(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光スポットによって昇温した部分に磁気的に記録を行う記録装置における浮上型磁気ヘッドであって、
記録媒体に対して磁界を印加するコイルを保持すると共に、前記記録媒体の移動に応じて生じる空気流によって前記記録媒体面から離間するための構成を備え、
前記コイルを、前記空気流の流入側の部分の密度に比べ流出側の部分の密度が大きくなるように、外周から内周に向かって巻回形成して、前記記録媒体面上における印加磁界のピーク位置を前記コイルの開口の中心よりも前記空気流の流出端側にずらし、
前記コイルの開口を貫いて前記記録媒体面に光が進行できるよう前記浮上型磁気ヘッドの基部を導光性材料で形成した、
ことを特徴とする浮上型磁気ヘッド。
【請求項２】
光スポットによって昇温した部分に磁気的に記録を行う記録装置における浮上型磁気ヘッドであって、
記録媒体に対して磁界を印加する螺旋状に巻回されたコイルを保持すると共に、前記記録媒体の移動に応じて生じる空気流によって前記記録媒体面から離間するための構成を備え、
前記コイルを、前記空気流の流入側の部分の巻きピッチに比べ流出側の部分の巻きピッチが小さくなるように、外周から内周に向かって巻回形成して、前記記録媒体面上における印加磁界のピーク位置を前記コイルの開口の中心よりも前記空気流の流出端側にずらし、
前記コイルの開口を貫いて前記記録媒体面に光が進行できるよう前記浮上型磁気ヘッドの基部を導光性材料で形成した、
ことを特徴とする浮上型磁気ヘッド。
【請求項３】
光スポットによって昇温した部分に磁気的に記録を行う記録装置における浮上型磁気ヘッドであって、
記録媒体に対して磁界を印加する螺旋状に巻回されたコイルを保持すると共に、前記記録媒体の移動に応じて生じる空気流によって前記記録媒体面から離間するための構成を備え、
前記コイルを、前記空気流の流入側の部分のコイル幅に比べ流出側の部分のコイル幅が小さくなるように、外周から内周に向かって巻回形成して、前記記録媒体面上における印加磁界のピーク位置を前記コイルの開口の中心よりも前記空気流の流出端側にずらし、
前記コイルの開口を貫いて前記記録媒体面に光が進行できるよう前記浮上型磁気ヘッドの基部を導光性材料で形成した、
ことを特徴とする浮上型磁気ヘッド。
【請求項４】
請求項１から３の何れかにおいて、前記コイルは、当該浮上型磁気ヘッドの中央よりも前記空気流の流出端側に配されていることを特徴とする浮上型磁気ヘッド。
【請求項５】
請求項１から４の何れかにおいて、前記記録媒体はディスクであって、前記コイルは、当該浮上型磁気ヘッドが前記ディスク面に対向したときに、当該浮上型磁気ヘッドの中央よりもディスク外周側となるように配されている浮上型磁気ヘッド。
【請求項６】
上記請求項１から５の何れかに記載の浮上型磁気ヘッドと、記録媒体に対するレーザ光の収束位置を調整する対物レンズ機構とを一体的に保持する光磁気ピックアップであって、
前記浮上型磁気ヘッドの基部を導光性材料で形成すると共に、前記コイルが巻回された内側の導光性領域を対物レンズの光軸が貫くように、前記浮上型磁気ヘッドを配置した、
ことを特徴とする光磁気ピックアップ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば光磁気記録再生装置に用いて好適な浮上型磁気ヘッドおよび光磁気ピックアップに関する。
【０００２】
【従来の技術】
光磁気ディスク等の光磁気記録媒体に対して情報を記録する場合、記録層の温度をキュリー温度程度まで上昇させた後、記録情報に応じた磁界を印加する必要がある。従来、記録層の温度上昇と、記録層に対する磁界の印加は、それぞれ、光ピックアップと磁気ヘッドによって、別々に行われていた。すなわち、記録層側に磁気ヘッドを配し、記録媒体を挟んでこれと反対側に光ピックアップを配し、光ピックアップからレーザ光を照射すると共に磁気ヘッドから磁界を印加して、記録層の磁化方向を磁界印加方向に整合させる。かかる磁化方向は、記録層の温度の低下によって固定化される。これにより、磁化方向に応じた２値データが記録層上に保持され、情報の記録が行われる。
