(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品吸着部を有する実装用ヘッドにより部品供給部の部品を吸着し、この実装用ヘッドを部品装着部に移動させた後に上記実装用ヘッドから部品装着部のプリント基板に装着する表面実装機において、
上記ヘッドの部品吸着部を撮像する撮像手段と、実装位置での部品の装着動作が行なわれたときに部品が正常に装着されたか否かを真空圧により判定した結果が異常である場合に、部品廃棄の後で次に部品の吸着を行うまでの期間内に上記撮像手段により撮像された上記ヘッドの部品吸着部の撮像結果に基づいて廃棄の後の異物付着の有無に基づく部品吸着部の状態の良否を判定する判定手段とを備えていることを特徴とする表面実装機。
【請求項２】
判定手段により部品吸着部が不良状態にあると判定されたとき、部品吸着部が不良状態にある旨を報知する報知手段を備えていることを特徴とする請求項１記載の表面実装機。
【請求項３】
判定手段は、撮像された部品吸着部の画像における輝度を調べ、輝度の変化領域があるとき部品吸着部に異物の付着が発生していると判定するように構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の表面実装機。
【請求項４】
判定手段は、輝度の変化領域が部品吸着部の画像領域に対し所定の設定比率を超えるとき部品吸着部が不良状態にあると判定するように構成されていることを特徴とする請求項３記載の表面実装機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、部品吸着部を有する実装用ヘッドにより電子部品を吸着してプリント基板等の基板上の所定位置に装着するように構成された表面実装機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、部品吸着部と部品装着部とにわたって移動可能なヘッドユニットに実装用ヘッドを装備し、この実装用ヘッドによりＩＣ等の部品を部品供給部から吸着して、部品装着部に配置されているプリント基板上に移送し、そのプリント基板の所定位置に装着し得るように構成された表面実装機が一般に知られている。
【０００３】
このような表面実装機においては、上記実装用ヘッドの先端に部品吸着用のノズルが取付けられ、このノズルの先端の部品吸着部に供給される負圧を部品に作用させることにより部品を吸着するようになっている。
【０００４】
そして、上記部品供給部において上記実装用ヘッドのノズルに部品が吸着された後、プリント基板まで移送される間に部品認識処理が行われ、部品認識処理の後にプリント基板に上記部品の装着が行われる。上記部品認識処理においては、上記ノズルに吸着された状態の部品が部品認識用カメラにより撮像されて、部品及び部品吸着状態の良否の判定や位置補正データの取得が行われる。この部品認識処理に基づき、部品の不良もしくは部品吸着状態の不良が判定されたときは吸着部品を廃棄し、また部品及び部品吸着状態が良好であった場合は、上記位置補正データにより補正された装着位置へ部品が装着される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記ノズルに吸着された部品をプリント基板に装着する際に、部品をプリント基板に装着するための半田やチップ電極滓等の異物がノズルの先端に対し付着してしまうことがある。特に、吸着対象部品がノズル先端の吸着面よりも小さいような小型部品である場合には上記の半田の付着が生じ易くなると考えられる。そして、このような異物がノズルの吸着面に付着したまま実装作業を続けると、部品の未実装や実装不良を引き起こすおそれがある。すなわち、部品吸着時に部品の吸着に失敗し未吸着のまま部品認識処理が行われた場合に、上記のノズルに付着した異物に起因して部品有りと誤認識される可能性があり、この場合にそのまま装着動作が行われる結果、未実装が生じ得る。また、部品の吸着がたとえ行われたとしても上記の異物が付着した状態で部品が吸着された場合には、上記部品認識処理においてその識別が不正確になる結果、部品装着位置のずれ等を生じるおそれもある。