(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
結晶が、酸化珪素（ＳｉＯ２）５０〜５３重量％、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）３３〜３６重量％、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）１３〜１５重量％を組成範囲とするコーディエライト結晶と、ジルコン結晶と、から成り、コーディエライト結晶とジルコン結晶との混合割合が重量比で９９／１〜８２／１８の範囲であり、室温における熱膨張係数が−０．１〜＋０．１×１０−６／℃であり、且つ、ヤング率を嵩比重で割った値（ヤング率／嵩比重）が５×１０７ｍ２／ｓ２以上であることを特徴とするコーディエライト緻密焼結体。
【請求項２】
請求項１記載のコーディエライト緻密焼結体において、コーディエライト結晶とジルコン結晶との混合割合が重量比で９８／２〜８５／１５の範囲であることを特徴とするコーディエライト緻密焼結体。
【請求項３】
請求項１または２に記載のコーディエライト緻密焼結体において、前記コーディエライト結晶と前記ジルコン結晶とは、反応することなく、ガラス相を形成しないことを特徴とするコーディエライト緻密焼結体。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１つに記載のコーディエライト緻密焼結体において、前記焼結体の相対密度が９４％以上であることを特徴とするコーディエライト緻密焼結体。
【請求項５】
請求項１から３のいずれか１つに記載のコーディエライト緻密焼結体において、前記焼結体の相対密度が９９．５％以上であることを特徴とするコーディエライト緻密焼結体。
【請求項６】
酸化珪素（ＳｉＯ２）５０〜５３重量％、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）３３〜３６重量％、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）１３〜１５重量％を組成範囲とし、焼結体の熱膨張係数が室温で負の値を持つコーディエライト粉末に、ジルコン粉末を、コーディエライト粉末／ジルコン粉末の混合割合が重量比で９９／１〜８２／１８の範囲で混合することにより、焼結体の熱膨張係数が室温で−０．１〜＋０．１×１０−６／℃になるように調節し、且つ、焼結体の相対密度が９４％以上になるよう焼成温度を調節して焼成することを特徴とするコーディエライト緻密焼結体の製造方法。
【請求項７】
請求項６記載のコーディエライト緻密焼結体の製造方法において、焼結体の相対密度が９９．５％以上になるように、熱間等方圧加圧することを特徴とするコーディエライト緻密焼結体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超精密や超微細加工あるいは測定を行う機器の部材に適した、コーディエライト緻密焼結体及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体に代表される電子部品の精密化、微細化が急速に進み、これを製造する加工機や測定機にサブミクロンもしくはそれ以下の精度が要求されるようになっているが、このような加工機や測定機では、支持部材の自重などによる変形や僅かな温度変化による熱変形も問題になってきている。
また、これらの精密機器の運動精度を決定する重要要素の１つに案内面があるが、このような、超精密や超微細加工精度あるいは測定精度が要求されるような分野の案内面には、高位置決め精度の要求に合わせ、能率化のために、機器の高速化の強い要求もある。
また、これらの精密機器の運動精度を決定する重要要素の１つに位置センサーがあり、超精密や超微細加工精度あるいは測定精度が要求される分野のセンシングには、主としてレーザー光が使用され、上記レーザー光が当たる面にはミラーが設置されるが、上記ミラーには反射効率が高いことに合わせ、熱変形を起こさないことの強い要求もある。
【０００３】
ここで、機械的特性に優れるセラミックスとしては、アルミナ、炭化珪素、窒化珪素などが知られており、これらは、従来から、種々の機械部品や構造用部材などに用いられ、露光装置の支持部材にも用いられてきた。
また、熱膨張の小さなセラミックスとしては、コーディエライト、β−スポジュメン、チタン酸アルミニウム、石英ガラスなどが知られおり、これらは、主として、耐熱衝撃性が要求される炉材や調理用器材などに用いられてきた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、アルミナを始めとする上記の高強度セラミックスは、いずれも、熱膨張係数が１×１０-6／℃以上であり、近年の超精密や超微細加工あるいは測定を行う装置では、僅かな温度変化による熱変形さえも問題になってきた。
