(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能な状態でフレームに支持された複数のガイドローラ間に切断用ワイヤが螺旋状に巻き掛けられることにより該ワイヤが多数本並んだ状態で張設されるワイヤソーにおいて、
一端が前記フレームに固定されかつ軸方向に伸縮可能となるように他端が前記フレームに支持されるローラ支持軸を有し、このローラ支持軸の周囲に前記ガイドローラが当該ローラ支持軸に対して相対回転可能に支持されるとともに、前記ローラ支持軸に冷却水通路が形成されてこの冷却水通路に温調された冷却水が供給可能に構成されており、
前記ローラ支持軸は、前記一端側に開いて軸方向に延びかつその奥端部が前記ガイドローラにおける前記ワイヤの巻き掛け箇所の末端部分であって前記一端側の末端部分に位置するように形成される凹部を有し、
前記冷却水通路は、前記凹部内において前記冷却水が前記ローラ支持軸の前記一端側から前記他端側に向かって流動しかつ当該凹部の奥端部で反転して前記一端側に向かって流動することにより、前記冷却水を前記ローラ支持軸のうち前記ワイヤの巻き掛け箇所よりも前記一端側の部分のみに供給するように構成されていることを特徴とするワイヤソー。
【請求項２】
請求項１に記載のワイヤソーにおいて、
前記ガイドローラの軸受部分の近傍を冷却水が流動するように前記冷却水通路が形成されていることを特徴とするワイヤソー。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のワイヤソーにおいて、
筒状のスリーブを有した流路構成部材を有し、前記スリーブを前記凹部に挿入した状態で前記ローラ支持軸の端部に前記流路構成部材が組み付けられることにより前記ローラ支持軸の内部であって前記スリーブの内外に該スリーブの先端部分で互いに連通して軸方向に延びる前記冷却水通路が形成され、前記ローラ支持軸の前記一端側において前記冷却水がスリーブ内外の通路のうち一方側に供給されつつ他方側から導出されるように構成されていることを特徴とするワイヤソー。
【請求項４】
ワイヤソーに組み込まれ、切断用ワイヤを案内するガイド溝を外周面に有するガイドローラをもつガイドローラ組立体であって、
一端がワイヤソーのフレームに固定されかつ軸方向に伸縮可能となるように他端が前記フレームに支持されるローラ支持軸を有し、このローラ支持軸の周囲に前記ガイドローラが当該ローラ支持軸に対して相対回転可能に支持されるとともに、前記ローラ支持軸に冷却水を流通させるための冷却水通路が形成されており、
前記ローラ支持軸は、前記一端側に開いて軸方向に延びかつその奥端部が前記ガイドローラにおける前記ワイヤの巻き掛け箇所の末端部分であって前記一端側の末端部分に位置するように形成される凹部を有し、
前記冷却水通路は、前記凹部内において前記冷却水が前記ローラ支持軸の前記一端側から前記他端側に向かって流動しかつ当該凹部の奥端部で反転して前記一端側に向かって流動することにより、前記冷却水を前記ローラ支持軸のうち前記ワイヤの巻き掛け箇所よりも前記一端側の部分のみに供給するように構成されていることを特徴とするガイドローラ組立体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワイヤソーに関し、特に半導体インゴット（ワーク）をウエハ状（薄片状）に切断する際等に反りやその大きさを制御できるように構成されたワイヤソーおよびガイドローラ組立体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
上記のようなワイヤソーとしては、例えば特許文献１に開示されている。このワイヤソーは、複数のガイドローラ間に切断用ワイヤが巻き掛けられることにより該ワイヤが多数本並んだ状態で張設され、かつその軸方向に高速駆動された状態で、この軸方向と直交する方向に半導体インゴットが切断送りされることにより、このインゴットから多数枚のウエハを同時に切り出すように構成されている。
【０００３】
