(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定光を第１の往路光及び第２の往路光に分岐する光分岐器（１４）と、
この光分岐器から出力された第１、第２の往路光を平行光に変換するともに入射された第１、第２の復路光を集光する第１の放物面鏡（１７）と、
この第１の放物面鏡で平行光に変換された第１、第２の往路光を分光するとともに入射された第１、第２の復路光を分光する回折格子（１８）と、
この回折格子で分光された第１、第２の往路光を集光するとともに入射された第１、第２の復路光を平行光に変換して前記回折格子へ入射させる第２の放物面鏡（２０）と、
この第２の放物面鏡で集光された第１の往路光を第１の復路光として、前記回折格子に対する入射時の波長分散方向が前記第１の往路光の前記回折格子からの出射時の波長分散方向と同一方向になるように折返す第１の折返しミラー機構（２１）と、
前記第２の放物面鏡で集光された第２の往路光を第２の復路光として、前記回折格子に対する入射時の波長分散方向が前記第２の往路光の前記回折格子からの出射時の波長分散方向と逆方向になるように折返す第２の折返しミラー機構（２２）と、
前記回折格子で分光され、前記第１の放物面鏡で集光された第１の復路光を分光された光信号として出射する光信号出力ポート（２４）と、
前記回折格子で分光され、前記第１の放物面鏡で集光された第２の復路光を波長解析用光として受光する受光器（２５）と
を備えた分光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定光を高い波長精度で分光するとともに、被測定光に含まれるそれぞれ波長が異なる光信号を抽出する分光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
被測定光を高い波長分解能で分光する加分散配列を採用した加分散型分光装置が実用化されている。図６を用いて、この加分散型分光装置における分光動作原理を説明する。
【０００３】
入力ポート１から入力された被測定光ａは第１の回折格子２に対して角度θ1で入射される。被測定光ａは第１の回折格子２でそれぞれ異なる波長を有する複数の光に分光される。この複数の光のうち特定の波長帯域の光ａ1が第１のスリット３を経て、第２の回折格子４へ角度θ2で入射される。この光ａ1の第２の回折格子４に対する入射方向は、被測定光ａの第１の回折格子２に対する入射方向と同一方向である。この第２の回折格子４は入射した光ａ1をそれぞれ異なる波長を有する複数の光に分光する。この分光された複数の光のうち特定の波長帯域の光ａ2が第２のスリット４を経て受光器６で受光される。
【０００４】
このように、加分散型分光装置においては、１つの被測定光ａを、光路に沿って直列配列された２個の回折格子２、４に対して順番に同一方向から入射させることによって、言い換えれば、図６に示すように、被測定光ａにおける回折格子２からの出射時の波長分散方向（λ+、λ-）と、被測定光ａにおける回折格子４への入射時の波長分散方向（λ-、λ+）とを逆方向に設定することによって、被測定光ａの波長分解能を向上できる。
【０００５】
実際の加分散型分光装置においては、各回折格子２、４へ入射される光ａ、ａ1は平行光である必要があり、また、分光された各光をスリット位置や受光器位置に集光させる必要があるので、図７の模式図に示すように、複数のコンデンサレンズ７、８、９、１０、１１が光路に組込まれている。図７に示すように、第２のスリット５位置における分光特性Ｃ2は、第１のスリット３位置における分光特性C１に比較して、波長分解能（波形幅）及びＳ／Ｎ比において、格段に優れている。
【０００６】
この波長分解能を定量的に示す指標として、スリット上の分光された各波長λ1、λ2の広がり（間隔）ｄで評価するとする。
図７に示す加分散型分光装置においては、入力ポート１へ入射される光ａが波長λ1、λ2の２つの波長を含む場合、第１のスリット３位置での広がり（間隔）はｄ1であり、さらに、第２のスリット５位置での広がり（間隔）はｄ2である。当然、第２のスリット５位置での広がり（間隔）ｄ2の方が、第１のスリット３位置での広がり（間隔）ｄ1より大きい。しかも、第２のスリット５位置での広がり（間隔）ｄ2が最終の波長分解能となるので、この第２のスリット５位置での広がり（間隔）ｄ2が大きいほどよい。
