(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板上に、高屈折率膜、低屈折率膜および透明導電膜をこの順に形成した光電変換装置用基板の製造方法であって、
前記光電変換装置用基板は、
前記高屈折率膜が酸化錫膜であってその屈折率が前記ガラス板の屈折率よりも高く、前記低屈折率膜の屈折率が１．４以上１．８以下であって前記高屈折率膜の屈折率および前記透明導電膜の屈折率よりも低く、
前記高屈折率膜が表面に凹凸を有する多結晶膜であってその膜厚が２８ｎｍ以上６０ｎｍ以下であり、前記低屈折率の膜厚が１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下であり、
前記透明導電膜が、フッ素をドープした酸化錫膜であるとともに、その膜厚が４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であってその表面抵抗率が５Ω／□以上２０Ω／□以下であり、
前記高屈折率膜、前記低屈折率膜および前記透明導電膜を、前記ガラス板を製造するフロート法におけるガラスリボン上に錫フロート槽内に配置したコータを用いて成膜する、
ことを特徴とする光電変換装置用基板の製造方法。
【請求項２】
高屈折率膜の膜厚と低屈折率膜の膜厚との和が４０ｎｍ以上７０ｎｍ以下である請求項１に記載の光電変換装置用基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、太陽電池などの光電変換装置用の基板に関し、さらに詳しくは、光電変換装置の光電変換効率を改善するために、高い光透過率と低い光反射率を有する光電変換装置用基板に関する。
【０００２】
【従来の技術】
太陽電池などの光電変換装置には、透明導電膜（透明電極）を備えたガラス板が用いられる場合がある。薄膜型光電変換装置は、例えば、ガラス板上に、酸化錫を主成分とする透明導電膜、シリコン系光電変換層、アルミニウムなどからなる裏面電極を、この順に形成して製造される。ガラス板として、安価で大量に供給されているソーダライムガラスを用いる場合には、ガラス板から透明導電膜へのアルカリ成分の拡散を防止するために、ガラス板と透明導電膜との間に、バリア膜が形成されることもある。バリア膜としては、酸化シリコン膜が多用される。
【０００３】
透明導電膜としては、フッ素をドープした酸化錫（以下、「ＳｎＯ2：Ｆ」という）膜が多用されている。この膜は、錫をドープした酸化インジウム（ＩＴＯ）膜よりも耐プラズマ性能などの化学的安定性に優れており、プラズマＣＶＤ法が適用される光電変換層の成膜時にも劣化が少ない。光電変換層へと光を取り込み、透明電極ともなる透明導電膜には、高い光透過率と高い導電性とを兼ね備えていることが望まれる。このため、特開平１−２５９５７２号公報には、ＳｎＯ2：Ｆ膜の光透過率を改善するために、錫原料から膜中に取り込まれる塩素を低減させることが提案されている。
【０００４】
透明導電膜を備えたガラス板は、建築物の窓ガラスにも用いられている。透明導電膜を形成したガラス板は、いわゆるＬｏｗ−Ｅガラスとして、建築物の開口部からの熱の流出を抑制する。この利用分野においては、窓ガラスとして自然な外観を備えていることが重視される。酸化錫膜は、この分野においても代表的な透明導電膜の一つであるが、開口部からの熱損失の抑制に有効な膜厚に形成すると、透過光の干渉色（光彩）が問題となる。このため、特公平３−７２５８６号公報には、ガラス板と透明導電膜との間に、２層の中間層を形成することが開示されている。この公報には、具体的には、ガラス板側から順に、厚さ約１８ｎｍの酸化錫膜と、厚さ約２８ｎｍのシリコン−酸化シリコン混合膜とを形成し、さらにこれらの膜の上に透明導電膜として、厚さ約２００ｎｍのＳｎＯ2：Ｆ膜を形成した膜構成が開示されている。上記公報では、窓ガラスとしての用途から、「現在の商業生産の殆どすべては前記光彩色を示す約０．１〜０．