(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に長く形成された通路と、
カセットをローディング又はアンローディングする第１のローディング部と、
前記第１のローディング部が動作しない場合に、カセット積載装置にカセットをローディング又はアンローディングする第２のローディング部と、
前記カセットを移送するためのロボットアームと、
前記通路の側面に設置され、その上部は前記カセットが載置される棚を構成する複数の積載部と、前記積載部はロボットアームが動作できる高さを有し、
前記カセットに設置されたガラスを処理する複数の処理装置とを含み、
前記複数の処理装置と前記複数の積載部が、前記複数の処理装置が前記複数の積載部の側部に沿って設置されるようなクラスター構成を有し、
前記カセット積載装置はフレーム構造を有さず、前記棚はフレーム構造を有さない
ことを特徴とするカセット積載装置。
【請求項２】
前記ローディング部が、前記ローディング部自体の走行及び前記ロボットアームの駆動のための駆動部をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のカセット積載装置。
【請求項３】
前記積載部が設置されていない部分にも前記カセットを積載できるように、前記積載部の形で形成された構造物をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のカセット積載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カセット積載装置に関し、特に、液晶表示装置のガラス収納用カセットに各工程間を移動させて必要な工程を行うように一時保存又は保管するカセット積載装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報ディスプレイに関する関心が高まり、携帯が可能な情報媒体の利用への要求が高まるにつれて、既存の表示装置であるブラウン管（ＣＲＴ）に代替する軽量、薄型のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に関する研究及び商業化が重点的に行われている。特に、このようなフラットパネルディスプレイのうち、液晶表示装置（ＬＣＤ）は、液晶の光学的異方性を利用して映像を表現する装置であって、解像度、カラー表示、及び画質などに優れており、ノートブックパソコンやデスクトップパソコンのモニタなどに活発に適用されている。
【０００３】
以下、このような液晶表示装置について説明する。
一般の液晶表示装置は、駆動回路ユニットを含む液晶表示パネルと、前記液晶表示パネルの下部に設置されて前記液晶表示パネルに光を放出するバックライトユニットと、前記バックライトユニット及び前記液晶表示パネルを支持するモールドフレーム及びケースとを含む。
前記液晶表示パネルは、カラーフィルタ基板と、アレイ基板と、前記カラーフィルタ基板と前記アレイ基板の間に形成された液晶層とから構成される。
【０００４】
前記カラーフィルタ基板は、カラーを実現する赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のサブカラーフィルタで構成されるカラーフィルタと、前記各サブカラーフィルタを区分し、液晶層を透過する光を遮断するブラックマトリクスと、前記液晶層に電圧を印加する透明な共通電極とから構成されている。
【０００５】
前記アレイ基板は、基板上に縦横に配列されて複数の画素領域を定義する複数のゲートライン及び複数のデータラインと、前記ゲートラインと前記データラインとの交差領域に形成されたスイッチング素子である薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）と、前記画素領域上に形成された画素電極とから構成されている。
【０００６】
このように構成されたアレイ基板とカラーフィルタ基板とは、画像表示領域の外郭に形成されたシーラントにより対向して貼り合わせられて液晶表示パネルを構成し、これら２つの基板の貼り合わせは、前記アレイ基板又は前記カラーフィルタ基板に形成された貼り合わせキーを用いて行われる。
【０００７】
このような液晶表示パネルの製造工程は、スイッチング素子を形成するアレイ基板製造工程と、前記カラーフィルタ基板にカラーフィルタを形成するカラーフィルタ基板製造工程と、セル工程とに大別されるが、前記液晶表示パネルを生産する場所は非常に清浄な状態を維持しなければならず、このために、前記液晶表示パネルを製造するためのガラス基板は、カセットに収納された状態で工程間を移動させたり、一時保存のためにカセット積載装置であるストッカの内部に保存する。
【０００８】
図４は一般のストッカの構造を概略的に示す断面図である。
図４に示すように、一般のストッカ１０の内部には、所定空間の通路１６を有する箱状のストッカ本体１５が前後方向に長く形成されており、通路１６の両側には、基板が収納されたカセット３０が積載される複数の棚４０が備えられている。
【０００９】
通路１６には、スタッカ２０が設置されて、カセット３０を棚４０に積載させたり、棚４０に積載されているカセット３０を取り出して移送させる。
また、スタッカ２０には、スタッカ２０自体の走行及びカセット３０の運搬のための駆動部２１、２２が備えられ、カセット３０をローディング又はアンローディングして各工程に移送するロボットアーム２３が設置されている。
【００１０】
通路１６を含むストッカ本体１５の上部天井には、空気を浄化してストッカ本体１５の内部に供給する複数のファンフィルタユニット（ＦＦＵ）（図示せず）が設置されており、棚４０の後方には、流入する空気の量を調節するための空気流入調節シャッター（図示せず）が設置されている。
