(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査ビーム表示装置を用いて、所望の画素位置を有する画素を表す像データに応じて像を生じさせる方法であって、
光を発する第１ステップと、
前記光を第１の周波数で第１の軸線に沿って一連の実際の画素位置を経て共振的に走査させる第２ステップと、
各実際の画素位置について該実際の画素位置に対応する複数の所望の画素位置を特定する第３ステップと、
各所望の画素位置について、該所望の画素位置に関する前記像データと前記第１の周波数との関数である、重み付けされたデータを決定する第４ステップと、
前記光が前記実際の画素位置に整列されたとき、前記重み付けされたデータに応じて前記光を変調する第５ステップとを含む、像生成方法。
【請求項２】
前記第３ステップは、前記実際の画素位置の直前の第１の所望の画素位置を特定すること、前記実際の画素位置の直後の第２の所望の画素位置を特定することを含む、請求項１に記載の像生成方法。
【請求項３】
前記第４ステップは、前記第１の所望の画素位置に対応する前記像データと前記第２の所望の画素位置に対応する前記像データとの加重平均を計算することを含む、請求項２に記載の像生成方法。
【請求項４】
前記光を前記第１の軸線に実質的に垂直な第２の軸線に沿って走査させることを含む、請求項１に記載の像生成方法。
【請求項５】
前記第４ステップは、メモリーバッファーからのデータの時間を記録することを含む、請求項２に記載の像生成方法。
【請求項６】
二次元マトリクスの画素位置を有する画素を表す１組のデータに応じて像を生じさせる方法であって、
前記画素を表す前記データを記憶装置に記憶させる第１ステップと、
第１の位置から光を発する第２ステップと、
前記光を、選択された二次元走査パターンで少なくとも１つの軸線の周りに共振的に走査させる第３ステップと、
前記二次元走査パターンの位置に対応する一連の実質的に等間隔の画素時間を特定する第４ステップと、
各画素時間について前記データの加重平均を決定する第５ステップと、
各画素時間において前記加重平均に応じて前記光を変調する第６ステップとを含む、像生成方法。
【請求項７】
前記記憶装置は二次元バッファーである、請求項６に記載の像生成方法。
【請求項８】
前記第６ステップは、前記加重平均をガンマ補正することを含む、請求項６に記載の像生成方法。
【請求項９】
前記第２ステップは、駆動電流で発光ダイオードを駆動させることを含む、請求項６に記載の像生成方法。
【請求項１０】
前記第６ステップは、前記駆動電流を変調することを含む、請求項９に記載の像生成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
技術分野
本発明は、走査光装置に関し、特に、画像や映像などの像を見るため又は取り込むために像を生じさせる、走査光ビーム表示装置及び撮像装置に関する。
【０００２】
発明の背景
図絵的な像又はビデオ映像を視覚的に表示する装置をユーザーに提供するために種々の技術を利用することができる。例えば、テレビ受像装置やコンピュータ用モニター装置のようなブラウン管型表示装置（以下「ＣＲＴ表示装置」という。）が非常に一般的である。このような装置はいくつかの制限を甘受している。例えば、ＣＲＴ表示装置は大きな寸法を有すると共に相当な量の電力を消費し、このことが、ＣＲＴ表示装置を携帯用に応用し又は頭部装着用に応用するためには望ましくないものとさせている。
【０００３】
液晶表示装置や電界放出表示装置のような平面パネル型の表示装置は寸法がより小さいと共に電力消費もより少ない。しかし、典型的な平面パネル型表示装置は対角線寸法が数インチを有する画面を用いる。このような画面は、該画面を、頭部装着用に応用しようとする場合、又はユーザーの視野の小さな部分のみを占める表示を意図して応用しようとする場合、使用上の制限を受ける。
【０００４】
従来の表示装置の多くの制限を克服する１つの取り組み方を示す装置として、ファーネス（Ｆｕｒｎｅｓｓ）らによる米国特許第５，４６７，１０４号明細書「仮想網膜表示装置（ＶＩＲＴＵＡＬ  ＲＥＴＩＮＡＬ  ＤＩＳＰＬＡＹ）」に記載されているような走査ビーム表示装置があり、この特許文献を本願において参考文献として組み入れている。図１に示すように、走査ビーム表示装置４０において、走査源４２は、ビーム結像装置４６によって人の眼４４に結像される走査ビーム光を出力する。走査表示装置において、走査ミラー式又は音響光学式走査装置のような走査装置は、変調された光ビームを人の網膜上で走査する。このような走査装置の例は、メルビル（Ｍｅｌｖｉｌｌｅ）らによる米国特許第５，５５７，４４４号明細書「２軸走査装置のための小型光学走査装置（ＭＩＮＩＡＴＵＲＥ  ＯＰＴＩＣＡＬ  ＳＣＡＮＮＥＲ  ＦＯＲ  Ａ  ＴＷＯ−ＡＸＩＳ  ＳＣＡＮＮＩＮＧ  ＳＹＳＴＥＭ）」に示されており、この特許文献を本願において参考文献として組み入れている。走査光は、人の瞳孔４８を経て眼４４に入射し、角膜によって網膜５９上に結像される。見る人は走査光に応じた像として認識する。
【０００５】
そのような表示装置は、時には、部分的な視野で見ること又は視野を拡大して見ることへの応用のために用いられる。このような応用において、表示の部分は、ユーザーの視野内に配置され、図２（Ａ）に示すように、ユーザーの視野４５の領域４３を占める像を表す。したがって、ユーザーは、表示された仮想の像（ｖｉｒｔｕａｌ  ｉｍａｇｅ）４７と背景情報４９とのいずれをも見ることができる。背景の光が遮られたとき、見る人は、図２（Ｂ）に示すように、仮想の像４７のみを認識する。
【０００６】
そのような表示装置における１つの難点としてラスターピンチすなわちラスター細り（ｒａｓｔｅｒ  ｐｉｎｃｈ）があり、これについて図３から図５を参照して説明する。図３に模式的に示すように、走査源４２は、変調光ビーム５２を発する発光源５０を含む。この例において、発光源５０は、レーザダイオード（図示せず。）のような１以上の発光装置によって駆動される光ファイバーである。発せられたビーム５２は、方向転換ミラー５４に当たり、水平走査装置５６に向けられる。水平走査装置５６は、ビーム５２をビーム走査軌跡が周期的に折れ曲がり状になるように走査する機械式共振型走査装置である。水平走査されたビームは、該水平走査ビームを周期的に垂直方向に掃引するように走査する垂直走査装置５８に進む。眼結像光学装置６０は、走査ビーム５２を、人の眼６４によって見るための拡大射出瞳を提供する射出瞳拡大装置６２に結像させる。このような拡大装置の１つとして、コリン（Ｋｏｌｌｉｎ）らによる米国特許第５，７０１，１３２号明細書「拡大射出瞳を用いる仮想網膜表示装置（ＶＩＲＴＵＡＬ  ＲＥＴＩＮＡＬ  ＤＩＳＰＬＡＹ  ＷＩＴＨ  ＥＸＰＡＮＤＥＤ  ＥＸＩＴ  ＰＵＰＩＬ）」に示された装置があり、該特許文献を本願に参考文献として組み入れる。種々の応用のため、射出瞳拡大装置６２が省略され、又は回折若しくは屈折の設計を含む種々の構造を有するようにすることは、この技術分野の当業者であれば容易に理解できる。例えば、射出瞳拡大装置６２は、平面構造又は曲面構造であってもよく、種々のパターンにおいて、生じさせる出力ビームの数や様式はいかなるものであってもよい。
