(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚のウェハーを収納可能な収納容器（５）と、複数個の前記収納容器（５）を取り出し自在に保管可能な保管庫（２）により構成されるウェハー保管装置であって、
前記収納容器（５）は、正面側に開口（５０２）が形成された箱型形状の容器本体（５０１）と、前記開口（５０２）を塞ぐようにして前記容器本体（５０１）に開閉自在に装着された蓋（５０３）と、前記容器本体（５０１）内に窒素ガスを導入するためのガス導入孔（５１０）と、前記容器本体（５０１）内の空気を容器本体（５０１）の外部に排出するための空気排出孔（５１２）と、を備え、
前記保管庫（２）は、前記収納容器（５）を保管するための複数の保管部（８）と、該保管部（８）に窒素ガスを供給するためのガス供給配管と、該ガス供給配管が連結された、前記複数の保管部（８）に保管された収納容器（５）内に窒素ガスを充填するためのガス供給部（９）を備えることを特徴とするウェハー保管装置。
【請求項２】
前記収納容器（５）を、前記保管部（８）において傾斜した状態で保管可能としたことを特徴とする請求項１に記載のウェハー保管装置。
【請求項３】
前記収納容器（５）を密閉可能にしたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のウェハー保管装置。
【請求項４】
前記収納容器（５）における容器本体（５０１）を、アクリロニトリル樹脂により形成したことを特徴とする請求項１又は請求項３に記載のウェハー保管装置。
【請求項５】
前記収納容器（５）における前記蓋（５０３）を、アクリロニトリル樹脂により形成したことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のウェハー保管装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はウェハー保管装置に係り、より詳しくは、複数枚のウェハーを収納可能であるとともにその内部に窒素ガスを充填可能な収納容器と、この収納容器を複数個保管可能であるとともに保管した収納容器内に窒素ガスを供給可能な保管庫とにより構成されるウェハー保管装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に、半導体は多数の工程を経て生産されている一方、各工程における能力が異なるため、半導体の製造過程においては、ウェハーのストックが必要不可欠となっている。
【０００３】
即ち、例えば、後工程の洗浄機と前工程の拡散炉とを比較すると、前工程の洗浄機よりも後工程の拡散炉の能力が高いために、洗浄機の工程においてシリコンウェハーが溜まってしまう。
【０００４】
一方、半導体の製造を行うクリーンルーム内には様々な有機物等のいわゆるパーティクルが存在しているために、溜まってしまったウェハーをそのままの状態で放置すると、パーティクルがウェハー表面に付着したり、工程によっては、ウェハー表面が空気中の酸素により酸化膜を形成し、ウェハーの歩留まりに影響を与えることになる。
【０００５】
そのために、このような事態を回避するために、従来から、製造過程において溜まってしまったウェハーを保管するために、搬送ボックスやデシケーターが用いられている。
【０００６】
即ち、このうちの搬送ボックスは、複数枚のウェハーを収納可能な収納室を多数個備えるとともに、この収納室には酸化膜の形成を防止するために窒素ガスを充填可能としている。
【０００７】
そして、この搬送ボックスを使用する場合には、まず前工程の処理が終了したウェハーを複数枚ごとに各収納室に収納し、その後に、このウェハーを収納した収納室内を窒素ガス雰囲気にし、この状態において、後工程に移送するまでウェハーを保管する。
【０００８】
そうすると、収納室に充填させた窒素ガスによりウェハー表面に酸化膜が形成されることを有効に防止することができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この搬送ボックスでは、収納室内にウェハーを保管している状態においてはウェハー表面に酸化膜が形成されることを有効に防止することが可能だが、一方、ウェハーを後工程に移送するために収納室から取り出した後は、このウェハーを空気中の酸素やパーティクルから保護することができず、その結果、特に、移送後、後工程の処理が行われるまでの時間が長い場合等には、ウェハー表面への酸化膜の形成やパーティクルの付着を有効に防止することができないという問題点がある。
