(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体から漏れたガスを吸引するガス吸引口を有すると共に被検査体を出入自在とした真空容器と、この真空容器を真空引きする真空手段と、真空容器内で真空引きされた被検査体からのガス漏れを検知する分析計とを備えたリーク検出装置において、
複数個の排出口を有するとともに新鮮な空気を導入するためのパージ配管が前記真空容器の内壁に沿って配置され、
このパージ配管の内側に、前記真空引き時に被検査体の膨張を抑えるために被検査体の少なくとも１面を押圧できるように被検査体に対して進退可能な押さえ板が配置され、
複数個の前記ガス吸引口を有するとともにガス漏れ検査のための吸引及びクリーニング用ガスの排出を行うためのサンプリング配管が前記押さえ板及び当該押さえ板以外の真空容器内に付設され、
前記分析計が前記サンプリング配管に接続され、
前記分析計によりガス漏れが検知された場合は、前記真空手段により真空容器を真空引きしながら真空容器内及びサンプリング配管から分析計の手前までの配管系内にクリーニング用のガスを導入してクリーニングを行い、その後に真空容器を大気開放するとともにサンプリング配管を通じてクリーニング用ガスを真空容器内に導入し、大気開放の終了後にパージ配管を通じて新鮮な空気を真空容器内に導入するようにしたことを特徴とするリーク検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、包装パック等の包装品バリア袋に生じるリーク（ガス漏れ）の有無を検出するリーク検出装置に関し、詳細には製品を多数個収納した段ボール箱（製品の最終出荷姿）の外側より多数個の内部製品を一括してリーク検査するリーク検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば医薬品では雑菌の侵入防止や腐敗防止のため、薬品においては組成変化の防止のため、それらを収容した製品（バリア袋）には、保護ガス（ヘリウムガス、その他の不活性ガス）が封入されているものが多い。
【０００３】
そのため、包装のバリア袋にピンホール等によるガス漏れが無いかどうか検査を行っている。例えば、被検査体（多数個の製品を収納した段ボール箱）を順に搬送するコンベヤの上部に、真空容器が上下移動機構により上下動可能に設置され、この真空容器に配管系を介して真空弁及び真空引きポンプが接続され、配管系に分析計が設けられた装置を用いてリークの有無を検出している。
【０００４】
この装置では、真空容器が上昇した状態で真空容器の直下に被検査体を位置させ、真空容器を下降させて真空容器を密閉した後、真空引きポンプにより真空引きして真空容器内部を真空状態とし、被検査体、即ち段ボール箱内の個々の製品から保護ガスが漏れていないかどうかを検査する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の装置では、被検査体から漏れた保護ガスを吸引するガス吸引口は真空容器内の被検査体よりも離れた所の或る箇所にだけ設けられているため、実際にガス漏れがあった場合に、被検査体からの漏洩ガスがガス吸引口から分析計に到達するまでに時間が掛かり、分析結果が出るまでに時間を要し、応答性が悪くなるという問題がある。
【０００６】
また、ガス漏れが微量である場合には、漏洩ガスがガス吸引口から吸引されるまでに真空容器内で拡散してしまうので、漏洩ガスの濃度が低下し、それにより分析計でのガス漏れ検知の感度が低下し、しかも応答時間が長く掛かるという問題がある。
【０００７】
