(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機記録膜を有する光記録媒体の製造方法であって、
Ｔｉからなる隣接膜を成膜する工程と、
Ｇｅの酸化物からなる酸化物膜を成膜する工程と
を備え、
上記酸化物膜および上記隣接膜の成膜工程では、上記酸化物膜と上記隣接膜とは隣接するように成膜され、
上記酸化物膜の成膜工程では、ＧｅおよびＧｅ酸化物の混合物ターゲットをスパッタリングすることにより上記酸化物膜を成膜し、
上記酸化物膜の吸収係数ｋが、０．１５≦ｋ≦０．９０であることを特徴とする光記録媒体の製造方法。
【請求項２】
上記酸化物膜の隣接膜と反対側の主面に、誘電体膜を成膜する工程をさらに備えることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項３】
波長３５０ｎｍ以上４５０ｎｍ以下のレーザ光を上記酸化物膜側から上記光記録媒体に対して照射することにより、識別情報を記録する工程をさらに備えることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項４】
レーザ光を上記隣接膜側から上記光記録媒体に対して照射することにより、識別情報を記録する工程をさらに備えることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項５】
上記酸化物膜を成膜するための混合物ターゲットは、半導体の非飽和酸化物からなるスパッタリングターゲットであって、
少なくともＧｅ粉末およびＧｅ酸化物粉末とを混合し、該混合物を加圧焼成してなることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項６】
上記加圧焼成後の酸素の含有量が４５原子％以上６０原子％以下であることを特徴とする請求項５記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項７】
上記隣接膜が、ＴｉおよびＮからなり、
上記隣接膜を成膜するためのターゲットは、Ｔｉの非飽和窒化物からなるスパッタリングターゲットであって、
少なくともＴｉ金属粉末とＴｉ窒化物粉末とを混合し、該混合物を加圧焼成してなることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項８】
上記加圧焼成後の窒素の含有量が１原子％以上２０原子％以下であることを特徴とする請求項７記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項９】
上記隣接膜が、Ｔｉ、Ｓｉ、およびＮからなり、
上記隣接膜を成膜するためのターゲットは、Ｔｉの非飽和窒化物からなるスパッタターゲットであって、
少なくともＴｉ粉末と、Ｓｉ粉末と、Ｔｉ窒化物粉末およびＳｉ窒化物粉末のうち少なくとも一方とを混合し、該混合物を加圧焼成してなることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項１０】
上記加圧焼成後の窒素の含有量が１原子％以上２０原子％以下であることを特徴とする請求項９記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項１１】
上記隣接膜が、Ｎ、およびＳｉからなり、
上記隣接膜を成膜するためのターゲットは、少なくともＳｉおよびＴｉを含有するターゲットであって、
上記Ｓｉの含有量が、８原子％以上３２原子％以下であることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項１２】
無機記録膜を有する光記録媒体であって、
Ｔｉからなる隣接膜と、
Ｇｅの酸化物からなる酸化物膜と
を備え、
上記酸化物膜と上記隣接膜とは隣接するように成膜され、
上記酸化物膜の吸収係数ｋが、０．１５≦ｋ≦０．９０であることを特徴とする光記録媒体。
【請求項１３】
上記隣接膜が、ＴｉおよびＳｉの少なくとも一方をさらに含有することを特徴とする請求項１２記載の光記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、光記録媒体およびその製造方法に関する。詳しくは、無機記録膜を有する光記録媒体およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報信号の高密度記録可能な光記録媒体が望まれている。例えば、この要求に応えるために、ブルーレイディスク（Blu-ray Disc（登録商標）、以下ＢＤ）の規格が策定され、ハイビジョン画像を光記録媒体に録画、保存することが可能となっている。
【０００３】
このＢＤに代表される高記録密度の光記録媒体には、再生専用型光記録媒体、書き換え型光記録媒体、追記型光記録媒体の規格があるが、これらのうち、追記型光記録媒体は特に安価であることが望まれる。また、高密度記録の追記型光記録媒体の記録膜を有機材料で作製することは困難であるため、特性面で有利な無機材料を用いて記録膜を作製することが望まれている（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
これらの２つの要求に応えるためには、記録膜材料として無機材料を用いた追記型光記録媒体を安価に製造することが必要になるが、そのためには、記録膜の膜総数を少なくし、且つ、総膜厚を薄くすることが好ましい。これは、膜総数が少なければスパッタ室を少なくして設備投資費用を抑えることができ、また、総膜厚が薄ければ材料費を安く抑えることができるためである。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１４４３１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明者らは、上述の要求に応える光記録媒体として、Ｇｅ酸化物膜と、金属膜とを隣接させた構成を有するものを検討している。この光記録媒体の記録原理は、４００〜４１０ｎｍの光を入射すると、光触媒効果によりＧｅ酸化物膜の酸素が分離し、金属膜側の酸素濃度が高くなり、光学定数が大きく変化する。これにより、変調度の大きな再生信号が得られ、安定して良好な記録特性の得られる光記録媒体を実現できる。この光記録媒体は、例えば、チタン合金膜、Ｇｅ酸化物膜、および保護膜としての誘電体膜のみ基板に積層するだけの簡単な構成を有するので、膜層数、総膜厚を書き換え型記録媒体よりもはるかに少なくし、媒体をより安価に製造できる。
【０００７】
Ｇｅ酸化物膜の成膜は、Ａｒガスなどのプロセスガス中に酸素ガスを混合させながら、リアクティブスパッタ法により、一般に入手できるＧｅターゲットをスパッタリングして成膜することができる。しかし、本発明者らの知見によれば、この成膜方法には、Ｇｅターゲット表面の酸化状態によって成膜されるＧｅ酸化物膜の膜特性が変化しやすく、成膜前にプリスパッタしなければ安定しないという問題がある。すなわち、実験レベルでは安定な特性が得られるが、量産レベルでは安定な特性が得られないという問題がある。
【０００８】
また、本発明者らの知見によれば、広いパワーマージンを得るためには、金属膜を窒化することが有効である。この金属膜の成膜も、Ａｒガスなどのプロセスガス中に窒素を混合させながら、一般に入手できる金属ターゲットをスパッタリングして成膜することができる。しかし、本発明者らが検討している光記録媒体は、窒素流量依存性が大きく、量産時の変動に対して十分な製造マージンを有しない。
【０００９】
したがって、この発明の目的は、無機記録膜を有する光記録媒体を、より簡易に特性の劣化を招くことなく量産することができる光記録媒体およびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述の課題を解決するために、第１の発明は、
無機記録膜を有する光記録媒体の製造方法であって、
Ｔｉからなる隣接膜を成膜する工程と、
Ｇｅの酸化物からなる酸化物膜を成膜する工程と
を備え、
酸化物膜および隣接膜の成膜工程では、酸化物膜と隣接膜とは隣接するように成膜され、
酸化物膜の成膜工程では、ＧｅおよびＧｅ酸化物の混合物ターゲットをスパッタリングすることにより酸化物膜を成膜し、
酸化物膜の吸収係数ｋが、０．１５≦ｋ≦０．９０であることを特徴とする光記録媒体の製造方法である。
第２の発明は、
無機記録膜を有する光記録媒体であって、
Ｔｉからなる隣接膜と、
Ｇｅの酸化物からなる酸化物膜と
を備え、
酸化物膜と隣接膜とは隣接するように成膜され、
酸化物膜の吸収係数ｋが、０．１５≦ｋ≦０．９０であることを特徴とする光記録媒体である。
【００１１】
酸化物膜を成膜するための混合物ターゲットは、半導体の非飽和酸化物からなるスパッタリングターゲットであって、
少なくともＧｅ粉末およびＧｅ酸化物粉末とを混合し、該混合物を加圧焼成してなることを特徴とするスパッタリングターゲットであることが好ましい。
【００１３】
隣接膜が、ＴｉおよびＮからなり、
隣接膜を成膜するためのターゲットは、Ｔｉの非飽和窒化物からなるスパッタリングターゲットであって、
少なくともＴｉ金属粉末とＴｉ窒化物粉末とを混合し、該混合物を加圧焼成してなることを特徴とするスパッタリングターゲットであることが好ましい。
【００１５】
隣接膜が、Ｔｉ、Ｓｉ、およびＮからなり、
隣接膜を成膜するためのターゲットは、Ｔｉの非飽和窒化物からなるスパッタターゲットであて、
