(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の製造において用いられるレチクル用検出／クリーニング装置であって、前記検出／クリーニング装置は、
クリーニングチャンバーがその中に構成されたクリーニングユニットを有し、前記クリーニングチャンバーは第１端部及び第２端部を有し、前記第２端部の近傍にある圧縮液体クリーニング媒体導入用の少なくとも１つのガス供給部が前記クリーニングチャンバーへ通じ且つ前記ガスが前記クリーニングチャンバーから放出され得る少なくとも１つの吸引手段が前記クリーニングチャンバーから通じるように構成されており、前記クリーニングチャンバーは前記第１端部に第１開口部を有しかつ前記第２端部に第２開口部を有しており、前記少なくとも１つの吸引手段は前記第１開口部の近傍にあり、
前記検出／クリーニング装置はさらに、半導体製造において用いられる品物の汚染を検出する検出ユニットを備え、前記検出ユニットは前記第２開口部の直後に配されており、前記検出ユニットは検出手段を有し、前記検出手段の中へレチクルが前記検出ユニットの１つの導入側から導入され、
前記検出／クリーニング装置はさらに、送り装置を備えており、前記送り装置は、前記送り装置に載置されたレチクルを、前記第１開口部から前記クリーニングチャンバーに導入し、次に前記第２開口部を通って前記検出ユニットの前記導入側から導入することを特徴とする検出／クリーニング装置。
【請求項２】
前記送り装置が唯一の運動軸を備えていることを特徴とする請求項１記載の検出／クリーニング装置。
【請求項３】
前記送り装置が線形運動の唯一の軸を備えていることを特徴とする請求項２記載の検出／クリーニング装置。
【請求項４】
開口部を前記クリーニングチャンバーについて対向する両側の各々に設けて、レチクルが入力及び出力によって両方の開口部を介して前記クリーニングチャンバーへ導入され得ることを特徴とする請求項１記載の検出／クリーニング装置。
【請求項５】
前記開口部の１つが、レチクル導入用の前記検出ユニットのハウジングの凹所の真反対にあることをさらに特徴とする請求項４記載の検出／クリーニング装置。
【請求項６】
前記送り装置が移動可能な保持部を有し、前記保持部の中でレチクルがクランプに配置され、前記レチクルが該１つのクランプ締めだけで前記検出ユニット及び前記クリーニングチャンバーの両方へ導入され得ることを特徴とする請求項１記載の検出／クリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子部品製造において用いられるレチクル用検出／クリーニング装置に関する。この装置は起こり得る汚染と損傷についてレチクルを検査する検出ユニットとレチクルから汚染物質を除去するクリーニングユニットとを備える。
【背景技術】
【０００２】
露出マスク（フォトマスクまたはレチクルとも称される）は、その特定の構造がフォトケミカル処理によって部品の基板上に生成され得ることを用いて、例えば、チップやメモリモジュールなどの電子部品の製造に用いられる。これらの構造はミクロメータまたはたとえナノメータの範囲においてでも導体のトラックを有しており、基板及び／またはフォトマスクの最小の汚染でさえ不良品、即ち、品質要求に合致しない製品に通じるので、最高度の清浄が要求される。それゆえ、かかる部品の製造はクリーンルームまたは超クリーンルーム下で行われる。フォトマスクを機械的損傷及び汚染から守るために、それらはカセット内または気密密閉マガジン内において保存され処理される。
【０００３】
より大きな粒子は容易に検出され除去され得る。例えば、１０μｍから２０μｍの大きさの粒子などのより小さな粒子が今まで大変多額の費用を使って除去することができたということに問題がある。これに対して、半導体製造において用いられる品物、または対応する部品またはそれらの開始生産物を液体で洗浄するクリーニング処理が開発された。一方では、これらのクリーニング処理は不可欠な装置または器具の構成のために相対的に多額の費用を必要とする。レチクルがこのような器具の通常は別々の部品に置かれ且つそこから取り出されなければならないという事実もここに含まれる。他方では、用いられる洗浄液が再処理されるかまたはきれいな液体と取り替えられなければならない。
【０００４】
そのため、クリーニングがガス状の媒体を用いて実施される様々なクリーニング処理がすでに開発されてきている。このことの例は、米国特許Ａ  ６，０５５，７４２において示されたレチクルクリーニング装置であって、クリーニングチャンバーの上側領域にガス送り装置とレチクル内にドア装置及び送り用の搬送装置が設けられている。かかる装置は、設計のせいでレチクルがクリーニングチャンバー内の所定の場所に固定されていて、レチクルの片側だけをきれいにすることが可能であるので、第２面用の第２のクリーニング装置が設けられるべきときに大きな設置面積という不利な点が生じる。
【０００５】
