(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物が設置される搭載部と、
走行ラインを自走する走行機構と、
前記搬送物を移載する移載機構と、
前記搭載部と前記走行機構とを支持し、前記走行ライン上の個体が通り抜けしうる開脚構造体を備え、
前記開脚構造体の開脚寸法は、同一の前記走行ライン上に存在する他の無人搬送車を非干渉に通り抜けさせることが可能な寸法であり、
前記開脚構造体は、前記搬送物の移載方向に開放された、前記搬送物が通過可能な寸法の窓を有していることを特徴とする無人搬送車。
【請求項２】
請求項１に記載の無人搬送車であって、
前記開脚構造体は、前記他の無人搬送車と入れ子状に重なることを特徴とする無人搬送車。
【請求項３】
請求項１に記載の無人搬送車であって、
前記開脚構造体の開脚寸法は、前記走行ライン上に確保した通路を通行する人を非干渉に通り抜けさせることが可能な寸法であることを特徴とする無人搬送車。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載の無人搬送車であって、
前記開脚構造体は、走行方向から見てコの字状で、且つ前記コの字状の開口部が下側に位置する構造体によって構成されることを特徴とする無人搬送車。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載の無人搬送車であって、
前記開脚構造体は、前記走行ライン対し上下に伸縮可能な脚部を有することを特徴とする無人搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無人搬送車に係る発明であって、特に、同一の走行ライン上に複数存在する無人搬送車に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示装置又は半導体装置の製造ラインにおいて、次のプロセス装置に液晶表示装置又は半導体装置の半完成品（搬送物）を搬送する場合、無人搬送車を用いることがあった。無人搬送車を用いる場合に、同一の走行ライン上に複数台の無人搬送車を走行させて、搬送物を搬送することがあった。なお、本明細書において、走行ラインとは無人搬送車が走行する物理的な空間を示し、無人搬送車の走行を導くためのレール等と異なる意味で用いている。そのため、同一の走行ラインを走行する無人搬送車であっても、必ずしも同じレールにより無人搬送車がガイドされるとは限らない。
【０００３】
図６は、同一の走行ライン上に複数台の無人搬送車を走行させた場合の従来の搬送方法を説明する図である。まず、図６では、製品を処理するプロセス装置１Ａ，１Ｂが、同一の走行ラインに沿って並んで設けられ、それぞれのプロセス装置１Ａ，１Ｂの搬送物を搬送物２Ａ，２Ｂとする。この場合において、従来、プロセス装置１Ａから搬送物２Ａを受け取るのは無人搬送車３Ａが、プロセス装置１Ｂから搬送物２Ｂを受け取るのは無人搬送車３Ｂがそれぞれ行っていた。これは、無人搬送車３Ａと無人搬送車３Ｂとが同型であり、同一の走行ラインを走行すると互いに交叉することができず、それぞれの移動可能範囲Ａ，Ｂが設定されているからである。
【０００４】
そのため、搬送物２Ａをプロセス装置１Ｂに移送する場合は、移動可能範囲Ａと移動可能範囲Ｂとが相互干渉するエリアＣに、搬送物２Ａを受け渡すための受け渡し部（インターフェース装置）４を設けて、当該受け渡し部４で搬送物２Ａを無人搬送車３Ａから無人搬送車３Ｂに載せ換える操作が必要であった。つまり、無人搬送車３Ａが、受け渡し部４に搬送物２Ａを一旦移載させ、その後、無人搬送車３ＡがエリアＣを抜けた後に無人搬送車３Ｂが受け渡し部４へ走行し、搬送物２Ａを受け取りプロセス装置１Ｂに搬送する。無人搬送車３Ｂが搬送物２Ｂをプロセス装置１Ａに搬送する場合も同様の操作を行う必要がある。
【０００５】
その他、無人搬送車の例を、特許文献１及び特許文献２に示す。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２７７１６６号公報
【特許文献２】特開平１１−１８０５０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上述した搬送物２Ａをプロセス装置１Ｂへ搬送する指示と、同様の搬送物２Ｂをプロセス装置１Ａへ搬送する指示とが重なった場合、無人搬送車３Ａ，３ＢはどちらかがエリアＣでの移載処理が終了するまで待ち状態となり、搬送処理に遅れが生じることがあった。つまり、従来の無人搬送車では、エリアＣを利用する搬送指示が発生するたびに待ち時間が生し、搬送能力が低下することがあった。
