(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
管状の流体通路又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路とが同心状に形成されて開口する第１流体給排口部を備えた第１流体デバイスの前記第１流体給排口部と、管状の流体通路又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路とが同心状に形成されて開口する第２流体給排口部を備えた第２流体デバイスの前記第２流体給排口部とを、それぞれの複数の流体通路が相対応され、かつ、各流体通路がシールされる状態で連通接続すべく、前記第１流体給排口部と前記第２流体給排口部の間に介在される複数のリング状ガスケット部が備えられ、
前記各リング状ガスケット部の夫々は、前記第１流体給排口部に当接してシールする二次シール部を形成するための周壁端部、及び前記第１流体給排口部の前記流体通路の外径側部分に形成される第１環状突起に嵌合して一次シール部を形成するための第１環状溝を有する第１シール部と、前記第２流体給排口部に当接してシールする二次シール部を形成するための周壁端部、及び前記第２流体給排口部の前記流体通路の外径側部分に形成される第２環状突起に嵌合して一次シール部を形成するための第２環状溝を有する第２シール部と、を有して略Ｈ形の断面形状を呈するとともに、
前記各リング状ガスケット部の夫々には、前記第１流体給排口部の流体通路と前記第２流体給排口部の流体通路とを連通するための流体経路とが形成され、
前記複数のリング状ガスケット部のうちの径方向で隣合うものどうしを連結して一体化すべく、前記流体経路を横切る状態で配置されるブリッジ部が設けられ、
前記第１流体給排口部と第２流体給排口部とが互いに引寄せられて、前記各第１環状突起と前記各第１環状溝とが、及び前記各第２環状突起と前記各第２環状溝とがそれぞれ嵌め合わされた接合状態においては、前記各第１環状突起と前記各第１環状溝、及び前記各第２環状突起と前記各第２環状溝がそれぞれ径方向に圧接されての嵌合シール部が形成自在に構成されている流体用ガスケット。
【請求項２】
前記ブリッジ部の断面が、前記流体経路の軸心方向に沿う寸法が前記軸心に対する周方向に沿う寸法よりも大となる形状に設定されている請求項１に記載の流体用ガスケット。
【請求項３】
前記ブリッジ部が、前記流体経路における流体の流れ方向を変更可能なスクリュー形状に形成されている請求項１又は２に記載の流体用ガスケット。
【請求項４】
前記ブリッジ部が、前記流体経路における流体の流れに旋回運動を付与可能とすべく渦巻状に形成されている請求項１〜３の何れか一項に記載の流体用ガスケット。
【請求項５】
前記ブリッジ部の前記流体経路の軸心に沿う方向の厚みが、前記リング状ガスケット部における前記第１環状溝と前記第２環状溝との夫々の溝底で挟まれる連結部分の前記流体経路の軸心に沿う方向の厚み以下の値に設定され、かつ、前記ブリッジ部は、前記流体経路の軸心方向において前記連結部分に相対応する位置に形成されている請求項１〜４の何れか一項に記載の流体用ガスケット。
【請求項６】
前記各環状溝を形成すべく前記第１及び第２シール部のそれぞれにおける前記流体経路の軸心方向に突出形成された内及び外周壁の端部には、前記第１及び第２流体給排口部の端部における前記環状突起の内及び外径側のそれぞれに形成される支え部との協働により、前記内及び外周壁の端部が前記環状溝と前記環状突起との嵌合に起因して拡がり変形することを抑制又は阻止するための拡張規制部が形成されている請求項５に記載の流体用ガスケット。
【請求項７】
前記拡張規制部は、前記接合状態においては前記支え部に圧接されてシール部を形成するように構成されている請求項６に記載の流体用ガスケット。
【請求項８】
前記拡張規制部は、前記支え部と前記環状突起とで囲まれて断面形状が奥窄まり状となる谷部に入り込み自在な先窄まり状の断面形状を有する前記内及び外周壁の端部である周壁端部で構成されるとともに、前記接合状態においては前記周壁端部に形成されるテーパ周面が、前記支え部における前記環状突起側のテーパ周面に圧接される状態に構成されている請求項７に記載の流体用ガスケット。
【請求項９】
前記略Ｈ形の断面形状が、前記流体経路の軸心方向に沿う中心線、及び、その中心線に
直交する中心線の双方に関して線対称となるものに設定されている請求項５〜８の何れか一項に記載の流体用ガスケット。
【請求項１０】
フッ素樹脂で形成されている請求項１〜９の何れか一項に記載の流体用ガスケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主として流体デバイスどうしの接続部に用いられる流体用ガスケットに係り、詳しくは、半導体製造や医療・医薬品製造、食品加工、化学工業等の各種技術分野の製造工程等で取り扱われる高純度液や超純水、或いは洗浄液の配管系等における集積パネル、ポンプ、バルブ、アキュムレータ、フィルタ等の流体デバイスどうしをシール状態で連通接続させるために介装される流体用ガスケットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の流体用ガスケットとして、例えば、流体デバイスの一例であるバルブと、流体通路が内部形成された集積パネルとを一対の給排流路どうしを連通させて接続連結する構造部分に採用されるものがあり、特許文献１や特許文献２において開示された接続構用のガスケットが知られている。特許文献１で開示される流体用ガスケットは、互いに近接させて配列され、複数のボルトで液密に接続連結される一対の給排流路の間に介装されるものであって、互いに独立した複数のガスケットから成るものである。特許文献２で開示される流体用ガスケットは、互いに近接させて配列され、単一の外ねじナットを用いて接続連結される一対の給排流路の間に介装されるものであって、一対の流路孔を有した単一のガスケットとして構成されている。
【０００３】
特許文献１や２に開示されている流体用ガスケットは、いずれも多数の流体機器を流体ブロックに集積させて取付ける構造、いわゆる集積配管構造を採る接続構造に用いられるものであり、これは配管系全体のコンパクト化やモジュール化を可能とさせる点で有用なものである。そこで、コンパクト化やモジュール化をさらに促進させるには、流体デバイス単品の小型化は勿論であるが、その流体デバイス自体のコンパクト化が実現されたその次には、集積パネルと流体デバイスといった具合に流体デバイスどうしの接続構造のコンパクト化に寄与するガスケットが必要になってくると予測される。
【特許文献１】特開２００１−８２６０９号公報
【特許文献２】特開平１０−１６９８５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、本発明の目的は、上述した利点を有する集積パネルを用いた配管系における集積化の促進に寄与できる等、流体デバイスどうしの接続構造のさらなるコンパクト化を可能とさせる流体用ガスケットを実現して提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に係る発明は、流体用ガスケットにおいて、
