(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる複スロットバルブであって、
第１の面および第２の面を有するハウジングであって、前記ハウジングの第１の面に取り付けられた第１のモジュールと前記ハウジングの第２の面に取り付けられた第２のモジュールとの間で基板を通過するために、前記第１の面に第１のスロットを、前記第２の面に第２のスロットを有するハウジングと、
前記ハウジング内に動作可能に取り付けられ、前記第１のスロットを閉じることを可能にする第１のドアと、
前記ハウジング内に動作可能に取り付けられ、前記第２のスロットを閉じることを可能にする第２のドアと、
を備え、
前記第１および第２のドアは、それぞれ、前記第１および第２のスロットに重なる長さを有すると共に、前記ドアの長辺の中央に中心部を有し、
前記複スロットバルブは、さらに、
前記第１および第２のドアの各々に結合される共通アクチュエータであって、それぞれのドアの前記中心部の位置において、前記第１のドアおよび前記第２のドアに取り付けられている、共通アクチュエータと、
前記共通アクチュエータが前記第１および第２のドアの一方の方に傾いて、前記一方のドアを使用して、対応する前記第１または第２のスロットを閉じるように構成されるマウントと、を備える、複スロットバルブ。
【請求項２】
半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる複スロットバルブであって、
第１の面および第２の面を有するハウジングであって、前記ハウジングの第１の面に取り付けられた第１のモジュールと前記ハウジングの第２の面に取り付けられた第２のモジュールとの間で基板を通過するために、前記第１の面に第１のスロットを、前記第２の面に第２のスロットを有するハウジングと、
前記ハウジング内に動作可能に取り付けられ、前記第１のスロットを閉じることを可能にする第１のドアと、
前記ハウジング内に動作可能に取り付けられ、前記第２のスロットを閉じることを可能にする第２のドアと、
前記第１および第２のドアの各々に結合され、前記第１および第２のドアの一方を選択的かつ別々に動かすことで、それぞれ、前記第１および第２のスロットを閉じる共通アクチュエータであって、前記共通アクチュエータがアクチュエータ開位置の中心に維持される際に、前記第１のドアおよび前記第２のドアそれぞれが、前記第１のスロットおよび前記第２のスロットそれぞれから離れてそれらの間にある開位置に位置する、共通アクチュエータと、
前記第１のドアおよび前記第２のドアが前記開位置に解放可能に保たれるように、解放可能な力を前記共通アクチュエータに供給して、前記共通アクチュエータを前記アクチュエータ開位置の中心に維持させるバイアスアセンブリと、
を備える、複スロットバルブ。
【請求項３】
請求項２に記載の複スロットバルブであって、前記共通アクチュエータは、反対側に位置する第１および第２の面を有し、前記バイアスアセンブリは、さらに、
前記共通アクチュエータの前記第１および第２の面の各々に設けられた別個の弾性部を備え、
前記別個の弾性部の各々は、前記解放可能な力の一方を提供し、前記別個の弾性部の前記解放可能な力は、通常、力平衡にあることで、前記第１のドアおよび前記第２のドアが前記開位置に解放可能に保たれるように、前記共通アクチュエータを前記アクチュエータ開位置の中心に維持させる、複スロットバルブ。
【請求項４】
請求項２に記載の半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる複スロットバルブであって、さらに、
前記解放可能な力の内のそれぞれの力に抗し、前記第１および第２のドアの内の選択された一方をそれぞれの閉位置に動かすためのドア駆動装置であって、前記ドア駆動装置は、前記共通アクチュエータにそれぞれ接続された２つの別個の駆動部を含む、ドア駆動装置
を備える、複スロットバルブ。
【請求項５】
請求項４に記載の半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる複スロットバルブであって、
前記２つの駆動部の一方により、前記共通アクチュエータが前記第１および第２のドアを一緒に伸長・収縮軌道に沿ってそれぞれの開位置へ動かす動作と開位置から動かす動作が引き起こされ、
前記２つの駆動部の他方により、前記共通アクチュエータが前記解放可能な力の内の前記それぞれの力に抗し、第２の軌道にある前記第１および第２のドアの１つをそれぞれの開位置からそれぞれの閉位置へ動かす動作が引き起こされる、
複スロットバルブ。
【請求項６】
請求項４に記載の複スロットバルブであって、
前記第１および第２のドアのいずれもがそれぞれの閉位置にある必要がない場合には、前記ドア駆動装置が前記解放可能な力の内の前記それぞれの力に抗するのを中断し、
前記バイアスアッセンブリが、前記解放可能な力の内の前記それぞれの力に抗するのを中断している前記ドア駆動装置に影響し、前記解放可能な力を供給して前記共通アクチュエータを前記アクチュエータ開位置の中心に維持させる、
複スロットバルブ。
【請求項７】
半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる複スロットバルブであって、
第１の面および第２の面を有するハウジングであって、前記ハウジングの第１の面に取り付けられた第１のモジュールと前記ハウジングの第２の面に取り付けられた第２のモジュールとの間で基板を通過するために、前記第１の面に第１のスロットを、前記第２の面に第２のスロットを有するハウジングと、
前記ハウジング内に動作可能に取り付けられ、前記第１のスロットを閉じることを可能にする第１のドアと、
前記ハウジング内に動作可能に取り付けられ、前記第２のスロットを閉じることを可能にする第２のドアと、
前記第１および第２のドアに結合された１つのドアアクチュエータと、
前記第１および第２のドアを軸に対して中心に配置した状態で前記１つのドアアクチュエータを移動させるよう構成されたマウントであって、さらに、前記中心に配置されたドアを前記第１および第２のスロットの間の位置に移動させるよう構成されており、さらに、前記１つのドアアクチュエータを前記軸に対して傾斜した位置に傾斜させることで、前記傾斜した位置において、前記第１および第２のドアの一方が、前記第１および第２のスロットの内の対応する一方を閉じて、前記第１および第２のドアの他方が、前記スロットの内の対応する他方が開くように前記１つのドアアクチュエータによって配置される、マウントと、
前記１つのドアアクチュエータが前記ドアを中心に配置するように、前記マウントを作動させるためのコンピュータ制御された制御装置と、
を備える、複スロットバルブ。
【請求項８】
請求項７に記載の複スロットバルブであって、
前記第１および第２のドアが、前記軸に対して中心に配置されている時に、前記第１のドアおよび前記第２のドアのそれぞれが、前記第１のスロットおよび前記第２のスロットそれぞれから離れてそれらの間にある開位置に位置し、
前記複スロットバルブは、さらに、
前記１つのアクチュエータが、前記軸に対して中心に配置され、前記第１のドアおよび前記第２のドアが、前記開位置に保持されるように、前記マウントを保持するためのセンタリング機構を備え、
