(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に、かつ、一方向にスライド可能な複数のスライドテーブルと、該複数のスライドテーブルのうちの中段部に位置するスライドテーブル内に設けられ上記複数のスライドテーブルをスライド駆動させる駆動手段と、上記中段部に位置するスライドテーブルの下方から駆動手段を覆うカバーと、該カバーにおいて上記スライドテーブルのスライド方向に設けられる開口部と、該カバー内の塵埃を吸引する吸引手段とを備える移載装置において、
上記吸引手段を上記複数のスライドテーブルのうちの最下段部に位置するスライドテーブルの端で、かつ、上記カバーの外側に配設すると共に、上記吸引手段にノズルを接続し、上記吸引手段は該ノズルを介して上記カバー内の塵埃を上記開口部から吸引することを特徴とする移載装置。
【請求項２】
上記ノズルの吸引口を上記カバーの開口部の直近に配設することを特徴とする請求項１に記載の移載装置。
【請求項３】
上記ノズルは、該ノズルの途中部分から該ノズルの開口部にいくにつれて細くなっていることを特徴とする請求項１又は２に記載の移載装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、重量物等を載せて移動する移載装置に関し、特には、半導体製造工場等のクリーンルーム内で使用される移載装置の塵埃吸引に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や液晶の製造現場等では、クリーンルームと呼ばれる塵や埃を入れないようにした部屋があり、このクリーンルーム内で製造作業が行われる。半導体や液晶を製造する際に、半導体に塵や埃などのゴミが付着していると、その部分だけドーピングできなくなったり、配線が切れてしまうことがあったりということがあり得る。これらを防ぐために、半導体や液晶の製造が行われるクリーンルーム内では、塵や埃などのゴミを排除する。
【０００３】
ところで、半導体の製造工程では様々な機械が稼働している。その中で、被移載物、例えば、半導体のウエハを収納するガラスケース等（以下、ワークという）を移動させるための移載装置としてスライドテーブル方式の移載装置が使われている。
【０００４】
このスライドテーブル方式の移載装置（以下、単に移載装置という）は、ワークをクリーンルーム内で移動させる場合に、スライドテーブルの上に重量物を載せてスライドテーブル全体を一定方向に伸縮させて目標位置まで移動させるものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
そして、この移載装置から塵や埃が発生することが懸念されている。移載装置において、塵や埃が発生する個所は、主に、スライドテーブルを動かすための駆動部分であり、これまで、塵や埃の発生を抑えるために様々な工夫がされてきている。しかし、すべての塵や埃の発生を抑えることは難しく、特に、スライドテーブルを摺動させる部分、駆動モータや駆動モータに連動して動くベルト等での塵や埃の発生を抑えることは難しい。
【０００６】
そこで、摺動部分などの塵や埃の発生する可能性のある部分全体をカバーで覆うなどして、塵埃の外部への放出をできるだけ防ぐのが一般的であった。そして、更に、そのカバーにＦＦＵ（Ｆａｎ  Ｆｉｌｔｅｒ  Ｕｎｉｔ：ファンフィルタユニット）などの吸引装置をつけて、塵埃が外部（クリーンルーム）へもれるのを防ぐことをしている。
【０００７】
また、一般には、このような塵埃の外部へのもれを防ぐカバーは、摺動部分だけでなく、その周囲の構成機器を含めて取り付けることが多く、大型の物になっていた。例えば、特許第２５８５０９１号に記載されている移載装置では、スライドテーブルの駆動部分をカバーで覆い、そのカバー内に吸引装置を設け、カバー内に浮遊する塵や埃を吸引している。ここでは、吸引装置をカバー内に収めているため、カバーが大型になり、装置全体も大型になってしまっていた。また、カバーの外側に取り付ける場合においてもカバ−内の空間の大きさに見合う強力な吸引装置が必要となり、吸引装置が大きくなってしまい、この場合も装置全体が大型になってしまっていた。
【０００８】
このように、カバーと吸引装置とを組み合わせる場合、すなわち、カバー内に吸引装置を設ける場合やカバーの外側に直接取り付ける場合では、装置全体が大型の物となってしまっていた。また、吸引装置に用いられるフィルタは高価なため、できるだけ吸引装置を小型にすることが望ましい。
【０００９】