管状の流体通路３又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路４とが同心状に形成されて開口する第１流体給排口部１Ａを備えた第１流体デバイス１の前記第１流体給排口部１Ａと、管状の流体通路７又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路８とが同心状に形成されて開口する第２流体給排口部２Ａを備えた第２流体デバイス２の前記第２流体給排口部２Ａとを、それぞれの複数の流体通路３，４，７，８が相対応され、かつ、各流体通路３，４，７，８がシールされる状態で連通接続すべく、前記第１流体給排口部１Ａと前記第２流体給排口部２Ａの間に介在される複数のリング状ガスケット部Ｇ１，Ｇ２が備えられ、
前記各リング状ガスケット部Ｇ１，Ｇ２の夫々は、前記第１流体給排口部１Ａに当接してシールする二次シール部Ｓ２を形成するための周壁端部５２，５３，６２，６３、及び前記第１流体給排口部１Ａの前記流体通路３，４の外径側部分に形成される第１環状突起２１，４１に嵌合して一次シール部Ｓ１を形成するための第１環状溝５１，６１を有する第１シール部ｇ１２，ｇ２２と、前記第２流体給排口部２Ａに当接してシールする二次シール部Ｓ２を形成するための周壁端部５２，５３，６２，６３、及び前記第２流体給排口部２Ａの前記流体通路７，８の外径側部分に形成される第２環状突起１１，３１に嵌合して一次シール部Ｓ１を形成するための第２環状溝５１，６１を有する第２シール部ｇ１１，ｇ２１と、を有して略Ｈ形の断面形状を呈するとともに、
前記各リング状ガスケット部Ｇ１，Ｇ２の夫々には、前記第１流体給排口部１Ａの流体通路３，４と前記第２流体給排口部２Ａの流体通路７，８とを連通するための流体経路ｗ１，ｗ２とが形成され、
前記複数のリング状ガスケット部Ｇ１，Ｇ２のうちの径方向で隣合うものどうしを連結して一体化すべく、前記流体経路ｗ１，ｗ２を横切る状態で配置されるブリッジ部Ｂが設けられ、
前記第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとが互いに引寄せられて、前記各第１環状突起２１，４１と前記各第１環状溝５１，６１とが、及び前記各第２環状突起１１，３１と前記各第２環状溝５１，６１とがそれぞれ嵌め合わされた接合状態においては、前記各第１環状突起２１，４１と前記各第１環状溝５１，６１、及び前記各第２環状突起１１，３１と前記各第２環状溝５１，６１がそれぞれ径方向に圧接されての嵌合シール部１０が形成自在に構成されていることを特徴とするものである。
【０００６】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の流体用ガスケットにおいて、前記ブリッジ部Ｂの断面が、前記流体経路ｗ２の軸心Ｐ方向に沿う寸法Ｈｂが前記軸心Ｐに対する周方向に沿う寸法Ｓｂよりも大となる形状に設定されていることを特徴とするものである。
【０００７】
請求項３に係る発明は、請求項１又は２に記載の流体用ガスケットにおいて、前記ブリッジ部Ｂが、前記流体経路ｗ２における流体の流れ方向を変更可能なスクリュー形状に形成されていることを特徴とするものである。
【０００８】
請求項４に係る発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載の流体用ガスケットにおいて、前記ブリッジ部Ｂが、前記流体経路ｗ２における流体の流れに旋回運動を付与可能とすべく渦巻状に形成されていることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項５に係る発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載の流体用ガスケットにおいて、前記ブリッジ部Ｂの前記流体経路ｗ２の軸心Ｐに沿う方向の厚みＨｂが、前記リング状ガスケット部Ｇ１，Ｇ２における前記第１環状溝５１，６１と前記第２環状溝５１，６１との夫々の溝底で挟まれる連結部分Ｒの前記流体経路ｗ２の軸心Ｐに沿う方向の厚みＨｒ以下の値に設定され、かつ、前記ブリッジ部Ｂは、前記流体経路ｗ２の軸心Ｐ方向において前記連結部分Ｒに相対応する位置に形成されていることを特徴とするものである。
【００１０】
請求項６に係る発明は、請求項５に記載の流体用ガスケットにおいて、前記各環状溝５１，６１を形成すべく前記第１及び第２シール部ｇ１２，ｇ２２，ｇ１１、ｇ２１のそれぞれにおける前記流体経路ｗ２の軸心Ｐ方向に突出形成された内及び外周壁の端部５２，５３，６２，６３には、前記第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの端部における前記環状突起２１，４１，１１，３１の内及び外径側のそれぞれに形成される支え部２２，２３，１２，１３，４２，４３，３２，３３との協働により、前記内及び外周壁の端部５２，５３，６２，６３が前記環状溝５１，６１と前記環状突起２１，４１，１１，３１との嵌合に起因して拡がり変形することを抑制又は阻止するための拡張規制部Ｋが形成されていることを特徴とするものである。
【００１１】
請求項７に係る発明は、請求項６に記載の流体用ガスケットにおいて、前記拡張規制部Ｋは、前記接合状態においては前記支え部２２，２３，１２，１３，４２，４３，３２，３３に圧接されてシール部Ｓ２を形成するように構成されていることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項８に係る発明は、請求項７に記載の流体用ガスケットにおいて、前記拡張規制部Ｋは、前記支え部２２，２３，１２，１３，４２，４３，３２，３３と前記環状突起２１，４１，１１，３１とで囲まれて断面形状が奥窄まり状となる谷部２４，２５，１４，１５，４４，４５，３４，３５に入り込み自在な先窄まり状の断面形状を有する前記内及び外周壁の端部である周壁端部５２，５３，６２，６３で構成されるとともに、前記接合状態においては前記周壁端部５２，５３，６２，６３に形成されるテーパ周面５２ａ，５３ａ，６２ａ，６３ａが、前記支え部２２，２３，１２，１３，４２，４３，３２，３３における前記環状突起側のテーパ周面２２ａ，２３ａ，１２ａ，１３ａ，４２ａ，４３ａ，３２ａ，３３ａに圧接される状態に構成されていることを特徴とするものである。
【００１３】
請求項９に係る発明は、請求項５〜８の何れか一項に記載の流体用ガスケットにおいて、前記略Ｈ形の断面形状が、前記流体経路ｗ２の軸心Ｐ方向に沿う中心線Ｚ、及び、その中心線Ｚに直交する中心線Ｘの双方に関して線対称となるものに設定されていることを特徴とするものである。
【００１４】
