(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の薄膜トランジスタと、第２の薄膜トランジスタと、前記第１の薄膜トランジスタと電気的に接続された保持容量と、を有し、
前記第１の薄膜トランジスタは、第１の半導体膜と、前記第１の半導体膜上の第１の絶縁膜と、前記第１の絶縁膜上の第１の配線と、を有し、
前記第２の薄膜トランジスタは、第２の半導体膜と、前記第２の半導体膜上の第２の絶縁膜と、前記第２の絶縁膜上の第２の配線と、を有し、
前記保持容量は、第３の半導体膜と、前記第３の半導体膜上の第３の絶縁膜と、前記第３の絶縁膜上の第３の配線と、を有し、
前記第１の薄膜トランジスタのドレインと、前記保持容量の下部電極とが電気的に接続されている半導体装置の作製方法であって、
結晶化を助長する触媒元素を利用して結晶化した半導体膜を形成し、
前記半導体膜をパターニングして前記第１乃至第３の半導体膜を形成し、
前記第１の半導体膜上に前記第１の絶縁膜を選択的に形成すると同時に、前記第２の半導体膜における前記第２の配線の乗り越え部に前記第１の絶縁膜と同一層の絶縁膜を選択的に形成し、且つ、前記第３の半導体膜における前記第３の配線の乗り越え部に前記第１の絶縁膜と同一層の絶縁膜を選択的に形成し、
前記第２及び第３の半導体膜を熱酸化して前記第２及び第３の絶縁膜を形成し、
前記第１乃至第３の絶縁膜上にそれぞれ前記第１乃至第３の配線を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記第１の半導体膜の下には導電性の遮光膜が設けられており、
前記導電性の遮光膜は、基板上に形成される回路全体の最低電源電位又は最低電源電位よりも低い電位に設定されることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、
第３の薄膜トランジスタを有し、
前記第３の薄膜トランジスタは、第４の半導体膜と、前記第４の半導体膜上の第４の絶縁膜と、前記第４の絶縁膜上の第４の配線と、を有し、
前記第４の絶縁膜は、前記第１の絶縁膜と同時に形成された絶縁膜であり、
前記第１の薄膜トランジスタ及び前記保持容量は画素部に配置されており、
前記第２の薄膜トランジスタは、シフトレジスタ回路に配置されており、
前記第３の薄膜トランジスタは、レベルシフタ回路、バッファ回路、又はサンプリング回路に配置されていることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、
前記第３の半導体膜は、前記第１の半導体膜から延長されて形成されていることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、
前記触媒元素をゲッタリングする工程を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一項において、
前記熱酸化を行う際、酸化性雰囲気にハロゲン元素を含ませることによって、前記触媒元素のゲッタリングを行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴという）で構成された回路を有する半導体装置に関する。例えば、液晶表示装置やＥＬ表示装置に代表される電気光学装置、半導体回路及び本願発明の電気光学装置または半導体回路を用いた電気器具（電子機器）の構成に関する。
【０００２】
なお、本明細書中において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指し、電気光学装置、半導体回路および電気器具は全て半導体装置である。
【背景技術】
【０００３】
薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴという）は透明基板上に形成することができるので、アクティブマトリクス型液晶ディスプレイ（以下、ＡＭ−ＬＣＤという）への応用開発が積極的に進められてきた。結晶質半導体膜（代表的にはポリシリコン膜）を利用したＴＦＴは高移動度が得られるので、同一基板上に機能回路を集積させて高精細な画像表示を実現することが可能とされている。
【０００４】
基本的にＡＭ−ＬＣＤは画像を表示する画素部（画素マトリクス回路ともいう）と、画素部に配列された各画素のＴＦＴを駆動するゲート駆動回路（ゲートドライバー回路ともいう）、各ＴＦＴへ画像信号を送るソース駆動回路（ソースドライバー回路ともいう）またはデータ駆動回路（データドライバー回路ともいう）が同一基板上に形成されてなる。
【０００５】
近年では、これら画素部と駆動回路（ドライバー回路ともいう）の他に、信号分割回路やγ補正回路などといった信号処理回路をも同一基板上に設けたシステム・オン・パネルが提案されている。
【０００６】
しかしながら、画素部と駆動回路とでは回路が要求する性能が異なるため、同一構造のＴＦＴで全ての回路仕様を満足させることは困難である。即ち、高速動作を重視するシフトレジスタ回路等の駆動回路と、高耐圧特性を重視する画素部を構成するＴＦＴ（以下、画素ＴＦＴという）とを同時に満足させるＴＦＴ構造は確立されていないのが現状である。
【０００７】
そこで本出願人は駆動回路を構成するＴＦＴ（以下、駆動ＴＦＴまたはドライバーＴＦＴという）と画素ＴＦＴとでゲート絶縁膜の膜厚を異ならせるという構成を出願済みである（特開平１０−０５６１８４号公報、米国特許出願番号第０８／８６２，８９５）。具体的には、駆動ＴＦＴのゲート絶縁膜を画素ＴＦＴのゲート絶縁膜よりも薄くするというものである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本願発明では、上記公報に記載された構成を基本として、さらに画素部に関する改善を行っている。具体的には、小さい面積で大容量を確保しうる保持容量を形成するための構造を提供するものである。
【０００９】
そして、ＡＭ−ＬＣＤに代表される電気光学装置の各回路を機能に応じて適切な構造のＴＦＴでもって形成し、高い信頼性を有する電気光学装置を提供することを課題とする。延いては、そのような電気光学装置を表示部として有する半導体装置（電気器具）の信頼性を高めることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本明細書で開示する発明の構成は、同一基板上に駆動回路部と画素部とを有する半導体装置において、前記駆動回路部の駆動ＴＦＴと前記画素部の画素ＴＦＴとは互いにゲート絶縁膜の膜厚が異なり、前記画素部に形成された保持容量の誘電体の膜厚は、前記駆動ＴＦＴのゲート絶縁膜の膜厚と同一であることを特徴とする。
【００１１】
具体的には、同一基板上に駆動回路部と画素部とを有する半導体装置において、前記駆動回路部の駆動ＴＦＴのゲート絶縁膜の膜厚は、前記画素部の画素ＴＦＴのゲート絶縁膜の膜厚よりも薄く、前記画素部に形成された保持容量の誘電体の膜厚は、前記駆動ＴＦＴのゲート絶縁膜の膜厚と同一であることを特徴とする。
【００１２】
また、他の発明の構成は、基板上に非晶質半導体膜を形成する第１工程と、前記非晶質半導体膜をニッケル、コバルト、パラジウム、ゲルマニウム、白金、鉄または銅から選ばれた元素を用いた固相成長により結晶質半導体膜を形成する第２工程と、前記結晶質半導体膜をパターニングして活性層を形成する第３工程と、前記活性層の表面に絶縁膜を形成する第４工程と、前記第４工程の後、熱酸化処理により前記活性層を酸化する第５工程と、前記第５工程を経た活性層に周期表の１５族に属する元素または周期表の１３族に属する元素を添加する第６工程と、前記第６工程の後、７５０〜１１５０℃の温度で熱処理を行う第７工程と、を含むことを特徴とする。
【００１３】
また、他の発明の構成は、同一基板上に駆動ＴＦＴ及び画素ＴＦＴを含む半導体装置の作製方法であって、基板上に非晶質半導体膜を形成する第１工程と、前記非晶質半導体膜をニッケル、コバルト、パラジウム、ゲルマニウム、白金、鉄または銅から選ばれた元素を用いた固相成長により結晶質半導体膜を形成する第２工程と、前記結晶質半導体膜をパターニングして前記駆動ＴＦＴの活性層及び前記画素ＴＦＴの活性層を形成する第３工程と、前記駆動ＴＦＴの活性層及び前記画素ＴＦＴの活性層の上に第１絶縁膜を形成する第４工程と、前記第１絶縁膜をエッチングし、前記駆動ＴＦＴの活性層の全部及び前記画素ＴＦＴの活性層の一部を露呈させる第５工程と、熱酸化処理により前記第５工程で露呈された活性層の表面に第２絶縁膜を形成する第６工程と、前記第１絶縁膜及び前記第２絶縁膜の上に配線を形成する第７工程と、前記配線をマスクとして活性層に周期表の１５族に属する元素または周期表の１３族に属する元素を添加する第８工程と、前記第８工程の後、７５０〜１１５０℃の温度で熱処理を行う第９工程と、を含むことを特徴とする。
【００１４】
また、他の発明の構成は、基板上に非晶質半導体膜を形成する第１工程と、前記非晶質半導体膜をニッケル、コバルト、パラジウム、ゲルマニウム、白金、鉄または銅から選ばれた元素を用いた固相成長により結晶質半導体膜を形成する第２工程と、前記結晶質半導体膜に周期表の１５族に属する元素を添加する第３工程と、前記第３工程の後、結晶質半導体膜に５００〜６５０℃の熱処理を行う第４工程と、前記第４工程を経た結晶質半導体膜をパターニングして活性層を形成する第５工程と、前記活性層の表面に絶縁膜を形成する第６工程と、前記第６工程の後、熱酸化処理により前記活性層を酸化する第７工程と、  前記第７工程を経た活性層に周期表の１５族に属する元素または周期表の１３族に属する元素を添加する第８工程と、前記第８工程の後、７５０〜１１５０℃の温度で熱処理を行う第９工程と、を含むことを特徴とする。
【００１５】
また、他の発明の構成は、同一基板上に駆動ＴＦＴ及び画素ＴＦＴを含む半導体装置の作製方法であって、基板上に非晶質半導体膜を形成する第１工程と、前記非晶質半導体膜をニッケル、コバルト、パラジウム、ゲルマニウム、白金、鉄または銅から選ばれた元素を用いた固相成長により結晶質半導体膜を形成する第２工程と、前記結晶質半導体膜に周期表の１５族に属する元素を添加する第３工程と、前記第３工程の後、結晶質半導体膜に５００〜６５０℃の熱処理を行う第４工程と、前記第４工程を経た結晶質半導体膜をパターニングして前記駆動ＴＦＴの活性層及び前記画素ＴＦＴの活性層を形成する第５工程と、前記駆動ＴＦＴの活性層及び前記画素ＴＦＴの活性層の上に第１絶縁膜を形成する第６工程と、前記第１絶縁膜をエッチングし、前記駆動ＴＦＴの活性層の全部及び前記画素ＴＦＴの活性層の一部を露呈させる第７工程と、熱酸化処理により前記第７工程で露呈された活性層の表面に第２絶縁膜を形成する第８工程と、前記第１絶縁膜及び前記第２絶縁膜の上に配線を形成する第９工程と、前記配線をマスクとして活性層に周期表の１５族に属する元素または周期表の１３族に属する元素を添加する第１０工程と、前記第１０工程の後、７５０〜１１５０℃の温度で熱処理を行う第１１工程と、を含むことを特徴とする。
【００１６】
また、他の発明の構成は、同一基板上に駆動回路部と画素部とを有する半導体装置の作製方法であって、基板上に、ニッケル、コバルト、パラジウム、ゲルマニウム、白金、鉄または銅から選ばれた元素を用いて半導体膜を形成する第１工程と、前記半導体膜の上にゲート絶縁膜を形成する第２工程と、前記ゲート絶縁膜の一部を除去し、前記活性層の一部を露呈させる第３工程と、熱酸化処理により前記第３工程で露呈された活性層の一部に酸化膜を形成する第４工程と、前記ゲート絶縁膜および前記酸化膜の上にゲート配線を形成する第５工程と、前記ゲート配線の側面にサイドウォールを形成する第６工程と、前記ゲート配線及び前記サイドウォールをマスクとして前記活性層に対して周期表の１５族に属する元素を添加する第７工程と、前記サイドウォールを除去する第８工程と、前記ゲート配線をマスクとして前記活性層に対して周期表の１５族に属する元素を添加する第９工程と、後にＮＴＦＴとなる領域上にレジストマスクを形成し、周期表の１３族に属する元素を添加する第１０工程と、前記第４の工程と同じ温度または該温度より高い温度にて熱処理を行い、前記触媒元素を前記第７工程にて前記周期表の１５族に属する元素が添加された領域に移動させる第１１工程と、を有することを特徴とする。
