(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体部品用キャリアを保管する保管部を上下左右に多数列設した保管棚に対して、所定の保管部に前記キャリアを搬入または搬出するストッカ用ロボットであって、
前記保管棚に沿って走行自在且つ昇降自在な移動体と、この移動体に設けられ、前期保管棚に向かって伸縮自在な搬送アームとを備え、
前記搬送アームは、半導体部品用キャリアを積載可能なハンド部と、該ハンド部が先端に水平回転可能に取り付けられた第１アーム部と、該第１アーム部を水平回転可能に支持する第２アーム部とからなるリンク機構を有し、該第２アーム部の一端が前記移動体に対して水平回転可能に支持されるものであって、
前記保管部内に前記ハンド部が挿入されるように前記搬送アームが伸長し、半導体部品用キャリアを積み下ろし及び積載動作が可能な伸長位置と、前記移動体側に前記搬送アームが折りたたまれるように前記保管棚に対して縮退し、前記移動体による半導体部品用キャリアの移動搬送が行われる縮退位置と、の間で伸縮動作を行うものであり、
前記伸長位置においては、前記ハンド部の上面に半導体部品用キャリアを載せるように支持し、
前記縮退位置においては、前記第１アーム部に取り付けられ、前記ハンド部に積載された半導体部品用キャリアと前記第１アーム部との縮退動作時における位置関係の変化に伴って、半導体部品用キャリアを直接把持、あるいは、前記ハンド部または半導体部品用キャリアに設けられた係止手段を助勢するように半導体部品用キャリアを把持する半導体部品用キャリア落下防止手段を有することを特徴とするストッカ用ロボット。
【請求項２】
前記半導体部品用キャリア落下防止手段は、前記第１アーム部に取り付けられた支持部材と、該支持部材に取り付けられ、前記縮退位置において、前記ハンド部に積載された半導体部品用キャリアの上面の一部を覆う部材と、からなるものであることを特徴とする請求項１に記載のストッカ用ロボット。
【請求項３】
前記半導体部品用キャリア落下防止手段は、前記ハンド部に積載される半導体部品用キャリア底面に設けられた保持溝部と、該保持溝部と係止可能な係止部材であって、前記ハンド部に係止状態と非係止状態とに切替可能に取り付けられた係止部材と、伸縮動作時における前記ハンド部と前記第１アーム部との位置関係の変化に伴って、該係止部材を前記縮退位置において係止状態とし、前記伸長位置において非係止状態とする作動部とを有していることを特徴とする請求項１に記載のストッカ用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハーなどの半導体部品をその収納搬送に用いられるキャリアごと保管するストッカにて、前記半導体部品用キャリアの搬送を行うストッカ用ロボットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェハーなどの半導体部品の製造工程において、半導体部品を各工程間或いは各工程中に自動搬送するためには、半導体部品を輸送する搬送装置と、これら半導体部品を一時的に保管するストッカが必要となる。通常、半導体部品の搬送時等における清浄度をより高位に保つために、キャリアと呼ばれる半導体部品を収納するカセット単位で、ストッカに一時保管される。図１４は、クリーンルーム内などに設置されたストッカ５１の概略を示すものである。ストッカ５１は、キャリア５８を保管する保管部５２ａを上下左右に多数列設した保管棚５２と、所定の保管部５２ａにキャリア５８を搬入または搬出するストッカ用ロボット５３とを有している。そして、ストッカ用ロボット５３は、保管棚５２に沿って走行自在且つ昇降自在な移動体と、この移動体に設けられ、保管棚５２に向かって伸縮自在な搬送アーム５７とを備えており、この搬送アーム５７にて、キャリア５８を保持するとともに、保管部５２ａに対する搬入および搬出を行う。また、前記移動体は、保管棚５２に平行な走行レール５４を走行する走行部５５と、走行部５５に縦設されたポスト部５６と、ポスト部５６に昇降可能に設けられ、搬送アーム５７が設けられる昇降ベース５９とを有している。
【０００３】
