(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
直流電源と、電圧制御発振器と、この電圧制御発振器の出力する高周波信号を増幅する電力増幅手段と、この電力増幅手段の出力する高周波電力で励振される振動子と、この振動子電流波形の基本波成分を検出し、正の期間分のみ出力する電流波形検出手段と、同電圧波形の基本波成分を検出し、正の期間分のみ出力する電圧波形検出手段と、この電圧波形検出手段の出力を最小値が正となるように反転させるインバータと、このインバータの出力と前記電流波形検出手段の出力との論理積を演算する論理積演算手段と、この論理積演算手段の出力を入力して前記電圧制御発振器の制御電圧値を調整する電流最小値制御手段とを備え、前記電流最小値制御手段は、前記電圧制御発振器の制御電圧値に微少変位を加算もしくは減算し所定時間経過後の論理積演算手段の出力と、微少変位加減算前の論理積演算手段の出力とを比較し、微少変位加減算前の出力の方が大きい場合は、再び前記電圧制御発振器の制御電圧値に微少変位を加算もしくは減算し所定時間経過後の論理積演算手段の出力と、微少変位加減算前の論理積演算手段の出力とを比較する処理を繰り返すことにより、論理積演算手段の出力値が常に最小になるように前記電圧制御発振器の制御電圧値を調整することを特徴とする振動子励振用電力増幅装置。
【請求項２】
直流電源と、電圧制御発振器と、この電圧制御発振器の出力する高周波信号を増幅する電力増幅手段と、この電力増幅手段の出力する高周波電力で励振される振動子と、この振動子電流波形の基本波成分を検出し、正の期間分のみ出力する電流波形検出手段と、同電圧波形の基本波成分を検出し、正の期間分のみ出力する電圧波形検出手段と、この電圧波形検出手段の出力を最小値が正となるように反転させるインバータと、このインバータの出力と前記電流波形検出手段の出力との論理積を演算する論理積演算手段と、この論理積演算手段の出力値が最小となる前記電圧制御発振器の制御電圧値を検索する電流最小点検索手段と、検索された制御電圧値を保持する保持手段と、この保持手段の保持している制御電圧値と検索中の制御電圧値のいずれかを選択して出力する選択手段と、この選択手段及び前記電流最小点検索手段に信号を出力するタイマー手段とで構成され、このタイマー手段の信号に基づいて所定時間毎に電流最小点を検索更新することを特徴とする振動子励振用電力増幅装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する利用分野】
本発明は、強力超音波応用に使用される振動子励振用電力増幅装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、強力超音波は各種洗浄や機械加工以外にも様々な分野で応用が進められている。従来この種の強力超音波応用に使用される振動子の励振用電力増幅装置としては、自励式、帰還式の回路が主に提供されている。
【０００３】
また、振動子の音響負荷が一定しているような用途では他励式の回路も提供されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような従来の自励式の電力増幅装置は、振動子の音響（機械）負荷がダイナミックに変動するような用途には十分には対応できない。また、帰還式の電力増幅装置は、振動子の信号をピックアップして電力増幅器に帰還させる際の位相補償回路等が複雑となり、位相補償用のコンデンサも複数個必要となり、プリント基板が大型化すると共に、装置のコストアップをも招くという課題を有していた。また、振動子毎に一対の調整された増幅装置を用意し、製造ラインで調整する必要があった。そのため振動子が使用中に劣化もしくは損傷して交換する場合は増幅装置の調整を製造ラインと同等の設備を用いて再度調整する必要があった。本発明は、上記従来の課題を解決するもので、効率的な配置によるプリント基板の小型化と、より安価で調整が不要な振動子励振用電力増幅装置を提供することを目的とするものである。特に、本発明は、前記第一の目的に関連してより手軽で簡便な励振用電力装置を提供することを目的としているものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の第一の手段では、直流電源と、電圧制御発振器と、この電圧制御発振器の出力する高周波信号を増幅する電力増幅手段と、この電力増幅手段の出力する高周波電力で励振される振動子と、この振動子電流波形の基本波成分を検出し、正の期間分のみ出力する電流波形検出手段と、同電圧波形の基本波成分を検出し、正の期間分のみ出力する電圧波形検出手段と、この電圧波形検出手段の出力を最小値が正となるように反転させるインバータと、このインバータの出力と前記電流波形検出手段の出力との論理積を演算する論理積演算手段と、この論理積演算手段の出力を入力して前記電圧制御発振器の制御電圧値を調整する電流最小値制御手段とを備え、前記電流最小値制御手段は、前記電圧制御発振器の制御電圧値に微少変位を加算もしくは減算し所定時間経過後の論理積演算手段の出力と、微少変位加減算前の論理積演算手段の出力とを比較し、微少変位加減算前の出力の方が大きい場合は、再び前記電圧制御発振器の制御電圧値に微少変位を加算もしくは減算し所定時間経過後の論理積演算手段の出力と、微少変位加減算前の論理積演算手段の出力とを比較する処理を繰り返すことにより、論理積演算手段の出力値が常に最小になるように前記電圧制御発振器の制御電圧値を調整することを特徴としている。
【０００６】