前記各ガイドローラは、軸受部を介して基台等に回転可能に支持されたローラ支持軸に固着されてこの支持軸と一体に回転するように構成され、さらにローラ支持軸の前記軸受部に対して冷却水が循環し、かつその流量が制御されるように構成されている。つまり、ワイヤソーの稼働中は、ローラ支持軸を高速回転させるために前記軸受部に摩擦熱が発生して前記ローラ支持軸に熱膨張が起き、この熱膨張によりガイドローラが経時的に軸方向に変位する結果、ワイヤが移動してウエハが反った状態で切り出されることが経験的に知られている。そこで、この文献のワイヤソーでは、前記軸受部に冷却水を循環させてローラ支持軸を冷却する一方、この冷却水の流量等を制御してローラ支持軸の熱膨張に伴うガイドローラの変位量を調整することにより、ウエハの反りの大きさ等を制御するように構成されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平８−３２３７４１号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記従来のワイヤソーは、ローラ支持軸の軸受部に冷却水を循環させることにより該軸受部を介して間接的にローラ支持軸を冷却するものであって、冷却範囲も狭く、しかもローラ支持軸が軸受部に対して回転するものなのでローラ支持軸を効果的に冷却し得るものではない。従って、ローラ支持軸の熱膨張に伴うガイドローラの変位量調整を十分に行うことは困難であり、ウエハの反りやその大きさに対する制御を十分に行い得るものではなかった。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、半導体インゴット（ワーク）をウエハ状（薄片状）に切断する際等の反りやその大きさをより良好に制御できるようにすることを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、回転可能な状態でフレームに支持された複数のガイドローラ間に切断用ワイヤが螺旋状に巻き掛けられることにより該ワイヤが多数本並んだ状態で張設されるワイヤソーにおいて、一端が前記フレームに固定されかつ軸方向に伸縮可能となるように他端が前記フレームに支持されるローラ支持軸を有し、このローラ支持軸の周囲に前記ガイドローラが当該ローラ支持軸に対して相対回転可能に支持されるとともに、前記ローラ支持軸に冷却水通路が形成されてこの冷却水通路に温調された冷却水が供給可能に構成されており、前記ローラ支持軸は、前記一端側に開いて軸方向に延びかつその奥端部が前記ガイドローラにおける前記ワイヤの巻き掛け箇所の末端部分であって前記一端側の末端部分に位置するように形成される凹部を有し、前記冷却水通路は、前記凹部内において前記冷却水が前記ローラ支持軸の前記一端側から前記他端側に向かって流動しかつ当該凹部の奥端部で反転して前記一端側に向かって流動することにより、前記冷却水を前記ローラ支持軸のうち前記ワイヤの巻き掛け箇所よりも前記一端側の部分のみに供給するように構成されているものである。
【０００８】
この構成によると、ローラ支持軸の内部に冷却水が供給されてローラ支持軸そのものが直接冷却されるので、冷却水の流量や温度に応じて効果的にローラ支持軸を冷却することが可能となる。従って、ローラ支持軸の熱膨張に伴うガイドローラの変位をより有効に調整することが可能となり、その結果、ワークから切り出される薄片の反りやその大きさを良好に制御し得るようになる。しかも、ローラ支持軸がワイヤソーのフレームに対して固定され、ローラ支持軸は回転せずにガイドローラのみが回転するので、ローラ支持軸への給水が容易で冷却水通路の構造も簡単なものとなる。
【０００９】
上記の構成においては、前記ガイドローラの軸受部分の近傍を冷却水が流動するように前記冷却水通路が形成されているのが好ましい。すなわち、固定のローラ支持軸に対してガイドローラが回転する上記のワイヤソーでは、ローラ支持軸の熱源はガイドローラの軸受部分の摩擦熱等である。そのため、当該軸受部分の近傍を冷却水が流動するように冷却水通路を構成することにより、ローラ支持軸を効果的に冷却できるようになる。
【００１２】
より具体的には、例えば筒状のスリーブを有した流路構成部材を具備し、前記スリーブを前記凹部に挿入した状態で前記ローラ支持軸の端部に前記流路構成部材が組み付けられることにより前記ローラ支持軸の内部であって前記スリーブの内外に該スリーブの先端部分で互いに連通して軸方向に延びる前記冷却水通路が形成され、前記ローラ支持軸の前記一端側において前記冷却水がスリーブ内外の通路のうち一方側に供給されつつ他方側から導出されるように構成されているように構成することができる。
【００１３】
