(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送される流体と接した状態で往復動するダイヤフラムと、前記ダイヤフラムを駆動させる駆動力供給部とを備えた往復動ポンプにおいて、前記駆動力供給部が、一つの偏心カムと、前記偏心カムの回転によって往復動する第一のピストン部および第二のピストン部と、前記第一および第二のピストン部の位置を調整する調整手段とを用いて構成されており、前記調整手段が、前記第一および第二のピストン部を前記偏心カムの位置する方向に付勢させる付勢機能と、前記偏心カムの対角距離の変化に起因する前記第一のピストン部と前記第二のピストン部との間に生ずるずれを吸収し得る緩衝機能とを有し、前記第二のピストン部が中空状に形成されており、前記第二のピストン部の内部に前記偏心カムと前記第一のピストン部とが設けられ、前記第一のピストン部の外面部と前記第二のピストン部の内面部との間に前記調整手段が設けられており、前記偏心カムの回転によって前記第一のピストン部と前記第二のピストン部とが前記調整手段を伴って往復動することを特徴とする往復動ポンプ。
【請求項２】
前記第一および第二のピストン部の往復動方向と、前記調整手段の付勢方向および緩衝方向とが略平行である請求項１に記載の往復動ポンプ。
【請求項３】
前記調整手段が、一つのスプリング等から成る付勢部材を用いて構成されている請求項２に記載の往復動ポンプ。
【請求項４】
前記第一のピストン部の端面部と一のダイヤフラムとの間に形成された第一の空間と、前記第二のピストン部の端面部と他のダイヤフラムとの間に形成された第二の空間とが、それぞれ略密閉状態に構成されており、前記各空間内には作動油が充填されており、前記第一および第二のピストン部の往復動に基づいて前記作動油に圧力が作用して、前記圧力によって前記一および他のダイヤフラムが往復動する請求項１から３のいずれか１項に記載の往復動ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、往復動ポンプに関し、詳しくは、往復動する駆動手段としてダイヤフラム等（他には、例えばピストンまたはプランジャ等）を用いて構成された往復動ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ダイヤフラムを駆動させて流体を搬送させる往復動ポンプは、従来から知られている。係る往復動ポンプにおいては、モータ等の駆動手段で得られる回転運動をカムを介して直線往復運動に変換して、この直線往復運動にてダイヤフラムを駆動させるべく構成されている。
【０００３】
上記従来技術に係る往復動ポンプは、一般的には、化学薬品や薬剤等を注入する際の、いわゆる定量注入等に用いられている。つまり、ダイヤフラムを用いて構成された往復動ポンプ（以下、単に「往復動ポンプ」ともいう。）は、従来から、定量搬送を必要とする箇所に設けられている。
【０００４】
しかし、以上のような利点（吐出流量の変動が少ないという利点）を有する往復動ポンプにも、次のような問題がある。
上記往復動ポンプは、ダイヤフラムの往復動に基づいて流体の搬送を行うわけであるが、その際には、ダイヤフラムが往動することによってポンプヘッド部内の流体が加圧されて押し出され（以下、「往動工程」という。）、ダイヤフラムが復動することによってポンプヘッド部内が減圧されて流体が引き込まれる（以下、「復動工程」という。）こととなる。従来技術に係る往復動ポンプにおいては、このような比較的細かい動作たる往動工程と復動工程とを所定時間に所定回数繰り返すことによって、全体として定量搬送を可能とするが、一の往動工程と一の復動工程とを比較すれば、これらの工程間には、大きな吐出流量の差が存在する（基本的に、復動工程においては吐出は行わない。）。
すなわち、上記従来技術に係る往復動ポンプにおいては、この吐出流量の差によって、搬送される流体に脈動が発生するという問題が生ずるわけである。
【０００５】
そこで、係る問題を解決するための技術として、最近は、ダイヤフラムを有するポンプヘッドを二つ設けた構造の往復動ポンプが知られている。
【０００６】
図７は、従来技術に係る往復動ポンプの概略斜視図を示したものである。図７において、往復動ポンプ２００は、第一のポンプヘッド部２１０と、第二のポンプヘッド部２２０と、これらのポンプヘッド部２１０，２２０に内包されているダイヤフラムを駆動させる駆動部２３０と、各ポンプヘッド部２１０，２２０における流体の流入側および流出側に設けられた逆止弁機構（例えば、バルブ部および弁座部等から成る）（図示省略）を有した接続部２１１，２１２，２２１，２２２等とを用いて構成されている。ここで、駆動部２３０は、例えば、電動モータ等を用いて構成されている。
【０００７】
