(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部流路を外部に通じさせる出力ポートを有する流路ブロックと、
前記内部流路を開閉させる一対の電磁弁と、
前記両電磁弁を制御するための制御回路を構成するメイン基板及びその他の付属回路を構成する基板並びにそれら各回路の間を接続する配線部を含む回路基板と、
前記出力ポートにおける空気圧を検出するための圧力センサと、
前記両電磁弁、前記回路基板及び前記圧力センサを収容するケースと、
を備え、前記流路ブロックと前記ケースとにより全体が幅方向に薄い箱形をなし、前記制御回路が前記検出される空気圧に基づいて前記両電磁弁を制御することにより、前記出力ポートから吐出される空気圧を所定の設定圧に調整する電空レギュレータにおいて、
前記回路基板を、前記配線部を挟んで一対のメイン基板と、一方のメイン基板に接続される他の配線部を挟んで他の付属回路の基板と、一端を前記両メイン基板並びに前記他の付属回路の基板にそれぞれ接続された電磁遮蔽部材とからなり、前記電磁遮蔽部材が前記メイン基板並びに前記他の付属回路の基板にそれぞれ対向するように折り曲げ配置されるように、複数の板面に折り曲げ可能なフレキシブル基板により構成することと、
前記折り曲げられた各板面を、前記両電磁弁、前記圧力センサ及び前記流路ブロックと前記ケースとの隙間に配置することと、
を備えたことを特徴とする電空レギュレータ。
【請求項２】
内部流路を外部に通じさせる出力ポートを有する流路ブロックと、
前記内部流路を開閉させる一対の電磁弁と、
前記両電磁弁を制御するための制御回路を含む回路基板と、
前記制御回路に対して設けられる電磁遮蔽部材と、
前記出力ポートにおける空気圧を検出するための圧力センサと、
前記両電磁弁、前記回路基板、前記電磁遮蔽部材及び前記圧力センサを収容するケースと、
を備え、前記流路ブロックと前記ケースとにより全体が幅方向に薄い箱形をなし、前記制御回路が前記検出される空気圧に基づいて前記両電磁弁を制御することにより、前記出力ポートから吐出される空気圧を所定の設定圧に調整する電空レギュレータにおいて、
前記回路基板の少なくとも一部を折り曲げ可能なフレキシブル基板により構成することと、
前記折り曲げられる板面上に電磁遮蔽皮膜を形成して前記電磁遮蔽部材を構成することと、
前記フレキシブル基板を折り曲げて前記電磁遮蔽部材を前記制御回路に対向配置することと、
を備えたことを特徴とする電空レギュレータ。
【請求項３】
内部流路を外部に通じさせる出力ポートを有する流路ブロックと、
前記内部流路を開閉させる一対の電磁弁と、
前記両電磁弁を制御するための制御回路及びその他の付属回路を含む回路基板と、
少なくとも前記制御回路に対して設けられる電磁遮蔽部材と、
前記出力ポートにおける空気圧を検出するための圧力センサと、
前記両電磁弁、前記回路基板、前記電磁遮蔽部材及び前記圧力センサを収容するケースと、
を備え、前記流路ブロックと前記ケースとにより全体が幅方向に薄い箱形をなし、前記制御回路が前記検出される空気圧に基づいて前記両電磁弁を制御することにより、前記出力ポートから吐出される空気圧を所定の設定圧に調整する電空レギュレータにおいて、
前記回路基板を、複数の板面に折り曲げ可能なフレキシブル基板により構成することと、
前記折り曲げられる異なる板面上に、前記制御回路、その他の付属回路及びそれら各回路の間を接続する配線を形成すると共に、電磁遮蔽皮膜を形成して前記電磁遮蔽部材を構成することと、
前記折り曲げられた各板面を、前記両電磁弁、前記圧力センサ及び前記流路ブロックと前記ケースとの隙間に配置すると共に、前記板面の折り曲げにより前記電磁遮蔽部材を少なくとも前記制御回路に対向配置することと、
を備えたことを特徴とする電空レギュレータ。
【請求項４】
前記ケースの内壁に電磁遮蔽皮膜を形成したことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載の電空レギュレータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、吸気ポートに入った空気圧を調整して、出力ポートから設定圧力で空気を出力する電空レギュレータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、空気圧機器は、ローコストで省力化、自動化が可能となることから多方面の産業分野で使用されてきている。例えば、エア圧は、常に清潔な環境を保つことができるため、発塵をきらう半導体製造等の製造ライン等で使用されている。かかる空気圧機器として、例えば、特開平９−１０１８２７号公報に開示された電空レギュレータがあり、これを従来技術として説明する。
