(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
気相合成法により生成されたガラス微粒子を長手方向に堆積して多孔質ガラス体を形成し、この多孔質ガラス体を加熱処理して光ファイバ母材を製造する方法において、
前記多孔質ガラス体を長手方向に移動させながら加熱ゾーンを通過させて、前記多孔質ガラス体を仮収縮させる第１熱処理工程と、
前記第１熱処理工程によって加熱処理された前記多孔質ガラス体を長手方向に移動させると共に、前記多孔質ガラス体を前記第１熱処理工程の加熱温度より高温の加熱ゾーンに通過させて、透明化されたガラス体を形成する第２熱処理工程とを有し、
前記第１熱処理工程は、前記多孔質ガラス体が鉛直に配設されると共に、相対的に上下方向に移動するゾーン炉によって前記加熱ゾーンが形成され、前記多孔質ガラス体の上部が前記加熱ゾーンを通過するときの移動速度は下部に比べて低速とされ、
透明化された前記ガラス体の長さ方向の最終的外径差を前記ガラス体外径の７％以下にすることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
【請求項２】
前記第１熱処理工程での前記多孔質ガラス体の移動速度は、４〜８ｍｍ／ｍｉｎであることを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ母材の製造方法。
【請求項３】
前記第２熱処理工程は、前記第１熱処理工程によって処理された前記多孔質ガラス体が鉛直に配設されると共に、相対的に上下方向に移動するゾーン炉によって前記加熱ゾーンが形成され、前記多孔質ガラス体の下部が前記加熱ゾーンを通過するときの移動速度は上部に比べて低速であることを特徴とする請求項１又は２に記載の光ファイバ母材の製造方法。
【請求項４】
前記第２熱処理工程での前記多孔質ガラス体の移動速度は、７〜１３ｍｍ／ｍｉｎであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
【請求項５】
前記第１熱処理工程での前記加熱ゾーンの加熱温度は１１００〜１３００℃であり、前記第２熱処理工程での前記加熱ゾーンの加熱温度は１３５０〜１６００℃であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、長さ方向の外径を均一に形成することができる光ファイバ母材の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、光ファイバ母材を製造する方法として、所謂、ＶＡＤ法（気相軸付け法）やＯＶＤ法（外付け法）がある。これらの製造方法は、気相合成法により生成されたガラス微粒子を長手方向に堆積して多孔質ガラス体を形成し、これを高温に加熱された加熱ゾーンの中に通過させて脱水・焼結処理する方法である。これらの方法は、所望の大きさの光ファイバ母材が得られ易いので順応性があり、又、生成されたガラス微粒子の堆積効率が良いので生産性が優れ、特開平９−４８６３０号公報等に記載されている。
【０００３】
しかし、このように優れた特徴を有する製造方法も、特に、焼結工程において長さ方向に外径変動を起こしやすいという問題があった。外径変動のある光ファイバ母材を用いて光ファイバを作製すると、得られた光ファイバも外径が変動し、均一な特性の光ファイバを製造することが困難となる。
【０００４】
かかる問題解決に関連する第１の方法が、特開平８−２２５３３７号公報に記載されている。この方法は、気相合成法によりガラス微粒子を生成し、これを長手方向に堆積して多孔質ガラス体を作製し、この多孔質ガラス体をゾーン炉によって加熱処理する。この加熱処理の際に、多孔質ガラス体が軸方向全長にわたって均一な熱エネルギーを受けることができるように温度あるいは加熱速度を変化させる方法であり、長さ方向の屈折率変動を解消して均一な伝送特性を有する光ファイバを得ようとするものである。
