(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ保持枠に貼着されている紫外線吸収シート上のウエハに複数に分割形成されている、分割部位にストリート部が残存している各チップを、前記紫外線吸収シート上から剥離するためのチップの剥離方法であり、前記ウエハ保持枠に貼着されている紫外線吸収シートに紫外線を照射する紫外線照射工程と、前記紫外線吸収シート上からチップを吸引剥離するチップ剥離工程を備え、前記紫外線照射工程では、前記紫外線吸収シート上のウエハにおける各チップに対応する部位を露呈させる照射マスクを同紫外線吸収シートの裏面側から覆蓋して前記照射マスク側から紫外線を照射し、前記チップ剥離工程では、紫外線照射工程を経た紫外線吸収シートを上面側に山谷状の凹凸形状を呈して負圧が付与される複数の凹凸形状部を有する基台上にウエハにおける各チップが同凹凸形状部の上部に位置するように載置するとともに、前記紫外線吸収シート上のウエハにおけるストリート部を押圧する押圧マスクを同紫外線吸収シートの表面側から覆蓋して前記各チップを露呈し、前記基台の各凹凸形状部に負圧を付与した状態で前記各チップを吸引剥離することを特徴とするチップの剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハ保持枠に貼着されている紫外線吸収シート上のウエハに複数に分割形成されている、分割部位にストリート部が残存している各チップを、当該ウエハをその裏面側で貼着している紫外線吸収シートから剥離するための、チップの剥離方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ウエハに形成された複数のチップを、当該ウエハをその裏面側で貼着している紫外線吸収シートから剥離するためのチップの剥離方法の一方式として、特開平９−２７０４５３号公報に示されているように、ウエハ保持枠に貼着されている紫外線吸収シートに紫外線を照射する紫外線照射工程と、前記紫外線吸収シート上からチップを剥離するチップ剥離工程を備えた方式のチップの剥離方法がある。
【０００３】
当該方式のチップの剥離方法においては、前記紫外線照射工程では、前記紫外線吸収シートの裏面側から全面に紫外線を照射して紫外線吸収シートとウエハ間に介在する粘着剤を硬化させ、かつ、チップ剥離工程では、紫外線吸収シートの裏面側からチップに対応する部位を突き上げて、突き上げられたチップを紫外線吸収シートから吸引剥離する手段が採られる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来のチップの剥離方法においては、紫外線照射工程では、紫外線吸収シートの裏面側から全面に紫外線を照射していることから、ウエハの裏面側の全ての粘着剤が粘着硬化し、チップの吸着剥離時には、ストリート部が離散したりチップと一体に剥離される現象が認められ、この現象がチップの製品としての不良品の発生率を高める要因となっている。
【０００５】
従って、本発明の目的は、チップの吸着剥離時における上記した現象の発生を防止し得るチップの剥離方法を提供して、チップの製品としての不良品の発生率を低減することにある。
【０００６】
本発明は、ウエハ保持枠に貼着されている紫外線吸収シート上のウエハに複数に分割形成されている、分割部位にストリート部が残存している各チップを、前記紫外線吸収シート上から剥離するためのチップの剥離方法であって、前記ウエハ保持枠に貼着されている紫外線吸収シートに紫外線を照射する紫外線照射工程と、前記紫外線吸収シート上からチップを吸引剥離するチップ剥離工程を備えた方式のチップの剥離方法を適用対象とするものである。
【０００７】
しかして、本発明に係るチップの剥離方法においては、前記紫外線照射工程では、前記紫外線吸収シート上のウエハにおける各チップに対応する部位を露呈させる照射マスクを同紫外線吸収シートの裏面側から覆蓋して前記照射マスク側から紫外線を照射し、前記チップ剥離工程では、紫外線照射工程を経た紫外線吸収シートを上面側に山谷状の凹凸形状を呈して負圧が付与される複数の凹凸形状部を有する基台上にウエハにおける各チップが同凹凸形状部の上部に位置するように載置するとともに、前記紫外線吸収シート上のウエハにおけるストリート部を押圧する押圧マスクを同紫外線吸収シートの表面側から覆蓋して前記各チップを露呈し、前記基台の各凹凸形状部に負圧を付与した状態で前記各チップを吸引剥離することを特徴とするものである。