前記制御装置は、前記マウントが、前記第１および第２のスロットの間の前記位置から前記軸に沿って、前記中心に配置されたドアを移動させるように構成されている、
複スロットバルブ。
【請求項９】
請求項７に記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記１つのドアアクチュエータを移動させて前記第１および第２のドアを前記第１および第２のスロットの間に配置させる動作を前記マウントに行わせるための駆動部を備える、複スロットバルブ。
【請求項１０】
請求項９に記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記１つのドアアクチュエータが前記第１および第２のドアを前記第１および第２のスロットの間に配置させる時に、前記第１および第２のドアが前記第１および第２のスロットの間で中心に配置されるように前記１つのドアアクチュエータを配置する動作を、前記マウントに行わせるためのセンタリング機構
を備える、複スロットバルブ。
【請求項１１】
請求項７に記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記第１および第２のドアが前記第１および第２のスロットの間の中央に配置された後に前記１つのドアアクチュエータを傾斜させるように、前記マウントに対して作用するよう構成された傾斜機構を備え、
前記傾斜機構は、前記１つのドアアクチュエータを前記傾斜した位置に傾斜させるように、前記マウントを配置する、
複スロットバルブ。
【請求項１２】
請求項７に記載の複スロットバルブであって、
前記制御装置は、前記１つのドアアクチュエータが、前記傾斜した位置に傾斜することで、前記第１および第２のスロットのそれぞれを閉じるように、前記マウントを作動させる、複スロットバルブ。
【請求項１３】
請求項１２に記載の複スロットバルブであって、
前記スロットの内の前記対応する他方が開くように配置された前記他方のドアは、前記スロットの内の前記対応する他方から離れていることで、前記閉じた方のスロットに対応するモジュールにおいて動作を継続しつつ、前記スロットの内の前記対応する他方の保守管理を可能にする、複スロットバルブ。
【請求項１４】
半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる複スロットバルブであって、
第１の面および第２の面を有するハウジングであって、前記ハウジングの第１の面に取り付けられた第１のモジュールと前記ハウジングの第２の面に取り付けられた第２のモジュールとの間で基板を通過するために、前記第１の面に第１のスロットを、前記第２の面に第２のスロットを有するハウジングと、
前記ハウジング内に取り付けられ、第１の軸の方向に移動することで前記第１のスロットを閉じることを可能にする第１のドアと、
前記ハウジング内に取り付けられ、前記第２の軸の前記方向に移動することで前記第２のスロットを閉じることを可能にする第２のドアと、
単一の部材からなる共通ドアアクチュエータであって、前記単一の部材は、前記第１の軸の前記方向に移動させるために前記第１および第２のドアのそれぞれを取り付け、前記共通ドアアクチュエータは縦軸を有する、共通ドアアクチュエータと、
前記縦軸および前記ドアが、前記第１および第２のスロットの間の中央の位置にあるように、前記第１の軸と直交する方向に前記縦軸を保ちつつ前記共通ドアアクチュエータを移動させるためのマウントと、
前記ドアが、前記第１および第２のスロットの間の前記中央の位置に到達した時に、前記マウントを移動させて前記共通ドアアクチュエータを傾斜させ、それにより、前記共通ドアアクチュエータは、前記第１および第２のドアの内の一方が前記スロットの内の一方を開いた状態で、前記スロットの内の他方を閉じるように前記第１および第２のドアの内の他方を移動させる、傾斜駆動部と、
前記第１および第２のドアの内の前記一方が前記スロットの内の前記一方を開いた状態で、前記スロットの内の前記他方を閉じるように前記マウントの移動を制御するためのコンピュータプログラム命令を備えるよう構成されたコンピュータワークステーションと、
を備える、複スロットバルブ。
【請求項１５】
請求項１４に記載の複スロットバルブであって、
前記傾斜駆動部は、さらに、
前記共通ドアアクチュエータを傾斜させるために前記マウントに作用するよう構成された機構を備え、
前記傾斜は、前記第１の軸に対する前記縦軸の方向を垂直から鋭角に変更し、
前記傾斜が、前記第１の軸に沿った第１の方向にある時に、前記共通ドアアクチュエータは、前記第２のドアが前記第２のスロットを開いた状態で、前記第１のスロットを閉じるように前記第１のドアを移動させ、前記傾斜が、前記第１の軸に沿った第２の方向にある時に、前記共通ドアアクチュエータは、前記第１のドアが前記第１のスロットを開いた状態で、前記第２のスロットを閉じるように前記第２のドアを移動させる、
複スロットバルブ。
【請求項１６】
請求項１４に記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記第１の軸に直交する方向に前記縦軸を保ちつつ前記共通ドアアクチュエータを移動させるための駆動部と、
前記ワークステーションに接続された制御装置であって、前記マウントが、前記第１の軸に直交する方向に前記縦軸を保ちつつ前記共通ドアアクチュエータを移動させ、前記傾斜駆動部が、前記ドアが前記第１および第２のスロットの間の中央の位置に到達した時に、前記共通ドアアクチュエータを傾斜させるように、前記駆動部を作動させる、制御装置と、
を備える、複スロットバルブ。
【請求項１７】
請求項１６に記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記第１の軸に直交する方向に前記縦軸を保ちつつ前記共通ドアアクチュエータが移動される時に、前記第１および第２のドアが前記第１および第２のスロットの間の中央の位置にあるように前記共通ドアアクチュエータを配置するよう、前記マウントを保持するためのアセンブリを備える、複スロットバルブ。
【請求項１８】
請求項１４に記載の複スロットバルブであって、
前記マウントは、前記コンピュータワークステーションに応答して、前記ドアを前記第１の軸から離して配置するように前記共通ドアアクチュエータを移動させるよう構成されている、複スロットバルブ。
【請求項１９】
処理モジュールと搬送モジュールを備えた半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる複スロットバルブであって、
第１の処理モジュール面および第２の搬送モジュール面を有する真空容器であって、前記処理モジュールと前記搬送モジュールとの間で基板を通過するために、前記第１の面に処理モジュールスロットを、前記第２の面に搬送モジュールスロットを有し、前記真空容器の前記第１の面は第１の壁面を有し、前記真空容器の前記第２の面は第２の壁面を有する、真空容器と、
