(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヒーターの形成方法であって、
ａ）  Ｂ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｇａ、高融点硬質金属、遷移金属及び希土類金属からなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物又はオキシ窒化物或いはこれらの複合体及び／又は組合せの１種以上からなる第一の被覆層で被覆した黒鉛物体を用意する段階と、
ｂ）  前記被覆された黒鉛物体に電気加熱回路の１以上の区画を画成する電気流路用のパターンを加工する段階と、
ｃ）  Ｂ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｇａ、高融点硬質金属、遷移金属及び希土類金属からなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物又はオキシ窒化物或いはこれらの複合体及び／又は組合せの１種以上からなる第二の被覆層で前記パターンが形成されて現われた表面を被覆する段階と、
を含んでなるヒーターの形成方法。
【請求項２】
前記電気回路パターンが、電気流路を形成するため電気的に接続すべき端子用の末端部を含む、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記第一の被覆層及び前記第二の被覆層が、Ｂ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｇａ、高融点硬質金属、遷移金属及び希土類金属からなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物又はオキシ窒化物或いはこれらの複合体及び／又は組合せの１種以上から選択される同一の材料からなる、請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記電気流路が、らせん形パターン、蛇形パターン、弦巻形パターン、ジグザグ形パターン、連続迷路状パターン、らせんコイル状パターン、旋回状パターン、ランダム渦巻形パターン及びこれらの組合せの１以上を有する、請求項１記載の方法。
【請求項５】
前記第一の被覆層及び前記第二の被覆層が、物理蒸着法、化学蒸着法、空気噴霧器を用いる吹付法、ローラーを用いる塗装法、溶射法、熱噴射法及びこれらの組合せから選択される技術で形成される、請求項１記載の方法。
【請求項６】
前記第一の被覆層及び前記第二の被覆層が化学蒸着法で形成される、請求項５記載の方法。
【請求項７】
前記黒鉛物体中のパターンが、マイクロ機械加工、マイクロ研磨、レーザー切削、化学的エッチング及び電子ビームエッチングの一つから選択される技術を用いて形成される、請求項２記載の方法。
【請求項８】
前記黒鉛物体が円板、平板及び円筒の一つである、請求項２記載の方法。
【請求項９】
前記電気流路に電気的に接続すべき端子用の末端部を設ける段階をさらに含む、請求項２記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主として半導体ウェーハ加工装置内で使用するための加熱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス又は半導体材料の製造に際しては、反応室を画成する囲いの中において半導体ウェーハを１０００℃を超える比較的高い温度で加工する。その場合、ウェーハは電源に接続した抵抗ヒーターに隣接又は接触して配置される。このようなプロセスでは、半導体ウェーハの温度は約１〜１０℃の範囲内で変動する実質的に一定で一様な値に保たれる。
【０００３】
