(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージ上に載置された試料上にスポット光を走査することで、試料を観察する走査型顕微鏡装置において、
前記試料の観察像の位置の変化を監視することにより、前記観察像に対する移動操作の有無を判定する判定手段と、
前記判定手段によって移動操作が行なわれていないことを判定したときに、前記試料上にスポット光を走査することによる画像情報取り込みにおけるサンプリングデータ数を多くして走査を再開させる画像情報取り込み手段と、
を具備したことを特徴とする走査型顕微鏡装置。
【請求項２】
前記判定手段は、前記ステージの移動量を計測するステージ移動量計測手段と、
走査中の時間経過を計測する時間経過計測手段と、
前記ステージ移動量計測手段によって前記ステージの移動を検出したときに、前記時間経過計測手段によって計測された走査中の経過時間を０にリセットするリセット手段と、
前記時間経過計測手段によって計測された走査中の経過時間が一定の時間を超えたときに前記観察像に対する移動操作が行なわれていないことを判定する手段と、
からなることを特徴とする請求項１に記載の走査型顕微鏡装置。
【請求項３】
前記判定手段は、前記スポット光を前記試料上に走査して取り込んだ１ラインごとの画像情報を記憶する画像情報記憶手段と、
前記１ラインごとの画像情報が、前記画像情報記憶手段によって記憶された前回走査した時の画像情報と比較して変化量が一定の値より小さいときに、前記観察像に対する移動操作が行なわれていないことを判定する手段と、
からなることを特徴とする請求項１に記載の走査型顕微鏡装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、走査型顕微鏡装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に走査型顕微鏡装置とは、後述するレーザー走査型顕微鏡が知られている。レーザー走査型顕微鏡は、光源からの光を対物レンズで微小なスポットに絞り、このスポットで試料上を走査し、試料からの透過光や反射光または蛍光を光検出器でサンプリングして電気信号に変換し、画像モニタ上に試料像を表示する構成となっており、例えば、特開昭６１−２１９９１９号公報等に開示されている。
【０００３】
従来、この種のレーザー走査型顕微鏡において、蛍光試料の画像を獲得するために像位置を探す場合には、まず、通常の顕微鏡による観察により、おおまかな観察対象領域の決定が行なわれる。次にレーザー走査型顕微鏡による観察により、レーザー光を観察試料表面の走査領域にラスタスキャンする。そして、このレーザーの走査により観察試料から発せられた蛍光により得られる観察対象領域の画像をモニタで確認しながら、観察試料が載置された顕微鏡ステージの位置の微調整、あるいは画像が鮮明に観察できるように、光検出器の調整を行なう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のレーザー走査型顕微鏡では、レーザー光を観察試料表面に連続的にラスタスキャンするために用いるガルバノメータの特性上、あまり高速で走査することができず、１画面の画像を獲得するのに、数秒の時間を要することになる。
【０００５】
このため、実際に像探しを行なうときには、レーザー光を連続走査させた状態で、ホトマル等の光検出器の感度の調整を行なった後、１画面の画像情報が獲得されるまで数秒待って、画像がどう変化したかを確認した上で、さらに感度調整を行なっていた。
【０００６】
また、ステージを移動して走査領域を変更した後、１画面の画像情報が獲得されるまで数秒待って、画像の変化を見てから再度ステージを動かすという繰り返し動作が必要となり、像を探す作業に時間がかかるといった問題があった。そこで、従来はサンプリングするデータ数を減らすことによって、走査を速くし、１画面の画像を取得する時間を短くすることが行なわれている。
