(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属板上に積層するように設けられた下部ガラス層と、前記下部ガラス層上に設けられた導電層と、前記導電層上に積層するように設けられた上部ガラス層と、前記上部ガラス層上に設けられた電極を含む配線および感歪抵抗体と、略電極を除く配線および感歪抵抗体を覆うように上部ガラス層上に設けられた保護ガラス層と、前記保護ガラス層上に配設されるとともに前記配線と一端側で接続されるコンデンサおよび抵抗とを備え、前記配線の下の少なくとも一箇所に、前記上部ガラス層が設けられていない部分を設け、かつ前記上部ガラス層が設けられていない部分で、前記配線と前記導電層を接続するとともに、積層された下部ガラス層および上部ガラス層の一部に階段状に設けられている部分を設け、かつ前記階段状に設けられている部分に上下接続配線を設け、さらにコンデンサおよび抵抗の他端側と金属板とを前記上下接続配線で接続した重量センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、車両の座席下に設けられ乗員の体重の検出、あるいは各種荷重の検出に使用する重量センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種の重量センサとしては、特開２０００−１８０２５５公報に開示されたものが知られている。
【０００３】
以下、特開２０００−１８０２５５公報における従来の歪センサについて、図面を参照しながら説明する。図１０は従来の重量センサ（ストレインゲージ）の構成例を示す上面図で、図１１は、図１０の従来の重量センサのＸ−Ｘ´線断面図である。センサ１は、母材であるセンサ板（バネ材）２の上に電気絶縁のための絶縁層（下絶縁層）３が形成されている。この絶縁層３の上に配線層４が選択的に形成されている。さらに、この配線層４の上に抵抗層５が選択的に形成され、ストレインゲージが構成されている。そして、それらの保護膜としての絶縁層（上絶縁層）６が形成されている。
【０００４】
そして以上のような構成により、金属基板の上にガラス層等の絶縁層を形成し、その上に歪抵抗等の電気回路を積層形成し、重量センサが形成されていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構成では、様々な使用環境における外部の電磁界によって影響を受けやすいので、機器の回路や部品に生じるＥＭＩ（電磁界干渉）の耐力に関して十分ではないという課題を有していた。
【０００６】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、ＥＭＩ（電磁界干渉）の耐力を向上させて品質の安定化を図った重量センサを提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【０００８】
本発明の請求項１に記載の発明は、金属板上に積層するように設けられた下部ガラス層と、前記下部ガラス層上に設けられた導電層と、前記導電層上に積層するように設けられた上部ガラス層と、前記上部ガラス層上に設けられた電極を含む配線および感歪抵抗体と、略電極を除く配線および感歪抵抗体を覆うように上部ガラス層上に設けられた保護ガラス層と、前記保護ガラス層上に配設されるとともに前記配線と一端側で接続されるコンデンサおよび抵抗とを備え、前記配線の下の少なくとも一箇所に、前記上部ガラス層が設けられていない部分を設け、かつ前記上部ガラス層が設けられていない部分で、前記配線と前記導電層を接続したもので、この構成によれば、前記配線のインピーダンスが低下するため、ＥＭＩ（電磁界干渉）による電圧の変動を低減させることができ、安定した品質の重量センサを提供することができるとともに、積層された下部ガラス層および上部ガラス層の一部に階段状に設けられている部分を設け、かつ前記階段状に設けられている部分に上下接続配線を設け、さらにコンデンサおよび抵抗の他端側と金属板とを前記上下接続配線で接続したもので、この構成によれば、前記上下接続配線をスクリーン印刷により形成する際、かすれ難く、かつ断線し難くすることができ、安定した品質の重量センサを提供することができるという作用効果を有するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