【０００３】
ところで、近年、光磁気記録再生装置の小型・薄型化が進み、それと共に、磁気ヘッドの小型・薄型化が検討されるようになった。かかる磁気ヘッドの小型・薄型化は、パターン技術を利用して基板上にコイルを形成配置する手法によって達成することができる。しかしながら、磁気ヘッドを小型・薄型化すると、十分な強度の磁界を発生させるのが困難となる。そこで、磁気ヘッドを、記憶媒体面になるべく近く配置し、磁界の強度不足を解消する必要がある。
【０００４】
磁気ヘッドを記録媒体面になるべく近く配置する方法として、いわゆる浮上型磁気ヘッドが提案されている。かかる磁気ヘッドは、記録媒体の移動によって生じる空気流によって、磁気ヘッドを媒体面から浮上させるものである。コイルを保持する磁気ヘッドスライダは、空気流の流入端が傾斜しており、かかる傾斜に空気流が流入することによって、スライダに浮力が生じる。ここで、媒体の移動速度が一定であれば、空気の流入速度も一定となる。したがって、磁気ヘッドスライダは、一定の浮力によって、記録媒体面から所定距離だけ離間し、これにより、記録媒体の面ぶれに追従しながら、磁気ヘッドを常に空気ギャップの距離だけ離間した位置に位置づけることができるようになる。
【０００５】
ところで、かかる磁気ヘッドスライダにパターン形成されるコイルは、通常、等しい線幅で螺旋状に巻回されたコイル（中央に開口を有する円形コイル）とされている。また、かかるコイル形状の改良として、円形コイルの線幅を内周から外周にかけて徐々に大きくするものが提案されている。かかる改良コイルによれば、コイル外周に向かうほどコイルの抵抗値を小さくできるようになる。したがって、コイルからの発熱を抑制することができ、発生磁界の安定化を図ることができるようになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記改良コイルは、コイルの線幅を徐々に大きくするものであるから、その分、コイル全体の外形寸法が大きくなる。このため、外周側コイルとコイル中央部の間の距離が大きくなり、よって、外周側コイルからコイル中央部に十分な強度の磁界を発生させることができないとの問題が生じる。
【０００７】
また、このように外形寸法が大きくなると、空気流入端が浮上して磁気ヘッドスライダが媒体に対して傾いた場合に、コイル中央部と媒体との間の距離が大きくなる。よって、コイル中央部から媒体に印加される磁界の強度は、かかる傾きによって更に微弱となってしまう。
【０００８】
磁気ヘッドスライダの傾きは、空気流の流入状態に応じて適宜変化するものであって、たとえば、媒体の面ぶれ等によって頻繁に生じる。よって、上記の如く磁気ヘッドスライダが傾いた際に磁界強度が更に微弱となれば、安定した記録動作を実現することは困難となる。
【０００９】
浮上型磁気ヘッドにおいては、上記の如く、構成上、コイルの大きさや巻き回数が制限されるため、それにより発生される磁界の強度は、微弱なものとなる。したがって、かかる微弱な磁界を、より効率的に媒体に印加するためのコイル形状およびコイル配置が必要となる。
【００１０】
また、媒体に印加された磁界は、記録層がレーザ光によってキュリー温度程度に上昇した後、これが一定温度に冷却されることによって、記録層上に固定化される。すなわち、かかる冷却期間において印加される磁界の強度が、記録に際して重要となる。これまでの円形コイルでは、円形コイルの対象性ゆえ、コイル開口の中央部分の磁界強度が最強となっていた。しかし、上記観点からすれば、コイル開口の中央部分の磁界よりむしろ、コイル開口の中央部分から空気流出端側にずれた部分の磁界の強度を安定させる必要がある。
【００１１】
