(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１流体機器と第２流体機器が、樹脂を材質とする第１接続部と第２接続部を備え、前記第１及び前記第２接続部の端面に開口する流路の周りに環状突起が形成され、前記環状突起の間に、前記環状突起が挿入される溝部分に圧入代を備えた断面がＨ型状の樹脂製シール部材を配置して、前記第１接続部と前記第２接続部とを、２つの挿入部を備える治具を用いて、樹脂製の連結部材の前記溝部分に、前記樹脂製シール部材の前記環状突起を圧入することにより、接続する流体機器接続構造において、
前記第１接続部は、
前記第１接続部の外周面に形成され、前記治具の前記挿入部の一方を挿入して前記第１接続部を前記第２接続部側に加圧するための第１取付溝と、
前記第１取付溝と前記第１接続部の端面との間に設けられ、前記連結部材が装着される第１装着溝を有し、
前記第２接続部は、
前記第２接続部の外周面に形成され、前記治具の前記挿入部の他方を挿入して前記第２接続部を前記第１接続部側に加圧するための第２取付溝と、
前記第２取付溝と前記第２接続部の端面との間に設けられ、前記連結部材が装着される第２装着溝とを有し、
前記連結部材は、
前記第１装着溝の端面側内側面に当接する第１突部と、前記第２装着溝の端面側内側面に当接する第２突部が所定の間隔を空けて設けられた複数の分割片を係合させたものであり、前記第１取付溝の端面側内側面と前記第１装着溝の端面側内側面、及び、前記第２取付溝の端面側内側面と前記第２装着溝の端面側内側面とが、それぞれ前記第１接続部の端面、及び、前記第２接続部の端面に対して平行であること、
を特徴とする流体機器接続構造。
【請求項２】
請求項１に記載する流体機器接続構造において、
前記第１装着溝と前記第２装着溝は、前記端面側内側面の開口部より奥側に接続部側テーパが形成され、
前記連結部材は、
前記接続部側テーパに対応する連結側テーパが、前記第１突部と前記第２突部の先端部に設けられ、
前記第１及び前記第２接続部のシール力が低下した場合に、前記複数の分割片を互いに近づけることにより、前記連結側テーパを前記接続部側テーパに沿って摺動させて前記第１及び前記第２接続部を引き寄せる力を発生させ、維持する引寄部材を有することを特徴とする流体機器接続構造。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する流体機器接続構造において、
前記連結部材は、第１分割片と第２分割片とで構成され、前記第１分割片と前記第２分割片の一端を回動可能に連結する回動連結部と、前記第１分割片に弾性変形可能に設けられた係止爪と、前記第２分割片に設けられ、前記係止爪が弾性変形した状態で挿通された後に復元して開口部外周に係止される挿通孔と、を有することを特徴とする流体機器接続構造。
【請求項４】
請求項３に記載する流体機器接続構造において、
前記回動連結部は、前記第１分割片と前記第２分割片にそれぞれ設けた係合突起と係合凹部とで構成され、前記係合突起と前記係合凹部を互いに嵌合させて係合させた場合に、前記係合突起が前記係合凹部の内壁に異方向に係止されることを特徴とする流体機器接続構造。
【請求項５】
請求項３に記載する流体機器接続構造において、
前記回動連結部が、前記第１分割片に回転軸を設け、前記第２分割片に前記回転軸に係合するＵ字形の回転係合部を設けて構成され、
前記回転係合部が、前記第２分割片が前記第１分割片に当接する面と反対側に開口していることを特徴とする流体機器接続構造。
【請求項６】
請求項２に記載する流体機器接続構造において、
前記引寄部材は、前記分割片の連結部分に回動可能に取り付けられ、
前記引寄部材を回動させる場合に、一方の分割片を他方の分割片に当接させた後、前記一方の分割片から反発力を受けるカム部を、前記引寄部材に設けていることを特徴とする流体機器接続構造。
【請求項７】
第１流体機器と第２流体機器が、樹脂を材質とする第１接続部と第２接続部を備え、前記第１及び前記第２接続部の端面に開口する流路の周りにシール溝が形成され、前記シール溝の間に樹脂製シール部材を配置して前記第１接続部と前記第２接続部とを、樹脂製の連結部材を用いて接続する流体機器接続構造において、
前記第１接続部は、
前記第１接続部の外周面に形成された第１取付溝と、
前記第１取付溝と前記第１接続部の端面との間に設けられ、前記連結部材が装着される第１装着溝を有し、
前記第２接続部は、
前記第２接続部の外周面に形成された第２取付溝と、
前記第２取付溝と前記第２接続部の端面との間に設けられ、前記連結部材が装着される第２装着溝とを有し、
前記連結部材は、
前記第１装着溝の端面側内側面に当接する第１突部と、前記第２装着溝の端面側内側面に当接する第２突部が所定の間隔を空けて設けられた複数の分割片を係合させたものであり、  前記第１装着溝と前記第２装着溝は、前記端面側内側面の開口部より奥側に接続部側テーパが形成され、
前記連結部材は、
前記接続部側テーパに対応する連結側テーパが、前記第１突部と前記第２突部の先端部に設けられ、
前記第１及び前記第２接続部のシール力が低下した場合に、前記複数の分割片を互いに近づけることにより、前記連結側テーパを前記接続部側テーパに沿って摺動させて前記第１及び前記第２接続部を引き寄せる力を発生させ、維持する引寄部材を有し、
前記連結部材は、前記引寄部材が装着される装着部を前記分割片に設け、
前記引寄部材は、前記装着部に回転不能に装着されるクリップ部材と、前記クリップ部材に螺設されるナット部材と、前記ナット部材を前記クリップ部材に対して回転することを阻止する回転止め機構とを有する
ことを特徴とする流体機器接続構造。
【請求項８】
第１流体機器と第２流体機器が、樹脂を材質とする第１接続部と第２接続部を備え、前記第１及び前記第２接続部の端面に開口する流路の周りにシール溝が形成され、前記シール溝の間に樹脂製シール部材を配置して前記第１接続部と前記第２接続部とを、樹脂製の連結部材を用いて接続する流体機器接続構造において、
前記第１接続部は、
前記第１接続部の外周面に形成された第１取付溝と、
前記第１取付溝と前記第１接続部の端面との間に設けられ、前記連結部材が装着される第１装着溝を有し、
前記第２接続部は、
前記第２接続部の外周面に形成された第２取付溝と、
前記第２取付溝と前記第２接続部の端面との間に設けられ、前記連結部材が装着される第２装着溝とを有し、
前記連結部材は、
前記第１装着溝の端面側内側面に当接する第１突部と、前記第２装着溝の端面側内側面に当接する第２突部が所定の間隔を空けて設けられた複数の分割片を係合させたものであり、
前記第１装着溝と前記第２装着溝は、前記端面側内側面の開口部より奥側に接続部側テーパが形成され、
前記連結部材は、
前記接続部側テーパに対応する連結側テーパが、前記第１突部と前記第２突部の先端部に設けられ、
前記第１及び前記第２接続部のシール力が低下した場合に、前記複数の分割片を互いに近づけることにより、前記連結側テーパを前記接続部側テーパに沿って摺動させて前記第１及び前記第２接続部を引き寄せる力を発生させ、維持する引寄部材を有し、
前記引寄部材は、前記分割片の連結部分に回動可能に取り付けられ、
前記連結部材は、前記引寄部材を回動させる場合に、一方の分割片が他方の分割片に当接した後で前記引寄部材から反発力を受けるカム部が、前記一方の分割片に設けられていることを特徴とする流体機器接続構造。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８の何れか一つに記載する流体機器接続構造において、
前記第１及び前記第２接続部は、前記環状突起又は前記シール溝が環状凹凸条を備え、
前記樹脂製シール部材は、前記環状凹凸条に圧入装着する環状凸凹条を備えることを特徴とする流体機器接続構造。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９の何れか一つに記載する流体機器接続構造を用いて複数の流体機器を接続していることを特徴とする流体機器ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連結部材を用いて第１及び第２流体機器を接続する流体機器接続構造及び流体機器ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体製造工程や液晶製造工程などの薬液制御には、流量制御弁や開閉弁などのバルブ類や、フィルタ、圧力センサや流量センサなどのセンサ類、継手ブロックや流路ブロックなどの配管ブロック類など、流体機器が使用される。近年、装置のコンパクト化のため、これら流体機器の接続部同士を連結部材を用いて直接連結し、ユニット化することが行われている。
【０００３】
図４５は、従来の流体機器接続構造１１００の断面図である。
従来の流体機器接続構造１１００は、第１流体機器１１０１と第２流体機器１１０２の接続部１１０３，１１０４にシール溝１１０５，１１０６が形成され、そのシール溝１１０５，１１０６の間にシール部材１１０７を装着した状態で、連結部材１１０８を接続部１１０３，１１０４の接続部分外周に装着する。
【０００４】
連結部材１１０８は、筒状ナット１１０９と割型リング１１１０とで構成されている。筒状ナット１１０９は、一方に開口する円筒形状をなす。閉鎖面には、接続部１１０４の係止凸部１１０４ａを挿入できるように、挿入孔１１０９ａが形成されている。割型リング１１１０は、内周面が接続部１１０４の外周面に接し、外周面が筒状ナット１１０９の内周面に接するようなリング形状をなし、接続部１１０４の外周面に装着できるように複数に分割されている。
【０００５】
このような連結部材１１０８は、筒状ナット１１０９の挿入孔１１０９ａに第２流体機器１１０２の接続部１１０４の端部を挿入した後、図中一点鎖線に示すように、接続部１１０４が外部に露出するように筒状ナット１１０９を第２流体機器１１０２側へずらし、接続部１１０４の外周面に割型リング１１１０を装着する。その後、図中実線に示すように、筒状ナット１１０９を第１流体機器１１０１側へスライドさせ、筒状ナット１１０９の内周面に形成した雌ねじ部１１０９ｂを、第１流体機器１１０１の接続部１１０３の外周面に形成された雄ねじ部１１０３ａに螺合させる。筒状ナット１１０９は、割型リング１１１０が接続部１１０４の係止凸部１１０４ａに突き当たるまで、接続部１１０３にねじ込む。このねじ送りによって、シール部材１１０７は、シール溝１１０５，１１０６に装着され、接続部１１０３，１１０４の接続部分をシールする（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−６４０８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の流体機器接続構造１１００は、割型リング１１１０を装着するために、筒状ナット１１０９を移動させるスペースや、筒状ナット１１０９を接続部１１０３にねじ込むスペースが必要であるため、流体機器同士の接続に手間や作業スペースを要する。そのため、従来の流体機器接続構造１１００は、例えば、多数の流体機器が入り組んで配置される半導体製造装置に適用した場合、筒状ナット１１０９をずらしたり、接続部１１０３に締め付けるスペースを確保できず、所定のシール力を得るように筒状ナット１１０９を接続部１１０３に適正に締め付けるのに手間がかかっていた。
【０００８】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、第１及び第２流体機器を簡単且つ確実に接続することができる流体機器接続構造及び流体機器ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る流体機器接続構造及び流体機器ユニットは、次のように構成されている。
（１）第１流体機器と第２流体機器が、樹脂を材質とする第１接続部と第２接続部を備え、前記第１及び前記第２接続部の端面に開口する流路の周りにシール溝が形成され、前記シール溝の間に樹脂製シール部材を配置して前記第１接続部と前記第２接続部とを、樹脂製の連結部材を用いて接続する流体機器接続構造において、前記第１接続部は、前記第１接続部の外周面に形成された第１取付溝と、前記第１取付溝と前記第１接続部の端面との間に設けられ、前記連結部材が装着される第１装着溝を有し、前記第２接続部は、前記第２接続部の外周面に形成された第２取付溝と、前記第２取付溝と前記第２接続部の端面との間に設けられ、前記連結部材が装着される第２装着溝とを有し、前記連結部材は、前記第１装着溝の端面側内側面に当接する第１突部と、前記第２装着溝の端面側内側面に当接する第２突部が所定の間隔を空けて設けられた複数の分割片を係合させたものである。
【００１０】
（２）（１）に記載の発明において、前記第１取付溝の端面側内側面と前記第１装着溝の端面側内側面、及び、前記第２取付溝の端面側内側面と前記第２装着溝の端面側内側面とが、それぞれ前記第１接続部の端面、及び、前記第２接続部の端面に対して平行である。
【００１１】
（３）（１）又は（２）に記載の発明において、前記第１装着溝と前記第２装着溝は、前記端面側内側面の開口部より奥側に接続部側テーパが形成され、前記連結部材は、前記接続部側テーパに対応する連結側テーパが、前記第１突部と前記第２突部の先端部に設けられ、前記第１及び前記第２接続部のシール力が低下した場合に、前記複数の分割片を互いに近づけることにより、前記連結側テーパを前記接続部側テーパに沿って摺動させて前記第１及び前記第２接続部を引き寄せる力を発生させ、維持する引寄部材を有する。
尚、引寄部材は、第１及び第２分割片と別体であってもよいし、第１又は第２分割片と一体であっても良い。
【００１２】
（４）（１）乃至（３）の何れか一つに記載の発明において、前記連結部材は、第１分割片と第２分割片とで構成され、前記第１分割片と前記第２分割片の一端を回動可能に連結する回動連結部と、前記第１分割片に弾性変形可能に設けられた係止爪と、前記第２分割片に設けられ、前記係止爪が弾性変形した状態で挿通された後に復元して開口部外周に係止される挿通孔と、を有する。
【００１３】
（５）（４）に記載する流体機器接続構造において、前記回動連結部は、前記第１分割片と前記第２分割片にそれぞれ設けた係合突起と係合凹部とで構成され、前記係合突起と前記係合凹部を互いに嵌合させて係合させた場合に、前記係合突起が前記係合凹部の内壁に異方向に係止される。
【００１４】
（６）（４）に記載の発明において、前記回動連結部が、前記第１分割片に回転軸を設け、前記第２分割片に前記回転軸に係合するＵ字形の回転係合部を設けて構成され、前記回転係合部が、前記第２分割片が前記第１分割片に当接する面と反対側に開口している。
【００１５】
（７）（４）乃至（６）の何れか一つに記載の発明において、前記連結部材は、前記第１及び前記第２接続部に取り付けられた初期状態時に、前記第１及び前記第２分割片の間に隙間を有し、前記引寄部材は、前記隙間を閉じるように前記第１及び前記第２分割片を連結する。
【００１６】
（８）（３）に記載の発明において、前記連結部材は、前記引寄部材が装着される装着部を前記分割片に設け、前記引寄部材は、前記装着部に回転不能に装着されるクリップ部材と、前記クリップ部材に螺設されるナット部材と、前記ナット部材を前記クリップ部材に対して回転することを阻止する回転止め機構とを有する。
