(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
縁枠部の中途高さ部位にワーク載置面部を設けて形成されたパレット体における縁枠部の上端部、下端部のどちらか一方に凹部を、他方に凸部を形成して、凹部、凸部の係脱可能な係合で必要数のパレット体を段積可能に構成し、前記縁枠部は、段積状態のパレット体を反転した際、パレット体相互空間でのワークの鉛直方向の移動を許容するように前記ワークよりも僅かに大きな平面視形状をもって形成してあることを特徴とするセラミックスグリーンシート、グリーンシート積層圧着体、プリント配線板等のワークの段積用パレット。
【請求項２】
前記パレット体の縁枠部において所望の一縁部に、段積時のパレット体の向きを合わせる向き合わせ部を設けていることを特徴とする請求項１記載のセラミックスグリーンシート、グリーンシート積層圧着体、プリント配線板等のワークの段積用パレット。
【請求項３】
ワークに開孔された複数の位置決め孔を個別に挿通させる位置決め凸部を基板の上面及び下面に背中合わせ状に突設してパレット体を形成し、前記位置決め凸部の上端部、下端部のどちらか一方に係合用凸部を、他方に係合用凹部を形成して、必要数のパレット体相互における前記係合用凸部と前記係合用凹部の係脱可能な係合で段積可能に構成していることを特徴とするセラミックスグリーンシート、グリーンシート積層圧着体、プリント配線板等のワークの段積用パレット。
【請求項４】
ワークに開穿された各位置決め孔に対応してその位置決め孔よりも大径な位置合わせ凸部を基板の上面及び下面に背中合わせ状に突設してパレット体を形成し、前記位置合わせ凸部の上端部、下端部のどちらか一方に係合用凸部を、他方に係合用凹部を形成してなり、前記係合用凸部は、前記位置決め孔よりも小径をもって一方の前記位置合わせ凸部に連設した連絡凸部の先端に更に小径をもって延設し、前記係合用凹部は、前記位置決め孔よりも小径をもって他方の前記位置合わせ凸部に連設した同連絡凸部の先端に凹設し、必要数のパレット体相互における前記係合用凸部と前記係合用凹部の係脱可能な係合で段積可能に構成していることを特徴とするセラミックスグリーンシート、グリーンシート積層圧着体、プリント配線板等のワークの段積用パレット。
【請求項５】
前記パレット体における基板の所望な一縁部に、段積時のパレット体の向きを合わせる向き合わせ部を設けていることを特徴とする請求項３または４記載のセラミックスグリーンシート、グリーンシート積層圧着体、プリント配線板等のワークの段積用パレット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミックスグリーンシート、グリーンシート積層圧着体、プリント配線板等のワークの段積用パレットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
セラミックスグリーンシート、グリーンシート積層圧着体、プリント配線板等のワークは、穿孔加工、印刷加工、カッティング加工等の各種加工を施す場合、通常、平面視矩形状の段積用パレットに一枚ずつ収容されて、各加工設備の近傍まで移送され、そのパレットから搬入装置を介して加工設備に搬入して所望の加工が施される。
尚、セラミックスグリーンシートは、穿孔加工、印刷加工を経て積層、プレスされてグリーンシート積層圧着体を成形し、グリーンシート積層圧着体は、カッティング工程を経て焼成され、プリント配線板は、搭載装置でチップや、コンデンサー等が搭載（実装）される。
【０００３】
従来の段積用パレットＡは、図11に示すように底部をワーク載置面部11とする薄箱状であったり、図12に示すようにそのワーク載置面部11の４隅または対角線上の２隅から位置決め凸部21’…を突設した単純な構成であり、共に一面（表面）を上方に向けた状態でワークを収容するようになっている。
【０００４】
ところで、グリーンシート積層圧着体（ワーク）では、例えばチップを碁盤目状にカッティングする際にワークを「ギロチン式」に一挙にカッティングすると、切断縁の歪み変形が大きくなって、焼成後の歩留まり低下の大きな要因になることから、同ワークの両面同一位置から碁盤目状にハーフカットしてから焼成し、中間のつなぎ部分を人為的に割ってチップを得る方法が採られている。
