(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクの吐出口であるノズルを有するノズルプレートをヘッド本体に貼着したインクジェットヘッドにおいて、
上記ノズルプレートには、インク吐出面とは反対側のヘッド本体貼着面に識別情報が付与されていると共に、
上記識別情報は、ノズルの種類を識別する情報、又はノズルのチャネルを識別する情報からなることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記識別情報は、前記ノズルプレートのヘッド本体貼着面に、該ノズルプレートの厚み未満の溝加工によって形成されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記ノズルプレートは、電磁波に対して透過性のある材料からなっていることを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記ノズルプレートは、可視光に対して透過性のある材料からなっていることを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記ノズルプレートは、波長２４８ｎｍのエキシマレーザーに対する吸収係数が１０００ｃｍ−１以上のポリマーからなっていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記ノズルプレートは、ポリイミドを主成分とする材料からなっていることを特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
インクの吐出口であるノズルを有するノズルプレートをヘッド本体に貼着したインクジェットヘッドの製造方法において、
上記ノズルプレートにおける、インク吐出面とは反対側のヘッド本体貼着面に識別情報を付与すると共に、
上記識別情報は、ノズルの種類を識別する情報、又はノズルのチャネルを識別する情報からなることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記識別情報を、前記ノズルプレートのヘッド本体貼着面に、該ノズルプレートの厚み未満の溝加工により形成することを特徴とする請求項７記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクの吐出口であるノズルを有するノズルプレートをヘッド本体に貼着したインクジェットヘッド及びその製造方法に関するものであり、特に、ノズルプレートの識別に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェット装置における印刷の高精度化が進んでおり、インクジェットヘッドの着弾精度向上が行われている。このような高着弾精度を有するインクジェットヘッドを安定して製造するためには、ノズル形状を高精度に安定させる必要があることはもとより、インクジェットヘッド本体の特性とノズル形状との整合を取る必要がある。
【０００３】
ところで、インクジェットヘッドは様々な部品から構成されており、ノズルプレートもその一つである。ノズルプレートは、用途に適したインクジェットヘッドに応じてノズル径、チャネル数及びサイズが異なる。また、同種のノズルプレートにおいても加工精度等により個体差が生じる。この個体差は、インクジェットヘッドの特性に影響するため把握しておく必要がある。
【０００４】
そこで、ノズルを識別する必要があるが、識別情報を添付しておく等の作業が必要であり、工程管理が煩雑であった。
【０００５】
この種の問題を扱う従来のインクジェットヘッドとしては、例えば、特許文献１に開示する個体情報を有するインクジェット記録ヘッドが挙げられる。このインクジェット記録ヘッド１００では、図７（ａ）（ｂ）に示すように、記録ヘッドの機種や加工日及び加工履歴に関する情報やシリアル番号、インク吐出特性に関するパラメータ等の品質工程管理に重要な個体情報を各固有の識別記号として付与している。具体的には、インクを吐出するインクジェット記録デバイス１０１を形成した基準部材１０２の表面に、個体情報としての２次元バーコード１０３を直接描画し、又は２次元バーコードを記載した図示しないシールを貼着している。
