(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査面の平面度を検査する平面検査方法であって、
前記被検査面からの単波長の反射光によって干渉縞を発生させる干渉縞発生ステップと、
前記干渉縞の像を撮像する撮像ステップと、
前記干渉縞の画像データを明暗に基づいて２値化処理する２値化処理ステップと、
前記被検査面の輪郭形状に基づいて決定された中心位置を中心とする所定半径の基準円と、前記干渉縞との、前記基準円の円周方向における重なり量を検出し、前記重なり量が最も大きくなる、前記基準円と前記干渉縞との重なり部分の前記円周方向の中央と、前記中心位置とを結ぶ直線に直交する方向を、２値化処理された画像データにおける干渉縞の発生方向として検出し、当該発生方向が所定の基準方向に沿うように２値化処理された前記画像データを座標変換する方向補正ステップと、
座標変換された前記画像データに基づいて、前記各干渉縞の途切れを検出する検出ステップと、
前記各干渉縞の途切れが検出された場合に、前記被検査面の平面度が不良であると判定する判定ステップと
を有する平面検査方法。
【請求項２】
前記検出ステップでは、座標変換された前記画像データに基づいて、前記干渉縞の分布幅および前記干渉縞の発生間隔をさらに検出し、
検出した前記各干渉縞の分布幅および前記干渉縞の発生間隔に基づいて、前記被検査面の各領域の平面度を算出する平面度算出ステップをさらに有し、
前記判定ステップでは、算出した前記平面度と予め設定された設定平面度とを比較することによる前記被検査面の平面度に関する良否判定も行う
請求項１に記載の平面検査方法。
【請求項３】
被検査面の平面度を検査する平面検査装置であって、
前記被検査面に照射した単波長の光の反射光から干渉縞を発生させ、かつ、当該干渉縞の像を撮像する干渉計部と、
前記干渉計部から得られた画像データを処理する画像処理手段とを有し、
前記画像処理手段は、
前記干渉縞の画像データを明暗に基づいて２値化処理する２値化処理手段と、
前記被検査面の輪郭形状に基づいて決定された中心位置を中心とする所定半径の基準円と、前記干渉縞との、前記基準円の円周方向における重なり量を検出し、前記重なり量が最も大きくなる、前記基準円と前記干渉縞との重なり部分の前記円周方向の中央と、前記中心位置とを結ぶ直線に直交する方向を、２値化処理された画像データにおける干渉縞の発生方向として検出し、当該発生方向が所定の基準方向に沿うように２値化処理された前記画像データを座標変換する方向補正手段と、
座標変換された前記画像データに基づいて、前記各干渉縞の途切れを検出する干渉縞途切れ検出手段と、
前記各干渉縞の途切れが検出された場合に、前記被検査面の平面度が不良であると判定する判定手段と
を有する平面検査装置。
【請求項４】
前記画像処理手段は、
座標変換された前記画像データに基づいて、各干渉縞の分布幅を検出する分布幅検出手段と、
座標変換された前記画像データに基づいて、干渉縞の発生間隔を検出する発生間隔検出手段と、
検出された前記分布幅および前記発生間隔に基づいて、前記被検査面の各領域の平面度を算出する平面度算出手段と、
を有し
前記判定手段は、算出した前記平面度と予め設定された設定平面度とを比較することによる前記被検査面の平面度に関する良否判定も行う
請求項３に記載の平面検査装置。
【請求項５】
前記画像処理手段は、
座標変換された前記画像データに基づいて、各干渉縞の分布幅を検出する分布幅検出手段と、
座標変換された前記画像データに基づいて、干渉縞の発生間隔を検出する発生間隔検出手段と、
を有し、
前記判定手段は、
検出された前記分布幅が所定の範囲内に収まっていない場合には、前記被検査面の平面度を不良と判定し、
検出された前記発生間隔が所定の範囲内に収まっていない場合には、前記被検査面の平面度を不良と判定する
