(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平回転する研磨盤を複数台並設し、
その上方部で水平方向に円弧状で無端ループ状に延設する軌道支持体の走行レールに装着
した台車を走行させることによって、ガラス板を吸着した上部定盤を搬送し、研磨盤の上
方部に停止させ、
台車が停止した状態で研磨盤の上方部に設けた水平往復動手段の押圧シリンダーの作動に
よってシリンダロッドを降下させて該シリンダロッドの先端部を上部定盤の軸部の上端頂
部を覆うように当接させることによって該軸部を押圧して上部定盤を研磨盤上に降下させ
て回転中の研磨盤に圧接するとともに、該軸部と一体の、ガラス板を支持するプレッシャ
プレートを下面に設けた上部定盤を水平往復動させて、
研磨盤の回転と上部定盤の水平往復動、加えて降下押圧とによりガラス板の研磨盤との当
接面を研磨し、
一定時間研磨した後、上部定盤を上昇させ、
次いで、台車を走行させることによって上部定盤を搬送し、次の研磨盤の上方部に停止さ
せ、前記と同じ操作を繰り返すことによって並設した研磨盤上に順次上部定盤を移動させ
て研磨することを特徴とするガラス板の研磨方法。
【請求項２】
軌道支持体の搬送レールに装着された搬送キャリヤによって台車を走行させることを特徴
とする請求項１記載のガラス板の研磨方法。
【請求項３】
水平回転する研磨盤を複数台並設し、
その上方部で水平方向に円弧状で無端ループ状に延設する軌道支持体の両側面に複数台の
搬送キャリヤを装着する搬送レールと、前記搬送キャリヤへ連結着脱自在な連結手段によ
り連結する複数台の台車を装着する走行レールとを添着し、
前記走行レールに沿って走行自在な前記台車を前記走行レールに装着し、
前記台車の夫々にガラス板を係着し懸吊する上下動自在なプレッシャプレートを設けた上
部定盤を懸吊支持し、
前記台車を前記搬送レールに沿って研磨盤間のピッチに相当する長さだけ前進させて、研
磨盤の上方部の前記上部定盤を隣接した次の研磨盤に移動させる搬送キャリヤを前記搬送
レールに装着し、
前記上部定盤を研磨盤に押圧かつ前記走行レールに沿って往復動せしめて研磨する複数の
水平往復動手段を前記研磨盤の各々の上方部に配設してなり、
前記水平往復動手段は、前記軌道支持体と平行にかつ略同一長さにわたって水平方向に延
設したビームの側面にラックを設け、さらに前記ビームの底面に一対の直動レールを互い
に離間して平行状態に設け、前記直動レールに遊嵌入し、前記直動レールに沿って移動自
在なガイドを固着した水平往復動プレートを設け、前記水平往復動プレートの側端側に取
付座を介して着座する正逆自在な水平往復動モーターと、前記水平往復動モーターの軸端
に軸着し前記ラックと噛み合うように配設したピニオンとを設け、前記水平往復動プレー
トの下面に前記上部定盤の前記軸部の頂部を押圧するシリンダロッドの押圧シリンダーが
懸吊状に設けられていることを特徴とするガラス板の研磨装置。
【請求項４】
前記台車の上端には連結手段の連結受器を固着し、垂下する台車の板面の上下位置には突
出する軸受部を固設し、前記軸受部は貫通する軸部を軸支するとともに、前記軸部の上方
側の軸受部に固定した固定板を前記軸部の両脇に設けた圧縮バネで支持したことを特徴と
する請求項３記載のガラス板の研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の表面を平坦化させる研磨方法及び研磨装置に関し、詳細には複数台
並設した研磨盤上に連続的に搬入されるガラス板を順次研磨する連続研磨方法及び研磨装
置に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
ガラス板や基板の表面を研磨する場合には、直線的に往復動、および首振り自在な上部定
盤の下面、あるいは回転運動する下部定盤の上面のいずれかの側の面にガラス板をセット
