(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
屈折率が異なる４種類の材料の光透過膜から構成される集合体を備え、固体撮像装置の各画素に設けられる集光素子であって、
前記集合体における一の光透過膜は、入射光の波長より短い幅および所定の厚さの同心状のリングであり、
前記集合体における他の光透過膜は、前記一の光透過膜が存在していない空間の全部又は一部を同心状に充填するリングであり、
前記集合体の屈折率と入射側媒質の屈折率との差分の最大値をΔｎmaxとし、前記所定の厚さをＬ、前記入射光の波長をλとした場合に、
ΔｎmaxＬ＝λ
を満たし、
前記集合体の同心状の複数のリングのうち、中心のリングは最も高い高屈折率材料で構成され、外側のリングになるに従って順に低屈折率材料となっており、
前記入射光の入射角度をθとし、予め決定された定数をＡ及びＢ及びＣとした場合において、
前記集合体上における前記画素の中央に対応する位置から面内方向の距離ｘに依存する、前記集合体の屈折率と入射側媒質の屈折率との差分をΔｎ(ｘ)とするとき、
Δｎ(ｘ)＝Δｎmax［(Ａｘ2＋Ｂｘsinθ)／２π＋Ｃ］（A、B、C：定数）
を満たす
ことを特徴とする集光素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディジタルカメラ等に使用される集光素子、固体撮像装置およびその製造方法に関し、特に同心構造の光透過膜を有する集光素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ディジタルカメラやカメラ付携帯電話の普及に伴い、固体撮像装置の市場は著しく拡大してきた。このような流れの中、固体撮像装置に対する要望は、より高感度化／高画素密度化へと変化してきたが、近年はデジタルスチルカメラ／携帯電話などの薄型化に伴い、カメラ部分の薄型化に対する要望も強くなっている。これは言い換えれば、カメラ部分に用いるレンズが短焦点になるということであり、固体撮像装置に入射する光は広角（固体撮像装置の入射面の垂直軸から測定して大きな角度）になることを意味する。
【０００３】
現在、固体撮像装置として広く使用されているＣＣＤやＭＯＳイメージセンサでは、複数の受光部分を有する半導体集積回路を２次元に配列して、被写体からの光信号を電気信号に変換している。
【０００４】
固体撮像装置の感度は、入射光量に対する受光素子の出力電流の大きさによって定義されていることから、入射した光を確実に受光素子に導入することが感度向上のため重要な要素となっている。
【０００５】
図４は、従来の一般的な画素の基本構造の一例を示す図である。図４に示すように、マイクロレンズ６１に垂直に入射した光（破線で示した光）５９は、赤色光（Ｒ）、緑色光（Ｇ）、青色光（Ｂ）のうちのいずれかの光に対するカラーフィルタ２によって色分離された後、受光部６において電気信号への変換がなされる。このマイクロレンズ６１は、比較的高い集光効率が得られることから、ほとんど全ての固体撮像装置において使用されている。
【０００６】
上記のマイクロレンズを使用した固体撮像装置において、各画素に対し、非対称にレンズを配置する構成例の提案がある（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１には、斜め入射光をセンサ部に導くことができる実施例が記載されている。
【０００７】
また、フレネルレンズを利用した固体撮像装置として、様々な技術が開示されている（例えば、特許文献２および３参照）。
【０００８】
特許文献２に開示されている技術は、レンズは同心円状に異なる屈折率を持つ複数の層からなり、中心部が最も屈折率が高く、周辺部になるにつれて順に屈折率が減少するように構成されている。また、特許文献３に開示された技術では、厚さ分布型レンズと、ドーピングによって連続的に屈折率分布を持たせた分布屈折率型レンズが利用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−１９６５６８号公報
【特許文献２】特開２０００−３９５０３号公報
【特許文献３】特開平５−２５１６７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