【０００３】
図１２は、特開平９−１０１８２７号公報に開示された電空レギュレータの縦断面図である。
従来の電空レギュレータ１００の流路ブロック１０１には、吸気ポート１０２と出力ポート１０３を連通する流路１０４内に弁体１０５が設けられている。流路ブロック１０１の略中央部には、ダイアフラム弁体１０６によって上下に仕切られたパイロット室１０７が設けられ、そのパイロット室１０７には、吸気ポート１０２と排気ポート１０８が、吸気用電磁弁１０９及び排気用電磁弁１１０を介して連通している。ダイアフラム弁体１０６には、流路ブロック１０１に挿通されたステム１１１の上端部が連結されている。従って、吸気用電磁弁１０９及び排気用電磁弁１１０が駆動することにより、パイロット室１０７内に圧力変動が生じ、ダイアフラム弁体１０６が変位する。このダイアフラム弁体１０６の変位量に応じてステム１１１が上下動することにより、弁体１０５が流路１０４を開閉する。
【０００４】
吸気用電磁弁１０９及び排気用電磁弁１１０には、回路基板１１２が不図示のコネクタで接続されている。また、回路基板１１２は、設定圧力信号を入力するコネクタ１１３と、出力ポート１０３の圧力を検出する圧力センサ１１４と、出力ポート１０３から出力する空気圧が設定圧か否かを表示する表示器１１５に対して、不図示のコネクタで接続されている。回路基板１１２は、出力ポート１０３の圧力を検出しながら、設定圧力信号に基づいて吸気用電磁弁１０９及び排気用電磁弁１１０を制御する制御回路や、それに付属する回路など、種々の回路が実装されている。このような回路基板１１２を覆うように、ケース１１６は、流路ブロック１０１にはめ合わされている。
【０００５】
このような電空レギュレータ１００では、外部の他の機器から発生した電磁ノイズが、ケース１１６内に侵入したり、吸気用電磁弁１０９や排気用電磁弁１１０が電磁ノイズを発生したりする場合がある。これらの電磁ノイズは、回路基板１１２を誤作動させる恐れがある。そこで、一般的に、電磁ノイズを遮るための銅板やアルミ板等が、ケース１１６内に配置されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする手段】
しかしながら、従来の電空レギュレータ１００では、図１２に示すように、吸気用電磁弁１０９及び排気用電磁弁１１０とケース１１６との間に、厚みのある回路基板１１２を配置するために、ある程度のスペースを設けていたので、その分だけ電空レギュレータ１００が大型化する問題があった。
また、電空レギュレータ１００は、単独で使用する場合もあれば、複数集積して使用する場合もある。複数の電空レギュレータ１００を集積した場合には、表示器１１５をケース１１６の側面側ではなく、ケース１１６の前面側（出力ポート１０３が設けられている側面）に設けて、各電空レギュレータ１００の表示器１１５の確認を容易ならしめることが考えられる。この場合、表示器１１５用の回路基板が、回路基板１１２と別に設けられることもある。従って、この場合には、ケース１１６内に、表示器１１５用の回路基板と回路基板１１２とを配線やコネクタで接続する必要が生じ、コネクタ等を配置するためのスペースを設けなければならなず、その分だけ電空レギュレータ１００が大型化する問題がある。
また、従来の電空レギュレータ１００では、電磁ノイズ対策用の銅板やアルミ板等を設ける場合に、支持部材によって支持する必要があった。