(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス状態のハロゲン化物に有効波長域が０．５〜５００オングストロームの軟Ｘ線を照射してハロゲンを解離させる第１の工程と，前記第１の工程において解離されたハロゲンを中和させる第２の工程とを備え，更に，前記第２の工程の排気中に残留するガス状態のハロゲン化物を液化して分離し、再び前記第１の工程と前記第２の工程で処理することを特徴とする，ハロゲン化物の処理方法。
【請求項２】
前記軟Ｘ線の有効波長域が１〜２０オングストロームであることを特徴とする，請求項１のハロゲン化物の処理方法。
【請求項３】
前記第１の工程において，ハロゲンの解離を促進させる触媒を用いることを特徴とする，請求項１又は２のいずれかのハロゲン化物の処理方法。
【請求項４】
ガス状態のハロゲン化物を含む処理ガスを処理する処理装置であって，前記処理ガスに有効波長域が０．５〜５００オングストロームの軟Ｘ線を照射する軟Ｘ線源と，該軟Ｘ線源によって軟Ｘ線を照射されたことにより解離されたハロゲンにアルカリを供給して中和させる中和手段を備え，前記処理装置によって処理された処理ガスをハロゲン化物分離器に導入し，該ハロゲン化物分離器によって液化して分離されたハロゲン化物を前記処理装置に戻して再び処理するように構成したことを特徴とする，ハロゲン化物の処理装置。
【請求項５】
前記中和手段は，前記ハロゲンに対してアルカリ水溶液を供給する構成であることを特徴とする，請求項４のハロゲン化物の処理装置。
【請求項６】
前記軟Ｘ線源と前記中和手段を複数ずつ配置したことを特徴とする，請求項４又は５のハロゲン化物の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明はフロン，ハロン等のハロゲン化物を処理する方法と装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば冷凍サイクルの冷媒として，フロンＲ−１１３，フロンＲ−１２０，フロンＲ−２２等のハロゲン化炭化水素系冷媒（フロン冷媒）が従来一般的に使用されていた。また例えば消化剤としてハロン１２１１，ハロン１３０１，ハロン２４０２等が従来使用されていた。しかしこれらフロンやハロンなどのハロゲン化物は，難分解性物質であるものも多く，大気中に放出されるとオゾン層破壊や地球温暖化等，地球環境に悪影響を与えることが明らかにされた。その結果，有害なハロゲン化物の製造は１９９５年に禁止された。
【０００３】
ところが１９９５年以前に製造されたフロンやハロンは今日なお膨大な量が貯蔵・保管されており，現在でも冷暖房機器や消火器などで使用されているのが実状である。またフロンＲ−１３４ａ等の代替フロンなどについては地球環境に及ぼす影響が現状では未知のものが多い。このためフロンやハロンなどのハロゲン化物を効率よく分解し，地球環境に悪影響を及ぼさないように処理する手段が人類にとって不可欠になっている。
【０００４】
そこで従来，フロンやハロンなどのハロゲン化物を処理する手段として，次のような方法が実施もしくは提案されている。
（１）石炭製造用キルン炉にフロンを混入させて燃焼処理する方法
（２）爆轟法による処理方法
（３）プラズマ処理法
（４）触媒法
（５）化学分解法
（６）超臨界水法
（７）超音波法
（８）エキシマレーザ照射処理法
（９）マイクロ波をエネルギ源としたフッ素ガスを発光源としたエキシマ光による分解処理法
（１０）レーザ光照射法
（１１）水素による還元反応と加熱分解水による加水分解反応による分解処理方法
（１２）真空紫外線照射による分解処理方法
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，上記（１）〜（１１）の方法はいずれも設備費が高額であり，またこれらの方法のほとんどは処理が複雑なため，処理設備の構造も複雑になってしまう。また（１），（２），（３），（１１）の方法はいずれも危険を伴う。また（８）と（９）の方法はエネルギ効率が低く，（８）の方法ではエネルギ効率が１％以下である。また（１０）の方法は処理速度が早くない。一方（１２）の方法は他の方法に比べて比較的簡単な設備で安全な処理を行うことができるが，エネルギ効率が低く処理速度が遅くなってしまう。このように従来の処理方法にはそれぞれ一長一短があり，完成度の高い処理技術は確立していないのが現状である。