請求項１０に係る発明は、請求項１〜９の何れか一項に記載の流体用ガスケットＧがフッ素樹脂で形成されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１の発明によれば、各リング状ガスケット部の一端部である第１シール部及び他端部である第２シール部と各流体給排口部とが夫々当接してシールされるので、各流体デバイスどうしがシール状態で連通接続されるようになる。このように、二以上の流体通路を同心状に多重配管することにより、複数の流体通路を独立して配列する構造に比べて接続構造部分のコンパクト化を図ろうとするに役立つ流体用ガスケットを得ることができる。例えば、半導体製造設備における洗浄装置の配管系統にこのような接続構造を用いれば、良好なシール性を確保し得ながら装置の占有面積を減少できてコスト上有利であるとともに、大流路が確保されることによって循環流量を多くし、薬液の高純度化を高めて歩留まり向上に寄与できるという効果を奏することが可能である。
【００１６】
そして、流体経路を横切る状態で配置されるブリッジ部によって、内外複数のリング状ガスケット部のうちの径方向で相隣るものどうしが連結一体化されて、部品としては単一のガスケットに構成されているから、例えば、各リング状ガスケット部が独立していて複数のガスケットを用いる手段に比べて、組付けに要する手間や時間を削減できるとともに、部品数が少なくなる分、ガスケットを紛失する可能性を低くすることができるようにもなる。また、組付状態ではガスケットは流体給排口部に圧入される等、密着嵌合していることからその取外し作業が難しい傾向にあるが、本発明の流体用ガスケットでは、ブリッジ部を摘んで引張るといった具合に、ブリッジ部の存在を利用して簡単で容易に取外し作業を行うことができる。
【００１７】
その結果、種々の利点を有する集積パネルを用いた配管系における集積化の促進に寄与できる等、流体デバイスどうしの接続構造のさらなるコンパクト化を可能とさせる流体用ガスケットを、ブリッジ部によって複数のリング状ガスケット部が一体化されて単一の部品となり、組付け、取外し作業の容易化や効率化が図れる好ましい状態のものとして提供することができる。
【００１８】
そして、第１，２流体給排口部にそれぞれに形成された環状突起と、各リング状ガスケット部の第１シール部及び第２シール部にそれぞれ形成された環状溝とが互いに嵌り合って嵌合シール部を形成するので、第１，２流体給給排口部間からの液漏れを阻止できて優れたシール性を得ることが可能になる。そして、維持手段によって、両流体給排口部どうしが互いに引寄せられて各リング状ガスケット部によってシールされた接合状態を維持できるので、流体デバイスどうしが液漏れなく良好なシール性を確保し得る状態を長期に亘って維持可能となり、流体デバイスどうしの接続構造を信頼性に優れるものにできる流体用ガスケットを提供することができる。
【００１９】
ところで、凹に凸を挿入しての嵌合構造においては、例えこれら両者が互いに同じ材質のものであっても、凸側の部材は殆ど変化（圧縮変形）せず、凹側の部材が拡がり変形する傾向のあることが一般に知られている。そこで、本請求項１においては、流体デバイスに凸である環状突起を、かつ、流体用ガスケットに凹である環状溝を形成する構成としてあるので、クリープや経時変化によって変形するのは、流体デバイスに比べて小さな部品である流体用ガスケット側であって流体デバイス側は殆ど変形しないから、流体用ガスケットを交換することで長期に亘って良好なシール性能を維持し得る利点が廉価に実現できる効果がある。
【００２０】
加えて、流体用ガスケットの内外に流体通路が形成されることとなる中間のリング状ガスケット部においては、その内周部だけでなく、外周部も流体経路の壁面に兼用される構造となるので、内外で隣り合う流体通路の間隔は中間のリング状ガスケット部の厚みだけとなって、複数の流体通路を極力径方向に近づけて配置することが可能になり、流体デバイスどうしの接続構造部分の一層のコンパクト化が可能となる利点がある。その結果、複数の流体通路を同心状に配列して接続させる流体デバイスどうしの接続構造に好適な流体用ガスケットを実現できたことにより、モジュール化やコンパト化に有利な流体デバイスの集積化を促進するに寄与できるとともに、良好なシール性能を長期に亘って維持できて信頼性に優れ、しかも流体デバイスどうしの接続構造のさらなるコンパクト化を可能とする効果を奏することができる。
【００２１】
請求項２の発明によれば、流体経路を横切るブリッジ部が流体の流れの抵抗（妨げ）となり難い断面形状とすることができ、ブリッジ部が流体の流れに悪影響を与えることが殆どない状態として請求項１の発明による前記作用や効果を得ることができる。
【００２２】
請求項３の発明によれば、スクリュー形状に形成されているブリッジ部を通ることにより、流体の流れ方向を変更したり捩ったりする機能が生じるので、例えば、その先の管路が大きく曲るとか、管路内壁に凹凸があるような場合には、それら曲り部や凹部に流体の掻き回し作用を生じさせてそれらの部分に流体が滞ることを解消させ、良好な流れ状況が得られる効果が期待できる流体用ガスケットを提供することができる。
【００２３】
請求項４の発明によれば、水等の流体が管路内を旋回運動しながら流れている場合には、その流れに沿う形状のブリッジ部となって流れに与える抵抗を減じることが可能になる。
【００２４】
請求項５の発明によれば、各リング状ガスケット部における連結部分を基本とする環状突起の径方向への変位の妨げとならないようにしてあり、それによってブリッジ部の有無に拘らずに優れたシール性が維持されるようになっている。もし、ブリッジ部の厚みが連結部分の厚みよりも厚いと、内径側リング状ガスケット部の外側の環状突起と外径側リング状ガスケット部の内側の環状突起とが剛結されたような状態に近付き、ブリッジ部付近だけ径方向への移動が行い難くなってシール性に悪影響を与えるおそれがあるからである。
【００２５】
請求項６の発明によれば次のような作用効果がある。前述したように、凹凸嵌合においては凹側が広がり変形し易い傾向があるから、それは即ち本発明においては環状溝を形成するために流体用ガスケットに形成される内外の周壁端部が拡がり変形することを意味している。そこで、その周壁端部の拡がり変形を抑制又は阻止する拡張規制部が各リング状ガスケット部に設けられているから、周壁端部の拡がり変形が解消又は軽減されて環状突起と環状溝とが強い圧接力でもって嵌合でき、これら両者の嵌合による優れたシール機能を所期どおりに発揮させることができる。しかも、拡張規制部によって周壁端部が剛性不足であるときにはそれを補うことが可能であるから、拡張規制部を有さない場合に比べて流体用ガスケットの周壁端部の厚みを薄くすることも可能となり、流体用ガスケットの幅寸法を小さくして、同心状に配列される複数の流体通路の全体径のコンパクト化、つまりは流体デバイスどうしの接続構造のさらなるコンパクト化も可能である。
【００２６】
請求項７の発明によれば、流体デバイスどうしの接合状態においては、第１及び第２流体給排口部の環状突起と、各リング状ガスケット部の第１シール部又は第２シール部の環状溝との圧接によるシール部が形成されるので、それによってよりシール性に優れる嵌合シール部が構成され、シール性能に優れる流体デバイスどうしの接続構造を実現する流体用ガスケットが可能になる。
【００２７】