【０００５】
また、第２の方法が特開平４−２７５９３３号公報に記載されている。この方法は、上記と同じ方法によって作製された多孔質ガラス体がゾーン炉中を移動する際、多孔質ガラス体の外径に応じてゾーン炉の温度を調節する方法であり、長さ方向の屈折率変動あるいは光ファイバを製造したときの歪変動を抑制して均一な伝送特性を得ようとするものである。
【０００６】
さらに、第３の方法が特開平５−３３９０１２号公報に記載されている。この方法は、鉛直に配設された多孔質ガラス体をゾーン炉によって加熱しながら透明ガラス化する際、多孔質ガラス体の上端と下端とを保持するとともに、上下方向に一定の引っ張り荷重を加えることにより、長さ方向に均一な外径の光ファイバ母材を製造する方法である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記第１の方法は、特開平８−２２５３３７号公報に提案されているように、炉内の温度はその位置及び時間によって変化するので、これらの温度変化を勘案して多孔質ガラス体の熱処理をしようとするものである。この方法は、多孔質ガラス体の外径変動について考慮されていないので、長さ方向に均一な外径の光ファイバ母材を作製することはできない。
【０００８】
また第２の方法は、特開平４−２７５９３３号公報に提案されているように、多孔質ガラス体の外径に応じてゾーン炉の温度を調節しながら加熱処理する方法である。この方法は、ゾーン炉の温度を調節する方法であるために、制御の時間遅れが大きく安定した伝送特性を有する光ファイバを得ることが期待できない。
【０００９】
さらに第３の方法は、特開平５−３３９０１２号公報に提案されているように、多孔質ガラス体を加熱し透明ガラス化しながら一定の引っ張り荷重を加える方法である。この方法は設備および製造作業が複雑となり実用性に欠ける。
【００１０】
そこで本発明の目的は、設備および製造方法が簡単で、長手方向の外径差を低減することができる光ファイバ母材の製造方法を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係わる光ファイバ母材の製造方法は、気相合成法により生成されたガラス微粒子を長手方向に堆積して多孔質ガラス体を形成し、この多孔質ガラス体を加熱処理して光ファイバ母材を製造する方法において、多孔質ガラス体を長手方向に移動させながら加熱ゾーンを通過させて、多孔質ガラス体を仮収縮させる第１熱処理工程と、第１熱処理工程によって処理された多孔質ガラス体を長手方向に移動させると共に、多孔質ガラス体を第１熱処理工程の加熱温度より高温の加熱ゾーンに通過させて、透明化されたガラス体を形成する第２熱処理工程とを有し、第１熱処理工程は、多孔質ガラス体が鉛直に配設されると共に、相対的に上下方向に移動するゾーン炉によって加熱ゾーンが形成され、多孔質ガラス体の上部が加熱ゾーンを通過するときの移動速度は下部に比べて低速とされ、透明化されたガラス体の長さ方向の最終的外径差をガラス体外径の７％以下にすることを特徴とする。
【００１２】
本発明に係わる光ファイバ母材の製造方法によれば、第１熱処理工程は、多孔質ガラス体の移動速度を変化させながら加熱して仮収縮する方法である。多孔質ガラス体が局所的に第１熱処理工程により仮収縮されると、未収縮の多孔質ガラスが加熱された部分に引っ張られる力が作用するため、熱処理部分の外径が太く、未処理部分は細径化する傾向がある。更に、加熱ゾーンの移動速度が速ければ引き寄せられる多孔質ガラスは少なく、遅くなるほど多くの多孔質ガラスが引き寄せられるようになる。したがって一定速度で第１熱処理を施すと、後に熱処理される部分ほど細くなる。