【００１１】
図中、符号５０はストッカ１０が設置されているクリーンルームのアクセスフロアを示し、符号６０はスタッカ２０がドッキングしてカセット３０をローディング又はアンローディングするための所定の高さを提供するローダを示す。
【００１２】
このように構成された一般のストッカ１０は、金属製のプロファイルを用いてストッカ本体１５をフレーム設計する。即ち、カセット３０を保管するために、ストッカ本体１５をプロファイルフレームで設計し、棚４０を形成するが、ストッカ１０の大型化によりプロファイルの所要量が多くなり、コストが大きく増加するという問題があった。
【００１３】
また、ストッカ１０のセットアップ時にストッカ本体１５のフレームとスタッカ２０との衝突が発生すると、ストッカ本体１５のフレームが変形するなど、ストッカ１０の損傷が拡大する可能性が非常に高く、フレームのメンテナンス時にストッカ１０を停止させなければならないという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、このような従来技術の問題を解決するためになされたもので、セットアップ時間が短縮すると共に、セットアップ時に発生し得る問題を防止することができるカセット積載装置を提供することを目的とする。
本発明の他の目的は、ストッカの中で最も大きな体積を占めるフレームを除去してコストを低減したカセット積載装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
このような目的を達成するために、本発明によるカセット積載装置は、一方向に長く形成された通路と、前記通路に位置してカセットをローディング又はアンローディングする少なくとも１つのローディング部と、前記通路の側面に設置され、その上部は前記カセットが載置される棚を構成する積載部とを含むことを特徴とする。
【００１６】
また、本発明による液晶表示装置の製造方法は、液晶表示装置用基板を提供する段階と、前記基板にアレイ基板製造工程又はカラーフィルタ基板製造工程を行う段階と、前記アレイ基板製造工程が終了した基板と前記カラーフィルタ基板製造工程が終了した基板とを貼り合わせる段階と、前記貼り合わせられた基板を複数の単位液晶表示パネルに切断する段階と、一方向に長く形成された通路、前記通路に位置して複数の基板が収納されたカセットをローディング又はアンローディングする少なくとも１つのローディング部、及び前記通路の側面に設置され、その上部は前記カセットが載置される棚を構成する積載部からなるカセット積載装置を利用して、前記カセットを前記アレイ基板製造工程又は前記カラーフィルタ基板製造工程の単位工程に移送するために保管する段階とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によるカセット積載装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法は、カセット積載装置の本体及び棚のフレームを除去することにより、カセット積載装置及び液晶表示装置のコストを低減できるという効果がある。
また、本発明によるカセット積載装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法は、プロファイルの組立によるセットアップ時間を短縮させると共に、カセット積載装置の稼動中にも局部的なメンテナンスを行うことができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明によるカセット積載装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法の好ましい実施形態について、添付の図面を参照して説明する。
【００１９】
図１は本発明の一実施形態によるストッカの構造を概略的に示す断面図であり、図２は本発明の一実施形態によるストッカを側面から見た図である。
図１及び図２に示すように、本実施形態のカセット積載装置であるストッカ１１０は、ストッカ１１０内部のシステムを統制するストッカマスタコントローラ（ＳＭＣ）（図示せず）と、前記ＳＭＣの制御によりカセット１３０をローディング又はアンローディングするためのローディング部であるスタッカ１２０と、スタッカ１２０によりローディングされたカセット１３０が積載される複数の棚１４０とから構成されている。
【００２０】
ガラス収納用カセット１３０は、複数のガラスを積載して各工程間を移動させるための必須機構であって、生産業者の特質及びガラスの特性及び大きさによって多様な種類があるが、通常、四角の箱状に製作され、複数のガラスが上下に多段収容可能に構成される。
【００２１】
ストッカ１１０の内部には、所定空間の通路１１６が前後方向に長く形成されており、通路１１６には、スタッカ１２０が設置されて、カセット１３０を棚１４０に積載させたり、棚１４０に積載されているカセット１３０を取り出して移送させる。
【００２２】
スタッカ１２０は、スタッカ１２０自体の走行及びカセット１３０の運搬のために、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸移動及び回転のための駆動部１２１、１２２を備える。
また、スタッカ１２０には、カセット１３０をローディング又はアンローディングして各工程に移送するロボットアーム１２３が設置され、ロボットアーム１２３には、カセット１３０のローディング又はアンローディング時、ロボットアーム１２３上にカセット１３０があるかないかを確認するセンサ（図示せず）が設置されている。
【００２３】
