(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体圧機器に接続される出力ポートが設けられたポートブロックと、
前記出力ポートから前記流体圧機器に供給する作動流体が外部から供給される給気流路部が設けられた給気ブロックと、
前記出力ポートに流体圧機器から排気される作動流体を外部に排気するための排気流路部が設けられた排気ブロックと、
前記給気流路部及び排気流路部を前記出力ポートに対して切換接続する方向制御弁が設けられた弁ブロックと、
外部から供給される駆動信号によって前記方向制御弁を切換接続させる電磁ソレノイドが設けられたソレノイドブロックとを備えた電磁バルブユニットを備え、
前記電磁バルブユニットを連結用部材に複数固定して、前記各電磁バルブユニットの前記給気流路部及び排気流路部を互いに連通させた電磁弁マニホールドにおいて、
前記各電磁バルブユニットが駆動制御する流体圧機器を接続するための流体継手を前記連結用部材を固定した固定部材の一方の側にそれぞれ固定し、その流体継手に対して前記固定部材の他方の側で該固定部材を貫通するように設けた貫通孔に継手接合部材を固定し、その継手接合部材を介して前記流体継手と前記ポートブロックの出力ポートとを連通させるように該ポートブロックを延出形成した電磁弁マニホールド。
【請求項２】
前記出力ポートを、前記継手接合部材の該出力ポート側に突出する筒部に対して環状シール部材を介して嵌合させた請求項１に記載の電磁弁マニホールド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＤＩＮレール等に固定することで互いに連結された複数の電磁バルブユニットを備えた電磁弁マニホールドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電磁弁マニホールドは、流体シリンダ等の各流体圧機器をそれぞれ駆動制御する電磁バルブユニットを複数備え、共通の給気流路及び排気流路を介して各電磁バルブユニットが外部と作動流体を給排するとともに、各流体圧機器に対して作動流体を供給及び排気する。
【０００３】
このような電磁弁マニホールドには、図１２，１３に示すように、各電磁バルブユニット１００がＤＩＮレール１０１に固定されて互いに連結されることで共通の給気流路１０２及び排気流路１０３を形成する形式の電磁弁マニホールド１０４がある。即ち、各電磁バルブユニット１００には、給気流路１０２及び排気流路１０３の一部となる給気流路部１０２ａ及び排気流路部１０３ａが設けられており、ＤＩＮレール１０１に固定されて互いに連結されることで各電磁バルブユニット１００間を連通する給気流路１０２及び排気流路１０３が形成される。そして、例えば、給気流路１０２に外部から供給される作動流体が、各電磁バルブユニット１００の出力ポート１０５の一方から流体圧機器に供給されるとともに、各流体圧機器から電磁バルブブロックの出力ポート１０５の他方に排気される作動流体が排気流路１０３を介して外部に排気される。通常、流体圧機器は、各電磁バルブユニット１００の出力ポート１０５に設けられた流体継手１０６に、機器側流体ホースＨを介して直接接続される。
【０００４】
ところで、半導体製造工程では、その雰囲気中に電磁弁マニホールド１０４を直接設置することができないので、雰囲気外に設置した電磁弁マニホールド１０４により雰囲気中に設置したエアオペレートバルブ等を駆動させる。即ち、電磁弁マニホールド１０４は、製造工程の雰囲気中から隔絶された空間に設置される。
【０００５】
このような場合、電磁弁マニホールド１０４は雰囲気外に設置した取付台１０７上に固定される。そして、取付台１０７に設けられた取付孔１０７ａを閉塞可能な板材１０８に設けた流体継手１０９，１１０を介して、各電磁バルブユニット１００の出力ポート１０５を取付台１０７内の雰囲気中に設置されたエアオペレートバルブに接続していた。このとき、各電磁バルブユニット１００の出力ポート１０５を、流体継手１０９に対し弁側流体ホース１１１を用いて接続していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような構成では、電磁弁マニホールド１０４、板材１０８及び弁側流体ホース１１１のそれぞれが設置面積を必要とするので、装置全体の設置面積が大きくなっていた。
【０００７】
しかも、弁側流体ホース１１１が占める設置面積をできるだけ小さくするため、各弁側流体ホース１１１をできるだけ短くしようとすると、同流体ホース１１１が捻じれたり潰れたりして作動流体の圧力損失が大きくなる。このため、各弁側流体ホース１１１を短くして設置面積を小さくすることはできなかった。
【０００８】
