(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電加工する複数個のワークを積層し、互いに電気絶縁された電極として機能する一組の固定部品の間に挟んで固定する第１ステップと、
前記一組の固定部品を介して、前記ワークの積層体の全体抵抗を測定する第２ステップと、
前記全体抵抗から前記ワークの積層体における一つの積層接触面当りの平均接触抵抗を算出し、放電加工時の所定の設定放電電流に対する平均接触電位差を計算する第３ステップと、
前記平均接触電位差と所定の閾接触電位差を比較して、大小関係を判定する第４ステップと、
前記第４ステップにおいて平均接触電位差が所定の閾接触電位差以上である場合に、前記一組の固定部品を介して、前記ワークの積層体に加熱電流を流し、前記第２ステップに戻る第５ステップと、
前記第４ステップにおいて平均接触電位差が前記閾接触電位差より小さい場合に、ワイヤを一方の放電加工用電極とし、前記固定部品をもう一方の放電加工用電極として、前記設定放電電流以下で前記ワークの積層体に一括して放電加工を施す第６ステップと、を有することを特徴とする放電加工方法。
【請求項２】
前記第６ステップにおいて、前記一組の固定部品を、前記もう一方の放電加工用電極とすることを特徴とする請求項１に記載の放電加工方法。
【請求項３】
前記ワークが、鋼材であり、
前記第４ステップにおける閾接触電位差が、２０Ｖ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の放電加工方法。
【請求項４】
前記閾接触電位差が、１０Ｖであることを特徴とする請求項３に記載の放電加工方法。
【請求項５】
前記第５ステップにおける全体加熱後に、前記第２ステップを実施することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の放電加工方法。
【請求項６】
前記第５ステップにおける全体加熱中に、前記第２ステップを実施することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の放電加工方法。
【請求項７】
前記ワークが、熱処理の施された部品であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の放電加工方法。
【請求項８】
互いに電気絶縁された電極として機能すると共に、放電加工する複数個のワークの積層体を間に挟んで固定する一組の固定部品と、
前記一組の固定部品を介して、ワークの積層体の全体抵抗を測定する抵抗測定器と、
前記全体抵抗から前記ワークの積層体における一つの積層接触面当りの平均接触抵抗を算出し、放電加工時の所定の設定放電電流に対する平均接触電位差を計算すると共に、前記平均接触電位差と所定の閾接触電位差を比較して、大小関係を判定する制御装置と、
前記平均接触電位差が閾接触電位差以上である場合に、前記制御装置からの信号により、前記一組の固定部品を介して、前記ワークの積層体に加熱電流を流す加熱電源と、
前記平均接触電位差が閾接触電位差より小さい場合に、前記制御装置からの信号により、ワイヤを一方の放電加工用電極とし、前記固定部品をもう一方の放電加工用電極として、前記設定放電電流以下で前記ワークの積層体に一括して放電加工を施す放電電源と、を有してなることを特徴とする放電加工装置。
【請求項９】
前記制御装置の信号によって、前記抵抗測定器、前記加熱電源および前記放電電源の電流経路を切り替える、切替器を有してなり、
前記一組の固定部品を、前記もう一方の放電加工用電極とすることを特徴とする請求項８に記載の放電加工装置。
【請求項１０】
前記一組の固定部品が、
一方の電極として機能し、前記ワークの積層体を載せる基盤部品と、
もう一方の電極として機能し、前記ワークの積層体を反対側から前記基盤部品に押し付ける押え部品と、を有してなることを特徴とする請求項８または９に記載の放電加工装置。
【請求項１１】
前記押え部品が、
前記基盤部品に対して絶縁分離された状態で固定された支柱部と、前記支柱部に対して導電状態で回転可能の保持されたアーム部と、からなることを特徴とする請求項１０に記載の放電加工装置。
【請求項１２】
