(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の第１組スリット部材を中心軸線に対して直交する方向にかつ互いに接近、離間する方向へ移動させる第１の幅調整機構と、一対の第２組スリット部材を前記中心軸線に対して直交するとともに前記第１組スリット部材の移動方向に対して直交する方向にかつ互いに接近、離間する方向へ移動させる第２の幅調整機構とを備え、
前記第１の幅調整機構および第２の幅調整機構は、互いに平行な一対の可動部材と、この一対の可動部材の両端側においてこれらの可動部材を移動可能に案内する一対の直線ガイド手段と、前記一対の可動部材の略中間位置において一対の可動部材を互いに接近、離間する方向へ移動させる駆動手段と、前記一対の可動部材の略中間位置にかつ前記駆動手段と前記一方の直線ガイド手段との間に互いに対向して設けられた一対のスリット部材とを含んで構成されていることを特徴とするスリット幅調整装置。
【請求項２】
請求項１に記載のスリット幅調整装置において、
前記駆動手段は、前記一対の可動部材に対して略直交して配置され軸方向において互いに逆方向のねじ部を有する送りねじ軸と、この送りねじ軸のねじ部にそれぞれ螺合され前記各可動部材に固定されたナット部材と、前記送りねじ軸を回転させるモータとを含んで構成され、
前記第１の幅調整機構および第２の幅調整機構は、前記一対の可動部材をそれぞれ独立して互いに接近する方向または離間する方向へ付勢する付勢手段を含んで構成されていることを特徴とするスリット幅調整装置。
【請求項３】
請求項２に記載のスリット幅調整装置において、
前記モータは、ステッピングモータとされ、
指令値に基づいて前記ステッピングモータに所定パルス数を印加する制御手段を備え、
前記制御手段は、前記指令値と前記一対のスリット部材間のスリット幅との関係が比例的に変化するように、指令値に対して前記ステッピングモータに印加するパルス数を補正する補正手段を備えていることを特徴とするスリット幅調整装置。
【請求項４】
レーザ光を照射して検査対象物を修正する顕微鏡レーザリペア装置において、
前記レーザ光の光路中に、請求項１〜請求項３のいずれかに記載のスリット幅調整装置を備えたことを特徴とする顕微鏡レーザリペア装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スリット幅調整装置およびこれを備えた顕微鏡レーザリペア装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や液晶パネルなどの微細デバイス回路の修正を行うための光学機器、たとえば、顕微鏡レーザリペア装置では、顕微鏡の中間像位置に可変スリットが設けられ、顕微鏡光学系により可変スリットの形状がデバイス上に投影される。
デバイスの修正作業においては、まず、可変スリットのＸＹ方向の幅を調整して、レーザカットしたい範囲にスリット形状を一致させる。その後、レーザ装置を発振させると、一致させたスリット形状の範囲のみがレーザカットされる。
【０００３】
従来、この種のリペア装置に用いられる可変スリットの構造として、図８および図９に示す装置が知られている。この装置は、一対の第１組スリット部材１，１をＺ方向軸線に対して直交する方向（Ｘ方向）へかつ互いに接近、離間する方向へ移動させる第１の幅調整機構３と、一対の第２組スリット部材２，２をＺ方向軸線に対して直交するとともに第１組スリット部材１，１の移動方向に対して直交する方向（Ｙ方向）へかつ互いに接近、離間する方向へ移動させる第２の幅調整機構４とを備える。
これら第１および第２の幅調整機構３，４は、各組のスリット部材１，１（２，２）と、一端側に各組のスリット部材１，１（２，２）を支持し互いに平行に配置された一対のラック部材５Ａ，５Ｂと、これらラック部材５Ａ，５Ｂの他端側間に配置されラック部材５Ａ，５Ｂに噛合された２つのピニオン６，７と、これらピニオン６，７に連結されたモータ８およびポテンショメータ９とから構成されている。
【０００４】
