(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体中で作動可能な圧電アクチュエーターであって、
第１と第２の電気的リード線を持つ圧電素子と、
前記圧電素子を囲む伝導性の層と、
前記伝導性の層を囲むシールとを備え、
そのシールは流体に対して実質的に不浸透性であることを特徴とする圧電アクチュエーター。
【請求項２】
前記伝導性の層が電気的に接地されていることを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエーター。
【請求項３】
前記伝導性の層は第１と第２の電気的リード線のうちの一つと電気的に連結されていることを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエーター。
【請求項４】
前記伝導性の層と実質的に不浸透性の前記シールは単一材料で提供されていることを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエーター。
【請求項５】
前記伝導性の層は実質的に不浸透性の前記シールで囲まれていることを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエーター。
【請求項６】
流体中で作動可能な圧電アクチュエーターであって、
圧電素子と、
前記圧電素子の周りを電気的に遮蔽するための遮蔽手段と、
前記遮蔽手段を囲む流体から前記圧電素子を密封するための密封手段とを備えることを特徴とする圧電アクチュエーター。
【請求項７】
前記遮蔽手段と前記密封手段とが単一材料で提供されていることを特徴とする請求項６記載の圧電アクチュエーター。
【請求項８】
前記密封手段は、前記遮蔽手段を囲む流体から前記遮蔽手段を密封していることを特徴とする請求項７記載の圧電アクチュエーター。
【請求項９】
第１と第２の電極を持つ圧電アクチュエーターを流体中で作動して活性化するための方法であって、
（ａ）圧電アクチュエーターの外部に電気的に伝導性のコーティングを備え、
（ｂ）流体に対し実質的に不浸透性のシールによって、流体から電気的に伝導性のコーティングを遮蔽し、
（ｃ）前記第１と第２の電極の間に電位を加えることを特徴とする圧電アクチュエーターを活性化する方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
発明の属する技術分野
本発明は圧電アクチュエーターに係り、より詳しくは、水のような電解溶液中で作動可能な圧電ベンダー（bender）に関する。
【０００２】
背景技術
弁を通して流体の流れをコントロールするために、圧電アクチュエーターが普通に利用されている。一般的に、ベンダーのような圧電アクチュエーターは、一般的には金属である、伝導電極間に積み重ねられたピエゾセラミック材料（例えば、ジルコン酸チタン酸鉛のように）の層から作られる。そして、ピエゾセラミック材料の層を越えて電界を創造するために電位が加えられている。
【０００３】
一般的に、流体の流れをコントロールするとき、圧電ベンダーは、金属とピエゾセラミック材料の層での流体による腐食や化学的攻撃を防ぐために、流体から隔離されている。水に侵された圧電ベンダーのある失敗モードは、セラミック層を通して、金属樹脂状結晶が増加し、その結果として伝導層とともにショートすることである。たとえこのベンダーが遮蔽されていても、水は遮蔽材と侵食的に相互作用をして、それが圧電ベンダーの絶縁破壊の原因になるかもしれない。
【０００４】
従って、水や他の電解溶液中において不浸透性で働くための圧電アクチュエーターの構成の開発が望まれている。
【０００５】
発明の要旨
本発明は、一実施の形態において、流体中で作動可能な圧電アクチュエーターに向けられている。圧電アクチュエーターは、第１と第２の電気的なリード線（lead）、圧電素子を囲む伝導層、そして、圧電素子を囲む流体から実質的に不浸透性のシール（seal）を持つ。この発明の別の実施の形態では、伝導層と実質的に不浸透性のシールは電気的に接地され、伝導層は第１と第２の電気的リード線のうちの一つと連結されている。さらに別の実施の形態では、伝導層と実質的な不浸透性のシールは単一材料により提供され、そして、伝導層は実質的に不浸透性のシールによって囲まれている。
【０００６】
本発明のさらに別の実施の形態によれば、流体中で作動可能な圧電アクチュエーターが提供され、流体中でそのアクチュエーターは、外部と内部に電極を持つ圧電素子を含み、その外部の電極は電気的に接地されている。圧電アクチュエーターは、また、圧電素子を囲むシールを持ち、そのシールは、流体に対し実質的に不浸透性である。その外部電極は電気的に接地され得る。
