(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ状部材を供給する供給装置であって、
上記テープ状部材の供給部と、
この供給部から供給されたテープ状部材を巻き取る巻き取り部と、
上記供給部と巻き取り部との間に設けられ上記テープ状部材を吸引して張力を与える張力付与手段を具備し、
上記張力付与手段は、
一側面に開口部が形成された箱型状のダンサケースと、
上記テープ状部材を上記開口部から上記ダンサケース内へ吸引する吸引手段と、
上記テープ状部材に２つのテープ状部材の端部を重ねて接続した接続部があるとき、その接続部が上記開口部に対向する部分を通過するときに上記吸引手段による吸引を停止して上記ダンサケース内に吸引されるのを阻止する制御手段と
によって構成されていることを特徴とするテープ状部材の供給装置。
【請求項２】
上記開口部に対して上記ダンサケースと反対側の上記開口部に対向する位置には、上記接続部が上記ダンサケースの開口部を通過して上記テープ状部材を上記吸引手段によって上記ダンサケース内に吸引するときに、上記テープ状部材を上記ダンサケース内へ湾曲するよう付勢する加圧空気を噴射する加圧手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載のテープ状部材の供給装置。
【請求項３】
上記ダンサケースには、このダンサケース内に吸引されたテープ状部材の湾曲量を検出する検出手段が設けられ、この検出手段の検出に基づいて上記テープ状部材が上記供給部から繰り出される単位時間当たりの供給長さを調整することを特徴とする請求項１記載のテープ状部材の供給装置。
【請求項４】
上記テープ状部材は剥離テープに異方性導電テープが貼着されてなり、
上記供給部と巻き取り部との間には上記異方性導電テープを基板に圧着させる加圧部が設けられていることを特徴とする請求項１記載のテープ状部材の供給装置。
【請求項５】
テープ状部材を供給する供給方法であって、
供給部から供給された上記テープ状部材を巻き取り部で巻き取る工程と、
上記テープ状部材を上記供給部と巻き取り部との間でダンサケース内に吸引して湾曲させながら張力を与える工程と、
上記テープ状部材に２つのテープ状部材の端部を重ねて接続した接続部があるとき、その接続部を上記ダンサケース内に吸引せずに通過させる工程と
を具備したことを特徴とするテープ状部材の供給方法。
【請求項６】
上記テープ状部材の接続部が上記ダンサケースを通過してダンサケース内へ吸引するときに、このテープ状部材に加圧空気を噴射してダンサケース内へ付勢して湾曲させる工程を有することを特徴とする請求項５記載のテープ状部材の供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は供給部から供給されるテープ状部材を巻き取り部で巻き取るテープ状部材の供給装置及び供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルに代表されるフラットパネルディスプレイなどの製造工程においては、ガラス製の基板の側部上面に設けられた端子部にＴＣＰ（Tape Carrier Package）を、μｍ単位の直径の金属粒子を含有する熱硬化性の樹脂によって形成された異方性導電テープを介して貼着する工程がある。
【０００３】
すなわち、上記ＴＣＰを上記基板の側部上面の端子部に貼着する前に、基板の側部上面には所定の長さに切断された上記異方性導電テープが貼着される。異方性導電テープの一側面には、この異方性導電テープとでテープ状部材を形成する剥離テープが貼着されていて、この剥離テープとともに供給リールに巻装されている。
【０００４】
基板の側部上面にＴＣＰを異方性導電テープによって貼着する場合、まず、剥離テープとともに供給リールから繰り出された異方性導電テープを所定長さに切断する。このときの異方性導電テープの切断長さは、上記基板の側部上面に設けられた端子部に対応する長さに設定される。
【０００５】
ついで、所定長さに切断された異方性導電テープは、その切断された部分が基板の端子部が設けられた一側部の上面に対向するよう上記供給リールから上記剥離テープとともに引き出されて位置決めされる。上記基板は水平方向に駆動されるステージ上に載置されていて、端子部が設けられた一側部がバックアップツール上に対向位置するよう位置決めされる。
【０００６】
