(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に電子部品を実装する実装装置であって、
上記基板と電子部品とに設けられた位置合わせマークを撮像する撮像手段と、
この撮像手段による撮像に基いて上記基板と電子部品を位置合わせする位置決め手段と、
位置決めされた上記基板に上記電子部品を実装する実装手段を具備し、
上記基板と電子部品のどちらか一方には第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークとが設けられ、他方には１つの位置合わせマーク或いは第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークが設けられていて、
上記撮像手段は上記基板と電子部品とに設けられた第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマーク或いは上記基板と電子部品とのどちらか一方に設けられた第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマーク及び他方に設けられた１つの位置合わせマークを下方から同時に撮像することを特徴とする部品実装装置。
【請求項２】
上記第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークは、上記撮像手段によって同時に撮像できる領域に設けられていることを特徴とする請求項１記載の部品実装装置。
【請求項３】
上記位置決め手段は、上記撮像手段により撮像された上記第１、第２の位置合わせマークのうち、第１の位置合わせマークに基いて上記基板と上記電子部品を位置決めするとともに、上記第１の位置合わせマークによる位置合わせが不能なときに上記第２の位置合わせマークに基いて上記基板と上記電子部品を位置決めすることを特徴とする請求項１記載の部品実装装置。
【請求項４】
基板と電子部品とに設けられた位置合わせマークに基いて上記基板に上記電子部品を実装する実装方法であって、
上記基板と電子部品との少なくともどちらか一方の同時に撮像可能な領域に第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークとを設け、他方に１つの位置合わせマーク或いは第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークを設ける工程と、
上記基板と電子部品に設けられた第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマーク或いは上記基板と電子部品とのどちらか一方に設けられた第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマーク及び他方に設けられた１つの位置合わせマークを１つの撮像手段によって下方から同時に撮像する工程と、
上記撮像手段によって撮像された上記基板と電子部品の位置合わせマークに基いて上記基板と電子部品を位置合わせする工程と、
上記第１の位置合わせマークによる上記基板と電子部品の位置合わせが不能なときに上記第２の位置合わせマークとに基いて上記基板と電子部品を位置合わせする工程と
を具備することを特徴とする部品実装方法。
【請求項５】
上記第１の位置合わせマークを複数のエリアに分割し、分割された各エリアを、それに対応する基準画像のエリアと比較してこれらエリアの一致或いは不一致を判定し、その判定に基いて上記第１の位置合わせマークによる位置合わせを行なうか否かを判定する工程と、
上記第１の位置合わせマークによる位置合わせが不能なときに、上記第２の位置合わせマークを複数のエリアに分割し、分割された各エリアを、それに対応する基準画像のエリアと比較してこれらエリアの一致或いは不一致を判定し、その判定に基いて上記第２の位置合わせマークによる位置合わせを行なうか否かを判定する工程と
を具備したことを特徴とする請求項４記載の部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はたとえば基板に電子部品を位置合わせして実装する部品実装装置及び部品実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、基板に電子部品を実装する場合、まず、電子部品に設けられた検査画像としての位置合わせマークを、上記基板に設けられた位置合わせマークに合うようこれら両者を位置決めし、ついで上記電子部品を上記基板に実装するようにしている。
