(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面部と平面部に連続した曲面部を有するワークの表面を光学的センサで走査して表面欠陥を検査する装置であって、ワークを一定の方向に間欠的に搬送するワーク搬送手段と、ワーク搬送手段により搬送して所定位置に停止させたワークに対して、移動しながら平面部を所定の撮像角度で撮像する平面部検出センサと、同じくワーク搬送手段により搬送して所定位置に停止させたワークに対して、曲面部の湾曲断面の連続方向に移動しながら曲面部を所定の撮像角度で撮像する曲面部検出センサと、平面部検出センサおよび曲面部検出センサから得た画像を処理してワークの表面欠陥を抽出する画像処理手段を備え、ワーク搬送手段が、その搬送方向に対して曲面部の湾曲断面の連続方向を直交させた姿勢でワークを搬送しており、平面部検出センサおよび曲面部検出センサが、ワーク搬送手段による搬送方向に対して直交する方向に移動可能に設けてあることを特徴とする表面欠陥検査装置。
【請求項２】
平面部検出センサおよび曲面部検出センサが、ワークの表面に対して照明光を所定の照射角度で照射する照明手段と、照明手段に対向して配置され且つ照射角度よりも大きい撮像角度で照明光の反射光を撮像する撮像手段を各々備えており、予め設定されたワークの形状データとワーク搬送手段により所定位置に停止したワークの位置データに基づいてワークの表面に対する照射角度および撮像角度が一定となるように照明手段の角度および高さならびに撮像手段の角度および高さを制御するセンサ制御手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の表面欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学的センサを用いてワークの表面欠陥を検査する装置であり、例えば自動車の製造において、プレス形成された車体パネルの表面における凹凸等の表面欠陥を検査するのに利用される表面欠陥検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の表面欠陥検査装置としては、例えば、特開平８−５５７３号公報などに示されたものがあった。
【０００３】
同公報に開示された表面欠陥検査装置は、ワークの一方側斜め上方に位置してワークに面状の照明光を照射する光源と、ワークの他方側斜め上方に位置してワークの表面を撮像するエリアセンサカメラを備えており、カメラにより撮像した受光画像を画像処理してワークの表面に存在する凹凸等の表面欠陥を検出するものである。このとき、照明光の照射角度およびカメラによる撮像角度は、ワークの表面を基準として１０度以下の低角度であると共に、いずれもほぼ一定の角度になっている。したがって、カメラにより撮像した受光画像としては、照明光の正反射光を捕らえることになり、ワークの表面欠陥を影すなわち明部中の暗点として撮像したものとなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記したような従来の表面欠陥検査装置にあっては、ワークの表面が平坦である場合には良好な表面欠陥検出を行うことができるが、自動車の車体パネルのように表面が平面部と曲面部を有する場合には、照明光の照射角度やカメラの撮像角度を一定にすると、とくに曲面部に対する検出エリアが極端に狭くなる検出限界があり、曲面部の表面欠陥検査を充分に行うことが困難である。
【０００５】
そこで、自動車の車体パネルの表面欠陥検査では、光源およびカメラを角度調整可能に設け、一定速度で搬送されるワークの表面に対して照射角度および撮像角度が一定となるように光源およびカメラの角度を制御することが提案されている。しかし、現状の車体パネルの生産タクトは数秒単位であり、ワークを搬送するコンベアにも搬送速度の速いものが使用されることから、搬送速度の増大に伴ってワークの曲面部に対する検査性能を充分に確保することが困難になり、搬送速度がさらに増大すればワークの平面部に対する検査性能にも影響が生じる恐れがある。このため、従来では、コンベアの高速化に伴って発生する検査の面での不具合を解決することが要望されていた。
