Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸に一定角度傾斜して固着又は角度可変に装着された斜板に摺接する平面部と、上記回転軸と平行に設けられたシリンダ内に嵌装されたピストンの凹部に係合する球面部を有する、略半球状の斜板式コンプレッサー用シューに於いて、
そのシューを、断面視において前記平面部の内側面の全体を底辺とし前記球面部の内側面の前記底辺の両側の全体を各々の斜辺とする略三角形状の、中空状に形成すると共に、
上記平面部の前記内側面の前記全体に係る肉厚が略同一厚さであるとともに、前記平面部の前記肉厚は前記底辺の長さより小さくあって前記平面部の前記内側面から前記球面部の頂部に至る長さよりも小さくあり、
球面部の前記内側面の前記底辺の両側の前記全体に係る肉厚が前記平面部に続く接続部位において前記平面部の前記肉厚より大きくあるとともに前記接続部位から前記頂部に向かって次第に薄くなるように形成されており、
前記球面部の前記頂部に前記球形部を構成する曲率半径を２倍したものの１５％以下の小径孔の孔が形成されている
いることを特徴とする、斜板式コンプレッサー用シュー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、斜板の回転に伴ってピストンを往復動させる斜板式コンプレッサー用のシューに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図２は、上記斜板式コンプレッサーの断面図であって、互いに対称な形状のシリンダブロック１，２が２個対向して組み合わせられ、そのシリンダブロックの両端にリヤハウジング３及びフロントハウジング４が装着されている。上記シリンダブロック１，２には軸線方向に延びる複数のシリンダボア１a、２aが形成されており、そのシリンダボア１a、２a内にピストン５が軸線方向に摺動可能に嵌装されている。上記シリンダボア１a、２aの中心には回転軸６が嵌挿されており、その回転軸６の中央部には斜板７が固着又は角度可変に装着されている。
【０００３】
上記斜板７とピストン５との間には半球状のシュー８が介装されている。このシュー８はその球面部がピストン５に設けられた凹部に係合されており、平面部が斜板７に摺動可能に当接されている。
【０００４】
しかして、回転軸６が駆動されると、その回転軸６の回転に伴い、斜板７が軸線周りに回転し、斜板７の回転に伴い斜板７に摺接するシュー８を介してピストン５が往復動される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述のような斜板式コンプレッサーにおけるシューは、一般に球状の鋼材を鍛造成形することにより、又は鋼球を切断することにより成形されていた。したがって、シュー自体が重く、ピストン及び斜板への負担が大きく、摩耗が発生しやすく、耐用度が低い等の問題がある。
【０００６】
また、鋼板をプレス加工により所望形状に打ち抜きそれを曲げ加工することにより、シューを中空状にしたものも提案されている。しかし、このようなものは中実のシューに比し軽量とはなるが、肉厚が均一であるため、所用強度に比し必ずしも軽量とならない等の問題がある。本発明は、このような点に鑑み、シューの軽量化を十分図ると共に、その強度を十分保持したシューを得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本願発明は、回転軸に一定角度傾斜して固着又は角度可変に装着された斜板に摺接する平面部と、上記回転軸と平行に設けられたシリンダ内に嵌装されたピストンの凹部に係合する球面部を有する、略半球状の斜板式コンプレッサー用シューに於いて、そのシューを、断面視において前記平面部の内側面の全体を底辺とし前記球面部の内側面の前記底辺の両側の全体を各々の斜辺とする略三角形状の、中空状に形成すると共に、上記平面部の前記内側面の前記全体に係る肉厚が略同一厚さであるとともに、前記平面部の前記肉厚は前記底辺の長さより小さくあって前記平面部の前記内側面から前記球面部の頂部に至る長さよりも小さくあり、  球面部の前記内側面の前記底辺の両側の前記全体に係る肉厚が前記平面部に続く接続部位において前記平面部の前記肉厚より大きくあるとともに前記接続部位から前記頂部に向かって次第に薄くなるように形成されており、  前記球面部の前記頂部に前記球形部を構成する曲率半径を２倍したものの１５％以下の小径孔の孔が形成されているいることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図１に基づいて本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の斜板式コンプレッサーのシュー１０の断面図であって、斜板と摺接する平面部１０aと、ピストンの凹部に係合する球面部１０bとを有している。このシュー１０は、棒材を切断して素材を作り、その後プレス数工程で中心部に中空部１０ｃが形成された中空状としてあり、上記平面部１０aは均等の肉厚に形成され、球面部１０bはその肉厚が頂面部方向に向かって次第に薄くなるように形成されている。そして、上記球面部の頂部には、球面部の径の１５％以下で可能な限り小径孔の開口１１が設けられており、さらに平面部の中央部にも開口１２が設けられている。
【００１０】
このように、本発明に於いてはシュー１０が中空状に形成されており、しかも、荷重が最も加わるシュー裾野部の肉厚を厚くし、頂部における肉厚が薄く形成されているので、強度について必要な部分のみを十分強化できるとともに、無駄な材料を省いて、十分軽量化することができる。さらに、球面部の頂部に球面部の径の１５％以下で可能な限り小径孔の開口１１が形成されているので、シュー揺動運動を滑らかにすることができる。
【００１１】
すなわち、ピストンの凹球面に嵌合するシュー球面部には自転と揺動の両運動が作用するとともに、その荷重をシュー開口部周辺から受け持つこととなり、上記開口部径が球径の１５％を超えるときはシューの自転及び揺動の動きに滑らかさを欠いてくる。したがって、シュー頂面開口部は可能な限り小径孔が望ましい。
【００１２】
また、前述のように鋼板をプレス加工により折り曲げ加工した中空シューの場合に於いては、開口部孔径を球径の１５％以下にすることは容易でなく、１８％が限界である。これに対し、本発明では球面部の肉厚が頂部に向かって次第に薄くなるようにされているので、上記開口孔径を十分小さくすることができる。
【００１３】
【発明の効果】
本発明は、上述のように、シューを中空状に形成すると共に、上記平面部の肉厚が略同一厚さであり、球面部の肉厚が頂部に向かって次第に薄くなるように形成されているので、シューに荷重に対する強度を十分持たせると共に、その重量を十分軽量化することができ、ピストン及び斜板への負担を軽減することができる。さらに、頂部の開口の大きさを所定の大きさとすることによって、シューの揺動運動を滑らかにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のシューの断面図。
【図２】斜板式コンプレッサーの縦断面図。
【符号の説明】
５  ピストン
６  回転軸
７  斜板
１０  シュー
１０a  平面部
１０b  球面部
