(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリームハンダ、バンプ、銀ペースト、あるいは、導電性接着剤からなり、各種の部品を電極に対して導通固定するためのハンダ相当物が印刷形成されてなる基板を検査対象とし、前記ハンダ相当物の印刷状態に基づき前記基板を検査する基板検査装置において、
前記電極に対応して設けられる検査領域を計測し、前記ハンダ相当物の測定値として体積値又は面積値を測定する測定手段と、
所定規則で配列される表示色の情報である表示色情報に基づき、前記測定手段による測定値の、各検査領域に対応して設けられた理想値に対する比率に対応した表示色を、前記検査領域の表示色として決定する表示色決定手段と、
前記基板の検査面の画像を表示手段に表示すると共に、当該検査面に設けられる前記検査領域を、前記画像中の該当位置に、前記表示色決定手段にて決定された前記表示色を用いて表示する表示制御手段とを備え、
前記表示色情報は、少なくとも良品として許容される良品許容範囲における前記測定値の比率のバラツキを表現できるよう表示色が配列されてなることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
クリームハンダ、バンプ、銀ペースト、あるいは、導電性接着剤からなり、各種の部品を電極に対して導通固定するためのハンダ相当物が印刷形成されてなる基板を検査対象とし、前記ハンダ相当物の印刷状態に基づき前記基板を検査する基板検査装置において、
前記電極に対応して設けられる検査領域を計測し、前記ハンダ相当物の測定値として体積値又は面積値を測定する測定手段と、
前記検査領域に応じた良品判定を行うために設定される判定値を所定規則で配列される表示色の情報である表示色情報に対応付けることによって、前記測定手段による測定値の、各検査領域に対応して設けられた理想値に対する比率に対応した表示色を、前記検査領域の表示色として決定する表示色決定手段と、
前記基板の検査面の画像を表示手段に表示すると共に、当該検査面に設けられる前記検査領域を、前記画像中の該当位置に、前記表示色決定手段にて決定された前記表示色を用いて表示する表示制御手段とを備え、
前記表示色情報は、少なくとも良品として許容される良品許容範囲における前記測定値の比率のバラツキを表現できるよう表示色が配列されてなることを特徴とする基板検査装置。
【請求項３】
クリームハンダ、バンプ、銀ペースト、あるいは、導電性接着剤からなり、各種の部品を電極に対して導通固定するためのハンダ相当物が印刷形成されてなる基板を検査対象とし、前記ハンダ相当物の印刷状態に基づき前記基板を検査する基板検査装置において、
前記電極に対応して設けられる検査領域を計測し、前記ハンダ相当物の測定値として体積値又は面積値を測定する測定手段と、
前記検査領域に対応付けて理想値を記憶するための検査領域情報記憶手段と、
前記検査領域に応じた良品判定を行うために設定される判定値を記憶するための判定値記憶手段と、
所定規則で配列される表示色の情報である表示色情報を記憶するための色情報記憶手段と、
前記判定値記憶手段に記憶される判定値を、前記色情報記憶手段に記憶される表示色情報に対応付けることによって、前記測定手段による測定値の、各検査領域に対応して設けられた理想値に対する比率に対応した表示色を、前記検査領域の表示色として決定する表示色決定手段と、
前記基板の検査面の画像を表示手段に表示すると共に、当該検査面に設けられる前記検査領域を、前記画像中の該当位置に、前記表示色決定手段にて決定された前記表示色を用いて表示する表示制御手段とを備え、
前記表示色情報は、少なくとも良品として許容される良品許容範囲における前記測定値の比率のバラツキを表現できるよう表示色が配列されてなることを特徴とする基板検査装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の基板検査装置において、
前記判定値は、前記部品毎、前記部品の種類毎、又は、前記部品のサイズ毎に設定されることを特徴とする基板検査装置。
【請求項５】
請求項２乃至４のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記判定値を入力するための入力手段を備えていることを特徴とする基板検査装置。
【請求項６】
請求項５に記載の基板検査装置において、
前記表示制御手段は、前記表示色情報を前記表示手段に表示可能となっており、
前記入力手段を介し、前記表示制御手段にて表示された表示色情報に対応させて、前記判定値が入力可能に構成されていることを特徴とする基板検査装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記測定手段による測定値を、各検査領域に対応する理想値に対する比率としての評価値に換算する換算手段を設け、
表示色決定手段は、前記表示色情報に基づき、前記評価値に対応する表示色を、前記検査領域の表示色として決定することを特徴とする基板検査装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記表示色情報は、少なくとも前記良品許容範囲において、複数の表示色が段階的に変化するように配列されてなることを特徴とする基板検査装置。
【請求項９】
請求項１乃至７のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記表示色情報は、少なくとも前記良品許容範囲において、複数の表示色が連続的に変化するように配列されてなることを特徴とする基板検査装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記理想値は、印刷形成に用いられるメタルマスクの前記検査領域に対応する開口面積値、及び、厚さ値に基づいて算出される理想の体積値であることを特徴とする基板検査装置。
【請求項１１】
請求項１乃至９のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記理想値は、印刷形成に用いられるメタルマスクの前記検査領域に対応する開口面積値に基づいて算出される理想の面積値であることを特徴とする基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種の部品を電極に対して導通固定するためのクリームハンダ等が印刷形成されてなる基板を検査対象とする基板検査装置に係り、特に、クリームハンダ等の印刷状態を表示する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、基板上に電子部品を実装する場合、まず基板上に配設された所定の電極上にクリームハンダが印刷形成される。次に、該クリームハンダの粘性に基づいて基板上に電子部品が仮止めされる。その後、前記基板がリフロー炉へ導かれ、所定のリフロー工程を経ることでハンダ付けが行われる。
【０００３】
このような工程の途中には検査装置が組み込まれ、電子部品の仮止めに先立ち、クリームハンダの印刷状態が検査されている。従来の検査装置には、単に印刷状態の良／不良を判定するのみならず、基板の各部分における印刷状態を作業者が把握できるように、検査結果に基づく表示を可能とするものがあった。
【０００４】
例えば、基板に設けられるバンプを検査することを目的とし、基板の各部における基板面からの高さ情報が把握できるように、当該高さ情報を段階的に設定される表示色で表示する検査装置が考案されている（例えば、特許文献１参照）。また例えば、基板のどの部分に印刷不良が生じているのかが分かるように、当該不良箇所を通常時と異なる表示色で表示する検査装置が考案されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平１１−２８７６２７号公報