この発明は、そのような問題点に着目してなされたものであって、素早い応答（リーク検査の時間短縮）、ガス漏れ検知感度の向上を実現するリーク検出装置を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、この発明の請求項１記載のリーク検出装置は、被検査体から漏れたガスを吸引するガス吸引口を有すると共に被検査体を出入自在とした真空容器と、この真空容器を真空引きする真空手段と、真空容器内で真空引きされた被検査体からのガス漏れを検知する分析計とを備えたものにおいて、複数個の排出口を有するとともに新鮮な空気を導入するためのパージ配管が前記真空容器の内壁に沿って配置され、このパージ配管の内側に、前記真空引き時に被検査体の膨張を抑えるために被検査体の少なくとも１面を押圧できるように被検査体に対して進退可能な押さえ板が配置され、複数個の前記ガス吸引口を有するとともにガス漏れ検査のための吸引及びクリーニング用ガスの排出を行うためのサンプリング配管が前記押さえ板及び当該押さえ板以外の真空容器内に付設され、前記分析計が前記サンプリング配管に接続され、前記分析計によりガス漏れが検知された場合は、前記真空手段により真空容器を真空引きしながら真空容器内及びサンプリング配管から分析計の手前までの配管系内にクリーニング用のガスを導入してクリーニングを行い、その後に真空容器を大気開放するとともにサンプリング配管を通じてクリーニング用ガスを真空容器内に導入し、大気開放の終了後にパージ配管を通じて新鮮な空気を真空容器内に導入するようにしたことを特徴とする。
【０００９】
この装置では、押さえ板により被検査体を押圧することで、サンプリング配管の複数個のガス吸引口が被検査体の周りに位置することになるので、真空容器内に被検査体を配置して真空引きしたとき、被検査体からガス漏れがあると、被検査体から出た漏洩ガスが直ちにガス吸引口から吸引され、分析計でガス漏れが検知される。従って、漏洩ガスが真空容器内で拡散せずに分析計に取り込まれるので、ガス漏れが有った場合の応答が早くなり、延いてはリーク検査の時間が短縮されるだけでなく、被検査体からの漏洩ガスが薄められずに分析計に到達するのでガス漏れの検知感度が向上する。
【００１０】
また、サンプリング配管が付設された押さえ板が被検査体に対して進退可能であるので、被検査体の形状や大きさにかかわらず、ガス吸引口を被検査体に近接させることができる。
【００１１】
更に、複数個のガス吸引口を有するサンプリング配管が被検査体に対して進退可能な押さえ板に付設されているため、押さえ板により被検査体の膨張が抑えられて被検査体からガスが出やすくなり、低真空でもガスをよく絞り出すことができる。しかも、ガス漏れが有る場合に被検査体からの漏洩ガスがより素早く分析計まで到達するようになり、応答が一層早くなり、ガス漏れの検知感度も更に高まる。その上、押さえ板により被検査体の外装にダメージを与えなくなる。
【００１２】
押さえ板を使用する場合、押さえ板は被検査体の上面側及び側面側にそれぞれ配置することとすれば、被検査体（多数個の製品を収納した段ボール箱）において、収納されたどの製品で（段ボール箱内のどの箇所で）ガス漏れが起きても、漏洩ガスが被検査体からガス吸引口に吸い込まれる時間がより一様になり、各被検査体にかかわらず、応答の安定性が更に増し、検知感度が一層安定する。
【００１３】
一方、サンプリング配管と分析計とを連絡する配管系に前記真空手段とは別個の漏洩ガス検出用の低真空漏洩ガス吸引手段を設け、予め真空手段により被検査体を真空引きし、その後にサンプリング配管の複数個のガス吸引口から低真空漏洩ガス吸引手段により吸引し、被検査体からのガス漏れを分析計により検知するようにすることで、即ち真空引きを真空手段により行うのとは別途に、リーク検査のためのガス吸引を低真空漏洩ガス吸引手段で行うことで、ガス漏れ検査を効率良く行うことができる。
【００１４】