【０００７】
ここで、サンプリングするデータ数を減らすと、解像度は低くなり、得られる画像のサイズは小さくなる。実際には、像探し時における試料の位置合せや、光検出器の粗い感度調整に関しては、それほど解像度は要求されないので、解像度を低くすることが可能である。一方、光検出器の感度の微調整は、走査の速さが影響するので、最終的な画像の解像度で走査を行なう必要がある。
【０００８】
したがって、まず、解像度を低くして走査を実行し、試料の位置合わせや光検出器の感度の粗い調整をして像探しを行なった後、一旦その走査を終了させ、次に解像度を高くして走査を実行し、光検出器の感度の微調整を行ない、最終的な画像を取り込むといった一連の操作が従来は必要であり、最終的な画像を取り込むまでの操作が多く、時間を多く要するといった問題があった。
【０００９】
本発明の目的は、試料の位置合わせの作業を効率良く実行できるとともに、操作性の大幅な向上を可能とした走査型顕微鏡装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決し目的を達成するために、本発明の走査型顕微鏡装置は以下の如く構成されている。
【００１１】
（１）本発明の走査型顕微鏡装置は、ステージ上に載置された試料上にスポット光を走査することで、試料を観察する走査型顕微鏡装置において、前記試料の観察像の位置の変化を監視することにより、前記観察像に対する移動操作の有無を判定する判定手段と、前記判定手段によって移動操作が行なわれていないことを判定したときに、前記試料上にスポット光を走査することによる画像情報取り込みにおけるサンプリングデータ数を変えて走査を再開させる画像情報取り込み手段と、から構成されている。
【００１２】
（２）本発明の走査型顕微鏡装置は上記（１）に記載の装置であり、かつ前記判定手段は、前記ステージの移動量を計測するステージ移動量計測手段と、走査中の時間経過を計測する時間経過計測手段と、前記ステージ移動量計測手段によって前記ステージの移動を検出したときに、前記時間経過計測手段によって計測された走査中の経過時間を０にリセットするリセット手段と、前記時間経過計測手段によって計測された走査中の経過時間が一定の時間を超えたときに前記観察像に対する移動操作が行なわれていないことを判定する手段と、からなる。
【００１３】
（３）本発明の走査型顕微鏡装置は上記（１）に記載の装置であり、かつ前記判定手段は、前記スポット光を前記試料上に走査して取り込んだ１ラインごとの画像情報を記憶する画像情報記憶手段と、前記１ラインごとの画像情報が、前記画像情報記憶手段によって記憶された前回走査した時の画像情報と比較して変化量が一定の値より小さいときに、前記観察像に対する移動操作が行なわれていないことを判定する手段と、からなる。
【００１４】
上記手段を講じた結果、それぞれ以下のような作用を奏する。
【００１５】
（１）本発明の走査型顕微鏡装置によれば、まず、試料上にスポット光を走査することによる画像情報取り込みのサンプリングデータ数を少なくして連続的に走査し、画像モニタに画像を表示する。この処理中に、観察像移動操作の有無を判定する判定手段により、観察像移動操作が行なわれていないと判定された場合には、サンプリングデータ数を多くして走査を再開させる画像情報取り込み手段により、サンプリングデータ数を多くして解像度の高い画像の取り込みを行なう。
【００１６】
