(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品供給位置と電子部品装着位置との間でＸ−Ｙ方向に移動可能であるヘッドユニットに、Ｚ方向移動自在、且つθ軸回りに回転自在に支持されると共に、その先端で電子部品を真空吸着する吸着ノズルを着脱自在に支持するスライドシャフトと、このスライドシャフトに配管路を介して連結され、前記スライドシャフト先端から空気を吸排する吸排気手段と、前記スライドシャフト先端に取り付けられる吸着ノズルにより吸着される電子部品の位置を検出する画像認識装置と、を有してなる電子部品搭載機における画像認識装置の清掃方法において、
斜め下方と水平方向と鉛直下方とに圧縮空気を吐出するための複数の吐出口を有する清掃用ノズルを前記吸着ノズルに代えて前記スライドシャフト先端に取付け、
前記清掃用ノズルを前記画像認識装置へ接近させて、前記吸排気手段により供給される圧縮空気を前記清掃用ノズルの複数の吐出口から前記画像認識装置に対して前記斜め下方と前記水平方向と前記鉛直下方とに吐出させて、前記画像認識装置をブロー清掃することを特徴とする画像認識装置の清掃方法。
【請求項２】
請求項１において、前記清掃用ノズルを前記θ軸回りに回転させながら、前記ブロー清掃を行うことを特徴とする画像認識装置の清掃方法。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記画像認識装置は、略水平に設けられたカバーガラスと、このカバーガラスの上方の周囲を囲む壁体と、を有してなり、前記清掃用ノズルを上方から前記壁体の内側に降下させて、前記カバーガラスに接近させ、前記清掃用ノズルと前記壁体とが一定の間隔を保つ範囲内で、前記ヘッドユニットを前記Ｘ−Ｙ方向に移動させながら、前記カバーガラス上面をブロー清掃することを特徴とする画像認識装置の清掃方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、前記ブロー清掃を一定の時間をおいて、自動的に行うことを特徴とする画像認識装置の清掃方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記電子部品搭載機の電源スイッチの操作に連動して、前記ブロー清掃が行われるようにしたことを特徴とする画像認識装置の清掃方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品搭載機における画像認識装置の清掃方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電子部品を吸着ノズルにより真空吸着して基板上の所定の位置まで運搬する電子部品搭載機が広く使用されている。
【０００３】
この場合、吸着ノズルの位置と、該吸着ノズルに吸着された電子部品との相対的位置関係を画像認識装置が検出し、前記相対的位置関係を補正して電子部品を前記基板に搭載するようにしている。
【０００４】
前記画像認識装置は、略正方形の板状体で略水平に配置されたカバーガラスと、このカバーガラスの下方に配置され、上方を監視するカメラとを有し、前記カバーガラス上方の範囲は壁体に囲まれ、この壁体の内側に複数の照明用光源が配置され、前記カバーガラスの上方に運搬された前記電子部品を照らし出し、カメラがカバーガラスを介して下方から電子部品の像を認識するようにされている。
【０００５】
カメラが電子部品の像を正確に捉えるためには、カバーガラスが常に透明度の高い状態に保たれていることが望ましいが、時間の経過と共にカバーガラスの上面には次第に埃が堆積し、この堆積した埃を放置すると、前記カメラが電子部品の位置を認識する精度が低下したり、認識することができなくなり、電子部品が基板上に正しく搭載されない場合がある。
【０００６】