又、電磁弁マニホールド１０４の設置時には、該電磁弁マニホールド１０４及び板材１０８を設置した上に、両者間を多数の弁側流体ホース１１１で接続することになるので、多くの作業工数、特に、手作業の工数を必要とした。
【０００９】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、設置面積を小さくすることができるとともに、設置を容易に行うことができる電磁弁マニホールドを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するため、請求項１に記載の発明は、流体圧機器に接続される出力ポートが設けられたポートブロックと、前記出力ポートから前記流体圧機器に供給する作動流体が外部から供給される給気流路部が設けられた給気ブロックと、前記出力ポートに流体圧機器から排気される作動流体を外部に排気するための排気流路部が設けられた排気ブロックと、前記給気流路部及び排気流路部を前記出力ポートに対して切換接続する方向制御弁が設けられた弁ブロックと、外部から供給される駆動信号によって前記方向制御弁を切換接続させる電磁ソレノイドが設けられたソレノイドブロックとを備えた電磁バルブユニットを備え、前記電磁バルブユニットを連結用部材に複数固定して、前記各電磁バルブユニットの前記給気流路部及び排気流路部を互いに連通させた電磁弁マニホールドにおいて、前記各電磁バルブユニットが駆動制御する流体圧機器を接続するための流体継手を前記連結用部材を固定した固定部材の一方の側にそれぞれ固定し、その流体継手に対して前記固定部材の他方の側で該固定部材を貫通するように設けた貫通孔に継手接合部材を固定し、その継手接合部材を介して前記流体継手と前記ポートブロックの出力ポートとを連通させるように該ポートブロックを延出形成した電磁弁マニホールドである。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記出力ポートを、前記継手接合部材の該出力ポート側に突出する筒部に対して環状シール部材を介して嵌合させた。
【００１３】
（作用）
請求項１に記載の発明によれば、電磁弁マニホールドの各電磁バルブユニットと流体継手とが、電磁弁マニホールドと流体継手とが共に固定された固定部材において、出力ポートが形成された電磁バルブユニットのポートブロックによって接続される。従って、電磁弁マニホールド本体と各流体継手とが一体化されるとともに、流体ホースを用いることなく各電磁バルブユニットと流体継手とが接続される。固定部材の他方の側面に電磁弁マニホールド本体が固定され、一方の側面に流体継手が設けられるので、各流体継手を電磁弁マニホールド本体に近い位置に設けることが可能となる。従って、装置全体の設置面積がより小さくなる。
【００１５】
請求項２に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明の作用に加えて、貫通孔の中心軸線に対し出力ポートの中心軸線がその径方向にずれても、環状シール部材が径方向に弾性変形して出力ポートと流体継手の筒部との間を密封する。
【００１６】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
以下、本発明を具体化した第１の実施の形態を図１〜図５に従って説明する。
【００１７】
図４に示すように、電磁弁マニホールド１０は、固定部材としての固定板１１と、その固定板１１に固定される電磁弁マニホールド本体１２とからなる。
固定板１１は平板であって、その表面１１ａに電磁弁マニホールド本体１２が固定されている。固定板１１には、図１に示すように、電磁弁マニホールド本体１２が駆動制御する複数の流体圧機器の数に応じた一対ずつの貫通孔としての雌ねじ孔１３が設けられている。固定板１１には、各雌ねじ孔１３毎に、各流体圧機器を接続するための流体継手１４ａ，１４ｂがその裏面１１ｂ側に設けられている。又、固定板１１には、各雌ねじ孔１３毎に、各流体継手１４ａ，１４ｂに電磁弁マニホールド本体１２を接続するための継手接合部材１５がその表面１１ａ側に設けられている。
【００１８】
各流体継手１４ａ，１４ｂは既成のものであって、Ｌ字状の流路を有する筒体に形成され、その一方の端部に固定用の雄ねじ部１６が形成され、その他方の端部に流体圧機器からの機器側流体ホースＨを着脱可能に接続するホース接続部１７が形成されている。
【００１９】
継手接合部材１５は、図２に示すように、直線状の流路を有する筒体に形成され、その一方の端部にねじ部１８が形成され、その他方の端部に筒部１９が形成されるとともに、ねじ部１８と筒部１９との間にナット部２０が形成されている。ねじ部１８は、図３に示すように、その外周面に固定用の雄ねじ１８ａが形成され、その内周面に接続用の雌ねじ部１８ｂが形成されている。