基板が位置決めされると、上記バックアップツールの上方に上下駆動可能に配置されたヒータを有する加圧ツールを下降させ、異方性導電テープの所定の長さに切断された部分を、上記基板に加圧加熱して貼着する。つまり、異方性導電部材は基板の一側部上面に仮圧着される。仮圧着された異方性導電テープには上記ＴＣＰが仮圧着されてから本圧着されることで、上記ＴＣＰが基板に固着されることになる。
【０００７】
所定長さに切断された異方性導電テープを精度よく位置決めするためには、この異方性導電テープに所定の張力を与えるようにしている。異方性導電テープに張力を与える手段として従来はダンサローラが用いられていた。
【０００８】
上記ダンサローラは上下動可能に設けられ、錘の重量によって上昇方向或いは下降方向に付勢されている。上記供給リールから繰り出されたテープ状部材は上記ダンサローラに係合される。それによって、上記テープ状部材には錘の重量がダンサローラを介して加わるから、その重量に応じた張力が付与されることになる。
【０００９】
特許文献１には、ダンサローラによってテープ状部材に張力を与えるようにした装置が示されている。  
しかしながら、ダンサローラを用いてテープ状部材に張力を与える場合、ダンサローラを上下動可能に設けたり、ダンサローラに錘の重量が加わるよう錘をダンサローラに中途部を滑車に係合させたワイヤを介して連結するなどの構造としなければならない。
【００１０】
そのため、ダンサローラを用いてテープ状部材に張力を付与するための構造は複雑かつ大掛かりになるということがあるため、コストアップや装置の大型化を招くということがあった。
【００１１】
そこで、ダンサローラに代わり、簡単な構造でテープ状部材に張力を与えることができるエアーダンサ構造が採用されている。エアーダンサ構造は一側面が開口したダンサケースを有する。ダンサケースには吸引ブロアなどの吸引手段が接続され、このダンサケース内を負圧にする。
【００１２】
上記テープ状部材は上記ダンサケースの一側面から内部に吸引されて湾曲する。それによって、テープ状部材には吸引ブロアの吸引力に応じた張力が与えられることになる。特許文献２にはテープ状部材にダンサケースによって張力を与えることが示されている。
【００１３】
ところで、供給リールに巻装されたテープ状部材の残量がわずかになった場合、その供給リールはテープ状部材が巻装された新たな供給リールに交換される。供給リールを交換する場合、テープ状部材を連続して供給できるようにするため、交換される供給リールに巻装された残りのテープ状部材を切断してその終端部に、つぎの供給リールに巻装された新たなテープ状部材の始端部を重合して接続するということが行われる。テープ状部材の接続は通常、超音波などによって自動的に行われる。
【特許文献１】特開２００３−１０３４９９号公報
【特許文献２】特開平０９−３９９２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
交換される供給リールに巻装された残りのテープ状部材を切断した終端部に、つぎの供給リールに巻装されたテープ状部材の始端部を重合して接続すると、その接続部分は他の部分よりも厚手になって柔軟性が低下する。
【００１５】
そのため、テープ状部材がダンサケース内に吸引されるとき、その接続部分がケースの開口部や内部に引っ掛かって円滑に送ることができなくなったり、引っ掛かった状態で接続部が吸引ブロアによって吸引され続けること、接続部分が剥離するなどのことが生じる。
【００１６】
上記ダンサケースの一側面の開口は、テープ状部材をダンサケース内に効率よく確実に吸引できるようにするため、テープ状部材の幅寸法よりもわずかに大きな幅寸法に形成されている。つまり、吸引ブロアの吸引力がテープ状部材に作用し易い寸法に設定されている。
【００１７】
一方、交換される供給リールに巻装されたテープ状部材の終端部と、つぎの供給リールに巻装されたテープ状部材の始端部とを接続すると、その接続部分にずれが生じることがある。接続部分の２つのテープ状部材の端部にずれがあると、その部分の幅寸法がダンサケースの開口部の幅寸法よりも大きくなる。そのため、接続部がダンサケースの開口部に引掛かり易いということもある。
【００１８】
この発明は、テープ状部材に２つのテープ状部材の端部を接続した接続部があるとき、その接続部がダンサケースの開口部などに引っ掛かって円滑に送ることができなくなるのを防止したテープ状部材の供給装置及び供給方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
この発明は、テープ状部材を供給する供給装置であって、
上記テープ状部材の供給部と、