１０c  中空部
１１  開口
【図１】
0004434448.tif 000002
【図２】
0004434448.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
トナー収容部と口部とを有し、プリフォームを成型して得られ、回転させてトナーを排出するトナー容器であって、該プリフォームは、口部周辺に回転軸対象に位置し、かつ該回転軸方向に開口する凹形状（７）の回転駆動力被伝達部（６）を有するものであり、該プリフォームの前記回転駆動力被伝達部（６）は延伸されず、トナー収容部が二軸延伸され、前記口部は、回転軸中心に開口し、トナー収容部は側面部にスパイラル溝が形成されたものであることを特徴とするトナー容器。
【請求項２】
前記凹形状が穴形状となっていることを特徴とする請求項１に記載のトナー容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
スパイラル溝が形成され、回転させてトナーを排出するトナー収納容器、およびその駆動方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のトナー収納容器は、一軸延伸容器にスパイラル溝が形成され、回転させてトナーを排出する容器であり、これまでは容器を凸形状にし、マシン受け側を凹形状にし、その勘合によって駆動力を容器に与えていた。しかし、一軸延伸容器を局所的に凸形状した場合、凸形状が安定しにくく、また凸部分が成形時に薄肉になり穴があく場合があり、また凸部分が落下により破損するといった問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、トナー収納容器の容器側を凹形状にし、マシン受け側を凸形状として駆動をとることにより、容器の穴あき不良、凸部破損が解消でき、寸法精度のよい容器の形成が可能となり、安定した駆動を容器にかけることが可能となるトナー容器を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、本発明の（１）「トナー収容部と口部とを有し、プリフォームを成型して得られ、回転させてトナーを排出するトナー容器であって、該プリフォームは、口部周辺に回転軸対象に位置し、かつ該回転軸方向に開口する凹形状（７）の回転駆動力被伝達部（６）を有するものであり、該プリフォームの前記回転駆動力被伝達部（６）は延伸されず、トナー収容部が二軸延伸され、前記口部は、回転軸中心に開口し、トナー収容部は側面部にスパイラル溝が形成されたものであることを特徴とするトナー容器。」、（２）「前記凹形状が穴形状となっていることを特徴とする前記第（１）項に記載のトナー容器」によって達成される。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明を詳細に説明する。
図６は、従来のトナー容器の形態を示したものであり、トナー容器口部（１）周辺に凸部（２）が形成されている。マシン側の容器駆動ユニットには前記凸部と勘合する位置に回転駆動部である凹部（３）が設けてあり、凹凸が勘合し容器が回転しトナーが排出する。
【０００６】
図１は、本発明のトナー容器の形態の一例を示したものであり、トナー容器口部周辺に凹部又は凹形状（４）を形成する。マシン側の容器駆動ユニットには前記凹部と勘合する位置に回転駆動部である凸部（５）が設けてあり、凹凸が勘合し容器が回転しトナーが排出する。
【０００７】
図２は、本発明のトナー容器の形態の他の一例を示したものであり、容器がニ軸延伸容器であり、延伸部以外の部分（６）に凹形状（７）を設ける。この場合、凹形状は貫通した穴（８）でも良い。また、本件の場合、図３（ｂ）に示すように、穴は切り欠き形状の穴（８’）でもよい。
【０００８】
また、図４に示すように、凹形状を形成する部分は、容器と係合する別部品（９）にしてもよい。容器との係合固定は、接着剤もしくは、はめ込み固定で特定しない。
【０００９】
図５は、本発明における凹形状を示す図であり、凹形状は２箇所以上偶数個（１０）あり、容器の中心軸（１１）に対し対象に位置させる。
【００１０】
【発明の効果】
以上、詳細且つ具体的な説明より明らかなように、本発明により、スパイラル溝が形成され回転させてトナーを排出する容器において、容器口部の周辺に凹形状を設けることで、従来の凸形状時に比べ、容器の穴あき不良や、凸部破損が解消できる。また、該容器が、ニ軸延伸容器であり、延伸部以外に凹形状を設けることで寸法精度が良い凹形状の形成が可能である。また、該凹形状を穴形状とすることで、現像装置駆動部からピンを穴形状に貫通させることで、駆動部の確実な伝達が可能となる。また、該容器において、凹形状部品が容器と別部品にすることで、一体成形しにくい形状でも、容器を作ることが可能となる。また、該容器において、凹形状が２箇所以上偶数個あり、容器の中心軸に対し対象に位置することで、駆動側の凸形状も中心軸に対し、対象において、安定した駆動を容器にかけることが可能となるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のトナー容器の形態の一例を示した図である。
【図２】  本発明のトナー容器の形態の他の一例を示した図である。
【図３】  本発明のトナー容器の形態の他の一例を示した図である。
【図４】  トナー容器の形態の他の一例を示した図である。
【図５】  本発明のトナー容器の形態の他の一例を示した図である。
【図６】  従来のトナー容器の形態の一例を示した図である。
【符号の説明】
１  トナー容器口部
２  凸部
３  凹部
４  凹部
５  凸部
６  延伸部以外の部分
７  凹形状
８  貫通穴
８’  貫通穴
９  凹形状を有する別部品
１０  凹形状
１１  中心軸
【図１】
0004434523.tif 000002
【図２】
0004434523.tif 000003
【図３】
0004434523.tif 000004
【図４】
0004434523.tif 000005
【図５】
0004434523.tif 000006
【図６】
0004434523.tif 000007
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ねじ付きロックボルト（１）を衝撃削岩機（２）に接続するカップリングスリーブであって、
ロックボルト（１）の接続用の内ねじ（４）を備えた第１の部分（３）と、
衝撃削岩機（２）の接続用の内ねじ（６）を備えた第２の部分（５）とを有し、
第２の部分（５）が、カップリングスリーブにおける長手方向軸線（９）に対して横方向に配置されたロック装置（７）を有し、
前記ロック装置（７）が、カップリングスリーブと削岩機（２）との分離を防ぐため削岩機（２）の領域（８）と共働し、領域（８）においてロック装置が負荷を受けないときの孔開け操作中に衝撃エネルギーが削岩機（２）からロックボルト（１）へ伝達され、