他方、この種の装置ではリーク検査を繰り返し行うため、ガス漏れが有った場合は、真空容器内及びガス吸引口から分析計に至る配管系に漏洩ガスが残留し、この残留ガスの影響を受け易くなる。そこで、分析計によりガス漏れが検知された場合は、真空手段により真空容器を真空引きしながら真空容器内及びサンプリング配管から分析計の手前までの配管系内にクリーニング用のガスを導入してクリーニングを行い、その後に真空容器を大気開放するとともにサンプリング配管を通じてクリーニング用ガスを真空容器内に導入し、大気開放の終了後にパージ配管を通じて新鮮な空気を真空容器内に導入するようにしている。これにより、１回毎のリーク検査を効率良く行え、測定時間サイクルを短縮できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態により、この発明を更に詳細に説明する。
【００１６】
その一実施形態に係るリーク検出装置の概略構成図を図１（真空容器及び配管系の一部）、図２（真空容器の一部及び配管系の残部）、図３（配管系の残部）及び図４（配管系の残部）に示す。
【００１７】
まず図１において、被検査体（多数個の製品を収納した段ボール箱）１００を出入自在とする真空容器１は、底部が開口したもので、真空容器昇降用のエアシリンダ３のピストンロッド３ａの先端部に取付けられ、エアシリンダ３により上下動可能に支持されている。この真空容器１に対向して、その下方には被試験計測台５が配置されている。また、真空容器１の下部周囲端面には環状のパッキン７が設けられると共に、被試験計測台５の対応部分にも環状のパッキン８が設けられている。従って、真空容器１が下降して被試験計測台５に接触することで、パッキン７，８同士が密着し、真空容器１と被試験計測台５による密閉空間が形成される。但し、パッキン７，８に代えて、真空容器１の下部周囲端面にのみＯリングを設けてもよい。
【００１８】
真空容器１の内側には、新鮮な空気を導入するためのパージ配管１０が真空容器１の内壁に沿って適当なパターンで配置され、パージ配管１０は一定間隔毎に複数個の排出口１０ａを有する。このパージ配管１０の更に内側には、真空引き時に被検査体１００の膨張を抑えるために被検査体１００の上面を押圧するための平板状の押さえ板２０が配置されている。押さえ板２０は、押さえ板駆動用の２個のエアシリンダ２５のピストンロッド２５ａの先端部に取付けられ、エアシリンダ２５により上下動可能である。
【００１９】
この押さえ板２０には、被検査体１００に封入されたガス（例えばヘリウムガス）の漏れ検査のための吸引及びクリーニングのためのＮ2 ガス排出を行うためのサンプリング配管２１が縦横に付設され、その一部は真空容器１の底部開口に向かって延びている。サンプリング配管２１は、押さえ板２０以外の部分及び押さえ板２０の部分にそれぞれ一定間隔を置いて複数個のガス吸引口２１ａ，２１ｂを有する。
【００２０】
なお、図１では、押さえ板２０とサンプリング配管２１は、便宜上離して示されているが、押さえ板２０上のサンプリング配管２１部分は、実際には押さえ板２０に固定されている。押さえ板２０とサンプリング配管２１との固定関係は、押さえ板２０内部にサンプリング配管２１を埋設し、そのガス吸引口２１ｂを押さえ板２０の表面（下面）から露出させてもよいし、或いは押さえ板２０の下面にサンプリング配管２１を付設してもよい。また、押さえ板２０にガス吸引口２１ｂが示されているが、これも便宜上のもので、実際にはサンプリング配管２１のガス吸引口２１ｂが押さえ板２０から現出している。
【００２１】
一方、被試験計測台５側においても、一定間隔毎に複数個の排出口１１ａを有するパージ配管１１が、被試験計測台５の上壁に沿って適当なパターンで配置されている。このパージ配管１１の更に上側には、コンベヤ（図示せず）により順に搬送されてくる被検査体１００を載せる平板状の支持板３０が配置されている。支持板３０は、支持板駆動用の２個のエアシリンダ３５のピストンロッド３５ａの先端部に取付けられ、エアシリンダ３５により上下動可能である。
【００２２】
この支持板３０にも、上記押さえ板２０と同様に、一定間隔毎に複数個のガス吸引口２２ａを有するサンプリング配管２２が縦横に付設されている。ここでも、支持板３０とサンプリング配管２２は離して示されているが、前記と同様に実際にはサンプリング配管２２は支持板３０に固定されており、ガス吸引口２２ａが支持板３０の上面から現出する。
