(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
手術用顕微鏡を担持する平行四辺形型アーム構造を支持する支持要素（６）を有する架台であって、
前記平行四辺形型アーム構造が、互いに対し旋回可能な４つのアーム（５ａ〜５ｄ）から構成され、隣り合う２つのアーム（５ｂ、５ｃ）の間に軸連結装置が設けられた架台において、
前記支持要素（６）は、第１のダイアゴナル支柱（６ａ）及び第２のダイアゴナル支柱（６ｂ）として構成され、前記平行四辺形型アーム構造にダイアゴナルに配設され、及び前記平行四辺形型アーム構造が剛化されるよう前記軸連結装置を直接的に押圧するよう構成されること、
前記第１のダイアゴナル支柱（６ａ）は、モータ駆動により伸縮可能に構成されること、及び
独立に作動可能な前記第２のダイアゴナル支柱（６ｂ）は、任意の伸縮位置において遠隔操作可能な制動装置（７）によって制動可能に構成されること
を特徴とする架台。
【請求項２】
前記第１のダイアゴナル支柱（６ａ）を伸縮させる、少なくとも１つの遠隔操作可能な駆動装置（１１）が配設されること、
前記駆動装置（１１）は、電気モータ、水力モータ、空気圧モータ又はバネモータとして構成される少なくとも１つのモータを有すること、
前記駆動装置は、前記第１のダイアゴナル支柱（６ａ）の外部に配設され、かつスピンドル駆動装置（１７）を有すること
を特徴とする請求項１に記載の架台。
【請求項３】
運動−／位置−検出ユニット（１４）と、所定の位置に関し再現可能な位置決めを可能にする位置−記憶ユニットとが設けられること、
前記運動−／位置−検出ユニット（１４）及び／又は前記位置−記憶ユニットは、位置変化又は位置決めを自動制御するための少なくとも１つの制御プロセッサ（１５）を有すること
を特徴とする請求項１又は２に記載の架台。
【請求項４】
前記第２のダイアゴナル支柱（６ｂ）には、緩衝要素が配されること、
前記第１のダイアゴナル支柱（６ａ）は、前記平行四辺形型アーム構造における該第１のダイアゴナル支柱（６ａ）の支承点においてかつ該第１のダイアゴナル支柱（６ａ）の駆動装置（１１）に対しあそびのない状態で支持されること
を特徴とする請求項２に記載の架台。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学装置などの精密装置、特に顕微鏡の支持装置に関する。本発明は、特に、ダイアゴナルな（平行四辺形に対し対角線的に作用するよう斜交して配設される：diagonal）支持要素を有し平行四辺形状に配置される（構成される）支持アーム（複数）を有する顕微鏡の支持装置に関する。支持要素は、例えば、機械的幾何構造により力を伝達し、そのため観察装置（顕微鏡等）の支承ないし支持及び／又は位置変化に利用可能に構成されるダイアゴナル支柱（Diagonalstreben）等として理解されるべきである。この支持要素ないしダイアゴナル支柱は、テコの原理及び／又はモーメントの原理により作動し、場合によっては、観察装置の支持及び／又は位置変化を確実に行なうことができるよう、その限りで状態の変化を考慮し、又は状態の変化を引き起こす位置調節装置を含む。
【０００２】
上述の装置は、架台脚ないし架台支柱上の担持アームのように使用可能なのもであるが、天井取付架台又は壁面取付架台のような他の形態の架台でも使用可能である。
【０００３】
【従来の技術】
担持アームを有する架台による光学観察装置（顕微鏡等）の支持は、非常に多くの使用分野において、とりわけ医療技術の分野において必要とされる。この架台アームは、バネ機構及び／又はロック可能な制動装置によって任意の位置で支持され、及び／又はモータにより駆動可能な一肢型アームとして形成されることがよくある。
【０００４】
【特許文献１】
WO99/01693
【特許文献２】
EP866260A
【０００５】
国際特許出願PCT/EP98/03614国際公開WO99/01693Aには、ＭＳ１として本出願人により販売された架台が記載されている。その架台は、先行モデルと同様に、斜交して（対角線的）に配設される支持バネによってその幾何学的延伸ないし長さが規定される平行四辺形状に構成された担持アームを使用する。この場合、支持バネは、観察装置の重量（荷重）に対する重量補償として作用する。バネ力は、この既知の構造では、種々異なる観察装置又は種々異なるように装備された観察装置のそれぞれ異なる重量を受容ないし補償可能なように調節されうる。