さらには、上記の半田の付着により部品装着処理後であっても、部品がノズルから離れずにノズルに付着した状態のまま次の部品吸着動作が行われると、新たな部品吸着が不能となる上に次工程の部品が未実装となるおそれもある。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、実装用ヘッドの部品吸着部の状態を確実に把握することができ、異物付着等の不良状態に陥ったときにはその是正処理を作業者に確実に促し得る表面実装機を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、部品吸着部を有する実装用ヘッドにより部品供給部の部品を吸着し、この実装用ヘッドを部品装着部に移動させた後に上記実装用ヘッドから部品装着部のプリント基板に装着する表面実装機において、上記ヘッドの部品吸着部を撮像する撮像手段と、実装位置での部品の装着動作が行なわれたときに部品が正常に装着されたか否かを真空圧により判定した結果が異常である場合に、部品廃棄の後で次に部品の吸着を行うまでの期間内に上記撮像手段により撮像された上記ヘッドの部品吸着部の撮像結果に基づいて廃棄の後の異物付着の有無に基づく部品吸着部の状態の良否を判定する判定手段とを備えていることを特徴とするものである（請求項１）。
【０００８】
この発明によれば、上記ヘッドユニットが例えば吸着した部品を基板に対し装着した後にその基板位置から次回の部品を吸着するために部品供給部に移動する途中において、ヘッドの部品吸着部が撮像手段により撮像され、この撮像された部品吸着部の撮像結果に基づいて部品吸着部の状態の良否が判定手段により判定されることになる。このため、ヘッドの部品吸着部の状態が確実に把握され、良好な状態を維持しつつヘッドユニットによる部品の実装が繰り返し行われる。
【０００９】
本発明において、上記判定手段により部品吸着部が不良状態にあると判定されたとき、部品吸着部が不良状態にある旨を報知する報知手段を備えるようにしてもよい（請求項２）。これにより、判定手段により部品吸着部が不良な状態にあると判定されたときには報知手段による報知によって、作業者に対し上記部品吸着部の是正処理が必要である旨を報知してその是正処理の実行を確実に促すことが可能になる。なお、上記撮像手段はヘッドユニットの部品供給部での吸着と基板への装着との間の移動経路内に配置すればよい。
【００１０】
また、上記判定手段は、撮像された部品吸着部の画像における輝度を調べ、輝度の変化領域があるとき部品吸着部に異物の付着が発生していると判定するように構成されていること（請求項３）がこのましい。
【００１１】
このようにすることにより、部品吸着部の良否の判定を具体的に行うことが可能となる。つまり、上記部品吸着部に半田滓等の異物が付着すれば、撮像手段による撮像のために照明光を部品吸着部に対し正対方向もしくは直交方向から照射した場合に、その付着異物の画像領域が暗くなるか明るくなるかして異物付着のない正常な状態の部品吸着部の画像領域とは区別し得ることになる。このため、撮像された画像を輝度の変化に基づいて判定することにより、異物付着の有無に基づく部品吸着部の良否の状態を具体的に判定し得ることになる。
【００１２】
さらに、上記判定手段は、輝度の変化領域が部品吸着部の画像領域に対し所定の設定比率を超えるとき部品吸着部が不良状態にあると判定するように構成されていれば（請求項４）、異物付着がたとえ生じていても、実装動作には支障を及ぼさない状態にあるか、あるいは、実装動作に支障をきたす不良状態にあるかの判定を行わせることが可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１４】
図１は、本発明に係る表面実装機の第１実施形態を概略的に示す平面図であり、図２はその一部省略側面図である。図１及び図２において、基台１の上には基板搬送用のコンベア２が配置され、このコンベア２上を基板としてのプリント基板（一点鎖線で示す）３が搬送されて所定の実装位置で停止するようになっている。