前記ロック装置によって、ロックボルト（１）によるロックを補強するため前記カップリングスリーブの前記第１の部分（３）をロックボルト（１）から切り離す方向へ前記削岩機を回転させることにより、前記カップリングスリーブへ接続された削岩機が保持されることを特徴とするカップリングスリーブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ねじ付きロックボルトを衝撃削岩機に接続するカップリングスリーブに関し、一層特に本発明は、衝撃削岩機をロックボルトから外す際にカップリングスリーブの二つのねじ付き接続部をまずある程度緩めるのを保証するカップリングスリーブの特殊な構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
ねじ接続部をまずある程度ゆるめるのを保証する従来耕地の解決法（スェーデン国特許第４３３０９７号参照）では、ねじ接続部が他のものより実質的に一層緩め難くするために、ピッチの異なるねじ、異なるねじ又はコーンを使用している。これらの解決法は規格外の部品祖を使用しなければならないという欠点がある。正しい接続を行うためには目的がどれであるかを常にチェックしなければならない。
【０００３】
上記の問題を解決する試みとして（国際出願ＷＯ０２／０５７５９１参照）、緩めるのが難しいねじにスリーブがクランプされる。この解決法には、掘削中にねじ接続部に作用する衝撃波荷重を吸収できないという欠点があることが分かった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許請求の範囲に記載される本発明は、上記の欠点を解決することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明においては、削岩機及びロックボルトが分離される際にカップリングスリーブと削岩機とが分離されるのを防ぐために、削岩機のシャンクアダプターにおける領域と共動するロック装置がカップリングスリーブに設けられる。
【０００６】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
図示カップリングスリーブは第１の部分３を有し、この第１の部分３は内ねじ４を備え、この内ねじ４にねじ付きロックボルト１が接続できる。ねじ付きロックボルトは孔をあける図示していないビットを備え、上記あけられた孔にはロックボルトが係留されることになる。本カップリングスリーブはまた第２の部分５を備え、この第２の部分５は軸線９に対して横方向に配列した二つの孔１０を備え、これらの孔１０には二本のばねピンの形態のロック装置７が配置される。ロック装置７は、カップリングスリーブ及び削岩機２が分離されるのを防ぐために、領域８と共動する。
【０００８】
ロックボルト１をセットすると、削岩機２に属しているシャンクアダプターは衝撃を受けると同時に回転される。これにより、ロックボルト１で孔あけされ、その孔にロックボルト１が係留されることになる。孔あけ中、ロック装置７は負荷を受けない。孔あけ後、ロックボルト１はカップリングスリーブから分離され、岩盤に残されることになる。その結果、削岩機はねじ接続部をゆるめるために回転される。シャンクアダプターのねじより直径の小さい領域８とロック装置７との共動により、削岩機２とカップリングスリーブとが分離するのを阻止している。その後、あけられた孔にはロックボルトの周囲に、ロックボルトを係留するためのセメント又は樹脂が充填される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明によるカップリングスリーブ及び該カップリングスリーブと共動するシャンクアダプター及びロックボルトを示す斜視図。
【図２】ロックボルト及び削岩機をカップリングスリーブに接続した図１による装置の断面図。
【図１】
0004568715.tif 000002
【図２】
0004568715.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽内に、ウェブの巻き出しおよび巻き取りを行なう複数のロールを具備するロール室と、スパッタリングを行う成膜室の２室を有し、巻き出されたウェブがロール室から成膜室を経て再びロール室に戻って巻き取られるように構成されているロールコーター式連続スパッタ装置において、ウェブが前記ロール室内の巻き出しロールから前記成膜室に入るまでの間に、ウェブを加熱する装置およびウェブから発生する水分を吸着する装置が配設されていることを特徴とするロールコーター式連続スパッタリング装置。
【請求項２】
ウェブが前記ロール室内の前記成膜室を出てから前記ロール室内の巻き取りロールで巻き取られるまでの間に、ウェブを加熱する装置およびウェブから発生する水分を吸着する装置がさらに配設されていることを特徴とする請求項１に記載のロールコーター式連続スパッタリング装置。
【請求項３】
前記ウェブを加熱する装置の前後に、前記ウェブから発生する水分を吸着する装置が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のロールコーター式連続スパッタリング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本装置は、ウェブに薄膜を形成するためのロールコーター式連続スパッタリング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
連続式スパッタリング装置を用いてウェブに薄膜を形成させる際、ウェブから発生する水分により金属酸化物薄膜の純度が低下するという問題が知られている。これは、水分中の酸素が金属ターゲットの金属と反応することによりスパッタリングする薄膜の組成が一部、変化するためである。また、ウェブから発生する水分により薄膜とスパッタリング基板間の密着性が低下するという問題も知られている。
【０００３】
そのため、ウェブから出る水分の影響を少なくするために、ロールコーター式連続スパッタリング装置において、ロール室と成膜室を仕切りで仕切ったり、ロール室で予備加熱を行うことが従来行なわれてきた。しかしながら、ロール室から成膜室へは冷却ロールに接触させながらウェブを通過させる必要があるため、ロール室と成膜室の間を完全に仕切ることはできない。そのため、ロール室で発生した水分が成膜室に混入し、スパッタリングにより形成させた金属酸化物薄膜の組成が変化するという問題点を完全に解消することはできなかった。
【０００４】
前記の問題を改善するために、特開２０００−０１７４３７号公報では、成膜室内の水分分圧を低く保つために、成膜室内に水分排気能力の高いクライオ・パネル等水分用ポンプ、例えば、ポリコールド（商標）のような冷却部に水分を吸着させるポンプを用いた装置も提案されている。しかしながら、成膜室内にクライオ・パネルを設ける場合、ウェブの近くにはターゲットを取り付けるカソード・ボックスがあり、クライオ・パネルをウェブから離れた位置に設置させる必要がある。そのため、ロール室から成膜室に混入する水分の影響で膜純度の低下や膜品質に悪影響がおこることがあった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明の目的は、上記従来技術の有する問題点を解消し、成膜室内の水分分圧の上昇を抑えることができるロールコーター式連続スパッタ装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、請求項記載の発明により達成される。すなわち、真空槽内を走行するウェブをＩＲヒーターなどの加熱装置で加熱することでウェブに含まれる水分を蒸発させ、かつ、その加熱装置周辺にクライオ・パネルなどの水分除去装置を配置することでウェブから発生した水分を成膜室へ混入しないようする。また、強制的にウェブ内の水分を蒸発・除去するので、成膜室内での水分発生をも防止することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の一形態を説明する。