【０００７】
一方、近年、光通信システムにおいて、データ通信の通信効率を向上させるために、１本の光ファイバに波長が異なるデジタル変調された複数の光信号を信号合成して送信する波長多重伝送方式が実用化されている。
【０００８】
したがって、このように波長多重化された光信号から元の信号を得るためには、波長多重化された光信号を分光して、それぞれ異なる波長λ1、λ2、λ3、…を有する複数の光信号に分離する必要がある。
【０００９】
しかしながら、この波長多重化された１つの光信号をそれぞれ異なる波長を有する複数の光信号に分光する分光装置として図６、図７に示す加分散型分光装置を用いると、次のような不都合が生じる。
すなわち、図８に示すように、入力ポート１から入射された被測定光ａは、コンデンサレンズ７で平行光に変換されて、角度θ1で第１の回折格子２へ入射され、この第１の回折格子２で分光されて、平行光の状態で、コンデンサレンズ８に入射され、このコンデンサレンズ８で第１のスリット３位置に集光される。
【００１０】
この分光される過程で、平行光の一方端の光Ａと他方端の光Ｂとの間に、（ａ―ｂ）の光路差が発生する。光路差が生じた各光Ａ、Ｂはコンデンサレンズ８で第１のスリット３位置で集光される。波長多重化された１つの光信号のデジタル信号の周波数（伝送速度）が数十ＧHz程度の高周波の場合は、（ａ―ｂ）の光路差が前記デジタル信号のパルス幅に比較して無視できない値となる。
【００１１】
この場合、被測定光ａに含まれる光信信号の矩形波の波形ｂは、第１のスリット３位置で乱れて、図７、図８に示す波形ｂ1となる。さらに、第２の回折格子４に対して同一方向に入射して分光されると、さらに乱れて、図７に示す波形ｂ2となる。このように、被測定光ａに含まれる光信号における各パルスの立上り特性が劣化すると、この光信号から元のデジタル信号を再生できない問題が生じる。すなわち、分光された各光信号の信号品質が低下する。
【００１２】
そこで、図９に示すように、第２の回折格子４に対する光ａ1の入射方向を、第１の回折格子２に対する被測定光ａの入射方向に対して、反対方向から入射させる。言い換えれば、被測定光ａの回折格子２からの出射時の波長分散方向（λ+、λ-）と、被測定光ａの回折格子４への入射時の波長分散方向（λ+、λ-）とを同一方向に設定する。
【００１３】
このように、第２の回折格子４に対する光ａ1の入射方向を、第１の回折格子２に対する被測定光ａの入射方向に対して、反対方向に設定することは、図８において、第１のスリット３側からコンデンサレンズ８を介して光が、回折格子２に対し逆方向から入射して、コンデンサレンズ７側へ進むことを示す。その結果、逆方向の光路差が生じる。よって、光路差が互いに相殺される方向に作用する。
【００１４】
このような構成の分光器を差分散型分光装置と称する。この差分散型分光装置は、図１０に示すように、第２の回折格子４に対する光の入射方向を、第１の回折格子２に対する被測定光の入射方向に対して、反対方向から入射させるとともに、第２の回折格子４で分光された平行な光をコンデンサレンズ１０で出力ポート１２に集光する。
【００１５】
このような構成の差分散型分光装置においては、第１の回折格子２で分光される過程で発生した光路差は、第２の回折格子４で分光される過程で相殺される。したがって、図１０の下段に示すように、被測定光ａに含まれる光信号の矩形波の波形ｂは、第１のスリット３位置で乱れて、多少乱れた波形ｂ1となる。さらに、第２の回折格子４に対して反対方向に入射して分光されると、乱れた波形ｂ1が元の波形ｂに近似した波形ｂ3に修正される。
【００１６】
このような差分散型分光装置を用いることによって、被測定光ａに含まれる互いに波長が異なる複数の光信号を分光して抽出するとともに、抽出された光信号の信号品質を向上できる。
【００１７】
次に図１０に示す差分散型分光装置の波長分解能を考える。図７に示す加分散型分光装置の場合と同様に、入力ポート１へ入射される光ａが波長λ1、λ2との２つの波長を含むとすると、第１のスリット３位置での広がり（間隔）はｄ1である。続いて、第２の回折格子４に対して逆方向に入射されるので、第２のスリット５位置での広がり（間隔）はゼロになり、波長λ1、λ2との２つの波長は同じ一点に集光される。しかし、図示するように、スリット３上で、任意の波長、例えばλ1のみを通過させることで、信号品質を劣化することなく、所望の光信号を分路して抽出できる。