そこで、本発明は、浮上型磁気ヘッドが媒体に対し傾斜した場合においても、コイル中央部分から空気流出側にずれた部分において、媒体に対し十分な強度の磁界を印加させ得る新規なコイル形状およびコイル配置を提案し、これにより、安定した記録動作を実現し得る浮上型磁気ヘッドおよび光磁気ピックアップを提供することを課題とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の主たる特徴は、空気流の流出側のコイル密度を流入側に比べて大きくしたことにある。これにより、コイルからの発生磁界の強度ピークを、コイル中央部よりも空気流の流出端側にずらすことができるようになる。また、空気流出端側のコイル寸法（コイル外径とコイル内径の差）を小さくすることができ、空気流出端近傍にコイルを配置することができるようになる。よって、空気流出端から磁界強度のピーク位置までの距離を小さくすることができる。したがって、空気流の流入により磁気ヘッドスライダが傾いたとしても、磁界強度ピーク位置におけるコイルと媒体との距離変動を小さくすることができ、もって、磁気ヘッドスライダの傾きによる印加磁界の低下を抑制することができるようになる。
【００１３】
また、かかる浮上型磁気ヘッドを光磁気ディスクに対する磁界印加用として用いた場合、上記の如くコイルからの発生磁界の強度ピークをコイル中央部よりも空気流の流出端側にずらすことができるので、磁界強度のピーク位置をレーザ光の収束位置よりも空気流出端側にシフトさせやすくなる。もって、記録層に対する磁界の固定化をより円滑に行うことができるようになる。
【００１４】
また、空気流出端側のコイル幅を小さくしてコイル密度を上昇させながら、空気流入端側のコイル幅を大きくすることにより、コイル全体の抵抗値を小さくすることができ、これにより、コイルの発熱を抑制することもできる。
【００１５】
さらに、空気流入側のコイル幅を大きくすることにより、コイル流出端側のコイル部分のみならず、空気流入端側と空気流出端側の間に位置するコイル部分のコイル幅も同時に小さくすることができる。よって、浮上型磁気ヘッドの側面方向のコイル外形寸法を小さくすることができ、その結果、コイルを浮上型磁気ヘッドの側面部分により接近させることができるようになる。
【００１６】
したがって、記録媒体がディスクである場合、浮上型磁気ヘッドがディスク面に対向したときに、ディスクの外周縁近傍にコイルを位置付けることができるようになり、よって、ディスク外周縁に対する磁界の印加（情報の記録）が可能となる。線速度一定にて記録が行われる場合、１トラックの記録容量はディスク内周部よりも外周部の方が大きい。よって、かかるコイル形状およびコイル配置を採用すれば、線速度一定のディスクに対する記録容量のさらなる向上を実現することができるようになる。
【００１７】
各請求項に係る発明の特徴は、以下の通りである。
【００１８】
請求項１の発明は、光スポットによって昇温した部分に磁気的に記録を行う記録装置における浮上型磁気ヘッドであって、記録媒体に対して磁界を印加する螺旋状に巻回されたコイルを保持すると共に、前記記録媒体の移動に応じて生じる空気流によって前記記録媒体面から離間するための構成を備え、前記コイルを、前記空気流の流入側の部分の密度に比べ流出側の部分の密度が大きくなるように、外周から内周に向かって巻回形成して、前記記録媒体面上における印加磁界のピーク位置を前記コイルの開口の中心よりも前記空気流の流出端側にずらし、前記コイルの開口を貫いて前記記録媒体面に光が進行できるよう前記浮上型磁気ヘッドの基部を導光性材料で形成したことを特徴とする。
【００１９】
請求項２の発明は、光スポットによって昇温した部分に磁気的に記録を行う記録装置における浮上型磁気ヘッドであって、記録媒体に対して磁界を印加する螺旋状に巻回されたコイルを保持すると共に、前記記録媒体の移動に応じて生じる空気流によって前記記録媒体面から離間するための構成を備え、前記コイルを、前記空気流の流入側の部分の巻きピッチに比べ流出側の部分の巻きピッチが小さくなるように、外周から内周に向かって巻回形成して、前記記録媒体面上における印加磁界のピーク位置を前記コイルの開口の中心よりも前記空気流の流出端側にずらし、前記コイルの開口を貫いて前記記録媒体面に光が進行できるよう前記浮上型磁気ヘッドの基部を導光性材料で形成したことを特徴とする。
【００２０】
