(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気用又は給気用のファンに接続した主風路に、複数の対象室を分岐風路を介して並列に接続するとともに、これら分岐風路の夫々に室圧調整ダンパを介装し、
前記対象室夫々の検出室圧に基づき、各対象室に対応する前記室圧調整ダンパの開度を調整して各対象室の室圧を目標室圧に調整する室圧制御手段と、
この室圧制御手段による室圧調整において前記室圧調整ダンパ夫々の開度が目標開度範囲内になるように、各室圧調整ダンパの検出開度に基づき前記ファンの出力を調整する風路圧制御手段とを設けてある室圧制御システムであって、
この風路圧制御手段を、前記対象室のうちの特定室に対する前記室圧調整ダンパの開度については、他の室圧調整ダンパの開度よりもファン出力の調整要因としての扱いを制限して、ファン出力の調整を行う構成にしてある室圧制御システム。
【請求項２】
排気用又は給気用のファンに接続した主風路に、複数の対象室を分岐風路を介して並列に接続するとともに、これら分岐風路の夫々に風量調整ダンパを介装し、
これら風量調整ダンパ夫々の検出通過風量に基づき、各風量調整ダンパの開度を調整して各風量調整ダンパの通過風量を目標風量に調整する風量制御手段と、この風量制御手段による通過風量調整において前記風量調整ダンパ夫々の開度が目標開度範囲内になるように、各風量調整ダンパの検出開度に基づき前記ファンの出力を調整する風路圧制御手段とを設けてある室圧制御システムであって、
この風路圧制御手段を、前記対象室のうちの特定室に対する前記風量調整ダンパの開度については、他の風量調整ダンパの開度よりもファン出力の調整要因としての扱いを制限して、ファン出力の調整を行う構成にしてある室圧制御システム。
【請求項３】
給気用ファンに接続した給気側主風路に、複数の対象室を給気側分岐風路を介して並列に接続し、かつ、排気用ファンに接続した排気側主風路に、前記対象室を排気側分岐風路を介して並列に接続し、
前記給気側分岐風路と前記排気側分岐風路とのいずれか一方の夫々に風量調整ダンパを介装し、かつ、他方の夫々に室圧調整ダンパを介装し、
前記風量調整ダンパ夫々の検出通過風量に基づき、各風量調整ダンパの開度を調整して各風量調整ダンパの通過風量を目標風量に調整する風量制御手段と、
前記対象室夫々の検出室圧に基づき、各対象室に対応する前記室圧調整ダンパの開度を調整して各対象室の室圧を目標室圧に調整する室圧制御手段と、
前記風量制御手段による通過風量調整において前記風量調整ダンパ夫々の開度が目標開度範囲内になるように、各風量調整ダンパの検出開度に基づき前記排気用ファンと前記給気用ファンとのうち風量調整ダンパ装備風路側のファンの出力を調整する風量調整側の風路圧制御手段と、
前記室圧制御手段による室圧調整において前記室圧調整ダンパ夫々の開度が目標開度範囲内になるように、各室圧調整ダンパの検出開度に基づき前記排気用ファンと前記給気用ファンとのうち室圧調整ダンパ装備風路側のファンの出力を調整する室圧調整側の風路圧制御手段とを設けてある室圧制御システムであって、
前記風量調整側の風路圧制御手段を、前記対象室のうちの特定室に対する前記風量調整ダンパの開度については、他の風量調整ダンパの開度よりもファン出力の調整要因としての扱いを制限して、ファン出力の調整を行う構成にし、
前記室圧調整側の風路圧制御手段を、前記対象室のうちの前記特定室に対する前記室圧調整ダンパの開度については、他の室圧調整ダンパの開度よりもファン出力の調整要因としての扱いを制限して、ファン出力の調整を行う構成にしてある室圧制御システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薬品の製造施設や半導体電子部品の製造施設など、複数室に対する室圧管理が必要な施設で用いる室圧制御システムに関し、
詳しくは、排気用又は給気用のファンに接続した主風路に、複数の対象室を分岐風路を介して並列に接続するとともに、これら分岐風路の夫々に室圧調整ダンパを介装し、対象室夫々の検出室圧に基づき、各対象室に対応する室圧調整ダンパの開度を調整して各対象室の室圧を目標室圧に調整する室圧制御手段と、この室圧制御手段による室圧調整において室圧調整ダンパ夫々の開度が目標開度範囲内になるように、各室圧調整ダンパの検出開度に基づき前記ファンの出力を調整する風路圧制御手段とを設ける室圧制御システムや、