請求項３に記載の平面検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば、鏡面加工された被検査面の平面度を検査する平面検査装置および平面検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
平面の平面度を測定する方法として、当該平面に光の干渉縞を発生させ、この干渉縞をたとえば、位相シフトモアレ法等の解析方法によって解析することによって、平面度を測定する方法が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記の位相シフトモアレ法等の解析方法では、測定する平面の干渉縞画像を条件を変えて複数取得し、当該複数の画像データを画像処理して平面の三次元形状を特定することにより平面度を測定する。
このように、従来の平面度の測定方法では、複数の画像を撮像し、これら複数の画像データを画像処理して平面の三次元形状を取得するため、測定に長時間を要するという不利益が存在した。
たとえば、金属材料からなる多数のワークの鏡面加工された平面の平面度を検査するような場合に、検査効率が低く、実用的ではなかった。
【０００４】
本発明は、上述の問題に鑑みて成されたものであって、干渉縞を利用して効率的に平面度の検査が可能な平面検査装置および平面検査方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の平面検査方法は、被検査面の平面度を検査する平面検査方法であって、前記被検査面からの反射光によって干渉縞を発生させる干渉縞発生ステップと、前記干渉縞の像を撮像する撮像ステップと、前記干渉縞の画像データを明暗に基づいて２値化処理する２値化処理ステップと、前記画像データに基づいて、前記各干渉縞の分布幅、前記干渉縞の発生間隔および前記各干渉縞の途切れのうちの少なくとも一つを検出する検出ステップと、検出した前記各干渉縞の分布幅、前記干渉縞の発生間隔および前記各干渉縞の途切れの少なくとも一つに基づいて、前記被検査面の平面度に関する良否判定を行う判定ステップとを有する。
【０００６】
また、本発明の平面検査方法は、検出した前記各干渉縞の分布幅および前記干渉縞の発生間隔に基づいて、前記被検査面の各領域の平面度を算出する平面度算出ステップをさらに有し、前記判定ステップは、算出した前記平面度と予め設定された設定平面度とを比較し、前記被検査面の平面度に関する良否判定を行う。
【０００７】
さらに、本発明の平面検査方法は、前記２値化処理ステップの後に、２値化処理された画像データにおける干渉縞の発生方向を検出し、当該発生方向が所定の基準方向に沿うように２値化処理された前記画像データを座標変換する方向補正手段をさらに有し、座標変換された画像データに基づいて、前記各干渉縞の分布幅、前記干渉縞の発生間隔および前記各干渉縞の途切れのうちの少なくとも一つを検出する。
【０００８】
本発明の平面検査装置は、被検査面の平面度を検査する平面検査装置であって、前記被検査面に照射した光の反射光から干渉縞を発生させ、かつ、当該干渉縞の像を撮像する干渉計部と、前記干渉計部から得られた画像データを処理する画像処理手段とを有し、前記画像処理手段は、前記干渉縞の画像データを明暗に基づいて２値化処理する２値化処理手段と、前記画像データに基づいて、前記各干渉縞の分布幅、前記干渉縞の発生間隔および前記各干渉縞の途切れのうちの少なくとも一つを検出する検出手段と、検出した前記各干渉縞の分布幅、前記干渉縞の発生間隔および／または前記各干渉縞の途切れに基づいて、前記被検査面の平面度に関する良否判定を行う判定手段とを有する。
【０００９】