【０００６】
従って本発明の目的は，フロン，ハロン等のハロゲン化物を安全かつ高いエネルギ効率で安価に処理できる手段を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成すべく，請求項１の発明にあっては，ガス状態のハロゲン化物に有効波長域が０．５〜５００オングストロームの軟Ｘ線を照射してハロゲンを解離させる第１の工程と，前記第１の工程において解離されたハロゲンを中和させる第２の工程とを備え，更に，前記第２の工程の排気中に残留するガス状態のハロゲン化物を液化して分離し、再び前記第１の工程と前記第２の工程で処理することを特徴とする，ハロゲン化物の処理方法である。
【０００８】
ハロゲン化物とは，フッ素，塩素等のハロゲンと他の元素，分子との化合物であり，フロンやハロンなどといった難分解性物質で地球環境に有害なものを含んでいる。本発明においてハロゲン化物の形態としてはガス，液体，固体のいずれでも処理が可能であるが，ガス状態での処理が最も一般的であり，また処理もガス状態であることが最も容易である。
【０００９】
この請求項１の処理方法では，先ず第１の工程において，ハロゲン化物に軟Ｘ線（ＳＸ）を照射する。すると，フッ素，塩素等のハロゲンの軟Ｘ線に対する吸収率は，ハロゲン以外の炭素や大気主成分である酸素，窒素などの吸収率に比べてはるかに高いため，照射された軟Ｘ線はハロゲンに効率よく吸収され，ハロゲンの解離分解に効率良く消費される。このように第１の工程にあっては，元素による軟Ｘ線の光吸収率の違いを利用して，フロンやハロンなどのハロゲン化物においてハロゲンに選択的にエネルギを与えることによりフッ素，塩素等のハロゲンと他の物質との結合を切り，ハロゲン（ハロゲン化物から分離された分解物質としてのハロゲン）を解離分解させることができる。
【００１０】
次に第２の工程において，前記第１の工程で解離させたハロゲンを中和させる。この場合，ハロゲンに対してアルカリ性物質を供給し，酸・アルカリ反応させることによりハロゲンを塩にして安定させる。このように酸・アルカリ反応によって安定化させる方法は，従来から排ガス処理等で一般的に実用化されている方法を利用することができ，具体的には例えば次の（１）〜（３）のような方法が例示される。
（１）アルカリ水溶液を有する気液接触材（充填材）にハロゲンを通過させて反応させる。
（２）ハロゲンにアルカリ水溶液を噴霧して反応させる。
（３）アルカリ水溶液中にハロゲンガスをバブリングさせて反応させる。
【００１１】
従ってこの請求項１の処理方法によれば，第１の工程において選択的にエネルギを与えて解離分解させたハロゲンに対し，第２の工程においてアルカリ性物質を供給して中和させることにより，フロン，ハロン等のハロゲン化物を地球環境に悪影響を及ぼさない物質に処理することができるようになる。この請求項１の処理方法は，従来方法のようにハロゲン化物を高温，高圧にする必要がなく，難分解物質であっても常温，常圧で分解処理でき，また起爆性や発火性もなく極めて安全な処理方法である。
【００１２】
この請求項１の処理方法において，前記軟Ｘ線の有効波長域は，請求項２に記載したように１〜２０オングストロームであることが好ましい。
【００１３】
また請求項３に記載したように，前記第１の工程において，ハロゲンの解離を促進させる触媒を用いても良い。この場合，触媒として例えば酸化チタンガスや酸化マグネシウムガスなどのガス状の触媒を用いることができる。またガス状に限らず，固体状の触媒も用いることができ，例えばチタン，ケイ素，タングステン，アルミニウム等の酸化物などを触媒として用いても良い。
【００１４】
請求項４の発明は，ガス状態のハロゲン化物を含む処理ガスを処理する処理装置であって，前記処理ガスに有効波長域が０．５〜５００オングストロームの軟Ｘ線を照射する軟Ｘ線源と，該軟Ｘ線源によって軟Ｘ線を照射されたことにより解離されたハロゲンにアルカリを供給して中和させる中和手段を備え，前記処理装置によって処理された処理ガスをハロゲン化物分離器に導入し，該ハロゲン化物分離器によって液化して分離されたハロゲン化物を前記処理装置に戻して再び処理するように構成したことを特徴とする，ハロゲン化物の処理装置である。
