(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性基板、第１の透明導電膜、光吸収層、バッファ層および第２の透明導電膜を有し、
前記光吸収層は、カルコパイライト系半導体により構成され、
前記第１の透明導電膜と光吸収層との間に、ｐ型半導体を中間層として介在させることを特徴とする両面受光太陽電池。
【請求項２】
請求項１に記載の両面受光太陽電池において、
前記中間層を構成するｐ型半導体は、Mo、WおよびCrのいずれか１種のカルコゲナイドであることを特徴とする両面受光太陽電池。
【請求項３】
透光性基板、第１の透明導電膜、光吸収層、バッファ層および第２の透明導電膜を有し、
前記光吸収層は、カルコパイライト系半導体により構成され、
前記第１の透明導電膜と光吸収層との間に、透光性の金属薄膜を中間層として介在させること特徴とする両面受光太陽電池。
【請求項４】
請求項３に記載の両面受光太陽電池において、
前記中間層を構成する金属薄膜は、Ti、Ta、Zr、PtおよびAuのうちいずれかであることを特徴とする両面受光太陽電池。
【請求項５】
請求項１、２、３および４のいずれか一項に記載の両面受光太陽電池において、
前記光吸収層は、XYZ2（X=Cu、Agのうち少なくとも１元素、Y＝B、In、Ga、Alのうち少なくとも１元素、Z=S、Se、Teのうち少なくとも１元素）であることを特徴とする両面受光太陽電池。
【請求項６】
請求項１、２、３、４および５のいずれか一項に記載の両面受光太陽電池において、
光吸収層の禁制帯幅が、前記第２の透明導電膜側から前記第１の透明導電膜側に向かって広くなることを特徴とする両面受光太陽電池。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜太陽電池に係り、特に、変換効率を向上した薄膜太陽電池に関する。
【０００２】
【従来の技術】
薄膜太陽電池の中でCu(In1-x,Gax)Se2（以下CIGSと略す）系薄膜太陽電池は、最も変換効率が高く、長期信頼性も実証されていることから、次世代低コスト薄膜太陽電池として位置付けられている。この太陽電池は、現在、小面積セルで１８％、大面積モジュールで１３％程度の変換効率が達成されている。この種の太陽電池に関する技術については、例えば、中田らによる解説（「薄膜太陽電池の基礎と応用」オーム社、２００１年、第５章、ｐ−１７６〜２１０）に詳しく述べられている（非特許文献１）。
【０００３】
従来の高効率CIGS薄膜太陽電池は、一般的に、図１に示すように、基板１、裏面電極用金属薄膜２、発電に寄与する光吸収層３、バッファ層４、透明ｎ型半導体薄膜５Nおよび透明導電膜５を順次積層した構造を有する。裏面電極用金属薄２には電極１１が設けられる。また、透明導電膜５には電極１２が設けられる。このような構造では、光は、透明導電膜５側から入射し、光吸収層３に到達し、発電に寄与する。ここで、基板１を透光性基板とした場合に、裏面、すなわち、基板１側から入射した光は、裏面電極用金属薄膜２において反射され、または、吸収され、光吸収層３には到達できない。したがって、このタイプの太陽電池では、透明導電膜５側から入射した光のみが発電に寄与する。
【０００４】
一方、裏面電極用金属薄膜５を透明導電膜とし、長波長光を透過するようにしたCIGS太陽電池が最近、報告されている。これは、図２に示すように、透光性基板１、透明導電膜７、光吸収層３、バッファ層４、透明ｎ型半導体薄膜５Nおよび透明導電膜５を順次積層した構造を有する。透明導電膜７には電極１１が設けられ、透明導電膜５には電極１２が設けられている。これらの技術については、たとえばNakadaらの報告（T. Nakada and M. Mizutani: Jpn. J. Appl. Phys. 41, No.2B(2002)L165-167.（非特許文献２）に詳しく述べられている。
【０００５】
他方、CIGS系薄膜太陽電池の変換効率を向上させる技術としては、光吸収層であるCIGSの禁制帯幅制御がある。これらの技術についてはGaborらの報告（A. M. Gabor, J. R.  Tuttle, A. Schwartzlander, A. L. Tennant, M. A. Contreras, and R. Noufi: 1st World Conf. Photovoltaic Energy Conversion, (1994)pp-83-86.）(非特許文献３)に詳しく述べられている。例えば、CIGS薄膜の組成制御により、光吸収層の禁制帯幅を表面側から裏面電極側に向かって徐々に広くなるようにした傾斜禁制帯（シングル・グレーデッド・バンドギャップ）を形成し、裏面電界（BSF）効果によって、光電流を向上させることができる。また、M. A. Contrerasらは、開放電圧と光電流の両方の向上を図る目的で、表面側を僅かに広くした２重傾斜禁制帯（ダブル・グレーデッド・バンドギャプ）を報告している（非特許文献４）。これらの禁制帯幅構造で最高の変換効率を得るためには最も狭い禁制帯幅と最も広い禁制帯幅の差は０．２eV程度と僅かであることが知られている。さらに、傾斜禁制帯幅に関する技術として特許第３２４９４０７号（特許文献１）がある。