【００１７】
また、他の発明の構成は、同一基板上に駆動回路部と画素部とを有する半導体装置の作製方法であって、基板上に、ニッケル、コバルト、パラジウム、ゲルマニウム、白金、鉄または銅から選ばれた元素を用いて半導体膜を形成する第１工程と、前記半導体膜に対して選択的に周期表の１５族に属する元素を添加する第２工程と、熱処理により前記触媒元素を前記周期表の１５族に属する元素が添加された領域に移動させる第３工程と、前記半導体膜の上にゲート絶縁膜を形成する第４工程と、前記ゲート絶縁膜の一部を除去し、前記活性層の一部を露呈させる第５工程と、熱酸化処理により前記第５工程で露呈された活性層の一部に酸化膜を形成する第６工程と、前記ゲート絶縁膜および前記酸化膜の上にゲート配線を形成する第７工程と、前記ゲート配線の側面にサイドウォールを形成する第８工程と、前記ゲート配線および前記サイドウォールをマスクとして前記活性層に対して周期表の１５族に属する元素を添加する第９工程と、前記サイドウォールを除去する第１０工程と、前記ゲート配線をマスクとして前記活性層に対して周期表の１５族に属する元素を添加する第１１工程と、後にＮＴＦＴとなる領域上にレジストマスクを形成し、１３族に属する元素を添加する第１２工程と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本願発明を用いることで同一基板上に、異なる膜厚のゲート絶縁膜を有するＴＦＴを形成することができる。そのため、ＡＭ−ＬＣＤに代表される電気光学装置や、そのような電気光学装置を表示部として有する電気器具を含む半導体装置において、回路が要求する仕様に応じて適切な性能の回路を配置することが可能となり、半導体装置の性能や信頼性を大幅に向上させることができる。
【００１９】
また、電気光学装置の画素部において、工程数を増やすことなく保持容量の誘電体を薄くすることができ、小さい面積で大きなキャパシティを有する保持容量を形成することができる。そのため、対角１インチ以下の電気光学装置においても開口率を低下させることなく、十分な保持容量を確保することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本願発明の実施形態について、図１を用いて説明する。図１は同一基板上に駆動回路部と画素部とを一体形成したＡＭ−ＬＣＤの断面図を示している。なお、ここでは駆動回路部を構成する基本回路としてＣＭＯＳ回路を示し、画素ＴＦＴとしてはダブルゲート構造のＴＦＴを示している。勿論、ダブルゲート構造に限らずトリプルゲート構造やシングルゲート構造などとしても良い。
【００２１】
図１において、１０１は耐熱性を有する基板であり、石英基板、シリコン基板、セラミックス基板、金属基板（代表的にはステンレス基板）を用いれば良い。どの基板を用いる場合においても、必要に応じて下地膜（好ましくは珪素を主成分とする絶縁膜）を設けても構わない。
【００２２】
１０２は下地膜として設けた酸化珪素膜であり、その上に駆動ＴＦＴの活性層、画素ＴＦＴの活性層および保持容量の下部電極となる半導体膜が形成される。なお、本明細書中において「電極」とは、「配線」の一部であり、他の配線との電気的接続を行う箇所、または半導体膜と交差する箇所を指す。従って、説明の便宜上、「配線」と「電極」とを使い分けるが、「配線」という文言に「電極」は常に含められているものとする。
【００２３】
図１において、駆動ＴＦＴの活性層は、Ｎチャネル型ＴＦＴ（以下、ＮＴＦＴという）のソース領域１０３、ドレイン領域１０４、ＬＤＤ（ライトドープトドレイン）領域１０５およびチャネル形成領域１０６、並びにＰチャネル型ＴＦＴ（以下、ＰＴＦＴという）のソース領域１０７、ドレイン領域１０８およびチャネル形成領域１０９で形成される。
【００２４】
また、画素ＴＦＴ（ここではＮＴＦＴを用いる。）の活性層は、ソース領域１１０、ドレイン領域１１１、ＬＤＤ領域１１２a、１１２bおよびチャネル形成領域１１３a、１１３bで形成される。さらに、ドレイン領域１１１から延長された半導体膜を保持容量の下部電極１１４として用いる。
【００２５】
そして、活性層および保持容量の下部電極を覆ってゲート絶縁膜が形成されるが、本願発明では駆動ＴＦＴのゲート絶縁膜１１５（ＮＴＦＴ側）、１１６（ＰＴＦＴ側）が、画素ＴＦＴのゲート絶縁膜１１７よりも薄く形成される。代表的には、ゲート絶縁膜１１５、１１６の膜厚は５〜５０nm（好ましくは１０〜３０nm）とし、ゲート絶縁膜１１７の膜厚は５０〜２００nm（好ましくは１００〜１５０nm）とすれば良い。
【００２６】
なお、駆動ＴＦＴのゲート絶縁膜は一種類の膜厚である必要はない。即ち、駆動回路内に異なる膜厚の絶縁膜を有する駆動ＴＦＴが存在していても構わない。その場合、同一基板上に異なる膜厚のゲート絶縁膜を有するＴＦＴが少なくとも三種類以上存在することになる。また、駆動ＴＦＴのゲート絶縁膜の膜厚と保持容量の誘電体の膜厚が異なり、且つ、それらが画素ＴＦＴのゲート絶縁膜の膜厚と異なるという場合もありうる。例えば、駆動ＴＦＴ（特に高速動作を必要とする回路）が５〜１０nm、画素ＴＦＴが１００〜１５０nmのゲート絶縁膜を有し、保持容量の誘電体が３０〜５０nmという場合もある。
【００２７】
また、もう一つの特徴は、保持容量の誘電体１１８が駆動ＴＦＴのゲート絶縁膜１１５、１１６と同時に形成された絶縁膜で形成される点である。即ち、駆動ＴＦＴのゲート絶縁膜と保持容量の誘電体が同じ膜厚の同一絶縁膜で形成された構成となる。
【００２８】
このように保持容量の誘電体を薄くすることで、容量を形成する面積を大きくすることなくキャパシティを稼ぐことができる。この保持容量の構成は前述の特開平１０−０５６１８４号公報にはない。また、ＴＦＴの作製工程を増やすこともないという利点が得られる。
【００２９】
次に、ゲート絶縁膜１１５、１１６、１１７の上には駆動ＴＦＴのゲート配線１１９、１２０と、画素ＴＦＴのゲート配線１２１が形成される。また、同時に保持容量の誘電体１１８の上には保持容量の上部電極１２２が形成される。ゲート配線１１９〜１２１および保持容量の上部電極１２２の形成材料としては、８００〜１１５０℃（好ましくは９００〜１１００℃）の温度に耐える耐熱性を有する導電膜を用いる。
【００３０】
代表的には、導電性を有する珪素膜（例えばリンドープシリコン膜、ボロンドープシリコン膜等）や金属膜（例えばタングステン膜、タンタル膜、モリブデン膜、チタン膜等）でも良いし、前記金属膜をシリサイド化したシリサイド膜、窒化した窒化膜（窒化タンタル膜、窒化タングステン膜、窒化チタン膜等）でも良い。また、これらを自由に組み合わせて積層しても良い。
【００３１】
また、前記金属膜を用いる場合には、金属膜の酸化を防止するために珪素膜との積層構造とすることが望ましい。また、酸化防止という意味では、金属膜を窒化珪素膜で覆った構造が有効である。図１では窒化珪素膜１２３を設けてゲート配線の酸化を防ぐ。
【００３２】
次に、１２４は第１層間絶縁膜であり、珪素を含む絶縁膜（単層または積層）
で形成される。珪素を含む絶縁膜としては、酸化珪素膜、窒化珪素膜、酸化窒化珪素膜（酸素よりも窒素の含有量の方が多い）、窒化酸化珪素膜（窒素よりも酸素の含有量の方が多い）を用いることができる。
【００３３】
そして、第１層間絶縁膜１２４にはコンタクトホールが設けられ、駆動ＴＦＴのソース配線１２５、１２６、ドレイン配線１２７、および画素ＴＦＴのソース配線１２８、ドレイン配線１２９が形成される。その上にはパッシベーション膜１３０、第２層間絶縁膜１３１が形成され、さらにその上にはブラックマスク（遮光膜）１３２が形成される。さらに、ブラックマスク１３２の上には第３層間絶縁膜１３３が形成され、コンタクトホールを設けた後、画素電極１３４が形成される。
【００３４】
第２層間絶縁膜１３１や第３層間絶縁膜１３３としては、比誘電率の小さい樹脂膜が好ましい。樹脂膜としては、ポリイミド膜、アクリル膜、ポリアミド膜、ＢＣＢ（ベンゾシクロブテン）膜などを用いることができる。
【００３５】
また、画素電極１３４としては、透過型ＡＭ−ＬＣＤを作製するのであればＩＴＯ膜に代表される透明導電膜を、反射型ＡＭ−ＬＣＤを作製するのであればアルミニウム膜に代表される反射率の高い金属膜を用いれば良い。
【００３６】
なお、図１では画素電極１３４がドレイン電極１２９を介して画素ＴＦＴのドレイン領域１０７と電気的に接続されているが、画素電極１３４とドレイン領域１０７とが直接的に接続するような構造としても良い。
【００３７】
以上のような構造でなるＡＭ−ＬＣＤは、駆動ＴＦＴのゲート絶縁膜が画素ＴＦＴのゲート絶縁膜よりも薄く、且つ、保持容量の誘電体と駆動ＴＦＴのゲート絶縁膜とが同時に形成された同じ膜厚の絶縁膜で形成されている点に特徴がある。こうすることで、回路の性能に応じた最適なＴＦＴを配置することが可能となり、小面積で大きな容量を確保しうる保持容量を実現することが可能である。
【００３８】
以上の構成でなる本願発明について、以下に示す実施例でもってさらに詳細な説明を行うこととする。
【実施例１】
【００３９】
本実施例では、「発明の実施の形態」で説明した図１の構造を実現するための作製工程について説明する。説明には図２、３を用いる。
【００４０】
まず、基板として石英基板２０１を用意し、その上に２０nm厚の酸化珪素膜２０２と非晶質珪素膜（図示せず）とを大気解放しないまま連続的に成膜する。こうすることで非晶質珪素膜の下表面に大気中に含まれるボロン等の不純物が吸着することを防ぐことができる。
【００４１】
なお、本実施例では非晶質珪素（アモルファスシリコン）膜を用いるが、他の半導体膜であっても構わない。微結晶質珪素（マイクロクリスタルシリコン）膜でも良いし、非晶質シリコンゲルマニウム膜でも良い。
【００４２】
次に、非晶質珪素膜の結晶化を行う。本実施例では結晶化手段として、特開平９−３１２２６０号公報に記載された技術を用いる。同公報に記載された技術は、結晶化を助長する触媒元素としてニッケル、コバルト、パラジウム、ゲルマニウム、白金、鉄または銅から選ばれた元素を用いた固相成長により非晶質珪素膜の結晶化を行う。
【００４３】
本実施例では触媒元素としてニッケルを選択し、非晶質珪素膜上にニッケルを含んだ層を形成し、５５０℃１４時間の熱処理を行って結晶化する。そして、形成された結晶質珪素（ポリシリコン）膜をパターニングして、駆動ＴＦＴの活性層（半導体膜）２０３、画素ＴＦＴの活性層（半導体膜）２０４を形成する。
【００４４】
なお、駆動ＴＦＴおよび画素ＴＦＴの活性層を形成する前後に、結晶質珪素膜に対してＴＦＴのしきい値電圧を制御するための不純物元素（リンまたはボロン）を添加しても良い。この工程はＮＴＦＴまたはＰＴＦＴのみに行っても良いし、双方に行っても良い。
【００４５】
次に、プラズマＣＶＤ法またはスパッタ法によりゲート絶縁膜（第１絶縁膜）
２０５を形成する。このゲート絶縁膜２０５は画素ＴＦＴのゲート絶縁膜として機能することになる絶縁膜であり、膜厚は５０〜２００nmとする。本実施例では１００nm厚の酸化珪素膜を用いる。
【００４６】
