(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のベース部と該第１のベース部から伸びる第１の伸長部と前記第１のベース部に形成された第１の導電性部接触部であって基板に形成された一方の導電性部に押圧される第１の導電性部接触部とを有する板状の第１の本体部と、前記第１の伸長部に形成された第１の端子接触部であって半導体デバイスの端子に押圧される第１の端子接触部とを有する第１の接触子片と、
第２のベース部と該第２のベース部から伸びる第２の伸長部と前記第２のベース部に形成された第２の導電性部接触部であって前記基板に形成された他方の導電性部に押圧される第２の導電性部接触部とを有する板状の第２の本体部と、前記第２の伸長部に形成された第２の端子接触部であって前記端子に押圧される第２の端子接触部とを有する第２の接触子片と、
前記第１のベース部と前記第２のベース部との間に配置された少なくとも１つのシート状の電気絶縁体とを含み、
前記第１及び第２のベース部は、前記電気絶縁体を挟んでそれらの厚さ方向に向き合わされており、前記第１の端子接触部は、前記第２の接触子片に電気的に接触することなく、前記第２のベース部に向けて伸びており、前記第２の端子接触部は、前記第１の接触子片に電気的に接触することなく、前記第１のベース部に向けて伸びている、接触子。
【請求項２】
前記電気絶縁体は、さらに、前記第１の端子接触部と前記第２のベース部との電気的接触及び前記第２の端子接触部と前記第１のベース部との電気的接触を防止する第１の接触防止部を有する、請求項１に記載の接触子。
【請求項３】
前記電気絶縁体は、さらに、前記第１の端子接触部と前記第２の端子接触部との間に形成された隙間に突出している第２の接触防止部であって、前記第１の端子接触部と前記第２の端子接触部との電気的接触を防止する第２の接触防止部を有する、請求項１又は２に記載の接触子。
【請求項４】
前記電気絶縁体は、さらに、前記第１の端子接触部と前記第２のベース部との電気的接触及び前記第２の端子接触部と前記第１のベース部との電気的接触を防止する第１の接触防止部と、該第１の端子接触部と前記第２の端子接触部との間に形成された隙間に突出している第２の接触防止部であって、前記第１の端子接触部と前記第２の端子接触部との電気的接触を防止する第２の接触防止部とを有しており、
前記第２の接触防止部は前記第１の接触防止部に形成されている、請求項１に記載の接触子。
【請求項５】
前記第１の端子接触部は、前記厚さ方向において、前記第２の本体部の厚さ寸法と前記電気絶縁体の厚さ寸法との合計寸法より大きくかつ前記第１の本体部の厚さ寸法と前記電気絶縁体の厚さ寸法と前記第２の本体部の厚さ寸法との合計寸法以下の厚さ寸法を有し、
前記第２の端子接触部は、前記厚さ方向において、前記第１の本体部の厚さ寸法と前記電気絶縁体の厚さ寸法との合計寸法より大きくかつ前記第１の本体部の厚さ寸法と前記電気絶縁体の厚さ寸法と前記第２の本体部の厚さ寸法との合計寸法以下の厚さ寸法を有する、請求項１から４のいずれか１項に記載の接触子。
【請求項６】
前記第１の導電性部接触部と前記第２の導電性部接触部との間には空間が形成されている、請求項１から５のいずれか１項に記載の接触子。
【請求項７】
前記電気絶縁体は向き合わされた一対の電気絶縁シートを含み、該一対の電気絶縁シート間に粘着剤が配置されている、請求項１から６のいずれか１項に記載の接触子。
【請求項８】
半導体デバイスの複数の端子と前記基板の一方の面に形成された導電性部とを電気的に接続する装置であって、それぞれが請求項１から７のいずれか１項に記載された複数の接触子と、該接触子を前記基板に並列的に組み付ける組み付け装置とを含み、
前記組み付け装置は、前記基板に組み付けられる板状体であって前記接触子の配列方向に間隔をおいて前記接触子の配列方向と交差する方向へ伸びる複数のスリットを有する板状体と、前記接触子の配列方向に伸びる状態に前記板状体に配置されて前記接触子を前記板状体に組み付ける少なくとも１つの弾性体とを備え、
各接触子の前記第１及び第２の端子接触部は前記スリットを貫通している、電気的接続装置。
【請求項９】
前記第１の本体部は、前記第１の端子接触部から第１の導電性部接触部にわたってほぼＪ字状に湾曲しており、
前記第２の本体部は、前記第２の端子接触部から第２の導電性部接触部にわたってほぼＪ字状に湾曲しており、
前記弾性体は前記接触子のほぼＪ字状湾曲部に当接している、請求項８に記載の電気的接続装置。
【請求項１０】
前記第１及び第２の本体部は、それぞれ、第１の円弧状部分と第２の円弧状部分とを有するほぼＳ字状の形状を有し、
前記第１及び第２の端子接触部は、それぞれ、前記第１の円弧状部分の外側に位置し、
前記第１及び第２の導電性部接触部は、それぞれ、前記第２の円弧状部分の外側に位置し、