同じ出願人による特許ＷＯ  ０２／０１２９２  Ａ１は、従って、レチクル検査用の検出装置を示す。この装置は保存装置と統合されている。これと空間的に別個のクリーニング装置がクリーニングチャンバーを有し、その中で、レチクルの両側をイオン化ガスを用いて同時にきれいにし得る。クリーニングチャンバーから検出装置へレチクルを搬送するために、レチクルが３つの異なる送り装置を通過し、その際１つの送り装置から次の送り装置へその都度搬送されなければならない。
【０００６】
欧州特許庁から入手したＪＰ  Ａ  ０３［１９９１］１５５，５５０に関する日本国の特許の要約において、クリーニング装置が開示されている。それはフォトマスクの汚染が検出装置によって検出されるときに用いられる。このために、汚染されたフォトマスクがノズルの下でＸ−Ｙキャリッジによって適当な位置に置かれる。ノズルを介して、窒素ガスを汚染に局部的にだけ向けて汚染を除去する。次に、検出が再び実施されて、汚染が実際に除去されたかどうかが判定される。しかしながら、いくらかの粒子を除去するには多くの時間を必要とするという事実がこの装置の不利な点とみなされ得る。さらに、粒子がフォトマスクの別の場所に戻るという危険がここでは大きい。最終的には、少なくとも２つの運動軸がクリーニング装置だけのために必要とされる。
【０００７】
本質的に、同じ不利な点がＪＰ  Ａ  ０４［１９９２］１５１，１５３に同様に当てはまる。装置及び対応する処理がここで説明され、その中で、動作の走査モードにおいて、圧縮ガスがチェックされるべき半導体製品の片面上に処理され、半導体製品における欠陥と後者の汚染粒子との間で機能的条件において識別される。
【０００８】
最後に、ＪＰ  Ａ  ０６［１９９４］１６８，８６４も簡単なクリーニング装置を示し、その中で、少なくとも２つの運動軸がレチクルをクリーニングチャンバーへ送るためにだけ必要とされる。クリーニングチャンバー内で、窒素がガスシャワーによってレチクルの片面上へ吹きかけられる。それによって、ほこりがその面から除去され、同時に蓄積された電荷が窒素ガスによって表面から除去される。
【０００９】
半導体製品用の洗浄及びクリーニング装置が米国特許Ａ  ４，７１５，３９２から公知である。その中では、異質の粒子をレチクルの表面からクリーニング液で洗浄する。後に、半導体製品を異質の粒子についての検査装置に移動させ、次に、必要があれば、１つの洗浄及びクリーニング装置へ戻される。これらの動作に対して、少なくとも４つの異なる送り装置が設けられる。
【００１０】
ここに、汚染のせいで形成された不良品を半導体部品の製造において可能な限り費用をかけずに減じ得る手段を設けるという目的に基づく本発明のゴールするところがある。本発明の１つの特徴によれば、可能なわずかな床スペースが本発明による装置に必要とされ、効果的にクリーニングを実行することが可能である。
【００１１】
電子部品の製造において用いられるレチクル検出／クリーニング装置によって、本発明による目的が達成される。この装置はクリーニングユニットを有し、クリーニングユニットの中にクリーニングチャンバーが構成され、圧縮液クリーニング媒体を導入する少なくとも１つのガス供給がクリーニングチャンバーへ通じており、ガスをクリーニングチャンバーから放出し得る少なくとも１つの吸引手段がクリーニングチャンバーから通じている。クリーニングチャンバーはレチクルを導入し且つ取り除く少なくとも１つの第１の開口部を有している。さらに、検出／クリーニング装置は半導体製造において用いられる品物の汚染を検出する検出ユニットを備え、このため、検出ユニットは検出手段を有して、それにレチクルが検出ユニットの１つの送り側から導入されてもよく、クリーニングチャンバーの第１の開口部及び送り側が互いに反対にあることを特徴とする。検出／クリーニング装置の送り装置がクリーニングユニットと検出ユニットとの間でレチクルを交換するためにもっぱら設けられている。
【００１２】
従って、本発明は、空間において互いに可能な限り近くにクリーニングユニットと検出ユニットとを配置するという概念に基づいている。先行技術によるレチクル取り扱い器具では、これらの構造的部品はいつも互いに分離されている。それゆえ、レチクルを２つの構造的部品の一方からもう一方へその都度搬送するために、いくつかの送り装置及び／またはいくつかの運動軸を備えた送り装置が、一般に、なお必要とされてきた。
【００１３】
本発明によれば、汚い粒子のクリーニング及び検出を、組み合わされた取り扱い動作とみなす。汚い粒子が検出されると、そのとき、クリーニングユニット内でレチクルのクリーニングがすぐに行われるべきである。次に、検出を残りの汚い粒子に対してもう１度実行し、前のクリーニング動作が成功しているかどうかを判定することが望ましい。従って、それぞれのレチクルが検出ユニットとクリーニングユニットとの間で１回または数回交換されるべきであるならば、これらの構造的部品が互いに出来る限り近くにあるべきである。
【００１４】
大変短い搬送パスを介して、２つの構造的部品の間の非生産的な取り扱い及びそれ自体において、時間の損失を避けることができる。さらに、これによって決定されるコンパクトな構造がコスト集約的な床スペースを節約する。最終的に、互いに密接している２つの構造的部品の配置によって、さらなる利点として、設計が簡単な送り装置の使用も提供する。