前記画像処理手段は、前記画像データに基づいて、各干渉縞の分布幅を検出する分布幅検出手段と、前記画像データに基づいて、干渉縞の発生間隔を検出する発生間隔検出手段と、検出された前記分布幅および前記発生間隔に基づいて、前記被検査面の各領域の平面度を算出する平面度算出手段と、を有し、前記判定手段は、算出した前記平面度と予め設定された設定平面度とを比較し、前記被検査面の平面度に関する良否判定を行う。
【００１０】
前記画像処理手段は、前記画像データに基づいて、前記各干渉縞の途切れを検出する干渉縞途切れ検出手段をさらに有し、前記判定手段は、前記干渉縞の途切れが存在する場合には、前記被検査面の平面度を不良と判定する。
【００１１】
前記画像処理手段は、前記２値化処理手段によって２値化処理された画像データにおける干渉縞の発生方向を検出し、当該発生方向が所定の基準方向に沿うように２値化処理された前記画像データを座標変換する方向補正手段をさらに有する。
【００１２】
本発明では、まず、被検査面からの反射光によって干渉縞を発生させ、この干渉縞の像を撮像する。
次いで、得られた画像データを明暗に基づいて２値化処理する。これにより、干渉縞の外縁形状が特定される。
次いで、得られた２値化データから、各干渉縞の分布幅、干渉縞の間隔および各干渉縞の途切れを検出する。各干渉縞の分布幅および干渉縞の間隔を検出する際に、干渉縞の発生方向、すなわち、基準となる方向が特定されていないとこれらの検出が難しい。  このため、２値化データから干渉縞の発生方向を検出し、各干渉縞の分布幅および干渉縞の間隔を検出しやすいように、２値化データを座標変換する。
次いで、各干渉縞の分布幅、干渉縞の間隔および各干渉縞の途切れに基づいて被検査面の平面度の良否判定を行う。
たとえば、干渉縞の分布幅または干渉縞の間隔が所定の範囲に収まっていない場合には不良と判定する。また、たとえば、分布幅および干渉縞の間隔から被検査面の平面度を算出し、算出した平面度が予め設定された平面度から外れている場合には、不良と判定することができる。さらに、各干渉縞に途切れが存在する場合にも、被検査面の平面度が不良と判定することができる。
このように、本発明では、被検査面から得られた干渉縞の状態から直接的に被検査面の平面度の良否判定を行うことができ、処理時間が短縮され、効率のよい検査が可能になる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る平面検査装置の構成を示す構成図である。
図１において、平面検査装置１は、除振台１１と、除振台１１の下部に設置された干渉計３１と、画像処理装置６１と、表示装置７５とを備える。
【００１４】
除振台１１は、ベース１４上にダンパ部１３を介してテーブル１２が設置されており、ベース１４からテーブル１２への振動の伝達を抑制する構造となっている。
テーブル１２には、開口部１２ａが設けられており、この開口部１２ａ上に固定治具２１によって被検査対象５１が固定されている。
【００１５】
被検査対象５１は、たとえば、金属材料から形成され、開口部１２ａの下方に向く被検査面５１ａをもつ。
被検査対象５１は、たとえば、円筒状に形成され、被検査面５１ａは環状面となっており、この被検査面５１ａは、たとえば、鏡面加工によって平坦に仕上げられている。
【００１６】
干渉計３１は、たとえば、レーザ光を出力する光源を備えており、この光源から出力されたレーザ光の一部を被検査面５１ａに照射し、被検査面５１ａからの反射光と残りのレーザ光とを結合して干渉縞を発生させる。なお、干渉計３１の構成は、周知技術であり、詳細については省略する。
また、干渉計３１は、発生させた干渉縞の像を撮像する、たとえば、ＣＣＤカメラ等の撮像手段を内蔵しており、撮像した干渉縞の画像データを画像処理装置６１に出力する。
【００１７】