【０００６】
【発明の目的】
本発明は、上記従来の状況に鑑みて成されたもので、平面部と平面部に連続する曲面部を有するワークの表面を光学的センサで走査して表面欠陥を検査する装置において、ワークを間欠的に搬送するワーク搬送手段を使用し、ワーク搬送の高速化を実現すると共に、平面部および曲面部のいずれに対しても表面欠陥の検査を高精度に行うことができる表面欠陥検査装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係わる表面欠陥検査装置は、請求項１として、平面部と平面部に連続した曲面部を有するワークの表面を光学的センサで走査して表面欠陥を検査する装置であって、ワークを一定の方向に間欠的に搬送するワーク搬送手段と、ワーク搬送手段により搬送して所定位置に停止させたワークに対して、移動しながら平面部を所定の撮像角度で撮像する平面部検出センサと、同じくワーク搬送手段により搬送して所定位置に停止させたワークに対して、曲面部の湾曲断面の連続方向に移動しながら曲面部を所定の撮像角度で撮像する曲面部検出センサと、平面部検出センサおよび曲面部検出センサから得た画像を処理してワークの表面欠陥を抽出する画像処理手段を備え、ワーク搬送手段が、その搬送方向に対して曲面部の湾曲断面の連続方向を直交させた姿勢でワークを搬送しており、平面部検出センサおよび曲面部検出センサが、ワーク搬送手段による搬送方向に対して直交する方向に移動可能に設けてある構成とし、請求項２として、平面部検出センサおよび曲面部検出センサが、ワークの表面に対して照明光を所定の照射角度で照射する照明手段と、照明手段に対向して配置され且つ照射角度よりも大きい撮像角度で照明光の反射光を撮像する撮像手段を各々備えており、予め設定されたワークの形状データとワーク搬送手段により所定位置に停止したワークの位置データに基づいてワークの表面に対する照射角度および撮像角度が一定となるように照明手段の角度および高さならびに撮像手段の角度および高さを制御するセンサ制御手段を備えた構成としており、上記構成をもって従来の課題を解決するための手段としている。
【０００８】
なお、上記構成において、ワークの平面部は、完全に平面を成すものだけでなく、比較的曲率の小さい湾曲面も含むものとする。これに対して曲面部は、平面部に比べて曲率が明らかに大きく変化している面とする。
【０００９】
【発明の作用】
本発明の請求項１に係わる表面欠陥検査装置では、平面部と平面部に連続する曲面部を有するワークの表面を光学的センサで走査して表面欠陥を検査する装置において、ワークを一定の方向に間欠的に搬送するワーク搬送手段を採用し、ワーク搬送手段によりワークを搬送して所定位置に停止させ、そのワークに対して表面欠陥の検査を行うことから、ワーク搬送手段としては例えば高速の間欠式コンベアを用いることが可能となる。そして、所定位置に停止したワークに対して、移動する平面部検出センサにより平面部を所定の撮像角度で撮像するので、ワーク搬送速度に左右されることなく平面部に対する撮像が行われる。
【００１０】
ところで、ワークの曲面部の表面欠陥を検査する場合では、光学的センサによる走査を湾曲に沿う方向に行うと、検出エリアが極端に狭くなり、ましてワークを搬送しながらでは充分な検査を行うことが困難である。これに対して、当該表面欠陥検査装置では、所定位置に停止したワークに対して、曲面部の湾曲断面の連続方向（湾曲断面に直角な方向）に移動する曲面部検出センサにより曲面部を所定の撮像角度で撮像することから、ワーク搬送速度に左右されることなく曲面部に対する撮像が行われ、しかも、曲面部の曲率に左右されることもなく、撮像角度をほぼ一定にし且つ充分な検出エリアを確保した状態で撮像が行われる。
【００１１】
