(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光導波路フィルム、ならびに前記光導波路フィルムの上に電気配線フィルムを有するフレキシブル高分子光電気混載フィルムであって、
前記光電気混載フィルムは、前記光導波路フィルムの光入力部と光出力部との間に、前記電気配線フィルムと前記光導波路フィルムが固着されていない離間部を有し、当該離間部において前記光導波路フィルムは長手方向に延びるスリットを有し、かつ当該スリットは前記光導波路フィルムを貫通している、フレキシブル高分子光電気混載フィルム。
【請求項２】
前記光入力部と前記光出力部は、それぞれ前記光導波路フィルムの長手方向の両端部にある、請求項１記載のフレキシブル高分子光電気混載フィルム。
【請求項３】
前記離間部における前記光導波路フィルムの厚さは１０〜２００μｍである、請求項１または２記載のフレキシブル高分子光電気混載フィルム。
【請求項４】
前記離間部における電気配線フィルムの長手方向の長さが、前記離間部における光導波路フィルムの長手方向の長さよりも長い、請求項１〜３のいずれか一項に記載のフレキシブル高分子光電気混載フィルム。
【請求項５】
前記スリットが、前記光導波路フィルムの長手方向の両端に亘って設けられている、請求項１〜３のいずれか一項に記載のフレキシブル高分子光電気混載フィルム。
【請求項６】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のフレキシブル高分子光電気混載フィルムが収納された電子機器であって、前記光電気混載フィルムは前記離間部で屈曲されうるか、または捩られうる、電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路フィルムと電気配線フィルムからなる光電気混載フィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話などにおいてフレキシブル電気配線板（「電気配線フィルム」ともいう）は、蝶番（ヒンジ）で結合された２つの部位を跨いで配置され用いられる。当該ヒンジ部では、電気配線フィルムはヒンジの太さに応じた曲率半径でヒンジ軸等に巻かれて配置される。
しかし最近では、このヒンジの回転機構に捩れ回転などが採用されるなどして複雑化している。すなわち電気配線フィルムはより厳しい条件で屈曲されるため、従来の電気配線は屈曲時に発生する応力に耐えきれず破損してしまうなどの問題があった。【０００３】
この問題に対応するため、電気配線フィルムの応力集中部にフィルムを貫通するスリットを設ける方法が特許文献１に開示されている。しかしながら、きわめて狭い電気配線間のスペース（例えば０．１ｍｍあるいはそれ以下）にスリットを設ける必要があり、加工が困難であった。【０００４】
この他にも電気配線フィルムを複雑な形状にするという方法も提案されている。しかしフィルムの面積が大きくなりコストがかかることや、電子機器等への収納が困難であった。【０００５】
ところで、電気伝送を光伝送にすれば一本あたりの伝送速度を高められ、伝送本数を減らすことができる。その結果、配線フィルムの幅を劇的に細くすることができるため、厳しい条件で屈曲させてもフィルムに発生する応力を低減できる。【０００６】
光伝送を行う部材として光導波路が知られている。光導波路には光伝搬損失が小さく、伝送帯域が広いという特徴を有する石英ガラスや多成分ガラス等の無機系材料が用いられる。最近は加工性、低コスト性に優れた高分子系材料からなる光導波路が注目されている。高分子光導波路フィルムとして、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリスチレンのような透明性に優れた高分子材料をコアとし、そのコア材料よりも屈折率の低い高分子材料をクラッド材料としたコア−クラッド構造からなる平板型光導波路が提案されている。また耐熱性・透明性に優れる高分子材料であるポリイミドを用いた低損失の平板型光導波路も提案されている（特許文献２）。これらの光導波路フィルムは柔軟性があるため、電気配線フィルムに代わる材料として期待されている。【０００７】