また、本発明の第二の手段では、直流電源と、電圧制御発振器と、この電圧制御発振器の出力する高周波信号を増幅する電力増幅手段と、この電力増幅手段の出力する高周波電力で励振される振動子と、この振動子電流波形の基本波成分を検出し、正の期間分のみ出力する電流波形検出手段と、同電圧波形の基本波成分を検出し、正の期間分のみ出力する電圧波形検出手段と、この電圧波形検出手段の出力を最小値が正となるように反転させるインバータと、このインバータの出力と前記電流波形検出手段の出力との論理積を演算する論理積演算手段と、この論理積演算手段の出力値が最小となる前記電圧制御発振器の制御電圧値を検索する電流最小点検索手段と、検索された制御電圧値を保持する保持手段と、この保持手段の保持している制御電圧値と検索中の制御電圧値のいずれかを選択して出力する選択手段と、この選択手段及び前記電流最小点検索手段に信号を出力するタイマー手段とで構成され、このタイマー手段の信号に基づいて所定時間毎に電流最小点を検索更新することを特徴とする。
【０００７】
【実施例】
以下、本発明の具体例について、図１から図１７を用いて説明する。
【０００８】
（実施例１）
図１は本発明の第一の実施の形態によるブロック図を示し、１は直流電源、２は電圧制御発振器、３は電力増幅器、４は電力増幅器３の出力する高周波電力で励振される振動子、５は振動子４の等価電気抵抗値と電力増幅器３の最適出力抵抗値を整合させるための出力整合回路で、昇圧を兼ねた出力トランス５ａ、直列インダクタンス５ｂ、並列コンデンサ５ｃからなる。この出力整合回路５及び電力増幅器３については多数考案され実用に供されており、コロナ社発行の「超音波工学」等の書籍に詳しく解説がなされている。６は振動子４の電流波形の基本波成分を検出する電流波形検出手段、７は同電圧波形の基本波成分を検出する電圧波形検出手段、８はカレントトランス、９は検出された基本波成分の電流及び電圧波形から力率を計算する力率演算手段、１０はこの計算された力率が常に最大になるように電圧制御発振器２の制御電圧を調整する力率最大値制御手段である。
【０００９】
以下本実施例の動作について説明する。電圧制御発振器２は力率最大値制御手段１０の出力を制御電圧として入力し、振動子４の動作（共振）周波数±５００Ｈｚ程度の周波数範囲の高周波信号（矩形波）を出力する。この高周波信号はパワートランジスタやＩＧＢＴのスイッチング動作を利用した電力増幅器３で電力増幅された後、出力整合回路５で正弦波形に近づけられてから振動子４に加えられる。
【００１０】
一般的に励振用電源から効率良く電力を振動子に供給するためには振動子励振電力の電気力率ｃｏｓθはゼロに近い値、即ち、振動子に加わる電圧・電流波形が正弦波で位相が一致する方が良い。しかし、電力増幅器でパワー素子のスイッチング動作を使用するために、電力増幅器の出力電力は矩形あるいは台形となり、多くの高調波成分を含んでしまう。一方、圧電磁器等の振動子は機械共振で使用され、その共振のＱｍ（共振の鋭さ）は数１０以上の高い値を持っているため、振動子の励振波形が歪み波形であっても、振動子材料の誘電及び圧電的な非線形性のため、振動子の（機械的な）振動速度の波形は正弦波となる。そこで、励振する電圧または電流波形のいずれかを正弦波形にすることにより、振動子の入力電気パワーと機械振動パワーは動作（共振）周波数の基本波パワーで効率よく結ばれることになる。例えば、出力整合回路を直列共振回路として設計する場合は、直列インダクタンスの値を振動子の電気容量を相殺する値に、また、電流波形が正弦波形となるように並列コンデンサ、直列共振回路のＱ、直列インダクタンスの値を調整する。
【００１１】
振動子４に流れる電流をカレントトランス８で検出して電流波形入力手段６に入力する。電流波形入力手段６は入力された電流波形から高調波成分をフィルターで除去し、基本波成分の電流波形のみを出力する。同じく電圧波形入力手段７は入力された振動子４の両端の電圧波形から高調波成分をフィルターで除去し、基本波成分の電圧波形のみを出力する。力率演算手段９は上記基本波成分の電流・電圧波形を各々入力して両方の波形の位相差等を測定することにより力率を演算し出力する。
【００１２】
次に力率最大値制御手段１０の動作を図２のフローチャートに従って説明する。ステップＰ１の初期状態で変数Ｖ＝Ｖｓｔａｒｔに設定し、ステップＰ２で変数Ｖを電圧制御発振器２の制御電圧値として出力する。ステップＰ３で出力結果が振動子４の励振電力に反映されるまで時間待ちする。ステップＰ４で力率演算手段９から力率値を入力し変数Ｒ１に代入する。ステップＰ５で変数Ｖに微少変位Ｖｓｔｅｐを加える。ステップＰ６で変数ＶとＶｅｎｄを比較し変数Ｖが定数Ｖｅｎｄより小さい場合はステップＰ８へ進む。ＶがＶｅｎｄより大きい場合はステップＰ７でＶにＶｅｎｄを代入する。ステップＰ８では変数Ｖを制御電圧値として出力し、ステップＰ９で時間待ちする。ステップＰ１０で入力した力率値を変数Ｒ２に代入する。ステップＰ１１で変数Ｒ１とＲ２を比較してＲ２の方が大きい場合はステップＰ２へ戻る。（変数Ｒ１より）変数Ｒ２の方が小さい場合はステップＰ１２へ進む。
【００１３】
ステップＰ１２では変数Ｖを制御電圧値として出力し、ステップＰ１３で時間待ちする。ステップＰ１４で入力した力率値を変数Ｒ３に代入する。ステップＰ１５で変数Ｖから微少変位Ｖｓｔｅｐを引く。ステップＰ１６で変数Ｖと定数Ｖｓｔａｒｔを比較がＶがＶｓｔａｒｔより大きい場合はステップＰ１８へ進む。ＶがＶｓｔａｒｔより小さい場合はステップＰ１７で変数ＶにＶｓｔａｒｔを代入する。ステップＰ１８では変数Ｖを制御電圧値として出力し、ステップＰ１９で時間待ちする。ステップＰ２０で入力した力率値を変数Ｒ４に代入する。ステップＰ２１で変数Ｒ３とＲ４を比較してＲ４の方が大きい場合はステップＰ１２へ戻る。（変数Ｒ３より）変数Ｒの方が小さい場合はステップＰ２へ戻る。以上の動作を繰り返すことで電気力率ｃｏｓθが最大値を維持するように制御される。
【００１４】
