(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リードフレームが下側プレート及び上側プレートに挟持されて構成されるフレームパケットにおける該上側プレートを取り除き、前記リードフレームのみを相手機械に供給するフレーム供給装置において、
前記フレームパケットが載置される載置テーブルと、
該載置テーブルに設けられて前記上側プレートを上方に突き上げるプッシャと、
該載置テーブルの上方に昇降自在に配設され、下降して前記上側プレートを挟持し且つ上昇して該上側プレートを取り除く挟持機構と、を備え、
前記挟持機構には、本体側と共に下降して前記リードフレームを下方に付勢することで該リードフレームと前記上側プレートとを離反させる下方突起が設けられると共に、
前記載置テーブルには、前記下方突起によって下方に付勢された前記リードフレームの上面且つ端縁近傍に突出可能な可動押さえ機構が設けられ、
前記挟持機構が前記上側プレートを挟持し上昇した後にも、該可動押さえ機構によって前記リードフレームの反り返りが抑止されるようなっている
ことを特徴とするフレーム供給装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記可動押さえ機構が、
前記載置テーブルに水平方向に揺動自在に設けられ、前記リードフレームの上面且つ端縁に対して外部から進退自在とされた可動アームと、該可動アームを揺動させる駆動装置と、を備える
ことを特徴とするフレーム供給装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記フレームパケットにおける前記上側プレートには、前記挟持機構の前記下方突起が貫通可能な開口が形成され、該開口を介して該下方突起が前記リードフレームを下方に付勢する
ことを特徴とするフレーム供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リードフレームが下側プレート及び上側プレートに挟持されて構成されるフレームパケットにおける上側プレートを取り除いて、リードフレームのみを樹脂封止装置等の相手機械に供給するフレーム供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、樹脂封止装置にリードフレームを供給するフレーム供給装置は、複数のリードフレームを、その間に中間紙を挿入することでマガジンに積層状態で収容し、そこから順にリードフレームだけを取り出して供給するものである。なお、ここでいうリードフレームとは、鉄、銅、ステンレスでできたリードフレーム以外にも樹脂でできたサブストレートの概念を含んでいる。
【０００３】
図１３を参照して、この種のフレーム供給装置２８について説明する。
【０００４】
このフレーム供給装置２８は、マガジン５４内に積層状態で収容されたリードフレーム５５を段階的に押し上げる昇降機５７と、この昇降機５７によって押し上げられた最上段のリードフレーム５５を取り出すピックアップ機構６４と、このピックアップ機構６４によって搬送されたリードフレーム５５を搬送し、樹脂封止装置（図示省略）に直接供給する搬送コンベア７０と、を備える。
【０００５】
昇降機５７は、一対の鉛直方向のガイドシャフト６０と、このガイドシャフト６０の間に同方向に配設されるボールネジ軸６１と、ガイドシャフト６０に案内されると共にボールネジ軸６１と螺合して昇降自在とされる突き上げ板６２と、を備えて構成され、この突き上げ板６２が、マガジン５４内の最下段のリードフレーム５５を下から支持するようになっている。
【０００６】
又ピックアップ機構５９は、リードフレーム５５を吸着するための吸着パッド６３ａが複数配設された吸着板６３と、この吸着板６３を水平移動（横移動）自在に支持する水平駆動ユニット６４と、この水平移動ユニット６４を介して吸着板６３を上下動（昇降）自在に支持する上下駆動ユニット６５と、を備える。
【０００７】
次にフレーム供給装置２８の作用について説明する。
【０００８】