し、上部定盤と下部定盤間で、ガラス板の片面、あるいは両面の研磨を行う技術が知られ
ている。
【０００３】
例えば、ガラス板の表面を連続的に研磨させる先行技術として、ガラス板を一方向に移送
するための研磨テーブルと、該研磨テーブルの上方にガラス板の移送方向に沿って配置さ
れた複数個の研磨具とを有し、各研磨具は偏心軸によって前記ガラス板に対し偏心回転運
動を行い、かつ隣り合う研磨具の回転位相が反転するように設置されたガラス板の連続研
磨装置がある（特許文献１）。さらに、ガラス板等の板状体の表面が同一平面内を移動す
るように、板状体を移動し、複数のロール状研磨パッドを、その軸線が板状体の表面に対
して平行に、かつ、板状体の移動方向に対して略直交する方向に配設し、隣接するロール
状研磨パッドを互いに逆方向に回転させると共に板状体に押し付けて板状体の表面を研磨
することを特徴とする板状体の研磨方法、および、研磨具としてロール状研磨パッドを用
いた板状体の研磨装置がある（特許文献２）。 
【０００４】
【特許文献１】特開平２−８３１５０号公報
【特許文献２】特開平２−２５６４５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記特開平２−８３１５０号公報、および特開平２−２５６４５４号公報記載の発明は、
いずれもガラス板を連続的に研磨するものであるが、前者においては、水を吸着させた研
磨布によって研磨テーブル上に載置したガラス板を固定する方法であるため、研磨圧によ
りテーブル上で位置ずれを起こし、複数枚配列した他のガラス板に衝接することが懸念さ
れ、また隣接ガラス板との隙間によっては複数の研磨具が乗り継ぎ時に互いに衝接を起こ
し易く、ガラス板の端縁部に欠け、割れを生ずる恐れがあるという問題点を有していた。
【０００６】
また、後者に記載のものは、ロール状研磨パッドを使用しているため、該パッドと板状体
との接触面積が過少となり、研磨効率が低いという問題点を有していた。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、かかる問題点に鑑みて、シンプルな構成にして、複数台並設した研磨盤上に連
続的に搬入されるガラス板を効率良く研磨でき、また、安定した仕上がり品質も確保でき
る、ガラス板の搬送と共に連続研磨する手段を提供するものである。
【０００８】
すなわち、本発明は、
水平回転する研磨盤を複数台並設し、
その上方部で水平方向に円弧状で無端ループ状に延設する軌道支持体の走行レールに装着
した台車を走行させることによって、ガラス板を吸着した上部定盤を搬送し、研磨盤の上
方部に停止させ、
台車が停止した状態で上部定盤を研磨盤上に降下させて回転中の研磨盤に圧接するととも
に、上部定盤を水平往復動させて、研磨盤の回転と上部定盤の水平往復動、加えて降下押
圧とによりガラス板の研磨盤との当接面を研磨し、
一定時間研磨した後、上部定盤を上昇させ、
次いで、台車を走行させることによって上部定盤を搬送し、次の研磨盤の上方部に停止さ
せ、前記と同じ操作を繰り返すことによって並設した研磨盤上に順次上部定盤を移動させ
て研磨することを特徴とするガラス板の研磨方法である。
【０００９】
上記研磨方法において、研磨盤の上方部に設けた水平往復動手段の押圧シリンダーの作動
によってシリンダロッドを降下させて該シリンダロッドの先端部を上部定盤の軸部の上端
頂部を覆うように当接させることによって該軸部を押圧して降下させ、該軸部と一体の、
ガラス板を支持するプレッシャプレートを下面に設けた上部定盤を水平往復動させる。
【００１０】
また、本発明は、軌道支持体の搬送レールに装着された搬送キャリヤによって台車を走行
させることを特徴とする上記のガラス板の研磨方法である。
【００１１】
あるいはまた、本発明は、水平回転する研磨盤を複数台並設し、
その上方部で水平方向に円弧状で無端ループ状に延設する軌道支持体の両側面に複数台の