【特許文献２】特開２００２−２６５１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記クリームハンダの印刷形成には、通常、メタルマスクが用いられる。メタルマスクは電極に対応する開口を有しており、このメタルマスクを基板上に重ね所定圧力でハンダを塗布し、その後、メタルマスクを基板から取り外すことによって、上記開口に対応する量のクリームハンダが印刷形成される。
【０００６】
ところが、このようなクリームハンダの印刷形成において、メタルマスクを取り外す際、メタルマスクの開口にクリームハンダの一部が残ってしまうことがあり、場合によっては、電極に十分な量のクリームハンダが形成されないことがあった。また、メタルマスクに付着して残ったクリームハンダが振動等によって落下することがあり、場合によっては、電極上に落下して、クリームハンダの量が多くなりすぎてしまうことがあった。このように電極に印刷形成されるクリームハンダの量（ハンダ量）が適切でなくなると、すなわち、ハンダ量が少なすぎても多すぎても、その後の電子部品の仮止めや、ハンダ付けに悪影響を及ぼすおそれがある。
【０００７】
したがって、このハンダ量についても検査する必要がある。また、基板の各部におけるハンダ量の情報を得ることにより、クリームハンダの印刷装置が適切な設定で稼動されているか否かを判断することができる。特に、製造する基板の種類を変える場合などに行われる段取り替えにおいては、基板各部におけるハンダ量の情報が、当該段取り替えが適切に行われたか否かの指標となる。そこで、基板各部におけるハンダ量の情報を作業者が容易にかつ正確に把握可能な検査装置が望まれる。
【０００８】
しかしながら、上記ハンダ量は、従来の検査装置のように基板面からの高さ情報を用いては、把握できない。なぜなら、メタルマスクを取り外すときにクリームハンダが上方へ引っ張られて伸びることがあり、適量のクリームハンダが形成されていないにも拘わらず、高さ情報だけは適切なものとなるケースがあるためである。
【０００９】
なお、上記課題は、クリームハンダについて述べたが、例えば、バンプ、銀ペースト、導電性接着剤などの印刷形成においても、同様に生じるものである。
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、基板各部におけるクリームハンダ等の形成量（ハンダ量）の情報を、より適切に表示可能な基板検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
以下、上記目的等を解決するのに適した各手段につき項分けして説明する。なお、必要に応じて対応する手段に特有の作用効果等を付記する。
【００１２】
手段１．各種の部品を電極に対して導通固定するためのハンダ相当物が印刷形成されてなる基板を検査対象とし、前記ハンダ相当物の印刷状態に基づき前記基板を検査する基板検査装置において、
前記電極に対応して設けられる検査領域を計測し、前記ハンダ相当物の測定値として体積値又は面積値を測定する測定手段と、
所定規則で配列される表示色の情報である表示色情報に基づき、前記測定手段による測定値の、各検査領域に対応して設けられた理想値に対する比率に対応した表示色を、前記検査領域の表示色として決定する表示色決定手段と、
前記基板の検査面の画像を表示手段に表示すると共に、当該検査面に設けられる前記検査領域を、前記画像中の該当位置に、前記表示色決定手段にて決定された前記表示色を用いて表示する表示制御手段とを備え、
前記表示色情報は、少なくとも良品として許容される良品許容範囲における前記測定値の比率のバラツキを表現できるよう表示色が配列されてなることを特徴とする基板検査装置。
【００１３】
手段１に記載の基板検査装置は、ハンダ相当物が印刷形成されてなる基板を検査対象とし、ハンダ相当物の印刷状態に基づいて基板を検査する。ここでハンダ相当物とは、各種の部品を電極に対して導通固定するためのものである。ハンダ相当物の一例が、上記クリームハンダである。
【００１４】
手段１では、測定手段が、電極に対応して設けられる検査領域を計測し、ハンダ相当物の測定値として体積値又は面積値を測定する。また、表示色決定手段が、所定規則で配列される表示色の情報である表示色情報に基づき、測定手段による測定値の比率に対応した表示色を、検査領域の表示色として決定する。測定値の比率とは、各検査領域に対応して設けられた理想値に対する比率である。また、ここでいう理想値とは、各検査領域に対応して設けられるものである。例えば、測定値として体積値が測定される場合、理想の（所望とされる）体積値を理想値とすることが考えられる。また例えば、測定値として面積値が測定される場合、理想の面積値を理想値とすることが考えられる。なお、理想値は、理想の体積値・面積値には限定されず、当該体積値・面積値に比例するものとしてもよい。また、各検査領域の大きさに合わせて個別に設定される所定値としてもよい。以下の手段でも同様である。
【００１５】
そして、表示制御手段によって、基板の検査面の画像が表示手段に表示されると共に、当該検査面に設けられる前記検査領域が、前記画像中の該当位置に、前記表示色決定手段にて決定された前記表示色を用いて表示される。検査面の画像は、実際の撮像画像（実写画像）であってもよいし、実写画像やＣＡＤデータ等から別途構成されるイメージ画像であってもよい。
【００１６】
そして、上記表示色情報は、少なくとも良品として許容される良品許容範囲における測定値の比率のバラツキを表現できるよう表示色が配列されてなる。例えば、表示色情報として「青」、「青緑」、「緑」、「黄」、「赤」の表示色が順に配列されたものが採用される。ここで良品許容範囲を「青緑」、「緑」、「黄」とすれば、これら３つの表示色によって、良品許容範囲における測定値の比率のバラツキが表現される。
【００１７】
手段１によれば、ハンダ相当物を測定するにあたって体積値や面積値を用いるため、高さ情報に基づいて判断する場合と異なり、ハンダ相当物の形成量であるハンダ量を適切に把握可能となる。なお、ハンダ量を面積値で表現可能なのは、ハンダ量が、印刷形成されたクリームハンダの面積値に、ある程度比例するからである。例えば、検査領域の二次元計測を行う基板検査装置においては、印刷形成されるクリームハンダの面積値を用いて、ハンダ量の情報を表示することが考えられる。
【００１８】
また、基板に設けられる電極の大きさは一律でないため、適切とされる体積値や面積値の判断基準は、各電極において異なるものとなる。そのため、体積値や面積値を直接的に表示しても、基板各部におけるハンダ量の情報を対比して把握することができなかった。この点、手段１によれば、理想値に対する測定値の比率に対応する表示色を用いて、検査領域が表示される。したがって、基板各部におけるハンダ量の情報を対比的に表示することができる。
【００１９】
さらにまた、従来の検査装置のように不良箇所を通常時と異なる表示色で表示するだけでは不十分である。なぜなら、段取り替えの場合など、クリームハンダの印刷装置が適切な設定で稼動されているか否かを判断する場合、適切とされる範囲におけるハンダ量のバラツキの情報まで必要となるためである。すなわち、ハンダ量が当該適切とされる範囲の中心に近いところにあるのか境界に近いところにあるのかという情報まで必要になってくる。この点、手段１によれば、良品許容範囲における測定値の比率のバラツキが表現される。上述の例で言えば、良品許容範囲における測定値の比率のバラツキが「青緑」、「緑」、「黄」の表示色で表現される。すなわち、検査領域の測定値の比率が良品許容範囲に入っているということが分かるだけでなく、当該範囲の中心に近いところにあるのか境界に近いところにあるのかという情報を表示することができる。
