(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して、カラー画像を表示する表示パネルを製造する方法であり、
第１パネル素子に設けられた位置合わせマークを用いて、第１パネル素子を第１ステージに位置合わせして保持させる工程と、
第２パネル素子に設けられた位置合わせマークを用いて、第２パネル素子を第２ステージに位置合わせして保持させる工程と、
第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設ける工程と、
第１パネル素子を保持した第１ステージ及び第２パネル素子を保持した第２ステージのうち少なくとも一方を動かして両パネル素子を対向させるとともに該両パネル素子の所定端部同士を重ね合わせ、該重ね合わせ状態に保持する工程と、
両パネル素子を前記重ね合わせ状態に保持された端部から前記接着剤にて順次全面的に貼り合わせていく貼り合わせ工程と
を含むことを特徴とする表示パネルの製造方法。
【請求項２】
前記貼り合わせ工程における両パネル素子の貼り合わせは第１ステージに両パネル素子を押圧する押圧部材を用い、該押圧部材による両パネル素子押圧状態を維持しつつ第１ステージを該押圧部材に対し相対的に移動させることで行う請求項１記載の表示パネルの製造方法。
【請求項３】
互いに異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して、カラー画像を表示する表示パネルを製造する方法であり、
第１パネル素子に設けられた位置合わせマークを用いて、第１パネル素子を第１ステージに位置合わせして保持させる工程と、
第２パネル素子に設けられた位置合わせマークを用いて、第２パネル素子を第２ステージに位置合わせして保持させる工程と、
第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設ける工程と、
第１パネル素子を保持した第１ステージ及び第２パネル素子を保持した第２ステージのうち少なくとも一方を動かして両パネル素子を対向させるとともに該両パネル素子の所定端部同士を重ね合わせ、該重ね合わせ端部を押圧部材にて第１ステージへ押圧して該重ね合わせ状態に保持する工程と、
該押圧部材にて両パネル素子端部が押圧された第１ステージを該押圧部材によるパネル素子押圧状態を維持しつつ該押圧部材及び第２ステージに対し相対的に移動させ、第２パネル素子を第２ステージから引出しつつ第１ステージ上で両パネル素子を前記接着剤にて順次全面的に貼り合わせていく貼り合わせ工程と
を含むことを特徴とする表示パネルの製造方法。
【請求項４】
前記押圧部材は凸曲面からなるパネル素子押圧面を有しており、前記貼り合わせ工程では該パネル素子押圧面をパネル素子に対し相対的に転動させる請求項２又は３記載の表示パネルの製造方法。
【請求項５】
前記第２ステージに第２パネル素子を位置合わせして保持させる工程では、前記両パネル素子の所定端部同士を重ね合わせて該重ね合わせ状態に保持するときの第２パネル素子端部を第２ステージからはみ出させた状態で該第２ステージに保持させる請求項１から４のいずれかに記載の表示パネルの製造方法。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の表示パネルの製造方法において、積層すべきパネル素子が３以上あるとき、第３番目以後の各パネル素子について、前記貼り合わせ工程により得られる貼り合わされたパネル素子を前記第１パネル素子とみなすとともに次に貼り合わすべき１枚のパネル素子を前記第２パネル素子とみなして前記各工程を繰り返すことで既に貼り合わされたパネル素子に１枚ずつ次のパネル素子を貼り合わせていく表示パネルの製造方法。
【請求項７】
互いに異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して、カラー画像を表示する表示パネルを製造する方法であり、
第１ステージに第１パネル素子を保持させる工程と、
第１ステージに保持された第１パネル素子上に第２パネル素子を重ね配置する工程と、  第１パネル素子に設けられた位置合わせマークと第２パネル素子に設けられた位置合わせマークとを位置合わせすることにより、第１パネル素子に対し第２パネル素子を位置合わせする工程と、
第１ステージ上の第１パネル素子に位置合わせされて重ね配置された第２パネル素子を第２ステージの所定曲率の凸曲面からなるパネル素子保持面に保持させる工程と、
第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設ける工程と、
第２パネル素子を保持した第２ステージのパネル素子保持面を第１及び第２のパネル素子介在状態で第１ステージに対し相対的に圧接転動させることで該第２パネル素子をその一端から他端へ前記接着剤にて順次全面的に第１パネル素子に貼り合わせていく貼り合わせ工程と
を含むことを特徴とする表示パネルの製造方法。
【請求項８】
請求項７記載の表示パネルの製造方法において、積層すべきパネル素子が３以上あるとき、第３番目以後の各パネル素子について、前記貼り合わせ工程により得られる貼り合わされたパネル素子を前記第１パネル素子とみなすとともに次に貼り合わすべき１枚のパネル素子を前記第２パネル素子とみなして前記各工程を繰り返すことで既に貼り合わされたパネル素子に１枚ずつ次のパネル素子を貼り合わせていく表示パネルの製造方法。
【請求項９】
互いに異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して、カラー画像を表示する表示パネルを製造する方法であり、
ステージに第１パネル素子を保持させる工程と、
該ステージに保持された第１パネル素子上に第２パネル素子を重ね配置する工程と、
第１パネル素子に設けられた位置合わせマークと第２パネル素子に設けられた位置合わせマークとを位置合わせすることにより、第１パネル素子に対し第２パネル素子を位置合わせする工程と、
重ねられ、位置合わせされた第１及び第２のパネル素子の一端部を重ね合わせ状態に保持する工程と、
第１及び第２のパネル素子間に前記重ね合わせ状態に保持された端部を残して隙間を形成する工程と、
第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設ける工程と、
第１及び第２のパネル素子を該接着剤にて前記保持された端部側から順次全面的に貼り合わせていく貼り合わせ工程と
を含むことを特徴とする表示パネルの製造方法。
【請求項１０】
互いに異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して、カラー画像を表示する表示パネルを製造する方法であり、
ステージに第１パネル素子を保持させる工程と、
該ステージに保持された第１パネル素子上に第２パネル素子を重ね配置する工程と、
第１パネル素子に設けられた位置合わせマークと第２パネル素子に設けられた位置合わせマークとを位置合わせすることにより、第１パネル素子に対し第２パネル素子を位置合わせする工程と、
重ねられ、位置合わせされた第１及び第２のパネル素子の一端部を前記ステージに重ね合わせ状態に保持する工程と、
第１及び第２パネル素子間に前記重ね合わせ状態に保持された端部を残して隙間を形成する工程と、
第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設ける工程と、
第１及び第２のパネル素子を該接着剤にて前記保持された端部側から、前記ステージに対し相対的に移動する押圧部材により順次全面的に貼り合わせていく貼り合わせ工程と
を含むことを特徴とする表示パネルの製造方法。
【請求項１１】
前記押圧部材は凸曲面からなるパネル素子押圧面を有しており、前記貼り合わせ工程では該パネル素子押圧面をパネル素子に対し相対的に転動させる請求項１０記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１２】
請求項９、１０又は１１記載の表示パネルの製造方法において、積層すべきパネル素子が３以上あるとき、第３番目以後の各パネル素子について、前記貼り合わせ工程により得られる貼り合わされたパネル素子を前記第１パネル素子とみなすとともに次に貼り合わすべき１枚のパネル素子を前記第２パネル素子とみなして前記各工程を繰り返すことで既に貼り合わされたパネル素子に１枚ずつ次のパネル素子を貼り合わせていく表示パネルの製造方法。
【請求項１３】
互いに異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して、カラー画像を表示する表示パネルを製造する方法であり、
ステージに第１パネル素子を保持させる工程と、
ステージに保持された第１パネル素子上に第２パネル素子を重ね配置するパネル素子重ね配置工程と、
第１パネル素子に対し第２パネル素子を位置合わせする位置合わせ工程と、
重ねられ、位置合わせされた第１及び第２のパネル素子の相互位置関係を保持すべくそれらパネル素子をステージに仮固定する仮固定工程と、
仮固定された第１及び第２のパネル素子にそれらパネル素子の相互位置関係を決める位置決め穴を設ける穴あけ工程と、
第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設け、前記位置決め穴を用いて第１及び第２のパネル素子を相互位置決めしつつ両パネル素子を前記接着剤により相互に貼り合わせる貼り合わせ工程と
を含むことを特徴とする表示パネルの製造方法。
【請求項１４】
請求項１３記載の表示パネルの製造方法において、積層すべきパネル素子が３以上あるとき、第３番目以後の各パネル素子について、前記仮固定工程により前記ステージに重ねられ、位置合わせされた状態で仮固定されたパネル素子を前記第１パネル素子とみなすとともに次の１枚のパネル素子を前記第２パネル素子とみなして前記パネル素子重ね配置工程、位置合わせ工程及び仮固定工程を繰り返すことで先に重ねられ、位置合わせされたパネル素子に１枚ずつ次のパネル素子を重ね合わせるとともに位置合わせして前記ステージに仮固定し、すべてのパネル素子について仮固定が終了したのちに、前記穴あけ工程及び各隣り合うパネル素子同士の前記貼り合わせ工程を実施することを特徴とする表示パネルの製造方法。
【請求項１５】
少なくとも前記貼り合わせ工程を所定減圧雰囲気中において実施する請求項１から１４のいずれかに記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１６】
第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設ける工程では、該工程に先立って第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に予め貼着され、未だ表面が保護シートで覆われている両面接着シートの該保護シートを剥がすことで接着剤を設ける請求項１から１５のいずれかに記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１７】
互いに異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して、カラー画像を表示する表示パネルを製造する装置であり、
第１パネル素子を保持するためのステージと、
該ステージに保持される第１パネル素子上に第２パネル素子を該第１パネル素子に対して位置合わせして重ねあわせ配置する位置合わせ装置と、
重ねられ、位置合わせされた第１及び第２のパネル素子の相互位置関係を保持すべくそれらパネル素子をステージに仮固定する仮固定装置と、
前記ステージ上に仮固定される第１及び第２のパネル素子にそれらパネル素子の相互位置関係を決める位置決め穴を設ける穴あけ装置と
を備えていることを特徴とする表示パネルの製造装置。
【請求項１８】
前記位置決め穴を用いて第１及び第２のパネル素子を相互位置決めしつつ両パネル素子を接着剤により相互に貼り合わせる貼り合わせ装置を備えている請求項１７記載の表示パネルの製造装置。
【請求項１９】
第１及び第２のパネル素子の貼り合わせにおいて該両パネル素子の周囲雰囲気を所定減圧雰囲気とするための減圧室を備えている請求項１８に記載の表示パネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は画像を表示する表示パネルの製造方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
画像表示パネルには、液晶表示パネル、エレクトロルミネッセンス表示パネル、これらを組み合わせた表示パネル等種々のものがある。
【０００３】
かかる画像表示パネルには一層のパネル素子からなるものもあるが、複数層のパネル素子を積層したものもある。
【０００４】