【００１８】
以上説明したように、測定信号を高い波長分解能で分光する場合は図７に示した加分散型分光装置を用い、測定信号に含まれる互いに波長が異なる各光信号を抽出する場合は図１０に示す差分散型分光装置を用いる。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年、光通通信システムにおいて、互いに波長が異なる各光信号を光波長多重化した光が用いられる傾向がある。したがって、このような波長多重化された各光信号の波長を正確に測定するとともに、各光信号を抽出して信号解析することが望まれている。
【００２０】
したがって、光通通信システムにおける測定位置に、図７に示す加分散型分光装置と図１０に示す差分散型分光装置との２台の分光器を持ち込む必要があった。その結果、各分光器の搬入、搬出、設定、調整に多大の手間と時間とが必要であった。
【００２１】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、１つの回折格子に対して折返しミラー機構を用いて被測定光を、波長分散方法を同一方向及び逆方向に設定した状態で出射及び入射させることによって、組込まれる光学部品点数を最小限に抑制した状態で、加分散機能と差分散機能とを実現でき、被測定光を高い波長精度で分光するとともに、被測定光から分光された光信号を高い信号品質を維持した状態で抽出できる分光装置を提供することを目的とする。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解消するために、本発明の分光装置は、被測定光を第１の往路光及び第２の往路光に分岐する光分岐器と、光分岐器から出力された第１、第２の往路光を平行光に変換するともに入射された第１、第２の復路光を集光する第１の放物面鏡と、第１の放物面鏡で平行光に変換された第１、第２の往路光を分光するとともに入射された第１、第２の復路光を分光する回折格子と、回折格子で分光された第１、第２の往路光を集光するとともに入射された第１、第２の復路光を平行光に変換して回折格子へ入射させる第２の放物面鏡と、この第２の放物面鏡で集光された第１の往路光を第１の復路光として、回折格子に対する入射時の波長分散方向が第１の往路光の回折格子からの出射時の波長分散方向と同一方向になるように折返す第１の折返しミラー機構と、第２の放物面鏡で集光された第２の往路光を第２の復路光として、回折格子に対する入射時の波長分散方向が前記第２の往路光の回折格子からの出射時の波長分散方向と逆方向になるように折返す第２の折返しミラー機構と、回折格子で分光され、第１の放物面鏡で集光された第１の復路光を分光された光信号として出射する光信号出力ポートと、回折格子で分光され、第１の放物面鏡で集光された第２の復路光を波長解析用光として受光する受光器とを備えている。
【００２３】
このように構成された分光装置においては、外部から入力された被測定光は光分岐器で第１の往路光と第２の往路光とに分岐される。
そして、第１の往路光は第１の放物面鏡で平行光に変換されて回折格子へ入射される。この回折格子で分光された第１の往路光は第２の放物面鏡で集光される。そして、この第２の放物面鏡で集光された第１の往路光は第１の折返しミラー機構で折り返されて、第１の復路光として第２の放物面鏡で平行光に変換されて、再度、回折格子へ入射される。
【００２４】
この場合における第１の復路光の回折格子への入射時の波長分散方向（λ+、λ-）は、図５（ｂ）に示すように、第１の往路光の回折格子からの出射時の波長分散方向（λ+、λ-）に対して同一方向である。この第１の復路光は回折格子で再度分光される。回折格子で再度分光された第１の復路光は第１の放物面鏡で光信号出力ポートへ集光される。
【００２５】
前述したように、第１の復路光の回折格子への入射時の波長分散方向は、第１の往路光の回折格子からの出射時の波長分散方向に対して同一方向であるので、第１の往路光が回折格子で分光される時に生じる図８で示した光路差（ａ―ｂ）は、第１の復路光が同じ回折格子で分光される時に相殺される。