３ミクロンの厚さ範囲のフィルムを含んでいる」ことが指摘され、主として、この範囲の厚さを有する透明導電膜の無彩色化が検討されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、光電変換装置用基板の透明導電膜には、高い光透過率と高い導電性との両立が望まれているが、透明導電膜自体を改善することだけでは、光電変換装置の光電変換効率の向上にも限界がある。特公平３−７２５８６号公報に記載のように、建築用窓ガラスの分野では、ガラス板と透明導電膜との間に複数の膜を挟み込むことも提案されている。しかしながら、ガラス板と透明導電膜との間の多層膜により、光電変換装置用基板として求められる特性を向上させることについては未だ検討されていない。
【０００６】
そこで、本発明は、ガラス板と透明導電膜との間に複数の膜を形成した膜構成を採用し、この膜構成により、光電変換装置の光電変換効率を向上させる光電変換装置用基板を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明では、
ガラス板上に、高屈折率膜、低屈折率膜および透明導電膜をこの順に形成した光電変換装置用基板の製造方法であって、
前記光電変換装置用基板は、
前記高屈折率膜が酸化錫膜であってその屈折率が前記ガラス板の屈折率よりも高く、前記低屈折率膜の屈折率が１．４以上１．８以下であって前記高屈折率膜の屈折率および前記透明導電膜の屈折率よりも低く、
前記高屈折率膜が表面に凹凸を有する多結晶膜であってその膜厚が２８ｎｍ以上６０ｎｍ以下であり、前記低屈折率の膜厚が１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下であり、
前記透明導電膜が、フッ素をドープした酸化錫膜であるとともに、その膜厚が４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であってその表面抵抗率が５Ω／□以上２０Ω／□以下であり、
前記高屈折率膜、前記低屈折率膜および前記透明導電膜を、前記ガラス板を製造するフロート法におけるガラスリボン上に錫フロート槽内に配置したコータを用いて成膜する、
ことを特徴とする光電変換装置用基板の製造方法とした。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照しながら説明する。図１は、本発明による光電変換装置用基板の一形態の断面図である。ガラス板５上に、高屈折率膜１、低屈折率膜２および透明導電膜３がこの順に形成されている。以下、各膜について説明する。
【０００９】
透明導電膜としては、酸化錫を主成分とする膜、具体的には、フッ素などの不純物をドープした酸化錫膜が多用される。この透明導電膜の膜厚は、太陽電池など光電変換装置用基板として用いるためには、必要な導電性を確保するために、概略、４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下、好ましくは５００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下の範囲とされる。
【００１０】
上記光電変換装置用基板において、高屈折率膜と低屈折率膜とは、透明導電膜の膜厚が上記範囲にあることを前提として、光電変換装置の光電変換効率を向上させるような膜厚と屈折率とを備えている。本発明者による光学的計算と後述する実施例に記載したような実測との結果、高屈折率膜の厚さは２８ｎｍ以上６０ｎｍ以下が好ましく、屈折率は１．７以上２．７以下が好ましいことが確認された。同様に、低屈折率膜の厚さは１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下が好ましく、屈折率は１．４以上１．８以下が好ましい。
【００１１】
高屈折率膜の材料としては、酸化錫を用いる。一方、低屈折率膜の材料としては、例えば、酸化シリコン、酸化アルミニウム、酸炭化シリコン（ＳｉＯＣ）およびこれらの混合物から選ばれる少なくとも一つを用いることができる。