また、当該表面欠陥検査装置では、ワーク搬送手段が、その搬送方向に対して曲面部の湾曲断面の連続方向を直交させた姿勢でワークを搬送しており、平面部検出センサおよび曲面部検出センサが、ワーク搬送方向に対して直交する方向に移動可能に設けてあることから、所定位置に停止したワークの平面部に対しては、平面部検出センサが移動しながら撮像を行う。また、同ワークの曲面部に対しては、曲面部の湾曲断面の連続方向と曲面部検出センサの移動方向とが一致した状態になるので、曲面部の曲率に左右されることなく、曲面部検出センサが移動しながら撮像を行う。
【００１２】
そして、当該表面欠陥検査装置では、画像処理手段において、平面部検出センサおよび曲面部検出センサから入力した画像に対して、エッジ抽出のための微分処理、ノイズ除去のための平滑化処理、および表面欠陥を孤立点として検出するための二値化処理などを行って表面欠陥を抽出する。なお、表面欠陥の抽出結果は、ＣＲＴやプリンタなどの表示手段に表示することが可能である。
【００１３】
本発明の請求項２に係わる表面欠陥検査装置では、平面部検出センサおよび曲面部検出センサにおいて、照明手段により、ワークの一方側斜め上方から照明光を所定の照射角度で照射し、撮像手段により、ワークの他方側斜め上方から照射角度よりも大きい撮像角度で照明光の反射光を撮像する。このとき、照明手段による照射角度は、例えばワークの表面に対して１０度以下とし、撮像手段による撮像角度は、例えば１０〜３０度の範囲とする。したがって、所定の照射角度で照射された照明光のうち、表面欠陥の無い部分に当たった光は、照射角度と同じ角度で反射するので撮像手段には撮像されず、表面欠陥に当たって照射角度よりも大きい角度で乱反射した光のみが撮像手段に撮像される。これにより、撮像手段では、表面欠陥を高輝度で捕らえた受光画像が形成される。
【００１４】
さらに、当該表面欠陥検査装置では、例えばワークが車体パネルである場合には各種類の諸寸法が予め設定されており、また、例えばワーク搬送手段においてワークの停止位置を検出することが可能であるから、上記の如くワークの表面を撮像するに際して、センサ制御手段において、予め設定されたワークの形状データとワークの位置データに基づいてワークの表面に対する照射角度および撮像角度が一定となるように照明手段の角度および高さならびに撮像手段の角度および高さを制御する。これにより、各種ワークに対する照明手段の照射角度および撮像手段の撮像角度が常に最適なものとなる。
【００１５】
【発明の効果】
本発明の請求項１に係わる表面欠陥検査装置によれば、平面部と平面部に連続する曲面部を有するワークの表面を光学的センサで走査して表面欠陥を検査する装置において、ワークを間欠的に搬送するワーク搬送手段と、所定位置に停止したワークに対して移動しながら撮像を行う平面部検出センサおよび曲面部検出センサを採用したことにより、ワーク搬送手段として高速の間欠式コンベアを用いることができると共に、ワーク搬送速度に何ら左右されることなくワークの平面部および曲面部のいずれに対しても表面欠陥の検査を高精度に行うことができ、とくに曲面部に対しては、曲面部の湾曲断面の連続方向に移動する曲面部検出センサにより、曲面部の曲率に左右されることもなく、充分な検出エリアを確保して表面欠陥の検査を高精度に行うことができる。したがって、ワークの搬送処理機能を向上させたうえで、ワークの平面部および曲面部に対する充分な検査性能を確保することができる。
【００１６】
更に、搬送方向に対して曲面部の湾曲断面の連続方向が直交する姿勢にしてワークを搬送し、その搬送方向に直交する方向に移動する平面部検出センサおよび曲面部検出センサを採用したことにより、同一方向に移動する平面部検出センサと曲面部検出センサを並べて配置することで省スペース化を実現することができ、また、各センサと接続する画像処理手段等の周辺機器を含めて装置全体をまとまりの良いものにすることができ、メンテナンス等の作業が行いやすいといった利点がある。
【００１７】
