(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
音波発生器による音波を集束するレンズを上に有するガラス基板、フランジ付の第一フレーム、アパーチャが形成された第一部分と第二部分と第三部分とからなる第一板、第一凹部と第二凹部とが形成された第二フレーム、第一シール部材、第二シール部材、波形構造の第二板を備える音波流体粒子噴射ヘッドを形成する方法であって、
前記第一板を折り曲げて、折り曲げ部が前記第二部分と前記第三部分とを分けるようにするステップと、
前記第一シール部材を前記第二フレームの第一凹部に填め込むステップと、
前記第一板を前記第二フレームに接合し、前記第一シール部材が該第一板の第三部分と該第二フレームとの間で圧縮されるようにするステップと、
前記ガラス基板を前記第一フレームで支持するように配置するステップと、
前記第一フレームから延びるタブを用いて前記ガラス基板の位置を前記第一フレームに対して保持するステップと、
前記第二シール部材を前記第二フレームの第二凹部に填め込むステップと、
前記ガラス基板の第二部分の上に前記第二板を配置するステップと、
前記第一板を前記ガラス基板および前記第二板の上に被せ、前記第一板の第一部分が前記ガラス基板の第一部分と整合するよう配置し、焦点間隔が該第一板の第一部分と該ガラス基板の第一部分との間に形成されるようにすると共に該第二板が前記第一板の第二部分と前記ガラス基板の第二部分との間に配置されるようにするステップと、
前記第一フレームのフランジを前記第二フレームに接合して、前記第二シール部材が該第一フレームのフランジと該第二フレームとの間で圧縮されるようにするステップと、
を含むことを特徴とする音波流体粒子噴射ヘッドの形成方法。
【請求項２】
音波発生器による音波により液体溜めの表面から液体粒子を噴射する音波流体噴射ヘッドであって、
前記音波発生器による音波を集束するレンズを上に有するガラス基板と、
前記ガラス基板を支持するように配置された第一フレームと、
前記レンズと整合する位置にアパーチャが形成された板と、
前記板を支持するように配置された第二フレームと、
前記板と前記第二フレームとの間に配置された第一シール部材と、
前記第一フレームと前記第二フレームとの間に配置された第二シール部材と、
前記板と前記ガラス基板との間に配置されたスペーサとを備え、
前記板は、前記第一シール部材が圧縮されるよう前記第二フレームに接合され、前記第一フレームは、前記第二シール部材が圧縮されるよう前記第二フレームに接合されることにより、前記ガラス基板が前記第一フレームと前記スペーサと前記板の間の位置に保持され、前記ガラス基板と前記板との間の焦点距離を維持することを特徴とする装置。
【請求項３】
前記スペーサが波形構造であることを特徴とする請求項２に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、改良された音波流体噴射ヘッド、例えば、音波インクプリントヘッドと、同ヘッドを形成またはアセンブリする方法に関する。特に本発明は、プリントヘッドのエポキシ剤による接合に代替するエラストマのガスケットと波形スペーサとを用いて、プリントヘッドにある焦点間隔（ｆｏｃａｌ  ｇａｐ）を制御する音波流体噴射ヘッドに関する。同プリントヘッドを形成する方法に関連して、上記エラストマのガスケットをしっかり固定し、焦点間隔を制御するためにプリントヘッドのアパーチャ板を折り曲げ、点溶接を行う方法がある。
【０００２】
【従来の技術】
背景を述べれば、音波によるインク印刷法では、音波を用いてインク粒子をインク溜めからプリント媒体へ向かって噴射するものがある。これは、音波を発生させ、この音波をレンズでインク溜めの表面に集束させることにより、インク粒子を該表面から噴射させる。音波インク印刷に用いられる要素には多種多様な形があるが、このような要素として普通、圧電変換器、レンズ、インク噴射用アパーチャを有する覆い板、対応する配線などが挙げられる。通常、これらの要素は、プリントヘッド１個に付き約１，０００個以上も集積して設けられる。また、インク以外に他の流体、例えば、溶融金属なども噴射されることがある。
【０００３】