【０００６】
【非特許文献１】
「薄膜太陽電池の基礎と応用」オーム社、２００１年、第５章、ｐ−１７６〜２１０
【非特許文献２】
T. Nakada and M. Mizutani: Jpn. J. Appl. Phys. 41, No.2B(2002)L165-167.
【非特許文献３】
A. M. Gabor, J. R.  Tuttle, A. Schwartzlander, A. L. Tennant, M. A. Contreras, and R. Noufi: 1st World Conf. Photovoltaic Energy Conversion, (1994)pp-83-86.
【非特許文献４】
M. A. Contreras, J. R.  Tuttle, A. M. Gabor, A. L. Tennant, K. Ramanathan, S. Asher, Amy Franz, J. Wang, and R. Noufi: 1st World Conf. Photovoltaic Energy Conversion, (1994)pp-80-83．
【特許文献１】
特許第３２４９４０７号公報
【０００７】
【本発明が解決しようとする課題】
すでに述べたように、CIGS系太陽電池は１８％以上の変換効率が実現されており、ガラス基板を用いた低コスト薄膜太陽電池のなかでは最も高性能な太陽電池である。しかし、これらの太陽電池は裏面電極に金属Moを用いるため、裏面からの入射光は発電に利用出来なかった（図１）。
【０００８】
これに対して、すでに述べたように、裏面電極を不透明なMo金属薄膜から透明導電膜に代えた太陽電池が報告されている（図２）。裏面電極を透明導電膜としたことにより、裏面側からの入射光を発電に寄与させることが期待されていた。しかし、この太陽電池は、裏面側からの入射光による変換効率が小さい、すなわち、発電量がそれほど大きくできないという問題があった。その原因は、裏面電極側から入射する可視光の大部分が光吸収層の裏面近傍で吸収され、発電領域には到達しないことにあると考えられる。また、この領域で発生したキャリアが、その拡散距離が小さいことから、ｐｎ接合のある光吸収層の表面付近まで到達することができず、発電に寄与しないためと考えられる。
【０００９】
これに対して、少数キャリアの拡散長を改善し、変換効率の高い太陽電池を得るには、粒界の少ない結晶性が良好な光吸収層を形成する必要がある。そのため、裏面電極用透明導電膜/透光性基板の上にCIGS系光吸収層を形成する際、基板温度を５００℃以上の高温にする必要がある。しかし、これまでのところ、基板温度を上げても、変換効率の向上は実現できていない。これは、カルコパイライト系の他の光吸収層についても同様の傾向がある。
【００１０】
本発明は、結晶粒界を少なくしてキャリヤの拡散長を改善し、高効率を実現した両面受光型薄膜太陽電池を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の態様によれば、透光性基板、第１の透明導電膜、光吸収層、バッファ層および第２の透明導電膜を有し、前記第１の透明導電膜と光吸収層との間に、ｐ型半導体を中間層として介在させることを特徴とする両面受光太陽電池が提供される。
【００１２】
ここで、前記中間層を構成するｐ型半導体は、Mo、WおよびCrのいずれか１種のカルコゲナイドであることができる。
【００１３】
また、本発明の第２の態様によれば、透光性基板、第１の透明導電膜、光吸収層、バッファ層および第２の透明導電膜を有し、前記第１の透明導電膜と光吸収層との間に、透光性の金属薄膜を中間層として介在させること特徴とする両面受光太陽電池が提供される。
【００１４】
ここで、前記中間層を構成する金属薄膜は、Ti、Ta、Ni、Zr、PtおよびAuのうちいずれかであることができる。
【００１５】
前述した各態様において、前記光吸収層は、XYZ2（X=Cu、Agのうち少なくとも１元素、Y＝B、In、Ga、Alのうち少なくとも１元素、Z=S、Se、Teのうち少なくとも１元素）であることができる。
【００１６】