【００２０】
継手接合部材１５は、図３に示すように、表面１１ａ側から雌ねじ孔１３に雄ねじ１８ａを螺合させることで固定板１１に固定されている。又、流体継手１４ａは、裏面１１ｂ側から継手接合部材１５の雌ねじ部１８ｂに雄ねじ部１６を螺合させることで固定板１１に固定されている。そして、継手接合部材１５と流体継手１４ａとは雌ねじ孔１３の両側で連通している。なお、流体継手１４ｂも、流体継手１４ａと同様に継手接合部材１５と雌ねじ孔１３の両側で連通している。
【００２１】
電磁弁マニホールド本体１２は、図４に示すように、給排気ブロック２１、複数の電磁バルブユニット２２、一対のコネクタブロック２３が、連結用部材としてのＤＩＮレール２４で連結されたものである。
【００２２】
給排気ブロック２１には、外部の流体供給源から作動流体が供給される給気ポート２５と、外部に作動流体を排気するための排気ポート２６とが設けられている。
【００２３】
コネクタブロック２３には、各電磁バルブユニット２２を駆動制御する図示しない弁駆動制御装置からのケーブルのコネクタが接続されるコネクタ部２７が設けられている。
【００２４】
各電磁バルブユニット２２は、図１に示すように、ソレノイドブロック２８、弁ブロック２９及びポートブロック３０を備えている。
ソレノイドブロック２８は、外部からの電気信号によって作動する一対の電磁ソレノイド３１を備えている。又、ソレノイドブロック２８は、流体圧機器から排気される作動流体を給排気ブロック２１を介して外部に排気するための排気流路部３２を備えている。
【００２５】
ポートブロック３０は、外部の流体圧機器に接続される一対の出力ポート３３を備えている。又、ポートブロック３０は、一対の出力ポート３３から流体圧機器に供給する作動流体が給排気ブロック２１を介して外部から供給される給気流路部３４を備えている。
【００２６】
本実施の形態では、ポートブロック３０が給気ブロックを構成し、ソレノイドブロック２８が排気ブロックを構成する。
弁ブロック２９はスプール弁３５を備え、各出力ポート３３にそれぞれ連通する一対の給排ポート３６、給気流路部３４に連通する給気ポート３７、及び、排気流路部３２にそれぞれ連通する一対の排気ポート３８を備えている。弁ブロック２９は、スプール弁３５の作動によって、両給排ポート３６のいずれか一方が給気ポート３７に連通するとともに他方が排気ポート３８に連通する２つの制御状態のいずれか一方の制御状態となる。
【００２７】
ソレノイドブロック２８では、前記コネクタブロック２３を介して外部から各電磁バルブユニット２２毎に供給される駆動制御信号によって両電磁ソレノイド３１が交互に作動する。そして、各電磁ソレノイド３１の作動によって前記スプール弁３５を動作させ、弁ブロック２９の制御状態の切り換えを行う。
【００２８】
各電磁バルブユニット２２は、隣り同士が当接する状態でＤＩＮレール２４に固定されることで、隣り合う両電磁バルブユニット２２の給気流路部３４同士及び排気流路部３２同士がそれぞれ連通されている。そして、連通された各給気流路部３４によって各電磁バルブユニット２２に外部から作動流体を供給するための共通の給気流路が形成され、又、連通された各排気流路部３２によって各電磁バルブユニット２２から外部に作動流体を排気するための共通の排気流路が形成されている。給気流路及び排気流路は、その一方の端部がコネクタブロック２３によって閉塞され、その他方の端部が給排気ブロック２１を介してコネクタブロック２３によって閉塞されている。そして、給気流路及び排気流路は、給排気ブロック２１において、給気ポート２５及び排気ポート２６にそれぞれ連通されている。
【００２９】
前記ポートブロック３０は、図１に示すように、各電磁バルブユニット２２に対応する位置にある前記固定板１１に形成した雌ねじ孔１３の上方まで弁ブロック２９から延出形成されている。そして、ポートブロック３０は、一対の流体継手１４ａ，１４ｂが設けられた２つの雌ねじ孔１３を含む領域で固定板１１の表面１１ａに当接され、取付ねじ３９で固定板１１に固定されている。
【００３０】
詳述すると、ポートブロック３０に設けられた各出力ポート３３は、弁ブロック２９の給排ポート３６から固定板１１に沿って流体継手１４ａ，１４ｂ側に延びる弁側流路部３３ａと、この弁側流路部３３ａの端部から固定板１１に垂直に固定板１１側に延びる継手側流路部３３ｂとからなる。継手側流路部３３ｂは、それぞれ雌ねじ孔１３に対応する固定板１１の表面１１ａ上の位置で開口されている。
【００３１】
