(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１対の検出電極が形成された検出用枝を有する振動子と、前記各検出電極の出力を検出する検出回路と、を備え、
前記検出回路は、
第１の演算増幅器を有し、一方の前記検出電極に接続した第１の電流電圧変換回路と、
前記第１の電流電圧変換回路の出力に接続した第１の直流カット容量と、
第２の演算増幅器を有し、他方の前記検出電極に接続した第２の電流電圧変換回路と、
前記第２の電流電圧変換回路の出力に接続した第２の直流カット容量と、
前記第１の直流カット容量および前記第２の直流カット容量の出力を差動増幅する加減算回路と、を有する
ことを特徴とする角速度検出装置。
【請求項２】
前記第１の電流電圧変換回路は、第１の帰還容量を有し、
前記第２の電流電圧変換回路は、第２の帰還容量を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の角速度検出装置。
【請求項３】
前記加減算回路は、
第３の演算増幅器と、
前記第１の直流カット容量と前記第３の増幅器のマイナス入力端子とを接続する第１の抵抗と、
前記第３の増幅器のマイナス入力端子と出力端子とを接続する第２の抵抗と、
前記第２の直流カット容量と前記第３の増幅器のプラス入力端子とを接続する第３の抵抗と、
前記第３の増幅器のプラス入力端子を接地する第４の抵抗と、を有する
ことを特徴とする請求項１または２に記載の角速度検出装置。
【請求項４】
前記振動子は、駆動電極が形成された駆動用枝を有し、
前記駆動電極と接続して前記振動子を自励振動させる発振回路と、
前記発振回路の出力により前記検出回路の出力を検波する検波回路と、
前記検波回路の出力の交流成分をカットするローパスフィルタと、を備える
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の角速度検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は単結晶水晶からなる角速度検出素子を用いた角速度検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から機械式の回転ジャイロスコープが、飛行機や船舶の慣性航法装置として使われている。
この機械式回転ジャイロスコープは、高安定かつ高性能を有しているが、その反面、装置が大きく価格も高く、寿命も短いという欠点があった。
【０００３】
さらに、この機械式回転ジャイロスコープに代わるものとして、チタン酸バリウム、ジルコン酸鉛系の圧電セラミックスである多結晶体の圧電素子を用いて振動体を励振させておき、回転の角速度にともなうコリオリ力で励起する振動により発生する電圧を、圧電素子で検出する小型の振動式ジャイロスコープの実用化が進められている。
たとえば、特開平３−１０１１２号公報に振動式装置が提案されている。
【０００４】
以下に従来のジャイロスコープを用いた角速度検出装置を簡単に説明する。
特開平３−１０１１２号公報に開示されている角速度検出装置は、中央の連結部を有する音叉型振動体に駆動用の多結晶体からなる圧電素子を設け、振動体の基部から延長した中央の連結部と直交するヒンジ部をケースを兼ねる円筒状部材で支持する構造である。
【０００５】
この駆動用の圧電素子に交流電圧を加えることによって音叉型振動体を振動させ、回転にともなうコリオリ力によってヒンジ部がＳ字状に変形しながら曲げ振動し、これによってヒンジ部に設けた検出用の多結晶体からなる圧電素子に発生する発生電圧を電圧検出回路で検出し角速度を求める。
【０００６】
図９は、この角速度検出用の多結晶体の圧電素子を用いた電圧増幅回路を用いた検出回路を示している。図９において、検出用の圧電素子は、等価的に容量８３（Ｃ３）と電圧源８１と抵抗８２（Ｒ７）とで表すことができ、圧電素子の一端は演算増幅器８０のプラス入力端子に接続し、発生電圧Ｖｉはマイナス入力端子に接続された抵抗８４（Ｒ５）と抵抗８５（Ｒ６）とにより、信号処理可能な（１＋Ｒ６／Ｒ５）Ｖｉ倍の出力電圧まで電圧増幅される。この出力電圧を音叉振動体の規準周波数で同期検波することにより角速度を求めている。
