(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステータ(3)を有するモータケース(1)に第１、第２軸受(6,7)を介してロータ(8)を回転自在に設け、前記ロータ(8)を真空中にて用いる構成であって、前記ロータ(8)を有する回転軸(9)に設けられた磁性歯車(22)と、前記モータケース(1)の端面(1b)に設けられ前記磁性歯車(22)を覆うためのキャップ型のエンコーダケース(18)と、前記エンコーダケース(18)にセンサ用Ｏリング(21)を介して設けられ前記磁性歯車(22)に対面する磁気式センサ(19)とを備え、前記磁性歯車(22)及び前記磁気式センサ(19)の検出面(19a)は前記エンコーダケース(18)内でかつ真空中に位置する構成とした真空モータ用センサにおいて、
前記モータケース(1)に溶接部(1a)を介して設けられ前記ステータ(3)を覆うためのステータ用シールド板(4)と、前記回転軸(9)に設けられ前記ロータ(8)の一端(8a)が接する鍔部(9a)と、前記ロータ(8)の他端(8b)側に設けられロータ(8)の他端(8b)が接するシール板(10)と、前記鍔部(9a)とシール板(10)との間でかつ前記ロータ(8)の外周位置に設けられたロータ用シールド板(12)と、前記モータケース(1)の一部として設けられ前記モータケース(1)の前記磁性歯車(22)側に位置する前記第２軸受(7)を保持するための輪状保持体(15)と、前記輪状保持体(15)の外周溝(16)に設けられたエンコーダケース用Ｏリング(17)と、を備え、前記エンコーダケース(18)の内面(18a)は前記エンコーダケース用Ｏリング(17)に直接係合すると共に、エンコーダケース(18)の輪状端面(18b)は前記モータケース(1)の断面Ｌ字型の輪状の端面(1b)に接し、前記磁性歯車(22)及び前記検出面(19a)の各表面は沸化ニッケル処理又は無電解ニッケル処理がなされ、前記エンコーダ用Ｏリング(17)とセンサ用Ｏリング(21)は沸素ゴム系材料よりなることを特徴とする真空モータ用センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空モータ用センサに関し、特に、ロータを真空中におくと共に、磁性歯車及び磁気式センサの検出面を真空中におくための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、用いられていたこの種の真空モータ用センサとしては、真空モータの外側にエンコーダ、レゾルバ、ホール素子等のセンサを取付け、センサは大気側で用いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の真空モータ用センサは、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。
すなわち、センサを真空中で用いることができないため、真空モータのモータケースの外側に突出した状態で設けなければならず、そのために、真空モータを真空用の各種装置に取付けた場合には、このセンサ部分が突出して、他の部材等に対して障害となっていた。
【０００４】
本発明は、以上のような課題を解決するためになされたもので、特に、ロータを真空中におくと共に、磁性歯車及び磁気式センサの検出面を真空中におくようにした真空モータ用センサを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明による真空モータ用センサは、ステータを有するモータケースに第１、第２軸受を介してロータを回転自在に設け、前記ロータを真空中にて用いる構成であって、前記ロータを有する回転軸に設けられた磁性歯車と、前記モータケースの端面に設けられ前記磁性歯車を覆うためのキャップ型のエンコーダケースと、前記エンコーダケースにセンサ用Ｏリングを介して設けられ前記磁性歯車に対面する磁気式センサとを備え、前記磁性歯車及び前記磁気式センサの検出面は前記エンコーダケース内でかつ真空中に位置する構成とした真空モータ用センサにおいて、前記モータケースに溶接部を介して設けられ前記ステータを覆うためのステータ用シールド板と、前記回転軸に設けられ前記ロータの一端が接する鍔部と、前記ロータの他端側に設けられロータの他端が接するシール板と、前記鍔部とシール板との間でかつ前記ロータの外周位置に設けられたロータ用シールド板と、前記モータケースの一部として設けられ前記モータケースの前記磁性歯車側に位置する前記第２軸受を保持するための輪状保持体と、前記輪状保持体の外周溝に設けられたエンコーダケース用Ｏリングと、を備え、前記エンコーダケースの内面は前記エンコーダケース用Ｏリングに直接係合すると共に、エンコーダケースの輪状端面は前記モータケースの断面Ｌ字型の輪状の端面に接し、前記磁性歯車及び前記検出面の各表面は沸化ニッケル処理又は無電解ニッケル処理がなされ、前記エンコーダ用Ｏリングとセンサ用Ｏリングは沸素ゴム系材料よりなる構成である。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、図面と共に本発明による真空モータ用センサの好適な実施の形態について説明する。