【００１５】
この請求項４の処理装置を用いれば，前述の請求項１の処理方法を容易に行うことができる。この請求項４の処理装置において，請求項５に記載したように，前記中和手段は，例えば前記ハロゲンに対してアルカリ水溶液を供給する構成とすることができる。また請求項６に記載したように，前記軟Ｘ線源と前記中和手段を複数ずつ配置しても良い。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の好ましい実施の形態を図面を用いて説明する。図１は処理装置１の構成を概略的に示す説明図である。処理チャンバ１０の入口側（図１では左側）には導入部１１が開口しており，処理チャンバ１０の出口側（図１では右側）には排気ファン１２が接続されている。排気ファン１２の稼働により，例えばフロンやハロンなどといった難分解性のハロゲン化物ガスを含む処理流体（処理ガス）が導入部１１から処理チャンバ１０内に導入され，処理流体が図１中の右向きに流れて処理チャンバ１０内から排気ファン１２を通じて外部に排気されるようになっている。
【００１７】
処理チャンバ１０の内部において，上流側（図１では処理チャンバ１０内部の左側）は解離領域１５に形成され，下流側（図１では処理チャンバ１０内部の右側）は中和領域１６に形成されている。解離領域１５には，処理チャンバ１０内部に設けられた軟Ｘ線源１７から軟Ｘ線が照射されており，これにより導入部１１から処理チャンバ１０内に導入された処理流体に対して，解離領域１５を通過する際に軟Ｘ線が照射されるようになっている。
【００１８】
中和領域１６には，処理チャンバ１０の内部断面を横切るように充填材（気液接触材）２０が配置されている。充填材２０の上方にはノズル２１が設けられ，充填材２０の下方にはドレイン容器２２が設けられている。これらノズル２１とドレイン容器２２はポンプ２３を備えた流路２４によって接続されている。ドレイン容器２２には，タンク２５に充填されているアルカリ水溶液Ｌが流路２６を経て供給されている。アルカリ水溶液Ｌには，例えば水酸化ナトリウム水溶液，水酸化カルシウム水溶液などが利用される。ドレイン容器２２に接続される流路２６の先端部分にはフロート２７が装着されており，ドレイン容器２２内に供給されたアルカリ水溶液Ｌの液面高さをこのフロート２７によって検出し，ドレイン容器２２内のアルカリ水溶液Ｌが所定量となったときには，タンク２５からのアルカリ水溶液Ｌの供給を停止させる構成になっている。これにより，ドレイン容器２２内には所定量のアルカリ水溶液Ｌが常に充填されている。そして，前述のポンプ２３の稼働によってドレイン容器２２内のアルカリ水溶液Ｌは流路２４を通じて汲み上げられてノズル２１から吐出され，充填材２０の表面にはアルカリ水溶液Ｌが常に供給されて下方に流下しているように構成されている。これにより処理流体が中和領域１６において充填材２０を通過する際に，処理流体は充填材２０に供給されたアルカリ水溶液Ｌと接触するようになっている。
【００１９】
ドレイン容器２２の底部にはアルカリ水溶液Ｌのアルカリ度を検出するｐＨ電極３０が装着してあり，このｐＨ電極３０によって検出したアルカリ度が制御部３１に入力されている。また前述の流路２４にはポンプ２３よりも下流側において流路２４内のアルカリ水溶液Ｌを一部抜き出して貯水タンク３２に排液させる排液流路３３が接続されている。この排液流路３３の途中には開閉弁３４が装着されており，この開閉弁３４の開閉は前述の制御部３１によって制御されている。即ち，ｐＨ電極３０によって検出されるドレイン容器２２のアルカリ水溶液Ｌのアルカリ度が所定の値よりも低くなった場合（例えばｐＨが８未満となった場合）は，開閉弁３４を開けて流路２４内のアルカリ水溶液Ｌを一部抜き出して貯水タンク３２に排液させるようになっている。そして，このように流路２４内のアルカリ水溶液Ｌが貯水タンク３２に一部排液されると，ドレイン容器２２内のアルカリ水溶液Ｌの液面高さが低くなってそれがフロート２７によって検出される。するとタンク２５に充填されているアルカリ水溶液Ｌが流路２６を経てドレイン容器２２に供給され，ドレイン容器２２内のアルカリ水溶液Ｌが所定量となると，アルカリ水溶液Ｌの供給が停止する。これにより，ドレイン容器２２内には所定のアルカリ度（例えばｐＨ８）を保持したアルカリ水溶液Ｌが常に充填されており，充填材２０に供給されるアルカリ水溶液Ｌのアルカリ度が所定のアルカリ度以上（例えばｐＨが８以上）に常に保持される構成になっている。