請求項８の発明によれば、接合状態においては、第１及び第２流体給排口部の環状突起と、各リング状ガスケット部の第１シール部又は第２シール部の環状溝との嵌合部分の内径側及び外径側に、第１及び第２流体給排口部のテーパ周面と各リング状ガスケット部のテーパ周面とが圧接される構成が存在しており、それらテーパ周面どうしの当接により、接続構造部分のコンパクト化とシール性能向上との双方の効果を得ることができる。加えて、テーパ周面どうしを当接させる構造であるから、各流体デバイスと各リング状ガスケット部とを強く押し付けるに従って圧接力が増し、上記コンパクト化及びシール性能向上の効果をより強化できるという利点があり、それによってテーパ周面どうしの間における液溜りの生じない接続構造とすることが可能となる流体用ガスケットが提供できる。
【００２８】
請求項９の発明によれば、各リング状ガスケット部が上下左右に線対称となって断面が略Ｈ型のものに形成されるので、例えば非対称形状のものに比べて流体用ガスケットの製作が容易化されるとともに、各流体デバイスに嵌合される場合のバランス（強度バランス、組付けバランス）に優れたものにできる。
【００２９】
請求項１０の発明によれば、流体用ガスケットが耐薬品性及び耐熱性に優れた特性を有するフッ素系樹脂で形成されているので、流体が薬液であるとか化学液体であっても、或いは高温流体であっても接続構造部分が変形して漏れ易くなることがなく、良好なシール性が維持できるようになる。尚、フッ素系樹脂は、水素原子の一個以上をフッ素で置換したエチレンおよびその誘導体の重合によって得られる樹脂状物質であり、高温にも安定で、撥水性に優れる。また摩擦係数が小さく、耐薬品性もきわめて高く、電気絶縁性も高い点で好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下に、本発明による流体用ガスケットの実施の形態を、集積パネルと流体デバイスとの接続構造に適用された例について図面を参照しながら説明する。図１，２は集積パネルと流体デバイスとの接続構造を示す全体図と要部断面図、図３は第１リング状ガスケット部と第１流体給排口部との詳細な嵌合構造を示す要部の断面図、図４〜図６（ａ）は実施例１の流体用ガスケットを示す各図、図６（ｂ），（ｃ）はブリッジ部の別断面形状を示す断面図、図７は集積パネルと流体デバイスとの別接続構造を示す全体図、図８，９は別構造の維持手段の半欠截断面図と組付説明図、図１０，１１は実施例２による流体用ガスケットの平面図とブリッジ部の断面図である。
【００３１】
〔実施例１〕
図１、図２に、集積パネルとバルブとの接続構造を示している。この集積パネルとバルブとの接続構造は、複数の管状の流体通路３，４が内部形成された集積パネル（第１流体デバイスの一例）１と、これの上面１ａに内外の計２箇所のリング状ガスケット部Ｇ１，Ｇ２を有する流体用ガスケットＧを介して搭載されるバルブ（第２流体デバイスの一例）２とに跨って構成された縦向きの軸心Ｐを共有する同心状二重流路型のものである。バルブ２としては、開閉バルブ、ストップバルブ等、種々のものが可能である。
【００３２】
集積パネル１は、図１、図２に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のパネル材（又はブロック材）５の内部に、パネル上面１ａに開口する上下向きの縦通路３ａと横向きの横通路３ｂとから成る管状の供給側流体通路３と、縦通路３ａの外径側に形成されてパネル上面１ａに開口する環状の縦リング通路４ａとこれの底部に連通される横向きの横通路４ｂとで成る排出側流体通路４とが形成されたものである。この集積パネル１における給排流体通路３，４が二重配管状に開口する部分を第１流体給排口部１Ａと称するものとし、この第１流体給排口部１Ａにおいては、管状の縦通路３ａと環状の縦リング通路４ａとが互いに同一の軸心Ｐを有する同心状の通路に形成されている。また、第１流体給排口部１Ａには、その上端面に開口する各流体通路３，４の外径側部分のそれぞれには、軸心Ｐを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起２１，４１を有する下第１シール端部ｔ２１及び下第２シール端部ｔ２２が形成されている。
【００３３】
バルブ（流体デバイスの一例）２は、図１、図２に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製で上下方向視形状が円形のバルブケース６を有しており、そのバルブケース６の下端部は、底面６ａに開口する状態でその中心に縦向きに配された管状の供給側流体通路７と、この供給側流体通路７の外径側に形成されて底面６ａに開口する状態で縦向きに配された環状の排出側流体通路８とを有した第２流体給排口部２Ａに形成されている。つまり、この第２流体給排口部２Ａにおいては、管状の供給側流体通路７と環状の排出側流体通路８が互いに同一の軸心Ｐを有する同心状の通路に形成されている。そして、バルブケース６下端の外周部には、一対のボルト挿通孔９ａを有するＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂又はその他の材料による取付フランジ９が融着によって一体化されている。尚、バルブケース６と取付フランジ９とは、切削加工や成形加工によって一体形成された一体型のものでも良い。また、第２流体給排口部２Ａには、その下端面に開口する各流体通路７，８の外径側部分のそれぞれには、軸心Ｐを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起１１，３１を有する上第１シール端部ｔ１１及び上第２シール端部ｔ１２が形成されている。
【００３４】
流体用ガスケットＧは、図１〜図５に示すように、内外のリング状ガスケット部Ｇ１，Ｇ２（以後、第１ガスケット部Ｇ１、第２ガスケット部Ｇ２と略称する）と、これらを連結一体化する四箇所のブリッジ部Ｂとから構成されてる。第１，第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２は、径が異なるのみで断面形状は同一のものに形成されている。その構造を内側の第１ガスケット部Ｇ１を例に挙げて説明する。尚、説明を省略する第２ガスケット部Ｇ２には、第１ガスケット部Ｇ１に対応する箇所には対応した符号を付す（例：５４ａ→６４ａ）ものとする。さて、第１ガスケット部Ｇ１は、第１，第２流体給排口部１Ａ，２Ａの相対応する流体通路である縦通路３ａ及び供給側流体通路７どうしを連通すべく形成された管状の流体経路ｗ１と、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの端面に形成された上第１シール端部ｔ１１の環状突起１１と上第２シール端部ｔ１２の環状突起３１のそれぞれに嵌合すべく流体経路ｗ１の外径側部分に形成された上下一対の環状溝５１，５１とを有するＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のものに構成されている。
【００３５】
