(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの使用地点に水溶液を分配するための水溶液分配システムであって、前記水溶液分配システムは、
前記少なくとも１つの使用地点に前記水溶液を圧送する加圧ガスで充填される少なくとも１つの圧力容器を有し前記少なくとも１つの使用地点に前記水溶液を分配する装置と、
前記加圧ガスが前記水溶液から水分を蒸発させることを少なくとも防止するべく前記加圧ガスを加湿するために前記装置に接続される加湿器と
を備え、
前記加湿器は、
脱イオン水の流れを加圧するポンプと、
前記脱イオン水を受け入れる脱イオン水インレット、前記加圧ガスを受け入れる加圧ガスインレット、前記装置に接続された加湿ガスアウトレット、加湿されるように前記加圧ガスが前記脱イオン水を泡立って通り相互作用するように前記加圧ガスインレットと前記加湿ガスアウトレットとの間に設けられた充填層、を有し、これによって、前記加圧ガスが加湿された後で過飽和にならない塔と
を備える
ことを特徴とする水溶液分配システム。
【請求項２】
請求項１に記載の水溶液分配システムにおいて、
前記加湿機は、さらに、前記脱イオン水の流れが前記充填層を通って下り循環されるように前記塔に接続された再循環ポンプを備える
ことを特徴とする水溶液分配システム。
【請求項３】
水溶液分配システムを用いて少なくとも１つの使用地点に水溶液を分配する水溶液分配方法であって、
前記水溶液分配システムは、加圧ガスで充填されて前記少なくとも１つの使用地点に前記水溶液を圧送することのできる少なくとも１つの圧力容器を有する装置と、前記加圧ガスを加湿する脱イオン水と充填層とを含む塔を備えて前記装置に接続される加湿器と、を備え、
前記方法は、
前記加圧ガスが加湿された後で過飽和にならない程度に、前記塔を通し当該加圧ガスを泡立たせることによって前記加圧ガスを加湿するステップと、
前記加圧ガスが前記水溶液から水分を蒸発させることを少なくとも防止するべく前記加圧ガスを加湿した後で前記少なくとも１つの圧力容器に充填するステップと、
前記加圧ガスで充填された前記圧力容器によって前記装置から前記少なくとも１つの使用地点へ前記水溶液を分配するステップと
を備えることを特徴とする水溶液分配方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、水溶液が、１またはそれ以上の使用地点に前記水溶液を圧送できるように加圧ガスが充填された圧力容器から分配される、分配システム及び方法に関する。特に、本願発明は、加圧ガスを加湿して、前記加圧ガスが、前記水溶液から水分（湿気）を吸収することを少なくとも防止できるようにした、そのようなシステム及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
水溶液からなる化学物質で構成された液体が、種々の装置から分配される。前記種々の装置は、圧力容器を備えており、これによって、使用末端地点に前記液体を圧送できるようになっている。前記圧力容器は、原動力を供給できる窒素のような加圧ガスで充填されており、これによって、意図する使用地点に前記化学物質を圧送できるようになっている。そのような装置の例は、米国特許第５，１４８，９４５号に開示されている。この米国特許においては、多数の圧力容器を使用して、分配すべき前記液体を連続的に送出できるようになっている。他のシステムでは、単一の圧力容器のみを用いて、前記分配を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
一般的に、乾いたきわめて高い純度の窒素を使用して、前記圧力容器を充填し、これにより、分配すべき液状化学品が汚染するのを防止している。しかしながら、乾いた窒素は、所定時間にわたって、前記液体から水分（湿気）を吸収し、前記水溶液の特性を変えてしまう。したがって、スラリーを分配すべきとき、そのように水分を吸収することによって、前記圧力容器内で、前記スラリーが乾燥し、ケーキングして、望ましくない状態が生じていた。このケーキングは、特に、末端での使用が、半導体研磨または平面化用のツールである場合、避けるべきである。といのは、粒子が生成されて、ウェーハに欠陥が生じることになるからである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本願発明は、水溶液を、少なくとも１つの使用地点に分配するためのシステムを提供するものである。前記システムは、前記水溶液を、前記少なくとも１つの使用地点に分配する装置を備えている。前記装置は、少なくとも１つの圧力容器を備えている。前記圧力容器は、加圧ガスで充填されて、前記水溶液を、前記少なくとも１つの使用地点に圧送できるようになっている。加湿機が、前記装置に接続されて、前記加圧ガスを加湿し、これによって、前記加圧ガスが、前記水溶液から水分を蒸発させる（換言すれば、水分を抜く）のを防止している。