【０００３】
電子部品と基板に設けられた互いの位置合わせマークを位置合わせするためには、電子部品に設けられた位置合わせマークと、基板に設けられた位置合わせマークをそれぞれ撮像カメラで撮像する。ついで、各位置合わせマークの撮像信号によって電子部品と基板との位置を認識し、その認識に基いて電子部品と基板との両者を位置決めするようにしている。このような従来技術は特許文献１に示されている。
【０００４】
電子部品として最近ではたとえば電子機器の小型化や薄型化に伴い、ＴＣＰ（Tape Carrier Package）やＣＯＦ（Chip on Film）などが多く用いられている。これらの電子部品は、半導体チップが所定間隔でダイボンディングされた樹脂製の薄くて長尺なテープを、所定の形状に打ち抜くことで形成される。
【０００５】
そして、上記テープの打ち抜かれる箇所には、上記位置合わせマークがたとえば金メッキなどによって形成されている。上記基板には上記電子部品が実装される側辺の両端部に上記位置合わせマークが同じく金メッキなどによって形成されている。
【特許文献１】特開平３−４６２４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、長尺で、薄いテープから電子部品を打ち抜くと、その際にテープに応力が加わり、テープの打ち抜かれた部分が変形することがある。その場合、テープに形成された位置合わせマークの一部が変形したり、傷付くなどのことがある。
【０００７】
変形したり、傷付いた位置合わせマークを撮像カメラによって撮像すると、変形した部分で光が乱反射したり、傷付いた部分で光が反射しなかったりすることがある。その結果、撮像カメラによって上記位置合わせマークを認識することができなくなるということがあり、そのような場合には電子部品を位置決めすることができなくなる。
【０００８】
また、基板に設けられた位置合わせマークにも汚れが付着したり、傷が付くなどのことがあり、そのような場合には撮像カメラによって認識することができないことがある。基板に設けられた位置合わせマークが認識できないと、その基板を位置決めすることが困難となる。
【０００９】
そして、電子部品或いは基板のどちらか一方の位置決めができないと、上記基板に対して電子部品を実装できなくなるから、そのような場合には作業を一時中断しなければならなくなり、生産性の低下を招くことになる。
【００１０】
この発明は、位置合わせマークの一部に異常であって認識できなくとも、その影響を受けずに基板と電子部品を位置合わせができるようにした部品実装装置及び実装方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この発明は、基板に電子部品を実装する実装装置であって、
上記基板と電子部品とに設けられた位置合わせマークを撮像する撮像手段と、
この撮像手段による撮像に基いて上記基板と電子部品を位置合わせする位置決め手段と、
位置決めされた上記基板に上記電子部品を実装する実装手段を具備し、
上記基板と電子部品のどちらか一方には第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークとが設けられ、他方には１つの位置合わせマーク或いは第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークが設けられていて、
上記撮像手段は上記基板と電子部品とに設けられた第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマーク或いは上記基板と電子部品とのどちらか一方に設けられた第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマーク及び他方に設けられた１つの位置合わせマークを下方から同時に撮像することを特徴とする部品実装装置にある。
【００１２】
上記第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークは、上記撮像手段によって同時に撮像できる領域に設けられていることが好ましい。
【００１３】
上記位置決め手段は、上記撮像手段により撮像された上記第１、第２の位置合わせマークのうち、第１の位置合わせマークに基いて上記基板と上記電子部品を位置決めするとともに、上記第１の位置合わせマークによる位置合わせが不能なときに上記第２の位置合わせマークに基いて上記基板と上記電子部品を位置決めすることが好ましい。