画像処理装置６１は、干渉計３１から得られた画像データを処理する。この画像処理装置６１は、たとえば、パーソナルコンピュータおよび所要のソフトウエアで構成することができる。
また、画像処理装置６１は、干渉計３１から得られた画像データや処理結果等を表示装置７５の画面に表示する。
【００１８】
図２は、画像処理装置６１の構成図である。
図２において、画像処理装置６１は、入力部６２と、基準位置決定部６３と、２値化処理部６４と、座標変換部６５と、分布幅検出部６６と、ピッチ検出部６７と、途切れ検出部６８と、平面度算出部６９と、設定部７０と、判定部７１とを備えている。
ここで、２値化処理部６４は本発明の２値化処理手段、座標変換部６５は本発明の方向補正手段、分布幅検出部６６は本発明の分布幅検出手段、ピッチ検出部６７は本発明の発生間隔検出手段、途切れ検出部６８は本発明の干渉縞途切れ検出手段、平面度算出部６９は本発明の平面度算出手段、判定部７１は本発明の判定手段のそれぞれ一具体例に対応している。
【００１９】
入力部６２は、干渉計３１からの画像データを所定のデータ形式に変換して画像処理装置６１に入力する。
具体的には、干渉計３１からの画像データがアナログデータの場合には、入力部６２はこのアナログデータをディジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換器によって構成することができる。
【００２０】
基準位置決定部６３は、入力部６２から入力された干渉縞の画像データの基準位置を決定する。
具体的には、たとえば、被検査面５１ａが環状面である場合には、その中心が基準位置となる。たとえば、画像データの各画素の明暗（画素値）から被検査面５１ａの輪郭形状を特定し、この輪郭形状の中心を求めることで、干渉縞の画像データの中心位置を決定することができる。
【００２１】
２値化処理部６４は、基準位置決定部６３によって基準位置が決定された干渉縞の画像データの各画素の明暗（画素値）に基づいて、画像データを２値化処理する。
具体的には、各画素の画素値を所定のしきい値と比較し、画素値がこのしきい値よりも小さい場合には当該画素に”１”（暗い）の値を付与し、画素値がこのしきい値よりも大きい場合には当該画素に”０”（明るい）の値を付与する。
干渉縞の画像データに２値化処理を施すことにより、干渉縞の明るい部分と暗い部分との境界が明確になり、干渉縞の輪郭形状（外縁）が特定される。
【００２２】
座標変換部６５は、２値化処理部６４において２値化処理された画像データにおける干渉縞の発生方向を検出し、当該発生方向が所定の基準方向に沿うように２値化処理された画像データを座標変換する。
すなわち、２値化されただけの干渉縞の画像データでは、干渉縞の輪郭形状は特定されるが、干渉縞の発生方向は画像データ毎に一定ではない。
このため、後述するように、干渉縞の発生間隔、干渉縞の分布幅、干渉縞の途切れを検出しやすいように、画像データを座標変換する。すなわち、干渉縞の発生方向を検出し、上記の画像データの基準位置（中心位置）を中心に、干渉縞の発生方向が所定の基準方向に沿うように画像データを回転させる。
なお、座標変換部６５における具体的処理方法については後述する。
【００２３】
分布幅検出部６６は、座標変換部６５で得られた干渉縞の画像データから各干渉縞の分布幅を検出する。
各干渉縞は、被検査面５１ａの仕上げ状態、凹凸状態、平坦度等の表面状態によって変化し、干渉縞が直線とならずに、被検査面５１ａの凹凸状態に応じた干渉縞の乱れが発生する。
この各干渉縞の乱れの大きさである干渉縞の分布幅を検出することで、被検査面５１ａの表面状態を特定することができる。
【００２４】
ピッチ検出部６７は、座標変換部６５で得られた干渉縞の画像データから各干渉縞の発生間隔を検出する。