このチップを得る一連の作動を、前記する図11の段積用パレットを使用したカッティング装置で説明すると、その一連のシステムは、図13にように構成されている。
このシステムは、搬入位置で段積されたパレット群Ａ１から上段のパレットＡを外す度に、先端にバキュームパットｃを有する搬入・搬出装置ＣでワークＷを吸着してカッティング装置Ｂのインデックステーブルｂに載承させて、所定間隔をおいて間欠送りされる切断刃ｋとインデックステーブルｂの割出機能とでワークＷの一面に碁盤目状にハーフカットを施し、そのワークＷを、カッティング装置Ｂのインデックステーブルｂ真上に接近状に出入りする吸着、吸着解除可能で且つ回転可能な吸着プレートＧで吸着した（図１３（ａ））後、同吸着プレートＧを待機位置に復動させ、その位置でワークＷを上向きに回転させた後、前記する搬入・搬出装置ＣでワークＷを吸着して、その吸着されるワークＷを搬出位置に多段状に段積みされる空のパレットＡ個々に収容する（図１３（ｂ））。
そして、一面側にハーフカットが施されたワークＷの全てが搬出位置で空の全てのパレットＡに収容されたら、再びその段積されたパレット群Ａ１を搬入位置まで移送し、再度搬入・搬出装置ＣでのワークＷのインデックステーブルｂへの載承、切断刃ｋによるワークＷの他面側からのハーフカット、吸着プレートＧによるワークＷの吸着及び回転、搬入・搬出装置Ｃによる同ワークＷの吸着及び空のパレットＡへのワークＷの収容が行なわれる。
【０００５】
このような従来のシステムでは、カッティング装置Ｂ、搬入・搬出装置Ｃの他に、インデックステーブルｂ上方に出入りしてワークＷを吸着し尚且つ回転する吸着プレートＧを必要とし、カッティング装置Ｂ自体の大型化と共に装置コストの高騰を招く問題があった。
また、インデックステーブルｂ上のハーフカットされたワークＷを直接搬入・搬出装置Ｃで吸着して、空のパレットＡに収容する際に、そのワークＷを人為的に反転する手法も存在するが、人手を要することから、作業時間がかかり効率的な切断作業が行なえない。
尚、ワークの中には、一面側から製品孔を穿孔し、他面側から電極を印刷するセラミックスグリーンシートや、両面側から電極を印刷するセラミックスグリーンシートや、両面に施した基準マーク個々に合わせて一面側、他面側から基準孔や製品孔を穿孔するセラミックスグリーンシートや、両面にチップや、コンデンサ等を実装するプリント配線板等様々なものがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は前記従来事情に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、ワークを反転するに際して、専用の装置（例えばインデックステーブル上方に出入りし尚且つ回転する吸着プレート）を使用したり、ワークを一枚ずついちいち人為的に反転する必要がない、非常に便利なワークの段積用パレットを提供することである。
他の目的とする処は、共通する一縁部を一致させて段積み可能にして、平面視方向の向きを同じにして段積する段積用パレットを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的を解決するために講じた技術的手段として、請求項１は、縁枠部の中途高さ部位にワーク載置面部を設けて形成されたパレット体における縁枠部の上端部、下端部のどちらか一方に凹部を、他方に凸部を形成して、凹部、凸部の係脱可能な係合で必要数のパレット体を段積可能に構成し、前記縁枠部は、段積状態のパレット体を反転した際、パレット体相互空間でのワークの鉛直方向の移動を許容するように前記ワークよりも僅かに大きな平面視形状をもって形成してあることを要旨とする。
【０００８】
前記技術的手段によれば、凹部と凸部の相互の係合で多段状に段積みされる。段積みされた必要数のパレット群を反転すると、各パレットに収容されるワークは、水平方向に回転することなく各パレット内のワークの他面側を上向きにする。
【０００９】
請求項２は、請求項１記載のパレット体の縁枠部において所望の一縁部に、段積時の各パレット体の向きを合わせる向き合わせ部を設けていることを要旨とする。
この向き合わせ部は、係合部を構成する凹部と凸部や、目印等、向きを統一させるものであれば、構成は任意である。
【００１０】