この構成によると、前記冷却水はローラ支持軸の一端側から例えばスリーブの内側の通路に供給される。そして、ローラ支持軸の前記一端側から他端側に向かって流動した後、スリーブ先端からその外側の通路に流出することにより反転し、ローラ支持軸の前記一端側に向かって流動することとなる。従って、冷却水を簡易な構成でもってローラ支持軸内において循環させることができ、この循環によりローラ支持軸と冷却水との熱交換を促進させることができる。
【００１４】
一方、本発明のガイドローラ組立体は、ワイヤソーに組み込まれ、切断用ワイヤを案内するガイド溝を外周面に有するガイドローラをもつガイドローラ組立体であって、一端がワイヤソーのフレームに固定されかつ軸方向に伸縮可能となるように他端が前記フレームに支持されるローラ支持軸を有し、このローラ支持軸の周囲に前記ガイドローラが当該ローラ支持軸に対して相対回転可能に支持されるとともに、前記ローラ支持軸に冷却水を流通させるための冷却水通路が形成されており、前記ローラ支持軸は、前記一端側に開いて軸方向に延びかつその奥端部が前記ガイドローラにおける前記ワイヤの巻き掛け箇所の末端部分であって前記一端側の末端部分に位置するように形成される凹部を有し、前記冷却水通路は、前記凹部内において前記冷却水が前記ローラ支持軸の前記一端側から前記他端側に向かって流動しかつ当該凹部の奥端部で反転して前記一端側に向かって流動することにより、前記冷却水を前記ローラ支持軸のうち前記ワイヤの巻き掛け箇所よりも前記一端側の部分のみに供給するように構成されているものである。
【００１５】
このようなガイドローラ組立体によれば、ワイヤソーのフレームにローラ支持軸を固定した状態で該組立体をワイヤソーに組み込むことにより、上記のようなワイヤソーを容易に構成することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の好ましい実施の形態について図面を用いて説明する。
【００１７】
図１は、本発明に係るワイヤソーの全体構成図である。この図に示すワイヤソーは、一対のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂ、ガイドプーリ１２Ａ，１２Ｂ、ガイドプーリ１４Ａ，１４Ｂ、ガイドプーリ１６Ａ，１６Ｂ、ワイヤ張力調節装置１８Ａ，１８Ｂ、ガイドプーリ２２Ａ，２２Ｂ、及び４つのガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂを備えている。
【００１８】
ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂは互いに同じ高さ位置に配され、ガイドローラ２６Ａ，２６Ｂはそれぞれガイドローラ２４Ａ，２４Ｂの下方の位置に配されており、ガイドローラ２６Ａが後に詳しく説明するように駆動モータ２５によって回転駆動されるようになっている。
【００１９】
各ワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂは、切断用のワイヤＷが巻かれるボビン９Ａ，９Ｂと、これを回転駆動するボビン駆動モータ１１Ａ，１１Ｂとを備えている。一方のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａのボビン９Ａから繰り出されたワイヤＷは、ガイドプーリ１２Ａ，１４Ａ，１６Ａ、ワイヤ張力調節装置１８Ａのプーリ２０Ａ、及びガイドプーリ２２Ａの順に掛けられ、さらにガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ｂ，２６Ａの外周面のガイド溝（図示省略）に嵌め込まれながらこれらガイドローラの外側に多数回螺旋状に巻回された（巻き掛けられた）後、ガイドプーリ２２Ｂ、ワイヤ張力調節装置１８Ｂのプーリ２０Ｂ、ガイドプーリ１６Ｂ，１４Ｂ，１２Ｂの順に掛けられ、他方のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ｂのボビン９Ｂに巻き取られており、両ワイヤ張力調節装置１８Ａ，１８ＢによってワイヤＷに適当な張力が与えられている。そして、駆動モータ２５によるガイドローラ２６Ａの回転駆動方向と、各ボビン駆動モータ１１Ａ，１１Ｂによるボビン９Ａ，９Ｂの回転駆動方向が正逆に切換えられることにより、ワイヤＷがボビン９Ａから繰り出されてボビン９Ｂに巻き取られる状態と、ワイヤＷがボビン９Ｂから繰り出されてボビン９Ａに巻き取られる状態とに切換えられるようになっている。
【００２０】
すなわち、このワイヤソーにおいては、ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂの間に多数本のワイヤＷが互いに平行な状態で張られながらその軸方向に往復駆動されるようになっている。