前記押え部品に、前記押し付け力を発生するシリンダが連結されてなることを特徴とする請求項１０または１１に記載の放電加工装置。
【請求項１３】
前記押え部品に、
前記押し付け力を測定するロードセルが装着されることを特徴とする請求項１０乃至１２のいずれか一項に記載の放電加工装置。
【請求項１４】
前記ワークが、熱処理の施された部品であることを特徴とする請求項８乃至１３のいずれか一項に記載の放電加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電加工する複数個のワークを積層し、当該ワークの積層体に一括して放電加工を施す放電加工方法およびそれに用いる放電加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤ電極と被加工物との間にパルス電圧を印加し、両者間にパルス放電を生じさせて溝加工を行う放電加工装置が、例えば、特開２０００−１５５２２号公報（特許文献１）に開示されている。
【０００３】
特許文献１に開示された放電加工装置は、移動ワイヤ電極部に特殊な構造が採用されており、長い溝加工においても、放電圧力や移動ワイヤ電極の走行に伴う振動を防止でき、加工精度の優れたワイヤ放電加工装置となっている。
【特許文献１】特開２０００−１５５２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の放電加工方法およびそれに用いる放電加工装置は、被加工物であるワークを、一個ずつ放電加工することを前提としている。特許文献１に開示された上記放電加工装置も同様で、長い溝加工が可能であるものの、複数個のワークを一括して放電加工することはできない。複数個のワークを一括して放電加工できれば加工効率が大幅にアップするにもかかわらず、一括加工できない理由は、以下の点にある。
【０００５】
図５は、従来の放電加工方法および放電加工装置を用いて複数個のワークを一括して放電加工した場合における問題点を説明する図で、従来の放電加工装置９０の要部の断面を模式的に示した図である。
【０００６】
図５に示す放電加工装置９０においては、放電加工する複数個のワーク１が積層され、導電材料からなる３つの固定部品２ａ〜２ｃに挟まれて固定されている。放電加工装置９０では、固定部品２ａ〜２ｃを一方の放電加工用電極とし、ワイヤ３をもう一方の放電加工用電極として、放電電源３０を用いてワーク１の積層体に一括して放電加工を施す構成となっている。
【０００７】
ここで、ワイヤ放電加工の被加工物であるワーク１は、一般的に金属材料であり、通常、ワークの表面には酸化物（錆び）等の絶縁層が形成されている。このため、ワイヤ３とワーク１間の加工のための１次放電だけでなく、ワーク１の積層接触面では、接触抵抗による接触電位差によって２次放電が起き易く、接触電位差が大きな図中の太い×印で表した部分で２次放電による損傷が発生してしまう。
【０００８】
そこで本発明は、複数個のワークを積層して一括して放電加工すると共に、ワークの積層接触面において２次放電による損傷を防止することのできる放電加工方法およびそれに用いる放電加工装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の放電加工方法は、放電加工する複数個のワークを積層し、互いに電気絶縁された電極として機能する一組の固定部品の間に挟んで固定する第１ステップと、前記一組の固定部品を介して、前記ワークの積層体の全体抵抗を測定する第２ステップと、前記全体抵抗から前記ワークの積層体における一つの積層接触面当りの平均接触抵抗を算出し、放電加工時の所定の設定放電電流に対する平均接触電位差を計算する第３ステップと、前記平均接触電位差と所定の閾接触電位差を比較して、大小関係を判定する第４ステップと、前記第４ステップにおいて平均接触電位差が所定の閾接触電位差以上である場合に、前記一組の固定部品を介して、前記ワークの積層体に加熱電流を流し、前記第２ステップに戻る第５ステップと、前記第４ステップにおいて平均接触電位差が前記閾接触電位差より小さい場合に、ワイヤを一方の放電加工用電極とし、前記固定部品をもう一方の放電加工用電極として、前記設定放電電流以下で前記ワークの積層体に一括して放電加工を施す第６ステップと、を有することを特徴としている。