つまり、第１ガスケット部Ｇ１の断面形状は、上下一対の環状溝５１，５１と、これら環状溝５１，５１を形成するための内周壁５４及び外周壁５５とを有するとともに、上下の環状溝５１，５１は深さ及び幅が同一となる上下対称であり、かつ、内及び外周壁５４，５５も左右対称であって、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの軸心Ｐ方向に沿う縦中心Ｚ、及び、その縦中心線Ｚに直交する横中心線Ｘの双方に関して線対称（ほぼ線対称でも良い）となる略Ｈ状の形状に形成されている。内周壁５４の上下端部は、内周面５４ａである流体経路ｗ１の上下端部が先拡がり状に外向き傾斜するテーパ内周面５２ａ，５２ａに形成されるとともに、外周壁５５の上下端部も、その外周面５５ａの上下端部が内向き傾斜するテーパ外周面５３ａ，５３ａに形成されている。
【００３６】
集積パネル１の第１流体給排口部１Ａの下第１及び下第２シール端部ｔ２１，ｔ２２の環状突起２１，４１及びバルブ２の第２流体給排口部２Ａの上第１及び上第２シール端部ｔ１１、ｔ１２における環状突起１１，３１の内及び外径側に、各ガスケット部Ｇ１，Ｇ２における環状溝５１，６１を形成するために軸心Ｐ方向に突出形成された内外の周壁端部５２，５３，６２，６３が、相対応する環状溝５１，６１と相対応する環状突起１１，２１，３１，４１との嵌合によって拡がり変形するのを阻止する環状押え突起（支え部の一例）１２，１３，２２，２３，３２，３３，４２，４３が形成されている。
【００３７】
上記環状押え突起に関する構造を、第１ガスケット部Ｇ１と上第１シール端部ｔ１１とについて説明する。内外の環状押え突起１２，１３は対称のものであり、これらと環状突起１１とで囲まれた谷部１４，１５が奥窄まり状（上窄まり状）となるように環状突起側の側周面が傾斜したテーパ外周面１２ａ及びテーパ内周面１３ａを有する先窄まり状の環状突起に形成されている。つまり、上第１シール端部ｔ１１は、環状時突起１１とその内外の両側に形成される環状押え突起１２，１３及び谷部１４，１５の総称である。
【００３８】
第１ガスケット部Ｇ１の内外の周壁５４，５５の上端部は、環状押え突起１２，１３のテーパ外周面１２ａとテーパ内周面１３ａのそれぞれに当接するテーパ内周面５２ａとテーパ外周面５３ａを有して１４，１５に入り込み自在な先窄まり状の環状シール突起である周壁端部５２，５３を有し、接合状態（図１参照）においては、内外の周壁５４，５５の端部である周壁端部５２，５３が対応する谷部１４，１５に入り込み、上第１シール端部ｔ１１のテーパ外周面１２ａと第１ガスケット部Ｇ１のテーパ内周面５２ａとが圧接され、かつ、上第１シール端部ｔ１１のテーパ内周面１３ａと第１ガスケット部Ｇ１のテーパ外周面５３ａとが圧接されるように構成されている。
【００３９】
つまり、第１ガスケット部Ｇ１の上端部には、環状溝５１とその内外の周壁端部５２，５３とで上シール部ｇ（第２シール部の一例）１１が形成されており、同様に下端部には下シール部（第１シール部の一例）ｇ１２が形成されている。上シール部ｇ１１は上第１シール端部ｔ１１と嵌合して嵌合シール部１０を形成し、下シール部ｇ１２は下第２シール端部ｔ２１と嵌合して嵌合シール部１０を形成する。同様に、第２ガスケットにも上シール部（第２シール部の一例）ｇ２１と下シール部（第１シール部の一例）ｇ２２とが形成されており、それぞれ上第２シール端部ｔ１２と下第２シール端部ｔ２２と嵌合して嵌合シール部１０を形成する。
【００４０】
嵌合シール部１０の嵌合構造を、上第１シール端部ｔ１１と第１ガスケット部Ｇ１の上シール部ｇ１１について詳細に説明すると、図２、図３に示すように、内外の谷部１４，１５どうし、及び内外の周壁端部５２，５３どうしは互いに対称であって、内外の谷部１４，１５全体の挟角α°と内外の周壁端部５２，５３全体の向い角β°との間には、α°＜β°という関係が設定されており、好ましくはα°＋（２０〜４０°）＝β°という関係に設定すると良い。この構成により、上第１シール端部ｔ１１の上環状突起１１と環状溝５１とが嵌り合った接合状態（後述）では、上内環状押え突起１２と上内周壁端部５２とは、それらのテーパ外周面１２ａとテーパ内周面５２ａとが最内径側部分で圧接される状態となり（図３の仮想線を参照）、流体通路ｗ１を通る流体がこれら外内のテーパ周面１２ａ，５２ａどうしの間に入り込むことをも阻止する二次シール部Ｓ２として機能する利点が得られる。
【００４１】
そして、上環状突起１１の幅ｄ１と上環状溝５１の幅ｄ２との間には、ｄ１＞ｄ２という関係が設定されており、好ましくはｄ１×（０．７５〜０．８５）＝ｄ２という関係に設定すると良い。そして、上環状突起１１の突出長さｈ１と上環状溝５１の深さｈ２との間にはｈ１＜ｈ２という関係が設定されている。これらの構成により、上環状突起１１と上環状溝５１とが、詳しくは、上環状突起１１の内外の両側周面と相対応する上環状溝５１の内外の側周面とが強く圧接され、流体の漏れを阻止する優れたシール性能を発揮する一次シール部Ｓ１が形成されるとともに、上内環状押え突起１２のテーパ外周面１２ａと上内周壁端部５２のテーパ内周面５２ａとが必ず当接することになり、前述した二次シール部Ｓ２が良好に形成される利点がある。
【００４２】
また、環状押え突起１２，１３の先端、及び周壁端部５２，５３の先端はピン角とならないようにカットされた形状、即ち、傾斜カット面１２ｂ，１３ｂ、並びにカット面５２ｂ，５３ｂに形成されている。これらの構成により、上内環状押え突起１２の先端が流体通路ｗ１側に若干広がり変形したとしても、もともとカットされた形状であることから、流体通路ｗ１途中に大きく開いた断面三角形状の凹みができるだけとなり、その凹みに存在する流体が容易に流れ出すようになって実質的に液溜りが生じないようになる。加えて、その凹みの開き角度、即ち、傾斜カット面１２ｂとテーパ内周面５２ａとの挟角は十分に大きく、表面張力による液溜りのおそれも回避される。また、環状突起１１先端の内角及び外角は面取り加工された形状１１ａとしてあるので、幅の狭い環状溝５１への圧入移動をかじり等の不都合なく円滑に行えるものとなっている。
【００４３】
嵌合シール部１０についてさらに詳述する。図２、図３に示すように、環状押え突起１２，１３における環状突起側のテーパ周面１２ａ，１３ａの開き角（谷部１４，１５の開き角）Ｄは５０〜７０度の範囲の値（５０°≦Ｄ°≦７０°）に設定されており、周壁端部５２，５３のテーパ周面５２ａ，５３ａの尖り角Ｅは６０〜８０度の範囲の値（６０°≦Ｄ°≦８０°）に設定されている。そして、開き角Ｄと尖り角Ｅとには、開き角Ｄに１０〜２０度を加えたものが尖り角Ｅとなる［Ｄ°＋（１０〜２０°）＝Ｅ°］ように設定されている。より好ましい値としては、開き角Ｄが６９〜７１度（Ｄ°＝７０±１°）、尖り角Ｅが７９〜８１度（Ｅ°＝８０±１°）、及び尖り角Ｅは開き角Ｄ＋９〜１１度（Ｅ°−Ｄ°＝１０±１°）に設定すると良い。
【００４４】
また、環状押え突起１２，１３の傾斜カット面１２ｂ，１３ｂのカット角Ｄｓは４９〜５１度（Ｄｓ°＝５０°±１°）に設定されており、周壁端部５２，５３の先端カット面５２ｂ，５３ｂの迎え角Ｅｓは１２４〜１２６度（Ｅｓ°＝１２５°±１°）に設定されている。このような角度設定により、テーパ外周面１２ａとテーパ内周面５２ａ及びテーパ内周面１３ａとテーパ外周面５３ａの夫々は環状の線接触状態で当接されるようになり、シールリップ効果が二次シール部Ｓ２において発揮されるようになる。
【００４５】