すなわち、干渉縞の発生間隔は、被検査面５１ａの仕上げ状態、凹凸状態、平坦度等の表面状態によって変化するため、干渉縞の発生間隔を検出することで、被検査面５１ａの表面状態を特定することができる。
【００２５】
途切れ検出部６８は、座標変換部６５で得られた干渉縞の画像データから各干渉縞に途切れがないかを検出する。
被検査面５１ａによって発生する各干渉縞は、被検査面５１ａの表面状態に異常がければ、被検査面５１ａ内で連続したものとなる。一方、被検査面５１ａの仕上げ状態、凹凸状態、平坦度等の表面状態に異常があれば、干渉縞が途中で途切れたり、極端に薄くなったりする場合がある。
途切れ検出部６８は、この干渉縞が途切れたり極端に薄くなっている等の異常を検出する。
干渉縞の途切れ等は、２値化された干渉縞の画像データにおける各干渉縞の軌跡を追跡することにより検出することができる。
【００２６】
平面度算出部６９は、分布幅検出部６０で検出した各干渉縞の分布幅およびピッチ検出部６７で検出した干渉縞の発生間隔に基づいて、被検査面５１ａの各領域の平面度を算出する。
ここで、平面度とは、平面部分を互いに平行な２つの幾何学的平面で挟んだとき、それら両平面の間隔が最小となる場合の間隔である。
【００２７】
平面度の算出は、平面度をＦ（μｍ）、検出した干渉縞の発生間隔をａ、干渉縞の分布幅をｂ、干渉縞の光の波長をλ（μｍ）とすると、次式（１）によって算出することができる。
【００２８】
Ｆ＝λ／２×ｂ／ａ  …（１）
【００２９】
判定部７１は、分布幅検出部６６で得られた分布幅ｂ、ピッチ検出部６７で得られた発生間隔ａ、途切れ検出部６８で得られた途切れ情報、および、平面度算出部６９で得られた被検査面５１ａの各領域の平面度Ｆに基づいて、被検査面５１ａの平面度に関する良否判定を行う。
【００３０】
判定部７１は、分布幅ｂ、発生間隔ａ、平面度Ｆのいずれかが予め設定した設定比較値内に収まっていない場合には、被検査面５１ａの平面度が不良であると判断する構成とすることができる。
また、判定部７１は、途切れ検出部６８で得られた途切れ情報から干渉縞に途切れがあると判断した場合には、被検査面５１ａの平面度が不良であると判断する構成とすることができる。
さらに、判定部７１は、被検査面５１ａの平面度に関する判定結果を表示装置７５に出力する。
【００３１】
設定部７０は、判定部７１において被検査面５１ａの平面度の良否判定を行う際に、分布幅ｂ、発生間隔ａおよび平面度Ｆと比較するための設定比較値を設定する。
設定比較値は、たとえば、分布幅ｂ、発生間隔ａおよび平面度Ｆと被検査面５１ａの表面状態との関係を実験等により予め調べておくことにより得ることができる。
【００３２】
次に、上記構成の平面検査装置１を用いた本発明の平面検査方法について図３に示すフローチャートを参照して説明する。
まず、上記構成の平面検査装置１において、被検査対象５１の被検査面５１ａに光の干渉縞を発生させる（ステップＳ１）。
すなわち、干渉計３１から光を被検査対象５１の被検査面５１ａに照射し、その反射光から干渉縞を発生させる。
【００３３】
次いで、干渉計３１に内蔵したＣＣＤカメラによって、発生させた干渉縞の像を撮像する（ステップＳ２）。
撮像された画像データは、画像処理装置６１に出力される。
【００３４】
図４は、干渉計３１から画像処理装置６１に入力部６２を通じて入力された干渉縞の画像データの一例を示す図である。
図４に示すように、環状面である被検査面５１ａの形状に応じた干渉縞の画像データＫが得られるのがわかる。
この状態では、画像データＫは干渉縞の発生状態に応じた明暗をもつが、干渉縞の明るい部分と暗い部分との境界は明確になっていない。
【００３５】
次いで、画像処理装置６１の基準位置決定部６３では、図５に示すように、画像データＫの基準位置、すなわち、中心位置Ｃを決定する（ステップＳ３）。