このような前記カメラの認識精度の低下を防止するため、従来、作業者が定期的に前記カバーガラスの上面を手作業により清掃していたが、カバーガラスは高価であると共に壁体の内側に位置しているので、カバーガラスの清掃は慎重に、且つ、狭い壁体内で行う必要があり、清掃作業は容易ではなかった。又、埃の堆積状態が外部から観察され難いため、堆積した埃が放置されて、前記カメラの認識エラーが発生してしまうという問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
これに対して、画像認識装置の近傍にエアブロー装置を設置して、このエアブロー装置が自動的にブロー清掃を行うようにされた電子部品搭載機が知られている。
【０００８】
このようなブロー清掃によれば、カバーガラスを破損させることなく、画像認識装置の清掃を容易に行うことができるが、電子部品搭載機は電子部品搭載作業中、一定の範囲で移動するので、このように移動する電子部品搭載機と干渉しないように前記エアブロー装置を設置する必要があり、電子部品搭載機の形状により設置スペースが制約されて、カバーガラス上面の一部がブローされず、十分なブロー清掃を行うことができない場合があった。
【０００９】
又、専用のエアブロー装置を設置すると、電子部品搭載機のコストが増加するという問題がある。
【００１０】
本発明は、このような問題点に鑑みて、電子部品搭載機の形状によらず、カバーガラス上面に堆積する埃を十分に、且つ低コストでブロー清掃することができる画像認識装置の清掃方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、請求項１のように、電子部品供給部と電子部品装着部との間でＸ−Ｙ方向に移動可能であるヘッドユニットに、Ｚ方向移動自在、且つθ軸回りに回転自在に支持されると共に、その先端で電子部品を真空吸着する吸着ノズルを着脱自在に支持するスライドシャフトと、このスライドシャフトに配管路を介して連結され、前記スライドシャフト先端から空気を吸排する吸排気手段と、前記スライドシャフト先端に取り付けられる吸着ノズルにより吸着される電子部品の位置を検出する画像認識装置と、を有してなる電子部品搭載機における画像認識装置の清掃方法において、前記スライドシャフト先端の位置を、前記画像認識装置へ接近させて、該スライドシャフト先端から前記吸排気手段により供給される圧縮空気を前記画像認識装置に対して吐出させて、前記画像認識装置をブロー清掃することを特徴とする画像認識装置の清掃方法により、上記目的を達成するものである。
【００１２】
又、前記スライドシャフト先端に清掃用ノズルを取付け、この清掃用ノズルの吐出口から前記圧縮空気を吐出させて、前記ブロー清掃を行うようにしてもよい。
【００１３】
更に、前記清掃用ノズルの吐出口から前記圧縮空気を斜め下方、略水平方向、略鉛直下方の少なくとも一つの方向に吐出させて、前記ブロー清掃を行うようにしてもよい。
【００１４】
更に又、前記スライドシャフトを前記θ軸回りに回転させながら、前記ブロー清掃を行うようにしてもよい。
【００１５】
又、前記画像認識装置は、略水平に設けられたカバーガラスと、このカバーガラスの上方の周囲を囲む壁体と、を有してなり、前記スライドシャフト又は前記清掃用ノズルを上方から前記壁体の内側に降下させて、前記カバーガラスに接近させ、前記スライドシャフト又は前記清掃用ノズルと前記壁体とが一定の間隔を保つ範囲内で、前記ヘッドユニットを前記Ｘ−Ｙ方向に移動させながら、前記カバーガラス上面をブロー清掃するようにしてもよい。
【００１６】
更に、前記ブロー清掃を一定の時間をおいて、自動的に行うようにしてもよい。
【００１７】
更に又、前記電子部品搭載機の電源スイッチの操作に連動して、前記ブロー清掃が行われるようにしてもよい。
【００１８】
