(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の圧電性材料基板と第２の圧電性材料基板とに、それぞれのインクチャネルのピッチをずらして平行に加工し、
前記インクチャネルに駆動電極を形成するとともに、この駆動電極に接続した取出電極を形成し、
前記第１の圧電性材料基板及び第２の圧電性材料基板に、前記インクチャネルを覆うカバー基板を前記取出電極を残して設け、
前記第１の圧電性材料基板と前記第２の圧電性材料基板とを、前記カバー基板を設けた側と反対側を貼り合わせて中央部を切断し、
前記インクチャネルに対応する部分にノズル孔を有するノズルプレートを設けたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、インクジェットヘッドには、高速記録を可能するために、２列のインクチャネルを有するものがある。このような２列のインクチャネルを有するインクジェットヘッドの製造は、例えば同じ位置にインクチャネルが形成された２枚の圧電性材料基板の位置をずらして貼り合わせ、その後にインクチャネルに対応してノズル孔を有するノズルプレートを設けたり、アクチュエータの接続や配線基板の接続等を行なっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このように２枚の圧電性材料基板の位置をずらして貼り合わせてインクジェットヘッドを製造すると、位置合わせに手数を要し、しかも位置精度が低下し、低コストで大量に生産することが困難である。
【０００４】
本発明は、これら問題を解決するもので、位置合わせが容易で、高精度の製品を低コストで大量に生産することが可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、この発明は、以下のように構成した。
【０００６】
請求項１に記載の発明は、『第１の圧電性材料基板と第２の圧電性材料基板とに、それぞれのインクチャネルのピッチをずらして平行に加工し、
前記インクチャネルに駆動電極を形成するとともに、この駆動電極に接続した取出電極を形成し、
前記第１の圧電性材料基板及び第２の圧電性材料基板に、前記インクチャネルを覆うカバー基板を前記取出電極を残して設け、
前記第１の圧電性材料基板と前記第２の圧電性材料基板とを、前記カバー基板を設けた側と反対側を貼り合わせて中央部を切断し、
前記インクチャネルに対応する部分にノズル孔を有するノズルプレートを設けたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。』である。
【０００７】
請求項１に記載の発明によれば、第１の圧電性材料基板と第２の圧電性材料基板とに、それぞれのインクチャネルのピッチをずらして平行に加工し、インクチャネルに駆動電極を形成するとともに、この駆動電極に接続した取出電極を形成し、第１の圧電性材料基板と第２の圧電性材料基板とを、カバー基板を設けた側と反対側を貼り合わせて中央部を切断してノズルプレートを設けることで、位置合わせが容易で、高精度の製品を低コストで大量に生産することが可能である。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のインクジェットヘッドの製造方法を、実施形態を挙げて説明するが、この発明の形態はこれに限定されない。
【０００９】
図１はインクジェットヘッドの製造の工程を示す概略図、図２は第１の圧電性材料基板の平面図、図３は第２の圧電性材料基板の平面図、図４はカバー基板を設けた状態を示す図である。
【００１０】
まず、第１の圧電性材料基板１０と第２の圧電性材料基板２０とが用意され、第１の圧電性材料基板１０は、厚基板１１と薄基板１２とからなり、同様に第２の圧電性材料基板２０も厚基板２１と薄基板２２とからなる（図１（ａ））。
【００１１】
第１の圧電性材料基板１０の薄基板１２上にドライフィルム１３を貼り、このドライフィルム１３に露光現像処理してインクチャネルや電極の加工位置を設定するマスクを作成する（図１（ｂ））。第１の圧電性材料基板１０には、レーザー光によりマスクにより設定された位置に溝加工を行ないインクチャネル１４を形成し、Ａｌ蒸着によりインクチャネル１４に駆動電極１５を形成するとともに、この駆動電極１５に接続した取出電極１６を形成する（図１（ｃ））。