例えば、カラー画像を表示する表示パネルでは、異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して形成されるものがある。
【０００５】
フルカラー画像表示を行う液晶表示パネルでは、例えば青色（ブルー）表示を行うパネル素子、緑色（グリーン）表示を行うパネル素子及び赤色（レッド）表示を行うパネル素子を積層してフルカラー画像表示が可能な表示パネルを形成することがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
いずれにしても、このように複数のパネル素子を積層して画像表示パネルを形成する場合、所望の画像表示を行えるように各隣り合うパネル素子を相互に貼り合わせることが要求される。すなわち、所望の画像表示を行えるように、例えば各隣り合うパネル素子を相互に位置合わせして貼り合わせること、密着させて貼り合わせること、皺等が生じないように貼り合わせること等のうち少なくとも一つが要求される。
【０００７】
本発明は画像を表示する表示パネルを形成するためのパネル素子を積層して表示パネルを製造する方法及び装置であって、隣り合うパネル素子を要求される状態に貼り合わせることができ、それだけ良好な画像表示を行える表示パネルが得られる表示パネルの製造方法及び装置を提供することを課題とする。
【０００８】
より詳しく言えば、本発明は画像を表示する表示パネルを形成するためのパネル素子を積層して表示パネルを製造する方法及び装置であって、隣り合うパネル素子が精度よく位置合わせされた状態で貼り合わされ、それだけ良好な画像表示を行える表示パネルが得られる表示パネルの製造方法及び装置を提供することを課題とする。
【０００９】
また本発明は画像を表示する表示パネルを形成するためのパネル素子を積層して表示パネルを製造する方法及び装置であって、隣り合うパネル素子をそれらパネル素子間から脱気して両者を密着させ、皺等のない状態で貼り合わせることができ、それだけ良好な画像表示を行える表示パネルが得られる表示パネルの製造方法及び装置を提供することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため本発明は次の表示パネルの製造方法及び装置を提供する。
（１）第１タイプの表示パネルの製造方法及び装置
（１−１）表示パネルの製造方法
互いに異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して、カラー画像を表示する表示パネルを製造する方法であり、
第１ステージに第１パネル素子を位置合わせして保持させる工程と、
第２ステージに第２パネル素子を位置合わせして保持させる工程と、
第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設ける工程と、
第１パネル素子を保持した第１ステージ及び第２パネル素子を保持した第２ステージのうち少なくとも一方を動かして両パネル素子を対向させるとともに該両パネル素子の所定端部同士を重ね合わせ、該重ね合わせ状態に保持する工程と、
両パネル素子を前記重ね合わせ状態に保持された端部から前記接着剤にて順次全面的に貼り合わせていく貼り合わせ工程と
を含む表示パネルの製造方法。
【００１１】
この表示パネル製造方法における両パネル素子の貼り合わせ工程では、例えば、第１ステージに両パネル素子を押圧する押圧部材を用い、該押圧部材による両パネル素子押圧状態を維持しつつ第１ステージを該押圧部材に対し相対的に移動させることで行ってもよい。
【００１２】
この場合、該押圧部材は、例えば重ね合わされた両パネル素子の端部を第１ステージに押圧保持する手段を兼ねてもよい。勿論、保持工程実施のための端部保持手段は該押圧部材とは別に設けてもよい。
【００１３】
いずれにしても、かかる押圧部材は凸曲面からなるパネル素子押圧面を有するものとし、前記貼り合わせ工程では該パネル素子押圧面をパネル素子に対し相対的に転動させてもよい。これにより円滑に貼り合わせ工程を実施できる。
【００１４】
凸曲面からなるパネル素子押圧面を有する押圧部材の代表例は断面円形の押圧ローラであるが、側面から見ると扇形を呈するパネル素子押圧面を有する押圧部材等も利用できる。断面円形の押圧ローラを用いる場合、該押圧ローラによる押圧によってパネル素子に皺が発生しないように、両端部径よりも中央部径が小さい所謂逆クラウン型押圧ローラを用いてもよい。
【００１５】
押圧部材を用いる表示パネルの製造方法として次の方法を例示できる。すなわち、
第１パネル素子を保持した第１ステージ及び第２パネル素子を保持した第２ステージのうち少なくとも一方を動かして両パネル素子を対向させるとともに該両パネル素子の所定端部同士を重ね合わせ、該重ね合わせ状態に保持する保持工程において、該両パネル素子の重ね合わせ端部の保持を押圧部材にて第１ステージへ押圧して該重ね合わせ状態に保持するようにし、
両パネル素子を該重ね合わせ状態に保持された端部から前記接着剤にて順次全面的に貼り合わせていく貼り合わせ工程においては、該押圧部材にて両パネル素子端部が押圧された第１ステージを、該押圧部材によるパネル素子押圧状態を維持しつつ該押圧部材及び第２ステージに対し相対的に移動させ、第２パネル素子を第２ステージから引出しつつ第１ステージ上で両パネル素子を前記接着剤にて順次全面的に貼り合わせていく表示パネルの製造方法である。
【００１６】
この方法において押圧部材として凸曲面からなるパネル素子押圧面を有するものを採用するときは、貼り合わせ工程では該パネル素子押圧面をパネル素子に対し相対的に転動させることができる。これにより円滑に両パネル素子を貼り合わせることができる。
【００１７】
いずれにしても、第２ステージに第２パネル素子を保持させる工程では、それよりあとの工程である第１及び第２のパネル素子の重ね合わされた所定端部を該重ね合わせ状態に保持する工程を実施し易いように、両パネル素子の所定端部同士を重ね合わせて該重ね合わせ状態に保持するときの第２パネル素子端部を第２ステージからはみ出させた状態で該第２ステージに保持させてもよい。
【００１８】
前記のいずれの表示パネル製造方法においても、第１及び第２のステージによる第１及び第２のパネル素子の保持は、それには限定されないが、代表例として、ステージに設けた吸気孔を介してパネル素子を吸引保持する場合を挙げることができる。
【００１９】
また、前記のいずれの製造方法においても、第１及び第２のパネル素子の相互位置合わせは各種手法で行える。例えばそれ自体すでに知られている基板やパネルの位置合わせ手法を用いて行える。
【００２０】
位置合わせの方法として次の方法を例示できる。
【００２１】
先ず、第１、第２のパネル素子が精度よく位置合わせされた状態で後ほどの両パネル素子重ね合わせ端部の保持工程及び貼り合わせ工程が実施されるように位置決めされた合わせマークを第１、第２のそれぞれのステージに予め設けておくとともに、第１パネル素子に第１ステージの合わせマークに合致させるべき合わせマークを、第２パネル素子に第２ステージの合わせマークに合致させるべき合わせマークを予め設けておく。そして、
（ａ１）各ステージ上に対応するパネル素子を配置し、該ステージとパネル素子の合わせマークを目視観察又はカメラ観察しながら該パネル素子を手作業で動かして位置合わせする。或いは、
（ｂ１）各ステージ上又はその上方に対応するパネル素子を配置し、該ステージとパネル素子の合わせマークをカメラ観察しながらパネル素子をＸ−Ｙ−θ駆動装置で動かして位置合わせする。ステージ上方にパネル素子を配置して位置合わせするときは、位置合わせ後に該パネル素子をステージに載置すればよい。
【００２２】
或いは次の方法も例示できる。すなわち、ステージにＸ−Ｙ−θ駆動が可能であるパネル素子保持部を設けておき、該保持部に予め位置合わせマークを設けたパネル素子を保持させ、該パネル素子の合わせマークをカメラで観察しながら該保持部をＸ−Ｙ−θ駆動装置で動かすことでパネル素子の位置合わせを行う。この場合、パネル素子の位置合わせは、第１、第２のパネル素子が精度よく位置合わせされた状態で後ほどの両パネル素子重ね合わせ端部の保持工程及び貼り合わせ工程が実施されるように行う。
【００２３】
いずれにしても、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置による位置合わせは、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置を手動操作して行ってもよいが、カメラで検出されるマーク情報（例えばその位置情報等）に基づいてパネル素子を位置合わせするようにＸ−Ｙ−θ駆動装置動作を制御することで行ってもよい。後者の場合には基板、パネル等の位置合わせのための画像処理法を利用できる。
【００２４】
なおＸ−Ｙ−θ駆動装置は、言うまでもなく、物体を方向Ｘ、これに垂直な方向Ｙに動かすとともにＸ−Ｙ平面に垂直な軸の周りに回動させることができる装置である。
【００２５】
前記位置合わせマークは液晶マーク、エレクトロルミネッセンスマーク等として通電により発光するものとしてもよい。
いずれにしても、第１ステージに第１パネル素子を位置合わせして保持させる工程では、第１パネル素子に設けられた位置合わせマークを用いて、第１パネル素子を第１ステージに位置合わせして保持させ、第２ステージに第２パネル素子を位置合わせして保持させる工程では、第２パネル素子に設けられた位置合わせマークを用いて、第２パネル素子を第２ステージに位置合わせして保持させる。
【００２６】
また第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設ける工程としては、予めパネル素子面に接着され、且つ、未だ表面が保護シートで覆われた両面接着シート（そのシートはテープ状でもよい）から該保護シートを除去して接着面を露出させる工程や、パネル素子面に接着剤を手作業で或いは接着剤塗布装置により塗布する工程を例示できる。接着剤の設け方は支障がない限り任意である。塗布により設ける場合は、両パネル素子のうち少なくとも一方に全面的に塗布してもよいが、少なくとも一方のパネル素子の貼り合わせ開始端部や他の適当な部分に配置してこれを貼り合わせの進行とともに両パネル素子間に押し広げていくようにしてもよい。
【００２７】
接着剤を設ける工程は両パネル素子の所定端部同士を重ね合わせる前に実施する。かかる端部重ね合わせ前であれば支障のない限り、いずれの段階で実施してもよい。
【００２８】
なお、積層すべきパネル素子が３以上あるときは、第３番目以後の各パネル素子について、前記貼り合わせ工程により得られる貼り合わされたパネル素子を前記第１パネル素子とみなすとともに次に貼り合わすべき１枚のパネル素子を前記第２パネル素子とみなして実質的に前記各工程を繰り返すことで既に貼り合わされたパネル素子に１枚ずつ次のパネル素子を貼り合わせていけばよい。
（１−２）表示パネルの製造装置
以上説明した（１−１）の表示パネルの製造方法を実施できる装置として次の装置を参考までに挙げることができる。すなわち、
画像を表示する表示パネルを形成するためのパネル素子を積層して表示パネルを製造する装置であり、
第１パネル素子を保持するための第１ステージと、
第１パネル素子を第１ステージ上に位置合わせするための手段と、
第１ステージに対し所定の位置関係に配置され、第２パネル素子を保持するための第２ステージと、
第２パネル素子を第２ステージ上に位置合わせするための手段と、
第１及び第２のステージ上にそれぞれ位置合わせされて保持される第１及び第２のパネル素子を対向させるとともに該両パネル素子の所定端部同士を重ね合わせるように第１及び第２のステージを相対的に移動させる第１駆動装置と、
第１及び第２のステージ上にそれぞれ保持されて前記所定端部同士が重ね合わされる両パネル素子の該端部を第１ステージへ押圧保持する押圧部材と、
前記押圧部材にて両パネル素子端部が押圧される第１ステージを、該押圧部材によるパネル素子押圧状態を維持しつつ、且つ、第２パネル素子を第２ステージから引出しつつ第１ステージ上で両パネル素子を順次前記押圧部材による押圧下に貼り合わせていくように、押圧部材及び第２ステージに対し相対的に移動させる第２駆動装置とを備えている表示パネルの製造装置である。
【００２９】
この装置においても、押圧部材として、凸曲面からなるパネル素子押圧面を有するものであって、該押圧部材による第１ステージ上での両パネル素子の順次貼り合わせにおいて該パネル素子押圧面がパネル素子に対し相対的に転動可能であるものを採用できる。
【００３０】
凸曲面からなるパネル素子押圧面を有する押圧部材の代表例は断面円形の押圧ローラであるが、側面から見ると扇形を呈するパネル素子押圧面を有する押圧部材等も利用できる。断面円形の押圧ローラを用いる場合、該押圧ローラによる押圧によってパネル素子に皺が発生しないように、両端部径よりも中央部径が小さい所謂逆クラウン型押圧ローラを用いてもよい。