また、コーディエライトを始めとする上記の低熱膨張セラミックスは、いずれも、曲げ強度やヤング率などの機械的特性が劣っていることから、高強度や高剛性を要求される機械部品や構造用部材には適していなかった。
【０００５】
さらにまた、コーディエライトを始めとする上記の低熱膨張素材は、低熱膨張と言えども、一般には、室温付近の熱膨張係数がゼロではなく、近年の超精密や超微細加工あるいは測定を行う装置用途への対応には、熱変形において十分とは言えなかった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するためになされた本発明は、コーディエライトを主結晶とし、且つ、コーディエライト以外に少なくとも１種類以上の他の結晶を含有し、室温の熱膨張係数が−０．１〜＋０．１×１０−６／℃で、且つ、ヤング率を嵩比重で割った値（ヤング率／嵩比重）が５×１０７ｍ２／ｓ２以上にしたコーディエライト緻密焼結体であることを特徴とする。
【０００７】
室温の熱膨張係数を−０．１〜＋０．１×１０-6／℃とすることにより、±１℃の温度変化があった場合にも、熱膨張による変位は±０．１ｐｐｍ以下に抑えられ、極めて高い加工精度または測定精度が保たれるようになる。
【０００８】
また、ヤング率を嵩比重で割った値を５×１０7ｍ2／ｓ2以上にすることにより、支持部材の自重などによる変形も少なく、案内面の高速、高位置決め精度の要求も良好となる。ここで、ヤング率を嵩比重で割った値は、例えば、ヤング率が３７０ＧＰａ（＝３７０×１０9ｋｇ／ｍ・ｓ2）で、嵩比重が３．９（＝３．９×１０3ｋｇ／ｍ3）の場合には、９．５×１０7ｍ2／ｓ2と計算される。
【０００９】
ヤング率を嵩比重で割った値は、高ければ高いほど好ましく、支持部材の自重による変形は少なくなり、また、案内面の位置決め性能は向上しするが、５×１０７ｍ２／ｓ２以上であれば、比較的良好な性能が出せると計算された。ちなみに、ヤング率を嵩比重で割った値を、従来から構造部材に使用されている高純度アルミナや、純度約８７％のアルミナで見ると、各々、約９．５×１０７ｍ２／ｓ２、及び、約７×１０７ｍ２／ｓ２となり、これらと比べると、本発明のコーディエライト緻密焼結体は劣るが、炭素鋼やステンレス鋼が約２．５×１０７ｍ２／ｓ２、また、グラナイトが２×１０７ｍ２／ｓ２程度であり、これらと比べると、本発明のコーディエライト緻密焼結体ははるかに優れている。
【００１０】
また、本発明の請求項１に示すように、コーディエライト以外に含有する結晶相をジルコンにすれば、大気中でも焼成でき、焼成が容易であることに加え、焼成中にガラス相を形成しないため、ヤング率を嵩比重で割った値が、比較的高い値で維持できる。
【００１１】
さらに、本発明の請求項１に示すように、コーディエライト結晶とジルコン結晶の混合割合が重量比で９９／１〜８２／１８の範囲にすれば、室温の熱膨張係数を−０．１〜＋０．１×１０−６／℃に入れることができる。
【００１２】
また、本発明の請求項４に示すように、焼結体の相対密度が９４％以上であることが、ヤング率を嵩比重で割った値を５×１０7ｍ2／ｓ2以上にするために、特に重要である。
【００１３】
焼結体の相対密度が高いほど、ヤング率を嵩比重で割った値は大きくなり、焼結体の相対密度が９４％以上であれば、５×１０7ｍ2／ｓ2以上になる。
【００１４】
また、本発明の請求項５に示すように、室温の熱膨張係数が−０．１〜＋０．１×１０-6／℃で、且つ、ヤング率を嵩比重で割った値を５×１０7ｍ2／ｓ2以上にしたことに加えて、焼結体の相対密度が９９．５％以上であるコーディエライト緻密焼結体が、ミラーなどの用途には特に好ましい。
【００１５】
焼結体の相対密度が９９．５％以上にすることにより、加工後の表面粗さを小さくすることができ、表面にアルミニウムや銀などの反射膜をコーティングして、高い反射率を有する、ミラーに適した素材を供給できるようになる。また、ヤング率を嵩比重で割った値も大きくなるため、支持部材の自重などによる変形はさらに少なくなり、案内面の運動をさらに高速化できるようになる。
【００１６】
ここで、室温の熱膨張係数が−０．１〜＋０．１×１０−６／℃で、且つ、ヤング率を嵩比重で割った値を５×１０７ｍ２／ｓ２以上にする方法として、本発明の請求項６に示すように、酸化珪素（ＳｉＯ２）５０〜５３重量％、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）３３〜３６重量％、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）１３〜１５重量％を組成範囲とし、焼結体の熱膨張係数が室温で負の値を持つコーディエライト粉末に、ジルコン粉末を、コーディエライト粉末／ジルコン粉末の混合割合が重量比で９９／１〜８２／１８の範囲で混合することにより、焼結体の熱膨張係数が室温で−０．１〜＋０．１×１０−６／℃になるように調節し、且つ、焼結体の相対密度が９４％以上になるよう焼成温度を調節して焼成する方法が良い。