光導波路を電子機器に用いる場合は、電源等を供給するために電気配線が必要となる場合が多く、光配線と電気配線が必要になる。この場合、光導波路と電気配線板が一体となったフレキシブルな光電気混載基板（「光電気混載フィルム」ともいう）を用いることが好ましい。省スペース化、薄型・小型化、組み込み作業性の向上が可能となるからである。
しかし光電気混載フィルムを用いた場合でも、電子機器の高性能化に伴い、電気配線数が多くなる。そのためフィルムの幅が大きくなってしまい厳しい屈曲に対応できなくなる。このため、電気配線フィルムにスリットを設けることやフィルムの形状を複雑にすることが考えられるが、前述の通り有効な解決手段とはならない。
すなわち、直線等のシンプルな形状でありながら、厳しい条件で屈曲されても破損しない、高耐屈曲性を有する光電気混載フィルムが望まれていた。
【特許文献１】特開２００５−５７２５９号公報
【特許文献２】特許第２８１３７１３号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
以上から、本発明は高耐屈曲性を有する光電気混載フィルムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、鋭意検討した結果、屈曲または捩られる部分が離間している光電気混載フィルムにおいて、光導波路フィルムにスリットを設けることにより、フィルムの耐屈曲性を向上できることを見出し、本発明を完成させた。【００１０】
すなわち前記課題は、以下の本発明の光電気混載フィルムおよびこれを収納した電子機器により解決される。
［１］光導波路フィルム、ならびに前記光導波路フィルムの上に電気配線フィルムを有する光電気混載フィルムであって、前記光電気混載フィルムはその長手方向の両端部の間に前記電気配線フィルムと前記光導波路フィルムが固着されていない離間部を有し、当該離間部において前記光導波路フィルムは長手方向に延びるスリットを有し、かつ当該スリットは前記光導波路フィルムを貫通している光電気混載フィルム。
［２］前記離間部における電気配線フィルムの長手方向の長さが、前記離間部における光導波路フィルムの長手方向の長さよりも長い、［１］に記載の光電気混載フィルム。
［３］前記スリットが、前記光導波路フィルムの長手方向の両端に亘って設けられている［１］または［２］に記載の光電気混載フィルム。
［４］前記［１］〜［３］いずれかに記載の光電気混載フィルムが収納された電子機器であって、前記光電気混載フィルムは前記離間部で屈曲されうるか、または捩られうる電子機器。
【発明の効果】
【００１１】
本発明により高耐屈曲性を有する光電気混載フィルムが提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１Ａ】本発明の光電気混載フィルムの一例を示す斜視図
【図１Ｂ】図１Ａの光電気混載フィルムを反対側から見た斜視図
【図２】本発明の光電気混載フィルムの製造方法の一例を示す図
【図３】捩れ試験を示す図
【図４】本発明の光電気混載フィルムの製造方法の一例を示す図
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
１．光電気混載フィルムについて
本発明の光電気混載フィルムは、光導波路フィルム、ならびに前記光導波路フィルムの上に電気配線フィルムを有する光電気混載フィルムであって、前記光電気混載フィルムがその長手方向の両端部の間に離間部を有し、当該離間部において前記光導波路フィルムはスリットを有し、かつ当該スリットは前記光導波路フィルムを貫通していることを特徴とする。【００１４】
光導波路フィルムとは、コア、クラッドを有し、コアにて光を伝搬させるフィルム状のデバイスをいう。コアとは光導波路において主として光を伝搬する高屈折率の部分をいい、クラッドとはコアに比べて屈折率の低い部分をいう。光導波路フィルムは、柔軟性を有するため高分子材料で形成されていることが好ましい。光導波路フィルムを形成する高分子材料は限定されないが、中でもポリイミドであることが好ましい。【００１５】