米国特許第５３４３０２２号には、熱分解窒化ホウ素基板上に配置した熱分解黒鉛（「ＰＧ」）の発熱体を含んでなる、半導体ウェーハ加工プロセスで使用するための加熱ユニットが開示されている。黒鉛層は、加熱すべき領域を画成するらせん形又は蛇形の形状に機械加工され、その両端は外部の電源に接続される。次いで、加熱アセンブリ全体が熱分解窒化ホウ素（「ｐＢＮ」）層で被覆される。米国特許第６４１０１７２号には、ｐＢＮ基体上に取り付けられたＰＧ素子を含んでなる発熱体、ウェーハキャリヤー又は静電チャックが開示されている。この場合、アセンブリを化学的攻撃から保護するため、アセンブリ全体は続いてＡＩＮの外部被膜でＣＶＤ被覆される。
【０００４】
黒鉛は経済的で耐熱性の耐火材であるが、ある種のウェーハ加工用化学環境で腐食されると共に、粒子や粉塵を生じ易い。通常の機械加工を受けた黒鉛ヒーターは不連続表面を有するので、出力密度は加熱すべき領域に沿って劇的に変化する。その上、特に蛇形の形状に機械加工した後の黒鉛物体は脆くて、その機械的結合性は不良である。したがって、比較的大きい横断面厚さ（例えば、半導体用黒鉛ヒーター用途のためには通例約０．１インチを超える厚さ）を有していても、ヒーターはやはり極めて弱く、注意深く取り扱わなければならない。さらに、アニールが弓そり又は位置狂いを引き起こすので、黒鉛ヒーターは時間と共に寸法が変化し、電気的短絡を生じる。さらに、半導体ウェーハ加工では、導電性を有することのあるフィルムを半導体上に付着させることも普通であり、かかるフィルムがヒーター上に逃散性被膜として付着することがある。かかる被膜も、電気的短絡、電気的性質の変化、又は追加の弓そりやゆがみの一因となり得る。
【０００５】
本出願人らは、黒鉛に固有の耐火性を保ちながら先行技術のヒーターに固有の脆さ及び弱さを解消する、むく黒鉛物体から形成された改良ヒーターを発見した。
【特許文献１】米国特許第５３４３０２２号
【特許文献２】米国特許第６４１０１７２号
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、封入したむく黒鉛物体を含んでなる抵抗ヒーターであって、封入剤が黒鉛物体を被覆する実質的に連続した表面を形成すると共に、封入剤がＢ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｇａ、高融点硬質金属、遷移金属及び希土類金属からなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物又はオキシ窒化物或いはこれらの複合体及び／又は組合せから選択される抵抗ヒーターに関する。一実施形態では、封入剤は化学蒸着法（ＣＶＤ法）で付着させた材料（例えば、熱分解窒化ホウ素（ｐＢＮ）又は窒化アルミニウム（ＡｌＮ））からなる薄いシェルである。
【０００７】
本発明は、ＣＶＤ法で付着させた材料で封入したむく黒鉛物体を含んでなる抵抗発熱体であって、黒鉛物体は、黒鉛物体を通して少なくとも加熱区画用の電気流路を与えるように両端部を有する電気加熱回路の１以上の区画を画成するらせん形又は蛇形の幾何学的形状に加工されている抵抗発熱体にも関する。
【０００８】
本発明はさらに、黒鉛からなるむく物体で黒鉛ヒーターを形成するための方法であって、ａ）Ｂ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｇａ、高融点硬質金属、遷移金属及び希土類金属からなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物又はオキシ窒化物或いはこれらの複合体及び／又は組合せからなるオーバーコート層で黒鉛物体を被覆する段階と、ｂ）外部の電源に接続することのできる両端部を有する電気回路パターンを黒鉛物体中に形成する段階と、ｃ）Ｂ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｇａ、高融点硬質金属、遷移金属及び希土類金属からなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物又はオキシ窒化物からなる１以上の外部コート層でパターン化黒鉛物体を封入して、ヒーターアセンブリを包囲する電気絶縁性の薄膜シェルを形成する段階とを含んでなる方法にも関する。
