(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能なロータと、
前記ロータを回転駆動する回転駆動手段と、
前記ロータに設けられ、前記ロータの回転軸方向の両端面および前記回転軸に直交する
半径方向に沿って外周面に貫通して形成されたスリットを有する回転可能な円盤と、
前記円盤の前記回転軸方向の一端面に対向して配置され、前記一端面に前記円盤の前記
回転軸の側から前記外周面の側に流れる磁束を形成する第１の電磁石と、
前記円盤の前記回転軸方向の他端面に対向して配置され、前記他端面に前記円盤の前記
外周面の側から前記回転軸の側に流れる磁束を形成する第２の電磁石と、
前記円盤の前記外周面に対向して配置され、前記外周面に前記一端面側から前記他端面
側に流れる磁束を形成する第３の電磁石と、
を備え、
前記第１の電磁石、前記第２の電磁石、及び前記第３の電磁石は、前記回転軸に沿って
前記回転軸の周方向に複数離間して配置されていることを特徴とする磁気軸受装置。
【請求項２】
前記ロータは、内部空間を有し、
前記回転駆動手段は前記内部空間であって、前記回転軸の軸方向に対して前記円盤と同
じ高さの位置に挿入されることを特徴とする請求項１記載の磁気軸受装置。
【請求項３】
回転可能なロータと、
前記ロータを回転駆動する回転駆動手段と、
前記ロータに設けられ、前記ロータの回転軸方向の両端面および前記回転軸に直交する
方向の内周面に貫通して形成されたスリットを有する回転可能な円盤と、
前記円盤の前記回転軸方向の一端面に対向して配置され、前記一端面に前記円盤の前記
外周面の側から前記回転軸の側に流れる磁束を形成する第１の電磁石と、
前記円盤の前記回転軸方向の他端面に対向して配置され、前記他端面に前記円盤の前記
回転軸の側から前記外周面の側に流れる磁束を形成する第２の電磁石と、
前記円盤の前記内周面に対向して配置され、前記内周面に前記一端面側から前記他端面
側に流れる磁束を形成する第３の電磁石と、
を備え、
前記第１の電磁石、前記第２の電磁石、及び前記第３の電磁石は、前記回転軸に沿って
前記回転軸の周方向に複数離間して配置されていることを特徴とする磁気軸受装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気軸受装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、半導体基板（ウエハ）に所定成分の薄膜を成長させる化学気相成長装置（ＣＶＤ
装置）等のような装置では、ロータを回転支持する軸受装置には主に玉軸受が用いられて
いる。
【０００３】
このような化学気相成長装置は、減圧された清浄な雰囲気での運転を必要とする。した
がって、構成要素に玉軸受を用いて構成された従来の装置では、玉軸受の潤滑油が拡散し
てウエハに成膜される薄膜を汚損し、製品の歩留りを低下させてしまう問題があった。ま
た、玉軸受に錆が発生すると清浄な雰囲気を汚染してしまうと共に、発生した錆で軸受に
かじりが生じて安定したロータの回転が不可能になる場合があった。このような場合には
玉軸受の交換を要するが、交換には多大な時間を費やすものであった。
【０００４】
そこで、構成要素として玉軸受を用いる代わりに、磁気軸受装置を用いることが検討さ
れている。磁気軸受装置は非接触，無潤滑，長寿命等の特徴を有することから多方面で様
々な研究や用途開発が進められている。
【０００５】
従来の磁気軸受装置は、例えば図１１に示すように構成されている。この磁気軸受装置
９０は、筐体９１内に収納され回転軸９２の下方端側にスラスト円盤９３ａを設けた縦型
のロータ９３と、このスラスト円盤９３ａの上下面に隙間を設けて磁極を対向させロータ
９３のスラスト方向を非接触に支持するためのスラスト磁気軸受９４を構成する電磁石９
４ａ，９４ｂを具備している。また、ロータ９３は、その回転軸９２の上部および下部に
設けられたラジアル磁気軸受９５，９６によってラジアル方向に対して非接触に支持され