【００１３】
本発明はかかる傾向に着目してなされたものであり、多孔質ガラス体の移動速度を変化させることにより仮収縮された多孔質ガラス体の外径を調整する方法である。即ち、多孔質ガラス体の移動速度が遅いところの外径は、移動速度が速いところに比べて太くすることができる。
【００１４】
また、本発明に係わる光ファイバ母材の製造方法によれば、第２熱処理工程は、長手方向に多孔質ガラス体を移動させながら、第１熱処理工程によって熱処理された多孔質ガラス体を第１熱処理工程より高温で加熱し透明化する方法である。多孔質ガラス体が局所的に透明化されると、粘度が低下するため重力による引き伸び率が大きくなる傾向を示す。したがって、本発明に係わる光ファイバ母材の製造方法では、多孔質ガラス体の移動速度を変化させることによって透明化されたガラス体の外径を調整することが好ましい。即ち、多孔質ガラス体の移動速度が遅いところの外径は、速いところに比べて細くすることができる。
【００１５】
そして、本発明における第１熱処理工程は、多孔質ガラス体が鉛直に配設されると共に、相対的に上下方向に移動するゾーン炉によって加熱ゾーンが形成され、多孔質ガラス体の上部が加熱ゾーンを通過するときの移動速度は下部に比べて低速である。多孔質ガラス体を鉛直に配設すると、軸対称に熱処理できるという特徴がある。
【００１６】
一方、多孔質ガラス体を鉛直に配設し、これをゾーン炉の中を上下に移動させて仮収縮させる場合、ゾーン炉の下部は熱が停滞するので上部より高温状態となる。したがって、ゾーン炉の上部から多孔質ガラス体を一定速度で導入すると、多孔質ガラス体の先端部は後から導入される部分より高温状態に長時間曝されることになる。
【００１７】
また、多孔質ガラス体を局所的に加熱して仮収縮させると、前述のように未収縮の多孔質ガラスが加熱部に引き寄せられて加熱部分の外径が太くなる。したがって、長さ方向の外径が一定になるよう仮収縮させるためには、温度と時間とを加味した熱量が一定になるようにしなければならない。そのため本発明は、多孔質ガラス体の上部が加熱ゾーンを通過するときの移動速度を下部に比べて遅くすることによって、長さ方向の加熱条件を一定にしようとするものである。
【００１８】
本発明における第１熱処理工程での多孔質ガラス体の加熱速度は、４〜８ｍｍ／ｍｉｎの範囲であることが好ましい。加熱速度が４ｍｍ／ｍｉｎ未満では熱処理に長時間を要し、また、８ｍｍ／ｍｉｎを越えると仮収縮の効率が低下する。
【００１９】
本発明における第２熱処理工程は、第１熱処理工程によって処理された多孔質ガラス体が鉛直に配設されると共に、相対的に上下方向に移動するゾーン炉によって加熱ゾーンが形成され、多孔質ガラス体の下部が加熱ゾーンを通過するときの移動速度は上部に比べて低速であることが好ましい。多孔質ガラス体を鉛直に配設して熱処理すると、軸対称に透明ガラス化できるという特徴がある。
【００２０】
一方、仮収縮された多孔質ガラス体が鉛直に配設され、多孔質ガラス体をゾーン炉の中を上下に移動させて透明ガラス化する場合、多孔質ガラス体の下部を透明ガラス化するときの加熱部分には重力が殆ど加わらない。しかし、多孔質ガラス体の上部を透明ガラス化する場合、加熱部分には多孔質ガラス体の殆ど全重量が加わると同時に、加熱部分の粘度が低下するので、外径は細径化する傾向がある。したがって、下部を透明化するときは、上部に比べて加熱ゾーンの移動を低速で行なうことにより長さ方向の外径を均一にすることができる。
【００２１】