第１図は、本発明の実施例におけるロールコーター式連続スパッタ装置を示す概略図である。真空槽１０の巻き出しロール４にセットされたウェブ７はロール室と成膜室を仕切る仕切り８の隙間を通って冷却ロール９上を通過し、巻き取りロール５で巻き取られる。真空槽内の真空度は排気装置３により真空を維持する。ターゲットが取り付けてあるカソード・ボックスは冷却ロール９の半径方向下部に配置され、アルゴンガス雰囲気中にて高電圧をターゲットに加えることでターゲット材料の一部がウェブ上にスパッタリングされる。
【０００８】
また、巻き出しロール４から送り出された高分子フィルム７は成膜室１に入るまでの間に設けられた加熱装置１１により加熱され、ポリコールド（商標）を使用したクライオパネル６によりウェブから出て来た水分を吸着させる。
【０００９】
【作用】
本発明によれば、ウェブ中の水分を強制的に蒸発、吸着させることによりウェブから発生する水分がスパッタ膜に混入し、スパッタ膜の純度を低下させたり、被スパッタ面に付着してスパッタ薄膜の密着性低下などの悪影響が無くなる。
【００１０】
【実施例】
以下に実施例により本願発明を説明するが、本願発明はこれらにより限定されるものではない。
【００１１】
スパッタリングを施すウェブ７は、片面に高分子被覆層を有する二軸延伸ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（東洋紡績（株）製、Ａ４１００、幅：１０００m、厚み：１８８μm）を用い、高分子被覆層側表面にスパッタリングを行なった。
【００１２】
ターゲットはインジウム−スズ複合酸化物（酸化インジウム／酸化スズ＝９０重量％／１０重量％、三井金属鉱業（株）製）を用い、ＤＣマグネトロン・スパッタ法により１個のターゲットでスパッタリングを行った。ラインスピードは１ｍ／ｍｉｎ、クライオ・パネルのポンプはポリコールドを使用し、加熱装置としてはＩＲヒーターを用いフィルム表面温度を１００℃に加熱した。
【００１３】
本発明のスパッタ装置と従来のスパッタ装置での成膜室内の水分分圧の経時変化を図２に示した。本発明のスパッタ装置は従来のスパッタ装置と比べ、成膜室内の水分分圧の上昇を抑制できることが分かる。
【００１４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のロールコーター式連続スパッタリング装置は、ウェブ（スパッタ基板）が成膜室に入る前に基板を加熱する装置、および蒸発した水分を吸着するクライオ・パネルなどの水分吸着装置を配設しているため、成膜室内の水分分圧の上昇を抑制でき、その結果スパッタ膜の純度や密着性の低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるスパッタ装置全体の構成図である。
【図２】従来のスッパッタ装置と本発明のスパッタ装置との、成膜室における水分分圧の経時変化の比較図である。
【符号の説明】
１  成膜室
２  カソードボックス（ターゲット）
３  真空排気装置
４  巻き出しロール
５  巻き取りロール
６  クライオ・パネル（クライオ・コイル）
７  ウェブ（スパッタ基板）
８  ロール室と成膜室の仕切り
９  冷却ロール
１０  真空槽
１１  加熱装置
【図１】
0004568994.tif 000002
【図２】
0004568994.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（１）水道水を噴射させて車を洗浄する洗車具であって、
（２）作業者の操作用ハンドルを兼ねるさお状給水管と、
（３）該給水管に接続された円筒形湾曲形状の内槽及び該内槽の外側を取り巻くように形成された外槽の本体加圧槽を有し、
（４）前記内槽と前記外槽とは連通状態にあって給水管から導入された水を加圧状態で貯溜できる前記本体加圧槽で、
（５）一方向の渦巻き水流を前記内槽の下部先端から噴出させるように湾曲して設けられると共に傾斜させて配置された前記内槽内に複数が設けられる内側の弧状曲管と、
（６）前記一方向の渦巻き水流とは反対の他方向の渦巻き水流を前記外槽の下部先端から噴出させるように湾曲して設けられると共に傾斜させて配置された前記外槽内に複数が設けられる外側の弧状曲管とを具備することを特徴とする洗車具。
【請求項２】
前記外槽の下部の外周を囲むように設けられた水の飛散防止帯を備えることを特徴とする請求項１記載の洗車具。
【請求項３】
前記内槽を形成する周壁に貫通孔が設けられることで前記内槽と前記外槽とが連通していることを特徴とする請求項１又は２記載の洗車具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本発明は通常の水圧の水道水を噴射させて洗浄洗車を行う洗車具。
【背景技術】
【０００２】現在はタワシやスポンジの付帯した洗車具の一部を水道圧力を利用して噴射し回転させて車体を流し洗いする構造である、然し水の飛散による無駄が多く幾つかの問題点も持っている。【０００３】
【特許文献１】実用新案登録  第３１３０７７５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】現在の洗車方法では水の飛散や水量の節約等は操作だけで補うことは困難で器具が回転して洗浄するため多量の水が必要で且つ遠心力によって外部へ飛散するなど前記欠点もあり抜本的構造改変が必要。
【課題を解決するための手段】
【０００５】水の飛散の根源である回転部を静止固定させておくことが重要であり逆に水の方を回転させる方法に転換、そのための構造は本発明に係る洗車具の一形態に、よれば別記［請求項１］内容付記
（１）水道水を噴射させて車を洗浄する洗車具で、あって、
（２）作業者の操作用ハンドルを兼ねる、さお状給水管と、
（３）該給水管に接続された円筒形湾曲形状の内槽及び該内槽の外側を取り巻くように形成された外槽の本体加圧槽を有さし（槽を増加することも含む）
（４）前記内槽と前記外槽とは連通状態に、あって給水管から導入された水を加圧状態で貯溜できる前記本体加圧槽で、
（５）一方向の渦巻き水流を前記内槽の下部先端から噴出させるように湾曲して設けられると共に傾斜させて配置された前記内槽内に複数が設けられる内側の弧状曲管と、
（６）（前記一方向の渦巻き水流とは反対の）他方向の渦巻き水流を前記外槽の下部先端から噴出させるように湾曲して設けられると共に傾斜させて配置された前記外槽内に複数が設けられる外側の弧状曲管とを具備する。
又、本発明に係る洗車具の一形態によれば、別記［請求項２］内容付記
前記外槽の下部の外周を囲むように設けられた水の飛散防止帯を備えることができる。
【発明の効果】
【０００６】（１）本発明により本体加圧槽下部外側に設けられた軟質ゴム製飛散防止帯が水の飛散を防止して足元や衣服を濡らすことが、なくなる