前記組み付け装置は少なくとも２つの弾性体を有し、一方の前記弾性体は前記第１の円弧状部分の内側に当接されており、他方の前記弾性体は前記第２の円弧状部分の内側に当接されている、請求項８に記載の電気的接続装置。
【請求項１１】
第１及び第２の本体部は、互いに平行な２つの直線部分と両直線部分の間に形成されかつ両直線部分を結合する曲線部分とを有するほぼＵ字状の形状を有し、
前記第１及び第２の伸長部は、それぞれ、前記直線部分の一方に形成されており、
前記第１及び第２の導電性部接触部は、それぞれ、前記直線部分の他方に形成されている、請求項８に記載の電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集積回路のような半導体デバイスの通電試験に用いる接触子及び電気的接続装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
パッケージ又はモールドされた半導体デバイス、特に集積回路（ＩＣ）の電気的特性の検査すなわち試験は、一般に、半導体デバイスを着脱可能に装着する検査ソケットすなわち試験ソケットのような電気的接続装置を検査用補助装置として利用することにより行われる。
【０００３】
この種の電気的接続装置の１つとして、ほぼＪ字状に曲げられた複数のプローブすなわち接触子を用いるものがある（特開２００３−１２３８７４号公報）。
【０００４】
この従来技術において、各接触子は、ほぼＪ字状に曲げられたベース部とベース部に形成された導電性部接触部と導電性部接触部に形成された端子接触部とを有する板状の一対の接触子片と、両接触子片の間に配置されたシート状の電気絶縁体とを含む。したがって、接触子は、一方の接触子片、電気絶縁体、他方の接触子片の３層構造を有する。
【０００５】
接触子は、半導体デバイスの板状の端子の幅寸法とほぼ同じに設定されているか、それより若干大きい厚さ寸法を有する。
【０００６】
両導電性部接触部の一方は基板に形成された一方の導電性部に押圧され、両導電性部接触部の他方は基板に形成された他方の導電性部に押圧される。両端子接触部は半導体デバイスの端子に押圧される。
【０００７】
接触子は、その厚さ方向が電気的接続装置の水平方向に向くように、立てられて、電気的接続装置に組み付けられる。このとき、一方の接触子片と電気絶縁体との境界及び電気絶縁体と他方の接触子片との境界は、端子の伸びる方向に伸びている。
【０００８】
半導体デバイスを検査するとき、半導体デバイスの端子は、これが伸びる方向と接触子が伸びる方向とが一致するように、接触子の端子接触部に押圧される。
【０００９】
このとき、端子は一方の接触子片と他方の接触子片との間に位置しており、また一方の接触子片と電気絶縁体との境界及び電気絶縁体と他方の接触子片との境界は、端子の伸びる方向に伸びているから、一方及び他方の端子接触部は端子の板状の下面の左右に電気的に接触する。
【００１０】
これにより、１つの端子に一方及び他方の接触子片が電気的に接続されるから、電気的接続装置と半導体デバイスとはケルビン接続を構成することができる。
【００１１】
しかし、端子の接触位置が接触子の厚さ方向にずれると、一方の接触子片に電気的に接触することができるが、他方の接触子片には電気的に接触することができない場合がある。
【００１２】
そのような場合に、端子は、一方の接触子片に電気的に接続されるが、他方の接触子片に電気的に接続されない。したがって、電気的接続装置と半導体デバイスとはケルビン接続を構成することができないから、電気的接続装置は半導体デバイスをケルビン検査することができない。
【００１３】
そのような半導体デバイスは、電気的特性が良好である場合であっても、不良品との判断をされてしまう。したがって、半導体デバイス及び端子は、高い寸法公差を要求される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明の目的は、電気的接続装置の接触子と端子との間のケルビン接続を確実にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係る接触子は、第１のベース部と該第１のベース部から伸びる第１の伸長部と前記第１のベース部に形成された第１の導電性部接触部であって基板に形成された一方の導電性部に押圧される第１の導電性部接触部とを有する板状の第１の本体部と、前記第１の伸長部に形成された第１の端子接触部であって半導体デバイスの端子に押圧される第１の端子接触部とを有する第１の接触子片と、第２のベース部と該第２のベース部から伸びる第２の伸長部と前記第２のベース部に形成された第２の導電性部接触部であって前記基板に形成された他方の導電性部に押圧される第２の導電性部接触部とを有する板状の第２の本体部と、前記第２の伸長部に形成された第２の端子接触部であって前記端子に押圧される第２の端子接触部とを有する第２の接触子片と、前記第１のベース部と前記第２のベース部との間に配置された少なくとも１つのシート状の電気絶縁体とを含む。前記第１及び第２のベース部は、前記電気絶縁体を挟んでそれらの厚さ方向に向き合わされている。前記第１の端子接触部は、前記第２の接触子片に電気的に接触することなく、前記第２のベース部に向けて伸びている。前記第２の端子接触部は、前記第１の接触子片に電気的に接触することなく、前記第１のベース部に向けて伸びている。