図３に示すように、継手側流路部３３ｂの開口部には、その開口端側から第１大径部４２及び第２大径部４３が順に設けられている。第１大径部４２は第２大径部４３よりも大径とされている。第２大径部４３の内周側には、環状シール部材としてのリップパッキン４４が装着されている。リップパッキン４４は、第１大径部４２寄りに設けられた円盤状の止め輪４５で固定されている。尚、リップパッキン４４はＹパッキンである。
【００３２】
そして、出力ポート３３は、第１大径部４２に継手接合部材１５のナット部２０を収容し、第２大径部４３に筒部１９を挿通させた状態で、その各開口端が固定板１１の表面１１ａに当接されている。各出力ポート３３は、リップパッキン４４によって第２大径部４３の内周面と筒部１９の外周面との間が密封されることで流体継手１４ａ，１４ｂにそれぞれ気密状態で連通されている。即ち、ポートブロック３０の各出力ポート３３は、弁ブロック２９から延出形成されたポートブロック３０によって各流体継手１４ａ，１４ｂに連通されている。
【００３３】
電磁弁マニホールド本体１２は、図５に示すように、取付台４６の取付面４６ａに固定板１１を固定することで設置される。このとき、固定板１１に設けられた各流体継手１４ａ，１４ｂを、取付台４６の取付面４６ａに設けた取付孔４７から取付台４６の内部に配置する。ここで、取付台４６の取付面４６ａと固定板１１の裏面１１ｂとの間に、取付孔４７の周縁に沿った環状に形成したシート状のシール部材４８を介在させることで、取付台４６の内部と電磁弁マニホールド１０側の空間とを気密状態で隔絶する。そして、電磁弁マニホールド１０は、取付台４６を介し、各流体圧機器と隔絶された空間で各流体圧機器を駆動制御する。
【００３４】
又、図４，５に示すように、各電磁バルブユニット２２には、ポートブロック３０の側面に、その電磁バルブユニット２２に対応する流体継手１４ａ，１４ｂを介して接続される流体圧機器を表示する表示シール４９が貼られている。そして、この表示シール４９により、電磁弁マニホールド本体１２の各電磁バルブユニット２２に対し、その電磁バルブユニット２２が駆動制御する流体圧機器を対応する流体継手１４ａ，１４ｂに間違えることなく接続することができるようになっている。
【００３５】
以上詳述した本実施の形態の電磁弁マニホールドは、以下に記載する各作用及び効果を有する。
（１）  本実施の形態では、電磁弁マニホールド本体１２に設けられた各電磁バルブユニット２２の出力ポート３３が、電磁弁マニホールド本体１２と共に固定板１１に固定された流体継手１４ａ，１４ｂに対し、電磁バルブユニット２２のポートブロック３０によって接続される。従って、電磁弁マニホールド本体１２と各流体継手１４ａ，１４ｂとが一体化されるとともに、流体ホースを用いることなく各電磁バルブユニット２２と流体継手１４ａ，１４ｂとが接続される。その結果、装置全体の設置面積を小さくすることができるとともに、設置を簡単に行うことができる。
【００３６】
（２）  加えて本実施の形態では、固定板１１に貫通させた雌ねじ孔１３に対し、固定板１１の表面１１ａ側から継手接合部材１５を固定し、固定板１１の裏面１１ｂから流体継手１４ａ，１４ｂを継手接合部材１５に連通させた。従って、電磁弁マニホールド本体１２が表面１１ａに固定された固定板１１の裏面１１ｂに流体継手１４ａ，１４ｂを設けることができるので、装置全体の設置面積をより一層小さくすることができる。
【００３７】
（３）  さらに本実施の形態では、固定板１１の表面１１ａ側から雌ねじ孔１３に設けた継手接合部材１５の出力ポート３３側に突出する筒部１９にリップパッキン４４を介して各出力ポート３３を嵌合させた。従って、固定板１１の表面１１ａ上での各電磁バルブユニット２２の取付位置にばらつきがあって、継手側流路部３３ｂの中心軸線が継手接合部材１５の中心軸線に対してずれても、リップパッキン４４の内周側リップが径方向に弾性変形して筒部１９の外周面に確実に当接する。その結果、出力ポート３３と流体継手１４ａ，１４ｂとを確実に連通させることができる。
【００３８】
（第２の実施の形態）
次に、本発明を具体化した第２の実施の形態を図６に従って説明する。尚、本実施の形態は、前記第１の実施の形態における固定板１１を固定板５０に変更したことと、電磁バルブユニット２２を電磁バルブユニット５３に変更したことのみが第１の実施の形態と異なる。従って、第１の実施の形態と同じ構成については、符号を同じにしてその説明を省略し、固定板５０及び電磁バルブユニット５３のみについて詳述する。
【００３９】
図６に示すように、本実施の形態の固定板５０は平板であって、その表面５０ａに電磁弁マニホールド本体１２が固定されている。固定板５０には、電磁弁マニホールド本体１２が駆動制御する複数の流体圧機器の数に応じた一対ずつの貫通孔としての雌ねじ孔５２が設けられている。各雌ねじ孔５２には、固定板５０の裏面５０ｂ側から流体継手１４ａの雄ねじ部１６が螺合されている。本実施の形態では、前記第１の実施の形態と異なり、各雌ねじ孔５２に継手接合部材１５は設けられていない。