【０００７】
走査の説明に戻ると、ビームが平面６６の各連続位置を経て走査したとき、ビームの色及び強度は、像の各画素を形成すべく、以下に説明するように変調される。各画素位置についてビームの色及び強度を適切に制御することによって、表示装置４０は所望の像を生じさせることができる。
【０００８】
垂直及び水平の各走査装置の波形を図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示す。平面６６（図３に示す。）において、ビームは図５に示すパターン６８を描く。実際の走査パターン６８と所望のラスター走査パターン６９とを比較すればわかるように、実際に走査されたパターン６８は、平面６６の外方端部で「細くなっている」。すなわち、ビームの前方及び後方への連続的な掃引動作において、走査パターンの端部近くの画素は不均等な間隔で配置される。この不均等な間隔での配置は、画素が互いに重なることや隣接する列の画素間に間隙ができることの可能性を引き起こす。さらに、像の情報は典型的には配列されたデータで提供され、この配列データの各位置は理想のラスターパターン６９の各位置に対応しているので、ずれを生じた画素位置は像の歪みを生じさせる。
【０００９】
発明の概要
表示装置は、光ビームを、実質的に連続的な走査経路に沿って、水平及び垂直のいずれにも同時に走査する主要な走査機構を含む。前記表示装置は、ラスターピンチすなわちラスター細り（ｒａｓｔｅｒ  ｐｉｎｃｈ）を低減するように又は特定の型の歪みの補正を行うように、補助若しくは補正の走査装置又は前記ビームの方向を適切に変える他の種々のビーム方向変更装置を含む。
【００１０】
一実施例において、前記走査機構は、水平成分及び垂直成分を有する一般的なラスターパターンで走査する。機械式共振型走査装置は、前記ビームを該ビームの走査軌跡が折れ曲がり状になるように走査することによって水平成分を生じさせる。非共振型又は準共振型の走査装置は前記ビームを一般的な直線走査経路に沿って垂直に走査する。垂直走査装置は水平走査装置の各掃引動作の間運動しているので、垂直走査装置は初期垂直成分を水平走査経路に加える。前記補助走査装置は、垂直成分に起因するラスター細りを低減するため、初期垂直成分を相殺する垂直成分を加える。
【００１１】
一実施例において、前記補正走査装置は前記水平走査装置の周波数の２倍の周波数で動作する。前記補正走査装置の角度振幅は、水平の掃引動作の間、前記垂直走査装置の移動角度に等しくなるように選択される。製造を容易にするため、前記補正走査装置は所望の補正走査速度での共振周波数を有する共振型走査装置であってもよい。このような装置を用いた場合、前記走査の補助成分はラスター細りと正確には調和しない。しかし。共振型の補助は複雑な走査パターンを用いることなく実質的な改善を提供する。
【００１２】
前記補助走査の周波数が前記水平走査の周波数の２倍であるとき、前記補助走査装置のための駆動信号は、前記水平走査装置から直接に又は前記水平走査装置の駆動信号から取り出すことができる。一実施例において、位置検知装置は、水平走査パターンにおいて零交叉又は他の反復位置に応じて電気信号を出力する。電気信号は、前記水平走査周波数の２倍の周波数を有する前記補助走査装置のための駆動信号を生じさせるように濾過及び増幅される。
【００１３】
一実施例において、ずれを生じた重量又は他の非対称の特徴は、前記走査装置が前記主要の走査軸とは異なる軸に沿って又はその周りに共振するように加えられる。付加的な共振が主要な共振周波数の多重積分（ｉｎｔｅｇｒａｌ  ｍｕｌｔｉｐｌｅ）である場合、結果として生じた走査パターンは直線に追従しない。例えば、生じた走査パターンは、軸外運動が水平の掃引動作の間垂直走査運動を相殺する場合、蝶ネクタイ（ｂｏｗ  ｔｉｅ）状パターンである。
【００１４】
発明の詳細な説明
図６に示すように、本発明の一実施例を示す走査ビーム表示装置７０は、見る人の眼７２による像認識のために配置されている。表示装置７０は４つの主要な部分を含み、以下に、各部分についてさらに詳しく説明する。最初に、制御電子装置７４は、コンピュータ、テレビジョン受信装置、ビデオカセットプレーヤ又は同様の装置のような像源７６からの像信号ＶＩＭに応じて表示装置７０の動作を制御する電気信号を供給する。
【００１５】
表示装置７０の第２の部分は、像信号ＶＩＭの情報に対応する変調を有する変調光ビーム８０を出力する光源７８である。光源７８は、レーザダイオード又はマイクロレーザのようなコヒーレント光発光装置を用いたものであってもよいし、発光ダイオードのような非コヒーレント光発光源を用いたものであってもよい。光源７８は、発光ダイオード（以下「ＬＥＤ」という。）のような直接に変調された光を発する装置であってもよいし、音響光学変調装置のような外部変調装置によって間接的に変調された光を連続的に発する装置を含む装置であってもよい。
【００１６】
表示装置７０の第３の部分は、光源７８の変調ビーム８０をラスターパターンのような２次元走査パターンで走査する走査組立体８２である。走査組立体について、以下に、図８から図１２を参照してさらに詳しく説明する。
【００１７】
結像光学装置８４は表示装置７０の第４の部分をなす。図６に実施例として示す結像光学装置８４は、眼７２による像認識のために走査ビーム８０を適切に形成すると共に該ビームの焦点合わせを行う、部分的に伝達可能な曲面状の１対のミラー８６及び８８を含む。走査ビーム８０は、瞳孔９０を経て眼７２に入射し、網膜９２に至る。走査変調光が網膜９２に至ると、見る人はその光を像として認識する。ミラー８６、８８は、見る人の眼７２に結合入力を生じさせるように、走査組立体８２からの光と背景８９から受けた光とを結合する。ここでは背景８９を「実際の世界（ｒｅａｌ−ｗｏｒｌｄ）」の背景として示したが、該背景の光を遮るようにし、又は背景の光を同じタイプ若しくは異なるタイプの別の光源によって生じさせるようにしてもよい。
【００１８】
各エレメントをここでは模式的に示したが、図７に示すように、頭部装着型の表示装置７０としてヘルメット又は同様のフレームに取り付けられるように、装置構成部分が典型的な大きさと形状とを有することは、この技術分野の当業者であれば容易に理解できる。この実施例において、表示装置７０の第１の部分１７１は頭部支持のフレーム１７４に取り付けられ、第２の部分１７６は分離されて例えば腰用ベルトで携帯される。部分１７４、１７６は、第２の部分から第１の部分に光学的及び電子的な信号を伝達する光ファイバー及び電子的接続線１７８によって接続されている。ファイバー結合型の走査表示装置の例として、ファーネス（Ｆｕｒｎｅｓｓ）らによる米国特許第５，５９６，３３９号明細書「光ファイバー点光源を用いる仮想網膜表示装置（ＶＩＲＴＵＡＬ  ＲＥＴＩＮＡＬ  ＤＩＳＰＬＡＹ  ＷＩＴＨ  ＦＩＢＥＲ  ＯＰＴＩＣ  ＰＯＩＮＴ  ＳＯＵＲＣＥ）」に示された装置があり、この特許文献を参考文献とて本願に組み入れる。