【００３１】
この製造装置によると、第１パネル素子を第１ステージに、第２パネル素子を第２ステージに位置合わせ手段により位置合わせして保持させる。
【００３２】
また第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設ける。
【００３３】
その後第１駆動装置により第１及び第２のステージを相対的に移動させて両パネル素子を対向させるとともに両パネル素子の所定端部同士を重ね合わせる。
【００３４】
この重ね合わせ端部を押圧部材にて第１ステージに保持する。
【００３５】
そのあと、第２駆動装置により第１ステージと、第２ステージ及び押圧部材とを相対的に移動させることで、該押圧部材によるパネル素子押圧状態を維持しつつ、且つ、第２パネル素子を第２ステージから引出しつつ第１ステージ上で両パネル素子を押圧部材による押圧下に前記接着剤により順次貼り合わせていく。
【００３６】
第１及び第２のステージはパネル素子保持のための装置を含んでいる。かかる保持装置としては、それには限定されないが、例えばステージに設けられ、排気装置に接続されるパネル素子吸着のための吸気孔を挙げることができる。
【００３７】
接着剤の設け方は表示パネル製造方法において説明したと同様に設けることができる。この表示パネル製造装置は接着剤塗布装置を含んでいてもよい。
【００３８】
各パネル素子を対応するステージに位置合わせする手段としては次のものを例示できる。
（ａ１’）
第１、第２のパネル素子が精度よく位置合わせされた状態で後ほどの両パネル素子重ね合わせ端部の保持及び両パネル素子の貼り合わせがなされるように位置決めされて設けられた第１、第２の各ステージ上の合わせマーク。
【００３９】
かかる合わせマークを利用して前記表示パネル製造方法の位置合わせ方法例（ａ）で述べたように各ステージにパネル素子を位置合わせできる。
（ｂ１’）
（ａ１’）で述べた各ステージ上の合わせマークと、ステージ上又はその上方で該ステージで保持されるべきパネル素子を前記表示パネル製造方法の位置合わせ方法例（ｂ）で述べたように位置合わせするための合わせマーク検出カメラ及びＸ−Ｙ−θ駆動装置、或いはさらにカメラからの合わせマーク情報（例えばその位置情報）に基づきパネル素子を位置合わせするようにＸ−Ｙ−θ駆動装置動作を制御する制御部とを含む位置合わせ装置。
【００４０】
また次の位置合わせ装置も例示できる。すなわち、ステージに設けられたパネル素子保持部、該保持部を駆動するＸ−Ｙ−θ駆動装置、保持部に保持されたパネル素子の合わせマークを検出するカメラ、及び該カメラからの合わせマーク情報に基づいてパネル素子を位置合わせするようにＸ−Ｙ−θ駆動装置動作を制御する制御部を含む位置合わせ装置である。
【００４１】
前記の第１駆動装置と第２駆動装置は一部が共通に構成されていてもよい。また一方が他方の一部であってもよい。
【００４２】
なお、貼り合わすべきパネル素子が３以上あるときは、前記最終的に貼り合わせにより得られる貼り合わされたパネル素子を、互いに貼り合わすべき二つのパネル素子のうちの一つとして取り扱えばよい。
（２）第２タイプの表示パネルの製造方法及び装置
（２−１）表示パネルの製造方法
互いに異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して、カラー画像を表示する表示パネルを製造する方法であり、
第１ステージに第１パネル素子を保持させる工程と、
第１ステージに保持された第１パネル素子上に第２パネル素子を重ね配置する工程と、  第１パネル素子に対し第２パネル素子を位置合わせする工程と、
第１ステージ上の第１パネル素子に位置合わせされて重ね配置された第２パネル素子を第２ステージの所定曲率の凸曲面からなるパネル素子保持面に保持させる工程と、
第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設ける工程と、
第２パネル素子を保持した第２ステージのパネル素子保持面を第１及び第２のパネル素子介在状態で第１ステージに対し相対的に圧接転動させることで該第２パネル素子をその一端から他端へ前記接着剤にて順次全面的に第１パネル素子に貼り合わせていく貼り合わせ工程と
を含む表示パネルの製造方法。
【００４３】
この表示パネル製造方法においても、第１、第２ステージによる第１パネル素子の保持は、それには限定されないが、代表例として、ステージに設けた吸気孔を介してパネル素子を吸引保持する場合を挙げることができる。
【００４４】
また第１及び第２のパネル素子の相互位置合わせは各種手法で行える。例えばそれ自体すでに知られている基板やパネルの位置合わせ手法を用いて行える。
【００４５】
位置合わせの方法として次の方法を例示できる。
（ａ２）各パネル素子に予め合わせマークを設けておき、第１ステージの所定位置に第１パネル素子を保持させさせたのち、そのパネル素子上に第２のパネル素子を重ね配置し、両パネル素子の合わせマークを目視観察又はカメラ観察しながら第２パネル素子を手作業で動かして両パネル素子の合わせマークを合致させる。
（ｂ２）各パネル素子に予め合わせマークを設けておき、第１ステージの所定位置に第１パネル素子を保持させたのち、そのパネル素子上又は上方に第２のパネル素子を配置し、両パネル素子の合わせマークをカメラで観察しながら第２パネル素子をＸ−Ｙ−θ駆動装置で動かして両パネル素子の合わせマークを合致させる。第１パネル素子上方で第２パネル素子を位置合わせするときは、位置合わせ後第２パネル素子を第１パネル素子上に重ね配置すればよい。
【００４６】
（ｂ２）の方法を採用する場合、第２のパネル素子を保持する第３のステージを採用し、該第３ステージに真空吸着等の手法で第２パネル素子を保持させたうえ、両パネル素子の合わせマークをカメラで観察しながら第３ステージをＸ−Ｙ−θ駆動装置で動かして両パネル素子の合わせマークを合致させるようにしてもよい。第２パネル素子の位置合わせ後、該パネル素子を第３ステージから放して第１パネル素子上に重ね配置することができる。第３ステージはＸ−Ｙ−θ駆動装置に設けたパネル素子チャック部材であってもよい。
【００４７】
Ｘ−Ｙ−θ駆動装置による位置合わせは、第１タイプの表示パネル製造方法に関連して説明した画像処理技術等を利用した自動制御による方法によってもよい。
【００４８】
また、位置合わせのための第２パネル素子保持用の第３ステージを採用する場合、第１タイプの表示パネル製造方法に関連して述べたと同様に、第１ステージで第１パネル素子を位置合わせするとともに第３ステージで第２パネル素子を位置合わし、その後第１パネル素子を位置合わせされた状態で保持している第１ステージと第２パネル素子を位置合わせされた状態で保持しているステージとを相対的に移動させることで第１及び第２のパネル素子を相互に位置合わせされた状態で向かい合わせ、第２パネル素子を放して第１パネル素子上に重ね配置してもよい。
いずれにしても、第１パネル素子に対し第２パネル素子を位置合わせする工程では、第１パネル素子に設けられた位置合わせマークと第２パネル素子に設けられた位置合わせマークとを位置合わせすることにより、第１パネル素子に対し第２パネル素子を位置合わせする。
【００４９】
このようにして第１ステージ上に位置合わせされて重ね配置された両パネル素子のうち第２パネル素子を第２ステージの所定曲率の凸曲面からなるパネル素子保持面に保持させる。この保持は、例えば第１ステージ上の第１パネル素子に位置合わせされて重ね配置された第２パネル素子に第２ステージのパネル素子保持面を相対的に接触転動させることで容易に行える。
【００５０】
また、第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設ける。接着剤は第１タイプの表示パネル製造方法において説明したと同様に設けることができる。
【００５１】
接着剤を設ける工程は両パネル素子の前記貼り合わせ工程前に実施する。貼り合わせ工程前であれば支障のない限り、いずれの段階で接着剤を設けてもよい。
【００５２】
かくして第２パネル素子を保持した第２ステージを両パネル素子介在状態で第１ステージに対し相対的に圧接転動させることで該第２パネル素子をその一端から他端へ前記接着剤にて順次全面的に第１パネル素子に貼り合わせていく。
【００５３】
かかる第２ステージの所定曲率からなる凸曲面は円筒や円柱の外周面であってもよいし、側面から見ると扇形を呈する曲面等であってもよい。
【００５４】
なお、積層すべきパネル素子が３以上あるときは、第３番目以後の各パネル素子について、前記貼り合わせ工程により得られる貼り合わされたパネル素子を前記第１パネル素子とみなすとともに次に貼り合わすべき１枚のパネル素子を前記第２パネル素子とみなして実質的に前記各工程を繰り返すことで既に貼り合わされたパネル素子に１枚ずつ次のパネル素子を貼り合わせていけばよい。
（２−２）表示パネルの製造装置
以上説明した（２−１）の表示パネルの製造方法を実施できる装置として次の装置を参考までに挙げることができる。すなわち、
画像を表示する表示パネルを形成するためのパネル素子を積層して表示パネルを製造する装置であり、
第１パネル素子を保持するための第１ステージと、
第１ステージに保持される第１パネル素子上に第２パネル素子を該第１パネル素子に対して位置合わせして重ねあわせ配置する位置合わせ装置と、
第１ステージ上で第１パネル素子上に位置合わせされて重ね配置された第２パネル素子を保持する所定曲率の凸曲面からなるパネル素子保持表面を有する第２ステージと、
第１ステージ上で第１パネル素子上に位置合わせされて重ね配置された第２パネル素子に第２ステージのパネル素子保持面を相対的に接触転動させて該パネル素子保持面に第２パネル素子を一旦保持させ、そのあと第２パネル素子を保持する第２ステージと第１パネル素子を保持する第１ステージとを、該第２パネル素子をその一端から他端へ順次該第１パネル素子に貼り合わせていくように第１及び第２のパネル素子介在状態で相対的に圧接転動させるステージ駆動装置と
を備えている表示パネルの製造装置である。
【００５５】
この装置においても、第２ステージの凸曲面からなるパネル素子保持面は円筒や円柱の外周面であってもよいし、側面から見ると扇形を呈する曲面等であってもよい。
【００５６】
この製造装置によると、第１パネル素子を第１ステージに保持させ、位置合わせ装置により該第１パネル素子上に第２パネル素子を位置合わせして重ねあわせ配置する。
【００５７】
次いでステージ駆動装置により、該第２パネル素子を一旦第２ステージに保持させる。この第２ステージによるパネル素子保持は、第２ステージのパネル素子保持面を第２パネル素子に対し相対的に接触転動させることで円滑になし得る。
【００５８】
また第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設ける。
【００５９】
その後前記ステージ駆動装置により、第２パネル素子を保持する第２ステージを第１ステージ上の第１パネル素子に圧接転動させ、第２パネル素子をその一端から他端へ順次第１パネル素子に接着剤で貼り合わせていく。
【００６０】
第１及び第２のステージはパネル素子保持のための装置を含んでいる。かかる保持装置としては、それには限定されないが、例えばステージに設けられ、排気装置に接続されるパネル素子吸着のための吸気孔を挙げることができる。
【００６１】
接着剤の設け方は第１タイプの表示パネル製造方法において説明したと同様に設けることができる。この表示パネル製造装置は接着剤塗布装置を含んでいてもよい。
【００６２】
位置合わせ装置としては、例えば（２−１）の表示パネルの製造方法で説明した位置合わせ方法を実施できる、合わせマーク観察カメラ、或いは合わせマーク観察カメラ及びＸ−Ｙ−θ駆動装置或いはさらにカメラからの合わせマーク情報（例えばマーク位置情報）に基づいて両パネル素子を位置合わせすべくＸ−Ｙ−θ駆動装置動作を制御する制御部等を含む位置合わせ装置を採用できる。
【００６３】
なお、貼り合わすべきパネル素子が３以上あるときは、前記最終的に貼り合わせにより得られる貼り合わされたパネル素子を、互いに貼り合わすべき二つのパネル素子のうちの一つとして取り扱えばよい。
（３）第３タイプの表示パネル製造方法及び装置
（３−１）表示パネル製造方法
互いに異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して、カラー画像を表示する表示パネルを製造する方法であり、
ステージに第１パネル素子を保持させる工程と、
該ステージに保持された第１パネル素子上に第２パネル素子を重ね配置する工程と、
第１パネル素子に対し第２パネル素子を位置合わせする工程と、
重ねられ、位置合わせされた第１及び第２のパネル素子の一端部を重ね合わせ状態に保持する工程と、