そのため、回路基板１１２の配置スペースの他に、別途、電磁ノイズ対策用の部材及びその支持部材の配置スペースをケース１１６内に設けなければならず、その分だけ電空レギュレータ１００が大型化するという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明の電空レギュレータは、上記課題に鑑みてなされたものであり、薄型化及び小型化を図ることを可能とした電空レギュレータを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載する発明は、内部流路を外部に通じさせる出力ポートを有する流路ブロックと、前記内部流路を開閉させる一対の電磁弁と、前記両電磁弁を制御するための制御回路を構成するメイン基板及びその他の付属回路を構成する基板並びにそれら各回路の間を接続する配線部を含む回路基板と、前記出力ポートにおける空気圧を検出するための圧力センサと、前記両電磁弁、前記回路基板及び前記圧力センサを収容するケースと、を備え、前記流路ブロックと前記ケースとにより全体が幅方向に薄い箱形をなし、前記制御回路が前記検出される空気圧に基づいて前記両電磁弁を制御することにより、前記出力ポートから吐出される空気圧を所定の設定圧に調整する電空レギュレータにおいて、前記回路基板を、前記配線部を挟んで一対のメイン基板と、一方のメイン基板に接続される他の配線部を挟んで他の付属回路の基板と、一端を前記両メイン基板並びに前記他の付属回路の基板にそれぞれ接続された電磁遮蔽部材とからなり、前記電磁遮蔽部材が前記メイン基板並びに前記他の付属回路の基板にそれぞれ対向するように折り曲げ配置されるように、複数の板面に折り曲げ可能なフレキシブル基板により構成することと、前記折り曲げられた各板面を、前記両電磁弁、前記圧力センサ及び前記流路ブロックと前記ケースとの隙間に配置することと、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
上記構成を有する請求項１に記載の発明によれば、フレキシブル基板を折り曲げることにより、制御回路、付属回路及び配線を形成した各板面が、相互に連結した状態で立体的に構成される。フレキシブル基板は、薄肉であることから各回路が形成された各板面も比較的薄肉なものとなる。このフレキシブル基板を覆うようにケースを流路ブロックにはめ合わせることにより、フレキシブル基板の各板面が、一対の電磁弁、圧力センサ及び流路ブロックとケースとの隙間に配置される。従って、各回路を含むフレキシブル基板を配置するためのスペースが少なくて済み、各回路同士を接続するコネクタ等を設ける必要がない。そのため、コネクタ等のスペースをケース内に設ける必要がない。
【００１０】
また、請求項２に記載する発明は、内部流路を外部に通じさせる出力ポートを有する流路ブロックと、内部流路を開閉させる一対の電磁弁と、両電磁弁を制御するための制御回路を含む回路基板と、制御回路に対して設けられる電磁遮蔽部材と、出力ポートにおける空気圧を検出するための圧力センサと、両電磁弁、回路基板、電磁遮蔽部材及び圧力センサを収容するケースとを備え、流路ブロックとケースとにより全体が幅方向に薄い箱形をなし、制御回路が検出される空気圧に基づいて両電磁弁を制御することにより、出力ポートから吐出される空気圧を所定の設定圧に調整する電空レギュレータにおいて、回路基板の少なくとも一部を折り曲げ可能なフレキシブル基板により構成することと、折り曲げられる板面上に電磁遮蔽皮膜を形成して電磁遮蔽部材を構成することと、フレキシブル基板を折り曲げて電磁遮蔽部材を制御回路に対向配置することとを備えたことを特徴とする。
【００１１】
上記構成を有する請求項２に記載の発明によれば、フレキシブル基板を折り曲げることにより、そこに形成された電磁遮蔽部材が制御回路に対向配置された状態で支持される。ケースを流路ブロックにはめ合わさせることにより、電磁遮蔽部材が、制御回路と重なった状態でケース内に配置される。この状態で、制御回路に対して電磁ノイズが遮蔽される。従って、電磁遮蔽部材を配置するためのスペースが少なくて済む。
【００１２】
また、請求項３に記載する発明は、内部流路を外部に通じさせる出力ポートを有する流路ブロックと、内部流路を開閉させる一対の電磁弁と、両電磁弁を制御するための制御回路及びその他の付属回路を含む回路基板と、少なくとも制御回路に対して設けられる電磁遮蔽部材と、出力ポートにおける空気圧を検出するための圧力センサと、両電磁弁、回路基板、電磁遮蔽部材及び圧力センサを収容するケースとを備え、流路ブロックとケースとにより全体が幅方向に薄い箱形をなし、制御回路が検出される空気圧に基づいて両電磁弁を制御することにより、出力ポートから吐出される空気圧を所定の設定圧に調整する電空レギュレータにおいて、回路基板を、複数の板面に折り曲げ可能なフレキシブル基板により構成することと、折り曲げられる異なる板面上に、制御回路、その他の付属回路及びそれら各回路の間を接続する配線を形成すると共に、電磁遮蔽皮膜を形成して電磁遮蔽部材を構成することと、折り曲げられた各板面を、両電磁弁、圧力センサ及び流路ブロックとケースとの隙間に配置すると共に、板面の折り曲げにより電磁遮蔽部材を少なくとも制御回路に対向配置することとを備えたことを特徴とする。