また、酸化珪素膜のみでなく酸化珪素膜の上に窒化珪素膜を設けた積層構造とすることもできるし、酸化珪素膜に窒素を添加した酸化窒化珪素膜を用いても構わない。
【００４７】
ゲート絶縁膜２０５を形成したら、レジストマスク（図示せず）を設けてゲート絶縁膜２０５を選択的に除去する。この時、画素ＴＦＴの上にゲート絶縁膜２０５を残し、駆動ＴＦＴおよび保持容量となる領域の上は除去する。こうして図２（Ａ）の状態が得られる。
【００４８】
次に、８００〜１１５０℃（好ましくは９００〜１１００℃）の温度で１５分〜８時間（好ましくは３０分〜２時間）の熱処理工程を、酸化性雰囲気下で行う（熱酸化工程）。本実施例では酸素雰囲気中で９５０℃３０分の熱酸化処理を行う。
【００４９】
なお、酸化性雰囲気としては、ドライ酸素雰囲気でもウェット酸素雰囲気でも良いが、半導体膜中の結晶欠陥の低減にはドライ酸素雰囲気が適している。また、酸素雰囲気中にハロゲン元素を含ませた雰囲気でも良い。このハロゲン元素を含ませた雰囲気による熱酸化工程では、ニッケルを除去する効果も期待できるので有効である。
【００５０】
こうして熱酸化処理を行うことにより駆動ＴＦＴと保持容量となる領域において露呈した半導体膜の表面には、５〜５０nm（好ましくは１０〜３０nm）の酸化珪素膜（酸化膜ともいう）２０６、２０７が形成される。最終的に、酸化珪素膜２０６は駆動ＴＦＴのゲート絶縁膜（第２絶縁膜）として機能し、酸化珪素膜２０７は保持容量の誘電体として機能する。
【００５１】
また、画素ＴＦＴに残存した酸化珪素膜でなるゲート絶縁膜２０５と、その下の半導体膜２０４との界面においても酸化反応が進行する。そのため、最終的に画素ＴＦＴのゲート絶縁膜２０５の膜厚は５０〜２００nm（好ましくは１００〜１５０nm）となる。
【００５２】
こうして熱酸化工程を終了したら、次に駆動ＴＦＴのゲート配線２０９（ＮＴＦＴ側）、２１０（ＰＴＦＴ側）、画素ＴＦＴのゲート配線２１１、保持容量の上部配線（上部電極とも言える）２１２を形成する。なお、ゲート配線２１１は画素ＴＦＴがダブルゲート構造であるためゲート配線を２本記載しているが、実際には同一配線である。
【００５３】
また、本実施例ではゲート配線２０９〜２１１および保持容量の上部配線２１２として、下層から珪素膜（導電性を持たせたもの）／窒化タングステン膜／タングステン膜（または下層から珪素膜／タングステンシリサイド膜）という積層膜を用いる。勿論、「発明の実施の形態」で説明した他の導電膜を用いることも可能であることは言うまでもない。また、本実施例では、各ゲート配線の膜厚は２５０nmとする。
【００５４】
なお、本実施例では最下層の珪素膜を、減圧熱ＣＶＤ法を用いて形成する。駆動回路のゲート絶縁膜は５〜５０nmと薄いため、スパッタ法やプラズマＣＶＤ法を用いた場合、条件によっては半導体膜（活性層）へダメージを与える恐れがある。従って、化学的気相反応で成膜できる熱ＣＶＤ法が好ましい。
【００５５】
次に、ゲート配線２０９〜２１１および保持容量の上部配線２１２を覆って２５nm厚の窒化珪素膜２１３を形成する。この窒化珪素膜２１３はゲート配線２０９〜２１１および保持容量の上部配線２１２の酸化を防ぐと同時に、後に珪素膜でなるサイドウォールを除去する際にエッチングストッパーとして機能する。
【００５６】
この時、窒化珪素膜２１３を形成する前処理として水素を含むガス（本実施例ではアンモニアガス）を用いたプラズマ処理を行うことは有効である。この前処理によりプラズマによって活性化した（励起した）水素が活性層（半導体膜）内に閉じこめられるため、効果的に水素終端が行われる。
【００５７】
さらに、水素を含むガスに加えて亜酸化窒素ガスを加えると、発生した水分によって被処理体の表面が洗浄され、特に大気中に含まれるボロン等による汚染を効果的に防ぐことができる。
【００５８】
こうして図２（Ｂ）の状態を得る。次に、非晶質珪素膜（図示せず）を形成し、塩素系ガスによる異方性エッチングを行ってサイドウォール２１４〜２１８を形成する。サイドウォール２１４〜２１８を形成したら、活性層２０３、２０４に対して周期表の１５族に属する元素（本実施例ではリン）の添加工程を行う。
【００５９】
この時、ゲート配線２０９〜２１１、保持容量の上部電極２１２およびサイドウォール２１４〜２１８がマスクとなり、自己整合的に不純物領域２１９〜２２３が形成される。不純物領域２１９〜２２３に添加されるリンの濃度は５×１０19〜１×１０21atoms/cm3となるように調節する。本明細書中ではこの時のリン濃度を（ｎ+）で表す。（図２（Ｃ））
【００６０】
この工程は、ゲート絶縁膜の膜厚が薄い駆動ＴＦＴおよび保持容量となる領域と、ゲート絶縁膜の膜厚が厚い画素ＴＦＴとなる領域とで分けて行っても良いし、同時に行っても良い。また、リンの添加工程は質量分離を行うイオンインプランテーション法を用いても良いし、質量分離を行わないプラズマドーピング法を用いても良い。また、加速電圧やドーズ量の条件等は実施者が最適値を設定すれば良い。
【００６１】
こうして図２（Ｃ）の状態を得たら、サイドウォール２１４〜２１８を除去し、再びリンの添加工程を行う。この工程は先のリンの添加工程よりも低いドーズ量で添加する。こうして先ほどはサイドウォール２１４〜２１８がマスクとなってリンが添加されなかった領域には低濃度不純物領域が形成される。この低濃度不純物領域に添加されるリンの濃度は５×１０17〜５×１０18atoms/cm3となるように調節する。本明細書中ではこの時のリン濃度を（ｎ-）で表す。（図２（Ｄ））
【００６２】
勿論、この工程もゲート絶縁膜の膜厚が薄い駆動ＴＦＴおよび保持容量となる領域と、ゲート絶縁膜の膜厚が厚い画素ＴＦＴとなる領域とで分けて行っても良いし、同時に行っても良い。また、リンの添加工程は質量分離を行うイオンインプランテーション法を用いても良いし、質量分離を行わないプラズマドーピング法を用いても良い。また、加速電圧やドーズ量の条件等は実施者が最適値を設定すれば良い。
【００６３】
但し、この低濃度不純物領域はＬＤＤ領域として機能することになるため、リンの濃度制御は慎重に行う必要がある。そこで本実施例では、プラズマドーピング法を用い、添加したリンの濃度分布（濃度プロファイル）が図１５に示すような設定とする。
【００６４】
図１５において、駆動回路側のゲート絶縁膜８３と画素部側のゲート絶縁膜８４とは膜厚が異なっている。そのため、添加されるリンの深さ方向の濃度分布が異なるものとなる。
【００６５】
本実施例では、駆動回路側で８５で示される濃度分布をもち、且つ、画素部側で８６で示される濃度分布をもつようにリンの添加条件（加速電圧等）を調節する。この場合、深さ方向の濃度分布は異なるが、結果的に形成される低濃度不純物領域８７、８８のリン濃度はほぼ等しくなる。
【００６６】
なお、この図１５に示した工程は、本明細書中に記載される全ての不純物添加工程において用いることができる。
【００６７】
この工程によりＣＭＯＳ回路を形成するＮＴＦＴのソース領域２２４、ＬＤＤ領域２２５、チャネル形成領域２２６が画定する。また、画素ＴＦＴのソース領域２２７、ドレイン領域２２８、ＬＤＤ領域２２９a、２２９b、チャネル形成領域２３０a、２３０bが画定する。さらに、保持容量の下部電極２３１が画定する。本実施例の場合、保持容量の下部電極２３１はチャネル形成領域２３０aまたは２３０bと同一組成の半導体領域で形成され、真性または実質的に真性となっている。
【００６８】
また、ＣＭＯＳ回路のＰＴＦＴとなる領域にもＮＴＦＴと同様に低濃度不純物領域２３２が形成される。
【００６９】
次に、ＣＭＯＳ回路のＰＴＦＴとなる領域以外をレジストマスク２３３、２３４で隠し、１３族に属する元素（本実施例ではボロン）の添加工程を行う。この工程は既に添加されているリンよりも高濃度の不純物領域を形成するようなドーズ量で添加する。具体的には、１×１０20〜３×１０21atoms/cm3の濃度でボロンが添加されるように調節する。本明細書中ではこの時のボロン濃度を（ｐ++）で表す。その結果、ＰＴＦＴとなる領域に形成されていたＮ型導電性を呈する不純物領域は、全てボロンによって導電型が反転し、Ｐ型導電性を呈する不純物領域となる。（図３（Ａ））
【００７０】
勿論、この工程も質量分離を行うイオンインプランテーション法を用いても良いし、質量分離を行わないプラズマドーピング法を用いても良い。また、加速電圧やドーズ量の条件等は実施者が最適値を設定すれば良い。
【００７１】
この工程によりＣＭＯＳ回路を形成するＰＴＦＴのソース領域２３５、ドレイン領域２３６、チャネル形成領域２３７が画定する。また、ＣＭＯＳ回路のＮＴＦＴのドレイン領域２３８が画定する。
【００７２】
こうして全ての不純物領域を形成し終えたら、レジストマスク２３３、２３４を除去する。そして、７５０〜１１５０℃の温度範囲で２０分〜１２時間の熱処理工程を行う。本実施例では、９５０℃で２時間の熱処理を不活性雰囲気中において行う。（図３（Ｂ））
【００７３】
この工程では各不純物領域に添加されたリンまたはボロンを活性化すると同時に、チャネル形成領域に残存していたニッケル（結晶化時に用いた触媒元素）をリンのゲッタリング作用によってソース領域およびドレイン領域へと移動させる（ゲッタリングする）工程を兼ねている。
【００７４】
処理温度が高い理由は、結晶化工程からゲッタリング工程に至るまでに半導体膜が受けた熱履歴の中で最も高い温度から±５０℃程度の温度を加えないと、リンのゲッタリング作用が有効に働かないからである。本実施例の場合、ゲート絶縁膜形成のために９５０℃の熱履歴を通しているので、９００〜１０００℃の熱処理が有効である。
【００７５】
この工程ではニッケルが図３（Ｂ）の矢印の方向に移動し、ソース領域またはドレイン領域に含まれるリンによってゲッタリング（捕獲）される。これによりチャネル形成領域２３８〜２４１および保持容量の下部電極２４２に含まれるニッケルの濃度は２×１０17atoms/cm3以下（好ましくは１×１０16atoms/cm3以下）にまで低減される。従って、ＴＦＴの動作には全く影響しない。
【００７６】
また、逆に、ソース領域２４３〜２４５およびドレイン領域２４６〜２４８にはニッケルが集中し、１×１０19atoms/cm3以上（代表的には３×１０19〜１×１０21atoms/cm3）の濃度で存在する。
【００７７】
こうして図３（Ｂ）の状態が得られたら、第１層間絶縁膜２４９を形成する。本実施例では、プラズマＣＶＤ法により形成した１μm厚の酸化珪素膜を用いる。そして、コンタクトホールを形成した後、ソース配線２５０〜２５２、ドレイン配線２５３、２５４を形成する。これらの配線はアルミニウムを主成分とする導電膜をチタン膜で挟んだ積層膜で形成する。
【００７８】
この時、ドレイン配線２５３はＣＭＯＳ回路を形成するＮＴＦＴおよびＰＴＦＴに共通の配線として用いられる。また、前述のようにソース領域およびドレイン領域には高濃度にニッケルが含まれるため、ソース配線およびドレイン配線との良好なオーミックコンタクトが実現できる。
【００７９】
その後、パッシベーション膜２５５を形成する。パッシベーション膜２５５としては、窒化珪素膜、酸化窒化珪素膜、窒化酸化珪素膜、またはこれらの絶縁膜と酸化珪素膜との積層膜を用いることができる。本実施例では３００nm厚の窒化珪素膜をパッシベーション膜として用いる。
【００８０】
なお、本実施例では窒化珪素膜を形成する前処理として、アンモニアガスを用いたプラズマ処理を行い、そのままパッシベーション膜２５５を形成する。この前処理によりプラズマで活性化した（励起した）水素がパッシベーション膜２５５によって閉じこめられるため、ＴＦＴの活性層（半導体膜）の水素終端を促進させることができる。