往復動ポンプ２００には、液体の流入側に流入側配管部２４０が接続され、流出側に流出側配管部２５０が接続されている。具体的には、流入側配管部２４０に設けられた流入側フランジ部２４１，２４２と、ポンプ流入側フランジ部２１３，２２３とがボルト等を用いて連結され、流出側配管部２５０に設けられた流出側フランジ部２５１，２５２と、ポンプ流出側フランジ部２１４，２２４とがボルト等を用いて連結されることによって、往復動ポンプ２００と配管部２４０，２５０とが接続されている。
【０００８】
ここで、通常、各接続部２１１，２１２，２２１，２２２の一方の端部は、ポンプヘッド部２１０，２２０に螺合状態で固着されている。また、各接続部２１１，２１２，２２１，２２２の他方の端部には、フランジ部２１３，２１４，２２３，２２４が固着されている。
【０００９】
そして、上記往復動ポンプ２００を構成する各ポンプヘッド部２１０，２２０に内包されているダイヤフラムは、一方のダイヤフラムが往動工程のときは他方のダイヤフラムが復動工程となり、一方のダイヤフラムが復動工程のときは他方のダイヤフラムが往動工程となるように構成されている。
【００１０】
すなわち、図７に示された往復動ポンプによれば、一方のダイヤフラムが他方のダイヤフラムを、他方のダイヤフラムが一方のダイヤフラムを補完すべく駆動するので、従来問題であった脈動を効果的に改善可能な往復動ポンプを得ることができる。
この際、従来技術に係る往復動ポンプにおいては、各ダイヤフラムが、それぞれ略１８０゜位相の異なるカムを用いて駆動させられており、各ダイヤフラムについては、所定方向（通常は吐出と反対方向）にダイヤフラムを付勢すべく、付勢手段（スプリング等）が設けられている。
【００１１】
往復動ポンプ２００を構成する各ポンプヘッドの内部は、例えば、図８に示すように構成されている。図８は、従来技術に係る往復動ポンプ２００を構成するいずれか一方のポンプヘッド部の一部の縦断面図を示したものである。
【００１２】
図８においては、ダイヤフラム３０１を往復動させるための駆動手段たるピストン部３４３が、ベアリング３４７を有するベアリング支持部３４８に固着されており、ピストン部３４３等を内包する支持体３５０とベアリング支持部３４８との間には付勢手段３４９が設けられ、この付勢手段３４９によってベアリング３４７が偏心カム３４２に接すべく（図面上の右方向に）付勢して構成されている。そして、図８においては、図面上の左方向に搬送流体が流通する配管部２４０，２５０等が設けられている。
【００１３】
このように構成された従来技術に係る往復動ポンプによれば、偏心カム３４２を矢印Ｒ方向に回転させることによって、ベアリング３４７、ベアリング支持部３４８、およびピストン部３４３等を介してダイヤフラム３０１が矢印Ｚ方向に往復動されることとなる。その際、偏心カム３４２のＴ０点からＴ１点までがダイヤフラム３０１の吐出工程となり、Ｔ０点のときの上死点Ｓ０からＴ１点のときの下死点Ｓ１までのストローク距離Ｓが、付勢手段３４９が撓む距離ということになる。
【００１４】
すなわち、この従来技術に係る往復動ポンプによれば、ピストン部３４３および付勢手段３４９等がストローク距離Ｓの間隔を往復動することによって、適切にダイヤフラム３０１を往復動させて、流体の搬送を行っている。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術に係る往復動ポンプには、次のような問題があった。
【００１６】
従来技術に係る往復動ポンプ２００は、二つのポンプヘッド部２１０，２２０を用いることによって、脈動を防止すべく構成されているが、ポンプヘッド部の数が増えるということは、それだけ部品点数が増加することであり、それに伴い、封止部の数も増加する。したがって、従来技術に係る往復動ポンプ２００においては、封止部の増加に伴い、液漏れの可能性も増大するという問題があった。
【００１７】
また、従来技術に係る往復動ポンプ２００においては、上述のように、二つのポンプヘッド部２１０，２２０内のそれぞれのダイヤフラムを駆動させるために、それぞれ二つの偏心カム、二つのピストン部、および二つの付勢手段等が設けられている。そして、従来技術に係る往復動ポンプ２００においては、これらの要素を適切に（カム等のタイミングを考慮しつつ）組み合わせることによって、脈動を防止すべく駆動させている。したがって、従来技術に係る往復動ポンプによれば、構成要素が多いために、各要素の製作誤差・組立誤差等が、その駆動状態に大きく影響を与えるという問題があった。
【００１８】
さらに、従来技術に係る往復動ポンプ２００においては、ピストン部３４３のストローク距離Ｓと同様の距離だけ、付勢手段３４９も往復動（伸び・縮み）を繰り返すこととなるため、比較的強度の高いスプリング等を用いて付勢手段３４９を構成する必要があり、装置の小型化等が困難である等の問題があった。
【００１９】
そこで、本発明は、上記従来技術に係る往復動ポンプの問題を解決するためになされたものであって、脈動を防止し得る構成であることを前提として、部品点数を減少させて液漏れの可能性を低減させることができる往復動ポンプを提供することを課題とし、また、各要素の製作誤差・組立誤差等の影響を最低限に抑えることができる往復動ポンプを提供することを課題とし、さらに、付勢手段の往復動距離（撓み距離）を減少させて装置の小型化を実現可能な往復動ポンプを提供することを課題とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
