(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験物が置かれる環境を調節する環境調節手段を備え、低湿度状態の目標環境と高湿度状態の目標環境を交互に繰り返して外部環境と被試験物との間で水蒸気を繰り返し移動させる環境試験装置において、前記環境調節手段は、少なくとも湿度を調節する湿度調節手段と、送風手段及び送風環境制御手段を有し、被試験物が置かれる環境が低湿度状態から高湿度状態へ移行する上昇側過渡期と、被試験物が置かれる環境が高湿度状態から低湿度状態へ移行する下降側過渡期における被試験物に接する送風の風速又は送風量を、湿度が安定した安定期における被試験物に接する送風の風速又は送風量よりも増大させることを特徴とする環境試験装置。
【請求項２】
被試験物が置かれる環境を調節する環境調節手段を備え、低湿度状態の目標環境と高湿度状態の目標環境を交互に繰り返して外部環境と被試験物との間で水蒸気を繰り返し移動させる環境試験装置において、前記環境調節手段は、少なくとも湿度を調節する湿度調節手段と、温度を調節する温度調節手段と、送風手段及び送風環境制御手段を有し、被試験物が置かれる環境が低湿度状態から高湿度状態へ移行する上昇側過渡期における被試験物に接する送風の風速又は送風量と、被試験物が置かれる環境が高湿度状態から低湿度状態へ移行する下降側過渡期における被試験物に接する送風の風速又は送風量を、湿度及び温度が安定した安定期における被試験物に接する送風の風速又は送風量よりも増大させることを特徴とする環境試験装置。
【請求項３】
上昇側又は下降側過渡期を過ぎて安定期に入り、一定の条件を満足した後に被試験物に接する送風の風速又は送風量を減少させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の環境試験装置。
【請求項４】
上昇側又は下降側過渡期を過ぎて安定期に入り、一定の時間が経過した後に被試験物に接する送風の風速又は送風量を減少させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の環境試験装置。
【請求項５】
被試験物の吸湿状況を検知する吸湿状況検知手段を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の環境試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、環境試験装置に関するものである。本発明の環境試験装置は、湿度や吸湿量の被試験物に対する影響を試験する装置として好適である。また本発明の環境試験装置は、湿度を周期的に変化させる環境試験装置として好適である。
【背景技術】
【０００２】
各種の機器や材料等の性能や耐久性を評価する装置として環境試験装置が知られている。環境試験装置は、特許文献１，２に記載された様に、高温環境や低温環境、あるいは高湿度環境を人工的に作り、この環境に被試験物を置くものである。
また環境試験装置には、低温から高温へ、さらに高温から低温へと温度を繰り返し変化させる様な試験を行うものもある。
【０００３】
環境試験装置は、一般に、ヒータや冷凍機の他に、送風機を備えている。従来技術の環境試験装置は、環境試験室内の環境状態を一定に保つために、一定の温度及び湿度に制御した空気を循環して試験を行っている。
【特許文献１】特開平３−４８７８０号公報
【特許文献２】特開２００１−１４７２５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで電子機器、電子部品、高分子材料等は、一般に湿度の影響を強く受けるものである。そのため電子機器等の製造者や研究者は、湿度による影響を試験する必要がある。代表的な試験方法として、湿度が周期的に変化する環境に電子機器等の被試験物を置く環境試験が挙げられる。
この試験では、低湿度から高湿度へ、さらに高湿度から低湿度へと繰り返し変化する環境を作り、この環境に被試験物を晒す。
【０００５】
環境試験は、一般に長期間に渡って行われる。その一方で、製品の開発期間は、ますます短くなる傾向にある。