【００２６】
よって、この第１の往路光及び第１の復路光の光路で差分散型分光機能が形成される。したがって、光信号出力ポートから第１の復路光が分光された光信号として出力される。
【００２７】
一方、光分岐器で分岐された第２の往路光は第１の放物面鏡で平行光に変換されて回折格子へ入射される。この回折格子で分光された第２の往路光は第２の放物面鏡で集光される。そして、この第２の放物面鏡で集光された第２の往路光は第２の折返しミラー機構で折り返されて、第２の復路光として第２の放物面鏡で平行光に変換されて、再度、回折格子へ入射される。
【００２８】
この場合における第２の復路光の回折格子への入射時の波長分散方向（λ-、λ+）は、図５（ａ）に示すように、第２の往路光の回折格子からの出射時の波長分散方向（λ+、λ-）に対して逆方向である。この第２の復路光は回折格子で再度分光される。回折格子で再度分光された第２の復路光は第１の放物面鏡で受光器上へ集光される。
【００２９】
前述したように、第２の復路光の回折格子への入射時の波長分散方向は、第２の往路光の回折格子からの出射時の波長分散方向に対して逆方向であるので、この第２の往路光及び第２の復路光の光路で、加分散型分光機能が形成される。したがって、受光器へ受光される第２の復路光は高い波長精度で分光されるとともに、高いＳ／Ｎ比を実現できる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面を用いて説明する。
図１は実施形態に係る分光装置の概略構成図である。入力ポート１３に被測定光ｄが入射される。この被測定光ｄは、例えば光通信システムで採用されるそれそれ互いに異なる波長λ1、λ2、λ3を有する３つの光信号を合成した光である。
【００３１】
入力ポート１３から入力された被測定光ｄは光分岐器で第１の往路光ｇと第２の往路光ｈとに分岐される。第１の往路光と第２の往路光ｈはそれぞれ光ファイバを介して、第１、第２の入力ポート１５、１６へ導かれる。この第１、第２の入力ポート１５、１６は第１の放物面鏡１７の焦点位置に微小間隔を開けて設置されている。
【００３２】
第１の往路光ｇは第１の放物面鏡１７で平行光に変換されて回折格子１８へ入射される。この回折格子１８は、紙面に対して垂直方向に多数の格子溝１８ａが刻設されており、図２（ａ）に示すように、紙面に対して垂直方向に設定された中心軸１９を中心に図示しないモータで回動させられる。
【００３３】
したがって、この回折格子１８は入射した第１の往路光ｇを分光する。そして、この回折格子１８で分光された第１の往路光ｇは平行光状態を維持して第２の放物面鏡２０へ入射される。この第２の放物面鏡２０は入射した平行光状態の第１の往路光ｇを焦点位置近傍に集光させる。
【００３４】
この第２の放物面鏡２０の焦点位置近傍に第１の折返しミラー機構２１と第２の折返しミラー機構２２とが配設されている。図１においては、説明を間単するために、第１の折返しミラー機構２１と第２の折返しミラー機構２２とを別々の位置に記載しているが、実際の分光装置においては、１個の容器内に収納されている。
【００３５】
第２の放物面鏡２０で集光された第１の往路光ｇは第１の折返しミラー機構２１で折返されて、第１の復路光ｇ1として第２の放物面鏡２０へ入射される。第２の放物面鏡２０は入射された第１の復路光ｇ1を平行光に変換して再度、回折格子１８へ入射する。
【００３６】
この場合における第１の復路光ｇ1の回折格子１８への入射時の波長分散方向は、図５（ｂ）を用いて説明したように、第１の往路光ｇの回折格子１８からの出射時の波長分散方向に対して同一方向である。この第１の復路光ｇ1は回折格子１８で再度分光される。回折格子１８で再度分光された平行光状態の第１の復路光ｇ1は第１の放物面鏡１７へ入射される。
【００３７】
第１の放物面鏡１７は入射された平行光状態の第１の復路光ｇ1を、この第１の放物面鏡１７の焦点位置近傍に設置された光信号出力ポート２４へ集光する。この光信号出力ポート２４は入射された第１の復路光ｇ1を分光された光信号ｇ2として出力する。
【００３８】