【００１０】
この点、窒素ガスを充填可能であるとともに携帯も可能な収納ボックスも提供されてはいるが、この収納ボックスでは収納可能な枚数が少なく、また、これを用いる場合には収納ボックスごとにその内部に窒素ガスを充填する作業が必要となり、大量のウェハーの保管が必要な場合には作業が煩雑となってしまうという問題点がある。
【００１１】
そこで、本発明は、多数枚のシリコンウェハーを窒素ガス雰囲気で保管することが可能であるとともに、移送の際にもこの窒素ガス雰囲気を維持しながらシリコンウェハーの持ち運びが可能なウェハー保管装置を提供することを課題としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明のウェハー保管装置は、複数枚のウェハーを収納可能な収納容器と、複数個の前記収納容器を取り出し自在に保管可能な保管庫により構成されるウェハー保管装置であって、
前記収納容器は、正面側に開口が形成された箱型形状の容器本体と、前記開口を塞ぐようにして前記容器本体に開閉自在に装着された蓋と、前記容器本体内に窒素ガスを導入するためのガス導入孔と、前記容器本体内の空気を容器本体の外部に排出するための空気排出孔と、を備え、
前記保管庫は、前記収納容器を保管するための複数の保管部と、該保管部に窒素ガスを供給するためのガス供給配管と、該ガス供給配管が連結された、前記複数の保管部に保管された収納容器内に窒素ガスを充填するためのガス供給部を備えることを特徴としている。
【００１３】
そして、このウェハー保管装置を用いてウェハーを保管する場合には、まず、複数枚のウェハーを収納したキャリアを収納容器内に入れるとともに、この、複数枚のウェハーをキャリアごと収納した収納容器を、保管庫における保管部に保管し、更に、保管部において、各収納容器内に窒素ガスを供給し、これにより各収納容器内を窒素ガス雰囲気にする。
【００１４】
そして、ウェハーを取り出す際には、収納容器ごと保管庫より取り出し、窒素ガス雰囲気となっている収納容器内に入れた状態のまま、キャリアに収納されたウェハーを他の工程へ移送し、その工程においては、処理が行われるまでウェハーを収納容器内に保管しておく。
【００１５】
このように、本発明のウェハー保管装置は、複数枚のウェハーを収納可能な収納容器と、この収納容器を保管するための保管部を複数備えた保管庫とにより構成されるとともに、保管庫に備えたガス供給配管及び各保管部内に備えたガス供給手段を介して、保管庫に保管した各収納容器内を窒素ガス雰囲気にすることが可能である。
【００１６】
そのため、ウェハーを収納容器ごと保管庫から取り出すことにより、窒素ガス雰囲気の状態でウェハーを他工程へ移送することができ、これにより、移送の途中や、移送後における後工程が行われるまでの間に、ウェハーの表面が空気中の酸素により酸化され、酸化膜を形成したり、パーティクルにさらされることを有効に防止することが可能である。
【００１７】
また、複数枚のウェハーを収納した収納容器を多数個同時に保管可能であるとともに、収納容器を保管するための保管部において、それぞれの収納容器を窒素ガス雰囲気とすることが可能であるため、大量のウェハーを同時に保管可能であるとともに、この保管しているウェハーを容易に窒素ガス雰囲気にすることが可能である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明のウェハー保管装置は、複数枚のウェハーを収納可能な収納容器と、この収納容器を取り出し自在に保管可能な保管部を複数箇所備えた保管庫とにより構成されている。
【００１９】
そして、前記収納容器は、容器本体と、この容器本体に開閉自在の蓋を備えるとともに、容器本体の任意の個所には、容器本体内に窒素ガスを導入するための窒素ガス導入孔を備え、更に、収納容器の任意の箇所には、容器本体内に窒素ガスを充填する際に容器本体内の空気を排出するための空気排出孔を備えている。
【００２０】
また、前記保管庫は、前記収納容器を保管するための保管部を複数個所に備えているとともに、各保管部に窒素ガスを供給するためのガス供給配管を備えており、このガス供給配管の先端部はそれぞれ、各保管部に備えたガス供給部に連結されている。そしてこれにより、各保管部内に保管した収納容器内に窒素ガスを充填可能としている。
【００２１】
ここで、前記収納容器を保管部に保管した際に、収納容器がわずかに傾斜した状態になるように、収納容器あるいは保管部を形成するとよく、これによって、収納したウェハー鏡面側の表面がキャリアの凹部と接触し、キャリアの摩耗発塵によってウェハー表面に付着したり、ウェハー鏡面側表面を傷つけること等を有効に防止することが可能である。