【００１０】
上記放電加工方法によれば、第１ステップにおいて、放電加工するワークを積層して固定した後、放電加工する前の第２ステップと第３ステップにおいて、ワークの積層体における一つの積層接触面当りの平均接触抵抗と、放電加工時の設定放電電流を基にした平均接触電位差を計算する。次の第４ステップにおいて、上記平均接触電位差と２次放電の発生する所定の閾接触電位差とを比較して大小関係を判定し、例えば表面に酸化物（錆び）等の絶縁層が形成されているワークの積層体で、平均接触電位差が閾接触電位差以上である場合には、次の第５ステップへ進んでワークの積層体に加熱電流を流し、再び第２ステップの抵抗測定に戻る。
【００１１】
ここで、ワークの積層体に加熱電流を流すと、積層接触面における接触抵抗（接触電位差）が大きな部分が集中的に発熱して、表面に形成された酸化物等の絶縁層の絶縁破壊と発熱による軟化（もしくは溶融）が生じる。これに伴って、当該積層接触面を構成しているワーク間の距離が小さくなり、接触抵抗および接触電位差が次第に低減する。
【００１２】
上記第２ステップから第５ステップを繰り返し、最終的に第４ステップにおいて平均接触電位差が２次放電の発生する閾接触電位差より小さくなった場合にのみ、ワークの積層体に一括して放電加工を施す。以上のようにして、上記放電加工方法は、複数個のワークを積層して一括して放電加工すると共に、ワークの積層接触面において２次放電による損傷を防止することのできる放電加工方法となっている。
【００１３】
請求項２に記載のように、上記放電加工方法においては、前記第６ステップにおいて、前記一組の固定部品を、前記もう一方の放電加工用電極とすることが好ましい。
【００１４】
これにより、ワイヤを一方の放電加工用電極とし、一組の固定部品のいずれかをもう一方の放電加工用電極とする場合に較べて、ワークの積層体に対してより均一に放電電圧を印加することができ、複数個のワークの放電加工面を均一化することができる。
【００１５】
請求項３に記載のように、前記ワークが、鋼材である場合には、前記第４ステップにおける閾接触電位差が、２０Ｖ以下であることが好ましい。例えば請求項４に記載のように、前記閾接触電位差を、１０Ｖとする。
【００１６】
上記放電加工方法において、第４ステップにおいて設定する閾接触電位差の値は、２次放電を防止するにはできるだけ小さい値が望ましいが、測定した平均接触電位差がこの閾接触電位差を超えた場合には、第５ステップの処理が長時間になる。閾接触電位差は予備的な試験によって評価することができ、ワークが鋼材である場合には、上記閾接触電位差を２０Ｖ以下に設定することで、上記第２ステップから第５ステップを実施しない場合に較べて、２次放電の発生を抑制することができる。また、上記閾接触電位差を１０Ｖに設定することで、２次放電の発生を防止することができる。
【００１７】
上記放電加工方法においては、請求項５に記載のように、前記第５ステップにおける全体加熱後に、前記第２ステップを実施することもできるし、請求項６に記載のように、前記第５ステップにおける全体加熱中に、前記第２ステップを実施してもよい。この場合には、第５ステップと第２ステップに要する実施時間を短縮することができる。
【００１８】
上記放電加工方法は、前述したように表面に酸化物等の絶縁層が形成されたワークにも適用可能で、複数個のワークを一括して放電加工すると共に、ワークの積層接触面での２次放電による損傷を防止することができる。従って、上記放電加工方法は、例えば請求項７に記載のように、前記ワークが、熱処理の施された部品である場合に好適である。
【００１９】
請求項８〜１４に記載の発明は、上記放電加工方法に用いる放電加工装置に関する発明である。
【００２０】
請求項８に記載の放電加工装置は、互いに電気絶縁された電極として機能すると共に、放電加工する複数個のワークの積層体を間に挟んで固定する一組の固定部品と、前記一組の固定部品を介して、ワークの積層体の全体抵抗を測定する抵抗測定器と、前記全体抵抗から前記ワークの積層体における一つの積層接触面当りの平均接触抵抗を算出し、放電加工時の所定の設定放電電流に対する平均接触電位差を計算すると共に、前記平均接触電位差と所定の閾接触電位差を比較して、大小関係を判定する制御装置と、前記平均接触電位差が閾接触電位差以上である場合に、前記制御装置からの信号により、前記一組の固定部品を介して、前記ワークの積層体に加熱電流を流す加熱電源と、前記平均接触電位差が閾接触電位差より小さい場合に、前記制御装置からの信号により、ワイヤを一方の放電加工用電極とし、前記固定部品をもう一方の放電加工用電極として、前記設定放電電流以下で前記ワークの積層体に一括して放電加工を施す放電電源と、を有してなることを特徴としている。