前記技術的手段によれば、向き合わせ部で共通する一縁部を一致させて段積して、全てのパレットを同じ方向に向かせる。
【００１１】
請求項３は、ワークに開孔された複数の位置決め孔を個別に挿通させる位置決め凸部を基板の上面及び下面に背中合わせ状に突設してパレット体を形成し、前記位置決め凸部の上端部、下端部のどちらか一方に係合用凸部を、他方に係合用凹部を形成して、必要数のパレット体相互における前記係合用凸部と前記係合用凹部の係脱可能な係合で段積可能に構成していることを特徴とする。また、位置決め凸部が、基板の４隅または対角線上の２隅に形成されている場合であって、図８に示すように各パレット体の基板一半部側から突設する上側の位置決め凸部上端に係合用凹部を、同基板他半部側から突設する上側の位置決め凸部上端に係合用凸部を形成すると共に基板一半部側から突設する下側の位置決め凸部下端には逆に係合用凸部を、基板他半部側から突設する下側の位置決め凸部下端に係合用凹部を形成してあっても良いものであるし、前記位置決め凸部端の凹凸関係を全く逆にするのも自由である。このようにすることによって、基板一半部側と他半部側の位置決め凸部端の形状が異なるため、それを目印にして全てのパレットを同じ向きにして段積できる。
【００１２】
前記技術的手段によれば、係合用凹部と係合用凸部の相互の係合で段積させ、その位置決め凸部が、ワークの位置決め孔を挿通してワークを位置決めする。段積されたパレット群を反転すると、ワークは、水平方向に回転することなく、位置決め凸部をガイド体としてパレット体相互空間を鉛直方向にスライド落下して、他面側を上向きにする。
【００１３】
請求項４は、ワークに開穿された各位置決め孔に対応してその位置決め孔よりも大径な位置合わせ凸部を基板の上面及び下面に背中合わせ状に突設してパレット体を形成し、前記位置合わせ凸部の上端部、下端部のどちらか一方に係合用凸部を、他方に係合用凹部を形成してなり、前記係合用凸部は、前記位置決め孔よりも小径をもって一方の前記位置合わせ凸部に連設した連絡凸部の先端に更に小径をもって延設し、前記係合用凹部は、前記位置決め孔よりも小径をもって他方の前記位置合わせ凸部に連設した同連絡凸部の先端に凹設し、必要数のパレット体相互における前記係合用凸部と前記係合用凹部の係脱可能な係合で段積可能に構成していることを特徴とする。前記位置合わせ凸部は、ワークに搭載（実装）されるチップや、コンデンサ等の電装品の厚みよりも高い高さをもって基板表裏から突設される。
【００１４】
前記技術的手段によれば、係合用凸部と係合用凹部の相互の係合で段積させ、連絡凸部がワークの位置決め孔を挿通してワークを位置決めする。段積されたパレット群を反転にすると、ワークは、パレット体相互空間の中間部に支持したまま他面側を上向きにする。そして、ワークがチップやコンデンサ等を搭載（実装）している場合、その実装品がパレット内面と接触することを防止する。
【００１５】
請求項５は、請求項３または４記載において、パレット体における基板の所望な一縁部に、段積時の向きを合わせる向き合わせ部を設けていることを要旨とする。
【００１６】
前記技術的手段によれば、パレット体における基板の共通する一縁部を一致させて段積させる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１乃至図５は、本実施の形態段積用パレットの第１の実施の形態を、図６及び図７は同第２の実施の形態を、図８は、第３の実施の形態を、図９及び図１０は第４の実施の形態を各々示している。まず、第１の実施の形態を説明すると、符号Ａは、段積用パレットである。
【００１８】
この段積用パレットＡ…は、縁枠部１の中途部にワーク載置面部11を水平に連設して形成されたパレット体２のその縁枠部１上端部、下端部の何れか一方に段積時に係脱可能に係合する凸部（環状凸部）３と、凹部（環状凹部）４とを備えて構成されている。
【００１９】
前記ワーク載置面部11は、矩形状のワークＷを囲繞する平面視形状を呈する縁枠部１の中間にワークＷと略同面積をもって水平状に成形されている。
詳細には、このワーク載置面部11は、ワークＷの面積よりもほんの僅かに広い面積に形成されており、環状凸部３、環状凹部４は、図２に示すように縁枠部１上端部、下端部の内側一半部に各々形成され、必要数のパレット体２…の関係において環状凸部３とその環状凹部４とを互いに係合させた状態でワーク載置面部11にワークＷを支承して段積し、その段積状態で反転した際、パレット体相互空間５での各ワークＷ…の鉛直方向に移動を許容するようにしてある（図３参照）。