すなわち、上記課題を解決するための本発明は、搬送される流体と接した状態で往復動するダイヤフラム１，２と、前記ダイヤフラム１，２を駆動させる駆動力供給部４０とを備えた往復動ポンプにおいて、前記駆動力供給部４０が、一つの偏心カム４２と、前記偏心カム４２の回転によって往復動する第一のピストン部４３および第二のピストン部４４と、前記第一および第二のピストン部４３，４４の位置を調整する調整手段４９とを用いて構成されており、前記調整手段４９が、前記第一および第二のピストン部４３，４４を前記偏心カム４２の位置する方向に付勢させる付勢機能と、前記偏心カムの対角距離の変化に起因する前記第一のピストン部４３と前記第二のピストン部４４との間に生ずるずれを吸収し得る緩衝機能とを有することを特徴としている。
【００２１】
本発明に係る往復動ポンプによれば、一つの偏心カム４２を用いて、二つのピストン部４３，４４を往復動させ、これに基づいて、二つのダイヤフラム１，２を往復動させているので、二つのダイヤフラム１，２を駆動させる場合であっても、従来よりも、部品点数を削減することが可能となり、それに伴い、封止部の数も減らすことができるので、液漏れ等の発生確率を低減可能な往復動ポンプを得ることができる。
また、本発明に係る往復動ポンプによれば、上述したように、従来よりも構成要素を少なくすることが可能となるので、各要素の製作誤差の発生確率を従来よりも低減でき、また、その分組立誤差等も低減可能となる。したがって、本発明によれば、従来技術においては往復動ポンプの駆動状態に悪影響を及ぼしていた各要素の製作誤差・組立誤差等を、部品点数の低減等により、効果的に削減することが可能となる。
さらに、本発明に係る往復動ポンプは、一つの偏心カム４２を用いて構成されているので、従来のように二つの偏心カムの形状の同一性等求められることはなく、また、一つの偏心カム４２であるため、従来ほどの組立精度等を要求されることはない。したがって、本発明によれば、従来ほどの煩雑な工程を経ることなく、効率的に往復動ポンプ（および各要素）を製作・組立等することが可能となる。
【００２２】
また、本発明に係る往復動ポンプにおいては、前記第二のピストン部４４が中空状に形成されており、前記第二のピストン部４４の内部に前記偏心カム４２と前記第一のピストン部４３とが設けられ、前記第一のピストン部４３の外面部４３ａと前記第二のピストン部４４の内面部４４ａとの間に前記調整手段４９が設けられており、前記偏心カム４２の回転によって前記第一のピストン部４３と前記第二のピストン部４４とが前記調整手段４９を伴って往復動する構成であることが好ましい。
【００２３】
この好ましい構成によれば、前記偏心カム４２の回転によって、前記調整手段（位置規制付勢手段）４９を挟持した状態で前記ピストン部４３，４４がそれぞれスライドしつつ、往復動を繰り返すこととなるため、前記ピストン部４３，４４の往復動距離に対して、前記調整手段４９の最大撓み距離を従来よりもかなり小さな距離とすることが可能となる。
したがって、従来技術においては、ピストンのストローク距離と付勢手段の撓む距離とが同一であった（ピストンのストローク距離分撓む付勢手段が必要であった）のに対し、この好ましい構成によれば、付勢手段等から成る前記調整手段４９の撓み量は、前記ピストン部４３，４４のストローク距離よりも小さく（例えば１／４程度）することが可能となる。よって、従来よりも、小型で且つ低強度の付勢手段を用いて前記調整手段４９を構成することが可能となるので、前記駆動力供給部４０、延いては往復動ポンプの小型化を実現することができる。
【００２４】
また、本発明に係る往復動ポンプにおいては、前記第一および第二のピストン部４３，４４の往復動方向と、前記調整手段４９の付勢方向および緩衝方向とが略平行である構成が好ましい。
【００２５】
この好ましい構成によれば、比較的簡単な構成によって且つ小型化を実現可能な、上述した種々の効果を奏する往復動ポンプを得ることができる。
【００２６】
また、本発明に係る往復動ポンプにおいては、前記調整手段４９が、一つのスプリング等から成る付勢部材を用いて構成されていることが好ましい。
この好ましい例によれば、上述した種々の効果を奏する前記調整手段４９を、容易に構成することが可能となる。
【００２７】
また、本発明に係る往復動ポンプにおいては、前記第一のピストン部４３の端面部４３ａと一のダイヤフラム１との間に形成された第一の空間（第一の配管部２１内の空間等）と、前記第二のピストン部４４の端面部４４ａと他のダイヤフラム２との間に形成された第二の空間（第二の配管部２２内の空間等）とが、それぞれ略密閉状態に構成されており、前記各空間内には作動油が充填されており、前記第一および第二のピストン部４３，４４の往復動に基づいて前記作動油に圧力が作用して、前記圧力によって前記一および他のダイヤフラム１，２が往復動する構成であることが好ましい。