請求項３の発明は、光スポットによって昇温した部分に磁気的に記録を行う記録装置における浮上型磁気ヘッドであって、記録媒体に対して磁界を印加する螺旋状に巻回されたコイルを保持すると共に、前記記録媒体の移動に応じて生じる空気流によって前記記録媒体面から離間するための構成を備え、前記コイルを、前記空気流の流入側の部分のコイル幅に比べ流出側の部分のコイル幅が小さくなるように、外周から内周に向かって巻回形成して、前記記録媒体面上における印加磁界のピーク位置を前記コイルの開口の中心よりも前記空気流の流出端側にずらし、前記コイルの開口を貫いて前記記録媒体面に光が進行できるよう前記浮上型磁気ヘッドの基部を導光性材料で形成したことを特徴とする。
【００２１】
請求項４の発明は、請求項１から３の何れかに記載の浮上型磁気ヘッドおいて、前記コイルは、当該浮上型磁気ヘッドの中央よりも前記空気流の流出端側に配されていることを特徴とする。
【００２２】
請求項５の発明は、請求項１から４の何れかにおいて、前記記録媒体はディスクであって、前記コイルは、当該浮上型磁気ヘッドが前記ディスク面に対向したときに、当該浮上型磁気ヘッドの中央よりもディスク外周側となるように配されている。
【００２３】
請求項６の発明は、上記請求項１から５の何れかに記載の浮上型磁気ヘッドと、記録媒体に対するレーザ光の収束位置を調整する対物レンズ機構とを一体的に保持する光磁気ピックアップであって、前記浮上型磁気ヘッドの基部を導光性材料で形成すると共に、前記コイルが巻回された内側の導光性領域を対物レンズの光軸が貫くように、前記浮上型磁気ヘッドを配置したことを特徴とする。
【００２４】
なお、請求項６の発明においては、コイルから誘起される磁界の強度ピーク位置から空気流入端側に所定距離だけシフトした位置を対物レンズの光軸が貫くように、対物レンズ機構と浮上型磁気ヘッドスライダとの配置を調整するのが好ましい。ここで、磁界強度のピーク位置と対物レンズの光軸との間のシフト距離は、記録媒体の線速度（角速度）や上記記録層の冷却期間等を考慮して、記録層に対する磁化方向の固定化効率が最良となるように設定する。
【００２５】
本発明の特徴は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。
【００２６】
ただし、以下の実施の形態は、あくまでも、本発明の一つの実施形態であって、本発明ないし各構成要件の用語の意義は、以下の実施の形態に記載されたものに制限されるものではない。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態につき図面を参照して説明する。
【００２８】
図１を参照して、浮上型磁気ヘッド（磁気ヘッドスライダ）の製造工程の概略を説明する。
【００２９】
まず、ガラス基板等(厚み0.2〜5ｍｍ)の上に、中央部に開口を有するコイルを形成する。かかるコイルの形成は、たとえば、銅メッキ、レジスト絶縁膜形成、アルミナ成膜およびＣＭＰによる平坦化などの既知の手法によって行われる。また、コイルの形成の際に、上記と同様の方法によって、２本の引き出し線が、コイルから側面に伸びるように形成される。なお、かかるコイルおよび引き出し線の形成後に、当該ガラス基板を、より厚いガラスやセラミックス（アルチック等）基板に接着するようにしても良い。
【００３０】
次に、コイルと引き出し線が形成されたガラス基板の上に、アルミナ保護膜（透光性材料膜）が形成される。そして、形成されたアルミナ保護膜の厚みが均一となる様に、平坦化処理がなされる（同図ｂ）。
【００３１】
以上の如くして保護膜が形成されると、次に、パッド（電極）の形成側面が研磨加工され、さらに、エアー流入面（同図上面）のレール加工がなされる。かかるレール加工は、機械加工やイオンビームエッチングによって行われる。さらに、当該レールのエアー流入側端部には、イオンビームエッチングによって、ステップが形成される（同図ｃ）。かかるステップは、エアーの流入によって、磁気ヘッドスライダに浮力を生じせしめるためのものである。
【００３２】
かかる加工がなされると、次に、コイル引き出し口の側面に、銅/金メッキ等の既知の手法によって、コイル導通用のパッドが形成される（同図ｄ）。しかる後、同図（ｄ）の点線位置で基板が切断される。これにより、それぞれの磁気ヘッドスライダが切り出され、これにより磁気ヘッドスライダの形成が完了する。
【００３３】
