(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント基板上に設けられたドライフィルムフォトレジストに貼着されたカバーフィルムを剥離するフィルム剥離装置であって、
前記カバーフィルムの端部に当接して該基板の幅方向に凹凸を形成し、前記フィルム端部に幅方向に剥離開始部を形成する、該基板の長さ方向に位置をずらして配列された複数のローレットローラと、
前記複数のローレットローラを個々に上下動可能に支持する支持装置と、
前記ローレットローラにより形成されたフィルム端部の剥離開始部から該フィルムを剥離する剥離手段と、を有し、
前記プリント基板には、ドライフィルムフォトレジストによる段差が形成され、  
前記支持装置は、前記ローレットローラを該段差に対応して前記カバーフィルムに接触させるように支持する、
ことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
対象物の表裏にフィルムが貼着され、
前記ローレットローラが対象物の表裏にそれぞれ対向して設けられ、
各ローレットローラは対象物の表裏のフィルム端部に剥離開始部を形成する、
請求項１に記載のフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ドライフィルムフォトレジストの表面に装着されているポリエステルカバーフィルム等のフィルムを剥離するためのフィルム剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板などに回路を形成する際に、ＩＣ製造技術に用いられているリソグラフィ法が近年用いられるようになってきている。その際に基板上に塗布されるフォトレジストとしてドライフィルムフォトレジストが使用されるようになってきている。そして、該フォトレジストの上にポリエステル製の保護用のカバーフィルムが貼着されるのが普通である。
このフィルムは、フォトレジスト上に回路パターンを焼き付ける露光工程の際に剥す必要があり、従来よりこの種のフィルムを自動的に効率よく剥離する装置の開発が試みられている。
その中の１つに本願出願人により提案された特開２００２−２１１８３６号に開示されたものが知られている。この発明では、表面に凹凸が設けられたローレットローラによりフィルム端部に剥離部を形成し、ここから粘着ローラなどにより剥離を行う構成になっている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２１１８３６号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、ビルドアップ法などにより製造される基板の場合、その製造方法のためにドライフィルムレジストの端部に段差が生じることがあり、上記した従来の装置では段差に対応できず、剥離ミスが生じやすくなる問題があった。
本発明は、上記従来技術の問題点を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明は、プリント基板上に設けられたドライフィルムフォトレジストに貼着されたカバーフィルムを剥離するフィルム剥離装置であって、前記カバーフィルムの端部に当接して該基板の幅方向に凹凸を形成し、前記フィルム端部に幅方向に剥離開始部を形成する、該基板の長さ方向に位置をずらして配列された複数のローレットローラと、前記複数のローレットローラを個々に上下動可能に支持する支持装置と、前記ローレットローラにより形成されたフィルム端部の剥離開始部から該フィルムを剥離する剥離手段と、を有し、前記プリント基板には、ドライフィルムフォトレジストによる段差が形成され、前記支持装置は、前記ローレットローラを該段差に対応して前記カバーフィルムに接触させるように支持する、ことを特徴とする。
ローレットローラは表面に凹凸を設けたローラであり、該ローラによりフィルムに凹凸を形成する。この凹凸の形成により部分的にフィルムが剥離し、この凹凸部分を剥離開始部として、剥離手段によりフィルムの剥離を行う。上記構成において、ローレットローラは個々に上下動可能に支持装置に支持されているから、段差のあるプリント基板であっても、この段差を効果的に吸収して凹凸を形成し、剥離開始部を形成することが可能になる。そのため、剥離ミスを防止することが可能になる。
