(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに連通する流体通路(5a)(31)を有している第１および第２の継手部材(5)(5A)(12)と、両継手部材(5)(5A)(12)の突き合わせ端面間に介在させられる断面略Ｃ形の環状ガスケット(51)と、ガスケット(51)の外周を保持してこれをいずれか一方の継手部材(5)(5A)に保持させるリテーナ(52)(62)とを備えている流体継手において、各継手部材(5)(5A)(12)の突き合わせ面に、ガスケット(51)の側面に圧接される平坦なガスケット押え面(44b)(45b)を有するガスケット収納凹所(44)(45)が設けられており、いずれか一方の継手部材(12)のガスケット収納凹所(45)に、断面略Ｃ形のガスケット(51)が断面略方形の環状ガスケット(41)に交換された際にこの断面略方形のガスケット(41)の側面に食い込む環状突起(45a)が、断面略Ｃ形のガスケット(51)に干渉しないように設けられていることを特徴とする流体継手。
【請求項２】
断面略Ｃ形のガスケット(51)が断面略方形のガスケット(41)に交換された際にこの断面略方形のガスケット(41)の側面に食い込む環状突起(44a)が、他方の継手部材(5A)のガスケット収納凹所(44)にも設けられている請求項１の流体継手。
【請求項３】
各継手部材(5)(5A)(12)に、ガスケット収納凹所(44)(45)の外周に連なりかつこれより深いガイドリング収納凹所(46)(47)が設けられ、いずれか一方の継手部材(5)(5A)のガイドリング収納凹所(46)に、両継手部材(5)(5A)(12)突き合わせ時に他方の継手部材(12)のガイドリング収納凹所(47)を案内するガイドリング(43)(53)が嵌め入れられており、ガイドリング(43)(53)内周面に、リテーナ(42)(52)との干渉を避ける凹所(43a)(53a)が設けられている請求項１または２の流体継手。
【請求項４】
断面略Ｃ形のガスケット(51)は、その外周面中央部にある開口縁部にリテーナ(62)の内周縁部が嵌め合わせられることで、リテーナ(62)によって保持されており、リテーナ(62)は、継手部材(5)(5A)(12)の突き合わせ端面間に保持されている請求項１または２の流体継手。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、流体継手に関し、特に、半導体製造用流体制御装置において、マスフローコントローラ、開閉弁およびこれらの間に介在される連結ブロックなどを連結するさいに有用な流体継手に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造用流体制御装置は、流量を調整するマスフローコントローラや圧力を調整するプレッシャーレギュレータ等の調整器と開閉弁等とが組み合わされて構成されるものであるが、本出願人は、このさいの好ましい構成として、マスフローコントローラと開閉弁とが適切な連結ブロックを介して連結されるようになされているものを提案している（特開平８−３２６９４３号公報参照）。これに開示されている流体継手の構成を図７に示す。
【０００３】
図７において、流体継手は、突き合わせ端面にそれぞれガスケット押さえ用環状突起(98)(99)が設けられた雄型および雌型の継手部材(91)(92)と、両継手部材(91)(92)の突合わせ端面に介在させられる断面略方形の環状ガスケット(93)と、ガスケット(93)の外周面を保持してガスケット(93)を雌型の継手部材(92)に保持させるリテーナ(94)とを備えている。ここで、各継手部材(91)(92)は、連結ブロックであったり、マスフローコントローラ本体であったり、開閉弁に接続されたブロックであったりする。そして、これらの継手部材(91)(92)の突き合わせ端面のいずれか一方が雄型、他方が雌型とされ、雌型の継手部材(92)の突き合わせ端面に設けられた嵌合凹部(96)に、雄型の継手部材(91)の突き合わせ端面に軸方向に突出して設けられた嵌合凸部(95)が嵌め合わされることによって継手部材(91)(92)同士の径方向へのずれが防止されている。そして、雌型の継手部材(92)の突合わせ端面に、リテーナ保持用円筒部(97)が形成され、リテーナ(94)は、このリテーナ保持用円筒部(97)を保持することにより、ガスケット(93)を雌型の継手部材(92)に保持させている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の継手において、両継手部材の突き合わせ面の形状は、ガスケットおよびリテーナの形状に合うように作成されており、図７に示されている断面略方形のガスケットをＣリングと称される断面Ｃ形のガスケットに置き換えるには、両継手部材の形状の変更が必要となる。同様に、断面Ｃ形のガスケットを使用した公知の流体継手において、このガスケットを上記の断面略方形のガスケットに置き換えるにも、両継手部材の形状の変更が必要となる。そのため、異なる形状のガスケットを両方とも使用する半導体製造用流体制御装置のユーザーにとって、一方のガスケットを他方のガスケットに変更する際に、両継手部材を含めた大きな変更が負担となっており、ガスケットの形状が変更されても使用可能な汎用性を有する流体継手が要望されている。