電気力率ｃｏｓθが最大値となる点は音響（機械）負荷を含めた振動子系の最適動作周波数であるので、振動子４へ効率よく高周波電力を供給できる。定数Ｖｓｔａｒｔは電圧制御発振器２の出力周波数が動作周波数−５００Ｈｚとなる制御電圧値、定数Ｖｅｎｄは動作周波数＋５００Ｈｚとなる制御電圧値である。微少変位Ｖｓｔｅｐは（Ｖｅｎｄ−Ｖｓｔａｒｔ）／２５６以下の値である。この値よりＶｓｔｅｐが大きくなると共振のＱが大きいため力率の最大点を正確に捕らえられなくなる。励振周波数と力率の関係は図３（ａ）に示すようなグラフとなるが、音響負荷によっては力率最大点と最小点の差が小さく、図２のアルゴリズムで力率最大点を捕らえるのが多少困難となるケースもまれに生じるが、そのような場合には変数Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３の３点を測定し（各々はＶｓｔｅｐずつ周波数が異なる）、３点のｍａｘ値を次の測定時のＲ２とするアルゴリズムが有効である。
【００１５】
また、ステップＰ３、Ｐ９、Ｐ１３及びＰ１９の遅延時間は数１０μｓ程度のもので、ステップＰ７及びステップＰ１７の代入処理を実行することは通常の制御域では無い。
【００１６】
（実施例２）
続いて本発明の第２の実施例について説明する。図４は本実施例のブロック図を示し、２０は直流電源、２１は電圧制御発振器、２２は電力増幅器、２３は電力増幅器２２の出力する高周波電力で励振される振動子、２４は振動子２３の等価電気抵抗値と電力増幅器２２の最適出力抵抗値を整合させるための出力整合回路で、昇圧を兼ねた出力トランス２４ａ、直列インダクタンス２４ｂ、並列コンデンサ２４ｃからなる。
【００１７】
２５は振動子２３の電流波形の基本波成分を検出する電流波形検出手段、２６は同電圧波形の基本波成分を検出する電圧波形検出手段、２７はカレントトランス、２９は検出された基本波成分の電流及び電圧波形から力率を計算する力率演算手段、３０はこの計算された力率が最大となる電圧制御発振器２１の制御電圧を検索する力率最大点検索手段、３１検索された制御電圧値を保持する保持手段、３２はこの保持手段３１の保持している制御電圧値と検索中の制御電圧値のいずれかを選択して出力する選択手段、３３はこの選択手段３２及び力率最大点検索手段３０に信号を出力するタイマー手段である。
【００１８】
以下本実施例の動作について説明する。電圧制御発振器２１は選択手段３２の出力を制御電圧として入力し、振動子２３の動作（共振）周波数±５００Ｈｚ程度の周波数範囲の高周波信号（矩形波）を出力する。この高周波信号はパワートランジスタやＩＧＢＴのスイッチング動作を利用した電力増幅器２２で電力増幅された後、出力整合回路２４で正弦波形に近づけられてから振動子２３に加えられる。振動子２３に流れる電流をカレントトランス２７で検出して電流波形入力手段２５に入力する。電流波形入力手段２５は入力された電流波形から高調波成分をフィルターで除去し、基本波成分の電流波形のみを出力する。同じく電圧波形入力手段２６は入力された振動子２３の両端の電圧波形から高調波成分をフィルターで除去し、基本波成分の電圧波形のみを出力する。力率演算手段２９は上記基本波成分の電流・電圧波形を各々入力して両方の波形の位相差等を測定することにより力率を演算し出力する。タイマー手段３３からの信号が入力されると選択手段３２は力率最大点検索手段３０の出力を電圧制御発振器２１へ出力するように切り替える。
【００１９】
力率最大点検索手段３０は制御電圧値をＶｓｔａｒｔからＶｅｎｄまで、微少変位Ｖｓｔｅｐ毎に掃引して、力率が最大となる制御電圧値を検索する。検索された制御電圧値は保持手段３１に出力される。タイマー手段３３からの信号が停止すると選択手段３２は保持手段３１の出力を電圧制御発振器２１へ出力するように切り替える。タイマー手段３３は力率最大点検索手段３０が制御電圧値をＶｓｔａｒｔからＶｅｎｄまで掃引・検索するのに要する時間以上のタイマー出力を行うように設定してある。次に力率最大点検索手段３０の動作を図５のフローチャートに従って詳しく説明する。
【００２０】
ステップＰ３０の初期状態で変数Ｖ＝Ｖｓｔａｒｔに、変数Ｒｍａｘ＝−９９に設定する。ステップＰ３１で変数Ｖを電圧制御発振器２１の制御電圧値として選択手段３２に出力する。ステップＰ３２で出力結果が振動子２３の励振電力に反映されるまで時間待ちする。ステップＰ３３で力率演算手段２９から力率値を入力し変数Ｒｔｅｍｐに代入する。ステップＰ３４で変数Ｒｔｅｍｐと変数Ｒｍａｘを比較し変数Ｒｍａｘの方が大きい場合はステップ３６へ進む。他方、変数Ｒｍａｘの方が小さい場合はステップ３５で変数Ｒｍａｘに変数Ｒｔｅｍｐを代入する。ステップＰ３６で変数Ｖに微少変位Ｖｓｔｅｐを加える。ステップＰ３７で変数ＶとＶｅｎｄを比較し変数ＶがＶｅｎｄより小さい場合はステップＰ３１へ戻り、上記動作を繰り返す。変数ＶがＶｅｎｄより大きい場合は検索が終了したのでステップＰ３８で変数Ｒｍａｘを力率最大となる制御電圧値として保持手段３１へ出力する。
【００２１】
以上の動作を繰り返すことで電気力率ｃｏｓθが最大となる点をタイマー手段３３の信号に基づいて所定時間毎に検索更新するよう作用する。ここで、定数Ｖｓｔａｒｔは電圧制御発振器２１の出力周波数が動作周波数−５００Ｈｚとなる制御電圧値、定数Ｖｅｎｄは動作周波数＋５００Ｈｚとなる制御電圧値である。微少変位Ｖｓｔｅｐは（Ｖｅｎｄ−Ｖｓｔａｒｔ）／２５６以下の値であることが望ましい。ステップＰ３２の遅延時間は数１０μｓ程度のものである。また、検索し更新する時間間隔は強力超音波応用の用途によって適当な値に設定すれば良い。音響負荷が余り変動しない用途では振動子２３等の発熱による動作周波数の変位を補償するだけでよいので３０秒に１回程度の頻度で十分である。
【００２２】
（実施例３）