対象物の表裏にフィルムが貼着されている場合には、前記ローレットローラを対象物の表裏にそれぞれ対向して設け、各ローレットローラは対象物の表裏のフィルム端部に剥離開始部を形成するように構成すれば効率的である。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の剥離装置によれば、プリント基板上のドライフィルムフォトレジストのように段差を有していても、そこに貼着されたカバーフィルムの正確な剥離が行える効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１において、搬送ローラ３０により搬送されてきたプリント基板Ｗはローラ装置Ａにより、そのフィルムＦの先端部において幅方向（プリント基板Ｗ搬送方向と直交する方向）に剥離開始部５０を形成されるようになっている。
基板Ｗは表裏にフォトレジストとフィルムＦを装着しており、ここで表裏のフィルムＦを同時に剥離するようになっている。
【０００８】
ローラ装置Ａは、図２に示すようにプリント基板Ｗの表裏にそれぞれ幅方向に２基、合計４基配設され、プリント基板Ｗの中央から幅方向端部に向けてローレットローラ１をプリント基板ＷのフィルムＦ上で回転接触させて、図５に示すようにプリント基板ＷのフィルムＦの先端部に剥離開始部５０を形成するようになっている。
【０００９】
図１に示すようにローラ装置Ａは支持台３に昇降エアシリンダ２を介して上下方向昇降可能に装着され、プリント基板Ｗに対して所定の圧力で圧接するようになっている。
該支持台３は更にガイドレール５を介して基台１０に幅方向移動可能に支持され、横移動エアシリンダ４の駆動により幅方向に移動するようになっている。該支持台３の移動によりローレットローラ１はフィルムＦ上を回転しながら、移動するように構成されている。
【００１０】
各ローラ装置Ａは、この実施形態では４つのローレットローラ１を備えており、２個１組のローレットローラ１、１がそれぞれ揺動支持体１１、１１に支持されている。そして、２つの揺動支持体１１、１１が１の揺動基台１３に支持されている。揺動支持体１１は揺動中心１２により揺動基台１３に対して回動し、揺動できるようになっている。また、揺動基台１３は支持台３に揺動中心１４により回動可能に取り付けられ、揺動できるようになっている。
以上の構成により、ローレットローラ１は揺動中心１４により大きく揺動可能であり、また揺動中心１２により細かく揺動可能であり、４つの各ローレットローラ１はプリント基板Ｗに圧接しつつ、かつ個々に上下方向に移動可能となり、段差を吸収できるようになっている。
【００１１】
また各ローレットローラ１は図３に示すように基板Ｗ長手方向（図の矢印方向）に位置をずらして配設されており、長手方向に存在する基板Ｗの段差に対応できるようになっている。
図４に、基板Ｗに段差がある時の、ローレットローラ１の上下動による動作を説明する。基板Ｗの表側の長手方向（矢印方向）の先端側はドライフィルムフォトレジストＲが薄くなっており、段差が生じている。この部分のローレットローラ１ａは段差に対応して下降しフィルムＦに接触して凹凸を形成するようになっている。
また基板Ｗの裏面では、ローレットローラ１ｂが移動して、フィルムＦに圧接、密着し凹凸を形成するようになっている。
以上の構成により、基板Ｗに段差があっても、各ローレットローラ１は該段差に対応して上下方向に動くから、ローレットローラ１は効果的にフィルムＦに圧接して凹凸を形成し剥離開始部５０を生成することが可能になる。
図６に４つのローレットローラ１により形成される凹凸の模様の一例を示す。
【００１２】
ローラ装置Ａのプリント基板Ｗ搬送方向下流側にはストッパ６が設けられており、ストッパエアシリンダ７により昇降するようになっている。このストッパ６によりプリント基板Ｗを所定位置で停止させ、ローラ装置Ａによりプリント基板ＷのフィルムＦの先端部の位置に正確に剥離開始部５０を形成するように構成されている。
基板確認センサ９はプリント基板Ｗの到来を検出するためのもので、該基板確認センサ９からの信号により一連の動作を実行するようになっている。
【００１３】
ローラ装置Ａのプリント基板Ｗ搬送方向上流側には、基板クランプ８が設けられ、プリント基板Ｗを基台１０との間でクランプしてローレットローラ１のフィルムＦ上の走行時にプリント基板Ｗを固定するようになっている。
【００１４】
昇降エアシリンダ２の更に下流側には粘着ローラ２０、２０が設けられており、フィルムＦに密着して剥離開始部５０が形成された端部からフィルムＦを剥がすように構成されている。
粘着ローラ２０に代えて、他のどのような剥離手段も採用可能である。
【００１５】
前記したようにローラ装置Ａのローレットローラ１はプリント基板Ｗの幅方向中央部から端部方向に走行させる。これによりフィルムＦの幅方向端部に裂け目等を生じないようになっている。
