(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体機器における流体の給排路の周囲部分と流体用の継手とを嵌合連結させることにより、前記給排路と前記継手に形成されている流路とが連通接続されている流体機器と継手との接続構造であって、
前記流体機器と前記継手とに亘って流れる流体を通過させてその流体に作用する機能部品が、前記周囲部分と前記継手との双方にシールされる状態でそれら周囲部分と継手とに亘る状態で介装されるとともに、
前記流体機器と前記継手との嵌合連結状態においてシール部を構成すべく互いに嵌合する環状溝と環状突起とが、前記流体機器と前記継手とに振り分けて形成され、
前記機能部品が、前記周囲部分における前記環状溝の径内側に形成される環状端壁と、前記継手における環状突起の内周部に形成される環状端壁との間に圧接挟持されるリング状のものに構成され、
一対の前記環状端壁のうちの前記環状溝が存在する側である環状溝側環状端壁と前記機能部品とが、前記流体機器と前記継手との嵌合連結状態においては、前記環状溝側環状端壁の径内側への倒れが規制されるように凹凸嵌合されている流体機器と継手との接続構造。
【請求項２】
前記環状突起の内周面と前記環状溝の外周面、及び前記環状突起の外周面と前記環状溝の内周面のそれぞれが締まり嵌めとなる状態で前記環状突起と前記環状溝とが圧入されるとともに、前記環状突起の内周面と前記環状溝の外周面との締め代が前記環状突起の外周面と前記環状溝の内周面との締め代よりも大に設定されている請求項１に記載の流体機器と継手との接続構造。
【請求項３】
前記環状溝が前記流体機器に形成され、かつ、前記環状突起が前記継手に形成されている請求項１又は２に記載の流体機器と継手との接続構造。
【請求項４】
前記機能部品が、前記両環状端壁間に介装される環状フレームと、この環状フレームに支持されてその径内側に位置するメッシュ部材とで成るフィルタに構成されている請求項１〜３の何れか一項に記載の流体機器と継手との接続構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプ、バルブ、アキュムレータ等の流体機器とチューブや配管等の継手との接続構造に係り、詳しくは、流体機器における流体の給排路の周囲部分と流体用の継手とを嵌合連結させることにより、給排路と前記継手に形成されている流路とが連通接続されている流体機器と継手との接続構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体や液晶パネル製造装置で用いられる洗浄用等の薬液を移送する流体システムにおいては、洗浄液や薬液等の流体経路に混入した異物がポンプ内部に侵入して故障や損傷の原因になることを防止するために、薬液移送方向でポンプの上手側にフィルタを設けることが多い。
【０００３】
このような従来例としては、特許文献１において開示される薬液供給システムに関するものが知られている。即ち、特許文献１の図１において、符号１４で示されるものがフィルタであり、符号１１で示されるポンプの薬液流れ方向で上手側に配置されていることが理解できる。
【０００４】
前記従来例のように、流体供給システム中において独立した機器としてのフィルタを設ける場合には、フィルタの設置スペースが必要であってその分は装置が大型化する不利がある上、寿命等による更新に際してフィルタはアッセンブリ交換となることが多く、ランニングコストへの影響が無視できない不利もある。
【０００５】
また、流体の供給システムでは接続部からの漏れのおそれがついてまわるが、フィルタが一部品として存在する構成ではその給排部のそれぞれに配管等との接続部が必要となり、施工忘れ等の要因による接続部からの漏れのおそれ箇所が増加する不利もある。
【特許文献１】特開２００６−４９７５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、上述した薬液供給システム等の流体システムや装置における流体機器と継手との接続構造に着目し、構造を見直して工夫をすることにより、その接続部にフィルタ等の機能部品を一体的に装備させて、前述した不利を一つでも減らせることが可能となる流体機器と継手との接続構造を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る発明は、流体機器Ｐにおける流体の給排路１の周囲部分３と流体用の継手Ｔとを嵌合連結させることにより、前記給排路１と前記継手Ｔに形成されている流路４とが連通接続されている流体機器と継手との接続構造において、