【００２８】
この好ましい構成によれば、前記ピストン部４３，４４からの駆動力を前記ダイヤフラム１，２に対して効果的に伝達することが可能となり、前述した種々の効果を奏する前記駆動力供給部４０等を用いて、小型化等を実現できる往復動ポンプを得ることが可能となる。
【００２９】
さらに、本発明は、搬送される流体と接した状態で往復動するダイヤフラムを二つ用いて構成された往復動ポンプにおいて、一のダイヤフラム１の接液面１ａと他のダイヤフラム２の接液面２ａとが、搬送経路を有するポンプヘッド３を介して略平行に対向し得るべく設けられており、前記一のダイヤフラム１の接液面１ａと前記他のダイヤフラム２の接液面２ａと前記ポンプヘッド３とを用いて流体搬送領域が形成されたことを特徴としている。
ここで「流体搬送領域」とは、各ダイヤフラム１，２を駆動させることによって、前記ポンプヘッド３の前記搬送経路に接続された配管部外に対しては漏洩させることなく、前記流体を適切に搬送させることが可能である領域をいう。
【００３０】
本発明に係る往復動ポンプによれば、前記ポンプヘッド３を介して前記ダイヤフラム１，２を対向して設けたことにより、従来のように二つの独立したポンプヘッド部を有する場合と比較して、ポンプを構成する際の部品点数を大幅に減少させることが可能となる。したがって、部品点数の減少に伴い、封止部の数も従来よりも削減させることが可能となるので、封止部の減少分だけ液漏れの可能性を低減させることができる。また、本発明に係る往復動ポンプによれば、対向する前記ダイヤフラム１，２の間に前記ポンプヘッド３が設けられているので、一のダイヤフラムの動きが他のダイヤフラムに対して悪影響等を及ぼすことなく、各ダイヤフラムがそれぞれ所定の動きを適切に実施することができる。したがって、本実施形態によれば、各ダイヤフラムにおける吐出流量が適切に保持され、効果的に搬送流体の脈動を防止することが可能な往復動ポンプを得ることができる。
【００３１】
また、本発明に係る往復動ポンプにおいては、前記ダイヤフラム１，２および前記ポンプヘッド３を用いて構成される搬送流体流通ブロック２５が、前記流体搬送領域から前記流体を漏洩させることなく、分離可能であることが好ましい。すなわち、前記ダイヤフラム１，２における前記接液面１ａ，２ａの裏側の面には、前記搬送される流体が接することのない構成であって、前記搬送流体流通ブロック２５が、前記搬送される流体を漏洩させることなく、各ダイヤフラム１，２を駆動させる駆動力供給部等との切り離しが可能である構成が好ましい。
【００３２】
この好ましい構成によれば、、メンテナンス処理を効率的に行うことが可能となる。
すなわち、本発明に係る往復動ポンプによれば、前記搬送流体流通ブロック２５を分解等することなく、配管部等を取り外し、駆動力供給部のメンテナンス（例えば、偏心カム、位置規制付勢手段の交換等）を行うことが可能となるので、従来のように、二つのポンプヘッド部の分解・組立等を行うことなく、メンテナンス処理を行うことができる。よって、前記搬送流体流通ブロック２５内を流通する搬送流体を予め抜くことなく、前記駆動力供給部等のメンテナンスを行うことが可能である、メンテナンス性に優れた往復動ポンプを得ることができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。
【００３４】
図１は、本発明の実施形態に係る往復動ポンプの概略断面図を示したものである。また、図２は、図１の往復動ポンプを構成する流体搬送部の拡大図を示したものであり、図２（イ）は組立状態を示し、図２（ロ）は分解状態を示している。さらに、図３は図１のIII−III断面図を示したものであり、図４は、図１のIV−IV断面図を示したものである。以下、これらの図面に基づいて、本実施形態に係る往復動ポンプについて詳細に説明する。
【００３５】
本実施形態に係る往復動ポンプは、ダイヤフラム（第一のダイヤフラム１および第二のダイヤフラム２）が往復動することによって流体の搬送を実現する流体搬送部１０と、ダイヤフラム１，２を駆動させるべく適切なタイミングで作動油を供給する駆動力供給部４０と、この駆動力供給部４０の偏心カムを駆動させる駆動部７０等とを用いて構成されている。
【００３６】
本実施形態に係る往復動ポンプを成す流体搬送部１０は、具体的には、図１、図２および図４に示すべく構成されている。
これらの図面において、流体搬送部１０は、第一のダイヤフラム１と、第二のダイヤフラム２と、ポンプヘッド３と、このポンプヘッド３と共にダイヤフラム１，２を挟持して支持するダイヤフラム支持体（第一のダイヤフラム支持体４および第二のダイヤフラム支持体５）と、ダイヤフラム１，２の接液面１ａ，２ａ側であってポンプヘッド３と各ダイヤフラム１，２との間に設けられた搬送流体流通部（第一の搬送流体流通部６および第二の搬送流体流通部７）と、ダイヤフラム１，２の裏面（接液面１ａ，２ａの裏面）側であって各ダイヤフラム支持体４，５と各ダイヤフラム１，２との間に設けられた作動油流通部（第一の作動油流通部８および第二の作動油流通部９）と、駆動力供給部４０（後述する）からの駆動力を伝達する配管部（第一の配管部２１および第二の配管部２２）に連通すべく形成された作動油供給部（第一の作動油供給部１１および第二の作動油供給部１２）等とを用いて構成されている。