また、光吸収層の禁制帯幅が、前記第２の透明導電膜側から前記第１の透明導電膜側に向かって広くなる構成とすることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１８】
図３に、本発明の第１の実施形態に係る太陽電池の構造を模式的に示す。図３に示す太陽電池は、透光性基板１に、透明導電膜７と、中間層８と、光吸収層３と、バッファ層４と、透明ｎ型半導体薄膜５Nと、透明導電膜５とを有する。また、透明導電膜７には電極１１が設けられ、透明導電膜５には電極１２が設けられている。
【００１９】
透光性基板１は、透明導電膜７と熱膨張係数が近い材料からなる基板が用いられる。具体的には、例えば、ソーダライムガラス（SLG）等のガラス基板である。このほかに、透光性であれば、他の材料を用いてもよい。
【００２０】
透明導電膜７は、例えば、F、Sb等を添加したSnO2、ITO（Snを添加したIn2O2）、透明導電膜５は、III族元素（たとえばB、Al、Gaなど）を添加したZnO系の透明導電薄膜を用いることができる。透明導電膜７は、透光性基板１の片面に、例えば、０．１−２μｍ程度の厚さで堆積する。また、透明導電膜７は、光吸収層３との間で電気的障壁を形成しないように、好ましくは、１０20〜１０22cm-3程度の高キャリア濃度を有する薄膜により構成される。透明導電膜７は、スパッタ法などにより形成する。もちろん、製膜プロセスは、スパッタ法に限ることはなく、真空蒸着法などその他の方法を用いても良い。
【００２１】
光吸収層３は、入射光により少数キャリヤを生成させ、当該キャリヤにより起電力を生成する、発電に寄与する層である。この層は、XYZ2と表記される半導体により構成される。ここで、ＸはCuおよびAgのうち少なくとも１種、Ｙは、B、In、GaおよびAlのうち少なくとも１種、ＺはS、SeおよびTeのうち少なくとも１種から選ばれるものとすることができる。これらの元素によって構成される半導体は、具体的には、カルコパイライト系半導体と称される。
【００２２】
カルコパイライト系半導体は、例えば、I-III-VI2と表記される。カルコパイライト系半導体の格子定数と禁制帯幅との関係を、図４に示す。これらのカルコパイライト系半導体の１種または２種以上を組み合わせて、最適な禁制帯幅の半導体を構成することができる。例えば、I-(IIIx,III1-x)-VI2と、I-III-(VIy,VI1-y)2、I-(IIIx,III1-x)-(VIy,VI1-y)2とが挙げられる。典型的なものとして、CuInSe2とCuGaSe2とを混晶させた、CIGSと称されるCu(In1-x,Gax)Se2が知られている。もちろん、本発明はこれに限られない。図４に示すように、AgInTe2(Eg=0.89)からCuAlS2（Eg=3.5eV）の広い範囲の半導体を、単独で、または、組み合わせて用いることができる。
【００２３】
バッファ層４は、光吸収層３との電気的接合を形成するための層である。バッファ層４は、例えば、ZnS、CdS、ZnO、InS等の薄膜により形成することができる。バッファ層４は、CBD(溶液成長：Chemical Bath Deposition)法、化学的析出法、真空蒸着法等によって形成する。最も適した構成として、例えば、約１００nm程度のCdSまたはZnS(0,OH)薄膜をCBD法によって成長温度８０℃程度で形成することが挙げられる。
【００２４】
透明導電膜５は、バッファ層４の上に設けられる。この透明導電膜５は、例えば、ITO薄膜、III族元素（たとえばB、Al、Gaなど）を添加したZnO薄膜等により構成される。これらは、例えば、スパッタ法により形成することができる。
【００２５】
なお、本実施形態では、この透明導電膜５の形成に先立ち、透明ｎ型半導体薄膜５Nが設けられる。この透明ｎ型半導体薄膜５Nは、透明導電膜５がバッファ層４にピンホールが生じた場合でも、このピンホールを介して光吸収層３と短絡しないようにする機能を果たす。従って、この透明ｎ型半導体薄膜５Nについては、これを設けることを省略することもできる。この透明ｎ型半導体薄膜５Nとしては、本実施形態では、例えば、スパッタ法などでノンドープZnO薄膜を約１００nm程度、室温で形成しておく。その上に、透明導電膜５として、前述したITO薄膜、ZnO薄膜等をスパッタ法などで形成する。