一方、第２の往路光ｈは第１の放物面鏡１７で平行光に変換されて回折格子１８へ入射される。回折格子１８は入射した第２の往路光ｈを分光する。そして、この回折格子１８で分光された第２の往路光ｈは平行光状態を維持した状態で第２の放物面鏡２０へ入射される。この第２の放物面鏡２０は入射した平行光状態の第２の往路光ｈを焦点位置近傍に集光させる。
【００３９】
この第２の放物面鏡２０の焦点位置近傍に設置された第２の折返しミラー機構２２は入射した第２の往路光ｈを折返して、第２の復路光ｈ1として第２の放物面鏡２０へ入射する。第２の放物面鏡２０は入射された第２の復路光ｈ1を平行光に変換して再度、回折格子１８へ入射する。
【００４０】
この場合における第２の復路光ｈ1の回折格子１８への入射時の波長分散方向は、図５（ａ）を用いて説明したように、第２の往路光ｈの回折格子１８からの出射時の波長分散方向と逆方向である。この第２の復路光ｈ1は回折格子１８で再度分光される。回折格子１８で再度分光された平行光状態の第２の復路光ｈ1は第１の放物面鏡１７へ入射される。第１の放物面鏡１７は入射された平行光状態の第２の復路光ｈ1を、この第１の放物面鏡１７の焦点位置近傍に設置された受光器２５上へ集光する。
【００４１】
受光器２５は入射された第２の復路光ｈ1を電気信号の光強度信号ｈ2に変換して波長分析部２６へ入力する。波長分析部２６は、モータで回動される回折格子１８の回動角から受光器２５に入射される第２の復路光ｈ1の波長を特定し、各波長における光強度を示す被測定光ｄのスペクトラム特性を算出する。
【００４２】
次に、第２の放物面鏡２０で集光された第１の往路光ｇを第２の放物面鏡２０を介して回折格子１８に対して、第１の復路光ｇ1とし折返す第１の折返しミラー機構２１の詳細構成及び動作を図２（a）に示す光路図を用いて説明する。
【００４３】
この光路図においては、説明を解りやすくするために、第１、第２の放物面鏡１７，２０を１つの放物面鏡で表現している。そして、この放物面鏡の中心Ｐを座標の原点として、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４の４つの領域（象限）に分割する。そして、第１の折返しミラー機構２１には、一対のミラー２１ａ、２１ｃとスリット２１ｂとが組込まれている。ミラー２１ａは領域Ｒ１に位置し、ミラー２１ｃは領域Ｒ４に位置する。
【００４４】
そして、図２（a）（ｂ）において、第１の入力ポート１５から出射された第１の往路光ｇは第１の放物面鏡１７の領域Ｒ３（［―１０，−１０］座標）で反射されて回折格子１８へ入射される。回折格子１８で分光された第１の往路光ｇは第２の放物面鏡２０の領域Ｒ１（［１０，１０］座標）で反射され、第１の折返しミラー機構２１の領域Ｒ１に位置するミラー２１ａへ入射する。
【００４５】
第１の往路光ｇはミラー２１ａで回折溝１８ａ方向に反射され、スリット２１ｂを介して、領域Ｒ４に位置するミラー２１ｃで反射されて、第１の復路光ｇ1として第２の放物面鏡２０の領域Ｒ４（［１０，―１０］座標）へ入射される。第１の復路光ｇ1は、第２の放物面鏡２０の領域Ｒ４（［１０，―１０］座標）で反射されて再度、回折格子１８へ入射される。回折格子１８で再度分光された第１の復路光ｇ1は第１の放物面鏡１７の領域Ｒ２（［―１０，１０］座標）で反射され、領域Ｒ２に位置する光信号出力ポート２４へ入射する。
【００４６】
このような図２（ａ）（ｂ）に示す光路図において、第１の往路光ｇの回折格子１８からの出射時の波長分散方向と、第１の復路光ｇ1の回折格子１８へ入射時の波長分散方向とは同一であることが理解できる。
【００４７】
したがって、この第１の往路光ｂ及び第１の復路光ｂ1の光路で、差分散型分光機能が形成される。よって、光信号出力ポート２４から第１の復路光ｂ1が分光された高い信号品質が有した光信号ｇ2として出力される。
【００４８】
次に、第２の放物面鏡２０で集光された第２の往路光ｈを第２の放物面鏡２０を介して回折格子１８に対して第２の復路光ｈ1として折返す第２の折返しミラー機構２２の詳細構成及び動作を図３（a）に示す光路図を用いて説明する。
【００４９】
この第２の折返しミラー機構２２には、一対のミラー２２ａ、２２ｃとスリット２２ｂが組込まれている。ミラー２２ａは領域Ｒ１に位置し、ミラー２１ｃは領域Ｒ２に位置する。さらに、受光器２５の前面にはスリット２５ａが配設されている。
【００５０】