本発明によれば、圧縮空気により画像認識装置を十分にブロー清掃して堆積した埃を除去することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の例を図面を参照して詳細に説明する。
【００２０】
図１に示すように、本発明の実施の形態の例に係る方法を実施するための電子部品搭載機１０は、電子部品供給位置にあるテープフィーダ１２と、電子部品装着位置にある基板１４との間でＸ−Ｙ方向に移動可能であるヘッドユニット１６に、Ｚ方向移動自在、且つ、θ軸回りに回動自在に支持されると共に、その下端（先端）で電子部品１８の真空吸着のための吸着ノズル２０を着脱自在に支持するスライドシャフト２２と、このスライドシャフト２２に配管路２４を介して連結され、前記スライドシャフト先端２２Ａから空気を吸排する吸排気手段２６と、前記スライドシャフト先端２２Ａに取り付けられる前記吸着ノズル２０によって吸着される前記電子部品１８の位置を検出する画像認識装置２８と、交換用ノズルを保持するノズルボックス３０と、を有して構成されていて、前記画像認識装置２８のカバーガラス２８Ａ上面を、前記スライドシャフト先端２２Ａが噴出する圧縮空気によりブロー清掃するようにしたものである。
【００２１】
又、前記電子部品搭載機１０は前記電子部品１８の搭載作業、及び、前記画像認識装置２８の清掃作業を制御する制御手段３２と、前記電子部品搭載機１０の電源スイッチ等が設けられた操作パネル３４とを有している。
【００２２】
前記吸着ノズル２０は、図２に示すように、前記スライドシャフト２２に下方から挿入、着脱するための係止溝２０Ａと、前記ノズルボックス３０に係止するためのフランジ部２０Ｂとを有している。
【００２３】
前記スライドシャフト２２は鉛直方向に配置された中空のパイプ状部材で上端から前記先端２２Ａまで通気可能とされている。
【００２４】
又、該先端２２Ａの近傍内側には、クリックボールを有してなるロック機構（図示省略）が設けられ、前記クリックボールはクリック機構により前記吸着ノズル２０の前記係止溝２０Ａを係止、且つ解放可能とされて、これにより前記スライドシャフト２２は前記吸着ノズル２０を係止、且つ解放自在とされている。
【００２５】
前記配管路２４は、フレキシブルチューブで一端が前記吸排気手段２６に連結され、他端が前記スライドシャフト２２の上端に連結されている。
【００２６】
前記吸排気手段２６は、負圧発生器２６Ａと、コンプレッサ２６Ｂと、電磁弁２６Ｃと、配管２６Ｄとを有して構成されている。
【００２７】
前記負圧発生器２６Ａ及び前記コンプレッサ２６Ｂは、それぞれ前記配管２６Ｄを介して前記電磁弁２６Ｃに連結されている。
【００２８】
前記電磁弁２６Ｃは前記スライドシャフト２２の上端近傍で、前記ヘッドユニット１６により支持され、又、前記配管路２４の一端が連結される吸排気ポートを有し、弁の切換えにより、前記負圧発生器２６Ａによる吸気又は前記コンプレッサ２６Ｂによる排気を、前記スライドシャフト２２へ選択的に伝達可能とされている。
【００２９】
前記画像認識装置２８は、図１、及び図２に示すように、略正方形の板状体で略水平に配置されるカバーガラス２８Ａと、このカバーガラス２８Ａの下方に配置され、上方を監視するカメラ２８Ｂと、前記カバーガラス２８Ａ上方及び下方を取り囲むように上下方向に配置される上部壁体２８Ｃ及び下部壁体２８Ｄと、これら上部壁体２８Ｃ及び下部壁体２８Ｄの内側に布設される複数のＬＥＤからなる上部照明用光源２９Ａ、及び下部照明用光源２９Ｂと、前記カバーガラス２８Ａ及び前記カメラ２８Ｂの間に傾斜して配置されるハーフミラー２８Ｅと、を有して構成されている。
【００３０】
前記上部照明用光源２９Ａは前記上部壁体２８Ｃの４面全ての内側に布設されている。
【００３１】
前記下部照明用光源２９Ｂは前記下部壁体２８Ｄの４面のうちの１面の内側にのみ布設され、この下部照明用光源２９Ｂが布設された前記下部壁体２８Ｄの１面は前記上部壁体２８Ｃに対し突出している。