搬送キャリヤを装着する搬送レールと、前記搬送キャリヤへ連結着脱自在な連結手段によ
り連結する複数台の台車を装着する走行レールとを添着し、
前記走行レールに沿って走行自在な前記台車を前記走行レールに装着し、
前記台車の夫々にガラス板を係着し懸吊する上下動自在なプレッシャプレートを設けた上
部定盤を懸吊支持し、
前記台車を前記搬送レールに沿って研磨盤間のピッチに相当する長さだけ前進させて、研
磨盤の上方部の前記上部定盤を隣接した次の研磨盤に移動させる搬送キャリヤを前記搬送
レールに装着し、
前記上部定盤を研磨盤に押圧かつ前記走行レールに沿って往復動せしめて研磨する複数の
水平往復動手段を前記研磨盤の各々の上方部に配設してなることを特徴とするガラス板の
研磨装置である。
【００１２】
また、本発明は、前記台車の上端には連結手段の連結受器を固着し、垂下する台車の板面
の上下位置には突出する軸受部を固設し、前記軸受部は貫通する軸部を軸支するとともに
、前記軸部の上方側の軸受部に固定した固定板を前記軸部の両脇に設けた圧縮バネで支
持したことを特徴とする上記のガラス板の研磨装置である。
【００１３】
上記研磨装置において、前記水平往復動手段は、前記軌道支持体と平行にかつ略同一長さ
にわたって水平方向に延設したビームの側面にラックを設け、さらに前記ビームの底面に
一対の直動レールを互いに離間して平行状態に設け、前記直動レールに遊嵌入し、前記直
動レールに沿って移動自在なガイドを固着した水平往復動プレートを設け、前記水平往復
動プレートの側端側に取付座を介して着座する正逆自在な水平往復動モーターと、前記水
平往復動モーターの軸端に軸着し前記ラックと噛み合うように配設したピニオンとを設け
、前記水平往復動プレートの下面に前記上部定盤の前記軸部の頂部を押圧するシリンダロ
ッドの押圧シリンダーが懸吊状に設けられている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、ガラス板等の基板を並設した複数台の研磨盤に連続的に搬入して研磨すること
により効率よく、また研磨の仕上がり品質も常に一定となる等その効果は顕著である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明は、並設した複数台の研磨盤の上方部に、走行移動自在な複数台の上部定盤を設け
、搬送キャリヤへ連結着脱自在な台車によって上部定盤を複数台の研磨盤に順次移動させ
て研磨を複数台の研磨盤で連続的に行うことにより研磨効率を高め、並設した複数台の研
磨盤による同一条件の複数回の研磨が各ガラス板になされることにより研磨された製品の
研磨品質が一定となり、また、上部定盤の傾動手段により上部定盤に係着するガラス板の
着脱作業を容易に、かつ安全に行うことができるものである。
【００１６】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は上部定盤の作動を説明する一部を切欠省略した斜視図を示し、図２は傾動する上部
定盤をその可動支持体の断面側から見た側面図を示し、図３は本装置の全体組立正面図を
示す。
【００１７】
図３に示したように、機台１の枠内に着座する回転駆動部２上に水平回転自在な研磨盤３
を設けた研磨台４を直列に紙面と直交方向に複数台配列し、該複数台の研磨台４、４、・
・の両側に門形形状で立設する複数本のフレーム５、５、・・を設け、該フレームの夫々
から張り出したブラケット６上に、断面四角形状の長尺の軌道支持体９を研磨台４の配列
方向に水平方向に固着支持し、該軌道支持体９を前記複数本のフレーム５、５、・・間に
延設した。
【００１８】
また、図１に示すように、該軌道支持体９の両側面のうち片側の側面には、上下位置に２
本の走行レール７、７を平行に設け、走行レール７、７を設けた側面とは反対側の軌道支
持体９の側面に搬送レール８を固着することにより軌道支持体９の両側面に搬送レール８