基準位置決定部６３では、環状面である被検査面５１ａの輪郭形状に基づいて、中心位置Ｃを決定するが、この処理については周知の技術であり詳細説明を省略する。
【００３６】
次いで、画像処理装置６１の２値化処理部６４では、画像データＫの各画素の明暗に基づいて２値化処理する（ステップＳ４）。
この２値化処理により、図６に示すように、干渉縞の明るい部分と暗い部分との境界が明確になり、干渉縞の輪郭形状が特定され、複数の干渉縞Ｋ’が得られる。
これらの干渉縞Ｋ’の発生方向は、干渉縞の画像データ毎に異なり、特定の方向にはない。
【００３７】
次いで、画像処理装置６１の座標変換部６５では、干渉縞Ｋ’の発生方向を検出する（ステップＳ５）。
干渉縞Ｋ’の発生方向の検出は、たとえば、図７に示すように、上記の中心位置Ｃを原点とする基準座標系において、中心位置Ｃから所定半径の基準円ＢＣを定義する。
次いで、基準円ＢＣと複数の干渉縞Ｋ’との重なり量を、基準円ＢＣ上の基準位置から角度θにある点Ｐを円周方向に沿って移動させ、０度から３６０度まで調べる。
【００３８】
図８は、基準円ＢＣと複数の干渉縞Ｋ’との重なり量と基準円ＢＣの円周位置との関係を示す図である。
図８において、基準円ＢＣと複数の干渉縞Ｋ’とが重なりあっているときの値を”１”とし、基準円ＢＣと複数の干渉縞Ｋ’とが重なっていないときの値を”０”としている。
基準円ＢＣと干渉縞Ｋ’との重なり量が相対的に大きくなるのは、図７に示す位置Ｐａやこの位置Ｐａと中心位置Ｃに関して点対称な位置にある位置Ｐｂの領域である。
すなわち、これらの位置Ｐａ，Ｐｂは、基準円ＢＣ上の位置のうち、中心位置Ｃとを結ぶ直線が干渉縞Ｋ’の発生方向に略垂直となるような位置である。
【００３９】
これらの位置Ｐａ，Ｐｂ付近における基準円ＢＣと複数の干渉縞Ｋ’との重なり量は、図８において位置Ｐａ，Ｐｂにそれぞれ対応する角度θａ，θｂで示す領域で最も大きくなっているのがわかる。
角度θｂは、角度θａに対して位相が１８０度異なる関係にあることから、角度θａまたは角度θｂを検出することにより、基準座標系に対する干渉縞Ｋ’の発生方向の傾き（回転量）を検出することができる。
【００４０】
基準座標系に対する干渉縞Ｋ’の発生方向の傾きを検出したら、この傾き分だけ干渉縞Ｋ’の画像データの座標を中心位置Ｃを中心に回転させる座標変換を行う（ステップＳ６）。
座標変換すると、たとえば、図９に示すように、基準座標系に沿った干渉縞Ｋ’の画像データが得られる。
【００４１】
次に、画像処理装置６１の分布幅検出部６６では、座標変換部６５で得られた画像データから各干渉縞Ｋ’の分布幅ｂを検出する（ステップＳ７）。
干渉縞Ｋ’の分布幅ｂは、たとえば、図１０に示すように、乱れた状態にある干渉縞Ｋ’を干渉縞Ｋ’の発生方向に平行な２直線で挟んだときの直線間の距離である。
干渉縞Ｋ’は、たとえば、図１１（ａ）に示すように、湾曲方向が変化する場合や、図１１（ｂ）に示すように湾曲方向が一定の場合があり、干渉縞Ｋ’の乱れの状況に応じて分布幅ｂの値も変化する。
【００４２】
次に、画像処理装置６１のピッチ検出部６７では、座標変換部６５で得られた画像データから干渉縞Ｋ’の発生間隔ａを検出する（ステップＳ８）。
干渉縞Ｋ’の発生間隔ａは、たとえば、図１０に示したように、干渉縞Ｋ’の中心位置の間隔である。
【００４３】
次に、画像処理装置６１の途切れ検出部６８では、座標変換部６５で得られた画像データから各干渉縞Ｋ’の途切れを検出する（ステップＳ９）。
干渉縞Ｋ’の途切れとしては、たとえば、図１０のＲ１に示したように、１次〜ｎ次の干渉縞Ｋ’のうち、本来存在すべき次数の干渉縞Ｋ’が途中で途切れているような場合である。
また、図１０のＲ１に示した以外にも、複数の干渉縞Ｋ’のうちの特定の干渉縞Ｋ’が極端に薄くなっている、すなわち、当該特定の干渉縞Ｋ’の画素値が他の干渉縞Ｋ’の画素値と大きく異なるような場合にも、途切れと判断する。