【００２１】
これによって、請求項１に記載の放電加工方法を実施することができる。
【００２２】
また、請求項９に記載の放電加工装置は、前記制御装置の信号によって前記抵抗測定器、前記加熱電源および前記放電電源の電流経路を切り替える切替器を有してなり、前記一組の固定部品を、前記もう一方の放電加工用電極とすることを特徴としている。
【００２３】
これによって、請求項２に記載の放電加工方法を実施することができる。
【００２４】
尚、請求項８と９に記載の放電加工装置によって得られる効果は、請求項１と２に記載の放電加工方法において説明したとおりである。
【００２５】
上記放電加工装置は、請求項１０に記載のように、前記一組の固定部品が、一方の電極として機能し、前記ワークの積層体を載せる基盤部品と、もう一方の電極として機能し、前記ワークの積層体を反対側から前記基盤部品に押し付ける押え部品と、を有してなるように構成することができる。これによれば、積層するワークの個数によらず、複数個のワークの積層体を基盤部品の上に載せて簡単に固定することができる。
【００２６】
請求項１１に記載のように、前記押え部品は、前記基盤部品に対して絶縁分離された状態で固定された支柱部と、前記支柱部に対して導電状態で回転可能の保持されたアーム部と、からなるように構成することができる。これによれば、積層するワークの個数によらず、複数個のワークの積層体を基盤部品と押え部品の間に挟んで簡単に固定することができる。
【００２７】
また、請求項１２に記載のように、前記押え部品には、前記押し付け力を発生するシリンダが連結されてなることが好ましい。これにより、複数個のワークの積層体に対して、一定の押し付け力を印加することができる。
【００２８】
さらに、請求項１３に記載のように、前記押え部品に、前記押し付け力を測定するロードセルが装着されることが好ましい。これにより、複数個のワークの積層体に対する押し付け力を正確に設定することができる。
【００２９】
前述した理由によって、上記放電加工装置を適用するにあたっては、請求項１４に記載のように、前記ワークが、熱処理の施された部品である場合に特に好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図に基づいて説明する。
【００３１】
図１は、本発明を適用した一実施形態の放電加工方法を示す、基本的なフロー図である。図２は、図１の放電加工方法に用いる放電加工装置の一例で、放電加工装置１００の要部の断面を模式的に示した図である。尚、図２の放電加工装置１００において、図５に示す放電加工装置９０と同様の部分については、同じ符号を付した。
【００３２】
最初に、図２の放電加工装置１００の構成を説明する。
【００３３】
放電加工装置１００は、複数個のワーク１を積層し、一括して放電加工する装置である。図２は、ワーク１を６個積層した状態を示している。
【００３４】
図２の放電加工装置１００は、放電加工する複数個のワーク１の積層体を間に挟んで固定するための一組の固定部品２０ａ〜２０ｃを有している。固定部品２０ａと固定部品２０ｂ，２０ｃは、絶縁部材４によって互いに電気絶縁されており、これらが、以下に示すように、一組の電極として機能する。固定部品２０ａは基盤である。固定部品２０ｃは縦方向に広がる基準面を提供するとともに、固定部品２０ｂを支持する部材である。固定部品２０ｂは、固定されて移動しない固定部品２０ａ、２０ｃに対してレバー状に揺動可能に支持されている。固定部品２０ａの上には、固定部品２０ｃと水平方向に対向するようにして、水平方向に移動可能な押付部品２０ｄが設けられている。押付部品２０ｄは、ワーク１の積層体を固定部品２０ｃに向けて押し付ける。絶縁部材４は、固定部品２０ａと固定部品２０ｃとの間、固定部品２０ａと押付部品２０ｄとの間、および固定部品２０ａとエアシリンダ２１との間に設けられている。さらに、絶縁部材４は、固定部品２０ｃとワーク１の積層体との間、および押付部品２０ｄとワーク１の積層体との間に設けられている。ワーク１の積層体は、その最下部で固定部品２０ａに接触する。ワーク１の積層体は、その最上部で固定部品２０ｂと接触し、固定部品２０ｂは、固定部品２０ｃと電気的に接触している。