そこで、本発明は、カバーと吸引装置とを組み合わせて使用しても装置全体を大型にしない移載装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために本発明では、以下の構成を採用した。
すなわち、本発明の移載装置は、相互にスライド可能な複数のスライドテーブルと、該複数のスライドテーブルをスライド駆動させる駆動手段と、該駆動手段を覆うカバーと、該カバーにおいて上記スライドテーブルのスライド方向に設けられる開口部と、該カバー内の塵埃を吸引する吸引手段とを備える移載装置において、上記吸引手段を上記カバーの外側に配設すると共に、上記吸引手段にノズルを接続し、上記吸引手段は該ノズルを介して上記カバー内の塵埃を上記開口部から吸引することを特徴とする。
【００１１】
ここで、吸引手段は、例えば、カバー内の塵埃を吸引するための吸引装置が考えられ、筒状のノズルをその吸引装置の吸引口に取付け、カバーには直接取り付けないで、カバーの外側に配設する構成である。
このように、吸引装置にノズルを接続することで、吸引口付近の空気の吸い込みの流速（吸引装置が吸い込む空気の速さ）が増し、吸引したい個所の塵埃に対して効果的に取り除くことが可能となる。その結果、吸い込む力の少ない小型の吸引装置でも効果を維持したまま塵埃を取り除くことができる。また、吸引装置は、カバーに直接取り付けないので、移載装置が動作することによって塵埃の発生が予想される個所をその装置の動作に合わせて塵埃を吸引することができる。
【００１２】
また、本発明の移載装置は、上記ノズルの吸引口を上記カバーの開口部の直近に配設することを特徴とする。
移載装置の構成上できてしまうカバーに設けられる開口部（例えば、スライドテーブル駆動時に、ある部材をよけるためにスライド方向に長く設けるスリットなど）にできるだけ、ノズルの吸引口を近づけることにより、開口部からもれる塵や埃を効率良く吸い込むことが可能となる。
【００１３】
また、本発明の移載装置は、上記ノズルは、該ノズルの途中部分から該ノズルの開口部にいくにつれて細くなっていることを特徴とする。
例えば、具体的には、ノズルの開口部の大きさがノズルの途中から開口部に向かってだんだん細くなっていて、そのノズルの開口部の大きさがカバーに設けられている開口部の大きさと同じ大きさとなるようにする。
【００１４】
このように、ノズルの吸引口を細くすることで、更に、吸引口付近の空気の吸い込みの流速を上げることができので、吸引装置を小型化することが可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の実施の形態に係る移載装置を側面から見た図である。
【００１６】
図１において、１１は、上段部に位置するアッパフォークを、１２は、中段部に位置するミドルフォークを、１３は、下段部に位置するロアフォークを、１４は、ロアフォーク１３に対してミドルフォーク１２を摺動させるための駆動モータを、１５は、ミドルフォーク１２に対してアッパフォーク１１を摺動させるための従動ベルトを、１６は、ロアフォーク１３及び従動ベルト１５の所定個所に固定され、ミドルフォーク１２の摺動により従動ベルト１５を回転させるためのベルト固定ブラケットを、１７は、従動ベルト１５全体を覆うミドルカバーを、１８は、ロアフォーク１３に固定され、ミドルカバー１７内の塵埃を吸引する吸引装置を、１９は、吸引装置１８に接続され、ミドルカバー１７の近傍に吸引口を配置するノズルブラケットを示している。尚、上記各フォーク（スライドテーブル）は、３段式の構成に限らない。また、図示されていないが、ベルト固定ブラケット１６と同じ構成のものがアッパフォーク１１及び従動ベルト１５の所定個所に固定されており、従動ベルト１５の回転に伴ってアッパフォーク１１を摺動させている。また、上記ミドルカバー１７は、ミドルフォーク１２を介して上下に分かれて従動ベルト１５を覆っており、下側のミドルカバー１７の下面には、ミドルカバー１７内に浮遊する塵や埃が外に出るためのスリットが長手方向に設けられている。そして、このスリットは、吸引装置１８に近づけてミドルカバー１７内の塵や埃を吸引するための開口部であると同時に、ベルト固定ブラケット１６を避けるための開口部でもある。また、ノズルブラケット１９付近の矢印は、吸引装置１８が吸引する空気を示し、吸引装置１８下方の矢印は、吸引装置１８におけるフィルタを通ってきれいになった空気の流れを示している。
【００１７】
図１は、アッパフォーク１１及びミドルフォーク１２が移載装置を載せている移動台から外側に伸びている状態を示しており、移載装置を載せている移動台がクリーンルーム内を移動しているとき等ワークの移動操作をしていないときは、アッパフォーク１１及びミドルフォーク１２は、図示していないが、ロアフォーク１３の上にちょうど合わさる位置に収納される。