このように構成において、モータ８が駆動すると、ピニオン６に噛合する一方のラック部材５Ａが長手方向へ移動され、この移動によりピニオン７を介して他方のラック部材５Ｂが一方ラック部材５Ａの移動方向に対して逆方向へ移動される。つまり、両ラック部材５Ａ，５Ｂが互いに逆方向へ移動される。
すると、各ラック部材５Ａ，５Ｂに支持されたスリット部材１，１またはスリット部材２，２が互いに接近または離間するので、これらの間に形成されるスリット幅が変化される。従って、スリット部材１，１またはスリット部材２，２のスリット幅をそれぞれ調整して、この２つのスリット幅によって形成されるスリット開口部をレーザカットしたい範囲に一致させた後、レーザ装置を発振させれば、スリット開口部の範囲のみをレーザカットすることができる。
【０００５】
しかし、このような構成では、スリット開口部の形状精度が、ポテンショメータ９の分解能に依存するため、高くできない。また、モータ８の回転をピニオン６，７とラック部材５Ａ，５Ｂを介してスリット部材１，１（２，２）の移動に変換しているため、ピニオン６，７とラック部材５Ａ，５Ｂとのバックラッシュによって、再現性が低く、しかも、モータ指令値に対する位置精度も悪い。さらに、ピニオン６，７の軸がスリット部材１，１（２，２）の案内機構を兼ねているため、駆動部のあそびが大きく、再現性を更に低下させるという問題がある。
【０００６】
一方、光学装置において、スリット幅を可変にできる装置として、特許文献１に記載された幅可変光学スリット機構が知られている。
この幅可変光学スリット機構は、ガイドレールと、このガイドレールに沿って移動自在に搭載された一対のキャリッジと、この一対のキャリッジにそれぞれ取り付けられた一対のスリットおよびアームと、両アーム間に設けられ両アームを互いに接近する方向へ付勢するスプリングと、両アームの内面にそれぞれ当接する一対の可動体と、この一対の可動体を互いに接近、離間する方向へ移動させる駆動機構とから構成されている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−２０８９８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に記載の幅可変光学スリット機構では、一対のキャリッジにそれぞれ取り付けられた一対のスリットが、一対のキャリッジからガイドレールの片側に突出し互いに対向して取り付けられているから、つまり、片持ち梁構造であるから、ガイドレールとキャリッジとの間にガタがあると、各スリットが傾きやすい。
しかも、ガイドレールとキャリッジとの間にガタがあると、ガタが拡大されて一対のスリットの間隔、つまり、スリット幅精度に影響に与えるため、スリット幅を高精度に制御するのが難しい。
【０００９】
本発明の目的は、スリット開口部を高精度に可変できるとともに、高い繰り返し精度を維持できるスリット幅調整装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のスリット幅調整装置は、一対の第１組スリット部材を中心軸線に対して直交する方向にかつ互いに接近、離間する方向へ移動させる第１の幅調整機構と、一対の第２組スリット部材を前記中心軸線に対して直交するとともに前記第１組スリット部材の移動方向に対して直交する方向にかつ互いに接近、離間する方向へ移動させる第２の幅調整機構とを備え、前記第１の幅調整機構および第２の幅調整機構は、互いに平行な一対の可動部材と、この一対の可動部材の両端側においてこれらの可動部材を移動可能に案内する一対の直線ガイド手段と、前記一対の可動部材の略中間位置において一対の可動部材を互いに接近、離間する方向へ移動させる駆動手段と、前記一対の可動部材の略中間位置にかつ前記駆動手段と前記一方の直線ガイド手段との間に互いに対向して設けられた一対のスリット部材とを含んで構成されていることを特徴とする。
【００１１】
第１の幅調整機構によって一対の第１組スリット部材を互いに接近、離間する方向へ移動させるとともに、第２の幅調整機構によって一対の第２組スリット部材を互いに接近、離間する方向へ移動させて、こられスリット部材によって形成されるスリット開口部の形状を所望の形状に調整する。