第１及び第２のパネル素子間に前記重ね合わせ状態に保持された端部を残して隙間を形成する工程と、
第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設ける工程と、
第１及び第２のパネル素子を該接着剤にて前記保持された端部側から順次全面的に貼り合わせていく貼り合わせ工程と
を含む表示パネルの製造方法。
【００６４】
この表示パネル製造方法のより具体的なものとして次の方法を例示できる。すなわち、  互いに異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して、カラー画像を表示する表示パネルを製造する方法であり、
ステージに第１パネル素子を保持させる工程と、
該ステージに保持された第１パネル素子上に第２パネル素子を重ね配置する工程と、
第１パネル素子に対し第２パネル素子を位置合わせする工程と、
重ねられ、位置合わせされた第１及び第２のパネル素子の一端部を前記ステージに重ね合わせ状態に保持する工程と、
第１及び第２パネル素子間に前記重ね合わせ状態に保持された端部を残して隙間を形成する工程と、
第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設ける工程と、
第１及び第２のパネル素子を該接着剤にて前記保持された端部側から、前記ステージに対し相対的に移動する押圧部材により順次全面的に貼り合わせていく貼り合わせ工程と
を含む表示パネルの製造方法である。
【００６５】
この押圧部材は凸曲面からなるパネル素子押圧面を有するものとし、貼り合わせ工程では該パネル素子押圧面をパネル素子に対し相対的に転動させるようにしてもよい。
【００６６】
凸曲面からなるパネル素子押圧面を有する押圧部材の代表例は断面円形の押圧ローラであるが、側面から見ると扇形を呈するパネル素子押圧面を有する押圧部材等も利用できる。断面円形の押圧ローラを用いる場合、該押圧ローラによる押圧によってパネル素子に皺が発生しないように、両端部径よりも中央部径が小さい所謂逆クラウン型押圧ローラを用いてもよい。
【００６７】
この第３タイプに属する表示パネル製造方法においても、ステージによる第１パネル素子の保持は、それには限定されないが、代表例として、ステージに設けた吸気孔を介してパネル素子を吸引保持する場合を挙げることができる。
【００６８】
また第１及び第２のパネル素子の相互位置合わせは、第２タイプの表示パネル製造方法に関連して説明した位置合わせ方法を採用できる。
いずれにしても、第１パネル素子に対し第２パネル素子を位置合わせする工程では、第１パネル素子に設けられた位置合わせマークと第２パネル素子に設けられた位置合わせマークとを位置合わせすることにより、第１パネル素子に対し第２パネル素子を位置合わせする。
【００６９】
重ねられ、位置合わせされた第１及び第２のパネル素子はその一端部を重ね合わせ状態に保持するが、既述のように例えば前記ステージに保持してもよい。その場合、例えばステージ等に設けた保持装置（例えば保持クリップ）を用いて行える。
【００７０】
この両パネル素子端部の保持のあと、第１及び第２のパネル素子間に重ね合わせ状態に保持された端部を残して隙間を形成するのであるが、該隙間形成は、例えば、ステージに保持された端部とは反対側の端部を掴んで持ち上げることで容易に行える。
【００７１】
接着剤はこのように両パネル素子間に隙間が形成された後で設ける。
【００７２】
接着剤の設け方は第１タイプの表示パネル製造方法で説明したと同様に設けることができる。
【００７３】
接着剤を設けたあとに、前記貼り合わせ工程を実施する。
【００７４】
なお、積層すべきパネル素子が３以上あるとき、第３番目以後の各パネル素子について、前記貼り合わせ工程により得られる貼り合わされたパネル素子を前記第１パネル素子とみなすとともに次に貼り合わすべき１枚のパネル素子を前記第２パネル素子とみなして実質的に前記各工程を繰り返すことで既に貼り合わされたパネル素子に１枚ずつ次のパネル素子を貼り合わせていけばよい。
（３−２）表示パネル製造装置
以上説明した（３−１）の表示パネルの製造方法を実施できる装置として次の装置を参考までに挙げることができる。すなわち、
画像を表示する表示パネルを形成するためのパネル素子を積層して表示パネルを製造する装置であり、
第１パネル素子を保持するためのステージと、
該ステージに保持される第１パネル素子上に第２パネル素子を該第１パネル素子に対して位置合わせして重ねあわせ配置する位置合わせ装置と、
重ねられ、位置合わせされた第１及び第２のパネル素子の一端部をステージに重ね合わせ状態に保持する保持装置と、
前記保持装置より重ね合わせ状態に保持される端部を残して第１及び第２パネル素子間に隙間を形成する間隙形成装置と、
間隙形成装置により隙間を形成される第１及び第２のパネル素子を前記保持装置による保持端部側から順次全面的に貼り合わせていくための、ステージに対し相対的に移動可能の押圧部材と
を備えている表示パネルの製造装置である。
【００７５】
貼り合わせを円滑化するために、押圧部材として、凸曲面からなるパネル素子押圧面を有し、該押圧部材による両パネル素子の順次貼り合わせにおいて該パネル素子押圧面がパネル素子に対し相対的に転動可能であるものを採用してもよい。凸曲面からなるパネル素子押圧面を有する押圧部材の代表例は断面円形の押圧ローラであるが、側面から見ると扇形を呈するパネル素子押圧面を有する押圧部材等も利用できる。
【００７６】
断面円形の押圧ローラを用いる場合、該押圧ローラによる押圧によってパネル素子に皺が発生しないように、両端部径よりも中央部径が小さい所謂逆クラウン型押圧ローラを用いてもよい。
【００７７】
この製造装置によると、第１パネル素子をステージに保持させ、位置合わせ装置により該第１パネル素子上に第２パネル素子を位置合わせして重ねあわせ配置する。
【００７８】
該ステージはパネル素子保持のための装置を含んでいる。かかる保持装置としては、それには限定されないが、例えばステージに設けられ、排気装置に接続されるパネル素子吸着のための吸気孔を挙げることができる。
【００７９】
位置合わせ装置としては、例えば第２タイプの表示パネルの製造方法で説明した位置合わせ方法を実施できる、合わせマーク観察カメラ、或いは合わせマーク観察カメラ及びＸ−Ｙ−θ駆動装置或いはさらにカメラからの合わせマーク情報（例えばマーク位置情報）に基づいて両パネル素子を位置合わせすべくＸ−Ｙ−θ駆動装置動作を制御する制御部等を含む位置合わせ装置を採用できる。
【００８０】
次いで重ねられ、位置合わせされた両パネル素子の一端部を端部保持装置にてステージに重ね合わせ状態に保持する。
【００８１】
さらに、保持装置により保持される端部を残して間隙形成装置により第１及び第２パネル素子間に隙間を形成する。
【００８２】
かかる間隙形成装置としては、例えば第２パネル素子のステージに保持された端部とは反対側の端部を掴んで持ち上げ、掴んだ第２パネル素子端部を押圧部材による両パネル素子貼り合わせの進行につれて第１パネル素子に近づけるものを挙げることができる。
【００８３】
両パネル素子間に間隙を形成したあと、両パネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方に接着剤を設ける。
【００８４】
この接着剤は第１タイプの表示パネル製造方法で説明したと同様に設けることができる。この表示パネル製造装置は接着剤塗布装置を含んでいてもよい。
【００８５】
接着剤を設けたあと、押圧部材にて第１及び第２のパネル素子を前記端部保持装置による保持端部側から順次全面的に貼り合わせていく。
【００８６】
なお、貼り合わすべきパネル素子が３以上あるときは、前記最終的に貼り合わせにより得られる貼り合わされたパネル素子を、互いに貼り合わすべき二つのパネル素子のうちの一つとして取り扱えばよい。
（４）第４タイプの表示パネル製造方法及び装置
（４−１）表示パネル製造方法
互いに異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して、カラー画像を表示する表示パネルを製造する方法であり、
ステージに第１パネル素子を保持させる工程と、
ステージに保持された第１パネル素子上に第２パネル素子を重ね配置するパネル素子重ね配置工程と、
第１パネル素子に対し第２パネル素子を位置合わせする位置合わせ工程と、
重ねられ、位置合わせされた第１及び第２のパネル素子の相互位置関係を保持すべくそれらパネル素子をステージに仮固定する仮固定工程と、
仮固定された第１及び第２のパネル素子にそれらパネル素子の相互位置関係を決める位置決め穴を設ける穴あけ工程と、
第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設け、前記位置決め穴を用いて第１及び第２のパネル素子を相互位置決めしつつ両パネル素子を前記接着剤により相互に貼り合わせる貼り合わせ工程と
を含むことを特徴とする表示パネルの製造方法。
【００８７】
この第４タイプに属する表示パネル製造方法においても、ステージによる第１パネル素子の保持は、それには限定されないが、代表例として、ステージに設けた吸気孔を介してパネル素子を吸引保持する場合を挙げることができる。
【００８８】
また第１及び第２のパネル素子の相互位置合わせは、第２タイプの表示パネル製造方法に関連して説明した位置合わせ方法を採用できる。
【００８９】
重ねられ、位置合わせされた第１及び第２のパネル素子は相互位置関係を保持すべくそれらパネル素子をステージに仮固定する。かかる仮固定は両パネル素子の少なくとも一方の端部を、例えばステージ等に設けられたクリップ等の仮固定装置でステージに保持することで行える。
【００９０】
この両パネル素子の仮固定のあと、第１及び第２のパネル素子にそれらパネル素子の相互位置関係を決める位置決め穴を設ける。
【００９１】
その後、第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設け、前記位置決め穴を用いて第１及び第２のパネル素子を相互位置決めしつつ両パネル素子を該接着剤により相互に貼り合わせる。
【００９２】
例えば、第３タイプの表示パネル製造方法における、「重ねられ、位置合わせされた第１及び第２のパネル素子の一端部をステージに重ね合わせ状態に保持する工程」を該位置決め穴を利用して実施し、次いでこのようにして重ね合わせ状態に保持された端部を残して第１及び第２パネル素子間に隙間を形成する工程、第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方の面に接着剤を設ける工程、及び第１及び第２のパネル素子を該接着剤にて前記保持された端部側から、前記ステージに対し相対的に移動する押圧部材により順次全面的に貼り合わせていく貼り合わせ工程を実施してパネル素子が貼り合わされた表示パネルを得ることができる。
【００９３】
なお、積層すべきパネル素子が３以上あるとき、第３番目以後の各パネル素子について、前記仮固定工程により前記ステージに重ねられ、位置合わせされた状態で仮固定されたパネル素子を前記第１パネル素子とみなすとともに次の１枚のパネル素子を前記第２パネル素子とみなして前記パネル素子重ね配置工程、位置合わせ工程及び仮固定工程を実質的に繰り返すことで先に重ねられ、位置合わせされたパネル素子に１枚ずつ次のパネル素子を重ね合わせるとともに位置合わせして前記ステージに仮固定し、すべてのパネル素子について仮固定が終了したのちに、前記穴あけ工程及び前記隣り合うパネル素子同士の接着剤による貼り合わせ工程を実施すればよい。
（４−２）表示パネル製造装置
本発明は以上説明した（４−１）の表示パネルの製造方法を実施できる装置として次の装置を提供する。すなわち、
互いに異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して、カラー画像を表示する表示パネルを製造する装置であり、
第１パネル素子を保持するためのステージと、
該ステージに保持される第１パネル素子上に第２パネル素子を該第１パネル素子に対して位置合わせして重ねあわせ配置する位置合わせ装置と、
重ねられ、位置合わせされた第１及び第２のパネル素子の相互位置関係を保持すべくそれらパネル素子をステージに仮固定する仮固定装置と、
前記ステージ上に仮固定される第１及び第２のパネル素子にそれらパネル素子の相互位置関係を決める位置決め穴を設ける穴あけ装置と
を備えている表示パネルの製造装置。
【００９４】
この製造装置においても第１パネル素子をステージに保持させ、位置合わせ装置により該第１パネル素子上に第２パネル素子を位置合わせして重ねあわせ配置する。
【００９５】
該ステージはパネル素子保持のための装置を含んでいる。かかる保持装置としては、それには限定されないが、例えばステージに設けられ、排気装置に接続されるパネル素子吸着のための吸気孔を挙げることができる。