先ず、昇降機５７の駆動によってボールネジ軸６１が回転し、突き上げ板６２がリードフレーム５５を段階的に押し上げる。最上段のリードフレーム５５がマガジン５４の上端に達すると、ピックアップ機構５９の駆動によって吸着板６３がマガジン５４の上方に移動し、更に下降して最上段のリードフレーム５５を吸着・保持する。この吸着板６３は、一旦上昇して横方向に移動し、搬送コンベア７０上にリードフレーム５５を載置する。搬送コンベア７０は、リードフレーム５５を樹脂封止装置（フレーム供給装置２８にとっては相手機械）に搬送・供給する。以降は、この流れを繰り返すようにして、１枚ずつリードフレームを樹脂封止装置に順次供給する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
近年、リードフレームにおけるピン数が増大してリード自体が細くなっており、リードフレームの更なる薄肉化が進んでいる。このため、上記の従来例のように、リードフレーム５５を裸のままでマガジン５４に収容し、吸着板６３によって直接取り出すと、リードが損傷したり、リードフレームに折れ等が生じる可能性がある。又、リードフレームがフィルム状に構成されるので、その取り扱いが大変困難となってきている。
【００１０】
そこで、図１４に示されるように、リードフレーム５５を下側プレート８０及び上側プレート８２によって挟持して、全体として剛性の高いフレームパケット８４として取り扱うという案が浮上してきている。このようにすれば、マガジン内にフレームパケット８４を積層した場合でも、リードフレーム５５自体が互いに接触することが回避できる。
【００１１】
又、マガジンから取り出す際に吸着板等の吸着機構によってリードフレームを取り扱わなくても、下側プレート８０又は上側プレート８２を把持したり、これらを押出機構等によって押出したりして、マガジンからフレームパケット８４を取り出したりする事が出来るようになる。
【００１２】
そのような利点を有する一方で、樹脂封止装置等の相手機械に供給しなければならないのは、リードフレーム５５だけである。従って、相手機械にリードフレームを供給する前の工程で、下側プレート８０及び上側プレート８２を除去する作業が必要不可欠となる。しかしながら、現時点において本発明者の知る限りでは、下側プレート８０及び上側プレート８２を除去し、確実に樹脂封止装置に供給することが出来るフレーム供給装置は存在していない。というのも、（薄肉化された）リードフレーム５５とプレート８０、８２とが静電気で吸着したり、リードフレーム５５自体が柔らかくて変形しやすいといった障害要因が複雑に絡み合っており、容易にプレートを除去し、且つ確実にリードフレーム５５のみを供給することが出来ないからである。又、リードフレーム５５から上側プレート８２を除去すると、リードフレーム５５が薄肉のため反り上り状態になり、その状態のままで吸着板によって取り出すと、リードフレーム５５が損傷する可能性がある。
【００１３】
本発明者は上記問題点に鑑みてなされたものであり、プレートを確実に除去してリードフレームのみを相手機械に確実に供給可能として、フレームパケットとしてのリードフレームの取り扱いを実現することを目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、リードフレームが下側プレート及び上側プレートに挟持されて構成されるフレームパケットにおける該上側プレートを取り除き、前記リードフレームのみを相手機械に供給するフレーム供給装置において、前記フレームパケットが載置される載置テーブルと、該載置テーブルに設けられて前記上側プレートを上方に突き上げるプッシャと、該載置テーブルの上方に昇降自在に配設され、下降して前記上側プレートを挟持し且つ上昇して該上側プレートを取り除く挟持機構と、を備え、前記挟持機構には、本体側と共に下降して前記リードフレームを下方に付勢することで該リードフレームと前記上側プレートとを離反させる下方突起が設けられると共に、前記載置テーブルには、前記下方突起によって下方に付勢された前記リードフレームの上面且つ端縁近傍に突出可能な可動押さえ機構が設けられ、前記挟持機構が前記上側プレートを挟持し上昇した後にも、該可動押さえ機構によって前記リードフレームの反り返りが抑止されるようしたことにより上記目的を達成するものである。
【００１５】
このフレーム供給装置によれば、リードフレームと密着している上側プレートが一旦プッシャによって持ち上げられ、その間に挟持機構によって上側プレートのみを挟持する。その際、静電気等によってリードフレームも上側プレートに追従して持ち上げられてしまい、上側プレートと同時に挟持してしまう可能性を有するが、下降してくる（或いは既に下降している）挟持機構に設けられる下方突起によりリードフレームが押し下げられ、上側プレートと離反されるようになっている。つまり、下降するという挟持動作を利用してリードフレームを離反させるという極めて合理的な構成である。