次に本発明の第三の実施例について説明する。図６は本発明の第三の実施形態によるブロック図を示し、４０は直流電源、４１は電圧制御発振器、４２は電力増幅器、４３は電力増幅器４２の出力する高周波電力で励振される振動子、４４は振動子４３の等価電気抵抗値と電力増幅器４２の最適出力抵抗値を整合させるための出力整合回路で、昇圧を兼ねた出力トランス４４ａ、直列インダクタンス４４ｂ、並列コンデンサ４４ｃからなる。４５は直流電源４０の出力電流値を検出する電流値検出手段、４６はシャント抵抗、４７はこの検出された電流値が常に最大になるように電圧制御発振器４１の制御電圧を調整する電流最大値制御手段である。
【００２３】
以下本実施例の動作について説明する。電圧制御発振器４１は電流最大値制御手段４７の出力を制御電圧として入力し、振動子４３の動作（共振）周波数±５００Ｈｚ程度の周波数範囲の高周波信号（矩形波）を出力する。この高周波信号はパワートランジスタやＩＧＢＴのスイッチング動作を利用した電力増幅器４２で電力増幅された後、出力整合回路４４で正弦波形に近づけられてから振動子４３に加えられる。
【００２４】
振動子４３の動作周波数近傍では電気的な入力パワーが最大となるため直流電源４０から流れ出る電流も最大値となる。電流値検出手段４５はシャント抵抗４６で直流電源４０から電力増幅器４２に供給される電流値を検出して出力する。電流値最大制御手段４７は入力された電流値が常に最大となるように出力を制御する。
【００２５】
次に電流最大値制御手段４７の動作を図７のフローチャートに従って説明する。ステップＰ４０の初期状態で変数Ｖ＝Ｖｓｔａｒｔに設定する。ステップＰ４１で変数Ｖを電圧制御発振器４１の制御電圧値として出力する。ステップＰ４２で出力結果が振動子４３の励振電力に反映されるまで時間待ちする。ステップＰ４３で電流値検出手段４５から電流値を入力し変数Ｉ１に代入する。ステップＰ４４で変数Ｖに微少変位Ｖｓｔｅｐを加える。ステップＰ４５で変数Ｖと定数Ｖｅｎｄを比較し変数ＶがＶｅｎｄより小さい場合はステップＰ４７へ進む。変数ＶがＶｅｎｄより大きい場合はステップＰ４６で変数ＶにＶｅｎｄを代入する。ステップＰ４７では変数Ｖを制御電圧値として出力し、ステップＰ４８で時間待ちする。ステップＰ４９で入力した電流値を変数Ｉ２に代入する。ステップＰ５０で変数Ｉ１とＩ２を比較してＩ２の方が大きい場合はステップＰ４１へ戻る。（変数Ｉ１より）変数Ｉ２の方が小さい場合はステップＰ５１へ進む。
【００２６】
ステップＰ５１では変数Ｖを制御電圧値として出力し、ステップＰ５２で時間待ちする。ステップＰ５３で入力した電流値を変数Ｉ３に代入する。ステップＰ５４で変数Ｖから微少変位Ｖｓｔｅｐを引く。ステップＰ５５で変数Ｖと定数Ｖｓｔａｒｔを比較し、変数ＶがＶｓｔａｒｔより大きい場合はステップＰ５７へ進む。変数ＶがＶｓｔａｒｔより小さい場合はステップＰ５６で変数ＶにＶｓｔａｒｔを代入する。ステップＰ５７では変数Ｖを制御電圧値として出力し、ステップＰ５８で時間待ちする。ステップＰ５９で入力した電流値を変数Ｉ４に代入する。ステップＰ６０で変数Ｉ３とＩ４を比較してＩ４の方が大きい場合はステップＰ５１へ戻る。（変数Ｉ３より）変数Ｉ４の方が小さい場合はステップＰ４１へ戻る。
【００２７】
以上の動作を繰り返すことで電流値が最大値を維持するように制御される。電流値が最大となる点は音響（機械）負荷を含めた振動子系の最適動作周波数であるので、振動子４３へ効率よく高周波電力を供給できる。ここで定数Ｖｓｔａｒｔは電圧制御発振器４１の出力周波数が動作周波数−５００Ｈｚとなる制御電圧値、定数Ｖｅｎｄは動作周波数＋５００Ｈｚとなる制御電圧値である。微少変位Ｖｓｔｅｐは（Ｖｅｎｄ−Ｖｓｔａｒｔ）／２５６以下の値である方が望ましい。この値よりＶｓｔｅｐが大きくなると共振のＱが大きいため電流の最大点を正確に捕らえられなくなる。励振周波数と電流値の関係は図３（ｂ）に示すようなグラフとなるが、音響負荷によっては電流の最大点と最小点の差が小さく、図７のアルゴリズムで電流最大点を捕らえるのが多少困難となるケースもまれに生じるが、そのような場合には変数Ｉ１、Ｉ２、Ｉ３の３点を測定し（各々はＶｓｔｅｐずつ周波数が異なる）、３点のｍａｘ値を次の測定時のＩ２とし、順次上記３点の測定を繰り返すアルゴリズムが有効である。また、ステップＰ４２、Ｐ４８、Ｐ５２及びＰ５８の遅延時間は数１０μｓ程度のものであり、ステップＰ４６及びステップＰ５６の代入処理は通常の制御域では実行されない。
【００２８】
（実施例４）
続いて本発明の第四の実施例について説明する。図８に本実施例のブロック図を示す、５０は直流電源、５１は電圧制御発振器、５２は電力増幅器、５３は電力増幅器５２の出力する高周波電力で励振される振動子、５４は振動子５３の等価電気抵抗値と電力増幅器５２の最適出力抵抗値を整合させるための出力整合回路で、昇圧を兼ねた出力トランス５４ａ、直列インダクタンス５４ｂ、並列コンデンサ５４ｃからなる。
【００２９】
５５は直流電源５０の出力電流値を検出する電流値検出手段、５６はシャント抵抗、５７は検出された電流値が最大となる電圧制御発振器５１の制御電圧値を検索する電流最大点検索手段、５８検索された制御電圧値を保持する保持手段、５９はこの保持手段の保持している制御電圧値と検索中の制御電圧値のいずれかを選択して出力する選択手段、６０はこの選択手段５９及び電流最大点検索手段５７に信号を出力するタイマー手段である。
【００３０】