電気配線フィルムとは、高分子材料で構成される絶縁体フィルムの上に導体層を有する部材をいう。絶縁体フィルムを形成する高分子材料は特に限定されないが、中でもポリイミドであることが好ましい。通常は、電気配線フィルムの導体層には電気配線パターンが形成されているが、単に導体層が絶縁体フィルム面に設けられている構造も含む。電気配線パターンとは電気配線回路をいい、パターニングするとは、回路を形成することを意味する。導体層は銅等の金属等で設けることができ、電気配線パターンは金属をエッチングするなどして設けることができる。また、導電ペースト等の樹脂に導電体が充填されたものを用いて導体層および電気配線パターンを設けてもよい。電気配線フィルムは片面または両面に導体層を有していればよい。また、多層電気配線フィルムの場合は、導体層を内面に有していてもよい。【００１６】
図１は本発明の光電気混載フィルムの第一の態様を示す。図１Ａにおいて、１は光導波路フィルム、２は当該光導波路フィルムの上に積層された電気配線フィルムであり、両者は両端部において接着剤３で固着されている。４は固着されていない離間部である。光導波路フィルム１は長手方向に延びるコアとクラッドを備えている（いずれも図示せず）。
固着とは光導波路フィルムと電気配線フィルムがしっかりと貼り合わされて固定されていることをいう。固着の方法には、超音波や熱を加えて両者を融着させる方法や、クリップ等の冶具を用いて両者を機械的に固定する方法、両者を嵌合させて機械的に固定する方法、接着剤を用いて両者を接着する方法が含まれる。
図１Ｂは図１Ａの光電気混載フィルムを裏側から見た斜視図である。光導波路フィルム１には光導波路フィルムを貫通するスリット５が長手方向に設けられている。【００１７】
本発明の光電気混載フィルムの形状は特に限定されないが、長手方向の長さが５０〜２００ｍｍ、幅が１〜３０ｍｍであることが好ましい。特に長手方向の長さが８０〜１５０ｍｍ、幅が１．５〜３ｍｍ、または７〜１５ｍｍであることが好ましい。離間部における光導波路フィルムの厚みは、１０〜２００μｍであることが好ましく、２０〜１００μｍであることがより好ましい。離間部における電気配線フィルムの厚みは、２０〜８０μｍであることが好ましく、２０〜５０μｍであることがより好ましい。本発明において「〜」は、その両端の値を含む。【００１８】
本発明の光電気混載フィルムは、離間部を有するため光電気混載フィルムが屈曲あるいは捩られた際に、当該フィルムに発生する応力を低減できる。その結果、屈曲あるいは捩りに対する耐性が向上する。
離間部とは前記電気配線フィルムと前記光導波路フィルムが固着されていない部分をいう。光電気混載フィルムは両端において、光導波路フィルムと電気配線フィルムが固着されていることが多いが、両端以外の部分において両者が固着されていてもよい。特に光導波路の光導波路フィルム入出力部またはその近傍で両者は固着されていることが好ましい。光導波路フィルム入出力部近傍には、電気配線フィルム側に光電気変換素子等が搭載されることが多く、光入出力部と前記変換素子は高い位置精度で配置されている必要があるからである。離間部は光電気混載フィルムの両端部の間にあれば、その位置は特に限定されない。本発明の光電気混載フィルムは後述するように、電子機器に収納された状態で、その一部が屈曲されるかあるいは捩られることがある。従って、電子機器等に収納される際に屈曲されうるまたは捩られうる位置に、光電気混載フィルム離間部の一部が存在することが好ましい。すなわち電子機器等に収納された光電気混載フィルムは、屈曲されうるまたは捩じられうる位置において、電気配線フィルムと光導波路フィルムが離間していることが好ましい。離間部の長手方向の長さは光電気混載フィルムの形状にもよるが、５〜１５０ｍｍであることが好ましい。
電気配線フィルムと光導波路フィルムを固着するには、前述の通り接着剤を用いてよい。本発明に用いられる接着剤は公知のものを用いることができる。その例にはエポキシ系接着剤が含まれる。【００１９】
