(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コーディエライト、スポジューメンおよびユークリプタイトよりなる群から選ばれた少なくとも１種を５７ｖｏｌ％〜９９．８９ｖｏｌ％、
カーボンを０．０１ｖｏｌ％〜３．０ｖｏｌ％、
４ａ族元素の炭化物、窒化物およびホウ化物、５ａ族元素のケイ化物、６ａ族元素の炭化物、ならびに、炭化ホウ素よりなる群から選ばれた少なくとも１種を０．１ｖｏｌ％〜４０ｖｏｌ％含有し、
気孔率が０．５％以下、体積固有抵抗率が１０8Ωｃｍ以下、１０℃〜４０℃における熱膨張係数が１×１０-6／℃以下であることを特徴とする黒色低熱膨張セラミックス。
【請求項２】
少なくとも一部が請求項１に記載の黒色低熱膨張セラミックスからなることを特徴とする露光装置用部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、黒色低熱膨張セラミックスおよびそれを使用した露光装置用部材に関し、特に、コーディエライト、スポジューメンあるいはユークリプタイトを主体とし、優れた耐磨耗性を有する緻密質低熱膨張セラミックス、およびそのようなセラミックスによって少なくとも部分的に構成される部材、特に、半導体集積回路あるいは液晶集積回路などを作製する際に半導体ウェーハあるいは液晶ガラス基板に露光処理を施す露光装置の部材、たとえば、真空チャック、ステージあるいはステージ位置測定ミラーなどの治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＳＩなどの高集積化に伴い、回路の超微細化が進められ、その線幅は半導体においては０．１ミクロンを切るレベルにまで到達しようとしている。そしてこのような回路を形成するための露光装置に要求される精度も年々高くなってきており、それに伴い、露光装置に使用される部材として、熱膨張率の低いものが開発されてきている。
【０００３】
例えば、特開平11-209171号公報は、コーディエライトを８０重量％以上、望ましくは希土類元素を酸化物換算で１〜２０重量％含有し、気孔率が０．１％以下、１０〜４０℃における熱膨張係数が１×１０-6／℃以下である緻密質低熱膨張セラミックスからなる半導体製造装置用部材を開示する。
【０００４】
また、特開平11-343168号公報は、さらに遮光性を満足させたものとして、コーディエライトを８０重量％以上、望ましくは希土類元素を酸化物換算で１〜２０重量％含有し、気孔率が０．５％以下、カーボン含有量が０．１〜２．０重量％であり、１０〜４０℃における熱膨張係数が１×１０-6／℃以下である低熱膨張黒色セラミックス、およびそのような低熱膨張セラミックスからなる半導体製造装置用部材を開示する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
回路の超微細化が進むにつれて、半導体あるいは液晶ガラス基板の露光精度を確保するため、例えば露光装置用真空チャックやステージ位置測定ミラー向け材料について、低い熱膨張係数および高い剛性（ヤング率）が求められる。従来より低膨張材として利用されてきた材料のうち石英、スポジューメン、チタン酸アルミニウム、結晶化ガラスなどは、剛性に問題があった。一方、従来の緻密質コーディエライト材、あるいは、特開平11-209171号公報および特開平11-343168号公報に開示されているような低熱膨張セラミックスは、低い熱膨張係数および高い剛性の上記条件を満たしうる。
【０００６】
しかし、緻密質コーディエライト材をはじめとする多くの低膨張セラミックス、例えば特開平11-209171号公報および特開平11-343168号公報に開示されるようなセラミックスは、いずれも耐磨耗性に劣っている。そのような従来の低熱膨張セラミックスを例えばウェーハ保持用真空チャックとして使用した場合、ウェーハに接触する面が磨耗することにより保持面の平坦性が失われ、露光不良がおこりやすくなる。
【０００７】
また、露光装置における半導体ウェーハ保持用真空チャックには、ウェーハ載置時に発生する静電気によりパーティクルがウェーハに付着し露光不良を起こしやすくなるという問題がある。回路の超微細化に対応するためには、静電気を除去できるよう真空チャックに低抵抗のセラミックスを用いることが必要である。