【００１６】
前記電気絶縁体は、好ましくは、さらに、前記第１の端子接触部と前記第２のベース部との電気的接触及び前記第２の端子接触部と前記第１のベース部との電気的接触を防止する第１の接触防止部を有する。
【００１７】
前記電気絶縁体は、好ましくは、さらに、前記第１の端子接触部と前記第２の端子接触部との間に形成された隙間に突出している第２の接触防止部であって、前記第１の端子接触部と前記第２の端子接触部との電気的接触を防止する第２の接触防止部を有する。
【００１８】
前記第２の接触防止部は前記第１の接触防止部に形成されていてもよい。
【００１９】
前記第１の端子接触部は、前記厚さ方向において、前記第２の本体部の厚さ寸法と前記電気絶縁体の厚さ寸法との合計寸法より大きくかつ前記第１の本体部の厚さ寸法と前記電気絶縁体の厚さ寸法と前記第２の本体部の厚さ寸法との合計寸法以下の厚さ寸法を有し、前記第２の端子接触部は、前記厚さ方向において、前記第１の本体部の厚さ寸法と前記電気絶縁体の厚さ寸法との合計寸法より大きくかつ前記第１の本体部の厚さ寸法と前記電気絶縁体の厚さ寸法と前記第２の本体部の厚さ寸法との合計寸法以下の厚さ寸法を有してもよい。
【００２０】
前記第１の導電性部接触部と前記第２の導電性部接触部との間には空間が形成されていてもよい。
【００２１】
前記電気絶縁体は向き合わされた一対の電気絶縁シートを含み、該一対の電気絶縁シート間に粘着剤が配置されていてもよい。
【００２２】
本発明に係る電気的接続装置は、半導体デバイスの複数の端子と前記基板の一方の面に形成された導電性部とを電気的に接続する装置であって、それぞれが複数の前記接触子と、該接触子を前記基板に並列的に組み付ける組み付け装置とを含む。前記組み付け装置は、前記基板に組み付けられる板状体であって前記接触子の配列方向に間隔をおいて前記接触子の配列方向と交差する方向へ伸びる複数のスリットを有する板状体と、前記接触子の配列方向に伸びる状態に前記板状体に配置されて前記接触子を前記板状体に組み付ける少なくとも１つの弾性体とを備える。各接触子の前記第１及び第２の端子接触部は前記スリットを貫通している。
【００２３】
前記第１の本体部は、好ましくは、前記第１の端子接触部から第１の導電性部接触部にわたってほぼＪ字状に湾曲しており、前記第２の本体部は、前記第２の端子接触部から第２の導電性部接触部にわたってほぼＪ字状に湾曲しており、前記弾性体は前記接触子のほぼＪ字状湾曲部に当接している。
【００２４】
前記第１及び第２の本体部は、それぞれ、第１の円弧状部分と第２の円弧状部分とを有するほぼＳ字状の形状を有し、前記第１及び第２の端子接触部は、それぞれ、前記第１の円弧状部分の外側に位置し、前記第１及び第２の導電性部接触部は、それぞれ、前記第２の円弧状部分の外側に位置し、前記組み付け装置は少なくとも２つの弾性体を有し、一方の前記弾性体は前記第１の円弧状部分の内側に当接されており、他方の前記弾性体は前記第２の円弧状部分の内側に当接されていてもよい。
【００２５】
第１及び第２の本体部は、互いに平行な２つの直線部分と両直線部分の間に形成されかつ両直線部分を結合する曲線部分とを有するほぼＵ字状の形状を有し、前記第１及び第２の伸長部は、それぞれ、前記直線部分の一方に形成されており、前記第１及び第２の導電性部接触部は、それぞれ、前記直線部分の他方に形成されていてもよい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、第１及び第２のベース部は、電気絶縁体を挟んでそれらの厚さ方向に向き合わされており、第１の端子接触部は、第２の接触子片に電気的に接触することなく、第２のベース部に向けて伸びており、第２の端子接触部は、第１の接触子片に電気的に接触することなく、第１のベース部に向けて伸びている。さらに、第１及び第２の端子接触部は、第１及び第２のベース部の厚さ方向すなわち半導体デバイスの端子が伸びる方向と直交する方向に伸びている。
【００２７】
これにより、第１及び第２の端子接触部は広範囲にわたって半導体デバイスの端子に電気的に接触することができるから、接触子と端子との間のケルビン接続を確実にすることができる。
【００２８】
