(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される板材と、前記板材と組合わされて前記板材との内部に空洞部を形成する別の板材とを調製し、
前記別の板材は、前記空洞部を形成する部分の外周部の近傍に環状溝部を備え、
前記板材は、前記外周部および前記空洞部を形成する所定の高さの凹部を備え、
前記板材および前記別の板材の外周部を圧接接合する際に生ずる前記接合面に沿った方向における前記板材および前記別の板材の変形を前記環状溝部と前記凹部の側面部とで吸収する吸収構造をなし、
前記板材および前記別の板材を組合わせて外周部を圧接し、前記吸収構造によって、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、
このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して、気密性に優れた板型ヒートパイプを製造する、板型ヒートパイプの製造方法。
【請求項２】
前記環状溝部の深さｂが、前記外周部の板厚ａよりも大きくなるように前記板材および前記別の板材を調製する、請求項１に記載の板型ヒートパイプの製造方法。
【請求項３】
少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される板材と、前記板材と組合わされて前記板材との内部に空洞部を形成する別の板材とを調製し、
前記別の板材は、前記外周部の近傍に、前記空洞部を形成する面が環状に窪み、他方の面が凸状に突出する環状逆Ｕ字部を備え、
前記板材は、前記外周部および前記空洞部を形成する所定の高さの凹部を備え、
前記板材および前記別の板材の外周部を圧接接合する際に生ずる前記接合面に沿った方向における前記板材および前記別の板材の変形を前記環状逆Ｕ字部と前記凹部の側面部とで吸収する吸収構造をなし、
前記板材および前記別の板材を組合わせて外周部を圧接し、前記吸収構造によって、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、
このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して、気密性に優れた板型ヒートパイプを製造する、板型ヒートパイプの製造方法。
【請求項４】
前記環状逆Ｕ字部の深さｂが、前記外周部の板厚ａよりも大きくなるように前記板材および前記別の板材を調製する、請求項３に記載の板型ヒートパイプの製造方法。
【請求項５】
板材と前記別の板材の外周部の圧接が、圧下による金属接合によって行われる、請求項１から４の何れか１項に記載の板型ヒートパイプの製造方法。
【請求項６】
前記圧下によって、前記板材と前記別の板材の外周部のそれぞれの接合面に新生面を形成し、前記新生面どうしが圧着されて金属接合される、請求項５に記載の板型ヒートパイプの製造方法。
【請求項７】
少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される板材と、前記板材と組合わされて前記板材との内部に空洞部を形成する別の板材とを調製し、
前記板材は、前記空洞部を形成する部分の外周部の近傍に環状逆Ｕ字部を備え、
前記別の板材は、前記外周部および前記板材の前記環状Ｕ字部と嵌め合いによって組み合わされる側面部とを備え、
前記板材および前記別の板材の外周部を圧接接合する際に生ずる前記接合面に沿った方向における前記板材および前記別の板材の変形を前記環状Ｕ字部と前記側面部とで吸収する吸収構造をなし、
前記板材および前記別の板材を組合わせて外周部を圧接し、前記吸収構造によって、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、
このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して、気密性に優れた板型ヒートパイプを製造する、板型ヒートパイプの製造方法。
【請求項８】
前記環状逆Ｕ字部の窪みの深さｂが、前記板材の板厚ａよりも大きくなるように前記板材および前記別の板材を調製する、請求項７に記載の板型ヒートパイプの製造方法。
【請求項９】
少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される板材と、前記板材と組合わされて前記板材との内部に空洞部を形成する別の板材とを調製し、
前記板材は、前記空洞部を形成する部分の外周部の近傍に環状逆Ｕ字部を備え、
前記別の板材は、前記外周部および前記板材の前記環状Ｕ字部と嵌め合いによって組み合わされる側面部とを備え、
前記板材および前記別の板材の外周部を圧接接合する際に生ずる前記接合面に沿った方向における前記板材および前記別の板材の変形を前記環状Ｕ字部と前記側面部とで吸収する吸収構造をなし、
前記板材および前記別の板材を組合わせて外周部を圧接し、前記吸収構造によって、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、
前記環状逆Ｕ字部の窪みの深さｂが、前記板材の板厚ａよりも大きくなるように前記板材および前記別の板材を調製し、
前記別の板材にフィンがクリンプされて固定されている、板型ヒートパイプ。
【請求項１０】
少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される板材と、前記板材と組合わされて前記板材との内部に空洞部を形成する別の板材とを調製し、
前記板材は、前記外周部および空洞部を形成する所定の高さの凹部を備え、
前記別の板材は、前記外周部の近傍に、空洞部に面する側が空洞部内に突出する環状Ｕ字部を備え、
前記板材および前記別の板材の外周部を圧接接合する際に生ずる前記接合面に沿った方向における前記板材および前記別の板材の変形を前記環状Ｕ字部と前記凹部の側面部とで吸収する吸収構造をなし、
前記板材および前記別の板材を組合わせて外周部を圧接し、前記吸収構造によって、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、
このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して、気密性に優れた板型ヒートパイプを製造する、板型ヒートパイプの製造方法。
【請求項１１】
前記環状Ｕ字部の窪みの深さが、別の板材の板厚よりも大きくなるように板材および別の板材を調製する、請求項１０に記載の板型ヒートパイプの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気・電子部品、たとえば半導体チップ等の高発熱量の被冷却素子等を冷却するのに好適な、板型ヒートパイプの製造方法と、その実装方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