【００１９】
次に、図８を参照して、走査組立体８２を説明する。走査組立体８２は、図３に示す走査源４２に対応する複数の装置構成部分を含み、走査組立体８２及び走査源４２に共通する装置構成部分に同じ番号を付している。しかし、走査源４２と違って、走査組立体８２は、垂直軸線に沿って光ビーム８０を走査すべく枢動することができる可動の補正ミラー１００を含む。以下に説明をするように、補正ミラー１００は、水平走査装置５６の（前方又は後方への）各掃引動作の間、垂直軸線に沿った連続的な調整変位（ｃｏｒｒｅｃｔｉｖｅ  ｓｈｉｆｔ）を生じさせる。調整変位は、図５に点線で示す所望のパターンからの走査パターンの全偏差を低減するように、垂直走査装置５８によって生じたビーム８０の垂直運動を相殺する。
【００２０】
補正ミラー１００の効果及び種々の信号の相対的タイミングを説明する前に、水平走査装置５６及び垂直走査装置５８として用いるのに好適な機械式共振型走査装置２００、２２０の実施例を図９を参照して説明する。
【００２１】
共振型走査装置２００の主要な走査装置構成部分は、バネ板２０４に取り付けられた可動ミラー２０２である。ミラー２０２及びバネ板２０４の寸法並びにバネ板２０４の材料特性は、選択された共振型周波数が適用装置に依存する場合において、ミラー２０２及びバネ板２０４が１〜１００ｋＨｚの範囲の固有振動（共振）周波数で高Ｑを有するように選択される。６０Ｈｚの再生速度及び非インターレスで出力されるＶＧＡ品質のため、共振周波数は、好ましくは、ほぼ１５〜２０ｋＨｚである。
【００２２】
ミラー２０２に取り付けられた強磁性材料は、運動力をミラー２０２に与えるように１対の電磁石コイル２０６、２０８によって駆動され、これによって、振動を開始及び維持する。強磁性材料は、好ましくは、バネ板２０４及びミラー２０２の本体に必須である。駆動電子装置２１８は、前記したように、コイル２０６、２０８を動作させるための電気信号を供給する。電気信号に応じて、コイル２０６、２０８は強磁性材料に力を及ぼす周期的な電磁場を発生し、これによって、ミラー２０２の振動が生じる。電気信号の周波数及び位相がミラー２０２の運動と正確に同期されたとき、ミラー２０２は該ミラーの共振周波数で低消費電力で振動する。
【００２３】
垂直走査装置２２０は、共振型走査装置２００と極めて類似して構成されている。共振型走査装置２０１と同様に、垂直走査装置２２０は、駆動電子装置２１８からの電気信号に応じて１対のコイル２２４、２２６によって駆動されるミラー２２２を含む。しかし、垂直走査のための振動速度は非常に低いので、垂直走査装置２２０は典型的には共振型ではない。ミラー２２２は、水平走査装置２０１からの光を受け、約３０〜１００Ｈｚで垂直偏位を発生する。好都合に、この低周波数はミラー２２２をミラー２０２より非常に大きなものにすることを可能にし、これによって、垂直走査装置２２０の配置に関する制約を低減する。仮想網膜表示装置及び機械式共振型走査の詳細は、ファーネス３世（Ｆｕｒｎｅｓｓ  ＩＩＩ）らによる米国特許第５，４６７，１０４号明細書「仮想網膜表示（ＶＩＲＴＵＡＬ  ＲＥＴＩＮＡＬ  ＤＩＳＰＬＡＹ）」に非常に詳しく示されており、この特許文献を参考文献として本願に組み入れる。
【００２４】
光ビームを一般的なラスターパターンで走査する種々の他の構造は、この技術分野の当業者であれば理解できる。例えば、２方向の小型電気機械式（以下「ＭＥＭ」という。）走査装置は主要な走査を提供する。このような走査装置は、ノイカーマンス（Ｎｅｕｋｅｒｍａｎｎｓ）らによる米国特許第５，６２９，７９０号明細書「小型機械化ねじれ走査装置（ＭＩＣＲＯＭＡＣＨＩＮＥＤ  ＴＯＲＳＩＯＮＡＬ  ＳＣＡＮＮＥＲ）」に示されており、この特許文献を参考文献として本願に組み入れる。前記した走査装置と同様に、ＭＥＭ走査装置の水平成分は、図１６を参照して以下に非常に詳しく説明する構造上の機械的共振によって典型的に規定される。図３を参照して説明した２つの走査装置と同様に、２軸走査装置は、典型的に、速い走査軸に沿った掃引動作の間における遅い走査軸に沿った運動に起因する小さなラスター細りの問題を有する。
【００２５】
光源７８は、駆動電子装置２１８からの像信号に従って変調された光のビームを出力する。同時に、駆動電子装置２１８は、ミラー２０２、２２２を振動させるべくコイル２０６、２０８、２２４、２２６を動作させる。変調された光ビームは、振動する水平ミラー２０２に達し、ミラー２０２に瞬間角度に対応する角度だけ水平方向に偏向される。偏向された光は、垂直ミラー２２２に達し、垂直ミラー２２２の瞬間角度に対応する垂直角度で偏向される。以下に説明するように、光学ビームの変調は、ミラーの各位置でビームの色及び強度が所望の仮想の像に対応するように水平走査及び垂直走査と同期される。したがって、ビームは、ユーザーの網膜に直接に仮想の像を「描く」。
【００２６】
説明をわかりやすくするために走査装置２００のいくつかの装置構成部分を図９では省略していることは、この技術分野の当業者であれば理解できる。例えば、水平及び垂直の走査装置２０１及び２２０は典型的にはフレームの固定された相対的位置に取り付けられている。さらに、走査装置２００は、典型的には、走査の角度範囲を増大させるために複数回各ミラーにビームが当たるように、ビームの方向を変える１以上の方向転換ミラーを含む。
【００２７】
図８を参照して、補正ミラー１００を含む装置の動作について説明する。以下の説明をわかりやすくするために、ミラー１００、５６、５８の「ゼロ」位置（例えば、ミラーが中心に置かれる位置）でビーム８０は平面６６の中心に置かれると仮定する。ゼロ位置が、以下に説明する角度及び経路の簡単な調節でほとんどの場合において任意に選択することができることは、この技術分野の当業者であれば容易に理解できる。
【００２８】
光線軌跡からわかるように、平面６６のビーム８０の位置は、方向転換ミラー１００、水平走査装置５６及び垂直走査装置５８からの角度偏向の関数である。したがって、いかなる時点においても、ビーム８０の実際のベクトルの角度はベクトルの加算によって決まる。多くの場合において、走査パターンの所望の垂直部分は図１０の点線で示すように「階段状ステップ」走査パターンである。
【００２９】
方向転換ミラー１００を使用することができないとき、光線によって描かれたパターンは図３から図５を参照して説明したパターンと同様である。図１０に示すように、実線で示されたパターンの実際の垂直走査部分は、所望の階段状ステップパターンというよりはむしろほぼ傾斜状である。
【００３０】
階段状ステップパターンを提供するための１つの方法は、階段状ステップ電圧で垂直走査装置５８を駆動することである。しかし、垂直ミラーが物理的装置であると共に階段状ステップが不連続運動を含むので、垂直ミラーは駆動信号に正確には追従しない。代わりに、垂直ミラーは階段状ステップパターンに追従しようとするので、垂直ミラーは、主として、垂直ミラーの大きさ及び重量、ミラー支持構造の材料特性、駆動信号のピーク電圧及び電流、及び駆動回路の電気的特性によって規定された最大速度で運動する。典型的な垂直走査ミラーの大きさ、形状、走査角度及び駆動電圧のため、垂直走査装置５８は、１００〜３０００Ｈｚの範囲の周波数に制限される。所望の走査パターンは、この範囲をはるかに超える周波数成分を有する。したがって、階段状ステップ駆動信号で垂直走査装置５８を駆動することは、所望のパターンから著しく逸脱する垂直走査パターンを生じさせる。