排気用又は給気用のファンに接続した主風路に、複数の対象室を分岐風路を介して並列に接続するとともに、これら分岐風路の夫々に風量調整ダンパを介装し、これら風量調整ダンパ夫々の検出通過風量に基づき、各風量調整ダンパの開度を調整して各風量調整ダンパの通過風量を目標風量に調整する風量制御手段と、この風量制御手段による通過風量調整において風量調整ダンパ夫々の開度が目標開度範囲内になるように、各風量調整ダンパの検出開度に基づき前記ファンの出力を調整する風路圧制御手段とを設ける室圧制御システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、これら室圧制御システムにおいて、上記の風路圧制御手段は、各室圧調整ダンパの検出開度に基づきファンの出力を調整するのに、それら室圧調整ダンパ夫々の開度をファン出力の調整要因として等価に扱い、また同様に、各風量調整ダンパの検出開度に基づきファンの出力を調整するのに、それら風量調整ダンパ夫々の開度をファン出力の調整要因として等価に扱うようになっていた。
【０００３】
例えば（図１参照）、室圧調整ダンパ１７を対象室Ｒ１〜Ｒ４に対する排気側の分岐風路６に介装する場合では、各分岐風路６に介装の室圧調整ダンパ１７のうちの任意の１つの開度βが、対応対象室の室圧調整上で目標開度範囲Ｙの上限値より大きくなると、直ちに排気用ファン４の出力を増加側に変更（すなわち、排気側主風路５の風路圧ｐｅを低下させる側にファン出力を変更）して、その室圧調整ダンパ１７の開度βを目標開度範囲Ｙ内に復帰させるようになっていた。
【０００４】
また、風量調整ダンパ９を対象室Ｒ１〜Ｒ４に対する給気側の分岐風路３に介装する場合では、各分岐風路３に介装の風量調整ダンパ９のうち任意の１つの開度αが、その通過風量の調整上で目標開度範囲Ｘの上限値より大きくなると、直ちに給気用ファン１の出力を増加側に変更（すなわち、給気側主風路２の風路圧ｐｓを上昇させる側にファン出力を変更）して、その風量調整ダンパ９の開度αを目標開度範囲Ｘ内に復帰させるようになっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この種の室圧制御システムを用いる施設では、各対象室に要求される室圧管理の程度に差があって、対象室の用途上、室圧変動を可能な限り防止することが必要で厳密な室圧管理が要求される室圧管理水準の高い対象室と、それほど厳密な室圧管理は要求されない室圧管理水準の低い対象室とが混在する場合が多い。
【０００６】
この点、前述の従来システムでは、室圧調整ダンパ１７を排気側分岐風路６に介装したものの場合（図１参照）、室圧管理水準の低い対象室に対する室圧調整ダンパ１７の開度βを目標開度範囲Ｙ内に復帰させる為に風路圧制御手段２４が排気用ファン４の出力を変更したとき、それに伴う排気側主風路５の風路圧ｐｅの変化で、室圧管理水準の高い対象室からの排気量も変化し、この排気量変化による室圧変化に対し、その対象室に対する室圧調整ダンパ１７の開度調整が追従し切れず、これが原因で、その室圧管理水準の高い対象室の室圧までが波及的に変動してしまう問題があり、室圧調整ダンパ１７を給気側分岐風路３に介装する場合についても同種の問題があった。
【０００７】
また同様に、風量調整ダンパ９を給気側分岐風路３に介装したものの場合（同図１参照）、室圧管理水準の低い対象室に対する風量調整ダンパ９の開度αを目標開度範囲Ｘ内に復帰させる為に風路圧制御手段１６が給気用ファン１の出力を変更したとき、それに伴う給気側主風路２の風路圧ｐｓの変化で、室圧管理水準の高い対象室への給気量ｑも変化し、この給気量変化（すなわち、風量調整ダンパ９の通過風量変化）に対し、その対象室に対する風量調整ダンパ９の開度調整が追従し切れず、これが原因で、その室圧管理水準の高い対象室の室圧までが波及的に変動してしまう問題があり、風量調整ダンパ９を排気側分岐風路６に介装する場合についても同種の問題があった。
【０００８】
この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、室圧調整ダンパの開度や風量調整ダンパの開度に基づくファンの出力調整において、合理的な調整形態を採ることにより、上記の如き問題を効果的に解消する点にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
〔１〕請求項１に係る発明では、排気用又は給気用のファンに接続した主風路に、複数の対象室を分岐風路を介して並列に接続するとともに、これら分岐風路の夫々に室圧調整ダンパを介装し、
前記対象室夫々の検出室圧に基づき、各対象室に対応する前記室圧調整ダンパの開度を調整して各対象室の室圧を目標室圧に調整する室圧制御手段と、