【００１５】
この発明は、基板と電子部品とに設けられた位置合わせマークに基いて上記基板に上記電子部品を実装する実装方法であって、
上記基板と電子部品との少なくともどちらか一方の同時に撮像可能な領域に第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークとを設け、他方に１つの位置合わせマーク或いは第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークを設ける工程と、
上記基板と電子部品に設けられた第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマーク或いは上記基板と電子部品とのどちらか一方に設けられた第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマーク及び他方に設けられた１つの位置合わせマークを１つの撮像手段によって下方から同時に撮像する工程と、
上記撮像手段によって撮像された上記基板と電子部品の位置合わせマークに基いて上記基板と電子部品を位置合わせする工程と、
上記第１の位置合わせマークによる上記基板と電子部品の位置合わせが不能なときに上記第２の位置合わせマークとに基いて上記基板と電子部品を位置合わせする工程と
を具備することを特徴とする部品実装方法にある。
【００１６】
上記第１の位置合わせマークを複数のエリアに分割し、分割された各エリアを、それに対応する基準画像のエリアと比較してこれらエリアの一致或いは不一致を判定し、その判定に基いて上記第１の位置合わせマークによる位置合わせを行なうか否かを判定する工程と、
上記第１の位置合わせマークによる位置合わせが不能なときに、上記第２の位置合わせマークを複数のエリアに分割し、分割された各エリアを、それに対応する基準画像のエリアと比較してこれらエリアの一致或いは不一致を判定し、その判定に基いて上記第２の位置合わせマークによる位置合わせを行なうか否かを判定する工程と
を具備することが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
この発明によれば、基板と電子部品の少なくともどちらか一方に第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークを設けるようにしたから、第１の位置合わせマークの認識ができなくても、第２の位置合わせマークによって基板と電子部品を位置合わせする事が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。  
図１乃至図５はこの発明の第１の実施の形態を示す。  
図１は電子部品としての複数のＴＣＰ１を、基板としての液晶表示パネル２の周辺部に所定間隔で実装する状態を示す説明図である。ＴＣＰ１は図示しないキヤリアテープから打ち抜かれた後、圧着装置３によって上記液晶表示パネル２の周辺部に異方性導電テープ４を介して実装される。
【００１９】
上記ＴＣＰ１は第１の駆動装置５によってＸ、Ｙ方向に駆動される第１のテーブル６上に供給され、上記液晶表示パネル２は第２の駆動装置７によってＸ、Ｙ及びθ方向に駆動される第２のテーブル８上に供給される。上記第１の駆動装置５と第２の駆動装置７は後述する制御装置２６によって駆動が制御されるようになっている。
【００２０】
上記ＴＣＰ１には図３（ａ）に示すように一辺の両端部に位置合わせマーク１２が形成されている。上記液晶表示パネル２には、図３（ｂ）に示すように、その一辺の長手方向両端部にアライメント用の位置合わせマーク１３が形成され、長手方向の中途部の上記ＴＣＰ１が実装される部分にはこのＴＣＰ１の位置合わせマーク１２と対応してそれぞれ一対の実装用の位置合わせマーク１３が形成されている。これらの位置合わせマーク１２，１３はＴＣＰ１や液晶表示パネル２に回路パターンを金メッキなどによって形成するときに同時に形成される。
【００２１】
ＴＣＰ１にはたとえば丸い形状の上記位置合わせマーク１２が設けられている。液晶表示パネル２の位置合わせマーク１３は、十字状の第１の位置合わせマーク１３ａと矩形枠状の第２の位置合わせマーク１３ｂからなる。液晶表示パネル２に設けられた第１の位置合わせマーク１３ａと、第２の位置合わせマーク１３ｂは近い位置、たとえば数ｍｍの領域内に形成されている。
【００２２】