パソコンのＣＰＵ、レーザ発光ダイオード、パワートランジスター等の電気・電子機器に搭載されている半導体素子等の電子部品は、その使用によってある程度の発熱が避け難く、近年、その冷却が重要な技術課題となりつつある。冷却を要する電気・電子素子（以下、「被冷却素子」と称する）を冷却する方法としては、例えば機器にファンを取り付けて、機器筐体内の空気の温度を下げる方法や、被冷却素子に冷却体を取り付けることによって、その被冷却素子を直接的に冷却する方法等が代表的に知られている。
【０００３】
被冷却素子に取り付ける冷却体として、例えば銅材やアルミニウム材などの伝熱性に優れた材料の板材や、或いは板型ヒートパイプ等が適用されることが多い。板型ヒートパイプは、板状のヒートパイプであり、その他に、平面型ヒートパイプまたは平板型ヒートパイプと呼称されることもある。以下、板型ヒートパイプと呼称する。
【０００４】
ヒートパイプについて簡単に説明する。ヒートパイプは空洞部を有するコンテナであり、その空洞部に作動流体（作動流体）が封入されている。その空洞部は真空引きされており、作動流体の蒸発が起きやすくなっている。作動流体としては、コンテナの材質との適合性を考慮して、水、アルコール、代替フロン等が用いられる。
【０００５】
ヒートパイプの作動について簡単に説明する。即ち、ヒートパイプの吸熱側において、ヒートパイプを構成する容器（コンテナ）の材質中を熱伝導して伝わってきた熱により、作動流体が蒸発し、その蒸気がヒートパイプの放熱側に移動する。放熱側では、作動流体の蒸気は冷却されて、再び液相状態に戻る。そして液相に戻った作動流体は、再び吸熱側に移動（還流）する。このような作動流体の相変態や移動により、熱の移動がなされる。
【０００６】
作動流体の還流は、重力や毛細管現象によってなされる。重力式のヒートパイプの場合は、吸熱部を放熱部より下方に配置することによって、作動流体は還流する。毛細管現象によって作動流体を還流させるヒートパイプの場合は、空洞部の内壁に溝を設けたり、空洞内部に金属メッシュ、多孔質体等のウイックを挿入し、溝またはウイックによる毛細管現象によって、作動流体が還流する。
このように、ヒートパイプにおいては、ヒートパイプの密閉された空洞部内に封入された作動流体の相変態と移動により大量の熱の輸送が行われる。もちろん、ヒートパイプを構成する容器（コンテナ）を熱伝導することによって、運ばれる熱もあるが、その量は相対的に少ない。
【０００７】
上述した吸熱側には、被冷却部品を熱的に接続させる。そして放熱側には、例えば、放熱用フインを取り付ける。このような構成によって、被冷却部品の熱の大部分が、ヒートパイプによって移動されて、放熱用フインから放散される。
さて、板型ヒートパイプの場合、その形状の特徴によって、被冷却部品とヒートパイプを接続させやすい利点がある。即ち、半導体素子等の被冷却部品を、ヒートパイプの主面に接触させることによって、ある程度広い面積で接触させることができるからである。
【０００８】
なお、被冷却部品とヒートパイプの接触は、両者の間に伝熱グリスや伝熱ゴム等を挟む場合もあり、両者をハンダ付け等によって接合させる場合もある。また板型ヒートパイプの被冷却部品を接触させた主面の反対側の面には、放熱用のフインやヒートシンク、更に、ファン等を取り付けると良い。このように配置することによって、スペース効率にも優れた冷却構造が実現しうる。この場合には、半導体素子等の被冷却部品と接触するヒートパイプの主面に変形が生じると、熱抵抗が高くなるので、ヒートパイプの主面に変形が無いことが必要である。
【０００９】
特に、近年では、CＰＵの高集積化、高速化によって、発熱密度が高くなる傾向にあり、ヒートパイプの性能も、熱を移動するだけでなく、高密度の熱流束を低密度に拡散するという熱の拡散に関する要求にも対応しなければならない。また、CＰＵが実装された基板は、様々な向きに配置されるので、ヒートパイプも様々な向きに配置された状態で性能を発揮しなげればならない。従って、ヒートパイプ内部における、高発熱密度の発熱体が接触する部分に、低密度に拡散する機能を備えた伝熱ブロックを配置したり、金属メッシュ、多孔質体等のウイックを適切に配置することによって、ドライアウト（吸熱部での蒸発に、作動流体の供給が追いつかず、吸熱部が乾ききってしまって、ヒートパイプとしての作動が続かなくなることをいう）の発生を防止する必要がある。伝熱ブロックは、別部品を挿入しても良いし、コンテナと一体の部材に形成されていても良い。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
板型ヒートパイプのコンテナの形成は、プレス等によって成形した２枚の板状部材をロウ付け等で接合する方法（例えば特願平８−３１２９８０）、折り込みで封入・接合する方法（特願平１０−０９９７８１）などが提案されている。
しかし、密閉体のコンテナを形成するための部材の接合方法として、ロウ付け（またはハンダ付け）をその接合の主たる手段として用いると、ロウ材と作動流体との適合性、または、フラックスの種類によっては、ヒートパイプの性能が劣化しやすいという問題がある。ロウ材と作動流体との適合性の向上のためには、不純物の少ない、母材と近い組成のロウ材を用いることが望ましいが、その場合には、ロウ材の融点が必然的に母材の融点と近くなるので、母材が焼鈍されて強度が低下するなどの問題がある。更に、加工に要する時間や、ロウ材等の他部材を用いることによるコスト上昇も避けられない。
【００１１】
一方、折り込みによる封止の場合は、外形に制約があり、単純な形状でなければ適用できないという問題点がある。また、この方法によると、部材同士の金属的な接合が困難であることから、密封性を長期にわたって維持することができない、即ち、ヒートパイプとしての長期信頼性を損なうという問題点がある。そのため、単純にこの手法だけでヒートパイプのための気密性の高い密封体を製造することが困難である。
従って、この発明の目的は、ヒートパイプの板材の強度を低下させることなく、長期信頼性がある、気密性の高い、主面に変形の無いコンテナを備えたヒートパイプおよびその製造方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
発明者は、上述した従来の問題点を解決するために鋭意研究を重ねた。その結果、その表面に被冷却素子が熱的に接続される板材と、それと組合わされて内部に空洞部を形成する別の板材とを組合わせた外周部を、清浄な状態に維持しつつ圧下すると、両板材の接合面に新生面が形成されて、新生面どうしが圧着されて、金属接合され、気密性に優れた強度の低下しないコンテナを備えたヒートパイプを作製することができることが判明した。更に、板材および別の板材に、板材および別の板材の接合面に沿った方向における板材の変形を吸収する吸収構造を設けると、板材および別の板材を組合わせて、外周部を圧接したときに、上述した吸収構造によって、接合面に沿った方向における板材の変形を吸収することができるので、変形の無い主面を備えたコンテナを形成することが判明した。
【００１３】