【０００８】
また視認性および防汚性の観点から、半導体製造装置に使用されるセラミックス部材は、黒色等の色がついていることが望ましい。この点に関し、特開平11-209171号公報に開示される低熱膨張セラミックスは、基本的に白色または薄い灰色であり、この要求を満たしていない。一方、特開平11-343168号公報は、カーボンを含有することにより黒色を呈する低熱膨張セラミックスを開示する。しかし、上述したように、上記いずれの低熱膨張セラミックスも耐磨耗性に劣っている。
【０００９】
本発明の目的は、低熱膨張性、剛性および耐磨耗性を兼ね備え、さらに低抵抗であり、黒色を呈するセラミックスおよびそれを使用した露光装置用部材を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題に対し鋭意研究を重ねた結果、コーディエライト、スポジューメンおよびユークリプタイトのうち少なくとも１種に、周期律表の４ａ族元素、５ａ族元素および６ａ族元素の炭化物、窒化物、ホウ化物およびケイ化物ならびに炭化ケイ素（ＳｉＣ）、炭化ホウ素（Ｂ4Ｃ）および窒化ケイ素のうち少なくとも１種と、カーボンとを所定割合で添加し、得られた混合物を緻密に焼結させることにより、コーディエライト、スポジューメン、ユークリプタイトの低熱膨張特性を阻害することなく、上記要求を満たし得るセラミックスを提供できることを見出した。
【００１１】
すなわち、本発明により黒色低熱膨張セラミックスが提供され、該セラミックスは、以下の成分（ａ）、（ｂ）および（ｃ）を含有する。
（ａ）コーディエライト、スポジューメンおよびユークリプタイトよりなる群から選ばれた少なくとも１種。
（ｂ）カーボン。
（ｃ）４ａ族元素、５ａ族元素および６ａ族元素の炭化物、窒化物、ホウ化物およびケイ化物ならびに炭化ケイ素、炭化ホウ素および窒化ケイ素よりなる群から選ばれた少なくとも１種。
【００１２】
本発明によるセラミックスにおいて、成分（ａ）の含有率は５７vol％〜９９．８９vol％であり、成分（ｂ）の含有率は０．０１vol％〜３．０vol％であり、成分（ｃ）の含有率は０．１vol％〜４０vol％である。
【００１３】
また、上記組成の本発明による黒色低熱膨張セラミックスにおいて、気孔率は０．５％以下であり、体積固有抵抗率は１０8Ωｃｍ以下であり、１０℃〜４０℃における熱膨張係数は１×１０-6／℃以下である。
【００１４】
さらに本発明により、上記黒色低熱膨張セラミックスからなる露光装置用部材が提供される。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明では、剛性、緻密性、低熱膨張性、低抵抗性、黒色、耐磨耗性のすべてを兼ね備えるセラミックス材料を得るため、主材としてコーディエライト、スポジューメン、ユークリプタイトまたはそれらの組合せ（上記成分（ａ））を使用し、それに、上記成分（ｂ）および（ｃ）を添加する。低熱膨張材として知られているチタン酸アルミニウムは、緻密化が困難であり、緻密化できたとしても剛性が低く使用には耐えることができない。前述したとおりスポジューメンは、それ自体剛性が比較的低いが、高い剛性を有する材料である４ａ族元素、５ａ族元素および６ａ族元素の炭化物、窒化物、ホウ化物およびケイ化物ならびにＳｉＣ、Ｂ4Ｃおよび窒化ケイ素のうち少なくとも１種とともに焼結体を構成することにより、剛性の高いセラミックス材料をもたらすことができる。本発明による低熱膨張セラミックスにおいて、コーディエライト、スポジューメン、ユークリプタイトまたはそれらの組合せの含量は、５７vol％〜９９．８９vol％である。その含量が５７vol％より低いと、得られるセラミックスの熱膨張係数が高くなってくる。一方、その含量が９９．８９vol％より高くなると、添加材料の効果が十分に得られなくなる。なお、本発明による低熱膨張セラミックス中の成分含量を示す体積百分率（vol％）は、例えば、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ）あるいは原子吸光法、ＩＣＰ発光分析法などの方法によって成分の質量％を求めた後、当該質量％を当該成分の一般的な比重で除することにより、得ることができる。