【０００９】
図面の簡単な説明
図１(ａ)、１(ｂ)、１(ｃ)、１(ｄ)及び１(ｅ)は、むく黒鉛物体を有するヒーターを作製するための一連の段階を含む本発明の方法の一実施形態を示している。
【００１０】
図２(ａ)、２(ｂ)、２(ｃ)、２(ｄ)及び２(ｅ)は、図１(ａ)〜１(ｅ)の方法のように黒鉛物体を完全には封入しない本発明の方法の一実施形態を示している。
【００１１】
図３(ａ)及び３(ｂ)は、むく黒鉛円板から作製したヒーターを下側及び上側から見た、本発明のヒーターの一実施形態の平面図である。
【００１２】
図４(ａ)、４(ｂ)及び４(ｃ)は、黒鉛円筒から形成したヒーターに関する本発明の別の実施形態の平面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本出願人らは、パターン化した黒鉛物体を窒化物、炭化物、炭窒化物又はオキシ窒化物の実質的に連続したオーバーコート層で被覆して形成した単一の構造的に一体のユニットを含んでなる、先行技術のヒーターより安定な新規ヒーター及びかかるヒーターを作製するための新規方法を発見した。以下、本発明の抵抗ヒーターを作製するための方法の様々な実施形態を記載すると共に、これらを図１Ａ〜１Ｅ及び図２Ａ〜２Ｅにも示す。
【００１４】
被覆熱分解黒鉛基材を用意する段階：本発明のヒーターの基材はむく黒鉛物体（通常の黒鉛又は熱分解黒鉛）である。熱分解黒鉛は、メタン、エタン、エチレン、天然ガス、アセチレン及びプロパンのような炭化水素ガスの高温熱分解で製造される実質的に高度に配向した多結晶質黒鉛である。
【００１５】
本発明の一実施形態では、むく黒鉛物体は基材１０に機械加工される。基材は、１以上の連続表面をもった（図１Ａに示すような）長方形又は円板の幾何学的形状をはじめとする任意の一般ヒーター形状を有し得る。
【００１６】
本発明の別の実施形態では、むく黒鉛物体は図４Ａ〜４Ｃに示すような円筒形の形状を有する。かかる円筒は内径、外径及び長さを有しており、その壁体は所定の流路（例えば、蛇形又は弦巻形のパターン）をなすように機械加工される。図４Ａは、円筒形の形状を有するヒーターの上面図を示している。図４Ｂは図４Ａの線Ａ−Ａに沿った円筒形ヒーターの断面図を示しており、図４Ｃは図４Ｂ中に円で囲んで示した部分の拡大図を示している。物体又は基材１０は、半導体加工用途のために適した任意所望の厚さ（ｄ）を有し得る。
【００１７】
黒鉛成形体の厚さは、完成部品に関する電気的計算で決定することができる。完成ヒーターの電気抵抗に関する基本的計算は、当技術分野で公知である。即ち、かかる計算は蛇形電気流路の長さ、幅及び厚さに基づいて行われ、電気流路の厚さは黒鉛基材１０中に組み込まれる。半導体ウェーハプロセスで使用するための一実施形態では、黒鉛基材１０は０．０５インチ以上の厚さを有する。第二の実施形態では、黒鉛基材１０は約０．１０インチ以上の厚さを有する円板からなる。
【００１８】
次の段階では、黒鉛基材１０上に、機械加工段階で所望の耐食性並びに構造的結合性及び支持を与えるのに十分な厚さを有する１以上の実質的に連続した被覆層１２が設けられる。図１Ｂに示すような一実施形態では、被覆層１２は黒鉛基材物体１０の上面及び下面の両方を封入する。図２Ｂに示すような本発明の方法の別の実施形態では、被覆層１２は耐食性及び構造的支持のために黒鉛基材物体１０の上面だけを覆う。
【００１９】
一実施形態では、被覆層は０．００５〜０．１０インチの厚さを有する。第二の実施形態では、被覆層は約０．０１〜０．０５インチの厚さを有する。第三の実施形態では、被覆層は約０．０２インチ未満の厚さを有する。さらに第四の実施形態では、被覆層は約０．０１〜０．０３インチの範囲内の厚さを有する平らな固体の実質的に連続したｐＢＮ表面層である。
