(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペーストを塗布した基板を複数の加熱室内に搬送しつつ加熱・乾燥する乾燥機の基板の搬送装置において、基板の１乃至複数枚を懸垂することが可能なラックと、加熱室内を貫通するとともに両端を固定しその上面に前記ラックを載置する平行な一対のラック支持バーと、前記ラック支持バーに平行して加熱室を貫通するとともにその両端を加熱室外に設けた駆動手段に連結して前記ラックを支持バーから上方に持ち上げ水平方向に移動し下降して再度前記ラック支持バー上に載置することを繰り返しつつ複数の加熱室に移動させる一対の搬送バーとを備え、
さらに、前記ラックが、搬送方向に沿って複数の基板を懸垂しうる長さの長辺と、懸垂した基板の幅方向の裏面を前記ラック支持バー及び搬送バーにて支えうる幅の短辺とを有する角型環状に形成し、さらにその内側に複数の基板を懸垂する一組一対の搬送用爪を複数組取り付ける２本の基板支持部材を前記長辺に平行にかつ一体形成して成るとともに前記搬送バーの駆動手段が、加熱室外において搬送バーを上下動させる昇降シリンダーと、昇降シリンダーを水平方に往復動させる横行シリンダーとから成り、かつ前記ラックの２本の基板支持部材に取り付ける各搬送用爪が、基板支持部材に固定する固定側挟持部と、この固定側挟持部に対向配置した可動側挟持部と、その相互間を圧接する環状弾性部材とから成り、固定側挟持部と可動側挟持部相互間の略中央にて接する支点を中心に回動することにより弾性部材の弾性力に抗して挟持部を開閉することができ、樹脂材にて形成した絶縁体から成ることを特徴とする基板の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ぺーストが塗布された基板を乾燥装置内に搬送する搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板に塗布されたペーストを乾燥するために従来から用いられている乾燥装置は図７に示すように、中央に加熱室２３が設けられ、この加熱室２３の左側からぺーストが塗布された基板１がコンベヤー２０により水平に搬送され、加熱室２３の上方にて回動するチェーンコンベヤー２２の下面に搬送用爪１４を介して懸垂状態に挟持されて加熱室２３内に搬送されるようになっている。そして各加熱室１内では上方から吹き込まれる熱風にて徐々に乾燥され、出口側に搬出される構成になっている。
【０００３】
また、搬送用爪１４はチェーンコンベヤー２２に固定された枠１７の底辺の下面１７ａに対して基板１の導入部がＬ形に折り曲げられた固定側挟持部１５が固定され、レバー１８が枠１７の底辺の上面１７ｂに対して固定された支持部材１９の支点１９ａを中心に揺動可能に設けられ、その一端に、鋸刃状突起２８を形成した可動側挟持部１６がピン２９，３０を支点にして揺動自在に設けられ、支点１９ａにはレバー１８と支持部材１９を介して可動側挟持部１６を固定側挟持部１５の側に押圧させるバネ３１が弾設されていて、基板１を挟持する際に鋸刃状突起２８を基板１に食い込ませて引き上げ、開放する際に押し下げる構成となっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の乾燥機における基板搬送装置には、基板を搬送する手段として用いられているチェーンコンベヤーや搬送用爪は金属からなっているとともに作動時に摺動する部分が多いことから、摺動部分に導電体からなる金属の磨耗粉が発生し、この磨耗粉が基板面に降りかかって付着するという問題がある。よって本発明は、摺動部分に導電体からなる磨耗粉が発生しない基板の搬送装置の提供を目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１における基板の搬送装置は、ペーストを塗布した基板を複数の加熱室内に搬送しつつ加熱・乾燥する乾燥機の基板の搬送装置において、基板の１乃至複数枚を懸垂することが可能なラックと、加熱室内を貫通するとともに両端を固定しその上面に前記ラックを載置する平行な一対のラック支持バーと、前記ラック支持バーに平行して加熱室を貫通するとともにその両端を加熱室外に設けた駆動手段に連結して前記ラックを支持バーから上方に持ち上げ水平方向に移動し下降して再度前記ラック支持バー上に載置することを繰り返しつつ複数の加熱室に移動させる一対の搬送バーとを備え、さらに、前記ラックが、