【０００７】
この従来技術に用いられる圧電セラミックスのような多結晶体からなる圧電素子の入力抵抗８２（Ｒ７）で示されている等価抵抗は、１ｋΩ以下の低い値であり、しかも、１秒間に１度回転する角速度を受けたときに圧電歪効果により圧電素子に発生する電圧は、数百マイクロから数ミリＶ程度である。したがって、圧電セラミック系の圧電素子を検出用に用いた角速度検出装置は、図９のような入力インピーダンスが数１０ｋΩ程度の通常の電圧増幅回路を用いた電圧検出回路により、角速度を求めている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平３−１０１１２号公報に開示されている角速度検出装置は、つぎのような課題が指摘される。
【０００９】
第１に音叉型振動体は、振動体の基部から延長した中央の連結部と直交するヒンジ部を設けて円筒状の部材で支持する構造のため、形状が複雑である。
さらに、金属製の音叉型振動体とヒンジ部に複数の圧電素子を接着する必要があり、このため組立工程が複雑になり、全体形状も大きくなり、低価格化が困難である。
また、金属振動体を用いるため、温度特性も良好ではなくエージングにより特性が変化するという課題がある。
【００１０】
第２に検出用素子として圧電セラミックスの代わりに等価抵抗あるいは、等価電器インピーダンスが１０ｋΩ以上高い物性値の単結晶材料を用いると、１秒間に１度回転する角速度を受けたときに、圧電歪効果により発生する電圧は数マイクロＶである。
この発生電圧の検出に従来の電圧検出回路を用いるとノイズ電圧のため角速度の検出ができなくなり実用化が困難になるという課題がある。
【００１１】
〔発明の目的〕
そこで本発明の目的は、前述の問題点を解決して、角速度の検出精度を高めることが可能な角速度検出装置を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の角速度検出装置は、下記記載の手段を採用する。
【００１３】
少なくとも１対の検出電極が形成された検出用枝を有する振動子と、前記各検出電極の出力を検出する検出回路と、を備え、前記検出回路は、第１の演算増幅器を有し、一方の前記検出電極に接続した第１の電流電圧変換回路と、前記第１の電流電圧変換回路の出力に接続した第１の直流カット容量と、第２の演算増幅器を有し、他方の前記検出電極に接続した第２の電流電圧変換回路と、前記第２の電流電圧変換回路の出力に接続した第２の直流カット容量と、前記第１の直流カット容量および前記第２の直流カット容量の出力を差動増幅する加減算回路と、を有することを特徴とする。
【００１４】
前記第１の電流電圧変換回路は、第１の帰還容量を有し、前記第２の電流電圧変換回路
は、第２の帰還容量を有することを特徴とする。
【００１５】
前記加減算回路は、第３の演算増幅器と、前記第１の直流カット容量と前記第３の増幅器のマイナス入力端子とを接続する第１の抵抗と、前記第３の増幅器のマイナス入力端子と出力端子とを接続する第２の抵抗と、前記第２の直流カット容量と前記第３の増幅器のプラス入力端子とを接続する第３の抵抗と、前記第３の増幅器のプラス入力端子を接地する第４の抵抗と、を有することを特徴とする。
【００１６】
前記振動子は、駆動電極が形成された駆動用枝を有し、前記駆動電極と接続して前記振動子を自励振動させる発振回路と、前記発振回路の出力により前記検出回路の出力を検波する検波回路と、前記検波回路の出力の交流成分をカットするローパスフィルタと、を備えることを特徴とする。
【００１９】
〔作用〕
本発明の角速度検出装置においては、圧電性を有する単結晶体の水晶を音叉あるいは三叉型振動子に用いたため、形状が単純になり、電極は真空蒸着法やスパッタリング法により形成でき、圧電素子を接着する必要がないため、組立工程が簡単になり、全体形状も小さく、低価格化も可能になる。また、水晶を振動体に用いるため、温度特性も改良される。
【００２０】