つまり、前記第１流体給排口部１Ａと前記第２流体給排口部２Ａとが互いに引寄せられる方向である引寄せ方向に対する前記周壁端部５２，５３のテーパ周面５２ａ，５３ａ（テーパ内周面５２ａ、テーパ外周面５３ａ）の尖り角Ｅが、前記引寄せ方向に対する前記環状押え突起１２，１３における環状突起１１側のテーパ周面１２ａ，１３ａ（テーパ外周面１２ａ、テーパ内周面１３ａ）の開き角Ｄに１０〜２０度、好ましくは１０度又はほぼ１０度加えた値に設定されている。そして、前記尖り角Ｅが６０〜８０度、好ましくは８０度又はほぼ８０度に設定されている。
【００４６】
このように尖り角Ｅ及び開き角Ｄを９０度に近い鈍角的な値に設定する構成とすれば、環状押え突起１２，１３は、その径方向幅に比べて引寄せ方向（軸方向）の突出量が小さくなって相対的に強度、剛性が向上することとなり、周壁端部５２，５３の拡がりを規制しながらも、自身（環状押え突起１２，１３）が径方向へ拡がり変形するおそれをより効果的に抑制することができる利点がある。そして、周壁端部５２，５３の谷部１４，１５への刺さり込みによってテーパ周面５２ａ，５３ａが環状押え突起１２，１３を径方向に押し広げる分力を小さくでき、この点からも環状押え突起１２，１３の径方向への拡がり変形を抑制することができる。
【００４７】
以上述べた嵌合シール部１０の構造は、第１ガスケット部Ｇ１の下側、及び第２ガスケット部Ｇ２においても同様に構成されており、対応する箇所には対応する符号を付すものとする。第２ガスケット部Ｇ２は、径は異なるが断面形状に関しては第１ガスケット部Ｇ１のものと全く同じである。但し、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの上第２シール端部ｔ１２と下第２シール端部ｔ２２については、その外周側に流体通路が存在しないので、それぞれ上第１シール端部ｔ１１と下第２シール端部ｔ２１とやや形状が異なる。
【００４８】
即ち、上第２シール端部ｔ１２に関しては、環状押え突起３３のテーパ内周面３３ａに続く状態で、バルブケース６の下端部を形成するための下端内周部６ｂが存在している点である。この下端内周部６ｂは、第２ガスケット部Ｇ２の上シール部ｇ２１を上第２シール端部ｔ１２に嵌め合わす際のガイドとして機能するとともに、テーパ内周面３３ａと共に第２ガスケット部Ｇ２の外周壁６５の拡がり変形を阻止する機能も発揮可能である。そして、下第２シール端部ｔ２２に関しては、外側の環状押え突起４３の外周側にパネル材５が連続して存在している点であり、下シール部ｇ２２と下第２シール端部ｔ２２との嵌め合せ時に、第２ガスケット部Ｇ２の下シール部ｇ２２の外周壁端部６３の拡がり変形がテーパ内周面４３ａによって阻止される作用効果が強化されるようになる。
【００４９】
一方、第１及び第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２のうち、接合状態において内径側及び外径側の双方に流体通路７，８が存在する中間ガスケットである第１ガスケット部Ｇ１は、これの外周部である外周面５５ａが、第１ガスケット部Ｇ１の外径側に存する第１流体給排口部１Ａの環状の流体通路４ａと第２流体給排口部２Ａの環状の流体通路８とを連通する環状の流体経路ｗ２を形成するための壁面となる状態に形成されている。このように第１ガスケット部Ｇ１の内外周面５４ａ，５５ａの双方が流体通路ｗ１，ｗ２を形成する壁面を兼ねる構成とすれば、「第１ガスケット部Ｇ１の厚み」＝「環状流体通路３ａ，７と管状流体通路４ａ，８との間隔」となり、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの接続部をよりコンパクト化することが可能になる。
【００５０】
なお、図１に仮想線で示すように、第２ガスケット部Ｇ２の外周壁６５に横突出するリング状の脱着フランジ１ｆを一体形成しておけば、第１又は第２流体給排口部１Ａ，２Ａから第２ガスケット部Ｇ２を抜出す際に、工具や手指でフランジ１ｆを引張る等して外し易くすることができるという利点がある。この場合、脱着フランジ１ｆの厚みは、接合状態における第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａどうしの間隙よりも小さい値とする。
【００５１】
さて、ブリッジ部Ｂは、図１，２及び図４〜図６（ａ）に示すように、流体経路ｗ１，ｗ２の軸心Ｐに対する径方向に沿う最短距離でもって第１，第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２に亘って架設形成されており、軸心Ｐを中心とする９０度の均等角度毎に計四箇所（２，３箇所又はそれ以上でも可）状形成されている。これにより、流体用ガスケットＧは、ブリッジ部Ｂがスポークに相当して、軸心Ｐ方向視においてホイール（タイヤが外装される自動車用のホイール）のような形状を呈している。図６（ａ）に示すように、ブリッジ部Ｂの断面形状は円形に設定されているとともに、各ガスケット部Ｇ１，Ｇ２への付け根部分は裾拡がり状に形成されている。尚、ブリッジ部Ｂの断面形状は、図６（ｂ）に示す上下（軸心Ｐ方向）に長い楕円形状や、図６（ｃ）に示す上下（軸心Ｐ方向）に長い菱形でも良く、要は、流体経路ｗ１，Ｅ２の軸心Ｐ方向に沿う寸法Ｈｂが、周方向に沿う寸法Ｓｂよりも大となる形状に設定されることが、流体流れの抵抗となり難いようにする点から望ましい。
【００５２】
そして、各ブリッジ部Ｂの流体経路ｗ１，ｗ２の軸心Ｐに沿う方向の厚みＨｂが、第１，第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２における第１環状溝５１，６１と第２環状溝５１，６１との夫々の溝底で挟まれる連結部分Ｒの軸心Ｐに沿う方向の厚みＨｒと同じ値（「以下の値」の一例）に設定され、かつ、ブリッジ部Ｂは、図５に示すように、軸心Ｐ方向において連結部分Ｒに相対応する位置に形成されている。
【００５３】
ブリッジ部Ｂの断面を円形として、排出側流体通路８（第２流体経路ｗ２）を流れる流体の抵抗となり難くしてある。そして、各ガスケット部Ｇ１，Ｇ２における連結部分Ｒを基本とする周壁端部５２，５３，６２，６３の径方向への変位の妨げとならないようにしてあり、それによってブリッジ部の有無に拘らずに優れたシール性が維持されるようになっている。もし、ブリッジ部Ｂの厚みＨｂが連結部分の厚みＨｒよりも厚いと、第１ガスケット部Ｇ１の外側の周壁端部５３と第２ガスケット部Ｇ２の内側の周壁端部６２とが剛結されたような状態に近付き、ブリッジ部Ｂ付近だけ径方向への移動が行い難くなってシール性に悪影響を与えるおそれがあるからである。尚、図示は省略するが、ブリッジ部Ｂの厚みＨｂを連結部分Ｒ厚みＨｒよりも薄くしても良い。つまり、Ｈｂ≦Ｈｒであれば良い。
【００５４】