【特許文献１】特開２００４−２３０７８７号公報（平成１６年８月１９日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来の特許文献１のインクジェット記録ヘッド１００では、ノズルプレートである基準部材１０２の表面に、２次元バーコード１０３を描画している。このことは、インクジェットヘッド表面への加工による損傷を与えるおそれがある。また、このインクジェット記録ヘッド１００では、インクジェット記録ヘッド１００に情報を付与するために基準部材１０２の側方に突出部１０２ａを形成し、その突出部１０２ａに２次元バーコード１０３を直接描画している。したがって、突出部１０２ａの追加形成等の部品追加が必要であり、ノズルプレートそのものの形状を変えることになる。
【０００７】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、ノズルプレートに識別情報を付与するに際して、ノズルプレートのインク吐出面の形状を変えることなく、かつノズルプレートのインク吐出面への損傷を防止し得るインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のインクジェットヘッドは、上記課題を解決するために、インクの吐出口であるノズルを有するノズルプレートをヘッド本体に貼着したインクジェットヘッドにおいて、上記ノズルプレートには、インク吐出面とは反対側のヘッド本体貼着面に識別情報が付与されていることを特徴としている。
【０００９】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、上記課題を解決するために、インクの吐出口であるノズルを有するノズルプレートをヘッド本体に貼着するインクジェットヘッドの製造方法において、上記ノズルプレートにおける、インク吐出面とは反対側のヘッド本体貼着面に識別情報を付与することを特徴としている。
【００１０】
上記発明によれば、ノズルプレートに識別情報が付与されているので、ノズルプレートの使用状況等が把握でき、製品管理の効率化が図れる。また、インクジェットヘッドへの貼着前にノズルプレートに識別情報が付与されるので、組立時での貼り間違えを防ぐことができる。このため、製品の歩留まりが向上する。
【００１１】
また、本発明では、インクジェットヘッド表面に貼着されるノズルプレートの露出表面には識別情報を付与せず、インク流路に影響しないヘッド本体貼着面に識別情報を付与する。このため、特性が劣化する等の不具合となる要素を生成しない。
【００１２】
本発明のインクジェットヘッドでは、前記識別情報は、ノズルの種類を識別する情報、ノズルのチャネルを識別する情報、及びノズルプレートのアライメント情報の少なくとも１つ以上の情報を含むことが好ましい。
【００１３】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法では、前記識別情報は、ノズルの種類を識別する情報、ノズルのチャネルを識別する情報、及びノズルプレートのアライメント情報の少なくとも１つ以上の情報を含むことが好ましい。
【００１４】
なお、ノズルの種類とは、少なくともノズルのノズル径及びチャネル数等の属性をいう。また、ノズルのチャネルとは、例えば、端から何番目のノズルであるかを示す値をいう。さらに、ノズルプレートのアライメント情報とは、ノズルプレートをヘッド本体に貼着するときの位置決めのための指標をいう。
【００１５】
上記発明によれば、ノズルの種類を識別する識別情報により、ノズルプレート毎の製品管理及び工程管理ができる。また、チャネルナンバー等のノズルのチャネルを識別する識別情報を記載することにより、各ノズルにおけるインクの吐出状況を観察するときに、チャネルナンバーを確認しつつ観察できるため、インクジェットヘッドの評価が簡便となる。さらに、識別情報としてアライメントマークを識別情報として付与することにより、組立時のアライメントを簡略化することができる
本発明のインクジェットヘッドでは、前記識別情報は、前記ノズルプレートのヘッド本体貼着面に、該ノズルプレートの厚み未満の溝加工によって形成されていることが好ましい。
【００１６】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法では、前記識別情報を、前記ノズルプレートのヘッド本体貼着面に、該ノズルプレートの厚み未満の溝加工により形成することが好ましい。
【００１７】
このように、識別情報をインク吐出面に対して裏面側からノズルプレートの厚み未満にて溝加工することにより、ノズルプレートを貫通することがなく、かつインク吐出面には形状の変化がない。したがって、ノズルプレートの特性を劣化させず、吐出信頼性を大幅に向上することができる。
【００１８】
また、溝加工は、例えば、ノズルプレートにノズルを貫通するためのレーザーの出力を小さくすればよいだけであるので、容易に行うことが可能である。