以下本実施例の動作について説明する。電圧制御発振器５１は選択手段５９の出力を制御電圧として入力し、振動子５３の動作（共振）周波数±５００Ｈｚ程度の周波数範囲の高周波信号（矩形波）を出力する。この高周波信号はパワートランジスタやＩＧＢＴのスイッチング動作を利用した電力増幅器５２で電力増幅された後、出力整合回路で正弦波形に近づけられてから振動子５３に加えられる。振動子５３の動作周波数では電気的な入力パワーが極大となるため直流電源５０に流れる電流も極大値となる。電流値検出手段５５はシャント抵抗５６で直流電源５０から電力増幅器５２に供給される電流値を検出して出力する。タイマー手段６０からの信号が入力されると選択手段５９は電流最大点検索手段５７の出力を電圧制御発振器５１へ出力するように切り替える。電流最大点検索手段５７は制御電圧値を定数Ｖｓｔａｒｔから定数Ｖｅｎｄまで、微少変位Ｖｓｔｅｐ毎に掃引して、電流が最大となる制御電圧値を検索する。検索された制御電圧値は保持手段５８に出力される。タイマー手段６０からの信号が停止すると選択手段５９は保持手段５８の出力を電圧制御発振器５１へ出力するように切り替える。次に電流最大点検索手段５７の動作を図９のフローチャートに従って詳しく説明する。
【００３１】
ステップＰ７０で初期状態で変数Ｖ＝Ｖｓｔａｒｔに、変数Ｉｍａｘ＝−９９に設定する。ステップＰ７１で変数Ｖを電圧制御発振器５１の制御電圧値として選択手段５９に出力する。ステップＰ７２では出力結果が振動子５３の励振電力に反映されるまで時間待ちする。ステップＰ７３で電流検出手段５７から電流値を入力し変数Ｉｔｅｍｐに代入する。ステップＰ７４で変数Ｉｔｅｍｐと変数Ｉｍａｘを比較し、変数Ｉｍａｘが大きい場合はステップ７６へ進む。他方、変数Ｉｍａｘの方が小さい場合はステップ７５で変数Ｉｍａｘに変数Ｉｔｅｍｐを代入する。ステップＰ７６で変数Ｖに微少変位Ｖｓｔｅｐを加える。ステップＰ７７で変数ＶとＶｅｎｄを比較し、変数ＶがＶｅｎｄより小さい場合はステップＰ７１へ戻り、同じ動作を繰り返す。変数ＶがＶｅｎｄより大きい場合は検索が終了したのでステップＰ７８で変数Ｉｍａｘを電流最大となる制御電圧値として保持手段５８へ出力する。以上の動作を繰り返すことで電流値が最大となる点をタイマー手段６０の信号に基づいて所定時間毎に検索更新するよう作用する。ここで、定数Ｖｓｔａｒｔは電圧制御発振器５１の出力周波数が動作周波数−５００Ｈｚとなる制御電圧値、定数Ｖｅｎｄは動作周波数＋５００Ｈｚとなる制御電圧値である。微少変位Ｖｓｔｅｐは（Ｖｅｎｄ−Ｖｓｔａｒｔ）／２５６以下の値であることが望ましい。また、ステップＰ７２の遅延時間は数１０μｓ程度のものであり、検索を更新する時間間隔は強力超音波応用の用途によって適当な値に設定すれば良い。
【００３２】
（実施例５）
次に本発明の第五の実施例について説明する。図１０は本発明の第五の実施の形態によるブロック図を示し、７０は直流電源、７１は電圧制御発振器、７２は電力増幅器、７３は電力増幅器７２の出力する高周波電力で励振される振動子、７４は振動子７３の等価電気抵抗値と電力増幅器７２の最適出力抵抗値を整合させるための出力整合回路で、昇圧を兼ねた出力トランス７４ａ、直列インダクタンス７４ｂ、並列コンデンサ７４ｃからなる。７５は振動子７３の電流波形の基本波成分を検出する電流波形検出手段、７６はカレントトランス、７７は第一の設定手段、７８はこの第一の設定手段７７と検出された電流値とを比較する第一の比較器、７９はこの第一の比較器７８の出力を積分する積分手段でコンデンサ７９ａと抵抗７９ｂからなる。８０は第二の設定手段、８１はこの第二の設定手段８０と電圧制御発振器７１の制御電圧値とを比較する第二の比較器、８２は第二の比較器８１のヒステリシス手段で抵抗８２ａとダイオード８２ｂからなる。第２の比較器８１の出力はダイオード８３と抵抗８４を介して第一の比較器７８の出力に接続されている。
【００３３】
以下本実施例の動作について説明する。電圧制御発振器７１は積分手段７９のコンデンサ７９ａの電圧を制御電圧として入力し、振動子７３の動作（共振）周波数±５００Ｈｚ程度の周波数範囲の高周波信号（矩形波）を出力する。この高周波信号はパワートランジスタやＩＧＢＴのスイッチング動作を利用した電力増幅器７２で電力増幅された後、出力整合回路７４で正弦波形に近づけられてから振動子７３に加えられる。
【００３４】
次に、振動子７３に流れる電流をカレントトランス７６で検出して電流波形入力手段７５に入力する。電流波形入力手段７５は入力された電流波形から高調波成分をフィルターで除去し、基本波成分の電流波形のみを出力する（図１１イ）。第一の比較器７８は第一の設定手段７７の電圧（図１１イの波線）とこの出力を比較し出力する（図１１ロ）。コンデンサ７９ａに蓄えられる電荷は第一の比較器７８の比較出力を積分したものとなる（図１１ハ）。すなわち、検出電流値が第一の設定手段の設定値より大きければ制御電圧は高く、検出電流値が第一の設定手段の設定値より小さければ制御電圧は低く制御される。
【００３５】
従って、第一の設定手段の設定値を図３ｂのカーブの最大値付近の手前（左側）に設定しておけば、振動子には概略最大値の電力が印加されるように制御される。一方、第二の比較器８１は音響（機械）負荷の急変により第一の比較器７８による制御が図３ｂ最大点より右側に逸した時、すなわち制御電圧値が第２の設定手段８０の設定値を越えた場合にヒステリシス手段８２が定める値まで制御電圧値を減少させ、再び上記の第一の比較器７８の制御動作を継続させるように作用する。ここで、第２の設定手段８０の設定値は電圧制御発振器７１の出力周波数が振動子７３の動作周波数＋５００Ｈｚとなる値近くに設定し、ヒステリシス手段８２の値はヒステリシス動作時に第２の設定手段８０の設定値を電圧制御発振器７１の出力周波数が振動子７３の動作周波数−５００Ｈｚ近くに引き下げる値に設定する。また、第２の設定手段８０は最小値、最大値まで調整しないか、もしくは上下に補助抵抗を挿入して最大・最小に調整しても０Ｖ、＋Ｖｃｃにならないようにしておく。
【００３６】
（実施例６）