前記流体機器Ｐと前記継手Ｔとに亘って流れる流体を通過させてその流体に作用する機能部品５が、前記周囲部分３と前記継手Ｔとの双方にシールされる状態でそれら周囲部分３と継手Ｔとに亘る状態で介装されるとともに、
前記流体機器Ｐと前記継手Ｔとの嵌合連結状態においてシール部Ｓｍを構成すべく互いに嵌合する環状溝６と環状突起７とが、前記流体機器Ｐと前記継手Ｔとに振り分けて形成され、
前記機能部品５が、前記周囲部分３における前記環状溝６の径内側に形成される環状端壁２１と、前記継手Tにおける環状突起７の内周部に形成される環状端壁１７との間に圧接挟持されるリング状のものに構成され、
一対の前記環状端壁１７，２１のうちの前記環状溝６が存在する側である環状溝側環状端壁２１と前記機能部品５とが、前記流体機器Ｐと前記継手Ｔとの嵌合連結状態においては、前記環状溝側環状端壁２１の径内側への倒れが規制されるように凹凸嵌合されている
ことを特徴とするものである。
【０００８】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の流体機器と継手との接続構造において、前記環状突起７の内周面７Ａと前記環状溝６の外周面６Ａ、及び前記環状突起７の外周面７Ｂと前記環状溝６の内周面６Ｂのそれぞれが締まり嵌めとなる状態で前記環状突起７と前記環状溝６とが圧入されるとともに、前記環状突起７の内周面７Ａと前記環状溝６の外周面６Ａとの締め代ｄ１が前記環状突起７の外周面７Ｂと前記環状溝６の内周面６Ｂとの締め代ｄ２よりも大に設定されていることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項３に係る発明は、請求項１又は２に記載の流体機器と継手との接続構造において、前記環状溝６が前記流体機器Ｐに形成され、かつ、前記環状突起７が前記継手Ｔに形成されていることを特徴とするものである。
【００１０】
請求項４に係る発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載の流体機器と継手との接続構造において、前記機能部品５が、前記両環状端壁１７，２１間に介装される環状フレーム２５Ａと、この環状フレームに２５Ａに支持されてその径内側に位置するメッシュ部材２５Ｂとで成るフィルタに構成されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１の発明によれば、流体機器と継手とを組付ければ、その接続構造部位の流路部分に一体的に機能部品をシール状態で組付けられるから、機能部品専用の設置スペースが不要になる。従って、機能部品の設置スペースが必要であってその分は装置が大型化する、という独立した機器としての機能部品を設ける場合の不利（従来の不利）が解消されている。そして、機能部品は、流体機器と継手とに亘って介装される構成であるから、寿命等の要交換の際には機能部品単品の交換で済み、機能部品が分解不能に一体的に組み込まれた流体機器（例えば、フィルタ装置）のアッセンブリ交換となる従来に比べて、コスト（ランニングコスト）を安くすることが可能になる。
【００１２】
また、機能部品は、流体機器と継手とにシール状態で装備されるので、機能部品を設けることが漏れおそれ箇所を増やすことにはならない利点もある。その結果、薬液供給システム等の流体システムや装置における流体機器と継手との接続構造に着目し、構造を見直して工夫をすることにより、その接続部にフィルタ等の機能部品を一体的に装備させて、前述した不利を一つでも減らせることが可能となる流体機器と継手との接続構造を提供することができる。
【００１３】
請求項１の発明によれば、機能部品が、周囲部分の環状端壁と継手の環状端壁との間に圧接挟持されるリング状のものであるから、流体の流路として最適な断面円形の流路に無理なく組み込めて汎用性に優れるとともに、作り易く生産性も良好なものになる、という利点が得られる。
【００１４】