【００１９】
本発明のインクジェットヘッドでは、前記ノズルプレートは、電磁波に対して透過性のある材料からなっていることが好ましい。
【００２０】
これにより、ノズルプレートのインク吐出面側から、例えばレーザー顕微鏡やＸ線顕微鏡等の電磁波の透過波や反射波を測定する計測機器を利用して読み取ることができる。
【００２１】
本発明のインクジェットヘッドでは、前記ノズルプレートは、可視光に対して透過性のある材料からなっていることが好ましい。
【００２２】
これにより、ノズルプレートの裏面に付与した識別情報を、ノズルプレートのインク吐出面側から、光学顕微鏡等の簡便な計測機器や、目視により読み取ることが可能となり、プロセスを大幅に簡略化することができる。
【００２３】
その結果、ノズルプレートをインクジェットヘッドに貼着したときに、ノズル情報とヘッド本体との間で齟齬が生じた際にも、確認が簡単にでき、工程管理が簡略できる。
【００２４】
すなわち、ノズルプレートはインクを吐出する部分であるため、表面に露出した状態で使用される。したがって、インクジェットヘッドを駆動装置に搭載したときにも、識別情報が隠れてしまうことがなく、目視により読み取ることができる。そして、識別情報記載部分を露出させるために、装置の制約を設ける等の必要もない。この結果、製造プロセスだけでなく、評価時や使用時にも識別情報を確認することができ、完成後の個体管理を含めた製造管理が容易となる。
【００２５】
本発明のインクジェットヘッドでは、前記ノズルプレートは、波長２４８ｎｍのエキシマレーザーに対する吸収係数が１０００ｃｍ−１以上のポリマーからなっていることが好ましい。
【００２６】
上記発明によれば、エキシマレーザーのアブレーション加工により、ミクロンオーダーの加工分解能で高精度に加工を行うことができるので、２次元バーコードやホログラム等の微細パターンの識別情報も描画することが可能となる。この結果、大量の情報を書き込むことができ、ノズルに関して精密な管理が可能となる。
【００２７】
本発明のインクジェットヘッドでは、前記ノズルプレートは、ポリイミドを主成分とする材料からなっていることが好ましい。
【００２８】
ポリイミドは耐薬品性が高いので、インクに対しても強く、多種のインクを吐出することのできるヘッドに応用することができる。したがって、ポリイミドを用いることによって、インクジェットヘッドの設計自由度が向上する。
【００２９】
また、ポリイミドは、エキシマレーザーのアブレーション加工により高精度に加工を行うことができる。したがって、２次元バーコードやホログラム等の微細パターンの識別情報も描画することができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明のインクジェットヘッドは、以上のように、ノズルプレートには、インク吐出面とは反対側のヘッド本体貼着面に識別情報が付与されているものである。
【００３１】
また、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、以上のように、ノズルプレートにおける、インク吐出面とは反対側のヘッド本体貼着面に識別情報を付与する方法である。
【００３２】
それゆえ、ノズルプレートに識別情報を付与するに際して、ノズルプレートのインク吐出面の形状を変えることなく、かつノズルプレートのインク吐出面への損傷を防止し得るインクジェットヘッド及びその製造方法を提供するという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
本発明の一実施形態について図１ないし図６に基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００３４】
本実施の形態のインクジェットヘッド１０は、図１に示すように、ヘッド本体１にノズルプレート２０が接着されたものからなっている。なお、必ずしも接着には限らない。ヘッド本体１にはインク流路２が形成されている一方、ノズルプレート２０にはインクの吐出口であるノズル２３が形成されている。ヘッド本体１のインク流路２とノズルプレート２０のノズル２３とは連通されるようになっている。
【００３５】
上記ノズルプレート２０は、図２に示すように、ノズルプレート基材２１と、このノズルプレート基材２１におけるインク吐出側である表面側に撥水膜２２とを有してなっている。上記撥水膜２２による撥水性により、インク吐出側面においてインク溜りが発生することを防止している。
【００３６】