閉軌道に沿って前記処理モジュールスロットと前記搬送モジュールスロットに近づく方向と離れる方向に前記真空容器内で動くことのできるドア取り付け端を有する共通アクチュエータであって、前記ドア取り付け端が、前記閉軌道とほぼ直交するアクセス軌道に沿って前記真空容器から離れる方向に動くことができ、それにより、前記処理モジュールスロットと前記搬送モジュールスロットの間を直線的に開放する、共通アクチュエータと、
前記処理モジュールスロットを開閉するために前記閉軌道に沿って動くように、前記共通アクチュエータの前記ドア取り付け端に取り付けられた第１のドアであって、上位置と下位置の間の前記アクセス軌道に沿って動くように前記共通アクチュエータにより取り付けられており、前記上位置においては、前記第１の壁面にアクセスを可能にするように前記真空容器の前記第１の壁面に平行でそこから離れる、第１のドアと、
前記搬送モジュールスロットを開閉するために前記閉軌道に沿って動くように、前記共通アクチュエータの前記ドア取り付け端に取り付けられた第２のドアであって、上位置と下位置の間の前記アクセス軌道に沿って動くように前記共通アクチュエータにより取り付けられており、前記上位置においては、前記第２の壁面にアクセスを可能にするように前記真空容器の前記第２の壁面に平行でそこから離れる、第２のドアと、
前記閉軌道に沿って前記処理モジュールスロットと前記搬送モジュールスロットそれぞれに向かう方向と離れる方向に前記真空容器内で前記アクチュエータの前記ドア取り付け端を動かすために、第１の駆動部を有する複動式アクチュエータ機構であって、前記アクセス軌道に沿って前記共通アクチュエータの前記ドア取り付け端を動かし前記真空容器から離すために、第２の駆動部を有する、アクチュエータ機構と、
を備える、複スロットバルブ。
【請求項２０】
請求項１９記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記ドア取り付け端と反対の位置にあるバイアス駆動端を有する前記共通アクチュエータであって、前記バイアス駆動端と前記ドア取り付け端との間の軸を中心に回転するように取り付けられた、共通アクチュエータと、
前記アクチュエータの前記ドア取り付け端を前記閉軌道に沿って前記処理モジュールスロットと前記搬送モジュールスロットそれぞれから離してそれらの間に弾性的に保持するために、前記アクチュエータの前記バイアス駆動端に取り付けられた複動式弾性バイアス機構と、
を備える、複スロットバルブ。
【請求項２１】
請求項１９記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記第１の駆動部および前記第２の駆動部を別々に制御するための制御装置と、
前記第２のドアを前記閉位置に置き、前記搬送モジュールが修理モード以外で稼動することを許容すると同時に、前記処理モジュールの修理のために前記第１のドアを前記閉位置以外の位置に置くことができるようにするために、前記制御装置に接続されたコンピュータワークステーションと、
を備える、複スロットバルブ。
【請求項２２】
請求項２１記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記ドアの修理を容易にするためのドアアクセスポートを有する前記真空容器と、
前記制御装置によって、前記複動式アクチュエータ機構を作動させ、前記第１のドアおよび前記第２のドアを前記アクセス軌道に沿ってそれぞれの前記上位置に移動させ、前記第１のドアを前記閉軌道に沿って開位置に移動させ、前記第２のスロットを閉じるために前記第２のドアを前記閉軌道に沿って移動させる、コンピュータプログラム命令を備え、両方のドアの前記上位置において、前記第１のドアが前記開位置にある際に、前記第１のドアが前記ドアアクセスポートを介して供給される別のドアと交換される位置にある、前記コンピュータワークステーションと、
を備える、複スロットバルブ。
【請求項２３】
請求項２１記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記ドア取り付け端と反対の位置にあるバイアス駆動端を有する前記共通アクチュエータであって、前記バイアス駆動端と前記ドア取り付け端との間の軸を中心に回転するように取り付けられた、共通アクチュエータと、
前記共通アクチュエータの前記バイアス駆動端を前記軸を中心に回転させ、前記共通アクチュエータの前記ドア取り付け端を前記閉軌道に沿って前記処理モジュールスロットと前記搬送モジュールスロットそれぞれから離れてそれらの間にある位置に解放可能に保持するために、前記共通アクチュエータの前記バイアス駆動端に作用するよう構成された複動式弾性バイアス機構と、
前記真空容器へのアクセスを容易にするためのドアアクセスポートを有する前記真空容器と、
前記制御装置によって、前記複動式アクチュエータ機構を作動させ、前記バイアス機構に、離れていて間にある前記位置に前記ドア取り付け端を解放可能に保つことを許容させ、前記第１のドアおよび前記第２のドアを前記アクセス軌道に沿って前記下位置に移動させ、前記アクセスポートを介して前記第１および第２の壁面の修理を可能にするためのコンピュータプログラム命令を備える前記コンピュータワークステーションと、
を備える、複スロットバルブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は一般に、半導体処理装置のモジュール用バルブに関し、より詳細には、複スロットバルブを備えた単体スロットバルブアクチュエータと、そのようなバルブを半導体処理装置の別々のチャンバ間に実装し、１つのチャンバの修理中にも他方のチャンバで作業を継続できるようにする方法に関するものである。上記半導体処理装置は、複数チャンバ真空システムでもよい。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造のような薄膜材料の真空処理においては、複数のプロセスチャンバをつなぎ、例えば、つながれたチャンバの間でウェハの移動を可能にする。そのような移動は、例えば、つながれたチャンバの隣接した壁に備えつけられたスロットもしくはポートを通してウェハを移動させる搬送モジュールを経由して行われる。例えば、搬送モジュールは、一般に、半導体エッチングシステム、物質蒸着システム、およびフラットパネル・ディスプレイ・エッチングシステムなど様々な基板処理モジュールと組み合わせて用いられる。清浄さと処理精度の高さへの要求が高まるにつれて、処理工程中および工程間での作業員との相互作用の量を減少させる必要性が高まってきた。この要求は、（通常、減圧状態、例えば、真空状態に保たれた）中間操作装置として働く搬送モジュールの実現により部分的に満たされた。一例として、搬送モジュールは、基板が貯蔵されている１つ以上のクリーンルーム格納設備と、基板が実際に処理される、例えば、エッチングもしくはその直後に蒸着が行われる多数の基板処理モジュールとの間に物理的に配置させることができる。この様に、基板の処理が必要な際には、搬送モジュール内に配置されたロボットアームを用いて、格納部から選択された基板を取り出し、多数の処理モジュールの１つに送り込むことも可能である。
【０００３】