【００１２】
また、高屈折率膜は、表面に凹凸を有する多結晶膜として形成する。この凹凸は、膜界面における光散乱をもたらし、入射した光の反射を抑制する。このような光の閉じこめ効果により、基板に入射する光の利用率は向上する。この高屈折率膜の凹凸は、膜厚が大きいほうが顕著となる傾向にある。このような観点からも、光電変換装置用基板では、例えば建築用窓ガラスとして用いられる場合よりも、ガラス板に接して形成する高屈折率膜を上記程度に厚膜化すると有利である。
【００１３】
基板の光透過特性を向上させるためには、高屈折率膜と低屈折率膜とを、その膜厚の合計が４０ｎｍ以上７０ｎｍ以下となるように形成することが好ましい。また、これらの膜の膜厚は、透明導電膜の膜厚に応じてさらに細かく調整することができる。
【００１４】
例えば、透明導電膜の膜厚が４００ｎｍ以上７００ｎｍ未満である場合には、高屈折率膜の膜厚は２２ｎｍ以上４０ｎｍ以下、低屈折率膜の膜厚は１４ｎｍ以上３６ｎｍ以下、両膜厚の和は４０ｎｍ以上６０ｎｍ以下が好適である。また例えば、透明導電膜の膜厚が７００ｎｍ以上８５０ｎｍ未満である場合には、高屈折率膜の膜厚は２２ｎｍ以上６０ｎｍ以下、低屈折率膜の膜厚は１０ｎｍ以上４０ｎｍ以下、両膜厚の和は４０ｎｍ以上７０ｎｍ以下が好適である。また例えば、透明導電膜の膜厚が８５０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下である場合には、高屈折率膜の膜厚は２２ｎｍ以上４５ｎｍ以下、低屈折率膜の膜厚は１２ｎｍ以上３６ｎｍ以下、両膜厚の和は４０ｎｍ以上７０ｎｍ以下が好適である。
【００１５】
ＳｎＯ2：Ｆ膜は、フッ素以外に他の微量成分を含んでいても構わない。例えば、導電性を向上させるために、アンチモンを添加してもよい。また、この膜には、シリコン、アルミニウム、亜鉛、銅、インジウム、ビスマス、ガリウム、ホウ素、バナジウム、マンガン、ジルコニウムなどが含まれていても構わない。ただし、これら微量成分の濃度は０．０２重量％以下が好ましい。また、ＳｎＯ2：Ｆ膜には、錫原料中から塩素が取り込まれる場合が多い。この塩素は、光透過率を低下させる原因となるため、０．４重量％以下が好ましい。
【００１６】
透明導電膜のシート抵抗値は、具体的には、５Ω／スクエア（Ω／□）以上２０Ω／スクエア以下とする。
【００１７】
なお、ガラス板としては、安価で大量に供給されているソーダライムシリカガラス（屈折率約１．５）を用いればよい。このガラス板は、フロート法により製造され、極めて平滑な表面を有する。その厚さは、特に限定されないが、好ましくは０．５ｍｍ以上５ｍｍ以下である。
【００１８】
本発明による光電変換装置用基板は、特に太陽電池用基板として好適である。アモルファスシリコン太陽電池用基板として用いる場合には、透明導電膜上に、光電変換層としてアモルファスシリコン膜が形成される。アモルファスシリコン膜は、例えば、水素ガスで希釈されたモノシランを原料とし、グロー放電を用いたプラズマＣＶＤ法により成膜される。アモルファスシリコン層は、通常、ｐｉｎ接合が形成されるように適宜メタン、ジボラン、フォスフィンなどをシリコン膜に添加しながら、透明導電膜側から順に、ｐ層、ｉ層、ｎ層を成膜することにより形成される。さらに、アモルファスシリコン層上には、アルミニウム膜などからなる金属電極層が形成される。もっとも、アモルファスシリコン膜に代えて、結晶シリコン膜を光電変換層として形成しても構わない。
【００１９】
本発明の各膜の成膜には、スパッタリング法、イオンプレーティング法、真空蒸着法などのいわゆる物理蒸着法ではなく、化学蒸着法である化学気相法（以下、「ＣＶＤ法」という）を用いる。物理蒸着法では、膜厚の均一性には優れているが、量産時の製造効率や被膜の耐久性を考慮すると、原料の熱分解酸化反応を伴う化学蒸着法が優れている。
【００２０】