【００３５】
一方の電極として機能する固定部品２０ａは、ワーク１の積層体を載せる基盤部品である。もう一方の電極として機能する固定部品２０ｂ，２０ｃは、ワーク１の積層体を反対側から基盤部品２０ａに押し付ける押え部品である。押え部品２０ｃは、基盤部品２０ａに対して絶縁部材４により絶縁分離された状態で固定された支柱部であり、押え部品２０ｂは、支柱部２０ｃに対して導電状態で回転可能の保持されたアーム部である。基盤部品２０ａと押え部品２０ｂ，２０ｃによって、積層するワーク１の個数によらず、複数個のワーク１の積層体を基盤部品２０ａの上に載せ、基盤部品２０ａとアーム部である押え部品２０ｂの間に挟んで、簡単に固定することができる。
【００３６】
また、図２の放電加工装置１００の押え部品２０ｂには、押し付け力を発生するエアシリンダ２１が連結されている。これにより、複数個のワーク１の積層体に対して、一定の押し付け力を印加することができる。さらに、放電加工装置１００の押え部品２０ｂには、押し付け力を測定するロードセル２２が装着されている。これにより、複数個のワーク１の積層体に対する押し付け力を、正確に設定することができる。
【００３７】
さらに、図２の放電加工装置１００は、抵抗測定器４０、制御装置５０および加熱電源６０を有している。抵抗測定器４０は、一組の固定部品２０ａ〜２０ｃを介して、ワーク１の積層体の全体抵抗を測定する。制御装置５０は、抵抗測定器４０で測定した全体抵抗からワーク１の積層体における一つの積層接触面当りの平均接触抵抗を算出し、放電加工時の所定の設定放電電流に対する平均接触電位差を計算すると共に、平均接触電位差と所定の閾接触電位差を比較して、大小関係を判定する。加熱電源６０は、平均接触電位差が閾接触電位差以上である場合に、制御装置５０からの信号により、一組の固定部品２０ａ〜２０ｃを介して、ワーク１の積層体に加熱電流を流す。
【００３８】
放電加工装置１００は、放電電源３０を有しており、制御装置５０において平均接触電位差が閾接触電位差より小さいと判定した場合に、制御装置５０からの信号により、ワイヤ３を一方の放電加工用電極とし、固定部品２０ａ〜２０ｃをもう一方の放電加工用電極として、平均接触電位差の計算に用いた設定放電電流以下で、ワーク１の積層体に一括して放電加工を施す。
【００３９】
放電加工に際しては、全体抵抗の測定および加熱電流の通電に用いた一組の固定部品２０ａ〜２０ｃのうち、基盤部品である固定部品２０ａおよび押え部品である固定部品２０ｂ，２０ｃのいずれか一方を、ワイヤ３に対するもう一方の放電加工用電極としてもよい。しかしながら、図２の放電加工装置１００は、制御装置５０の信号によって抵抗測定器４０、加熱電源６０および放電電源３０の電流経路を切り替える切替器７０を有しており、一組の固定部品２０ａ〜２０ｃの全てを、ワイヤ３に対するもう一方の放電加工用電極としている。これにより、ワイヤ３を一方の放電加工用電極とし、一組の固定部品２０ａ〜２０ｃのいずれかをもう一方の放電加工用電極とする場合に較べて、ワーク１の積層体に対してより均一に放電電圧を印加することができ、複数個のワーク１の放電加工面を均一化することができる。
【００４０】
次に、図２に示した放電加工装置１００を参照しながら、図１のフロー図に示す放電加工方法を説明する。
【００４１】
図１に示す放電加工方法は、以下の各ステップと順序で、放電加工を実施する。
【００４２】
最初に、第１ステップＳ１において、放電加工するＮ個（Ｎ≧２）のワーク１を積層し、図２に示したように、互いに電気絶縁された電極として機能する一組の固定部品２０ａ〜２０ｃの間に挟んで固定する。次に、第２ステップＳ２において、図２の抵抗測定器４０を用い、一組の固定部品２０ａ〜２０ｃを介して、ワーク１の積層体の全体抵抗Ｒを測定する。
【００４３】