【００４０】
本実施の形態の各電磁バルブユニット５３は、ソレノイドブロック５４、弁ブロック５５及びポートブロック５６を備えている。
ソレノイドブロック５４は、外部からの電気信号によって作動する１つの電磁ソレノイド５７を備えている。又、ソレノイドブロック５４は、流体圧機器から排気される作動流体を給排気ブロック２１を介して外部に排気するための排気流路部５８を備えている。
【００４１】
ポートブロック５６は、流体圧機器に接続される出力ポート５９ａ，５９ｂを備えている。又、ポートブロック５６は、出力ポート５９ａ，５９ｂから供給する作動流体が給排気ブロック２１を介して外部から供給される給気流路部６０を備えている。
【００４２】
本実施の形態では、ソレノイドブロック５４が排気ブロックを構成し、ポートブロック５６が給気ブロックを構成する。
弁ブロック５５はスプール弁６１を備えた３ポート弁であって、出力ポート５９ａに連通する給排ポート６２、給気流路部６０に連通する給気ポート６３、及び、排気流路部５８に連通する排気ポート６４を備えている。そして、弁ブロック５５は、スプール弁６１の作動によって、給排ポート６２に給気ポート６３を連通する制御状態と、給排ポート６２に排気ポート６４を連通する制御状態のいずれか一方の制御状態となる。尚、本実施の形態では、出力ポート５９ａのみが使用され、出力ポート５９ｂは使用されない。
【００４３】
ソレノイドブロック５４は、前記コネクタブロック２３を介して外部から各電磁バルブユニット５３毎に供給される駆動信号によって電磁ソレノイド５７が作動する。そして、電磁ソレノイド５７の作動によって前記スプール弁６１を動作させ、弁ブロック５５の制御状態の切り換えを行う。
【００４４】
そして、各電磁バルブユニット５３は、隣り同士が当接する状態でＤＩＮレール２４に固定されることで、隣り合う両電磁バルブユニット５３の給気流路部６０同士及び排気流路部５８同士がそれぞれ連通されている。そして、連通された各給気流路部６０によって各電磁バルブユニット５３に外部から作動流体を供給するための共通の給気流路が形成され、又、連通された各排気流路部５８によって各電磁バルブユニット５３から外部に作動流体を排気するための共通の排気流路が形成される。
【００４５】
前記ポートブロック５６は、その電磁バルブユニット５３に対応する雌ねじ孔５２の上方まで弁ブロック５５から延出されている。そして、ポートブロック５６は、流体継手１４ａが設けられた雌ねじ孔５２を含む領域で固定板５０の表面５０ａに当接され、取付ねじ３９で固定板５０に固定されている。
【００４６】
ポートブロック５６に設けられた出力ポート５９ａは、弁ブロック５５の給排ポート６２から固定板５０に沿って対応する雌ねじ孔５２側に延びる弁側流路部６５ａと、この弁側流路部６５ａの端部から固定板５０に垂直に雌ねじ孔５２側に延びる継手側流路部６５ｂとからなる。継手側流路部６５ｂは、雌ねじ孔５２に対応する固定板５０の表面５０ａ上の位置でそれぞれ開口されている。
【００４７】
固定板５０に当接するポートブロック５６の当接面５６ａには、出力ポート５９ａ，５９ｂの開口端の周囲に、開口端を囲む環状に形成され固定板５０の表面５０ａに当接する環状のシール部材６６がそれぞれ設けられている。そして、出力ポート５９ａは、シール部材６６によって流体継手１４ａに気密状態で連通されている。即ち、ポートブロック５６の出力ポート５９ａは、弁ブロック５５から延出形成されたポートブロック５６によって流体継手１４ａに連通されている。
【００４８】
尚、本実施の形態では、出力ポート５９ｂは、弁ブロック５５のいずれのポート６２，６３にも接続されておらず、出力ポート５９ｂが接続された雌ねじ孔５２は固定板５０の裏面５０ｂ側が栓６７で閉塞されている。
【００４９】
又、当接面５６ａには、固定板５０の表面５０ａに設けられた凹部５０ｃに嵌合する凸部５６ｂが設けられている。そして、電磁弁マニホールド本体１２を固定板５０に組み付けるときに、各電磁バルブユニット５３毎にその凸部５６ｂを対応する位置の凹部５０ｃに嵌合させることによって、各電磁バルブユニット５３をその固定位置に容易に位置決めするができるようになっている。
【００５０】
以上詳述した本実施の形態の電磁弁マニホールドは、前記第１の実施の形態における（１），（２）に記載した各効果と、以下に記載する効果とを有する。
（４）  各電磁バルブユニット５３の出力ポート５９ａを、固定板５０の雌ねじ孔５２において継手接合部材１５を介さずに流体継手１４ａに連通させた。従って、前記第１の実施の形態の電磁弁マニホールド１０に比較して、各電磁バルブユニット５３の連数分だけの継手接合部材１５が不要となる。その結果、部品点数及び組み立て工数を削減することができる。