【００８１】
さらに、水素を含むガスに加えて亜酸化窒素ガスを加えると、発生した水分によって被処理体の表面が洗浄され、特に大気中に含まれるボロン等による汚染を効果的に防ぐことができる。
【００８２】
パッシベーション膜２５５を形成したら、第２層間絶縁膜２５６として０．５μm厚の酸化珪素膜、０．２μm厚の窒化酸化珪素膜及び０．５μm厚のアクリル膜を形成する。そして、その上にチタン膜を２００nmの厚さに形成してパターニングを行い、ブラックマスク２５７を形成する。
【００８３】
次に、第３層間絶縁膜２５８として再び１μm厚のアクリル膜を形成してコンタクトホールを形成し、ＩＴＯ膜でなる画素電極２５９を形成する。こうして図３（Ｃ）に示すような構造のＡＭ−ＬＣＤが完成する。
【００８４】
本願発明のＡＭ−ＬＣＤは、同一基板上に形成された駆動回路（または信号処理回路）と画素部とでゲート絶縁膜の膜厚が異なる。代表的には、駆動回路に用いられる駆動ＴＦＴの方が画素部に用いられる画素ＴＦＴよりも薄いゲート絶縁膜を有する。
【００８５】
さらに、駆動ＴＦＴのゲート絶縁膜と、画素部に設けられる保持容量の誘電体は同時に形成され、同一膜厚である点にも特徴がある。
【００８６】
このように本願発明は、駆動ＴＦＴのゲート絶縁膜を薄く形成するための工程を、保持容量の誘電体を薄くするための工程と兼ねる点に特徴がある。このような構成により面積を広げることなく保持容量のキャパシティを増加させることが可能となる。
【００８７】
また、本実施例の作製工程に従うと、最終的なＴＦＴの活性層（半導体膜）は、結晶格子に連続性を持つ特異な結晶構造の結晶質珪素膜で形成される。その特徴について以下に説明する。
【００８８】
上記作製工程に従って形成した活性層は、微視的に見れば複数の針状又は棒状の結晶（以下、棒状結晶と略記する）が集まって並んだ結晶構造を有する。このことはＴＥＭ（透過型電子顕微鏡法）による観察で容易に確認できた。
【００８９】
また、電子線回折及びエックス線（Ｘ線）回折を利用すると活性層の表面（チャネルを形成する部分）が、結晶軸に多少のずれが含まれているものの主たる配向面として｛１１０｝面を有することを確認できた。即ち、本出願人がスポット径約1.5μmの電子線回折写真を詳細に観察した結果、｛１１０｝面に対応する回折斑点がきれいに現れていることが確認され、さらに各斑点は同心円上に分布を持っていることが確認された。
【００９０】
また、本出願人は個々の棒状結晶が接して形成する結晶粒界をＨＲ−ＴＥＭ（高分解能透過型電子顕微鏡法）により観察し、結晶粒界において結晶格子に連続性があることを確認した。これは観察される格子縞が結晶粒界において連続的に繋がっていることから容易に確認できた。
【００９１】
なお、結晶粒界における結晶格子の連続性は、その結晶粒界が「平面状粒界」と呼ばれる粒界であることに起因する。本明細書における平面状粒界の定義は、「Characterization of High-Efficiency Cast-Si Solar Cell Wafers by MBIC Measurement ；Ryuichi Shimokawa and Yutaka Hayashi，Japanese Journal of Applied Physics vol.27，No.5，pp.751-758，1988」に記載された「Planar boundary 」である。
【００９２】
上記論文によれば、平面状粒界には双晶粒界、特殊な積層欠陥、特殊なtwist 粒界などが含まれる。この平面状粒界は電気的に不活性であるという特徴を持つ。即ち、結晶粒界でありながらキャリアの移動を阻害するトラップとして機能しないため、実質的に存在しないと見なすことができる。
【００９３】
特に結晶軸（結晶面に垂直な軸）が〈１１０〉軸である場合、｛２１１｝双晶粒界はΣ３の対応粒界とも呼ばれる。Σ値は対応粒界の整合性の程度を示す指針となるパラメータであり、Σ値が小さいほど整合性の良い粒界であることが知られている。
【００９４】
本実施例を実施して得た結晶質珪素膜において、結晶軸が〈１１０〉である二つの結晶粒の間に形成された結晶粒界をＨＲ−ＴＥＭで観察すると、隣接する結晶粒の各格子縞が約70.5°の角度で連続しているものが多い。従って、その結晶粒界はΣ３の対応粒界、即ち｛２１１｝双晶粒界であると推測できる。
【００９５】
このことから本出願人が本実施例を実施して得た結晶質珪素膜は、結晶粒界の殆ど（９０％以上、典型的には９５％以上）がΣ３の対応粒界、即ち｛２１１｝双晶粒界であると推測される。
【００９６】
この様な結晶構造（正確には結晶粒界の構造）は、結晶粒界において異なる二つの結晶粒が極めて整合性よく接合していることを示している。即ち、結晶粒界において結晶格子が連続的に連なり、結晶欠陥等に起因するトラップ準位を非常に作りにくい構成となっている。従って、この様な結晶構造を有する半導体薄膜は実質的に結晶粒界が存在しない見なすことができる。
【００９７】
またさらに、７００〜１１５０℃という高い温度での熱処理工程（本実施例における熱酸化工程またはゲッタリング工程にあたる）によって結晶粒内に存在する欠陥が殆ど消滅していることがＴＥＭ観察によって確認されている。これはこの熱処理工程の前後で欠陥数が大幅に低減されていることからも明らかである。
【００９８】
この欠陥数の差は電子スピン共鳴分析（Electron Spin Resonance ：ＥＳＲ）によってスピン密度の差となって現れる。現状では本実施例の作製工程に従って作製された結晶質珪素膜のスピン密度は少なくとも 5×1017spins/cm3以下（好ましくは 3×1017spins/cm3以下）であることが判明している。ただし、この測定値は現存する測定装置の検出限界に近いので、実際のスピン密度はさらに低いと予想される。
【００９９】
以上の事から、本実施例を実施することで得られた結晶質珪素膜は結晶粒内及び結晶粒界が実質的に存在しないため、単結晶シリコン膜又は実質的な単結晶シリコン膜と考えて良い。
【０１００】
（ＴＦＴの電気特性に関する知見）
本実施例で作製したＴＦＴは、ＭＯＳＦＥＴに匹敵する電気特性を示した。本出願人が試作したＴＦＴ（但し、活性層の膜厚は３０nm、ゲート絶縁膜の膜厚は１００nm）からは次に示す様なデータが得られている。
【０１０１】
（１）スイッチング性能（オン／オフ動作切り換えの俊敏性）の指標となるサブスレッショルド係数が、Ｎチャネル型ＴＦＴおよびＰチャネル型ＴＦＴともに60〜100mV/decade（代表的には60〜85mV/decade ）と小さい。
（２）ＴＦＴの動作速度の指標となる電界効果移動度（μFE）が、Ｎチャネル型ＴＦＴで 200〜650cm2/Vs （代表的には 300〜500cm2/Vs ）、Ｐチャネル型ＴＦＴで100〜300cm2/Vs（代表的には 150〜200cm2/Vs）と大きい。
（３）ＴＦＴの駆動電圧の指標となるしきい値電圧（Ｖth）が、Ｎチャネル型ＴＦＴで-0.5〜1.5 Ｖ、Ｐチャネル型ＴＦＴで-1.5〜0.5 Ｖと小さい。
【０１０２】
以上の様に、極めて優れたスイッチング特性および高速動作特性が実現可能であることが確認されている。
【０１０３】
（回路特性に関する知見）
次に、本実施例を実施して形成したＴＦＴを用いて作製されたリングオシレータによる周波数特性を示す。リングオシレータとはＣＭＯＳ構造でなるインバータ回路を奇数段リング状に接続した回路であり、インバータ回路１段あたりの遅延時間を求めるのに利用される。実験に使用したリングオシレータの構成は次の様になっている。
段数：９段  
ＴＦＴのゲート絶縁膜の膜厚：30nm及び50nm
ＴＦＴのゲート長（チャネル長）： 0.6μｍ
【０１０４】
このリングオシレータによって発振周波数を調べた結果、最大値で約１ＧＨｚの発振周波数を得ることができた。また、実際にＬＳＩ回路のＴＥＧの一つであるシフトレジスタを作製して動作周波数を確認した。その結果、ゲイト絶縁膜の膜厚30nm、ゲイト長 0.6μｍ、電源電圧５Ｖ、段数５０段のシフトレジスタ回路において動作周波数１００ＭＨｚの出力パルスが得られた。
【０１０５】
以上の様なリングシレータおよびシフトレジスタの驚異的なデータは、本実施例のＴＦＴがＭＯＳＦＥＴに匹敵する、若しくは凌駕する性能（電気特性）を有することを示している。
【実施例２】
【０１０６】
本実施例では、具体的にどのような回路にどのような構造のＴＦＴを配置するかを図４を用いて説明する。
【０１０７】
ＡＭ−ＬＣＤは、回路によって最低限必要な動作電圧（電源電圧）が異なる。
例えば、画素部では液晶に印加する電圧と画素ＴＦＴを駆動するための電圧とを考慮すると、１４〜２０Ｖもの動作電圧となる。そのため、そのような高電圧が印加されても耐えうる程度のＴＦＴを用いなければならない。
【０１０８】
また、ソース駆動回路やゲート駆動回路に用いられるシフトレジスト回路などは、５〜１０Ｖ程度の動作電圧で十分である。動作電圧が低いほど外部信号との互換性もあり、さらに消費電力を抑えられるという利点がある。ところが、前述の高耐圧型ＴＦＴは耐圧特性が良い代わりに動作速度が犠牲なるため、シフトレジスタ回路のように高速動作が求められる回路には不適当である。
【０１０９】
このように、基板上に形成される回路は、目的に応じて耐圧特性を重視したＴＦＴを求める回路と動作速度を重視したＴＦＴを求める回路とに分かれる。
【０１１０】
ここで具体的に本実施例の構成を図４に示す。図４（Ａ）に示したのは、ＡＭ−ＬＣＤのブロック図を上面から見た図である。４０１は画素部であり、画像表示部として機能する。また、４０２aはシフトレジスタ回路、４０２bはレベルシフタ回路、４０２cはバッファ回路である。これらでなる回路が全体としてゲート駆動回路を形成している。
【０１１１】
なお、図４（Ａ）に示したＡＭ−ＬＣＤではゲート駆動回路を、画素部を挟んで設け、それぞれで同一ゲート配線を共有している、即ち、どちらか片方のゲートドライバに不良が発生してもゲート配線に電圧を印加することができるという冗長性を持たせている。
【０１１２】
また、４０３aはシフトレジスタ回路、４０３bはレベルシフタ回路、４０３cはバッファ回路、４０３dはサンプリング回路であり、これらでなる回路が全体としてソース駆動回路を形成している。画素部を挟んでソース駆動回路と反対側にはプリチャージ回路４０４が設けられている。
【０１１３】
このような構成でなるＡＭ−ＬＣＤにおいて、シフトレジスタ回路４０２a、４０３aは高速動作を求める回路であり、動作電圧が３．３〜１０Ｖ（代表的には３．３〜５Ｖ）と低く、高耐圧特性は特に要求されない。従って、ゲート絶縁膜の膜厚は５〜５０nm（好ましくは１０〜３０nm）と薄くした方が良い。
【０１１４】
図４（Ｂ）に示したのは主としてシフトレジスタ回路やその他の信号処理回路のように高速動作を求められる回路に用いるべきＣＭＯＳ回路の概略図である。なお、図４（Ｂ）において、４０５aはＮＴＦＴのゲート絶縁膜、４０５bはＰＴＦＴのゲート絶縁膜であり、膜厚を５〜５０nm（好ましくは１０〜３０nm）と薄く設計している。
【０１１５】
次に、図４（Ｃ）に示すＣＭＯＳ回路は、主としてレベルシフタ回路４０２b、４０３b、バッファ回路４０２c、４０３c、サンプリング回路４０３d、プリチャージ回路４０４に適している。これらの回路は大電流を流す必要があるため、動作電圧は１４〜１６Ｖと高い。特にゲートドライバ側では場合によっては１９Ｖといった動作電圧を必要とする場合もある。従って、非常に良い耐圧特性（高耐圧特性）を有するＴＦＴが必要となる。
【０１１６】