また、ノズルプレート２０は、インクジェットヘッド１０において、インクを吐出するための吐出口であるノズル２３が形成されたものである。一般的に、レーザー光を用いて材料をアブレーション加工する際、材料の光吸収係数が小さいと、光のエネルギーは吸収されず、被加工物内部で熱エネルギーに変換され、熱損傷が起こり、精度の良い加工が難しくなる。したがって、本実施の形態においても、光吸収係数が小さすぎると、高精度加工は困難となる。そのため、エキシマレーザー光Ｌによりノズルプレート２０にノズル２３を形成するためには、ノズルプレート２０の光吸収係数を、ある程度の範囲内にする必要がある。
【００３７】
そこで、本実施形態では、ノズルプレート２０を、波長２４８ｎｍのエキシマレーザー光Ｌに対して１０００ｃｍ−１以上の光吸収係数を有するポリマーから構成している。上記ポリマーは、例えばポリイミドを主成分とする材料から構成されている。また、上記材料は、ポリイミドを主成分とする材料以外にも、ポリスチレン、ポリアミド、ポリメチルメタクリレートなどを適用することが可能である。これにより、波長２４８ｎｍのエキシマレーザー光Ｌを用いて、ノズルプレート２０を容易にアブレーション加工することが可能となる。また、上記ポリイミドを主成分とする材料から構成されているポリマーは耐薬品性に優れているため、インクジェットヘッド１０のノズル２３としても好適に用いることができる。
【００３８】
ところで、インクジェットヘッド１０の製造工程において、ノズルプレート２０をヘッド本体１に接着するときに、ノズルプレート２０とヘッド本体１との組み合わせを間違いなく行うことが必要である。すなわち、インクジェットヘッド１０の製造工程においては、必ずしも１種類のインクジェットヘッド１０を製造することはなく、用途に適したインクジェットヘッド１０に応じて適切なノズル径、チャネル数及びサイズを有するノズルプレート２０を接着する必要がある。
【００３９】
そこで、ノズルプレート２０とヘッド本体１との組み合わせを間違いなく行うために、ノズルプレート２０に識別情報を付与することが好ましいが、インク吐出面に識別情報を付与した場合には、インク吐出に支障を来たす。
【００４０】
そこで、本実施の形態のインクジェットヘッド１０では、図２に示すように、ノズルプレート２０のインク吐出面２０ａとは反対側のヘッド本体貼着面２０ｂに識別情報２４が溝により付与されている。なお、識別情報２４は必ずしも溝にて形成することに限らない。
【００４１】
この識別情報２４として、例えば、ノズル２３の種類を識別するための種類情報２４ａとすることができる。ノズルの種類とは、具体的には、例えば、ノズル２３のノズル径及びチャネル数等の属性を示し、種類情報２４ａとはその属性が分かる情報をいう。ただし、必ずしもこれに限らず、インクジェットヘッド１０の機種やノズルプレート２０の加工日及び加工履歴に関する情報やシリアル番号、ノズルプレートの材質や構成、インク吐出特性に関するパラメータ等の品質工程管理に重要な個体情報を含んでいても良い。
【００４２】
上述のように、本実施の形態では、ノズルプレート２０に上記識別情報２４が形成されていることから、ノズルプレート２０はその識別情報２４を容易に認識できる材料から構成する必要がある。そこで、本実施の形態では、ノズルプレート２０は、電磁波に対して透過性のある材料からなっている。例えば、上述したように、ポリイミド等の有機化合物膜を用いる。したがって、必ずしも可視光に対して透過性を有している必要はない。ただし、可視光に対して透過性を有している方が、インク吐出面２０ａ側から目視できるので好ましい。
【００４３】
上記ノズルプレート２０への識別情報２４のマーキングは、インク吐出面２０ａに対して裏面から貫通しない程度に加工することにより作成する。
【００４４】
マーキング加工深さは、識別情報２４を読み取るための装置である例えば顕微鏡、ＣＣＤ、磁気読取装置又はバーコード読取装置等により、ノズルプレート２０を貫通しない範囲で任意に設定される。
【００４５】
識別情報２４をマーキングする位置は、インク吐出特性を考慮し、インク流路２に接しない部分で行う方が望ましい。
【００４６】
上記構成のインクジェットヘッド１０におけるノズルプレート２０に識別情報２４のための溝を形成する方法について、図２に基づいて説明する。図２は、ノズルプレート２０に識別情報２４を、レーザー加工にて溝をマーキングする方法を示す断面図である。
【００４７】
図２に示すように、溝のマーキング加工は、レーザー発振器３１にて波長２４８ｎｍのエキシマレーザー光Ｌを、光学レンズ３２及びマーキング用マスク３３を通してノズルプレート２０に照射することにより行う。