次に、維持手段Ｉについて説明する。維持手段Ｉは、図２、図３に示すように、集積パネル１の第１流体給排口部１Ａとバルブ２の第２流体給排口部２Ａとが互いに第１及び第２ガスケットＧ１，Ｇ２を介して引寄せるとともに、その引寄せ作用によって、第１流体給排口部１Ａの上第１シール端部ｔ１１及び上第２シール端部ｔ１２と、第１及び第２ガスケットＧ１，Ｇ２の上シール部ｇ１１，ｇ２１とが、及び第２流体給排口部２Ａの下第１及び下第２シール端部ｔ２１，ｔ２２と、第１及び第２ガスケットＧ１，Ｇ２の下シール部ｇ１２，ｇ２２とがそれぞれ嵌め合わされて各嵌合シール部１０が形成される接合状態を維持するものに構成されている。即ち、第２流体給排口部２Ａの環状突起１１，３１と第１及び第２ガスケットＧ１，Ｇ２の上側の環状溝５１，６１とが、及び第１流体給排口部１Ａの環状突起２１，４１と第１及び第２ガスケットＧ１，Ｇ２の下側の環状溝５１，６１とがそれぞれ嵌め合わされる。
【００５５】
維持手段Ｉの具体構造は、第２流体給排口部２Ａの取付フランジ９のボルト挿通孔９ａに挿通される一対のボルト６６と、一対のボルト挿通孔９ａ，９ａに対応して第１流体給排口部１Ａに（パネル材５に）形成されたナット部６７，６７とで構成されており、ボルト６６をナット部６７に螺着させての締め付け操作により、バルブ２を集積パネル１に引寄せ、かつ、その引寄せ状態を維持することができる。また、経時変化やクリープ等が生じて各嵌合シール部１０の圧接力が低下した場合には、ボルト６６を増し締めすることで対処することができ、良好なシール性能を維持することが可能である。
【００５６】
〔実施例２〕
実施例２による流体用ガスケットＧは、実施例１の流体用ガスケットＧとブリッジ部Ｂが異なるのみである。即ち、図１０に示すように、実施例２による流体用ガスケットＧのブリッジ部Ｂは、軸心Ｐ周りの均等角度毎に五箇所（六箇所等の五箇所以外でも可）形成されており、流体経路ｗ１，ｗ２における流体の流れに旋回運動を付与可能とすべく軸心Ｐの方向視において渦巻状となるように形成されている。つまり、水等の流体が管路内を旋回運動しながら流れている場合には、その流れに沿う形状のブリッジ部Ｂとなって流れに与える抵抗を減じることが可能になる。
【００５７】
加えて、各ブリッジ部Ｂは、流体経路ｗ１，ｗ２における流体の流れ方向を変更可能なスクリュー形状に形成されている。具体的には、図１１に示すように、ブリッジ部Ｂの断面形状を楕円で、かつ、その、長円側の軸心Ｑが流体経路ｗ１，ｗ２の軸心Ｐに対して角度αで傾斜する状態に構成させる手段である。これにより、５枚のブリッジ部Ｂがスクリュー（プロペラ）を構成するような状況になり、ここを通ることによって流体の流れ方向を変更したり捩ったりする機能が生じるので、例えば、その先の管路が大きく曲るとか、管路内壁に凹凸があるような場合には、それら曲り部や凹部に流体の掻き回し作用を生じさせてそれらの部分に流体が滞ることを解消させ、良好な流れ状況が得られる効果が期待できるものとなる。
【００５８】
次に、実施例１による流体用ガスケットＧを適用する流体デバイスどうしの接続構造の幾つかの他の例について、以下に説明する。
【００５９】
〔接続構造の別実施例１〕
別実施例１による流体デバイスどうしの接続構造は、図７に示すように、集積パネル１とポンプ（洗浄装置循環ライン用のベローズポンプ等）２とをフランジ配管７１を介して連通接続させるものであり、集積パネル１とフランジ配管７１との間に流体用ガスケットＧが介装される。内外の第１，及び第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２を介した接続部自体の構成は実施例１において説明した接続構造と同一であるので、主な符号だけを付すとともに、その詳細な説明は割愛する。
【００６０】
さて、集積パネル１については、排出側の流体通路４の取出し方向が、図１に示される集積パネル１の場合と逆になっている以外は基本的に同じ構造である。ただし、図１の集積パネルと流体デバイスとの接続構造は集積パネルの上面に構成されているに対して、この別実施例による接続構造では、集積パネル１の横側面に構成されている。ポンプ２の給排用の流体通路７，８は横側面に開口する構造であり、集積パネル１では一対の流体通路３，４が二重管構造であるに対して、縦に並んで配備される独立タイプのものである。
【００６１】
フランジ配管７１は、前述の取付フランジ９を有するフランジ部７２と、これに続く略二股状の管路部７３とから成り、管路部７３は、管状の供給側流体通路７４を持つ供給側配管７３Ａと、管状の排出側流体通路７５を持つ排出側の流体通路７３Ｂとから構成されている。フランジ部７２においては、供給側流体通路７４が軸心Ｐを中心とする管状のものとして集積パネル１の縦通路３ａに正対して開口されるとともに、集積パネル１の縦リング通路４ａに正対して開口される環状通路部分７５ａが排出側流体通路７５に連続する状態で形成されている。各流体通路７４，７５は融着等の手段によってポンプ２のイン側ポート７６、及びアウト側ポート７７に連通状態で接続連結されている。
【００６２】
このように、二重配管構造のフランジ部７２と独立した２本の配管部７３とを有するフランジ配管７１を用いることにより、集積パネル１における二重配管構造の第１流体給排口部１Ａと並列配置された一対のイン及びアウト側ポート７６，７７で成る第２流体給排口部２Ａとを、即ち、集積パネル１とポンプ２とを、流体通路の開口構造が互いに異なるものどうしでありながらも、互いに近接させて無理なくコンパクトに連通接続させることができている。尚、流体用ガスケットＧの関係構造は図１に示すものと変わりない。
【００６３】
〔接続構造の別実施例２〕
別実施例２による流体デバイスどうしの接続構造を図８，９に示す。これは図１に示す接続構造と維持手段Ｉが異なるのみであり、その第１別構造の維持手段Ｉについて説明する。尚、図８，９においては、図１〜３に示す接続構造と対応する箇所には対応する符号を付してある。第１別構造による維持手段Ｉは、図８及び図９に示すように、集積パネル１の上面に形成された平面視で円形を呈する突起状の第１流体給排口部１Ａの外周部に雄ネジ１ｎを形成し、その雄ネジ１ｎに螺合自在な雌ネジ８１ｎを備えた筒状ナット８１と、バルブ２のバルブケース６の下端部に形成された外向きフランジ９に、環状の流体通路７の軸心Ｐ方向で干渉する二つ割り、または三つ割り以上の割型リング８２とから構成されている。第１流体給排口部１Ａの雄ネジ１ｎに雌ネジ８１ｎを螺着させての筒状ナット８１の締付け操作により、両流体給排口部１Ａ，２Ａを互いに流体用ガスケットＧを介して接近する方向に引寄せ可能に、かつ、引寄せ状態を維持可能な引寄せ機能付きの維持手段Ｉに構成されている。
【００６４】
筒状ナット８１のバルブ２側（上側）に形成される内向きフランジ８３の開口部８３ａは、外向きフランジ９の通過を許容するに足りる最小限の内径寸法に設定されている。割型リング８２の外径は、筒状ナット８１に入り込み自在となるよう雌ネジ８１ｎの内径よりも僅かに小さい寸法に設定され、かつ、内径は、バルブ２の円形の第２流体給排口部２Ａの外径部に外嵌自在となる最小限の寸法に設定されている。この場合、割型リング８２を装備するには、第２流体給排口部２Ａにおける外向きフランジ９を除いた径の細い部分の軸方向長さが、筒状ナット８１の軸方向長さと割型リング８２の厚さとの和を上回る値とすることが必要である。具体的には、図９（ｂ）に示すように、バルブケース６の付根部６ｔに当接させた状態の筒状ナット８１と外向きフランジ９との間の長さｄ３が、割型リング８２の厚さｄ４よりも大きいこと（ｄ３＞ｄ４）が条件となる。
