(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンフィルタユニットを内蔵せずにカセットに保持された搬送物を密閉カバーで覆って搬送するクリーン搬送車において、
該密閉カバーは該搬送物を通過させる第一の開口と、
該第一の開口を開閉するドアと、
該第一の開口と対向する面に設けられた排気用の第二の開口と、
該第二の開口を開閉し、該ドアが該第一の開口を開く前に該第二の開口を開くシャッタと
を有すること
を特徴とするクリーン搬送車。
【請求項２】
前記第二の開口は前記密閉カバーの同一面に複数個が分散して配設されており、
前記シャッタは総ての該第二の開口の開度を全閉から全開まで変化させるものであること
を特徴とする請求項１記載のクリーン搬送車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ディスプレイ（以下、ＬＣＤと記す）や半導体装置等の製造ラインで基板等を搬送するクリーン搬送車に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＬＣＤや半導体装置等の製造においては、空気清浄度に対する要求が厳しさを増しているが、それに伴う空気清浄化コストの高騰を防ぐため、所望の特に高い清浄度をクリーンルーム全体ではなく、限られた空間だけに形成することが多くなってきた。この局所クリーン化に対応して、ＬＣＤや半導体装置等の製造ラインでは、製造装置間等で、カセットに収納した基板（ガラス基板や半導体ウェーハ）を無人走行のクリーン搬送車で搬送している。
【０００３】
このクリーン搬送車には、ＨＥＰＡフィルタとファンからなるファンフィルタユニットを内蔵し、搬送中の基板に清浄空気を送り続けるタイプのものがあるが、高価である上、ランニングコストも高くつくため、ファンフィルタユニットを持たず、基板を密閉カバーで覆って搬送するタイプのものが一般的である。
【０００４】
このようなクリーン搬送装置の従来例を、図５を参照しながら説明する。図５は従来例を示す模式側断面図であり、（Ａ）は搬送物受け渡し時を、（Ｂ）は走行時を、それぞれ示している。同図において、４はクリーン搬送車、２は搬送物（例えば、ガラス基板）、３は搬送物２を受け渡す相手の製造装置であり、上部には清浄空気を吹き下ろすファンフィルタユニット３１を備えており、設置されているクリーンルームより清浄度の高い空間を形成している。
【０００５】
４１は密閉カバーであり、クリーン搬送車４の本体に固定されており、収容した搬送物２を覆う。密閉カバー４１の一側面には搬送物２を出し入れする際に通過させる開口４１ａを有する。４２はドアであり、開閉機構（図示省略）により上下にスライドして開口４１ａを閉じる。ドア４２はクリーン搬送車４の走行中は閉じられており、搬送物２を製造装置３との間で受け渡す際に開く。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このようなクリーン搬送車では、搬送物を製造装置との間で受け渡す際にドアを開くと、製造装置のファンフィルタユニットから吹き出した空気の一部が開口４１ａから密閉カバー４１内に吹き込み、内部で乱流が発生して壁面等に付着しているパーティクルを舞い上げ、これが搬送物２に付着する、という問題があった。
【０００７】
本発明は、このような問題を解決して、ファンフィルタユニットを内蔵しなくても搬送物へのパーティクル付着を防ぐことができるクリーン搬送車を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、本発明請求項１においては、搬送物を密閉カバーで覆って搬送するクリーン搬送車において、該密閉カバーは該搬送物を通過させる第一の開口と、該第一の開口を開閉するドアと、該第一の開口と対向する面に設けられた第二の開口と、該第二の開口を開閉するシャッタとを有することを特徴とするクリーン搬送車としている。
【０００９】
即ち、本発明によれば、ドアを開く直前に背後のシャッタを開くようにすれば、製造装置のファンフィルタユニットから密閉カバー内に吹き込んだ空気が搬送物の背後から排出され、乱流を発生しにくい。従って、パーティクルは舞い上がらず、内部の搬送物へのパーティクル付着がない。
【００１０】
また、本発明請求項２においては、更に、前記第二の開口は前記密閉カバーの同一面に複数個が分散して配設されており、前記シャッタは総ての該第二の開口の開度を全閉から全開まで変化させるものであることを特徴とするクリーン搬送車としている。
【００１１】