少なくともＴｉ粉末と、Ｓｉ粉末と、Ｔｉ窒化物粉末およびＳｉ窒化物粉末のうち少なくとも一方とを混合し、該混合物を加圧焼成してなることを特徴とするスパッタターゲットであることが好ましい。
【００１７】
隣接膜が、Ｔｉ、およびＳｉからなり、
隣接膜を成膜するためのターゲットは、少なくともＳｉおよびＴｉを含有するターゲットであって、
Ｓｉの含有量が、８原子％以上３２原子％以下であることを特徴とするスパッタリングターゲットであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、この発明によれば、無機記録膜を有する光記録媒体を、より簡易に特性の劣化を招くことなく量産することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、この発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態の全図においては、同一または対応する部分には同一の符号を付す。
【００２０】
（１）第１の実施形態
光記録媒体の構成
図１は、この発明の第１の実施形態による光記録媒体の一構成例を示す概略断面図である。この光記録媒体１０は、基板１上に、無機記録膜６、第１の誘電体膜４ａ、第２の誘電体膜４ｂ、光透過層５が順次積層された構成を有する。
【００２１】
この第１の実施形態による光記録媒体１０では、光透過層５の側からレーザ光を無機記録膜６に照射することにより、情報信号の記録または再生が行われる。例えば、４００ｎｍ以上４１０ｎｍ以下の範囲の波長を有するレーザ光を、０．８４以上０．８６以下の範囲の開口数を有する対物レンズにより集光し、光透過層５の側から無機記録膜６に照射することにより、情報信号の記録または再生が行われる。このような光記録媒体１０としては、例えば追記型のＢＤが挙げられる。
以下、光記録媒体１０を構成する基板１、無機記録膜６、第１の誘電体膜４ａ、第２の誘電体膜４ｂおよび光透過層５について順次説明する。
【００２２】
（基板）
基板１は、中央に開口（以下、センターホールと称する）が形成された円環形状を有する。この基板１の一主面は、凹凸面１１となっており、この凹凸面１１上に無機記録膜６が成膜される。以下では、基板１の一主面に対して窪んだ凹部をイングルーブ１１Ｇ、基板１の一主面に対して突出した凸部をオングルーブ１１Ｌと称する。
【００２３】
このイングルーブ１１Ｇおよびオングルーブ１１Ｌの形状としては、例えば、スパイラル状、同心円状などの各種形状が挙げられる。また、イングルーブ１１Ｇおよび／またはオングルーブ１１Ｌが、アドレス情報を付加するためのウォブル（蛇行）されている。
【００２４】
基板１の直径は、例えば１２０ｍｍに選ばれる。基板１の厚さは、剛性を考慮して選ばれ、好ましくは０．３ｍｍ以上１．３ｍｍ以下から選ばれ、より好ましくは０．６ｍｍ以上１．３ｍｍ以下から選ばれ、例えば１．１ｍｍに選ばれる。また、センタホールの径（半径）は、１５ｍｍに選ばれる。
【００２５】
基板１の材料としては、例えばポリカーボネート系樹脂、ポリオレフィン系樹脂若しくはアクリル系樹脂などのプラスチック材料、またはガラスなどを用いることができる。なお、コストを考慮した場合には、基板１の材料として、プラスチック材料を用いることが好ましい。
【００２６】
（無機記録膜）
無機記録膜６は、基板１の凹凸面１１上に順次積層された金属膜２および酸化物膜３からなる。金属膜２は、例えばＴｉまたはＴｉおよび添加物から構成される。Ｔｉを主たる材料とすれば基本的に良好な記録特性を得ることができる。添加物は、光学特性、耐久性または記録感度などを向上させるためのものであり、このような添加物としては、例えばＡｌ，Ａｇ,Ｃｕ，Ｐｄ，Ｇｅ，Ｓｉ，Ｓｎ，Ｎｉ，Ｆｅ，Ｍｇ，Ｖ，Ｃ，Ｃａ，Ｂ，Ｃｒ，Ｎｂ，Ｚｒ，Ｓ，Ｓｅ，Ｍｎ，Ｇａ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｇｄ，Ｎｄ，Ｚｎ，Ｔａ，Ｓｒからなる群より選ばれた１種以上を用いることができ、具体的には例えばＴｉ，Ａｌ，ＴｉＳｉ，ＴｉＳｉＮを用いることができる。具体的には例えば、反射率を高めるための添加物としては、Ａｌが好ましい。
【００２７】
また、金属膜２を構成する材料としては、Ｔｉの酸化物およびＴｉと添加物との酸化物を用いることもできる。このような酸化物としては、例えばＴｉＳｉＯを挙げることができる。
【００２８】
酸化物膜３は、例えば、ゲルマニウムの酸化物であるＧｅＯからなる。酸化物膜３の吸収係数ｋは、好ましくは０．１５以上０．９０以下、より好ましくは０．２０以上０．７０以下、更により好ましくは０．２５以上０．６０以下の範囲である。０．１５以上０．９０以下の範囲を満たすことで、例えば良好な変調度およびキャリア対ノイズ比（以下、Ｃ／Ｎ比）を得ることができる。０．２０以上０．７０以下の範囲を満たすことで、例えばより良好な変調度およびＣ／Ｎ比を得ることができる。０．２５以上０．６０以下の範囲を満たすことで、例えば更により良好な変調度およびＣ／Ｎ比を得ることができる。
【００２９】
なお、この明細書における吸収係数は波長４１０ｎｍにおけるものである。また、その測定には、エリプソメータ（ルドルフ社製、商品名：Auto EL-462P17）を用いた。
【００３０】
また、酸化物膜３の膜厚は、好ましくは１０ｎｍ以上３５ｎｍ以下の範囲である。また、酸化物膜３に対して添加物を加えるようにしてもよく、この添加物としては、例えばＴｅ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｃｕ，Ｚｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｓｎ，Ｓｂなどを用いることができる。このような添加物を加えることで、耐久性および／または反応性（記録感度）を向上することができる。なお、耐久性を向上させるためには、特にＰｄ，Ｐｔ，Ｓｉ，Ｓｂが特に好ましい。
【００３１】
（誘電体膜）
第１の誘電体膜４ａおよび第２の誘電体膜４ｂは、無機記録膜６上に積層されて、無機記録膜６の光学的、機械的保護、すなわち耐久性の向上や、記録時の無機記録膜６の変形、すなわちふくらみの抑制等を行うためのものである。
【００３２】
第１の誘電体膜４ａは、例えばＺｎＳ−ＳｉＯ2より構成される。この第１の誘電体膜４ａの厚さは、好ましくは１０ｎｍ以上５８ｎｍ以下、より好ましくは２３ｎｍ以上５３ｎｍ以下の範囲とされる。膜厚を１０ｎｍ以上にすることで、良好なジッターを得ることができる。例えば光記録媒体１０がＢＤ−Ｒである場合には、膜厚を１０ｎｍ以上にすることで、ＢＤ−Ｒの規格であるジッター６．５％以下を満足することができる。一方、膜厚を５８ｎｍ以下にすることで、良好な反射率を得ることができる。例えば光記録媒体１０がＢＤ−Ｒである場合には、膜厚を５８ｎｍ以下にすることで、ＢＤ−Ｒの規格で要求される反射率１２％以下を満足することができる。
また、膜厚を２３ｎｍ以上にすることで、より良好なジッターを得ることができる。一方、膜厚を５３ｎｍ以下にすることで、より良好な反射率を得ることができる。
【００３３】
第２の誘電体膜４ｂは、例えばＳｉＮより構成される。この第２の誘電体膜４ｂの厚さは、好ましくは３５ｎｍ以下の範囲から選ばれる。膜厚を３５ｎｍ以下にすることで、良好なジッターを得ることができる。例えば光記録媒体１０がＢＤ−Ｒである場合には、膜厚を３５ｎｍ以下にすることで、ＢＤ−Ｒの規格であるジッター６．５％以下を満足することができる。また、上述のように、第１の誘電体層４ａと第２の誘電体層４ｂとを積層することで、変調度を大きくでき、且つ、キャリア対ノイズ比（以下、Ｃ／Ｎ）を高くできる。
【００３４】
（光透過層）
光透過層５は、例えば、円環形状を有する光透過性シート（フィルム）と、この光透過性シートを基板１に対して貼り合わせるための接着層とから構成される。接着層は、例えば紫外線硬化樹脂または感圧性粘着剤（ＰＳＡ：Pressure Sensitive Adhesive）からなる。光透過層５の厚さは、好ましくは１０μｍ以上１７７μｍ以下の範囲内から選ばれ、例えば１００μｍに選ばれる。このような薄い光透過層５と、例えば０．８５程度の高ＮＡ(numerical aperture)化された対物レンズとを組み合わせることによって、高密度記録を実現することができる。
【００３５】
光透過性シートは、記録および／または再生に用いられるレーザ光に対して、吸収能が低い材料からなることが好ましく、具体的には透過率９０パーセント以上の材料からなることが好ましい。光透過性シートの材料としては、例えばポリカーボネート樹脂材料、ポリオレフィン系樹脂（例えばゼオネックス（登録商標））が挙げられる。
【００３６】
また、光透過性シートの厚さは、好ましくは０．３ｍｍ以下に選ばれ、より好ましくは３以上１７７μｍ以下の範囲内から選ばれる。また、光透過層５の内径（直径）は、例えば２２．７ｍｍに選ばれる。
【００３７】
光記録媒体の製造方法
次に、この発明の第１の実施形態による光記録媒体の製造方法について説明する。
（基板の成形工程）
まず、一主面に凹凸面１１が形成された基板１を成形する。基板１の成形の方法としては、例えば射出成形（インジェクション）法、フォトポリマー法（２Ｐ法：Photo Polymerization）などを用いることができる。
【００３８】
（金属膜の成膜工程）
次に、基板１を、例えばＴｉ窒化物からなるターゲットが備えられた真空チャンバ内に搬送し、真空チャンバ内を所定の圧力になるまで真空引きする。その後、真空チャンバ内にプロセスガスを導入しながら、ターゲットをスパッタリングして、基板１上に金属膜２を成膜する。