【００２２】
また、収納容器は密閉可能にするとよく、これにより収納容器内の窒素ガス雰囲気を維持することが可能である。
【００２３】
更に、前記収納容器における容器本体は、アクリロニトリル樹脂により形成するとよく、これにより、内部に充填した窒素ガスを長時間にわたり維持できたり、材料から発生するパーティクル汚染を極減することが可能である。
【００２４】
更にまた、前記収納容器の蓋部を、アクリロニトリル樹脂により形成するとよく、これにより、収納しているウェハー表面を紫外線から保護することが可能である。
【００２５】
【実施例】
本発明のウェハー保管装置の実施例について図面を参照して説明すると、図１は本実施例のウェハー保管装置の正面を示す図であり、図において１が本実施例のウェハー収納装置である。そして、本実施例のウェハー保管装置１は、複数枚のウェハーを収納するための収納容器５と、この収納容器を複数個保管可能な保管庫２とにより構成されている。
【００２６】
即ち、図において２は保管庫であり、この保管庫２には、複数枚のウェハーを収納したキャリアをキャリアごと収納するための収納容器５を複数個、取り出し自在に保管可能としている。
【００２７】
そして、この保管庫２は、全体として箱型形状であるとともに、棚部３が多段に亘って形成されており、この棚部３のそれぞれには、収納容器５を保管するための保管部８が複数個所に設置されている。そして、この保管部８上に、前記収納容器５を設置可能としている。
【００２８】
また、図示しないが、前記保管庫２内には、各保管部８に窒素ガスを供給するためのガス供給配管が備えられており、このガス供給配管の先端部は、各保管部８内に備えた窒素ガス供給部に連結している。そしてこれにより、各保管部８内に窒素ガスを供給可能としている。
【００２９】
なお、図において６は、収納容器５内への窒素ガスの供給を開始した時点からの経過時間を図るためのタイマーであり、また、図において７は流量計、及び１０は圧力計等を配置した圧力計パネルである。そして、本実施例においては、保管庫２内に１６個所の保管部８を備えるとともに、それぞれの保管部８に対応して、１６個のタイマー６及び流量計７を備えている。但し、この保管部８の数等に関しては特に限定はされず、任意の数として良い。
【００３０】
次に、図２は、前記ウェハーの収納容器５を正面側から示した斜視図であり、また図３は、収納容器５を背面側から示した斜視図である。そして、図にも示されるように、本実施例におけるこの収納容器５は、全体として箱型形状をしている。
【００３１】
そして、図において５０１は容器本体であり、この容器本体５０１の正面側には開口５０２が形成されるとともに、この開口５０２を塞ぐようにして、蝶番等（図示せず）を介して蓋５０３が開閉自在に装着されている。なお、図において５１４は収納容器５の保管及び取り出し、持ち運び等の際の便宜のために形成している把手である。
【００３２】
次に、図において５０４および５０８は、前記蓋５０３に備えられた鍵であり、５０４が雄型であり、５０８が雌型である。即ち、本実施例においては、前記蓋５０３の端部に鍵の雄型５０４が備えられるとともに、容器本体５０１において、蓋５０３を閉じた際に前記雄型５０４が位置する個所には、前記雄型５０４が係合される雌型５０８が設置されている。
【００３３】
なお、本実施例においてこの鍵５０４および５０８としてはロールキャッチと言われる市販品を用いている。具体的には、前記雄型５０４は、図５に示されるように、顎部５０５を有する矢印形状であるとともに、前記雌型５０８は、一対の円柱状の受け部５０６を、容器本体５０１に装着した弾性体のアーム５０７により開閉自在に連結した構造になっている。従って、蓋５０３を閉じた際には、雄型５０４の先端部が一対の受け部５０６間を押し広げて受け部５０６間に入り込むとともに、顎部５０５が受け部５０６に係止され、一方、蓋５０３を開く場合には、一対の受け部５０６間を広げた後に、蓋５０３ごと雄型５０４を引き出し、これにより雄型５０４の係止を解除可能としている。但し、必ずしもこのような構造の鍵を用いる必要はなく、容器本体５０１に蓋５０３を係止可能であればどのような構造の鍵を用いても良い。
【００３４】
次に、図３において、収納容器５の背面側には、収納容器５内に窒素ガスを充填するための窒素ガス導入孔５１０が形成されるとともに、この窒素ガス導入孔には、押圧されることにより開放状態となる逆止弁（図示せず）が先端部に備えられた受入側コネクタ５１１が、逆止弁側（先端部）が容器本体５０１の外側に露出するようにして装着されている。