と走行レール７、７とを添着した。
【００１９】
上下位置に平行に設けた2本の前記走行レール７、７には、従来公知の台車１０を走行レ
ール７、７に沿って走行自在に装着させるが、該台車１０は、前記走行レール７、７を複
数の車輪で挟持し、軌道支持体９の側面と台車１０の板面が平行面となるように垂下させ
装着させたものである。
【００２０】
該台車１０の上端には連結手段の連結受器１１を固着し、垂下する台車１０の板面の上下
位置には突出する軸受部１２、１２'を固設し、該軸受部１２、１２'は貫通する軸部１３
を軸支するとともに、該軸部１３の上方側の軸受部１２に固定した固定板１４を軸部１３
の両脇に設けた圧縮バネ１５、１５で支持している。
【００２１】
また、該軸部１３の下方軸端に上部定盤１８を固設し、該上部定盤１８の下面には図示し
ないフエルト、または多孔質ウレタン樹脂等からなるシート状の発泡体（バックパッド）
を両面粘着テープ等によって貼着し、該発泡体を濡らした水の表面張力等によって被研磨
材のガラス板１６を吸着するプレッシャプレート１７を設けた。
【００２２】
前記上部定盤１８は、後述するように、前記軸部１３を上部からの押圧力で圧縮バネ１５
、１５を圧縮させて下降させるが、押圧力を解除した時には、圧縮バネ１５、１５の復元
力により固定板１４が上部側の軸受部１２に押し付けられた状態で停止し、上部定盤１８
を上下動自在に保持している。
【００２３】
さらに、前記台車１０に懸吊支持した上部定盤１８は水平方向に延設する走行レール７、
７に沿って研磨盤上で微動の往復動をさせることができ、あるいは搬送キャリヤ２１によ
って複数の研磨台４、４、・・上を走行レール７に沿って走行通過させることができる。
【００２４】
一方、搬送レール８には正逆回転自在な搬送モーター１９を着座し、上面に連結手段の連
結シリンダー２０を固着し、複数の車輪で自走する搬送キャリヤ２１を装着した。
【００２５】
該連結シリンダー２０は、そのロッドを台車１０に設けた前記連結受器１１に設けた孔に
挿入し、該台車１０と搬送キャリヤ２１とを連結させると、該搬送キャリヤ２１は台車１
０の前進の駆動源となり、搬送モーター１９によって駆動される搬送キャリヤ２１によっ
て下方に配置した研磨盤３、３間のピッチに相当する長さだけ、台車１０を前進させるこ
とができる。
【００２６】
連結シリンダー２０のロッドを後退させて連結受器１１より連結シリンダー２０を切離し
た後、搬送モーター１９を逆転させると、搬送キャリヤ２１のみが自走後退して元の位置
、すなわち原点位置まで復動させることができる。
【００２７】
上部定盤１８の軸部１３の上方位置には前記軌道支持体９と平行にかつ略同一長さにわた
って断面口字状の鋼製のビーム２２を水平方向に延設し、該ビーム２２には下方に配列す
る複数の研磨台４、４・・上の研磨盤間のピッチに合わせて水平往復動手段２３を配設し
ている。
【００２８】
該水平往復動手段２３の構成は、ビーム２２の側面にラック２４を設け、さらにビーム２
３の底面に一対の直動レール２５、２５を互いに離間して平行状態に設け、該直動レール
２５、２５に遊嵌入し、直動レール２５、２５に沿って移動自在なガイド２７、２７を固
着した水平往復動プレート２６を設け、該水平往復動プレート２６の下面には前記上部定
盤１８の軸部１３の頂部を押圧するシリンダロッド５０の押圧シリンダー２８を懸吊状に
設けている。
【００２９】
通常、前記押圧シリンダー２８のシリンダロッド５０と、前記軸部１３とは、切り離され
た状態にあるが、押圧シリンダ２８の作動によりシリンダロッド５０を突出させると、シ
リンダロッド５０の先端が軸部１３の頂部を覆うように被さって軸部１３を下方に押圧し
、上部定盤１８を押圧した状態となっている。
【００３０】
水平往復動プレート２６の側端側に取付座２９を介して着座する正逆自在な水平往復動モ