当業者によく知られているように、多数の格納設備と処理モジュールとの間で基板を「搬送する」搬送モジュールの配列は、「クラスタツール構造」システムと呼ばれることが多い。図１は、搬送モジュール１０６につながる様々なチャンバを示す典型的な半導体処理クラスタツール構造１００を表している。一例として、処理モジュール１０８ａ〜１０８ｃは、変成器結合プラズマ（ＴＣＰ）基板エッチング、層の蒸着および／またはスパッタリングを実行するために実装することができる。
【０００４】
搬送モジュール１０６には、搬送モジュール１０６に基板を送り込むために実装することのできるロードロック１０４が接続されている。ロードロック１０４は、基板が格納されているクリーンルーム１０２に連結してもよい。ロードロック１０４は、回収および配送機構であるのに加えて、搬送モジュール１０６とクリーンルーム１０２との間の圧力変化インターフェースとしても機能する。従って、クリーンルーム１０２を大気圧に保つ一方で、搬送モジュール１０６を一定気圧(例えば、真空)に保つことができる。圧力の変わり目でモジュール間での漏れを防ぐ、または処理中に搬送モジュール１０６から処理モジュールを密封するために、様々な種類のゲートドライブバルブが、様々なモジュールの隔離に用いられている。
【０００５】
ゲートドライブバルブに関する詳しい情報については、米国特許４，７２１，２８２号を参照することができ、それは参照によりここに組み入れられる。そのようなゲートドライブバルブは米国特許５，６６７，１９７号でも開示されている。その特許においては、２つのポート開口部を有し、その２つのポート開口部のうちの１つに対して１つのバルブのみを有する従来技術のバルブハウジングが開示されている。従って、関連付けられたバルブを持たないポートを閉じるのは不可能である。また、‘２８２特許のゲートプレートバルブは、隣接した搬送チャンバと処理チャンバとの間のポートを閉じるために開示されており、中間バルブハウジングは提供されていない。ゲートプレート用の駆動アッセンプリは、内部ポートに向かって垂直軌道および回転円弧の一連の動作でゲートプレートを動かし、内部ポートの密閉もしくは閉鎖の効果を生じる。
【０００６】
米国特許５，１５０，８８２号は、減圧チャンバとエッチングチャンバを含めた様々な処理システムチャンバ間の１つのバルブを開示している。そのバルブは、ストッパプレートがかなりの衝撃でローラに衝突するように、１つの空気シリンダとトグルの配列とによって、ゲート開口部と接合および離脱するよう動かされる。ゲートがゲート開口部に向かって動くように、フィッティングプレートの初期の垂直運動が、反時計回りに回転するリンクによって水平運動に変えられる。従来技術の問題を防ぐために‘８８２特許では、二ホウ化物硬合金からストッパプレートが作られている。さらに、その１つの空気シリンダの単一の動きは、止められることなく、ローラとストッパプレートの接合後にも動作を継続する。このように、特別な材料を必要とすることに加え、‘８８２特許は、隣接した処理チャンバ間に２つのバルブを提供していない。
【０００７】
クラスタツール構造システム用の他のバルブには、２つのバルブそれぞれに対して別々のアクチュエータが含まれているが、そのために、バルブ作動ハウジングの幅を増加させたり、もしくはその幅を減少させようという試みがなされている場合には、アクチュエータがバルブに力をかける位置を制限したりする傾向がある。さらに、そのようなバルブには、２つの別々のアクチュエータそれぞれに対して別々のベローズが必要になる。そのようなベローズの価格がかなりの額（例えば、２０００年の米ドルで８００．００ドルから１０００．００ドルの範囲）であるため、ベローズが２つ必要であると多大な費用がかかる。さらに一般的には、そのような別々のアクチュエータはそれぞれ、別々の空気シリンダによって動かされ、２つのバルブそれぞれに対して１つずつ別々のアクチュエータが必要な場合には、それによっても費用が高くなる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上述の観点から、隣接する処理もしくは搬送モジュールの間のバルブアッセンブリが要望されている。それによって、例えば、一方のチャンバで修理が行われている間にも、他方のチャンバで作業を継続することが可能であり、２つのバルブに対して１つの共通のバルブアクチュエータしか持たないため、１つのベローズと２つの空気駆動部を省くことによりアッセンブリのコストを削減することが可能である。
【０００９】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】
概して、本発明は、搬送チャンバと処理チャンバのように隣接したチャンバもしくはモジュールの間のハウジングに両面スロットバルブを提供することにより、これらの要求を満たす。例えば、他のポートが開いたままの状態で処理チャンバに隣接した１つのハウジングポートもしくは搬送チャンバに隣接した１つのハウジングポートを選択的に閉じられるように、２つのバルブハウジングのポートもしくはスロットそれぞれに対して、別々のバルブが提供されている。例えば、バルブを選択的に閉じることにより、隣接した処理チャンバが大気に開放されていて修理が実行できるようになっている間、例えば、搬送チャンバを真空に保つのが容易になる。その結果、処理チャンバの修理後に搬送チャンバを所望の真空状態にするためのポンプダウンサイクルが不要となり、処理チャンバの修理のために、搬送チャンバに対してその他の操作を行う必要がなくなるため、かなりの休止時間を削減することができる。
【００１０】
また、搬送チャンバが真空になるように搬送チャンバへのバルブを閉じた状態では、開いている処理チャンバから（砕けたウェハのような）破片が通過するのを処理チャンバへの開いているバルブによって防ぎ、その破片が搬送チャンバに混入しないようにすることが可能である。それ故、一般に、腐食した後に修理で交換する必要があるのは処理チャンバに近接したバルブドアだけで、搬送チャンバは交換中も真空のままでよい。
【００１１】
さらに、両面スロットバルブにはこれらの利点があると同時に、開いているバルブで修理実行中に、一方もしくは両方の開いているバルブに簡単にアクセスすることが可能である。そのような簡単なアクセスは、第１および第２駆動部によって動かされる共通のアクチュエータによって提供される。１つのバルブを閉じるために、第１駆動部が作動され、一方のバルブが閉じ、他方のバルブが開位置であるが、それぞれのポートに対して横方向に間隔のない（すなわち、垂直方向に間隔のない）位置にくると、駆動部が停止する。両方のバルブが修理される際には、第１の駆動部は作動されず、アクチュエータをアクチュエータ開位置の中心に維持するばね式アッセンブリによって、それぞれのバルブの開位置が維持される。この開位置では、修理作業員は手袋をはめて、開放バルブに手を伸ばすことができる。第２駆動装置は、アクチュエータを動かし、それによって両方のバルブを開位置から離れる方向そしてそれぞれのポートから離れる方向に横（例えば、下）に動かす役割も果たすことが可能である。開放バルブが横方向に動かされることにより、ポート周辺のシール面が露出されるので、例えば、シール面の清掃が可能になる。横方向に動かされたバルブと点検口（通常は蓋で閉じられている）の間の垂直距離のために、一般に、垂直に動かした後に、作業員が修理のために保護手袋を着用した手をバルブに伸ばすのは困難である。しかしながら、横方向（垂直方向）に動かされた位置では、バルブは、ドアが密閉する面を含め、バルブドア周辺の清掃の妨げとならない。