上記ＴＣＰ１を上記液晶表示パネル２に実装する際、まず、第２のテーブル８をティーチング位置まで駆動し、液晶表示パネル２の一端部に設けられたアライメント用の第１、第２の位置合わせマーク１３ａ，１３ｂを第１の撮像カメラ１４によってそれぞれ撮像する。ついで、第２のテーブル８を駆動して液晶表示パネル２の他端部に設けられたアライメント用の第１、第２の位置合わせマーク１３ａ，１３ｂを撮像する。第１の位置合わせマーク１３ａと第２の位置合わせマーク１３ｂは数ｍｍの近い領域内に設けられているから、第１の撮像カメラ１４によって同時に撮像することができる。
【００２３】
つまり、第１の位置合わせマーク１３ａと第２の位置合わせマーク１３ｂは同時に第１の撮像カメラ１４の視野に入る領域に形成されている。そして、第１の撮像カメラ１４が撮像した液晶表示パネル２の一端部と他端部との第１の位置合わせマーク１３ａの撮像信号によって上記液晶表示パネル２のＸ、Ｙ及びθの位置を認識する。
【００２４】
第１の位置合わせマーク１３ａが損傷していたり、傷が付いているなどして図４に示すように異常部ｄがあり、その異常部ｄによって第１の撮像カメラ１４による第１の位置合わせマーク１３ａの認識が困難な場合、液晶表示パネル２の位置認識は第２の位置合わせマーク１３ｂによって行なわれる。
【００２５】
第１の撮像カメラ１４によって液晶表示パネル２の位置認識を行なったならば、ＴＣＰ１を第１のテーブル６から圧着装置３によって吸着し、上記ＴＣＰ１に形成された一対の位置合わせマーク１２と、液晶表示パネル２に設けられた一対の実装用の第１、第２の位置合わせマーク１３ａ，１３ｂを下方から一対の第２の撮像カメラ１５で同時に撮像し、その撮像信号によって液晶表示パネル２の実装用の位置合わせマーク１３と、ＴＣＰ１の位置合わせマーク１２との相対的な位置を認識する。
【００２６】
そして、ＴＣＰ１と液晶表示パネル２との位置認識に基いて上記制御装置２６が第２の駆動装置７によって第２のテーブル８の駆動を制御し、液晶表示パネル２の実装位置にＴＣＰ１を位置決めする。その後、上記圧着装置３を下降させ、上記ＴＣＰ１を上記液晶表示パネル２に実装する。
【００２７】
なお、ＴＣＰ１を液晶表示パネル２に実装する際、第２のテーブル８に代わり、圧着装置３を駆動してＴＣＰ１を液晶表示パネル２に対して位置決めして実装するようにしてもよい。
【００２８】
上述したように、液晶表示パネル２に形成された第１の位置合わせマーク１３ａに異常部ｄが生じると、第１の撮像カメラ１４によってアライメント用の第１の位置合わせマーク１３ａが認識できなかったり、第２の撮像カメラ１５によって実装用の第１の位置合わせマーク１３ａが認識できないことがあり、その場合には液晶表示パネル２にＴＣＰ１を精密に位置決めができなくなる。そのような場合、実装作業を中断して点検作業を行なわなければならなくなることがある。
【００２９】
そこで、液晶表示パネル２に形成された第１の位置合わせマーク１３ａの一部に異常部ｄがあっても、その度合が少なければ、その位置合わせマーク１３ａを図２に示す画像認識装置２１によって認識できるようにしている。この画像認識装置２１は画像処理装置２２を備えている。この画像処理装置２２は上記第１の撮像カメラ１４からの撮像信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器２３を有する。このＡ／Ｄ変換器２３で変換されたデジタル信号、つまり撮像された第１の位置合わせマーク１３ａに対応する検査画像Ｘ（図５（ａ）に示す）は検査画像メモリ２４に記憶される。
【００３０】
上記画像処理装置２２には基準画像メモリ２５が設けられている。この基準画像メモリ２５には正常な状態、つまり異常部ｄのない位置合わせマークの形状に対応する基準画像Ｙ（図５（ｂ）に示す）がデジタル信号で記憶されている。
【００３１】
画像処理装置２２には上記制御装置２６が接続されており、この制御装置２６によって上記基準画像メモリ２５に正常な状態の第１の位置合わせマーク１３ａのデジタル信号、つまり上記基準画像Ｙを記憶させることができるようになっている。
【００３２】
上記検査画像メモリ２４と基準画像メモリ２５とにデジタル信号で貯えられた検査画像Ｘと基準画像Ｙは比較部２７に出力され、ここで後述するように比較される。比較部２７での比較結果は判定部２８で判定されるとともに、モニタ２９によって表示されるようになっている。
【００３３】
上記比較部２７は上記制御装置２６からの指令に基いて上記検査画像Ｘと基準画像Ｙとを比較する。すなわち、検査画像Ｘと基準画像Ｙとのそれぞれの全領域は、図５（ａ），（ｂ）に示すように対応する９つのエリアである、第１乃至第９のエリアに分割される。各画像Ｘ、ＹのエリアをＸ１〜Ｘ９及びＹ１〜Ｙ９とする。なお、検査画像Ｘの第４のエリアＸ４と第８のエリアＸ８とは、位置合わせマーク６の異常部ｄが生じた部位に対応する画像であると仮定し、これらのエリアＸ４、Ｘ８をクロス線で示す。