また、接触子の電気絶縁体に、第１の端子接触部と第２のベース部との電気的接触及び第２の端子接触部と第１のベース部との電気的接触を防止する第１の接触防止部や、第１の端子接触部と第２の端子接触部との間に形成された隙間に突出して第１の端子接触部と第２の端子接触部との電気的接触を防止する第２の接触防止部を形成することにより、第１及び第２の接触防止部は、第１の接触子片と第２の接触子片との電気的接触を確実に防止することができる。
【００２９】
また、第１及び第２の端子接触部は、それぞれ、厚さ方向において、第１又は第２の本体部の厚さ寸法と電気絶縁体の厚さ寸法との合計寸法より大きくかつ第１の本体部の厚さ寸法と電気絶縁体の厚さ寸法と第２の本体部の厚さ寸法との合計寸法以下の厚さ寸法を有するようにすれば、端子は、第１及び第２の端子接触部に電気的に接続することができる。
【００３０】
また、第１の導電性部接触部と第２の導電性部接触部との間に空間を形成することにより、電気絶縁体と一方及び他方の導電性部との間に空間が形成される。これにより、第１の導電性部接触部と一方の導電性部との間及び第２の導電性部接触部と他方の導電性部との間に電気絶縁体が入り込みにくくなるから、接触子と端子との間のケルビン接続を確実にすることができる。
【００３１】
電気絶縁体は向き合わされた一対の電気絶縁シートを含み、一対の電気絶縁シート間に粘着剤を配置することにより、両電気絶縁シートは相対的に平行移動可能である。このため、接触子が端子及び一対の導電性部に対し傾いている状態において、接触子が端子及び一対の導電性部に押圧されると、両接触子片が粘着材の粘着力に抗して相対的に移動する。これにより、第１及び第２の導電性部接触部がそれぞれ端子及び導電性部に確実に接触する。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明に係る接触子の第１の実施例を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示す接触子の斜視図である。
【図３】（Ａ）は図２に示す接触子を上から見た上面図、（Ｂ）は図２に示す接触子を左から見た側面図、（Ｃ）は図２に示す接触子を正面から見た正面図である。
【図４】図３（Ｃ）に示す接触子の一部を省略した正面図である。
【図５】図２に示す接触子を用いた、本発明に係る電気的接続装置を上から見た上面図である。
【図６】図５に示す電気的接続装置を下から見た底面図である。
【図７】図５における７−７線に沿って得た断面図である。
【図８】図７に示す電気的接続装置の接触子の動作を説明するための模式図である。
【図９】（Ａ）は本発明に係る接触子の第２の実施例を示す正面図、（Ｂ）は（Ａ）に示す接触子の左から見た側面図である。
【図１０】図５に示す電気的接続装置の別の実施例に用いる接触子の斜視図である。
【図１１】図１０に示す接触子を用いた電気的接続装置の断面図である。
【図１２】図１０示す電気的接続装置のさらに別の実施例に用いる接触子の正面図である。
【図１３】図１２に示す接触子の斜視図である。
【符号の説明】
【００３３】
１０，１０ａ，８４，１１０  接触子
１２  半導体デバイス
１４，８２  電気的接続装置
１６ａ，１６ｂ，８６ａ，８６ｂ，１１２ａ，１１２ｂ  第１及び第２の接触子片
１８，８８，１３０  電気絶縁体
２０ａ，２０ｂ，９０ａ，９０ｂ，１１６ａ，１１６ｂ  第１及び第２のベース部
２２ａ，２２ｂ，９２ａ，９２ｂ，１１８ａ，１１８ｂ  第１及び第２の伸長部
２４ａ，２４ｂ，９４ａ，９４ｂ，１２０ａ，１２０ｂ  第１及び第２の導電性部接触部
２６ａ，２６ｂ，９６ａ，９６ｂ，１２２ａ，１２２ｂ  第１及び第２の本体部
２８ａ，２８ｂ，９８ａ，９８ｂ，１２４ａ，１２４ｂ  第１及び第２の端子接触部
３０ａ，３０ｂ  第１及び第２の後端
３２  第１の接触防止部
３４  第２の接触防止部
８８ｂ，１３０ｂ  接触防止部
３６  基板
３８ａ，３８ｂ  第１及び第２の導電性部
４０  半導体デバイスの端子
４４  弾性体
【発明を実施するための形態】
【００３４】
［接触子］
【００３５】
図１から図４を参照するに、接触子１０は、集積回路のような半導体デバイス１２（図７参照）の検査すなわち試験において電気的接続装置１４（図７参照）のプローブとして用いられる。
【００３６】
接触子１０は、導電性を有する第１及び第２の接触子片１６ａ及び１６ｂと少なくとも１つのポリイミドのようなシート状の電気絶縁体１８とを含む。
【００３７】
第１の接触子片１６ａは、第１のベース部２０ａと第１のベース部２０ａから伸びる第１の伸長部２２ａと第１のベース部２０ａに形成された第１の導電性部接触部２４ａとを有する板状の第１の本体部２６ａと、第１の伸長部２２ａに形成された第１の端子接触部２８ａとを有する。
【００３８】