化学蒸着法であるスプレー法としては、金属化合物を含む溶液を高温のガラス板上に噴霧する溶液スプレー法、上記溶液に代えて金属化合物の微粒子を液体に分散させた分散液を用いる分散液スプレー法、上記溶液に代えて金属化合物の粉末を用いる粉末スプレー法などが挙げられる。これに対し、ＣＶＤ法では、少なくとも錫を含む被膜形成用の蒸気が用いられる。
【００２１】
スプレー法は、比較的簡便な装置で実施できるという利点があるが、液滴の制御や排気されるべき生成物（反応生成物、未分解生成物など）の制御が難しいために均一な膜厚を得にくい。また、ガラスの歪みも大きくなる。このため、上記各膜の成膜法としては、総合的にはＣＶＤ法が優れている。
【００２２】
ＣＶＤ法による導電膜の成膜は、所定の大きさに切断し、加熱したガラス板にガス状の原料が吹きつけることにより行うことができる。例えば、ガラス板をメッシュベルトに乗せて加熱炉を通過させる間に原料を供給し、高温のガラス板の表面で原料を反応させれば、導電膜を成膜できる。
【００２３】
しかし、ＣＶＤ法による成膜は、フロート法によるガラス製造工程における高温のガラスリボン上に膜を成膜して、ガラス成形時の熱エネルギーを利用することが好ましい。この好ましい製法は、大面積の透明導電膜付きガラス板の製造には有利であり、屋根材用などとして大面積のガラス板への成膜も求められる太陽電池用基板の製造には特に適している。また、ＣＶＤ法を錫フロート槽空間で行えば、軟化点以上の温度を有するガラス表面で成膜が行えるので、膜の性能および成膜反応速度、成膜反応効率の向上が可能となる。さらに、ピンホール（膜抜け）などの欠点も抑制される。
【００２４】
フロート法におけるガラスリボン上にＣＶＤ法により成膜するための装置の一形態を図２に示す。図２に示したように、この装置では、溶融炉（フロート窯）１１から錫フロート槽１２内に流れ出し、錫浴１５上を帯状に移動するガラスリボン１０の表面から所定距離を隔て、所定個数のコータ１６（図示した形態では３つのコータ１６ａ，１６ｂ，１６ｃ）が配置されている。コータの数や配置は、形成する被膜の種類や厚さに応じて適宜選択される。これらのコータからは、ガス状の原料が供給され、ガラスリボン１０上に連続的に被膜が形成されていく。このように、複数のコータを利用すれば、ガラスリボン１０上に、下地膜となる高屈折率膜および低屈折率膜、さらには透明導電膜を、ＣＶＤ法により連続的に形成することができる。各膜が形成されたガラスリボン１０は、ローラ１７により引き上げられて、徐冷窯１３へと送り込まれる。なお、徐冷窯１３で徐冷されたガラスリボンは、下流側の切断装置により切断され、所定の大きさのガラス板となる。
【００２５】
なお、ガラスリボン上への成膜は、ＣＶＤ法とスプレー法とを併用して行ってもよい。例えば、ＣＶＤ法とスプレー法とをこの順に実施することにより（例えば、錫フロート槽空間内においてＣＶＤ法による成膜を実施し、錫フロート槽空間よりガラスリボン進行方向下流側においてスプレー法による成膜を実施することにより）、所定の積層構造を実現してもよい。
【００２６】
ＣＶＤ法を用いる場合の錫原料としては、四塩化錫、ジメチル錫ジクロライド、ジブチル錫ジクロライド、テトラメチル錫、テトラブチル錫、ジオクチル錫ジクロライド、モノブチル錫トリクロライドなどが挙げられ、特にジメチル錫ジクロライド、モノブチル錫トリクロライドが好ましい。また、錫原料から酸化錫を得るために用いられる酸化原料としては、酸素、水蒸気、乾燥空気などが挙げられる。また、フッ素原料としては、フッ化水素、トリフルオロ酢酸、ブロモトリフルオロメタン、クロロジフルオロメタンなどが挙げられる。また、アンチモンを添加する場合には、五塩化アンチモン、三塩化アンチモンなどを用いてもよい。
【００２７】
