(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外層と内層を有する二層構造のクリーニングローラーにおいて、クリーニングローラーの外層の硬度を、硬度ＪＩＳ−Ａ５５°のオレフィン系熱可塑性エラストマーのベースポリマーに粘着材を添加して粘着層とし、また内層を基板などの対象物の凹凸の高さに柔軟に対応できる材質の軟質熱可塑性エラストマーで硬度（ＪＩＳ−Ａ）２０°から６０°の範囲で形成する軟質弾性層とし、上記外層の粘着層を薄肉層と、内層の軟質弾性層を厚肉層として一体的に成型したことを特徴とする二層構造の粘着性クリーニングローラー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、粘着性を利用して埃やゴミなどを取り去る二層構造からなるクリーニング用のローラーで、汚れを取る対象物の基板などの凹凸の高さ、フイルムなどの薄さなどに対応する二層構造の粘着性クリーニングローラーに関する。
【背景技術】
【０００２】  従来の粘着性を利用したクリーニングローラーは、ローラー表面の粘着力で埃やゴミなどを対象物から取り去るものが一般的で、多く市販されている。【０００３】  また、クリーニングローラーの表面の粘着力で汚れ、埃などを対象物から取り去った汚れの再付着を防ぐために、クリーニングローラーであるメインローラーとサブローラーを接触回動させ、該サブローラーに汚れを転写するようにしたゴミ取りローラーがある。（例えば、特許文献１参照）【０００４】  さらに、ゴムローラと対象物とのニップル巾の調整作業を所定期間必要としないように形成した二層構造のゴムローラとして、オフセット印刷用連続給水ゴムローラがある。（例えば、特許文献２参照）【０００５】  加えて、洋服などに付着したごみ、ほこりを取り去る粘着性ローラーで、ローラー表面に粘着シートを巻き付けたゴミ取りローラーがある。（例えば、特許文献３参照）【０００６】
【特許文献１】  特開２００２−１１２９４４号  公報
【特許文献２】  特開２００５−００７８１２号  公報
【特許文献３】  実用新案登録  第３０１８４０７号  公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】  従来使用されている粘着クリーニングローラーは、粘着力を利用して埃やゴミなどを該ローラーに付着させて取り除くもので、特に産業用として、フイルム状など平面のものに付着する埃やゴミなどを取り除く、一層で所定硬度の粘着クリーニングローラーが多く提供されているが、半導体基板などのような大小様々な凹凸のあるものには使用できなかった。【０００８】  それは、大小様々な凹凸に対応させるには、その凹凸に対応するように粘着クリーニングローラーに柔軟性を持たせる必要があり、所定以下の低硬度の熱可塑性エラストマーを選択すると、柔らかいため成型時に変形して形崩れを起こし成型が難しく、また歩留まり、成型効率も悪く、該ローラーの製造コスト上、現実的では無く、これは、一般的に押し出し成型は、射出成型等に比較して、金型も含め非常にコストが安いと言われているが、上述したように成型の製法上、凹凸に対応できる程度の軟質のローラーは形崩れにより形状が安定せず、一般的に安価に製作できる押し出し成型では製作されてなかった。【０００９】  そして、対象物の凹凸に対応する事に加えて薄膜のフイルムなどでは、粘着力を調整しないと埃やゴミなどを取る以上に対象物に粘着張り付き、また該ローラーに巻き付き現象、さらに薄膜のフイルムなどの破れも起こり、よってフイルムの厚さに合わせて適宜粘着力の変更が必要であったが、該ローラーの製造コスト上、現実的ではなかった。【００１０】  また、上述した従来の特許文献１のゴミ取りローラーの主要の要件の１つは、使用例の露光用マスクのゴミをメインローラー３に付着させ取り除き、そして該メインローラー３のゴミをサブローラー４に転写するとするもので、さらにメインローラー３に付着したゴミをサブローラー４に効率よく転写するためのそれぞれの硬度の関係において、「ＪＩＳＫ  ６２５３−１９９７」に規定されるゴム硬度がＨｍ＞Ｈｓ＋＃１５」であることが望ましいとしている。