【００２０】
黒鉛物体の被覆層は、Ｂ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｇａ、高融点硬質金属、遷移金属及び希土類金属からなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物又はオキシ窒化物或いはこれらの複合体及び／又は組合せの１種以上からなる。その例には、熱分解窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化チタンアルミニウム、窒化チタン、炭窒化チタンアルミニウム、炭化チタン、炭化ケイ素及び窒化ケイ素がある。
【００２１】
一実施形態では、被覆層はｐＢＮからなる。第二の実施形態では、被覆層はＡｌＮからなる。第三の実施形態では、被覆層はＡｌＮとＢＮとの複合体からなる。第四の実施形態では、被覆層は熱分解窒化ホウ素（ＰＢＮ）と電気抵抗率が１０１４Ω−ｃｍより小さくなるように約３ｗｔ％未満の量で添加される炭素ドーパントとの組成物からなる。さらに第五の実施形態では、被覆層は少量のＹ２Ｏ３を添加した（例えば、窒化アルミニウム１００ｗｔ％に対して５ｗｔ％の量で添加した）窒化アルミニウムからなる。ｐＢＮ及びＡｌＮはいずれも、優れた絶縁性及び導電性を有しており、気相から容易に蒸着できる。これらは高温安定性も有している。さらに、これらは熱分解黒鉛基材（黒色）と異なる色（白色）を有するので、電気的パターンを形成する段階では、被覆層をパターンから容易に視覚的に識別できる。
【００２２】
黒鉛物体／基体上に被覆層を付着させるためには、様々な方法が使用できる。一実施形態では、物理蒸着法（ＰＶＣ法）で１以上の層を設置できる。この場合には、純粋に物理的な方法によって被覆材料（例えば、窒化ホウ素及び／又は窒化アルミニウム）を真空中で気相に移行させ、被覆すべき表面上に付着させる。多数の変法が使用できる。一実施形態では、被覆材料を高真空下で表面上に付着させる。この場合には、電気抵抗加熱、電子衝撃、レーザー衝撃、アーク蒸発などを用いて被覆材料を加熱することで、固体から液体を介して気体状態に移行させるか、或いは固体から気体状態に直接移行させる。スパッタリングも使用できる。この場合には、それぞれの被覆材料からなる固体ターゲットを、例えば不活性ガスプラズマをイオン源として用いながら、高エネルギーイオン（例えば、不活性ガスイオン、特にアルゴンイオン）によって真空中で微粒化する。最後に、それぞれの被覆材料からなるターゲットを真空下においてイオンビームで衝撃し、気相中に移行させ、被覆すべき表面上に付着させることもできる。
【００２３】
もちろん、上述のＰＶＤ法を組み合わせることもできるし、例えばプラズマ支援蒸着法で１以上の層を付着させることもできる。
【００２４】
別法として、本発明の一実施形態では、又は追加の被覆層として、一つの層を化学蒸着法（ＣＶＤ法）で付着させることもできる。ＰＶＤ法とは対照的に、ＣＶＤ法は化学反応を伴う。熱、プラズマ、光子又はレーザーで活性化される化学蒸着法によって約２００〜２０００℃の温度で生成させた気体成分を、通常は減圧下で、不活性キャリヤーガス（例えば、アルゴン）によって化学反応を行う反応室内に移行させる。かくして生成した固体成分を被覆すべき黒鉛物体上に付着させる。揮発性の反応生成物はキャリヤーガスと共に排出される。
【００２５】
本発明の一実施形態では、黒鉛物体１０は、米国特許第３１８２００６号（その開示内容は援用によって本明細書の内容の一部をなす）に記載されているようなＣＶＤ法によって熱分解窒化ホウ素の層で被覆される。この方法では、アンモニア及び気体状ハロゲン化ホウ素（例えば、三塩化ホウ素（ＢＣｌ３））の蒸気を適当な比率で用いて、黒鉛基材１０の表面上に窒化ホウ素蒸着層を形成する。
