(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一個の液滴吐出ヘッドの走査ごとに、基板にパターン形成材料の液滴を吐出して単一パターンを形成し、該単一パターンを複数接合して膜パターンを形成するパターン形成方法において、
前記走査において、前記基板の法線方向から見て、隣接した複数の前記単一パターンの形成領域の境界に向かう吐出方向で前記液滴を吐出することを特徴とするパターン形成方法。
【請求項２】
前記膜パターンは、第１単一パターンと第２単一パターンとを接合して形成しており、
前記第１単一パターンと前記第２単一パターンとは、異なる前記液滴吐出ヘッドを用いて形成することを特徴とする請求項１に記載のパターン形成方法。
【請求項３】
一個の液滴吐出ヘッドの走査ごとに、基板にパターン形成材料の液滴を吐出して単一パターンを形成し、該単一パターンを複数接合して膜パターンを形成する液滴吐出装置において、
前記走査において、前記基板の法線方向から見て、隣接した複数の前記単一パターンの形成領域の境界に向かう吐出方向で前記液滴を吐出する液滴吐出ヘッド
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
一個の液滴吐出ヘッドの走査ごとに、基板にパターン形成材料の液滴を吐出して単一パターンを形成し、該単一パターンを複数接合して膜パターンを形成する液滴吐出装置において、
第１液滴吐出ヘッドと、
第２液滴吐出ヘッドと、
前記第１液滴吐出ヘッドを移動して前記液滴の吐出方向を設定する第１方向設定手段と、
前記第２液滴吐出ヘッドを移動して前記液滴の吐出方向を設定する第２方向設定手段と、
前記第１液滴吐出ヘッドの前記吐出方向に関する第１方向情報及び前記第２液滴吐出ヘッドの前記吐出方向に関する第２方向情報を生成する方向情報生成手段と、
前記第１方向情報及び前記第２方向情報に基づいて前記第１方向設定手段及び前記第２方向設定手段を駆動制御する制御手段と、
を有し、
前記方向情報生成手段は、前記第１液滴吐出ヘッドの吐出方向と前記第２液滴吐出ヘッドの吐出方向とが交差するように前記第１方向情報及び前記第２方向情報を生成することを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン形成方法、液滴吐出装置及び電気光学装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示装置や半導体装置の製造工程には、基板上に堆積した膜を所望の形状にパターニン
グして膜パターンを形成するパターン形成工程が数多く含まれる。
近年、この種のパターン形成工程では、生産性を向上させるために、基板上に吐出した
液滴を固化させて自己整合的に膜パターンを形成させるインクジェット法が利用されてい
る。インクジェット法は、液滴形状に対応した膜パターンを形成できるために、パターニ
ングするためのマスク形成を不要にして、パターン形成工程の工程数を削減させることが
できる。
【０００３】
しかし、インクジェット法を利用して膜パターンを形成させる場合、着弾した液滴が基
板表面で濡れ広がらないと、液滴の凹凸形状がパターン形状に反映されて、膜パターンの
平坦性や膜厚均一性を損なう虞があった。
【０００４】
そこで、こうしたインクジェット法では、従来、着弾した液滴の濡れ広がりを拡大させ
る提案がなされている（例えば、特許文献１）。特許文献１では、液滴の吐出方向を基板
の法線に対して傾斜させて、吐出する液滴に、基板の反走査方向に沿う成分を付与してい
る。これによれば、基板の法線方向と吐出方向のなす角度（傾斜角）分だけ、着弾する液
滴を、基板の接線方向に沿って濡れ広がらせることができる。
【特許文献１】特開２００５−１３１４９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記インクジェット法では、一般的に、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを、
基板に対して相対移動（走査）させて、所望のパターンを形成させている。そのため、大
型の膜パターンを形成する場合には、一個の液滴吐出ヘッドを複数回にわたって改行走査
させたり、複数の液滴吐出ヘッドを連続的に走査させたりしている。つまり、一個の液滴
吐出ヘッドの走査ごとに形成するパターン（単一パターン）を順次接合させることによっ
て大型の膜パターンを形成させている。
【０００６】
しかしながら、各単一パターンの外縁（境界）に位置する各液滴は、それぞれ表面張力
などによって、一様に、対応する単一パターンの内方に引き寄せられる（流動する）。そ
のため、複数の単一パターンを順次接合して形成する膜パターンには、接合させた単一パ
ターンの外縁（境界）分だけ、膜厚のバラツキ（改行スジ）を生じる。その結果、膜パタ
ーンの膜厚均一性を損なう問題があった。
【０００７】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、液滴からなる
パターンの膜厚均一性を向上させたパターン形成方法、液滴吐出装置及び電気光学装置を
提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一実施形態に係るパターン形成方法は、一個の液滴吐出ヘッドの走査ごとに、基板にパターン形成材料の液滴を吐出して単一パターンを形成し、該単一パターンを複数接合して膜パターンを形成するパターン形成方法において、前記走査において、前記基板の法線方向から見て、隣接した複数の前記単一パターンの形成領域の境界に向かう吐出方向で前記液滴を吐出することを特徴とする。
また、本発明の一実施形態に係るパターン形成方法は、前記膜パターンは、第１単一パターンと第２単一パターンとを接合して形成しており、前記第１単一パターンと前記第２単一パターンとは、異なる前記液滴吐出ヘッドを用いて形成することを特徴とする。
また、本発明の一実施形態に係るパターン形成方法は、基板のパターン形成領域にパターン形成材料の液滴を吐出してパターンを形成するようにしたパターン形成方法において、前記基板の法線方向から見て、前記パターン形成領域の外縁に、前記パターン形成領域の内側から外側に向かう吐出方向で前記液滴を吐出することを特徴とする。
本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置は、一個の液滴吐出ヘッドの走査ごとに、基板にパターン形成材料の液滴を吐出して単一パターンを形成し、該単一パターンを複数接合して膜パターンを形成する液滴吐出装置において、前記走査において、前記基板の法線方向から見て、隣接した複数の前記単一パターンの形成領域の境界に向かう吐出方向で前記液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする。
また、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置は、一個の液滴吐出ヘッドの走査ごとに、基板にパターン形成材料の液滴を吐出して単一パターンを形成し、該単一パターンを複数接合して膜パターンを形成する液滴吐出装置において、第１液滴吐出ヘッドと、第２液滴吐出ヘッドと、前記第１液滴吐出ヘッドを移動して前記液滴の吐出方向を設定する第１方向設定手段と、前記第２液滴吐出ヘッドを移動して前記液滴の吐出方向を設定する第２方向設定手段と、前記第１液滴吐出ヘッドの前記吐出方向に関する第１方向情報及び前記第２液滴吐出ヘッドの前記吐出方向に関する第２方向情報を生成する方向情報生成手段と、前記第１方向情報及び前記第２方向情報に基づいて前記第１方向設定手段及び前記第２方向設定手段を駆動制御する制御手段と、を有し、前記方向情報生成手段は、前記第１液滴吐出ヘッドの吐出方向と前記第２液滴吐出ヘッドの吐出方向とが交差するように前記第１方向情報及び前記第２方向情報を生成することを特徴とする。