【０００８】
また、無人搬送車３Ａあるいは無人搬送車３Ｂのどちらかが故障した場合、一方の移動可能範囲Ａ，Ｂへの搬送が不可となるので、生産性が低下することがあった。
【０００９】
さらに、無人搬送車３Ａ，３Ｂが走行する走行ラインは、通常、人が入ることができない領域となっており、人の通行が制限される問題があった。
【００１０】
そこで、本発明は、同一の走行ライン上に複数の無人搬送車が存在する場合に、走行時に相互干渉することなく、搬送能力を向上させることができる無人搬送車を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る解決手段は、搬送物が設置される搭載部と、走行ラインを自走する走行機構と、前記搬送物を移載する移載機構と、前記搭載部と前記走行機構とを支持し、前記走行ライン上の個体が通り抜けしうる開脚構造体を備え、前記開脚構造体の開脚寸法は、同一の前記走行ライン上に存在する他の無人搬送車を非干渉に通り抜けさせることが可能な寸法であり、前記開脚構造体は、前記搬送物の移載方向に開放された、前記搬送物が通過可能な寸法の窓を有していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に記載の無人搬送車は、搭載部、走行機構、移載機構及び開脚構造体を備えるので、同一の走行ライン上を走行する際に、走行ライン上にある他のものと相互干渉することなく、搬送能力を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
（実施の形態１）
図１に、本実施の形態に係る無人搬送車の概略図を示す。図１に示す無人搬送車は、同一の走行ライン上に２台存在しており、左側の無人搬送車３Ａは従来より利用されている箱形の形状で、右側の無人搬送車３Ｃは無人搬送車３Ａを覆い囲むコの字状（走行方向から見た場合）の形状である。そのため、無人搬送車３Ｃは、同一の走行ライン上に存在する個体である無人搬送車３Ａを非干渉に通り抜けさせるための、少なくとも走行方向に開放された通り抜け空間を有するような形状である。つまり、無人搬送車３Ｃは、走行ラインに接する２本の脚部３Ｃ１上に搬送物２を搭載する搭載部３Ｃ２が設置された開脚構造体となっている。また、無人搬送車３Ｃは、走行ラインを跨ぐ開脚構造を有しているため、走行方向に開放された空間が形成されている。
【００１４】
また、図１に示す内側の２本のレールＲ１は無人搬送車３Ａをガイドするためのレールであり、外側の２本のレールＲ２は無人搬送車３Ｃをガイドするためのレールであり、脚部３Ｃ１が接している。当該脚部３Ｃ１にはレールＲ２を走行できるような走行機構３Ｃ３（例えば、車輪など）が設けられている。なお、無人搬送車３Ａと無人搬送車３Ｃとは、同一の走行ライン上を走行するが、異なるレールＲ１，Ｒ２によりガイドされるため、同じレール上を走行することはない。なお、走行機構３Ｃ３については、開脚構造体の無人搬送車３Ｃが走行ラインを走行することができれば良く、従来から一般的に利用されているものを使用する。そのため、走行機構３Ｃ３については、詳細な説明を省略する。
【００１５】
また、無人搬送車３Ｃは、図１に示すように走行方向から見てコの字状で、且つコの字状の開口部が下側に位置するように設置されている。さらに、無人搬送車３Ｃは、当該開口部に対向する面上に搬送物２を搭載する搭載部３Ｃ２を設けている。なお、図１に示す搭載部３Ｃ２には、搬送物２をプロセス装置等に受け渡しする移載機構３Ｃ４を備えており、この移載機構３Ｃ４は、従来から一般的に利用されているものを使用する。そのため、移載機構３Ｃ４については、詳細な説明を省略する。但し、移載機構３Ｃ４は、プロセス装置側に移載機構がある場合、無人搬送車３Ｃ側に設ける必要はない。
【００１６】
図２（ａ）（ｂ）は、同一の走行ライン上を走行する２台の無人搬送車３Ａ，３Ｃの動作を説明するための図である。まず、図２（ａ）では、製品を処理するプロセス装置１Ａ，１Ｂが、同一の走行ラインに沿って並んで設けられ、それぞれのプロセス装置１Ａ，１Ｂの搬送物を搬送物２Ａ，２Ｂとする。
【００１７】