この時、図４（Ｃ）に示したＣＭＯＳ回路において、ＮＴＦＴのゲート絶縁膜４０６a、ＰＴＦＴのゲート絶縁膜４０６bの膜厚は、５０〜２００nm（好ましくは１００〜１５０nm）に設計されている。このように良い耐圧特性を要求する回路は、図４（Ｂ）に示したシフトレジスタ回路などのＴＦＴよりもゲート絶縁膜の膜厚を厚くしておくことが好ましい。
【０１１７】
次に、図４（Ｄ）は画素部４０１の概略図を示している。画素ＴＦＴは液晶に印加する電圧分も加味されるため、１４〜１６Ｖの動作電圧を必要とする。また、液晶及び保持容量に蓄積された電荷を１フレーム期間保持しなければならないため、極力オフ電流は小さくなければならない。
【０１１８】
そういった理由から、本実施例ではＮＴＦＴを用いたダブルゲート構造とし、ゲート絶縁膜４０７の膜厚を５０〜２００nm（好ましくは１００〜１５０nm）としている。この膜厚は図４（Ｃ）に示したＣＭＯＳ回路と同じ膜厚であっても良いし、異なる膜厚であっても良い。
【０１１９】
また、同時に保持容量の誘電体４０８の膜厚は、図４（Ｂ）に示したＣＭＯＳ回路のゲート絶縁膜と同じ膜厚となるため、５〜５０nm（好ましくは１０〜３０nm）である。
【０１２０】
以上のように、ＡＭ−ＬＣＤを例にとっても同一基板上には様々な回路が設けられ、回路によって必要とする動作電圧（電源電圧）が異なることがある。この場合には本願発明のようにゲート絶縁膜の膜厚を異ならせたＴＦＴを配置するなどの使い分けが必要となる。
【実施例３】
【０１２１】
実施例１において、ゲート絶縁膜２０５を選択的に除去する工程に際し、駆動ＴＦＴや保持容量となる領域での除去は図５に示すように行うことが望ましい。図５において、５０１は活性層、５０２はゲート絶縁膜２０５の端部、５０３、５０４はゲート配線である。図５に示すように、ゲート配線が活性層を乗り越える部分５０５では、活性層５０１の端部にゲート絶縁膜２０５を残しておくことが望ましい。
【０１２２】
活性層５０１の端部は後に熱酸化工程を行った際にエッジシニングと呼ばれる現象が起こる。これは、活性層端部の下に潜り込むように酸化反応が進行し、端部が薄くなると同時に上へ盛り上がる現象である。そのため、エッジシニング現象が起こるとゲート配線が乗り越え時に断線しやすいという問題が生じる。
【０１２３】
しかしながら、図５に示したような構造となるようにゲート絶縁膜２０５を除去しておけば、ゲート配線が乗り越える部分５０５においてエッジシニング現象を防ぐことができる。そのため、ゲート配線の断線といった問題を未然に防ぐことが可能である。
【実施例４】
【０１２４】
本実施例では、図１に示した構造のＡＭ−ＬＣＤにおいて、ＴＦＴの下に遮光膜を設けた構造について図６を用いて説明する。
【０１２５】
図６（Ａ）に示した構造は、基本的には図１と同じ構造であるが、各ＴＦＴの下に遮光膜６０１〜６０４が設けられている点のみ異なっている。また、図６（Ｂ）は保持容量の下にも遮光膜６０５が設けられた構造である。遮光膜６０１〜６０５としては、ゲート配線と同様の材料を用いることができる。
【０１２６】
本実施例ではテーパー形状を得やすいように２５０nm厚のタンタル膜を用い、遮光膜形成後に窒化珪素膜（図示せず）で覆って酸化防止の対策をとる。勿論、ゲート配線と同一材料としても構わない。例えば、ｎ型ポリシリコン膜とタングステンシリサイド膜とを積層した構造としても良い。
【０１２７】
また、図６（Ｂ）の構造の場合、遮光膜６０５を保持容量の電極として用いることも可能である。この場合、保持容量の上部配線６０６と遮光膜６０５とを固定電位にしておけば良い。双方の固定電位を同電位としておいても良い。
【０１２８】
また、図６（Ａ）、（Ｂ）において、画素ＴＦＴの下に設けられた遮光膜６０３、６０４はフローティング状態にしておくか、固定電位としておけば良い。固定電位としては、少なくともビデオ信号の最低電位よりも低い電位、好ましくは基板上に形成される回路全体の最低電源電位または最低電源電位よりも低い電位に設定しておくことが望ましい。
【０１２９】
例えば、ＡＭ−ＬＣＤの場合、駆動回路やその他の信号処理回路と画素部とで様々な電源供給線が形成され、それぞれに所定の電位が与えられている。即ち、ある基準となる最低電位があり、それを基準として様々な電圧が形成される。最低電源電位とは、それら回路の全てにおいて基準となる最低電位を指す。
【０１３０】
このように画素ＴＦＴの下に設けられた遮光膜６０３、６０４をフローティング状態か固定電位とすることで、ＴＦＴ動作に影響を与えない（寄生容量等を殆ど形成しない）遮光膜を得ることができる。
【０１３１】
また、駆動回路ではＮＴＦＴ、ＰＴＦＴともに遮光膜６０１、６０２が設けられている。なお、ＮＴＦＴもしくはＰＴＦＴのいずれか一方または両方において遮光膜を設けない構造とすることも可能である。この時、遮光膜６０１、６０２は前述の画素ＴＦＴの遮光膜６０３、６０４と同様にフローティング状態か固定電位（好ましくは最低電源電位）に設定しておくことが望ましい。即ち、単なる遮光膜としての目的で用いることが望ましい。
【０１３２】
以上のように、本実施例の構造とすることで基板側からの迷光などによる光リーク電流の発生を防ぐことができる。なお、本実施例の構成は実施例３の構成と組み合わせても良い。
【実施例５】
【０１３３】
本実施例では、実施例１と異なる工程でＡＭ−ＬＣＤを作製する場合の例について図７、図８を用いて説明する。
【０１３４】
まず、実施例１の作製工程に従って、石英基板２０１上に酸化珪素膜（下地膜）と非晶質珪素膜（図示せず）を連続成膜し、非晶質珪素膜の結晶化した後、結晶質珪素膜でなる活性層２０３、２０４を形成する。
【０１３５】
活性層まで形成したら、図７（Ａ）に示すように、活性層の上にレジストマスク７０１〜７０３を形成し、周期表の１５族に属する元素（本実施例ではリン）の添加工程を行う。こうしてリンが添加された領域（以下、リンドープ領域という）７０４〜７０８が形成される。
【０１３６】
なお、レジストマスク７０１〜７０３を形成する前に活性層表面を酸化しておくことが好ましい。酸化珪素膜を設けておくことで、活性層とレジストマスクとの密着性を高められる他、活性層が有機物で汚染されることを防げる。
【０１３７】
レジストマスク７０１、７０２は駆動ＴＦＴの活性層の上に設けられ、後にソース領域またはドレイン領域となる領域の一部（または全部）を露呈させるようにして配置される。また、レジストマスク７０３は画素ＴＦＴのソース領域またはドレイン領域の一部（または全部）を露呈させるようにして配置される。この時、保持容量の下部電極となる領域は全面的に露呈され、リンドープ領域７０８となる。
【０１３８】
また、添加するリンの濃度は５×１０18〜１×１０20atoms/cm3（好ましくは１×１０19〜５×１０19atoms/cm3）が好ましい。但し、添加すべきリンの濃度は、後のゲッタリング工程の温度、時間、さらにはリンドープ領域の面積によって変化するため、この濃度範囲に限定されるものではない。
【０１３９】
次に、レジストマスク７０１〜７０３を除去して、５００〜６５０℃の熱処理を２〜１６時間加え、珪素膜の結晶化に用いた触媒元素（本実施例ではニッケル）のゲッタリング工程を行う。実施例１にも述べたように、ゲッタリング作用を奏するためには熱履歴の最高温度から±５０℃程度の温度が必要であるが、結晶化のための熱処理が５５０〜６００℃で行われるため、５００〜６５０℃の熱処理で十分にゲッタリング作用を奏することができる。
【０１４０】
本実施例では６００℃、８時間の熱処理を加えることによってニッケルが矢印の方向、即ちリンドープ領域７０４〜７０８に移動する。このことはニッケルがリンドープ領域７０４〜７０８にゲッタリングされると表現しても良い。こうしてゲッタリング領域７０９〜７１３が形成される。このゲッタリング領域は、７０９〜７１２はＴＦＴのソース領域またはドレイン領域の一部または全部として残り、７１３は保持容量の下部電極として残る。（図７（Ｂ））
【０１４１】
こうして図７（Ｂ）のゲッタリング工程まで行ったらゲート絶縁膜（図示せず）を形成してパターニングを行い、画素ＴＦＴのゲート絶縁膜２０５を形成する。この工程から先は実施例１の工程に従えば良いので説明は省略する。
【０１４２】
以上のようにして、図８に示すようなＡＭ−ＬＣＤが完成する。図８に示すＡＭ−ＬＣＤの断面構造は、図１に示したＡＭ−ＬＣＤの断面構造と同じである。本実施例で異なる点は、駆動回路のソース領域１０３、１０７、およびドレイン領域１０４、１０８の一部に、ニッケルを含む領域８０１〜８０３が存在する点である。
【０１４３】
このニッケルを含む領域８０１〜８０３には、１×１０19atoms/cm3以上（代表的には３×１０19〜１×１０21atoms/cm3）の濃度でニッケルが存在する。しかしながら、ニッケルは非常に安定した状態で存在するため、ＴＦＴ特性の不安定材料とはならない。
【０１４４】
また、本実施例（図８）ではドレイン配線１２７と、ＮＴＦＴのドレイン領域１０４およびＰＴＦＴのドレイン領域１０８とが接するコンタクト部がニッケルを含む領域８０２となっている。このような構成であると、金属でなるニッケルの存在により良いオーミックコンタクトを得ることができる。おそらくニッケルの存在によりシリサイド化しているためと推測される。
【０１４５】
また、図８ではソース領域１０３とソース配線１２５（またはソース領域１０７とソース配線１２６）とがニッケルを含む領域を介さないで接しているが、ドレイン配線と同様に、ニッケルを含む領域を介して接するようにすることも可能であることは言うまでもない。
【０１４６】
以上のことは画素部のソース領域１１０、ドレイン領域１１１に対しても同様である。これらの領域の一部にもニッケルを含む領域８０４、８０５が存在する。
【０１４７】
本実施例の特徴のもう一つは、保持容量の下部電極１１４には５×１０18〜１×１０20atoms/cm3（好ましくは１×１０19〜５×１０19atoms/cm3）の濃度でリンが存在し、且つ、１×１０19atoms/cm3以上（代表的には３×１０19〜１×１０21atoms/cm3）の濃度でニッケルが存在する。即ち、保持容量の上部配線１２２に電圧を印加しなくても、そのまま電極として用いることが可能となっているため、ＡＭ−ＬＣＤの消費電力の低減に有効である。
【０１４８】
以上のように本実施例の作製工程の特徴として、ゲッタリング工程のために行われるリンの添加工程が、保持容量の下部電極に導電性を持たせるために行われるリンの添加工程を兼ねている点が挙げられる。こうすることで作製工程を増やすことなく、消費電力を低減することが可能である。
【０１４９】
なお、本実施例の構成は、実施例１〜４のいずれの実施例とも自由に組み合わせることが可能である。
【実施例６】
【０１５０】
実施例５の図７（Ａ）の作製工程において、レジストマスク７０１〜７０３を形成する前に、活性層を覆って予め画素ＴＦＴ用のゲート絶縁膜（図７（Ｃ）のゲート絶縁膜２０５に相当する。）を形成しておくこともできる。
【０１５１】
即ち、図７（Ａ）のリンの添加工程は５０〜２００nmの膜厚で設けられたゲート絶縁膜を介したスルードーピングで行われることになる。そして、レジストマスク７０１〜７０３を除去した後、ゲート絶縁膜で活性層が覆われたままゲッタリング工程が行われる。ゲッタリング工程が終了したら、ゲート絶縁膜のパターニングを行い、図７（Ｃ）と同様の構造となる。
【０１５２】
本実施例の利点は、ゲッタリング工程の際に、活性層が露呈していない点である。活性層が露呈している場合、処理温度、処理雰囲気等の条件によってはリンドープ領域７０４〜７０８に存在するリンが雰囲気中を拡散し、後にチャネル形成領域となる領域にまで添加されてしまう恐れがある。しかしながら、本実施例のようにゲート絶縁膜で覆っていればそういった問題は起こらない。