次に、第３ステップＳ３において、第２ステップＳ２で測定した全体抵抗Ｒから、Ｎ個のワーク１の積層体における一つの積層接触面当りの平均接触抵抗ｒ＝Ｒ／（Ｎ−１）を算出し、放電加工時の所定の設定放電電流Ｉ０に対する平均接触電位差Ｖ＝ｒ×Ｉ０＝Ｒ×Ｉ０／（Ｎ−１）を計算する。
【００４４】
次に、第４ステップＳ４において、第３ステップＳ３で計算した平均接触電位差Ｖと所定の閾接触電位差Ｖ０を比較して、大小関係を判定する。
【００４５】
ここで、図３に、２次放電の発生する閾接触電位差Ｖ０を評価するために、予備的に行った放電発生試験を示す。図３（ａ）は、試験の装置構成を示す図であり、図３（ｂ）は、印加電圧と放電開始ギャップの関係を示す図である。
【００４６】
閾接触電位差Ｖ０の評価試験は、図３（ａ）に示すように、ワーク１と同じ材質のテストサンプル１ａを用い、ワイヤ３とテストサンプル１ａ間の印加電圧と図３（ａ）に示すギャップｓを変えて、放電の発生をオシロスコープ（放電電流）と目視（火花）により観測するものである。また、図３（ｂ）は、試験結果の一例で、ギヤ等によく用いられる鋼材をテストサンプル１ａとして、放電が開始した時の印加電圧とギャップｓを黒い四角印でプロットした図である。
【００４７】
ここで、閾接触電位差Ｖ０をギャップｓが零の時に放電が開始する電圧と定義すると、図３（ｂ）において細線で外挿した最大値が２０Ｖであり、太線で外挿した平均値が１０Ｖである。従って、ワーク１が鋼材である場合には、図１の第４ステップＳ４における閾接触電位差Ｖ０が２０Ｖ以下であることが好ましく、例えば、閾接触電位差Ｖ０を１０Ｖとする。
【００４８】
再び、図１のフロー図に戻って、第４ステップＳ４において平均接触電位差Ｖが閾接触電位差Ｖ０以上である場合には、第５ステップＳ５において、第２ステップＳ２で用いた一組の固定部品２０ａ〜２０ｃを介して、ワーク１の積層体に加熱電流を流し、第２ステップＳ２に戻る。第４ステップＳ４において平均接触電位差Ｖが閾接触電位差Ｖ０より小さい場合には、第６ステップＳ６において、ワイヤ３を一方の放電加工用電極とし、固定部品２０ａ〜２０ｃをもう一方の放電加工用電極として、設定放電電流Ｉ０以下でワーク１の積層体に一括して放電加工を施す。
【００４９】
図１に示す放電加工方法によれば、第１ステップＳ１において、放電加工するワーク１を積層して固定した後、放電加工する前の第２ステップＳ２と第３ステップＳ３において、ワーク１の積層体における一つの積層接触面当りの平均接触抵抗ｒと、放電加工時の設定放電電流Ｉ０を基にした平均接触電位差Ｖを計算する。次の第４ステップＳ４において、上記平均接触電位差Ｖと２次放電の発生する所定の閾接触電位差Ｖ０とを比較して大小関係を判定する。
【００５０】
図１の放電加工方法において、第４ステップＳ４において設定する閾接触電位差Ｖ０の値は、２次放電を防止するにはできるだけ小さい値が望ましいが、測定した平均接触電位差Ｖがこの閾接触電位差Ｖ０を超えた場合には、第５ステップＳ５の処理が長時間になる。図３に示したように、閾接触電位差Ｖ０は予備的な試験によって評価することができ、ワーク１が鋼材である場合には、閾接触電位差Ｖ０を２０Ｖ以下に設定することで、第２ステップＳ２から第５ステップＳ５を実施しない場合に較べて、２次放電の発生を抑制することができる。また、閾接触電位差Ｖ０を１０Ｖに設定することで、２次放電の発生を防止することができる。
【００５１】
図１の放電加工方法において、例えば表面に酸化物（錆び）等の絶縁層が形成されているワーク１の積層体で、平均接触電位差Ｖが閾接触電位差Ｖ０以上である場合には、次の第５ステップＳ５へ進んで、ワーク１の積層体に加熱電流を流し、再び第２ステップＳ２の抵抗測定に戻る。
【００５２】
ここで、図２の加熱電源６０を用いてワーク１の積層体に加熱電流を流すと、積層接触面における接触抵抗（接触電位差）が大きな部分が集中的に発熱して、表面に形成された酸化物等の絶縁層の絶縁破壊と発熱による軟化（もしくは溶融）が生じる。これに伴って、当該積層接触面を構成しているワーク１間の距離が小さくなり、接触抵抗および接触電位差が次第に低減する。
【００５３】
図４は、上記加熱電流を流した場合の積層接触面における接触抵抗（接触電位差）の通電加熱時間に対する変化と、ワーク１ｂとワーク１ｃの積層接触面における状態変化の様子をまとめて示した図である。