この成膜工程における成膜条件の一例を以下に示す。
真空到達度：５．０×１０-5Ｐａ
雰囲気：０．１〜０．６Ｐａ
投入電力：１〜３ｋＷ
ガス種：Ａｒガス
ガス流量：１０〜４０ｓｃｃｍ
【００３９】
（酸化物膜の成膜工程）
次に、基板１を、例えばＧｅ酸化物からなるターゲットが備えられた真空チャンバ内に搬送し、真空チャンバ内を所定の圧力になるまで真空引きする。その後、真空チャンバ内にプロセスガスを導入しながら、ターゲットをスパッタリングして、基板１上に酸化物膜３を成膜する。
この成膜工程における成膜条件の一例を以下に示す。
真空到達度：５．０×１０-5Ｐａ
雰囲気：０．１〜０．６Ｐａ
投入電力：１〜３ｋＷ
ガス種：Ａｒガス
Ａｒガス流量：１０〜８０ｓｃｃｍ
【００４０】
（第１の誘電体膜の成膜工程）
次に、基板１を、例えばＺｎＳ−ＳｉＯ2からなるターゲットが備えられた真空チャンバ内に搬送し、真空チャンバ内を所定の圧力になるまで真空引きする。その後、真空チャンバ内にプロセスガスを導入しながら、ターゲットをスパッタリングして、基板１上に第１の誘電体膜４ａを成膜する。
この成膜工程における成膜条件の一例を以下に示す。
真空到達度：５．０×１０-5Ｐａ
雰囲気：０．１〜０．６Ｐａ
投入電力：１〜５ｋＷ
ガス種：Ａｒガス
Ａｒガス流量：６ｓｃｃｍ
【００４１】
（第２の誘電体膜の成膜工程）
次に、基板１を、例えばＳｉからなるターゲットが備えられた真空チャンバ内に搬送し、真空チャンバ内を所定の圧力になるまで真空引きする。その後、真空チャンバ内にプロセスガスを導入しながら、ターゲットをスパッタリングして、基板１上に第２の誘電体膜４ｂを成膜する。
この成膜工程における成膜条件の一例を以下に示す。
真空到達度：５．０×１０-5Ｐａ
雰囲気：０．１〜０．６Ｐａ
投入電力：１〜４ｋＷ
ガス種：Ａｒガスおよび窒素ガス
Ａｒガス流量：５０ｓｃｃｍ
窒素ガス流量：３７ｓｃｃｍ
【００４２】
（光透過層の形成工程）
次に、円環形状の光透過性シートを、例えば、このシート一主面に予め均一に塗布された感圧性粘着剤（ＰＳＡ）を用いて、基板１上の凹凸面１１側に貼り合わせる。これにより、基板１上に積層された積層膜を覆うように、光透過層５が形成される。
以上の工程により、図１に示す光記録媒体１０が得られる。
【００４３】
ターゲットの構成
以下に、この発明の第１の実施形態によるターゲットの構成について説明する。まず、酸化物膜３を成膜するためのターゲットの構成について説明する。酸化物膜３を成膜するためのターゲットは、半導体粉末であるＧｅ粉末と半導体酸化物粉末であるＧｅ酸化物粉末との混合物を加圧焼成することによりなるものである。このターゲットは、例えば円盤形状を有し、その直径は、例えば２００ｍｍに選ばれ、厚さは、例えば６ｍｍに選ばれる。
【００４４】
加圧焼成後の酸素の含有量は４５原子％以上６０原子％以下の範囲であることが好ましい。４５原子％未満であると、吸収係数ｋが０．９を越えてしまうため、記録特性などが低下してしまう。また、６０原子％を越えると、吸収係数が０．１５未満になってしまうため、記録特性などが低下してしまう。
【００４５】
次に、金属膜２を成膜するためのターゲットの構成について説明する。金属膜２を成膜するためのターゲットは、遷移金属粉末であるＴｉ粉末と遷移金属窒化物粉末であるＴｉ窒化物粉末との混合物を加圧焼成することによりなるものである。このターゲットは、例えば円盤形状を有し、その直径は、例えば２００ｍｍに選ばれ、厚さは、例えば６ｍｍに選ばれる。
【００４６】
加圧焼成後の窒素の含有量は１原子％以上２０原子％以下の範囲であることが好ましく、１原子％以上１０原子％以下の範囲であるこがより好ましい。１原子％以上２０原子％以下の範囲にすることで、パワーマージンを大きくし、且つ、ジッターの上昇を抑えることができる。５原子％以上１５原子％以下の範囲にすることで、パワーマージンをより大きくし、且つ、ジッターの上昇をより抑えることができる。
【００４７】
ここで、金属の非飽和酸化物は、金属のとりうる最大の価数に対応した化学量論組成より酸素含有量が少ない方向にずれた化合物のこと、すなわち金属の非飽和酸化物における酸素の含有量が、上記金属のとりうる最大価数に対応した化学量論組成の酸素含有量より小さい化合物のことである。
【００４８】
なお、非飽和酸化物もしくは非飽和窒化物としては、１種の非飽和酸化物もしくは非飽和窒化物のほかに、第２の元素あるいは更に複数種類の元素を添加したものについても本発明に含めることにする。
【００４９】
ターゲットの製造方法
以下、この発明の第１の実施形態によるターゲットの製造方法について説明する。まず、酸化物膜３を成膜するためのターゲットの製造方法について説明する。
【００５０】
（秤量・混合）
半導体粉末であるＧｅ粉末と半導体酸化物粉末であるＧｅ酸化物粉末とをそれぞれ所定量秤量した後、例えば混合乾式を行う。ここで、Ｇｅ粉末とＧｅ酸化物粉末との混合比は、加圧焼成後の酸素の含有量が４５原子％以上６０原子％以下となるように調整することが好ましい。
【００５１】
（加圧焼成）
次に、上述のようにして得られた混合粉末をカーボン製の型に投入し、例えばホットプレス装置によって加圧焼成を行って、焼成体を得る。ここでは、ホットプレス装置は一般的に使用されているものでよく、この装置を用いて、一定圧力および一定の焼成温度で、非酸素雰囲気中にて所定時間焼成が行われる。
【００５２】
（仕上げ工程）
上述のようにして得られた焼成体に対して、所定サイズの円盤形状になるように機械加工を施す。以上により、目的とするターゲットを得ることができる。
【００５３】
次に、金属膜２を成膜するためのターゲットの製造方法について説明する。
（秤量・混合）
遷移金属粉末であるＴｉと遷移金属窒化物粉末であるＴｉ窒化物粉末とをそれぞれ所定量秤量した後、例えば混合乾式を行う。ここで、Ｔｉ粉末とＴｉ窒化物粉末との混合比は、加圧焼成後の窒素の含有量が１原子％以上２０原子％以下の範囲となるように調整することが好ましく、５原子％以上１５原子％以下の範囲となるように調整することがより好ましい。
【００５４】
（加圧焼成）
次に、上述のようにして得られた混合粉末をカーボン製の型に投入し、例えばホットプレス装置によって加圧焼成を行う。ここでは、ホットプレス装置は一般的に使用されているものでよく、この装置を用いて、一定圧力および一定の焼成温度で、非酸素雰囲気中にて所定時間焼成が行われる。
【００５５】
（仕上げ工程）
上述のようにして得られた焼成体に対して、所定サイズの円盤形状になるように機械加工を施す。以上により、目的とするターゲットを得ることができる。
【００５６】
この発明の第１の実施形態によれば以下の効果を得ることができる。
金属膜２、酸化物膜３、第１の誘電体膜４ａ、第２の誘電体膜２ｂ、光透過層５を基板１上に順次積層するだけで光記録媒体１０を製造できるので、単純な膜構成を有する高記録密度の光記録媒体１０を提供することができる。すなわち、低廉な高記録密度の光記録媒体１０を提供することができる。
【００５７】
また、Ｇｅ酸化物からなるターゲットをスパッタリングして酸化物膜３を成膜するので、量産時において、一定の酸素濃度、すなわち一定の吸収係数を有する酸化物膜３を成膜することができる。
【００５８】
また、Ｔｉ窒化物からなるターゲットをスパッタリングして金属膜２を成膜するので、少ない流量の窒素ガスを一定に制御する困難な作業をする必用がなくなる。したがって、量産時において金属膜２を安定して成膜することができる。
【００５９】
（３）第２の実施形態
光記録媒体の構成
この第２の実施形態による光記録媒体１０は、上述の第１の実施形態と同様に、基板１上に、無機記録膜６、誘電体膜４、光透過層５が順次積層された構成を有する。基板１およびその上に積層された各層を構成する材料および厚さなどは、上述の第１の実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００６０】
図２は、この発明の第２の実施形態による光記録媒体を示す平面図である。図２に示すように、この光記録媒体１０の内周部には、リードイン領域１２が設けられ、このリードイン領域１２の外周側にユーザデータ領域１３が設けられている。また、リードイン領域１２には、識別情報記録領域であるＢＣＡ（Burst Cutting Area）１４が設けられている。
【００６１】
ユーザデータ領域１３は、ユーザが所望のデータを記録するための領域である。リードイン領域１２は、例えば識別情報（ＩＤ）、暗号鍵および複合鍵などの情報を記録するための領域であり、これらの情報は、光記録媒体１０の製造時に記録される。ＢＣＡ１４は、光記録媒体１０の製造時に識別情報を記録するための領域である。識別情報は、各媒体に固有な情報であり、例えば、不正コピーの防止などを目的とするものである。
【００６２】
光記録媒体の製造方法
基板の成形工程から光透過層の形成工程までは、上述の第１の実施形態と同様であるので説明を省略し、以下では光透過層の形成工程の次工程である識別情報の記録工程について説明する。
【００６３】
まず、図３を参照しながら、識別情報の記録に用いられる記録装置について説明する。図３に示すように、この記録装置は、モータ２１、光ピックアップ２２および制御回路２３を備える。
【００６４】