【００２０】
さて以上のように構成された処理装置１において，排気ファン１２の稼働により，例えばフロンやハロンなどといった難分解性のハロゲン化物ガスを含む処理流体（処理ガス）が導入部１１から処理チャンバ１０内に導入されて図１中の右向きに流れ，排気ファン１２を通じて外部に排気されていく。ここで，導入部１１から処理チャンバ１０内に導入された処理流体に対しては，先ず解離領域１５を通過する際に軟Ｘ線が照射される。すると，フッ素，塩素等のハロゲンの軟Ｘ線に対する吸収率は，ハロゲン以外の炭素や大気主成分である酸素，窒素などの吸収率に比べてはるかに高いため，照射された軟Ｘ線は処理流体中のハロゲンに効率よく吸収され，ハロゲンの解離分解に効率良く消費される。これにより解離領域１５においては，処理流体中のハロゲンに選択的にエネルギを与えることによりそれらを解離分解させることができる。
【００２１】
このように解離領域１５においてハロゲンを解離分解させられた処理流体は，次に中和領域１６に設けられた充填材２０の隙間を通過していく。そして充填材２０の隙間を通過する際に，処理流体は充填材２０に供給されているアルカリ水溶液Ｌと接触する。これにより解離領域１５において解離分解させられたハロゲンは，充填材２０に供給されているアルカリ水溶液Ｌと接触して酸・アルカリ反応することにより塩となって安定した状態となり，塩となったハロゲンは，充填材２０に供給されているアルカリ水溶液Ｌと共にドレイン容器２２内に流下する。この場合，例えばハロゲンである塩素に対してアルカリ水溶液Ｌとして水酸化ナトリウム水溶液を用いた場合は，塩として塩化ナトリウムが生成され塩素が安定化処理される。また例えばハロゲンであるフッ素に対してアルカリ水溶液Ｌとして水酸化ナトリウム水溶液を用いた場合は，塩としてフッ化ナトリウムが生成される。なお前述したように，制御部３１の制御によって充填材２０に供給されるアルカリ水溶液Ｌのアルカリ度は所定のアルカリ度以上（例えばｐＨが８以上）に常に保持される。また一方，ハロゲンを解離させられた処理流体は，処理チャンバ１０内から排気ファン１２を通じて外部に排気されることとなる。
【００２２】
従ってこの処理装置１によれば，解離領域１５において軟Ｘ線の照射により選択的にエネルギを与えて解離分解させたハロゲンに対し，中和領域１６においてアルカリ水溶液Ｌを供給して中和させることにより，フロン，ハロン等のハロゲン化物を地球環境に悪影響を及ぼさない物質（塩）に処理することができるようになる。
【００２３】
なお図１では，処理チャンバ１０内部に軟Ｘ線源１７を設けた例を説明したが，軟Ｘ線源１７は処理チャンバ１０の外部に設けても良い。図２に示す処理装置２では，軟Ｘ線源１７を処理チャンバ１０の外部に設けている。軟Ｘ線源１７から照射された軟Ｘ線は，処理チャンバ１０の壁面に形成された窓４０を通過して，処理チャンバ１０内の解離領域１５を通過する処理流体に対して軟Ｘ線が照射されるようになっている。なお，軟Ｘ線源１７を処理チャンバ１０の外部に設けた点を除けば，図２に示す処理装置２は図１で説明した処理装置１と同様の構成を有しているので，図２に示す処理装置２において図１で説明した処理装置１と同じ構成要素については，同じ符号を付することにより，重複した説明を省略する。図２に示す処理装置２において，窓４０の材質としては，例えばアクリル系樹脂やポリイミド系のカプトン樹脂等が利用できる。
【００２４】