図２に、上記工程によって形成された磁気ヘッドスライダの構造を示す。磁気ヘッドスライダ１００は、上面に形成された一対のレール部１０１と、レール部１０１のエアー流入端に形成されたステップ部１０２と、エアー流入側から見て左側の側面に形成されたパッド１０３とを有する。また、エアー流入側から見て左側のレール部１０１のエアー流出端近傍には、上記コイルが配されている。なお、コイルの形状および配置については、追って詳述する。
【００３４】
レール部１０１は、磁気ヘッドスライダ１００がディスク面から離間するまでの間ディスク面に接触し、ディスク面と磁気ヘッドスライダ１００との間の相対移動を安定化させるためのものである。ステップ部１０２は、上記の如く、エアーの流入によって磁気ヘッドスライダ１００に同図下向きの浮力を付与するものである。パッド１０３は、上記の如く、コイル引き出し線の電極として機能するものである。
【００３５】
図３に、上記ガラス基板上に形成されたコイルの形状を示す。
【００３６】
図示の如く、コイルは外周から内周に向かって反時計方向に巻回するように形成されている。コイルの中央には開口が形成されている。コイルの内周端は、コイルの裏面を通って１つの引き出し線に接続されている。コイルの外周端も、もう１つの引き出し線に接続されている。
【００３７】
コイルの線幅は、エア−流入側が大きく、エアー流出側小さくなるよう設定されている。すなわち、開口中央部から見てエアー流出端側の線幅が最も小さく、また、開口中央部から見てエアー流入端側の線幅が最も大きい。エアー流入端側とエアー流出端の間に位置する側方部分の線幅は、エアー流入端側の線幅とエアー流出端側の線幅の中間程度に設定されている。
【００３８】
ここで、コイル中央部からエアー流入端に向かう方向にコイル部分を切断したときのコイル線幅は、同一である。同様に、コイル中央部から、エラー流出端および側方部分に向かう方向にコイル部分を切断したときのコイル線幅は、同一である。なお、各方向のコイル線幅をこのように同一にするに代えて、外周部に向かうほど大きくするように設定してもよい。
【００３９】
したがって、かかるコイルの巻き寸法（開口中央からコイル外周部までの距離―開口中央からコイル内周部までの距離）は、エアー流出端側が最も小さく、エアー流入端側に向かうにつれて徐々に大きくなる。よって、コイルの密度は、エアー流出端側のコイル部分が最も大きくなる。
【００４０】
かかるコイルに電流を導通すると、その発生磁界の強度ピークは、開口中央からエアー流出端側にシフトした位置に現れるようになる。よって、後述の如く、開口部中央に対物レンズの光軸を設定すると、光磁気ピックアップと相対移動する光磁気ディスクの記録層は、レーザ光が照射された後、僅かに相対移動した位置において、最も強度の高い磁界が印加されることになる。これにより、記録層には、レーザ光にて熱せられた後、これが冷却される過程にて最強の磁界が印加されるようになり、よって、上述の記録層に対する磁界固定化の説明からも分かるとおり、記録層に対する磁化方向の固定化を、従来の円形コイル（等しい線幅で螺旋状に巻回されたコイル）に比べ、より確実に行えるようになる。
【００４１】
図４に、当該磁気ヘッドスライダの上面図（同図ａ）と、そのＡ−Ａ’断面図（同図ｂ）を示す。
【００４２】
同図に示す如く、コイル１０４は、コイル密度の大きいコイル部分がエアー流出端側に位置するようにして、エアー流入端側から見て左側のレール部１０１の後端部近傍に配されている。
【００４３】
図５に、支持部材に装着した際の上記磁気ヘッドスライダ１００の構成を示す。
【００４４】
上記磁気ヘッドスライダ１００は、中央部からややエアー流出端側にずれた位置の底面を、緩衝部材１０５を介して、支持部材１０６の端部に固着される。かかる支持部材１０６の上面には、給電用配線１０７が付設されており、かかる給電用配線１０７の端部は、パッド１０４に半田付けされている。これにより、上記磁気コイル１０４に対する給電が可能となる。しかして、磁気ヘッドスライダ１００が給電可能な状態で支持部材１０６に弾性支持される。
【００４５】
図６に、光磁気ピックアップに対する上記磁気ヘッドスライダ１００の装着状態を示す。光磁気ピックアップには、上述した磁気ヘッドスライダ１００の他、レーザ光をディスク上に収束させるための対物レンズアクチュエータと、半導体レーザ等の光学部品が装着される。