【０００５】
他の特徴において、本願発明は、水溶液分配システムを用いて少なくとも１つの使用地点に水溶液を分配する水溶液分配方法を提供するものである。前記水溶液分配システムは、少なくとも１つの圧力容器を有する装置と、この装置に接続される加湿器とを備える。前記圧力容器は、加圧ガスで充填されて、前記少なくとも１つの使用地点に前記水溶液を圧送できるようになっている。加湿器は、前記加圧ガスを加湿する脱イオン水および充填層を含む塔を備える。そしてこの水溶液分配方法は、前記加圧ガスが加湿された後で過飽和にならない程度に、前記塔を通して当該加圧ガスを泡立たせることによって前記加圧ガスを加湿するステップと、前記加圧ガスが前記水溶液から水分を蒸発させることを少なくとも防止するべく前記加圧ガスを加湿した後で前記少なくとも１つの圧力容器に充填するステップと、前記加圧ガスで充填された前記圧力容器によって、前記装置から前記少なくとも１つの使用地点へ前記水溶液を分配するステップと、を備える。
【０００６】
前記加圧ガスが加湿される場合、前記水溶液から水分が蒸発し難くなる。これによって、前記水溶液が、前記水分の蒸発によって生じる、望まれない沈澱作用（または、堆積作用）を形成するのを防止することができる。あるいは、水溶液の組成物のモル濃度の変化によって生じる、前記水溶液の特性の変化を防止することができる。
【０００７】
明細書には、出願人が発明として考えている主題を明白に指摘する請求項が含まれているが、添付した図面との関連で本願発明をより理解できるであろう。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１を参照すると、本願発明に係わる分配システム１が図示されている。分配システム１は、スラリーのような水溶液を、使用地点２に分配できるように構成されている。使用地点２は、化学的／機械的な平面化用のツールとすることができる。前記スラリーは、分配装置３を通して、使用地点２に分配される。分配装置３には、圧力容器３Ａ、３Ｂ及び３Ｃが設けられている。圧力容器３Ａ、３Ｂ及び３Ｃは、加圧ガスで充填され、これによって、使用地点２に前記水溶液を圧送できるように構成されている。分配装置３は、圧力によって駆動される任意のタイプの装置とすることができ、実際は、単一の圧力容器とすることができるということが理解される。
【０００９】
加湿機１０は、圧力容器３Ａ、３Ｂ及び３Ｃが、過飽和されない程度に加湿された加圧ガスで充填されるように、加圧ガスを分配装置３に供給している。加圧ガスを過飽和されない程度に加湿することは、重要である。といのは、過飽和されると、液体が溶液から出てきて、分配すべき水溶液を汚染するからである。
【００１０】
加湿機１０は、塔１２を備えている。脱イオン水が十分な圧力で利用できない場合、ポンプ１３を設けて、脱イオン水の流れを加圧することができる。塔１２は、前記脱イオン水を受け入れるインレット（入口部）１４と、前記加圧ガスを受け入れる加圧ガスインレット（加圧ガス入口部）１６とを備えている。その加圧ガスは、半導体製造の場合において、乾燥状態の、きわめて高い（超高の）純度の窒素とすることができる。図示されているように、加圧ガスインレット１６には、導管１８が設けられている。導管１８は、塔１２に延入すると共に、塔１２内に含まれる充填層２０の充填物の間を通っている。
【００１１】