【００４８】
マーキング加工としての溝は、ノズルプレート２０の厚さ未満の深さとなるように形成される。その理由は、識別情報２４がノズルプレート２０を貫通すると、インク吐出面２０ａに悪影響を及ぼすためである。
【００４９】
したがって、ノズル２３となる貫通孔を加工するよりも加工深さを小さくするために、加工に用いるエキシマレーザー光Ｌの照射量を制限する必要がある。そのためには、
（１）エキシマレーザー光Ｌの１ショットに対するエネルギー密度を小さくする。
（２）加工するレーザー発振回数を小さくする。
等の方法がある。
また、（１）の場合、
（ｉ）透過率を制限したパターンを有するマスクを使用する。
（ii）アッテネーターと呼ばれる偏光板を介してエキシマレーザー光Ｌの透過率を調整する。
（iii）光学レンズ３２の転写倍率を、加工に用いる光学レンズ３２の直径を大きくすることにより、単位面積当たりのエネルギー密度を小さくする。
等の方法がある。
（２）の場合は、装置上の設定パラメータを設定する。
【００５０】
一方、マーキング加工とノズル加工とを別々に行う場合は、（２）の方法を用いることにより簡便に行うことができ。すなわち、ノズル加工とは別のパターンを加工する場合には、マーキング用マスク３３を変更するか、或いはアパーチャー等により入射するエキシマレーザー光Ｌの範囲を限定することによって、所望の位置のみ加工を行う。
【００５１】
また、一般に使用されているレーザー装置では、（１）（ii）にあるアッテネーターは、標準装備されているものが多いので、（１）（ii）も有用である。
【００５２】
マーキング加工とノズル加工とを同時に行う場合は、（１）の方法を用いる。（１）（ii）及び（１）（iii）では分光器を用いてノズル加工に用いるエキシマレーザー光Ｌとマーキング加工に行うエキシマレーザー光Ｌとに分光して加工を行う。また、マーキング用マスク３３を通過した後のエキシマレーザー光Ｌに（１）（ii）及び（１）（iii）の方法を用いてもよい。
【００５３】
エキシマレーザー光Ｌにてポリイミド膜の加工を行うと、煤等の付着物が生成することが知られているが、付着物はアッシング、超音波洗浄、レーザー照射等により除去する。
【００５４】
図２は、マーキング加工とノズル加工とを別々に加工する場合において、（２）の加工方法を説明する断面図である。
【００５５】
撥水膜２２が塗布されたノズルプレート２０にノズル２３を加工した後、識別情報２４がパターニングされているマーキング用マスク３３を介してエキシマレーザー光Ｌを照射し、識別情報のマーキング加工を行う。
【００５６】
マーキング加工の深さは、エキシマレーザー光Ｌの発振回数や図示しないアッテネーターの設定により適宜調節する。
【００５７】
ところで、上記の説明では、識別情報２４は、例えば、ノズル２３の種類を識別するための種類情報２４ａが付与されているとしていたが、必ずしもこれに限るものではない。識別情報２４として、例えば、図３に示すように、ノズルプレート２０の組み合わせのためのアライメントマーク２４ｂをマーキングすることが可能である。このアライメントマーク２４ｂにより、取り付け位置や方向を適切に設定することができるので、歩留まり向上が可能となる。なお、これらの場合においては、ノズルプレート２０を光学的に透過性を有する部材で構成しておくのが好ましい。すなわち、透明部材又は半透明部材にて構成する。これにより、インク吐出面２０ａ側から目視することができる。
【００５８】
具体的には、例えば、図４に示すように、ノズルプレート２０の一方の端部の上下にアライメントマーク２４ｂ・２４ｂをマーキングしておくと共に、ヘッド本体表面１ａにも、ヘッド本体アライメントマーク３ｂ・３ｂを形成しておく。これにより、ノズルプレート２０をヘッド本体表面１ａに貼着するときに、ノズルプレート２０の上下左右について誤った貼着をすることがなくなる。
【００５９】
一方、識別情報２４として、例えば、図５に示すように、端から何番目のインク流路２に対応するノズル２３であるかを示すチャネルナンバー「１、２、…」２４ｃをマーキングすることが可能である。このように、チャネルナンバー「１、２、…」２４ｃを付与することにより、インクの吐出状態を観察するときに、チャネルを確認しつつ観察できるので、インクジェットヘッド１０の評価が簡便となる。また、このチャネルナンバー「１、２、…」２４ｃは、ノズルプレート２０のヘッド本体表面１ａへの接着時においては、取り付け方向等のアライメントマークとしても使用できる。
