(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
細線を電極として穴加工を行う放電加工装置において、放電加工用の細線電極をスライド自在に収納した中空棒状のガイド電極と、このガイド電極を定位置に把持するガイド電極把持手段と、前記ガイド電極の内部に圧力流体を噴射供給して当該ガイド電極の内部から前記細線電極を放電加工側に送り出す圧力流体供給手段と、前記ガイド電極から送り出された前記細線電極を自動的に把持する細線電極把持手段とを備え、
前記細線電極把持手段は、前記ガイド電極から送り出された前記細線電極を把持および把持解除する方向に移動可能に配置された一対の細線把持具と、これらの細線把持具を細線電極把持方向に付勢する把持具付勢手段と、前記細線電極の送り出し方向に沿って移動可能に配置された可動子と、ガイド電極内部への圧力流体供給時に稼働して前記可動子を吸引移動させるソレノイドとを備え、ガイド電極内部への圧力流体供給時に前記ソレノイドで吸引移動させられる前記可動子が前記細線把持具を前記把持具付勢手段の付勢力に抗して細線電極把持解除方向に移動させ、ガイド電極内部への圧力流体供給遮断時に前記細線把持具が前記把持具付勢手段の付勢力で細線電極把持方向に移動するように構成されていることを特徴とする放電加工装置。
【請求項２】
細線を電極として穴加工を行う放電加工装置において、放電加工用の細線電極をスライド自在に収納した中空棒状のガイド電極と、このガイド電極を定位置に把持するガイド電極把持手段と、前記ガイド電極の内部に圧力流体を噴射供給して当該ガイド電極の内部から前記細線電極を放電加工側に送り出す圧力流体供給手段と、前記ガイド電極から送り出された前記細線電極を自動的に把持する細線電極把持手段とを備え、
前記細線電極把持手段は、前記ガイド電極からの送り出し細線電極に沿って配置された永久磁石と、この永久磁石との間で前記細線電極を挟み込んで当該細線電極を把持および把持解除方向に移動可能に対向配置された磁性の細線把持具と、ガイド電極内部への圧力流体供給時に稼働して前記細線把持具を前記永久磁石から離す方向に吸引移動させるソレノイドとを備えてなることを特徴とする放電加工装置。
【請求項３】
ガイド電極は中空状の駆動軸の内部に挿入されて当該駆動軸と一体回転可能に保持され、前記駆動軸の放電加工側に細線電極把持手段が前記駆動軸と一体回転可能に設けられ、前記駆動軸を回転させる回転駆動手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の放電加工装置。
【請求項４】
細線電極は細線電極把持手段を介して放電加工用電源が供給されることを特徴とする請求項１または請求項２記載の放電加工装置。
【請求項５】
ガイド電極は細線電極の送り出し時に振動力が付与されることを特徴とする請求項１または請求項２記載の放電加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、被加工物に穴加工を行う放電加工装置に係わり、特に、細線を電極として被加工物に微細穴を放電加工するのに好適な放電加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般にこの種の放電加工装置は、加工液中に加工用電極と被加工物を配置し、それらの間に電圧を印加して放電を発生させることで被加工物に細穴を放電加工するようになっており、その安定な加工状態を維持しながら所望形状の穴加工を行うために、加工用電極または被加工物の位置を調整するための駆動装置を備えている。
【０００３】
その駆動装置への指令は、加工用電極と被加工物の相対位置を表す極間電圧とこの極間電圧の目標値との偏差に応じて加工用電極もしくは被加工物の位置を調整し、安定な加工状態を実現するように制御する。しかし、加工用電極による被加工物の加工状態は不規則に変動しており、その加工状態を安定に維持するためには、加工用電極をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に制御駆動して位置決めするＸＹＺ駆動装置の高速応答性が重要となる。
【０００４】
そこで、前記ＸＹＺ駆動装置を備えた従来の放電加工装置において、ＸＹＺ駆動装置の高速応答性を向上させるために、加工用電極を電磁石によってラジアル方向とスラスト方向に非接触で駆動する構成とすることにより、加工用電極のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の高速応答性を実現し、その結果、加工の高速化と高精度化を実現できるというものは、既に知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、他の従来例として、パイプ電極の上端部を電極ホルダで掴み、これを加工機の主軸先端部に設けたチャックで保持し、放電加工による消耗で短くなったパイプ電極を電極ホルダごと交換できるようにし、かつ電極ホルダで掴まれるパイプ電極を長くしておくことで長時間の加工に対応できる構成とした放電加工装置も既に知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
さらに、別の従来例に係る放電加工装置では、電極送り手段として、電極供給リールからの細線電極（ワイヤ電極）を２つのローラ（送りローラとクランプローラ）で押圧挟持し、その一方のローラをサーボモータで回転駆動することにより、細線電極を連続供給する構成としたものも既に知られている（例えば、特許文献３参照）。
【０００７】
さらには、この種の別の電極送り手段として、細線電極を２つのローラで挟持し、このローラを手動操作で回転させることにより、細線電極を消耗分だけ送り出す構成としたものも既に知られている（例えば、特許文献４参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】国際公開番号ＷＯ０２／０２４３８９  Ａ１（第１２頁〜第１５頁、第１図，第２図）
【特許文献２】特開平８−２９０３３２号公報（第６頁〜第７頁、図１，図２）
【特許文献３】特開２００１−３８５３２号公報（第５頁、図１）
【特許文献４】欧州特許ＥＰ  ０８２６４５５  Ｂ１（第２頁、図１，図２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来の放電加工装置は以上のように構成されているので、次のような種々の課題があった。