この発明は、上述した研究結果に基づいてなされたものであって、この発明の板型ヒートパイプの製造方法は、少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される板材と、前記板材と組合わされて前記板材との内部に空洞部を形成する別の板材とを調製し、前記別の板材は、前記空洞部を形成する部分の外周部の近傍に環状溝部を備え、前記板材は、前記外周部および前記空洞部を形成する所定の高さの凹部を備え、前記板材および前記別の板材の外周部を圧接接合する際に生ずる前記接合面に沿った方向における前記板材および前記別の板材の変形を前記環状溝部と前記凹部の側面部とで吸収する吸収構造をなし、前記板材および前記別の板材を組合わせて外周部を圧接し、前記吸収構造によって、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して、気密性に優れた板型ヒートパイプを製造する、板型ヒートパイプの製造方法である。
【００１６】
この場合において、前記環状溝部の深さｂが、前記外周部の板厚ａよりも大きくなるように前記板材および前記別の板材を調製する、板型ヒートパイプの製造方法である。
【００１７】
また、この発明の板型ヒートパイプの製造方法は、少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される板材と、前記板材と組合わされて前記板材との内部に空洞部を形成する別の板材とを調製し、前記別の板材は、前記外周部の近傍に、前記空洞部を形成する面が環状に窪み、他方の面が凸状に突出する環状逆Ｕ字部を備え、前記板材は、前記外周部および前記空洞部を形成する所定の高さの凹部を備え、前記板材および前記別の板材の外周部を圧接接合する際に生ずる前記接合面に沿った方向における前記板材および前記別の板材の変形を前記環状逆Ｕ字部と前記凹部の側面部とで吸収する吸収構造をなし、前記板材および前記別の板材を組合わせて外周部を圧接し、前記吸収構造によって、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して、気密性に優れた板型ヒートパイプを製造する、板型ヒートパイプの製造方法である。
【００１９】
この場合において、前記環状溝部の深さｂが、前記外周部の板厚ａよりも大きくなるように前記板材および前記別の板材を調製する、板型ヒートパイプの製造方法である。
【００２３】
また、板材と前記別の板材の外周部の圧接が、圧下による金属接合によって行われる、板型ヒートパイプの製造方法である。
【００２４】
さらに、前記圧下によって、前記板材と前記別の板材の外周部のそれぞれの接合面に新生面を形成し、前記新生面どうしが圧着されて金属接合される、板型ヒートパイプの製造方法である。
【００２５】
この発明の板型ヒートパイプの製造方法は、少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される板材と、前記板材と組合わされて前記板材との内部に空洞部を形成する別の板材とを調製し、前記板材は、前記空洞部を形成する部分の外周部の近傍に環状逆Ｕ字部を備え、前記別の板材は、前記外周部および前記板材の前記環状Ｕ字部と嵌め合いによって組み合わされる側面部とを備え、前記板材および前記別の板材の外周部を圧接接合する際に生ずる前記接合面に沿った方向における前記板材および前記別の板材の変形を前記環状Ｕ字部と前記側面部とで吸収する吸収構造をなし、前記板材および前記別の板材を組合わせて外周部を圧接し、前記吸収構造によって、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して、気密性に優れた板型ヒートパイプを製造する、板型ヒートパイプの製造方法である。
【００２７】
この場合において、前記環状Ｕ字部の窪みの深さｂが、板材の板厚ａよりも大きくなるように板材および別の板材を調製する、板型ヒートパイプの製造方法である。
【００２８】
この発明の板型ヒートパイプは、少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される板材と、前記板材と組合わされて前記板材との内部に空洞部を形成する別の板材とを調製し、前記板材は、前記空洞部を形成する部分の外周部の近傍に環状逆Ｕ字部を備え、前記別の板材は、前記外周部および前記板材の前記環状Ｕ字部と嵌め合いによって組み合わされる側面部とを備え、前記板材および前記別の板材の外周部を圧接接合する際に生ずる前記接合面に沿った方向における前記板材および前記別の板材の変形を前記環状Ｕ字部と前記側面部とで吸収する吸収構造をなし、前記板材および前記別の板材を組合わせて外周部を圧接し、前記吸収構造によって、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、前記環状逆Ｕ字部の窪みの深さｂが、前記板材の板厚ａよりも大きくなるように前記板材および前記別の板材を調製し、前記別の板材にフィンがクリンプされて固定されている、板型ヒートパイプである。
【００２９】
この発明の板型ヒートパイプは、前記別の板材にフィンがクリンプされて固定されている、板型ヒートパイプである。
【００３０】
この発明の板型ヒートパイプの製造方法は、少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される板材と、前記板材と組合わされて前記板材との内部に空洞部を形成する別の板材とを調製し、前記板材は、前記外周部および空洞部を形成する所定の高さの凹部を備え、前記別の板材は、前記外周部の近傍に、空洞部に面する側が空洞部内に突出する環状Ｕ字部を備え、前記板材および前記別の板材の外周部を圧接接合する際に生ずる前記接合面に沿った方向における前記板材および前記別の板材の変形を前記環状Ｕ字部と前記凹部の側面部とで吸収する吸収構造をなし、前記板材および前記別の板材を組合わせて外周部を圧接し、前記吸収構造によって、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して、気密性に優れた板型ヒートパイプを製造する、板型ヒートパイプの製造方法である。
【００３１】
この場合において、前記環状Ｕ字部の窪みの深さが、別の板材の板厚よりも大きくなるように板材および別の板材を調製する、板型ヒートパイプの製造方法である。
【００３３】
【発明の実施の形態】
この発明の板型ヒートパイプの製造方法は、その表面に少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される板材と、板材と組合わされて内部に空洞部を形成する別の板材とを調製し、板材および別の板材の少なくとも一方の板材に、板材および別の板材の接合面に沿った方向における板材の変形を吸収する吸収構造を設け、
板材および別の板材を組合わせて、外周部を圧接し、吸収構造によって、接合面に沿った方向における板材の変形を吸収して、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して、気密性に優れた板型ヒートパイプを製造する、板型ヒートパイプの製造方法である。