この際、各幅調整機構が、互いに平行な一対の可動部材と、この一対の可動部材の両端側においてこれらの可動部材を移動可能に案内する一対の直線ガイド手段と、一対の可動部材の略中間位置に互いに対向して設けられた一対のスリット部材と、一対の可動部材の略中間位置において一対の可動部材を互いに接近、離間する方向へ移動させる駆動手段とを含んで構成されているから、スリット開口部を高精度に可変できるとともに、高い繰り返し精度も維持できる。
つまり、互いに平行な一対の可動部材が、両端側において一対の直線ガイド手段によって移動可能に案内されているから、一端側のみが直線ガイド手段で移動可能に案内される構成に比べ、可動部材の傾きを小さくできる。また、一対の可動部材の略中間位置に、これら可動部材を接近、離間する方向へ移動させる駆動手段が設けられているから、この点からも可動部材の傾きをより小さくできる。更に、このような構成を前提として、一対の可動部材の略中間位置に、スリット部材が互いに対向して設けられているから、スリット部材によって形成されるスリット開口部を高精度に可変できるとともに、高い繰り返し精度も維持できる。
【００１２】
本発明のスリット幅調整装置において、前記駆動手段は、前記一対の可動部材に対して略直交して配置され軸方向において互いに逆方向のねじ部を有する送りねじ軸と、この送りねじ軸のねじ部にそれぞれ螺合され前記各可動部材に固定されたナット部材と、前記送りねじ軸を回転させるモータとを含んで構成され、前記第１の幅調整機構および第２の幅調整機構は、前記一対の可動部材をそれぞれ独立して互いに接近する方向または離間する方向へ付勢する付勢手段を含んで構成されていることが好ましい。
この発明によれば、一対の可動部材を互いに接近する方向または離間する方向へ移動させる駆動手段に、逆方向のねじ部を有する送りねじ軸を用いたので、送りねじ軸のリードを小さくすれば、送り精度を高めることができる。特に、マイクロメータヘッドに用いられている送りねじ軸（ピッチ０．２５ｍｍ）を用いれば、高い送り精度を保証できる。
ここで、駆動手段に送りねじ軸を用いると、送りねじ軸に伴う問題、つまり、送りねじ軸とこれに螺合するナット部材との間に生じるバックラッシュによって繰り返し精度が低下する問題が生じる。本発明では、一対の可動部材をそれぞれ独立して互いに接近する方向または離間する方向へ付勢する付勢手段が設けられているから、バックラッシュによる問題もなく、高い再現性を維持することができる。
【００１３】
本発明のスリット幅調整装置において、前記モータは、ステッピングモータとされ、指令値に基づいて前記ステッピングモータに所定パルス数を印加する制御手段を備え、前記制御手段は、前記指令値と前記一対のスリット部材間のスリット幅との関係が比例的に変化するように、指令値に対して前記ステッピングモータに印加するパルス数を補正する補正手段を備えていることが好ましい。
この発明によれば、指令値と一対のスリット部材間のスリット幅との関係が比例的に変化するように、指令値に対してステッピングモータに印加するパルス数を補正する補正手段を備えているから、機構に起因する誤差を補正することができる。
たとえば、指令値を変化させ、このときのステッピングモータの駆動によるスリット部材間のスリット幅を測定し、この関係（指令値とスリット幅との関係）が比例的に変化するように、各指令値毎に、ステッピングモータに印加する補正パルス数、あるいは、補正計算式を記憶しておき、指令値が与えられたとき、記憶した補正パルス数あるいは補正計算式から補正パルス数を求め、これをステッピングモータに印加する。これにより、機構に起因する誤差を補正することができるから、スリット部材によって形成されるスリット開口部の形状を高精度に制御できる。
なお、ステッピングモータとして、減速機付ステッピングモータを用いれば、パルス分解能をより向上させることができる。
【００１４】
本発明の顕微鏡レーザリペア装置は、レーザ光を照射して検査対象物を修正する顕微鏡レーザリペア装置において、前記レーザ光の光路中に、上記のいずれかに記載のスリット幅調整装置を備えたことを特徴とする。
この発明によれば、スリット開口部を高精度に可変できるから、検査対象物の修正などを高精度に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態を図を参照しながら詳細に説明する。