【００１３】
上記構成を有する請求項３に記載の発明によれば、フレキシブル基板を折り曲げることにより、制御回路、付属回路及び配線を形成した各板面が、相互に連結した状態で立体的に構成されるとともに、電磁遮蔽部材が、制御回路に対して対向配置された状態で支持される。フレキシブル基板は、薄肉であることから各回路及び電磁遮蔽部材が形成された各板面も比較的薄肉なものとなる。このフレキシブル基板を覆うようにケースを流路ブロックにはめ合わせることにより、フレキシブル基板の各板面が、一対の電磁弁、圧力センサ及び流路ブロックとケースとの隙間に配置される。また、電磁遮蔽部材は、制御回路と重なった状態でケース内に配置され、制御回路に対する電磁ノイズを遮蔽する。従って、各回路を含むフレキシブル基板を配置するためのスペースが少なくて済み、各回路同士を接続するコネクタ等を設ける必要がない。そのため、コネクタ等のスペースをケース内に設ける必要がない。また、電磁遮蔽部材を配置するためのスペースが少なくて済む。
【００１４】
また、請求項４に記載する発明は、請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載の発明において、ケースの内壁に電磁遮蔽皮膜を形成したことを特徴とする。
上記構成を有する請求項４に記載の発明によれば、請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載の発明の作用に加え、ケース内壁に形成された電磁遮蔽皮膜によって、外部ノイズの侵入や内部ノイズの漏れが遮蔽される。
【００１５】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の電空レギュレータの実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態のマニホールド１の取付構造の斜視図である。
マニホールド１は、複数の電空レギュレータ２が互いに隣接して並列に配置され、支持レール（ＤＩＮレール）３の上において、吸排気ブロック４及びエンドブロック５の間に保持されることによって集積されて構成されている。かかるマニホールド１は、係設金具６によって支持レール３上に固定されている。吸排気ブロック４、電空レギュレータ２及びエンドブロック５は、側面を相互に接合した状態で、連結フック７とスライドフック８によって概ね対角位置を連結されている。
【００１６】
図２は、マニホールド１の分解斜視図である。
吸排気ブロック４の前面には、メイン吸気ポート９、メイン排気ポート１０、コネクタ１１及び電源コネクタ１６が設けられている。吸排気ブロック４及び電空レギュレータ２の側面には、メイン吸気ポート９に連通する集中吸気流路１２と、メイン排気ポート１０に連通する集中排気流路１３が設けられている。集中吸気流路１２と集中排気流路１３は、チューブ１４，１５で相互に接続することにより、電空レギュレータ２に吸気される空気が流れる流路と、電空レギュレータ２が排気した空気が流れる流路を形成している。
【００１７】
図３は、電空レギュレータ２のケース２０を流路ブロック２１から取り外した状態の斜視図であり、図４は、電空レギュレータ２の縦断面図である。
電空レギュレータ２は、図３及び図４に示すように、ケース２０を流路ブロック２１にはめ合わせて構成したものであり、フレキシブル基板２２が吸気用電磁弁２３、排気用電磁弁２４及び流路ブロック２１とケース２０との隙間に配置されるようになっている。
【００１８】
流路ブロック２１は、大きく分けてケース２０の開口部分を塞ぐ短冊形状の蓋面部２１ａと、流路が形成され、流体機器及び制御機器が取り付けられる流路部２１ｂとから構成されている。そして、その蓋面部２１ａには、出力ポート２５及びＬＥＤ２６が設けられている。
【００１９】
一方、流路ブロック２１の流路部２１ｂは、階段状に形成され、その段差に吸気用電磁弁２３及び排気用電磁弁２４を横向きに取り付けることにより、集中吸気流路１２から吸気用電磁弁２３を介して出力ポート２５及び排気用電磁２４を介して集中排気流路１３までの流路を形成している。これにより、高さ方向及び奥行き方向ともにコンパクトになり、フレキシブル基板２２との間に余分なスペースがないように構成されている。