【００１７】
（９）（３）に記載の発明において、前記引寄部材は、前記分割片の連結部分に回動可能に取り付けられ、前記引寄部材を回動させる場合に、一方の分割片を他方の分割片に当接させた後、前記一方の分割片から反発力を受けるカム部を、前記引寄部材に設けている。
【００１８】
（１０）（３）に記載の発明において、前記引寄部材は、前記分割片の連結部分に回動可能に取り付けられ、前記連結部材は、前記引寄部材を回動させる場合に、一方の分割片が他方の分割片に当接した後で前記引寄部材から反発力を受けるカム部が、前記一方の分割片に設けられている。
【００１９】
（１１）（１）乃至（１０）の何れか一つに記載の発明において、前記第１及び前記第２接続部は、前記シール溝が環状凹凸条を備え、前記シール部材は、前記環状凹凸状に圧入装着する環状凸凹条を備える。
【００２０】
（１２）（１１）に記載の発明において、前記第１及び前記第２接続部は、端面外周に外向きに突き出す凸部を備え、前記シール部材は、前記環状凸凹条が形成された本体部と、前記本体部の外周面から外向きに張り出す張出部と、前記張出部の外縁部に接続し、前記凸部に引っ掛けられる引掛部が内向きに設けられた把持部と、を有する。
【００２１】
（１３）（１）乃至（１２）の何れか一つに記載の流体機器接続構造を用いて複数の流体機器を接続していることを特徴とする流体機器ユニット。
【発明の効果】
【００２２】
上記構成を有する流体機器接続構造は、例えば、第１及び第２取付溝に治具を取り付け、第１及び第２接続部は、第１装着溝の端面側内側面と第２装着溝の端面側内側面の幅が、連結部材の第１突部と第２突部との間の幅になるまで、第１及び第２接続部を互いに近づける方向に力を加える。これにより、第１及び第２接続部のシール溝にシール部材が装着され、所定のシール力が得られる。この状態で、第１及び第２装着溝の端面側内側面に第１及び第２突部が当接するように複数の分割片を第１及び第２接続部の周りに配置して係合させ、リング状の連結部材を第１及び第２接続部の周りに装着する。これにより、治具を第１及び第２取付溝から取り外しても、第１及び第２接続部の接続状態が連結部材により維持される。よって、本発明の流体機器接続構造によれば、第１及び第２流体機器を簡単且つ確実に接続することができる。
【００２３】
また、本発明の流体機器接続構造は、第１取付溝の端面側内側面と第１装着溝の端面側内側面、及び、第２取付溝の端面側内側面と第２装着溝の端面側内側面とが、それぞれ第１接続部の端面、及び、第２接続部の端面に対して平行であるので、治具により第１及び第２接続部を引き寄せるときや、連結部材で第１及び第２接続部を接続するときに、第１接続部の端面と第２接続部の端面とをほぼ均一に押し付け、シール部材を円周方向に均一にシールさせることができる。
【００２４】
また、本発明の流体機器接続構造は、第１及び第２接続部やシール部材が樹脂である。そのため、第１及び第２接続部がクリープ変形すると、シール力が低下することがある。この場合には、引寄部材で複数の分割片を互いに近づける。これにより、連結部材の連結側テーパが、第１及び第２接続部の接続部側テーパに沿って摺動し、第１及び第２接続部を引き寄せる力を発生させ、シール力を向上させる。ここで、第１及び第２接続部とシール部材との間で発生する反発力によって複数の分割片が互いに離れようとする。しかし、連結部材は、引寄部材が複数の分割片の係合状態を保持するので、引き寄せ力を発生させた状態を維持できる。よって、本発明の流体機器接続構造によれば、第１及び第２接続部がクリープ変形した場合でも、簡単にシール力を向上させることができる。
【００２５】
また、本発明の流体機器接続構造は、連結部材が、第１分割片と第２分割片とで構成され、第１分割片と第２分割片の一端を回動可能に連結する回動連結部と、第１分割片に弾性変形可能に設けられた係止爪と、第２分割片に設けられ、係止爪が弾性変形した状態で挿通された後に復元して開口部外周に係止される挿通孔と、を有する。よって、本発明の流体機器接続構造は、例えば、流体機器が入り組んで流体機器の間に狭い場所しかないような場合でも、第１分割片を第２分割片に対して回動させ、係止爪を挿通孔に押し込むだけで、連結部材を第１及び第２接続部の接続部分に簡単に装着することができる。
【００２６】
また、本発明の流体機器接続構造は、回動連結部が、第１分割片と第２分割片にそれぞれ設けた係合突起と係合凹部とで構成され、係合突起と係合凹部を互いに嵌合させて係合させた場合に、係合突起が係合凹部の内壁に異方向に係止される。そのため、本発明の流体機器接続構造によれば、例えば、係止爪を弾性変形させて挿通孔に挿通する場合や、第１及び第２接続部に装着した連結部材に何かがぶつかるなどして、第１及び第２分割片に異方向の力が作用しても、第１及び第２分割片が分離しない。
【００２７】
また、本発明の流体機器接続構造は、連結部材が、第１及び第２接続部に取り付けられた初期状態時に、第１及び第２分割片の間に隙間を有する。引寄部材は、隙間を閉じるように第１及び第２分割片を近づけて、第１及び第２接続部を引き寄せる力を発生させる。よって、本発明の流体機器接続構造によれば、引寄部材で簡単にシール力を向上させることができる。
【００２８】
また、本発明の流体機器接続構造は、回動連結部が、第１分割片に回転軸を設け、第２分割片に回転軸に係合するＵ字形の回転係合部を設けて構成され、回転係合部が、第２分割片が第１分割片に当接する面と反対側に開口している。そのため、本発明の流体機器接続構造によれば、例えば、連結部材に何かがぶつかるなどして、第１及び第２分割片に異方向の力が作用しても、第１及び第２分割片が分離しない。
【００２９】
また、本発明の流体機器接続構造は、連結部材が、引寄部材が装着される装着部を分割片に設け、引寄部材が、装着部に回転不能に装着されるクリップ部材と、クリップ部材に螺設されるナット部材と、ナット部材をクリップ部材に対して回転することを阻止する回転止め機構とを有する。そのため、本発明の流体機器接続構造は、第１及び第２接続部や連結部材がクリープ変形等した場合でも、回転止め機構がナット部材の回転を阻止するので、第１及び第２接続部の接続状態を維持できる。
【００３０】
また、本発明の流体機器接続構造は、引寄部材が、分割片の連結部分に回動可能に取り付けられ、引寄部材を回動させる場合に、一方の分割片を他方の分割片に当接させた後、一方の分割片から反発力を受けるカム部を、引寄部材に設けている。そのため、本発明の流体機器接続構造は、第１及び第２接続部や連結部材が熱変形や流体圧等により分割片を離間させる方向の力を受けたとしても、引寄部材が、一方の分割片がカム機構に与える反発力により、引寄力発生位置から初期位置へ反転することを阻止され、シール力を向上させた状態を維持できる。
【００３１】
また、本発明の流体機器接続構造は、引寄部材が、分割片の連結部分に回動可能に取り付けられ、連結部材は、引寄部材を回動させる場合に、一方の分割片が他方の分割片に当接した後で引寄部材から反発力を受けるカム部が、一方の分割片に設けられている。そのため、本発明の流体機器接続構造は、第１及び第２接続部や連結部材が熱変形や流体圧等により分割片を離間させる方向の力を受けたとしても、引寄部材が、カム部との間で生じる反発力により、引寄力発生位置から初期位置へ反転することを阻止され、シール力を向上させた状態を維持できる。
【００３２】
また、本発明の流体機器接続構造は、第１及び第２接続部の環状凹凸条とシール部材の環状凸凹条とを圧入装着するために、大きな力（例えば、２００Ｎ以上）を要する。この点、本発明の流体機器接続構造は、治具を用いて第１及び第２接続部に互いに近づける方向の力を作用させるので、簡単且つ確実にシール部材をシール溝に圧入装着することができる。
【００３３】
また、本発明の流体機器接続構造は、把持部の引掛部を第１又は第２接続部の凸部に引っ掛け、シール部材の脱落を防止した状態で、第１及び第２接続部を接続するので、シール部材の取扱性を向上させて、第１及び第２流体機器の接続にかかる手間を軽減することができる。
【００３４】
また、本発明の流体機器ユニットは、上記流体機器接続構造を用いて複数の流体機器を接続するので、各流体機器を簡単且つ確実に接続することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
次に、本発明に係る流体機器接続構造及び流体機器ユニットの一実施形態について図面を参照して説明する。
【００３６】
（第１実施形態）
＜流体機器ユニットの全体構成＞
図１３は、本発明の流体機器接続構造１を利用した流体機器ユニット５０の外観斜視図である。
第１実施形態の流体機器接続構造１は、例えば、半導体製造工程で使用される流体機器ユニット５０に適用される。流体機器ユニット５０は、例えば、半導体製造工程に使用される処理室の上流側に配置され、ウエハに供給する薬液の流量を制御する。流体機器ユニット５０は、後述する流体機器接続構造１を利用して、「流体機器」の一例である分岐管６１Ａ，６１Ｂ、継手６２Ａ，６２Ｂ、エアオペレイトバルブ６３Ａ，６３Ｂ、流量計６４Ａ，６４Ｂ、手動弁６５Ａ，６５Ｂ、継手６６Ａ，６６Ｂを連結している。流体機器ユニット５０は、取付板５１に立設された２本の支柱５２，５２に架設された取付軸５３，５３に取り付けられ、上記流体機器を三次元的に配置している。
【００３７】
このような流体機器ユニット５０は、継手６２Ａから分岐管６１Ａ，６１Ｂを介して継手６２Ｂへ流れる薬液を、分岐管６１Ａ，６１Ｂからエアオペレイトバルブ６３Ａ，６３Ｂへ分流し、流量計６４Ａ，６４Ｂを通った後、手動弁６５Ａ，６５Ｂを介して継手６６Ａ，６６Ｂから薬液をそれぞれ出力する。
【００３８】
尚、流体機器ユニット５０は、腐食性の高い薬液を使用することがある。そのため、流体機器ユニット５０を構成する流体機器、つまり、エアオペレイトバルブ６３Ａ，６３Ｂや流量計６４Ａ，６４Ｂ、手動弁６５Ａ，６５Ｂ、分岐管６１Ａ，６１Ｂ、継手６２Ａ，６２Ｂ，６６Ａ，６６Ｂは、機能上金属やゴムを材質とする必要がある部品を除き、ＰＦＡ（四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）やＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）などの耐腐食性がある樹脂を材質とする部品を使用する。
【００３９】
＜流体機器接続構造の全体構成＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る流体機器接続構造１の断面図である。図２は、図１に示す流体機器接続構造１の分解斜視図である。
流体機器接続構造１は、第１及び第２流体機器２，３の第１及び第２接続部４，５の間に樹脂製のシール部材６を配置し、連結部材７を用いて第１及び第２接続部４，５を接続している。尚、第１及び第２流体機器２，３は、図１３に示す分岐管６１Ａ，６１Ｂ、継手６２Ａ，６２Ｂ、エアオペレイトバルブ６３Ａ，６３Ｂ、流量計６４Ａ，６４Ｂ、手動弁６５Ａ，６５Ｂ、継手６６Ａ，６６Ｂに相当する。
【００４０】
＜第１及び第２接続部の構成＞
図５は、図１に示す第１及び第２接続部４，５とシール部材６の分解断面図である。
第１及び第２接続部４，５は、ＰＴＦＥなどの耐熱性や耐腐食性があるフッ素樹脂を材質とする。第１及び第２接続部４，５は、同一の構造をなす。
【００４１】
具体的には、第１及び第２接続部４，５は、円筒状をなし、流路４ｈ，５ｈが端面に開口している。第１及び第２接続部４，５の端面には、流路開口部の周りに、シール溝４ａ，５ａが形成されている。シール溝４ａ，５ａには、「環状凹凸条」の一例である環状突起４ｂ，５ｂが流路４ｈ，５ｈと同心円状に突設されている。第１及び第２接続部４，５は、端面外周に沿って、凸部４ｇ，５ｇが外向きに突設されている。
【００４２】
第１及び第２接続部４，５の外周面には、後述する治具１５が取り付けられる第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆがそれぞれ環状に形成されている。第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆの端面側内側面４ｉ，５ｉは、第１及び第２接続部４，５の端面と平行に形成され、流路４ｈ，５ｈの軸線に対して直角なフラット状をなす。
【００４３】
第１及び第２接続部４，５は、第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆと第１及び第２接続部４，５の端面との間に、第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃがそれぞれ環状に形成されている。第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃは、環状突起４ｂ，５ｂに対応する深さまで形成されている。第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃの端面側内側面４ｄ，５ｄは、第１及び第２接続部４，５の端面と平行に形成され、流路４ｈ，５ｈの軸線に対して直角なフラット状をなす。そして、第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃは、端面側内側面４ｄ，５ｄの開口部より奥側に、接続部側テーパ４ｅ，５ｅが形成されている。接続部側テーパ４ｅ，５ｅは、第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃの奥側へ行くにつれて第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃの溝幅を狭めるように形成されている。
【００４４】
＜シール部材＞
図３は、図１に示すシール部材６の平面図である。図４は、図３示すシール部材６のＡ−Ａ断面図である。
シール部材６は、ＰＦＡなどの硬くて耐腐食性がある樹脂を材質とし、本体部１１と把持部１２と張出部１３とを備える。
【００４５】
図３及び図４に示すように、本体部１１は、短い円筒形状に形作られている。本体部１１は、第１及び第２接続部４，５の環状突起４ｂ，５ｂに嵌合する環状溝１１ａ，１１ｂ（環状凸凹条の一例）が両端面に形成され、断面Ｈ型をなし、断面が線対称形状になっている。環状溝１１ａ，１１ｂは、図５に示すように、溝幅が第１及び第２接続部４，５の環状突起４ｂ，５ｂの肉厚方向幅寸法と同一又は僅かに大きく形成されている。環状溝１１ａ，１１ｂは、開口部より奥側の内側内壁と外側内壁に、圧入代１１ｃ，１１ｄがそれぞれ設けられ、図５に示すように、環状溝１１ａ，１１ｂの開口部より奥側の溝幅を環状突起４ｂ，５ｂの肉厚方向幅寸法より小さくしている。シール部材６は、図４に示すように、内周面と外周面に、シール溝４ａ，５ａの底部に設けた傾斜（図５参照）と対応するように傾斜が設けられ、シール部材６の環状溝１１ａ，１１ｂに第１及び第２接続部４，５の環状突起４ｂ，５ｂを圧入したときに、シール部材６の環状溝１１ａ，１１ｂの幅が広がり、シール力が低下するのを防止している。
【００４６】