【００１５】
上記コンベア２の側方には部品供給部４が配置されている。この部品供給部４は例えば多数列のテープフィーダ４ａを備えている。
【００１６】
上記基台１の上方には部品装着用のヘッドユニット５が装備され、このヘッドユニット５は、部品供給部４から部品をピックアップ（吸着）してプリント基板３上に装着し得るように、Ｘ軸方向（コンベア２の延びる方向）及びＹ軸方向（水平面上でＸ軸と直交する方向）にそれぞれ移動可能に駆動されるようになっている。
【００１７】
詳しくは、上記基台１上にＹ軸方向に延びる一対のガイドレール６が設けられ、このガイドレール６上にヘッドユニット支持部材７が架設されている。このヘッドユニット支持部材７は、ナット部８を介してＹ軸方向のボールねじ軸９と螺合されており、このボールねじ軸９はＹ軸サーボモータ１０の回転軸に接続されている。
【００１８】
また、ヘッドユニット支持部材７は、Ｘ軸方向に延びるガイド部材１１（図２参照）及びＸ軸方向のボールねじ軸１２を有し、ヘッドユニット５が上記ガイド部材１１に移動可能に支持されるとともに、ヘッドユニット５に設けられたナット部１３が上記ボールねじ軸１２に螺合されている。このボールねじ軸１２は、図２におけるガイド部材１１の右端部に設けられた基端側軸受部材１８と、同左端部に設けられた先端側軸受部材１９とによって軸支され、Ｘ軸サーボモータ１４の回転軸に連結されることによりＸ軸サーボモータ１４の駆動で軸心回りに回転するようになっている。
【００１９】
こうしてＹ軸サーボモータ１０によりボールねじ軸９を介してヘッドユニット支持部材７のＹ軸方向の駆動が行われるとともに、Ｘ軸サーボモータ１４によりボールねじ軸１２を介してヘッドユニット５のＸ軸方向の駆動が行われるようになっている。
【００２０】
そして、上記ヘッドユニット５には部品を吸着するための部品実装用ヘッド１５（図２参照）が搭載されており、このヘッド１５は、Ｚ軸サーボモータ１６を駆動源とする昇降機構により上下方向（Ｚ軸方向）に駆動されるとともに、Ｒ軸サーボモータ１７を駆動源とする回転駆動機構により回転方向（Ｒ軸方向）に駆動されるようになっている。なお、図２には上記ヘッド１５がＸ軸方向に３台連ねて設置された多連ヘッドの例を示しており、各ヘッド１５が個別にＺ軸方向及びＲ軸方向に駆動可能とされている。そして、上記各ヘッド１５はその先端に部品吸着部としての吸着用ノズル１５ａが着脱可能に装着されており、この各ノズル１５ａに供給される負圧に基づき部品を吸着する一方、正圧の供給により吸着していた部品を離すようになっている。
【００２１】
上記コンベア２の側方位置であって、実装位置のプリント基板３と部品供給部４との中間位置には上記ノズル１５ａを撮像するための本発明の撮像手段としての第１のカメラ２１（図１参照）と、上記ノズル１５ａに吸着された状態の部品を撮像するための第２のカメラ２２と、交換用ノズルが収容されたノズル交換ステーション２３とが配設されている。
【００２２】
上記第１のカメラ２１としては、上記の多連ヘッドとされた各ヘッド１５を一画像として撮像する場合にはラインセンサカメラを用いればよく、また、単一ヘッドとされた場合やヘッド１５毎に撮像する場合にはＣＣＤにより構成されたエリアセンサカメラを用いればよい。上記ラインセンサカメラとしてはＣＣＤ固体撮像素子が上記各ヘッド１５の配列方向（Ｘ軸方向）に並設され、スリット部を介して全ヘッド１５，１５，…の画像を一次元的に取り込むように構成されている。そして、上記第１もしくは第２の各カメラ２１，２２は、それぞれ図示省略の照明手段を併有しており、撮像時において対応する照明手段からの照明光の照射を受けたノズル１５ａもしくは部品を撮像し、撮像した画像信号をコントローラ３１に出力するようになっている。
【００２３】
