(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置内に搬送部材に貼り付けて搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであって、物体色を有する、あるいは非透明である物質からなる支持体として、着色されたあるいは濁度を有するプラスチックフィルムを使用し、この支持体の少なくとも片面に、クリーニング層が設けられなるクリーニングシート。
【請求項２】
基板処理装置内に搬送部材に貼り付けて搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであって、物体色を有する、あるいは非透明である物質からなる支持体として、着色されたあるいは濁度を有するプラスチックフィルムを使用し、この支持体の片面にクリーニング層が設けられ、他面に粘着剤層が設けられてなるクリーニングシート。
【請求項３】
請求項２記載のクリーニングシートが、粘着剤層を介して搬送部材に設けられてなるクリーニング機能付き搬送部材。
【請求項４】
請求項３記載のクリーニング機能付き搬送部材を、基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種の基板処理装置をクリーニングするシート、及びこれを用いた基板処理装置のクリーニング方法に関し、例えば、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニングシート及びクリーニング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
各種基板処理装置は、各搬送系と基板とを物理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬送系に異物が付着していると、後続の基板を次々に汚染することになり、定期的に装置を停止させ、洗浄処理をする必要があった。このため、稼働率低下や多大な労力が必要になるという問題があった。これらの問題を解決するため、粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法（特開平１０−１５４６８６号）や板状部材を搬送することにより基板裏面に付着する異物を除去する方法（特開平１１−８７４５８号）が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法は、前述の課題を克服する有効な方法である。しかし粘着性物質や板状部材が無色あるいは透明な場合、基板に当該物質が固着されているか判らず、誤ってクリーニング用途ではない通常の加工処理基板として処理装置に投入され、加工処理の熱、反応性ガス、プラズマエネルギーなどにより粘着性物質が溶解、変性し、処理装置内を汚染させる恐れがあり、加工処理ができなくなる恐れがあった。  また、板状部材を搬送することにより異物を除去する方法は、搬送は支障なくできるが、肝心の除塵性に劣るという問題がある。
本発明は、このような事情に照らし、基板処理装置内に基板を確実に搬送できると共に、装置内に付着している異物を簡便かつ確実に除去できるクリーニングシートを提供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の目的を達成するために、鋭意検討した結果、クリーニングあるいはこのシートを固着した基板等の搬送部材を搬送することにより、基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去するにあたり、クリーニングシートに色を着ける、あるいは非透明とすることにより、前記問題を生じることなく、さらに異物を簡便かつ確実に剥離除去できることを見出し、本発明を完成するに至つた。
【０００５】
即ち、本発明は、基板処理装置内に搬送部材に貼り付けて搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであって、物体色を有する、あるいは非透明である物質からなる支持体として、着色されたあるいは濁度を有するプラスチックフィルムを使用し、この支持体の少なくとも片面に、クリーニング層が設けられなるクリーニングシート（請求項１）、基板処理装置内に搬送部材に貼り付けて搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであって、物体色を有する、あるいは非透明である物質からなる支持体として、着色されたあるいは濁度を有するプラスチックフィルムを使用し、この支持体の片面にクリーニング層が設けられ、他面に粘着剤層が設けられてなるクリーニングシート（請求項２）などに係るものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明において物体色とは、光を反射又は透過する物体の色のことであり、物体色を有するとは、光が物体に当りこれが視覚を刺激し、色が見えることを意味し、有彩色、無彩色などの区分、マンセル表色系での色の３属性である色相、明度、彩度での表現、たとえばＪＩＳ  Ｚ  ８７２１にある該３属性による色の表示方法、ＪＩＳ  Ｚ  ８７２３による表面色の比較方法などになんら制限されない。
また、非透明とは、無色透明でないことを意味し、有色透明を含むものをいう。
【０００７】
本発明においてはクリーニングシート自体が、上記の如く物体色を有する、あるいは非透明である物質からなるシートであってもよいが、物体色を有する、あるいは非透明である物質からなる支持体の少なくとも片面に、クリーニング層が設けられなるクリーニングシートとすることが好ましい。