【００３７】
ここで、各ダイヤフラム１，２は、その断面形状が、例えば、波形形状、曲面形状等に形成されているが、図２等においては、図面の複雑化を避けるために、あえて具体的な断面形状については省略している。
また、ポンプヘッド３には、流体を搬送する際の搬送経路３Ａ，３Ｂが形成されている。そして、これらの搬送経路３Ａ，３Ｂの流入側と流出側には、図４に示すべく、それぞれ逆止弁（流入側逆止弁２３、流出側逆止弁２４）が設けられている。ここで、各逆止弁２３，２４は、ボールチャッキを二個用いて構成されている。
さらに、各ダイヤフラム１，２とポンプヘッド３との間には、搬送流体流通部６，７が設けられている。搬送流体流通部６，７には、複数個の貫通孔が形成されており、ダイヤフラム１，２の往復動による正圧・負圧が貫通孔を介して搬送経路３Ａ，３Ｂに伝えられる。そして、このダイヤフラム１，２の往復動（による正圧・負圧）によって、逆止弁２３，２４が開閉して、流体の搬送が行われる。
【００３８】
各ダイヤフラム１，２の裏面側には、作動油流通部８，９を介してダイヤフラム支持体４，５が設けられており、このダイヤフラム支持体４，５とポンプヘッド３とによって、ダイヤフラム１，２が挟持して固定されている。また、ダイヤフラム支持体４，５とポンプヘッド３とは、ボルト等の締結手段にて締結されている。
作動油流通部８，９には、複数個の貫通孔が形成されており、後述する駆動力供給部４０から供給される作動油が、この貫通孔を介してダイヤフラム１，２裏面側に対して送排出されることとなる。
また、作動油流通部８，９には、駆動力供給部４０に連通した作動油供給部１１，１２が取り付けられており、この作動油供給部１１，１２は、ボルト等にて作動油流通部８，９に締結されている。
【００３９】
次に、本実施形態に係る往復動ポンプを成す駆動力供給部４０は、具体的には、図１、図３、図４および図５に示すべく構成されている。
これらの図面において、駆動力供給部４０は、後述する駆動部７０からの駆動力を伝える駆動力伝達軸４１と、この駆動力伝達軸４１に取り付けられた偏心カム４２と、この偏心カム４２の動きに応じて往復動するピストン部（第一のピストン部４３および第二のピストン部４４）と、第一のピストン部４３内のベアリング４７，４７の内輪で支持された第一の回動軸４５と、第二のピストン部４４内のベアリング４８，４８の内輪で支持された第二の回動軸４６と、第二のピストン部４４内にて第一のピストン部４３と第二のピストン部４４とを適切に付勢して、各ピストン部４３，４４内に設けられている各回動軸４５，４６を偏心カム４２に接触させるべく機能する調整手段たる位置規制付勢手段４９と、これらの各要素を内包しているケーシング部５０等とを用いて構成されている。
そして、以上のような要素を有する駆動力供給部４０においては、ケーシング部５０内壁とピストン部４３，４４との間の密閉空間に、作動油が充填されている。
【００４０】
本実施形態に係る駆動力供給部４０においては、第二のピストン部４４が中空状に形成されている。すなわち、第二のピストン部４４は、その内部に、駆動力伝達軸４１、偏心カム４２、第一のピストン部４３、ベアリング４８、および位置規制付勢手段４９等が包含可能であるべく形成されている。
そして、第二のピストン部４４の内壁部（内面部）４４ａと第一のピストン部４３の外壁部（外面部）４３ａとの間には、位置規制付勢手段４９が挟持されている。すなわち、この位置規制付勢手段４９によって、第一および第二のピストン部４３，４４が偏心カム４２の位置する方向に付勢されることとなる。換言すれば、この位置規制付勢手段４９によって、第一のピストン部４３内の第一の回動軸４５と、第二のピストン部４４内の第二の回動軸４５とが、常に偏心カム４２の外周面に接すべく、適切に付勢されることとなる。
【００４１】
また、ケーシング部５０には、各配管部２１，２２に連通すべく、作動油の供給口（第一の供給口５１および第二の供給口５２）が形成されている。そして、各ピストン部４３，４４の端面部４３ａ，４４ａから、供給口５１，５２、配管部２１，２２等を介して、各ダイヤフラム１，２までの間に形成される空間は、略密閉状態に構成されており、この空間内には、作動油が充填されている。
したがって、本実施形態においては、各ピストン部４３，４４の動きに応じて作動油に対して正圧・負圧が作用し、この圧力変動により各供給口５１，５２を介して作動油が流通することとなる。そして、この作動油によって、ダイヤフラム１，２が往復動することとなる。
【００４２】