、電動機（モータ）９７によって回転軸９２回りに回転駆動される。
【０００６】
ラジアル磁気軸受９５，９６は、回転軸９２の軸方向に積層した状態でロータ９３に固
定された円筒状をなす積層継鉄部９３ｂ，９３ｃと、これらに対向する位置で筐体９１に
固定され周方向に４等配された上部電磁石９５ａ，９５ｂ，９５ｃ，９５ｄ（９５ｂ，９
５ｄは図示せず）および下部電磁石９６ａ，９６ｂ，９６ｃ，９６ｄ（９６ｂ，９６ｄは
図示せず）から構成されている。
【０００７】
さらに、筐体９１内には図示しない変位センサが設けられており、この変位センサによ
ってロータ９３の軸方向および半径方向の変位が検出され、これに基づいて制御部（図示
せず）からの制御信号によりスラスト磁気軸受９４とラジアル磁気軸受９５，９６が制御
される。
【０００８】
このように構成された従来の磁気軸受装置では、スラスト磁気軸受９４とラジアル軸受
９５，９６、図示しない変位センサ、電動機９７が回転軸９２の方向に沿って並設されて
いる。そのため、磁気軸受装置が回転軸９２の方向に長尺となってしまう。さらに、ロー
タ９３に設けられた積層継鉄部９３ｂ，９３ｃは減圧された筐体９１の内部にその積層端
面が露出するものであるため、この積層端面が錆びるような状況にあるとロータ９３の回
転により錆が飛散してしまい、筐体９１内を汚染してしまう。特にＣＶＤ装置ではウエハ
に成膜される薄膜が汚損され、製品の歩留りを低下させてしまう可能性があった。
【特許文献１】特開平１０−７０８６６号公報
【特許文献２】特開昭５３−８８４４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記のように従来の磁気軸受装置では、ラジアル磁気軸受が回転軸の軸方向に複数箇所
にわたって配列されているので、装置が軸方向に長尺なものとなっていた。また、筐体内
に露出する積層継鉄の端面の発錆によって筐体内を汚染してしまう恐れがあった。そこで
本発明は、従来よりも回転軸の軸方向長さが短く、また装置内部の汚染を低減することが
できる磁気軸受装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために本発明では、回転可能なロータと、前記ロータを回転駆動す
る回転駆動手段と、前記ロータに設けられ、前記ロータの回転軸方向の両端面および前記
回転軸に直交する半径方向に沿って外周面に貫通して形成されたスリットを有する回転可
能な円盤と、前記円盤の前記回転軸方向の一端面に対向して配置され、前記一端面に前記
円盤の前記回転軸の側から前記外周面の側に流れる磁束を形成する第１の電磁石と、前記
円盤の前記回転軸方向の他端面に対向して配置され、前記他端面に前記円盤の前記外周面
の側から前記回転軸の側に流れる磁束を形成する第２の電磁石と、前記円盤の前記外周面
に対向して配置され、前記外周面に前記一端面側から前記他端面側に流れる磁束を形成す
る第３の電磁石と、を備え、前記第１の電磁石、前記第２の電磁石、及び前記第３の電磁
石は、前記回転軸に沿って前記回転軸の周方向に複数離間して配置されていることを特徴
とする磁気軸受装置とした。
【００１１】
また、本発明では、回転可能なロータと、前記ロータを回転駆動する回転駆動手段と、
前記ロータに設けられ、前記ロータの回転軸方向の両端面および前記回転軸に直交する方
向の内周面に貫通して形成されたスリットを有する回転可能な円盤と、前記円盤の前記回
転方向の一端面に対向して配置され、前記一端面に前記円盤の前記外周面の側から前記回
転軸の側に流れる磁束を形成する第１の電磁石と、前記円盤の前記回転軸方向の他端面に
対向して配置され、前記他端面に前記円盤の前記回転軸の側から前記外周面の側に流れる
磁束を形成する第２の電磁石と、前記円盤の前記内周面に対向して配置され、前記内周面
に前記一端面側から前記他端面側に流れる磁束を形成する第３の電磁石と、を備え、前記
第１の電磁石、前記第２の電磁石、及び前記第３の電磁石は、前記回転軸に沿って前記回
