(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コーナ部に少なくとも２つの位置決め孔が形成されている枚葉状の可撓性シート基材を位置決めするための２つの位置決めピンと微細な凹凸パターンとが上面に形成されたスタンパと、
スタンパ上面に樹脂を塗出するディスペンサと、
樹脂が塗出されたスタンパ上面の上方に、前記枚葉状の可撓性シート基材の位置決め孔のうちの２つが前記スタンパの２つの位置決めピンを貫通するように位置決めされるように可撓性シート基材を移動させるシート移動部と、当該シート移動部によって移動されて位置決めされた可撓性シート基材がスタンパ上面と鋭角をなすように可撓性シート基材をガイドする傾斜ガイドと、を有するシート供給部と、
シート供給部によって供給される可撓性シート基材の上方面側に設けられ、前記スタンパの２つの位置決めピンから当該可撓性シート基材を連続的にスタンパ上面に押し付けるようになっている一方、前記２つの位置決めピンとは干渉しないように溝が設けられているニップローラと、
を備えたことを特徴とする可撓性シート基材へのパターン複製装置。
【請求項２】
ディスペンサは、スタンパ上面の、ニップローラによる可撓性シート基材の押し付け開始位置近傍に樹脂を塗出するようになっていることを特徴とする請求項１に記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。
【請求項３】
ディスペンサは、スタンパ及び可撓性シート基材に対するニップローラの相対移動方向に対して垂直な方向に沿って移動しながら樹脂を塗出するようになっていることを特徴とする請求項２に記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。
【請求項４】
ディスペンサは、移動の途中で間欠的に停止するようになっていることを特徴とする請求項３に記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。
【請求項５】
ディスペンサは、樹脂の塗出位置及び塗出量を適宜に制御可能となっていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。
【請求項６】
ディスペンサは、樹脂の塗出口を有しており、当該塗出口のスタンパ上面に対する高さが適宜に制御可能となっていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。
【請求項７】
シート供給部は、可撓性シート基材を弛まないように供給するようになっていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。
【請求項８】
樹脂は、紫外線硬化型樹脂であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。
【請求項９】
紫外線照射装置を更に備えたことを特徴とする請求項８に記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。
【請求項１０】
紫外線硬化型樹脂が硬化した後で可撓性シートをスタンパから剥離する剥離部を更に備えたことを特徴とする請求項９に記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。
【請求項１１】
スタンパは、ディスペンサが設けられた領域と、シート供給部及びニップローラが設けられた領域と、紫外線照射装置が設けられた領域と、剥離部が設けられた領域と、を順に移動するスタンパテーブル上に載置されていることを特徴とする請求項１０に記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。
【請求項１２】
スタンパの凹凸パターンと逆凹凸の関係に形成される樹脂による凹凸パターンは、光学的記録媒体の凹凸状情報トラックであることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微細な凹凸状情報トラックを有する光カード等の光学的記録媒体を製造するための装置に係り、とりわけ、可撓性シート基材に対して微細な凹凸パターンを低コストかつ安定に複製することが可能な可撓性シート基材へのパターン複製装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、光カード等の光学的記録媒体は、光学的記録媒体用の基材の上に微細な凹凸状光学的情報記録パターンが形成されることによって、高密度記録を達成している。このような凹凸状光学的情報記録パターンの形成方法は、従来から幾つかが提案されている。現在では、これらの成型方法のうち、微細パターンの複製精度が極めて高く設備投資も少なくて済む、いわゆる「２Ｐ法」が主に採用されている。
