(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１・第２・第３電極と第１・第２・第３電極集合配線との組合わせのうち少なくとも１つに接合部を設けた静電アクチュエータの製造方法であって、第１の工程として誘電体基材上の同一平面に各々平行に第１電極および第２電極および第３電極を同時に形成し、第２の工程として第１電極集合配線および第２電極集合配線を形成し、第３の工程として第２電極集合配線上に絶縁層を形成し、第４の工程として第３電極集合線を形成することを特徴とする静電アクチュエータの製造方法。
【請求項２】
第１・第２・第３電極と第１・第２・第３電極集合配線との組合わせのうち少なくとも１つに接合部を設けた静電アクチュエータの製造方法であって、第１の工程として、誘電体基材上の同一平面に各々平行に第１電極および第２電極および第３電極を形成し、第２の工程として、第２電極集合配線を形成し、第３の工程として、第２電極集合配線上に絶縁層を形成し、第４の工程として第１電極集合配線および第３電極集合線を形成することを特徴とする静電アクチュエータの製造方法。
【請求項３】
第１・第２・第３電極と第１・第２・第３電極集合配線との組合わせのうち少なくとも１つに接合部を設けた静電アクチュエータの製造方法であって、第１の工程として、誘電体基材上の同一平面に各々平行に第１電極および第２電極および第３電極を形成し、および第２電極集合配線を形成し、第２の工程として、第２電極集合配線上に絶縁層を形成し、第３の工程として第１電極集合配線および第３電極集合線を形成することを特徴とする静電アクチュエータの製造方法。
【請求項４】
第１・第２・第３電極と第１・第２・第３電極集合配線との組合わせのうち少なくとも１つに接合部を設けた静電アクチュエータの製造方法であって、第１の工程として、誘電体基材上の同一平面に各々平行に第１電極および第２電極および第３電極を形成し、および第１電極集合配線および第２電極集合配線を形成し、第２の工程として、第２電極集合配線上に絶縁層を形成し、第３の工程として第３電極集合線を形成することを特徴とする静電アクチュエータの製造方法。
【請求項５】
第１・第２・第３電極と第１・第２・第３電極集合配線との組合わせのうち少なくとも１つに接合部を設けた静電アクチュエータの製造方法であって、第１の工程として、誘電体基材上に第２電極集合配線を形成し、第２の工程として、第２電極集合配線上に絶縁層を形成し、第３の工程として、前記誘電体基材上の同一平面に各々平行に第１電極および第２電極および第３電極を形成し、および、第１電極集合配線および第３電極集合線を形成することを特徴とする静電アクチュエータの製造方法。
【請求項６】
前記静電アクチュエータの電極および、または電極集合配線を、スクリーン印刷法にて形成したことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の静電アクチュエータの製造方法。
【請求項７】
前記静電アクチュエータの電極および、または電極集合配線を、ガスデポジション法（気相堆積法）にて形成したことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の静電アクチュエータの製造方法。
【請求項８】
前記静電アクチュエータの絶縁層を、スクリーン印刷法で形成したことを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の静電アクチュエータの製造方法。
【請求項９】
前記静電アクチュエータの絶縁層を、ガスデポジション法（気相堆積法）にて形成したことを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載静電アクチュエータの製造方法。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれかに記載の製造方法で製造されたことを特徴とする静電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、静電気力を動力源とする静電アクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
静電アクチュエータは、第１電極、第２電極、第３電極を同一平面上に形成するため、集合配線の取り回しとして、多層構造をとらざるを得ない。一般的に、ビアホールを設けて多層構造を形成する製法や、特開平７−２５５１８５に記載されているような粘着層および絶縁層を介して多層化する製法が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ビアホールを設けて多層構造を形成する製法は、製造工程が複雑なため、コストが高くなってしまう。また、絶縁層を介して多層化する製法は、比較的製造工程が単純なため、低コスト化が可能であるが、第１の工程として、第１電極と第１電極集合配線と、第２電極と第２電極集合配線を同時に形成した後、第２の工程として、第２電極集合配線上に絶縁層を形成し、第３の工程として、第３電極と第３電極集合配線とを形成するやり方だと、第１電極と第３電極、および第２電極と第３電極との位置ズレが生じやすく、結果として電極ピッチの精度が悪くなり、静電モータの動特性に悪影響を与えてしまう。また、粘着層を設ける工程が余分となる。