【０００９】
本発明のパターン形成方法によれば、パターン形成領域の外縁に着弾した液滴に、パタ
ーン形成領域の内側から外側に向かう速度成分を付与することができる。従って、パター
ン形成領域の外縁に着弾した液滴に、その表面張力に抗した流動を付与することができる
。その結果、パターンの膜厚均一性を向上させることができる。
【００１０】
また、このパターン形成方法において、前記外縁は、隣接した複数の前記パターン形成
領域の境界であって、前記基板の法線から見て、前記パターン形成領域の内側から前記境
界に向かう吐出方向で前記液滴を吐出するようにしてもよい。
【００１１】
このパターン形成方法によれば、隣接するパターンの境界に対して、その膜厚均一性を
向上させることができる。
また、このパターン形成方法において、前記基板の法線方向から見て、前記パターン形
成領域の外縁に沿う成分を有した前記吐出方向で前記液滴を吐出するようにしてもよい。
【００１２】
このパターン形成方法によれば、パターン形成領域の外縁に着弾した液滴に、表面張力
に抗した流動と外縁に沿う方向の流動を付与することができる。その結果、着弾した液滴
を外縁に沿って流動させる分だけ、外縁に着弾した各液滴の接合を均一にさせることがで
きる。そのため、パターンの膜厚均一性を、さらに向上させることができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置は、基板のパターン形成領域にパターン形成材料の液滴を吐出し
てパターンを形成する液滴吐出装置において、前記基板の法線方向から見て、前記パター
ン形成領域の外縁に、前記パターン形成領域の内側から外側に向かう吐出方向で前記液滴
を吐出する液滴吐出ヘッドを備えた。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置によれば、パターン形成領域の外縁に着弾した液滴に、パターン
形成領域の内側から外側に向かう速度成分を付与することができる。従って、パターン形
成領域の外縁に着弾した液滴に、表面張力に抗した流動を付与することができる。その結
果、パターンの膜厚均一性を向上させることができる。
【００１５】
また、この液滴吐出装置において、前記基板は、隣接した複数の前記パターン形成領域
を備え、前記外縁は、隣接した複数の前記パターン形成領域の境界であってもよい。
この液滴吐出装置によれば、連続するパターンの境界に対して、その膜厚均一性を向上
させることができる。
【００１６】
また、この液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドを移動して前記吐出方向を設定
する方向設定手段を備えるようにしてもよい。
この液滴吐出装置によれば、方向設定手段の設定する吐出方向で液滴を吐出させること
ができる。従って、パターン形成領域の形状やサイズに関わらず、所望の吐出方向で液滴
を吐出させることができる。その結果、パターンの膜厚均一性を、確実に向上させること
ができる。
【００１７】
また、この液滴吐出装置において、前記パターン形成領域に対応した前記吐出方向に関
する方向情報を生成する方向情報生成手段と、前記方向情報に基づいて前記方向設定手段
を駆動制御する制御手段と、を備えるようにしてもよい。
【００１８】
この液滴吐出装置によれば、パターン形成領域に対応した方向情報に基づいて、方向設
定手段を駆動制御させることができる。従って、パターン形成領域の形状やサイズに関わ
らず、パターンの膜厚均一性を、より確実に向上させることができる。
【００１９】
また、この液滴吐出装置において、複数の前記液滴吐出ヘッドと、前記複数の液滴吐出
ヘッドに対応する複数の前記方向設定手段と、を備え、前記方向情報生成手段は、前記複
数の液滴吐出ヘッドに対応する各吐出方向が前記基板側で交差するように前記方向情報を
生成するようにしてもよい。
【００２０】
この液滴吐出装置によれば、吐出方向の異なる液滴を、複数の液滴吐出ヘッドによって
吐出させることができる。従って、隣接するパターン形成領域や複数の異なるパターン形
成領域に対して、略同じタイミングでパターンを形成させることができる。その結果、生
産性を損なうことなく、パターンの膜厚均一性を向上させることができる。
【００２１】
また、この液滴吐出装置において、前記吐出方向が前記パターン形成領域の外縁に沿う
成分を有するように、前記液滴吐出ヘッドに対して前記基板を相対移動させる移動手段を
備えるようにしてもよい。
【００２２】
この液滴吐出装置によれば、パターン形成領域の外縁に着弾した液滴に、表面張力に抗
した流動と外縁に沿う方向の流動を付与することができる。その結果、パターンの膜厚均
一性を、さらに向上させることができる。
【００２３】
本発明の電気光学装置は、上記する液滴吐出装置によって形成されたパターンを備えた
。
本発明の電気光学装置によれば、膜厚均一性を向上させた液滴からなるパターンを備え
ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図１１に従って説明する。まず、本発明
のパターン形成方法によって形成した配向膜を有する電気光学装置としての液晶表示装置
１０について説明する。図１は、液晶表示装置１０の斜視図であり、図２は、図１のＡ−
Ａ線断面図である。
【００２５】
図１において、液晶表示装置１０の下側には、ＬＥＤなどの光源１１を有して四角板状
に形成されたエッジライト型のバックライト１２が備えられている。バックライト１２の
上方には、バックライト１２と略同じサイズに形成された四角板状の液晶パネル１３が備
えられている。そして、光源１１から出射される光が、液晶パネル１３に向かって照射さ
れるようになっている。
【００２６】
液晶パネル１３には、相対向する素子基板１４と対向基板１５が備えられている。これ
ら素子基板１４と対向基板１５は、図２に示すように光硬化性樹脂からなる四角枠状のシ
ール材１６を介して貼り合わされている。そして、これら素子基板１４と対向基板１５と
の間の間隙に、液晶１７が封入されている。
【００２７】
図１において、素子基板１４の下面（バックライト１２側の側面）には、偏光板や位相
差板などの光学基板１８が貼り合わされている。光学基板１８は、バックライト１２から
の光を直線偏光にして液晶１７に出射するようになっている。素子基板１４の上面（対向
基板１５側の側面：素子形成面１４ａ）には、一方向（Ｘ矢印方向）略全幅にわったって
延びる複数の走査線Ｌｘが配列形成されている。各走査線Ｌｘは、それぞれ素子基板１４
の一側に配設される走査線駆動回路１９に電気的に接続されるとともに、走査線駆動回路
１９からの走査信号が、所定のタイミングで入力されるようになっている。また、素子形
成面１４ａには、Ｙ矢印方向略全幅にわたって延びる複数のデータ線Ｌｙが配列形成され
ている。各データ線Ｌｙは、それぞれ素子基板１４の他側に配設されるデータ線駆動回路
２１に電気的に接続されるとともに、データ線駆動回路２１からの表示データに基づくデ
ータ信号が、所定のタイミングで入力されるようになっている。素子形成面１４ａであっ
て、走査線Ｌｘとデータ線Ｌｙの交差する位置には、対応する走査線Ｌｘ及びデータ線Ｌ
ｙに接続されてマトリックス状に配列される複数の画素２２が形成されている。各画素２
２には、それぞれＴＦＴなどの図示しない制御素子や、透明導電膜などからなる光透過性
の画素電極２３が備えられている。
【００２８】
図２において、各画素２２の上側全体には、ラビング処理などによる配向処理の施され
た配向膜２４が積層されている。配向膜２４は、配向性ポリイミドなどの配向性高分子か
らなる薄膜パターンであって、対応する画素電極２３の近傍で、液晶１７の配向を所定の
配向に設定するようになっている。この配向膜２４は、インクジェット法によって形成さ
れている。すなわち、配向膜２４は、配向性高分子を所定の溶媒に溶解したパターン形成