【００６０】
また、識別情報２４としては、必ずしも溝にて形成する必要はない。例えば、図６に示すように、識別情報２４として、二次元バーコード等のバーコードやホログラム等の機器読取マーク２４ｄをマーキングすることが可能である。
【００６１】
すなわち、このバーコードやホログラム等の機器読取マーク２４ｄを読み取るために、別途の機器が必要となる。このバーコードやホログラム等の機器読取マーク２４ｄは、微小領域に多くの情報を含んでいるので、微小領域に加工を行うだけでノズル２３の種類情報やヘッド情報等の多くの情報を付与することができる。
【００６２】
また、このように、読み取り機器を必要とするような機器読取マーク２４ｄをノズルプレート２０の裏面に付与することによって、表面に識別情報が露出していても、情報の機密性を保つことができる。
【００６３】
なお、上記ノズルプレート２０は、前述したように、例えばポリイミド等の樹脂からなっているが、必ずしもこれに限らず、例えば、金属（ニッケル（Ｎｉ）又はステンレス（SUS）等の金属、又はセラミックの材料からなるノズルプレート２０においても適用が可能である。
【００６４】
このように、インクジェットヘッド１０のノズルプレート２０にインク吐出面２０ａの裏面側からマーキング加工をすることにより、ノズルプレート２０はもとよりインクジェットヘッド１０に損傷を与えることなく、識別情報を付与することができる。すなわち、インクジェットヘッド１０の性能を保ったまま、識別情報２４を付与することができる。
【００６５】
また、ノズルプレート２０毎の工程管理ができるようになり、ノズルプレート２０を本来のヘッド本体１とは異なるヘッド本体１に誤貼着する等のミスを防ぐことができる。さらに、アライメントのマーキングを行えば組立工程の簡略化が可能となり、歩留まりが向上する。また、ノズルプレート２０の使用状況等の製品管理も効率良く行うことができると共に、簡便となる。また、チャネルナンバーが認識できるようマーキングを施すことによって、インク不吐出やインク吐出不良等のノズル２３をオンサイトで観察することが可能になるため、異常発見を素早く察知でき、歩留まり向上や吐出精度向上に貢献できる。
【００６６】
このため、性能の良いインクジェットヘッドを、素早く、歩留まり良く製造することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明は、インクの吐出口であるノズルを有するノズルプレートをヘッド本体に貼着したインクジェットヘッド及びその製造方法に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明におけるインクジェットヘッドの実施の一形態を示す斜視図である。
【図２】上記インクジェットヘッドのノズルプレートに識別情報を溝加工する工程を示す断面図である。
【図３】上記識別情報として、ノズルプレートとヘッド本体との位置決めのためのアライメントマークをノズルプレートにマーキングしたインクジェットヘッドを示す斜視図である。
【図４】上記識別情報として、ノズルプレートとヘッド本体との位置決めのためのアライメントマークをノズルプレートにマーキングしたインクジェットヘッドを示す組み立て分解斜視図である。
【図５】上記識別情報として、ノズルプレートにチャネルナンバー「１、２、…」をマーキングしたインクジェットヘッドを示す斜視図である。
【図６】上記識別情報として、ノズルプレートに２次元バーコードやホログラムをマーキングしたインクジェットヘッドを示す斜視図である。
【図７】（ａ）は従来のインクジェットヘッドの構成を示す斜視図であり、（ｂ）は上記インクジェットヘッドの基準部材の構成を示す平面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１    ヘッド本体
２    インク流路
１０    インクジェットヘッド
２０    ノズルプレート
２０ａ  インク吐出面
２０ｂ  ヘッド本体貼着面
２１    ノズルプレート基材
２２    撥水膜
２３    ノズル
２４    識別情報
２４ａ  種類情報（識別情報）
２４ｂ  アライメントマーク（識別情報）
２４ｃ  チャネルナンバー「１、２、…」（識別情報）
２４ｄ  機器読取マーク（識別情報）
３１    レーザー発振器
３３    マーキング用マスク
Ｌ    エキシマレーザー光
【図１】
0004593462.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004593462.tif 000008