搬送方向に沿って複数の基板を懸垂しうる長さの長辺と、懸垂した基板の幅方向の裏面を前記ラック支持バー及び搬送バーにて支えうる幅の短辺とを有する角型環状に形成し、さらにその内側に複数の基板を懸垂する一組一対の搬送用爪を複数組取り付ける２本の基板支持部材を前記長辺に平行にかつ一体形成して成るとともに前記搬送バーの駆動手段が、加熱室外において搬送バーを上下動させる昇降シリンダーと、昇降シリンダーを水平方に往復動させる横行シリンダーとから成り、かつ前記ラックの２本の基板支持部材に取り付ける各搬送用爪が、基板支持部材に固定する固定側挟持部と、この固定側挟持部に対向配置した可動側挟持部と、その相互間を圧接する環状弾性部材とから成り、固定側挟持部と可動側挟持部相互間の略中央にて接する支点を中心に回動することにより弾性部材の弾性力に抗して挟持部を開閉することができ、樹脂材にて形成した絶縁体から成ることを特徴とするものである。
【０００６】
請求項１によれば、基板をラックに懸垂させた状態で、そのラックを加熱室内を貫通して両端が加熱室に固定された平行な一対のラック支持バー上に載置し、載置されたラックを加熱室外にて駆動する搬送バーにて持ち上げ、水平方向に移動し、再びラック支持バー上に載置する方式であるので、加熱室内には搬送時に摺動する部分がなくなり、磨耗粉の発生及び基板に対する磨耗粉の影響を防止することが可能となる。
【０００７】
また、特に前記ラックが、搬送方向に沿って複数の基板を懸垂しうる長さと、基板を懸垂しうる幅及び平行な一対のラック支持バーとこれに平行な一対の搬送バーにて平行な２辺近傍の下面を支えうる幅を有する角型環状に形成し、さらにその内側に基板支持部材を一体形成して成ることを特徴とするものであるから複数の基板をラックに懸垂させた状態でラックを介してラック支持バー上に載置することが可能となるとともに、前記搬送バーの駆動手段が、加熱室外において搬送バーを上下動させる昇降シリンダーと、昇降シリンダーを水平方に往復動させる横行シリンダーとからなることを特徴とするものであることから搬送バーを上下動及び水平移動させる駆動手段を加熱室外に設けたことにより、加熱室内には搬送時の摺動部分がなくなり、また駆動手段は昇降シリンダーと横行シリンダーとかを同期作動させる簡単な装置にて構成することが可能となる。
【０００８】
さらに、前記搬送用爪が基板支持部材に固定する固定側挟持部と、この固定側挟持部に対向配置した可動側挟持部と、その相互間を圧接する環状弾性部材とから成り、固定側挟持部と可動側挟持部相互間の略中央にて接する支点を中心に回動することにより弾性部材の弾性力に抗して挟持部を開閉することを特徴とするものであるから、簡単な構成にて、摺動部分が少なく、しかも強力に基板を挟持することができるとともに、絶縁体であることにより爪の開閉時に摺動部分から磨耗粉が発生して基板面に付着しても支障が生じない。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１０】
図１から図６は本発明の実施の形態に係り、図１は基板を懸垂したラックをラック支持バー及び搬送バーにて支えた状態を示す斜視図、図２は基板を懸垂したラックの裏面側を示す斜視図、図３は搬送用爪の断面図、図４から図６は搬送作用の説明図である。
【００１１】
本発明の基板の搬送装置は、ペーストを塗布した基板を複数の加熱室内に搬送しつつ加熱・乾燥する乾燥機の基板の搬送装置において、基板をラックに懸垂させ、ラックと基板を一体的に搬送するものである。
【００１２】
図１及び図２に示すように、ラック２は、ステンレス製の３０ｍｍ角パイプを用いて１辺が矢印にて示す搬送方向に沿って１０枚の基板１を懸垂しうる長さ６００ｍｍで、短辺が平行な一対のラック支持バー３及びこれに平行する一対の搬送バー４にて搬送方向に平行な２辺近傍の下面を支えうる幅５００ｍｍの角型環状に形成し、その内側に搬送方向に平行な２本の基板支持部材５が同一部材にて相互間が２５０ｍｍの間隔にて一体形成されている。
【００１３】
この２本の基板支持部材５それぞれの下面にはステンレスの板材にてＬ型部材６が固定され、このＬ型部材６に対して基板の搬送用爪７が基板１の１枚に対して２個を１組として基板１を１０枚挟持することができるように基板支持部材５の長手方向に１０組が装着されている。
【００１４】