本発明における第２熱処理工程での多孔質ガラス体の移動速度は、７〜１３ｍｍ／ｍｉｎの範囲であることが好ましい。加熱速度が７ｍｍ／ｍｉｎ未満では透明ガラス化に長時間を要し、また、１３ｍｍ／ｍｉｎを越えると充分に透明化させることが困難となる。
【００２２】
本発明の第１熱処理工程での加熱ゾーンの加熱温度は１１００〜１３００℃の範囲であり、第２熱処理工程での加熱ゾーンの加熱温度は１３５０〜１６００℃の範囲であることが好ましい。第１熱処理工程の温度が１１００℃未満では収縮が殆ど進行せず効果がなく、また、１３００℃を越えるとコア中心部の収縮が激しくなるため剥離が起こりやすく、あるいはハロゲンガスの添加が困難となる。第２熱処理工程の温度が１３５０℃未満では透明化が殆ど進行しなくなり、また、１６００℃を越えるとガラス粘度が低くなり、引き伸び変形をおこしやすくなる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２４】
図１は、本発明の製造方法に係わるゾーン炉の構成を示す概略図である。ゾーン炉を構成する円筒状の炉心管２は、下端近傍と上端近傍に夫々雰囲気ガスの導入口と排気口とを有し、炉心管２の外周にはリング状のヒータ３が配設され、炉心管２の上端には、多孔質ガラス体１を保持し、長手方向の軸を中心に回転すると（矢印：Ａの方向）共に上下方向（矢印：Ｂの方向）に所定速度で移動可能に導入する手段が設けられている。多孔質ガラス体１は、炉心管２の中を移動するとき、ヒータ３によってゾーン加熱される。
【００２５】
本発明にかかわる光ファイバ母材の製造方法は、気相合成法によりガラス微粒子を生成し、ガラス微粒子を長手方向に堆積して形成された多孔質ガラス体１をゾーン炉によって加熱処理するに際し、多孔質ガラス体１を長手方向（矢印Ｂの方向）に移動させながら加熱ゾーンを通過させて多孔質ガラス体１を仮収縮させる第１熱処理工程と、第１熱処理工程によって処理された多孔質ガラス体１を長手方向に移動させると共に、多孔質ガラス体１を第１熱処理工程の加熱温度より高温の加熱ゾーンに通過させて、透明化されたガラス体を形成する第２熱処理工程とを有し、第１熱処理工程と第２熱処理工程との少なくともいずれかの工程では、多孔質ガラス体１の移動速度が変化され、透明化されたガラス体の長さ方法の最終的外径差をガラス体外径の７％以下に均一にするものである。
【００２６】
多孔質ガラス体１は、ガラスの屈折率を高めるＧｅＯ2等のドーパントをドープしたコアと、コアの外周にコアより屈折率が低いクラッドとによって形成される場合、あるいはガラスロッド（フッ素添加ガラス、あるいは純ＳｉＯ2のガラス）の外周に純ＳｉＯ2のガラス微粒子を堆積して形成される場合がある。後者の多孔質ガラス体１は、純ＳｉＯ2のガラス微粒子部分にガラスの屈折率を低くするフッ素等のドーパントをドープして、ガラスロッドより低いクラッドが形成される。これらの多孔質ガラス体１は、限定的ではないがＶＡＤ法あるいはＯＶＤ法によって作製される。
【００２７】
ＶＡＤ法あるいはＯＶＤ法によって作製された多孔質ガラス体１は、伝送損失を改善することを主目的として脱水処理される。脱水処理方法は、図１に示す炉心管２の中にＮ2，Ａｒ，Ｈｅ等の不活性ガスと共に塩素等のハロゲンガスを送り込み、同時に多孔質ガラス体１を上部から導入しながらヒータ３で１０５０℃〜１２００℃程度に加熱して行なう。
【００２８】
本発明の第１熱処理工程は、脱水処理された多孔質ガラス体１が所定の嵩密度となるように仮収縮すると共に、長さ方向の外径を均一化することを主目的とし、図１に示す炉心管２の中にＮ2，Ａｒ，Ｈｅ等の不活性ガスと共にフッ素等のハロゲンガスを送り込み、同時に多孔質ガラス体１を上部から導入しながらヒータ３で加熱処理する工程である。第１熱処理工程の熱処理により多孔質ガラス体１の嵩密度が０．４〜１．０ｇ／ｃｍ3程度に仮収縮されることが好ましい。多孔質ガラス体１に仮収縮を施すと、透明化したときに発生する母材の剥離やひび割れ等のトラブルを防止することができる。