今後、広角入射に対応した固体撮像装置を開発するためには、特定の角度で入射する光を確実に受光素子へと導入する必要がある。
【００１１】
しかしながら、マイクロレンズでは、集光効率が信号光の入射角度に依存して低下する。つまり図４に示すように、マイクロレンズ６１に垂直に入射してくる光５９については高効率に集光することができるが、斜め入射の光（実線で示した光）６０に対しては集光効率が減少するのである。これは、斜め入射の光６０が、画素中のＡｌ配線３に遮光されてしまい、受光素子６まで到達できないためである。
【００１２】
上述したように、固体撮像装置は、複数の画素の２次元配列で構成されているため、広がり角を持つ入射光の場合、中央の画素と周辺の画素とでは入射角が異なる（図１参照）。その結果、周辺の画素の集光効率が中央より低下するという問題が起こる。
【００１３】
図２は、従来における周辺の画素の構造例を示す図である。周辺の画素では、入射光の入射角度が大きくなるため、電気配線部分を固体撮像装置の中心方向にずらす（シュリンクさせる）ことによって、集光効率の向上を図っている。
【００１４】
図３は、従来のマイクロレンズを用いた固体撮像装置の集光効率の入射角度依存性を示す図である。図３に示すように、入射角度が２０°程度までの光に対しては、高効率に集光できていることがわかる。しかしながら、それ以上の入射角度になると、効率は急激に減少する。結果として、周辺画素の光量は中央部分の約４０％程度であり、素子全体の感度は周辺素子の感度に律速されているのが現状である。また、この値は画素サイズの減少に伴ってさらに低下するため、小型カメラのような短焦点光学系への応用が非常に困難になる。さらに、製造工程においては、これ以上の回路シュリンクができないといった問題が発生している。
【００１５】
さらに、フレネルレンズ形状などの微小な段差形状が固体撮像装置の表面にある場合は、製造時、特にダイシング加工のダストが微小な段差形状に堆積する等の問題が発生する。
【００１６】
また、フレネルレンズ形状などの微小な段差形状が固体撮像装置の表面にある場合は、集光素子の上部にカラーフィルタを設けることができない。
【００１７】
そこで、本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、薄型カメラ用の焦点距離が短い光学系（入射角θが大きい光学系）にも対応した固体撮像装置を実現するため、現存のマイクロレンズよりも高角度の入射光を集光し得る光学素子構造、かつダストが堆積する等の問題が発生しない構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記課題を解決するために、本発明に係る集光素子は、屈折率が異なる４種類の材料の光透過膜から構成される集合体を備え、固体撮像装置の各画素に設けられる集光素子であって、前記集合体における一の光透過膜は、入射光の波長より短い幅および所定の厚さの同心状のリングであり、前記集合体における他の光透過膜は、前記一の光透過膜が存在していない空間の全部又は一部を同心状に充填するリングであり、前記集合体の屈折率と入射側媒質の屈折率との差分の最大値をΔｎmaxとし、前記所定の厚さをＬ、前記入射光の波長をλとした場合に、ΔｎmaxＬ＝λを満たし、前記集合体の同心状の複数のリングのうち、中心のリングは最も高い高屈折率材料で構成され、外側のリングになるに従って順に低屈折率材料となっていることを特徴とする。
【００１９】
これにより、一の光透過膜の線幅およびその配置密度を変化させることによって、有効屈折率を変化させることが可能な分布屈折率型の集光素子を実現することができる。さらに、従来の半導体プロセスを踏襲して、微小な分布屈折率レンズを作製することができる。
【００２０】
また、前記集光素子において、前記集合体は、前記入射光の入射角度をθ、当該集合体の屈折率と入射側媒質の屈折率との差分の最大値をΔｎmaxとし、予め決定された定数をＡ及びＢ及びＣとした場合において、前記集合体上における前記画素の中央に対応する位置から面内方向の距離ｘに依存する、前記集合体の屈折率と入射側媒質の屈折率との差分をΔｎ(ｘ)とするとき、
【００２１】
Δｎ(ｘ)＝Δｎmax［(Ａｘ2＋Ｂｘsinθ)／２π＋Ｃ］（A、B、C：定数）
【００２２】