【０００７】
本発明のもう一つの面によれば、そこでは第１と第２の電極を持つ圧電アクチュエーターを活性化する方法が提供される。その方法は、圧電アクチュエーターの外部に電気的に導電性のコーティングを設けるステップ、流体に対し実質的に不浸透なシールによって、流体から電気的に導電性のコーティングを遮蔽するステップ、及び第１と第２の電極間に電位を加えるステップを含んでいる。
【０００８】
発明の実施の形態
図１Ａ及びＢは、本発明の一実施の形態における圧電ベンダー１０を示している。図１Ａに示すように、ベンダー１０はリラックスして不活性のままである。一方、図１Ｂは、活性化した、または曲げられた状態のベンダー１０を示している。この曲がりは、次に図２を参照して議論するように、ピエゾセラミック材料の層に電界を加えることによって達成される。図２に示すように、ピエゾセラミックのベンダー１０は、交互のパターンで整列された多数の電極層１１を差し込まれたピエゾセラミック材料８からなる。電極層１１は、伝導性の材料、典型的には金属により作られる。これはピエゾセラミック材料８にとって従来からよく知られている適用である。唯一の例としてここで示す電極層１１のある配置では、電極の上側グループ１２は、電極の下側グループ１４がそうであるように、また、第３の電極になる内側グループもそうであるように、電気的に相互に連結される。内側グループ１６から一つの電極が上側グループ１２の各隣接電極と下側グループ１４の各隣接した２つの電極の間に配置されるように、その電極は差し込まれている。電極の配置が示された圧電ベンダーの一例は、オランダのローモンドでフィリップコンポーネントにより作られた、モデル番号P/N 9922 531 50026のフィリップスベンダー（Phillips bender）である。前述したフィリップベンダーは、２２個の活性圧電層を持っている。伝導性コンタクト１２０は、上側グループ１２のすべての電極と電気的に連結され、一方、伝導性コンタクト１４０は、下側グループ１４のすべての電極と電気的に連結されている。同様に、伝導性コンタクト１６０は、内側グループ１６のすべての電極と電気的に連結れされている。伝導性コンタクト１２０、１４０、及び１６０は、外部電気回路に対してそれぞれの電極の接続を与えている。
【０００９】
発明のもう一つの実施の形態によれば、２つの圧電層は、２つの圧電層の中に配置された電極とそれぞれの層の外部に配置された電極によって、二重層として構成されてよい。従って、この表現やいくらかの追加されたクレームで使われるように、“多層（multi-layer）”という言葉は、圧電材料の層の一つよりも多くの層を含む。流体中で作動可能なアクチュエーターのために圧電材料の一層を使用することは、同様に発明の範囲内のものである。
【００１０】
ベンダー１０の作用のある知られた形態では、コンタクト１２０と１６０は接地され、コンタクト１４０は、どちらにしても電流制限用の直流抵抗器１８０を経由して、６０Ｖの電位あるいは接地と切り替えられるであろう。コンタクト１４０が接地されているとき、圧電ベンダー１０は不活性の状態であり（図１Ａ）、ベンダー１０は縦軸１９０と実質的に平行を保っている。コンタクト１４０が６０Ｖの電位と接続されているとき、圧電ベンダー１０は活性化し、図１Ｂに示されたように縦軸１９０との関係で曲がる。
【００１１】
もし、圧電ベンダーが水あるいは別のイオン化できる流体にさらされるならば、その流体は、ベンダー電極に加えられた電位のために電気分解されるかもしれない。それゆえに、ベンダー中に発生する電界から圧電ベンダーの外部表面に直接隣接する流体を遮蔽することが望ましい。
【００１２】
発明の好ましい実施の形態の通り、伝導性のコーティング１８は、ファラデー遮蔽を作るためにベンダー１０の全体に設けられる。電気技術の分野で当業者に知られているように、ファラデー遮蔽は、等電位面によって、伝導性の包囲内のどんな電場発生源の効力からでもその外面を保護する伝導性の包囲である。従って、伝導性のコーティング１８内に加えられた電位のために伝導性のコーティング１８の外部の領域２０内に電場は存在しない。適宜な堆積技術を用いて施された、いかなる伝導性のコーティング１８も、本発明の範囲内にある。伝導性のコーティング１８は、好ましくは透過性がないものであり、どんな流体も伝導性のコーティングにより囲まれた領域内に入ることができない。また、さらに、伝導性のコーティング１８は、同様に、伝導性のコーティングにより囲まれた領域内への流体の進入を防ぐために、透過性がない材料のコーティングで囲まれていてもよい。