【００１８】
また、上記構成からなる移載装置は、駆動モータ１４の駆動によりミドルフォーク１２に対するアッパフォーク１１のスライド距離と、ロアフォーク１３に対するミドルフォーク１２のスライド距離とが等しくなるように伸縮させている。まず、駆動モータ１４が駆動すると、図示されていない駆動ベルトがロアフォーク１３の両端に設けられているプーリを介して回転する。駆動ベルトが回転すると、駆動ベルト及びミドルフォーク１２を固定しているベルト固定ブラケット（このベルト固定ブラケットは図示されていない）によって、ミドルフォーク１２が摺動する。ミドルフォーク１２が摺動すると、ベルト固定ブラケット１６がロアフォーク１１と従動ベルト１５とを固定しているので、従動ベルト１５がミドルフォーク１２の両端に設けられているプーリを介して回転する。従動ベルト１５の回転によりアッパフォーク１３と従動ベルト１５とを固定しているベルト固定ブラケット（このベルト固定ブラケットは図示されていない）とによりアッパフォーク１１を摺動させる。
【００１９】
このように、駆動モータ１４の駆動によりアッパフォーク１１とミドルフォーク１２とを同じ比率で伸縮させ、アッパフォーク１１に載せるワークを目標位置まで移動させることができる。尚、上記移載装置には、各フォークをスムーズに摺動させるためのスライド機構部が備えられており、塵埃の発生が抑えられる構成となっている。ここでは、その構成についての説明は、本発明とはあまり関係がないので省略する。
【００２０】
次に、図２は、図１における移載装置を矢印Ａ方向から見た図である。
図２において、２１は、駆動モータ１４の駆動に連動して回転するプーリを、２２は、プーリ２１によって回転する駆動ベルトを覆う駆動ベルトカバーを、２３は、各フォークを直線に摺動させるためのスライド機構部を示している。尚、その他の構成は、図１と同様である。
【００２１】
塵埃の発生が懸念される個所は、駆動ベルトとプーリ２１及び従動ベルト１５と従動ベルト１５を介しているプーリがそれぞれかみ合う部分周辺である。図２に示すように、駆動ベルトとプーリ２１の周辺部分には駆動ベルトカバー２２が設けられており、従動ベルト１５と従動ベルト１５を介しているプーリの周辺部分にはミドルカバー１７が設けられている。この駆動ベルトカバー２２及びミドルカバー１７は、それぞれのベルトをすべて覆うように設けられている。すなわち、各フォークを駆動させている駆動部分のみを覆うようにカバーが設けられている。
【００２２】
また、図３は、図２における円部分Ｂの拡大図を示すものである。
図３において、２４は、吸引装置１８からノズルブラケット１９を介して空気を吸引するための吸引口を、２５は、上述したように、ミドルフォーク１２が摺動する際、ベルト固定ブラケット１６がミドルカバー１７に当たらないようにするためのスリット２５を示している。尚、スリット２５の長手方向の長さは、ベルト固定ブラケット１６に対してミドルカバー１７が移動する長さと等しくなっている。また、図３に示されている矢印は、空気の流れを示しているものであって、ノズルブラケット１９により局所的にスリット２５付近の空気を吸引している。
【００２３】
特に、ミドルカバー１７は、ワークを移載する際、ミドルフォーク１２がスライドしてクリーンルーム側に露出するため、その露出部分（ミドルカバー１７のスリット２５）から塵埃がクリーンルーム側にもれることが問題になる。そのため、吸引装置１８の取付け位置は、ミドルフォーク１２が露出する前、すなわち、ロアフォーク１３の端に設置されることが望ましく、また、スリット２５の直近に吸引口２４がくるように、ノズルブラケット１９を吸引装置１８に取り付ける。
【００２４】
ところで、塵埃の発生が懸念される個所は、カバーを設けることにより塵埃の発生を抑えられるが、カバーとカバー内の塵埃を吸引する吸引装置とを組み合わせた場合、従来の移載装置では、上述したように、吸引装置は大型のものになってしまっていた。
【００２５】
本発明の実施形態では、吸引装置１８をカバーから切り離して使用している。吸引装置１８は、ミドルカバー１７の下面に設けられたスリット２５のちょうど下の位置になるように、ロアフォーク１１の下方に固定されている。そして、吸引装置１８には、ノズルブラケット１９の吸引口２４がスリット２５にぶつからない程度にぎりぎりまで近づけて取り付けられている。
【００２６】