材料としての配向膜形成材料Ｆ（図７参照）を第一液滴Ｆａ及び第二液滴Ｆｂ（図７参照
）として各画素２２の上側全体に吐出させることによって形成されている。
【００２９】
前記対向基板１５の上面には、光学基板１８からの光と直交する直線偏光の光を外方（
図２における上方）に出射する偏光板２５が配設されている。対向基板１５の下面（素子
基板１４側の側面：電極形成面１５ａ）全体には、各画素電極２３と相対向するように形
成された光透過性の導電膜からなる対向電極２６が積層されている。対向電極２６は、前
記データ線駆動回路２１に電気的に接続されるとともに、そのデータ線駆動回路２１から
の所定の共通電位が付与されるようになっている。対向電極２６の下面全体には、ラビン
グ処理などによる配向処理の施された配向膜２７が積層されている。この配向膜２７は、
前記配向膜２４と同じく、インクジェット法によって形成されるとともに、前記対向電極
２６の近傍で、液晶１７の配向を所定の配向に設定するようになっている。
【００３０】
そして、各走査線Ｌｘを線順次走査に基づいて１本ずつ所定のタイミングで選択して、
各画素２２の制御素子を、それぞれ選択期間中だけオン状態にする。すると、各制御素子
に対応する各画素電極２３に、対応するデータ線Ｌｙからの表示データに基づくデータ信
号が出力される。各画素電極２３にデータ信号が出力されると、各画素電極２３と対向電
極２６との間の電位差に基づいて、対応する液晶１７の配向状態が変調される。すなわち
、光学基板１８からの光の偏光状態が画素２２ごとに変調される。そして、変調された光
が偏光板２５を通過するか否かによって、表示データに基づく画像が、液晶パネル１３の
上側に表示される。
【００３１】
次に、上記配向膜２７（配向膜２４）を形成するための液滴吐出装置３０を図３〜１１
に従って説明する。
図３において、液滴吐出装置３０には、直方体形状に形成された基台３１が備えられる
とともに、その基台３１の上面には、その長手方向（Ｘ矢印方向）に沿って延びる一対の
案内溝３２が形成されている。その基台３１の上方には、基台３１内に設けられたＸ軸モ
ータＭＸ（図１１参照）の出力軸に駆動連結される移動手段としての搬送台３３が備えら
れるとともに、その搬送台３３が、前記案内溝３２に沿って所定の速度（搬送速度Ｖ）で
Ｘ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に往復動する（Ｘ矢印方向に沿って搬送される）ようになっ
ている。
【００３２】
搬送台３３の上面には、前記対向電極２６を上側にした対向基板１５を載置可能にする
載置面３４が形成されて、載置された状態の対向基板１５を搬送台３３に対して位置決め
固定するようになっている。尚、本実施形態では、載置面３４に対向基板１５を載置する
構成にしているが、これに限らず、前記各画素電極２３を上側にした素子基板１４を載置
する構成にしてもよい。
【００３３】
基台３１のＹ矢印方向両側には、門型に形成されたガイド部材３５が配設されるととも
に、そのガイド部材３５には、Ｙ矢印方向に延びる上下一対のガイドレール３６が形成さ
れている。また、ガイド部材３５には、ガイド部材３５内に設けられたＹ軸モータＭＹ（
図１１参照）の出力軸に駆動連結されるキャリッジ３７が備えられるとともに、そのキャ
リッジ３７が、ガイドレール３６に沿ってＹ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に往復動する（Ｙ
矢印方向に沿って走査される）ようになっている。キャリッジ３７の内部には、前記配向
膜形成材料Ｆ（図７参照）を導出可能に収容するインクタンク３８が配設されるとともに
、そのインクタンク３８の収容する前記配向膜形成材料Ｆを、キャリッジ３７の下方に搭
載された一対のヘッドユニットＨ（第一ヘッドユニットＨａ及び第二ヘッドユニットＨｂ
）に供給するようになっている。
【００３４】
図４は、第一ヘッドユニットＨａ及び第二ヘッドユニットＨｂを下方（対向基板１５）
から見た概略斜視図である。図５は、第一ヘッドユニットＨａ及び第二ヘッドユニットＨ
ｂをキャリッジ３７側から見た平面図である。
【００３５】
図４において、キャリッジ３７の下側（図４における上側）には、一対のヘッドユニッ
トＨが配設されている。一対のヘッドユニットＨは、それぞれＹ矢印方向から見て、互い
に平行に併設されるとともに、Ｘ矢印方向から見て、互いに一部が重なるように配設され
ている。尚、本実施形態では、反Ｙ矢印方向側のヘッドユニットＨを、第一ヘッドユニッ
トＨａとし、Ｙ矢印方向のヘッドユニットＨを、第二ヘッドユニットＨｂという。
【００３６】
これら一対のヘッドユニットＨには、それぞれキャリッジ３７側から順に、回動ステー
ジ３９と、ガイドステージ４０と、傾動ステージ４１が備えられている。本実施形態では
、これら回動ステージ３９と、ガイドステージ４０と、傾動ステージ４１によって方向設
定手段が構成されている。
【００３７】
各回動ステージ３９は、それぞれＹ矢印方向に延びる直方体形状に形成されるとともに
、キャリッジ３７に内設された回動モータ（第一回動モータＭＲａ及び第二回動モータＭ
Ｒｂ：図１１参照）の出力軸に連結されている。各回動ステージ３９は、それぞれ対応す
る回動モータの駆動力を受けて、対応するガイドステージ４０を、対向基板１５の法線方
向（Ｚ矢印方向）に沿う軸（回動軸Ｃｒ）を中心にして回動させるようになっている。
【００３８】
各ガイドステージ４０は、それぞれ各回動ステージ３９に対応する略直方体形状に形成
されるとともに、その下側（傾動ステージ４１側）には、断面円弧状の凹曲面（ガイド面
４０ｓ）が、そのＹ矢印方向略全幅にわたって形成されている。各ガイド面４０ｓは、そ
れぞれ対応する曲率中心Ｃｄ（図５及び図６参照）が、対応するガイドステージ４０の直
下であって、かつ、搬送台３３に載置された状態の対向電極２６の上面に位置するように
形成されている。
【００３９】
本実施形態では、図５の二点鎖線で示すように、各ガイドステージ４０の配置位置であ
って、対応する曲率中心Ｃｄ（図５の一点鎖線）をＹ矢印方向と平行にする配置位置を、
「初期位置」という。また、図５の実線で示すように、第一ヘッドユニットＨａのガイド
ステージ４０（曲率中心Ｃｄ）が、Ｙ矢印方向に対して第一回動角θｒａだけ左回りに回
動し、第二ヘッドユニットＨｂのガイドステージ４０（曲率中心Ｃｄ）が、Ｙ矢印方向に
対して第二回動角θｒｂだけ右回りに回動した配置位置を、「回動位置」という。
【００４０】
図４において、各傾動ステージ４１は、それぞれＹ矢印方向に延びる蒲鉾状に形成され
るとともに、そのガイドステージ４０側には、それぞれガイド面４０ｓに対応する凸曲面
（摺動面４１ｓ）が形成されている。また、各傾動ステージ４１の一側面であって、その
摺動面４１ｓと相対向する側面（図４における上面）には、それぞれ対向基板１５に沿う
平面（取着面４１ｔ）が形成されている。各傾動ステージ４１は、それぞれキャリッジ３
７に内設された対応する傾動モータ（第一傾動モータＭＤａ及び第二傾動モータＭＤｂ：
図１１参照）の出力軸に駆動連結されるとともに、対応する傾動モータの駆動力を受けて
、それぞれ対応する摺動面４１ｓを対応するガイド面４０ｓに沿って摺動（回動）させる
ようになっている。つまり、各傾動ステージ４１は、それぞれ摺動面４１ｓとガイド面４
０ｓが面一になるように、対向電極２６上に位置する曲率中心Ｃｄを傾動軸にして、対応
する取着面４１ｔを対向基板１５に対して傾動させるようになっている。
【００４１】
本実施形態では、図６の二点鎖線で示すように、各傾動ステージ４１の配置位置であっ
て、対応する取着面４１ｔの法線方向（「吐出方向」）と対向基板１５の法線方向（Ｚ矢
印方向）が平行になる配置位置を、「初期位置」という。また、図６の実線で示すように