【０００５】
この発明の目的は、ガスケットの形状が変更されても使用可能な汎用性を有する流体継手を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
この発明による流体継手は、互いに連通する流体通路を有している第１および第２の継手部材と、両継手部材の突き合わせ端面間に介在させられる断面略Ｃ形の環状ガスケットと、ガスケットの外周を保持してこれをいずれか一方の継手部材に保持させるリテーナとを備えている流体継手において、各継手部材の突き合わせ面に、ガスケットの側面に圧接される平坦なガスケット押え面を有するガスケット収納凹所が設けられており、いずれか一方の継手部材のガスケット収納凹所に、断面略Ｃ形のガスケットが断面略方形の環状ガスケットに交換された際にこの断面略方形のガスケットの側面に食い込む環状突起が、断面略Ｃ形のガスケットに干渉しないように設けられていることを特徴とするものである。
【０００７】
各継手部材のガスケット収納凹所の深さは、断面略Ｃ形のガスケットの厚みの半分よりも若干小さく形成され、断面略方形のガスケットの厚みは、断面略Ｃ形のガスケットの厚みよりも若干小さく形成される。また、リテーナには、ガスケットの外周を保持する弾性を有する爪（ガスケット保持部）が設けられるとともに、爪の内径は、断面略Ｃ形のガスケットの外径よりも若干小さく形成され、断面略方形のガスケットの外周には、爪の内径にほぼ等しい外径を有する小径部が設けられる。
【０００８】
この流体継手によると、継手部材同士が密着した際に、両継手部材のガスケット収納凹所のガスケット押え面がガスケットの両側面を押圧することにより、シールが果たされる。そして、この断面略Ｃ形のガスケットを断面略方形のガスケットに交換する際には、環状突起が設けられている継手部材は、そのまま使用し、もう一方の継手部材を環状突起が設けられている継手部材に変更すればよい。変更後の流体継手によると、継手部材同士が密着した際に、両継手部材のガスケット収納凹所の環状突起がガスケットに食い込むことにより、シールが果たされ、こうして、ガスケットを形状の異なるものに交換する場合でも、小変更で対応することができる。ここで、変更の必要がない継手部材を交換しにくい側に、変更の必要がある継手部材を交換しやすい側（例えば、上段部材および下段部材のうちの下段部材とか、部品数が少ない方とか）に配置しておくことにより、変更時の手間がより低減される。
【０００９】
ガスケットが断面略方形のガスケットに交換された際にこの断面略方形のガスケットの側面に食い込む環状突起が、他方の継手部材のガスケット収納凹所にも設けられていることが好ましい。このようにすると、断面略Ｃ形のガスケットを断面略方形のガスケットに交換する場合に、継手部材の両方共を変更せずに済むことから、ガスケットを形状の異なるものに交換する場合に、より小変更で対応することができる。
【００１０】
各継手部材に、ガスケット収納凹所の外周に連なりかつこれより深いガイドリング収納凹所が設けられ、いずれか一方の継手部材のガイドリング収納凹所に、両継手部材突き合わせ時に他方の継手部材のガイドリング収納凹所を案内するガイドリングが嵌め入れられており、ガイドリング内周面に、リテーナとの干渉を避ける凹所が設けられているが好ましい。このようにすると、上記の効果に加えて、一方の継手部材に対する他方の継手部材の径方向のずれが小さく抑えられ、ガスケットの形状によらず確実なシール性が確保される。
【００１１】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
【００１２】
この明細書において、上下・左右は、図２の上下・左右をいうものとし、前とは、同図表側、後とは、同図裏側をいうものとする。なお、この上下は、便宜的なものであり、上下が逆になったり、横になったりすることもある。
【００１３】