この供給部から供給されたテープ状部材を巻き取る巻き取り部と、
上記供給部と巻き取り部との間に設けられ上記テープ状部材を吸引して張力を与える張力付与手段を具備し、
上記張力付与手段は、
一側面に開口部が形成された箱型状のダンサケースと、
上記テープ状部材を上記開口部から上記ダンサケース内へ吸引する吸引手段と、
上記テープ状部材に２つのテープ状部材の端部を重ねて接続した接続部があるとき、その接続部が上記開口部に対向する部分を通過するときに上記吸引手段による吸引を停止して上記ダンサケース内に吸引されるのを阻止する制御手段と
によって構成されていることを特徴とするテープ状部材の供給装置にある。
【００２０】
上記開口部に対して上記ダンサケースと反対側の上記開口部に対向する位置には、上記接続部が上記ダンサケースの開口部を通過して上記テープ状部材を上記吸引手段によって上記ダンサケース内に吸引するときに、上記テープ状部材を上記ダンサケース内へ湾曲するよう付勢する加圧空気を噴射する加圧手段が設けられていることが好ましい。
【００２１】
上記ダンサケースには、このダンサケース内に吸引されたテープ状部材の湾曲量を検出する検出手段が設けられ、この検出手段の検出に基づいて上記テープ状部材が上記供給部から繰り出される単位時間当たりの供給長さを調整することが好ましい。
【００２２】
上記テープ状部材は剥離テープに異方性導電テープが貼着されてなり、
上記供給部と巻き取り部との間には上記異方性導電テープを基板に圧着させる加圧部が設けられていることが好ましい。
【００２３】
この発明は、テープ状部材を供給する供給方法であって、
供給部から供給された上記テープ状部材を巻き取り部で巻き取る工程と、
上記テープ状部材を上記供給部と巻き取り部との間でダンサケース内に吸引して湾曲させながら張力を与える工程と、
上記テープ状部材に２つのテープ状部材の端部を重ねて接続した接続部があるとき、その接続部を上記ダンサケース内に吸引せずに通過させる工程と
を具備したことを特徴とするテープ状部材の供給方法にある。
【００２４】
上記テープ状部材の接続部が上記ダンサケースを通過してダンサケース内へ吸引するときに、このテープ状部材に加圧空気を噴射してダンサケース内へ付勢して湾曲させる工程を有することを特徴とすることが好ましい。
【発明の効果】
【００２５】
この発明によれば、テープ状部材に２つのテープ状部材の端部を重ねて接続した接続部があるとき、その接続部がダンサケースの開口部を通過するとき、ダンサケース内に吸引させないようにしたから、上記接続部がダンサケースの開口部や内部に引っ掛かるのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態を説明する。
【００２７】
図１はこの発明の一実施の形態に係るテープ状部材の供給装置としての貼着装置を示し、この貼着装置は基板ステージ５を備えている。この基板ステージ５はベース６を有し、このベース６の上面にＸ駆動源６ａ、Ｙ駆動源６ｂ及びθ駆動源６ｃによってＸ、Ｙ及びθ方向に駆動されるテーブル７が設けられている。
【００２８】
上記テーブル７上には、液晶ディスプレイパネルからなる基板Ｗが供給されて真空吸着される。基板Ｗの上面の一側部には図３（ｂ）に示すように複数の端子１ａが所定間隔で形成された複数、この実施の形態では３つの端子部１が設けられている。
【００２９】
上記基板Ｗの端子部１が設けられた側部上面には、後述するように３つの端子部１にわたる長さに切断された、両面粘着性の異方性導電テープ２が図３（ａ）に示すように貼着されるようになっている。上記異方性導電テープ２は金属粒子が混入された熱硬化性樹脂からなる。そして、各端子部１には、ＴＣＰなどの電子部品３が異方性導電テープ２を介して貼着される。
【００３０】
図１に示すように、上記異方性導電テープ２は、この異方性導電テープ２とでテープ状部材４を構成する剥離テープ８に貼着されていて、供給部としての供給リール９に巻装されている。テープ状部材４は異方性導電テープ２を下方に向けて上記供給リール９から繰り出され、一対のガイドローラ１１にガイドされて巻き取り部としての巻き取りリール１２に巻き取られる。それによって、テープ状部材４は一対のガイドローラ１１にガイドされた部分が上記テーブル７に載置された上記基板Ｗの端子部１の上方に平行に対向して走行するようになっている。
【００３１】