そのため研究者等においては、上記した環境試験に要する時間を少しでも短縮したいという要求がある。
そこで本発明は、従来技術の上記した問題点を解決するため、短時間で従来と同様の効果を得ることができる環境試験装置の開発を課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記した課題を解決する為に、本発明者らは、環境試験の本来のねらい、及び試験中における被試験物の挙動を分析した。
即ち湿度を変化させて行う環境試験のねらいは、被試験物が吸湿した状態を一定時間維持し、その後に乾燥した状態を一定時間維持し、これらを繰り返すことにある。
また環境試験の際における被試験物の挙動は次の通りである。
即ちこの試験において被試験物は、試験環境が低湿度から高湿度へ移行する期間、及び高湿度状態となってから一定の期間の間に吸湿する。一定量の水蒸気を吸収すると、外部環境と被試験物との間が平衡状態となり、それ以上、外部環境と被試験物との間で水蒸気の移動はない。そして高湿度状態が続く間は前記した平衡が保たれ、高い吸湿状態が維持される。
【０００７】
逆に高湿度から低湿度へ移行する期間、及び低湿度状態となってから一定の期間の間に被試験物は内包する水蒸気を放出する。そして低湿度状態が続く間は平衡が保たれ、乾燥状態が維持される。
従って「被試験物が吸湿した状態」は、低湿度から高湿度へ移行する過渡期を過ぎ、さらに一定時間の安定期を経過した後に発生する状態である。また「被試験物が乾燥した状態」は、高湿度から低湿度へ移行する過渡期を過ぎ、さらに一定時間の安定期を経過した後に発生する。
従って、従来技術においては、試験に寄与する「被試験物が吸湿した状態における一定時間」及び「被試験物が乾燥した状態における一定時間」は、環境が安定期に入ってしばらくした後から開始する時間である。
【０００８】
そこで本発明者らは、「被試験物が吸湿した状態」及び「被試験物が乾燥した状態」をより速く作れば、環境試験に要する時間を短縮できると考えた。
【０００９】
上記した思想に基づいて完成された請求項１に記載の発明は、被試験物が置かれる環境を調節する環境調節手段を備え、低湿度状態の目標環境と高湿度状態の目標環境を交互に繰り返して外部環境と被試験物との間で水蒸気を繰り返し移動させる環境試験装置において、前記環境調節手段は、少なくとも湿度を調節する湿度調節手段と、送風手段及び送風環境制御手段を有し、被試験物が置かれる環境が低湿度状態から高湿度状態へ移行する上昇側過渡期と、被試験物が置かれる環境が高湿度状態から低湿度状態へ移行する下降側過渡期における被試験物に接する送風の風速又は送風量を、湿度が安定した安定期における被試験物に接する送風の風速又は送風量よりも増大させることを特徴とする環境試験装置である。
【００１０】
被試験物と外気間における水蒸気の移動量は、被試験物に接する送風の風速又は送風量
と相関があり、接する風量が多いほど水蒸気の移動量が増大する。
図８は、本発明者らが実施した実験のグラフであり、被試験物に送風を当てた際における風速と吸湿率変化度を示す。図８のグラフから吸湿率変化度は、風速に比例することが分かる。即ち被試験物に接する風量が多いほど被試験物と外気間の水蒸気の移動が円滑に行われる。
本発明では、被試験物が置かれる環境が低湿度状態から高湿度状態へ移行する上昇側過渡期と、被試験物が置かれる環境が高湿度状態から低湿度状態へ移行する下降側過渡期に、被試験物に接する送風の風速又は送風量を増大させるので、被試験物からの水蒸気の出入りがより早期に収斂し、「被試験物が吸湿した状態」及び「被試験物が乾燥した状態」をより速く作ることができる。
【００１１】
本発明の環境試験装置においては、被試験物と外気間における水蒸気の移動量が多い過渡期における被試験物に接する送風の風速又は送風量を、移動量が少ない安定期における被試験物に接する送風の風速又は送風量よりも増大させることによって、被試験物からの水蒸気の出入を早期に収斂させることができる。
【００１２】