次に図３は処理装置３の構成を概略的に示す説明図である。この処理装置３では，処理チャンバ１０内の中和領域１６に噴霧管４１を配置している。噴霧管４１には複数のノズル４２が設けられており，流路２４を経て供給されたアルカリ水溶液Ｌを処理チャンバ１０内の中和領域１６に噴霧する構成になっている。また噴霧管４１に対峙するようにして噴霧管４１よりも下流側（図３において右側）にエリミネータ（除滴板）４３が配置されている。なお，充填材２０に代えて噴霧管４１とエリミネータ４３を設けた点を除けば，図３に示す処理装置３は先に図１で説明した処理装置１と同様の構成を有しているので，図３に示す処理装置３において図１で説明した処理装置１と同じ構成要素については，同じ符号を付することにより，重複した説明を省略する。
【００２５】
さてこの処理装置３においても，解離領域１５においてハロゲンを解離分解させられた処理流体は，次に中和領域１６を通過していく。そして中和領域１６を通過する際に，処理流体は噴霧管４１のノズル４２から噴霧されたアルカリ水溶液Ｌと接触する。これにより解離領域１５において解離分解させられたハロゲンは酸・アルカリ反応することにより塩となって安定した状態となり，塩となったハロゲンは，ノズル４２から噴霧されたアルカリ水溶液Ｌと共に中和領域１６を落下してドレイン容器２２内に回収される。なお噴霧管４１よりも下流側に配置されたエリミネータ（除滴板）４３によってアルカリ水溶液Ｌは捕捉され，ドレイン容器２２内に流下させられるので，処理チャンバ１０の外部にアルカリ水溶液Ｌが排気される心配はない。
【００２６】
従ってこの処理装置３によっても同様に，解離領域１５において軟Ｘ線の照射により選択的にエネルギを与えて解離分解させたハロゲンに対し，中和領域１６においてアルカリ水溶液Ｌを供給して中和させることにより，フロン，ハロン等のハロゲン化物を地球環境に悪影響を及ぼさない物質（塩）に処理することができる。
【００２７】
次に図４は本発明の実施の形態にかかる処理装置４の構成を概略的に示す説明図である。この処理装置４では，排気ファン１２の稼働によって処理チャンバ１０内から出される排気をハロゲン化物分離器４５に導入し，排気中に残留するフロンやハロンなどといったハロゲン化物ガスをハロゲン化物分離器４５で分離して流路４６を通じて再び導入部１１から処理チャンバ１０内に戻し，更に処理する構成になっている。ハロゲン化物分離器４５としては，ハロゲン化物がフロンの場合は，例えば冷却によってフロンを液化して分離する構成を備えた分離器や，高圧にして液化して分離する分離器などが採用される。なお，ハロゲン化物分離器４５と流路４６を付加した点を除けば，図４に示す処理装置４は先に図１で説明した処理装置１と同様の構成を有しているので，図４に示す処理装置４において図１で説明した処理装置１と同じ構成要素については，同じ符号を付することにより，重複した説明を省略する。この処理装置４は，処理されて排気された分のフロンを新たに供給するもので，わずかな残留フロンのみを分離し，無害化サイクルを循環させることで，無害化の効果の増大を期すものである。１パスで処理しようとすると装置を多段に設ける必要が生じる。これに対して，図４に示す処理装置４によれば，処理時間は長くなるものの，装置自体がコンパクトであり，省スペース化をはかれる。この処理装置４によれば，処理チャンバ１０内の解離領域１５と中和領域１６を通過しても処理しきれなかった残留のハロゲン化物分を再び処理チャンバ１０内に戻して処理することにより，フロン，ハロン等のハロゲン化物を地球環境に悪影響を及ぼさない物質（塩）により完全に処理することができるようになる。なお，フロンが分離され分解されると高圧になるが，排気の分と安定化処理の結果，塩（固体）が形成されて減圧状態になる。これに見合う量の処理流体を連続的に導入する。
【００２８】
次に図５は処理装置５の構成を概略的に示す説明図である。処理チャンバ５０の入口側（図５では左側）には導入部５１が開口しており，処理チャンバ５０の出口側（図５では右側）に開口する排気部５２には排気ファン（図示せず）が接続されている。排気ファンの稼働により，例えばフロンやハロンなどといった難分解性のハロゲン化物ガスを含む処理流体（処理ガス）が導入部５１から処理チャンバ５０内に導入され，処理流体が図５中の右向きに流れて処理チャンバ５０内から排気部５２を通じて外部に排気されるようになっている。
【００２９】