【０００６】
欧州特許EP866260Aには、その幾何学的構造によって重量補償（平衡）のための力を伝達する、歯付ベルト支援型支持要素が開示されている。
【０００７】
そのため、ダイアゴナルないし斜交支持部材は、従来の構造体では、基本的に、所定の配置の担持アームないし担持アーム部分を所望の位置において支持するため、又はこれら構造体に働く荷重を（鉛直方向に対する）斜め方向に架台スタンドへ導くために利用される。このような目的は、支持機能実現のためのこれらの構造体では、場合によっては、平行四辺形型装置を有さず、構造全体が絞首台状（門構架状ないし吊り上げやぐら状：galgenfoermig）に構成されることもあろう。
【０００８】
従来のダイアゴナル支持部材は、以下のような要素を有することもよくある：
・  上述したような、荷重の（重量）補償のためのガス圧バネの組込バネ力
・  一又は複数の緩衝要素、例えば、所定のバネ特性及び緩衝特性を有するガスバネ又はゴム緩衝器（振動緩衝）
・  液体緩衝器
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、本発明者は、既知のシステムは、以下の点に関し、不利であることを見出した：
ａ）  顕微鏡などの光学装置の鉛直方向（光軸に平行な方向）における安定性の欠如、及びそれによって引き起こされる位置決め精度の低下。振動安定性の制御は困難なので、オートフォーカスがゆっくりと反応（作動）する場合、画像が不鮮明ないし不安定になりうる。
ｂ）  安定性を改善し、振動を低減するためには、構造の重量を大きくせざるを得ない。
ｃ）  大きな支持力が必須。そのため、各構造要素は、大がかりなものとなる。このため−重量の増加に伴って−慣性は大きくなり、運動性は低くなる。
【００１０】
それゆえ、本発明の課題は、光学（観察）装置の安定的、無振動的、かつ（位置）再現性のある支持を可能にし、及び／又は上述の欠点を回避できる装置を提供することである。とりわけ、鉛直方向において、振動状態の改善を図る。その構造の機械的性質によって、構造全体の剛性ないし強度（Festigkeit）の更なる増進も図る。構造全体の重量の可及的軽量化も図る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために、本発明の一視点によれば、手術用顕微鏡を担持する平行四辺形型アーム構造を支持する支持要素を有する架台であって、
前記平行四辺形型アーム構造が、互いに対し旋回可能な４つのアームから構成され、隣り合う２つのアームの間に軸連結装置が設けられた架台において、
前記支持要素は、第１のダイアゴナル支柱及び第２のダイアゴナル支柱として構成され、前記平行四辺形型アーム構造にダイアゴナルに配設され、及び前記平行四辺形型アーム構造が剛化されるよう前記軸連結装置を直接的に押圧するよう構成されること、
前記第１のダイアゴナル支柱は、モータ駆動により伸縮可能に構成されること、及び
独立に作動可能な前記第２のダイアゴナル支柱は、任意の伸縮位置において遠隔操作可能な制動装置によって制動可能に構成されることを特徴とする（形態１・基本構成）。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の好ましい実施の形態を示すが、形態２〜４は従属請求項の対象でもある。
（形態１）  上記基本構成参照。
（形態２） 上記の架台において、前記第１のダイアゴナル支柱を伸縮させる、少なくとも１つの遠隔操作可能な駆動装置が配設されること、
前記駆動装置は、電気モータ、水力モータ、空気圧モータ又はバネモータとして構成される少なくとも１つのモータを有すること、
前記駆動装置は、前記第１のダイアゴナル支柱の外部に配設され、かつスピンドル駆動装置を有することが好ましい。
（形態３） 上記の架台において、運動−／位置−検出ユニットと、所定の位置に関し再現可能な位置決めを可能にする位置−記憶ユニットとが設けられること、
前記運動−／位置−検出ユニット及び／又は前記位置−記憶ユニットは、位置変化又は位置決めを自動制御するための少なくとも１つの制御プロセッサを有することが好ましい。
（形態４） 上記の架台において、前記第２のダイアゴナル支柱には、緩衝要素が配されること、