【００２１】
このガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間に張られたワイヤＷの上方には、円柱状のワーク（例えば半導体インゴット）２８を移動させるワーク送り装置３０が設けられている。このワーク送り装置３０は、ワーク保持部３２と、ワーク送りモータ３４とを備えている。ワーク保持部３２は、上記ワーク２８をその軸方向とワイヤ並び方向とが合致する向きに保持するものであり、ワーク送りモータ３４は、図略のボールネジとの組み合わせにより、上記ワーク保持部３２とワーク２８とを一体に昇降させる（すなわち切断送りする）ものである。
【００２２】
ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間に張られたワイヤＷの上方において、ワーク２８の左右両側の位置には、砥粒供給装置３６Ａ，３６Ｂが設けられている。これらの砥粒供給装置３６Ａ，３６Ｂは、高速駆動される各ワイヤＷに対し、加工用砥粒が混合された加工液（スラリー）を同時供給し、ワイヤＷの表面に付着させるものである。
【００２３】
従って、このワイヤソーでは、ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間に張られた多数本のワイヤＷがその長手方向に同時高速駆動され、かつこれらのワイヤＷに砥粒供給装置３６Ａ，３６Ｂからスラリーが供給されながら、上記ワイヤＷに対してワーク２８が下方に切断送りされることにより、このワーク２８から一度に多数枚のウエハ（薄片）が同時に切り出される。
【００２４】
次に、ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂの支持構造について図２及び図３を用いて説明する。この実施の形態では、これらガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂの支持構造がほぼ共通するため、以下、ガイドローラ２６Ａを例にとって説明する。
【００２５】
同図は、ガイドローラ２６の構造を断面図で示している。これらの図に示すように、ワイヤソーの前後（同図では左右）にはガイドローラ支持壁３８が立設され、これら支持壁３８のうち、後側の支持壁３８に前後方向に延びるローラ支持軸４０の後端部が固定され、前側の支持壁３８にローラ支持軸４０の前端部が軸方向に摺動可能に支持されている。そして、このローラ支持軸４０の周囲にベアリング４２ａ，４２ｂを介して円筒状のガイドローラ２６Ａが回転可能に支持されている。なお、当実施の形態では、ガイドローラ支持壁３８が本発明のフレームを構成している。
【００２６】
ガイドローラ２６Ａは、内側ローラ４４ａとその外側に固定される外側ローラ４４ｂとから構成されている。内側ローラ４４ａは全体が金属等の比較的硬い材料で形成されているのに対し、外側ローラ４４ｂはその内側にあたる本体部分が金属等の比較的硬い材料で形成され、表面にはポリウレタン等の柔らかい合成樹脂からなる合成樹脂層が被着されている。そして、図示を省略するが、外側ローラ４４ｂの表面の合成樹脂層に、周方向に延びる多数本のガイド溝が軸方向に並べて形成され、これらガイド溝に切断用ワイヤＷがはめ込まれながら当該ワイヤＷがガイドローラ２６Ａの表面に掛けられている。
【００２７】
内側ローラ４４ａの両端部には、一対のフランジ部材４６，４８が固定され、その一方側（フランジ部材４８）には、さらにその外側に駆動プーリ５０が固定されている。そして、前記駆動モータ２５が支持壁３８に固定され、この駆動モータ２５の出力軸に組付けられたプーリ５４と前記駆動プーリ５０とにわたって駆動ベルト５６が掛け渡されている。つまり、駆動モータ２５が作動するとその回転駆動力がプーリ５４、駆動ベルト５６およびプーリ５０を介して内側ローラ４４ａに伝達され、その結果、ガイドローラ２６Ａがローラ支持軸４０に対して相対的に回転するものである。なお、当実施形態では、ガイドローラ２６Ａ、ローラ支持軸４０およびベアリング４２ａ，４２ｂ等が本発明のガイドローラ組立体に該当する。
【００２８】
ガイドローラ２６Ａを支持する前記ローラ支持軸４０には、その内部を巡る冷却水通路が形成されている。
【００２９】