、傾動ステージ４１の配置位置であって、対応する取着面４１ｔの法線方向（「吐出方向
」）が対向基板１５の法線方向（Ｚ矢印方向）に対して所定の角度（「傾斜角」）だけ傾
斜させる配置位置を、「傾斜位置」という。本実施形態では、第一ヘッドユニットＨａに
対応する「吐出方向」と「傾斜角」を、それぞれ第一吐出方向Ａａと第一傾斜角θｄａと
いう。また、第二ヘッドユニットＨｂに対応する「吐出方向」と「傾斜角」を、それぞれ
第二吐出方向Ａｂと第二傾斜角θｄｂという。
【００４２】
尚、本実施形態では、図６に示すように、Ｙ矢印方向から見て、第一ヘッドユニットＨ
ａと第二ヘッドユニットＨｂの双方の傾動ステージ４１が、それぞれ第一傾斜角θｄａと
第二傾斜角θｄｂだけＸ矢印方向側（対向基板１５の搬送方向側）に傾斜するようになっ
ている。
【００４３】
図４において、各取着面４１ｔには、それぞれＹ矢印方向に沿って延びる直方体形状に
形成された液滴吐出ヘッド（以下単に、吐出ヘッドという。）が備えられている。本実施
形態では、第一ヘッドユニットＨａに対応する吐出ヘッドを、第一吐出ヘッド４２ａとい
う。また、第二ヘッドユニットＨｂに対応する吐出ヘッドを、第二吐出ヘッド４２ｂとい
う。
【００４４】
第一吐出ヘッド４２ａ及び第二吐出ヘッド４２ｂの下側（図４において上側）には、そ
れぞれノズルプレート４３が備えられるとともに、そのノズルプレート４３の対向基板１
５側（図４における上側）には、対応する取着面４１ｔと平行なノズル形成面４３ｓが形
成されている。各ノズル形成面４３ｓには、それぞれ複数のノズルが、Ｙ矢印方向に沿っ
て、等しい間隔（ノズルピッチＷｎ）で配列形成されている。本実施形態では、第一ヘッ
ドユニットＨａに対応するノズルを、第一ノズルＮａという。また、第二ヘッドユニット
Ｈｂに対応するノズルを、第二ノズルＮｂという。
【００４５】
図６において、各第一ノズルＮａ及び第二ノズルＮｂは、それぞれ対応するノズル形成
面４３ｓの法線方向、すなわち第一吐出方向Ａａ及び第二吐出方向Ａｂに沿って、対応す
るノズルプレート４３に貫通形成されている。各第一ノズルＮａ及び第二ノズルＮｂは、
それぞれ対応する傾動ステージ４１が「初期位置」に位置するときに、対応する曲率中心
ＣｄのＺ矢印方向、すなわち第一吐出方向Ａａ及び第二吐出方向Ａｂの反対側に位置する
ように配設されている。尚、本実施形態では、曲率中心Ｃｄであって、かつ、各第一ノズ
ルＮａの第一吐出方向Ａａに対応する位置を、それぞれ第一着弾位置Ｐａという。また、
曲率中心Ｃｄであって、かつ、各第二ノズルＮｂの第二吐出方向Ａｂに対応する位置を、
それぞれ第二着弾位置Ｐｂという。
【００４６】
そして、各傾動モータを正転駆動して、各傾動ステージ４１を「初期位置」から「傾斜
位置」に配置移動する。すると、各第一ノズルＮａ及び各第二ノズルＮｂは、図６に示す
ように、それぞれ対応する曲率中心Ｃｄ、すなわち対応する第一着弾位置Ｐａ及び第二着
弾位置Ｐｂを中心にして、第一傾斜角θｄａ及び第二傾斜角θｄｂだけ、Ｘ矢印方向側に
傾動する。傾動する各第一ノズルＮａ及び第二ノズルＮｂは、それぞれ対応する形成方向
（第一吐出方向Ａａ及び第二吐出方向Ａｂ）を、対向基板１５の法線（Ｚ矢印方向）に対
して、第一傾斜角θｄａ及び第二傾斜角θｄｂだけＸ矢印方向側に傾斜させる。尚、この
際、各第一ノズルＮａ及び第二ノズルＮｂは、それぞれ形成方向を傾斜させる過程におい
て、対応する第一着弾位置Ｐａ及び第二着弾位置Ｐｂの位置を維持させることができ、対
応する第一着弾位置Ｐａ及び第二着弾位置Ｐｂとの間の距離を、所定の距離（飛行距離Ｌ
）に維持させることができる。つまり、液滴吐出装置３０は、第一吐出方向Ａａ及び第二
吐出方向Ａｂを変更させる過程において、各第一ノズルＮａ及び第二ノズルＮｂから吐出
する第一液滴Ｆａ及び第二液滴Ｆｂの着弾精度を維持できるように構成されている。
【００４７】
図７において、各第一ノズルＮａ（第二ノズルＮｂ）の第一吐出方向Ａａ（第二吐出方
向Ａｂ）の反対側には、それぞれ前記インクタンク３８に連通するキャビティ４４が形成
されて、インクタンク３８からの配向膜形成材料Ｆを、対応する第一ノズルＮａ（第二ノ
ズルＮｂ）に供給させるようになっている。各キャビティ４４の第一吐出方向Ａａ（第二
吐出方向Ａｂ）の反対側には、第一吐出方向Ａａ（第二吐出方向Ａｂ）及びその反対方向
に振動可能な振動板４５が貼り付けて、キャビティ４４内の容積を拡大・縮小させるよう
になっている。振動板４５の上側には、各第一ノズルＮａ（第二ノズルＮｂ）に対応する
複数の第一圧電素子ＰＺａ（第二圧電素子ＰＺｂ）が配設されている。各第一圧電素子Ｐ
Ｚａ（各第二圧電素子ＰＺｂ）は、それぞれ駆動制御するための信号（圧電素子駆動信号
ＣＯＭ：図１１参照）を受けて収縮・伸張し、対応する振動板４５を、第一吐出方向Ａａ
（第二吐出方向Ａｂ）及びその反対方向に振動させるようになっている。尚、本実施形態
の圧電素子駆動信号ＣＯＭは、予め試験等に基づいて設定された波形データＷＤ（図１１
参照）に基づいて生成されて、メニスカスを円滑に振動させるとともに、第一液滴Ｆａ及
び第二液滴Ｆｂの重量を所定重量で安定させるように設定されている。
【００４８】
そして、各第一圧電素子ＰＺａ及び第二圧電素子ＰＺｂに対して、それぞれ圧電素子駆
動信号ＣＯＭを供給する。すると、各キャビティ４４の容積が拡大・縮小して、各第一ノ
ズルＮａ（各第二ノズルＮｂ）内のメニスカス（配向膜形成材料Ｆの界面）が振動する。
各第一ノズルＮａ（第二ノズルＮｂ）内のメニスカスが振動すると、圧電素子駆動信号Ｃ
ＯＭに対応する所定重量（「吐出重量」）の配向膜形成材料Ｆが、対応する第一ノズルＮ
ａ（第二ノズルＮｂ）から、第一液滴Ｆａ（第二液滴Ｆｂ）として吐出される。吐出され
る各第一液滴Ｆａ（第二液滴Ｆｂ）は、それぞれ第一ノズルＮａ（第二ノズルＮｂ）の形
成方向、すなわち第一吐出方向Ａａ（第二吐出方向Ａｂ）に沿って、所定の速度（吐出速
度Ｖｆ）で飛行する。
【００４９】
ここで、図８に示すように、対向電極２６上であって、前記配向膜２７を形成する領域
（図８に示す２点鎖線：配向膜形成領域Ｓ）に、第一液滴Ｆａ及び第二液滴Ｆｂを着弾さ
せるための複数の格子点（目標位置Ｔ）を設定する。
【００５０】
詳述すると、まず、配向膜２７の膜厚（「目標膜厚」）と、前記「吐出重量」に基づい
て、吐出する第一液滴Ｆａ及び第二液滴Ｆｂの総数量、すなわち目標位置Ｔの数量を設定
する。目標位置Ｔの数量を設定すると、前記数量分の目標位置Ｔが，配向膜形成領域Ｓ内
でＸ矢印方向及びＹ矢印方向に沿う格子状に配置されるように、隣接する目標位置ＴのＸ
矢印方向及びＹ矢印方向の間隔（搬送ピッチＷｘ及び配列ピッチＷｙ）を設定する。この
際、配列ピッチＷｙが、第一ノズルＮａ（第二ノズルＮｂ）のノズルピッチＷｎよりも短
くなるように設定する。
【００５１】
搬送ピッチＷｘ及び配列ピッチＷｙを設定すると、搬送ピッチＷｘ及び配列ピッチＷｙ
に基づいて、配向膜形成領域Ｓに対応する各目標位置Ｔの位置座標を演算する。各目標位
置Ｔの位置座標を演算すると、各目標位置Ｔの中で、配向膜形成領域Ｓの反Ｙ矢印方向側
に位置する目標位置Ｔを、それぞれ第一液滴Ｆａを着弾させるための目標位置Ｔ（第一目
標位置Ｔａ）とする。反対に、各目標位置Ｔの中で、配向膜形成領域ＳのＹ矢印方向に位
置する目標位置Ｔを、それぞれ第二液滴Ｆｂを着弾させるための目標位置Ｔ（第二目標位
置Ｔｂ）とする。これによって、配向膜形成領域Ｓに、第一液滴Ｆａあるいは第二液滴Ｆ
ｂを着弾させるための目標位置Ｔ（第一目標位置Ｔａ及び第二目標位置Ｔｂ）を設定する
。
【００５２】
尚、本実施形態では、配向膜形成領域Ｓであって、第一液滴Ｆａを着弾させる領域を、
第一形成領域Ｓａという。また、配向膜形成領域Ｓであって、第二液滴Ｆｂを着弾させる
領域を、第二形成領域Ｓｂという。
【００５３】
そして、各目標位置Ｔを設定すると、図９に示すように、まず、第一回動モータＭＲａ