以下、実施の形態１を用いて、本発明の特に請求項１〜５に記載の発明について説明する。
【００１０】
図１は本発明の実施の形態１における重量センサの上面図、図２は図１のＡ−Ａ´線断面図である。
【００１１】
図１，図２において、１１はステンレス等からなる金属板で、金具取付孔１１ａ，１１ｂおよびコネクタ取付孔１１ｃが適宜な位置に設けられている。１２は第１の下部ガラス層で、前記金属板１１上に設けられている。１３は第２の下部ガラス層で、前記第１の下部ガラス層１２上に設けられている。１４は第３の下部ガラス層で、前記第２の下部ガラス層１３上に設けられている。１５はＡｇ，Ａｕ等からなる導電層で、前記第３の下部ガラス層１４上に設けられている。１６は第１の上部ガラス層で、前記導電層１５上に設けられている。１７は第２の上部ガラス層で、前記第１の上部ガラス層１６上に設けられている。１８は第３の上部ガラス層で、前記第２の上部ガラス層１７上に設けられている。つまり前記下部ガラス層（第１の下部ガラス層１２、第２の下部ガラス層１３および第３の下部ガラス層１４）と、前記上部ガラス層（第１の上部ガラス層１６、第２の上部ガラス層１７および第３の上部ガラス層１８）との間に、前記導電層１５が設けられていることになる。１９はＡｇ，Ａｕ等からなる電極を含む配線で、前記第３の上部ガラス層１８上に適宜な回路配線として設けられている。ここで前記配線１９の下の４箇所で、前記第１の上部ガラス層１６、第２の上部ガラス層１７および第３の上部ガラス層１８がそれぞれ設けられていない部分１６ｂ，１７ｂおよび１８ｂを有し、そして前記上部ガラス層が設けられていない部分１６ｂ，１７ｂおよび１８ｂで、前記配線１９と前記導電層１５が接続されている。１９ｂは前記配線１９と同時に形成される上下接続配線で、この上下接続配線１９ｂは、後述する図８に示すように、前記第３の上部ガラス層１８上から前記第２の上部ガラス層１７、第１の上部ガラス層１６、第３の下部ガラス層１４、第２の下部ガラス層１３、第１の下部ガラス層１２を経て前記金属板１１上まで階段状に設けられている部分２５上に配設されている。２０は感歪抵抗体で、前記配線１９間に設けられている。２１は第１の保護ガラス層で、略電極を除く前記配線１９，上下接続配線１９ｂおよび感歪抵抗体２０を覆うように前記上部ガラス層１８上に形成されている。２２は第２の保護ガラス層で、前記第１の保護ガラス層２１上に形成されている。２３はコンデンサ、２４は抵抗で、この抵抗２４と前記コンデンサ２３はそれぞれ前記配線１９および上下接続配線１９ｂに接続されている。１２ａ，１３ａ，１４ａ，１５ａ，１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａ，２０ａ，２１ａは金属板１１上の四隅の８箇所に順次設けられた印刷目印、２２ａは金属板１１上の２箇所に設けられた位置目印である。
【００１２】
以上のように構成された本発明の実施の形態１における重量センサについて、次にその製造方法を図３〜図７を参照しながら説明する。
【００１３】
図３は同重量センサにおける金属板１１上に第１の下部ガラス層１２，第２の下部ガラス層１３，第３の下部ガラス層１４を順次積層形成した状態を示す上面図、図４は同重量センサにおける第３の下部ガラス層１４上に導電層１５を形成した状態を示す上面図、図５は同重量センサにおける導電層１５上に第１の上部ガラス層１６，第２の上部ガラス層１７，第３の上部ガラス層１８を順次積層形成した状態を示す上面図、図６は同重量センサにおける第３の上部ガラス層１８上に配線１９および上下接続配線１９ｂを形成した状態を示す上面図、図７は同重量センサにおける感歪抵抗体２０を形成した状態を示す上面図である。
【００１４】