水晶振動子の一つの枝を検出用枝とし、その検出用枝に１対の検出電極を設けると、二つの検出電極間の等価電気インピーダンスは、１０ｋオーム以上となるが、従来の電圧検出回路の代わりに、等価的に二つの検出用電極を短絡し、短絡電流を電圧に変換するバランス型の検出回路を用いたため、ノイズ電圧の影響を受けることなく従来よりも大きな出力が得られる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を実施するための最良の形態における角速度検出装置の構成を説明する。図１は本発明の実施形態における角速度検出装置の全体の構成を示すブロック図であり、図２は本発明の実施形態における角速度検出装置の発振回路、図３は検出回路、図４は検波回路、図５はローパスフィルタの構成を示す回路図であり、図６は振動子の前面斜視図、図７は後面斜視図である。図８は本図８は本発明の第２の実施形態における振動子の電極構造を示す断面図である。
以下、適時各図を参照しながら説明する。
【００２２】
〔角速度検出装置の構造説明〕
図１に示すように、角速度検出装置の全体の構成は、振動子１と発振回路２と検出回路３と検波回路４とローパスフィルタ５とを備え、ローパスフルタ５の出力が角速度出力６となる。
振動子１は図６と図７とに示すように、単結晶水晶から一体形成した駆動用枝７と検出用枝８とを備え、駆動用枝７には、駆動電極９、１０、１１、１２を備える。
【００２３】
駆動用枝７の下部で駆動電極９と１０とが接続して対となり、上部で駆動電極１１と１２とが接続して対となる。駆動電極９と１０との対は接続線６０を介して出力端子６３に接続し、駆動電極１１と１２との対は接続線６１を介して出力端子６４に接続する。これらの電極は真空蒸着法やスパッタリング法により形成する。
さらに、出力端子６３は接続線１８により発振回路２の入力端子と、出力端子６４は接続線１９により発振回路２の出力端子に接続する。
【００２４】
検出用枝８の上部で検出電極１４と１７とが接続して対となり、下部で検出電極１５と１６とが接続して対となる。
さらに、検出電極１４と１８７対は、接続線６５を介して出力端子６７に接続し、検出電極１５と１６との対は接続線６６を介して出力端子６８に接続する。出力端子６７は接続線２１、出力端子６８は接続線２２により検出回路３の入力端子に接続する。
【００２５】
発振回路２は、図２に示すように、演算増幅器２５とトランジスタ２６と抵抗２７，２８と容量２９とを備える。なお、演算増幅器２５とトランジスタ２６の代わりにオープンコレクタタイプの演算増幅器としてもよい。
振動子の駆動用枝７の出力端子６３は接続線１８により演算増幅器２５の一方の入力端子と出力端子６８は接続線１９によりトランジスタ２６のコレクタと接続する。
演算増幅器２５の他方の入力端子は容量２９を介して接地するとともに、抵抗２８によってトランジスタ２６のコレクタに帰還をする。トランジスタ２６のエミッタは通常接地するが、利得を制御するための負帰還用（ＡＧＣ）としても使用できる。
【００２６】
検出回路３は図３に示すように、第１の演算増幅器３０と第１の帰還容量３３（Ｃｆ１）とからなる第１の電流電圧変換回路と、第２の演算増幅器３１と第２の帰還容量３４（Ｃｆ２）とからなる第２の電流電圧変換回路と第１の直流カット容量４６と第２の直流カット容量４７と演算増幅器３２と抵抗３５（Ｒ１）、３６（Ｒ２）、３７（Ｒ３）、３８（Ｒ４）とからなる加減算回路とからなる。
【００２７】
振動子１の検出用枝８の検出電極１４と１７との出力端子６７は接続線２１により第１の演算増幅器３０のマイナス入力端子に接続し、さらに、マイナス入力端子と出力端子とは第１の帰還容量３３（Ｃｆ１）で接続する。プラス入力端子は接地する。
振動子１の検出用枝８の検出電極１５と１６との出力端子６８は接続線２２により第２の演算増幅器３１のマイナス入力端子に接続し、さらに、マイナス入力端子と出力端子とは第２の帰還容量３４（Ｃｆ２）で接続する。
プラス入力端子は接地する。
【００２８】
第１の演算増幅器３０の出力端子と演算増幅器３２のマイナス入力端子とは第１の直流カット容量４６と抵抗３５（Ｒ１）とで接続する。