上記テーブル７の上方にはヒータ１３ａを有する加圧部としての加圧ツール１３が上下駆動機構１４によって上下動可能に設けられている。上記テープ状部材４の異方性導電テープ２は、後述する切断ユニット２３によって所定長さに切断され、その切断部分２ａが上記加圧ツール１３の下方に後述するように位置決めされる。
【００３２】
異方性導電テープ２の切断部分２ａが位置決めされると、上記加圧ツール１３が下降して異方性導電テープ２の切断部分２ａが上記基板Ｗの側辺部の端子部１が設けられた部分に仮圧着される。その後、上記剥離テープ８が図示しない離型ローラによって異方性導電テープ２から剥離され、その剥離テープ８だけが上記巻き取りリール１２に巻き取られるようになっている。
【００３３】
上記テープ状部材４の搬送は送り装置２０によって行なわれる。この送り装置２０は剥離テープ８を挟持可能に形成されたチャック２１を有する。このチャック２１は図示しないガイド体によって回転不能にガイドされ、サーボモータなどの送り駆動源２２ｂによって回転駆動される駆動ねじ２２ａによって直線駆動されるようになっている。
【００３４】
したがって、上記チャック２１が剥離テープ８を挟持した状態で上記駆動ねじ２２ａを回転駆動し、このチャック２１を図１に矢印Ｘで示す方向へ駆動すれば、上記剥離テープ８とともに異方性導電テープ２をＸ方向へ繰り出し、その切断部分２ａを加圧ツール１３の下方に位置決めできるようになっている。
【００３５】
上記供給リール９は繰り出し駆動源１５（図４に示す）によって回転駆動されてテープ状部材４を繰り出すようになっており、上記巻き取りリール１２は巻き取り駆動源１６によって回転駆動されて剥離テープ８を巻き取るようになっている。上記繰り出し駆動源１５、巻き取り駆動源１６及び送り駆動源２２ｂは制御装置１８によって後述するように駆動が制御される。
【００３６】
上記異方性導電テープ２は基板Ｗよりも搬送方向上流側において、上記切断ユニット２３によって所定の長さに切断される。この切断ユニット２３は、カッタ２４と剥離機構２５から構成されている。
【００３７】
上記カッタ２４は、テープ状部材４が供給リール９から引き出されて水平に走行する部分の下方に先端を対向させて配置されていて、図示しない駆動機構によって上下方向に駆動可能となっている。上記剥離機構２５は、上記カッタ２４よりもテープ状部材４の走行方向下流側にテープ状部材４の下方に対向して配置されている。
【００３８】
搬送されるテープ状部材４の上面側には、上記カッタ２４と剥離機構２５とに対向して保持ブロック２６が配設されている。この保持ブロック２６には、剥離テープ８を介して上記異方性導電テープ２の上面を押圧する押し出し部材２７がスライド可能に設けられている。この押し出し部材２７は図示せぬシリンダなどによって所定のタイミングで押圧される。
【００３９】
上記押し出し部材２７の下方には、テープ状部材４を介して剥離ヘッド２８が対向して配置されている。この剥離ヘッド２８はベース板２９に取り付けられている。このベース板２９には粘着テープ３１が巻回された供給リール３２が設けられ、この粘着テープ３１は上記剥離ヘッド２８の上面に沿って走行して巻取りリール３３に巻き取られるようになっている。
【００４０】
上記ベース板２９は図示しないシリンダによって上下駆動される。ベース板２９が上昇方向に駆動されると、押し出し部材２７によって異方性導電テープ２の一対の切断線２ｂによって切断された箇所が押し下げられる。上記切断線２ｂは、上記カッタ２４が上昇方向に駆動され、異方性導電テープ２の上記保持ブロック２６の下面に対向する部分に突き当たることで形成される。なお、そのとき剥離テープ８は切断されない。
【００４１】
それによって、異方性導電テープ２の上記カッタ２４によって切断された部分２ｃが剥離ヘッド２８の粘着テープ３１に押し付けられるから、その部分２ｃが剥離テープ８から剥離される。つまり、異方性導電テープ２は、基板Ｗに貼着される所定長さの両端部分が上記カッタ２４によって切断され、その切断部分２ｃが上記剥離機構２５によって除去されてから、上記所定の長さに切断分離された部分２ａが上記加圧ツール１３によって基板Ｗの端子部１に貼着されることになる。
【００４２】
上記供給リール９と切断ユニット２３との間には、上記供給リール９から繰り出されたテープ状部材４に張力を付与する張力付与手段３５が設けられている。この張力付与手段３５はダンサケース３６を有する。このダンサケース３６は一側面が開口した扁平な箱型状に形成されていて、その開口部３６ａを横に向けるとともに長手方向と交差する方向を上下方向に沿わせて配置されている。つまり、ダンサケース３６は横向きに配置されている。上記開口部３６ａの幅寸法は上記テープ状部材４の幅寸法よりもわずかに大きく設定されている。