そして、流路部２１ｂには、図４に示すように、集中吸気流路１２から吸気用電磁弁２３を介して出力ポート２５に連通する流路が形成され、その流路の途中には、圧力センサ２７までの流路と、排気用電磁弁２４を介して集中排気流路１３まで連通する流路とが分岐して形成されている。吸気用電磁弁２３、排気用電磁弁２４及び圧力センサ２７には、フレキシブル基板２２が接続されている。
【００２０】
図５は、フレキシブル基板２２の展開図であり、図６は、フレキシブル基板２２を折り曲げた状態の斜視図であり、図７は、図６の上面図であり、図８は、図６の背面図である。
フレキシブル基板２２は、図５に示すように、柔軟性を有する絶縁フィルム（例えば、ポリイミドプラスチックフィルム等）を所定の形状に切断し、その絶縁フィルムを複数の板面に折り曲げ、各板面上に導体パターンを形成したものである。本実施の形態では、１５個の板面に折り曲げることができるようになっており、各板面の一方の面（以下、「表面」という。）には、一対のメイン基板部３０，３１、センサ基板部３２、バルブ基板部３３，３４、ＬＥＤ基板部３５、が、配線部３６，３７，３８，３９，４０に接続された状態で設けられるとともに、電磁遮蔽部材４１，４２，４３，４４が、一対のメイン基板部３０，３１及びバルブ基板部３３，３４に接続された状態で設けられている。
【００２１】
ここで、メイン基板部３０，３１には、吸気用電磁弁２３及び排気用電磁弁２４を制御するための制御回路等が板面上に形成されている。
センサ基板部３２は、圧力センサ２７で検出される吐出圧力信号を出力するための回路（特許請求の範囲の「その他の付属回路」に相当）等が板面上に形成されている。
バルブ基板部３３，３４は、吸気用電磁弁２３及び排気用電磁弁２４に対して所定圧の電圧を供給するための回路（特許請求の範囲の「その他の付属回路」に相当）等が板面上に形成されている。
ＬＥＤ基板部３５は、出力ポート２５から吐出する空気圧が設定圧か否かをＬＥＤ２６に表示させるための回路（特許請求の範囲の「その他の付属回路」に相当）等が板面上に形成されている。
配線部３６，３７，３８，３９，４０は、接続する基板部間の信号の授受を行うための配線が板面上に形成されている。
電磁遮蔽部材４１，４２，４３，４４は、電磁ノイズを遮蔽する電磁遮蔽皮膜としての銅箔が板面上に形成されている。
【００２２】
尚、フレキシブル基板２２は、薄肉なものであり、各基板部３０，３１，３２，３３，３４，３５は、フレキシブル基板２２の板面上に厚さ約１ｍｍで設けられており、配線部３６，３７，３８，３９，４０及び電磁遮蔽部材４１，４２，４３，４４は、フレキシブル基板２２の板面上に厚さ約０．３ｍｍで設けられている。従って、各板面は、比較的薄肉になっている。
【００２３】
かかるフレキシブル基板２２は、所定の位置で折り曲げることにより、図６に示すように、各基板部３０，３１，３２，３３，３４，３５が配線部３６，３７，３８，３９，４０で連結された状態で立体化されるとともに、電磁遮蔽部材４１，４２，４３，４４が、メイン基板部３０，３１及びバルブ基板部３３，３４に対向配置される。
【００２４】
すなわち、図５〜図８に示すように、一対のメイン基板部３０，３１、配線部３６，３７及びセンサ基板部３２が外側に向くように、配線部３６と一対のメイン基板部３０，３１との接続部分Ａ，Ｂと、配線部３７とメイン基板部３１及びセンサ基板部３２の接続部分Ｃ，Ｄとを折り曲げる。
そして、バルブ基板部３３をセンサ基板部３２の表面側に倒すように、配線部３８と、センサ基板部３２及びバルブ基板部３３との接続部分Ｅ，Ｆを折り曲げるとともに、電磁遮蔽部材４３をバルブ基板部３３の裏面側へ倒すように、バルブ基板部３３と電磁遮蔽部材４３の接続部分Ｇを折り曲げる。これと同様に、接続部分Ｈ，Ｉ，Ｊを折り曲げることにより、配線部３９を介してバルブ基板部３４をセンサ基板部３２の表面側に折り曲げるとともに、電磁遮蔽部材４４をバルブ基板部３４に折り重ねる。
また、配線部４０及びＬＥＤ基板部３５を配線部３６の裏面側へ倒すように、配線部３６と配線部４０の接続部分Ｋと、配線部４０とＬＥＤ基板部３５の接続部分Ｌとを折り曲げる。
更に、電磁遮蔽部材４１，４２をメイン基板部３０，３１の表面側にそれぞれ倒すように、電磁遮蔽部材４１，４２とメイン基板部３０，３１の接続部分Ｍ，Ｎを折り曲げる。
