(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＣＶＤによって少なくとも１つの二相の層が堆積された基材成形体からなる工具、特に切削工具において、唯一の堆積された層又は複数の層の少なくとも１つがＴｉＣＮ相又はＴｉＯＣＮ相又はＴｉＯＣ相又はＴｉＣ相の他にＺｒＯ2又はＨｆＯ2からなる他の相を有することを特徴とする、工具。
【請求項２】
他の相が単斜晶系及び／又は正方晶系で存在することを特徴とする、請求項１記載の工具。
【請求項３】
他の相としてＺｒＯ2又はＨｆＯ2を含有する層上に、Ａｌ2Ｏ3を堆積させることを特徴とする、請求項１又は２記載の工具。
【請求項４】
他の相としてＺｒＯ2又はＨｆＯ2を含有する層上に、Ａｌ2Ｏ3を外側層として堆積させることを特徴とする、請求項３記載の工具。
【請求項５】
他の相としてＺｒＯ2又はＨｆＯ2を含有する層上に、Ａｌ2Ｏ3をα−Ａｌ2Ｏ3として堆積させることを特徴とする、請求項３又は４記載の工具。
【請求項６】
基材成形体は硬質金属、サーメット又はセラミックからなることを特徴とする、請求項１から５までのいずれか１項記載の工具。
【請求項７】
ＴｉＣＮ相、ＴｉＯＣＮ相、ＴｉＣ相又はＴｉＯＣ相対他の相の比は、４：１〜１：４であることを特徴とする、請求項１から６までのいずれか１項記載の工具。
【請求項８】
ＴｉＣＮ相、ＴｉＯＣＮ相、ＴｉＣ相又はＴｉＯＣ相対他の相の比は、２：１〜１：２であることを特徴とする、請求項１から６までのいずれか１項記載の工具。
【請求項９】
ＴｉＣＮ相又はＴｉＯＣＮ相又はＴｉＯＣ相又はＴｉＣ相中でチタンはわずかな割合でＺｒ又はＨｆに置き換えられていることを特徴とする、請求項１から８までのいずれか１項記載の工具。
【請求項１０】
二相の層は２つのＴｉＮ層の間の中間層であることを特徴とする、請求項１から９までのいずれか１項記載の工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも１つの層がＣＶＤを用いて堆積されている基材成形体からなる工具、特に切削工具に関する。更に、本発明は、基材成形体上に二相の層をＣＶＤ堆積させる方法に関する。
【０００２】
切削エレメントとして使用するための被覆された基材成形体は、原則的に公知である。
【０００３】
例えば、DE 100 17 909 A1には、炭化タングステンと硬質被覆とをベースとする基材成形体が記載されており、前記硬質被覆は、ＴｉＣ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＴｉＣＯ、ＴｉＣＮＯからなる少なくとも１つの層を有するチタン複合層と、Ａｌ２Ｏ３及び／又はＡｌ２Ｏ３−ＺｒＯ２複合層とを有する。後者の場合に、ＺｒＯ２粒子がＡｌ２Ｏ３層中に分散している。更に、場合により付加的な外側のＡｌ２Ｏ３層を備えたＴｉＮ−ＴｉＣＮ−ＴｉＮ層の層系も公知である。ＣＶＤ法を用いて堆積されたＡｌ２Ｏ３層は、方法条件に応じて、α−、κ−又は非晶質Ａｌ２Ｏ３の形で生じることができる。DE 100 17 909 A1はＴｉＣＮ層の製造のためにＣＶＤ法を記載しており、この場合、７００℃〜９５０℃の平均温度範囲で、ＣＨ３ＣＮを有する反応ガス混合物を使用して作業される。
【０００４】
本発明の課題は、被覆に基づき乾式切削でも湿式切削でも、特に鋳造材料又は調質鋼（ＣＫ４５）の旋削でも、改善された工具寿命を有する、冒頭に記載された種類の改善された工具、特に切削工具を提供することである。
【０００５】
前記課題は、本発明の場合に、唯一の堆積した層又は複数の層の少なくとも１つはＴｉＣＮ相又はＴｉＯＣＮ相又はＴｉＣ相又はＴｉＯＣ相の他にＺｒＯ２及び／又はＨｆＯ２からなる他の相を有することを特徴とする請求項１記載の工具により解決される。この多相の層は、唯一の層、中間層又は外側層であることができ、その際、適用事例に応じて前記の層の割合を変えることができ、その際、ＺｒＯ２割合及び／又はＨｆＯ２割合の増加と共に該当する層の硬度は低下することを考慮しなければならない。