転軸の周方向に複数離間して配置されていることを特徴とする磁気軸受装置とした。
【００１２】
上記のように構成された本発明の磁気軸受装置によれば、ロータの回転方向に対して導
電性を非連続的な状態にする導電性調節手段が設けられるとともに、ロータを磁気吸引力
により所定の軸方向およびそれと直交する方向（スラスト方向およびラジアル方向）に対
して非接触に支持する複数の電磁石が設けられている。そのため、ロータの回転に伴い発
生する渦電流による渦電流損が、スラスト方向とラジアル方向の両方向にわたって弱めら
れる。したがって、従来のように積層継鉄を用いて装置を構成する必要がなくなり、回転
軸方向に短く、装置内部の汚染を低減することが可能な磁気軸受装置が実現する。
【発明の効果】
【００１３】
これによれば、従来のものに比べて回転軸方向に短く、装置内部の汚染を低減すること
が可能な磁気軸受装置が実現する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。図１は、本発明の磁気軸受装
置の第１の実施形態に係る側断面図、図２は図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【００１５】
磁気軸受装置１におけるロータ４は、略円筒形状の筐体２内に収納され、回転軸３の下
方端付近に円盤４ａを取り付けている。またこの円盤４ａの上下面には、隙間を介して磁
極を対向させることによりロータ４のスラスト方向（回転軸３の軸方向）および傾き方向
（回転軸３の傾き方向）に対してロータ４を非接触に支持するための上部電磁石５ａ，５
ｂ，５ｃ，５ｄおよび下部電磁石５ｅ，５ｆ，５ｇ，５ｈ（但し、５ｆと５ｈは図示せず
）が設けられている。これら上部電磁石５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄおよび下部電磁石５ｅ，
５ｆ，５ｇ，５ｈはスラスト磁気軸受５を構成している。またロータ４の円盤４ａの外周
面には、隙間を介して磁極を対向させることによりロータ４のラジアル方向（回転軸３と
直交する方向）に対して非接触に支持するための電磁石６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄが設けら
れている。これら電磁石６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄはラジアル磁気軸受６を構成している。
【００１６】
また筐体２内の上部電磁石５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄの上方には、ロータ４を回転駆動す
るための電動機７が設けられている。ロータ４の円盤４ａ外周側には、回転軸３の軸方向
に貫通し半径方向に沿って等間隔に形成されたスリット（導電性調節手段）８が、ここで
は計３６本設けられている。
【００１７】
図３は、スラスト磁気軸受５およびラジアル磁気軸受６の磁束の流れを説明するための
図であり、スラスト磁気軸受５の上部電磁石５ｃと下部電磁石５ｇおよびラジアル磁気軸
受６の電磁石６ｃのみを拡大して示している。
【００１８】
これらスラスト磁気軸受５の上部電磁石５ｃと下部電磁石５ｇおよびラジアル磁気軸受
６の電磁石６ｃは、ロータ４の円盤４ａに設けたそれぞれのスリット８が形成する面に対
してほぼ平行な面内で磁路を形成することになる。つまり、スラスト磁気軸受５の上部電
磁石５ｃの磁束Ｍ１は、円盤４ａの半径方向に対して外側から内側に流れ、上部電磁石５
ｃと円盤４ａとの隙間を通って電磁石ヨークに入り、閉ループを構成している。また、ス
ラスト磁気軸受５の下部電磁石５ｇの磁束Ｍ２は、円盤４ａの半径方向に対して内側から
外側に流れ、下部電磁石５ｇと円盤４ａとの隙間を通って電磁石ヨークに入り、閉ループ
を構成している。さらに、ラジアル磁気軸受６の電磁石６ｃの磁束Ｍ３は、円盤４ａの軸
方向に対して上側から下側に流れ、電磁石６ｃと円盤４ａとの隙間を通って電磁石ヨーク