【００９６】
位置合わせ装置としては、第２タイプの表示パネルの製造方法で説明した位置合わせ方法を実施できる、合わせマーク観察カメラ、或いは合わせマーク観察カメラ及びＸ−Ｙ−θ駆動装置或いはさらにカメラからの合わせマーク情報（例えばマーク位置情報）に基づいて両パネル素子を位置合わせすべくＸ−Ｙ−θ駆動装置動作を制御する制御部等を含む位置合わせ装置を採用できる。
【００９７】
重ねられ、位置合わせされた両パネル素子をステージに仮固定する仮固定装置としては、例えば、両パネル素子の少なくとも一方の端部をステージに仮固定するための、ステージ等に設けられたクリップ等を含む装置とすることができる。
【００９８】
この表示パネル製造装置はさらに、前記位置決め穴を用いて第１及び第２のパネル素子を相互位置決めしつつ両パネル素子を接着剤により相互に貼り合わせる貼り合わせ装置を備えていてもよい。
【００９９】
かかる貼り合わせ装置としては、（３−２）の表示パネル製造装置で採用したパネル素子端部保持装置として、前記位置決め穴を利用してパネル素子端部をステージに保持する端部保持装置を備えるとともに、さらに、該端部保持装置により重ね合わせ状態に保持される端部を残して第１及び第２パネル素子間に隙間を形成する間隙形成装置、及び間隙形成装置により隙間を形成される第１及び第２のパネル素子を前記保持装置による保持端部側から順次全面的に貼り合わせていくための、ステージに対し相対的に移動可能の押圧部材を含む装置を例示できる。接着剤塗布装置をさらに含んでいてもよい。
【０１００】
貼り合わせを円滑化するために、かかる押圧部材として、凸曲面からなるパネル素子押圧面を有し、該押圧部材による両パネル素子の順次貼り合わせにおいて該パネル素子押圧面がパネル素子に対し相対的に転動可能であるものを採用してもよい。凸曲面からなるパネル素子押圧面を有する押圧部材の代表例は断面円形の押圧ローラであるが、側面から見ると扇形を呈するパネル素子押圧面を有する押圧部材等も利用できる。断面円形の押圧ローラを用いる場合、該押圧ローラによる押圧によってパネル素子に皺が発生しないように、両端部径よりも中央部径が小さい所謂逆クラウン型押圧ローラを用いてもよい。
【０１０１】
以上説明した本発明にかかるいずれの表示パネル製造方法及び装置においても、隣り合うパネル素子は精度よく位置合わせされた状態で貼り合わされ、それだけ良好な画像表示を行える表示パネルが得られる。
【０１０２】
また第１、第２及び第３タイプの各表示パネル製造方法及び装置では、隣り合うパネル素子は端部から順次貼り合わせていくので、それらパネル素子間から脱気して両者を密着させ、皺等のない状態で貼り合わせることができ、それだけ良好な画像表示を行える表示パネルが得られる。
【０１０３】
第４タイプの表示パネル製造方法及び装置においても、隣り合うパネル素子の貼り合わせをパネル素子端部から順次全面的に行うことが可能であり、そうすることで、それらパネル素子間から脱気して両者を密着させ、皺等のない状態で貼り合わせることができる。
【０１０４】
本発明に係るいずれの表示パネル製造方法においても、隣り合うパネル素子間からより確実に脱気するために、少なくとも前記貼り合わせ工程を所定減圧雰囲気中において実施してもよい。
【０１０５】
またこのために本発明に係る表示パネル製造装置は、隣り合うパネル素子の貼り合わせにおいて該両パネル素子の周囲雰囲気を所定減圧雰囲気とするための減圧室を備えていてもよい。
【０１０６】
【発明の実施の形態】
本発明は各種表示パネルの製造に適用できるが、以下に液晶表示パネルの製造方法及び製造装置の例について説明する。
【０１０７】
図１は製造しようとする反射型液晶表示パネルの１例の概略側面図である。
【０１０８】
この液晶表示パネルＡは、青色（ブルー）表示を行うパネル素子（以下「Ｂパネル素子」という。）Ｂ、緑色（グリーン）表示を行うパネル素子（以下「Ｇパネル素子」という。）Ｇ及び赤色（レッド）表示を行うパネル素子（以下「Ｒパネル素子」という。）Ｒを積層してフルカラー画像表示可能としたパネルであり、各隣り合うＢパネル素子とＧパネル素子、Ｇパネル素子とＲパネル素子をそれぞれ接着剤Ｎで相互に貼り合わせたものである。Ｒパネル素子の外面には黒色の光吸収層ＢＫを設けてある。
【０１０９】
Ｂ、Ｇ、Ｒパネル素子のそれぞれは対向する一対の透明基板Ｓ１、Ｓ２間に定められた色で画像表示するための液晶含有層ＬＣを挟着したものである。各基板Ｓ１、Ｓ２には液晶含有層ＬＣに対向する面にそれぞれ図示を省略した電極が形成されている。
【０１１０】
図２から図５はそれぞれかかる液晶表示パネルＡを製造するための製造装置例の概略構成図である。
【０１１１】
図２のパネル製造装置は、
第１パネル素子ｃ１を保持するための第１ステージ１００、
第１パネル素子ｃ１を第１ステージ１００上に位置合わせするための位置合わせ装置４００、
第１ステージ１００に対し所定の位置関係に配置され、第２パネル素子ｃ２を保持するための第２ステージ２００、
第２パネル素子ｃ２を第２ステージ２００上に位置合わせするための位置合わせ装置５００、
第１及び第２ステージ１００、２００上にそれぞれ位置合わせされて保持される第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２を対向させるとともに両パネル素子ｃ１、ｃ２の所定端部同士を重ね合わせるように第１及び第２ステージ１００、２００を相対的に移動させる第１駆動装置３００（ステージ１００の駆動装置３１０とステージ２００の駆動装置３２０の組み合わせ）、
第１及び第２ステージ１００、２００上にそれぞれ保持されて前記所定端部同士が重ね合わされる両パネル素子ｃ１、ｃ２の該端部を第１ステージ１００へ押圧保持する押圧部材６１０、
押圧部材６１０にて両パネル素子端部が押圧される第１ステージ１００を、押圧部材６１０によるパネル素子押圧状態を維持しつつ、且つ、第２パネル素子ｃ２を第２ステージ２００から引出しつつ第１ステージ１００上で両パネル素子ｃ１、ｃ２を順次押圧部材６１０による押圧下に貼り合わせていくように、押圧部材６１０及び第２ステージ２００に対し相対的に移動させる第２駆動装置３１０を備えている。なお、第２駆動装置３１０は第１駆動装置３００（３１０と３２０かならる）の一部でもある。
【０１１２】
図３のパネル製造装置は、
第１パネル素子ｃ１を保持するための第１ステージ１００、
第１ステージ１００に保持される第１パネル素子ｃ１上に第２パネル素子ｃ２を第１パネル素子ｃ１に対して位置合わせして重ねあわせ配置する位置合わせ装置４００’、
第１ステージ１００上で第１パネル素子ｃ１上に位置合わせされて重ね配置された第２パネル素子ｃ２を一旦保持して持ち上げる所定曲率の凸曲面からなるパネル素子保持表面２００ａ’を有する第２ステージ２００’、
第１ステージ１００上で第１パネル素子ｃ１上に位置合わせされて重ね配置された第２パネル素子ｃ２に第２ステージ２００’のパネル素子保持面２００ａ’を相対的に接触転動させてパネル素子保持面２００ａ’に第２パネル素子ｃ２を一旦保持させ、そのあと第２パネル素子ｃ２を保持する第２ステージ２００’と第１パネル素子ｃ１を保持する第１ステージ１００とを、第２パネル素子ｃ２をその一端から他端へ順次第１パネル素子ｃ１に貼り合わせていくように第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２介在状態で相対的に圧接転動させるステージ駆動装置３００’を備えている。
【０１１３】
図４のパネル製造装置は、
第１パネル素子ｃ１を保持するためのステージ１００、
ステージ１００に保持される第１パネル素子ｃ１上に第２パネル素子ｃ２を第１パネル素子ｃ１に対して位置合わせして重ねあわせ配置する位置合わせ装置４００’、
重ねられ、位置合わせされた第１及び第２のパネル素子ｃ１、ｃ２の一端部をステージ１００に重ね合わせ状態に保持する保持クリップ８００、
保持クリップ８００により重ね合わせ状態に保持される端部を残して第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２間に隙間を形成する間隙形成装置９００、
間隙形成装置９００により隙間を形成される第１及び第２のパネル素子ｃ１、ｃ２を保持クリップ８００による保持端部側から順次全面的に貼り合わせていくための、ステージ１００に対し相対的に移動可能の押圧ローラ６００’を備えている。
【０１１４】
図５のパネル製造装置は、
第１パネル素子ｃ１を保持するためのステージ１００、
ステージ１００に保持される第１パネル素子ｃ１上に第２パネル素子ｃ２を第１パネル素子ｃ１に対して位置合わせして重ねあわせ配置する位置合わせ装置４００’、
重ねられ、位置合わせされた第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の相互位置関係を保持すべくそれらパネル素子をステージ１００に仮固定する仮固定装置１０００、
ステージ１００上に仮固定される第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２にそれらパネル素子ｃ１、ｃ２の相互位置関係を決める位置決め穴を設ける穴あけ装置１１００を備えている。
【０１１５】
以下に図２から図５に示す各パネル製造装置について図２の装置から順次説明するが、各構成部品のうち、以降に説明するパネル製造装置において同じ構成、作用を有する部品については、以降のパネル製造装置での説明は省略する。なお、これらの部品については同じ参照符号を付してある。
【０１１６】
図２に示すパネル製造装置は、既述のとおり、第１ステージ１００、位置合わせ装置４００、第２ステージ２００、位置合わせ装置５００、ステージ駆動装置３２０とステージ駆動装置３１０からなる第１駆動装置３００及び押圧部材６１０を備えている。
【０１１７】
第１ステージ１００は、図３に示すパネル製造装置の第１ステージ１００、図４及び図５に示すパネル製造装置のステージ１００と同様のものである。
【０１１８】
この第１ステージ１００は、第１吸着テーブル１０１、パネル素子保持のためのパネル素子保持装置１１０を含んでいる。
【０１１９】
第１吸着テーブル１０１はパネル素子ｃ１を保持する領域にパネル素子吸着のための吸気孔１０１ａが所定の間隔をおいて複数設けられている。
【０１２０】
パネル素子保持装置１１０はかかる吸気孔１０１ａのほか、ステージ１００における排気室１１１、フレキシブルチューブ１１２、排気装置１１３を含んでおり、排気装置１１３はチューブ１１２の一端部に、チューブ１１２の他端部は排気室１１１に接続されており、排気室１１１は吸着テーブル１０１の吸気孔１０１ａに連通している。かくして排気装置１１３の運転により、空気が吸気孔１０１ａから排気室１１１、チューブ１１２を通って排気される。
【０１２１】
第２ステージ２００は、第２吸着テーブル２０１、パネル素子保持のためのパネル素子保持装置２１０を含んでいる。
【０１２２】
第２吸着テーブル２０１はパネル素子ｃ２を保持する領域にパネル素子吸着のための吸気孔２０１ａが所定の間隔をおいて複数設けられている。
【０１２３】
パネル素子保持装置２１０はかかる吸気孔２０１ａのほか、ステージ２００における排気室２１１、フレキシブルチューブ２１２、排気装置２１３を含んでおり、排気装置２１３はチューブ２１２の一端部に、チューブ２１２の他端部は排気室２１１に接続されており、排気室２１１は吸着テーブル２０１の吸気孔２０１ａに連通している。かくして排気装置２１３の運転により、空気が吸気孔２０１ａから排気室２１１、チューブ２１２を通って排気される。
【０１２４】
ステージ１００の駆動装置３１０は、図３から図５に示すパネル製造装置にも設けられており、それには限定されないが、ガイドレール３１１に沿って設けたラックギア３１１ａに第１ステージ１００に設けたピニオンギア３１３を噛み合わさせ、このピニオンギア３１３を第１ステージ１００に搭載したモータ３１２で往復回転させるものである。第１ステージ１００は駆動装置３１０によりガイドレール３１１に沿って移動し、パネル素子位置合わせ位置Ｑ１又はパネル素子貼り合わせ開始位置Ｑ２に配置される。この移動にあたっては、第１ステージ１００に設けたスライダ１０２がガイドレール３１１に沿って摺動する。
【０１２５】
ステージ２００の駆動装置３２０は、第２ステージ支持アーム３２１とこれを駆動する回転駆動部３２２を含んでいる。
【０１２６】
第２ステージ支持アーム３２１は、一端部で回転駆動部３２２の軸３２２ａに支持されており、他端部で第２ステージ２００に連結されている。回転駆動部３２２は定位置に配置されており、軸３２２ａを所定のタイミングで所定方向（図中Ａ方向）又は該所定方向とは反対方向（図中Ｂ方向）に回動できる。かくして、回転駆動部３２２の駆動による軸３２２ａの回動により支持アーム３２１及び第２ステージ２００が所定のタイミングでＡ方向又はＢ方向に旋回される。