本発明の光電気混載フィルムは前記離間部において、光電気混載フィルムにスリットが設けられている。当該スリットと前記離間部の相乗効果により、光電気混載フィルムが屈曲あるいは捩られたときにフィルムに発生する応力を低減できる。すなわち、高耐屈曲性に極めて優れる。
スリットとは切込のことであり、スリットは光導波路フィルムを貫通するように設けられる。スリットの幅は１０〜１００μｍであることが好ましい。スリットは１本以上設ければよいが、光電気混載フィルムの幅が大きい場合は複数本設けることが好ましい。
スリットは離間部のみに形成されていてもよく、光電気混載フィルムの両端に亘り（長手方向全体に）形成されていてもよい。光導波路フィルムにコアが２本以上形成されている場合は、隣接する２本のコアの間であって、光電気混載フィルムの両端に亘ってスリットを設けることが好ましい。コアを導波する光が別のコアに伝搬する、いわゆるクロストークを低減することができるからである。【００２０】
本発明の光電気混載フィルムは、離間部において光導波路フィルム１よりも電気配線フィルム２が長手方向に長いことが好ましい。電気配線フィルム２がたるんでいるので光電気混載フィルムを屈曲させやすくなるからである。また、離間部において電気配線フィルム２の長手方向の長さが、光導波路フィルム１の長手方向長さよりも長いと、フィルムが屈曲されてフィルムに応力が発生した場合、当該応力は光導波路フィルム１に集中する。このとき光導波路フィルム１は前述のとおり、スリットを設けてあるので応力を緩和することができ、フィルムの耐屈曲性を向上できる。離間部における電気配線フィルムと光導波路フィルムの長さの差は０．１〜５ｍｍであることが好ましい。【００２１】
光導波路フィルムのスリットの形状は、光導波路フィルムを平らに静置した状態において、曲線部を有する形状でもよいが、離間部においては直線状であることが好ましい。スリットが曲線である場合は、光電気混載フィルムを屈曲した際に、スリットにより画された光導波路フィルム同士が干渉するおそれがあるからである。
さらに、離間部においてはコアも長手方向に直線状に形成されることが好ましい。コアが直線であると、屈曲あるいは捩られた際に応力集中点がないため、コアにかかる負担をより低減することができるからである。【００２２】
２．光電気混載フィルムの製造方法について
次に、図２に本発明の光電気混載フィルムの製造方法の一例を示す。まずコア１０とクラッド１１を有する光導波路フィルム１を準備する。次に、光導波路フィルム１の表面であって、離間部とする以外の部分に接着剤３を塗布する（図２Ａ）。接着剤を塗布する工程は特に限定されないが、光導波路フィルム１表面の離間部とする部分に、別のフィルムなどでカバーを施して塗布することが好ましい。
次に銅パターン２１による電気配線が施された電気配線フィルム２を準備し、電気配線フィルム２と光導波路フィルム１を熱プレスにより接着させる（図２Ｂ）。プレスする際に、電気配線フィルム２をたるませて重ね合わせ、接着させる箇所のみ加圧・加熱すると、電気配線フィルム２がたるんだ光電気混載フィルムが得られる。
また電気配線フィルム２の熱膨張係数が、光導波路フィルム１より小さい場合は、電気配線フィルム２をたるませてセットしなくても、両者を重ね合わせ全体を熱プレスすれば、熱膨張係数の小さい電気配線フィルム２がたるんだ光電気混載フィルムが形成できる。【００２３】
このようにして得た光電気混載フィルムの光導波路フィルム１にスリット５を設ける。スリットの設け方は特に限定されないが、ダイシングソーを用いることが好ましい。例えば、光導波路フィルム１を上にしてダイシング装置にセットする。ダイシングブレードを光導波路フィルム１のみが切断できる高さに調整し、切削加工すれば光導波路フィルム１を貫通するスリット５を設けることができる。スリット５は光導波路フィルム１の長手方向の両端に亘っていてもよく、離間部のみに設けられていてもよい。図２はスリット５が長手方向の両端に亘って設けられた光電気混載フィルムを示す。図２Ｃは光電気混載フィルムを端面からみた断面図、図２Ｄは光電気混載フィルムを離間部で切断した場合の断面図である。【００２４】