【００５１】
（第３の実施の形態）
次に、本発明を具体化した第３の実施の形態を図７に従って説明する。尚、本実施の形態は、前記第１の実施の形態における固定板１１を固定板７１に変更したことと、電磁バルブユニット２２のポートブロック３０をポートブロック７７に変更したことのみが第１の実施の形態と異なる。従って、第１の実施の形態と同じ構成については、符号を同じにしてその説明を省略し、固定板７１及びポートブロック７７のみについて詳述する。
【００５２】
図７に示すように、本実施の形態の固定板７１は平板であって、その表面７１ａに電磁弁マニホールド本体１２が固定されている。固定板７１には、電磁弁マニホールド本体１２が駆動制御する複数の各流体圧機器の数に応じた一対ずつの貫通孔としての雌ねじ孔７２が設けられている。各雌ねじ孔７２には、固定板７１の裏面７１ｂ側から流体継手１４ａ，１４ｂの雄ねじ部１６が螺合されている。
【００５３】
又、各雌ねじ孔７２には、固定板７１の表面７１ａ側に、共に雌ねじ孔７２よりも内径の大きな大径部７３及び小径部７４が開口端側から順に形成されている。大径部７３の内側には、その内周面に当接する環状のリップパッキン７６が設けられている。本実施の形態では、リップパッキン７６はＹパッキンとされている。
【００５４】
本実施の形態のポートブロック７７は、その電磁バルブユニット２２に対応する両雌ねじ孔７２の上方まで弁ブロック２９から延出されている。そして、ポートブロック７７は、両流体継手１４ａ，１４ｂが設けられた２つの雌ねじ孔７２を含む領域で固定板７１の表面７１ａに当接され、取付ねじ３９で固定板７１に固定されている。又、ポートブロック７７は、給気流路部３４を備えている。尚、本実施の形態では、ポートブロック７７が給気ブロックをも構成する。
【００５５】
ポートブロック７７に設けられた各出力ポート７８は、弁ブロック２９の給排ポート３６から固定板７１に沿って対応する雌ねじ孔７２側に延びる弁側流路部７８ａと、この弁側流路部７８ａの端部から固定板７１に垂直に雌ねじ孔７２側に延びる継手側流路部７８ｂとからなる。各継手側流路部７８ｂは、雌ねじ孔７２に対応する固定板７１の表面７１ａ上の位置で開口されている。
【００５６】
固定板７１に当接するポートブロック７７の当接面７７ａには、各継手側流路部７８ｂに沿ってその下方に延びる筒部７７ｂが設けられている。筒部７７ｂは小径部７４の内径よりも若干小さな外径に形成されている。そして、筒部７７ｂは、雌ねじ孔７２の大径部７３を挿通して小径部７４内に配置されるとともに、大径部７３内でその外周面にリップパッキン７６の内周側リップが当接されている。
【００５７】
又、当接面７７ａには、固定板７１の表面７１ａに設けられた凹部７１ｃに係合する凸部７７ｃが設けられている。そして、電磁弁マニホールド本体１２を固定板７１に組み付けるときに、各電磁バルブユニット２２毎にその凸部７７ｃを対応する位置の凹部７１ｃに係合させることによって、各電磁バルブユニット２２をその固定位置に容易に位置決めすることができるようになっている。
【００５８】
以上詳述した本実施の形態の電磁弁マニホールドは、前記第１の実施の形態における（１），（２）に記載した各効果を有する。
（第４の実施の形態）
次に、本発明を具体化した第４の実施の形態を図８及び図９に従って説明する。尚、本実施の形態は、前記第１の実施の形態における固定板１１を固定板８０に変更したことと、電磁バルブユニット２２の弁ブロック２９を弁ブロック８３に変更したことと、同じくポートブロック３０をポートブロック８８に変更したことと、表示シール４９に代えて表示シール９０を設けたことのみが第１の実施の形態と異なる。従って、第１の実施の形態と同じ構成については、符号を同じにしてその説明を省略し、固定板８０、弁ブロック８３、ポートブロック８８及び表示シール９０のみについて詳述する。
【００５９】
図８，９に示すように、本実施の形態の固定板８０は、断面Ｌ字状に形成され、その水平部８１の表面８１ａに電磁弁マニホールド本体１２が固定され、その垂直部８２に貫通する複数の雌ねじ孔１３が設けられている。各雌ねじ孔１３には、前記第１の実施の形態と同様に、垂直部８２の内側面８２ａ側から継手接合部材１５が螺合され、この継手接合部材１５に外側面８２ｂ側から流体継手１４ａ，１４ｂが螺合されている。
【００６０】
本実施の形態の弁ブロック８３は、一対のスプール弁８４ａ，８４ｂを備え、又、一対の給排ポート８５ａ，８５ｂ、給気ポート８６及び一対の排気ポート８７ａ，８７ｂを備えている。弁ブロック８３は、スプール弁８４ａの作動によって、給排ポート８５ａを給気ポート８６又は排気ポート８７ａのいずれかに連通する２つの制御状態をとる。又、弁ブロック８３は、スプール弁８４ｂの作動によって、給排ポート８５ｂを給気ポート８６又は排気ポート８７ｂのいずれかに連通する２つの制御状態をとる。