ガス状の窒素は、加圧ガスインレット１６を通って塔１２内に入り込み、前記加圧された脱イオン水を通って泡立つ。前記脱イオン水を通って泡立っているうちに、前記窒素は、過飽和させられる。充填層２０のうち脱イオン水で湿潤された部分（すなわち、脱イオン水で湿潤された充填物）によって、入ってくるガスの流れが、小さな泡に分けられ、これによって、物質移動が増加する。スプラッシレベルより上に設けられた、脱イオン水で湿潤されていない部分（すなわち、脱イオン水で湿潤されていない充填物）は、前記ガスから過度の水を取り除き、その結果、塔１２からガスアウトレット（ガス出口部）３０を通って排出されるまでの時間によって、前記ガスは、ほぼ所望の飽和状態になる。
【００１２】
図示されているように、ポンプ２８が、脱イオン水を圧送できるように設けられている。その結果、脱イオン水は、充填物を通って下り、したがって、充填層２０の要素に形成されたフィルム（ｆｉｌｍ：薄膜）と加圧ガスとの間により大量の物質移動が生じる。
【００１３】
加湿が、供給すべき前記加圧窒素ガス内で生じる程度は、液体の高さ（すなわち、液面）次第である。実際に、任意のサイズやタイプの充填層２０が採用でき、液体の高さは、実験的に決定される。このようにして、前記液面を制御しなければならない。これは、低液面用の検出器３２と、高液面用の検出器３４とによって、分配システム１で行われる。もし、液面が、低液面用の検出器３２よりも下に落ちる場合、ポンプ１３が、コントロールシステム（アナログまたはディジタルシステム）３６によって作動するように命じられる。液面が、高液面用の検出器３４に達した場合、ポンプ１３は、直ちに停止され、これによって、液体が、分配装置３の圧力容器３Ａ、３Ｂ及び３Ｃ内に放出するされるのを防止する。加圧された脱イオン水が利用される場合、ポンプ１３の代わりにバルブを用いることができる。図示されたように、導体３８及び４０は、低液面用の検出器３２及び高液面用の検出器３４をコントロールシステム３６に接続している。電気導体４２は、また、ポンプ１３をコントロールシステム３６に接続している。
【００１４】
コントロールシステム３６は、また、ポンプ２８によって圧送される液体の再循環率を制御できるように構成されている。これによって、向流のガスと接触する水の量を調整することにより、分配装置３に送出される加湿された加圧ガスの湿度を制御できる。この目的のために、必要な設定が、実験的に決定される。電気導体４４を設けて、ポンプ２８をコントロールシステム３６に接続することができる。
【００１５】
１つの例として、約９５％の湿度を有する十分な量の窒素を供給して、１分毎に約３０リットルのスラリーを約２０°Ｃで、そして、約２７６ないし約４８３Ｋｐｓの圧力で分配できるようにするために、塔１２が構成された。そのような塔は、ＢＩＯＸ  ＳＵＰＥＲ  充填物（ｐａｃｋｉｎｇ）から製造された充填層２０を備えている。ＢＩＯＸ  ＳＵＰＥＲ  充填物（ｐａｃｋｉｎｇ）は、ＣＡ９４０７０、Ｓａｎ  Ｃａｒｌｏｓ、Ｐ．０．Ｂｏｘ６５３に所在するＡＱＵＡＣＲＡＦＴ  ＩＮＣ．，から入手されたものである。充填層２０は、高さが５０ｃｍで、直径がほぼ１０ｃｍであった。充填層２０の充填物（ｐａｃｋｉｎｇ）は、約１．６リットルと約２．６リットルの間の範囲にある容積を備えた脱イオン水によってぬらされていた。
【００１６】
本願発明は好適な実施例を参照して説明されたが、当業者は、本願発明の精神及び範囲から離れることなしに、種々の変更、追加及び削除を行うことができるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本願発明にかかわる方法を実施するための装置である。
【符号の説明】
１  分配システム                  ２  使用地点
３  分配装置                      ３Ａ  圧力容器
３Ｂ  圧力容器                    ３Ｃ 圧力容器
１０  加湿機                      １２  塔
１３  ポンプ                      １４  インレット
１６  加圧ガスインレット          １８  導管
２０  充填層                      ２８  ポンプ
３０  ガスアウトレット            ３２  低液面用の検出器
３４  高液面用の検出器            ３６  コントロールシステム
３８  導体                        ４０  導体
４２  電気導体
【図１】
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