近年、歩留りの向上、製品コストの低減を目的として、半導体ウェハーサイズが大きくなる傾向にあるが、大径の半導体ウェハーキャリアのストッカの場合、図１４におけるストッカ用ロボット５３において、図１５に示すような搬送アーム５７を有したものが従来用いられている。この搬送アーム５７は、キャリア５８を積載可能なハンド部６０と、ハンド部６０が先端に水平回転可能に取り付けられた第１アーム部６１と、第１アーム部６１を水平回転可能に支持する第２アーム部６２とからなるリンク機構を有し、第２アーム部６２の一端が昇降ベース５９に対して水平回転可能に支持されるものである。そして、ハンド部６０の上面にキャリア５８を積載し、搬送アーム５７の伸縮動作によって、保管部に対してキャリア５８の搬入搬出を行うものである。ハンド部６０の上面および保管部内の天板６３の上面におけるキャリア５８の保持は、通常、キネマティックピン６４と、このピンと嵌め合うようにキャリア５８の底面に設けられた図示しない溝部との嵌合による支持によって行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このキネマティックピン６４による支持は、精度的には優れるが、安定性には欠けるため、搬送中の加減速によってキャリア５８を落下させてしまう危険性がある。とくに、半導体ウェハーサイズの大型化やキャリア搬送の高速化ニーズに伴い、搬送中における落下の危険性は、大きく問題視されるようになってきている。
【０００５】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、キャリアの大型化、キャリア搬送の高速化が要求される状況下においても、キャリアの落下を確実に防止できるストッカ用ロボットを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１に記載のストッカ用ロボットは、半導体部品用キャリアを保管する保管部を上下左右に多数列設した保管棚に対して、所定の保管部に前記キャリアを搬入または搬出するストッカ用ロボットであって、前記保管棚に沿って走行自在且つ昇降自在な移動体と、この移動体に設けられ、前期保管棚に向かって伸縮自在な搬送アームとを備え、前記搬送アームは、半導体部品用キャリアを積載可能なハンド部と、該ハンド部が先端に水平回転可能に取り付けられた第１アーム部と、該第１アーム部を水平回転可能に支持する第２アーム部とからなるリンク機構を有し、該第２アーム部の一端が前記移動体に対して水平回転可能に支持されるものであって、前記保管部内に前記ハンド部が挿入されるように前記搬送アームが伸長し、半導体部品用キャリアを積み下ろし及び積載動作が可能な伸長位置と、前記移動体側に前記搬送アームが折りたたまれるように前記保管棚に対して縮退し、前記移動体による半導体部品用キャリアの移動搬送が行われる縮退位置と、の間で伸縮動作を行うものであり、前記伸長位置においては、前記ハンド部の上面に半導体部品用キャリアを載せるように支持し、前記縮退位置においては、前記第１アーム部に取り付けられ、前記ハンド部に積載された半導体部品用キャリアと前記第１アーム部との縮退動作時における位置関係の変化に伴って、半導体部品用キャリアを直接把持、あるいは、前記ハンド部または半導体部品用キャリアに設けられた係止手段を助勢するように半導体部品用キャリアを把持する半導体部品用キャリア落下防止手段を有するものである。
【０００７】
この構成によると、前記搬送アームの伸縮動作時における、前記第１アーム部と前記ハンド部の角度の変化を利用することで、半導体部品用キャリアの把持および解除動作が可能となる。すなわち、キャリアの大型化、キャリア搬送の高速化が要求される状況下においても、簡易な構成で半導体部品用キャリアの確実な落下防止機構を実現できるストッカ用ロボットを得ることができる。
【０００８】
請求項２に記載のストッカ用ロボットは、請求項１において、前記半導体部品用キャリア落下防止手段が、前記第１アーム部に取り付けられた支持部材と、該支持部材に取り付けられ、前記縮退位置において、前記ハンド部に積載された半導体部品用キャリアの上面の一部を覆う部材と、からなるものであることを特徴とする。
【０００９】
この構成によると、第１アーム部に所定の部材を取り付けるだけで、半導体部品用キャリアの確実な落下防止機構を極めて簡易に実現できる。
【００１０】
