(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
赤色光のみを透過する観察窓、緑色光のみを透過する観察窓および青色光のみを透過する観察窓と、前記観察窓のうちいずれかの観察窓を任意に選択する機構と、紫外線を被検査部材に照射する機構とを備えたことを特徴とする紫外線励起蛍光体を備えたカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【請求項２】
平面状の基板を搬送する機構を備えたことを特徴とする請求項１に記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【請求項３】
観察窓を検査装置側面の複数の面に有することを特徴とする請求項１または２に記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【請求項４】
観察窓を検査装置側面の四方に有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【請求項５】
複数の面からの観察像を同一方向から観察することが可能な機構を備えたことを特徴とする請求項４に記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【請求項６】
平面状の基板を任意の角度傾けた状態で保持する機構を備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【請求項７】
紫外線光源と被検査部材の相対的な位置関係が常に一定に保たれる機構を備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【請求項８】
紫外線の主たる波長領域が２００〜３００ｎｍであることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【請求項９】
紫外線光源が低圧水銀灯であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【請求項１０】
装置内雰囲気中を窒素置換することを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【請求項１１】
蛍光体形成工程通過後に連続して請求項１〜１０のいずれかに記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置を通過させて検査を行うことを特徴とするカラーディスプレイ用部材の目視検査方法。
【請求項１２】
赤色光のみを透過する観察窓、緑色光のみを透過する観察窓および青色光のみを透過する観察窓と、前記観察窓のうちいずれかの観察窓を任意に選択する機構と、紫外線を被検査部材に照射する機構とを備えた目視検査手段を有することを特徴とする紫外線励起蛍光体の形成に使用されるカラーディスプレイ用部材の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイなどの紫外線励起蛍光体を利用したカラーディスプレイ用部材の検査装置および検査方法、ならびに製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラーディスプレイには、自発光型のものと受動型のものがある。自発光型のディスプレイは通常、赤、青、緑に発光する蛍光体を発光面に所定のパターンで形成し、紫外線、電子線等の方法により励起することによりカラー表示を可能にしている。蛍光体パターンのムラ、欠点は表示不良となる。蛍光体は通常可視光下では白色を呈しているため、これらの欠点を検出するには製品化し表示可能な状態となった後に単色表示を行うか、紫外線等の励起手段で蛍光体を励起した後、各色を形成するごとに画像処理等による方法をとることが必要であり、製造工程中で簡便かつより正確に評価する方法が必要とされていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、カラ−ディスプレイ用部材の蛍光体塗布欠陥を、製造工程中で目視検査において簡便に検出するカラーディスプレイ用部材の検査装置および検査方法ならびに製造装置を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記の本発明の課題は、以下の構成を採用することによって達成できる。すなわち、
（１）赤色光のみを透過する観察窓、緑色光のみを透過する観察窓および青色光のみを透過する観察窓と、前記観察窓のうちいずれかの観察窓を任意に選択する機構と、紫外線を被検査部材に照射する機構とを備えたことを特徴とする紫外線励起蛍光体を備えたカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【０００６】
（２）平面状の基板を搬送する機構を備えたことを特徴とする前記（１）に記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【０００７】
（３）観察窓を検査装置側面の複数の面に有することを特徴とする前記（１）または（２）に記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【０００８】
（４）観察窓を検査装置側面の四方に有することを特徴とする前記（１）〜（３）のいずれかに記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【０００９】
（５）複数の面からの観察像を同一方向から観察することが可能な機構を備えたことを特徴とする前記（４）に記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【００１０】
（６）平面状の基板を任意の角度傾けた状態で保持する機構を備えたことを特徴とする前記（１）〜（５）のいずれかに記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【００１１】
（７）紫外線光源と被検査部材の相対的な位置関係が常に一定に保たれる機構を備えることを特徴とする前記（１）〜（６）のいずれかに記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【００１２】
（８）紫外線の主たる波長領域が２００〜３００ｎｍであることを特徴とする前記（１）〜（７）のいずれかに記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【００１３】
（９）紫外線光源が低圧水銀灯であることを特徴とする前記（１）〜（８）のいずれかに記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【００１４】
（１０）装置内雰囲気中を窒素置換することを特徴とする前記（１）〜（９）のいずれかに記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置。
【００１５】
（１１）蛍光体形成工程通過後に連続して前記（１）〜（１０）のいずれかに記載のカラーディスプレイ用部材の目視検査装置を通過させて検査を行うことを特徴とするカラーディスプレイ用部材の目視検査方法。
【００１７】