そして、ミドルフォーク１２が外側に伸びる際、ミドルフォーク１２がクリーンルーム側に出る前のスリット２５の周辺の塵埃を吸引する。
すなわち、ミドルカバー１７にそのスライド方向に沿ってスリット２５が設けられており、そのスリット２５の設けられたミドルカバー１７がミドルフォーク１２のスライドに伴って移動することになるので（すなわち、吸い込み口の方を移動させるのではなく、吸引の対象を移動させるので）、吸引口２４を固定したままで、ミドルカバー１７内のほぼ隅から隅まで強力に吸引することができるようになる。
【００２７】
このように、吸引装置１８にノズルブラケット１９を取り付けることにより、ミドルカバー１７がクリーンルーム側に出る前の部分のスリット２５の周辺部分を局所的に、且つ、ミドルカバー１７の全体（ミドルカバー１７の長手方向）にある塵埃を吸引することができる。また、吸引装置１８にノズルブラケット１９を取り付けることにより、吸引装置１８を直接ミドルカバー１７に取り付けるよりもスリット２５付近での空気の流れが速くなるので、吸引装置１８を小さくしても（吸引装置１８内のファンのパワーを小さくしても）、スリット２５付近にある塵埃を効果的に取り除くことが可能となる。
【００２８】
次に、本発明の他の実施形態を説明する。
＜他の実施形態＞
図４は、本発明の他の実施形態である移載装置のノズルブラケット周辺部分を拡大した図である。
【００２９】
図４における移載装置の構成及び動作は、上記実施形態の移載装置とほぼ同じである。
上記第１実施形態と異なる点は、ノズルブラケット４１の先端部をスリット２５の幅と同じ幅となるようにすることである。すなわち、吸引口２４部分を「テーパー型」にすることであり、その吸引口２４の開口の大きさをスリット２５の開口の大きさと同じにしている。
【００３０】
このように、吸引口２４部分を細くすることにより、吸引口２４からの吸い込みの流速を増加させることができ、より塵埃のもれを防ぐことが可能となる。また、吸い込みの流速を増加させることができるので、より小型の吸引装置１８を移載装置に適応できる。
【００３１】
本発明の特徴とする部分は、塵埃の発生が懸念される駆動ベルト及び従動ベルトを駆動ベルトカバー２２及びミドルカバー１７で覆うことで塵埃のクリーンルーム内へのもれを抑え、更に、ミドルフォーク１２のスライド時にミドルカバー１７の下面にあるスリット２５から塵埃のもれを防ぐためにノズルブラケット１９を取り付けた吸引装置１８をスリット２５の直近に配置することである。
【００３２】
これより、スリット２５付近での空気の流れが吸引装置１８を直接ミドルカバー１７に取り付けた場合と比べて速くなり、スリット２５付近での局所的な塵埃を効果的に取り除くことが可能となる。
尚、上述の実施の形態におけるスリット２５は、ベルト固定ブラケット１６を避けるための設けられた開口部であるが、これに限定されるものではなく、例えば、スライド方向に長く延びた何らかのスリットがカバーに設けられている構成であっても良い。
【００３３】
また、本発明は、以上に述べた実施の形態に限定されるものではなく、各請求項に記載された範囲内において、種々の構成を採用可能である。
【００３４】
【発明の効果】
本発明の移載装置によれば、塵埃の発生が懸念される個所のみを覆うようにカバーを設けている。そして、そのカバーから塵埃のもれが予想される個所の直近に吸引装置に取り付けたノズルの吸引口を配置している。この吸引装置に取り付けたノズルにより、ノズルの吸引口付近での空気の流れを速くすることができるので、塵埃のもれを抑える効果を維持したまま吸引装置を小型化することができ、移載装置全体も小型化することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る移載装置を側面から見た図である。
【図２】図１における移載装置をＡ方向から見た図である。
【図３】図２における円部分Ｂの拡大図である。
【図４】本発明の他の実施形態である移載装置のノズルブラケット周辺部分を拡大した図である。
【符号の説明】
１１  アッパフォーク
１２  ミドルフォーク
１３  ロアフォーク
１４  駆動モータ
１５  従動ベルト
１６  ベルト固定ブラケット
１７  ミドルカバー
１８  吸引装置
１９  ノズルブラケット
２１  プーリ
２２  駆動ベルトカバー
２３  スライド機構部
２４  吸引口
２５  スリット
４１  ノズルブラケット
【図１】
0004534404.tif 000002
【図２】
0004534404.tif 000003
【図３】
0004534404.tif 000004
【図４】
0004534404.tif 000005