(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察対象物がその上にセットされる上面を有する載置部材を含むホルダと、上方に開口する凹部を有し、その凹部の中に前記ホルダが取付可能に載置される本体部と、を含む第１ステージ部材と、
開口部と、該開口部の周りに形成され、前記第１ステージ部材の前記本体部が載置される載置部と、を有し、当該第１ステージ部材を支持する第２ステージ部材と、を備え、
前記本体部は、
その内部に前記凹部を含み、前記第２ステージ部材の前記開口部内に挿入される挿入部分と、
前記挿入部分から外方に延出され、前記載置部の上に載せられる周縁部分と、を含み、
前記凹部は所定の深さを有し、その深さが、
前記挿入部分が前記開口内に挿入され、前記周縁部分が前記載置部の上に載せられたとき、前記周縁部分と前記載置部との接触面と、前記載置部材の前記上面とが略同一水平面上に位置するように、設定されていることを特徴とする観察装置のステージユニット。
【請求項２】
対物レンズとステージユニットとを備えた観察装置において、
前記ステージユニットが、
観察対象物がその上にセットされる上面を有する載置部材を含むホルダと、上方に開口する凹部を有し、その凹部の中に前記ホルダが取付可能に載置される本体部と、を含む第１ステージ部材と、
開口部と、該開口部の周りに形成され、前記第１ステージ部材の前記本体部が載置される載置部と、を有し、当該第１ステージ部材を支持する第２ステージ部材と、を備え、
前記本体部は、
その内部に前記凹部を含み、前記第２ステージ部材の前記開口部内に挿入される挿入部分と、
前記挿入部分から外方に延出され、前記載置部の上に載せられる周縁部分と、を含み、
前記凹部は所定の深さを有し、その深さが、
前記挿入部分が前記開口内に挿入され、前記周縁部分が前記載置部の上に載せられたとき、前記周縁部分と前記載置部との接触面と、前記載置部材の前記上面とが略同一水平面上に位置するように、設定されていることを特徴とする観察装置。
【請求項３】
前記第１ステージ部材の前記本体部に取り付けられ、当該第１ステージ部材の前記本体部を加熱する加熱手段を設けたことを特徴とする請求項２に記載の観察装置。
【請求項４】
前記第２ステージ部材が、前記載置部において前記第１ステージ部材の前記周縁部分と接触する複数の突起部を有することを特徴とする請求項２に記載の観察装置。
【請求項５】
前記突起部は、前記第１ステージ部材よりも熱伝導率が低い材料からなることを特徴とする請求項４に記載の観察装置。
【請求項６】
前記対物レンズが前記第１ステージ部材の下方に配設され、
前記第１ステージ部材の前記本体部が、前記ホルダと熱膨張率及び熱収縮率が同じ材料から構成され、
前記本体部は、前記凹部の底面から前記本体部の底面を貫通する穴を有すると共に、当該凹部の内周面に当該凹部の底面から上方へ向かう溝部を備えたことを特徴とする請求項３に記載の観察装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡、理化学機器、医療機器等として使用される観察装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
顕微鏡等の観察装置では、観察対象物をステージ上に載置し、対物レンズとステージとの間の相対的位置関係を調節することでピント合わせが行われ、観察対象物の観察が行われる。ここで、人の細胞等を観察対象物とする場合は観察対象物を人体に近い温度（摂氏３７度程度）に維持して観察することが望ましい。観察対象物をそのような温度に維持する方法としては、観察装置を温度管理のされた恒温室内で一定時間おいて観察対象物が所定の温度に達してから使用するか、或いは、観察装置全体を恒温フードで覆って一定時間おいて観察対象物が所定の温度に達してから使用するのが一般的である。【０００３】
しかし、摂氏３７度程度に温度管理がされた恒温室での作業は観察者にストレスを与え、作業効率を著しく減退させる。また、観察装置全体を恒温フードで覆う方法では、観察対象物となる細胞や試料の注入作業、交換作業に手間が係り非効率的である。このため、観察装置にヒータを設けて観察対象物の温度を管理することが提案されている。この場合、実験室の温度は常温（摂氏２４度程度）でよく、観察者の負担を軽減できると共に、観察対象物となる細胞や試料の注入作業、交換作業の手間も軽減できる。【０００４】