低屈折率膜として好適な酸化シリコン膜をＣＶＤ法で成膜する場合のシリコン原料としては、モノシラン、ジシラン、トリシラン、モノクロロシラン、ジクロロシラン、1,2-ジメチルシラン、1,1,2-トリメチルジシラン、1,1,2,2-テトラメチルジシラン、テトラメチルオルソシリケート、テトラエチルオルソシリケートなどが挙げられる。また、この場合の酸化原料としては、酸素、水蒸気、乾燥空気、二酸化炭素、一酸化炭素、二酸化窒素、オゾンなどが挙げられる。なお、シランを使用した場合にガラス表面に到達するまでにシランの反応を防止する目的で、エチレン、アセチレン、トルエンなどの不飽和炭化水素ガスを併用しても構わない。
【００２８】
同じく低屈折率膜として好適な酸化アルミニウム膜をＣＶＤ法で成膜する場合のアルミニウム原料としては、トリメチルアルミニウム、アルミニウムトリイソポプロポキサイド、塩化ジエチルアルミニウム、アルミニウムアセチルアセトネート、塩化アルミニウムなどが挙げられる。また、この場合の酸化原料としては、酸素水蒸気、乾燥空気などが挙げられる。
【００２９】
【実施例】
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は以下の実施例により制限されるものではない。
【００３０】
（参照例１）
一辺が１０ｃｍの正方形となるように切断した厚さ３ｍｍのフロートガラス（ソーダライムシリカガラス）板を洗浄した後に乾燥させた。このガラス板の一方の表面に、大気開放型の搬送炉を用い、ＣＶＤ法により２層の下地膜（高屈折率膜と低屈折率膜）と透明導電膜とを順次成膜した。なお、ガラス板は、炉内をメッシュベルトを用いて搬送し、炉内で約５７０℃まで加熱してから上記各膜を成膜した。
【００３１】
・酸化錫膜（高屈折率膜）の成膜
モノブチル錫トリクロライド（蒸気）、酸素および窒素からなる混合ガスを供給し、ガラス板上に、膜厚が２８ｎｍの酸化錫膜を成膜した。
・酸化シリコン膜（低屈折率膜）の成膜
モノシラン、エチレン、酸素および窒素からなる混合ガスを供給し、酸化錫膜上に、膜厚が２４ｎｍの酸化シリコン膜を成膜した。
・ＳｎＯ2：Ｆ膜（透明導電膜）の成膜
モノブチル錫トリクロライド（蒸気）、酸素、窒素およびフッ化水素（蒸気）からなる混合ガスを供給し、酸化シリコン膜上に、膜厚が６２０ｎｍのＳｎＯ2：Ｆ膜を成膜した。なお、各膜の成膜に用いた混合ガスの組成を表１に示す。
【００３２】
（表１）
――――――――――――――――――――――――――――――
膜の種類                  混合ガスの組成（体積比）
Ｎ2 ／Ｏ2 ／ＨＦ／Ｓｎ／Ｓｉ／Ｃ2Ｈ4
――――――――――――――――――――――――――――――
酸化錫膜               ６  ４    ０    １    ０    ０
酸化シリコン膜        200  ４    ０    ０    １    ６
ＳｎＯ2：Ｆ膜          ６  ４    １    ４    ０    ０
――――――――――――――――――――――――――――――
なお、表１では、モノブチル錫トリクロライドをＳｎ、モノシランをＳｉと略記した。
【００３３】
（参照例２）
参照例１と同様にして、ガラス板上に、膜厚が３２ｎｍの酸化錫膜、膜厚が約２２ｎｍの酸化シリコン膜、および膜厚が７２０ｎｍのＳｎＯ2：Ｆ膜を順次成膜した。
【００３４】
（参照例３）
参照例１と同様にして、ガラス板上に、膜厚が３０ｎｍの酸化錫膜、膜厚が約２４ｎｍの酸化シリコン膜、および膜厚が９００ｎｍのＳｎＯ2：Ｆ膜を順次成膜した。
【００３５】
（参照例４）
参照例１と同様にして、ガラス板上に、膜厚が２３ｎｍの酸化錫膜、膜厚が約２６ｎｍの酸化シリコン膜、および膜厚が４５０ｎｍのＳｎＯ2：Ｆ膜を順次成膜した。
【００３６】
（比較例１）
酸化錫膜と酸化シリコン膜との成膜を省略した点を除いては、参照例１と同様にして、ガラス板上に、直接、膜厚が６２０ｎｍのＳｎＯ2：Ｆ膜を成膜した。
【００３７】
（比較例２）
酸化錫膜の成膜を省略した点を除いては、参照例１と同様にして、ガラス板上に、膜厚が３０ｎｍの酸化シリコン膜、および膜厚が６２０ｎｍのＳｎＯ2：Ｆ膜を順次成膜した。
【００３８】
