によって孔Ｘ１，Ｘ２，Ｘ７，Ｘ８（孔Ｙ１，Ｙ２，Ｙ７，Ｙ８（図２参照））を圧空に接続する。一方、本変形例では、回転中心ＣＺに近い孔Ｘ４，Ｘ５（孔Ｙ４，Ｙ５（図２参照））については、制御信号ＣＳ２によって制御バルブ１７０を制御して真空に接続し、回転中心ＣＺから遠く回転部１１０の端部に位置する孔Ｘ３，Ｘ６（孔Ｙ３，Ｙ６（図２参照））については、制御バルブ１７１を設け、制御信号ＣＳ３によって、真空状態としないように接続する。ちなみに、本変形例では、孔Ｘ３，Ｘ６（孔Ｙ３，Ｙ６）については、圧空にも真空にも接続されない状態に制御される。もとより、真空（減圧含む）以外であればよく、大気に接続したり、圧空に接続したりするように制御しても差し支えない。
【００７６】
この結果、図示するように、基板Ｐは回転部１１０においては、真空によって回転中心ＣＺの近辺であって、孔Ｘ４，Ｘ５，Ｙ４、Ｙ５の形成位置に基づく所定の範囲において載置テーブル１０５の表面に吸着され、回転部１１０以外の部分においては圧空によって載置テーブル１０５の表面から離間される。従って、基板Ｐは図示するように回転部１１０の端部において、上記実施形態よりも載置テーブル表面から大きく離間した状態で載置されることになる。
【００７７】
そして、このように載置された基板Ｐは、回転部１１０が所定の角度（９０度）回転されるとき、回転部１１０の回転中心ＣＺ近辺で吸着されていることから一緒に回転するとともに、回転部１１０の端部においては、載置テーブル１０５の表面から大きく離間していることから、載置テーブル１０５の表面と基板Ｐとが擦れることなく回転できるのである。
【００７８】
その後、基板Ｐは所定の角度回転したところで、制御信号ＣＳ１および制御信号ＣＳ３によって制御バルブ１６０および制御バルブ１７１を制御し、孔Ｘ１，Ｘ２，Ｘ７，Ｘ８（孔Ｙ１，Ｙ２，Ｙ７，Ｙ８）および孔Ｘ３，Ｘ６（孔Ｙ３，Ｙ６）を真空に接続して、基板Ｐを載置テーブル１０５に吸着する。
【００７９】
（第２変形例）
上記実施形態では、回転部１１０の回転を回転モータ１１５を用いて行うこととしたが、これに限るものでないことは勿論である。例えば、載置テーブル１０５に形成した孔から大気を吹き出すことによって回転部１１０を回転させることとしてもよい。こうすれば、回転モータ１１５が不要となり、載置テーブル１０５の構造が簡素化される。
【００８０】
本変形例について図１１を用いて説明する。図１１は、図２と同様、載置テーブル１０５ｂに構成された吸着手段と離間手段を模式的に示した構成図であり、図１１（ａ）は、載置テーブル１０５ｂを上方向から見た状態を示し、図１１（ｂ）は、載置テーブル１０５ｂについてのＢ−Ｂ断面を示している。なお、本変形例は、上記実施形態に対して孔Ｘ２，Ｘ７，Ｙ２，Ｙ７のみが異なるものである。従って、これら以外については、基本的に上記実施形態（図２）についての説明と同様であるので、ここでは説明を省略し、孔Ｘ２，Ｘ７，Ｙ２，Ｙ７について説明する。
【００８１】
図示するように、孔Ｘ２，Ｘ７，Ｙ２，Ｙ７は、例えば孔Ｙ２について図中吹き出し部にそのＣ−Ｃ断面を示したように、載置テーブル１０５ｂから基板Ｐが載置される表面に対して大気の吹き出し方向が斜めになるように形成されている。そして、各孔Ｘ２，Ｘ７，Ｙ２，Ｙ７からの大気の吹き出し方向は、載置テーブル１０５ｂを上方向から見たとき、回転中心ＣＺ周りに反時計方向となるようにそれぞれ形成されている。例えば、孔Ｘ７からの大気の吹き出し方向は、矢印で示したようにＹ軸方向であって図面上向き方向となるように、また孔Ｙ７からの大気の吹き出し方向は、矢印で示したようにＹ軸方向と直交する方向であって図面左向き方向となるように形成されている。
【００８２】
そしてステップＳ１０５（図６）にて回転部１１０を所定の角度（９０度）回転させるとき、本変形例では、回転モータ１１５を用いず基板Ｐを反時計方向に回転させる。すなわち、図面下側に示したように、制御信号ＣＳ２によって、制御バルブ１７０は孔Ｘ３，Ｘ４（孔Ｘ５，Ｘ６，Ｙ３，Ｙ４，Ｙ５，Ｙ６も同様）を真空に接続する。一方、孔Ｘ２（孔Ｘ７，Ｙ２，Ｙ７も同様）は、制御信号ＣＳ４によって新たに設けた制御バルブ１６１を制御し、圧空に接続する。
【００８３】