【００２６】
電極１２は透明導電膜５に、また、電極１１は透明導電膜７に、それぞれ外部との接続のために設けられる。電極１２および１１としては、例えば、Al、Au等の薄膜が用いられる。これらは、例えば、真空蒸着等により形成することができる。電極１２および１１は、下地として、Ni、Cr、NiCrなどの蒸着膜を設け、その上に、Al、Auなどの薄膜を積層した積層膜とすることができる。このような積層膜とすることにより、例えば、電極の透明導電膜への付着強度を上げることができる。
【００２７】
中間層８は、透明導電膜７と光吸収層３との間に設けられる。この中間層８は、ｐ型半導体、例えば、エネルギバンドギャップが光吸収層３より広いｐ型半導体、または、透光性の金属薄膜により構成される。ｐ型半導体は、例えば、Mo、WおよびCrのいずれか１種のカルコゲナイドとすることができる。また、金属薄膜としては、例えば、Ti、Ta、Ni、Zr、PtおよびAuのうちいずれかとすることができる。なお、Mo、WおよびCrは、金属として成膜されるが、成膜後に、光吸収層３を形成する時点で、カルコゲナイドとなる。本実施形態では、MoSe2により構成される。このMoSe2は、透明導電膜７上に膜厚が１０から２００nm程度のMo薄膜を蒸着法等で堆積し、光吸収層３を構成するCIGSの蒸着中に、Seと反応させて形成する。
【００２８】
MoSe2は、禁制帯幅が１．４eVのｐ型半導体であることが知られている（バルダウ等の文献：Jaeger-Waldau et.al.: Proc. 10th EC photovoltaic Solar Energy Conference (1991)pp597-600. MoSe2 Eg = 1.40 eV）。そのため、吸収端の８８６ｎｍより長波長側の光を透過する。また、このMoSe2は、前述したように、たかだか２００nm程度の膜厚である。このように膜厚が薄い場合には、MoSe2は、吸収端より短波長側の光であっても、透過する。そのため、裏面（透明導電膜７）側からの入射光が、光吸収層３に到達する妨げにはならない。この手法は、CIGSのみでなく、無論、他のカルコパイライト混晶系光吸収層に適用できる。
【００２９】
中間層８を設けている理由は、前述したように、光吸収層３の少数キャリアの拡散長を改善すべく、基板温度を上げても、変換効率が改善されないという問題を解決するためである。本発明者は、基板温度を上げると、透明導電膜７と、光吸収層３を構成するCIGSとの界面が高抵抗化して、太陽電池の直列抵抗が増加し、変換効率が低下する原因となっていることを見いだした。
【００３０】
すなわち、透明導電膜７をSnO2:Fとし、光吸収層３をCIGSとした場合、CIGS薄膜形成後、このCIGS薄膜を塩酸で溶解除去して、SnO2:Fの電気抵抗を測定したところ、図５において、曲線Ａとして示すように、基板温度が５２０度近傍から高温側になると、抵抗率が大幅に増加することが確かめられた。一方、中間層８を設けると、図５において、曲線Ｂとして示すように、基板温度が高くなっても、抵抗率はそれほど上がらない。従って、キャリヤの拡散長の改善を行うことができつつ、高抵抗化を防ぐことができる。その結果、変換効率を大きくすることができる。
【００３１】
なお、基板温度による抵抗率の変化が中間層を設けることで防ぐことができる理由については、抵抗率が高くなる原因と共に、今後調べるべき課題である。本発明者は、現時点では、一応、SnO2:FのCIGS界面においてフッ素が脱離して、透明導電膜がその界面において高抵抗化することになるが、中間層があると、それがフッ素の脱離を抑える働きをすると考えている。
【００３２】
一方、透明導電膜７をITOとし、光吸収層３をCIGSとした場合、SIMSおよび断面TEM分析の結果、ITO/CIGS界面で、ｎ型半導体であるGa酸化物層が形成されていることが確認された。また、CIGS薄膜を５５０℃で製膜後、CIGS層を剥離して、ITO表面の抵抗を測ると、製膜前のシート抵抗が２０Ωであったものが、高抵抗化し、１００Ω程度となった。また、Ga酸化物層が光吸収層３に対して障壁を形成している。それらが変換効率の向上についての妨げの原因となっていると考えられる。