【０１５３】
なお、本実施例の構成は、実施例１〜４のいずれの実施例とも自由に組み合わせることが可能である。また、最終的に完成したＡＭ−ＬＣＤの特徴に関しては実施例５で説明した図８と同様であるので説明は省略する。
【実施例７】
【０１５４】
本実施例では、実施例１に示した作製工程で基板上にＴＦＴを形成し、実際にＡＭ−ＬＣＤを作製した場合について説明する。
【０１５５】
図３（Ｃ）の状態が得られたら、画素電極２５９上に配向膜を８０nmの厚さに形成する。次に、対向基板としてガラス基板上にカラーフィルタ、透明電極（対向電極）、配向膜を形成したものを準備し、それぞれの配向膜に対してラビング処理を行い、シール材（封止材）を用いてＴＦＴが形成された基板と対向基板とを貼り合わせる。そして、その間に液晶を保持させる。このセル組み工程は公知の手段を用いれば良いので詳細な説明は省略する。
【０１５６】
なお、セルギャップを維持するためのスペーサは必要に応じて設ければ良い。従って、対角１インチ以下のＡＭ−ＬＣＤのようにスペーサがなくてもセルギャップを維持できる場合は特に設けなくても良い。
【０１５７】
次に、以上のようにして作製したＡＭ−ＬＣＤの外観を図９に示す。アクティブマトリクス基板（ＴＦＴが形成された基板を指す）９０１には画素部９０２、ソース駆動回路９０３、ゲート駆動回路９０４、信号処理回路（信号分割回路、Ｄ／Ａコンバータ回路、γ補正回路、差動増幅回路等）９０５が形成され、ＦＰＣ（フレキシブルプリントサーキット）９０６が取り付けられている。なお、９０７は対向基板である。
【０１５８】
なお、本実施例は実施例１〜６のいずれの構成とも自由に組み合わせることが可能である。
【実施例８】
【０１５９】
本実施例では、実施例１において結晶質珪素膜の形成に他の手段を用いた場合について説明する。
【０１６０】
具体的には、非晶質珪素膜の結晶化に特開平７−１３０６５２号公報（米国特許出願番号０８／３２９，６４４に対応）の実施例２に記載された技術を用いる。同公報に記載された技術は、結晶化を促進する触媒元素（代表的にはニッケル）を非晶質珪素膜の表面に選択的に保持させ、その部分を核成長の種として結晶化を行う技術である。
【０１６１】
この技術によれば、結晶成長に特定の方向性を持たせることができるので非常に結晶性の高い結晶質珪素膜を形成することが可能である。
【０１６２】
なお、本実施例の構成は実施例１〜７のいずれの構成とも自由に組み合わせることが可能である。
【実施例９】
【０１６３】
本実施例では、実施例１とは異なる順序で１３族または周期表の１５族に属する元素を添加してソース領域およびドレイン領域を形成する例を説明する。説明には図１０を用いる。
【０１６４】
まず、実施例１の工程に従って図２（Ｂ）の状態を得る。次に、リンの添加工程を行い、低濃度不純物領域１１a〜１１fを得る。この時、添加されるリン濃度は（ｎ-）であり、低濃度不純物領域１１a〜１１fには５×１０17〜５×１０18atoms/cm3の濃度でリンが添加されている。（図１０（Ａ））
【０１６５】
次に、実施例１と同様にしてサイドウォール１２a〜１２eを形成し、再びリンの添加工程を行う。この時、添加されるリンの濃度は（ｎ+）である。こうして、駆動回路のＮＴＦＴのソース領域１３、ＬＤＤ領域１４およびチャネル形成領域１５が画定し、画素部のソース領域１６、ドレイン領域１７、ＬＤＤ領域１８a、１８bおよびチャネル形成領域１９a、１９b、保持容量の下部電極２０が画定する。（図１０（Ｂ））
【０１６６】
次に、レジストマスク２１a、２１bを形成し、ボロンの添加工程を行う。この時、添加されるボロンの濃度は（ｐ++）である。こうして、駆動回路のＮＴＦＴのドレイン領域２２、ＰＴＦＴのソース領域２３、ドレイン領域２４およびチャネル形成領域２５が画定する。（図１０（Ｃ））
【０１６７】
以下の工程は実施例１の作製工程に従えば良い。本実施例の構成は実施例２〜８のいずれの実施例とも自由に組み合わせることが可能である。
【実施例１０】
【０１６８】
本実施例では、実施例１とは異なる順序で１３族または周期表の１５族に属する元素を添加してソース領域およびドレイン領域を形成する例を説明する。説明には図１１を用いる。
【０１６９】
まず、実施例１の工程に従って図２（Ｂ）の状態を得た後、レジストマスク２７a、２７bを形成する。そして、ボロンの添加工程を行う。この時、添加されるボロンの濃度は（ｐ++）である。こうして、駆動回路のＰＴＦＴのソース領域２８、ドレイン領域２９およびチャネル形成領域３０が画定する。（図１１（Ａ））
【０１７０】
次に、レジストマスク２７a、２７bを除去し、実施例１と同様にしてサイドウォール３１a〜３１eを形成する。そして、リンの添加工程を行う。この時、添加されるリンの濃度は（ｎ+）である。こうして、５×１０19〜１×１０21atoms/cm3の濃度でリンが添加された不純物領域３２a〜３２dが形成される。（図１１（Ｂ））
【０１７１】
次に、サイドウォール３１a〜３１eを除去し、再度リンの添加工程を行う。この時、添加されるリン濃度は（ｎ-）である。こうして、駆動回路のＮＴＦＴのソース領域３３、ドレイン領域３４、ＬＤＤ領域３５およびチャネル形成領域３６が画定し、画素部のソース領域３７、ドレイン領域３８、ＬＤＤ領域３９a、３９bおよびチャネル形成領域４０a、４０b、保持容量の下部電極４１が画定する。（図１１（Ｃ））
【０１７２】
以下の工程は実施例１の作製工程に従えば良い。本実施例の構成は実施例２〜８のいずれの実施例とも自由に組み合わせることが可能である。
【実施例１１】
【０１７３】
本実施例では、実施例１とは異なる順序で１３族または周期表の１５族に属する元素を添加してソース領域およびドレイン領域を形成する例を説明する。説明には図１２を用いる。
【０１７４】
まず、実施例１の工程に従って図２（Ｂ）の状態を得た後、レジストマスク２７a、２７bを形成する。そして、ボロンの添加工程を行う。この時、添加されるボロンの濃度は（ｐ++）である。こうして、駆動回路のＰＴＦＴのソース領域２８、ドレイン領域２９およびチャネル形成領域３０が画定する。ここまでは実施例１０と同じである。（図１２（Ａ））
【０１７５】
次に、レジストマスク２７a、２７bを除去し、リンの添加工程を行う。この時、添加されるリンの濃度は（ｎ-）である。こうして、５×１０17〜５×１０18atoms/cm3の濃度でリンが添加された低濃度不純物領域４３a〜４３eが形成される。（図１２（Ｂ））
【０１７６】
次に、実施例１と同様にしてサイドウォール４４a〜４４eを形成する。そして、再びリンの添加工程を行う。この時、添加されるリンの濃度は（ｎ+）である。こうして、駆動回路のＮＴＦＴのソース領域４５、ドレイン領域４６、ＬＤＤ領域４７およびチャネル形成領域４８が画定し、画素部のソース領域４９、ドレイン領域５０、ＬＤＤ領域５１a、５１bおよびチャネル形成領域５２a、５２b、保持容量の下部電極５３が画定する。（図１２（Ｃ））
【０１７７】
以下の工程は実施例１の作製工程に従えば良い。本実施例の構成は実施例２〜８のいずれの実施例とも自由に組み合わせることが可能である。
【実施例１２】
【０１７８】
本実施例では、実施例１とは異なる順序で１３族または周期表の１５族に属する元素を添加してソース領域およびドレイン領域を形成する例を説明する。説明には図１３を用いる。
【０１７９】
まず、実施例１の工程に従って図２（Ｃ）の状態を得る。この状態を図１３（Ａ）に示す。
【０１８０】
次に、サイドウォール２１４〜２１６を除去した後、レジストマスク５５a、５５bを形成する。そして、ボロンの添加工程を行う。この時、添加されるボロンの濃度は（ｐ++）である。こうして、駆動回路のＰＴＦＴのソース領域５６、ドレイン領域５７およびチャネル形成領域５８が画定する。（図１３（Ｂ））
【０１８１】
次に、レジストマスク５５a、５５bを除去し、再びリンの添加工程を行う。この時、添加されるリンの濃度は（ｎ-）である。こうして、駆動回路のＮＴＦＴのソース領域５９、ドレイン領域６０、ＬＤＤ領域６１およびチャネル形成領域６２が画定し、画素部のソース領域６３、ドレイン領域６４、ＬＤＤ領域６５a、６５bおよびチャネル形成領域６６a、６６b、保持容量の下部電極６７が画定する。（図１３（Ｃ））
【０１８２】
以下の工程は実施例１の作製工程に従えば良い。本実施例の構成は実施例２〜８のいずれの実施例とも自由に組み合わせることが可能である。
【実施例１３】
【０１８３】
本実施例では、実施例１とは異なる順序で１３族または周期表の１５族に属する元素を添加してソース領域およびドレイン領域を形成する例を説明する。説明には図１４を用いる。
【０１８４】
まず、実施例１の工程に従って図２（Ｂ）の状態を得る。次に、リンの添加工程を行い、低濃度不純物領域１１a〜１１fを得る。この時、添加されるリン濃度は（ｎ-）であり、低濃度不純物領域１１a〜１１fには５×１０17〜５×１０18atoms/cm3の濃度でリンが添加されている。（図１４（Ａ））
【０１８５】
次に、レジストマスク６８a、６８bを形成し、ボロンの添加工程を行う。この時、添加されるボロンの濃度は（ｐ++）である。こうして、駆動回路のＰＴＦＴのソース領域６９、ドレイン領域７０およびチャネル形成領域７１が画定する。
（図１４（Ｂ））
【０１８６】
次に、実施例１と同様にしてサイドウォール７２a〜７２eを形成し、再びリンの添加工程を行う。この時、添加されるリンの濃度は（ｎ+）である。こうして、駆動回路のＮＴＦＴのソース領域７３、ドレイン領域７４、ＬＤＤ領域７５およびチャネル形成領域７６が画定し、画素部のソース領域７７、ドレイン領域７８、ＬＤＤ領域７９a、７９bおよびチャネル形成領域８０a、８０b、保持容量の下部電極８１が画定する。（図１４（Ｃ））
【０１８７】
以下の工程は実施例１の作製工程に従えば良い。本実施例の構成は実施例２〜８のいずれの実施例とも自由に組み合わせることが可能である。
【実施例１４】
【０１８８】
実施例１、５、６、８〜１３に示した作製工程では、ＬＤＤ領域の形成にサイドウォールを用いているが、通常のレジストマスクを用いたパターニングによってＬＤＤ領域を形成することも可能である。
【０１８９】
この場合、サイドウォールを用いた場合に比べてＬＤＤ領域の幅（長さ）を自由に設計することができる。従って、ＬＤＤ領域の幅を０．１μm以上に設計するような場合には有効な技術と言える。
【実施例１５】
【０１９０】
本実施例では、実施例４と異なる工程でＡＭ−ＬＣＤを作製する場合の例について図１６を用いて説明する。なお、実施例４と同一の部分には同じ符号を付して説明する。
【０１９１】
まず、実施例１の作製工程に従って、石英基板２０１上に非晶質珪素膜（図示せず）を成膜し、非晶質珪素膜の結晶化した後、結晶質珪素膜でなる活性層を形成する。活性層まで形成したら、図１６（Ａ）に示すように、活性層の上に酸化珪素膜からなるマスク１６０１a〜１６０１cを形成し、周期表の１５族に属する元素（本実施例ではリン）の添加工程を行う。添加する周期表の１５族に属する元素の濃度は実施例４を参照すれば良い。（図１６（Ａ））
【０１９２】
こうしてリンドープ領域７０４〜７０８が形成される。なお、マスク１６０１a〜１６０１cの形成に用いたレジストマスク（図示せず）を残して上記周期表の１５族に属する元素の添加工程を行っても良い。
【０１９３】
マスク１６０１a、１６０１bは駆動ＴＦＴの活性層の上に設けられ、後にソース領域またはドレイン領域となる領域の一部を露呈させるようにして配置される。また、マスク１６０１cは画素ＴＦＴのソース領域またはドレイン領域の一部を露呈させるようにして配置される。この時、保持容量の下部電極となる領域は一部が露呈される。