特許文献１の放電加工装置では、加工用電極のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の高速応答性を実現しているが、特許文献１の放電加工装置を使用し、例えば、φ０．２ｍｍ以下のタングステン細線を加工用電極として放電加工を行う場合、その加工に伴いタングステン細線の電極は消耗するため、所望深さの加工を行うためには消耗量を見込んだ長さのタングステン細線を送り出す必要がある。しかし、特許文献１の放電加工装置では、前述の細線を自動的に送り出す機能については何ら言及していない。また、特許文献１の放電加工装置によれば、被加工物の放電加工速度を高速化できるが、細線電極を使用した場合の消耗補正に時間を要することとなり、総加工時間を短縮するためには細線電極の自動供給機構が必要になるという課題があった。
【００１０】
特許文献２の放電加工装置では、細長い低剛性のパイプ電極を長くして使用するため、そのパイプ電極は一種のばねのような状態となり、このようなパイプ電極を電極ホルダごと交換する電極交換機構を特許文献１の放電加工装置に適用した場合、パイプ電極の高応答駆動性が損なわれ、放電加工の高速化と高精度化の十分な効果を期待できないという課題があった。また、新品のパイプ電極は長さが長いために抵抗値も大きいが、放電加工による消耗で次第に短くなるパイプ電極は放電加工に伴って抵抗値も次第に小さくなる。したがって、放電加工時の電気条件が同一設定となっているにもかかわらず、放電加工中に加工電流が次第に大きくなっていく。すなわち、電極交換方式の放電装置で穴加工した場合、パイプ電極が新品の状態では加工穴径は小さいが、そのパイプ電極は放電加工時の消耗に伴って電極抵抗値が小さくなることにより加工穴径が大きくなるため、加工品質を均一に保つことができないという課題があった。
【００１１】
特許文献３の放電加工装置では、細線電極を押圧挟持しているローラがサーボモータで回転駆動されることにより、前記細線電極を自動的に連続供給することはできるが、２つのローラによる細線電極の押し付け力によって細線電極が例えば楕円状に変形する可能性があり、さらに、このような装置構造では、加工中に細線電極を回転させることができないため、前述のように変形した細線電極の断面形状が加工穴形状となるため、真円度が高い穴加工を行うことができないという課題があった。
【００１２】
特許文献４の放電加工装置では、細線電極の送り出しを手動操作によって行うもので、その自動送り出しについては何ら言及しておらず、このため、作業者が常に加工状態を管理して細線電極を消耗分だけ人為的に送り出さなければならず、放電加工装置を全自動化できないという課題がある。さらに、この放電加工装置に適用する細線電極は直径がφ０．１ｍｍとなっているため、それ以下の小径細線を電極とする微細穴放電加工を自動的に連続して行うことができないという課題があった。
【００１３】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、取り扱いが困難な導電性の細線を電極とする放電加工において、細線電極を変形させることなく自動的に短時間で送り出すことができると共に、その送り出し細線電極の座屈や振れ等を防止して真円度の高い穴加工を自動的に連続して効率よく行うことが可能で、かつ消耗による細線電極の交換に要する時間も大幅に短縮できるなど、放電による穴加工時における加工段取り時間の短縮、加工速度および加工精度の向上を図ることができる信頼性の高い放電加工装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この発明に係る放電加工装置は、放電加工用の細線電極をスライド自在に収納した中空棒状のガイド電極と、このガイド電極を定位置に把持するガイド電極把持手段と、前記ガイド電極の内部に圧力流体を噴射供給して当該ガイド電極の内部から前記細線電極を放電加工側に送り出す圧力流体供給手段と、前記ガイド電極から送り出された前記細線電極を自動的に把持する細線電極把持手段とを備え、この細線電極把持手段は、前記ガイド電極から送り出された前記細線電極を把持および把持解除する方向に移動可能に配置された一対の細線把持具と、これらの細線把持具を細線電極把持方向に付勢する把持具付勢手段と、前記細線電極の送り出し方向に沿って移動可能に配置された可動子と、ガイド電極内部への圧力流体供給時に稼働して前記可動子を吸引移動させるソレノイドとを備え、ガイド電極内部への圧力流体供給時に前記ソレノイドで吸引移動させられる前記可動子が前記細線把持具を前記把持具付勢手段の付勢力に抗して細線電極把持解除方向に移動させ、ガイド電極内部への圧力流体供給遮断時に前記細線把持具が前記把持具付勢手段の付勢力で細線電極把持方向に移動するように構成したものである。
【発明の効果】
【００１５】
このことによって、細線電極をスライド自在に収納した中空棒状のガイド電極の内部に圧力流体を噴射供給してガイド電極内部から細線電極を放電加工側に送り出すように構成したので、送り出し前の細線電極を変形させることなくその形状を中空棒状のガイド電極で維持しながら当該ガイド電極の内部に供給された圧力流体の噴射力によってガイド電極内部の細線電極を自動的に短時間で送り出すことができるという効果がある。しかも、前記ガイド電極の内部から送り出された細線電極は細線電極把持手段によって自動的に把持されるので、前記ガイド電極から送り出された細線電極の座屈や振れ等を防止することができるという効果がある。さらに、前述のようにガイド電極内部から送り出された細線電極を自動的に把持する細線電極把持手段を設けたことにより、その細線電極把持手段から被加工物までの細線電極の突き出し量を短くすることができ、その突き出し量が短い細線電極は座屈や振れ等がいっそう生じ難くなり、真円度の高い放電穴加工を実現できるという効果がある。また、ガイド電極内部に収納する細線電極は長さを長くできるので、消耗による細線電極の交換時期を延ばすことができ、このため、細線電極の交換時間をトータル的に短縮することができるという効果がある。以上のことから、放電穴加工に際しての加工段取り時間を短縮できると共に、加工速度および加工精度を向上できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】この発明の実施の形態１による放電加工装置を示す断面図である。
【図２】図１の要部拡大断面図である。
【図３】図２の要部横断面図である。