続いて本発明の第六の実施例について説明する。図１２は本発明の第六の実施形態によるブロック図を示す。図１２で９０は直流電源、９１は電圧制御発振器、９２は電力増幅器、９３は電力増幅器９２の出力する高周波電力で励振される振動子、９４は振動子９３の等価電気抵抗値と電力増幅器９２の最適出力抵抗値を整合させるための出力整合回路で、昇圧を兼ねた出力トランス９４ａ、直列インダクタンス９４ｂ、並列コンデンサ９４ｃからなる。９５は振動子９３の電流波形の基本波成分を検出する電流波形検出手段、９６は同電圧波形の基本波成分を検出する電圧波形検出手段、９７はカレントトランス、９８は電圧波形検出手段９６の出力を反転させるインバータ、９９はインバータ９８の出力と上記検出された基本波成分の電流波形との論理積を演算する論理積演算手段、１００はこの演算された結果が常に最小になるように電圧制御発振器９１の制御電圧を調整する電流最小値制御手段である。
【００３７】
以下本実施例の動作について説明する。電圧制御発振器９１は電流最小値制御手段１００の出力を制御電圧として入力し、振動子９３の動作（共振）周波数±５００Ｈｚ程度の周波数範囲の高周波信号（矩形波）を出力する。この高周波信号はパワートランジスタやＩＧＢＴのスイッチング動作を利用した電力増幅器９２で電力増幅された後、出力整合回路９４で正弦波形に近づけられてから振動子９３に加えられる。
【００３８】
振動子９３に流れる電流をカレントトランス９７で検出して電流波形入力手段９５に入力する。電流波形入力手段９５は入力された電流波形から高調波成分をフィルターで除去し、基本波成分の電流波形のみを出力する（図１３イ）。同じく電圧波形入力手段９６は電力増幅器９２の入力信号から振動子９３の両端の基本波成分の電圧波形に近似した波形を整形出力する。インバータ９８はこの出力を反転させる（図１３ロ）。
【００３９】
論理積演算手段９９は上記基本波成分の電流及び電圧波形（反転された）を各々入力して論理積を演算し出力する（図１３ハ）。ここで出力整合回路９４を直列共振回路として直列インダクタンス、並列コンデンサ、直列共振回路のＱの値を調整しておけば、動作周波数で電気共振をおこした時は振動子９３の等価電気抵抗Ｒｍのみが電力増幅器９２の負荷となり、電圧波形と電流波形は位相が一致する。他方、上記の論理積演算手段９９の出力値は基本波成分の電流波形のうち電圧波形と同期している部分をマスクして除いたものなので、電流波形のうち電圧に同期していない部分（進み位相部分、或いは遅れ位相部分）である。従って、論理積演算手段９９の出力値が最小もしくはゼロとなるように電圧制御発振器９１の制御電圧を制御すれば音響（機械）負荷を含めた振動子系の最適動作周波数に常に一致させ、振動子９３へ効率よく高周波電力を供給できる。
【００４０】
次に電流最小値制御手段１００の動作を図１４のフローチャートに従って説明する。
【００４１】
ステップＰ８０の初期状態で変数Ｖ＝Ｖｓｔａｒｔに設定する。ステップＰ８１で変数Ｖを電圧制御発振器９１の制御電圧値として出力する。ステップＰ８２で出力結果が振動子９３の励振電力に反映されるまで時間待ちする。ステップＰ８３で論理積演算手段９９からの出力値を入力し変数ｉ１に代入する。ステップＰ８４で変数Ｖに微少変位Ｖｓｔｅｐを加える。ステップＰ８５で変数Ｖと定数Ｖｅｎｄを比較し変数ＶがＶｅｎｄより小さい場合はステップＰ８７へ進む。変数ＶがＶｅｎｄより大きい場合はステップＰ８６で変数ＶにＶｅｎｄを代入する。ステップＰ８７では変数Ｖを制御電圧値として出力し、ステップＰ８８で時間待ちする。ステップＰ８９で入力した力率値を変数ｉ２に代入する。ステップＰ９０で変数ｉ１とｉ２を比較してｉ１の方が大きい場合はステップＰ８１へ戻る。（変数ｉ２より）変数ｉ１の方が小さい場合はステップＰ９１へ進む。
【００４２】
ステップＰ９１で変数Ｖを制御電圧値として出力し、ステップＰ９２で時間待ちする。ステップＰ９３で入力した値を変数ｉ３に代入する。ステップＰ９４で変数Ｖから微少変位Ｖｓｔｅｐを引く。ステップＰ９５で変数Ｖと定数Ｖｓｔａｒｔを比較し変数ＶがＶｓｔａｒｔより大きい場合はステップＰ９７へ進む。変数ＶがＶｓｔａｒｔより小さい場合はステップＰ９６で変数ＶにＶｓｔａｒｔを代入する。ステップＰ９７では変数Ｖを制御電圧値として出力し、ステップＰ９８で時間待ちする。ステップＰ９９で入力した値を変数ｉ４に代入する。ステップＰ１００で変数ｉ３とｉ４を比較してｉ３の方が大きい場合はステップＰ９１へ戻る。（変数ｉ４より）変数ｉ３の方が小さい場合はステップＰ８１へ戻る。以上の動作を繰り返すことで論理積演算手段９９の出力値が最小もしくはゼロを維持するように制御される。定数Ｖｓｔａｒｔは電圧制御発振器９１の出力周波数が動作周波数−５００Ｈｚとなる制御電圧値、定数Ｖｅｎｄは動作周波数＋５００Ｈｚとなる制御電圧値である。微少変位Ｖｓｔｅｐは（Ｖｅｎｄ−Ｖｓｔａｒｔ）／２５６以下の値である方が望ましい。励振周波数と論理積演算手段９９の出力値の関係は図３（ｃ）に示すようなグラフとなるが、音響負荷によっては最大点と最小点の差が小さく、図１４のアルゴリズムで最大点を捕らえるのが多少困難となるケースもまれに生じるが、そのような場合には変数ｉ１、ｉ２、ｉ３の３点を測定し（各々はＶｓｔｅｐずつ周波数が異なる）、３点のｍａｘ値を次の測定時のｉ２とし、順次３点の測定を継続するアルゴリズムが有効である。また、ステップＰ８２、Ｐ８８、Ｐ９２及びＰ９８の遅延時間は数１０μｓ程度のものであり、ステップＰ８６及びステップＰ９６の代入処理は通常の制御域では実行されない。尚本実施例では、電圧波形検知手段は電力増幅器の入力信号から取り出す構成としたが、振動子両端の波形をフィルターを通して基本波のみ取り出す構成としても良い。
【００４３】
（実施例７）