【０１９４】
次に、マスク１６０１a〜１６０１cを残したまま、５００〜６５０℃の熱処理を２〜１６時間加え、ニッケルのゲッタリング工程を行う。本実施例では６００℃、１２時間の熱処理を加えることによってニッケルが矢印の方向、即ちリンドープ領域７０４〜７０８に移動する。こうしてゲッタリング領域７０９〜７１３が形成される。（図１６（Ｂ））
【０１９５】
こうして図１６（Ｂ）のゲッタリング工程まで行ったら、次にマスク１６０１a〜１６０１cをマスクとしてゲッタリング領域７０９〜７１３を除去する。この工程はフッ素系ガスを用いたドライエッチング法で行えば良い。こうしてニッケルの低減または除去された結晶質珪素膜１６０２〜１６０４が形成される。（図１６（Ｃ））
【０１９６】
結晶質珪素膜１６０２、１６０３はパターニングすることにより駆動ＴＦＴの活性層となり、結晶質珪素膜１６０４はパターニングすることにより画素ＴＦＴの活性層及び保持容量の下部電極となる。このあとは、実施例４の図７（Ｂ）以降の工程に従えば良い。
【０１９７】
なお、本実施例の構成は、実施例１〜１４のいずれの実施例とも自由に組み合わせることが可能である。
【実施例１６】
【０１９８】
本実施例では実施例１とは異なる方法で第１層間絶縁膜を形成する例について説明する。説明には図１７を用いる。
【０１９９】
まず、実施例１の作製工程に従って図３（Ｂ）に示したゲッタリング工程までを終了させる。次に、５０〜１００ｎｍ（本実施例では７０ｎｍ）の窒化酸化珪素膜（Ａ）１７０１を形成し、その上に６００ｎｍ〜１μm（本実施例では８００ｎｍ）の窒化酸化珪素膜（Ｂ）１７０２を形成する。さらに、その上にレジストマスク１７０３を形成する。（図１７（Ａ））
【０２００】
なお、窒化酸化珪素膜（Ａ）１７０１と窒化酸化珪素膜（Ｂ）１７０２とでは含有される窒素、酸素、水素及び珪素の組成比が異なる。窒化酸化珪素膜（Ａ）１７０１は窒素７％、酸素５９％、水素２％、珪素３２％となっており、窒化酸化珪素膜（Ｂ）１７０２は窒素３３％、酸素１５％、水素２３％、珪素２９％となっている。勿論、この組成比に限定されるものではない。
【０２０１】
また、レジストマスク１７０３は膜厚が厚いため、窒化酸化珪素膜（Ｂ）１７０２の表面の起伏を完全に平坦化することができる。
【０２０２】
次に、四フッ化炭素と酸素との混合ガスを用いたドライエッチング法によりレジストマスク１７０３及び窒化酸化珪素膜（Ｂ）１７０２のエッチングを行う。本実施例の場合、四フッ化炭素と酸素との混合ガスを用いたドライエッチングにおいて、窒化酸化珪素膜（Ｂ）１７０２とレジストマスク１７０３のエッチングレートがほぼ等しい。
【０２０３】
このエッチング工程により図１７（Ｂ）に示すようにレジストマスク１７０３は完全に除去され、窒化酸化珪素膜（Ｂ）１７０２の一部（本実施例では表面から深さ３００ｎｍまで）がエッチングされる。その結果、レジストマスク１７０３の表面の平坦度がそのままエッチングされた窒化酸化珪素膜（Ｂ）の表面の平坦度に反映される。
【０２０４】
こうして極めて平坦性の高い第１層間絶縁膜１７０４を得る。本実施例の場合、第１層間絶縁膜１７０４の膜厚は５００ｎｍとなる。このあとの工程は実施例１の作製工程を参照すれば良い。
【０２０５】
なお、本実施例の構成は、実施例１〜１５のいずれの実施例とも自由に組み合わせることが可能である。
【実施例１７】
【０２０６】
本実施例では、本願発明を用いてＥＬ（エレクトロルミネッセンス）表示装置を作製した例について説明する。なお、図１８（Ａ）は本願発明のＥＬ表示装置の上面図であり、図１８（Ｂ）はその断面図である。
【０２０７】
図１８（Ａ）において、３００１は基板、３００２は画素部、３００３はソース側駆動回路、３００４はゲート側駆動回路であり、それぞれの駆動回路は配線３００５を経てＦＰＣ（フレキシブルプリントサーキット）３００６に至り、外部機器へと接続される。
【０２０８】
このとき、画素部３００２、ソース側駆動回路３００３及びゲート側駆動回路３００４を囲むようにして第１シール材３１０１、カバー材３１０２、充填材３１０３及び第２シール材３１０４が設けられている。
【０２０９】
また、図１８（Ｂ）は図１８（Ａ）をＡ−Ａ’で切断した断面図に相当し、基板３００１の上にソース側駆動回路３００３に含まれる駆動ＴＦＴ（但し、ここではｎチャネル型ＴＦＴとｐチャネル型ＴＦＴを図示している。）３２０１及び画素部３００２に含まれる画素ＴＦＴ（但し、ここではＥＬ素子への電流を制御するＴＦＴを図示している。）３２０２が形成されている。
【０２１０】
本実施例では、駆動ＴＦＴ３２０１には図１の駆動回路と同じ構造のＴＦＴが用いられる。また、画素ＴＦＴ３２０２には図１の画素部と同じ構造のＴＦＴが用いられる。
【０２１１】
駆動ＴＦＴ３２０１及び画素ＴＦＴ３２０２の上には樹脂材料でなる層間絶縁膜（平坦化膜）３３０１が形成され、その上に画素ＴＦＴ３２０２のドレインと電気的に接続する画素電極（陰極）３３０２が形成される。画素電極３３０２としては遮光性を有する導電膜（代表的にはアルミニウム、銅もしくは銀を主成分とする導電膜またはそれらと他の導電膜との積層膜）を用いることができる。本実施例ではアルミニウム合金を画素電極として用いる。
【０２１２】
そして、画素電極３３０２の上には絶縁膜３３０３が形成され、絶縁膜３３０３は画素電極３３０２の上に開口部が形成されている。この開口部において、画素電極３３０２の上にはＥＬ（エレクトロルミネッセンス）層３３０４が形成される。ＥＬ層３３０４は公知の有機ＥＬ材料または無機ＥＬ材料を用いることができる。また、有機ＥＬ材料には低分子系（モノマー系）材料と高分子系（ポリマー系）材料があるがどちらを用いても良い。
【０２１３】
ＥＬ層３３０４の形成方法は公知の技術を用いれば良い。また、ＥＬ層の構造は正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層または電子注入層を自由に組み合わせて積層構造または単層構造とすれば良い。
【０２１４】
ＥＬ層３３０４の上には透明導電膜からなる陽極３３０５が形成される。透明導電膜としては、酸化インジウムと酸化スズとの化合物または酸化インジウムと酸化亜鉛との化合物を用いることができる。また、陽極３３０５とＥＬ層３３０４の界面に存在する水分や酸素は極力排除しておくことが望ましい。従って、真空中で両者を連続成膜するか、ＥＬ層３３０４を窒素または希ガス雰囲気で形成し、酸素や水分に触れさせないまま陽極３３０５を形成するといった工夫が必要である。本実施例ではマルチチャンバー方式（クラスターツール方式）の成膜装置を用いることで上述のような成膜を可能とする。
【０２１５】
そして陽極３３０５は３３０６で示される領域において配線３００５に電気的に接続される。配線３００５は陽極３３０５に所定の電圧を与えるための配線であり、導電性材料３３０７を介してＦＰＣ３００６に電気的に接続される。
【０２１６】
以上のようにして、画素電極（陰極）３３０２、ＥＬ層３３０４及び陽極３３０５からなるＥＬ素子が形成される。このＥＬ素子は、第１シール材３１０１及び第１シール材３１０１によって基板３００１に貼り合わされたカバー材３１０２で囲まれ、充填材３１０３により封入されている。
【０２１７】
カバー材３１０２としては、ガラス板、ＦＲＰ（Ｆｉｂｅｒｇｌａｓｓ−Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ）板、ＰＶＦ（ポリビニルフルオライド）フィルム、マイラーフィルム、ポリエステルフィルムまたはアクリルフィルムを用いることができる。本実施例の場合、ＥＬ素子からの光の放射方向がカバー材３１０２の方へ向かうため透光性材料を用いる。
【０２１８】
但し、ＥＬ素子からの光の放射方向がカバー材とは反対側に向かう場合には透光性材料を用いる必要はなく、金属板（代表的にはステンレス板）、セラミックス板、またはアルミニウムホイルをＰＶＦフィルムやマイラーフィルムで挟んだ構造のシートを用いることができる。
【０２１９】
また、充填材３１０３としては紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂を用いることができ、ＰＶＣ（ポリビニルクロライド）、アクリル、ポリイミド、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ＰＶＢ（ポリビニルブチラル）またはＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）を用いることができる。この充填材３１０３の内部に吸湿性物質（好ましくは酸化バリウム）を設けておくとＥＬ素子の劣化を抑制できる。なお、本実施例ではＥＬ素子からの光が充填材３１０３を通過できるように、透明な材料を用いる。
【０２２０】
また、充填材３１０３の中にスペーサを含有させてもよい。このとき、スペーサを酸化バリウムで形成すればスペーサ自体に吸湿性をもたせることが可能である。また、スペーサを設けた場合、スペーサからの圧力を緩和するバッファ層として陽極３３０５上に樹脂膜を設けることも有効である。
【０２２１】
また、配線３００５は導電性材料３３０７を介してＦＰＣ３００６に電気的に接続される。配線３００５は画素部３００２、ソース側駆動回路３００３及びゲート側駆動回路３００４に送られる信号をＦＰＣ３００６に伝え、ＦＰＣ３００６により外部機器と電気的に接続される。
【０２２２】
また、本実施例では第１シール材３１０１の露呈部及びＦＰＣ３００６の一部を覆うように第２シール材３１０４を設け、ＥＬ素子を徹底的に外気から遮断する構造となっている。こうして図１８（Ｂ）の断面構造を有するＥＬ表示装置となる。なお、本実施例のＥＬ表示装置は実施例１乃至６または８乃至１６のいずれの構成を組み合わせて作製しても構わない。
【実施例１８】
【０２２３】
本実施例では、実施例１７に示したＥＬ表示装置の画素部に用いることができる画素構造の例を図１９（Ａ）〜（Ｃ）に示す。なお、本実施例において、３４０１はスイッチング用ＴＦＴ３４０２のソース配線、３４０３はスイッチング用ＴＦＴ３４０２のゲート配線、３４０４は電流制御用ＴＦＴ、３４０５はコンデンサ、３４０６、３４０８は電流供給線、３４０７はＥＬ素子とする。
【０２２４】
図１９（Ａ）は、二つの画素間で電流供給線３４０６を共通とした場合の例である。即ち、二つの画素が電流供給線３４０６を中心に線対称となるように形成されている点に特徴がある。この場合、電源供給線の本数を減らすことができるため、画素部をさらに高精細化することができる。
【０２２５】
また、図１９（Ｂ）は、電流供給線３４０８をゲート配線３４０３と平行に設けた場合の例である。なお、図１９（Ｂ）では電流供給線３４０８とゲート配線３４０３とが重ならないように設けた構造となっているが、両者が異なる層に形成される配線であれば、絶縁膜を介して重なるように設けることもできる。この場合、電源供給線３４０８とゲート配線３４０３とで専有面積を共有させることができるため、画素部をさらに高精細化することができる。
【０２２６】
また、図１９（Ｃ）は、図１９（Ｂ）の構造と同様に電流供給線３４０８をゲート配線３４０３と平行に設け、さらに、二つの画素を電流供給線３４０８を中心に線対称となるように形成する点に特徴がある。また、電流供給線３４０８をゲート配線３４０３のいずれか一方と重なるように設けることも有効である。この場合、電源供給線の本数を減らすことができるため、画素部をさらに高精細化することができる。
【実施例１９】
【０２２７】