【００２０】
結果として、基板各部におけるハンダ量の情報を、より適切に表示することができる。
【００２１】
なお、少なくともとあるのは、測定値の比率が良品許容範囲を逸脱している場合、つまり不良範囲にある場合には、必ずしも測定値の比率のバラツキを表現する必要がないためである（以下の手段でも同様）。
【００２２】
手段２．各種の部品を電極に対して導通固定するためのハンダ相当物が印刷形成されてなる基板を検査対象とし、前記ハンダ相当物の印刷状態に基づき前記基板を検査する基板検査装置において、
前記電極に対応して設けられる検査領域を計測し、前記ハンダ相当物の測定値として体積値又は面積値を測定する測定手段と、
前記検査領域に応じた良品判定を行うために設定される判定値を所定規則で配列される表示色の情報である表示色情報に対応付けることによって、前記測定手段による測定値の、各検査領域に対応して設けられた理想値に対する比率に対応した表示色を、前記検査領域の表示色として決定する表示色決定手段と、
前記基板の検査面の画像を表示手段に表示すると共に、当該検査面に設けられる前記検査領域を、前記画像中の該当位置に、前記表示色決定手段にて決定された前記表示色を用いて表示する表示制御手段とを備え、
前記表示色情報は、少なくとも良品として許容される良品許容範囲における前記測定値の比率のバラツキを表現できるよう表示色が配列されてなることを特徴とする基板検査装置。
【００２３】
手段２に記載の基板検査装置も、手段１と同様、ハンダ相当物が印刷形成されてなる基板を検査対象とし、ハンダ相当物の印刷状態に基づいて基板を検査する。また、測定手段、換算手段、及び、表示制御手段の構成も、手段１と同様となっている。
【００２４】
すなわち、測定手段が、電極に対応して設けられる検査領域を計測し、ハンダ相当物の測定値として体積値又は面積値を測定する。そして、表示制御手段によって、基板の検査面の画像が表示手段に表示されると共に、当該検査面に設けられる検査領域が、画像中の該当位置に、決定された表示色を用いて表示される。そして、上記表示色情報は、少なくとも良品として許容される良品許容範囲における測定値の比率のバラツキを表現できるよう表示色が配列されてなる。
【００２５】
そして、手段２では特に、検査領域に応じた良品判定を行うために設定される判定値を所定規則で配列される表示色の情報である表示色情報に対応付けることにより、表示色決定手段によって、前記測定手段による測定値の、各検査領域に対応して設けられた理想値に対する比率に対応した表示色が、検査領域の表示色として決定される。
【００２６】
上記メタルマスクを用いたハンダ相当物の印刷形成において、メタルマスクの開口面積が比較的小さくなると、メタルマスクの開口にクリームハンダの一部が、繰り返し残ってしまうという現象が生じることがある。そのため、基板上の電極の中で相対的に小さなものについては、測定値の理想値に対する比率が、常に小さくなってしまい、同一の判定基準で判定した場合、良品許容範囲に含まれるものの、常に、良品許容範囲の境界に近いところにあるという結果となってしまうおそれがある。
【００２７】
この点、手段２によれば、検査領域に応じた良品判定を行うための判定値が設定される。そして、この判定値と上記表示色情報とを対応付けることで、測定値の比率に対応する表示色が決定される。つまり、検査領域毎に適切な判断基準を設けることを可能にしたのである。したがって、測定値の比率が常に小さくなってしまう検査領域については、判定値をそれに合わせて設定することで、当該比率を正常なものとして検査領域の表示を行うことができる。
【００２８】
もちろん、手段２によっても、手段１と同様の効果を奏する。すなわち、ハンダ相当物を測定するにあたって体積値や面積値が用いられるため、ハンダ量を適切に把握可能となる。また、各検査領域毎に、測定値の理想値に対する比率に対応する表示色で検査領域が表示されるため、基板各部におけるハンダ量の情報を対比的に表示することができる。さらに、良品許容範囲におけるバラツキが複数の表示色で表示されるため、検査領域の測定値に対応する比率が、良品許容範囲の中心に近いところにあるのか、境界に近いところにあるのか、という情報を表示することができる。
【００２９】
手段３．各種の部品を電極に対して導通固定するためのハンダ相当物が印刷形成されてなる基板を検査対象とし、前記ハンダ相当物の印刷状態に基づき前記基板を検査する基板検査装置において、
前記電極に対応して設けられる検査領域を計測し、前記ハンダ相当物の測定値として体積値又は面積値を測定する測定手段と、
前記検査領域に対応付けて理想値を記憶するための検査領域情報記憶手段と、
前記検査領域に応じた良品判定を行うために設定される判定値を記憶するための判定値記憶手段と、
所定規則で配列される表示色の情報である表示色情報を記憶するための色情報記憶手段と、
前記判定値記憶手段に記憶される判定値を、前記色情報記憶手段に記憶される表示色情報に対応付けることによって、前記測定手段による測定値の、各検査領域に対応して設けられた理想値に対する比率に対応した表示色を、前記検査領域の表示色として決定する表示色決定手段と、
前記基板の検査面の画像を表示手段に表示すると共に、当該検査面に設けられる前記検査領域を、前記画像中の該当位置に、前記表示色決定手段にて決定された前記表示色を用いて表示する表示制御手段とを備え、
前記表示色情報は、少なくとも良品として許容される良品許容範囲における前記測定値の比率のバラツキを表現できるよう表示色が配列されてなることを特徴とする基板検査装置。
【００３０】
手段３に記載の基板検査装置は、手段２の構成に加え、検査領域情報記憶手段と、判定値記憶手段と、色情報記憶手段とを有している。そして、上記理想値が、検査領域情報記憶手段に記憶されるようになっている。また、判定値記憶手段に記憶される判定値が色情報記憶手段に記憶される表示色情報に対応付けられることにより、表示色決定手段によって、測定値の理想値に対する比率に対応する表示色が、検査領域の表示色として決定される。
【００３１】
上述した理想値は、後述するように、メタルマスクの開口面積に基づいて算出することが考えられる。そのため理想値自体を必ずしも記憶しておく必要はない。しかしながら、都度理想値の算出を行う構成とすれば、検査に要する時間が長くなってしまうおそれがある。この点、手段３によれば、理想値が、検査領域情報記憶手段に、各検査領域に対応付けて記憶されるため、都度理想値の算出を行う構成に比べ、検査に要する時間を短縮することができる。
【００３２】
上述した判定値についても同様である。すなわち、判定値は、必要に応じてガーバデータなどを用い、メタルマスクの開口面積に基づいて算出することが考えられる。そのため判定値自体を必ずしも記憶しておく必要はない。しかしながら、都度判定値の算出を行う構成とすれば、検査や表示に要する時間が長くなってしまうおそれがある。この点、手段３によれば、検査領域に応じた良品判定を行うために設定される判定値が判定値記憶手段に記憶されるため、都度判定値の算出を行う構成に比べ、検査や表示に要する時間を短縮することできる。
【００３３】
また、表示色情報についても同様、必ずしも記憶しておく必要はない。しかしながら、都度表示色の算出を行う構成とすれば、表示に要する時間が長くなってしまうおそれがある。この点、手段３によれば、所定規則で配列される表示色の情報である表示色情報が色情報記憶手段に記憶されるため、都度表示色の算出を行う構成に比べ、表示に要する時間を短縮することできる。
【００３４】