光ピックアップ２２は、光記録媒体１０に対してレーザ光２４を照射して識別情報をバーコードとして記録するための光学系である。レーザ光２４の波長は、ユーザデータの記録または再生に用いられるレーザ光とほぼ等しい波長とするこことが好ましい。例えば、光記録媒体１０が波長４０５ｎｍなどの青色レーザ光によりユーザデータの記録または再生が行われる光記録媒体１０である場合には、光ピックアップ２２のレーザ光２２の波長を、波長３５０ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の範囲に設定すること好ましい。この波長範囲のレーザを用いることで、ユーザデータの記録と同様の原理に基づき、識別情報に対応する記録マークを良好に無機記録膜６に記録することができる。
【００６５】
制御回路２３は、記録装置全体を制御する。例えば、レーザ光２４のフォーカス制御、光ピックアップ２２の位置制御、モータ２１の回転制御、識別情報の生成などを行う。モータ２１は、図示を省略したターンテーブルに載置された光記録媒体１０を回転させる。
【００６６】
次に、上述の記録装置を用いた識別情報の記録工程について説明する。
まず、光記録媒体１０を、その光透過層５の側が光ピックアップ２２に対向するようにして、図示を省略したターンテーブルに載置する。次に、モータ２１を駆動して光記録媒体１０を所定速度で回転させる。
【００６７】
そして、光ピックアップ２２を光記録媒体１０の内周部に設けられたＢＣＡ１４まで移動させた後、光ピックアップ２２を駆動させて、例えば識別情報に応じてパルス状に変調されたレーザ光を光透過層５側から照射する。これにより、無機記録膜６のうちレーザ光２４が照射された部分では、酸化物膜３の酸素が分離して、酸素濃度が高い層が金属膜２の側に形成され、酸素濃度が低い層が誘電体膜４の側に形成される。その結果、識別情報に応じた記録マークが例えばバーコード状に形成され、識別情報がＢＣＡに記録される。なお、この記録マークの形成に用いられるレーザ光の波長は、上述のように３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの範囲にすることが好ましい。以上により、目的とする光記録媒体１０が得られる。
【００６８】
図４（ａ）は、ＢＣＡに形成された記録マークの一例を示す。図４（ｂ）は、ＢＣＡに記録された識別情報を再生したときの再生信号の波形の一例を示す。なお、図４（ａ）において斜線を付した部分が記録マークを示し、この記録マークは、パルス状に変調されたレーザ光を照射することにより形成される。
【００６９】
図４（ａ）に示すように、識別情報は、バーコード状の縞模様としてＢＣＡに記録される。また、記録マークの部分では反射率が低下するために、再生信号は、図４（ｂ）に示すように、パルス状の波形となる。
【００７０】
この第２の実施形態では、例えば波長３５０ｎｍ〜４５０ｎｍのレーザ光を用いて光記録媒体１０のＢＣＡ１４に識別情報を記録するので、ユーザデータの記録と同様の原理により識別情報を無機記録膜６に記録できる。したがって、識別情報の再生信号の乱れを抑制し、所望の再生信号を得ることができる。また、光透過層５の側からレーザ光を照射して基板１上の積層膜を溶融除去して識別情報を記録する場合と比べて、基板１の変形などによって引き起こされる信号の不具合を抑制することができる。また、積層膜の腐食を招く恐れが少ないので、優れた保存安定性を得ることができる。
【００７１】
（４）第３の実施形態
光記録媒体の構成
この第３の実施形態による光記録媒体１０はＢＣＡ１４を有し、このＢＣＡ１４には識別情報が記録されている。この識別情報は、レーザ光を基板１側から照射することにより、基板１上に積層された積層膜を溶融除去することにより形成される。これ以外の光記録媒体１０の構成に関しては上述の第２の実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００７２】
光記録媒体の製造方法
基板の成形工程から光透過層の形成工程までは、上述の第２の実施形態と同様であるので説明を省略し、以下では光透過層の形成工程の次工程である識別情報の記録工程について説明する。また、識別情報の記録に用いられる記録装置は、光路長補償素子を光ピックアップ２２に備える以外のことは上述の第２の実施形態と同様であるので説明を省略する。なお、光ピックアップ２２に備えられる光路長補償素子は、上述の第２の実施形態とは異なる基板１側からレーザ光を照射することを考慮して設けたものである。
【００７３】
まず、光記録媒体１０を、その基板１の側が光ピックアップ２２に対向するようにして、図示を省略したターンテーブルに載置する。次に、モータ２１を駆動して光記録媒体１０を所定速度で回転させる。
【００７４】
そして、光ピックアップ２２を光記録媒体１０の内周部に設けられたＢＣＡ１４まで移動させた後、光ピックアップ２２を駆動させて、例えば識別情報に応じてパルス状に変調されたレーザ光を基板１側から照射する。これにより、無機記録膜６のうちレーザ光２４が照射された部分では、基板１上に積層された金属膜２、酸化物膜２、誘電体膜５が溶融除去される。その結果、識別情報に応じたマークが例えばバーコード状に形成され、識別情報がＢＣＡ１４に記録される。
【００７５】
なお、レーザ光は、近赤外レーザ光または赤外レーザ光であることが好ましく、例えば波長８００ｎｍのレーザ光である。また、レーザ光照射時の光学ヘッドスキャンスピードを５ｍ／ｓ〜９ｍ／ｓ、レーザパワーを３４００ｍＷ〜４０００ｍＷの範囲とすることが好ましい。この範囲とすることで、記録マークエッジ部分における急激な反射率の上昇を抑制することができる。したがって、識別情報の再生信号のノイズを低減することができる。
【００７６】
この第３の実施形態では、ユーザデータの記録再生時とは異なる基板１側からレーザ光をＢＣＡ１４に照射して識別情報を記録するため、光透過層５の側からレーザ光を照射した場合とは光吸収特性などが異なるので、マークの境界部分に変形が生じることを抑制きる、ＢＣＡ１４の内部に積層膜の一部が残留することを抑制できる、基板１の変形を抑制できるなどの利点を得ることができる。すなわち、再生信号の乱れを抑制し、所望の再生信号を得ることができる。
【００７７】
また、金属膜２に直接レーザ光を照射できるので、基板１上の積層膜を効果的に破壊除去できる。なお、光透過層５側からレーザ光を照射した場合には、酸化物膜３での吸収発熱などの影響で熱が拡散するために、基板１上の積層膜をきれいに破壊除去できないと考えられる。
【実施例】
【００７８】
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。なお、以下の実施例においては、上述の実施形態と対応する部分には同一の符号を付す。
【００７９】
本発明の実施例として、ブルーレイディスクの光学系に媒体を設計し、成膜したものを示す。ブルーレイディスクの光学系とは、開口数０．８５の対物レンズおよび波長４００ｎｍ〜４１０ｎｍの青紫色半導体レーザ光源を用いたものである。なお、本発明はこの光学系に適用が限られるものではなく、開口数や波長が多少違っていても同様の効果が期待される。
【００８０】
評価は、パルステック工業株式会社製、ＯＤＵ−１０００（ブルーレイディスク仕様）を用いた。この光源の波長は４０５ｎｍであり、対物レンズのＮＡは０．８５である。トラックピッチは、０．３２μｍである。
【００８１】
実施例について以下の検討の順序で説明する。
（１−１）無機記録膜の構成の検討
（１−２）酸化物膜の成膜方法の検討
（１−３）Ｇｅ酸化物ターゲットの製造方法の検討
（１−４）金属膜に対する窒素混入の検討
（１−５）金属膜に対する窒素の混入量の検討
【００８２】
（１−１）無機記録膜の構成の検討
実施例１
図５は、この実施例１による光記録媒体の記録膜構成を示す模式的断面図である。なお、図５においては、基板１に設けられたイングルーブ１１Ｇおよびオングルーブ１１Ｌの図示を省略している。この実施例１の光記録媒体１０は、ＴｉＳｉ膜２、ＧｅＯ膜３、ＳｉＮ膜４、光透過層５を順次基板１上に積層した構成を有する。
【００８３】
以下、図５を参照しながら、実施例１の光記録媒体１０の製造方法について説明する。まず、射出成形法により、一主面にイングルーブ１１Ｇおよびオングルーブ１１Ｌが設けられた基板１を成形した。樹脂材料としては、ポリカーボネート樹脂を用いた。また、トラックピッチを０．３２μｍとし、イングルーブ１１Ｇの深さを２１ｎｍとし、オングルーブ１１Ｌをウォブル（蛇行）させてアドレス情報を付加した。
【００８４】
次に、成膜装置（Ｕｎａｘｉｓ社製、商品名：Ｃｕｂｅ）を用いて、Ｔｉ膜２、ＧｅＯ膜３、ＳｉＮ膜４を基板１上に順次積膜した。なお、ターゲットサイズは、直径φ２００ｍｍとした。以下、成膜装置による各層の成膜工程について順次説明する。
【００８５】
まず、真空チャンバ内を真空引きした後、真空チャンバ内にＡｒガスを導入しながら、Ｔｉターゲットを反応性スパッタリングして、膜厚３０ｎｍのＴｉ膜２を基板１上に成膜した。なお、成膜時におけるＡｒガス流量を２４ｓｃｃｍとし、スパッタパワーを３．０ｋＷとした。
【００８６】
次に、大気暴露せず別の真空チャンバに搬送し、真空チャンバ内にＡｒガスを導入しながら、Ｇｅ酸化物ターゲットをスパッタリングして、膜厚２０ｎｍのＧｅＯ膜３を成膜した。なお、成膜時におけるＡｒガス流量を３０ｓｃｃｍ、スパッタパワーを２ｋＷとした。Ｇｅ酸化物ターゲットは、ＧｅＯ膜３の吸収係数ｋが０．４となる組成とした。
【００８７】