【００１５】
搬送に必要な範囲が短くなればなるほど、本発明による好適な送り装置をますます利用し得る。この装置は唯一の運動軸を有する。
【００１６】
好適実施例では、クリーニングチャンバーがハウジング上または検出ユニットのラックに搭載される。このように、部品、即ち、検出ユニット及びクリーニングユニットが互いに分離されており、互いに相互に害しないが、それでもなお特に短い取り扱いパスを生じる。
【００１７】
係る検出／クリーニング装置がレチクル取り扱い装置においてさらなる機能ユニット（例えば、レチクル保存装置など）と統合されると、検出／クリーニング装置は２，３の取り付けポイントだけを介して取り扱い装置のラック上に配置され得る。各々の個々の部品の取付け及び整列をこの方法で避けることができる。レチクルが検出ユニットからクリーニングユニットへまたはその逆に搬送される送り装置でさえ、クリーニングユニット及び／または検出ユニット上に配置し得る。従って、取り扱い装置へのその統合に必要な建設の費用も避けることができる。
【００１８】
さらに本発明の好適実施例は独立請求項、明細書、及び図面から生じる。
【００１９】
本発明は以下に示す図面において概略的に示される実施例に基づいてより詳細に説明される。
【好適実施例の詳細説明】
【００２０】
本発明によるレチクル取り扱い装置１は、例えば、メモリモジュール及びプロセッサなどの電子部品製造プラントへの統合用のいわゆる「スタンドアロン」装置として提供されており、図１及び図２に示される。取り扱い装置には基本的に密閉されたハウジング２が備えられて、ハウジング２によって封じ込められた空間内でクリーンルーム状態を維持する役目をする。ハウジングの覆い部分は、図面を明瞭にするために図１及び図２に示されていない。クリーンルーム状態を生成するために、取り扱い装置はクリーンルーム状態生成手段を備えてもよい。クリーンルーム状態生成手段は、それ自体が以前から公知であって、以降にはより詳細に説明されない。ハウジングの１つの外側に、入力ステーション３が配置され、より詳細には示されない取り扱い装置１の制御装置と接続される。
【００２１】
ハウジング２は取り扱い装置のラック４に取り付けられる。ラックはプロファイルされた管５から基本的に形成される。プロファイルされた管５は、取り扱い装置の付加的なプロファイルされた管または他の構成部品のいずれかの取り付けについての様々な可能性を提供する。このために、プロファイルされた管５には所定の場所に凹所が設けられることが望ましく、その中にねじまたは他の固定手段が配置され得る。凹所のかわりに、所定の場所に配置される他の受け止め手段または固定手段を設けることも可能であることは明らかである。
【００２２】
この設計は構造に関して簡単な方法でモジュール設計に寄与しており、モジュール設計は、所定の一組の機能ユニットから機能ユニットの組の一部をその都度選択し、それらをラックに統合することによって、様々なレチクル取り扱い装置の組み立てを可能にする。このように、ラック４もモジュラー方式として構成されるべきであり、基本的に、限定された数の、異なるプロファイル５及び結合要素から成っている。以下において、取り扱い装置の多くの可能な構造であってその各々が同じシステムに属する構造のうちのいくつかを説明する。
【００２３】
モジュール方式の態様はまた、個々の機能ユニットを、既存のレチクル取り扱い装置１から全体的または部分的に取り除くことができるかまたはレチクル取り扱い装置１へ全体的または部分的に取り付けることができるという事実を含む。機能ユニットを取り付けまたは取り外すために、それぞれのレチクル取り扱い装置とのそれらの機械的及び電気的インタフェースにおいて、機能ユニットはそれぞれのレチクル取り扱い装置と単に接続されるかまたは単に分離されるべきである。このことは、例えば、修理、維持または他の機能ユニットとの次の置き換えのためになされ得る。
【００２４】
入力／出力ステーション７のいくつかのパネル６がハウジング２の前面へ統合される。パネル６の各々は、それ自体同様にモジュールである入力／出力ユニット８に属する。それぞれのパネル６の開口部９の１つのエッジは、レチクルの搬送用に設けられた搬送用ボックスの各々のタイプの外形に少なくとも大体対応する外形を備える。開口部９は、それぞれの入力／出力ユニットに対して設けられた搬送用ボックスが対応する開口部９を介して導入され得るような方法で形づくられる。一例として、可能な密閉された搬送用ボックス１０が図３に示され、開いた搬送用ボックス１０の下部１１にあるレチクル１２が図４に示されている。図５が示すように、さらに、パネルは自閉フラップ１５を備える。従って、対応する開口部９を介して取り扱い装置の中へ粒子が侵入する危険はレチクルの導入または除去の短い時間にだけ存在する。
【００２５】