上述した接合が、圧下による金属接合によって行われる。即ち、上述した圧下によって、板材と別の板材の外周部のそれぞれの接合面に新生面を形成し、新生面どうしが圧着されて金属接合される。
【００３４】
図５は、この発明における板型ヒートパイプの外周部の圧接の一例を説明する図である。図５（ａ）に示すように、圧接は、先ず、板型ヒートパイプの主面を形成する２つの板材、即ち、上板材１および下板材２の外周部４を重ね合わせる。次いで、図５（ｂ）に示すように、このように重ね合わせた上板材１および下板材２の外周部４を両方向、即ち、上下から圧下する。圧下量は、上板材および下板材の材質、表面の状態、圧下する環境（真空中、大気中）によって異なる。例えば、両板材の表面を清浄にし、真空中で圧下する場合には、圧下量は、２〜３％でよい場合もあり、大気中で圧下する場合には、少なくとも３０％、好ましくは５０％以上の肉厚減少を与える程度の圧下が必要である。
【００３５】
図５（ｃ）に示すように、接合面を重ね合わせて、圧下することによって、変形を受けた部分に新生面（酸化皮膜や吸着膜のない、清浄な金属表面）を露出させ、新生面どうしが圧着されて金属接合を生じ、２個の部材が接合する。この場合の金属接合された部分は、図５（ｃ）の点線で示す箇所である。なお、金属接合された部材は、２つの板材を剥がす方向に力を加えると、元の板材に分離せず、接合部分に母材破断が生じるように、強固に金属接合され、コンテナは気密性に優れている。圧接時の温度は、板材の融点未満の温度であればよく、例えば、常温でもよい。
【００３６】
圧接方法は、接合部を塑性変形させる方法であれば良く、平押し、鍛造、絞り、しごき等の様々な加工方法が使用可能である。加工方法は、ヒートパイプの外形形状や、内部構造によって選択される。接合面は、接合前に極力清浄にして、酸化物、水酸化物、有機物等の被膜や付着物を取り除いておく必要があるが、その方法としては、ブラッシング、サンダー等の機械的な方法や、ドライエッチング等の化学的な方法がある。
【００３７】
表面の清掃から圧接が終了するまでの間、接合すべき部分には、ゴミや水分や油分の付着、あるいは酸化皮膜の生成を極力避けなければならない。短時間であれば大気中でも問題なく、たとえば大気中でブラッシングし、直後に接合面を合わせて平押しすることで圧接が可能である。また、真空チャンバー中で部材の接合部をプラズマによってクリーニングし、真空または不活性雰囲気に保ったままチャンバー内で圧接することもでき、この場合には圧下量が小さくて済む場合もある。
【００３８】
なお、上述した圧接においては、上板材１および下板材２の外周部の接合面にに沿った方向（即ち、図５における水平方向に沿って左または右方向）に力が加わる。接合面に沿った方向の力が所定値を超えると、（図５における水平方向にそって左方向に力が加わり）上板材または下板材に変形が生じる恐れが有る。この発明の板型ヒートパイプの製造方法は、吸収構造を備えて、圧接によって上述した上板材または下板材に生じる変形を吸収する。以下、具体的に説明する。
【００３９】
図１は、この発明の板型ヒートパイプの製造方法の１つの態様を説明する図である。図１（ａ）は、圧接前の板材の組合わせ状態を説明する図である。図１（ｂ）は、圧接終了後の状態を説明する図である。
この態様においては、厚さの異なる、その表面に少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される、外周部および空洞部を形成する所定の高さの凹部からなっている板材と、板材と組合わされて内部に空洞部を形成する別の板材とを調製し、板厚の大きい別の板材の空洞部を形成する面に環状溝部を設け、
板材および別の板材を組合わせて、外周部を圧接し、環状溝部および凹部の側面からなる吸収構造によって、接合面に沿った方向における板材の変形を吸収して、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、
このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して、気密性に優れた板型ヒートパイプを製造する。
【００４０】
即ち、ヒートパイプのコンテナを形成する上板材１は、概ね平板状であり、下板材は、空洞部を形成するようにプレス成形されている。厚さの大きい上板材１の空洞部３を形成する面に環状溝部Ｂを設け、外周部Ａの厚さは、上板材１の本体の厚さよりも小さくなるように形成される。下板材２は、外周部Ａおよび空洞部３を形成する所定の高さの凹部からなっており、側面部Ｃおよび主面部Ｇ２を備えている。下板材２の厚さは、上板材１の外周部の厚さと概ね等しい。なお、上述した環状溝部の深さｂが、板材１の外周部Ａの板厚ａよりも大きくなるように上板材１および下板材２を調製する。
【００４１】
上板材１と下板材２とを、それぞれの外周部Ａ、Ａにおいて接し、内部に空洞部を形成するように組合わせる。このように組合わされた上板材および下板材の外周部Ａ、Ａを、図５に示した方法によって圧接する。図１（ｂ）に示すように、外周部Ａ、Ａの接合部４は、図の垂直方向の力を受けて、Ａ’、Ａ’のように圧接されて厚さが薄くなり、水平方向に幅が広がる。水平方向の幅の広がりはＤ方向だけでなく、Ｅ方向にも起きる。従って、Ｅ方向への幅の広がりによって、外周部の空洞部側の端部は、接合面に沿った方向に、Ｆ１、Ｆ２のように変形する。
【００４２】
上板材１の空洞部を形成する面には環状溝部Ｂが設けられているので、Ｆ１に示す変形は、環状溝部Ｂ内に向かって進んで、吸収され、上板材１の主面部Ｇ１が変形することはない。更に、下板材２の側面部Ｃと接合部４とによって形成される角部におけるＦ２に示す変形は、上述した環状溝部と相俟って、吸収され、下板材２の主面部Ｇ２が変形することはない。
【００４３】
なお、図６に、環状溝部が形成されていない上板材および下板材を使用し、外周部に圧接を施した場合の状態を示す。図６（ａ）に示すように、外周部の接合部は、図の垂直方向の力を受けて、Ａ’’、Ａ’’のように圧接されて厚さが薄くなり、水平方向に幅が広がる。水平方向の幅の広がりはＤ方向だけでなく、Ｅ方向にも起きる。従って、Ｅ方向への幅の広がりによって、上板材１１０の本来平であるべき主面部Ｇ１１がＨ方向に膨らんだり、図６（ｂ）に示すように、主面部Ｇ１１がＩ方向に凹んだりする。このような変形を型によって拘束したり、コンテナ形成後に変形を矯正することは、多大の労力を要し、完全に拘束または矯正することは困難である。
上述した態様における吸収構造は、環状溝部と、空洞部を形成する所定の高さの凹部の側面部とからなっている。
【００４４】
図２は、この発明の板型ヒートパイプの製造方法の他の１つの態様を説明する図である。図２（ａ）は、圧接前の板材の組合わせ状態を説明する図である。図２（ｂ）は、圧接終了後の状態を説明する図である。