請求項３に記載のストッカ用ロボットは、請求項１において、前記半導体部品用キャリア落下防止手段が、前記ハンド部に積載される半導体部品用キャリア底面に設けられた保持溝部と、該保持溝部と係止可能な係止部材であって、前記ハンド部に係止状態と非係止状態とに切替可能に取り付けられた係止部材と、伸縮動作時における前記ハンド部と前記第１アーム部との位置関係の変化に伴って、該係止部材を前記縮退位置において係止状態とし、前記伸長位置において非係止状態とする作動部とを有していることを特徴とする。
【００１１】
この構成によると、半導体部品用キャリアの確実な落下防止機構を簡易に実現できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態例について説明する。
【００１３】
（実施形態例１）
図１〜３に本実施形態例に係るストッカ用ロボットにおける搬送アーム１の概略図を示す。図１が上面図、図２が正面図、図３が左側面図を示したものである。本実施形態例に係るストッカ用ロボットは、従来の技術についての記載のところで述べたものと同様に、図１４に示すようなクリーンルーム内などに設置されたストッカ５１に配設されるものである。そして、ストッカ用ロボット５３の構成部分のうち、搬送アーム５７以外については、従来の技術の記載で述べたものと同様に構成される。また、搬送対象も、半導体ウェハー等の半導体部品用のキャリア（以下「キャリア」という）であり、保管棚５２に対して搬入および搬出を行うものである。
【００１４】
図１〜３において、搬送アーム１は、図示しない昇降ベース５９に支持され、ハンド部２、第１アーム部３、第２アーム部４、及び、ハンド部２に載置されたキャリア１０が落下することを防止する落下防止手段５とを有している。
【００１５】
ハンド部２は、その上面に設けられるキネマティックピン６と、このピンと嵌め合うようにキャリア１０の底面に設けられた図示しない溝部との嵌合によって、キャリア１０を支持する。そして、ハンド部２は、第１アーム部３の先端の上面に水平回転可能に取り付けられ、さらに、第１アーム部３は、第２アーム部４の先端の上面に水平回転可能に支持される。また、第２アーム部４は、図示しない昇降ベース５９の上面に対して水平回転可能に支持される。以上のリンク機構において、図示しないモーター、ギヤ、チェーン、スプロケットなどからなる駆動機構によって、ハンド部２が、昇降ベース５９から保管棚５２に向かって接近または離間するように伸縮自在に搬送アーム１が可動なものである。なお、ハンド部２が、保管棚５２に対して、垂直な姿勢を保持したまま接近あるいは離間するよう伸縮動作ができるように前記駆動機構が調整されている。
【００１６】
落下防止手段５は、垂直に接合した２枚の部材であって、第１アーム部３に縦設された部材５ａ及び５ｂと、部材５ａ及び５ｂにさらに横設され、ほぼ逆Ｌ字型の部材５ｄと、部材５ｄの補強リブの役目を果たす部材５ｃとを有している。
そして、部材５ｄは、キャリア１０をハンド部２の上面に載置したときに、キャリア１０の上面に逆Ｌ字型の先端部で被さることができる高さとなるように部材５ａ及び５ｂによって支持されるものである。
【００１７】
本実施形態例に係るストッカ用ロボットは、以上のように構成される搬送アーム１を有している。そして、以下に説明するように作動することで、キャリア１０の保管棚５２ａへの搬入および搬出と搬送を行う。
【００１８】
まず、搬入動作から説明を行う。図１〜３において、搬送アーム１は、前記移動体側に折りたたまれるように保管棚５２に対して縮退した状態（以下「縮退位置」という）にある。このとき、キャリア１０は、ハンド部２の上面において、前述したキネマティックピン６によって支持されるように載置されている。そして、逆Ｌ字型の部材５ｄが、キャリア１０の上面に被さるように係止して、該キャリア１０を把持している。この縮退位置にある状態で、前記移動体における昇降ベース５９と走行部５５の動作によって、保管棚５２に沿って、キャリア１０の搬送が行われる。これによって、搬送中に発生する加減速時においても、キャリア１０は、搬送アーム１に把持され、落下することを確実に防止できる。
【００１９】