続いて本発明の第七の実施例について説明する。図１５に本実施例のブロック図を示す。図１５で１１０は直流電源、１１１は電圧制御発振器、１１２は電力増幅器、１１３は電力増幅器１１２の出力する高周波電力で励振される振動子、１１４は振動子１１３の等価電気抵抗値と電力増幅器１１２の最適出力抵抗値を整合させるための出力整合回路で、昇圧を兼ねた出力トランス１１４ａ、直列インダクタンス１１４ｂ、並列コンデンサ１１４ｃからなる。１１５は振動子１１３の電流波形の基本波成分を検出する電流波形検出手段、１１６は同電圧波形の基本波成分を検出する電圧波形検出手段、１１７はカレントトランス、１１８は電圧波形検出手段１１６の出力を反転させるインバータ、１１９はインバータ１１８の出力と上記検出された基本波成分の電流波形との論理積を演算する論理積演算手段、１２０はこの演算された結果が最小となる電圧制御発振器１１１の制御電圧を検索する電流最小点検索手段、１２１は検索された制御電圧値を保持する保持手段、１２２はこの保持手段１２１の保持している制御電圧値と検索中の制御電圧値のいずれかを選択して出力する選択手段、１２３はこの選択手段１２２及び電流最小点検索手段１２０に信号を出力するタイマー手段である。以下本実施例の動作について説明する。電圧制御発振器１１１は選択手段１２２の出力を制御電圧として入力し、振動子１１３の動作（共振）周波数±５００Ｈｚ程度の周波数範囲の高周波信号（矩形波）を出力する。この高周波信号はパワートランジスタやＩＧＢＴのスイッチング動作を利用した電力増幅器１１２で電力増幅された後、出力整合回路１１４で正弦波形に近づけられてから振動子１１３に加えられる。振動子１１３に流れる電流をカレントトランス１１７で検出して電流波形入力手段１１５に入力する。電流波形入力手段１１５は入力された電流波形から高調波成分をフィルターで除去し、基本波成分の電流波形のみを出力する（図１３イ）。同じく電圧波形入力手段１１６は電力増幅器１１２の入力信号から振動子１１３の両端の基本波成分の電圧波形に近似した波形を整形出力する。インバータ１１８はこの出力を反転させる（図１３ロ）。論理積演算手段１１９は上記基本波成分の電流及び電圧波形（反転された）を各々入力して論理積を演算し出力する（図１３ハ）。ここで出力整合回路１１４を直列共振回路として直列インダクタンス、並列コンデンサ、直列共振回路のＱの値を調整してあるので、動作周波数で電気共振をおこした時は振動子１１３の等価電気抵抗Ｒｍのみが電力増幅器１１２の出力負荷となり、電圧波形と電流波形は位相が一致する。
【００４４】
タイマー手段１２３からの信号が入力されると選択手段１２２は電流最小点検索手段１２０の出力を電圧制御発振器１１１へ出力するように切り替える。電流最小点検索手段１２０は制御電圧値をＶｓｔａｒｔからＶｅｎｄまで、微少変位Ｖｓｔｅｐ毎に掃引して、論理積演算手段１１９の出力が最小となる制御電圧値を検索する。
【００４５】
検索された制御電圧値は保持手段１２１に出力される。タイマー手段１２３からの信号が停止すると選択手段１２２は保持手段１２１の出力を電圧制御発振器１１１へ出力するように切り替える。タイマー手段１２３は電流最小点検索手段１２０が制御電圧値をＶｓｔａｒｔからＶｅｎｄまで掃引・検索するのに要する時間以上のタイマー出力を行うように設定してある。
【００４６】
次に電流最小点検索手段１２０の動作を図１６のフローチャートに従って詳しく説明する。
【００４７】
ステップＰ１１０の初期状態で変数Ｖ＝Ｖｓｔａｒｔに、変数ｉｍｉｎ＝９９９９に設定する。ステップＰ１１１で変数Ｖを電圧制御発振器１１１の制御電圧値として選択手段１２２に出力する。ステップＰ１１２で出力結果が振動子１１３の励振電力に反映されるまで時間待ちする。ステップＰ１１３で論理積演算手段１１９からの出力値を入力し変数ｉｔｅｍｐに代入する。ステップＰ１１４で変数ｉｔｅｍｐと変数ｉｍｉｎを比較し、変数ｉｍｉｎの方が小さい場合はステップＰ１１６へ進む。他方、変数ｉｍｉｎの方が大きい場合はステップＰ１１５で変数ｉｍｉｎに変数ｉｔｅｍｐを代入する。ステップＰ１１６で変数Ｖに微少変位Ｖｓｔｅｐを加える。ステップＰ１１７で変数Ｖと定数Ｖｅｎｄを比較し、変数Ｖの方がＶｅｎｄより小さい場合はステップＰ１１１へ戻る。変数Ｖの方Ｖｅｎｄよりが大きい場合は検索が終了したのでステップＰ１１８で変数ｉｍｉｎを論理積演算手段９９の出力値が最小もしくはゼロとなる制御電圧値として保持手段１２１へ出力する。以上の動作を繰り返すことで論理積演算手段９９の出力値が最小もしくはゼロとなる点をタイマー手段１２３の信号に基づいて所定時間毎に検索更新するよう作用し、音響（機械）負荷を含めた振動子系の最適動作周波数に常に一致させ、振動子１１３へ効率よく高周波電力を供給できる。ここで、定数Ｖｓｔａｒｔは電圧制御発振器１１１の出力周波数が動作周波数−５００Ｈｚとなる制御電圧値、定数Ｖｅｎｄは動作周波数＋５００Ｈｚとなる制御電圧値である。
【００４８】
微少変位Ｖｓｔｅｐは（Ｖｅｎｄ−Ｖｓｔａｒｔ）／２５６以下の値である。上記検索を更新する時間間隔は強力超音波応用の用途によって適当な値に設定すれば良い。音響負荷が余り変動しない用途では振動子１１３等の発熱による動作周波数の変位を補償するだけでよいので３０秒に１回程度の頻度で十分である方が望ましい。また、ステップＰ１１２の遅延時間は数１０μｓ程度のものである。
【００４９】
（実施例８）
次に本発明の第八の実施例について説明する。図１７は本発明の第八の実施形態によるブロック図を示す。図１７で１３０は直流電源、１３１は電圧制御発振器、１３２は電力増幅器、１３３は電力増幅器１３２の出力する高周波電力で励振される振動子、１３４は振動子１３３の等価電気抵抗値と電力増幅器１３２の最適出力抵抗値を整合させるための出力整合回路で、昇圧を兼ねた出力トランス１３４ａ、直列インダクタンス１３４ｂ、並列コンデンサ１３４ｃからなる。１３５は振動子１３３の電流波形の基本波成分を検出する電流波形検出手段、１３６はカレントトランス、１３７はこの検出された基本波成分の電流波形と、電圧制御発振器１３１の出力波形の位相を比較する位相比較器、１３８はこの位相比較器１３７の出力を平滑化するローパスフィルターである。