この態様においては、組合わされて内部に空洞部を形成する、同一厚さの、それぞれが外周部、および、空洞部を形成する所定の高さの凹部からなっている、その表面に少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される板材と、別の板材とを調製し、板材および別の板材の接合面に沿った方向における板材の変形を吸収する吸収構造を設け、板材および別の板材を、凹部が対向するように組合わせて、外周部を圧接し、吸収構造によって、接合面に沿った方向における板材の変化を吸収して、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して、気密性に優れた板型ヒートパイプを製造する。上述した吸収構造が、対向する凹部の側面部からなっている。更に、凹部の側面部の高さｃが、板材の板厚ａよりも大きくなるように板材および別の板材を調製する。
【００４５】
即ち、図２（ａ）に示すように、ヒートパイプのコンテナを形成する上板材１１および下板材１２は、何れも、外周部Ａ、および、空洞部１３を形成する所定の高さの凹部からなっており、対向する凹部を組合わせて、空洞部１３を形成するようにプレス成形されている。上板材１１および下板材１２の厚さは等しく形成されている。上板材１１は、外周部Ａ、凹部の側面部Ｃおよび主面部Ｇ１を備えている。下板材１２は、外周部Ａ、凹部の側面部Ｃおよび主面部Ｇ２を備えている。なお、上述した側面部の高さｃが、板材１１、１２の板厚ａよりも大きくなるように上板材１１および下板材１２を調製する。
【００４６】
上板材１１と下板材１２とを、それぞれの外周部Ａ、Ａにおいて接し、凹部が対向するように組合わせる。このように組合わされた上板材および下板材の外周部Ａ、Ａを、図５に示した方法によって圧接する。図２（ｂ）に示すように、外周部Ａ、Ａの接合部１４は、図の垂直方向の力を受けて、Ａ’、Ａ’のように圧接されて厚さが薄くなり、水平方向に幅が広がる。水平方向の幅の広がりはＤ方向だけでなく、Ｅ方向にも起きる。従って、Ｅ方向への幅の広がりによって、外周部の空洞部側の端部は、接合面に沿った方向に、Ｆ１、Ｆ２のように変形する。Ｆ１およびＦ２に示す変形は、上板材１１の側面部Ｃと接合部１４によって形成される角部、および、下板材１２の側面部Ｃと接合部１４とによって形成される角部が、接合面に沿って進んで、吸収され、上板材１１の主面部Ｇ１１および下板材１２の主面部Ｇ１２が変形することはない。
【００４７】
即ち、この態様においては、上板材１１の側面部Ｃおよび下板材１２の側面部Ｃが吸収構造を形成している。
なお、上述したように、外周部の接合部は圧接されて厚さが薄くなり、水平方向に幅が広がる。しかしながら、側面部の高さｃが、板材１１、１２の板厚ａよりも小さいときには、Ｅ方向への幅の広がりによって、外周部の空洞部側の端部は、接合面に沿った方向に、Ｆ１、Ｆ２のように変形せず、上板材１１の主面部Ｇ１１、または、下板材１２の主面部Ｇ１２に沿って直接力が加わり、主面部Ｇ１１、または、Ｇ１２が垂直方向に沿って膨らんだり、凹んだりする。従って、側面部の高さｃが、板材１１、１２の板厚ａよりも小さいときには、吸収構造を形成しない。
【００４８】
図３は、この発明の板型ヒートパイプの製造方法の他の１つの態様を説明する図である。図３（ａ）は、圧接前の板材の組合わせ状態を説明する図である。図３（ｂ）は、圧接終了後の状態を説明する図である。
この態様においては、同一厚さの、その表面に少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される、外周部および空洞部を形成する所定の高さの凹部からなっている板材と、板材と組合わされて内部に空洞部を形成する別の板材とを調製し、別の板材の外周部の近傍に、空洞部を形成する面が環状に窪み、他方の面が凸状に突出するように、別の板材を加工して、環状逆Ｕ字部を設け、
板材および別の板材を組合わせて、外周部を圧接し、環状逆Ｕ字部および凹部の側面からなる吸収構造によって、接合面に沿った方向における板材の変形を吸収して、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、
このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して、気密性に優れた板型ヒートパイプを製造する。
【００４９】
上述した環状逆Ｕ字部の窪みの深さｂが、板材の板厚ａよりも大きくなるように板材および別の板材を調製する。
即ち、上板材２１および下板材２２の厚さは等しく、ヒートパイプのコンテナを形成する上板材２１は、環状逆Ｕ字部Ｂを除いて、主面部Ｇ２１は概ね平板状であり、環状逆Ｕ字部Ｂは、プレス成形等によって成形され、外側に向かって凸状に突出し、空洞部に面する側には、環状の窪み１５が形成されている。下板材２２は、空洞部を形成するようにプレス成形され、外周部および空洞部を形成する所定の高さの凹部からなっている。凹部は、側面部Ｃおよび主面部Ｇ２２を備えている。環状逆Ｕ字部の窪みの深さｂが、板材の板厚ａよりも大きくなるように板材および別の板材が調製されている。
【００５０】
上板材２１と下板材２２とを、それぞれの外周部Ａ、Ａにおいて接し、内部に空洞部を形成するように組合わせる。このように組合わされた上板材および下板材の外周部Ａ、Ａを、図５に示した方法によって圧接する。図３（ｂ）に示すように、外周部Ａ、Ａの接合部２４は、図の垂直方向の力を受けて、Ａ’、Ａ’のように圧接されて厚さが薄くなり、水平方向に幅が広がる。水平方向の幅の広がりはＤ方向だけでなく、Ｅ方向にも起きる。従って、Ｅ方向への幅の広がりによって、外周部の空洞部側の端部は、接合面に沿った方向に、Ｆ１、Ｆ２のように変形する。
【００５１】
上板材２１の空洞部を形成する面には環状逆Ｕ字部Ｂの環状窪み１５が設けられているので、Ｆ１に示す変形は、環状窪み１５内に向かって進んで、吸収され、上板材２１の主面部Ｇ２１が変形することはない。更に、下板材２２の側面部Ｃと接合部２４とによって形成される角部におけるＦ２に示す変形は、上述した環状窪み１５と相俟って、吸収され、下板材２２の主面部Ｇ２２が変形することはない。
【００５２】
この態様によると、上板材および下板材を同一厚さの板材で調製することができ、特に、上板材の外周部と主面部の厚さを変えることなく、プレス成形等によって、環状逆Ｕ字部を形成するだけでよいので、作製が容易である。上述した態様における吸収構造は、環状逆Ｕ字部Ｂと、空洞部を形成する所定の高さの凹部の側面部Ｃとからなっている。
環状逆Ｕ字部の窪みの深さｂが、板材の板厚ａよりも小さいときには、外周部の接合部が圧接されて厚さが薄くなり、水平方向のＥ方向への幅の広がりによって、外周部の空洞部側の端部は、接合面に沿った方向に、Ｆ１、Ｆ２のように変形せず、上板材２１の主面部Ｇ２１、または、下板材２２の主面部Ｇ２２に沿って直接力が加わり、主面部Ｇ２１、または、Ｇ２２が垂直方向に沿って膨らんだり、凹んだりする。従って、環状逆Ｕ字部の窪みの深さｂが、板材２１、２２の板厚ａよりも小さいときには、吸収構造を形成しない。
【００５３】
図７は、この発明の板型ヒートパイプの製造方法の他の１つの態様を説明する図である。図７（ａ）は、圧接前の板材の組合わせ状態を説明する図である。図７（ｂ）は、圧接終了後の状態を説明する図である。