本発明に関連する発明として、被試験物が置かれる環境を調節する環境調節手段を備えた環境試験装置において、前記環境調節手段は、少なくとも温度を調節する温度調節手段と、送風手段及び送風環境制御手段を有し、温度を変化させる過渡期と温度が安定した安定期における被試験物に接する送風の風速又は送風量を減少させることもできる。
【００１３】
ここで「送風の風速又は送風量を増大させる」「送風の風速又は送風量を減少させる」の表現は、過渡期における送風の風速又は送風量と安定期における送風の風速又は送風量とを比較したものである。従って風速又は送風量を段階的に変化させる場合は、風速又は送風量の段階は全部で二以上あれば足りる。
【００１４】
被試験物に対する吸湿量は、周囲の湿度に大きく依存するが、温度の影響も無視できない。よって、温度を変化させる過渡期に被試験物に接する送風の風速又は送風量を増大させることによって、被試験物からの水蒸気の出入を早期に収斂させる。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、被試験物が置かれる環境を調節する環境調節手段を備え、低湿度状態の目標環境と高湿度状態の目標環境を交互に繰り返して外部環境と被試験物との間で水蒸気を繰り返し移動させる環境試験装置において、前記環境調節手段は、少なくとも湿度を調節する湿度調節手段と、温度を調節する温度調節手段と、送風手段及び送風環境制御手段を有し、被試験物が置かれる環境が低湿度状態から高湿度状態へ移行する上昇側過渡期における被試験物に接する送風の風速又は送風量と、被試験物が置かれる環境が高湿度状態から低湿度状態へ移行する下降側過渡期における被試験物に接する送風の風速又は送風量を、湿度及び温度が安定した安定期における被試験物に接する送風の風速又は送風量よりも増大させることを特徴とする環境試験装置である。
【００１６】
本発明の環境試験装置では、湿度及び温度を変化させる過渡期における被試験物に接する送風の風速又は送風量を、湿度及び温度が安定した安定期における被試験物に接する送風の風速又は送風量よりも増大させるので、被試験物からの水蒸気の出入を早期に収斂させることができる。
【００１７】
本発明では、過渡期においては被試験物に接する送風の風速又は送風量を増大させるので、被試験物からの水蒸気の出入を早期に収斂させることができる。
また安定期においては被試験物に接する送風の風速又は送風量を減少させるので、電気特性が変化するといった悪影響は無い。また風速又は送風量を減少することによる省エネルギー効果も期待できる。
【００１８】
請求項３に記載の発明は、過渡期を過ぎて安定期に入り、一定の条件を満足した後に送風環境を変化させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の環境試験装置である。
【００１９】
本発明の環境試験装置は、過渡期を過ぎて安定期に入り、一定の条件を満足した後に送風環境を変化させるので、送風環境を変化させる時期がより適切である。
【００２０】
請求項４に記載の発明は、過渡期を過ぎて安定期に入り、一定の時間が経過した後に送風環境を変化させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の環境試験装置である。
【００２１】
本発明の環境試験装置は、過渡期を過ぎて安定期に入り、一定の時間が経過した後に
被試験物に接する送風の風速又は送風量を減少させるので、被試験物の吸湿に遅れが生じた場合に対処することができる。
即ち吸湿や水蒸気の放出には、一定の時間が必要であり、送風等を増大させたとしても、必ずしも過渡期の間に水蒸気の移動が完了するとは限らない。そこで本発明は、過渡期を過ぎて安定期に入り、一定の時間が経過した後に被試験物に接する送風の風速又は送風量を減少させることとした。なお逆に安定期に至る前に被試験物に接する送風の風速又は送風量を減少させてもよい。
【００２２】
請求項５に記載の発明は、被試験物の吸湿状況を検知する吸湿状況検知手段を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の環境試験装置である。
【００２３】