詳しく説明すれば、図１に示されるように、１個の音波流体粒子噴射要素１０には、ガラス層１２とこの層に下に形成された電極１４を有する。電極１４は、好ましくは酸化亜鉛で成形された圧電材料１６が形成され、その圧電材料１６に更に電極１８が貼着される。電極１４および電極１８には、表面ワイヤパターン２０とケーブル２２とを通じて、ＲＦ電源２４に連結される。この電源２４は電極１４と電極１８とに送られる電源である。電極１４の背面側には、レンズ２６（例えば、同心円フレネルレンズ）が形成される。レンズ２６から離れた位置には液レベル制御板２８が設けられ、この板にはアパーチャ３０が形成されている。インク、あるいは流体３２は、液レベル制御板２８とガラス層１２との間に保持されている。アパーチャ３０はレンズ２６と整合した位置に形成され、表面３６からインク粒子３４が噴射される。勿論、表面３６はアパーチャ３０の所で外部に露出している。
【０００４】
レンズ２６、電極１４、圧電材料１６、電極１８をガラス層１２上に形成するのは、既知のフォトリソグラフィ技法によって行われる。その後、液レベル制御板２８は、ガラス層１２から離れた位置に配置され、両者間に焦点間隔が形成される。インク３２は、インク供給タンク（図示せず）から液レベル制御板２８とガラス層１２の間の空間、すなわち、焦点間隔空間へ供給される。
【０００５】
上記のような多くの噴射要素から構成されるタイプの音波インクプリントヘッドは普通、各部品をエポキシ剤で接合する。エポキシ剤により接合されたヘッドの欠点は、１）インクによってエポキシ剤による接合が剥離することがあることと２）エポキシ剤の使用に本質的なことであるが、硬化するまでの時間が長いので製造時間を長くする必要があることである。更に多くのタイプのエポキシ剤は、音波インク印刷法に使用されるインクタイプとはそもそも適合しない。既存のタイプの音波発射ヘッドの欠陥は、ヘッドの噴射面全体にわたって焦点間隔、すなわち、図１に図示の液レベル制御板２８とガラス層１２との間の間隔を一定に保持することが難しいことである。焦点間隔の制御は、流体噴射の正確性を維持するのに重要である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従って、エポキシを使用しないで組み立てられるヘッドを提供することが好ましい。このようなヘッドがあれば、形成が容易であり、インクとある種のエポキシ剤が適合性を欠くという問題を回避することができる。また、焦点間隔の制御性が改良できれば、ヘッドの性能を向上させることができる。
【０００７】
本発明は、接着剤を使用しない新規な音波プリントヘッドと、上記の困難な問題などを解消するプリントヘッド組立方法を提供するものである。
【０００８】
改良された音波流体噴射ヘッド、例えば、音波プリントヘッドに関する方法と装置が本発明によって提供される。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の形態の一つの装置は、音波発生器による音波を集束するレンズを上に有するガラス基板と、該ガラス基板を支持するように配置された第一フレーム（この第一フレームにはフランジが付いている）と、アパーチャが形成された第一部分と第二部分と第三部分とを有する第一板（アパーチャはガラス基板上のレンズと整合し、レンズから所定の距離（焦点間隔）だけ離れて形成されている）と、該第一板を支持するように配置された第二フレーム、該第一板と該第二フレームとの間に配置された第一シール部材と、前記第一フレームのフランジと前記第二フレームとの間に配置された第二シール部材と、前記第一板の第二部分と前記ガラス基板との間に配置された第二板（この第二板は波形構造となっている）を備え、前記第一板の第三部分は、第一部分と第二部分に対してある角度をもって設けられ、前記第二フレームに接合されており、更に前記第一フレームのフランジは、該第二フレームに接合され、前記ガラス基板が前記第一フレームと前記第一板の間の位置に保持されていることを特徴としている。
【００１０】
本発明の別の形態では本方法は、音波発生器による音波を集束するレンズを上に有するガラス基板、フランジ付の第一フレーム、アパーチャが形成された第一部分と第二部分と第三部分とからなる第一板、第一凹部と第二凹部とが形成された第二フレーム、第一シール部材、第二シール部材、波形構造の第二板を備える音波流体粒子噴射ヘッドを形成する方法であって、前記第一板を折り曲げて、折り曲げ部が前記第二部分と前記第三部分とを分けるようにするステップと、前記第一シール部材を前記第二フレームの第一凹部に填め込むステップと、前記第一板を前記第二フレームに接合し、前記第一シール部材が該第一板の第三部分と該第二フレームとの間で圧縮されるようにするステップと、前記ガラス基