＜構成（全体構成）＞
図１は、本発明のスリット幅調整装置を適用した顕微鏡レーザリペア装置を示す断面図である。同顕微鏡レーザリペア装置は、検査対象物Ｗを載置するテーブル２０と、このテーブル２０に対して三次元方向（Ｘ、Ｙ，Ｚ方向）へ相対移動可能に設けられた筐体１０とを備える。
筐体１０には、レンズ交換装置１１を介して倍率の異なる対物レンズ１２Ａ（１２Ｂ，１２Ｃ）が選択的に取り付けられるようになっている。
【００１６】
筐体１０の内部には、対物レンズ１２Ａの光軸Ｌ上に沿ってビームスプリッタ１３,１４、スリット幅調整装置３０、ビームスプリッタ１５およびミラー１６が配置されているとともに、ミラー１６にミラー１７を介してレーザ光を入射させるレーザ光発振装置１８が配置されている。また、ビームスプリッタ１３，１５に対して照明光を入射させる照明光導入装置２１，２２が設けられているとともに、ビームスプリッタ１４からの反射光をミラー２３を介して入射し検査対象物Ｗの画像を撮影する観察用カメラ２４が設けられている。
【００１７】
いま、照明光導入装置２１，２２から照明光をビームスプリッタ１３，１５に入射させると、ビームスプリッタ１３で反射した照明光は対物レンズ１２Ａを通って検査対象物Ｗに照射される。また、ビームスプリッタ１５で反射した照明光は、スリット幅調整装置３０のスリット開口部を通り、ビームスプリッタ１４，１３を透過したのち、対物レンズ１２Ａを通って検査対象物Ｗに照射される。従って、スリット幅調整装置３０で形成されたスリット開口部の形状が検査対象物Ｗ上に投影される。検査対象物Ｗからの反射光は、ビームスプリッタ１３，１４およびミラー２３を介して観察用カメラ２４に達する。従って、観察用カメラ２４を見ながら、スリット開口部をレーザカットしたい範囲に調整した後、レーザ光発振装置１８を発振させれば、調整したスリット開口部の範囲のみをレーザカットすることができる。
【００１８】
＜構成（スリット幅調整装置の構成）＞
図２はスリット幅調整装置３０を示す平面図、図３は図２のIII−III線断面図である。スリット幅調整装置３０は、間隔を隔てて互いに平行に配置された上下２枚の支持プレート２８，２９と、上側の支持プレート２８の下面に設けられ、一対の第１組スリット部材３４を対物レンズ１２Ａの光軸Ｌ（中心軸線）に対して直交する方向にかつ互いにに接近、離間する方向（Ｘ方向）へ移動させる第１の幅調整機構３１と、一対の第２組スリット部材４４を光軸Ｌ（中心軸線）に対して直交するとともに第１組スリット部材３４の移動方向に対して直交する方向にかつ互いに接近、離間する方向（Ｙ方向）へ移動させる第２の幅調整機構４１とを備える。
【００１９】
第１の幅調整機構３１は、図４に示すように、互いに平行な一対の可動部材３２と、この一対の可動部材３２の両端側に直交して配置されこれらの可動部材３２をＸ方向へ移動可能に案内する一対の直線ガイド手段３３と、一対の可動部材３２の略中間位置に互いに対向して設けられたスリット部材３４と、一対の可動部材３２の略中間位置において一対の可動部材３２を互いに接近、離間する方向へ移動させる駆動手段３５と、一対の可動部材３２をそれぞれ独立して互いに接近する方向（または離間する方向）へ付勢する付勢手段３６とを含んで構成されている。
【００２０】
直線ガイド手段３３は、可動部材３２の移動方向（Ｘ方向）に沿って配置された一対のガイドレール３３Ａと、この各ガイドレール３３Ａに循環回動するボール列などの転動体を介して移動可能に設けられ可動部材３２の端部を支持するスライダ３３Ｂとを含んで構成されている。
スリット部材３４は、平面視矩形板状に形成され、互いに対向する先端部がテーパ刃状に形成されている。
駆動手段３５は、ボールベアリングブロック３５Ａ（上側の支持プレート２８の下面に取り付けられたボールベアリングブロック３５Ａ）を介して一対の可動部材３２に対して略直交して配置され軸方向において互いに逆方向（右ねじと左ねじ）のねじ部３５Ｂを有する送りねじ軸３５Ｃと、この送りねじ軸３５Ｃの各ねじ部３５Ｂにそれぞれ螺合されるとともに各可動部材３２に固定されたナット部材３５Ｄと、送りねじ軸３５Ｃを回転させるモータ３５Ｅとを含んで構成されている。モータ３５Ｅは、後述する制御手段５０によって駆動制御されるステッピングモータにより構成されている。