図３及び図４に示すように、シール部材６の外周面には、張出部１３が外向きに突設されている。張出部１３は、本体部１１の外周面に沿って環状に形成されている。張出部１３の外縁部には、複数の把持部１２が所定間隔を空けて一体的に接続している。各把持部１２は、第１及び第２接続部４，５の凸部４ｇ，５ｇに引っ掛けて係合する引掛部１２ａが、内向きに（中心に向かって）突き出して設けられている。
【００４７】
＜連結部材＞
図６は、図１に示す連結部材７の外観斜視図である。図７は、図１に示す連結部材７の初期組立状態を示す側面図である。
図７に示すように、連結部材７は、リング状をなし、第１分割片８と第２分割片９に分割されている。図６に示すように、第１分割片８と第２分割片９は、薄い膜状で変形可能な連結帯１４により一体化されている。第１分割片８と第２分割片９と連結帯１４は、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン(二弗化ビニリデン)）などの強度と耐腐食性があるフッ素樹脂を射出成形や切削などにより一体成形されている。
【００４８】
図６及び図７に示すように、第１及び第２分割片８，９は、半円弧のブロック状をなす。第１及び第２分割片８，９は、互いに当接する端面の一方から真横（半径方向）に向かって延設部８ａ，９ａが設けられている。延設部８ａ，９ａには、フッ素樹脂製のネジである引寄部材１０を締結するためのボルト孔８ｂ，９ｂが形成されている。延設部８ａは、係止爪８ｃが弾性変形可能に突設されている。係止爪８ｃは、先端部８ｄが太くなっている。第２分割片９は、係止爪８ｃが挿通される挿通孔９ｃが形成されている。挿通孔９ｃは、先端部８ｄを弾性変形させながら係止爪８ｃを挿通し、先端部８ｄが挿通孔９ｃを通り抜けて復元した場合に開口部外周が先端部８ｄに引っ掛かって係合するように設けられている。
【００４９】
図６及び図７に示すように、第１分割片８の第２分割片９と当接する端面の他方には、第１係合突起８ｅと第１係合凹部８ｉが設けられている。また、第２分割片９の第１分割片８と当接する端面の他方には、第１係合突起８ｅが嵌め込まれる第２係合凹部９ｅと、第１係合凹部８ｉに嵌め込む第２係合突起９ｄが設けられている。
【００５０】
第１係合凹部８ｉは、第１分割片８の径方向に伸びるように形成されている。第１係合突起８ｅは、第１分割片８の端面から突出する方向（第１係合凹部８ｉを形成した方向と直交する方向）に設けられている。また、第２係合突起９ｄは、先端部が第２分割片９の径方向に伸びるように設けられている。また、第２係合凹部９ｅは、第２分割片９の端面に対して垂直方向（第２係合突起９ｄの先端部に対して直交する方向）に形成されている。従って、第１及び第２係合突起８ｅ，９ｄは、第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅに嵌合させた場合に、第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅの内壁に異方向（第１及び第２分割片８，９が分割する方向とその分割する方向と直交する方向）に当接して係止される。尚、第１及び第２係合突起８ｅ，９ｄと第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅにより、回動連結部２０が構成されている。
【００５１】
第１及び第２分割片８，９には、保持溝８ｆ，９ｆが内周面に沿って形成され、第１及び第２分割片８，９の両端に第１突部８ｊ，９ｊと第２突部８ｋ，９ｋが所定の間隔を空けて設けられている。ここで、「所定の間隔」とは、所定のシール力を得るように第１及び第２接続部４，５を引き寄せた場合における第１装着溝４ｃの端面側内側面４ｄと第２装着溝５ｃの端面側内側面５ｄとの間の距離をいう。第１突部８ｊ，９ｊと第２突部８ｋ，９ｋは、先端部内周に連結側テーパ８ｈ，９ｈが形成され、その奥側に、第１及び第２分割片８，９の半径方向に延びるストレート面８ｇ，９ｇが形成されている。
【００５２】
＜治具＞
第１実施形態の流体機器接続構造１は、治具１５を用いて、第１及び第２接続部４，５を引き寄せ、連結部材７を第１及び第２接続部４，５の周りに装着する。そこで、この治具１５について説明する。
【００５３】
図８は、図１に示す流体機器接続構造１において部品組立時に使用する治具１５の外観斜視図である。
治具１５は、力を伝達する際の変形を防ぐために、剛性がある金属（ステンレス等）を材質とする。治具１５は、２本の柄１６Ａ，１６Ｂを交差部１７で回動自在に連結している。柄１６Ａ，１６Ｂは、先端部が内向きに屈曲し、柄１６Ａ，１６Ｂの回動方向に対して直角になるように支軸１８をそれぞれ配置されている。各支軸１８には、加圧プレート１９の支持部１９ｂが回動可能に保持されている。加圧プレート１９には、第１及び第２接続部４，５の第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆに嵌め合わされるＵ字溝１９ａが形成されている。尚、柄１６Ａ，１６Ｂは、第１及び第２接続部４，５の引き寄せを容易にするために、柄１６Ａ，１６Ｂは、各支軸１８と交差部１７の間の長さよりも、交差部１７から把持部分までの長さを、長くしている。
【００５４】
＜流体機器の接続方法＞
次に、第１及び第２流体機器２，３の接続方法について説明する。
先ず、図５に示すように、例えば、第２接続部５の凸部５ｇにシール部材６の引掛部１２ａを引っ掛け、シール部材６を第２接続部５の外周に脱落しないように装着する。シール部材６は、把持部１２が分割して設けられているので、把持部１２で形成される内径を変えやすく、簡単に第２接続部５に装着できる。この場合、第２接続部５の環状突起５ｂは、先端部がシール部材６の環状溝１１ｂに軽く挿入される。
【００５５】
それから、第１接続部４を把持部１２に挿入し、把持部１２に沿って第２接続部５側へ押し込む。これにより、第１接続部４の環状突起４ｂは、先端部がシール部材６の環状溝１１ａに軽く挿入される。
【００５６】
図９は、図１に示す流体機器接続構造１における組立説明図であって、特に治具１５による引き寄せ方法を示す。
図９に示すように、治具１５の加圧プレート１９，１９に形成したＵ字溝１９ａ，１９ａの奥まで第１及び第２接続部４，５を挿入し、加圧プレート１９，１９を第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆに配置する。この時点では、第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃの端面側内側面４ｄ，５ｄの間の幅Ｗ１が、連結部材７の保持溝８ｆの幅（第１突部８ｊと第２突部８ｋとの間の幅）Ｗ２より広く、連結部材７を第１及び第２接続部４，５に装着できない。
【００５７】
そこで、治具１５の柄１６Ａ，１６Ｂを握って、図中矢印に示すように、第１及び第２接続部４，５を互いに近づく方向に加圧して引き寄せる。このとき、加圧プレート１９，１９は、支軸１８，１８を基点に回動する。その上、第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆの端面側内側面４ｉ，５ｉは、第１及び第２接続部４，５の端面と平行（流路４ｈ，５ｈの軸線に対して垂直）である。そのため、第１及び第２接続部４，５は、加圧プレート１９，１９に第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆの端面側内側面４ｉ，５ｉを、流路４ｈ，５ｈの軸線に沿って加圧され続ける。これにより、第１及び第２接続部４，５の環状突起４ｂ，５ｂがシール部材６の環状溝１１ａ，１１ｂに円周方向に均一に圧入されていく。
【００５８】
幅Ｗ１が幅Ｗ２より大きい場合には、環状突起４ｂ，５ｂを環状溝１１ａ，１１ｂに圧入する量が少なく、所定のシール力が得られていない。この場合には、更に強く治具１５を握り、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる。
【００５９】
図１０は、図１に示す流体機器接続構造１における組立説明図であって、特に連結部材７の装着方法を示す。
幅Ｗ１が幅Ｗ２以下になるまで第１及び第２接続部４，５を引き寄せると、第１及び第２接続部４，５の環状突起４ｂ，５ｂがシール部材６の環状溝１１ａ，１１ｂに設けた圧入代１１ｃ，１１ｄに圧入され、所定のシール力が得られる。そこで、治具１５で第１及び第２接続部４，５を保持した状態で、第１及び第２接続部４，５の周りに連結部材７を装着する。
【００６０】
連結部材７は、第１及び第２係合突起８ｅ，９ｄを第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅに係合させて回動連結部２０を構成し、その回動連結部２０を支点として、第１及び第２分割片８，９の第１突部８ｊ，９ｊと第２突部８ｋ，９ｋを第１及び第２接続部４，５の第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃにそれぞれ嵌め合わせるように、第１及び第２分割片８，９を回動させる。そして、第１分割片８に設けた係止爪８ｃの先端部８ｄを、延設部９ａの挿通孔９ｃの縁に突き当てて、係止爪８ｃを挿通孔９ｃの内側に曲がるように弾性変形させるながら、係止爪８ｃを先端部８ｄから第２分割片９の挿通孔９ｃに挿入する。係止爪８ｃは、先端部８ｄが挿通孔９ｃを貫通すると、元の形状に復元し、先端部８ｄを第２分割片９の延設部９ａに係止させる。これにより、連結部材７は、係止爪８ｃが挿通孔９ｃから抜けなくなり、第１及び第２分割片８，９が第１及び第２接続部４，５の周りで係合される。
【００６１】
ここで、連結部材７は、第１及び第２分割片８，９を第１及び第２接続部４，５に装着するときや、係止爪８ｃを挿通孔９ｃ内で弾性変形させて延設部９ａに係合するときに、第１及び第２分割片８，９に異方向の力が作用する。連結帯１４は、連結部材７の装着を容易にするために変形可能にされているため、第１及び第２分割片８，９に異方向の力が作用すると、第１及び第２分割片８，９を定位置で係合させることが難しい。
【００６２】
この点、連結部材７は、第１及び第２分割片８，９の連結帯１４に接続する端面において、第１及び第２係合突起８ｅ，９ｄを第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅの内壁に異方向に係止されるように係合している。そのため、第１及び第２係合突起８ｅ，９ｄと第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅの係合部分は、第１及び第２分割片８，９に異方向の力が作用しても、第１及び第２分割片８，９を定位置で係合させ続ける。よって、連結部材７は、第１及び第２係合突起８ｅ，９ｄと第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅの係合する回動連結部２０を支点にして第１及び第２分割片８，９を開閉して係止爪８ｃを弾性変形させながら挿通孔９ｃに挿通して延設部９ａに係合させ、第１及び第２接続部４，５に簡単に装着することができる。
【００６３】
治具１５を第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆから外すと、シール部材６と第１及び第２接続部４，５の圧入部分が発生する反発力が発生し、第１及び第２接続部４，５が接続部分の軸線に沿って互いに離れる方向にそれぞれ移動しようとする。
【００６４】
連結部材７は、初期組立時には、図１に示すように、連結側テーパ８ｈ，９ｈが、第１及び第２接続部４，５の接続部側テーパ４ｅ，５ｅに当接しておらず、第１及び第２突部８ｊ，９ｊ，８ｋ，９ｋのストレート面８ｇ，９ｇのみが、第１及び第２接続部４，５の端面に対して平行な第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃの端面側内側面４ｄ，５ｄに当接している。このため、連結部材７は、初期組立時には、第１及び第２接続部４，５の接続部分の軸線に沿って接続部を引き離す方向の力のみが、第１及び第２突部８ｊ，９ｊ，８ｋ，９ｋに作用する。連結部材７は、第１及び第２接続部４，５から作用する力を第１及び第２突部８ｊ，９ｊ，８ｋ，９ｋで受け、第１及び第２接続部４，５の接続状態を維持する。
【００６５】
尚このとき、連結部材７は、上記初期組立時には、図７に示すように、延設部８ａ，９ａの間に所定の隙間Ｓが形成されている。
【００６６】
ところで、第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃの端面側内側面４ｄ，５ｄ間の幅Ｗ１が、連結部材７の保持溝８ｆの幅（第１突部８ｊと第２突部８ｋとの間の幅）Ｗ２より小さくなるまで、第１及び第２接続部４，５を引き寄せた場合には、シール力が過大になる。しかし、この場合には、シール部材６と第１及び第２接続部４，５の圧入部分が発生する反発力によって、第１及び第２接続部４，５は、第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃの端面側内側面４ｄ，５ｄを連結部材７の第１及び第２突部８ｊ，９ｊ，８ｋ，９ｋに当接して係止されるまで、第１及び第２接続部４，５の接続部分の軸線に沿って押し戻され、シール力が適正値に自動調整される。
【００６７】
このように、第１実施形態の流体機器接続構造１は、連結部材７の第１及び第２突部８ｊ，９ｊ，８ｋ，９ｋによって第１及び第２接続部４，５の引き寄せ量を一定に管理するので、第１及び第２接続部４，５を適正な接続状態になるように簡単且つ確実に位置決めできる。
【００６８】
ここで、例えば、連結部材７は、第１及び第２接続部４，５に装着された後、何かがぶつかったり、第１及び第２接続部４，５が流体の温度による熱膨張や熱収縮を繰り返して変形するときに、第１及び第２分割片８，９に異方向の力が作用する。連結部材７は、係止爪８ｃを延設部９ａに係合させる係合部分と、第１及び第２係合突起８ｅ，９ｄを第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅに係合させる回動連結部２０とによって、第１及び第２分割片８，９を一体化している。そのため、連結部材７は、第１及び第２分割片８，９に異方向に作用する力を、係止爪８ｃを延設部９ａに係合させる係合部分と、第１及び第２係合突起８ｅ，９ｄを第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅに係合させる回動連結部２０とで受け、第１及び第２分割片８，９の係合状態を維持し、第１及び第２接続部４，５を接続させ続けることができる。
【００６９】
＜第１及び第２接続部を引き寄せる力を発生させる方法＞
流体機器接続構造１は、第１及び第２接続部４，５やシール部材６、連結部材７、引寄部材１０が樹脂成形品である。そのため、例えば、高温の薬液が流路４ｈ，５ｈに流した後、冷たい純水を流路４ｈ，５ｈに流す動作を繰り返すと、第１及び第２流体機器２，３が膨張と収縮を繰り返してクリープ変形し、シール力を低下させることがある。
【００７０】
図１１は、図１に示す連結部材７の引寄力発生状態を示す側面図を示す。
この場合でも、図１１に示すように、流体機器接続構造１は、引寄部材１０をボルト孔８ｂ，９ｂに締め付ける。すると、初期組立時に延設部８ａ，９ａの間に形成されていた隙間Ｓ（図７参照）が狭くなり、内径Ｒ２が初期組立時の内径Ｒ１より小さくなる。