板を前記第一フレームで支持するように配置するステップと、前記第一フレームから延びるタブを用いて前記ガラス基板の位置を第一フレームに対して保持するステップと、前記第二シール部材を前記第二フレームの第二凹部に填め込むステップと、前記ガラス基板の第二部分の上に前記第二板を配置するステップと、前記第一板を前記ガラス基板および前記第二板の上に被せ、前記第一板の第一部分が前記ガラス基板の第一部分と整合するよう配置し、焦点間隔が該第一板の第一部分と該ガラス基板の第一部分との間に形成されるようにすると共に該第二板が前記第一板の第二部分と前記ガラス基板の第二部分との間に配置されるようにするステップと、前記第一フレームのフランジを前記第二フレームに接合して、前記第二シール部材が該第一フレームのフランジと該第二フレームとの間で圧縮されるようにするステップと、を含むことを特徴とする。
【００１１】
本発明の形態の別の一つの装置は、音波発生器による音波により液体溜めの表面から液体粒子を噴射する音波流体噴射ヘッドであって、前記音波発生器による音波を集束するレンズを上に有するガラス基板と、前記ガラス基板を支持するように配置された第一フレームと、前記レンズと整合する位置にアパーチャが形成された板と、前記板を支持するように配置された第二フレームと、前記板と前記第二フレームとの間に配置された第一シール部材と、前記第一フレームと前記第二フレームとの間に配置された第二シール部材と、前記板と前記ガラス基板との間に配置されたスペーサとを備え、前記板は、前記第一シール部材が圧縮されるよう前記第二フレームに接合され、前記第一フレームは、前記第二シール部材が圧縮されるよう前記第二フレームに接合されることにより、前記ガラス基板が前記第一フレームと前記スペーサと前記板の間の位置に保持され、前記ガラス基板と前記板との間の焦点距離を維持することを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明するが、本発明を限定するものではない。図２は、本発明の好ましい装置の全体図を示す。概略形で示しているように、音波流体噴射ヘッド、例えば、音波インクプリントヘッド（プリントヘッド１１０）はベース部１１２と噴射部１１４とを備える。ヘッドの端部（端部の一つは簡略形で示されている）は、ヘッド構造次第で多種多様な形をとることができる。ヘッド構造の正確な形は、多岐にわたって変わり得る。
【００１３】
ベース部１１２は、音波流体噴射の分野に熟達した者には周知の多岐にわたる部品を備える。例えば、ベース部１１２には、ヘッドの作動を制御する電子部品やヘッドの噴射部へ流体を適宜に送るのを容易に行わせる流体移送部品、例えば、マニホールドなどを備える。
【００１４】
噴射部１１４上にはアパーチャ板１１６が備えられる。アパーチャ板１１６は、アパーチャのアレイが形成された第一部分１１８と、第一部分１１８に隣接する第二部分１２０と、折り曲げ部１２４で第二部分１２０から傾斜して延びている第三部分１２２とを備える。ここで、アパーチャアレイの各アパーチャは、例えば、図１に示されているように、レンズと整合して配置されている。
【００１５】
また図２は、アパーチャ板１１６を支持するように配置されているフレーム１２６（金属製が好ましい）を示す。フレーム１２６は、この目的を達成し、同時にプリントヘッド１１０の適切な密封を行える限り、どんな多岐にわたる形もとることができる。フレーム１２６は、プリントヘッド１１０の周辺を取り囲んで配置されるのが好ましく、端部の所では、アパーチャ板１１６の傾斜部の形状と一般に合致するが、このことは図２に示される概略図から明かである。ここで、フレーム１２６は一体構造でもよく、あるいは適切に接合および／またはシールされた幾つかの部品を組み合わせた構造でも差し支えない。
【００１６】
特に、アパーチャ板１１６は、接合部１２８でフレーム１２６に結合されている。図示の接合部１２８は、アパーチャ板１１６における底部の、略直線上の端部に沿って配置されているが、接合部１２８を別の個所、例えば、アパーチャ板１１６の傾斜部の側面に沿って設けるのが好ましいこともある。本発明の好ましい形態では、以下に詳細記載するように、接合部１２８として複数の点溶接を使用するが、本発明の機能を満足する限りどんな好適な接合手段を用いても十分である。例えば、ネジ、ピン、リベットも点溶接の代わりに、あるいはこれと組み合わせて好適に用いることもできる。勿論、プリントヘッド１１０の左側は図では部分的に隠されているが、この側にも、見えている右側部に示されているものと実質的に同一な部品が備えられている。