構造上異なった高さで、引き出すことが可能なドロア１６、１７が、図１の入力／出力ステーション７の付加的入力／出力ユニット８の構成部品として示される。これらのドロア１６、１７の各々を用いて、例えば、１つ以上のレチクルを収容することができるより大きな搬送用ボックスでさえも、取り扱い装置１へ挿入することができる。図面を明瞭にするため、これら２つの入力／出力ユニット８のパネルは図１には示されない。
【００２６】
さらに、図１及び図２の取り扱い装置も、ハウジング２内に配置された折り曲げアームロボットの形で取り扱い装置１８を有する（図１０も参照せよ）。水平面で動作する折り曲げアーム１９は、垂直Ｚ軸で動作するよう配置されており、詳細には示されていない。このように、ロボットの動作範囲は、取り扱い装置１の特に機能ユニットである個々の構成部品の配置に合わせて細かく調整され、ロボットはどの機能ユニットからもレチクル１２を受け取って別の機能ユニットにそれらを移すことができる。折り曲げアームロボットには、以下により詳細に説明される把持部が設けられ、取り扱い装置内部での搬送の間把持部を用いてレチクル１２を受け取って保持することができる。
【００２７】
図１に示された実施例では、入力／出力ステーションのすぐ下に配置された検出／クリーニング装置２０が別の機能ユニットとして設けられている。この装置は図１ではハウジング２によって隠されているが、図６では認識できる。検出及びクリーニング装置の別の可能な実施例が同じ出願人によるＷＯ  ０２／０１２９２  Ａ１に示されている。
【００２８】
図２による取り扱い装置について特に平面図においてわかるように、各々の機能ユニットは他の機能ユニットから空間的に分離されている。このことも個々の機能ユニットにおける交換可能性及び係合を容易にする。
【００２９】
本実施例に示された入力／出力ステーション７の構造の詳細が、図６と一緒に図５の部分図から得られる。それによると、入力／出力ステーション７は、外側に動いて取付フレーム２２を形成するドア２１を有する。凹所２９は、特定の基本グリッドサイズを備えた垂直ストリップ２５上の取付フレーム２２上で間隔をあけられて、凹所２９に入力／出力ユニット８のパネル６が取り外し可能に取り付けられ得る。
【００３０】
図５に示されるように、フレームに部分的にだけ挿入される入力／出力ユニット８’は、パネル６を有し、その開口部９は搬送用ボックスの特定のタイプに合わせて細かく調整された外形を有する。入力／出力ユニットはさらに断面が基本的に長方形の２つの側面部２６を備える。その中で、入力／出力ユニットの駆動ユニットが配置され、とりわけ搬送用ボックスに対する開閉メカニズムを含んでいる。側面部２６によって、入力／出力ユニットの各々は、取付フレーム２２のコンパートメントの所定の場所に取り外し可能に挿入されて固定される。このコンパートメントの形状は入力／出力ユニットの大きさに対応される。電流供給及び制御のための電気的接続（電気的インタフェース）に関して、入力／出力ステーションはその都度同じプラグ接続を介して取り扱い装置へ接続され得る。このため、各々の入力／出力ユニットは、図６ａでわかるように、標準化されたいわゆるＶＩＰＡモジュール２６ａを備える。入力／出力ユニットのＶＩＰＡモジュール２６ａは常に同じプラグコネクタ２６ｂを有し、それを用いてそれぞれの入力／出力ユニットを取り扱い装置１の中央制御装置に１つのケーブル（図示せず）だけを介して簡単な方法で接続し得る。ドロア１６、１７はまた取付フレーム２２（図６）のコンパートメントへ挿入される。さらに、ドロア１６、１７は、例えば、家具の引き出しなどの原理で以前から公知であるような、さらに詳細には示されない入力／出力メカニズムを有する。
【００３１】
側面部２６の幅及び深さが毎回、互いに関する距離同様に、すべての入力／出力ユニットに対してパネル６の前部開口部９と同じに保持される。それらの高さだけが、様々な搬送用ボックスに合わせてパネルの高さを調整するために変化し得る。しかしながら、高さにおける変化は、基本グリッドサイズの自然数の倍数においてだけなされ得る。
【００３２】
パネル６の幅はすべてのパネルについて同じである。それらの高さに関して、パネル６はパネルの基本グリッドサイズＢの自然数の倍数において変化し得る。このビルディングブロックモジュール構造も、本発明による取り扱い装置の入力／出力ステーション７が、様々な方法で構成され、各々の場合においてそれぞれの要求に合致されることを可能にする。さらに、例えば、それぞれの入力／出力ステーションの未使用の挿入コンパートメントにおいて、新しいタイプの搬送用ボックスに対して、大変簡単な方法で、入力／出力ユニット８、８’をその後組み込むことも可能にする。
【００３３】
図１に示された第１の構成例においてのように、示されていない第２の構成例においても、空間が、その各々が基本グリッドサイズＢに高さが対応している最小構造高さを有している最大１２個の入力／出力ユニット８に対して設けられる。図１と異なり、ここでは、１２の入力／出力ユニット８が実際に設けられる。これら１２の入力／出力ユニット８は１つのタイプの搬送用ボックスにだけ適合し得る。替わりに、入力／出力ユニットが少なくとも２つの異なるタイプの搬送用ボックスに対して提供されるということが設けられてもよい。