【００１７】
純粋なコーディエライト粉末でも、焼結体の相対密度が９４％以上の緻密焼結体にすれば、ヤング率を嵩比重で割った値は、通常、５×１０7ｍ2／ｓ2以上にはなるが、室温の熱膨張係数は、通常、−０．１×１０-6／℃以下になる。一方、純度の劣るコーディエライト粉末を用いた場合の焼結体は、ガラス相が多くなったり、例えばスピネルやエンスタタイトなどコーディエライト以外の結晶相が生成し、室温の熱膨張係数が＋０．１×１０-6／℃以上になるケースも多く、また、ガラス相の多いものでは、ヤング率を嵩比重で割った値が５×１０7ｍ2／ｓ2以下になるケースも多い。
【００１８】
そこで、焼結体の熱膨張係数が室温で負の値になるような、純度の高いコーディエライト粉末を用いることが重要である。これに、室温の熱膨張係数が正で、且つ、ヤング率の高いジルコン粉末を、焼結体の熱膨張係数が室温で−０．１〜＋０．１×１０-6／℃になるように、コーディエライト粉末／ジルコン粉末の混合割合を重量比で、９９／１〜８２／１８の範囲で調節し、且つ、焼結体の相対密度が９４％以上になるように焼成温度を調節する。これによって、焼結体の熱膨張係数が室温で−０．１〜＋０．１×１０-6／℃で、且つ、ヤング率を嵩比重で割った値が５×１０7ｍ2／ｓ2以上のコーディエライト緻密焼結体が供給できるようになる。
【００１９】
コーディエライト粉末／ジルコン粉末の混合割合は、さらに好ましくは、重量比で、９８／２〜８５／１５の範囲に調節するのが良い。これによって、焼結体の熱膨張係数が室温で−０．０５〜＋０．０５×１０-6／℃になる。
【００２０】
焼結体の相対密度を９４％以上にするための焼成温度は、粉末の粒度分布やジルコンの混合率によっても異なるが、通常、１３００〜１４４０℃の範囲である。１３００℃以下では緻密な焼結体を得るのが難しく、また、１４４０℃以上では焼結体が軟化を生じ好ましくない。
【００２１】
また、本発明の請求項７に示すように、焼結体の相対密度が９４％以上のコーディエライト焼結体を、相対密度が９９．５％以上になるように、温度、圧力を調節して熱間等方圧加圧（ＨＩＰ）することにより、ミラー用途には特に好ましいコーディエライト緻密焼結体が提供できる。
【００２２】
焼結体の相対密度が９９．５％以上にするための熱間等方圧加圧の条件は、ジルコンの混合率や熱間等方圧加圧処理前の焼結体の相対密度によっても異なるが、圧力は５００気圧以上、温度は１２００〜１４４０℃の範囲、さらに好ましくは１３００〜１４００℃の範囲が良い。１２００℃以下では相対密度を９９．５％以上にするのは難しく、また、１４４０℃以上では焼結体が溶融を起こし好ましくない。
【００２３】
なお、相対密度が９３％以下の焼結体は、カプセルフリーの熱間等方圧加圧では、相対密度を９９．５％以上にすることはできなかった。
【００２４】
【発明の実施の形態】
本発明で使用されるコーディエライト粉末は、焼結体の熱膨張係数が室温で負の値を持つように、純度の高いコーディエライト結晶であることが重要である。
このため、組成は、酸化珪素（ＳｉＯ2）５０〜５３重量％、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）３３〜３６重量％、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）１３〜１５重量％の範囲にする。
【００２５】
このような純度の高いコーディエライト粉末を用いた焼結体は、室温の熱膨張係数が、通常、−０．１×１０-6／℃以下になり、また、同コーディエライト焼結体で、相対密度を９４％以上にした場合には、ヤング率を嵩比重で割った値が、通常、５×１０7ｍ2／ｓ2以上の値になる。
【００２６】
そこで、室温の熱膨張係数を−０．１〜＋０．１×１０-6／℃の範囲内に入れ、且つ、ヤング率を嵩比重で割った値は５×１０7ｍ2／ｓ2以上を維持させるために、室温の熱膨張係数が正で、比較的ヤング率の高い、コーディエライト以外の結晶を少なくとも１種類以上含有させる。
【００２７】
本発明で使用されるコーディエライト以外に含有する結晶粉末は、特にその種類を限定されるものではない。例えば、ジルコン、ジルコニア、アルミナなどが使用できるが、焼結を著しく阻害するものや、焼成中にガラス相を多く形成するものは好ましくない。また、焼結体を着色させたい場合には、顔料等を含有させても良い。