次に、本実施形態に係る往復動ポンプを成す駆動部７０は、図１および図４に示すべく構成されている。
これらの図面において、駆動部７０は、回転運動を生ずる電動モータ７１と、この電動モータ７１からの回転力を先に述べた駆動力伝達軸４１に伝えるためのギヤ部７２等とを用いて構成されている。
【００４３】
以上のように、本実施形態に係る往復動ポンプは、流体搬送部１０、駆動力供給部４０、および駆動部７０等を用いて構成されており、次のように機能する。
【００４４】
本実施形態に係る往復動ポンプにおいては、まずはじめに、電動モータ７１を回転させて、この回転力をギヤ部７２を介して駆動力伝達軸４１に伝える。
【００４５】
次に、この駆動力伝達軸４１によって偏心カム４２を回転させ、この偏心カム４２の回転によって、第一および第二のピストン部４３，４４を往復動させる。ここでは、上述した構成に基づいて、第一のピストン部４３と第二のピストン部４４とが一体的に、一つの偏心カム４２によって往復動する。
そして、このピストン部４３，４４の往復動によって作動油に対して所定の力および方向の圧力が作用し、その作動油が、供給口５１，５２を介して配管部２１，２２に送排出されることとなる。
【００４６】
次に、配管部２１，２２を介して流通する作動油に基づいて、ダイヤフラム１，２が適切なタイミングで往復動し、このダイヤフラム１，２の動きによって、流入側逆止弁２３および流出側逆止弁２４が作動して、所望の液体が搬送されることとなる。
【００４７】
以上のように構成され、そして機能する本実施形態に係る往復動ポンプは、係る構成および機能の少なくとも一方に基づいて、以下のような特徴を有することとなる。
【００４８】
本実施形態に係る往復動ポンプを構成する駆動力供給部４０は、上述したように、ケーシング５０内に設けられた偏心カム４２、ピストン部４３，４４、および位置規制付勢手段４９等を用いて構成されている。よって、本実施形態においては、二つのダイヤフラム１，２を駆動させる場合であっても、従来の如く（図７および図８参照）、それぞれカムおよびスプリング等を有した二つのポンプヘッド部等を設ける必要がない。すなわち、本実施形態によれば、一つの偏心カム４２を用いて、二つのピストン部４３，４４を往復動させ、これに基づいて、二つのダイヤフラム１，２を往復動させている。
【００４９】
したがって、本実施形態によれば、二つのダイヤフラムを駆動させる場合であっても、従来よりも、部品点数を削減することが可能となり、それに伴い、封止部の数も減らすことができるので、液漏れ等の発生確率を低減可能な往復動ポンプを得ることができる。
【００５０】
また、本実施形態に係る往復動ポンプは、上述したように、従来よりも構成要素を少なくすることが可能となるので、各要素の製作誤差の発生確率を従来よりも低減でき、また、その分組立誤差等も低減可能となる。
したがって、本実施形態によれば、従来技術においては往復動ポンプの駆動状態に悪影響を及ぼしていた各要素の製作誤差・組立誤差等を、部品点数の低減等により、効果的に削減することが可能となる。
【００５１】
また、従来であれば、二つの偏心カムを１８０゜位相をずらして取り付ける必要があり、さらに、取り付ける偏心カムは、同一の形状であることが必要であったので、製作誤差・組立誤差等に高い精度が要求されていた。よって、製作・組立等の工程が非常に煩雑であった。
しかしながら、本実施形態においては、一つの偏心カムを用いて構成されているので、従来のように二つの偏心カムの形状の同一性等求められることはなく、また、一つの偏心カムであるため、従来ほどの組立精度等を要求されることはない。したがって、本実施形態によれば、従来ほどの煩雑な工程を経ることなく、効率的に往復動ポンプ（および各要素）を製作・組立等することが可能となる。
【００５２】
さらに、本実施形態に係る往復動ポンプは、以下の理由により、従来と比較して、より小型化することが可能となる。
【００５３】
図５は、本実施形態に係る駆動力供給部４０を構成する第二のピストン部４４の駆動状態を示したものである。ここで、図５（イ）は、第二のピストン部４４が下死点にある状態を示し、図５（ロ）は、第二のピストン部４４が上死点にある状態を示している。図５においては、所定位置（偏心カム４２等の回転、往復運動によって特に変動しない適当な位置、例えばケーシング５０壁面）から第二のピストン部４４の端面部４４ａまでの距離を、それぞれ下死点距離Ｐ１、上死点距離Ｐ２としている。
【００５４】
本実施形態に係る往復動ポンプにおいては、この図５における下死点と上死点との距離の差が、往復動ポンプにおける第二のピストン部４４のストローク距離Ｐ（Ｐ＝Ｐ２−Ｐ１）となる。なお、ここでは、省略するが、１８０゜位相をずらした状態において、第一のピストン部４３についても、同様のストローク距離Ｐにて往復動が行われる。
【００５５】
本実施形態においては、図５（イ）の如く第二のピストン部４４が下死点にある状態を「偏心カム角度０゜」と定義して、第二のピストン部４４を押し込む方向に偏心カム４２を回転させて、例えば、偏心カム４２が２１０゜回転したときに第二のピストン部４４が上死点にある状態となる。なお、この偏心カム４２の回転角度は、偏心カムの形状等に基づいて、適宜変更し得るものである。