付勢手段３６は、各可動部材３２毎に設けられたコイルスプリングにより構成されている。
【００２１】
第２の幅調整機構４１は、図５に示すように、互いに平行な一対の可動部材４２と、この一対の可動部材４２の両端側に直交して配置されこれらの可動部材４２をＹ方向へ移動可能に案内する一対の直線ガイド手段４３と、一対の可動部材４２の略中間位置に互いに対向して設けられたスリット部材４４と、一対の可動部材４２の略中間位置において一対の可動部材４２を互いに接近、離間する方向へ移動させる駆動手段４５と、一対の可動部材４２をそれぞれ独立して互いに接近する方向（または離間する方向）へ付勢する付勢手段４６とを含んで構成されている。
【００２２】
直線ガイド手段４３は、可動部材４２の移動方向（Ｙ方向）に沿って配置された一対のガイドレール４３Ａと、この各ガイドレール４３Ａに循環回動するボール列などの転動体を介して移動可能に設けられ可動部材４２の端部を支持するスライダ４３Ｂとを含んで構成されている。
スリット部材４４は、平面視矩形板状に形成され、互いに対向する先端部がテーパ刃状に形成されている。
駆動手段４５は、ボールベアリングブロック４５Ａ（下側の支持プレート２９の上面に取り付けられたボールベアリングブロック４５Ａ）を介して一対の可動部材４２に対して略直交して配置され軸方向において互いに逆方向（右ねじと左ねじ）のねじ部４５Ｂを有する送りねじ軸４５Ｃと、この送りねじ軸４５Ｃの各ねじ部４５Ｂにそれぞれ螺合されるとともに各可動部材４２に固定されたナット部材４５Ｄと、送りねじ軸４５Ｃを回転させるモータ４５Ｅとを含んで構成されている。モータ４５Ｅは、後述する制御手段５０によって駆動制御されるステッピングモータにより構成されている。
付勢手段４６は、各可動部材４２毎に設けられたコイルスプリングにより構成されている。
【００２３】
図６は、制御手段５０を示している。制御手段５０には、指令値などを入力する入力手段５１が接続されているとともに、第１および第２の幅調整機構３１，４１のほかに、他の機構（例えば、レーザ光発振装置１８等）が接続されている。
制御手段５０は、指令値に基づいてステッピングモータ３５Ｅ，４５Ｅに所定パルス数を印加する一方、指令値と一対のスリット部材３４，４４間のスリット幅との関係が比例的に変化するように、指令値に対して各幅調整機構３１，４１のステッピングモータ３５Ｅ，４５Ｅに印加するパルス数を補正する補正手段５０Ａを備えている。
【００２４】
補正手段５０Ａは、たとえば、図７に示すように、指令値を変化させ、このときのステッピングモータ３５Ｅ，４５Ｅの駆動によるスリット部材３４，４４間のスリット幅を測定し（実測スリット幅）、この関係（指令値とスリット幅との関係）が比例的に変化するように（指令値に対して補正後のスリット幅になるように）、各指令値毎に、ステッピングモータ３５Ｅ，４５Ｅに印加する補正パルス数を記憶した記憶部を備えている。そして、指令値が与えられたとき、記憶した補正パルス数をステッピングモータ３５Ｅ，４５Ｅに印加する。
【００２５】
＜作用＞
第１の幅調整機構３１によって一対のスリット部材３４を互いに接近、離間する方向へ移動させるとともに、第２の幅調整機構４１によって一対のスリット部材４４を互いに接近、離間する方向へ移動させて、こられスリット部材３４，４４によって形成されるスリット開口部の形状を所望の形状に調整する。
これには、入力手段５１から指令値を入力する。すると、制御手段５０は、指令値に対して補正された補正パルス数をステッピングモータ３５Ｅ，４５Ｅに印加する。これにより、ステッピングモータ３５Ｅ，４５Ｅは印加されたパルス数に従って回転駆動される。
【００２６】
ステッピングモータ３５Ｅ，４５Ｅが駆動すると、送りねじ軸３５Ｃ，４５Ｃが回転される。すると、送りねじ軸３５Ｃ，４５Ｃのねじ部３５Ｂ，４５Ｂに螺合されたナット部材３５Ｄ，４５Ｄを介して一対の可動部材３２，４２が互いに接近、または、離間する方向へ移動される。これにより、一対の可動部材３２，４２に固定されたスリット部材３４，４４によってスリット幅が調整される。