さらに、演算増幅器３２のマイナス入力端子と出力端子とは抵抗３６（Ｒ２）で接続する。第２の演算増幅器３１の出力端子と演算増幅器３２のプラス入力端子とは第２の直流カット容量４７と抵抗３７（Ｒ３）とで接続する。
さらに、演算増幅器３２のプラス入力端子は抵抗３８（Ｒ４）を介して接地する。第１の演算増幅器３０と第２の演算増幅器３１のプラス入力端子がともに接地されるため、二つのマイナス入力端子も仮想接地される。
これによって、振動子１の検出用枝８の出力端子６７と６８は、ともに等価的に接地される。回転にともなうコリオリ力によって、振動子１の振動周波数と同じ周波数の短絡電流Ｉｓが検出電極の出力端子６７と６８との間および検出回路３の電流電圧変換回路に流れる。
【００２９】
検波回路４は図４に示すように、抵抗４１、４２と演算増幅器４０とトランスミッション・ゲート４３、４４とインバータ４５とを備える。抵抗４１、４２と演算増幅器４０はゲイン１の反転アンプを形成する。
検出回路３の出力端子は接続線２３によりトランスミッション・ゲート４３の入力端子と反転アンプを介してトランスミッション・ゲート４４の入力端子に接続する。トランスミッション・ゲート４３の出力端子はトランスミッション・ゲート４４の出力端子に接続する。発振回路２との接続線２０から供給する発振回路２の出力電圧とインバータ４５を介した反転出力電圧をトランスミッション・ゲート４３と４４の各々の制御端子の参照信号とする。
【００３０】
ローパスフィルタ５は図５に示すように、抵抗５１、５２、５３と容量５４、５５と演算増幅器５０とを備える。検波回路４の出力端子は接続線２４によりローパスフィルタ５の入力端子である抵抗５１の一端に接続する。抵抗５１の他端は抵抗５３を介して演算増幅器５０の一方の入力端子に接続する。
また、抵抗５１の他端は抵抗５２を介して演算増幅器５０の出力端子に接続するとともに、容量５４を介して接地する。また、演算増幅器５０の一方の入力端子は容量５５を介して演算増幅器５０の出力端子に接続する。
さらに、演算増幅器５０の他方の入力端子は接地する。ローパスフィルタは多重帰還型二次ローパスフィルタである。
【００３１】
〔角速度検出装置の動作説明〕
つぎに以上の構成による角速度検出装置の動作を説明する。
発振回路２は演算増幅器２５とトランジスタ２６とからなる正帰還の発振器であり、単結晶水晶の振動子１の共振周波数ｆ０（Ｈｚ）で発振し、駆動用枝７は図６のＸ方向に面内振動する。
ここに、図６のＸは水晶の電氣軸に、Ｙは水晶の機械軸に、Ｚは水晶光軸にほぼ平行であるが、最適な温度特性を得るため１度から１０度程度回転することもある。
【００３２】
振動子１の駆動用枝７に同期して検出用枝８もＸ方向に面内振動する。このとき振動子１がベクトル軸がＹ方向に平行な角速度ωの回転を受けると、面内振動と直角なＺ方向に角速度ωに比例したコリオリ力Ｆが働く。
このコリオリ力Ｆは以下のように表せる。
Ｆ＝２・ｍ・ω・Ｖ
ここに、ｍは駆動用枝７または検出用枝８の等価質量、Ｖは周波数ｆ０（Ｈｚ）で振動する速度である。
このコリオリ力により面内振動と同じ周波数ｆ０（Ｈｚ）の面外振動が励起される。この振動による圧電歪効果により、振動の１周期の前半に検出用枝８の検出電極１４から検出電極１６へ向かう電界と検出電極１７から検出電極１５へ向かう電界とが発生し、１周期の後半に検出電極１６から検出電極１４へ向かう電界と検出電極１５から検出電極１７へ向かう電界とが発生する。
【００３３】
これにより、検出電極１４と検出電極１６との間および検出電極１７と検出電極１５との間には周波数ｆ０（Ｈｚ）で正負の電荷が発生する。
本実施形態では検出電極１４と検出電極１７とを接続し、検出電極１５と検出電極１６とを接続して、発生電荷を並列出力として得ているが、検出電極は検出電極１４と検出電極１６、あるいは検出電極１５と検出電極１７のみでもよく、また、検出電極１４と検出電極１５とを接続し、検出電極１６と検出電極１７とから発生電荷を直列出力として得ることも可能である。
【００３４】