第２の接触子片１６ｂは、第２のベース部２０ｂと第２のベース部２０ｂから伸びる第２の伸長部２２ｂと第２のベース部２０ｂに形成された第２の導電性部接触部２４ｂとを有する板状の第２の本体部２６ｂと、第２の伸長部２２ｂに形成された第２の端子接触部２８ｂとを有する。
【００３９】
第１のベース部２０ａは、Ｚ方向に平行に伸びる後端３０ａを有する。第２のベース部２０ｂは、Ｚ方向に平行に伸びる後端３０ｂを有する。
【００４０】
第１の導電性部接触部２４ａは、第１の本体部２６ａのＸ方向に平行に伸びる端部である。第２の導電性部接触部２４ｂは、第２の本体部２６ｂのＸ方向に平行に伸びる端部である。
【００４１】
第１及び第２のベース部２０ａ及び２０ｂは、ほぼＪ字状の形状を有する。また、第１のベース部２０ａと第２のベース部２０ｂとの形状及び寸法はほぼ同一とされる。
【００４２】
第１の伸長部２２ａは、第１のベース部２０ａの先端にかつ図示において左側に形成されている。第２の伸長部２２ｂは、第２のベース部２０ｂの先端にかつ図示において左側に形成されている。
【００４３】
第１のベース部２０ａ及び第２のベース部２０ｂは、電気絶縁体１８を挟んでそれらの厚さ方向（Ｙ方向）に向き合わされている。電気絶縁体１８は、第１のベース部２０ａと第２のベース部２０ｂとの間に配置されている。
【００４４】
組み立てられた接触子１０の第１の導電性部接触部２４ａは、基板３６に形成された一方の導電性部３８ａに押圧される。第２の導電性部接触部２４ｂは、基板３６に形成された他方の導電性部３８ｂに押圧される。
【００４５】
第１及び第２の端子接触部２８ａ及び２８ｂは、端子４０を受けるべくＸ方向に並んで配置されている。並んで配置されている第１及び第２の接触子片１６ａ及び１６ｂの間には、隙間Ａが形成されている（図３（Ｃ）参照）。
【００４６】
第１及び第２の端子接触部２８ａ及び２８ｂは、半導体デバイス１２の検査時に、共通の端子４０に押圧される。このとき、第１の端子接触部２８ａは、第２の接触子片１６ｂに電気的に接触することなく、第２のベース部２０ｂに向けて伸びている。また、第２の端子接触部２８ｂは、第１の接触子片１６ａに電気的に接触することなく、第１のベース部２０ａに向けて伸びている。
【００４７】
図３（Ａ）に示すように、第１の端子接触部２８ａは、第１の本体部２６ａの厚さ寸法ｔ１と第２の本体部２６ｂの厚さ寸法ｔ２と電気絶縁体１８の厚さ寸法ｔ３との合計寸法の厚さ寸法を有する。しかし、第１の端子接触部２８ａは、厚さ寸法ｔ２と厚さ寸法ｔ３との合計寸法より大きくかつ厚さ寸法ｔ１と厚さ寸法ｔ２と厚さ寸法ｔ３との合計寸法以下の範囲であればよい。
【００４８】
第２の端子接触部２８ｂは、第１の本体部２６ａの厚さ寸法ｔ１と第２の本体部２６ｂの厚さ寸法ｔ２と電気絶縁体１８の厚さ寸法ｔ３との合計寸法の厚さ寸法を有する。しかし、第２の端子接触部２８ｂは、厚さ寸法ｔ１と厚さ寸法ｔ３との合計寸法より大きくかつ厚さ寸法ｔ１と厚さ寸法ｔ２と厚さ寸法ｔ３との合計寸法以下の範囲であればよい。
【００４９】
電気絶縁体１８は、本体部１８ａと、第１の端子接触部２８ａと第２のベース部２０ｂとの電気的接触及び第２の端子接触部２８ｂと第１のベース部２０ａとの電気的接触を防止する第１の接触防止部３２とを有する。第１の接触防止部３２は、本体部１８ａに形成されている。
【００５０】
電気絶縁体１８から第１の接触防止部３２と第２の接触防止部３４とを除いた本体部１８ａと第１のベース部２０ａとの形状及び寸法はほぼ同一とされる。
【００５１】
電気絶縁体１８は、第１の端子接触部２８ａと第２の端子接触部２８ｂとの電気的接触を防止する第２の接触防止部３４を有する。また、第２の接触防止部３４は、第１の端子接触部２８ａと第２の端子接触部２８ｂとの間に形成された隙間に突出している。第２の接触防止部３４は第１の接触防止部３２に形成されている。
【００５２】
そのような第１及び第２のベース部２０ａ，２０ｂは、電気絶縁体１８を両ベース部２０ａ，２０ｂの間に挟んだ状態に、厚さ方向（Ｙ方向）に重ねられている。両接触子片１６ａ，１６ｂは、電気絶縁体１８に塗布した粘着剤により接着されている。
【００５３】
電気絶縁体１８は、向き合わされた一対の電気絶縁シートを含む。この一対の電気絶縁シートは、電気絶縁シートに塗布した粘着剤によって接着されている。
【００５４】
図３（Ａ）及び（Ｃ）に示すように、第２の接触防止部３４は、第１の端子接触部２８ａと第２の端子接触部２８ｂとの間に形成された隙間に突出しており、第１の端子接触部２８ａと第２の端子接触部２８ｂとの電気的接触を防止しているから、第１の接触子片１６ａと第２の接触子片１６ｂとの電気的接触を確実に防止することができる。
【００５５】