前記縮退位置のまま移動体によって、所定の保管部５２ａの前までキャリア１０の搬送が行われ、位置決めが完了すると、次に搬送アーム１による搬入動作へと移行する。保管部５２ａへのキャリア１０の搬入は、搬送アーム１の伸長動作によって行われる。伸長動作時は、前述のリンク機構で説明したように、ハンド部２は、保管棚５２に対して垂直な姿勢を保持されている。その伸長動作中における搬送アーム１の状態を示したものが図４である。このとき、ハンド部２は、保管部５２ａ内に挿入されるように伸長する。そして、落下防止手段５は、第１アーム部３に固持されているため、伸長動作とともにハンド部２に対する角度が変化し、キャリア１０との相対位置が遠ざかる方向に変化する。この変化とともに、キャリア１０の上面に被さるようにしてキャリア１０を係止していた部材５ｄの被さり部分が減少していく。最終的に搬送アーム１の伸長動作が完了した状態（以下「伸長位置」という）を示したものが図５である。該伸長位置においては、部材５ｄとキャリア１０の上面との被さり部分は、完全に無くなった状態になっている。このため、この伸長位置のまま昇降ベース５９を降下させることで、キャリア１０は、保管部５２ａ内の天板６３上に載置される。このとき、天板６３に形成された略Ｕ字状の切り欠き部１１を通過するようにハンド部２は降下する。また、天板６３上にキャリア１０が載置されるときは、ハンド部２のキネマティックピン６４から天板６３に設けられたキネマティックピン６４にキャリア１０の支持が移行される。
【００２０】
以上のようにして、キャリア１０の保管部５２ａへの搬入が行われる。搬入動作を完了した搬送アーム１は、ハンド部２にキャリア１０が載置されていない状態のまま、前記伸長位置から該搬送アーム１を折りたたむようにして、前記縮退位置へと縮退する。
【００２１】
次に、搬出動作の説明を行う。まず、図１においてキャリア１０がハンド部２の上面に載置されていない状態の縮退位置のまま、搬出対象のキャリア１０が保管されている保管部５２ａの前まで、搬送アーム１が、移動体によって移動される。そして、移動が完了した搬送アーム１は、前述の搬入時と同様の伸長動作を行って、保管部５２ａ内にハンド部２を挿入する。このとき、天板６３の下面側に位置する状態で、伸長位置までハンド部２が挿入され、図５に示す状態となる。伸長位置に達した後は、昇降ベース５９を上昇させて、ハンド部２を切り欠き部１１を通過させ、天板６３のキネマティックピン６４からハンド部２のキネマティックピン６にキャリア１０の支持を移行させるようにしてハンド部２へとキャリア１０を載置する。そして、ハンド部２へのキャリア１０の載置が完了した状態で、今度は、搬入時の伸長動作とは逆の縮退動作を行う。この縮退動作とともに、これまでは、キャリア１０の上面に被さっていなかった落下防止手段５における部材５ｄが、キャリア１０の上面に徐々に被さりながら、図４に示す状態を経て図１に示す縮退位置に到達する。この縮退位置においては、キャリア１０は、落下防止手段５によって確実に把持される。こうして、搬出動作が完了し、前記移動体によるキャリア１０の搬送が行われる。
【００２２】
本実施形態例に係るストッカ用ロボットは、上記に説明したように作動することで、キャリア１０の保管棚５２への搬入搬出および搬送を行うものであり、これによって、搬送アームの伸縮動作を利用して、極めて簡易で確実にキャリアを把持できる落下防止機構を実現することができる。なお、落下防止手段５の構成については、必ずしも本実施形態例に示す形態を有する部材からなるものでなくてもよく、第１アーム部３に固持され、縮退動作とともにキャリア１０の上面に被るように設けられる部材であれば、どのような形態からなる部材であってもよい。
【００２３】
（実施形態例２）
次に、実施形態例２に係るストッカ用ロボットについて説明する。図６は、実施形態例２に係るストッカ用ロボットにおける搬送アーム２０を示す上面概略図であり、図７は、その正面図である。実施形態例２においては、ストッカ用ロボットにおける搬送アーム２０以外の部分については、実施形態例１の場合と同一である。そして、搬送アーム２０においても、ハンド部２、第１アーム部３、第２アーム部４のリンク機構の構成については、実施形態例１と同一である。しかし、搬送中におけるキャリアの落下を防止する落下防止手段を実現する構成が異なっている。
【００２４】
図６及び図７において、前記落下防止手段は、キャリア１０の底面およびハンド部２に設けられる係止手段と、第１アーム部３に設けられる作動部となるピン部材１２とから構成される。具体的には、ハンド部２に積載されるキャリア１０底面に設けられた保持溝部１３と、キャリア１０積載動作時に保持溝部１３に挿入され、保持溝部１３と嵌め合うように係止可能で、弾性体によってハンド部２に移動可能に支持された係止部材１４と、係止部材１４を縮退位置において押圧し、前記弾性体を圧縮しながら保持溝部１３に対して係止することできるように第１アーム部３に設けられたピン部材１２と、からなるものである。