次に、大気暴露せず別の真空チャンバに搬送し、真空チャンバ内にＡｒガスとＮ2ガスとを導入しながら、Ｓｉターゲットを反応性スパッタリングして、膜厚６０ｎｍのＳｉＮ膜４をＧｅＯ膜３上に成膜した。なお、成膜時におけるＡｒガス流量を５０ｓｃｃｍ、Ｎ2ガス流量を３７ｓｃｃｍ、スパッタパワーを４ｋＷとした。また、このＳｉＮ膜４の組成を原子比で３：４、屈折率を２．０、吸収係数を０とした。
【００８８】
次に、円環形状のポリカーボネートシートを、このシート一主面に予め塗布された感圧性粘着材（ＰＳＡ）により基板１上に貼り合わせて、厚さ０．１ｍｍの光透過層５を形成した。以上により、目的とする光記録媒体１０が得られた。
【００８９】
次に、Ｇｅ酸化物ターゲットの組成を変えて、酸素組成が異なるＧｅＯ膜３をＴｉＳｉ膜２上に成膜する以外のことは上述の光記録媒体１０とすべて同様にして、ＧｅＯ膜３の酸素組成が互いに異なる複数の光記録媒体１０を得た。
【００９０】
そして、上述のようにして得られた複数の光記録媒体１０に対して上述の記録再生光学系により８Ｔマークの単一搬送波を記録、再生したときのＣ／Ｎおよび変調度を測定した。
この際、記録再生速度は５．２８ｍ／ｓとした。再生パワーは０．３５ｍＷとした。チャンネルビット長は８０．０ｎｍ(直径１２ｃｍの光ディスクに２３．３ＧＢの記録密度)で行った。  変調方式は１７ＰＰであり、最短マークである２Ｔマークのマーク長は０．１６μｍ、８Ｔマークのマーク長は０．６４μｍである。
Ｃ／Ｎ評価には、スペクトルアナライザ（Takeda Riken製、商品名：TR4171）を用いた。
【００９１】
次に、上述のようにして得られた複数の光記録媒体１０のＧｅＯ膜３の酸素組成を調べるために、分析用のサンプルを以下のようにして作製した。
まず、上述の各光記録媒体１０のＧｅＯ膜３の成膜工程と同様の条件において、２ｃｍ×２ｃｍのＳｉウェーハ上にＧｅＯ膜３を１００ｎｍ程度成膜した。その後、保護膜としてＳｉＮ膜を１０ｎｍ成膜した。以上により、分析用の複数のサンプルを得た。
次に、上述のようにして得られた複数のサンプルの酸素組成をＲＢＳ（Rutherford Backscattering）分析法により測定した。なお、測定装置としては、ソニー株式会社内製の装置を用いた。
【００９２】
次に、上述のようにして得られた複数の光記録媒体１０のＧｅＯ膜３の吸収係数を調べるために、分析用のサンプルを以下のようにして作製した。
すなわち、上述の各光記録媒体１０のＧｅＯ膜３の成膜工程と同様の条件において、２ｃｍ×２ｃｍのＳｉウェーハ上にＧｅＯ膜を１００ｎｍ程度成膜して、分析用の複数のサンプルを得た。次に、上述のようにして得られた分析用サンプルの４１０ｎｍの波長における吸収係数を、エリプソメータにより測定した。なお、エリプソメータとしては、ルドルフ社製のAuto EL-462P17を用いた。
【００９３】
次に、上述のようにして測定されたＣ／Ｎ、変調度、酸素組成および吸収係数に基づき、図６に示すグラフを作成した。
図６は、酸素組成および吸収係数と、Ｃ／Ｎとの関係を示すグラフである。横軸が酸素組成および吸収係数を示し、縦軸がＣ／Ｎを示す。一般に、吸収係数ｋと酸素組成ｘの関係は材料や層が同一であれば一意に決定されるものである。酸素組成の定量分析は測定方法によって誤差が大きくでることがあるが、吸収係数は光学パラメータであり比較的安定に測定することができる。
【００９４】
図６から以下のことが分かる。まず、変調度に着目すると、吸収係数ｋが０．２未満になると変調度が急激に低下し、吸収係数ｋが０．９を越える変調度が４０％以下となってしまう。次に、２ＴのＣ／Ｎに着目すると、吸収係数ｋが０．１５未満になるとＣ／Ｎが低下し、０．９を越えるとＣ／Ｎが４０ｄＢ以下になってしまう。
また、ここでは詳細な説明は省略するが、吸収係数が０．１５未満になると、急激に記録感度が悪化し、情報信号の記録を行うことができなくなった。これは、吸収が十分でなかったことと、酸素が多く安定な組成であるためと考えられる。
以上の点を考慮すると、ＧｅＯ膜３の吸収係数ｋの範囲は、好ましくは０．１５以上０．９０以下、より好ましくは０．２０以上０．７０以下、更により好ましくは０．２５以上０．６０以下の範囲である。
【００９５】
実施例２
図７は、この実施例２による光記録媒体の記録膜構成を示す模式的断面図である。
成膜装置（Ｕｎａｘｉｓ社製、商品名：Ｓｐｒｉｎｔｅｒ）を用いて、膜厚２５ｎｍのＴｉＳｉＯ膜２、膜厚２２ｎｍのＧｅＯ膜３、膜厚４５ｎｍのＺｎＳ−ＳｉＯ2４ａ、膜厚１０ｎｍのＳｉＮ膜４ｂを基板１上に順次成膜した。その後、感圧性粘着材（ＰＳＡ）によりポリカーボネートシートを基板１の凹凸面１１側に貼り合せて、ＳｉＮ膜４ｂ上に光透過層５を形成した。この光透過層５の厚さは、ＰＳＡおよびポリカーボネートシートを含めて１００μｍとした。以上により、目的とする光記録媒体１０を得た。
【００９６】
成膜手順は以下の通りである。
まず、真空チャンバ内を真空引きした後、真空チャンバ内にＡｒガスおよび酸素ガスを導入しながら、ＴｉＳｉターゲットをスパッタリングして、膜厚２５ｎｍのＴｉＳｉ膜２を基板１上に成膜した。このＴｉＳｉターゲット中のＳｉの組成比を２０原子％とし、このＴｉＳｉＯ膜２における酸素組成を２１原子％とした。
この成膜工程における成膜条件の一例を以下に示す。
真空到達度：５．０×１０-5Ｐａ
雰囲気：０．２Ｐａ
投入電力：３ｋＷ
Ａｒガス流量：３０ｓｃｃｍ
酸素ガス流量：５ｓｃｃｍ
【００９７】
次に、真空チャンバ内を真空引きした後、真空チャンバ内にＡｒガスを導入しながら、Ｇｅ酸化物ターゲットをスパッタリングして、膜厚２２ｎｍのＧｅＯ膜３をＴｉＳｉ膜２上に成膜した。なお、Ｇｅ酸化物ターゲットは、ＧｅＯ膜３の吸収係数ｋが０．４となる組成とした。
この成膜工程における成膜条件の一例を以下に示す。
真空到達度：５．０×１０-5Ｐａ
雰囲気：０．２Ｐａ
投入電力：２ｋＷ
Ａｒガス流量：３０ｓｃｃｍ
【００９８】
次に、真空チャンバ内を真空引きした後、真空チャンバ内にプロセスガスを導入しながら、ＺｎＳ−ＳｉＯ2ターゲットをスパッタリングして、膜厚４５ｎｍのＺｎＳ−ＳｉＯ２膜４ａをＧｅＯ膜３上に成膜した。ＺｎＳ−ＳｉＯ２膜４ａの組成比(原子比)ＺｎＳ：ＳｉＯ２が８０：２０となるようにした。
この成膜工程における成膜条件の一例を以下に示す。
真空到達度：５．０×１０-5Ｐａ
雰囲気：０．１Ｐａ
投入電力：１ｋＷ
Ａｒガス流量：６ｓｃｃｍ
【００９９】
次に、真空チャンバ内を真空引きした後、真空チャンバ内にＡｒガスおよびＮ2プロセスガスを導入しながら、Ｓｉターゲットをスパッタリングして、膜厚１０ｎｍのＳｉ3Ｎ4膜４ｂを基板１上に成膜した。
この成膜工程における成膜条件の一例を以下に示す。
真空到達度：５．０×１０-5Ｐａ
雰囲気：０．３Ｐａ
投入電力：４ｋＷ
Ａｒガス流量：５０ｓｃｃｍ
Ｎ2ガス流量：３７ｓｃｃｍ
【０１００】
上述のようにして得られた複数の光記録媒体１０に対して、ランダムデータの記録を行ったときのリーディングジッターおよびトレーリングジッターを測定した。
記録再生条件は、ＢＤの２５ＧＢ密度とし、２倍速（９．８３ｍ／ｓ）で記録、１倍速（４．９２ｍ／ｓ）で再生した。再生パワーは０．３５ｍＷとし、再生信号はリミットイコライザー（プリイコライザーゲイン７．１ｄＢ）を通し、タイムインターバルアナライザー（横河電機株式会社製、ＴＡ７２０）によりジッターを測定した。
記録の線速度は９．８３ｍ／ｓ(２倍速記録)、再生時の線速度は４．９２ｍ／ｓ(１倍速)、チャンネルビット長は７４．５０ｎｍ(直径１２ｃｍの光ディスクに２５ＧＢの記録密度)で行った。
変調方式は１７ＰＰであり、最短マークである２Ｔマークのマーク長は０．１４９μｍ、８Ｔマークのマーク長は０．５９６μｍである。
その結果を図８に示す。
【０１０１】
図８から以下のことが分かる。すなわち、ＧｅＯ膜３の酸素濃度および吸収係数には最適範囲が存在することがわかる。例えば、ＢＤ−Ｒのジッター規格値である６．５％以下を満たすためには、吸収係数ｋを０．１５≦ｋ≦０．９０の範囲にすることが好ましいことが分かる。したがって、ＧｅＯ膜３の吸収係数ｋが０．１５≦ｋ≦０．９０となるように、ＧｅＯ膜３の酸素濃度を調整することにより、良好な特性を有する光記録媒体１０を得ることができる。
【０１０２】
よって、上述の検討によれば、良好な記録を行うためには、Ｇｅ酸化物膜３の吸収係数ｋを０．１５≦ｋ≦０．９０の範囲とすることが好ましい。
【０１０３】
比較例１
次に、ＧｅＯ膜３とＴｉＳｉ膜２との間に膜厚３ｎｍのＳｉＮ膜を成膜する以外のことは、上述の実施例２とすべて同様にして光記録媒体１０を得た。
【０１０４】
そして、上述の実施例２と同様にして、比較例１の光記録媒体１０に情報信号の記録を行って、変調度を測定した。その結果、変調度が１０％以下に低下し、ほとんど良好な記録が行われなかった。ＳｉＮ膜の厚さから考えると、光学的にも熱的にも記録には殆ど影響を与えないはずであるが、記録に多大な影響を与えるという結果となった。これは、Ｔｉ合金の表面が酸化することにより、光触媒効果が発現し、ＧｅＯ膜３の酸素が分離することが記録原理となっているためである。このことは、透過型電子顕微鏡(ＴＥＭ:Transmission Electron Microscope)を用いた断面ＴＥＭ観察により、記録後ＧｅＯ膜３が２層に分離し、酸素組成の多い層がＴｉＳｉ側に、酸素組成の少ない層がその反対側の面に形成されることで明らかにされた。
【０１０５】