【００２０】
また、このパレット体２には、図２に示すようにその縁枠部１において所望する一縁部に、段積時の各パレット体２…の向きを合わせる向き合わせ部６が設けられている。
【００２１】
この向き合わせ部６は、本実施の形態では縁枠部１の一縁部上端部、下端部外側部位同一鉛直上の位置に部分的に形成した向き合わせ用凸部１６と向き合わせ用凹部２６とであり、向き合わせ用凸部１６と向き合わせ用凹部２６とが互いに係合するように向きを合わせた状態で必要数のパレット体２…を段積みする目印になっている。
この目印によって、パレット体２の向きを同じにして段積することができる。
【００２２】
図４は、グリーンシート積層圧着体であるワークＷを、カッティング装置Ｂに搬入して同ワークＷの両面にハーフカットを施すシステムを示している。
ワークＷを収容する段積用パレットＡを段積されたパレット群Ａ１を、カッティング装置Ｂの搬入位置に移送して待機させ、その位置で段積用パレットＡを上位から順に外しながら、バキュームパットｃを有する搬入・搬出装置ＣでワークＷを吸着してカッティング装置Ｂのインデックステーブルｂに受け渡し、そのワークＷに切断刃ｋで碁盤目状にハーフカットする。次いで、一面をハーフカットした同ワークＷを、搬出位置に載置された空の段積用パレットＡに一枚ずつ収容する。その際、前記向き合わせ部６を構成する上段への空の段積用パレットＡの積み重ねと、同ワークＷ一枚ずつの収容とを交互に繰り返して、一面に碁盤目状のハーフカットを施したワークＷを空の段積用パレットＡに収容していく（図４（ａ）参照）。
そして、全てのワークＷが搬出位置で空の段積用パレットＡに収容された時点で段積されたパレット群Ａ１を、再び搬入位置に移送させ、そこで反転する。
そうすると、各パレットＡに収容されているワークＷは、水平方向に回転することなく鉛直方向に落下してハーフカットされていない他面が上向きとなる。
そして、前記一面側と同様にこのワークＷの他面を前記と同様な工程を経てハーフカットしていく（図４（ｂ）参照）。
両面からハーフカットされたワークＷは、焼成後、そのハーフット部分を人為的に割ることによってチップＤを成形する（図５）。
【００２３】
次に、図６及び図７に示す第２の実施の形態を説明すると、この実施の形態は、前記縁枠部１を位置決め部として使用せずに、水平状の基板11’に位置決め凸部21…を突設してパレット体２を形成した段積用パレットＡを示している。
この位置決め凸部21…は、加工対象となるワークＷの４コーナーに開孔した位置決め孔Ｈ…に対応して基板11’から上下に背中合わせ状に一体に突設してなり、その上端部、下端部のどちらか一方に係合用凸部21ａ、係合用凹部21ｂを設け、上位のパレットＡの係合用凸部21ａと下位のパレットＢの係合用凹部21ｂとが互いに係合して多段状に積み重ね可能にしてある。
この実施の形態では、ワークＷとして電極を裏面に塗布すると共にパンチ孔に電極をビバホールとして充填したセラミックスグリーンシートからなるワークを支持した状態を示し、この電極が硬化した後に、段積されたパレット群を反転して、プレス加工設備に移送させるワークを示している。
【００２４】
また、段積用パレットＡは、図７に示すようにその基板11’の一縁部に、段積時の各パレット体２の向きを合わせる向き合わせ部６を設けても良いものである。
【００２５】
この実施の形態の場合の向き合わせ部６は、基板11’の一縁部から延設片部11ａを一体的に上下方向に延設し、その延設片部11aの上端部に凸片部11a’を、また下端部に凸片部11a’と同一形状の凹片部11ａ”を各々形成し、上位、下位のパレット体２、２において凸片部11a’と凹片部11b’とを係合させて、向きを合わせた状態で必要数のパレット体２…が段積されるように構成されている。
また、前記する凸片部11ａ’、凹片部11ｂ’とを有する延設片部11ａを向き合わせ部６として使用せずに、図６で示す、ある位置決め凸部21の係合用凸部21ａ、21ｂの大きさを、他の係合用凸部21ａ、係合用凹部21ｂと相違させて、向き合わせ部６とすること自由であるし、更に、ある位置決め凸部21の径を他の位置決め凸部21に対して相違させ且つその位置決め凸部21が挿通する位置決め孔Ｈを、その位置決め凸部21に丁度良く挿通される孔径にしておくことによって、ワークＷの向きを簡単に合わせることが可能である。