図２（ａ）（ｂ）では、無人搬送車３Ａが無人搬送車３Ｃを同一の走行ライン上で通り抜けることが可能であるため互いに干渉されることがなく、図６のように移動可能範囲Ａ，Ｂを設定する必要がない。また、図６では、搬送物２Ａをプロセス装置１Ｂに移送する場合、移動可能範囲Ａと移動可能範囲Ｂとが相互干渉するエリアＣに、搬送物２Ａを受け渡すための受け渡し部４を設ける必要があった。つまり、当該受け渡し部４で搬送物２Ａを無人搬送車３Ａから無人搬送車３Ｂに載せ換える操作が必要であった。
【００１８】
しかし、本実施の形態では、図２（ｂ）に示すように無人搬送車３Ａが無人搬送車３Ｃを同一の走行ライン上で通り抜けることが可能であるため、無人搬送車３Ａから無人搬送車３Ｃへ搬送物２Ａを載せ換える必要がなく、受け渡し部４も設ける必要がない。従って、本実施の形態では、無人搬送車３Ａ及び無人搬送車３Ｃが、互いに干渉されず自由に互いのエリアヘ行き来することが可能となり、搬送能力を向上させることができる。また、図６に示すような受け渡し部４も不要となるため、受け渡し部４での移載時間、待ち時間が不要となり、大幅な搬送能力の向上が見込まれると同時に、受け渡し部４の製作に必要であったコストも削減できる。
【００１９】
また、本実施の形態では、図２（ｂ）に示すように無人搬送車３Ａが無人搬送車３Ｃを同一の走行ライン上で通り抜け可能であるため、無人搬送車３Ａ，３Ｃのどちらが故障した場合でも、搬送を停止させることなく一方の無人搬送車で搬送することが可能であり、生産能力の低下を軽減することができる。
【００２０】
本実施の形態では、図１に示すように箱形の無人搬送車３Ａと、無人搬送車３Ａを覆い囲むコの字状（走行方向から見た場合）の無人搬送車３Ｃとが同一の走行ラインを走行している場合を示した。しかし、本発明ではこれに限られず、同一の走行ライン上に存在する他の無人搬送車を非干渉に通り抜けさせることが可能な開脚寸法を有する無人搬送車であれば良い。
【００２１】
図１では、無人搬送車３Ａが無人搬送車３Ｃの中に収まるような入れ子状になっている。また、複数の無人搬送車を大きさの異なるコの字状（走行方向から見た場合）にすることでも、無人搬送車を入れ子状にすることができる。このように、本発明では開脚構造体において、他の無人搬送車と入れ子状に重なることで、ライン停止時などの際に２台以上の無人搬送車を重ね合わせることができ、ライン停止時等に無人搬送車が走行ラインを占有するスペースを低減できるので装置の搬入やメンテナンスなどの際にスペースを有効に利用できる。
【００２２】
なお、図１では、無人搬送車３Ｃは脚部３Ｃ１で支えられる搭載部３Ｃ２の高さ（走行ラインに対する高さ）は固定である。しかし、本発明はこれに限られず、図３に示す無人搬送車３Ｃのように、脚部３Ｃ１が伸縮することで搭載部３Ｃ２の高さを変化させることができる。これにより、無人搬送車３Ｃは、無人搬送車３Ａが通り抜ける際には搭載部３Ｃ２の高さを高くし、搬送物２を移載する際には無人搬送車３Ａと同じ高さに搭載部３Ｃ２の高さを調整することができる。これにより、無人搬送車３Ｃのためだけの移載のアクセスポイントを、搬送物２の受け渡しを行うプロセス装置側に設ける必要がなくなる。
【００２３】
さらに、本実施の形態では、無人搬送車３Ｃが走行方向から見てコの字状で、且つ当該コの字状の開口部が下側に位置する形状であるので、従来の無人搬送車のように走行時に風の抵抗の影響を受けやすい形状ではない。そのため、従来の無人搬送車で走行開始時あるいは走行停止時に生じていた床面のダストの巻き上げについて、本実施の形態に係る無人搬送車３Ｃでは、走行時の空気抵抗が小さくなり、ダストの巻き上げを軽減することができる。この点は、液晶表示装置や半導体装置を製造するクリーンルーム内の製造ラインでは有用な効果である。
【００２４】
（実施の形態２）
図４は、プロセス装置と無人搬送車との間で搬送物を受け渡しする場合について説明する図である。特に、図４では、同一の走行ラインに存在する無人搬送車３Ａと無人搬送車３Ｃとが、同じプロセス装置に対して同時に搬送物２を受け渡ししている。但し、図４に示すように同時に２台の無人搬送車３Ａ，３Ｃから搬送物２を受け渡しするためには、プロセス装置（図示せず）に搬送物２を受け渡しすることができるアクセスポイントを複数設ける必要があり、且つ当該アクセスポイントの高さがそれぞれ異なっている必要がある。
【００２５】