【００４６】
光磁気ピックアップを組み立てるに際しては、まず、光磁気ピックアップの基部に、半導体レーザ等の光学部品が装着される。次に、対物レンズ駆動アクチュエータが、対物レンズの光軸と半導体レーザの光軸とが一致するように装着される。しかる後、磁気ヘッドスライダ１００が、対物レンズの上方に位置するように、支持部材１０７を介して、基部に装着される。
【００４７】
ここで、磁気ヘッドスライダ１００は、コイル１０４の開口の中央部を対物レンズの光軸が貫くように調整されて配置される。なお、対物レンズの光軸とコイル開口との間の位置調整は、コイルからの磁界強度のピーク位置と対物レンズの光軸との間のシフト距離が、記録媒体の線速度（角速度）や上記記録層の冷却期間等を考慮して、記録層に対する磁化方向の固定化効率が最良となるシフト距離となるようにしてなされる。
【００４８】
図７および図８に、光磁気ピックアップに装着された光学系と上記磁気ヘッドスライダ１００との間の配置関係を示す。図７は光学系を上面から見た図、図８は光学系の側方から見た図である。
【００４９】
図において、２０１は半導体レーザ、２０２は回折格子、２０３はコリメータレンズ、２０４は偏光ビームスプリッタ、２０５は反射ミラー、２０６は対物レンズ、２０７はウォラストンプリズム、２０８は集光レンズ、２０９はシリンドリカルレンズ、２１０は光検出器である。
【００５０】
ここで、偏光ビームスプリッタ２０４は、Ｐ偏光の透過が約８０％、Ｐ偏光の反射が約２０％、Ｓ偏光の反射が約１００％となる偏光特性を持つ。また、ウォラストンプリズムは、入射するレーザ光の偏光方向の違いによって３つの方向にビームを分離する偏光特性を持つ。
【００５１】
半導体レーザ２０１から出射された直線偏光のレーザ光（Ｐ偏光）は、回折格子２０２により３ビームとされ、コリメータレンズ２０３によって平行光とされる。しかる後、偏光ビームスプリッタ２０４を透過（約８０％）し、反射ミラー２０５によって上方に反射され、対物レンズ２０６によって収束される。かかる収束光は、磁気ヘッドスライダ１００を透過した後、ディスク上に合焦される。
【００５２】
ディスク上に合焦されたレーザ光は、ディスク１によって反射され、上記光路を逆方向に辿る。ディスク１からの反射光は偏光ビームスプリッタ２０４で反射（約２０％）され、ウォラストンプリズム２０７に入射し、偏光方向により回折格子２０２での３ビームの分離方向と直行するように更に３つの方向分離される。しかる後、かかる反射光は、集光レンズ２０８により集光され、さらにシリンドリカルレンズ２０９によって光径の一方向のみに集光作用を受け、光検出器２１０に受光される。
【００５３】
光検出器２１０によって受光された各レーザ光は、光検出器２１０上に電気信号を生ぜしめる。かかる電気信号は、記録再生装置内の信号処理回路に供給され、再生ＲＦ信号、アドレス信号および各種サーボ信号の生成用に用いられる。なお、信号処理の流れについては、周知の技術であるので、ここでは説明を省略する。
【００５４】
図９に、記録時におけるレーザ光と磁界の印加状態を概念的に示す。なお、同図（ａ）は、磁気ヘッドスライダ１００と対物レンズをエアー流入端から見た図、同図（ｂ）は、同図（ａ）を左側から見た図である。また、同図（ａ）の矢印は磁界、点線はコイル１０５である。
【００５５】
図示の如く、レーザ光は、コイル１０４の開口から発生された磁界の印加範囲の略中央に収束される。したがって、コイル１０４からの磁界は、レーザ光の収束点を取り囲むようにして、光磁気ディスク上に印加される。
【００５６】
上述の如く、コイル１０４は、エアー流出端側のコイル部分の密度がエアー流入端側よりも大きく設定されているから、開口から発生する磁界は、開口中央よりもエアー流出端側にシフトした位置にピークを有するようになる。したがって、レーザ光によって熱せられた記録層は、その後のディスクの回転により冷却される過程において最大強度の磁界が印加されるようになる。よって、磁化方向の固定化がより確実に行われるようになる。
【００５７】