【０００６】
この工具の他の態様は、引用形式請求項に記載されている。
【０００７】
ＺｒＯ２及び／又はＨｆＯ２からなる前記の他の相は単斜晶系及び／又は正方晶系で存在することができる。
【０００８】
請求項１に定義された層上に、他の実施態様の場合に、Ａｌ２Ｏ３層も有利に外側層として、更に有利にα−Ａｌ２Ｏ３層として堆積されていてもよい。この基材成形体は、硬質金属、サーメット又はセラミックからなることができる。
【０００９】
有利に、ＴｉＣＮ相、ＴｉＯＣＮ相、ＴｉＣ相又はＴｉＯＣ相対ＺｒＯ２及び／又はＨｆＯ２からなる他の相の比は４：１〜１：４、有利に２：１〜１：２である。
【００１０】
既に述べたように、例えばＴｉＣＮ又はＴｉＯＣＮからなる第１の相は、ＴｉＣ又はＴｉＯＣにより置き換えることもでき、つまり、Ｃ：Ｎの比は０．５：０．５から１．０：０に設定することができる。
【００１１】
本発明は、ＴｉＣＮ相又はＴｉＯＣＮ相又はＴｉＯＣ相又はＴｉＣ相中でチタンがわずかな割合でＺｒ及び／又はＨｆに置き換えられているような工具も含む。もちろん、ＴｉＣｘＮｙＯｚ（その際、０≦ｘ、ｙ、ｚ≦１）の化合物において、チタンの半分よりも明らかにわずかな量が、有利にチタンの最大２０％、もしくは更に有利に最大１０％がＺｒ又はＨｆに置き換えられる。このような化合物は、例えば、該当する相が堆積されるガス雰囲気が化学量論を下回る酸素含有量を有する場合に生じる。
【００１２】
本発明の他の実施態様の場合には、二相の層は中間層であり、この中間層は２つのＴｉＮ層の間に又はＴｉＣＮとＡｌ２Ｏ３との間の中間層として配置されていて、その上に外側にＺｒＣＮ層が堆積されている。
【００１３】
本発明による工具の製造のために、焼結された基材成形体上に前記多相の層をＣＶＤ堆積させる目的で、ガス雰囲気中にＴｉＣｌ４、ＨｆＣｌ４及び／又はＺｒＣｌ４及びＣＯ２の他にＣＨ３ＣＮ（アセトニトリル）又はＣ５Ｈ５Ｎ（ピリジン）又はＣ６Ｈ６（ベンゼン）、残りＨ２及び／又はＡｒを使用することを特徴とする、請求項７記載の方法により作業することが提案される。アセトニトリルを使用する場合に、気相中で次の同時の反応が進行する：
２ＴｉＣｌ４＋ＣＨ３ＣＮ＋４．５Ｈ２  →  ２ＴｉＣ０．５Ｎ０．５＋ＣＨ４＋８ＨＣｌ
ＺｒＣｌ４＋２ＣＯ２＋２Ｈ２  →  ＺｒＯ２＋２ＣＯ＋４ＨＣｌ
又は
２ＴｉＣｌ４＋ＣＨ３ＣＮ＋４．５Ｈ２  →  ２ＴｉＣ０．５Ｎ０．５＋ＣＨ４＋８ＨＣｌ
ＨｆＣｌ４＋２ＣＯ２＋２Ｈ２  →  ＨｆＯ２＋２ＣＯ＋４ＨＣｌ
アセトンに代わってピリジンを使用した場合にも相応する反応が行われ、反応生成物として同様にＴｉＣｘＮｙ相が生じる。もちろん、ピリジンをガス相中で使用する場合に、Ｃ：Ｎ比は０．５：０．５から０．７：０．３に変化し、ベンゼンについては１．０：０に変化し、つまり、第１の相中にはよりわずかな窒素が含まれるかもしくは窒素が含まれない。
【００１４】
有利に次のガス成分が使用される：
ＴｉＣｌ４：  １〜４体積％、有利に１〜２体積％
ＺｒＣｌ４及び／又はＨｆＣｌ４：  ０．３〜４体積％、有利に０．５〜２体積％
Ｃ５Ｈ５Ｎ又はＣＨ３ＣＮ又はＣ６Ｈ６：  ０．２〜２体積％、有利に０．５〜１体積％ 
ＣＯ２：  ０．１〜３体積％、有利に０．３〜２体積％、残りＡｒ及び／又はＨ２。
【００１５】
堆積温度は本発明の有利な適用によると、８００℃〜１０００℃、ガス雰囲気圧は５×１０３Ｐａ〜６×１０４Ｐａである。
【００１６】
具体的な実施例において、ＷＣからなる硬質相と、Ｃｏ  ６質量％とを有する硬質金属基材成形体上に、層系ＴｉＮ−ＴｉＣＮ／ＨｆＯ２−ＴｉＮを堆積させ、その際、前記の中間層の堆積のために次のガス組成を選択した：
ＴｉＣｌ４  １．４体積％、ＨｆＣｌ４  １．４体積％、ＣＨ３ＣＮ  ０．８体積％、ＣＯ２  ０．５体積％、残りＨ２。
【００１７】
それぞれのＴｉＮ層は、通常のＣＶＤ被覆法を使用して製造された。