この振動子１の真空中で面外振動するときの等価抵抗は１０ｋΩ以上であり、１気圧の大気中あるいは不活性ガス中では、等価抵抗は約１０倍の１００ｋΩ以上に増加する。
【００３５】
検出回路３の第１の演算増幅器３０と第２の演算増幅器３１との開ループ利得をともにＡとすると、第１の演算増幅器３０の入力容量は、第１の帰還容量３３（Ｃｆ１）により、Ａ・Ｃｆ１となり、第２の演算増幅器３１の入力容量は第２の帰還容量３４（Ｃｆ２）により、Ａ・Ｃｆ２となる。
演算増幅器の開ループ利得は１００ｄＢ以上あるため、第１の演算増幅器３０と第２の演算増幅器３１の入力容量は非常に大きくなり、検出電極に発生する電荷の帰還容量への転送を完全に行うことができる。
【００３６】
第１の演算増幅器３０と第２の演算増幅器３１のプラス入力端子は各々接地されているため、第１の演算増幅器３０と演算増幅器３１のマイナス入力端子は、各々バーテュアル・ショートされてプラス入力端子と同じ電位になり、接地された状態になる。
しかしながら、第１の演算増幅器３０と第２の演算増幅器３１の各々のマイナス入力端子とプラス入力端子間の入力抵抗は非常に大きく、ほぼ無限大である。
【００３７】
このため、振動子１の検出用枝８の検出電極の出力端子６７と６８との間が等価的に短絡され、検出電極の出力端子６７と６８との間に検出電極に発生する電荷による短絡電流Ｉｓが流れる。
この短絡電流Ｉｓは
Ｉｓ＝Ｉ０・ｓｉｎ２πｆ０・ｔ
と表せる。ここで、ｆ０は振動子の共振周波数である。この短絡電流Ｉｓは第１の演算増幅器３０のマイナス入力端子側から出力端子方向に第１の帰還容量３３（Ｃｆ１）を通って流れ、さらに、第２の演算増幅器３１の出力端子側からマイナス入力端子方向に第２の帰還容量３４（Ｃｆ２）を通って逆方向に流れる。
したがって、第１の演算増幅器３０の出力端子には出力電圧Ｖ１として
Ｖ１＝（−１／Ｃｆ１）∫Ｉｓ・ｄｔ
＝（−１／Ｃｆ１）∫Ｉ０ｓｉｎ２πｆ０・ｔ
＝（−Ｉ０／２πｆ０・Ｃｆ１）（−ｃｏｓ２πｆ０・ｔ＋１）
となり、第１の直流カット容量４６の出力電圧Ｖ１１は
Ｖ１１＝（Ｉ０／２πｆ０・Ｃｆ１）ｃｏｓ２πｆ０・ｔ
第２の演算増幅器３１の出力端子には出力電圧Ｖ２として
Ｖ２＝（１／Ｃｆ２）∫Ｉｓ・ｄｔ
＝（Ｉ０／２πｆ０・Ｃｆ２）（−ｃｏｓ２πｆ０・ｔ＋１）
となり、第２の直流カット容量４７の出力電圧Ｖ２２は
Ｖ２２＝−（Ｉ０／２πｆ０・Ｃｆ２）ｃｏｓ２πｆ０・ｔ
となる。
【００３８】
加減算回路の抵抗３５（Ｒ１）と抵抗３２（Ｒ２）との値を等しく、抵抗３７（Ｒ３）と抵抗３８（Ｒ４）との値を等しくすると、演算増幅器３２の出力電圧Ｖは
Ｖ＝−Ｖ１１＋Ｖ２２
＝−Ｉ０／２πｆ０（１／Ｃｆ１＋１／Ｃｆ２）ｃｏｓ２πｆ０・ｔ
とが得られる。Ｃｆ１＝Ｃｆ２＝Ｃｆとすれば、出力電圧Ｖは
Ｖ＝−２（Ｉ０／２πｆ０・Ｃｆ）ｃｏｓ２πｆ０・ｔ
となる。
【００３９】
１気圧の大気中あるいは不活性ガス中で１秒間に１度回転する角速度を受けたときに検出電極間に発生する電荷の短絡電流Ｉｓのピーク値Ｉ０は５０ｐＡ程度であり、帰還容量ＣｆをＭＯＳ構成のＣｆ＝０．１ｐＦ程度の小さい容量値に設定することによって、振動子１の共振周波数を１０ｋＨｚとしても、検出回路３の検出電圧として、従来の多結晶セラミック体より大きい約１０ｍＶ以上の検出出力が得られる。
【００４０】
検出回路３の検出出力は接続線２３により検波回路４に供給され、接続線２０による発振回路２の出力電圧によって検波される。
この検波回路４は、等価的な乗算回路であり、角速度の回転方向を知るとともに、検出精度を高める働きをする。
【００４１】
検波回路４の出力電圧が接続線２４により、ローパスフィルタ５に供給され、交流成分がカットされて、角速度に比例した直流出力電圧が得られる。
【００４２】
図８は本発明の角速度検出装置の第２の実施形態における振動子の電極構造を示す断面図である。
図６および図７の振動子に新たに駆動用枝７０を追加して三叉振動子としたものである。
駆動用枝７０に駆動電極７１、７２、７３、７４を設け、駆動電極７１と７２とを接続線１８に接続し、駆動電極７３と７４とを接続線１９の接続する。駆動用枝が２本になるため、発振の安定度が高くなる。