しかし、常温の実験室内において観察対象物の温度を一定に維持するためには、ヒータの温度制御を頻繁に行う必要がある。ヒータの温度の変化は、ステージを構成する部材に熱ひずみ（熱膨張、熱収縮）を発生させる要因となる。このため、一旦ピント合わせを行ったとしても、ピントずれが発生し、観察対象物の観察映像を撮影する場合にピントがずれた映像となってしまい、望ましい映像が得られない場合がある。【０００５】
このような熱ひずみに起因するピントずれを防止する技術として、例えば、特開２００３−４３３７３号公報には熱膨張率の低い材料で観察装置を構成する技術が提案されている。また、特開２００２−２０７１７５号公報には、には熱膨張率の異なる複数種類の部材から観察装置を構成することが提案されている。しかし、いずれの場合も、材料のコストアップを招いたり、或いは、加工が容易ではないといった問題がある。
【発明の開示】
【０００６】
本発明の目的は、比較的簡易にピントズレを防止することにある。
【０００７】
本発明によれば、観察対象物がその上にセットされる上面を有する載置部材を含むホルダと、上方に開口する凹部を有し、その凹部の中に前記ホルダが取付可能に載置される本体部と、を含む第１ステージ部材と、開口部と、該開口部の周りに形成され、前記第１ステージ部材の前記本体部が載置される載置部と、を有し、当該第１ステージ部材を支持する第２ステージ部材と、を備え、前記本体部は、その内部に前記凹部を含み、前記第２ステージ部材の前記開口部内に挿入される挿入部分と、前記挿入部分から外方に延出され、前記載置部の上に載せられる周縁部分と、を含み、前記凹部は所定の深さを有し、その深さが、前記挿入部分が前記開口内に挿入され、前記周縁部分が前記載置部の上に載せられたとき、前記周縁部分と前記載置部との接触面と、前記載置部材の前記上面とが略同一水平面上に位置するように、設定されていることを特徴とする観察装置のステージユニットが提供される。
【０００８】
また、本発明によれば、対物レンズとステージユニットとを備えた観察装置において、前記ステージユニットが、観察対象物がその上にセットされる上面を有する載置部材を含むホルダと、上方に開口する凹部を有し、その凹部の中に前記ホルダが取付可能に載置される本体部と、を含む第１ステージ部材と、開口部と、該開口部の周りに形成され、前記第１ステージ部材の前記本体部が載置される載置部と、を有し、当該第１ステージ部材を支持する第２ステージ部材と、を備え、前記本体部は、その内部に前記凹部を含み、前記第２ステージ部材の前記開口部内に挿入される挿入部分と、前記挿入部分から外方に延出され、前記載置部の上に載せられる周縁部分と、を含み、前記凹部は所定の深さを有し、その深さが、前記挿入部分が前記開口内に挿入され、前記周縁部分が前記載置部の上に載せられたとき、前記周縁部分と前記載置部との接触面と、前記載置部材の前記上面とが略同一水平面上に位置するように、設定されていることを特徴とする観察装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る観察装置Ａの構造を示す断面図である。
【図２】図１の観察装置Ａの部分拡大図であり、観察面Ｚ’と載置部３２ｂの上面（第１ステージ部材３１と第２ステージ部材３２との接触面）との位置関係を示す図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る観察装置Ｂの外観図である。
【図４】ホルダ１３１２を取り外した状態の観察装置Ｂの平面図である。
【図５】第１ステージ部材１３１を取り外した状態の観察装置Ｂの平面図である。
【図６】図４の線Ｘ１−Ｘ１に沿うステージユニット１０３の断面図である。
【図７】図４の線Ｘ２−Ｘ２に沿うステージユニット１０３の断面図である。
【図８】図４の線Ｘ３−Ｘ３に沿う本体部１３１１の断面図であり、溝部１３１１ｃの構成を示す。
【図９】観察装置Ｂの構造を示す要部断面図であり、図４の線Ｘ２−Ｘ２と同じ線に沿う要部断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