【００３２】
前記ハーフミラー２８Ｅは前記下部照明用光源２９Ｂの照明光を上向きに反射するように配置されている。
【００３３】
前記ノズルボックス３０は、図１に示すように、前記吸着ノズル２０の前記フランジ部２０Ｂを係止可能とされ、これにより前記吸着ノズル２０と前記スライドシャフト２２とは着脱自在とされている。
【００３４】
前記制御手段３２は、前記ヘッドユニット１６に結線され、該ヘッドユニット１６の前記Ｘ−Ｙ方向の移動と、前記スライドシャフト２２の前記Ｚ軸方向の移動、及び前記θ軸回りの移動とを制御可能とされ、又、前記吸排気手段２６の前記電磁弁２６Ｃに結線され、前記吸排気手段２６から前記スライドシャフト２２への吸排気の伝達を制御可能とされている。
【００３５】
前記操作パネル３４は、前記電子部品搭載機１０の電源スイッチと、画像認識装置清掃スイッチ（いずれも図示省略）を有し、前記制御手段３２に結線されている。
【００３６】
次に、前記電子部品搭載機１０における前記画像認識装置２８の清掃時の作用について説明する便宜のため、まず電子部品搭載時の作用について説明する。
【００３７】
前記電子部品搭載機１０により前記電子部品１８を前記基板１４に搭載するときは、前記制御手段３２が前記ヘッドユニット１６を前記Ｘ−Ｙ方向に移動させて、前記スライドシャフト２２を前記テープフィーダ１２の上方に位置させ、前記スライドシャフト２２と共に前記吸着ノズル２０を下降させて、該吸着ノズル２０の下端を、前記電子部品１８に接近させた後、前記吸排気手段２６の前記電磁弁２６Ｃを駆動して、前記負圧発生器２６Ａによる吸気を前記スライドシャフト２２、及び前記吸着ノズル２０に伝達し、前記吸着ノズル２０の下端に、前記電子部品１８を真空吸着する。
【００３８】
次に、前記スライドシャフト２２と共に前記吸着ノズル２０、及び電子部品１８を上昇させた後、前記ヘッドユニット１６を前記Ｘ−Ｙ方向に移動させて、前記電子部品１８を前記画像認識装置２８の前記カバーガラス２８Ａの上方に位置させる。
【００３９】
前記画像認識装置２８は、前記上部照明用光源２９Ａ、及び下部照明用光源２９Ｂにより前記電子部品１８を照らし出すと共に、該電子部品１８の像を前記カバーガラス２８Ａを介して前記カメラ２８Ｂにより認識し、前記スライドシャフト２２に対する前記電子部品１８の前記Ｘ−Ｙ方向の相対位置、及び前記θ軸回りの相対位相角を検出する。
【００４０】
この検出結果に基づいて、前記制御手段３２は、前記スライドシャフト２２を回動させて、前記θ軸回りの前記電子部品１８の位相角を補正すると共に、前記スライドシャフト２２に対する前記電子部品１８の前記Ｘ−Ｙ方向の相対位置を補正しながら、前記ヘッドユニット１６を前記Ｘ−Ｙ方向に移動させて、前記電子部品１８を前記基板１４の上方まで搬送する。
【００４１】
次に、前記スライドシャフト２２と共に、前記吸着ノズル２０及び前記電子部品１８を下降させて、該電子部品１８を前記基板１４上の所定の位置に接近させた後、前記吸排気手段２６の前記電磁弁２６Ｃを駆動させて、前記コンプレッサ２６Ｂからの圧縮空気を前記スライドシャフト２２、及び前記吸着ノズル２０に供給し、該吸着ノズル２０の下端から圧縮空気を排出させて、前記電子部品１８を解放し、これにより該電子部品１８の前記基板１４への搭載が完了する。
【００４２】
次に、前記電子部品搭載機１０における前記画像認識装置２８の清掃時の作用について説明する。
【００４３】
前記画像認識装置２８の前記カバーガラス２８Ａ上には次第に埃が堆積し、この堆積した埃を放置すると前記カメラ２８Ｂが前記電子部品１８の像を誤って認識し、前記スライドシャフト２２に対する前記電子部品１８の前記Ｘ−Ｙ方向の相対位置の補正、及び、前記θ軸回りの位相角の補正が正しく行われず、前記電子部品１８が前記基板１４上の所定の位置に搭載されない場合がある。
【００４４】