【００３５】
また、同様に、本実施例においては、前記収納容器５の蓋５０３の任意の個所には、収納容器５内に窒素ガスを充填する際に、収納容器５内の空気を排出するための空気排出孔５１２が備えられている。
【００３６】
そのため、本実施例における収納容器５では、前記窒素ガス受入コネクタ５１１及び窒素ガス導入孔５１０を介して、その内部に窒素ガスを導入することにより、空気排出孔５１２より収納容器５内の空気を排出し、収納容器５の内部に窒素ガスを充満させることが可能である。但し、この窒素ガス導入孔５１０及び空気排出孔５１２の設置個所は特に限定はされず、任意の箇所に設置して良い。
【００３７】
なお、図６は、本実施例における前記収納容器５を平坦な場所に置いた状態を示す図であり、本実施例においては、収納容器５の開口５０２側近傍の外径をその他の部分の外径よりも大きくし、収納容器５を平坦な場所に置いた場合に、図６に示されるように、収納容器５全体が後方側に傾斜する構造にしてある。そのために、本実施例においては、ウェハーを多数枚収納したキャリアを収納容器５内に収納した状態で収納容器を平坦な場所に置いた場合には、ウェハーの鏡面側がキャリアの凹部と接触することを防止可能である。
【００３８】
即ち、一般的にウェハーを収納するキャリアは、その内側底部と内側両側面に多数の凹部（ウェハー載置部）が形成されており、ウェハーを収納する際には、この凹部内にウェハーの周縁部の一部を挿入させ、これによりウェハーを固定している。そのため、収納容器５を地表と平行に保管した場合には、外部からの衝撃等により、ウェハーの表面側（鏡面側）が前記凹部に接触することにより、ウェハー表面に傷等がつくおそれが考えられる。
【００３９】
しかしながら、本実施例においては、前述したように、収納容器５を平坦な場所に置いた場合に収納容器５全体が後方へ傾斜するように構成しているため、ウェハーの表面（鏡面側）が前方側（蓋５０３側）にくるようにしてキャリアを収納容器５内に収納することにより、ウェハーは後方側へわずかに傾いた状態で保管され、これにより、ウェハー表面と凹部とが接触することを避けることができ、ウェハー表面に傷等が付くことを有効に防止可能である。この状態を示した参考図が図７であり、図において１１がウェハー、また１２がウェハー１１を載置するための凹部であり、図において左側がウェハー鏡面側である。
【００４０】
次に、図４は前記収納容器５内における底部を示した図であり、本実施例においては、収納容器５内の底部にストッパー５１３を備えて、収納容器５内にキャリアを収納した際に、キャリアと前記窒素ガス導入孔５１０との間に一定の距離を保てるようにしているとともに、キャリアを収納容器５内に固定可能としている。
【００４１】
即ち、本実施例においては、収納容器５の奥行き方向と平行に一定間隔をおいて一対の長尺状物５１３Ａを配置するとともに、この一対の長尺状物５１３Ａの先端部に、この一対の長尺状物と直角方向に同じく長尺状物５１３Ｂを配置することによりストッパー５１３を形成している。そのため、これにより、収納容器５内におけるキャリアと前記窒素ガス導入孔５１０との間に一定の距離を維持することが可能である。また、このストッパー５１３により収納容器５内でキャリアを固定することができるため、収納容器５を移送するときに収納容器５内でキャリアが横揺れを起こし材料同士の摩耗により塵埃が発生しないようにすることが可能である。更に、このストッパー５１３は、キャリアを収納容器５に収納する際のガイドとしての機能も有する。
【００４２】
このように、本実施例では収納容器５内の底部にストッパー５１３を備えているため、キャリアを収納した収納容器５内に窒素ガスを充填する際には、速やかに収納容器５内を窒素ガス雰囲気にすることができる。但し、必ずしもこのようにしてストッパーを形成する必要は無く、収納容器５内に収納するキャリアと窒素ガス導入孔５１２との間に一定の距離を保てるものであればいずれの形状のストッパーとしても良く、また、必ずしもこのストッパー５１３は不可欠なものでも無い。
【００４３】
なお、本実施例においては、前記容器本体５０１は、ガス透過性の低い材料、特に酸素や窒素ガスの透過性の低い材料、より具体的にはアクリロニトリル樹脂（三井東圧製の商品名「バレックス」）により形成しており、これにより、収納容器５内の窒素ガス雰囲気を長時間維持可能としている。
【００４４】