（２）本発明の走査型顕微鏡装置によれば、ステージ移動が行なわれると、ステージ移動量計測手段により、ステージ移動が検出される。ステージ移動が検出されると、時間経過計測手段により計測されている走査中の経過時間は、リセット手段により０にリセットされる。これにより、ステージ移動が行なわれていない時間を計測することができる。ステージ移動が行なわれていない時間が一定時間を超えると、観察像移動操作の有無を判定する手段により観察像移動操作が行なわれていないと判定される。
【００１７】
（３）本発明の走査型顕微鏡装置によれば、スポット光を試料上に１ライン走査するごとに、取り込んだ画像情報と画像情報記憶手段により記憶された前回の１ライン分の画像情報を比較する。前回の走査したときの画像情報と比較して変化が一定の値より大きいときには、観察像移動操作の有無を判定する手段により、観察像移動操作が行なわれたものと判定され、画像情報記憶手段によって１ライン分の画像情報を記憶する。また、画像情報の変化が一定の値より小さいときには、観察像移動操作の有無を判定する手段により、観察像移動操作が行われなかったものと判定される。
【００１８】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る走査型顕微鏡装置のシステム構成を示す図である。図１に示す走査型顕微鏡装置は、レーザー走査型顕微鏡Ａと、コンピュータシステムを構成する操作パネル１、コントローラ２、メモリ５、画像モニタ６とから構成されている。レーザー走査型顕微鏡Ａは、２次元走査ユニット３、レーザー光源１２、ミラー１３、ダイクロイックミラー２１、レンズ２２、ピンホール２３、光検出器２４を備えている。さらにレーザー走査型顕微鏡Ａには、観察試料Ｂを載置するステージ１１、ステージ位置検出器４、対物レンズ１５を取り付けたレボルバ１４が設けられている。
【００１９】
操作パネル１は、キーボード等の他、トラックボールやジョイスティック、あるいはマウス等のポインティングデバイスを含んでおり、ユーザからの指示により、コントローラ２に対してレーザー光の走査指示司令及び画像入力指令等を出力する。また操作パネル１は、ユーザからの指示により、コントローラ２に対して光検出器２４に対する感度の調整指令を出力する。
【００２０】
コントローラ２は、操作パネル１から走査指示司令が入力されると、走査制御信号を２次元走査ユニット３に出力する。そして、光検出器２４からの観察試料Ｂの画像情報（画像データ）をメモリ５に転送するとともに、画像モニタ６に画像表示する。またコントローラ２は、操作パネル１から光検出器２４の感度の調整指令が入力されると、光検出器２４に対する印加電圧や、ゲイン、オフセット等の設定を行なう。
【００２１】
また、コントローラ２は内部にタイマー１８を有しており、このタイマー１８はコントローラ２からの司令により、スタート、ストップ、リスタート動作を自在に行なわせることができる。さらにコントローラ２は、このタイマー１８を用いることで、２次元走査を開始してからの経過時間を知ることが可能である。
【００２２】
２次元走査ユニット３は、コントローラ２からの走査制御信号に基づいて、２次元走査ユニット３内のＸ走査用のガルバノメータミラーとＹ走査用のガルバノメータミラーを駆動して、ミラー１３を介してレーザー光源１２から出射されたレーザー光を、レボルバ１４に取付けられた対物レンズ１５を通してステージ１１上に載置された観察試料Ｂ上にスポット光としてＸＹ走査させる。そして２次元走査ユニット３は、各ライン上のレーザー光の走査が終了する毎に、走査終了信号をコントローラ２に出力する。
【００２３】
観察試料Ｂ上を走査するスポット光による画像情報として反射光もしくは試料Ｂから発生した蛍光は、入射した光路を逆に戻り、ダイクロイックミラー２１で反射され、レンズ２２で集光される。この集光位置には、ピンホール２３が置かれ、共焦点光学系を形成している。ピンホール２３を通過した光は光検出器２４に入射し、その光量に応じた電気信号に変換されてコントローラ２に入力される。
【００２４】