【００４４】
次いで、画像処理装置６１の平面度算出部６９では、検出した分布幅ｂおよび発生間隔ａから平面度Ｆを算出する（ステップＳ１０）。
この平面度Ｆは、各干渉縞Ｋ’毎に算出される、すなわち、検出した分布幅ｂ毎に算出されるため、被検査面５１ａの各領域の平面度Ｆが得られる。
【００４５】
次いで、画像処理装置６１の判別部７１では、分布幅検出部６６、ピッチ検出部６７、途切れ検出部６８および平面度算出部６９から得られた情報から被検査面５１ａの平面度に関する良否判定を行う（ステップＳ１１）。
【００４６】
以上のように、本実施形態では、被検査面５１ａから得られた干渉縞の画像データに基づいて、分布幅ｂ、発生間隔ａ、途切れ情報、平面度Ｆを取得し、これらの情報から被検査面５１ａの良否判定を行う。
すなわち、本実施形態では、干渉縞の画像データから被検査面５１ａの三次元形状を特定した後に被検査面５１ａの良否判定を行うのではなく、分布幅ｂ、発生間隔ａ、途切れ情報、平面度Ｆから直接的に良否判定を行うため、処理が簡素化され、検査効率が格段に向上する。
【００４７】
また、本実施形態では、分布幅ｂ、発生間隔ａおよび途切れ情報に加えて、分布幅ｂと発生間隔ａとから算出される平面度Ｆの情報を用いて良否判定を行うため、判定精度を向上させることができる。
すなわち、分布幅ｂおよび発生間隔ａが設定比較値の範囲内に収まっていても、平面度Ｆが設定比較値の範囲内に収まっていない場合もあるからである。
【００４８】
【発明の効果】
本発明によれば、たとえば、鏡面加工された平面等の被検査面の品質を検査する際に、干渉縞の画像データから直接的に被検査面の良否判定を行うため、検査処理を簡略化でき、効率的に平面度の検査が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る平面検査装置の構成図である。
【図２】画像処理装置６１の構成図である。
【図３】平面検査装置１を用いた本発明の平面検査方法を説明するためのフローチャートである。
【図４】画像処理装置６１に入力された干渉縞の画像データの一例を示す図である。
【図５】干渉縞の画像データの基準位置を決定した状態を示す図である。
【図６】２値化処理された干渉縞の画像データの一例を示す図である。
【図７】干渉縞の画像データの干渉縞発生方向の検出方法を説明するための図である。
【図８】干渉縞と基準円との重なり量の関係の一例を示す図である。
【図９】座標変換後の干渉縞の画像データを示す図である。
【図１０】分布幅検出部６６、ピッチ検出部６７、途切れ検出部６８および平面度算出部６９での処理方法を説明するための図である。
【図１１】分布幅検出部６６での分布幅の検出方法を説明するための図である。
【符号の説明】
１…平面検査装置
１１…除振台
３１…干渉計
５１…被検査対象
５１ａ…被検査面
６１…画像処理装置
６２…入力部
６３…基準位置決定部
６４…２値化処理部
６５…座標変換部
６６…分布幅検出部
６７…ピッチ検出部
６８…途切れ検出部
６９…平面度算出部
７０…設定部
７１…判定部
７５…表示装置
【図１】
0004529227.tif 000002
【図２】
0004529227.tif 000003
【図３】
0004529227.tif 000004
【図４】
0004529227.tif 000005
【図５】
0004529227.tif 000006
【図６】
0004529227.tif 000007
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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