上記のワークとしては、例えば自動車の車体パネルが挙げられる。車体パネルは、フード、フェンダあるいはドアパネルなどに見られるように、平面部とその端部に連続する曲面部を有するものとなっており、トランスファプレスにより順次成形されたのち表面欠陥検査装置に搬送される。この際、車体パネルは、縦横の寸法やトランスファプレスにおける各成形型の配置の都合により、搬送方向に対して曲面部の湾曲断面の連続方向を直交する姿勢で搬送せざるを得ない場合がある。このような状況で当該表面欠陥検査装置を用いれば、トランスファプレスから搬出されたワークをそのままの姿勢で検査することができ、プレスのインラインにおいて表面欠陥検査を高精度に且つ迅速に行うことができる。
【００１８】
本発明の請求項２に係わる表面欠陥検査装置によれば、請求項１と同様の効果を得ることができるうえに、全体の諸寸法や曲面部の曲率等が異なる各種ワークに対して、照明手段による照射角度や撮像手段による撮像角度を常に最適なものにすることができ、各種ワークの表面欠陥検査をより一層高精度に行うことができる。
【００１９】
【実施例】
以下、図面に基づいて、本発明に係わる表面欠陥検査装置の一実施例を説明する。
【００２０】
図１に示す表面欠陥検査装置は、光学的センサを用いてパネル状ワークＷの表面における凹凸等の表面欠陥を検査する装置である。ワークＷは、平面矩形状を成しており、平面部Ｆとその一辺に連続する曲面部Ｒを有している。曲面部Ｒは平面部Ｆの辺に沿う方向に湾曲断面が連続している。
【００２１】
表面欠陥検査装置は、図１中のＹ方向にワークＷを水平搬送するワーク搬送手段１を備えると共に、光学的センサとして、ワークＷの平面部Ｆを所定の撮像角度で撮像する平面部検出センサ２と、平面部検出センサ２の下流側でワークＷの曲面部Ｒを所定の撮像角度で撮像する曲面部検出センサ３を備えている。
【００２２】
また、表面欠陥検査装置は、予め設定されたワークＷの諸寸法等を形状データとして出力するワーク形状出力手段４と、各検出センサ２，３に対応する所定の位置でワークＷを検出するワーク位置検出手段５Ａ，５Ｂと、ワーク形状出力手段４からの形状データおよびワーク位置検出手段５Ａ，５Ｂからの位置データに基づいて各検出センサ２，３を制御するセンサ制御手段６と、各検出センサ２．３から得た画像を処理してワークＷの表面欠陥を抽出する画像処理手段７と、抽出した表面欠陥を表示する表示手段８を備えている。
【００２３】
ワーク搬送手段１は、搬送速度が例えば７５ｍ／ｍｉｎ程度の高速の間欠式コンベアである。ここで、ワークＷは、例えば自動車の車体パネルであり、トランスファプレスにより順次成形された後、当該表面欠陥検査装置に搬送される。この際、ワークＷは、トランスファプレスにおいて、各成形型の配置等の都合により、曲面部Ｒの湾曲断面の連続方向（湾曲断面に直角な方向）に対して直交する方向に順に送られる。このため、ワーク搬送手段１は、トランスファプレスから受けたワークＷをそのままの姿勢すなわち搬送方向（Ｙ方向）に対して曲面部Ｒの湾曲断面の連続方向が直角方向（Ｘ方向）となる姿勢で搬送する。
【００２４】
平面部検出センサ２は、図２に示す照明手段２Ａと、図３に示す撮像手段２Ｂとで構成してある。照明手段２Ａは、ワーク搬送方向を直角に横切る方向において、その一方側の斜め上方からワーク搬送方向に直交する方向に照明光を照射するものであって、ワーク搬送方向に沿ったライン状の照明光を形成する照射手段１２と、照射手段１２からの照明光を反射してワークＷに照射する鏡面反射手段１３と、鏡面反射手段１３を回転させて照明光の照射角度を変化させる照明用回転駆動手段１４と、各手段１２，１３，１４を一体的に昇降させる照明用昇降動手段１５を備えている。
【００２５】
照明用昇降駆動手段１５は、ワーク搬送手段１の上側を跨ぐ状態に架設した梁９に、スライド体１６を上下動させる駆動機構１７を水平移動可能に備えている。スライド体１６の下端部には、フレーム（図示略）が設けてあり、このフレームにより照射手段２、鏡面反射手段１３および照明用回転駆動手段１４を保持している。
【００２６】
照射手段１２は、図示しない光源からの光を伝送する光ファイバーケーブル１８と、レンズによる光学機構を内蔵し且つ光ファイバーケーブル１８からの光をライン状に集光するライトガイド１９とを４組備えると共に、これらを直列に配置したものであって、ライン状に形成した照明光を下向きに照射する。このように、別の固定部位に設置した光源から光ファイバーケーブル１８でライトガイド１９に光を伝送して、ライン状の照明光を形成する照射手段１２とすることにより、照明手段２Ａにおける可動部位の構造の簡略化や軽量化が成されていると共に、広範囲の検査に対処し得るようになっている。