【００３１】
この問題を低減するために、図８に示す実施例においては、垂直走査関数は、２つの部分に分けられている。したがって、全体の垂直走査は、約６０Ｈｚにおける大きな振幅傾斜関数と、水平速度（例えば、約３０ｋＨｚである。）の２倍の小さな振幅補正関数との合成である。６０Ｈｚの周波数が典型的な走査ミラーの応答周波数より十分に低いので、垂直走査装置５８は大きな振幅傾斜関数を容易に発生することができる。補正ミラー１００は非常に高い周波数で動作するが、補正ミラーの全角度振幅は非常に小さい。
【００３２】
図１０に示す信号のタイミング図からわかるように、水平走査装置が視野の一端から反対の端部に走査する時間（例えば、図１１に示す時刻ｔ１からｔ２までの間）、補正ミラー１００はそのほぼ最大負角から最大正角に移動する。図５に示すように、全補正角は、単一の水平走査の間、垂直走査ミラーの下方への移動の量によって規定される。補正角度は、表示装置の種々の形状に合わせて変わるが、補正角度は容易に計算することができる。
【００３３】
例えば、１２８０の垂直方向の列と１０度の全機械的垂直走査角度とを有する表示装置のために、各列のための角度走査範囲は、約０．００８度（１０／１２８０＝０．００７８１２５）である。約±０．０００３９度の補正ミラー１００によって提供される誤差補正を水平走査装置が走査する間、垂直走査装置はこの全距離を移動すると仮定する。したがって、角度補正はほぼθ／Ｎであり、ここで、θは垂直走査角度、Ｎは水平方向の列の数である。この数は、いくつかの実施例において変更されてもよい。例えば、水平走査装置が共振型水平走査装置である場合には補正角度はわずかに異なってもよい。なぜなら、走査が視野領域の端部に到着したとき停止して反対方向への移動を開始するために、水平走査装置は走査時間の同じ部分を用いるからである。
【００３４】
図５及び図１０に示すタイミング図からわかるように、補正ミラー１００は、水平走査装置５６の周波数の２倍の周波数で１列の幅の約半分の幅だけビームを垂直方向に直進させる。典型的なＳＶＧＡ画像品質の表示装置のために、水平走査装置５６は約１５ｋＨｚで共振する。したがって、典型的な表示のために、補正走査装置１００は約３０ｋＨｚで１度の約半分だけ枢動する。表示装置の解像度が増加したとき水平走査装置５６の走査速度が増加することは、この技術分野の当業者であれば容易に理解できる。補正ミラー１００の走査速度はそれに応じて増加するが、枢動角度は減少する。例えば、２５６０の列と１０度の全走査とを有する表示装置のために、補正ミラー１００の走査速度は約０．００２度の枢動角度で約６０ｋＨｚである。
【００３５】
図１２は、いくつかの実施例において補正ミラー１００のために好適な圧電性走査装置１１０を示す。走査装置１１０は、間隔をおいて配置された１対の圧電アクチュエータ１１４、１１６を支持するプラットホーム１１２を用いて形成されている。補正ミラー１００は、アクチュエータ１１４とアクチュエータ１１６との間に伸びる、金属被覆がされた実質的に平面のシリコン基板である。圧電アクチュエータ１１４、１１６の両側は、導電的に被覆がされており、アクチュエータ１１４、１１６のそれぞれを横切る電圧が逆になるように駆動増幅装置１２０に結合されている。圧電材料は電界の存在で形状が変化する。したがって、駆動増幅装置１２０が電圧を出力したとき、アクチュエータ１１４、１１６は、補正ミラー１００に反対方向に力を及ぼし、これによって、補正ミラー１００を枢動させる。圧電アクチュエータ１１４、１１６を単一の組の電極と単一の層の圧電材料とを有するものとして示したが、アクチュエータ１１４、１１６が典型的には複数の層から形成されていることは、この技術分野の当業者であれば容易に理解できる。そのような構造は、相対的に大きな変形を生じさせるように、商業的に入手可能な圧電装置において用いられる。
【００３６】
信号発生回路１２２は、水平走査装置５６の被検知位置に応じて駆動増幅装置１２０のための駆動信号を発生する。回路１２２への主要な入力は、水平走査装置５６に接続された感知装置からの感知信号である。感知信号は、種々の方法で得ることができる。例えば、ノイカーマンス（Ｎｅｕｋｅｒｍａｎｎｓ）らによる米国特許第５，６４８，６１８号明細書「積分ねじれ感知装置を有するマイクロ加工ヒンジ（ＭＩＣＲＯＭＡＣＨＩＮＥＤ  ＨＩＮＧＥ  ＨＡＶＩＮＧ  ＡＮ  ＩＮＴＥＧＲＡＬ  ＴＯＲＳＩＯＮＡＬ  ＳＥＮＳＯＲ）」に示されており、この特許文献を参考文献として本願に組み入れているように、ＭＥＭ走査装置のねじれ運動は、走査ミラーの位置に対応する電気的出力を生じさせることができる。代わりに、ミラーの位置は圧電式感知装置を走査装置に取り付けることによって得るようにしてもよく、このことは、メルビル（Ｍｅｌｖｉｌｌｅ）による米国特許第５，６９４，２３７号明細書「機械式共振型走査装置用ミラーの位置検知（ＰＯＳＩＴＩＯＮ  ＤＥＴＥＣＴＩＯＮ  ＯＦ  ＭＥＣＨＡＮＩＣＡＬ  ＲＥＳＯＮＡＮＴ  ＳＣＡＮＮＥＲ  ＭＩＲＲＯＲ）」に示されており、この特許文献を参考文献として本願に組み入れている。他の代替の方法において、ビームの位置は、水平又は垂直のミラーの位置を光学的又は電気的に計測管理をすることによって又はミラー駆動コイルに誘起された電流の計測管理をすることによって決められる。
【００３７】
感知信号が水平走査装置５６が視野の端部にあることを示す場合、回路１２２は、水平走査装置が視野の中心に到着したとき最大負位置で開始する共に零交叉点に到着するランプ信号を発生する。その後、ランプ信号は、水平走査が視野の反対端部に到着したとき、その最大値に達する。ランプ信号は、水平走査が停止に向けて減速すると共に戻り掃引動作を開始したとき、前記時間間隔の間にその最大負位置に戻る。回路１２２は感知信号をランプ信号のための基礎クロック信号として用いることができるので、ランプ信号のタイミングは本質的に走査の水平位置に同期される。しかし、いくつかの実施例のために、感知信号に関係するランプ信号の制御された位相シフトが性能を最適化するものであることは、この技術分野の当業者であれば容易に理解できる。図１６を参照して以下に説明するように、補正ミラーが共振的に走査された場合、感知信号を周波数倍加、増幅及び位相シフトすることによって簡単に得られる正弦波信号によってランプ信号を置き換えることができることは、この技術分野の当業者であれば容易に理解できる。
【００３８】
ビームが水平走査の間、垂直軸線に沿って静止したままの状態を続けるように、補正ミラー１００によって誘起されたビームの垂直運動は、垂直走査装置５８によって生じたビームの運動を相殺する。水平走査が視野の範囲外にある時間の間、ビームは、補正ミラー１００に応答して、次の水平走査の公称位置に向けて垂直に移動する。