前記第１のダイアゴナル支柱は、前記平行四辺形型アーム構造における該第１のダイアゴナル支柱の支承点においてかつ該第１のダイアゴナル支柱の駆動装置に対しあそびのない状態で支持されることが好ましい。
（形態１’）  複数の架台要素を互いに対し支持する少なくとも１つの支持要素を有する、架台上の（顕微鏡等の）光学（観察）装置の支持装置が提供される。この支持装置において、支持要素は、作動状態において、平行四辺形型アーム構造の（複数の）担持的架台要素を緊張状態でないし過剰な応力をもって規定ないし位置固定（Ueberbestimmung）するよう配設・構成されると共に、該支持要素は、ダイアゴナルな支柱として構成され、かつ互いに旋回可能な４つのアームから構成される担持アーム内にダイアゴナルに配設（平行四辺形のアーム構造に対し対角線的に斜交して配設）されることを特徴とする。この支持要素は、本発明によれば、とりわけ平行四辺形型アーム装置等の担持アームの幾何学的（３次元的）ないし物理的特性に対し、該担持アームを緊張させるよう、ないし機械的に過剰な応力の作用下に規定ないし位置固定するように作用を及ぼす。
（形態２’）  支持装置において、更に、支持要素は、モータ駆動により伸縮可能に構成されること、支持要素を伸縮させる、少なくとも１つの遠隔操作可能な駆動装置が配設されること、駆動装置は、電気モータ、液圧モータ、空気圧モータ又はバネモータとして構成される少なくとも１つのモータ（原動装置）を有すること、駆動装置は、支持要素の外部に配設され、かつスピンドル駆動装置を有することが好ましい。
（形態３’）  支持装置において、更に、支持要素は、伸縮可能に構成され、かつ任意の伸縮位置において遠隔操作可能な制動装置によって制動可能に構成されること、位置−検出ユニットと、所定の位置に関し再現（繰り返し）可能な位置決めを可能にする位置−記憶ユニットとが設けられること、位置−検出ユニット及び／又は位置−記憶ユニットは、位置変動又は位置決めを自動制御するよう少なくとも１つの制御プロセッサ及び少なくとも１つの運動−／位置−検出ユニットを有することが好ましい。
（形態４’）  支持装置において、更に、支持要素には、緩衝要素が配されること、緩衝要素又は制動装置は、ダイアゴナル支柱に並置（並列的に作用するよう並んで配設）されること、支持要素は、その支承点において、かつ支持要素に配設された駆動装置に対しあそびのない状態で（がたつかないように）支持されることが好ましい。
【００１３】
本発明の上述の技術的思想によれば、支持要素の幾何学的に引き起こされる力作用ないし支持ないし緩衝作用を必要に応じて変化するよう、遠隔制御によって調節可能に構成される実施形態は排除されない。同様に、緊張状態（Verspannung）とすることないし過剰な応力をもって規定すること（Ueberbestimmung）は、本発明の意義において、支持要素が、ある程度の、しかし極く狭い範囲で（即ち、静止状態において固定位置の精度に影響を与えない限度において）緩衝的にたわむこともありえ、又は弾性的に作用可能に構成されうることを意味する。
【００１４】
本発明の作用を達成するために決定的なことは、架台部材間の目標が定められかつ任意に引き起こされる緊張である。
【００１５】
本発明の意義において、「支持要素」の語には、例えば、共同して（並列的に）作動する並置された複数の支持要素が含まれるものとする。
【００１６】
本発明の頻繁に実施されるべき一形態をなす装置では、支持要素は、４つのアームから組み立てられる担持アーム（平行四辺形型アーム装置）内においてほぼ対角線的に（即ちダイアゴナルに）に配設される。この担持アームにおいては、４つのアームの内の３つのアームが、第４の（残りの１つの）アームに対し旋回可能及び／又は互いに旋回可能に構成される。ここにダイアゴナルないし対角線的とは、正確に対角線上にあることは必要とせず、力が対角線的な方向（或いはこれと平行ないし、対角線にほぼ沿った方向）に作用しうる方向と支点の状態であればよい。
【００１７】
本発明の一展開形態によれば、支持要素は、モータ駆動により伸縮可能に構成され、その伸縮運動（長さの変化）のために、好ましくは少なくとも１つの遠隔操作可能な駆動装置が配設される。
【００１８】
駆動装置は、支持要素の外部に、又は支持要素の内部にも配設することが可能であり、電気モータも空気圧モータも含みうる。特に、スピンドル駆動装置（複数）、テレスコピック要素ないし伸縮要素（複数）等、及びそれらの均等物も含まれる。