図１および図２は、この発明の流体継手が使用される流体制御装置の一部を示している。流体制御装置(1)は、基板(11)に取り付けられた複数のブロック継手(5)(6)(7)(8)(9)(10)と、これらのブロック継手(5)(6)(7)(8)(9)(10)に取り付けられた複数種類の流体制御器(2)(3)(4)により構成されている。
【００１４】
流体制御器(2)(3)(4)は、左から順に、第１ブロック弁(2)、マスフローコントローラ（調整器）(3)および第２ブロック弁(4)であり、ブロック継手(5)(6)(7)(8)(9)(10)は、左から順に、それぞれ上向きの左部開口および右部開口を有する第１Ｖ字状通路(5a)付きブロック継手(5)、上向きの開口および後向きの開口を有する第１Ｌ字状通路(6a)付きブロック継手(6)、それぞれ上向きの左部開口および右部開口を有する第２Ｖ字状通路(7a)付きブロック継手(7)、それぞれ上向きの左部開口および右部開口を有する第３Ｖ字状通路(8a)付きブロック継手(8)、上向きの開口および後向きの開口を有する第２Ｌ字状通路(9a)付きブロック継手(9)並びに上向きの開口および右向きの開口を有する第３Ｌ字状通路(10a)付きブロック継手(10)である。
【００１５】
各ブロック継手(5)(6)(7)(8)(9)(10)の所定箇所には、貫通孔(25)およびねじ孔(26)が設けられており、貫通孔(25)に通されたボルト（図示略）が基板(11)のねじ孔（図示略）にねじ込まれることにより基板(11)に固定されている。各流体制御器(2)(3)(4)は、上方より通されたボルト(27)がブロック継手(5)(6)(7)(8)(9)(10)のねじ孔(26)にねじ込まれることにより対応するブロック継手(5)(6)(7)(8)(9)(10)に固定されている。
【００１６】
第１ブロック弁(2)は、左右に長い直方体ブロック状本体(12)と、本体(12)上面に取り付けられた第１アクチュエータ(13)および第２アクチュエータ(14)と、本体(12)右側面に取り付けられた逆Ｌ字状通路(15a)付き右ブロック(15)と、本体後側面に取り付けられた逆Ｌ字状通路（図示略）付き後ブロック(16)とよりなり、本体(12)左端部が第１Ｖ字状通路(5a)付きブロック継手(5)の右半部に、右ブロック(15)が第２Ｖ字状通路(7a)付きブロック継手(7)の左半部に、後ブロック(16)が第１Ｌ字状通路(6a)付きブロック継手(6)にそれぞれ取り付けられている。
【００１７】
第１ブロック弁(2)の本体(12)には、左端部において下向きに開口し第１Ｖ字状通路(5a)付きブロック継手(5)の右部開口に通じている第１流入路(31)と、第１流入路(31)と第１アクチュエータ(13)を介して連なるとともに右ブロック(15)の逆Ｌ字状通路(15a)の右向き通路に通じる流出路(32)と、流出路(32)と第２アクチュエータ(14)を介して連なるとともに第１Ｌ字状通路(6a)付きブロック継手(6)の上向き開口に通じる下向きの第２流入路(33)とが設けられている。右ブロック(15)の逆Ｌ字状通路(15a)の下向き通路が第２Ｖ字状通路(7a)付きブロック継手(7)の左部開口に通じている。
【００１８】
調整器(3)の左側面の下端部には、調整器(3)の流入路（図示略）に連通する逆Ｌ字状通路(17a)を有する左ブロック(17)が左方に張り出して設けられており、調整器(3)の右側面の下端部には、調整器の流出路（図示略）に連通する逆Ｌ字状通路(18a)を有する右ブロック(18)が右方に張り出して設けられている。そして、左通路ブロック(17)が第２Ｖ字状通路付きブロック継手(7)の右半部に取り付けられることにより、左ブロック(17)の逆Ｌ字状通路(17a)と第１ブロック弁(2)の右ブロック(15)の逆Ｌ字状通路(15a)とが、第２Ｖ字状通路(7a)付きブロック継手(7)を介して連通させられている。調整器(3)の右ブロック(18)は、第３Ｖ字状通路(8a)付きブロック継手(8)の左半部に取り付けられている。
【００１９】
第２ブロック弁(4)は、左右に長い直方体ブロック状本体(19)と、本体(19)上面に取り付けられた第３アクチュエータ(20)および第４アクチュエータ(21)と、本体(19)右側面に取り付けられた逆Ｌ字状通路(22a)付き右ブロック(22)と、本体後側面に取り付けられた逆Ｌ字状通路付き後ブロック(23)とよりなり、本体(19)左端部が第３Ｖ字状通路(8a)付きブロック継手(8)の右半部に、右ブロック(22)が第３Ｌ字状通路(10a)付きブロック継手(10)に、後ブロック(23)が第２Ｌ字状通路(9a)付きブロック継手(9)にそれぞれ取り付けられている。第３Ｌ字状通路(10a)付きブロック継手(10)の右向き開口には流体流出部(24)が設けられている。