（２）本発明は水流を渦巻きに変え，且つ内槽から右回り外槽から左回りの水流を、おこさせる円筒形湾曲形状の加圧槽内に、それぞれ弧状曲管を傾斜させて複数配備させた構造で加圧槽で水圧を高めて前記曲管から一斉に噴出させるので内槽と外槽から水流が逆方向に強進し、その大半が、捻れ衝突し、その接触抵抗摩擦を利用して洗浄するから車体をひねるような状態で磨きを掛けながら給水管（ハンドル）操作で移動させるもので効果は良好。
（３）水道ホースに、ワンタッチ接続するだけで、その後は水量調整バルブの操作で片手で洗浄作業が出来るので簡単便利であり作業の始め、終わりの準備や後片付けは単純で早い。
作業の所要時間は半減することが可能、尚軽量材使用で軽いから女性でも楽しみながら作業をすることが出来る特点。
（４）構造が簡単で部品の精度は一定基準（中程度）であれば可、又材種は、硬質、軟質のプラスチック等軽量材が主体で、部品数も少ないから組み立ても容易であり、故障の原因は殆ど無い。
【発明を実施するための最良の形態実施例】
【０００７】本発明は円筒形湾曲形状の本体加圧槽に給水管を通して給水し本体加圧槽で水圧を高め加圧槽内を内槽と外槽に周壁（仕切り板）で分離し周壁に貫通孔を設け同一水圧になるようにする、前記内槽と外槽からは互いに逆方向の渦巻き水流をおこさせるように、それぞれ複数の弧状曲管を傾斜させて配備し前記本体加圧槽で水圧を高める為に曲管の総合計断面積を一定基準内に抑え、曲管の総本数と管径を設定する。
実施に伴う手順、構成、
（１）図１により既設ビニールホースから１ワンタッチ継手で給水管に接続する。
（２）図１により２流量調整バルブ（開閉コック型）プラスチック又は金属製を使用する。
（３）図１、図２、の３ボール自在継手で給水管と本体加圧槽とを接続する。
（４）図１、図２の５洗剤容器室の空間を造成し、ここに別途液体洗剤入れ用スポイト式軟質プラスチック製容器を挿入固定させる、水洗いだけの時はスポイトを上方に抜いて空間を封じる、蓋は差込み型か開閉型として付備する。
（５）図２、４本体加圧槽は前記円筒形湾曲形状で６内、外槽周壁（仕切板）で図３の６の、ように仕切られていて仕切板には図２の７又は図３の７の貫通孔を設けて流通させる。
（６）図２、の８，９は内槽及び外槽の内側に弧状曲管を本体中央程度の高さより下部に向け底外部に貫通して配備させて更に弧状曲管は、図３、の８及び９のように渦巻きを、おこさせるため下部中央近くに水流が集中するように傾斜させて配備することが最大のポイントである。
（７）図２、図３、の１０は作業終了後の洗車具の水抜用として小さい孔を説ける。
（８）図２、図３、の１１は軟質ゴム製細切りの水の飛散防止帯を付備した状態で本体下部外周を取り巻くように溝形に造形して防止帯の取り付け、取り外しが簡単に出来るようにする。
前記［０００７］に基ずく弧状曲管の総本数及び管径は次の計算で設定する。
一般家庭の管末水道管又はビニールホースの内径を１３ミリメートルとして，管の断面積は１３２平方ミリメートル，元栓の開き４０パーセント、で５２平方ミリメートルとなる、曲管内径を３ミリメートルとして７平方ミリ，５２割る７は約８本となり、内槽に４本、外槽に４本と設定実施効果を得る。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】  本発明に係る渦巻き水流、左右逆流接触抵抗摩擦利用の洗浄洗車具の平面図。
【図２】  本発明に係る図１のＡ−Ａ断面図。
【図３】  本発明に係る図２のＢ−Ｂ断面図。
【符号の説明】
１    伸縮給水管
２    調整バルブ
３    ボール自在継手
４    本体加圧槽
５    洗剤容器室
６    仕切板（周壁）
７    流通開口部（貫通孔）
８    右回り噴射管（曲管）
９    左回り噴射管（曲管）
１０    水抜き穴
１１    ゴム製飛散防止帯
【図１】
0004568358.tif 000002
【図２】
0004568358.tif 000003
【図３】
0004568358.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバー内にガスを導入してマイクロ波や高周波により放電プラズマを形成すると共に基板に負のバイアス電圧を印加して、基板上に堆積したポーラスシリカを含有する材料の薄膜をレジストマスクを用いてエッチングする方法において、
エッチングガスとしてＣ３Ｆ８のみ、又はＣ３Ｆ７Ｉのみを使用することを特徴とする基板上に堆積したポーラスシリカを含有する材料の薄膜のエッチング法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体等の基板上に形成されるポーラスシリカ及びそれを含有する材料の誘電体薄膜のエッチング法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
超ＬＳＩ製造技術においては、配線の高密度が進み、配線間の寄生容量を低減するため、層間絶縁膜にはＳｉＯ２（誘電率４．０程度）に代えて誘電率のできるだけ小さい材料、理想的には誘電率１の空気であるが、実際問題として超ＬＳＩでは空中配線は困難なので、例えばＭＳＱ（誘電率２．８〜２．２程度）や有機膜、ポーラスシリカ（誘電率１．５〜２．０程度）などが採用されるか検討されるようになってきている。
【０００３】
このような低誘電率材料は膜密度が低いため反応性が高く正確な微細加工が困難である。すなわちテーパー角を精度良くコントロールすることができない。また、例えば反応性が高いことや、チャージアップによるイオンの回り込み等に起因するものと考えられているマイクロトレンチと呼ばれる微細な溝が配線溝の底に形成され、リーク電流の原因となるなどの問題も生じる。
【０００４】
このマイクロトレンチの発生を抑制するため、一般には、プロセスを高圧化すること、バイアス電圧を下げることで解決する手段が採用されている。しかし、プロセスを高圧化すると、エッチング表面の平滑さが低下したりボーイングが発生し易くなり、また基板のバイアス電圧を下げると、エッチング速度が低下するなどの問題が生じる。
【０００５】
添付図面の図１に示すように、ＳｉＯ２から成る半導体基板１上にポーラスシリカから成る層間絶縁膜２を形成し、この層間絶縁膜２上に、フォトレジスト３を施してエッチングする場合について考えてみると、使用するエッチングガスによってエッチング速度及び選択性が大きく変わることが認められる。
【０００６】
例えば、図２に示すように、エッチングガスとしてＣ４Ｆ６ガスを使用した場合にはエッチング速度及び選択性はともに低いことが認められる。
【０００７】
このようなエッチングガスとエッチング速度及び選択性との関係を実験したところ、高いエッチング速度及び選択性を得るのには二重結合をもたないフッ素系ガスが好ましいことを見い出した。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明では、高いエッチング速度及び選択性を維持させた状態でエッチング時のマイクロトレンチの形成を防止又は低減できしかもテーパー角を精度良くコントロールすることができる半導体基板上に形成されるポーラスシリカを含有する材料の誘電体薄膜のエッチング法を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明によれば、真空チャンバー内にガスを導入してマイクロ波や高周波により放電プラズマを形成すると共に基板に負のバイアス電圧を印加して、基板上に堆積したポーラスシリカを含有する材料の薄膜をレジストマスクを用いてエッチングする方法において、