【０００４】
本発明は上記課題を解決するためになされたもので、低コスト化が可能で電極ピッチの精度の高い静電アクチュエータを提供することにある。
【０００８】
上記目的を達成するためになされた請求項１の発明は、本発明の静電アクチュエータの製造工程を具体的に示したもので、第１の工程として、誘電体基材上の同一平面に各々平行に第１電極および第２電極および第３電極を同時に形成し、第２の工程として、第１電極集合配線および第２電極集合配線を形成し、第３の工程として、第２電極集合配線上に絶縁層を形成し、第４の工程として第３電極集合線を形成することを特徴とする。これにより、電極ピッチの高精度化や、電極材料、電極厚みの選定の自由度が増し、静電アクチュエータの特性向上が期待できる。
【０００９】
上記目的を達成するためになされた請求項２の発明は、本発明の本発明の静電アクチュエータの製造工程を具体的に示したもので、第１の工程として、誘電体基材上の同一平面に各々平行に第１電極および第２電極および第３電極を形成し、第２の工程として、第２電極集合配線を形成し、第３の工程として、第２電極集合配線上に絶縁層を形成し、第４の工程として第１電極集合配線および第３電極集合線を形成することを特徴とする。これにより、電極ピッチの高精度化や、電極材料、電極厚みの選定の自由度が増し、静電アクチュエータの特性向上が期待できる。
【００１０】
上記目的を達成するためになされた請求項３の発明は、本発明の静電アクチュエータの製造工程を具体的に示したもので、第１の工程として、誘電体基材上の同一平面に各々平行に第１電極および第２電極および第３電極を形成し、および第２電極集合配線を形成し、第２の工程として、第２電極集合配線上に絶縁層を形成し、第３の工程として第１電極集合配線および第３電極集合線を形成することを特徴とする。これにより、電極ピッチの高精度化や、電極材料、電極厚みの選定の自由度が増し、静電アクチュエータの特性向上が期待できる。
【００１１】
上記目的を達成するためになされた請求項４の発明は、本発明の静電アクチュエータの製造工程を具体的に示したもので、第１の工程として、誘電体基材上の同一平面に各々平行に第１電極および第２電極および第３電極を形成し、および第１電極集合配線および第２電極集合配線を形成し、第２の工程として、第２電極集合配線上に絶縁層を形成し、第３の工程として第３電極集合線を形成することを特徴とする。これにより、電極ピッチの高精度化や、電極材料、電極厚みの選定の自由度が増し、静電アクチュエータの特性向上が期待できる。
【００１２】
上記目的を達成するためになされた請求項５の発明は、本発明の静電アクチュエータの製造工程を具体的に示したもので、第１の工程として、誘電体基材上に第２電極集合配線を形成し、第２の工程として、第２電極集合配線上に絶縁層を形成し、第３の工程として、前記誘電体基材上の同一平面に各々平行に第１電極および第２電極および第３電極を形成し、および、第１電極集合配線および第３電極集合線を形成することを特徴とする。これにより、電極ピッチの高精度化や、電極材料、電極厚みの選定の自由度が増し、静電アクチュエータの特性向上が期待できる。
【００１３】
上記目的を達成するためになされた請求項６の発明は、電極および電極集合配線をスクリーン印刷法にて形成したことを特徴とする。静電アクチュエータの場合、微細な配線をパターンニングする必要があるが、スクリーン印刷法の場合は、エッチング処理等による不要部分の除去を必要とせずに、直接パターンニング出来るため、電極材料費の節約が可能になる。
【００１４】
上記目的を達成するためになされた請求項７の発明は、電極および電極集合配線を、ガスデポジション法（気相堆積法）にて形成したことを特徴とする。静電アクチュエータの場合、微細な配線をパターンニングする必要があるが、ガスデポジション法（気相堆積法）の場合は、エッチング処理等による不要部分の除去を必要とせずに、直接パターンニング出来るため、電極材料費の節約が可能になる。
【００１５】
上記目的を達成するためになされた請求項８の発明は、絶縁層をスクリーン印刷法で形成したことを特徴とする。静電アクチュエータの場合、微細な配線をパターンニングする必要があるが、スクリーン印刷法の場合は、エッチング処理等による不要部分の除去を必要とせずに、直接パターンニング出来るため、電極材料費の節約が可能になる。
【００１６】
上記目的を達成するためになされた請求項９の発明は、絶縁層を、ガスデポジション法（気相堆積法）にて形成したことを特徴とする。静電アクチュエータの場合、微細な配線をパターンニングする必要があるが、ガスデポジション法（気相堆積法）の場合は、エッチング処理等による不要部分の除去を必要とせずに、直接パターンニング出来るため、電極材料費の節約が可能になる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明にかかる好適な第１実施例を図１に示す。