【０００３】
２Ｐ法は、表面に凹凸を有するスタンパを用意し、当該スタンパと光情報記録媒体用基材との間に液状の紫外線硬化型樹脂を充填し、当該樹脂に紫外線を照射して硬化させた後、スタンパを剥がすことによって光情報記録媒体を作製するものである。
【０００４】
従来の２Ｐ法は、スタンパ上に紫外線硬化型樹脂を滴下し、その上に光学的記録媒体用の基材を重ね、紫外線硬化型樹脂を光学的記録媒体用基材とスタンパとでサンドイッチした状態でプレスし、紫外線硬化型樹脂を押し広げて微細パターンの複製に必要な所定面積を得ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の２Ｐ法では、紫外線硬化型樹脂をスタンパの中央付近に滴下して、当該樹脂を基材を介してプレスすることで押し広げている。従って、滴下した樹脂の形状、基材をセットした後の樹脂の形状、プレス用平板の平面性、樹脂の塗出量などにバラツキが有った場合には、複製後の紫外線硬化型樹脂の形状が均一でなくなる可能性が高い。
【０００６】
特に、光カード等の光情報記録媒体の面付け数が少なく小面積の場合は、比較的均一な形状で樹脂を押し広げることが可能であるが、量産に対応すべく面付け数を増やし、大面積にした場合には、複製後の紫外線硬化型樹脂の形状が不均一となる可能性が高い。
【０００７】
この問題を解決するため、本件発明者は当初、スタンパと基材の面積を凹凸状光学的情報記録パターンの面積よりも十分大きくして、紫外線硬化型樹脂の滴下量を多くすることを考えた。しかし、この場合、樹脂の必要量が増大するため、コストが高くなってしまう。
【０００８】
一方、平板によるプレスでは、紫外線硬化型樹脂中への気泡混入が、完全に回避できないという問題もある。
【０００９】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、微細な凹凸状パターンを、低コストで、精度良く安定に複製することができる可撓性シート基材へのパターン複製装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上面に微細な凹凸パターンが形成されたスタンパと、スタンパ上面に樹脂を塗出するディスペンサと、樹脂が塗出されたスタンパ上面の上方に、スタンパ上面と鋭角をなすように可撓性シート基材を供給するシート供給部と、シート供給部によって供給される可撓性シート基材の上方面側にスタンパ及び可撓性シート基材に対して相対移動可能に設けられ、当該可撓性シート基材のスタンパ上面との最近接縁側から当該可撓性シート基材を連続的にスタンパ上面に押し付けるニップローラと、を備えたことを特徴とする可撓性シート基材へのパターン複製装置である。
【００１１】
本発明によれば、ニップローラが可撓性シート基材を連続的にスタンパ上面に押し付けることにより、樹脂が効果的に押し広げられると共に、樹脂内への気泡の混入が防止される。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１３】
図１は、本発明の第１の実施の形態による可撓性シート基材へのパターン複製装置を示す概略平面図である。また、図２は、図１のパターン複製装置の概略側面図である。
【００１４】
図１及び図２に示すように、本発明の第１の実施の形態の可撓性シート基材へのパターン複製装置４０は、上面に微細な凹凸パターン１ｐ（図３参照）が形成されたスタンパ１と、スタンパ１の上面に樹脂３０を塗出するディスペンサ２とを備えている。ディスペンサ２は、アーム３によって位置決めされるようになっている。
【００１５】
ディスペンサ２の近傍に、シート供給部としてのシート移動部５及び傾斜ガイド６が設けられている。シート移動部５及び傾斜ガイド６は、樹脂３０が塗出されたスタンパ１上面の上方に、スタンパ１上面に対して鋭角をなすように可撓性シート基材Ｓを供給するようになっている。また、傾斜ガイド６から供給される可撓性シート基材Ｓの上方面側に、スタンパ１及び可撓性シート基材Ｓに対して相対移動可能なニップローラ７が設けられている。ニップローラ７は、可撓性シート基材Ｓのスタンパ１上面との最近接縁側から可撓性シート基材Ｓを連続的にスタンパ１上面に押し付けるようになっている（詳細は後述する）。