【００３３】
これに対して、Mo層（１００nm）をつけてCIGSを形成した場合には、Moは、前述したように、CIGS製膜中にSe化されMoSe2となり、Ga酸化物層は形成されない。また、抵抗の変化についても、図５の曲線Ｂに示すように、５００℃以上の基板温度で成膜した場合にも、ほとんど変化はない。中間層として金属薄膜を設けた場合にも同様の傾向である。
【００３４】
このように、本発明では、透明導電膜７と光吸収層３との間に中間層を設けることにより、透明導電膜７および光吸収層３の界面での高抵抗化を防ぎつつ、高い基板温度で光吸収層３を形成することができる。その結果、前述したように、光吸収層３において、粒界を少なくし、少数キャリヤの拡散長を改善して、発電に寄与するキャリヤを増加させることが可能となる。しかも、内部抵抗を低く抑えることができるので、変換効率を向上することができる。
【００３５】
本発明の他の特徴点として、光吸収層３を傾斜禁制帯幅とする構造が挙げられる。前述したように、複数のカルコパイライト系半導体を組み合わせる場合に、光吸収層３の禁制帯幅を、表面側（透明導電膜５側）から裏面側（透明導電膜７側）に向かって徐々に広くなるようにした傾斜禁制帯幅を形成することができる。例えば、前述したCIGSの場合には、CuInSe2の１．０４eVからCuGaSe2の１．６８eV間での範囲とすることができる。具体的には、透明導電膜７側がGa過剰、バッファ層４側がIn過剰となるように禁制帯幅が傾斜したCIGS薄膜を形成する。
【００３６】
禁制帯幅を傾斜させたCIGS薄膜の形成は、分子線蒸着装置を用い、例えば、次のようなプロセスで行うことができる。最初に、ITO基板上に基板温度２５０℃でGaとSeを同時に照射する。次に、粒径の増大を図るため、基板温度550℃でCuとSeを照射し、最後に、低抵抗CuSeを除去するため、InとSeを同時照射する。この方法によって、ITO側がGa過剰、膜表面側がIn過剰な禁制帯幅が傾斜したCIGS薄膜が形成できる。
できる。また、前述したように、AgInTe2(Eg=0.89eV)からCuAlS2（Eg=3.5eV）までの広い領域から選ぶことにより、禁制帯幅の変化をさらに急峻にすることができる。
【００３７】
このように、傾斜禁制帯とすることにより、光吸収層３の全体を発電層と考えることができる。この状態を図６、図７に模式的に示す。図６に示す例は、禁制帯幅がフラットなCIGS太陽電池の例である。一方、図７に示す例は、CIGSについて、透明導電膜７側がGa過剰となり、バッファ層４側がIn過剰となるように傾斜させた傾斜禁制帯幅とした太陽電池の例である。ここで、Φmは透明導電膜７の仕事関数、Χmは透明導電膜７の電子親和力、Egmは透明導電膜７の禁制帯幅、Ｅfはフェルミレベル、Ｅcは伝導帯の底、Ｅｖは価電子帯の頂上である。
【００３８】
図６に示すエネルギバンド構造を有する太陽電池においては、バッファ層４側近傍に位置する狭い領域が発電層３ｅとして機能する。そのため、透光性基板７側からの距離が長いため、透光性基板７側からの入射光は、その多く、特に短波長側の光が光吸収層３のCIGS中において、発電層３ｅに到達する前に吸収される。そのため、発電に寄与しないこととなり、起電力が大きくなりにくい。
【００３９】
一方、図７に示すエネルギバンド構造を有する太陽電池においては、禁制帯幅を透明導電膜７側において極端に高くなるように傾斜させている。これにより、透明導電膜７に向かう内蔵電界が形成され、光励起された伝導電子は、透明ｎ型半導体薄膜５N側に移動できる。このため、収集効率が向上する。その結果、光吸収層３の全体において、入射光を発電に有効に利用することができ、変換効率を向上することができる。
【００４０】