【００２３】
パージ配管１０，１１は同じ配管系Ａ（エア配管系，図３及び図４参照）に接続され、その配管系Ａにそれぞれエアパージ弁５０，５１が設けられている。この配管系Ａとは別系統でサンプリング配管２１，２２は配管系Ｂ（測定配管系、図３及び図４参照）に接続され、その配管系Ｂにそれぞれサンプリング弁６０，６１が設けられている。また、真空容器１の内部の真空圧を測定するための真空計３５が設けられている。
【００２４】
図２において、真空容器１の内部を真空引きする真空ポンプ（真空手段）４０が設けられ、真空ポンプ４０は、この真空ポンプ４０の真空元の真空圧を測定するための真空計４１と、粗引弁（真空弁）４２を介して真空容器１の内部に接続されている。更に、真空容器１は、大気開放弁（リーク弁）４４を介して外部（屋外）に連通すると共に、大気維持弁（パージ保持用弁）４６と大気維持圧調整用絞りボール式弁４７を介しても屋外に連通している。
【００２５】
図３及び図４において、真空容器１の昇降用エアシリンダ３はエアシリンダ駆動パイロット弁５３に接続され、エアシリンダ駆動パイロット弁５３は、パージ配管１０，１１が接続された配管系Ａに接続されている。その配管系Ａには、パージ圧を測定する圧力計５４、パージ用減圧調圧弁５５、空気圧元減圧調圧弁５６が設けられ、外部装置（図示せず）により空気圧が供給される。また、配管系Ａには、空気圧パージ監視流量計５７が設けられている。
【００２６】
一方、サンプリング配管２１，２２が接続された配管系Ｂでは、ストップ弁６３とサンプリングポンプ（漏洩ガス検出用の低真空漏洩ガス吸引手段）６４が直列接続され、これと並列にＮ2 パージバイパス弁６５が接続されている。更に、配管系Ｂには、パージ切換弁６６及びスニファ弁６７を介して、漏洩ヘリウムガスを吸い込むためのスニファユニット（スニファとポンプで構成されたもの）７０及びヘリウムガスの有無を検知するための分析計（Ｈｅリークデテクタ）７１が設けられている。
【００２７】
また、パージ切換弁６６とスニファ弁６７との間には、スニファ用として大気吸込み流量調整用絞り弁６８が設けられている。スニファユニット７０は、サンプリング確認流量計７３を介して屋外に接続されている。
【００２８】
ストップ弁６３とサンプリングポンプ６４との間からは、Ｎ2 ガスパージ用の配管系Ｂ′が分岐し、その配管系Ｂ′には、クリーニング弁８０、パージ監視用流量計８１、Ｎ2 ガスパージ圧を測定する圧力計８２を介して、Ｎ2 ガスパージ用ボンベ（図示せず）が接続されている。
【００２９】
次に、上記のように構成したリーク検出装置の動作について、図５及び図６の動作概念図と図７及び図８のタイムチャートを参照して説明する。但し、ここでは、被検査体１００のマーカーガスとしてヘリウムガスを、クリーニング用のガスとしてＮ2 ガスを使用するものとする。また、図６に示された時間（ＳＥＣ）を表す数値は一例であり、これに限定されない。
【００３０】
なお、図５の動作概念図において、＊注１は、クリーニング時間を表し、クリーニングは分析計７１が漏洩ヘリウムガスを計測しきい値のα％以上検出したとき動作し、漏洩ヘリウムガスを検知したとき（ＮＧ判定したとき）動作する。＊注３は、クリーニング時間の後半の時間、即ち真空容器１が上昇してからクリーニング設定時間がタイムアップするまでの時間を表す。＊注４は、ＮＧ判定した時のＮＧ処理時間とＮＧ多漏れ時の処理時間を表す。＊注２は無い。
【００３１】
真空容器昇降用のエアシリンダ３により真空容器１が上昇して上限に位置し、支持板昇降用のエアシリンダ３５により支持板３０が下降した状態において、コンベヤにより被検査体１００が搬送され、支持板３０上に載せられると、検査（テスト）が開始する。まずエアシリンダ３により真空容器１が下降し、被試験計測台５に接触する。これにより、真空容器１のパッキン７と被試験計測台５のパッキン８が密接し、真空容器１と被試験計測台５により閉鎖空間が形成される。