ここで、上記実施形態では、制御信号ＣＳ１によって、制御バルブ１６０は孔Ｘ１（孔Ｘ８，Ｙ１，Ｙ８も同様）を圧空に接続したが、本変形例では、圧空に接続しないように制御する。もとより真空にも接続しない。こうすることによって、孔Ｘ２，Ｘ７，Ｙ２，Ｙ７から吹き出される大気によって有効に回転部１１０を回転できることが期待できるからである。もとより、上記実施形態と同様に、制御信号ＣＳ１によって、制御バルブ１６０は孔Ｘ１（孔Ｘ８，Ｙ１，Ｙ８も同様）を圧空に接続することとしても差し支えない。
【００８４】
この結果、図示するように、基板Ｐは、回転部１１０においては真空によって載置テーブル１０５ｂのテーブル表面に吸着される。一方、回転部１１０以外の部分においては、孔Ｘ２，Ｘ７，Ｙ２，Ｙ７から吹き出す大気によって載置テーブル１０５ｂのテーブル表面から離間される。このとき、孔Ｘ２，Ｘ７，Ｙ２，Ｙ７から吹き出す大気によって、基板Ｐは離間されるとともに回転中心ＣＺ周りに反時計方向に回転することになる。従って、基板Ｐの回転動作を離間動作と同時に行うことが可能であり、基板Ｐの回転動作時間が短くなることが期待できる。
【００８５】
その後、基板Ｐは所定の角度回転したところで、制御信号ＣＳ１によって制御バルブ１６０を制御し、孔Ｘ１，Ｘ２（孔Ｘ７，Ｘ８，Ｙ１，Ｙ２，Ｙ７，Ｙ８も同様）を真空に接続して、基板Ｐを載置テーブル１０５に吸着するのである。ところで、上記実施形態では、基板Ｐが所定の角度回転したか否かを回転モータ１１５の回転数等で検出可能であるが、本変形例では回転モータ１１５を用いないことから、基板Ｐの回転検出を検出センサーを設けて行うようにすればよい。
【００８６】
また、本変形例では、図６におけるステップＳ１０９の基板を離間する処理において、載置テーブル１０５ｂに形成されたすべての孔から大気を吹き出すのではなく、大気の吹き出し方向が斜めである各孔Ｘ２，Ｘ７，Ｙ２，Ｙ７については、制御信号ＣＳ４によって制御バルブ１６１を制御し、大気を吹き出さないように処理する。こうすれば、基板を装置から取り出す場合は垂直方向の開口穴を用いて大気を吹き出すので、大気による基板の回転を抑制することができる。従って、基板Ｐを載置テーブルから除材する際、基板Ｐが回転しないことから除材作業が容易となる。
【００８７】
なお、本変形例では載置テーブル１０５ｂに形成された孔のうち、回転部１１０に近い方の孔Ｘ２，Ｘ７，Ｙ２，Ｙ７について大気の吹き出し方向が斜めになるように形成されていることとしたが、これに限るものでないことは勿論である。例えば、回転部１１０から遠い方の孔Ｘ１，Ｘ８，Ｙ１，Ｙ８について大気の吹き出し方向が斜めになるように形成されていることとしてもよい。こうすれば、回転中心ＣＺ周りの回転モーメントが大きくなることが期待でき、基板Ｐの回転が容易になる。
【００８８】
また、本変形例では回転方向が一方向（反時計方向）の回転となるように孔Ｘ２，Ｘ７，Ｙ２，Ｙ７を形成したが、更に時計方向の回転も可能となるように、大気の吹き出し方向が反対向きとなる孔を形成し、それらの孔からの大気の吹き出しを制御することによって、異なる回転方向に基板Ｐを回転できるようにしてもよい。
【００８９】
（その他の変形例）
上記実施形態では、通常、被吐出領域の形状は各辺が互いに直角となる矩形形状である場合が多いことから、カラーフィルタ５０，７０の各画素の長手方向が互いに直交する方向であることとし、基板Ｐを９０度回転したが、これに限るものでないことは勿論である。例えば、２つの描画パターンの各々の長手方向が成す角度が９０度でない場合は、各々の長手方向が成す角度に合わせて回転することが好ましい。こうすれば、主走査方向を、それぞれの描画パターンに合わせた適切な方向に主走査を行うことができる。この結果、基板Ｐを載置テーブル１０５に載置したまま、昇降させることなく回転して、長手方向が異なる２つの描画パターンを有するカラーフィルタを描画することができる。
【００９０】
また、上記実施形態では、吸着手段または離間手段を、載置テーブルに形成した孔を圧空または真空に接続することによって機能構成したが、特にこれに限らず、例えば、吸着手段あるいは離間手段を、静電気を利用した静電吸着による手段や、磁気を利用した磁気吸着あるいは磁気浮上による手段などを用いてもよい。
【００９１】
また、上記実施形態では、Ｙ軸方向に基板Ｐを主走査し、Ｘ軸方向にキャリッジ２００を副走査することとしたが、特にこれに限らず、例えば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向ともに基板Ｐを移動して主走査及び副走査を行ったり、あるいはＸ軸方向及びＹ軸方向ともにキャリッジ２００を移動して主走査及び副走査を行ったりすることとしても勿論よい。要は、主走査あるいは副走査において、ノズルと基板とが相対的に移動できる構成であればよい。もとより、このような場合は、説明は省略するが、移動台１０３やキャリッジ移動台１１２などの構成が異なることは言うまでもない。