【００１９】
本発明の更なる一変形例では、支持要素は、（例えば利用者によって）伸縮可能に構成され、各伸縮（長さ）位置において、好ましくは、（とりわけ遠隔操作可能な）制動装置によってロック可能に構成される。これは、引き出し可能な望遠鏡鏡筒のような（テレスコピックな）支持要素を、ダイアゴナル支柱（Diagonalstrebe）として平行四辺形型アーム（のほぼ対角線上）に配設され、かつその基本位置において、（伸縮要素の各部分を互いに対し固定する）制動装置によってロックすることにより行なうことが可能である。
【００２０】
とりわけステレオ観察技術を利用する手術又は表示ないし観察・実施のために、位置−検出ユニット、及び所定の位置又は選択された位置に関する再現可能な位置決め（位置合わせ）を可能にする位置−記憶ユニットを設けると有利である。
【００２１】
位置−検出ユニット及び／又は位置−記憶ユニットが、位置変化ないし位置決めを自動制御するための少なくとも１つの制御プロセッサ及び好ましくは少なくとも１つの運動−／位置−検出ユニットを有する場合、オートメーション化の増進を図ることができる。
【００２２】
この場合、そのような制御は、制御プロセッサが、必要に応じアームの各位置、傾斜状態等を検出し、特定の外科医（利用者）に対し特定の位置ないし状態を取るよう駆動装置を制御することによって、利用者特異的にも行なうことができる。緩衝挙動（特性）を改善するために、支持要素には、本来の支持要素（例えばダイアゴナル支柱）に対し直列又は並列に配される緩衝要素を設けることができる。
【００２３】
本発明の一展開形態によれば、架台を制御装置と接続し又はＩＧＳ（画像支援型手術：Image Guided Surgery）システムに組み込むこと及びコンピュータ制御により使用することを可能にする運動−、位置−、角度−又は振動センサを備えることも可能である。
【００２４】
本発明の一実施形態では、支持要素が、その支承点においてかつその駆動装置に対してあそびのない状態で（がたつかないように）支持されると、とりわけ大きな精密性ないし正確性が達成されうる。
【００２５】
適正な意図した結果を達成するために、上述のあらゆるバリエーションを任意に組み合わせることができる。
【００２６】
本発明の装置の上述のような態様により、更に以下のような改善が図られる：
１）  構造が軽量であるにもかかわらず安定性が大きい
２）  構造が軽量であるにもかかわらず振動が少ない
３）  （制動装置あり又はなしの）駆動装置を有するバリエーションでは、光学観察装置の傾斜角度ないし鉛直方向位置が予設定可能かつ制御可能
４）  電子的制御装置を有するバリエーションでは、顕微鏡（光学観察装置）のオートフォーカスシステムと組み合わせることが可能
５）  構造が簡素、（付属品等の）増備が可能、作用が優れている
【００２７】
これまでは、手術顕微鏡に関して述べてきた。しかしながら、本発明は、手術顕微鏡に限定されず、架台アームによって支持される他の光学装置（例えばプロジェクタ、ビデオカメラ、フォトカメラ、セオドライトシステム等）にも適用可能である。
【００２８】
【実施例】
本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する。なお、特許請求の範囲に付した図面参照符号は、発明の理解の容易化のためであり、本発明を図示の態様に限定することを意図しない。また、以下の実施例も発明の理解の容易化のためであり、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲において当業者により実施可能な修正・変更等を排除することを意図しない。なお、この点に関しては補正・訂正後においても同様である。
【００２９】
図１に、平行四辺形型アーム装置５ａ〜５ｄと本発明の伸縮（長さ調節）可能なダイアゴナル支柱（対角線的に（平行四辺形の対角線にほぼ相当するよう）斜交して配設される支柱：Diagonalstrebe）６を有する従来の構造の架台の一部ないしアームユニットないし支持装置の模式図を示した。ダイアゴナル支柱６は、モータ１１により付勢されて、アーム５ａから、アーム５ｂと５ｃとの間の軸連結装置（Lager）へ向う力で押圧することにより、平行四辺形型アーム装置５ａ〜５ｄを緊張状態で（予応力下に）剛化する（剛性を高める）。ダイアゴナル支柱６は、下方部分（図示左側部分）に、アーム５ａに結合する連結支承装置１０のネジ１２内で回動可能に支承されるスピンドル（シャフト）１７を有する。双方向矢印２１は、ダイアゴナル支柱６の軸方向の力ないし変位（伸縮）を表す。