この室圧制御手段による室圧調整において前記室圧調整ダンパ夫々の開度が目標開度範囲内になるように、各室圧調整ダンパの検出開度に基づき前記ファンの出力を調整する風路圧制御手段とを設ける室圧制御システムにおいて、
この風路圧制御手段を、前記対象室のうちの特定室に対する前記室圧調整ダンパの開度については、他の室圧調整ダンパの開度よりもファン出力の調整要因としての扱いを制限して、ファン出力の調整を行う構成にする。
【００１０】
この構成によれば、室圧管理水準の低い対象室を上記の特定室としておくことで、その室圧管理水準の低い対象室に対する室圧調整ダンパの開度は、上記の風路圧制御手段によるファン出力の調整において、室圧管理水準の高い対象室に対する他の室圧調整ダンパの開度よりもファン出力の調整要因としての扱いが制限され、そして、この制限を受けることで、その室圧管理水準の低い対象室に対する室圧調整ダンパの開度が室圧調整上で目標開度範囲を逸脱しても、それに対するファン出力の変更は、室圧管理水準の高い対象室に対する他の室圧調整ダンパの開度が目標開度範囲を逸脱した場合のファン出力の変更に比べ、量的または頻度的に制限されたものとなる。
【００１１】
つまり、このことにより、室圧管理水準の低い対象室に対する室圧調整ダンパの開度が目標開度範囲を逸脱することに対し、その室圧調整ダンパの開度を目標開度範囲内に復帰させるためのファン出力の変更に原因して、室圧管理水準の高い対象室の室圧までが波及的に変動してしまうことを効果的に抑止でき、これにより、室圧調整ダンパ夫々の開度をファン出力の調整要因として等価に扱う先述の従来システムに比べ、厳密な室圧管理が要求される室圧管理水準の高い対象室の室圧変動を一層確実に防止することができて、室圧管理面での信頼性を高めることができる。
【００１２】
そして、それほど厳密な室圧管理が要求されない室圧管理水準の低い対象室については、対応する室圧調整ダンパの開度を目標開度範囲内（すなわち、室圧調整上の好適な開度範囲内）に維持する機能を、その対象室の室圧管理水準に応じた機能水準で確保することができる。
【００１３】
〔２〕請求項２に係る発明では、排気用又は給気用のファンに接続した主風路に、複数の対象室を分岐風路を介して並列に接続するとともに、これら分岐風路の夫々に風量調整ダンパを介装し、
これら風量調整ダンパ夫々の検出通過風量に基づき、各風量調整ダンパの開度を調整して各風量調整ダンパの通過風量を目標風量に調整する風量制御手段と、
この風量制御手段による通過風量調整において前記風量調整ダンパ夫々の開度が目標開度範囲内になるように、各風量調整ダンパの検出開度に基づき前記ファンの出力を調整する風路圧制御手段とを設ける室圧制御システムにおいて
この風路圧制御手段を、前記対象室のうちの特定室に対する前記風量調整ダンパの開度については、他の風量調整ダンパの開度よりもファン出力の調整要因としての扱いを制限して、ファン出力の調整を行う構成にする。
【００１４】
この構成によれば、請求項１に係る発明と同様、室圧管理水準の低い対象室を上記の特定室としておくことで、その室圧管理水準の低い対象室に対する風量調整ダンパの開度は、上記の風路圧制御手段によるファン出力の調整において、室圧管理水準の高い対象室に対する他の風量調整ダンパの開度よりもファン出力の調整要因としての扱いが制限され、そして、この制限を受けることで、その室圧管理水準の低い対象室に対する風量調整ダンパの開度が通過風量の調整上で目標開度範囲を逸脱しても、それに対するファン出力の変更は、室圧管理水準の高い対象室に対する他の風量調整ダンパの開度が目標開度範囲を逸脱した場合のファン出力の変更に比べ、量的または頻度的に制限されたものとなる。
【００１５】
つまり、このことにより、室圧管理水準の低い対象室に対する風量調整ダンパの開度が目標開度範囲を逸脱することに対し、その風量調整ダンパの開度を目標開度範囲内に復帰させるためのファン出力の変更に原因して、室圧管理水準の高い対象室の室圧までが波及的に変動してしまうことを効果的に抑止でき、これにより、風量調整ダンパ夫々の開度をファン出力の調整要因として等価に扱う先述の従来システムに比べ、厳密な室圧管理が要求される室圧管理水準の高い対象室の室圧変動を一層確実に防止することができて、室圧管理面での信頼性を高めることができる。
【００１６】