【００１６】
挟持機構（本体側）と一体となって下方突起が上昇すると、リードフレームに対する下方の付勢力が開放されてしまうが、下方突起によってリードフレームが下方に付勢されている間に、載置テーブル側の可動押さえ機構によってリードフレームの端縁を保持するので、付勢力開放後であってもリードフレームの姿勢が安定する。
【００１７】
特に、薄肉化されてきているリードフレームは端縁に「反り上がり」が発生しやすく、一旦反り上がって湾曲すると非常に姿勢が不安定となる。この場合、例えば吸着パッドによってリードフレームを吸着・搬送する場合に、確実に吸着できなかったり吸着姿勢が乱れたりする。
【００１８】
しかし本フレーム供給装置では、少なくとも上記可動押さえ機構によってリードフレームが押さえられている間は上記「反り上がり」の問題が生じることが防止され、この間を利用して確実に相手機械（例えば樹脂封止装置）にリードフレームを供給することが出来る。これは、挟持機構の下方突起と可動押さえ機構を、極めて合理的な思想の下で協働させた結果であるといえる。
【００１９】
特に、上記可動押さえ機構は、前記載置テーブルに水平方向に揺動自在に設けられ、前記リードフレームの上面且つ端縁に対して外部から進退自在とされた可動アームと、該可動アームを揺動させる駆動装置と、を備えるようにすることが好ましい。
【００２０】
このようにすれば、単純な構成で確実にリードフレームの端縁を押さえることが出来るようになる。
【００２１】
又、上記の前記フレームパケットにおける上側プレートには前記挟持機構の前記下方突起が貫通可能な開口が形成され、該開口を介して該下方突起が前記リードフレームを下方に付勢するようにすることが好ましい。
【００２２】
このようにすれば、上側プレートはリードフレームの周囲等を確実に保護出来ると共に、下側突起を利用して自身（上側プレート）とリードフレームとを容易に離反させることが出来るようになる。又、この開口を適当な位置に形成するようにすれば、上側プレートとリードフレームとの接触面積を減少させることが出来るので、リードフレームとの不必要な接触状態を低減することにつながる。なお、この開口の数、形状、配置等については何等限定されるものではない。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照しながら本発明の実施の形態の例について詳細に説明する。
【００２４】
図１に、本発明の実施形態に係るフレーム供給装置１００が組み込まれたフレーム搬送・供給システム９０の全体構成を示す。
【００２５】
フレーム搬送・供給システム９０は、フレームパケット１０２が積層状に収容されたマガジン１０４から、押出装置１０６（全体の図示省略）によって該フレームパケット１０２を押出して取り出すフレーム取り出し装置１０８と、この取り出されたフレームパケット１０２が載置され、１８０度水平方向に回転してこのフレームパケット１０２の先端・後端を入れ替えるターンテーブル機構１１０と、このターンテーブル機構１１０が備える引き出しアーム１１２によって前方に引き出されたフレームパケット１０２を取り込み、リードフレームのみを樹脂封止装置（図示省略）に供給するフレーム供給装置１００と、を備える。なお、上記のフレーム取り出し機構１０８及びターンテーブル機構１１０については、本発明と直接関係がないためここでの詳細な説明は省略する。
【００２６】
フレームパケット１０２は、図２に拡大して示されるように、上側プレート１１４及び下側プレート１１６と、これらのプレート１１４、１１６によって挟持されるリードフレーム１１８と、を備える。リードフレーム１１８における長手方向Ｘに延在する両端縁１１８ａ近傍には、係合孔１１８ｂが、その端縁１１８ａに沿って複数形されており、下側プレート１１６に形成されるピン１１６ｂと係合可能となっている。これは、リードフレーム１１８と下側プレート１１６とが互いに水平方向にずれないようにするためである。
【００２７】