請求項１の発明によれば、環状溝側環状端壁と機能部品とが凹凸嵌合されているので、環状溝側環状端壁の径内側への倒れが規制されて環状溝と環状突起との良好な嵌合状態が維持されるようになり、単に流体機器と継手とに亘って機能部品を組み込むだけで、特別な操作無く、良好なシール性を長期に亘って維持可能となるより高品質なものとなる接続構造を提供することができる。
【００１５】
請求項２の発明によれば、互いに嵌合してシール部を形成する環状溝と環状突起とがその嵌合部の内外周のそれぞれが寸法的に締り嵌め（無理嵌め）となる状態に寸法設定あれているから、例えば、内外周の何れか一方のみを締り嵌め構造とすることで嵌合部の全体として圧入となるように構成する手段に比べて、環状溝や環状突起を径内側又は径外側への変形量を少としながら十分な圧入代を取ることが可能になり、環状溝や環状突起の耐久性やシール性を良好なものにできる利点がある。
【００１６】
請求項３の発明によれば、次のような効果がある。即ち、環状溝と環状突起とをきつく嵌合させる構造では、経時により、径方向厚さが十分取り難く薄くなり勝ちな環状突起の方が先に摩耗したり変形したりし易い傾向がある。従って、その寿命の点で不利となる環状突起を、比較的小部品でコスト的にも有利な継手に設けてあるから、要交換時には流体機器ではなく継手を交換すればよくなり、ユーザーの負担が軽減できる利点がある。
【００１７】
請求項４の発明によれば、流体機器と継手との間に環状のフィルタが装備されることとなり、ゴミや異物の侵入を嫌うポンプ（流体機器）と継手との接続連結に好適な構成が得られるという良さがある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、本発明による流体機器と継手との接続構造の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。図１〜図４はポンプと継手との接続構造を示す組付け状態の側面図、分解状態の側面図、要部の拡大図、断面斜視図である。図５，６はそれぞれシール部の別構造を示す部分図、図７，８はフィルタの製造方法を示す作用図、図９はオリフィスを示す断面図である。
【００１９】
〔実施例１〕
実施例１による流体機器と継手との接続構造は、図１〜図３に示すように、ポンプＰにおける一対の薬液（流体の一例）の給排路１，２のうちの供給路（インレット）１の周囲部分３と継手Ｔとを嵌合連結させることにより、供給路１と継手Ｔに形成されている流路４とが連通接続されるという、ポンプＰと継手Ｔとの接続構造である。継手ＴからポンプＰに流れる薬液を通過させてその薬液に浄化作用するフィルタ（「機能リング体」の一例）５が、周囲部分３と継手Ｔとの双方にシールされる状態でそれら周囲部分３と継手Ｔとに亘る状態で介装されるとともに、ポンプＰと継手Ｔとの嵌合連結状態においてシール部Ｓｍを構成すべく互いに嵌合する環状溝６と環状突起７とが、ポンプＰと継手Ｔとに振り分けて形成されている。
【００２０】
ポンプＰは、図１，図２に示すように、矩形形状を呈するポンプボディ８の側面８ａに開口する供給路１及び排出路２を有している。供給路１には継手Ｔを介して供給側配管１１が連結可能であり、排出路２には継手Ｔを介して排出側配管１２が連結可能である。ポンプボディ８における供給路１の周囲部分３と継手Ｔとの間、及びポンプボディ８における排出路２の周囲部分９と継手Ｔとの間のそれぞれには前述のフィルタ５が介装されている。これら給排路１，２の継手Ｔとの各接続部１Ｒ，２Ｒの構造は互いに同じであり、その接続構造の詳細を、供給側の接続部１Ｒを例として次に説明する。
【００２１】
供給側におけるポンプＰと継手Ｔとの接続部１Ｒの構造を説明するにあたり、まず各部品や各部について説明する。継手Ｔは、図１〜図３に示すように、軸心Ｘを有する薬液流し用の内部流路１８が形成されている継手ボディ１０、インナーリング１３、ユニオンナット１４、及び周り止めボルト１５を有して構成されている。継手ボディ１０のポンプ側の外周には雄ネジ１０ａ、及び雄ネジ締め切り用の段差壁１０ｂが形成され、先端には軸心Ｘ方向に延びる環状突起７が形成されている。
【００２２】
そして、環状突起７に続く内周部には、フィルタ５を内嵌させる内周面である内嵌合部１６、及びフィルタ５を軸心Ｘ方向で受止める環状端壁１７が形成されている。内部流路１８は、供給側配管１１の内径と同径の主流路４ａと、拡径されたポンプ側の接続流路４ｂと、それら両流路４ａ，４ｂを繋ぐテーパ流路４ｃとから成る段差流路に形成されている。尚、各配管１１，１２は、一例としてフッ素樹脂製のチューブが挙げられるが、その他のものでも良い。