【００３９】
前記した説明からわかるように、圧電駆動された補正ミラー１００の付加は、ランプ型の運動を用いて、著しいラスター細りを低減することができる。しかし、いくつかの応用において、ランプ型運動を用いることは望ましくない。補正ミラー１００のために用いることができる走査装置１３０の１つの例を、図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）に示す。
【００４０】
走査装置１３０は共振型の小型電気機械式（以下「ＭＥＭ」という。）走査装置であり、該走査装置は、走査装置１３０が単軸型であるという理由により処理が単純化されていること以外は、ノイカーマンス（Ｎｅｕｋｅｒｍａｎｓ）の‘７９０特許に示された装置と同様に製造される。代わりに、走査装置１３０は図９に示す水平走査装置５４に非常に類似した機械式共振型走査装置とすることができるが、このような走査装置において、基板及びミラーの大きさ及び材料特性は、水平走査装置２００の共振周波数の２倍の約３０ｋＨｚで共振を生じるように選択されることが好ましい。さらに、材料及び取付けは、好ましくは、走査装置１３０が水平走査装置５６のＱより非常に低いＱを有するように選択される。この低いＱは走査装置１３０がより広範囲の周波数にわたって動作することを可能にするので、走査装置１３０は水平走査周波数の多重積分に調整することができる。
【００４１】
共振型走査装置１３０を利用すれば、走査装置１３０を駆動するための電気的な装置構成部分の複雑さが低減する。しかし、走査装置１３０は共振型なので、該走査装置は前記したランプ型運動よりはむしろ折れ曲がり状運動を有する傾向がある。しかし、折れ曲がり状運動の周波数、位相及び振幅が適切に選択されるならば、補正ミラー１００は、細りエラーを著しく低減することができる。例えば、図１４は、視野の水平領域が総体的な水平走査角度の９０パーセントを包含する場合の補正ミラーの折れ曲がり状運動を用いた、ラスター信号の補正を示す。視野が総体的な水平走査角度のより小さな割合であれば、ビームの位置の誤差をさらに低減することができることは、この技術分野の当業者であれば容易に理解できる。さらに、走査誤差をさらに低減することでさえも第２の補正ミラーをビーム経路に加えることによって実現することができるが、これは、改良対費用の制限に起因して一般的に望ましくないことではある。誤差を低減するための他の方法は、走査パターンが折れ曲がり状走査から三角形状波形により近く変わるように、１以上のより高位の高調波を走査駆動信号に加えることである。
【００４２】
誤差が低減された走査装置１４０の他の代替例を図１５に示しており、走査補正は、垂直成分を水平ミラー１４１に加えることによって実現される。この実施例において、水平走査装置１４０は、走査ミラーを枢動させるための静電的な駆動を有するＭＥＭ走査装置である。水平走査装置１４０は、小さな質量部１４５が形成される多数の位置１４３を含む。質量部１４５は、フォトリソグラフィのような従来の方法で形成される蒸着金属又は他の材料であってもよい。質量部１４３はミラー１４１の中心線１４７の周りに非対称に配置されている。質量部１４５は、その主要な軸線に直交する軸線の周りに枢動することによって、補正を垂直軸線に沿って走査するための成分を提供する。図１６からわかるように、垂直走査周波数は水平走査周波数の２倍の周波数であり、これによって、リサージュ又は棒ネクタイ状の全走査パターンを生じさせる。質量部１４５は、垂直成分の共振周波数を調整させるために積極的に変更してもよい（例えば、レーザーアブレーション（ｌａｓｅｒ  ａｂｌａｔｉｏｎ））。この実施例は付加的なミラーなしで補正を可能にするが、一般には振動の共振周波数と水平走査装置とを調和させることを必要とする。
【００４３】
図１７に示すように、本発明に係る走査装置１５０の他の実施例においては、補正走査装置１５４と共に、主要な走査装置構成部分として二軸走査装置１５２を用いる。二軸走査装置１５２は、互いに直交する２つの軸線の周りに振動する単一のミラー装置である。このような走査装置の設計、製造及び動作は、例えば、ノイカーマンス（Ｎｅｕｋｅｒｍａｎｓ）の‘７９０特許や、キアング（Ｋｉａｎｇ）ら著の「光学走査のための小型機械化小型走査装置（ＭＩＣＲＯＭＡＣＨＩＮＥＤ  ＭＩＣＲＯＳＣＡＮＮＥＲＳ  ＦＯＲ  ＯＰＴＩＣＡＬ  ＳＣＡＮＮＩＮＧ）」（小型光学系び小型機械系を有する小型装置に関するＳＰＩＥ論文発表記録（ＳＰＩＥ  Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ  ｏｎ  Ｍｉｎｉａｔｕｒｉｚｅｄ  Ｓｙｓｔｅｍｓ  ｗｉｔｈ  Ｍｉｃｒｏ−Ｏｐｔｉｃｓ  ａｎｄ  Ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｓ）第３００８巻第ＩＩ号第８２〜９０頁）の論文に示されており、この文献を参考文献として本願に組み入れる。
【００４４】
補正走査装置１５４は、好ましくは、ＭＥＭ走査装置である。圧電式走査装置のような他の型の走査装置もまた本発明の範囲にあるものならばよい。前記したように、補正走査装置１５４は、走査誤差のかなりの部分を除去するために折れ曲がり状に走査することができる。または、補正ミラーは、より正確な誤差補正のためにランプパターンを走査する。
【００４５】
光源７８からの光は、補正ミラー１５４に当たり、前記したような補正角度で偏向される。光は、その後、二軸走査装置１５２に達し、図３から図５を参照して前記したように、ラスターパターンに近づくように水平及び垂直の方向に走査される。前記したように、全パターンは、ラスターパターンにさらに近似するように近づく。
【００４６】
本発明に係る表示装置の他の実施例を図１８に示し、この実施例においては、入力ビームを光学系５００の入力に対して相対的に横方向に物理的に変えることによって補正ミラー１００を省略している。図１８に示す実施例において、フレーム５０４と入力ファイバ５０６との間に配置された圧電駆動部５０２は、水平走査周波数の２倍の周波数で駆動電圧を受ける。駆動電圧に応答して、圧電駆動部５０２は変形する。ファイバ５０６が圧電駆動部５０２に接着されているので、圧電駆動部５０２の変形は、矢印５０８と点線で示したファイバ５１０とで示すようなファイバ５０６の対応するシフトを生じさせる。光学系５００の特性に依存して、圧電駆動部５０２がファイバ５０６の横方向へのずれ又はファイバ５０６の出力の角度変化を生じさせることは、この技術分野の当業者であれば容易に理解できる。光学系５００は、その後、前記した実施例の場合と同様に、ファイバの出力の運動を、感知された画素位置の運動に変換する。図１８に示す実施例においてはファイバを変換することを用いているが、本発明はそれに限定されない。例えば、いくつかの応用においては、ＬＥＤ又はレーザダイオードのような他の発光源の変換を組み入れる。
【００４７】