そして、それほど厳密な室圧管理が要求されない室圧管理水準の低い対象室については、対応する風量調整ダンパの開度を目標開度範囲内（すなわち、通過風量調整上の好適な開度範囲内、換言すれば、室圧の安定化の上で好適な開度範囲内）に維持する機能を、その対象室の室圧管理水準に応じた機能水準で確保することができる。
【００１７】
〔３〕請求項３に係る発明では、給気用ファンに接続した給気側主風路に、複数の対象室を給気側分岐風路を介して並列に接続し、かつ、排気用ファンに接続した排気側主風路に、前記対象室を排気側分岐風路を介して並列に接続し、
前記給気側分岐風路と前記排気側分岐風路とのいずれか一方の夫々に風量調整ダンパを介装し、かつ、他方の夫々に室圧調整ダンパを介装し、
前記風量調整ダンパ夫々の検出通過風量に基づき、各風量調整ダンパの開度を調整して各風量調整ダンパの通過風量を目標風量に調整する風量制御手段と、
前記対象室夫々の検出室圧に基づき、各対象室に対応する前記室圧調整ダンパの開度を調整して各対象室の室圧を目標室圧に調整する室圧制御手段と、
前記風量制御手段による通過風量調整において前記風量調整ダンパ夫々の開度が目標開度範囲内になるように、各風量調整ダンパの検出開度に基づき前記排気用ファンと前記給気用ファンとのうち風量調整ダンパ装備風路側のファンの出力を調整する風量調整側の風路圧制御手段と、
前記室圧制御手段による室圧調整において前記室圧調整ダンパ夫々の開度が目標開度範囲内になるように、各室圧調整ダンパの検出開度に基づき前記排気用ファンと前記給気用ファンとのうち室圧調整ダンパ装備風路側のファンの出力を調整する室圧調整側の風路圧制御手段とを設ける室圧制御システムにおいて、
前記風量調整側の風路圧制御手段を、前記対象室のうちの特定室に対する前記風量調整ダンパの開度については、他の風量調整ダンパの開度よりもファン出力の調整要因としての扱いを制限して、ファン出力の調整を行う構成にし、
前記室圧調整側の風路圧制御手段を、前記対象室のうちの前記特定室に対する前記室圧調整ダンパの開度については、他の室圧調整ダンパの開度よりもファン出力の調整要因としての扱いを制限して、ファン出力の調整を行う構成にする。
【００１８】
つまり、この構成では、対象室に対する給気側と排気側とのいずれか一方について請求項１に係る発明を適用し、他方について請求項２に係る発明を適用することから、請求項１に係る発明により得られる前記効果と請求項２に係る発明により得られる前記効果との相乗効果として、厳密な室圧管理が要求される室圧管理水準の高い対象室の室圧変動をさらに確実に防止することができ、室圧管理面での信頼性を一層高めることができる。
【００１９】
そしてまた、それほど厳密な室圧管理が要求されない室圧管理水準の低い対象室については、対応する室圧調整ダンパの開度を目標開度範囲内（すなわち、室圧調整上の好適な開度範囲内）に維持する機能、及び、対応する風量調整ダンパの開度を目標開度範囲内（すなわち、通過風量調整上の好適な開度範囲内、換言すれば、室圧の安定化の上で好適な開度範囲内）に維持する機能の夫々を、その対象室の室圧管理水準に応じた機能水準で確保することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図１においてＲ１〜Ｒ４は室圧管理対象室であり、これら対象室Ｒ１〜Ｒ４は、給気用ファン１に接続した給気側主風路２に対し給気側分岐風路３を介して並列に接続するとともに、排気用ファン４に接続した排気側主風路５に対し排気側分岐風路６を介して並列に接続してある。
【００２１】
７は給気側分岐風路３を通じて各対象室Ｒ１〜Ｒ４に供給する空気を浄化する給気側フィルタであり、８は排気側分岐風路６を通じて各対象室Ｒ１〜Ｒ４から排出する空気中に室内での発生汚染物質が混入するのを防止する排気側フィルタである。
【００２２】
給気側分岐風路３の夫々には、各対象室Ｒ１〜Ｒ４への給気量ｑを調整する風量調整ダンパ９を介装し、これら風量調整ダンパ９の各々に対しては、風量センサ１０により検出される風量調整ダンパ９の通過風量ｑ（すなわち、各対象室Ｒ１〜Ｒ４への給気量）に基づき風量調整ダンパ９の開度αを調整して、風量調整ダンパ９の通過風量ｑを目標風量ｍｑに調整する風量制御手段１１を装備してある。
【００２３】
すなわち、風量調整ダンパ９と風量センサ１０と風量制御手段１１は、いわゆる定風量装置を構成する。
【００２４】
１２は給気側主風路２の風路圧ｐｓを検出する風路圧センサ、１３はこの風路圧センサ１２の検出風路圧ｐｓに基づき給気用ファン１の出力をインバータ制御等により調整して、給気側主風路２の風路圧ｐｓを給気側制御装置１４からの指定風路圧ｍｐｓに調整する給気側ファン制御器である。