前述した第１の往路光ｇと同様に、図３（a）（ｂ）において、第２の入力ポート１６から出射された第２の往路光ｈは第１の放物面鏡１７の領域Ｒ３（［―５，−５］座標）で反射されて回折格子１８へ入射される。回折格子１８で分光された第２の往路光ｈは第２の放物面鏡２０の領域Ｒ１（［５，５］座標）で反射され、第２の折返しミラー機構２２の領域Ｒ１に位置するミラー２２ａへ入射する。
【００５１】
第２の往路光ｈはミラー２２ａで回折溝１８ａ方向と直角方向に反射され、スリット２２ｂを介して、領域Ｒ２に位置するミラー２２ｃで反射されて、第２の復路光ｈ1として第２の放物面鏡２０の領域Ｒ２（［―５，５］座標）へ入射される。第２の復路光ｈ1は、第２の放物面鏡２０の領域Ｒ２（［―５，５］座標）で反射されて再度、回折格子１８へ入射される。回折格子１８で再度分光された第２の復路光ｈ1は第１の放物面鏡１７の領域Ｒ４（［５，―５］座標）で反射され、領域Ｒ４に位置するスリット２５ａを介して受光器２５へ入射する。
【００５２】
このような図３（ａ）（ｂ）に示す光路図において、第２の往路光ｈの回折格子１８からの出射時の波長分散方向と、第２の復路光ｈ1の回折格子１８への入射時の波長分散方向とは逆方向であることが理解できる。
【００５３】
したがって、第２の往路光ｈ及び第２の復路光ｈ1の光路で加分散機能が形成される。したがって、受光器２５で受光される第２の復路光ｈ2（波長解析用光）は高い波長精度で分光されるとともに、高いＳ／Ｎ比を実現できる。
【００５４】
図４は、図２（ａ）に示す第１の往路光ｇ及び第２の復路光ｇ1の光路と、図３（ａ）に示す第２の往路光ｈ及び第２の復路光ｈ1の光路とを１枚の光路図で示す図である。
【００５５】
このように構成された分光装置においては、この分光装置に組込まれる主な光学部品は、光分岐器１４と、第１、第２の放物面鏡１７、２０と、第１、第２の折返しミラー機構２１、２２と、回折格子１８とである。したがって、従来の図７に示す加分散型分光装置と図１０に示す差分散型分光装置との２台の装置を用いる場合に比較して、分光装置全体の構成を大幅に簡素化できる。
【００５６】
また、光学部品点数を減少させることによって、測定開始前の調整作業の作業能率を向上できる。
【００５７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の分光装置は、１つの回折格子に対して折返しミラー機構を用いて被測定光を、波長分散方法を同一方向及び逆方向に設定した状態で出射及び入射させる２種類の折返しミラー機構を組込んでいる。
【００５８】
したがって、組込まれる光学部品点数を最小限に抑制した状態で、加分散機能と差分散機能とを実現でき、被測定光を高い波長精度で分光するとともに、被測定光から分光された光信号を高い信号品質を維持した状態で抽出できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係わる分光装置の概略構成を示す模式図
【図２】同分光装置における第１の折返しミラー機構の構成及び動作を説明するための光路図
【図３】同分光装置における第２の折返しミラー機構の構成及び動作を説明するための光路図
【図４】同分光装置における第１、第２の折返しミラー機構の構成及び動作を説明するための合成された光路図
【図５】加分散機構と差分散寄港とにおける回折格子からの出射光及び回折格子に対する入射光の波長分散方向を示す図
【図６】加分散型分光の動作原理を示す図
【図７】加分散型分光装置の概略構成及び特徴を示す図
【図８】加分散型分光装置において発生する光路差を説明する図
【図９】差分散型分光の動作原理を示す図
【図１０】差分散型分光装置の概略構成及び特徴を示す図
【符号の説明】
１３…入力ポート
１４…光分岐器
１７…第１の放物面鏡
１８…回折格子
２０…第２の放物面鏡
２１…第１の折返しミラー機構
２２…第２の折返しミラー機構
２４…光信号出力ポート
２５…受光器
２６…波長分析部
【図１】
0004520063.tif 000002
【図２】
0004520063.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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