【００３０】
そのため、顕微鏡８の重量は、ダイアゴナル支柱６によって（緊張）剛化された、平行四辺形型アーム装置５ａ〜５ｄによって受容される。利用者側から入力信号１６が入力されうる制御装置１５は、制御線２０を介してモータ１１を制御する。
【００３１】
例えば図４から明らかな通り、そのような制御装置１５ａは、簡単な操作による取扱いないし制御を可能とするために、例えばジョイスティック２２等と組み合わせることができる。
【００３２】
図２に、スタンド（脚柱）１と、架台アーム３のための回動連結装置２と、平行四辺形技術に基づき配置ないし組み立てられた４つの可動支持アーム５ａ〜５ｄ及び制動装置７（ロック（制動）解除した状態では、支持アーム５ｃの鉛直方向運動が可能になる）を有する本発明のダイアゴナル支柱６のための回動連結装置４とを有する、手術顕微鏡８のための架台の模式的構造を示した。
【００３３】
鉛直方向に配置される支持アーム５ａは、鉛直方向への運動は行なわないが、場合によっては、回動連結装置４内で回動することができる。制動状態では、アーム５ｂ、５ｃ及び５ｄの昇降は阻止される。
【００３４】
制動装置７は、単純化して単に模式的に示した。実施される場合、大抵は、制動装置７は、ダイアゴナル支柱６の各部を相対的に静止させる電気的に制御される（複数の）制動子を有する。この場合、完全な制動に至るまでに、ある程度の摩擦的効果を見込むことができるため、摩擦的緩衝を行なうことができる。平行四辺形型アーム装置５が（緊張）剛化されていない状態において制動がかけられている間は、勿論、この緩衝過程は、それだけ長く作用する（摩擦効果を引き起こす）。（緊張）剛化された状態では、通常は、運動は起こるべきものではない。しかしながら、異常な負荷状態が生じた場合、本発明の特別な態様の枠内において、過負荷安全性（過負荷耐性：Ueberlastsicherheit）の範囲内でのダイアゴナル支柱６の緩衝作用ないし（少なくとも僅かな）たわみ（しなり）が有効になりうるであろう。
【００３５】
釣合重り９は、支承装置（不図示）を介して、顕微鏡８及びアーム５ｂ〜５ｄの重量を平衡化する。そのため、制動装置７は、明確な支持機能を持たず、基本的には平行四辺形型アーム装置の（緊張）剛化機能のみ（場合によっては更に振動緩衝機能）を有する。
【００３６】
図３に、図１のアームユニットないし支持装置に対応するが、運動−／位置−検出ユニット１４（これは、図３では、アーム５ｂと結合しているが、他のアーム又は支柱５ｃ、５ｄ又は６に配設することも可能である）を有する点で異なるアームユニットないし支持装置を模式的に示した。運動−／位置−検出ユニット１４は、図では、ただ１つのシンボルで示されているが、個々の可動のダイアゴナル支柱６（ないし６ａ、６ｂ）又はアーム５ａ〜５ｄの（２以上ないし全ての）各々に、１つのそれ独自ないし専用の運動−／位置−検出ユニット１４を配設することも可能ある。
【００３７】
例えば、図５に示すように、利用者による入力信号１６の他に、運動−／位置−検出ユニット１４からの測定線１９を介した情報も供給される電子的制御ユニット１５は、適切なプログラムが配されて、制御線２０を介するモータ１１の制御に使用される。
【００３８】
双方向矢印２１（図３〜６）は、平行四辺形型アーム装置５内でのダイアゴナル支柱６の伸縮を表す。
【００３９】
「モータによる駆動」の語は、例えば、電気的（elektrische）駆動装置、電動的（elektromotorische）駆動装置、液圧的（hydraulische）駆動装置、又は空気圧的（pneumatische）駆動装置等の任意のモータ駆動装置（原動機）を有する構造（による駆動）と理解されるべきである。また、バネ圧駆動も含む。
【００４０】