【００７１】
図１２は、図１に示す流体機器接続構造１の引寄力発生状態を示す断面図である。
このとき、図１２に示すように、連結部材７は、第１及び第２分割片８，９が、連結側テーパ８ｈ，９ｈを、第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃの端面側内側面４ｄ，５ｄに設けた接続部側テーパ４ｅ，５ｅに摺動させる。すると、第１及び第２接続部４，５は、連結部材７から、互いに近づける方向の力を受け、第１及び第２接続部４，５の環状突起４ｂ，５ｂをシール部材６の環状溝１１ａ，１１ｂに更に圧入してシール力を向上させる。
【００７２】
しかし、この場合、第１及び第２接続部４，５とシール部材６との圧入部分には、反発力が生じる。この反発力は、連結側テーパ８ｈ，９ｈに対して直角に作用し、連結部材７に対して垂直成分と水平成分に分けられて分散して作用する。尚、以下の説明において、「水平」とは、第１及び第２接続部４，５の軸線方向をいい、「垂直」とは、第１及び第２接続部４，５の軸線方向に対して垂直な方向をいうものとする。
【００７３】
連結部材７は、第１及び第２突部８ｊ，９ｊ，８ｋ，９ｋが、第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃの端面側内側面４ｄ，５ｄ又は接続部側テーパ４ｅ，５ｅに当接し、第１及び第２接続部４，５から連結部材７に作用する力の水平成分の分力を受け止める。
【００７４】
一方、第１及び第２係合突起８ｅ，９ｄと第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅとの係合部分には、第１及び第２接続部４，５から連結部材７に作用する力の垂直成分が作用する。この場合でも、連結部材７は、第２係合突起９ｄが、第１分割片８を押さえるようにして第１係合凹部８ｉに水平方向に係合し、垂直成分の力を受ける。
【００７５】
また、係止爪８ｃは、引寄部材１０をボルト孔８ｂ，９ｂに締め付けると、延設部９ａに係止されなくなる。しかし、引寄部材１０が延設部８ａ，９ａを保持する。よって、連結部材７は、引寄部材１０によって第１及び第２接続部４，５を引き寄せた際に、第１及び第２接続部４，５から受ける力の垂直成分の力を引寄部材１０で受ける。
【００７６】
このように、連結部材７は、垂直成分の力を、引寄部材１０と第２係合突起９ｄと第１係合凹部８ｉとの係合部分とで受け止めるので、第１及び第２分割片８，９の分離が阻止される。
【００７７】
よって、連結部材７は、引寄部材１０により第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させても、引寄力を発生させた後のシール力を維持し続けることができる。
【００７８】
＜第１実施形態に係る流体機器接続構造の作用効果＞
以上説明したように、第１実施形態の流体機器接続構造１は、第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆに治具１５の加圧プレート１９，１９を取り付け、第１及び第２接続部４，５は、第１装着溝４ｃの端面側内側面４ｄと第２装着溝５ｃの端面側内側面５ｄの幅Ｗ１が、連結部材７の第１突部８ｊ，９ｊと第２突部８ｋ，９ｋとの間の幅Ｗ２になるまで、第１及び第２接続部４，５を互いに近づける方向に力を加える。これにより、第１及び第２接続部４，５のシール溝４ａ，５ａにシール部材６が装着され、所定のシール力が得られる。
【００７９】
この状態で、第１及び第２係合突起８ｅ，９ｄを第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅに係合させると共に、係止爪８ｃの先端部８ｄを第２分割片９の延設部９ａに引っ掛けるように係合させ、第１及び第２分割片８，９を第１及び第２接続部４，５の周りに装着する。これにより、治具１５を第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆから取り外しても、第１及び第２接続部４，５の接続状態が連結部材７により維持される。よって、第１実施形態の流体機器接続構造１によれば、第１及び第２接続部４，５を引き寄せて第１及び第２分割片８，９を第１及び第２接続部４，５の周りに装着するスペースさえ有れば、従来技術のように筒状ナットを移動させるスペースを確保しなくても、第１及び第２流体機器２，３を簡単且つ確実に接続することができる。
【００８０】
しかも、第１実施形態の流体機器接続構造１は、断面コの字形の連結部材７（第１及び第２分割片８，９）の第１及び第２突部８ｊ，９ｊ，８ｋ，９ｋを第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃに嵌合させ、第１及び第２分割片８，９で第１及び第２接続部４，５を挟むようにして連結部材７を第１及び第２接続部４，５の接続部分に装着する。よって、第１実施形態の流体機器接続構造１によれば、第１及び第２接続部４，５の接続構造をコンパクトにすることができる。
【００８１】
また、第１実施形態の流体機器接続構造１は、第１取付溝４ｆの端面側内側面４ｉと第１装着溝４ｃの端面側内側面４ｄ、及び、第２取付溝５ｆの端面側内側面５ｉと第２装着溝５ｃの端面側内側面５ｄとが、それぞれ第１接続部４の端面、及び、第２接続部５の端面に対して平行であるので、治具１５により第１及び第２接続部４，５を引き寄せるときや、連結部材７で第１及び第２接続部４，５を接続したときに、第１接続部４の端面と第２接続部５の端面とをほぼ均一に押し付け、シール部材６を円周方向に均一にシールさせることができる。
【００８２】
また、第１実施形態の流体機器接続構造１は、第１及び第２接続部４，５がクリープ変形した場合には、引寄部材１０で第１及び第２分割片８，９を互いに近づける。これにより、連結部材７の連結側テーパ８ｈ，９ｈが、第１及び第２接続部４，５の接続部側テーパ４ｅ，５ｅに沿って摺動し、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させ、シール力を向上させる。ここで、第１及び第２接続部４，５とシール部材６との間で発生する反発力によって第１及び第２分割片８，９が離れようとする。しかし、連結部材７は、引寄部材１０が第１及び第２分割片８，９の係合状態を保持するので、第１及び第２接続部４，５を引き寄せた後のシール力を維持できる。よって、第１実施形態の流体機器接続構造１によれば、第１及び第２接続部４，５がクリープ変形した場合でも、簡単にシール力を向上させることができる。
【００８３】
また、第１実施形態の流体機器接続構造１は、連結部材７が、第１分割片８と第２分割片９とで構成され、第１分割片８と第２分割片９の一端を回動可能に連結する回動連結部２０と、第１分割片８に弾性変形可能に設けられた係止爪８ｃと、第２分割片９に設けられ、係止爪８ｃが弾性変形した状態で挿通された後に復元して開口部外周に係止される挿通孔９ｃと、を有する。よって、第１実施形態の流体機器接続構造１は、例えば、流体機器が入り組んで流体機器の間に狭い場所しかないような場合でも、第１分割片８を第２分割片９に対して回動させ、係止爪８ｃを挿通孔９ｃに押し込むだけで、連結部材７を第１及び第２接続部４，５の接続部分に簡単に装着することができる。
【００８４】
また、第１実施形態の流体機器接続構造１は、回動連結部２０が、第１分割片８と第２分割片９にそれぞれ設けた第１及び第２係合突起８ｅ，９ｄと第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅとで構成され、第１及び第２係合突起８ｅ，９ｄと第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅを互いに嵌合させて係合させた場合に、第１及び第２係合突起８ｅ，９ｄが第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅの内壁に異方向（第１及び第２分割片８，９の分割方向とその分割方向に対して直交する方向）に係止される。そのため、第１実施形態の流体機器接続構造１によれば、例えば、係止爪８ｃを弾性変形させながら挿通孔９ｃに挿通して延設部９ａに係合させる場合や、第１及び第２接続部４，５に装着した連結部材７に何かがぶつかるなどして、第１及び第２分割片８，９に異方向の力が作用しても、第１及び第２分割片８，９が分離しない。
【００８５】
また、第１実施形態の流体機器接続構造１は、連結部材７が、第１及び第２接続部４，５に取り付けられた初期状態時に、第１及び第２分割片８，９の間に隙間Ｓを有する。引寄部材１０は、隙間Ｓを閉じるように第１及び第２分割片８，９を連結して、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させる。よって、本発明の流体機器接続構造１によれば、引寄部材１０で簡単にシール力を向上させることができる。
【００８６】
また、第１実施形態の流体機器接続構造１は、第１及び第２分割片８，９が連結帯１４により一体化しているので、第１又は第２分割片８，９をなくしたり、第１及び第２分割片８，９を組み合わせる手間を省き、作業性を良くすることができる。
【００８７】
また、第１実施形態の流体機器接続構造１は、第１及び第２接続部４，５の環状突起４ｂ，５ｂをシール部材６の環状溝１１ａ，１１ｂの圧入代１１ｃ，１１ｄに圧入するために、大きな力（例えば、２００Ｎ以上）を要する。このような場合に、従来技術の流体機器接続構造１１００（図４５参照）を適用すると、筒状ナット１１０９を手で回転させることが難しいため、柄の長いスパナで筒状ナット１１０９を流体機器に締め付ける必要がある。ところが、図１３に示すように、流体機器が密集する流体機器ユニット５０では、スパナの回転スペースを流体機器の間に確保できず、従来技術の流体機器接続構造１１００によっては流体機器を接続できないことがある。一方、第１実施形態の流体機器接続構造１は、治具１５の加圧プレート１９，１９を挿入できる隙間が流体機器の間にあれば、治具１５によって第１及び第２接続部４，５を挟み込むようにして引き寄せ、第１及び第２接続部４，５の接続部分の周りにおいて第１及び第２分割片８，９を係合させて連結部材７を装着する。よって、第１実施形態の流体機器接続構造１によれば、接続する流体機器の周りに狭い空きスペースしかない場合でも、簡単且つ確実にシール部材６をシール溝４ａ，５ａに圧入装着することができる。
【００８８】
また、第１実施形態の流体機器接続構造１は、第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆに加圧プレート１９，１９を配置した治具１５を握って、第１及び第２接続部４，５を治具１５で十分に引き寄せ、その後、第１及び第２接続部４，５の周りで第１及び第２分割片８，９を係合させれば、第１及び第２流体機器２，３を接続できるので、従来技術のように筒状ナット１１０９を回転させる場合と比べて、第１及び第２接続部４，５の接続時間を短縮できる。
【００８９】
また、第１実施形態の流体機器ユニット５０は、上記流体機器接続構造１を用いて複数の流体機器６１Ａ，６１Ｂ，６２Ａ，６２Ｂ，６３Ａ，６３Ｂ，６４Ａ，６４Ｂ，６５Ａ，６５Ｂ，６６Ａ，６６Ｂを接続するので、各流体機器６１Ａ，６１Ｂ，６２Ａ，６２Ｂ，６３Ａ，６３Ｂ，６４Ａ，６４Ｂ，６５Ａ，６５Ｂ，６６Ａ，６６Ｂを簡単且つ確実に接続することができる。しかも、流体機器ユニット５０は、各流体機器の接続部が同じ形状であって、流体機器の流路ブロックや配管等に一体成形され、しかも、同じ連結部材７を使用して流体機器の接続部を接続しているので、部品を共通化してコストダウンすることができる。
【００９０】
しかも、第１実施形態の流体機器ユニット５０は、コンパクトな構造の流体機器接続構造１を使用して流体機器を接続するので、ユニット全体のフットスペースを小さくすることができる。
【００９１】
（第２実施形態）
次に、本発明の流体機器接続構造の第２実施形態について説明する。
第２実施形態の流体機器接続構造は、連結部材７Ａを除き、第１実施形態の流体機器接続構造１と構成が同じである。よって、ここでは、第１実施形態と異なる点を中心に説明し、第１実施形態と共通する点は適宜説明を省略する。
【００９２】
＜連結部材の構成＞
図１４は、本発明の第２実施形態に係る流体機器接続構造に使用する連結部材７Ａの側面図であって、初期組立状態を示す。図１５は、図１４に示す連結部材７Ａの側面図であって、引寄力発生状態を示す。図１６は、図１５に示す連結部材７Ａの断面図である。
連結部材７Ａは、フッ素樹脂を射出成形して、第１分割片８Ａと第２分割片９Ａと連結帯１４とを一体成形したものである。第１及び第２分割片８Ａ，９Ａは、延設部７１，７２を備える。第１及び第２分割片８Ａ，９Ａは、図１５に示すように、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させる時に互いに延設部７１，７２を隙間無く当接させるように、図１４に示すように、延設部７１，７２の互いに当接させる面に傾斜が設けられている。そのため、第１及び第２分割片８Ａ，９Ａは、図１４に示す初期組立時において、所定の角度をもった隙間Ｓ１が延設部７１，７２の間に設けられる。
【００９３】
図１６に示すように、延設部７２は、延設部７１と当接する面であって挿通孔９ｃより外側に、雄ねじ部７５（「引寄部材」の一部を構成。）が立設されている。雄ねじ部７５は、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させる時に延設部７１の雌ねじ部材７７（「引寄部材」の一部を構成。）に当接する面に対して垂直になるように、延設部７２の端面に対して傾いて設けられている。延設部７１は、雄ねじ部７５が貫通する貫通孔７６が形成されている。貫通孔７６は、第１及び第２分割片８Ａ，９Ａが、回動連結部２０を支点として開閉する動作を阻害しないように、雄ねじ部７５の径方向断面積より大きく設けられている。雄ねじ部７５は、先端部が貫通孔７６を貫いて延設部７１から上方に突き出し、樹脂製の雌ねじ部材７７が締結されている。雌ねじ部材７７の端面には、雌ねじ部材７７を回転させるための工具を取り付けるための六角孔７８が形成されている。
【００９４】
＜流体機器の接続方法＞
このような連結部材７Ａは、第１及び第２流体機器２，３の第１及び第２接続部４，５を治具１５により引き寄せた後、第１及び第２接続部４，５の第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃに装着される。このとき、連結部材７Ａは、第１及び第２係合突起８ｅ，９ｄと第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅを係合させた状態で第１及び第２接続部４，５の周りを巻くように装着され、係止爪８ｃを挿通孔９ｃに挿通し、図１４に示すように先端部８ｄを延設部７２に係止させる。これにより、連結部材７Ａは、第１分割片８Ａの係止爪８ｃと第２分割片９Ａの延設部７２とを係合させてリング状にされ、第１及び第２接続部４，５の接続状態を維持する。
【００９５】