ステージ位置検出器４は、ステージ１１の位置情報（Ｘ、Ｙ及びＺ位置）を検出し、コントローラ２に送信する。メモリ５は、走査前に設定されている解像度を記憶するメモリ部と、走査ラインごとの輝度値データを記憶するメモリ部と、例えば１０２４画素×１０２４画素×８ビット（２５６階調）の画像を記憶する画像メモリ部とを有する。この画像メモリ部は、光検出器２４からコントローラ２を介して転送される画像情報を記憶する。
【００２５】
次に、上述の如く構成された走査型顕微鏡装置の動作について、図２のフローチャートを参照して説明する。
【００２６】
まず、観察者（ユーザー）は通常の顕微鏡観察により観察試料Ｂ上の観察領域を決定した後、操作パネル１を用いてコントローラ２に走査開始司令を出力する。コントローラ２は、操作パネル１からの走査開始司令を入力すると、Ｓｔｅｐ１で、現在設定されている解像度をメモリ５に格納し、Ｓｔｅｐ２で、解像度を低く設定した調整用の速い走査のモードに設定し、Ｓｔｅｐ３で、タイマー１８の設定値を解像度が低いときの設定にする。そして、Ｓｔｅｐ４で、コントローラ２は画像モニタ６の表示画面をクリアし、Ｓｔｅｐ５で、タイマー１８をスタートさせる。
【００２７】
次にコントローラ２は、Ｓｔｅｐ６で、走査位置を最初の１ライン目に設定し、Ｓｔｅｐ７で、２次元走査ユニット３にそのラインに対して走査を行なわせて、１ライン分の画像を取り込む。コントローラ２は、Ｓｔｅｐ８で、走査中に試料Ｂに対する位置合わせ作業に伴うステージ１１の移動の有無、及び光検出器２４の感度調整が行なわれたかどうかを判別し、ステージ１１または光検出器２４の変更が行なわれたと判断された場合に、Ｓｔｅｐ９で、タイマー１８を再スタート（以下、リスタートと称する）させる。
【００２８】
上記Ｓｔｅｐ９の後、または上記Ｓｔｅｐ８でステージ１１または光検出器２４の変更が行なわれなかったと判断された場合には、Ｓｔｅｐ１０で、コントローラ２は、タイマー１８によって計測された経過時間と、上記Ｓｔｅｐ３で設定されたタイマー設定値とを比較し、経過時間がタイマー設定値を超えていない場合には、Ｓｔｅｐ１１で、現在のラインが最終ラインかどうかを調べる。ここで最終ラインでないと判断された場合には、Ｓｔｅｐ１２で、コントローラ２は走査位置を次のラインに移し、上記Ｓｔｅｐ７以降の処理に戻る。一方、上記Ｓｔｅｐ１１にて最終ラインと判断された場合には、上記Ｓｔｅｐ６以降の処理に戻る。
【００２９】
一方、上記Ｓｔｅｐ１０で、経過時間が予め設定された時間（タイマー設定値）を超えたと判断された場合は、Ｓｔｅｐ１３で、コントローラ２は上記Ｓｔｅｐ１においてメモリー５に格納した走査前の解像度を読み出し、Ｓｔｅｐ１４で、現在の走査の解像度が走査前の解像度に戻っているかを調べる。ここで現在の走査が走査前の解像度になっていない場合には、Ｓｔｅｐ１５で、コントローラ２は走査前の設定にし、Ｓｔｅｐ１６で、タイマー１８の設定値を走査前の解像度の画像を一画面分取り込むことができる時間に変更して、上記Ｓｔｅｐ４以降の処理に戻る。また、上記Ｓｔｅｐ１４で走査前の解像度の設定になっている場合には、像探し処理を終了する。
【００３０】
なお、上記ではＳｔｅｐ８のように、処理の途中で毎回ステージ１１の移動または光検出器２４の感度調整が行なわれたかどうかを確認したが、ソフトウエアの割り込み処理を使って、ステージ１１の移動及び光検出器２４の感度調整が行なわれた時だけ、ステップ９でタイマー１８をリスタートさせることも可能である。また、Ｓｔｅｐ３のタイマー設定値は、操作パネル１によるユーザーの入力によって設定できるようにすることも可能である。
【００３１】