エッチングガスとしてＣ３Ｆ８のみ、又はＣ３Ｆ７Ｉのみを使用することを特徴としている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面の図２を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１２】
図２には本発明の幾つかの実施の形態に従ってエッチングした場合の基板、ポーラスシリカから成る層間絶縁膜及びフォトレジスト層のエッチング速度及び選択性を示す。
まずエッチングガスとしてＣＦ４を用いた場合には、高いエッチング速度及び選択性が得られていることがわかる。
また、エッチングガスとしてＣ３Ｆ８を用いた場合には、さらに高いエッチング速度及び選択性が得られていることがわかる。
さらに、エッチングガスとしてＣ３Ｆ７Ｉを用いた場合には、さらに高いエッチング速度と共に選択性がさらに高くなっていることがわかる。
【００１３】
これらのフッ素系ガスは図３に示す構造式からわかるようにいずれも二重結合構造をもっていない。これに対してエッチング速度及び選択性のいずれも低いＣ４Ｆ６ガスは二重結構構造をもっている。
【００１４】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明によれば、真空チャンバー内にガスを導入してマイクロ波や高周波により放電プラズマを形成すると共に基板に負のバイアス電圧を印加して、基板上に堆積したポーラスシリカを含有する材料の薄膜をエッチングする方法において、 エッチングガスとして二重結合を持たないフッ素系ガスを使用してエッチングを行うことにより、高いエッチング速度と選択性が得られ、テーパー角度を精度良くコントロールすることができると共にマイクロトレンチの形成を抑制することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用される基板上に形成した層間絶縁膜の断面を拡大して示す図。
【図２】本発明の幾つかの実施の形態に従ってエッチングした場合のエッチング速度と選択性の関係を従来例と比較して示すグラフ。
【図３】エッチングガスとしてのフッ素系ガスの構造式を示す図。
【図１】
0004568444.tif 000002
【図２】
0004568444.tif 000003
【図３】
0004568444.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザー変位センサーを、リニアモーターによりスライド動自在に、ガイドレールに取り付けて成る打錠用杵の長さ測定装置の当該レーザー変位センサーの移動範囲内に、複数本の打錠用杵を当該ガイドレールから一定の距離にその尾端を揃えると共に、その先端面をガイドレールと直交的に配置した後、レーザー変位センサーを作動させつつ、リニアモーターでスライド動させることにより順次当該打錠用杵の各端面までの距離情報を複数点で入手することを特徴とする打錠用杵の長さ測定方法。
【請求項２】
グラフィックアナログコントローラー及びデータ処理手段を備えたレーザー変位センサーを用いることを特徴とする請求項１記載の打錠用杵の長さ測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は錠剤を打錠成型するために用いる杵、特に特殊な端面形状を有する杵の長さの測定に好適な測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
打錠成型される錠剤の規格管理上、打錠用杵の長さを測定する必要があるが、従来は斯かる測定にマイクロメーターやダイヤルゲージ等手動式の測定器が用いられている。然しながら、例えばドーナツ状錠剤の如き形状の錠剤を打錠成型するために用いられる特殊な端面形状を有する杵を測定対象とする場合には、斯かる従来の手動式測定器では、杵の端面の最凸部あるいは最凹部を、当該一点あるいはせいぜい二点で測定せざるを得ないと云う問題があり、自ずと精度が悪く、しかも測定効率も低いのが実状であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は斯かる従来の問題と実状に鑑みてなされたものであり、特殊な端面形状を有する杵であってもその長さを高精度かつ効率的に自動測定することができる測定方法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、レーザー変位センサーを、リニアモーターによりスライド動自在に、ガイドレールに取り付けて成る打錠用杵の長さ測定装置の当該レーザー変位センサーの移動範囲内に、複数本の打錠用杵を当該ガイドレールから一定の距離にその尾端を揃えると共に、その先端面をガイドレールと直交的に配置した後、レーザー変位センサーを作動させつつ、リニアモーターでスライド動させることにより順次当該打錠用杵の各端面までの距離情報を複数点で入手することを特徴とする打錠用杵の長さ測定方法により上記目的を達成したものである。
【０００５】
ここに、レーザー変位センサーは、更にグラフィックアナログコントローラー及びデーター処理手段を備えているものが、より高精度の測定結果を得ると共に再現性に優れ、望ましい。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態を図面と共に説明する。
【０００７】
図１は、本発明打錠用杵の長さ測定装置の概略構成説明図である。該図１に於て、１０はレーザー変位センサーで、リニアモーター２０の作動によりスライド動自在に、ガイドレール３０に取り付けられている。ここに、リニアモーター２０の駆動力は、例えばウォームギア等の伝達手段を介してレーザー変位センサー１０に伝達され、ガイドレール３０に沿って当該レーザー変位センサー１０が、例えば１９mm／ｓの等速でスライド動し、例えば直径が９mmの杵の場合、４，７３７個のデーターが得られるようになっている。因に、レーザー変位センサー１０の移動速度は、リニアモーター２０の回転数の設定によって適宜制御される。
【０００８】
このレーザー変位センサー１０には、アンプユニット４０を介してグラフィックアナログコントローラー５０が回線接続され、レーザー変位センサー１０によって得られた、杵先端面までの距離情報たるアナログ信号がアンプユニット４０を経由して該グラフィックアナログコントローラー５０に入力されるようになっている。
【０００９】
グラフィックアナログコントローラー５０は、入力されたアナログ信号を例ええば１００μｓ間隔（１０，０００回／秒）でデジタル信号に変換し、回線接続されたデーター処理コンピューター６０の表示部６０ａに、図２（ｂ）に示す如き杵の端面形状として出力表示する。因に、この表示された杵の端面形状に測定したいポイントをエリアとして設定し、そのエリア内のピーク値、ボトム値を求めることにより測定位置を任意に設定できる。また、そのデーターはデーター処理コンピューター６０によって、予め測定入力されている標準杵のデーターとの対比演算により当該杵の長さが具体的数値としてその表示部６０ａに出力表示されるようになっている。