【００１６】
ディスペンサ２、アーム３、傾斜ガイド６及びニップローラ７は、遮蔽室３６内に収容されている。遮蔽室３６には、遮蔽室３６内の空気を清浄化するためのＨＥＰＡフィルタ１０が取付けられている。また遮蔽室３６外には、操作盤が取付けられている。
【００１７】
本実施の形態においては、樹脂は紫外線硬化型樹脂である。そして、遮蔽室３６の外側であってニップローラ７の近傍位置に、紫外線照射装置８が設けられている。
【００１８】
また、遮蔽室３６の外側であって傾斜ガイド６の近傍位置に、基材セット部４が設けられている。シート移動部５は、基材セット部４にセットされた可撓性シート基材Ｓを、傾斜ガイド６まで移送するようになっている。
【００１９】
また、遮蔽室３６の外側であってディスペンサ２の近傍位置に、剥離部３５が設けられている。
【００２０】
本実施の形態のスタンパ１は、スタンパテーブル３１上に載置されている。スタンパテーブル３１は、コンベヤ１２上に載置されており、コンベヤ１２の移動に伴って、ディスペンサ２が設けられた領域と、傾斜ガイド６及びニップローラ７が設けられた領域と、紫外線照射装置８が設けられた領域と、剥離部３５が設けられた領域と、を順に移動するようになっている。すなわち、図２の左右方向に往復移動するようになっている。
【００２１】
図３は、ディスペンサ２による樹脂塗出状態について説明する図である。図３に示すように、スタンパ１が、コンベヤ１２の移動に伴ってディスペンサ２による樹脂塗出領域に移動した後、ディスペンサ２が、スタンパ１上面の、ニップローラ７による可撓性シート基材Ｓの押し付け開始位置近傍、すなわち、この場合スタンパ１進行方向前方側の端縁近傍に、樹脂３０を塗出するようになっている。
【００２２】
より具体的には、ディスペンサ２は、基本位置２ａから、スタンパ１の進行方向（スタンパ１及び可撓性シート基材Ｓに対するニップローラ７の相対移動方向）に対して垂直な方向に沿って移動し、移動の途中で間欠的に停止しながら、樹脂３０を塗出するようになっている。ディスペンサ２の位置決め制御は、アーム３を介してなされる。
【００２３】
図３に示す場合、ディスペンサ２は、基本位置２ａから図３の下方向（スタンパ１の進行方向と垂直な方向）へｘ1 だけ移動して停止し、樹脂３０の塗出を開始する。所定の設定時間が経過すると、樹脂３０の塗出を継続したままで更に同方向へｘ2 だけ移動して停止する。同様に所定の設定時間（先の設定時間と同一である必要はない）が経過すると、樹脂３０の塗出を継続したままで更に同方向へｘ3 だけ移動して停止する。同様に所定の設定時間（先の各設定時間と同一である必要はない）が経過すると、樹脂３０の塗出を継続したままで更に同方向へｘ4 だけ移動して停止する。同様に所定の設定時間（先の各設定時間と同一である必要はない）が経過すると、樹脂３０の塗出を継続したままで更に同方向へｘ5 だけ移動して停止する。そして、所定の設定時間（先の各設定時間と同一である必要はない）が経過すると、樹脂３０の塗出を停止して、基本位置ａ２に戻る。
【００２４】
このような塗出方法によって、各停止ポイントに相対的に多量の樹脂３０を塗出することができる。停止ポイントの数、各停止ポイントの位置、停止時間等は、スタンパ１の面積や凹凸パターン１ｂの面付け数、樹脂３０の特性等に応じて、適宜に決定され得る。さらに、ディスペンサ２の樹脂３０の塗出量も、適宜に制御され得る。
【００２５】
また本実施の形態の場合、ディスペンサ２の、図３の上下方向以外の位置決めについても制御可能である。具体的には、スタンパ１に設けた位置決めピン１ｃと基本位置２ａとの相対位置関係ｙを、図示しない位置センサ等で検出し、スタンパ１を更に移動したり、ディスペンサ２の停止ポイントを微調整したりできるようになっている。
【００２６】
更に、ディスペンサ２は、樹脂３０の塗出口２ｔを有しており（図２参照）、塗出口２ｔのスタンパ１上面に対する高さを適宜に制御可能となっている。例えば、基本位置２ａでは、スタンパ１との衝突回避の確実のため塗出口２ｔの高さを比較的高くしておく一方で、樹脂３０の塗出時にはスタンパ１からの高さを低くして気泡の混入を防止することが可能である。
【００２７】