基板の搬送用爪７は図３に示すように、絶縁体である樹脂材にて形成され、固定側挟持部材８と可動側挟持部材９との相互間に板ばね１０が弾着されたものである。固定側挟持部８はその裏面側にＵ字形の係止フック１２が形成され、そのＵ字形係止フック１２にＬ型部材６の下端を挿入することによりＬ型部材６と固定側挟持部８との相互間に形成された２か所の凹凸からなる係止部１３に係合され固定されるようになっている。
【００１５】
また可動側挟持部材９と固定側挟持部材８との間はそれぞれの中間部分を貫通する空間８ａ，９ａを通して円周の一部が切り離されたリング状の板バネ１０の端部にて相互間が押圧される方向に弾設され、レバー２１を矢印方向に操作することにより挟持部８ｂ，９ｂ相互間が支点１１を回転中心として開閉することができる構成となっている。
【００１６】
一方、加熱室内には図１に示すように、矢印にて示すラック２の搬送方向に沿った２本のラック支持バー３が貫通しており、その両端が図示しない加熱室の外壁に固定されていて、このラック支持バー３にてラック２の平行２辺近傍の裏面側を支えることによりラック２を介して基板１を懸垂させることが可能となる。
【００１７】
また、このラック支持バー８に隣接しかつ平行して加熱室を貫通した２本の搬送バー４の両端が加熱室外に設けられた駆動手段に連結されている。
【００１８】
この駆動手段は図４に示すように、位置が固定された横行シリンダー４１と横行シリンダー４１の作動により水平方向に往復動させられるとともに自ら昇降する昇降シリンダー４２とからなり、この駆動手段は加熱室２３外のＬ，Ｒで示す左右に設けられ、水平方向及び上下方向に同期して作動する構成となっている。
【００１９】
この構成の駆動手段によるラック２の搬送は、図５に示すように、先ず搬送前の初期状態として基板を懸垂したラック２がラック支持バー３上のＡ位置に載置されている。この状態からＬ，Ｒの昇降シリンダー４２が同期作動して搬送バー４をラック２とともにＢ位置に持ち上げる。引き続いて横行シリンダー４１の同期作動により矢印に示す所定位置Ｃまで水平移動させ、その位置にて昇降シリンダー４２を同期作動させＤ位置まで下降させる。これによりラック２はラック支持バー３上に再び載置される。その後、搬送バー４はラック支持バー３の位置より僅か下方に下り、横行シリンダー４１の同期作動により昇降シリンダー４２を元の位置Ａにまで引き戻す。これにより搬送の１サイクルが終了する。
【００２０】
即ち、この駆動手段の作動は図６に示すように、加熱室外にて四角形の頂点Ａ−Ｂ−Ｃ−Ｄを回動するものであり、加熱室２３内には搬送のための摺動部分がないことにより、摺動による磨耗粉が発生することなくクリーンな状態で搬送することが可能となる。
【００２１】
【発明の効果】
本発明によれば、乾燥機における基板の搬送装置が、基板をラックに懸垂させた状態にて加熱室内を貫通した平行な２本のラック支持バー上にラックを介して載置し、この基板を搬送バーにてラックとともに持ち上げ、引き続いて水平方向に移動させ、所定の位置にて下降させ、再び支持バー上にラックを載置する操作を加熱室外の駆動手段にて行う構成にしたことにより、加熱室内には搬送のための摺動部分がなくなり、磨耗粉が発生しなくなる。
【００２２】
また、基板を挟持し懸垂状態に保持する搬送用爪を絶縁体にて形成することにより搬送用爪からも導電体の磨耗粉が発生しなくなる。
【００２３】
これにより従来の搬送装置の摺動部分から発生していた導電体の磨耗粉が基板に付着するという問題が解消される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る、基板を懸垂したラックをラック支持バーにて支えた状態を示す斜視図。
【図２】基板を懸垂したラックの裏面側を示す斜視図。
【図３】搬送用爪の断面図。
【図４】搬送作用の説明図。
【図５】搬送作用の説明図。
【図６】搬送作用の説明図。
【図７】従来の乾燥装置の説明図。
【図８】従来の搬送用爪の説明図。
【符号の説明】
１ 加熱室
２ ラック
３ ラック支持バー
４ 搬送バー
５ 基板支持部材
６ Ｌ形部材
７ 基板の搬送用爪
８ 固定側挟持部材
９ 可動側挟持部材
１０ 板ばね
１１ 支点
１２ 係止フック
１３ 係止部
２３ 加熱室
４１ 横行シリンダー
４２ 昇降シリンダー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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