この態様においては、同一厚さの、その表面に少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される、外周部および空洞部を形成する所定の高さの凹部からなり、外周部の近傍には環状逆Ｕ字型の構造とその外側のフランジ状の外周部を備えている板材と、前記板材の前記環状逆Ｕ字部と嵌め合いによって組合わされる側面部とその外側のフランジ状の外周部を備えた、前記板材と組合わされて内部に空洞部を形成する別の板材とを調製し、
板材および別の板材を組合わせて、外周部を圧接し、板材の環状逆Ｕ字部および別の板材の側面部からなる吸収構造によって、接合面に沿った方向における板材の変形を吸収して、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、
このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して、気密性に優れた板型ヒートパイプを製造する。
上述した環状逆Ｕ字部の窪みの深さｂが、板材の板厚ａよりも大きくなるように板材および別の板材を調製する。
即ち、上板材４１および下板材４２の厚さは等しく、ヒートパイプのコンテナを形成する上板材４１は、側面部Ｃ１および外周部Ａを除いて、主面部Ｇ４１は平板状であり、側面部Ｃ１および外周部Ａは、プレス成形等によって成形される。下板材４２は、空洞部を形成するようにプレス成形され、外周部および空洞部を形成する所定の高さの凹部からなり、さらに外周部と凹部の間に環状逆Ｕ字部Ｂを備えている。外周部Ａ、環状逆Ｕ字部Ｂおよび側面部Ｃ２は、プレス成形等によって成形される。環状逆Ｕ字部の窪みの深さｂが、板材の板厚ａよりも大きくなるように板材および別の板材が調製されている。
【００５４】
上板材４１と下板材４２とを、それぞれの外周部Ａ、Ａにおいて接し、内部に空洞部を形成するように組合わせる。このように組合わされた上板材および下板材の外周部Ａ、Ａを、図５に示した方法によって圧接する。図７（ｂ）に示すように、外周部Ａ、Ａの接合部４４は、図の垂直方向の力を受けて、Ａ'、Ａ'のように圧接されて厚さが薄くなり、水平方向に幅が広がる。水平方向の幅の広がりはＤ方向だけでなく、Ｅ方向にも起きる。従って、Ｅ方向への幅の広がりによって、外周部の空洞部側の端部は、接合面に沿った方向に、Ｆのように変形する。
【００５５】
下板材４２の空洞部を形成する側面は外側には、環状逆Ｕ字部Ｂの環状窪み４５が設けられているので、Ｆに示す変形は、環状窪み４５内に向かって進んで、吸収され、上板材４１の主面部Ｇ４１、および下板材４２の主面部Ｇ４２が変形することはない。
【００５６】
この態様によると、上板材および下板材を同一厚さの板材で調製することができ、特に、上板材の外周部と主面部の厚さを変えることなく、プレス成形等によって、環状逆Ｕ字部や側面部を形成するだけでよいので、作製が容易である。上述した態様における吸収構造は、環状逆Ｕ字部Ｂと、空洞部を形成する所定の高さの凹部の側面部Ｃ１とからなっている。さらに、主面部Ｇ４１、Ｇ４２には出っ張りが生じないので、被冷却部材や放熱フィンとの接合部の設計の自由度が大きいという利点もある。
環状逆Ｕ字部の窪みの深さｂが、板材の板厚ａよりも小さいときには、外周部の接合部が圧接されて厚さが薄くなり、水平方向のＥ方向への幅の広がりによって、外周部の空洞部側の端部は、接合面に沿った方向に、Ｆのように変形せず、上板材４１の主面部Ｇ４１、または、下板材４２の主面部Ｇ４２に沿って直接力が加わり、主面部Ｇ４１、または、Ｇ４２が垂直方向に沿って膨んだり、凹んだりする。従って、環状逆Ｕ字部の窪みの深さｂが、板材４１、４２の板厚ａよりも小さいときには、吸収構造を形成しない。
【００５７】
図８は、この発明の板型ヒートパイプの製造方法の他の１つの態様を説明する図である。図８（ａ）は、圧接前の板材の組合わせ状態を説明する図である。図８（ｂ）は、圧接終了後の状態を説明する図である。
この態様においては、同一厚さの、その表面に少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される、外周部および空洞部を形成する所定の高さの凹部からなる板材と、前記板材と組合わされて内部に空洞部を形成する別の板材を調製し、前記別の板材の外周部の近傍に、空洞部に面する側が空洞部内に突出するように、別の板材を加工して、環状Ｕ字部を設け、
板材および別の板材を組合わせて、外周部を圧接し、別の板材の環状Ｕ字部および板材の側面部からなる吸収構造によって、接合面に沿った方向における板材の変形を吸収して、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、
このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して、気密性に優れた板型ヒートパイプを製造する。
【００５８】
上述した環状Ｕ字部の窪みの深さが、板材の板厚よりも大きくなるように板材および別の板材を調製する。
即ち、上板材６１および下板材６２の厚さは等しく、ヒートパイプのコンテナを形成する上板材６１は、環状Ｕ字部を除いて、主面部Ｇ６１は平板状であり、環状Ｕ字部Ｂは、プレス成形等によって成形され、コンテナの内側に向かって凸状に突出し、コンテナの外側には、環状の窪み６５が形成されている。下板材６２は、空洞部６３を形成するようにプレス成形され、外周部および空洞部を形成する所定の高さの凹部からなっている。凹部は、側面部Ｃおよび主面部Ｇ６２を備えている。環状逆Ｕ字部の窪みの深さが、板材の板厚よりも大きくなるように板材および別の板材が調製されている。
【００５９】
上板材６１と下板材６２とを、それぞれの外周部Ａ、Ａにおいて接し、内部に空洞部を形成するように組合わせる。このように組合わされた上板材および下板材の外周部Ａ、Ａを、図５に示した方法によって圧接する。図８（ｂ）に示すように、外周部Ａ、Ａの接合部６４は、図の垂直方向の力を受けて、Ａ’、Ａ’のように圧接されて厚さが薄くなり、水平方向に幅が広がる。水平方向の幅の広がりはＤ方向だけでなく、Ｅ方向にも起きる。従って、Ｅ方向への幅の広がりによって、外周部の環状Ｕ字部側の端部は、接合面に沿った方向に、Ｆのように変形する。
【００６０】
上板材６１の空洞部を形成する面には環状Ｕ字部Ｂの環状窪み６５が設けられているので、Ｆに示す変形は、環状窪み６５内に向かって進んで、吸収され、上板材６１の主面部Ｇ６１および下板材６２の主面部Ｇ６２が変形することはない。
この態様によると、上板材および下板材を同一厚さの板材で調製することができ、特に、上板材の外周部と主面部の厚さを変えることなく、プレス成形等によって、環状Ｕ字部を形成するだけでよいので、作製が容易である。上述した態様における吸収構造は、環状Ｕ字部Ｂと、空洞部を形成する所定の高さの凹部の側面部Ｃの上端部とからなっている。
【００６１】