【００４３】
上記ダンサケース３６の開口部３６ａと反対側の側面には吸引手段としての吸引ブロア３７が設けられている。吸引ブロア３７はダンサケース３６内の気体を吸引して内部を負圧にする。
【００４４】
上記供給リール９から繰り出されたテープ状部材４はガイドローラ３８ａにガイドされて上記ダンサケース３６の開口部３６ａに対向して走行するようになっている。その状態で、上記吸引ブロア３７を作動させてダンサケース３６内を負圧すれば、上記テープ状部材４は上記吸引ブロア３７の吸引力によってダンサケース３６内に引き込まれて湾曲する。すなわち、テープ状部材４に吸引ブロア３７の吸引力が作用することで、このテープ状部材４には上記吸引力に対応する張力が付与されることになる。
【００４５】
上記ダンサケース３６の開口部３６ａには、このダンサケース３６内に引き込まれるテープ状部材４をガイドして円滑に湾曲させる一対のガイドローラ３８ｂが設けられている。さらに、開口部３６ａと対向する部位、つまり開口部３６ａに対してダンサケース３６と反対側の位置には、吸引ブロア３７の吸引力によってテープ状部材４をダンサケース３６内へ引き込むときに、テープ状部材４をダンサケース３６内へ付勢する加圧気体を噴射する加圧手段としての加圧ノズル３９が配置されている。
【００４６】
加圧ノズル３９には開閉制御弁４０を有する空気配管４０ａが接続されている。上記吸引ブロア３７の発停と、上記開閉制御弁４０の開閉は上記制御装置１８によって制御される。
【００４７】
図２に示すように、上記ダンサケース３６には、この内部に吸引されて引き込まれたテープ状部材４の引き込み量を検出する第１乃至第５の検出センサ４１〜４５がダンサケース３６の開口部３６ａ側から閉塞端側に向かって所定の間隔で順次設けられている。第１乃至第５の検出センサ４１〜４５は、それぞれ上記ダンサケース３６の上面と下面とに形成された開口部４６に対向して設けられた投光器４１ａ〜４５ａと受光器４１ｂ〜４５ｂからなり、投光器からの光がテープ状部材４によって遮断されることで、ダンサケース３６内に引き込まれたテープ状部材４の湾曲長さが検出される。
【００４８】
第１乃至第５の検出センサ４１〜４５の検出信号はそれぞれ上記制御装置１８に出力され、その検出信号に基づいて上記繰り出し駆動源１５による供給リール９の回転速度が制御され、上記供給リール９からテープ状部材４が単位時間当たりに繰り出される長さが制御される。
【００４９】
すなわち、ダンサケース３６内に引き込まれて湾曲したテープ状部材４の位置が第３の検出センサ４３と第４の検出センサ４４との間にあるときが原点位置として制御装置１８によって認識される。
【００５０】
そして、テープ状部材４の湾曲長さが原点位置よりも増大するにつれて供給リール９の回転速度が順次減速されてテープ状部材４の単位時間当たりの繰り出し量が減少させられる。同様に、テープ状部材４の湾曲長さが原点位置よりも減少するにつれて供給リール９の回転速度が順次加速させられてテープ状部材４の単位時間当たりの繰り出し長さが増大させられる。
【００５１】
それによって、ダンサケース３６内に引き込まれるテープ状部材４の湾曲長さは、巻き取りリール１２による巻き取り量の変化に係らず、ほぼ一定に維持されるようになっている。
【００５２】
このような構成によれば、供給リール９から繰り出されたテープ状部材４は、張力付与手段３５の吸引ブロア３７の吸引力によってダンサケース３６内に吸引されて引き込まれる。それによって、テープ状部材４には吸引ブロア３７の吸引力に応じた張力が付与される。
【００５３】
テープ状部材４に所定の張力が付与されることで、供給リール９と巻き取りリール１２との間でテープ状部材４に弛みが生じるのが防止されるから、所定長さに切断された異方性導電テープ２の切断部分２ａをテーブル７上の基板Ｗに対して精度よく位置決めして貼着することが可能となる。
【００５４】
基板Ｗに対する異方性導電テープ２の貼着を繰り返して行うことで、供給リール９に巻装されたテープ状部材４の残りがわずかになったならば、この供給リール９、つまり使用中の供給リール９を新たな供給リール９に交換することになる。
【００５５】
供給リール９を交換する場合、ダンサケース３６内を負圧に吸引する吸引ブロア３７の運転を停止し、図５（ａ）に示すように使用中の供給リール９に巻装されたテープ状部材４−１の終端部を切断し、その部分に新たな供給リール９に巻装されたテープ状部材４−２の始端部を重ねて合わせ、たとえば超音波などによってこれら２つのテープ状部材４−２，４−２を接続する。