第１電極１および第２電極２、第３電極３、第１電極の集合配線４、第２電極の集合配線５、第３電極の集合配線６の材質としては、金、銀、白金、銅、タングステン、モリブデン、ＴｉＣ、ＩＴＯなど様々な材料が使用出来る。製法としては、メッキ、ＰＶＤ、ＣＶＤ、印刷、転写など、材料に応じた製法を採用する。絶縁層７の材質としては、アルミナセラミックスやガラスなど様々な材料が使用出来る。製法としては、ＰＶＤ、ＣＶＤ、印刷、ゾルゲル法、溶射法など、材料に応じた製法を採用する。
【００１８】
図２は本発明にかかる第２実施例で、第３電極３と第３電極の集合配線６との接続部９に、ランド部１０を設けたものである。これにより、第３電極３と第３電極の集合配線６との位置合わせが容易になる。
【００１９】
図３は本発明にかかる第３実施例で、第３電極３と第３電極の集合配線６との接続部９において、電極集合配線を電極よりも細くしたものである。これにより、電極と電極集合配線との位置合わせが容易になる。
【００２０】
図４は本発明にかかる第４実施例で、電極、電極集合配線、絶縁層の形成手順を工程毎に示したものである。第１の工程として、第１電極１および第２電極２および第３電極３および第１電極集合配線４および第２電極集合配線５を形成し、第２の工程として、第２電極集合配線５上に絶縁層７を形成し、第３の工程として第３電極集合線６を形成する。
【００２１】
図５は本発明にかかる実施例５で、電極、電極集合配線、絶縁層の形成手順を工程毎に示したものである。第１の工程として、第１電極１および第２電極２および第３電極３および第２電極集合配線５を形成し、第２の工程として、第２電極集合配線５上に絶縁層７を形成し、第３の工程として第１電極集合配線４および第３電極集合線６を形成する。
【００２２】
図６は本発明にかかる実施例６で、電極、電極集合配線、絶縁層の形成手順を工程毎に示したものである。第１の工程として、第２電極集合配線５を形成し、第２の工程として、第２電極集合配線５上に絶縁層７を形成し、第３の工程として、第１電極１および第１電極集合配線４および第２電極２および第３電極３および第３電極集合線６を形成する。
【００２３】
図７は本発明にかかる実施例６で、電極、電極集合配線、絶縁層の形成手順を工程毎に示したものである。第１の工程として、第１電極１および第２電極２および第３電極３を形成し、第２の工程として、第２電極集合配線５を形成し、第３の工程として、第２電極集合配線５上に絶縁層７を形成し、第４の工程として第１電極集合配線４および第３電極集合線６を形成する。
【００２４】
図８は本発明にかかる実施例６で、電極、電極集合配線、絶縁層の形成手順を工程毎に示したものである。第１の工程として、第１電極１および第２電極２および第３電極３を同時に形成し、第２の工程として、第１電極集合配線４および第２電極集合配線５を形成し、第３の工程として、第２電極集合配線５上に絶縁層７を形成し、第４の工程として第３電極集合線６を形成する。
【００２５】
図９は従来技術における、電極、電極集合配線、絶縁層の形成手順を工程毎に示したものである。第１の工程として、第１電極１と第１電極集合配線４と、第２電極２と第２電極集合配線５を同時に形成した後、第２の工程として、第２電極集合配線５上に絶縁層７を形成し、第３の工程として、第３電極３と第３電極集合配線６とを形成する。
【００２６】
【発明の効果】
高い位置合わせ精度が要求される第１電極と第２電極と第３電極は、一つのマスク等を用いて、同時形成されており、比較的位置合わせ精度がラフな電極集合配線を別工程で形成し接合することにより、電極ピッチの高精度化や、電極材料、電極厚みの選定の自由度が増し、静電アクチュエータの特性向上が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明にかかる実施例１の平面図
【図２】  本発明にかかる実施例２の平面図
【図３】  本発明にかかる実施例３の平面図
【図４】  本発明にかかる実施例４の工程毎の平面図
【図５】  本発明にかかる実施例５の工程毎の平面図
【図６】  本発明にかかる実施例６の工程毎の平面図
【図７】  本発明にかかる実施例７の工程毎の平面図
【図８】  本発明にかかる実施例８の工程毎の平面図
【図９】  従来技術における工程毎の平面図
１…第１電極、２…第２電極、３…第３電極、４…第１電極の集合配線、５…第２電極の集合配線、６…第３電極の集合配線、７…絶縁層、８…誘電体基材、９…電極と集合配線との接合部、１０…ランド部、１１…細線部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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