【００２７】
この照射手段１２には、例えば、メタルハライドやキセノンメタルハライド等の強力（例えば１８０Ｗ）な光源が用いられる。また、比較的大きい幅（２００〜３００ｍｍ程度）のライトガイド１９を用いることにより、ライトガイド１９の数自体も少なく抑えるようにしている。
【００２８】
鏡面反射手段１３は、鏡面体を主体とする軽量なものであって、照射手段１２の下側すなわち照明光の照射口に沿って配置され、フレームに設けた照明用回転駆動手段１４によって一端部が保持してあると共に、同じくフレームに設けたベアリング２０によって他端部が回転自在に保持してある。照明用回転駆動手段１４には、モータ類が用いられ、鏡面反射手段１３をその長手方向の軸回りに回転させる。
【００２９】
上記構成を備えた照明手段２Ａは、梁９に沿ってワーク搬送方向に直交する方向（Ｘ方向）に移動可能であり、センサ制御手段６からの信号により、照明用回転駆動手段１４および照明用昇降駆動手段１５が所定の方向に駆動され、ワークＷの平面部Ｆに対して照明光の照射角度が１０度以下となるように高さおよび角度の調整が行われる。
【００３０】
他方、撮像手段２Ｂは、ワーク搬送方向を直角に横切る方向において、照明手段２Ａに相対向する状態に配置され、斜め上方からワークＷの撮像を行うものであって、照明光の反射光を受光する複数のＣＣＤカメラ２１と、各ＣＣＤカメラ２１を回動させて撮像方向を変化させる撮像用回転駆動手段２２と、各ＣＣＤカメラ２１および撮像用回転駆動手段２２を一体的に昇降させる撮像用昇降駆動手段２３を備えている。
【００３１】
撮像用昇降駆動手段２３は、ワーク搬送手段１の上側における先述の梁９に、モータ２４を含む駆動機構２５を水平移動可能に備えると共に、駆動機構２５によって上下に駆動されるフレーム２６を備え、フレーム２６によってワーク搬送方向に沿う方向に配置したビーム２７を保持している。このビーム２７は、フレーム２６の一方側において、撮像用回転駆動手段２２により一端部が保持してあると共に、フレーム２６の他端側において、他端部が回動自在に保持してあって、その上面に、４個のＣＣＤカメラ２１が撮像方向を同一にして等間隔で設けてある。撮像用回転駆動手段２２は、モータ類が用いられ、ビーム２７とともに各ＣＣＤカメラ２１を一斉に回動させる。このように、複数のＣＣＤカメラ２１を用いることにより、撮像手段２Ｂの構造の簡略化や軽量化が成されていると共に、広範囲の検査に対処し得るようになっている。
【００３２】
上記の構成を備えた撮像手段２Ｂは、梁９に沿ってワーク搬送方向に直交する方向（Ｘ方向）に移動可能であり、センサ制御手段６からの信号により、撮像用回転駆動手段２２および撮像用昇降駆動手段２３が所定の方向に駆動され、ワークＷの平面部Ｆに対して撮像角度が１０〜３０度以下の範囲となるように高さおよび角度の調整が行われる。
【００３３】
つまり、上記照明手段２Ａおよび撮像手段２Ｂは、梁９に沿って所定の間隔を保ちながらワーク搬送方向に直交する方向に移動可能であって、照明光の照射角度（１０度以下）よりも撮像角度（１０〜３０度）が大きくなるように設定してあり、ワークＷの平面部Ｆにおける反射光のうちの表面欠陥による乱反射光、すなわち正反射光よりも大きい角度で反射する光を高輝度で捕らえるようにしている。
【００３４】
曲面部検出センサ３は、平面部検出センサ２と同様に、図４に示す如く照明手段３Ａと撮像手段３Ｂを備えている。この曲面部検出センサ３は、図４（ａ）に示すように、ワークＷの搬送方向（Ｙ方向）に対して直交する方向（Ｘ方向）に往復動可能なセンサ移動手段３１を備え、センサ移動手段３１に照明手段３Ａおよび撮像手段３Ｂを一体的に設けることでコンパクトに構成されている。
【００３５】