【００２９】
第１熱処理工程において多孔質ガラス体が局所的に加熱されると、未収縮の多孔質ガラスは加熱される方向に引っ張られる力が作用して、加熱部分の外径が仮収縮されない部分の外径より太くなる傾向がある。更に、加熱ゾーンの移動速度が速ければ引き寄せられる多孔質ガラスは少なく、遅くなるほど多くの多孔質ガラスが引き寄せられるようになる。したがって一定速度で第１熱処理が施されると、後から熱処理される部分ほど細くなる。本発明はかかる傾向に着目してなされたものであり、多孔質ガラス体の移動速度を変化させて多孔質ガラス体の外径を調整する方法である。即ち、多孔質ガラス体の移動速度が遅いところの外径は、速いところに比べて太くすることができる。
【００３０】
本発明の第１熱処理工程において、図１に示すように多孔質ガラス体１が鉛直に配設されると共に、相対的に上下方向に移動するゾーン炉によって加熱ゾーンが形成され、多孔質ガラス体の上部が加熱ゾーンを通過するときの移動速度は下部に比べて低速であることが好ましい。多孔質ガラス体１を鉛直に配設すると、軸対称に熱処理できるという特徴がある。
【００３１】
一方、多孔質ガラス体１を鉛直に配設し、これをゾーン炉の中を上下に移動させて仮収縮させる場合、ゾーン炉の下部は熱が停滞するので上部より高温状態となる。したがって、ゾーン炉の上部から多孔質ガラス体１を一定速度で導入すると、多孔質ガラス体１の先端部は後から導入される部分より高温状態に長時間曝されることになる。
【００３２】
また、多孔質ガラス体１を局所的に加熱して仮収縮させると、前述のように未収縮の多孔質ガラスが加熱される方向に引き寄せられて外径が太くなる。したがって、長さ方向の外径が一定になるよう仮収縮させるためには、温度と時間とを加味した熱量が一定になるようにしなければならない。そのため本発明では、上部の移動速度を下部の移動速度に比べて遅くすることによって、長さ方向の加熱条件を一定にすることができる。
【００３３】
第１熱処理工程での多孔質ガラス体１の移動速度は、４〜８ｍｍ／ｍｉｎの範囲であることが好ましい。４ｍｍ／ｍｉｎ未満では熱処理に長時間を要し、また、８ｍｍ／ｍｉｎを越えると熱処理の効率が低下する。
【００３４】
第１熱処理工程での加熱温度は１１００〜１３００℃の範囲であることが好ましい。１１００℃未満では収縮が殆ど進行せず効果がなく、また、１３００℃を越えるとコア中心部の収縮が激しいため剥離が起こりやすくなり、あるいはハロゲンガスの添加が進行しなくなる。
【００３５】
本発明の第２熱処理工程は、第１熱処理工程で仮収縮された多孔質ガラス体１を透明ガラス化すると共に、長さ方向の外径を均一化することを主目的とし、図１に示す炉心管２の中にＮ2，Ａｒ，Ｈｅ等の不活性ガスと共に、場合によってはフッ素等のハロゲンガスを同時に送り込み、多孔質ガラス体１を上部から導入しながらヒータ３で熱処理する工程である。
【００３６】
第２熱処理工程において多孔質ガラス体が局所的に透明化されると、粘度が低下するため重力により引き伸ばされる傾向がある。本発明は、かかる傾向に着目してなされたものであり、多孔質ガラス体１の移動速度を変化させることによって透明化された多孔質ガラス体の外径を調整する方法である。即ち、多孔質ガラス体１の移動速度が遅いところの外径は、速いところに比べて細くすることができる。
【００３７】
本発明における第２熱処理工程は、図１に示すように第１熱処理工程によって加熱処理された多孔質ガラス体１が鉛直に配設されると共に、相対的に上下方向に移動するゾーン炉によって加熱ゾーンが形成され、多孔質ガラス体１の下部が加熱ゾーンを通過するときの移動速度は上部に比べて低速であることが好ましい。多孔質ガラス体１を鉛直に配設して熱処理すると、軸対称に透明ガラス化できるという特徴がある。