第１及び第２接続部４，５のシール力が弱くなった場合には、六角孔７８に工具を装着して雌ねじ部材７７を雄ねじ部７５にねじ込み、隙間Ｓ１を閉じるように延設部７１，７２を密着させる。すると、図１５及び図１６に示すように、延設部７１，７２が密着し、内径Ｒ１２を初期組立時の内径Ｒ１１（図１４参照）より小さくする。このとき、雄ねじ部７５が延設部７１の雌ねじ部材７７に当接する面に対して垂直になるように延設部７２に立設されているため、連結部材７Ａは、雄ねじ部７５と雌ねじ部材７７との間で延設部７１，７２をぴったり密着させて狭持し、第１及び第２分割片８Ａ，９Ａを開き難くすることができる。連結部材７Ａの内径を小さくすることにより、シール力を向上させられることは、第１実施形態で述べた通りであるので、ここでは説明を省略する。
【００９６】
＜第２実施形態に係る流体機器接続構造の作用効果＞
このような第２実施形態に係る流体機器接続構造は、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させた場合に、第１及び第２接続部４，５の接続部側テーパ４ｅ，５ｅと連結部材７Ａの連結側テーパ８ｈ，９ｈとが接する面に作用する第１及び第２接続部４，５の反発力が、連結部材７Ａの第１及び第２分割片８Ａ，９Ａを分割する方向とその分割方向に対して直交する方向に作用する。しかし、第２実施形態に係る流体機器接続構造は、連結部材７Ａが、雌ねじ部材７７を雄ネジ部７５に締め付けて延設部７１，７２を隙間無く当接させているので、雌ねじ部材７７と雄ねじ部７５のねじ締結力が緩みにくい。よって、第２実施形態に係る流体機器接続構造によれば、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させて得られたシール力を安定して維持することができる。
【００９７】
また、第２実施形態に係る流体機器接続構造は、例えば、第１及び第２接続部４，５がクリープ変形した場合には、雌ねじ部材７７を雄ねじ部７５にねじ込んで第１及び第２分割片８Ａ，９Ａを互いに近づけ、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させる。ここで、第１及び第２接続部４，５とシール部材６との間で発生する反発力によって第１及び第２分割片８Ａ，９Ａが互いに離れようとする。しかし、連結部材７Ａは、雌ねじ部材７７と雄ねじ部７５との螺合により第１及び第２分割片８Ａ，９Ａの係合状態を保持するので、引寄力発生状態を維持できる。よって、第２実施形態に係るの流体機器接続構造によれば、第１及び第２接続部４，５がクリープ変形した場合でも、簡単にシール力を向上させることができる。
【００９８】
（第３実施形態）
次に、本発明の流体機器接続構造の第３実施形態について説明する。図１７は、本発明の第３実施形態に係る流体機器接続構造に使用する連結部材７Ｂの分解図である。図１８は、図１７に示す連結部材７Ｂを構成する第１分割片８Ｂと第２分割片９Ｂを組み合わせた図である。図１９は、図１７に示す連結部材７Ｂと引寄部材１００の外観斜視図である。図２０は、図１７に示す連結部材７Ｂに引寄部材１００を取り付けた状態を示す図である。図２１は、図１７に示す連結部材７Ｂの引寄力発生状態を示す図である。図２２は、図１９に示す引寄部材１００の中央縦断面図である。図２３は、図２２のＢ−Ｂ断面図である。
【００９９】
第３実施形態の流体機器接続構造は、連結部材７Ｂと引寄部材１００を除き、第１実施形態の流体機器接続構造１と構成が同じである。よって、ここでは、第１実施形態と異なる連結部材７Ｂと引寄部材１００を中心に説明し、第１実施形態と共通する点は図面に第１実施形態と同一符号を付して適宜説明を省略する。
【０１００】
＜連結部材の構成＞
図１７に示すように、連結部材７Ｂは、第１分割片８Ｂと第２分割片９Ｂが別個に設けられている。第１及び第２分割片８Ｂ，９Ｂは、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させる引寄力発生時に互いに延設部８ａ，９ａを隙間無く当接させるように、延設部８ａ，９ａの互いに当接させる面に傾斜が設けられている。そのため、第１及び第２分割片８Ｂ，９Ｂは、図１７に示す初期組立時において、所定の角度をもった隙間Ｓ１が延設部８ａ，９ａの間に設けられる。図１７及び図１８に示すように、延設部８ａ，９ａには、引寄部材１００を装着するための装着孔８１，８５（「装着部」の一例）が四角形状に形成されている。
【０１０１】
図１７に示すように、第１分割片８Ｂは、延設部８ａと反対側に一対の支持壁８２，８３が平行に設けられ、その支持壁８２，８３の間に回転軸８４が架設されている。一方、第２分割片９Ｂは、延設部９ａと反対側に、Ｕ字形の回転係合部８６が設けられている。回転係合部８６は、第２分割片９Ｂが第１分割片８Ｂに当接する分割面と反対側に開口している。回転係合部８６の開口部は、幅が回転軸８４の直径より小さく形成されている。連結部材７Ｂは、回転係合部８６に回転軸８４を圧入して挿入することにより回動連結部８７が構成される。このような連結部材７Ｂは、回転軸８４が回転係合部８６から外れにくいため、第１分割片８Ｂと第２分割片９Ｂとがバラバラにならずに一体的に連結される。
【０１０２】
＜引寄部材の構成＞
図１９に示すように、引寄部材１００は、樹脂製のクリップ部材１０１と、樹脂製のナット部材１０２とを備える。引寄部材１００は、クリップ部材１０１を連結部材７Ｂの装着孔８１，８５に押し込むことにより、連結部材７Ｂにワンタッチ装着されるように構成されている。ナット部材１０２とクリップ部材１０１との間には、ナット部材１０２がクリップ部材１０１に対して回転して緩まないように、回転止め機構１０４が設けられている。
【０１０３】
図２２に示すように、クリップ部材１０１は、回転止めした状態で装着孔８１，８５に装着される。クリップ部材１０１は、下端部から軸線方向に沿って溝１０１ａが形成されて、下端部が二股にされ、一対の可撓片１０１ｂ，１０１ｂが設けられている。各可撓片１０１ｂの先端部には、係止部１０１ｃが溝１０１ａと反対向きに突出して設けられている。クリップ部材１０１の上端部には、円柱部１０１ｄが円柱状に設けられている。円柱部１０１ｄの外周面には、雄ねじ１０１ｅが形成されている。クリップ部材１０１は、有底孔１０１ｆが円柱部１０１ｄの上端面に開設されている。有底孔１０１ｆの内側面には、図２３に示すように、谷部１０１ｇと山部１０１ｈが円周方向に沿って交互に設けられている。
【０１０４】
図２２に示すように、ナット部材１０２は、一方に開口する中空部１０２ａを備えるコップ形状をなす。ナット部材１０２は、中空部１０２ａの内周面に雌ねじ１０２ｂが形成されている。雌ねじ１０２ｂは、クリップ部材１０１の雄ねじ１０１ｅに螺合して、ネジ部１０３を構成する。ナット部材１０２は、一対の係合片１０２ｃ，１０２ｃが中空部１０２ａの底部に垂設されている。係合片１０２ｃ，１０２ｃは、ナット部材１０２をクリップ部材１０１に対して回転させた場合に、谷部１０１ｇに係合する位置では弾性変形せず、山部１０１ｈに摺接する位置では弾性変形して抵抗を生じるように、配設されている。よって、係合片１０２ｃ，１０２ｃは、谷部１０１ｇ及び山部１０１ｈと共に回転止め機構１０４を構成する。尚、ナット部材１０２は、上端面外周に、工具取付孔１０２ｄが形成されている。
【０１０５】
＜第３実施形態に係る流体機器接続構造の作用効果＞
上記連結部材７Ｂは、図１７及び図１８に示すように、回転軸８４を回転係合部８６の開口部に圧入することにより、第１及び第２分割片８Ｂ，９Ｂとが一体化される。そして、第１及び第２接続部４，５の接続部分を挟むようにして、図１８の図中矢印に示すように、回動連結部８７を支点として第１分割片８Ｂを第２分割片９Ｂに対して回転させる。そして、係止爪８ｃを撓ませながら挿通孔９ｃに挿通する。図１９に示すように、係止爪８ｃは、挿通孔９ｃを通過すると復元して、先端部８ｄを挿通孔９ｃの開口部外周に引っ掛ける。これにより、第１及び第２分割片８Ｂ，９Ｂは、回動連結部８７と係止爪８ｃとにより両端部を連結される。このとき、連結部材７Ｂは、延設部８ａ，９ａの間に隙間Ｓ１を空けた状態で第１及び第２接続部４，５の接続部分に取り付けられる。
【０１０６】
このように、第３実施形態の流体機器接続構造は、連結部材７Ｂが、第１分割片８Ｂと第２分割片９Ｂとで構成され、第１分割片８Ｂと第２分割片９Ｂの一端を回動可能に連結する回動連結部８７と、第１分割片８Ｂに弾性変形可能に設けられた係止爪８ｃと、第２分割片９Ｂに設けられ、係止爪８ｃが弾性変形した状態で挿通された後に復元して開口部外周に係止される挿通孔９ｃと、を有する。よって、第３実施形態の流体機器接続構造は、例えば、流体機器が入り組んで流体機器の間に狭い場所しかないような場合でも、第１分割片８Ｂを第２分割片９Ｂに対して回動させ、係止爪８ｃを挿通孔９ｃに押し込むだけで、連結部材７Ｂを第１及び第２接続部４，５の接続部分にワンタッチで簡単に装着することができる。
【０１０７】
また、第３実施形態の流体機器接続構造は、回動連結部８７が、第１分割片８Ｂに回転軸８４を設け、第２分割片９Ｂに回転軸８４に係合するＵ字形の回転係合部８６を設けて構成され、回転係合部８６が、第２分割片９Ｂが第１分割片８Ｂに当接する面と反対側に開口している。そのため、第３実施形態の流体機器接続構造によれば、例えば、連結部材７Ｂに何かがぶつかるなどして、第１及び第２分割片８Ｂ，９Ｂに異方向の力が作用しても、第１及び第２分割片８Ｂ，９Ｂが分離しない。
【０１０８】
図１９及び図２０に示すように、連結部材７Ｂには、初期組立時に、引寄部材１００が予め装着される。引寄部材１００は、一対の可撓片１０１ｂ，１０１ｂの下端部を装着孔８１に位置合わせして、装着孔８１へ向かって挿入される。このとき、係止部１０１ｃ，１０１ｃの外側面に形成したテーパが装着孔８１の内壁に押圧され、可撓片１０１ｂ，１０１ｂが溝１０１ａ側へ撓む。可撓片１０１ｂ，１０１ｂは、係止部１０１ｃ、１０１ｃが装着孔８１，８５を通過して延設部８ａ，９ａからの押圧力を解除されると、復元して係止部１０１ｃ，１０１ｃを延設部９ａに引っ掛け、引寄部材１００を装着孔８１，８５から抜けにくくする。
【０１０９】
よって、第３実施形態の流体機器接続構造は、引寄部材１００のクリップ部材１０１を装着孔８１，８５に押し込めば、引寄部材１００を連結部材７Ｂにワンタッチで簡単に装着できるので、作業性が良い。特に、流体機器ユニットは、例えば、多数の流体機器を備えるウエハ洗浄装置に組み付けた場合、他の流体機器の奥側に配置されることがある。この場合でも、引寄部材１００は、工具を用いることなく、装着孔８１，８５に押し込むだけで、簡単に連結部材７Ｂに装着できる。
【０１１０】
その後、第１及び第２接続部４，５のシール力が低下した場合には、図２０に示すように、工具取付孔１０２ｄに図示しない工具（六角レンチなど）を取り付けてナット部材１０２を回転させる。ナット部材１０２は、図２１に示すように、ネジ部１０３のネジ送りによって、クリップ部材１０１をナット部材１０２側へ引き上げる。これにより、ナット部材１０２と係止部１０１ｃ，１０１ｃとの間の距離が縮むため、連結部材７Ｂは、隙間Ｓ１を閉じるように、延設部８Ｂ．９Ｂを近づける。この結果、連結部材７Ｂは、第１分割片８Ｂの保持溝８ｆと第２分割片９Ｂの保持溝９ｆとの間に形成される空間の径が小さくなり、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力が発生する。これにより、第１及び第２接続部４，５はシール力が向上する。
【０１１１】
このように、第３実施形態の流体機器接続構造は、例えば、第１及び第２接続部４，５がクリープ変形した場合には、引寄部材１００で第１及び第２分割片８Ｂ，９Ｂを互いに近づけて第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させる。ここで、第１及び第２接続部４，５とシール部材７との間で発生する反発力によって第１及び第２分割片８Ｂ，９Ｂが互いに離れようとする。しかし、連結部材７Ｂは、引寄部材１００が第１及び第２分割片８Ｂ，９Ｂの係合状態を保持するので、引寄力発生状態を維持できる。よって、第３実施形態の流体機器接続構造によれば、第１及び第２接続部４，５がクリープ変形した場合でも、簡単にシール力を向上させることができる。
【０１１２】
また、第３実施形態の流体機器接続構造は、連結部材７Ｂが、第１及び第２接続部４，５に取り付けられた初期状態時に、第１及び第２分割片８Ｂ，９Ｂの間に隙間Ｓ１を有する。引寄部材１００は、隙間Ｓ１を閉じるように第１及び第２分割片８Ｂ，９Ｂを連結して、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させる。よって、第３実施形態の流体機器接続構造によれば、引寄部材１００で簡単にシール力を向上させることができる。
【０１１３】
ところで、引寄部材１００は、シール部材６の反発力や、第１及び第２接続部４，５から連結部材７Ｂを介して伝達される熱や、使用される雰囲気の熱や、装置の振動によって、ナット部材１０２が緩み回転してしまうことがある。ナット部材１０２が緩み回転してしまうと、連結部材７Ｂが第１及び第２接続部４，５を保持する力が低下し、シール力が低下する恐れがある。
【０１１４】
この点、図２３に示すように、引寄部材１００は、ナット部材１０２とクリップ部材１０１との間に回転止め機構１０４を構成している。ナット部材１０２は、クリップ部材１０１に対して回転して緩んで回転しようとすると、係合片１０２ｃが山部１０１ｈに摺接する際に弾性変形して抵抗を生じる。この抵抗により、ナット部材１０２は回転を阻止される。
【０１１５】
このように、第３実施形態の流体機器接続構造は、連結部材７Ｂが、引寄部材１００が装着される装着孔８１，８５を第１及び第２分割片８Ｂ，９Ｂに設け、引寄部材１００が、装着孔８１，８５に回転不能に装着されるクリップ部材１０１と、クリップ部材１０１に螺設されるナット部材１０２と、ナット部材１０２をクリップ部材１０１に対して回転することを阻止する回転止め機構１０４とを有する。そのため、第３実施形態の流体機器接続構造は、第１及び第２接続部４，５や連結部材７Ｂがクリープ変形等した場合でも、回転止め機構１０４がナット部材１０２の回転を阻止するので、第１及び第２接続部４，５の接続状態を維持できる。
【０１１６】
ここで、連結部材７Ｂは、回転係合部８６が、第２分割片９Ｂの分割面と反対向きに開口している。そのため、連結部材７Ｂが第１及び第２接続部４，５の熱変形や流体圧等により第１及び第２分割片８Ｂ，９Ｂを離間させる方向の力を受けたとしても、回転軸８４が回転係合部８６に異方向に支持され、回転係合部８６から外れない。
【０１１７】
（第４実施形態）
次に、本発明の流体機器接続構造の第４実施形態について説明する。図２４は、本発明の第４実施形態に係る流体機器接続構造に使用する連結部材７Ｂと引寄部材１１０の外観斜視図である。図２５〜図２７は、図２４に示す引寄部材１１０の断面図である。特に、図２５は、初期施工前の状態を示し、図２６は、初期施工後の状態を示し、図２７は、引寄力発生状態を示す。
第４実施形態の流体機器接続構造は、引寄部材１１０を除き、第３実施形態と構成が同じである。よって、ここでは、第３実施形態と異なる引寄部材１１０を中心に説明し、第３実施形態と共通する点は図面に第３実施形態と同一符号を付し、適宜説明を省略する。