【００２６】
本発明のさらに別の実施形態では、熱噴射法（例えば、プラズマ噴射法）を用いて１以上の層を付着させることができる。この方法では、高周波電磁界の印加及びそれに伴うガス（例えば、酸素、窒素、水素、不活性ガスなど）のイオン化に基づくプラズマバーナーにより、固定ターゲットを加熱して気相中に移行させる。ターゲットが例えば窒化ホウ素又は窒化アルミニウムからなる場合には、純粋に物理的な方法で気相中に移行させて被覆すべき黒鉛物体上に付着させることができる。また、ターゲットがホウ素からなる場合には、イオン化ガス（例えば、窒素）との反応により、窒化ホウ素として被覆すべき表面上に付着させることができる。
【００２７】
別の実施形態では、溶射法が使用される。即ち、通常は酸素と他のガスとのガス混合物の燃焼による燃焼炎を用いて粉末被覆材料を溶融させる火炎溶射技術が使用される。アークプラズマ溶射と呼ばれる別の溶射法では、ＤＣアークがイオン化ガス（プラズマ）を生み出し、これを用いてペイント吹付けと同様にして溶融粉末被覆材料を吹き付ける。さらに別の実施形態では、被覆材料をペイント／スプレーとして用意し、空気噴霧器を用いて黒鉛物体上に吹き付ける。
【００２８】
比較的「厚い」（即ち、０．０３インチ以上の）被覆層を得るための別の実施形態では、被覆材料を単に液体ペイントとして塗布し、次いで被膜を完全に乾かすのに十分な高温で乾燥する。ＢＮを被膜として使用する一実施形態では、ＢＮで被覆した黒鉛構造物を７５℃以上の温度で乾燥して被膜を完全に乾かし、一実施形態では１００℃以上の温度で乾燥する。
【００２９】
本発明の一実施形態では、上述のような被覆操作後に、被覆黒鉛構造物を５００℃以上の温度に加熱して窒化物被膜を黒鉛物体にさらに密着させる。
【００３０】
被覆黒鉛基材中に電気パターンを形成する段階：むく黒鉛物体中への電気パターン（即ち、電気的に隔離された抵抗ヒーター流路）の形成は、特に限定されないが、マイクロ機械加工、マイクロ研磨、レーザー切削、化学的エッチング又は電子ビームエッチングをはじめとする、当技術分野で公知の技術で行うことができる。パターンは、例えば、除去可能なマスク又はテープで定義できる。他のマスキング技術には、溶解可能な保護被膜（例えば、ホトレジスト）の使用がある。パターン化しての使用は、黒鉛物体の局部領域の制御加熱を可能にする。
【００３１】
図１Ｃ又は２Ｃに示すような一実施形態では、実質的に連続した被覆表面１２の反対側から、被覆黒鉛基材１０を抵抗加熱のための所望電気パターンに機械加工する。一実施形態では、パターン１３は図３Ｂに示すようならせん形又は蛇形の形状を有するものであり、その開放端は外部電源への接続のために使用できる。
【００３２】
図１Ｄ及び２Ｄに示すように、電気パターンの形成／機械加工操作は、黒鉛基材１０の横断面全体を貫通して連続被覆表面１２に達するまで行われる。図示のように、機械加工は被覆層１２を除去することなしに行われる。即ち、被膜は実質的に無傷のままに残される。
【００３３】
パターン化黒鉛物体を実質的に連続したオーバーコートで被覆する段階：この段階では、ウェーハ加工用化学環境に対する耐食性を向上させるため、パターン化黒鉛物体を１以上の別の層で被覆する。保護オーバーコート層１４は、図１Ｄに示すようにパターン化黒鉛物体の上面及び下面の両方を覆ってもよいし、或いは図２Ｄに示すように露出した黒鉛を覆う保護層を提供するだけでもよい。
【００３４】
外部コートは、以前のセクションに記載した第一の被覆層と同じ材料からなっていてもよく、或いは異なる材料からなっていてもよい。第一の被覆層と同じく、パターン化黒鉛物体を覆う外部コート層は、Ｂ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｇａ、高融点硬質金属、遷移金属及び希土類金属からなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物又はオキシ窒化物或いはこれらの複合体及び／又は組合せの１種以上からなり得る。一実施形態では、外部コート層はｐＢＮ、ＡｌＮ、ＳｉＣ又はＳｉＮからなる。