このような前記電子部品１８の前記基板１４への搭載ミスを防止するため、作業者が定期的に前記操作パネル３４の画像認識装置清掃スイッチを入れて、前記制御手段３２に、前記画像認識装置２８の清掃を実行させると、図３に示すフローチャートに従って清掃が実行される。
【００４５】
前記吸排気手段２６の前記電磁弁２６Ｃが前記負圧発生器２６Ａによる吸気を前記スライドシャフト２２、及び前記吸着ノズル２０に伝達させていない場合、前記制御手段３２は前記吸着ノズル２０に前記電子部品１８が吸着されていないと判断し、前記吸着ノズル２０を前記スライドシャフト２２から取り外して前記ノズルボックス３０へ返却するために、前記吸着ノズル２０を前記ノズルボックス３０の方へ移動させる。
【００４６】
前記電子部品１８が前記吸着ノズル２０に吸着されていると判断した場合、前記制御手段３２は前記電子部品１８の前記基板１４への搭載が完了した後、前記吸着ノズル２０を、前記ノズルボックス３０の方へ移動させる。
【００４７】
前記ノズルボックス３０において、前記吸着ノズル２０の前記フランジ部２０Ｂを係止した状態で前記スライドシャフト２２を上昇させると、該スライドシャフト２２の前記クリックボールがその付勢力に抗して前記吸着ノズル２０の前記係止溝２０Ａから外れて前記吸着ノズル２０を解放し、解放された前記吸着ノズル２０は前記ノズルボックス３０内に保管される。
【００４８】
次に、前記吸着ノズル２０が取り外された前記スライドシャフト２２を前記画像認識装置２８の前記カバーガラス２８Ａの上方まで移動させた後、前記上部壁体２８Ｃの内側へ下降させて、前記スライドシャフト２２の前記先端２２Ａを前記画像認識装置２８の前記カバーガラス２８Ａ上面中央に接近させる。
【００４９】
この状態で前記吸排気手段２６の前記電磁弁２６Ｃを駆動して、前記コンプレッサ２６Ｂからの圧縮空気を前記スライドシャフト２２へ供給すると、図２のように、該圧縮空気は前記スライドシャフト２２の前記先端２２Ａから前記カバーガラス２８Ａ上面に向けて吐出され、該カバーガラス２８Ａ上面に堆積した埃を吹き飛ばしてブロー清掃を行うと共に、吹き飛ばされて舞い上がった埃を前記画像認識装置２８の前記上部壁体２８Ｃの外部へ排出する。
【００５０】
前記スライドシャフト２２が前記上部壁体２２Ｃの内側へ下降し、前記カバーガラス２８Ａに接近してブロー清掃を行うので、前記カバーガラス２８Ａ上面は十分にブロー清掃される。
【００５１】
前記スライドシャフト２２の前記先端２２Ａの吐出孔は前記吸着ノズル２０の先端部の孔よりも広いので、前記吸着ノズル２０を前記スライドシャフト２２に係着したまま、ブロー清掃を行う場合と比較して、より多くの圧縮空気を吐出することが可能となり、効率的なブロー清掃が行われる。
【００５２】
ブロー清掃を一定時間行ったら、前記吸排気手段２６の前記電磁弁２６Ｃを駆動して、前記コンプレッサ２６Ｂによる前記スライドシャフト２２への圧縮空気の供給を停止させると共に、前記スライドシャフト２２を上昇させて、前記吸着ノズル２０を取り付けるために前記ノズルボックス３０の方へ移動させる。
【００５３】
前記ノズルボックス３０に保管されている吸着ノズルのうち、これから搭載を行おうとする電子部品に適した吸着ノズルの上方まで前記スライドシャフト２２を移動させた後、該スライドシャフト２２を下降させると、前記クリックボールが前記吸着ノズル２０の前記係止溝２０Ａに係合し、これにより前記吸着ノズル２０が前記スライドシャフト２２に係合し、前記吸着ノズル２０を前記スライドシャフト２２に取り付ける作業が完了する。
【００５４】
以後、通常の電子部品搭載作業を再開する。
【００５５】
本実施の形態の例によれば、通常の電子部品搭載作業に使用される、前記スライドシャフト２２と前記吸排気手段２６とを利用して、前記画像認識装置２８の前記カバーガラス２８Ａの上面を十分にブロー清掃することが可能であり、手作業による除去が困難である、前記カバーガラス２８Ａ上面に堆積した埃を容易に除去することができると共に、専用のエアブロー装置等を必要とせず、低コストでブロー清掃を行うことができる。