【００１０】
而して、この実施の形態に係る本発明測定装置を用いて打錠用杵の長さを測定するには、図１に示す如く、ガイドレール３０上をスライド動するレーザー変位センサー１０の移動範囲内に適宜本数（図示の例に於ては３本）の杵７０を、当該ガイドレール３０から一定の距離に杵の尾端を揃えると共に、その先端面をガイドレール３０と直交的に配置し、レーザー変位センサー１０を作動させつつ、リニアモーター２０でスライド動させれば、順次杵７０の各端面までの距離情報を複数点、例えば図２に示す如く四点で入手し得る。換言すれば、各杵についてその長さを四点で測定することができる。
【００１１】
【発明の効果】
本発明によれば、従来困難であった打錠用杵の長さを自動的に測定し得る結果特殊な形状を有する端面であっても、手動方式とは異なり手振れもなく、高精度に測定データーを得ることができる。しかも、レーザー変位センサー１０の自動スライドにより連続的に複数本の杵を測定処理することができるので、極めて効率の良い測定処理が可能である。
更にまた、グラフィックアナログコントローラー５０及びデーター処理コンピューター６０との併用により、一つの杵に対し、例えば四点の如く複数点に於て測定データーを入手処理することができるので、より精度の高い測定結果が得られると共に、レーザー変位センサー１０の移動速度から杵端面の直径を求めることもできる。
以上従って、本発明方法を用いれば、錠剤の規格管理を効果的に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明方法に用いる測定装置の概略構成説明図。
【図２】  測定例を示す説明図。
【符号の説明】
１０：レーザー変位センサー
２０：リニアモーター
３０：ガイドレール
４０：アンプユニット
５０：グラフィックアナログコントローラー
６０：データー処理コンピューター
７０：打錠用杵
【図１】
0004568405.tif 000002
【図２】
0004568405.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エチレングリコール、γ−ブチロラクトンのうち少なくとも１種を溶媒とし、マレイン酸またはその塩を主溶質とし、ポリ−２，２，４−トリメチル−１，２−ジヒドロキノリンを０．０１〜５．００ｗｔ％添加したことを特徴とするアルミニウム電解コンデンサ駆動用電解液。
【請求項２】
γ−ブチロラクトンを主溶媒とし、副溶媒としてエチレングリコールを１〜２０ｗｔ％添加したことを特徴とする請求項１記載のアルミニウム電解コンデンサ駆動用電解液。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アルミニウム電解コンデンサ駆動用電解液（以下、電解液と称す）に関するものであり、特に電解液の比抵抗の経時変化の改善に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、低圧用アルミニウム電解コンデンサの電解液としては、γ−ブチロラクトンを主成分とする溶媒に、フタル酸やマレイン酸などのカルボン酸類と、トリエチルアミンなどのアミン塩を主溶質として溶解した電解液を用いている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
フタル酸塩を主溶質とした電解液は比抵抗が高く、アルミニウム電解コンデンサの低損失化を望む市場の要求に充分に対応できないということから、マレイン酸塩を主溶質として溶解した電解液を用いることが望ましい。
しかしながらマレイン酸塩を主溶質とした電解液は、マレイン酸が脱炭酸反応や重合反応をおこすため、電解液の比抵抗の経時変化が大きいという問題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するため、ラジカル吸収能力を有するポリ−２，２，４−トリメチル−１，２−ジヒドロキノリンを添加することで、マレイン酸の脱炭酸反応や重合反応を阻害し、電解液の比抵抗の経時変化を抑制しようとするものである。すなわち、エチレングリコール、γ−ブチロラクトンのうち少なくとも１種を溶媒とし、マレイン酸またはその塩を主溶質とし、ポリ−２，２，４−トリメチル−１，２−ジヒドロキノリンを０．０１〜５．００ｗｔ％添加したことを特徴とするアルミニウム電解コンデンサ駆動用電解液である。
【０００６】
また、γ−ブチロラクトンを主溶媒とし、副溶媒としてエチレングリコールを１〜２０ｗｔ％添加したことを特徴とする上記アルミニウム電解コンデンサ駆動用電解液である。
【０００７】
【発明の実施の形態】
ポリ−２，２，４−トリメチル−１，２−ジヒドロキノリン（ＴＭＤＱ）は強力なラジカル吸収剤であり、マレイン酸またはその塩を主溶質とした電解液の比抵抗の経時変化の原因であるマレイン酸の脱炭酸反応や重合反応を阻止する効果を有する。
【０００８】
【実施例】
以下、本発明の実施例について具体的に説明する。
表１の組成で電解液を調合し、各電解液を、完全に密封したアンプル管中に封入して１０５℃の恒温槽中に放置し、比抵抗の経時変化を測定した。
【０００９】
【表１】
0004520002.tif 000002
【００１０】
表１よりＴＭＤＱを０．０１ｗｔ％以上添加した実施例は、１０５℃２０００時間後の電解液の比抵抗の経時変化が従来例より安定していることが分かる。ＴＭＤＱを１０ｗｔ％添加すると電解液に完全に溶解しないため、ＴＭＤＱの添加量は０．０１〜５．００ｗｔ％の範囲が適当である。
【００１１】
実施例では主溶質にマレイン酸水素トリエチルアミンを用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、メチルアミン、エチルアミン等のマレイン酸の１級アミン塩、ジメチルアミン、エチルメチルアミン、ジエチルアミン等のマレイン酸の２級アミン塩、トリメチルアミン、ジメチルエチルアミン、ジエチルメチルアミン、トリエチルアミン等のマレイン酸の３級アミン塩、テトラメチルアンモニウム、テトラエチルアンモニウム等のマレイン酸の４級アンモニウム塩、マレイン酸のイミダゾリニウム塩等種々のマレイン酸塩に適用することができる。
【００１２】
実施例５の電解液を基に、γ−ブチロラクトンとエチレングリコールとの混合量を各種組み合わせた電解液を調合し、−５５℃と＋２０℃の電解液比抵抗を測定した。エチレングリコール量と−５５℃／＋２０℃電解液比抵抗倍率を図１に示す。副溶媒のエチレングリコール量を増やすほど電解液の低比抵抗化が可能だが、図１より副溶媒としてのエチレングリコール量は、１〜２０ｗｔ％の範囲が好ましい。
【００１３】
【発明の効果】
上記のとおり、本発明によるマレイン酸またはその塩を主溶質とし、ポリ−２，２，４−トリメチル−１，２−ジヒドロキノリンを添加したアルミニウム電解コンデンサ駆動用電解液は、低比抵抗でかつ比抵抗の経時変化の抑制が可能であり、工業的価値大なるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】エチレングリコール量と−５５℃／＋２０℃電解液比抵抗倍率との特性図である。
【図１】