【００５０】
この位相比較器１３７とローパスフィルター１３８、電圧制御発振器１３１で、いわゆるＰＬＬ（フェーズロックドループ）１３９を構成している。
【００５１】
以下本実施例の動作について説明する。電圧制御発振器１３１はローパスフィルター１３８の出力を制御電圧として入力し、振動子１３３の動作（共振）周波数±５００Ｈｚ程度の周波数範囲の高周波信号（矩形波）を出力する。この高周波信号はパワートランジスタやＩＧＢＴのスイッチング動作を利用した電力増幅器１３２で電力増幅された後、出力整合回路１３４で正弦波形に近づけられてから振動子１３３に加えられる。
【００５２】
次に、振動子１３３に流れる電流をカレントトランス１３６で検出して電流波形入力手段１３５に入力する。電流波形入力手段１３５は入力された電流波形から高調波成分をフィルターで除去し、基本波成分の電流波形のみを出力する（図１３イ）。ＰＬＬ１３９はこの電流波形と電圧制御発振器１３１の出力電圧波形の位相を比較し、両波形の位相を一致させるよう、電圧制御発振器１３１の制御電圧値を制御する。ここで電圧制御発振器１３１の出力電圧波形（矩形波）の位相は概略電力増幅器１３２の出力電圧位相と等しいので、上記制御により振動子１３３に加えられる高周波電圧と電流の位相が一致することとなり、振動子１３３へ効率よく高周波電力を供給できる。
【００５３】
電圧制御発振器１３１の出力周波数範囲は試作器による実験結果によると振動子１３３の動作周波数±２００Ｈｚ程度が限度となる。この範囲以上に設定しても周波数の上限及び下限近辺でフィルターをとおしても波形歪みが大きくなりロック外れを起こし易くなるため実用的ではない。この範囲を広げる替わりに、前記第二、第四、第七の実施例で用いたような検索手段を併用しＶｓｔｅｐを大きい値にして極大値を粗く検索した後、ＰＬＬ動作に移行するようにする方がより実用的である。また、電圧制御発振器１３１の制御電圧の上限と下限を監視して、上限又は下限に張り付いたままＰＬＬ動作をしない時に強制的に制御可能な領域に戻す回路を追加すると有用である。
【００５４】
なお本発明の第一〜第八実施例で用いた力率演算手段や電流検知手段、ＡＮＤ演算手段を商用電源の所定の位相（例えば商用電源電圧のピーク位相）に同期して動作するようにすれば、直流電源は商用電源を整流して得られる単方向電源（非平滑の脈流電圧）でも良い。その場合、小電力の振動子なら出力整合回路の出力トランスは無くても良い。
【００５５】
なお、電圧制御発振器はプログラムカウンターや、ワンチップマイクロコンピュータに内蔵されたタイマーカウンター等でも良い。ワンチップマイクロコンピュータを用いれば力率演算手段、論理積演算手段、力率最大点検索手段、電流最大点検索手段、電流最小点検索手段、保持手段、タイマー手段も含めて装置全体の制御部を容易に一石で構成することが可能である。力率最大点検索手段、電流最大点検索手段、電流最小点検索手段は各実施例の説明ではタイマー手段の出力により所定時間毎に検索更新するよう作用するものであったが、検知した値の最大或いは最小を判断する際に不感帯を設け、その範囲外になれば検索を実行する方法や、短時間定格の機器の場合などは初回のみ検索を実行する方法でも良い。
【００５６】
【発明の効果】
以上のように本発明は、構成がシンプル、従って安価、長寿命であり、且つ、振動子の音響（機械）負荷がダイナミックに変動するような用途でも対応できる励振用電力装置を提供することが可能となる。また、製造ラインで振動子毎に一対の調整された増幅装置を用意して調整する必要がなく、振動子が使用中に劣化もしくは損傷して交換する場合でも増幅装置を再調整する必要がないという効果を有する。特に、請求項１及び請求項２に記載した発明はより簡便で低価格なロジックで振動子の音響負荷に関わらず振動子の励振電力が常に最大となるような励振用電力装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第一の実施例である振動子励振用電力装置のブロック図
【図２】  同第一の実施例の主要部の動作を示すフローチャート
【図３】  本発明の実施例の制御原理を説明するグラフ
【図４】  本発明の第二の実施例である振動子励振用電力装置のブロック図
【図５】  同第二の実施例の主要部の動作を示すフローチャート
【図６】  本発明の第三の実施例である振動子励振用電力装置のブロック図
【図７】  同第三の実施例の主要部の動作を示すフローチャート
【図８】  本発明の第四の実施例である振動子励振用電力装置のブロック図
【図９】  同第四の実施例の主要部の動作を示すフローチャート
【図１０】  本発明の第五の実施例である振動子励振用電力装置のブロック図
【図１１】  同第五の実施例の動作を示すグラフ
【図１２】  本発明の第六の実施例である振動子励振用電力装置のブロック図
【図１３】  同第六の実施例の動作を示すグラフ
【図１４】  同第六の実施例の主要部の動作を示すフローチャート
【図１５】  本発明の第七の実施例である振動子励振用電力装置のブロック図
【図１６】  同第七の実施例の主要部の動作を示すフローチャート
【図１７】  本発明の第八の実施例である振動子励振用電力装置のブロック図
【符号の説明】
１  直流電源
２  電圧制御発振器
３  電力増幅器
４  振動子
５  出力整合回路
６  電流波形検知手段
７  電圧波形検知手段
９  力率演算手段
１０  力率最大値制御手段
３０  力率最大点検索手段
３１  保持手段
３２  選択手段
３３  タイマー手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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