に入り、閉ループを構成している。これらＭ１，Ｍ２，Ｍ３が形成する面は、スリット８
が形成する面とほぼ平行である。
【００１９】
スラスト磁気軸受５の上部電磁石５ａ，５ｂ，５ｄと下部電磁石５ｅ，５ｆ，５ｈおよ
びラジアル磁気軸受６の電磁石６ａ，６ｂ，６ｄについてはここでは図示していないが、
図３と同様に磁束の流れが形成される。
【００２０】
次に、本発明における導電性調節手段、すなわち円盤４ａにスリット８を設けることに
よる作用を説明する。本発明において円盤４ａにスリット８を設けた理由は、ロータ４の
円盤４ａが電動機７で回転駆動された時に発生する鉄損、特に渦電流損を低減させるため
である。
【００２１】
つまり、仮にスリット８が形成されていない状態を考えた場合、円盤４ａは電動機７で
回転駆動されると、スラスト磁気軸受５の上部電磁石５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと下部電磁
石５ｅ，５ｆ，５ｇ，５ｈ、およびラジアル磁気軸受６の電磁石６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ
の磁極部に対向する上下面および外周面には、渦電流損が発生する。この渦電流損は、周
方向に分割して配置されたスラスト磁気軸受５およびラジアル磁気軸受６の磁束が、周方
向に対して一様ではなく分布してしまうために発生する。
【００２２】
従来の磁気軸受装置では、この渦電流損を低減するために積層継鉄が広く用いられてい
る。しかし、積層継鉄を用いた渦電流損低減の方法はラジアル磁気軸受に対しては有効に
働くが、スラスト磁気軸受に対してはその効果は期待できない。そこで本発明では、渦電
流損がロータ４の回転に伴って発生することに着目し、スリット８を設けた円盤４ａを回
転させるとともに、その周囲にラジアル磁気軸受とスラスト磁気軸受を配置した。
【００２３】
ロータ４の回転に伴い、スラスト磁気軸受５およびラジアル磁気軸受６に起因して円盤
４ａには渦電流が誘起されるが、この渦電流は円盤４ａに設けたスリット８で遮られる。
これは、スリット８が形成されているために円盤４ａの周方向に磁束が移動しないことに
起因している。したがって、渦電流の発生を抑制することが可能となる。
【００２４】
このように構成された本実施形態の磁気軸受装置１では、導電性調節手段であるスリッ
ト８を設けたことにより、渦電流損の低減のための積層継鉄を使用することなくロータ４
の円盤４ａの上下部と外周部にスラスト磁気軸受５およびラジアル磁気軸受６を配置する
ことができる。したがって、ラジアル磁気軸受をその軸方向に複数配置した従来の磁気軸
受装置に比べて軸方向長さが短くコンパクトな構成となる。
【００２５】
また、積層継鉄を用いる必要がなくなるため、筐体２内に露出する積層継鉄の端面が錆
びることによる筐体内の汚染を防止することができる。また、積層継鉄を用いた場合に問
題となる遠心力および熱膨張差変形に起因するアンバランスを除去または低減できるので
、ロータ４の回転運動特性を向上でき、さらに大口径ロータを用いることが容易となる。
【００２６】
なお、図２では電動機７をスラスト磁気軸受５の上部電磁石５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄの
上側に設けた構成となっているが、例えばスラスト磁気軸受５の下部電磁石５ｅ，５ｆ，
５ｇ，５ｈの下側に設けた構成であってもよい。さらに、図３ではスラスト磁気軸受５の
上部電磁石５ｃと下部電磁石５ｇおよびラジアル磁気軸受６の電磁石６ｃの磁束Ｍ１，Ｍ
２，Ｍ３が記載されているが、磁束の流れが逆向きとなるように電磁石を制御しても、本
発明の効果を期待することができる。
【００２７】
続いて、図４を参照して本発明の第２の実施形態を説明する。なお、以下に説明する各
実施形態において第１の実施形態と同一構成要素には同一符号を付し、重複する説明を省
略する。
【００２８】