本発明の環境試験装置では、吸湿状況を検知する吸湿状況検知手段を備えるので、送風環境の変更時期をより適切化することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の環境試験装置によると、被試験物からの水蒸気の出入りを早期に収斂させることができ、「被試験物が吸湿した状態」及び「被試験物が乾燥した状態」をより速く作ることができる。そのため本発明の環境試験装置を使用すると、環境試験に要する時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下さらに本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の実施形態の環境試験装置の構成図である。
本実施形態の環境試験装置１は、断熱材２によって囲まれた恒温恒湿槽（環境試験室）３を備え、制御装置４によって恒温恒湿槽３内の環境が制御される。
この様に恒温恒湿槽３は、公知のそれと同様に、内部の温度や湿度等の内部環境を任意に調節する機能を持つ。最初に恒温恒湿槽３の概略構成と、恒温恒湿槽３内の環境を調節する手段について説明する。
【００２６】
恒温恒湿槽３の内部は、仕切り板９によって上下に仕切られ、図１の様に被試験物配置室５と、空調通路６に分かれている。空調通路６は、被試験物配置室５の下部にあり、両側面側に被試験物配置室５と連通する開口７，８がある。一方の開口７は、吸入側開口として機能し、他方の開口８は、送風用開口として機能する。
【００２７】
被試験物配置室５内であって、送風用開口８の近傍に室内温度検知センサー１１と湿度検知センサー１２が設けられている。
室内温度検知センサー１１は具体的には熱電対である。
室内温度検知センサー１１及び湿度検知センサー１２の検知信号は、図１の様に制御装置４に入力される。
【００２８】
下部の空調通路６には、加湿器１５、空気冷却用熱交換器１６、除湿用熱交換器１７、加熱ヒータ１８及び送風機２０が配されている。
加湿器１５、空気冷却用熱交換器１６、除湿用熱交換器１７及び加熱ヒータ１８は、いずれも公知のものを採用することができる。
なお加湿器１５及び除湿用熱交換器１７は湿度調節手段として機能し、空気冷却用熱交換器１６と加熱ヒータ１８は温度調節手段として機能する。
【００２９】
送風機２０は、本実施形態では、回転速度を任意に変更できるものが採用されている。即ち送風機２０を回転するモータ２１は、直流モータ或いはインバータ制御されたモータであり、回転数が可変である。
前記した加湿器１５、空気冷却用熱交換器１６、除湿用熱交換器１７、加熱ヒータ１８及び送風機２０はそれぞれリレー等の駆動装置に接続され、さらに図１の様に制御装置４からの信号を受けて動作する。
【００３０】
本実施形態の環境試験装置１では、送風機２０によって恒温恒湿槽３内の空気が循環して空調通路６を通過し、所望の環境が作られる。即ち恒温恒湿槽３内の空気は送風機２０によって空調通路６の吸入側開口７から吸入され、空調通路６を通過して送風用開口８に抜ける。このとき、空気は前記した空気冷却用熱交換器１６、除湿用熱交換器１７を通過し、さらに加熱ヒータ１８に触れる。また必要に応じて加湿器１５から水蒸気が供給される。
【００３１】
環境試験装置１の制御装置４には、テンキーやタッチパネル等の設定入力手段２２が接続されており、希望する恒温恒湿槽３内の環境を設定入力することができる。また制御装置４には、表示装置２３が接続されており、設定内容や、現在の恒温恒湿槽３内の環境が数値で表示される。
【００３２】
環境試験装置１では、室内温度検知センサー１１と湿度検知センサー１２によって被試験物配置室５内の温度と湿度が監視されている。そして被試験物配置室５内の温度が設定環境の温度よりも低い場合には加熱ヒータ１８に通電して空気を昇温させ、被試験物配置室５内の温度が設定環境の温度よりも高い場合には空気冷却用熱交換器１６に冷媒を流して空気冷却用熱交換器１６の温度を低下させ、流通する空気から熱を奪う。
また被試験物配置室５内の湿度が設定環境の湿度よりも低い場合には加湿器１５から蒸気を噴射して通過する空気に混入する。
逆に被試験物配置室５内の湿度が設定環境の湿度よりも高い場合には除湿用熱交換器１７によって水蒸気を凝縮させる。
【００３３】