【００２５】
以下、さらに詳しく説明する。
前記係止手段は、上記のように保持溝部１３と、係止部材１４とが係止することで構成される。そして、保持溝部１３は、ハンド部２の上面にキャリア１０が載置されたときに、係止部材１４の一部が挿入されるものであり、挿入された係止部材１４の一部が、移動して嵌め合うように係止可能な凹部１３ａを溝の内部に有するように形成されている。
【００２６】
係止部材１４は、前記凹部１３ａに対して係止可能な突出部１４ａと、後述するピン部材１２から押圧される被押圧部１４ｂとを有し、スライド支持部１６と弾性体であるバネ１５によって、ハンド部２に対して水平移動可能に支持される。そして、突出部１４ａは、ハンド部２の上面側に、被押圧部１４ｂは、ハンド部２の下面側に位置している。この構成において、バネ１５は、係止部材１４を保管棚５２から移動体側へと押圧するよう取り付けられている。
【００２７】
以上の構成において、伸長位置にあるときは、図６及び図７に示すように、係止部材１４は、バネ１５によって移動体側へと押圧されて保持されている。これによって、キャリア１０の搬出を行うためにキャリア１０の下面側から搬送アーム２０の上昇を行うと、キャリア１０がハンド部２の上面に載置されるとともに、突出部１４ａが、保持溝部１３内に挿入される。そして、この状態から搬送アーム２０が縮退動作を行うと、縮退とともに被押圧部１４ｂと、第１アーム部３に設けられたピン部材１２との距離が接近する。このとき、被押圧部１４ｂの大きさとピン部材１２の位置などの設定によって、縮退動作時における所定のタイミングから、被押圧部１４ｂとピン部材１２を接するようにすることができる。
被押圧部１４ｂに接したピン部材１２は、縮退動作とともに係止部材１４を押圧することになり、押圧された係止部材１４は、バネ１５を圧縮しながらスライド支持部に案内されて移動する。このため、突出部１４ａが、凹部１３ａの内部に挿入され、キャリア１０がハンド部２に係止される。
【００２８】
図８および図９に、本実施形態例２に係るストッカ用ロボットの搬送アーム２０が、縮退動作を完了し、縮退位置に達した状態を示す。図８は上面図であり、図９は正面図である。このとき、突出部１４ａが凹部１３ａに係止するように、係止部材１４が、ピン部材１２によって、バネ１５を圧縮しながら押圧されて保持されている。これによって、縮退位置においては、キャリア１０が、搬送アーム２０に把持されることになり、搬送時の加減速においても、確実に落下を防止することができる。
【００２９】
本実施形態例２に係るストッカ用ロボットは上記に説明したように実施されるため、簡易で確実にキャリアを把持できる落下防止機構を実現することができる。なお、ピン部材１２、係止部材１４、バネ１５、スライド支持部１６および保持溝部１３については、必ずしも本実施形態例２に示すような形状でなくてもよく、キャリア１０に設けられた保持溝部に対して、第１アーム部３に設けられた部材によって弾性体を介して係止部材が、縮退動作とともに係止されるものであれば、どのような形状からなるものであってもよい。
【００３０】
（実施形態例３）
最後に、実施形態例３に係るストッカ用ロボットについて説明する。図１０は、実施形態例３に係るストッカ用ロボットにおける搬送アーム３０を示す上面概略図であり、図１１は、その正面図である。実施形態例３においては、ストッカ用ロボットにおける搬送アーム３０以外の部分については、実施形態例１の場合と同一である。そして、搬送アーム３０においても、ハンド部２、第１アーム部３、第２アーム部４のリンク機構の構成については、実施形態例１と同一である。しかし、搬送中におけるキャリアの落下を防止する落下防止手段を実現する構成が異なっている。
【００３１】