【００３４】
そして、制御装置２６は、検査画像メモリ２４と基準画像メモリ２５とから分割されたエリアを順次以下のように比較部２７に入力させて比較する。まず、検査画像Ｘの第１のエリアＸ１と基準画像の第１エリアＹ１とを比較する。これらのエリアＸ１、Ｙ１が一致したことが認識されたならば、次に第１のエリアＸ１、Ｙ１に第２のエリアＸ２、Ｙ２を加算し、各画像Ｘ、Ｙの第１、第２のエリア（Ｘ１＋Ｘ２）と（Ｙ１＋Ｙ２）を比較する。これらが一致したことが認識されたならば、それに第３のエリアＸ３、Ｙ３を加算し、（Ｘ１＋Ｘ２＋Ｘ３）と（Ｙ１＋Ｙ２＋Ｙ３）を比較する。
【００３５】
各画像Ｘ、Ｙの第３のエリアまでの画像が一致したならば、第４のエリアＸ４、Ｙ４を加算して比較する。ここで、検査画像Ｘの第４のエリアＸ４は第1の位置合わせマーク１３ａの異常部ｄに対応するエリアであるから、検査画像Ｘと基準画像Ｙとの加算された第１乃至第４のエリアの加算された画像（Ｘ１＋Ｘ２＋Ｘ３＋Ｘ４）と（Ｙ１＋Ｙ２＋Ｙ３＋Ｙ４）とは不一致となる。
【００３６】
加算された第４のエリアまでの検査画像Ｘと基準画像Ｙとが不一致となると、第４の画像Ｘ４、Ｙ４を比較の対象から除去（マスク）し、第１乃至第３の画像に第５の画像Ｘ５、Ｙ５を加算して比較する。つまり、検査画像Ｘの加算されたエリア（Ｘ１＋Ｘ２＋Ｘ３＋Ｘ５）と基準画像Ｙの加算されたエリア（Ｙ１＋Ｙ２＋Ｙ３＋Ｙ５）とが比較される。
【００３７】
その比較が一致すれば、それにＸ６、Ｙ６を加算して比較し、さらにそれが一致すればＸ７、Ｙ７を加算して比較する。  
つぎに、Ｘ８、Ｙ８が加算されて比較されるのだが、検査画像Ｘの第８のエリアＸ８は第１の位置合わせマーク１３ａの異常部ｄに対応する。そのため、検査画像Ｘの加算されたエリア（Ｘ１＋Ｘ２＋Ｘ３＋Ｘ５＋Ｘ６＋Ｘ７＋Ｘ８）と基準画像Ｙの加算されたエリア（Ｙ１＋Ｙ２＋Ｙ３＋Ｙ５＋Ｙ６＋Ｙ７＋Ｙ８）との画像が不一致となる。不一致となったならば、第８の画像Ｘ８、Ｙ８を比較の対象から除去し、つぎの第９の画像Ｘ９、Ｙ９を加算して検査画像Ｘのエリア（Ｙ１＋Ｙ２＋Ｙ３＋Ｙ５＋Ｙ６＋Ｙ７＋Ｙ９）と基準画像Ｙのエリア（Ｙ１＋Ｙ２＋Ｙ３＋Ｙ５＋Ｙ６＋Ｙ７＋Ｙ９）とを比較する。
【００３８】
以上の比較の結果は判定部２８に入力される。判定部２８では全比較回数に対して一致した回数と不一致になった回数との割合を算出し、その不一致の割合が所定値以下、たとえば３０％以下であるならば、検査画像Ｘが第１の位置合わせマーク１３ａであると判定する。
【００３９】
検査画像Ｘが第１の位置合わせマーク１３ａであると判定されると、その判定結果により、第１の撮像カメラ１４で撮像された第１の位置合わせマーク１３ａの位置情報が制御装置２６に出力され、この制御装置２６によって液晶表示パネル２のＸ、Ｙ及びθの位置情報が認識される。
【００４０】
ついで、第２の撮像カメラ１５によって第１のテーブル６に保持されたＴＣＰ１の一対の位置合わせマーク１２が撮像される。そして、ＴＣＰ１の位置合わせマーク１２は、液晶表示パネル２の第１の位置合わせマーク１３ａと同様に画像認識装置２１によって検査画像Ｘが位置合わせマーク１２であるか否かが判定される。そして、検査画像Ｘが位置合わせマーク１２であると判定されれば、その位置情報が制御装置２６に出力され、この制御装置２６によってＴＣＰ１のＸ、Ｙ及びθ方向の位置情報が認識される。
【００４１】
液晶表示パネル２とＴＣＰ１の位置情報が認識されると、制御装置２６はそれらの位置情報に基いて第１のテーブル６は駆動せず、第２のテーブル８だけを駆動し、液晶表示パネル２とＴＣＰ１とを位置合わせする。ついで、圧着装置３によってＴＣＰ１を液晶表示パネル２に実装する。
【００４２】
すなわち、ＴＣＰ１の位置合わせマーク１２や液晶表示パネル２の第１の位置合わせマーク１３ａの一部に異常部ｄがあっても、全体に対する異常部ｄの割合が所定以下であれば、各位置合わせマーク１２，１３ａを認識して液晶表示パネル２に対してＴＣＰ１を位置決めして実装することができる。
【００４３】
液晶表示パネル２に設けられた第１の位置合わせマーク１３ａの異常部ｄの割合が所定以上のことがあり、そのような場合には検査画像Ｘを第１の位置決めマーク１３ａとして認識できないことがある。
【００４４】