【００３４】
同様に示されていない、同じレチクル取り扱い装置１の入力／出力ステーション７の第３の構成例において、３つの上側の入力／出力ユニット８が構造において同一であり、よって同じタイプの搬送用ボックスに対して順に提供されてもよい。同じことが下方の次の２つの入力／出力ユニット８に当てはまる。それらは同様に１種類の搬送用ボックスのためだけだが、取り扱い装置の入力／出力ユニットによって受け入れられ得る搬送用ボックス以外の異なる搬送用ボックスに提供される。いわゆるＳＭＩＦモノポッド搬送用ボックスに対して設けられた入力／出力ユニット８ａが、よって構造上互いに同じである。これらの入力／出力ユニットの各々が構造的高さを有しており、それは基本グリッドサイズＢの２倍に相当する。
【００３５】
次の入力／出力ユニット８ｂがいわゆるＳＭＩＦマルチポッドに提供され、基本グリッドサイズＢの５倍に相当する構造的高さを有している。完全に密閉されたパネル６’で覆われた空のコンパートメントが、２つの入力／出力ユニット８ａと８ｂとの間にある。パネル６’の高さは基本グリッドサイズに対応する。構成例のすべてにおいて、入力／出力ステーションの全体の構造的高さは同じで１２の基本グリッドサイズＢに対応する。入力／出力ユニットが互いに任意に組み合わされてもよいことがこれらの構成例からわかる。
【００３６】
特定の構造に関係なく、フォトセンサが各入力／出力ステーションにおいて配置され、搬送用ボックスがそれぞれの入力／出力ユニット８、８ａ、８ｂ内の最終位置を占めるかどうかを検出する。この場合には、センサの対応する信号により、そのとき取り扱い装置１の制御装置が搬送用ボックスの自動開口メカニズムを起動する。さらに、同時にまたはそれ以前に、入力／出力ステーションの前面開口部がそれぞれの前面フラップ１５（図５）を用いて密閉され得る。前面フラップ１５は詳細に示されていないレバーに接続され得る。
【００３７】
レチクル搬送用ボックスを開く装置は、例えば、米国マサチューセッツ州チェルムスフォードのブルックスプリオートメーション株式会社のコロラド及びザリスまたはその前権利者の製品ガーディアン・レチクル・ストッカーによって、先行技術においてそれ自体公知である。この種の開口メカニズムを入力／出力ユニットに対して原理上用いることができる。
【００３８】
図３及び図４に示されたタイプの搬送用ボックス１０では、開口処理では、搬送用ボックス１０の下部１１と覆い１３との間の留め金をはずす。それらは互いに離されて、下部１１に配置されたレチクル１２がアクセス可能にされる。
【００３９】
とりわけ図１及び図６に示されているドロア１６を備えた入力／出力ユニットが、いわゆるＳＭＩＦモノポッド搬送用ボックス１０ａを開閉する取り扱い装置の内側に設けられる。かかる標準化されたＳＭＩＦモノポッド搬送用ボックス１０ａの下部１１ａ及び覆い１３ａが図７及び図８に示されている。水平方向に長手方向に移動され得るドロアは、例えば、上記に名前をあげた会社であるブルックスプリオートメーション株式会社の製品ＳＭＩＦリーンロボットＳＬＲ１５０またはエルゴスピードで実施されるように、このＳＭＩＦ搬送用ボックスを開く、それ自体が以前から公知のメカニズムを有する。米国の会社アシストテクノロジー株式会社によって販売されている製品ＳＭＩＦ−ＬＰＴ２１５０の開口メカニズムがちょうど原理に適している。ドロア１６はフレームの内部に配置されたプレート３４（図１）を備え、ＳＭＩＦボックス１０ａがこのプレート上に配置される。ドロア１６が入力／出力ステーションへ押し動かされ、ＳＭＩＦ搬送用ボックス１０ａの下部１１ａがプレート３４にボルトで固定されると、プレート３４が、下部１１ａ及びその上に見られるレチクル（図８には示されず）と共に下げられる。その一方、覆い１３ａは固定された位置にとどまっている。従って、それぞれのレチクルがドロアの後側３５またはハウジング２の内側にある入力／出力ステーションから把持部へアクセスすることができる（図６を同様に参照せよ）。
【００４０】
搬送用ボックスの別のタイプ１０ｂが図９に示されており、ボックスを開くためにボックスの１つの前面フラップだけが外側へ動く。このことから、ボックス１０ｂに配置されたレチクル１２も同じくアクセス可能にする。この搬送用ボックスを開閉するために、この種の搬送用ボックスに適合する入力／出力ユニットが入力／出力ステーション７に設けられる。
【００４１】
それぞれの開口メカニズムの実際の構成に関わらず、取り扱い装置の中央制御装置も、さらに、以下により詳細に説明される把持部の挿入を調整する。把持部によって、レチクルがつかまれて機能ユニットに搬送される。
【００４２】