【００１６】
本発明は、さらに添加材料としてカーボン（成分（ｂ））を使用する。本発明で主材としてあげたコーディエライト、スポジューメン、ユークリプタイトまたはそれらの組合せは、いずれも体積固有抵抗率が１０14Ω・ｃｍ以上と高抵抗である。添加材料としてカーボンを使用することで、焼結体の低抵抗化をはかることができる。本発明において低抵抗とは、体積固有抵抗率が１０8Ω・ｃｍ以下を指す。この１０8Ω・ｃｍレベルは、製品表面の静電気除去を目的とするときの臨界的な抵抗値であり、抵抗率がこのレベル以下である本発明のセラミックスは、静電気が速やかに除去できることを特徴とする。本発明によるセラミックスの体積固有抵抗率の範囲は、たとえば、１０Ω・ｃｍ〜１０8Ω・ｃｍである。
【００１７】
また、カーボンを添加することで、セラミックスの黒色化も同時にはかることができる。カーボンの添加方法としては、例えば、カーボンを含有する還元雰囲気下で成形体を焼成して雰囲気からカーボンを含浸させる方法や、カーボン粉末あるいは焼成後にカーボンが残り得る樹脂を成形前に混合して不活性雰囲気または非酸化性雰囲気中で焼成してカーボンの揮散を抑制する方法がある。残留カーボンの含量の分析には、サンプルの加熱により発生する炭酸ガス量を電気伝導度法または赤外線吸収法で測定する。セラミックス中のカーボン含量は０．０１〜３．０vol％とする。０．０１vol％よりも少ないと、低抵抗化と黒色化をはかることができない。また、３vol％よりも多いと、焼結体の緻密化が困難になり、それにより気孔率の向上と剛性の低下を招く。
【００１８】
本発明は、さらに添加材料として、４ａ族元素、５ａ族元素もしくは６ａ族元素の炭化物、窒化物、ホウ化物もしくはケイ化物、またはＳｉＣ、Ｂ4Ｃもしくは窒化ケイ素、またはそれらの組合せ（成分（ｃ））を使用する。これらは、いずれも高い硬度および高い剛性を保有し、添加することで製品に耐磨耗性と高い剛性を付与することができる。添加材料である炭化物、窒化物、ホウ化物およびケイ化物を構成する４ａ族元素には、たとえば、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）等があり、５ａ族元素には、たとえば、バナジウム（Ｖ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）等があり、６ａ族元素には、たとえば、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）等がある。添加材料の好ましい具体例として、タングステンカーバイド（炭化タングステン）、炭化チタン、炭化タンタル、窒化ジルコニウム、窒化タンタル、ホウ化チタン、ホウ化ジルコニウム、ケイ化タンタル、ケイ化モリブデン、窒化ケイ素、炭化ケイ素、Ｂ4Ｃを挙げることができる。特に、タングステンカーバイド、窒化ケイ素、炭化ケイ素、Ｂ4Ｃは、高硬度、高剛性に加え、低熱膨張性を合わせ持ち、製品の低熱膨張性を損なわずに、上記課題を解決させることが可能であり、望ましい。
【００１９】
セラミックス中の成分（ｃ）の含有量は０．１vol％〜４０vol％である。その含有量が０．１vol％未満の場合、セラミックスにおいて剛性や耐磨耗性が十分に発揮されない。一方、その含有量が４０vol％を超えると、セラミックスにおいて低熱膨張性が十分発揮されなくなる。
【００２０】
本発明による低膨張セラミックスの気孔率は、０．５％以下であり、好ましくは０．２％以下であり、より好ましくは０．１％以下である。気孔率が０．５％を超えると、セラミックスについての必要な剛性や強度が得られなくなる。また、本発明による低膨張セラミックスの熱膨張係数は１０℃〜４０℃で１×１０-6／℃以下である。この熱膨張係数が１×１０-6／℃を上回るセラミックスは、上述したより高い精度を必要とする用途に十分答えることができなくなる。この熱膨張係数の範囲は、−０．３〜１×１０-6／℃とすることができ、−０．３〜０．５×１０-6／℃が好ましい。
【００２１】