図４に示す例において、無人搬送車３Ｃは、コの字状の開口部に対向する面上の搭載部３Ｃ２に移載機構３Ｃ４が設置されており、当該設置位置と対応するプロセス装置のアクセスポイント（図示せず）に搬送物２を移載している。また、図４に示す例において、無人搬送車３Ａは、搬送物２を箱形の台車上に保持しており、当該保持位置と対応するプロセス装置のアクセスポイント（図示せず）に搬送物２を移載している。なお、図４に示しているように、無人搬送車３Ｃの脚部３Ｃ１には、無人搬送車３Ａがプロセス装置に搬送物２を移載できるように、移載方向に開放された窓５が設けられている。なお、窓５の寸法は、搬送物２が通過可能な寸法である。
【００２６】
このように、本実施の形態では、通り抜け空間が、搬送物２を受け渡しする方向にも開放されているので、同一のプロセス装置に対して異なる高さで並列作業が可能となり、搬送能力を向上させることができる効果がある。
【００２７】
なお、本実施の形態では、図４に示すように箱形の無人搬送車３Ａと、無人搬送車３Ａを覆い囲むコの字状（走行方向から見た場合）の無人搬送車３Ｃとが同一の走行ラインを走行している場合を示した。しかし、本発明はこれに限られず、同一の走行ライン上で通り抜け可能な空間を有し、且つ同じプロセス装置に同時に搬送物２を受け渡しできる形状であれば良い。例えば、図４に示す無人搬送車３Ａの形状も無人搬送車３Ｃと同じコの字状で、且つ、無人搬送車３Ｃを通り抜けることが可能な大きさにすることも可能である。
【００２８】
また、本実施の形態では、無人搬送車３Ａ，３Ｃから搬送物２をプロセス装置に受け渡しする場合を示したが、本発明はこれに限られず、異なる高さで組み立て作業などを行う場合にも同様に適用することができる。
【００２９】
（実施の形態３）
図５は、人と無人搬送車とが共存する場合の例である。従来の無人搬送車の場合、走行ラインは無人搬送車の専用ラインであり人が通行することができなかった。また、従来の無人搬送車の場合、安全上の問題から無人搬送車の周りには、防護柵を設けることが必然であった。
【００３０】
そこで、本実施の形態では、図１に示した無人搬送車３Ｃ（走行方向から見てコの字状）のみを採用し、走行ライン上に人が通行できるスペースを確保する。図５では、防護柵６の中を人７が通行し、当該防護柵６を覆い囲むコの字状（走行方向から見た場合）の無人搬送車３Ｃが走行している。なお、本実施の形態では、走行ライン上の個体を人として説明する。
【００３１】
これにより、本実施の形態では、コの字状の無人搬送車３Ｃが、走行ライン上に確保した通路を通行する人７を非干渉に通り抜けさせることが可能な開脚寸法を有する開脚構造体であるので、走行ライン上に人７と無人搬送車３Ｃとが共存することが可能となる。
【００３２】
また、図５に示すような構成にすることで、無人搬送車３Ｃが走行中でも、無人搬送車３Ｃを内側から確認することが可能となるので、トラブルの早期発見などにも効果がある。つまり、無人搬送車３Ｃを内側から確認できる構成にすることは、メンテナンスという点で大いに活用可能な構成である。
【００３３】
なお、本明細書で示した実施の形態では、無人搬送車をＲＧＶ（Rail Guided Vehicle）の例で説明したが、本発明はこれに限られず、ストッカのクレーンや有軌道搬送ロボット等にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施の形態１に係る無人搬送車を説明する図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る無人搬送車の動作を説明する図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る別の無人搬送車を説明する図である。
【図４】本発明の実施の形態２に係る無人搬送車を説明する図である。
【図５】本発明の実施の形態３に係る無人搬送車を説明する図である。
【図６】従来の無人搬送車の動作を説明する図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  プロセス装置、２  搬送物、３  無人搬送車、４  受け渡し部、５  開口部、６  防護柵、７  人。
【図１】
0004558628.tif 000002
【図２】
0004558628.tif 000003
【図３】
0004558628.tif 000004
【図４】
0004558628.tif 000005
【図５】
0004558628.tif 000006
【図６】
0004558628.tif 000007