次に、図４乃至図８を用いて、可撓性シート基材Ｓの供給部について説明する。図４は、基材セット部４近傍の概略平面図である。図４に示すように、基材セット部４は、可撓性シート基材Ｓの周縁を支持するためのガイド４ｃを有している。本実施の形態の可撓性シート基材Ｓは、略正方形状で、３つのコーナ部に位置決め孔が形成されており、当該位置決め孔を貫通して位置決めを行う位置決めピン４ａが、ガイド４ｃ上に形成されている。位置決めピン４ａは、カイド４ｃに設けられたエアシリンダ４ｂによって各々昇降可能となっている。
【００２８】
シート移動部５は、図５に示すように、回転アーム５ａと、９（３×３）個の吸着パッド５ｂとを有している。可撓性シート基材Ｓが基材セット部４にセットされると、各吸着パッド５ｂは、基材セット部４にセットされた可撓性シート基材Ｓの上面側において、可撓性シート基材Ｓと垂直に位置決めされる。その後、吸着パッド５ｂが可撓性シート基材Ｓに近づいて当該可撓性シート基材Ｓを吸着する。
【００２９】
基材セット部４の位置決めピン４ａは、吸着パッド５ｂによる可撓性シート基材Ｓの吸着後に、エアシリンダ４ｂの作動によって下降するようになっている。これにより、当該可撓性シート基材Ｓは拘束が解かれ、シート移動部５の移動に伴って傾斜ガイド６の上方に移動可能となる。さらに回転アーム５ａによって、可撓性シート基材Ｓは、図５に示すような傾斜状態をとることができる。
【００３０】
傾斜ガイド６は、図４及び図５に示すように、一対の側方ガイド６ｓと、各側方ガイド６ｓに一対が設けられたスプロケット６ｂと、各一対のスプロケット６ｂに渡されたチェーン６ｙと、チェーン６ｙに取付けられた断面Ｌ字型の移動ガイド６ａと、移動ガイド６ａに連結された摺動部６ｃとを有している。
【００３１】
図５に示すように、スプロケット６ｂの軸及び側方ガイド６ｓは、角度調整アーム１７によって、角度調整可能に支持されている。角度調整アーム１７は、レール２２に沿って水平方向に移動可能となっている。また、角度調整アーム１７は、エアシリンダ１８を有しており、エアシリンダ１８の伸縮部に設けられた連結ピン１８ａと送りユニット２０の連結部１８ｂとが結合可能になっている。
【００３２】
摺動部６ｃは、摺動アーム１５の移動に伴って、移動ガイド６ａを移動させるようになっている。摺動アーム１５は、角度調整アーム１７の側壁部に設けられたレール２１に沿って水平方向に移動可能となっている。また、摺動アーム１５は、エアシリンダ１９を有しており、エアシリンダ１９の伸縮部に設けられた連結ピン１９ａと送りユニット２０の連結部１９ｂとが結合可能になっている。
【００３３】
送りユニット２０は、連結板２６を介して一軸ロボット２５に接続されている。また、送りユニット２０には、後述する位置決めピン２４が設けられている。
【００３４】
一方、樹脂３０が塗出されたスタンパ１は、コンベヤ１２の移動と、傾斜ガイド６の下方に設けられたストッパ２３と、複数の位置決めピン２４（図５では、図示の便宜のため、１つのみが図示されている）とによって、傾斜ガイド６の下方位置に位置決めされ得る。位置決めピン２４は、ストッパ３１によって停止させられたスタンパテーブル３１をコンベヤ１２から浮かせて支持し、スタンパ１に高い平面性と強度とを提供する。
【００３５】
図５に示す状態から、エアシリンダ１８、１９が作動して、連結ピン１８ａ、１９ａがそれぞれ送りユニット２０の連結部１８ｂ、１９ｂに連結されるようになっている。
【００３６】
また、シート移動部５は、可撓性シート基材Ｓの位置決め孔のうちの２つが、スタンパ１の２つの位置決めピン１ｃを貫通するように位置決めされるようになっている。位置決め完了時に、可撓性シート基材Ｓは、傾斜ガイド６の側方ガイド６ｓに接触する。位置決めの後に、吸着パッド５ｂによる吸着が解除され、シート移動部５は、基材セット部４の上方に戻るようになっている。
【００３７】
そして、送りユニット２０と一体となった位置決めピン２４、スタンパ１、角度調整ガイド１７、摺動ガイド１５、傾斜ガイド６及び可撓性シート基材Ｓは、一軸ロボット２５による送りユニット２０のニップローラ７側への移動に伴って、ニップローラ７の中心線真下に位置決めピン１ｃが到達するようになっている。なお、ストッパ２３は、この移動の開始時に退避するようになっている。
【００３８】
その後、ニップローラ７が下降し、可撓性シート基材Ｓをスタンパ１に押し付けるようになっている。この状態が図６に示されている。ニップローラ７は、なお、位置決めピン１ｃと干渉しないように、例えば溝が形成されている。
【００３９】
次に、エアシリンダ１８が逆に作動することにより、連結ピン１８ａと連結部１８ｂとの連結が解除され、角度調整アーム１７の移動が停止するようになっている。