【０１１８】
＜引寄部材の構成＞
図２４に示すように、引寄部材１１０は、連結部材７Ｂの装着孔８１，８５に装着される。引寄部材１１０は、クリップ部材１１１とナット部材１１２とロッド部材１１３とから構成されている。クリップ部材１１１とナット部材１１２とロッド部材１１３は樹脂を材質とする。
【０１１９】
図２５〜図２７に示すように、クリップ部材１１１は、円柱部１１１ａに一対の可撓片１１１ｂ，１１１ｂが立設されている。一対の可撓片１１１ｂ，１１１ｂは、回転止めされた状態で装着孔８１，８５に装着されている。各可撓片１１１ｂの先端部には、延設部９ａに係止される係止部１１１ｃが側方に張り出すように設けられている。各係止部１１１ｃの外側面には、可撓片１１１ｂが装着孔８１，８５の内壁に押圧されて撓みやすくするために、テーパが設けられている。図２５に示すように、可撓片１１１ｂ，１１１ｂが互いに対向する面には、ロッド部材１１３を案内するための案内溝１１１ｇが形成されている。
【０１２０】
円柱部１１１ａの外周面には、雄ねじ１１１ｄが形成されている。円柱部１１１ａは、可撓片１１１ｂ，１１１ｂが立設された面と対向する面に有底孔１１１ｅが開設されている。有底孔１１１ｅの底部には、ロッド部材１１３が摺動可能に挿通される貫通孔の開口部外側に一対の位置決め突起１１１ｆ，１１１ｆが立設されている。位置決め突起１１１ｆ，１１１ｆは、先端部が内向きに屈曲している。
【０１２１】
ナット部材１１２は、一端面から中空部１１２ａが形成されたコップ形状をなす。中空部１１２ａの内周面には、雌ねじ１１２ｂが形成されている。雌ねじ１１２ｂは、雄ねじ１１１ｄと共にネジ部１１４を構成する。ナット部材１１２の上端面には、ロッド部材１１３を挿通するためのロッド用挿通孔１１２ｃが形成されている。ロッド用挿通孔１１２ｃは、多角形状（本実施形態では六角形状）に形成されている。
【０１２２】
ロッド部材１１３は、ナット部材１１２とクリップ部材１１１に摺動可能に保持されている。ロッド部材１１３の外周面には、同調面１１３ａがロッド用挿通孔１１２ｃに対応して多角形状に形成されている。
【０１２３】
ロッド部材１１３は、同調面１１３ａ上に第１位置決め溝１１３ｂが環状に形成されている。また、ロッド部材１１３は、同調面１１３ａより下側に、第２位置決め溝１１３ｃが環状に形成されている。第１及び第２位置決め溝１１３ｂ，１１３ｃは、軸線に対して直交するように平行に形成され、クリップ部材１１１に設けた位置決め突起１１１ｆ，１１１ｆの先端が溝底に摺接するように設けられている。第１及び第２位置決め溝１１３ｂ，１１３ｃの溝底は、多角形状若しくは楕円形状にされている。本実施形態では、第１及び第２位置決め溝１１３ｂ，１１３ｃの溝底を六角形状にしている。
【０１２４】
位置決め突起１１１ｆは、第１位置決め溝１１３ｂの溝底の平坦面中央に先端部が当接する間は、弾性変形しない。ナット部材１１２を回転させるとロッド部材１１３は同調して回転する。このとき、位置決め突起１１１ｆは、第１位置決め溝１１３ｂの溝底の平坦面中央から頂部に近づくについて弾性変形し、溝底との間に抵抗を生じる。よって、引寄部材１１０は、ナット部材１１２を回転させる場合に、一定間隔で抵抗が生じる。このような引寄部材１１０は、位置決め突起１１１ｆと第１位置決め溝１１３ｂとにより回転止め機構１１５が構成されている。
【０１２５】
＜第４実施形態に係る流体機器接続構造の作用効果＞
上記引寄部材１１０を連結部材７Ｂに取り付ける場合には、図２４及び図２５に示すように、先ずロッド部材１１３をナット部材１１２から引き出して、位置決め突起１１１ｆの先端を第２位置決め溝１１３ｃに引っ掛けて嵌合させておく（このロッド部材１１３の位置を「第２位置」とする。）。これにより、可撓片１１１ｂ，１１１ｂは、内側へ倒れ込むように弾性変形することが許容される。
【０１２６】
そして、可撓片１１１ｂ，１１１ｂの係止部１１１ｃを装着孔８１に位置合わせし、引寄部材１１０を装着孔８１に押し込む。可撓片１１１ｂ，１１１ｂは、係止部１１１ｃのテーパが装着孔８１の内壁に押圧され、内側へ撓みながら装着孔８１，８５へ挿入される。係止部１１１ｃ，１１１ｃが装着孔８１，８５を通過して押圧力を解除されると、可撓片１１１ｂ，１１１ｂが外側へ変形して復元し、係止部１１１ｃ，１１１ｃを挿通孔９ｃの開口部外周に係止させる。
【０１２７】
そして、図２４及び図２６に示すように、ロッド部材１１３をナット部材１１２に押し込み、位置決め突起１１１ｆを第１位置決め溝１１３ｂに係合させる（この場合のロッド部材１１３の位置を「第１位置」とする。）。このとき、ロッド部材１１３は、ロッド用挿通孔１１２ｃと案内溝１１１ｇに案内されて、ナット部材１１２を回転させずに下降する。これにより、可撓片１１１ｂ，１１１ｂは、ロッド部材１１３が係止部１１１ｃ，１１１ｃの近くまで深く挿入され、内側への変形を阻止される。よって、引寄部材１１０は、上方へ強く引っ張り上げられても、可撓片１１１ｂ，１１１ｂが変形しないため、クリップ部１１１が装着孔８１，８５から抜けない。
【０１２８】
このように、第４実施形態の流体機器接続構造は、引寄部材１１０の可撓片１１１ｂ，１１１ｂを連結部材７Ｂの装着孔８１，８５に位置合わせして引寄部材１１０を装着孔８１，８５に挿入するだけで、引寄部材１１０を連結部材７Ｂにワンタッチで簡単に装着することができる。
【０１２９】
一方、第１及び第２接続部４，５のシール力が低下した場合には、図２４及び図２７に示すように、位置決め突起１１１ｆを第１位置決め溝１１３ｂに係合させたまま、ナット部材１０２を図中矢印方向へ回転させる。すると、ネジ部１１４のネジ送りにより、クリップ部１１１がナット部材１１２の中空部１１２ａ内へ引き上げられる。このため、ナット部材１１２と係止部１１１ｃ，１１１ｃとの間の距離が縮められ、図２４に示す隙間Ｓ１を閉じるように延設部８ａ，９ａを近づける。これにより、連結部材７Ｂは、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させ、シール力を向上させることが可能である。
【０１３０】
尚、引寄部材１１０は、ナット部材１１２をロッド部材１１３に締め付けることによりクリップ部材１１１が上方へ強く引き上げられても、ロッド部材１１３を第１位置に配置して、可撓片１１１ｂ，１１１ｂの変形を阻止しているため、装着孔８１，８５から抜けない。
【０１３１】
しかも、ロッド部材１１３は、第１位置に配置されている場合と、第２位置に配置されている場合と、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させた場合とで、ナット部材１１２から突出する量が相違する。よって、作業者は、ロッド部材１１３の突出量を目視することにより、ロッド部材１１３を第１位置に配置して引寄部材１１０の抜け止めをしているか、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させているかを、簡単に判断できる。
【０１３２】
ところで、引寄部材１１０は、位置決め突起１１１ｆの先端部が、第１位置決め溝１１３ｂの多角形状な溝底に摺接させている。位置決め突起１１１ｆが設けられたクリップ部材１１１は、可撓片１１１ｂ，１１１ｂが回転止めされた状態で装着孔８１，８５に挿通されている。ナット部材１１２は、ロッド部材１１３と一体的に回転する場合に、溝底の平坦面中央が位置決め突起１１１ｆに当接する間は、位置決め突起１１１ｆを弾性変形させないため、位置決め突起１１１ｆとの間に抵抗を生じない。一方、ナット部材１１２は、溝底の平坦面中央から頂部までの面が位置決め突起１１１ｆに当接する間は、位置決め突起１１１ｆを外向きに弾性変形させるため、位置決め突起１１１ｆとの間に抵抗を生じる。よって、引寄部材１１０は、ナット部材１１２が変形等により緩もうとしても、位置決め突起１１１ｆと第１位置決め溝１１３ｂの溝底との間に生じる抵抗によりナット部材１１２の回転が阻止される。
【０１３３】
このように、第４実施形態の流体機器接続構造は、連結部材７Ｂが、引寄部材１１０が装着される装着孔８１，８５を第１及び第２分割片８Ｂ，９Ｂに設け、引寄部材１１０が、装着孔８１，８５に回転不能に装着されるクリップ部材１１１と、クリップ部材１１１に螺設されるナット部材１１２と、ナット部材１１２がクリップ部材１１１に対して回転することを阻止する回転止め機構１１５とを有する。そのため、第４実施形態の流体機器接続構造は、第１及び第２接続部４，５や連結部材７Ｂがクリープ変形等した場合でも、回転止め機構１１５がナット部材１１２の回転を阻止するので、第１及び第２接続部４，５の接続状態を維持できる。
【０１３４】
（第５実施形態）
次に、本発明の流体機器接続構造の第５実施形態について説明する。図２８は、本発明の第５実施形態に係る流体機器接続構造に使用する引寄部材１２０の分解斜視図である。図２９は、図２８に示す引寄部材１２０の断面図である。
第５実施形態の流体機器接続構造は、引寄部材１２０を除き、第３実施形態と構成が同じである。よって、ここでは、第３実施形態と異なる引寄部材１２０を中心に説明し、第３実施形態と共通する点は適宜説明を省略する。
【０１３５】
＜引寄部材の構成＞
図２８及び図２９に示すように、引寄部材１２０は、樹脂製のクリップ部材１２１と樹脂製のナット部材１２２とで構成されている。引寄部材１２０は、クリップ部材１２１を連結部材７Ｂの装着孔８１，８５に挿通して、連結部材７Ｂに装着される。図２９に示すように、クリップ部材１２１とナット部材１２２との間には、回転止め機構１２５が設けられている。
【０１３６】
クリップ部材１２１は、円柱部１２１ａの中心に雌ねじ孔１２１ｅが形成されている。円柱部１２１ａは、雌ねじ孔１２１ｅが開口する開口部外側に、一対の可撓片１２１ｂ，１２１ｂが立設されている。各可撓片１２１ｂは、係止部１２１ｃが側方に突出して設けられている。係止部１２１ｃの外側面には、テーパが設けられている。円柱部１２１ａの外周面には、下端部が面取りされて、緩み止め部１２１ｄが多角形状に形成されている。
【０１３７】
ナット部材１２２は、図２９に示すように、一端端面から中空部１２２ａを形成されてコップ形状をなす。ナット部材１２２は、雌ねじ孔１２１ｅに螺合されるロッド部１２２ｂが、中空部１２２ａの底面から軸方向に突設されている。ロッド部１２２ｂの外周面に形成された雄ねじ１２２ｃは、雌ねじ孔１２１ｅと共にネジ部１２４を構成する。
【０１３８】
中空部１２２ａの開口部内周には、緩み止め部１２１ｄに摺接する摺接部１２２ｄが内向きに突出して形成されている。摺接部１２２ｄは、内周面が緩み止め部１２１ｄに対応して多角形状に形成されている。ナット部材１２２の側面には、中空部１２２ａが開口する端面から軸線方向に沿って複数の切り込み１２２ｅが形成され、ナット部材１２２の開口面積を変えながらナット部材１２２をクリップ部材１２１に対して回転させられるようになっている。尚、ナット部材１２２の閉鎖面外壁には、工具を取り付けるための工具取付孔１２２ｆが設けられている。
【０１３９】
＜第５実施形態に係る流体機器接続構造の作用効果＞
上記引寄部材１２０を連結部材７Ｂに装着する場合には、ネジ部１２４を緩めて、クリップ部材１２１をナット部材１２２に対して下降させる。これにより、ロッド部１２２ｂが、可撓片１２１ｂ，１２１ｂの間を相対的に上昇し、可撓片１２１ｂ，１２１ｂの内側への弾性変形を許容する。
【０１４０】
そして、クリップ部材１２１を連結部材７Ｂの装着孔８１，８５に位置合わせして、引寄部材１２０を装着孔８１，８５へ挿入する。クリップ部材１２１は、可撓片１２１ｂ，１２１ｂが、係止部１２１ｃ，１２１ｃに設けたテーパを装着孔８１の内壁に押圧されて、内向きに弾性変形しながら、装着孔８１，８５に挿入される。係止部１２１ｃ，１２１ｃが装着孔８１，８５を通過すると、可撓片１２１ｂ，１２１ｂが外向きに変形して復元し、係止部１２１ｃ，１２１ｃを延設部９ａに係止させる。
【０１４１】
その後、引寄部材１２０は、ナット部材１２２をクリップ部材１２１にねじ込む。クリップ部材１２１は、ネジ部１２４のネジ送りによってナット部材１２２側へ引き上げられる。これにより、ナット部材１２２と係止部１２１ｃ，１２１ｃとが、隙間Ｓ１を空けた状態で延設部８ａ，９ａを挟み込む。
【０１４２】
ナット部材１２２をクリップ部材１２１にねじ込むと、ロッド部１２２ｂが可撓片１２１ｂ，１２１ｂの間を相対的に下降し、可撓片１２１ｂ，１２１ｂが内側へ弾性変形できなくなる。よって、引寄部材１２０は、上方へ強く引っ張られても、可撓片１２１ｂ，１２１ｂが弾性変形して装着孔８１，８５から抜けることがない。
【０１４３】
第１及び第２接続部４，５のシール力が低下した場合には、ナット部材１２０の工具取付孔１２２ｆに工具を取り付けてナット部材１２２をクリップ部材１２１にねじ込む。これにより、ナット部材１２０と係止部１２１ｃ，１２１ｃとの間の距離が縮み、隙間Ｓ１を閉じるように延設部８ａ，９ａを近づける。これにより、連結部材７Ｂは、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させ、シール力を向上させることが可能になる。
【０１４４】
尚、引寄部材１２０は、ナット部材１２２が回転される場合、摺接部１２２ｄと緩み止め部１２１ｄとの当たり面を変える際に抵抗が生じる。そのため、引寄部材１２０は、ナット部材１２２が変形等により緩もうとしても、摺接部１２２ｄと緩み止め部１２１ｄとの間に生じる抵抗によりナット部材１２２の回転が阻止される。
【０１４５】
このように、第５実施形態の流体機器接続構造は、連結部材７Ｂが、引寄部材１２０が装着される装着孔８１，８５を分割片８Ｂ，９Ｂに設け、引寄部材１２０が、装着孔８１，８５に回転不能に装着されるクリップ部材１２１と、クリップ部材１２１に螺設されるナット部材１２２と、ナット部材１２２をクリップ部材１２１に対して回転することを阻止する回転止め機構１２５とを有する。そのため、第５実施形態の流体機器接続構造は、第１及び第２接続部４，５や連結部材７Ｂがクリープ変形等した場合でも、回転止め機構１２５がナット部材１２２の回転を阻止するので、第１及び第２接続部４，５の接続状態を維持できる。
【０１４６】
（第６実施形態）
次に、本発明の流体機器接続構造の第６実施形態について説明する。図３０は、本発明の第６実施形態に係る流体機器接続構造に使用する連結部材７Ｂに引寄部材１３０を装着した状態を示す図である。図３１は、図３０に示す引寄部材１３０の分解図である。図３２は、図３０に示す引寄部材１３０の縦断面図である。
第６実施形態の流体機器接続構造は、引寄部材１３０を除き、第３実施形態と構成が同じである。よって、ここでは、第３実施形態と異なる引寄部材１３０を中心に説明し、第３実施形態と共通する点は適宜説明を省略する。
【０１４７】
＜引寄部材の構成＞
引寄部材１３０は、樹脂製のクリップ部材１３１に樹脂製のナット部材１３２を螺合している。引寄部材１３０は、ナット部材１３２とクリップ部材１３１との間に樹脂製の回転止めプレート１３３を配置して、ナット１３２の回転を防止するための回転止め機構１３５が設けられている。
【０１４８】