＜第１実施形態＞
図１は本発明の第１実施形態に係る観察装置Ａの構造を示す断面図である。この観察装置Ａは、上方が開放した筐体１と筐体１の内部に収容された対物レンズ２と、筐体１の上面に搭載されたステージユニット３と、を備える。ステージユニット３は、第１ステージ部材３１と、第２ステージ部材３２と、を備える。【００１２】
第２ステージ部材３２は、その中央に開口部３２ａを有する板状の部材から構成されており、その開口部３２ａの周囲には第１ステージ部材３１が載置される載置部３２ｂが形成されている。第１ステージ部材３１はその底面の周縁がこの載置部３２ｂの上面に載置され、第２ステージ部材３２に水平に支持される。つまり、載置部３２ｂの上面が第１ステージ部材３１と第２ステージ部材３２との接触面となる。【００１３】
第１ステージ部材３１はその中央に凹部３１ａを有する板状の部材から構成されている。凹部３１ａの中央には開口部３１ｂが設けられており、第１ステージ部材３１の底面はこの開口部３１ｂにより開口している。本実施形態では、観察対象物Xは載置部材Ｚ上に載置され、かつ、保護板Yがその上に被せられた状態で、凹部３１ａの上方から凹部３１ａの底面上にセットされる。この際、観察対象物Xは開口部３１ｂの上方に位置するようにセットされる。載置部材Ｚは透明又は半透明の部材であって、例えば、熱膨張、熱収縮をほとんど生じないプラスチック板、ガラス板から構成される。保護板Ｙはプラスチック板やガラス板或いは半導体ガラス板から構成される。
本実施形態の場合、開口部３１ｂの下方に対物レンズ２が配設されており、対物レンズ２により載置部材Ｚを通して観察対象物Ｘが観察されることになり、載置部材Ｚの上面Ｚ’が観察対象物Ｘの観察面となる。【００１４】
第１ステージ部材３１の底面にはヒータ４が設けられている。このヒータ４は開口部３１ｂを取り囲むように配設され、例えば電力の通電により発熱する。このヒータ４は第１ステージ部材３１を加熱する加熱手段として機能し、載置部材Ｚ上の観察対象物Ｘを、目的とする温度に維持する。【００１５】
筐体１と第２ステージ部材３２とは、いずれも熱伝導率、熱膨張率、熱収縮率の小さい材料のものから構成されることが望ましく、例えば、熱膨張率の小さい材料として石英、熱伝導率の小さい材料として樹脂が挙げられる。一方、第１ステージ部材３１はヒータ４により効果的に温度調整ができるように熱伝導率の高い材料のものから構成されることが望ましく、例えば、アルミニウム等が上げられる。対物レンズ２は、図示しない機構により観察者の操作に応じて矢印ｄ１方向に移動可能であるが、自動制御により移動するようにしてもよい。対物レンズ２を矢印ｄ１方向に移動させることで、観察対象物Ｘと対物レンズ２との距離を調節しピント合わせが行われる。また、対物レンズ２には、例えば、ＣＣＤ等の撮像素子や光ファイバーケーブル等を設けることで、対物レンズ２からの観察画像を装置外部のモニター等で見ることができる。【００１６】
次に、観察装置Ａにおけるピントずれの防止原理について説明する。図２は図１の観察装置Ａの部分拡大図であり、観察面Ｚ’と載置部３２ｂの上面（第１ステージ部材３１と第２ステージ部材３２との接触面）との位置関係を示す図である。同図に示すように、観察面Ｚ’と載置部３２ｂの上面とは、破線Ｌ１にて示す略同一水平面上に設定されている。【００１７】
ここで、第１ステージ部材３１はヒータ４によって温度調節が行い易いように熱伝導率の高い材料であることが望ましいが、そのような熱伝導率が高い材料は一般に熱膨張率、熱収縮率が高い傾向にあり、熱ひずみを生じ易い。一方、本実施形態において第１ステージ部材３１は載置部３２ｂの上面に載置されて支持されているので、第１ステージ部材３１の熱ひずみの中立面は載置部３２ｂの上面と同一の水平面となる。そして、本実施形態では、観察面Ｚ’と載置部３２ｂの上面とが略同一水平面上に設定されているため、第１ステージ部材３１の熱ひずみの中立面上に観察面Ｚ’が位置していることになる。【００１８】