更に、前記蓋５０３は、紫外線透過性の低い透明タイプのアクリロニトリル樹脂により形成しており、これにより、収納しているウェハーが外部の紫外線の影響を受けないようにしている。
【００４５】
次に、図８は、前記収納容器５を保管するための、前記保管庫２の棚部３に備えた保管部８を示す斜視図であり、図において８０１は、前記棚部３上に固定されるメインプレートである。
【００４６】
そして、このメインプレート８０１上には、一定の間隔を置いて、段差部８０３を有する一対のガイド８０２が備えられており、この段差部８０３上に前記収納容器５の左右の下端部を載置することにより、一対のガイド８０２間に収納容器５を設置可能としている。
【００４７】
また、このガイド８０２は、奥側に向かうに従って、下側に傾斜するように構成されており、これにより、このガイド８０２上に収納容器５を載置した際には、収納容器５全体が、前記保管部８内において、奥側に傾斜した状態で保管可能としている。
【００４８】
なお、本実施例においては、前記ガイド８０２のそれぞれに複数の段差部８０３を備えており、これにより、収納容器５のサイズが異なる場合でも、そのサイズに対応して、ガイド８０２間に収納容器５を載置可能としている。但し、必ずしもこのようにする必要は無く、段差部を一つのみとしても良い。
【００４９】
次に、図において９は、前記メインプレート８０１上に装着された、前記収納容器５内に窒素ガスを供給するためのガス供給部であり、本実施例においては、このガス供給部９に前記収納容器５を装着することにより、収納容器５の背面側に備えた受入側コネクタ５１１を介して、収納容器５内に窒素ガスを充填可能としている。
【００５０】
即ち、前記メインプレート８０１上には長板状の一対の支柱９０１が一定の間隔を置いて装着されるとともに、この一対の支柱９０１間の手前側には、板状の固定プレート９０２が装着されている。そして、この固定プレート９０２を貫通するような状態において、前記保管庫２内に備えたガス供給配管（図示せず）に連結されたガス供給管９０３が、前記支柱９０１間に固定されている。
【００５１】
また、このガス供給管９０３の先端部には、前記収納容器５に装着した受入側コネクタ５１１の先端部が挿入固定される供給側コネクタ９０４が装着されるとともに、この供給側コネクタ９０４の先端部近傍の側壁には、複数のベアリング９０５が、供給側コネクタ９０４の円周に沿って一定間隔を置き、供給側コネクタ９０４の外周側及び内周側へ移動自在に配置されている。そして更に、この供給側コネクタ９０４の先端部近傍の外周には、リング状のベアリング固定リング９０６が、供給側コネクタ９０４の前後方向へ移動自在に備えられている。
【００５２】
一方、前記一対の支柱９０１の上端間には、長板状の支持プレート９０７が掛け渡してあるとともに、この支持プレート９０７の略中央部分には、アーム支持部９０８が装着されている。そして、このアーム支持部９０８の先端部には、軸９１０を介して、一対のアーム９０９が回動自在に連結されるとともに、この一対のアーム９０９間の略中央部分近傍に、前記ベアリング固定リング９０６が、わずかに上下動自在に連結されている。そしてこれにより、アーム９０９の回動にともなって、ベアリング固定リング９０６が、前記供給側コネクタ９０４の外周上を前後に移動する構造としている。
【００５３】
また、前記一対のアーム９０９間の下端部近傍には軸９１１が連結されるとともに、前記メインプレート８０１には、この軸９１１を狭持するための狭持部８０５を備えた丸棒状のレバー８０４が、前記メインプレート８０１の前後方向と平行に、その長手方向に移動自在に装着されている。そしてこれにより、レバー８０４を前後方向に移動することにより前記一対のアーム９０９が回動し、それに伴って、ベアリング固定具９０６が供給側コネクタ９０４の外周上を前後に移動可能としている。
【００５４】
なお、図示していないが、前記ガス供給管９０３内には、通常は閉じており、押圧されると開く構造の逆止弁が備えられている。
【００５５】
次に、図１０は、前記レバー８０４の移動の機構を説明するための図であり、本実施例においては、前記レバー８０４の後端部は、前記メインプレート８０１に備えたレバー支持部８０６を貫通している。また、レバー８０４における前記レバー支持部８０６の手前側にはスプリング受け８０７が備えられるとともに、このスプリング受け８０７と前記レバー支持部８０６間には、スプリング８０８が介在され、これにより、レバー８０４は、常に手前側（レバーの先端部側）に押圧されるようにしている。
【００５６】