【００１７】
さて、図３を参照すると、ヘッド１１０の一部分の断面図が描かれており、ガラス基板１５０はフレーム１５２で支持されている。ガラス基板１５０はプリントヘッド１１０の長さに沿って延び、その上にレンズ１５１を備え、このレンズ１５１はアパーチャ板１１６の第一部分１１８のアパーチャアレイの各アパーチャと整合して配置されている。勿論、図示していないが音波粒子噴射器の他の要素（例えば、図１に示されているような電極、圧電材料など）もこれらレンズやアパーチャと一緒になって作動し、該装置から流体を噴射するのは、図１に関連して説明・記載した通りである。更に、図３に示されるヘッドの右側の相当な部分は図示していないが、左側に示されているものと同一であり、相補うものとなっていることである。
【００１８】
フレーム１５２は、例えば、金属製であり、プリントヘッド１１０の内周をぐるりと囲み、基板１５０を支持するような寸法と構造を有するものである。また、フレーム１５２は、例えば、略長方形の形状であるのが好ましい。フレーム１５２は一体構造でもよく、あるいは適切に接合および／またはシールされた幾つかの部品を組み合わせた構造でも差し支えない。フレーム１５２には、タブ１５４が付いており、このタブ１５４を適切に配置することによって、ガラス基板１５０がしっかりと保持される。これらのタブの数や位置は異なっても差し支えなく、フレーム１５２への取付方も多様な既知のやり方で行うことができる。クッションシール部材１５６も、ガラス層１５０とフレーム１５２との間に挟み込まれる。クッションシール部材１５６の形は多種多様であるが、エラストマまたは発泡材で形成するのが好ましく、フレーム１５２の周囲または頂部に沿って配置される。
【００１９】
更に、フレーム１５２はフランジ部１５８を備える。フランジ部１５８は、フレーム１５２の底部に沿って延び、変形可能なバネ板として機能する。フランジ部１５８は接合部１６０でフレーム１２６に接合されている。接合部１２８と同じように、接合部１６０の個所の接合点も、点溶接、ネジ、ピン、またはリベットなど多岐にわたる形をとることができるが、これら例示の接合の仕方に限定されない。
【００２０】
シール部材１６２は、プリントヘッド１１０の周囲または周辺周りでフランジ部１５８とフレーム１２６との間に挟み込まれる。したがって、シール部材１６２は略単一平面上に位置する。ここで、凹部１６６をフレーム１２６に設けて置いて、ここにシール部材１６２を納めるようにするのが好ましい。
【００２１】
更に、シール部材１６４は、プリントヘッド１１０の長さ方向に沿って、かつアパーチャ板１１６の傾斜端に実質的に沿って、フレーム１２６とアパーチャ板１１６の第三部分１２２との間に挟み込まれる。この点、シール部材１６４は単一平面上に位置するのではなく、図２と３とに示されているよう傾斜部となっているアパーチャ板１１６の形に倣うようになっている。同様に、凹部１６８を設けて置いて、ここにシール部材１６４を納めるようにする。
【００２２】
シール部材１６２とシール部材１６４は、エラストマ材で形成されたガスケットであることが好ましい。このガスケットはＯ−リングのような形状でも、あるいは長方形の形でもよい。どのような構造にしろ、このガスケットの寸法や構造は、前記凹部などの所望の形状に合致してシール機能を満たすものであればよい。この凹部に必要とされる形状は、これらのガスケットを適切に納め、ガスケットの位置を保持し、ガスケットが凹部から十分に突き出るようにして、シール作用を行わせることができる形状である。しかし、本発明の目的を達成するには多岐にわたるシール技術を用いることができ、必ずしも全てがガスケットおよび／または凹部を必要とするわけではない。
【００２３】
また、間隔板としてのスペーサ１７０が、プリントヘッド１１０の両側のアパーチャ板１１６とガラス基板１５０との間に設けられる。スペーサ１７０は、アパーチャ板１１６とガラス基板１５０との間であり、レンズが備えられていないアパーチャ板第二部分１２０とガラス基板部分との間に配置されることが好ましい。スペーサ１７０は各々波形構造の板であることが好ましい。このスペーサ１７０は３×１２５ミル（０．０７５×３．１２ｍｍ）ステンレス製リボンで形成するのが好ましく、その波形構造の形状と寸法は、アパーチャ板１１６の第一部分とガラス基板１５０との間に焦点間隔ｆが形成されるように定められる。この波形構造部はプリントヘッド１１０の幅一杯に（図３では左から右へ）合わせて設置し、図３の矢印で示される流体を流すようにする。この波形構造の空隙率は、例えば、約７５％と大きくして水平流に対する抵抗を最小限に抑え、ピッチを細かくすることにより、ヘッド全体に均一流が確保されるようにする。更に、このスペーサ１７０は、焦点間隔ｆを保持するに必要な力が加わった状態でも圧縮が無視できるようにその剛性が高いものとすることが好ましい。勿論、このスペーサ１７０は、焦点間隔ｆと流体の流れとを維持するような構造と配置である限り、多種多様な形を取ることができる。