このため、対物レンズ２を移動させてピント合わせを行った後、ヒータ４による温度調節によって第１ステージ部材３１に熱ひずみが生じたとしても、観察面Ｚ’と対物レンズ２との間の距離は変わらず、ピントずれは生じない。このような設計原理により、本実施形態では比較的簡易にピントずれを防止することができる。なお、観察面Ｚ’と載置部３２ｂの上面（第１ステージ部材３１と第２ステージ部材３２との接触面）とを、同一水平面上に設定するためには、載置部材Ｚの厚さを、凹部３１ａの底面から線L１までの距離（高さ）に合わせるか、又は、載置部材Ｚの厚さに応じて、凹部３１ａの底面の深さを設計するようにすればよい。また、観察面Ｚ’と載置部３２ｂの上面とは、同一水平面上に設定することが望ましいが、例えば、数ミリ程度（更に望ましくは１ｍｍ程度）の誤差であれば実質的にピントずれの影響は少ないため、略同一水平面上にあればよい。【００１９】
＜第２実施形態＞
図３は本発明の第２実施形態に係る観察装置Ｂの外観図である。この観察装置Ｂは、筐体１０１と筐体１０１の内部に収容された対物レンズ（図示せず）と、筐体１０１の上面に搭載されたステージユニット１０３と、を備える。筐体１０１には操作部１０１ａが設けられ、例えば、対物レンズ（同図において図示せず）の位置を調節する。また、筐体１０１には電源スイッチ１０１ｂが設けられている。ステージユニット１０３は、第１ステージ部材１３１と、第２ステージ部材１３２と、を備える。第１ステージ部材１３１は、本体部１３１１と、本体部１３１１に挿脱自在に装着されるホルダ１３１２と、から構成されている。本体部１３１１とホルダ１３１２とは熱膨張率、熱収縮率が同じ材料から構成され、例えば、同一の材料から構成することができる。【００２０】
図４はホルダ１３１２を取り外した状態の観察装置Ｂの平面図、図５は第１ステージ部材１３１を取り外した状態の観察装置Ｂの平面図である。また、図６は図４の線Ｘ１−Ｘ１に沿うステージユニット１０３の断面図、図７は図４の線Ｘ２−Ｘ２に沿うステージユニット１０３の断面図、である。【００２１】
本体部１３１１は、上方に開放した断面円形の凹部１３１１ａを有する板状の部材であり、ホルダ１３１２は凹部１３１１ａに挿脱される。凹部１３１１ａの底面１３１１ａ’には穴１３１１ｂが設けられており、この穴１３１１ｂは本体部１３１１の底面を貫通している。凹部１３１１ａの内周面１３１１ａ”には、凹部１３１１ａの底面１３１１ａ’から上方へ向かう溝部１３１１ｃが形成されている。図８は図４の線Ｘ３−Ｘ３に沿う本体部１３１１の断面図であり、溝部１３１１ｃの構成を示す。【００２２】
溝部１３１１ｃは穴１３１１ｂの周縁まで設けられており、本体部１３１１の下方からの空気が、穴１３１１ｂから溝部１３１１ｃを通過して本体部１３１１の上方へ逃がすことができる。本実施形態では、溝部１３１１ｃを複数（４つ）設けており、穴１３１１ｂから放射状にこれらが配設されている。【００２３】
本体部１３１１の底面にはヒータ１０４が設けられている。このヒータ１０４は穴１３１１ｂを取り囲むように配設され、例えば電力の通電により発熱する。このヒータ４は第１ステージ部材１３１全体を加熱する加熱手段として機能し、後述するホルダ１３１２内のの観察対象物Ｘを目的とする温度に維持する。本体部１３１１及びホルダ１３１２はヒータ１０４により効果的に温度調整ができるように熱伝導率の高い材料のものから構成されることが望ましく、例えば、アルミニウム等が挙げられる。【００２４】
第２ステージ部材１３２は、その中央に円形の開口部１３２ａを有する板状の部材から構成されており、その開口部１３２ａの周囲には第１ステージ部材１３１の本体部１３１１が載置される載置部１３２ｂが形成されている。本実施形態では、載置部１３２ｂの上面に複数の突起部１３２ｃが形成されており、本体部１３１１は、その底面の周縁がこの突起部１３２ｃの上に載置され、第２ステージ部材１３２に水平に支持される。つまり、複数の突起部１３２ｃの先端で規定される水平面が第１ステージ部材１３１（本体部１３１１）と第２ステージ部材１３２との接触面となる。【００２５】