を駆動制御して、Ｘ矢印方向から見た第一ノズルＮａ（第一着弾位置Ｐａ）の間隔が、そ
れぞれ配列ピッチＷｙになるように、第一回動角θｒａだけ、第一ヘッドユニットＨａの
ガイドステージ４０を回動する（「回動位置」に回動する）。また、第二回動モータＭＲ
ｂを駆動制御して、Ｘ矢印方向から見た第二ノズルＮｂ（第二着弾位置Ｐｂ）の間隔が、
それぞれ配列ピッチＷｙになるように、第二回動角θｒｂだけ、第二ヘッドユニットＨｂ
のガイドステージ４０を回動する（「回動位置」に回動する）。
【００５４】
続いて、各傾動モータを駆動制御して、Ｘ矢印方向から見た第一吐出方向Ａａ及び第二
吐出方向Ａｂが対向基板１５側で交差するように、第一傾斜角θｄａ及び第二傾斜角θｄ
ｂだけ、各傾動ステージ４１を傾動する（「傾動位置」に傾動する）。
【００５５】
これによって、対向基板１５の法線方向（Ｚ矢印方向）から見て、第一吐出方向Ａａを
、第一形成領域Ｓａから第二形成領域Ｓｂ側に向けることができる。また、対向基板１５
の法線方向（Ｚ矢印方向）から見て、第二吐出方向Ａｂを、第二形成領域Ｓｂから第一形
成領域Ｓａ側に向けることができる。すなわち、第一形成領域Ｓａの外縁であって、その
第二形成領域Ｓｂ側の外縁（境界）に位置する第一目標位置Ｔａに対して、第一形成領域
Ｓａの内側から外側に向かう速度成分を有した第一液滴Ｆａを吐出させることができる。
また、第二形成領域Ｓｂの外縁であって、その第一形成領域Ｓａ側の外縁（境界）に位置
する第二目標位置Ｔｂに対して、第二形成領域Ｓｂの内側から外側に向かう速度成分を有
した第二液滴Ｆｂを吐出させることができる。
【００５６】
そして、対向基板１５を搬送速度ＶでＸ矢印方向に搬送して、各第一着弾位置Ｐａ及び
第二着弾位置Ｐｂが、それぞれ対応する第一目標位置Ｔａ及び第二目標位置Ｔｂに位置す
るタイミングで、各第一圧電素子ＰＺａ及び第二圧電素子ＰＺｂに、圧電素子駆動信号Ｃ
ＯＭを供給する。
【００５７】
すると、図１０に示すように、各第一ノズルＮａからの第一液滴Ｆａが、それぞれ第一
吐出方向Ａａに沿って飛行して、順次、第一目標位置Ｔａ（第一着弾位置Ｐａ）の領域に
着弾する。また、各第二ノズルＮｂからの第二液滴Ｆｂが、それぞれ第二吐出方向Ａｂに
沿って飛行して、順次、第二目標位置Ｔｂ（第二着弾位置Ｐｂ）の領域に着弾する。
【００５８】
この際、着弾する各第一液滴Ｆａには、第一吐出方向Ａａに対応する対向基板１５の接
線方向の速度成分（第一吐出接線速度Ｖｆａ）が付与される。また、着弾する各第一液滴
Ｆａには、対向基板１５の搬送方向の反対側に向かって、対向基板１５の搬送速度Ｖに対
応する相対速度成分（第一搬送接線速度Ｖｉａ）が付与される。そのため、着弾する各第
一液滴Ｆａには、これら第一吐出接線速度Ｖｆａと第一搬送接線速度Ｖｉａを合成した方
向の速度成分（第一接線速度Ｖａ）が付与される。
【００５９】
その結果、第一形成領域Ｓａに着弾する各第一液滴Ｆａは、第一接線速度Ｖａに沿って
流動して、その表面張力に抗した方向、すなわち第一形成領域Ｓａから第二形成領域Ｓｂ
に向かう方向に流動する。これによって、着弾する各第一液滴Ｆａは、その第二形成領域
Ｓｂ側の外縁で、表面張力に基づく流動（膜厚低下）を抑制させることができ、第一接線
速度Ｖａに基づく流動分だけ、その第二形成領域Ｓｂ側の膜厚を均一にさせることができ
る。
【００６０】
一方、着弾する各第二液滴Ｆｂには、第二吐出方向Ａｂに対応する対向基板１５の接線
方向の速度成分（第二吐出接線速度Ｖｆｂ）が付与される。また、着弾する各第二液滴Ｆ
ｂには、対向基板１５の搬送方向の反対側に向かって、対向基板１５の搬送速度Ｖに対応
する相対速度成分（第二搬送接線速度Ｖｉｂ）が付与される。そのため、着弾する各第二
液滴Ｆｂには、これら第二吐出接線速度Ｖｆｂと第二搬送接線速度Ｖｉｂを合成した方向
の速度成分（第二接線速度Ｖｂ）が付与される。
【００６１】
その結果、第二形成領域Ｓｂに着弾する各第二液滴Ｆｂは、第二接線速度Ｖｂに沿って
流動して、その表面張力に抗した方向、すなわち第二形成領域Ｓｂから第一形成領域Ｓａ
に向かう方向に流動する。これによって、着弾する各第二液滴Ｆｂは、その第一形成領域
Ｓａ側の外縁で、表面張力に基づく流動（膜厚低下）を抑制させることができ、第二接線
速度Ｖｂに基づく流動分だけ、その第一形成領域Ｓａ側の膜厚を均一にさせることができ
る。
【００６２】
従って、第一液滴Ｆａからなる第一液状膜ＬＦａと第二液滴Ｆｂからなる第二液状膜Ｌ
Ｆｂは、それぞれ第一形成領域Ｓａと第二形成領域Ｓｂの境界で、その膜厚を均一にさせ
ることができる。そして、第一液状膜ＬＦａと第二液状膜ＬＦｂを接合させて形成する配
向膜２７は、境界領域の膜厚均一性を向上させる分だけ、その膜厚均一性を向上させるこ
とができる。
【００６３】
次に、上記のように構成した液滴吐出装置３０の電気的構成を図１１に従って説明する
。
図１１において、制御装置５１には、制御手段及び方向情報生成手段を構成するＣＰＵ
、ＲＡＭ、ＲＯＭなどが備えられている。そして、制御装置５１は、ＲＡＭやＲＯＭなど
に格納された各種データ及び各種プログラムに従って、搬送台３３を搬送し、キャリッジ
３７を走査させるとともに，第一ヘッドユニットＨａ及び第二ヘッドユニットＨｂを駆動
制御させるようになっている。
【００６４】
制御装置５１には、入力装置５２、Ｘ軸モータ駆動回路５３、Ｙ軸モータ駆動回路５４
、第一ステージ駆動回路５５、第一吐出ヘッド駆動回路５６、第二ステージ駆動回路５７
及び第二吐出ヘッド駆動回路５８が接続されている。
【００６５】
入力装置５２は、起動スイッチ、停止スイッチなどの操作スイッチを有して各種操作信
号を制御装置５１に入力するとともに、対向基板１５に形成する配向膜２７の目標膜厚に
関する情報を、既定形式の膜厚情報Ｉｔとして制御装置５１に入力するようになっている
。
【００６６】
そして、膜厚情報Ｉｔを入力装置５２から制御装置５１に入力する。すると、制御装置
５１は、入力装置５２からの膜厚情報Ｉｔを受けて、対向電極２６上に吐出する配向膜形
成材料Ｆの総重量を演算する。また、制御装置５１は、演算した総重量と、波形データＷ
Ｄに対応する第一液滴Ｆａ（第二液滴Ｆｂ）の重量に基づいて、吐出する第一液滴Ｆａ及
び第二液滴Ｆｂの数量、すなわち各第一目標位置Ｔａ及び第二目標位置Ｔｂの位置座標（
搬送ピッチＷｘ及び配列ピッチＷｙ）を演算するようになっている。この際、配列ピッチ
Ｗｙは、第一ノズルＮａ及び第二ノズルＮｂのノズルピッチＷｎよりも短く設定されるよ
うになっている。
【００６７】
続いて、制御装置５１は、各目標位置Ｔの位置座標を演算すると、第一目標位置Ｔａ及
び第二目標位置Ｔｂに、それぞれ第一液滴Ｆａ及び第二液滴Ｆｂを吐出させるための第一
描画データＢＭａ及び第二描画データＢＭｂを生成して格納するようになっている。さら
に、制御装置５１は、方向情報を構成する第一回動データＲａＤ、第二回動データＲｂＤ
、第一傾動データＤａＤ及び第二傾動データＤｂＤを生成して格納するようになっている
。
【００６８】
第一描画データＢＭａ及び第二描画データＢＭｂは、それぞれ第一目標位置Ｔａ及び第
二目標位置Ｔｂを含む配向膜形成領域Ｓ内の各格子点に、それぞれ各ビットの値（０ある
いは１）を対応させたデータであって、各ビットの値に応じて、それぞれ第一圧電素子Ｐ
Ｚａ及び第二圧電素子ＰＺｂのオンあるいはオフを規定したものである。そして、第一描
画データＢＭａは、第一着弾位置Ｐａが、対応する第一目標位置Ｔａに位置するたびに、
第一液滴Ｆａを吐出させるように規定されている。また、第二描画データＢＭｂは、第二
着弾位置Ｐｂが、対応する第二目標位置Ｔｂに位置するたびに、第二液滴Ｆｂを吐出させ
るように規定されている。
【００６９】
第一回動データＲａＤ及び第二回動データＲｂＤは、それぞれ第一回動角θｒａ及び第
二回動角θｒｂを第一回動モータＭＲａ及び第二回動モータＭＲｂの回転数で規定したデ