【図４】（Ａ）はこの発明の実施の形態２によるガイド電極挿入治具を示す正面図、（Ｂ）は（Ａ）の径方向断面図、（Ｃ）は（Ａ）の軸方向断面図である。
【図５】（Ａ）はこの発明の実施の形態３によるガイド電極挿入治具を示す軸方向断面図、（Ｂ）は（Ａ）の径方向断面図である。
【図６】（Ａ）はこの発明の実施の形態５によるガイド電極引き抜き治具を示す正面図、（Ｂ）は（Ａ）の平面図、（Ｃ）は（Ａ）の軸方向断面図である。
【図７】この発明の実施の形態６による放電加工装置の要部を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１による放電加工装置を示す断面図、図２は図１の要部拡大断面図、図３は図２の要部横断面図である。
図１において、放電加工機の主軸ヘッド１には高速応答性の電極駆動装置２が取り付けられている。この電極駆動装置２は、当該装置の本体となるハウジング３と、このハウジング３内の中心部に上下のベアリング４，５を介して回転自在かつ軸方向移動可能に取り付けられた駆動軸６とを備えている。前記ベアリング４，５としてはロータリスライドブッシュなど前記駆動軸６の軸方向（スラスト方向）への移動を許容するものが適用される。前記駆動軸６は中心貫通孔６ａを有しており、この中心貫通孔６ａには中空棒状（パイプ状）のガイド電極７が挿入してある。そのガイド電極７の内部には放電加工用の細線電極８がスライド自在に挿入収納されている。また、前記駆動軸６の上端部には、前記ガイド電極７の上端部を挿抜可能に差し込み把持させるためのガイド電極把持具（ガイド電極把持手段）９が取り付けられている。そのガイド電極把持具９は、前記ガイド電極７の内部に連通する貫通孔９ａを有している。その貫通孔９ａには、前記ガイド電極７の内部にエアまたは液体等の圧力流体を供給して当該ガイド電極７内から前記細線電極８を放電加工側に送り出す流体供給管１０が接続してある。その流体供給管１０はソレノイドバルブ１１を有して流体供給源に接続された圧力流体供給手段となるものである。
【００１８】
前記駆動軸６は電動モータ（回転駆動手段）１２によって回転駆動されるようになっている。その電動モータ１２は、前記駆動軸６の外周に取り付けられたロータ１３と、このロータ１３を囲んで前記ハウジング３の内壁面に固定されたステータ１４とからなっている。また、前記駆動軸６は軸方向駆動手段１５によって軸方向に昇降駆動されるようになっている。その軸方向駆動手段１５は、前記電動モータ１２と適当な間隔を隔てて前記駆動軸６の外周に一体的に嵌着されたターゲットディスク１６と、このターゲットディスク１６を挟む上下位置に配置されて前記ハウジング３の内壁面に固定された上下一対の電磁石１７，１８とから構成されている。ここで、前記電磁石１７，１８は、前記ターゲットディスク１６の昇降移動を許容する間隔で配置固定され、電流値制御装置（図示せず）にそれぞれ接続されている。
【００１９】
前記駆動軸６の下端部には、コレット１９とナット２０により細線電極把持ユニット２１が取り付けられ、この細線電極把持ユニット２１によってガイド電極７の下端側が固定されている。すなわち、駆動軸６の下端部に嵌め込まれたコレット１９によって細線電極把持ユニット（細線電極把持手段）２１のシャンク部２３が把持され、そのコレット１９をナット２０で締め込むことによって、駆動軸６の下端部に細線電極把持ユニット２１が取り付けられている。その取り付け状態において、前記ガイド電極７の下端側は細線電極把持ユニット２１のシャンク部２３を貫通して細線電極把持ユニット２１内に臨んでいる。ここで、前記コレット１９とナット２０は、前記シャンク部２３を介して前記ガイド電極７の下端側を把持するガイド電極把持手段となるものである。
【００２０】
次に、前記細線電極把持ユニット２１の詳細な構成を図２および図３に基づいて説明する。
細線電極把持ユニット２１は、筒状のユニットケース２２と、このユニットケース２２と一体のシャンク部２３の付け根部付近内部に嵌め込まれて前記ガイド電極７を保持するゴムブッシュ２４と、前記ユニットケース２２内にて前記ガイド電極７の下端から送り出された細線電極８を挟み込んで把持する位置に対向配置された一対の細線把持具２５，２６とを備えている。細線把持具２５，２６は、前記ユニットケース２２の径方向外方に向って当該ユニットケース２２の周壁部を緩貫通する突出レバー（細線把持具駆動レバー）２５ａ，２６ａをそれぞれ一体的に有している。また、前記ユニットケース２２の内壁面と前記各細線把持具２５，２６との間には、前記細線把持具２５，２６の相互を突き合わせ方向（細線電極８を把持する方向）に付勢するバネ（把持具付勢手段）２７，２８が介在してある。したがって、前記細線把持具２５，２６とバネ２７，２８は、前記ガイド電極７から送り出された細線電極８を把持する細線電極把持手段を構成している。
【００２１】
ここで、前記細線把持具２５，２６の突出レバー２５ａ，２６ａは、後述する細線電極把持制御ユニット３７が備えた可動子４０の上昇移動時に当該可動子４０で押されることにより、前記細線把持具２５，２６が前記バネ２７，２８の付勢力に抗して開離（細線電極８の把持を解除）するようになっている。前記ユニットケース２２の下端には前記細線把持具２５，２６の下端を摺動自在に当接させるストッパ２９が取り付け固定してある。そのストッパ２９は、細線把持具２５，２６が片側に寄り過ぎないようにするためのもので、細線電極８の中心を駆動軸６の回転中心と一致させるための位置決めの役割を果たす。このようなストッパ２９の下端にはダイス固定具３０が着脱可能に取り付けられ、このダイス固定具３０にダイヤモンドダイス３１がセットネジにより取り付けられている。そのダイヤモンドダイス３１の中心孔部に前記細線電極８が通されるようになっている。ダイヤモンドダイス３１は、細線電極８の回転時に当該細線電極８の芯振れを抑制するためのものである。
【００２２】
また、前記駆動軸６の下部外周には、図１に示すように下側ベアリング５とコレット１９との間で加工電源供給用の給電板３２が嵌着してある。この給電板３２には給電ブラシ３３がコイルバネ３４によって押し付けられている。それらの給電ブラシ３３とコイルバネ３４は加工用電源供給手段となるもので、前記ハウジング３の下端に取り付けられた平面環状の継手部材３５に組み付けセットされて放電加工用電源（図示せず）に接続されている。また、前記継手部材３５の下端にはジグ３６が取り付けられ、このジグ３６の下端部に細線電極把持制御ユニット３７が取り付けられている。