図１０により詳細に示されている一般的なレチクル把持部が、３連結の折り曲げアームロボットとして構成された取り扱い装置１８上に配置される。折り曲げアームロボットの全ての回転軸は互いに平行に動く。取り扱い装置１８のグリップ部分２４が折り曲げアーム１９の自由端上に位置し、一方、係止部２３が折り曲げアーム１９のプラットフォーム２７上に固定される。図１１の詳細な図は、グリップ部分が、同一で互いに平行に位置あわせされて互いに対して固定されている２本のロッド２８を有していることを示す。ここでロッド２８はグリップ部分２４においてグリップ部分の阻止面２８ｂと直角に取り付けられる。図１１に示された実施例では、ロッド２８の断面は本質的に丸く、断面はそれぞれ直径約４ｍｍを有する。他の断面の形状を同様に基本的に用いてもよいことは明らかである。
【００４３】
ロッド２８の長さＬSが標準サイズのレチクルに適用され、それらの自由な長さは、ロッド２８に平行な方向のレチクルの側面エッジの長さ（長さＬR）より短い（図１１）。ロッドの長さＬSはレチクルの長さＬRより小さいが長さＬRの半分より大きい値を有するべきである。このことによって、把持部が様々な搬送用ボックスからレチクルを取り除くのに特にうまく適合する。
【００４４】
さらに、上方を示すカム２８ａも前端及び後端の両方の領域において各々のロッド２８上に配置される。これらのカムはレチクルへの支持として設けられる（図１１及び図１２）。
【００４５】
レチクルがつかまれると、グリップ部分２４上のレクチルの位置が前側での阻止面２８ｂとの接触により前もって決定され得る。モーター電流はグリップ部分２４とレチクルとの間の接触で増加する。モーター電流をモニタすることによって、取り扱い装置１８の制御によるかかる増加を検出することができ、その後対応する駆動動作が停止され得る。移動運動のこの限界の替わりにまたはそれに加えて、図示されない接近センサが設けられて、それを用いてレチクルが阻止面２８ｂの領域にあるかどうかの判断がなされてもよい。
【００４６】
図１０に示された取り扱い装置１８の係止部２３が、グリップ部分２４の垂直位置に関して同じ高さに配置される。それは二股の受信メンバ３７を有し、互いに平行に並べられたその２つの側面部３８が、レチクルの幅よりほんのわずかだけ大きい距離を有する。２つの側面部３８の各々において、ロッド３９が配置され、ロッド３９自体の長手軸の周りに回転することができ、ロッド３９の自由端上に回転レバー４０が備えられる。回転レバー４０の各々は２つの最終位置へ回転することができる。開いた最終位置において、それぞれの回転レバー４０が２つの側面部の間の領域を開放する。最終の系止位置において、２つの回転レバー４０は互いの方に回転され、よって受け取りメンバを阻止する。
【００４７】
交差補補強材４１が両方の側面部３８に配置されて、２つの側面部３８の間のレチクルの挿入長さを限定する。図１６で最もよくわかるように、スイッチ４２が両方の側面部上で交差補強材４１の後端の領域に配置される。スイッチ４２がグリップ部分２４によって作動されると、ロッド３９を長手軸の周りに回転させる。このように、側面部３８に配置されたローラー４５（図１４を参照せよ）が、反対側にある側面部の方向に何ミリメータか傾き、２つの回転レバー４０をそれらの元の開いた最終位置（図１４）から系止最終位置（図１５）へ回転させる。
【００４８】
レチクル１２を把持するために、２つのロッド２８がそのグラス基板の下でレチクルの１つの前側から移動し、ロッドがロッドの間でレチクルの基部１２ａを把持することができる。把持部のこの送り運動は図１１に示される。グリップ部分２４が阻止面２８ｂによってレチクルの前側に接触するとすぐに、駆動動作を生成する折り曲げアームロボットの電気モーターの電流消費が増加する。本実施例では、これが折り曲げアームロボットの制御部が送り運動を停止させる基準として用いられる。
【００４９】
Ｚ軸に沿って次の移動運動によって、そのときレチクル１２が持ち上げられ得る。このようにレチクル１２は、図１３に示したように、２つのロッド２８のカム２８ａ上でそのグラス基板１２ｂの下側に位置する。従って、グリップ部分２４は把持部の係止部２３へ挿入される。レチクル１２が、グリップ部分２４の本質的にレチクル線上の移動運動によって受け取りメンバへ２つの側面部３８の間に挿入される。この移動運動は全ての３つの回転連結の調整された回転運動によって実施され得る。
【００５０】
グリップ部分２４がこの方法で交差補強材の下に達して２つのスイッチと接触するとすぐに、ロッド３９及び回転レバー４０がそれらの係止最終位置へ動かされる。ローラー４５は、基本的に同時に外側へ押しつけられる。即ち、受け取りメンバへ押しつけられる。このようにローラー４５はその横の面によってローラーの間でレチクル１２をクランプで固定するだけでなく、このように側面部３８の間でレチクル１２を中心に置く。この最終位置において、グリップ部分２４がこのように受け取りメンバ３７において２つのロッドを用いて位置を定められる。レチクル１２はこの処理の間ロッド２８上にずっとあって、把持部によって取り扱い装置内で搬送される準備が出来ている。
【００５１】
レチクル１２を特定の場所に再び下ろすために、正確な順序が逆に実施される。回転レバー４０の方向へのグリップ部分２４の運動によってスイッチ４２が解放される。このことがローラー４５によるレチクル１２のクランプ締めの解放をもたらす。さらに、回転レバー４０が受け取りメンバも解放するので、レチクルは、ロッド３９に平行に動くグリップ部分２４の運動によって係止部２３の中から導かれ得る。