ータであって、第一形成領域Ｓａと第二形成領域Ｓｂの境界位置と、配列ピッチＷｙに基
づいて生成されるようになっている。すなわち、これら第一回動データＲａＤ及び第二回
動データＲｂＤは、それぞれ対応する第一吐出方向Ａａ及び第二吐出方向Ａｂが、第一形
成領域Ｓａと第二形成領域Ｓｂの境界側に向くように、第一回動モータＭＲａ及び第二回
動モータＭＲｂの回転数を規定するようになっている。しかも、これら第一回動データＲ
ａＤ及び第二回動データＲｂＤは、それぞれＸ矢印方向から見た第一ノズルＮａ及び第二
ノズルＮｂの間隔が配列ピッチＷｙになるように、第一回動モータＭＲａ及び第二回動モ
ータＭＲｂの回転数を規定するようになっている。
【００７０】
第一傾動データＤａＤ及び第二傾動データＤｂＤは、それぞれ第一傾斜角θｄａ及び第
二傾斜角θｄｂを第一傾動モータＭＤａ及び第二傾動モータＭＤｂの回転数で規定したデ
ータであって、搬送ピッチＷｘと配列ピッチＷｙに基づいて生成されるようになっている
。すなわち、これら第一傾動データＤａＤ及び第二傾動データＤｂＤは、予め試験等に基
づいて、着弾した第一液滴Ｆａ及び第二液滴Ｆｂの長径と短径が、それぞれ搬送ピッチＷ
ｘと配列ピッチＷｙよりも大きくなるように、第一傾動モータＭＤａ及び第二傾動モータ
ＭＤｂの回転数を規定するようになっている。
【００７１】
Ｘ軸モータ駆動回路５３は、制御装置５１からのＸ軸モータ駆動回路５３に対応する駆
動制御信号に応答して、搬送台３３を往復移動させるＸ軸モータＭＸを正転又は逆転させ
るようになっている。そのＸ軸モータ駆動回路５３には、Ｘ軸モータＭＸに備えられるＸ
軸モータ回転検出器ＭＥＸからの検出信号が入力されるようになっている。Ｘ軸モータ駆
動回路５３は、Ｘ軸モータ回転検出器ＭＥＸからの検出信号に基づいて、搬送台３３（対
向基板１５）の移動方向及び移動量を演算するとともに、搬送台３３（各目標位置Ｔ）の
現在位置に関する情報を基板位置情報ＳＰＩとして生成するようになっている。そして、
制御装置５１は、Ｘ軸モータ駆動回路５３からの基板位置情報ＳＰＩを受けて、各種信号
を出力するようになっている。
【００７２】
Ｙ軸モータ駆動回路５４は、制御装置５１からのＹ軸モータ駆動回路５４に対応する駆
動制御信号に応答して、キャリッジ３７を往復移動させるＹ軸モータＭＹを正転又は逆転
させるようになっている。そのＹ軸モータ駆動回路５４には、Ｙ軸モータＭＹに備えられ
たＹ軸モータ回転検出器ＭＥＹからの検出信号が入力されるようになっている。Ｙ軸モー
タ駆動回路５４は、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥＹからの検出信号に基づいて、キャリッジ
３７（第一ヘッドユニットＨａ及び第二ヘッドユニットＨｂ）の移動方向及び移動量を演
算するとともに、キャリッジ３７の現在位置に関する情報をキャリッジ位置情報ＣＰＩと
して生成するようになっている。そして、制御装置５１は、Ｙ軸モータ駆動回路５４から
のキャリッジ位置情報ＣＰＩを受けて、各種駆動信号を出力するようになっている。
【００７３】
詳述すると、制御装置５１は、基板位置情報ＳＰＩ及びキャリッジ位置情報ＣＰＩに基
づいて、対向基板１５がキャリッジ３７の直下に侵入する前に、対向基板１５の搬送分（
往動もしくは復動）に対応する第一描画データＢＭａを所定のクロック信号に同期させて
、第一吐出制御信号ＳＩａを生成するようになっている。また、制御装置５１は、対向基
板１５の搬送分（往動もしくは復動）に対応する第二描画データＢＭｂを所定のクロック
信号に同期させて、第二吐出制御信号ＳＩｂを生成するようになっている。そして、制御
装置５１は、キャリッジ３７を走査するたびに、生成した第一吐出制御信号ＳＩａ及び第
二吐出制御信号ＳＩｂを、それぞれ第一吐出ヘッド駆動回路５６及び第二吐出ヘッド駆動
回路５８に順次シリアル転送するようになっている。
【００７４】
また、制御装置５１は、基板位置情報ＳＰＩに基づいて、第一着弾位置Ｐａが第一目標
位置Ｔａに位置するたびに、対応する第一圧電素子ＰＺａを駆動させるための信号（第一
吐出タイミング信号ＬＰａ）を生成するようになっている。また、制御装置５１は、基板
位置情報ＳＰＩに基づいて、第二着弾位置Ｐｂが第二目標位置Ｔｂに位置するたびに、対
応する第二圧電素子ＰＺｂを駆動させるための信号（第二吐出タイミング信号ＬＰｂ）を
生成するようになっている。そして、制御装置５１は、生成した第一吐出タイミング信号
ＬＰａ及び第二吐出タイミング信号ＬＰｂを、それぞれ第一吐出ヘッド駆動回路５６及び
第二吐出ヘッド駆動回路５８に逐次出力するようになっている。
【００７５】
第一ステージ駆動回路５５は、制御装置５１からの第一回動データＲａＤに応答して、
第一ヘッドユニットＨａの回動ステージ３９を駆動させる第一回動モータＭＲａを正転又
は逆転させるようになっている。また、第一ステージ駆動回路５５は、制御装置５１から
の第一傾動データＤａＤに応答して、第一ヘッドユニットＨａの傾動ステージ４１を傾動
させる第一傾動モータＭＤａを正転又は逆転させるようになっている。
【００７６】
第一吐出ヘッド駆動回路５６には、複数の前記第一圧電素子ＰＺａが接続されている。
第一吐出ヘッド駆動回路５６は、制御装置５１からの波形データＷＤ、第一吐出制御信号
ＳＩａ及び第一吐出タイミング信号ＬＰａが供給されるようになっている。第一吐出ヘッ
ド駆動回路５６は、制御装置５１からの第一吐出制御信号ＳＩａを受けて、その第一吐出
制御信号ＳＩａを、各第一圧電素子ＰＺａに対応させて順次シリアル／パラレル変換する
ようになっている。そして、第一吐出ヘッド駆動回路５６は、制御装置５１からの第一吐
出タイミング信号ＬＰａを受けるたびに、シリアル／パラレル変換した第一吐出制御信号
ＳＩａに基づいて、波形データＷＤに基づく圧電素子駆動信号ＣＯＭを、選択された第一
圧電素子ＰＺａに供給するようになっている。すなわち、第一吐出ヘッド駆動回路５６は
、各第一着弾位置Ｐａが第一目標位置Ｔａに位置するたびに、対応する第一圧電素子ＰＺ
ａに圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給するようになっている。
【００７７】
第二ステージ駆動回路５７は、制御装置５１からの第二回動データＲｂＤに応答して、
第二ヘッドユニットＨｂの回動ステージ３９を駆動させる第二回動モータＭＲｂを正転又
は逆転させるようになっている。また、第二ステージ駆動回路５７は、制御装置５１から
の第二傾動データＤｂＤに応答して、第二ヘッドユニットＨｂの傾動ステージ４１を傾動
させる第二傾動モータＭＤｂを正転又は逆転させるようになっている。
【００７８】
第二吐出ヘッド駆動回路５８には、複数の前記第二圧電素子ＰＺｂが接続されている。
第二吐出ヘッド駆動回路５８は、制御装置５１からの波形データＷＤ、第二吐出制御信号
ＳＩｂ及び第二吐出タイミング信号ＬＰｂが供給されるようになっている。第二吐出ヘッ
ド駆動回路５８は、制御装置５１からの第二吐出制御信号ＳＩｂを受けて、その第二吐出
制御信号ＳＩｂを、各第二圧電素子ＰＺｂに対応させて順次シリアル／パラレル変換する
ようになっている。そして、第二吐出ヘッド駆動回路５８は、制御装置５１からの第二吐
出タイミング信号ＬＰｂを受けるたびに、シリアル／パラレル変換した第二吐出制御信号
ＳＩｂに基づいて、波形データＷＤに基づく圧電素子駆動信号ＣＯＭを、選択された第二
圧電素子ＰＺｂに供給するようになっている。すなわち、第二吐出ヘッド駆動回路５８は
、各第二着弾位置Ｐｂが第二目標位置Ｔｂに位置するたびに、対応する第二圧電素子ＰＺ
ｂに圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給するようになっている。
【００７９】
次に、上記する液滴吐出装置３０を使用して配向膜２７を形成する方法について説明す