詳しく説明すると、前記ローラ支持軸４０は、軸方向に貫通孔を有した中空軸から構成されており、ゴム又は合成樹脂からなる栓体がその内部に圧入されることにより片側の開口が閉栓されている。その結果、ローラ支持軸４０の一端に軸方向に延びる凹部４１が形成されている。そして、この凹部４１を塞ぐように流路構成部材６０が前記ローラ支持軸４０の一端に固定されている。この流路構成部材６０は、筒状のスリーブ６４とこれを支持する本体部分６２とからなり、図３に示すように、前記スリーブ６４を前記凹部４１に挿入した状態で、前記本体部分６２に形成された雄ネジ部が前記凹部４１に形成された雌ネジ部に螺合装着されることによりローラ支持軸４０の一端に組み付けられている。
【００３０】
前記本体部分６２の外側には冷却水の導入用ポート６４ａ及び導出用ポート６４ｂが設けられている。これらポート６４ａ，６４ｂのうち導入用ポート６４ａは、本体部分６２に形成された通路６６を通じて前記スリーブ６４の内側に連通しており、一方、導出用ポート６４ｂは、通路６７を通じて前記スリーブ６４の周囲に形成された隙間６８に連通している。そして、この隙間６８がローラ支持軸４０の前記凹部４１に通じている。これにより、ローラ支持軸４０の内部であって前記スリーブ６４の内外にその先端部分で互いに連通して軸方向に延びる冷却水通路が形成され、冷却水が、導入用ポート６４ａ→通路６６→スリーブ６４の内側→スリーブ６４の外側→隙間６８→通路６７→導出用ポート６４ｂの順に循環するように構成されている。
【００３１】
なお、冷却水の循環系統は、ポンプ７５の駆動により供給通路７２を通じて前記導入用ポート６４ａに冷却水を案内しつつ、ローラ支持軸４０を巡って導出用ポート６４ｂから導出される冷却水を排出通路７４を通じて冷却器７８に案内し、ここで例えば冷水等との熱交換により再び冷却してからポンプ７５に導入するように構成されている。冷却器７８とポンプ７５との間には、ヒーター７７を備えた温調器７６が介設されており、前記排出通路７４の途中部分に設けられた温度計８０による冷却水の検出温度に基づいてこの温調器７６の作動が制御装置８２によって制御されることにより、ローラ支持軸４０に供給される冷却水の温度が調整されるようになっている。つまり、ワイヤソーの稼働中は、ガイドローラ２６Ａが高速回転するためにベアリング４２ａ，４２ｂ（軸受部分）に摩擦熱が発生し、この熱によりローラ支持軸４０に熱膨張が起きてガイドローラ２６Ａが軸方向に変位する。従って、冷却水の温度を調整することによりローラ支持軸４０の熱膨張によるガイドローラ２６Ａの変位量を調整し、これによりワーク２８から切り出される薄片の反りの大きさ等を制御するように構成されている。
【００３２】
具体的には、ワーク２８から切り出される薄片の反りの大きさを小さくしたい場合には、冷却水の温度が一定となるように調整する。また、薄片に反りを与えたい場合は、例えば切り始めからワーク２８の中央部までは冷却水の温度を徐々に高め、中央部から切断終了までは冷却水の温度を徐々に下げる。反りの方向を逆にしたい場合には、冷却水の温度調整を上記の場合と逆にすればよい。
【００３３】
なお、他のガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ及び２６Ａについては、駆動プーリ５０が設けられていない点を除いて上記のガイドローラ２６Ａと同等に構成されている。
【００３４】
以上説明したガイドローラ２６Ａ（ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ｂ）の構成によると、ワイヤソーの駆動中は、ガイドローラ２６Ａを支持するローラ支持軸４０の内部に冷却水が供給され、ローラ支持軸４０そのものが冷却水により直接冷却される。その上、図２等に示すようにローラ支持軸４０の広い範囲に亘って冷却水が循環する構成となっているので、従来のワイヤソー、すなわちローラ支持軸の軸受部分に冷却水を循環させることにより該軸受部分を介してローラ支持軸を間接的に冷却するワイヤソーと比較すると、ローラ支持軸４０を効果的に、かつ速やかに冷却することができる。従って、ローラ支持軸４０の熱膨張に伴うガイドローラ２６Ａの変位をより確実、かつ速やかに調整することができ、従来のワイヤソーと比べ、ワーク２８を薄片状に切断する際等の反りやその大きさをより良好に制御することができるようになる。
【００３５】