【００４０】
そして、更なる送りユニット２０による摺動アーム１５の移動に伴い、スタンパ１の移動に略同期して、摺動部６ｃを介して移動ガイド６ａが移動し、ニップローラ７がつれ回りして、樹脂３０が押し広げられつつ、スタンパ１上面に可撓性シート基材Ｓがプレスされるようになっている。この状態が図７に示されている。
【００４１】
さらに、エアシリンダ１９が逆に作動することにより、連結ピン１９ａと連結部１９ｂとの連結が解除され、送りユニット２０が更に移動して、スタンパ１と可撓性シート基材Ｓとが完全に密着するようになっている。この状態が図８に示されている。
【００４２】
この後、ニップローラ７が元の位置にまで上昇し、エアシリンダ１４及びエアシリンダ１６によって摺動アーム１５及び角度調整アーム１７が図５に示す位置に戻され、位置決めピン２４が退避して、一軸ロボット２５も元の位置に戻るようになっている。
【００４３】
次に、このような構成よりなる本実施の形態の作用について、図９を用いて説明する。
【００４４】
まず、パターン複製装置１のメイン電源、ＵＶ電源、エアー供給源（いずれも図示せず）が、それぞれＯＮにされる（ＳＥＴＰ０１）。
【００４５】
次に、可撓性シート基材Ｓが、基材セット部４にセットされる（ＳＴＥＰ０２）。そして、シート基材移動スイッチ（図示せず）がＯＮにされる（ＳＴＥＰ０３）と、基材セット部４に真に可撓性シート基材Ｓがセットされているか否かを点検する（ＳＴＥＰ０３）。可撓性シート基材Ｓがセットされていなければ、再びＳＴＥＰ０２に戻る（ＳＴＥＰ０４）。そして、シート移動部５が作動する（ＳＴＥＰ０５）。
【００４６】
一方、図１及び図２に示す初期位置にて待機していたスタンパ１及びスタンパテーブル３１が、コンベヤ１２の移動に伴って移動を開始する（ＳＴＥＰ０６）。スタンパテーブル３１は、樹脂塗出領域にて位置決めされて停止する（ＳＴＥＰ０７）。
【００４７】
時系列的に、本実施の形態では、スタンパテーブル３１の位置決め停止後に、シート移動部５が、基材セット部４にセットされた可撓性シート基材Ｓ上に到達する（ＳＴＥＰ０８）。
【００４８】
そして、ディスペンサ２及びアーム３が作動して、スタンパ１上に樹脂３０を塗出する（ＳＴＥＰ０９）。
【００４９】
図３に示すように、ディスペンサ２は、基本位置２ａから図３の下方向（スタンパ１の進行方向と垂直な方向）へｘ1 だけ移動して停止し、樹脂３０の塗出を開始する。所定の設定時間が経過すると、樹脂３０の塗出を継続したままで更に同方向へｘ2 だけ移動して停止する。同様に所定の設定時間が経過すると、樹脂３０の塗出を継続したままで更に同方向へｘ3 だけ移動して停止する。同様に所定の設定時間が経過すると、樹脂３０の塗出を継続したままで更に同方向へｘ4 だけ移動して停止する。同様に所定の設定時間が経過すると、樹脂３０の塗出を継続したままで更に同方向へｘ5 だけ移動して停止する。そして、所定の設定時間が経過すると、樹脂３０の塗出を停止して、基本位置ａ２に戻る。
【００５０】
このような塗出方法によって、各停止ポイントに相対的に多量の樹脂３０を塗出することができる。停止ポイントの数、各停止ポイントの位置、停止時間等は、スタンパ１の面積や凹凸パターン１ｂの面付け数、樹脂３０の特性等に応じて、適宜に決定され得る。さらに、ディスペンサ２の樹脂３０の塗出量も、適宜に制御され得る。
【００５１】
時系列的に、本実施の形態では、ディスペンサ２による樹脂３０の塗出中に、可撓性シート基材Ｓが、シート移動部５によって、基材セット部４から傾斜ガイド６に向けて移動を開始する（ＳＴＥＰ１０）。そして、ディスペンサ２による樹脂３０の塗出が終了する（ＳＴＥＰ１１）頃に、可撓性シート基材Ｓは傾斜ガイド６上に到達する（ＳＴＥＰ１２）。
【００５２】
その後、スタンパ１及びスタンパテーブル３１は、樹脂塗出領域から移動を開始し（ＳＴＥＰ１３）、傾斜ガイド６の下方に位置決めされて停止する（ＳＴＥＰ１４）。この状態が図５に示してある。そして、シート移動部５から、傾斜ガイド６及びスタンパ１上に、可撓性シート基材Ｓが位置決めピン１ｃを利用して位置決めされて、供給される（ＳＴＥＰ１５）。
【００５３】
傾斜ガイド６、可撓性シート基材Ｓ、スタンパ１及びスタンパテーブル３１は、エアシリンダ１８、１９の作動により送りユニット２０と一体になっており、送りユニット２０の移動に伴って、ニップローラ７の下方位置にまで移動する（ＳＴＥＰ１７）。そしてニップローラ７が下降する（ＳＴＥＰ１８）。この状態が図６に示してある。