【００３５】
オーバーコート層１４は第一の被覆層１２と同じ技術を用いて設置でき、或いは以前のセクションに記載したような当技術分野で公知のその他任意の技術を用いて設置できる。かかる技術には、特に限定されないが、ＰＶＤ、ＣＶＤ、熱噴射による粉末被覆、溶射、アーク吹付け、塗装及び空気吹付けがある。
【００３６】
一実施形態では、オーバーコート層は０．００５〜０．２０インチの厚さを有する。別の実施形態では、０．０１〜０．１０インチの厚さを有する。第三の実施形態では、オーバーコート層は約０．０５インチ未満の厚さを有する。さらに第四の実施形態では、オーバーコート層は約０．０１〜０．０３インチの範囲内の厚さを有する平らな固体の実質的に連続したｐＢＮ表面層である。
【００３７】
オーバーコート層としてｐＢＮを使用する一実施形態では、層の厚さは、ｐＢＮに固有の高度の熱伝導異方性を利用しながら熱的均一性を向上させるように最適化される。さらに別の実施形態では、熱的均一性を向上させるために複数のオーバーコート層（ｐＢＮ及び熱分解黒鉛）が使用される。
【００３８】
電気接点を形成する段階：図１Ｅ又は２Ｅに示すようなこの最終段階では、上部被覆層を貫通して電気接点１５を機械加工することで、外部電源に接続するための接点位置で黒鉛１０を露出させる。別法として、最終被覆操作より前の初期に電気接点延長部を黒鉛基材１０中に機械加工することができ、或いはオーバーコート被覆操作前に電気接点延長部を付加することができる。
【００３９】
本発明の一実施形態では、製造プロセスの中間段階で、蛇形の電気流路１３に黒鉛の電気延長ポストを連結し、オーバーコート被覆材料で被覆することができる。図３Ａ及び３Ｂは、被覆黒鉛物体から延在するタブ１６を有するヒーター素子２０の一実施形態の平面図である。この場合、タブ１６の穴１７を通してポストコネクターをヒーター素子２０に取り付けることができる。
【００４０】
本発明のヒーター：本発明のヒーターは、様々な用途のために使用でき、特に半導体加工用途でウェーハキャリヤーとして使用できる。本発明のヒーターの機械的強度は通常の黒鉛ヒーターの強度に比べて劇的に向上していることが判明した。
【００４１】
半導体用途では、様々なサイズ及び／又は形状のウェーハを加工するのが通例である。したがって、本発明の一般的実施に係るヒーターは、想定される特定の使用又は用途のために要求される任意適宜のサイズ及び形状／形態を有し得ることが理解されよう。ヒーターは、円筒形、平らな円板、平板などの形状を有し得る。その寸法は、最大寸法（例えば、直径、長さなど）が約２〜２０インチであり、厚さが０．０５〜０．５０インチであり得る。一実施形態では、それは長さ２”×幅２”×厚さ０．０１”の寸法を有する円板であり得る。円筒形の一実施形態では、ヒーターは内径２〜２０”、肉厚０．１０〜０．５０”及び長さ２〜４０”の寸法を有する。
【００４２】
黒鉛物体で画成される電気パターンは、電気加熱回路の１以上の区画に関する電気流路を画成するために様々なサイズ及び形状を有し得る。一実施形態では、流路はらせん形又は蛇形の幾何学的パターンを有する。第二の実施形態では、流路は弦巻形パターンを有する。第三の実施形態では、流路はらせんコイル状パターンを有する。第四の実施形態では、流路はジグザグ形パターンを有する。第五の実施形態では、流路は連続迷路状パターンを有する。別の実施形態では、流路はランダム渦巻形パターンを有する。さらに別の実施形態では、流路は旋回状パターンを有する。
【００４３】