しかも、ローラ支持軸４０に対してガイドローラ２６Ａを回転可能に設け、支持壁３８に対してローラ支持軸４０を固定することにより、ローラ支持軸４０は回転せずにガイドローラ２６Ａのみが回転するようにしているので、ローラ支持軸４０への給水が容易で冷却水通路の構造も上述のように簡単なものとなる。そのため、従来構成と比べてもさほど遜色のない簡易な構成で効果的にローラ支持軸４０を良好に冷却することができる。
【００３６】
なお、以上は本発明に係るワイヤソーの一例であって、その具体的な構成は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、以下のような構成を採用することもできる。
【００３７】
（１）実施形態では、ローラ支持軸４０の一部、具体的には、ローラ支持軸４０の一方側（図２では右側）の端部からガイドローラ２６Ａを支持する前後のベアリング４２ａ，４２ｂのうち後側（図２では右側）のベアリング近傍に亘る範囲に冷却水を循環させているが、勿論、ローラ支持軸４０の全体に亘って冷却水を循環させるように構成してもよい。但し、ローラ支持軸４０の熱源はガイドローラ２６Ａの軸受部分（ベアリング４２ａ，４２ｂ）であるため、必ずしも全体を冷却しなくても、実施形態のようにガイドローラ２６Ａの軸受部分近傍においてローラ支持軸４０を冷却する構成であれば効果は大きい。
【００３８】
なお、ローラ支持軸４０の他方側の端部近傍にも同等の冷却水通路を形成することにより、ローラ支持軸４０の他方側（図２では左側）の端部からガイドローラ２６Ａを支持する後側（図２では左側）のベアリング近傍に亘る範囲にも冷却水を循環させるようにしてもよい。
【００３９】
（２）実施形態では、図３の矢印に示すように、冷却水をローラ支持軸４０の一方側の端部から他方側の端部に向かって一方向に流動させた後、反転して逆方向に流すように冷却水通路を構成しているが、単に、支持軸４０の一方側の端部から他方側の端部に向かって冷却水を一方向にのみ流動させるように冷却水通路を構成してもよい。この構成によれば、通路構成が極めて簡単になるため生産性を高めることが可能となる。
【００４０】
（３）ワイヤソーに設けられた全てのガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂについて上記実施形態のような構造を適用する必要はなく、少なくともワーク切断位置に直接影響を与えるガイドローラについてのみ上記実施形態のような構造を適用することにより、顕著な効果を得ることができる。
【００４１】
（４）実施形態では、熱膨張によるローラ支持軸４０の軸方向への伸縮を許容し得るように、ローラ支持軸４０の一方側の端部（前端部）が支持壁３８に対して摺動可能となっているが、例えば薄片の反りやその大きさを制御する必要がない場合には、ローラ支持軸４０の両端が支持壁３８に完全に固定されている（つまり、支持軸３８に対して摺動不能な状態で固定されている）ものであってもよい。
【００４２】
【発明の効果】
以上のように本発明は、ワイヤソーのフレームにローラ支持軸を固定し、このローラ支持軸に対してガイドローラを回転可能に支持し、ワイヤソーの駆動中は、このローラ支持軸の内部に形成された冷却水通路に冷却水を供給することにより、ローラ支持軸そのものを直接冷却水で冷却する構成としたので、従来のワイヤソー、すなわちローラ支持軸の軸受部分に冷却水を供給することによりローラ支持軸をその該軸受部分を介して間接的に冷却するワイヤソーと比較すると、ローラ支持軸を効果的に、かつ速やかに冷却することができる。従って、ローラ支持軸の熱膨張に伴うガイドローラの変位をより確実、かつ速やかに調整することができ、これにより半導体インゴット（ワーク）をウエハ状（薄片状）に切断する際等の反りやその大きさをより良好に制御できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態にかかるワイヤソーの全体構成図である。
【図２】  ガイドローラの支持構造を示す要部断面側面図である。
【図３】  ローラ支持軸の構造を示す図２の要部拡大図である。
【符号の説明】
２４Ａ，２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂ  ガイドローラ
２８  ワーク
４０  ローラ支持軸
６０  流路構成部材
６２  本体部分
６４  スリーブ
７２  供給通路
７４  排出通路
７５  ポンプ
７８  冷却器
Ｗ  ワイヤ
【図１】
0004473499.tif 000002
【図２】
0004473499.tif 000003
【図３】
0004473499.tif 000004