処理チャンバ５０の内部には，２つの処理部５３，５４が直列に配置されている。処理部５３において上流側（図５では処理部５３の左側）は解離領域５５に形成され，下流側（図５では処理部５３の右側）は中和領域５６に形成されている。同様に処理部５４において上流側（図５では処理部５４の左側）は解離領域５７に形成され，下流側（図５では処理部５４の右側）は中和領域５８に形成されている。処理部５３，５４において解離領域５５，５７には，処理チャンバ５０内部にそれぞれ設けられた軟Ｘ線源６０，６１から軟Ｘ線が照射されている。また中和領域５６，５８には，処理チャンバ５０の内部断面を横切るように充填材（気液接触材）６２，６３がそれぞれ配置されている。これら充填材６２，６３の上方にはノズル６４，６５がそれぞれ設けられ，充填材６２，６３の下方には共通のドレイン容器６６が設けられている。これらノズル６４，６５とドレイン容器６６はポンプ６７を備えた流路６８によって接続されている。
【００３０】
ドレイン容器６６には，例えば水酸化ナトリウム水溶液，水酸化カルシウム水溶液などのアルカリ水溶液Ｌが供給されている。ドレイン容器６６の所定の高さにはオーバーフロー管７０が開口しており，ドレイン容器６６内のアルカリ水溶液Ｌが所定量を越えたときには，余分なアルカリ水溶液Ｌをオーバーフロー管７０を通じてタンク７１に排液させる構成になっている。また前述のポンプ６７の稼働によってドレイン容器６６内のアルカリ水溶液Ｌは流路６８を通じて汲み上げられてノズル６４，６５からそれぞれ吐出され，中和領域５６，５８に設けられた充填材６２，６３の表面にはアルカリ水溶液Ｌがそれぞれ常に供給されて下方に流下しているように構成されている。
【００３１】
ドレイン容器６６の底部にはアルカリ水溶液Ｌのアルカリ度を検出するｐＨ電極７２が装着してあり，このｐＨ電極７２によって検出したアルカリ度が制御部７３に入力されている。また前述の流路６８にはポンプ６７よりも下流側において，ポンプ７４の稼働によってタンク７５からアルカリ水溶液Ｌを流路６８内に注入する流路７６が接続されている。流路７６の途中に装着されたポンプ７４の稼働は前述の制御部７３によって制御されている。即ち，ｐＨ電極７２によって検出されるドレイン容器６６のアルカリ水溶液Ｌのアルカリ度が所定の値よりも低くなった場合（例えばｐＨが８未満となった場合）は，ポンプ７４を稼働させてタンク７５からアルカリ水溶液Ｌを流路６８内に注入するようになっている。そして，このように流路６８内にアルカリ水溶液Ｌが注入されると，ドレイン容器６６内のアルカリ水溶液Ｌの液面高さが高くなり，余分となったアルカリ水溶液Ｌはオーバーフロー管７０を通じてタンク７１に排液されるようになっている。これにより，ドレイン容器６６内には所定のアルカリ度（例えばｐＨ８）を保持したアルカリ水溶液Ｌが常に充填されており，充填材６２，６３に供給されるアルカリ水溶液Ｌのアルカリ度が所定のアルカリ度以上（例えばｐＨが８以上）に常に保持される構成になっている。
【００３２】
さて以上のように構成された処理装置５において，図示しない排気ファンの稼働により，例えばフロンやハロンなどのハロゲン化物ガスを含む処理流体（処理ガス）が導入部５１から処理チャンバ５０内に導入されて図５中の右向きに流れ，排気部５２を通じて排気されていく。ここで，導入部５１から処理チャンバ５０内に導入された処理流体に対しては，先ず上流側の処理部５３を通過する際に解離領域５５において軟Ｘ線が照射されて処理流体中のハロゲンが解離分解された後，中和領域５６においてアルカリ水溶液Ｌと接触してハロゲンが酸・アルカリ反応することにより塩となって安定した状態となり，塩となったハロゲンはアルカリ水溶液Ｌと共にドレイン容器６６内に流下する。次に同様に，下流側の処理部５４を通過する際にも解離領域５７において再び軟Ｘ線が照射されて処理流体中のハロゲンが更に解離分解された後，中和領域５８において再びアルカリ水溶液Ｌと接触してハロゲンが再び酸・アルカリ反応することにより塩となって安定した状態となり，塩となったハロゲンはアルカリ水溶液Ｌと共にドレイン容器６６内に流下する。なお前述したように，制御部７３の制御により，中和領域５６，５８に供給されるアルカリ水溶液Ｌのアルカリ度は所定のアルカリ度以上（例えばｐＨが８以上）に常に保持される。また一方，こうして２つの処理部５３，５４によってハロゲンを解離させられた処理流体は，処理チャンバ５０内から排気部５２を通じて外部に排気されることとなる。