【００２３】
細線電極把持制御ユニット３７は、前記ジグ３６の下端に取り付けられたソレノイドボディ３８と、このソレノイドボディ３８に組み付けられたソレノイド３９と、前記ソレノイドボディ３８の内側に昇降自在に嵌め込まれた平面環状の可動子４０と、前記ソレノイドボディ３８の下端部に配置されてストッパ４２で支持されたターゲット４１とを備えている。ターゲット４１は平面環状の磁性体からなって昇降可能となっている。また、前記可動子４０の内径面は上端側が漸次大径となる擂り鉢状のテーパ面４０ａ（図２参照）に形成されている。そのテーパ面４０ａには前記細線把持具２５，２６の突出レバー２５ａ，２６ａの先端を当接させている。その当接状態は、前記細線把持具２５，２６系統のバネ２７，２８の付勢力によって常時維持される。また、前記可動子４０はコイルバネ４３で常時下降方向に付勢されて前記ターゲット４１上に支持されるようになっている。したがって、前記ストッパ４２は、前記ソレノイド３９による吸引解除後のターゲット４１および可動子４０の落下を防止する。
【００２４】
以上において、前記ガイド電極７としては、外径が約１ｍｍで内径が約０．５ｍｍの銅パイプを使用し、その長さは、駆動軸６にコレット１９を嵌めた長さから１０ｍｍ〜２０ｍｍ程度長いものがよい。このようなガイド電極７内に挿入する細線電極８は、前記ガイド電極７と同等もしくは短い長さにしておくと、放電穴加工に際しての段取り作業が行い易くなる。前記細線把持具２５，２６の対向接合面の上部は、図１，図２に示すようにテーパ状に形成されて前記細線把持具２５，２６間に上方から細線電極８を導入し易くしてある。また、前記細線把持２５，２６およびそれらの突出レバー２５ａ，２６ａ、細線電極把持ユニット２１の構成要素は、鋼材のような導電性材料で形成されている。これにより、前記駆動軸６に供給された加工用電源は細線電極８に給電されるようになっている。
なお、図１に示すように、前記駆動軸６の上端部にはキャップセンサ４４が配置され、このキャップセンサ４４は電流値制御装置（図示せず）に接続されている。その電流値制御装置には、前記電動モータ１５、前記軸方向駆動手段１６系統の電磁石１７，１８、給電ブラシ３３系統の放電加工用電源（図示せず）、細線電極把持制御ユニット３７系統のソレノイド３９のそれぞれが接続されており、それらが前記電流値制御装置によって関連応答制御されるようになっている。
【００２５】
次に動作について説明する。
上下の電磁石１７，１８のそれぞれが通電されると、電磁吸引力が発生することにより、前記電磁石１７，１８は両者間のターゲットディスク１６を引き合う。このとき、電流値制御装置によって、前記電磁石１７，１８のそれぞれに供給する電流値が適切に制御される。その電流値制御は、一方の電磁石１７と他方の電磁石１８とでは、それぞれに供給する電流値に差を生じさせることにより行われる。その電流値の差を大きくすることで前記２つの電磁石１７，１８の電磁吸引力に大きな差が生じる。このため、電磁石１７，１８間のターゲットディスク１６は、電磁吸引力が大きな方の電磁石１７または電磁石１８に向って上昇移動または下降移動する。このような電流値制御を高速で行うことによって、前記ターゲットディスク１６が上昇方向または下降方向に高速応答動作し、そのターゲットディスク１６と一体に駆動軸６および細線電極把持ユニット２１が同一方向に高速応答駆動される。また、電動モータ１２を起動させることで駆動軸６と細線電極把持ユニット２１が一体に高速駆動される。以上のようにして、電極駆動装置２は、前記細線電極把持ユニット２１の上下方向への高速応答駆動と当該細線電極把持ユニット２１の高速回転駆動を実現している。
【００２６】
次に、ガイド電極７内に挿入収納された細線電極８の送り出し動作について説明する。
細線電極８を送り出すには、まず、細線把持具２５，２６による細線電極８の把持を解除する。その把持解除は、細線電極把持制御ユニット３７のソレノイド３９に給電することで行われる。すなわち、ソレノイド３９が給電されると、当該ソレノイド３９でターゲット４１が吸引されて上昇移動し、そのターゲット４１が可動子４０を押し上げる。このとき、ターゲット４０のテーパ面４０ａによって、細線把持具２５，２６のそれぞれの突出レバー２５ａ，２６ａがバネ２７，２８による付勢力に抗してすれ違い方向（ユニットケース２２の内部）に押し込まれる。その押し込みにより、前記細線把持具２５，２６相互のクランプ面が開くことで、それらの細線把持具２５，２６による細線電極８の把持が解除される。
【００２７】
その把持解除状態において、流体供給管１０系統のソレノイドバルブ１１を開動させることにより、流体供給管１０からガイド電極７内にエア等の圧力流体が噴射供給され、その噴射力によってガイド電極７内の細線電極８が押し出される。なお、前記ガイド電極７内への圧力流体の噴射は、連続的でもよいが、細線電極８の送り出し量を微調整するために間欠的に行ってもよい。また、上述のような圧力流体による細線電極８の押し出し時において、電極駆動装置２により駆動軸６および細線電極把持ユニット２１の高速応答駆動を行うと、細線電極８とガイド電極７内面との摩擦による引っ掛かりなどが解消され、さらに細線電極８を送り出し易くなる。
【００２８】
そして、前記圧力流体によりガイド電極７の先端から押し出された細線電極８は、ダイヤモンドダイス３１から突き出す。前記圧力流体の噴射を停止すると、細線電極８の送り出し動作も停止する。その送り出し停止後の細線電極８は、細線把持具２５，２６によって自動的にクランプされる。すなわち、細線電極８の送り出し動作が停止すると、その時点で細線電極把持制御ユニット３７系統のソレノイド３９への電流供給が遮断されることにより、ソレノイド３９によるターゲット４１の電磁石吸引力が零となり、コイルバネ４３の付勢力で可動子４０およびターゲット４１が押し下げられる。
前記可動子４０が押し下げられると、当該可動子４０のテーパ面４０ａに対する細線把持具２５，２６の突出レバー２５ａ，２６ａの当接点が前記テーパ面４０ａの小径側から大径側に移行することにより、そのテーパ面４０ａによる前記突出レバー２５ａ，２６ａへの押圧力が漸減し、これに伴って細線把持具２５，２６の相互が付勢バネ２７，２８の付勢力で閉じ動作し、ガイド電極７内から送り出された細線電極８が前記細線把持具２５，２６の相互間で再度把持される。
【００２９】