【００２４】
図４にはスペーサ１７０の側面図が例示されている。このスペーサ１７０は波形構造１７２となっており、規定されるスペーサ１７０有効厚さは、図３にも示されている焦点間隔ｆに実質的に相当する。この波形構造１７２の成形は、得られたスペーサ板が本発明の目的を達成する限り、メタルやワイヤの折り曲げ技術分野で周知の技術を含めて、どんな好適な技術を用いて行ってもよい。
【００２５】
図２〜４に示される構造を得るには、例えば、アパーチャ板１１６（厚さは約１００ミクロンが好ましい）を最初約５５度に曲げ（例えば、接合後は１２４の個所に示される）、外端部近くでフレーム１２６に点溶接する（例えば、１２８の個所に示される）。フレーム１２６は約４５度の斜角となっており、シール部材１６４が凹部１６８に配置されている。アパーチャ板１１６の折り曲げ部とフレーム１２６との間には角度の相違があるので、アパーチャ板１１６には下向きに曲がる力が掛かり、スペーサ板１７０の上向き力と対向する。一方、レンズ１５１を備えるガラス基板１５０とエラストマのクッションシール部材１５６はフレーム１５２のタブ１５４にしっかりと填め込まれる。フレーム１５２の底部の外端に形成されたフランジ部１５８は、十分に薄くして、フレーム１５２とガラス基板１５０とがスペーサ（複数を含む）とアパーチャ板１１６の方へ押し上げられた時に曲がるようにすることが好ましい。このようにすると、クッションシール部材１５６が「へたる」ことがあってもプリントヘッド１１０が寿命となるまでの間は確実にスペーサ１７０に一定の圧力を加えておくことができる。接合部１６０、すなわち、第二の点溶接部が適切に行われると、例えば、インク・マニホールド設置や回路配線などを除いて、プリントヘッドアセンブリが実質的に完成する。尚、インク入出孔は図示していない。
【００２６】
図５はプリントヘッド１１０のアセンブリ方法５００を例示するフローチャートである。しかし、本方法に記載のステップの特定の順序は、例えば、組み立てを行う人の好みや組み立て工程に利用可能な機器を変えても差し支えないということである。また、ステップ自体も変わることもあり得る。しかし、このアセンブリ工程で重要なことは、アセンブリ中にヘッド部品間に十分な圧縮力を加え、アセンブリを完成させる接合が行われた後は、各部品が自己の位置を維持し、焦点間隔が維持されるということである。
【００２７】
この方法では、まず最初に、アパーチャ板１１６を折り曲げ、折り曲げ部１２４がアパーチャ板１１６の第二部分１２０と第三部分１２２とを分けるようにする（勿論、プリントヘッド１１０の両側各々で折り曲げる）（ステップ５０２）。シール部材１６４をフレーム１２６の凹部１６８に上手く填め込む（ステップ５０４）。アパーチャ板１１６の第三部分１２２をフレーム１２６に接合し（アパーチャ板１１６の両側で）、第一シール部材１６４がアパーチャ板１１６の第三部分１２２とフレーム１２６との間で圧縮されるようにする（ステップ５０６）。この第一シール部材１６４は、また、アパーチャ板１１６の傾斜端に沿って圧縮される。上記折り曲げ部１２４の角度とフレーム１２６の傾斜部の角度には上記のように差があるので、アパーチャ板１１６を適切な位置に接合するには、アパーチャ板１１６の第三部分１２２に力を加える必要がある。
【００２８】
ステップ５０２〜５０６は、アパーチャ板１１６をフレーム１２６に接合するのに必要なステップである。プリントヘッドを最終的に組み立てる前に、ガラス基板１５０をフレーム１５２に適切に配置すること（ステップ５０２〜５０６の前、後またはその途中で）が重要である。この点、タブ１５４をプリントヘッド内の個所のフレーム１５２に配置、または付着させれば、ガラス基板１５０をフレーム１５２にしっかり挟み込むのが容易となる（ステップ５０８）。次に、クッションシール部材１５６をフレーム１５２の上に敷き、上記タブ１５４でしっかりと所定の位置に押さえる（ステップ５１０）。また、力を加えてガラス基板１５０をタブ１５４の間に挟み、クッションシール部材１５６の上にしっかりと押さえ付けて固定する（ステップ５１２）。