【００１２】
加えて、両方のスロットバルブドアに設けられるアクチュエータを共通の１つのみにして、例えば、隣接した搬送チャンバと処理チャンバの間のバルブハウジングが占めるクリーンルーム内の実際の空間を削減する。また、そのような共通アクチュエータは、スロットバルブドアそれぞれの中心に力をかけるため、スロットバルブドアを閉じておくのに必要な力が少なくて済む。また、２つのアクチュエータを備えるために２つのベローズを要するバルブアッセンブリとは対照的に、１つのアクチュエータと１つのベローズしか必要ではない。
【００１３】
これで、２つの隣接したチャンバのうちの一方のチャンバで通常動作が継続している間に、２つのチャンバのうちの他方のチャンバで多くの種類の修理を実行可能であることが理解できるだろう。例えば、そのような修理には、チャンバもしくはバルブハウジングからウェハの破片を取り除いたり、ポートのシール面を清掃したり、チャンバ内部を清掃したり、シールの表面に影響するバルブの部材（例えば、ドアやＯリング）を取り除いたり交換したりする作業が含まれる。例えば、半導体処理の通常運転を行うそのようなチャンバを維持するためのこれらの作業およびその他の作業を、ここでは「修理」と呼ぶ。
【００１４】
本発明の原理を例示した添付図面との関連で行う以下の詳細な説明から、本発明のその他の態様および利点が明らかになる。
【００１５】
同一の参照番号が同一の構造要素を意味する添付図面との関連で行う以下の詳細な説明から、本発明を容易に理解することが可能となる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の説明は、他方のモジュールの修理中に、半導体処理のクラスタツール構造の一方のモジュールで確実に動作を継続することができる方法と装置に対してなされている。本発明は、半導体処理装置のモジュール用バルブ、より詳細には複バルブを有する単体スロットバルブアクチュエータ、および半導体処理装置の別々のモジュール間にそのようなバルブを実装する方法に関して説明されている。しかしながら、当業者にとっては、本発明がこれらの具体的な詳細の一部もしくはすべてがなくとも実行可能であることは明白であろう。その他にも、本発明を分かりにくくしないようにするために、よく知られたプロセスの動作については詳細に説明していない。
【００１７】
図２によると、本発明は、搬送モジュール２０２および処理モジュール２０６を有し、搬送モジュール２０２と処理モジュール２０６の隣接する１組の間に両面スロットバルブが位置する半導体処理クラスタツール構造２００を含むように、一般的に記載されている。図２を平面図として見ると、搬送モジュール２０２と、処理モジュール２０６と、両面スロットバルブ２０４の合計床面積によって構造の占有面積が決まっている。モジュール２０２、２０４および２０６を稼動のために一緒に密閉する方法を考慮せずに、搬送モジュール２０２および処理モジュール２０６の床面積を第１に決定できることが理解できるだろう。個々の両面スロットバルブ２０４が、モジュール２０２、２０６を稼動のために一緒に密閉する方法を規定するので、それぞれ個々の両面スロットバルブ２０４の占有面積が、クラスタツール構造２００の占有面積を減少させようとする場合に重要になる。従って、それぞれ個々の両面スロットバルブ２０４の占有面積を減少させるには、個々の両面スロットバルブ２０４それぞれの幅Ｗをできる限り減少させることが重要である。
【００１８】
図３は、本発明の両面スロットバルブ２０４の１つがクラスタツール構造２００の２つのモジュール間に位置するバルブ真空容器２１２を含むことを示している。示されているように、２つのモジュールは、搬送モジュール２０２と、処理モジュール２０６のうちの１つであり、バルブ真空容器２１２（もしくはハウジング）がクラスタツール構造２００の任意の２つのモジュール間に設置可能なことが理解される。バルブ真空容器２１２は、対向した壁２１４によって規定される幅Ｗを有する。処理モジュール２０６に最も近いそれぞれの壁２１４の側面は、「ＰＭ側面」と呼ぶことができ、搬送モジュール２０２に最も近いそれぞれの壁２１４の側面は、「ＴＭ側面」と呼ぶことができる。バルブ真空容器２１２は、対向した端壁２１６によって規定される長さＬを有し、幅Ｗと長さＬを乗じることにより、個々の両面スロットバルブ２０４の占有面積が決定される。
【００１９】
ポート（もしくはスロットもしくは開口部）２１８は、それぞれの壁２１４に設けられており、例えば、１つのモジュールと他のモジュールとの間でウェハ（示されていない）を搬送できるようになっている。図３に示すように、一方のそのようなモジュールは搬送モジュール２０２で、他方のそのようなモジュールは処理モジュール２０６であり、スロット２１８Ｐが処理モジュール２０６に隣接し、スロット２１８Ｔが搬送モジュール２０６に隣接している。スロット２１８は、それぞれ、概ね長方形の形状で、それぞれのスロット２１８を閉じるために備えられているドア（もしくは側方ドア）２２２の概ね長方形の形状よりも各辺が短い。ドア２２２とスロット２１８では、角が丸いので、それぞれの長方形の形状を「概ね長方形である」と呼ぶ。ドア２２２は、それぞれ、真空容器２１２の対向した壁２１４における対向したシール面２２６に重なり合うシール周辺部２２４を有する。後述するように、ドア２２２が閉位置にある際に、シール面２２６に対して押し付けられ、真空もしくはガスの漏れない密閉を提供するＯリング２２８などのシールデバイスを、シール周辺部２２４に設けてもよい。代わりに、ドア２２２に対してシールデバイスを加硫してもよいし、交換可能なシールを有する他の種類のシールデバイスを用いてもよい。壁２１４のドア２２２−２は、搬送モジュール２０２と処理モジュール２０６との間に圧力シールを形成する。この様に、例えば、ＰＭ側面は、ＴＭ側面が標準真空レベル（例えば、８０〜１００ｍＴｏｒｒ）状態である間に、外気に対して通気してもよい。さらに、バルブ２０４は、処理モジュール２０６が真空である間に搬送モジュール２０２を通気し、搬送モジュール２０２が真空レベルにある間に処理モジュール２０６を通気できるように設計されている。
【００２０】
ドア２２２−１と記述され、図３の右側に示されているドア２２２の１つについては、それぞれのスロット２１８Ｐを、共通アクチュエータ２３２の１つの動作により選択的に閉じることができる。例えば、処理モジュール２０６が修理されている間、共通アクチュエータ２３２を用いることにより、例えば、搬送モジュール２０２内で作業を継続することが可能である。それ故、搬送モジュール２０２と処理モジュール２０６のうち、選択した方だけを停止させれば、選択したモジュールの修理が可能になる。共通アクチュエータ２３２の作動結果の１つとして、図３に示すように、ドア２２２が閉位置もしくは開位置に配置される。開位置においては、ドア２２２は、いずれも、ドア２２２と壁２１４との間の空間２３４を規定している。アクチュエータ２３２の他種類の作動では、図３に示すＺ軸に沿った下もしくは上位置にドア２２２を配置させる。