【０００８】
【発明の作用・効果】
本発明に係るチップの剥離方法によれば、紫外線照射工程では、紫外線照射により、紫外線吸収シートに貼着されているウエハのうち、チップの形成部位が易剥離性状態になるとともに、ストリート部の形成部位は難剥離状態として残る。また、チップ剥離工程では、紫外線吸収シート上のウエハにおけるストリート部を押圧し、基台の各凹凸形状部に負圧を付与して紫外線吸収シートの各チップの下面側に対応する部位を吸引した状態で、各チップをその表面側に吸引剥離することから、易剥離性状態にあるチップは紫外線吸収シートから容易かつ確実に剥離される。このチップの吸引剥離時には、ストリート部が離散することが皆無または皆無に近く、また、ストリート部がチップと一体に剥離されることも皆無または皆無に近い。このため、本発明に係るチップの剥離方法を採用すれば、チップの製品としての不良品の発生率を皆無または著しく低減することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明はチップの剥離方法に関し、特に、ウエハ保持枠に貼着されている紫外線吸収シート上のウエハに複数に分割形成されている、分割部位にストリート部が残存している各チップを、前記紫外線吸収シート上から剥離するためのチップの剥離方法に関するものである。当該剥離方法は、ウエハ保持枠に貼着されている紫外線吸収シートに紫外線を照射する紫外線照射工程と、前記紫外線吸収シート上からチップを吸引剥離するチップ剥離工程を備えている。
【００１０】
しかして、当該剥離方法においては、紫外線照射工程では、紫外線吸収シート上のウエハにおける各チップに対応する部位を露呈させる照射マスクを紫外線吸収シートの裏面側から覆蓋して、照射マスク側から紫外線を照射するものである。また、チップ剥離工程では、紫外線吸収シート上のウエハにおけるストリート部を押圧する押圧マスクを紫外線吸収シートの表面側から覆蓋して、各チップを露呈して同チップを吸引剥離するものである。
【００１１】
図１は、紫外線照射工程におけるウエハ保持枠の表面側を模式的に示す平面図であり、図２は、図１の矢印２−２線方向に見た縦断面図であり、図３は、紫外線照射工程で採用する照射マスクの平面図である。また、図４は、チップ剥離工程におけるウエハ保持枠の表面側を模式的に示す平面図であり、図５は、図４の矢印５−５線方向に見た縦断面図である。
【００１２】
図１および図２に示す紫外線照射工程は、ウエハ保持枠であるキャリアリング１１の裏面側に貼着されている紫外線吸収シートであるＵＶシート１２に、照射マスク１３を介して、その裏面側から紫外線を照射する工程である。ＵＶシート１２上には、粘着剤を介してウエハ１４が貼着されており、ウエハ１４はダイサー加工されて、複数のチップ１４ａに分割されていて、各チップ１４ａ間がストリート部１４ｂ（みみ部分）として残留している。
【００１３】
照射マスク１３は、紫外線を透過しない合成樹脂シートまたは金属マスクであって、図１および図３に示すように、シート本体１３ａの中央部に、真円を十文字に４分割した形状の扇形状の開口部１３ｂを備えており、各開口部１３ｂ間は所定幅の非開口部１３ｃとなっている。照射マスク１３は、キャリアリング１１の全体を覆蓋する寸法の大きさに形成されていて、キャリアリング１１のＵＶシート１２を裏面側から覆蓋した状態では、各開口部１３ｂは各チップ１４ａに対向して各チップ１４ａの裏面側を露呈させ、かつ、非開口部１３ｃは十文字状のストリート部１４ｂの裏面側を覆蓋する。
【００１４】
当該紫外線照射工程では、図２の矢印にて示すように、ＵＶシート１２の裏面側の照射マスク１３側から紫外線を照射する。かかる紫外線照射では、ＵＶシート１２とウエハ１４間に介在する粘着剤のうち、各チップ１４ａに対応する部位の粘着剤が照射されて硬化し、ストリート部１４ｂに対応する部位の粘着剤は照射されることがなくて粘着状態を保持する。この結果、ＵＶシート１２上のウエハ１４のうち、各チップ１４ａは易剥離状態になるとともに、ストリート部１４ｂは難剥離状態となる。
【００１５】