環状Ｕ字部の窪みの深さが、板材の板厚よりも小さいときには、外周部の接合部が圧接されて厚さが薄くなり、水平方向のＥ方向への幅の広がりによって、外周部の空洞部側の端部は、接合面に沿った方向に、Ｆのように変形せず、上板材６１の主面部Ｇ６１、または、下板材６２の主面部Ｇ６２に沿って直接力が加わり、主面部Ｇ６１、または、Ｇ６２が垂直方向に沿って膨らんだり、凹んだりする。従って、環状逆Ｕ字部の窪みの深さが、板材６１、６２の板厚よりも小さいときには、吸収構造を形成しない。
【００６２】
図４は、この発明の板型ヒートパイプの製造方法の他の態様を説明する図である。図４（ａ）は、圧接前の板材の組合わせ状態を説明する図である。図４（ｂ）は、圧接終了後の状態を説明する図である。
この態様においては、厚さの異なる、その表面に少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される、外周部および空洞部を形成する所定の高さの凹部からなっている板材と、板材と組合わされて内部に空洞部を形成する別の板材とを調製し、板厚の大きい別の板材の空洞部を形成する面に環状溝部を設け、他方の面に放熱フィンを備え、
板材および別の板材を組合わせて、外周部を圧接し、環状溝部および凹部の側面からなる吸収構造によって、接合面に沿った方向における板材の変形を吸収して、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、
このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して、気密性に優れた板型ヒートパイプを製造する。
【００６３】
即ち、ヒートパイプのコンテナを形成する上板材３１は、概ね平板状であり、下板材３２は、空洞部を形成するようにプレス成形されている。厚さの大きい上板材３１の空洞部３３を形成する面に環状溝部Ｂを設け、他方の面に放熱フィン３７を備える。外周部Ａの厚さは、上板材３１の本体の厚さよりも小さくなるように形成される。下板材３２は、外周部Ａおよび空洞部３３を形成する所定の高さの凹部からなっており、側面部Ｃおよび主面部Ｇ３２を備えている。下板材３２の厚さは、上板材３１の外周部の厚さと概ね等しい。なお、上述した環状溝部の深さｂが、板材３１の外周部Ａの板厚ａよりも大きくなるように上板材３１および下板材３２を調製する。
【００６４】
上板材３１と下板材３２とを、それぞれの外周部Ａ、Ａにおいて接し、内部に空洞部を形成するように組合わせる。このように組合わされた上板材および下板材の外周部Ａ、Ａを、図５に示した方法によって圧接する。図４（ｂ）に示すように、外周部Ａ、Ａの接合部３４は、図の垂直方向の力を受けて、Ａ’、Ａ’のように圧接されて厚さが薄くなり、水平方向に幅が広がる。水平方向の幅の広がりはＤ方向だけでなく、Ｅ方向にも起きる。従って、Ｅ方向への幅の広がりによって、外周部の空洞部側の端部は、接合面に沿った方向に、Ｆ１、Ｆ２のように変形する。
【００６５】
上板材３１の空洞部を形成する面には環状溝部Ｂが設けられているので、Ｆ１に示す変形は、環状溝部Ｂ内に向かって進んで、吸収され、上板材３１の主面部Ｇ３１が変形することはない。従って、上板材３１に設けられている放熱フィンには何ら影響が及ばない。更に、下板材３２の側面部Ｃと接合部３４とによって形成される角部におけるＦ２に示す変形は、上述した環状溝部と相俟って、吸収され、下板材３２の主面部Ｇ３２が変形することはない。
【００６６】
上述した態様における吸収構造は、環状溝部と、空洞部を形成する所定の高さの凹部の側面部とからなっている。
なお、上述したように、外周部の接合部は圧接されて厚さが薄くなり、水平方向に幅が広がる。しかしながら、環状溝部の深さｂが、板材３１の外周部Ａの板厚ａよりも小さいときには、Ｅ方向への幅の広がりによって、外周部の空洞部側の端部は、接合面に沿った方向に、Ｆ１、Ｆ２のように変形せず、上板材３１の主面部Ｇ３１に沿って直接力が加わり、主面部Ｇ３１が垂直方向に沿って膨らんだり、凹んだりする。主面部Ｇ３１が膨らんだり凹んだりすると、上板材３１の外側の面に、例えば、クリンプ（かしめ接合）にて設けられている放熱フィンが外れ、その補修が困難となる。従って、環状溝部の深さｂが、板材３１の外周部Ａの板厚ａよりも小さいときには、吸収構造を形成しない。
【００６７】
この発明の板型ヒートパイプは、上述した製造方法によって製造された板型ヒートパイプである。
即ち、この発明の板型ヒートパイプの１つの態様は、その表面に少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される板材と、板材と組合わされて内部に空洞部を形成する別の板材とを調製し、板材および別の板材の少なくとも一方の板材に、板材および別の板材の接合面に沿った方向における板材の変形を吸収する吸収構造を設け、板材および別の板材を組合わせて、外周部を圧接し、吸収構造によって、接合面に沿った方向における板材の変形を吸収して、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して製造された、気密性に優れ、コンテナの両主面の平坦度が高い、板型ヒートパイプである。上述した板材および別の板材の厚さが異なっている、板型ヒートパイプである。
【００６８】
更に、別の板材にフィンが挿入可能な凹部、例えば、溝や穴にフィンの一端を挿入した後、前記凹部近傍を治具を用いて押圧変形させてクリンプされて固定されている、板型ヒートパイプである。
このように、別の板材にフィンがクリンプにより固定されている場合、前記別の板材が変形すると、クリンプされたフィンが外れる、または、前記別の板材とフィンとの間にすき間が生じてフィンの熱伝導抵抗が高まり、放熱性能を低下させる問題を、前記吸収構造により解決することができる。
【００６９】
この発明の板型ヒートパイプの他の態様は、組合わされて内部に空洞部を形成する、同一厚さの、それぞれが外周部、および、空洞部を形成する所定の高さの凹部からなっている、その表面に少なくとも１つの被冷却素子が熱的に接続される板材と、別の板材とを調製し、板材および別の板材の接合面に沿った方向における板材の変形を吸収する吸収構造を設け、板材および別の板材を、凹部が対向するように組合わせて、外周部を圧接し、吸収構造によって、接合面に沿った方向における板材の変形を吸収して、変形の無い主面を備えたコンテナを形成し、このように形成されたコンテナの内部に作動流体を封入して製造された、気密性に優れ、コンテナの両主面の平坦度が高い、板型ヒートパイプである。
この発明の板型ヒートパイプは、上述した形状のコンテナからなっており、その空洞部内に、ウイックが配置されている。更に、熱伝導性ブロックを配置してもよい。
【００７０】
なお、図には示していないが、コンテナの一部に注液・脱気のための口を設けて、作動流体（純水）を注入し、脱気することによって、板型ヒートパイプを作製することができる。
【００７１】