前述のように細線電極８の把持解除、圧力流体の噴射、細線電極８の押し出し、圧力流体の噴射停止、細線電極８の再度把持の動作を繰り返すと、やがて細線電極８は、その先に置かれた被加工物の表面に接触する。このとき、放電加工装置が標準装備している接触検出機能（接触検出用センサ）によって、被加工物の表面に対する細線電極８の接触が検出され、その接触検出信号が細線送り制御装置（図示せず）に送られるようになっている。その細線送り制御装置は、前記接触検出信号を入力して前記ソレノイドバルブ１１を閉じる。これにより、ガイド電極７内への流体供給が遮断されるため、細線電極８の送り出し動作が停止する。このとき、前述の細線電極８の送り動作開始前の被加工物までの距離によって細線電極８の送り出し量を調整できる。細線電極８の送り出し動作完了後、駆動軸６と共に細線電極把持ユニット２１が前述のように高速回転駆動されながら前記細線電極８による被加工物の放電穴加工が行われる。
【００３０】
なお、細線電極８の送り出し動作のために細線電極把持ユニット２１が回転を停止して細線把持具２５，２６の突出レバー２５ａ，２６ａが可動子４０のテーパ面４０ａ上における任意の位置で停止しても、細線電極把持制御ユニット３７系統のソレノイド３９とターゲット４１および可動子４０のそれぞれが平面環状であるため、前述したような細線電極８のクランプおよびクランプ解除を行うための細線把持具２５，２６の突出レバー２５ａ，２６ａを動作させることができる。
【００３１】
次に、細線電極８の消耗時の交換について説明する。
まず、細線電極把持ユニット２１のユニットケース２２からダイス固定具３０をストッパ２９ともども取り外す。次いで、細線電極８をガイド電極７ごと取り外して交換するが、この場合、細線電極把持制御ユニット３７系統のソレノイド３９によるターゲット４１の吸引時（細線把持具２５，２６の細線電極８のクランプ解除時）以上に細線把持具２５，２６の相互を広げる必要がある。そこで、前記ソレノイド３９の吸引によるターゲット４１の上昇ストローク以上に可動子４０だけを手動で持ち上げる。これにより、前記細線把持具２５，２６相互の対向面間がガイド電極７を通過させ得る間隔に広がるので、前記細線電極８ともどもガイド電極７を引き抜いて新たなものと交換する。その交換に際しては、前述のように可動子４０を持ち上げて細線把持具２５，２６間を広げた状態で、新たな細線電極８が内部に挿入されたガイド電極７を、前記細線把持具２５，２６間の下方からシャンク部２３内のゴムブッシュ２４およびシャンク部２３の中心孔部を介して駆動軸６の中心貫通孔６ａ内に挿入し、ガイド電極７の上端部をガイド電極把持具９の貫通孔９ａに差し込み接続する。その後、前記可動子４０の持ち上げを解除し、前記ユニットケース２２の下端部にダイス固定具３０をストッパ２９ともども組み付けることで前記交換作業が終了する。
【００３２】
以上説明した実施の形態１によれば、細線電極８をスライド自在に収納した中空棒状のガイド電極７の内部に圧力流体を噴射させるように構成したので、前記ガイド電極７により前記細線電極８の屈曲変形を防止しながら前記圧力流体の噴射力によって前記ガイド電極７内部の細線電極８を放電加工側に自動的に短時間で送り出すことができるという効果がある。このような細線電極８の送り出し時には、細線電極把持制御ユニット３７系統のソレノイド３９が励磁（稼働）され、これに関連応答して圧力流体供給系統のソレノイドバルブ１１が開動するように制御されることにより、細線把持具２５，２６による細線電極８の把持が解除された状態でガイド電極７内部に圧力流体が噴射されるので、その噴射力による細線電極８の自動的な送り出しを実現できるという効果がある。そして、ガイド電極７内部から送り出された細線電極８がダイヤモンドダイス３１の中心孔部を通って被加工物の表面に接触すると、その接触を検出するセンサ信号によって圧力流体供給系統のソレノイドバルブ１１が閉じ、これに関連応答して細線電極把持制御ユニット３７系統のソレノイド３９が励磁解除（稼働停止）されることにより、可動子４０がコイルバネ４３の付勢力で下降し、これに伴い細線把持具２５，２６がバネ２７，２８の付勢力で閉じて前記ガイド電極７内部からの送り出し細線電極８を確実に把持するため、その送り出し細線電極８の座屈や振れ等を防止でき、真円度の高い放電穴加工を行うことができるという効果がある。
【００３３】
また、上記実施の形態１によれば、細線電極８の送り出し時に軸方向駆動手段１５の上側電磁石１７と下側電磁石１８が交互に励磁されることにより、ターゲットディスク１６を介して駆動軸６と一体にガイド電極７を軸方向に微小振動させることができ、その微小振動により、送り出し中の細線電極８がガイド電極７内壁との摩擦などで引っ掛かるようなことがなく、このため、前記細線電極８の送り出しを安定して速やかに遂行させることができるという効果がある。さらに、前記ガイド電極７の内部から送り出された細線電極８を細線把持具２５，２６によって駆動軸６の回転中心と同一中心となるように把持することができ、この状態で前記細線電極８を駆動軸６と一体に高速回転駆動することができるため、真円精度が高い放電穴加工を実現できるという効果がある。
【００３４】
さらに、上記実施の形態１によれば、細線電極把持ユニット２１によって、この細線電極把持ユニット２１から被加工物までの細線電極８の突き出し量を短くでき、その突き出し量が短い細線電極８は座屈や振れ等がいっそう生じ難くなり、そのため、高速応答電極駆動装置２による放電穴加工時に細線電極８の高速応答駆動が損なわれるようなことがなく、いっそう真円度の高い高速・高精度の放電穴加工を実現できるという効果がある。また、前記ガイド電極７内に収納する細線電極８は長さを長くできるので、細線電極８の消耗による当該細線電極８の交換時期を延ばすことができ、このため、細線電極の交換時間をトータル的に短縮できるという効果がある。また、前記細線電極８の交換に際しては、可動子４０を手動でコイルバネ４３の付勢力に抗して持ち上げると、前記可動子４０のテーパ面４０ａで細線把持具２５，２６の突出レバー２５ａ，２６ａが押され、前記細線把持具２５，２６がバネ２７，２８の付勢力に抗して大きく開くことができるので、前記細線電極８をガイド電極７ともども引き抜いて容易に交換することができるという効果がある。
【００３５】
さらに、上記実施の形態１によれば、ガイド電極７が挿入された駆動軸６と前記ガイド電極７および細線電極把持ユニット２１とが同期回転駆動されるように構成したので、前記細線電極把持ユニット２１で把持された細線電極８の中心と駆動軸６の回転中心とを一致させた状態で駆動軸６細線電極８とを一体に高速回転駆動させることができ、高速応答電極駆動装置２による放電穴加工時において、前記細線電極８の高速応答駆動が損なわれるようなことがなく、高速・高精度の放電穴加工を実現できるという効果がある。