また、剛性に関し、本発明によるセラミックスは、７０ＧＰａ以上のヤング率、好ましくは１３０ＧＰａ以上のヤング率を有することができる。一般的に、ヤング率が低くても使用部材の厚みを増すことで必要な剛性を得ることは可能であるが、７０ＧＰａを下回るとセラミックス部材の設計上、使用上の障害となり好ましくない。本発明によるセラミックス材は、例えば７０〜２５０ＧＰａ、好ましくは１２０〜２５０ＧＰａのヤング率を有することができる。
【００２２】
本発明による低膨張セラミックスは、希土類元素を含んでいても、含まなくともよい。本発明において、希土類元素の化合物、典型的には希土類元素酸化物を使用しなくとも、下記に示すような製造方法により十分緻密な低熱膨張セラミックスを得ることができる。
【００２３】
本発明によるセラミックスを製造するにあたり、主材（成分（ａ））として、平均粒径が１０μｍ以下（例えば２〜３μｍ）のコーディエライト粉末、スポジューメン粉末、ユークリプタイト粉末のうちの少なくとも１種を使用し、成分（ｂ）として平均粒径が０．１μｍ以下のカーボン粉末、成分（ｃ）として平均粒径が１μｍ以下のものを使用するのが好ましい。また、カーボン粉末そのままを混合する代わりに、焼成後にカーボンが残り得る樹脂等、例えばフェノール樹脂やフラン樹脂を成形前に混合しても良い。この場合、樹脂成分を混合する際に使用するアルコールや水などに樹脂を溶かすことができるため、得られる成形体に均一にカーボン分を分散させることができる。
【００２４】
成分（ｃ）として、タングステンカーバイド、窒化ケイ素、炭化ケイ素、Ｂ4Ｃが、高硬度、高剛性に加え低熱膨張性を合せ持つため、より好ましい。これは次の理由による。焼結体の熱膨張係数は、混合原料の体積比率と相関するため、これらの低膨張性を有する原料を使用する場合は、他の原料よりもより多くの量を使用することが可能となる。それにより、焼結体のヤング率および耐磨耗性の両方を向上させることが可能となる。
【００２５】
上記原料を調合し、アルコールや水などの溶媒でボールミル混合し、得られた混合物を乾燥させて、原料粉末を得ることができる。得られた粉末を所定条件にてホットプレス焼成して、緻密質焼結体を得ることができる。この焼結条件は、例えば、コーディエライト主材においては、窒素やアルゴンなどの不活性雰囲気下、１３００〜１４５０℃で５０〜５００kgf/cm2、スポジューメン主材においては、同様雰囲気下、１２００〜１３５０℃で５０〜５００kgf/cm2、ユークリプタイト主材においては、同様雰囲気下、１１５０〜１３００℃で５０〜５００kgf/cm2などの条件が適している。得られた焼結体は、研削や研磨などにより所望の製品形状に機械加工することができる。
【００２６】
なお、上記ホットプレス焼成に関わらず、その他の焼成方法を用いてもよい。特に大型の製品を量産する場合などは、常圧焼成あるいは高温等方加圧焼成（ＨＩＰ）にて行うことができる。
【００２７】
上述してきた本発明によるセラミックスは、黒色で、低熱膨張性、低抵抗性、剛性および耐磨耗性が要求される用途に適用することができ、本発明によるセラミックスを使用して種々の製品を提供することができる。そのような製品は、一部が本発明によるセラミックスで構成されたものでもよく、全体が本発明によるセラミックスで構成されたものでもよい。一部が本発明によるセラミックスで構成された製品では、低熱膨張性、低抵抗性、剛性および耐磨耗性を必要とする作動面の表面を本発明によるセラミックスで形成することが望ましい。そのような例を図１に示す。図１（ａ）に示す製品20aでは、１つの表層部21aが、本発明によるセラミックスからなり、他の部分25aが他の材料からなっている。図１（ｂ）に示す製品20bでは、３つの表層部21b、22bおよび23bが本発明によるセラミックスからなり、他の部分25bが他の材料からなっている。図１（ｃ）に示す製品20cでは、製品全体を覆う表層部21cが本発明によるセラミックスからなり、他の部分25cが他の材料からなっている。特定の用途の製品について、より低い熱膨張性が要求される場合、高い剛性および耐磨耗性が求められる部分を本発明によるセラミックスで構成し、他の部分を例えばコーディエライト、スポジューメン、あるいはユークリプタイトによって、好ましくはコーディエライトのみによって構成することができる。