また、手段３によれば、手段２と同様、判定値によって検査領域毎に別の判断基準を設けているため、測定値の比率が常に小さくなってしまう検査領域について、当該比率を正常なものとして検査領域の表示を行うことができる。さらに、手段３によっても、手段１、２と同様に、上記課題が解決される。すなわち、ハンダ相当物を測定するにあたって体積値や面積値が用いられるため、ハンダ量を適切に把握可能となる。また、各検査領域毎に、測定値の理想値に対する比率に対応する表示色で検査領域が表示されるため、基板各部におけるハンダ量の情報を対比的に表示することができる。さらに、良品許容範囲におけるバラツキが複数の表示色で表示されるため、検査領域の測定値に対応する比率が、良品許容範囲の中心に近いところにあるのか、境界に近いところにあるのか、という情報を表示することができる。
【００３５】
手段４．手段２又は３に記載の基板検査装置において、
前記判定値は、前記部品毎、前記部品の種類毎、又は、前記部品のサイズ毎に設定されることを特徴とする基板検査装置。
【００３６】
判定値は、検査領域に対応する電極の大きさ、さらに言えば、検査領域に対応するメタルマスクの開口面積に応じて決定すべきものである。そのため、検査領域毎に判定値を設定する構成としてもよい。
【００３７】
ただし、電極の大きさ（メタルマスクの開口面積）は、部品の種類・サイズに依存する。したがって、手段４に示すように、部品毎、部品の種類毎、又は、部品のサイズ毎に、判定値が設定される構成としてもよい。このようにすれば、検査領域毎に判定値を設定する構成と比べて、設定すべき判定値の数が少なくなるため、判定値の設定が容易になる。
【００３８】
手段５．手段２乃至４のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記判定値を入力するための入力手段を備えていることを特徴とする基板検査装置。
【００３９】
手段５によれば、入力手段を介して判定値の入力が行われるため、例えば印刷状況に応じた柔軟な判定値の設定が可能になる。
【００４０】
手段６．手段５に記載の基板検査装置において、
前記表示制御手段は、前記表示色情報を前記表示手段に表示可能となっており、
前記入力手段を介し、前記表示制御手段にて表示された表示色情報に対応させて、前記判定値が入力可能に構成されていることを特徴とする基板検査装置。
【００４１】
手段６では、表示制御手段によって、表示色情報が表示手段に表示される。例えば、表示色情報として、表示色を順に並べたカラーバーが挙げられる。そして、オペーレータ等は、上記入力手段を介し、この表示色情報に対応させて（表示色情報を視認しつつ）、判定値を入力することができる。このとき、入力される判定値は、良品許容範囲に対応付けられる下限判定値及び上限判定値であることが考えられる。
【００４２】
このようにすれば、表示色情報との対応付けを確認しながら判定値を入力することができ、入力間違いが少なくなるなど、判定値の入力作業が容易になる。
【００４３】
手段７．手段１乃至６のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記測定手段による測定値を、各検査領域に対応する理想値に対する比率としての評価値に換算する換算手段を設け、
表示色決定手段は、前記表示色情報に基づき、前記評価値に対応する表示色を、前記検査領域の表示色として決定することを特徴とする基板検査装置。
【００４４】
手段７では、換算手段が、測定手段による測定値を、各検査領域に対応する理想値に対する比率としての評価値に換算する。そして、表示色決定手段により、表示色情報に基づき、評価値に対応する表示色が、検査領域の表示色として決定される。このようにすれば、一度比率としての評価値に測定値が換算されるため、比較的分かり易いアルゴリズムで、表示色の決定が実現される。
【００４５】
なお、換算手段によって評価値への換算を行うことなく、例えば各検査領域に対応して設けられた、測定値（体積値又は面積値）と表示色との対応関係を示す数表（テーブルなど）を参照することで、測定値から直接的に（その比率に対応する）表示色を決定するようにしてもよい。
【００４６】
手段８．手段１乃至７のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記表示色情報は、少なくとも前記良品許容範囲において、複数の表示色が段階的に変化するように配列されてなることを特徴とする基板検査装置。
【００４７】
手段８では、上記表示色情報の少なくとも良品許容範囲において、複数の表示色が段階的に変化するように配列されている。上述したように例えば、良品許容範囲に「青緑」、「緑」、「黄」という３つの表示色が配列されるという具合である。このようにすれば、良品許容範囲における測定値の理想値に対する比率のバラツキ具合を段階的に表示することができる。
【００４８】
なお、複数の表示色は、色彩が異なっている場合だけでなく、濃淡が異なっている場合も含むものとする（以下の手段でも同様）。
【００４９】
手段９．手段１乃至７のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記表示色情報は、少なくとも前記良品許容範囲において、複数の表示色が連続的に変化するように配列されてなることを特徴とする基板検査装置。
【００５０】
手段９では、上記表示色情報の少なくとも良品許容範囲において、複数の表示色が連続的に変化するように配列されている。連続的に変化する、とあるのは、上記段階的な変化がより細かな区間で生じていることを意味し、見かけ上、表示色の区切りが認識できないような変化をいう。このようにすれば、上記段階的な表示に比べ、良品許容範囲における測定値の理想値に対する比率のバラツキ具合をより細かく表現することができる。
【００５１】
手段１０．手段１乃至９のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記理想値は、印刷形成に用いられるメタルマスクの前記検査領域に対応する開口面積値、及び、厚さ値に基づいて算出される理想の体積値であることを特徴とする基板検査装置。
【００５２】
手段１０に示すように、上記理想値は、理想の体積値として、印刷形成に用いられるメタルマスクの検査領域に対応する開口面積値、及び、厚さ値に基づいて算出することが考えられる。ハンダ相当物がメタルマスクに残らない場合、その体積値は、開口面積値に厚さ値を乗じた容積値にほぼ等しくなるためである。
【００５３】
手段１１．手段１乃至９のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記理想値は、印刷形成に用いられるメタルマスクの前記検査領域に対応する開口面積値に基づいて算出される理想の面積値であることを特徴とする基板検査装置。
【００５４】
手段１１に示すように、上記理想値は、理想の面積値として、印刷形成に用いられるメタルマスクの検査領域に対応する開口面積値に基づいて算出することが考えられる。ハンダ相当物がメタルマスクに残らない場合、その面積値は、開口面積値にほぼ等しくなるためである。
【００５５】
手段１２．手段１乃至１１のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記ハンダ相当物は、クリームハンダ、バンプ、銀ペースト、あるいは、導電性接着剤であることを特徴とする基板検査装置。
【００５６】
ハンダ相当物の一例がクリームハンダであることは既に述べたが、手段１２に示すように、ハンダ相当物は、バンプ、銀ペースト、あるいは、導電性接着剤などとして具現化することができる。
【００５７】