図１８に示す実施例は入力ファイバの位置又は角度を変えることによって入力ビームを変えるが、入力ビームを変える他の方法は本発明の範囲内であればよい。例えば、図１９に示すように、電気光学式水晶３００は入力ビーム８３を電気信号に応じて変える。この実施例において、ビーム８３は、台形状に形作られた電気光学式水晶３００の第１の面３０２に入射し、該面に係る屈折作用が伝播の方向の変化を生じさせる。ビーム８３が第２の面３０４を経て出たとき、屈折は伝播の方向の第２の変化を生じさせる。各面で、伝播の方向の変化量は、空気と水晶３００との間の屈折率の相違に依存する。電気光学式水晶の屈折率は、水晶を経る電界に依存する。１対の電極３０６を経て水晶３００を横切って印加された電圧は水晶の屈折率を制御する。したがって、印加された電圧は、ビーム８３が破線８３Ａで示すように水晶３００に入射し及び出たとき、ビーム８３の角度変化を制御する。変化量は印加電圧に対応する。したがって、変化量は、電極３０６に印加された電圧を制御することによって制御される。したがって、水晶３００は、ラスター細りを相殺することができる電圧制御されたビーム変化を提供する。
【００４８】
ここに説明する実施例は表示装置であるが、他の装置又は方法は本発明の範囲内であればよい。例えば、図２０に示すように、撮像装置（ｉｍａｇｅｒ）６００は、二軸走査装置６０２及び補正走査装置６０４を含み、図１７に示す走査装置１５２、１５４に非常に類似している。撮像装置６００は、デジタルカメラ、バーコードリーダー又は他の画像収集装置の入力エレメントである像取込装置である。撮像装置６００が光を効率よく集めることができるように、撮像装置６００の外側の目標物６０８からの光を収集して補正走査装置６０４に伝送する収集光学装置６０６を含む。収集光学装置６０６は、特定の応用に適するような焦点深度、焦点距離、視野領域及び他の光学的特性を有するように構成されている。例えば、撮像装置６００が二次元図記号読取装置（ｔｗｏ  ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ  ｓｙｍｂｏｌｏｇｙ  ｒｅａｄｅｒ）である場合、収集光学装置は赤色光又は赤外光のために最適化され、焦点距離は１０〜５０ｃｍの範囲にある。
【００４９】
補正走査装置６０４は、表示装置の実施例のために前記したように、収集された光が二軸走査装置６０２に到着する前に該光が補正成分を有するように、収集光学装置６０６から受けた光を向け直す。二軸走査装置は、ある角度範囲から収集光学装置に到着する光を集めるために、及び集めた光を、固定された光検知装置６１０に向け直すために、実質的にラスターパターンで走査する。したがって、二軸走査装置６０２の運動は、目標物６０８の像連続点として光検知装置６１０上に変換される。光検知装置６１０は、走査装置６０２からの光エネルギーを、デコード用電子装置６１２で受ける電気信号に変換する。撮像装置６００が図記号読取装置である場合、デコード用電子装置６１２は、図記号をデコード及び記憶する回路を含む。撮像装置がカメラの部分である場合、デコード用電子装置６１２は、デジタルからアナログへの変換装置、記憶装置、及び、走査された目標物６０８のデジタル形式を記憶するために関係づけられた電子装置を含む。
【００５０】
図２０に示す撮像装置６００の他の特徴は、目標物を照明するための光を提供する照明源６１４である。照明源６１４は、応用に依存して、多くの型の１つであってもよい。例えば、撮像装置６００が図記号読取装置である場合、照明源６１４は、光のビームをビームスプリッター６１６に入射させる赤外又は赤色の発光装置であってもよい。ビームスプリッター６１６は、照明光が補正走査装置６０４に向け直される場合、二軸走査装置６０２に照明光ビームを向ける。照明光が目標物６０８からの光の経路と同じ直線上にあるので、照明光は、光検知装置６１０によって像化された同じ位置の目標物６０８に達する。照明光は、目標物６０８の反射性に対応するパターンで目標物６０８によって反射される。反射された照明光は、光検知装置６１０を通り、目標物６０８を像化するために光検知装置６１０によって用いられる光として供給される。
【００５１】
図２０に示す撮像装置６００の１つの応用において、照明源６１４は、赤色レーザダイオード又は可視波長の発光ダイオード（以下「ＬＥＤ」という。）のような、視認可能かつ直接的に変調可能な光源である。したがって、図２１に示すように、照明源６１４は、ユーザーのために視認可能な像を発生することができる。図２１に示す典型的な実施例において、撮像装置は、目標物６０８の図記号に含まれた情報を確認するために、図記号走査装置として動作する。デコード用電子装置６１２が、図記号で表現された情報を確認すると、デコード用電子装置６１２は項目価値及び同一性のような視認可能の所望の像を確認する。デコード用電子装置６１２は、所望の像に従って発せられた光の強度を変調するために照明源６１４の駆動電流を変調する。ユーザーが撮像装置６００をスクリーン６１６の方へ向けたとき、照明光は前記したようにスクリーン６１６上に走査される。照明光が所望の像に従って変調されるので、スクリーン６１６からの反射光は所望の像に従って部分的に変調されている。したがって、撮像装置６００は、像データを取り込むことに加えて像プロジェクタとして動作する。
【００５２】
ラスター細りを補償することに加えて、図２２に示す走査装置の一実施例は、また、共振型又は他の非線型走査装置の非線型性の効果を処理する。図２３に点線で示すように、着信データのタイミングは線型走査速度であることを前提とする。すなわち、等間隔に連続して配置された列位置のために、データは一定間隔で到着する。しかし、共振型走査装置は、実線で示すように、折れ曲がり状に変化する走査速度を有する。時刻ｔ０で始まる列の開始のために（注目すべきは、折れ曲がり状走査のための実際の走査開始は、図１４を参照して前記したようにわずかに遅延傾向にある）、折れ曲がり状走査は最初は線型走査を遅らせる。したがって、位置Ｐ１のための像データが時刻ｔ１Ａで到着したとき、折れ曲がり状走査は画素を位置Ｐ２に配置する。
【００５３】
画素を正確に配置するために、図２２に示す装置は、図２２及び２４を参照して説明するように、時刻ｔ１Ｂまで像データを遅延させる。到着する像データＶＩＭは像データ信号の水平同期成分に応じて計数回路２２０２によって列又はフレーム用のバッファー２２００に時間記録がされる。計数回路２２０２は、従来様式の回路であり、データをバッファー２２００に時間記録をするための等間隔で配置されたパルスを有する入力クロック信号を供給する。
【００５４】
帰還回路２２０４は、バッファー２２００からの出力のタイミングを制御する。帰還回路２２０４は、走査組立体８２からの折れ曲がり状又は他の感知信号を受け、高速の計数装置２２０６で感知信号の周期を分ける。論理回路２２０８は計数装置の出力に応じて出力クロック信号を発生する。
【００５５】
しかし、入力クロック信号と違って、出力クロック信号のパルスは等間隔には配置されていない。代わりに、パルスタイミングは、図２３に示す線型信号のタイミングと折れ曲がり状信号とを比較することによって分析的に決められる。例えば、位置Ｐ１に配置された画素のために、論理回路２２０８は、線型走査速度のための場合のような時刻ｔ１Ａとは異なる時刻ｔ１Ｂで出力パルスを供給する。