本体部１３１１の４隅には穴１３１１ｄが設けられており、また、載置部１３２ｂの４隅にはネジ穴１３２ｄが設けられている。しかして、本体部１３１１を突起部１３２ｃ上に載置して、穴１３１１ｄからボルト１０５を挿入し、ネジ穴１３２ｄとボルト１０５とを締結することで本体部１３１１が第２ステージ部材１３２に固定されることになる。本体部１３１１が第２ステージ部材１３２に固定された状態においても、突起部１３２ｃが存在するため、本体部１３１１の底面は載置部１３２ｂの上面とは接触しない。つまり、突起部１３２ｃの存在により本体部１３１１の底面と第２ステージ部材１３２とは点接触となり、両者の接触面積を小さくできる。これにより、ヒータ１０４で加熱される本体部１３１１の熱が第２ステージ部材１３２に伝わり難くなり、第２ステージ部材１３２の熱ひずみを抑制できる。【００２６】
突起部１３２ｃは第２ステージ部材１３２に一体に形成されていても、別々に形成して第２ステージ部材１３２に取り付けるようにしてもいずれでもよく、また、突起部１３２ｃの材料としは第１ステージ部材１３１よりも熱伝導率が低い材料が望ましく、特に著しく熱伝導率が低い材料、例えば、ＰＥＥＫ材等が望ましい。【００２７】
また、本実施形態では、本体部１３１１の側面が第２ステージ部材１３２と接触しないように、両者の間に一定の空隙が設けられている。これも本体部１３１１の熱が第２ステージ部材１３２に伝わり難くするための構成である。筐体１０１、第２ステージ部材１３２及びボルト１０５は、いずれも熱伝導率、熱膨張率、熱収縮率の小さい材料のものから構成されることが望ましく、例えば、熱膨張率の小さい材料として石英、熱伝導率の小さい材料として樹脂が挙げられる。【００２８】
次に、ホルダ１３１２の構成及び観察装置Ｂにおけるピントずれの防止原理について説明する。図９は観察装置Ｂの構造を示す要部断面図であり、図４の線Ｘ２−Ｘ２と同じ線に沿う要部断面図である。まず、ホルダ１３１２の構成について説明する。図９ではホルダ１３１２が本体部１３１１に装着された状態を示している。【００２９】
ホルダ１３１２は、全体として円柱状をなし、上部ユニット１３１２ａと下部ユニット１３１２ｄとから構成されている。上部ユニット１３１２ａと下部ユニット１３１２ｄとは分離可能に構成されており、使用時には不図示のクランプ機構により両者が固定される。
上部ユニット１３１２ａの中央には断面円形の凹部１３１２ａ’が形成されている。この凹部１３１２ａ’の内部には観察対象物Ｘへ供給される試薬等が収納される。凹部１３１２ａ’の内部の試薬は凹部１３１２ａ’の底部から上部ユニット１３１２ａの底面へ延びる複数の管１３１２ｆを通って観察対象物Ｘへ供給される。凹部１３１２ａ’の上部には蓋体１３１２ｂが着脱可能に装着されている。【００３０】
ホルダ１３１２の上面にはホルダ１３１２の温度を検出する温度センサ１３１２ｃが設けられている。この温度センサ１３１２ｃは棒状のセンサ部１３１２ｃ’を有しており、センサ部１３１２ｃは凹部１３１２ａ’内を通って凹部１３１２ａの下方に延びている。上述したヒータ１０４による本体部１３１１及びホルダ１３１２の温度制御はこの温度センサ１３１２ｃの検出結果に基づいて行われる。【００３１】
下部ユニット１３１２ｄは、略円筒形状をなしており、その底部の中央には断面円形の穴１３１２ｄ’が設けられている。この穴１３１２ｄ’は、その上部が下部よりも穴径が大きい段付きの穴であり、その段差部分に観察対象物Xが載置される載置部材Ｚがセットされる。観察対象物Xは、底面に凹部を有する板状の保持部材Yの当該凹部に収納されて載置部材Ｚ上に載置される。載置部材Ｚは透明又は半透明の部材であって、例えば、熱膨張、熱収縮をほとんど生じないプラスチック板、ガラス板から構成される。保持部材Ｙはプラスチック板やガラス板或いは半導体ガラス板から構成される。
観察対象物Ｘをホルダ１３１２にセットする場合は、まず、上部ユニット１３１２ａと下部ユニット１３１２ｄとを分離させた状態で、観察対象物Xが上記凹部に収納された保持部材Yを載置部材Ｚ上に載置し、これを穴１３１２ｄ’にセットする。その後、保持部材Y上にドーナツ形状のパッキン１３１２ｅをセットし、上部ユニット１３１２ａを下部ユニット１３１２ｄにセットし、両者を不図示のクランプ機構により固定する。その後、ホルダ１３１２を本体部１３１１にセットして観察の準備が終了する。【００３２】