【００６５】
また、筒状ナット８１における雌ネジ８１ｎの内奥端部と内向きフランジ８３との間に、割型リング８２に軸方向に摺動自在で、かつ、割型リング８２の幅寸法をカバーする軸心Ｐ方向長さを有する内周面部８１ｍが軸心Ｐと同心にフラットな内周面に形成されている。すなわち、筒状ナット８１の雌ネジ８１ｎと内向きフランジ８３との間における内径部８１ａが供給側流体通路７と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内周面部８１ｍの内径が断面矩形に形成された割型リング８２の外径よりも極僅かに大きくした嵌め合い公差状態に寸法設定される一方、第２流体給排口部２Ａの外径部が供給側流体通路７と同心にフラットな外周面に形成され、かつ，その外径部の外径と、割型リング８２の内径とがほぼ同一径に形成される。これにより、筒状ナット８１を螺進させた際に割型リング８２が傾いて抉るような状態になったり、外向きフランジ９に筒状ナット８１の螺進による軸心Ｐ方向の押圧力がうまく伝わらなかったりする、という不都合が生じることが防止され、有効に外向きフランジ９を押して、第１、第２流体給排口部１Ａ，２Ａを互いに接近する方向に良好に引寄せることができるようにされている。
【００６６】
第１別構造の維持手段Ｉを用いて両流体給排口部１Ａ，２Ａどうしを接続連結する操作手順は次のようである。先ず、図９（ａ）に示すように、外向きフランジ９をやり過ごして筒状ナット８１をバルブ２の第２流体給排口部２Ａの外周に嵌装し、その最内奥側まで（付根部６ｔに当接するまで）移動させる。次いで、図９（ｂ）に示すように、割型リング８２を、外向きフランジ９と筒状ナット８１の先端との間を通して第２流体給排口部２Ａに外嵌装備させる。このとき又はその前に流体用ガスケットＧをいずれかの流体給排口部１Ａ，２Ａの端面に環状突起１１，２１，３１，４１と環状溝５１，６１との仮嵌合を介して装着させておいてもよい。次いで、流体用ガスケットＧを介して第１流体給排口部１Ａを第２流体給排口部２Ａにあてがい、その状態で筒状ナット８１をスライド移動させてから締付け操作［図９（ｃ）参照］することにより、図８に示す接続状態が得られる。なお、図９においては、上下に積層される集積パネル１とバルブ２とを、図面記載都合により横倒し状態で描いてある。
【００６７】
〔その他の実施例〕
流体用ガスケットＧとして、外径側の第２ガスケット部Ｇ２が、図示は省略するが、外周壁６５の上下端が内周壁６４よりも短く、かつ、単に水平状に切断された構造のものでも良い。二重配管接続構造では、最外径側の第２ガスケット部Ｇ２の外周壁６５にはシール機能が無くても良い。実施例における第１，第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２は上下及び左右に対称形状のものであるが、例えば、内外の周壁の長さや厚みの異なるものや、上下非対称のものなどでも良く、図示の形状に限定されない。また、外側の環状流体通路８のさらに外側に一又は複数の環状の流体通路を有する三重以上の流体デバイスどうしの接続構造も可能であり、最外側に位置するガスケット部以外のガスケット部は、その内外周面の双方が流体経路を兼ねる構成が採れる。
【００６８】
ブリッジ部Ｂは、幅の広い単一のものや、軸心Ｐに関する周方向に二箇所以上形成される構造等、種々の構成が可能であるとともに、その断面形状も、図６以外のもの（例：三角断面、矩形断面、クラークＹ型断面、層流翼断面）に変更が可能である。尚、本発明における「流体デバイス」とは、バルブ、ポンプ、アキュムレータ、流体貯留容器、熱交換器、レギュレータ、圧力計、流量計、ヒーター、フランジ配管、集積パネル等の、要は流体関係のものの総称と定義する。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】集積パネルとバルブとの同心状多重流路接続構造を示す断面図
【図２】図１の接続構造に用いる流体用ガスケットと流体給排口部の要部の断面図
【図３】リング状ガスケット部に関する接続構造の詳細を示す要部の拡大断面図
【図４】流体用ガスケット単品の平面図（実施例１）
【図５】図４のイ−イ線断面図
【図６】(ａ)は図４のブリッジ部（ニ−ニ線）の断面図、（ｂ），（ｃ）は、夫々ブリッジ部断面の別形状を示す要部の断面図
【図７】流体デバイスどうしの同心状多重流路の別接続構造を示す断面図
【図８】引寄せ機能付き維持手段の第１別構造を示す要部の断面図
【図９】図８の維持手段を有する接続構造の接続手順を示す説明図
【図１０】渦巻き形の流体用ガスケットを示す平面図（実施例２）
【図１１】図１０の流体用ガスケットのブリッジ部（ロ−ロ線）を示す断面図
【符号の説明】
【００７０】
１                              第１流体デバイス
１Ａ                            第１流体給排口部
２                              第２流体デバイス
２Ａ                            第２流体給排口部
３，４                          第１流体通路
７，８                          第２流体通路
１０                            嵌合シール部
２１，４１                      第１環状突起
２２，２３，１２，１３，４２，４３，３２，３３                    支え部
２２ａ，２３ａ，１２ａ，１３ａ，４２ａ，４３ａ，３２ａ，３３ａ    テーパ周面
２４，２５，１４，１５，４４，４５，３４，３５                    谷部
１１，３１                      第２環状突起
５１，６１                      第１環状溝、第２環状溝
５２，５３，６２，６３          周壁端部
５２ａ，５３ａ，６２ａ，６３ａ  テーパ周面
Ｂ                              ブリッジ部
Ｇ                              流体用ガスケット
Ｇ１，Ｇ２                      リング状ガスケット部
Ｋ                              拡張規制部
Ｐ                              流体経路の軸心
Ｓ１，Ｓ２                      シール部
ｗ１，ｗ２                      流体経路
Ｘ                              中心線
Ｚ                              流体経路の軸心方向に沿う中心線
ｇ１２，ｇ２２                  第１シール部
ｇ１１，ｇ２１                  第２シール部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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