を満たすことを特徴とする。これにより、特定の角度で入射する光を任意の位置で集光することが可能となり、高集光効率な分布屈折率レンズを形成できる。
【００２３】
また、前記集光素子において、前記集合体の厚さをＬ、前記入射光の波長をλとした場合に、
【００２４】
ΔｎmaxＬ＝λ
【００２５】
をほぼ満たすように構成してもよい。これにより、前記分布屈折率レンズによる最大位相変調が入射光の１位相分となり、集光ロスが最小となることから、高効率な集光が可能となる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の固体撮像装置は、上記レンズ構造を有しているため、解像度ならびに感度の向上や製造工程の容易化を実現することができる。さらに、ダストの微小形状への堆積を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、従来の固体撮像装置における画素配列の基本構造を示す図である。
【図２】図２は、従来の固体撮像装置の基本構造を示す図である。
【図３】図３は、従来のマイクロレンズを用いた固体撮像装置の集光特性を示す図である。
【図４】図４は、従来の固体撮像装置における画素の基本構造を示す図である。
【図５】図５は、実施の形態１における固体撮像装置の基本構造を示す図である。
【図６】図６は、実施の形態１における分布屈折率レンズの上面図の一例を示す図である。
【図７】図７は、実施の形態１における分布屈折率レンズの断面構造を示す図である。
【図８】図８は、実施の形態１におけるレンズの屈折率分布を示す図である。
【図９】図９は、実施の形態１における光の位相変調を示す図である。
【図１０】図１０（ａ）〜（ｈ）は、実施の形態１における分布屈折率レンズの作製工程を示す図である。
【図１１】図１１は、実施の形態１における画素配列の基本構造を示す図である。
【図１２】図１２（ａ）〜（ｃ）は、実施の形態１における、光入射角度に依存した画素の基本構造を示す図である。
【図１３】図１３（ａ）〜（ｃ）は、実施の形態１におけるレンズの屈折率分布を示す図である。
【図１４】図１４は、実施の形態１における分布屈折率レンズの上面図である。
【図１５】図１５は、実施の形態１におけるレンズの屈折率分布を示す図である。
【図１６】図１６は、実施の形態１における画素中の光伝播を示す図である。
【図１７】図１７は、実施の形態１における固体撮像装置の集光効率を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明に係る実施の形態について、図面を参照しながら、さらに具体的に説明する。なお、以下の実施の形態において、本発明について図面を用いて説明するが、本発明をこれらに限定することを意図するものではない。
【００２９】
（実施の形態１）
図５は、本実施の形態における固体撮像装置の基本構造を示す図である。各画素（サイズ□２．８mm）は、分布屈折率レンズ（単に「レンズ」、又は「光透過膜」ともいう。）１、Ｇ用カラーフィルタ２、Ａｌ配線３、信号伝送部４、平坦化層５、受光素子（Ｓｉフォトダイオード）６、Ｓｉ基板７から構成されている。
【００３０】
図６は、上記図１における分布屈折率レンズ１の上面図の一例である。同心円構造を有する分布屈折率レンズ１は、屈折率の異なる４種類の材料、ＴiO2、ＳiN、ＳiO2、空気で構成されており、隣り合う円型光透過膜の外周の半径差１４は、例えば２００ｎｍ（この場合の単位幅は、１００ｎｍ）である。また、膜厚は０．４μmである。
【００３１】
一般に、光が入射する入射窓領域の形状は、各画素の開口に合わせて四角形状となっている。入射窓領域が円形の場合、レンズとレンズの間に隙間ができるため、漏れ光が発生し、集光ロスの大きな原因となる。しかしながら、入射窓領域を四角とすると、画素全領域の入射光を集光することができるので、漏れ光は無くなり、集光ロスは低減する。
【００３２】