【００２９】
ステップ５０２〜５０６とステップ５０８〜５１２が終わると、ここで得られた部品の組み合わせを最終的にプリントヘッド１１０に組み立てる準備が整う。この点、シール部材１６２を、プリントヘッド１１０および／またはフレーム１２６の周辺部周りの平面にあるフレーム１２６の凹部１６６に填め込む（ステップ５１４）。この構成では、プリントヘッド１１０の両側で、アパーチャ板１１６の第二部分１２０とガラス基板１５０のレンズ１５１がない部分との間にスペーサ板１７０を配置する（ステップ５１６）。次にアパーチャ板１１６をガラス基板１５０とスペーサ板１７０との上に被せ、アパーチャ板１１６の第一部分１１８がガラス基板１５０上の超音波発生器のレンズと整合するように配置し、焦点間隔ｆが両者間に形成されるようにする（ステップ５１８）。次に、プリントヘッド１１０周りに適当な位置でフレーム１５２のフランジ部分１５８をフレーム１２６に接合し、シール部材１６２がフランジ部１５８とフレーム１２６との間で圧縮されるようにする（ステップ５２０）。この構成では、フランジ部分１５８はバネ板として作用し、プリントヘッド１１０の各部品に対して緊縛性を付与して固定することになる。
【００３０】
上記のように、これらのステップは好適ならばどのような順序で行っても差し支えないが、プリントヘッドの部品を共に緊縛し、アパーチャ板１１６の第三部分１２２を折り曲げ、接合部１２８や接合部１６０のような個所で各部品を点溶接し、その結果として適切な水準の緊縛力を維持することができるようなステップで行うことが好ましい。プリントヘッド１１０に維持される緊縛力は、アパーチャ板１１６およびスペーサ板１７０に好適な力が働くので、焦点間隔ｆが正しく維持される。
【００３１】
エポキシ剤による接合をエラストマの接合による緊縛に置き換えると、次のように多くの利点が生まれる。１）剥離による損傷がなくなる。２）接着時間をとる必要がなくなる。３）エラストマの寿命予測は、高温で剛性の経時変化を測定することによって容易に行える。４）相変化インクに必要な１５０℃という高温でも信頼性があって化学的に不活性な材料が、シリコーン、バイトン（Ｖｉｔｏｎ）、カルレッツ（Ｋａｌｒｅｚ）など幾つかある。５）バネ装着焦点間隔の方が、現在用いられているエポキシ接合プリントヘッドの焦点間隔よりも安定性が高い。６）アパーチャ板とプリントヘッドの熱膨張をガラスに合わせる必要性が緩和される。組み立ての際に剪断力が働く接着部がないからである。アパーチャをレンズに整合させるのは、プリントヘッドの一定の運転温度で行えば済むので、アパーチャ板とフレーム双方をステンレス鋼で製作することも可能となる。従って、インクによる合金４２の腐食を回避できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  音波流体噴射要素を示す図である。
【図２】  本発明の音波流体噴射ヘッドの好ましい実施の形態を示す図である。
【図３】  図２のヘッドの一部の断面図である。
【図４】  図３のスペーサ板の一部の側面図である。
【図５】  図２に示されるヘッドの好ましい組立法を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１０  音波流体粒子噴射要素、１２  ガラス層、１４  電極、１６  圧電材料、１８  電極、２０  表面ワイヤパターン、２２  ケーブル、２４  電源、２６レンズ、２８  液レベル制御板、３０  アパーチャ、３２  インクまたは流体、３４  粒子、３６  表面、１１０  プリントヘッド、１１２  ベース部、１１４  噴射部分、１１６  アパーチャ板、１１８  第一部分、１２０  第二部分、１２２  第三部分、１２４  折り曲げ部、１２６  フレーム、１２８  接合部、１５０  ガラス基板、１５１  レンズ、１５２  フレーム、１５４  タブ、１５６  クッションシール部材、１５８  フランジ、１６０  接合部、１６２，１６４  シール部材、１６６，１６８  凹部、１７０  スペーサ、１７２  波形構造。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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