【００２０】
第２ブロック弁(4)の本体(19)には、左端部において下向きに開口し第３Ｖ字状通路(8a)付きブロック継手(8)の右部開口に通じている流入路(34)と、流入路(34)と第３アクチュエータ(20)を介して連なるとともに右ブロック(22)の逆Ｌ字状通路(22a)の右向き通路に通じる第１流出路(35)と、第１流出路(35)と第４アクチュエータ(21)を介して連なるとともに第２Ｌ字状通路(9a)付きブロック継手(9)の上向き開口に通じる下向きの第２流出路(36)とが設けられている。そして、第２ブロック弁(4)の逆Ｌ字状通路(22a)付き右ブロック(22)と第３Ｌ字状通路(10a)付きブロック継手(10)とが連通させられている。
【００２１】
各部材(5)(2)(6)(15)(7)(17)(18)(8)(4)(9)(22)(10)同士の連結部には、それぞれこの発明の流体継手(30)が設けられている。
【００２２】
図３を参照して、第１Ｖ字状通路(5a)付きブロック継手(5)（以下、第１継手部材と称す）と第１ブロック弁(2)の本体(12)（以下、第２継手部材と称す）との間に設けられたこの発明による流体継手の第１の実施形態について説明する。
【００２３】
流体継手は、第１の流路(5a)を有する第１継手部材(5)と第１の流路(5a)に通じる第２の流路(31)を有する第２継手部材(12)とを流体密に連結するための構成であって、両継手部材(5)(12)と、両継手部材(5)(12)の突合わせ端面間に介在させられている断面略Ｃ形のガスケット(51)と、ガスケット(51)を保持してこれを図示した例では第１の継手部材(5)に保持させているリテーナ(52)と、リテーナ(52)の外側に取り付けられたガイドリング(53)と、両継手部材(5)(12)を連結するねじ手段とよりなる。
【００２４】
第１継手部材(5)および第２継手部材(12)の各突き合わせ端面には、流体通路(5a)(31)開口を囲む環状のガスケット収納凹所(44)(45)と、これの外周に段部(46a)(47a)を介して連なりかつこれより深いガイドリング収納凹所(46)(47)とが設けられている。ガスケット収納凹所(44)(45)の底面(44b)(45b)は、平坦でかつ突き合わせ端面に対しガスケット(41)(51)の厚みの半分よりも若干浅く凹まされている。第２継手部材(12)のガスケット収納凹所(45)の内周縁部には、環状突起(45a)が形成されている。
【００２５】
断面略Ｃ形のガスケット(51)は、Ｃリングと称されているもので、断面Ｃ形の環状体(54)と、この内部に収納されたコイルスプリング(55)とよりなる。
【００２６】
リテーナ(52)は、ステンレス鋼板で一体的に形成されたもので、円筒状をなし、その一端に、軸方向にのびかつ第１継手部材(5)のガスケット収納凹所(44)とガイドリング収納凹所(46)との間の段部(46a)に嵌め合わせられている継手保持部(52a)が形成され、その他端に、径方向にのびかつガスケット(51)の外周を保持する爪状のガスケット保持部(52b)が形成されている。ステンレス鋼板は薄板であり、継手保持部(52a)およびガスケット保持部(52b)は、いずれも径方向の弾性を若干有している。
【００２７】
また、ガイドリング(53)は、ステンレス鋼製で、第１継手部材(5)のガイドリング収納凹所(46)にきっちり嵌め入れられている嵌入部(58)と、第２継手部材(12)のガイドリング収納凹所(47)にゆるく嵌め入れられている案内部(59)とよりなり、内周面には、嵌入部(58)および案内部(59)にまたがって、リテーナ(52)との干渉を避けるための凹所(53a)が形成されている。嵌入部(58)の内径は、ガスケット収納凹所(44)とガイドリング収納凹所(46)との間の段部(46a)の径に等しく、同外径は、ガイドリング収納凹所(46)の外径に等しく、その端面は、ガイドリング収納凹所(46)の底面に当接している。また、案内部(59)の内径は、ガスケット収納凹所(45)とガイドリング収納凹所(47)との間の段部(47a)の径に等しく、同外径は、ガイドリング収納凹所(47)の外径よりも小さく、その端面は、ガイドリング収納凹所(47)の底面から離れている。
【００２８】