【００５６】
論理回路２２０８は、メモリ２２１０におけるルークアップテーブルをアクセスすることによって、画素位置に対応する計数を確認する。ルークアップテーブルのデータは、走査装置周期を多くのカウントに分割し、適切な画素位置に対応するカウントを確認することによって規定される。図２４は、３５画素列のためのこの査定を図表的に示す。この例が、説明をわかりやすくするために単純化されていることは、この技術分野の当業者であれば理解できる。典型的な列は、数百又は数千の画素を含む。見てわかるように、この画素は、視野の端部近くに望ましくなく間隔配置がされ、視野の中心でさらに望ましくなく間隔配置がされている。したがって、像は、視野の端部近くで圧縮され、中心で拡大され、歪んだ像を形成する。
【００５７】
上方の列によって示すように、画素位置は、時間において等間隔に配置された画素カウントのために非線型的に変わる。したがって、下方の列によって示す各画素の所望の位置は、非線型的に間隔配置されたカウントに実際に対応する。例えば、上方及び下方の列における第１の画素は、ゼロカウントで到着し、ゼロカウント位置に配置される。第２の画素は、１００カウントで到着するが、５４０カウント位置に配置される。同様に、第３の画素は、カウント２００で到着し、カウント７２０で出力される。図が実際の計算及びタイミングの単なる代表であることは、この技術分野の当業者であれば理解できる。例えば、ある出力カウントはそれに対応する入力カウントより高く、あるカウントは低い。もちろん、画素は、その対応するデータが到着する前に、実際に出力されることはない。この条件付けを処理するために、図２２に示す装置は、同期メモリ装置と同様に、データの出力の潜在性（ｌａｔｅｎｃｙ）を実際に課する。図２４に示す実施例のために、単列潜在性（３４００カウント潜在性）が十分である。このような潜在性によって、第１の出力画素はカウント３４００で生じ、第２の出力画素は３９４０で生じる。
【００５８】
図２５は、画素を適切な位置に配置するための代替の方法を示す。この実施例は、出力データのクロック制御をするための計数装置とは異なるパターン発生装置からの補正されたクロックを発生する。同期信号除去装置２５００は、到着像信号ＶＩＭからの水平同期信号を除去する。同期信号に応答して、位相固定ループ２５０２は、同期信号に固定された一連のクロックパルスを発生する。クロックパルスによって駆動されたＡ／Ｄコンバータ２５０４は、標本抽出された入力データを発生するために像信号のビデオ部分を標本抽出する。標本速度は、装置の要求された解像度に依存する。好ましい実施例において、標本速度はほぼ４０ＭＨｚである。プログラム制御可能なゲートアレイ２５０６は、バッファー２５０８に記憶された一組の像データを発生するために、Ａ／Ｄコンバータ２５０４からのデータを条件づける。各水平同期信号のために、バッファーが１行の像データを受けることは、この技術分野の当業者であれば理解できる。１４８０×１０２４画素表示装置のために、装置は、ビデオ信号の単一周期の間、１４８０組の像データを標本しかつ記憶する。
【００５９】
各行のデータがバッファー２５０８に記憶されると、バッファーは、該データを、補正されたデータを有するガンマ補正メモリ２５１０を含むＲＡＭＤＡＣ２５０９に出力するべく、時間記録がされる。ガンマ補正メモリ２５１０に入力されたデータとしてバッファーデータを用いる代わりに、バッファーデータは、ガンマ補正メモリ２５１０からの補正されたデータを検索するようにアドレス指定されたデータを発生するために用いられる。例えば、選択された像に対応する一組の像データのために、強度Ｉ１は、ガンマ補正メモリ２５１０の対応する位置に確認する。実際の像データを出力するよりはむしろ、ガンマ補正メモリ２５１０は、ユーザーの眼の位置で適切な光強度を発生する一組の補正データを出力する。補正されたデータは、種々の装置構成部分の透過率、光源の強度に対する電流応答、装置構成部分の回折及び開口効果、及び種々の他の装置の特性を含む全走査装置を特徴づけることによって、分析的かつ実験的に決められる。
【００６０】
ガンマ補正メモリ２５１０から出力された補正されたデータは、ガンマ補正アナログ信号を発生するために、Ｄ／Ａコンバータ２５１２を駆動する。走査装置駆動回路２５１４は、光源２５１６への入力信号を発生するように、補正されたアナログ信号を増幅及び処理する。これに応答して、光源２５１６は、ガンマ補正メモリ２５１０からの補正されたデータに従って変調された光を出力する。変調された光は、見るための走査及び変調された光を発生するために、走査装置２５１８に入射する。
【００６１】
バッファー２５０８、補正メモリ２５１０及びＤ／Ａコンバータ２５１２を駆動するクロック信号は、クロック発生装置２５２２と、パターンメモリ２５２４と、増加端部検知装置２５２６とを含む補正されたクロック回路２５２０から得られる。クロック発生装置２５２２は、走査装置２５１８からの感知信号に固定された位相固定ループ（以下「ＰＬＬ」という。）を含む。ＰＬＬは、感知信号に固定された約８０ＭＨｚの高周波クロック信号を発生する。高周波クロック信号は、パターンメモリ２５２４のアドレスからの連続的なデータを時間記録する。
【００６２】
増加端部検知装置２５２６は、パターンメモリ２５２４から検索されたデータの各変化０から１の変化に応じてパルスを出力する。その後、パルスは、バッファー出力、ガンマ補正メモリ２５１０及びＤ／Ａコンバータ２５１２を駆動するクロック信号を形成する。
【００６３】
端部検知装置２５２６から出力されたパルスのタイミングが、パターンメモリ２５２４に記憶されたデータに依存すると共に走査装置２５１８の走査周波数ｆＳＣＡＮに依存することは、この技術分野の当業者であれば理解できる。図２６は概念の単純化された例を示す。図２６において、データ構造が単純化され、また、アドレス指定及び他の回路構成が説明をわかりやすくするために省略されていることも、この技術分野の当業者であれば理解できる。
【００６４】
この例において、走査周波数ｆＳＣＡＮが２０ｋＨｚであると共にクロック発生装置２５２２が走査周波数ｆＳＣＡＮの４０００倍の周波数で１つのクロック信号を出力するとき、パターンメモリ２５２４は８０ＭＨｚで時間記録がされる。アドレス指定されたメモリ位置２５２４Ａにおける全ビットが０であるとき、１６の変化の発生装置クロックのために生じる出力クロックの変化はない。位置２５２４Ｂのデータ構造のために、単一の変化の出力クロックが、１６の変化の発生装置クロックのために生じる。したがって、パルスの数及び相対的タイミングは、パターンメモリ２５２４の記憶されたデータによって制御される。他方、発生装置クロックの周波数は走査周波数に依存する。走査周波数が変化したとき、パルスのタイミングも変化する。
【００６５】
図２５に示す例においては、折れ曲がり状速度変化補正に限定されない。クロックパターンメモリ２５２４は、光学的歪み、第二次高調波及び電子装置又は発光源の応答時間特異性のような他の多くの種類の非線型作用を処理するようにプログラムすることができる。