【００２１】
図４Ａは、搬送モジュール２０２、処理モジュール２０６、および１つの両面スロットバルブ２０４を示している。制御装置４０２は、ドア２２２−１および２２２−２を制御するための共通アクチュエータ２３２の動作を含むバルブ２０４の動作を制御している。制御装置４０２は、コンピュータワークステーション、すなわち、ツール組み込み式制御装置４０４に接続されている。制御装置４０２は、電子装置４０６を介してバルブ２０４に接続している。図４Ｂは、一連のスイッチ４０８，４１０および４１２を備えた電子装置４０６の上部を示している。スイッチは、それぞれ、開位置と閉位置へのドア２２２の動作制御用、下位置と上位置へのドア２２２の動作制御用、モジュール２０２と２０６のどちらを修理するかの選択用（例えば、処理モジュール２０６が「ＰＭ」で、搬送モジュール２０２が「ＴＭ」）である。制御装置４０２とスロットバルブ２０４の間に送信される信号４１４の例は、「ドア開」と「ドア閉」である。
【００２２】
図５および図６Ａ〜６Ｃには、２つのドア２２２−１および２２２−２を支持するアクチュエータ２３２が示されている。Ｘ軸はアーチ形軌道を表しており、その軌道に沿ってドア２２２が、図６Ｂに示すドア２２２−１の閉位置から図６Ａに示す両方のドア２２２の開位置まで左方向に動く。Ｘ軸は、一般に、壁２１４の面に垂直でよい。図６Ａ〜６Ｃには、ドア２２２−１および２２２−２の軌道がクレードル軸Ｃに比べてアーチ形であるにもかかわらず、ドア２２２の開位置が真空容器２１２の側壁２１４に垂直でそこから離れているといえる程、アーチの半径が大きいことが示されている。開位置においては、ドア２２２が、それぞれのドア２２２とそれぞれの壁２１４との間の空間２３４を規定している。ドア２２２が開位置にある際には、上述のように、修理を行うバルブ２０４へ簡単にアクセスできる。垂直下方の（すなわち、横方向に空間のあいた）位置ではなく、図６Ａに示した開位置で且つ上位置にあるバルブ２０４に初めに簡単にアクセスできることの利点は、蓋２３６が真空容器２１２から外される際に、開位置で且つ上位置で修理作業員が手袋をはめた手（示されていない）でバルブ２０４のドア２２２に届くことができることである。
【００２３】
Ｚ軸は、上述の垂直もしくは横方向もしくは空間配置に関係し、図５および図６Ａ〜６Ｃにも示されている。Ｚ軸は、アクチュエータ２３２の軸で、ドア２２２は、その軸に沿ってポート２１８に対して上位置と下位置の間を動く。図６Ａと図６Ｂを比較すると、Ｚ軸が動き、特に、クレードルの軸Ｃを中心に垂直方向（図６Ａ）から、垂直より角度Ｔ傾けられた方向（図６Ｂ）にまで回転することが分かるだろう。クレードル軸を中心とした方向の変化、およびクレードル軸からドア２２２の中心までの距離Ａにより、ドア２２２が、図６Ｂに示す閉位置（Ｏリングがシール面２２６に接触している）から図６Ａに示す開位置（ドア２２２が空間２３４によって壁２１４から隔てられている）に動く。
【００２４】
アクチュエータ２３２には、底板３０２の上部に取り付けられた上部バルブ真空容器２１２が含まれている。真空容器２１２は、Ｘ軸と一直線に配置されたスロット２１８Ｐおよび２１８Ｔを有し、蓋２３６により密閉できるようになっている。ベローズ３０６の下端３０４は、密閉した状態で底板３０２に取り付けられている。ベローズ３０６の上端３０８は、密閉した状態でベローズ板３１０に取り付けられている。底板３０２およびベローズ板３１０に対して密閉されており、また、蓋２３６はバルブ真空容器２１２の上部に対して密閉されており、真空容器２１２は、例えば、スロット２１８Ｐを通してかけられる真空の圧力に耐えられる程強くなっている。ベローズ３０６は、中空の円筒形をしており、空洞３１２を規定している。
【００２５】
底板３０２は、回動軸枠３１８の離間したアーム３１６を支えている。２つのアーム３１６は、ベローズ３０６の下の底板３０２から左方へ下向きに伸長する。他の２つのアーム３１６は、ベローズ３０６の下の底板３０２から右方へ伸長する。それぞれの対向した対のアーム３１６は、ブリッジ３１９および基礎３２０で接合している。それぞれのブリッジ３１９は、Ｃ軸の中心に位置する回動軸ピン３２１を支えている。回動軸ピン３２１は、図５に示す対向したアーム３２３を有するクレードル３２２に回転取り付け部を提供し、クレードル３２２は、Ｃ軸を中心に振り子運動をできるようにそれぞれのピン３２１から吊り下げられる。振り子運動は、開閉シリンダ３２６を有する複動式の第１の空気モータ３２４とピストンロッド３２８により実現される。モータ３２４は、ブリッジ３２９によりアーム３１６に固定されている。ピストンロッド３２８の一方の末端は、スロット３３１が受け止めるピン３３０に固定されており、それにより、ピストンロッド３２８が収縮、伸長した際に、クレードル３２２がそれぞれＣ軸を中心に反時計回り、時計回りに回転する。ピストンロッド３２８が、クレードル３２２にピン３２１を中心とした時計回りの振り子運動をさせるため、図６Ｂに示す収縮したピストンロッド３２８の位置は、ドア２２２−２の開位置に対応し、その開位置を生じさせる。その収縮位置は、また、ドア２２２−１の閉位置にも対応し、その閉位置を生じさせる。ピストンロッド３２８が、クレードル３２２にピン３２１を中心とした時計回りの振り子運動をさせるため、完全に伸長されたピストンロッド３２８の位置（示されていない）は、ドア２２２−２の閉位置に対応し、その閉位置を生じさせることが理解されるだろう。ピストンロッド３２８の中立位置は、図６Ａおよび６Ｃに示されており、ドア２２２両方の共通の開位置に対応し、その開位置を生じさせる。
【００２６】
クレードル３２２は、また、第２の、すなわち、上下動モータ３３６の上下シリンダ３３４も支えている。対向するモータ取り付け部３３７によってクレードル３２２に固定されたシリンダ３３４により、ピストンロッド３３８は、伸長と収縮が可能で、底板３０２の開口部３４０に備えられたベアリングの中を滑動する。ベローズ３０６は、ピストンロッド３３８のドア取り付け部３４１を収納するための中空な円筒形の空洞３１２を有する。図６Ａ〜６Ｃに示すように、そのようなベアリングにより、第２の、すなわち、上下動モータ３３６のピストンロッド３３８が伸長もしくは収縮することを許容し、それによってベローズ板３１０を上下動させる。ベローズ板３１０は、２つのドア２２２−１、２２２−２がヒンジピン３４２を中心に回転するのを支えるドア取り付け部３４１を支持する。ドア取り付け部３４１が、それぞれのドア２２２の中点の中心においてドア２２２に取り付けられており、それぞれのドア２２２の長辺（もしくはＹ軸方向）の中心に位置する取り付け部３４１によってそれぞれのドア２２２が支えられるようになっている。ドア２２２の中心がドア取り付け部３４１に取り付けられている結果として、ドア取り付け部３４１によって、それぞれのドア２２２にかかるＸ軸方向の閉じる力Ｆが、それぞれのドア２２２に一様にかかる。また、１つの共通アクチュエータ２３２により、バルブ本体に２つの別々のアクチュエータを備えるバルブの幅よりも、真空容器２１２の幅Ｗをかなり削減することができる。実際、真空容器２１２の幅Ｗは、例えば、約６．５インチしか必要ない。