次に本実施形態の環境試験装置１に特有の構成及び機能について説明する。
本発明の環境試験装置１は、後記する基板３０の他に、高分子材料を試験対象とすることもできるが、本実施形態では、一例として基板３０を対象とした試験について説明することとする。
即ち本実施形態の環境試験装置１は、ＩＣ等の電子機器が装着された基板３０を試験することができるものであり、そのための特有の構成を具備している。即ち本実施形態の環境試験装置１では、基板３０に給電するための給電端子３２，３３を備えている。
【００３４】
また基板３０の吸湿状態を監視する吸湿状況検知手段３５を備えている。吸湿状況検知手段３５は、基板３０のリーク電流を検知することにより吸湿状況を間接的に監視するものであり、具体的には２個の電極３６，３７と、リーク電流検知装置３８によって構成されている。吸湿状況検知手段３５の回路は、図２の通りであり、定電流源４０と、電圧計４１及び抵抗４２によって構成されている。
図２に示すように、電極３６，３７を介して基板３０に定電流が供給される。そして基板３０と並列に電圧計４１が接続されている。そのため基板３０のリーク電流の大小によって電圧計４１の端子間電圧が変化する。そしてこの電圧変動を抵抗４２によって電流変化に変換し、制御装置４に入力する。制御装置４では、入力される電流値の変化によって吸湿量が演算される。
【００３５】
一方、制御装置４からは、測定周期を制御する信号がリーク電流検知装置３８に送信され、この信号に従って前記した定電流源４０から基板３０に電流が送電される。そして前記した様にリーク電流が測定され、この値によって吸湿量の演算が行われる。
吸湿量の変化は、制御手段の図示しないメモリーに記録データとして記憶される。また必要に応じて表示装置２３に表示される。
【００３６】
次に本実施形態の環境試験装置１の機能を、図３を参照しつつ、実際の試験手順を追って説明する。なお図３は、本実施形態の環境試験装置の動作を示すフローチャートである。
【００３７】
本実施形態の環境試験装置１は、前記した様に基板３０を検査するものであり、試験の準備段階として、試験条件を設定する。即ち基板３０を設置する恒温恒湿槽３内の温度、湿度及びこれらの許容範囲を設定する。また本実施形態の環境試験装置１で実施する試験は、特に温度と湿度を繰り返し変動させるものであり、その周期や一定に保つ時間等が設定される。
【００３８】
そして続いて恒温恒湿槽３内に被試験物たる基板３０を設置する。具体的には、被試験物配置室５に基板３０を置く。そして被試験物配置室５に設けられた給電端子３２，３３を基板３０の給電端子（図示せず）に接続する。また電極３６，３７についても基板３０に接続する。
【００３９】
準備が整うと、試験を開始する。以下、環境試験装置１は、図３のフローチャートの様に機能する。
即ち環境試験装置１を起動すると、ステップ１で必要な設定入力が完了しているか否かが判別される。必要な設定入力がされていれば、ステップ２に移行し、図示しない試験開始スイッチがＯＮされているか否かを判断する。試験開始スイッチがＯＮされていれば、ステップ３に移行して試験及び所定の測定が開始される。
具体的には、加湿器１５、空気冷却用熱交換器１６、除湿用熱交換器１７、加熱ヒータ１８が起動し、恒温恒湿槽３内の環境が目標環境となる様に制御する。
【００４０】
ここで本実施形態の環境試験装置１は、前記した様に温度及び湿度を繰り返し変動させて試験を行うものであるから、時間の経過と共に目標環境が変化する。
実際には温度と湿度が共に変化するのであるが、説明を容易にするために湿度だけに注目すると、本実施形態の環境試験装置１は、低湿度状態の目標環境と高湿度状態の目標環境を持ち、これを交互に繰り返すものである。
従って恒温恒湿槽３の湿度は、図４の上段に示すタイムチャートの様に、低湿度から高湿度へ移行する上昇側過渡期と、高湿度状態が安定する高湿度安定期と、高湿度から低湿度へ移行する下降側過渡期と、低湿度状態が安定する低湿度安定期とを繰り返す。
【００４１】