この際、対物レンズの光軸は、上記の如く、開口の中央部を貫くように設定されている。したがって、コイル開口の大きさは、レーザ光の光路の大きさに略整合する程度にまで小さくできる。通常、対物レンズ光軸の位置調整のため、コイル開口の大きさは、レーザ光の光路よりも少許だけ大きくなるように設定される。
【００５８】
なお、コイル１０４から発生される磁界の内、コイル１０４からの引き出し線近傍領域は、これを流れる電流によって発生される外乱磁界の影響によって、磁界の向きが乱される。しかしながら、引き出し線は、上記の如く、磁気ヘッドスライダ１００の側面に向かうように配されているから、コイルからの発生磁界の内、記録に重要なエアー流出端側部分の磁界は、当該外乱磁界による影響を受けない。
【００５９】
また、支持部材１０６による支持を、パッド１０３の配されている側面側からとすることにより、給電用配線１０７を磁気ヘッドスライダ１００の底面または側面に引き回す必要がなくなる。よって、かかる引き回しによって給電用配線１０７から生じる外乱磁界がコイル１０４からの磁界に流入することはなく、これにより、上記エアー流出端側部分の磁界の安定化をより確実とすることができる。
【００６０】
さらに、図４に示す如く、パッド１０３を磁気ヘッドスライダ１００の側面に配することにより、パッド１０３を空気流で冷却できるといった２次的な効果を奏することもできる。かかる冷却作用は、コイル１０４の冷却作用にも繋がるものである。したがって、かかる冷却作用の面からは、パッド１０３の面積は、なるべく大きい方が好ましい。
【００６１】
図１０に、上記実施の形態に係るコイルを用いた場合と上記従来の円形コイルを用いた場合との間の効果上の相違を示す。同図（ａ）（ｂ）は、コイルの外形寸法と開口寸法を同じとし、且つ、磁気ヘッドスライダに対するコイルの配置を同一位置とした上で、磁気ヘッドスライダが同一角度だけ傾いた場合の状態を示す。
【００６２】
従来の円形コイルを用いた場合、コイルから発生される磁界の強度ピークは、開口の略中央部となる。これに対し、実施の形態に係るコイルを用いた場合、コイルから発生される磁界の強度ピークは、開口の略中央部からエアー流出端側にシフトする。したがって、磁気ヘッドスライダのエアー流出端から磁界強度のピーク位置までの距離（ｂ１、ｂ２）は、実施の形態に係るコイルを用いた場合の方が、従来の円形コイルを用いた場合に比べ、かなり小さくなる。よって、磁気ヘッドスライダが傾いた際の磁界強度ピーク位置におけるディスクとコイルとの間の距離（ａ１、ａ２）は、実施の形態に係るコイルを用いた場合の方が、従来の円形コイルを用いた場合に比べ、かなり小さくなり、その結果、実施の形態に係るコイルを用いた場合、従来の円形コイルを用いた場合に比べ、より強度の大きい磁界をディスクに印加できる。
【００６３】
以上、本発明に係る実施の形態について説明したが、本発明はかかる実施の形態に限定されるものではなく、他に種々の変更が可能であることは言うまでもない。
【００６４】
たとえば、上記実施の形態では、コイル１０４を図３に示すような形状としたが、これ以外に、たとえば図１１に示すような角型形状としても良い。図１１に示すコイルでは、上記図３と同様、エアー流出端側の線幅が最も小さく、エアー流入端側の線幅が最も大きくなるように設定されている。また、エアー流出端とエアー流入端の間の側方部分の線幅は、エアー流出端側部分とエアー流入端側部分の中間程度となるよう設定されている。さらに、コイル中央部からエアー流入端に向かう方向にコイル部分を切断したときの線幅は、同一である。同様に、コイル中央部から、エラー流出端および側方部分に向かう方向にコイル部分を切断したときの線幅は、同一である。なお、各方向の線幅をこのように同一にするに代えて、外周部に向かうほど線幅を大きくするように設定してもよい。
【００６５】
かかるコイルに電流を流入すると、上記と同様、その発生磁界の強度ピークは、開口中央からエアー流出端側にシフトした位置に現れるようになる。
【００６６】