照明手段３Ａは、センサ移動手段３１の往復動方向の一方側から、ワーク搬送方向に沿ったライン状の照明光を照射するものであって、図４（ｃ）に示すように、センサ移動手段３１側に固定される保持板３２と、保持板３２に対して昇降駆動されるスライド板３３と、スライド板３３に取付けたライトガイド３４と、ライトガイド３４の下側で回転駆動される鏡面照射手段３５を備えている。
【００３６】
この照明手段３Ａは、先の平面部検出センサ２の照明手段２Ａと同様に、図示しない光源から光ファイバーケーブル１８を通してライトガイド３４に光を伝送し、ライトガイド３４から下向きに照射した照明光を鏡面照射手段３５によりワークＷ側へ反射させるものである。そして、先のセンサ制御手段６により、ワークＷの曲面部Ｒに対して所定の照射角度となるように高さや照射方向が制御される。
【００３７】
これに対して、撮像手段３Ｂは、センサ移動手段３１の往復動方向の他方側において照明手段３Ａに相対向する配置としてあり、図４（ｂ）に示すように、センサ移動手段３１に固定される保持部材３６に、高さおよび角度の調整が可能なチルト制御手段３７を介してＣＣＤカメラ３８を取付けた構成になっている。この撮像手段３Ｂは、先の平面部検出センサ２の撮像手段２Ｂと同様に、先のセンサ制御手段６により、ワークＷの曲面部Ｒに対して所定の撮像角度となるように高さや照射方向が制御される。
【００３８】
また、曲面部検出センサ３の照明手段３Ａおよび撮像手段３Ｂにあっても、照明光の照射角度（１０度以下）よりも撮像角度（１０〜３０度）が大きくなるように設定してあり、ワークＷの曲面部Ｒにおける反射光のうちの表面欠陥による乱反射光、すなわち正反射光よりも大きい角度で反射する光を高輝度で捕らえるようにしている。
【００３９】
ワーク形状出力手段４は、ワークＷが車体パネルである場合には、フェンダパネル、ドアパネル、ルーフパネルおよびフードパネル等の部位別の車体パネルならびに車種別の車体パネルについて各々の諸寸法を形状データとして有するものであり、具体的には車体パネルの設計に用いたＣＡＤデータを利用することができる。また、ワーク位置検出手段５Ａ，５Ｂには、接触式あるいは非接触式のスイッチ類が用いられる。
【００４０】
上記構成を備えた表面欠陥検査装置は、ワーク搬送手段１によってワークＷを間欠式に搬送し、まず、平面部検出センサ２に対応する位置にワークＷを停止させる。このとき、センサ制御手段６は、ワーク形状出力手段４からの形状データおよびワーク位置検出手段５Ａからの位置データに基づいて、平面部Ｆに対する照射角度および撮像角度が所定値となるように、平面部検出センサ２の照明手段２Ａおよび撮像手段２Ｂの高さや角度の制御特性を決定する。これにより、平面部検出センサ２は、ワーク搬送方向に直交する方向に照明手段２Ａおよび撮像手段２Ｂを移動させながら、センサ制御手段６からの制御特性に基づいてワークＷの平面部Ｆを撮像する。
【００４１】
上記の如く平面部Ｆの撮像が終了すると、ワーク搬送手段１によってワークＷを曲面部検出センサ３に対応する位置まで搬送して停止させる。このとき、センサ制御手段６は、ワーク形状出力手段４からの形状データおよびワーク位置検出手段５Ｂからの位置データに基づいて、曲面部Ｒに対する照射角度および撮像角度が所定値となるように、曲面部検出センサ３の照明手段３Ａおよび撮像手段３Ｂの高さや角度の制御特性を決定する。これにより、曲面部検出センサ３は、ワーク搬送方向に直交する方向に移動しながら、センサ制御手段６からの制御特性に基づいてワークＷの曲面部Ｒを撮像する。
【００４２】
また、平面部検出センサ２および曲面部検出センサ３の各撮像手段２Ｂ，３Ｂにより撮像した画像は、画像処理手段７に入力し、画像処理手段７では、エッジ抽出のための微分処理、ノイズ除去のための平滑化処理、および表面欠陥を孤立点として検出するための二値化処理などを行って表面欠陥を抽出する。また、表面欠陥の抽出結果は、表示手段８に表示して容易に認識することができる。
【００４３】
ここで、当該表面欠陥検査装置は、ワーク搬送手段１により、複数のワークＷを一定間隔で順次搬送しており、曲面部Ｒの検査を行っているときに次のワークＷの平面部Ｆの検査を同時に行うことが可能であって、検査処理能力がきわめて高いものとなっている。