【００５４】
そして、エアシリンダ１８が逆作動して角度調整アーム１７の移動は終了し、スタンパ１及びスタンパテーブル３１のみが移動を継続する（ＳＴＥＰ１９）。この時、可撓性シート基材Ｓは、位置決めピン１ｃに引張られると共に移動ガイド６ａに案内されて、連続的にスタンパ１の上面に供給され、ニップローラ７の連れ回りによってプレスされる。この状態が図７に示してある。
【００５５】
このようにニップローラ７が可撓性シート基材Ｓを連続的にスタンパ１の上面に押し付けることにより、樹脂３０が効果的に押し広げられると共に、樹脂３０内への気泡の混入が防止される。
【００５６】
その後、ニップローラ７が上昇し（ＳＴＥＰ２１）、傾斜ガイド６が初期位置に復帰して（ＳＴＥＰ２２）、図５に示す状態に戻る。
【００５７】
その後、スタンパ１及びスタンパテーブル３１は、シート供給領域から移動を開始し（ＳＴＥＰ２３）、紫外線照射装置８の下方に位置決めされて停止する（ＳＴＥＰ２４）。そして、紫外線照射装置８が所定の設定時間だけＯＮにされて、樹脂３０が硬化される（ＳＴＥＰ２５〜２７）。
【００５８】
その後、スタンパ１及びスタンパテーブル３１は、紫外線照射領域から移動を開始し（ＳＴＥＰ２８）、初期位置に位置決めされて停止する（ＳＴＥＰ２９）。本実施の形態では、初期位置が剥離領域となっており、剥離部３５によって、樹脂３０が硬化して一体となった可撓性シート基材Ｓが、スタンパ１から剥離される。
【００５９】
以上のように、本実施の形態によれば、ニップローラ７が可撓性シート基材Ｓを連続的にスタンパ１の上面に押し付けることにより、樹脂３０が効果的に押し広げられると共に、樹脂３０内への気泡の混入が防止される。
【００６０】
なお、樹脂によって形成される凹凸パターンは、スタンパ１の凹凸パターン１ｂと逆凹凸の関係となる。本実施の形態によって形成される樹脂による凹凸パターンは、低コストで、精度良く安定に複製され、光学的記録媒体の凹凸状情報トラックとして利用される。
【００６１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ニップローラが可撓性シート基材を連続的にスタンパ上面に押し付けることにより、樹脂が効果的に押し広げられると共に、樹脂内への気泡の混入が防止される。従って、微細な凹凸状パターンを、低コストで、精度良く安定に複製することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による可撓性シート基材へのパターン複製装置の第１の実施の形態を示す概略平面図。
【図２】図１の可撓性シート基材へのパターン複製装置の概略側面図。
【図３】ディスペンサによる樹脂塗出状態について説明する図。
【図４】可撓性シート基材の供給部について説明する図。
【図５】可撓性シート基材の供給部について説明する図。
【図６】可撓性シート基材の供給部について説明する図。
【図７】可撓性シート基材の供給部について説明する図。
【図８】可撓性シート基材の供給部について説明する図。
【図９】図１の可撓性シート基材へのパターン複製装置の作用を示すフローチャート。
【符号の説明】
１  スタンパ
１ｂ  凹凸パターン
１ｃ  位置決めピン
２  ディスペンサ
２ｔ  塗出口
４  基材セット部
５  シート移動部
５ａ  回転アーム
５ｂ  吸着パッド
６  傾斜ガイド
６ａ  移動ガイド
６ｂ  スプロケット
６ｃ  摺動部
６ｓ  側方ガイド
６ｙ  チェーン
７  ニップローラ
８  紫外線照射装置
１０  ＨＥＰＡフィルタ
１２  コンベヤ
１４  エアシリンダ
１５  摺動アーム
１６  エアシリンダ
１７  角度調整アーム
１８  エアシリンダ
１８ａ  連結ピン
１８ｂ  連結部
１９  エアシリンダ
１９ａ  連結ピン
１９ｂ  連結部
２０  送りユニット
２１、２２  レール
２３  ストッパ
２４  位置決めピン
２５  一軸ロボット
２６  連結板
３０  樹脂
３１  スタンパテーブル
３５  剥離部
３６  遮蔽室
４０  可撓性シート基材へのパターン複製装置
【図１】
0004440370.tif 000002
【図２】
0004440370.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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