一方、前記レバー８０４の先端部には、レバー８０４の長手方向と直角方向に連結されたハンドル８０９が備えられており、このハンドル８０９は、前記メインプレート８０１の手前側に備えられたレバー位置確定部８１０に係止されている。
【００５７】
ここで、前記レバー位置確定部８１０は、平面視野において、先端部にいくに従って、前記メインプレート８０１における奥側へ傾斜するガイド部８１１を備えているとともに、前記ハンドル８０９を直立させている場合にはハンドル８０９の根本部分が前記ガイド部８１１の後端部分に位置するような配置において、前記メインプレート８０１に備えられている。
【００５８】
そして、これにより、前記ハンドル８０９を、直立の位置から横側に倒し、ハンドル８０９の先端部分を前記ガイド部８１１の先端部より突出させることにより、図１０に示すように、レバー８０４はメインプレート８０１における後方側へ距離Ｌ分だけ移動することとなる。
【００５９】
次に、このように構成される本実施例のウェハー保管装置１を用いてウェハーの保管を行う場合について説明すると、まず、キャリア等に収納した複数枚のウェハーを、キャリアごと前記収納容器５内に収納する。なおこのとき、ウェハーの鏡面側が収納容器５の蓋側になるようにして、キャリアを収納容器５内に収納する。
【００６０】
そして次に、ハンドル８０９を横に倒した状態において、この複数枚のウェハーをキャリアごと収納した収納容器５を、保管部２内の一対のガイド８０２上に載置する。
【００６１】
なお、このとき、前述した機構により、ハンドル８０９を倒した状態であるため、レバー８０４が後方側（奥側）へ移動しており、それにともなって、アーム９０９を介してベアリング固定リング９０６は、供給側コネクタ９０４の外周上において、ガス供給管９０３側へ移動している。そして、それにより、供給側コネクタ９０４の先端部に備えられたベアリング９０５はフリーの状態にある。
【００６２】
次に、一対のガイド８０２上に載置した収納容器５をそのまま前方側へ押し込んでいき、収納容器５の背面に装着した受入側コネクタ５１１を、供給側コネクタ９０４内に挿入する。
【００６３】
ここで、図９は前記受入側コネクタ５１１及び供給コネクタ９０４との連結の関係を説明するための図であり、図に示すように、本実施例においては、受入側コネクタ５１１の先端部には係止溝５１７を形成しており、一方、前述したように供給側コネクタ９０４の先端部には、受入側コネクタ９０４の内周側及び外周側に移動自在にベアリング９０５が備えられている。そしてこれにより、受入側コネクタ５１１を供給側コネクタ９０４内に挿入した際には、供給側コネクタ９０４の先端部に装着したベアリング９０５が係止溝５１７内に係止されるようにしている。
【００６４】
次に、このように、収納容器５を前方側へ押し込み、収納容器５の背面に装着した受入側コネクタ５１１を、供給側コネクタ９０４内に挿入し、供給側コネクタ９０４の先端部に装着したベアリング９０５が係止溝５１７内に係止された状態にした後に、ハンドル８０９を直立にする。
【００６５】
そうすると、前述した機構によりレバー８０４が手前側に移動するとともに、狭持部８０５の移動によって、軸９１１を介してアーム９０９が回動する。そして、それに伴って、ベアリング固定リング９０６が手前側へ移動してベアリング９０５を供給側コネクタ９０４の外周側から押さえつけ、これにより、受入側コネクタ５１１と供給側コネクタ９０４との連結を完了する。
【００６６】
そして、このとき、前述したように、受入側コネクタ５１１及び供給側コネクタ９０４が接続されたガス供給管９０３の内部には、押圧されることにより開放状態となる逆止弁が備えられているため、それぞれの逆止弁を、受入側コネクタ５１１と供給側コネクタ９０４の連結が完了した状態においてそれぞれに備えた逆止弁が互いに押圧される位置に配置することにより、受入側コネクタ５１１と供給側コネクタ９０４の連結が完了するとともに、逆止弁が開放状態となり収納容器５内に窒素ガスが供給される。
【００６７】
そして、窒素ガスの供給に伴って、収納容器５内の酸素等の空気は空気排出孔５１２から排出され、収納容器５内を窒素ガス雰囲気とすることができ、窒素ガス雰囲気において多数枚のウェハーを同時に保管することができるとともに、多数枚のウェハーを収納した収納容器を複数個同時に窒素ガス雰囲気において保管することができる。
【００６８】
またこのとき、前述したように、本実施例においては、収納容器５を載置するためのガイド８０２を、奥側に向かうに従って、下側に傾斜するように構成し、ガイド８０２上に収納容器５を載置した際には、収納容器５全体が、前記保管部８内において、奥側に傾斜した状態で保管可能としているため、収納容器５内においてウェハー表面に傷等がつくことを有効に防止できる。