タイムチャートに沿って説明すると、ａ−ｂ間が低湿度から高湿度へ移行する上昇側過渡期であり、これに続くｂ−ｃ間は高湿度状態が安定する高湿度安定期である。さらに続くｃ−ｄ間が高湿度から低湿度へ移行する下降側過渡期であり、これに続くｄ−ｅ間が低湿度状態が安定する低湿度安定期である。そしてさらに続くｅ−ｆで再度の上昇側過渡期を迎え、以下、順次、高湿度安定期、下降側過渡期・・・を繰り返す。
【００４２】
そして本実施形態の環境試験装置１では、図４の中段のタイムチャートの様に、ａ−ｂ間等の上昇側過渡期と、ｃ−ｄ間等の下降側過渡期に循環する風速が増大される。より具体的には、送風機２０の回転数が増加し、送風量が増加する。例えば送風機２０の回転数が二段階に変化可能であり、高風速設定と、低風速設定を有する様な場合であれば、ａ−ｂ間等の上昇側過渡期と、ｃ−ｄ間等の下降側過渡期に高風速設定となる。なお高風速設定における風速は、約１ｍ／秒以上の風速であることが推奨される。
その結果、被試験物たる基板３０に接する風量が増大し、被試験物と外気間における水蒸気の移動が円滑に行われる。
【００４３】
より具体的に説明すると、ａ−ｂ間の上昇側過渡期は、基板３０を取り巻く環境の湿度が増大するから、基板３０内の蒸気圧と外部環境の蒸気圧との平衡が崩れ、基板３０内に水蒸気が取り込まれる環境にある。本実施形態では、ａ−ｂ間の上昇側過渡期において、送風機２０の回転数が増加し、送風量が増加して風速が増大され、基板３０に接する風量が増大するので、基板３０内への水蒸気の移動速度が増加し、早期に新たな平衡状態に達する。
【００４４】
また逆にｃ−ｄ間の下降側過渡期は、基板３０を取り巻く環境の湿度が低下するから、基板３０内の蒸気圧と外部環境の蒸気圧との平衡が崩れ、基板３０側から外気に向かって水蒸気が放出される環境にある。本実施形態では、ｃ−ｄ間の下降側過渡期においても、送風機２０の回転数が増加し、送風量が増加して風速が増大され、基板３０に接する風量が増大するので、基板３０は早期に水蒸気を奪われ短時間の内に新たな平衡状態に達する。
【００４５】
一方、ｂ−ｃ間の高湿度状態が安定する高湿度安定期や、ｄ−ｅ間の低湿度安定期は、前記した上昇側過渡期又は下降側過渡期の間に平衡状態に近い状態に至っているから、送風を弱めても構わない。即ち本実施形態の環境試験装置１では、過渡期の間に必要な水蒸気の移動が略終了し、安定期に入った時には、略平衡状態（飽和状態）となっているので、送風量や風速の大小に係わらず水蒸気の移動は少ない。そのため本実施形態では、ｂ−ｃ間等の高湿度安定期やｄ−ｅ間等の低湿度安定期には送風量や風速を低下させる。具体的には低風速設定に変化する。
【００４６】
図３に示すフローチャートの説明に戻ると、ステップ４で温度湿度の環境が変化している時期であるか否かを判断する。即ち図４の過渡期であるか否かを判断する。
そして過渡期であるならばステップ５に移行し、送風機２０の回転数を上げて高風速にする。過渡期でないならば、ステップ６に移行し、送風機の回転数を低速にし、風速を落とす。
【００４７】
ステップ７で試験終了を示す信号が確認された場合には、試験を終了する。試験終了でないならばステップ４に戻り、過渡期であるか否かの監視を続ける。
【００４８】
以上説明した実施形態では、送風機２０のモータ２１の回転数を変更することによって送風量を調節したが、ダンパー等を設け、ダンパーの開度を調節することによって送風量を増減することも可能である。
また風の向きを制御する風向板等を設け、風向を変化させて基板と接する実際の風量を増減させてもよい。
さらに図５に示す実施形態の様に、被試験物配置室５内に風速センサー４５を設け、風速センサー４５で検知される風速を監視しながらモータ２１の回転数やダンパーの開度を制御してもよい。なお、図５に示す環境試験装置５０は、風速センサー４５を有する点を除いて図１の環境試験装置１と同一であるから、同一の部材に同一の番号を付することによって詳細な説明に代える。
【００４９】
また図５に示す装置は、風速センサー４５によって被試験物配置室５内を流れる送風の全体的な風速を検知するものであるが、風速センサー４５の位置や向き、個数を工夫することによって、基板３０に直接接触する風の風速や、基板３０の面方向の風速あるいは風量を検知する構成としてもよい。
【００５０】