以上、本第１の実施の形態によれば、像探しの操作として、ステージ１１の移動または光検出器２４の感度調整が行なわれている間は、解像度を低くして速い走査を実行し、それが終わった時点で走査前に設定されていた解像度の高い観察用の走査の設定に切り替えて、観察試料Ｂに対する画像の取り込みを実行することができる。
【００３２】
また、本第１の実施の形態によって、解像度を走査前の設定に戻した後にステージ１１の位置の調整を行なった場合にも、調整が行なわれた走査ラインから一画面分だけ走査を行なうことにより、必要最小限の走査で像探し処理を終了することができる。
【００３３】
（第２の実施の形態）
本第２の実施の形態では、上記第１の実施の形態で示した図２におけるＳｔｅｐ８のユーザーによる像探し操作の判定処理を改良したものについて、図３のフローチャートを参照して説明する。
【００３４】
図３に示すＳｔｅｐ２０〜２６までのタイマーを起動して１ライン分の画像を取り込むまでの処理は、図２に示したＳｔｅｐ１〜６までの処理と同じであるので、説明を省略する。
【００３５】
その後、まずＳｔｅｐ２７で、コントローラ２はステージ１１の移動の有無を調べ、ステージ１１の移動が行なわれたと判断された場合には、Ｓｔｅｐ２８で、さらに現在の走査による解像度が走査前の解像度であるかを調べる。ここで、走査前の解像度でない場合には、Ｓｔｅｐ２９で、コントローラ２はタイマー１８をリスタートさせる。また、現在の走査による解像度が走査前の解像度である場合には、Ｓｔｅｐ３０で、コントローラ２はステージ１１の移動量を調べて、移動量が予め設定した値よりも大きい場合には、ユーザーが再び像探しを始めたと判断し、上記Ｓｔｅｐ２１以降の低い解像度での像探し用の走査を実行する。また、上記Ｓｔｅｐ３０でステージ１１の移動量が小さい場合には、Ｓｔｅｐ２９で、コントローラ２はタイマー１８をリスタートさせる。
【００３６】
一方、上記Ｓｔｅｐ２７でステージ移動が行なわれていなかった場合には、次にＳｔｅｐ３１で、コントローラ２は光検出器２４の感度調整が行なわれたかどうかを調べ、感度調整が行なわれた場合には、上記Ｓｔｅｐ２９でタイマー１８をリスタートさせる。コントローラ２は、Ｓｔｅｐ３２で、タイマー１８によって計測された時間と、上記Ｓｔｅｐ２２で設定されたタイマー設定値とを比較し、経過時間がタイマー設定値を超えていない場合には、Ｓｔｅｐ３３で、現在のラインが最終ラインかどうかを調べる。ここで最終ラインでないと判断された場合には、Ｓｔｅｐ３４で、コントローラ２は走査位置を次のラインに移し、上記Ｓｔｅｐ２６以降の処理に戻る。また、上記Ｓｔｅｐ３３にて最終ラインと判断された場合には、上記Ｓｔｅｐ２５以降の処理に戻る。
【００３７】
一方、上記Ｓｔｅｐ３２で、経過時間が予め設定された時間を超えたと判断された場合は、Ｓｔｅｐ３５で、コントローラ２は上記Ｓｔｅｐ２０においてメモリ５に格納した走査前の解像度を読み出し、Ｓｔｅｐ３６で、現在の走査の解像度が走査前の解像度に戻っているかを調べる。ここで現在の走査が走査前の解像度になっていない場合には、Ｓｔｅｐ３７で、コントローラ２は走査前の解像度にし、Ｓｔｅｐ３８で、タイマー１８の設定時間を、走査前の解像度の画像を一画面分取り込むことができる時間に変更して、上記Ｓｔｅｐ２３以降の処理に戻る。また、上記Ｓｔｅｐ３６で走査前の解像度の設定になっている場合には、像探し処理を終了する。
【００３８】
以上、本第２の実施の形態によれば、一度像探し走査を終了し、解像度を走査前の設定に戻した後に再びステージ１１を大きく移動して像探しを行ない始めた時にも、解像度の低い走査に戻すことが可能になる。
【００３９】
（第３の実施の形態）
本第３の実施の形態では、上記第２の実施の形態で示した図３におけるＳｔｅｐ３６での解像度の現在の判定処理を変更したものについて、図４のフローチャートを参照して説明する。本第３の実施の形態では、像探し用の低い解像度を２段階に分けている。例えば本第３の実施の形態では、走査前の解像度を１０２４×１０２４画素とし、像探し用の低い解像度を５１２×５１２画素と２５６×２５６画素とする。