図４は本発明の第２の実施形態に係る磁気軸受装置１０の側断面図である。本実施形態
における磁気軸受装置１０の特徴は、筐体２がロータ４の内部空間に挿入されるべく挿入
部２ａを設け、この挿入部２ａに電動機７を取り付けることにより、電動機７をロータ４
の内周部に配置した点にある。そのため、図示のようにラジアル磁気軸受６と電動機７を
回転軸３の軸方向に対して同じ高さの位置に配置することが可能となる。
【００２９】
このような構成の第２の実施形態によれば、第１の実施形態に比べて軸方向長さが短く
なり、コンパクトな磁気軸受装置を提供することができる。続いて、図５を参照して本発
明の第３の実施形態を説明する。図５は本発明の第３の実施形態に係る磁気軸受装置２０
の側断面図である。本実施形態における磁気軸受装置２０の特徴は、筐体２の挿入部２ａ
の形状を図４に示したものから変形し、この挿入部２ａにラジアル磁気軸受６を取り付け
ることにより、ラジアル磁気軸受６をロータ４の円盤４ａの内周部に配置した点にある。
なお、電動機７はロータ４の外周部に配置されている。そのため、図示のようにラジアル
磁気軸受６と電動機７を回転軸３の軸方向に対して同じ高さの位置に配置することが可能
となる。
【００３０】
このような構成の第３の実施形態によれば、先の実施形態と同様に軸方向長さが短くな
り、コンパクトな磁気軸受装置を提供することができる。図６は、本発明の磁気軸受装置
１におけるスラスト磁気軸受５およびラジアル磁気軸受６の変位センサ配置を説明する側
断面図、図７は図６におけるＢ−Ｂ線断面図である。ここで、図６に示した側断面図は図
７中のＣ−Ｃ線断面図に相当するものである。
【００３１】
スラスト磁気軸受５に用いるスラスト変位センサ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄは、
ロータ４の円盤４ａの上面に対して空隙を介した状態で筐体２に等間隔に固定されている
。これらスラスト変位センサ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄは、円盤４ａの内周付近上
面（スリット８が形成されていない部分）を検出し、図示しないスラスト変位センサ変換
器および信号処理回路によってロータ４の軸方向変位および傾き方向変位を求める。これ
らスラスト変位センサ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄの変位信号に基づき、図示しない
制御部からの制御信号によってスラスト磁気軸受５が位置決め制御される。
【００３２】
また、ラジアル磁気軸受６に用いるラジアル変位センサ１２ａ，１２ｂは、円盤４ａの
上部でロータ４の外周面に対して空隙を介した状態で、９０°の位相差をもって筐体２に
固定されている。これらラジアル変位センサ１２ａ，１２ｂは、ロータ４の外周面を検出
し、図示しないラジアル変位センサ変換器および信号処理回路によってロータ４の半径方
向変位を求める。これらラジアル変位センサ１２ａ，１２ｂの変位信号に基づき、図示し
ない制御部からの制御信号によってラジアル磁気軸受６が位置決め制御される。
【００３３】
なお、図６においてスラスト変位センサ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄは、ロータ４
の円盤４ａの上面に対して空隙を介した状態で筐体２に固定されているが、円盤４ａの下
面に空隙を介した状態で筐体２に固定しても良い。また、ラジアル変位センサ１２ａ，１
２ｂは、円盤４ａの上部でロータ４の外周面に対して空隙を介した状態で筐体２に固定さ
れているが、円盤４ａの下部でロータ４の外周面、またはロータ４の内周面に対して空隙
を介した状態で筐体２に固定しても良い。
【００３４】
また、ここではスラスト変位センサの数は４個、ラジアル変位センサの数は２個の例を
示したが、スラスト変位センサの数は３個以上、ラジアル変位センサの数は２個以上設け