かかるクリーニングシートとしては、その支持体が着色されたあるいは濁度を有するものが好ましい。
ここで着色された支持体とは、物体色を有しない支持体に例えば印刷法などにより、支持体の片面あるいは両面上に色を有する物質を形成、あるいは支持体形成時に色を有する物質を支持体に分散させるなどの方法により、支持体が色を有することを意味するものである。  かかる支持体の色は、加工処理基板と異なる色が好ましいが、その明度、彩度が異なり目視で区別可能であれば同一色でもよい。
また濁度を有する支持体とは、例えば支持体表面を梨地（マット）処理、シリカなどの充填材などの他物質を混入などにより、濁度が付与されたことを意味する。
【０００８】
かかる支持体の具体例としては、特に限定されないが、例えばポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリイミド、ポリカルボジイミドなどのプラスチックフィルムなどが挙げられる。  その厚みは通常１０〜１００μｍ程度である。
【０００９】
本発明におけるクリーニング層は、異物の除去機能を有する限り特に限定されないが、特にクリーニング層として用いられる材料のヴィッカース硬度が１０以上で、かつその表面自由エネルギーが２０ｍＪ／ｍ2以上、好ましくは３０ｍＪ／ｍ2以上であることが望ましい。  また、クリーニング層表面の水の接触角が９０度以下、好ましくは８０度以下となるようにするのが望ましい。  クリーニング層のヴィッカース硬度、表面自由エネルギー、水の接触角をこれらの値に設定することで、クリーニングシートの搬送時に搬送トラブルを生じることなく被クリーニング部の異物を確実に除去できるという優れた効果が得られる。
【００１０】
かかるクリーニング層の材質などは特に限定されないが、紫外線や熱などの活性エネルギー源により架橋反応や硬化が促進されて、その引張弾性率を大きくできるものが好ましい。  本発明において好ましいクリーニング層は、その引張弾性率（試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準ずる）が０．１Ｎ／ｍｍ2以上、好ましくは１〜３０００Ｎ／ｍｍ2である。
さらに、その分子構造が三次元網状化して実質的に粘着性を有さず、搬送系材料とぬれ難いものが好ましい。  かかる材料からなるクリーニング層を用いると、搬送時にクリーニング層が被クリーニング部と強く接着することがなく、確実に搬送できる。
またクリーニング層の厚さは特に限定されないが、通常５〜１００μｍ程度である。
【００１１】
かかるクリーニング層の具体例としては、例えば感圧接着性ポリマーに分子内に不飽和二重結合を１個以上有する化合物と重合開始剤を少なくとも含有させたものを、活性エネルギーにより重合硬化反応させて粘着性が実質的に消失されてなるものが挙げられる。  かかる感圧接着性ポリマーとしては、例えばアクリル酸、アクリル酸エステル、メタクリル酸、メタクリル酸エステルから選ばれる（メタ）アクリル酸及び／又は（メタ）アクリル酸エステルを主モノマーとしたアクリル系ポリマーが挙げられる。このアクリル系ポリマーの合成にあたり、共重合モノマーとして分子内に不飽和二重結合を２個以上有する化合物を用いるか、あるいは合成後のアクリル系ポリマーに分子内に不飽和二重結合を有する化合物を官能基間の反応で化学結合させるなどして、アクリル系ポリマーの分子内に不飽和二重結合を導入しておくことにより、このポリマー自体も活性エネルギーにより重合硬化反応に関与させるようにすることもできる。
【００１２】
ここで、分子内に不飽和二重結合を１個以上有する化合物（以下、重合性不飽和化合物という）としては、不揮発性でかつ重量平均分子量が１００００以下の低分子量体であるのがよく、特に硬化時のクリーニング層の三次元網状化が効率よくなされるように、５０００以下の分子量を有しているのが好ましい。
【００１３】
また、クリーニング層に添加される重合開始剤は、特に限定されず公知のものを使用でき、例えば活性エネルギー源に熱を用いる場合は、ベンゾイルパーオキサイド、アゾビスイソブチロニトリルなどの熱重合開始剤、また光を用いる場合は、ベンゾイル、ベンゾインエチルエーテル、シベンジル、イソプロピルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトンクロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドルキシシクロヒキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシジメチルフェニルプロパン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノンなどの光重合開始剤が挙げられる。
【００１４】
本発明は、上記の支持体の片面にクリーニング層が設けられ、他面に粘着剤層が設けられたクリーニングシート（請求項２）も提供する。この粘着剤層は、粘着機能を満たす限りその材質などは特に限定されず、通常の粘着剤（例えばアクリル系、ゴム系など）を用いることができる。
かかる構成とすることにより、クリーニングシートをこの粘着剤層により各種基板や他のテープ・シートなどの搬送部材に貼り付けて、クリーニング機能付き搬送部材（請求項３）として装置内に搬送して、被洗浄部位に接触させてクリーニングすること（請求項４）ができる。
【００１５】