図３（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように、第１の接触防止部３２は、第１のベース部２０ａの上面の位置よりもＺ方向における上側にかつ第２の端子接触部２８ｂの下面の位置よりも下側に位置している。これにより、第２の端子接触部２８ｂと第１の接触子片１６ａとの電気的接触を確実に防止する。
【００５６】
図４に示すように、第１の接触防止部３２は、第２のベース部２０ｂの上面の位置よりもＺ方向における上側にかつ第１の端子接触部２８ａの下面の位置よりも下側に位置している。これにより、第１の端子接触部２８ａと第２の接触子片１６ｂとの電気的接触を確実に防止する。
【００５７】
［電気的接続装置］
【００５８】
図５から図７を参照するに、電気的接続装置１４は、基板３６と、端子４０に個々に対応された複数の接触子１０と、接触子１０を基板３６に組み付ける平板状のカバーすなわち板状体４２と、接触子１０を板状体４２に組み付ける棒状をした複数の弾性体４４とを含む。板状体４２は、組み付け装置として作用する。
【００５９】
半導体デバイス１２は、長方形の平面形状にパッケージ又はモールドをされた本体部４６と、長方形の各辺の下面から下方へ突出する複数の端子４０とを有する（図７参照）。端子４０は、いわゆるＰＡＤ端子である。端子４０は、長方形の辺の下面に対応された複数の端子群に分けられている。また、端子４０は、端子群毎に並列的に配置されている。
【００６０】
基板３６は、配線パターンを電気絶縁材料の一方の面に印刷配線技術により形成した配線基板である。基板３６は、それぞれが接触子１０に対応された帯状の複数の印刷配線部３８を一方の面に有する。各印刷配線部３８は、配線パターンの一部である。
【００６１】
第１及び第２の導電性部３８ａ及び３８ｂは、半導体デバイス１２の本体部４６の長方形の辺の下面に対応された複数の配線部群に分けられている。また、印刷配線部３８は、配線部群毎に並列的に配置されている。
【００６２】
第１及び第２の導電性部３８ａ及び３８ｂは、半導体デバイス１２の端子４０ひいては接触子１０に対応されている。各印刷配線部３８は、第１の導電性部３８ａと第２の導電性部３８ｂとに分割されている。
【００６３】
板状体４２は、複数のねじ部材４８により、互いに重ねられた状態に基板３６に組み付けられている。板状体４２は、板状体４２を連通する複数のスリット５２と、円形の断面形状を有する弾性体４４が配置された凹所５４とを端子群毎に備える。
【００６４】
スリット５２は、印刷配線部３８の長手方向へ伸びていると共に、板状体４２を厚さ方向に貫通しており、さらに凹所５４に連通している。
【００６５】
凹所５４は、複数の接触子１０の配列方向へ連続的に伸びている。また、凹所５４は、基板３６の側に開放している。隣り合うスリット５２は、隔壁５６により区画されている。
【００６６】
各接触子１０のＸ方向が印刷配線部３８の長手方向になるように、各接触子１０は対応するスリット５２に差し込まれる。
【００６７】
各接触子１０の第１及び第２の端子接触部２８ａ及び２８ｂは、対応するスリット５２を貫通している。
【００６８】
スリット５２を貫通した第１及び第２の端子接触部２８ａ及び２８ｂの上端は、板状体４２の開口部４２ａの底面４２ｂから上方へ突出している。接触子１０の後端３０ａ及び３０ｂは、凹所５４に受け入れられて後端３０ａ及び３０ｂを凹所５４の奥面５８に当接させた状態に、板状体４２に配置されている。
【００６９】
弾性体４４は、図示の例ではシリコーンゴムのような弾性材料を用いて棒状に形成されている。弾性体４４は、凹所５４内を接触子１０の厚さ方向へ伸びている。
【００７０】
弾性体４４は、電気的接続装置１４に組み立てられた状態において、接触子１０と板状体４２との間に位置される。また、弾性体４４は、第１の接触子片１６ａの第１の導電性部接触部２４ａが一方の導電性部３８ａに接触するように、かつ、第２の接触子片１６ｂの第２の導電性部接触部２４ｂが他方の導電性部３８ｂに接触するように、接触子１０の湾曲部を係止している。
【００７１】
電気的接続装置１４は、その状態で板状体４２を基板３６に組み付けることにより、組み立てることができる。したがって、接触子１０を板状体４２に容易に並列的に正しく配置することができる。
【００７２】
組み立てられた状態において、接触子１０はスリット５２及び弾性体４４により安定した状態に維持されている。また、隣り合う接触子１０は隔壁５６により電気接触による短絡を防止されている。
【００７３】
［半導体デバイスの検査時］
【００７４】
図８に示すように、検査時、半導体デバイス１２の端子４０が接触子１０の第１及び第２の端子接触部２８ａ及び２８ｂに押圧されると、各接触子１０の接触子片１６ａ及び１６ｂは、端子４０に共通に押圧されると共に、導電性部３８ａ及び３８ｂに個々に押圧される。
【００７５】