下側プレート１１６は、リードフレーム１１８よりも領域Ｓ分だけ長手方向Ｘに長く構成されており、幅方向Ｙに延在する両端縁１１６ａ近傍には、プッシャ用開口１１６ｃが形成されている（プッシャ等については後で詳細に説明する）。なお、下側プレート１１６の中央領域には複数の窓１１６ｄが形成されているが、これは、リードフレーム１１８との接触面積を低減させることによりリードフレーム１１８の損傷を防止するためである。
【００２８】
上側プレート１１４は下側プレート１１６と略同等の大きさであり、格子状に部材が残存するようにして複数の開口１１４ａが形成されている。これは、リードフレーム１１８との接触面積を低減させる機能を有するが、その他に、挟持機構における下側突起が貫通するために利用される（詳細は後述する）。又、リードフレーム１１８と全く同様に、上側プレート１１４における長手方向Ｘに延在する両端縁１１４ｂ近傍には、係合孔１１４ｃが複数形されており、下側プレート１１６のピン１１６ｂと係合するようになっている。なお、上側及び下側プレート１１４、１１６は金属製の部材で構成されているが、勿論プラスチック等の樹脂やその他の材料によって構成しても構わない。
【００２９】
図１に戻って、フレーム供給装置１００は、ターンテーブル機構１１０から引き出されたフレームパケット１０２が載置される載置テーブル１２０と、この載置テーブル１２０の下方に設けられ、上記のフレームパケット１０２の上側プレート１１４のみを上方に突き上げるプッシャ機構１３４と、載置テーブル１２０の上方に昇降自在に配設され、下降して上側プレート１１４を挟持し、更に挟持状態で上昇して上側プレート１１４を取り除く挟持機構１２４と、を備える。
【００３０】
この挟持機構１２４は、特に図示しないＸ−Ｙロボットによって水平移動自在に保持されており、取り除いた上側プレート１１４を上側プレートストッカ１２６に投入・蓄積する。載置テーブル１２０の上方には吸着搬送装置１３０が移動自在に設けられており、リードフレーム１１８のみを吸着・取り出して樹脂封止装置に供給する。なお、挟持機構１２４は下側プレート１１６も挟持可能となっており、リードフレーム１１８のみが取り出されて載置テーブル１２０に残された下側プレート１１６を挟持・搬出して下側プレートストッカ１２８に投入・蓄積するようになっている。
【００３１】
次に、挟持機構１２４及び載置テーブル１２０等の詳細な構成について説明する。
【００３２】
図３の上面図及び図４の断面図に示されるように、載置テーブル１２０は、（２つの）フレームパケット１０２が載置されるテーブル１３２と、このテーブル１３２の下方に配置されるプッシャ機構１３４と、テーブル１０２に設置される可動押さえ機構１３６と、を備える。
【００３３】
テーブル１３２には、矢印Ａ方向に搬送されるフレームパケット１０２が挿入・位置決めされる２つの凹部１３８が形成される。この凹部１３８は、フレームパケット１０２における下側プレート１１６の輪郭と同等の大きさに形成される第１段部１３８ａと、この第１段部１３８ａの下側且つ第１段部１３８ａよりも小さく形成される第２段部１３８ｂと、を備えており、フレームパケット１０２を第１段部１３８ａに位置決めした状態で、第２段部１３８ｂにより下側に空間が形成されるようになっている。又テーブル１３２には、この第２段部１３８ｂと連続するように切欠凹部１３８ｃが形成されており、（後述する）挟持機構１２０の挟持対がこの切欠凹部１３８ｃを介して下側プレート１１６の下面に挿入可能になっている
テーブル１３２の下方に配設されるプッシャ機構１３４は、上方に凸となるプッシャ針１４０と、プッシャ針１４０の下方を支持してプッシャ針１４０を鉛直方向に往復運動させるシリンダ１４２と、を備える。プッシャ針１４０が下方状態（引き状態）の場合には、プッシャ針１４０の先端１４０ａはテーブル１３２から離隔し、上方状態（突出状態）の場合には、先端１４０ａがテーブル１３２の開口１３８ｄを貫通してテーブル１３２の上方に突出する。
【００３４】
可動押さえ機構１３６は、テーブル１３２の上面に水平方向に揺動自在に設けられる可動アーム１４４と、この可動アーム１４４を揺動させる回転アクチュエータ１４６と、を備える。従って、可動アーム１４４は、リードフレーム１１８の上面における両端縁１１８ａ近傍に対して、外部から進退自在となっている。
【００３５】
次に、挟持機構１２４について詳細に説明する。
【００３６】