【００２８】
コーディエライト以外に含有する結晶をジルコンにすれば、大気中でも焼成でき、焼成が容易であることに加え、焼成中にコーディエライト粉末と反応することもなく、ガラス相を形成しないため、ヤング率を嵩比重で割った値が、比較的高い値で維持できる。
【００２９】
この場合、室温の熱膨張係数を−０．１〜＋０．１×１０-6／℃に入れるために、コーディエライト粉末とジルコン粉末の混合割合は、重量比で９９／１〜８２／１８の範囲にする。
【００３０】
上記の混合割合になるよう、ジルコン粉末とコーディエライト粉末を秤量し、ボールミルやアトライタなどで混合・粉砕する。
【００３１】
上記の方法で混合・粉砕された粉末は、プレス成形、押出し成形、射出成形、鋳込成形などによって所望の形状に成形され、その後、必要に応じて、生加工や仮焼加工などを経て、焼結体の相対密度が９４％以上になるような適当な温度で焼成する。
【００３２】
これらは、ミラーなど、気孔がほとんどないような材料が要求される場合など、必要に応じ、上記のコーディエライト緻密焼結体を、適当な温度、圧力で熱間等方圧加圧すれば、焼結体の相対密度が９９．５％以上にすることもできる。
【００３３】
【実施例１】
以下、本発明の実施例を説明する。
ＳｉＯ2が５１重量％、Ａｌ2Ｏ3が３５重量％、ＭｇＯが１４重量％で、ほとんど全てがコーディエライト結晶から成る粉末に、ジルコン粉末を２重量％，４重量％，６重量％，９重量％，１２重量％，１５重量％，１８重量％，２１重量％添加した混合粉末、及びジルコン無添加の粉末を、ボールミルで湿式混合粉砕した。上記の各スラリーをスプレードライヤーで乾燥造粒した後、各造粒粉をプレス成形し、焼結体の相対密度が約９８％になる温度まで大気中で焼成した。各焼成体は、１３〜３３℃の範囲における室温の熱膨張係数をレーザー測長式の熱膨張計で、ヤング率を曲げ共振法で、また、嵩比重をアルキメデス法で、各々測定した。その結果を表１に示す。
【００３４】
【表１】
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【００３５】
また、ジルコンの添加率と室温の熱膨張係数の関係を図１に示す。これより、ジルコンの添加率を増やすほど、熱膨張係数は増加し、室温の熱膨張係数を−０．１〜＋０．１×１０-6／℃に入れるための、ジルコン添加率は１〜１８重量％にあることが判る。ジルコン無添加では−０．１×１０-6／℃以下、また、ジルコンの添加率が１８重量％を超えると＋０．１×１０-6／℃以上になり、好ましくない。
なお、ジルコンの添加率を増やせすほど、ヤング率はほぼ直線的に増加するが、嵩比重も同様に増加するため、ヤング率を嵩比重で割った値はほとんど変わらなかった。
【００３６】
【実施例２】
実施例１のうち、ジルコン粉末を６重量％添加した造粒粉と、ジルコン無添加の造粒粉を用い、実施例１と同様に、上記造粒粉をプレス成形した後、大気中で焼成温度を１２８０〜１４４０℃で振って焼成（一次焼成）し、相対密度が９２〜９９％の焼成体（一次焼成体）を作製し、ヤング率、及び、嵩比重を測定した。
また、これらの一次焼成体を、１０００気圧、１３５０℃のアルゴン雰囲気中で、カプセルフリーの熱間等方圧加圧（二次焼成）を行い、同様に、ヤング率、及び、嵩比重を測定した。
ここで、ジルコン粉末６重量％添加、ジルコン無添加は、共に、一次焼成で相対密度が９４％以上になっていたものは、熱間等方圧加圧後の相対密度が、全て、９９．５％以上になっていたが、一次焼成で相対密度が９３％以下のものは、熱間等方圧加圧しても相対密度は上がらなかった。
ヤング率を嵩比重で割った値を、一次焼成体及び二次焼成体の両者合わせて図２に示したが、焼結体の相対密度が高くなるほど、ヤング率を嵩比重で割った値は大きくなり、また、焼結体の相対密度が９４％以上であれば、ヤング率を嵩比重で割った値が５×１０7ｍ2／ｓ2以上になることが判った。
【００３７】
【発明の効果】
以上に説明した如く、本発明によれば、室温付近の熱膨張係数がゼロに極めて近く、且つ、ヤング率を嵩比重で割った値が比較的大きい、コーディエライト緻密焼結体が製造できるため、熱変形や自重変形などがほとんどない、特に、超精密や超微細加工あるいは測定を行う機器の部材に適した素材が提供できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ジルコンの添加率と室温の熱膨張係数関係を示す図
【図２】相対密度とヤング率を嵩比重で割った値の関係を示す図
【図１】
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【図２】
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