【００５４】
図４に示す（１）の状態は、接触抵抗（接触電位差）が急激に低下する領域にある状態で、ワーク１ｂの表面に形成されている絶縁層１ｂｚに絶縁破壊が発生する領域の状態である考えられる。
【００５５】
図４に示す（２）の状態は、（１）の状態の領域が終了して接触抵抗（接触電位差）が再び増加に転ずる領域にある状態で、絶縁破壊が発生した結果、絶縁層１ｂｚの接触抵抗（接触電位差）が大きな部分が集中的に発熱して、集中発熱部１ｂｔが形成される領域の状態である考えられる。尚、（２）の状態では、ワーク１ｂとワーク１ｃの集中発熱部１ｂｔの周りが集中発熱部１ｂｔの熱によって温度上昇するため、接触抵抗（接触電位差）が緩やかに増加する。
【００５６】
図４に示す（３）と（４）の状態は、（２）の状態の領域が終了して接触抵抗（接触電位差）が再び減少に転ずる領域にある状態である。集中発熱部１ｂｔは、発熱による温度上昇で次第に軟化し、（３）の状態に示すように、押え部品の押し付け力でワーク１ｂとワーク１ｃが次第に近づいてくる。これに伴って、接触抵抗（接触電位差）は緩やかに減少する。最終的には、（４）の状態に示すように、集中発熱部１ｂｔが分断されて、ワーク１ｂとワーク１ｃが直接接触し、接触抵抗（接触電位差）が２次放電の発生しないレベルまで十分に低減される。
【００５７】
図１の放電加工方法においては、第４ステップＳ４において平均接触電位差Ｖが閾接触電位差Ｖ０以上である場合には、第４ステップＳ４において平均接触電位差Ｖが閾接触電位差Ｖ０より小さくなるまで、第２ステップＳ２から第５ステップＳ５の各ステップを繰り返す。尚、図１の放電加工方法においては、第５ステップＳ５における全体加熱後に、第２ステップＳ２を実施することもできるし、第５ステップＳ５における全体加熱中に、第２ステップＳ２を実施してもよい。この場合には、第５ステップＳ５と第２ステップＳ２に要する実施時間を短縮することができる。
【００５８】
図１の放電加工方法では、最終的に図４に示す（４）の状態になって、図１の第４ステップＳ４において平均接触電位差Ｖが２次放電の発生する閾接触電位差Ｖ０より小さくなった場合にのみ、ワーク１の積層体に一括して放電加工を施す。
【００５９】
以上のようにして、図１に示す放電加工方法は、複数個のワーク１を積層して一括して放電加工すると共に、ワーク１の積層接触面において２次放電による損傷を防止することのできる放電加工方法となっている。
【００６０】
従って、上記放電加工方法は、前述したように表面に酸化物等の絶縁層が形成されたワーク１にも適用可能で、例えば、ワーク１が熱処理の施された部品である場合に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明を適用した一実施形態の放電加工方法を示す、基本的なフロー図である。
【図２】図１の放電加工方法に用いる放電加工装置の一例で、放電加工装置１００の要部の断面を模式的に示した図である。
【図３】２次放電の発生する閾接触電位差Ｖ０を評価するために、予備的に行った放電発生試験を示す図で、（ａ）は、試験の装置構成を示す図であり、（ｂ）は、印加電圧と放電開始ギャップの関係を示す図である。
【図４】加熱電流を流した場合の積層接触面における接触抵抗（接触電位差）の通電加熱時間に対する変化と、ワーク１ｂとワーク１ｃの積層接触面における状態変化の様子をまとめて示した図である。
【図５】従来の放電加工方法および放電加工装置を用いて複数個のワークを一括して放電加工した場合における問題点を説明する図で、従来の放電加工装置９０の要部の断面を模式的に示した図である。
【符号の説明】
【００６２】
１００  放電加工装置
１  ワーク
２０ａ  固定部品（基盤部品）
２０ｂ  固定部品（押え部品，アーム部）
２０ｃ  固定部品（押え部品，支柱部）
２１  エアシリンダ
２２  ロードセル
３  ワイヤ
３０  放電電源
４  絶縁部材
４０  抵抗測定器
５０  制御装置
６０  加熱電源
７０  切替器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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