【０１２７】
押圧部材６１０は、図示を省略した昇降駆動装置により昇降でき、かくして、該昇降駆動装置により押圧部材６１０が所定のタイミングでパネル素子貼り合わせ開始位置Ｑ２に位置する第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２を第１ステージ１００へ押圧する押圧位置Ｐ２又は位置Ｐ２から上方へ退避する退避位置Ｐ１に配置される。
【０１２８】
押圧部材６１０は、ここでは断面円形の押圧ローラであり、パネル素子押圧周面６１０ａを有している。
【０１２９】
位置合わせ装置４００、５００は、それぞれ２台のカメラ４１０、５１０（ここではＣＣＤカメラ）、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置Ｄ１、Ｄ２、制御部４３０、５３０を備えている。
【０１３０】
図６に第１、第２ステージ１００、２００の吸着テーブル１０１、２０１に保持された第１、第２パネル素子ｃ１、ｃ２を上から見た図を示す。なお、位置合わせ装置４００、５００等は図示を省略してある。
【０１３１】
第１、第２ステージ１００、２００におけるステージ台１２０、２２０には、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置Ｄ１、Ｄ２、前記の排気室１１１、２１１、さらに吸着テーブル１０１、２０１がそれぞれ設けられている。
【０１３２】
第１、第２パネル素子ｃ１、ｃ２には予め位置合わせのためのマークｍ１、ｍ２がパネル素子の表示領域外にそれぞれ形成されている。なお、合わせマークは、ここでは十字形のパターンがパネル素子の対角線方向両端域に形成されているが、それに限定されるものではなく、各パネル素子を相互に位置合わせできるものであれば、いずれのパターンでもよいし、また表示領域外であれば、いずれの位置に形成されていてもよい。また、この合わせマークは印刷等により形成されていてもよいし、パネル素子の電極形成の際に表示領域外にマーカ用電極を設けておき、該マーカ用電極への電圧印加により点灯するものでもよい。ここではパネル素子ｃ１、ｃ２上に合わせマークｍ１、ｍ２がそれぞれ印刷されている。
【０１３３】
図２に示すＣＣＤカメラ４１０は制御部４３０に接続されており、吸着テーブル１０１に保持されたパネル素子ｃ１の予め形成された合わせマークｍ１を観察し、そのマーク情報を制御部４３０に送ることができる。また、ＣＣＤカメラ５１０は制御部５３０に接続されており、吸着テーブル２０１に保持されたパネル素子ｃ２の予め形成された合わせマークｍ２を観察し、そのマーク情報を制御部５３０にそれぞれ送ることができる。
【０１３４】
Ｘ−Ｙ−θ駆動装置Ｄ１、Ｄ２はそれぞれ制御部４３０、５３０に接続されている。制御部４３０、５３０はカメラからのマーク情報に基づいてパネル素子ｃ１、ｃ２をそれぞれ所定位置に位置合わせすべくＸ−Ｙ−θ駆動装置Ｄ１、Ｄ２で吸着テーブル１０１、２０１をＸ−Ｙ−θ駆動するように駆動装置Ｄ１、Ｄ２の動作を制御する。この制御部４３０、５３０は基板やパネル等の位置合わせのための画像処理法を利用する手段をそれぞれ含んでいる。
【０１３５】
吸着テーブル１０１、２０１に吸着保持された第１、第２パネル素子ｃ１、ｃ２の位置合わせは、精度よく位置合わせされた状態で後ほどの両パネル素子重ね合わせ端部の保持及び両パネル素子ｃ１、ｃ２の貼り合わせがなされるように行われる。
【０１３６】
なお、位置合わせ装置５００は、図示を省略した昇降駆動装置に支持されており、この昇降駆動装置により、位置合わせを行わないときには上方の位置、すなわち第２ステージ２００が旋回しても衝突しない位置に退避している。
【０１３７】
図３に示すパネル製造装置は、既述のとおり、第１ステージ１００、位置合わせ装置４００’、第２ステージ２００’、ステージ駆動装置３００’を備えている。
【０１３８】
位置合わせ装置４００’は図４及び図５に示すパネル製造装置の位置合わせ装置と同様のものである。
【０１３９】
この位置合わせ装置４００’は、パネル素子位置合わせ位置Ｑ１の上方に配置されており、２台のカメラ４１０（ここではＣＣＤカメラ）、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置４２０、制御部４３０’及び昇降駆動装置４４０を備えている。
【０１４０】
図７に各パネル素子ｃ１、ｃ２が第１ステージ１００上で相互に位置合わせされる状態を上から見た図を示す。なお、第１ステージ１００、位置合わせ装置４００’等は図示を省略してある。
【０１４１】
既に説明したように、各パネル素子ｃ１、ｃ２には予め位置合わせのためのマークｍ１、ｍ２がパネル素子の表示領域外にそれぞれ形成されている。
【０１４２】
図３に示すＣＣＤカメラ４１０は制御部４３０’に接続されており、各パネル素子ｃ１、ｃ２の予め形成された合わせマークｍ１、ｍ２を観察し、そのマーク情報を制御部４３０’に送ることができる。
【０１４３】
Ｘ−Ｙ−θ駆動装置４２０はパネル素子保持アーム４２１、Ｘ−Ｙ−θ駆動部４２２及びパネル素子保持装置４２３を含んでいる。パネル素子保持アーム４２１は一端部で駆動部４２２のＸ−Ｙ−θ方向可動部に接続されており、他端部でパネル素子保持装置４２３の吸着テーブル４２４等を支持している。
【０１４４】
パネル素子保持装置４２３は吸着テーブル４２４、排気室４２５、フレキシブルチューブ４２６、排気装置４２７を含んでおり、吸着テーブル４２４でパネル素子ｃ２を吸着保持できる。
【０１４５】
吸着テーブル４２４はパネル素子ｃ２を保持する領域にパネル素子吸着のための吸気孔４２４ａが所定の間隔をおいて複数設けられている。
【０１４６】
排気装置４２７はチューブ４２６の一端部に、チューブ４２６の他端部は排気室４２５に接続されており、排気室４２５は吸着テーブル４２４の吸気孔４２４ａに連通している。かくして排気装置４２７の運転により、空気が吸気孔４２４ａから排気室４２５、チューブ４２６を通って排気される。
【０１４７】
Ｘ−Ｙ−θ駆動部４２２は制御部４３０’に接続されており、吸着テーブル４２４及びそれに保持されるパネル素子ｃ２を予め第１ステージ１００に吸着保持されたパネル素子ｃ１の表面に沿って所定方向（図中Ｘ方向）、これに垂直な方向（図中Ｙ方向）に動かすとともにＸ−Ｙ平面に垂直な軸の周り（図中θ方向）に回動させることができる。これにより、制御部４３０’の指示のもと、第１ステージ１００に保持させたパネル素子ｃ１上方でパネル素子ｃ２を動かすことができる。
【０１４８】
制御部４３０’は、既述の通りＣＣＤカメラ４１０、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置４２０に接続されており、カメラ４１０からの合わせマークｍ１、ｍ２のマーク情報を位置情報として処理し、その位置情報に基づいて両パネル素子ｃ１、ｃ２を合わせマークｍ１、ｍ２を合致させて位置合わせすべく吸着テーブル４２４及びパネル素子ｃ２を動かすようにＸ−Ｙ−θ駆動装置４２０の動作を制御する。なお、制御部４３０’は基板やパネル等の位置合わせのための画像処理による位置合わせ法を利用する手段を含んでいる。また、排気室４２５及び吸着テーブル４２４はパネル素子の合わせマークｍ１、ｍ２を検出するための図示を省略した透孔或いは窓を有している。
【０１４９】
昇降駆動装置４４０は、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置４２０の上方に配設されており、駆動装置４２０を所定のタイミングで昇降させることができる。かくして昇降駆動装置４４０によりＸ−Ｙ−θ駆動装置４２０及びこれに連設されている吸着テーブル４２４を下方に移動させることができる。そしてパネル素子位置合わせ位置Ｑ１に位置する第１ステージに保持させたパネル素子ｃ１上に予め載置したパネル素子ｃ２に吸着テーブル４２４を近づけて該パネル素子ｃ２を吸着保持できる。その状態でパネル素子ｃ１、ｃ２を位置合わせすべくパネル素子ｃ２をＸ−Ｙ−θ駆動できる。位置合わせ後、パネル素子ｃ２をパネル素子ｃ１上に位置合わせされた状態で重ね配置できる。
【０１５０】
第２ステージ２００’は、ここでは側面から見て略４分の１円弧の扇形を呈するパネル素子保持面２００ａ’を有するステージである。また、第２ステージ２００’はパネル素子保持装置２１０’を含んでいる。
【０１５１】
パネル素子保持装置２１０’はステージ２００’における吸着テーブル２０１’及び排気室２１１’のほか、フレキシブルチューブ２１２’、排気装置２１３’を含んでおり、吸着テーブル２０１’でパネル素子ｃ２を吸着保持できる。
【０１５２】
吸着テーブル２０１’はパネル素子ｃ２を保持する領域にパネル素子吸着のための吸気孔２０１ａ’が所定の間隔をおいて複数設けられている。
【０１５３】
排気装置２１３’はチューブ２１２’の一端部に、チューブ２１２’の他端部は排気室２１１’に接続されており、排気室２１１’は吸着テーブル２０１’の吸気孔２０１ａ’に連通している。かくして排気装置２１３’の運転により、空気が吸気孔２０１ａ’から排気室２１１’、チューブ２１２’を通って排気される。
【０１５４】
この第２ステージ２００’はステージ駆動装置３００’の一構成員であるステージ支持軸３１０’に支持されている。
【０１５５】
ステージ駆動装置３００’は、ステージ１００の駆動装置３１０をその一部に含んでおり、さらに、ステージ支持軸３１０’を駆動する回転駆動部３２０’を含んでいる。
【０１５６】
回転駆動部３２０’は、ステージ支持軸３１０’を所定のタイミングで所定方向（図中Ａ方向）又は該所定方向とは反対方向（図中Ｂ方向）に回動できる。かくして、第２ステージ２００’が所定のタイミングでＡ方向又はＢ方向に旋回される。
【０１５７】
なお、第２ステージ２００’、ステージ支持軸３１０’及び回転駆動部３２０’は、図示を省略した昇降駆動装置にて昇降可能である。該昇降駆動装置により第２ステージ２００’は所定のタイミングで所定の降下位置Ｐ３又は位置Ｐ３から上方へ退避する退避位置Ｐ４に配置される。
【０１５８】
図４に示すパネル製造装置は、既述のとおり、ステージ１００、位置合わせ装置４００’、ステージ１００上の保持クリップ８００、間隙形成装置９００、押圧ローラ６００’を備えている。
【０１５９】
押圧ローラ６００’は定位置に配設されている。この押圧ローラ６００’は、ここでは弾性表面層を有する断面円形の押圧ローラであり、パネル素子押圧周面６００ａ’を有している。
【０１６０】
保持クリップ８００は、第１ステージ１００の一端部に設けられており、第１ステージ１００上で重ねられ、位置合わせされた第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の一端部を第１ステージ１００に重ね合わせ状態に保持できる。
【０１６１】
間隙形成装置９００は、第２パネル素子ｃ２の他端部に脱離可能に連結されるパネル素子支持部材９１０、支持部材９１０を掴むクリップ９２０、定位置のワイヤ案内滑車９３０、ワイヤを巻き取り、繰り出しできるウインチ９４０、一端部でクリップ９２０に他端部でウインチ９４０に接続されたワイヤ９５０を含んでいる。
【０１６２】
この間隙形成装置９００は、ウインチ９４０からワイヤ９５０を繰り出し、パネル素子ｃ２を支持させた支持部材９１０をクリップ９２０で掴み、そのあとワイヤ９５０を巻き取ることで、ステージ１００上のクリップ８００で保持された両パネル素子ｃ１、ｃ２間に間隙を形成できる。また、押圧ローラ６００’による第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の貼り合わせ進行に伴って、ウインチ９４０から徐々にワイヤー９５０を繰り出し、持ち上げられたパネル素子ｃ２の端部を下降させることができる。
【０１６３】
図５に示すパネル製造装置は、既述のとおり、ステージ１００、位置合わせ装置４００’、仮固定装置１０００、穴あけ装置１１００を備えている。
【０１６４】
仮固定装置１０００は、ここでは第１ステージ１００の両端部に設けられた２個のクリップ１０１０を含むものであり、既述のとおり、第１ステージ１００上で重ねられ、位置合わせされた第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の相互位置関係を保持すべくそれらパネル素子ｃ１、ｃ２を第１ステージ１００に仮固定できる。
【０１６５】
穴あけ装置１１００は、ここでは２台のプレス機１１１０を含んでおり、既述のとおりステージ１００上に仮固定される第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２にそれらパネル素子ｃ１、ｃ２の相互位置関係を決める位置決め穴を設けることができる。
【０１６６】