【００２５】
これにより、一対のメイン基板部３０，３１、配線部３６，３７及びセンサ基板部３２は、図６に示すように、一対のメイン基板部３０，３１が対向するとともに、配線部３６とセンサ基板部３２とが対向して略四角箱形をなす。バルブ基板部３３、バルブ基板部３４及び配線部４０は、図６及び図７に示すように、同一方向へ張り出し、ＬＥＤ基板部３５は、下方に折り曲げられる。そして、電磁遮蔽部材４１，４２，４３，４４は、図６及び図８に示すように、メイン基板部３０，３１及びバルブ基板部３３，３４に対向配置される。
【００２６】
立体化されたフレキシブル基板２２は、センサ基板部３２を圧力センサ２７に接続し、バルブ基板部３３を吸気用電磁弁２３に接続し、バルブ基板部３４排気用電磁弁２４に接続することにより、流体ブロック２１に取り付けられる。
【００２７】
そこで、こうして流路ブロック２１に取り付けられた吸気用電磁弁２３、排気用電磁弁２４及びフレキシブル基板２２は、被せられたケース２０内に納められ、流路ブロック２１の蓋面部２１ａがケース２０の開口部を塞ぐようにはめ合わされる。その後、外側からケース２０を貫いて流路ブロック２１へネジを締結することによって、ケース２０は、外れないように流路ブロック２１に一体になり、電空レギュレータ２が組み立てられる。
このとき、フレキシブル基板２２のメイン基板部３０，３１、配線部３６，３７、センサ基板部３２及び電磁遮蔽部材４１，４２は、吸気用電磁弁２３及び排気用電磁弁２４とケース２０との隙間に配置される。また、バルブ基板部３３，３４、電磁遮蔽部材４３，４４及び配線部３８，３９，４０は、吸気用電磁弁２３及び排気用電磁弁２４とケース２０との隙間に配置される。ＬＥＤ基板部３５は、流路ブロック２１の蓋面部２１ａに対向し、吸気用電磁弁２３及び流路ブロック２１とケース２０との隙間に配置される。
【００２８】
ここで、ケース２０の内壁は、電磁ノイズの漏れ及び電磁ノイズの侵入を防止するために、電磁遮蔽膜４５によってシールドされている。電磁遮蔽膜４５は、銅メッキとニッケルメッキによるメッキ処理、無電解銅メッキと無電解ニッケルメッキによるメッキ処理又は無電解ニッケルメッキとリン合金メッキによるメッキ処理等によって約２０μｍの厚さで形成されている。
【００２９】
続いて、電空レギュレータ２の電気的構成について説明する。図９は、電空レギュレータ２のブロック図である。
コネクタ１１に設定圧力信号が供給されると吸排気ブロック４の内部の制御基板（不図示）を介してメイン基板部３０，３１に入力され、電空レギュレータ２を動作させる。
【００３０】
そして、不図示の制御装置から設定圧力信号が出力されると、メイン基板部３０，３１は、コネクタ１１から吸排気ブロック４内部の制御基板（不図示）を介して設定圧力信号を入力する。また、センサ基板部３２は、圧力センサ２７が検出した出力ポート２５の圧力を吐出圧力信号としてメイン基板部３０，３１に出力する。メイン基板部３０，３１は、設定圧力信号と吐出圧力信号の差信号に基づいて、吸気用電磁弁２３及び排気用電磁弁２４の開閉を制御する制御信号を作成し、その制御信号をバルブ基板部３３，３４に出力する。バルブ基板部３３，３４は、制御信号に従って、吸気用電磁弁２３及び排気用電磁弁２４に所定の信号を供給する。吸気用電磁弁２３及び排気用電磁弁２４は、入力された信号に比例した圧力が与えられるように駆動する。これにより、出力ポート２５から吐出される空気の圧力が設定圧力に調整される。
【００３１】
また、メイン基板部３０，３１は、差信号に基づいて出力ポート２５から吐出される空気の吐出圧が設定圧か否かを判断し、その判断結果をＬＥＤ基板部３５に出力する。ＬＥＤ２６は、吐出圧が設定圧である場合には緑信号を点灯し、吐出圧が設定圧でない場合には赤信号を点灯する。
更に、メイン基板部３０，３１は、センサ基板部３２から入力した吐出圧力信号を処理して、モニタに吐出圧力を表示させるためのモニタ表示信号を、モニタ制御装置５０に出力する。
【００３２】
ここで、ケース２０の内部では、吸気用電磁弁２３及び排気用電磁弁２４が駆動することにより電磁ノイズが発生する。一方、ケース２０の外部では、他の機器等が電磁ノイズを発生している。しかし、フレキシブル基板２２は、メイン基板部３０，３１及びバルブ基板部３３，３４に対向配置された電磁遮蔽部材４１，４２，４３，４４、及び、ケース２０内に設けられた電磁遮蔽膜４５によって、これらの電磁ノイズを遮蔽している。