更に、圧接された外周部に更にろう付けまたはハンダ付けを施してもよい。圧接された外周部の接合部をロウ付けまたはハンダ付けによって補強することによって、機械的強度を補強する、および／または、接合界面の腐食を防止するなどの効果がある。即ち、本発明の板型ヒートパイプにおいては、外周部が圧接によって気密性に優れた状態で密封されているので、外周部における圧接部に対して外側からロウ付けまたはハンダ付けによって補強しても、ロウまたはハンダはヒートパイプ内面には侵入せず、作動流体と接触することはない。ロウ付け、ハンダ付け方法として、真空炉、雰囲気炉、トーチ、ハンダゴテ等の方法が可能である。これらの方法は、ヒートパイプのコンテナの材質、形状、大きさ、ヒートパイプに要求される熱性能、作動流体との相互作用などによって適宜選択される。
【００７２】
更に、圧接された外周部に更に溶接を施してもよい。圧接によって、耐圧性等の機械的強度は十分に得られても、密閉が完全でなく、微少な漏れのおそれがある場合には、溶接を併用しても良い。その場合でも、接合強度の大部分は圧接によって担っている。溶接方法として、ＴＩＧ溶接、プラズマ溶接、レーザー溶接、電子ビーム溶接などの溶接方法が可能である。これらの溶接方法は、ヒートパイプのコンテナの材質、形状、大きさ、ヒートパイプに要求される熱性能、作動流体との相互作用などによって適宜選択される。
【００７３】
更に、被冷却素子が熱的に接続される一方の板材に、被冷却素子を効率良く冷却するための凸部が一体的に形成されていてもよい。凸部の形状は、基板上に実装される被冷却素子および他の部品の配置等によってきまる。
通常、コンテナの材料は、銅ならば銅、アルミニウムならばアルミニウムのように、一種類の材料のみで構成されるが、板材にクラッド材を用いてもよい。クラッド材を用いる場合には、クラッド材のコンテナの内面側を形成する材料には、作動流体との適合性の高い材料、例えば、銅を用い、外面側を形成する材料には、機械的強度および外観の要求に応じて、高強度・安価・軽量などの材料、例えば、アルミニウムを用いることができ、さらに設計の自由度を高くし、コストを下げることが可能である。
【００７４】
更に、この発明の板型ヒートパイプは、上述した板型ヒートパイプの主面に被冷却素子が実装された基板が接合され、別の主面にヒートシンクが接合され、更に、ヒートシンクに送風するファンが所定の位置に備えられて、実装される。
この発明を実施例によって更に詳細に説明する。
【００７５】
【実施例】
実施例１
図１に示すように、外周部の厚さ１ｍｍ、主面部の厚さ２．６ｍｍの８０ｍｍ×６０ｍｍの平らな上板材１、厚さ１ｍの箱状にプレス成形された下板材２を純銅板によって調製した。上板材の空洞部を形成する面の接合部近傍に、幅０．８ｍｍ、深さ１．２ｍｍの環状溝部Ｂを設けた。次いで、上板材１および下板材２の外周部４を組合わせ、中に、純銅製のウイックが配置された。なお、組合わせる前に、上板材１および下板材２が接合される外周部の面を、ブラッシングによって清浄して、酸化物、水酸化物、有機物等の被膜や付着物を取り除いた。
【００７６】
このように接合される外周部の面が清浄な状態に維持されたまま上板材１および下板材２を組合わせて、大気中において、常温で、外周部を圧下した。そのときの圧下量は、７０％であった。外周部Ａは、図１（ｂ）に示すように、厚さが薄くなり、水平方向に幅が広がった。Ｅ方向への幅の広がりによって、外周部と主面部の境界部分および外周部と側面部の境界部分が空洞部側に向かって僅かに移動し、変形した。このとき、上板材１および下板材２の主面部の何れにも、膨らみ、凹み等の変形は見られなかった。即ち、上板材に設けられた環状溝部および下板材の側面部が吸収構造として機能し、接合面に沿った方向における板材の変形を吸収することができるので、変形の無い主面を備えたコンテナを形成することができた。このように外周部を圧接して、内部にウイックが配置された、全体のサイズが８０ｍｍ×６０ｍｍ×７ｍｍの気密性に優れたコンテナを作製した。更に、コンテナの一部に注液・脱気のための口を設けて、作動流体（純水）を注入し、脱気して、板型ヒートパイプを作製した。
【００７７】
このように作製された板型ヒートパイプの圧接された接合部の強度および気密性を試験したところ、 強度は、加圧試験において１４０ｋＰａでもはがれない強さであり、気密性は、Ｈｅリーク試験において、リーク量１×１０-9Ｐａ・ｍ3／ｓ以下であった。更に、主面部の平坦性は優れていた。
【００７８】
【発明の効果】
この発明によると、コンテナを形成する板材の強度を低下させることなく、接合強度が高く、気密性の高い、長期信頼性に優れた、主面に変形の無いコンテナを備えた板型ヒートパイプを提供することができる。更に、この発明によると、ヒートパイプを構成する部材点数を減少し、製造工程を簡略にし、安価でかつ信頼性の高い、半導体素子等の高発熱量の被冷却素子を冷却する板型ヒートパイプを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、この発明の板型ヒートパイプの製造方法の１つの態様を説明する図である。図１（ａ）は、圧接前の板材の組合わせ状態を説明する図である。図１（ｂ）は、圧接終了後の状態を説明する図である。
【図２】図２は、この発明の板型ヒートパイプの製造方法の他の１つの態様を説明する図である。図２（ａ）は、圧接前の板材の組合わせ状態を説明する図である。図２（ｂ）は、圧接終了後の状態を説明する図である。
【図３】図３は、この発明の板型ヒートパイプの製造方法の他の１つの態様を説明する図である。図３（ａ）は、圧接前の板材の組合わせ状態を説明する図である。図３（ｂ）は、圧接終了後の状態を説明する図である。
【図４】図４は、この発明の板型ヒートパイプの製造方法の他の態様を説明する図である。図４（ａ）は、圧接前の板材の組合わせ状態を説明する図である。図４（ｂ）は、圧接終了後の状態を説明する図である。
【図５】図５は、この発明における板型ヒートパイプの外周部の圧接の一例を説明する図である。
【図６】図６は、環状溝部が形成されていない上板材および下板材を使用し、外周部に圧接を施した場合の状態を示す図である。
【図７】図７は、この発明の板型ヒートパイプの製造方法の１つの態様を説明する図である。図７（ａ）は、圧接前の板材の組合わせ状態を説明する図である。図７（ｂ）は、圧接終了後の状態を説明する図である。
【図８】図８は、この発明の板型ヒートパイプの製造方法の１つの態様を説明する図である。図８（ａ）は、圧接前の板材の組合わせ状態を説明する図である。図８（ｂ）は、圧接終了後の状態を説明する図である。
【符号の説明】
１、１１、２１、３１、４１、６１．上板材
２、１２、２２、３２、４２、６２．下板材
３、１３、２３、３３、４３、６３．空洞部
４、１４、２４、３４、４４、６４．接合部
Ａ．外周部
Ｂ．環状溝部
Ｃ、Ｃ１、Ｃ２．側面部
Ｇ１、Ｇ１１、Ｇ２１、Ｇ３１、Ｇ４１、Ｇ６１．主面部
Ｇ２、Ｇ１２、Ｇ２２、Ｇ３２、Ｇ４２、Ｇ６２．主面部
Ｄ．幅の広がり方向
Ｅ．幅の広がり方向
Ｆ．変形
Ｆ１．変形
Ｆ２．変形
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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