図７は、分布屈折率レンズ１の断面図の一例を示す図である。一般的な分布屈折率レンズでは、屈折率は光学中心１５で最も高くなる。本実施の形態においても、光学中心１５付近のリングは高屈折率材料ＴｉＯ2で構成され、外側のリングになるに従って、ＳｉＮ、ＳｉＯ2、空気のように低屈折率材料を使用している。周期が入射光の波長と同程度か小さいときには、光が感じる有効屈折率は高屈折率材料と低屈折率材料の体積比によって算出できる。本構造の最大の特長は、隣り合う材料の組み合わせを変えるだけで、屈折率分布を自由自在に制御できることである。本実施の形態では、屈折率が異なる材料を用いることによる屈折率変化に加えて、隣り合う領域で構造の幅を変化させることによる屈折率変化も利用している。これによって、より木目細かい階調の屈折率分布を実現することができるため、集光効率は向上する。しかしながら、屈折率が異なる材料を用いることによる屈折率変化だけでも、高い集光効率を得ることができるため（３材料で、集光効率７０％程度）。これによって、同心円構造を同一の抜き／残し幅で形成することができるようになるため、プロセスが容易になる。
【００３３】
このときの屈折率の変化は、図８のように表される。レンズの屈折率は、同心円の中心部分が最も高く、端になるに従って順に低くなる。放物線は、波長（５５０ｎｍ）の入射光を焦点距離ｆ（４．４３μｍ）で集光させるための屈折率分布を示しており、下の式で表される。
【００３４】
Δｎ(ｘ)＝Δｎmax［(Ａｘ2＋Ｂｘsinθ)／２π＋Ｃ］        （１）
（A、B、C：定数）
【００３５】
ここで、Δｎmaxは、入射側媒質とレンズ材料との屈折率差（今回は１．４３）である。また、上記（１）式は、入射側媒質の屈折率をｎ0、出射側媒質の屈折率をｎ1とするときに、
【００３６】
Ａ＝−（ｋ0ｎ1）／２ｆ                               （１−１）
Ｂ＝−ｋ0ｎ0                                         （１−２）
ｋ0＝２π／λ                                        （１−３）
【００３７】
のようにパラメータを設定できる。これにより、目的とする焦点距離ならびに対象とする入射光の入射角度、波長ごとにレンズを最適化することが可能となる。上記（１）式において、集光成分は画素中央からの距離ｘの２次関数によって表し、偏向成分は距離ｘと三角関数との積によって表している。なお、実際のレンズは３次元構造であるので、屈折率分布はｘ軸、ｙ軸およびｚ軸空間上の関数として表されるが、ここでは、簡単化のために等価な2次元座標で表記している。
【００３８】
なお、上記図８は、入射光の角度を０°としたときのレンズ構造を示した図であり、光学中心は各画素の中心と一致する。
【００３９】
また、入射光の波長をλ、光が集まる焦点距離をｆ、光の入射角度をθ、入射側媒質の屈折率をｎ0、出射側媒質の屈折率をｎ1とするとき、前記光透過膜の面内方向の距離ｘに依存する、前記光透過膜による位相変調Φ（ｘ）が、
【００４０】
【数１】
0004479969.tif 000002
【００４１】
をほぼ満たすことが望ましい。これにより、第１ゾーンのみで集光でき、集光ロスの少ない、高効率な集光が可能となる。
【００４２】
さらに、前記光透過膜による位相変調Φ（ｘ）が、
【００４３】
【数２】
0004479969.tif 000003
ｍ＝自然数
【００４４】
をほぼ満たすことが望ましい。これにより、複数ゾーンでの集光が可能となり、位相変調を大きくできるため、より高角度の入射光に強い集光素子が実現できる。
【００４５】
前記光透過膜の屈折率の最大値をｎ0＋Δｎmax、前記光透過膜の面内方向の屈折率分布においてｎ0に対する差分をΔｎ（ｘ）とするとき、
【００４６】
【数３】
0004479969.tif 000004
【００４７】
をほぼ満たすことが望ましい。これにより、特定の角度で入射する光を任意の位置で集光可能である、高集光効率な分布屈折率レンズを形成できる。
【００４８】
本実施の形態では、屈折率分布によって入射光を位相変調することによって、光の伝播方向を制御している。このとき、図９に示すように、上記（１）式でもたらされる位相変調は、第１ゾーン１７だけでなく、第２ゾーン１８、第３ゾーン１９のように、上記（１）式を２πで分割して得られる不連続な位相変調となる。しかしながら、１位相毎にゾーンを区別しているため、実効的な位相変調は連続的な位相変調１６と等しくなる。
【００４９】
また、複数ゾーンを有する光透過膜を形成するときの、各ゾーン境界での位相差を２πとするための条件は、レンズ厚をＬとすると、
【００５０】
ΔｎmaxＬ＝λ                                        （２）