したがって、ＴｉＳｉ膜２にＧｅＯ膜３が直接接することが、この光記録媒体１０の無機記録膜６にとっては極めて重要な点である。また、その成膜の際にＴｉＳｉ膜２とＧｅＯ膜３の間で大気暴露すると酸化皮膜および不純物が付着することで、記録特性が大幅に劣化するため、大気暴露をせずに連続に成膜することが望ましい。
【０１０６】
（１−２）酸化物膜の成膜方法の検討
まず、比較例として、プロセスガスとしてＡｒガスおよび酸素ガスを導入しながら、リアクティブスパッタリング法によりＧｅターゲットをスパッタリングして、ＧｅＯ膜３を成膜した場合について説明する。
【０１０７】
比較例２
【０１０８】
まず、実施例２と同様にして、同一の基板１を複数成形し、これらの基板１上にＴｉＳｉ膜２を成膜した。次に、プロセスガスとしてＡｒおよび酸素の混合ガスを導入しながら、リアクティブスパッタリング法により、Ｇｅターゲットをスパッタリングして、ＧｅＯ膜３を成膜した。この成膜工程では、Ａｒガスの流量を３０ｓｃｃｍ一定とし、酸素ガスの流量を記録媒体毎に変化させて、異なる吸収係数を有するＧｅＯ膜３をＴｉＳｉ膜２上に成膜した。これ以外のことは上述の実施例２と同様にして、ＧｅＯ膜３の酸素組成が互いに異なる複数の光記録媒体１０を得た。
【０１０９】
比較例３
ＧｅＯ膜の成膜前のプリスパッタ条件を変える以外のことは、上述の比較例２と同様にして、ＧｅＯ膜３の酸素組成が互いに異なる複数の光記録媒体１０を得た。
【０１１０】
比較例４
比較例２の光記録媒体１０の作製から数週間程度経過後に、比較例２と同一のＧｅターゲットを用いてＧｅＯ膜３を成膜する以外のことは、上述の比較例２と同様にして、ＧｅＯ膜３の酸素組成が互いに異なる複数の光記録媒体１０を得た。
【０１１１】
図９に、上述した比較例２〜４のＧｅＯ膜の成膜工程における酸素流量と、ＧｅＯ膜の吸収係数との関係を示すグラフである。なお、吸収係数は、波長４１０ｎｍにおけるものであり、その測定にはエリプソメータ（ルドルフ社製、商品名：Auto EL-462P17）を用いた。
【０１１２】
図９から以下のことが分かる。すなわち、酸素ガス流量が約４０〜４７ｓｃｃｍの範囲で所望の０．１５〜０．９０の範囲の吸収係数が得られることが分かる。また、詳細な説明は省略するが、この酸素ガス流量の範囲でＧｅＯ膜３を成膜して光記録媒体１０を作製したところ、この記録媒体１０では実施例２とほぼ同等の記録特性が得られた。
【０１１３】
また、図９中の丸、三角、四角でプロットしたものは、成膜前のプリスパッタの条件が異なっている光記録媒体１０や、成膜の日時が数週間程度異なっている光記録媒体１０に関するものであるが、同じ吸収係数を得るために必要な酸素流量が大きく揺らいでいることが分かる。これは、Ｇｅターゲット表面の酸化の度合いが比較例２〜４で微妙に異なるため、成膜されるＧｅＯ膜３の膜質が変わることを示している。
【０１１４】
更に、Ｇｅ表面の酸化膜付着状況はいわゆるヒステリシスを有する。つまり、表面が酸化されると酸素流量を下げても酸素組成が高く保たれ、また、酸素を流さずにスパッタし表面をクリーニングした後に成膜すると、同じ酸素流量でも成膜された膜の酸素組成は低く、また、成膜を続けていると徐々にＧｅターゲット表面が酸化されてきて吸収係数が変化する。したがって、このような状態では安定して生産ができず、量産には向かない。
【０１１５】
更に、図９中の４８ｓｃｃｍでは吸収係数がほぼ０となっているが、４７ｓｃｃｍでは吸収係数が０．４である。つまり、所望の吸収係数が０．４程度であると、そのような状態をそもそも安定に作成することが不可能である。
【０１１６】
次に、Ａｒガスのみを導入しながら、Ｇｅ酸化物ターゲットをスパッタリングしてＧｅＯ膜を成膜する光記録媒体の製造方法について説明する。この実施例では、成膜ガス雰囲気中に酸素が含まれないため、成膜されたＧｅＯ膜３に含まれる酸素はすべてターゲット内に初めから含まれるものである。
【０１１７】
実施例３
【０１１８】
まず、実施例２と同様にして、同一の基板１を複数成形し、これらの基板１上にＴｉＳｉ膜２を成膜した。次に、プロセスガスとしてＡｒガスを導入しながら、Ｇｅ酸化物ターゲットをスパッタリングして、ＴｉＳｉ膜２上にＧｅＯ膜３を成膜した。Ｇｅ酸化物ターゲットにおけるＧｅと酸素との組成比（原子比）を１：１とした。すなわち、Ｇｅ50Ｏ50とした。
【０１１９】
図１０に、ターゲットの使用量（ＧｅＯ成膜量）と吸収係数との関係を示す。なお、吸収係数は、波長４１０ｎｍにおけるものであり、その測定にはエリプソメータ（ルドルフ社製、商品名：Auto EL-462P17）を用いた。
【０１２０】
図１０から以下のことが分かる。すなわち、成膜開始から４ｋＷｈまでは吸収係数が安定しない。この原因は、ターゲットの表面が初期状態では平坦であり、エロージョンがある程度大きくなるまでは放電が安定しないことと、スパッタが進むにつれて表面の状態が変わりターゲット上の酸素濃度が変化することとにある。
【０１２１】
一方、成膜開始から４ｋＷｈ以上では吸収係数の変化が落ち着き、一定量の吸収係数、すなわち、酸素濃度となっている。この状態にターゲットがなると、プリスパッタをせずとも常に一定の吸収係数のＧｅＯ膜３を安定して得ることができる。さらに、ターゲットの寿命は２００ｋＷｈ以上であるので、成膜開始から４ｋＷｈまでをＧｅＯ膜３の組成を安定化させるための初期化期間としても、この初期化期間はコスト的には何ら問題のないレベルの長さである。また、このターゲットを用いた場合、十分使用した後の安定状態での吸収係数は０．４であることが分かる。
【０１２２】
さらに、Ｇｅ50Ｏ50以外の酸素組成のＧｅ酸化物ターゲットを用いて光記録媒体１０を作製し、ターゲットの使用量（ＧｅＯ成膜量）と吸収係数との関係を調べた。
その結果、酸素組成がＧｅ55Ｏ45の場合、上述の場合と同様に４ｋＷｈ以上使用後に吸収係数を測定したところ、安定状態での吸収係数は０．９であった。また、酸素組成がＧｅ40Ｏ60の場合は、上述の場合と同様に４ｋＷｈ以上使用後に吸収係数を測定したところ、安定状態での吸収係数は０．１５であった。上述の実施例２で示したように、良好な記録特性の得られる吸収係数ｋの範囲は０．１５≦ｋ≦０．９０であるため、この吸収係数を有するＧｅＯ膜３を安定に成膜できるＧｅ酸化物ターゲットの酸素の組成比は４５原子％以上６０原子％以下となる。
【０１２３】
（１−３）Ｇｅ酸化物ターゲットの製造方法の検討
次に、実施例として、Ｇｅ酸化物ターゲットの製造方法について説明する。
実施例４
Ｇｅが飽和な酸化物となった場合には、ＧｅＯ2の組成を有する。従って、Ｇｅの場合にも飽和酸化物の場合は、Ｇｅ(100-X)ＯX（Ｘ：原子％）という形で記述した場合には、ＧｅＯ2ではｘ＝６６．７となる。
【０１２４】
以下に、Ｇｅ非飽和酸化物であるＧｅ50Ｏ50およびＧｅ60Ｏ40からなるターゲットの形成工程を説明する。まず、原材料として、Ｇｅ粉末およびＧｅＯ2粉末を各々所定量秤量し、乾式混合を行なった後に、得られた混合粉末をカーボン製の型に投入しホットプレス装置によって加圧焼成を行って、焼成体を得た。この加圧焼成は、圧力１９．６Ｍｐａ、焼成温度１０４３Ｋ〜１１７３Ｋの間の一定温度、所定時間、不活性ガス雰囲気の条件で行った。そして、焼成体に対して機械加工を施し、直径３２ｍｍ、厚さ４ｍｍのターゲットに加工した。
【０１２５】
次に、作製したターゲットについて、理論密度に対する相対密度（％）の測定を行なった。その結果を図１１に示す。ここで、相対密度とは、作製したターゲットの直径、厚さ、重量から算出した密度の理論密度に対する割合であり、理論密度とはターゲット組成の各元素について重量を算出し、この重量の総和をターゲット体積で除することにより求めたものである。
【０１２６】
図１１から以下のことが分かる。すなわち、比較的低い温度において相対密度が１００％のターゲットを作製できる。ターゲットの密度が低いと、ターゲット作製上、割れやすく容易に作製することが困難である。また、密度の低いターゲットをスパッタリングに使用するとスパッタレートの低下を招き、ディスク製造上コストアップとなってしまう。相対密度として８０％以下である場合にはそのような問題が発生し、成膜の安定性のみならず、記録再生特性にも影響する。したがって、スパッタリングに使用されるターゲットの密度として、スパッタリングレートなどを安定に保つためには、相対密度としておおよそ８０％以上が望ましい。
なお、実施例１、２、３、５では、同様の方法で得られた焼成体を直径２００ｍｍ、厚さ６ｍｍのターゲットに加工したものを用いた。
【０１２７】
（１−４）金属膜に対する窒素混入の検討
次に、実施例５として、ＴｉＳｉ膜２に窒素を混入した場合について説明する。
上述の実施例２ではジッター値としては良好な特性が得られた。しかし、記録再生をする際にはドライブのばらつきや使用環境により、媒体にとって常に最適な記録パワーで記録されるとは限らない。したがって、市場で広範に問題なく記録再生が行われるためには、記録媒体の記録パワーマージンが広いことが望まれる。
【０１２８】
実施例５
【０１２９】
まず、実施例２と同様にして、ＴｉＳｉ膜２に窒素が混入されていない光記録媒体１０を作製した。ここでは、膜構成は実施例２とほぼ同じだが、ＴｉＳｉのＳｉ組成は２７原子％とし、成膜雰囲気に酸素は混入せず、膜厚は２７ｎｍとした。また、Ｇｅ酸化物層の吸収係数は０．４、膜厚は２５ｎｍとした。
そして、この光記録媒体１０のパワーマージンを測定した。記録再生条件は実施例２と同一である。