傾斜禁制帯幅構造を採ることによる効果は、図８に示す表面入射の分光感度特性、すなわち、透明導電膜５側から光を入射させた場合の分光感度特性と、裏面入射の分光感度特性、すなわち、透光性基板７側から光を入射させた場合の分光感度特性とを比較すると明らかである。図８において、横軸は波長（ｎｍ）を表し、縦軸は相対量子効率を表す。なお、裏面入射の場合の相対量子効率は、縦軸表記の相対量子効率の値の１／２の値に対応する。図８から明らかなように、裏面入射の分光感度特性では、表面入射に比べて相対量子効率が小さく、特に、短波長側の感度が大きく減衰している。
【００４１】
一方、図３に示す構造の太陽電池において、光吸収層３について傾斜禁制帯幅構造とすると、図９に示すような分光感度特性となる。すなわち、表面側（透明導電膜５側）からの入射光による分光感度特性を示す曲線Ｆは、図８に示す分光感度特性とあまり変わらない。しかし、裏面側（透明導電膜７側）からの入射光による分光感度特性を示す曲線Ｒは、図９に示す曲線Ｒと比較すると、大幅に相対量子効率が改善されている。従って、傾斜禁制帯幅構造が、変換効率改善に効果があることがわかる。
【００４２】
次に、本発明の他の実施形態について、図１０を参照して説明する。本実施形態に係る太陽電池は、４端子タンデム型といわれる太陽電池である。
【００４３】
図１０に示すように、透光性基板１の一方側にトップセル、他方側にボトムセルを配置した構造となっている。トップセルは、透明導電膜７ｔと、中間層８ｔと、光吸収層３ｔと、バッファ層４ｔと、透明導電膜５ｔと、電極１２ｔとにより構成される。一方、ボトムセルは、透明導電膜７ｂと、中間層８ｂと、光吸収層３ｂと、バッファ層４ｂと、透明導電膜５ｂと、電極１２ｂとにより構成される。
【００４４】
各セルは、基本的には、前述した太陽電池を同じ製法により製作することができる。ただし、入射光を有効に利用するため、トップセルの光吸収層３ｔの禁制帯幅を１．７eVとし、ボトムセルの光吸収層３ｂの禁制帯幅を１．１eVとしてある。それ以外の各層については、前述した実施形態の太陽電池と同様に構成することができる。
【００４５】
なお、このタンデム型太陽電池においても、光吸収層３ｔと３ｂについて、傾斜禁制帯幅構造とすることができる。そのようにすることによって、入射光を効率的に利用することが可能となり、変換効率のいっそうの向上が期待できる。
【００４６】
次に、本発明の実施例について説明する。本実施例は、図３に示す構造のCIGS太陽電池の例である。
（実施例１）
まず、ソーダライムガラス製の透光性基板１の片面に、透明導電膜７として、Snを添加したIn2O3（ITO）をスパッタ法により、２００ｎｍ堆積した。
【００４７】
次に、カルコパイライト系光吸収層３と透明導電膜７との間となる位置に、後に中間層８を構成するための金属として、Moを、１００nm程度、蒸着法等で堆積した。
【００４８】
光吸収層３として、分子線蒸着装置を用いて、Cu(In0.6,Gao.4)Se2を最高基板温度５５０℃で、前記Mo上に成膜した。得られた光吸収層３の膜厚は、１．５μmであった。
【００４９】
なお、中間層を形成するための金属として蒸着されたMoは、CIGSの蒸着中に金属Mo層はSeと反応し、完全にMoSe2となっていることを、サンプルの一部を用いて、断面TEM（Transmission Electron Microscope）およびEDX（Energy Dispersive X-ray）により確認した。
【００５０】
次に、光吸収層３の上に、バッファ層４として、CdS薄膜を溶液成長法により約１００nm、成長温度８０℃で形成した。
【００５１】
次に、この上に、透明ｎ型半導体薄膜５Nとして、ノンドープZnO薄膜を約１００nmスパッタ法により、室温で形成した。さらに、透明ｎ型半導体薄膜５Nの上に、透明導電膜５として、Alを添加したZnO薄膜をスパッタ法により形成した。
【００５２】
次に、透明導電膜５の一部に、NiCr膜を真空蒸着法により形成し、その上に、Al膜を真空蒸着法により積層した。
【００５３】
一方、比較例として、中間層を有しないほかは、実施例の太陽電池と同様の構造を有する太陽電池を作製した。
【００５４】
このようにして作製した実施例１の太陽電池と、比較例の太陽電池とについて、開放電圧（Ｖoc）、短絡電流密度（Ｊsc）、曲線因子（FF）および変換効率（η）を求めた結果を表１に示す。また、図１１に、Ｊ−Ｖ特性を示す。図１１において、曲線Mo/ITOは実施例１の太陽電池の特性、ITOは比較例の太陽電池の特性を示す。