図３〜図７において、１１は金属板であり、本発明の実施の形態１においては耐熱性ステンレス基板（厚み３ｍｍ）を用いた。まず、図３に示すように、前記金属板１１の上に、マザーガラスにＣｒを加えたガラスペーストを、所定パターンで印刷，乾燥，８５０℃で焼成し、厚み約２０μｍの緑色の第１の下部ガラス層１２を形成した。次に、この第１の下部ガラス層１２の上に、マザーガラスにＣｏを加えたガラスペーストを同様に印刷，乾燥，８５０℃で焼成し、厚み約２０μｍの青色の第２の下部ガラス層１３を形成した。次に、第２の下部ガラス層１３の上に再度，Ｃｒを加えたガラスペーストを印刷，乾燥，焼成し、第３の下部ガラス層１４を形成した。なお各ガラスペーストは、２００メッシュのスクリーン版を用いてスクリーン印刷した。ここで印刷されたガラスペーストパターンにメッシュ跡が残らないように、約１０分のレベリング時間後、１５０℃の乾燥機中で２０分乾燥させた。これは、着色用の元素によって、ガラス内でより少量で効果的に発色させるために、５μｍ以下の微細なものを加えたためである。元素を１０μｍ以上の大きな状態でガラスペーストに添加してしまうと、焼成後にピンホールや元素の偏析原因になることがある。そのため、本発明において、ガラス成分（着色用，マザーとも）は、全て５μｍ以下の粉体（もしくは有機金属等の樹脂状）にすることが望ましい。しかし、こうした微細なガラス粉を用いたガラスペーストは印刷後にスクリーンメッシュが残り易い。そのため、本発明の実施の形態１で説明するガラスペーストは、印刷後に少なくとも１分以上のレベリング時間とすることが望ましい。上記のようにして、３層の下部ガラス層１２，１３，１４を形成し、次に、図４に示すように、前記第３の下部ガラス層１４の上に、ＡｇまたはＡｕからなる導電層１５を、所定パターンで印刷，乾燥，焼成して形成した。次に図５に示すように、この導電層１５の上に、マザーガラスにＣｒを加えたガラスペーストを、所定パターンで印刷，乾燥，８５０℃で焼成し、厚み約２０μｍの緑色の第１の上部ガラス層１６を形成した。次に、前記第１の上部ガラス層１６の上に、マザーガラスにＣｏを加えたガラスペーストを同様に印刷，乾燥，８５０℃で焼成し、厚み約２０μｍの青色の第２の上部ガラス層１７を形成した。次に、前記第２の上部ガラス層１７の上に再度，Ｃｒを加えたガラスペーストを印刷，乾燥，焼成し、第３の上部ガラス層１８を形成した。次に、図６に示すように、前記第３の上部ガラス層１８の上に配線１９および上下接続配線１９ｂを形成し、次に、図７に示すように、感歪抵抗体２０，第１の保護ガラス層２１（図示せず），第２の保護ガラス層２２（図示せず）を形成し、前述した図１，図２に示すような重量センサを完成させた。このようにガラスペーストやガラス層に着色させることにより、安定した製造が可能になった。
【００１５】
また比較のために、これらのＣｒやＣｏ等の元素を加えることなく、市販のホウケイ酸鉛ガラス（Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2−ＰｂＯ）だけを用いて、ステンレス基板上にガラス層を３層形成した。しかし、この場合、ペーストや出来上がったガラス層が無色（もしくは無色に近い白色）であったため、印刷パターンの判別やガラス層が見分け難く、工程作業性に課題が残り、期待した歩留りや信頼性（耐アルカリ等の）は得られなかった。このため、本発明の実施の形態１に示すように重量センサとして用いるにはホウケイ酸鉛ガラス（Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2−ＰｂＯ）を基にする場合、少なくともＺｒＯ2，Ａｌ2Ｏ3，ＭｇＯ，ＣａＯ等を加えることが必要であった。また、このマザーガラスに添加する成分としてのＮａ2Ｏ，Ｋ2Ｏ，ＴｉＯ2，Ｃｒ2Ｏ3，Ｆｅ2Ｏ3，Ｃｏ2Ｏ3，ＮｉＯ，ＺｎＯ，ＢａＯ，ＰｂＯは、単一成分だけでも、ガラス層の個別分析等は可能であったが、実際の重量センサとしての特性を満足させるためには、２成分以上の組合せが必要であった。また２成分以上を組合せることにより、複数層のガラス間のマッチングが容易になるため、製品の特性を改良・改善することができる。
【００１６】
なお、前記以外の成分を含有する複数のガラス層で構成されていてもよい。
【００１７】
以上のようにして構成された本発明の実施の形態１における重量センサについて、次にその動作を説明する。
【００１８】