図１において符号１で示されるものは真空モータ２のモータケースであり、このモータケース１の内壁には、ステータ巻線３ａを有する輪状のステータ３が設けられている。
前記ステータ３は、このモータケース１に溶接部１ａを介して設けられた輪状のステンレス等のステータ用シールド板４により気密封止され、このステータ用シールド板４によってステータ３が大気側５に隔絶構成されている。
【０００７】
前記モータケース１における前記ステータ用シールド板４の内側には、このモータケース１に設けた１対の第１、第２軸受６、７を介してロータ８を有する回転軸９が回転自在に設けられている。尚、第２軸受７は後述の磁性歯車２２側に位置している。
前記ロータ８の一端８ａ側は回転軸９の鍔部９ａに接し、その他端８ｂ側には輪状のシール板１０が溶接部１１を介して固定されており、この鍔部９ａとシール板１０との間でかつ前記ロータ８の外周位置には輪状のステンレス等のロータ用シールド板１２が溶接部１３を介して固定され、このロータ用シールド板１２によりロータ８側が真空側１４に保たれるように構成されている。
【０００８】
前記モータケース１の前記磁性歯車２２側に位置する前記第２軸受７を保持し前記モータケース１の一部としてのモータケース１に接続された輪状保持体１５の外周溝１６には、エンコーダケース用Ｏリング１７が設けられ、前記モータケース１の断面Ｌ字型をなす端面１ｂにはキャップ型をなすと共に前記磁性歯車２２を覆うためのエンコーダケース１８の輪状端面１８ｂが接した状態で取付けられていると共に、このエンコーダケース１８の内面１８ａはこのエンコーダケース用Ｏリング１７に直接係合している。
【０００９】
前記エンコーダケース１８の図１における下部位置には、磁気式センサ１９を取付けるための開口２０が形成され、この開口２０と磁気式センサ１９との間には、センサ用Ｏリング２１が設けられていると共に、この磁気式センサ１９の検出面１９ａは前記回転軸９の先端９ａに取付けられた磁性歯車２２の歯面２２ａとわずかな間隙を介して直接対面している。
【００１０】
前記磁性歯車２２及び磁気式センサ１９の検出面１９ａの各表面は、真空側１４に位置しているため、この真空側１４に存在する不活性ガス等のガス腐食から保護するために、沸化ニッケル処理又は無電解ニッケル処理をするように構成され、真空側１４と大気側５を遮断するためのエンコーダケース用Ｏリング１７と、センサ用Ｏリング２１は共に耐ガス用の沸素ゴム系材料で構成されている。
【００１１】
前記磁性歯車２２及び磁気式センサ１９によって磁気式エンコーダ３０を構成しているが、この磁性歯車２２の歯数は、一例として、５１２歯で構成されている場合には、５１２歯×４０９６分割＝１／２００万以上の分解能が可能となり、図示しないカウンタとの組合せにより絶対値検出可能なＺ相対アブソリュートエンコーダとすることができる。
【００１２】
【発明の効果】
本発明による真空モータ用センサは、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、真空モータに取付けるエンコーダを磁気式エンコーダとしているため、この磁気式エンコーダを構成するための磁性歯車と磁気センサの検出面とを真空側に位置させることができ、真空モータ自体の形状を小型化し、かつ、エンコーダ部分のみが真空モータから突出することもなく、各種装置への真空モータの組込みを従来よりも大幅に容易化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明による真空モータ用センサを示す断面図である。
【符号の説明】
１    モータケース
１ａ 溶接部
１ｂ 端面
３    ステータ
４    ステータ用シールド板
６，７ 第１、第２軸受
８    ロータ
８ａ 一端
８ｂ 他端
９    回転軸
９ａ 鍔部
１０ シール板
１２    ロータ用シールド板
１５ 輪状保持体
１６ 外周溝
１７    エンコーダケース用Ｏリング
１８    エンコーダケース
１８ａ 内面
１８ｂ   輪状端面
１９    磁気式センサ
１９ａ    検出面
２１    センサ用Ｏリング
２２    磁性歯車
【図１】
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