光電気混載フィルムは、予め大面積の光電気混載フィルムを製造し、これに前記のとおりスリットを設け、続いてダイシングソーあるいは金型外形加工などによって、所望の大きさに切り出して製造してもよい。
また、光電気混載フィルムは数種の素子を電気配線フィルム２上に実装してコネクタを用いて外部基板と接続してもよい。【００２５】
光電気混載フィルムの電気配線フィルムと光導波路フィルムが端部において固着されている場合は、当該端部をコネクタ接続部に差し込むことでコネクタと接続できる。また端部が固着されていない場合は、端部をコネクタ接続部に納めることにより、電気配線フィルムと光導波路フィルムを固着しつつ、コネクタと接続できる。【００２６】
本発明の光電気混載フィルムは、携帯電話をはじめとする電子機器に用いられる。電子機器に収納された光電気混載フィルムは、その離間部で屈曲されうるか、または捩られうる。屈曲されうるとは、電子機器が使用される場合に、内部に収納された光電気混載フィルムが折れ曲がった状態になりうることを意味する。捩られうるとは、電子機器が使用される場合に、内部に収納された光電気混載フィルムがひねられた状態になりうることを意味する。捩られるとは屈曲されることの一態様であり、捩ることを捩れ屈曲するともいう。本発明の光電気混載フィルムは、優れた高耐屈曲性を有するので、携帯電話等のヒンジ部の軸に巻いて用いる場合等に好適である。
【実施例】
【００２７】
（捩れ試験）
捩れ試験は、図３に示すようにサンプルの両端を固定治具７０、７１に固定し、その一端をサンプルを回転軸として、繰り返し捩り回転することによって行った。捩れ角度はサンプルを鉛直真上から見た場合に、時計まわり・反時計まわりに１８０°とした。試験によりサンプル７２が破断する直前の回数を耐捩れ回数とした。固定治具間の距離ａは１０ｍｍ、捩れ箇所のサンプル幅は２．５ｍｍとした。【００２８】
（摺動屈曲試験）
摺動屈曲試験は、ＪＩＳ  Ｃ  ５０１６  ８．６（耐屈曲性）に準じた装置を用い、プレート間隔４ｍｍ、摺動速さ５００ｒｐｍ、ストローク３０ｍｍとして行った。本試験により光電気混載フィルムの破断する回数を測定した。【００２９】
（実施例１：図４に示す光電気混載フィルム）
５インチシリコンウェハ上に２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン二無水物（６ＦＤＡ）と２，２−ビス（トリフルオロメチル）−４，４’−ジアミノビフェニル（ＴＦＤＢ）のポリアミド酸溶液（日立化成社製ＯＰＩ−Ｎ１００５）をスピンコートした後、熱処理して２０μｍの厚みのクラッド層１３を得た。
次に、当該フィルムの上に６ＦＤＡとＴＦＤＢおよび６ＦＤＡと４，４’−オキシジアニリン（ＯＤＡ）の共重合ポリアミド酸溶液（日立化成社製ＯＰＩ−Ｎ３４０５）をスピンコートした後、熱処理して８０μｍの厚みのコア層１２を得た。
さらにこの上から、６ＦＤＡ／ＴＦＤＢのポリアミド酸溶液（日立化成社製ＯＰＩ−Ｎ１００５）を熱処理後７μｍ厚になるようにコーティングして熱処理しクラッド層１４を得た。その後、これらのポリイミドフィルムが積層されたシリコンウェハをフッ酸水溶液に浸漬し、シリコンウェハからフィルムをはがした。このようにして、クラッド層１３、コア層１２、クラッド層１４の順に積層されたポリイミドからなる三層のフィルム８（光電気混載フィルム前駆体）を製造した（図４Ａ）。次にその三層のフィルム８を１００ｍｍ×１００ｍｍ角で切り取った。【００３０】
エポキシ系接着剤（三井化学社製エポックス（登録商標）−ＡＨ３５７）を乾燥後１５μｍになるように、１００ｍｍ×１００ｍｍより大きい離型処理済ペットフィルム上にアプリケータで塗布した。塗布した膜を１００℃、１０分で仮乾燥して、前記ペットフィルムの上に１００ｍｍ×１００ｍｍの接着剤フィルムを作製した。当該フィルムの中央部の４０ｍｍ×１００ｍｍ分をカッターでペットフィルムごとカットした。中央部分が切り取られた前記ペットフィルムを前記三層のフィルム８の上に接着ラミネート装置を用いて積層した。このときペットフィルム上に成膜された接着層が前記三層のフィルム８の厚いクラッド層１３と接するようにし、さらに接着フィルムの最も外側にある長辺が前記三層のフィルム８の辺と重なるようにした。続いてペットフィルムを剥がし、前記三層のフィルム８の上に接着層３を設けた（図４Ｂ）。【００３１】