本発明において上記の基板などの搬送部材を再利用するために、クリーニング後に基板をかかる粘着剤層から剥がす場合は、かかる粘着剤層の粘着力は、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力が０．２０〜０．９８Ｎ／１０ｍｍ、特に０．４０〜０．９８Ｎ／１０ｍｍ程度であれば、搬送中に剥離することなく、かつクリーニング後に容易に再剥離できるので好ましい。
【００１６】
またクリーニングシートが貼り付けられる搬送部材としては特に限定されないが、例えば半導体ウエハ、ＬＣＤ、ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイ用基板、その他コンパクトディスク、ＭＲヘッドなどの基板などが挙げられる。
【００１７】
【実施例】
以下、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。  なお、以下、部とあるのは重量部を意味するものとする。
実施例
アクリル酸−２−エチルヘキシル７５部、アクリル酸メチル２０部、及びアクリル酸５部からなるモノマ―混合液から得たアクリルポリマー（重量平均分子量７０万）１００部に対して、ポリエチレングリコ―ル２００ジメタクリレ―ト（新中村化学製：商品名：ＮＫエステル４Ｇ）５０部、ウレタンアクリレート（新中村化学製：商品名：Ｕ−Ｎ−０１）５０部、およびポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネートＬ）３部、および光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール（チバ・スペシャリティケミカルズ製：商品名：イルガキュアー６５１）３部を均一に混合して、紫外線硬化型の粘着剤溶液Ａを調整した。
一方、上記粘着剤溶液Ａから光重合開始剤のベンジルジメチルケタールを除いた以外は、上記と同様にして得た粘着剤溶液を、幅２５０ｍｍ、厚み２５μｍの片面に白色塗料が印刷されたポリエステル製支持体フィルムの片面に、乾燥後の厚みが１０μｍになるように塗布して通常の粘着剤層を設け、その表面に厚み３８μｍのポリエステル系剥離フィルムを貼った。  次に支持体フィルムのもう一方の側に、前記の紫外線硬化型粘着剤溶液Ａを乾燥後の厚みが１０μｍになるように塗布してクリーニング層を設け、その表面に同様の剥離フィルムを貼った。
このシートに中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量２０００ｍＪ／ｃｍ2照射して、本発明のクリーニングシートを得た。  このクリーニングシートのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、ヴィッカース硬度計（ＮＥＣ製、薄膜硬度計  ＭＨＡ−４００）にてこのクリーニング層のヴィッカース硬度を測定したところ、４０であった。  またこのクリーニング層の表面自由エネルギーを測定したところ、４０．１ｍＪ／ｍ2、水の接触角は７８．２度であった。
また、このクリーニング層の紫外線硬化後の引張弾性率は１４７．２Ｎ／ｍｍ2であった。ここで引張弾性率は、試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準じて測定した。また、クリーニング層をシリコンウエハのミラー面に幅１０ｍｍで貼り付け、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じてシリコンウエハに対する１８０°引き剥がし粘着力を測定した結果、０．００４９Ｎ（０．５ｇ）／１０ｍｍで実質的に粘着性を有さないことが確認できた。
【００１８】
得られたクリーニングシートの通常の粘着剤層側の剥離フィルムを剥がし、８ｉｎｃｈのシリコンウエハの裏面（ミラー面）にハンドローラで貼り付け、クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハを作製した。
【００１９】
一方、基板処理装置のウエハステージを２つ取り外し、レーザー式異物測定装置で、０．３μｍ以上の異物を測定したところ、８ｉｎｃｈウエハサイズのエリア内で１つは２５０００個、もう一方は２３０００個であった。
【００２０】
次いで前記で得た搬送用クリーニングウエハのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上記の２５０００個の異物が付着していたウエハステージを持つ基板処理装置内に搬送したところ、支障なく搬送できた。  その後にウエハステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で０．３μｍ以上の異物を測定したところ、８ｉｎｃｈウエハサイズのエリア内で４８００個であり、もともと付着していた異物の４／５以上を除去することができた。
【００２１】
比較例
透明なポリエステル製支持体フィルムを用いた以外は実施例と同様にして、クリーニングシートを得た。
このクリーニングシートから実施例と同じ方法で作製した搬送用クリーニングウエハを、２３０００個の異物が付着していたウエハステージを持つ基板処理装置内を搬送するため、剥離フィルムを剥がそうとしたが、クリーニングシートが透明なため、シリコンウエハのどちらの面に貼ってあるのか判別が非常にしにくかった。  また剥離フィルムを剥がしたウエハを基板処理装置にセットする際、誤ってクリーニングシートを貼り付けていない面側を搬送系に接触させるなど、誤使用が多発した。
【００２２】
【発明の効果】
以上のように本発明のクリーニングシートによれば、基板処理装置内を確実に搬送できると共に、装置内に付着している異物を簡便かつ確実に除去できる。