【００２５】
各風量調整ダンパ９には、その開度αを検出する開度センサ１５を装備してあり、上記の給気側制御装置１４は、風量制御手段１１による通過風量調整において風量調整ダンパ９夫々の開度αが目標開度範囲Ｘ内になるように、これら開度センサ１５による検出開度αに基づき給気側ファン制御器１３に対する指定風路圧ｍｐｓを変更する。
【００２６】
すなわち、風路圧センサ１２と給気側ファン制御器１３と給気側制御装置１４は、風量制御手段１１による通過風量調整において風量調整ダンパ９夫々の開度αが目標開度範囲Ｘ内になるように、風量調整ダンパ９夫々の検出開度αに基づき給気用ファン１の出力を調整する風量調整側（本例では給気側）の風路圧制御手段１６を構成する。
【００２７】
風量調整ダンパ９の目標開度範囲Ｘには、ダンパ特性上で通過風量調整を良好に行える範囲を設定し、好適例としては、２０％開度程度を下限値とし８０％開度程度を上限値とする中間開度範囲を挙げることができる。
【００２８】
なお、本例では、風量調整ダンパ９の開度センサ１５として、風量調整ダンパ９の開度αが目標開度範囲Ｘの上限値を上回った状態にあることを検出する過開センサと、風量調整ダンパ９の開度αが目標開度範囲Ｘの下限値を下回った状態にあることを検出する過閉センサを装備してある。
【００２９】
一方、排気側分岐風路６の夫々には、排気量を調整することで各対象室Ｒ１〜Ｒ４の室圧ｐを調整する室圧調整ダンパ１７を介装し、これら室圧調整ダンパ１７の各々に対しては、室圧センサ１８により検出される対応対象室Ｒ１〜Ｒ４の室圧ｐ（本例では基準圧と室圧との差圧）に基づき室圧調整ダンパ１７の開度βを調整して、対応対象室Ｒ１〜Ｒ４の室圧ｐを目標室圧ｍｐに調整する室圧制御手段１９を装備してある。
【００３０】
２０は排気側主風路５の風路圧ｐｅを検出する排気側の風路圧センサ、２１はこの排気側風路圧センサ２０の検出風路圧ｐｅに基づき排気用ファン４の出力をインバータ制御等により調整して、排気側主風路５の風路圧ｐｅを排気側制御装置２２からの指定風路圧ｍｐｅに調整する排気側ファン制御器である。
【００３１】
各室圧調整ダンパ１７には、その開度βを検出する開度センサ２３を装備してあり、上記の排気側制御装置２２は、室圧制御手段１９による室圧調整において室圧調整ダンパ１７夫々の開度βが目標開度範囲Ｙ内になるように、これら開度センサ２３による検出開度βに基づき排気側ファン制御器２１に対する指定風路圧ｍｐｅを変更する。
【００３２】
すなわち、排気側の風路圧センサ２０と排気側ファン制御器２１と排気側制御装置２２は、室圧制御手段１９による室圧調整において室圧調整ダンパ１７夫々の開度βが目標開度範囲Ｙ内になるように、室圧調整ダンパ１７夫々の検出開度βに基づき排気用ファン４の出力を調整する室圧調整側（本例では排気側）の風路圧制御手段２４を構成する。
【００３３】
室圧調整ダンパ１７の目標開度範囲Ｙには、ダンパ特性上で室圧調整を良好に行える範囲を設定し、好適例としては、風量調整ダンパ９の目標開度範囲Ｘと同様、２０％開度程度を下限値とし８０％開度程度を上限値とする中間開度範囲を挙げることができる。
【００３４】
なお、本例では、室圧調整ダンパ１７の開度センサ２３として、風量調整ダンパ９と同様、室圧調整ダンパ１７の開度βが目標開度範囲Ｙの上限値を上回った状態にあることを検出する過開センサと、室圧調整ダンパ１７の開度βが目標開度範囲Ｙの下限値を下回った状態にあることを検出する過閉センサを装備してある。
【００３５】
給気側制御装置１４は、開度センサ１５による風量調整ダンパ９夫々の検出開度α（本例では、各風量調整ダンパ９の開度αが目標開度範囲Ｘの上限値を上回っているか下限値を下回っているかの検出情報）に基づき、次の式１により給気側判別値Ｕｓを求め、
Ｕｓ＝Σ（Ｋｊ×Ａｊ）        ……………（式１）
（ｊ＝１，２……Ｎ、本例では室数が４でＮ＝４）
この給気側判別値Ｕｓに応じて給気側ファン制御器１３に対する指定風路圧ｍｐｓを変更する。
【００３６】
Ｋｊは各対象室Ｒ１〜Ｒ４についての重み係数（０．０≦Ｋｊ≦１．０）であり、厳密な室圧管理が要求される室圧管理水準の高い対象室Ｒ１〜Ｒ４ほど、大きい重み係数Ｋｊを設定する。
【００３７】
Ａｊは各対象室Ｒ１〜Ｒ４について、対応する風量調整ダンパ９の検出開度αに応じ数値選択する関数値であり、対応する風量調整ダンパ９の開度αが目標開度範囲Ｘの上限値を上回って目標開度範囲Ｘを開方向に逸脱しているときにはＡｊ＝１．０を採用し、対応する風量調整ダンパ９の開度αが目標開度範囲Ｘの範囲内にあるとき、及び、目標開度範囲Ｘの下限値を下回って目標開度範囲Ｘを閉方向に逸脱しているときにはＡｊ＝０．０を採用する。