このとき、大気維持弁４６が開いているので、真空容器１を被試験計測台５に接触させるときに空気抵抗は受けない。
【００３２】
真空容器１の下降が終了すると、粗引弁４２が開き、真空ポンプ４０により真空容器１が真空引きされる。この段階では、まだ大気維持弁４６が開いたままであるが、絞りボール式弁４７により真空容器１の内部は低い真空の状態になる（大気維持時間）。
【００３３】
大気維持時間が終了すると、エアパージ弁５０，５１が開から閉に、サンプリング弁６０，６１も開から閉に切り換わると共に、大気維持弁４６が閉じる。これにより、真空容器１は完全な密閉状態になり、真空容器１が真空引きされる。
また、ストップ弁６３が開き、Ｎ2 パージバイパス弁６５が閉じ、サンプリングポンプ６４がＯＮになる。
【００３４】
これと併行して、押さえ板２０が押さえ板昇降用エアシリンダ２５により下降し、押さえ板２０が被検査体１００の上面を適度の力で押圧し、真空引きによる被検査体１００の膨張が阻止される。この状態で真空引きが続行され、真空容器１の真空圧が真空計３５の測定により所定値に達すると、ガス漏れ検査が開始する。
【００３５】
ガス漏れ検査が開始すると、粗引弁４２が閉じ、真空ポンプ４０に係る真空引き回路が閉止し、サンプリング弁６０，６１が閉から開に変わり、スニファ弁６７が開く。但し、真空ポンプ４０は運転を継続する。この状態のまま、しばらくは計測時間のうちの検出開始時間となる。
【００３６】
検出開始時間が終了した後の計測時間中は、真空容器１内のガス（空気や被検査体１００から漏れたヘリウムガス）は、サンプリング配管２１のガス吸引口２１ａ，２１ｂとサンプリング配管２２のガス吸引口２２ａから吸引され、配管系Ｂを通じて分析計７１に到達する。即ち、ガスは、配管系Ｂにおいて、ストップ弁６３、サンプリングポンプ６４、パージ切換弁６６、スニファ弁６７を順に通過し、スニファユニット７０に達し、更に分析計７１に至る。
【００３７】
被検査体１００からヘリウムガスが外に漏れ出した場合は、分析計７１によりヘリウムガスが検知されるので、リーク有（ガス漏れＮＧ）と判定される。この場合は、ＮＧ処理（＊注１）が行われる。このＮＧ処理は、ヘリウムガスの室内飛散防止と配管系Ｂのクリーニングを目的として、真空容器１の密閉状態で装置内の漏れたヘリウムガスを室外に放出するために行われる。ここでは、Ｎ2 ガスを装置内に取り込み、真空引きによりＮ2 ガスでヘリウムガスを追い出すようにする。なお、ＮＧ処理時間は１０〜２０秒程度である。
【００３８】
つまり、ＮＧ処理を行うときは、粗引弁４２が開、大気開放弁４４が開、大気維持弁４６が開となる。また、ストップ弁６３が閉、Ｎ2 パージバイパス弁６５が開、サンプリングポンプ６４がＯＦＦ、クリーニング弁８０が開、パージ切換弁６６が閉、スニファ弁６７が閉となる。この状態で、真空ポンプ４０による真空引きが行われると、配管系Ｂから分岐する配管系Ｂ′を通じてＮ2 ガスがＮ2 パージ用ボンベから装置内に導入される。
【００３９】
Ｎ2 ガスは、配管系Ｂ′において、パージ監視用流量計８１、クリーニング弁８０を通過して配管系Ｂに流入し、更に配管系Ｂにおいて、サンプリングポンプ６４、Ｎ2 パージバイパス弁６５を通過し、サンプリング配管２１のガス吸引口２１ａ，２１ｂとサンプリング配管２２のガス吸引口２２ａから真空容器１内に噴射される。真空容器１内に入ったＮ2 ガスは、更に真空容器１内から粗引弁４２を通って真空ポンプ４０により屋外に排出される。このＮ2 ガスが屋外に排出されることで、Ｎ2 ガスにより配管系Ｂ、サンプリング配管２１，２２及び真空容器１内部がクリーニングされ、それらに残留する漏洩ヘリウムガスが屋外に排出される。
【００４０】
ＮＧ処理が終了すると、換言するとヘリウムガスの漏れが検出されない場合は、ＧＯＯＤ判定となり、大気開放と同時にクリーニングが行われる。このクリーニング時には、粗引弁４２が閉、大気開放弁４４が開、大気維持弁４６が開、ストップ弁６３が閉、Ｎ2 パージバイパス弁６５が開、サンプリングポンプ６４がＯＦＦ、クリーニング弁８０が開、パージ切換弁６６が閉となる。