【００３３】
従ってこの処理装置５によれば，２つの処理部５３，５４によって重ねて処理を繰り返すことにより，フロン，ハロン等のハロゲン化物を地球環境に悪影響を及ぼさない物質（塩）により確実に処理することができ，性能の向上を達成できる。
【００３４】
次に図６は処理装置６の構成を概略的に示す説明図である。処理チャンバ８０の内部下方には導入管８１が挿入されており，この導入管８１の形成された開口部８２を通じて処理チャンバ８０内に供給された例えばフロンやハロンなどといった難分解性のハロゲン化物ガスを含む処理流体（処理ガス）が，処理チャンバ８０内を上昇した後，処理チャンバ８０の上部に形成された排気口８３から外部に排気されるようになっている。
【００３５】
処理チャンバ８０の内部には，２つの処理部８５，８６が上下に重ねて配置されている。これら処理部８５，８６にはバブリング板８７，８８が配置されており，バブリング板８７，８８の上面には例えば水酸化ナトリウム水溶液，水酸化カルシウム水溶液などのアルカリ水溶液Ｌが供給されている。図示の例では，上の処理部８６のバブリング板８８の上面に供給されたアルカリ水溶液Ｌは，処理チャンバ８０の内壁面を伝わって流下して下の処理部８５のバブリング板８７の上面に供給され，更に処理チャンバ８０の内壁面を伝わって流下して処理チャンバ８０の底部に溜まるようになっている。
【００３６】
上の処理部８６のバブリング板８８の上方にはノズル９０が設けられ，処理チャンバ８０の底部とノズル９０はポンプ９１を備えた流路９２によって接続されている。処理チャンバ８０の底部の所定の高さにはオーバーフロー管９３が開口しており，処理チャンバ８０の底部のアルカリ水溶液Ｌが所定量を越えたときには，余分なアルカリ水溶液Ｌをオーバーフロー管９３を通じてタンク９４に排液させる構成になっている。また前述のポンプ９１の稼働によって処理チャンバ８０の底部のアルカリ水溶液Ｌは流路９２を通じて汲み上げられてノズル９０から吐出されるように構成されている。
【００３７】
処理チャンバ８０の底部にはアルカリ水溶液Ｌのアルカリ度を検出するｐＨ電極９５が装着してあり，このｐＨ電極９５によって検出したアルカリ度が制御部９６に入力されている。また前述の流路９２にはポンプ９１よりも下流側において，ポンプ９７の稼働によってタンク９８からアルカリ水溶液Ｌを流路９２内に注入する流路９９が接続されている。流路９９の途中に装着されたポンプ９７の稼働は前述の制御部９６によって制御されている。即ち，ｐＨ電極９５によって検出される処理チャンバ８０の底部のアルカリ水溶液Ｌのアルカリ度が所定の値よりも低くなった場合（例えばｐＨが８未満となった場合）は，ポンプ９７を稼働させてタンク９８からアルカリ水溶液Ｌを流路９２内に注入するようになっている。そして，このように流路９２内にアルカリ水溶液Ｌが注入されると，処理チャンバ８０の底部のアルカリ水溶液Ｌの液面高さが高くなり，余分となったアルカリ水溶液Ｌはオーバーフロー管９３を通じてタンク９４に排液されるようになっている。これにより，処理チャンバ８０の底部には所定のアルカリ度（例えばｐＨ８）を保持したアルカリ水溶液Ｌが常に充填されており，バブリング板８７，８８の上面に供給されるアルカリ水溶液Ｌのアルカリ度が所定のアルカリ度以上（例えばｐＨが８以上）に常に保持される構成になっている。
【００３８】
また処理部８５，８６に設けられたバブリング板８７，８８の下面側の領域には，軟Ｘ線源１００，１０１から軟Ｘ線がそれぞれ照射されている。
【００３９】