る。
まず、図３に示すように、搬送台３３上に、対向基板１５を載置する。このとき、搬送
台３３は、キャリッジ３７よりも反Ｘ矢印方向側に配置されて、キャリッジ３７は、ガイ
ド部材３５の最も反Ｙ矢印方向に配置されている。また、各ガイドステージ４０及び傾動
ステージ４１は、それぞれ「初期位置」に配置されている。
【００８０】
この状態から、入力装置５２を操作して膜厚情報Ｉｔを制御装置５１に入力する。する
と、制御装置５１は、膜厚情報Ｉｔ（目標膜厚）に対応する搬送ピッチＷｘ及び配列ピッ
チＷｙ、すなわち第一目標位置Ｔａ及び第二目標位置Ｔｂの位置座標を演算する。また、
制御装置５１は、第一目標位置Ｔａ及び第二目標位置Ｔｂの位置座標に基づいて、第一描
画データＢＭａ及び第二描画データＢＭｂを生成して格納する。また、制御装置５１は、
第一目標位置Ｔａ及び第二目標位置Ｔｂの位置座標に基づいて、第一回動データＲａＤ、
第二回動データＲｂＤ、第一傾動データＤａＤ及び第二傾動データＤｂＤを生成して格納
する。
【００８１】
各種データを格納すると、制御装置５１は、第一ステージ駆動回路５５及び第二ステー
ジ駆動回路５７を介して、各ガイドステージ４０を配置移動させる。すなわち、制御装置
５１は、第一回動データＲａＤ及び第二回動データＲｂＤに基づいて、それぞれ第一ヘッ
ドユニットＨａ及び第二ヘッドユニットＨｂのガイドステージ４０を「初期位置」から「
回動位置」に配置移動させる。各ガイドステージ４０を配置移動すると、制御装置５１は
、第一ステージ駆動回路５５及び第二ステージ駆動回路５７を介して、各傾動ステージ４
１を配置移動させる。すなわち、制御装置５１は、第一傾動データＤａＤ及び第二傾動デ
ータＤｂＤに基づいて、それぞれ第一ヘッドユニットＨａ及び第二ヘッドユニットＨｂの
傾動ステージ４１を、それぞれ「初期位置」から「傾斜位置」に配置移動させる。
【００８２】
各ガイドステージ４０及び各傾動ステージ４１を配置移動すると、制御装置５１は、Ｙ
軸モータＭＹを駆動制御して、対向基板１５がＸ矢印方向に搬送されるときに、各第一着
弾位置Ｐａ及び各第二着弾位置Ｐｂが、それぞれ対応する第一目標位置Ｔａ及び第二目標
位置Ｔｂの経路上に位置するように、キャリッジ３７を配置移動する。
【００８３】
これによって、制御装置５１は、第一吐出方向Ａａを、対応する第一形成領域Ｓａの内
側から隣接する第二形成領域Ｓｂ側に向けてセットする。また、制御装置５１は、第二吐
出方向Ａｂを、対応する第二形成領域Ｓｂの内側から隣接する第一形成領域Ｓａ側に向け
てセットする。
【００８４】
第一吐出方向Ａａ及び第二吐出方向Ａｂをセットすると、制御装置５１は、Ｘ軸モータ
ＭＸを駆動制御して、搬送台３３（対向基板１５）のＸ矢印方向への走査を開始する。
この際、制御装置５１は、波形データＷＤを所定のクロック信号に同期させて、第一吐
出ヘッド駆動回路５６及び第二吐出ヘッド駆動回路５８に出力する。また、制御装置５１
は、対向基板１５の走査分に対応する第一描画データＢＭａ及び第二描画データＢＭｂを
所定のクロック信号に同期させて、それぞれ第一吐出制御信号ＳＩａ及び第二吐出制御信
号ＳＩｂを生成する。さらに、制御装置５１は、生成した第一吐出制御信号ＳＩａ及び第
二吐出制御信号ＳＩｂを、それぞれ第一吐出ヘッド駆動回路５６及び第二吐出ヘッド駆動
回路５８にシリアル転送する。
【００８５】
そして、制御装置５１は、基板位置情報ＳＰＩ及びキャリッジ位置情報ＣＰＩに基づい
て、第一着弾位置Ｐａが、対応する第一目標位置Ｔａに位置するたびに、第一吐出ヘッド
駆動回路５６に対して第一吐出タイミング信号ＬＰａを出力する。また、制御装置５１は
、第二着弾位置Ｐｂが、対応する第二目標位置Ｔｂに位置するたびに、第二吐出ヘッド駆
動回路５８に対して第二吐出タイミング信号ＬＰｂを出力する。
【００８６】
第一吐出タイミング信号ＬＰａを出力すると、制御装置５１は、第一吐出ヘッド駆動回
路５６を介して、第一吐出制御信号ＳＩａに基づく液滴吐出動作を実行する。
すなわち、制御装置５１は、第一着弾位置Ｐａが、対応する第一目標位置Ｔａに位置す
るたびに、対応する第一圧電素子ＰＺａに圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給して、対応する
第一ノズルＮａから第一液滴Ｆａを吐出させる。吐出された各第一液滴Ｆａは、それぞれ
第一吐出方向Ａａに飛行して、対応する第一目標位置Ｔａに順次着弾する。着弾する各第
一液滴Ｆａは、それぞれ第一吐出接線速度Ｖｆａと第一搬送接線速度Ｖｉａを合成した第
一接線速度Ｖａの方向に沿って流動して、その表面張力に抗した方向、すなわち第一形成
領域Ｓａから第二形成領域Ｓｂに向かう方向に流動する。これによって、第一液滴Ｆａか
らなる第一液状膜ＬＦａを第一形成領域Ｓａに形成させることができ、その第二形成領域
Ｓｂ側の外縁で、表面張力に基づく流動（膜厚低下）を抑制させることができる。そして
、第一接線速度Ｖａに基づく流動分だけ、第一液状膜ＬＦａの第二形成領域Ｓｂ側で、そ
の膜厚を均一にさせることができる。
【００８７】
また、第二吐出タイミング信号ＬＰｂを出力すると、制御装置５１は、第二吐出ヘッド
駆動回路５８を介して、第二吐出制御信号ＳＩｂに基づく液滴吐出動作を実行する。
すなわち、制御装置５１は、第二着弾位置Ｐｂが、対応する第二目標位置Ｔｂに位置す
るたびに、対応する第二圧電素子ＰＺｂに圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給して、対応する
第二ノズルＮｂから第二液滴Ｆｂを吐出させる。吐出された各第二液滴Ｆｂは、それぞれ
第二吐出方向Ａｂに飛行して、対応する第二目標位置Ｔｂに順次着弾する。着弾する各第
二液滴Ｆｂは、それぞれ第二吐出接線速度Ｖｆｂと第二搬送接線速度Ｖｉｂを合成した第
二接線速度Ｖｂの方向に沿って流動して、その表面張力に抗した方向、すなわち第二形成
領域Ｓｂから第一形成領域Ｓａに向かう方向に流動する。これによって、第二液滴Ｆｂか
らなる第二液状膜ＬＦｂを第二形成領域Ｓｂに形成させることができ、その第一形成領域
Ｓａ側の外縁で、表面張力に基づく流動（膜厚低下）を抑制させることができる。そして
、第二接線速度Ｖｂに基づく流動分だけ、第二液状膜ＬＦｂの第一形成領域Ｓａ側で、そ
の膜厚を均一にさせることができる。
【００８８】
そして、第一液滴Ｆａからなる第一液状膜ＬＦａと第二液滴Ｆｂからなる第二液状膜Ｌ
Ｆｂの境界領域で、その膜厚を均一にさせることができ、膜厚均一性を向上させた配向膜
２７を形成させることができる。
【００８９】
次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、第一吐出方向Ａａからの第一液滴Ｆａを第一形成領域Ｓａ
に吐出して、着弾する第一液滴Ｆａに、第一形成領域Ｓａの内側から外側（第二形成領域
Ｓｂ側）に向かう速度成分（第一接線速度Ｖａ）を付与するようにした。また、第二吐出
方向Ａｂからの第二液滴Ｆｂを第二形成領域Ｓｂに吐出して、着弾する第二液滴Ｆｂに、
第二形成領域Ｓｂの内側から外側（第一形成領域Ｓａ側）に向かう速度成分（第二接線速
度Ｖｂ）を付与するようにした。
【００９０】
従って、第一形成領域Ｓａの外縁であって、第二形成領域Ｓｂ側の外縁に着弾した各第
一液滴Ｆａに、その表面張力に抗した外側への流動を付与することができる。その結果、
第一液状膜ＬＦａの第二形成領域Ｓｂ側で、その膜厚均一性を向上させることができる。
また、第二形成領域Ｓｂの外縁であって、第一形成領域Ｓａ側の外縁に着弾した各第二液
滴Ｆｂに、その表面張力に抗した外側への流動を付与することができる。その結果、第二
液状膜ＬＦｂの第一形成領域Ｓａ側で、その膜厚均一性を向上させることができる。
（２）しかも、第一液状膜ＬＦａと第二液状膜ＬＦｂを接合して、配向膜２７を形成する
ようにした。従って、配向膜２７の膜厚均一性を向上させることができる。