【００４４】
また、上記の検査後においては、例えば画像処理手段７あるいは表示手段８からの出力に基づいて駆動されるロボットを使用して、表面欠陥が検出されたワークＷをＮＧパレット１０Ａに移動させ、あるいは表面欠陥が検出されないワークＷをＯＫパレット１０Ｂに移動させる。なお、表面欠陥が検出されなかったワークＷに関しては、ワーク搬送手段１により次の工程に送るようにすることも当然可能である。
【００４５】
以上のように、上記実施例で説明した表面欠陥検査装置では、ワーク搬送手段１として高速の間欠式コンベアを採用すると共に、同一方向に移動する平面部検出センサ２と曲面部検出センサ３を並べて配置することで装置全体の省スペース化が図られており、所定位置に停止したワークＷに対して、移動する平面部検出センサ２により平面部Ｆを撮像するので、ワーク搬送速度に左右されることなく平面部Ｆに対する撮像を行う。また、所定位置に停止したワークＷに対して、曲面部Ｒの湾曲断面の連続方向に移動する曲面部検出センサ３により曲面部Ｒを撮像するので、ワーク搬送速度に左右されることなく曲面部Ｒに対する撮像を行うと共に、曲面部Ｒの曲率に左右されることもなく、撮像角度をほぼ一定にし且つ充分な検出エリアを確保した状態で撮像を行うこととなる。
【００４６】
そして、上記表面欠陥検査装置は、全体の諸寸法や曲面部Ｒの曲率等が異なる各種ワークＷに対して、照明手段２Ａ，３Ａによる照射角度や撮像手段２Ｂ，３Ｂによる撮像角度を常に最適に制御するので、より高精度な検査が可能となり、ワーク搬送手段１によりワークＷの搬送処理機能を向上させたうえで、ワークＷの平面部Ｆおよび曲面部Ｒに対する充分な検査性能を有するものとなる。
【００４７】
図５は、本発明に係わる表面欠陥検査装置のさらに他の実施例において、曲面部検出センサ３を説明する図である。
【００４８】
図示の曲面部検出センサ３は、先の実施例と同様に、照明手段３Ａ、撮像手段３Ｂ、センサ移動手段３１およびセンサ傾動手段３９を備えている。撮像手段３Ｂは、保持部材３６、チルト制御手段３７およびＣＣＤカメラ３８で構成されている。これに対して、照明手段３Ａは、照明光の照射角度を変化させる照明用回転駆動手段７１と、湾曲対応照射手段７２を備えている。この湾曲対応照射手段７２は、先の実施例のように照明光を直線のライン状に照射するのではなく、照明光を曲面部Ｒに対応する湾曲のライン状に照射するものとなっている。この湾曲対応照射手段７２を用いることにより、曲面部Ｒの両側における照明光の落ち込みが防止され、広い検出エリアがより確実に得られることとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる表面欠陥検査装置の一実施例を示す説明図である。
【図２】平面部検出センサの照明手段を説明する斜視図である。
【図３】平面部検出センサの撮像手段を説明する斜視図である。
【図４】曲面部検出センサを示す斜視図（ａ）、曲面部検出センサの撮像手段を示す斜視図（ｂ）、および曲面部検出センサの照明手段を示す斜視図（ｃ）である。
【図５】本発明に係わる表面欠陥検査装置の他の実施例における曲面部検出センサを示す斜視図（ａ）、曲面部検出センサの撮像手段を示す斜視図（ｂ）、および曲面部検出センサの照明手段を示す斜視図（ｃ）である。
【符号の説明】
Ｆ        平面部
Ｒ        曲面部
Ｗ        ワーク
１        ワーク搬送手段
２        平面部検出センサ
２Ａ      照明手段
２Ｂ      撮像手段
３        曲面部検出センサ
３Ａ      照明手段
３Ｂ      撮像手段
６        センサ制御手段
７        画像処理手段
【図１】
0004479073.tif 000002
【図２】
0004479073.tif 000003
【図３】
0004479073.tif 000004
【図４】
0004479073.tif 000005
【図５】
0004479073.tif 000006