【００５１】
となる。光透過膜が薄い場合は、一般には損失要因はないので、上記（２）式を満たしていれば、集光効率は１００％となる。
【００５２】
図１０（ａ）〜（ｈ）は、分布屈折率レンズの作製工程を示す図である。レンズ形成は、フォトリソグラフィーとエッチングによって行った。まず、通常の半導体プロセスを用いて、Ｓｉ基板上に受光素子、および配線、遮光層、信号伝送部、カラーフィルタらなる半導体集積回路２２（上記図１０では描いていない。）を形成する。１画素のサイズは、２．８μｍ角であり、受光部は１．５μｍ角である。その後に、スパッタ装置を用いて、ＳｉＯ2膜２１を形成し、その上にレジスト２０を塗布する（図１０（ａ））。その後、光露光２３によって、パターニングを行う（図１０（ｂ））。ＳｉＯ2膜とレジストの厚みはそれぞれ、０．５μｍ と０．５μｍである。現像した後、エッチングを行い、画素表面に微細構造を形成する（図１０（ｃ））。レジストを除去した後、プラズマＣＶＤを用いて、ＴｉＯ2を堆積する（図１０(ｄ））。画素全域を被覆したＴｉＯ2層を、表面研磨によって取り除いた後（図１０（ｅ））、再びレジストを塗布し、光露光２３によって、パターンを形成する（図１０（ｆ））。その後、エッチングを行って、ＣＶＤを用いてＳｉＮを堆積させる（図１０（ｇ））。最終的に、画素表面を研磨することによって、ＴｉＯ2、ＳｉＮ、ＳｉＯ2で構成された分布屈折率レンズが形成される。
【００５３】
本実施例では代表的な３種類の材料によるレンズ形成を試みたが、上記図１０に示したフォトリソグラフィーまたは電子リソグラフィーとエッチングとを組み合わせた工程を用いることにより、さらなる多種類の材料でレンズを構成することが可能である。
【００５４】
図１１は、本実施の形態に係る、ＶＧＡ使用（３１万画素）の固体撮像装置における画素配列の様子を示す図である。信号光２６は、光学レンズ２７によって集光され、分布屈折率レンズを有する固体撮像装置２８上に照射される。受光素子と配線等からなる半導体集積回路８ならびに分布屈折率レンズが２次元配列している固体撮像装置においては、中心部分の画素と周辺部分の画素とでは、光の入射角度が異なる。中心部分ではほぼ０°入射であるのに対して、周辺部分では約３０°入射となる。そこで、本実施の形態では、固体撮像装置の中央から周辺部分にかけて、各画素に入射する最も光強度の強い入射光成分に対応する分布屈折率レンズを形成した。それぞれのレンズは、撮像装置上の画素の位置によって、レンズ構造を最適化し、最も集光効率が高くなるようにしている。
【００５５】
図１２（ａ）〜（ｃ）は、本実施の形態における、光入射角度（画素位置）に依存した画素の基本構造を示す図である。本レンズは、入射光に対して上記（１）式で表される屈折率分布を有している。入射窓に入射角０°で入射してくる光３３、入射角α／２°で入射してくる光３４、入射角α°で入射してくる光３５は、それぞれ０°入射光用分布屈折率レンズ３６、α／２°入射光用分布屈折率レンズ３７、α°入射光用分布屈折率レンズ３８によって集光され、カラーフィルタ２を通過して、受光部で電気信号への変換が行われる。
【００５６】
本発明に係る分布屈折率レンズでは、入射光の波長によって各画素のレンズ構造を最適化することが可能であることから、入射角度による集光効率の違いはなく高効率に集光することができる。０°入射光用分布屈折率レンズでは、同心円の中心が画素中央部分にあるのに対して、入射角度が増加すると、円の中心は光の入射側にシフトしていく。
【００５７】
これは、上記（１）式に示されているように、屈折率分布の２次曲線の最大値が、入射角度ｑの増加に伴って、光入射側にシフトするためである（図１３参照）。
【００５８】
このとき、屈折率の異なる材料で構成されたレンズの構造は、画素領域に対して非対称となる（図１４参照）。さらに、図１５に示すように、屈折率の分布は周期ごとに構成材料が異なるため離散的な値をとるが、周期が入射光の波長より十分に短い場合には、散乱成分がなくなり、連続的な屈折率分布が形成される。
【００５９】
また、上記（１−３）、（２）式から明らかなように、位相変調は対象とする光の波長によって異なる。これは各画素に入射する光の色に応じて、最適なレンズ構造を持つことを意味している。本実施の形態において、波長０．４５μｍ、０．５５μｍ、０．６５μｍの光を、それぞれの色用のレンズ構造を有する画素に入射した場合、いずれも８０％程度の高い集光効率を示すことがわかっている。