（３）上記実施形態によれば、着弾する第一液滴Ｆａ及び第二液滴Ｆｂに対して、それぞ
れ第一形成領域Ｓａ及び第二形成領域Ｓｂの外縁（反Ｘ矢印方向）に沿う速度成分（第一
搬送接線速度Ｖｉａ及び第二搬送接線速度Ｖｉｂ）を付与するようにした。従って、第一
形成領域Ｓａ及び第二形成領域Ｓｂの外縁に着弾した第一液滴Ｆａ及び第二液滴Ｆｂに、
外縁に沿う流動を付与することができる。その結果、第一液滴Ｆａ及び第二液滴Ｆｂを外
縁に沿って流動させる分だけ、外縁に沿う膜厚の均一性を向上させることができる。ひい
ては、配向膜２７の膜厚均一性を向上させることができる。
（４）上記実施形態によれば、配向膜形成領域Ｓに対応した目標位置Ｔに基づいて、第一
回動データＲａＤ、第二回動データＲｂＤ、第一傾動データＤａＤ及び第二傾動データＤ
ｂＤを生成するようにした。そして、これら第一回動データＲａＤ、第二回動データＲｂ
Ｄ、第一傾動データＤａＤ及び第二傾動データＤｂＤに基づいて、第一吐出方向Ａａ及び
第二吐出方向Ａｂを設定するようにした。従って、第一液滴Ｆａ及び第二液滴Ｆｂの双方
に対して、それぞれ配向膜形成領域Ｓ（第一形成領域Ｓａ及び第二形成領域Ｓｂ）に対応
した第一接線速度Ｖａ及び第二接線速度Ｖｂを付与することができる。その結果、配向膜
２７の膜厚均一性を、より確実に向上させることができる。
（５）上記実施形態によれば、対向基板１５の搬送方向（Ｘ矢印方向）から見て、第一吐
出方向Ａａと第二吐出方向Ａｂを交差させるようにした。従って、対向基板１５の一度の
走査によって、第一液滴Ｆａと第二液滴Ｆｂの双方を着弾させることができる。その結果
、配向膜２７の生産性を損なうことなく、その膜厚均一性を向上させることができる。
【００９１】
また、境界領域における第一液滴Ｆａと第二液滴Ｆｂの着弾タイミングを略等しくする
ことができる。そのため、第一液滴Ｆａと第二液滴Ｆｂの乾燥状態の差異に基づいた膜厚
変動を抑制させることができ、配向膜２７の膜厚均一性を、さらに向上させることができ
る。
【００９２】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、第一液状膜ＬＦａと第二液状膜ＬＦｂを接合させて配向膜２７を形
成するようにした。これに限らず、第一液状膜ＬＦａのみからなるパターンを形成する構
成であってもよく、あるいは第二液状膜ＬＦｂのみからなるパターンを形成する構成であ
ってもよい。これによれば、少なくとも第一液状膜ＬＦａからなるパターンに対して、第
一接線速度Ｖａ側の外縁の膜厚均一性を向上させることができる。あるいは、第二液状膜
ＬＦｂからなるパターンに対して、第二接線速度Ｖｂ側の外縁の膜厚均一性を向上させる
ことができる。
・上記実施形態では、第一形成領域Ｓａ（第二形成領域Ｓｂ）の全体に、第一吐出方向Ａ
ａ（第二吐出方向Ａｂ）からの第一液滴Ｆａ（第二液滴Ｆｂ）を着弾させる構成にした。
これに限らず、例えば、第一形成領域Ｓａ（第二形成領域Ｓｂ）の外縁であって、その第
二形成領域Ｓｂ側（第一形成領域Ｓａ側）の外縁のみに、第一吐出方向Ａａ（第二吐出方
向Ａａからの第一液滴Ｆａ（第二液滴Ｆｂ）を着弾させる構成にしてもよい。
【００９３】
これによれば、第一液状膜ＬＦａ（第二液状膜ＬＦｂ）の第二形成領域Ｓｂ（第一形成
領域Ｓａ）側の外縁でのみ、その膜厚均一性を向上させることができ、他の外縁の膜厚均
一性を保持させることができる。
・あるいは、第一形成領域Ｓａ（第二形成領域Ｓｂ）の外縁に吐出する全ての第一液滴Ｆ
ａ（第二液滴Ｆｂ）を、それぞれ第一形成領域Ｓａ（第二形成領域Ｓｂ）の内側から外側
に向かう吐出方向で吐出させるようにしてもよい。これによれば、第一形成領域Ｓａ（第
二形成領域Ｓｂ）の外縁全体にわたって、その膜厚均一性を向上させることができる。
・上記実施形態では、対向基板１５の法線方向から見て、第一吐出方向Ａａ及び第二吐出
方向Ａｂが、搬送台３３の走査方向の成分を有するようにした。これに限らず、対向基板
１５の法線から見て、第一吐出方向Ａａ及び第二吐出方向Ａｂが、搬送台３３の反走査方
向の成分を有する構成であってもよい。
・上記実施形態では、第一圧電素子ＰＺａ及び第二圧電素子ＰＺｂに、それぞれ共通する
波形データＷＤからなる圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給して、所定容量の第一液滴Ｆａ及
び第二液滴Ｆｂを吐出させるようにした。これに限らず、例えば、第一圧電素子ＰＺａ及
び第二圧電素子ＰＺｂに、異なる波形データＷＤからなる圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給
して、異なる重量の第一液滴Ｆａ及び第二液滴Ｆｂを吐出させる構成にしてもよい。
・上記実施形態では、第一吐出ヘッド４２ａ及び第二吐出ヘッド４２ｂを、それぞれ一つ
だけ備える構成にした。これに限らず、第一吐出ヘッド４２ａあるいは第二吐出ヘッド４
２ｂを複数備える構成にしてもよい。
・上記実施形態では、第一ノズルＮａ及び第二ノズルＮｂを、それぞれ一列だけ備える構
成にした。これに限らず、第一ノズルＮａあるいは第二ノズルＮｂを複数列備える構成に
してもよい。
・上記実施形態では、パターンを、液晶表示装置１０の配向膜２７に具体化した。これに
限らず、例えば、液晶表示装置１０や、電子放出素子から放出された電子による蛍光物質
の発光を利用した電界効果型装置（ＦＥＤやＳＥＤなど）に設けられる各種薄膜、金属配
線、カラーフィルタなどに具体化してもよい。すなわち、着弾した液滴によって形成する
パターンであればよい。
・上記実施形態では、基板を、液晶表示装置１０の対向基板１５に具体化した。これに限
らず、基板を、シリコン基板やフレキシブル基板、あるいは金属基板などに具体化しても
よい。
・上記実施形態では、電気光学装置を、液晶表示装置１０に具体化した。これに限らず、
例えば、電気光学装置を、エレクトロルミネッセンス装置に具体化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本実施形態における液晶表示装置を示す斜視図。
【図２】同じく、液晶表示装置を示す断面図。
【図３】同じく、液滴吐出装置を示す斜視図。
【図４】同じく、液滴吐出ヘッドを示す斜視図。
【図５】同じく、液滴吐出ヘッドを示す概略平面図。
【図６】同じく、液滴吐出ヘッドを示す概略側面図。
【図７】同じく、液滴吐出ヘッドを示す要部側面図。
【図８】同じく、液滴吐出動作を説明する説明図。
【図９】同じく、液滴吐出動作を説明する説明図。
【図１０】同じく、液滴吐出動作を説明する説明図。
【図１１】同じく、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気ブロック回路図。
【符号の説明】
【００９５】
Ａａ…第一吐出方向、Ａｂ…第二吐出方向、Ｆａ…第一液滴、Ｆ…パターン形成材料と
しての配向膜形成材料、Ｆｂ…第二液滴、ＲａＤ…方向情報を構成する第一回動データ、
ＲｂＤ…方向情報を構成する第二回動データ、ＤａＤ…方向情報を構成する第一傾動デー
タ、ＤｂＤ…方向情報を構成する第二傾動データ、Ｓａ…パターン形成領域を構成する第
一形成領域、Ｓｂ…パターン形成領域を構成する第二形成領域、１０…電気光学装置とし
ての液晶表示装置、１５…基板としての対向基板、２７…パターンとしての配向膜、３０
…液滴吐出装置、３９…方向設定手段を構成する回動ステージ、４０…方向設定手段を構
成するガイドステージ、４１…方向設定手段を構成する傾動ステージ、４２ａ…液滴吐出
ヘッドを構成する第一吐出ヘッド、４２ｂ…液滴吐出ヘッドを構成する第二吐出ヘッド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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