図４に、第一ダイアゴナル支柱６ａと、該第一ダイアゴナル支柱６ａと共同的に支持機能を果たす第二ダイアゴナル支柱６ｂとからなる「複式ダイアゴナル支柱（Doppeldiagonalstrebe）」を有するアームユニットないし支持装置の模式的構造を示した。２つのダイアゴナル支柱６ａ及び６ｂは、それぞれ異なる役割を持つ。一方のダイアゴナル支柱６ａは、図１及び図３の実施例について既に説明した役割（機能）を果たすのに対し、他方のダイアゴナル支柱６ｂは、図３の実施例について説明したような制動装置７とほぼ同じ役割（機能）を果たし、この２つのダイアゴナル支柱６ａ及び６ｂは、互いにその機能を補い合う。
【００４１】
模式的に示したジョイスティック２２により、制御線２０ａ及び２０ｂを介して制動装置７及びモータ１１を制御することができる。
【００４２】
図５に示した構造は、図４に示した実施例の構造と比べると、上述の運動−／位置−検出ユニット１４にほぼ対応し、かつプログラムが制御装置に適正に配されている場合、アーム５ｂ、５ｃ及び５ｄの自動的位置決めを可能にする運動−／位置−検出ユニット１４を更に含むという点で異なる。制御線２０ａ及び２０ｂを介して、制御情報は、制御装置１５からモータ１１及び制動装置７へ伝送される。
【００４３】
図６に示した構造のアームユニットないし支持装置は、バリエーションの１つであるが、ダイアゴナル支柱６と結合するナット部材１８内で支承され、それによってダイアゴナル支柱６の伸縮を可能にするスピンドル１７を回動するモータ１１を有する。
【００４４】
【発明の効果】
本発明の独立請求項１により、所定の課題として掲げた効果が上述の通り達成される。即ち、本発明の支持装置により、顕微鏡等の光学（観察）装置の安定的、無振動的、かつ（位置）再現性のある支持を可能にし、とりわけ、鉛直方向において、振動状態の改善、その構造の機械的性質による構造全体の剛性ないし強度の更なる増進、構造全体の重量の可及的軽量化も図られる。
更に、各従属請求項により、付加的な効果がそれぞれ達成される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の伸縮可能なダイアゴナル支柱を有する平行四辺形型アームを有する従来の構造の架台の一部ないしアームユニットないし支持装置の模式図。
【図２】制動されたダイアゴナル支柱、釣合重り及びスタンドを有し、平行四辺形技術により構築された架台アームを有する架台の模式的構造の一例。
【図３】伸縮可能なダイアゴナル支柱、及び運動−／位置−検出ユニット、並びにダイアゴナル支柱の駆動装置用の電子的制御装置を有する図１のアームユニットないし支持装置の一変形例。
【図４】モータ駆動制御される第一ダイアゴナル支柱、及びモータ駆動により固定を行なう制動装置を有し第一ダイアゴナル支柱とは独立に作動する第二ダイアゴナル支柱、及び多様な制御を行うためのジョイスティック式制御装置を有する図３のアームユニットないし支持装置の一変形例。
【図５】電子制御装置、及び運動−／位置−検出ユニットを有する図４のアームユニットないし支持装置の一変形例。
【図６】平行四辺形型アームの内部にスピンドルを有するアームユニットないし支持装置の一変形例。
【符号の説明】
１          スタンドないし架台脚
２          架台脚−回動連結装置
３          架台アーム
４          架台アーム−回動連結装置
５ａ、ｂ、ｃ、ｄ平行四辺形状に配置される（組み合わされる）可動的な支持アームないしアームないし支柱
６ａ、ｂ    ダイアゴナル支柱（支持要素）
７          制動装置
８          顕微鏡
９          釣合重り
１０        連結支承装置
１１        モータ
１２        ネジ
１４        運動及び／又は振動（旋回）及び／又は位置等を求める運動−／位置−検出ユニット
１５        制御装置
１５ａ      ジョイスティックを有する制御装置
１６        入力信号
１７        スピンドル（シャフト）
１８        ナット
１９        測定線
２０ａ、ｂ  制御線
２１        双方向矢印
２２        ジョイスティック
【図１】
0004394344.tif 000002
【図２】
0004394344.tif 000003
【図３】
0004394344.tif 000004
【図４】
0004394344.tif 000005
【図５】
0004394344.tif 000006
【図６】
0004394344.tif 000007