図３０に示すように、クリップ部材１３１は、装着孔８１，８５に挿通された場合に回転しないように、本体部１３１ｂが断面四角形状に形成されている。本体部１３１ｂは、下端部が細くされて脚部１３１ｃを設けられている。脚部１３１ｃは、引寄部材１３１を連結部材７Ｂに装着した場合に、装着孔８５から外部へ突出するように設けられている。脚部１３１ｃの下端部には、本体部１３１ｂの幅と同一若しくは若干小さい幅で設けられた支持部１３１ｄが接続している。
【０１４９】
支持部１３１ｄの両端には、一対の可撓片１３１ｅ，１３１ｅが本体部１３１ａ側に突出するように立設されている。可撓片１３１ｅ，１３１ｅの先端部には、引寄部材１３０を連結部材７Ｂに装着した場合に装着孔８５の開口部内周壁に引っ掛けられる爪部１３１ｇがそれぞれ設けられている。
【０１５０】
図３１に示すように、本体部１３１ｂの上端部には、円柱部１３１ａが一体成形されている。円柱部１３１ａは、外周面に雄ねじ部１３１ｈが形成されている。
【０１５１】
図３２に示すように、ナット部材１３２は、一方に開口する中空部１３２ａを備えるコップ形状をなす。中空部１３２ａの内周面には、雌ねじ部１３２ｂが形成されている。雌ねじ部１３２ｂは、クリップ部材１３１の雄ねじ部１３１ｈに螺合して、ネジ部１３４を構成する。
【０１５２】
図３１に示すように、ナット部材１３２の下端部外周面には、回転止めプレート１３３に係止される係合面１３２ｃが設けられている。係合面１３２ｃは、多角形状をなし、回転止めプレート１３３に面接触する。尚、ナット部材１３２の上端面には、工具取付孔１３２ｄが形成されている。
【０１５３】
回転止めプレート１３３は、円板形状をなす。回転止めプレート１３３には、嵌合溝１３３ａが外周縁から長く形成されている。回転止めプレート１３３は、嵌合溝１３３ａにクリップ部材１３１の本体部１３１ｂを嵌め込まれて、クリップ部材１３１に取り付けられている。回転止めプレート１３３は、嵌合溝１３３ａの両側に、一対の回り止め部１３３ｂ，１３３ｂが立設されている。回り止め部１３３ｂは、ナット部材１３２に設けた係合面１３２ｃの平坦面に面接触して、ナット部材１３２の回転を阻止するように設けられている。
【０１５４】
＜第６実施形態に係る流体機器接続構造の作用効果＞
引寄部材１３０を連結部材７Ｂに取り付ける場合には、クリップ部材１３１の支持部１３１ｄを連結部材７Ｂの装着孔８１に位置合わせして、引寄部材１３０を装着孔８１側へ押圧する。可撓片１３１ｅ，１３１ｅは、装着孔８１の内壁に押圧されて脚部１３１ｃ，１３１ｃ側へ倒れるように弾性変形し、装着孔８１，８５に挿入される。可撓片１３１ｅ，１３１ｅは、装着孔８１，８５を通過すると脚部１３１ｃ，１３１ｃから離れる外方向に変形して復元し、装着孔８５の外側において延設部９ａに突き当てられる。このとき、爪部１３１ｇ，１３１ｇは、装着孔８５の内壁に引っ掛けられ、可撓片１３１ｅ，１３１ｅが外方向へ過剰に倒れ込んで変形・破損するのを防ぐ。
【０１５５】
引寄部材１３０は、ナット部材１３２と可撓片１３１ｅ，１３１ｅとの間で回転止めプレート１３３と連結部材７Ｂの延設部８ａ，９ａを挟み込んで保持する。この時点では、延設部８ａ，９ａは、隙間Ｓ１を開けて保持される。
【０１５６】
ナット部材１３２が変形等により緩もうとした場合には、ナット部材１３２の係合面１３２ｃが、回転止めプレート１３３の回り止め部１３３ｂに当接する部分を平坦面から頂点部へ変えようとする。ナット部材１３２は、係合面１３２ｃの頂点部が回り止め部１３３ｂに当接し、回転止めプレート１３３と共回りしようとする。
【０１５７】
しかし、回転止めプレート１３３は、嵌合溝１３３ａをクリップ部材１３１の本体部１３１ｂに嵌め合わせて回転止めされている。そして、クリップ部材１３１は、本体部１３３ｂが装着孔８１，８５に回転止めされた状態で挿通されている。このため、ナット部材１３２は、緩んで回転しようとしても、係合面１３２ｃが回転止めプレート１３３の回り止め部１３３ｂとクリップ部材１３１の本体部１３１ｂを介して連結部材７Ｂの延設部８ａ，９ａに係合し、回転を阻止される。
【０１５８】
このように、第６実施形態の流体機器接続構造は、連結部材７Ｂが、引寄部材１３０が装着される装着孔８１，８５を第１及び第２分割片８Ｂ，９Ｂに設け、引寄部材１３０が、装着孔８１，８５に回転不能に装着されるクリップ部材１３１と、クリップ部材１３１に螺設されるナット部材１３２と、ナット部材１３２をクリップ部材１３１に対して回転することを阻止する回転止め機構１３５とを有する。そのため、第６実施形態の流体機器接続構造は、第１及び第２接続部４，５や連結部材７Ｂがクリープ変形等した場合でも、回転止め機構１３５がナット部材１３２の回転を阻止するので、第１及び第２接続部４，５の接続状態を維持できる。
【０１５９】
ところで、ナット部材１３２をクリップ部材１３１にねじ込むと、ナット部材１３２と可撓片１３１ｅとの間の距離が縮められ、隙間Ｓ１を閉じるように連結部材７Ｂの延設部８ａ，９ａが互いに近づけられる。このとき、可撓片１３１ｅは、延設部９ａに強く押し付けられ、外向きに倒れようとする。しかし、可撓片１３１ｅは、先端部に設けた爪部１３１ｇ，１３１ｇを装着孔８５の内壁に引っ掛けているため、外側への倒れ込みを制限される。よって、引寄部材１３０は、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させる引寄力発生時に、可撓片１３１ｅが外側に倒れ込んで変形・破損することがない。
【０１６０】
（第７実施形態）
次に、本発明の流体機器接続構造の第７実施形態について説明する。図３３は、本発明の第７実施形態に係る流体機器接続構造に使用する連結部材７Ｃと引寄部材１４０の外観斜視図である。図３４は、図３３に示す引寄部材１４０を連結部材７Ｃに装着した状態を示す外観斜視図である。
第７実施形態の流体機器接続構造は、連結部材７Ｃと引寄部材１４０を除き、第３実施形態の流体機器接続構造と構成が同じである。よって、ここでは、第３実施形態と異なる連結部材７Ｃと引寄部材１４０を中心に説明し、第３実施形態と共通する点は適宜説明を省略する。
【０１６１】
＜連結部材の構成＞
連結部材７Ｃは、引寄部材１４０を装着ための装着溝９１，９２（装着部の一例）が延設部８ａ，９ａの側面に開口して形成されている。
【０１６２】
＜引寄部材の構成＞
引寄部材１４０は、クリップ部材１４１にナット部材１０２が螺合接続されている。クリップ部材１４１は、装着溝９１，９２に回転止めした状態で装着されるように、直方体形状に形成されている。クリップ部材１４１の下端部には、装着溝９２の両側において延設部９ａに係止される一対の係止部１４１ａ，１４１ａが側方に延びるように設けられている。尚、クリップ部材１４１は、第３実施形態と同様に回転止め機構１０４によりナット部材１０２の緩み止めをしている。
【０１６３】
＜第７実施形態に係る流体機器接続構造の作用効果＞
連結部材７Ｃは、回動連結部８７を支点にして第１分割片８Ｃを第２分割片９Ｃに対して回転させ、係止爪８ｃを挿通孔９ｃに挿通して先端部８ｄを延設部９ａに引っ掛ける。このとき、第１及び第２分割片８Ｃ，９Ｃは、延設部８ａ，９ａの間に隙間Ｓ１が形成されている。
【０１６４】
引寄部材１４０を連結部材７Ｃに装着する場合には、延設部８ａ，９ａの延設部８ａ，９ａに設けた装着溝９１，９２の開口部からクリップ部材１４１を挿入し、連結部材７Ｃに装着される。
【０１６５】
このように、第７実施形態の流体機器接続構造は、装着溝９１，９２の開口部からクリップ部材１４１を挿入するだけで、引寄部材１４０を連結部材７Ｃに簡単に装着できる。
【０１６６】
その後第１及び第２接続部４，５のシール力が低下した場合には、ナット部材１０２をクリップ部材１４１に対して回転させる。これにより、ナット部材１０２と係止部１４１ａ，１４１ａとの間の距離が縮められ、延設部８ａ，９ａが隙間Ｓ１を閉じるように近づけられる。このとき、クリップ部材１４１は、下端部が二股に分かれていないので、ナット部材１０２を締め付けても、クリップ部材１４１の下端部が変形して係止部１４１ａ，１４１ａと延設部９ａとの係止状態を解除することがない。
【０１６７】
（第８実施形態）
次に、本発明の流体機器接続構造の第８実施形態について説明する。図３５は、本発明の第８実施形態に係る流体機器接続構造に使用する連結部材７Ｄと引寄部材１５０の外観斜視図である。図３６は、図３５に示す連結部材７Ｄに引寄部材１５０を装着した状態を示す外観斜視図である。図３７は、図３６のＣ−Ｃ断面図である。図３８は、図３５に示す連結部材７Ｄが引寄部材１５０で引き寄せ力を発生させられた引寄力発生状態を示す外観斜視図である。図３９は、図３８のＤ−Ｄ断面図である。
第８実施形態の流体機器接続構造は、連結部材７Ｄの延設部８ａ，９ａと引寄部材１５０を除き、第３実施形態の流体機器接続構造と構成が同じである。よって、ここでは、第３実施形態と異なる部分を中心に説明し、第３実施形態と共通する点は図面に同一符号を付して適宜説明を省略する。
【０１６８】
＜連結部材の構成＞
図３５に示す連結部材７Ｄは、樹脂を材質とする。連結部材７Ｄの延設部８ａ，９ａには、係止爪８ｃと挿通孔９ｃが設けられている。図３７に示すように、延設部９ａの外面には、引寄部材１５０のクリップ部材１５１が嵌合する嵌合溝９５が形成されている。
【０１６９】
＜引寄部材の構成＞
図３５に示す引寄部材１５０は、樹脂製のクリップ部材１５１に、樹脂製の回動部材１５２を回動可能に保持させたものである。クリップ部材１５１は、一方に開口するコの字型の枠である。図３７に示すように、クリップ部材１５１は、開口端部内周面に、回動部材１５２を回動可能に軸支するための支軸１５１ａが立設されている。
【０１７０】
回動部材１５２は、略円弧状に形成されている。回動部材１５２は、支軸１５１ａに保持される端部に、カム部１５２ａが設けられている。カム部１５２ａは、支軸１５１ａと延設部８ａとの間の距離を変化させために、支軸１５１ａに支持される端部側と回動部材１５２の一方の表面側へはそれぞれ盛り上がる一方、回動部材１５２の他方の表面側へは突出しないように、肉厚な形状にされている。回動部材１５２は、カム部１５２ａの両側に切り込み溝１５２ｂ，１５２ｂが形成され、カム部１５２ａが単独で弾性変形できるようになっている。尚、本実施形態では、カム部１５２ａと延設部８ａとで「カム機構」が構成されている。
【０１７１】
カム部１５２ａは、図３６及び図３７に示すように、隙間Ｓ１を空けた延設部８ａ，９ａに引寄部材１５０を装着した場合に、支軸１５１ａの中心からカム部１５２ａの延設部８ａとの当接面までの距離Ｘが最小となる（このときの回転部材１５０の姿勢を「第１姿勢」とする。）。カム部１５２ａは、図３６及び図３７の図中矢印に示すように、回動部材１５２を第１姿勢から連結部材７Ｄ側へ回動させた場合に、支軸１５１ａの中心から延設部８ａとの当接面までの表面までの距離Ｘが徐々に大きくなって、延設部８ａを延設部９ａ側へ押圧するように設けられている。
【０１７２】
カム部１５２ａは、延設部８ａと延設部９ａが当接した後、さらに回動部材１５２を回転させることにより延設部８ａの反発力を受けて撓むように、支軸１５１ａの中心から延設部８ａとの当接面までの距離Ｘを長く設計されている。そして、カム部１５２ａには、図３８及び図３９に示すように、回転部材１５２がカム部１５２ａを撓めた第２姿勢を保持するように、延設部８ａに面接触する平らな面が設けられている。
【０１７３】
＜第８実施形態に係る流体機器接続構造の作用効果＞
上記連結部材７Ｄは、図３５に示すように、回動連結部８７を支点にして第１分割片８Ｄを第２分割片９Ｄ側へ回動させ、係止爪８ｃを挿通孔９ｃに挿通することにより、第１及び第２接続部４，５の接続部分に取り付けられる。引寄部材１５０は、第１及び第２接続部４，５のシール力が低下した時に、連結部材７Ｄに装着される。
【０１７４】
引寄部材１５０を装着する場合には、図３５に示すように、回動部材１５２を第１姿勢にする。そして、図３６及び図３７に示すように、クリップ部材１５１と回動部材１５２との間に延設部８ａ，９ａを挿入し、クリップ部材１５１を嵌合溝９５に嵌合させる。そして、図中矢印に示すように、回動部材１５２を連結部材７Ｄ側へ回動させる。回動部材１５２は、カム部１５２ａを延設部８ａに摺接させながら回動する。
【０１７５】
延設部８ａが、カム部１５２ａに押し下げられて延設部９ａに当接すると、回動部材１５２は、延設部８ａから反発力を受けて回転しにくくなる。しかし、更に回動部材１５２を連結部材７Ｄ側へ回動させて、カム部１５２ａを撓ませる。そして、カム部１５２ａの平らな面を延設部８ａに面接触させるまで、回動部材１５２を連結部材７Ｄ側へ回動させる。これにより、回動部材１５２が第２姿勢で保持される。
【０１７６】
引寄部材１５０は、カム部１５２ａが撓んで延設部８ａに圧接されている。そのため、引寄部材１５０は、連結部材７Ｄが変形等を生じても、回動部材１５２が第２姿勢から第１姿勢に戻らない。これにより、連結部材７Ｄは、第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生された状態を維持され、シール力を向上させることが可能である。
【０１７７】
このような、第８実施形態の流体機器接続構造は、工具を用いずに、引寄部材１５０を回動させるだけで第１及び第２接続部４，５を引き寄せることができる。
【０１７８】
また、第８実施形態の流体機器接続構造は、引寄部材１５０が、第１及び第２分割片８Ｄ，９Ｄの連結部分に回動可能に取り付けられ、引寄部材１５０を回動させる場合に、第１分割片８Ｄを第２分割片９Ｄに当接させた後、第１分割片８Ｄから反発力を受けるカム部１５２ａを、引寄部材１５０に設けている。そのため、第８実施形態の流体機器接続構造は、第１及び第２接続部４，５や連結部材７Ｄが熱変形や流体圧等により第１及び第２分割片８Ｄ，９Ｄを離間させる方向の力を受けたとしても、引寄部材１５０が第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させた引寄力発生位置から初期位置へ反転することを阻止され、シール力を向上させた状態を維持することができる。
【０１７９】
（第９実施形態）
次に、本発明の流体機器接続構造の第９実施形態について説明する。図４０は、本発明の第９実施形態に係る流体機器接続構造に使用する連結部材７Ｅと引寄部材１６０の外観斜視図である。図４１〜図４４は、図４０に示す引寄部材１６０を連結部材７Ｅに装着する工程を説明するための断面図である。特に、図４１は引寄部材１６０を初期位置に配置した状態を示す。図４２は引寄部材１６０を回動制限位置に配置した状態を示す。図４３は引寄部材１６０を押圧開始位置に配置した状態を示す。図４４は引寄部材１６０を引寄力発生位置に配置した状態を示す。
【０１８０】
第９実施形態の流体機器接続構造は、連結部材７Ｅと引寄部材１６０を除き、第８実施形態の流体機器接続構造と構成が同じである。よって、ここでは、第８実施形態と異なる部分を中心に説明し、第８実施形態と共通する点は図面に同一符号を付して適宜説明を省略する。
【０１８１】
＜連結部材の構成＞
連結部材７Ｅは、カム部９６を備える第１分割片８Ｅを第２分割片９Ｄに回動連結部８７を介して回動可能に連結したものである。第１分割片８Ｅの延設部８ａは、係止爪８ｃが設けられた側面と対向する側面に、カム部９６が設けられている。
【０１８２】