以上、基板検査装置の発明として説明してきたが、主として、測定手段、表示色決定手段、及び、表示制御手段に特徴を有している点に鑑み、これら手段の機能をコンピュータシステムに実現させるプログラム、あるいは、当該プログラムを記録した記録媒体の発明として実現することもできる。
【００５８】
手段１３．手段１乃至１２のいずれかに記載の基板検査装置の備える測定手段、表示色決定手段、及び、表示制御手段としてコンピュータシステムを機能させるプログラム。
【００５９】
手段１４．手段１３に記載のプログラムを記録した記録媒体。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６０】
以下、一実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００６１】
図１は、本実施の形態における基板検査装置８を模式的に示す概略構成図である。同図に示すように、基板検査装置８は、プリント基板１を載置するための載置台９と、プリント基板１の表面に対し斜め上方から所定の光成分パターンを照射するための照明装置１０と、プリント基板１上の前記照射された部分を撮像するためのＣＣＤカメラ１１と、基板検査装置８内における各種制御や画像処理、演算処理を実施するための制御装置１２とを備えている。
【００６２】
前記載置台９には、モータ１５，１６が設けられており、該モータ１５，１６が制御装置１２により駆動制御されることによって、載置台９上に載置されたプリント基板１が任意の方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）へスライドさせられるようになっている。かかる構成により、ＣＣＤカメラ１１の視野を移動させることができるようになっている。
【００６３】
ここで、上記プリント基板１について説明しておく。図２は、プリント基板１の検査面の一部を示す説明図である。プリント基板１の検査面には、各種部品等が導通固定される「電極」としてのパッドＰ（同図中に実線で示す矩形状の領域）が設けられている。図２において、パッドＰはＪ１，Ｊ２，Ｊ３，Ｊ４，Ｊ５で示す５つのグループに分かれており、各グループＪ１〜Ｊ５毎に、異なる種類の部品が実装される。また、各グループＪ１〜Ｊ５に属するパッドＰは、それぞれ面積が異なっており、Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３、Ｊ４、Ｊ５の順で面積が小さくなっている。本実施形態は、これらパッドＰの一つ一つを「検査領域」として、当該パッドＰに印刷形成されるクリームハンダの量（ハンダ量）を体積値として測定し、評価して検査・表示することを特徴とする。
【００６４】
次に、ハンダ量に基づく検査領域の検査・表示を実現するための制御装置１２の電気的構成について説明する。
【００６５】
図３に示すように、制御装置１２は、基板検査装置８全体の制御を司るＣＰＵ及び入出力インターフェース２１、キーボードやマウスなどのポインティングデバイスで構成される「入力手段」としての入力装置２２、ＣＲＴや液晶などの表示画面を有する「表示手段」としての表示装置２３、ＣＣＤカメラ１１による撮像に基づく画像データを記憶するための画像データ記憶装置２４、ＣＣＤカメラ１１による撮像に基づく検査結果などを記憶するための検査結果記憶装置２５、検査領域に関する各種情報を記憶するための「検査領域情報記憶手段」としての検査領域情報記憶装置２６、検査領域における良品判定を行うための判定値を記憶する「判定値記憶手段」としての判定値記憶装置２７、及び、表示色情報を記憶するための「色情報記憶手段」としての色情報記憶装置２８を備えている。
【００６６】
検査領域情報記憶装置２６には、検査領域の位置情報や大きさ情報が記憶されている。また、本実施形態において検査領域情報記憶装置２６には、検査領域毎に、印刷形成されるクリームハンダの理想の体積値である理想値が記憶されている。この理想値は、クリームハンダの印刷形成に用いられるメタルマスクの（各パッドＰに対応する）該当する開口面積値及び厚さ値を掛け合わせたものとして、予め算出されて記憶される。
【００６７】
判定値記憶装置２７には、後述する判定値入力処理の実行により、入力手段２２を介して入力される判定値が記憶される。この判定値は、部品の種類毎に入力される。もちろん、部品毎に入力される構成としてもよいし、部品サイズ毎に入力される構成としてもよいし、あるいは、各パッドＰ（検査領域）毎に入力される構成としてもよい。そして、入力された判定値は、検査領域に対応付けて記憶される。
【００６８】
色情報記憶装置２８には、表示色情報が記憶される。この表示色情報は、所定規則で配列される表示色の情報である。ここで表示色情報についての詳細な説明を加える。
【００６９】
図４（ａ）は、本実施形態における表示色情報をカラーバーの態様で模式的に示した説明図である。図４（ａ）に示すように、表示色情報は、左側から順に、ＮＧ区間、ＷＡＲＮ区間（ワーニング区間）、ＯＫ区間、ＷＡＲＮ区間（ワーニング区間）、ＮＧ区間の５つの区間を有している。
【００７０】
左側のＮＧ区間（以下「左ＮＧ区間」という）は、後述するようにクリームハンダの量（ハンダ量）が不十分である不良範囲を示す。また、左側のＷＡＲＮ区間（以下「左ＷＡＲＮ区間」という）は、良品範囲ではあるが左ＮＧ区間に近い範囲を示している。一方、右側のＮＧ区間（以下「右ＮＧ区間」という）は、後述するようにクリームハンダの量（ハンダ量）が多すぎる不良範囲を示す。また、右側のＷＡＲＮ区間（以下「右ＷＡＲＮ区間」という）は、良品の範囲ではあるが右ＮＧ区間に近い範囲を示している。残る中央のＯＫ区間は、特段の問題のない良品の範囲を示す。そして、ＯＫ区間及び左右両側のＷＡＲＮ区間が、検査の際に良品として許容される良品許容範囲を示している。
【００７１】
これに対して表示色は、左ＮＧ区間の最も左側の位置に「青」が割り当てられている。また、右ＮＧ区間の最も右側の位置に「赤」が割り当てられている。さらに、左ＷＡＲＮ区間の中央位置に「青緑」が割り当てられており、右ＷＡＲＮ区間の中央位置に「黄」が割り当てられており、ＯＫ区間の中央に「緑」が割り当てられている。そして、左右ＮＧ区間を含む矢印Ａで示す全区間において、表示色が連続的に変化するように配列されている。「緑」（ＯＫ区間の中央位置）から「黄」（右ＷＡＲＮ区間の中央位置）までの表示色を例に挙げて説明すると、中央から右側へ行くほど、「緑」から徐々に「黄」味が強くなっていき、略中央位置Ｂにおいて「黄緑」となり、その後、さらに「黄」を帯びていき「黄」になるという具合である。
【００７２】
ところで、このような表示色情報の良品許容範囲を具体的な数値で決定するのが、上記判定値記憶装置２７に記憶される判定値である。そのため、本実施形態において判定値は、上記良品許容範囲を下限を決定するための下限判定値及び、上限を決定するための上限判定値からなる。
【００７３】
次に、図５のフローチャートに基づき、判定値入力処理を説明する。この判定値入力処理は、入力装置２２を介した所定の操作を行うことにより、ＣＰＵ及び入出力インターフェース２１にて実行される。また、この判定値入力処理は、部品の種類毎に実行可能となっている。なお、判定値は、後述するように比率として算出される評価値（本実施形態では、体積値の評価値）の判定に用いられるため、下限判定値が「６０パーセント」、上限判定値が「１１０パーセント」という具合に、パーセンテージで示される評価値の上限及び下限を示す数値となっている。
【００７４】
図５中の最初のステップ（以下、ステップを単に記号Ｓで示す）１００において、表示色情報を取得する。この処理は、色情報記憶装置２８に記憶されている表示色情報を読み出すものである。続くＳ１１０では、取得した表示色情報を表示する。この処理は、上記表示装置２３に、図６（ａ）に示すようなカラーバーの態様で、表示色情報を表示するものである。このとき、良品許容範囲の境界線Ｋ１，Ｋ２が太実線で表示される。