平板状の金属板１１の金具取付孔１１ａ，１１ｂにそれぞれ外力を受けるための取付部材（図示せず）を取付け、前記金具取付孔１１ａ側の取付部材を固定側とし、金具取付孔１１ｂ側の取付部材に外力が作用すると、この外力により、前記金属板１１が変形し、その表面に歪が発生する。この場合、前記金属板１１の変形量に比例して感歪抵抗体２０にも歪が発生する。この感歪抵抗体２０に歪が発生すると、この感歪抵抗体２０の抵抗値が変化するため、この抵抗値の変化を外部のコンピュータ（図示せず）に出力し、前記金属板１１に加わる荷重を測定するものである。
【００１９】
以上のように本発明の実施の形態１における重量センサは、金属板１１上に形成された第１の下部ガラス層１２と、前記第１の下部ガラス層１２上に形成された第２の下部ガラス層１３と、前記第２の下部ガラス層１３上に形成された第３の下部ガラス層１４と、前記第３の下部ガラス層１４上に形成された導電層１５と、前記導電層１５上に形成された第１の上部ガラス層１６と、前記第１の上部ガラス層１６上に形成された第２の上部ガラス層１７と、前記第２の上部ガラス層１７上に形成された第３の上部ガラス層１８と、前記第３の上部ガラス層１８上に形成された電極を含む配線１９および感歪抵抗体２０とを備え、前記配線１９の下の４箇所で、前記第１の上部ガラス層１６，第２の上部ガラス層１７および第３の上部ガラス層１８がそれぞれ設けられていない部分１６ｂ，１７ｂおよび１８ｂを設け、かつ前記第１の上部ガラス層１６，第２の上部ガラス層１７および第３の上部ガラス層１８がそれぞれ設けられていない部分１６ｂ，１７ｂおよび１８ｂで、前記配線１９と前記導電層１５を接続した構成としているため、前記配線１９の長さは短くなり、これにより、インピーダンスが低下することになるため、ＥＭＩ（電磁界干渉）による電圧の変動を低減させることができ、安定した品質の重量センサを提供することができるという作用効果を有するものである。
【００２０】
（実施の形態２）
以下、実施の形態２を用いて、本発明の特に請求項２に記載の発明について説明する。
【００２１】
図８は本発明の実施の形態２における重量センサの要部断面図を示したもので、図１のＢ−Ｂ´線断面図である。
【００２２】
図８に示すように、本発明の実施の形態２における重量センサは、第３の上部ガラス層１８上に形成された配線１９上に、コンデンサ２３（図示せず）および抵抗２４が自動実装により配設され、そして前記コンデンサ２３（図示せず）および抵抗２４の一端側と前記配線１９の電極とを接続するとともに、前記コンデンサ２３（図示せず）および抵抗２４の他端側と金属板１１とをそれぞれはんだ２６により接続したものである。
【００２３】
以上のように本発明の実施の形態２における重量センサは、本発明の実施の形態１で説明したように、第１の上部ガラス層１６，第２の上部ガラス層１７および第３の上部ガラス層１８が形成されていない部分１６ｂ，１７ｂおよび１８ｂで、前記配線１９と前記導電層１５が接続されていることにより、前記コンデンサ２３（図示せず）および抵抗２４が前記導電層１５と前記金属板１１との間に接続されることになるため、ＥＳＤ（静電気放電）の耐力を向上させることができ、安定した品質の重量センサを提供することができるという作用効果を有するものである。
【００２４】
（実施の形態３）
以下、実施の形態３を用いて、本発明の特に請求項３に記載の発明について説明する。本発明の実施の形態３における重量センサは、図８に示すように構成しているもので、すなわち、第１の下部ガラス層１２上に第２の下部ガラス層１３を、一部が小さく階段状になるように設ける。次に、前記第２の下部ガラス層１３上に第３の下部ガラス層１４を、同じ部分の一部がさらに小さく階段状になるように設ける。次に、前記第２の下部ガラス層１３上に第３の下部ガラス層１４を、同じ部分の一部がさらに小さく階段状になるように設ける。そして上記と同様に第１の上部ガラス層１６，第２の上部ガラス層１７，第３の上部ガラス層１８も階段状になるように設ける。以上のように第１の下部ガラス層１２上に順次積層された第２の下部ガラス層１３，第３の下部ガラス層１４，第１の上部ガラス層１６，第２の上部ガラス層１７および第３の上部ガラス層１８は一部が階段状になるように設けられ、そしてこの階段状に設けられている部分２５上に前記第３の上部ガラス層１８から金属板１１まで上下接続配線１９ｂを設け、かつコンデンサ２３（図示せず）および抵抗２４の他端側と前記金属板１１とを前記上下接続配線１９ｂで接続したものである。