図５〜図８に示されるように、挟持機構１２４は、水平方向に移動自在且つ昇降自在のベース１４８と、このベース１４８の下方に設けられ、フレームパケット１０２の上側プレート１１４を挟持可能な第１挟持対１５０と、ベース１４８の下方に同様に設けられ、下側プレート１１６を挟持可能な第２挟持対１５２と、ベース１４８の下方に設けられ、このベース１４８が下降した際に載置テーブル１２０の凹部１３８（図５の２点鎖線参照）に当接して鉛直方向に位置決めするストッパ１５４と、ベース１４８の下方に設けられ、このベース１４８と共に下降してリードフレーム１１８を下方に付勢し、リードフレーム１１８と上側プレート１１４とを離反させる下方突起１５６と、を備える。
【００３７】
第１及び第２挟持対１５０、１５２は、シリンダ等の駆動によって開閉自在とされ（点線参照）、上側及び下側プレート１１４、１１６を挟持・開放可能となっている。なお、第１挟持対１５０よりも、第２挟持対１５２の方が下方に位置している。
【００３８】
下方突起１５６は、図５に示されるように、１つのフレームパケット１０２に対して長手方向Ｘに等間隔で計６個配設されており、又、各下方突起１５６は、図７に示されるように下方側で幅方向Ｙに枝分かれして３つの突端１５６ａが形成されている。この各突端１５６ａは、図２で示した上側プレートの開口１１４ｃの一部（図２：領域Ｐ参照）を貫通することで、リードフレーム１１８だけを下方に付勢することが出来る。
【００３９】
次に、フレーム供給装置１００の作用について、挟持機構１２４と載置テーブル１２０の作用を中心に説明する。
【００４０】
図９に示されるように、載置テーブル１２０（におけるテーブル１３８）にフレームパケット１０２が載置されると、図１０に示されるように、挟持機構１２４が載置テーブル１２０の上方に移動して更に下降する。その際、第１挟持対１５０及び第２挟持対１５２が共に「開」状態とされており、フレームパケット１０２と衝突しないようになっている。
【００４１】
挟持機構１２４がストッパ１５４（図示省略）を利用して位置決めされた後、図１１に示されるように、プッシャ機構１３４におけるプッシャ針１４０が上昇し、下側プレート１１６のプッシャ用開口１１６ｃを貫通して上側プレート１１４のみを押し上げる。その際、リードフレーム１１８も静電気等によって上側プレート１１４に追従しようとするが、このリードフレーム１１８は下方突起１５６によって下方に付勢されているので（上側から支持されていると考えることも可能である）、上側プレート１１４から離反させられる。
【００４２】
リードフレーム１１８が下方突起１５６によって付勢されている間、つまり、挟持機構１２４が上昇してしまう前に、可動押さえ機構１３６の可動アーム１４４が回転し、リードフレーム１１８の上面且つ両端縁１１８ａ近傍に延在して該リードフレーム１１８を押さえる。従って、後に、上側プレート１１４を除去するために挟持機構１２４が上昇した際にも、可動押さえ機構１３６（可動アーム１４４）によってリードフレーム１１４の反り返り等が抑止されるようになっている。
【００４３】
その後特に図示しないが、吸着搬送装置１３０が載置テーブル１２０の上方に移動し、吸着パッド等によってリードフレーム１１８のみを取り出し、樹脂封止装置等の相手機械に搬出する。
【００４４】
リードフレーム１１８が搬出された後は、図１２に示されるように、挟持機構１２４が再び載置テーブル１２０の上方に移動して更に下降する。第２挟持対１５２は、テーブル１３２に形成される切欠凹部１３８ｃを介して下側プレート１１６の裏側（下面側）に挿入され、この上側プレート１１６を挟持して搬出する。
【００４５】
以上の工程が繰り返されることで、フレームパケット１０２におけるリードフレーム１１８のみが順次相手機械に供給される。
【００４６】
このフレーム供給装置１００によれば、上側プレート１１４がプッシャによって持ち上げられる際に、リードフレーム１１８が上側プレート１１４から離反されるようになっている。従って、静電気等によってリードフレームが上側プレートに吸着される場合であっても、確実に両者を分離することが出来る。
【００４７】
これは、挟持機構１２４の必須の動作である「下降動作」を合理的に利用して、下方突起１５６によってリードフレーム１１８を付勢する構成にしたからである。
【００４８】