【００７５】
ここで、入力装置２２を介して、境界線Ｋ１，Ｋ２の左右方向への移動を指示することことが可能となっている。例えば、マウス等のポインティングデバイスを用いて、境界線Ｋ１，Ｋ２のドラッグを指示するという具合である。
【００７６】
次のＳ１２０では、境界線Ｋ１，Ｋ２の移動指示があったか否かを判断する。ここで移動指示があったと判断された場合（Ｓ１２０：ＹＥＳ）、Ｓ１３０へ移行する。一方、移動指示がないと判断された場合（Ｓ１２０：ＮＯ）、Ｓ１３０及びＳ１４０の処理を実行せず、Ｓ１５０へ移行する。
【００７７】
移動指示があった場合に移行するＳ１３０では、表示色情報の変更表示を行う。ここでは、移動指示のあった境界線Ｋ１，Ｋ２を、移動指示に合わせて左側あるいは右側へずらして表示する。なお、表示色の配列間隔も境界線Ｋ１，Ｋ２に合わせて変更表示される。例えば、図６（ａ）において、境界線Ｋ１が左側へ移動されて、左ＮＧ区間が狭くなり、左ＷＡＲＮ区間が広くなった場合、左ＮＧ区間においては表示色の割り当て幅が狭くなるように、左ＷＡＲＮ区間においては表示色の割り当て幅が広くなるように、変更表示される。
【００７８】
続くＳ１４０では、判定値を変更する。例えば、図６（ａ）に示したように境界線Ｋ１に対応する下限判定値が「６０」（％）である場合、この境界線Ｋ１の左側への移動が指示された場合、移動量に合わせて「６０」→「５９」→「５８」→・・・という具合に判定値が変更される。同様に、境界線Ｋ１の右側への移動が指示された場合、移動量に合わせて「６０」→「６１」→「６２」→・・・という具合に判定値が変更される。境界線Ｋ２についても同様である。
【００７９】
Ｓ１４０から移行する、又は、Ｓ１２０にて否定判断された場合に移行するＳ１５０では、判定値を表示する。この処理は、上記境界線Ｋ１，Ｋ２に対応させて判定値を表示するものである。図６（ａ）では、境界線Ｋ１，Ｋ２に対応させて、判定値「６０」，「１１０」が表示されている。
【００８０】
なお、本実施形態において、左ＷＡＲＮ区間とＯＫ区間との境界線Ｋ３（境界線Ｋ３に対応する境界値）は、下限判定値に対応して設定される。本実施形態では、下限判定値に所定値（本実施形態では「１０」）を加えたものを境界線Ｋ３に対応する境界値としている。同様に、右ＷＡＲＮ区間とＯＫ区間との境界線Ｋ４（境界線Ｋ４に対応する境界値）は、上限判定値に対応して設定される。ここでは、上限判定値から所定値（本実施形態では「１０」）を減じたものを境界線Ｋ４に対応する境界値としている。したがって、Ｓ１４０にて、境界線Ｋ３，Ｋ４に対応する境界値を変更し、Ｓ１５０にて、境界線Ｋ３，Ｋ４に対応させて境界値を表示するようにしてもよい。図６（ａ）では、境界線Ｋ３，Ｋ４に対応させて、境界値「７０」，「１００」が表示されている。
【００８１】
また、Ｓ１３０にて、左右ＷＡＲＮ区間とＯＫ区間との境界線Ｋ３，Ｋ４を、移動指示のあった境界線Ｋ１，Ｋ２に合わせ、位置変更して表示するようにしてもよい。
【００８２】
さらに、境界値を設定するための上記所定値（本実施形態では「１０」）を変更入力できる構成としてもよい。また、境界線Ｋ３，Ｋ４についても、境界線Ｋ１，Ｋ２と同様、任意の移動指示を可能とし、境界線Ｋ３，Ｋ４に対応する境界値を任意に設定可能な構成としてもよい。
【００８３】
Ｓ１６０では、判定値が決定されたか否かを判断する。この処理は、入力装置２２を介し所定操作がされたか否かを判断するものである。例えば、マウスなどのポインティングデバイスによって、表示装置２３に表示される「決定」ボタンが選択指示されたか否かを判断するという具合である。ここで判定値が決定されたと判断された場合（Ｓ１６０：ＹＥＳ）、Ｓ１７０にて判定値記憶装置２７に判定値を記憶し、その後、本判定値入力処理を終了する。なお、部品の種類毎に入力された判定値は、検査領域に対応付けられて記憶される。一方、判定値が決定されていないと判断された場合（Ｓ１６０：ＮＯ）、Ｓ１２０からの処理を繰り返す。
【００８４】
なお、表示色情報の表示を行うＣＰＵ及び入出力インターフェース２１が「表示制御手段」を構成し、Ｓ１１０の処理が表示制御手段としての処理に相当する。
【００８５】
本実施形態の基板検査装置８では、上記判定値入力処理にて入力された判定値を用い、各検査領域における検査を行う。
【００８６】
そこで次に、図７のフローチャートに基づき、検査処理を説明する。この処理は、ＣＰＵ及び入出力インターフェース２１にて実行される。
【００８７】
最初のＳ２００において、検査視野を移動する。検査領域がプリント基板１の電極であるパッドＰに対応することは既に述べた（図２参照）。検査にあたっては上記検査領域を網羅するように複数の検査視野が設定され、この検査視野の単位で、撮像及び検査が実行される。したがって、ここでは予め設定される検査視野の移動順序に従って検査視野を移動させる。具体的には、上記モータ１５，１６を介して載置台９上に載置されたプリント基板１をＸ軸方向及びＹ軸方向へスライドさせ、ＣＣＤカメラ１１の視野を移動させる。
【００８８】
続くＳ２１０では、検査領域を計測する。具体的には、照明装置１０を介して斜め上方から所定の光成分パターンを照射し、ＣＣＤカメラ１１にて検査視野を撮像する。次に、ＣＣＤカメラ１１による撮像データを、上記画像データ記憶装置２４に記憶する。そして、この撮像データに基づき、三次元計測を行う。ここで、三次元計測のために、本実施形態では、位相シフト法を採用している。これによって、印刷形成されたクリームハンダの体積値が測定値として測定される。
【００８９】
次のＳ２２０では、理想値を取得する。既に述べたように、検査領域情報記憶装置２６には、検査領域毎に、クリームハンダの理想の体積値が、理想値として記憶されている。したがって、この処理は、この理想値を読み出すものである。
【００９０】
続くＳ２３０では、評価値に換算する。この処理は、Ｓ２１０にて測定された測定値を、Ｓ２２０にて取得された理想値で除して、比率としての評価値に換算するものである。これにより、理想値に対するパーセンテージとして測定値が表現されることになる。
【００９１】
次のＳ２４０では、上記検査結果記憶装置２５に評価値を記憶する。評価値は、後述する検査領域の表示処理に用いられる。そのため、ここでは、各検査領域に対応付けて評価値を記憶しておく。
【００９２】
続くＳ２５０では、判定値を取得する。この処理は、上記判定値記憶装置２７から、検査領域に対応させて記憶された判定値を読み出すものである。ここでは、計測対象となっている検査領域に対応する判定値を読み出す。この判定値は、上述したように、良品許容範囲を具体的数値として決定する上限判定値及び下限判定値からなっている。
【００９３】
次のＳ２６０では、検査を実行する。具体的には、Ｓ２５０にて読み出された判定値で決定される良品許容範囲に、Ｓ２３０にて算出された評価値が入っているか否かを判断する。この検査によって良品判定された（評価値が良品許容範囲にある）プリント基板１は、その下流側の部品実装装置へ案内され、不良品判定された（評価値が良品許容範囲にない）プリント基板１は不良品貯留部へと案内されるようになっている（不図示）。
【００９４】
続くＳ２７０では、Ｓ２６０にて実行された検査の結果を、検査結果記憶装置２５へ記憶する。
【００９５】
そして次のＳ２８０では、すべての検査領域を処理したか否かを判断する。検査視野の中には複数の検査領域が含まれるため、これらの検査領域をすべて処理したか否かを判断する。ここですべての検査領域を処理したと判断された場合（Ｓ２８０：ＹＥＳ）、Ｓ２９０へ移行する。一方、処理していない検査領域があると判断された場合（Ｓ２８０：ＮＯ）、Ｓ２１０からの処理を繰り返す。