検査画像Ｘを第１の位置合わせマーク１３ａとして認識できない場合、判定部２８からの信号によって第１の位置合わせマーク１３ａと同時に撮像された第２の位置合わせマーク１３ｂを検査画像Ｘとしてその認識が上述した第１の位置合わせマーク１３ａの認識と同様にして行なわれる。
【００４５】
そして、検査画像Ｘが第２の位置合わせマーク１３ｂであると判定されたならば、第２の位置合わせマーク１３ｂの位置情報によって液晶表示パネル２のＸ、Ｙ及びθの位置が認識され、その認識に基いてＴＣＰ１が実装される。
【００４６】
このように、液晶表示パネル２に第１の位置合わせマーク１３ａと第２の位置合わせマーク１３ｂを設けたため、第１の位置合わせマーク１３ａを撮像した検査画像Ｘが異常部ｄによって認識不能であっても、第１の位置合わせマーク１３ａと同時に撮像された第２の位置合わせマーク１３ｂの異常部ｄが所定の割合以下であれば、その検査画像Ｘを第２の位置合わせマーク１３ｂであると判定して液晶表示パネル２に対してＴＣＰ１を位置決めして実装することができる。
【００４７】
つまり、液晶表示パネル２に第１の位置合わせマーク１３ａと第２の位置合わせマーク１３ｂを設けたことで、第１の位置合わせマーク１３ａに所定の割合以上の異常部ｄがあって、その認識が不能となっても、第２の位置合わせマーク１３ｂによって液晶表示パネル２の位置認識を行い、この位置認識とＴＣＰ１の位置認識とによって、これら両者を相対的に精密に位置決めし、ＴＣＰ１を上記液晶表示パネル２に実装することができる。
【００４８】
上記一実施の形態では、液晶表示パネル２に第１の位置合わせマーク１３ａと第２の位置合わせマーク１３ｂを設け、ＴＣＰ１には１つの位置合わせマーク１２を設けた場合について説明したが、ＴＣＰ１に第１、第２の位置合わせマークを設け、液晶表示パネル２にはアライメント用及び実装用としての位置合わせマークを１つだけ設けるようにしてもよく、またＴＣＰ１と液晶表示パネル２の両方にそれぞれ２つの位置合わせマークを設けるようにしてもよい。
【００４９】
図６乃至図９はこの発明の第２の実施の形態を示す。この第２の実施の形態で用いられる画像認識装置は第１の実施の形態に示された画像認識装置２１と同じ構成であるが、制御装置２６による制御及び位置合わせマークの分割の仕方などが第１の実施の形態と異なる。
【００５０】
図６に示すように、この実施の形態のＴＣＰ１Ａ或いは液晶表示パネル２に設けられる位置合わせマーク６０は円形状であって、たとえば傷が付いたり、ゴミが付着するなどして異常部６０ａが生じることがある。
【００５１】
上記位置合わせマーク６０に対応する検査画像Ｌと、異常部６０ａのない位置合わせマーク６０に対応する基準画像Ｍとは、図７に示すようにそれぞれ第１乃至第４の４つのエリアに分割されて比較部２７で後述するように比較される。分割された各画像Ｌ、Ｍの第１乃至第４のエリアをＬ１〜Ｌ４、Ｍ１〜Ｍ４とする。
【００５２】
位置合わせマーク６０に異常部６０ａがある場合、検査画像Ｌにはその異常部６０ａが対応するエリアに表示されることになる。この実施の形態では第４のエリアＬ４の画像に異常部６０ａが表示されている仮定し、そのエリアＬ４をクロス線で示す。
【００５３】
上記比較部１７では、制御装置２６からの指令によって検査画像メモリ２４に貯えられた検査画像Ｌと、基準画像メモリ２５に貯えられた基準画像Ｍとの４つに分割されたエリアのうち、まず第１段階では、図８（ａ）に示すように各画像Ｌ、Ｍの第１のエリアＬ１、Ｍ１を除く残りの第２乃至第４のエリアの画像（Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４）と（Ｍ２、Ｍ３、Ｍ４）の画像が比較される。この場合、比較される画像には、検査画像Ｌの第４のエリアＬ４を含む。そのため、検査画像Ｌと基準画像Ｍとは一致しないから、検査画像Ｌを認識することができない。
【００５４】
第２の段階では、図８（ｂ）に示すように検査画像Ｌと基準画像Ｍのうち、第２のエリアＬ２、Ｍ２を除く３つのエリアの画像（Ｌ１、Ｌ３、Ｌ４）と（Ｍ１、Ｍ３、Ｍ４）とが比較される。この場合も、検査画像Ｌは第４のエリアＬ４を含むため、基準画像Ｍとは一致せず、したがって検査画像Ｌを認識することができない。
【００５５】
第３の段階では、図８（ｃ）に示すように検査画像Ｌと基準画像Ｍのうち、第３のエリアＬ３、Ｍ３を除く３つのエリアの画像（Ｌ１、Ｌ２、Ｌ４）と（Ｍ１、Ｍ２、Ｍ４）とが比較される。この場合も、検査画像Ｌの第４のエリアＬ４を含むため、検査画像Ｌは基準画像Ｍと一致せず、認識することができない。