ーター３０と、該水平往復動モーター３０の軸端に軸着し前記ラック２４と噛み合うよう
に配設したピニオン３１とを設けて、水平往復動モーター３０を回転させれば水平往復動
プレート２６は直線運動となり、水平往復動手段２３は、水平往復動モーター３０を正逆
回転させることにより、ビーム２２の下面に設けた直動レール２５、２５に沿って押圧シ
リンダー２８とシリンダロッド５０を水平往復動させることができる。
【００３１】
前記軌道支持体９は搬送レール８と走行レール７、７と共に研磨台４、４・・・上を直列
的に一列に延設されており、その両端、すなわち直列に並べた該研磨台４、４、・・の最
両端側には台車１０が通過可能な曲率で円弧状に無端ループ状の軌道支持体９および走行
レール７、７を設けており、搬送キャリヤ２１によって台車１０を循環走行させることが
できる。
【００３２】
無端ループ状の軌道支持体９および走行レール７、７の途中部分において、軌道支持体９
と前記走行レール７、７および搬送レール８を2箇所切断し、切断除去した短い部分の空
間部分には、図２に示すように、上部定盤１８を懸吊支持する台車１０を搬送せしめる走
行レール７'、７'を添着した前記軌道支持体９とは別に新たな可動支持体３３を挿入した
。
【００３３】
該可動支持体３３は、該走行レール７'、７'を設けた側面とは反対側方向に離れて立設す
る支柱３４上で軸受（図示せず）を介して回動自在に設けられたシャフト軸３５に、ブラ
ケット３６を介して可動支持体３３の側面とを天秤状に固着し、バランサー４０を設けた
アーム３７端と、傾動手段３２、すなわち支柱３４に隣接して設けた傾動シリンダー３９
とのロッド３８を連結し上下動させれば、図２に示す矢印方向にアーム３７は回動し、該
アーム３７と一体な可動支持体３３の傾きにより走行レール７'、７'に台車１０を介して
懸吊装着中の上部定盤１８は同時に斜め姿勢に傾き、プレッシャプレート１７の下面に貼
着中のガラス板１６も斜め姿勢となり、側面より見て傾斜姿勢を表すものである。
【００３４】
以下、本発明の作動を説明する。
可動支持体３３の位置でプレッシャプレート１７にガラス板１６を係着して停車中の台車
１０を、前もって搬送モーター１９の逆回転により最初の研磨盤３の上方部の位置から所
定の位置まで後退させて停止中の搬送キャリヤ２１の位置まで移動させておく。
【００３５】
その直後、該搬送キャリヤ２１上に設けた連結シリンダー２０を作動させ、シリンダーロ
ッドを突出させると、該シリンダーロッドは台車１０に設けた連結受器１１と嵌着して搬
送キャリヤ２１と台車１０とが連結され、次に該搬送キャリヤ２１は研磨台４上で回転中
の研磨盤３の上方部の所定の位置まで搬送モーター１９の正回転により台車１０と共に前
進し停止し、該停止位置で連結シリンダー２０を復動すると搬送キャリヤ２１と台車１０
とは分離され、該搬送キャリヤ２１は搬送モーター１９の逆回転により搬送レール８に沿
って再び後退移動して前記所定の位置に停止し、次の台車１０を待機する。
【００３６】
一方、研磨盤３の上方部に停車した台車１０に懸吊された上部定盤１８は、上部のビーム
２２に装着した水平往復動手段２３の作動に追動させて水平往復動および降下させるが、
まず水平往復動モーター３０の正逆の回転作動により水平往復動プレート２６が直動レー
ル２５に沿って往復動し、次に、水平往復動プレート２６の下面に懸吊状に設けている押
圧シリンダー２８の作動によってシリンダロッド５０を降下させると、シリンダロッド５
０の先端部は、軸部１３の上端頂部を覆うように当接し、軸部１３を押圧してバネ１５、
１５で支持されている軸部１３を降下させ、該軸部１３と一体の、ガラス板１６を支持す
るプレッシャプレート１７を下面に設けた上部定盤を水平往復動させながら、プレッシャ
ープレート１７を降下させて回転中の研磨盤３に圧接すれば、該ガラス板１６は研磨液の
水膜を作る研磨盤３の回転と上部定盤１８の水平往復動、加えて降下押圧とによりガラス