【００２６】
次に、図８に示す第３の実施の形態を説明すると、この実施の形態の段積用パレットＡ…は、各パレット体２…の基板11’一半部側（図８では左半部）から突設する上側の位置決め凸部（４隅の片側２個）21先端に係合用凹部21ｂ、下側の位置決め凸部（４隅の片側２個）21先端に係合用凸部21ａを、基板11’の他半部側（図８では右半部）から突設する上側の位置決め凸部21先端に係合用凸部21ａ、下側の位置決め凸部21先端に係合用凹部21ｂを設けて、その係合用凹部21ｂと係合用凸部21ａの向きでパレットＡの段積み方向を特定できるようにしている。
このような構成にすることによって、前記向き合わせ部６を敢えて設けずとも位置決め凸部21の形状性でパレット体２…の向きを合せることが可能となる。
【００２７】
次に図９及び図１０に示す形態を説明すると、この実施の形態は、両面にチップや、コンデンサ等の実装品Ｆを搭載（実装）するプリント配線板をワークＷとして支持するに適した段積用パレットを示している。この段積用パレットＡは、基板11’の上下面に、ワークＷに開穿された各位置決め孔Ｈ…に対応してその位置決め孔Ｈ…よりも大径な位置合わせ凸部31…を背中合わせ状に突設してパレット体２を形成し、前記位置合わせ凸部31…の上端部、下端部のどちらか一方に係合用凸部31ｂを、他方に係合用凹部31ｃを形成して、前記位置決め孔Ｈ…を介しての係合用凸部31ｂ、係合用凹部31ｃの係脱可能な係合で必要数のパレット体２…を段積可能に構成している。詳細には、係合用凸部31ｂは、前記位置決め孔Ｈ…よりも若干小径をもって位置合わせ凸部31の先端に連設した連絡凸部31ａの先端に延設し、また、係合用凹部31ｃは、位置決め孔Ｈ…よりも若干小径をもって位置合わせ凸部31の先端に連設した同連絡凸部31ａの先端に凹設して、前記係合用凸部31ｂと係合用凹部31ｃとを係合させて連続する連絡凸部31ａ、31ａを位置決め孔Ｈ…に挿通させることによって、ワークＷをパレット体相互空間５の中途位置で保持するようにしてある。この実施の形態の場合には、反転する時には連絡凸部31ａ、31ａ間でワークＷが上下に微動する構造になっているものの、チップや、コンデンサ等の実装品Ｆがパレット体２の内面に衝突しないように前記位置合わせ凸部31、31の高さが設定されている。この実施の形態において、前記する第２実施の形態と同様構成の向き合わせ部（図示せず）を設けても良いものである。
【００２８】
図１０は、搭載装置Ｍで、一面側の所望位置に所望の実装品Ｆ…を搭載（実装）している状態を示し、実装品Ｆ…を搭載（実装）するに際しては、搬入位置の段積されたパレット群Ａ１から、間欠動するコンベアＮ始端部にワークＷを搬入し、一面の所望位置に搭載装置Ｍからピックアンドプレース（図示せず）でチップや、各実装品Ｆ…を搭載（実装）する。
この実施の形態では、一面側にチップや、実装品Ｆ…を搭載（実装）しながら、コンベアＮの終端部側の搬出位置で空のパレットＡ…を段積する度にワークＷを一枚ずつ収容していく。そして、全てのワークＷを段積されたパレット群Ａ１に収容した時点で、そのパレット群Ａ１を反転して前記コンベアＮ始端側の搬入位置に移送し、上段のパレットＡを外しながらコンベアＮにワークＷを載せて同様に他面側にチップや、コンデンサ等の実装品Ｆ…を同搭載装置Ｍで搭載（実装）していく。
【００２９】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成したから、必要段数に段積された状態で反転すると、一枚宛収容されているワークが水平方向に回転することなく反転して他面（裏面）を上向きにする。
従って、従来例に示すようにグリーンシート積層圧着体（ワーク）を両面からハーフカットする際に、専用の装置（例えばインデックステーブル上方に出入りし尚且つ反転する吸着プレート）を使用したり、ワークを一枚ずついちいち人為的に反転する必要がない非常に便利なワークの段積用パレットを提供することができる。