本願発明の電気光学装置、具体的には本願発明の液晶表示装置にはネマチック液晶以外にも様々な液晶を用いることが可能である。例えば、1998, SID, "Characteristics and Driving Scheme of Polymer-Stabilized Monostable FLCD Exhibiting Fast Response Time and High Contrast Ratio with Gray-Scale Capability" by H. Furue et al.や、1997, SID DIGEST, 841, "A Full-Color Thresholdless Antiferroelectric LCD Exhibiting Wide Viewing Angle with Fast Response Time" by T. Yoshida et al.や、1996, J. Mater. Chem. 6(4), 671-673, "Thresholdless antiferroelectricity in liquid crystals and its application to displays" by S. Inui et al.や、米国特許第5594569 号に開示された液晶を用いることが可能である。
【０２２８】
また、等方相−コレステリック相−カイラルスメクティック相転移系列を示す強誘電性液晶（ＦＬＣ）を用い、ＤＣ電圧を印加しながらコレステリック相−カイラルスメクティック相転移をさせ、かつコーンエッジをほぼラビング方向に一致させた単安定ＦＬＣの電気光学特性を図２０に示す。
【０２２９】
図２０に示すような強誘電性液晶による表示モードは「Ｈａｌｆ−Ｖ字スイッチングモード」と呼ばれている。図２０に示すグラフの縦軸は透過率（任意単位）、横軸は印加電圧である。「Ｈａｌｆ−Ｖ字スイッチングモード」については、寺田らの”Ｈａｌｆ−Ｖ字スイッチングモードＦＬＣＤ”、第４６回応用物理学関係連合講演会講演予稿集、１９９９年３月、第１３１６頁、および吉原らの”強誘電性液晶による時分割フルカラーＬＣＤ”、液晶第３巻第３号第１９０頁に詳しい。
【０２３０】
図２０に示されるように、このような強誘電性混合液晶を用いると、低電圧駆動かつ階調表示が可能となることがわかる。本願発明の液晶表示装置には、このような電気光学特性を示す強誘電性液晶も用いることができる。
【０２３１】
また、ある温度域において反強誘電相を示す液晶を反強誘電性液晶（ＡＦＬＣ）という。反強誘電性液晶を有する混合液晶には、電場に対して透過率が連続的に変化する電気光学応答特性を示す、無しきい値反強誘電性混合液晶と呼ばれるものがある。この無しきい値反強誘電性混合液晶は、いわゆるＶ字型の電気光学応答特性を示すものがあり、その駆動電圧が約±２．５Ｖ程度（セル厚約１μｍ〜２μｍ）のものも見出されている。
【０２３２】
また、一般に、無しきい値反強誘電性混合液晶は自発分極が大きく、液晶自体の誘電率が高い。このため、無しきい値反強誘電性混合液晶を液晶表示装置に用いる場合には、画素に比較的大きな保持容量が必要となってくる。よって、自発分極が小さな無しきい値反強誘電性混合液晶を用いるのが好ましい。
【０２３３】
なお、このような無しきい値反強誘電性混合液晶を本願発明の液晶表示装置に用いることによって低電圧駆動が実現されるので、低消費電力化が実現される。
【０２３４】
なお、本実施例に示す液晶は、実施例１〜１６のいずれの構成を有する液晶表示装置においても用いることが可能である。
【実施例２０】
【０２３５】
本願発明は従来のＭＯＳＦＥＴ上に層間絶縁膜を形成し、その上にＴＦＴを形成する際に用いることも可能である。即ち、半導体回路上に反射型ＡＭ−ＬＣＤに代表される電気光学装置が形成された三次元構造の半導体装置を実現することも可能である。また、前記半導体回路はＳＩＭＯＸ、Ｓｍａｒｔ−Ｃｕｔ（SOITEC社の登録商標）、ＥＬＴＲＡＮ（キャノン株式会社の登録商標）などのＳＯＩ基板上に形成されたものであっても良い。
【０２３６】
なお、本実施例を実施するにあたって、実施例１〜１９のいずれの構成を組み合わせても構わない。
【実施例２１】
【０２３７】
本願発明の電気光学装置や半導体回路は電気器具の表示部や信号処理回路として用いることができる。そのような電気器具としては、ビデオカメラ、デジタルカメラ、プロジェクター、プロジェクションＴＶ、ゴーグル型ディスプレイ（ヘッドマウントディスプレイ）、ナビゲーションシステム、音響再生装置、ノート型パーソナルコンピュータ、ゲーム機器、携帯情報端末（モバイルコンピュータ、携帯電話、携帯型ゲーム機または電子書籍等）、記録媒体を備えた画像再生装置などが挙げられる。それら電気器具の具体例を図２１〜２３に示す。
【０２３８】
図２１（Ａ）は携帯電話であり、本体２００１、音声出力部２００２、音声入力部２００３、表示部２００４、操作スイッチ２００５、アンテナ２００６で構成される。本願発明の電気光学装置は表示部２００４に、本願発明の半導体回路は音声出力部２００２、音声入力部２００３またはＣＰＵやメモリ等に用いることができる。
【０２３９】
図２１（Ｂ）はビデオカメラであり、本体２１０１、表示部２１０２、音声入力部２１０３、操作スイッチ２１０４、バッテリー２１０５、受像部２１０６で構成される。本願発明の電気光学装置は表示部２１０２に、本願発明の半導体回路は音声入力部２１０３またはＣＰＵやメモリ等に用いることができる。
【０２４０】
図２１（Ｃ）はモバイルコンピュータ（モービルコンピュータ）であり、本体２２０１、カメラ部２２０２、受像部２２０３、操作スイッチ２２０４、表示部２２０５で構成される。本願発明の電気光学装置は表示部２２０５に、本願発明の半導体回路はＣＰＵやメモリ等に用いることができる。
【０２４１】
図２１（Ｄ）はゴーグル型ディスプレイであり、本体２３０１、表示部２３０２、アーム部２３０３で構成される。本願発明の電気光学装置は表示部２３０２に、本願発明の半導体回路はＣＰＵやメモリ等に用いることができる。
【０２４２】
図２１（Ｅ）はリアプロジェクター（プロジェクションＴＶ）であり、本体２４０１、光源２４０２、液晶表示装置２４０３、偏光ビームスプリッタ２４０４、リフレクター２４０５、２４０６、スクリーン２４０７で構成される。本発明は液晶表示装置２４０３に用いることができ、本願発明の半導体回路はＣＰＵやメモリ等に用いることができる。
【０２４３】
図２１（Ｆ）はフロントプロジェクターであり、本体２５０１、光源２５０２、液晶表示装置２５０３、光学系２５０４、スクリーン２５０５で構成される。
本発明は液晶表示装置２５０３に用いることができ、本願発明の半導体回路はＣＰＵやメモリ等に用いることができる。
【０２４４】
図２２（Ａ）はパーソナルコンピュータであり、本体２６０１、映像入力部２６０２、表示部２６０３、キーボード２６０４等を含む。本願発明の電気光学装置は表示部２６０３に、本願発明の半導体回路はＣＰＵやメモリ等に用いることができる。
【０２４５】
図２２（Ｂ）は電子遊戯機器（ゲーム機器）であり、本体２７０１、記録媒体２７０２、表示部２７０３及びコントローラー２７０４を含む。この電子遊技機器から出力された音声や映像は筐体２７０５及び表示部２７０６を含む表示ディスプレイにて再生される。コントローラー２７０４と本体２７０１との間の通信手段または電子遊技機器と表示ディスプレイとの間の通信手段は、有線通信、無線通信もしくは光通信が使える。本実施例では赤外線をセンサ部２７０７、２７０８で検知する構成となっている。本願発明の電気光学装置は表示部２７０３、２７０６に、本願発明の半導体回路はＣＰＵやメモリ等に用いることができる。
【０２４６】
図２２（Ｃ）はプログラムを記録した記録媒体（以下、記録媒体と呼ぶ）を用いるプレーヤー（画像再生装置）であり、本体２８０１、表示部２８０２、スピーカ部２８０３、記録媒体２８０４及び操作スイッチ２８０５を含む。なお、この画像再生装置は記録媒体としてＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）、ＣＤ等を用い、音楽鑑賞や映画鑑賞やゲームやインターネットを行うことができる。本願発明の電気光学装置は表示部２８０２やＣＰＵやメモリ等に用いることができる。
【０２４７】
図２２（Ｄ）はデジタルカメラであり、本体２９０１、表示部２９０２、接眼部２９０３、操作スイッチ２９０４、受像部（図示せず）を含む。本願発明の電気光学装置は表示部２９０２やＣＰＵやメモリ等に用いることができる。
【０２４８】
なお、図２１（Ｅ）のリアプロジェクターや図２１（Ｆ）のフロントプロジェクターに用いることのできる光学エンジンについての詳細な説明を図２３に示す。なお、図２３（Ａ）は光学エンジンであり、図２３（Ｂ）は光学エンジンに内蔵される光源光学系である。
【０２４９】
図２３（Ａ）に示す光学エンジンは、光源光学系３００１、ミラー３００２、３００５〜３００７、ダイクロイックミラー３００３、３００４、光学レンズ３００８a〜３００８c、プリズム３０１１、液晶表示装置３０１０、投射光学系３０１２を含む。投射光学系３０１２は、投射レンズを備えた光学系である。本実施例は液晶表示装置３０１０を三つ使用する三板式の例を示したが、単板式であってもよい。また、図２３（Ａ）中において矢印で示した光路には、光学レンズ、偏光機能を有するフィルム、位相差を調節するためのフィルムもしくはＩＲフィルム等を設けてもよい。
【０２５０】
また、図２３（Ｂ）に示すように、光源光学系３００１は、光源３０１３、３０１４、合成プリズム３０１５、コリメータレンズ３０１６、３０２０、レンズアレイ３０１７、３０１８、偏光変換素子３０１９を含む。なお、図２３（Ｂ）に示した光源光学系は光源を２つ用いたが、一つでも良いし、三つ以上としてもよい。また、光源光学系の光路のどこかに、光学レンズ、偏光機能を有するフィルム、位相差を調節するフィルムもしくはＩＲフィルム等を設けてもよい。
【０２５１】
以上の様に、本願発明の適用範囲は極めて広く、あらゆる分野の電気器具に適用することが可能である。また、本実施例の電気器具は実施例１〜２０のどのような組み合わせからなる構成を用いても実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０２５２】
【図１】ＡＭ−ＬＣＤの断面構造を示す図。
【図２】ＡＭ−ＬＣＤの作製工程を示す図。
【図３】ＡＭ−ＬＣＤの作製工程を示す図。
【図４】ＡＭ−ＬＣＤのブロック図および回路配置を示す図。
【図５】駆動ＴＦＴ（ＣＭＯＳ回路）の構造を示す図。
【図６】ＡＭ−ＬＣＤの断面構造を示す図。
【図７】ＡＭ−ＬＣＤの作製工程を示す図。
【図８】ＡＭ−ＬＣＤの断面構造を示す図。
【図９】ＡＭ−ＬＣＤの外観を示す図。
【図１０】ＡＭ−ＬＣＤの作製工程を示す図。
【図１１】ＡＭ−ＬＣＤの作製工程を示す図。
【図１２】ＡＭ−ＬＣＤの作製工程を示す図。
【図１３】ＡＭ−ＬＣＤの作製工程を示す図。
【図１４】ＡＭ−ＬＣＤの作製工程を示す図。
【図１５】不純物元素を添加する際の濃度分布の関係を示す図。
【図１６】ＡＭ−ＬＣＤの作製工程を示す図。
【図１７】ＡＭ−ＬＣＤの作製工程を示す図。
【図１８】ＥＬ表示装置の上面構造及び断面構造を示す図。
【図１９】ＥＬ表示装置の画素部の構造を示す図。
【図２０】液晶の光学応答特性を示す図。
【図２１】電気器具の一例を示す図。
【図２２】電気器具の一例を示す図。
【図２３】光学エンジンの構成を示す図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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