（１２）赤色光のみを透過する観察窓、緑色光のみを透過する観察窓および青色光のみを透過する観察窓と、前記観察窓のうちいずれかの観察窓を任意に選択する機構と、紫外線を被検査部材に照射する機構とを備えた目視検査手段を有することを特徴とする紫外線励起蛍光体の形成に使用されるカラーディスプレイ用部材の製造装置。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明の検査装置の一例を示す斜視図であり、特に平面状のカラーディスプレイ用部材を検査するための装置の概略図であり、図２は、蛍光体目視検査装置において基板を傾けて観察するための配置を示す状態の概略図である。本検査装置は、蛍光体形成部材（基板）３を支持するための基板支持台４、該蛍光体形成部材３の蛍光体形成面に紫外線を照射するための光源２、蛍光体形成面を観察するための観察窓１から構成されている。図１、図２の実施例においては、部材（基板）３を支持するための基板支持台４は、搬送ローラーからなるが、これに限定されるものではない。固定の支持台であってもかまわない。また、部材３の蛍光体形成面に紫外線を照射するための光源２としては紫外線ランブでの例を示す。
【００１９】
観察窓１は、赤、青、緑のいずれかの光のみを透過する材質からなるものであり、赤、青、緑のそれぞれの窓を全て備えそのいずれかの窓を任意に選択できる機構を備える。
【００２０】
上記の観察窓１を通して観察することにより、３色の蛍光体が塗布された基板であっても各色の塗布状態のみを観察できるからである。これにより発光強度の弱い蛍光体であっても、他の蛍光体の発光に影響されることなくその塗布状態を観察することが可能になるからである。
【００２１】
具体的な例として、自発光型の平面カラーディスプレイであるプラズマディスプレイパネルの場合は、通常使用される蛍光体としては赤色（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ3：Eｕ、緑色ＺｎＳｉＯ4：Ｍｎ、青色ＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｅｕ2+が挙げられる。
【００２２】
これらを励起する光源としては水銀ランプ、エキシマＵＶランプ等が挙げられるが、水銀ランプは安価で発光強度が安定しているのでより好ましい。水銀ランプの主たる発光波長は２５４ｎｍであり、本波長で励起した場合、先に挙げた蛍光体のうち（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ3：Eｕは発光強度が弱いため３色同時に発光させた場合、赤色蛍光体の欠陥を検出することは困難である。本発明の装置を使用することにより、このような欠点を検出することが可能となる。
【００２３】
さらに各色の光を透過する窓を任意に選択する機構を備えることにより、１台の装置で各色の発光状態を観察することが可能になり、装置設置面積を小さくすることができる。
【００２４】
図３〜図５に各色の光を透過する窓を任意に選択する機構の一例を示すが、本発明の機構はこの機構に限定されるものではない。
【００２５】
以下、図を用いてこの機構について説明する。観察面１において、上下移動機構を持つ５〜７の各色の光を透過する３種類の窓を備えている。実際に観察したい色の光のみを透過する窓のみを観察面まで下降させることにより窓を任意に選択することが可能になる。図３、図４、図５はそれぞれ赤、青、緑の光を透過する観察窓を選択した例である。
【００２６】
被検査物が平面状の部材である場合は支持台４が任意の角度傾けられる構造のものであることが望ましい。
【００２７】
任意の角度傾けられる構造の一例としては、基板支持台の一辺を固定し、該辺を中心軸として支持台を可動させる構造があげられるが本発明の構造はこの構造に限られるものではない。
【００２８】
通常、平面状の部材は被観察面が上方に向いた状態で装置内へ搬送、設置される。観察者が装置側方から、観察するためには部材３を図２に示すように傾けた状態で観察することが望ましいからである。
【００２９】
また、発光ムラを観察するためには基板を斜方向など任意の方向から観察することも必要であり、加えて一枚の基板上に複数の画面が構成される場合は、面付けの方向により観察に適した方向が異なるので、上記構造を有することが好ましい。
【００３０】
任意の方向から観察するためには、検査装置の複数の面に観察窓を有しても良い。長方形状の基板を観察する場合を想定すると、各辺に平行な４面に観察窓を有することがより好ましい。さらには、図６に示すように、４面のうち１面には観察窓、残りの３面には鏡８を配置することにより、複数の面からの観察像を同一方向から観察可能な構造を備えれば検査員が移動する必要がなくなるのでさらに好ましい。
【００３１】
上記機構を持つ検査装置においては、図７に示すように、光源取付台９が基板支持台４に連結され、該基板支持台４の動きに連動して光源取付台９が移動し、被検査物３と光源２との位置関係が一定に保たれるような機構を持つことが望ましい。基板の角度によらず基板内での強度分布などの紫外線の照射状態を常に一定に保つことができ常に同一の条件で観察することが可能になるからである。
【００３２】
本発明の検査装置に使用される紫外線光源の主たる波長域は２００ｎｍ〜３００ｎｍであることが望ましい。酸素雰囲気下では主に波長２００ｎｍ以下の紫外線により人体に有害なオゾンが発生するからである。該波長の紫外線を照射することによりオゾンの発生を防ぐことができる。
【００３３】
さらには、検査装置内の雰囲気は窒素置換されていることが望ましい。窒素雰囲気下で紫外線を照射することによってもオゾンの発生を防ぐことができるからである。
【００３４】
本装置は、蛍光体の形成工程直後、具体的には蛍光体の塗布工程や乾燥工程の直後に設置されることが望ましい、塗布欠陥を工程途中でより早く発見することにより工程条件へ速やかにフィードバックすることが可能になるからである。
【００３５】
さらには、スクリーン印刷機やノズル塗布装置などの蛍光体の塗布装置や乾燥装置の適当な場所に紫外線の照射機構と本発明の検査装置に使用される観察窓を設けても良い。
【００３６】
さらに赤、青、緑のいずれかの光を透過する眼鏡を検査員が使用して紫外線照射された部材を検査することにより該検査装置を使用した場合と同様な効果を得ることもできる。
【００３７】
【発明の効果】
本発明により紫外線励起蛍光体を使用したカラーディスプレイ用部材の目視検査が正確、簡便に行えるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における蛍光体目視検査装置の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明における蛍光体目視検査装置において基板を傾けて観察するための配置を示す状態の一例を示す斜視図である。
【図３】赤色用観察窓を選択した場合の断面の一例を示す図である。
【図４】青色用観察窓を選択した場合の断面の一例を示す図である。
【図５】緑色用観察窓を選択した場合の断面の一例を示す図である。
【図６】複数の面からの観察像を同一方向から観察可能な機構の例を示す図である。
【図７】被検査物と光源との位置関係が一定に保たれるような機構の例を示す図である。
【符号の説明】
１：観察窓
２：光源(紫外線ランプ)
３：蛍光体形成部材（基板）
４：基板支持台
５：赤色観察窓
６：青色観察窓
７：緑色観察窓
８：鏡
９：光源取付台
【図１】
0004514913.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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