上記コントローラ３１は、マイクロコンピュータを主構成要素とし、システム制御部、部品認識等を行う部品認識部、及び、判定手段としてのノズル状態判定部等を備えている。また、上記コントローラ３１には報知手段を兼ねるモニタ３２が接続されており、このモニタ３２に実装作業の各工程の状態表示や指令表示に加え、上記ノズル状態判定部等により異常状態が判定された際の異常表示等が上記コントローラ３１による制御により行われるようになっている。
【００２４】
上記システム制御部は、表面実装機の動作を統括的に制御するものであり、部品の吸着、第２のカメラ２２による撮像位置まで吸着部品の移動、その部品のプリント基板３への装着、第１のカメラ２１による撮像位置まで装着後のノズル１５ａの移動等の各動作を行うべくＹ軸、Ｘ軸、Ｚ軸及びＲ軸の各サーボモータ１０，１４，１６，１７を制御するようになっている。加えて、部品装着時には部品認識部による部品の認識結果に応じて部品の目標装着位置に対する補正量を求め、この補正量を加味してヘッドユニット５等の駆動制御を行うようになっている。
【００２５】
上記部品認識部は、上記吸着部品が第２のカメラ２２まで移動されたときにシステム制御部から出力される撮像指令信号に基づき、ノズル１５ａに吸着された部品を第２のカメラ２２により撮像させ、取り込まれた画像データに所定の画像処理を施すことにより部品認識を行う。そしてこの品認識に基づき、部品自体の不良やノズル１５ａによる部品吸着の不良の有無を判別し、不良がなかった場合はさらに部品吸着位置のずれを調べ、それに応じた装着位置の補正データを求めるようになっている。
【００２６】
上記ノズル判定部は、プリント基板３への部品装着又は不良部品の廃棄により部品がノズル１５ａから離脱された後にそのノズル１５ａが第１のカメラ２１まで移動されたとき、上記システム制御部から出力される撮像指令信号に基づき、ノズル１５ａの先端面を第１のカメラ２１により撮像させ、取り込まれた画像データに基づいて異物付着に起因するノズル状態の良否を判定するようになっている。
【００２７】
以下、図３のフローチャートに基づき表面実装機による各処理を説明すると、まず、ヘッドユニット５を部品供給部４まで移動させて所定のノズル１５ａに所定の部品を吸着させる（ステップＳ１）。この際、部品が正常に吸着されたか否かを真空圧により判定し（ステップＳ２）、正常吸着である場合（ステップＳ２でＯＫ）には次の部品認識動作に移行し、異常吸着（未吸着）である場合（ステップＳ２でＮＧ）には部品認識や装着等を省略して後述のノズル認識動作に移行する。
【００２８】
部品認識動作では、部品供給部４で部品を吸着したヘッドユニット５を第２のカメラ２２まで移動させた後、部品認識部に撮像指令信号を出力する（ステップＳ３）。第２のカメラ２２で撮像された画像に基づいて部品の形状認識等の部品認識を行い（ステップＳ４）、部品認識が正常に行われた場合（ステップＳ４でＯＫ）には次の部品搭載動作（部品装着動作）に移行し、不良部品と認識された場合（ステップＳ４でＮＧ）にはその部品を所定場所に廃棄した後に後述のノズル認識動作に移行する。
【００２９】
部品搭載動作では、ヘッドユニット５をプリント基板の所定の実装位置まで移動させ、この実装位置に対し部品の装着動作が行われ、ノズル１５ａから部品が離脱される（ステップＳ５）。この際にも、部品が正常に搭載（装着）されたか否かを真空圧により判定し（ステップＳ６）、部品の離脱が正常に行われている場合（ステップＳ６でＯＫ）には次のノズル認識動作に移行し、異常である場合（ステップＳ６でＮＧ）には部品廃棄等の適当な処理を行った上で次のノズル認識動作に移行する。
【００３０】
ノズル認識動作では、装着動作後のヘッドユニット５を第１のカメラ２１まで移動させた後、ノズル判定部に撮像指令信号を出力する（ステップＳ７）。第１のカメラ２１で撮像された画像に基づいてノズル１５ａの状態の良否判定を行い（ステップＳ８）、良好な状態と判定された場合（ステップＳ８でＯＫ）にはステップＳ１の吸着動作に戻ってそれ以降の各処理を繰り返し、不良状態と判定された場合（ステップＳ８でＮＧ）にはステップＳ９のエラー停止処理を行う。
【００３１】