【００３６】
さらに、上記実施の形態１によれば、ガイド電極７内部への圧力流体供給時に細線電極把持ユニット２１が細線電極８の把持を解除する方向に応答動作し、かつガイド電極７内部への圧力流体供給遮断時には前記細線電極把持ユニット２１が細線電極８を把持する方向に応答動作するよう構成したので、前記ガイド電極７内部に供給された圧力流体の噴射力による細線電極８の自動的な送り出しをスムーズに遂行させることができ、前記細線電極８の自動送り出しと、これに関連した応答動作による細線電極８の自動的な把持・把持解除を実現できるという効果がある。
【００３７】
さらに、上記実施の形態１によれば、前述のように、ガイド電極７内部から送り出された細線電極８を把持および把持解除する方向に配置された一対の細線把持具２５，２６が、ガイド電極７内部への圧力流体供給時に稼働するソレノイド３９で吸引移動させられる可動子４０によって、前記細線電極８の把持を解除する方向に駆動され、かつガイド電極７内部への圧力流体供給遮断時には前記細線把持具２５，２６が把持具付勢手段（バネ）２７，２８の付勢力で細線電極８を把持する方向に駆動されるように構成したことで、ガイド電極７内部に対する圧力流体の供給時およびその供給遮断時に前記細線把持具２５，２６を瞬時に応答動作させることができるという効果がある。
【００３８】
さらに、上記実施の形態１によれば、細線電極把持ユニット２１の細線把持具２５，２６で把持された細線電極８に対し前記細線電極把持ユニット２１を介して放電加工用電源を供給するように構成したので、細線電極８に対する加工用電源の給電位置から細線電極８先端までの細線電極８の線長が一定となり、これにより細線電極８の抵抗値が一定となるため、穴加工中の放電電流にばらつきがなくなって、安定した放電穴加工を実現でき、その加工精度および加工品質が大幅に向上するという効果がある。
【００３９】
さらに、この発明によれば、ガイド電極７内部から細線電極８の送り出し中に前述のように駆動軸６を軸方向へ微小振動させることができるように構成したので、その微小振動により送り出し中の細線電極８がガイド電極７内壁との摩擦などで引っ掛かるようなことがなく、細線電極８の自動送り出しを安定して速やかに遂行させることができるという効果がある。
【００４０】
実施の形態２．
図４（Ａ）はこの発明の実施の形態２によるガイド電極挿入治具を示す正面図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）の径方向断面図、図４（Ｃ）は図４（Ａ）の軸方向断面図である。
この実施の形態２によるガイド電極挿入治具５０は、前記実施の形態１による放電加工装置の細線電極把持ユニット２１に対して細線電極８およびガイド電極７を装填する場合に使用するものである。すなわち、前記実施の形態１の放電加工装置においては、ガイド電極７を、細線電極把持ユニット２１内のゴムブッシュ２４に通し、さらに、駆動軸６の中心貫通孔６ａに挿入して上部のガイド電極把持具９に差し込み保持させるためには前記ガイド電極７を押し込む必要があり、その押し込み作業を容易に行うことを目的として、この実施の形態２によるガイド電極挿入治具５０が使用される。
【００４１】
そのガイド電極挿入治具５０は、挿入対象のガイド電極７の直径よりも、例えば、０．１１ｍｍ〜０．５ｍｍ程度小径の円形中空棒状をなし、その一方端から約１０ｍｍ程度の少なくとも２条の平行する軸方向溝５１が切り込み加工され、この軸方向溝５１の基部には円形穴５２が形成されている。このような中空棒状のガイド電極挿入治具５０における他方端寄りの内部には盲栓５３が一体的に設けてある。
【００４２】
次に動作について説明する。
細線電極８を収納したガイド電極７をガイド電極挿入治具５０の内部に、その軸方向溝５１側の開口部から押し込む。このとき、前記ガイド電極７は、その外径がガイド電極挿入治具５０の内径より大きいものであっても、ガイド電極挿入治具５０には前述のように軸方向溝５１と円形穴５２が設けられているため、そのガイド電極挿入治具５０によってガイド電極８をチャッキングすることができる。そこで、前記実施の形態１の場合と同じ要領で細線電極把持ユニット２１内の細線把持具２５，２６を広げ、この状態で下方からゴムブッシュ２４を介して駆動軸６の中心貫通孔６ａに前記ガイド電極挿入治具５０をガイド電極７ともども押し込むことにより、前記ガイド電極挿入治具５０から突出しているガイド電極７を上部のガイド電極把持具９に差し込む。その差し込み後に前記ガイド電極挿入治具５０を引き抜くことでガイド電極７の取り付けセットが終了する。
【００４３】
取り付けセットされた細線電極８を放電加工により消耗時に交換する場合にはガイド電極７を取り外す必要がある。この場合はガイド電極挿入治具５０だけを軸方向溝５１側の開口端部から細線電極把持ユニット２１内に押し込むことで、前記ガイド電極挿入治具５０の押し込み先端内部をガイド電極７に嵌め込んだ後、前記ガイド電極挿入治具５０を引き出すことにより、ガイド電極７を細線電極８ともども引き抜くことができる。なお、前記ガイド電極挿入治具５０内の盲栓５３は、ガイド電極挿入治具５０の内径よりも小さい外径のガイド電極７を挿入する場合に当該ガイド電極７の挿入先端を当接支承させるストッパとして機能する。
【００４４】
以上説明した実施の形態２によれば、前記実施の形態１による放電加工装置の細線電極把持ユニット２１および駆動軸６内に対するガイド電極７の挿入作業および細線電極８の消耗による当該細線電極８の交換に際しての前記ガイド電極７の引き抜き作業を容易に行うことができるという効果がある。特に、ガイド電極挿入治具５０には軸方向溝５１を設けたことにより、前記ガイド電極挿入治具５０の内径よりも大きな外径のガイド電極７であっても、そのガイド電極７をガイド電極挿入治具５０内に押し込んでチャッキングさせることができるという効果がある。また、前記ガイド電極挿入治具５０内には盲栓５３が設けられているので、そのガイド電極挿入治具５０の内径よりも小さな外径のガイド電極７であっても、このガイド電極７をガイド電極挿入治具５０内に挿入した状態で、そのガイド電極挿入治具５０により前述のような細線電極把持ユニット２１および駆動軸６内に対するガイド電極７の挿入作業および引き抜き作業を容易に行うことができるという効果がある。