【００２３】
ポンプＰの周囲部分３は、継手Ｔの接続流路４ｂと同径の内径を有して供給路１に続く受入れ流路１９、受入れ流路１９に続き、かつ、外部に開口するとともに、継手Ｔの雄ネジ１０ａに螺合自在な雌ネジ２０ａを有する開口内周部２０、受入れ流路１９の径外側部位において開口内周部２０に開口する状態で形成される前記環状溝６、及び、環状溝６の開口部における径内側に形成される環状端壁２１を有している。
【００２４】
フィルタ５は、図１〜図３に示すように、継手側環状端壁１７とポンプ側環状端壁２１との間に介装される合成樹脂〔フッ素樹脂（ＰＦＡ）等〕製の環状フレーム５Ａと、この環状フレーム５Ａに支持されてその径内側に位置する一対のメッシュ部材５Ｂ，５Ｂとで成る軸心Ｘ方向長さの短い円筒状部品に構成されている。
【００２５】
フィルタ５の製造方法について説明すると、まず図７（ａ）に示すように、多数の縦及び横桟材２２，２３を有して成る合成樹脂〔フッ素樹脂（ＰＦＡ）等〕製のメッシュ部材５Ｂの一対と、角断面形状を有する円筒形状の環状フレーム５Ａとを用意する第１工程を行う。次に、図７（ｂ）に示すように、環状フレーム５Ａの表裏のそれぞれにメッシュ部材５Ｂを被せるように配置する第２工程を行い、それからそれら三者５Ｂ，５Ａ，５Ｂを挟んで加熱加圧して環状フレーム５Ａと各メッシュ部材５Ｂとを熱溶着する第３工程を行う。そして、図８（ａ）に示す熱溶着された状態において、各メッシュ部材５Ｂにおける環状フレーム５Ａから径外側に食み出ている部分を除去する第４工程を行う。この第４工程によってメッ所部材の余剰部分が除去されれば、図８（ｂ）に示すようにフィルタ５が完成する。
【００２６】
さて、継手ＴとポンプＰとを連結させるには、図４に示す排出路２側の接続部２Ｒのように、フィルタ５が内嵌合部１６に入り込むようにそのフィルタ５を開口内周部２０との間に挟む状態とし、その状態で継手ボディ１０の雄ネジ１０ａを周囲部分３の雌ネジ２０ａに螺着させ、かつ、回して締め込み操作する。この螺着操作により、図１や図４の供給側接続部１Ｒに示す組付け状態にすることができる。つまり、供給側の接続部１Ｒの組付け状態においては、フィルタ５は、周囲部分３に形成される環状端壁２１と継手Ｔに形成される環状端壁１７との間に圧接挟持されている。
【００２７】
供給側接続部１Ｒにおいては、図３に示すように、継手ボディ１０の外周に略歯車状として形成されている係合凹部１０ｃのいずれかが、軸心Ｘ方向視でポンプボディ８の側面８ａに形成されているナット部８ｎに合致されて回り止めボルト１５が螺装されて継手Ｔが回り止め（緩み止め）された状態で、段差壁１０ｂが側面８ａに当接しての継手ボディ１０の締込みが終了している。この組付け状態では、フィルタ５の環状フレーム５Ａの両側面５ａ，５ａが両環状端壁１７，２１で軸心Ｘ方向に圧接挟持されており、継手側環状端壁１７と側面５ａとの圧接による継手側シール部Ｓｔ、ポンプ側環状端壁２１と側面５ａとの圧接によるポンプ側シール部Ｓｐがそれぞれ形成されている。これらの圧接は、継手ボディ１０を回してねじ込みながらの摩擦圧接になっており、良好なシール性が得られるものとなっている。
【００２８】
そして、図１〜図３に示すように、継手Ｔの環状突起７がポンプＰの環状溝６に圧入されての主シール部Ｓｍも形成されている。環状溝６の軸心Ｘ方向の深さ（長さ）は、環状突起７の先端周面７ａとの間に軸心Ｘ方向の間隙ｋが存在するように十分深い（長い）ものに寸法設定されている。図３に示すように、環状突起７の内周面７Ａの径ｔ１は環状溝６の外周面６Ａの径ｍ１よりもやや小さく（ｔ１＜ｍ１）、かつ、環状突起７の外周面７Ｂの径ｔ２は環状溝６の内周面６Ｂの径ｍ２よりもやや大きく（ｔ２＞ｍ２）設定されており、それによって主シール部Ｓｍを形成すべく環状突起７が環状溝６に圧入される。但し、環状突起７の内周面径ｔ１と環状溝６の外周面径ｍ１との径差（ｄ１＝ｔ１−ｍ１）は、環状突起７の外周面径ｔ２と環状溝６の内周面径ｍ２との径差（ｄ２＝ｔ２−ｍ２）よりも大（ｄ１＞ｄ２）としてある。
【００２９】