【００４１】
このクリーニングでは、粗引弁４２が閉じ、真空ポンプ４０による真空引きは行われず、大気開放弁４４及び大気維持弁４６が共に開状態であるため、真空容器１は大気開放され、大気圧と平衡する。同時に、Ｎ2 パージ用ボンベからのＮ2 ガスは、ＮＧ処理と同様に配管系Ｂ′から配管系Ｂに流入し、サンプリング配管２１，２２から真空容器１内に入る。このＮ2 ガスによるクリーニングは、上記ＮＧ処理に比べて、真空ポンプ４０による真空引きが行われない点だけが異なる。
【００４２】
クリーニング中に、大気開放時間が終わると、真空容器１がエアシリンダ３により上昇し始める。真空容器１が上限位置に達すると、大気開放弁４４が閉、エアパージ弁５０，５１が開、大気維持弁４６が閉となる。これにより、空気が配管系Ａに導入される。即ち、配管系Ａにおいて、空気は空気圧元減圧調圧弁５６、パージ用減圧調圧弁５５、エアパージ弁５０，５１を順に通過し、パージ配管１０の排出口１０ａとパージ配管１１の排出口１１ａから噴射される。また、押さえ板２０がエアシリンダ２５により上昇する。
【００４３】
真空容器１が上限位置に達してから、パージ切換弁６６が開き、更にその後にクリーニングが終了する。但し、真空容器１が上限に位置してからクリーニングが終了するまでの時間（＊注２）は、真空容器１が上昇してからクリーニング設定時間がタイムアップするまでの時間である。
【００４４】
また、真空容器１が上限位置に達した後、支持板３０上の被検査体１００が搬出されると共に、次の新たな被検査体が搬入され、支持板３０上に載せられる。
そして、前記したリーク検出動作が同様に繰り返される。
【００４５】
このリーク検出装置では、真空ポンプ４０による真空引きを行った後、サンプリングポンプ６４により真空容器１内のガスを引くとき、特にサンプリング配管２１，２２が被検査体１００の周囲に位置するので、被検査体１００からヘリウムガスが漏れている場合、ヘリウムガスは、真空容器１内で拡散することなく直ちにガス吸引口２１ａ，２１ｂ，２２ａから吸引され、配管系Ｂの分析計７１に達する。このため、ヘリウムガス漏れが有った場合に、分析計７１による分析結果が早く出ることになり、応答が早くなり、リーク検査に要する時間が短縮され、リーク検査を効率良く繰り返すことができる。しかも、被検査体１００からのヘリウムガスが薄められずに分析計７１に到達するので、ヘリウムガス漏れの検知感度が向上する。
【００４６】
また、押さえ板２０及び支持板３０が被検査体１００に接触し、押さえ板２０及び支持板３０にガス吸引口２１ｂ，２２ａが有るので、即ちガス吸引口２１ｂ，２２ａが被検査体１００に接するので、ヘリウムガス漏れが有る場合に、ヘリウムガスがより素早く分析計７１まで到達するようになり、応答が一層早くなり、検知感度も更に高まる。
【００４７】
更には、押さえ板２０が昇降可能であるので、ガス吸引口２１ａ，２１ｂも被検査体１００に対して進退可能であり、被検査体１００の形状や大きさにかかわらず、ガス吸引口２１ａ，２１ｂを被検査体１００に近接させることができる。
【００４８】
上記実施形態では、押さえ板２０は被検査体１００の上面（１面）側だけに配置されているが、上面側以外にも配置してもよい。その一例を図９に示す。図９では、被検査体１００の両側面（２面）側にも押さえ板９０が配置されている。
押さえ板９０は、エアシリンダ９５のピストンロッド９５ａの先端部に取付けられ、横方向に移動可能である。勿論、押さえ板９０にもサンプリング配管２１が付設され、そのガス吸引口２１ｂが押さえ板９０から現出している。その他の構成は上記実施形態と同じである。
【００４９】
この場合、被検査体１００（多数個の製品を収納した段ボール箱）において、収納されたどの製品で（段ボール箱内のどの箇所で）ガス漏れが起きても、漏洩ガスが被検査体１００からガス吸引口２１ｂに吸い込まれる時間がより一様になり、各被検査体１００にかかわらず、応答の安定性が更に増し、検知感度が一層安定する。