同図に示すように、リテーナ(52)にガスケット(51)が嵌め合わされた状態でリテーナ(52)およびガスケット(51)が第１継手部材(5)に保持され、ガスケット(51)の位置決めが行われている。そして、第２継手部材(12)は、リテーナ(52)およびガスケット(51)を保持した第１継手部材(5)に突き合わされ、このとき、第２継手部材(12)は、ガイドリング(53)の案内部(59)に案内され、径方向のずれが抑制される。この継手によると、継手部材(5)(12)同士が密着した際に両継手部材(5)(12)のガスケット収納凹所(44)(45)の底面(44b)(45b)がガスケット(51)の両面を押圧することにより、シールが果たされる。第２継手部材(12)のガスケット収納凹所(45)に設けられている環状突起(45a)は、シールには関与していない。
【００２９】
次いで、図４を参照して、この発明による流体継手の第２実施形態を説明する。この種の流体継手においては、メンテナンス時に、ガスケット交換が必要となるが、この場合に、上記の断面略Ｃ形のガスケット(51)を断面略方形のガスケット(41)に交換する必要性が生じる場合もある。断面略方形のガスケット(41)は、ステンレス鋼製で、図４に示すように、両継手部材(5)(12)の流路径に等しい内径を有し、ガスケット収納凹所(44)(45)の外径にほぼ等しい外径を有し、ガスケット(41)の第１継手部材(5)に接する部分には、ガスケット収納凹所(44)(45)の外径より小さい小径部(41a)が設けられているものである。このガスケット(41)に対応して、第１継手部材(5)、リテーナ(52)およびガイドリング(53)の仕様が、以下のように変更される。なお、変更されないものについては、第１実施形態と同じ符号を付して説明を省略する。
【００３０】
まず、符号(5A)で示す第１継手部材は、第２継手部材(12)と対称となるように形成される。すなわち、そのガスケット収納凹所(45)の内周縁部に環状突起(45a)が形成されたものとされる。また、リテーナ(42)は、リテーナ(52)と同様の継手保持部(42a)およびガスケット保持部(42b)を有しているが、その軸方向長さが、このリテーナ(42)では、ガスケット(41)の中央よりもずれたところを保持するために相対的に長く形成され、図３のもの(52)では、ガスケット(51)の中央を保持するために相対的に短く形成されている。また、ガイドリング(43)は、ガイドリング(53)と同様に、嵌入部(58)および案内部(59)よりなるが、リテーナ(42)(52)に干渉しないようにガイドリング(43)(53)の内周面に設けられた凹所(43a)(53a)は、図４のガイドリング(43)のもの(43a)では、方形に形成され、図３のガイドリング(53)のもの(53a)では、台形に形成されている。
【００３１】
こうしておいて、流体継手のねじ手段を締め付けると、継手部材(5A)(12)同士が密着した際に両継手部材(5A)(12)のガスケット収納凹所(44)(45)に設けられた環状突起(44a)(45a)がガスケット(41)の側面に食い込むことにより、シールが果たされる。なお、リテーナ(42)にガスケット(41)が嵌め合わされた状態でリテーナ(42)およびガスケット(41)が第１継手部材(5A)に保持され、ガスケット(41)の位置決めが行われていること、また、第２継手部材(12)は、リテーナ(42)およびガスケット(41)を保持した第１継手部材(5A)に突き合わされ、このとき、第２継手部材(12)は、ガイドリング(43)の案内部(49)に案内され、径方向のずれが抑制されることは、第１実施形態のものと同様である。
【００３２】
上記とは逆に、図４に示す断面略方形のガスケット(41)を図３に示した断面略Ｃ形のガスケット(51)に交換する必要性が流体継手のユーザー側に生じる場合もある。この場合には、図５（第３実施形態）に示すように、図４のガスケット(41)、リテーナ(42)およびガイドリング(43)を図３に示したガスケット(51)、リテーナ(52)およびガイドリング(53)に交換することにより、第１継手部材(5A)については、断面略方形のガスケット(41)用の仕様のものをそのまま支障無く流用することができる。断面略Ｃ形のガスケット(51)を使用する流体継手において、図５に示すように、第１継手部材(5A)のガスケット収納凹所(45)に環状突起(45a)を形成しておけば、このガスケット(51)を図４に示した断面略方形のガスケット(41)に変更する際には、第１継手部材(5A)を変更する必要がない。
【００３３】
上記第１実施形態から第３実施形態までの流体継手によると、リテーナ(42)(52)は、第１および第２の継手部材(5)(5A)(12)のどちらでも保持できるから、図１および図２に示す流体制御装置(1)を組立てるさいに、各構成部材(2)(4)(5)(5A)(6)(7)(8)(9)(10)(15)(17)(18)(22)の突き合わせ端面が雄型か雌型かを区別せずに、これらを順次連結していくことができる。そして、第２継手部材(12)が、ガイドリング(43)(53)の案内部(49)(59)に案内されて第１継手部材(5)(5A)に突き合わされるので、組立てが容易に行え、しかも、第２継手部材(12)の第１継手部材(5)(5A)に対する径方向への移動量は、極めて小さい値に抑えられる。