【００３８】
そして具体的には、給気側制御装置１４は、これら各対象室Ｒ１〜Ｒ４についての重み係数Ｋｊ及び関数値Ａｊから求められる上記の給気側判別値ＵｓがＵｓ≧１．０のときには、給気側ファン制御器１３に対する指定風路圧ｍｐｓを所定の変更速度で、あるいは、所定の変更量だけ上昇側（給気用ファン１の出力を上昇させる側）に変更する。
【００３９】
また、求められる給気側判別値ＵｓがＵｓ＜１．０ときには、給気側ファン制御器１３に対する指定風路圧ｍｐｓを現状維持し、これに対し、各風量調整ダンパ９の開度αが全て目標開度範囲Ｘを閉方向に逸脱しているときには、給気側ファン制御器１３に対する指定風路圧ｍｐｓを所定の変更速度で、あるいは、所定の変更量だけ下降側（給気用ファン１の出力を低下させる側）に変更する。
【００４０】
つまり、この給気側判別値Ｕｓに応じた指定風路圧ｍｐｓの変更では、複数の対象室Ｒ１〜Ｒ４のうち室圧管理水準の低い対象室を特定室として、その室圧管理水準の低い対象室についての上記重み係数Ｋｊを低く設定しておくことにより、各風量調整ダンパ９の開度αに基づく給気用ファン１の出力調整において、その室圧管理水準の低い対象室に対する風量調整ダンパ９の開度αは重み係数Ｋｊを高く設定した室圧管理水準の高い対象室に対する風量調整ダンパ９の開度αよりもファン出力の調整要因としての扱いを制限し、これにより、室圧管理水準の低い対象室に対する風量調整ダンパ９の開度αが目標開度範囲Ｘを逸脱（本例では開方向へ逸脱）することに対し、その風量調整ダンパ９の開度αを目標開度範囲Ｘ内に復帰させるための給気用ファン１の出力変更に原因して、室圧管理水準の高い対象室の室圧ｐまで波及的に変動してしまうことを抑止する。
【００４１】
なお、給気側ファン制御器１３に対する指定風路圧ｍｐｓの下降側への変更を、給気側判別値Ｕｓによらず、各風量調整ダンパ９の開度αが全て目標開度範囲Ｘを閉方向に逸脱していることを条件として実施するのは、上記の給気側判別値Ｕｓでは、各風量調整ダンパ９の開度αが全て目標開度範囲Ｘを閉方向に逸脱している状況（すなわち、指定風路圧ｍｐｓを下降側へ変更すべき状況）を判別し切れない為である。
【００４２】
一方、排気側制御装置２２は、上記の給気側制御装置１４と同様、開度センサ２３による室圧調整ダンパ１７夫々の検出開度β（本例では、各室圧調整ダンパ１７の開度βが目標開度範囲Ｙの上限値を上回っているか下限値を下回っているかの検出情報）に基づき、次の式２により排気側判別値Ｕｅを求め、
Ｕｅ＝Σ（Ｌｊ×Ｂｊ）        ……………（式２）
（ｊ＝１，２……Ｎ、本例では室数が４でＮ＝４）
この排気側判別値Ｕｅに応じて排気側ファン制御器２１に対する指定風路圧ｍｐｅを変更する。
【００４３】
Ｌｊは各対象室Ｒ１〜Ｒ４についての重み係数（０．０≦Ｌｊ≦１．０）であり、厳密な室圧管理が要求される室圧管理水準の高い対象室Ｒ１〜Ｒ４ほど、大きい重み係数Ｌｊを設定する。
【００４４】
Ｂｊは各対象室Ｒ１〜Ｒ４について、対応する室圧調整ダンパ１７の検出開度βに応じ数値選択する関数値であり、対応する室圧調整ダンパ１７の開度βが目標開度範囲Ｙの上限値を上回って目標開度範囲Ｙを開方向に逸脱しているときにはＢｊ＝１．０を採用し、対応する室圧調整ダンパ１７の開度βが目標開度範囲Ｙの範囲内にあるとき、及び、目標開度範囲Ｙの下限値を下回って目標開度範囲Ｙを閉方向に逸脱しているときにはＢｊ＝０．０を採用する。
【００４５】
そして具体的には、排気側制御装置２２は、これら各対象室Ｒ１〜Ｒ４についての重み係数Ｌｊ及び関数値Ｂｊから求められる上記の排気側判別値ＵｅがＵｅ≧１．０のときには、排気側ファン制御器２１に対する指定風路圧ｍｐｅを所定の変更速度で、あるいは、所定の変更量だけ上昇側（排気用ファン４の出力を上昇させる側）に変更する。
【００４６】
また、求められる排気側判別値ＵｅがＵｅ＜１．０ときには、排気側ファン制御器２１に対する指定風路圧ｍｐｅを現状維持し、これに対し、各室圧調整ダンパ１７の開度βが全て目標開度範囲Ｙを閉方向に逸脱しているときには、排気側ファン制御器２１に対する指定風路圧ｍｐｅを所定の変更速度で、あるいは、所定の変更量だけ下降側（排気用ファン４の出力を低下させる側）に変更する。
【００４７】