次に、１２．５μｍのポリイミドフィルム２２をベースフィルムとし、カバーフィルム２３、銅パターン２１とを備えた１００ｍｍ×１００ｍｍの電気配線フィルム２を用意した。この電気配線フィルム２と前記接着層を設けた三層のフィルム８を１６０℃、約２ＭＰａで熱プレスして接着し（図４Ｃ）積層体を得た。その後、当該積層体を室温に冷却し、中央の約４０ｍｍ×１００ｍｍ部分が離間した積層フィルムを得た。得られた積層フィルムは、電気配線フィルム２側を凸として反っていた。このことから電気配線フィルム２側が、三層のフィルム８よりも離間部において長いことが明らかであった。さらに積層フィルムの両端を持ち上下垂直方向に軽く引っ張ったところ、電気配線フィルム２がたるんでいることが分かった。【００３２】
得られた１００ｍｍ×１００ｍｍの積層フィルムを、三層のフィルム８が上になるようにダイシングソーにセットし、三層のフィルム８に、スリットおよびコアを形成するための溝を形成した。本実施例の場合は、溝は積層フィルムの離間部（４０×１００）の短手方向に平行に設けた。まず、ダイシングブレードが三層のフィルム８のクラッド層１４とコア層１２を貫通し、クラッド層１３内で止まるような条件で、２本の直線状の溝６１、６２を形成した。同様にして、溝６２からやや離れたところにさらに２本の直線状の溝６３、６４を設け、溝６１と溝６２で挟まれた部分、および溝６３と溝６４で挟まれた部分、に光を導波するコア１０を形成した。本例ではブレード幅が３０μｍのダイシングブレードを用いたため、溝６１と溝６２の間隔、および溝６３と溝６４の間隔を１３０μｍにすることで、両溝により挟まれた約１００μｍ幅のコア１０が形成できた。これにより、三層フィルムをコアパターンニングされた光導波路フィルムにすることができ、フレキシブル光電気混載基板が形成できた。【００３３】
次に、溝６２から１３０μｍ離れた箇所に、ダイシングによって光導波路フィルム１にスリット５を、前記溝６２と平行に形成した。ダイシングブレードは、クラッド層１３と接着剤層３との界面まで到達するようにした。これにより光導波路フィルム１を貫通するスリット５が形成された。
スリット５を形成した前記フィルムをダイシング加工により、幅２．５ｍｍおよび長さ９０ｍｍの寸法に切断し、長手方向に４０ｍｍの長さの離間部を有する光電気混載フィルムを得た。このときスリット５がほぼ幅の中心となるようにした。図４Ｄは個片化された光電気混載フィルムの端面から見た図を、図４Ｅは離間部で切断した断面図を示す。図に示されるとおり、スリット５は光導波路フィルムを貫通するように設けられていた。
この光電気混載フィルムの離間部における電気配線フィルム２と光導波路フィルム１の長手方向の長さの差は０．５ｍｍであった。当該フィルムを用いて捩れテストを行ったところ、耐久回数は１０万回であった。また、捩れの伴わない摺動屈曲テストを行ったところ、５万回の回数に耐えられることを確認した。【００３４】
（実施例２）
実施例１と同様にして１００ｍｍ×１００ｍｍの三層のフィルム８を用意した。電気配線フィルム２と積層する前に、ダイシングブレードを用いて三層のフィルム８のクラッド層１４側から実施例１と同じように４本の溝を形成した。溝はその底部がクラッド層１３内に存在するように設けた。コア形成するために隣接する２本の溝の間隔は１３０μｍとし、両溝により挟まれたコア１０の幅は約１００μｍであった。このようにして光導波路フィルム１を形成した。