【００９２】
また、上記実施形態では、移動台１０３の移動およびキャリッジ移動台１１２の移動を、ガイドレール１０１，１０２の内部に設けられたエアスライダとリニアモータにより構成された移動手段で行うこととしたが、特にこれに限らず、モータと搬送ベルトで構成された移動手段や、ボールネジとモータで構成された移動手段としても勿論よい。要するに、移動台１０３、載置テーブル１０５、およびキャリッジ移動台１１２が移動できる構成であれば何でもよい。
【００９３】
また、上記実施形態では、カラーフィルタ５０またはカラーフィルタ７０に設けられた各色画素の形状を、長手方向に同色が連続するストライプ配列として説明したが、これに限らず、デルタ配列や、モザイク配列であってもよい。また、カラーフィルタの色数を、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色として説明したが、これに限らず、例えば４色や２色など、増減した色数であっても差し支えない。
【００９４】
また、上記実施形態では、カラーフィルタ５０の各色画素とカラーフィルタ７０の各色画素の大きさについては、特に言及しなかったが、カラーフィルタ５０とカラーフィルタ７０とで同じ形状であってもよいし、それぞれ大きさや形状が異なっているものとしてもよい。要は、それぞれが長手方向を有した色画素であって、前述した図５の説明に合致する形状であれば何でもよい。
【００９５】
また、上記実施形態では、液状体吐出装置として、各色液状体を基板に吐出してカラーフィルタを形成する液状体吐出装置１００として説明したが、これに限るものでないことは勿論である。例えば、ガラス基板の他、シリコン基板やセラミック基板あるいは樹脂基板に対して、金属材料を含む機能液を吐出して金属配線パターンの形成を行う製造装置や、有機材料から成る発光材料を溶質として含む機能液を基板に設けられた被吐出領域に吐出して発光素子を形成する有機ＥＬ素子の製造装置としても実施可能である。要は、液状体を吐出できる方式を用いて機能液を吐出することによって、画像や図形といったパターンや、文字などを基板などの被吐出対象物に記録する装置であれば、同様に実施できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】本発明の一実施形態となる液状体吐出装置の概略構成を示す斜視図。
【図２】載置テーブルに構成された吸着手段と離間手段を模式的に示した構成図で、（ａ）は載置テーブルの平面図、（ｂ）は載置テーブルの断面図。
【図３】ノズルヘッドに穿設されたノズルの配列具合を示す模式図。
【図４】コントロール装置の機能を説明するためのブロック図。
【図５】基板にカラーフィルタを描画する本実施形態の方法を説明する説明図。
【図６】本実施形態の液状体吐出装置が行う処理ステップを示すフローチャート。
【図７】ノズルヘッドによってカラーフィルタを描画する状態を示した模式図。
【図８】本実施形態における基板の回転動作を説明するための模式図。
【図９】ノズルヘッドによってカラーフィルタを描画する状態を示した模式図。
【図１０】第１変形例で、基板の回転動作を説明するための模式図。
【図１１】第２変形例で、基板の回転動作を説明するための模式図で、（ａ）は載置テーブルの平面図、（ｂ）は載置テーブルの断面図。
【符号の説明】
【００９７】
１０…コントロール装置、１１…ＣＰＵ、１２…メモリ、１３…基板移動信号生成回路、１４…キャリッジ移動信号生成回路、１５…テーブル回転信号生成回路、１６…吸着・離間制御信号生成回路、１８…圧電素子駆動信号生成回路、２０…ノズルヘッド、２０Ｒ，２０Ｇ，２０Ｂ…ノズル群、２１〜２９…ノズル、５０，７０…カラーフィルタ、１００…液状体吐出装置、１０１，１０２…ガイドレール、１０３…移動台、１０５，１０５ｂ…載置テーブル、１１０…回転部、１１２…キャリッジ移動台、１１５…回転モータ、１６０，１６１，１７０，１７１…制御バルブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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