これにより、端子４０がＸ方向又はＹ方向にずれて接触子１０に押圧しても、第１及び第２の端子接触部２８ａ及び２８ｂは、広範囲にわたって半導体デバイス１２の端子４０の下面に電気的に接触することができる。したがて、第１及び第２の端子接触部２８ａ及び２８ｂは、接触子１０と端子４０との間のケルビン接続を確実にすることができる。
【００７６】
このとき、両接触子片１６ａ，１６ｂが電気絶縁体１８を挟んで厚さ方向に重ねられているから、両接触子片１６ａ，１６ｂは一体的に変位する。したがって、端子４０及び導電性部３８ａ，３８ｂに対する両接触子片１６ａ，１６ｂの押圧状態ひいては電気的接触状態は同じになり、ケルビン接続であるにもかかわらず、接触子１０と端子４０との間及び接触子片１６ａ，１６ｂと導電性部３８ａ，３８ｂとの間の電気的接続状態が安定化する。
【００７７】
また、端子４０が接触子１０に押圧されると、弾性体４４が接触子１０により押圧されて部分的に凹まされる。これにより、接触子１０は、これがスリット５２に通されていることとあいまって、倒れることを防止される。
【００７８】
さらに、端子４０が接触子１０に押圧されると、接触子１０は、弾性体４４を部分的に凹ませて、後端を奥面５８に当接させているから、後退することなく、導電性部３８ａ，３８ｂへの接触箇所が先端側へ変化するように、接触子片１６ａ，１６ｂが図８において反時計方向へ一体となって変位する。
【００７９】
このとき、接触子１０は、後端３０ａ，３０ｂが弾性体４４の復元力により凹所５４の奥面５８に押圧されているから、端子４０及び導電性部３８ａ，３８ｂに対してわずかに滑る。この滑りにより、端子４０及び導電性部３８ａ，３８ｂの表面の酸化膜が削り取られる、いわゆる擦り作用が生じる。
【００８０】
また、電気絶縁体１８の電気絶縁シートが粘着剤により重ね合わされているから、両電気絶縁シートが相対的に平行移動可能である。
このため、接触子１０が端子４０及び導電性部３８ａ，３８ｂに対し傾いている状態において、接触子１０が端子４０及び導電性部３８ａ，３８ｂに押圧されると、両接触子片１６ａ，１６ｂが粘着剤の粘着力に抗して相対的に移動する。
【００８１】
これにより、第１の接触子片１６ａは、端子４０及び第１の導電性部３８ａに確実に接触する。第２の接触子片１６ｂは、端子４０及び第２の導電性部３８ｂに確実に接触する。
【００８２】
［接触子の変形例］
【００８３】
接触子１０の第１のベース部２０ａと電気絶縁体１８の本体部１８ａとの形状及び寸法はほぼ同一とされるとしたが、図９に示すように、接触子１０ａは、電気絶縁体１８が存在しない空間Ｂを、第１の接触子片１６ａの下端部と第２の接触子片１６ｂの下端部との間に形成してもよい。そのようにすれば、端子４０及び第１及び第２の導電性部３８ａ，３８ｂに多少の凹凸があっても、第１の接触子片１６ａは端子４０及び第１の導電性部３８ａに確実に接触し、かつ、第２の接触子片１６ｂは端子４０及び第２の導電性部３８ｂに確実に接触する。
【００８４】
本発明は、上記のようなＪ字状の接触子のみならず他の形状を有する接触子にも適用することができる。
【００８５】
図１０及び図１１を参照するに、電気的接続装置８２は、Ｓ（又はＺ）字状の接触子８４を用いている。各接触子８４は、導電性を有する第１及び第２の接触子片８６ａ及び８６ｂと少なくとも１つのポリイミドのようなシート状の電気絶縁体８８とを含む。
【００８６】
接触子８４は、電気絶縁体８８を第１及び第２の接触子片８６ａ，８６ｂの間に挟んだ状態に、厚さ方向に重ねている。第１及び第２の接触子片８６ａ，８６ｂは、電気絶縁体８８に塗布した粘着剤により接着されている。
【００８７】
第１の接触子片８６ａは、第１のベース部９０ａと第１のベース部９０ａから伸びる第１の伸長部９２ａと第１のベース部９０ａに形成された第１の導電性部接触部９４ａとを有する板状の第１の本体部９６ａと、第１の伸長部９２ａに形成された第１の端子接触部９８ａとを有する。
【００８８】
第２の接触子片８６ｂは、第２のベース部９０ｂと第２のベース部９０ｂから伸びる第２の伸長部９２ｂと第２のベース部９０ｂに形成された第２の導電性部接触部９４ｂとを有する板状の第２の本体部９６ｂと、第２の伸長部９２ｂに形成された第２の端子接触部９８ｂとを有する。
【００８９】
電気絶縁体８８は、本体部８８ａと、第１の端子接触部９８ａと第２の端子接触部９８ｂとの電気的接触を防止する接触防止部８８ｂとを有する。接触防止部８８ｂは、本体部８８ａに形成されている。本体部８８ａとベース部９０ａとの形状及び寸法はほぼ同一とされる。
【００９０】
第１及び第２の本体部９６ａ及び９６ｂは、それぞれ、第１の円弧状部分と第２の円弧状部分とを有するほぼＳ字状の形状を有する。また、第１及び第２の端子接触部９８ａ及び９８ｂは、それぞれ、第１の円弧状部分の外側に位置している。第１及び第２の導電性部接触部９４ａ及び９４ｂは、それぞれ、第２の円弧状部分の外側に位置している。