これを各幅調整装置３１，４１において行うと、スリット部材３４，４４によって形成されるスリット開口部が所望の形状、大きさに調整される。
従って、観察用カメラ２４を見ながら、スリット開口部をレーザカットしたい範囲に一致するように調整した後、レーザ光発振装置１８を発振させれば、調整したスリット開口部の範囲のみをレーザカットすることができる。
【００２７】
＜実施形態の効果＞
（１）各幅調整機構３１，４１が、互いに平行な一対の可動部材３２，４２と、この一対の可動部材３２，４２の両端側においてこれらの可動部材３２，４２を移動可能に案内する一対の直線ガイド手段３３，４３と、一対の可動部材３２，４２の略中間位置に互いに対向して設けられたスリット部材３４，４４と、一対の可動部材３２，４２の略中間位置において一対の可動部材３２，４２を互いに接近、離間する方向へ移動させる駆動手段３５，４５とを含んで構成されているから、スリット開口部を高精度に可変できるとともに、高い繰り返し精度も維持できる。
つまり、互いに平行な一対の可動部材３２，４２が、両端側において一対の直線ガイド手段３３，４３によって移動可能に案内されているから、一端側のみが直線ガイド手段で移動可能に案内される構成に比べ、可動部材３２，４２の傾きを小さくできる。また、一対の可動部材３２，４２の略中間位置に、これら可動部材３２，４２を接近、離間する方向へ移動させる駆動手段３５，４５が設けられているから、この点からも可動部材３２，４２の傾きをより小さくできる。更に、このような構成を前提として、一対の可動部材３２，４２の略中間位置に、スリット部材３４，４４が互いに対向して設けられているから、スリット部材３４，４４によって形成されるスリット開口部を高精度に可変できるとともに、高い繰り返し精度も維持できる。
【００２８】
（２）一対の可動部材３２，４２を互いに接近する方向または離間する方向へ移動させる駆動手段３５，４５に、逆方向のねじ部３５Ｂ，４５Ｂを有する送りねじ軸３５Ｃ，４５Ｃを用いたので、送りねじ軸３５Ｃ，４５Ｃのリードを小さくすれば、送り精度を高めることができる。特に、マイクロメータヘッドに用いられている送りねじ軸（ピッチ０．２５ｍｍ）を用いれば、ねじ精度が高いうえ、バックラッシュも極めて小さいので、高い送り精度を保証できる。
【００２９】
（３）駆動手段３５，４５に送りねじ軸３５Ｃ，４５Ｃを用いると、送りねじ軸３５Ｃ，４５Ｃに伴う問題、つまり、送りねじ軸３５Ｃ，４５Ｃとこれに螺合するナット部材３５Ｄ，４５Ｄとの間に生じるバックラッシュによって繰り返し精度が低下する問題が生じるが、本実施形態では、一対の可動部材３２，４２を互いに接近する方向または離間する方向へ付勢する付勢手段３６，４６が設けられているから、バックラッシュによる問題もなく、高い再現性を維持することができる。
しかも、付勢手段３６，４６を各可動部材３２，４２毎にそれぞれ独立して設けたので、可動部材３２，４３の重量や摺動抵抗の違いに応じて最適な付勢力を与えることができるから、各可動部材３２，４２の良好な移動動作を保証できる。
【００３０】
（４）各幅調整機構３１，４１のモータ３５Ｅ，４５Ｅがステッピングモータとされ、指令値と一対のスリット部材３４，４４間のスリット幅との関係が比例的に変化するように、指令値に対してステッピングモータ３５Ｅ，４５Ｅに印加するパルス数を補正する補正手段５０Ａを備えているから、機構に起因する誤差を補正することができる。
とくに、本実施形態では、指令値とスリット幅との関係が比例的に変化するように（指令値に対して補正後のスリット幅になるように）、各指令値毎に、ステッピングモータ３５Ｅ，４５Ｅに印加する補正パルス数を記憶した記憶部を持たせたので、計算などを必要とすることなく補正パルス数を求めることができる。
【００３１】
（５）レーザ光を照射して検査対象物を修正する顕微鏡レーザリペア装置において、レーザ光の光路中に、スリット幅調整装置３０を備えているから、スリット開口部を高精度に可変できるから、検査対象物の修正などを高精度に行うことができる。従って、半導体や液晶パネルなどの微細デバイス回路の修正を高精度に、しかも、能率的に行うことができる。