【００１１】  このことから、メインローラー３をサブローラー４により常にリフレッシュするものであり、またメインローラー３の硬度においては、サブローラー４と面同士の平面上での転写効率を上げることであり、ゴミを取り除くための対象物の凹凸に対応する構成を有するものでなく、よってメインローラー３の構成では、対象物に凹凸があれば、その凹凸によりゴミを取り除くことができなかった。【００１２】  さらに、特許文献２のオフセット印刷用連続給水ゴムローラは、該ローラが二層構造で表層を硬く内層に柔軟性を持たせ、使用中の給水ゴムローラからインキや湿し水により可塑剤等の抽出による給水ゴムローラの収縮にもとづく線圧、ニップル巾の変化に対応するとしている。【００１３】  このことから、表層である上まきゴム層１２から抽出による給水ゴムローラの収縮を小さくしてニップル巾の変化に対応させて調整期間を少なくすることであり、また表層の硬さを利用して給水ゴムローラの表面に異物の付着防止することであることから、本発明の逆の作用を求める二層構造のゴムローラであり、このことから一体的に形成する二層構造の構成を使用して柔軟にゴミを取り除く、粘着クリーニングローラーは、未だ提供されていなかった。【００１４】  加えて、特許文献３のゴミ取りローラーの要件の１つは、洋服などに付着したごみ、ほこりを取るために、プラスチックシート或いは紙又は布に塗布した粘着シートをローラー１に巻き付けて使用するもので、使用する対象物が柔らかいものまた床などのカーペットの平面に使用するとしている。【００１５】  このことから、大小様々な凹凸がある硬い平面状の対象物から埃、ゴミなどの汚れは取り除けず、またローラー１にプラスチックシート或いは紙又は布に塗布した粘着シートを巻き付けて使用するものであるから、産業上使用頻度の高いものについては、粘着シートの交換などの手間が煩雑で、コスト上現実的ではなかった。
【課題を解決するための手段】
【００１６】  本発明は、上記課題を有効に達成するための解決手段として、クリーニングローラーの外層の硬度を、硬度ＪＩＳ−Ａ５５°のオレフィン系熱可塑性エラストマーのベースポリマーに粘着材を添加して薄肉層の粘着層とし、また内層を基板などの対象物の凹凸の高さに柔軟に対応できる材質の軟質熱可塑性エラストマーで硬度（ＪＩＳ−Ａ）２０°から６０°の範囲で形成する厚肉層の軟質弾性層として一体的に成型するとしている。
このことで、押し出し成型における柔軟性のある粘着層の形くずれが起こらず製造工程の簡略化ができ、凹凸のあるものでも埃やゴミなどを取り除くと共に粘着層の耐摩耗性を向上させ、フイルム等へ粘着層に含有するオイル分の移行を少なくさせ、二次的汚染を防ぐようにしている。
【発明の効果】
【００１７】  本発明は、上述したそれぞれの手段によって有効な効果が得られるようにしたもので、特に、外層と内層を有する二層構造のクリーニングローラーにおいて、クリーニングローラーの外層の硬度を、硬度ＪＩＳ−Ａ５５°のオレフィン系熱可塑性エラストマーのベースポリマーに粘着材を添加して粘着層とし、また内層を基板などの対象物の凹凸の高さに柔軟に対応できる材質の軟質熱可塑性エラストマーで硬度（ＪＩＳ−Ａ）２０°から６０°の範囲で形成する軟質弾性層とし、上記外層の粘着層を薄肉層と、内層の軟質弾性層を厚肉層として一体的に成型する第１の解決手段により、