なお、パワーマージンの測定では、ＰｗとＰｓ（それぞれピークパワーとスペースパワーを示す。ＢＤ規格の定義による。）の比を保ったままパワーを変えてゆき、その他のパワーは固定とした。その測定結果を図１２に示す。
【０１３０】
次に、ＴｉＳｉ膜２に窒素ガスを混入させて光記録媒体１０を作製した。ＴｉＳｉ膜２の成膜工程において、Ａｒプロセスガス３０ｓｃｃｍに対して３ｓｃｃｍの窒素ガスを混合して成膜を行った。これ以外のことは、上述の実施例２と同様にした。そして、作製された光記録媒体１０のパワーマージンを測定した。なお、パワーマージンの測定は、上述の光記録媒体１０と同様にして測定を行った。その測定結果を図１３に示す。
【０１３１】
図１２および図１３から以下のことが分かる。すなわち、リミットイコライザーを通したジッター値として８．５％以下となるパワーの範囲を最適パワーで割った値をパワーマージンと定義すると、図１２の場合は２５％であったのに対して、ＴｉＳｉ中に窒素を含めたものは３１％にまで広がっている。
【０１３２】
しかし、窒素ガスを３ｓｃｃｍを流す際には、流量のコントロールは０．５ｓｃｃｍ単位であり、この程度の少ない流量では窒素量を安定して混入することは難しい。量産時にはターゲットの使用状況に応じて表面の状態が変化するため、窒素混入量をコントロールせざるをえなくなり、また、流量にてそれを安定におこなうことは困難である。
【０１３３】
そこで、本発明は、窒素をターゲット中に所望の濃度で含ませ、Ａｒのみをプロセスガスとして用いて成膜することにより、より安定して生産ができるようにするものである。
窒素の組成は、Ｘ線光電子分析装置（ESCA,ULVAC-PHI ESCA5400MC）により測定した。測定条件は、Ｘ線はＭｇＫα、出力は１４ｋＶ（４００Ｗ）、分析径は１．１ｍｍφ、真空度１．２×１０-5Ｐａ、光電子脱出角度４５度である。試料はグルーブの無い鏡面ポリカーボネート基板上にＴｉＳｉ（Ｎ）を３０ｎｍ成膜し、保護膜としてＡｇを５ｎｍ程度成膜した。測定時はイオンエッチングにて表面を１５ｎｍ程度けずり、ＴｉＳｉ表面を露出させてから測定を行った。定量分析は、Ｔｉ，Ｓｉ，Ｏ，Ｎを合計したものを１００％とし、窒素の組成を原子比で示す。その結果、上記Ａｒ３０ｓｃｃｍに対して窒素を３ｓｃｃｍ流したものは、窒素組成が７原子％となった。
【０１３４】
また、Ｘ線光電子分析装置（ESCA,ULVAC-PHI ESCA5400MC）を用いると窒素がＴｉもしくはＳｉのどちらに結合しているかも明らかになる。そこで、ＴｉおよびＳｉのスペクトルのずれを観測したところ、Ｔｉにピークのシフトが観測された一方で、Ｓｉはほとんど変化していなかったため、窒素のうち殆どはＴｉに結合していることが判明した。
【０１３５】
そこで、以下に、このような組成がＡｒスパッタのみで成膜できる焼成ターゲットについて説明する。焼成ターゲットの作製に用いる材料は、Ｔｉ粉末、Ｓｉ粉末、そしてＴｉ窒化物（ＴｉＮ）粉末である。なお、Ｔｉが飽和な窒化物となった場合には、ＴｉＮの組成を有する。
【０１３６】
まず、Ｔｉ非飽和窒化物として、Ｔｉ68Ｓｉ25Ｎ7を形成する工程を説明する。原材料として、Ｔｉ粉末、Ｓｉ粉末およびＴｉＮ粉末を各々所定量秤量し、乾式混合を行なった後に、得られた混合粉末をカーボン製の型に投入しホットプレス装置によって加圧焼成を行なって焼成体を得た。この加圧焼成は、圧力２９．４ＭＰａ、焼成温度１０７３Ｋから１２２３Ｋの間の一定温度、所定時間、真空雰囲気の条件にて行った。そして、この焼成体に対して機械加工を施し、直径２００ｍｍ、厚さ６ｍｍのターゲットを得た。
【０１３７】
他の実施例と同様、スパッタリングに使用されるターゲットの密度として、スパッタリングレートなどを安定に保つためには、相対密度としておおよそ８０％以上が望ましい。
【０１３８】
（１−５）金属膜に対する窒素の混入量の検討
実施例６
次に、実施例６として、窒素混入量依存性について、窒素ガス流量を０ｓｃｃｍから９ｓｃｃｍまで変えて光記録媒体１０を作製し、記録再生を行って各種評価を行った場合について説明する。図１４に、窒素ガス流量、最適記録パワー、そのパワーにおけるジッター値が得られるパワーマージン(peak to peak)、およびＴｉ合金膜中の窒素組成を示す。なお、記録再生条件は、記録を１倍速（４．９２ｍ／ｓ）とした以外は実施例５と同様である。
【０１３９】
以下、実施例６において作製した光記録媒体１０について具体的に説明する。
図１４に示すように、作製する光記録媒体１０毎にＴｉ合金膜の成膜工程における窒素ガス流量を変える以外のことは上述の実施例５とすべて同様にして、Ｔｉ合金膜の窒素組成が互いに異なる複数の光記録媒体１０を得た。
【０１４０】
図１４の記録特性から以下のことが分かる。すなわち、窒素ガス流量を３ｓｃｃｍにして、窒素組成を７原子％含めることにより、窒素を流さない場合に比べるとパワーマージンが２０％から２４％へ、大幅に向上していることが分かる。この際、ボトムジッターは共に５．５％程度でほぼ同じレベルである。記録感度は０．１ｍＷ悪化しているが、この程度の記録感度の悪化は問題ないレベルである。
【０１４１】
さらに、窒素ガス流量を増やして、窒素ガス流量を６ｓｃｃｍとし、窒素組成を１５原子％とすると、パワーマージンは２２％となり、窒素ガス流量３ｓｃｃｍの場合に比して若干狭まるが、窒素ガス流量０ｓｃｃｍの場合のパワーマージン２０％よりは改善されている。一方、ボトムジッターは若干悪化し、記録感度は更に悪化している。
【０１４２】
窒素流量を９ｓｃｃｍ、窒素組成を２３原子％にすると、ジッターは８％以上となるため、Ｔｉ合金膜であるＴｉＳｉ膜２に窒素を混入させる場合には、窒素組成でおよそ２０原子％以下までが好ましい範囲である。
【０１４３】
実施例５と同様にして窒素組成を１原子％≦ｘ≦２０原子％の範囲で含むターゲットを同様に作成することで、図１４に示したのと同様の特性を示す光記録媒体１０を、窒素を含むターゲットにより実現でき、いずれの媒体でも成膜条件を安定させることができる。
ここでは、Ｔｉと添加物ＳｉとからなるＴｉＳｉ膜に窒素を混入する場合について説明したが、Ｓｉ以外の他の添加物を含有するＴｉＳｎ膜などに窒素を混入するようにしてもよい。この場合にも、ＴｉＳｉ膜に窒素を混入する場合とほぼ同様の効果を得ることができる。また、Ｔｉ膜に窒素を添加した場合にも、ほぼ同様の効果を得ることができる。
【０１４４】
次に、第２の実施形態に対応する実施例７〜８について以下の順序で説明する。
（２）青色レーザによるＢＣＡの形成方法の検討
次に、青色レーザによるＢＣＡの形成方法について検討を行った。以下に、この検討内容について説明する。
【０１４５】
実施例７
この実施例７の光記録媒体１０は、ＴｉＳｉ膜２、ＧｅＯ膜３、ＺｎＳ−ＳｉＯ2膜４ａ、ＳｉＮ膜４ｂ、光透過層５を基板１上に順次積層した構成を有する。
【０１４６】
以下、実施例７の光記録媒体１０の製造方法について説明する。まず、射出成形法により、一主面にイングルーブ１１Ｇおよびオングルーブ１１Ｌが設けられた基板１を成形した。樹脂材料としては、ポリカーボネート樹脂を用いた。また、トラックピッチを０．３２μｍとし、イングルーブ１１Ｇの深さを２１ｎｍとし、オングルーブ１１Ｌをウォブル（蛇行）させてアドレス情報を付加した。
【０１４７】
次に、真空チャンバ内を真空引きした後、真空チャンバ内にＡｒガスを導入しながら、ＴｉＳｉターゲットをスパッタリングして、膜厚２７ｎｍのＴｉＳｉ膜２を基板１上に成膜した。このＴｉＳｉ膜２におけるＳｉの組成比を２７原子％とした。
この成膜工程における成膜条件を以下に示す。
真空到達度：５．０×１０-5Ｐａ
雰囲気：０．２Ｐａ
投入電力：３ｋＷ
Ａｒガス流量：３０ｓｃｃｍ
【０１４８】
次に、真空チャンバ内を真空引きした後、真空チャンバ内にＡｒガスを導入しながら、Ｇｅ酸化物ターゲットをスパッタリングして、膜厚２６ｎｍのＧｅＯ膜３をＴｉＳｉ膜２上に成膜した。なお、Ｇｅ酸化物ターゲットの酸素組成は、ＧｅＯ膜３の吸収係数ｋが０．４０となるように調整した。
この成膜工程における成膜条件を以下に示す。
真空到達度：５．０×１０-5Ｐａ
雰囲気：０．２Ｐａ
投入電力：２ｋＷ
Ａｒガス流量：３０ｓｃｃｍ
【０１４９】
次に、真空チャンバ内を真空引きした後、真空チャンバ内にＡｒガスを導入しながら、ＺｎＳ−ＳｉＯ2ターゲットをスパッタリングして、膜厚４５ｎｍのＺｎＳ−ＳｉＯ２膜４ａをＧｅＯ膜３上に成膜した。
この成膜工程における成膜条件を以下に示す。
真空到達度：５．０×１０-5Ｐａ
雰囲気：０．１Ｐａ
投入電力：１ｋＷ
Ａｒガス流量：６ｓｃｃｍ
【０１５０】
次に、真空チャンバ内を真空引きした後、真空チャンバ内にＡｒガスおよびＮ2ガスを導入しながら、Ｓｉターゲットをスパッタリングして、膜厚７ｎｍのＳｉＮ膜４ｂを基板１上に成膜した。
この成膜工程における成膜条件を以下に示す。
真空到達度：５．０×１０-5Ｐａ
雰囲気：０．３Ｐａ
投入電力：４ｋＷ
Ａｒガス流量：５０ｓｃｃｍ
Ｎ2ガス流量：３７ｓｃｃｍ
【０１５１】
次に、円環形状のポリカーボネートシートを、このシート一主面に予め塗布された感圧性粘着材（ＰＳＡ）により基板１上に貼り合わせて、厚さ０．１ｍｍの光透過層５を形成した。
【０１５２】
次に、波長４０５ｎｍのレーザ光をパルス状に変調して、光透過層５の側からＢＣＡに照射した。これにより、ＢＣＡにバーコード状の記録マークが形成された光記録媒体１０を得た。なお、ビーム幅を約５μｍ、線速度を１０ｍ／ｓ、レーザ照射パワーを１６０ｍＷ、１回転あたりのビーム送り量を２μｍとした。
【０１５３】
実施例８