【００３２】
＜変形例＞
本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
たとえば、前記実施形態では、直線ガイド手段３３，４３として、ガイドレール３３Ａ，４３Ａと、このガイドレール３３Ａ，４３Ａに循環回動するボール列を介して移動可能に設けられたスライダ３３Ｂ，４３Ｂとから構成したが、これに限られない。ガイドレールと、これに摺動可能なスライダとからなる構成でもよい。
【００３３】
前記実施形態では、駆動手段３５，４５として、送りねじ軸３５Ｃ，４５Ｃと、これを回転駆動させるステッピングモータ３５Ｅ，４５Ｅとを含む構成としたが、ステッピングモータとして、減速機付ステッピングモータを用いれば、パルス分解能をより向上させることができる。これに限らず、駆動手段としては、リニアモータなどの駆動手段であってもよい。
【００３４】
前記実施形態では、一対の可動部材３２，４２を互いに接近する方向へ付勢する付勢手段３６，４６をそれぞれ独立のコイルスプリングによって構成したが、一対の可動部材３２，４２間に跨って１つのコイルスプリングを設けるようにしてもよい。また、コイルスプリングに限らす、板ばねなどの弾性体を用いてもよい。
前記実施形態において、筐体１０内にロータリテーブルを設け、このロータリテーブルの上にスリット幅調整装置３０を設置するようにしてもよい。このようにすれば、スリット開口の直交する２つの幅方向をＸ，Ｙ方向に一致させる作業を容易に行うことができる。
【００３５】
前記実施形態では、指令値とスリット幅との関係が比例的に変化するように、各指令値毎に、ステッピングモータ３５Ｅ，４５Ｅに印加する補正パルス数を記憶した記憶部を備えていたが、これに限らず、他の方法でもよい。指令値とスリット幅との関係が比例的に変化するように、指令値とステッピングモータ３５Ｅ，４５Ｅに印加する補正パルス数との関係の補正計算式を記憶しておき、指令値が与えられたとき、補正計算式を基に補正パルス数を求め、この補正パルス数をステッピングモータ３５Ｅ，４５Ｅに印加するようにしても、同様な効果が期待できる。
また、対物レンズの倍率として、実測した倍率を設定すれば、レンズ倍率による誤差を補正してより正確なスリット幅を設定することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明は、顕微鏡レーザリペア装置のほか、レーザ光を照射してワークを加工する装置などにも利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施形態に係る顕微鏡レーザリペア装置を示す断面図。
【図２】同上実施形態のスリット幅調整装置を示す平面図。
【図３】図２のIII−III線断面図。
【図４】同上実施形態の第１組幅調整機構を示す斜視図。
【図５】同上実施形態の第２組幅調整機構を示す斜視図。
【図６】同上実施形態の制御手段を示す図。
【図７】同上実施形態の制御手段の補正機能を示す図。
【図８】従来のスリット幅調整装置を示す平面図。
【図９】従来のスリット幅調整装置を示す断面図。
【符号の説明】
【００３８】
３０…スリット幅調整装置、
３１…第１の幅調整機構
３２…可動部材
３３…直線ガイド手段
３４…スリット部材
３５…駆動手段
３５Ｂ…ねじ部
３５Ｃ…送りねじ軸
３５Ｄ…ナット部材
３５Ｅ…ステッピングモータ
３６…付勢手段
４１…第２の幅調整機構
４２…可動部材
４３…直線ガイド手段
４４…スリット部材
４５…駆動手段
４５Ｂ…ねじ部
４５Ｃ…送りねじ軸
４５Ｄ…ナット部材
４５Ｅ…ステッピングモータ
４６…付勢手段
５０…制御手段
５０Ａ…補正手段
Ｗ…検査対象物。
【図１】
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【図２】
0004520918.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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