即ち、本発明によれば、密閉カバー内に吹き込んだ空気は層流に近い形で排出されるから、より一層、乱流が発生しにくくなる。また、シャッタは僅かなスライドで開閉するから、シャッタの開閉によるパーティクルの発生を懸念しなくてもよい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図１〜図４を参照しながら説明する。図１は本発明の実施の形態を説明する模式側断面図であり、（Ａ）は搬送物受け渡し時を、（Ｂ）は走行時を、それぞれ示している。同図において、１は本発明のクリーン搬送車、２は搬送物（例えば、カセットに水平に保持された複数のガラス基板）、３は搬送物２を受け渡す相手の製造装置であり、上部には清浄空気を吹き下ろすファンフィルタユニット３１を備えており、設置されているクリーンルームより清浄度の高い空間を形成している。
【００１３】
１１は密閉カバーであり、クリーン搬送車１の本体に固定されており、収容した搬送物２を覆う。密閉カバー１１の一側面には搬送物２を出し入れする際に通過させる第一の開口１１ａを、その対向面には排気用の第二の開口１１ｂをそれぞれ有している。第二の開口１１ｂは一個でもよいが、図２（図１における第二の開口を示す平面図）のように、複数個が分散配置されている方が良い。搬送物２が水平に保持された複数の基板の場合、この複数個の第二の開口１１ｂの配置は、その基板の収容時の位置に対応させると、密閉カバー１１内に吹き込んだ空気を層流に近い形で排出するのに好都合である。
【００１４】
１２はドアであり、開閉機構（図示省略）により上下にスライドして第一の開口１１ａを開閉する。１３は第二の開口１１ｂを開閉するシャッタであり、開閉機構（図３で一部を図示）により上下にスライドする。シャッタ１３は、第二の開口１１ｂが図２のように複数個の場合、図３（図１における第三の開口を示す平面図）のように、その第二の開口１１ｂに対応する配置で第三の開口１３ａが設けられている。
【００１５】
このシャッタ１３を開閉機構１４により、密閉カバー１１に固着されたガイド１５に沿って上下に移動すると、総ての第二の開口１１ｂが全閉から全開まで同時に開度が変化する。この開閉機構１４のアクチュエータの作動量を制御できるようにすれば、任意の開度を得ることができる。図４は図１におけるシャッタの半開状態を示す側断面図である。
【００１６】
次に、このクリーン搬送車１による搬送を説明する。このクリーン搬送車１の走行、ドア１２の開閉、シャッタ１３の開閉、製造装置３との間の搬送物２の受け渡しは、総てコンピュータ（図示省略）により制御される。クリーン搬送車１はドア１２，シャッタ１３を閉じた状態で走行し、コンピュータで指示された製造装置３の前に到着すると停止し、先ずシャッタ１３を開き、引き続きドア１２を開き、その後、内蔵の受け渡し機構（図示省略）により搬送物２を移送（受け取り、又は引き渡し）する。移送が完了すると、先ずドア１２を閉じ、引き続きシャッタ１３を閉じ、次の（又は元の）製造装置へ向けて走行する。
【００１７】
尚、製造装置３のファンフィルタユニット３１から吹き出す空気の気流の状態は個々の製造装置３により必ずしも同じではないから、必要に応じ、密閉カバー１１内に吹き込んだ空気が乱流とならないようなシャッタ１３の最適開度を、個々の製造装置別に求めておき、これを予め設定しておく。
【００１８】
本発明は以上の例に限定されることなく、更に種々変形して実施することができる。
【００１９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ファンフィルタユニットを内蔵しなくても搬送物へのパーティクル付着を防ぐことが可能なクリーン搬送車を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態を説明する模式側断面図である。
【図２】  図１における第二の開口を示す平面図である。
【図３】  図１における第三の開口を示す平面図である。
【図４】  シャッタの半開状態を示す側断面図である。
【図５】  従来例を示す模式側断面図である。
【符号の説明】
１，４  クリーン搬送車
２  搬送物
３  製造装置
１１，４１  密閉カバー
１１ａ  第一の開口
１１ｂ  第二の開口
１２，４２  ドア
１３  シャッタ
１３ａ  第三の開口
１４  開閉機構
１５  ガイド
３１  ファンフィルタユニット
４１ａ  開口
【図１】
0004519242.tif 000002
【図２】
0004519242.tif 000003
【図３】
0004519242.tif 000004
【図４】
0004519242.tif 000005
【図５】
0004519242.tif 000006