【００４３】
以上説明した実施形態では振動子の自励振動方向をＸ方向である面内方向としたが、自励方向振動をＺ方向である面外振動として用いることも可能である。
同様のことは、水晶のＹ軸を中心に９０度回転したＸカット振動子としても可能である。
【００４４】
以上説明した実施形態では、振動子の基板の材料が水晶の励を示したが、タンタル酸リチウム単結晶、ニオブ酸リチウム単結晶、ホウ酸リチウム単結晶等圧電性を示す材料でもよい。
【００４５】
また、実施形態では、振動子の形状として、音叉および三叉の例を示したが、これに限定せずに、すくなくとも一つの駆動用枝と、すくなくとも一つの検出用枝を有する振動子であればよい。
【００４６】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明の角速度検出装置においては、検出回路３によって振動子１の検出用枝８の検出電極の出力端子６７と６８とを等価的に短絡し、検出回路３の第１の演算増幅器３０と第１の帰還容量３３とからなる第１の電流電圧変換回路と第１の直流カット容量４６とによって、短絡電流Ｉｓを第１の直流カット容量４６の出力電圧Ｖ１１＝（Ｉ０／２πｆ０・Ｃｆ）ｃｏｓ２πｆ０・ｔに変換し、さらに第２の演算増幅器３１と第２の帰還容量３４とからなる第２の電流電圧変換回路と第２の直流カット容量４７とによって短絡電流Ｉｓを電圧Ｖ２２＝−（Ｉ０／２πｆ０・Ｃｆ）ｃｏｓ２πｆ０・ｔに変換し、抵抗と演算増幅器からなる加減算回路により、検出出力Ｖ＝Ｖ２２−Ｖ１１＝−２（Ｉ０／２πｆ０・Ｃｆ）ｃｏｓ２πｆ０・ｔと２倍にすることができる。
【００４７】
さらに、検出回路３は、バランス入力となるため、第１に演算増幅器３０と第２の演算増幅器３１とに共通なバイアス電流Ｉｂやオフセット電圧Ｖｏｆおよび振動子１と検出回路３の接続線２１と２２に外部から加わるコモンモード雑音電圧等が加減算回路によりキャンセルできるため、低雑音で温度特性の良い検出回路となる。この検出回路を用いることによって、検出精度が高い角速度検出装置が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態における角速度検出装置の全体の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施形態における角速度検出装置の発振回路の構成を示す回路図である。
【図３】本発明の実施形態における角速度検出装置の検出回路の構成を示す回路図である。
【図４】本発明の実施形態における角速度検出装置の検波回路の構成を示す回路図である。
【図５】本発明の実施形態における角速度検出装置のローパスフィルタの構成を示す回路図である。
【図６】本発明の実施形態における角速度検出装置の振動子の前面斜視図である。
【図７】本発明の実施形態における角速度検出装置の振動子の後面斜視図である。
【図８】本発明の第２の実施形態における振動子の電極構造を示す断面図である。
【図９】従来技術における角速度検出装置の検出回路を示す図である。
【符号の説明】
１：振動子          ２：発振回路          ３：検出回路
４：検波回路          ３０：第１の演算増幅器
３１：第２の演算増幅器          ３３：第１の帰還容量
３４：第２の帰還容量
【図１】
0004440360.tif 000002
【図２】
0004440360.tif 000003
【図３】
0004440360.tif 000004
【図４】
0004440360.tif 000005
【図５】
0004440360.tif 000006
【図６】
0004440360.tif 000007
【図７】
0004440360.tif 000008
【図８】
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【図９】
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