【００９６】
Ｓ２９０では、すべての検査視野を検査したか否かを判断する。ここですべての検査視野を検査したと判断された場合（Ｓ２９０：ＹＥＳ）、本検査処理を終了する。一方、検査していない検査視野があると判断された場合（Ｓ２９０：ＮＯ）、Ｓ２００からの処理を繰り返す。
【００９７】
なお、この検査処理を実行するＣＰＵ及び入出力インターフェース２１が「測定手段」及び「換算手段」を構成し、上記Ｓ２１０の処理が測定手段としての処理に相当し、上記Ｓ２３０の処理が換算手段としての処理に相当する。
【００９８】
上記検査処理によって、検査領域毎に、クリームハンダの体積値を評価するための評価値が得られることになる。本実施形態では、この評価値に基づく表示色を用いて検査領域を表示することにより、プリント基板１の各部におけるクリームハンダの量（ハンダ量）を容易に把握可能とする。
【００９９】
そこで次に、図８のフローチャートに基づき、表示処理を説明する。この処理は、検査終了後、あるいは、検査途中で、上記入力装置２２を介した操作を行うことによって、ＣＰＵ及び入出力インターフェース２１にて実行される。例えば、表示装置２３に表示される「計測」ボタンなどをマウスなどのポインティングデバイスで選択し、さらに「体積分布」などの項目を選択することによって実行される。
【０１００】
最初のＳ３００において、表示色情報を取得する。この処理は、図５中のＳ１００と同様、色情報記憶装置２８に記憶されている表示色情報を読み出すものである。
【０１０１】
続くＳ３１０では、評価値を取得する。この処理は、検査結果記憶装置２５から、検査領域毎に記憶された評価値を読み出すものである。評価値は、上述したように、測定値（体積値）の理想値（理想の体積値）に対する比率である。
【０１０２】
次のＳ３２０では、判定値を取得する。この処理は、判定値記憶装置２７から、検査領域に対応付けて記憶された判定値を読み出すものである。ここでは、対象となっている検査領域に対応付けられた判定値が読み出される。
【０１０３】
続くＳ３３０では、評価値に対応する表示色を決定する。この処理は、Ｓ３２０にて取得された判定値を、Ｓ３００にて取得された表示色情報に対応付けることによって行われる。すなわち、判定値が表示色情報の良品許容範囲を具体的数値として決定することにより、評価値に対応する表示色が決定される。
【０１０４】
次のＳ３４０では、検査領域を表示する。この処理は、プリント基板１の検査面の画像を表示し、当該画像中の該当位置に、Ｓ３３０にて決定された表示色を用いて、検査領域を表示するものである。検査面における検査領域の位置情報や大きさ情報は、上述したように、検査領域情報記憶装置２６に記憶されている。したがって、ここでは検査領域情報記憶装置２６に記憶された検査領域の情報に基づき、検査領域を描画する。
【０１０５】
続くＳ３５０では、すべての検査領域を処理したか否かを判断する。ここですべての検査領域を処理したと判断された場合（Ｓ３５０：ＹＥＳ）、本表示処理を終了する。一方、処理していない検査領域があると判断された場合（Ｓ３５０：ＮＯ）、Ｓ３２０からの処理を繰り返す。
【０１０６】
なお、この表示処理を実行するＣＰＵ及び入出力インターフェース２１が「表示色決定手段」を構成する。また、上述したようにＣＰＵ及び入出力インターフェース２１は「表示制御手段」も構成する。そして、上記Ｓ３３０の処理が表示色決定手段としての処理に相当し、上記Ｓ３４０の処理が表示制御手段としての処理に相当する。
【０１０７】
次に、上記表示処理が実行された場合の表示画面について、具体的に例を挙げて説明する。図９は、表示処理の実行による表示画面を例示する説明図である。なお、図２がプリント基板１の検査面自体を示すのに対し、この図９は、表示装置２３に表示される検査面の画像を示すものである。
【０１０８】
図９に示すように、プリント基板１の検査面の画像が表示され、検査面の画像中の該当位置に、検査領域としてのパッドＰが、評価値に対応する表示色で表示される。例えば、記号Ｃ，Ｄ，Ｅで示した検査領域（パッドＰ）が「青」に近い表示色で表示され、記号Ｆ，Ｇで示した検査領域（パッドＰ）が「青緑」に近い表示色で表示され、残りの検査領域（パッドＰ）が「緑」に近い表示色で表示されるという具合である。その場合、記号Ｃ，Ｄ，Ｅで示した検査領域の評価値は左ＮＧ区間にあることが分かり、記号Ｆ，Ｇで示した検査領域の評価値は左ＷＡＲＮ区間にあることが分かり、残りの検査領域の評価値はＯＫ区間にあることが分かる。
【０１０９】
図４（ａ）に示すように、評価値が良品許容範囲の中央にある場合には（下限判定値と上限判定値との中間値である場合には）、表示色は「緑」となり、中央から外れるに従って連続的に変化する。具体的には、評価値が中間値よりも小さくなっていくと「緑」→「青緑」→「青」というように変化し、評価値が中間値よりも大きくなっていくと「緑」→「黄」→「赤」というように変化する。したがって、表示色が「青緑」であっても「緑」に近い「青緑」であれば、ＯＫ区間側に近いことが分かり、同様に、表示色が「青緑」であっても「青」に近い「青緑」であれば、ＮＧ区間側に近いことが分かる。
【０１１０】
以上詳述したように、本実施形態によれば、検査領域が三次元計測されて当該検査領域におけるクリームハンダの体積値（測定値）が測定される（図７中のＳ２１０）。一方で、検査領域毎のクリームハンダの理想の体積値（理想値）が検査領域情報記憶手段２６に予め記憶されており、この理想値が読み出されて（Ｓ２２０）、測定値が、理想値に対する比率としての評価値に換算される（Ｓ２３０）。また、不良範囲及び良品許容範囲に複数の表示色が割り当てられた表示色情報が色情報記憶手段２８から読み出され（図８中のＳ３００）、良品許容範囲を具体的に決定する判定値が表示色情報に対応付けられることによって、評価値に対応する表示色が決定される（Ｓ３３０）。この表示色を用いて検査面の検査領域が表示される（Ｓ３４０）。
【０１１１】
メタルマスクにてクリームハンダが印刷形成される場合、メタルマスクにクリームハンダの一部が付着して、印刷形成されたクリームハンダの量（ハンダ量）が不十分になることがある。この場合、クリームハンダの高さ値は正常値となることがあり、従来のような高さ情報を段階的に表示する検査装置では、ハンダ量の情報を適切に把握することができなかった。この点、本実施形態によれば、体積値に基づいて判断するため、高さ情報に基づいて判断する場合と異なり、ハンダ量を適切に把握可能となる。
【０１１２】
また、図２に示したように電極としてパッドＰの大きさが一律でないため、適切なハンダ量は、パッドＰに大きさによって変わってくる。つまり、基板各部において判定基準が異なってくるのである。この点、本実施形態によれば、測定値が、対応する理想値を用いて、各検査領域毎に、比率としての評価値に換算される。そして、評価値に対応する表示色を用いて検査領域が表示される。したがって、基板各部におけるハンダ量の情報を対比的に表示することができる。
【０１１３】
さらに、段取り替えの場合など、クリームハンダの印刷装置が適切な設定で稼動されているか否かを判断する場合、適切とされる範囲におけるハンダ量のバラツキの情報まで必要となってくる。この点、本実施形態によれば、不良範囲及び良品許容範囲に複数の表示色が割り当てられた表示色情報（図４（ａ）参照）に基づいて評価値に対応する表示色が決定されるため、ハンダ量が良品許容範囲に入っていることが分かるだけでなく、当該範囲の中心に近いところにあるのか境界に近いところにあるのかという情報を表示することができる。特に本実施形態では、図４（ａ）に示したように表示色情報は、連続的に変化する表示色からなっている。したがって、評価値のより細かなバラツキも表示色の僅かな変化として表示されるため、評価値のより細かなバラツキまでを把握できる。