つまり、この排気側判別値Ｕｅに応じた指定風路圧ｍｐｅの変更では、前述の給気側と同様、複数の対象室Ｒ１〜Ｒ４のうち室圧管理水準の低い対象室を特定室として、その室圧管理水準の低い対象室についての上記重み係数Ｌｊを低く設定しておくことにより、各室圧調整ダンパ１７の開度βに基づく排気用ファン４の出力調整において、その室圧管理水準の低い対象室に対する室圧調整ダンパ１７の開度βは重み係数Ｌｊを高く設定した室圧管理水準の高い対象室に対する室圧調整ダンパ１７の開度βよりもファン出力の調整要因としての扱いを制限し、これにより、室圧管理水準の低い対象室に対する室圧調整ダンパ１７の開度βが目標開度範囲Ｙを逸脱（本例では開方向へ逸脱）することに対し、その室圧調整ダンパ１７の開度βを目標開度範囲Ｙ内に復帰させるための排気用ファン４の出力変更に原因して、室圧管理水準の高い対象室の室圧ｐまで波及的に変動してしまうことを抑止する。
【００４８】
なお、排気側ファン制御器２１に対する指定風路圧ｍｐｅの下降側への変更を、排気側判別値Ｕｅによらず、各室圧調整ダンパ１７の開度βが全て目標開度範囲Ｙを閉方向に逸脱していることを条件として実施するのは、上記の排気側判別値Ｕｅでは、各室圧調整ダンパ１７の開度βが全て目標開度範囲Ｙを閉方向に逸脱している状況（すなわち、指定風路圧ｍｐｅを下降側へ変更すべき状況）を判別し切れない為である。
【００４９】
〔別実施形態〕
前述の実施形態では、各対象室Ｒ１〜Ｒ４に対する重み係数Ｋｊ，Ｌｊを０．０≦Ｋｊ，Ｌｊ≦１．０の範囲内で設定する例を示したが、重み係数Ｋｊ，Ｌｊを具体的にどのような数値範囲内で設定するかは適宜選択すればよく、例えば、０．０≦Ｋｊ，Ｌｊ≦１００．０の範囲内で重み係数Ｋｊ，Ｌｊを設定するなどしてもよい。なお、重み係数Ｋｊ，Ｌｊをどのような数値範囲内で設定するかによって、指定風路圧ｍｐｓ，ｍｐｅを上昇側に変更するか現状維持するかについての判別値Ｕｓ，Ｕｅの閾値が変わることは言うまでもない。
【００５０】
前述の実施形態では、風量調整ダンパ９及び室圧調整ダンパ１７の夫々について、ダンパ開度α，βが目標開度範囲Ｘ，Ｙを開方向に逸脱しているときには関数値Ａｊ，Ｂｊ＝１．０を採用し、ダンパ開度α，βが目標開度範囲Ｘ，Ｙの範囲内にあるとき、及び、目標開度範囲Ｘ，Ｙを閉方向に逸脱しているときには関数値Ａｊ，Ｂｊ＝０．０を採用するようにしたが、これに代え、ダンパ開度α，βが目標開度範囲Ｘ，Ｙの範囲内にあるとき、及び、目標開度範囲Ｘ，Ｙを開方向に逸脱しているときには関数値Ａｊ，Ｂｊ＝１．０を採用し、ダンパ開度α，βが目標開度範囲Ｘ，Ｙを閉方向に逸脱しているときには関数値Ａｊ，Ｂｊ＝０．０を採用し、そして、判別値Ｕｓ，ＵｅがＵｓ，Ｕｅ≧１．０のときには指定風路圧ｍｐｓ，ｍｐｅを現状維持し、判別値Ｕｓ，ＵｅがＵｓ，Ｕｅ＜１．０ときには指定風路圧ｍｐｓ，ｍｐｅを下降側に変更し、これに対し、ダンパ開度α，βが全て目標開度範囲Ｘ，Ｙを開方向に逸脱しているときには、指定風路圧ｍｐｓ，ｍｐｅを上昇側に変更する調整形態を採ってもよい。
【００５１】
前述の実施形態では、風量調整ダンパ９や室圧調整ダンパ１７の検出開度α，βに基づき指定風路圧ｍｐｓ，ｍｐｅを変更することでファン１，４の出力を変更する出力調整形態を採用したが、これに代え、風量調整ダンパ９や室圧調整ダンパ１７の検出開度α，βに応じインバータ制御などでファン１，４の回転数を直接的に変更する出力調整形態を採用してもよい。
【００５２】
また、ファン制御器１３，２１を、主風路２，５での検出風量に基づきファン１，４の出力を調整して主風路２，５での風量を指定風量に調整するものにし、そして、風量調整ダンパ９や室圧調整ダンパ１７の検出開度α，βに基づきファン制御器１３，２１に対する指定風量を変更することでファン１，４の出力を変更する出力調整形態を採用してもよく、風量調整ダンパ９や室圧調整ダンパ１７の検出開度α，βに基づき給気用ファン１や排気用４の出力を変更するのに、その基本的な出力調整形態は種々の変更が可能である。
【００５３】
前述の実施形態では、開度センサ１５，２３として、風量調整ダンパ９や室圧調整ダンパ１７の開度α，βが目標開度範囲Ｘ，Ｙの上限値を上回った状態にあることを検出する過開センサと、それら開度α，βが目標開度範囲Ｘ，Ｙの下限値を下回った状態にあることを検出する過閉センサを設ける例を示したが、これらα，βを連続的に検出する開度センサを採用するなど、風量調整ダンパ９や室圧調整ダンパ１７の開度α，βを検出する手段には、種々の形式のものを採用できる。
【００５４】