図１０および図１１において、前記落下防止手段は、キャリア１０の底面およびハンド部２に設けられる係止手段と、作動部となるベルト１９とから構成される。具体的には、ハンド部２に積載されるキャリア１０底面に設けられ、入口に対して内部が広がりを有するように形成された保持溝部１７と、ハンド部２に回転可能に支持され係止部材となるプーリ１８と、第１アーム部３とハンド部２との連結部２１およびプーリ１８に周回するように巻きかけられるベルト１９とからなり、前記プーリ１８は、ベルト１９が巻きかけられる円板部１８ｂと、キャリア１０積載動作時に保持溝部１７に挿入され、回転動作により係止を行う係止部１８ａを有するものであり、縮退位置に移行する際に、ベルト１９を介してプーリ１８が回転され、係止部１８ａにてキャリア１０の把持動作を行うものである。
【００３２】
以下、さらに詳しく説明する。
前記係止手段は、上記のように保持溝部１７と、プーリ１８とが係止することで構成される。そして、保持溝部１７は、その入口が、長穴状に形成されており、入口に対して内部が広がりを有するように形成されている。そして、プーリ１８は、ベルト１９が巻きかけられる円板部１８ｂと、キャリア１０がハンド部２の上面に載置されるときに保持溝部１７に挿入され、回転動作により係止を行う係止部１８ａを有している。円板部１８ｂは、ハンド部２の下面側に位置し、係止部１８ａは、ハンド部２の上面側に位置している。また、係止部１８ａは、前記長穴と略相似形で、該長穴を通過可能な大きさのＴ字の頭部のような形状を有するものである。そして、保持溝部１７内で回転することで、係止できるものである。
【００３３】
以上の構成において、搬送アーム３０が伸長位置にあるときは、図１０および図１１に示すように、係止部１８ａのＴ字頭部の長手方向は、搬送アーム３０の伸縮方向に向いている。これによって、キャリア１０の搬出を行うためにキャリア１０の下面側から搬送アーム３０の上昇を行うと、キャリア１０がハンド部２の上面に載置されるとともに、係止部１８ａが、保持溝部１７に挿入される。この状態から搬送アーム３０が縮退動作を行うと、縮退とともに連結部２１に巻きかけられたベルト１９が周回するように回転する。そして、ベルト１９の周回動作とともに、円板部１８ｂが回転し、係止部１８ａのＴ字頭部も回転する。このため、係止部１８ａは、保持溝部１７と係止し、キャリア１０がハンド部２に把持される。
【００３４】
図１２および図１３に本実施形態例３に係るストッカ用ロボットの搬送アーム３０が、縮退動作を完了し、縮退位置に達した状態を示す。図１２は、上面図であり、図１３は正面図である。伸長位置から縮退位置まで搬送アーム３０が縮退する際の、第１アーム部３とハンド部２のなす角に応じて、連結部２１と円板部１８ｂの直径の比を選択することなどにより、係止部１８ａのＴ字頭部を略９０°回転するようにできる。これによって、保持溝部１７に係止部１８ａが確実に係止され、キャリア１０が、搬送アーム３０に把持されることになり、搬送時の加減速においても、確実に落下を防止できる。
【００３５】
以上説明したように、実施形態例３に係るストッカ用ロボットの搬送アーム３０が実施されるため、別途、駆動装置を設けることなく、簡易で確実にキャリアを把持できる落下防止機構を実現することができる。なお、保持溝部１７、プーリ１８およびベルト１９については、必ずしも本実施形態例３に示すような形態でなくてもよく、キャリア１０に設けられた保持溝部に対して、第１アーム部３とハンド部２のなす角の変化に伴ってベルトが周回走行し、プーリに設けられた係止部が保持溝部と係止可能なものであれば、どのような形態からなるものであってもよい。
【００３６】
以上説明した実施の形態は、以下の効果を奏する。
（１）実施形態例１〜３のいずれにおいても、搬送アームの伸縮動作時における、第１アーム部とハンド部の角度の変化を利用することで、半導体部品用キャリアの把持および解除動作が可能となる。すなわち、キャリアの搬入開始や搬出終了時におけるハンド部上での把持を確実に行うことができ、さらに、キャリア搬送中の落下防止を確実に果たすことが可能となる。
【００３７】
（２）そして、キャリアの大型化、キャリア搬送の高速化が要求される状況下においても、簡易な構成で半導体部品用キャリアの確実な落下防止機構を実現できるストッカ用ロボットを得ることが可能となる。
【００３８】