【００５５】
【表１】
0004394366.tif 000002
【００５６】
測定結果から明らかなように、中間層を設けることにより、曲線因子（FF）と変換効率（η）とが改善されている。
【００５７】
以上のように、本実施例によれば、カルコパイライト混晶系薄膜の成膜時における透明導電膜と光吸収層の界面での高抵抗化を防止できるため、高性能な両面受光型太陽電池を実現できる。
（実施例２）
光吸収層３の成膜をのぞいては、実施例１と同様に作製した。光吸収層３は、分子線蒸着装置を用いて、Cu(In0.7,Ga0.3)Se2を前記Mo上に成膜した。成膜は、次の手順により行った。まず、基板温度２５０℃でGaとSeを同時に照射した。次に、粒径の増大を図るため、基板温度５５０℃として、CuとSeを照射した。最後に、低抵抗CuSeを除去するため、InとSeを同時照射した。これにより、ITO側がGa過剰、膜表面側がIn過剰な禁制帯幅が傾斜したCIGS薄膜を形成した。得られた光吸収層３の膜厚は、５００nmであった。
【００５８】
実施例２の場合においても、なお、中間層を形成するための金属として蒸着されたMoは、CIGSの蒸着中に金属Mo層はSeと反応し、完全にMoSe2となっていること、および、Ga酸化物が生成されていないことを、サンプルの一部を用いて、断面TEMおよびEDXにより確認した。
【００５９】
このようにして作製した実施例２の太陽電池の開放電圧（Ｖoc）、短絡電流密度（Ｊsc）、曲線因子（FF）および変換効率（η）について、透明導電膜５側（表面側）からの入射光と、透明導電膜７側（裏面側）からの入射光に基づくもの求めた結果を表２に示す。
【００６０】
【表２】
0004394366.tif 000003
【００６１】
この太陽電池では、表面側と裏面側とから光を入射されると、総合的な変換効率ηは２３．３％となる。従って、高効率の太陽電池を実現することができる。
【００６２】
以上のように、本実施例によれば、光吸収層の裏面側で発生したキャリアを効率良く発電領域へ移動させることができるため、高性能な両面受光型太陽電池を実現できる。
【００６３】
【発明の効果】
本発明によれば、高効率を実現した両面入力型薄膜太陽電池を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は、従来のMoを裏面電極としたCIGS太陽電池の構造を示す説明図。
【図２】  図２は、従来の透明導電膜を裏面電極としたCIGS太陽電池の構造を示す説明図。
【図３】  図３は、本発明の一実施形態に係る両面受光型カルコパイライト系太陽電池の構造を示す説明図。
【図４】  図４は、カルコパイライト系半導体の格子定数と禁制帯幅との関係を示す説明図。
【図５】  図５は、光吸収層を形成する際の基板温度に対する透明導電膜の抵抗率の変化を示すグラフ。
【図６】  図６は、両面受光型CIGS太陽電池のエネルギーバンド図。
【図７】  図７が、傾斜禁制帯幅構造を有する両面受光型CIGS太陽電池のエネルギーバンド図。
【図８】  図８は、図２に示す構造の太陽電池において、光吸収層３について表面側入射、および、裏面側入射のそれぞれについての分光感度特性を示すグラフ。
【図９】  図９は、図３に示す構造の太陽電池において、光吸収層３について表面側入射、および、裏面側入射のそれぞれについての分光感度特性を示すグラフ。
【図１０】  図１０は、タンデム型CIGS太陽電池の構造を示す説明図。
【図１１】  図１１は、実施例および比較例の太陽電池のＪ−Ｖ特性を示すグラフ。
【符号の説明】
１…透光性基板、２…Mo裏面電極、３…光吸収層、４…バッファ層、５…透明導電膜、５N…透明ｎ型半導体薄膜、７…透明導電膜、８…中間層、１１…電極、１２…電極。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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