フイルムなどクリーニング対象物への二次付着防止などクリーン度の要求に対し、粘着層の硬度を高くしていることで、粘着層に含有するオイル分が少なく、よってクリーニングする対象物のフイルム等へのオイル分の移行も少なく、フイルムなど相手側への二次的汚染がきわめて少なくなる。【００１８】  また、二層構造の粘着性クリーニングローラーを一体に成型することで、より柔軟性を持たせた所定以下の低硬度の粘着層でも、押し出し成型時における粘着層の形くずれが起こらず、よって無駄なく、効率の良い成型とそれによる製造工程の簡略化で、粘着性クリーニングローラーの生産性及びコストの低減となる。【００１９】  そして、軟質弾性層を対象物の凹凸の大きさに対応できるよう適宜、硬度を変更して形成しているので、該ローラーの接触面が、半導体基板などの大小様々な凹凸に馴染むように変形することで半導体基板及び取り付け部品に粘着し、そこに付着する埃、ゴミなどを該ローラーに粘着させ、その凹凸の間の埃、ゴミなども取り除くことができる。【００２０】  よって、半導体基板などの凹凸の大きさに該ローラーの粘着層及び軟質弾性層が柔軟に変形対応し、且つ軟質弾性層の柔軟性を増すことで、高さの違いにも最適な状態で変形させることができ、大小様々な凹凸が有る半導体基板などでも粘着性クリーニングローラーの使用が可能となる。【００２１】  さらに、外層の薄肉で比較的高い所定硬度の粘着層と、内層の軟質弾性層の柔軟性により、汚れを取る対象物に柔軟に対応することで、対象物及び接触面の粘着層に大きな負荷を与えず、よって粘着層の耐摩耗性が向上し、また埃、ゴミなどを取り除く能力も長期に持続させることができる。【００２２】  加えて、粘着力を対象物の膜厚に比例させて粘着層を適宜変更して形成することもでき、対象物の薄膜のフイルムなどに粘着張り付き過ぎたり、また張り付いて該薄膜のフイルムなどが破れたり、さらに該ローラーに巻き付き現象が起きたりすることが無く、該薄膜のフイルムなどの生産性の向上とコスト削減でき、また二層構造の粘着性クリーニングローラーの粘着力と柔軟性の違いをそれぞれ組み合わせ、それを一体的に成型することで型代及び成型機の材料変え等が製造コストの低減でき、そしてそれは粘着性クリーニングローラーの多品種小ロット生産がコスト上も可能となることから、本発明は、実用上著大な効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【実施例】
【００２３】  本発明の実施例を図面に基づいて説明すると、図１において、１は粘着性クリーニングローラーで、該粘着性クリーニングローラー１は、外層を粘着層２と内層を軟質弾性層３として略筒状に押し出し成型にて一体成型している。【００２４】  該外層の粘着層２は、薄い層として形成し、具体的には一例として、０．２から１ｍｍ程度とし、材質を粘着性の熱可塑性エラストマーで形成している。【００２５】  そして、粘着層２の粘着力は、強度粘着力、中度粘着力、低度粘着力で形成され、後述する対象物の薄膜のフイルム４の厚さなどの状態に合わせて適宜変更して選ばれる。【００２６】  また、対象物の薄膜のフイルム４への二次的汚染を考慮して粘着層２のオイル分の移行を見た時、適宜変更して粘着層２の硬度を比較的高いものを使用する。（例えば一例として、硬度ＪＩＳ−Ａ５５°オレフィン系熱可塑性エラストマーをベースポリマーとし、それに粘着材を添加する。）【００２７】  これは、低硬度のエラストマーに多く含まれるオイル分を少なくする目的で、これによりオイル分が少ない分、クリーニングする対象物へのオイル分の移行が少なくなる。【００２８】  また、内層の軟質弾性層３は、厚肉の筒状に形成し、材質を軟質の熱可塑性エラストマー（例えば一例として、完全に水添されたスチレン系熱可塑性エラストマー）の硬度（ＪＩＳ−Ａ）２０°から６０°の範囲で、対象物の半導体基板などの大小様々な凹凸の高さに対応して、該軟質弾性層３の柔らかさであるところの柔軟に変形する変形率の硬度を変更することによって、対象物の凹凸高さに対して適宜変更して選ばれる。【００２９】  そして上記粘着層２と軟質弾性層３は、粘着層２の粘着力の強度粘着力、中度粘着力、低度粘着力と軟質弾性層３の硬度（ＪＩＳ−Ａ）２０°から６０°の範囲で、粘着力と硬度のそれぞれの違いを各組み合わせて、従来行われている所謂二色成型の押し出し成型方法で一体的に成型する。