上記のノズル判定部によるノズル１５ａの状態判定は次のようにして行われる。例えばノズル１５ａの先端面に対し照明手段による照明光を側方から照射した場合には、その反射光が第１のカメラ２１以外の方向に反射されることになる。このため、上記ノズル１５ａの先端面に異物付着がなく略平坦面を維持していれば、第１のカメラ２１により取り込まれた上記先端面の画像は周縁に沿って明るく写る以外、他の部分は暗く写ることになる。逆に異物が付着していれば、その異物からの反射光が第１のカメラ２１に取り込まれて画像には明るく写ることになる。このような場合を例にして以下に説明する。
【００３２】
すなわち、図４に示す如く得られた画像５１を二値化処理し、エッジ検索による形状認識によりノズル１５ａの中心位置５２を割り出し、この中心位置５２を中心とするノズル１５ａの先端面に相当する所定の領域を判定領域５３として設定する。なお、ノズル１５ａの種類に応じた判定領域５３を予め記憶しておいて、これを読み出すようにしてもよい。
【００３３】
次に、上記判定領域５３を構成する各画素の輝度を測定し、設定しきい値以上の輝度の画素数を検出する。そして、設定しきい値以上の画素数の上記判定領域５３の全画素数に対する比率が設定比率以下か否かを判定し、設定比率以下であればノズル１５ａには異物の付着はなく良好な状態に保たれていると判定する一方、設定比率を超えていればノズル１５ａは異物が付着しており不良な状態にあると判定する。つまり、設定しきい値以上の画素数をＮbp、全画素数をＮtp、設定比率をＴa（％）とすると、
（Ｎbp／Ｎtp）×１００＞Ｔa  （％）
であれば、ノズル１５ａは異物付着があり不良状態にあると判定する。
【００３４】
上記設定しきい値はノズル１５ａの先端面に異物付着がなく正常な状態にある場合の輝度に基づいて設定すればよい。また、上記設定比率は測定誤差等に基づいて設定すればよい。
【００３５】
以上の判定によれば、もしもノズル１５ａの先端面の一部領域（図４に５３，５４で示す領域）に半田の付着があれば、その領域５３，５４内の各画素が上記設定しきい値以上の輝度で明るくなるため、その半田の付着が判定し得ることになる。なお、図４には画像５１を構成する画素として点線によりイメージ的に例示している。
【００３６】
そして、不良状態と判定された場合には、上記ステップＳ９により表面実装機による実装工程が停止されるとともに、モニタ３２に対しエラー表示が行われる。このエラー表示は、ノズル１５ａの特定と、そのノズル１５ａに異物付着があり清掃を行う必要がある旨を文字表示もしくはエラーコード表示により行われ、作業者にノズル１５ａの清掃作業もしくは交換作業を促すことになる。
【００３７】
なお、上記実施形態では部品の装着又は廃棄の後においてノズルの状態を調べるノズル判定用の撮像手段と部品吸着後の部品認識用の撮像手段とを別個のカメラ２１，２２により構成しているが、１つのカメラでこれらの撮像手段を兼用するようにしてもよい。
【００３８】
図５は本発明に係る表面実装機の第２実施形態を概略的に示す平面図である。
この第２実施形態は実装作業に要するタクトタイムを第１実施形態よりも短縮化し得る表面実装機を示すものである。なお、この第２実施形態において、第１実施形態と同一構成要素については第１実施形態と同一符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００３９】
図５において、基台１の上にはＸ軸方向にプリント基板３を搬送するためのコンベアとして一側（同図の右側）位置に入口側コンベア２ａが配置され、他側（図５の左側）位置に出口側コンベア２ｂが配置されている。加えて、これら両側のコンベア２ａ，２ｂの間には、これら両コンベア２ａ，２ｂを結ぶ位置からＹ軸方向（Ｘ軸方向に直交する方向）に延びて移載ステージ２０をＹ軸方向に移動自在に支持する２組のＹ軸方向ガイドレール２ｃ，２ｄが配置されている。なお、図５には２組のものを図示しているが、Ｙ軸方向ガイドレールは少なくとも１組配置されていればよい。
【００４０】