【００５６】
また、図６は、本実施形態に係る駆動力供給部４０を構成する位置規制付勢手段４９の作動状態を示したものである。ここで、図６（イ）は、位置規制付勢手段４９が最も縮んだ状態（最小長さＲ１）を示し、図６（ロ）は、位置規制付勢手段４９が最も伸びた状態（最大長さＲ２）を示している。
【００５７】
本実施形態に係る往復動ポンプにおいては、この図６における縮んだ状態（最小長さＲ１）と伸びた状態（最大長さＲ２）との距離の差が、位置規制付勢手段４９の最大撓み距離Ｒ（Ｒ＝Ｒ２−Ｒ１）となる。
【００５８】
つまり、本実施形態に係る往復動ポンプにおいては、第一のピストン部４３と第二のピストン部４４とに挟持された位置規制付勢手段４９が、偏心カム４２の回転に伴って、ピストン部４３，４４と共にスライドしながら最大撓み距離Ｒの分だけ、伸び縮みすることとなる。
【００５９】
図５および図６から明らかなように、本実施形態によれば、ピストン部の往復動距離Ｐに対して、位置規制付勢手段４９の最大撓み距離Ｒは、かなり小さな距離となっている。本実施形態においては、Ｐ：Ｒ＝４：１程度となっている。
【００６０】
一方、従来技術においては、上述したように、ピストンのストローク距離と付勢手段が撓む距離とは、同一であった（ピストンのストローク距離分撓む付勢手段が必要であった）わけであるが（図８参照）、本実施形態によれば、位置規制付勢手段４９の撓み量Ｒは、ストローク距離Ｐの１／４程度でよいこととなる。
【００６１】
したがって、本実施形態によれば、従来よりも、小型で従来ほどの強度も必要ない付勢手段を用いて位置規制付勢手段４９を構成することが可能となるので、駆動力供給部４０、延いては往復動ポンプの小型化を実現することができる。
【００６２】
また、本実施形態に係る往復動ポンプを構成する位置規制付勢手段４９は、コイルばね等の付勢手段を用いて形成されているので、その付勢力によって、第一のピストン部４３と第二のピストン部４４とを偏心カム４２の位置する方向に（偏心カム４２に接する方向に）効果的に付勢し、ピストン部４３，４４と偏心カム４２との位置関係を適切に維持することができる。
【００６３】
さらに、位置規制付勢手段４９は、コイルばね等の付勢手段を用いて形成されているので、偏心カム４２（の対角距離の変化等）に起因して、各ピストン４３，４４および偏心カム４２との間にずれが生ずる方向に力が作用する場合であっても、付勢手段であるため（コイルばね等が付勢力と共に弾性力をも有するため）、係るずれを効果的に吸収することができる。すなわち、位置規制付勢手段４９が、各ピストン４３，４４等に生ずるずれを効果的に吸収する緩衝機能をも備えることとなる。
【００６４】
以上説明したように、本実施形態によれば、従来よりも撓み量の少ない小型の付勢手段を用いて、往復動ポンプを構成することが可能となる。このような小型の付勢手段を用いて構成可能となるのは、図３等に示したように、本実施形態に係る駆動力供給部４０を構成するピストン部４３，４４が、それぞれスライドしつつ、往復動を繰り返すべく構成されているからである。
【００６５】
すなわち、本実施形態に係る往復動ポンプによれば、第二のピストン部４４が中空状に形成されており、この第二のピストン部４４の内部に偏心カム４２と第一のピストン部４３とが設けられ、この第一のピストン部４３の外面部４３ａと第二のピストン部４４の内面部４４ａとの間に調整手段たる位置規制付勢手段４９が設けられているため、偏心カム４２の回転によって第一のピストン部４３と第二のピストン部４４とが位置規制付勢手段４９を伴って往復動することとなる。つまり、偏心カム４２の回転によって、位置規制付勢手段４９を挟持した状態でピストン部４３，４４がそれぞれスライドしつつ、往復動を繰り返すこととなるため、上述したように、位置規制付勢手段４９の小型化を実現することが可能となる。
【００６６】
なお、本実施形態に係る往復動ポンプは、各ピストン部４３，４４と各ダイヤフラム１，２との間に作動油を有し、この作動油を介して各ピストン部４３，４４からの駆動力を各ダイヤフラム１，２に伝える構成について説明したが、本発明は、この構成に限定されるものではなく、何等かの手段によって各ピストン部４３，４４からの駆動力を各ダイヤフラム１，２に伝えることが可能であればよい。したがって、例えば、各ピストン部と各ダイヤフラム１，２とが機械的に連動可能であるべく構成されていてもよい。
また、本実施形態に係る往復動ポンプにおいては、接液部にダイヤフラムを用いる場合について説明したが、本発明はこの構成に限定されるものではなく、例えば、接液部にピストンあるいはプランジャ等を設けて、往復動ポンプを構成してもよい。
【００６７】