図４および図５に示すチップ剥離工程は、紫外線照射工程を経て基台２１上に搬送されたキャリアリング１１のＵＶシート１２上の各チップ１４ａを、押圧マスク２２にてウエハ１４の一部を押圧した状態で、吸引剥離する工程である。基台２１は、本出願人が出願している特開平９−２７０４５３号公報にて開示しているチップ剥離装置を構成する基台と同じものであり、基台２１の上面は山谷状の凹凸形状を呈している。基台２１の上面の凹凸形状部２１ａは、ＵＶシート１２上の各チップ１４ａの下面側に対向しているもので、凹凸形状部２１ａの谷部には、図示しない負圧流路から負圧が付与されるようになっている。
【００１６】
当該チップ剥離工程においては、基台２１上に搬送されたキャリアリング１１の表面側を、押圧マスク２２にて覆蓋する。押圧マスク２２は、２本の金属棒２２ａ，２２ｂを直交して直交部にて互いに連結した十文字状を呈するものである。押圧マスク２２は、キャリアリング１１をその表面側から覆蓋した状態では、ＵＶシート１２上のウエハ１４における十文字状のストリート部１４ｂはその表面側から各金属棒２２ａ，２２ｂにて押圧され、かつ、各チップ１４ａは各金属棒２２ａ，２２ｂとは離れた状態に位置して、非押圧状態にある。
【００１７】
当該チップ剥離工程でのチップ１４ａの剥離には、ピッキング装置２３が使用される。ピッキング装置２３は、その本体の下端面がチップ１４ａと略同じ大きさのもので、本体には負圧流路が形成されている公知のものである。ＵＶシート１２上のチップ１４ａを剥離する際には、ピッキング装置２３の本体の下端面側に負圧流路を通して負圧が付与される。
【００１８】
当該チップ剥離工程において、チップ１４ａを剥離するに当たっては、先ず、基台２１の凹凸形状部２１ａに負圧を付与して、ＵＶシート１２におけるチップ１４ａの下面に貼着する部位を吸引して引き剥がす。図５には、ＵＶシート１２の当該部位がチップ１４ａの下面から引き剥された状態を示している。この状態で、ピッキング装置２３をチップ１４ａの表面に当接して負圧を付与する。これにより、ＵＶシート１２から引き剥されているチップ１４ａは、ピッキング装置２３の本体の下端面に吸着されて、ＵＶシート１２から剥離される。
【００１９】
このように、本発明に係るチップの剥離方法においては、紫外線照射工程での紫外線照射時に照射マスク１３を使用することにより、チップ１４ａの下面側の粘着剤を硬化させてチップ１４ａを易剥離性状態にし、かつ、チップ剥離工程では、紫外線吸収シート上のウエハにおけるストリート部を押圧マスク２２に押圧し、基台２１の各凹凸形状部２１ａに負圧を付与してＵＶシート１２の各チップ１４ａの下面側に対応する部位を吸引した状態で、各チップ１４ａをその表面側に吸引剥離している。このため、チップ１４ａの剥離に当たっては、易剥離性状態にあるチップ１４ａは容易かつ確実に剥離され、この際、ストリート部１４ｂが離散することや、チップ１４ａと一体に剥離されることが皆無または皆無に近い。
【００２０】
当該方式のチップの剥離方法において、紫外線照射工程で照射マスク１３を使用せず、かつ、チップ剥離工程で押圧マスク２２を使用しない剥離方法を実施した場合には、剥離されたチップの製品としての不良率が一般には０．１８％程度である。これに対して、紫外線照射工程で照射マスク１３を使用し、かつ、チップ剥離工程で押圧マスク２２を使用する本発明に係る剥離方法を実施した場合には、剥離されたチップの製品としての不良率が０．００３％程度と激減していることを確認している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るチップの剥離方法を構成する紫外線照射工程におけるウエハ保持枠の表面側を模式的に示す平面図である。
【図２】図１の矢印２−２線方向に見た縦断面図である。
【図３】本発明に係るチップの剥離方法を構成する紫外線照射工程で採用する照射マスクの平面図である。
【図４】本発明に係るチップの剥離方法を構成するチップ剥離工程におけるウエハ保持枠の表面側を模式的に示す平面図である。
【図５】図４の矢印５−５線方向に見た縦断面図である。
【符号の説明】
１１…キャリアリング、１２…ＵＶシート、１３…照射マスク、１３ａ…シート本体、１３ｂ…開口部、１３ｃ…非開口部、１４…ウエハ、１４ａ…チップ、１４ｂ…ストリート部、２１…基台、２１ａ…凹凸形状部、２２…押圧マスク、２２ａ．２２ｂ…金属棒、２３…ピッキング装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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