さて以上のように構成された処理装置６において，例えばフロンやハロンなどのハロゲン化物ガスを含む処理流体（処理ガス）が導入管８１から処理チャンバ８０内に導入されて上向きに流れ，排気口８３を通じて排気されていく。ここで処理チャンバ８０内に導入された処理流体に対しては，先ず下の処理部８５を通過する際にバブリング板８７の下面側において軟Ｘ線が照射されて処理流体中のハロゲンが解離分解された後，バブリング板８７の上面側においてアルカリ水溶液Ｌ中をバブリングすることによりアルカリ水溶液Ｌと接触してハロゲンが酸・アルカリ反応することにより塩となって安定した状態となる。また同様に，上の処理部８６を通過する際にバブリング板８８の下面側において軟Ｘ線が照射されて処理流体中のハロゲンが解離分解された後，バブリング板８８の上面側においてアルカリ水溶液Ｌ中をバブリングすることによりアルカリ水溶液Ｌと接触してハロゲンが酸・アルカリ反応することにより塩となって安定した状態となる。こうして塩となったハロゲンはアルカリ水溶液Ｌと共に処理チャンバ８０の底部に流下する。なお前述したように，制御部９６の制御により，バブリング板８７，８８の上面に供給されるアルカリ水溶液Ｌのアルカリ度は所定のアルカリ度以上（例えばｐＨが８以上）に常に保持される。また一方，こうして２つの処理部８５，８６によってハロゲンを解離させられた処理流体は，処理チャンバ８０内から排気口８３を通じて外部に排気されることとなる。
【００４０】
従ってこの処理装置６によっても，２つの処理部８５，８６によって重ねて処理を繰り返すことにより，フロン，ハロン等のハロゲン化物を地球環境に悪影響を及ぼさない物質（塩）により確実に処理することができ，性能の向上を達成できる。
【００４１】
以上，本発明の好ましい実施の形態を例示したが，本発明はここで説明した形態に限定されない。例えば以上に説明した各処理装置１〜６において，軟Ｘ線の照射による処理流体中のハロゲンの解離分解を促進させるために，触媒を用いても良い。触媒として例えば酸化チタンガスや酸化マグネシウムガスなどのガス状の触媒を用いることができる。またガス状に限らず，固体状の触媒も用いることができ，例えばチタン，ケイ素，タングステン，アルミニウム等の酸化物などを触媒として用いても良い。
【００４２】
【実施例】
容量８リットルの密閉チャンバ内に６．４リットル（０．２７ｍｏｌ）のフロン（ＣＦＣ１３）を封入し，チャンバ外部より透過窓（カプトン製）を通して軟Ｘ線（波長１．３〜数オングストローム）を２４時間照射した。チャンバ内部には，分解された塩素を吸収し安定化させるためにＮａＯＨ溶液（０．０１ｍｏｌ／リットル）を２００ｃｃ入れた。分解の効果は，ＮａＯＨ溶液中の塩素イオンの濃度により評価した。その結果，軟Ｘ線を照射しなかった場合の２４時間後のＮａＯＨ溶液中の塩素イオン濃度は０．０２ｐｐｍ以下（測定装置の下限値以下）で検出されなかった。これに対して，軟Ｘ線を照射した場合の塩素イオン濃度は１３．４ｐｐｍ（測定下限値の６７０倍）であった。この結果は，軟Ｘ線の照射によりフロンガスの一部が塩素原子に分解されていることを示すものである。
【００４３】
【発明の効果】
請求項１〜６の発明によれば，フロン，ハロン等のハロゲン化物を低コストでありながら安全かつ高いエネルギ効率で安定化処理することが可能となる。従来の処理方法は何れも処理に要するエネルギが膨大で処理の結果大量に二酸化炭素を発生させ，オゾン層破壊物質を低減する一方で温暖化物質を大量に出すという地球環境全体から見れば収支がマイナスになるような方法であった。これに対して本発明は，投入エネルギが飛躍的に低減できるため二酸化炭素等の環境汚染物質の排出量が少なく環境にきわめて優しい。また処理もきわめて簡単で装置の大幅な小型化も容易なため，フロン等が使われている現場に持ち込んでの処理も可能である。特に請求項５〜７の処理装置は，構成要素に起爆性や発火性のあるものを含まず，安全である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  処理装置の構成を概略的に示す説明図である。
【図２】  処理装置の構成を概略的に示す説明図である。
【図３】  処理装置の構成を概略的に示す説明図である。
【図４】  本発明の実施の形態にかかる処理装置の構成を概略的に示す説明図である。
【図５】  処理装置の構成を概略的に示す説明図である。
【図６】  処理装置の構成を概略的に示す説明図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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