【０１１４】
また、本実施形態では、検査領域に応じた良品判定を行うための判定値と表示色情報とを対応付けることで、評価値に対応する表示色が決定される。つまり、検査領域毎に別の判定基準を設けることが可能となっている。したがって、メタルマスクの開口面積が比較的小さくなることによってハンダの抜け具合が悪くなり、評価値が常に小さくなってしまう検査領域についても、当該評価値を正常なものとして検査領域の表示を行うことができる。
【０１１５】
しかも、この判定値は、入力装置２２を介して、部品の種類毎に設定可能となっている。これによって、柔軟な判定値の設定が可能になると共に、部品種類毎に入力すればよいため（例えば図２に示した各グループＪ１〜Ｊ５毎に入力すればよいため）、入力すべき判定値の数が少なくなり、判定値の入力作業が容易になる。なお、上述のごとく部品毎に、あるいは、部品サイズ毎に、判定値を設定可能としても、同様の効果が奏される。また、判定値入力処理（図５参照）では、表示色情報が表示され（図５中のＳ１１０，図６（ａ）参照）、表示された表示色情報の境界線Ｋ１，Ｋ２を移動させることで判定値が入力される（Ｓ１２０〜Ｓ１６０）。その結果、表示色情報との対応付けを確認しながら判定値を入力することができ、入力間違いが少なくなるなど判定値の入力作業が容易になる。
【０１１６】
さらにまた、本実施形態では、メタルマスクの開口面積値と厚さ値とを乗じて得られる検査領域毎の理想値（理想の体積値）が、検査領域情報記憶装置２６に予め記憶されている。また、判定値入力処理にて入力された判定値は、判定値記憶装置２７に記憶される（図５中のＳ１７０）。さらにまた、表示色の配列を示す表示色情報が、色情報記憶装置２８に予め記憶されている。したがって、理想値、判定値、及び、表示色情報を都度算出する構成と比較して、検査や表示に要する時間が短縮される。
【０１１７】
以上、一実施の形態について説明したが、本発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々なる形態で実施できる。
【０１１８】
（ａ）上記実施形態において、表示色情報は、不良範囲及び良品許容範囲に渡って表示色が連続的に変化するものとなっていた（図４（ａ）参照）。
【０１１９】
しかし、不良範囲における評価値のバラツキは必ずしも表示する必要がないため、図４（ｂ）に示すように、左右のＮＧ区間に対応する表示色がそれぞれ「青」、「赤」に設定されており、良品許容範囲（左右ＷＡＲＮ区間及びＯＫ区間）についてのみ、すなわち矢印Ａ’で示した範囲についてのみ表示色が連続的に変化するような表示色情報を用いて、評価値に対応する表示色を決定するようにしてもよい。
【０１２０】
また、良品許容範囲にある評価値が、左ＷＡＲＮ区間、ＯＫ区間、右ＷＡＲＮ区間のいずれの区間に入っているか否かが分かればよいのであれば、図４（ｃ）に示すように、左ＷＡＲＮ区間に「青緑」、ＯＫ区間に「緑」、右ＷＡＲＮ区間に「黄」の表示色が割り当てられた表示色情報を用いて、評価値に対応する表示色を決定するようにしてもよい。
【０１２１】
（ｂ）上記実施形態では色彩の異なる複数の表示色が配列されてなる表示色情報を採用していたが、同一色で濃淡の異なる複数の表示色が配列されてなる表示色情報を採用してもよい。
【０１２２】
（ｃ）上記実施形態では、判定値入力処理（図５参照）において、図６（ａ）に示したような表示色情報の表示を行い、良品許容範囲を示す境界線Ｋ１，Ｋ２を左右方向へ移動させることによって判定値を入力する構成であった。
【０１２３】
これに対して、図６（ｂ）に示すように、良品許容範囲を示す境界線Ｋ５，Ｋ６に対応する入力欄Ｎ１，Ｎ２を画面上に表示し、この入力欄Ｎ１，Ｎ２に、キーボードなどの入力装置２２を介して、数値を入力することで判定値を入力する構成としてもよい。
【０１２４】
この場合、境界線Ｋ７，Ｋ８に対応する境界値は、上記実施形態と同様に、判定値に基づいて設定される構成としてもよいし、境界線Ｋ７，Ｋ８に対応する入力欄を設けて個別に入力可能な構成としてもよい。
【０１２５】
（ｄ）上記実施形態では、検査領域の三次元計測を行い、印刷形成されるクリームハンダの体積値を求めていた（図７中のＳ２１０）。これに対し、検査領域の二次元計測を行う基板検査装置においては、印刷形成されるクリームハンダの面積値を用いて、ハンダ量の情報を表示するようにしてもよい。ハンダ量は、印刷形成されたクリームハンダの面積値にある程度比例するからである。
【０１２６】
（ｅ）上記実施形態ではクリームハンダの体積値に対応させ検査領域毎の理想の体積値を理想値としていたが、例えば、理想の体積値に比例する値を理想値としてもよいし、あるいは、検査領域毎に個別に設定される値を理想値としてもよい。
【０１２７】
（ｆ）上記実施形態では検査処理（図７参照）において測定値を評価値に換算しているが（Ｓ２３０）、評価値への換算を行うことなく、例えば各検査領域に対応させて、測定値（体積値）と表示色との対応関係を示す数表（テーブルなど）を用意しておき、このような数表を参照して、測定値から直接的に（理想値に対する比率に対応する）表示色を決定するようにしてもよい。この場合、評価値を記憶することなく（図７中のＳ２４０参照）、表示処理（図８参照）のＳ３３０にて直接的に表示色を決定するという具合である。このようにすれば、評価値を読み出す必要がなく（図８中のＳ３１０参照）、測定値から直接的に表示色を決定できるという点で有利である。
【０１２８】
（ｇ）上記実施形態ではプリント基板１に印刷形成されたクリームハンダの形成量の情報を表示する場合に具体化したが、バンプ、銀ペースト、導電性接着剤の形成量の情報を表示する場合にも同様に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１２９】
【図１】実施形態における基板検査装置を模式的に示す概略斜視図である。
【図２】プリント基板の検査面を例示する説明図である。
【図３】基板検査装置の電気的構成を示すブロック図である。
【図４】表示色情報を模式的に示す説明図である。
【図５】判定値入力処理を示すフローチャートである。
【図６】判定値入力処理における入力方法を示す説明図である。
【図７】検査処理を示すフローチャートである。
【図８】表示処理を示すフローチャートである。
【図９】表示処理の実行による表示画面を例示する説明図である。
【符号の説明】
【０１３０】
１…プリント基板、８…基板検査装置、９…載置台、１０…照明装置、１１…ＣＣＤカメラ、１２…制御装置、１５，１６…モータ、２１…「測定手段」、「換算手段」、「表示色決定手段」及び「表示制御手段」としてのＣＰＵ及び入出力インターフェース、２２…「入力手段」としての入力装置、２３…「表示手段」としての表示装置、２４…画像データ記憶装置、２５…検査結果記憶装置、２６…「検査領域情報記憶手段」としての検査領域情報記憶装置、２７…「判定値記憶手段」としての判定値記憶装置、２８…「色情報記憶手段」としての色情報記憶装置、Ｐ…パッド（検査領域）。
【図１】
0004553817.tif 000002
【図２】
0004553817.tif 000003
【図３】
0004553817.tif 000004
【図４】
0004553817.tif 000005
【図５】
0004553817.tif 000006
【図６】
0004553817.tif 000007
【図７】
0004553817.tif 000008
【図８】
0004553817.tif 000009
【図９】
0004553817.tif 000010