【００４０】
まずＳｔｅｐ４０で、コントローラ２は操作パネル１から走査開始司令を入力すると、現在設定されている解像度（１０２４×１０２４）をメモリ５に格納し、Ｓｔｅｐ４１で、解像度を像探し用の一番低い設定（２５６×２５６）にする。その後、Ｓｔｅｐ５５までの、経過時間がタイマー１８の設定値を超えて、走査前の解像度を読み出す処理は、図３に示したＳｔｅｐ２２〜３５と同じであるので、説明は省略する。
【００４１】
図４に示すＳｔｅｐ５６で、経過時間がタイマー１８の設定値を超えた時、コントローラ２は現在の走査の解像度が走査前の解像度に戻っているかを調べる。ここで現在の走査が走査前の解像度になっていない場合には、Ｓｔｅｐ５７で、さらに現在の走査が像探し用の中間の解像度（５１２×５１２）に設定されているかを調べる。ここで現在の走査が像探し用の中間の解像度になっていない場合には、Ｓｔｅｐ５８で、コントローラ２は中間の解像度（５１２×５１２）にして、上記Ｓｔｅｐ４３以降の処理に戻る。一方、上記Ｓｔｅｐ５７で像探し用の中間の解像度になっているときには、Ｓｔｅｐ５９で、コントローラ２は走査前の解像度（１０２４×１０２４）に戻し、Ｓｔｅｐ６０で、タイマー設定値を走査前の解像度の画像が一画面分取り込むことができる時間に変更して、上記Ｓｔｅｐ４３以降の処理に戻る。また、上記Ｓｔｅｐ５６で走査前の解像度の設定になっている場合には、像探し処理を終了する。
【００４２】
以上、本第３の実施の形態によれば、像探し用の解像度を、始め広い領域で像を探すために走査の速さを重要視し、低い解像度（２５６×２５６）にして走査を行ない、その後、像の細部を見て像の位置を修正するために、解像度を走査前（１０２４×１０２４）と速い走査時（２５６×２５６）との中間の値（５１２×５１２）に設定し、最後に走査前の解像度（１０２４×１０２４）に戻して走査を行なう、といった一連の処理を自動的に行なえるようになる。
【００４３】
（第４の実施の形態）
本第４の実施の形態について図５のフローチャートを参照して説明する。
【００４４】
本第４の実施の形態の特徴は、上記第１〜第３の実施の形態によるところの像探し操作の検出方法として、ステージ位置検出器を用いる代わりに、取り込んだ画像の輝度値の変化を調べる点に違いがある。
【００４５】
まずＳｔｅｐ７０で、コントローラ２は操作パネル１から走査開始司令を入力すると、現在設定されている解像度をメモリ５に格納し、Ｓｔｅｐ７１で、解像度を低く設定した調整用の速い走査のモードに設定する。またコントローラ２は、Ｓｔｅｐ７２でメモリ５の輝度値データを格納する部分に残っているデータを消去し、Ｓｔｅｐ７３で画像モニタ６の表示画面をクリアする。
【００４６】
次にＳｔｅｐ７４で、コントローラ２は走査位置を最初の１ライン目に設定し、２次元走査ユニット３にそのラインに対して走査を行なわせて、Ｓｔｅｐ７５で、１ライン分の画像を取り込む。次にコントローラ２は、Ｓｔｅｐ７６で、この時取り込まれた画像情報から１ライン分の輝度値のトータルを求める。
【００４７】
そしてＳｔｅｐ７７で、コントローラ２はメモリ５から前の走査におけるこのライン位置での輝度値のトータルを読み出し、Ｓｔｅｐ７８で、今回取り込んだものとの変化量を調べる。ここで、メモリ５に前回取り込んだ輝度値データがない場合（走査開始後及び解像度が走査前に戻った後の始めの１画面を取り込んでいると判断する）、または、取り込んだ輝度値のトータルの値が小さい場合（試料がない領域を走査していると判断する）、またはその変化量が予め設定された値よりも大きい場合（ステージ１１の移動、または光検出器２４の感度調整が行なわれたと判断する）には、Ｓｔｅｐ７９で、コントローラ２は今回の輝度値のトータルをこのラインの輝度値データとしてメモリ５に格納し、Ｓｔｅｐ８０で、現在のラインが最終ラインかどうかを調べる。