以上より得られた透明導電膜付きガラス板について、各膜を形成した表面とは反対側のガラス板の表面を入射側として、ＪＩＳ Ｒ３１０６−１９９８に従って、可視光透過率および可視光反射率を測定した。結果を表２に示す。
【００３９】
（表２）
―――――――――――――――――――――――――――――
可視光透過率（％） 可視光反射率（％）
―――――――――――――――――――――――――――――
参照例１            ８５．５９            ６．６３
参照例２            ８５．５２            ５．７４
参照例３            ８４．８１            ４．６９
参照例４            ８５．８              ６．８９
―――――――――――――――――――――――――――――
比較例１            ８４．８８            ７．４５
比較例２            ８４．７３            ７．６２
―――――――――――――――――――――――――――――
【００４０】
（比較例３〜６）
酸化錫膜と酸化シリコン膜との膜厚を変更する一方、ＳｎＯ2：Ｆ膜の膜厚を参照例１〜４のいずれかと同一となるように調整して、ガラス板上に各膜を成膜した。比較例３〜６のいずれにおいても、酸化錫膜の膜厚は１８ｎｍ、酸化シリコン膜の膜厚は２８ｎｍとした。また、成膜の方法は、参照例１と同様とした。こうして得た透明導電膜付きガラス板について、上記と同様にして可視光透過率および可視光反射率を測定した。表３に、参照例１〜４と比較例３〜６とから得られた数値を、透明導電膜の膜厚ごとに対比して示す。
【００４１】
（表３）
―――――――――――――――――――――――――――――
可視光透過率（％） 可視光反射率（％）
―――――――――――――――――――――――――――――
参照例１            ８５．５９          ６．６３
比較例３            ８５．５０          ６．７５
―――――――――――――――――――――――――――――
参照例２            ８５．５２          ５．７４
比較例４            ８５．２８          ６．０２
―――――――――――――――――――――――――――――
参照例３            ８４．８１          ４．６９
比較例５            ８４．６２          ４．９３
―――――――――――――――――――――――――――――
参照例４            ８５．８            ６．８９
比較例６            ８５．７            ６．９７
―――――――――――――――――――――――――――――
【００４２】
比較例３〜６で適用した膜厚は、透明導電膜の光彩を解消するために、特公平３−７２５８６号公報の実施例に開示されている膜厚に相当する。この公報では、上記膜厚を膜厚２００ｎｍのＳｎＯ2：Ｆ膜の光彩を解消するために適用している。厚さ２００ｎｍ程度のＳｎＯ2：Ｆ膜は、建築用窓ガラスの熱放射を低減するためには適している。しかし、光電変換装置用基板では、透明電極として用いるために、ＳｎＯ2：Ｆ膜をさらに厚膜化して低抵抗化する必要がある。また、建築用窓ガラスとして用いるためには外観が特に重視されるが、太陽電池などに用いるためには、良好な光透過特性や反射特性がより重視される。したがって、ガラス板とＳｎＯ2：Ｆ膜との間に適用する膜も、用途およびＳｎＯ2：Ｆ膜の膜厚の相違に応じて適切に制御することが求められる。
【００４３】
上記参照例１〜４では、酸化錫膜と酸化シリコン膜の膜厚を比較例よりも適切な範囲とすることによって、透明導電膜の膜厚を同一としながら、光学特性上、０．１〜０．２％程度の改善を実現している。なお、可視光反射率を低下させた要因の少なくとも一部は、多結晶膜である酸化錫膜の厚膜化によって膜の凹凸が大きくなったことにあると推察される。