【００６１】
本実施の形態のポートブロック８８は、その電磁バルブユニット２２に対応する両雌ねじ孔１３まで弁ブロック８３から延出されている。そして、ポートブロック８８は、流体継手１４ａ，１４ｂが設けられた２つの雌ねじ孔１３を含む垂直部８２の内側面８２ａに当接され、取付ねじ３９で垂直部８２に固定されている。
【００６２】
ポートブロック８８には、前記両給排ポート８５にそれぞれ接続された出力ポート８９が設けられている。各出力ポート８９は、固定板８０の水平部８１に沿って対応する雌ねじ孔１３まで延びている。両出力ポート８９は、それぞれ雌ねじ孔１３に対応する垂直部８２の内側面８２ａ上の位置でそれぞれ開口されている。又、ポートブロック８８は、作動流体が外部から供給される給気流路部３４を備えている。
【００６３】
本実施の形態では、ポートブロック８８が給気ブロックを構成する。そして、ポートブロック８８の各出力ポート８９は、弁ブロック８３から延出形成されたポートブロック８８によって各流体継手１４ａ，１４ｂにそれぞれ連通されている。
【００６４】
図９に示すように、固定板８０の水平部８１及び垂直部８２は、その各両角部８１ｂ（一方のみ図示），８２ｃがそれぞれ円弧状に形成されている。そして、作業者等が電磁弁マニホールド１０を取り扱う際に、水平部８１の各角部８１ｂｃや垂直部８２の各角部８２ｃで手指や掌等を痛めないようになっている。
【００６５】
又、垂直部８２の外側面８２ｂには、各流体継手１４ａ，１４ｂに対応して、各流体継手１４ａ，１４ｂに接続される流体圧機器を表示する表示シール９０が貼られている。そして、この表示シール９０により、電磁弁マニホールド本体１２の各電磁バルブユニット２２に対し、その電磁バルブユニット２２が駆動制御する流体圧機器を対応する流体継手１４ａ，１４ｂに間違えることなく接続することができるようになっている。
【００６６】
以上詳述した本実施の形態の電磁弁マニホールドは、前記第１の実施の形態における（１），（２）に記載した各効果を有する。
（第５の実施の形態）
次に、本発明を具体化した第５の実施の形態を図１０に従って説明する。尚、本実施の形態は、前記第４の実施の形態における固定板８０を固定部材９１に変更したことのみが第４の実施の形態と異なる。従って、第４の実施の形態と同じ構成については、符号を同じにしてその説明を省略し、固定部材９１のみについて詳述する。
【００６７】
図１０に示すように、本実施の形態における固定部材としての固定部材９１は、電磁弁マニホールド本体１２が固定された断面Ｌ字状の固定板９２と、各流体継手１４ａ，１４ｂが固定された平板状の固定板９３とが連結固定されたものである。固定板９２は、水平部９４及び垂直部９５からなり、水平部９４の表面９４ａに電磁弁マニホールド本体１２が固定されている。固定板９３は、垂直部９５の外側面９５ａに連結ボルト９６によって固定されている。
【００６８】
以上詳述した本実施の形態の電磁弁マニホールドは、前記第１の実施の形態における（１），（２）に記載した各効果を有する。
以下、本発明を具体化した上記実施の形態以外の実施の形態を別例として列挙する。
【００６９】
・  第１、第３、第４及び第５の各実施の形態では、リップパッキン４４，７６としてＹパッキンを用いたが、Ｕパッキン又はＶパッキンを用いてもよい。
・  上記第１、第４及び第５の各実施の形態では、雌ねじ孔１３に設けた継手接合部材１５の筒部１９に、リップパッキン４４を介して出力ポート３３，８９を嵌合させるようにしたが、リップパッキン４４の代わりにＯリングを介して嵌合させてもよい。この構成であっても、出力ポート３３，８９の中心軸線が雌ねじ孔１３の中心軸線に対して多少ずれたときに、Ｏリングが径方向に弾性変形して筒部１９の外周面に確実に密接し、出力ポート３３，８９と流体継手１４ａ，１４ｂとを確実に連通させる。
【００７０】
・  第３の実施の形態では、ポートブロック７７に設けた筒部７７ｂを、雌ねじ孔７２の表面７１ａ側に設けた大径部７３にリップパッキン７６を介して嵌合させるようにしたが、リップパッキン７６の代わりにＯリングを介して嵌合させてもよい。
【００７１】
・  上記各実施の形態では、電磁弁マニホールド本体１２を固定する各固定板１１，５０，７１，８０を、電磁弁マニホールド１０を固定する取付台４６の取付面４６ａに設けた取付孔４７を閉塞する平板又は断面Ｌ字形状の固定板１１，５０，７１，８０とした。そして、固定板１１，５０，７１，８０を貫通する雌ねじ孔１３，５２，７２によって、固定板１１，５０，７１，８０の表面１１ａ，５０ａ，７１ａ，８１ａに固定した電磁弁マニホールド本体１２の各出力ポート３３，５９ａ，７８，８９を、裏面１１ｂ，５０ｂ，７１ｂあるいは外側面８２ｂに固定した流体継手１４ａ，１４ｂに対して連通させた。