【００２７】
図６Ａおよび６Ｃから、上下動モータ３３６のピストンロッド３３８が伸長されている時には、ドア２２２が上位置（図６ＡおよびＢ）にあると共に、ベローズ３０６が伸長していることが理解できる。上下動モータ３３６のピストンロッド３３８が収縮される際には、ドア２２２が下位置（図６Ｃ）に動かされると共に、ベローズ３０６が収縮する。次に、共通アクチュエータ２３２が、個別のモータ３２４および３３６によって作動して、真空容器２１２のそれぞれ第１および第２の壁２１４−１および２１４−２にほぼ直交するＸ軸の示す第１の方向にドア２２２を同時に動かし、真空容器２１２の壁２１４にほぼ平行な第２の方向にドア２２２を同時に動かすことが理解できる。
【００２８】
上述のように、ピストンロッド３２８は図６Ａに示す中立位置を有する。その中立位置は、ドア２２２の開位置に対応する。ピストンロッド３２８が中立位置にある際には、モータ３２４が作動されないため、ピストンロッド３２８には左方向と右方向のいずれにも空気の流体圧力はかからない。図５および６Ａ〜６Ｃには、ピストンロッド３２８と、クレードル３２２および共通アクチュエータ２３２を真空容器２１２の側面２１４の間の中心にある中立位置に保つために備えられたアクチュエータバイアスアッセンブリ３５０が示されている。図６Ａ〜６Ｃには、対向する固定アーム３１６の間で振り子運動をできるように取り付けられたクレードル３２２が示されている。図５には、Ｚ軸に関して中心に位置するアクチュエータバイアスアッセンブリ３５０を有する基礎３２０が示されている。アッセンブリ３５０には、一般に、それぞれのアーム３１６の下部に取り付けられる対向するバイアス部３５２が含まれる。それぞれのバイアス部３５２には、ばねのような弾性部材３５８の力ＦＢと同方向もしくは逆方向の左右動作のためのバイアスプランジャ３５６を収納する基礎３２０の穴３５４が含まれる。
【００２９】
ねじ込みプラグ３６０が、穴３５４のねじ込み形３６２にねじ込まれ、それにより穴３５４のバイアスプランジャ３５６が支えられている。穴３５４には、穴３５４のバイアスプランジャ３５６の動きを制限する肩３６４が備えられている。２つのアクチュエータバイアスアッセンブリ３５２が、それぞれ、クレードル３２２に対して（Ｘ軸に平行な）反対方向に力ＦＢを加え、その結果、反対向きの力ＦＢにより、真空容器２１２の側面２１４間の中心に位置する中心位置にあるクレードル３２２および共通アクチュエータ２３２にかかる力が平衡に保たれる。
【００３０】
それぞれの力ＦＢは、ピストンロッド３２８に空気力がかかっていない際に、モータ３２４の摩擦力およびその他の力に抗するのに十分である。このように、個別のバイアス部３５２は、それぞれの右方向および左方向の力ＦＢをクレードル３２２にかける際に、弾性的にクレードル３２２を図６Ａおよび６Ｃに示す中立位置に保つ。モータ３２４がそのような力ＦＢに対して適切に作動されている際には、それぞれのそのような力ＦＢに抗することができる。このように、モータ３２４の力は、それぞれのバイアス部の力ＦＢに抗することができ、それによって、ピン３２１を中心にクレードル３２２の下部の左への振り子運動（図６Ｂ）と右への振り子運動が起こる。ドア取り付け部３４１は、図６Ｂに示すようにクレードル３２２の下部と反対に動き、例えば、その図では、右のドア２２２−１が、左のアクチュエータバイアス部３５２から力ＦＢに抗してクレードル３２２の下部が左に動かされるのに伴い、右方向、すなわち、閉位置の方に動かされる様子が示されている。
【００３１】
従来技術のクラスタツール構造１００で満たされていない要求が、搬送モジュール２０２および処理モジュール２０６のような、隣接したモジュール２０６および２０２の間の真空容器２１２内にある上述の両面スロットバルブ２０４によって、満足されている。別々のドア２２２の１つが２つのバルブハウジングポート２１８のそれぞれに対して共通アクチュエータ２３２上に設けられているので、例えば、処理モジュール２０６に隣接する１つのハウジングポート２１８Ｐと搬送モジュール２０２に隣接する１つのハウジングポート２１８Ｔは、他方のポートが開放している間も、選択的に閉じることが可能である。例えば、選択的に閉じることにより、１つの隣接した処理モジュール２０６が大気に開放されていて修理が実行できるようになっている間、搬送モジュール２０２を真空に保つのが容易になる。その結果、処理モジュール２０６の修理後に搬送モジュール２０２を所望の真空状態にするためのポンプダウンサイクルが不要となり、処理モジュール２０６の修理のために、搬送モジュール２０２に対してその他の操作を行う必要がなくなるため、かなりの休止時間を削減することができる。さらに、搬送モジュール２０２内での作業を妨げずに継続することができる。それ故、搬送モジュール２０２を真空に保つことにより、１つの処理モジュール２０６の修理が行われている間に、搬送モジュール２０２を用いて生産を継続することができるため、クラスタツール構造２００の総生産性が上がる。
【００３２】
また、搬送モジュールが真空になるように搬送モジュール２０２へのドアバルブ２２２−２を閉じた状態では、開いている処理モジュール２０６から（示されていないが、砕けたウェハのような）破片が通過するのを、処理モジュール２０６につながる開放ドアバルブ２２２−１によって防ぎ、その破片が搬送モジュール２０２に混入しないようにすることができる。例えば、さらに、破片遮断タブ３８０をドア２２２より上の真空容器２１２内に取り付け、開放した処理モジュール２０６からの破片の移動をさらに防いでもよい。それ故、一般に、腐食して修理で交換する必要があるのは、処理モジュール２０６に近接したバルブドア２２２−１だけであり、搬送モジュール２０２は交換中も真空のままでよい。
【００３３】
さらに、両面スロットバルブ２０４には、これらの利点があると同時に、開放ドアバルブ２２２で修理を行う際に、一方もしくは両方の開放ドアバルブ２２２に簡単にアクセスできる。そのような簡単なアクセスは、第１および第２の駆動部３２４および３３６によって動かされる共通アクチュエータ２３２によって提供される。１つのドアバルブ２２２を閉じるために、第１の駆動部３２４が作動され、一方のドアバルブ２２２が閉位置、他方のドアバルブ２２２が開位置、両方のドアバルブ２２２が上位置に位置すると、第１の駆動部３２４が停止する。両方のバルブが修理される際には、第１の駆動部３２４は作動されず、共通アクチュエータ２３２をアクチュエータ開位置の中心に維持するアクチュエータバイアスアッセンブリ３５０によって、それぞれのドアバルブ２２２の開位置、すなわち、中心位置が弾性的に維持される。この開位置では、修理作業員は手袋をはめて開放ドアバルブ２２２に手を伸ばすことができる。第２の駆動部３３６は、共通アクチュエータ２３２を動かすよう作動し、それによって両方のドアバルブ２２２を開位置およびそれぞれのポート２１８から離して横に（すなわち、下向きに）動かし、ポート２１８の周囲のシール面２２６を露出させることが可能である。その露出により、例えば、シール面２２６の清掃が可能になる。
【００３４】