ることにより、装置に必要となる空間５自由度を確実に検出することができる。
【００３５】
図８は、本発明の磁気軸受装置３０におけるスラスト磁気軸受５およびラジアル磁気軸
受６の変位センサ配置を説明する側断面図、図９は図８におけるＤ−Ｄ線断面図である。
ここで、図８に示した側断面図は図９中のＥ−Ｅ線断面図に相当するものである。
【００３６】
スラスト磁気軸受５に用いるスラスト変位センサ１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１
３ｅ，１３ｆ，１３ｇ，１３ｈ（但し１３ｅ，１３ｆ，１３ｈは図示せず）は、ロータ４
の円盤４ａの上面および下面に対して空隙を介した状態で筐体２に等間隔に固定されてい
る。これらスラスト変位センサ１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ，１３ｆ，１３
ｇ，１３ｈは、円盤４ａの上面（スリット８が形成されている部分）を検出し、図示しな
いスラスト変位センサ変換器および信号処理回路によってロータ４の軸方向変位および傾
き方向変位を求める。これらスラスト変位センサ１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３
ｅ，１３ｆ，１３ｇ，１３ｈの変位信号に基づき、図示しない制御部からの制御信号によ
ってスラスト磁気軸受５が制御される。
【００３７】
また、ラジアル磁気軸受６に用いるラジアル変位センサ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４
ｄは、円盤４ａの外周側面に対して空隙を介した状態で、９０°の位相差をもって筐体２
に固定されている。これら変位センサ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、円盤４ａの外
周側面を検出し、図示しないラジアル変位センサ変換器および信号処理回路によってロー
タ４の半径方向変位を求める。こららラジアル変位センサ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４
ｄの変位信号に基づき、図示しない制御部からの制御信号によってラジアル磁気軸受６が
位置決め制御される。
【００３８】
なお、図８および図９ではスラスト変位センサ１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３
ｅ，１３ｆ，１３ｇ，１３ｈは、ロータ４の円盤４ａの上下面に空隙を介した状態で筐体
２に固定されているが、円盤４ａの上下面にそれぞれ同一平面を形成するように少なくと
も３組以上のスラスト変位センサを配置すれば良い。
【００３９】
図１０は、図８および図９に示す磁気軸受装置３０のラジアル変位センサ１４ａ，１４
ｃの差動出力信号を説明するための図である。ロータ４が回転駆動すると、ラジアル変位
センサ１４ａ，１４ｃの出力信号は回転同期成分の振動波形３１ａ，３２ａと、ロータ４
の円盤４ａに設けたスリット８がラジアル変位センサ１４ａ，１４ｃの検出位置を通過す
る度に発生するパルス状の振動波形３１ｂ，３２ｂが重畳した出力波形３１，３２となる
。このパルス状の振動波形３１ｂ，３２ｂは、ロータ４の振動変位とは関係なく、スリッ
ト８の影響で発生する誤差信号である。
【００４０】
そのため、ラジアル変位センサ１４ａの出力信号３１またはラジアル変位センサ１４ｃ
の出力信号３２を使用してラジアル磁気軸受６を浮上制御すると、ロータ４の回転駆動に
伴ってパルス状の振動波形３１ｂまたは３２ｂに起因した振動が発生し、ロータ４の浮上
特性が劣化する。そこで、両者の出力信号３１，３２の差動信号３３を浮上制御に用いる
ことにより、スリット８の影響で発生するパルス状の振動波形３１ｂ，３２ｂを除去また
は低減することができ、良好な浮上特性が維持される。
【００４１】
さらに、円盤４ａの遠心力および熱膨張変形に起因する検出誤差を小さくできると共に