風量調整ダンパ９の検出通過風量ｑに基づき風量調整ダンパ９の開度αを調整して通過風量ｑを目標風量ｍｑに調整する風量制御手段には、ダンパ翼を電動モータにより操作するモータダンパ形式のものや、通過風量検出機構との機械的連動によりダンパ翼を動作させる形式のものなど、いわゆる定風量装置と称されるものを含み種々の形式ものを採用できる。
【００５５】
対象室Ｒ１〜Ｒ４のうちの特定室に対する風量調整ダンパ９や室圧調整ダンパ１７の開度α，βについては他の風量調整ダンパ９や他の室圧調整ダンパ１７の開度α，βよりもファン出力の調整要因としての扱いを制限してファン１，４の出力調整を行うのに、前述の実施形態では開度α，βないしその関連値Ａｊ，Ｂｊに重み付けする形式を採用したが、これに代え、例えば、特定室に対する風量調整ダンパ９や室圧調整ダンパ１７の開度α，βが目標開度範囲Ｘ、Ｙを逸脱した場合には、他の風量調整ダンパ９や他の室圧調整ダンパ１７の開度α，βが目標開度範囲Ｘ、Ｙを逸脱した場合よりも、ファン１，４の出力変更量やファン出力の変更速度を小さくする形式を採用してもよい。
【００５６】
また、特定室に対する風量調整ダンパ９や室圧調整ダンパ１７の開度α，βが目標開度範囲Ｘ、Ｙを逸脱した場合には、他の風量調整ダンパ９や他の室圧調整ダンパ１７の開度α，βが目標開度範囲Ｘ、Ｙを逸脱した場合よりも、逸脱時点からファン出力の変更開始に至るまでの待機時間を大きくする形式を採用してもよく、特定室に対する風量調整ダンパ９や室圧調整ダンパ１７の開度α，βについて、ファン出力の調整要因としての扱いを具体的にどのような形態で制限するかは種々の変更が可能である。
【００５７】
前述の実施形態では、重み係数Ｋｊ，Ｌｊの選定により上記制限の程度を種々選択し得るようにしたが、上記制限の程度は一定にして制限を加えるか否かだけを選択するようにしてもよい。
【００５８】
室圧管理水準の高低は、各対象室Ｒ１〜Ｒ４に要求される清浄度の高低によるものや、各対象室Ｒ１〜Ｒ４の汚染度の高低によるもの、あるいは、各対象室Ｒ１〜Ｒ４のドアの開閉頻度の高低によるものなど、どのような要因によるものであってもよい。
【００５９】
対象室の室数は４室に限定されるものではなく、２室以上の複数室であれば何室であってもよい。なお、この室数とは少なくとも１つの風量調整ダンパ９や室圧調整ダンパ１７を備える対象室の室数であり、１つの対象室に２以上の風量調整ダンパ９や室圧調整ダンパ１７を装備する場合があってもよく、また、１つの風量調整ダンパ９や室圧調整ダンパ１７で担当する複数室を１つの対象室として扱う場合があってもよい。
【００６０】
前述の実施形態では、請求項１に係る発明を排気側に適用するとともに、請求項２に係る発明を給気側に適用した例を示したが、これとは逆に、請求項１に係る発明を給気側に適用するとともに、請求項２に係る発明を排気側に適用してもよく、また、請求項１に係る発明と請求項２に係る発明とのうちの一方は非実施として、他方のみを給気側又は排気側に適用する、ないし、給気側と排気側の両方に適用するようにしてもよい。
【００６１】
本発明は、薬品の製造施設や半導体電子部品の製造施設を初め、複数室に対する室圧管理が必要な種々の分野で適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】システム構成を示す図
【符号の説明】
１              給気用ファン
４              排気用ファン
２              主風路，給気側主風路
５              主風路，排気側主風路
３              分岐風路，給気側分岐風路
６              分岐風路，排気側分岐風路
９              風量調整ダンパ
１１            風量制御手段
１６            風路圧制御手段，風量調整側の風路圧制御手段
１７            室圧調整ダンパ
１９            室圧制御手段
２４            風路圧制御手段，室圧調整側の風路圧制御手段
α              風量調整ダンパの開度
β              室圧調整ダンパの開度
ｐ              室圧
ｍｐ            目標室圧
ｑ              通過風量
ｍｑ            目標風量
Ｒ１〜Ｒ４      対象室
Ｘ              風量調整ダンパの目標開度範囲
Ｙ              室圧調整ダンパの目標開度範囲
【図１】
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