【００６６】
さらに、図２５に示す基礎的な構造は、図２７に示すように、ビット計数装置２５３０、ルークアップテーブル２５３２及び垂直増加回路２５３４を加えることによって容易に変更することができる。計数装置２５３０は、２ビットの記憶データを検索するように入力クロックの各パルスに応じてルークアップテーブルにアドレス指定をする。検索されたデータは、垂直アドレスが増加、減少又はそのまま削除されたか否かを示す。アドレスが増加又は減少されたとき、増加回路は、公称メモリ位置に記憶されるべきデータが公称位置より高い又は低い１つの列である交互の位置に実際に記憶されるように、バッファー２５０８におけるアドレスを増加又は減少させる。
【００６７】
そのようなデータ構造の図的表現を、図２８に単純化された例として示す。この例において、第１の行（行列０）のデータのための第１の３つの組のデータビットは第１のメモリ列に記憶され、第１の行のための次の３つの組のデータビットは第２のメモリ列に記憶され、第１の行のための最後の３つの組のデータビットは第３のメモリ列に記憶される。この例が、説明をわかりやすくするために非常に単純化されていることは、この技術分野の当業者であれば理解できる。実際の実行においては、さらに多くの組のデータを含む。
【００６８】
結果として、１つの列のためのある部分のデータは新しい列に移動される。したがって、バッファー２５０８に生じたデータマップは図２８からわかるように歪んでいる。しかし、データマップの歪みは、走査及び光学的歪みによって生じた像の垂直歪みを相殺するするように選択される。結果として、全装置歪みが低減される。
【００６９】
本発明を典型的な実施例によって説明したが、構造や方法における変更又は変形を本発明の精神及び範囲を逸脱しない範囲においてすることができる。例えば、種々の装置構成部分の配置を種々に変更することができる。配置の一例において、補正走査装置は他の走査装置の前方又は後方のいずれかの光学経路に配置されてもよい。また、多くの応用において射出瞳拡大装置を省略してもよい。そのような例において、従来の眼追跡（ｅｙｅ  ｔｒａｃｋｉｎｇ）を走査ビームの眼への容易な結像のために加えてもよい。さらに、走査装置は、投写型表示装置、光学的記録装置、及び種々の走査光ビーム応用装置のために用いることができる。さらに、プログラム制御遅延のような種々の他のタイミング制御機構は、図２２から図２８を参照して説明した方法に代えて、走査装置の種々の速度を補償するために用いてもよい。タイミング及び歪みを補正するための他の選択的な方法において、メモリーマップは一定速度で安定して処理されるようにしてもよい。そのような方法において、データはバッファー２５０８から一定速度で出力される。走査装置の非線型性を補償するために、各位置のためのデータは、検索された像データから取り出され、一定の増分で出力される。図２４を参照するに、例えば、データは、時刻が画素時間に直接に対応しない時刻であっても時刻１５００で出力される。補償のために、バッファー２５０８は、第１０番目及び１１番目の位置にこの列のためにアドレス指定がされる。したがって、出力データは第１０番目及び１１番目の位置からのデータの加重平均である。したがって、バッファー２５０８は一定速度で時間記録がされ、画素は一定速度で出力される。さらに、電気回路への慎重なアドレス指定を制御すること及び加重平均を実行することによって、出力データは折れ曲がり状に補正される。したがって、本発明は、従属項によって特定された事項を除き、限定されない。
【図面の簡単な説明】
【図１】  見る人の眼に整列された表示装置を表す図。
【図２】  （Ａ）は像源からの光と背景からの光との結合から生じた、ユーザーによって受けられる結合像を示す。（Ｂ）は背景光が遮られたときの、図１の表示装置からユーザーに知覚される像を示す。
【図３】  ビームの２方向走査及び人の眼への結像を示した、走査装置及びユーザーの眼を示す図。
【図４】  （Ａ）は図１の走査組立体の垂直走査装置の信号タイミングを示す図。（Ｂ）は図１の走査組立体の水平走査装置を駆動するための駆動信号の信号タイミングを示す図。
【図５】  図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示す信号に応じて走査されたビームによって追従された経路を示す信号位置を表す図。
【図６】  本発明の一実施例に係る表示装置を表す図。
【図７】  接続線を含む頭部装着型の走査装置を示す図。
【図８】  図６の走査表示装置の補正ミラーを含む走査組立体を示す図。
【図９】  図８の走査組立体における使用のために好適な水平走査装置及び垂直走査装置を示す図。
【図１０】  ランプ信号と垂直走査装置を駆動するための所望の信号とを比較する信号タイミングを示す図。
【図１１】  位置誤差と垂直走査位置のための補正とを示す信号タイミングを示す図。
【図１２】  圧電式補正走査装置の側面図。
【図１３】  （Ａ）は小型電気機械式（ＭＥＭ）補正走査装置の平面図。（Ｂ）は容量板と該容量板の走査装置への整列とを示す、図１３（Ａ）のＭＥＭ補正走査装置の側面図。
【図１４】  全走査の９０％を経る正弦波状の駆動信号を用いて補正された走査位置を示す図。
【図１５】  垂直成分を水平ミラーに加えることによって走査補正が実現される場合の低減された誤差の走査を示す代替例を示す図。
【図１６】  図１５の走査装置によって偏向されたビームの走査経路を示す位置図。
【図１７】  ２軸小型電気機械式（ＭＥＭ）走査装置及びＭＥＭ補正走査装置を含む走査装置を示す図。
【図１８】  入力ファイバーの位置又は角度を変位させることによって入力ビームを変位させる補正走査装置を示す図。
【図１９】  電気信号に応じて入力ビームを変位させる電気光学水晶を含む補正走査装置を示す図。
【図２０】  目標物からの外部光を取り込む撮像装置を示す図。
【図２１】  視認可能な像を映し出す、図２０に示す撮像装置の代替例を示す図。
【図２２】  共振ミラーの非線型走査速度を補償する間データをメモリーマトリックスに記憶するようにデータを処理する装置ブロック図。
【図２３】  時間に対する折れ曲がり状の走査位置の線型走査の位置からの偏差を示す信号タイミングを示す図。
【図２４】  線型な組のカウントが折れ曲がり状走査のための位置を走査する図をどのように描くかを示す図。
【図２５】  共振ミラーの非線型走査速度を補償する間データをメモリーマトリックスから検索するために出力クロックを発生することを示すブロック図。
【図２６】  図２５に示すブロック図のクロック発生部分の詳しいブロック図。
【図２７】  予歪を含む、図２５に示す装置の代替例のブロック図。
【図２８】  垂直光学歪みを補償するために予歪がされたデータを示すデータ構造を表す図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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