【００４８】
ここで最終ラインでないと判断された場合には、Ｓｔｅｐ８１で、コントローラ２は走査位置を次のラインに移し、上記Ｓｔｅｐ７５以降の処理に戻る。一方、上記Ｓｔｅｐ８０にて最終ラインと判断された場合には、上記Ｓｔｅｐ７４以降の処理に戻る。
【００４９】
一方、上記Ｓｔｅｐ７８において、１ライン分の輝度値のトータルの変化量が予め設定された値よりも小さい場合には、Ｓｔｅｐ８２で、コントローラ２は上記Ｓｔｅｐ７０においてメモリ５に格納した走査前の解像度を読み出し、Ｓｔｅｐ８３で、現在の走査の解像度が走査前の解像度に戻っているかを調べる。ここで現在の走査が走査前の解像度になっていない場合には、Ｓｔｅｐ８４で、コントローラ２は走査前の設定にして、上記Ｓｔｅｐ７２以降の処理に戻る。また、上記Ｓｔｅｐ８３で走査前の解像度の設定になっている場合には、像探し処理を終了する。
【００５０】
なお、像探し操作の終了を判定するために必要な１ラインごとの輝度値データとして利用できるものとしては、輝度値のトータル以外にも、輝度値の平均やライン上の輝度値の分布などが考えられる。
【００５１】
以上、本第４の実施の形態によれば、像探し用の速い走査から走査前の解像度での走査への移行を、タイマーやステージの移動を監視するのに必要なステージ１１の位置検出器を使わずに行なえる。また、解像度を走査前の設定に戻した後に光検出器２４の微調整を行なった場合にも、調整が行なわれた走査ラインから一画面分だけ走査を行なうことにより、必要最小限の走査で画像取り込みの処理が終了する。
【００５２】
なお、本発明は上記各実施の形態のみに限定されず、要旨を変更しない範囲で適時変形して実施できる。
【００５３】
【発明の効果】
本発明によれば、試料の位置合わせの作業を効率良く実行できるとともに、操作性の大幅な向上を可能とした走査型顕微鏡装置を提供できる。すなわち本発明によれば、観察試料の最適な画像を得るための光検出器の感度調整、及び試料の位置合わせを、迅速かつ容易に実現することができるようになるとともに、無駄な走査をなくすことで、観察時間を短縮することにより、試料への余計なレーザー光の照射を減らし、試料の退色を防止することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るレーザー走査型顕微鏡のシステム構成を示す図。
【図２】本発明の第１の実施の形態におけるレーザー走査型顕微鏡の動作を説明するためのフローチャート。
【図３】本発明の第２の実施の形態におけるレーザー走査型顕微鏡の動作を説明するためのフローチャート。
【図４】本発明の第３の実施の形態におけるレーザー走査型顕微鏡の動作を説明するためのフローチャート。
【図５】本発明の第４の実施の形態におけるレーザー走査型顕微鏡の動作を説明するためのフローチャート。
【符号の説明】
１…操作パネル
２…コントローラ
３…走査ユニット
４…ステージ位置検出器
５…メモリ
６…画像モニタ
１１…ステージ
１２…レーザー光源
１３…ミラー
１４…レボルバ
１５…対物レンズ
１８…タイマ
２１…ダイクロイックミラー
２２…レンズ
２３…ピンホール
２４…光検出器
Ａ…レーザー走査型顕微鏡
Ｂ…観察試料
【図１】
0004477170.tif 000002
【図２】
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【図３】
0004477170.tif 000004
【図４】
0004477170.tif 000005
【図５】
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