【００３３】
以上説明した本実施の形態の電空レギュレータ２によれば、図５に示すように、フレキシブル基板２２の各板面に基板部３０，３１，３２，３３，３４，３５又は配線部３６，３７，３８，３９，４０を設けることにより、電気回路や配線等を各板面に分散させた。フレキシブル基板２２は、図６〜図８に示すように、折り曲げられて立体化され、図４に示すように、センサ基板部３２を圧力センサ２７に接続されるとともに、バルブ基板部３３，３４に吸気用電磁弁２３及び排気用電磁弁２４に接続されることにより、流路ブロック２１に取り付けられて、ケース２０内に収められる。フレキシブル基板２２は薄肉であるため、基板部３０，３１，３２，３３，３４，３５及び電磁遮蔽部材４１，４２，４３，４４が設けられた板面が比較的肉薄になる。そのため、フレキシブル基板２２を折り曲げることにより、メイン基板部３０，３１及び電磁遮蔽部材４１，４２が対向して重なり、また、バルブ基板部３３，３４、電磁遮蔽部材４３，４４及び配線部３８，３９，４０が対向して重なっても、厚みが薄く、吸気用電磁弁２３、排気用電磁弁２４及び流路ブロック２１とケース２０との隙間にフレキシブル基板２２の各板面を配置することができる。従って、各回路を含むフレキシブル基板２２を配置するためのスペースが少なくてすみ、電空レギュレータ２を薄型化、小型化することができる。
【００３４】
また、本実施の形態の電空レギュレータ２によれば、図５及び図６に示すように、各基板部３０，３１，３２，３３，３４，３５が配線部３６，３７，３８，３９，４０によって相互に連結しているので、基板同士をコネクタで接続する必要がない。従って、コネクタを設けるためのスペースをケース２０内に設ける必要がないので、その分だけ電空レギュレータ２を薄型化、小型化することができる。
【００３５】
また、本実施の形態の電空レギュレータ２によれば、図５に示すように、電磁遮蔽部材４１，４２，４３，４４をフレキシブル基板２２の板面上に設け、フレキシブル基板２２そのものをノイズ対策部材とした。そのため、電磁遮蔽部材４１，４２は、図６及び図８に示すように、接続部分Ｍ，Ｎを折り曲げることによりメイン基板部３０，３１に対向配置された状態で支持され、電磁遮蔽部材４３，４４は、接続部分Ｇ，Ｊを折り曲げられることによりバルブ基板部３３，３４に対向配置された状態で支持されるようになった。従って、電磁遮蔽部材４１，４２，４３，４４を支持するための支持部材や、銅板やアルミ板等のノイズ対策部材をフレキシブル基板２２と別に設ける必要がないので、電空レギュレータ２を薄型化、小型化することができる。
【００３６】
また、本実施の形態の電空レギュレータ２によれば、図９に示すように、フレキシブル基板２２のメイン基板部３０，３１及びバルブ基板部３３，３４は、電磁遮蔽部材４１，４２，４３，４４によって電磁ノイズが遮蔽される。また、ケース２０内に形成された電磁遮蔽膜４５が、外部から電磁ノイズが侵入することを防止するとともに、吸気用電磁弁２３等が発生した電磁ノイズを外部に漏れることを防止する。そのため、フレキシブル基板２２は、電磁ノイズの影響を受けることなく機能する。従って、電空レギュレータ２の制御の信頼性が向上する。
【００３７】
更に、本実施の形態の電空レギュレータ２によれば、電空レギュレータ２が薄型かつ小型であるので、図１に示すように、複数の電空レギュレータ２を集積しても、マニホールド１が小型になる。そして、このように電空レギュレータ２をマニホールド化しても、各電空レギュレータ２の電磁遮蔽膜４５が、吸気用電磁弁２３及び排気用電磁弁２４の駆動により発生するノイズ等の漏れを防止するので、マニホールド１の制御の信頼性を確保することができる。
【００３８】
なお、本実施の形態は、単なる例示にすぎず本発明を何ら限定するものではない。従って、本発明は、当然に、その要旨を逸脱しない範囲内での種々の変形、改良が可能である。
すなわち、例えば、上記実施の形態では、メイン基板部３１とセンサ基板部３２を配線部３７で接続しているが、図１０に示すように、メイン基板部３１とセンサ基板部３２をコネクタ４６，４７で接続してもよい。また、図１１に示すように、メイン基板部３１とセンサ基板部３２に形成された凸部４８と凹部４９をはめ合わせて半田付けしてもよい。このように構成することにより、フレキシブル基板２２の基材を無駄なく使用することができる。
【００３９】