カム部９６には、引寄部材１６０を図４１に示す初期位置から図４４に示す引寄力発生位置へ回動させる間に、延設部８ａが引寄部材１６０に押圧されて延設部９ａに当接するように設けられている。また、カム部９６は、図４４に示す引寄力発生位置に配置した引寄部材１６０を押圧して、引寄部材１６０が引寄力発生位置から初期位置に戻ることを防止するように設けられている。カム部９６は、引寄部材１６０の回動を許容する傾斜面９６ａと、引寄部材１６０との間に抵抗を生じる隆起面９６ｂと、引寄部材１６０を引寄力発生位置で保持するための凹面９６ｃとによりカム面を構成されている。
【０１８３】
＜引寄部材の構成＞
図４０に示すように、引寄部材１６０は、樹脂を材質とする円弧状をなす。引寄部材１６０の両端には、支持壁１６１，１６１が設けられている。支持壁１６１，１６１は、引寄部材１６０の端部から更に延設され、先端部分に支軸１６２が架設されている。従って、引寄部材１６０と支軸１６２と支持壁１６１，１６１との間には、延設部８ａ，９ａを挿通するための空間が形成されている。
【０１８４】
引寄部材１６０は、支軸１６２側の端部から切り込み溝１６３，１６３が形成され、切り込み溝１６３，１６３の間に可撓片１６４が弾性変形可能に形成されている。図４１〜図４４に示すように、可撓片１６４の先端部には、カム部９６に摺接する摺接凸部１６５が設けられている。
【０１８５】
＜第９実施形態に係る発明の作用効果＞
図４０に示す連結部材７Ｅは、回動連結部８７を支点として第１分割片８Ｅを第２分割片９Ｄに対して回動させる。そして、図４１に示すように、係止爪８ｃを挿通孔９ｃに挿通して先端部８ｄを延設部９ａに係止させる。これにより、連結部材７Ｅは、第１及び第２接続部４，５の接続部分に装着される。引寄部材１６０は、第１及び第２接続部４，５のシール力が低下した時に、連結部材７Ｅに装着される。
【０１８６】
図４１に示すように、引寄部材１６０は、支軸１６２との間に延設部８ａ，９ａが挿入される。そして、支軸１６２が延設部９ａの嵌合溝９５に嵌合され、引寄部材１６０が連結部材７Ｅに対して位置決めされる。そして、引寄部材１６０は、図中矢印方向に示すように、支軸１６２を支点として連結部材７Ｅ側へ回動される。
【０１８７】
このとき、図４２に示すように、引寄部材１６０は、摺接凸部１６５を傾斜面９６ａに摺接させながら回動し、延設部８ａを延設部９ａ側へ押圧する。これにより、延設部８ａが、隙間Ｓ１を閉じるように延設部９ａに近づいていく。
【０１８８】
図４３に示すように、引寄部材１６０は、摺接凸部１６５が隆起面９６ｂを通過するときに抵抗を生じ、可撓片１６４が撓む。このとき、延設部８ａは、延設部９ａに当接して隙間Ｓ１をゼロにする。
【０１８９】
図４４に示すように、その後更に引寄部材１６０は回動され、摺接凸部１６５を凹面１９６ｃに嵌め込む。これにより、引寄部材１６０は引寄力発生位置に配置される。このとき、引寄部材１６０は、可撓片１６４が隆起面１９６ｂと凹面１９６ｃとの間の斜面に摺接凸部１６５を圧接させた状態で撓み、延設部８ａを延設部９Ａ側へ押圧する。この時の押圧力は、隆起面１９６ｂの終端（凹面１９６ｃの手前）で最大となり、凹面に嵌り込むと同時に若干小さくなるため、引寄部材１６０は、引寄力発生位置から初期位置に戻らない。
【０１９０】
このように、第９実施形態の流体機器接続構造は、連結部材７Ｅが、引寄部材１６０を延設部８ａ，９ａに取り付けて回転させた場合に、延設部８ａを延設部９ａに当接させた後に引寄部材１６０に圧接するカム部９６を、延設部８ａに設け、引寄部材１６０は、カム部９６に摺接して弾性変形可能な可撓片１６４を有する。よって、第９実施形態の流体機器接続構造によれば、工具を用いずに、第１及び第２接続部４，５を引き寄せることができる。
【０１９１】
また、第９実施形態の流体機器接続構造は、引寄部材１６０が、第１及び第２分割片８Ｅ，９Ｄの連結部分に回動可能に取り付けられ、連結部材７Ｅは、引寄部材１６０を回動させる場合に、第１分割片８Ｅが第２分割片９Ｄに当接した後で引寄部材１６０から反発力を受けるカム部９６が、第１分割片８Ｅに設けられている。そのため、第９実施形態の流体機器接続構造は、第１及び第２接続部４，５や連結部材７Ｅが熱変形や流体圧等により分割片を離間させる方向の力を受けたとしても、引寄部材１６０が引寄力発生位置から初期位置へ反転することを阻止され、シール力を向上させた状態を維持できる。
【０１９２】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
（１）例えば、上記実施形態では、連結部材７，７Ａを二分割したが、三分割以上しても良い。また、複数の分割片は、必ずしも連結帯１４で一体化する必要はなく、ばらばらにしておいても良い。
（２）例えば、上記実施形態では、第１及び第２接続部４，５に環状突起４ｂ，５ｂを設け、シール部材６に環状溝１１ａ，１１ｂを形成した。これに対して、シール部材に環状突起を設け、第１及び第２接続部に環状突起が圧入される環状溝を形成しても良い。この場合には、環状突起側に圧入代を設けると良い。
（３）例えば、上記第１実施形態では、連結部材７の初期組立時から引寄部材１０を第１及び第２分割片８，９のボルト孔８ｂ，９ｂに取り付けた。これに対して、第１及び第２接続部がクリープ変形してシール力を向上させる必要が生じてから、引寄部材１０をボルト孔８ｂ，９ｂに取り付けることによって、引寄部材１０の紛失等を防止するようにしてもよい。
（４）例えば、上記実施形態では、係止爪８ｃを延設部７２に係合させた係合部分と、第１及び第２係合突起８ｅ，９ｄを第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅに係合させた係合部分とで、第１及び第２分割片８，９を係合させたが、第１及び第２係合突起８ｅ，９ｄと第１及び第２係合凹部８ｉ，９ｅとの係合部分を係止爪を挿通孔に挿通して係合させる構造に変えても良い。また、連結部材を多分割する場合には、各分割片を回転軸で連結してチェーン状とし、両端に設けた係合部と被係合部の少なくとも一方を弾性変形させて係合部と被係合部とを係合させ、環状の連結部材を構成するようにしても良い。
（５）上記実施形態では、第１及び第２分割片８，９の外形を半円弧状としたが、第１及び第２分割片の外形を直方体形状等にしても良い。
（６）上記実施形態では、係止爪８ｃを挿通孔９ｃに挿通して延設部９ａに係合したが、挿通孔９ｃを断面Ｌ字形の有底孔にしても良い。また、挿通孔９ｃに変えて係止爪を設け、係止爪同士（係合部と被係合部に相当）を弾性変形させながら係合させるようにしても良い。
（７）上記第４実施形態では、第２位置決め溝１１３ｃの溝底を多角形状とした。これに対して、第２位置決め溝１１３ｃの溝底を円形状にしても良い。
（８）例えば、引寄部材は、ネジ構造やカム構造によって第１及び第２分割片８，９を近づけて第１及び第２接続部４，５を引き寄せる力を発生させるものに限らない。例えば、隙間Ｓ，Ｓ１を閉じるように第１及び第２分割片８，９を治具で近づけた状態で、第１及び第２分割片４，５の延設部８ａ，９ａ若しくは外周に装着されるバンドや型枠等により、引寄部材を構成しても良い。
【図面の簡単な説明】
【０１９３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る流体機器接続構造の断面図である。
【図２】図１に示す流体機器接続構造の分解斜視図である。
【図３】図１に示すシール部材の平面図である。
【図４】図３示すシール部材のＡ−Ａ断面図である。
【図５】図１に示す第１及び第２接続部とシール部材の分解断面図である。
【図６】図１に示す連結部材の外観斜視図である。
【図７】図１に示す連結部材の初期組立状態を示す側面図である。
【図８】図１に示す流体機器接続構造において部品組立時に使用する治具の外観斜視図である。
【図９】図１に示す流体機器接続構造における組立説明図であって、特に治具による引き寄せ方法を示す。
【図１０】図１に示す流体機器接続構造における組立説明図であって、特に連結部材の装着方法を示す。
【図１１】図１に示す連結部材の引寄力発生状態を示す側面図を示す。
【図１２】図１に示す流体機器接続構造の引寄力発生状態を示す断面図である。
【図１３】図１に示す流体機器接続構造を利用した流体機器ユニットの外観斜視図である。
【図１４】本発明の第２実施形態に係る流体機器接続構造に使用する連結部材の側面図であって、初期組立状態を示す。
【図１５】図１４に示す連結部材の側面図であって、引寄力発生状態を示す。
【図１６】図１５に示す連結部材の断面図である。
【図１７】本発明の第３実施形態に係る流体機器接続構造に使用する連結部材の分解図である。
【図１８】図１７に示す連結部材を構成する第１分割片と第２分割片を組み合わせた図である。
【図１９】図１７に示す連結部材と引寄部材の外観斜視図である。
【図２０】図１７に示す連結部材に引寄部材を取り付けた状態を示す図である。
【図２１】図１７に示す連結部材の引寄力発生状態を示す図である。
【図２２】図１９に示す引寄部材の中央縦断面図である。
【図２３】図２２のＢ−Ｂ断面図である。
【図２４】本発明の第４実施形態に係る流体機器接続構造に使用する連結部材と引寄部材の外観斜視図である。
【図２５】図２４に示す引寄部材の断面図であって、ロッド部材を第２位置に配置した状態を示す。
【図２６】図２４に示す引寄部材の断面図であって、ロッド部材を第１位置に配置した状態を示す。
【図２７】図２４に示す引寄部材の断面図であって、引寄力発生状態を示す。
【図２８】本発明の第５実施形態に係る流体機器接続構造に使用する引寄部材の分解斜視図である。
【図２９】図２８に示す引寄部材の断面図である。
【図３０】本発明の第６実施形態に係る流体機器接続構造に使用する連結部材に引寄部材を装着した状態を示す図である。
【図３１】図３０に示す引寄部材の分解図である。
【図３２】図３０に示す引寄部材の縦断面図である。
【図３３】本発明の第７実施形態に係る流体機器接続構造に使用する連結部材と引寄部材の分解外観斜視図である。
【図３４】図３３に示す引寄部材を連結部材に装着した状態を示す外観斜視図である。
【図３５】本発明の第８実施形態に係る流体機器接続構造に使用する連結部材と引寄部材の外観斜視図である。
【図３６】図３５に示す連結部材に引寄部材を装着した状態を示す外観斜視図である。
【図３７】図３６のＣ−Ｃ断面図である。
【図３８】図３５に示す連結部材の引寄力発生状態を示す外観斜視図である。
【図３９】図３８のＤ−Ｄ断面図である。
【図４０】本発明の第９実施形態に係る流体機器接続構造に使用する連結部材と引寄部材の外観斜視図である。
【図４１】図４０に示す引寄部材を連結部材に装着する工程を説明するための断面図であって、引寄部材を初期位置に配置した状態を示す。
【図４２】図４０に示す引寄部材を連結部材に装着する工程を説明するための断面図であって、引寄部材を回動制限位置に配置した状態を示す。
【図４３】図４０に示す引寄部材を連結部材に装着する工程を説明するための断面図であって、引寄部材を押圧開始位置に配置した状態を示す。
【図４４】図４０に示す引寄部材を連結部材に装着する工程を説明するための断面図であって、引寄力発生位置に配置した状態を示す。
【図４５】従来の流体機器接続構造の断面図である。
【符号の説明】
【０１９４】
１  流体機器接続構造
２  第１流体機器
３  第２流体機器
４  第１接続部
４ａ  シール溝
４ｂ  環状突起（環状凹凸条）
４ｃ  第１装着溝
４ｄ  端面側内側面
４ｅ  接続部側テーパ
４ｆ  第１取付溝
４ｇ  凸部
４ｈ  流路
５  第２接続部
５ａ  シール溝
５ｂ  環状突起（環状凹凸条）
５ｃ  第２装着溝
５ｄ  端面側内側面
５ｅ  接続部側テーパ
５ｆ  第２取付溝
５ｇ  凸部
５ｈ  流路
６  シール部材
７，７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ，７Ｅ  連結部材
８，８Ａ，８Ｂ，８Ｃ，８Ｄ，８Ｅ  第１分割片
８ｈ  連結側テーパ
８ｊ  第１突起
８ｋ  第２突起
９，９Ａ，９Ｂ，９Ｃ，９Ｄ  第２分割片
９ｈ  連結側テーパ
９ｊ  第１突起
９ｋ  第２突起
１０，１００，１１０，１２０，１３０，１４０，１５０，１６０  引寄部材
１１  本体部
１１ａ，１１ｂ  環状溝（環状凸凹条）
１２  把持部
１２ａ  引掛部
１３  張出部
１４  回動連結部
７５  雄ねじ部（引寄部材）
８１，８５  装着孔
８７  回動連結部
９１，９２  装着溝
【図１】
0004575973.tif 000002
【図２】
0004575973.tif 000003
【図３】
0004575973.tif 000004
【図４】
0004575973.tif 000005
【図５】
0004575973.tif 000006
【図６】
0004575973.tif 000007
【図７】
0004575973.tif 000008
【図８】
0004575973.tif 000009
【図９】
0004575973.tif 000010
【図１０】
0004575973.tif 000011
【図１１】
0004575973.tif 000012
【図１２】
0004575973.tif 000013
【図１３】
0004575973.tif 000014
【図１４】
0004575973.tif 000015
【図１５】
0004575973.tif 000016
【図１６】
0004575973.tif 000017
【図１７】
0004575973.tif 000018
【図１８】
0004575973.tif 000019
【図１９】
0004575973.tif 000020
【図２０】
0004575973.tif 000021
【図２１】
0004575973.tif 000022
【図２２】
0004575973.tif 000023
【図２３】
0004575973.tif 000024
【図２４】
0004575973.tif 000025
【図２５】
0004575973.tif 000026
【図２６】
0004575973.tif 000027
【図２７】
0004575973.tif 000028
【図２８】
0004575973.tif 000029
【図２９】
0004575973.tif 000030
【図３０】
0004575973.tif 000031
【図３１】
0004575973.tif 000032
【図３２】
0004575973.tif 000033
【図３３】
0004575973.tif 000034
【図３４】
0004575973.tif 000035
【図３５】
0004575973.tif 000036
【図３６】
0004575973.tif 000037
【図３７】
0004575973.tif 000038
【図３８】
0004575973.tif 000039
【図３９】
0004575973.tif 000040
【図４０】
0004575973.tif 000041
【図４１】
0004575973.tif 000042
【図４２】
0004575973.tif 000043
【図４３】
0004575973.tif 000044
【図４４】
0004575973.tif 000045
【図４５】
0004575973.tif 000046