【００３０】  その粘着層２と軟質弾性層３のそれぞれの組み合わせにおいて、粘着層２の強度粘着力、中度粘着力、低度粘着力の三種類と軟質弾性層３の硬度（ＪＩＳ−Ａ）２０°から６０°の範囲で、例えば、硬度（ＪＩＳ−Ａ）２０°から６０°の１０°単位で５種類とすると、上記粘着層２の三種類との組み合わせは１５種類の組み合わせで形成できる。【００３１】  例えば、埃、ゴミなどを取り除く対象物が、特に薄い薄膜のフイルム４では、低度粘着力の粘着層２と硬度６０°程度の軟質弾性層３とし、また大小様々な凹凸の高さを有する半導体基板７などでは、強度粘着力の粘着層２と硬度２０°程度の軟質弾性層３が選ばれる。【００３２】  しかして、図２に示すように、埃、ゴミなどの汚れを取り除く対象物の薄膜のフイルム４に使用する時、薄膜のフイルム４上に粘着性クリーニングローラー１を接触させながら矢視方向に支軸５を介して転動させる事で、薄膜のフイルム４上の埃６などを粘着層２の表面に付着させて取り除く。【００３３】  その時、特に薄い薄膜のフイルム４では、粘着性クリーニングローラー１の粘着力が強いと、その粘着力で該粘着性クリーニングローラー１に巻き付いたり切れたりすることが起きるので、低度粘着力のものを選ぶことで、そのような粘着��による巻き込みなどが起きないようにすることが可能となる。【００３４】  しかして、図３に示すように、埃、ゴミなどの汚れを取り除く対象物が、大小様々な凹凸の高さを有する半導体基板７などの場合、粘着性クリーニングローラー１を半導体基板７の平面とその凹凸状に設けられた部品８の上を該凹凸に沿って変形しながら、図示の矢視方向に支軸５を介して転動する事で、粘着性クリーニングローラー１の粘着層２の表面に埃６などが付着し、該半導体基板７及び部品８の埃６などの汚れを取り除いて行く。【００３５】  その時の粘着性クリーニングローラー１の粘着層２の状態は、図４に示すように、半導体基板７とその凹凸状に設けられた部品８の上を粘着層２が接触すると、該凹凸にならって軟質弾性層３も同様に変形して隙間を埋めるように張り付き、半導体基板７及び部品８の上の埃６などの汚れを粘着層２の表面に付着させながら取り除いて行く。【００３６】  また、凹凸が有る半導体基板７などに使用される粘着性クリーニングローラー１の粘着層２の材質硬度は、薄肉で比較的高い所定硬度のものが選ばれることで、該凹凸による粘着層２の耐摩耗性を向上させて摩耗して埃、ゴミなどを取り除く能力が落ちるのを防ぐことで、埃、ゴミなどの取り除く能力を長期間持続させるようにしている。【００３７】  これは、粘着層２の薄肉で比較的高い所定硬度と軟質弾性層３の柔軟性により、汚れを取る対象物に柔軟に対応させ、粘着剥離の繰り返しで対象物及び粘着層２に大きな負荷を与えないことによって、粘着層２自身の耐摩耗性も向上させ、埃、ゴミなどの取り除く能力も長期間持続する。【００３８】  なお、上記実施例の硬度、粘着力の違いの組み合わせを例示すものは、薄膜のフイルム４又は大小様々な凹凸の高さを有する半導体基板７など埃、ゴミなどを取り除く対象物及びその対象物のクリーン度によっても適宜最適な組み合わせのものが選ばれるが、詳細な個々の具体的例示は省略した。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】  本発明の実施例の斜視図である。
【図２】  一例の薄膜のフイルム４に使用している状態を示す要部の側面図である。
【図３】  一例の半導体基板７に使用している状態を示す要部の側面図である。
【図４】  一例の半導体基板７に使用している状態を示す要部の部分側面図である。
【符号の説明】
【００４０】  １  粘着性クリーニングローラー
２  粘着層
３  軟質弾性層
４  薄膜のフイルム
７  半導体基板
８  部品
【図１】
0004529029.tif 000002
【図２】
0004529029.tif 000003
【図３】
0004529029.tif 000004
【図４】
0004529029.tif 000005