（３）本実施形態例以外の落下防止手段を有したものとしては、例えば、図１６に示すように、ハンド部上面に設けられた回転軸とキャリアの押さえ部を備え、駆動装置にて押さえ部をキャリアの上面に被せるように回転して把持する搬送アームを有したストッカ用ロボットが一般的に考えられる。この搬送アームによると、確実にキャリアの落下を防止できる。しかし、この手段によると、前記駆動装置が必要になるため、構成要素の複雑化を招くことになり、コスト的にも望ましくない。そして、駆動装置を設けることに伴い、種々の配管や配線類などが発生し、清浄度を保つことに対する阻害要素を発生させることにもつながってしまうという問題点がある。
本実施形態例１〜３によると、落下防止手段を実現するための駆動装置が、そもそも不要なため、簡易な構造で落下防止手段を実現でき、コスト的にも優れるとともに、クリーンルームの清浄度確保の観点からも非常に優れたストッカ用ロボットを得ることができるという効果を奏する。
【００３９】
なお、上記のいずれの実施形態例においても、ストッカ用ロボットにおける移動体は、必ずしも、保管棚に平行な走行レールを走行する走行部と、走行部に縦設された１基のポスト部と、搬送アームが設けられる昇降ベースが前記ポスト部に設けられているものでなくてもよい。例えば、ポスト部を２基有し、両ポスト部に架橋され、保管棚に対して平行な昇降部と、該昇降部において保管棚に平行に移動可能に設けられたベース部とを有し、該ベース部に搬送アームが取り付けられるものであってもよい。
【００４０】
【発明の効果】
本発明によると、搬送アームの伸縮動作時における、第１アーム部とハンド部の角度の変化を利用することで、半導体部品用キャリアの把持および解除動作が可能となる。すなわち、キャリアの大型化、キャリア搬送の高速化が要求される状況下においても、簡易な構成で半導体部品用キャリアの確実な落下防止機構を実現できるストッカ用ロボットを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態例１に係るストッカ用ロボットの搬送アームの上面からみた概略図であり、縮退位置にある状態を示すものである。
【図２】本実施形態例１に係るストッカ用ロボットの搬送アームの正面からみた概略図であり、縮退位置にある状態を示すものである。
【図３】本実施形態例１に係るストッカ用ロボットの搬送アームの左側面からみた概略図であり、縮退位置にある状態を示すものである。
【図４】本実施形態例１に係るストッカ用ロボットの搬送アームの伸縮動作中における状態を示す上面概略図である。
【図５】本実施形態例１に係るストッカ用ロボットの搬送アームの伸長位置における状態を示す上面概略図である。
【図６】本実施形態例２に係るストッカ用ロボットの搬送アームの伸長位置における状態を示す上面概略図である。
【図７】本実施形態例２に係るストッカ用ロボットの搬送アームの伸長位置における状態を示す正面概略図である。
【図８】本実施形態例２に係るストッカ用ロボットの搬送アームの縮退位置における状態を示す上面概略図である。
【図９】本実施形態例２に係るストッカ用ロボットの搬送アームの縮退位置における状態を示す正面概略図である。
【図１０】本実施形態例３に係るストッカ用ロボットの搬送アームの伸長位置における状態を示す上面概略図である。
【図１１】本実施形態例３に係るストッカ用ロボットの搬送アームの伸長位置における状態を示す正面概略図である。
【図１２】本実施形態例３に係るストッカ用ロボットの搬送アームの縮退位置における状態を示す上面概略図である。
【図１３】本実施形態例３に係るストッカ用ロボットの搬送アームの縮退位置における状態を示す正面概略図である。
【図１４】半導体部品用キャリアのストッカの斜視概略図である。
【図１５】従来技術に係るストッカ用ロボットの搬送アームを示す斜視図である。
【図１６】本実施形態例以外に係るストッカ用ロボットの搬送アームを示す斜視図である。
【符号の説明】
１、２０、３０  搬送アーム
２  ハンド部
３  第１アーム部
４  第２アーム部
５  落下防止手段
１０  キャリア
１２  ピン部材
１３、１７  保持溝部
１４  係止部材
１５  バネ
１６  スライド支持部
１８  プーリ
１９  ベルト
５１  ストッカ
５２  保管棚
５３  ストッカ用ロボット
５５  走行部
５６  ポスト部
５９  昇降ベース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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