次に、ホルダ１３１２の下方、つまり、第１ステージ部材１３１の下方には、対物レンズ１０２が配設されている。対物レンズ１０２は、図示しない機構により操作部１０１ａに対する観察者の操作に応じて矢印ｄ２方向に移動可能であるが、自動制御により移動するようにしてもよい。対物レンズ１０２を矢印ｄ２方向に移動させることで、観察対象物Ｘと対物レンズ１０２との距離を調節しピント合わせが行われる。また、対物レンズ１０２には、例えば、ＣＣＤ等の撮像素子や光ファイバーケーブル等を設けることで、対物レンズ１０２からの観察画像を装置外部のモニター等で見ることができる。本実施形態の場合、載置部材Ｚの下方に対物レンズ１０２が配設されており、対物レンズ１０２により載置部材Ｚを通して観察対象物Ｘが観察されることになり、載置部材Ｚの上面が観察対象物Ｘの観察面Ｚ’となる。【００３３】
次に、観察装置Ｂにおけるピントずれの防止原理について説明する。本実施形態におけるピントずれの防止原理も観察装置Ａにおけるピントずれの防止原理と同様である。図９に示すように、観察装置Ｂにおいて、観察面Ｚ’と突起部１３２ｃの先端で規定される水平面（第１ステージ部材１３１（本体部１３１１）と第２ステージ部材１３２との接触面）とは、破線Ｌ２にて示す略同一水平面上に設定されている。【００３４】
本実施形態では、第１ステージ部材１３１が、相互に分離可能な本体部１３１１とホルダ１３１２とから構成されているが、両者は熱膨張率、熱収縮率が同じ材料である。従って、図９に示すように本体部１３１１にホルダ１３１２が装着された状態で本体部１３１１をヒータ１０４により加熱すると、ホルダ１３１２も本体部１３１１からの熱伝導により加熱され、本体部１３１１とホルダ１３１２とでは熱ひずみ量はほとんど同じとなる。【００３５】
そして、本体部１３１１が第２ステージ部材１３２上（具体的には突起部１３２ｃ上）に載置されて支持され、ホルダ１３１２は本体部１３１１に搭載されているので、第１ステージ部材１３１全体の熱ひずみの中立面は突起部１３２ｃの先端で規定される水平面と同一の水平面となる。本実施形態では、観察面Ｚ’と突起部１３２ｃの先端で規定される水平面とが略同一水平面上に設定されているため、第１ステージ部材１３１の熱ひずみの中立面上に観察面Ｚ’が位置していることになる。【００３６】
このため、対物レンズ１０２を移動させてピント合わせを行った後、ヒータ１０４による温度調節によって第１ステージ部材１３１に熱ひずみが生じたとしても、観察面Ｚ’と対物レンズ１０２との間の距離は変わらず、ピントずれは生じない。このような設計原理により、本実施形態では比較的簡易にピントずれを防止することができる。本実施形態では、特に、第１ステージ部材１３１を相互に分離可能な本体部１３１１とホルダ１３１２とから構成しており、観察対象物Ｘをホルダ１３１２ごと交換することが可能であり、効率のよい実験が行える。
【００３７】
また、本実施形態では、溝１３１１ｃを設けたことにより、第１ステージ部材１３１の下方や対物レンズ１０２の周囲において、ヒータ１０４により加熱された暖気や、筐体１０１内に配置された不図示の各種構成から発生する暖気が溝１３１１ｃを通って第１ステージ部材１３１の上方へ排気される。従って、筐体１０１内部に熱がこもって、筐体１０１や第２ステージ部材１０２の熱ひずみを招いたり、或いは、対物レンズ１０２が曇るといった事態を抑制することができる。【００３８】
なお、第１実施形態で述べたことと同様に、なお、観察面Ｚ’と突起部１３２ｃの先端で規定される水平面（第１ステージ部材１３１（本体部１３１１）と第２ステージ部材１３２との接触面）とを、同一水平面上に設定するためには、載置部材Ｚの厚さを適当な厚さに設計するか、又は、載置部材Ｚの厚さに応じて、突起部１３２ｃの高さを設計するようにすればよい。また、観察面Ｚ’と突起部１３２ｃの先端で規定される水平面（第１ステージ部材１３１（本体部１３１１）と第２ステージ部材１３２との接触面）とは、同一水平面上に設定することが望ましいが、例えば、数ミリ程度（更に望ましくは１ｍｍ程度）の誤差であれば実質的にピントずれの影響は少ないため、略同一水平面上にあればよい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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