また、両面側から電極を印刷する場合には、片面に印刷した電極が乾いてから必要段数に段積されたパレット群を反転して、上段のパレットを外しながら、印刷機にワークを搬入することでワークの他面に印刷を施すことができるし、一面側から製品孔を穿孔し、他面側から電極を印刷する場合や、両面に施した基準マーク個々に合わせて一面側、他面側から基準孔や製品孔を穿孔する場合等でも、一面からの加工（穿孔加工）が終了した後に、段積されたパレット群を反転して、上段のパレットを外しながらワーク他面側に所望の加工（印刷加工、穿孔加工）を施すことができる。
しかも、この段積用パレットは、位置決め孔がないワーク対応型と、位置決め孔があるワーク対応型の２種が選択利用され、便利であるし、請求項２、５記載にあっては、段積されるパレットの向きを一致させ、穿孔機、印刷機、プレス機、実装品の搭載装置等、所望の加工設備（マシン）に搬入する際の作業性が非常に良くなる。
また、請求項４記載の段積用パレットにあっては、ワークをパレット体相互空間の中途位置に保持することができる。それ故、両面に実装品を搭載（実装）したワークを、その実装品がパレットの内面にぶつかることなく収容して移送することができ、便利であるし、一面に実装品を搭載（実装）した後に、他面に実装品を搭載（実装）すべく、段積されたパレット群を反転した時でも既に搭載されている実装品がパレットの内面等にぶつかることなく反転させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１の実施の形態の段積用パレットの使用状態を示す縦断面図で段積されたパレット群を部分的に示す。
【図２】  同第１の実施の形態の段積用パレットの斜視図で一部切欠して示す。
【図３】  この実施の形態で示す段積用パレットを反転した状態を示す縦断面図で、段積されたパレット群を部分的に示す。
【図４】  この段積用パレットを使用して、ワークの両面からカッティングする状態を示し、（イ）は、搬入位置に段積したワークをカッティング装置に搬入して一面側をハーフカットし、それを搬出位置に段積した空のパレットに収容している状態を示す、（ロ）は、（イ）の状態時で搬出位置に段積されている段積用パレットを反転して搬入位置に移送し、そこからそのパレットを上側から外しつつワークをカッティング装置に搬入して他面側からハーフカットしている状態を示す。
【図５】  両面の同一位置にハーフカットを設けたワークであるグリーンシート積層圧着体を焼結後人為的に割った状態を示す拡大断面図で概略的に示す。
【図６】  第２の実施の形態の段積用パレットの使用状態を示す縦断面図で、段積されたパレット群を部分的に示す。
【図７】  第２の実施の形態の段積用パレットの斜視図で一部切欠して示す。
【図８】  第３の実施の形態の段積用パレットの使用状態を示す縦断面図で、段積されたパレット群を部分的に示す。
【図９】  第４の実施の形態の段積用パレットの使用状態を示す縦断面図で、段積されたパレット群を部分的に示す。
【図１０】  第４の実施の形態の段積用パレットに実装品（チップや、コンデンサ等）を搭載装置で搭載（実装）している状態を示す参考斜視図。
【図１１】  従来の段積用パレットの拡大断面図。
【図１２】  同他種の段積用パレットの拡大断面図。
【図１３】  カッティング装置でワーク両面の同一位置にハーフカットを施す従来のシステムを示す概略図である。
【符号の説明】
Ｗ：ワーク                            11：ワーク載置面部
２：パレット体                        １：縁枠部
４：凹部（環状凹部）                  ３：凸部（環状凸部）
６：向き合わせ部                      21：位置決め凸部
Ｈ：位置決め孔                        31：位置合わせ凸部
31ａ：連絡凸部                  21ａ、31ｂ：係合用凸部
21ｂ、31ｃ：係合用凹部                        Ａ：段積用パレット
Ｂ：カッティング装置                  ５：パレット体相互空間
Ｍ：搭載装置                        11’：基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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