すなわち、図１（ａ）〜（ｃ）に示す製品において、他の部分25a、25bおよび25cを、コーディエライト、スポジューメン、あるいはユークリプタイトによって、好ましくはコーディエライトのみによって構成することができる。こうすることで、製品の平均熱膨張係数は、コーディエライト、スポジューメンまたはユークリプタイトに近づき、低熱膨張性をさらに確保し、必要な部分において低抵抗性、耐磨耗性などのその他の特性も満足させることができる。この場合、所定の部分を構成する本発明のセラミックスの厚みは、２０μｍ〜５ｍｍが好ましい。すなわち、上記表層部の厚みは、２０μｍ〜５ｍｍが好ましい。
【００２８】
また、本発明によるセラミックスと他の材料（好ましくはコーディエライト）とを組合わせて特定の用途に供する製品を得る場合、表面層と母材との熱膨張差による歪みが生じる場合があるため、表面層と母材との間に中間層を設けてもよい。そのような中間層を設けた構造の例を図２に示す。図に示す構造において、母材31に接して中間層32が設けられ、中間層32上に本発明によるセラミックスからなる表層部33が設けられている。中間層32は、母材31と表層部33との間の熱膨張係数を有することが好ましい。中間層32は、母材31を構成する材料の割合が表層部33より多い層とすることができる。また、中間層32は、母材31により近い部分ほど母材31を構成する材料の割合が高くなる一方、表層部33により近い部分ほど表層部に近い組成となる傾斜組成を有してもよい。例えば、母材31がコーディエライト、スポジューメンまたはユークリプタイトからなる場合、中間層32は、表層部33と同じ添加材料を含有する一方、表層部33よりもコーディエライト、スポジューメンまたはユークリプタイトの濃度（含量）が高い層とすることができる。また、その代わりに、中間層32は、表層部と同じ添加材料およびコーディエライト、スポジューメンまたはユークリプタイトを含む一方、母材31に近づくにしたがって、添加材料の濃度が段階的あるいは連続的に減少し、コーディエライト、スポジューメンまたはユークリプタイトの濃度が段階的あるいは連続的に上昇する傾斜組成を有してもよい。上述した中間層の厚みは、例えば、２０μｍ〜１０ｍｍとすることができ、２０μｍ〜５ｍｍが好ましい。
【００２９】
上述したような部分的に本発明によるセラミックスからなる製品は、例えば、ホットプレスにおいて、型に原料粉末を投入し、仮成形した後、異なる原料を投入することにより製造することができる。また、多段プレス成形を用いて、製品の外周面と内部の材質が異なる製品を製造することができる。さらに、金型プレス成形の手法により同様の製品を得ることもできる。
【００３０】
特に本発明による低熱膨張セラミックスは、露光装置を構成する部品の材料として適しており、本発明により、少なくとも一部が上記低熱膨張セラミックスからなる露光装置用部材が提供される。例えば、真空チャック、ステージ部材、その他ブロック部材などの一部または全体を本発明によるセラミックスで構成することができる。
【００３１】
真空チャックの場合、少なくともピンを形成する表層部（ウェーハと接触する部分）を本発明によるセラミックスで構成することができる。また、円盤形状の真空チャック全体を本発明によるセラミックスで構成してもよい。また、このような真空チャックの一部を本発明によるセラミックスで構成する場合、他の部分を上述したような他の材料、好ましくはコーディエライト、スポジューメンまたはユークリプタイトを使用した構成とすることができる。本発明によるセラミックスは、このような真空チャックに対し、低熱膨張性、低抵抗性、剛性および耐磨耗性を有するパーティクルの付着が起こりにくい作動面をもたらすことができる。また、本発明によるセラミックスは、黒色を呈することができ、したがって、視認性および防汚性の観点からも優れた真空チャックを提供することができる。
【００３２】
なお、本発明において、真空チャックを構成するセラミックスの気孔率は０．１％以下が好ましく、また、該当セラミックスの最大ポア径は５μｍ以下が好ましく、２μｍ以下がより好ましい。ポア径をより小さくすることにより、ポアに付着し得るパーティクルをさらに減らし、高い露光精度を維持することができる。