【００２５】
以上のように本発明の実施の形態３における重量センサは、前記第１の下部ガラス層１２，第２の下部ガラス層１３，第３の下部ガラス層１４，第１の上部ガラス層１６，第２の上部ガラス層１７および第３の上部ガラス層１８の一部が階段状に設けられている部分２５上に、上下接続配線１９ｂを設け、かつコンデンサ２３（図示せず）および抵抗２４の他端側と金属板１１とを前記上下接続配線１９ｂで接続しているため、前記上下接続配線１９ｂをスクリーン印刷により形成する際、印刷の段差変化を緩やかにすることができ、これにより、かすれ難く、かつ断線し難くすることができるため、安定した品質の重量センサを提供することができるという作用効果を有するものである。
【００２６】
（実施の形態４）
以下、実施の形態４を用いて、本発明の特に請求項４に記載の発明について説明する。
【００２７】
図９は本発明の実施の形態４における重量センサの金属板上の印刷目印および位置目印を示す部分拡大図である。
【００２８】
図９に示すように、本発明の実施の形態４における重量センサは、図８に示した第１の下部ガラス層１２，第２の下部ガラス層１３，第３の下部ガラス層１４，導電層１５，第１の上部ガラス層１６，第２の上部ガラス層１７，第３の上部ガラス層１８，配線１９，感歪抵抗体２０（図示せず）および第１の保護ガラス層２１が、それぞれ積層して設けられる際、同時に、前記第１の下部ガラス層１２，第２の下部ガラス層１３，第３の下部ガラス層１４，導電層１５，第１の上部ガラス層１６，第２の上部ガラス層１７，第３の上部ガラス層１８，配線１９，感歪抵抗体２０（図示せず）および第１の保護ガラス層２１から分離された印刷目印１２ａ，１３ａ，１４ａ，１５ａ，１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａ，２０ａおよび２１ａを、それぞれ前記金属板１１上の四隅の８箇所に順次設けるようにしたものである。
【００２９】
以上のように本発明の実施の形態４における重量センサは、第１の下部ガラス層１２，第２の下部ガラス層１３，第３の下部ガラス層１４，導電層１５，第１の上部ガラス層１６，第２の上部ガラス層１７および第３の上部ガラス層１８がそれぞれ設けられる際、同時に、前記第１の下部ガラス層１２，第２の下部ガラス層１３，第３の下部ガラス層１４，導電層１５，第１の上部ガラス層１６，第２の上部ガラス層１７および第３の上部ガラス層１８から分離された印刷目印１２ａ，１３ａ，１４ａ，１５ａ，１６ａ，１７ａおよび１８ａを、それぞれ前記金属板１１上に順次設けるようにしているため、何層のガラス層および導電層が形成完了している状態であるか肉眼での判別が容易となり、これにより、工程管理上のコストを低減させることができ、また、ガラス層および導電層をスクリーン印刷する際、位置決めの目印に使用することができるため、安定した品質の重量センサを安価に提供することができるという作用効果を有するものである。
【００３０】
なお、前記配線１９，感歪抵抗体２０および第１の保護ガラス層２１が、それぞれ設けられる際、同時に、前記配線１９，感歪抵抗体２０および第１の保護ガラス層２１から分離された印刷目印１９ａ，２０ａおよび２１ａを設けるようにしてもよい。
【００３１】
（実施の形態５）
以下、実施の形態５を用いて、本発明の特に請求項５に記載の発明について説明する。
【００３２】
図８に示すように、第３の上部ガラス層１８上に配線１９が設けられた後、感歪抵抗体２０（図示せず）が設けられ、次に、略電極を除く前記配線１９，上下接続配線１９ｂおよび感歪抵抗体２０（図示せず）を覆うように前記第３の上部ガラス層１８上に、第１の保護ガラス層２１が設けられ、その後、前記第１の保護ガラス層２１上に第２の保護ガラス層２２が設けられるが、本発明の実施の形態５における重量センサは、図９に示すように、前記第２の保護ガラス層２２が設けられる際、同時に、前記第２の保護ガラス層２２から分離された位置目印２２ａを前記金属板１１上の２箇所に設けるようにしたものである。
【００３３】