つまり、図３に示すように、環状突起７は環状溝６への強制送り込みにより、その内周面７Ａと外周面７Ｂとの双方が径方向に圧縮される状態で圧入されており、この環状突起７と環状溝６との軸心Ｘ方向の十分な長さを有しての圧入嵌合によって主シール部Ｓｍが構成されている。尚、環状突起７における圧入代の大きい側である内径側の先端部には、斜めにカットしたような傾斜内面部１８が形成されていて、継手ボディ１０の回し込みによる環状突起７の環状溝６への入り込みが円滑に行われ易いように工夫されている。尚、図３においては、内外の圧入代である径差ｄ１，ｄ２は、図面理解上、誇張して描いてある。
【００３０】
ところで、継手Ｔと各配管１１，１２との接続構造は、図２に示すように、ユニオンナット１４の締込みにより、インナーリング１３の円筒状シール部１３ａと継手ボディ１０の円筒状溝部１０ｍとで成る一次シール部ｓ１、インナーリング１３の環状シール端面１３ｂと継手ボディ１０の突出内端面１０ｔとで成る二次シール部ｓ２、及び継手ボディ１０の傾斜シール面１０ｋと配管１１，１２外周シール面ｑとで成る三次シール部ｓ３が形成される公知（例えば、特開平１０−５４４８９号公報を参照）のものであり、ここでの詳細な説明は割愛する。
【００３１】
〔実施例２〕
実施例２による流体機器と継手との接続構造の要部を図５に示す。この実施例２による接続部１Ｒは、図５（ａ）に示すように、各環状端面１７，２１に軸心Ｘ方向に突出する断面三角形状のリング突起１７ａ，２１ａが形成されているものであり、それ以外は実施例１による接続部１Ｒ，２Ｒと同じである。尚、図面理解上、図５においては、リング突起１７ａ，２１ａを誇張して描いてある。
【００３２】
つまり、図５（ａ）に示す組付け前状態（分解状態）から継手ボディ１０を回して締め込んで、図５（ｂ）に示す組付け状態にすると、各リング突起１７ａ，２１ａが多少圧縮されるものの、フィルタ５の環状フレーム５Ａの両側壁５ａ，５ａを凹まし変形させ、丁度嵌合されているが如くの食い込み状態になっており、継手側シール部Ｓｔとポンプ側シール部Ｓｐとにおいてより高いシール性を得ている。この場合、ポンプボディ８と継手ボディ１０とを、環状フレーム５Ａよりも硬い材料としておけば、締込みに伴う環状フレーム５Ａの変形が容易化されて好都合である。構造上からは、フィルタ５にリング突起１７ａ，２１ａを設けても良いが、各シール部Ｓｐ，Ｓｔの寿命に伴う部品交換都合上からは図５に示すように、ポンプボディ８と継手ボディ１０とにリング突起１７ａ，２１ａを形成する手段の方が得策である。
【００３３】
また、ポンプ側のリング突起２１ａが環状フレーム５Ａに食い込むことによる下記効果が得られる利点がある。即ち、環状突起７が環状溝６に圧入されることにより、溝内周側部分６Ｎが径内側に（軸心Ｘ側に）倒れ変形し、主シール部Ｓｍのシール性に悪影響の出るおそれがあるが、リング突起２１ａの環状フレーム５Ａへの食い込みにより、溝内周側部分６Ｎの径内側への倒れ込みが抑制又は阻止され、主シール部Ｓｍが所期どおりに機能して良好なシール性が確保できるようになる。
【００３４】
〔実施例３〕
実施例３による流体機器と継手との接続構造の要部を図６に示す。この実施例３による接続部１Ｒは、図６（ａ）に示すように、各環状端面１７，２１に軸心Ｘ方向に突出する断面三角形状のリング突起１７ａ，２１ａを形成し、かつ、環状フレーム５Ａの両側面５ａ，５ａに軸心Ｘ方向に凹入する断面三角形状のリング溝５ｍ，５ｍが形成されている以外は、実施例１による接続部１Ｒ，２Ｒと同じである。この場合、リング溝５ｍの断面寸法は、図６（ｂ）に仮想線で示すように、リング突起１７ａ，２１ａの断面寸法よりも若干（幾分）小さくしておく。
【００３５】
つまり、図６（ａ）に示す組付け前状態（分解状態）から継手ボディ１０を回して締め込んで、図６（ｂ）に示す組付け状態にすると、各リング突起１７ａ，２１ａと対応するリング溝５ｍとが圧接されながら緊密に嵌合し、継手側シール部Ｓｔ及びポンプ側シール部Ｓｐのシール性が高められるものとなる。この場合、リング突起１７ａ，２１ａ部位での圧接力は実施例２のものの方が強くなると思われるが、この実施例３の構造では、リング溝５ｍの形成により、接続部１Ｒの組付けに伴うリング突起１７ａ，２１ａの圧入による環状フレーム５Ａの変形は実施例２の場合に比べて軽微なもので済み、従ってフィルタ５の長寿命化が可能である。また、各リング突起１７ａ，２１ａの変形も実施例２の場合に比べて軽微なもので済むから、継手ボディ１０やポンプボディ８の長寿命化も可能となる利点がある。