0004520002.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性体でなる補強用の磁性芯金へゴム材料と磁性粉を混合して加硫接着された磁性ゴム環の着磁方法であって、前記磁性芯金は厚みが０．３ｍｍ〜１．５ｍｍで径方向部と円筒部とを有しており、前記磁性芯金の径方向部に厚みが０．３ｍｍ〜１．５ｍｍの磁性ゴム環を形成せしめ、チャックにて該円筒部を掴み固定した後、前記チャックと同心上に配置した着磁ヨークを前記磁性ゴム環に押し当てて着磁をなし、その後、前記円筒部の内周側をチャックによって拡着し、引抜き移動によって着磁ヨークを磁性ゴム環から離形せしめることを特徴とした磁性ゴム環の着磁方法。
【請求項２】
前記着磁ヨークの前記磁性ゴム環に押し当てる面圧は０．５〜２０ｋｇ／ｃｍ２であることを特徴とした請求項１記載の磁性ゴム環の着磁方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁力が高く円周状に磁性バラツキの少ない磁性ゴム環の着磁方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、磁性を有するゴム環の製造にあっては、磁性粉を適量ゴム材料に混合してゴム生地を形成し、このゴム生地を補強を兼ねた取付部材へ加硫一体化して成形なさしめており、その着磁では、着磁ヨークの中心に前記磁性ゴム環を同心に載置し、磁性ゴム環に密着させてＳ極とＮ極を交互に配置して着磁せしめるなどの作業を行なっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような磁性ゴム環は成形性と取扱性を考慮してその厚みが２．０ｍｍ〜３．０ｍｍ程度の肉厚に成形される場合が多く、また着磁においては磁性ゴム環と着磁ヨークとを同心で正確に面接触させるのが難しいもので、ともすると僅かなズレあるいは偏りなどによって着磁をなす着磁ヨークに偏芯とか傾斜が発生し磁性のバラツキを起こすものとなり、品質の安定した磁性ゴム環を提供できない欠点を有している。
【０００４】
本発明はこのような欠点に鑑み、磁性ゴム環の磁力特性を円周方向に均一にするために、磁性ゴム環と補強体の成形厚みを比較的薄厚に設定すると共に、チャックによって掴み固定し、圧着装置を用いて磁性ゴム環に着磁せしめることで精度の高い着磁方法を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決しようとする手段】
図面に基づいて説明すると、図１に示すように磁性体でなる磁性芯金１へ合成ゴム等のゴム材料とフェライト等の磁性粉を混合して加硫接着された磁性ゴム環２の着磁方法であって、前記磁性芯金１は厚みが０．３ｍｍ〜１．５ｍｍで径方向部１１と円筒部１２とを有しており、前記磁性芯金１の径方向部１１に０．３ｍｍ〜１．５ｍｍの厚みを持たせて磁性ゴム環２を形成せしめ、チャックにて該円筒部を掴み固定した後、前記チャックと同心上に配置した着磁ヨーク４を図２に示すように前記磁性ゴム環２に押し当てて着磁をなし、その後、前記円筒部１２の内周をチャック５によって拡着し、引抜き移動によって着磁ヨーク４を磁性ゴム環２から離形せしめることを特徴としている。
【０００６】
また、図１に示すように前記着磁ヨーク４の前記磁性ゴム環２に押し当てる面圧を、０．５〜２０ｋｇ／ｃｍ２に設定したことを特徴としている。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明は上記したように、形成した磁性ゴム環２へ着磁ヨーク４から磁力を付着する着磁方法を提案しており、前記磁性ゴム環２と一体化される磁性芯金１の円筒部１２を円環３あるいはチャック５にて掴み固定せしめて着磁ヨーク４への押し当てと離形を正確になさしめている。
このとき前記磁性芯金１の厚みを比較的薄厚の０．３ｍｍ〜１．５ｍｍの磁性体とし、径方向部１１と円筒部１２とを有する断面略Ｌ字状に形成して、径方向部１１には０．３ｍｍ〜１．５ｍｍの厚みの磁性ゴム環２を一体形成せしめており、一方、前記円筒部１２には円環３あるいはチャック５によって掴み固定をなさしめる適当な部位とせしめる。
このような構成によって着磁を果たした磁性ゴム環２は正確で高い磁力を発揮し円周状に磁性のバラツキの少ないものとなる。
【０００８】
【実施例】
本発明の実施にあって、その着磁においては、図１で示すように磁性芯金１の円筒部１２の外周面をチャック５に嵌め込み固定せしめて前記円環３と同心になるよう位置決めし、該円環２と同心上に配置した着磁ヨーク４を磁性ゴム環２上に移動させ、０．５〜２０ｋｇ／ｃｍ２の面圧をもって押し当てる。ここで着磁ヨーク４と磁性ゴム環２が接触し、磁性ゴム環２の裏面の磁性体でなる円筒部１２を通して円環３に押付けられた状態で着磁ヨーク４に電流を流し、それによって生じた磁力線により磁性ゴム環２は正確に着磁がなされる。ここでは磁性芯金１が磁性体からなることと磁性ゴム環２を０．３ｍｍ〜１．５ｍｍの厚みに形成したことにより、図２に示すように通電によってはっきりとした磁力線が流れるものとなり、該磁性ゴム環２へ強い磁力が着くものとなる。この着磁の後、着磁ヨーク４へ磁気密着した磁性ゴム環２を前記円筒部１２の内周側にチャック５を装着し拡着して引抜き互いを分離せしめる。
【０００９】
ここでの円筒部１２はシャフトなどへの取付部材（図示していない）との圧入部として形成されるもので、高い精度をもって形成されているので、この円筒部１２を基準面として着磁、取出しをなせば該部分以外の全ての部分の精度が向上するものとなる。
前記した着磁ヨーク４にあっては、円環３と同心に設置することを必須の構成としているが、その着磁面が平滑で前記磁性ゴム環２の表面と軸方向にぴったり重なり合うよう配置することも肝要で、そのために磁性ゴム環２上を着磁ヨーク４で面圧０．５〜２０ｋｇ／ｃｍ２で押し当てる必要がある。
この面圧が小さいと、傾き、逆に大きいとゴムの変形が過大となり着磁がバラツク傾向を見せる。
また、磁性芯金１を掴むチャック５においては、３本の爪がそれぞれ拡がって円筒部１２の内周部を掴む構造が偏芯も少なく簡単で確実な着脱を可能とするが、さらなる確実性を望めば、例えば４本、５本、６本等の多爪構造を採用することもできる。
【００１０】
【発明の効果】
本発明によると、磁性ゴム環２の磁力特性を円周方向に均一にするために、磁性ゴム環２の成形厚みと磁性芯金１の厚みとを設定すると共にチャックによる固定を行い、同心が保たれる圧着装置を用いてバラツキの少ない着磁をなさしめたものであり、前記磁性芯金１と磁性ゴム環２は共に０．３ｍｍ〜１．５ｍｍの厚みに設定したことで、着磁時の磁力線が磁性ゴム環２を通過後、磁性芯金１を通じて強力に流れるものとなり、よって磁性ゴム環２へ強い磁力を付与できるものとなった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の着磁状態を示す断面図である。
【図２】本発明の着磁状態を判りやすく示した拡大断面図である。
【符号の説明】
１    磁性芯金
２    磁性ゴム環
１１    径方向部
１２    円筒部
３    円環
４    着磁ヨーク
５    チャック
【図１】
0004498506.tif 000002
【図２】
0004498506.tif 000003