【００５６】
なお、本実施の形態の例においては、作業者が定期的に前記操作パネル３４の前記画像認識装置清掃スイッチを操作することにより、前記制御手段３２に前記画像認識装置２８のブロー清掃を実行させているが、本発明はこれに限定されるものではなく、前記ブロー清掃は前記操作パネル３４に設けられた前記電子部品搭載機１０の電源スイッチ（図示省略）を入れたときに実行されるようにしてもよく、又、該電源スイッチを切ったとき、一定時間前記ブロー清掃が行われ、該ブロー清掃が終了してから実際に電源が切れるようにしてもよい。
【００５７】
更に、前記画像認識装置２８の清掃は、前記制御手段３２により一定の時間をおいて、自動的に行われるようにしてもよい。
【００５８】
このように前記画像認識装置２８のブロー清掃が、前記電子部品搭載機１０の前記電源スイッチの操作と連動して実行されることにより、又、前記制御手段３２により一定の時間をおいて自動的に行われることにより、作業者が前記画像認識装置清掃スイッチの定期的な操作を忘れて、前記カバーガラス２８Ａ上面に堆積した埃が放置され、前記カメラ２８Ｂが前記電子部品１８の像を誤って認識する事態を確実に回避することができる。
【００５９】
更に又、本実施の形態の例においては、前記ブロー清掃は前記スライドシャフト２２から前記吸着ノズル２０を取り外し、前記スライドシャフト２２の前記先端２２Ａから圧縮空気を直接吐出することにより行われているが、前記吸着ノズル２０の先端の吐出孔が前記ブロー清掃を行うために十分な大きさである場合には、前記吸着ノズル２０を前記スライドシャフト２２に取り付けたまま前記ブロー清掃を行うようにしてもよい。
【００６０】
次に、本発明の実施の形態の第２例について説明する。
【００６１】
図４に示すように、本実施の形態の第２例は実施の形態の第１例に対して、前記スライドシャフト２２に清掃用ノズル３６を取り付けて前記ブロー清掃を行うことを特徴としている。
【００６２】
他の構成要素については、実施の形態の第１例と同じであるので、図１、及び図２におけると同一符号を付することにより説明を省略する。
【００６３】
前記清掃用ノズル３６は、図４に示すように、前記吸着ノズル２０に対して鉛直下方の他、斜め下方、及び水平方向に前記圧縮空気を吐出する複数の吐出孔を円周方向適宜な間隔で有していることを特徴としている。
【００６４】
前記清掃用ノズル３６と前記スライドシャフト２２とを着脱する構造、及び、方法については、前記吸着ノズル２０と同様であるので説明を省略する。
【００６５】
次に本実施の形態の第２例の作用について説明する。
【００６６】
手動又は自動により、前記画像認識装置２８の清掃が実行されると、前記制御手段３２は実施の形態の第１例と同様に、前記吸着ノズル２０を前記ノズルボックス３０に返却した後、該ノズルボックス３０に保管されている前記清掃用ノズル３６を、前記スライドシャフト２２に取り付けて該清掃用ノズル３６を前記画像認識装置２８の前記カバーガラス２８Ａの上方へ移動させる。
【００６７】
次に、前記スライドシャフト２２を前記画像認識装置２８の前記上部壁体２８Ｃ内に下降させて、前記清掃用ノズル３６を前記画像認識装置２８の前記カバーガラス２８Ａ上面に接近させる。
【００６８】
この状態で、前記スライドシャフト２２と共に前記清掃用ノズル３６を前記θ軸回りに回転させると共に、前記スライドシャフト２２及び前記清掃用ノズル３６が前記上部壁体２８Ｃ内側に設けられた前記上部照明光源２９Ａと接触することがないように、前記上部壁体２８Ｃの内側と一定の間隔を保つ範囲内で、前記スライドシャフト２２及び前記清掃用ノズル３６を前記Ｘ−Ｙ方向に水平移動させながら、前記吸排気手段２６の前記電磁弁２６Ｃを駆動して、前記コンプレッサ２６Ｂからの圧縮空気を前記スライドシャフト２２及び前記清掃用ノズル３６へ供給し、この圧縮空気を前記清掃用ノズル３６の吐出孔から前記カバーガラス２８Ａ上面に吐出させて、ブロー清掃を行う。