、ラジアル変位センサの検出感度が２倍に向上することになるので、より高精度で安定性
の高い磁気軸受装置が提供される。
【００４２】
また、図１０はラジアル変位センサ１４ａ，１４ｃの差動信号を説明するための図であ
るが、ラジアル変位センサ１４ｂと１４ｄおよびスラスト変位センサ１３ａと１３ｅ、１
３ｂと１３ｆ、１３ｃと１３ｇ、１３ｄと１３ｈの組で同様に差動信号を生成し、それら
差動信号を用いてラジアル磁気軸受６とスラスト磁気軸受５が制御することも可能である
。
【００４３】
また、本実施形態の説明ではスリット８の数を３６本に設定したものを示したが、本発
明はこの本数に限定されるものではない。スリット８の数が増加した場合、ロータ４の回
転に伴って生じる鉄損、特に渦電流損は低下するため、回転特性は向上する。しかし、ロ
ータ４の円盤４ａの機械的強度は低下してしまう。したがって、スリット８の数や間隔は
電動機７の容量やロータ４の許容発熱量、円盤４ａの機械的強度、回転数、スリット８の
形状等によって最適値が定まり、実際の設計で任意に決定されるものである。本発明では
、単に１本のスリットを設けるだけでも従来以上の効果を得ることができる。
【００４４】
また、上記各実施形態では、円盤４ａに対してスリット８を形成した例のみを示したが
、ロータと円盤とを一体的に成形し、そこにスリットを形成してもよい。この場合、導電
性調整手段はスリットのみということになる。
【００４５】
また、上記各実施形態では、スリットはラジアル方向およびスラスト方向に沿った状態
で形成されたもののみを示したが、本発明はこれ以外の方向にスリットを形成した場合に
も効果を期待することができる。つまり本発明では円盤４ａの表面に発生する渦電流がそ
の回転方向に移動することを防止する必要があるが、例えばスリットをロータ半径方向か
らやや傾斜させた状態（渦巻き状）に形成しても、渦電流の低減に寄与することができる
。すなわちスリットの形成角度は設計に応じて任意に設定することが可能である。
【００４６】
また、上記各実施形態では、円盤４ａに対してスリットを形成することにより導電性調
整手段を構成した例のみを示したが、板状に形成された複数の部材をロータの周囲に所定
間隔で接合し、全体として円盤状に形成しても本発明の効果を期待することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の磁気軸受装置の第１の実施形態に係る側断面図。
【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図。
【図３】スラスト磁気軸受およびラジアル磁気軸受の磁束の流れを説明するための図。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る磁気軸受装置の側断面図。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る磁気軸受装置の側断面図。
【図６】磁気軸受装置におけるスラスト磁気軸受およびラジアル磁気軸受の変位センサ配置を説明する側断面図。
【図７】図６におけるＢ−Ｂ線断面図。
【図８】磁気軸受装置におけるスラスト磁気軸受およびラジアル磁気軸受の変位センサ配置の他の例を説明する側断面図。
【図９】図８におけるＤ−Ｄ線断面図。
【図１０】図８および図９に示す磁気軸受装置３０のラジアル変位センサ１４ａ，１４ｃの差動出力信号を説明するための図。
【図１１】従来の磁気軸受装置を示す側断面図。
【符号の説明】
【００４８】
１，１０，１２０，３０，４０・・・磁気軸受装置
２・・・筐体
３・・・回転軸
４・・・ロータ
４ａ・・円盤
５・・・スラスト磁気軸受
６・・・ラジアル磁気軸受
７・・・電動機
８・・・スリット（導電性調節手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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