【００３４】
そして、ユーザー側では、断面略方形のガスケット(41)であっても断面略Ｃ形のガスケット(51)であっても使用可能であり、どちらか一方を他方に変更する場合であっても、流体継手全体を変更する必要はなく、容易にガスケット(41)(51)の形状を変更することができる。
【００３５】
上記流体継手において、ガイドリングは常に必要なものではなく、図６（第４実施形態）に示すように、ガイドリング無しとしてもよい。
【００３６】
同図において、第１継手部材(5A)および第２継手部材(12)の各突き合わせ端面には、流体通路(5a)(31)開口を囲む環状のガスケット収納凹所(44)(45)だけが設けられている。
【００３７】
そして、同図（ａ）の流体継手によると、継手部材(5A)(12)同士が密着した際に、両継手部材(5A)(12)のガスケット収納凹所(44)(45)の環状突起(44a)(45a)が断面略方形のガスケット(61)に食い込むことにより、シールが果たされており、同図（ｂ）の流体継手によると、継手部材(5A)(12)同士が密着した際に、両継手部材(5A)(12)のガスケット収納凹所(44)(45)のガスケット押え面(44b)(45b)が断面略Ｃ形のガスケット(51)の両側面を押圧することにより、シールが果たされている。
【００３８】
断面略Ｃ形のガスケット(51)は、その外周面中央部に嵌め合わせられたリテーナ(62)によって保持されており、断面略方形のガスケット(61)には、その外周面中央部に、このリテーナ(62)の内端部が嵌め合わせられる環状溝(61a)が設けられている。このような構成とすることにより、両流体継手で使用されているリテーナ(62)を共通なものとすることができる。
【００３９】
したがって、断面略Ｃ形のガスケット(51)を断面略方形のガスケット(61)に交換する際、逆に、断面略方形のガスケット(61)を断面略Ｃ形のガスケット(51)に交換する際には、ガスケット(51)(61)の形状が大きく異なるにも関わらず、同形状のガスケットに交換するのと同じ手間で済ませることができる。
【００４０】
なお、図６（ｂ）において、第１継手部材(5A)が図３に示した突起無しのもの(5)に変更されてももちろんよい。この場合、断面略Ｃ形のガスケット(51)を断面略方形のガスケット(61)に交換する際には、継手部材(5)(5A)を変更する作業を付加すればよい。
【００４１】
上記の各実施形態において、継手部材(5)(5A)(12)の環状突起(44a)(45a)は、内周縁部に設けられているが、断面略方形のガスケット(41)(61)の側面を押圧するが、断面略Ｃ形のガスケット(51)に干渉しないようにすれば、これらの突起を内周縁部よりも若干中央寄りのところに形成してもよく、また、継手部材(5)(5A)(12)の外周縁部近くに形成してももちろんよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による流体継手を使用する流体制御装置の分解斜視図である。
【図２】図１に示された制御装置の縦断面図である。
【図３】流体継手の第１実施形態を示す拡大断面図である。
【図４】流体継手の第２実施形態を示す拡大断面図である。
【図５】流体継手の第３実施形態を示す拡大断面図である。
【図６】流体継手の第４実施形態を示す拡大断面図である。
【図７】従来の流体継手の縦断面図である。
【符号の説明】
(5)(5A)    第１継手部材
(5a)       流体通路
(12)       第２継手部材
(31)       流体通路
(41)(51)   ガスケット
(42)(52)   リテーナ
(43)(53)   ガイドリング
(44)(54)   ガスケット収納凹所
(44a)(45a) 環状突起
(46)(47)   ガイドリング収納凹所
(43a)(53a) リテーナ収納凹所
【図１】
0004501022.tif 000002
【図２】
0004501022.tif 000003
【図３】
0004501022.tif 000004
【図４】
0004501022.tif 000005
【図５】
0004501022.tif 000006
【図６】
0004501022.tif 000007
【図７】
0004501022.tif 000008