更に、挟持機構（本体側）１２４と一体となって下方突起が上昇する前に、載置テーブル１２０側の可動押さえ機構１３６によって、リードフレーム１１８の端縁を抑えるようになっている。挟持機構１２４の搬出動作中でもリードフレーム１１８の姿勢が極めて安定するので、その結果、上記のように吸着搬送装置１３０等によって確実にリードフレーム１１８だけを搬出することが出来るようになる。特に、薄肉化されてきているリードフレーム１１８は端縁に「反り上がり」が発生しやすく、一旦反り上がって湾曲すると非常に姿勢が不安定となるが、その反り返りがテーブル１３２上において常に抑止される。これは、挟持機構１２４の下方突起１５６と可動押さえ機構１３６を、極めて合理的な思想の下で協働させた結果である。
【００４９】
又、上側プレート１１４に形成される開口１１４ａを利用して、下方突起１５６がリードフレーム１１８を下方に付勢する構造であるので、上側プレート１１４はリードフレーム１１８の周囲等を確実に保護出来ると共に、簡潔な構造でリードフレーム１１８を容易に離反させることが出来る。又、開口１１４ａによってリードフレーム１１８との接触面積が減少するので、リードフレーム１１８の損傷等が防止される。
【００５０】
なお、本実施形態におけるフレーム供給装置１００では、２個のフレームパケット１０２を一組として取り扱う場合に限って示したが、本発明はそれに限定されず、１個のフレームパケット１０２だけを取り扱っても、又は３以上のフレームパケットを同時に取り扱うようにしても構わない。又、可動押さえ機構１３６の構成は本実施形態に限定されず、リードフレーム１１８の端縁に外側から突出して押さえ込む構造であればどのようなものでも構わない。更に、可動押さえ機構１３６によって押さえる場所はリードフレーム１１８の反り返りの癖等を考慮して適宜設定すればよく、長手方向の端縁以外にも、幅方向に沿った端縁を押さえても構わない。
【００５１】
更に、プッシャ機構１３４の押し上げタイミングと、挟持機構１２４の下降タイミングとの関係は、本実施形態に限定されない。即ち、プッシャ機構１３４で上側プレート１１４を押し上げた「後」に、挟持機構１２４を下降させてもよく、又、「同時」に動作させても構わない。
【００５２】
又、ここでは１つの実施形態を示したが、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば今回示した形態以外の各種実施形態も存在する。なお、明細書全文に表れてくる部材の形容（機能・形状）はあくまで例示であって、これらの記載に限定されるものではない。
【００５３】
【発明の効果】
本発明によれば、フレームパケットとしてリードフレームを取り扱う際に、リードフレームだけを確実に取り出して供給することが出来るようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係るフレーム供給装置が適用されたフレーム搬送・供給システムを示す全体斜視図
【図２】同フレーム供給装置に利用されるフレームパケットの構成をしめす分解斜視図
【図３】同フレーム供給装置における載置テーブルを拡大して示す上面図
【図４】図３のIV−IV断面図
【図５】同フレーム供給装置における挟持機構を拡大して示す正面図
【図６】図５のVI−VI断面図
【図７】図５のVII−VII断面図
【図８】図５のVIII−VIII断面図
【図９】同フレーム供給装置におけるリードフレーム供給動作（ＮＯ．１）を示す拡大断面図
【図１０】同フレーム供給装置におけるリードフレーム供給動作（ＮＯ．２）を示す拡大断面図
【図１１】同フレーム供給装置におけるリードフレーム供給動作（ＮＯ．３）を示す拡大断面図
【図１２】同フレーム供給装置におけるリードフレーム供給動作（ＮＯ．４）を示す拡大断面図
【図１３】従来のリードフレームを供給する流れをしめす全体斜視図
【図１４】フレームパケット式のリードフレームを示す概念図
【符号の説明】
１００…フレーム供給装置
１０２…フレームパケット
１１４…上側プレート
１１６…下側プレート
１１８…リードフレーム
１１８ａ…端縁
１２０…載置テーブル
１２４…挟持機構
１３２…テーブル
１３４…プッシャ機構
１５６…下方突起
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0004425437.tif 000014
【図１４】
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