棚１４０の下段には、棚１４０のステージの役割を果たし、カセット１３０が積載される積載部であるローダ１６０が設置されている。ここで、ローダ１６０は、スタッカ１２０の駆動部１２１、１２２がドッキングしてカセット１３０をローディング又はアンローディングするための所定の高さを有するように構成される。実質的に、スタッカ１２０のロボットアーム１２３の運動範囲によって、ローダ１６０の高さが定まる。例えば、ローダ１６０は、スタッカ１２０のロボットアーム１２３が動作できる最低地点以上の高さを有するように設計することができる。
図中、符号１５０はストッカ１１０が設置されているクリーンルームのアクセスフロアを示し、符号１７０は前記クリーンルームの天井を示す。
【００２４】
このように構成された本実施形態のストッカ１１０は、ローダ１６０の上部を棚１４０として活用できるように設計することによって、カセット１３０を積載する棚１４０の外郭及びストッカ１１０本体をフレームで設計する必要がなくなる。
【００２５】
一般に、カセットは、液晶表示装置のようなフラットパネルディスプレイ用ガラス基板のアレイ基板製造工程及びカラーフィルタ基板製造工程の際の搬送のために用いられ、前記カセットの入出庫の役割を果たすストッカの大型化により、液晶表示装置のコストが大幅に増加しており、コスト低減の必要性が高まっている。従って、本発明は、ストッカ１１０の構造の中で最も大きな体積を占めている構成要素であるフレームを除去することにより、コストを低減させ、セットアップ時間を短縮させる。
【００２６】
本発明は、ストッカ１１０の全体にわたってフレーム構造物を除去すると共に、ローダ１６０の上部を棚１４０として活用できるように改造する。即ち、ストッカ１１０本体及び棚１４０の外郭を構成するフレームを除去し、ローダ１６０に、処理装置１８０側にフラットパネルディスプレイ用ガラスを供給する役割の他にも、前記ガラスを積載させる棚１４０のステージを形成する役割を果たせる。
【００２７】
このように、カセット１３０を保管するための棚１４０を製作するために、ストッカ１１０全体をフレームで構成する必要がなく、ローダ１６０の上部を棚１４０として活用できるように設計し、ローダ１４０が設置されていない部分にもカセット１３０を積載できるようにローダ１４０と同一の構造物を形成する。
これにより、プロファイル材が約４０〜５０％に減少して、コストの低減及びセットアップ時間の短縮の効果が非常に大きい。
【００２８】
実際に、ストッカ１１０のセットアップ時間の５０％以上がストッカ１１０本体及び棚１４０のプロファイル組立時間であり、これを短縮するためにモジュール単位で組み立てて運送する場合も、体積の増加により運送及び搬入時間が増加し、積載空間が増加するなどの問題があったが、本発明のように、ストッカ１１０本体及び棚１４０のフレームを除去することにより、このような問題を解決することができる。
【００２９】
また、本実施形態のストッカ１１０は、セットアップ中にフレームとスタッカ１２０との衝突などの問題が発生せず、メンテナンス時にストッカ１１０を稼動させた状態で特定地点のメンテナンスのみを行うことができるため、生産性が向上するという利点がある。
【００３０】
このような本実施形態のストッカ１１０は、クリーンルームの空間活用及び工程の効率化のために、ストッカ１１０の側面に所定の処理装置１８０が一列に設置されるクラスタ構造を形成することができるが、以下、これについて図３を参照して説明する。
【００３１】
図３は本発明の一実施形態によるストッカを上から見た図である。
図３に示すように、ストッカ１１０の内部には、所定空間の通路１１６が前後方向に長く形成されており、通路１１６には、少なくとも１つのスタッカ１２０Ａ、１２０Ｂが設置されて、カセット１３０をローダ１６０上部の棚に積載させたり、前記棚に積載されているカセット１３０を取り出して移送させる。
【００３２】
図３はスタッカ１２０Ａ、１２０Ｂがストッカ１１０内部の通路１１６の前後にそれぞれ１つずつ設置された場合を示しているが、本発明はこれに限定されるものでない。前述のようにスタッカ１２０Ａ、１２０Ｂが通路１１６の前後にそれぞれ１つずつ設置された場合は、１つのスタッカ１２０Ａ、１２０Ｂが故障した場合も工程が中断されない。
【００３３】
一般に、ストッカ１１０に一時保存又は保管されたカセットは、自動搬送手段（ＡＧＶ）又は手動搬送手段（ＭＧＶ）のような搬送台車により処理装置１８０に搬送されるが、本実施形態では、図３に示すように、処理装置１８０がストッカ１１０の側面、即ち、ローダ１６０の側面に設置されることによって、前記搬送台車が必要なくなるか、又は前記搬送台車の移動領域を減少させることができ、クリーンルームの空間及び工程時間を効率的に管理することができる。
【００３４】
前述のように、ローダ１６０は、ローダ１６０の上部を棚１４０として活用できるように設計し、処理装置１８０が設置されないためローダ１６０が設置されていない部分にも、カセット１３０を積載できるように、ローダ１６０と同一の構造物を形成する。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の一実施形態によるストッカの構造を概略的に示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態によるストッカを側面から見た図である。
【図３】本発明の一実施形態によるストッカを上から見た図である。
【図４】一般のストッカの構造を概略的に示す断面図である。
【図１】
0004428661.tif 000002
【図２】
0004428661.tif 000003
【図３】
0004428661.tif 000004
【図４】
0004428661.tif 000005