【００４５】
実施の形態３．
図５（Ａ）はこの発明の実施の形態３によるガイド電極挿入治具を示す軸方向断面図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）の径方向断面図である。
この実施の形態３によるガイド電極挿入治具１００は、前記実施の形態１による放電加工装置の細線電極把持ユニット２１に対して細線電極８およびガイド電極７を装着する場合に使用するものである。すなわち、前記実施の形態１の放電加工装置においては、ガイド電極７を細線電極把持ユニット２１内のゴムブッシュ２４に通し、さらに、駆動軸６の中心貫通孔６ａに挿入して上部のガイド電極把持具９に差し込み保持させるためには前記ガイド電極７を押し込む必要があり、その押し込み作業を容易に行うことを目的として、この実施の形態３によるガイド電極挿入治具１００が使用される。
【００４６】
そのガイド電極挿入治具１００は、挿入対象のガイド電極７の直径と同程度、すなわちガイド電極７の内部に挿入されない大きさの直径を有する円形中実棒状体からなり、この棒状体の外周中途部に対してその直径よりも径大の円形中実状をなすブロック１０１を一体的に取り付けた構成となっている。
そして、前記ガイド電極挿入治具１００に対するブロック１０１の取り付け位置は、ガイド電極７の下端に対する前記ガイド電極挿入治具１００の突き当て先端から例えば約１４ｍｍ程度の位置に設定される。すなわち、細線把持具２５，２６の下方から駆動軸６の中心貫通孔６ａにガイド電極７を押し込む過程において、前記ガイド電極挿入治具１００の先端をガイド電極７の下端に突き当ててガイド電極７を押し込むことにより、図１に示すように、上部のガイド電極把持具９の貫通孔９ａにガイド電極７の上端部が差し込み保持された時点で前記ブロック１０１が細線電極把持ユニット２１のストッパ２９に当接してガイド電極７の押し込み量が最適となるように前記ブロック１０１の取り付け位置が設定されている。また、そのブロック１０１は、前記ガイド電極挿入治具１００の例えば３倍程度の直径の円形中実状に形成されている。
【００４７】
次に動作について説明する。
前記実施の形態１の細線電極８交換時の場合と同じ要領でダイス固定具３０を取り外した細線電極把持ユニット２１内の細線把持具２５，２６を広げ、この状態で下方からゴムブッシュ２４を介して駆動軸６の中心貫通孔６ａにガイド電極７を押し込む。このとき、ガイド電極７を細線把持具２５，２６よりも内部に完全に押し込むために、前記ガイド電極挿入治具１００を使用する。この場合、ガイド電極挿入治具１００の先端をガイド電極７の下端に突き当てて前記中心貫通孔６ａに押し込む。これにより、前記ガイド電極挿入治具１００のブロック１０１が細線電極把持ユニット２１のストッパ２９に当接すると、前記中心貫通孔６ａに押し込まれたガイド電極７の上端部が上部のガイド電極把持具９に差し込み保持されるので、前記ブロック１０１が前記ストッパ２９に当接した時点で前記ガイド電極挿入治具１００を引き抜くことにより、前記ガイド電極７の取り付けセットが終了する。
【００４８】
そして、前記ガイド電極７内に挿入セットされた細線電極８を放電加工による消耗時に交換する場合には前記ガイド電極７を取り外す必要がある。この場合、前記実施の形態２によるガイド電極挿入治具５０を使用してもよいが、そのガイド電極挿入治具５０を改良した後述する実施の形態５のガイド電極引き抜き治具を使用すれば前記ガイド電極７の引き抜き交換をいっそう容易に行うことができる。
【００４９】
以上説明した実施の形態３によれば、ガイド電極７の内部に挿入できない直径の円形中実棒状体からなるガイド電極挿入治具１００の外周中途部に、その直径よりも径大の円形中実状をなすブロック１０１を一体的に設け、駆動軸６の中心貫通孔６ａに挿入過程のガイド電極７の下端に前記ガイド電極挿入治具１００の先端を突き当ててガイド電極７を押し込むことにより前記ブロック１０１が細線電極把持ユニット２１のストッパ２９に当接することで前記ガイド電極７の上端部が上部のガイド電極把持具９に差し込み保持されるように構成したので、前記ガイド電極挿入治具１００によるガイド電極７の押し込み時に前記ブロック１０１を前記ストッパ２９に当て止めするだけで、ガイド電極７の挿入作業を作業者の熟練度によらず容易に、しかもガイド電極７の押し込み過不足が生じることなく均一に行うことができるという効果がある。
【００５０】
実施の形態４．
前記実施の形態３では、ガイド電極挿入治具１００にブロック１０１を一体的に取り付けたが、そのブロック１０１は前記ガイド電極挿入治具１００の外周の螺合させてもよい。この場合、駆動軸６の中心貫通孔６ａに対する挿入過程のガイド電極７の下端にガイド電極挿入治具１００の先端を突き当てて押し込むことにより、上部のガイド電極把持具９にガイド電極７の上端部が差し込み保持された時点で細線電極把持ユニット２１のストッパ２９に前記ブロック１０１が確実に当接するように、そのブロック１０１の位置調整を容易に行うことができ、前記ブロック１０１を備えたガイド電極挿入治具１００の製作を容易に行うことができるという効果がある。
【００５１】
実施の形態５．
図６（Ａ）はこの発明の実施の形態５によるガイド電極引き抜き治具を示す正面図、図６（Ｂ）は図６（Ａ）の平面図、図６（Ｃ）は図６（Ａ）の軸方向断面図である。
この実施の形態５によるガイド電極引き抜き治具１０２は、外側の円形中空棒（以下、外側中空棒という）１０３と、この外側中空棒１０３内に軸方向へ摺動自在に挿入された内側の円形中空棒（以下、内側中空棒という）１０４とからなっている。ここで、前記内側中空棒１０４は、その内径が引き抜き対象のガイド電極７の直径よりも、例えば０．１１ｍｍ〜０．５ｍｍ程度小径に形成されている。また、前記外側中空棒１０３は、その内径が前記内側中空棒１０４の直径（外径）よりも、例えば０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ程度大径に形成されている。
【００５２】