さらに、図１２に示すように、図１１のコイルの角部分を円形にするようにしてコイルを形成しても良い。図１２に示すコイルでは、上記図３と同様、エアー流出端側の線幅が最も小さく、エアー流入端側の線幅が最も大きくなるように設定されている。また、エアー流出端とエアー流入端の間の側方部分の線幅は、エアー流出端側部分とエアー流入端側部分の中間程度となるよう設定されている。さらに、コイル中央部からエアー流入端に向かう方向にコイル部分を切断したときの線幅は、同一である。同様に、コイル中央部から、エラー流出端および側方部分に向かう方向にコイル部分を切断したときの線幅は、同一である。なお、各方向の線幅をこのように同一にするに代えて、外周部に向かうほど線幅を大きくするように設定してもよい。
【００６７】
かかるコイルに電流を流入すると、上記と同様、その発生磁界の強度ピークは、開口中央からエアー流出端側にシフトした位置に現れるようになる。
【００６８】
また、磁気ヘッドスライダ１００に対するコイル１０４の配置を、たとえば、図１３に示す如く変更することもできる。同図（ａ）は、図４に比べ、コイルを反時計方向に回転し、さらにパッド１０３側の側面にコイルを接近させた例である。このようにコイルを回転させることにより、コイルをさらに側面方向に配置することができるようになり、よって、図４の場合と比べ、コイル１０４からの磁界のピーク位置を、よりディスクの外周縁に位置付けることができるようになる。これにより、ディスク外周縁に対する情報の記録をより確実に行えるようになる。
【００６９】
また、図１３（ｂ）に示す如く、磁気ヘッドスライダ１００のエアー流出端側の中央にコイル１０４を配置するようにしても良い。かかる場合、磁気ヘッドスライダ１００の上面には、レール部１０１の形成方法と同様の方法にて、レーザ光を導くための突出部１０８を形成する。かかる突出部１０８は、コイル１０４の開口の真上に位置するように形成する。
【００７０】
さらに、上記実施の形態では、光磁気ピックアップに磁気ヘッドスライダ１００を一体に装着する例を示したが、これに限らず、光ピックアップと磁気ヘッドスライダ１００とを別体としても良い。さらに、磁気ヘッドスライダに対物レンズの機能を付加し、半導体レーザからのレーザ光を磁気ヘッドスライダにより収束させるようにしても良い。
【００７１】
この他、本発明の実施の形態は、本発明の技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
【００７２】
【発明の効果】
以上、本発明によれば、コイルから発生される磁界のピーク位置を、コイル開口の中央部よりも空気流の流出端側にシフトでき、また、コイル自体を空気流の流出端近傍に配置できるので、浮上型磁気ヘッドが媒体に対し傾斜した場合においても、コイル中央部分から空気流出側にずれた部分において、媒体に十分な強度の磁界を印加させることができ、もって、媒体に対する磁化方向の固定化をより確実に行うことができ、これにより、安定した記録動作を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  実施の形態に係る磁気ヘッドスライダの製造工程を示す図
【図２】  実施の形態に係る磁気ヘッドスライダの外観を示す図
【図３】  実施の形態に係るコイルの形状を示す図
【図４】  実施の形態に係る磁気ヘッドスライダの平面および断面を示す図
【図５】  実施の形態に係る磁気ヘッドスライダの支持状態を示す図
【図６】  ピックアップに対する磁気ヘッドスライダの装着状態を示す図
【図７】  磁気ヘッドスライダと光学系の関係を示す図
【図８】  磁気ヘッドスライダと光学系の関係を示す図
【図９】  当該ピックアップによる磁界印加とレーザ光の照射状態を示す図
【図１０】実施の形態に係るコイルを用いた場合の効果を示す図
【図１１】他の実施の形態に係るコイルの形状を示す図
【図１２】さらに他の実施の形態に係るコイルの形状を示す図
【図１３】他の実施の形態に係るコイルの配置を示す図
【符号の説明】
１００  磁気ヘッドスライダ
１０４  コイル
２０６  対物レンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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