【００５６】
２つのテープ状部材４−１，４−２を接続したならば、図５（ｂ）に示すように、これらテープ状部材４−１，４−２の接続部４ａがダンサケース３６の開口部３６ａに対向する部分を通過する間、吸引ブロア３７を作動させずに、供給リール９を回転させてテープ状部材４−２を繰り出すとともに、巻き取りリール１２を回転させて巻き取る。
【００５７】
なお、図５（ｂ）にＬで示す２つのテープ状部材４−１，４−２の端部を接続した接続部４ａが開口部３６ａを通過するまでのテープ状部材４の繰り出し長さは、２つのテープ状部材４の端部を接続する位置と、ダンサケース３６の配置位置とによって予め算出しておくことができる。
【００５８】
したがって、供給リール９から繰り出されるテープ状部材４−２の長さを、繰り出し駆動源１５の回転数から算出すれば、その算出によって接続部４ａがダンサケース３６の開口部３６ａを通過したか否かを検出することができる。
【００５９】
上記接続部４ａがダンサケース３６の開口部３６ａを通過したとを検出したならば、その時点で吸引ブロア３７を作動させる。それと同時に、加圧ノズル３９から加圧空気をテープ状部材４−２に向かって噴射させる。
【００６０】
それによって、テープ状部材４−２は図５（ｃ）に示すように吸引ブロア３７の吸引力によってダンサケース３６内へ引き込まれるとともに、加圧ノズル３９からテープ状部材４−２に向かって噴射される加圧空気によってダンサケース３６内へ湾曲する方向に付勢されるから、テープ状部材４はダンサケース３６内へ確実に湾曲して吸引されることになる。
【００６１】
すなわち、供給リール９に巻装されたテープ状部材４−１の残量がわずかになり、その供給リール９を新たな供給リール９に交換する場合、２つの供給リール９のテープ状部材４−１，４−２の端部を接続することで接続部４ａが生じるが、その接続部４ａをダンサケース３６内に吸引することなくテープ状部材４−２を搬送するようにした。
【００６２】
そのため、接続部４ａがテープ状部材４−１，４−２の他の部分に比べて厚手となったり、接続時にずれることで幅寸法が他の部分よりも大きくなったりしても、その接続部４ａがダンサケース３６の開口部３６ａや内部に引っ掛かるのを確実に防止することができる。すなわち、供給リール９の交換時に２つのテープ状部材４−１，４−２を接続することで接続部４ａが生じても、その接続部４ａによってテープ状部材４−１，４−２の搬送が円滑に行われなくなるということがない。
【００６３】
上記一実施の形態では接続部がダンサケースの開口部を通過したとき、テープ状部材をダンサケース内へ湾曲させるために吸引ブロアの吸引力と、加圧ノズルから噴射される活空気の付勢力とを利用したが、吸引ブロアの吸引力だけであっても、テープ状部材をダンサケース内へ湾曲させることは可能である。  
また、テープ状部材の供給部としては供給リールに限られず、カセット方式であっても差し支えない。
【００６４】
また、上記一実施の形態では張力付与手段を基板にＴＣＰを異方性導電テープを介して圧着するアウタ・リード・ボンディング装置（ＯＬＢ装置）に適用した場合について説明したが、基板にＴＣＰの一端部を圧着してから、このＴＣＰの他端部に回路基板を異方性導電テープによって貼着する場合、この異方性導電テープを供給する供給装置として用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】この発明の一実施の形態を示すテープ状部材の貼着装置が概略的構成図。
【図２】ダンサケースを拡大して示す一部断面した側面図。
【図３】（ａ）はＴＣＰが貼着された基板の説明図、（ｂ）はＴＣＰが貼着される前の基板の説明図。
【図４】制御系統を示すブロック図。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は２つのテープ状部材を接続するときの手順を示す説明図。
【符号の説明】
【００６６】
４…テープ状部材、７…テーブル、９…供給リール（供給部）、１２…巻き取りリール（巻き取り部）、１３…加圧ツール（加圧部）、１８…制御装置（制御手段）、３５…張力付与手段、３６…ダンサケース、３７…吸引ブロア、３９…加圧ノズル（加圧手段）、４１〜４５…検出センサ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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