【００４４】
（参照例５、実施例１）
以下では、上記で説明したようなガラスリボン上への成膜装置を用いて成膜した。なお、錫フロート槽空間内が槽外よりもやや高圧に維持されるように、錫フロート槽空間内には９８体積％の窒素と２体積％の水素とを供給し、槽内を非酸化性雰囲気に保持した。溶融窯から錫フロート槽内に溶融した通常の板ガラス組成のソーダライムシリカガラス（無色）を流し込み、厚さ４ｍｍのガラスリボンに成形した。成膜後、ガラスリボンは徐冷窯で徐冷し、さらに下流側で所定の大きさに切断した。また、ガラスリボンの温度を、パイロメーターを用い、膜が形成される部分よりもややガラス搬送上流側の位置で測定した。
【００４５】
ガラスリボン上への成膜は、以下の手順で行った。参照例５では、まず、最上流側に位置するコータから、ジメチル錫ジクロライド、酸素、ヘリウムおよび窒素からなる混合ガスを供給し、ガラスリボン上に、膜厚２６ｎｍの酸化錫膜を成膜した。続いて、下流側のコータから、モノシラン、エチレン、酸素および窒素からなる混合ガスを供給し、膜厚２５ｎｍの酸化シリコン膜を成膜した。引き続いて、さらに下流側のコータから、ジメチル錫ジクロライド（蒸気）、酸素、水蒸気、窒素およびフッ化水素からなる混合ガスを供給し、酸化シリコン膜上に、膜厚４５０ｎｍのＳｎＯ2：Ｆ膜を成膜した。なお、最上流側のコータ直前のガラスリボンの温度は７００℃であった。
【００４６】
実施例１では、まず、最上流側に位置するコータから、参照例５と同様の混合ガスを供給し、ガラスリボン上に、膜厚２８ｎｍの酸化錫膜を成膜した。続いて、下流側のコータから、モノシラン、エチレン、酸素および窒素からなる混合ガスを供給し、膜厚２０ｎｍの酸炭化シリコン（ＳｉＯＣ）膜を成膜した。ここでは、エチレンの含有率を増やして膜に炭素を導入した。引き続いて、さらに下流側のコータから、参照例５と同様の混合ガスを供給し、酸炭化シリコン膜上に、膜厚６８０ｎｍのＳｎＯ2：Ｆ膜を成膜した。ここでも、最上流側のコータ直前のガラスリボンの温度は７００℃であった。
【００４７】
表４に、参照例５、実施例１から得られた透明導電膜付きガラス板の特性を示す。
【００４８】
（表４）
―――――――――――――――――――――――――――――
可視光透過率（％） 可視光反射率（％）
―――――――――――――――――――――――――――――
参照例５              ８５．７          ７．０４
実施例１              ８５．５          ６．４２
―――――――――――――――――――――――――――――
【００４９】
一般に、ＳｎＯ2：Ｆ膜では、特性上、光透過率と導電性との双方を向上させることが難しく、むしろ、一方の特性の向上が他方の特性の劣化をもたらすことが多い。したがって、透明導電膜の導電性を損なわずに光透過特性を向上できる本発明の有する意義は大きい。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ガラス板と透明導電膜との間に、適切な膜厚と屈折率を有する２層の膜を配置することにより、光透過率や光反射率を改善した光電変換装置用基板を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による光電変換装置用基板の一形態を示す断面図である。
【図２】本発明を実施するために用いる装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
１ 高屈折率膜
２ 低屈折率膜
３ 透明導電膜
５ ガラス板
１０ ガラスリボン
１１ 溶融炉
１２ 錫フロート槽
１３ 徐冷窯
１６ コータ
１７ ローラ
【図１】
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【図２】
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