【００５６】
第４の段階では、図８（ｄ）に示すように検査画像Ｌと基準画像Ｍのうち、第４のエリアＬ４、Ｍ４を除く３つのエリアの画像（Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３）と（Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３）とを比較する。この場合には、検査画像Ｌの異常部６０ａに対応する第４のエリアＬ４を含まないから、検査画像Ｌは基準画像Ｍと一致する。それによって、基準画像Ｌを認識することができる。
【００５７】
したがって、異常部６０ａ、すなわち第４のエリアＬ４とＭ４を除いた検査画像と基準画像での認識結果によって判定部１８では検査画像Ｌが位置合わせマーク６０の画像であると判定し、その判定に基き位置合わせマーク６０の位置が検出され、その位置情報によって基板が位置決めされることになる。
【００５８】
図９は第２の実施の形態の検査画像Ｌを認識する際のフローチャートを示す。Ｓ１では検査画像Ｌと基準画像ＭとをそれぞれＮ個のエリアに分割する。Ｓ２では、各画像Ｌ、ＭのＮ個の画像のうち、順次対応する位置の１つのエリアを除去した（Ｎ−１）個のエリアの画像を比較する。
【００５９】
Ｓ３では、Ｓ２で行なわれる各比較ごとに、検査画像Ｌと基準画像Ｍの（Ｎ−１）個のエリアの画像が一致したか否か、つまり検査画像Ｌが認識できたか否かが判定される。認識できたならばＳ４で示すように認識成功となり、検査画像Ｌに基いて基板１Ａの位置決めが行なわれる。
【００６０】
Ｓ３で検査画像Ｌの認識ができなかった場合には、Ｓ５に示すようにその比較回数がチェックされ、その回数がＮ回以下であれば、Ｓ２に戻って比較が繰り返される。比較がＮ回行なわれた場合には、Ｎ個のエリアのうち、順次１つのエリアを除いた（Ｎ−１）個のエリアの比較を全て行なっても、検査画像Ｌを認識できなかったことになるから、Ｓ６に示すように認識失敗となる。
【００６１】
つまり、検査画像Ｌに対応する位置合わせマーク６０の一部に異常部６０ａがある場合には、最大でＮ回の比較を行うことで、認識できることになるが、位置合わせマーク６０の異常度合が各エリアにわたる大きさであったり、検査画像Ｌが位置合わせマーク６０と異なるような場合には、認識が失敗となる。
【００６２】
なお、この発明は上記各実施の形態に限定されるものでなく、たとえば位置合わせマークの形状は上記各実施の形態で挙げた形状以外の形状であっても差し支えない。また、検査画像と基準画像との分割する数は限定されず、複数であればよい。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】この発明の第１の実施の形態を示す実装装置の概略的構成図。
【図２】画像認識装置のブロック図。
【図３】（ａ）はＴＣＰに設けられた位置決めマークを示す平面図、（ｂ）は液晶表示パネルに設けられた位置決めマークを示す平面図。
【図４】一部に異常部が生じた位置合わせマークを示す図。
【図５】（ａ），（ｂ）は検査画像と基準画像とをそれぞれ９つのエリアに分割した図。
【図６】この発明の第２の実施の形態を示す異常部が生じた位置合わせマークの図。
【図７】検査画像と基準画像とをそれぞれ４つのエリアに分割した図。
【図８】４つのエリアに分割された検査画像と基準画像とを比較する順序を示す図。
【図９】検査画像と基準画像との比較の手順を示すフローチャート。
【符号の説明】
【００６４】
１…ＴＣＰ（電子部品）２…液晶表示パネル（基板）、１４…第１の撮像カメラ（撮像手段）、１５…第２の撮像カメラ（撮像手段）、２１…画像認識装置、２２…画像処理装置、２４…検査画像メモリ、２５…基準画像メモリ、２６…制御装置、２７…比較部、２８…判定部。
【図１】
0004490346.tif 000002
【図２】
0004490346.tif 000003
【図３】
0004490346.tif 000004
【図４】
0004490346.tif 000005
【図５】
0004490346.tif 000006
【図６】
0004490346.tif 000007
【図７】
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【図８】
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【図９】
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