【００５２】
本発明による図１の取り扱い装置の検出／クリーニング装置２０と称される機能ユニットが図１７、１８及び１９に詳細に示される。この１つの機能ユニットはラック４の入力／出力ステーション７の下に取り付けられる。検出／クリーニング装置２０も、図１８に示したクリーニングチャンバー４６を有し、その中へ送り装置４７によってその都度レチクル１２が第１開口部４８を通って導入され、クリーニングチャンバー４６を介して処理され、クリーニングチャンバー４６の他端における第２の開口部４９を介して再び取り出され得る。クリーニングチャンバー４６では、クリーニングチャンバー４６の１つの後端領域において送り方向に、１つ以上の空気の流れの形で１つ以上のノズル５１から純粋な空気または純粋な窒素を送ることが可能である。レチクル１２にわたって処理される純粋な空気が、レチクル上に位置を定められる汚れた粒子を取り込む。挿入スロットの近くにあるレチクルの両側に配置された少なくとも１つの吸引チャネル５２を介して、純粋な空気がクリーニングチャンバー４６から再び排出される。
【００５３】
詳細に示されていないイオン化された要素が、ノズル５１とそれぞれの引き込みチャネル５２との間で流れの方向に配置される。このことが、空気の流れのイオン化によって停電を分解するかまたは防ぐ。さらに、クリーニング用に設けられた装置２０のその部分の構成図は、ＷＯ  ０２／０１２９２  Ａ１で開示された装置と本質的に同じである。
【００５４】
検出ユニット５５はクリーニングチャンバーのすぐ後に配置される。図１７及び図１８でわかるように、クリーニングチャンバー４６は検出ユニット５５のハウジング５６に固定され得る。後者は挿入ギャップ５７を備えたハウジングを有する。２つの開口部４８、４９及び挿入ギャップ５７は同じ高さにあり、互いにぴったり重なる。本実施例と関連して用いられる検出ユニット５５は、２つの光源５８及び２つのフォトセンサ５９を備え、それらによってレチクルの上側に亘って基本的に平行に通る光５８ａの散乱の大きさを測定し得る。この大きさの測定によって、残よ汚染の程度またはレチクル１２の下側及び上側６１に位置づけられる汚れた粒子６０の大きさに関する結論を出すことが可能になる。この種の検出ユニットの機能原理が図１９に示され、ＷＯ  ０２／０１２９２  Ａ１において詳細に説明されている。ＷＯ  ０２／０１２９２の開示された内容は，その中で説明されるクリーニングチャンバー及び検出装置の構造図及び動作モードに関連して、参照としてここに組み込まれている。
【００５５】
図１８によれば、送り装置の搭載位置はクリーニングチャンバーの第１開口部のすぐ前に位置する。レチクルと共に搭載され得る送り装置４７のキャリッジ６２は、基本的にＵ字型である。レチクル１２は、グリップ部分２４の水平移動によってキャリッジの挿入開口部６３の中へのキャリッジ６２へ挿入され得る。キャリッジ６２は、ベアリングアーム６４に固定されており、駆動運動によって矢印５０に沿って前後へ移動することができる。移動運動の長さは、クリーニングチャンバーのすぐ前の図１８に示された搭載位置から検出ユニット５５の内部の検出位置まで及ぶ。後者の位置では、レチクル１２が検出ユニットのハウジング内に完全に配置される。
【００５６】
挿入ギャップ５７の方向へキャリッジを水平移動運動することによって、同じ移動装置の継続によってクリーニングチャンバーにおけるそのクリーニング後に、検出ユニット５５の中へレチクル１２を導入することが可能になる。このため、キャリッジ６２の移動運動方向を変更する必要さえない。クリーニングチャンバー４６と検出ユニット５５とへレチクルを導入する間、他の取り扱いステップを実施する必要がない。このようにして、１つの移動運動だけで、かつ１つのクランプ締め処理だけによって、クリーニングユニット及び検出ユニットの両方へレチクルを導入することが可能になる。
【００５７】
第２のレチクル取り扱い装置７０が図２０に示され、これは図１のレチクル取り扱い装置と同じシステムに属する。図２０の実施例は、基本モジュールとして、図１の完全なレチクル取り扱い装置１を有する。しかしながら、ハウジング２の壁の対応部分は２つの側面で取り除かれ、「ストッカーモジュール」と称される機能ユニットの実施例の第１の例が所定の場所に設置される。ストッカーモジュール７１はラック拡張部７４を有し、それは基本モジュールのラック部分４の所定の位置上へ取り付けられる。ラック拡張部７４の外側も図２０の場合には密閉されているハウジング７２の部分を含み、取り扱い装置７０の内側でクリーンルームの空気を生成し維持することが可能になる。
【００５８】