【００６９】
前記清掃用ノズル３６は鉛直下方のみならず斜め下方、水平方向に前記圧縮空気を吐出する吐出孔を有しているので、前記スライドシャフト２２の先端２２Ａが鉛直下方にのみ前記圧縮空気を吐出する実施の形態の第１例に対して、ブロー清掃が前記カバーガラス２８Ａの中心部に偏ることなく広い範囲に対して行われると共に、前記上部壁体２８Ｃ内で空気が複雑に撹拌されるので、前記圧縮空気により舞い上がった埃を特定の位置に吹き溜まらせることなく、前記上部壁体２８Ｃの外側に排出することができる。
【００７０】
又、前記清掃用ノズル３６の鉛直下方、及び斜め下方への吐出口は、前記スライドシャフト２２の先端２２Ａよりも下方に位置し、実施の形態の第１例よりも前記カバーガラス２８Ａ上面に接近した位置から圧縮空気を吐出することができるので、効率の良いブロー清掃を行うことができる。
【００７１】
更に、水平方向に吐出される圧縮空気により前記上部照明用光源２９Ａに堆積した埃をブロー清掃することができる。
【００７２】
更に又、前記清掃用ノズル３６を前記θ軸回りに回転させると共に、前記Ｘ−Ｙ方向に水平移動させながらブロー清掃を行うことにより、ブロー清掃は更に偏りなく、前記カバーガラス２８Ａの全範囲に対して行われると共に、前記上部壁体２８Ｃ内の空気は更に複雑に撹拌されて、前記圧縮空気により舞い上がった埃を前記上部壁体２８Ｃ内に溜まらせることなく、該上部壁体２８Ｃの外側へ排出することができる。
【００７３】
なお、本発明の実施の形態の第２例のように、前記清掃用ノズル３６を前記θ軸回りに回転させ、且つ、前記Ｘ−Ｙ方向に水平移動させながらブロー清掃が行われなくても、ブロー清掃が十分に偏りなく、前記カバーガラス２８Ａの全範囲に対して行われる場合には、前記清掃用ノズル３６が前記θ軸回りの回転又は前記Ｘ−Ｙ方向への水平移動のいずれかの動きを伴ってブロー清掃を行うようにしてもよく、又、前記清掃用ノズル３６が前記カバーガラス２８Ａの中央近傍の上方に接近して静止した状態でブロー清掃を行うようにしてもよい。
【００７４】
【発明の効果】
本発明によれば、通常の電子部品の搭載に用いられる吸排気手段、スライドシャフト等を利用して、画像認識装置のカバーガラス上に堆積する埃を容易に、且つ低コストで十分にブロー清掃することができるという優れた効果がもたらされる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の第１例に係る電子部品搭載機の概要を示す斜視図
【図２】同スライドシャフト、吸着ノズル、及び画像認識装置の要部を示す断面図
【図３】同画像認識装置の清掃方法の流れを示すフローチャート
【図４】本発明の実施の形態の第２例に係る清掃用ノズルの要部を示す断面図
【符号の説明】
１０…電子部品搭載機
１２…テープフィーダ
１４…基板
１６…ヘッドユニット
１８…電子部品
２０…吸着ノズル
２０Ａ…係止溝
２２…スライドシャフト
２２Ａ…先端
２４…配管路
２６…吸排気手段
２６Ａ…負圧発生器
２６Ｂ…コンプレッサ
２６Ｃ…電磁弁
２６Ｄ…配管
２８…画像認識装置
２８Ａ…カバーガラス
２８Ｂ…カメラ
２８Ｃ…上部壁体
２８Ｄ…下部壁体
２８Ｅ…ハーフミラー
２９Ａ…上部照明用光源
２９Ｂ…下部照明用光源
３０…ノズルボックス
３２…制御手段
３４…操作パネル
３６…清掃用ノズル
【図１】
0004445087.tif 000002
【図２】
0004445087.tif 000003
【図３】
0004445087.tif 000004
【図４】
0004445087.tif 000005