【００３６】
加えて、環状溝６が存在する側である環状溝側環状端壁２１とフィルタ５とが、ポンプＰと継手Ｔとの嵌合連結状態〔図６（ｂ）の状態〕においては、リング突起２１ａとリング溝５ｍとが凹凸嵌合されているから、環状溝側環状端壁２１の径内側への倒れが規制される利点が得られる。この利点自体は実施例２のものと同様であるが、実施例２の場合では、リング突起２１ａが図５（ｂ）に示すようにバランス良く環状フレーム５Ａに食い込むかどうかが不確定であるに対して、実施例３の手段では、環状フレーム５Ａにリング溝５ｍが形成されているので、寸法狂い無くリング突起２１ａが環状フレーム５Ａに食い込み、径内側への倒れ込みが所期通りに防止できる点で有利である。
【００３７】
上述のような構成により、継手Ｔとポンプボディ８との接続部１Ｒを組付ければ、一体的にフィルタ５をシール状態で組付けられるものとなっており、フィルタ専用の設置スペースが不要である。これにより、フィルタの設置スペースが必要であってその分は装置が大型化する、という流体供給システム中において独立した機器としてのフィルタを設ける場合の不利が解消されている。そして、フィルタ５は継手ボディ１０の端面とポンプボディ８の端面とで挟まることで位置保持される構造であるから、交換の際にはフィルタ５単品で済み、メッシュ部材が分解不能に一体的に組み込まれたフィルタ装置のアッセンブリ交換となる従来に比べて、コスト（ランニングコスト）も安く付く。加えて、フィルタ５は、継手ＴとポンプＰとの主シール部Ｓｍの径内側に装備されるので、フィルタ５を設けることが漏れおそれ箇所を増やすことにはならないという利点もある。
【００３８】
〔別実施例〕
継手Ｔの継手ボディ１０、及びポンプ等の流体機器Ｐのそれぞれに環状突起７を、そしてフィルタ等の機能部品５に環状溝６を形成して成る接続構造（接続部１Ｒ，２Ｒ）でも良く、この場合には、フィルタ等の機能部品５は主として流体機器Ｐに内装されるような構造となる。また、機能部品５としては、図９に示すように、一対の大径開口部２６，２６、一対のテーパ路２５，２５、及び小径路２４を有するオリフィスやストレーナ（図示省略）等、種々のものが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】ポンプと継手との接続構造を示す一部切欠きの側面図（実施例１）
【図２】供給側接続構造の詳細を示す分解断面図
【図３】図１の接続部における要部の拡大断面図
【図４】図１の配管とポンプ給排部との接続部を斜めから見た概略の断面斜視図
【図５】シール部の別構造を示し、（ａ）は組付け前、（ｂ）は組付け後
【図６】シール部のその他の別構造を示し、（ａ）は組付け前、（ｂ）は組付け後
【図７】フィルタの製造方法を示し、（ａ）は第１工程、（ｂ）は第２，３工程
【図８】フィルタの製造方法を示し、（ａ）は第４工程、（ｂ）は完成したフィルタ
【図９】機能部品の別構造を示す断面図
【符号の説明】
【００４０】
１          給排路
４          流路
５          機能リング体、オリフィス
６          環状溝
６Ａ        外周面
６Ｂ        内周面
７          環状突起
７Ａ        内周面
７Ｂ        外周面
１７        環状端壁
２１        環状端壁
Ｐ          流体機器（ポンプ）
Ｔ          継手シール部
Ｓｍ        シール部
ｄ１        環状突起の内周面と環状溝の外周面との締め代
ｄ２        環状突起の外周面と環状溝の内周面との締め代
【図１】
0004445987.tif 000002
【図２】
0004445987.tif 000003
【図３】
0004445987.tif 000004
【図４】
0004445987.tif 000005
【図５】
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【図６】
0004445987.tif 000007
【図７】
0004445987.tif 000008
【図８】
0004445987.tif 000009
【図９】
0004445987.tif 000010