【００９１】
第１及び第２の導電性部接触部９４ａ及び９４ｂは第１及び第２の導電性部３８ａ及び３８ｂに個々に電気的に接触する。第１及び第２の端子接触部９８ａ及び９８ｂは、接触子８４に対応する端子４０に電気的に接触する。
【００９２】
電気的接続装置８２に用いられている板状体１０２は、接触子８４を受け入れる複数のスリット１０４を備えている。各スリット１０４は、板状体１０２の厚さ方向に貫通しており、また第１及び第２の導電性部３８ａ及び３８ｂの長手方向に伸びている。隣り合うスリット１０４は、隔壁１０６により区画されている。
【００９３】
電気的接続装置８２は、接触子群毎に２つの弾性体４４を用いている。各弾性体４４は、隔壁１０６を貫通して伸びている。一方の弾性体４４は第１の円弧状部分の内側に当接されている。他方の弾性体４４は第２の円弧状部分の内側に当接されている。
【００９４】
電気的接続装置８２は、２つの弾性体４４を板状体１０２に装着すると共に、接触子８４を両弾性体４４に係止させた状態で、板状体１０２を基板３６に組み付けることにより、組み立てることができる。
【００９５】
組み立てられた状態において、各接触子８４は、スリット１０４を斜めに貫通して第１及び第２の導電性部接触部９４ａ及び９４ｂを第１及び第２の導電性部３８ａ及び３８ｂに当接させている。さらに、各接触子８４は、端子接触部９８ａ及び９８ｂを板状体１０２から突出させている。
【００９６】
上記状態において、端子４０が接触子８４に押圧されると、接触子８４は、端子４０と第１及び第２の導電性部３８ａ及び３８ｂとに押圧されて、図１１において時計方向へわずかに角度的に回転する。これにより、端子４０と第１及び第２の導電性部３８ａ及び３８ｂとに擦り作用を与える。
【００９７】
図１２及び図１３を参照するに、接触子１１０は、導電性を有する第１及び第２の接触子片１１２ａ及び１１２ｂと少なくとも１つのポリイミドのようなシート状の電気絶縁体１３０とを含む。
【００９８】
接触子１１０は、電気絶縁体１３０を第１及び第２の接触子片１１２ａ，１１２ｂの間に挟んだ状態に、厚さ方向に重ねている。第１及び第２の接触子片１１２ａ，１１２ｂは、電気絶縁体１３０に塗布した粘着剤により接着されている。
【００９９】
第１の接触子片１１２ａは、第１のベース部１１６ａと第１のベース部１１６ａから伸びる第１の伸長部１１８ａと第１のベース部１１６ａに形成された第１の導電性部接触部１２０ａとを有する板状の第１の本体部１２２ａと、第１の伸長部１１８ａに形成された第１の端子接触部１２４ａとを有する。
【０１００】
第２の接触子片１１２ｂは、第２のベース部１１６ｂと第２のベース部１１６ｂから伸びる第２の伸長部１１８ｂと第２のベース部１１６ｂに形成された第２の導電性部接触部１２０ｂとを有する板状の第２の本体部１２２ｂと、第２の伸長部１１８ｂに形成された第２の端子接触部１２４ｂとを有する。
【０１０１】
第１及び第２の本体部１２２ａ及び１２２ｂは、互いに平行な２つの直線部分Ｌ１，Ｌ２と両直線部分Ｌ１，Ｌ２の間に形成されかつ両直線部分Ｌ１，Ｌ２を結合する曲線部分Ｌ３とを有するほぼＵ字状の形状を有する。
【０１０２】
第１及び第２の伸長部１１８ａ及び１１８ｂは、直線部分Ｌ１の先端部に形成されている。第１及び第２の導電性部接触部１２０ａ及び１２０ｂは、直線部分Ｌ２に形成されている。第１の導電性部接触部１２０ａと第２の導電性部接触部１２０ｂとは、図１２において、距離を置いて、下側に平行に伸びている。
【０１０３】
電気絶縁体１３０は、本体部１３０ａと、第１の端子接触部１２４ａと第２の端子接触部１２４ｂとの電気的接触を防止する接触防止部１３０ｂとを有する。接触防止部１３０ｂは、本体部１３０ａに形成されている。本体部１３０ａと第１のベース部１１６ａとの形状及び寸法はほぼ同一とされる。
【０１０４】
接触子１１０の第１及び第２の本体部１２２ａ及び１２２ｂはほぼＵ字状の形状を有するから、図１２において上下方向に大きく変位することができる。したがって、半導体デバイス１２が少し傾いている状態で、端子４０を接触子１１０に押圧しても、半導体デバイス１２の傾きにより生じる各端子４０のストロークを吸収することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１０５】
本発明は、上記実施例に限定されない。例えば、接触子は、弧状、コ字状、Ｌ字状、Ｖ字状、Ｗ字状等、単純な形状とすることができる。また、上下の側を上記した実施例と逆にした状態で用いてもよい。それゆえに、本発明は、その趣旨を逸脱することなく、種々変形することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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