【００３８】
一方、第１熱処理工程で加熱処理された多孔質ガラス体１を鉛直に配置して上下方向に移動させると、多孔質ガラス体１の下部を透明ガラス化するときは加熱される部分には重力が殆ど加わっていない。これに対して上部を透明ガラス化するときは、加熱される部分に殆ど全体の重量が加わると同時に、粘度が低下するので外径が小さくなる傾向がある。したがって、多孔質ガラス体１の下部が加熱ゾーンを通過するときの移動速度は、上部に比べて低速にすることにより長さ方向に均一な外径の透明ガラス体を得ることができる。
【００３９】
第２熱処理工程での多孔質ガラス体１の移動速度は、７〜１３ｍｍ／ｍｉｎの範囲であることが好ましい。加熱速度が７ｍｍ／ｍｉｎ未満では透明ガラス化に長時間を要し、また、１３ｍｍ／ｍｉｎを越えると充分に透明化させることが困難となる。
【００４０】
第２熱処理工程での加熱温度は、１３５０〜１６００℃の範囲であることが好ましい。１３５０℃未満では透明化殆ど進行しないことになり、また、１６００℃を越えるとガラス粘度が低くなり、引き伸び変形をおこしやすくなる。
【００４１】
上述の製造方法は、多孔質ガラス体の外径が長さ方向に均一であっても、あるいは不均一の場合であっても適用することができ、透明化された光ファイバ母材の外径を均一化することができる。ここで透明化された光ファイバ母材の外径差を５ｍｍ以下まで均一にすると、長さ方向に均一な特性を有する光ファイバを線引きすることができるので好ましい。以下、本発明を実施例・比較例により詳細に説明する。
【００４２】
【実施例１】
最初に、軸中心にコアとなる純ＳｉＯ2のガラスロッドを有し、ガラスロッドの外周にクラッドとなる純ＳｉＯ2のガラス微粒子をＯＶＤ法によって堆積して多孔質ガラス体を作製した。この多孔質ガラス体のサイズは外径１６０ｍｍ、長さは約６００ｍｍであった。この多孔質ガラス体を図１に示す構成のゾーン炉を用いて加熱処理を行い、透明化を行なった。
【００４３】
図２は、ゾーン炉を用いて多孔質ガラス体を熱処理する方法を説明する図であり、図２（ａ）は鉛直に配設された炉心管２の上端から多孔質ガラス体１を下方に向かって導入して熱処理を開始する状態を示し、図２（ｂ）は熱処理が完了した状態を示す。熱処理を繰り返すときは、図２（ａ）に示す状態から図２（ｂ）の状態になるように行なう。まず、ヒータ３の温度を１１００℃に設定し、炉心管２の中にＣｌ2とＨｅを通過させながら多孔質ガラス体１を１０ｍｍ／ｍｉｎの速度でトラバースして脱水処理を行った。
【００４４】
図３は、多孔質ガラス体が加熱ゾーンを通過するときの移動速度を示すグラフである。図３において、実線（１）は多孔質ガラス体１を一定速度で導入し、全長のほぼ１／２に達した位置から一定割合で減速させて加熱する状態を示し、実線（２）は多孔質ガラス体１を一定速度で導入し、全長のほぼ１／２に達した位置から一定割合で速度を速めて加熱する状態を示し、点線（３）及び点線（４）は夫々いずれの位置についても一定速度で加熱する状態を示す。
【００４５】
次いでヒータ３を１２５０℃に設定し、Ｈｅとフッ素を炉心管２の中に通過させながら脱水処理した多孔質ガラス体１を図３の実線（１）に示すように、６ｍｍ／ｍｉｎの一定速度で導入した。全長のほぼ１／２に達した時点から一定割合で減速し、最終時の速度が４ｍｍ／ｍｉｎとなるように移動させて多孔質ガラス体１を仮収縮した。
【００４６】