【００５０】
他方、上記実施形態では、エア配管系Ａと測定配管系Ｂは別系統になっているが、配管系Ｂに切換弁を設け、配管系Ｂを介して空気を送るようにしてもよい。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１記載のリーク検出装置によれば、複数個のガス吸引口を有するサンプリング配管が被検査体に対して進退可能な押さえ板に付設されているので、被検査体からガス漏れがあると、被検査体から出た漏洩ガスが直ちにガス吸引口から吸引され、分析計でガス漏れが検知される。従って、漏洩ガスが真空容器内で拡散せずに分析計に取り込まれるので、ガス漏れが有った場合の応答が早くなり、延いてはリーク検査の時間が短縮される。また、被検査体からの漏洩ガスが薄められずに分析計に到達するので、ガス漏れの検知感度が向上する。
【００５２】
また、サンプリング配管が付設された押さえ板が被検査体に対して進退可能であるので、被検査体の形状や大きさにかかわらず、ガス吸引口を被検査体に近接させることができる。
【００５３】
更に、複数個のガス吸引口を有するサンプリング配管が被検査体に対して進退可能な押さえ板に付設されているため、押さえ板により被検査体の膨張が抑えられて被検査体からガスが出やすくなり、低真空でもガスをよく絞り出すことができる。しかも、ガス漏れが有る場合に被検査体からの漏洩ガスがより素早く分析計まで到達するようになり、応答が一層早くなり、ガス漏れの検知感度も更に高まる。その上、押さえ板により被検査体の外装にダメージを与えなくなる。更にまた、１回毎のリーク検査を効率良く行え、測定時間サイクルを短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施形態に係るリーク検出装置の概略構成図（真空容器及び配管系の一部）である。
【図２】同リーク検出装置の概略構成図（真空容器の一部及び配管系の残部）である。
【図３】同リーク検出装置の概略構成図（配管系の残部）である。
【図４】同リーク検出装置の概略構成図（配管系の残部）である。
【図５】同リーク検出装置の動作概念図（一部）である。
【図６】図５の動作概念図に続く図（残部）である。
【図７】同リーク検出装置の動作のタイムチャート（一部）である。
【図８】図７のタイムチャートに続くチャート（残部）である。
【図９】別実施形態に係るリーク検出装置の概略構成図（真空容器及び配管系の一部）である。
【符号の説明】
１                真空容器
３，２５，３５    エアシリンダ
５                被試験計測台
１０，１１        パージ配管
１０ａ，１１ａ    排出口
２０，９０        押さえ板
２１，２２        サンプリング配管
２１ａ，２１ｂ    ガス吸引口
２２ａ            ガス吸引口
３０              支持板
４０              真空ポンプ（真空手段）
６４              サンプリングポンプ（低真空漏洩ガス吸引手段）
７１              分析計
１００            被検査体
Ａ，Ｂ，Ｂ′      配管系
【図１】
0004574092.tif 000002
【図２】
0004574092.tif 000003
【図３】
0004574092.tif 000004
【図４】
0004574092.tif 000005
【図５】
0004574092.tif 000006
【図６】
0004574092.tif 000007
【図７】
0004574092.tif 000008
【図８】
0004574092.tif 000009
【図９】
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