【００６９】
即ち、前述したように、一般的にウェハーを収納するキャリアは、その内側底部と内側両側面に多数の凹部（ウェハー載置部）が形成されており、ウェハーを収納する際には、この凹部内にウェハーの周縁部の一部を挿入させ、これによりウェハーを固定している。そのため、収納容器５を地表と平行に保管した場合には、外部からの衝撃等により、ウェハーの表面側が前記凹部に接触することにより、ウェハー表面に傷等がつくおそれが考えられる。
【００７０】
しかしながら、本実施例においては、前述したように、収納容器５を、保管部８内において奥側に傾斜した状態で保管可能としているため、ウェハーを保管する場合に、ウェハーの表面（鏡面側）が前方側（蓋５０３側）にくるようにしてキャリアを収納容器５内に収納することにより、ウェハーは後方側へわずかに傾いた状態で保管され、これにより、ウェハー表面と凹部とが接触することを避けることができ、ウェハー表面に傷等が付くことを有効に防止可能である。
【００７１】
なお、前述したように本実施例においては、受入側コネクタ５１１、ベアリング９０５を備えた供給側コネクタ９０４、及びベアリング固定リング９０６を用いて、収納容器５の着脱、及び収納容器５内への窒素ガスの供給を可能としているが、この方法に際しては、市販されているいわゆるワンタッチコネクタを用いた。
【００７２】
次に、ウェハーを所望する個所へ持ち運ぶ際には、ハンドル８０９を横に倒してベアリング固定リング９０６を後方側へ移動させてベアリング９０５をフリーにした後に、収納容器５を手前側に引き出す。そうすると、受入側コネクタ５１１と供給側コネクタ９０４との連結が解かれるとともに、ガス供給管９０３及び受入側コネクタ５１１の弁がそれぞれ閉鎖状態になる。
【００７３】
そしてその後は、前記収納容器５を保管庫２より取り出して、ウェハーを収納しているキャリアをその内部に入れた状態のままで、収納容器５自体を所望する個所へ持ち運ぶ。
【００７４】
そしてこのとき、収納容器５内は窒素ガス雰囲気となっているため、移送している過程、及び移送後、後工程が行われるまでの間は、ウェハーを窒素ガス雰囲気の状態内に保管することができるため、ウェハー表面に酸化膜が形成されることを有効に防止することができる。
【００７５】
このように、本実施例のウェハー保管装置では、保管庫に保管した各収納容器内を窒素ガス雰囲気にすることが可能であるとともに、この収納容器を保管庫より取り出し自在にすることにより、ウェハーを収納した収納容器内を窒素ガス雰囲気にした状態のままで、収納容器ごとウェハーを所望する個所へ移送することを可能としている。
【００７６】
そのため、本実施例によれば、ウェハーの移送の途中や、移送後における後工程が行われるまでの間に、ウェハーがパーティクルにさらされることを有効に防止することが可能である。
【００７７】
また、収納容器を保管するための保管部を複数個所に備えているため、ウェハーを収納した収納容器を同時に大量に保管することが可能である。
【００７８】
なお、本発明は、ウェハーを収納するための収納容器と、複数の前記収納容器を取り出し自在に保管可能である保管庫により構成されるとともに、前記保管した収納容器内に窒素ガスを供給可能にした点に特徴があり、収納容器を保管庫に保管するための機構、収納容器内に窒素ガスを供給するための構造等は、必ずしも前述した方法には限られない。
【００７９】
また、本実施例においては、収納容器５における空気排出孔５１２を開放状態として、収納容器５を保管庫２に保管している間は窒素ガスを供給し続けるようにしたが、必ずしもこのようにする必要は無い。
【００８０】
例えば、窒素ガスの供給開始から収納容器５内が窒素ガス雰囲気になるまでの時間をタイマー等の経過時間監視手段（以下単に「タイマー等」という。）に設定しておくとともに、収納容器５における空気排出孔５１２に蓋を備えて収納容器５を密閉可能にし、収納容器５内が窒素ガス雰囲気になった時点で窒素ガスの供給を止めるとともに収納容器５の前記蓋を閉じて収納容器５内を密閉状態にするようにしても良い。
【００８１】
そしてその際は、設定時間に達した時点でそれを報知する手段をタイマー等に備えても良く、更に、タイマー等に連動して作動する弁をガス供給管９０３の任意の個所に備えて、設定時間に達した時点で窒素ガスの供給を自動的に停止するように構成しても良く、更にまた、設定時間に達した時点で窒素ガスの供給を自動的に停止するように構成した場合には、タイマー等に連動して前記空気排出孔５１２を閉鎖する弁を備えて、設定時間に達した時点で窒素ガスの供給を自動的に停止するとともに、収納容器５の空気排出孔５１２を閉鎖するように構成しても良い。