そして、上記入口側コンベア２ａにより順に搬送されてきたプリント基板３が上記各移載ステージ２０に移載され、各移載ステージ２０上に載置された状態で上記プリント基板３に対する実装が行われ、実装作業が終了した後にそのプリント基板３が上記出口側コンベア２ｂにより次工程に搬送されるようになっている。
【００４１】
一方のＹ軸方向ガイドレール２ｃは入口側及び出口側コンベア２ａ，２ｂを結ぶ線上からＹ軸方向一側（図５の上側）に突出するように延ばされ、その突出側部分の側方にはノズル判定用の撮像手段と部品認識用の撮像手段とを兼ねるカメラ２１′と、部品供給部４とがＸ軸方向に並んで配置されている。そして、上記Ｙ軸方向ガイドレール２ｃ、カメラ２１′及び部品供給部４をまたいで上方位置にはヘッドユニット５がＸ軸方向にのみ移動可能に配設されている。
【００４２】
また、他方のＹ軸方向ガイドレール２ｄは入口側及び出口側コンベア２ａ，２ｂを結ぶ線上からＹ軸方向他側（図５の下側）に突出するように延ばされ、その突出側部分の側方にはノズル判定用の撮像手段と部品認識用の撮像手段とを兼ねるカメラ２１′と、部品供給部４とがＸ軸方向に並んで配置されている。そして、上記Ｙ軸方向ガイドレール２ｄ、カメラ２１′及び部品供給部４をまたいで上方位置にはヘッドユニット５がＸ軸方向にのみ移動可能に配設されている。
【００４３】
そして、２つの移載ステージ２０上の各プリント基板３に対してそれぞれ、ヘッドユニット５のＸ軸方向の移動と移載ステージ２０のＹ軸方向の移動とにより、部品供給部４から吸着した部品をプリント基板３上の所望の実装位置に装着し得るようになっている。
【００４４】
詳しくは、各Ｙ軸方向ガイドレール２ｃ，２ｄの移載ステージ２０は、Ｙ軸方向に延ばされたボールねじ軸９ａに対しナット部８ａを介して螺合されており、このボールねじ軸９ａがＹ軸サーボモータ１０ａの回転軸に接続されて軸心回りに回転駆動されることによりＹ軸方向に駆動されるようになっている。
【００４５】
また、各ヘッドユニット５は、図６にも示すように、Ｘ軸方向に延びるように架設されたヘッドユニット支持部材７ａにより支持されている。このヘッドユニット支持部材７ａは、それぞれＸ軸方向に延びるガイド部材１１ａ及びボールねじ軸１２ａを有し、ヘッドユニット５が上記ガイド部材１１ａに移動可能に支持されるとともに、ヘッドユニット５に設けられたナット部１３ａが上記ボールねじ軸１２ａに螺合されている。このボールねじ軸１２ａは、Ｘ軸サーボモータ１４ａの回転軸に連結されることによりＸ軸サーボモータ１４ａの駆動で軸心回りに回転するようになっている。
【００４６】
こうして、各移載ステージ２０上のプリント基板３がＹ軸サーボモータ１０ａの回転駆動によりＹ軸方向へ駆動される一方、各ヘッドユニット５がＸ軸サーボモータ１４ａの回転駆動によりＸ軸方向へ駆動されるようになっている。
【００４７】
なお、上記各ヘッドユニット５がノズル１５ａを有する部品実装用ヘッド１５（図６参照）を搭載し、このヘッド１５がＺ軸サーボモータ等のＺ軸駆動手段により上下方向に駆動されるとともに、Ｒ軸サーボモータ等のＲ軸駆動手段により回転方向（Ｒ軸方向）に駆動されるようになっている。
【００４８】
この第２実施形態の表面実装機も、第１実施形態と同様にシステム制御部、判定手段としてのノズル状態判定部、及び、部品認識等を行う部品認識部等を備えたコントローラ３１により制御されるようになっている。すなわち、システム制御部により、表面実装機の動作が統括的に制御され、部品の吸着、第２のカメラによる撮像位置まで吸着部品の移動、その部品のプリント基板３への装着、装着後に第１のカメラ２１による撮像位置までノズル１５ａの移動等の各動作を行うべくＹ軸、Ｘ軸、Ｚ軸及びＲ軸の各サーボモータ等の制御が行われる。加えて、部品装着時には部品認識部による部品の認識結果に応じて部品の目標装着位置に対する補正量を求め、この補正量を加味してヘッドユニット５等の駆動制御を行うようになっている。
【００４９】