次に図２から図５に示す各表示パネル製造装置による図１に示すタイプの反射型液晶表示パネル製造例を図８から図１３に示す製造工程を参照しながら順次説明する。
【０１６７】
なお、図２から図５の各表示パネル製造装置によって図１に示す液晶表示パネルＡを製造するにあたり、赤色表示、緑色表示、青色表示を行うＲ、Ｇ、Ｂパネル素子をそれぞれ１パネル素子ずつ作製しておく。
【０１６８】
Ｒ、Ｇ、Ｂパネル素子のうちいずれか（ここではＲパネル素子）を第１パネル素子ｃ１とし、そのパネル素子に貼り合わされるパネル素子（ここではＧパネル素子）を第２パネル素子ｃ２として取り扱い、以下に説明する各パネル製造装置による製造工程にて両パネル素子を貼り合わせる。
【０１６９】
まず、図２に示す表示パネル製造装置による液晶表示パネル製造の一例を説明する。
【０１７０】
図８に図２のパネル製造装置の液晶表示パネル製造工程の一例の一部（１）から（４）を説明するための図を示し、図９に図８に示す工程の続きの工程（５）から（８）を説明するための図を示す。なお、図８及び図９では、簡略化のため一部の部品については図示を省略してある。
（１）第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方、ここでは第１パネル素子ｃ１（ここではＲパネル素子）の前記光吸収層ＢＫが設けられている面とは反対側の面に、片方の表面が未だ保護離型シートＮＮ１で覆われた両面接着テープＮＮを予め貼っておく。
【０１７１】
第１パネル素子ｃ１をその貼り合わすべき面が上になるように第１ステージ１００にセットし、パネル素子保持装置１１０によりパネル素子ｃ１をステージ１００の吸着テーブル１０１に吸着させる。位置合わせ装置４００を用い、第１パネル素子ｃ１の合わせマークｍ１をＣＣＤカメラ４１０によって観察しながらＸ−Ｙ−θ駆動装置で吸着テーブル１０１を駆動してパネル素子ｃ１を所定位置に位置合わせする。
【０１７２】
同様に第２パネル素子ｃ２（ここではＧパネル素子）をその貼り合わすべき面が上になるように、また第２パネル素子端部を第２ステージ２００からはみ出させた状態で第２ステージ２００にセットし、吸着テーブル２０１に吸着させる。位置合わせ装置５００を用い、第２パネル素子ｃ２の合わせマークｍ２をＣＣＤカメラ５１０によって観察しながらＸ−Ｙ−θ駆動装置で吸着テーブル２０１を駆動してパネル素子ｃ２を所定位置に位置合わせする。
（２）第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の位置合わせ終了後、ステージ駆動装置３１０により第１パネル素子ｃ１を吸着している第１ステージ１００を、パネル素子ｃ１の所定一端部が押圧部材６１０の下方に来る位置、すなわちパネル素子貼り合わせ位置Ｑ２に移動させる。
（３）第１ステージ１００の第１パネル素子ｃ１に貼られた両面接着テープＮＮから保護離型シートＮＮ１を除去して接着剤Ｎを露出させる。
（４）ステージ駆動装置３２０の駆動部３２２により第２パネル素子ｃ２を吸着している第２ステージ２００をＡ方向に旋回させ、両パネル素子ｃ１、ｃ２の端部が押圧部材６１０の下方に来る位置まで移動させることで、両パネル素子ｃ１、ｃ２を対向させるとともに両パネル素子ｃ１、ｃ２の所定端部同士を重ね合わせる。このとき位置合わせ装置５００は図示省略の昇降駆動装置により、上方に退避している。
（５）図示を省略した昇降駆動装置により押圧部材６１０を押圧位置Ｐ２に降下させ、押圧部材６１０のパネル素子押圧面６１０ａの一部で両パネル素子ｃ１、ｃ２の重ね合わされた端部を第１ステージ１００へ押圧保持する。
（６）そのあと、ステージ駆動装置３１０により第１ステージ１００を第２ステージ２００及び押圧部材６１０に対し相対的に移動させることで、押圧部材６１０によるパネル素子押圧状態を維持しつつ、且つ、第２パネル素子ｃ２を第２ステージ２００から引出しつつ第１ステージ１００上で両パネル素子ｃ１、ｃ２を押圧部材６１０による押圧下に接着剤Ｎにより順次貼り合わせていく。
（７）両パネル素子ｃ１、ｃ２の終端まで押圧部材６１０を相対的に移動させたあと、図示省略の昇降駆動装置により押圧部材６１０を退避位置Ｐ１に上昇させる。
（８）このようにして両パネル素子ｃ１、ｃ２の貼り合わせが終わると、パネル素子保持装置２１０による第２ステージ２００の吸着動作を解除し、ステージ駆動装置３２０によりステージ２００をＢ方向に旋回させ、ステージ２００を元の位置に戻す。
【０１７３】
そして両パネル素子の貼り合わせが完了すると、第１ステージ１００は貼り合わされたパネル素子を保持したまま当初位置Ｑ１へ戻される。
【０１７４】
次に、Ｒパネル素子及びＧパネル素子が貼り合わせされたパネル素子を第１パネル素子ｃ１とみなすとともに次に貼り合わすべき１枚のＢパネル素子を第２パネル素子ｃ２とみなして同様の工程を繰り返して、既に貼り合わせされたパネル素子に次のＢパネル素子を貼り合わせる。かくしてＲパネル素子、Ｇパネル素子及びＢパネル素子が積層された表示パネルＡが得られる。
【０１７５】
次に、図３に示す表示パネル製造装置による液晶表示パネル製造の一例を説明する。
【０１７６】
図１０に図３に示すパネル製造装置による液晶表示パネル製造工程の一例（１）から（７）を説明するための図を示す。なお、図１０では、簡略化のため一部の部品については図示を省略してある。
（１）第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方、ここでは第１パネル素子ｃ１（ここではＲパネル素子）の前記光吸収層ＢＫが設けられている面とは反対側の面に、片方の表面が未だ保護離型シートＮＮ１で覆われた両面接着テープＮＮを予め貼っておく。
【０１７７】
第１パネル素子ｃ１をその貼り合わすべき面が上になるように第１ステージ１００にセットし、吸着テーブル１０１に吸着させる。
【０１７８】
第２パネル素子ｃ２（ここではＧパネル素子）を第１パネル素子ｃ１の上に載せ、次いで両パネル素子ｃ１、ｃ２の相互位置合わせをする。
【０１７９】
この位置合わせは次のようにして行う。すなわち、パネル素子ｃ１上に載せたパネル素子ｃ２を一旦位置合わせ装置４００’のパネル素子保持装置４２３の吸着テーブル４２４に吸着保持させ、その状態で両パネル素子ｃ１、ｃ２の合わせマークｍ１、ｍ２をＣＣＤカメラ４１０で観察しながら第２パネル素子ｃ２を保持する吸着テーブル４２４をＸ−Ｙ−θ駆動装置４２０で動かして両パネル素子ｃ１、ｃ２の合わせマークｍ１、ｍ２を合致させる。この位置合わせ動作はカメラ４１０で検出されるマーク情報に基づいて制御部４３０’の指示のもとになされる。位置合わせ処理が終了すると再びパネル素子ｃ２をパネル素子ｃ１上に位置合わせされた状態で載せる。
（２）このように位置合わせされて重ね合わせ配置されたパネル素子ｃ１、ｃ２を保持する第１ステージ１００をステージ駆動装置３１０により第２ステージ２００’の下方に移動させる。このとき、第２ステージ２００’を所定下降位置Ｐ３に配置しておき、第２ステージ２００’と第１ステージ１００とのギャップをパネル素子２枚分の厚さと略同じ距離にしておく。
（３）さらに第１ステージ１００を移動させ続けるとともに、第２ステージ用の回転駆動部３２０’で第２ステージ２００’を第１ステージ１００に同期させて第２パネル素子ｃ２に接触転動させる。このようにしてパネル素子保持装置２１０’により第２パネル素子ｃ２を第２ステージ２００’に吸着保持させる。この第２ステージ２００’によるパネル素子保持は、第２ステージ２００’のパネル素子保持面２００ａ’を第２パネル素子ｃ２に対し相対的に接触転動させることで円滑になし得る。
（４）第２パネル素子ｃ２を吸着保持した第２ステージ２００’を図示省略の昇降駆動装置により退避位置Ｐ４に上昇させ、第１ステージ１００の第１パネル素子ｃ１に貼られた両面接着テープＮＮから保護離型シートＮＮ１を除去して接着剤Ｎを露出させる。
（５）第２パネル素子ｃ２を吸着保持した第２ステージ２００’を位置Ｐ３に下降させ、第２パネル素子ｃ２の一端部を第１パネル素子ｃ１の一端部に押しつける。
（６）第１ステージ１００を位置Ｑ１の方へ戻し移動させるとともに、これに同期させて第２パネル素子ｃ２を保持した第２ステージ２００’を前とは逆回転させ、第１ステージ１００上の第１パネル素子ｃ１にパネル素子ｃ２を介して圧接転動させ、これにより第２パネル素子ｃ２をその一端から他端へ順次第１パネル素子ｃ１に接着剤Ｎで貼り合わせていく。
（７）パネル素子保持装置２１０’による第２ステージ２００’の吸着動作を解除し、第２ステージ２００’を上昇させる。
【０１８０】
そして両パネル素子の貼り合わせが完了すると、第１ステージ１００は貼り合わされたパネル素子を保持したまま当初位置Ｑ１へ戻される。
【０１８１】
次に、Ｒパネル素子及びＧパネル素子が貼り合わせされたパネル素子を第１パネル素子ｃ１とみなすとともに次に貼り合わすべき１枚のＢパネル素子を第２パネル素子ｃ２とみなして同様の工程を繰り返して、既に貼り合わせされたパネル素子に次のＢパネル素子を貼り合わせる。かくしてＲパネル素子、Ｇパネル素子及びＢパネル素子が積層された表示パネルＡが得られる。
【０１８２】
次に、図４に示す表示パネル製造装置による液晶表示パネル製造の一例を説明する。
【０１８３】
図１１に図４に示すパネル製造装置の液晶表示パネル製造工程の一例（１）から（７）を説明するための図を示す。なお、図１１では、簡略化のため一部の部品については図示を省略してある。
（１）第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一方、ここでは第１パネル素子ｃ１（ここではＲパネル素子）の前記光吸収層ＢＫが設けられている面とは反対側の面に、片方の表面が未だ保護離型シートＮＮ１で覆われた両面接着テープＮＮを予め貼っておく。
【０１８４】
第１パネル素子ｃ１をその貼り合わすべき面が上になるように第１ステージ１００に粗く位置決めしてセットし、パネル素子保持装置１１０によりパネル素子ｃ１をステージ１００の吸着テーブル１０１に吸着させる。第１パネル素子ｃ１の上に第２パネル素子ｃ２（ここではＧパネル素子）を粗く位置決めして重ね置く。
（２）ステージ駆動装置３１０により第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２を載せた第１ステージ１００を、位置合わせ装置４００’の下方、すなわちパネル素子位置合わせ位置Ｑ１に移動させる。ここで装置４００’を用いてパネル素子ｃ２をパネル素子ｃ１に位置合わせする。この位置合わせは、図１０の工程（１）と同様であり、ここでは説明を省略する。両パネル素子ｃ１、ｃ２の位置合わせ終了後、保持クリップ８００により位置合わせされた第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の一端部（ここでは図中パネル素子の右側の辺部分）をステージ１００に重ね合わせ状態に保持する。
（３）ステージ駆動装置３１０により両パネル素子ｃ１、ｃ２を載せた第１ステージ１００をパネル素子貼り合わせ開始位置Ｑ２に移動させる。第２パネル素子ｃ２をそのもう一方の端部（図中左側の辺部分）でパネル素子支持部材９１０に保持させるとともに、この部材９１０をクリップ９２０に掴ませる。
（４）クリップ８００により保持されているパネル素子ｃ１、ｃ２の一端部を残して間隙形成装置９００により第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２間に隙間を形成する。すなわち、ウインチ９４０によりワイヤ９５０を巻き取ることで、支持部材９１０を介してクリップ９２０で支持した第２パネル素子ｃ２の端部を、保持クリップ８００により保持されている両パネル素子ｃ１、ｃ２の端部を中心にして回動させて持ち上げる。
【０１８５】
そして、第１ステージ１００の第１パネル素子ｃ１に貼られた両面接着テープＮＮから保護離型シートＮＮ１を除去して接着剤Ｎを露出させる。
（５）クリップ９２０をワイヤ９５０により第２パネル素子ｃ２が撓まないように引っ張りながら、所定の位置まで降下させる。
（６）さらにワイヤ９５０を繰り出しつつステージ駆動装置３１０により第１ステージ１００をさらに移動させ、保持クリップ８００により保持されている両パネル素子ｃ１、ｃ２の一端部が押圧ローラ６００’の下まで来たところで、第２パネル素子ｃ２の上から押圧ローラ６００’を押しつけ開始させる。押圧ローラ６００’はその表面層の弾性にて変形しつつクリップ８００を乗り越えることができる。
（７）押圧ローラ６００’による第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の貼り合わせに伴って、徐々にクリップ９２０を下げながら、押圧ローラ６００’にて第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２を端部保持クリップ８００による保持端部側から順次全面的に貼り合わせていく。