【００６０】
図１６は、入射角度４０°の入射光に対する、画素中における光伝播プロファイルのシミュレーション結果を示す図である。入射光の伝播方向はレンズ通過時に曲げられ、第１の配線層（遮光層）で焦点を結び、その後受光素子まで伝播していく様子が確認できる。これは、上記（１）式に従って作製したレンズを用いることにより、光を効率よく受光素子へと伝播させることが可能であることを示唆している。
【００６１】
図１７は、本実施の形態における固体撮像装置の集光効率の角度依存性を示した図である。横軸の角度は、固体撮像装置に入射する光の角度を示しており、０°が中心部分、３０°以上が周辺画素を意味している。マイクロレンズを用いた固体撮像装置の集光効率が入射角度２０°付近の画素から急激に低下するのに対して、本発明に係る分布屈折率レンズでは、周辺画素においても、集光効率は６０％を保っている。図１７からも明らかなように、本発明に係る分布屈折率レンズは、マイクロレンズと比較して、入射光の角度依存性に強い（即ち、集光効率が入射光の角度にそれほど依存しない。）ことがわかる。これにより、入射角度の増加に伴う集光効率の低下を緩和することができることから、携帯電話用カメラ等の短焦点光学系への応用が期待できる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明に係る固体撮像装置は、デジタルビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、およびカメラ付携帯電話などに利用が可能である。
【符号の説明】
【００６３】
１    分布屈折率レンズ
２    カラーフィルタ
３    Ａｌ配線
４    電気信号伝送部
５    平坦化層
６    受光素子（Ｓiフォトダイオード）
７    Ｓｉ基板
８    半導体集積回路
９    入射光
１０    ＴｉＯ2（ｎ＝２．４３）
１１    ＳｉＮ （ｎ＝２．０）
１２    ＳｉＯ2（ｎ＝１．４５）
１３    空気（ｎ＝１．０）
１４    周期（０．２μｍ）
１５    レンズ中心
１６    位相変調
１７    第１ゾーン
１８    第２ゾーン
１９    第３ゾーン
２０    レジスト
２１    ＳｉＯ2
２２    半導体集積回路（前記２〜７によって構成）
２３    電子線描画
２４    エッチング
２５    ＴｉＯ2
２６    入射光
２７    光学レンズ
２８    固体撮像装置
２９    装置中央部の入射光
３０    装置中央部画素用分布屈折率レンズ
３１    装置周辺部の入射光
３２    装置周辺部画素用分布屈折率レンズ
３３    入射光（０°入射）
３４    入射光（α／２°入射）
３５    入射光（α°入射）
３６    ０°入射光用分布屈折率レンズ
３７    α／２°入射光用分布屈折率レンズ
３８    α°入射光用分布屈折率レンズ
５４    入射光
５５    光学レンズ
５６    固体撮像装置
５７    斜め入射光
５８    マイクロレンズ
５９    垂直入射光
６０    斜め入射光
６１    マイクロレンズ
【図１】
0004479969.tif 000005
【図２】
0004479969.tif 000006
【図３】
0004479969.tif 000007
【図４】
0004479969.tif 000008
【図５】
0004479969.tif 000009
【図６】
0004479969.tif 000010
【図７】
0004479969.tif 000011
【図８】
0004479969.tif 000012
【図９】
0004479969.tif 000013
【図１０】
0004479969.tif 000014
【図１１】
0004479969.tif 000015
【図１２】
0004479969.tif 000016
【図１３】
0004479969.tif 000017
【図１４】
0004479969.tif 000018
【図１５】
0004479969.tif 000019
【図１６】
0004479969.tif 000020
【図１７】
0004479969.tif 000021