棚ユニット７３がラック延長部７４の内側で２つの同心円形状に配置される。相互に同一のこれらの棚ユニット７３の各々は、コンパートメントを有していて、それらは互いの上に垂直に重ねられており、詳細に示されておらず、各々にレチクルが中間に在って保存され得る。円の各々は、もう一方の円から独立して回転することができるように形成され得る。このように、個々の棚ユニットがアクセス可能な位置へ運ばれ、そこで反対側にある取り扱い装置１８が各々のコンパートメントへレチクルを配置し、またはそこからレチクルを取り除くことができる。
【００５９】
ストッカーモジュールも、基本モジュールのもう１つの隣接する側に互いに隣接して配置される３つの他の棚ユニット７３を有する。これらの棚ユニットも取り扱い装置１８のアクセス可能な領域内にある。
【００６０】
図２１は、同じシステムに属する取り扱い装置８０の別の構成を示す。この構成も図１及び図２において示されているように、基本モジュールに基づいている。ここで、同様に、ラック延長部８１が、所定のねじ接続の形式で機械的インタフェースを介して基本モジュールのラック部分４上で取り外し可能な方法で導入される。さらに、ストッカーモジュールが詳細に示されていない電気的インタフェースを介して基本モジュールに且つ特に、取り扱い装置の制御装置に接続される。図２１のストッカーモジュールにおいて、図２０においてより少ない数の棚ユニットが利用されるが、これらは原理において同じものである。しかしながら、図２１の実施例では、棚ユニットが基本モジュールの１つのコーナーの周りに配置される。
【００６１】
図２２も同様に、本発明による取り扱い装置９０の別の実施例を示す。この例も同じ基本モジュールに基づいており、基本モジュールの機能を拡張するストッカーモジュール９１の別の変化形を有する。前と同じように、図２０ですでに示された棚ユニット７３がラック延長部９２に配置され、それはインタフェースを介して同じ基本モジュールのラック部分４に固定される。この実施例では、棚ユニット７３が取り扱い装置１８の領域において基本モジュールの１つの長手側に沿って搭載される。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明によるレチクル操作装置の透視図である。
【図２】図のレチクル取り扱い装置の平面図である。
【図３】先行技術による搬送用ボックスの密閉状態である。
【図４】図３の搬送用ボックスの開いた状態である。
【図５】本発明による入力／出力ステーションの部分透視図である。
【図６】本発明による図１の取り扱い装置の開いた状態の透視図である。
【図６ａ】入力／出力ユニットの後からの透視図である。
【図７】ＳＭＩＦモノポッド形式の密閉された搬送用ボックスである。
【図８】図７の搬送用ボックスの開いた状態である。
【図９】開いた前面フラップを備えたさらなる搬送用ボックスタイプである。
【図１０】本発明によるレチクル取り扱い装置の透視図である。
【図１１】図１２のレチクル取り扱い装置のレチクルを把持する直前のグリップ部分である。
【図１２】図１１のラインＸＩＩに沿ったグリップ部分の詳細図である。
【図１３】レチクルと共に図１１のグリップ部分の詳細図である。
【図１４】図１０の取り扱い装置の係止部の透視図である。
【図１５】把持部がロック部分へ挿入される透視図である。
【図１６】下からの把持部の透視図である。
【図１７】本発明による図１の取り扱い装置の検出／クリーニングユニットの透視図である。
【図１８】図１７の機能ユニットのクリーニング部分の断面透視図である。
【図１９】図１７の機能ユニットの検出部分の可能な機能原理である。
【図２０】同じシステムに属する本発明による別の取り扱い装置である。
【図２１】同じシステムに属する本発明による別の取り扱い装置である。
【図２２】同じシステムに属する本発明による別の取り扱い装置である。
【図１】
0004477495.tif 000002
【図２】
0004477495.tif 000003
【図３】
0004477495.tif 000004
【図４】
0004477495.tif 000005
【図５】
0004477495.tif 000006
【図６】
0004477495.tif 000007
【図６ａ】
0004477495.tif 000008
【図７】
0004477495.tif 000009
【図８】
0004477495.tif 000010
【図９】
0004477495.tif 000011
【図１０】
0004477495.tif 000012
【図１１】
0004477495.tif 000013
【図１２】
0004477495.tif 000014
【図１３】
0004477495.tif 000015
【図１４】
0004477495.tif 000016
【図１５】
0004477495.tif 000017
【図１６】
0004477495.tif 000018
【図１７】
0004477495.tif 000019
【図１８】
0004477495.tif 000020
【図１９】
0004477495.tif 000021
【図２０】
0004477495.tif 000022
【図２１】
0004477495.tif 000023
【図２２】
0004477495.tif 000024