【００１３】
伝導性のコーティング１８の成分は、金属合金、ゲル、その他任意の伝導性の材料である。上述のように、流体がファラデー遮蔽の内側領域に進入するのを防ぐために、流体バリアの層、例えば、パリレン（parylene）のような疎水性成分が、コーティング１８の周囲に設けられ得る。
【００１４】
さらに図２を参照すると、発明のもう一つの実施の形態では、４で割り切れるピエゾ層の数を持つベンダー電極のあらゆる形状において、コンタクト１６０に接続された最も外側の電極は、外部電極とそれを取り囲む媒体との間には他に電極が存在しないという意味において、外部電極ということができる。従って、コンタクト１６０を接地することによって、電気的に遮蔽することは、ベンダーの２つの表面に関して達成される。しかしながら、周縁の電界は、まだ圧電ベンダーの端から流体領域に漏れるかもしれない。
【００１５】
図３Ａ〜Ｃは、図２のピエゾベンダー１０の上面、側面、及び端面を示している。上述のように、図２で示される電極の上側グループ１２、下側グループ１４、及び内側グループ１６にそれぞれ接続されたコンタクト１２０、１４０、及び１６０は、図示されるようにベンダーの集合の外部に示される。発明のもう一方の実施の形態によれば、内部と上側グループの電極に連結されているコンタクト１６０及び１２０は、それぞれ両方とも接地されている。従って、そのアクチュエーターの電極間に作られた電界は、周縁部の効力とは別に、デバイス内で終わる。かくて、取り囲む媒体は、アクチュエーター内で作られた場から効果的に遮蔽されている。
【００１６】
発明の別の実施の形態によれば、公知の伝導性のコーティングを作る手段によって、コンタクト１２０と１６０は、圧電アクチュエーター外部全体をカバーするために広げられてもよい。これは、上述したように、デバイス全体を囲むファラデー遮蔽を発生する効力を持つ。発明の一実施の形態によれば、手段はコンタクト１２０と１６０の共通の接地接続に関する電位を加えるために、コンタクト１４０に連結されたリード線を引き出す手段が与えられる。アクチュエーター内に発生した電界は記述される方法によって、囲む媒体から遮蔽されるので、媒体の電気分解は除かれ、それによってデバイスの腐食量は減少する。
【００１７】
伝導性のコーティング１８がファラデー遮蔽として振る舞うために、周囲の流体の浸透から電界を遮蔽して、伝導性のコーティングの内部領域から流体を排除することが重要である。結果として、実質的に不浸透性のコーティングが、遮蔽の内部から流体を排除するために設けられる。発明の一実施の形態において、電気的に導電性のコーティング１８は、不浸透のコーティングとして振る舞う。また、これに代わり、又は、これに加えて、流体バリアの層、例えば、パリレンのような疎水性成分は、さらに水漏れあるいは伝導性のコーティングの内部へ移動を防ぐためにコーティング１８として設けられ得るだろう。
【００１８】
本発明はその特定の実施の形態との関係について説明されているが、それ以上の変更の可能性があることが理解されるであろう。特に、それぞれのコンタクトは、ベンダー上に不浸透性の疎水性成分をコーティングすることが容易に行えるように、例えば図３Ａ〜Ｃに示されたベンダー１０上の位置と違う位置に移動され得る。コーティングの成分あるいはコーティングの数の変更もまたなされ得る。さらに、センサーとしての圧電素子の使用は、本発明の、そして付加されたクレームの範囲内にある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１Ａは、本発明の一実施の形態における活性化されていない圧電ベンダー（bender）の側面図である。
図１Ｂは、図１Ａに示す圧電ベンダーが活性化されたときの側面図を示す図である。
【図２】  図２は、図１Ａの圧電ベンダーの断面積の概要を表し、外部コンタクトと電極との連結を示す図である。
【図３】  図３Ａ〜Ｃは、本発明の実施の形態における圧電ベンダーの上面、側面、及び端面を示す図である。
【符号の説明】
８  ピエゾセラミック材料
１０  圧電ベンダー
１１  電極層
１２  電極の上側グループ
１４  電極の下側グループ
１６  電極の内側グループ
１８  伝導性のコーティング
１８０  直流抵抗器
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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