また、例えば、上記実施の形態では、電空レギュレータ２を集積して使用しているが、単体で使用してもよい。この場合、出力ポート２５が設けられている前面に、吸気ポート、排気ポート及びコネクタを設けてもよい。本体の一方向のみに配線及び配管が延び、電空レギュレータ２の設置スペースを小さくすることができるからである。
【００４０】
また、例えば、上記実施の形態では、フレキシブル基板２２上に電磁遮蔽部材４１，４２，４３，４４を設けたが、電磁遮蔽部材４１，４２，４３，４４を省くことも可能である。
【００４１】
また、例えば、上記実施の形態では、回路基板全体をフレキシブル基板２２とし、そのフレキシブル基板２２の板面上に電磁遮蔽部材４１，４２，４３，４４を設けた。しかし、回路基板の一部のみを折り曲げ可能なフレキシブル基板２２とし、折り曲げられる板面上に電磁遮蔽部材４１，４２，４３，４４を設けてもよい。
【００４２】
また、例えば、上記実施の形態では、絶縁フィルムの一面に回路等を設けたが、両面に回路等を設けてもよい。
また、上記実施の形態では、フレキシブル基板２２に１５個の板面を設けたが、これに限定されるものではない。
【００４３】
また、上記実施の形態では、基板部３０，３１，３２，３３，３４，３５は、フレキシブル基板２２の板面上に厚さ約１ｍｍで設けられており、配線部３６，３７，３８，３９，４０及び電磁遮蔽部材４１，４２，４３，４４は、フレキシブル基板２２の板面上に厚さ約０．３ｍｍで設けられているが、これに限定されるものではない。また、電磁遮蔽部材４１，４２，４３，４４は、銅箔に限らず、導電性のあるものを使用すればよい。
【００４４】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、請求項１に記載する発明によれば、フレキシブル基板を配置するためのスペースを少なくできるので、電空レギュレータの薄型化及び小型化を図ることができる。
【００４５】
また、請求項２に記載する発明によれば、フレキシブル基板及び電磁遮蔽部材を配置するためのスペースを少なくできるので、電空レギュレータの薄型化及び小型化を図ることができる。
【００４６】
また、請求項３に記載する発明は、フレキシブル基板や電磁遮蔽部材を配置するためのスペースを少なくできるので、電空レギュレータの薄型化及び小型化を図ることができる。
【００４７】
また、請求項４に記載する発明は、請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載の発明の効果に加え、制御回路を含む各回路の誤動作を防止できるので、電空レギュレータの制御の信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態において、マニホールドの取付構造の斜視図である。
【図２】同じく、マニホールドの分解斜視図である。
【図３】同じく、電空レギュレータを流路ブロックとケースに分解した状態の斜視図である。
【図４】同じく、電空レギュレータの縦断面図である。
【図５】同じく、回路基板の展開図である。
【図６】同じく、回路基板を折り曲げた状態の斜視図である。
【図７】同じく、図６の上面図である。
【図８】同じく、図６の背面図である。
【図９】同じく、電空レギュレータのブロック図である。
【図１０】本発明の別の実施の形態において、回路基板の展開図である。
【図１１】本発明の別の実施の形態において、回路基板の展開図である。
【図１２】従来の電空レギュレータの縦断面図である。
【符号の説明】
２                      電空レギュレータ
２０                    ケース
２１                    流路ブロック
２２                    フレキシブル基板
２３                    吸気用電磁弁
２４                    排気用電磁弁
２５                    出力ポート
２７                    圧力センサ
４１，４２，４３，４４  電磁遮蔽部材
４５                    電磁遮蔽膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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