横方向に動かされたドアバルブ２２２と点検口２６２(通常は、蓋２３６で閉じられている)との間の垂直距離のために、一般に、垂直下向きに動かした後に、作業員が修理のためにドアバルブ２２２に手を伸ばすのは困難である。しかしながら、横方向下向きに動かされた位置では、ポート２１８Ｔと２１８Ｐの間が完全に開放されているので、ドアバルブ２２２は、ドアバルブ２２２が密閉する表面２２６を含むドアバルブ２２２の周囲を作業員が清掃する妨げにならない。
【００３５】
さらに、両方のスロットバルブドア２２２には、幅Ｗを削減するために、１つの共通アクチュエータ２３２のみが設けられており、例えば、隣接した搬送モジュール２０２と処理モジュール２０６ａとの間のバルブハウジング２１２が占めるクリーンルーム内の実際の空間を削減する。また、そのような共通アクチュエータ２３２は、スロットバルブドア２２２それぞれの中心に力Ｆをかけるため、スロットバルブドア２２２を閉じておくのに必要な力Ｆが少なくて済む。さらに、２つのアクチュエータを備えるために２つのベローズを要する他のバルブアッセンブリと異なり、１つの共通アクチュエータ２３２と１つのベローズ３０６しか必要ではない。
【００３６】
そして、２つの隣接したモジュール２０２、２０６ａのうち１つのモジュール（例えば、２０２）で通常動作が継続している間に、２つのモジュールの他方のモジュール（例えば、隣接した処理モジュール２０６）で多くの種類の修理を行うことができることが理解できるだろう。例えば、そのように通常動作を継続できることで、搬送モジュール２０２に隣接したもう１つの処理モジュール２０６と共に、その搬送モジュール２０２を用いて、クラスタツール構造２００の総生産性もしくは全体の生産性を高めることが可能になる。例えば、そのような修理には、その１つの処理モジュール２０６ａもしくはバルブハウジング２１２からウェハの破片を取り除いたり、ポート２１８のシール面２２６を清掃したり、処理モジュール内部を清掃したり、バルブ２０４の部材（例えば、ドア２２２やＯリング２２８）を取り除いたり交換したりする作業が含まれる。
【００３７】
理解を深めるために従来技術をある程度詳しく説明したが、明らかに、いくらかの変更と修正が添付の特許請求の範囲内で行われる可能性がある。従って、本実施形態は、例示的なもので、制限的なものではないと考えられ、本発明は、ここに示した詳細に限定されず、添付の特許請求の範囲および等価物の範囲内で修正可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】搬送モジュールに連結する様々な処理モジュールを示す典型的な従来技術の半導体処理クラスタツール構造を示す図であって、１つの処理もしくは搬送モジュール内のドアバルブが１つであるため、モジュールのいずれかの修理を可能にするためには処理および搬送モジュールそれぞれを停止する必要があることを示す図である。
【図２】搬送モジュール２０２と処理モジュール２０６の隣接する１組の間に位置した本発明の両面スロットバルブを示す図であって、搬送モジュールと処理モジュールと間のバルブハウジングのバルブ真空容器に２つのドアバルブがあるため、モジュールのうち、選択した一方を修理するのに選択したモジュールのみを停止すればよいことを示す図である。
【図３】対向した壁によって限定された幅を有するバルブ真空容器と、ウェハを搬送モジュールから処理モジュールへ移動させるための各壁のスロットを示す本発明の両面スロットバルブの平面図であって、共通のアクチュエータの作動により、２つのドアのうち、１つで選択的に１つのスロットを閉じて、一方のモジュールの修理中に他方のモジュール内で作業を継続することが可能であることを示す図である。
【図４Ａ】バルブのそれぞれの第１ドアおよびそれぞれの第２ドアの動作制御を行うための制御装置の概略図であって、制御装置が複スロットバルブの操作に用いられるコンピュータワークステーションに接続されていることを示す図である。
【図４Ｂ】バルブの第１のドアおよび第２のドアの動作制御を容易にするための制御装置に入力を行う３つのスイッチを示す図である。
【図５】クレードルを回転させてドアの１つを開位置もしくは閉位置に動かす開閉空気シリンダを含む共通のアクチュエータを示す本発明の両面スロットバルブの縦断面図であって、共通アクチュエータが、ドアが開位置にある際に、ドアをスロットに対して動かし、ドアをスロットと一直線に並べる動作とドアをスロットより下へ動かす動作を行う上下空気シリンダも備えていることを示す図である。
【図６Ａ】開位置で且つ上位置にある本発明の２つの両面スロットバルブと、２つのドアを支える共通アクチュエータを示す縦断面図であって、共通アクチュエータが、独立に制御可能な２つの動作をし、例えば、搬送モジュール内で作業を継続している間に、処理モジュールで選択された修理作業を実行可能にすることを示す図である。
【図６Ｂ】他方のバルブドアの修理を容易にするために、閉位置で且つ上位置にある本発明の１つのバルブドアを示す図６Ａと同様の縦断面図である。
【図６Ｃ】バルブスロットの修理を容易にするために、下位置で且つ開位置にある本発明の２つのバルブを示す図６Ａおよび図６Ｂと同様の縦断面図である。
【符号の説明】
１００…半導体処理クラスタツール構造
１０２…クリーンルーム
１０４…ロードロック
１０６…搬送モジュール
１０８ａ…処理モジュール
１０８ｂ…処理モジュール
１０８ｃ…処理モジュール
２００…半導体処理クラスタツール構造
２０２…搬送モジュール
２０４…両面スロットバルブ
２０６…処理モジュール
２１２…バルブ真空容器
２１４…壁
２１６…端壁
２１８Ｐ…スロット
２１８Ｔ…スロット
２２２−１…ドア
２２２−２…ドア
２２４…シール周辺部
２２６…シール面
２２８…Ｏリング
２３２…共通アクチュエータ
２３４…空間
２３６…蓋
３０２…底板
３０４…ベローズ下端
３０６…ベローズ
３０８…ベローズ上端
３１０…ベローズ板
３１２…空洞
３１６…アーム
３１８…回動軸枠
３１９…ブリッジ
３２０…基礎
３２１…回動軸ピン
３２２…クレードル
３２３…アーム
３２４…第１の空気モータ
３２６…開閉シリンダ
３２８…ピストンロッド
３２９…ブリッジ
３３０…ピン
３３１…スロット
３３４…上下シリンダ
３３６…上下動モータ
３３７…モータ取り付け部
３３８…ピストンロッド
３４０…開口部
３４１…ドア取り付け部
３４２…ヒンジピン
３５０…アクチュエータバイアスアッセンブリ
３５２…バイアス部
３５６…バイアスプランジャ
３５８…弾性部材
３６０…ねじ込みプラグ
３６２…ねじ込み形
３６４…肩
３８０…破片遮断タブ
４０２…制御装置
４０４…コンピュータワークステーション
４０６…電子装置
４０８…スイッチ
４１０…スイッチ
４１２…スイッチ
【図１】
0004404500.tif 000002
【図２】
0004404500.tif 000003
【図３】
0004404500.tif 000004
【図４Ａ】
0004404500.tif 000005
【図４Ｂ】
0004404500.tif 000006
【図５】
0004404500.tif 000007
【図６Ａ】
0004404500.tif 000008
【図６Ｂ】
0004404500.tif 000009
【図６Ｃ】
0004404500.tif 000010