ローレットローラ１の走行は１回だけに限定されるものではなく、必要に応じて複数回行うことが可能である。但し、プリント基板Ｗ幅方向中央部方向へ向かう走行の場合には、端部を出発点とせずに、プリント基板Ｗの幅方向途中から走行を行わせる。これによりフィルムＦの裂け等を防止することが可能である。
【００１６】
なお、図２に示すローラ装置Ａは４つのローレットローラ１により構成しているが、これに限定されるものではなく、例えば図７と図８に示すように２つのローレットローラ１、１を揺動支持体１１に取り付け、揺動支持体１１を揺動中心１２により揺動可能とする構成でもよい。また、ローレットローラ１を個々に上下動できる構成であれば、他の構成も採用可能である。
【００１７】
図９乃至図１２により動作を説明する。
プリント基板Ｗが搬送ローラ３０により基台１０に搬送され（図９）、ストッパ６に当接して停止すると、基板クランプ８が下降して基台１０との間でプリント基板Ｗをクランプする（図１０）。そして、ローレットローラ１によりプリント基板Ｗを表裏から挟み（図１１）、横移動エアシリンダ４によりローレットローラ１を幅方向に横移動させる。ローレットローラ１は当初はプリント基板Ｗの中央側に寄せておき、プリント基板Ｗの中央から端部方向に走行させる。
この時プリント基板Ｗに段差があっても、図４に示すようにローレットローラ１の上下動により吸収され、ローレットローラ１は確実にプリント基板Ｗに圧接する。
【００１８】
該走行によりローレットローラ１は図２に示すように回転しながらプリント基板ＷのフィルムＦに接触して、フィルムＦ上に図６のような凹凸を形成する。この凹凸が図５に示す剥離開始部５０となる。該剥離開始部５０はプリント基板Ｗの中央部を境にフィルムＦの先端部に左右に１対形成される。
【００１９】
ローレットローラ１を所定回数横行させたら、ローレットローラ１と基板クランプ８をプリント基板Ｗから離してフリーにし、搬送ローラ３０により、粘着ローラ２０に搬送する（図１２）。
そして、粘着ローラ２０により剥離開始部５０からフィルムＦが剥がされる。
【００２０】
以上説明した実施形態では、各ローレットローラ１は上下方向に移動可能であり、基板Ｗの段差に対応できるから、効果的に剥離開始部５０を形成できる。また、剥離開始部５０はフィルムＦ先端の幅方向ほぼ全体に形成されるため、粘着ローラ２０による剥離作業が極めて円滑に行われ、部分的な剥離不良に起因するフィルムＦの裂け等が生じない。更に、剥離開始部５０はプリント基板Ｗの幅方向中央部から端部に向かって形成されているため、ローレットローラ１とフィルムＦ端部との衝突による亀裂等が生じておらず、剥離中にフィルムＦが裂ける等の問題がない。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態を示す概略側面図。
【図２】本発明の一実施形態を示す概略部分正面図。
【図３】本発明の一実施形態を示す概略部分平面図。
【図４】本発明の一実施形態の動作を示す概略部分側面図。
【図５】本発明の一実施形態の動作を示す説明図。
【図６】本発明の一実施形態の動作を示す説明図。
【図７】本発明の他の実施形態を示す概略部分正面図。
【図８】本発明の他の実施形態を示す概略部分平面図。
【図９】本発明の一実施形態の動作を示す概略側面図。
【図１０】本発明の一実施形態の動作を示す概略側面図。
【図１１】本発明の一実施形態の動作を示す概略側面図。
【図１２】本発明の一実施形態の動作を示す概略側面図。
【符号の説明】
【００２２】
１：ローレットローラ、２：昇降エアシリンダ、３：支持台、４：横移動エアシリンダ、５：ガイドレール、６：ストッパ、７：ストッパエアシリンダ、８：基板クランプ、９：基板確認センサ、１０：基台、１１：揺動支持体、１２：揺動中心、１３：揺動基台、１４：揺動中心、２０：粘着ローラ、３０：搬送ローラ、５０：剥離開始部。
【図１】
0004445457.tif 000002
【図２】
0004445457.tif 000003
【図３】
0004445457.tif 000004
【図４】
0004445457.tif 000005
【図５】
0004445457.tif 000006
【図６】
0004445457.tif 000007
【図７】
0004445457.tif 000008
【図８】
0004445457.tif 000009
【図９】
0004445457.tif 000010
【図１０】
0004445457.tif 000011
【図１１】
0004445457.tif 000012
【図１２】
0004445457.tif 000013