【００８２】
なお、ここで図１１は、収納容器５に備えた空気排出孔５１２を閉鎖可能として収納容器５を密閉可能にした場合の構造を示す図であり、図において、前記空気排出孔５１２には開閉弁５１５を備えている。そして、収納容器５の外側において、この開閉弁５１５の先端部と収納容器５との間にはスプリング５１６を備え、これにより、通常においては、スプリング５１６の弾性力により開閉弁５１５が収納容器５の外側に押圧されるように構成している。そのためこの構造によれば、通常は、スプリング５１６の弾性力により開閉弁５１５の下端部によって空気排出孔５１２は閉鎖され、一方、開閉弁５１５を収納容器５の外側から押し込むことにより、開閉弁５１５の下端部が収納容器５内に入り込むとともに開閉弁５１５の下端部と空気排出孔５１２との間に空間が形成され空気の排出が可能となる。従って、前記開閉弁５１５の作動を手動あるいは自動で行うように構成し、収納容器５内が窒素ガス雰囲気に達した時点で窒素ガスの供給を停止するとともに空気排出孔５１２を閉鎖することにより、窒素ガス供給に伴うコストを低減することができる。
【００８３】
【発明の効果】
本発明のウェハー保管装置は、以上説明したような形態で実施され、以下に記載するような効果を奏する。
【００８４】
本発明のウェハー保管装置によれば、ウェハーを収納した収納容器内を窒素ガス雰囲気にして保管することが可能であるとともに、ウェハーを、内部を窒素ガス雰囲気にした収納容器ごと他の場所へ移送することができる。そのため、ウェハーの移送の途中や、移送後における後工程が行われるまでの間に、ウェハーがパーティクルにさらされてパーティクルがウェハー表面に付着したり、ウェハー表面が空気中の酸素により酸化膜を形成し、ウェハーの歩留まりに影響を与えることを有効に防止することが可能である。
【００８５】
また、収納容器を多数個同時に保管可能であるとともに、収納容器を保管するための保管部内において、それぞれの収納容器を窒素ガス雰囲気とすることが可能であるため、大量のウェハーを同時に、窒素ガス雰囲気において保管可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のウェハー保管装置の実施例の正面を示す図である。
【図２】本発明のウェハー保管装置の実施例における収納容器を説明するための図である。
【図３】本発明のウェハー保管装置の実施例における収納容器を説明するための図である。
【図４】本発明のウェハー保管装置の実施例における収納容器のストッパーを説明するための図である。
【図５】本発明のウェハー保管装置の実施例における収納容器の鍵を説明するための図である。
【図６】本発明のウェハー保管装置の実施例における収納容器を説明するための図である。
【図７】本発明のウェハー保管装置の実施例における収納容器を説明するための図である。
【図８】本発明のウェハー保管装置の実施例における保管部を説明するための図である。
【図９】受入側コネクタと供給側コネクタの連結の構造を説明するための図である。
【図１０】レバーの作用を説明するための図である。
【図１１】収納容器の他の形態を説明するための図である。
【符号の説明】
１    保管装置
２    保管庫
３    棚部
５    収納容器
５０１    容器本体
５０２    開口
５０３    蓋
５０４、５０８    鍵
５１０    窒素ガス導入孔
５１１    受入側コネクタ
５１２    空気排出孔
５１３    ストッパー
５１４    把手
５１５    開閉弁
５１６    スプリング
６    タイマー
７    流量計
８    保管部
８０１    メインプレート
８０２    ガイド
８０４    レバー
８０５    狭持部
８０６    レバー指示部
８０７    スプリング受け
８０８    スプリング
８０９    ハンドル
８１０    レバー位置確定部
９    ガス供給部
９０３    ガス供給管
９０４    供給側コネクタ
９０５    ベアリング
９０６    ベアリング固定リング
９０９    アーム
１０    圧力計パネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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