そして、前記内側中空棒１０４は、その一方端から約１０ｍｍ程度の少なくとも２条の平行する軸方向溝１０５が切り込み形成され、さらに、その軸方向溝１０５の基部円形穴１０５ａから先端方向に向って前記軸方向溝１０５が幅狭くなるように曲げ加工されている。また、前記内側中空棒１０４の先端側には、その軸方向溝１０５が平行するネック部１０６が形成してある。このネック部１０６は、前記軸方向溝１０５の基部円形穴１０５ａから先端方向に向って６ｍｍ程度の位置より約１．５ｍｍ程度の長さで平行するように形成されている。さらに、前記ネック部１０６の先端側には前記軸方向溝１０５が広がるように拡開部１０７が曲げ加工されている。その拡開部１０７は先端側に向って前記外側中空棒１０３の内径よりも漸次大径となるテーパ状に形成されている。
【００５３】
次に動作について説明する。
図１および図２に示すガイド電極７の引き抜きに際しては、まず、前記実施の形態１の細線電極８交換時の場合と同じ要領でダイス固定具３０を取り外した細線電極把持ユニット２１内の細線把持具２５，２６を広げ、その細線把持具２５，２６間に下方からガイド電極引き抜き治具１０２を押し込むと、細線電極把持ユニット２１内のゴムブッシュ２４に保持されているガイド電極７の下端側が前記ガイド電極引き抜き治具１０２の内側中空棒１０４のネック部１０６内に嵌め込まれて前記内側中空棒１０４の先端が細線電極把持ユニット２１のシャンク部２３の下面に当接する。この状態で前記ガイド電極引き抜き治具１０２の外側中空棒１０３をさらに押し込むと、その外側中空棒１０３内に前記内側中空棒１０４の拡開部１０７が嵌め込まれ、その拡開部１０７が縮径方向（軸方向溝１０５が狭くなる方向）に動作して前記ネック部１０６が縮径動作することにより、そのネック部１０６内に嵌め込まれたガイド電極７の下端部がチャッキングされる。そのチャッキング状態では、内側中空棒１０４の拡開部１０７が縮径して外側中空棒１０３内に圧入保持された状態となるので、この状態で前記ガイド電極引き抜き治具１０２を引き出すことにより、前記ガイド電極７を細線電極８ともども引き抜くことができる。
【００５４】
以上説明した実施の形態５によれば、軸方向溝１０５を有する内側中空棒１０４の一方端側に前記軸方向溝１０５を介して平行するネック部１０６を一体形成し、そのネック部１０６の先端側に径方向に拡縮可能な拡開部１０７を一体形成し、前記内側中空棒１０４が外側中空棒１０３内に摺動自在に挿入し、その外側中空棒１０３を前記内側中空棒１０４に対して軸方向に移動させることにより前記拡開部１０７を介して前記ネック部１０６が径方向に拡縮動作するガイド電極引き抜き治具１０２を構成したので、前記内側中空棒１０４内の少なくとも前記ネック部１０６内にガイド電極７の下端部が嵌め込まれた状態で前記外側中空棒１０３を押し込んだ後にガイド電極引き抜き治具１０２を引き出すだけでガイド電極７を細線電極８ともども引き抜くことができ、このため、前記実施の形態１による放電加工装置において、細線電極８の消耗による当該細線電極８の交換に際してのガイド電極７の引き抜き作業を容易かつスムーズに引き抜くことができるという効果がある。
【００５５】
実施の形態６．
図７はこの発明の実施の形態６による放電加工装置の要部を示す断面図であり、図１〜図３と同一の構成要素には同一符号を付して重複説明を省略する。
この実施の形態６では、ガイド電極７から送り出された細線電極８を挟み込んで把持する細線電極把持手段として、前記送り出し細線電極８を挟む位置に永久磁石４５と磁性の細線把持具４６とを対向配置したものである。前記永久磁石４５は細線電極把持ユニット２１のユニットケース２２内壁面に固定されている。前記細線把持具４６は、前記ユニットケース２２下端のストッパ２９上で前記永久磁石４５に接離する方向へ移動可能に保持されている。また、前記細線把持具４６は、この背面に接続されて前記ユニットケース２２の内壁面との間に介在させたバックスプリング（把持具付勢手段）４７により、前記永久磁石４５に接合する方向に付勢されている。さらに、高速応答電極駆動装置２におけるジグ３６の下側には、前記細線把持具４６との間に細隙（約２ｍｍ程度）ができるようにソレノイド４８が配置され、そのソレノイドボディ３８が前記ジグ３６の下端に取り付け固定されている。前記ソレノイド４８は励磁時に発生する磁気吸引力により、前記細線把持具４６をバックスプリング４７の付勢力に抗して前記永久磁石４５から引き離すものである。
【００５６】
次に動作について説明する。
ガイド電極７内部への圧力流体供給時（図１中のソレノイドバルブ１１が開の時）にはソレノイド４８が応答励磁され、このとき発生する磁気吸引力によって細線把持具４６がバックスプリング４７の付勢力に抗して永久磁石４５から引き離される。この状態で前記圧力流体によるガイド電極７内部からの細線電極８の送り出しが行われる。そして、ガイド電極７内部への圧力流体供給遮断、すなわち前記ソレノイドバルブ１１の閉動に伴って前記ソレノイド４８の励磁が遮断される。すると、永久磁石４５の磁力と細線把持具４６のバックスプリング４７の付勢力とによって、細線把持具４６が永久磁石４５に吸着されることにより、前記ガイド電極７から送り出された細線電極８が前記永久磁石４５と細線把持具４６との間に挟み込まれて把持される。
【００５７】
以上説明した実施の形態６によれば、ガイド電極７内部からの送り出し細線電極８を挟む位置に永久磁石４５と細線把持具４６を対向配置し、その配置位置において、前記永久磁石４５は固定とし、前記細線把持具４６は前記永久磁石４５に対する接離方向に移動可能とし、前記ガイド電極７内部への圧力流体供給時に応答稼働するソレノイド４８の磁気吸引力で前記細線把持具４６を永久磁石４５から引き離すように構成したので、ガイド電極７内に供給された圧力流体の噴射力による細線電極８の送り出し時には前記永久磁石４５と細線把持具４６との間が開いた状態となり、このため、前記圧力流体の噴射力による細線電極８のスムーズな自動送り出しを実現できるという効果がある。また、前記ガイド電極７内部への圧力流体供給遮断時には、これに応答して前記ソレノイド４８が稼働停止し、永久磁石４５が細線把持具４６を吸着するので、前記ガイド電極７内部から送り出された細線電極８を前記永久磁石４５と細線把持具４６とで確実に把持することができるという効果がある。しかも、前記ソレノイド４８の稼働停止時には、前記細線把持具４６をバックスプリング４７の付勢力によって永久磁石４５に確実に吸着させることができるとともに、前記バックスプリング４７の付勢力と永久磁石４５の磁力とによって細線電極８を強力に把持することができるという効果がある。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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