光導波路フィルム１の中央４０ｍｍ×１００ｍｍの領域以外の部分に接着テープ（ソニーケミカル社製Ｔ４１００）を貼り付けた。本例においては、接着テープを貼り付けない領域の短手方向（４０ｍｍ）と前記溝が平行になるようにした。当該接着テープの上に、電気配線フィルム２をたるまないように室温で貼り合わせた。こうして得た積層物をダイシングソーにセットし、コア形成用の溝から１３０μｍ離れた箇所に、コアに沿って光導波路フィルムを貫通するスリット５を形成した。
スリット５を形成した光電気混載フィルムを、ダイシング加工により、２．５ｍｍ幅、長さ９０ｍｍの形状に切り出し、スリットを備え個片化された光電気混載フィルムを得た。このときスリット５がほぼ幅の中心となるようにした。
この光電気混載フィルムの捩れテストを行ったところ、耐久回数は５万回であった。【００３５】
（実施例３）
実施例２と同様にして、溝を備えた１００ｍｍ×１００ｍｍの光導波路フィルム１を用意した。当該フィルム１の中央８０ｍｍ×１００ｍｍの領域以外の部分に接着テープを貼り付けた。光導波路フィルム１の上に、電気配線フィルム２をたるむようにして室温で貼り合わせて光電気混載フィルムを得た。このとき、光電気混載フィルムの離間部（８０ｍｍ×１００ｍｍ）の短手方向における電気配線フィルム２の長さが、光導波路フィルム１の長さより２ｍｍ長くなるようにした。続いて実施例２と同様にして、光電気混載フィルムにスリットを設け、２．５ｍｍ幅、長さ９０ｍｍに個片化された光電気混載フィルムを得た。このときスリット５がほぼ幅の中心となるようにした。
当該フィルムを用いて捩れテストを行ったところ、耐久回数は１７万回以上であった。また、捩れの伴わない摺動屈曲テストを行ったところ、電気配線フィルムを外側にして５万回の回数に耐えられることを確認した。【００３６】
（比較例１）
実施例１と同様にして、離間部において電気配線フィルム２がたるんでいる積層フィルムを得た。得られた積層フィルムを、三層のフィルム８が上になるようにダイシングソーにセットし、実施例１と同様にしてコアを形成するための溝を形成した。次にダイシング加工により、２．５ｍｍ幅、長さ９０ｍｍの形状に切り出し、個片化された光電気混載フィルムを得た。得られた光電気混載フィルムは、離間部において電気配線フィルム２がたるんでいるものの、光導波路フィルムにスリットは設けられなかった。
この光電気混載フィルムの捩れテストを行ったところ、耐久回数は５千回であった。【００３７】
（比較例２）
実施例２と同様にして、離間部を有する光電気混載フィルムを得た。次にダイシング加工により、２．５ｍｍ幅、長さ９０ｍｍの形状に切り出し、個片化された光電気混載フィルムを得た。得られた光電気混載フィルムは、離間部において電気配線フィルム２がたるんでいるものの、光導波路フィルムにスリットは設けられなかった。
この光電気混載フィルムの捩れテストを行ったところ、耐久回数は５千回であった。また、この光電気混載フィルムを用いて捩れの伴わない摺動屈曲テストを行ったところ、５万回の回数に耐えられることを確認した。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明の光電気混載フィルムは、光配線が必要な電子機器に用いられる。特に優れた高耐屈曲性を有するので、狭いスペースで屈曲させられたり、捩られたりして収納される電子機器等に有用である。【００３９】
本出願は、２００６年５月１２日出願の出願番号ＪＰ２００６−１３４４９５に基づく優先権を主張する。当該出願明細書および図面に記載された内容は、すべて本願明細書に援用される。【００４０】
［符号の説明］
１  光電気混載フィルム
１０  コア
１１  クラッド
２  電気配線フィルム
２１  銅パターン
２２  ポリイミドフィルム
２３  カバーフィルム
３  接着剤
４  離間部
５  スリット
６１  溝
６２  溝
６３  溝
６４  溝
７０  固定冶具
７１  固定冶具
７２  サンプル
８  三層フィルム
【図１Ａ】
0004418508.tif 000002
【図１Ｂ】
0004418508.tif 000003
【図２】
0004418508.tif 000004
【図３】
0004418508.tif 000005
【図４】
0004418508.tif 000006