【００１２】
同様に、第２の圧電性材料基板２０の薄基板２２上にドライフィルム２３を貼り、このドライフィルム２３に露光現像処理してインクチャネルや電極の加工位置を設定するマスクを作成する。第２の圧電性材料基板２０には、レーザー光によりマスクにより設定された位置に溝加工を行ないインクチャネル２４を形成し、Ａｌ蒸着によりインクチャネル２４に駆動電極２５を形成するとともに、この駆動電極２５に接続した取出電極２６を形成する。
【００１３】
この第１の圧電性材料基板１０と第２の圧電性材料基板２０には、図２及び図３に示すように、それぞれのインクチャネル１４，２４のピッチをずらし、かつ一方の第１の圧電性材料基板１０のインクチャネル１４を他方の第２の圧電性材料基板２０のインクチャネル２４より一対多く平行に加工されている。また、第１の圧電性材料基板１０の両側端部のインクチャネル１４には、一方の対称位置１０ａに取出電極１６を設け、他方の対称位置１０ｂには取出電極１６を設けないでいる。
【００１４】
次に、第１の圧電性材料基板１０及び第２の圧電性材料基板２０に、インクチャネル１４，２４を覆うカバー基板１７，２７を取出電極１６，２６を残して設け（図１（ｄ））、第１の圧電性材料基板１０と第２の圧電性材料基板２０とを、カバー基板１７，２７を設けた側と反対側を貼り合わせて中央部を切断し（図１（ｅ））、インクチャネル１４，２４に対応する部分にノズル孔１８ａを有するノズルプレート１８を設けて２個のヘッド本体を製造する（図１（ｆ））。
【００１５】
その後に、それぞれの２個のヘッド本体には、第１の圧電性材料基板１０と第２の圧電性材料基板２０とに、インクをインクチャネル１４，２４に供給するアクチュエータ１９ａを接続すると共に、取出電極１６，２６に配線基板１９ｂを接続して同時に２個のインクジェットヘッドを製造する（図１（ｇ））。
【００１６】
このように、第１の圧電性材料基板１０と第２の圧電性材料基板２０とに、それぞれのインクチャネル１４，２４のピッチをずらし、かつ一方の基板を他方の基板より一対多く平行に加工し、インクチャネル１４，２４に駆動電極１５，２５を形成するとともに、この駆動電極１５，２５に接続した取出電極１６，２６を形成し、第１の圧電性材料基板１０と第２の圧電性材料基板２０とを、カバー基板１７，２７を設けた側と反対側を貼り合わせて中央部を切断しノズルプレート１８を設け、２個のヘッド本体を設けることで、同様なインクジェットヘッドを２個同時に製造することができる。
【００１７】
また、第１の圧電性材料基板１０の一方の対称位置１０ａに取出電極１６を設け、他方の対称位置１０ｂには取出電極１６を設けないことで、第１の圧電性材料基板１０と第２の圧電性材料基板２０のインクチャネル１４とインクチャネル２４を同数にし、しかも他方の対称位置１０ｂには取出電極１６を設けないことでヘッド本体の位置決めとなり、製品の品質管理やアクチュエータ１９ａの接続や配線基板１９ｂの接続等の工程での作業が容易である。
【００１８】
【発明の効果】
前記したように、請求項１に記載の発明では、第１の圧電性材料基板と第２の圧電性材料基板とに、それぞれのインクチャネルのピッチをずらして平行に加工し、インクチャネルに駆動電極を形成するとともに、この駆動電極に接続した取出電極を形成し、第１の圧電性材料基板と第２の圧電性材料基板とを、カバー基板を設けた側と反対側を貼り合わせて中央部を切断してノズルプレートを設けることで、位置合わせが容易で、高精度の製品を低コストで大量に生産することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】インクジェットヘッドの製造の工程を示す概略図である。
【図２】第１の圧電性材料基板の平面図である。
【図３】第２の圧電性材料基板の平面図である。
【図４】カバー基板を設けた状態を示す図である。
【符号の説明】
１０  第１の圧電性材料基板
２０  第２の圧電性材料基板
１４，２４  インクチャネル
１５，２５  駆動電極
１６，２６  取出電極
１７，２７  カバー基板
１８  ノズルプレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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