【００７２】
これを、図１１に示すように、取付台４６の取付面４６ａに設けた取付孔４７を閉塞するように形成された固定板１１，５０，７１，８０でなく、単に電磁弁マニホールド本体１２と各流体継手１４ａ，１４ｂとを固定するように形成した固定部材９７としてもよい。この電磁弁マニホールドでは、固定部材９７の平板部分９７ａに電磁弁マニホールド本体１２を固定し、電磁弁マニホールド本体１２の側部に設けたブロック部９７ｂに流体継手１４ａ，１４ｂが接続された流路９８を形成する。そして、出力ポート７８を流路９８を介して流体継手１４ａ，１４ｂに連通させるようにポートブロック９９を延出形成する。この電磁弁マニホールドによれば、流体継手１４ａ，１４ｂ同士の配置間隔を、電磁弁マニホールド本体１２の各電磁バルブユニット２２での間隔、あるいは、各電磁バルブユニット２２間での間隔よりも大きくすることができるので、各流体継手１４ａ，１４ｂに対する流体ホースＨの接続を容易に行うことができる。
【００７３】
以下、特許請求の範囲に記載した各発明の外に前述した各実施の形態及び各別例から把握される技術的思想をその効果とともに記載する。
（１）  前記固定部材には、前記各流体継手に対応する位置に、各流体継手に接続される流体圧機器を表示する表示手段（表示シール４９，９０）が設けられている。このような構成によれば、電磁弁マニホールドが駆動制御する各流体圧機器に、その流体圧機器を駆動制御する電磁バルブユニットに対応する流体継手を間違えることなく接続することができる。
【００７４】
（２）  前記固定板は、前記連結用部材が固定される水平部と、前記各流体継手が固定される垂直部とを備え、前記水平部及び垂直部は、その各角部（８１ｂ，８２ｃ）が円弧状に形成されている。このような構成によれば、電磁弁マニホールドの取り扱い時に、作業者が固定板の水平部及び垂直部の各角部で手指や掌等を痛めることがない。
【００７５】
【発明の効果】
本願の発明によれば、装置全体の設置面積を小さくすることができるとともに、設置を容易に行うことができる。
【００７６】
加えて、各電磁バルブユニットと流体継手との間を確実に気密状態で接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１の実施の形態の電磁弁マニホールドを示す断面図。
【図２】  継手接合部材の斜視図。
【図３】  図１の要部拡大図。
【図４】  電磁弁マニホールドの一部分解斜視図。
【図５】  取付台と電磁弁マニホールドを示す模式斜視図。
【図６】  第２の実施の形態の電磁弁マニホールドを示す断面図。
【図７】  第３の実施の形態の電磁弁マニホールドを示す断面図。
【図８】  第４の実施の形態の電磁弁マニホールドを示す断面図。
【図９】  同じく斜視図。
【図１０】  第５の実施の形態の電磁弁マニホールドを示す断面図。
【図１１】  他の実施の形態の電磁弁マニホールドを示す断面図。
【図１２】  従来の電磁弁マニホールドを示す断面図。
【図１３】  同じく平面図。
【符号の説明】
１０…電磁弁マニホールド、１１…固定部材としての固定板、１２…電磁弁マニホールド本体、１３…貫通孔としての雌ねじ孔、１４ａ，１４ｂ…流体継手、１５…継手接合部材、１９…筒部、２２…電磁バルブユニット、２４…連結用部材としてのＤＩＮレール、２８…排気ブロックとしてのソレノイドブロック、２９…弁ブロック、３０…給気ブロックとしてのポートブロック、３１…電磁ソレノイド、３２…排気流路部、３３…出力ポート、３４…給気流路部、４４…環状シール部材としてのリップパッキン、５０…固定部材としての固定板、５２…貫通孔としての雌ねじ孔、５３…電磁バルブユニット、５４…排気ブロックとしてのソレノイドブロック、５５…弁ブロック、５６…給気ブロックとしてのポートブロック、５７…電磁ソレノイド、５８…排気流路部、５９ａ…出力ポート、６０…給気流路部、７１…固定部材としての固定板、７２…貫通孔としての雌ねじ孔、７７…給気ブロックとしてのポートブロック、７８…出力ポート、８０…固定部材としての固定板、８３…弁ブロック、８８…給気ブロックとしてのポートブロック、８９…出力ポート、９１…固定部材、９７…固定部材、９９…ポートブロック。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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