その後、ヒータ３を１５００℃に設定し、Ｈｅとフッ素を炉心管２の中に通過させながら仮収縮された多孔質ガラス体１を図３の点線（４）に示すように、９ｍｍ／ｍｉｎの一定速度で移動させて透明化した。クラッドにはフッ素が添加され、コアとの比屈折率差が０．４２％であった。コアは、ドーパントが含まれていない純ＳｉＯ2ガラスであった。透明化された外径７０ｍｍの光ファイバ母材について、長さ方向の外径を測定した結果を図４の実線（２）に示す。両端の外径差は４．５ｍｍであり、ほぼ満足すべき結果であった。
【００４７】
【実施例２】
実施例１と同一サイズ、同一屈折率分布をもつ多孔質ガラス体をＯＶＤ法で作製し、実施例１と同じ条件で脱水処理した。
【００４８】
次いでヒータ３を１２５０℃に設定し、Ｈｅとフッ素を炉心管２の中に通過させながら脱水処理した多孔質ガラス体１を図３の実線（１）に示すように、６ｍｍ／ｍｉｎの一定速度で導入した。全長のほぼ１／２に達した時点から一定割合で減速し、最終時の速度が４ｍｍ／ｍｉｎとなるように移動して多孔質ガラス体１を仮収縮した。その後、ヒータ３を１５００℃に設定し、Ｈｅとフッ素を炉心管２の中に通過させながら仮収縮された多孔質ガラス体１を図３の実線（２）に示すように、９ｍｍ／ｍｉｎの一定速度で導入し、全長のほぼ１／２に達した時点から一定割合で加速し、最終時の速度が１３ｍｍ／ｍｉｎとなるように移動して透明化した。透明化された外径７０ｍｍの光ファイバ母材について長さ方向の外径を測定した結果を図４の実線（３）に示す。両端の外径差は２．５ｍｍであり、満足すべき結果であった。
【００４９】
【比較例】
実施例１と同一サイズ、同一屈折率分布をもつ多孔質ガラス体をＯＶＤ法で作製し、実施例１と同じ条件で脱水処理した。
【００５０】
次いでヒータ３を１２５０℃に設定し、Ｈｅとフッ素を炉心管２の中に通過させながら脱水処理した多孔質ガラス体１を図３の点線（３）に示すように、５ｍｍ／ｍｉｎの一定速度で導入して多孔質ガラス体１を仮収縮した。その後、ヒータ３を１５００℃に設定し、Ｈｅとフッ素を炉心管２の中に通過させながら仮収縮された多孔質ガラス体１を図３の点線（４）に示すように、９ｍｍ／ｍｉｎの一定速度で導入し透明化した。透明化された外径７０ｍｍの光ファイバ母材について、長さ方向の外径を測定した結果を図４の実線（１）に示す。両端の外径差は８ｍｍもあり、満足すべき結果は得られなかった。
【００５１】
【発明の効果】
本発明の製造方法は、多孔質ガラス体を仮収縮させる第１熱処理工程において、多孔質ガラス体の上部が加熱ゾーンを通過するときの移動速度を下部に比べて低速とすることで、光ファイバ母材の外径を調節し、長さ方向の外径を均一にすることができる。
【００５２】
本発明の製造方法は、ガラス微粒子を堆積して形成された多孔質ガラス体の外径が長さ方向に均一であっても、あるいは均一でない場合であっても適用することができる。また、本発明の製造方法は、多孔質ガラス体の移動速度を変化させる方法を採用するため、容易に実施可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の製造方法に係わるゾーン炉の構成を示す概略図である。
【図２】本発明の熱処理方法を説明するための図であり、図２（ａ）は熱処理直前の状態を示す図、図２（ｂ）は熱処理完了の状態を示す図である。
【図３】多孔質ガラス体が加熱ゾーンを通過するときの移動速度を示すグラフである。
【図４】各条件で作製された光ファイバ母材について、長さ方向に対する外径変動の測定値を示すグラフである。
【符号の説明】
１・・・多孔質ガラス体、２・・・炉心管、３・・・ヒータ。
【図１】
0004403623.tif 000002
【図２】
0004403623.tif 000003
【図３】
0004403623.tif 000004
【図４】
0004403623.tif 000005