また、本実施形態に係る往復動ポンプは、二つのダイヤフラム１，２を有し、これらの各接液面１ａ，２ａは、搬送流体流通部６，７およびポンプヘッド３を介して略平行となるべく設けられている。さらに、各ダイヤフラム１，２の裏面側には、作動油流通部８，９を介してダイヤフラム支持体４，５が設けられている。
つまり、本実施形態によれば、ポンプヘッド３、ダイヤフラム支持体４，５、搬送流体流通部６，７、および作動油流通部８，９等を用いて、搬送流体流通ブロック２５が形成されることとなる（図２（ロ）参照）。
なお、この搬送流体流通ブロック２５は、上記構成に限定されるものではなく、搬送流体を漏洩させない状態であれば、他の構成としてもよい。例えば、ダイヤフラム１，２をポンプヘッド３に固着させて、これらの部材を用いて搬送流体流通ブロックを構成してもよい。
【００６８】
このように構成された搬送流体流通ブロック２５は、第一のダイヤフラム１と第二のダイヤフラム２との間が密閉空間として形成されているため、図２（ロ）に示すべく作動油供給部１１，１２等を取り外した状態においても、搬送流体流通ブロック２５内から搬送流体が漏洩することはない。
【００６９】
したがって、以上のように構成された本実施形態に係る往復動ポンプによれば、メンテナンス処理を効率的に行うことが可能となる。
すなわち、本実施形態に係る往復動ポンプによれば、図２（ロ）に示すように、搬送流体流通ブロック２５を分解等することなく、配管部２１，２２等を取り外し、駆動力供給部４０のメンテナンス（例えば、偏心カム４２、位置規制付勢手段４９の交換等）を行うことが可能となるので、従来のように、二つのポンプヘッド部の分解・組立等を行うことなく、メンテナンス処理を行うことができる。よって、本実施形態においては、搬送流体流通ブロック２５内を流通する搬送流体を予め抜いたりすることなく、駆動力供給部４０のメンテナンス等を行うことが可能である、メンテナンス性に優れた往復動ポンプを得ることができる。
【００７０】
また、本実施形態に係る往復動ポンプも、従来と同様に二つのダイヤフラムを有しているが、本実施形態によれば、二つのダイヤフラムが一つのブロック（搬送流体流通ブロック２５）内に設けられているので、従来のように二つの独立したポンプヘッド部を有する場合と比較すれば、ポンプを構成する際の部品点数を大幅に減少させることが可能となる。したがって、部品点数の減少に伴い、封止部の数も従来よりも削減させることが可能となるので、封止部の減少分だけ液漏れの可能性を低減させることができる。
【００７１】
さらに、本実施形態に係る往復動ポンプによれば、対向するダイヤフラム１，２の間にポンプヘッド３が設けられているので、一のダイヤフラムの動きが他のダイヤフラムに対して悪影響等を及ぼすことなく、各ダイヤフラムがそれぞれ所定の動きを適切に実施することができる。したがって、本実施形態によれば、各ダイヤフラムにおける吐出流量が適切に保持され、効果的に搬送流体の脈動を防止することが可能な往復動ポンプを得ることができる。
【００７２】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、脈動を防止し得る構成であることを前提として、部品点数を減少させて液もれの可能性を低減させる往復動ポンプを得ることができ、また、各要素の製作誤差・組立誤差等の影響を最低限に抑えることが可能な往復動ポンプを得ることができ、さらに、付勢手段の撓み距離を減少させて装置の小型化を実現可能な往復動ポンプを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る往復動ポンプの概略断面図
【図２】図１の往復動ポンプを構成する流体搬送部の拡大図
【図３】図１のIII−III断面図
【図４】図１のIV−IV断面図
【図５】本実施形態に係る駆動力供給部を構成する第二のピストン部の駆動状態を示した概略図
【図６】本実施形態に係る駆動力供給部を構成する位置規制付勢手段の作動状態を示した概略図
【図７】従来技術に係る往復動ポンプの概略斜視図
【図８】図７の往復動ポンプを構成するいずれか一方のポンプヘッド部の一部縦断面図
【符号の説明】
１…第一のダイヤフラム、２…第二のダイヤフラム、３…ポンプヘッド、４…第一のダイヤフラム支持体、５…第二のダイヤフラム支持体、６…第一の搬送流体流通部、７…第二の搬送流体流通部、８…第一の作動油流通部、９…第二の作動油流通部、１０…流体搬送部、１１…第一の作動油供給部、１２…第二の作動油供給部、２１…第一の配管部、２２…第二の配管部、２３…流入側逆止弁、２４…流出側逆止弁、２５…搬送流体流通ブロック、４０…駆動力供給部、４１…駆動力伝達軸、４２…偏心カム、４３…第一のピストン部、４４…第二のピストン部、４５…第一の回動軸、４６…第二の回動軸、４７，４８…ベアリング、４９…位置規制付勢手段、５０…ケーシング、５１…第一の供給口、５２…第二の供給口、７０…駆動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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