【００１８】
相応する方法で、硬質金属基材成形体上に、層系ＴｉＮ−ＴｉＣＮ−ＴｉＣＮ／ＨｆＯ２−α−Ａｌ２Ｏ３も堆積され、その際、意外にも、本発明による多相の中間層ＴｉＣＮ／ＨｆＯ２上にＣＶＤ法を用いて安定なα−Ａｌ２Ｏ３が作成されることが確認された。
【００１９】
次に説明する本発明の利点は、図面から明らかである。図１〜３は、それぞれ測定された工具寿命を対比する棒グラフを表す。
【００２０】
前記したように、ＳＮＵＮ１２０４０８タイプの切削プレートの形を有する硬質金属基材成形体上に、第１の場合に、本発明による層系のＴｉＮ−ＴｉＣＮ／ＨｆＯ２−ＴｉＮを設けた。この中間層は、従って二相、つまり一方でＴｉＣＮ及び他方でＨｆＯ２を有する。
【００２１】
これとの比較で、同じ組成でかつ同じタイプの基材成形体に三層の被覆ＴｉＮ−ＴｉＣＮ−ＴｉＮを設けた。パラメータｖｃ＝２００ｍ／ｍｉｎ、ａｐ＝２．０ｍｍ及びｆ＝０．４ｍｍ／ＵでのＣＫ４５Ｎの種類の鋼の乾式切削における旋削の際に、本発明による被覆により、約１５ｍｉｎの工具寿命が達成できたが、それに対して先行技術による比較成形体の工具寿命は１２ｍｉｎよりも短かった。
【００２２】
層系ＴｉＮ−ＴｉＣＮ−κ−Ａｌ２Ｏ３の先行技術による公知の被覆を有する切削成形体と、本発明による被覆ＴｉＮ−ＴｉＣＮ−ＴｉＣＮ／ＨｆＯ２−α−Ａｌ２Ｏ３を有する切削成形体とを比較した場合でも、旋削の際に連続する切削において、冷却潤滑剤を使用して、つまり湿式切削で、明らかに工具寿命の改善を達成することができた。先行技術による公知の層系において、中間のＴｉＣＮ層は８００℃〜１０００℃の堆積温度で設けられ、その上に気相からκ−Ａｌ２Ｏ３が堆積され、６ｍｉｎの工具寿命が達成できるにすぎないが、ＴｉＣＮ層とＡｌ２Ｏ３層との間にＴｉＣＮとＨｆＯ２とからなる二相の中間層を挿入した層系の場合には、工具寿命が向上した。この中間層は、同じ方法条件下でもα−Ａｌ２Ｏ３の堆積を可能にする。９ｍｉｎの得られた工具寿命は、５０％の改善率を示す。比較試験において、被加工品はＧＧ２５の種類の鋳造成形体からなり、これをタイプＣＮＭＧ１２０４１２−５の切削成形体を用いて加工した。使用した旋削パラメータは：
ｖｃ＝４５０ｍ／ｍｉｎ、ａｐ＝２．５ｍｍ及びｆ＝０．３１５ｍｍ／Ｕであった。
【００２３】
図３から明らかなように、本発明による被覆は、湿式旋削の場合でも連続的切削で工具寿命の著しい改善を提供することができた。タイプＣＮＭＧ１２０４１２−５の同じ組成の基材成形体上に、第１の場合に、ＴｉＮ−ＴｉＣＮ（ＭＴ）−ＴｉＣＮ／ＨｆＯ２−α−Ａｌ２Ｏ３−ＺｒＣＮの組成の本発明による層系を、第２の場合にＴｉＮ−ＴｉＣＮ（ＭＴ）−κ−Ａｌ２Ｏ３−ＺｒＣＮの組成の層系を設けた。両方の切削チップは、種類ＧＧ２５の鋳造成形体の旋削加工のために使用され、その際、次の方法パラメータが使用された：
ｖｃ＝４００ｍ／ｍｉｎ、ａｐ＝２．５ｍｍ及びｆ＝０．３１５ｍｍ／Ｕ。
【００２４】
二相の中間層ＴｉＣＮ／ＨｆＯ２が挿入された本発明による層組成の工具寿命は１２．５ｍｉｎであったが、それに対して、先行技術による公知の被覆を有する切削チップを用いて達成された工具寿命は１０．２ｍｉｎであった。
【００２５】
前記に議論された試験結果は、明らかに、乾式切削における旋削時でも、湿式切削における旋削時でも工具寿命の明らかな改善が達成できることを示す。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】乾式旋削でそれぞれ測定された工具寿命を対比する棒グラフ。
【図２】湿式旋削でそれぞれ測定された工具寿命を対比する棒グラフ。
【図３】湿式旋削でそれぞれ測定された工具寿命を対比する棒グラフ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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