本発明のヒーターの表面は、実質的に連続であると共に、パターン化された発熱黒鉛抵抗体を気密封止するため、電気的接続のために必要な表面以外には露出した黒鉛表面が存在しないようにしてオーバーコート層で被覆されている。それにより、短絡及び電気的変化の発生が防止されると共に、実質的に連続した表面から黒鉛の粉塵及び粒子が確実に排除される。しかし、ヒーターの上部被覆面１４には特定の穴又は表面構造１５が存在する。その理由は、大抵の実際のウェーハ加工用途では、図１Ｅ及び２Ｅに示すように、引上げ装置や取付け位置決定のためにこれらの構造が必要となることがあるからである。
【００４４】
以上、好ましい実施形態に関して本発明を説明してきたが、当業者であれば、本発明の技術的範囲から逸脱せずに様々な変更及び同等物による構成要素の置換を行い得ることが理解されよう。加えて、特定の状況又は材料を本発明の教示に適合させるため、本発明の本質的な技術的範囲から逸脱することなしに数多くの修正を行うことができる。
【００４５】
本明細書中に記載したすべての引例は、援用によって本明細書の内容の一部をなす。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１ａ】むく黒鉛物体を有するヒーターを作製するための一連の段階を含む本発明の方法の一実施形態を示している。
【図１ｂ】むく黒鉛物体を有するヒーターを作製するための一連の段階を含む本発明の方法の一実施形態を示している。
【図１ｃ】むく黒鉛物体を有するヒーターを作製するための一連の段階を含む本発明の方法の一実施形態を示している。
【図１ｄ】むく黒鉛物体を有するヒーターを作製するための一連の段階を含む本発明の方法の一実施形態を示している。
【図１ｅ】むく黒鉛物体を有するヒーターを作製するための一連の段階を含む本発明の方法の一実施形態を示している。
【図２ａ】図１ａ〜１ｅの方法のように黒鉛物体を完全には封入しない本発明の方法の一実施形態を示している。
【図２ｂ】図１ａ〜１ｅの方法のように黒鉛物体を完全には封入しない本発明の方法の一実施形態を示している。
【図２ｃ】図１ａ〜１ｅの方法のように黒鉛物体を完全には封入しない本発明の方法の一実施形態を示している。
【図２ｄ】図１ａ〜１ｅの方法のように黒鉛物体を完全には封入しない本発明の方法の一実施形態を示している。
【図２ｅ】図１ａ〜１ｅの方法のように黒鉛物体を完全には封入しない本発明の方法の一実施形態を示している。
【図３ａ】むく黒鉛円板から作製したヒーターを下側から見た、本発明のヒーターの一実施形態の平面図である。
【図３ｂ】むく黒鉛円板から作製したヒーターを上側から見た、本発明のヒーターの一実施形態の平面図である。
【図４Ａ】黒鉛円筒から形成したヒーターに関する本発明の別の実施形態の平面図である。
【図４Ｂ】図４Ｃ中に円で囲んだ部分の拡大図である。
【図４Ｃ】図４Ａの線Ａ−Ａに関する円筒形ヒーターの断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０  黒鉛物体又は黒鉛基材
１２  被覆層
１３  パターン
１４  オーバーコート層
１５  電気接点
１６  タブ
１７  穴
【図１ａ】
0004479506.tif 000002
【図１ｂ】
0004479506.tif 000003
【図１ｃ】
0004479506.tif 000004
【図１ｄ】
0004479506.tif 000005
【図１ｅ】
0004479506.tif 000006
【図２ａ】
0004479506.tif 000007
【図２ｂ】
0004479506.tif 000008
【図２ｃ】
0004479506.tif 000009
【図２ｄ】
0004479506.tif 000010
【図２ｅ】
0004479506.tif 000011
【図３ａ】
0004479506.tif 000012
【図３ｂ】
0004479506.tif 000013
【図４Ａ】
0004479506.tif 000014
【図４Ｂ】
0004479506.tif 000015
【図４Ｃ】
0004479506.tif 000016