【０１８６】
次に、Ｒパネル素子及びＧパネル素子が貼り合わせされたパネル素子を第１パネル素子ｃ１とみなすとともに次に貼り合わすべき１枚のＢパネル素子を第２パネル素子ｃ２とみなして同様の工程を繰り返して、既に貼り合わせされたパネル素子に次のＢパネル素子を貼り合わせる。かくしてＲパネル素子、Ｇパネル素子及びＢパネル素子が積層された表示パネルＡが得られる。
【０１８７】
次に、図５に示す表示パネル製造装置による液晶表示パネル製造の一例を説明する。
【０１８８】
図１２に図５に示すパネル製造装置の液晶表示パネル製造工程の一例の一部（１）から（５）を説明するための図を示し、図１３に図１２に示す工程の続きの工程（６）及び（７）を説明するための図を示す。なお、図１２及び図１３では、簡略化のため一部の部品については図示を省略してある。
（１）第１パネル素子ｃ１（ここではＲパネル素子）をその貼り合わすべき面が上になるように第１ステージ１００に粗く位置決めしてセットし、パネル素子保持装置１１０によりパネル素子ｃ１をステージ１００の吸着テーブル１０１に吸着させる。第１パネル素子ｃ１の上に第２パネル素子ｃ２（ここではＧパネル素子）を粗く位置決めして重ね置く。
（２）ステージ駆動装置３１０により第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２を載せた第１ステージ１００を、位置合わせ装置４００’の下方、すなわちパネル素子位置合わせ位置Ｑ１に移動させる。ここで位置合わせ装置４００’を用いてパネル素子ｃ１上にパネル素子ｃ２を位置合わせして重ね配置する。この位置合わせは、図１０の工程（１）と同様であり、ここでは説明を省略する。両パネル素子ｃ１、ｃ２の位置合わせ終了後、仮固定装置１０００の一方のクリップ１０１０により位置合わせされた第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の一端部（図中右側の辺部分）をステージ１００に仮固定する。
（３）〜（４）仮固定されたパネル素子とともに第１ステージ１００をステージ駆動装置３１０により元の位置に移動させる。次に、Ｒパネル素子及びＧパネル素子が仮固定されたパネル素子を第１パネル素子ｃ１とみなすとともに次の１枚のＢパネル素子を第２パネル素子ｃ２とみなして前記（１）〜（２）の工程を繰り返し、両パネル素子ｃ１、ｃ２の位置合わせ終了後に仮固定装置１０００の他方のクリップ１０１０により位置合わせされた第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の他端部（図中左側の辺部分）をステージ１００に仮固定する。すなわち、既に仮固定されたＲ、Ｇパネル素子に次のＢパネル素子を仮固定装置１０００の他方のクリップ１０１０により仮固定する。
（５）仮固定されたパネル素子とともに第１ステージ１００をステージ駆動装置３１０により元の位置に移動させ、Ｒパネル素子及びＧパネル素子を仮固定している一方のクリップ１０１０を外す。このようにして、Ｒ、Ｇ、Ｂのパネル素子を位置合わせされた状態で３段に重ね配置する。
（６）仮固定装置１０００の他方のクリップ１０１０により仮固定されたＲ、Ｇ、Ｂパネル素子を載せた第１ステージ１００を穴あけ装置１１００のプレス機１１１０の下方に移動させる。プレス機１１１０でＲ、Ｇ、Ｂの３パネル素子に同時に位置決め穴を開ける。
（７）次に、例えば図１１に示す工程中工程（２）に代えて前記位置決め穴を用いてＲ、Ｇパネル素子の一端部をステージ１００に保持する以外は略図１１に示す各工程を実行してＲ、Ｇパネル素子を貼り合わせ、次いで同様の工程を繰り返して、既に貼り合わされたＲ、Ｇパネル素子にさらにＢパネル素子を貼り合わせて目的とする表示パネルＡを得る。
【０１８９】
以上説明した図２から図５に示す表示パネル製造装置によるいずれの表示パネル製造例においても、隣り合うパネル素子は精度よく位置合わせされた状態で貼り合わされ、それだけ良好な画像表示を行える表示パネルが得られる。
【０１９０】
また図２から図４に示す表示パネル製造装置による各表示パネル製造例では、隣り合うパネル素子は端部から順次貼り合わせていくので、それらパネル素子間から脱気して両者を密着させ、皺等のない状態で貼り合わせることができ、それだけ良好な画像表示を行える表示パネルが得られる。
【０１９１】
図５に示す表示パネル製造装置による表示パネル製造例においても、隣り合うパネル素子の貼り合わせをパネル素子端部から順次全面的に行うことが可能であり、そうすることで、それらパネル素子間から脱気して両者を密着させ、皺等のない状態で貼り合わせることができる。
【０１９２】
また図２から図５に示す表示パネル製造装置のいずれにおいても、隣り合うパネル素子の貼り合わせにおいて該両パネル素子の周囲雰囲気を所定減圧雰囲気とするための減圧室を備えていてもよい。
【０１９３】
図１４（Ａ）〜（Ｄ）に前記した図２から図５に示す各表示パネル製造装置に減圧室１２００及びこれに接続された排気装置１３００がそれぞれ設けられた表示パネル製造装置の概略構成を示す。
【０１９４】
減圧室１２００は気密性を有し、ステージ１００、２００、２００’等を囲むことができる。なお、前記の排気装置１１３、２１３、２１３’、４２７等は減圧室１２００の外側に設けられる。排気装置１３００は、ここではロータリーポンプを含むものであり、減圧室１２００内を排気減圧できる。減圧室１２００はパネル素子を出し入れする図示を省略した気密ドアを有している。
【０１９５】
このような減圧室１２００を採用する場合、図２から図５のパネル製造装置のいずれにおいても、少なくともパネル素子を貼り合わせるときに減圧室１２００内を所定圧力へ減じておく。このときの減圧室１２００内の圧力は、それには限定されないが、例えば１３Ｐａ〜４０Ｐａ（略０．１Ｔｏｒｒ〜０．３Ｔｏｒｒ）程度にする。
【０１９６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によると、互いに異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して、カラー画像を表示する表示パネルを製造する方法及び装置であって、隣り合うパネル素子を要求される状態に貼り合わせることができ、それだけ良好な画像表示を行える表示パネルが得られる表示パネルの製造方法及び装置を提供することをができる。
【０１９７】
さらに言えば、本発明によると、互いに異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して、カラー画像を表示する表示パネルを製造する方法及び装置であって、隣り合うパネル素子が精度よく位置合わせされた状態で貼り合わされ、それだけ良好な画像表示を行える表示パネルが得られる表示パネルの製造方法及び装置を提供することができる。
【０１９８】
また、互いに異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積層して、カラー画像を表示する表示パネルを製造する方法及び装置であって、隣り合うパネル素子をそれらパネル素子間から脱気して両者を密着させ、皺等のない状態で貼り合わせることができ、それだけ良好な画像表示を行える表示パネルが得られる表示パネルの製造方法及び装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】製造しようとする液晶表示パネルの１例の概略側面図である。
【図２】図１に示す液晶表示パネルを製造するための製造装置の一例の概略構成を示す図である。
【図３】図１に示す液晶表示パネルを製造するための製造装置の他の例の概略構成を示す図である。
【図４】図１に示す液晶表示パネルを製造するための製造装置のさらに他の例の概略を示す構成図である。
【図５】図１に示す液晶表示パネルを製造するための製造装置のさらに他の例の概略構成を示す図である。
【図６】図２に示す製造装置において、第１、第２ステージの吸着テーブルに保持された第１、第２パネル素子を上から見た図である。
【図７】図３から図５に示す製造装置において、各パネル素子が相互に位置合わせされる状態を上から見た図である。
【図８】図２に示すパネル製造装置による液晶表示パネル製造工程の一例の一部（１）から（４）を説明するための図である。
【図９】図８に示す工程の続きの工程（５）から（８）を説明するための図である。
【図１０】図３に示すパネル製造装置による液晶表示パネル製造工程の一例（１）から（７）を説明するための図である。
【図１１】図４に示すパネル製造装置による液晶表示パネル製造工程の一例（１）から（７）を説明するための図である。
【図１２】図５に示すパネル製造装置による液晶表示パネル製造工程の一例の一部（１）から（５）を説明するための図である。
【図１３】図１２に示す工程の続きの工程（６）から（７）を説明するための図である。
【図１４】図（Ａ）は図２に示す表示パネル製造装置に、図（Ｂ）は図３に示す表示パネル製造装置に、図（Ｃ）は図４に示す表示パネル製造装置に、図（Ｄ）は図５に示す表示パネル製造装置に、減圧室及び該室内を排気減圧する排気装置が設けられた表示パネル製造装置の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
１００  ステージ
１０１  第１吸着テーブル
１０１ａ  吸気孔
１０２  スライダ
１１０  パネル素子保持装置
１１１  排気室
１１２  フレキシブルチューブ
１１３  排気装置
１２０  ステージ台
２００  第２ステージ
２０１  第２吸着テーブル
２０１ａ  吸気孔
２１０  パネル素子保持装置
２１１  排気室
２１２  フレキシブルチューブ
２１３  排気装置
２００’  第２ステージ
２００ａ’  パネル素子保持表面
２１０’  パネル素子保持装置
２０１’  吸着テーブル
２０１ａ’  吸気孔
２１１’  排気室
２１２’  フレキシブルチューブ
２１３’  排気装置
２２０  ステージ台
３００  第１駆動装置
３１０  ステージ１００の駆動装置
３１１  ガイドレール
３１１ａ  ラックギア
３１２  モータ
３１３  ピニオンギア
３２０  ステージ２００の駆動装置
３２１  第２ステージ支持アーム
３２２  回転駆動部
３２２ａ  軸
３００’  ステージ駆動装置
３１０’  ステージ支持軸
３２０’  回転駆動部
４００、４００’  位置合わせ装置
４１０  カメラ
４３０  制御部
４４０  昇降駆動装置
４２０  Ｘ−Ｙ−θ駆動装置
４２１  パネル素子保持アーム
４２２  Ｘ−Ｙ−θ駆動部
４２３  パネル素子保持装置
４２４  吸着テーブル
４２４ａ  吸気孔
４２５  排気室
４２６  フレキシブルチューブ
４２７  排気装置
４３０’  制御部
５００  位置合わせ装置
５１０  カメラ
５３０  制御部
６１０  押圧部材
６１０ａ  パネル素子押圧周面
６００’  押圧ローラ
６００ａ’  パネル素子押圧周面
８００  保持クリップ
９００  間隙形成装置
９１０  パネル素子支持部材
９２０  クリップ
９３０  ワイヤ案内滑車
９４０  ウインチ
９５０  ワイヤ
１０００  仮固定装置
１０１０  クリップ
１１００  穴あけ装置
１１１０  プレス機
１２００  減圧室
１３００  排気装置
Ａ  液晶表示パネル
Ｂ  青色（ブルー）表示を行うパネル素子
Ｇ  緑色（グリーン）表示を行うパネル素子
Ｒ  赤色（レッド）表示を行うパネル素子
ＢＫ  光吸収層
ｃ１  第１パネル素子
ｃ２  第２パネル素子
Ｄ１、Ｄ２  Ｘ−Ｙ−θ駆動装置
ＬＣ  液晶含有層
ｍ１、ｍ２  パネル素子ｃ１、ｃ２の合わせマーク
Ｎ  接着剤
ＮＮ  両面接着テープ
ＮＮ１  保護離型シート
Ｐ１  押圧位置
Ｐ２  退避位置
Ｐ３  降下位置
Ｐ４  退避位置
Ｑ１  パネル素子位置合わせ位置
Ｑ２  パネル素子貼り合わせ開始位置
Ｓ１、Ｓ２  透明基板
【図１】
0004543491.tif 000002
【図２】
0004543491.tif 000003
【図３】
0004543491.tif 000004
【図４】
0004543491.tif 000005
【図５】
0004543491.tif 000006
【図６】
0004543491.tif 000007
【図７】
0004543491.tif 000008
【図８】
0004543491.tif 000009
【図９】
0004543491.tif 000010
【図１０】
0004543491.tif 000011
【図１１】
0004543491.tif 000012
【図１２】
0004543491.tif 000013
【図１３】
0004543491.tif 000014
【図１４】
0004543491.tif 000015