以上のように本発明の実施の形態５における重量センサは、第３の上部ガラス層１８上に設けられた配線１９および感歪抵抗体２０（図示せず）と、略電極を除く前記配線１９および感歪抵抗体２０（図示せず）を覆うように前記第３の上部ガラス層１８上に設けられた第１の保護ガラス層２１と、前記第１の保護ガラス層２１上に設けられた第２の保護ガラス層２２とを備え、前記第２の保護ガラス層２２が設けられる際、同時に、前記第２の保護ガラス層２２から分離された位置目印２２ａを前記金属板１１上に設けるようにしているため、コンデンサ２３（図示せず），抵抗２４等の回路部品を自動実装する場合、前記位置目印２２ａを、位置を認識する際の目印に使用することができ、これにより、製造工程や管理工程を低コスト化できると共に、安定した品質の重量センサを安価に提供することができるという作用効果を有するものである。
【００３４】
【発明の効果】
以上のように本発明の重量センサは、金属板上に積層するように設けられた下部ガラス層と、前記下部ガラス層上に設けられた導電層と、前記導電層上に積層するように設けられた上部ガラス層と、前記上部ガラス層上に設けられた電極を含む配線および感歪抵抗体と、略電極を除く配線および感歪抵抗体を覆うように上部ガラス層上に設けられた保護ガラス層と、前記保護ガラス層上に配設されるとともに前記配線と一端側で接続されるコンデンサおよび抵抗とを備え、前記配線の下の少なくとも一箇所に、前記上部ガラス層が設けられていない部分を設け、かつ前記上部ガラス層が設けられていない部分で、前記配線と前記導電層を接続したもので、この構成によれば、前記配線のインピーダンスが低下するため、ＥＭＩ（電磁界干渉）による電圧の変動を低減させることができ、安定した品質の重量センサを提供することができるとともに、積層された下部ガラス層および上部ガラス層の一部に階段状に設けられている部分を設け、かつ前記階段状に設けられている部分に上下接続配線を設け、さらにコンデンサおよび抵抗の他端側と金属板とを前記上下接続配線で接続したもので、この構成によれば、前記上下接続配線をスクリーン印刷により形成する際、かすれ難く、かつ断線し難くすることができ、安定した品質の重量センサを提供することができるという効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態１における重量センサの上面図
【図２】  図１のＡ−Ａ´線断面図
【図３】  同要部である金属板上に第１，第２，第３の下部ガラス層を形成した状態を示す上面図
【図４】  同要部である第３の下部ガラス層上に導電層を形成した状態を示す上面図
【図５】  同要部である導電層上に第１，第２，第３の上部ガラス層を形成した状態を示す上面図
【図６】  同要部である第３の上部ガラス層上に配線および上下接続配線を形成した状態を示す上面図
【図７】  同要部である感歪抵抗体を形成した状態を示す上面図
【図８】  本発明の実施の形態２〜５における重量センサの要部を示す図１のＢ−Ｂ´線断面図
【図９】  本発明の実施の形態４，５における重量センサの金属板上の印刷目印および位置目印を示す部分拡大図
【図１０】  従来の重量センサの上面図
【図１１】  図１０のＸ−Ｘ´線断面図
【符号の説明】
１１  金属板
１２  第１の下部ガラス層
１２ａ  印刷目印
１３  第２の下部ガラス層
１３ａ  印刷目印
１４  第３の下部ガラス層
１４ａ  印刷目印
１５  導電層
１５ａ  印刷目印
１６  第１の上部ガラス層
１６ａ  印刷目印
１６ｂ  第１の上部ガラス層が設けられていない部分
１７  第２の上部ガラス層
１７ａ  印刷目印
１７ｂ  第２の上部ガラス層が設けられていない部分
１８  第３の上部ガラス層
１８ａ  印刷目印
１８ｂ  第３の上部ガラス層が設けられていない部分
１９  配線
１９ｂ  上下接続配線
２０  感歪抵抗体
２１  第１の保護ガラス層
２２  第２の保護ガラス層
２２ａ  位置目印
２３  コンデンサ
２４  抵抗
２５  階段状に設けられている部分
【図１】
0004529337.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004529337.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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