【００３３】
また、さらに高い耐磨耗性が要求される用途では、本発明によるセラミックスの表面を、周期律表における第３族、第４族、第５族および第６族に属する金属または半金属の炭化物、窒化物、炭窒化物より選ばれた少なくとも１種のセラミックス材料、例えば、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ等の炭化物、窒化物、炭窒化物、またはそれらの組合せ、より具体的には、ＴｉＣ、ＴｉＮ、ＳｉＣ、Ｓｉ3Ｎ4、ＣｒＮ、ＴｉＡｌＮ等からなる皮膜で覆ってもよい。そのような皮膜の厚みは、例えば１〜４０μｍである。耐磨耗性皮膜は、一般的なＰＶＤ法およびＣＶＤ法のいずれによっても形成することができる。
【００３４】
【実施例】
純度９９％以上、平均粒径が３μｍのコーディエライト粉末、β−スポジューメン粉末、あるいはβ−ユークリプタイト粉末に、平均粒径が０．１μｍのカーボン粉末と、平均粒径が０．５μｍの４ａ族元素、５ａ族元素もしくは６ａ族元素の炭化物、窒化物、ホウ化物もしくはケイ化物、またはＳｉＣ、Ｂ4Ｃもしくは窒化ケイ素とを、焼結後に表１に示す割合となるよう調合した後、エタノール溶媒を使用してボールミルで２４時間混合した。得られた混合粉末を乾燥した後、表１に示す温度において、窒素またはアルゴンの不活性雰囲気下、４９００Ｐａ（５００kgf/cm2）の圧力下でホットプレス焼成し、気孔率が０．１％以下の緻密質焼結体を得た。得られた焼結体の物性調査結果を表１に示す。
【００３５】
【表１】
0004446611.tif 000002
【００３６】
表１に示す耐磨耗性はピンオンディスク法で測定した。測定された耐磨耗性が主材とほぼ同一のものには×、主材よりも優れているものについては○を付与している。また低抵抗性について、体積固有抵抗率が１０8Ω・cmを超えるものは×、それ以下のものは○を付与している。黒色については、黒色化できたものには○、できていないものには×を付与している。さらに、表１において総合評価の欄に、熱膨張係数が１×１０-6を超えるか、あるいは主材よりも耐磨耗性が優れないか、もしくは体積抵抗率が１０8Ω・cmを超えるものには×を付与し、本発明に従うものには○を付与している。
【００３７】
なお、カーボンの含量が３vol％を超えるものについては、焼結体の気孔率が０．５％を超えてしまい、緻密化することができなかった。
【００３８】
表１に示す結果は、コーディエライト、スポジューメンおよびユークリプタイトのうちの少なくとも１材質を５７〜９９．８９vol％の割合で含有し、残分のうち、カーボンを０．０１〜３．０vol％の割合で含有し、４ａ族元素、５ａ族元素および６ａ族元素の炭化物、窒化物、ホウ化物およびケイ化物、ならびにＳｉＣ、Ｂ4Ｃおよび窒化ケイ素のうち、少なくとも１材質を添加材として０．１〜４０vol％の割合で含有する焼結体は、コーディエライト、スポジューメンあるいはユークリプタイトの低熱膨張特性を阻害することなく、黒色で、低抵抗性、耐磨耗性が向上した、好ましい剛性を有するものであることを示している。
【００３９】
【発明の効果】
以上、説明した通り、本発明によれば、低熱膨張性を有するとともに、低抵抗性と耐磨耗性に加えて高い剛性を有し、さらに黒色を呈するセラミックスを提供することができる。本発明による黒色低膨張セラミックスは、低熱膨張性、低抵抗性、耐磨耗性および剛性が要求される種々の用途に適用することができ、特に、露光装置用真空チャック、ステージ部材などの半導体製造装置用部品あるいは液晶製造装置用部品に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  （ａ）〜（ｃ）は、本発明によるセラミックスを部分的に使用した製品の構造を示す概略断面図である。
【図２】  本発明によるセラミックスを部分的に使用した他の製品の構造を示す概略断面図である。
【符号の説明】
２０ａ，２０ｂ，２０ｃ  製品、２１ａ，２１ｂ，２２ｂ，２３ｂ，２１ｃ  本発明によるセラミックスからなる表層部、２５ａ，２５ｂ，２５ｃ  他の材料からなる部分。
【図１】
0004446611.tif 000003
【図２】
0004446611.tif 000004