また前記した実施形態では、送風量を段階的に変化させたが、目標環境と実際の環境との偏差に応じて送風量を増減してもよい。
例えば目標環境の湿度と現在の湿度との差に応じて比例制御してもよい。
【００５１】
上記した実施形態では、過渡期に限って送風量を増大させ、安定期に入ると直ちに送風量を低下させたが、過渡期を過ぎて安定期に入り、一定の時間が経過した後に送風環境を変化させてもよい。逆に安定期に至る前に送風環境を変化させてもよい。
また他の条件がそろうことを補助的要件としてもよい。例えば前記した吸湿状況検知手段３５の検知データを活用し、水蒸気の移動が確認された後に送風環境を変化させてもよい。
上記した実施形態では、基板３０のリーク電流を検知することにより吸湿状況を間接的に監視したが、他の方策としては、基板３０の各部の抵抗の変化によって吸湿状況を検出することもできる。
即ち図６に示すように基板３０の各部（例えばａ〜ｉ）間の抵抗値を監視する。ここで基板３０等の被試験物は、一般的に吸湿量によって抵抗値が僅かに変化するから、各部の抵抗値の変化を監視することによって基板３０の吸湿量を間接的に検知することができる。
また特に本実施形態の環境試験装置は、基板３０に通電しつつ試験を行うこともできるから、各部を流れる電流や電圧の変化を監視しやすい。電流や電圧の変化を監視することによって電気的特性の変化を検知することができ、間接的に吸湿量を知ることもできる。
同様にインピーダンスの変化を検知することによって間接的に吸湿量を知る方策も考えられる。
【００５２】
さらに図７に示すように、電気的特性を検知する吸湿状況検知手段に代わって、ロードセルの様な重量測定機器６０を吸湿状況検知手段３５として恒温恒湿槽３内に設置し、重量測定機器６０で基板３０の重量を常時監視することによって吸湿量を知ることもできる。即ち吸湿量が増大すれば基板３０の重量が増大し、基板３０が乾燥すれば重量が減少する。そのため基板３０の重量を監視することによって吸湿量を知ることができる。
【００５３】
本発明の環境試験装置は、環境を周期的に変化させて試験する装置として好適であるが、一定の環境を長時間維持するタイプの環境試験装置に対して本発明を応用してもよい。
【００５４】
以上説明した実施形態では、環境中の湿度だけに注目し、湿度が変化する過渡期と、湿度が安定する安定期の送風量等を変えた。しかしながら被試験物に対する吸湿量は、環境の温度に対しても依存するから、被試験物が置かれた環境温度に注目し、温度が変化する過渡期と、温度が安定する安定期の送風量等を変えてもよい。もちろん、この両者が共に変化する過渡期と共に安定する安定期の送風量等を変えてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施形態の環境試験装置の構成図である。
【図２】本実施形態の環境試験装置で採用する吸湿状況検知手段の回路図である。
【図３】本実施形態の環境試験装置の動作を示すフローチャートである。
【図４】本実施形態の環境試験装置の動作及び被試験物の吸湿量変化を示すタイムチャートである。
【図５】本発明の他の実施形態の環境試験装置の構成図である。
【図６】基板の吸湿量を測定する他の実施形態を示す説明図である。
【図７】基板の吸湿量を測定するさらに他の実施形態を示す説明図である。
【図８】被試験物に送風を当てた際における風速と吸湿率変化度を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５６】
１，５０  環境試験装置
３    恒温恒湿槽
４    制御装置
１１  室内温度検知センサー
１２  湿度検知センサー
１５  加湿器
１６  空気冷却用熱交換器
１７  除湿用熱交換器
１８  加熱ヒータ
２０  送風機
２１  モータ
２２  設定入力手段
２３  表示装置
３０  基板（被試験物）
３５  吸湿状況検知手段
４５  風速センサー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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