板１６の研磨盤３との当接面が研磨される。
【００３７】
回転中の研磨盤３上に上部定盤１８を押圧しつつ、かつ水平往復動モーター３０の正逆回
転に追動し走行レール７、７に沿って水平往復微動させてガラス板１６を一定時間研磨す
ると、押圧シリンダー２８の復動と水平往復動モーター３０の停止により上部定盤１８は
上昇して研磨盤３より離脱する。
【００３８】
次いで走行レール７、７に停車中の台車１０は搬送レール８で次の研磨盤に台車１０を搬
送するために待機していた次の搬送キャリヤ２１と連結手段により連結し、前記と同じ操
作を繰り返すことによって搬送モーター１９の回転により搬送キャリヤ２１と共に再び走
行レール７、７に沿って前進する。
【００３９】
台車１０が次に停車する位置は、その上部に次の水平往復動手段２３が待機し、その下部
には次の研磨盤３が配置されており、連結シリンダー２０の復動、押圧シリンダー２８と
水平往復動モーター３０の作動により隣接した次の研磨盤３でガラス板１６を再び研磨し
、並設した研磨盤３、３・・・に順次移動させて次々とガラス板１６を研磨していくが、
その後方では次の台車１０を介して懸吊する上部定盤１８に係着するガラス板１６が同時
に研磨、搬送を繰り返して研磨を行い、さらに後方の複数台の上部定盤１８も続いて研磨
仕上げを行う。
【００４０】
複数台の研磨盤３を通過し、研磨が終了して可動支持体３３の手前で停車中の台車１０を
手動、または自動で可動支持体３３の走行レール７'、７'に前進移動させ、該可動支持体
３３に停車中に傾動手段３２の傾動シリンダー３９を作動せしめると、ロッド３８の降下
と共にシャフト軸３５を軸としてアーム３７を回動させるが、該アーム３７の先端に固着
する可動支持体３３も追従して回動し、走行レール７'、７'に台車１０を介して装着する
上部定盤１８も追動し、該上部定盤１８のプレッシャプレート１７に吸着するガラス板１
６も斜め状態となり作業者の目視内に姿を表す。このように、可動支持体に縣吊された上
部定盤を回動せしめる傾動手段を設けると、傾動状態において上部定盤に対するガラス板
の着脱も安全に確実に行うことができ、極めて簡易な構成でその目的が達成できる。
【００４１】
その状態を保持している間に研磨仕上げ終了のガラス板１６を取り外し新たに研磨するガ
ラス板を取り付け、次いで傾動シリンダー３９の復動により可動支持体３３の端部が軌道
支持体９の端部に近接して直列一本化状態になり、台車１０より垂下する上部定盤１８を
手動により走行レール７、７の前記所定の位置まで前進移動させ、前記所定の位置で搬送
キャリヤ２１との連結を待ち、連結後前記した作動を繰り返すものである。
【００４２】
走行レール７、７に装着した複数の台車１０には、数台毎に上部定盤１８に代わり研磨盤
３の目詰まり除去用の図示しないドレッシング用プレートを設ければ、上部定盤１８と同
様な作動によって並べた複数の研磨盤３の研磨面の目詰まりを除去して研磨盤３を次々と
再生し、良好な研磨仕上面を常に保持することが出来るものである。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】上部定盤の作動を説明する一部を切欠省略した斜視図。
【図２】傾動する可動支持体の側面図。
【図３】本装置の全体を示す組立正面図。
【符号の説明】
【００４４】
３ 研磨盤
７、７' 走行レール
８ 搬送レール
９ 軌道支持体
１０ 台車
１１ 連結受器
１３ 軸部
１６ ガラス板
１７ プレッシャプレート
１８ 上部定盤
２０ 連結シリンダー
２１ 搬送キャリヤ
２２ ビーム
２３ 水平往復動手段
２８ 押圧シリンダー
３２ 傾動手段
３３ 可動支持体
３４ 支柱
３７ アーム
５０ シリンダーロッド
【図１】
0004593596.tif 000002
【図２】
0004593596.tif 000003
【図３】
0004593596.tif 000004