次に、波長８００ｎｍ帯のレーザ光を照射して記録マークを形成する以外のことは上述の実施例７とすべて同様にして、ＢＣＡにバーコードが形成された光記録媒体１０を得た。
【０１５４】
次に、上述のようにして得られた実施例７〜８のＢＣＡに記録された信号を再生し、この再生信号を評価した。
【０１５５】
図１５（ａ）は、ＢＣＡに形成される記録マークのイメージを示す。図１５（ｂ）は、実施例７の再生信号の波形を示す。図１５（ｃ）は、実施例８の再生信号の波形を示す。なお、図１５（ｂ）および図１５（ｃ）では、実施例７および実施例８の比較を容易にするため微少なノイズの図示は省略している。
【０１５６】
図１５（ｂ）および図１５（ｃ）を比較すると以下のことが分かる。すなわち、実施例８では、記録マークの境界部分に急激に反射率が高くなる領域があるのに対して、実施例７では、記録マークの境界部分に急激に反射率が高くなる領域がないことが分かる。これは、８００ｎｍ帯のレーザでは波長依存性があるため、４００ｎｍ帯での記録再生に最適化された光記録媒体１０ではＢＣＡに対する情報信号の記録が困難であるためと考えられる。また、図示は省略するが、実施例７では、ＢＣＡ部の全体の信号レベルも比較的均一であった。
【０１５７】
次に、第３の実施形態に対応する実施例９〜２８について以下の順序で説明する。
（３）赤外レーザによるＢＣＡの形成方法の検討
次に、赤外レーザによるＢＣＡの形成方法について検討を行った。以下に、この検討内容について説明する。
【０１５８】
実施例９〜１３
まず、上述の実施例７とすべて同様にして複数の光記録媒体１０を得た。次に、上述のようにして得られた複数の光記録媒体１０ごとに光学ヘッドスキャンスピードを３ｍ／ｓ〜１１ｍ／ｓの範囲で変えて、出力パワー４０００ｍＷ、波長８１０ｎｍのレーザ光をパルス状に変調して、基板１側からＢＣＡに照射した。これにより、ＴｉＳｉ膜２、ＧｅＯ膜３、ＺｎＳ−ＳｉＯ2膜４ａおよびＳｉＮ膜４ｂを溶融除去され、ＢＣＡにバーコード状の記録マークが形成された複数の光記録媒体１０を得た。なお、ビーム幅を約３０μｍ、レーザ照射パワーを４０００ｍＷ、１回転あたりのビーム送り量を２μｍとした。
【０１５９】
実施例１４〜１８
出力パワー３４００ｍＷにする以外のことは上述の実施例９〜１３とすべて同様にして、ＢＣＡにバーコード状の記録マークが形成された複数の光記録媒体１０を得た。
【０１６０】
実施例１９〜２３
光透過層側からＢＣＡにレーザ光を照射する以外のことは実施例９〜１３とすべて同様にして、ＢＣＡにバーコード状の記録マークが形成された複数の光記録媒体１０を得た。
【０１６１】
実施例２４〜２８
光透過層側からＢＣＡにレーザ光を照射する以外のことは実施例１４〜１８とすべて同様にして、ＢＣＡにバーコード状の記録マークが形成された複数の光記録媒体１０を得た。
【０１６２】
上述の実施例９〜２８では、実用上の観点から、波長８１０ｎｍの赤外レーザを用いたが、レーザ光の波長は適宜選択できるものであり、赤外レーザは、波長８１０ｎｍのものに限定されるものではなく、例えば７２０ｎｍ〜２５００ｎｍの波長範囲のものを用いることができる。上述の実施例９〜２８において波長８１０ｎｍのレーザ光を用いたのは具体的には以下の理由による。すなわち、基板１上の積層膜を破壊除去することが可能なレーザパワーを、波長８１０ｎｍ以外のレーザでは得ることが困難である。すなわち、６５０ｎｍ帯や４００ｎｍ帯のレーザではレーザパワーが不足であるため、積層膜を破壊除去することは困難である。
【０１６３】
次に、上述のようにして得られた実施例９〜２８のＢＣＡに記録された信号を再生し、この再生信号を評価した。
【０１６４】
図１６は、実施例９〜１３のＢＣＡの再生信号の評価結果を示す。図１７は、実施例１４〜１８のＢＣＡの再生信号の評価結果を示す。図１８は、実施例１９〜２３のＢＣＡの再生信号の評価結果を示す。図１９は、実施例２４〜２８のＢＣＡの再生信号の評価結果を示す。図２０は、実施例９〜１３の再生信号を示す。図２１は、実施例１４〜１８の再生信号を示す。図２２は、実施例１９〜２３の再生信号を示す。図２３は、実施例２４〜２８の再生信号を示す。なお、図１６〜図１９の評価結果の欄において、「○」は、ＢＣＡ部の信号レベルが比較的均一で、且つ、記録マークの境界部分に急激に反射率が高くなる領域がない再生信号を示し、「×」は、ＢＣＡ部の信号レベルが均一でなく、且つ、記録マークの境界部分に急激に反射率が高くなる領域がある再生信号を示している。また、図２０〜図２３のＡ〜Ｅの各図において、下部に示された信号波形は、上部に示された信号波形の一部を拡大したものである。Ａ〜Ｅはそれぞれ、スキャンスピード３ｍ／ｓ〜１１ｍ／ｓにてＢＣＡを形成した光記録媒体１０の信号波形に対応する。
【０１６５】
図１６〜図１９から、光透過層５側からレーザ光を照射した場合には、光学ヘッドスキャンスピードおよびレーザパワーに関わらず、ＢＣＡ部の信号レベルが均一でなく、且つ、記録マークの境界部分に急激に反射率が高くなる領域があることが分かる。
これに対して、基板１側からレーザ光を照射した場合には、光学ヘッドスキャンスピードを５ｍ／ｓ〜９ｍ／ｓ、レーザパワーを３４００ｍＷ〜４０００ｍＷの範囲とすることにより、ＢＣＡ部の信号レベルが比較的均一で、且つ、記録マークの境界部分に急激に反射率が高くなる領域がないことが分かる。
【０１６６】
以上、この発明の第１〜第３の実施形態について具体的に説明したが、この発明は、上述の一実施形態に限定されるものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。
【０１６７】
例えば、上述の第１〜第３の実施形態において挙げた数値はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる数値を用いてもよい。
【０１６８】
また、上述の第１〜第３の実施形態では、誘電体膜が第１の誘電体膜４ａおよび第２の誘電体膜４ｂからなる積層構造を有する場合を例として説明したが、誘電体膜を単層構造としてもよい。この場合、誘電体膜を構成する材料としては、例えばＳｉＮ，ＺｎＳ−ＳｉＯ2，ＡｌＮ，Ａｌ2Ｏ3，ＳｉＯ2，ＴｉＯ2、ＳｉＣなどを用いることができ、記録特性の点からすると、ＺｎＳ−ＳｉＯ2を用いることが好ましい。誘電体膜４の厚さは、例えば１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲である。
【０１６９】
また、上述の第１〜第３の実施形態では、金属膜３をＴｉから構成する場合について説明したが、Ｔｉ以外の光触媒効果を発現する金属材料などから金属膜３を構成しても、上述の第１〜第３の実施形態と同様に情報信号を記録可能な光記録媒体が得られると考えられる。
【図面の簡単な説明】
【０１７０】
【図１】この発明の一実施形態による光記録媒体の一構成例を示す概略断面図である。
【図２】この発明の第２の実施形態による光記録媒体を示す平面図である。
【図３】この発明の第２の実施形態による光記録媒体に対する固有情報の記録に用いられる記録装置の構成を示すブロック図である。
【図４】図４（ａ）は、ＢＣＡに形成された記録マークの一例を示す略線図、図４（ｂ）は、ＢＣＡに記録された固有情報を再生したときの再生信号の波形の一例を示す略線図である。
【図５】実施例１による光記録媒体の記録膜構成を示す模式的断面図である。
【図６】Ｇｅ酸化物膜の酸素組成を変えたときに、８Ｔマークの単一搬送波を記録、再生したときのキャリア対ノイズ比を示すグラフである。
【図７】実施例２による光記録媒体の記録膜構成を示す模式的断面図である。
【図８】ＢＤの２５ＧＢ密度相当でランダムデータの記録を行った際の、リーディングジッターおよびトレーリングジッターを示すグラフである。
【図９】比較例２〜４のＧｅＯ膜の成膜工程における酸素流量と、ＧｅＯ膜の吸収係数との関係を示すグラフである。
【図１０】ターゲットの使用量（ＧｅＯ成膜量）と吸収係数との関係を示すグラフである。
【図１１】焼成温度と相対密度の関係を示すグラフである。
【図１２】記録パワーＰｗと、ジッター、変調度およびアシメトリとの関係を示すグラフである。
【図１３】記録パワーＰｗと、ジッター、変調度およびアシメトリとの関係を示すグラフである。
【図１４】金属膜の成膜工程における窒素流量と、光記録媒体の各種特性との関係を示す表である。
【図１５】図１５（ａ）は、実施例５の再生信号の波形を示す略線図、図１５（ｂ）は、実施例６の再生信号の波形を示す略線図である。
【図１６】実施例９〜１３の再生信号の評価結果を示す表である。
【図１７】実施例１４〜１８の再生信号の評価結果を示す表である。
【図１８】実施例１９〜２３の再生信号の評価結果を示す表である。
【図１９】実施例２４〜２８の再生信号の評価結果を示す表である。
【図２０】実施例９〜１３のＢＣＡの再生信号を示す略線図である。
【図２１】実施例１４〜１８のＢＣＡの再生信号を示す略線図である。
【図２２】実施例１９〜２３のＢＣＡの再生信号を示す略線図である。
【図２３】実施例２４〜２８のＢＣＡの再生信号を示す略線図である。
【符号の説明】
【０１７１】
１    基板
２    金属膜
３    酸化物膜
４    誘電体膜
５    光透過層
６    無機記録膜
１０    光記録媒体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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