そして、図３に示すフローチャートに従って部品供給部４からの部品の吸着及び吸着確認（ステップＳ１及びＳ２）と、部品認識のためのカメラ２１′上への移動及び部品認識部による部品認識（ステップＳ３６及びＳ４）と、プリント基板３への部品装着及び装着確認（ステップＳ５及びＳ６）と、ノズル状態判定のためのカメラ２１′上への移動及びノズル状態判定部による状態判定（ステップＳ７及びＳ８）と、ノズル１５ａに異物付着と判定された場合のエラー停止処理及びモニタ３２による報知（ステップＳ９）とが第１実施形態と同様に繰り返される。
【００５０】
以上の第２実施形態の場合には、ヘッドユニット５の移動がＸ軸方向のみとなるため、カメラ２１′によるノズル１５ａの状態判定を行っても、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の双方に移動される第１実施形態と比べタクトタイムの短縮化を図ることができることになる。
【００５１】
なお、第２実施形態についての図示の例ではノズル判定用の撮像手段と部品認識用の撮像手段とを１つのカメラ２１′で兼用しているが、これらの撮像手段を別個のカメラで構成し、部品供給部４と移載ステージ２０との間にこれらのカメラを並べて配置してもよい。
【００５２】
本発明は上記第１及び第２実施形態に限定されるものではなく、その他種々の実施形態を包含するものである。すなわち、上記第１及び第２実施形態では、報知手段としてモニタ３２を用いて文字もしくは記号による表示による報知を行っているが、これに限らず、例えばスピーカもしくは警告灯を報知手段として付設してスピーカによる音声報知や警告灯の点灯・点滅による報知を併用してもよい。
【００５３】
また、ノズル判定のための撮像に際し、ノズル１５ａに対し正対方向からの照明光を照射した場合、第１のカメラ２１により取得される画像においては、ノズル１５ａの先端面において異物付着のない正常部分が明るく写り、異物付着のある部分（例えば図４の領域５４，５５）が暗く写ることになる。この場合には、設定しきい値よりも小さい輝度の画素数の全体画素数に占める比率が設定公差よりも大きくなれば不良状態と判定するようにすればよい。
【００５４】
さらに、ノズル状態判定部によるノズル１５ａの状態判定をヘッドユニット５による部品の吸着・装着の度に行っているが、これに限らず、例えば吸着・装着動作を所定回数繰り返す毎に行ったり、マニュアル操作指令に基づいて所望のタイミングで行わすようにしてもよい。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の表面実装機は、ヘッドによる部品の装着又は廃棄の後で次に部品の吸着を行うまでの期間内に上記ヘッドの部品吸着部を撮像手段により撮像し、それに基づいて部品の装着又は廃棄の後の部品吸着部の状態の良否を判定するようにしているため、ヘッドの部品吸着部の状態を確実に把握することができ、ヘッドの部品吸着部を良好な状態に維持しつつ、ヘッドユニットによる部品の繰り返しの実装を適正に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る表面実装機の平面図である。
【図２】図１の一部省略側面図である。
【図３】実装処理のフローチャートである。
【図４】ノズル先端面の画像例を示す説明図である。
【図５】第２実施形態に係る表面実装機の平面図である。
【図６】図５のＡ−Ａ線における一部省略矢視図である。
【符号の説明】
３  プリント基板
４  部品供給部
５  ヘッドユニット
１５  ヘッド
２１  第１のカメラ（撮像手段）
３１  コントローラ（判定手段）
３２  モニタ（報知手段）
【図１】
0004550269.tif 000002
【図２】
0004550269.tif 000003
【図３】
0004550269.tif 000004
【図４】
0004550269.tif 000005
【図５】
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【図６】
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